(57)【要約】【課題】粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供する。【解決手段】記録層３が形成された円形の基板２を、スピンコーティング装置のステージ２１上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップ５５を、基板上にセットして、基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂６０を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、キャップの頂面上で、液状の放射線硬化性樹脂を基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする光記録ディスクの製造方法。【選択図】      図１１
2004164802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録層が形成された円形の基板を、スピンコーティング装置のステージ上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、前記頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを、前記基板上にセットして、前記基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、前記ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする光記録ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の低回転数よりも低下させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転を停止させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする請求項２に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の低回転数に保持して、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項５】
前記液状の放射線硬化性樹脂が、２０００ないし１００００センチポイズの粘度を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項６】
さらに、前記ステージを高速で回転させるステップを備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項７】
前記ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項８】
前記ステージを、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出することを特徴とする請求項７に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項９】
前記キャップを、前記キャップの前記頂面の周縁部が、前記基板の前記周縁部と同心円上に位置するように、前記基板上にセットすることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項１０】
前記キャップの側面の投影面が、略台形状をなしていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録ディスクの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量のデジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録ディスクが広く用いられている。
【０００３】
これらの光記録ディスクは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのいわゆるＲＯＭ型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記は可能であるが、データの書き換えができないタイプのいわゆる追記型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプのいわゆる書き換え型光記録ディスクに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型光記録ディスクにおいては、製造段階で、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されるのが一般的であり、書き換え型光記録ディスクにおいては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。また、必要に応じ、記録層の上下に、誘電体層を設けて、全体として、記録層として、機能させることもある。
【０００５】
これに対して、追記型光記録ディスクにおいては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素などの有機色素が用いられ、その化学的変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００６】
近年、ＤＶＤよりも、さらに長時間にわたって、記録・再生が可能な光記録ディスクの開発が要望されており、記録密度の向上が図られている。
【０００７】
光記録ディスクにおいて、記録密度を高くするためには、光記録ディスクに照射されるレーザ光のビームスポット径を小さくすることが必要であり、レーザ光のビームスポット径は、レーザ光の波長λとレンズの開口数ＮＡとの比に比例するため、波長λの短いレーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが要求される。
【０００８】
そのため、記録密度が高い次世代の光記録ディスクにおいては、波長λの短い青色レーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、開口数ＮＡの大きいレンズを用いる場合には、焦点距離が短くなり、ＣＤやＤＶＤのように、光透過性基板を介して、レーザ光を記録層に照射することができないため、記録層上に、光透過層を形成し、光透過層を介して、レーザ光を記録層に照射することが必要になる。
【００１０】
一方、レンズの開口数ＮＡを大きくすると、光透過層の厚みムラに対する許容度が小さくなるため、光透過層を均一に設けることが要求される。
【００１１】
記録層上に、光透過層を形成する方法として、信号面にピットやグルーブが形成された基板上に形成された記録層上に、液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング装置を用いて、塗布し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【００１２】
しかしながら、基板上に形成された記録層上に、液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング装置を用いて、塗布する場合には、基板および記録層にはセンターホールが形成され、液状の紫外線硬化性樹脂を、記録層の中心部に吐出することができないため、形成された塗布膜の膜厚が不均一になりやすいという問題があった。
【００１３】
そこで、特開平１１−２１３４５９号公報は、キャップを用いて、センターホールを塞ぎ、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップの中心部に吐出して、スピンコーティング装置により、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、塗布膜を形成する方法を提案している。
【００１４】
この方法によれば、スピンコーティング装置により、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、均一な塗布膜を形成することができ、したがって、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になるが、この方法にあっては、キャップ上面のほぼ全面が紫外線硬化性樹脂で覆われてしまうため、キャップをハンドリングするためのアームなどに、紫外線硬化性樹脂が付着することは避けられず、アームなどが紫外線硬化性樹脂によって汚染され、さらに、スピンコーティング装置の他の部分や、スピンコーティング装置以外の製造装置にも、紫外線硬化性樹脂が付着するおそれがあり、その結果、製造工程全体の信頼性を悪化させるという問題があった。
【００１５】
アームなどの洗浄することによって、かかる問題を解決することは可能であるが、アームなどの洗浄装置を設けることは、製造工程を複雑化し、コストアップの原因になるという問題がある。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、特開２００１−３５１２７５号公報は、中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを用い、把持軸の外周面に向けて、ノズルから、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出し、スピンコーティング装置によって、液状の紫外線硬化性樹脂を展開させて、光透過層を形成する方法を提案している。
【００１７】
この方法によれば、アームなどを用いて、キャップの中央部に形成された把持軸の紫外線硬化性樹脂が付着していない部分を把持して、キャップをハンドリングすることによって、紫外線硬化性樹脂により、アームや、スピンコーティング装置の他の部分、スピンコーティング装置以外の製造装置が汚染されることを効果的に防止することが可能になり、また、把持軸を細く形成することによって、液状の紫外線硬化性樹脂をキャップのほぼ中央部に吐出することができ、粘度が低い液状の紫外線硬化性樹脂を用いる場合には、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の紫外線硬化性樹脂を展開させることによって、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になり、好ましい。
【００１８】
しかしながら、開口数ＮＡが大きい対物レンズを用いるためには、１００μｍ程度の厚さを有する光透過層を形成することが要求され、そのためには、塗布液として、２０００ないし１００００センチポイズという粘度が高い液状の紫外線硬化性樹脂を用いることが必要になるが、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップの把持軸の外周面に吐出して、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の紫外線硬化性樹脂を展開させ、光透過層を形成する場合には、光透過層の円周方向の膜厚にむらが生じ、生成された光記録ディスクの品質が低下するという問題があった。
【００１９】
したがって、本発明は、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明のかかる目的は、記録層が形成された円形の基板を、スピンコーティング装置のステージ上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、前記頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを、前記基板上にセットして、前記基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、前記ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させることを特徴とする光記録ディスクの製造方法によって達成される。
【００２１】
本発明によれば、記録層が形成された円形の基板を、スピンコーティング装置のステージ上にセットし、円形で、平坦な頂面または頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有し、頂面の中央部に把持可能な把持軸が形成されたキャップを、基板上にセットして、基板の中央部に形成されたセンターホールを塞ぎ、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の回転数よりも低下させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２３】
本発明の好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、ステージの回転数を、所定の低回転数よりも低下させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、キャップの頂面に吐出された液状の放射線硬化性樹脂が、よりレベリングされやすく、したがって、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、より均一に、基板の周縁部と同心円状に展開させることが可能になるから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転を停止させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、ステージの回転を停止させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、キャップの頂面に吐出された液状の放射線硬化性樹脂が、より一層、レベリングされやすく、したがって、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、より均一に、基板の周縁部と同心円状に展開させることが可能になるから、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２６】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記ステージを、前記所定の低回転数で、回転させつつ、前記キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、前記液状の放射線硬化性樹脂の吐出を停止後、前記ステージの回転数を、前記所定の低回転数に保持して、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記キャップの前記頂面上で、前記基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されている。
【００２７】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記液状の放射線硬化性樹脂が、２０００ないし１００００センチポイズの粘度を有している。
【００２８】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの把持軸の外周面に吐出して、スピンコーティング装置によって、吐出した液状の放射線硬化性樹脂を展開させ、光透過層を形成する場合には、光透過層の円周方向の膜厚にむらが生じやすいが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、所定の低回転数で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出し、ステージの回転数を、所定の低回転数に保持し、あるいは、ステージの回転数を、所定の低回転数よりも低下させ、あるいは、ステージの回転を停止させて、液状の放射線硬化性樹脂を、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開させるように構成されているから、液状の放射線硬化性樹脂が、２０００ないし１００００センチポイズという高い粘度を有している場合にも、その後に、ステージを高速で回転させて、キャップの頂面上で、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層上を展開させるときに、液状の放射線硬化性樹脂は、同心円状に、記録層上を展開され、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２９】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、光記録ディスクの製造方法は、さらに、前記ステージを高速で回転させるステップを備えている。
【００３０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されている。
【００３１】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、高速で回転されているキャップの頂面上に吐出すると、液状の放射線硬化性樹脂が、記録層上に展開されて形成された光透過層に、気泡が混入しやすく、生成された光記録ディスクの品質が低下するが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．という低速で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されているから、光透過層に、気泡が混入することを効果的に防止することができ、したがって、高品質の光記録ディスクを製造することが可能になる。
【００３２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ステージを、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、回転させつつ、前記キャップの前記頂面に、前記液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されている。
【００３３】
粘度の高い液状の放射線硬化性樹脂を、高速で回転されているキャップの頂面上に吐出すると、液状の放射線硬化性樹脂が、記録層上に展開されて形成された光透過層に、気泡が混入しやすく、生成された光記録ディスクの品質が低下するが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ステージを、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．回転という低速で、回転させつつ、キャップの頂面に、液状の放射線硬化性樹脂を吐出するように構成されているから、光透過層に、気泡が混入することを効果的に防止することができ、したがって、高品質の光記録ディスクを製造することが可能になる。
【００３４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記キャップを、前記キャップの前記頂面の周縁部が、前記基板の前記周縁部と同心円上に位置するように、前記基板上にセットするように構成されている。
【００３５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、キャップを、キャップの頂面の周縁部が、基板の周縁部と同心円上に位置するように、基板上にセットするように構成されているから、キャップの頂面の全面にわたって、液状の放射線硬化性樹脂を展開させることによって、液状の放射線硬化性樹脂を、基板の周縁部と同心円状に展開されることができ、その後に、ステージを高速で回転させることによって、液状の放射線硬化性樹脂を、同心円状に、記録層上を展開することができ、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３６】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記キャップの側面の投影面が、略台形状をなしている。
【００３７】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、キャップの側面の投影面が、略台形状をなしているから、キャップの頂面上に、基板の周縁部と同心円状に展開された液状の放射線硬化性樹脂は、ステージを高速で回転させると、キャップの斜面状の側面をつたって流れ、液状の放射線硬化性樹脂を、確実に、同心円状に、記録層上に展開することができ、したがって、粘度が高い液状の放射線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３８】
本発明において、放射線硬化性樹脂としては、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂などが好ましく使用される。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００４０】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図であり、図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【００４１】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１は、ポリカーボネートなどによって形成された円形の基板２と、光が入射すべき側の基板２の表面に、スパッタリングなどによって形成された記録層３と、記録層３の表面上に形成された光透過層４を備えている。
【００４２】
図２に示されるように、基板２の光が入射すべき側の表面には、基板２を射出成形によって形成する際に、スタンパによって、グルーブ５が形成されている。
【００４３】
光透過層４は、基板２に形成された記録層３上に、スピンコーティングによって、液状の紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、形成されている。
【００４４】
図１に示されるように、光記録ディスク１の中央部には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのセンターホール６が形成され、センターホール６の外側には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのクランプ領域７が形成されており、クランプ領域７には、記録層３および光透過層４が形成されてはいない。
【００４５】
図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の要部を示す略斜視図であり、図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の要部の略縦断面図である。
【００４６】
図３および図４に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるスピンコーティング装置１０は、その径が光記録ディスク１の径とほぼ等しいステージ２１と、ステージ２１の中央部に設けられた第１の突出部２２と、第１の突出部２２の中央部に設けられた第２の突出部２３とを備えている。
【００４７】
ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３は、ステージモータ（図示せず）によって、一体的に回転するように構成されている。
【００４８】
図３および図４に示されるように、第１の突出部２２は、基板２上に、記録層３が形成されたデータ記録ユニットのクランプ領域７に相当する領域が載置される部分であり、その表面には、複数の第１の吸気口２４が形成されている。複数の第１の吸気口２４には、第１の吸気ポンプ（図示せず）が接続され、第１の吸気機構を作動することによって、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニットが、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定されるように構成されている。
【００４９】
第２の突出部２３は、径が製造されるべき光記録ディスク１のセンターホール６の径に対応しており、第１の突出部２２にデータ記録ユニットを載置したときに、データ記録ユニットのセンターホール６に、第２の突出部２３が挿入されるように構成されている。
【００５０】
図３および図４に示されるように、第２の突出部２３の中央部には、第２の吸気口２５が形成され、第２の吸気口２５には、第２の吸気ポンプ（図示せず）が接続されている。
【００５１】
図３および図４には図示されていないが、スピンコーティング装置１０は、さらに、先端に、柔軟性を有する吸引パッドを備え、データ記録ユニットのクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットし、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１のクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０から取り出す第１のアームと、キャップを保持して、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置に載置するとともに、キャップを、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１から取り去る第２のアームと、紫外線硬化性樹脂を、キャップ上に吐出する吐出ノズルを備えている。
【００５２】
図５は、スピンコーティング装置１０の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【００５３】
図５に示されるように、スピンコーティング装置１０の制御系は、スピンコーティング装置１０の全体の動作を制御するコントロールユニット３０を備えている。
【００５４】
また、スピンコーティング装置１０の駆動系は、ステージ２１を回転させるステージモータ３１と、第１の吸気ポンプ３２と、第２の吸気ポンプ３３と、データ記録ユニットを吸引して、搬送する第１のアーム３４を移動させる第１のアーム移動手段３５と、キャップを把持して、搬送する第２のアーム３６を移動させる第２のアーム移動手段３７と、吐出ノズル３８を、キャップ上に紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２１から退避した退避位置との間で、移動させるとともに、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出するノズル駆動手段３９と、紫外線ランプ４０を備えている。
【００５５】
以上のように構成されたスピンコーティング装置１０によって、光記録ディスク１を製造するにあたっては、まず、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第１の駆動信号が出力され、基板２と、スパッタリングなどによって、基板２上に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニットが、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）に吸引されて、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００５６】
データ記録ユニットは、第１のアーム３４によって、そのクランプ領域７が吸引されて、搬送され、記録層３が上方に位置し、センターホール６に、第２の突出部２３が嵌合するように、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００５７】
データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされると、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に退避信号が出力されて、第１のアーム３４が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第１の吸気ポンプ３２に作動信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２が作動され、第１の突出部２２に載置された基板２が、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定される。
【００５８】
図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上に固定された状態を示す略断面図である。
【００５９】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第１の駆動信号が出力されて、キャップが、第２のアーム３６によって、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置に載置される。
【００６０】
図７は、キャップの略斜視図であり、図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【００６１】
図７および図８に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００６２】
図７および図８に示されるように、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂をデータ記録ユニット５０の表面上に塗布するときに、紫外線硬化性樹脂が、毛管現象によって、キャップ５５の傘部５６の底面と基板２の間に入り込むことを防止するため、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００６３】
キャップ５５は、金属によって形成されている。
【００６４】
傘部５６の径は、製造すべき光記録ディスク１のセンターホール６の径よりも大きく、かつ、製造すべき光記録ディスク１のクランプ領域７の外径以下に設定される。
【００６５】
また、キャップ５５の突起部５８は、その径は、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５の内径よりもわずかに小さくなるように形成されている。
【００６６】
キャップ５５は、第２のアーム３６によって、支持軸５７が把持されて、搬送されるように構成され、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上に載置されたときに、突起部５８が、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合し、所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００６７】
図９は、キャップ５５が、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【００６８】
ここに、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされている。
【００６９】
キャップ５５が、データ記録ユニット５０上にセットされると、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、退避信号が出力されて、第２のアーム３６が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３が作動され、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合しているキャップ５５の突起部５８が吸引されて、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定される。
【００７０】
第２の吸気ポンプ３３が作動され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第１の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１が作動され、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３が、一体となって、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。その結果、ステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５も、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３とともに、一体的に、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７１】
次いで、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に第１の駆動信号が出力され、吐出ノズル３８が、データ記録ユニット５０上に固定されたキャップ５５上に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置に移動され、さらに、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出信号が出力されて、図１０に示されるように、吐出ノズル３８から、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出される。
【００７２】
ステージ２１が、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転され、所定の量の液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されると、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出停止信号が出力されて、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が停止され、同時に、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第２の駆動信号が出力されて、ステージ２１の回転速度が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．から、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下される。
【００７３】
したがって、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ５５が、一体として、より低速で、たとえば、２０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７４】
ここに、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出される液状の紫外線硬化性樹脂６０の量は、ステージ２１が高速で回転され、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０の一部が、ステージ２１の回転により生じた遠心力によって、基板２の周縁部から飛散しても、所望の膜厚の光透過層４が形成可能な量Ｍに設定され、したがって、キャップ５５の円形の傘部５６も、量Ｍ以上の液状の紫外線硬化性樹脂６０を、その頂面で、保持できるサイズに形成される。
【００７５】
ステージモータ３１により、ステージ２１の回転速度が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．から２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下された結果、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、図１１に示されるように、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開される。
【００７６】
本実施態様においては、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出され、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高いため、図１１に示されるように、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、表面張力により、その周縁部が、キャップ５５の傘部５６の頂面の周縁部から突出するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、キャップ５５が、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされているから、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたり、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０の周縁部は、基板２の周縁部の同心円上に位置している。
【００７７】
ステージ２１が、より低速で、たとえば、２０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第３の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１により、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ３５が、一体として、高速で、たとえば、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００７８】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出され、傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、図１２に示されるように、所定の厚さ、たとえば、約１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００７９】
本実施態様においては、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上を展開され、したがって、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、記録層３上に形成される。
【００８０】
また、キャップ５５の傘部５６は、略台形状の縦断面を有しているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になる。
【００８１】
データ記録ユニット５０の記録層３上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第４の駆動信号が出力されるとともに、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力される。
【００８２】
その結果、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０およびデータ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５が、一体的に、中程度の速度で回転されるとともに、紫外線ランプ４０がオンされて、図１３に示されるように、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００８３】
紫外線４１が照射されて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、ある程度、硬化されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に駆動停止信号が出力されて、ステージモータ３１の作動が停止され、さらに、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動停止信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３の作動が停止される。
【００８４】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第２の駆動信号が出力され、第２のアーム３６により、キャップ５５の支持軸５７が把持されて、キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られる。
【００８５】
キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られると、コントロールユニット３０から、再び、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオンされ、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００８６】
データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が完全に硬化され、光透過層４が形成されて、光記録ディスク１が生成されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、第１の吸気ポンプ３２に駆動停止信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２の作動が停止される。
【００８７】
次いで、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第２の駆動信号が出力されて、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）によって、光記録ディスク１のクランプ領域７が吸引され、第１のアーム３４により、光記録ディスク１が、スピンコーティング装置１１から取り出される。
【００８８】
本実施態様によれば、キャップ５５が、その傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上に展開することができ、したがって、記録層３上に、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成することが可能になるから、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に展開して、均一な膜厚を有する光透過層４を形成することが可能になる。
【００８９】
また、本実施態様によれば、キャップ５５の傘部５６は、その側面の投影形状が略台形状をなしているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になるから、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に展開することによって、均一な膜厚を有する光透過層４を形成することが可能になる。
【００９０】
図１４は、本発明の他の実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップを示す略斜視図であり、図１５は、図１４に示されたキャップの略中央断面図である。
【００９１】
図１４および図１５に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が円形で、頂面に、凹部５６ｂが形成された傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００９２】
図１４および図１５に示されるように、キャップ５５の傘部５６の頂面に形成された凹部５６ｂは、傘部５６の頂面の周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に形成されており、図７および図８に示されたキャップ５５と同様に、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００９３】
本実施態様においても、前記実施態様と同様にして、キャップ５５が、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上に固定され、ステージ２１が、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で回転されて、ステージ２１とともに、低速で回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面に、吐出ノズル３８から、紫外線硬化性樹脂６０が吐出される。
【００９４】
ステージ２１が、低速で、たとえば、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転され、所定の量の液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されると、コントロールユニット３０から、ノズル駆動手段３９に吐出停止信号が出力されて、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が停止され、同時に、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、駆動停止信号が出力されて、ステージ２１の回転が停止される。
【００９５】
その結果、吐出ノズル３８から、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、図１６に示されるように、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開される。
【００９６】
このように、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、吐出ノズル３８から、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出した後に、スピンコーティング装置のステージ２１を停止させる場合には、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂がレベリングされやすく、液状の紫外線硬化性樹脂を、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、より均一に、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開することが可能になり、好ましい。
【００９７】
ステージモータ３１に、駆動停止信号が出力されてから、所定の時間が経過すると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第３の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１により、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０およびデータ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５が、一体として、高速で、たとえば、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００９８】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出され、傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、所定の厚さ、たとえば、約１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００９９】
本実施態様によれば、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた後に、ステージ２１が高速で回転され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板２に形成された記録層３の表面に展開されるように構成されているから、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、基板２の周縁部に対し、同心円状に、記録層３上を展開され、したがって、均一な膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を、記録層３上に形成することが可能になる。
【０１００】
また、本実施態様においても、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５の傘部５６の頂面から、キャップ５５の傘部５６の斜面状の側面をつたって、記録層３上に展開され、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２の周縁部に対し、同心円状に、確実に、記録層３上に展開することが可能になる。
【０１０１】
【実施例】
以下、本発明の効果を、より一層明らかにするため、実施例を掲げる。
【０１０２】
実施例
図１７に示されるように、平面形状が円形で、側面の投影形状が台形をなし、頂面の径が２３ｍｍ、底面の径が３８ｍｍで、高さが２ｍｍの傘部５６を備え、傘部５６の頂面の中央に、４ｍｍの径を有する把持軸５７が形成されたキャップ５５を用い、キャップ５５の傘部５６の頂面上に、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を吐出して、スピンコーティング装置によって、径が１２０ｍｍの基板に形成された記録層の表面に、光透過層を形成した。
【０１０３】
まず、キャップ５５を、その傘部５６の周縁部が、基板の周縁部の同心円上に位置するように、記録層上にセットした。
【０１０４】
次いで、スピンコーティング装置のステージを、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、１０秒間にわたって、キャップ５５の傘部５６の頂面の中心から４ｍｍの位置に、１．８ｇの液状の紫外線硬化性樹脂を吐出した。
【０１０５】
液状の紫外線硬化性樹脂の吐出完了後、スピンコーティング装置のステージの回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させ、１０秒間にわたって、スピンコーティング装置のステージを回転させたところ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂が、レベリングされて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開され、液状の紫外線硬化性樹脂が、表面張力により、その周縁部が、キャップ５５の傘部５６の頂面の周縁部から突出していることが認められた。
【０１０６】
次いで、スピンコーティング装置のステージの回転数を、７秒間かけて、２０ｒ．ｐ．ｍ．から、２０００ｒ．ｐ．ｍ．に増大させ、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、５．１秒間にわたって、スピンコーティング装置のステージを回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成した。
【０１０７】
さらに、紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線を照射し、紫外線硬化性樹脂の薄膜を硬化させて、光透過層を形成し、光記録ディスクを作製した。
【０１０８】
こうして作製された光記録ディスクの光透過層の膜厚分布を、光記録ディスクの中心から、２２ｍｍの部分、４０ｍｍの部分および５８ｍｍの部分で、円周方向に測定した。
【０１０９】
その結果、膜厚の最大値と最小値との差は、光記録ディスクの中心から、２２ｍｍの部分で０．５９μｍ、４０ｍｍの部分で０．５４μｍ、５８ｍｍの部分で０．４９μｍであり、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を用いて、スピンコーティング装置により、光透過層を形成したにもかかわらず、光透過層の円周方向の膜厚分布が、十分に均一であることが判明した。
【０１１０】
これは、キャップ５５を、その傘部５６の周縁部が、基板の周縁部の同心円上に位置するように、記録層上にセットし、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂を、レベリングさせて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開させた後に、スピンコーティング装置のステージが高速で回転させ、液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面に展開しっため、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、基板の周縁部に対し、同心円状に、記録層上に展開したためと推測される。
【０１１１】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１１２】
たとえば、図３ないし図１３に示された実施態様および前記実施例においては、液状の紫外線硬化性樹脂を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で、回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した後、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させて、数回転にわたって、ステージ２１を回転させ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開し、図１４ないし図１６に示された実施態様においては、液状の紫外線硬化性樹脂を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の低速で、回転されているキャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した後、所定の時間にわたって、スピンコーティング装置のステージ２１の回転を停止させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開しているが、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、２０ｒ．ｐ．ｍ．に低下させて、数回転にわたって、ステージ２１を回転させ、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開し、あるいは、所定の時間にわたって、スピンコーティング装置のステージ２１の回転を停止させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、数回転にわたって、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した際の回転数に保持して、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開するようにすることもでき、さらには、スピンコーティング装置のステージ２１が低速で回転されていれば、ステージ２１の回転数を、数回転にわたって、液状の紫外線硬化性樹脂を、キャップ５５の傘部５６の頂面上に吐出した際の回転数よりも増大させて、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開するようにすることもできる。
【０１１３】
また、図３ないし図１３に示された実施態様および前記実施例においては、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５を用い、図１４ないし図１６に示された実施態様においては、平面形状が円形で、頂面に、周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に、凹部５６ｂが形成され、平らな側面を有する傘部５６を備えたキャップ５５を用いているが、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５や、平面形状が円形で、頂面に、周縁部と同心円をなし、円周方向に均一に、凹部５６ｂが形成され、平らな側面を有する傘部５６を備えたキャップ５５を用いることは必ずしも必要でなく、傘部５６が、円形の平面形状と、平坦な頂面または周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有していれば、傘部５６の側面が曲面によって形成されていてもよく、また、円板状の傘部５６を備えたキャップ５５を用いることもできる。
【０１１４】
さらに、前記実施態様においては、７０００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に塗布して、光透過層を形成し、前記実施例においては、７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって、記録層上に塗布して、光透過層を形成しているが、７０００センチポイズあるいは７４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって、記録層上に塗布して、光透過層を形成することは必ずしも必要でなく、２０００ないし１００００センチポイズの粘度を有していれば、いかなる粘度の液状の紫外線硬化性樹脂を用いてもよい。
【０１１５】
また、前記実施態様および前記実施例においては、スピンコーティング装置のステージ２１を、３０ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出しているが、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、３０ｒ．ｐ．ｍ．に保持することは必ずしも必要でなく、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．、好ましくは、１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の範囲内に保持すればよい。
【０１１６】
さらに、前記実施例においては、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂をレベリングさせ、その周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開した後、スピンコーティング装置のステージを、２０００ｒ．ｐ．ｍ．で回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成しているが、スピンコーティング装置のステージを、２０００ｒ．ｐ．ｍ．で回転させて、キャップ５５の傘部５６の頂面の全面にわたって、展開された液状の紫外線硬化性樹脂を、基板に形成された記録層の表面上に展開させ、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置のステージの回転数は、液状の紫外線硬化性樹脂の粘度に応じて、選択することができる。
【０１１７】
また、前記実施態様および前記実施例においては、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成しているが、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成することは必ずしも必要でなく、紫外線硬化性樹脂に代えて、電子線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することもできる。
【０１１８】
【発明の効果】
本発明によれば、粘度が高い紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層を形成する場合にも、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の要部を示す略斜視図である。
【図４】図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の要部の略縦断面図である。
【図５】図５は、スピンコーティング装置の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【図６】図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置のステージ上に固定された状態を示す略断面図である。
【図７】図７は、キャップの略斜視図である。
【図８】図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【図９】図９は、キャップが、ステージ上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【図１０】図１０は、紫外線硬化性樹脂が、吐出ノズルから、キャップの傘部の頂面に吐出された状態を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、液状の紫外線硬化性樹脂が、キャップの傘部の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた状態を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、所定の膜厚を有する紫外線硬化性樹脂の薄膜が、データ記録ユニットの記録層上に形成された状態を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、データ記録ユニットの記録層上に形成された紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線が照射されている状態を示す略断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップを示す略斜視図である。
【図１５】図１５は、図１４に示されたキャップの略中央断面図である。
【図１６】図１６は、液状の紫外線硬化性樹脂が、キャップの傘部の頂面の全面にわたって、展開され、レベリングされた状態を示す略断面図である。
【図１７】図１７は、実施例に用いたキャップの側面の略断面図である。
【符号の説明】
１  光記録ディスク
２  基板
３  記録層
４  光透過層
５  グルーブ
６  センターホール
７  クランプ領域
１１  スピンコーティング装置
２１  ステージ
２２  第１の突出部
２３  第２の突出部
２４  第１の吸気口
２５  第２の吸気口
３０  コントロールユニット
３１  ステージモータ
３２  第１の吸気ポンプ
３３  第２の吸気ポンプ
３４  第１のアーム
３５  第１のアーム移動手段
３６  第２のアーム
３７  第２のアーム移動手段
３８  吐出ノズル
３９  ノズル駆動手段
４０  紫外線ランプ
４１  紫外線
５０  データ記録ユニット
５５  キャップ
５６  キャップの傘部
５６ａ  キャップの底面に形成された凹部
５６ｂ  キャップの頂面に形成された凹部
５７  キャップの把持軸
５８  キャップの突起部
６０  紫外線硬化性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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