(57)【要約】【課題】高い剛性と動作精度を確保する。【解決手段】上下昇降機構４５は、シャフト１５とこのシャフト１５を支承するシャフトガイド部１８とシャフト１５を上下昇降する上下昇降駆動装置２０とからなり、アーム旋回機構４６は、旋回アーム１６とこの旋回アーム１６を旋回する旋回駆動装置４２とからなり、シャフトガイド部１８に対して重量バランスを保つため、シャフトガイド部１８よりも上方に旋回アーム１６を配置し、シャフトガイド部１８よりも下方に水平スライド機構４４及び上下昇降駆動装置２０を配置する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平スライド機構と上下昇降機構とアーム旋回機構とを有し、ワークに対し組立、加工等を行う産業用ロボットにおいて、前記上下昇降機構は、シャフトとこのシャフトを支承するシャフトガイド部と前記シャフトを上下昇降する上下昇降駆動装置とからなり、前記アーム旋回機構は、旋回アームとこの旋回アームを旋回する旋回駆動装置とからなり、前記シャフトガイド部に対して重量バランスを保つため、前記シャフトガイド部よりも上方に前記旋回アームを配置し、前記シャフトガイド部よりも下方に前記水平スライド機構及び前記上下昇降駆動装置を配置したことを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記旋回駆動装置及び前記シャフトガイド部より上方位置であって、前記旋回アームより下方位置に、ワークへの組立、加工等の作業環境を維持するための隔壁を設けたことを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記隔壁は、前記産業用ロボットが水平方向にスライド可能となるようなスリット孔を有する第１の隔壁と、前記シャフトの貫通孔を有する第２の隔壁とから構成されていることを特徴とする請求項２に記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記旋回アームのアーム端に前記ワークを回転させまたは前記ワークに対し回転作業を行う回転軸を有することを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記旋回アームが複数であることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。
【請求項６】
請求項１に記載の産業用ロボットであって、前記産業用ロボットを取り付ける取付面が前記シャフトの軸方向と平行方向に設けられていることを特徴とする産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、産業用ロボットに関する。さらに詳述すると、本発明は、クリーン組立モジュール装置などにおいてワークの組立、加工、搬送等の作業を行う産業用ロボット中でも特に小型のロボットの構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワークの組立、加工、搬送等の作業を行うことを目的とした小型産業用ロボットには直交型、スカラー型、垂直多関節型等の各種ロボットがあり、その中には変形円筒型と呼ばれる構造のものがある。変形円筒型の構造としては、▲１▼スライド機構１０１、昇降機構１０２、アーム旋回機構１０３を備えスライド、昇降、旋回の順で動作してアーム先端の位置決めを行うもの（図７参照）や、▲２▼スライド、旋回、昇降の順で動作して位置決めを行うもの（図８参照）などがある。
【０００３】
また、このような小型産業用ロボットは、クリーン環境下において作業を行うクリーン組立モジュール装置（例えば外壁となる遮蔽壁によって覆われさらにシールが施されることによって装置外部と遮蔽され、フィルタを通したクリーンエアを送風して装置内部とくに作業領域の雰囲気をクリーンに保ちクリーン環境下でワークの組立等の作業を行うようにした装置）において利用される場合がある。この場合、環境管理維持されているクリーンな作業領域内にロボットのツール端のみを突っ込ませる形態としては、▲３▼図９に示すような直交型のロボットを用いてそのツール端に最も近い軸（上下軸もしくは前後軸）１０４を作業領域内に突っ込ませるものや、▲４▼上述した▲２▼の形式にて作業領域内にツール端１０５を突っ込ませるもの、などがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、▲１▼▲２▼▲３▼のようなタイプのロボットは図示したように各機構１０１〜１０３が直列的に順次配置されると、機構の弱点である軸受部に対する重量バランスが崩れ、動作時の軸受等に大きな負担がかかりやすくなり、あるいは振動が生じ、剛性や精度が確保できなくなるという問題がある。さらに、▲１▼の場合はその構造からして閉鎖された作業領域内へツール端部のみを飛び込ませる構成とすることが難しい。また、▲２▼および▲３▼の場合はツール端部（軸１０４、ツール端１０５）の動作が２次元的であり平面内を自由に広く動作させうるが、自由度の高い動作を確保しようとすれば広い通過孔を設ける必要があり、隔壁形状をこれに対応させると装置の小型化、低価格化に向かなくなるという問題が生じる。加えて、スカラー型等の関節型のロボットは小型化に際して関節との干渉が多くハンド部構造を相対的に小型化し難い。
【０００５】
そこで、本発明は、高い剛性と動作精度を確保することができ小型化に適した産業用ロボットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明は、水平スライド機構と上下昇降機構とアーム旋回機構とを有し、ワークに対し組立、加工等を行う産業用ロボットにおいて、上下昇降機構は、シャフトとこのシャフトを支承するシャフトガイド部とシャフトを上下昇降する上下昇降駆動装置とからなり、アーム旋回機構は、旋回アームとこの旋回アームを旋回する旋回駆動装置とからなり、シャフトガイド部に対して重量バランスを保つため、シャフトガイド部よりも上方に旋回アームを配置し、シャフトガイド部よりも下方に水平スライド機構及び上下昇降駆動装置を配置したことを特徴とするものである。
【０００７】
この場合、シャフトガイド部の上方と下方との配置バランスがよくなり、シャフトの軸方向に関し重量配分が均等化される。このため、水平スライド時にシャフトに作用するモーメントや慣性の偏りがなくなって均等になり、剛性が増して動作精度が向上する。また動作時の振動も抑えられるようになり精度が向上する。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の産業用ロボットにおいて、旋回駆動装置及びシャフトガイド部より上方位置であって、旋回アームより下方位置に、ワークへの組立、加工等の作業環境を維持するための隔壁を設けたことを特徴としている。この場合、シャフトガイド部を中心とした配置バランスが保たれている。また、シャフトを直線的に移動させその上端の旋回アームを旋回させるようにすることで長円形状の広い範囲内でワークを搬送等できる。この場合、シャフトを貫通させるため隔壁に設けられるスリットは直線形の単純形状のもので足りる。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項２に記載の産業用ロボットにおいて、隔壁は、産業用ロボットが水平方向にスライド可能となるようなスリット孔を有する第１の隔壁と、シャフトの貫通孔を有する第２の隔壁とから構成されていることを特徴としている。この場合、第１の隔壁に重ね合わされた第２の隔壁をこの第１隔壁のスリット孔に宛うことによってスリット開口部を塞ぐことができる。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１に記載の産業用ロボットにおいて、旋回アームのアーム端にワークを回転させまたはワークに対し回転作業を行う回転軸を有することを特徴としている。この場合、旋回アームを旋回させる動作とこの旋回アームを支持するシャフトを直線的に移動させる動作とを組み合わせることにより長円形状範囲内でワークを自在に搬送等することができる。しかもこの産業用ロボットの場合、従来の関節型のロボットアームのように多関節構造とする必要がないことから関節どうしの干渉等を考慮する必要がなく小型化しやすい。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１に記載の産業用ロボットにおいて、旋回アームが複数であることを特徴としている。こうした場合、各旋回アームによって複数のワークを同時に搬送等することが可能となる。
【００１２】
また請求項１に記載の産業用ロボットにおいては、請求項６記載の発明のように、産業用ロボットを取り付ける取付面がシャフトの軸方向と平行方向に設けられていることが好ましい。この産業用ロボットが例えばクリーン組立モジュール装置において使用される場合、ロボットを壁面取付することでダウンフローの流体抵抗を低く抑えることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１〜図３に、本発明の一実施形態を示す。本発明の産業用ロボット１３は水平スライド機構４４と上下昇降機構４５とアーム旋回機構４６とを有し、ワーク１４に対し組立、加工等を行うロボットである。以下ではこの産業用ロボット１３をクリーン組立モジュール装置１における作業ロボットに適用した形態について説明する。
【００１５】
クリーン組立モジュール装置１は、装置上部にクリーンエア発生手段２を備えるとともに装置上部側から作業領域Ａ、クリーンエア停留排気領域Ｂ、機構部領域Ｃを有するように構成されている（図３参照）。また、このクリーン組立モジュール装置１は外壁となる遮蔽壁３により覆われさらにシールが施されることによって装置外部と遮蔽されている。クリーンエア発生手段２は作業領域Ａにクリーンエアを供給する手段で、作業領域Ａを形成するクリーン領域遮蔽壁３の上部に取り付けられ作業領域Ａの上部からクリーンエアをダウンフローさせる。クリーンエア発生手段２は例えば送風ファンと塵埃を濾すフィルタとを備えている。作業領域Ａはワーク１４の組立、加工等の作業を清浄雰囲気内で行うためのクリーンな領域であり、本実施形態の場合、その外周をクリーン領域遮蔽壁３で囲われて外部から遮蔽されているとともに、下側を通気可能な隔壁４によって仕切られている。
【００１６】
隔壁４は作業領域Ａの下側における仕切りで、例えば本実施形態の場合はパンチメタルが隔壁４として作業領域Ａと機構部領域Ｃとを区切る（あるいは作業領域Ａとクリーンエア停留排気領域Ｂとを区切る）ように設けられている（以下、「パンチメタル４」と呼ぶ）。このパンチメタル４は、ダウンフローしたクリーンエアの流れを一部差し止める抵抗となって作業領域Ａ内に滞留させ、一部を小孔から機構部領域Ｃ側へ排気するように作用する。このため、このパンチメタル４によれば流体抵抗の管理をすること、すなわち、ダウンフローするクリーンエアの抵抗となって作業領域Ａ内をその外圧よりも僅かに高い適度な圧力とするとともに、機構部領域Ｃ側への適度な流量が確保されるようにし、作業領域Ａ、クリーンエア停留排気領域Ｂおよび機構部領域Ｃを作業に適した状態に管理することが可能である。本実施形態のクリーン組立モジュール装置１では、このようにパンチメタル４によってクリーンエアの流れを一部差し止めて滞留させることにより機構部領域Ｃあるいは装置外部に比べて作業領域Ａ内が陽圧（外気圧（具体的には大気圧）よりも圧力が高い状態）に保たれている。この場合、クリーン度が要求される作業領域Ａ内に外部からクリーン度の低い（つまり塵埃が多い）エアが流れ込むのが防止されるので、塵埃等が入り込み難くなっている。また、作業領域Ａ内に入り込んでしまった塵埃あるいはこの作業領域Ａ内で発生することのある塵埃はパンチメタル４の小孔を通り抜けて機構部領域Ｃ側へ排出される。
【００１７】
また、本実施形態のクリーン組立モジュール装置１におけるパンチメタル４は通気用の小孔以外に、産業用ロボット１３の上下昇降機構４５の一部を通過させるためのスリット孔４ａを有している（図２参照）。スリット孔４ａは、例えば産業用ロボット１３が旋回運動のみ行うものである場合にはシャフト１５を通過させるだけの丸孔で足りるが、本実施形態の場合は、上下昇降機構４５を構成するシャフト１５を一定ストロークで水平にスライド運動させることからこのスリット孔４ａを一次元的形状の長孔としている。また本実施形態の産業用ロボット１３は、上下昇降機構４５の本体が機構部領域Ｃ内に位置し、上下昇降機構４５のシャフト１５の上の部分のみが作業領域Ａ内に位置していることから、上下昇降機構４５が動作したときに発生することのある塵埃が作業領域Ａ内に入り込むことなく排気ファン５によって排出され、肝心の領域である作業領域Ａのクリーン度に与える影響が皆無である。
【００１８】
クリーンエア停留排気領域Ｂは作業領域Ａと機構部領域Ｃとの間の領域であって、作業領域Ａ内を流れ降りたクリーンエアの一部がこの領域で停留し、一部が排気される。本実施形態では、このクリーンエア停留排気領域Ｂにおける圧力の大きさが作業領域Ａと機構部領域Ｃの圧力の中間程度となるようにパンチメタル４の開口率と排気ファン５の回転速度を調整して管理している。
【００１９】
排気ファン５は清浄化空気流による圧力と流量を独立に制御するために制御され、例えば要求される流量が大きく、かつ要求される作業領域Ａの圧力が低い場合、ファン５の回転数を上げる事が機構部領域Ｃを減圧し、さらには作業領域Ａの圧力も低めに設定でき、かつ清浄空気の流量を大きくする事ができる。
【００２０】
機構部領域Ｃは産業用ロボット１３の本体とその駆動源などを収容する空間で、その圧力は作業領域Ａの圧力に比べて低くなっており、作業領域Ａからこの機構部領域Ｃにエアが流れ込むがこの機構部領域Ｃから作業領域Ａへはエアが逆流しないようになっている。この機構部領域Ｃの側部等には排気ファン５が設けられており、作業領域Ａ、クリーンエア停留排気領域Ｂを経由して機構部領域Ｃに流れ込んだエアを機外に排気し、これにより機構部領域Ｃ内を負圧に保っている。
【００２１】
産業用ロボット１３は、部品等をメインワーク（各種部品が取り付けられる基部となるワーク）上に取り付けるために所定の位置まで搬送するための作業ロボットで、水平スライド機構４４と上下昇降機構４５とアーム旋回機構４６とを有している。
【００２２】
水平スライド機構４４は、例えばシャフト１５を水平に直線移動させるリニアモータ（図示省略）と水平スライドガイド２４と水平スライド軸３８とからなる。この場合、シャフト１５等を支持するフレーム３９をリニア駆動することによってこのフレーム３９ごとシャフト１５を水平方向に直線移動させることができる。例えば本実施形態のシャフト１５は図２に示すように一定ストロークで移動可能である。また本実施形態ではシャフト１５として中空形状のものを用いている。なお、図１等においてシャフト１５の回転中心軸は符号Ｒで示されている。
【００２３】
本実施形態の産業用ロボット１３においては、産業用ロボット１３を取り付ける取付面がシャフト１５の軸方向と平行方向に設けられていることが好ましい。すなわち、図１に示すように、水平スライドガイド２４と水平スライド軸３８が取り付けられる面は図面上、垂直面であり、シャフト１５は垂直に立っている。本実施形態では、以上のように、シャフト１５の軸方向と平行な面をロボット全体の取付面としている。
【００２４】
上下昇降機構４５は、シャフト１５とこのシャフト１５を支承するシャフトガイド部１８とシャフト１５を上下昇降する上下昇降駆動装置２０とからなる。上下昇降駆動装置２０はシャフト１５を昇降させて作業機構６を高低させるためのモータなどの駆動源（以下「昇降モータ２０」という）である。シャフトガイド部１８はシャフト１５を回転可能かつ軸滑り可能に支持する軸受であり、水平スライド時にシャフト１５に作用するモーメントや慣性を均等にするようシャフト１５の軸方向中間付近を支持している。また、シャフトガイド部１８とは異なる位置を支承するベアリング１９がこのシャフトガイド部１８よりも下方側に設けられている。さらに本実施形態では、シャフト１５のベアリング１９よりも下部分の周囲にねじ部１５ａを設けるともに、このねじ部１５ａと噛み合う雌ねじを内周に有する回転筒３７をこのねじ部１５ａの周囲に設けている（図２参照）。回転筒３７はベアリング４７によって回転可能かつ軸方向へは移動しないように支持されている。回転筒３７の周りにはこの回転筒３７を回転させるプーリ２２が固着されている。このプーリ２２と、昇降モータ２０の軸に取り付けられたプーリ２１との間にはタイミングベルト２３が掛け渡されている。昇降モータ２０を駆動してプーリ２１，２２を回転させると、これに伴い回転筒３７が回転し、噛み合うねじの作用によってシャフト１５が昇降する。なお、本実施形態のシャフトガイド部１８は、シャフト１５を貫通させる旋回駆動装置４２の中空部分にフランジ部が引っ掛かるまで嵌め合わせられ、この旋回駆動装置４２と一体的とされている。
【００２５】
アーム旋回機構４６は、チャック（ここでいうチャックにはエアチャックが含まれる）１７が取り付けられる旋回アーム１６、シャフト旋回ガイド４０、旋回片４１、旋回駆動装置４２を備えている。旋回駆動装置４２はシャフト旋回ガイド４０と旋回片４１を介してシャフト１５を所定量回転させるモータなどの駆動源（以下「旋回モータ４２」という）である。シャフト旋回ガイド４０はシャフト１５の途中に設けられた大径部であり、シャフト１５に対し回転不可能なように一体化されている。旋回片４１はシャフト１５と同心円上を回転する例えば半円筒形状の部材で、内面側にシャフト旋回ガイド４０の側縁と係合する溝部を有している。この溝部はシャフト１５の軸方向に延びる溝からなり、シャフト旋回ガイド４０が垂直方向に移動するのを許容するが自由な回転は規制する。また旋回片４１の上部側には旋回モータ４２が設けられており、この旋回モータ４２を駆動することによって旋回片４１を回転させ、この旋回片４１を介してシャフト旋回ガイド４０およびシャフト１５を同量回転させ、旋回アーム１６を旋回させることができる。なお、このようにシャフト旋回ガイド４０を回転させた場合、シャフト１５が同量回転すると同時に回転筒３７に対し相対回転してその分だけ昇降することになるので、回転筒３７を同量回転させ相対回転量を相殺することによってシャフト１５を昇降させずに回転のみさせることができる。
【００２６】
また、産業用ロボット１３の本体や駆動源等（具体的にはアーム旋回機構４６のうち旋回アーム１６を除く部分、ならびに水平スライド機構４４、上下昇降機構４５）が機構部領域Ｃ内に設けられるとともに、作業領域Ａにはワーク１４の搬送等の作業を行う部分（具体的には旋回アーム１６およびそのアーム端に設けられたチャック１７を含む部分。以下、この部分を「作業機構６」という）が設けられている。パンチメタル４は、旋回モータ４２及びシャフトガイド部１８より上方位置であって旋回アーム１６より下方となる位置に設けられている。
【００２７】
旋回アーム１６は、回転可能なシャフト１５の上端から側方に延びるように取り付けられておりこのシャフト１５が回転するのに伴い旋回する。本実施形態では旋回可能な旋回アーム１６のアーム端に設けられたチャック１７によって部品等を把持（または吸引）して所定の位置（メインワーク１４上の取付位置あるいはその近傍位置）に運ぶようにしている。チャック１７は回転軸４３に取り付けられることによって回転可能とされており、吸引等して保持したワーク１４を回転させることができる。回転軸４３の中心軸は図１等において符号Ｓで示されている。さらに本実施形態の産業用ロボット１３は、シャフト１５の上端に配置されたモータ２６、このモータ２６と同軸のプーリ２７、回転軸４３に固着されたプーリ２８、そしてこれらプーリ２７，２８に掛け渡されたタイミングベルト２９等を備え、モータ２６を駆動することによって部品等の向きを適宜修正してメインワーク１４上に正しく取り付けることが可能となっている。なお、図２に示しているように、チャック１７から発生することのある塵埃を吸入して作業領域Ａに塵埃が舞い降りないようにするための塵埃吸入孔３０が旋回アーム１６の下部であってチャック１７の近傍位置に設けられている。また機構部領域Ｃには中空状シャフト１５内を下端から吸引する吸気手段２５が設けられいる。塵埃吸入孔３０から吸入された塵埃は、中空状のシャフト１５内を通過してこの吸気手段２５によって吸引される。
【００２８】
また、クリーン組立モジュール装置１は作業領域Ａにワーク１４を搬入しまたはこの作業領域Ａからワーク１４を搬出するための搬送手段７を備える（図２参照）。搬送手段７は例えばワーク１４を搬送するワーク搬送パレット１２を案内するための搬送レールである。また、クリーン組立モジュール装置１の作業領域Ａに、この搬送手段７が貫通し外部との接続を可能とする貫通部８が設けられている。
【００２９】
上述したように本実施形態の産業用ロボット１３では、シャフトガイド部１８よりも上方に旋回アーム１６等からなる作業機構６が配置され、シャフトガイド部１８よりも下方に水平スライド機構４４や上下昇降機構４５等が配置されていることから、シャフト１５の軸方向に関し重量配分が均等化されてシャフトガイド部１８に対する重量バランスが保たれている。このため、水平スライド時にシャフト１５に作用するモーメントや慣性が均等になり、剛性が高くなって精度を得やすい。
【００３０】
また本実施形態の産業用ロボット１３は、作業領域Ａ内において旋回アーム１６を旋回させる動作と、この旋回アーム１６を支持するシャフト１５を直線的に移動させる動作とを組み合わせることにより長円形状範囲内でワーク１４を自在に搬送等することができる。この場合、従来の関節型のロボットアームのように多関節構造とする必要がないことから関節どうしの干渉等を考慮する必要がなく小型化しやすい。
【００３１】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態では単一の旋回アーム１６によりワーク１４を搬送等するようにしたが、図４に示すように二股形状の旋回アーム１６とするなど旋回アーム１６を複数有する構造としても構わない。こうした場合、各旋回アーム１６のアーム端にそれぞれチャック１７を設けることによって複数のワーク１４を同時に搬送等することが可能となる。
【００３２】
また、本実施形態では鉛直軸を中心に回転する回転軸４３にチャック１７を取り付けたが、チャック１７はこれに限らず、例えば図５に示すように水平軸を中心に回転するものとしてもよい。
【００３３】
また、旋回モータ４２と旋回アーム１６との間隔は特に限定されることはなく、ワーク１４の種別や大きさ等に応じて適宜変更することができる。例えば図６に示す産業用ロボット１３は旋回モータ４２と旋回アーム１６の間隔が大きく、シャフト１５がパンチメタル４を貫きやすい構造となっている。
【００３４】
また、この図６に示す産業用ロボット１３においては、産業用ロボット１３が水平方向にスライド可能となるようなスリット孔４ａを有する第１のパンチメタル４と、シャフト１５の貫通孔４ａ’を有する第２のパンチメタル４’によって隔壁（パンチメタル）４が構成されている。この場合、第２のパンチメタル４’を宛うことによってスリット孔４ａの開口部分を塞ぐことができるため塵埃が作業領域Ａに入り込むのを更に防止しやすくなる等の点で好ましい。
【００３５】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、請求項１記載の産業用ロボットによると、シャフトガイド部の上方と下方との配置バランスがよくなり、シャフトの軸方向に関し重量配分が均等化されるため、水平スライド時にシャフトに作用するモーメントや慣性の偏りがなくなって均等になる。したがって、産業用ロボットの剛性とくにシャフトやこのシャフトの軸受部分の剛性が増して動作精度が向上する。また動作時の振動も抑えられるようになり精度が向上する。
【００３６】
請求項２記載の産業用ロボットによると、旋回駆動装置及びシャフトガイド部より上方位置であって、旋回アームより下方位置に、ワークへの組立、加工等の作業環境を維持するための隔壁を設けたことから、この隔壁で仕切られた作業領域をクリーンに保持しやすい。しかも、シャフトを直線的に移動させその上端の旋回アームを旋回させるようにした場合、長円形状の広い範囲内でワークを搬送等することができることに加え、シャフトを貫通させるため隔壁に設けられるスリットは直線形の単純形状のもので足りる。
【００３７】
請求項３記載の産業用ロボットによると、第２の隔壁を第１隔壁のスリット孔に宛うことによってスリット開口部を塞ぐことができることから、この産業用ロボットをクリーン組立モジュール装置に適用した場合において塵埃の侵入を防ぎやすい。
【００３８】
請求項４記載の産業用ロボットによると、旋回アームを旋回させる動作とこの旋回アームを支持するシャフトを直線的に移動させる動作とを組み合わせることにより長円形状範囲内でワークを自在に搬送等することができる。しかもこの産業用ロボットの場合、従来の関節型のロボットアームのように多関節構造とする必要がないことから関節どうしの干渉等を考慮する必要がなく、アーム設計の自由度が高い上、小型化しやすい。
【００３９】
請求項５記載の産業用ロボットによると、複数の旋回アームによって複数のワークを同時に搬送等することが可能となる。
【００４０】
また請求項６記載の産業用ロボットによると、例えばクリーン組立モジュール装置において使用される場合、ロボットを壁面取付することでダウンフローの流体抵抗を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す産業用ロボットの斜視図である。
【図２】クリーン組立モジュール装置に適用された産業用ロボットの正面図である。
【図３】クリーン組立モジュール装置の構成の概略を示す斜視図である。
【図４】二股形状とされた旋回アームの一例を示す部分斜視図である。
【図５】チャックが水平軸を中心に回転するように構成された旋回アームの一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態を示す産業用ロボットの斜視図である。
【図７】従来の産業用ロボットの一例を示す概略斜視図である。
【図８】従来の産業用ロボットの他の例を示す概略斜視図である。
【図９】従来の産業用ロボットの更に他の例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
４　パンチメタル（隔壁）
１３　産業用ロボット
１４　ワーク
１５　シャフト
１６　旋回アーム
１８　シャフトガイド部
２０　昇降モータ（上下昇降駆動装置）
４２　旋回モータ（旋回駆動装置）
４３　回転軸
４４　水平スライド機構
４５　上下昇降機構
４６　アーム旋回機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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