(57)【要約】【課題】リードフレームの品種交換にかかわる交換時間を短くすること。【解決手段】リードフレーム１をガイドするガイドレール１２と、ガイドレールによるリードフレーム送り面の上に設けられる複数の送りピン１３を前記ガイドレールの長手方向に適宜間隔で配置し、これらの送りピンを上下させてリードフレームの送り穴１Ｂに係合させる送り上下手段１４、１５と、これらの送りピンをガイドレールに沿って水平方向に往復移動させる送り手段１６と、前記送り上下手段と送り手段を制御する制御手段１７とを有する。個々の送りピン１３をガイドレールに沿って移動させるためにタイミングベルト２５にて連結すると共に、このタイミングベルトをプーリ３６に巻回させ、かつ個々の送りピンをタイミングベルトを介して送り手段にて移動可能なようにスライド水平スライドガイド２０を設け、このスライドガイドを送りピン毎に配置した。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームをガイドするガイドレールと、ガイドレールによるリードフレーム送り面の上に設けられる複数の送りピンを前記ガイドレールの長手方向に適宜間隔で配置し、これらの送りピンを上下させてリードフレームの送り穴に係合させる送り上下手段と、これらの送りピンをガイドレールに沿って水平方向に往復移動させる送り手段と、前記送り上下手段と送り手段を制御する制御手段とを有するリードフレーム搬送装置において、おのおのの送りピンをガイドレールに沿って移動させるために帯状部材にて連結すると共に、この帯状部材を円柱体に巻回させて、おのおのの送りピンを帯状部材を介して送り手段にて移動可能なようにスライド手段を設け、このスライド手段をおのおのの送りピン毎に配置したことを特徴とするリードフレーム搬送装置。
【請求項２】
前記円柱体をおのおの送りピン毎に配置し、帯状部材を巻回した円柱体を回転自在とし、この円柱体に円弧状の長穴を設け、その長穴に回転規制用のピンを嵌合し、この回転規制用のピンに円柱体の長穴端部を接当させ、円柱体からスプリングを帯状部材の送り方向と逆に弾性力が作用するように張設し、その弾性力により回転方向に付勢させ、このスプリングの伸びを検知することで過負荷を検出するようにした過負荷検出器を有することを特徴とする請求項１記載のリードフレーム搬送装置。
【請求項３】
前記過負荷検出器は円柱体をスプリングの弾性力により回転方向に付勢させる荷重手段と、過負荷を検出させる検出手段とからなり、前記荷重手段のスプリングの弾性力と検出手段のセンサ及び遮光板の位置が送りピンの位置を水平方向に沿って移動させても同じとなるように配置されたことを特徴とする請求項１、２記載のリードフレーム搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工程の１つに、半導体ペレット（以下単に「ペレット」という）を基板にボンディングする工程があり、この工程では、ペレットボンディング装置が用いられる。
【０００３】
この装置は、ウェハがスクライビングされることにより形成された格子状配列の複数のペレットの中より、１個ずつペレットをピックアップし、リードフレーム等の基板上にボンディングするものであるが、１個のペレットがボンディングされる毎にリードフレームは定ピッチで間欠的に搬送される。
【０００４】
ここで従来のリードフレーム搬送装置について、その平面図を示す図６、側面図を示す図７を用いて説明する。リードフレーム搬送装置１００は、リードフレーム１をその搬送方向（図６で右方向）に沿ってガイドするガイドレール２と、このガイドレール２におけるリードフレーム搬送面より上方に設けられた送りピン３とを有する。リードフレーム１の縁に沿っては、ペレット載置部１Ａと対向して送り穴１Ｂが設けられる。送りピン３はリードフレーム１の搬送方向に複数個設けられ、各送りピン３は、ピンホルダ４を介して、ガイドレール後端に位置する移送軸５に固定支持され、固定軸５を中心として上下方向に円弧状に揺動自在とされる。６は、送りピン３を上下動させるシリンダ等の送り上下装置６である。
【０００５】
また、移送軸５と並行してスライドガイド８が固定配置され、このスライドガイド８には、移送軸５と搬送方向において一体化された連結板７がスライド自在とされる。そして、スライドガイド８と並行して回転自在に配置されたネジ軸９が送りモータ１０によって適宜正転あるいは逆転させられ、この回転動により移動する送り板１１により、連結板７はスライドガイド８に沿ってスライドさせられる。このスライドにより、送りピン３はガイドレールに沿って移動する。
【０００６】
次に、このリードフレーム搬送装置による一連のリードフレームの定ピッチでの間欠搬送動作について説明する。
【０００７】
まず送り上下装置６によって各送りピン３を下動させ、送りピン３をリードフレーム１に設けられた送り穴１Ｂに挿入する。次に送りモータ１０の回転により、連結板７を搬送方向に送り穴１Ｂ１個分の距離（１ピッチ）分移動させる。この動作により、送りピン３は、搬送方向に１ピッチ移動し、リードフレーム１も１ピッチ搬送される。次に、送り上下装置６により各送りピン３を上動させる。この動作により、送りピン３は送り穴１Ｂから抜け出る。最後に送りモータ１０を逆転させ、送りピン３を元位置に復帰させる。以後はこの繰り返し動作となる。なお、リードフレーム１の定ピッチ搬送によりペレツト載置部１Ａがボンディング位置に順次位置付けられると、図示しないクランプ機構によりリードフレーム１はガイドレール２に固定され、この状態下でペレット載置部１Ａに対しペレットがボンディングされる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来用いられていたリードフレーム搬送装置１００においては、複数個の送りピン３が１本の移送軸５に各ピンホルダ４を介して固定支持されているため、次のような問題点があった。すなわち、各送りピン３をリードフレーム１の送り穴１Ｂに係合させるために、リードフレーム１の形状が変わるとネジ軸９におけるピンホルダ４の位置等を変更して送りピン３の配置間隔、位置をなければならないが、リードフレーム１を加熱する時の熱で移送軸５やガイドレール２が熱膨張で長手方向に膨張すると、すべての送りピン３を確実に対応する送り穴１Ｂに係合させるためには、熱膨張後に調整をしなければならなかった。このため、リードフレーム１の形状が変わることによる送りピン３の配置替えに多数の手数と時間を必要とした。また、ピンホルダ４の形状が複雑となるため、部品の価格が高く装置の価格も大幅にアップするという問題点があった。
【０００９】
そこで本発明は上記問題点を鑑み上記不具合をなくしたリードフレーム搬送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１に係わる発明は、リードフレームをガイドするガイドレールと、ガイドレールによるリードフレーム送り面の上に設けられる複数の送りピンを前記ガイドレールの長手方向に適宜間隔で配置し、これらの送りピンを上下させてリードフレームの送り穴に係合させる送り上下手段と、これらの送りピンをガイドレールに沿って水平方向に往復移動させる送り手段と、前記送り上下手段と送り手段を制御する制御手段とを有するリードフレーム搬送装置において、おのおのの送りピンをガイドレールに沿って移動させるために帯状部材にて連結すると共に、この帯状部材を円柱体に巻回させて、おのおのの送りピンを帯状部材を介して送り手段にて移動可能なようにスライド手段を設け、このスライド手段をおのおのの送りピン毎に配置したことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項２に係わる発明は、前記円柱体をおのおの送りピン毎に配置し、帯状部材を巻回した円柱体を回転自在とし、この円柱体に円弧状の長穴を設け、その長穴に回転規制用のピンを嵌合し、この回転規制用のピンに円柱体の長穴端部を接当させ、円柱体からスプリングを帯状部材の送り方向と逆に弾性力が作用するように張設し、その弾性力により回転方向に付勢させ、このスプリングの伸びを検知することで過負荷を検出するようにした過負荷検出器を有することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３に係わる発明は、前記過負荷検出器は円柱体をスプリングの弾性力により回転方向に付勢させる荷重手段と、過負荷を検出させる検出手段とからなり、前記荷重手段のスプリングの弾性力と検出手段のセンサ及び遮光板の位置が送りピンの位置を水平方向に沿って移動させても同じとなるように配置されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明には次の作用がある。おのおのの送りピン毎にスライド手段を配置したことにより、リードフレームの形状が変わることによるピンホルダの形状変更は単純化され、そのため部品の価格は安くでき、すなわち、装置価格が安くできる。また、位置決めピンの配置替えが簡単となり、短時間で調整ができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を図面に基づいて説明するが本発明はこれに限定されるものでないことは言うまでもない。
【００１５】
図１は本発明を適応してなるリードフレーム搬送装置の概略構成を示す平面図、図２は図１における送りピン部の側面図、図３は本発明を適応してなる送りピン上下動作と水平動作の動作説明図、図４は本発明を適用してなる過負荷検出器の平面図、図５は図４における側面図をそれぞれ示す。
【００１６】
本実施の形態におけるリードフレーム搬送装置を、図１乃至図５を用いて説明する。なお、以下の説明ではペレットボンディング装置のリードフレーム搬送装置に適用した例で説明する。
【００１７】
まず、図１と図２を用いてリードフレーム搬送装置の構成について説明する。
【００１８】
リードフレーム搬送装置はガイドレール１２と、送りピン１３と、送りピン上下ユニット１４と、送りピン上下駆動装置１５と、送り駆動装置１６と、制御装置１７から構成されている。
【００１９】
図において、リードフレーム１は適宜長さの短冊状に形成され、このリードフレーム１には長手方向に沿って多数のペレットを載置するペレット載置部１Ａのピッチの間隔でその長手方向の端部に送り穴１Ｂが形成されてされている。
【００２０】
ガイドレール１２は図示しないベース板に一体的に取り付けられており、リードフレーム１ガイドする搬送レールである。この搬送レールには長手方向に沿って溝が形成されており、その溝を案内としてリードフレームを長手方向に移送される。また、ガイドレールには図示しないヒータが内蔵されている。
【００２１】
送りピン１３はガイドレールによるリードフレーム送り面より上に配置され、適宜長さの短冊状に形成されたリードフレームの長手方向の端部に沿って、多数のペレットを載置するペレット載置部のピッチの間隔で、その長手方向の端部に形成された送り穴に嵌り係合してリードフレームを移送する。送りピンの長手方向の配置はリードフレームに送りピンが１本嵌り係合するように適宜間隔で配置されている。
【００２２】
送りピン上下ユニット１４はガイドレールの後端にガイドレールの長手方向に沿って所定の間隔で配置されている。すなわち図２に示すようにガイドレール後端にスペーサ１８を介し水平ブロック１９に水平方向に移動する水平スライドガイド２０が送りピン毎に取り付けられている。また、水平スライドガイドには水平ベース２１を介し上下方向に移動する上下スライドガイド２２が取り付けられている。上下スライドガイドには上下ベース２３が取り付けられ、この先端に送りピン取り付け用のピンホルダ２４が取り付けられる様にガイドレールの後端から前端に位置するように略Ｌ字状に形成されている。また、水平ベースには水平方向に移動可能にするタイミングベルト２５と連結させるために連結板２６が構成されている。また、上下ベースの下部に上下駆動用の板カム２７に追従するカムフォロア２８を軸支し、上下ベースと水平ベース間に張設したスプリング２９の弾性力により前記カムフォロアを板カムに接当させている。
【００２３】
送りピン上下駆動装置１５はガイドレール後端に送り上下ユニットと同様にスペーサ１８Ａと水平ブロック１９Ａを介し水平スライドガイド２０Ａが配置されている。水平スライドガイドはスライドプレート３０ですべて一体的に動くように固定され、前記上下ベースに軸支されたカムフォロアに接当するように板カムがそれぞれの位置にスライドプレートに固定されている。前記スライドプレートは回転自在に軸支されたプーリ３１Ａ、３１Ｂに巻き掛けたタイミングベルト３２に固定金具３３で固定し、一方のプーリ３１Ａに送りピン上下駆動用のサーボモータ３４を組み込み、両プーリ間をタイミングベルトにて連結させる。
【００２４】
送り駆動装置１６は前記水平ベースの連結板の回転しないプーリ３６に回転自在に軸支されたプーリ３５Ａ、３５Ｂに巻き掛けたタイミングベルト２５に巻き掛け固定し、一方のプーリ３５Ａに送り駆動用のサーボモータ３７を組み込み、両プーリ間をタイミングベルトで連結する。また、
制御装置１７は前記送りピン上下駆動用のサーボモータと送り駆動用のサーボモータを制御して送りピンの上下動作と水平移動動作を制御する。
【００２５】
また、図２に示すように、送りピン１３ごとに設けられた連結板２６にはそれぞれセンサ２６Ａが固定支持され、一方、対応するそれぞれの上下ベース２３には、送りピン１３がリードフレーム１の送り穴１Ｂに挿入されたときにセンサ２６Ａを遮るようなドグ２３Ａがそれぞれ固定支持される。そして、後述するように板カム２７によって送りピン１３が下降させられたとき、もし送りピン１３が対応する送り穴１Ｂに挿入されなかったときには、その挿入されなかった送りピン１３に対応するセンサ２６Ａはドグ２３Ａによって遮られないことから、制御装置１７においては、各センサ２６Ａからの信号に基づき、すべての送りピン１３が正常に対応する送り穴１Ｂに挿入されたか、あるいはどの送りピン１３が正常に挿入されなかったかを判別することができ、不図示の表示装置に表示するようになっている。
【００２６】
さらに本リードフレーム搬送装置には、ガイドレール上のリードフレームをボンディング位置で位置決め後クランプする図示しないクランプ装置を有している。
【００２７】
次に上述したリードフレーム搬送装置の送りピン上下動作と送りピン水平移動動作からなる一連のリードフレームの定ピッチで間欠的な移送動作を図３を用いて説明する。
【００２８】
送りピンは上昇し、後退した位置で待機している（図中▲１▼）。まず、送りピン上下駆動装置１５のサーボモータ３４が所定量正回転することにより、プーリ３１Ａ，３１Ｂに巻き掛けられたタイミングベルト３２を周回させ、そのタイミングベルトに固定されているスライドプレート３０が前進する。このスライドプレートには送りピン上下用の板カム２７が送りピン毎に取り付けられている。すなわち、板カムが前進すると板カムに設けられたカムの傾斜形状に応じたタイミングで、板カムに接当した上下ベースに軸支したカムフォロア２８に作動する。カムフォロアは上下ベースに張接されたスプリングの弾性力にて常時下側に付勢されている。上下ベースには上下スライドガイドが組み込まれているので上下自在に動くことができる。このためカムの傾斜形状を下ることによりカムフォロアが板カムに追従して下降する（図中▲２▼）。すなわち上下ベースに組み込まれたピンホルダとその先端に組み込まれた送りピンが下降する。このことはリードフレームの送り穴に送りピンを嵌め係合させことになる。
【００２９】
次に送り駆動装置１６のサーボモータ３７が所定量正回転することにより、プーリ３５Ａ、３５Ｂに巻き掛けられたタイミングベルト２５を周回させ、そのタイミングベルトに固定されている連結板２６が前進する。この連結板は水平ベース２１からの張出し部であり、この水平ベースが送りピン毎に水平スライドガイド２０に固定されている。この水平スライドガイドは水平方向に自在に動くことができ、水平スライドガイドに組み込まれた水平ベースの張出し部の連結板を介してタイミングベルトに固定されている。また、水平ベースには上下スライドガイドが組み込まれており、上下スライドベースには上下ベースを介して送りピンが組み込まれている。すなわち、送りピンがガイドレールの長手方向に沿って前進する。なお、この時送りピン上下駆動用のサーボモータも同時に所定量正回転し、送り駆動装置のサーボモータによる水平方向の移動量と等しい距離をプーリに巻き掛けられたタイミングベルトを周回させ、そのタイミングベルトに固定されているスライドプレートの板カムを移動させる。すなわち上下ベースに軸支したカムフォロアは板カムの下死点に位置したまま移動する（図中▲３▼）。そのため送りピンは下降したままの状態で移動する。このことはリードフレームの送り穴に送りピンが係合されたまま移動することで、すなわち、リードフレームが１ピッチ搬送されたこととなる。
【００３０】
次に送りピン上下駆動装置のサーボモータが所定量逆回転し、プーリに巻き掛けられたタイミングベルトを周回させ、そのタイミングベルトに固定されているスライドプレートが後進する。このスライドプレートには送りピン上下用の板カムが送りピン毎に取り付けられているので、板カムが後進すると板カムに設けられた板カムの傾斜形状に応じたタイミングで、板カムに接当した上下ベースに軸支したカムフォロアに作動する。カムフォロアは、上下ベースに張接されたスプリングの弾性力にて常時下側に付勢されている。上下ベースには上下スライドガイドが組み込まれているので、上下自在に動くことができる。このためカムの傾斜形状を上ることによりカムフォロアがカムに強制されて上昇する（図中▲４▼）。すなわち上下ベースに組み込まれたピンホルダとその先端に組み込まれた送りピンが上昇する。このことはリードフレームの送り穴から送りピンを抜くことになる。
【００３１】
次に送り駆動装置のサーボモータが所定量逆回転することにより、プーリに巻き掛けられたタイミングベルトを周回させ、そのタイミングベルトに固定されている連結板が後進する。この連結板は水平ベースからの張出し部であり、この水平ベースがおのおのの送りピン毎に水平スライドガイドに固定されているので、この水平スライドガイドは水平方向に自在に動くことができ、水平スライドガイドに組み込まれた水平ベースの張出し部を介してタイミングベルトに固定されている。また、水平ベースには上下スライドガイドが組み込まれており、上下スライドベースには上下ベースを介して送りピンが組み込まれている。すなわち、送りピンが後進する。なお、この時送りピン上下駆動用のサーボモータも同時に所定量逆回転し、送り駆動モータによる水平方向の移動量と等しい距離板カムを移動させる。すなわち上下ベースに軸支したカムフォロアは板カムの上死点に位置したまま移動する（図中▲５▼）。そのため送りピンは上昇したままの状態で移動する。このことは送りピンを元の位置に後退することである。この一連の動作を繰り返すことによりリードフレームが定ピッチで間欠的に移送される。なお、定ピッチで間欠的に移送されたリードフレームはボンディング位置に位置付けられて図示しないクランパにて押圧されて固定後、ペレットをボンディングする。
【００３２】
なお、上記実施の形態では送りピンの水平方向の搬送は送り駆動装置のタイミングベルトに送りピン上下駆動装置の水平スライドガイドに組み込まれた水平ベースの連結板を固定した内容で説明したが、ここに過負荷検出器を設けても良い。
【００３３】
図４、図５を用いて過負荷検出器について説明する。過負荷検出器４０は、主にプーリ４１と、荷重装置４２と、検出装置４３で構成されている。
【００３４】
プーリ４１は送り駆動装置１６のタイミングベルト２５を巻回し、回転自在とし、外周近辺にプーリの回転中心と同心となる円弧状の長穴４４が形成されている。この長穴に回転を規制するピン４５を嵌合し、この回転規制用のピンに長穴の端部を接当させ、プーリを回転方向にスプリング４６の弾性力にて付勢させている。また、プーリには過負荷を検出させる遮光板４７とプーリをスプリングの弾性力にて付勢させるに必要なスプリングポスト４８が設けられている。
【００３５】
荷重装置４２はスプリング４６の弾性力によりプーリ４１に形成された長穴４４の端部とプーリの回転を規制するピン４５を送りピン駆動装置のタイミングベルト２５が進む方向と逆に弾性力が作用するようにプーリに設けられたスプリングポストと位置調整板４９に設けられたスプリングポスト５０間に張設されている。このスプリングの弾性力は所要に応じて、適宜に選択することができるものとし、スライドユニット５１が送り駆動装置のタイミングベルトにて、移動させた状態下でも、プーリに設けた長穴の端部に回転制御用のピンが接当させ得る弾性力を有するものとする。しかるに送りピンに作用するリードフレーム搬送力が定常移送時より増加した時、スプリング４６は伸長変形する。
【００３６】
検出装置４３は位置調整板４９に検出センサ５２を設け、また、プーリに設けた遮光板４７が検出センサをＯＦＦしている位置を初期位置とする。
【００３７】
以上のように構成したところにおいて、ガイドレールに沿ったリードフレームの移送は、送りピンを送りピン上下駆動装置により、リードフレームの送り穴に係合し、送り駆動装置のサーボモータによりプーリ３１Ａを回転させタイミングベルトを前進させることにより行われる。この時、リードフレームのガイドレールに沿った円滑に移動する定常移送時には、送りピンすなわち水平スライドガイド２０はスプリングの作用下でプーリに設けた長穴の端部に送り規制用のピンを付勢させて、スプリングの伸長変形なしで、送り駆動装置のタイミングベルトと等しい速度で前進する。すなわち、この定常移送時には検出センサの投光部５３から照射された光は遮光板により、遮光され受光部５４には到達しない。
【００３８】
これに対し、リードフレームに過負荷がかかった場合、リードフレームはガイドレールに沿っての前進が束縛される。このことはリードフレームの送り穴に係合した送りピンの前進も束縛されることになる。結果として、搬送装置のタイミングベルトは前進し、送りピンは停止した状態、すなわち、スプリングが伸長変形し、そのためプーリが回転したこととなる。また、プーリに設けられた遮光板も回転することになる。遮光板が回転すれば検出センサから遠ざかることとなり、検出センサ投光部から常時照射されている光は受光部に到着することになる。ここで、検出センサから制御装置へ信号を伝送し、これに基づき制御装置は送り駆動用のサーボモータの回転を即座に停止させることで送りピンの前進を停止させ、送りピンと係合しているリードフレームに作用する過負荷を未然に防止することができる。
【００３９】
また、本過負荷検出器では、検出センサとスプリングの張設用スプリングポストを位置調整板上にお互い取り付けられていることから、位置調整板をプーリの回転中心に沿って回転させて送りピンを前進、または後退させたにも係わらず過負荷検出器に作用するスプリングの弾性力はいつも一定となる。また、検出センサと遮光板の位置関係も同じである。このため送りピン位置を調整しても、常に過負荷検出器に作用する力は一定のままで、検出センサの位置調整がいらない、過負荷検出を行うことができる。
【００４０】
以上、リードフレームを例にした実施の形態について述べたが本発明はリードフレーム以外の短冊状薄板の移送に適応可能である。また、ペレットボンディング工程で使用されるダイボンダのリードフレーム搬送装置に適応した実施の形態で説明したが他の搬送装置例えばフリップチップボンダ等にも適応可能である。
【００４１】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係わるリードフレーム搬送装置によれば、送りピン毎にスライド手段を設けたので、リードフレームの形状が変わることによるピンホルダの形状変更は単純化され、そのため部品の価格は安くでき、すなわち、装置価格が安くできる。また、位置決めピンの配置替えが簡単となり、短時間で調整ができる。また、過負荷検出器をおのおのの送りピン毎に設けたので、リードフレームに過負荷がかかった時、装置はただちに停止する。そのため、過負荷時に送りピンに大きな力が作用しないので送りピンは破損し難くなる。また、過負荷検出器に張設したスプリングのスプリングポストと検出センサを位置調整板上にお互い配置したので、位置調整板を用いて送りピンの位置を長手方向に調整してもスプリングの長さが変わらず、その弾性力は同じのため過負荷が作動する力を同じにできる。また、検出センサと遮光板も同じに動くので、遮光板の調整がいらない。
【００４２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用してなるリードフレーム搬送装置の概略構成を示す平面図。
【図２】図１における送りピン部の側面図。
【図３】本発明を適用してなる送りピン上下動作と水平動作の動作説明図。
【図４】本発明を適応してなる過負荷検出器の平面図。
【図５】図４における側面図。
【図６】従来のリードフレーム搬送装置の概略構成を示す平面図。
【図７】図６における送りピン部の側面図。
【符号の説明】
１　　リードフレーム
１Ａ　ペレット載置部
１Ｂ　送り穴
２　　ガイドレール
３　　送りピン
４　　ピンホルダ
５　　移送軸
６　　送り上下装置
７　　連結板
８　　スライドガイド
９　　ネジ軸
１０　送りモータ
１１　送り板
１２　ガイドレール
１３　送りピン
１４　送りピン上下ユニット
１５　送りピン上下駆動装置
１６　送り駆動装置
１７　制御装置
１８　スペーサ
１８Ａスペーサ
１９　水平ブロック
１９Ａ水平ブロック
２０　水平スライドガイド
２０Ａ水平スライドガイド
２１　水平ベース
２２　上下スライドガイド
２３　上下ベース
２３Ａドグ
２４　ピンホルダ
２５　タイミングベルト
２６　連結板
２６Ａセンサ
２７　板カム
２８　カムフォロア
２９　スプリング
３０　スライドプレート
３１Ａプーリ
３１Ｂプーリ
３２　タイミングベルト
３３　固定金具
３４　サーボモータ
３５Ａプーリ
３５Ｂプーリ
３６　プーリ
３７　サーボモータ
４０　過負荷検出器
４１　プーリ
４２　荷重装置
４３　検出装置
４４　長穴
４５　ピン
４６　スプリング
４７　遮光板
４８　スプリングポスト
４９　位置調整板
５０　スプリングポスト
５１　スライドユニット
５２　検出センサ
５３　投光部
５４　受光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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