(57)【要約】【課題】複数回の測定を行う同位体分析装置および同位体分析方法において、分析精度の向上を図る。【解決手段】同位体分析装置１０では、真空容器１４の中央に共通イオン化装置１８が配置されている。共通イオン化装置１８の容器２０側面には２つの開口２１，２３が設けられており、各開口２１，２３に対応してイオンレンズ２６，２８、四重極フィルタ３２，３４などからなる測定ユニット２５，２７が配置されている。試料供給管１２から導入された呼気ガスはイオン化され、四重極フィルタ３２，３４に導かれる。四重極フィルタ３２，３４を通過したイオン化粒子はファラデーカップ４０，４２に衝突し、そのときに発生した電流が電流計４４，４６で計測される。各測定ユニット２５，２７による測定において、時間の経過による測定条件の差がなく、分析精度が向上する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルガスが導入され、そのサンプルガスをイオン化してイオン化粒子を生成する共通イオン化源と、
前記共通イオン化源からのイオン化粒子が導入され、設定された特定の質量数のイオン化粒子を選択的に抽出する多重極フィルタを用いて、特定の質量数のイオン化粒子を同時に定量測定する複数の測定ユニットと、
前記複数の測定ユニットを制御する制御部と、
を含み、
前記複数の測定ユニットが同時測定した場合に得られる複数の測定結果に基づいて、前記サンプルガスに含有される被測定ガスについての同位体比を求めることを特徴とする同位体比分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、
前記サンプルガスは呼気ガスであり、
前記被測定ガスはＣＯ２ガスであることを特徴とする同位体比分析装置。
【請求項３】
請求項２記載の装置において、
前記複数の測定結果に基づいて前記ＣＯ２ガスについて同位体比を演算する演算部を含むことを特徴とする同位体比分析装置。
【請求項４】
請求項３記載の装置において、
前記複数の測定ユニットは、
第１の測定において質量数４４のイオン化粒子を測定し、第２の測定において質量数４５のイオン化粒子を測定する第１測定ユニットと、
前記第１の測定において質量数４５のイオン化粒子を測定し、前記第２の測定において質量数４６のイオン化粒子を測定する第２測定ユニットと、
で構成され、
前記演算部は、前記第１の測定において得られた質量数４４及び質量数４５についての２つの測定結果と、前記第２の測定において得られた質量数４５及び質量数４６の測定結果と、に基づいて、１２Ｃ及び１３Ｃの同位体比を演算することを特徴とする同位体比分析装置。
【請求項５】
請求項３記載の装置において、
前記複数の測定ユニットは、
質量数４４のイオン化粒子を測定する第１測定ユニットと、
質量数４５のイオン化粒子を測定する第２測定ユニットと、
質量数４６のイオン化粒子を測定する第３測定ユニットと、
で構成され、
前記演算部は、前記質量数４４、質量数４５及び質量数４６の測定結果に基づいて、１２Ｃ及び１３Ｃの同位体比を演算することを特徴とする同位体比分析装置。
【請求項６】
サンプルガス中の被測定ガスについての同位体比を求める同位体分析方法であって、
共通イオン化源が前記サンプルガスをイオン化してイオン化粒子を生成するステップと、
特定の質量数のイオン化粒子を選択的に抽出する多重極フィルタを含んでなる複数の測定ユニットを用いて、前記共通イオン化源から導入されたイオン化粒子のうち、それぞれ設定された特定の質量数のイオン化粒子数を同時に測定するステップと、
を含む同位体分析方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同位体分析装置および方法、特に、特定の質量数の粒子（原子または分子）を選択的に通過させるという多重極フィルタを利用した分析装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、医療などの分野において、安定同位体の標識機能を利用した検査が行われている。その一つとして、胃の中のヘリコバクター・ピロリ（Ｈｅｌｉｃｏｂａｃｔｅｒ　ｐｙｌｏｒｉ、以下ピロリ菌という）の存在を検知する１３Ｃ尿素呼気分析が注目されている。ピロリ菌は、胃炎、胃潰瘍などの原因菌であると考えられている。このピロリ菌は、尿素分解酵素を有し、胃中の尿素からアンモニアを作り出して胃酸を中和している。ピロリ菌による尿素の分解時に二酸化炭素が発生し、胃の血管内に吸収されて肺に運ばれ、呼気とともに吐き出される。そこで、１３Ｃ尿素呼気分析では、１３Ｃにて標識された尿素を人体に経口投与し、呼気を採集し、呼気中の１３ＣＯ２、１２ＣＯ２の存在比を分析する。ピロリ菌が存在しない場合よりも１３ＣＯ２の比率が高いことをもって、ピロリ菌が存在すると判断される。
【０００３】
１３ＣＯ２、１２ＣＯ２の存在比を分析する装置として、設定された特定の質量数の粒子のみを通過させる四重極フィルタを用いた同位体分析装置がある。この四重極フィルタ型同位体分析装置では、磁場型同位体分析装置と比較して、操作が簡単で装置コストが低いという利点があるが、磁場型同位体分析装置のように複数のイオン化粒子（分子）を同時に測定できないなどの理由でピロリ菌診断装置としての１２ＣＯ２同位体比測定精度が足りない。
【０００４】
この四重極フィルタ型同位体分析装置は、イオン化装置、測定ユニット（イオンレンズ、四重極フィルタ、ファラデーカップを含む）などから構成される。試料供給管からイオン化装置にサンプルガスを導入し、イオン化装置内部にあるフィラメントで導入されたガスをイオン化する。そして、このイオン化された粒子をイオンレンズで四重極フィルタに導く。このとき、特定の質量数のイオン化粒子のみが四重極フィルタを通過し、四重極フィルタの出口に配置したファラデーカップに衝突する。そのときに発生した電流が電流計で測定される。
【０００５】
上記装置を用いた１３ＣＯ２、１２ＣＯ２同位体比の精密測定の一つの方法について説明する。四重極フィルタの設定を制御して変更することにより、質量数４４，４５，４６の陽イオンが順次、四重極フィルタを通過し、イオン化粒子の数が電流として測定される。質量数４４の測定では、四重極フィルタを通過する主なイオン化粒子は、１２Ｃ１６Ｏ２＋であり、質量数４５の設定では、１３Ｃ１６Ｏ２＋、および１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋　であり、また質量数４６の設定では１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋　である。
【０００６】
ここで、質量数４６のイオン化粒子の数を測定するのは、質量数４５の測定を行うときに、１３Ｃ１６Ｏ２　＋と同時に測定されてしまう１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋のイオン数を補正するためである。すなわち、質量数４６の測定では、測定される陽イオンはほぼ１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋のみであり、１７Ｏと１８Ｏの同位体自然存在比がそれぞれ０．０３８％、０．２％であることから、１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋と１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋の存在比１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ／１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏが０．０３８／０．２＝０．１８９６である関係を利用し、この１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋の粒子数から１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋の粒子数を計算し、補正している。
【０００７】
したがって、質量数４４，４５，４６の測定における各検出電流をＩ４４，Ｉ４５，Ｉ４６とすると、同位体存在比１３Ｃ１６Ｏ２／１２Ｃ１６Ｏ２は次式で求められる。
【数１】１３Ｃ１６Ｏ２／１２Ｃ１６Ｏ２　＝（Ｉ４５−０．１８９６×Ｉ４６）／Ｉ４４
【０００８】
この二酸化炭素の同位体存在比１３Ｃ１６Ｏ２／１２Ｃ１６Ｏ２が、炭素１３Ｃ／１２Ｃの同位体存在比であり、この数値からピロリ菌の存在が判断される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した質量数４４，４５，４６の３回の測定は、同じ測定ユニットを用いて行っているため、測定タイミングがずれている。このとき、時間の経過に伴い、イオン化装置におけるイオン化粒子の発生量は変動しており、また、真空槽内のガス圧力や電子回路中のノイズ等も常に変動している。よって、３回の測定がそれぞれ異なった条件下で行われているため、測定条件の変動により分析精度に悪化してしまうという問題がある。
【００１０】
ここでは、四重極フィルタを備えた分析装置を例に説明した。しかし、その他の多重極フィルタ（六重極、八重極など）を備えた分析装置を構成する場合においても同様の課題が存在する。
【００１１】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、複数回の測定を行う同位体分析において、分析精度の向上を図ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、サンプルガスが導入され、そのサンプルガスをイオン化してイオン化粒子を生成する共通イオン化源と、前記共通イオン化源からのイオン化粒子が導入され、設定された特定の質量数のイオン化粒子を選択的に抽出する多重極フィルタを用いて、特定の質量数のイオン化粒子を定量測定する複数の測定ユニットと、前記複数の測定ユニットを同時動作させる制御部と、を含み、前記複数の測定ユニットを同時動作させた場合に得られる複数の測定結果に基づいて、前記サンプルガスに含有される被測定ガスについての同位体比を求めるものである。
【００１３】
これにより、共通イオン化源から複数の測定ユニットにイオン化された被測定ガスが導かれ、同時に計測が行われるため、同じ状態のイオン化ガスを測定することができ、時間の経過にしたがい共通イオン化源がイオン化するイオン化粒子の数が変動を起因とする誤差をなくし、同位体比の分析精度を向上することができる。
【００１４】
上記装置の一例として、前記サンプルガスは呼気ガスであり、前記被測定ガスはＣＯ２ガスである。
【００１５】
また、前記複数の測定結果に基づいて前記ＣＯ２ガスについて同位体比を演算する演算部を含むことが好ましい。
【００１６】
また、前記複数の測定ユニットは、第１の測定において質量数４４のイオン化粒子を測定し、第２の測定において質量数４５のイオン化粒子を測定する第１測定ユニットと、前記第１の測定において質量数４５のイオン化粒子を測定し、前記第２の測定において質量数４６のイオン化粒子を測定する第２測定ユニットと、で構成され、前記演算部は、前記第１の測定において得られた質量数４４及び質量数４５についての２つの測定結果と、前記第２の測定において得られた質量数４５及び質量数４６の測定結果と、に基づいて、１２Ｃ及び１３Ｃの同位体比を演算することが好ましい。
【００１７】
また、前記複数の測定ユニットは、質量数４４のイオン化粒子を測定する第１測定ユニットと、質量数４５のイオン化粒子を測定する第２測定ユニットと、質量数４６のイオン化粒子を測定する第３測定ユニットと、で構成され、前記演算部は、前記質量数４４、質量数４５及び質量数４６の測定結果に基づいて、１２Ｃ及び１３Ｃの同位体比を演算することが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、サンプルガス中の被測定ガスについての同位体比を求める同位体分析方法であって、共通イオン化源が前記サンプルガスをイオン化してイオン化粒子を生成するステップと、特定の質量数のイオン化粒子を選択的に抽出する多重極フィルタを含んでなる複数の測定ユニットを用いて、前記共通イオン化源から導入されたイオン化粒子のうち、それぞれ設定された特定の質量数のイオン化粒子を同時に定量測定するステップと、を含む方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施の形態を説明する。
【００２０】
第一の実施形態について説明する。図１は、第一の実施形態に係る同位体分析装置の構成図である。第一の実施形態の同位体分析装置１０は、二酸化炭素の同位体存在比の分析用に構成されている。
【００２１】
本実施形態の同位体分析装置１０では、サンプルガスとして呼気ガスを装置外部から導入する試料供給管１２が、真空ポンプ１６により真空にひかれる真空容器１４内の中央に配置される共通イオン化装置１８に接続され、呼気ガスを共通イオン化装置１８内に導入可能となっている。共通イオン化装置１８は、容器２０と、容器２０内部に配置されるフィラメント２２と、このフィラメント２２に接続される電源２４とから構成され、導入された呼気ガスをイオン化する。特に、呼気ガスに含有される被測定ガスである炭酸ガスＣＯ２を炭酸ガスイオンＣＯ２＋にイオン化するイオン化源となっている。
【００２２】
共通イオン化装置１８の容器２０側面には２つの開口２１，２３が設けられており、この開口２１，２３がイオン化された粒子を取り出す取出口となっている。そして、各開口２１，２３に対応して、サンプルガス中の特定質量数のイオン化粒子を抽出し、その粒子数を測定するための測定ユニット２５，２７が設けられている。
【００２３】
左側の開口２１に対応して設けられた測定ユニット２５は、以下に説明する構成となっている。
【００２４】
２枚のリング状の円盤電極からなり、そのリングの中抜きの位置を開口２１と合わせて配置して形成されたイオンレンズ２６が、開口２１の横に設置される。このイオンレンズ２６には電源３０が接続されている。この電源３０は、＋極をイオンレンズ２６の内側、つまり開口２１方向の電極と接続し、また−極を外側にある他方の電極と接続する。これにより、２枚の円盤に電圧を印加し、円盤間に電界を発生させる。
【００２５】
イオンレンズ２６のさらに外側には、特定の質量数のイオン化粒子のみを選択的に通過させ抽出する四重極フィルタ３２が配置されている。この四重極フィルタ３２には制御部３６が接続されており、制御部３６は定常電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖｃｏｓωｔを足した電圧Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔを四重極フィルタ３２に印加している。制御部３６がこの電圧Ｕ，Ｖを変更することにより、所望の質量数のイオン化粒子が四重極フィルタ３２を通過するように設定される。なお、本実施形態では、四重極フィルタを用いているが、他の極数、例えば六重極や八重極などの多重極フィルタを用いてもよい。
【００２６】
四重極フィルタ３２のイオンレンズ２６と反対方向の端には、ファラデーカップ４０が配置されており、また、ファラデーカップ４０には電流計４４が接続されている。四重極フィルタ３２を通過したイオン化粒子がこのファラデーカップ４０に衝突すると電流が発生する。衝突するイオン化粒子が多いほど、電流が大きくなるため、この電流を電流計４４で測定することにより、ファラデーカップに衝突したイオン化粒子の数が定量的に測定される。
【００２７】
測定ユニット２５の構成は以上に説明したものであるが、右側の開口２３に対応して設けられた測定ユニット２７も同様な構成である。つまり、右側の測定ユニット２７は、イオンレンズ２８、四重極フィルタ３４、制御部３８、ファラデーカップ４２、電流計４６から構成される。なお、右側のイオンレンズ２８もイオンレンズ２６と同じ電源３０に接続されている。そして、２つの電流計４４，４６の出力は、演算処理を行う処理装置（パーソナルコンピュータ）４８に入力される。また、２つの測定ユニット２５，２７の各制御部３６，３８は処理装置４８に接続されており、処理装置３８からの入力により各四重極フィルタ３２，３４の電圧設定を変更可能となっている。
【００２８】
この上述した同位体分析装置１０では、次のような手順で計測を行い、炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ２と炭酸ガス１３Ｃ１６Ｏ２の存在比を演算することで、炭素１２Ｃと炭素１３Ｃの同位体存在比を求めている。この計測の手順を、図２に示すタイミングチャートを参照して説明する。図２の上段に示されるチャートは、測定ユニット２５による検出電流ＩＡの時間経過に伴う推移を表しており、下段に示されるチャートは、測定ユニット２７による検出電流ＩＢの時間経過に伴う推移を表している。
【００２９】
同位体分析装置１０を用いて、始めに第一の測定を行う。この第一の測定を行う際には、制御部３６により四重極フィルタ３２を質量数４４のイオン化粒子が通過するように設定されており、また、制御部３８により四重極フィルタ３４を質量数４５のイオン化粒子が通過するように設定されている。そして、共通イオン化装置１８でイオン化された粒子のうち、設定された質量数の粒子数をファラデーカップ４０，４２および電流計４４，４６で計測する。このとき、四重極フィルタ３２を通過するイオン化粒子は、ほぼ１２Ｃ１６Ｏ２＋のみとなる。したがって、電流計４４が出力する電流値ＩＡ（１）は、サンプルガス中の１２Ｃ１６Ｏ２＋の粒子数を表している。また、四重極フィルタ３４を通過するイオン化粒子は、ほぼ１３Ｃ１６Ｏ２＋および１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋であり、電流計４６が出力する電流値ＩＢ（１）は、これらの粒子数を表している。計測された２つの電流値は、処理装置４８に入力され、記憶される。
【００３０】
次に、制御部３６，３８がそれぞれ質量数４５，４６のイオン化粒子が四重極フィルタ３２，３４を通過するように設定を切り替えた後に、第二の測定を行う。この第二の測定においても第一の測定と同様に、四重極フィルタ３２，３４を設定された質量数の粒子のみを通過させ、ファラデーカップ４０，４２に衝突したイオン化粒子を電流計４４，４６で計測する。このとき、四重極フィルタ３２を通過するイオン化粒子は、ほぼ１３Ｃ１６Ｏ２＋および１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋である。したがって、電流計４４が出力する電流値ＩＡ（２）は、サンプルガス中の１３Ｃ１６Ｏ２＋および１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋の粒子数を表している。また、四重極フィルタ３４を通過するイオン化粒子は、ほぼ１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋であり、電流計４６が出力する電流値ＩＢ（２）は、この１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋の粒子数を表している。計測された２つの電流値は、処理装置４８に入力され、記憶される。
【００３１】
処理装置４８は、記憶された４つの電流値に基づき、次式に示される演算を行い、同位体存在比１３Ｃ／１２Ｃを求める。
【数２】１３Ｃ／１２Ｃ　＝　１３Ｃ１６Ｏ２／１２Ｃ１６Ｏ２
＝｛ＩＢ（１）−０．１８９６×α×ＩＢ（２）｝／ＩＡ（１）
【００３２】
なお、αは次式で表される係数であり、１回目の測定と２回目の測定の時間差による誤差を補正するための係数である。
【数３】
α＝ＩＡ（１）／ＩＡ（２）
【００３３】
なお、上記説明において、第一の測定を行ってから第二の測定を行う手順としているが、第二の測定を行ってから第一の測定を行ってもよい。手順を変えても、記憶した電流値に基づき、上式の演算を行えば同じ結果を得ることができる。
【００３４】
本実施形態では、共通イオン化装置１８から２つの測定ユニット２５，２７にイオン化された被測定ガスが導かれており、２つの測定ユニット２５，２７を用いて同時に測定が行われている。このとき、各測定ユニット２５，２７に導かれるイオン化粒子は同一の共通イオン化装置１８でイオン化されるため、イオン化粒子の密度がほぼ同じとなる。したがって、２つの測定ユニット２５，２７は同じ状態のイオン化ガスを測定することができ、時間経過に伴うイオン化粒子数の変動による誤差をなくすことができる効果がある。また、同時に計測するため、測定時の真空容器１４内の状態も同じであり、真空状態の変化による誤差も発生することがない。
【００３５】
なお、本実施形態では、容器２０の開口２１，２３の位置を互いに向き合った位置とし、その開口２１，２３に対応して測定ユニット２５，２７を直線的に配置しているが、測定ユニット２５，２７の配置はこれに限られるものではなく、設計に応じて決定すればよい。例えば、一方の測定ユニットに対して、他方の測定ユニットを９０°異なる方向に配置すれば装置全体の大きさ・形状を変えることができる。
【００３６】
次に、第二の実施形態について説明する。図３は、第二の実施形態に係る同位体分析装置の構成図である。図３（ａ）は同位体分析装置５０を上方から見た図であり、図３（ｂ）は同位体分析装置５０の斜視図である。
【００３７】
本実施形態の同位体分析装置５０では、第一の実施形態と同様に、呼気ガスを導入する試料供給管５２が、真空容器５４内の中央に配置される共通イオン化装置５８に接続されており、この共通イオン化装置５８は、円筒形状の容器６０と、容器６０内部に配置されるフィラメント６２と、このフィラメント６２に接続される電源（不図示）から構成される。そして、円筒形状の容器６０の側面には３つの円形の開口５９，６１，６３が設けられている。これらの開口５９，６１，６３は、装置５０上方から見て、１２０°毎の等角度間隔で設けられている。
【００３８】
共通イオン化装置５８の外側には、容器６０より径の大きな円筒形状の電極６７と、この電極６７よりさらに径が大きい電極６９が重ねて設けられており、これらがイオンレンズ６６となっている。イオンレンズ６６には電源７０が接続されている。イオンレンズ６６を構成する２枚の電極６７，６９の側面には、共通イオン化装置５８の容器６０側面の３つの開口５９，６１，６３に対応して、サンプルガス中の特定質量数のイオン化粒子の数を測定するための測定ユニットが設けられている。各測定ユニットの構成は、第一の実施形態と同じであり、四重極フィルタ７２，７４，７６と、ファラデーカップ７８，８０，８２と、電流計８４，８６，８８などから構成される。
【００３９】
この上述した同位体分析装置５０では、次のような手順で計測を行い、炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ２と炭酸ガス１３Ｃ１６Ｏ２の存在比を演算することで、炭素１２Ｃと炭素１３Ｃの同位体比を求めている。
【００４０】
まず、制御部３６が、３つの測定ユニットの一部である四重極フィルタ７２，７４，７６を、それぞれ質量数４４、４５、４６のイオン化粒子が通過するように設定する。そして、共通イオン化装置５８でイオン化された粒子のうち、設定された質量数の粒子のみを通過させ、その粒子数をファラデーカップ７８，８０，８２および電流計８４，８６，８８で測定する。
【００４１】
このとき、四重極フィルタ７２を通過するイオン化粒子は、ほぼ１２Ｃ１６Ｏ２＋のみとなる。したがって、電流計８４が出力する電流値ＩＡは、サンプルガス中の炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ２＋の粒子数を表している。また、四重極フィルタ７４を通過するイオン化粒子は、ほぼ炭酸ガス１３Ｃ１６Ｏ２＋および炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ１７Ｏ＋であり、電流計８６が出力する電流値ＩＢは、これらの粒子数を表している。また、四重極フィルタ７６を通過するイオン化粒子は、ほぼ炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ１８Ｏ＋であり、電流計８８が出力する電流値ＩＣは、この炭酸ガス１２Ｃ１６Ｏ１８＋の粒子数を表している。これらの計測された電流値ＩＡ，ＩＢ，ＩＣは、処理装置（不図示）に入力され、記憶される。
【００４２】
処理装置は、記憶された電流値に基づき、次式で示される演算を行い、同位体比１３Ｃ／１２Ｃを求める。
【数４】１３Ｃ／１２Ｃ　＝　１３Ｃ１６Ｏ２／１２Ｃ１６Ｏ２　＝｛ＩＢ−０．１８９６×ＩＣ）｝／ＩＡ
【００４３】
本実施形態においても、共通イオン化装置５８から３つの測定ユニットにイオン化された被測定ガスが導かれており、これらの測定ユニットを用いて同時に計測が行われている。このため、同じ状態のイオン化ガスを同時に測定することができ、時間経過に伴うイオン化粒子数の変動による誤差をなくすことができる効果がある。本実施形態の同位体分析装置５０では、第一の実施形態と比較しても、３つの測定を同時に行うため、さらに時間経過による誤差を低減することができる効果がある。
【００４４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されるものではなく、等価な範囲で様々な変形が可能である。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、共通イオン化装置から複数の測定ユニットにイオン化されたサンプルガスを導き、同時に測定を行うことにより、同じ状態のイオン化ガスを測定することができ、時間の経過により発生する誤差をなくすことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の実施形態に係る同位体分析装置を示す構成図である。
【図２】第一の実施形態に係る同位体分析装置を用いた測定におけるタイミングチャートである。
【図３】第二の実施形態に係る同位体分析装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１０　同位体分析装置、１２　試料供給管、１４　真空容器、１６　真空ポンプ、１８　共通イオン化装置、２０　容器、２２　フィラメント、２４，３０　電源、２５，２７　測定ユニット、２６，２８　イオンレンズ、３２，３４　四重極フィルタ、３６，３８　制御部、４０，４２　ファラデーカップ、４４，４６　電流計、４８　処理装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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