(57)【要約】【課題】液体吐出ヘッドを洗浄可能でかつ速やかな微量分注を可能とする。【解決手段】液体分注装置１０は、液体槽２５又は洗浄液槽２４の液体又は洗浄液を吸入・吐出自在なシリンジ２０を有し、該シリンジ２０により液体吐出ヘッド１１の液体収容部１２に液体を供給する時は、ニードル２０ｂに設けられたストッパ２０ｅが液体収容部１２の段部１７に当接し、かつシリンジタンク２０ａの底部２０ａ’に設けられた栓２０ｃが大気開放室１５を開放した状態でニードル２０ｂの先端から液体が吐出され、また、液体吐出ヘッド１１の液体収容部１２の洗浄を行う時は、前記ストッパ２０ｅが液体収容部１２の段部１７に当接し、かつ前記栓２０ｅが大気開放室１５を密閉した状態でニードル２０ｂの先端から洗浄液が吐出される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気開放室とその下方に液体タンクが連通形成された液体収容部、及び前記液体タンクに一端が連通し他端が大気に連通する細流路が形成された液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドと別体に配置され液体を貯蔵する液体槽、及び洗浄液を貯蔵する洗浄液槽と、を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージの上方に対向配置され、前記液体又は前記洗浄液を吸入・吐出自在な吸入・吐出手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略同一面内で略直交する方向に駆動する第１の駆動手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略直交する方向に駆動する第２の駆動手段と、を備え、
前記液体収容部と前記液体槽又は前記洗浄液槽との間で前記液体又は前記洗浄液を受け渡し自在とした液体分注装置において、
前記吸入・吐出手段は、吸入した前記液体又は前記洗浄液を一時的に貯蔵するシリンジタンクと、該シリンジタンク内に液密状に軸方向に摺動自在に配置されたピストン部材と、前記シリンジタンクの底部から前記ピストン部材の摺動方向に向けて該シリンジタンクに対し摺動自在に延設され、かつ先端近傍にストッパ部材を有する中空状のニードル部材と、前記シリンジタンクの前記底部に近接配置され該シリンジタンクが前記液体収容部に向けて近接移動するに従い該シリンジタンクと一体的に移動して前記大気開放室を密閉可能な密閉部材と、を備え、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部への液体供給時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を開放した状態で前記ニードル部材の先端から前記液体が吐出され、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部の洗浄時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を密閉した状態で前記ニードル部材の先端から前記洗浄液が吐出される、
ことを特徴とする液体分注装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリンターや複写機等の記録装置又は医療機器等の分野に適用され、所望の液槽から所望量の液体を分注する液体分注装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）を用いた記録技術としては、例えばノズル内のインクをヒータにて加熱し気泡を発生させてノズル内の圧力を変化させ、インク滴を飛翔させるバブル・ジェット方式が知られている。このようなインクジェットヘッドのインク収容部は、自動液体分注装置又はマニュアル供給用としてのピペッター等を用いてインクが供給可能なように、その上面が大気開放となっており、このインク収容部に、例えば自動液体分注装置にてインクを供給する場合は、注射器のようなシリンジを用いて行われる。
【０００３】
すなわち、従来の自動液体分注装置は、略水平なＸＹ平面内で移動自在なステージに、インクジェットヘッド及びこれと別体にインク槽及び洗浄液槽を配置し、これらインク槽又は洗浄液槽からインク又は洗浄液を吸入・吐出自在に、前記シリンジをステージのＸＹ平面と略直交する方向に移動自在に対向配置して、インクジェットヘッドのインク収容部とインク槽又は洗浄液槽との間で所望量のインク又は洗浄液の受け渡しが自在となっている。前記シリンジは、注射針のようなニードルと、吸入したインク等を収容するシリンジタンクと、該シリンジタンク内を摺動してニードル先端からインク等を吸入・吐出するピストンとを有していて、インクジェットヘッドへのインク供給時には、前記ニードルの先端を、インク収容部に形成された流路内側に接触させるか又は接触させない状態で、前記ピストンを動作させることでシリンジタンク内のインクを前記流路に供給する。こうして供給されたインクは、重力と流路が発生する毛細管力の作用によってノズルの先端からヒータ位置の近傍にまで達する。
【０００４】
なお、上述したインクジェットヘッドの構成でかつノズル数が多いヘッドの場合には、インク収容部にインクを供給する際、効率化を図るために液体分注装置を用いるのが一般的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の液体分注装置では、インク収容部への液体供給時にシリンジのニードル先端とインク収容部の底部との距離が離れてしまい、ニードル先端から吐出されつつあるインクがニードル上で徐々に大きな液滴を形成し、重力に耐え切れなくなって落下するという過程を待つため、微量分注ができないという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するため、液体吐出ヘッドの洗浄が可能でかつ速やかに微量分注が可能な液体分注装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、大気開放室とその下方に液体タンクが連通形成された液体収容部、及び前記液体タンクに一端が連通し他端が大気に連通する細流路が形成された液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドと別体に配置され液体を貯蔵する液体槽、及び洗浄液を貯蔵する洗浄液槽と、を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージの上方に対向配置され、前記液体又は前記洗浄液を吸入・吐出自在な吸入・吐出手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略同一面内で略直交する方向に駆動する第１の駆動手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略直交する方向に駆動する第２の駆動手段と、を備え、
前記液体収容部と前記液体槽又は前記洗浄液槽との間で前記液体又は前記洗浄液を受け渡し自在とした液体吐出ヘッドへの液体分注装置において、
前記吸入・吐出手段は、吸入した前記液体又は前記洗浄液を一時的に貯蔵するシリンジタンクと、該シリンジタンク内に液密状に軸方向に摺動自在に配置されたピストン部材と、前記シリンジタンクの底部から前記ピストン部材の摺動方向に向けて該シリンジタンクに対し摺動自在に延設され、かつ先端近傍にストッパ部材を有する中空状のニードル部材と、前記シリンジタンクの前記底部に近接配置され該シリンジタンクが前記液体収容部に向けて近接移動するに従い該シリンジタンクと一体的に移動して前記大気開放室を密閉可能な密閉部材と、を備え、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部への液体供給時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を開放した状態で前記ニードル部材の先端から前記液体が吐出され、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部の洗浄時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を密閉した状態で前記ニードル部材の先端から前記洗浄液が吐出される、ことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
【０００９】
図１は、本発明に係る液体分注装置の全体斜視図である。
【００１０】
同図において、液体分注装置１０は、方形状のＸＹステージ２２を有し、該ＸＹステージ２２は、第１の駆動手段としてのＸ方向駆動部２３ｘ及びＹ方向駆動部２３ｙにより、載置面２２ａと略同一平面内で互いに略直交するＸ方向及びＹ方向に夫々移動自在とされている。このＸＹステージ２２には、液体吐出ヘッド１１と、該液体吐出ヘッド１１と別体に配置されて種類の異なる液体を貯蔵する液体槽２５ａ〜２５ｉと、同様に液体吐出ヘッド１１と別体に配置されて洗浄液を貯蔵する洗浄液槽２４とが載置されている。
【００１１】
前記液体吐出ヘッド１１は、図２に示すように、方形状の枠体１１ａ内に配置された多数の液体収容部としての液体収容部１２を有し、この液体収容部１２は、図３に示すように、大気開放室１５とその下方に段部１７を介して縦断面円錐状の液体タンク１６が連通形成されている。すなわち、液体タンク１６は、上面から液体を自動装置又はピペッター等の手動により分注可能なように、上面が大気開放の大気開放室１５を有している。また、液体タンク１６の下方にはノズル（細流路）１３の一端が連通し、該ノズル１３の他端は、吐出口である大気に連通している。このノズル１３の先端近傍には、所定の電流パルスを印加することにより液体を飛翔させるヒータ１４が設けられている。なお、液体タンク１６に供給された液体は、重力と毛細管力によってノズル１３のヒータ位置近傍にまで達する。
【００１２】
前記ステージ２２の上方には、液体槽２５ａ〜２５ｉ又は洗浄液槽２４から液体又は洗浄液を吸入・吐出して該液体又は洗浄液を液体吐出ヘッド１１に供給自在な吸入・吐出手段としてのシリンジ２０が対向配置されている。このシリンジ２０は、上部をシリンジボックス２１により覆われていて、該シリンジボックス２１は、第２の駆動手段としてのＺ方向駆動部２３ｚにより、支柱２６に沿って載置面２２ａと略直交するＺ方向に駆動自在な構成となっている。
【００１３】
図４に示すように、前記シリンジ２０は、吸入した液体又は洗浄液を一時的に貯蔵するシリンジタンク２０ａと、該シリンジタンク２０ａ内に液密状に軸方向に摺動自在に配置されたピストン２０ｄとを有していて、該ピストン２０ｄがシリンジタンク２０ａ内をスライドすることで、液体または気体の吸入・吐出が可能となっている。前記シリンジタンク２０ａは、シリンジボックス２１の内部に固定されており、また、ピストン２０ｄは、シリンジボックス２１内の不図示の駆動機構により軸方向にスライド自在に構成されている。更に、前記シリンジタンク２０ａの底部２０ａ’には、一端を該シリンジタンク２０ａの底部に固定され、かつ他端が前記ピストン２０ｄの摺動方向に向けて延設された中空状のニードルホルダ２０ｆが取付けられている。このニードルホルダ２０ｆは、他端の自由端側にフランジ２０ｇが設けられている。
【００１４】
前記ニードルホルダ２０ｆの中空部には、シリンジタンク２０ａに対し摺動自在に中空状のニードル２０ｂが挿通されていて、該ニードル２０ｂは、長手方向の先端近傍に先端が液体収容部１２の底部に衝突するのを防止するため、接着または溶接等によりストッパ２０ｅが固定されている。このストッパ２０ｅには、表裏面側を液体が連通可能に多数の孔２０ｈが形成されている。また、ニードル２０ｂは、ニードルホルダ２０ｆから脱落しないように、図示しないストッパ機構によりピストン２０ｄの摺動方向の動作が所定量に規制されている。また、ニードルホルダ２０ｆのフランジ２０ｇと、ニードル２０ｂのストッパ２０ｅとの間には、弾性付勢部材としてのバネ（圧縮）２７が装着されている。このバネ２７により、ストッパ２０ｅにはフランジ２０ｇから離れる方向に付勢力が作用する。
【００１５】
更に、シリンジタンク２０ａの底部２０ａ’には、密閉部材としての栓２０ｃが近接配置されていて、該栓２０ｃは、シリンジタンク２０ａが液体収容部１２に向けて近接移動するに従い、該シリンジタンク２０ａと一体的に移動して大気開放室１５を密閉可能な構成となっている。この栓２０ｃは、本実施形態では密閉性を確実にするためにゴム等の弾性部材からなる。
【００１６】
なお、シリンジ２０が複数設けられる場合は、各シリンジ２０間の配設ピッチは液体収容部１２の大気開放室１５のピッチの整数倍となっていて、また、図５に示すように、液槽１２５が、複数種類の液体を入れられるように複数の液槽１２５ａ，１２５ｂ，・・・に分かれている場合は、各シリンジ２０間の配設ピッチは液槽間ピッチの整数倍になっている。
【００１７】
次に、本実施の形態の使用形態を説明するため、図６に基づき、液体吐出ヘッド１１として、その液体タンク１６にインクを供給したものを用いた描画装置５０について説明する。この描画装置５０は、被印刷物にインクを吐出して、例えばＬＣＤ用カラーフィルタを製造したり、ガラスやキャンバスに印刷する場合等に用いられる。
【００１８】
同図において、描画装置５０は、Ｙ軸ステージ５３及びガイドレール５７，５８が略平行に固定された定盤５９を有している。前記Ｙ軸ステージ５３及びガイドレール５７，５８の可動部分には、Ｘ軸ステージ５４が取り付けられており、該Ｘ軸ステージ５４はＹ方向に移動可能となっている。また、Ｘ軸ステージ５４の可動部分には、回転ステージ５５が固定されており、更に該回転ステージ５５の上部にはチャック５６が固定されている。このチャック５６は、図示しないポンプにチューブを介して接続されており、該ポンプが空気を吸引することで被記録部材６８はチャック５６に吸着される。
【００１９】
また、定盤５９上には支柱６５，６６が固定され、該支柱６５，６６の上部には夫々ブリッジ６３，６４が固定されている。前記ブリッジ６３，６４はステー６２で固定されており、該ステー６２により、支柱６５，６６とブリッジ６３，６４の構造物の強度が保たれている。前記ステー６２には、被記録部材６８の状態を監視するＣＣＤカメラ５２が取り付けられている。また、前記ブリッジ６３とブリッジ６４との間には、回転ステージ６１が固定されており、該回転ステージ６１には液体吐出ヘッド１１が固定されている。
【００２０】
次に、液体吐出ヘッド１１の液体タンク１６に液体（インク）を供給し、前述した描画装置５０にて印字後、液体吐出ヘッド１１内の流路を洗浄するまでの工程を順を追って説明する。
【００２１】
図１に示した液体分注装置１０のＸＹステージ２２に、液体吐出ヘッド１１と、該液体吐出ヘッド１１の液体タンク１６に供給する液体（インク）を予め入れた液槽２５とをセットする。
【００２２】
次に、所望の液槽（ここでは２５ａとする）とシリンジ２０のＸＹ方向の位置を合わせるために、ステージ２２が図１のＸ方向及びＹ方向に駆動され、シリンジボックス２１は、ニードル２０ｂが液槽２５ａ内の液体（インク）に浸るまで図１のＺ方向に下降する。
【００２３】
次に、ピストン２０ｄをスライドさせて液槽２５ａ内の液体（インク）を所定量吸入した後、シリンジボックス２１を図１のＺ方向に上昇させる。次いで、液体吐出ヘッド１１とシリンジ２０のＸ方向及びＹ方向の位置を合致させるために、ステージ２２が図１のＸ方向及びＹ方向に駆動され、シリンジボックス２１を図１のＺ方向に下降させる。その際、ストッパ２０ｅが液体収容部１２の段部１７に接触し、かつ栓２０ｃと液体収容部１２の大気開放室１５との間に隙間を持つような位置までシリンジボックス２１を下降させる。
【００２４】
図７は、シリンジ２０の先端部と液体収容部１２との詳細図を示す。
【００２５】
同図に示すように、液体収容部１２の大気開放室１５が栓２０ｃによって密閉されないことにより、大気開放室１５が密閉された場合と比較してピストン２０ｄを下降させるための駆動力は小さくて済む。これは、ノズル１３の口径は通常２０μｍ程度であり、液体供給時の空気の押し出しによる流抵抗が影響するためである。
【００２６】
また、ニードル２０ｂの先端が液体タンク１６の底部に隣接しているため、ニードル２０ｂの先端から吐出されつつある液体（インク）が、該先端で徐々に大きな液滴を形成し、重力に耐え切れなくなったときに落下するという過程を待たずとも、速やかに液体（インク）は液体タンク１６の底部に移動する。こうして、液体（インク）を液体吐出ヘッド１１に供給後、再びシリンジボックス２１は上昇する。なお、このときＸＹステージ２２はデフォルトの位置に戻るが、そのままの位置で待機していても構わない。
【００２７】
次に、液体吐出ヘッド１１をＸＹステージ２２から取り外し、図６に示した描画装置５０によって印字する。
【００２８】
印字終了後、次回の印字時に液体吐出ヘッド１１の各流路には、今回供給した液体とは異なるものを入れる場合が想定されると共に、液体タンク１６内の残留液体の粘度が増加し固着する等の理由により、洗浄工程が必要となる。
【００２９】
そこで、図１に示した液体分注装置１０のＸＹステージ２２に、液体吐出ヘッド１１と、予め洗浄液を入れた洗浄液槽２４とをセットする。
【００３０】
次いで、洗浄液槽２４とシリンジ２０のＸＹ方向の位置を合わせるためにＸＹステージ２２を図１のＸＹ方向に駆動し、シリンジボックス２１はニードル２０ｂが洗浄液槽２４内の液体に浸るまでＺ方向に下降させる。その際、洗浄液槽２４の内壁にストッパ２０ｅは接触しない。
【００３１】
次いで、ピストン２０ｄをスライドさせてシリンジタンク２０ａ内に洗浄液を所定量吸入した後、シリンジボックス２１を図１のＺ方向に上昇させる。次に、液体吐出ヘッド１１とシリンジ２０のＸＹ方向の位置を合わせるためにＸＹステージ２２が図１のＸＹ方向に駆動され、シリンジボックス２１を図１のＡ方向に下降させる。
【００３２】
図８は、このときのシリンジ２０の先端部と液体収容部１２の詳細図を示す。
【００３３】
ニードル２０ｂのストッパ２０ｅが液体収容部１２の段部１７に接触し、かつ栓２０ｃによって液体収容部１２の大気開放室１５は密閉される。また、バネ２０ｇは液体供給時（図７参照）よりも圧縮されている。このとき、液体収容部１２の大気開放室１５は、栓２０ｃによって密閉されるようにシリンジボックス２１は液体供給時よりも近接した位置にある。そして、液体収容部１２の大気開放室１５が密閉されることで、洗浄液の流れ方向はノズル１３の流路方向に規制され、これにより流路内の洗浄を効率的に行える。
【００３４】
なお、このような洗浄工程により、液体吐出ヘッド１１内の全流路を洗浄することが可能であるが、流路径の大きい部位（具体的には大気開放室１５）は洗浄液の流速が小さくなってしまうため、流路径が小さい部位よりも洗浄効果は上がりにくい場合もある。その場合は、液体収容部１２の大気開放室１５からの圧縮空気の噴射等と組み合わせることで、十分な洗浄効果を得ることができる。
【００３５】
洗浄後、再びシリンジボックス２１は上昇する。その際、バネ２０ｇの付勢力により、ニードル２０ｂのストッパ２０ｅは、ニードルホルダ２０ｆのフランジ２０ｇに対して離間する方向に移動される。これにより、次回の液体供給時に備えることが可能となる。なお、ＸＹステージ２２の位置はデフォルトの位置に戻るが、そのままの位置で待機していても構わない。
【００３６】
本発明の実施態様の例を以下に列挙する。
【００３７】
［実施態様１］  大気開放室とその下方に液体タンクが連通形成された液体収容部、及び前記液体タンクに一端が連通し他端が大気に連通する細流路が形成された液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドと別体に配置され液体を貯蔵する液体槽、及び洗浄液を貯蔵する洗浄液槽と、を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージの上方に対向配置され、前記液体又は前記洗浄液を吸入・吐出自在な吸入・吐出手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略同一面内で略直交する方向に駆動する第１の駆動手段と、
前記ステージと前記吸入・吐出手段のいずれか一方を、いずれか他方に対し前記載置面と略直交する方向に駆動する第２の駆動手段と、を備え、
前記液体収容部と前記液体槽又は前記洗浄液槽との間で前記液体又は前記洗浄液を受け渡し自在とした液体分注装置において、
前記吸入・吐出手段は、吸入した前記液体又は前記洗浄液を一時的に貯蔵するシリンジタンクと、該シリンジタンク内に液密状に軸方向に摺動自在に配置されたピストン部材と、前記シリンジタンクの底部から前記ピストン部材の摺動方向に向けて該シリンジタンクに対し摺動自在に延設され、かつ先端近傍にストッパ部材を有する中空状のニードル部材と、前記シリンジタンクの前記底部に近接配置され該シリンジタンクが前記液体収容部に向けて近接移動するに従い該シリンジタンクと一体的に移動して前記大気開放室を密閉可能な密閉部材と、を備え、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部への液体供給時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を開放した状態で前記ニードル部材の先端から前記液体が吐出され、
前記吸入・吐出手段による前記液体収容部の洗浄時には、前記ストッパ部材が前記液体タンクの上部位に当接し、かつ前記密閉部材が前記大気開放室を密閉した状態で前記ニードル部材の先端から前記洗浄液が吐出される、
ことを特徴とする液体分注装置。
【００３８】
［実施態様２］  一端を前記シリンジタンクの底部に固定され、前記ピストン部材の摺動方向に向けて延設された中空状のニードルホルダを有し、該ニードルホルダは、前記ニードル部材を軸方向に摺動自在に挿通すると共に、他端の自由端側にフランジ部を有し、かつ該フランジ部と前記ストッパ部材との間に弾性付勢部材を装着した、
ことを特徴とする実施態様１記載の液体分注装置。
【００３９】
［実施態様３］  前記密閉部材は弾性体からなる、
ことを特徴とする実施態様１又は２に記載の液体分注装置。
【００４０】
［実施態様４］  大気開放室とその下方に液体タンクが連通形成された液体収容部、及び前記液体タンクに一端が連通し他端が大気に連通する細流路が形成されて、前記液体タンクに収容されたインクを大気に飛翔する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに対向配置された被印刷部材と、前記液体吐出ヘッド及び前記被印刷部材のいずれか一方をいずれか他方に対し前記液体吐出ヘッドを載置する載置面と略同一面内で移動自在とする駆動手段と、を備えている、
ことを特徴とする描画装置。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液体収容部への液体供給時には、ストッパ部材が液体タンクの上部位に当接し、かつ密閉部材が大気開放室を開放した状態でニードル部材の先端から液体が吐出され、液体収容部の洗浄時には、ストッパ部材が液体タンクの上部位に当接し、かつ密閉部材が大気開放室を密閉した状態でニードル部材の先端から洗浄液が吐出されることにより、液体分注装置とヘッド洗浄装置とを兼用することができる。また、液体供給時には液移りが速やかに行われ、迅速に微量分注を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液体分注装置の斜視図である。
【図２】液体吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ  −ＩＩＩ  線に沿う断面図である。
【図４】シリンジの部分断正面図である。
【図５】液体槽の全体斜視図である。
【図６】描画装置の全体斜視図である。
【図７】液体供給時における液体収容部とシリンジとの位置関係を示す断正面図である。
【図８】洗浄時における液体収容部とシリンジとの位置関係を示す断正面図である。
【符号の説明】
１０      液体分注装置
１１      液体吐出ヘッド
１２      液体収容部
１３      ノズル
１４      ヒータ
１５      大気開放室
１６      液体タンク
１７      段部（上部位）
２０      シリンジ（吐出・吸入手段）
２０ａ    シリンジタンク
２０ａ’  底部
２０ｂ    ニードル（ニードル部材）
２０ｃ    栓（密閉部材）
２０ｄ    ピストン（ピストン部材）
２０ｅ    ストッパ（ストッパ部材）
２０ｆ    ニードルホルダ
２０ｇ    フランジ（フランジ部）
２１      シリンジボックス
２２      ＸＹステージ
２３ｘ    Ｘ方向駆動部（第１の駆動手段）
２３ｙ    Ｙ方向駆動部（第１の駆動手段）
２３ｚ    Ｚ方向駆動部（第２の駆動手段）
２４      洗浄液槽
２５，１２５      液体槽
２７      バネ
５０      描画装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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