(57)【要約】【課題】光ファイバーコネクタの研磨の進行状況に応じて、回転研磨テーブルの回転速度と押圧力の関係を自動的に調整できる研磨装置と研磨方法の提供。【解決手段】研磨テーブルを所定の回転速度で駆動するサーボモータ７０と、研磨テーブルに対して、治具に保持された光ファイバーコネクタの端部を押圧する押圧力を検出する加圧センサ３５と、押圧力を発生するステッピングモータ２２とサーボモータ７０の回転速度と押圧力のタイムテーブル７８を記憶する記憶部７６と、このタイムテーブル７８に基づいて、サーボモータ７０及びステッピングモータ２２を制御する制御部７７とを備える。【選択図】　図７
2004017221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨テーブルを所定の回転速度で駆動する回転駆動手段と、
前記研磨テーブルに対して、被研磨物の被研磨面を押圧する押圧手段と、
前記回転速度及び前記押圧力のタイムテーブルを記憶する記憶手段と、
前記タイムテーブルに基づいて、前記回転駆動手段及び前記押圧手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
更に、
前記タイムテーブルを設定する設定手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
更に、
前記回転速度を検出する第１検出手段と、
前記押圧力を検出する第２検出手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第１及び第２検出手段の検出結果に応じて前記回転駆動手段及び前記押圧手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
研磨テーブルを回転させ、前記研磨テーブルに対して、被研磨物の被研磨面を押圧してこれを研磨する研磨方法であって、
前記研磨テーブルの回転速度、及び、前記研磨テーブルに対する前記被研磨物の被研磨面の押圧力、のタイムテーブルを設定する工程と、
設定した前記タイムテーブルに基づいて、前記研磨テーブルの回転、及び、前記研磨テーブルに対する前記被研磨物の被研磨面の押圧を制御する工程と、
を備えたことを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置及び研磨方法に係り、特に光ファイバーコネクタの被研磨面を研磨する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバーコネクタは、雌雄のコネクタのフェルールから光ファイバーの端部が露出するように設けられ、端部同士を密着させる状態に維持して光通信を行なうために用いられる。これらの端部は面一となるように精密研磨仕上げされないと、正常な光通信を行なうことができない。このため、光ファイバーコネクタの被研磨面となる端面は研磨装置を用いて研磨される。
【０００３】
特公平０７−６７６６３号公報には、光ファイバーコネクタのフェルール接続面と光ファイバーの端部を均一に研磨するために、研磨材を設けた研磨テーブルを公転と自転とを行なうように回転駆動させることで、同じ被研磨面を繰り返して研磨しないようにして、被研磨面の均一化を図る技術が開示されている。
【０００４】
一方、光ファイバーコネクタの被研磨面を回転駆動される研磨テーブルで研磨するときに、押圧力を加えて研磨される。この押圧力を研磨の進行の度合いに応じて調整するための技術が、特開平１１−３３８９１号公報や特開２０００−１９０１９３号公報に提案されている。
【０００５】
また、光ファイバーコネクタの被研磨面を回転駆動される研磨テーブルに対して圧縮バネの圧縮による所定の押圧力で研磨を行うときに、被研磨面の研磨が進行するにつれて、圧縮量が少なくなるので押圧力が少なくなる。また、研磨テーブル上にセットされる研磨布の厚さ如何でも押圧力が変動することから、押圧力をモニターしておき、光ファイバーコネクタの被研磨面が回転研磨テーブルに対して一定の押圧力で加圧できるようにフィードバック制御するように構成することが考えられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように押圧力を制御することができても、時間経過にともなう研磨の進行状況に応じて研磨テーブルの回転速度と押圧力との関係を増減する調整については、作業者が行わなければならない。このため、作業者は研磨の開始段階から終了段階まで研磨装置から離れることができなくなる問題があった。
【０００７】
したがって、本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであり、被研磨物の研磨の進行状況に応じて、回転研磨テーブルの回転速度と押圧力との関係を自動的に調整することができる研磨装置と研磨方法の提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決し、課題を達成するために、本発明の研磨装置によれば、研磨テーブルを所定の回転速度で駆動する回転駆動手段と、前記研磨テーブルに対して、被研磨物の被研磨面を押圧する押圧手段と、前記回転速度及び前記押圧力のタイムテーブルを記憶する記憶手段と、前記タイムテーブルに基づいて、前記回転駆動手段及び前記押圧手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
また、更に、前記タイムテーブルを設定する設定手段を備えたことを特徴としている。
【００１０】
また、更に、前記回転速度を検出する第１検出手段と、前記押圧力を検出する第２検出手段とを備え、前記制御手段は、前記第１及び第２検出手段の検出結果に応じて前記回転駆動手段及び前記押圧手段を制御することを特徴としている。そして、研磨テーブルを回転させ、前記研磨テーブルに対して、被研磨物の被研磨面を押圧してこれを研磨する研磨方法であって、
前記研磨テーブルの回転速度、及び、前記研磨テーブルに対する前記被研磨物の被研磨面の押圧力、のタイムテーブルを設定する工程と、設定した前記タイムテーブルに基づいて、前記研磨テーブルの回転、及び、前記研磨テーブルに対する前記被研磨物の被研磨面の押圧を制御する工程と、を備えたことを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な一実施形態につき、添付図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は、一実施形態の研磨装置の要部を破断して側面側から見た概略構成図である。本図において、研磨装置５は、例えば作業机上に置かれる主基部３を各構成部品の取り付けのための基部としている。この主基部３の上には、サーボモータ７０で所定の回転速度で回転駆動される研磨テーブル６が、その研磨面６ａを上にする状態で設けられている。また、主基部３の正面側には表示部と操作ボタンを設けた操作パネル７１が設けられており、作業者はこの操作パネル７１の表示部を確認しながら操作ボタンを操作して、研磨のための初期設定を行なうように構成されている。この研磨テーブル６は、公転と自転とを行なう不図示の公転自転機構による回転駆動されることにより、研磨テーブル６の同一の研磨面６ａで繰り返し研磨しないようにすることで、光ファイバーコネクタ１の被研磨面を均一に研磨できるようにしている。
【００１３】
また、治具４０は、複数の光ファイバーコネクタ１の被研磨面が下に向くようにして着脱自在に保持する。この冶具４０は、研磨装置５から簡単に着脱可能に設けられるとともに、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して所定の押圧力で押圧されつつ研磨を行うように構成されている。このように押圧を行うための押圧機構は、研磨を行なうための図示の研磨位置と、冶具４０を交換するための待機位置との間で手動により上下に移動可能に設けられるとともに、図示の研磨位置と後述する待機位置である任意の途中位置で落下防止されて設けられている。
【００１４】
この押圧機構は、図示のように研磨テーブル６の近くで主基部３上に固定される副基部７と、この副基部７から研磨テーブル６の上方にオーバーハングするように固定される支持用基部９を取り付け基部としている。この支持用基部９にはリニアブッシュ１１が内蔵されており、このリニアブッシュ１１により研磨テーブル６の研磨面に対して直交する図示の両矢印方向に、第１の加圧軸１０を昇降移動可能に案内している。
【００１５】
この第１の加圧軸１０の下端には円錐形状部１０ａが設けられており、冶具４０の中心部に設けられているピボット軸受４４に対してこの円錐形状部１０ａが入り込むようにしてセットすることで、治具４０が研磨テーブル６の研磨面６ａに対して均一に押圧できるようにしている。また、治具の交換時には、治具４０が破線で図示されるように、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して傾斜できるようにして簡単に取り出せるようにしている。
【００１６】
一方、支持用基部９の底面には、冶具４０の回転防止を行うための２本の軸体１２が固定されている。これらの軸体１２の先端部は、治具４０に固定されている溝部材４２に潜入するようにセットされることで、治具４０の回転防止を行なうようにしている。さらに、この治具４０には把持部４５が固定されており、作業者は、第１の加圧軸１０を上方の待機位置に移動した後に、この把持部４５を把持して奥側に移動しながらセットすることで、軸体１２が溝部材４２に簡単に入るようにしている。
【００１７】
この第１の加圧軸１０には、自重落下を防止するための落下防止機構が設けられている。この落下防止機構は、第１加圧軸１０の側面に図示のように固定されるギア部１４ａを形成したラック１４と、上記の支持用基部９の上面にブラケットを用いて固定されるとともに、ギア部１４ａに噛合するギア部１３ａを回転軸に固定したトルクリミッタ１３とから構成されている。このようにして、ラック１４のギア部１４ａにトルクリミッタ１３のギア部１３ａを噛合させることで、トルクリミッタ１３の回転負荷をラック１４に伝達可能にすることで、第１の加圧軸１０が自重により落下することを防止するとともに、第１の加圧軸１０を任意の位置で停止できるようにしている。
【００１８】
この第１の加圧軸１０の上端には、一方の把持部となる第１のレバー部材１５が固定されている。また、この第１のレバー１５には第２のレバー部材１７が回動軸１６廻りに回動自在に設けられるとともに、一端において他方の把持部を形成している。また、この第２のレバー部材１７の他端には、図示のように係止部１７ｂと形状部１７ａとが形成されており、この第２のレバー部材１７は図示の研磨状態において、斜め下方に位置している。
【００１９】
次に、上記の副基部７の側面には第２の加圧軸２７の基部１８を矢印方向に昇降自在に案内するリニアガイド８が固定されている。また、この基部１８にはオーバーハング部２０が固定されている。
【００２０】
以上のように副基部７に固定されたリニアガイド８により昇降自在に設けられた第２の加圧軸２７の基部１８には、ラック１９が固定されいる。このラック１９には、ウォームホイールとピニオンを一体的に設けたギア２１が噛合している。このギア２１をその出力軸にウォーム２２ａを固定したステッピングモータ２２により駆動することで、上センサ２３と下センサ２４間で第２の加圧軸２７を上下方向に駆動する。このウォームギア駆動により、大きな減速比を得ることができるので小型モータの使用を可能にするとともに、ウォ−ムギア特有の噛合状態によりブレーキ力を発生して、自重で下方に移動することを防止できるようにしている。
【００２１】
次に、図１の部分拡大図である図２を参照して、上記のオーバーハング部２０の端部には、上記の第１の加圧軸１０の中心軸ＣＬ１と一致するように昇降案内されるとともに、上記の係止部１７ｂの被係止部３３を設けるとともに、第２の加圧軸２７を固定したブロック２５が圧縮バネ２８を介在して設けられており、さらに軸体２６により廻り止め状態で設けられている。また、このブロック２５には、回動軸２９の廻りに回動自在に設けられたロック部材３０が設けられている。
【００２２】
このロック部材３０の先端には回動自在にローラ３１が設けられており、このローラ３１を上記の形状部１７ａ側に向けてトーションバネ３２により移動付勢するとともに、図２に図示のようにロック部材３０の回動軸２９の回動中心とローラ３１の回動軸３１ａの回転中心とを結ぶ中心軸ＣＬ２が、中心軸ＣＬ１から角度θ分さらに形状部１７ａ側に傾斜した状態で、当接して停止できるように構成されている。
【００２３】
この状態で、上記のステッピングモータ２２への通電にともない、オーバハング部２０が矢印方向の下方に駆動されると、中心軸のずれにより第１の加圧軸１０に対する押圧力が、圧縮バネ２８の圧縮力を介して伝達されることとなり、治具４０へ所定の押圧力を印加できるようになる。
【００２４】
再度、図１において、主基部３の上には上記の押圧機構を覆うとともに、第１のレバー部材１５と第２のレバー部材１７の把持部のみが外部に露出するように形成された二点鎖線で示されるカバー６０が固定されている。また、このカバー６０の上面には光ファイバーコネクタのケーブル部を束ねた状態で保持するためのフック部３８が固定されており、操作の邪魔にならないようにしている。
【００２５】
また、第１のレバー部材１５は、加圧板３４が回動自在に設けられている。また、この第１のレバー部材１５には、加圧板３４の底面で押圧されるアクチエータ部を設けた圧力センサ３５が固定されている。
【００２６】
以上の構成において、ローラ３１の回転中心と第１の加圧軸１０の中心軸とが一致するように、加圧板３４上にローラ３１が位置した状態で、治具４０に加わる押圧力を測定できることとなる。
【００２７】
次に、図３は、治具４０の交換のために加圧機構を上方に移動する様子を示した動作説明図であって、（ａ）は、最初の段階を、また（ｂ）は待機位置に移動した様子を示している。
【００２８】
本図において、既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して説明を割愛すると、先ず、図３（ａ）において、図１に図示の状態において所定の研磨加工が終了し、治具４０を交換するために、操作パネル７１のスイッチが押されると、ステッピングモータ２２への通電により、オーバーハング部２０が上方に移動され、停止される。
【００２９】
これに続き、先ず第２のレバー部材１７と第１のレバー部材１５を図示のように把持することで、第２のレバー部材１７の形状部１７ａが矢印方向に回動されることになり、上記のように当接していたローラ３１が矢印方向に移動される結果、ロック部材３０の中心軸ＣＬ２が第１の加圧軸１０の中心軸ＣＬ１の外側に外れた状態になる。
【００３０】
これに続き、図３（ｂ）に図示のようにそのまま把持状態を維持して上方に移動する。すると、ロック部材３０の端部で回転自在に設けられたローラ３１がトーションバネ３２の付勢力に抗して第１のレバー部材１５上を回転しつつ移動される。このように上方に移動するときに、途中で把持状態を解除しても、上記のトルクリミッタ１３により自重落下を防止できる。以上のように上方に移動させると、図示のようにブロック２５の係止軸３３に対して第２のレバー部材１７の係止部１７ｂ（図２を参照）とが係止可能な位置となる。
【００３１】
この後に、図４の治具交換のために加圧機構を上方に停止させる様子を示した動作説明図において、第２のレバー部材１７の把持を解除すると、係止部１７ｂが係止軸３３に対して係止される状態になる。
【００３２】
以上で、第１の加圧軸１０は待機位置で保持されることになり、治具４０の交換作業を行なえることになる。治具４０を交換した後に、図３（ｂ）に図示のように把持し、そのまま下方に移動して加圧軸１０の先端を治具４０のピボット軸受に対して挿入し、図３（ａ）に図示の状態から、図１に図示のようにする。以上のようにすることで、治具の交換作業を熟練者のみならず誰でも簡単に行なうことができる。
【００３３】
次に、治具４０の構成について図５の治具４０の要部を破断して示した要部断面図に基づき説明する。本図において、既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して説明を割愛すると、治具４０は６角形の治具基部４１から構成されており、６つの各側面部において６個の光ファイバーコネクタ１を着脱自在に保持するように構成されている。
【００３４】
また、治具基部４１の中心部には上記のピボット軸受４４が固定されている。一方、上記のように回り止め用のために軸体１２に挿入される溝部材４２は、２部品から構成されており、半径方向に溝が位置するように治具基部４１上に固定されている。
【００３５】
このように構成される治具４０によれば、１個のみを保持する場合に比べて６倍の研磨能力となる。ここで、治具基部４１をより多くの多角形として形成すれば、さらに能力が向上するので、この多角形に応じて研磨テーブルの直径をさらに増加すると良い。
【００３６】
また、この治具基部４１の裏側となる研磨テーブル６に対向する面には、過剰研磨を阻止するための基準部材４３が固定されている。この基準部材４３には、研磨面４３ａが図示のように形成されており、この研磨面４３ａが研磨テーブル６で研磨される状態になると、音が発生して、それ以上の研磨を防止するようにしている。
【００３７】
さらに、図６の治具の外観斜視図を参照して、治具基部４１の側面には、ホルダー部材４７がネジ５０、５０で固定されている。このホルダー部材４７は図示のように左右フランジ部４７ｆ、４７ｆと案内部４７ｃとを一体成形しており、さらに移動ブロック４８を矢印方向に移動自在に内蔵している。
【００３８】
この移動ブロック４８はホルダー部材４７のネジ孔４７ａに螺合したネジ４９の回転により移動する。この移動ブロック４８は図示のような面取り部４８ａを形成した当接部により光ファイバーコネクタ１の雄コネクタ８３の鍔部８３ｂを抑えるようにしており、光ファイバーコネクタ１が溝部４１ａにセットされた後に、フェルールと光ファイバーとからなる被研磨面である端部８３ａを不動状態で保持できるようにしている。
【００３９】
また、ケーブル２に対して機械的に干渉しないようにするためにバネ板４６には凹部４６ａが形成されている。さらに、ホルダー部材４７にはＵ溝部４７ｂが形成されており、一方のネジ５０を固定した状態で、他方のネジ５０を緩めることで図示のように回動して光ファイバーコネクタ１のセットをさらに容易にできるようにしている。
【００４０】
次に、図７（ａ）は研磨装置５のブロック図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のブロック図の制御部に接続された記憶部のタイムテーブルの保存内容を示した図表である。
【００４１】
先ず、図７（ａ）において、制御手段である制御部７７には１チップマイクロプロセッサが使用されており、電源部８０からの所定電圧の供給を受けて動作する。この制御部７７は、上記の操作パネル７１に接続されており、後述の操作に応じて研磨を行う。制御部７７には、さらに記憶部７６が接続されている。この記憶部７６は、図７（ｂ）に示す研磨曲線のデータであるタイムテーブル７８が多数記憶されており、操作パネル７１を使用して設定される初期条件に応じて自動的に最適なタイムテーブル７８に切換えることができるように構成されている。
【００４２】
一方、上記のステッピングモータ２２には制御部７７に接続されているモータドライバ７２が接続されており、制御部７７からの指示をモータドライバ７２を介してステッピングモータ２２に通電することで正逆方向に所定ステップ分の駆動を行うようにしている。
【００４３】
また、第２検出手段である圧力センサ３５には出力を増幅する差動アンプ７３が接続されており、この差動アンプ７３に接続されるＡ／Ｄコンバータ７４において差動アンプ７３からのアナログ出力値をデジタル出力値に変換した後に、制御部７７に送るようにしている。
【００４４】
そして、サーボモータ７０には制御部７７に接続されているモータドライバ７５が接続されており、制御部７７からの指示をモータドライバ７５を介してサーボモータ７０に通電することで研磨テーブル６を所定の回転速度で回転駆動するようにしている。このサーボモータ７０には第１検出手段である回転計７９がその出力軸に固定されており、回転計７９からの出力を制御部７７に送ることで、サーボモータ７０のクローズドループ制御を行うようにしている。
【００４５】
このサーボモータ７０としてステッッピングモータを使用すれば回転計７９は不要となり、制御部７７からの指示に基づくオープンループ制御が可能となることは言うまでもない。
【００４６】
次に、図７（ｂ）の研磨曲線は、横軸に時間軸をまた縦軸にサーボモータ７０により駆動される研磨テーブル６の回転速度と、ステッピングモータ２２の通電により印加される押圧力をとり、回転速度曲線Ａを破線で、また押圧力曲線Ｂを実線で示している。
【００４７】
また、回転速度曲線Ａの傾斜角度は加速度α１で示されおり、押圧力曲線Ｂの傾斜角度は加速度α２で示されており、時間経過とともに図示のように増減するように設定されている。
【００４８】
より詳しくは、第１研磨を行う第１時間までは各曲線Ａ、Ｂはゼロから略リニアに上昇される。そして、第１研磨を終えて第２研磨を行うための第２時間までは各曲線Ａ、Ｂは図示のようになだらかに上昇される。そして、この第２研磨を終えて、第Ｎ時間まで経過する前で最大の回転速度と押圧力による研磨が行われるが、この第Ｎ時間の前では、各曲線Ａ、Ｂは図示のようになだらかに下降して、仕上研磨に備える。そして、この仕上研磨において終了時間になるまで各曲線Ａ、Ｂは図示のように降下されて、終了時間となると回転速度と押圧力とがゼロになる。
【００４９】
以上説明した研磨曲線に基づく研磨を行うことで、無人の自動運転が可能となる。さらに、上記のように最大で６個の光ファイバーコネクタ１を同時に研磨する場合に、研磨量のばらつきに起因する損傷を防止できることになる。
【００５０】
図８は、光ファイバーコネクタ１を保持した治具４０を研磨テーブル６の上に置いた様子を示した図であって、（ａ）は研磨前を示し、（ｂ）は研磨終了後の様子を示している。
【００５１】
図８（ａ）に示すように、研磨前はフェルールと光ファイバーの被研磨面となる端部８３ａは一定していない。つまり、図示のように１つの光ファイバーコネクタ１が研磨テーブル６の研磨面６ａに対して当接した状態において、他の光ファイバーコネクタ１の端部８３ａが研磨テーブル６の研磨面６ａから隙間Ｇ分離れている場合がある。また、端部８３ａの形状も傾斜または円形になっているなど様々である。
【００５２】
したがって、この初期状態から、たとえ小さい押圧力と回転速度でいきなり研磨を行うと、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して当接した状態になっている状態の光ファイバーコネクタ１に対してのみに集中的な研磨が行われることなるので、最悪の場合には破損させてしまうことになる。このために、従来は作業員の経験から、手動操作により押圧力と回転速度を次第に増加させて研磨を行うようにして、最終的に、図８（ｂ）に示されるように全ての端部８３ａが揃うようにする研磨を行うようにしていた。したがって、作業者は、研磨装置による初期段階から終了段階までは、研磨装置から離れることはできず、他の作業をできないとされていた。
【００５３】
しかし、本実施形態による研磨装置によれば、初期段階から終了段階まで自動運転できることから、図９、図１０の動作説明のフローチャートに基づき説明する。
【００５４】
図９は、研磨を行う下準備までの動作説明のフローチャートである。先ず、下準備が開始され、電源への接続等を作業者が終えると、ステップＳ１で治具４０の対向位置に少なくとも４個または最大で６個の光ファイバーコネクタ１を保持する。これに続き、一対のレバー部材を把持して、図３（ｂ）に示したように加圧機構を上方に移動させた後に、ステップＳ３において治具４０を研磨テーブル６上にセットし、続いて、ステップＳ４で加圧機構を降下させることで、図１に図示のようにする。
【００５５】
次に、操作パネル７１から押圧力、回転速度の設定が行われることで、タイムテーブル７８が自動選択され、同時に各加速度が設定される。これに続き、操作パネル７１の所定のスイッチが押圧されることで、ステップＳ７に進みステッピングモータ２２への通電が行われることで、加圧機構が降下されて、ステップＳ８においてロック部材３０により加圧板３４が押される状態となり、加圧センサ３５による検出が行われる。
【００５６】
続くステップＳ９では、加圧センサ３５による検出結果が、圧縮コイルバネ２８が十分に圧縮された研磨開始の値であるか否かの判断が行われて、研磨開始の値であると判断されると、ステップＳ１０に進み、ステッピングモータ２２への通電が停止される。また、ステップＳ９で研磨開始の値ではないと判断されると、ステップＳ７に戻り、研磨開始の値になるまでステッピングモータ２２の通電が行われる。以上で研磨開始状態となる。
【００５７】
次に、図１０の動作説明のフローチャートにおいて、ステップＳ１１において操作スイッチ７１の研磨開始スイッチが押圧されることで、ステップＳ１２において、図７（ｂ）に示したタイムテーブル７８に基づく第１研磨が開始される。この第１研磨が開始されるとステップＳ１３において、タイムテーブル７８の回転速度曲線Ａと押圧力曲線Ｂを参照して、ステップＳ１４に進み、図７（ｂ）に示したタイムテーブル７８に基づく第１研磨を行う。そして、ステップＳ１５で第１時間が経過したか否かの判断がなされて、第１時間が経過したと判断されると、次のステップＳ１６の第２研磨に進む。ステップＳ１５で第１時間が経過していないと判断されるとステップＳ１３に戻り時間経過に対応した各曲線Ａ、Ｂに基づく制御を行う。
【００５８】
続いて、ステップＳ１７からステップＳ１９で第２研磨を終える。また、ステップＳ２０からステップＳ２３で、最大の押圧力と回転速度による第Ｎ研磨を行う。このとき、ステップＳ２３の第Ｎ時間の終了前では、各曲線Ａ、Ｂは図示のようになだらかに下降して、仕上研磨に備える。
【００５９】
そして、このステップＳ２３に続いてステップＳ２４に進むことで仕上研磨を行い、仕上研磨が終了する。
【００６０】
以上で、図８（ｂ）に示した研磨終了状態となるので、ステップＳ２５においてサーボモータ７０への通電を停止する。続いて、ステップＳ２６においてステッピングモータ２２への通電が行われることでステップＳ２７で加圧機構が上昇されることで、治具４０の取り出しを可能な状態にするとともに、ステップＳ２８で自動停止し、アラームで作業者に仕上研磨まで終了したことを知らせる。これに続き、ステップＳ２９で作業者は治具４０の取り出しを行い、研磨された光ファイバーコネクタを取り外すことで作業を終了する。
【００６１】
ここで、研磨テーブル６上にセットされる研磨布の厚さ如何でも押圧力が変動するが、上記のように自動制御すれば何ら問題ない。一方、研磨テーブルの回転速度と押圧力との関係は、光ファイバーコネクタの種類ないし被研磨面の端部８３ａの状態に応じて経験的に把握されているので、回転速度と押圧力を個別に初期設定することで任意にタイムテーブル７８を設定するようにしても良い。
【００６２】
また、ここまで、被研磨物として光ファイバーコネクタを用いた例について説明したが、所定のタイムテーブル７８を準備することにより、光学素子や半導体ウェファー等の研磨にも使用可能であることは勿論である。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被研磨物の研磨の進行状況に応じて、回転研磨テーブルの回転速度と押圧力との関係を自動的に調整することができる研磨装置と研磨方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態の研磨装置５の要部を破断して示した概略構成図である。
【図２】図１の加圧機構の拡大図である。
【図３】治具交換のために加圧機構を上方に移動する様子を示した動作説明図であって、（ａ）は、最初の段階を、また（ｂ）は待機位置に移動した様子を示した正面図である。
【図４】治具交換のために加圧機構を上方に移動した後の様子を示した動作説明図である。
【図５】治具４０の要部断面図である。
【図６】治具４０の外観斜視図である。
【図７】（ａ）は研磨装置５のブロック図、（ｂ）は、（ａ）のブロック図の制御部に接続された記憶部のタイムテーブルの保存内容を示した研磨曲線の図である。
【図８】光ファイバーコネクタ１を保持した治具４０を研磨テーブル６の上に置いた様子を示した図であって、（ａ）は研磨前を示し、（ｂ）は研磨終了後の様子を示している。
【図９】研磨を行う下準備までの動作説明のフローチャートである。
【図１０】研磨装置５の研磨動作説明のフローチャートである。
【符号の説明】
１　光ファイバーコネクタ
３　基部
５　研磨装置
６　研磨テーブル
７　副基部
８　リニアガイド
９　支持用基部
１０　第１の加圧軸
１１　リニアブッシュ
１２　回転防止軸体
１３　トルクリミッタ
１４　ラック
１５　第１のレバー部材
１６　回動軸
１７　第２のレバー部材
１８　第１の加圧軸基部
１９　ラック
２０　オーバーハング部
２１　ギア
２２　ステッピングモータ（押圧機構）
２３　上センサ
２４　下センサ
２５　ブロック
２６　軸体
２７　第２の加圧軸
２８　圧縮コイルバネ
２９　回動軸体
３０　ロック部材
３１　ローラ
３２　トーションバネ
３３　係止軸体
３４　加圧板
３５　圧力センサ（第２検出手段）
３８　ケーブルフック
４０　治具
４１　治具基部
４２　溝部材
４３　基準部材
４４　ピボット軸受
４５　ツマミ
４６　バネ板
４７　ホルダ
４８　移動ブロック
４９、５０　ネジ
６０　カバー
７０　サーボモータ
７１　操作パネル
７８　タイムテーブル
７９　回転計（第１検出手段）
８３ａ　端部（被研磨面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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