(57)【要約】【課題】ローラコンベア上の搬送路を基板が枚葉で水平に搬送される際に、クリーンルーム内で発生した粉塵が基板上に付着しても、粉塵が滞留、蓄積されることなく、基板上から排出することのできるファンフィルタユニットの設置方法を提供すること。【解決手段】搬送路の上方の全域に複数のファンフィルタユニットＦｂを搬送方向に隙間なく連結して設置し、搬送路の基板１０からファンフィルタユニットの吹き出し開口面１２までの高さＨｂを３０ｃｍ〜５０ｃｍ、清浄な空気の流速を吹き出し開口面から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓとすること。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を枚葉で水平に搬送する搬送路の上方に設けるファンフィルタユニットの設置方法において、搬送路の上方の全域に複数のファンフィルタユニットを搬送方向に隙間なく連結して設置し、搬送路の基板からファンフィルタユニットの吹き出し開口面までの高さを３０ｃｍ〜５０ｃｍ、ファンフィルタユニットから吹き出される清浄な空気の流速を吹き出し開口面から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓとすることを特徴とするファンフィルタユニットの設置方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の搬送に関するものであり、特に、クリーンルーム内で基板を搬送する際に、基板上に付着した粉塵が滞留、蓄積されることのないファンフィルタユニットの設置方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルーム内で、例えば、矩形状のガラス基板を用いて液晶表示装置用のカラーフィルタを製造する際などには、その製造工程内では基板を製造装置へ搬送したり、製造装置から次の製造装置へ搬送したり、或いは製造装置から収納カセットへ搬送したり、などの搬送手段としてローラコンベアなどが広く用いられている。
【０００３】
図１は、基板の搬送路の上方にファンフィルタユニットを設け、基板を搬送する際の一例を側面で示す説明図である。図１には、ローラコンベア（Ｃ）、ファンフィルタユニット群（Ｆａ）、クリーンルームの床面グレーチング（Ｇ）、及び基板（１０）が示されている。ファンフィルタユニット群（Ｆａ）は、第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）、第二ファンフィルタユニット（Ｆ２）、第三ファンフィルタユニット（Ｆ３）で構成されている。
【０００４】
白太矢印で示すように、基板（１０）は、枚葉状態でローラコンベア（Ｃ）上を図中左側から右側へ搬送される。鎖線は、この際の基板（１０）の搬送路を表している。
各ファンフィルタユニット（Ｆ１〜Ｆ３）は搬送路の上方、（Ｈａ）で示す高さの位置に、所定間隔（Ｌ）をもって設置されている。搬送路の長さに応じファンフィルタユニットの数は増減される。
【０００５】
搬送路の上方に設けられたファンフィルタユニット群（Ｆａ）の各吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（１３）は、基板（１０）上に付着した粉塵を移動させ、下流へ排出し、粉塵を基板（１０）上に滞留、蓄積させないようにしている。
【０００６】
図２は、ローラコンベア上の基板と、その上方に設けられたファンフィルタユニットとの位置関係を説明する断面図である。図２は、図１の左方側からの断面図である。
ローラコンベア（Ｃ）上の基板（１０）、及び第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）は、共に、例えば、清浄度クラス１０００のクリーンルーム内に設置されている。一例として示す第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）のファンフィルタユニット本体（２９）は、その断面内を左方からの空気が通過できるような構造になっており、クリーンルーム内の空気（２１）が送風機（２２）によって吸い込まれ、プレフィルタ（２６）を通過した空気が導かれている。
【０００７】
第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の下部には空気フィルタ（２３）が備え付けられている。空気フィルタ（２３）を通過し、吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（１３）は、浮遊粉塵が捕捉され、例えば、クラス１００程度の清浄度の層流となっている。
第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の吹き出し開口面（１２）から吹き出された清浄な空気（１３）は、下方にあるローラコンベア（Ｃ）に向けて一様に吹き出されている。
【０００８】
空気フィルタ（２３）としては、直径１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加えた紙状の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りたたみ、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、粉塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％以上のＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）が用いられる。
或いは、非常に細い繊維で作られた濾材を採用したフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍの粉塵に対して９９．９９９７％以上のＶＥＰＡフィルタ（Ｖｅｒｙ  Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）などが用いられる。
【０００９】
空気フィルタ（２３）は、第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の下部に空気漏れのないように取り付けられている。
第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（１３）の流速は、０．３ｍ／ｓ程度のものである。流速が０．２ｍ／ｓ以下になると、人の動作による乱流の影響が大きくなり、また、流速が０．７ｍ／ｓ以上になると、人が気流を感じるためである。
ローラコンベア（Ｃ）上の基板（１０）から第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の吹き出し開口面（１２）までの高さ（Ｈａ）は、クリーンルーム内の発塵量によるが、概ね、１．０ｍ〜１．５ｍである。
【００１０】
しかし、このような環境下での基板の搬送においては、クラス１００程度の清浄な空気が供給されていても、クリーンルーム内で発生した粉塵が基板上に付着し、これが異物となってしまうといった問題がある。
これは、１．０ｍ〜１．５ｍ程度の高さ（Ｈａ）から供給される、流速０．３ｍ／ｓ程度の清浄な空気（１３）では、基板上に付着した粉塵を移動させ、滞留、蓄積させずに下流へ排出させることが不十分なためと推量されている。
【００１１】
図３は、吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（１３）の気流の状況を示す説明図である。図３は、図１と同じ側面側からの説明図である。
図３（ａ）は、基板（１０）が第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）に進入した時点の状況を示すものである。
図３（ａ）に示すように、図中左側（白太矢印）から進入した基板（１０）上では、清浄な空気（１３）の気流は基板上で消滅し、基板上での気流は少ない。
すなわち、基板上の気流の一方向流の状態が短く、付着した粉塵を移動させ、排出させる機能は不十分である。
【００１２】
図３（ｂ）は、基板（１０）が第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）の直下に達した時点の状況を示すものである。
図３（ｂ）に示すように、清浄な空気（１３）の気流は流速が小さいために、基板上での気流の一方向流の状態が短く、基板面に当たった直後に乱流となり基板上で舞い上がってしまう。このため、付着した粉塵を移動させ、排出させる機能は不十分である。
【００１３】
また、図３（ｃ）は、基板（１０）が第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）を抜ける時点の状況を示すものである。
図３（ｃ）に示すように、清浄な空気（１３）の気流の一部は、基板の進行逆方向に抜けるが、基板の進行方向では、基板上の乱流は減少するものの一方向流の状態が長くなることはない。
従って、基板上に付着した粉塵を移動、排出させる機能は不十分であり、滞留したままとなってしまうものがある。
【００１４】
図１に示す各ファンフィルタユニット（Ｆ１〜Ｆ３）間の所定間隔（Ｌ）が十分に大きい際には、ローラコンベア（Ｃ）によって搬送される基板（１０）上の清浄な空気（１３）の気流の状況は、各ファンフィルタユニット（Ｆ１〜Ｆ３）の下方を通過する毎に上記のような挙動を繰り返すこととなる。
【００１５】
所定間隔（Ｌ）は、均一な層流を供給する上でのデッドスペースとなっている。このデッドスペースによって供給する空気が乱流となってしまうことを避けるためには、一般には、基板からファンフィルタユニットの吹き出し開口面までの高さ（Ｈａ）に対し、所定間隔（Ｌ）をＬ≒Ｈａ／３にするものとされている。
このような場合には、図１に示すファンフィルタユニット群（Ｆａ）内の下方を通過する間においては、基板（１０）上の清浄な空気（１３）の気流の状況は、上記図３（ｂ）に示す気流の状況が維持される。
また、図１に示すファンフィルタユニット群（Ｆａ）を抜ける時点においては、基板（１０）上の清浄な空気（１３）の気流の状況は、上記図３（ｃ）に示す気流の状況のものとなる。
【００１６】
【特許文献１】
特開平５−６０３５６号公報
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、例えば、クラス１０００程度のクリーンルーム内に設けられたローラコンベアの上方のファンフィルタユニットから、クラス１００程度の清浄な空気が供給されるローラコンベア上の搬送路を基板が枚葉で水平に搬送される際に、クリーンルーム内で発生した粉塵が基板上に付着しても、粉塵が滞留、蓄積されることなく、基板上から排出することのできるファンフィルタユニットの設置方法を提供することを課題とするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板を枚葉で水平に搬送する搬送路の上方に設けるファンフィルタユニットの設置方法において、搬送路の上方の全域に複数のファンフィルタユニットを搬送方向に隙間なく連結して設置し、搬送路の基板からファンフィルタユニットの吹き出し開口面までの高さを３０ｃｍ〜５０ｃｍ、ファンフィルタユニットから吹き出される清浄な空気の流速を吹き出し開口面から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓとすることを特徴とするファンフィルタユニットの設置方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を詳細に説明する。
図４は、本発明によるファンフィルタユニットの設置方法の一実施例の側面図である。図４に示すように、この一実施例では、ローラコンベア（Ｃ）、ファンフィルタユニット群（Ｆｂ）、クリーンルームの床面グレーチング（Ｇ）、及び基板（１０）が示されている。ファンフィルタユニット群（Ｆｂ）は、第一ファンフィルタユニット（Ｆ１）、第二ファンフィルタユニット（Ｆ２）、第三ファンフィルタユニット（Ｆ３）、〜第ｎファンフィルタユニット（Ｆｎ）で構成されてる。
【００２０】
複数のファンフィルタユニット（Ｆ１〜Ｆｎ）は、搬送路の上方の全域に、搬送方向に隙間なく連結して設置されている。ファンフィルタユニットの数（ｎ）は搬送路の長さに応じ設定される。
複数のファンフィルタユニット（Ｆ１〜Ｆｎ）は搬送路の上方、（Ｈｂ）で示す高さの位置に設置されている。搬送路の基板（１０）からファンフィルタユニットの吹き出し開口面（１２）までの高さ（Ｈｂ）は３０ｃｍ〜５０ｃｍが好ましい。
【００２１】
白太矢印で示すように、基板（１０）は、枚葉状態でローラコンベア（Ｃ）上を図中左側から右側へ搬送される。鎖線は、この際の基板（１０）の搬送路を表している。
搬送路の上方に設けられたファンフィルタユニット群（Ｆｂ）の各吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（４３）の流速は、吹き出し開口面（１２）から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓが好ましい。
【００２２】
ファンフィルタユニット群（Ｆｂ）の各吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（４３）は、ファンフィルタユニットが複数隙間なく搬送方向に連結して設置されており、また、基板（１０）から吹き出し開口面（１２）までの高さ（Ｈｂ）は３０ｃｍ〜５０ｃｍと短くなっており、また、吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（４３）の流速は、吹き出し開口面（１２）から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓと速くなっているので、搬送路上においては、単位面積あたりの流量が増加した、且つ強い勢いの清浄な空気（４３）が供給される。
【００２３】
図５は、吹き出し開口面（１２）から吹き出される清浄な空気（４３）の気流の状況を示す説明図である。図５は、図４と同じ側面側からの説明図である。
図５（ａ）は、基板（１０）が本発明におけるファンフィルタユニット群（Ｆｂ）に進入した時点の状況を示すものである。
図５（ａ）に示すように、図中左側（白太矢印）から進入した基板（１０）上では、清浄な空気（４３）の気流の流速は速く、流量は大きいので、基板上での一方向流の状態は長く、気流が基板上で消滅することはない。
すなわち、基板上の気流の一方向流は付着した粉塵を移動させ、下流へと排出させる。
【００２４】
図５（ｂ）は、基板（１０）がファンフィルタユニット群（Ｆｂ）の直下内に達した時点の状況を示すものである。
図５（ｂ）に示すように、清浄な空気（４３）の気流は流速が速く、流量は大きいので、基板上での気流の一方向流の状態は長い。また、基板面上で乱流となることはない。
すなわち、基板上の一方向流は付着した粉塵を移動させ、下流へと排出させる。
【００２５】
また、図５（ｃ）は、基板（１０）がファンフィルタユニット群（Ｆｂ）を抜ける時点の状況を示すものである。
図５（ｃ）に示すように、清浄な空気（１３）の気流の一部は、基板の進行逆方向に抜けるが、基板の進行方向では流量は十分なものであり、また、流速は速く、基板上での一方向流の状態は長い。
従って、基板上に付着した粉塵を移動させ、下流へと排出させる。
すなわち、本発明によるファンフィルタユニットの設置方法によれば、基板（１０）上に付着した粉塵を移動させ、下流へと十分に排出し、粉塵を基板（１０）上に滞留、蓄積させることは殆どなくなる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、搬送路の上方の全域に複数のファンフィルタユニットを搬送方向に隙間なく連結して設置し、搬送路の基板からファンフィルタユニットの吹き出し開口面までの高さを３０ｃｍ〜５０ｃｍ、ファンフィルタユニットから吹き出される清浄な空気の流速を吹き出し開口面から吹き出す時点で０．５ｍ／ｓ〜０．８ｍ／ｓとするファンフィルタユニットの設置方法であるので、ローラコンベア上の搬送路を基板が枚葉で水平に搬送される際に、クリーンルーム内で発生した粉塵が基板上に付着しても、粉塵が滞留、蓄積されることなく、基板上から十分に排出することのできるファンフィルタユニットの設置方法となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板の搬送路の上方にファンフィルタユニットを設け、基板を搬送する際の一例を側面で示す説明図である。
【図２】ローラコンベア上の基板と、その上方のファンフィルタユニットとの位置関係を説明する断面図である。
【図３】（ａ）は、基板が第一ファンフィルタユニットに進入した時点の気流の状況を示す説明図である。
（ｂ）は、基板が第一ファンフィルタユニットの直下に達した時点の気流の状況を示す説明図である。
（ｃ）は、基板が第一ファンフィルタユニットを抜ける時点の気流の状況を示す説明図である。
【図４】本発明によるファンフィルタユニットの設置方法の一実施例を示す側面図である。
【図５】（ａ）は、基板が本発明におけるファンフィルタユニット群に進入した時点の気流の状況を示す説明図である。
（ｂ）は、基板が本発明におけるファンフィルタユニット群の直下に達した時点の気流の状況を示す説明図である。
（ｃ）は、基板が本発明におけるファンフィルタユニット群を抜ける時点の気流の状況を示す説明図である。
【符号の説明】
１０・・・基板
１２・・・吹き出し開口面
１３・・・清浄な空気
２１・・・クリーンルーム内の空気
２２・・・送風機
２３・・・空気フィルタ
２６・・・プレフィルタ
２９・・・ファンフィルタユニット本体
４３・・・本発明における清浄な空気
Ｃ・・・ローラコンベア
Ｆａ・・・ファンフィルタユニット群
Ｆｂ・・・本発明におけるファンフィルタユニット群
Ｆ１・・・第一ファンフィルタユニット
Ｆ２・・・第二ファンフィルタユニット
Ｆ３・・・第三ファンフィルタユニット
Ｆｎ・・・第ｎファンフィルタユニット
Ｇ・・・床面グレーチング
Ｈａ・・・基板から吹き出し開口面までの高さ
Ｈｂ・・・本発明における基板から吹き出し開口面までの高さ
Ｌ・・・ファンフィルタユニット間の所定間隔
【図１】
2004309018.tif 000003
【図２】
2004309018.tif 000004
【図３】
2004309018.tif 000005
【図４】
2004309018.tif 000006
【図５】
2004309018.tif 000007