(57)【要約】【課題】リアルタイムで微細なムラの濃度補正を可能とすることにより画質の向上が図れる露光装置及び露光装置の制御方法を提供すること。【解決手段】露光光源により感光材料を露光して潜像を形成する露光装置において、露光書き込みと同時に、その露光ビームの記録媒体透過光量又は反射光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める補正量算出手段と、前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて以降の露光書き込み時の光量値を補正する補正手段とを有する露光装置及び該露光装置の制御方法。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光源により感光材料を露光して潜像を形成する露光装置において、露光書き込みと同時に、その露光ビームの記録媒体透過光量又は反射光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める補正量算出手段と、前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて以降の露光書き込み時の光量値を補正する補正手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
前記測定手段による測定は、各走査ラインについて連続的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項５】
前記測定手段による測定は、各走査ラインについて間欠的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項６】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１、２又は３記載の露光装置。
【請求項７】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の画素の補正量とすることを特徴とする請求項１、２又は３記載の露光装置。
【請求項８】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前走査ラインの実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１、４又は５記載の露光装置。
【請求項９】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とすることを特徴とする請求項１、４又は５記載の露光装置。
【請求項１０】
前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定画素の透過光量又は反射光量を元に、当該画素の次画素の露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１、２、３、６又は７記載の露光装置。
【請求項１１】
前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定走査ラインの透過光量又は反射光量を元に、当該走査ラインの次走査ラインの露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１、４、５、８又は９記載の露光装置。
【請求項１２】
露光光源により感光材料を露光して潜像を形成する露光装置の制御方法において、露光書き込みと同時に、その露光ビームの記録媒体透過光量又は反射光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める補正量算出手段と、前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて以降の露光書き込み時の光量値を補正する補正手段とにより前記露光光源の露光量を制御することを特徴とする露光装置の制御方法。
【請求項１３】
前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【請求項１４】
前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【請求項１５】
前記測定手段による測定は、各走査ラインについて連続的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【請求項１６】
前記測定手段による測定は、各走査ラインについて間欠的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【請求項１７】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１２、１３又は１４記載の露光装置の制御方法。
【請求項１８】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の画素の補正量とすることを特徴とする請求項１２、１３又は１４記載の露光装置の制御方法。
【請求項１９】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前走査ラインの実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１２、１５又は１６記載の露光装置の制御方法。
【請求項２０】
前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とすることを特徴とする請求項１２、１５又は１６記載の露光装置の制御方法。
【請求項２１】
前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定画素の透過光量又は反射光量を元に、当該画素の次画素の露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１２、１３、１４、１７又は１８記載の記載の露光装置の制御方法。
【請求項２２】
前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定走査ラインの透過光量又は反射光量を元に、当該走査ラインの次走査ラインの露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１２、１５、１６、１９又は２０記載の露光装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置及び露光装置の制御方法に関し、詳しくは画質の向上が図れる露光装置及び露光装置の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザー等を感光材料に露光し、潜像を形成するための露光装置が知られている。
【０００３】
このような露光装置において、所定の濃度の像を形成するために必要な光量を出力するためのパワーを制御することにより、感光材料に潜像を形成している。
【０００４】
しかし、一般に感光材料は、その製品の種類により光に対する感応性が異なり、このようにパワーを制御しつつ光量を出力しても、感光材料によっては、全体に明るすぎる画像になったり、輪郭がぼやけてしまったり、あるいは、目論見とは異なる画像パターンが形成されてしまうという問題がある。
【０００５】
そこで、使用する感光材料を予め既知の光量制御信号によりテストパターンを露光を行い、これを現像して得られた濃度を測定し、測定した濃度信号を前記光量制御信号と対応させることによりその感光材料についての光量制御信号と濃度との特性を導きだし、かかる特性をもとに決定した光量制御信号で感光材料を感光して潜像を形成する露光装置がある（特許文献１）。
【０００６】
しかし、上記の装置では、テストパターンを行った際にたまたま感光材料等に不良があった場合、全ての材料の感光の際にこの不良が反映されてしまうこととなるという問題がある。
【０００７】
そこで、テストパターンを露光して、濃度特性を導く際に、不良データを予め除去するという露光装置がある（特許文献２）。この装置は、画像記録に関わる様々な因子の変動によって記録画像の濃度が変動することを防止できる点に一定の効果はある。
【０００８】
しかし、同じ種類の感光材料でも、製品間でその感光特性にバラツキがあり、このような個々のフィルム内での感光特性のバラツキに対する改良手段はなされていないのが現状である。
【０００９】
【特許文献１】特開昭５８-１９０９５０号公報
【００１０】
【特許文献２】特開平５-１３７００２号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明はリアルタイムで微細なムラの濃度補正を可能とすることにより画質の向上が図れる露光装置及び露光装置の制御方法を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１３】
（請求項１）露光光源により感光材料を露光して潜像を形成する露光装置において、露光書き込みと同時に、その露光ビームの記録媒体透過光量又は反射光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める補正量算出手段と、前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて以降の露光書き込み時の光量値を補正する補正手段とを有することを特徴とする露光装置。
【００１４】
（請求項２）前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【００１５】
（請求項３）前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【００１６】
（請求項４）前記測定手段による測定は、各走査ラインについて連続的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【００１７】
（請求項５）前記測定手段による測定は、各走査ラインについて間欠的に測定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【００１８】
（請求項６）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１、２又は３記載の露光装置。
【００１９】
（請求項７）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の画素の補正量とすることを特徴とする請求項１、２又は３記載の露光装置。
【００２０】
（請求項８）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前走査ラインの実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１、４又は５記載の露光装置。
【００２１】
（請求項９）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とすることを特徴とする請求項１、４又は５記載の露光装置。
【００２２】
（請求項１０）前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定画素の透過光量又は反射光量を元に、当該画素の次画素の露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１、２、３、６又は７記載の露光装置。
【００２３】
（請求項１１）前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定走査ラインの透過光量又は反射光量を元に、当該走査ラインの次走査ラインの露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１、４、５、８又は９記載の露光装置。
【００２４】
（請求項１２）露光光源により感光材料を露光して潜像を形成する露光装置の制御方法において、露光書き込みと同時に、その露光ビームの記録媒体透過光量又は反射光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定した透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める補正量算出手段と、前記補正量算出手段で算出された補正量に基づいて以降の露光書き込み時の光量値を補正する補正手段とにより前記露光光源の露光量を制御することを特徴とする露光装置の制御方法。
【００２５】
（請求項１３）前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【００２６】
（請求項１４）前記測定手段による測定は、各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【００２７】
（請求項１５）前記測定手段による測定は、各走査ラインについて連続的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【００２８】
（請求項１６）前記測定手段による測定は、各走査ラインについて間欠的に測定することを特徴とする請求項１２記載の露光装置の制御方法。
【００２９】
（請求項１７）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１２、１３又は１４記載の露光装置の制御方法。
【００３０】
（請求項１８）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の画素の補正量とすることを特徴とする請求項１２、１３又は１４記載の露光装置の制御方法。
【００３１】
（請求項１９）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した前走査ラインの実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすることを特徴とする請求項１２、１５又は１６記載の露光装置の制御方法。
【００３２】
（請求項２０）前記補正量算出手段は、前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とすることを特徴とする請求項１２、１５又は１６記載の露光装置の制御方法。
【００３３】
（請求項２１）前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定画素の透過光量又は反射光量を元に、当該画素の次画素の露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１２、１３、１４、１７又は１８記載の記載の露光装置の制御方法。
【００３４】
（請求項２２）前記補正手段は、前記測定手段で測定した所定走査ラインの透過光量又は反射光量を元に、当該走査ラインの次走査ラインの露光書き込み時の光量値の補正を行うことを特徴とする請求項１２、１５、１６、１９又は２０記載の露光装置の制御方法。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００３６】
図１は、本発明の露光装置の制御方法を実施する露光装置の一例を示す図である。
【００３７】
図１において、１はレーザ光を発振するレーザ発振器であり、２はレーザ光を反射してフィルム上を走査させるためのポリゴンミラーであり、３は感光性材料からなるフィルムであり、４はフィルム３を透過したレーザ光を測定するために受光した光を光電変換する光電変換器であり、５は光電変換器４で光電変換した値から透過光量を測定する測定回路であり、６は測定した透過光量と書き込み想定値とのズレを求める補正量算出回路であり、７はズレを考慮して光量値を補正してレーザ発振器１を駆動するレーザ駆動回路である。
【００３８】
レーザ発振器１は、感光材料であるフィルム３に潜像を形成できる光源であればよく、レーザ光に限定されないが、本実施態様ではレーザ光を例に挙げて説明する。ポリゴンミラー２は、回転することによって、レーザ光の反射角を変えることにより、フィルム３上にレーザを走査する。一部のレーザ光はフィルムを透過し、その先に設けられた光電変換器４に達する。
【００３９】
光電変換器４は、透過光を受光して、光電変換する。フィルム３のレーザ光照射面と反対側のレーザ光が透過する部分に設けられる。かかる光電変換器４としては、好ましくは主走査方向に長さを有する光電子増倍管を用いることができる。透過光を無駄なく捉えることができるからである。光電変換器としては、他に例えば、導光部材を備えた光電子増倍管、１次元ラインセンサー（ＣＣＤ、ＰＤＡ）等も有る。光電変換された透過光は、測定回路５によりその値が測定される。また、光電変換器４がレーザ光の透過光量に限らず、フィルムを反射したレーザ光量を測定する態様も考えられる。この場合、光電変換器４が反射面側反射光量を測定する以外は、上記の態様と同様である。
【００４０】
光電変換器４及び測定回路５（本明細書では、光電変換器４及び測定回路５を併せて測定手段とも言う）による測定の好ましい態様としては、各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定する態様（第１の態様）、各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定する態様（第２の態様）、各走査ラインについて連続的に測定する態様（第３の態様）、各走査ラインについて間欠的に測定する態様（第４の態様）が好ましい。走査ラインとは、図２に示すように、例えばｎライン目の走査ラインは「ｎ１」〜「ｎ８」というように、１行の画素から構成される主走査方向に連続した画素の集合のことをいう。
【００４１】
第１の態様である各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定する態様は、例えば、図２において、「ｎ１」を測定した後に、「ｎ２」、「ｎ３」、「ｎ４」…というように連続して画素を測定する。
【００４２】
各走査ラインにおいて各画素を連続的に測定する態様によれば、各画素毎の透過光量が得られるので、主走査方向の微細なムラを測定できる。
【００４３】
第２の態様である各走査ラインにおいて各画素を間欠的に測定する態様は、例えば、図２において、「ｎ１」を測定した後に、「ｎ３」、「ｎ５」、「ｎ７」…というように１画素とばして画素を測定したりする態様で、各画素を連続的に測定しない前提である。各走査ラインについて間欠的に測定する態様によれば、連続的に測定する場合に比べて処理時間が短縮することにより負荷が軽減するメリットがあり、比較的ゆったりしたムラを測定できる。
【００４４】
第３の態様である各走査ラインについて連続的に測定する態様は、例えば、ｎライン目を測定した後に、ｏライン目、ｐライン目、ｑライン目…とうように各走査ラインを連続的に測定する。
【００４５】
各走査ラインについて連続的に測定する態様によれば、各走査ライン毎の透過光量が得られるので、副走査方向の微細なムラを測定できる。
【００４６】
第４の態様である各走査ラインについて間欠的に測定する態様は、例えば、ｎライン目、ｐライン目、ｒライン目…とうように１走査ラインおきに測定したりする態様で、各走査ラインを連続的に測定しない態様である。
【００４７】
各走査ラインについて間欠的に測定する態様によれば、連続的に測定する場合に比べて処理時間が短縮することにより負荷が軽減するメリットがあり、比較的ゆったりしたムラを測定できる。
【００４８】
補正量算出回路６は、測定された透過光量又は反射光量の値から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレから補正量を求める。
【００４９】
補正量算出回路６による補正量の算出の好ましい態様としては、前記測定手段により測定した前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とする態様（第１の態様）、前記測定手段により測定した直前の複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の画素の補正量とする態様（第２の態様）、前記測定手段により測定した前走査ラインの実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とする態様（第３の態様）、前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とする態様（第４の態様）が好ましい。
【００５０】
濃度想定値とは、フィルムに記録すべき画像濃度の目標値で、この濃度値に基づいて、レーザ発振器により出力される光量が制御される。また、実際の濃度値は、本発明の測定手続により測定したフィルムの光透過率、光感度特性及び透過光量に基づいて決定される濃度である。
【００５１】
補正量算出回路６による補正量の算出の前記第１の態様を図３に基づいて説明する。図３は、前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とするときの画像の濃度分布を示すための図である。図３（ａ）では、補正を行っておらず、画素毎に異なるムラが発生している。しかし、図３（ｂ）では、例えば、第３画素目と第４画素目の関係をみると、第４画素目の補正を行わなかったときの濃度値は「Ｃ＋Ｌ」であるが、前画素の書き込み濃度想定値と実際の濃度値とのズレである「Ｂ」を補正量として補正を行うと、「Ｃ＋Ｌ−Ｂ」となるので、図３（ｂ）に示すように、書き込み濃度想定値との差が減少され、主走査方向の濃度ムラの解消ができる。
【００５２】
補正量算出回路６による補正量の算出の前記第２の態様としては、例えば、第１画素が「+９」のズレ、２画素目が「+７」のズレ、第３画素目が「+５」のズレというように書き込み濃度想定値と実際の濃度値とのズレが求められた場合、ズレは「-２」ずつ変化しているから、第４画素目は第３画素目の「+５」から「-２」して「+３」という補正量であると決定する、というように、数画素分の変化量を考慮して補正量を算出することである。
【００５３】
前記測定手段により測定した複数画素の透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と次の画素の書き込み濃度想定値とのズレを補正量とすると、濃度のズレの変化率から次の画素の補正値を決定することになるので、濃度のズレの変化量が一定のときは、より高精度な主走査方向の濃度ムラの解消ができる。
【００５４】
補正量算出回路６による補正量の算出の前記第３の態様は、第１の態様による補正量が前画素に基づいて算出されていたのに対し、前走査ラインに基づいて算出する点で異なる態様である。補正量を算出する際の基本的な考え方は、前走査ラインに基づいて算出する点以外は第１の態様と同様である。例えば、図３の各画素を各走査ラインとして読み替えて、図３に基づいて説明すると、図３（ａ）では、補正を行っておらず、走査ライン毎に異なるムラが発生している。しかし、図３（ｂ）では、例えば、第３走査ラインと第４走査ラインの関係をみると、第４走査ラインの補正を行わなかったときの濃度値は「Ｃ＋Ｌ」であるが、前走査ラインの書き込み濃度想定値と実際の濃度値とのズレである「Ｂ」を補正量として補正を行うと、「Ｃ＋Ｌ−Ｂ」となるので、図３（ｂ）に示すように、書き込み濃度想定値との差が減少され、副走査方向の濃度ムラの解消ができる。
【００５５】
補正量算出回路６による補正量の算出の前記第４の態様は、第２の態様による補正量が直前の複数画素に基づいて算出されていたのに対し、直前の複数走査ラインに基づいて算出する点で異なる態様である。補正量を算出する際の基本的な考え方は、直前の複数走査ラインに基づいて算出する点以外は第２の態様と同様である。例えば、第１走査ラインの「+９」のズレ、第２走査ラインが「+７」のズレ、第３走査ラインが「+５」のズレというように書き込み濃度想定値と実際の濃度値とのズレが求められた場合、ズレは「-２」ずつ変化しているから、第４走査ラインは第３走査ラインの「+５」から「-２」して「+３」という補正量であると決定する、というように、数走査ライン分の変化量を考慮して補正量を算出することである。
【００５６】
前記測定手段により測定した直前の複数走査ラインの透過光量又は反射光量から求めた実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを次の走査ラインの補正量とすると、濃度のズレの変化率から次の走査ラインの補正値を決定することになるので、濃度のズレの変化量が一定のときは、より高精度な副走査方向の濃度ムラの解消ができる。
【００５７】
レーザ駆動回路７は、前記補正量算出回路６により算出された補正量により記録画像の信号を補正し、その値に基づいてレーザ駆動信号を発生させて、レーザ発振器１を駆動する。
【００５８】
レーザ駆動回路７による補正の好ましい態様としては、測定手段により測定した所定画素の透過光量を元に、当該画素の次画素の露光書き込み時の光量値の補正を行う態様（第１の態様）、光電変換器４及び測定回路５により測定した所定走査ラインの透過光量を元に、当該走査ラインの次走査ラインの露光書き込み時の光量値の補正を行う態様（第２の態様）が挙げられる。
【００５９】
第１の態様は、即ち、測定したら次の画素から補正を行う。従来は、フィルム毎に補正が行われていたが、すぐに補正が行われるので、フィルム内に生じる微細なムラの解消が図れる。
【００６０】
第２の態様は、即ち、測定したら次の走査ラインから補正を行う。従来は、フィルム毎に補正が行われていたが、フィルムの中で補正が行われるので、フィルム内に生じる微細なムラの解消が図れる。また、走査ライン毎に処理をすればよいので、処理時間の短縮が図れ、処理負荷も軽減できる。
【００６１】
以上、本発明の好ましい実施の態様について説明したが、更に本発明では、上記各構成について好ましい態様として挙げられた態様については、各構成毎の好ましい態様を組み合わせた態様も考えられる。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、リアルタイムで微細なムラの濃度補正を可能とすることにより画質の向上が図れる露光装置及び露光装置の制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の露光装置の制御方法を実施する露光装置の一例を示す図
【図２】各走査方向と、画素、走査ラインを説明するための図
【図３】前画素の実際の濃度値と書き込み濃度想定値とのズレを補正量とするときの画像の濃度分布を示すための図
【符号の説明】
１：レーザ発振器
２：ポリゴン
３：フィルム
４：光電変換器
５：測定回路
６：補正量算出回路
７：レーザ駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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