(57)【要約】【目的】精密機械、例えば半導体素子を扱う作業に於いて、作業中に作業の邪魔をすることなく静電気を体内から除去する静電気除去装置を提供する。【構成】リストストラップにより静電気を作業机を通じて逃がす静電気除去装置に於いて、前記作業机には可動可能なアースジャックを設けたアースレースが設けられ、前記リストストラップは前記アースジャックを通じてアースレールに接続されたことを特徴とする静電気除去装置を提供する。またアースジャックと前記アースレールの接触を監視する監視部を設けたことを特徴とする静電気除去装置を提供する。【代表図】図１
2004031071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リストストラップにより静電気を作業机を通じて逃がす静電気除去装置に於いて、
前記作業机には可動可能なアースジャックを設けたアースレースが設けられ、
前記リストストラップは前記アースジャックを通じてアースレールに接続されたことを特徴とする静電気除去装置。
【請求項２】
請求項１記載の静電気除去装置に於いて、
前記アースジャックと前記アースレールの接触を監視する監視部を設けたことを特徴とする静電気除去装置。
【請求項３】
請求項２記載の静電気除去装置に於いて、前記監視部は監視結果を報知部に通知し、前記報知部は監視結果に応じて報知を行うことを特徴とする静電気除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
半導体素子等を扱う作業に於いて、人体に帯電された静電気を逃がす静電気除去装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子等を扱う作業では静電気が厳禁となっている。静電気によって、素子が破壊される恐れがあるからである。
実際の作業では人体に帯電された静電気が、半導体素子に影響を与えてしまう場合がある。このために人体より静電気を逃がす必要があった。人体に帯電された静電気を逃がすために、特開２０００−３１１７９５公報に記載されているものや、特開平８−２２７７９９公報に記載されているものが知られている。また、従来技術として図５のような静電気除去装置も知られている。
【０００３】
次に図５を用いて従来の静電気除去装置を説明する。
静電気除去装置は、リストストラップ１０１と、作業机１０２、金属製リング１０３、金属線１０４、導電マットのアース１０５、アース線１０６より構成されている。
【０００４】
リストストラップ１０１は、腕にはめるものであり、常に腕に接触させるようにする。作業中はリストストラップ１０１は常に腕に接触している状態となり、リストストラップ１０１は人体に帯電した静電気を金属製リング１０３へ逃がす。図５ではリストストラップ１０１は輪の状態になっているが、それに限らず指に接触させるようにしても良い。
【０００５】
リストストラップ１０１は金属製リング１０３に接続され、金属製リング１０３はさらに作業机１０２に設けられた金属線１０４に接触している。
金属線１０４は金属製リング１０３のリング内を通っており、金属製リング１０３と金属線１０４は接触されている。
さらに、金属線１０４はアース線１０６により接地される。
【０００６】
図５の静電気除去装置により作業を行う場合、リストストラップ１０１を腕にはめ、作業机１０２上にて作業を行う。
人体に帯電された静電気はリストストラップ１０１、金属製リング１０３、金属線１０４を通じてアース線１０６に流れていく。これにより、人体より静電気が除去される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
作業者は作業机上で作業を行う。このとき、作業机の机上を有効に利用するため作業机を広範囲で利用する。作業机を広範囲に利用するために、作業者は移動をしながら作業を行うことがある。このとき金属製リング１０３は作業者の邪魔にならないように金属線１０４上を移動している。
【０００８】
しかしながら、金属線１０４は金属製リング１０３の輪内を通っているだけであるため、時にはうまく接触されない場合がある。このような場合は、人体に帯電された静電気を逃がすことが困難となり、半導体素子が破壊されることがあった。
【０００９】
本発明は上記のような問題を解決するための静電気除去装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以上の問題を解決するために、リストストラップにより静電気を作業机を通じて逃がす静電気除去装置において、前記作業机には可動可能なアースジャックを設けたアースレールが設けられ、前記リストストラップは前記アースジャックを通じてアースレールに接続されたことを特徴とする静電気除去装置を提供する。
【００１１】
さらに、前記静電気除去装置において、前記アースジャックと前記アースレールの接触を監視する監視部を設けたことを特徴とする静電気除去装置を提供する。
【００１２】
また、前記静電気除去装置において、前記監視部は監視結果を報知部に通知し、前記報知部は監視結果に応じて報知を行うことを特徴とする静電気除去装置を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
ここで、図５と同様の符号のものは、図１に於いても図５と同様の構成とする。
【００１４】
図１における本実施例の静電気除去装置の新規な構成は、アースレール２０１とアースレール２０１にはめ込まれているアースジャック２０２、アースプラグ２０３、導電マットのアース１０５やアース線１０６を接続し、さらにアースレール２０１と接続しているアース端子接続部２８である。
その他に図５の静電気除去システムと同様の構成である、リストストラップ１０１と、作業机１０２、導電マットのアース１０５、アース線１０６より構成されている。
【００１５】
本実施例ではリストストラップ１０１の端部にアースプラグ２０３を設けている。アースプラグ２０３は作業机１０２の側部に設けられたアースレール２０１に設けられたアースジャック２０２に射し込む。これによりアースレール２０１とアースプラグ２０３はアースジャック２０２を通じて電気的に接続される。アースレール２０１はアース接続部２０４を通じてアース線１０６に接続されており、接地されている。これにより、リストストラップ１０１から流れる静電気はアースプラグ２０３、アースジャック２０２、アースレール２０１、アース接続部２０４を通じて、逃がすことができる。
【００１６】
ここで、アースプラグ２０３とアースジャック２０２、アースレール２０１の接続状態について図２、図３を用いて詳細に説明する。ここで、図２は接触状態の断面図、図３は接触状態の斜視図である。
３０１は内部配線、３０２は金属製ローラ、３０３はアースバー、３０４はバネである。
【００１７】
リストストラップ１０１の端部に設けられたアースプラグ２０３はアースジャック２０２の穴部に図２のように差し込まれる。アースプラグ２０３はたわみを持っており、アースジャック２０２の穴部に差し込むことにより、内部配線３０１とアースジャック２０２のたわみ部分が接触し、アースプラグ２０３とアースジャック２０２は電気的に接触する。
【００１８】
内部配線３０１は金属製の物質により作られている。内部配線３０１は金属製ローラ３０２に必ず接触させるようにする。そのために、バネ３０４はアースジャック２０２の内部配線３０１に金属製ローラ３０２を押しつけるようにして設けている。
本実施例ではアースバー３０３側に金属製ローラを押しつけているが、金属製ローラ３０２と内部配線３０１が接触していれば良く、例えばアースバー３０３と反対方向に押しつけていてもよい。
【００１９】
金属製ローラ３０２はアースバー３０３と一体となっており、図３のように、アースレール２０１の内部に設けられている。
また、アースジャック２０２はアースレール２０１と、金属製ローラ３０２とかみ合うように設けられている。
このため、アースジャック２０２は金属製ローラ３０２と常に接触しながら、アースレール２０１をスライドすることが可能となる。
【００２０】
ここで金属製ローラ３０２と記載したが、ローラに限るものではなく、ブラシや板バネ等、アースジャック２０２に金属的に接触することが可能で、かつアースジャック２０２の動きを邪魔しないようなもので有ればよい。
【００２１】
続いて第二の実施例を説明する。
第二の実施例は、第一の実施例のアース接続部２０４を新たにアース接続部４０３に置き換えたものである。
【００２２】
図４を用いて本実施例のアース接続部４０３を説明する。
アース接続部４０３は、アース線１０６等を接続するプラグの他に、ＬＥＤ４０１、スピーカー４０２より構成されている。
【００２３】
アース接続部４０３の内部には図示しない接触監視部が設けられている。接触監視部は、アースレール２０１とアースジャック２０２が不安定に接触する、または切断されている、等電気的な接続が不安定、または電気的に接続されていない状態を監視するものである。
【００２４】
図示しない接触監視部が接触状態を監視し、電気的に接続が不安定、または電気的に接続されていない状態を検出したとき、接触監視部はＬＥＤ４０１やスピーカー４０２にその旨の情報を送信する。接触監視部はＬＥＤ４０１やスピーカー４０２は受信した情報により、警告を行う。このときの警告は、接触不良や未接続状態により、報知パターンをかえてもよい。
報知パターンとは、例えばスピーカー４０２から「接触不良です」等のメッセージを流す、ＬＥＤ４０１を点滅させる、等が考えられる。
【００２５】
本発明の第一の実施例、第二の実施例では、アースレール２０１は作業机１０２の側面に設けていたが、それに限るものではなく、作業者の邪魔にならないよう場所に設ければよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように第一の発明によれば、作業者が作業机内で移動を行っても、リストストラップのアースジャックが常にアースレールに接触して動くので、安定した接地が可能となる。それにより、常に安定した作業を行うことが可能となる。
【００２７】
さらに第二の実施例によれば、アースジャックとアースレールの接触状態が報知されるので、常に適正な状態で接地されているか否かを監視することができ、より安定した作業を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施例
【図２】本発明の第一の実施例のアースレール及びアースジャック接触図
【図３】本発明の第一の実施例のアースレール及びアースジャック接触状態の斜視図
【図４】本発明の第二の実施例
【図５】従来の静電気除去装置
【符号の説明】
１０１…リストストラップ　１０２…作業机　１０３…金属製リング
１０４…金属線　１０５…導電マットのアース　１０６…アース線
２０１…アースレール　２０２…アースジャック　２０３…アースプラグ
２０４、４０３…アース接続部
３０１…内部配線　　３０２…金属製ローラ　３０３…アースバー
３０４…バネ
４０１…ＬＥＤ　４０２…スピーカー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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