(57)【要約】【課題】吸引スリットにガラスの破片等の異物が吸着したとき、直ちに異物の吸着を検出できるようにして基板に傷が付くような事態の発生を防止する、簡易な構成の除塵装置用目詰まり検知装置を提供する。【解決手段】除塵ヘッド２００の下面にコンデンサ型の目詰まり検知センサ２４０，２５０と、この目詰まり検知センサ２４０，２５０と導電体によりそれぞれ電気的に接続される判定処理手段と、を備え、目詰まり検知センサ２４０，２５０の電極間で異物が誘電体として作用したことによるアドミッタンスの変化を検知し、このアドミッタンスの変化の検知により吸引スリット２１０，２３０に異物が吸着したと判定する除塵装置用目詰まり検知装置とした。【選択図】  図１
2004330162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも各１個のエア吸引室およびエア噴出室を有する除塵ヘッドを備え、エア噴出室の噴出スリットから除塵対象表面に向けて洗浄エアを噴出し、飛散する塵埃をエア吸引室の吸引スリットへ吸引するようにした除塵装置に搭載される目詰まり検知装置であって、
吸引スリットを挟む両側に第１，第２電極を除塵ヘッドに設けてなる目詰まり検知センサと、
目詰まり検知センサの第１，第２電極がそれぞれ電気的に接続される判定処理手段と、
を備え、
吸引スロットに吸着される異物が目詰まり検知センサの第１，第２電極間で誘電体として作用したことによるアドミタンスの変化を検知し、このアドミタンスの変化の検知により吸引スリットに異物が吸着したか否かを判定することを特徴とする除塵装置用目詰まり検知装置。
【請求項２】
請求項１記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
前記判定処理手段は、
目詰まり検知センサの第１電極、第２電極へ一定の交流電圧を印可する印可手段と、
吸引スロットに吸着される異物が目詰まり検知センサの第１，第２電極間で誘電体として作用したことによるアドミタンスの増大という変化を、交流電流の振幅の増大という変化として検知する検知手段と、
変化を検知したときに異物が吸着していることを報知する報知手段と、
を備えることを特徴とする除塵装置用目詰まり検知装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
前記除塵ヘッドは、第１のエア噴出室とこれを挟む第１、第２のエア吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて設けられ、かつ第１、第２のエア吸引室のそれぞれの吸引スリットの周囲に目詰まり検知センサが設けられることを特徴とする除塵装置用目詰まり検知装置。
【請求項４】
請求項３に記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
第１、第２のエア吸引室のそれぞれの吸引スリットに設けられた目詰まり検知センサは、第１電極同士がそれぞれ電気的に直列に接続され、かつ、第２電極同士がそれぞれ電気的に直列に接続されることを特徴とする除塵装置用目詰まり検知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、除塵対象の表面に付着する塵や埃等（以下、これらを総称して塵埃という）を単なる清浄エア、または、超音波周波数で振動する超音波エア（以下、これらを総称して洗浄エアという）により塵埃を飛散させて吸引除去する除塵装置に搭載される除塵装置用目詰まり検知装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
除塵装置に搬送されて除塵される除塵対象の一例として、例えば板状のガラス基板などを挙げることができる。このガラス基板は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、または、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられている。
このような基板を対象とする除塵装置として、例えば、本出願人の特許出願に係り、出願公開により開示された特許公開公報である特許文献１，２などがある。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−８４５１０号公報
（段落番号００１３〜００２５，図１〜図４）
【特許文献２】
特開２０００−２１０６３０号公報
（段落番号００２０〜００５６，図１〜図１１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術による除塵装置では、搬送される基板Ｇが種々の原因（例えば、真空吸着時に破損する）により破壊され、ガラスの破片が吸引スリットまで吸引される事象が確認されている。
特に、ＴＦＴ液晶パネル用のガラス基板は０．３ｍｍ〜１．１ｍｍという薄い基板であって破壊に至ることも少なくない。
【０００５】
この場合、吸引スリットに吸着するガラスの破片が、何らかの原因で基板へ落下した場合、または、吸着されたガラスの破片が搬送中の基板に接触した場合、基板の表面に傷がついて不良品となるおそれがあった。ガラス基板へ落下する場合は一枚の基板に傷をつけるのみであるが、吸着されたガラスの破片による接触は多数のガラス基板に傷をつけるという問題があった。このような事情から、ガラスの破片が吸着されたことを直ちに検知してガラスの破片を取り除きたいという要請があった。
【０００６】
しかしながら、除塵装置は塵埃が極めて少ないクリーンルーム内にあって、異物が殆どない環境下にあるため、このような事態は想定されておらず、対策もとられていないのが現状である。
さらに吸引室内の圧力の変化による検出も考えられるが、ガラスの破片による異物が吸引スロットに吸着しても圧力の変化は微量であり、圧力センサでは検出できなかった。
このように従来では検出方法が存在しなかった。
【０００７】
そこで、本発明は上記の問題点を解消するためになされたものであり、その目的は、吸引スリットにガラスの破片等の異物が吸着したとき、直ちに異物の吸着を検知できるようにして基板に傷がつくような事態の発生を防止する、簡易な構成とした除塵装置用目詰まり検知装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題を解決するため、請求項１に係る発明である除塵装置用目詰まり検知装置によれば、
少なくとも各１個のエア吸引室およびエア噴出室を有する除塵ヘッドを備え、エア噴出室の噴出スリットから除塵対象表面に向けて洗浄エアを噴出し、飛散する塵埃をエア吸引室の吸引スリットへ吸引するようにした除塵装置に搭載される目詰まり検知装置であって、
吸引スリットを挟む両側に第１，第２電極を除塵ヘッドに設けてなる目詰まり検知センサと、
目詰まり検知センサの第１，第２電極がそれぞれ電気的に接続される判定処理手段と、
を備え、
吸引スロットに吸着される異物が目詰まり検知センサの第１，第２電極間で誘電体として作用したことによるアドミタンスの変化を検知し、このアドミタンスの変化の検知により吸引スリットに異物が吸着したか否かを判定することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に係る発明である除塵装置用目詰まり検知装置によれば、
請求項１記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
前記判定処理手段は、
目詰まり検知センサの第１電極、第２電極へ一定の交流電圧を印可する印可手段と、
吸引スロットに吸着される異物が目詰まり検知センサの第１，第２電極間で誘電体として作用したことによるアドミタンスの増大という変化を、交流電流の振幅の増大という変化として検知する検知手段と、
変化を検知したときに異物が吸着していることを報知する報知手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に係る発明である除塵装置用目詰まり検知装置によれば、
請求項１または請求項２記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
前記除塵ヘッドは、第１のエア噴出室とこれを挟む第１、第２のエア吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて設けられ、かつ第１、第２のエア吸引室のそれぞれの吸引スリットの周囲に目詰まり検知センサが設けられることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４に係る発明である除塵装置用目詰まり検知装置によれば、
請求項３記載の除塵装置用目詰まり検知装置において、
第１、第２のエア吸引室のそれぞれの吸引スリットに設けられた目詰まり検知センサは、第１電極同士がそれぞれ電気的に直列に接続され、かつ、第２電極同士がそれぞれ電気的に直列に接続されることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による除塵装置用目詰まり検知装置の実施形態について図を参照しつつ説明する。図１は本実施形態による除塵装置用目詰まり検知装置の構成図、図２は第１，第２電極の断面図、図３は除塵ヘッドのガラス対向面の構造図、図４，図５は検知原理の説明図である。
本実施形態による除塵装置は、図１で示すように、搬送ローラ１００と、除塵ヘッド２００と、を備えている。この除塵装置では基板Ｇが矢印ａ方向に搬送される。
【００１３】
続いて個々の構成について説明する。
基板Ｇは、本発明の除塵対象の一具体例であり、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）またはＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板である。図１で示す基板Ｇは長尺な基板Ｇの一部のみが図示されている。また基板Ｇの厚さであるが、例えば、ＴＦＴ液晶パネル用のガラス基板は、０．３ｍｍ〜１．１ｍｍと薄いものである。
なお、他の除塵対象には合成樹脂板、または、金属板などの基板なども挙げられる。
【００１４】
搬送ローラ１００は、基板Ｇを支持・搬送するローラである。搬送ローラ１００は、基板Ｇを搬送する駆動力を与えるように構成されるか、または、他の駆動源により搬送される基板Ｇに従動するように回動自在に構成されているものである。
【００１５】
除塵ヘッド２００は、基板搬送方向（矢印ａ方向）に沿って、エア吸引室Ｖ１、エア噴出室Ｐ、エア吸引室Ｖ２となるように並べられて構成されている。  エア吸引室Ｖ１，Ｖ２は図示しない吸気ポンプへ、また、エア噴出室Ｐは図示しない送風ポンプへ接続されるものとする。なお、図１では、除塵ヘッド２００は、搬送ローラ１００側とは反対側に配置されているが、搬送ローラ側に配置され、下から上へ向けて基板Ｇの下面へ洗浄エアを噴出し、基板Ｇから下へ塵埃を吸引するような除塵ヘッドとしても良い。
【００１６】
このエア吸引室Ｖ１には吸引スリット２１０が、エア噴出室Ｐには噴出スリット２２０が、エア吸引室Ｖ２には吸引スリット２３０それぞれ設けられている。
なお、エア吸引室Ｖ１の吸引スリット２１０は上流側、換言すれば噴出スリット２２０側へ傾斜しており、噴出スリット２２０から噴出されるエア流は、吸引スリット２３０へ吸引される。
同様に、エア吸引室Ｖ２の吸引スリット２３０は下流側、換言すれば噴出スリット２２０側へ傾斜しており、噴出スリット２２０から噴出されるエア流は、吸引スリット２１０へ吸引される。
なお、吸引スリット２１０，２３０は、必ずしも傾斜が必要ではなく、図示しないが基板Ｇの搬送方向に対して略垂直となるように設けられても良い。
【００１７】
このエア吸引室Ｖ１の吸引スリット２１０にはＶ１用の目詰まり検知センサ２４０が、また、エア吸引室Ｖ２の吸引スリット２３０にはＶ２用の目詰まり検知センサ２５０がそれぞれ形成される。
【００１８】
Ｖ１用の目詰まり検知センサ２４０は、上流側（噴出スリット２２０側）に第１電極２４１が、また、下流側に第２電極２４２が形成されている。吸引スロット２１０の周りが円弧状に窪んで形成され、第１電極２４１の面積が広く、また、第２電極２４２の面積が狭くなるようになされている。
【００１９】
Ｖ２用の目詰まり検知センサ２５０は、下流側（噴出スリット２２０側）に第１電極２５１が、また、上流側に第２電極２５２が形成されている。吸引スロット２３０の周りが円弧状に窪んで形成され、第１電極２５１の面積が広く、また、第２電極２５２の面積が狭くなるようになされている。
なお、これら第１電極２４１，２５１および第２電極２４２，２５２の面積が同じとなるように調整してもよい。
【００２０】
さらに、図３で示すように、Ｖ１用の目詰まり検知センサ２４０の第１電極２４１，第２電極２４２は吸引スロット２１０の長手方向と略平行に伸びる長方形状に形成され、また、Ｖ２用の目詰まり検知センサ２５０の第１電極２５１，第２電極２５２は吸引スロット２１０の長手方向と略平行に伸びる長方形状に形成される。
【００２１】
Ｖ１用の目詰まり検知センサ２４０の第１電極２４１および第２電極２４２は、詳しくは、図２に示すような積層構造である。例えばＶ１用の目詰まり検知センサ２４０の第１電極２４１を例に挙げて説明すると、金属体である除塵ヘッド２００の表面に絶縁樹脂層２４１ａを形成する。この絶縁樹脂層２４１ａは各種の材料が可能であるが、例えば、エポキシ樹脂により形成した層とする。そしてこの絶縁樹脂層２４１ａの表面に導電性樹脂層２４１ｂが形成される。この導電性樹脂層２４１ｂは各種の材料が可能であるが、例えば、銀ペーストにより形成した層とする。
【００２２】
Ｖ１用の目詰まり検知センサ２４０の第２電極２４２も同様であり、絶縁樹脂層２４２ａ，導電性樹脂層２４２ｂの積層構造である。
Ｖ２用の目詰まり検知電極２５０の第１電極２５１も同様であり、絶縁樹脂層２５１ａ，導電性樹脂層２５１ｂの積層構造である。
Ｖ２用の目詰まり検知電極２５０の第２電極２５２も同様であり、絶縁樹脂層２５２ａ，導電性樹脂層２５２ｂの積層構造である。
【００２３】
これら電極の配置および配線について、図３に示すようにＶ１用の目詰まり検知センサ２４０の第１電極２４１と、Ｖ２用の目詰まり検知センサ２５０の第１電極２５１とが導電体３００により電気的に接続され、さらに判定処理手段４００と接続される。
同様にＶ１用の目詰まり検知センサ２４０の第２電極２４２と、Ｖ２用の目詰まり検知センサ２５０の第２電極２５２とが導電体３００により電気的に接続され、さらに判定処理手段４００と接続される。
【００２４】
なお、このような構成は各種変形が可能である。例えば、先に絶縁樹脂層はそれぞれ第１電極２４１，２５１および第２電極２４２，２５２の下側に別個に設けるものとして説明したが、除塵ヘッド２００の少なくとも下側全面を一体に覆うような層としてもよい。この場合、導電体３００も含めて導電性樹脂層（銀ペースト）を一体にした回路パターンを形成することもできる。
【００２５】
続いて、検知原理について図４，図５を参照しつつ説明する。
なお、目詰まり検知センサ２４０についてのみ説明し、目詰まり検知センサ２５０については同様の検知原理であるため、その詳細な説明を省略する。
対向する第１電極２４１、第２電極２４２へは判定処理手段４００から交流電圧が印可され、交流電流が流れている。第１電極２４１、第２電極２４２はコンデンサの電極板に相当する。このコンデンサのアドミタンス（ｊωＣ）は、通常は図４で示すように誘電体がない状態の値となる。
【００２６】
このような目詰まり検知センサ２４０の間にある吸引スリット２４１にガラスの破片である異物が吸着したような場合、ガラスの破片を誘電体と考えれば、図５で示すように対向する第１電極２４１、第２電極２４２の間に誘電体が挿入されたのと同等と見なすことができ、この場合にはアドミタンスが増大し（インピーダンスは減少し）、交流電流の振幅が大きくなる。判定処理手段４００は、この交流電流の振幅の増加を検知してガラスの破片が吸引スリット２１０に吸着したものと判断する。
【００２７】
判定処理手段４００の具体的構成とは、例えば、第１電極２４１、第２電極２４２へ一定の交流電圧を印可する印可手段と、交流電流の振幅の増大という変化を検知する検知手段と、変化を検知した場合にガラスの破片である異物が吸着していることを報知する報知手段とを備えている。
【００２８】
特に検知手段・報知手段は、図示しないＣＰＵ装置、Ａ／Ｄ変換手段および出力装置で構成される。例えば、交流電流をＡ／Ｄ変換して交流電流データとしてＣＰＵ装置へ読み込む。この場合、前段に増幅手段を介在させて振幅の変化が十分に現れるような処理を行ってもよい。ＣＰＵ装置がプログラム処理により交流電流データの振幅の増大を検知し（検知手段）、変化を検知した場合にガラスの破片である異物が吸着していることを報知する（報知手段）ように、出力装置（ディスプレイ・報知器・回転灯等）を制御する。
判定処理手段４００による検知処理はこのようにして行われる。
【００２９】
以上本発明の実施形態について説明した。しかしながら、本発明では各種の変形が可能である。
例えば、上記の実施形態では、除塵ヘッドは２個のエア吸引室Ｖ１，Ｖ２の間に１個のエア噴出室Ｐを配置した例（Ｖ−Ｐ−Ｖ構造）であるものとして説明したが、これ以外にも２個のエア噴出室の間に１個のエア吸引室を配置した例（Ｐ−Ｖ−Ｐ構造）としてもよい。
また、１個のエア噴出室の間に１個のエア吸引室を配置した例（Ｖ−Ｐ構造，Ｐ−Ｖ構造）としてもよい。
さらには、複数個のエア噴出室と複数個のエア吸引室を交互に配置した例（Ｖ−Ｐ−Ｖ−Ｐ−ＶというようにＶとＰとの繰り返し構造）としてもよい。これら構成が適宜選択される。
【００３０】
また、搬送ローラ１００は、基板Ｇの両端を渡される長いロッド状の搬送ローラとする場合と、基板Ｇの裏面に傷をつけることを回避するため、Ｇの側部のみ当接する二個の円盤状の搬送ローラ１００とする場合と、二通りの態様がある。このような態様は、使用する基板Ｇの除塵対象面に応じて適宜選択される。
【００３１】
さらに搬送ローラは他の構成と代替することが可能であり、少なくとも基板Ｇを搬送する機能を備えた搬送手段を採用することができる。このような搬送手段としては、各種採用することができる。
さらには搬送手段がなく、固定された基板に除塵を行うような除塵装置にも適用できる。
【００３２】
さらに、Ｖ１用の目詰まり検知センサ２４０の第１電極２４１、第２電極２４２、および、Ｖ２用の目詰まり検知センサ２５０の第１電極２５１，第２電極２５２とがそれぞれ個別に判定処理手段４００と接続されるようにしてもよい。
【００３３】
このような本発明では、ガラスの破片以外の異物でも、誘電体として作用し、吸引スロットに吸着されるような異物ならば検出が可能である。
また、塵埃などが付着した場合に短絡することも考えられるが、塵埃は吸引スロットに確実に吸引されるため、このような考慮は不要であり、簡易な構成で利便性を高めた除塵装置用目詰まり検知装置とすることができる。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によれば、吸引スリットにガラスの破片等の異物が吸着したとき、直ちに異物の吸着を検知できるようにして基板に傷がつくような事態の発生を防止する、簡易な構成とした除塵装置用目詰まり検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態による除塵装置用目詰まり検知装置の構成図である。
【図２】第１，第２電極の断面図である。
【図３】除塵ヘッドのガラス対向面の構造図である。
【図４】検知原理の説明図である。
【図５】検知原理の説明図である。
【符号の説明】
１００                搬送ローラ
２００                除塵ヘッド
Ｖ１，Ｖ２            エア吸引室
Ｐ                    エア噴出室
２１０                Ｖ１用の吸引スロット
２２０                Ｐ用の噴出スロット
２３０                Ｖ２用の吸引スロット
２４０                Ｖ１用の目詰まり検知センサ
２４１                第１電極
２４１ａ              絶縁樹脂層
２４１ｂ              導電性樹脂層
２４２                第２電極
２４２ａ              絶縁樹脂層
２４２ｂ              導電性樹脂層
２５０                Ｖ２用の目詰まり検知センサ
２５１                第１電極
２５１ａ              絶縁樹脂層
２５１ｂ              導電性樹脂層
２５２                第２電極
２５２ａ              絶縁樹脂層
２５２ｂ              導電性樹脂層
３００                導電体
４００                判定処理手段
Ｇ                    基板
【図１】
2004330162.tif 000003
【図２】
2004330162.tif 000004
【図３】
2004330162.tif 000005
【図４】
2004330162.tif 000006
【図５】
2004330162.tif 000007