(57)【要約】【課題】複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供する。【解決手段】基板２と記録層３を備えたデータ記録ユニット５０を、回転可能なステージ２１上に固定し、データ記録ユニットの略中央部に、液状の放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップ５５を固定し、キャップ上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、ステージを回転させて、液状の放射線硬化性樹脂をデータ記録ユニットの表面上に展開し、データ記録ユニットの表面上に、光透過層４を形成する光記録ディスクの製造方法であって、光透過層の膜厚分布を測定し、光透過層の膜厚分布に応じて、キャップの温度Ｔを制御することを特徴とする光記録ディスクの製造方法。【選択図】      図１２
2004164801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、回転可能なステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成する光記録ディスクの製造方法であって、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする光記録ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記光透過層を形成した後、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御し、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、前記ステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、温度Ｔが制御された前記中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記光透過層を形成するたびに、前記光透過層の膜厚分布を測定し、所定枚数の前記光記録ディスクの前記光記録層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記光透過層を形成した後、必要に応じて、前記光透過層の膜厚分布を測定し、測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項５】
前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが変化するように、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項６】
前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが低くなるように制御することを特徴とする請求項５に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項７】
前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが高くなるように制御することを特徴とする請求項６に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項８】
前記データ記録ユニットが、その中央部にセンターホールを有し、前記中央固定部材が、前記センターホールを塞ぐキャップによって形成されたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項９】
中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、前記データ記録ユニットの前記センターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置と、前記スピンコーティング装置によって形成された前記光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御する設定温度制御手段を備えたことを特徴とする光記録ディスクの製造システム。
【請求項１０】
前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが変化するように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されたことを特徴とする請求項９に記載の光記録ディスクの製造システム。
【請求項１１】
前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが低くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されたことを特徴とする請求項１０に記載の光記録ディスクの製造システム。
【請求項１２】
前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが高くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されたことを特徴とする請求項１１に記載の光記録ディスクの製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録ディスクの製造方法および光記録ディスクの製造システムに関するものであり、さらに詳細には、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法および光記録ディスクの製造システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量のデジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録ディスクが広く用いられている。
【０００３】
これらの光記録ディスクは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのいわゆるＲＯＭ型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記は可能であるが、データの書き換えができないタイプのいわゆる追記型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプのいわゆる書き換え型光記録ディスクに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型光記録ディスクにおいては、製造段階で、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されるのが一般的であり、書き換え型光記録ディスクにおいては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。また、必要に応じ、記録層の上下に、誘電体層や反射層を設けて、全体として、記録層として、機能させることもある。
【０００５】
これに対して、追記型光記録ディスクにおいては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素などの有機色素が用いられ、その化学的変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００６】
近年、ＤＶＤよりも、さらに長時間にわたって、記録・再生が可能な光記録ディスクの開発が要望されており、記録密度の向上が図られている。
【０００７】
光記録ディスクにおいて、記録密度を高くするためには、光記録ディスクに照射されるレーザ光のビームスポット径を小さくすることが必要であり、レーザ光のビームスポット径は、レーザ光の波長λとレンズの開口数ＮＡとの比に比例するため、波長λの短いレーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが要求される。
【０００８】
そのため、記録密度が高い次世代の光記録ディスクにおいては、波長λの短い青色レーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、開口数ＮＡの大きいレンズを用いる場合には、焦点距離が短くなり、ＣＤやＤＶＤのように、光透過性基板を介して、レーザ光を記録層に照射することができないため、記録層上に、光透過層を形成し、光透過層を介して、レーザ光を記録層に照射することが必要になる。
【００１０】
一方、レンズの開口数ＮＡを大きくすると、光透過層の厚みムラに対する許容度が小さくなるため、光透過層を均一に設けることが要求される。
【００１１】
記録層上に、光透過層を形成する方法として、信号面に信号ピットが形成された光透過性基板上に形成された記録層上に、紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング法によって、塗布し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【００１２】
しかしながら、基板上に形成された記録層上に、紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング法によって、塗布する場合には、基板および記録層にはセンターホールが形成され、紫外線硬化性樹脂を、記録層の中心部に吐出することができないため、形成された塗布膜の膜厚が径方向に不均一になりやすく、光記録ディスク全面で、所望の光学特性を得ることができないという問題があった。
【００１３】
そこで、蓋部材を用いて、センターホールを塞ぎ、紫外線硬化性樹脂を、蓋部材の中心部に吐出して、スピンコーティング法により、紫外線硬化性樹脂を展開させて、塗布膜を形成する方法が提案されている。
【００１４】
しかしながら、このように、蓋部材を用い、紫外線硬化性樹脂を、蓋部材の中心部に吐出して、スピンコーティング法により、塗布膜を形成する場合にも、スピンコーティング中に生ずる紫外線硬化性樹脂の温度変化に起因して、紫外線硬化性樹脂の粘度が変化し、その結果、均一な膜厚を有する光透過層を形成することができないという問題があった。
【００１５】
そこで、特開平１１−８６３５９号公報は、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持し、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、記録層上に、光透過層を形成する方法を提案している。
【００１６】
【特許文献】
特開平１１−８６３５９号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持したとしても、記録層が形成された基板を、スピンコーティング装置に搬送する際に、基板の温度が変化し、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成する時点で、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂が、同一の温度でなくなることは現実には十分にあり得ることであるし、また、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、基板に形成された記録層上に、光透過層を形成するまでの間、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、同一の温度に保持することは、現実には、きわめて困難であり、したがって、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、あらかじめ同一の所定温度に保持しても、つねに、均一な膜厚を有する光透過層を形成することはできないという問題があった。
【００１７】
また、仮に、液状の紫外線硬化性樹脂を蓋部材上に吐出し、スピンコーティング法により、基板に形成された記録層上に塗布膜を形成し、塗布膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、基板に形成された記録層上に、光透過層を形成するまでの間、基板と、蓋部材と液状の紫外線硬化性樹脂を、完全に同一の温度に保持することが可能であるとしても、そのためには、複雑な設備を要し、複雑な操作が必要になり、コストアップの原因になるという問題があった。
【００１８】
したがって、本発明は、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１９】
本発明の別の目的は、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造システムを提供するにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面上に形成された光透過層の膜厚を測定し、測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、データ記録ユニットの略中央部に固定され、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを、所定の温度ΔＴだけ、上昇させ、あるいは、低下させることによって、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になることを見出した。
【００２１】
何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニットによって冷却され、その粘度が増大するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大し、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であっても、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されるときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、その粘度が増大するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大する。
【００２２】
これに対して、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニットによって加温され、その粘度が減少するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少し、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であっても、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されるときは、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、その粘度が減少するため、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少する。
【００２３】
このような光透過層の膜厚の変化は、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂の温度が変化することに起因するものであるから、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開される液状の放射線硬化性樹脂の温度が一定になるように制御することができれば、光透過層の膜厚分布を均一化することが可能になる。
【００２４】
そこで、本発明者は、液状の放射線硬化性樹脂の温度変化が同じであれば、原因の如何にかかわらず、光透過層の膜厚分布のパターンが同一になることに着目し、鋭意研究を重ねた結果、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを変化させることによって、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開される液状の放射線硬化性樹脂の温度を一定に制御することができ、光透過層の膜厚分布を均一化することが可能になることを見出したものである。
【００２５】
すなわち、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度および光透過層の膜厚分布のパターンごとに、変化させるべき中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを、あらかじめ求めておき、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になることが見出された。
【００２６】
同様に、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気による加温効果と、データ記録ユニットによる冷却効果とが相殺されて、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になることが見出された。
【００２７】
したがって、本発明の前記目的は、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、回転可能なステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成する光記録ディスクの製造方法であって、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御することを特徴とする光記録ディスクの製造方法によって達成される。
【００２８】
本発明によれば、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００２９】
さらに、本発明によれば、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の温度ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００３０】
本発明の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成した後、前記光透過層の膜厚分布を測定し、前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御し、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、前記ステージ上に固定し、前記データ記録ユニットの略中央部に、温度Ｔが制御された前記中央固定部材を固定し、前記中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、前記ステージを回転させて、前記液状の放射線硬化性樹脂を、前記データ記録ユニットの表面上に展開し、前記データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成するように構成されている。
【００３１】
本発明の好ましい実施態様によれば、光透過層を形成した後、光透過層の膜厚分布を測定し、光透過層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御し、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットを、ステージ上に固定し、データ記録ユニットの略中央部に、温度Ｔが制御された中央固定部材を固定し、中央固定部材上に、放射線硬化性樹脂を吐出し、ステージを回転させて、液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの表面上に展開し、データ記録ユニットの表面上に、光透過層を形成するように構成されているから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを確実に解消して、均一な膜厚の光透過層を確実に形成することが可能になる。
【００３２】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成するたびに、前記光透過層の膜厚分布を測定し、所定枚数の前記光記録ディスクの前記光記録層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３３】
本発明の別の好ましい実施態様によれば、光透過層を形成するたびに、光透過層の膜厚分布を測定し、所定枚数の光記録ディスクの光記録層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、突発的な事情で、光透過層の膜厚が不均一になり、中央固定部材の温度Ｔを制御する必要がないにもかかわらず、中央固定部材の温度Ｔを制御し、その後に、形成される光記録ディスクの光透過層の膜厚が不均一になることを効果的に防止することが可能になる。
【００３４】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記光透過層を形成した後、必要に応じて、前記光透過層の膜厚分布を測定し、測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３５】
本発明の別の好ましい実施態様において、必要に応じて、光透過層の膜厚分布を測定し、測定された光透過層の膜厚分布に応じて、中央固定部材の温度Ｔを制御するとは、光透過層の膜厚分布を測定した結果、光透過層の膜厚分布が均一でないときに、そのたびごとに、中央固定部材の温度Ｔを制御する場合と、連続して製造されるＮ枚（Ｎは正の整数）の光記録ディスクのうち、（Ｎ−Ｍ）枚（ＭはＮ以下の正の整数）の光記録ディスクにつき、光透過層の膜厚分布を測定し、光透過層の膜厚分布が均一でないときに、（Ｎ−Ｍ）枚の光記録ディスクに形成された光透過層の膜厚分布の平均パターンにしたがって、Ｎ枚の光記録ディスクごとに、中央固定部材の温度Ｔを制御する場合とを包含するものである。
【００３６】
本発明の別の好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚分布の測定に要する時間が、光透過層の形成に要する時間よりも長い場合にも、中央固定部材の温度Ｔを制御して、光記録ディスクに形成される光透過層の膜厚が不均一になることを効果的に防止することが可能になる。
【００３７】
本発明の好ましい実施態様においては、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが変化するように、前記中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されている。
【００３８】
本発明の好ましい実施態様によれば、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが変化するように、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００３９】
さらに、本発明の好ましい実施態様によれば、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが変化するように、中央固定部材の温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが低くなるように制御するように構成されている。
【００４１】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが低くなるように制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも低いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを低下させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、前記中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記中央固定部材の温度Ｔが高くなるように制御するように構成されている。
【００４３】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、中央固定部材の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定された温度Ｔの変化分ΔＴだけ、中央固定部材の温度Ｔが高くなるように制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下し、データ記録ユニットの温度が、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度よりも高いことに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、光透過層の膜厚が、あるパターンにしたがって、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少している場合には、単に、その光透過層の膜厚分布のパターンに対応する所定の変化分ΔＴだけ、液状の放射線硬化性樹脂が吐出される中央固定部材の温度Ｔを上昇させることによって、中央固定部材上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４４】
本発明の好ましい実施態様においては、前記データ記録ユニットが、その中央部にセンターホールを有し、前記中央固定部材が、前記センターホールを塞ぐキャップによって形成されている。
【００４５】
本発明の好ましい実施態様によれば、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を、単に、光透過層の膜厚分布のパターンに応じて、制御することによって、光透過層の膜厚のむらを解消することができ、したがって、複雑な設備と特殊な部材を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚の光透過層を形成することが可能になる。
【００４６】
本発明の前記目的はまた、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、前記データ記録ユニットの前記センターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、前記スピンコーティング装置によって形成された前記光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布に応じて、前記キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えたことを特徴とする光記録ディスクの製造システムによって達成される。
【００４７】
本発明によれば、光記録ディスクの製造システムは、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、データ記録ユニットのセンターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、スピンコーティング装置によって形成された光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布に応じて、キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４８】
また、本発明によれば、光記録ディスクの製造システムは、中央部に、センターホールが形成され、基板と記録層を備えたデータ記録ユニットの表面に、スピンコーティングによって、液状の放射線硬化性樹脂を塗布して、光透過層を形成するスピンコーティング装置と、データ記録ユニットのセンターホールを塞ぎ、その上に放射線硬化性樹脂が吐出されるキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置と、スピンコーティング装置によって形成された光透過層の膜厚を測定する膜厚測定装置と、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布に応じて、キャップ温度制御装置の設定温度を制御する設定温度制御手段を備えているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００４９】
本発明の好ましい実施態様においては、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが変化するように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５０】
本発明の好ましい実施態様によれば、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが変化するように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段によって、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５１】
さらに、本発明の好ましい実施態様によれば、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データを記憶し、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが変化するように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが低くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５３】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが低くなるように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が上昇したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、増大しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、低い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも低い温度に冷却して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって加温されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５４】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚が、前記データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、前記設定温度制御手段が、前記放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、前記光透過層の膜厚分布のパターンと、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す前記基準データに基づき、前記膜厚測定装置によって測定された前記光透過層の膜厚分布にしたがって、前記キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、前記キャップの温度Ｔが高くなるように、前記キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されている。
【００５５】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、設定温度制御手段が、放射線硬化性樹脂の基準温度における粘度と、光透過層の膜厚分布のパターンと、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示す基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布にしたがって、キャップの温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、決定した温度Ｔの変化分ΔＴだけ、キャップの温度Ｔが高くなるように、キャップ温度制御装置の設定温度Ｔを制御するように構成されているから、何らかの原因で、データ記録ユニットの温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット上を展開されるべき放射線硬化性樹脂の温度が低下したことに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度Ｔに保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂の温度を、データ記録ユニットの温度と同一になるように制御することができ、したがって、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になり、一方、データ記録ユニットの温度と、データ記録ユニット上を展開されるべき液状の放射線硬化性樹脂の温度が同一であるにもかかわらず、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されることに起因して、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚が、データ記録ユニットの周縁部に向かって、減少しているときは、基準データに基づき、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンにしたがって、設定温度制御手段により、単に、スピンコーティングによって形成された光透過層の膜厚が不均一になることを防止するために用いられるセンターホールを塞ぐキャップの温度を設定温度に保持するキャップ温度制御装置の設定温度Ｔを、膜厚測定装置によって測定された光透過層の膜厚分布のパターンに対応する変化分ΔＴだけ、高い温度に設定することによって、キャップ上に吐出された液状の放射線硬化性樹脂を、データ記録ユニットの温度よりも高い温度に加温して、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、液状の放射線硬化性樹脂がデータ記録ユニットによって冷却されるように、液状の放射線硬化性樹脂の温度を制御することができ、したがって、液状の放射線硬化性樹脂が、データ記録ユニットの表面上に展開されるにしたがって、その粘度が変化することを効果的に防止することが可能になるから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、光透過層の膜厚のむらを解消して、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することが可能になる。
【００５６】
本発明において、放射線硬化性樹脂としては、紫外線硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂などが好ましく使用される。
【００５７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００５８】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１の略斜視図であり、図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【００５９】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１は、ポリカーボネートなどによって形成された基板２と、基板２の光が入射すべき側の表面に、スパッタリングなどによって形成された記録層３と、記録層３上に形成された光透過層４を備えている。
【００６０】
図２に示されるように、基板２の光が入射すべき側の表面には、基板２を射出成形によって形成する際に、スタンパによって、グルーブ５が形成されている。
【００６１】
光透過層４は、基板２に形成された記録層３上に、スピンコーティングによって、液状の紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、形成されている。
【００６２】
図１に示されるように、光記録ディスク１の中央部には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのセンターホール６が形成され、センターホール６の外側には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのクランプ領域７が形成されており、クランプ領域７には、記録層３および光透過層４が形成されてはいない。
【００６３】
図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムのブロックダイアグラムである。
【００６４】
図３に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造システム１０は、ポリカーボネートなどによって形成された基板２と、基板２の表面に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニット上に、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、光透過層４を形成するスピンコーティング装置１１と、スピンコーティング時に、データ記録ユニットのセンターホール６を塞ぐキャップ（図示せず）の温度を制御するキャップ温度制御装置１２と、レーザフォーカス変位計を備え、スピンコーティング装置１１によって形成された光透過層４の膜厚を測定する膜厚測定装置１３と、光記録ディスクの製造システム全体の動作を制御するコントロールユニット１４を備えている。
【００６５】
本実施態様においては、スピンコーティング装置１１、キャップ温度制御装置１２および膜厚測定装置１３は、基板２の射出成形装置（図示せず）および紫外線硬化性樹脂を収容する塗布液タンク（図示せず）とともに、温度が制御された１つの部屋内に、収容されている。
【００６６】
図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムを構成するスピンコーティング装置１１の略斜視図であり、図５は、図４に示されたスピンコーティング装置１１の略断面図である。
【００６７】
図４および図５に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスク１の製造システムを構成するスピンコーティング装置１１は、径が光記録ディスク１の径とほぼ等しいステージ２１と、ステージ２１の中央部に設けられた第１の突出部２２と、第１の突出部２２の中央部に設けられた第２の突出部２３とを備えている。
【００６８】
ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３は、ステージ回転機構（図示せず）によって、一体的に回転するように構成されている。
【００６９】
図４および図５に示されるように、第１の突出部２２は、基板２と記録層３を備えたデータ記録ユニットのクランプ領域７に相当する領域が載置される部分であり、その表面には、複数の第１の吸気口２４が形成されている。複数の第１の吸気口２４には、第１の吸気機構（図示せず）が接続され、第１の吸気機構を作動することによって、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニットが、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定されるように構成されている。
【００７０】
第２の突出部２３は、径が製造されるべき光記録ディスク１のセンターホール６の径に対応しており、第１の突出部２２にデータ記録ユニットを載置したときに、データ記録ユニットのセンターホール６に、第２の突出部２３が挿入されるように構成されている。
【００７１】
図４および図５に示されるように、第２の突出部２３の中央部には、第２の吸気口２５が形成され、第２の吸気口２５には、第２の吸気機構（図示せず）が接続されている。
【００７２】
図４および図５には図示されていないが、スピンコーティング装置１１は、さらに、先端に、柔軟性を有する吸引パッドを備え、データ記録ユニットのクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットし、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１のクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１１から、膜厚測定装置１３に搬送する第１のアームと、キャップを保持して、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置に載置するとともに、キャップを、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１から取り去る第２のアームと、紫外線硬化性樹脂を、キャップ上に吐出する吐出ノズルを備えている。
【００７３】
図６は、スピンコーティング装置１１の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【００７４】
図６に示されるように、スピンコーティング装置１１の制御系は、スピンコーティング装置１１全体の動作を制御するコントローラ３０を備えている。
【００７５】
また、スピンコーティング装置１１の駆動系は、ステージ２１を回転させるステージ回転機構３１と、第１の吸気機構３２と、第２の吸気機構３３と、データ記録ユニットを吸引して、搬送する第１のアーム３４を移動させる第１のアーム移動手段３５と、キャップを把持して、搬送する第２のアーム３６を移動させる第２のアーム移動手段３７と、吐出ノズル３８を、キャップ上に紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２１から退避した退避位置との間で、移動させるとともに、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出するノズル駆動手段３９と、紫外線ランプ４０を備えている。
【００７６】
以上のように構成されたスピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１を製造するにあたっては、まず、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に、第１の駆動信号が出力され、基板２と、スパッタリングなどによって、基板２上に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニットが、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）に吸引されて、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットされる。
【００７７】
データ記録ユニットは、第１のアーム３４によって、そのクランプ領域７が吸引されて、搬送され、記録層３が上方に位置し、センターホール６に、第２の突出部２３が嵌合するように、スピンコーティング装置１１のステージ２１上にセットされる。
【００７８】
データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされると、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に退避信号が出力されて、第１のアーム３４が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントローラ３０から、第１の吸気機構３２に作動信号が出力されて、第１の吸気機構３２が作動され、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニット５０が、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定される。
【００７９】
図７は、データ記録ユニット５０が、スピンコーティング装置１１のステージ２１上に固定された状態を示す略断面図である。
【００８０】
次いで、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、第１の駆動信号が出力されて、キャップ温度制御装置１２によって、所定の温度に制御されたキャップが、第２のアーム３６によって、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置に載置される。
【００８１】
図８は、キャップの略斜視図であり、図９は、図８に示されたキャップの略中央断面図である。
【００８２】
図８および図９に示されるように、本実施態様において用いられるキャップ５５は、平面形状が略円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００８３】
図８および図９に示されるように、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂をデータ記録ユニット５０の表面上に塗布するときに、紫外線硬化性樹脂が、毛管現象によって、キャップ５５の傘部５６の底面と基板２の間に入り込むことを防止するため、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００８４】
キャップ５５は、金属によって形成されている。
【００８５】
傘部５６の径は、製造すべき光記録ディスク１のセンターホール６の径よりも大きく、かつ、製造すべき光記録ディスク１のクランプ領域７の外径以下に設定される。
【００８６】
また、キャップ５５の突起部５８は、その径は、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５の内径よりもわずかに小さくなるように形成されている。
【００８７】
キャップ５５は、第２のアーム３６によって、支持軸５７が把持されて、搬送されるように構成され、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上に載置されたときに、突起部５８が、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５に嵌合し、所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００８８】
図１０は、キャップ５５が、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【００８９】
キャップ５５が、データ記録ユニット５０上にセットされると、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、退避信号が出力されて、第２のアーム３６が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントローラ３０から、第２の吸気機構３３に作動信号が出力されて、第２の吸気機構３３が作動され、スピンコーティング装置１１の第２の吸気口２５に嵌合しているキャップ５５の突起部５８が吸引され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定される。
【００９０】
第２の吸気機構３３が作動され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定されると、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に、第１の駆動信号が出力されて、ステージ回転機構３１が作動され、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３が、一体となって、低速で回転される。その結果、ステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５も、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３とともに、一体的に低速で回転される。
【００９１】
次いで、コントローラ３０から、ノズル駆動手段３９に第１の駆動信号が出力され、吐出ノズル３８が、データ記録ユニット５０上に固定されたキャップ５５上に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置に移動され、さらに、コントローラ３０から、ノズル駆動手段３９に吐出信号が出力されて、図１１に示されるように、吐出ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、支持軸５７の近傍の傘部５６の頂面に吐出される。
【００９２】
液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の支持軸５７の近傍の傘部５６の頂面に吐出されると、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に、第２の駆動信号が出力されて、ステージ回転機構３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ３５が、一体として、高速で回転される。
【００９３】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、回転によって生じた遠心力によって、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、図１２に示されるように、所定の厚さ、たとえば、１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００９４】
データ記録ユニット５０の記録層３上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力される。
【００９５】
その結果、紫外線ランプ４０がオンされて、図１３に示されるように、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射され、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が硬化される。
【００９６】
こうして、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、ある程度、硬化されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、コントローラ３０から、ステージ回転機構３１に駆動停止信号が出力されて、ステージ回転機構３１の作動が停止され、さらに、コントローラ３０から、第２の吸気機構３３に作動停止信号が出力されて、第２の吸気機構３３の作動が停止される。
【００９７】
次いで、コントローラ３０から、第２のアーム移動手段３７に、第２の駆動信号が出力され、第２のアーム３６により、キャップ５５の支持軸５７が把持されて、キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られる。
【００９８】
キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られると、コントローラ３０から、再び、紫外線ランプ４０に駆動信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオンされ、紫外線４１が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００９９】
データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が完全に硬化され、光透過層４が形成されて、光記録ディスク１が生成されると、コントローラ３０から、紫外線ランプ４０に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４０がオフされるとともに、第１の吸気機構３２に駆動停止信号が出力されて、第１の吸気機構３２の作動が停止される。
【０１００】
次いで、コントローラ３０から、第１のアーム移動手段３５に、第２の駆動信号が出力されて、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）によって、光記録ディスク１のクランプ領域７が吸引され、第１のアーム３４により、光記録ディスク１が、スピンコーティング装置１１から、膜厚測定装置１３に移送され、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が測定される。
【０１０１】
図１４は、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とが、完全に同一の温度に保持された場合の光透過層４の膜厚分布を示す略断面図である。
【０１０２】
図１４に示されるように、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とが、完全に同一の温度に保持された場合においては、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布は均一である。
【０１０３】
しかしながら、基板２と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度とが、あらかじめ同一になるように制御する場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持することは、現実には、きわめて困難であり、データ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一でないことに起因して、または、データ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開される際に、液状の紫外線硬化性樹脂６０が外気によって、冷却もしくは加温されることに起因して、したがって、スピンコーティング装置１１により、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が不均一になるということが、しばしば生じる。
【０１０４】
図１５は、スピンコーティング装置１１によって、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い場合、あるいは、データ記録ユニット５０上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度とデータ記録ユニット５０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、外気により、冷却された場合の光透過層４の膜厚分布を示す略断面図である。
【０１０５】
スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が上昇し、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い場合には、キャップ５５の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、冷却され、その温度が低下する。
【０１０６】
その結果、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、増大する。
【０１０７】
また、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度と、データ記録ユニット５０の温度が同一に保持されている場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０上を展開されるときに、外気によって、冷却される場合には、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が高くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、増大する。
【０１０８】
これに対して、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が低下し、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が、データ記録ユニット５０の温度よりも低い場合には、キャップ５５の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、加温され、その温度が上昇する。
【０１０９】
したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が低くなり、その結果、図１６に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、減少する。
【０１１０】
また、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上を、液状の紫外線硬化性樹脂６０が展開されるときに、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度と、データ記録ユニット５０の温度が同一に保持されている場合にも、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０上を展開されるときに、外気によって、加温される場合には、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開されるにしたがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が低くなり、図１５に示されるように、光透過層４の膜厚は、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、減少する。
【０１１１】
本発明者の研究によれば、光透過層４の膜厚分布が均一でない場合、基準温度、たとえば、２５℃における紫外線硬化性樹脂６０の粘度が同じであれば、その原因の如何にかかわらず、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ５５の温度Ｔを、所定の変化分ΔＴだけ、変化させることによって、データ記録ユニット５０を展開される紫外線硬化性樹脂６０の温度を一定に制御して、均一な膜厚分布を有する光透過層４を形成することが可能になることが見出されており、そこで、本実施態様にかかる光記録ディスク１の製造システム１０は、スピンコーティング装置１１によって、形成された光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって、測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンに基づいて、コントロールユニット１４が、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の温度Ｔを低下あるいは上昇させ、キャップ５５によって、その頂面に吐出される液状の紫外線硬化性樹脂６０を冷却し、あるいは、加温して、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開させることによって、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０上を展開される間、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が一定に保持されるように制御し、均一な膜厚分布を有する光透過層４を光記録ディスク１に形成するように構成されている。
【０１１２】
すなわち、スピンコーティング装置１１によって、光透過層４が形成された光記録ディスク１は、第１のアーム３４によって、膜厚測定装置１３に移送され、レーザフォーカス変位計（図示せず）によって、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布が測定される。
【０１１３】
膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布は、コントロールユニット１４に出力される。
【０１１４】
本実施態様においては、あらかじめ、紫外線硬化性樹脂６０の基準温度における粘度、光透過層４の膜厚分布のパターンおよび変化させるべきキャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係が実験的に決定されて、テーブルや関係式などの形で、コントロールユニット１４のＲＡＭ（図示せず）に記憶されている。
【０１１５】
そこで、コントロールユニット１４は、膜厚測定装置１３から入力された光透過層４の膜厚分布のパターンに基づき、ＲＡＭにアクセスし、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づいて、キャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴを決定し、キャップ温度設定信号を、キャップ温度制御装置１２に出力する。
【０１１６】
図１５に示されるように、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、増大しているときは、コントロールユニット１４は、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づき、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、決定された温度の変化分ΔＴだけ、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の設定温度を低くする。
【０１１７】
その結果、キャップ５５の設定温度が、データ記録ユニット５０の温度よりもΔＴだけ、低い温度に調整され、吐出ノズル３８から、キャップ５５の頂部の支持軸５７の近傍に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５によって、冷却された後、データ記録ユニット５０上に展開される。
【０１１８】
したがって、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が低下し、あるいは、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき紫外線硬化性樹脂６０の温度が上昇して、データ記録ユニット５０の温度が、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度よりも低く、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって冷却されて、その粘度が増大し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、増大しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が冷却され、データ記録ユニット５０上に展開されるときに、データ記録ユニット５０と同じ温度になるように、その温度が制御される。
【０１１９】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が増大することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２０】
一方、データ記録ユニット５０の温度と、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上に展開されるにしたがって、外気によって、冷却されて、その粘度が増大し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、増大しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の温度よりも低い温度に、冷却され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、加温されるから、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度は、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されても、一定に保持される。
【０１２１】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が増大することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２２】
これに対して、図１６に示されるように、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、減少しているときは、コントロールユニット１４は、ＲＡＭに記憶されているテーブルや関係式などに基づき、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、決定された温度の変化分ΔＴだけ、キャップ温度制御装置１２によって制御されるキャップ５５の設定温度を高くする。
【０１２３】
その結果、キャップ５５の設定温度が、データ記録ユニット５０の温度よりもΔＴだけ、高い温度に調整され、吐出ノズル３８から、キャップ５５の頂部の支持軸５７の近傍に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、キャップ５５によって、加温された後、データ記録ユニット５０上に展開される。
【０１２４】
したがって、何らかの原因で、データ記録ユニット５０の温度が上昇し、あるいは、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき紫外線硬化性樹脂６０の温度が低下して、データ記録ユニット５０の温度が、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度よりも高く、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上を、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって加温されて、その粘度が減少し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、減少しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が加温されて、データ記録ユニット５０上に展開されるときに、データ記録ユニット５０と同じ温度になるように、その温度が制御される。
【０１２５】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が減少することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２６】
一方、データ記録ユニット５０の温度と、データ記録ユニット５０上を展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂６０の温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の表面上に展開されるにしたがって、外気によって、加温されて、その粘度が減少し、光透過層４の膜厚が、データ記録ユニット５０の周縁部に向かって、減少しているときは、キャップ５５により、キャップ５５上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の温度よりも高い温度に、加温され、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されるにしたがって、データ記録ユニット５０によって、冷却されるから、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度は、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、データ記録ユニット５０の周縁部に向けて、データ記録ユニット５０の表面上を展開されても、一定に保持される。
【０１２７】
その結果、データ記録ユニット５０の周縁部、したがって、光記録ディスク１の周縁部に向けて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜の膜厚が減少することが防止され、均一な膜厚の光透過層４を形成することが可能になる。
【０１２８】
一方、膜厚測定装置１３によって、光記録ディスク１に形成された光記録層４の膜厚分布を測定した結果、光記録層４の膜厚の平均値が、所定値、たとえば、１００μｍよりも小さい場合、あるいは、大きい場合には、ステージ２１の回転数や、紫外線硬化性樹脂６０を展開させるために、ステージ２１を回転させる時間あるいは紫外線硬化性樹脂６０の吐出量などを制御して、光記録層４の膜厚の膜厚を調整することができる。
【０１２９】
本実施態様によれば、膜厚測定装置１３によって、光記録ディスク１に形成された光記録層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、あらかじめ実験的に決定され、ＲＡＭに記憶されている紫外線硬化性樹脂６０の基準温度における粘度、光透過層４の膜厚分布のパターンおよび変化させるべきキャップ５５の温度Ｔの変化分ΔＴとの関係を示すテーブルや関係式などにしたがって、単に、キャップ５５の温度Ｔを、ΔＴだけ、上昇させ、あるいは、低下させるだけで、光記録ディスク１に、均一な膜厚分布を有する光透過層４を形成することができ、したがって、液状の紫外線硬化性樹脂６０をキャップ５５の頂面に吐出し、スピンコーティング装置１１により、データ記録ユニット５０上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させ、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持するために、特別の設備を設ける必要がなく、さらに、光透過層４を形成するまでの間、データ記録ユニット５０と、キャップ５５と、液状の紫外線硬化性樹脂６０とを、完全に同一の温度に保持するために、厳密な温度管理操作をする必要がないから、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚を有する光透過層を、光記録ディスク１に形成することが可能になる。
【０１３０】
本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１３１】
たとえば、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成されているが、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御することは必ずしも必要でなく、スピンコーティング装置１１によって連続して製造される所定枚数の光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、所定枚数の光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布の平均パターンにしたがって、所定枚数の光記録ディスク１ごとに、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできるし、必要に応じて、膜厚測定装置１３により、光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布を測定して、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、そのたびごとに、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整し、キャップ５５の温度Ｔを制御することもでき、さらには、スピンコーティング装置１１によって連続して製造されるＮ枚（Ｎは正の整数）の光記録ディスク１のうち、（Ｎ−Ｍ）枚（ＭはＮ以下の正の整数）の光記録ディスク１につき、光透過層４の膜厚分布を測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、（Ｎ−Ｍ）枚の光記録ディスク１に形成された光透過層４の膜厚分布の平均パターンにしたがって、Ｎ枚の光記録ディスク１ごとに、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできる。
【０１３２】
さらに、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１によって、光記録ディスク１が製造されるたびに、光記録ディスク１の光透過層４の膜厚分布を、膜厚測定装置１３によって測定し、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚分布が均一でないときは、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成されているが、形成されるべき光透過層４の膜厚と、膜厚測定装置１３によって測定された光透過層４の膜厚の最大値あるいは最小値との差の絶対値がしきい値を越えた場合にだけ、光透過層４の膜厚分布のパターンにしたがって、キャップ温度制御装置１２の設定温度を調整して、キャップ５５の温度Ｔを制御するように構成することもできる。
【０１３３】
また、前記実施態様においては、平面形状が略円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えたキャップ５５が用いられているが、キャップ５５の傘部５６の側面の投影形状が略台形であることは必ずしも必要でなく、側面の投影形状が図１７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示されるような形状をなした傘部５６を備えたキャップ５５を用いることもできる。
【０１３４】
さらに、前記実施態様においては、データ記録ユニット５０のセンターホール６を塞ぐキャップ５５の温度を制御することによって、光透過層４の膜厚分布が均一になるように制御しているが、本発明は、センターホール６が形成されていないデータ記録ユニット５０に、光透過層４を形成する場合にも適用することができ、そのような場合には、センターホール６を塞ぐキャップ５５に代えて、データ記録ユニット５０の中央部近傍に、マグネットなどを用いて、液状の紫外線硬化性樹脂６０が吐出される部材を固定し、液状の紫外線硬化性樹脂６０が吐出される部材の温度を制御して、その上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０を冷却または加温し、データ記録ユニット５０上に展開することによって、均一な光透過層４を形成することようにすればよい。
【０１３５】
また、前記実施態様においては、スピンコーティング装置１１の回転可能なステージ２１上に、データ記録ユニット５０が保持された状態で、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に、紫外線４１が照射されているが、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成された後、データ記録ユニット５０を、スピンコーティング装置１１の回転可能なステージ２１から、別のステージ上に移送し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に、紫外線４１を照射して、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を硬化させるようにしてもよい。
【０１３６】
さらに、前記実施態様においては、光記録ディスク１は、基板２と、基板２上に形成された記録層３と、記録層３上に形成された光透過層４を備えているが、基板２と記録層３の間に、反射層が形成されていてもよく、また、光透過層４上に、ハードコート層が形成されていてもよい。
【０１３７】
また、前記実施態様においては、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成しているが、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成することは必ずしも必要でなく、紫外線硬化性樹脂に代えて、電子線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することもできる。
【０１３８】
【発明の効果】
本発明によれば、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することが可能になる。
【０１３９】
また、本発明によれば、複雑な設備を要することなく、簡易な操作で、均一な膜厚分布を有する光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造システムを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムのブロックダイアグラムである。
【図４】図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造システムを構成するスピンコーティング装置の略斜視図である。
【図５】図５は、図４に示されたスピンコーティング装置の略断面図である。
【図６】図６は、スピンコーティング装置の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【図７】図７は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置のステージ上に固定された状態を示す略断面図である。
【図８】図８は、キャップの略斜視図である。
【図９】図９は、図８に示されたキャップの略中央断面図である。
【図１０】図１０は、キャップが、ステージ上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、紫外線硬化性樹脂が、吐出ノズルから、キャップの傘部の頂面に吐出された状態を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、所定の膜厚を有する紫外線硬化性樹脂の薄膜が、データ記録ユニットの記録層上に形成された状態を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、データ記録ユニットの記録層上に形成された紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線が照射されている状態を示す略断面図である。
【図１４】図１４は、液状の紫外線硬化性樹脂をキャップの頂面に吐出し、スピンコーティング装置により、データ記録ユニット上に、紫外線硬化性樹脂の薄膜を形成し、紫外線硬化性樹脂の薄膜に紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させ、光透過層を形成するまでの間、データ記録ユニットと、キャップと、液状の紫外線硬化性樹脂が、完全に同一の温度に保持された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１５】図１５は、スピンコーティング装置によって、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度よりも高い場合、あるいは、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度とデータ記録ユニットの温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂が展開されるときに、外気により、冷却された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１６】図１６は、スピンコーティング装置によって、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度が、データ記録ユニットの温度よりも低い場合、あるいは、データ記録ユニット上を、データ記録ユニットの周縁部に向けて、展開されるべき液状の紫外線硬化性樹脂の温度とデータ記録ユニットの温度が同一であるにもかかわらず、液状の紫外線硬化性樹脂が展開されるときに、外気により、加温された場合の光透過層の膜厚分布を示す略断面図である。
【図１７】図１７は、キャップの他の例を示すキャップの側面の略投影図である。
【符号の説明】
１  光記録ディスク
２  基板
３  記録層
４  光透過層
５  プリグルーブ
６  センターホール
７  クランプ領域
１０  光記録ディスクの製造システム
１１  スピンコーティング装置
１２  キャップ温度制御装置
１３  膜厚測定装置
１４  コントロールユニット
２１  ステージ
２２  第１の突出部
２３  第２の突出部
２４  第１の吸気口
２５  第２の吸気口
３０  コントローラ
３１  ステージ回転機構
３２  第１の吸気機構
３３  第２の吸気機構
３４  第１のアーム
３５  第１のアーム移動手段
３６  第２のアーム
３７  第２のアーム移動手段
３８  吐出ノズル
３９  ノズル駆動手段
４０  紫外線ランプ
４１  紫外線
５０  データ記録ユニット
５５  キャップ
５６  傘部
５６ａ  凹部
５７  支持軸
５８  突起部
６０  紫外線硬化性樹脂
【図１】
2004164801.tif 000003
【図２】
2004164801.tif 000004
【図３】
2004164801.tif 000005
【図４】
2004164801.tif 000006
【図５】
2004164801.tif 000007
【図６】
2004164801.tif 000008
【図７】
2004164801.tif 000009
【図８】
2004164801.tif 000010
【図９】
2004164801.tif 000011
【図１０】
2004164801.tif 000012
【図１１】
2004164801.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2004164801.tif 000015
【図１４】
2004164801.tif 000016
【図１５】
2004164801.tif 000017
【図１６】
2004164801.tif 000018
【図１７】
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