(57)【要約】【課題】液体の吐出精度を極めて高くすることができるインクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタを提供する。【解決手段】液体を吐出するノズル穴を備えたノズルプレートであって、前記ノズルプレートの液体吐出面の少なくとも前記ノズル穴の外周部に複数の凹凸が設けられ、前記外周部における前記凹凸の凸部の高さの最小値が０．５μｍ以上であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。【選択図】　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズル穴を複数備えたインクジェットヘッド用ノズルプレートであって、
前記ノズル穴の少なくとも一つはの液体吐出面の少なくとも前記ノズル穴の外周部に複数の凹凸が設けられ、前記外周部における前記凹凸の凸部の高さの最小値が０．５μｍ以上であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項２】
前記凸部の高さの最小値が１．０μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項３】
前記凸部の高さの最小値が２．０μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項４】
前記外周部における前記凹凸の凸部の個数が１個／μｍ２以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項５】
前記凹凸は、少なくとも前記ノズル穴の内縁より２．０μｍ以内の領域に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項６】
前記凹凸は、少なくとも前記ノズル穴の内縁より３．０μｍ以内の領域に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項７】
前記ノズル穴の内径が４０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項８】
前記ノズル穴の内径が３０μｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項９】
前記ノズル穴の内径が２０μｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１０】
前記凹凸が撥液体機能を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１１】
前記凹凸の凸部の少なくとも一部が撥液体機能を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１２】
前記凸部の先端部が撥液体機能を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１３】
前記ノズル穴の内面が撥液体機能を有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１４】
撥液体性の被膜により前記撥液体機能が形成されることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートと、
前記ノズル穴と連通し前記ノズル穴に液体を導く液流路と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１６】
前記液流路を構成し、該液流路に前記液体を導くための液体供給口を備えた液体室と、
前記液流路に対応して、前記ノズル穴を介して液体を吐出させるためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と、
を有することを特徴とする請求項１５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載のインクジェットヘッドを有することを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液体を吐出するインクジェットヘッド、該インクジェットヘッド用ノズルプレート及び該インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
インク等の液体を吐出するインクジェットヘッドでは、インクの吐出口であるノズル穴が設けられたノズルプレートのインク吐出面側のノズル穴の周辺表面の撥液性が不十分であるとインク滴の飛翔方向にズレが生じてしまい吐出精度が下がるという問題があった。
【０００３】
特開平２−５５１４０号公報、特開平６−３０５１５１号公報では、インクジェットヘッドのノズルプレートのインク吐出面側のノズル穴の周縁部に撥液性の被膜を塗布することにより周縁部のインクの濡れを抑え飛翔方向のズレを抑えるという技術が開示されている。
【０００４】
また、特開平５−１１６３２７号公報では、吐出口周縁部だけでなく、吐出口の内面やノズルプレートインク吐出面側の裏面の一部に撥液性の被膜を設けてインク滴のばらつきを抑えるという技術が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のインクジェットヘッドようにノズル穴付近に撥液性の被膜を均一に形成する技術だけでは、十分満足のできる吐出精度が得られていなかった。
【０００６】
本発明はかかる課題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、液体の吐出精度を極めて高くすることができるインクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は下記構成により達成された。
【０００８】
（１）　液体を吐出するノズル穴を複数備えたインクジェットヘッド用ノズルプレートであって、前記ノズル穴の少なくとも一つは液体吐出面の少なくとも前記ノズル穴の外周部に複数の凹凸が設けられ、前記外周部における前記凹凸の凸部の高さの最小値が０．５μｍ以上であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【０００９】
（２）　前記凸部の高さの最小値が１．０μｍ以上であることを特徴とする（１）に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１０】
（３）　前記凸部の高さの最小値が２．０μｍ以上であることを特徴とする（１）に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１１】
（４）　前記外周部における前記凹凸の凸部の個数が１個／μｍ２以上であることを特徴とする（１）〜（３）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１２】
（５）　前記凹凸は、少なくとも前記ノズル穴の内縁より２．０μｍ以内の領域に設けられていることを特徴とする（１）〜（４）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１３】
（６）　前記凹凸は、少なくとも前記ノズル穴の内縁より３．０μｍ以の領域に設けられていることを特徴とする（５）に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１４】
（７）　前記ノズル穴の内径が４０μｍ以下であることを特徴とする（１）〜（６）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１５】
（８）　前記ノズル穴の内径が３０μｍ以下であることを特徴とする（７）に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１６】
（９）　前記ノズル穴の内径が２０μｍ以下であることを特徴とする（７）に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１７】
（１０）　前記凹凸が撥液体機能を有することを特徴とする（１）〜（９）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１８】
（１１）　前記凹凸の凸部の少なくとも一部が撥液体機能を有することを特徴とする（１）〜（９）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００１９】
（１２）　前記凸部の先端部が撥液体機能を有することを特徴とする（１）〜（９）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２０】
（１３）　前記ノズル穴の内面が撥液体機能を有することを特徴とする（１）〜（１２）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２１】
（１４）　撥液体性の被膜により前記撥液体機能が形成されることを特徴とする（１０）〜（１３）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２２】
（１５）　（１）〜（１４）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートと、前記ノズル穴と連通し前記ノズル穴に液体を導く液流路と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【００２３】
（１６）　前記液流路を構成し、該液流路に前記液体を導くための液体供給口を備えた液体室と、前記液流路に対応して、前記ノズル穴を介して液体を吐出させるためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と、を有することを特徴とする（１５）に記載のインクジェットヘッド。
【００２４】
（１７）　（１５）又は（１６）に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタ。
【００２５】
さらに前記インクジェットヘッド用ノズルプレートの少なくとも一つは以下の構成の少なくとも一つを満たすことが好ましい。
【００２６】
前記外周部における前記凸部の個数が１０個／μｍ２以上であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２７】
前記外周部における前記凸部の個数が５０個／μｍ２以上であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２８】
インク供給面のノズル穴付近が前記撥液体機能を有することを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００２９】
前記インクジェットヘッド用ノズルプレートが撥液体機能を有する部材で構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。
【００３０】
さらに前記インクジェットヘッドの少なくとも一つは以下の構成を満たすことが好ましい。
【００３１】
前記ノズル穴と前記液流路との接合部分が親水性機能を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【００３２】
親水性の被膜により前記親水性機能が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【００３３】
本発明者らは、鋭意研究の結果、液体を吐出するノズル穴を備えたノズルプレートの液体吐出面の少なくともノズル穴の外周部に複数の凹凸を設け、かつ、外周部における前記凹凸の凸部の高さの最小値が０．５μｍ以上であるインクジェットヘッド用ノズルプレートを有するインクジェットヘッドは、極めて液体の吐出精度が高いということを見出した。これは、ノズル穴の外周部を凹凸の凸部の高さの最小値が０．５μｍ以上である凹凸面形状とすることにより、吐出される液体とノズル穴の外周部との接触面積を極めて小さくすることができると考えられ、吐出される液体と外周部との接触に起因する吐出角度のズレ、ばらつき等を極めて減少させることができ、吐出精度が高くなったものと推測される。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施形態を詳しく説明するが本発明はこれに限定されるものではない。また、以下の説明には用語等に対する断定的な表現をしている場合があるが、本発明の好ましい例を示すもので、本発明の用語の意義や技術的な範囲を限定するものではない。
【００３５】
図１に、本発明のインクジェットヘッドの一例の構成を斜視図で示す。図１において、１は圧電性セラミック基板、２は本発明のインクジェット用ノズルプレート、３はノズル穴、４は液流路であるインクチャネル、５は側壁、６はカバープレート、７はマニホールドであり、インクの液体供給口８を備えており、インクチャネル４及びマニホールド７により液体室が構成されている。
【００３６】
圧電性セラミック基板１にはダイヤモンドブレード等により切削加工され、複数の溝（インクチャネル）４が全て同じ形状で平行に形成され、溝４の側面となる側壁５は矢印の方向に分局されている。側壁５は、ノズル穴３を介して液体を吐出させるためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生手段となる。溝４の深さは圧電性セラミック基板の一方の端面１２に近づくにつれて徐々に浅くなって、端面１２近傍では浅溝１０とされている。溝４の内面には、その両側面の上半分に金属電極９が蒸着等によって形成されている。インクチャネル４及び浅溝１０の内面には、その側面及び底面に金属電極１１が蒸着等によって形成されており、金属電極９と金属電極１１は連通している。
【００３７】
カバープレート６は、セラミック材料又は樹脂材料等から形成され、研削又は切削加工等によって、インク導入口８及びマニホールド７が形成されている。そして、圧電性セラミック基板１の溝４が加工された面とカバープレート６のマニホールド７が加工された面とがエポキシ系接着剤等を用いて接着され、溝４の上面がカバープレート６で覆われてインクの液流路となり、ノズルプレート２の液体供給面側のノズル穴３と接合している。
【００３８】
圧電性セラミック基板１及びカバープレート６の端面に、各インクチャネル４の位置に対応する位置にノズル穴３が設けられたノズルプレート２が接着される。ノズルプレートはＰＥＴ、ポリアルキレンテレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、酢酸セルロース等のプラスチックによって形成されている。
【００３９】
さらに本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２を図を用いて説明する。
【００４０】
図２は液体吐出面側から見た本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２のノズル穴３付近の概略図である。
【００４１】
３１はノズル穴３の外周部であり、３２はノズル穴３の内縁である。本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２は、ノズル穴３の外周部３１に複数の凹凸を設けている。
【００４２】
液体吐出面のノズル穴の外周部とは、インクジェットヘッド用ノズルプレートの液体吐出面のうち、液体が吐出されるときに接触する領域である。前述したように、本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２は、吐出される液体とノズル穴３の外周部３１との接触面積を極めて小さくすることで、吐出される液体が外周部３１との接触に起因する吐出角度のズレ等を極めて減少させることができると考えられる。液体吐出面側のノズル穴３の外周部３１に凸部の高さの最小値が０．５以上である複数の凹凸を設けることで、吐出される液体との接触面積を極めて小さくしている。
【００４３】
通常ノズル穴３の内縁に沿った一定の幅の領域が液体吐出面のノズル穴の外周部に該当する。前記凹凸は、ノズル穴３の内縁３２より幅が２．０μｍ以内の領域に設けておくことで、物性の異なる液体を吐出させた場合のように接触する領域に多少のずれが生じるような場合でも、そのずれの領域までもほぼ凹凸面とすることができているので好ましい。ノズル穴の内縁より幅が３．０μｍ以内の領域を凹凸面としておくことがより一層好ましい。これにより、出する液体の種類等を変えた場合においても、インクジェットヘッド用ノズルプレート２の液体吐出面のうち吐出される液体と接触する領域をほぼ完全に凹凸面とすることができており、吐液体の吐出精度を極めて高くすることができる。
【００４４】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、凹凸面における凹凸の凸部の個数は１個／μｍ２以上であることが好ましく、さらに好ましくは１０個／μｍ２以上であり、最も好ましくは５０個／μｍ２である。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００４５】
３３はノズル穴３の内径を示したものであり、図２に示すようにノズル穴３の内縁３２が円形である場合は内縁３２の直径となる。また、ノズル穴３の形状は、円形だけでなく、図３に示すように楕円、星型、多角形等でもよい。
【００４６】
ノズル穴３の形状が円形でないような場合には、ノズル穴３の内縁３２の形状に外接する外接円の直径を内径とする。
【００４７】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、ノズル穴３の内径が４０μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは３０μｍ以下であり、最も好ましくは２０μｍ以下である。下限は、ノズルプレートとして実用的に用いられる範囲内であればどのような値としてもよい。本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２は極めて高い吐出精度を有しているので、微細なインクジェット画像を形成することに極めて優れている。従って、吐出されるノズル穴の内径を小さくすることで、より微細なインクジェット画像を形成することが可能となる。
【００４８】
図４（１）は、本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２をノズル穴３部分で切断した断面図である。３４はノズル穴内面である。さらに、図４（１）中に液体吐出面側と液体供給面側を示す。図４（１）中の矢印は液体の吐出方向を示す。
【００４９】
図４（２）は、図４（１）のＡ部分を拡大した図である。３５は凹凸の凸部の高さである。
【００５０】
なお、凹凸の凸部の高さとは、凹部のうち最も深い点から測定した凸部頂点の高さである。
【００５１】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、凸部の高さの最小値が１．０μｍであることが好ましく、２．０μｍであることがさらに好ましい。上限は、製造上困難とならない範囲であれば特に制限はない。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００５２】
凹凸の凸部の高さは、半導体レーザー共焦点原理を用いた測定装置で測定分解能０．０１μｍで測定することができる。半導体レーザー共焦点原理を用いた測定装置は、例えばＶＫ−８５５０（（株）キーエンス社製）等が挙げられる。
【００５３】
また、凹凸の位置については、図５（１）のノズル穴３での断面図に示すように、凹凸の凸部が液体吐出面より埋没している凹凸面形状、図５（２）のノズル穴３での断面図に示すように、凹凸の凸部が液体吐出面より突出している凹凸面形状、あるいは図５の（１）と（２）の中間にあるような凹凸面形状であったとしても、本発明の効果を得ることができる。
【００５４】
又、凸部の断面形状を、図６に示すように、三角形、台形、逆台形、長方形形状等としても本発明の効果を得ることができる。
【００５５】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、凹凸が撥液体機能を有することが好ましい。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００５６】
インクジェットヘッド用ノズルプレート２は、複数あるノズル穴３の一つでも上述したノズル穴の外周部形状を満たしていれば本発明の効果を得ることができるが、ノズル穴３すべてが満たしていることが好ましい。
【００５７】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、凹凸の凸部の少なくとも一部が撥液体機能を有することが好ましい。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００５８】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、凹凸の凸部の先端部が撥液体機能を有することが好ましい。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００５９】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、ノズル穴３の内面３４が撥液体機能を有することが好ましい。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００６０】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２では、インク供給面のノズル穴３付近が前記撥液体機能を有することが好ましい。これにより、より一層液体の吐出精度を高くすることができる。
【００６１】
撥液体機能は、インクジェットヘッド用ノズルプレートの表面に撥液体性の被膜を形成させることで付与させるのが好ましい。撥液体性の被膜を用いることで、部分的にのみ撥液体性機能を付与させることができるのでコスト等の削減を図ることができる。
【００６２】
撥液体性の被膜には具体的には、フッ素系共析メッキ、フッ素系撥水剤、アモルファスカーボン等が挙げられ、フッ素系共析メッキに使用されるフッ素系高分子としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリパーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニリデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアルキルフマレート等を単独にあるいは混合したものが挙げられる。具体的には、サイトップＣ−２０５（キヤノン製）、ニムフロン１μ（上村工業製）、フッ化ピッチ（大阪ガス製）等が挙げられる。
【００６３】
また、本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２は撥液体機能を有する部材で構成されていてもよい。この場合、インクジェットヘッド用ノズルプレート２及び該ノズルプレート２と液流路を形成する側壁５との接合部分が親水性機能を有することが製造上好ましい。
【００６４】
親水性機能は、インクジェットヘッド用ノズルプレートの表面に親水性の被膜を形成させることで付与させるのが好ましい。親水性の被膜を用いることで、部分的にのみ親水性機能を付与させることができるのでコスト等の削減を図ることができる。
【００６５】
親水性の被膜には具体的には、ＰＶＡ膜、ゼラチン膜、さらに、プラズマ処理にてアクリル酸あるいはメタクリル酸を重合させた被膜等が挙げられる。
【００６６】
さらに、本発明のインクジェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタは、極めて高い吐出精度を有する。
【００６７】
次に、本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２の作製方法について説明する。
【００６８】
本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレート２の作製方法は、本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートが有する凹凸面を形成することができる方法であればどのような方法を用いてもよいが、下記の方法にて作製するとノズル穴３の外周部に正確な凹凸面を形成することができるので好ましい。
【００６９】
まず、シリコンウエハー７１の表面へネガタイプのフォトレジストをスピンコーターを用いて図７（１）のようにレジスト塗布をする。
【００７０】
その後電子ビーム（ＥＢ）で、図７（２）に示すように直接露光描画後、現像し、さらに図７（３）に示すように所望の凹凸面のパターニングを行う。なお、パターン露光は、マスクを介して露光する方法も可能で、使用するレジスト材の感光領域に合わせて紫外線、ＤｅｅｐＵＶ光、電子線、Ｘ線などから適宜選択することが可能である。
【００７１】
更に図７（４）に示すように電鋳加工に必要な、導電層７２を形成するためにＮｉＢの無電解めっき処理にて行う。なお、ここで導電層７２の形成には、ＮｉＰ無電解めっき、ＮｉＰスパッタ等の手法を用いてもよい。次に図７（５）に示すＮｉ電鋳を行う。
【００７２】
次にレジスト剥離溶液に浸漬しレジストを剥離して、図７（６）に示すように凹凸面の形成されたインクジェットヘッド用ノズルプレート２を作製することができる。
【００７３】
【実施例】
〈インクジェットヘッド１〜１０の作製〉
（１）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−１の作製
ノズルプレート基材として厚さ７５μｍのポリイミドシート（宇部興産社製、ユーピレックスＳ）を用い、ＦＥＰ水性分散液（ダイキン工業（株）製、ネオフロンＮＤ−１）をワイヤーバーで乾燥膜厚が３μｍになる様に塗布し、常温で放置して乾燥させた。
【００７４】
次いで、分散液塗膜面にニチバン社製セロテープ（Ｒ）を貼り付け、次いで該塗膜面の反対側面からエキシマレーザー（波長２４８ｎｍのＫｒＦレーザー、エネルギー密度２．０Ｊ／ｃｍ２）にて径１８μｍのノズル穴加工を行った。
【００７５】
除電ブロワー中でセロテープ（Ｒ）を剥がし、ベーク炉で３５０℃、１時間の加熱処理を行った。
【００７６】
加熱処理終了後、形成された撥インク面にマスキングテープとしてセロテープ（Ｒ）を貼り付け、該面の反対側からＵＶクリーナー（寒個インターナショナル研究所製、ＵＶ−６６０）にて紫外線照射を行って洗浄してノズルプレート２−１を作製した。
（２）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製
シリコンウエハーの表面へネガタイプのフォトレジストを１０μｍ厚みにレジスト塗布をした。ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が０．６μｍで、凸部の個数が１１個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）で直接露光描画後、現像してパターニングを行った。更に、ＮｉＢの無電解めっき処理を行い、Ｎｉ電鋳を行った。次に、レジスト剥離溶液に浸漬しレジストを剥離してインクジェットヘッド用ノズルプレート２−２を作製した。
（３）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−３の作製
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製において、ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が１．１μｍで、凸部の個数が１１個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）によるパターニングを変更した以外は、インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製と同様の方法でインクジェットヘッド用ノズルプレート２−３を作製した。
（４）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−４の作製
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製において、ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が２．１μｍで、凸部の個数が１１個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）によるパターニングを変更した以外は、インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製と同様の方法でインクジェットヘッド用ノズルプレート２−４を作製した。
（５）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−５の作製
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製において、ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が２．１μｍで、凸部の個数が２個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）によるパターニングを変更した以外は、インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製と同様の方法でインクジェットヘッド用ノズルプレート２−５を作製した。
（６）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−６の作製
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製において、ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が２．１μｍで、凸部の個数が５２個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）によるパターニングを変更した以外は、インクジェットヘッド用ノズルプレート２−２の作製と同様の方法でインクジェットヘッド用ノズルプレート２−６を作製した。
（７）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−７の作製
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−６の凹凸面の凸部頂点周辺及び液体供給面側のノズル穴付近にアモルファスカーボンの撥水膜を蒸着で形成してインクジェットヘッド用ノズルプレート２−７を作製した。
（８）インクジェットヘッド用ノズルプレート２−８の作製
シリコンウエハーの表面へネガタイプのフォトレジストを１０μｍ厚みにレジスト塗布をした。ノズル穴径１８μｍ、ノズル穴の内縁より幅が５．０μｍ以内の領域に、凸部高さの最小値が２．１μｍで、凸部の個数が５２個／μｍ２の凹凸形状となるように電子ビーム（ＥＢ）で直接露光描画後、現像してパターニングを行った。更に、ＮｉＢの無電解めっき処理を行い、Ｎｉ電鋳を行った。次に、レジスト剥離溶液に浸漬しレジストを剥離してＮｉノズルプレートを作製し、これに剥離材を塗布後、再電鋳しネガ型を作製し金型を作製した。この金型を使用してＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）でインクジェットヘッド用ノズルプレート２−８を作製した。
【００７７】
インクジェットヘッド用ノズルプレート２−１〜２−８のノズル穴の外周部を含む内縁より幅が５．０μｍ以内の領域を下記の測定機を用いて測定したところ、電子ビーム（ＥＢ）でパターニングしたとおりの凹凸が形成されていることを確認した。
【００７８】
機種：ＶＫ−８５５０
メーカー：（株）キーエンス
測定原理：半導体レーザー共焦点原理
測定分解能：０．０１μｍ
（凸部の数は、規定した面積の凸部の数を下記測定機を使用して、拡大モニター上で１万６０００倍に拡大し、目視で数を数えた。深さは、凸部センターに計測ラインを合わせ断面プロファイルより凸部の最頂点、凹部の最底点より測定した。）
図１に示すインクジェットヘッド（インク導入口の径２．０ｍｍ、深さ２．０ｍｍ、インク流路への開口部の長さ１４ｍｍ、深さ略一定部分のインク流路が深さ４２０μｍ、幅１０５μｍ、長さ６．０ｍｍ）のインクジェットヘッド用ノズルプレート２をインクジェットヘッド用ノズルプレート２−１〜２−８にそれぞれ変更してインクジェットヘッド１〜８を作製した。
〈インク１の作製〉
下記組成にてインク１を作製した。
《インク組成〜粘度＝７．０ｃｐｓ、表面張力＝３０ｄｙｎ／ｃｍ》
黄色色素　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５質量％
〔ダイワ（株）製：Ｄｉｗａ−ＩＪ−Ｙｅｌｌｏｗ−２１４−Ｈ（ＤＩＲＥＣＴ
ＹＥＬＬＯＷ　８６）〕
界面活性剤　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．２質量％
〔日信化学工業（株）製：サーフィノール　４６５〕
トリエタノールアミン　　　　　　　　　　　　　　　　０．０５質量％
尿素　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．０５質量％
ジエチレングリコール　　　　　　　　　　　　　　　　　　３０質量％
トリエチレングリコールモノブチルエーテル　　　　　　　　　５質量％
イオン交換水　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５９．７質量％
〈インクジェットヘッド１〜８の評価〉
インクジェットヘッド１〜８を用い、インク１を、体積８ｐｌのインク滴として駆動電圧１０Ｖ、周波数３０ｋＨｚで吐出させ、下記の吐出精度の評価を行った。
〔吐出精度の評価〕
吐出精度は、液滴の吐出角度及び吐出速度で評価し、インクジェット用射出検査機を用いて測定した値を用いた。前記検査機を用いて、インクジェットヘッドのノズル穴より吐出された液滴を２方向よりモニターして、画像処理、分析することにより、ヘッド走査方向（主角度）、及び前記ヘッド走査方向と直行する方向（副角度）の２方向について測定を行った。測定は、液滴を連続２０回射出して行った。計２０回の測定結果から、各方向における、吐出角度の最大ずれ、同じノズル穴における再現精度として吐出角度の最大ばらつき幅を求めた。さらに計２０回の測定結果から、吐出速度の最大ばらつき幅を求めた。
【００７９】
結果を表１に示す。吐出角度の最大ずれ、吐出角度の最大ばらつき幅、吐出速度の最大ばらつき幅とも小さいほど吐出精度が高いことになる。
【００８０】
【表１】
2004009677.tif 000002
【００８１】
表１に示した結果より、本発明のインクジェットヘッドは吐出精度が極めて高いことが分かった。
【００８２】
【発明の効果】
液体の吐出精度を極めて高くすることができるインクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートの概略図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートのノズル穴の形状を例示する模式図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートの断面図である。
【図５】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートの凹凸面形状を例示する模式図である。
【図６】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートの凹凸の凸部の断面形状を例示する模式図である。
【図７】本発明のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造工程を示す模式図である。
【符号の説明】
１　圧電性セラミック基板
２　インクジェットヘッド用ノズルプレート
３　ノズル穴
４　インクチャネル
５　側壁
６　カバープレート
７　マニホールド
８　液体供給口
９　金属電極
１０　浅溝
１１　金属電極
１２　端面
３１　ノズル穴外周部
３２　ノズル穴内縁
３３　ノズル穴内径
３４　ノズル穴内面
３５　凸部の高さ
７１　シリコンウエハー
７２　導電層
【図１】
2004009677.tif 000003
【図２】
2004009677.tif 000004
【図３】
2004009677.tif 000005
【図４】
2004009677.tif 000006
【図５】
2004009677.tif 000007
【図６】
2004009677.tif 000008
【図７】
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