(57)【要約】【課題】１回の撮像にて姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な全面外観検査処理を迅速に行えるようにする。【解決手段】検査部３３内を角チップ９が通過した時点で６面（Ａ面〜Ｆ面）を同時撮像し、ＬＡｍ〜ＬＤｍ、ＲＡｍ〜ＲＤｍ、ＬＥＦｍ、θＡ、θＢ、θＦｍ、ＨＡｍ、ＷＢｍ値を計測し、θＦｍから照射ミラー３９ａ、３９ｂの傾きによる補正を行ってθＦを得て、θＦと、ＨＡｍ、ＷＢｍ値とに基づいて高さｈ、幅ｗを算出する。そして、ＬＡｍ〜ＬＤｍ、ＲＡｍ〜ＲＤｍ、ＬＥＦｍ値をｈ、ｗ、θＡ、θＢ値に基づき三角関数の原理で補正して、Ｌａ〜Ｌｄ、Ｒａ〜Ｒｄ、Ｌｅｆ値を算出する。これにより、角チップ９の進行方向に沿う軸線に対する傾きと軸線回りの回転という姿勢の乱れを総合的に考慮して、真の寸法を正確に推測することができる。【選択図】　　図１１
2004028757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査方法であって、
前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、
前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、
前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとを有することを特徴とする微小部品の外観検査方法。
【請求項２】
微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査方法であって、
前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、
前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報（ＬＡｍ、ＬＥＦｍ）を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報（θＦｍ）に基づいて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとを有することを特徴とする微小部品の外観検査方法。
【請求項３】
前記補正ステップは、前記微小部品を前記複数の側方のうちの任意の側方から撮像した画像から抽出された幾何情報を、前記任意の側方に対して平行でない側方から撮像した画像から抽出された前記進行方向に沿う軸線に対する傾き角度と、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から抽出された前記進行方向に沿う軸線回りの回転角度とに基づいて補正することを特徴とする請求項２記載の微小部品の外観検査方法。
【請求項４】
微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査装置であって、
前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込み手段と、
前記画像取り込み手段により取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出手段と、
前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報に基づいて補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査手段とを有することを特徴とする微小部品の外観検査装置。
【請求項５】
微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査装置であって、
前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込み手段と、
前記画像取り込み手段により取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出手段と、
前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報に基づいて補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査手段とを有することを特徴とする微小部品の外観検査装置。
【請求項６】
微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査プログラムであって、
前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、
前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、
前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする微小部品の外観検査プログラム。
【請求項７】
微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査プログラムであって、
前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、
前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする微小部品の外観検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、微小部品を撮像した画像に基づいて該微小部品の外観検査を行う微小部品の外観検査方法、装置及びプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、角チップ等の電子部品のように微小な部品については、その機能を保証するべく、例えば外観や寸法を検査して良品と不良品とに仕分けることが行われている。これらの部品は微小であるため、検査手法としては例えば、各微小部品を１つ１つ浮遊飛送させたところをＣＣＤカメラにてタイミングよく撮像し、その撮像画像から画像処理技術を用いて外観等のチェックを行うようにしたものが知られている。
【０００３】
例えば、直方体形状をした角チップ等の微小部品の外観検査では、微小部品を浮遊飛送させた状態で、進行方向前後の面を除く４面を４台のカメラで同時撮像し、４つの撮像画像についてそれぞれ独立した画像処理装置でパターマッチング等の画像処理を行うことにより、微小部品の電極の寸法等を測定するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、微小部品が浮遊飛送する際、進行方向に沿う軸線に対して傾いたり、進行方向に沿う軸線周りに回転したりして、姿勢が乱れる場合があり、このような状態で撮像した画像から電極の寸法等を実測しただけでは、真の値に対して誤差を生じ、正確な検査を行うのが困難であるという問題があった。
【０００５】
また、例えば、６面体の微小部品を浮遊飛送中に撮像する場合においては、進行方向に平行な側面の撮像は容易であるが、進行方向前後の面の撮像は、カメラの配設スペースの問題から困難である。この場合、インデックステーブル等を用いて微小部品の姿勢を変え、複数回（例えば２回）に分けて微小部品を撮像することで、６面全部を撮像することは可能である。しかしながら、そのようにすると、１つの微小部品につき要する撮像を含めた処理時間が長くなるだけでなく、複数回に分けた撮像毎の姿勢の変化に多少のばらつきが生じやすいため、検出精度に影響するという問題があった。なお、撮像や搬送のための機構も複雑になるという欠点もある。
【０００６】
本発明は上記従来技術の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、１回の撮像にて姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な全面外観検査処理を迅速に行うことができる微小部品の外観検査方法、装置及びプログラムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の請求項１の微小部品の外観検査方法は、微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査方法であって、前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとを有することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、微小部品を複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から抽出された幾何情報が、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から抽出された幾何情報に基づいて補正され、補正された幾何情報を用いて、全面の外観検査が一括して行われる。これにより、例えば、微小部品の姿勢の乱れを考慮して、見かけ上の寸法を補正することで真の寸法を正確に推測することができる。また、複数の方向からの撮像画像は略同時に撮像されたものであるので、撮像処理が迅速であるだけでなく、各方向からみた姿勢の乱れの整合性が確保され、補正が正確である。よって、１回の撮像にて姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な全面外観検査処理を迅速に行うことができる。なお、１回の撮像で済むので、撮像や搬送のためのハード構成も複雑化しない。
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の請求項２の微小部品の外観検査方法は、微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査方法であって、前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとを有することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、微小部品を移動させつつ複数の各側方から撮像した画像から抽出された幾何情報が、前方及び後方の少なくとも一方から撮像した画像から抽出された幾何情報に基づいて補正され、補正された幾何情報を用いて、全面の外観検査が一括して行われる。これにより、微小部品の、例えば進行方向に沿う軸線回りの回転方向の姿勢の乱れを考慮して、側方からの見かけ上の寸法を補正することで真の寸法を正確に推測することができる。また、前方、後方及び側方からの撮像画像は略同時に撮像されたものであるので、撮像処理が迅速であるだけでなく、各方向からみた姿勢の乱れの整合性が確保され、補正が正確である。よって、１回の撮像にて回転方向等の姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な全面外観検査処理を迅速に行うことができる。
【００１１】
また、上記請求項２記載の構成において、前記補正ステップは、前記微小部品を前記複数の側方のうちの任意の側方から撮像した画像から抽出された幾何情報（ＬＡｍ、ＬＥＦｍ）を、前記任意の側方に対して平行でない側方から撮像した画像から抽出された前記進行方向に沿う軸線に対する傾き角度（θＢ）と、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から抽出された前記進行方向に沿う軸線回りの回転角度（θＦｍ）とに基づいて補正するのが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、進行方向に沿う軸線に対する傾きと軸線回りの回転という微小部品の姿勢の乱れを総合的に考慮して、見かけ上の寸法を補正することで真の寸法を正確に推測することができる。よって、移動を伴う撮像に想定される姿勢の乱れに広く対処して、一層正確な全面外観検査処理を行うことができる。
【００１３】
上記目的を達成するために本発明の請求項４の微小部品の外観検査装置は、微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査装置であって、前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出手段と、前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報に基づいて補正する補正手段と、前記補正手段により補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査手段とを有することを特徴とする。この構成によれば、請求項１と同様の作用、効果を奏する。
【００１４】
上記目的を達成するために本発明の請求項５の微小部品の外観検査装置は、微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査装置であって、前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出手段と、前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出手段により抽出された幾何情報に基づいて補正する補正手段と、前記補正手段により補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査手段とを有することを特徴とする。この構成によれば、請求項２と同様の作用、効果を奏する。
【００１５】
上記目的を達成するために本発明の請求項６の微小部品の外観検査プログラムは、微小部品の撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査プログラムであって、前記微小部品を複数の方向から略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、前記微小部品を前記複数の方向のうちの任意の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記任意の方向以外の方向から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。この構成によれば、請求項１と同様の作用、効果を奏する。
【００１６】
上記目的を達成するために本発明の請求項７の微小部品の外観検査プログラムは、微小部品を移動させつつ撮像して得られた撮像画像から抽出した微小部品の物理量である幾何情報に基づいて該微小部品の外観を検査する微小部品の外観検査プログラムであって、前記微小部品の進行方向における前方及び後方と前記進行方向に略平行な複数の側方とから略同時に撮像した複数の画像を取り込む画像取り込みステップと、前記画像取り込みステップにより取り込まれた複数の画像の各々から前記微小部品の外観に関する幾何情報を抽出する幾何情報抽出ステップと、前記微小部品を前記複数の各側方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報を、前記微小部品を前記前方及び前記後方の少なくとも一方から撮像した画像から前記幾何情報抽出ステップにより抽出された幾何情報に基づいて補正する補正ステップと、前記補正ステップにより補正された幾何情報を用いて、前記微小部品の全面の外観検査を一括して行う外観検査ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。この構成によれば、請求項２と同様の作用、効果を奏する。
【００１７】
なお、請求項６または７記載のプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体は、本発明を構成する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施の形態に係る微小部品の外観検査装置を作業者側からみた正面図である。以下、同図左方を本装置の前方と称する。
【００２０】
本外観検査装置１０は、微小な電子部品として例えば角チップの外観を検査し、検査結果によって角チップを仕分けるものであり、部品供給ユニットＵ１、検査ユニットＵ２及び仕分けユニットＵ３が台部１１上に位置調節可能な状態で配設されて構成される。部品供給ユニットＵ１は、ホッパ２４、直進フィーダ２３等を備える。検査ユニットＵ２は、検査部３３及び６つのＣＣＤカメラ３７（３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、３７ｆ）等を備える（詳細は後述する）。仕分けユニットＵ３は、移動台４１及び回転テーブル４２等を備える。
【００２１】
図２は、検査ユニットＵ２の構成を示すブロック図である。検査ユニットＵ２は、ＣＣＤカメラ３７のほか、画像処理装置８０を備え、さらに検査部３３に含まれるストロボ３５及び透過センサ３６等を備えて構成される。
【００２２】
画像処理装置８０は、ＣＰＵ９０に、バス８８を通じてＲＡＭ８２、ＲＯＭ８３、表示部８４、操作部８５、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）８６、ＦＤＤ（フロッピー（登録商標）ディスクドライブ）８７及び通信Ｉ／Ｆ（インターフェイス）８９が接続されて構成される。
【００２３】
ＣＰＵ９０は画像処理装置８０全体の制御を司る。ＲＡＭ８２は、各種データを一時的に記憶し、ＣＰＵ９０がプログラムを実行する際のワークエリアとしても機能する。ＲＯＭ８３は、ＣＰＵ９０が実行する制御プログラムや各種データを格納している。表示部８４はＣＲＴ等で構成され、幾何情報や操作情報等、各種情報を可視表示する。操作部８５は、キーボードやマウス等で構成され、各種データの入力に用いられる。ＨＤＤ８６は、不図示のＨＤ（ハードディスク）にプログラムやデータを記憶させる。ＦＤＤ８７は外部メモリとして不図示のＦＤ（フロッピー（登録商標）ディスク）にデータを記憶させる。通信Ｉ／Ｆ８９は、外部機器との通信を制御する。
【００２４】
６つのＣＣＤカメラ３７（３７ａ〜３７ｆ）、４つのストロボ３５及び一対の透過センサ３６は、いずれもＣＰＵ９０に接続されている。６つのカメラ３７はいずれも同様に構成され、角チップ９を撮像し、得られた画像をＣＰＵ９０に送る。ストロボ３５は、ＣＰＵ９０の制御に基づき、後述するように所定のタイミングで角チップ９に光を照射する。透過センサ３６は、後述するように角チップ９の検査部３３内での通過を検出し、その検出信号（トリガ信号）をＣＰＵ９０に送る。ＣＰＵ９０にはさらに、移動台４１及びエア噴出装置４４が接続されている。
【００２５】
図３は、角チップ９の外観斜視図である。本装置１０の検査対象となる角チップ９は、略直方体形状を成し、略正方形のＥ面及びその反対側のＦ面と、略長方形のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各面を有する。角チップ９の寸法は、長手方向の全長が０．５〜１ｍｍ、高さ（乃至幅）がいずれも０．２〜０．５ｍｍ程度である。Ｅ面及びＦ面には、電極部９ｅ、９ｆがそれぞれ設けられており、これら電極部９ｅ、９ｆの寸法が外観検査の主な対象となる。また、Ｂ面には中央からＥ面寄りが黒く塗りつぶしてあるマーカ部９ａが設けられている。このマーカ部９ａは、すべての角チップ９に付されており、本実施の形態では、Ｂ面を識別するための面認識情報として利用される。
【００２６】
図１に示すように、部品供給ユニットＵ１は、上下方向及び前後方向に移動可能な移動台２１上に振動発生装置２２が取り付けられ、振動発生装置２２の上面に、角チップ９を検査ユニットＵ２に移送するためのフィーダ２３が取り付けられて構成される。そして、フィーダ２３の上方には、角チップ９を一時的に収容するホッパ２４が設けられ、ホッパ２４の後部下部には、ホッパ２４内の角チップ９をフィーダ２３に供給するための供給シュート２５が設けられている。
【００２７】
フィーダ２３は、角度約９０度の断面Ｖ溝状のワーク移送部２３ｂを有し、ワーク移送部２３ｂの先端部は、検査ユニットＵ２側に突出して延びている。角チップ９は、振動発生装置２２の駆動により、供給シュート２５を介してホッパ２４から供給され、ワーク移送部２３ｂの先端部に移動する。供給シュート２５の側部に設けられたセンサ２６は、ホッパ２４から送り出され供給シュート２５を通過する角チップ９を検出する。
【００２８】
検査ユニットＵ２は、台部１１上に位置調整可能に固定された移動台３１の上端に平板状のベースプレート３２が取り付けられ、さらにベースプレート３２上に検査部３３が設けられて構成される。移動台３１は、部品供給ユニットＵ１のフィーダ２３の先端部に向けて屈曲しており、ベースプレート３２は、フィーダ２３側に傾いている。
【００２９】
仕分けユニットＵ３の移動台４１は、内部に回転テーブル４２を回転駆動させるための電動モータ等を備えた駆動機構が収容されている（図示せず）。回転テーブル４２は、回転軸４３を介して移動台４１の駆動機構に連結されている。回転テーブル４２の上面には円板状のゴム板４２ａが貼着されている。回転テーブル４２の上方における外周部近傍には、所定間隔を保って、２個のエア噴出装置４４（図１では図示せず）が設けられており、そのエア噴出装置４４に対向する回転テーブル４２の端部下方には、それぞれ角チップ９を収容するための良品収容箱と不良品収容箱（いずれも図示せず）が設置されている。
【００３０】
各角チップ９は、後述する合否判定結果に基づいて、回転テーブル４２上の所定の排出位置においてエア噴出装置４４によって吹き飛ばされ、良品収容箱または不良品収容箱に収容される。
【００３１】
図４は、図１に符号ａで示した領域の拡大図である。ベースプレート３２の中央には、撮像済みの角チップ９を検査ユニットＵ２から排出するための排出シュート４０が取り付けられると共に、角チップ９の下面を撮像するための透過用の穴部３２ｂが設けられる。排出シュート４０には、断面半円状の溝部４０ａが形成されている。
【００３２】
検査部３３の内部には、空間部ＳＡが形成される。検査部３３には、空間部ＳＡから外部へ貫通する４個（図４では２個しか図示していない）の透過用の穴部３３ｅが設けられると共に、穴部３３ｆ及び穴部３３ｇが設けられ、この穴部３３ｇの縁部に傾斜ブロック３４が取り付けられている。傾斜ブロック３４は、ワーク移送部２３ｂの先端部に近接配置され、傾斜ブロック３４の水平部３４ａと傾斜部３４ｂとには、ワーク移送部２３ｂに形成されたＶ溝と断面形状がほぼ等しいＶ状の溝が、ワーク移送部２３ｂのＶ溝と連なって形成されている。
【００３３】
なお、傾斜ブロック３４は、ワーク移送部２３ｂの先端部に当接しておらず、ワーク移送部２３ｂの振動が伝達されないようになっている。従って、傾斜ブロック３４は、フィーダ２３から振動しながら並んで送られてくる角チップ９を、振動のない状態にして水平部３４ａの先端まで進ませ、傾斜部３４ｂに沿って下降させる。そして、角チップ９を傾斜部３４ｂの下端から空間部ＳＡ内に放出し、排出シュート４０の溝部４０ａに落下させる。
【００３４】
図５は、検査ユニットＵ２の要部を図１の左上方からみた図である。
【００３５】
同図に示すように、検査部３３には、４個のストロボ３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ（図５では３５ｄが表されていない）が、検査部３３の円周方向に沿って等間隔で設けられ、傾斜ブロック３４から落下する角チップ９の側面を照射できるようになっている。また、図４、図５に示すように、検査部３３の空間部ＳＡの内側には、撮像トリガ用の透過センサ３６が取り付けられ、傾斜ブロック３４から落下する角チップ９を検出できるようになっている。ストロボ３５ａ等は、透過センサ３６が角チップ９を検出したときに照射する。
【００３６】
また、検査部３３の周囲には、４個の透過用の穴部３３ｅを介して、傾斜ブロック３４から落下する角チップ９の側面を撮像するための４個のＣＣＤカメラ３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄが設けられている。さらに、検査部３３の上方及び下方には、角チップ９の上面及び下面を撮像するための２個のＣＣＤカメラ３７ｅ、３７ｆが設けられている。
【００３７】
また、検査部３３の上面には、ブラケット３８ａを介して照射ミラー３９ａが設けられており、この照射ミラー３９ａの反射によって、ＣＣＤカメラ３７ｅは角チップ９の上面（進行方向後面）を撮像することができる。また、図４に示すように、ベースプレート３２の下面には、ブラケット３８ｂを介して照射ミラー３９ｂが設けられており、この照射ミラー３９ｂの反射によって、ＣＣＤカメラ３７ｆは角チップ９の下面（進行方向前面）を撮像することができる。
【００３８】
なお、照射ミラー３９ａ、３９ｂは、落下する角チップ９の進行方向に沿う軸線に対してθｐ（約１５°）の傾きをもって配置される。この傾きによる検出誤差は、後述するθＦ補正処理で補償される（図１１）。
【００３９】
角チップ９が検査部３３の略中央にきたとき、それが透過センサ３６によって検出され、ストロボ３５ａ等から光が角チップ９に照射されたところで、カメラ３７（３７ａ〜３７ｆ）によって角チップ９の６面（Ａ面〜Ｆ面）がそれぞれ同時撮像される。そして、得られた６枚の画像についてＣＰＵ９０によって後述する画像処理がなされることで、電極部９ｅ、９ｆの寸法等の外観が検査される。
【００４０】
ここで、外観検査のための画像処理の概略を説明する。角チップ９は直方体であり、直進フィーダ２３によって整列されるため、通常は、Ｅ面またはＦ面の一方が進行方向を向き、他方が後方を向く。従って、その他の面であるＡ面〜Ｄ面が、進行方向に沿う軸線に対して平行な側面となる。すなわち、カメラ３７ａ〜３７ｄで撮像を担当する面はＡ面〜Ｄ面のいずれかであるが、それは定まっておらず、１個１個異なり得る。
【００４１】
図６は、カメラ３７による撮像画像の一例を示す図である。同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、カメラ３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄで撮像されたＡ面、Ｂ面、Ｃ面、Ｄ面の画像を示す。同図（ｅ）は、カメラ３７ｆで撮像されたＦ面の画像を示す。本画像例では、角チップ９が、そのＦ面を進行方向に向けて落下する状態で撮像された場合が示されている。なお、同図（ａ）〜（ｄ）では、同図右方が進行方向になるように表示されている。
【００４２】
本実施の形態では、角チップ９の電極部９ｅのＡ面側厚みＬａ、Ｃ面側厚みＬｃ、Ｂ面側幅Ｌｂ及びＤ面側幅Ｌｄ、電極部９ｆのＡ面側厚みＲａ、Ｃ面側厚みＲｃ、Ｂ面側幅Ｒｂ及びＤ面側幅Ｒｄ、角チップ９の長手方向長さＬｅｆ、並びに高さｈ及び幅ｗが、外観検査のために把握されるべき検査対象である。
【００４３】
図７は、画像処理におけるウィンドウ枠の設定態様を示す図である。このウィンドウ枠の設定は、後述する図１１の画像処理ルーチンの一部として実行される。図７（ａ）はＢ面、同図（ｂ）はＡ面、同図（ｃ）はＤ面について、撮像画像及びウィンドウ枠をそれぞれ示す。
【００４４】
まず、カメラ３７ａ〜３７ｄで撮像された４つの撮像画像について、同図（ａ）でＢ面を例示するように、その略中央においてウィンドウ枠ＷＩＮＭが設定される。そして、公知の画像処理手法により、ウィンドウ枠ＷＩＮＭ内の領域で２値化した画像データの黒部分の割合から、その面にマーカ部９ａが存在するか否かが判別される。そして、４つの撮像画像のうち、マーカ部９ａが存在する面がＢ面であると識別される。その際、黒部分の領域が進行方向前方に存在するか後方に存在するかによって、Ｅ面及びＦ面も識別される。なお、図３からわかるように、マーカ部９ａが付された側に近い面がＥ面と識別される。これらより、６面すべてが識別され、角チップ９の各面がどの方向を向いているのかが完全に把握される。
【００４５】
次に、各面が識別されたら、電極部９ｅまたは電極部９ｆの寸法（同図に示すＬｂ、Ｌａ、Ｌｄ値等）を計測するためのウィンドウ枠がＡ面〜Ｄ面の各撮像画像毎に設定される。例えば、Ａ面の画像については、図７（ｂ）に示すような小さいウィンドウ枠ＷＩＮＡが設定される。Ｂ面の画像については、同図（ａ）に示すような中程度の大きさのウィンドウ枠ＷＩＮＢが設定される。Ｄ面の画像については、同図（ｃ）に示すような大きいウィンドウ枠ＷＩＮＤが設定される。Ｃ面の画像についてはＡ面の場合とほぼ同様に小さいウィンドウ枠ＷＩＮＣ（図示せず）が設定される。
【００４６】
ここで、各ウィンドウ枠ＷＩＮＡ〜ＷＩＮＤの情報は、予めＲＯＭ８３に格納されており、各面に対応するウィンドウ枠が読み出されて画像上に設定される。また、特定の面（例えばＢ面）の撮像画像における角チップ９の位置から他の面の撮像画像における角チップ９の位置が推測され、これに応じて、各ウィンドウ枠ＷＩＮＡ〜ＷＩＮＤが設定される位置も適当に設定される。なお、同図では、電極部９ｅについてのウィンドウ枠の設定を示したが、電極部９ｆについても同様に設定がなされる。
【００４７】
このように、各面毎にウィンドウ枠の大きさを異ならせて設定しているのは、電極部９ｅ、９ｆの各面における形状が事前にわかっていることから、最小限の領域で画像処理を行って処理負担を軽減するためである。従来は、Ａ面〜Ｄ面を識別することなく画像処理を行っていたため、４つの画像すべてについて最大のウィンドウ枠ＷＩＮＤを設定する必要があり、処理時間が長くかかっていたが、本実施の形態では、処理時間が短縮される。
【００４８】
ところで、実際には、角チップ９が姿勢を乱し、進行方向に沿う軸線に対して傾く場合がある。また、進行方向に沿う軸線回りに回転する場合もある。そのため、本実施の形態では、次のように、上記Ｌａ値等の検査対象には実測値をそのまま直ちには適用せず、傾き及び回転を考慮して実測値を補正する。
【００４９】
図８は、カメラ３７ｆによるＦ面を主体とした撮像画像の一例を示す図である。図９は、４つのカメラ３７ａ〜３７ｄによる４つの側面を主体とした撮像画像の一例を示す図である。同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、カメラ３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄで撮像されたＡ面、Ｂ面、Ｃ面、Ｄ面主体の画像を示す。図８、図９の画像例では、角チップ９はＦ面が進行方向を向き、しかも進行方向に沿う軸線に対して下方に傾きがあり、さらにＦ面側からみて、時計方向に少し回転した姿勢で撮像された場合が示されている。
【００５０】
角チップ９が先頭部（Ｆ面）を下方にもたげ、しかも回転していることから、図９（ａ）に示すように、カメラ３７ａの撮像画像には、Ｅ面及びＤ面が僅かに見えている。従って、Ｌａ値やＬｅｆ値を計測しようとしても、実測値ＬＡｍ、ＬＥＦｍには、Ｅ面の見えている部分の幅が含まれてしまう。また、実測値ＨＡｍには、Ｄ面の見えている部分の幅が含まれてしまう。さらに、Ａ面はカメラ３７ａの軸線に対して垂直ではないため、実測値ＬＡｍのうちＥ面の見えている部分の幅を除いた部分も、厳密には真のＬａ値とは相違してくる。実測値ＲＡｍについても同様で、真のＲａ値とは相違する。
【００５１】
そこで、後述する図１１の画像処理ルーチンで説明するように、実測値としては、カメラ３７ａ、カメラ３７ｂ、カメラ３７ｆからみた角チップ９の傾き角度θＡ、θＢ、θＦｍのほか、高さＨＡｍ、幅ＷＢｍ、並びに、見かけ上の値であるＬＡｍ、ＬＢｍ、ＬＣｍ、ＬＤｍ、ＲＡｍ、ＲＢｍ、ＲＣｍ、ＲＤｍ、ＬＥＦｍを、実測値（幾何情報）として計測する。なお、実測は、上述した公知の手法により、ウィンドウ枠の設定とその領域内でのパターンマッチングを用いた画像処理等によってなされる。なお、本実施の形態では、θＤ、θＣ、ＨＣｍ、ＷＤｍについては、実測することなく、θＤ＝θＢ、θＣ＝θＡ、ＨＣｍ＝ＨＡｍ、ＷＤｍ＝ＷＢｍというように推定するが、実測値を用いるようにしてもよい。
【００５２】
図１１は、本実施の形態における画像処理ルーチンのフローチャートを示す図である。本処理は、ＣＰＵ９０により実行される。
【００５３】
まず、不図示のスタートボタンが押下されることによりスタート指示が有ったか否かを判別し（ステップＳ１０１）、スタート指示が有るまでその判別を繰り返して、スタート指示が有った場合は、透過センサ３６の検出信号に基づき、検査部３３内を角チップ９が通過したか否かを判別する（ステップＳ１０２）。その判別の結果、検査部３３内を角チップ９が通過しない場合はステップＳ１１２に進む一方、通過した場合はステップＳ１０３に進んで、ストロボ３５を発光させて角チップ９を照射させると共に、６つのカメラ３７で角チップ９の６面（Ａ面〜Ｆ面）を同時撮像する。
【００５４】
次に、６つのカメラ３７による撮像画像をメモリ（例えばＲＡＭ８２）に記憶し（ステップＳ１０４）、マーカ部９ａの存在する面を検出、すなわちＢ面を識別する（ステップＳ１０５）。この処理は、上述したように、ウィンドウ枠ＷＩＮＭを設定した画像処理によりなされる（図７（ａ））。上述のように、この処理ではＥ面及びＦ面も同時に識別され、結局６面すべてが識別される。次に、図７で説明したように、予め格納されていたウィンドウ枠ＷＩＮＡ〜ＷＩＮＤを読み出して、Ａ面〜Ｄ面側の各撮像画像中の電極部９ｅ、９ｆについて、ウィンドウ枠ＷＩＮＡ〜ＷＩＮＤをそれぞれ設定する（ステップＳ１０６）。
【００５５】
次に、寸法実測を行う（ステップＳ１０７）。すなわち、上記設定したウィンドウ枠ＷＩＮＡ〜ＷＩＮＤ内の各画像領域について、上述のようにパターンマッチング等の画像処理を行うことで、側面（Ａ〜Ｄ面）画像から、見かけ上の値であるＬＡｍ〜ＬＤｍ、ＲＡｍ〜ＲＤｍ値をそれぞれ実測値として計測すると共に、θＡ、θＢ、ＬＥＦｍ、ＨＡｍ、ＷＢｍ値を計測する。また、Ｆ面画像からθＦｍ値を計測する。
【００５６】
次に、θＦ補正を行う（ステップＳ１０８）。図１０は、角チップ９の姿勢が全く乱れていない場合における照射ミラー３９ｂの傾きによる検出誤差を表す模式図である。上述したように、照射ミラー３９ａ、３９ｂは、角チップ９の進行方向に沿う軸線に対してθｐ（約１５°）の傾きをもって配置されるため、Ｆ面画像から回転角度θＦｍを測定する上で誤差が生じる。そこで、これを考慮してθＦｍ値を補正する。なお、同図において、角チップ９（Ｐ０）は照射ミラー３９ｂの傾きがないと仮定した場合の位置、角チップ９（Ｐ１）はθｐ分の傾きを有する場合の位置をそれぞれ示す。
【００５７】
同図に示すθｒは、角チップ９の姿勢が全く乱れていない場合の水平線Ｚに対する真の角度であり、本実施の形態では傾斜ブロック３４の傾斜部３４ｂのＶ溝角度に従うから、４５°である。θｒ１は、Ｆ面画像から実測される同図下側の面と水平線Ｚとの成す見かけ上の角度、θｒ２は補正量である。計算の便宜上、角チップ９の断面が１辺の長さｂの正方形であると仮定し、同図に示す距離ａに着目すれば、下記数式１、２が成立する。
【００５８】
【数１】
ａ＝ｂｓｉｎθｒ×ｃｏｓθｐ＝ｂｃｏｓθｒ×ｔａｎθｒ１
【００５９】
【数２】
θｒ＝θｒ１＋θｒ２
これらから、補正量θｒ２は下記数式３により算出され、Ｆ面画像から実測したθＦｍ（図８参照）は、下記数式４により補正されてθＦ値が算出される。なお、θｐ＝１５°、θｒ＝４５°であるから、θｒ２は約１°である。
【００６０】
【数３】
θｒ２＝θｒ−ｔａｎ−１（ｔａｎθｒ×ｃｏｓθｐ）
【００６１】
【数４】
θＦ＝θＦｍ＋θｒ２
図１１に戻り、次に、上記補正して得たθＦと、Ａ、Ｂ面側の撮像画像から実測したＨＡｍ、ＷＢｍ値とに基づいてｈ、ｗを算出する（ステップＳ１０９）。ここで、高さｈは、Ａ面側とＣ面側とで一致すると仮定し、幅ｗは、Ｂ面側とＤ面側とで一致すると仮定する。また、ｈ、ｗの算出においては、θＡ、θＢによるθＦへの影響はないものとして算出を行う。
【００６２】
まず、図８及び図９（ａ）、（ｂ）を参照すれば、下記数式５、６が成立する。
【００６３】
【数５】
ＷＢｍ＝ｗｃｏｓθＦ＋ｈｓｉｎθＦ
【００６４】
【数６】
ＨＡｍ＝ｗｓｉｎθＦ＋ｈｃｏｓθＦ
そして、これら数式５、６を整理して、ｈ、ｗを下記数式７、８によって算出する。
【００６５】
【数７】
ｈ＝（ＷＢｍｓｉｎθＦ−ＨＡｍｃｏｓθＦ）／（ｓｉｎ２θＦ−ｃｏｓ２θＦ）
【００６６】
【数８】
ｗ＝（ＷＢｍｃｏｓθＦ−ＨＡｍｓｉｎθＦ）／（ｃｏｓ２θＦ−ｓｉｎ２θＦ）次に、ステップＳ１１０で補正処理を行う。すなわち、下記数式９〜１７により、ＬＡｍ〜ＬＤｍ、ＲＡｍ〜ＲＤｍ、ＬＥＦｍ値をｈ、ｗ、θＡ、θＢ値に基づき補正して、Ｌａ〜Ｌｄ、Ｒａ〜Ｒｄ、Ｌｅｆ値を算出する。
【００６７】
【数９】
Ｌａ＝（ＬＡｍ−ｗｓｉｎθＢ）／ｃｏｓθＢ
【００６８】
【数１０】
Ｒａ＝ＲＡｍ／ｃｏｓθＢ
【００６９】
【数１１】
Ｌｂ＝（ＬＢｍ−ｈｓｉｎθＡ）／ｃｏｓθＡ
【００７０】
【数１２】
Ｒｂ＝ＲＢｍ／ｃｏｓθＡ
【００７１】
【数１３】
Ｌｃ＝ＬＣｍ／ｃｏｓθＢ
【００７２】
【数１４】
Ｒｃ＝（ＲＣｍ−ｗｓｉｎθＢ）／ｃｏｓθＢ
【００７３】
【数１５】
Ｌｄ＝ＬＤｍ／ｃｏｓθＡ
【００７４】
【数１６】
Ｒｄ＝（ＲＤｍ−ｈｓｉｎθＡ）／ｃｏｓθＡ
【００７５】
【数１７】
Ｌｅｆ＝（ＬＥＦｍ−ｗｓｉｎθＢ）／ｃｏｓθＢ
なお、このような補正処理を行う対象は、上記の例に限られるものではなく、例えば、電極部９ｅ、９ｆの他の部分の厚み、長さ、幅や、角チップ９の外観にかかわる各種寸法等を検出対象とし、これらを上記と同様に補正するようにしてもよい。
【００７６】
次に、ステップＳ１１１では、上記算出したＬａ〜Ｌｄ、Ｒａ〜Ｒｄ、Ｌｅｆ値等の算出結果に基づいて、６面を一括して検査することで合否判定処理を実行する。この合否判定では、予め定められた判定値との比較によって、上述のように良品と不良品とに判定される。判定対象には、上記各種寸法のほか、汚れ、傷、異物の付着等を含めるようにしてもよい。また、操作者の目視判断による判定を随時行えるように構成してもよい。なお、良品の中でもさらにランク分けしてもよい。この判定結果に基づいて、上述したように、各角チップ９は回転テーブル４２上の所定の排出位置において吹き飛ばされ、良品収容箱または不良品収容箱に収容される。
【００７７】
次に、ステップＳ１１２に進み、不図示の停止ボタンが押下されることにより、停止指示が有ったか否かを判別し、停止指示がない場合は前記ステップＳ１０２に戻る一方、停止指示が有った場合は本処理を終了する。
【００７８】
本実施の形態によれば、θＦ値に基づいてｈ、ｗを算出し、ｈ、ｗ、θＡ、θＢに基づいてＬａ値等を算出し、６面の外観検査を一括して行うようにしたので、進行方向に沿う軸線に対する傾きと軸線回りの回転という微小部品の姿勢の乱れを総合的に考慮して、真の寸法を正確に推測することができる。また、前方、後方及び側方からの撮像画像は略同時に撮像されたものであるので、撮像処理が迅速であるだけでなく、各方向からみた姿勢の乱れの整合性が確保され、正確な補正が可能である。よって、撮像する際に想定される角チップ９の姿勢の乱れに広く対処して、１回の撮像にて姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な６面外観検査処理を迅速に行うことができる。しかも、一つの角チップ９につき１回の撮像で済むので、撮像や搬送のためのハード構成も複雑化しなくて済む。
【００７９】
本実施の形態によればまた、１台の画像処理装置８０にて処理が行われるので、画像処理装置を複数設けたり、複数の画像処理装置間で通信を行ったりする必要がなく、通信時間がかからず、コスト上昇も抑えられる。さらに、面認識情報であるマーカ部９ａを利用して６面すべてが識別され、ウィンドウ枠の大きさや位置が各面毎に適切に設定されるので、画像処理領域を最小限にして処理時間を短縮することができ、直進フィーダ２３での整列段階で面の向きを揃える等の機構を設ける必要もない。
【００８０】
なお、本実施の形態では、Ｆ面が進行方向前方になる場合を例示して、Ｆ面画像からθＦｍを実測するようにしたが、θＦｍはＥ面画像から実測するようにしてもよい。その場合は、上述したのと同様に、Ｅ面画像から実測したθＦｍに対してθＦ補正を行えばよい。あるいは、θＦｍとしては、Ｆ面画像及びＥ面画像の双方から実測した値の平均値を用いるようにしてもよい。
【００８１】
なお、角チップ９の搬送及び撮像の構成は、角チップ９の全面が同時に撮像可能であればよく、斜めに自由落下させて撮像する構成に限定されるものではない。
【００８２】
なお、本実施の形態では、検査対象を直方体の角チップ９として説明したが、これ以外の他の形態の微小部品であっても検査の対象にすることができる。例えば、マーカ部９ａに相当する面認識情報が一部の面に付された多面体の微小部品であれば、ウィンドウ枠を適切に設定する処理に適用が可能である。また、角チップ９のように必ずしも平面的な面が複数存在するものでなくても、任意の方向から撮像した画像から抽出した寸法等の幾何情報を、任意の方向以外の方向から撮像した画像から抽出した幾何情報に基づいて補正する処理については、円柱状のチップ等、各種形態の微小部品に適用可能である。
【００８３】
なお、ある面を他の面から識別し得る面認識情報であれば、マーカ部９ａのような色分け模様に限られない。しかも、その面認識情報は、画像処理によりＣＰＵ９０が認識できれば十分で、肉眼によって識別可能なものでなくてもよい。
【００８４】
なお、本実施の形態において、本発明を達成するためのソフトウェアによって表される制御プログラムを記憶した記憶媒体を、外観検査装置のコンピュータに読み出すことによっても、同様の効果を奏することができる。この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。また、プログラムコードが電送媒体等を介して供給される場合は、プログラムコード自体が本発明を構成することになる。なお、これらの場合の記憶媒体としては、ＲＯＭのほか、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード等を用いることができる。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、１回の撮像にて姿勢の乱れによる誤差を適切に補償して、正確な全面外観検査処理を迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る微小部品の外観検査装置を作業者側からみた正面図である。
【図２】検査ユニットの構成を示すブロック図である。
【図３】角チップの外観斜視図である。
【図４】図１に符号ａで示した領域の拡大図である。
【図５】検査ユニットの要部を図１の左上方からみた図である。
【図６】カメラによる撮像画像の一例を示す図である。
【図７】画像処理におけるウィンドウ枠の設定態様を示す図である。
【図８】カメラによるＦ面を主体とした撮像画像の一例を示す図である。
【図９】４つのカメラによる４つの側面を主体とした撮像画像の一例を示す図である。
【図１０】角チップの姿勢が全く乱れていない場合における照射ミラーの傾きによる検出誤差を表す模式図である。
【図１１】本実施の形態における画像処理ルーチンのフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
９　角チップ（微小部品）、　９ａ　マーカ部、　９ｅ、９ｆ　電極部、　２３　直進フィーダ、　３６　透過センサ、　３３　検査部、　３７　ＣＣＤカメラ、　３５　ストロボ、　８０　画像処理装置、　８２　ＲＡＭ、　８３　ＲＯＭ、　９０　ＣＰＵ（画像取り込み手段、幾何情報抽出手段、補正手段、外観検査手段）、　Ｕ１　部品供給ユニット、　Ｕ２　検査ユニット、　Ｕ３　仕分けユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004028757.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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