(57)【要約】【課題】滴吐出特性のバラツキが生じて高画像品質の画像を記録することができない。【解決手段】流路板１にはノズル４に連通するノズル連通路５、加圧液室６、インク供給路７を形成し、ノズル連通路５間の隔壁５ａの幅Ｄ３と隔壁５ａの加圧液室長手方向の長さＬ２の比（Ｌ２／Ｄ３）が８以下になるようにノズル連通路５を形成した。【選択図】　図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを形成したノズル形成部材と、前記ノズルが連通する加圧液室を形成する流路形成部材を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路形成部材にはこの流路形成部材の厚さ方向に前記加圧液室とノズルとの間を連通するノズル連通路を有し、複数のノズル連通路間の隔壁の幅と、この隔壁の加圧液室長手方向の長さとの比（長さ／幅）が８以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル連通路の高さが６００μｍ以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路形成部材がシリコン基板から形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室間の隔壁の幅と加圧液室の高さの比（高さ／幅）が３以上６以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記流路形成部材のノズル形成部材との接合面には前記加圧液室に似た形状の擬似液室が形成され、この擬似液室間の隔壁の幅と擬似液室の高さの比（高さ／幅）が３以上６以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室に連通して液体を供給する液体流動部を一つ設け、この液体流動部は前記加圧液室よりも幅が狭く、且つ、その長さが５００μｍ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室及び／又は液体流動部の壁面には酸化膜又は窒化チタン膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液体の粘度が５　ｃＰ（２５℃）以上のインクであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記インクは少なくとも、顔料、水溶性有機溶剤、炭素数８以上のポリオール又はグリコールエーテル及び水を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記流路形成部材はシリコンのドライエッチングによる深堀で形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、前記流路形成部材はシリコンのドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記異方性ウエットエッチングはシリコン酸化膜／シリコン窒化膜の積層膜、又はシリコン酸化膜、若しくはシリコン窒化膜をマスクとして行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項１４】
インク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１５】
インク滴を吐出させるインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジを備えたインクジェット記録装置において、前記インクカートリッジが請求項１３に記載のインクカートリッジであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液室、加圧室、液室等とも称される。）と、このインク流路内のインクを加圧する駆動手段（圧力発生手段）とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【０００３】
インクジェットヘッドとしては、インク流路内のインクを加圧するエネルギーを発生する駆動手段として、圧電素子を用いてインク流路の壁面を形成する振動板を変形させてインク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させるいわゆるピエゾ型のもの、或いは、発熱抵抗体を用いてインク流路内でインクを加熱して気泡を発生させることによる圧力でインク滴を吐出させるいわゆるサーマル型のもの、インク流路の壁面を形成する振動板と電極とを対向配置し、振動板と電極との間に発生させる静電力によって振動板を変形させることで、インク流路内容積を変化させてインク滴を吐出させる静電型のものなどが知られている。
【０００４】
これらの各種ヘッドの内でも、ノズル開口が形成されたノズルプレート（ノズル形成部材）と振動板とをスぺーサ（流路形成部材）の両面に接着して圧力室（液室）を形成し、振動板を圧電素子により変形させる方式のインクジェットヘッドは、インク滴を飛翔させるための駆動源として熱エネルギーを使用しないため熱によるインクの変質がなく、特に熱により劣化しやすいカラーインクを吐出させる上で利点がある。しかも、圧電振動子の変位量を調整してインク滴のインク量を自在に調節することが可能であるため、高品質なカラー印刷のためのインクジェット記録装置を構成するのに最適なヘッドである。
【０００５】
ところで、インクジェットヘッドは記録媒体上のドットをインク滴により構成する関係上、インク滴のサイズを小さくすることにより、極めて高い解像度での記録、印刷が可能である。
【０００６】
しかしながら、効率よく記録するためには、インク開口の数を多くする（ノズル数を多くする）必要があり、特に、圧電素子を駆動手段とするものにあっては、圧電素子のエネルギーを効率よく使用するために圧力室（加圧液室）を大きくする必要がある。このことは、ヘッドの小型化要請とは相反することである。このような相反する問題を解消するため、通常隣り合う圧力室を区画している壁（隔壁）を薄くすると共に圧力室の形状を長手方向に大きくして容積を稼ぐことが行われている。
【０００７】
このような圧力室やリザーバは、振動板とノズルプレートの間隔を所定の値に保持する部材である流路形成部材にて形成するが、上述したように、極めて小さく、しかも複雑な形状を備えた圧力室を形成する必要上、通常エッチング技術が使用されている。このような流路形成部材を形成する材料としては、感光性樹脂膜が使用されることが多いが、これは機械的強度が低いためクロストークや撓み等が生じ高い解像度を得ようとすると印字品質が低下するという問題がある。
【０００８】
そこで、比較的簡単な手法で微細な形状を高い精度で加工が可能なシリコン単結晶基板の異方性エッチングを用いた部品製作技術、いわゆるマイクロマシニング技術を適用してインクジェットヘッドを構成する部材を加工することが行われるようになっている。特に、結晶方位（１１０）の単結晶シリコン基板を流路形成部材に用いて、異方性エッチングを行って、圧力室やリザーバを形成することが行われる。単結晶シリコンを使用したスペーサは、機械的剛性が高いため、圧電素子の変形に伴う記録ヘッド全体のたわみを小さくできるとともに、エッチングを受けた壁面が表面に対してほぼ垂直であるため圧力室を均一に構成することが可能であるという大きな利点を備えている。
【０００９】
なお、シリコン基板を流路形成部材に用いたヘッドとしては、例えば、特開平７−１２５１９８号公報、特開平９−１２３４４８号公報、特開平１０−２６４３８３号公報に記載されているものなどがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、流路形成部材に複数の加圧液室を形成する場合には、各加圧液室間は隔壁によって分離されるが、この隔壁の幅と高さの寸法は滴吐出性能に大きな影響を及ぼすものである。例えば、隔壁の幅と高さの比（高さ／幅）が大きい場合は、滴吐出時に隣接する加圧液室からの影響を受けやすくなるため、単発ビットのみでインクを吐出するシングル駆動の場合と複数ビットから同時にインクを吐出するマルチ駆動の場合とでは、インク吐出特性に大きな差が生じてしまい、画像品質が劣化する。
【００１１】
他方、隔壁の幅と高さの比（高さ／幅）が小さすぎる場合は、上記の現象は生じないが、高品質画像を高速度で記録する場合は、ノズルピッチ、加圧液室ピッチを小さくする必要があり、その場合加圧液室の体積が小さくなるためにノズルへの液供給量が不足して吐出不良が生じることになる。
【００１２】
特にインクジェット記録装置においては、普通紙上に印字した場合、画像の色再現性、耐久性、耐光性、インク乾燥性、文字滲み（フェザリング）、色境界滲み（カラーブリード）、両面印刷性等、インクジェット記録装置特有の画質劣化問題が顕在しており、更に、普通紙にて高速印字しようとした場合には、これら全ての特性を満足して印刷することは極めて難しい課題となっている。
【００１３】
そこで、普通紙を使用した場合での従前の染料系インクに対する問題点を改善するために、着色剤として有機顔料、カーボンブラック等を用いる顔料系インクの使用が普通紙印字に対して検討、あるいは実用化がされている。顔料は、染料とは異なり水への溶解性がないため、通常は、顔料を分散剤とともに混合し、分散処理して水に安定分散させた状態の水性インクとして用いられる。
【００１４】
このような顔料系インクは粘度が高くなり、隔壁の幅と高さの比（高さ／幅）を適切に設定しても、ノズルへの液供給量が不足して吐出不良が生じることになる。これは、勿論、顔料系インクに限らず、粘度の高い液体を吐出する場合には同様の課題が生じる。
【００１５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、滴速度のバラツキが低減して高い画像品質の記録を行うことができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法、このヘッドを一体化することで高い画像品質の記録を行うことができるインクカートリッジ、このヘッド又はインクカートリッジを搭載することで高品質画像を記録できるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、流路形成部材にはこの流路形成部材の厚さ方向に加圧液室とノズルとの間を連通するノズル連通路を有し、複数のノズル連通路間の隔壁の幅と、この隔壁の加圧液室長手方向の長さとの比（長さ／幅）が８以下である構成としたものである。
【００１７】
ここで、ノズル連通路の高さが６００μｍ以下であることが好ましい。
【００１８】
また、流路形成部材がシリコン基板から形成されていることが好ましい。
【００１９】
さらに、加圧液室間の隔壁の幅と加圧液室の高さの比（高さ／幅）が３以上６以下であることが好ましい。また、流路形成部材のノズル形成部材との接合面には加圧液室に似た形状の擬似液室が形成され、この擬似液室間の隔壁の幅と擬似液室の高さの比（高さ／幅）が３以上６以下であることが好ましい。
【００２０】
さらに、加圧液室に連通して液体を供給する液体流動部を一つ設け、この液体流動部は加圧液室よりも幅が狭く、且つ、その長さが５００μｍ以上であることが好ましい。
【００２１】
また、液体の粘度が５　ｃＰ（２５℃）以上のインクであることが好ましく、このインクは少なくとも、顔料、水溶性有機溶剤、炭素数８以上のポリオール又はグリコールエーテル及び水を含むことが好ましい。
【００２２】
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、流路形成部材はシリコンのドライエッチングによる深堀、又はドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して形成する構成としたものである。
【００２３】
ここで、異方性ウェットエッチングを併用する場合、シリコン酸化膜／シリコン窒化膜の積層膜、又はシリコン酸化膜、若しくはシリコン窒化膜をマスクとして行うことが好ましい。
【００２４】
本発明に係るインクカートリッジは、本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したものである。
【００２５】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出させる本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッド、又は本発明に係るインクジェットヘッド一体型のインクカートリッジを備えるものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図、図４は同ヘッドの要部平面説明図である。
【００２７】
このインクジェットヘッドは、単結晶シリコン基板で形成した流路形成部材である流路板１と、この流路板１の下面に接合した振動板２と、流路板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴であるインク滴を吐出するノズル４がノズル連通路（連通管）５を介して連通するインク流路である加圧液室（加圧液室）６、加圧液室６にインクを供給するための共通液室８にインク供給口９を介して連通する流体抵抗部となる液体流動部（インク流動部）であるインク供給路７を形成している。
【００２８】
そして、振動板２の外面側（液室と反対面側）に各加圧液室６に対応して加圧液室６内のインクを加圧するための駆動手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての積層型圧電素子１２を接合し、この圧電素子１２をベース基板１３に接合している。ベース基板１３はチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性基板を用いている。
【００２９】
また、圧電素子１２の間には加圧液室６、６間の隔壁部６ａに対応して支柱部１４を設けている。ここでは、圧電素子部材にハーフカットのダイシングによるスリット加工を施すことで櫛歯状に分割して、１つ毎に圧電素子１２と支柱部１４して形成している。支柱部１４も構成は圧電素子１２と同じであるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱となる。
【００３０】
さらに、振動板１２の外周部はフレーム部材１６にギャップ材を含む接着剤１７にて接合している。このフレーム部材１６には、共通液室８となる凹部、この共通液室８に外部からインクを供給するためのインク供給穴１８（図５参照）を形成している。このフレーム部材１６は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成している。
【００３１】
ここで、流路板１は、後述するように、例えば結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板をドライエッチングによる深堀と水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）、ＴＭＡＨ液などのエッチング液を用いた異方性エッチングとを併用することで、ノズル連通路５、加圧液室６、インク供給路７となる凹部や穴部を形成したものである。
【００３２】
そして、流路板１のインクに接する面（液流路の壁面）となる加圧液室６、インク供給路７の各壁面には酸化膜、窒化チタン膜或いはポリイミドなどの有機樹脂膜からなる耐液性薄膜１０を成膜している。このような耐液性薄膜１０を形成することで、シリコン基板からなる流路板１０がインクに対して溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくく、安定した滴吐出が可能になる。
【００３３】
振動板２は、ニッケルの金属プレートから形成したもので、例えばエレクトロフォーミング法（電鋳法）で作製しているが、この他の金属板や樹脂板或いは金属と樹脂板との接合部材などを用いることもできる。
【００３４】
この振動板２は加圧液室６に対応する部分に変形を容易にするための厚みが２〜１０μｍの薄肉部（ダイアフラム部）２１及び圧電素子１２と接合するための厚肉部（島状凸部）２２を形成するとともに、支柱部１４に対応する部分及びフレーム部材１６との接合部にも厚肉部２３を形成し、平坦面側を流路板１に接着剤接合し、島状凸部２２を圧電素子１２に接着剤接合し、更に厚肉部２３を支柱部１４及びフレーム部材１６に接着剤１７で接合している。なお、ここでは、振動板２を２層構造のニッケル電鋳で形成している。この場合、ダイアフラム部２１の厚みは３μｍ、幅は３５μｍ（片側）としている。
【００３５】
ノズル板３は各加圧液室６に対応して直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。ここでは、電鋳工法によるＮｉメッキ膜等で形成している。また、ノズル４の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成し、このノズル４の穴径はインク滴出口側の直径で約２０〜３５μｍとしている。さらに、各列のノズルピッチは１５０ｄｐｉとし、２列配置により３００ｄｐｉとしている。
【００３６】
また、ノズル板３のノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、図示しない撥水性の表面処理を施した撥水処理層を設けている。撥水処理層としては、例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【００３７】
圧電素子１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層３１と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層３２とを交互に積層したものであり、内部電極３２を交互に端面の端面電極（外部電極）である個別電極３３、共通電極３４に電気的に接続したものである。この圧電常数がｄ３３である圧電素子１２の伸縮により加圧液室６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子１２に駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子１２に充電された電荷が放電すると反対方向に収縮するようになっている。
【００３８】
なお、圧電素子部材の一端面の端面電極はハーフカットによるダイシング加工で分割されて個別電極３３となり、他端面の端面電極は切り欠き等の加工による制限で分割されずにすべての圧電素子１２で導通した共通電極３４となる。
【００３９】
そして、圧電素子１２の個別電極３３には駆動信号を与えるために半田接合又はＡＣＦ（異方導電性膜）接合若しくはワイヤボンディングでＦＰＣケーブル３５を接続し、このＦＰＣケーブル３５には各圧電素子１２に選択的に駆動波形を印加するための駆動回路（ドライバＩＣ）を接続している。また、共通電極３４は、圧電素子の端部に電極層を設けて回し込んでＦＰＣケーブル３５のグラウンド（ＧＮＤ）電極に接続している。
【００４０】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、例えば、記録信号に応じて圧電素子１２に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、圧電素子１２に積層方向の変位が生起し、振動板２を介して加圧液室６内のインクが加圧されて圧力が上昇し、ノズル４からインク滴が吐出される。
【００４１】
その後、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室６内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室６内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、図示しないインクタンクから供給されたインクは共通液室８に流入し、共通液室８からインク供給口９を経てインク供給路７を通り、加圧液室６内に充填される。
【００４２】
ここで、インク供給路（流体抵抗部）７は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗になる。このインク供給路７の流体抵抗値を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くできる。
【００４３】
ここで、このインクジェットヘッドにおいて使用する液体であるインクについて説明する。本発明に係るインクジェットヘッドで使用するインク液（これを「本発明のインク」という。）は、次の構成（１）〜（１０）よりなる印字用インク（記録用インク）であるが、これに限るものではない。
【００４４】
（１）顔料（自己分散性顔料）６ｗｔ％以上
（２）湿潤剤１
（３）湿潤剤２
（４）水溶性有機溶剤
（５）アニオンまたはノニオン系界面活性剤
（６）炭素数８以上のポリオールまたはグリコールエーテル
（７）エマルジョン
（８）防腐剤
（９）ｐＨ調製剤
（１０）純水
【００４５】
すなわち、印字（記録）するための着色剤として顔料を使用し、それを分解、分散させるための溶剤とを必須成分とし、更に添加剤として、湿潤剤、界面活性剤、エマルジョン、防腐剤、ｐＨ調整剤とを含んでいる。湿潤剤１と湿潤剤２とを混合するのは各々湿潤剤の特徴を活かすためと、粘度調整が容易にできるためである。
【００４６】
以下、上記各インク構成要素について、より具体的に説明する。
（１）の顔料に関しては、特にその種類を限定することなく、無機顔料、有機顔料を使用することができる。無機顔料としては、酸化チタン及び酸化鉄に加え、コンタクト法、ファーネス法、サーマル法などの公知の方法によって製造されたカーボンブラックを使用することができる。また、有機顔料としては、アゾ顔料（アゾレーキ、不溶性アゾ顔料、縮合アゾ顔料、キレートアゾ顔料などを含む）、多環式顔料（例えば、フタロシアニン顔料、ぺリレン顔料、ぺリノン顔料、アントラキノン顔料、キナクリドン顔料、ジオキサジン顔料、チオインジゴ顔料、イソインドリノン顔料、キノフラロン顔料など）、染料キレート（例えば、塩基性染料型キレート、酸性染料型キレートなど）、ニトロ顔料、ニトロソ顔料、アニリンブラックなどを使用できる。
【００４７】
本発明のインクの好ましい態様によれば、これらの顔料のうち、水と親和性の良いものが好ましく用いられる。顔料の粒径は、０．０５μｍから１０μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは１μｍ以下であり、最も好ましくは０．１６μｍ以下である。インク中の着色剤としての顔料の添加量は、６〜２０重量％程度が好ましく、より好ましくは８〜１２重量％程度である。
【００４８】
本発明のインクの好ましく用いられる顔料の具体例としては、以下のものが挙げられる。
黒色用としては、ファーネスブラック、ランプブラック、アセチレンブラック、チャンネルブラック等のカーボンブラック（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７）類、または銅、鉄（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１１）、酸化チタン等の金属類、アニリンブラック（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１）等の有機顔料が挙げられる。
【００４９】
さらに、カラー用としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（ファストイエローＧ）、３、１２（ジスアゾイエローＡＡＡ）、１３、１４、１７、２４、３４、３５、３７、４２（黄色酸化鉄）、５３、５５、８１、８３（ジスアゾイエローＨＲ）、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、４０８、１０９、１１０、１１７、１２０、１３８、１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、１３、１６、１７、３６、４３、５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、５、１７、２２（ブリリアントファーストスカレット）、２３、３１、３８、４８：２（パーマネントレッド２Ｂ（Ｂａ））、４８：２（パーマネントレッド２Ｂ（Ｃａ））、４８：３（パーマネントレッド２Ｂ（Ｓｒ））、４８：４（パーマネントレッド２Ｂ（Ｍｎ））、４９：１、５２：２、５３：１、５７：１（ブリリアントカーミン６Ｂ）、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１（ローダミン６Ｇレーキ）、８３、８８、１０１（べんがら）、１０４、１０５、１０６、１０８（カドミウムレッド）、１１２、１１４、１２２（キナクリドンマゼンタ）、１２３、１４６、１４９、１６６、１６８、１７０、１７２、１７７、１７８、１７９、１８５、１９０、１９３、２０９、２１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（ローダミンレーキ）、３、５：１、１６、１９、２３、３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、２、１５（フタロシアニンブルーＲ）、１５：１、１５：２、１５：３（フタロシアニンブルーＥ）、１６、１７：１、５６、６０、６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、４、７、８、１０、１７、１８、３６等がある。
【００５０】
その他顔料（例えばカーボン）の表面を樹脂等で処理し、水中に分散可能としたグラフト顔料や、顔料（例えばカーボン）の表面にスルホン基やカルボキシル基等の官能基を付加し水中に分散可能とした加工顔料等が使用できる。
【００５１】
また、顔料をマイクロカプセルに包含させ、該顔料を水中に分散可能なものとしたものであっても良い。
【００５２】
本発明のインクの好ましい態様によれば、ブラックインク用の顔料は、顔料を分散剤で水性媒体中に分散させて得られた顔料分散液としてインクに添加されるのが好ましい。好ましい分散剤としては、従来公知の顔料分散液を調整するのに用いられる公知の分散液を使用することができる。
【００５３】
分散液としては、例えば以下のものが挙げられる。
ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、アクリル酸−アクリロニトリル共重合体、酢酸ビニル−アクリル酸エステル共重合体、アクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−メタクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−メタクリル酸−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸共重合体−アクリル酸アルキルエステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ビニルナフタレン−マレイン酸共重合体、酢酸ビニル−エチレン共重合体、酢酸ビニル−脂肪酸ビニルエチレン共重合体、酢酸ビニル−マレイン酸エステル共重合体、酢酸ビニル−クロトン酸共重合体、酢酸ビニル−アクリル酸共重合体等が挙げられる。
【００５４】
本発明のインクの好ましい態様によれば、これらの共重合体は重量平均分子量が３、０００〜５０、０００であるのが好ましく、より好ましくは５、０００〜３０、０００、最も好ましくは７、０００〜１５、０００である。分散剤の添加量は、顔料を安定に分散させ、他の効果を失わせない範囲で適宣添加されて良い。分散剤としては１：０．０６〜１：３の範囲が好ましく、より好ましくは１：０．１２５〜１：３の範囲である。
【００５５】
着色剤に使用する顔料は、記録用インク全重量に対して６重量％〜２０重量％含有し、０．０５μｍ〜０．１６μｍ以下の粒子径の粒子であり、分散剤により水中に分散されていて、分散剤が、分子量５、０００から１００、０００の高分子分散剤である。水溶性有機溶剤が少なくとも１種類にピロリドン誘導体、特に、２−ピロリドンを使用すると画像品質が向上する。
【００５６】
（２）〜（４）の湿潤剤１、２と水溶性有機溶剤に関しては、本発明のインクの場合、インク中に水を液媒体として使用するものであるが、インクを所望の物性にし、インクの乾燥を防止するために、また、溶解安定性を向上するため等の目的で、例えば下記の水溶性有機溶剤が使用される。これら水溶性有機溶剤は複数混合して使用してもよい。
【００５７】
湿潤剤と水溶性有機溶剤の具体例としては、例えば以下のものが挙げられる。エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラエチレングリコール、ヘキシレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、グリセロール、１，２、６−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、１，２，３−ブタントリオール、ペトリオール等の多価アルコール類；
【００５８】
エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル類；
【００５９】
エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル等の多価アルコールアリールエーテル類；
【００６０】
２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシエチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチルイミイダゾリジノン、ε−カプロラクタム、γ−ブチロラクトン等の含窒素複素環化合物；
【００６１】
ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド等のアミド類；
【００６２】
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類；
【００６３】
ジメチルスルホキシド、スルホラン、チオジエタノール等の含硫黄化合物類；プロピレンカーボネート、炭酸エチレン等である。
【００６４】
これら有機溶媒の中でも、特にジエチレングリコール、チオジエタノール、ポリエチレングリコール２００〜６００、トリエチレングリコール、グリセロール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、ペトリオール、１，５−ペンタンジオール、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドンが好ましい。これらは溶解性と水分蒸発による噴射特性不良の防止に対して優れた効果が得られる。
【００６５】
その他の湿潤剤としては、糖を含有してなるのが好ましい。糖類の例としては、単糖類、二糖類、オリゴ糖類（三糖類および四糖類を含む）および多糖類があげられ、好ましくはグルコース、マンノース、フルクトース、リボース、キシロース、アラビノース、ガラクトース、マルトース、セロビオース、ラクトース、スクロース、トレハロース、マルトトリオースなどが挙げられる。ここで、多糖類とは広義の糖を意味し、α−シクロデキストリン、セルロースなど自然界に広く存在する物質を含む意味に用いることとする。
【００６６】
また、これらの糖類の誘導体としては、前記した糖類の還元糖（例えば、糖アルコール（一般式ＨＯＣＨ２（ＣＨＯＨ）ｎＣＨ２ＯＨ（ここでｎ＝２〜５の整数を表す。）で表される。）、酸化糖（例えば、アルドン酸、ウロン酸など）、アミノ酸、チオ酸などがあげられる。特に糖アルコールが好ましく、具体例としてはマルチトール、ソルビットなどが挙げられる。
【００６７】
これら糖類の含有量は、インク組成物の０．１〜４０重量％、好ましくは０．５〜３０重量％の範囲が適当である。
【００６８】
（５）の界面活性剤に関しても、特に限定はされないが、アニオン性界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル酢酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸塩、ラウリル酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルサルフェートの塩などが挙げられる。
【００６９】
非イオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミドなどが挙げられる。前記界面活性剤は、単独または二種以上を混合して用いることができる。
【００７０】
本発明のインクにおける表面張力は紙への浸透性を示す指標であり、特に表面形成されて１秒以下の短い時間での動的表面張力を示し、飽和時間で測定される静的表面張力とは異なる。測定法としては特開昭６３−３１２３７号公報等に記載の従来公知の方法で１秒以下の動的な表面張力を測定できる方法であればいずれも使用できるが、本発明ではＷｉｌｈｅｌｍｙ式の吊り板式表面張力計を用いて測定した。表面張力の値は４０ｍＪ／ｍ２以下が好ましく、より好ましくは３５ｍＪ／ｍ２以下とすると優れた定着性と乾燥性が得られる。
【００７１】
（６）の炭素数８以上のポリオールまたはグリコールエーテルに関しては、２５℃の水中において０．１〜４．５重量％未満の間の溶解度を有する部分的に水溶性のポリオールおよび／またはグリコールエーテルを記録用インク全重量に対してを０．１〜１０．０重量％添加することによって、該インクの熱素子への濡れ性が改良され、少量の添加量でも吐出安定性および周波数安定性が得られることが分かった。▲１▼２−エチル−１、３−ヘキサンジオール　溶解度：４．２％（２０℃）　▲２▼２、２、４−トリメチル−１、３−ペンタンジオール　溶解度：２．０％（２５℃）。
【００７２】
２５℃の水中において０．１〜４．５重量％未満の間の溶解度を有する浸透剤は溶解度が低い代わりに浸透性が非常に高いという長所がある。したがって、２５℃の水中において０．１〜４．５重量％未満の間の溶解度を有する浸透剤と他の溶剤との組み合わせや他の界面活性剤との組み合わせで非常に高浸透性のあるインクを作製することが可能となる。
【００７３】
（７）本発明のインクには樹脂エマルジョンが添加されている方が好ましい。樹脂エマルジョンとは、連続相が水であり、分散相が次の様な樹脂成分であるエマルジョンを意味する。分散相の樹脂成分としてはアクリル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、スチレン−ブタジエン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、アクリル−スチレン系樹脂、ブタジエン系樹脂、スチレン系樹脂などが挙げられる。
【００７４】
本発明のインクの好ましい態様によれば、この樹脂は親水性部分と疎水性部分とを併せ持つ重合体であるのが好ましい。また、これらの樹脂成分の粒子径はエマルジョンを形成する限り特に限定されないが、１５０ｎｍ程度以下が好ましく、より好ましくは５〜１００ｎｍ程度である。
【００７５】
これらの樹脂エマルジョンは、樹脂粒子を、場合によって界面活性剤とともに水に混合することによって得ることができる。例えば、アクリル系樹脂またはスチレン−アクリル系樹脂のエマルジョンは、（メタ）アクリル酸エステルまたはスチレンと、（メタ）アクリル酸エステルと、場合により（メタ）アクリル酸エステルと、界面活性剤とを水に混合することによって得ることができる。樹脂成分と界面活性剤との混合の割合は、通常１０：１〜５：１程度とするのが好ましい。界面活性剤の使用量が前記範囲に満たない場合、エマルジョンとなりにくく、また前記範囲を超える場合、インクの耐水性が低下したり、浸透性が悪化する傾向があるので好ましくない。
【００７６】
前記エマルジョンの分散相成分としての樹脂と水との割合は、樹脂１００重量部に対して水６０〜４００重量部、好ましくは１００〜２００の範囲が適当である。
【００７７】
市販の樹脂エマルジョンとしては、マイクロジェルＥ−１００２、Ｅ−５００２（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン、日本ペイント株式会社製：いずれも商品名）、ボンコート４００１（アクリル系樹脂エマルジョン、大日本インキ化学工業株式会社製：商品名）、ボンコート５４５４（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン、大日本インキ化学工業株式会社製：商品名）、ＳＡＥ−１０１４（スチレン−アクリル系樹脂エマルジョン、日本ゼオン株式会社製：商品名）、サイビノールＳＫ−２００（アクリル系樹脂エマルジョン、サイデン化学株式会社製：商品名）、などが挙げられる。
【００７８】
本発明のインクは、樹脂エマルジョンを、その樹脂成分がインクの０．１〜４０重量％となるよう含有するのが好ましく、より好ましくは１〜２５重量％の範囲である。
【００７９】
樹脂エマルジョンは、増粘・凝集する性質を持ち、着色成分の浸透を抑制し、さらに記録材への定着を促進する効果を有する。また、樹脂エマルジョンの種類によっては記録材上で皮膜を形成し、印刷物の耐擦性をも向上させる効果を有する。
【００８０】
（８）〜（１０）本発明のインクには上記着色剤、溶媒、界面活性剤の他に従来より知られている添加剤を加えることができる。
例えば、防腐防黴剤としてはデヒドロ酢酸ナトリウム、ソルビン酸ナトリウム、２−ピリジンチオール−１−オキサイドナトリウム、安息香酸ナトリウム、ペンタクロロフェノールナトリウム等が使用できる。
【００８１】
ｐＨ調整剤としては、調合されるインクに悪影響を及ぼさずにｐＨを７以上に調整できるものであれば、任意の物質を使用することができる。その例として、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアミン、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属元素の水酸化物、水酸化アンモニウム、第４級アンモニウム水酸化物、第４級ホスホニウム水酸化物、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属の炭酸塩等が挙げられる。
【００８２】
キレート試薬としては、例えば、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム、ニトリロ三酢酸ナトリウム、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸ナトリウム、ウラミル二酢酸ナトリウム等がある。
【００８３】
防錆剤としては、例えば、酸性亜硫酸塩、チオ硫酸ナトリウム、チオジグリコール酸アンモン、ジイソプロピルアンモニウムニトライト、四硝酸ペンタエリスリトール、ジシクロヘキシルアンモニウムニトライト等がある。
【００８４】
このような本発明のインクを使用することによって、特に普通紙上に印字した場合でも、良好な色調（十分な発色性、色再現性を有する。）、高い画像濃度、文字を含む画像にフェザリング現象やカラーブリード現象のない鮮明な画質、両面印刷にも耐え得るインク裏抜け現象の少ない画像、高速印刷に適したインク乾燥性（定着性）、耐光性、耐水性などの高い堅牢性を有した画像等、これらの画像特性に対して十分に満足できる高画質画像を形成することができるようになる。
【００８５】
この本発明のインクのように、特に、粘度が５　ＣＰｓ以上、より好ましい粘度８　ＣＰｓ以上のインクを用いた場合には、インク供給路７（インク流動部）の流体抵抗値のバラツキによる滴速度への影響、加圧液室６の隔壁と幅との関係、インク連通路５（連通管）の隔壁などによる滴速度への影響が生じる。
【００８６】
そこで、本発明に係るインクジェットヘッドにおける流路形成部材である流路板１の形状の詳細について図５以降をも参照して説明する。
まず、この実施形態においては、図１及び図５ないし図７を参照して、流路板１は、シリコン基板で形成して、振動板２側の面に各加圧液室６、インク供給路７となる凹部をそれぞれ形成しているので、この状態では流路板１の振動板２側表面の凹部以外の面（振動板接合面）の表面積とノズル板３側の凹部（この状態ではノズル連通路５のみ）以外の面（ノズル板接合面）の表面積との差が大きくなる。
【００８７】
このように、ノズル板側接合面と振動板接合面との形状や面積が大きく異なると、耐液性薄膜１０、特に耐液性に優れたシリコン酸化膜や窒化チタン膜を形成した場合に膜の内部応力によって流路板１に反りが発生することになる。
【００８８】
そこで、このヘッドの流路板１には、ノズル板接合面側及び振動板接合面側にそれぞれ接着剤逃がし用の肉抜き部（凹部）４５、４７を形成するとともに、ノズル板接合面側に液室形状（流路形状）に似た形状の擬似液室（凹部）４６を形成することによって、ノズル板接合面の凹部以外の表面積と振動板接合面の凹部以外の表面積とが略同じになるようにしている。
【００８９】
このように、流路板１の両面の凹部以外の表面積が略同じになるようにすることで、流路壁面に耐液性薄膜１０を形成する場合に、ノズル板接合面側と振動板接合面側の耐液性薄膜の膜応力の差などに起因する流路板１の反りが緩和されるので、流路板１の各面にノズル板３及び振動板２を接着剤接合した場合の接合信頼性が向上するとともに、製造工程における接合不良が低減することで歩留まりが向上して低コスト化を図ることができる。
【００９０】
すなわち、流路板１のノズル板接合面１ａと振動板接合面１ｂの凹部形状及び表面積が大きく異なっていると、例えば、耐液性薄膜としてのシリコン酸化膜を７０００Åの厚みで成膜した場合に、シリコン流路板１には６μｍを越える反りが発生することを確認している。そのため、流路板１の各面にノズル板及び振動板を接合すると接合不良箇所が発生する。勿論接着剤層の厚みを厚くすることで接合不良はある程度解消できるが、接着剤層の厚みを厚くすることは、接着剤のはみ出しが多くなり、液室部材全体の剛性の点でも好ましくない。
【００９１】
これに対して、流路板１のように液室形状に対応する擬似液室４６を形成することで、ノズル板接合面１ａと振動板接合面１ｂの凹部形状及び表面積がほぼ同じになる。そのため、耐液性薄膜としてのシリコン酸化膜を７０００Åの厚みで成膜した場合でも、シリコン流路板１の反りは約２μｍに抑えることができ、この程度の反りであれば流路板１の各面のノズル板及び振動板を接合しても接合不良箇所が発生しないことを確認した。
【００９２】
ここで、図７にノズル板接合面と振動板接合面の面積比とシリコン酸化膜を膜厚１μｍで形成した場合の液室形成部材（流路板）の反り量の関係の実測結果を示している。
【００９３】
次に、このインクジェットヘッドにおけるインク供給路（インク流動部）７について図８を参照して説明する。なお、同図は１ビット分の加圧液室及びインク供給路部分の平面説明図である。
インク供給路７の幅Ｗ１は加圧液室６の幅Ｗ２よりも狭く形成する。これにより、加圧液室６に発生させた圧力をインク供給方向に逃がすことなく効率的にノズル４側に伝えることができる。
【００９４】
また、インク供給路７は１つの加圧液室６に対して１箇所に形成している。これにより、インク供給路７を加圧液室６に対して複数設けた場合に比べて、インク流動時の複数のインク流動に起因する干渉及びインクの滞りを低減することができる。
【００９５】
さらに、インク供給路７は加圧液室６の幅方向の略中央部に配置し、流体的に、気泡を発生させない構造としている。各加圧液室６に対して加圧液室６よりも狭いインク供給路７が１箇所であれば、加圧液室６の幅方向のいずれかに片寄った位置に配置されていたとしても気泡を発生させにくく、インクの滞りのない形状にすることができるが、加圧液室６の幅方向の略中央部に配置することで、より一層気泡の発生、インクの滞りを低減することができ、信頼性が向上する。
【００９６】
また、インク供給路７と加圧液室６とはシリコン基板のハーフエッチングにより形成し、加圧液室６とインク供給路７のエッチング深さを略等しくしている。ハーフエッチングで加圧液室６及びインク供給路７を形成することによりフルエッチングで形成する場合に比べて、流路形成部材である流路板１の剛性を高くすることができ、安定した滴噴射を行うことができる。また。加圧液室６とインク供給路７のエッチング深さを略等しくすることにより、寸法制御がしやすく、少ない工程数で形成することができる。
【００９７】
さらに、流路形成部材である流路板１として面方位（１１０）のシリコン基板を用いてイインク供給路７の幅方向（ノズル配列方向）の壁面を（１１１）面で規定する配置、形状としている。インク供給路７の流体抵抗値として最も噴射特性に影響を及ぼす最短幅をＷ１を制御のしやすいシリコン（１１１）面で規定することにより、噴射ばらつきの少ないヘッドが得られる。
【００９８】
また、インク供給路７の長さＬ１は５００μｍ以上にしている。これにより、流体抵抗値のバラツキによる滴吐出特性（特に滴速度Ｖｊ）に対する影響を低減することができ、各チャンネル間の滴速度Ｖｊのばらつきを約１ｍ／ｓ以内の差に抑えることが可能となり、高品質の画像を形成することができるようになる。
【００９９】
すなわち、流路形成部材（流路板１）として面方位（１１０）のシリコン基板を用いた場合、インク供給路７の長さ方向では、加圧液室６と加圧液室６よりも狭いインク流入口との接続部５１及び共通液室８側からのインク流入口との接続部５２にシリコンの高次面が出現するため、高精度の寸法制御が困難になる。
【０１００】
そこで、インク供給路７の長さＬ１を５００μｍ以上にすることで、加圧液室６よりも幅が狭いインク供給路７に寸法ばらつきが生じた場合でも、インク供給路７の流体抵抗値のばらつきを小さく抑えることができるようになる。
【０１０１】
ここで、インク供給路７の長さＬ１と各チャンネル（ノズル）間での最大噴射速度Ｖｊｍａｘと最小噴射速度Ｖｊｍｉｎとの差（滴速度Ｖｊのばらつき）の関係を測定した結果を図９に示している。この実験に用いたインクは前述した本発明のインクであり、粘度は５　ｃＰの調整した。
【０１０２】
実際のシリコン基板を用いて加圧液室６及びインク供給路７を作製し、各チャンネル間でインク供給路７の長さ（幅狭部の長さ）Ｌ１を測定したところ、最も長いＬ１ｍａｘと最も短いＬ１ｍｉｎの差（Ｌ１ｍａｘ−Ｌ１ｍｉｎ）では２５μｍ程度のバラツキが生じた。
【０１０３】
このとき、インク供給路７の長さＬ１を２５０μｍとすると、抵抗値としては１０％の差が生じることになり、同図に示すように、滴速度Ｖｊの差（Ｖｊｍａｘ−Ｖｊｍｉｎ）が約１．５ｍ／ｓになってしまい、滴着弾位置がばらついて画像品質が低下する。
【０１０４】
これに対して、インク供給路７の長さＬ１を５００μｍ以上にすることで、抵抗値としては５％の差に止まることになり、長さのバラツキが抵抗値のバラツキ、噴射特性のバラツキに与える影響が低減し、同図に示すように、高粘度（５　ｃＰ以上）のインクを用いた場合でも、滴速度Ｖｊの差（Ｖｊｍａｘ−Ｖｊｍｉｎ）を約１．０ｍ／ｓに抑えることができる。このように、各チャンネル間での滴速度Ｖｊのばらつきを約１．０ｍ／ｓ以内に抑えることにより、滴着弾位置のばらつき画像品質に与える影響を大幅に低減できて、画像品質が向上する。
【０１０５】
また、インク供給路７のインク出口側（接続部５１）は加圧液室６に対するインク供給方向で幅が徐々に広くなるように、インク入口側（接続部５２）はインク供給方向で幅が徐々に広くなるように形成している。これにより、インクの流れがスムーズになり、インクの滞り、気泡のトラップを低減することができる。
【０１０６】
このように、インクの滞りのない形状にインク供給路７を形成することによって、高周波でのインク吐出の際にも噴射ダウンのないヘッドを得ることができる。
【０１０７】
次に、加圧液室６の高さと加圧液室間の隔壁６ａの幅との関係について図１０を参照して説明する。
加圧液室６間の隔壁６ａの幅と高さの寸法はインク吐出性能に大きな影響を及ぼすものである。すなわち、例えば、幅と高さの比（高さ／幅）が大きい場合は、インク吐出時に隣接する加圧液室からの影響を受け易くなる。このため、単発ビットのみでインクを吐出する場合（シングル駆動）と複数ビットから同時にインクを吐出する場合（マルチ駆動）とでインク吐出特性に大きな差が生じてしまい、画像の劣化につながる。
【０１０８】
一方、隔壁の幅と高さの比（高さ／幅）が小さすぎる場合は、上記の現象は生じないが、高品質画像を高速度で記録する場合は、ノズルピッチ、加圧液室ピッチを小さくする必要があり、その場合加圧液室の体積が小さいためにノズルへの液体供給量が不足することになる。特に、高粘度インクを用いた高周波駆動の場合にインクの供給量の不足が顕著になり、結果駆動周波数が制限されて高速記録が制限されることになる。
【０１０９】
そこで、このインクジェットヘッドにおいては、図１０に示すように、加圧液室６を分離する隔壁６ａのノズル配列方向の幅（液室隔壁幅）Ｄ１と加圧液室６の高さ（液室高さ）Ｈ１（隔壁６ａの高さでもある。）とを、液室隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１の比（Ｈ１／Ｄ１）が３以上６以下になる範囲に形成している。
【０１１０】
このように、液室隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１の比（Ｈ１／Ｄ１）が３以上６以下の範囲内とすることで、液滴吐出時に隣接の加圧液室からの影響を受けやすくなるために生じる単発ビットのみで液滴を吐出するシングル駆動の場合と複数ビット同時に液滴を吐出するマルチ駆動の場合とでの液滴吐出特性の大きな差の発生を抑えることができ、画像品質が向上する。それとともに、ノズルへの液供給量不足をなくすることでき、特に普通紙高画質印刷のための高粘度インクを使用したときにおいても、高周波吐出時（高周波駆動時）の液供給を十分に行うことができ、記録速度の高速化を図れる。
【０１１１】
ここで、液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１との比（Ｈ１／Ｄ１：アスペクト比）の値の一例を表１に示している。ここで、液室間隔壁幅Ｄ１が３０μｍのとき１５０ｄｐｉに相当し、２０μｍのとき３００ｄｐｉに相当し、１０μｍのとき６００ｄｐｉに相当するノズルピッチが得られる。
【０１１２】
また、この表１の液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１に設定して、シングル（単数ビット）駆動で滴噴射を行ったときの滴噴射速度Ｖｊとマルチ（複数ビット）駆動で液滴噴射を行ったときの滴噴射速度Ｖｊとの差の評価結果を表２に示している。なお、同表中、滴噴射速度Ｖｊの差が１．０以下の場合を可「○」とし、１．０を越える場合を不可「×」としている。さらに、高周波駆動を行ったときの噴射不良率の評価結果を表３に示している。なお、同表中、不良ビットがないときを可「○」、不良ビットが発生したときを不可「×」としている。
【０１１３】
【表１】
2004082496.tif 000003
【０１１４】
【表２】
2004082496.tif 000004
【０１１５】
【表３】
2004082496.tif 000005
【０１１６】
また、液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１との比（Ｈ１／Ｄ１：アスペクト比）とシングル（単数ビット）／マルチ（複数ビット）駆動間での滴速度Ｖｊの差の測定結果を図１１に、液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１との比（Ｈ１／Ｄ１：アスペクト比）に対する高周波駆動を行ったときの噴射不良率の評価結果を図１２にも示している。なお、これらの測定、評価に用いたインクは前述した本発明のインクであり、粘度は５　ｃＰの調整した。
【０１１７】
これらの表１ないし表３及び図１１、図１２から分かるように、液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１との比（Ｈ１／Ｄ１：アスペクト比）を「６」以下にすることにより、隣接ビットとの干渉が小さくなり、シングル（単数ビット）／マルチ（複数ビット）駆動間の液速度Ｖｊ差を良好な画像品質が得られる１ｍ／ｓ以下に抑えることができる。
【０１１８】
また、液室間隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１との比（Ｈ１／Ｄ１：アスペクト比）を「３」以上にすることによって、高粘度インクを使用し、高周波駆動を行って液滴を噴射させたときでもノズルへのインクの供給が十分行われて、噴射不良が発生しない。
【０１１９】
このように、液室隔壁幅Ｄ１と液室高さＨ１の比（Ｈ１／Ｄ１）が３以上６以下の範囲内とすることで、特に高粘度インクを使用して高速、高画質で普通紙への記録を行うことができるようになる。
【０１２０】
なお、このヘッドにおいては、前述したように流路板１のノズル接合面１ａに擬似液室４６を形成しているが、この擬似液室４６についても、図１０に示すように、擬似液室４６を分離する隔壁４６ａのノズル配列方向の幅（擬似液室隔壁幅）Ｄ２と擬似液室４６の高さ（擬似液室高さ）Ｈ２（擬似液室の隔壁４６ａの高さでもある。）とを、擬似液室隔壁幅Ｄ２と擬似液室高さＨ２の比（Ｈ２／Ｄ２）が３以上６以下になる範囲に形成している。
【０１２１】
この場合、液室間隔壁幅Ｄ１と擬似液室隔壁幅Ｄ２、液室高さＨ１と擬似液室高さＨ２とは同じにすることもでき、或いは異ならせることもできるが、上述したように比（Ｈ２／Ｄ２）が３以上６以下の範囲になるように形成することで、擬似液室４６と加圧液室６の高さ及び隔壁幅を同じにすることが可能になる。
【０１２２】
次に、連通管（ノズル連通路）５の長さと連通管５間の隔壁の幅との関係、連通管５の高さについて図１３を参照して説明する。
連通管５は流路板１の厚さ方向に流路板１を貫通して形成しており（流路板１の厚さ方向に部分的に形成することもできる。）、この連通管５は加圧液室６にて加圧されたインクをノズル４へと流動させるための部位であり、各連通管５は図１３（ａ）に示すようにノズル配列方向では隔壁５ａにより分離されている。
【０１２３】
この連通管５の隔壁５ａの剛性が低下すると、隣接するビットの連通管５との間で干渉を起こしてしまう場合がある。隣接する連通管５の間で干渉を生じると、単発ビットのみで液滴を吐出するシングル駆動の場合と複数ビット同時に吐出するマルチ駆動の場合との間で液滴吐出特性に大きな差が発生してしまい、画像品質が低下することになる。
【０１２４】
そこで、このインクジェットヘッドにおいては、図１３（ａ）に示すように、連通管５を分離する隔壁５ａのノズル配列方向の幅（連通管隔壁幅又はノズル連通路間隔壁幅）Ｄ３と連通管５を分離する隔壁５ａの加圧液室６の長さ方向での長さ（連通管隔壁長さ又はノズル連通路間隔壁長さ）Ｌ２とを、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２の比（Ｌ２／Ｄ３）が８以下になる範囲に形成している。
【０１２５】
このように、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２の比（Ｌ２／Ｄ３）が８以下になる範囲内とすることで、隔壁５ａの剛性不足が原因となって発生する単発ビットのみで液滴を吐出するシングル駆動の場合と複数ビット同時に液滴を吐出するマルチ駆動の場合とでの液滴吐出特性の大きな差の発生を抑えることができ、高精度の噴射特性を得ることできて、画像品質が向上する。
【０１２６】
なお、このインクジェットヘッドにおいては、連通管５の隔壁５ａのノズル配列方向の幅（連通管隔壁幅）Ｄ３は、連通管５と加圧液室６とのノズル配列方向の幅を同じに形成しているので、液室間隔壁幅Ｄ１と同じであるが、これらの連通管隔壁幅Ｄ３と液室間隔壁幅Ｄ１とを異ならせることもできる。
【０１２７】
ここで、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２との比（Ｌ２／Ｄ３：アスペクト比）の値の一例を表４に示している。なお、連通管隔壁幅Ｄ３と液室間隔壁幅Ｄ１とが同じ場合には、前述した表１で述べた液室間隔壁幅Ｄ１とノズルピッチの関係が成り立つ。
【０１２８】
また、この表４の連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２に設定して、シングル（単数ビット）駆動で滴噴射を行ったときの滴噴射速度Ｖｊとマルチ（複数ビット）駆動で液滴噴射を行ったときの滴噴射速度Ｖｊとの差の評価結果を表５に示している。なお、同表中、滴噴射速度Ｖｊの差が１．０以下の場合を可「○」とし、１．０を越える場合を不可「×」としている。
【０１２９】
【表４】
2004082496.tif 000006
【０１３０】
【表５】
2004082496.tif 000007
【０１３１】
また、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２との比（Ｌ２／Ｄ３：アスペクト比）とシングル（単数ビット）／マルチ（複数ビット）駆動間での滴速度Ｖｊの差の測定結果を図１４にも示している。なお、この測定、評価に用いたインクは前述した本発明のインクであり、粘度は５　ｃＰの調整した。
【０１３２】
これらの表４、表５及び図１４から分かるように、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２との比（Ｌ２／Ｄ３：アスペクト比）を「８」以下にすることにより、隣接ビットとの干渉が小さくなり、シングル（単数ビット）／マルチ（複数ビット）駆動間の液速度Ｖｊ差を良好な画像品質が得られる１ｍ／ｓ以下に抑えることができる。
【０１３３】
ところで、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２との比（Ｌ２／Ｄ３：アスペクト比）を「８」以下、特により小さな値になるようにすると、連通管５の流体抵抗が大きくなり、特に、高粘度インクを用いた高周波駆動の場合にインクの供給量の不足が顕著になり、結果駆動周波数が制限されて高速記録が制限されることになる。
【０１３４】
そこで、このインクジェットヘッドでは、図１３（ｂ）に示すように、連通管５の高さＨ３を６００μｍ以下にしている。これにより、連通管５の隔壁５ａの剛性を高めるために連通管５を分離する隔壁５ａの幅と隔壁５ａの加圧液室長手方向の長さの比（長さ／幅）を小さくするために生じる流体抵抗の増大を抑えることができ、特に普通紙高画質画像を高速で得るために必要な高粘度インクを使用し、高周波で噴射させたときにも噴射不良のないヘッドが得られる。
【０１３５】
ここで、連通管５の高さＨ３に対する高周波駆動時の噴射不良の発生率の測定結果の一例を図１５に示している。なお、ここでも、測定、評価に用いたインクは前述した本発明のインクであり、粘度は５　ｃＰの調整した。
【０１３６】
この図１５から分かるように、連通管５の高さＨ３、すなわち、流路板１の厚さを６００μｍ以下とすることによって、高粘度インクを使用し、高周波で噴射させたときでもノズルへの液体の供給は十分行われており、噴射不良は発生しない。
【０１３７】
このように、連通管隔壁幅Ｄ３と連通管隔壁長さＬ２との比（Ｌ２／Ｄ３：アスペクト比）を「８」以下とし、連通管５の高さＨ３を６００μｍ以下とすることにより、特に高粘度インクを使用して高速、高画質で普通紙への記録を行うことができるようになる。
【０１３８】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法に係る第１実施形態の製造工程について図１６及び図１７を参照して説明する。
先ず、図１６（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）６１を用意し、このシリコン基板６１両表面に厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜６２ａ、６２ｂ及び厚さ０．１５μｍのシリコン窒化膜６３ａ、６３を形成した。なお、窒化膜６３ａ、６３ｂはＬＰ−ＣＶＤで形成した。
【０１３９】
なお、使用するウエハの種類は両面研磨ウエハ、両面未研磨ウエハ、片面未研磨ウエハのいずれのウエハであっても良く、また比抵抗も揃っている必要はなく、例えばここでは、比抵抗０．１−１００Ωｃｍのウエハを使用している。また、ウエハの厚さは連通管（ノズル連通路）５の高さを規定することになるので、前述したように高粘度インクを使用することから６００μｍ以下の厚さのものを使用している。
【０１４０】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板６１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜６３ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５、擬似液室４６を形成するための各開口とを有するレジストパターン６４ａを形成した。
【０１４１】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜６３ａに、ノズル連通路５を形成するための開口６５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部４５を形成するための開口６６、擬似液室４６を形成するための開口６８をパターニングする。この工程では擬似液室２６を形成するための開口６８は加圧液室６とほぼ同じ平面形状に形成した。
【０１４２】
その後、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板６１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜６３ａを埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口を有するレジストパターン６４ｃ形成し、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜６３ａの開口６５に連続してシリコン酸化膜６２ａにノズル連通路５を形成するための開口（以下では両開口を単に「開口６５」と表記する。）をパターニングする。
【０１４３】
次に、同図（ｄ）に示すように、シリコン基板６１の振動板接合面側のシリコン窒化膜６３ｂ表面に、加圧液室６及びインク供給路（インク流動部）７を形成するための開口と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口とを有するレジストパターン６４ｂを形成した。
【０１４４】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜６３ａに、加圧液室６及びインク供給路（インク流動部）７を形成するための開口７０と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口７１をパターニングする。
【０１４５】
次いで、同図（ｅ）に示すように、シリコン基板６１の振動板接合面側のシリコン窒化膜６３ｂを埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口を有するレジストパターン６４ｄ形成し、ドライエッチングを行って、シリコン酸化膜６２ａにノズル連通路５を形成するための開口７２をパターニングする。
【０１４６】
その後、図１７（ａ）に示すように、レジストでシリコン窒化膜６３ａの開口６５、６６、６８を埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口７３を有するレジストパターン７２を形成した。このときのレジストの膜厚は８μｍとした。
【０１４７】
そして、同図（ｅ）に示すように、シリコン基板６１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜６３ａ、シリコン酸化膜６３ａを埋め込み、Ｉ　ＣＰドライエッチャーによりシリコンエッチングのためのマスク７３を形成して、Ｉ　ＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板６１にノズル連通路５を形成するための深堀７４を形成した。ここでは、深堀７４の深さを３００μｍとした。また、Ｉ　ＣＰエッチングはノズル板接合面側から行っているが、振動板接合面側から行うこともできる。
【０１４８】
次いで、同図（ｂ）に示すように、マスク７３を除去して、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板６１の異方性エッチングを行ってノズル連通路５となる連通管７５を形成した。
【０１４９】
その後、同図（ｃ）に示すように、ウエットエッチングにより、ノズル板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５を形成するための開口６６と、擬似液室４６を形成するための開口６８に対応するシリコン酸化膜６２ａを除去するとともに、加圧液室６及びインク供給路（インク流動部）７を形成するための開口７０と、振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口７１に対応するシリコン酸化膜６２ｂを除去する。
【０１５０】
そして、同図（ｄ）に示すように、再度水酸化カリウム水溶液により、シリコン基板６１の異方性エッチングを行って、シリコン基板６１に、加圧液室６となる凹部７６、この凹部７６に連続し、インク供給路７となる凹部７７（仮想線で図示した部分）、凹部４５、４７、擬似液室４６となる各凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【０１５１】
この場合、加圧液室６となる凹部７６とインク供給路７となる凹部７７は一度の異方性エッチングで凹部を形成するので略等しい深さとなっている。同様に、加圧液室６となる凹部７６と擬似液室４６となる凹部の深さは一度の異方性エッチングで凹部を形成するので略等しい深さとなっている。
【０１５２】
そして、同図（ｅ）に示すように、シリコン窒化膜６３ａ、６３ｂ及びシリコン酸化膜６２ａ、６２ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【０１５３】
このように、上記実施形態ではノズル板接合面と振動板接合面との接合面積がほぼ同じになるように、またノズル接合面の形状は加圧液室の形状に似た形状の擬似液室形状になるようにパターニングを行ったので、流路板１は接液保護膜（耐液性薄膜）形成時でも反り量を１μｍ以下に抑えることができた。
【０１５４】
そして、この製造工程においては、液室形成部材をシリコンから形成し、ドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して、必要なノズル連通路や加圧液室などの流路を形成したので、精度よく加圧液室を形成することが可能となり、吐出特性にばらつきのないヘッドが得られた。
【０１５５】
また、シリコン酸化膜／シリコン窒化膜の積層膜をマスクとして異方性ウェットエッチングを行ったので、シリコン窒化膜膜、シリコン酸化膜をそれぞれエッチングのマスクとして使用することでき、寸法制御性に優れたヘッドが得られる。
【０１５６】
そして、この場合、連通管（ノズル連通路）５を形成する際には各々の連通管５を分離する隔壁の幅と長さの比（長さ／幅）が８以下となるように、連通管５を形成している。これにより、連通管を分離する隔壁の剛性不足による単発ビットのみで液滴を吐出する場合と複数ビット同時に液滴を吐出する場合との大きな液滴吐出特性差の発生を防ぐことができ、高精度の噴射特性を得ることが可能となる。
【０１５７】
また、連通管５の高さを６００μｍ以下になるシリコン基板を用いている。連通管５の高さを６００μｍ以下にすることにより、連通管５の隔壁の剛性を高めるために連通管５を分離する隔壁の幅とこの隔壁の加圧液室長手方向の長さの比（長さ／幅）を８以下にしたために発生する流体抵抗の増大を抑えることができ、特に普通紙高画質画像を高速で得るために必要な高粘度インクを使用し、高周波で噴射させたときにも噴射不良のないヘッドが得られる。
【０１５８】
このように形成した流路板を用いることで、高性能、高信頼性のインクジェットヘッドが得られる。
【０１５９】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法に係る第２実施形態の製造工程について図１８及び図１９を参照して説明する。
先ず、図１８（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）９１を用意し、このシリコン基板９１両表面に厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜９２ａ、９２ｂを形成した。
【０１６０】
なお、使用するウエハの種類は両面研磨ウエハ、両面未研磨ウエハ、片面未研磨ウエハのいずれのウエハであっても良く、また比抵抗も揃っている必要はなく、例えばここでは、比抵抗０．１−１００Ωｃｍのウエハを使用している。また、ウエハの厚さは連通管（ノズル連通路）５の高さを規定することになるので、前述したように高粘度インクを使用することから６００μｍ以下の厚さのものを使用している。
【０１６１】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板９１のノズル板接合面側のシリコン酸化膜９２ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５及び擬似液室４６を形成するための各開口とを有するレジストパターン９４を形成した。
【０１６２】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン酸化膜９２ａに、ノズル連通路５を形成するための開口９５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部４５を形成するための開口９６及び擬似液室４６を形成するための開口９８とをパターニングする。なお、擬似液室４６を形成するための開口９８は加圧液室６とほぼ同じ平面形状に形成した。
【０１６３】
その後、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板９１の振動板接合面側のシリコン酸化膜９２ｂ表面に、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口と振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口とを有するレジストパターン１０２を形成し、ドライエッチングを行ってシリコン酸化膜９２ｂに加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口１０３と振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部４７を形成するための開口１０４とをパターニングする。
【０１６４】
その後、同図（ｄ）に示すように、レジストでシリコン酸化膜９２ａの開口９５、９６、９８を埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口１０５を有するレジストパターン１０６を形成した。このときのレジストの膜厚は８μｍとした。
【０１６５】
そして、図１４（ａ）に示すように、レジストパターン１０６をマスクとしてＩ　ＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板９１にノズル連通路５を形成するための掘り込み１０７を形成した。ここでは、Ｉ　ＣＰエッチングはノズル板接合面側から行っている。
【０１６６】
次いで、同図（ｂ）に示すように、レジストパターン１０６を除去して、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板９１の異方性エッチングを行ってノズル連通路５となる貫通孔１１５、加圧液室６となる凹部１１６、インク供給路７となる凹部１１７、凹部４５、４７、擬似液室４６となる凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【０１６７】
そして、同図（ｄ）に示すように、シリコン酸化膜９２ａ、９２ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【０１６８】
このように、この製造工程においては、液室形成部材をシリコンから形成し、ドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して、必要なノズル連通路や加圧液室などの流路を形成したので、精度よく加圧液室を形成することが可能となり、吐出特性にばらつきのないヘッドが得られた。
【０１６９】
そして、シリコン酸化膜をマスクとして異方性ウェットエッチングを行ったので、マスク作製工程を非常に簡単でかつ短工期に行うことができるので、低コスト化を図れる。なお、その他の作用効果は前記第１実施形態と同様である。
【０１７０】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法に係る第３実施形態の製造工程について図２０及び図２１を参照して説明する。
先ず、図１９（ａ）に示すように、厚さ４００μｍで面方位（１１０）のシリコン基板（シリコンウエハを用いる。）１２１を用意し、このシリコン基板１２１両表面に厚さ０．１５μｍのシリコン酸化膜１２２ａ、１２２ｂをＬＰ−ＣＶＤで形成した。
【０１７１】
なお、使用するウエハの種類は両面研磨ウエハ、両面未研磨ウエハ、片面未研磨ウエハのいずれのウエハであっても良く、また比抵抗も揃っている必要はなく、例えばここでは、比抵抗０．１−１００Ωｃｍのウエハを使用している。また、ウエハの厚さは連通管（ノズル連通路）５の高さを規定することになるので、前述したように高粘度インクを使用することから６００μｍ以下の厚さのものを使用している。
【０１７２】
次いで、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１２１のノズル板接合面側のシリコン窒化膜１２２ａ表面に、ノズル連通路５を形成するための開口と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４５及び擬似液室４６を形成するための各開口とを有するレジストパターン１２４を形成した。
【０１７３】
そして、ドライエッチングを行って、シリコン窒化膜１２２ａに、ノズル連通路５を形成するための開口１２５と、ノズル板３との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部４５を形成するための開口１２６及び擬似液室４６を形成するための開口１２８とをパターニングする。なお、擬似液室２６を形成するための開口１２８は加圧液室６とほぼ同じ平面形状に形成した。
【０１７４】
その後、同図（ｃ）に示すように、シリコン基板１２１の振動板接合面側のシリコン窒化膜１２２ｂ表面に、加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口と振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部（肉抜き部）４７を形成するための開口とを有するレジストパターン１３２を形成し、ドライエッチングを行ってシリコン窒化膜１２２ｂに加圧液室６及びインク供給路７を形成するための開口１３３と振動板２との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる凹部４７を形成するための開口１３４とをパターニングする。
【０１７５】
その後、同図（ｄ）に示すように、レジストでシリコン窒化膜１２２ａの開口１２５、１２６、１２８を埋め込み、ノズル連通路５を形成するための開口１３５を有するレジストパターン１３６を形成した。このときのレジストの膜厚は８μｍとした。
【０１７６】
そして、図１６（ａ）に示すように、レジストパターン１３６をマスクとしてＩ　ＣＰドライエッチャーを使用して、シリコン基板１２１にノズル連通路５を形成するための掘り込み１３７を形成した。ここでは、Ｉ　ＣＰエッチングはノズル板接合面側から行っている。
【０１７７】
次いで、同図（ｂ）に示すように、レジストパターン１３６を除去して、水酸化カリウム水溶液によりシリコン基板１２１の異方性エッチングを行ってノズル連通路５となる貫通孔１４５、加圧液室６となる凹部１４６、インク供給路７となる凹部１４７、凹部４５、４７、擬似液室４６となる凹部を形成した。ここで、加圧液室部形成時のシリコンの異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液として溶液濃度３０％のものを用いて、処理温度８５℃で行った。
【０１７８】
そして、同図（ｄ）に示すように、シリコン窒化膜１２２ａ、１２２ｂを除去し、その後図示しないが、耐インク接液膜（耐液性薄膜）１０としてシリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成して、インクジェット用流路板１を得た。
【０１７９】
このように、この製造工程においては、シリコン窒化膜をマスクとして異方性ウェットエッチングを行ったので、マスク膜厚を薄くすることが可能となり、エッチング時に生じるＣＤロスを抑えることができ、寸法制御性を向上することが可能となる。また、マスク作製工程が非常に簡単かつ短工期のプロセスであり、低コスト化を図れる。その他の作用効果は前記第１実施形態と同様である。
【０１８０】
次に、本発明に係るインクジェットヘッドとインクタンクとを一体化したインクカートリッジについて図２２を参照して説明する。
このインクカートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）２００は、ノズル孔２０１等を有する上記実施形態のインクジェットヘッド２０２と、このインクジェットヘッド２０２に対してインクを供給するインクタンク２０３とを一体化したものである。
【０１８１】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの信頼性はただちに全体の信頼性につながるので、上述したように滴噴射特性のバラツキが少なく、噴射不良が生じないインクジェットヘッドを一体化することで、全体の歩留まりが向上して低コスト化を図れ、また、信頼性が向上する。
【０１８２】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図２３及び図２４を参照して説明する。なお、図２３は同記録装置の斜視説明図、図２４は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【０１８３】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体２１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部２１２等を収納し、装置本体２１１の下方部には前方側から多数枚の用紙２１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）２１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙２１３を手差しで給紙するための手差しトレイ２１５を開倒することができ、給紙カセット２１４或いは手差しトレイ２１５から給送される用紙２１３を取り込み、印字機構部２１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ２１６に排紙する。
【０１８４】
印字機構部２１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド２２１と従ガイドロッド２２２とでキャリッジ２２３を主走査方向（図２４で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ２２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド２２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ２２３にはヘッド２２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ２２５を交換可能に装着している。なお、上述したインクタンク一体型ヘッドである本発明に係るインクカートリッジを搭載するようにすることもできる。
【０１８５】
インクカートリッジ２２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【０１８６】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド２２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【０１８７】
ここで、キャリッジ２２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド２２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド２２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ２２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ２２７で回転駆動される駆動プーリ２２８と従動プーリ２２９との間にタイミングベルト２３０を張装し、このタイミングベルト２３０をキャリッジ２２３に固定しており、主走査モーター２２７の正逆回転によりキャリッジ２２３が往復駆動される。
【０１８８】
一方、給紙カセット２１４にセットした用紙２１３をヘッド２２４の下方側に搬送するために、給紙カセット２１４から用紙２１３を分離給装する給紙ローラ２３１及びフリクションパッド２３２と、用紙２１３を案内するガイド部材２３３と、給紙された用紙２１３を反転させて搬送する搬送ローラ２３４と、この搬送ローラ２３４の周面に押し付けられる搬送コロ２３５及び搬送ローラ２３４からの用紙２１３の送り出し角度を規定する先端コロ２３６とを設けている。搬送ローラ２３４は副走査モータ２３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【０１８９】
そして、キャリッジ２２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ２３４から送り出された用紙２１３を記録ヘッド２２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材２３９を設けている。この印写受け部材２３９の用紙搬送方向下流側には、用紙２１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ２４１、拍車２４２を設け、さらに用紙２１３を排紙トレイ２１６に送り出す排紙ローラ２４３及び拍車２４４と、排紙経路を形成するガイド部材２４５，２４６とを配設している。
【０１９０】
記録時には、キャリッジ２２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２２４を駆動することにより、停止している用紙２１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙２１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙２１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙２１３を排紙する。
【０１９１】
また、キャリッジ２２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド２２４の吐出不良を回復するための回復装置２４７を配置している。回復装置２４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ２２３は印字待機中にはこの回復装置２４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド２２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【０１９２】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド２２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１９３】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、信頼性が高く、長期にわたり、安定したインク滴吐出特性が得られて、高画質記録を行うことができる。
【０１９４】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。また、上記各実施形態においては圧電素子を用いるヘッドで説明したが、前述したようなサーマル型、あるいは静電型のヘッドにも同様に適用できる。
【０１９５】
また、上記実施形態においては、本発明のインクを使用する液滴吐出ヘッドに本発明を適用した例を説明したが、使用するインクは本発明のインク限るものではなく、また、高粘度インク以外のインクを使用する液滴吐出ヘッドにも同様に適用できる。
【０１９６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、流路形成部材にはこの流路形成部材の厚さ方向に加圧液室とノズルとの間を連通するノズル連通路を有し、複数のノズル連通路間の隔壁の幅と、この隔壁の加圧液室長手方向の長さとの比（長さ／幅）が８以下である構成としたので、滴吐出特性のバラツキが低減し、高速、高画質記録が可能になり、特に、高粘度液体を用いて高速で高い画像品質の普通紙印刷を行うことができるようになる。
【０１９７】
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、液室形成部材をシリコンで形成した本発明に係る液滴吐出ヘッドを製造する製造方法であって、液室形成部材はドライエッチングによる深堀又はドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用して形成する構成としたので、低コストで信頼性の高いヘッドを得ることができる。
【０１９８】
本発明に係るインクカートリッジによれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとインクタンクを一体化したので、滴吐出特性のバラツキが低減し、高速で高い画像品質で画像を記録できるようになる。
【０１９９】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドである構成としたので、高速で高品質画像を記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドの実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図３】同ヘッドの液室短手方向に沿う要部断面説明図
【図４】同ヘッドの要部平面説明図
【図５】同ヘッドの流路形成部材の断面説明図
【図６】同流路形成部材のノズル板接合面側の平面説明図
【図７】同流路形成部材の振動板接合面側の平面説明図
【図８】同ヘッドの流路形成部材のインク供給路（インク流動部）の説明に供する平面説明図
【図９】インク供給路の長さに対する噴射速度のバラツキの関係の説明に供する説明図
【図１０】同ヘッドの流路形成部材の液室間隔壁幅と液室高さの説明に供する断面説明図
【図１１】液室間隔壁のアスペクト比に対するシングル／マルチ噴射速度差の説明に供する説明図
【図１２】液室間隔壁のアスペクト比に対する高周波噴射時の噴射不良率の説明に供する説明図
【図１３】同ヘッドの流路形成部材の連通管隔壁幅、連通管隔壁長さ、連通管隔壁高さの説明に供する断面説明図
【図１４】連通管隔壁の幅と長さの比に対するシングル／マルチ噴射速度差の説明に供する説明図
【図１５】連通管隔壁高さに対する高周波噴射時の噴射不良率の説明に供する説明図
【図１６】本発明に係る製造方法の第１実施形態の製造工程を説明する説明図
【図１７】図１６に続く工程を説明する説明図
【図１８】本発明に係る製造方法の第２実施形態の製造工程を説明する説明図
【図１９】図１８に続く工程を説明する説明図
【図２０】本発明に係る製造方法の第３実施形態の製造工程を説明する説明図
【図２１】図２０に続く工程を説明する説明図
【図２２】本発明に係るインクカートリッジの説明に供する斜視説明図
【図２３】本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図２４】同記録装置の機構部の側面説明図
【符号の説明】
１…流路板、２…振動板、３…ノズル板、４…ノズル、５…ノズル連通路（連通管）、５ａ…連通管隔壁（ノズル連通路間隔壁）、６…加圧液室、６ａ…液室間隔壁、７…インク供給路（液体流動部）、８…共通液室、１０…耐液性薄膜、１２…圧電素子、１３…ベース基板、６１…シリコン基板、６２ａ…シリコン酸化膜、６３ｂ…シリコン窒化膜、２００…インクカートリッジ、２１４…記録ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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