(57)【要約】【課題】取扱いが容易で、エッチングムラを無くすのに有効な構造を有するエッチング用単結晶の運搬容器及びエッチング装置を提供すること。【解決手段】エッチング用単結晶運搬容器２に、エッチング用単結晶１を載置可能に上拡がりに開放された受容部２３を設けると共に、この受容部２３の底部に開口２７を形成し、またエッチング槽４の底部に複数本の単結晶受け軸５を突設し、運搬容器２をエッチング槽４に入れた際に、その運搬容器底部の開口２７にエッチング槽底部の受け軸５が挿通し、当該受け軸５により単結晶１が受容部２３から浮くように構成する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング用単結晶を載置可能に上拡がりに開放された受容部を具備する正面壁及び背面壁と、この正面壁及び背面壁の両端面を連結する左右の側面壁とを有し、この正面壁及び背面壁又は左右の側面壁の少なくとも一組に運搬用取手部を設けたことを特徴とするエッチング用単結晶運搬容器。
【請求項２】
請求項１記載のエッチング用単結晶運搬容器において、
上記容器底部の正面壁及び背面壁の間に、エッチング槽の底部に突設した受け軸を挿通させるための開口を形成したことを特徴とするエッチング用単結晶運搬容器。
【請求項３】
エッチング用単結晶運搬容器をエッチング槽に入れて運搬容器内の単結晶全体をエッチングするように構成した単結晶エッチング装置において、
上記運搬容器に、エッチング用単結晶を載置可能に上拡がりに開放された受容部を設けると共に、この受容部の底部に開口を形成し、
また上記エッチング槽の底部に上記エッチング用単結晶を支持するための複数本の受け軸を突設し、
上記運搬容器をエッチング槽に入れた際に、その運搬容器底部の開口にエッチング槽底部の受け軸が挿通し、当該受け軸により単結晶が受容部から浮くように構成したことを特徴とする単結晶エッチング装置。
【請求項４】
請求項３記載の単結晶エッチング装置において、
上記エッチング槽が薬液を攪拌できる循環機能を具備することを特徴とする単結晶エッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＥＣ法等で製造されたＧａＡｓ単結晶などのエッチング用単結晶（インゴット）を取り扱うための運搬容器及びエッチング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
化合物半導体単結晶の育成方法としては、液体封止チョクラルスキー法（ＬＥＣ法）や徐冷法（ＧＦ法）、水平ブリッジマン法（ＨＢ法）、垂直ブリッジマン法（ＶＢ法）等幾つも提案されているが、いずれも結晶内の特性が不均一になるのを避けられない。このため、従来、ＧａＡｓ単結晶の育成後に、結晶をインゴットのままあるいは円筒研削したブロック状態やウェハに切断して熱処理することで、ＧａＡｓ単結晶の特性の改善、均一化を図ることが行なわれている。この熱処理は、通常、ＧａＡｓインゴットを石英アンプルに入れて行なわれる。
【０００３】
この熱処理において、単結晶に異物が付着していると、結晶全体の特性が不均一になるため、ＧａＡｓ単結晶を石英アンプルに入れる前に、手作業でエッチング作業を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＧａＡｓ単結晶を手作業によりエッチングをするため、気泡ができたところがエッチングムラになりやすい。また、手作業であるため、３０ｋｇ以上のＧａＡｓ単結晶はエッチング作業ができない。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、取扱いが容易で、エッチングムラを無くすのに有効な構造を有するエッチング用単結晶の運搬容器及びエッチング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、次のように構成したものである。
【０００７】
請求項１の発明に係るエッチング用単結晶運搬容器は、エッチング用単結晶を載置可能に上拡がりに開放された受容部を具備する正面壁及び背面壁と、この正面壁及び背面壁の両端面を連結する左右の側面壁とを有し、この正面壁及び背面壁又は左右の側面壁の少なくとも一組に運搬用取手部を設けたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載のエッチング用単結晶運搬容器において、上記容器底部の正面壁及び背面壁の間に、エッチング槽の底部に突設した受け軸を挿通させるための開口を形成したことを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明に係る単結晶エッチング装置は、エッチング用単結晶運搬容器をエッチング槽に入れて運搬容器内の単結晶全体をエッチングするように構成した単結晶エッチング装置において、上記運搬容器に、エッチング用単結晶を載置可能に上拡がりに開放された受容部を設けると共に、この受容部の底部に開口を形成し、また上記エッチング槽の底部に上記エッチング用単結晶を支持するための複数本の受け軸を突設し、上記運搬容器をエッチング槽に入れた際に、その運搬容器底部の開口にエッチング槽底部の受け軸が挿通し、当該受け軸により単結晶が受容部から浮くように構成したことを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項３記載の単結晶エッチング装置において、上記エッチング槽が薬液を攪拌できる循環機能を具備することを特徴とする。
【００１１】
＜作用＞
本発明のエッチング用単結晶運搬容器では、上方が開放された受容部にエッチング用単結晶を載置し、運搬用取手部をロボット把持して又は手作業でエッチング槽まで運搬することができる。
【００１２】
また本発明の単結晶エッチング装置では、運搬容器をエッチング槽に入れると、その運搬容器底部の開口にエッチング槽底部の受け軸が挿通し、エッチング用単結晶を押し上げて受容部から浮かせるため、エッチング用単結晶の下側に空洞が形成される。このため、結晶全体をムラなくエッチングすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。
【００１４】
図１はエッチング用単結晶運搬容器の一例を示したもので、ＬＥＣ法、ＶＧＦ法等により育成した３０ｋｇ以上のＧａＡｓ単結晶のインゴット、つまりエッチング用単結晶１を安全に運ぶことができる構造を有する単結晶運搬用バスケット２として構成されている。
【００１５】
すなわち、このバスケット２は、図３から分かるように、３０ｋｇ以上のＧａＡｓ単結晶から成るエッチング用単結晶１を載置可能に上拡がりに開放された斜面部から成る受容部２３を具備する正面壁２１及び背面壁２２と、この正面壁２１及び背面壁２２の両端面を連結する左右の側面壁２４、２５とを有する。そして、この正面壁２１及び背面壁２２又は左右の側面壁２４、２５の少なくとも一組、ここでは正面壁２１及び背面壁２２には、運搬用取手部として、正面壁２１及び背面壁２２側から凹部２６が設けられている。
【００１６】
この運搬用取手部としての凹部２６は、エッチング用単結晶１を受容部２３に図１に示す如く収容したバスケット２を運搬する際、図２に示す如く凹部２６内に搬送用ロボット３０の自動アーム３の先端を差し込んで持ち上げることが可能に構成されている。さらに、このバスケット２の底部には、上記正面壁２１及び背面壁２２の間において、図３に示すエッチング槽４の底部に突設した単結晶受け軸５を挿通させるための開口２７が形成されている。
【００１７】
一方、エッチング槽４の底部には、上記エッチング用単結晶１を支持するための複数本の単結晶受け軸５が突設されている。この実施形態の場合、単結晶受け軸５は単結晶の幅方向に二本一対のものを単結晶の長手方向に複数組配設している。
【００１８】
この単結晶受け軸５と上記バスケット底部の開口２７との関係は、上記運搬容器たるバスケット２をエッチング槽４に入れた際に、そのバスケット底部の開口２７にエッチング槽底部の受け軸５が挿通し、エッチング用単結晶１を下側から押し上げて、図３に示すようにエッチング用単結晶１を受容部２３から浮かせ、エッチング用単結晶１の下側に空洞を形成するように構成されている。
【００１９】
そこで、上記した単結晶運搬用バスケット２にエッチング用単結晶１を乗せて、自動アーム３により４点でバスケット２を持ち上げ、図３に示すようにエッチング槽４へ運び入れると、バスケット底部の開口２７に、エッチング槽４の底部に付いている複数の結晶受け軸５が挿通する。これにより、その結晶受け軸５に結晶を乗せて、バスケット２の底部ないし受容部２３から浮かせることができる。
【００２０】
その後、エッチング槽４に設けた薬液を攪拌する循環機能を作動させることで、薬液を循環させ、攪拌させながら結晶表面に付く気泡を取り除き、結晶全体をエッチングムラなく、エッチングすることができる。
【００２１】
本発明の実施例として、６インチ単結晶（４０ｋｇ）を王水（塩酸：硝酸＝２：１）より、エッチング時間３分でエッチングを実施した。実施した結果、結晶表面から異物を除去することができ、鏡面的な光沢をもたせることができた。さらに熱処理後の結晶特性に異常は見られなかった。
【００２２】
上記実施例では、ＬＥＣ法、ＶＧＦ法等により製造したＧａＡｓ単結晶についてのみ述べたが、本発明は、ＧａＰ、ＩｎＰ等の全ての化合物半導体のエッチング処理について適用することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
【００２４】
本発明のエッチング用単結晶運搬容器は上方が開放された受容部にエッチング用単結晶を載置し、運搬用取手部をロボット把持して又は手作業でエッチング槽まで運搬することができる。
【００２５】
また本発明の単結晶エッチング装置では、運搬容器をエッチング槽に入れた際に、その運搬容器底部の開口にエッチング槽底部の受け軸が挿通し、エッチング用単結晶を押し上げて受容部から浮かせるため、エッチング用単結晶の下側に空洞が形成されることから、結晶全体をムラなくエッチングすることができる。
【００２６】
よって、本発明のエッチング用単結晶運搬容器及び単結晶エッチング装置によれば、３０ｋｇ以上のエッチング用単結晶であっても、エッチング作業を安全、且つ合理的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエッチング用単結晶運搬容器を示したもので、（ａ）は左側面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】本発明のエッチング用単結晶運搬容器を自動アームで持ち上げた状態示した図である。
【図３】本発明のエッチング用単結晶運搬容器とエッチング槽で構成される単結晶エッチング装置を示した図である。
【符号の説明】
１　エッチング用単結晶
２　単結晶運搬用バスケット（エッチング用単結晶運搬容器）
３　自動アーム
４　エッチング槽
５　単結晶受け軸
２１　正面壁
２２　背面壁
２３　受容部
２４、２５　側面壁
２６　凹部（運搬用取手部）
２７　開口
３０　搬送用ロボット
【図１】
2004010468.tif 000003
【図２】
2004010468.tif 000004
【図３】
2004010468.tif 000005