(57)【要約】【課題】本発明は、試験装置、試験装置による試験方法に関し、例えば集積回路等の特性を試験する試験装置に適用して、処理速度の異なる試験装置の試験プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができるようにする。【解決手段】本発明は、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、所定のステートメントにおいて実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、このハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機することにより、ハードウエアウエイトステートメントにより実処理間の時間を規定するようにする。【選択図】        図１
2004163351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステートメントの連続により作成された測定プログラムを制御手段により実行して所望の試験対象を試験する試験装置において、
前記制御手段は、
前記各ステートメント毎に、
少なくとも前記ステートメントを解釈する前処理による内部処理と、
前記前処理の処理結果に基づいて、該ステートメントに係る処理を実行する実処理と、
後処理による内部処理とを順次実行し、
待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、
所定のステートメントにおいて前記実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、前記ハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機する
ことを特徴とする試験装置。
【請求項２】
ステートメントの連続により作成された測定プログラムをコンピュータによりシステムソフト上で実行し、前記コンピュータにより試験装置を制御する試験装置による試験方法において、
前記各ステートメント毎に、
少なくとも前記ステートメントを解釈する前処理による内部処理と、
前記前処理の処理結果に基づいて、該ステートメントに係る処理を実行する実処理と、
後処理による内部処理とを順次実行して前記測定プログラムを実行し、
待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、
所定のステートメントにおいて前記実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、前記ハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機する
ことを特徴とする試験装置による試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験装置、試験装置による試験方法に関し、例えば集積回路等の特性を試験する試験装置に適用することができる。本発明は、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、対応するステートメントにおいて実処理を実行した後、続くステートメントの実処理を開始するまでの時間が、このハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、ステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機することにより、ハードウエアウエイトステートメントにより実処理間の時間を規定するようにし、これにより処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも正常に試験することができるようにする。
【０００２】
【従来の技術】
従来、集積回路等の特性を試験する試験装置においては、測定プログラムに従ったコンピュータの制御により、例えば所定の電圧を試験対象に印加して、試験対象に流れる電流、試験対象の出力等を測定するようになされている。
【０００３】
すなわち図６は、このような試験装置の測定プログラムの説明に供する図表である。この種の測定プログラムにおいては、ステートメントの連続により記述され、例えば測定対象に電圧を印加して測定対象からの出力電圧を測定する場合、ハードウエア制御命令により電源装置に電圧の出力を指示し、続く測定制御命令で測定回路に測定を指示する。
【０００４】
試験装置においては、このような各種制御命令によるプログラムを処理する場合、各ステートメントにおいて、始めに前処理である内部処理により各ステートメントの構文を解釈し、例えば制御に必要な各種の計算処理を実行する。また続いてこの内部処理結果に基づいて、ステートメントに記述された処理を実行し、続いて後処理である内部処理を実行する。すなわち試験対象に電圧を印加する場合には、内部処理により制御対象を特定すると共に、制御に必要なパラメータを設定し、この内部処理結果に基づいて、続く制御の処理において、電源装置にコマンドを送出する。また続く内部処理において、電源装置の制御に対応するフラグ等を設定し、続くステートメントに処理を切り換える。またこのようにして電圧を印加してその結果を測定する場合、同様の内部処理により制御対象である測定装置を特定すると共に、測定レンジ等のパラメータを設定し、この内部処理結果に基づいて、続く実処理でこの測定装置にコマンドを送出し、測定結果を取得する。また続く内部処理により、フラグ等を設定する。
【０００５】
このようにして測定対象を測定する場合、電源装置に電圧の印加を指示した後、測定対象の印加電圧が指示した電圧に立ち上がって安定するまでに時間を要することにより、また試験対象の出力電圧等を測定する場合には、さらに試験対象における応答の分、時間を要することにより、ウエイトのステートメントを適宜介挿してプログラムを作成するようになされている。
【０００６】
すなわち図６（Ａ）の例では、電圧の印加を指示するハードウエア制御命令と、測定を指示する測定制御命令との間にウエイトのステートメントが記述される。このウエイトのステートメントは、電圧の出力を指示するステートメントの後処理である内部処理、測定を指示するステートメントの前処理である内部処理にそれぞれ時間ｔ１、ｔ３を要し、例えば電源装置に電圧の出力を指示した後、安定した測定結果が得られるまでに時間Ｔを確保することが必要な場合、時間Ｔ−ｔ１−ｔ３により計算される時間ｔ２の間だけ待機するように、パラメータを設定して記述される。
【０００７】
試験装置においては、このウエイトのステートメントにより、タイマをリセットして時間を計測し、このステートメントに設定された時間だけ経過すると、続くステートメントの処理を開始する。これにより従来の試験装置においては、適宜、測定プログラムにウエイトのステートメントを記述して、確実に所望する特性を測定できるようになされている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年、コンピュータにおいては、年々、処理速度が速くなっており、これにより試験装置においても、制御プログラムの処理速度が速くなるようになされている。試験装置において、このように制御プログラムの処理速度が速くなると、その分、各ステートメントにおける内部処理に要する時間が短くなることにより、試験に要する時間も短くなり、生産性を向上することができる。
【０００９】
しかしながらこのように処理速度が向上して内部処理に要する時間が短くなると、他の試験装置で使用していた測定プログラムを使用したのでは、正しい測定結果を得ることが困難な場合が発生する。
【００１０】
すなわち図６（Ａ）との対比により図６（Ｂ）に示すように、処理速度が速くなると、電圧の出力を指示するステートメントの後処理である内部処理、測定を指示するステートメントの前処理である内部処理に要する時間ｔ１Ｎ、ｔ３Ｎもそれぞれ短くなり、これによりそれまでの時間ｔ２によるウエイトのステートメントによっては、電源装置に電圧の出力を指示した後、安定した測定結果が得られるまでの時間Ｔを確保することが困難になる。
【００１１】
このようなウエイト時間の不足は、ウエイトのステートメントを記述した各部で発生し、測定プログラムの処理速度が速くなればなる程、著しくなる。これによりこの種の試験装置においては、測定プログラムの処理速度が速くなると、結局、ウエイト時間を調整し直して測定プログラムを作成し直さなければならない問題があった。
【００１２】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができる試験装置、試験装置における試験方法を提案しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、ステートメントの連続により作成された測定プログラムを制御手段により実行して所望の試験対象を試験する試験装置に適用して、制御手段は、各ステートメント毎に、少なくともステートメントを解釈する前処理による内部処理と、前処理の処理結果に基づいて、該ステートメントに係る処理を実行する実処理と、後処理による内部処理とを順次実行し、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、所定のステートメントにおいて実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、ハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機する。
【００１４】
また請求項２の発明においては、ステートメントの連続により作成された測定プログラムをコンピュータによりシステムソフト上で実行し、コンピュータにより試験装置を制御する試験装置による試験方法に適用して、各ステートメント毎に、少なくともステートメントを解釈する前処理による内部処理と、前処理の処理結果に基づいて、該ステートメントに係る処理を実行する実処理と、後処理による内部処理とを順次実行して測定プログラムを実行し、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、所定のステートメントにおいて実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、ハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機する。
【００１５】
請求項１の構成によれば、ステートメントの連続により作成された測定プログラムを制御手段により実行して所望の試験対象を試験する試験装置に適用して、制御手段は、各ステートメント毎に、少なくともステートメントを解釈する前処理による内部処理と、前処理の処理結果に基づいて、該ステートメントに係る処理を実行する実処理と、後処理による内部処理とを順次実行し、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、所定のステートメントにおいて実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、ハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機することにより、ハードウエアウエイトステートメントの記述により実処理間の時間を規定することができ、これにより処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができる。
【００１６】
これにより請求項２の構成によれば、処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができる試験装置による試験方法を提供することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳述する。
【００１８】
（１）第１の実施の形態
（１−１）第１の実施の形態の構成
図２は、本発明の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。この試験装置１は、集積回路、半導体素子等による測定対象２を試験する。
【００１９】
すなわちこの試験装置１において、テストヘッド３は、バスＢＵＳに出力されるコマンドにより動作を切り換え、電源ユニット４、測定ユニット５と、測定対象２との間の接続を切り換える。これにより試験装置１では、テストヘッド３の設定により種々の測定対象２を試験できるようになされている。
【００２０】
電源ユニット４は、バスＢＵＳに出力されるコマンドに応動して動作を切り換え、テストヘッド３に試験用電源を出力する。測定ユニット５は、同様に、バスＢＵＳに出力されるコマンドに応動して動作を切り換え、テストヘッド３より得られる電流、電圧を測定し、測定結果をバスＢＵＳに出力する。これによりこの試験装置１では、例えば測定対象２の所定の端子に電源ユニット４により電圧を印加すると共に、この端子に流れる電流を測定ユニット５で測定し、測定対象２の電圧電流特性を測定できるようになされている。また同様に、測定対象２の入力端子に電源ユニット４により電圧を印加すると共に、測定対象２の出力電圧を測定ユニット５で測定し、測定対象２の入出力特性を測定できるようになされている。
【００２１】
中央処理ユニット（ＣＰＵ）７は、メモリ８と共にハードディスク装置（ＨＤＤ）９に記録された測定プログラムを実行するコンピュータを構成し、この測定プログラムの実行によりバスＢＵＳにコマンドを出力して試験装置１全体の動作を制御する制御手段を構成する。この実施の形態では、この測定プログラムが、ステートメントの連続により記述されて、ハードディスク装置９に記録されたシステムソフト上で動作するようになされている。
【００２２】
中央処理ユニット７は、このシステムソフト上における測定プログラムの実行により、ハードウエア制御命令、測定制御命令のステートメントにおいては、図３（Ａ）に示すように、構文解釈等の前処理に係る内部処理を実行した後、ハードウエアウエイト判定の処理を実行する。ここでハードウエア制御命令は、実処理がハードウエアの構成にコマンドを出力する処理であるステートメントである。これに対して測定制御命令は、同様に、実処理がハードウエアの構成にコマンドを出力する処理であり、この実施の形態では、ハードウエア制御命令による設定により実際に電圧等の測定を指示するステートメントである。
【００２３】
ハードウエアウエイト判定の処理は、ハードウエアウエイトステートメントの実行によりウエイト時間が設定されている場合、ウエイトタイマによる時間計測値がこのウエイト時間になるまで待機する処理である。これにより中央処理ユニット７は、ハードウエアウエイトステートメントに応じて、実処理を開始するタイミングを遅延させるようになされている。なお中央処理ユニット７は、ウエイト時間が設定されているか否かを例えばフラグの設定により判定する。
【００２４】
中央処理ユニット７は、続く実処理において、前処理の処理結果に応じて電源ユニット４、測定ユニット５等にコマンドを発行し、これによりこの実処理において、ステートメントの実行に係る実際の処理を実行する。また中央処理ユニット７は、続いてウエイトタイマスタートの処理を実行する。ここでこのウエイトタイマスタートの処理は、上述したウエイトタイマをリセットしてスタートさせる処理であり、これによりこの実施の形態では、実処理を実行した後の時間経過を測定するようになされている。なお中央処理ユニット７は、ウエイト時間が設定されている場合には、このウエイトタイマスタートの処理において、ウエイト時間の設定をリセットするようになされている。これにより中央処理ユニット７は、電源装置に電圧の出力を指示する等の実処理を実行した後の時間経過をウエイトタイマで計測するようになされている。中央処理ユニット７は、このウエイトタイマスタートの処理を実行すると、後処理に係る内部処理を実行する。
【００２５】
これに対してハードウエアウエイトステートメントにおいて、中央処理ユニット７は、図３（Ｂ）に示すように、構文解釈等の前処理に係る内部処理を実行した後、順次実処理、後処理に係る内部処理を実行し、この実処理においてウエイト時間を設定するようになされている。
【００２６】
これにより図６との対比により図１に示すように、この実施の形態においては、ハードウエア制御命令、ハードウエアウエイト命令、測定制御命令のステートメントの連続により、例えば電源ユニット４から測定対象２に電圧を印加した後、一定時間経過して測定ユニット５で電圧等を測定する場合（図１（Ａ）及び（Ｃ））、ハードウエア制御命令において、実処理により電源ユニット４に制御コマンドを発行して電圧の印加を開始すると、ウエイトタイマをスタートさせ、続くハードウエアウエイト命令（ステートメント）によりこのウエイトタイマで待機すべきウエイト時間を設定するようになされている。また続く測定制御命令のステートメントにおいては、構文解釈等の前処理を実行した後、ウエイトタイマによる時間計測値がウエイト時間となるまで待機し、その後、測定ユニット５に制御コマンドを発行して電圧等を測定するようになされ、これにより電源装置に電圧の出力を指示した後、実際に測定するまでの時間Ｔをハードウエアウエイト命令により設定するようになされている。
【００２７】
なお中央処理ユニット７においては、このようなハードウエア制御命令、ハードウエアウエイト命令、測定制御命令に係るシステムソフトの処理により、又はキャッシングを利用したハードウエアウエイト命令に係るシステムソフトの処理により、このようなハードウエアウエイト判定処理、ウエイトタイマスタート処理を実行するようになされている。
【００２８】
これにより図１（Ｂ）に示すように、ハードウエア制御命令（Ｓｅｔ  Ｓ１５Ｖ）により電源ユニット４に電圧５〔Ｖ〕の出力を指示した後、ハードウエアウエイト命令（ＨＷＡＩＴ  １２ｍＳ）により１２〔ｍｓｅｃ〕の待機を指示し、その後、測定制御命令（Ｒｅａｄ  ｍｅｔｅｎ）により測定ユニット５に電圧の測定を指示した場合、ハードウエア制御命令における後処理に要する時間Δｔ１、測定制御命令における前処理に要する時間Δｔ３が中央処理ユニット７の処理速度により種々に異なる場合でも、この場合、電源ユニット４に電圧の出力を指示した後、実際に測定するまでの時間Ｔを１２〔ｍｓｅｃ〕に維持するようになされている。
【００２９】
（１−２）実施の形態の動作
以上の構成において、この試験装置１では、電源が立ち上げられると、ハードディスク装置９に記録されたシステムソフトが実装され、オペレータによる指示により、測定プログラムがこのシステムソフト上で実行される。これにより試験装置１では、この測定プログラムを構成する各ステートメントの処理が、中央処理ユニット７により実行され、中央処理ユニット７からのコマンドによりテストヘッド３の設定が切り換えられる。また中央処理ユニット７からのコマンドにより電源ユニット４から所定の電圧が出力され、この電圧がテストヘッド３を介して測定対象２に印加される。また同様に中央処理ユニット７からのコマンドにより測定ユニット５で測定対象２の電流、電圧等が測定され、これらにより測定対象２の電圧電流特性、入出力特性等が測定される。
【００３０】
試験装置１では、このようにして各ステートメントを中央処理ユニット７により実行して測定対象２を測定する際に、各ステートメント毎に、前処理による内部処理でステートメントが解釈され、この前処理結果によりコマンドを出力する等の実処理が実行され、続いてフラグセット等の後処理が実行される。
【００３１】
試験装置１では、このようにしてステートメントを実行する際に、ハードウエア制御命令等のステートメントにおいて、実処理の実行によりハードウエアの構成にコマンドを出力すると、ウエイトタイマを起動して時間計測が開始され、後処理が実行される。また続くハードウエアウエイトステートメントにより、ウエイト時間が設定され、続くハードウエア制御命令に対応するステートメントにおいて、前処理に係る内部処理が実行され、ウエイトタイマによる計測時間がウエイト時間となるまで、実処理の実行が待機される。
【００３２】
これにより試験装置１では、ハードウエアの構成にコマンドを出力する実処理を実行した後、続く対応するステートメントの実処理の実行を開始するまでの時間が、待機を指示するステートメントにより指示されるウエイト時間となるまで待機し、続く実処理が実行される。
【００３３】
これにより試験装置１においては、中央処理ユニット７の処理速度が速く、ハードウエア制御命令に係る後処理、続く測定命令に係る前処理に要する時間が短い場合でも、またこれとは逆に、中央処理ユニット７の処理速度が遅く、ハードウエア制御命令に係る後処理、続く測定命令に係る前処理に要する時間が長い場合でも、例えば電源ユニット４より電圧の印加を開始した後、測定ユニット５で測定するまでの時間を、ハードウエアウエイトステートメントによる一定時間に維持することができる。
【００３４】
これによりこの試験装置１においては、この測定プログラムを同種の他の測定装置で実行する場合、さらには同種の他の測定装置による測定プログラムを実行する場合等にあって、これら他の試験装置がこの試験装置１とは処理速度が異なる場合でも、測定プログラムを書き換えることなく実行して、正常に試験することができ、これにより処理速度が異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができるようになされている。
【００３５】
（１−３）第１の実施の形態の効果
以上の構成によれば、ハードウエアによる構成にコマンドを出力する実処理を実行した後、続く対応するステートメントの実処理の実行を開始するまでの時間が、待機を指示するステートメントにより指示されるウエイト時間となるまで、この対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機することにより、処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができる。
【００３６】
（２）第２の実施の形態
図４は、本発明の第２の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。この試験装置１１において、第１の実施の形態に係る試験装置１と同一の構成は、対応する符号を付して示し、重複した説明は省略する。
【００３７】
この試験装置１１では、ハードディスク装置１９に記録した変換プログラムにより、従来の試験装置における測定プログラムを、第１の実施の形態について上述した測定プログラムに変換して実行する。なおこの測定プログラムにおいては、従来の測定プログラムを変換した後、変換後の測定プログラムを実行する場合はもとより、従来の測定プログラムにおけるステートメントを逐次変換しながら実行する場合等がある。
【００３８】
この試験装置１１では、この変換プログラムがシステムソフト上に常駐するように設定され、このようにして従来の測定プログラムを実行する場合、始めに、この従来の測定プログラムの実行環境が中央処理ユニット１７により取得される。なおこの試験装置１１では、例えばこの従来の測定プログラムのハードディスク装置１９への記録時、実行環境の入力項目を図示しない表示装置に表示してオペレータの入力を受け付けることにより、実行環境の情報を取得してハードディスク装置１９に記録するようになされ、この実行環境の取得にあっては、このようにして形成されたハードディスク装置１９の記録より取得される。またこの実行環境においては、この従来の測定プログラムを実行していた試験装置における中央処理ユニット１７の処理速度等により構成される。
【００３９】
この試験装置１１において、中央処理ユニット１７は、この従来の測定プログラムを実行する際に、従来の測定プログラムからウエイトのステートメントを検出し、図５（Ａ）に示すように、このウエイトのステートメントに係るハードウエア制御命令の後処理に要する時間ｔ１を、上述した実行環境の情報に基づいて予測する。また同様に、このハードウエア制御命令に対応するステートメントの前処理に要する時間ｔ３を予測する。さらにこれら予測した時間ｔ１及びｔ３をウエイトステートメントのウエイト時間ｔ２に加算し、これによりハードウエア制御命令の実処理を実行した後、対応するステートメントにおける実処理を実行するまでに、この従来の測定プログラムで確保される時間Ｔを計算する。
【００４０】
中央処理ユニット１７は、このようにして計算した時間Ｔによりウエイト時間を設定して、従来のウエイトステートメントを、ハードウエアウエイトステートメントに書き換え、これにより従来の測定プログラムを変換し、この変換後のステートメントを第１の実施の形態と同様に逐次実行する。
【００４１】
この実施の形態のように、前後の後処理、前処理に要する時間を予測して、ステートメント間のウエイト時間を設定する従来のウエイトステートメントを、実処理間の時間を規定するハードウエアステートメントに変換して処理すれば、従来の測定プログラムを有効に利用して測定プログラムの処理速度が速くなった場合でも、従来の測定プログラムを使用して正常に試験することができる。
【００４２】
（３）他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、電源ユニットに電圧の出力を指示した後、電圧、電流等を測定する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばテストヘッドの設定を切り換えた後、電源ユニットに電圧の出力を指示する場合、さらには一定の時間間隔で測定を繰り返す場合等、要はハードウエアの構成にコマンドを出力する実処理の後、一定の時間を待って続くステートメントを実行する場合に、広く適用することができる。
【００４３】
さらに上述の実施の形態においては、電圧電流特性、入出力特性を試験する試験装置に本発明を適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、これらの特性の加えて種々の特性を試験する試験装置等に広く適用することができる。
【００４４】
また上述の実施の形態においては、テストヘッドを用いて試験する試験装置に本発明を適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の試験装置に広く適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、待機を指示するハードウエアウエイトステートメントの記述により、所定のステートメントにおいて実処理を実行した後、対応するステートメントの実処理を開始するまでの時間が、このハードウエアウエイトステートメントで指示されるウエイト時間となるまで、該対応するステートメントの前処理を実行した後、続く実処理の実行を待機することにより、ハードウエアウエイトステートメントにより実処理間の時間を規定するようにし、これにより処理速度の異なる試験装置の測定プログラムを使用する場合でも、正常に試験することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る試験装置の動作の説明に供する図表である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。
【図３】図２の試験装置におけるステートメントの説明に供する図表である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。
【図５】図４の試験装置の動作の説明に供する図表である。
【図６】従来の試験装置の動作の説明に供する図表である。
【符号の説明】
１、１１……試験装置、２……測定対象、４……電源ユニット、５……測定ユニット、７、１７……中央処理ユニット
【図１】
2004163351.tif 000003
【図２】
2004163351.tif 000004
【図３】
2004163351.tif 000005
【図４】
2004163351.tif 000006
【図５】
2004163351.tif 000007
【図６】
2004163351.tif 000008