(57)【要約】【課題】容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開放状態と閉止状態とにすることが容易な上蓋構造とその上蓋構造を備えた容器を提供しようとする。【解決手段】従来の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造にかわって、上板と該上板の外周部を環状に囲って該上板に接合した側板とを有する上蓋と、開口の周縁部を環状に囲って設けられたシール構造と、シール構造を囲って容器の上部に設けられ液を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽と、を備え、開口を閉止状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液に浸かる様になっている、ものとした。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造であって、
上板と該上板の外周部を環状に囲って該上板に接合した側板とを有する上蓋と、開口の周縁部を環状に囲って設けられたシール構造と、
前記シール構造を囲って容器の上部に設けられ液を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽と、
を備え、
開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液に浸かる様になっている、
ことを特徴とする上蓋構造。
【請求項２】
開口を閉状態にしたとき、前記シール構造と前記側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くなる様になっていることを特徴とする請求項１に記載の上蓋構造。
【請求項３】
前記液貯留槽に液を所定の流量で供給する液供給装置を、
備えることを特徴とする請求項１または請求項２のひとつに記載の上蓋構造。
【請求項４】
前記液貯留槽が外槽と該外槽の槽内に配される内槽と液排出機構とを有し、
液排出機構が外槽に溜まった液を排出する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の上蓋構造。
【請求項５】
前記上蓋を所定の側を中心に回転可能にするヒンジ機構を備え、
前記側板がヒンジ機構のある側の端部に外側に折れ曲がった曲がり部を有し、
開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置することを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の上蓋構造。
【請求項６】
上部に開口を設けられた容器であって、
開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる上蓋構造を備え、
前記上蓋構造が、
上板と該上板の外周部を環状に囲って該上板に接合した側板とを持つ上蓋と、
開口の周縁部を環状に囲って設けられたシール構造と、
シール構造を囲って容器の上部に設けられ液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽と、
を有し、
開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液体に浸かる様になっている、
ことを特徴とする容器。
【請求項７】
開口を閉状態にしたとき、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くなる様になっていることを特徴とする請求項６に記載の容器。
【請求項８】
前記上蓋構造が、前記液貯留槽に液を所定の流量で供給する液供給装置を、
有することを特徴とする請求項６または請求項７のひとつに記載の容器。
【請求項９】
前記上蓋構造の前記液貯留槽が外槽と該外槽の槽内に配される内槽と液排出機構とを有し、
液排出機構が外槽に溜まった液を排出する、
ことを特徴とする請求項６乃至請求項８に記載の上蓋構造。
【請求項１０】
前記上蓋構造が、上蓋を所定の側を中心に回転可能にするヒンジ機構を有し、
前記側板がヒンジ機構のある側の端部に外側に折れ曲がった曲がり部を持ち、
開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置することを特徴とする請求項６乃至請求項９に記載の容器。
【請求項１１】
液晶用ガラス基板に処理液を散布する処理液散布機構を備え、前記液が該処理液を溶解することを特徴とする請求項６乃至請求項１０に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器の開口を開閉自在にする蓋構造に係る。特に容器の内部から気体や液体が漏れるのをシールする構造に特徴のある蓋構造とその蓋構造をもった容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板を構成するＴＦＴ基板製造工程では、フォトリソグラフィー工程によってガラス基板上にＴＦＴで構成される回路を成形する。フォトリソグラフィー工程おいては、洗浄液やレジスト膜用液やエッチング液やレジスト剥離液等の処理液をガラス基板の表面に吹きつける装置が用いられる。
これらの装置は、クリーンルーム内に設置される。処理液は、密閉された容器の中でガラス基板に塗布又は散布される。大きな開口が容器の上面に設けられ、通常は密閉されている。容器内で処理中のガラス基板が割れた場合の処理作業や、定期的な保守点検作業の際には、開口を開状態にして容器の内部にアクセスする。
製造工程中は、その開口は完全に密閉され、処理液とその蒸気がクリーンルーム内の雰囲気を汚染しない。
一方、処理装置のメンテナンス時間を短くするためには、簡単な操作で短時間に開口を開状態と閉状態とに選択できることが望まれる。
すなわち、開口を開状態と閉状態とにする上蓋構造は、閉状態においては、内から処理液やその蒸気を漏らさないようすることが求められ、開状態にする際は、簡単な操作と構造で、環境の汚染を極力押さえて、速やかに開口からアクセスでき、速やかに開口を閉状態にできることが求められる。
【０００３】
例えば、レジスト剥離装置を例にとり説明する。レジスト剥離装置は、ＴＦＴ形成工程中においてエッチング処理の後工程に使用される。レジスト剥離装置は、ガラス基板にレジスト剥離液を散布し、ガラス基板の表面に残っているレジストを除去する装置である。
従来のレジスト剥離装置は、容器とガラス基板搬送機構と処理液散布機構とで構成される。
ガラス基板搬送機構は、四辺形のガラス基板を水平にして所定の辺の平行方向に搬送する機構である。
処理液散布機構は、搬送中のガラス基板の表面に処理液を散布する機構である。
【０００４】
容器は、内部にガラス基板搬送装置と処理液散布機構とを格納し、処理液とその蒸気がクリーンルームの雰囲気中へ漏れるのを防止するものであり、容器本体と上蓋構造とを備える。
容器本体は、略六面体の薄板構造であり、開口を上部にもち、対向する一対の側面にガラス基板を出し入れする出口と入口とをもつ。
上蓋構造は、上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる構造である。
従来の上蓋構造は、上蓋とパッキンシールとフランジを有するものである。
フランジが開口の周縁に設けられている。パッキンシールが上蓋とフランジのフランジ面に挟まれる。上蓋の重量でパッキンが押しつぶされ、処理液の漏洩を防止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の上蓋構造では、メンテナンス作業を行なう際は、上蓋を取り去ることによって開口を開状態にする。しかし、パッキンシールによるシールのみでは
処理液の蒸気の漏洩防止には十分でなかった。さらに、処理液の蒸気がパッキンシール部から漏れ、外部で凝縮し、上蓋の外側で結露するおそれがあった。
そこで、例えば、重ね蓋を上蓋の上から被せ、重ね蓋と上蓋とで挟まれた空間の雰囲気を排気配管により排気していた。
ところが、この形式を採用すると、シールの外側の圧力が容器の内部圧力よりも低くなるために、容器の内部の蒸気が圧力により引っ張られ、パッキンシールからの蒸気の漏れ量が増加してしまうという欠点を有してた。
【０００６】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、従来の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造にかわって、容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な上蓋構造とその上蓋構造を備えた容器を提供しようとする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造を、上板と該上板の外周部を環状に囲って該上板に接合した側板とを有する上蓋と、開口の周縁部を環状に囲って設けられたシール構造と、シール構造を囲って容器の上部に設けられ液を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽と、を備え、開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液に浸かる様になっている、ものとした。
【０００８】
上記本発明の構成により、該上板に接合した側板が上板の外周部を環状に囲い、シール構造が開口の周縁部を環状に囲って設けられ、液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽がシール構造を囲って容器の上部に設けられ、開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の他端が前記液貯留槽に貯留した液体に浸かる様になっているので、気液の漏れが上蓋と容器の上部との間に設けられたシール構造と液貯留槽とにより二重にシールされるので、開口から容器の外部への気液の漏れをなくすことができる。
【０００９】
さらに、本発明に係る容器の上蓋構造は、開口を閉状態にしたとき、前記シール構造と前記側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くなる様になっているのが好ましい。
上記本発明の構成により、開口を閉状態にしたとき、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高いので、シール構造の外側から中側へ圧力がかかり、シール構造でのシールが効果的になり、開口から容器の外部への気液の漏れをよりなくすことができる。
【００１０】
さらに、本発明に係る容器の上蓋構造は、前記液貯留槽に液を所定の流量で供給する液供給装置を、備えるのが好ましい。
上記本発明の構成により、液供給装置が前記液貯留槽に液を所定の流量で供給するので、シール構造を漏れた気液が液貯留槽の液に溶けこんだ場合に、液に対する気液の濃度を一定値以下に希釈することができる。
【００１１】
さらに、本発明に係る容器の上蓋構造は、前記液貯留槽が外槽と該外槽の槽内に配される内槽と液排出機構とを有し、液排出機構が外槽に溜まった液を排出するのが好ましい。
上記本発明の構成により、液排出機構が外槽に溜まった液を排出するので、内槽からオーバーフローした液は、いったん外槽に溜まった後、外部へ排出されるので、内槽に貯留した液がシール部へ浸入することを防止できる。
【００１２】
さらに、本発明に係る容器の上蓋構造は、上蓋を所定の側を中心に回転可能にするヒンジ機構を備え、前記側板がヒンジ機構のある側の端部が外側に折れ曲がった曲がり部を有し、開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置するのが好ましい。
上記本発明の構成により、ヒンジ機構が上蓋を所定の側を中心に回転可能にし、外周側に折れ曲がった曲がり部が側板のヒンジ機構のある側の端部にあり、
開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、上蓋を容易に閉状態から開状態に移すことができ、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置するので、上蓋に付着した気液は曲がり部に案内されて液貯留槽に落ち、気液が外部を汚染することを抑制できる。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明に係る上部に開口を設けられた容器を、開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる上蓋構造を備え、前記上蓋構造が、上板と該上板の外周部を環状に囲って該上板に接合した側板とを持つ上蓋と、開口の周縁部を環状に囲って設けられたシール構造と、シール構造を囲って容器の上部に設けられ液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽と、を有し、開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液体に浸かる様になっている、ものとした。
【００１４】
上記本発明の構成により、上蓋構造が上蓋とシール構造と液貯留槽とを有し、該上板に接合した側板が上板の外周部を環状に囲い、シール構造が開口の周縁部を環状に囲って設けられ、液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な液貯留槽がシール構造を囲って容器の上部に設けられ、開口を閉状態にしたとき、前記シール構造が上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、前記側板の端部が前記液貯留槽に貯留した液体に浸かる様になっているので、気液の漏れが、上蓋と容器の上部との間に設けられたシール構造と液貯留槽とにより二重にシールされるので、開口から容器の外部への気液の漏れをなくすことができる。
【００１５】
さらに、本発明に係る容器は、開口を閉状態にしたとき、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くなる様になっているのが好ましい。
上記本発明の構成により、開口を閉状態にしたとき、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くので、シール構造の外側から中側へ圧力がかかり、シール構造でのシールが効果的になり、開口から容器の外部への気液の漏れをよりなくすことができる。
【００１６】
さらに、本発明に係る容器は、前記上蓋構造が、前記液貯留槽に液を所定の流量で供給する液供給装置を、有するのが好ましい。
上記本発明の構成により、液供給装置が前記液貯留槽に液を所定の流量で供給するので、シール構造を漏れた気液が液貯留槽の液に溶けこんだ場合に、液に対する気液の濃度を一定値以下に希釈することができる。
【００１７】
さらに、本発明に係る容器は、前記上蓋構造の前記液貯留槽が外槽と該外槽の槽内に配される内槽と液排出機構とを有し、液排出機構が外槽に溜まった液を排出する、のが好ましい。
上記本発明の構成により、液排出機構が外槽に溜まった液を排出するので、内槽からオーバーフローした液は、いったん外槽に溜まった後、外部へ排出されるので、内槽に貯留した液がシール部へ浸入することを防止できる。
【００１８】
さらに、本発明に係る容器は、前記上蓋構造が、上蓋を所定の側を中心に回転可能にするヒンジ機構を有し、前記側板がヒンジ機構のある側の端部に外側に折れ曲がった曲がり部を持ち、開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置するのが好ましい。
上記本発明の構成により、ヒンジ機構が上蓋を所定の側を中心に回転可能にし、外周側に折れ曲がった曲がり部が側板のヒンジ機構のある側の端部にあり、
開口を開状態にしたとき、前記ヒンジを中心に上蓋が回転し、上蓋を容易に閉状態から開状態に移すことができ、前記曲がり部が前記液貯留槽の上方に位置するので、上蓋に付着した気液は曲がり部に案内されて液貯留槽に落ち、気液が外部を汚染することを抑制できる。
【００１９】
さらに、本発明に係る容器は、内部に液晶用ガラス基板に処理液を散布する処理液散布機構を備え、前記液が該処理液を溶解するのが好ましい。
上記本発明の構成により、処理液散布機構が内部に液晶用ガラス基板に処理液を散布し、前記液が該処理液を溶解するので、処理液や処理液の蒸気が容器からもれるのを抑制し、液貯留槽の液が処理液を溶解して、処理液が外部を汚染するのを防止する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい第一の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２１】
本発明の第一の実施形態に係る上蓋構造を、図を基に、説明する。図１は、第一の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その１である。図２は、第一の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その２である。図１は、開口が閉状態であるのを示す。図２は、開口が開状態であるのを示す。
上蓋構造２は、容器の上部５に設けられた開口４を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器１の構造であって、上蓋１０とシール構造２０と液貯留槽３０とヒンジ機構４０と液供給装置（図示せず）を備える。
開口４は、容器本体３の上面に設けられ、例えば、容器本体３の上部板５に明けられた略四辺形の孔である。
複数の開口４が設けられていてよいが、説明の便宜のために、一つの開口４に設けられた上蓋構造について説明する。
【００２２】
上蓋１０は、上蓋構造２が開口４を閉状態にしたときに開口４を覆う構造であり、上板１１と側板１２と上蓋シール部１３と遮熱板１４とで構成される。
上板１１は、開口４の孔形状よりも大きな面形状をした板であり、上蓋１０の基礎構造である。図示しないが、上板は面外変形をしにくくなるように、強め材で補強されている。
ここで、説明の便宜上、開口４を閉状態にした際に、上板１１の開口４に向いた側を下面、反対側を上面と呼ぶ。
側板１２は、上板１１の外周部を環状に囲って上板に一端側を接合した板である。
上蓋シール部１３は、後述するシール構造２０の一部であり、上板１１の下面に設けられ、シール面を下側に向けたフランジである。上蓋フランジ部１３は、開口を閉状態にしたときに、開口４の周縁に対向する上板１１の下面に設けられている。
遮熱板１４は、オペレータが高温の上板１１に触れることを防止するための板であり、上板１１の上面に取り付けられる。
図１には、上板１１の外周縁に上端部を接合され下端部を下向きにした側板１２が示される。さらに、閉状態の際に開口４の周縁に対向する上板１１の下面の位置に接合され断面がＬ型の上蓋シール部１３が示されている。上蓋シール部１３のＬ型断面の下辺の下面がシール面となっている。
【００２３】
シール構造２０は、開口の周縁部を環状に囲って設けられた液密構造であり、例えば、パッキンシール、Оリングシール、ラビリンスシール等の液密シールである。
開口４を閉状態にしたとき、シール構造２０が上蓋１０と容器の上部５との間を液密にシールする。
図１には、後述する液貯留槽３０の外槽内壁３１ａの上面と上蓋シール部１３とに挟まれたシールパッキン２１が示されている。例えば、シールパッキン２１は、外増内壁３１ａの上端面に接着されている。
シール構造２０がシールする液体が強アルカリ溶液（例えば、モノエタノールアミン、ジメチルスルホキシド、他）である場合、シールパッキンの素材は軟質ＰＴＦＥであるのが好ましい。
【００２４】
液貯留槽３０は、シール構造２０を囲って容器の上部に設けられ液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能な槽であり、外槽３１と内槽３２と液排出機構（図示せず）を有する。
開口が閉状態になっているときに、側板１２の端部が後述する液貯留槽３０に貯留した液体に浸かる様になっている。図１には、側板１２の下端部が内槽３２に貯留した液に浸かっているのが示されている。
外槽３１は、外槽内壁３１ａと外槽外壁３１ｂと外槽底板３１ｃとで構成される。
外槽内壁３１ａは、外槽３１の一方の側壁であり、開口４の周縁から立ち上がっている。複数の開口４が容器本体３の上部に明いている場合、複数の外槽内壁３１ａが開口４毎の周囲を継ぎ目なく囲っている。
外槽外壁３１ｂは、外槽３１の他方の側壁であり、容器の上部５の最外周から立ち上がっている。
外槽底板３１ｃは、外槽３１の底の板であり、外槽内壁３１ａと外槽外壁３１ｂの下端を液密に接合している。
外槽内壁３１ａと外槽内壁３１ａと外槽底板３１ｃとで囲われた空間には液体が貯留可能になっている。
【００２５】
内槽３２は、外槽の槽内に配される槽である。内槽３２は、上方が開放された中空矩形断面を有し、開口４の外周を環状に囲っている。複数の開口４が容器本体３の上部に明いている場合、複数の内槽３２が開口４毎の周囲を囲っている。複数の開口が接近している場合、開口と開口との間では、一つの内槽３２で兼用する場合も有る。図１には左右の開口の間に一つの内槽３２が設けられているのが示されている。
内槽３２は、液体を一定の液面レベルに維持しつつ貯留可能であり、例えば、所定の液面レベル以上になった液はオーバーフローして外槽３１へ溢れる。
内槽３２は、後述する液供給装置により液を所定の流量で供給される。液は、内槽３２をオーバーフローし、外槽に流れる。
【００２６】
開口を閉状態にしたとき、シール構造２０と側板１２とに挟まれた空間（以下、液シール空間Ｃという。）の圧力が容器の内部の圧力よりも高くなる様になっているのが好ましい。
例えば、容器の内部がクリーンルーム内の圧力よりも低く維持されている時に、連通配管（図示せず）が液シール空間Ｃとクリーンルームとを連通する。
また例えば、容器の内部がクリーンルーム内の圧力よりも低く維持されている時に、加圧配管（図示せず）が液シール空間Ｃを加圧し、クリーンルームの圧力よりも高い圧力に維持する。
【００２７】
側板１２が後述するヒンジ機構４０のある側の下端部に外側に折れ曲がった曲がり部１２ａを有し、上蓋構造２が開口４を開状態にしたとき、上蓋１０がヒンジ機構４０を中心に回転し、曲がり部１２ａが前記液貯留槽の上方に位置するのが好ましい。
【００２８】
ヒンジ機構４０は、上蓋を所定の側を中心に回転可能にする機構である。
開口４を閉状態にする際は、上蓋はヒンジ機構を中心に下方へ回転し、上蓋を閉止する。閉状態では、上蓋シール部１３がシール構造と合体してシール機能を発揮する。図１では、上蓋シール部１３が外槽内壁３１ａの上面にあるシールパッキンを圧縮して上蓋１０と容器本体３の上部を液密にシールし、さらに側板１２の下端が内槽３２に溜まった液体に浸かる様になっているのが示されている。開口４を開状態にする際は、上蓋はヒンジ機構を中心に上方へ回転し、上蓋を開放する。図２には、開口４を開状態にした状態が示されている。
【００２９】
液供給機構（図示せず）は、液貯留槽３０に液を供給する機構である。
液は、シールする対象である液体又はガスを溶解するものであるのが好ましい。例えば、処理液が強アルカリ溶液である場合、液は水であるのが好ましく、強アルカリ溶液は、水に溶解し希釈される。
また、液供給機構（図示せず）は、液貯留槽３０に液を所定の流量で供給するのが好ましい。所定の流量とは、例えば、液貯留槽に貯留する液がシール対象の液を溶解して所定の濃度以下に維持するような所定の流量である。
【００３０】
以下に、本発明の第一の実施形態に係る上蓋構造の作用を説明する。
容器の内部の温度は、高温（例えば８０°）になっており、処理液が容器内に散布され、処理液の蒸気が容器内に充満している。
また、開口４を開状態にする際は、容器内の温度を常温に戻した後で上蓋を操作するのが通例である。
さらに、容器内の圧力は、容器が設置されるクリーンルーム内の圧力よりも低くなっている。
【００３１】
開口が閉状態の時：
上蓋１０が、ヒンジ機構４０を中心に下方へ回転し、上蓋１０が開口４を覆っている。上蓋１０の上蓋シール部１３が外槽内壁３１ａの上部のシールパッキンを圧縮している。上蓋１０の側板１２の下端部が内槽３２に溜まった液に漬かっている。液供給機構が、所定の流量で内槽３２に液を供給する。液は内槽３２をオーバーフローし、外槽３１に流れ落ちる。液排出機構（図示せず）が、外槽３２に溜まった液を外部へ排出する。外槽３２には、僅かの液が溜まる。
連通配管または加圧配管の作用により、液シール空間Ｃの圧力が容器の内部の圧力よりも高くなっており、容器の内部から液体や蒸気がシール構造２０を通過して漏れにくくなっている。特に液体は、表面張力によりシール構造２０に捕捉され、シール構造から漏れにくい。
蒸気が、シール構造２０から液シール空間Ｃに漏れると、液シール空間Ｃの温度が低いので、液シール空間内で凝縮し側板の内面に結露する。結露した処理液は、内槽３２に入り、内槽３２の中の液に溶解する。液が所定の流量で内槽３２の中に流れているので、処理液は液により十分に希釈される。又は処理液の性質によっては、処理液は液により分解される。
蒸気の溶け込んだ液は、内槽３２をオーバーフローして外槽３１に流れ込む。外槽３１に溜まった液は、液排出機構により外部へ排出される。
【００３２】
開口が開状態の時：
上蓋１０をヒンジ機構４０を中心に上方へ回転させ、開口４を開放する。側板１２に付着した液は、側板１２を伝って、重力により垂下し、ヒンジ機構４０の側にある側板１２の曲がり部１２ａに案内され、液貯留槽３０に落下する。従って、液が、クリーンルームを汚染することを防止できる。
【００３３】
次に、本発明の好ましい第二の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００３４】
本発明の第二の実施形態に係る容器の構造を、図を基に、説明する。図３は、第二の実施形態にかかる容器の正面断面図である。図４は、第二の実施形態に係る容器の平面図その１である。図５は、第二の実施形態に係る容器の平面図その２である。図４は、図５のうち上蓋を省略した図である。
容器が液晶用ガラス基板のレジスト剥離装置である場合を例にとり説明する。処理液は、強アルカリ溶液であって、例えば、モノエタノールアミンまたはジメチルスルホキシドである。液は、水である。モノエタノールアミンまたはジメチルスルホキシドは、大量の水に溶解すると加水分解する。
【００３５】
容器１は、上部に開口４を設けられた容器であって、上蓋構造２と容器本体３と処理液散布機構６とガラス基板搬送機構７とを備える。
容器１は、上部に複数の開口４を設けられる。図４では、大小合わせて１０個の開口４が設けられた容器本体３が示されている。
上蓋構造２の構造は、第一の実施形態の上蓋構造に構造と基本的に同じなので、同じ部分の説明を省略し、特徴点のみを説明する。
外槽３１の外槽外壁３１ｂが容器本体３の上部の外周を囲っている。外槽３１の外槽内壁３１ａが個々の開口４の周縁を囲っている。外槽底板３１ｃが外槽外壁３１ｂと外槽内壁３１ａの下端部に液密に接合し、外槽３１を形成している。内槽３２が、個々の開口４の周囲を環状に囲う様に外槽３１の槽内に設けられる。
【００３６】
処理液散布機構６は、液晶用ガラス基板に処理液を散布する機構であり、複数のノズルを備えた配管で構成される。１対の処理液散布機構６が設けられ、一つが処理液を下向きに散布し、他の一つが処理液を上向きに散布する。
【００３７】
ガラス基板搬送機構７は、散布する処理液の雰囲気中にガラス基板を水平に搬送する機構である。
【００３８】
本発明の第二の実施形態に係る容器の作用を説明する。
容器が液晶用ガラス基板のレジスト剥離装置である場合を例にとり説明する。容器の内部の温度は、高温（例えば８０°）になっており、処理液が容器内に散布され、処理液の蒸気が容器内に充満している。
また、開口４を開状態にする際は、容器内の温度を常温に戻した後で上蓋を操作するのが通例である。
さらに、容器内の圧力は、容器が設置されるクリーンルーム内の圧力よりも低くなっている。
【００３９】
開口が閉状態の時：
ガラス基板搬送機構７がガラス基板を水平に搬送する。処理液散布機構６が、ガラス基板の上面と下面に処理液を散布する。ガラス基板上のレジストが剥離し、処理液とともに流れ落ちる。
上蓋構造２の作用は第一の実施形態の上蓋構造の作用と同じなので同じ部分は説明を省略する。
飛散した処理液の飛沫と処理液の蒸気が、上蓋１０の下方の空間に飛び散る。処理液と蒸気がシール部により阻止され、漏れない。僅かにシール部から漏れた処理液と蒸気が液シール空間Ｃに入る。
液シール空間Ｃの蒸気は、結露して側板を流れて、内槽３２の液中に入り希釈される。
内槽３２の液は、オーバーフローして外槽３１に流れ落ちる。液は、外槽３１に集められ、外部へ排出される。
【００４０】
開口が開状態の時：
容器の内部でガラス基板が割れた場合には、容器内の装置を停止する。装置の停止後、装置内の温度を下げる。容器内の温度が常温になったら、上蓋１０をヒンジ機構４０を中心に回転し、開口４を開放にする。容器の内部の圧力は、クリーンルームの圧力よりも低く設定されており、容器の内部の雰囲気がクリンルーム内に漏れることはない。
上蓋構造２の作用は、第一の実施形態の上蓋構造の作用と同じなので同じ部分は説明を省略する。
開放された開口４からアクセスして、割れたガラスを回収した後、上蓋１０を回転させ、開口４を閉状態にする。
【００４１】
上述の第一の実施形態の上蓋構造を用いれば、容器の開口から処理液や処理液の蒸気がクリンルームを汚染することを防止できる。
また、液シール空間Ｃの圧力を容器内部の圧力より高くなる様にしたので、容器内部から液シール空間Ｃへの処理液の漏れがすくなくなる。
また、液貯留槽に十分な流量の液を流すことで、液貯留槽のなかの液での処理液の濃度が上昇するのを防止でき、液によりクリーンルームが汚染する恐れが無くなる。
また、液貯留槽を内槽と外槽との二重構造にしたので、内槽の液面レベルが変動しても、シール部を経由して液が容器の中に逆流する恐れが無くなる。
また、ヒンジ機構により上蓋を回転して開口を開閉できるようにし、上蓋の内面に付着した処理液と液とを側板の曲がり部を介して液貯留槽に落ちる様にしたので、開口を開状態にした際にクリンルームを汚染するおそれがなくなる。
上述の第二の実施形態の容器を用いれば、容器の開口から処理液や処理液の蒸気がクリンルームを汚染することを防止できる。
また、液シール空間Ｃの圧力を容器内部の圧力より高くなる様にしたので、容器内部から液シール空間Ｃへの処理液の漏れが少なくなる。
また、液貯留槽に十分な流量の液を流すことで、液貯留槽のなかの液での処理液の濃度が上昇するのを防止でき、液によりクリーンルームが汚染する恐れが無くなる。
また、液貯留槽を内槽と外槽との二重構造にしたので、内槽の液面レベルが変動しても、シール部を経由して液が容器の中に逆流する恐れが無くなる。
また、ヒンジ機構により上蓋を回転して開口を開閉できるようにし、上蓋の内面に付着した処理液と液とを側板の曲がり部を介して液貯留槽に落ちる様にしたので、開口を開状態にした際にクリンルームを汚染するおそれがなくなる。
【００４２】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
液貯留槽３０は、外槽３１の構造と内槽３２の構造が個別に独立したものであるとして説明したがこれに限定されず、例えば、外槽３１の底板と内槽３２の底板を共通にしてもよいし、外槽３１の一方の側板と内槽３２の一方の底板を共通にしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造は、その構成により、以下の効果を有する。
開口にシール構造を配し、その外周部に液貯留槽を配したので、閉状態にしたときに、気液の漏れが上蓋と容器の上部との間に設けられたシール構造と液貯留槽とにより二重にシールされるので、開口から容器の外部への気液の漏れをなくすことができる。
また、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力を容器の内部の圧力よりも高くしたので、シール構造の外側から中側へ圧力がかかり、シール構造でのシールが効果的になり、開口から容器の外部への気液の漏れをよりなくすことができる。
また、前記液貯留槽に液を所定の流量で供給するので、シール構造を漏れた気液が液貯留槽の液に溶けこんだ場合に、液に対する気液の濃度を一定値以下に希釈することができる。
また、液貯留槽を内槽と外槽の二重構造にし、液排出機構が外槽に溜まった液を排出するので、内槽からオーバーフローした液は、いったん外槽に溜まった後、外部へ排出されるので、内槽に貯留した液がシール部へ浸入することを防止できる。
また、上蓋をヒンジ機構により開閉可能にし、側板に液の垂れるのを案内する曲がり部を設けたので、開口を開状態にしたとき、上蓋に付着した気液は曲がり部に案内されて液貯留槽に落ち、気液が外部を汚染することを抑制できる。
従って、容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な上蓋構造を提供できる。
【００４４】
また、本発明の上部に開口を設けられた容器は、その構成により、以下の効果を有する。
開口にシール構造を配し、その外側に液貯留槽を配したので、閉状態にしたときに、気液の漏れが上蓋と容器の上部との間に設けられたシール構造と液貯留槽とにより二重にシールされるので、開口から容器の外部への気液の漏れをなくすことができる。
また、シール構造と側板とに挟まれた空間の圧力が容器の内部の圧力よりも高くしたので、シール構造の外側から中側へ圧力がかかり、シール構造でのシールが効果的になり、開口から容器の外部への気液の漏れをよりなくすことができる。
また、前記液貯留槽に液を所定の流量で供給するので、シール構造を漏れた気液が液貯留槽の液に溶けこんだ場合に、液に対する気液の濃度を一定値以下に希釈することができる。
また、液貯留槽を内槽と外槽の二重構造にし、液排出機構が外槽に溜まった液を排出するので、内槽からオーバーフローした液は、いったん外槽に溜まった後、外部へ排出されるので、内槽に貯留した液がシール部へ浸入することを防止できる。
また、上蓋をヒンジ機構により開閉可能にし、側板に液の垂れるのを案内する曲がり部を設けたので、開口を開状態にしたとき、上蓋に付着した気液は曲がり部に案内されて液貯留槽に落ち、気液が外部を汚染することを抑制できる。
また、液晶用ガラス基板に処理液を散布する装置の容器に本発明を適用し、液貯留槽の液が処理液を溶解するものとしたので、処理液や処理液の蒸気が容器からもれるのを抑制し、処理液が外部を汚染するのを防止する。
従って、容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な上蓋構造を備えた容器を提供できる。
【００４５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その１である
【図２】本発明の第一の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その２である
【図３】本発明の第二の実施形態にかかる容器の正面（Ａ−Ａ）断面図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に係る容器の平面図その１である。
【図５】本発明の第二の実施形態に係る容器の平面図その２である。
【符号の説明】
Ｃ　　液シール空間
１　　容器
２　　上蓋構造
３　　容器本体
４　　開口
５　　容器の上部
６　　処理液散布機構
７　　ガラス基板搬送機構
８　　架台
１０　　上蓋
１１　　上板
１２　　側板
１２ａ　曲がり部
１３　　上蓋シール部
１４　　遮熱板
２０　　シール構造
２１　　シールパッキン
３０　　液貯留槽
３１　　外槽
３１ａ　外槽内壁
３１ｂ　外槽外壁
３１ｃ　外槽底板
３２　　内槽
４０　　ヒンジ機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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