(57)【要約】【課題】被描画体の寸法に応じて搬送用の吸着パットを適切な位置に調整することにより、多様な寸法の被描画体を安定して搬送できる。【解決手段】搬送装置２０の搬入部２２に直交する３軸方向に相対移動可能な搬入用吸着ユニット２２６を設ける。搬入用吸着ユニット２２６は搬送制御部の制御に基づいて、１２個の吸着パット組立体２２４ａ〜２２４ｌをマトリクス状に配列して成り、寸法検出センサ２３６ａ、２３６ｂによって測定された基板の相対位置に基づいて搬入用吸着ユニット２２６を位置決めすると共に、基板の寸法に応じてＸ方向における吸着パットの間隔を定める。【選択図】        図２
2004163488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームで被描画体に回路パターンを描画する描画装置に対して前記被描画体を搬送する搬送装置であって、
前記被描画体について少なくとも水平面上の第１方向に関する相対位置と寸法とを検出する検出手段と、
前記被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、前記第１方向に関して隣り合う２つの吸着パットの間隔を変更可能であると共に前記第１方向に沿って移動自在である搬入部と、
前記検出手段により検出された前記被描画体の相対位置に応じて前記搬入部を位置決めすると共に、前記検出手段により検出された前記被描画体の寸法に応じて前記搬入部に設けられた前記吸着パットの第１方向における間隔を定める制御手段と
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記被描画体は対向する２つの端縁が前記第１方向に平行した長方形板状を呈し、前記吸着パットは、前記第１方向において少なくとも前記被描画体の２つの端縁近傍と前記被描画体の中央とに配されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬入部が、前記吸着パットをそれぞれ固定した固定端部材、自由端部材および中間部材を備え、前記固定端部材は第１方向に関して固定され、前記自由端部材は前記固定端部材に対して第１方向に沿って相対移動自在であり、前記中間部材は前記自由端部材に連動して前記固定端部材および前記自由端部材の中間に位置することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記調整手段が前記自由端部材と前記中間部材とを同時に駆動する単一のモータを備え、前記自由端部材の移動速度が前記中間部材の移動速度の２倍であることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記検出手段が前記搬入部に一体的に設けられた第１および第２位置検出センサを有し、前記被描画体の前記描画装置への搬入前に、これら第１および第２位置検出センサが前記被描画体の両端縁の相対位置を検出し、検出結果に基づいて前記寸法が求められることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、前記被描画体を前記描画装置から搬出する搬出部をさらに備え、
前記制御手段によって、前記検出手段により検出された前記被描画体の相対位置に応じて前記搬出部が位置決めされると共に、前記検出手段により検出された前記被描画体の寸法に応じて前記搬出部に設けた吸着パットの前記第１方向における間隔が定められることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記搬入部の吸着パットが、前記第１方向とこの第１方向と水平面上において直交する第２方向とに沿ってマトリクス状に配列され、
前記被描画体の互いに対向する２つの端縁が前記第２方向に平行に一時的に位置決めされ、
前記検出手段が前記第２方向に関する前記端縁の少なくとも一方の相対位置を検出すると共に、前記制御手段が前記検出手段により検出された前記被描画体の第２方向における相対位置に応じて前記搬入部を位置決めすることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項８】
レーザビームで被描画体に回路パターンを描画する描画手段と、この描画手段に対して前記被描画体を搬送する搬送手段とを備えた描画システムであって、
前記搬送手段が、前記被描画体について少なくとも水平面上の第１方向に関する相対位置と寸法とを検出する検出手段と、前記被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、前記第１方向に関して隣り合う２つの前記吸着パットの間隔を変更可能であると共に前記第１方向に沿って移動自在である搬入部と、前記検出手段により検出された前記被描画体の相対位置に応じて前記搬入部を位置決めすると共に、前記検出手段により検出された前記被描画体の寸法に応じて前記搬入部に設けられた前記吸着パットの第１方向における間隔を定める制御手段とを有する
ことを特徴とする描画システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性の被描画体を光ビームで走査させつつ、この光ビームを描画データに基づいて変調させることにより、被描画体に所定パターンを描画する描画装置に対して被描画体を搬入または搬出する搬送装置に関し、また上記描画装置に搬送装置を組み合わせた描画システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の描画システムでは、基板等の被描画体にレーザビームでもって回路パターンを直接描画するレーザ描画装置と、このレーザ描画装置に被描画体を搬入および搬出する搬送装置とが組み合わされる（例えば、特許文献１参照）。このレーザ描画装置は、元来、回路基板の多品種少量生産用として開発されたものであり、レーザ描画装置だけでなく搬送装置が様々な寸法の被描画体（基板）を扱えることが必要である。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１３１８５２号公報
【０００４】
特許文献１に示された搬送装置では、被描画体の寸法を予め測定し、その測定寸法に応じた数の吸着パットを選択的に用いている。しかし、個々の吸着パットは枠体に対して所定の位置に固定されており、被描画体の寸法によっては吸着パットが偏って配置されることもあり、吸着パットの位置が偏っていると被描画体が撓んで安定した搬送ができなくなるという恐れがある。即ち、常に安定して搬送するために扱える被描画体の寸法は限定され、自由度が極めて少なかった。
【０００５】
上記問題点は吸着パットの本数を増加させれば改善されるが、この場合、部品点数が増加して構成およびその制御が複雑になるだけでなく、吸着パットの数および間隔を適切なものにするためには作業が極めて煩雑になって搬送に要する時間が多くなるという別の問題が生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑みて成されたものであり、搬送装置において、吸着パットの本数を最小限に抑えた簡単な構成で、被描画体の扱える寸法の自由度を高めると共に、被描画体を安定して搬送することが課題である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の搬送装置は、レーザビームで被描画体に回路パターンを描画する描画装置に対して被描画体を搬送する搬送装置であって、被描画体について少なくとも水平面上の第１方向に関する相対位置と寸法とを検出する検出手段と、被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、第１方向に関して隣り合う２つの吸着パットの間隔を変更可能であると共に第１方向に沿って移動自在である搬入部と、検出手段により検出された被描画体の相対位置に応じて搬入部を位置決めすると共に、検出手段により検出された被描画体の寸法に応じて搬入部に設けられた吸着パットの第１方向における間隔を定める制御手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
上記搬送装置において、被描画体は対向する２つの端縁が第１方向に平行した長方形板状を呈し、吸着パットは、第１方向において少なくとも被描画体の２つの端縁近傍と被描画体の中央とに配される。
【０００９】
上記搬送装置において、搬入部が、吸着パットをそれぞれ固定した固定端部材、自由端部材および中間部材を備え、固定端部材は第１方向に関して固定され、自由端部材は固定端部材に対して第１方向に沿って相対移動自在であり、中間部材は自由端部材に連動して固定端部材および自由端部材の中間に位置する。またさらに、調整手段が自由端部材と中間部材とを同時に駆動する単一のモータを備え、自由端部材の移動速度が中間部材の移動速度の２倍である。
【００１０】
上記搬送装置において、検出手段が搬入部に一体的に設けられた第１および第２位置検出センサを有し、被描画体の描画装置への搬入前に、これら第１および第２位置検出センサが被描画体の両端縁の相対位置を検出して寸法が求められる。
【００１１】
上記搬送装置において、被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、被描画体を描画装置から搬出する搬出部をさらに備え、制御手段によって、検出手段により検出された被描画体の相対位置に応じて搬出部が位置決めされると共に、検出手段により検出された被描画体の寸法に応じて搬出部に設けた吸着パットの第１方向における間隔が定められる。
【００１２】
上記搬送装置において、搬入部の吸着パットが、第１方向とこの第１方向と水平面上において直交する第２方向とに沿ってマトリクス状に配列され、被描画体の互いに対向する２つの端縁が第２方向に平行に一時的に位置決めされ、検出手段が第２方向に関する端縁の少なくとも一方の相対位置を検出すると共に、制御手段が検出手段により検出された被描画体の第２方向における相対位置に応じて搬入部を位置決めする。
【００１３】
また、本発明の描画システムは、レーザビームで被描画体に回路パターンを描画する描画手段と、この描画手段に対して被描画体を搬送する搬送手段とを備えた描画システムであって、搬送手段が、被描画体について少なくとも水平面上の第１方向に関する相対位置と寸法とを検出する検出手段と、被描画体を吸着または開放する複数の吸着パットが配列されて成り、第１方向に関して隣り合う２つの吸着パットの間隔を変更可能であると共に第１方向に沿って移動自在である搬入部と、検出手段により検出された被描画体の相対位置に応じて搬入部を位置決めすると共に、検出手段により検出された被描画体の寸法に応じて搬入部に設けられた吸着パットの第１方向における間隔を定める制御手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は描画システムの概略を示す図である。この描画システムは、被描画体、具体的にはフォトレジスト層が形成された基板Ｓをレーザビームによって所定の回路パターンに対応する部位を露光することにより、基板Ｓに回路パターンを直接描画するためのものであり、基板Ｓに回路パターンを描画する描画装置１０と、描画装置１０に対して基板Ｓを搬入するまたは描画装置１０から基板Ｓを搬出する搬送装置２０と、これら描画装置１０および搬送装置２０の動作を制御する制御装置３０とを備える。
【００１６】
制御装置３０は、描画装置１０を制御する描画制御部３２と、搬送装置２０を制御する搬送制御部３４とを備え、これら描画制御部３２および搬送制御部３４はそれぞれＣＰＵ（中央演算処理装置）等のマイクロプロセッサと、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリとを備えたマイクロコンピュータとして構成される。描画制御部３２および搬送制御部３４は互いに接続されて、相互間で種々のデータが送受信可能である。
【００１７】
制御装置３０には、ＥＷＳ（エンジニアリング・ワークステーション）に代表される回路パターン作成編集装置４０がＬＡＮインターフェースを介して接続され、この回路パターン作成編集装置４０で作成・編集された回路パターンのベクタデータと、描画すべき基板Ｓの寸法情報とが、必要に応じて制御装置３０の描画制御部３２に転送され、描画制御部３２のＲＡＭに一時的に格納される。基板Ｓを描画する際には、描画制御部３２は回路パターンのベクタデータをＲＡＭから読み出してラスタデータに変換し、予め描画装置１０に転送しておく。
【００１８】
描画装置１０は、所定位置に固定された描画ユニット１２と、基板Ｓを支持固定して描画ユニット１２に対して相対移動する描画テーブル１４とを備え、描画ユニット１２による主走査方向に沿うレーザビームの走査と、描画テーブル１４の副走査方向に沿う相対移動とを繰り返し行う。描画ユニット１２は描画制御部３２から転送された回路パターンのラスタデータに基づいてレーザビームを変調し、これにより基板Ｓに回路パターンが順次描画される。描画テーブル１４は、基板Ｓが搬入または搬出されるときには、外部に引き出されて露出した準備位置に定められる。
【００１９】
搬送装置２０は、描画装置１０の図中右方に配され準備位置の描画テーブル１４に対して基板Ｓを搬入する搬入部２２と、描画装置１０の図中左方に配され準備位置の描画テーブル１４から基板Ｓを搬出する搬出部２４とを備える。この描画システムにおいては３次元直交座標系が設定され、描画テーブル１４の移動方向（副走査方向）はＸ軸に平行であり、また描画ユニット１２による主走査方向および搬送方向はＹ軸に平行である。また、鉛直方向（図の上下方向）はＺ軸に平行である。
【００２０】
搬入部２２は、外部から基板Ｓが供給される搬入用ベルトコンベア２２２と、この搬入用ベルトコンベア２２２の上方に設けられて、図中下方に向かって突出した複数本の吸着パット組立体から成る吸着パット群２２４を備えた搬入用吸着ユニット２２６とを有している。
【００２１】
搬入用吸着ユニット２２６は搬送装置２０のフレーム（図示せず）に対して、第１方向であるＸ軸方向、第２方向であるＹ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれについて相対移動自在に支持される。即ち、搬入用吸着ユニット２２６は、Ｚ軸に平行に延びるガイド部材２２８ｚに一体的に固定され、ガイド部材２２８ｚはその上端部においてＸ軸に平行に延びるガイド部材２２８ｘによってＸ方向およびＺ方向に摺動自在に支持され、さらにガイド部材２２８ｘは、搬送装置２０のフレームに固定されＹ軸に平行なガイド部材２２８ｙによってＹ方向に摺動自在に支持されている。搬入用吸着ユニット２２６の３軸方向における相対移動は例えば各軸方向に対応して設けられたモータ（図示せず）の駆動により行われ、その移動距離はエンコーダ等によって測定されたモータの回転量に基づいて求められる。搬入用吸着ユニット２２６のＸ、ＹおよびＺ軸に関する移動方向および移動距離は、搬送制御部３４により常に監視される。
【００２２】
搬送制御部３４により基板Ｓの搬入が指示されると、外部から搬入用ベルトコンベア２２２上に基板Ｓが供給され、搬入用ベルトコンベア２２２は、基板Ｓの搬送方向に関して前方側の端縁部（以下、第１側縁部Ｓｅ１と記載する）が搬入方向前方側即ち図中左側に設けられたストッパ２３０に当接する位置まで駆動させられる。基板Ｓの第１側縁部Ｓｅ１がストッパ２３０に当接してその移動が規制されると、搬入用ベルトコンベア２２２の駆動が停止させられる。この第１側縁部Ｓｅ１のストッパ２３０への当接を検出する構成としては、ストッパ２３０と搬入用ベルトコンベア２２２の先端との間隙に向かってレーザビームを射出してその反射光の有無を検出するレーザセンサ２３２が挙げられるが、その他、例えばストッパ２３０に直接組み込まれて基板Ｓの接触を検知するコンタクトスイッチ（図示せず）等でもよく、特に限定されない。
【００２３】
搬入用吸着ユニット２２６は初期位置から一旦下降し（実線矢印Ａで示す）、図で示す位置で搬入用ベルトコンベア２２２上に載置された基板Ｓを吸着パット群２２４により吸着して図中上方に引き上げ（実線矢印Ｂ）、搬入用ベルトコンベア２２２から図中左方（実線矢印Ｃ）にスライドし、準備位置に位置決めされた描画テーブル１４の上方にまで移動した後下降し（実線矢印Ｄ）、基板Ｓを描画テーブル１４上に載置して吸着パット群２２４から基板Ｓを開放する。その後、初期位置に戻される（実線矢印Ｅ、実線矢印Ｆ）。
【００２４】
搬出部２４は、搬入部２２とほぼ同じ構成を有し（対応する構成には符号に２０を加算して示している）、描画テーブル１４の図中左方に位置する搬出用ベルトコンベア２４２と、その上方に設けられた搬出用吸着ユニット２４６とを備える。搬出用吸着ユニット２４６は、搬送制御部３４により基板Ｓの搬出が指示されると、初期位置から描画テーブル１４の上方に即ち図中右方へスライドし（実線矢印Ｇ）、下降して（実線矢印Ｈ）描画テーブル１４上の基板Ｓを吸着パット群２４４で吸着した後これを引き上げ、再び図中左方にスライドして搬出用ベルトコンベア２４２の上方にまで移動した後下降して基板Ｓを搬出用ベルトコンベア２４２上に載置して吸着パット群２４４から基板Ｓを開放する（実線矢印Ｉ）。その後、搬出用ベルトコンベア２４２が駆動されて基板Ｓが搬送装置２０から排出されると共に、搬出用吸着ユニット２４６は初期位置に戻される（実線矢印Ｊ）。
【００２５】
搬入用吸着ユニット２２６には搬入用ベルトコンベア２２２に供給された基板Ｓの寸法情報を計測するための３つの寸法検出センサ２３４、２３６ａおよび２３６ｂが設けられており、描画テーブル１４への移動前、具体的には基板Ｓの第１側縁部Ｓｅ１がストッパ２３０に当接した位置に位置決めされているときに、基板Ｓの寸法が計測される。なお、図１では寸法検出センサ２３６ｂは図示されない（図２参照）。基板Ｓは長方形を呈し、その寸法は縦幅Ｌｘおよび横幅Ｌｙによって表される（図５参照）。搬送装置２０および描画装置１０においては、基板Ｓの縦方向はＸ軸に平行であり、横方向はＹ軸に平行である。
【００２６】
この基板Ｓの寸法情報（計測値）は搬送制御部３４に転送され、描画制御部３２から搬送制御部３４に与えられた基板Ｓの寸法情報（設計値）と比較され、両者が一致した場合には、描画動作を許可する信号が搬送制御部３４から描画装置１０に送られ、搬入用吸着ユニット２２６によって描画テーブル１４に搬送された基板Ｓに回路パターンが描かれ、描画済みの基板Ｓは搬出用吸着ユニット２４６によって搬出用ベルトコンベア２４２に搬送される。
【００２７】
２つの基板Ｓの寸法情報即ち計測値と設計値とが一致しない場合には、描画動作を禁止する信号が搬送制御部３４から描画装置１０に送られ、基板Ｓは搬入用吸着ユニット２２６によって描画テーブル１４に搬送されるが回路パターンを描画されることなく、搬出用吸着ユニット２４６によって描画テーブル１４と搬出用ベルトコンベア２４２の間に設けられた不適合基板排出部２６に排出される（破線矢印Ｋ）。このように、本実施形態の搬送装置２０では、誤った寸法の基板Ｓが供給された場合にはこれを排除して描画を未然に防止することができる。
【００２８】
図２〜図４を参照して、搬入用吸着ユニット２２６の構成を詳述する。図２は搬入用吸着ユニット２２６をガイド部材２２８ｚ側から見た平面図であって、その構成の一部が破断して示される。図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う縦断面図、図４は図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う横断面図である。
【００２９】
搬入用吸着ユニット２２６は、ガイド部材２２８ｚの下端面に一体的に固定されてＸＹ平面に平行な支持板部材２５０を備え、この支持板部材２５０の下方にはＹ軸に平行な３本の支持棒部材２５２が一体的に固定される。これら支持棒部材２５２の両端部底面には、Ｘ軸に平行な２本のレール部材２５４が一体的に固定される。なお、図２ではガイド部材２２８ｚおよび支持板部材２５０は図示されない。
【００３０】
レール部材２５４の下方には、同寸法形状の３本の棒部材がＹ軸に平行して設けられており、その内の１本はレール部材２５４の一端部に固定され、他の２本はレール部材に沿って即ちＸ軸方向に摺動自在に設けられる。以下の記載では、固定された棒部材を固定端部材２６２、その反対側の端部に設けられた棒部材を自由端部材２６６、固定端部材２６２および自由端部材２６６の中間に設けられた棒部材を中間部材２６４と記す。
【００３１】
固定端部材２６２には４本の吸着パット組立体２２４ａ、２２４ｂ、２２４ｃおよび２２４ｄが取り付けられ、これら４本の吸着パット組立体２２４ａ〜ｄはＹ軸に平行に所定の間隔で並んでいる。同様に、中間部材２６４には４本の吸着パット組立体２２４ｅ、２２４ｆ、２２４ｇおよび２２４ｈが、また自由端部材２６６には４本の吸着パット組立体２２４ｉ、２２４ｊ、２２４ｋおよび２２４ｌがそれぞれ取り付けられる。これらマトリクス状に配された１２本の吸着パット組立体２２４ａ〜２２４ｌによって、前述の吸着パット群２２４（図１参照）が構成される。
【００３２】
個々の吸着パット組立体２２４ａ〜ｌは、ベローズ形状の耐圧ホースと、この耐圧ホースの下側先端部に取り付けられた吸着パットとから成り、耐圧ホースの上側先端部は固定端部材２６２、中間部材２６４および自由端部材２６６にそれぞれ挿通させられて適宜固着される。耐圧ホースは吸引ホース（図示せず）を介して真空作動源（図示せず）に接続される。
【００３３】
自由端部材２６６および中間部材２６４の双方は単一のモータ２７０により駆動され、自由端部材２６６は基板Ｓの縦幅Ｌｘに応じてＸ軸方向に移動し、中間部材２６４は自由端部材２６６に連動し、常に固定端部材２６２と自由端部材２６６との中間に位置決めされる。
【００３４】
３本の支持棒部材２５２の底面にはＸ軸方向に伸びる駆動部支持板部材２５６が一体的に固定され、この駆動部支持板部材２５６は２本のレール部材２５４の中間に配される。この駆動部支持板部材２５６には、モータ２７０と、２組の駆動・従動プーリ即ち第１駆動プーリ２８０および第１従動プーリ２８２と、第２駆動プーリ２９０および第２従動プーリ２９２と、２本の駆動ベルト２８４および２９４（図中、一点鎖線で示される）と、増速ギア列２７２とを備えたベルト駆動機構が固設される。
【００３５】
モータ２７０は、駆動部支持板部材２５６の自由端部材２６６側端部の上面に固定され、その出力軸に取り付けられたプーリ３０２は、その鉛直下方に位置する同径のプーリ３０４とベルト３０６によって連結される。プーリ３０４と一体的な第１回転軸部材３０８は、駆動部支持板部材２５６の底面に固設された２つの軸受部材３１０によって軸支され、Ｙ軸に沿って延びている。第１駆動プーリ２８０は２つの軸受部材３１０の間に位置し、中央に挿通した第１回転軸部材３０８と一体的に回転する。第１駆動プーリ２８０は、第１従動プーリ２８２と共動して、両者に巻回されＸ軸方向に延びた駆動ベルト２８４を回転させる。第１従動プーリ２８２は、駆動部支持板部材２５６の固定端部材２６２側端部の底面側に配され、駆動部支持板部材２５６の底面に２つの軸受部材３３２によって固設されＹ軸に沿って延びる第３回転軸部材３３０に軸支され、第３回転軸部材３３０周りに相対回転する。駆動ベルト２８４の一部には締結機構２８６によって中間部材２６４が一体的に取り付けられる。
【００３６】
モータ２７０を正転させると、その回転駆動力は、プーリ３０２、ベルト３０６、プーリ３０４、回転軸部材３０８を介して第１駆動プーリ２８０に伝達され、第１駆動プーリ２８０と共に駆動ベルト２８４が相対回転すると、中間部材２６４がＸ軸に沿って固定端部材２６２に近づく方向即ち図２の左方へ相対移動する。モータ２７０を反転させると、各プーリ３０２、３０４、２８０及びベルト３０６、２８４の回転方向が逆となって中間部材２６４は固定端部材２６２から離れる方向即ち図２の右方へ相対移動する。
【００３７】
第１回転軸部材３０８は、増速ギア列２７２を介して第２回転軸部材３１８に連結されており、第２回転軸部材３１８は第１回転軸部材３０８と平行即ちＹ軸方向に延びて、駆動部支持板部材２５６の底面に固設された２つの軸受部材３２０に軸支されると共に、第２駆動プーリ２９０の中心を挿通してこれを一体的に回転させる。第２駆動プーリ２９０は、第２従動プーリ２９２と共動して両者に巻回されＸ軸方向に延びた駆動ベルト２９４を回転させ、締結機構２９６によって駆動ベルト２９４に固定された自由端部材２６６をＸ軸方向に相対移動させる。第２従動プーリ２９２は、第１従動プーリ２８２と共用される第３回転軸部材３３０周りに相対回転自在である。
【００３８】
このように、単一のモータ２７０によって、第１駆動プーリ２８０および第２駆動プーリ２９０の双方が同期回転する。ここで注目すべきことは、増速ギア列２７２を介することによって、第２駆動プーリ２９０の回転速度が第１駆動プーリ２８０の回転速度の２倍となる点である。増速ギア列２７２は、第１回転軸部材３０８と一体的な第１ギア２７２ａと、第２回転軸部材３１８と一体的な第２ギア２７２ｂとからなり、両者の半径比は２：１となっている。これにより回転速度は２倍に増速されて第２駆動プーリ２９０へ伝達されることになる。
【００３９】
従って、自由端部材２６６は中間部材２６４と同時にかつ中間部材２６４の２倍の速度で相対移動することになり、自由端部材２６６の相対移動距離は常に中間部材２６４の相対移動距離の２倍となる。中間部材２６４は図２および図３に示す初期位置において固定端部材２６２と自由端部材２６６との中間に位置決めされており、この初期位置からいかなる位置に移動したとしてもその相対移動距離が自由端部材２６６の相対移動距離の半分であることから、常に固定端部材２６２と自由端部材２６６との中間に位置することができる。
【００４０】
即ち、搬入用吸着ユニット２２６においては、固定端部材２６２に設けられた４本の吸着パット組立体２２４ａ〜ｄは所定位置に定められると共に、自由端部材２６６に設けられた４本の吸着パット組立体２２４ｉ〜ｌは吸着パット組立体２２４ａ〜ｄに対してＸ軸方向に任意の間隔で位置決めされ、中間部材２６４に設けられた４本の吸着パット組立体２２４ｅ〜ｈは吸着パット組立体２２４ａ〜ｄと吸着パット組立体２２４ｉ〜ｌとの中間に位置決めされる。図２では、吸着パット組立体２２４ｅ〜ｈのＸ軸方向の間隔が最大の時の位置を実線で示し、間隔が最小の場合の位置を破線で示している。
【００４１】
なお、搬送制御部３４はモータ２７０の出力軸に取り付けたロータリエンコーダ２７４（図４参照）の検出結果に基づいてモータ２７０の回転方向および回転量をモニタしており、これにより自由端部材２６６および中間部材２６４の相対位置を制御している。
【００４２】
上述したように、搬入用吸着ユニット２２６には基板Ｓの寸法を測定する３つの寸法検出センサ２３４、２３６ａおよび２３６ｂが設けられている。これら寸法検出センサ２３４、２３６ａおよび２３６ｂによる寸法測定は、基板Ｓが搬入用ベルトコンベア２２２上に載置されてかつ第１側縁部Ｓｅ１がストッパ２３０に当接した状態にあるときに行われる。なお、図３では寸法検出センサ２３４、２３６ａおよび２３６ｂの位置が破線で示される。
【００４３】
図５は、基板Ｓの寸法測定を段階的に示す図である。なお図５では図の複雑化を避けるために、搬入用吸着ユニット２２６の相対位置は破線で示され、その構成の１２本の吸着パット組立体２２４ａ〜２２４ｌ（図５では符合の数字２２４を省略してアルファベットａ〜ｌのみを付す）、これらを支持する固定端部材２６２、中間部材２６４および自由端部材２６６、寸法検出センサ２３４、２３６ａおよび２３６ｂのみが示される。
【００４４】
図５（ａ）に示すように、基板Ｓの搬入前では、搬入用吸着ユニット２２６は可動領域の最もＸ軸方向負側かつ最もＹ軸方向負側の初期位置（図の右下隅）に位置決めされており、この初期位置で固定端部材２６２−中間部材２６４間の距離および中間部材２６４−自由端部材２６６間の距離が共に最大値Ｄｍａｘ、即ち吸着パット組立体のＸ軸方向の間隔が最大値Ｄｍａｘとなるように設定される。搬送制御部３４は、搬入用吸着ユニット２２６の初期位置のＸ座標、Ｙ座標およびＺ座標、さらにストッパ２３０の当接面のＹ座標Ｙ１等の座標データを保持している。
【００４５】
次に図５（ｂ）を参照して説明する。基板Ｓが搬入用ベルトコンベア２２２上に搬入され、その第１側縁部Ｓｅ１がストッパ２３０に当接したことがセンサ２３２により検出されると、搬送制御部３４により、搬入用吸着ユニット２２６全体がＸ軸方向正側（図中上方）に所定の速度で移動させられる。第１縦幅寸法検出センサ２３６ａは固定端部材２６２のＹ軸方向正側の端部に固定されており、この第１縦幅寸法検出センサ２３６ａが搬入用吸着ユニット２２６の移動中に基板ＳのＸ軸方向正側の縁端部（以下、第２側縁部Ｓｅ２と記載する）を検出すると、その位置で搬入用吸着ユニット２２６が停止させられるとともに、搬入用吸着ユニット２２６のＸ軸方向の移動距離が求められる。搬送制御部３４において、搬入用吸着ユニット２２６を移動させるためにモータ（図示せず）に出力した駆動パルス数に基づいて上記移動距離が求められる。搬送制御部３４はさらに、搬入用吸着ユニット２２６の初期位置のＸ座標と上記移動距離とに基づいて第２側縁部Ｓｅ２のＸ座標Ｘ１を算出する。
【００４６】
第１縦幅寸法検出センサ２３６ａによる第２側縁部Ｓｅ２の検出について説明すると、その検出は搬入用ベルトコンベア２２２の搬送面の反射率と基板Ｓの表面の反射率との相違に基づいて容易に行うことができる。例えば、搬入用ベルトコンベア２２２の搬送面をレーザビームをほとんど反射しない黒色面とした場合、搬入用吸着ユニット２２６の移動中に反射したレーザビームの光強度変化を適当な時間間隔で逐次モニタすることにより、基板Ｓの第２側縁部Ｓｅ２を検出することができる。
【００４７】
続いて図５（ｃ）を参照すると、固定端部材２６２が停止させられた状態で中間部材２６４および自由端部材２６６がモータ駆動によりＸ軸方向正側へ移動させられる。第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂは自由端部材２６６のＹ軸方向正側（図中左側）の端部に固定され、この第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂが中間部材２６４および自由端部材２６６の移動中に基板ＳのＸ軸方向負側の縁端部（以下、第３側縁部Ｓｅ３と記載する）を検出すると、その位置で中間部材２６４および自由端部材２６６が停止させられる。搬送制御部３４は、モータ２７０に与えた駆動パルス数に基づいて自由端部材２６６のＸ軸方向の移動距離を求め、さらに第３側縁部Ｓｅ３のＸ座標Ｘ２を算出する。第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂによる第３側縁部Ｓｅ３の検出は、第１縦幅寸法検出センサ２３６ａによる検出と同様の態様で行われる。
【００４８】
基板Ｓの縦幅Ｌｘは、搬送制御部３４において求められ、第２側縁部Ｓｅ２のＸ座標Ｘ１から第３側縁部Ｓｅ３のＸ座標Ｘ２を差し引くことにより得られる。
【００４９】
図５（ｃ）に明らかなように、第１縦幅寸法検出センサ２３６ａの検出位置は最もＸ軸方向正側に位置する吸着パット組立体２２４ａ〜ｄよりも僅かに正側に設定されており、これにより第１縦幅寸法検出センサ２３６ａが第２側縁部Ｓｅ２を検出した位置で固定端部材２６２を停止させるだけで、吸着パット組立体２２４ａ〜ｄを第２側縁部Ｓｅ２の僅か内側に配することができる。同様に、第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂの検出位置は吸着パット組立体２２４ｉ〜ｌよりも僅かに負側に設定されているため、第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂによる第３側縁部Ｓｅ３の検出時点で自由端部材２６６を停止させると、吸着パット組立体２２４ｉ〜ｌは第３側縁部Ｓｅ３の僅か内側に配される。これと同時に、吸着パット組立体２２４ｅ〜ｈは基板ＳのＸ軸方向中央に位置決めされる。このように、寸法を測定すると同時にＸ軸方向に関して吸着パット群２２４を等間隔に配することができ、なおかつＸ軸方向両端の吸着パット２２４ａ〜ｄおよびｉ〜ｌをそれぞれ基板Ｓの第２側縁部Ｓｅ２および第３側縁部Ｓｅ３の近傍に配することができる。
【００５０】
次に、図５（ｄ）を参照する。基板Ｓの縦幅Ｌｘの測定が終了すると、搬送制御部３４により、搬入用吸着ユニット２２６全体がＹ軸方向正側に所定の速度で移動させられる。横幅寸法検出センサ２３４は中間部材２６４のＹ軸方向負側の端部に固定され、この横幅寸法検出センサ２３４が搬入用吸着ユニット２２６の移動中に基板ＳのＹ軸方向負側の縁端部（以下、第４側縁部Ｓｅ４と記載する）を検出すると、その位置で搬入用吸着ユニット２２６が停止させられるとともに、搬送制御部３４によってＹ軸方向に沿う移動距離が求められ、さらにはこの移動距離に基づいて第４側縁部Ｓｅ４のＹ座標Ｙ２が求められる。横幅寸法検出センサ２３４による第４側縁部Ｓｅ４の検出は、第１縦幅寸法検出センサ２３６ａおよび第２縦幅寸法検出センサ２３６ｂによる検出と同様の態様で行われる。
【００５１】
基板Ｓの横幅Ｌｙは、搬送制御部３４において、第１側縁部Ｓｅ１と実質的に同位置と見做せるストッパ２３０のＹ座標Ｙ１から、第４側縁部Ｓｅ４のＹ座標Ｙ２を差し引くことにより求められる。
【００５２】
この基板Ｓの横幅Ｌｙの測定においても、横幅寸法検出センサ２３４の検出位置は最もＹ軸方向負側に位置する吸着パット組立体２２４ｄ、ｈ、ｌよりも僅かに負側に設定されているので、横幅寸法検出センサ２３４が第４側縁部Ｓｅ４を検出した位置で搬入用吸着ユニット２２６を停止させるだけで、吸着パット組立体２２４ｄ、ｈ、ｌを第４側縁部Ｓｅ４の僅か内側に配することができる。なお、第４側辺Ｓｅ４の位置に応じて搬入用吸着ユニット２２６を停止させるため、吸着パット群２２４に対する第１側辺Ｓｅ１の相対位置は基板Ｓの横幅Ｌｙに応じて変化する。このため、少なくとも基板Ｓのとりうる横幅Ｌｙの中でも最大値、最小値およびその中間値の３種には対応できるように、即ちこれら３種の寸法の基板Ｓを搬送する場合には第１側辺Ｓｅ１の僅か内側にいずれかの吸着パット組立体が位置するように、Ｙ軸方向に沿う４本の吸着パット組立体の間隔が設定される。横幅Ｌｙが上記３種にあてはまらない場合であっても、横幅寸法検出センサ２３４の検出結果から求められた横幅Ｌｙに基づいて、基板ＳのＹ軸方向中央に吸着パット組立体を配するように駆動制御すれば、基板Ｓを安定して搬送できる。
【００５３】
横幅寸法検出センサ２３４は、固定端部材２６２または自由端部材２６６に設けてもよいが、本実施形態のように中間部材２６４に設ければ常に基板Ｓの中央で横幅Ｌｙを計測することができ、適切かつ確実に計測できる。
【００５４】
このように、本実施形態の構成によると、基板Ｓの相対位置および寸法の測定と同時に吸着パット群２２４ａ〜ｌの配置も適切に調整されるので、寸法測定から吸着までに要する時間が短縮されると共に、どのような寸法であっても基板Ｓを常に安定して搬送できる。
【００５５】
搬出部２４は、３つの寸法検出センサが設けられていない点を除けば搬入部２２と同じ構成を有している。搬出用吸着ユニット２４６は計測された基板Ｓの寸法（縦幅Ｌｘおよび横幅Ｌｙ）に応じて吸着パット群２４４の配置を調整した後、基板Ｓを描画テーブル１４から搬出用ベルトコンベア２４２または不適合基板排出部２６に搬送する。このように搬出部２４においても、基板Ｓの寸法に応じて吸着パット群２４４の配置を調整できるので、基板Ｓを常に安定して搬送できる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の搬送装置および描画システムは、基板の寸法に応じてこれを搬送する吸着パット群を適切な位置に自動的に調整できるので、多様な寸法の被描画体を搬送でき、扱える被描画体の寸法の自由度が極めて向上するだけでなく被描画体を安定して搬送することができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態である描画システムを概略的に示す図である。
【図２】図１に示す搬入用吸着ユニットを、一部破断してガイド部材側から見た平面図である。
【図３】搬入用吸着ユニットの、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う縦断面図である。
【図４】搬入用吸着ユニットの、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う横断面図である。
【図５】基板の寸法測定を段階的に示す図である。
【符号の説明】
Ｓ  基板（被描画体）
１０  描画装置
２０  搬送装置
２２  搬入部
２４  搬出部
２２４ａ〜ｌ、２４４  吸着パット組立体
２２６  搬入用吸着ユニット
２３４、２３６ａ、２３６ｂ  寸法検出センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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