(57)【要約】　　　（修正有）【課題】位置決めピンを設置せずに、搬送設備の機構が複雑にならないもので、部材のサイズ変更にも簡単に対応でき、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができる部材搬送装置および部材搬送方法を提供する。【解決手段】搬送手段１１０と、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材１８０の先端位置、終端位置を、非接触で検知する位置検知手段１２０と、搬送する距離を部材１８０に非接触で測定することができる距離測定手段１３０と、先端位置、終端位置を認識することにより、距離測定手段１３０により得られる先端通過から終端通過までの搬送距離を得て、部材１８０の長さを計算し、更に、部材位置と目標停止位置との距離を計算する計算手段１４０とを備え、位置検知手段１２０からの搬送されている部材１８０の位置情報を基に、部材１８０の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させるものである。【選択図】　図１
2004010342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材を搬送手段にて所定の一方向へ搬送し、所定の目標停止位置で停止させるための搬送装置であって、搬送手段と、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知する位置検知手段と、搬送する距離を部材に非接触で測定することができる距離測定手段と、先端位置、終端位置を認識することにより、前記距離測定手段により得られる先端通過から終端通過までの搬送距離を得て、部材の長さを計算し、更に、部材位置と目標停止位置との距離を計算する計算手段とを備え、位置検知手段からの搬送されている部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させるものであることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、そのすべての軸がかみ合せにより滑りを発生しない動力伝達方法によって駆動されるコロコンベアを用いたもので、搬送量は、駆動部に設置したエンコーダ、レーザ干渉測長装置等の測長手段により測長するものであることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項３】
請求項１ないし２において、部材のあらかじめ設定した任意の点を目標停止位置にあわせて停止させるものであることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３において、搬送される部材がガラス基板であることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項５】
請求項４において、ガラス基板がディスプレイパネル用のガラス基板であることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項６】
請求項１ないし５において、目標位置に部材を搬送して停止させた後に、部材をコンベア搬送中心に所定角度だけ回転させる手段を持ち、回転させた後、所定の方向に前記部材を搬送をするものであることを特徴とする部材搬送装置。
【請求項７】
部材を搬送手段にて所定の一方向へ搬送し、目標停止位置にて停止させる搬送方法であって、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知し、得られた部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させることを特徴とする部材搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部材を搬送手段にて所定の一方向へ搬送し、所定の目標停止位置で停止させるための部材搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、平面表示装置（　以下、フラットディスプレイとも言う）　が多くの分野、場所で使われており、情報化が進む中で、ますます、その重要性が高まっている。
現在、フラットディスプレイの代表と言えば液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤとも言う）であるが、ＬＣＤとは異なる表示原理に基づくフラットディスプレイとして、有機ＥＬ、無機ＥＬ、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとも言う）、ライトエミッティングダイオード表示装置（以下、ＬＥＤとも言う）、蛍光表示管表示装置（以下、ＶＦＤとも言う）、フィールドエミッションディスプレイ（以下、ＦＥＤとも言う）などの開発も活発に行われている。
【０００３】
このような中、これらディスプレイパネル用のガラス基板等の部材は、それぞれ、製造ラインにおいて、必要に応じて、ベルトコンベア又はコロコンベアなどにより、制御されながら搬送されことがあり、従来は、部材を停止する位置に位置決めピンなどを物理的な停止位置決め手段を用い、搬送を制御していた。
例えば、部材中心位置を目標停止位置に合せて停止させるためには、部材のサイズによって位置決めピンの位置を変更していた。
また、ピンを用いない場合、あらかじめ搬送装置に部材サイズを入力し、その値に基づいて制御を行なっていた。
しかし、このような搬送方法においては、以下のような問題があった。
▲１▼　位置決めピンを設置することで、搬送設備の機構が複雑になり、設置できない場合もあった。
▲２▼　サイズ変更に伴ない位置決めピンの位置を変更する必要があり、段取りが必要になっていた。
▲３▼　サイズによって停止位置が異なる場合、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができなかった。
これは、異なるサイズが混ざった部材の搬送の場合、部材搬送情報と、実際に流れてくるものの整合性がとれない場合があるためである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来、ディスプレイパネル用のガラス基板等の部材を、コンベアにより搬送する場合、種々問題があり、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、具体的には、位置決めピンを設置せずに、搬送設備の機構が複雑にならないもので、部材のサイズ変更にも簡単に対応でき、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができる部材搬送装置および基板搬送方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の部材搬送装置は、部材を搬送手段にて所定の一方向へ搬送し、所定の目標停止位置で停止させるための搬送装置であって、搬送手段と、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知する位置検知手段と、搬送する距離を部材に非接触で測定することができる距離測定手段と、先端位置、終端位置を認識することにより、前記距離測定手段により得られる先端通過から終端通過までの搬送距離を得て、部材の長さを計算し、更に、部材位置と目標停止位置との距離を計算する計算手段とを備え、位置検知手段からの搬送されている部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させるものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、そのすべての軸がかみ合せにより滑りを発生しない動力伝達方法によって駆動されるコロコンベアを用いたもので、搬送量は、駆動部に設置したエンコーダ、レーザ干渉測長装置等の測長手段により測長するものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、部材のあらかじめ設定した任意の点（例えば部材中心）を目標停止位置にあわせて停止させるものであることを特徴とするものである。
また、上記において、搬送される部材がガラス基板であることを特徴とするものであり、ガラス基板がディスプレイパネル用のガラス基板であることを特徴とするものである。
また、上記において、目標位置に部材を搬送して停止させた後に、部材をコンベア搬送中心に所定角度だけ回転させる手段を持ち、回転させた後、所定の方向に前記部材を搬送をするものであることを特徴とするものである。
【０００６】
本発明の部材搬送方法は、部材を搬送手段にて所定の一方向へ搬送し、目標停止位置にて停止させる搬送方法であって、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知し、得られた部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】
本発明の部材搬送装置は、このような構成にすることにより、搬送設備の機構が複雑にならないもので、部材のサイズ変更にも簡単に対応でき、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができる部材搬送装置の提供を可能としている。
具体的には、搬送手段と、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知する位置検知手段と、搬送する距離を部材に非接触で測定することができる距離測定手段と、目標位置において搬送を停止させる停止手段と、先端位置、終端位置を認識することにより、前記距離測定手段により得られる先端通過から終端通過までの搬送距離を得て、部材の長さを計算し、更に、部材位置と目標停止位置との距離を計算する計算手段とを備え、位置検知手段からの搬送されている部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止するものであることにより、これを達成している。
本発明の部材搬送装置は、接触式の位置検知方式でなく、非接触式の位置検知方式であることにより、部材のサイズ変更に対する段取りを簡略化することが、ないし、無くすことができ、接触による発塵を無くすことができ、更に、装置コストの低減を実現できる。
また、計算手段手段を備えていることにより、部材位置と目標停止位置との距離を計算でき、これにより、サイズ変更に対する段取りを簡略化することができ、ないし、無くすことができる。
【０００８】
本発明の部材搬送方法は、このような構成にすることにより、搬送設備の機構が複雑にならないもので、部材のサイズ変更にも簡単に対応でき、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができる部材搬送方法の提供を可能としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を図に基づいて説明する。
図１は本発明の基板搬送装置の実施の形態の第１の例の概略構成図で、図２は本発明の基板搬送装置の実施の形態の第２の例の概略構成図で、図３は図１に示す第１の例の動作を説明するための概略図で、図４、図５は図１ないし図２に示す基板搬送装置の変形例である。
尚、図１中、点線で表した搬送部材１８０は、目標停止位置での状態を示したものである。
また、図１〜図５中、太点線矢印は搬送方向を示している。
また、図１〜図４は、ｘ方向に部材を搬送するもので、図５は、はじめｘ方向に、次いでＹ方向に、部材を搬送するものとする。
図１〜図５中、１１０、１１０Ａは搬送手段、１１１は動力（モータ）、１１２はエンコーダ、１１３は動力伝達手段（歯車）、１１４はコンベア、１２０は位置検知手段、１３０は距離測定手段（レーザ計測手段）、１４０は計算手段、１８０は部材、１８０ａは回転前の部材、１８０ｂは回転後の部材である。
【００１０】
はじめに、本発明の基板搬送装置の実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
第１の例の基板搬送装置は、ガラス基板からなる部材１８０を搬送手段１１０にて所定の一方向（太点線矢印方向）へ、ほぼ一定の速度で搬送し、所定の目標停止位置で停止させるための基板搬送装置で、搬送手段１１０と、搬送装置中の任意の１点で、搬送中の部材の先端位置、終端位置を、非接触で検知する位置検知手段１２０と、搬送する距離を部材に非接触で測定することができる距離測定手段１３０と、部材１８０の先端位置、終端位置を認識することにより、距離測定手段１３０により得られる先端通過から終端通過までの搬送距離を得て、部材１８０の長さを計算し、更に、部材１８０の位置と目標停止位置との距離を計算する計算手段１４０とを備え、位置検知手段１２０からの搬送されている部材の位置情報を基に、部材の長さ、部材位置と目標停止位置との距離を計算し、該距離を搬送して搬送を停止させるものである。
勿論、ここでは、位置検知センサ１２０と目標停止位置間のｘ方向距離Ｌｘ０は一定とする。
第１の例での距離測定手段１３０としては、レーザ測長により、基板の端面位置を測定するものを挙げられ、ここでは、部材の進行方向終端である端面位置を測定する。
尚、基板の位置が測定できるものであれば、特にこれに限定はされない。
位置検知手段１２０は、光学センサが一般的で、投光部と受光部とを一対としてもつものが一般的であるが、所定の精度が得られれば、特に限定はされない。搬送手段１１０は、回転ロールを利用したもの、回転ベルトを利用したもの、所定の搬送用台に載せ搬送する形態が挙げられるが、特にこれに限定はされない。
計算手段１４０としては、コンピュータを用いて演算を行なうものや所定の演算回路等を用いたものが挙げられる。
【００１１】
第１の例の基板搬送装置の動作の１例を、図３に基づいて、簡単に説明しておく。
尚、これを以って、本発明の基板搬送方法の実施の形態の１例に代える。
先ず、ガラス基板からなる部材１８０を搬送手段１１０にて所定の一方向（太点線矢印方向）へ、一定の速度で搬送しながら、部材１８０の進行方向先端位置を、位置検知センサ１２０にて検知し、この時の部材１８０のｘ方向位置Ｌｘ１を把握する。（図３（ａ））
次いで、一定の速度で搬送しながら、部材１８０の進行方向終端位置を、位置検知センサ１２０にて検知し、この時の部材１８０のｘ方向位置Ｌｘ２を把握する。（図３（ｂ））
ここで求められた、部材１８０の進行方向先端位置Ｌｘ１、部材１８０の進行方向終端位置Ｌｘ２と、位置検知センサ１２０と目標停止位置間のｘ方向距離Ｌｘ０から、この部材１８０のセンター位置が、目標停止位置に停止するための、距離測定手段１３０による、部材の進行方向終端位置を把握できる。
即ち、部材１８０の停止位置における距離測定手段１３０による距離Ｌ０を設定することができ、これに合せ部材を停止すればよい。
次いで、搬送して距離測定手段１３０による距離測定はＬ０となった時点で搬送を停止する。（図３（ｃ））
このようにして、基板のサイズに影響されず、搬送する部材１８０のセンター位置を、目標停止位置にして停止することができる。
【００１２】
次に、本発明の基板搬送装置の第２の例を、図２に基づいて説明する。
第２の例の基板搬送装置は、第１の例の場合と同様、ガラス基板からなる部材１８０を搬送手段１１０Ａ（図１の１１０に相当）にて所定の一方向（太点線矢印方向）へ、ほぼ一定の速度で搬送し、所定の目標停止位置で停止させるための基板搬送装置である。
そして、そのすべての軸がかみ合せにより滑りを発生しない動力伝達方法によって駆動されるコロコンベア１１４を用い、部材１８０を搬送するもので、搬送手段１１０Ａ中に、距離測定手段１３０を一体として、設けているものである。第２の例においては、搬送手段１１０Ａの動力であるモータ１１１と動力伝達手段（駆動部）１１３間に設置したエンコーダ１１２により搬送量を測長する距離測定手段１３０を設けている。
勿論、本例の場合も、位置検知センサ１２０と目標停止位置間のｘ方向距離は一定とする。
本例の場合は、コロコンベア１１４により、部材１８０がすべらないで搬送されることが前提となっており、コロコンベア１１４としては、このような性質を持たせることが必要である。
本例の場合も、位置検知手段１２０、計算手段１４０については、第１の例のものと同様のものが適用できる。
本例の基板停止装置の動作については、各部の構造は異なっても、基本的に同じで、ここでは説明を省く。
【００１３】
図１に示す第１の例、図２に示す第２の例の変形例としては、これらの基板搬送装置の目標停止位置に部材を回転させる回転部（図示していない）を設け、図４に示すように目標停止位置Ｐｘ１において、部材１８０ａを１８０度回転させ、更に搬送を行なうものも挙げられる。
即ち、この変形例の場合、部材１８０ａをｘ方向に搬送して目標位置Ｐｘ１に停止させた後に、部材１８０ａをコンベア搬送中心に所定角度１８０度だけ回転させた後、更にｘ方向に前部材１８０ｂを搬送をするものである。
また、図１に示す第１の例、図２に示す第２の例の別の変形例としては、図５に示すように、これらの基板搬送装置の目標停止位置に部材１８０を停止させた後、そのまま回転せずに、更に、ｘ方向と直交するｙ方向に部材の搬送を行なうものが挙げられる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、位置決めピンを設置せずに、搬送設備の機構が複雑にならないもので、部材のサイズ変更にも簡単に対応でき、異なるサイズが混ざった部材の搬送ができる部材搬送装置および基板搬送方法の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板搬送装置の実施の形態の第１の例の概略構成図である。
【図２】本発明の基板搬送装置の実施の形態の第２の例の概略構成図である。
【図３】図１に示す第１の例の動作を説明するための概略図である。
【図４】図１ないし図２に示す基板搬送装置の変形例である。
【図５】図１ないし図２に示す基板搬送装置の変形例である。
【符号の説明】
１１０、１１０Ａ　　　　　　搬送手段
１１１　　　　　　　　　　　動力（モータ）
１１２　　　　　　　　　　　エンコーダ
１１３　　　　　　　　　　　動力伝達手段（歯車）
１１４　　　　　　　　　　　コンベア
１２０　　　　　　　　　　　位置検知手段
１３０　　　　　　　　　　　距離測定手段（レーザ計測手段）
１４０　　　　　　　　　　　計算手段
１８０　　　　　　　　　　　部材
１８０ａ　　　　　　　　　　回転前の部材
１８０ｂ　　　　　　　　　　回転後の部材
【図１】
2004010342.tif 000003
【図２】
2004010342.tif 000004
【図３】
2004010342.tif 000005
【図４】
2004010342.tif 000006
【図５】
2004010342.tif 000007