(57)【要約】【課題】Ｘ線スキャナ装置で撮影された試料の断面画像から信頼性の高い断面形状のデータが得られるようにする。【解決手段】Ｘ線ＣＴスキャナ装置により異なる２つ姿勢でそれぞれ撮影された基準片を有する試料の断面画像が断面画像記憶部４に記憶される。断面形状算出部５で各断面画像から断面形状を構成する点群のデータが算出され、第１の姿勢における断面形状に不明瞭な輪郭線のデータが含まれる場合、不明瞭輪郭データ除去部６でそのデータが除去される。撮影姿勢関係算出部７で基準片の断面形状から２つの姿勢における三次元画像を作成し、両三次元画像を用いて第１姿勢の測定データを第２姿勢の測定データに変換する座標変換式が算出される。データ補完部８により第１の姿勢における不明瞭輪郭線のデータが除去された断面形状は、座標変換式を用いて第２の姿勢における断面形状の、不明瞭輪郭線に対応する輪郭線を構成する点群のデータを算出し、その点群のデータで補完される。【選択図】  図１２
2004317457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線ＣＴスキャナ装置により複数枚の試料の断面画像を撮影し、その断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定方法であって、
所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ複数枚の断面画像を取得する画像取得工程と、
上記画像取得工程で取得された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出工程と、
上記断面形状データ算出工程で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出工程と、
上記断面形状データ算出工程で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去工程と、
上記データ除去工程でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完工程と、
からなることを特徴とする断面形状測定方法。
【請求項２】
Ｘ線ＣＴスキャナ装置により撮影された複数枚の試料の断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定装置であって、
所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ取得された複数枚の断面画像を記憶する記憶手段と、
上記記憶手段に記憶された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出手段と、
上記断面形状データ算出手段で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出手段と、
上記断面形状データ算出手段で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去手段と、
上記データ除去手段でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完手段と、
を備えたことを特徴とする断面形状測定装置。
【請求項３】
コンピュータを、Ｘ線ＣＴスキャナ装置により撮影された複数枚の試料の断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定装置として機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
上記コンピュータを、所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ取得された複数枚の断面画像を記憶する記憶手段と、
上記記憶手段に記憶された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出手段と、
上記断面形状データ算出手段で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出手段と、
上記断面形状データ算出手段で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去手段と、
上記データ除去手段でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完手段と、
して機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線ＣＴスキャナ装置によって撮影された試料の断面画像から当該試料の断面形状を算出する断面形状算出方法、断面形状算出装置およびコンピュータをこの断面形状装置として機能させるためのプログラムが記録されたコンピュータの読取可能な記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、非破壊検査システム用の装置として、Ｘ線ＣＴスキャナ装置によって複数枚の試料の断面画像を取得し、これらの断面画像から当該試料の三次元立体形状画像を作成してディスプレイに表示することのできる産業用Ｘ線スキャナ装置が商品化されている。この種の装置では、Ｘ線ＣＴスキャナ装置によって撮影された断面画像は濃淡画像であるため、各断面画像から試料の断面形状（輪郭線）を構成する点群のデータを抽出し、これらの点群のデータから三次元形状画像を作成するようになっている。
【０００３】
そして、断面画像から試料の断面形状を構成する点群のデータを抽出する方法としては、一般に、断面画像内の試料の輪郭に相当する濃度レベル（ＣＴ値）を閾値として実験等によって予め設定しておき、断面画像内の濃度分布のうち、閾値の存在する位置（座標）を試料の断面形状の輪郭を構成する点として抽出することが行われている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−４５１４６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のＸ線スキャナ装置によって取得した断面画像から試料の断面形状を構成する点群のデータを抽出する方法は、例えばＸＹＺ座標をＸＹ平面が水平面と一致するように設定した場合、試料をＺ軸方向に所定のピッチでスライスし、各スライスポイントでＸＹ面に平行な面の断面画像を取得し、各断面画像毎に試料の断面形状を構成する点群のデータを抽出するようにしているので、試料の内外の面がＸＹ平面に対して平行もしくは水平に近い角度で設けられている部分では、Ｘ線スキャナ装置から照射されるＸ線がその面と平行に近い角度でスキャンされ、断面画像に写し込まれるその面の部分に生じる輪郭線（その面を横切るようにＸ線をスキャンすることにより生じる輪郭線）が不明瞭になるという問題がある。
【０００６】
すなわち、図２１に示すように、試料ＰのＸＺ面に平行な側面ｎ１，ｎ２などについては、Ｘ線スキャナ装置から照射されるＸ線がその側面に対して垂直にスキャンされるため、各断面位置の断面画像には、各側面ｎ１，ｎ２等に相当する輪郭線Ｒ１が明瞭に写し込まれるが（断面画像１参照）、試料ＰのＸＹ面に平行な側面ｍ１やＸＹ面に対して傾斜の緩い側面ｍ２については、Ｘ線スキャナ装置から照射されるＸ線がその側面に対して水平ないしは水平に近い角度でスキャンされるため、各断面位置の断面画像に写し込まれる各側面ｍ１，ｍ２に相当する輪郭線Ｒ２は不明瞭となる（断面画像２参照）。これは、Ｘ線が側面ｍ１，ｍ２に対して平行に近い角度でスキャンされるため、照射されたＸ線が完全に試料Ｐの内部を貫通せず、このためＸ線の検出値に含まれるノイズが相対的に大きくなり、側面ｍ１，ｍ２に相当する輪郭線Ｒ２の部分の像がぼやけたり、表れなくなったりすることがその要因である。
【０００７】
従って、平坦な端面を有する試料Ｐでは、その平面がＸ線のスキャン平面（ＸＹ平面）と可及的平行にならないように、Ｘ線スキャナ装置の回転テーブルに試料Ｐを載置して断面画像を取得する必要があるが、様々な方向の平坦な端面を複数個有する試料Ｐでは、回転テーブルへの試料Ｐの搭載方向を工夫したとしてもいずれかの平坦な端面がＸＹ面と平行に近くなる場合が生じ、このような試料Ｐの断面画像では輪郭線を構成する点群のデータを正確に算出することは困難となる。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、Ｘ線ＣＴスキャナ装置におけるＸ線のスキャン面に平行もしくは平行に近い面を有する試料に対して好適に断面画像から断面形状を構成する点群のデータを算出することのできる断面形状測定方法、断面形状測定装置およびコンピュータをこの断面形状測定装置として機能させるためのプログラムが記録されたコンピュータ読取可能な記録媒体を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、Ｘ線ＣＴスキャナ装置により複数枚の試料の断面画像を撮影し、その断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定方法であって、所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ複数枚の断面画像を取得する画像取得工程と、上記画像取得工程で取得された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出工程と、上記断面形状データ算出工程で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出工程と、上記断面形状データ算出工程で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去工程と、上記データ除去工程でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完工程とからなるものである。
【００１０】
請求項２記載の発明は、Ｘ線ＣＴスキャナ装置により撮影された複数枚の試料の断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定装置であって、所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ取得された複数枚の断面画像を記憶する記憶手段と、上記記憶手段に記憶された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出手段と、上記断面形状データ算出手段で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出手段と、上記断面形状データ算出手段で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去手段と、上記データ除去手段でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完手段とを備えたものである。
【００１１】
請求項３記載の発明は、コンピュータを、Ｘ線ＣＴスキャナ装置により撮影された複数枚の試料の断面画像から各断面の断面形状を示す点群のデータを算出することにより上記試料の断面形状を測定する断面形状測定装置として機能させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、上記コンピュータを、所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた試料を互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ取得された複数枚の断面画像を記憶する記憶手段と、上記記憶手段に記憶された各断面の断面画像から当該断面の上記試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータを算出する断面形状データ算出手段と、上記断面形状データ算出手段で算出された各断面の上記基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて上記基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とを作成し、両三次元画像のデータを用いて上記試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する変換式を算出する座標変換式算出手段と、上記断面形状データ算出手段で算出された上記第１の姿勢における上記試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、上記Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で上記試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータを除去するデータ除去手段と、上記データ除去手段でデータの除去された各断面形状に対して、上記座標変換式算出工程で算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する上記第２の姿勢における上記試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータを算出し、この点群のデータで除去されたデータを補完するデータ補完手段として機能させるためのプログラムをコンピュータ読み取り可能に記録したものである。
【００１２】
本発明によれば、試料は、所定の立体形状を有する基準片が取り付けられた状態で互いに異なる第１の姿勢と第２の姿勢でそれぞれＸ線ＣＴスキャナ装置により撮影することにより互いに異なる２つの方向についてそれぞれ複数枚の断面画像が取得される。例えば互いに直交する方向についてそれぞれ複数枚の断面画像が取得される。
【００１３】
各断面の断面画像から当該断面の試料及び上記基準片の断面形状を示す点群のデータが算出され、このうち、基準片の断面形状を示す点群のデータを用いて、基準片の第１の姿勢の三次元画像と第２の姿勢の三次元画像とが作成され、両三次元画像のデータを用いて試料の第１の姿勢の断面形状のデータを第２の姿勢の断面形状のデータに変換する座標変換式が算出される。
【００１４】
第１の姿勢における試料の各断面の断面形状を示す点群のデータのうち、Ｘ線ＣＴスキャナ装置のＸ線が所定の角度よりも小さい角度で試料の内外の面を横切るようにスキャンされることで当該面に現れる輪郭線に相当する点群のデータは信頼性が低いものとして除去され、この除去された輪郭線のデータは、算出された座標変換式を用いて当該断面形状の除去された輪郭線に対応する第２の姿勢における試料の断面形状の輪郭線を構成する点群のデータが算出され、この点群のデータで補完される。
【００１５】
第１の姿勢で撮影された断面画像に信頼性の低い輪郭線が含まれている場合、第２の姿勢で撮影された断面画像の、その信頼性の低い輪郭線に対応する輪郭線は撮影方向の相違により第１の姿勢のものよりも信頼性が高くなるため、第１の姿勢で撮影された断面画像から作成された断面形状に信頼性の低い輪郭線を構成する点群のデータが含まれている場合、そのデータを第１の姿勢と異なる第２の姿勢で撮影された断面画像から作成された断面形状の対応する輪郭線を構成する点群のデータで置き換えることにより、所望の撮影方向において信頼性の高い断面形状を得ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る断面形状測定装置の構成を示す図である。
【００１７】
同図に示す断面形状測定装置１は、パールナルコンピュータによって構成されている。パーソナルコンピュータは、演算処理および外部接続された周辺装置の動作制御を行う測定装置本体１０１、表示装置としてのＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）やＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）からなるディスプレイ１０２、入力装置としてのキーボード１０３およびマウス１０４で構成されている。ディスプレイ１０２、キーボード１０３およびマウス１０４は所定の接続ケーブルで測定装置本体１０１に接続されている。また、測定装置本体１０１内には主記憶装置としてハードディスク１０６が内蔵されるとともに、外部記憶装置としてのＣＤ−ＲＯＭ（ＣＤ−Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＭＯ（Ｍａｇｎｅｔ  Ｏｐｔｉｃａｌ  ｄｉｓｋ）などの記録媒体からプログラムやデータなどの情報を本体内に読み込むためのドライバ１０５が内蔵されている。
【００１８】
測定装置本体１０１のハードディスク１０６には、本発明に係る試料の断面形状測定処理、すなわち、Ｘ線ＣＴスキャナ装置によって得られた複数枚の試料（例えばマニホールドやシリンダヘッドの鋳造品など）の断面画像（以下、ＣＴ画像という。）から各断面の断面形状を示すデータ（輪郭を構成する点群のデータ）を算出するための処理のプログラムが予め格納されている。なお、このプログラムはＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体にコンピュータ読み取り可能に記録しておき、必要に応じて当該ＣＤ−ＲＯＭからハードディスク１０６に読み込んで汎用コンピュータを断面形状測定装置として機能させるようにするようにしてもよい。また、この断面形状測定処理のプログラムを実行するために必要なＣＴ画像のデータは、ＭＯなどの記録媒体に記録され、ドライバ１０５により当該記録媒体から読み取ってハードディスク１０６に保存することで測定装置本体１０１に入力される。なお、後述するＸ線ＣＴスキャナ装置２とパーソナルコンピュータ１とを通信線で接続し、Ｘ線ＣＴスキャナ装置２で取得されたＣＴ画像のデータをオンラインでパーソナルコンピュータ１に伝送し、測定装置本体１０１内のハードディスク１０６に保存するようにしてもよい。
【００１９】
ここで、ＣＴ画像を取得するためのＸ線ＣＴスキャナ装置の一例について、図２を用いて簡単に説明する。
【００２０】
Ｘ線ＣＴスキャナ装置２は、主としてスキャナ本体２１、高圧発生装置２２、Ｘ線制御装置２３およびＰＣワークステーション２４で構成されている。スキャナ本体２１は、試料ＰにＸ線を照射して断面画像のデータを取得する機能を果たす部分で、試料Ｐを載置する回転テーブル２１１、この回転テーブル２１１の回転動作を制御する回転制御装置２１２、回転テーブル２１１に載置された試料ＰにＸ線を照射するべく当該Ｘ線を発生するＸ線管２１３、Ｘ線管２１３から発生するＸ線をビームに絞るためのコリメータ２１４、回転テーブル２１１を挟んでＸ線管２１３と対向配置され、Ｘ線管２１３から発せられたＸ線を検出するＸ線検出器２１５、Ｘ線管２１３を上下動させるための昇降機２１６、昇降機２１６の昇降動作を制御する昇降制御装置２１７、Ｘ線検出器２１５で検出される検出値を試料ＰのＣＴ画像のデータとして収集するデータ収集装置２１８を含んでいる。
【００２１】
Ｘ線管２１３には、高圧発生装置２２から所定の高圧電源が供給され、これによりＸ線が放射されるようになっている。Ｘ線管２１３からのＸ線の放射量（出力）は高圧発生装置２２の出力を制御することにより制御される。また、Ｘ線管２１３からのＸ線放射のタイミング、水平面内（図２ではＸＹ平面）におけるキスャン範囲、スキャン速度などはＸ線制御装置２３により制御される。高圧発生装置２２およびＸ線制御装置２３は、ＰＣワークステーション２４からの制御信号に基づきＸ線管２１３の出力、スキャン範囲、スキャン速度、スキャンタイミング等を制御する。
【００２２】
Ｘ線管２１３から放射されるＸ線はコリメータ２１４により細く絞られてビームとなる。そして、Ｘ線管２１３から放射されるＸ線の方向を水平面内で回転テーブル２１１に搭載された試料Ｐをカバーし得る所定の角度で変化させることによりファンビーム（細いビームを所定の角度範囲でスキャンさせたビーム）が生成され、このファンビームが回転テーブル２１１に搭載された試料Ｐに照射される。
【００２３】
一方、回転テーブル２１１を挟んでＸ線管２１３に対向配置されたＸ線検出器２１５は、水平面内で所定ピッチで複数の検出器が扇状（Ｘ線管２１３と各検出器との距離が等距離となる線上）に配列されたもので、各検出器でＸ線管２１３からのファンビームを検出するようになっている。
【００２４】
Ｘ線管２１３およびＸ線検出器２１５は、昇降機２１６により上下方向（図２において、紙面に垂直な方向）に移動可能になっている。昇降機２１６の昇降動作は昇降制御装置２１７により制御される。昇降制御装置２１７は、断面画像取得時には昇降機２１６を測定初期位置から所定のピッチ（たとえば１ｍｍピッチ）で上昇させる。なお、昇降機２１６にはＸ線管２１３およびＸ線検出器２１５の上下方向の位置を検出するための位置検出装置（例えばエンコーダ。図示せず）が設けられ、この位置検出装置から出力される検出信号は昇降制御装置２１７に入力されるようになっている。昇降制御装置２１７はこの検出信号に基づき昇降機２１６の相対的な昇降位置を制御する。本実施形態では、昇降機２１６によりＸ線管２１３およびＸ線検出器２１５が回転テーブル２１１に対して上下動するようになっているが、Ｘ線管２１３およびＸ線検出器２１５を固定し、回転テーブル２１１を昇降させる構成であってもよい。
【００２５】
回転テーブル２１１は、図略の駆動モータにより回転可能になっている。回転テーブル２１１の回転動作は回転制御装置２１２により制御される。回転制御装置２１２は、断面画像取得時にはＰＣワークステーション２４からの制御データに基づき回転テーブル２１１を回転初期位置から一定の角度（例えば３０度）単位で回転させ、例えば時計回りに半回転もしくは一回転させる。従って、試料ＰのＸ線吸収量は、回転テーブル２１１が各回転位置に停止される毎に測定される。
【００２６】
ある高さ位置の試料ＰのＣＴ画像は、昇降機２１６によりＸ線管２１３およびＸ線検出器２１５をその高さ位置に設定した後、Ｘ線管２１３からファンビームを試料に照射させながら、回転テーブル２１１を一回転または半回転させる（すなわち、試料Ｐを水平面内に一回転または半回転させる）ことにより取得される。
【００２７】
従って、試料Ｐを高さ方向に所望のピッチで複数回スライスし、各スライス面でＣＴ画像を取得することにより試料の一部又は全ての断面形状の画像が取得される。各高さ位置で試料Ｐにファンビームを照射し、当該試料Ｐを透過したＸ線はＸ線検出器２１５により検出され、その検出データはデータ収集装置２１８に入力される。データ収集装置２１８では、各高さ位置で取得されたＸ線の検出量から試料ＰでのＸ線吸収量（減弱計数＝ＣＴ値）を求め、ＣＴ画像のデータを作成する。このＣＴ画像は、（ｎ×ｎ）個の画素を有するエリアセンサで断面を撮影した画像に相当し、ＣＴ画像のデータは各画素の出力レベルがＣＴ値で表された濃淡データである。このＣＴ画像のデータは、試料ＰのＣＴ画像取得動作の終了後、ＰＣワークステーション２４に転送される。なお、本実施形態では、ＣＴ画像をｎ×ｎの正方形画像としてしているが、ＣＴ画像はｎ×ｍの長方形画像であってもよい。
【００２８】
ＰＣワークステーション２４は、試料ＰのＣＴ画像取得動作を統括制御するための装置である。ＰＣワークステーション２４は、パーソナルコンピュータ２４１、モニタ２４２およびキーボード／マウス２４３で構成されている。パーソナルコンピュータ２４１にはＸ線ＣＴスキャナ装置２により試料Ｐの断面画像を取得するための専用の処理プログラムが内蔵され、起動すると、その処理プログラムに従って試料の断面画像の取得動作を行う。なお、ユーザは、Ｘ線ＣＴスキャナ装置２の動作開始前にキーボード／マウス２４３によって所要の条件（例えばスキャン範囲、高さ方向のスライスピッチ、スキャン速度等の条件）を設定する。
【００２９】
このＸ線ＣＴスキャナ装置２では、図３に示すように、試料Ｐを高さ方向に所定のピッチでスライスした複数枚のＣＴ画像が取得され、これらのＣＴ画像のデータは、ＰＣワークステーション２４内のハードディスクなどの記憶装置に保存される。そして、ＰＣワークステーション２４がオンラインで断面形状測定装置１に接続されている場合は、取得されたＣＴ画像のデータは通信により断面形状測定装置１に転送され、断面形状測定装置１に接続されていない場合は、取得されたＣＴ画像のデータは、図略のドライバでＭＯなどの記録媒体に一旦記録され、このＭＯを介して断面形状測定装置１に入力される。
【００３０】
また、本実施形態では、Ｘ線がスキャンされる面（図３ではｘｙ面と平行な面）に対して平行な面ｍ１もしくは平行に近い緩い角度θで傾斜した面ｍ２上の輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータを正確に算出し得るように、試料Ｐの姿勢を変えて少なくとも２つの方向の断面画像を取得するようにしている。なお、ＸＹＺ座標系はＸ線ＣＴスキャナ装置２の回転テーブル２１１に設定した座標系であり、ｘｙｚ座標系は試料Ｐ自体に設定した座標系である。
【００３１】
例えば図４に示すように、ｚ方向に試料Ｐをスライスしてｘｙ面に平行な複数枚の断面画像が取得されるとともに、ｘ方向に試料Ｐをスライスしてｙｚ面に平行な複数枚の断面画像が取得される。図４の例では、ｘｙ面に平行な断面画像１においては斜面ｍ２における輪郭線Ｒ２が不明瞭になる虞があるが、ｙｚ面に平行な断面画像２においては斜面ｍ２における輪郭線Ｒ２が明瞭に表れるから、本実施形態では、ｘｙ面に平行な断面画像１から算出される輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータをｙｚ面に平行な断面画像２から算出される輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータに置き換えることにより、ｘｙ面に平行な断面画像１に含まれる信頼性の低い輪郭線を構成する点群のデータを低減するようにしている。
【００３２】
なお、ｘ方向の断面画像に代えてｙ方向に試料Ｐをスライスして複数枚の断面画像を取得するようにしてもよく、ｘ，ｚ方向の断面画像に加えてｙ方向の断面画像を取得するようにしてもよい。
【００３３】
図５は、ｚ方向の断面画像を取得するための試料Ｐの構成と回転テーブル上の試料Ｐの姿勢を示す図である。また、図６は、ｘ方向の断面画像を取得するための試料Ｐの構成と回転テーブル上の試料Ｐの姿勢を示す図である。
【００３４】
試料Ｐの断面画像を取得するときには、立体形状が特定された補助部材３が試料Ｐの適所に取り付けられる。図５，図６の例では、試料Ｐは四角錐台の上面に当該上面と同一形状を有する四角柱を延設した６面体形状をなし、補助部材３は直方体３１の互いに直交する２つの側面の中央にそれぞれ球３２，３３が取り付けられた形状をなしている。そして、補助部材３は、試料Ｐの傾斜面ｍ２に連続する水平面ｍ１に対して所定の距離だけ離した位置に当該補助部材３が位置するよう固定部材３４で試料Ｐに固定されている。
【００３５】
この補助部材３は、ｚ方向の断面画像を取得したときの試料Ｐの姿勢（以下、第１姿勢という。）とｘ方向の断面画像を取得したときの試料Ｐの姿勢（以下、第２姿勢という。）との関係を当該補助部材３の断面画像から求めるためのものである。より具体的には、補助部材３は当該補助部材３の断面画像から、図７に示すように、ＸＹＺ座標系において第１姿勢で配置された試料Ｐの輪郭を示す任意の点ｐの座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を第２姿勢で配置された試料Ｐの輪郭を示す点ｐに対応する点ｐ’の座標（Ｘ’，Ｙ’，Ｚ’）に変換する座標変換式を求めるためのものである。
【００３６】
なお、第１姿勢の試料Ｐにおける点ｐの座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を第２姿勢の試料Ｐにおける点ｐに対応する点ｐ’の座標（Ｘ’，Ｙ’，Ｚ’）に変換する変換式は下記変換式（１）〜（３）で表されるから、補助部材３の断面画像を用いて算出されるものは、下記変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３である。
【００３７】
【数１】
2004317457.tif 000003
【００３８】
ここで、補助部材３の第１姿勢および第２姿勢における断面画像から上記変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３を算出する方法について説明する。
【００３９】
まず、補助部材３については、図８に示すように、一方の球体３２の中心ｏ１と直方体３１の８個の頂点ａ〜ｈとの間の距離Ｄａ１，Ｄｂ１，…Ｄｈ１と他方の球体３３の中心ｏ２と直方体３１の８個の頂点ａ〜ｈとの間の距離Ｄａ２，Ｄｂ２，…Ｄｈ２とを三次元測定器により実測し、その測定データをマスタデータとしてハードディスク１０６の記憶しておく。
【００４０】
第１姿勢で測定された複数枚の断面画像から補助部材３の部分の断面画像を抽出し、各断面における補助部材の断面形状を示す点群のデータを算出する。同様に第２姿勢で測定された複数枚の断面画像から補助部材３の部分の断面画像を抽出し、各断面における補助部材の断面形状を示す点群のデータを算出する（補助部材の断面形状の抽出）。
【００４１】
第１姿勢における補助部材３の断面形状は図９に示すようになるから、断面毎に、断面形状を示す点群のデータから直方体３１の輪郭に相当する点群のデータを抽出し、更にそれらのデータを４つの辺Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４に属するデータに分類する。そして、各断面の同一の辺に属する点群のデータを集めることによりその辺を含む面のデータを算出する。例えば辺Ｅ１は、図８において直方体３１のｂｃｆｇで囲まれる面に含まれるから、各断面の辺Ｅ１に属する点群のデータを集めることにより、第１姿勢における補助部材３の三次元形状の側面ｂｃｆｇを構成する点群のデータが得られる。同様の方法で、第１姿勢における補助部材３の三次元形状の他の側面ｅｆｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｃｄを構成する点群のデータが得られる（直方体の４つの側面の作成）。
【００４２】
また、第２姿勢における補助部材３の断面形状は図１０に示すようになるから、断面毎に、断面形状を示す点群のデータから直方体３１の輪郭に相当する点群のデータを抽出し、更にそれらのデータを４つの辺Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４に属するデータに分類する。そして、各断面の同一の辺に属する点群のデータを集めることによりその辺を含む面のデータが算出される。例えば辺Ｆ１は、図８において直方体３１のｂｃｆｇで囲まれる面に含まれから、各断面の辺Ｆ１に属する点群のデータを集めることにより、第２姿勢における補助部材３の三次元形状の側面ｂｃｆｇを構成する点群のデータが得られる。同様の方法で、第２姿勢における補助部材３の三次元形状の他の側面ｃｄｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｅｆを構成する点群のデータが得られる（直方体の４つの側面の作成）。
【００４３】
次に、第１姿勢における補助部材３の三次元形状の４つの側面ｂｃｆｇ，ｅｆｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｃｄを構成する点群のデータを用いて、最小二乗法により各側面の平面化を行った後、側面ｂｃｆｇ，ｅｆｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｃｄが交差する４つの稜線を算出する。すなわち、図８において、稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈを算出する（直方体の４つの稜線の作成）。
【００４４】
同様の方法で、第２姿勢における補助部材３の三次元形状の４つの側面ｂｃｆｇ，ｃｄｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｅｆを構成する点群のデータを用いて、最小二乗法により各側面の平面化を行った後、側面ｂｃｆｇ，ｃｄｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｅｆが交差する４つの稜線を算出する。すなわち、図８において、稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈを算出する（直方体の４つの稜線の作成）。
【００４５】
次に、第１姿勢における補助部材３の各断面の断面形状を示す点群のデータから球体３３の輪郭に相当する点群のデータを抽出し、それらのデータを用いて最小二乗法により球体３３の中心点ｏ２のデータを算出する。同様に、第２姿勢における補助部材３の各断面の断面形状を示す点群のデータから球体３２の輪郭に相当する点群のデータを抽出し、それらのデータを用いて最小二乗法により球体３２の中心点ｏ１のデータを算出する（球体の中心点のデータ算出）。
【００４６】
次に、第１姿勢において算出した球体３３の中心ｏ２のデータと４つの稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈと、マスタデータとして記憶された球体３３の中心点ｏ２から直方体３１の各頂点ａ〜ｈまでの距離Ｄａ２，Ｄｂ２，…Ｄｈ２とから、各稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈ上に頂点ａ〜ｈに相当する点の位置データを算出する。同様に、第２姿勢において算出した球体３２の中心ｏ１のデータと４つの稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈと、マスタデータとして記憶された球体３２の中心点ｏ１から直方体３１の各頂点ａ〜ｈまでの距離Ｄａ１，Ｄｂ１，…Ｄｈ１とから、各稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈ上に頂点ａ〜ｈに相当する点の位置データを算出する（直方体の頂点位置の算出処理）。
【００４７】
以上より、第１姿勢の補助部材３の直方体３１の三次元画像において、８つの頂点ａ〜ｈの位置データが特定されるとともに、第２姿勢の補助部材３の直方体３１の三次元画像において、８つの頂点ａ〜ｈの位置データが特定されるから、直方体３１の８つの辺上に上記変換式（１）〜（３）の係数を算出するための５つの点を設定する（係数算出用の特定点の設定処理）。例えば図１１（ａ）に示すように、第１姿勢における直方体３１の三次元画像の辺ａｂ，ｂｃ，ａｄ，ｂｆ，ａｅの各中間位置に点ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４，ｐ５を設定し、同図（ｂ）に示すように、第２姿勢における直方体３１の三次元画像の辺ａｂ，ｂｃ，ａｄ，ｂｆ，ａｅの各中間位置に点ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４，ｐ５に対応する点ｐ１’，ｐ２’，ｐ３’，ｐ４’，ｐ５’を設定する。なお、５つの点ｐ１〜ｐ５を各辺の中間位置に設定しているが、これらの点は特定できれば、各辺の中間位置でなくてもよい。例えば各辺のある頂点から所定の距離の位置に設定してもよい。
【００４８】
第１姿勢の補助部材３の三次元画像における点ｐ１〜ｐ５の座標をｐ１（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１），Ｐ２（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２），ｐ３（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３），ｐ４（Ｘ４，Ｙ４，Ｚ４），Ｐ５（Ｘ５，Ｙ５，Ｚ５）、第２姿勢の補助部材３の三次元画像における点ｐ１’〜ｐ５’の座標をｐ１（Ｘ１’，Ｙ１’，Ｚ１’），ｐ２（Ｘ２’，Ｙ２’，Ｚ２’），ｐ３（Ｘ３’，Ｙ３’，Ｚ３’），ｐ４（Ｘ４’，Ｙ４’，Ｚ４’），Ｐ５（Ｘ５’，Ｙ５’，Ｚ５’）とすると、対応する点同士の座標を上記（１）〜（３）に代入することにより、下記数２に示すように１５個の関係式が得られるから、これらの関係式を用いて最小二乗法により最小の誤差となるように係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３が算出される（係数算出処理）。
【００４９】
【数２】
2004317457.tif 000004
【００５０】
図５，図６に戻り、回転テーブル２１１には、上面２１１ａの適所に試料Ｐの回転テーブル２１１における載置位置を決定するためのＬ字状の突起部材２１１ｂが設けられている。また、回転テーブル２１１の上面２１１ａの周辺適所に三角柱からなる基準片Ｑが突設されている。基準片Ｑは、試料Ｐの断面画像内に不等辺三角形の画像を写し込むための部材である。試料Ｐの断面画像に基準片Ｑの断面画像を写し込むのは、Ｘ線スキャナ装置２により取得された断面画像から試料Ｐの断面形状（輪郭形状）を算出し、この断面形状とＣＡＤなどの設計支援装置により作成された試料Ｐの断面形状とを比較して試料Ｐの評価をする際に、断面画像から算出された断面形状の図形と設計された断面形状の図形との位置合わせを行うための補正データを算出できるようにするためである。なお、本願発明は、断面画像から断面形状（輪郭形状）を算出する技術に関するものであるため、断面形状の図形と設計された断面形状の図形とを用いた試料Ｐの評価処理に関する説明の詳細は省略する。
【００５１】
図１２は、断面形状測定装置１の測定装置本体１０１が本発明に係る断面形状疎測定処理を行う場合の処理動作を機能ブロックで示したものである。
【００５２】
本実施形態に係る断面形状測定装置１は、上述したように、Ｘ線ＣＴスキャナ装置２によって得られた２つの方向の断面画像のうち、一方方向の断面画像に信頼性の低い輪郭線が含まれる場合、断面形状のその輪郭線を構成する点群のデータを、他方方向の断面画像から算出された断面形状の対応する輪郭線を構成する点群のデータに置き換えることにより、断面画像から信頼性の高い断面形状を示す転群のデータを算出する機能を有する。機能ブロックは、断面画像記憶部４、断面形状算出部５、不明瞭輪郭データ除去部６、撮影姿勢関係算出部７およびデータ補完部８からなる。
【００５３】
断面画像記憶部４は、Ｘ線ＣＴスキャナ装置２により撮影された試料Ｐの断面画像（ＣＴ値画像）を記憶するもので、測定装置本体１０１内のハードディスク１０６がその機能を果たしている。断面画像記憶部４には、例えば図５，図６に示す２つの姿勢で撮影された試料Ｐの複数枚の断面画像が記憶されている。
【００５４】
断面形状算出部５は、各断面画像から試料Ｐの当該断面の形状（輪郭線を構成する点群のデータ）を抽出するものである。すなわち、図１３に示すように、ＣＴ値によって濃淡で表された断面画像Ｇｄから断面形状（図１３では矩形）の輪郭線Ｇｒを構成する点群のデータ（図１３では実線で示している。）を算出するものである。
【００５５】
断面形状算出部５は、予め設定された所定の閾値Ｔｈ（ＣＴ値）（例えば、Ｔｈ＝０）を用いて各断面画像について試料Ｐの断面形状の輪郭線を構成する点群のデータ（各点のｘｙ座標値）を算出する。断面形状算出部５は、第１姿勢で取得した試料Ｐの複数枚の断面画像と第２姿勢で取得した試料Ｐの複数枚の断面画像についてそれぞれ断面形状を構成する点群のデータを算出する。
【００５６】
ＣＴ画像が、（ｎ×ｎ）個の画素からなるエリアセンサで試料の断面形状を撮影した画像に相当するとすると、断面形状算出部５は、ＣＴ画像を構成する画素Ｇ（ｉ，ｊ）（ｉ行ｊ列目の画素、ｉ＝１，２，…ｎ、ｊ＝１，２，…ｎ）をラスタ走査方向にスキャンしながら、各画素Ｇ（ｉ，ｊ）について、当該画素Ｇ（ｉ，ｊ）のＣＴ値ＣＴ（ｉ，ｊ）を予め設定された所定の閾値Ｔｈ（ＣＴ値）（例えば「０」）と比較する。そして、ＣＴ（ｉ，ｊ）＝Ｔｈであれば、そのＣＴ値を有する画素の画素位置を点Ｅの位置とする。例えば図１４において、Ｔｈ＝ＣＴ（ｉ，ｊ）であれば、画素Ｇ（ｉ，ｊ）の位置Ｘ（ｉ，ｊ）が点Ｅの位置Ｘｅとなる。
【００５７】
一方、ＣＴ（ｉ，ｊ）＞Ｔｈであれば、当該画素Ｇ（ｉ，ｊ）は試料の断面部分を撮影した画素であるとして、隣接する４個のＧ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ＋１，ｊ），Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ，ｊ＋１）のＣＴ値Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ＋１，ｊ），Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ，ｊ＋１）を所定の閾値Ｔｈ（ＣＴ値）と比較し、所定の閾値Ｔｈより小さいＣＴ値を有する画素（すなわち、試料の空間部分を撮影した画像）があるかどうかを判別する。所定の閾値Ｔｈより小さいＣＴ値を有する画素がある場合は、当該画素Ｇ（ｉ，ｊ）とその画素との間に所定の閾値Ｔｈと同一のＣＴ値を有する位置が存在するから、補間演算によりその位置を算出し、その位置を試料の断面形状の輪郭を構成す点Ｅの位置Ｘｅとする。なお、補間方法としては、例えば画素間のＣＴ値の変化を直線と見なして比例計算によりＸｅの位置を算出する方法を適用することができる。
【００５８】
例えば図１４に示すように、画素Ｇ（ｉ，ｊ−１）のＣＴ値ＣＴ（ｉ，ｊ−１）がＣＴ（ｉ，ｊ−１）＜Ｔｈであれば、断面形状算出部５は、Ｔｈ−ＣＴ（ｉ，ｊ−１）：ＣＴ（ｉ，ｊ）−ＣＴ（ｉ，ｊ−１）＝Ｘｅ−Ｘ（ｉ，ｊ−１）：Ｘ（ｉ，ｊ）−Ｘ（ｉ，ｊ−１）であるから、Ｘｅ＝［［Ｔｈ−ＣＴ（ｉ，ｊ−１）］・｛Ｘ（ｉ，ｊ）−Ｘ（ｉ，ｊ−１）｝］／｛ＣＴ（ｉ，ｊ）−ＣＴ（ｉ，ｊ−１）｝＋Ｘ（ｉ，ｊ−１）により点Ｅの位置を算出する。
【００５９】
また、ＣＴ（ｉ，ｊ）＜Ｔｈであれば、当該画素Ｇ（ｉ，ｊ）は試料の空間部分を撮影した画素であるとして、隣接する４個のＧ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ＋１，ｊ），Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ，ｊ＋１）のＣＴ値Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ＋１，ｊ），Ｇ（ｉ−１，ｊ），Ｇ（ｉ，ｊ＋１）を所定の閾値Ｔｈ（ＣＴ値）と比較し、所定の閾値Ｔｈより大きいＣＴ値を有する画素（すなわち、試料の断面部分を撮影した画像）があるかどうかを判別する。所定の閾値Ｔｈより大きいＣＴ値を有する画素がある場合は、当該画素Ｇ（ｉ，ｊ）とその画素との間に所定の閾値Ｔｈと同一のＣＴ値を有する位置が存在するから、上述した補間演算によりその位置を算出し、その位置を試料の断面形状の輪郭を構成す点Ｅの位置Ｘｅとする。
【００６０】
例えば画素Ｇ（ｉ＋１，ｊ）のＣＴ値ＣＴ（ｉ＋１，ｊ）がＣＴ（ｉ＋１，ｊ）＞Ｔｈであれば、断面形状算出部３は、Ｔｈ−ＣＴ（ｉ，ｊ）：ＣＴ（ｉ＋１，ｊ）−ＣＴ（ｉ，ｊ）＝Ｘｅ−Ｘ（ｉ，ｊ）：Ｘ（ｉ＋１，ｊ）−Ｘ（ｉ，ｊ）であるから、Ｘｅ＝［［Ｔｈ−ＣＴ（ｉ，ｊ）］・｛Ｘ（ｉ＋１，ｊ）−Ｘ（ｉ，ｊ）｝］／｛ＣＴ（ｉ＋１，ｊ）−ＣＴ（ｉ，ｊ）｝＋Ｘ（ｉ，ｊ）により点Ｅの位置を算出する。
【００６１】
不明瞭輪郭データ除去部６は、各断面画像毎に断面形状算出部５によって算出された輪郭線を構成する点群のデータのうち、信頼性の低い点群のデータを除去するものである。ここに、信頼性の低い点群のデータとは、例えば図４に示したｘｙ面の断面画像における輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータのように、Ｘ線が当該Ｘ線のスキャンする面に平行もしくは緩い角度で傾斜した面をスキャンすることによって得られる輪郭線を構成する点群のデータである。この輪郭線は、例えば図４においてＸ線のスキャンする面（ｘｙ面に平行な面）がｚ方向に僅かに変化してもｘ軸方向の位置は大きく変化する一方、Ｘ線のスキャン面は、Ｘ線のビーム幅やスキャン時のＸ線ビームのｚ方向における微小振動などによって容易に微小変化するため、断面画像においては、信頼性の低いものとなる。特に、Ｘ線のスキャン面と試料Ｐの端面とが平行となる部分（図４の水平面ｍ１参照）では、Ｘ線が試料Ｐと空気の部分との境界をスキャンすることになるため、断面画像内に十分なＣＴ値の濃度変化が表れず、輪郭線を構成する点群のデータが算出できない場合も生じる。
【００６２】
不明瞭輪郭データ除去部６は、例えば隣り合う断面画像から算出される２つの断面形状を比較し、両断面形状の一部の輪郭線もしくは全ての輪郭線が同一の位置に位置していない場合、さらにその部分の位置のずれが予め設定された所定のずれ範囲内にあるか否かを判別し、その位置ずれが所定のずれ範囲外であれば、その部分の点群のデータは信頼性が低いデータとして除去する。
【００６３】
例えば図４の例では、図１５（ａ）（ｂ）に示すように、ｚ方向の断面画像から得られる複数枚の断面形状のうち、傾斜面ｍ２を横切る各断面の断面形状Ｇｒ１，１，Ｇｒ１，２，…Ｇｒ１，ｎ（添え字「１，ｎ」の内、１は第１姿勢で撮影されたことを示し、ｎはｎ番目の断面であることを示す）はｘ方向に長さの異なる矩形となり、ｘ方向の断面画像から得られる複数枚の断面形状のうち、傾斜面ｍ２を横切る各断面の断面形状Ｇｒ２，１，Ｇｒ２，２，…Ｇｒ２，ｍ（添え字「２，ｍ」のうち、２は第２姿勢で撮影されたことを示し、ｍはｍ番目の断面であることを示す）は、ｚ方向に長さの異なる矩形となる。これらの矩形を構成する４つの辺のうち、傾斜面ｍ２を横切ることによって得られる辺に相当する輪郭線Ｒ２の部分のみが互いに位置が異なり、傾斜面ｍ２に直交する面を横切ることによって得られる辺に相当する輪郭線Ｒ１の部分の位置は同一となる。
【００６４】
従って、不明瞭輪郭データ除去部６は、ｚ方向及びｘ方向の各断面形状（矩形形状）において、隣り合う断面形状間で輪郭線Ｒ２を構成する点群の位置ずれが所定のずれ範囲内になければ、その点群のデータを除去する。なお、図４の例では、ｘｙ面に対する例斜面ｍ２の傾斜角θが小さいので、ｚ方向の断面形状においては、輪郭線Ｒ２を構成する点群の位置ずれが所定のずれ範囲外となり、その点群のデータは除去される。一方、ｚｙ面に対する傾斜面ｍ２の傾斜角φは大きいので、ｘ方向の断面形状においては、輪郭線Ｒ２を構成する点群の位置ずれは所定のずれ範囲内となり、その点群のデータは除去されない。また、補助部材３の断面形状については、点群のデータは除去処理は行われない。
【００６５】
撮影姿勢関係算出部７は、補助部材３の断面画像を用いて試料Ｐの第１姿勢と第２姿勢の位置関係のデータ（座標変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３）を算出するものである。撮影姿勢関係部７は、上述した補助部材３の断面形状の抽出処理、補助部材３の直方体３１の４つの側面の作成処理、同直方体３１の４つの稜線の作成処理、補助部材３の球体３２，３３の中心点の算出処理、補助部材３の直方体３１の頂点位置の算出処理、係数算出用の特定点の設定処理および係数算出処理を行うことにより、上記座標変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３を算出する。
【００６６】
データ補完部８は、不明瞭輪郭データ除去部６によって不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータが除去された各断面形状に対して、その不明瞭な輪郭線に対応する明瞭な輪郭線を構成する点群のデータを有する断面形状から当該輪郭線を構成する点群のデータを補完することにより各断面形状を補正するものである。
【００６７】
より具体的には、データ補完部８は、不明瞭輪郭データ除去部６によって除去された第１姿勢における断面形状の点群のデータを座標変換式（１）〜（３）により第２姿勢における断面形状のデータに変換し、その変換データから第２姿勢の試料Ｐの断面形状の点群のデータから対応する点群のデータを抽出し、その点群のデータを除去されたデータに置き換える。例えば図１５の例では、不明瞭輪郭データ除去部６により除去されたｚ方向の断面形状Ｇｒ１，ｎ（ｎ＝１，２，…Ｎ）の輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータを座標変換式（１）〜（３）により第２姿勢における断面形状のデータに変換し、その変換データから断面形状Ｇｒ２，ｍの輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータのうち対応する点群のデータを抽出し、除去されたｚ方向の断面形状Ｇｒ１，ｎの輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータをその点群のデータで補完する。これにより、信頼性の低い輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータを含むｚ方向の断面形状Ｇｒ１，ｎは、信頼性の高い輪郭線を構成する点群のデータで構成されたものとなる。
【００６８】
次に、画像処理装置１の試料の断面形状を構成する点群のデータを算出する処理手順について、図１６〜図２０のフローチャートを用いて説明する。Ｘ線ＣＴスキャナ装置２によって第１姿勢と第２姿勢の２つの姿勢で取得されたＣＴ画像のデータは画像処理装置１内のハードディスク１０６内に記憶されているとする。
【００６９】
まず、第１姿勢で取得された各断面のＣＴ画像から図１７に示すフローチャートに従って断面形状Ｇｒ１，ｎが作成される（Ｓ１）。まず、第１姿勢で取得されたＣＴ画像の枚数をカウントするカウンタのカウント値ｉが「１」にセットされるとともに、ＣＴ画像の総枚数ＮがレジスタＭにセットされ（Ｓ１１）、ｉ段目のＣＴ画像のデータがハードディスク１０６の記憶領域からワークエリアに読み出される（Ｓ１２）。続いて、断面形状算出部５によりＣＴ画像から試料Ｐの断面形状を構成する点群のデータが抽出され（Ｓ１３、断面形状Ｇｒ１，ｎの作成）、その断面形状Ｇｒ１，ｎのデータがハードディスク１０６の所定の記憶領域に保存される（Ｓ１４）。続いて、カウント値ｉが「１」だけインクリメントされた後、そのカウント値ｉがＣＴ画像の総枚数Ｍ（＝Ｎ）を越えたか否かが判別される（Ｓ１５，Ｓ１６）。カウント値ｉがＭ以下であれば（Ｓ１６：ＮＯ）、次のＣＴ画像について、上述と同様の処理をするべくステップＳ１２に戻る。
【００７０】
そして、全てのＣＴ画像について断面形状Ｇｒ１，ｎの作成処理が終了すると（Ｓ１６：ＹＥＳ）、続いて、図１８に示すフローチャートに従って各断面形状Ｇｒ１，ｎに含まれる不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータの除去処理が行われる（Ｓ２）。
【００７１】
すなわち、まず、第１姿勢の断面形状Ｇｒ１，ｎの枚数をカウントするカウンタのカウント値ｉが「１」にセットされるとともに、断面形状Ｇｒ１，ｎの総枚数ＮがレジスタＭにセットされ（Ｓ２１）、ｉ段目の断面形状Ｇｒ１，ｉと（ｉ＋１）段目の断面形状Ｇｒ１，ｉ＋１のデータがハードディスク１０６の記憶領域からワークエリアに読み出される（Ｓ２２）。続いて、両断面形状Ｇｒ１，ｉ，Ｇｒ１，ｉ＋１を比較し、対応関係にある輪郭線の位置ずれが算出される（Ｓ２３）。続いて、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内であるか否かが判別され（Ｓ２４）、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内でなければ（Ｓ２４：ＮＯ）、断面形状Ｇｒ１，ｉにおおいて位置ずれが所定のずれ範囲外にある部分の輪郭線を構成する点群のデータが除去され（Ｓ２５）、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内にあれば（Ｓ２４：ＹＥＳ）、ステップＳ２５の処理はスキップされる。
【００７２】
続いて、カウント値ｉが「１」だけインクリメントされた後、そのカウント値ｉが断面形状Ｇｒ１，ｎの総枚数Ｍ（＝Ｎ）を越えたか否かが判別される（Ｓ２６，Ｓ２７）。カウント値ｉがＭ以下であれば（Ｓ２７：ＮＯ）、次の断面形状Ｇｒ１，ｎについて、上述と同様の処理をするべくステップＳ２２に戻る。そして、全ての断面形状Ｇｒ１，ｎについて不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータの除去処理が終了すると（Ｓ２７：ＹＥＳ）、続いて、第２姿勢で取得された各断面のＣＴ画像から図１７に示すフローチャートに従って断面形状Ｇｒ２，ｍの作成処理が行われる（Ｓ３）。
【００７３】
まず、第２姿勢で取得されたＣＴ画像の枚数をカウントするカウンタのカウント値ｉが「１」にセットされるとともに、ＣＴ画像の総枚数Ｎ’がレジスタＭにセットされ（Ｓ１１）、ｉ段目のＣＴ画像のデータがハードディスク１０６の記憶領域からワークエリアに読み出される（Ｓ１２）。続いて、断面形状算出部５によりＣＴ画像から試料Ｐの輪郭線を構成する点群のデータが抽出され（Ｓ１３、断面形状Ｇｒ２，ｍの作成）、その断面形状Ｇｒ２，ｍのデータがハードディスク１０６の所定の記憶領域に保存される（Ｓ１４）。続いて、カウント値ｉが「１」だけインクリメントされた後、そのカウント値ｉがＣＴ画像の総枚数Ｍ（＝Ｎ’）を越えたか否かが判別される（Ｓ１５，Ｓ１６）。カウント値ｉがＭ以下であれば（Ｓ１６：ＮＯ）、次のＣＴ画像について、上述と同様の処理をするべくステップＳ１２に戻る。
【００７４】
そして、全てのＣＴ画像について断面形状Ｇｒ２，ｍの作成処理が終了すると（Ｓ１６：ＹＥＳ）、続いて、図１８に示すフローチャートに従って各断面形状Ｇｒ２，ｍに含まれる不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータの除去処理が行われる（Ｓ４）。
【００７５】
すなわち、まず、第２姿勢で取得された断面形状Ｇｒ２，ｍの枚数をカウントするカウンタのカウント値ｉが「１」にセットされるとともに、断面形状Ｇｒ２，ｍの総枚数Ｎ’がレジスタＭにセットされ（Ｓ２１）、ｉ段目の断面形状Ｇｒ２，ｉと（ｉ＋１）段目の断面形状Ｇｒ２，ｉ＋１のデータがハードディスク１０６の記憶領域からワークエリアに読み出される（Ｓ２２）。続いて、両断面形状Ｇｒ２，ｉ，Ｇｒ２，ｉ＋１ヲを比較し、対応関係にある輪郭線の位置ずれが算出される（Ｓ２３）。続いて、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内にあるか否かが判別され（Ｓ２４）、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内になければ（Ｓ２４：ＮＯ）、断面形状Ｇｒ２，ｉにおいて位置ずれが所定のずれ範囲外にある部分の輪郭線を構成する点群のデータが除去され（Ｓ２５）、輪郭線の位置ずれが所定のずれ範囲内にあれば（Ｓ２４：ＹＥＳ）、ステップＳ２５の処理はスキップされる。
【００７６】
続いて、カウント値ｉが「１」だけインクリメントされた後、そのカウント値ｉが断面形状Ｇｒ２，ｍの総枚数Ｍ（＝Ｎ’）を越えたか否かが判別される（Ｓ２６，Ｓ２７）。カウント値ｉがＭ以下であれば（Ｓ２７：ＮＯ）、次の断面形状Ｇｒ２，ｍについて、上述と同様の処理をするべくステップＳ２２に戻る。そして、全ての断面形状Ｇｒ２，ｍについて不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータの除去処理が終了すると（Ｓ２７：ＹＥＳ）、続いて、図１９に示すフローチャートに従って試料Ｐの第１姿勢と第２姿勢との位置関係のデータ（座標変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３）が算出される（Ｓ５）。
【００７７】
まず、ステップＳ１で作成されたＮ枚の断面形状Ｇｒ１，ｎ（ｎ＝１，２，…Ｎ）の中から補助部材３の断面形状を示す部分が抽出され（Ｓ１）、断面毎に、断面形状を示す点群のデータが直方体３１の４つの辺Ｅ１〜Ｅ４に属するデータに分類される。そして、各断面の同一の辺に属する点群のデータを集めることにより４つの側面ｂｃｆｇ，ｅｆｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｃｄを構成する点群のデータが算出される（Ｓ５２）。
【００７８】
続いて、第１姿勢における補助部材３の三次元形状の４つの側面ｂｃｆｇ，ｅｆｈｇ，ａｄｅｈ，ａｂｃｄを構成する点群のデータを用いて４つの稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈが算出される（Ｓ５３）。
【００７９】
続いて、第１姿勢における補助部材３の各断面の断面形状を示す点群のデータから球体３３の輪郭に相当する点群のデータが抽出され、それらのデータを用いて球体３３の中心点ｏ２のデータが算出される。そして、球体３３の中心ｏ２のデータと４つの稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈと、マスタデータとして記憶された球体３３の中心点ｏ２から直方体３１の各頂点ａ〜ｈまでの距離Ｄａ２，Ｄｂ２，…Ｄｈ２とを用いて、第１姿勢の補助部材３の直方体３１の各稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈ上に頂点ａ〜ｈに相当する点の位置データが算出される（Ｓ５４）。
【００８０】
続いて、ステップＳ３で作成されたＮ’枚の断面形状Ｇｒ２，ｍ（ｍ＝１，２，…Ｎ’）の中から補助部材３の断面形状を示す部分が抽出され（Ｓ５５）、断面毎に、断面形状を示す点群のデータが直方体３１の４つの辺Ｆ１〜Ｆ４に属するデータに分類される。そして、各断面の同一の辺に属する点群のデータを集めることにより４つの側面ｂｃｆｇ，ｃｄｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｅｆを構成する点群のデータが算出される（Ｓ５６）。
【００８１】
続いて、第２姿勢における補助部材３の三次元形状の４つの側面ｂｃｆｇ，ｃｄｇｈ，ａｄｅｈ，ａｂｅｆを構成する点群のデータを用いて４つの稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈが算出される（Ｓ５７）。
する。
【００８２】
続いて、第２姿勢における補助部材３の各断面の断面形状を示す点群のデータから球体３２の輪郭に相当する点群のデータが抽出され、それらのデータを用いて球体３２の中心点ｏ１のデータが算出される。そして、球体３２の中心ｏ１のデータと４つの稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈと、マスタデータとして記憶された球体３２の中心点ｏ１から直方体３１の各頂点ａ〜ｈまでの距離Ｄａ１，Ｄｂ１，…Ｄｈ１とを用いて、第２姿勢の補助部材３の直方体３１の各稜線ａｅ，ｂｆ，ｃｇ，ｄｈ上に頂点ａ〜ｈに相当する点の位置データが算出される（Ｓ５８）。
【００８３】
続いて、第１姿勢の補助部材３の直方体３１の各稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈ上に５つの係数演算用の特定点ｐ１〜ｐ５が設定されるとともに、第２姿勢の補助部材３の直方体３１の各稜線ａｄ，ｂｃ，ｆｇ，ｅｈ上に、特定点ｐ１〜ｐ５に対応する特定点ｐ１’〜ｐ５’が設定され、これらの点の座標値を座標変換式（１）〜（３）に代入して得られる１５個の等式から当該座標変換式（１）〜（３）の係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３が演算され、その演算結果がハードディスク１０６の所定の記憶領域に保存される（Ｓ５９）。
【００８４】
続いて、データ補完部８により、図２０に示すフローチャートに従ってｚ方向の断面形状Ｇｒ１，ｎ（第１姿勢で取得した断面形状Ｇｒ１，ｎ）において除去された不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータがｘ方向の断面形状Ｇｒ２，ｍ（第２姿勢で取得した断面形状Ｇｒ２，ｍ）の対応する輪郭線を構成する点群のデータを用いて補完される（Ｓ６）。
【００８５】
まず、第１姿勢の断面形状Ｇｒ１，ｎの枚数をカウントするカウンタのカウント値ｉが「１」にセットされるとともに、断面形状Ｇｒ１，ｎの総枚数ＮがレジスタＭにセットされ（Ｓ６１）、ｉ段目の断面形状Ｇｒ１，ｉのデータがハードディスク１０６の記憶領域からワークエリアに読み出される（Ｓ６２）。
【００８６】
続いて、ｉ段目の断面形状Ｇｒ１，ｉに輪郭線を構成する点群のデータが除去された部分が存在するか否かが判別され（Ｓ６３）、データの除去された部分が存在すれば（Ｓ６３：ＹＥＳ）、その部分のデータがステップＳ５で算出された座標変換係数ａ１〜ａ３，ｂ１〜ｂ３，ｃ１〜ｃ３，ｄ１〜ｄ３と座標変換式（１）〜（３）とを用いて第２姿勢におけるデータに変換され、その変換データに基づいて第２姿勢の断面形状Ｇｒ２，ｍの輪郭を構成する点群のデータから、除去された輪郭線に対応する輪郭線を構成する点群のデータが抽出され、除去されたデータが当該抽出されたデータで補完される（Ｓ６４）。例えば図１５の例において、断面形状Ｇｒ１，ｎの輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータが除去されていると、この部分のデータは第２姿勢の断面形状Ｇｒ２，２の輪郭線Ｒ２を構成する点群のデータで補完される。ステップＳ６３で、データの除去された部分が存在しなければ（Ｓ６３：ＮＯ）、ステップＳ６４の処理はスキップされる。
【００８７】
続いて、カウント値ｉが「１」だけインクリメントされた後、そのカウント値ｉが断面形状Ｇｒ１，ｎの総枚数Ｍ（＝Ｎ）を越えたか否かが判別される（Ｓ６５，Ｓ６６）。カウント値ｉがＭ以下であれば（Ｓ６６：ＮＯ）、次の断面形状Ｇｒ１，ｎについて、上述と同様の処理をするべくステップＳ６２に戻る。そして、全ての断面形状Ｇｒ１，ｎについて除去された輪郭線を構成する点群のデータの補完処理が終了すると（Ｓ６６：ＹＥＳ）、処理を終了する。
【００８８】
上記のように、本実施形態に係る画像処理装置１は、第１姿勢で撮影した試料Ｐの断面画像（ＣＴ画像）と第２姿勢で撮影した試料Ｐの断面画像（ＣＴ画像）からそれぞれ断面形状Ｇｒ１，ｎと断面形状Ｇｒ２，ｍを作成し、第１姿勢の断面形状Ｇｒ１，ｎに含まれる不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータを第２姿勢の対応する断面形状Ｇｒ２，ｍの対応する輪郭線を構成する点群のデータで置き換えるようにしているので、信頼性の高い第１姿勢の断面形状Ｇｒ１，ｎを得ることができる。これにより第１姿勢の断面形状Ｇｒ１，ｎとこれに対応するＣＡＤなどの設計支援装置で設計された試料Ｐの断面画像の図面とを比較して試料Ｐの形状評価をする際にも信頼性の高い評価結果を得ることができる。
【００８９】
なお、上記実施形態では、試料Ｐについて２つの姿勢で断面画像を取得するようにしているが、３つ以上の姿勢で断面画像を取得し、所望の姿勢での断面画像から算出した断面形状に不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータが含まれる場合、そのデータを他のいずれか１の姿勢での断面形状の対応する輪郭線を構成する点群のデータで補完するようにしてもよい。
【００９０】
また、上記実施形態では、互いに直交する２つの方向に断面画像を取得するようにしているが、これらの方向は上述した断面形状のデータ補完処理を可能にする限り、必ずしも直交した方向に限定されるものではない。
【００９１】
また、上記実施形態では、補助部材３の平面視形状を直角二等辺三角形としていたが、第１姿勢と第２姿勢との関係を求めることが可能であれば、他の形状であってもよい。
【００９２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、試料を互いに異なる２つの姿勢で断面画像を撮影し、各姿勢の断面画像から断面形状を作成するとともに、一方の姿勢での断面形状に信頼性の低い輪郭線を構成する点群のデータが含まれている場合、そのデータを他方の姿勢での断面形状の対応する輪郭線を構成する点群データで置き換えるようにしたので、信頼性の高い断面形状のデータを得ることができる。これにより測定により得られた試料の断面形状のデータを、例えばこれに対応するＣＡＤなどの設計支援装置で設計された試料の断面画像のデータと比較して試料の形状評価に適用する場合にも信頼性の高い評価結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る断面形状測定装置の構成を示す図である。
【図２】Ｘ線ＣＴスキャナ装置の概略構成を示す図である。
【図３】Ｘ線ＣＴスキャナ装置で取得される試料の断面画像の一例を示す図である。
【図４】試料に対し２つの方向について取得される断面画像の一例を示す図である。
【図５】第１姿勢での断面画像を取得するときの回転テーブルにおける試料の載置姿勢を示す斜視図である。
【図６】第２姿勢での断面画像を取得するときの回転テーブルにおける試料の載置姿勢を示す斜視図である。
【図７】試料の第１姿勢で測定されたデータと第２の姿勢で測定されたデータとの関係を示す座標変換式を説明するための図である。
【図８】マスタデータとして三次元計測器により予め取得される補助部材の測定データを説明するための図である。
【図９】第１姿勢で測定された補助部材の断面形状の一例を示す図である。
【図１０】第２姿勢で測定された補助部材の断面形状の一例を示す図である。
【図１１】座標変換式の係数を算出するために第１姿勢及び第２姿勢の補助部材の三次元画像に設定される５つの点の位置の一例を示す図である。
【図１２】本発明に係る断面形状測定処理機能を果たすために断面形状測定装置本体が行う処理動作を機能ブロックで表した図である。
【図１３】断面画像と断面形状との関係を示す図である。
【図１４】断面画像において、空間部分の画素と試料の断面部分の画素との間に当該試料の断面形状の輪郭を構成する点が存在する場合のその点の位置の補間演算を説明するための図である。
【図１５】ｘ方向及びｚ方向の断面画像から得られる複数枚の断面形状のうち、傾斜面ｍ２を横切る各断面の断面形状を示す図である。
【図１６】本発明に係る断面形状測定装置の試料の断面形状を構成する点群のデータを算出する処理手順を示すフローチャートである。
【図１７】断面画像（ＣＴ画像）から断面形状を作成する処理手順を示すフローチャートである。
【図１８】断面形状に含まれる不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータを除去する処理手順を示すフローチャートである。
【図１９】第１姿勢と第２姿勢との位置関係データを算出する処理手順を示すフローチャートである。
【図２０】第１姿勢の断面形状で除去された不明瞭な輪郭線を構成する点群のデータを第２の断面形状の対応する輪郭線を構成する点群のデータで補完する処理手順を示すフローチャートである。
【図２１】Ｘ線ＣＴスキャナ装置で撮影された断面画像に不明瞭な断面形状の輪郭線が生じる要因を説明するための図である。
【符号の説明】
１  断面形状測定装置（マイクロコンピュータ）
１０１  測定装置本体
１０２  ディスプレイ
１０３  キーボード
１０４  マウス
１０５  ドライバ
１０６  ハードディスク
２  Ｘ線ＣＴスキャナ装置
２１  スキャナ本体
２１１  回転テーブル
２１２  回転制御装置
２１３  Ｘ線管
２１４  コリメータ
２１５  Ｘ線検出器
２１６  昇降機
２１７  昇降制御装置
２１８  データ収集装置
２２  高圧発生装置
２３  Ｘ線制御装置
２４  ＰＣワークステーション
３  補助部材
３１  直方体
３２，３３  球体
４  断面画像記憶部
５  断面形状算出部
６  不明瞭輪郭データ除去部
７  撮影姿勢関係算出部
８  データ補完部
Ｐ  試料
Ｑ  基準片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2004317457.tif 000021
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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