(57)【要約】      （修正有）【課題】薄い被吸着体を吸引・吸着しても負圧で吸い込まれず、被吸着体のタワミや、歪み、破壊を防止した吸着冶具を提供する。【解決手段】負圧を導く吸引パイプ３、吸引パイプに連通し被吸着体を吸着する気孔を有する吸着面体４よりなり、気孔の径を１ミクロン〜１ｍｍとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなることを特徴とする吸着冶具。
【請求項２】
前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の吸着冶具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄物を吸着搬送するための吸着冶具に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、吸着搬送をするための吸着パッドは、ゴム、プラスチック、等による弾力性を有するものであり、外部よりの負圧（真空）により吸引、吸着するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の吸着パッドに外部より負圧を供給して薄物である被吸着体を吸引・吸着するにおいて、吸着パッドの吸引口に吸引・吸着される薄物が負圧によりタワミを生ずる、歪みが生ずる、吸引されてしまう、また、最悪の場合には破壊する問題がある。薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することのない問題を解決した吸着冶具を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる吸着冶具であり、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない吸着冶具を提供することができる。また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍである吸着冶具を提供することができる。
【０００５】
本発明に係る吸着冶具は、負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる。また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍの吸着冶具である。以下にすいて本発明に係る吸着冶具の詳細を説明する。なお、本発明に係る吸着冶具は、以下の説明に限定されるものでない。
【０００６】
図１または図２に示されるような吸引パイプ３は、負圧（真空）を導くもので中空のパイプ状のものであり、材料、サイズ、等を特に限定するものでない。例えば、材料として金属、樹脂、等であ。形状として中空の円形、多角形のパイプ状であることであり、配管接続を容易にするためにタケノコ継ぎ手、ワンタッチ継ぎ手、ナット継ぎ手、等の継ぎ手機構を備えることが好ましい。
【０００７】
吸着面体４、６は、被吸着体であるワークピースを吸着する吸着口４、吸着プレート６、等である連通した気孔を有するものであり、材料、サイズ、等を特に限定するものでない。材料として例えば、金属、樹脂、カーボン、等であり、内部、表面、に導通した気孔を有するものである。該気孔のサイズを特に限定するものでないが１ミクロン〜１ｍｍであることが好ましく、より好ましくは、１ミクロン〜２００ミクロンである。また、表面の凹凸を特に限定するものでないが粒子径のまま、研磨をすることなどが好ましく、より好ましくは、研磨をした表面である。気孔を有する吸着面体の製造方法を特に限定するものでないが、発泡性樹脂材と共に成形、焼結、形成する方法、発泡した樹脂材料の気孔部分に金属メッキする方法、発砲した樹脂材料の気孔部分に金属粉末を充填して焼結する方法、粉末の発泡性焼結する方法、等の一般に行われている方法で吸着面体が製造される。
【０００８】
前記吸着面体を保持する構造、方法を特に限定するものでない。例えば、図１の如く気孔を有する吸着体の吸着部分を除いた他の部分を機械加工、樹脂、等で該気孔を埋めて吸着面体４を形成す方法である。また、図２の如く気孔を有する吸着面体６を受け皿５等で保持固定する方法である。また、気孔を有する吸着面体に吸引パイプ３を取り付けて吸着面以外の部分の気孔を埋める方法である。また、図１におけるドラム２全体が吸着面体である。
【０００９】
このような構造である吸着冶具は、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない。用途として例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、等のガラス基板、シリコンウェハ、等の薄くて割れやすいものの吸着搬送に用いて歪みの発生がなく、傷が付かなく、吸着痕が付かない等の有用性がある。また、離型紙付きのフィルムを自動機で剥がすのに有用である。また、ラベリングマシンに用いてラベルの自動剥がし自動貼付に用いて有用である。
【００１０】
【実施例】
本発明に係る吸着冶具の実施態様例を以下において説明する。尚、本発明に係る吸着冶具は以下の実施例及び図に限定されるものでない。
（実施例１）
図１に示すような吸着冶具１を製作した。該吸着冶具１は、中空で円柱状のポーラスなアルミニウム材（気孔径が５〜１００ミクロン、気孔率が約４０％）によるドラム２であり、該ドラム２の片方の端面がアルミニウム材の円盤で封着され、他の面がアルミニウム材の吸引パイプ３が付いた円盤で封着されている。また、該ドラム２は、吸着口４の部分を除いてポーラスなアルミニウムの目をエポキシ樹脂のコーティングにより埋められている。（図１には、該吸着口が一個所のみ表示されているものの所望により複数個所、諸々の図柄で形成することも可能である。）該吸着口４の部分のみが流体（気体）の流動が可能であり、エポキシ樹脂がコーティングされた部分及び両端面の該吸引パイプ３を除く部分が流体を流動しない。
【００１１】
このように製作された吸着冶具１の吸引パイプ３に負圧源に導通されたパイプを配管して薄いフィルム、紙、薄く脆いガラス、類を吸着口４で吸着することができる。ポーラスな面が露出している該吸着口４がガラスと接する接触点が多く、負圧で吸着されても力の分散がなされて歪むこともなく、割れることもなく、一枚一枚を剥がすように吸着することができる。また、紙、フィルム、等においても吸い込むことなく、シワが寄ることもなく、一枚一枚を頁めくりの如く吸着することができる。例えば、輪転機等の回転機構装置に用いて紙、フィルム、等の頁めくり、一枚一枚の剥がし、等に有用である。例えば、糊付きで離型紙付きのフィルムのフィルム剥がしにおける自動剥がしには、両面に吸着冶具を配置して使用することにより剥離が安易にできる。例えば、ラベル剥離・貼付装置（ラベリングマシン）に用いてラベルの離型紙からの剥がし、商品・製品等へのラベルの貼付に用いて有用である。
【００１２】
（実施例２）
図２に示すような吸着冶具を製作した。アルミニウム材による受け皿５を中央部に窪み、中央部の底に吸引パイプ３を取り付ける穴を形成して作成した。該受け皿５にアルミニウム材による吸引パイプ３を取付、中央窪みの部分にポーラスなカーボン材（気孔径が２〜５０ミクロン、気孔率が約３０％、厚みが５ｍｍ、外径が２０ｍｍ）の吸着プレート６をはめ込んで固定した。該吸着プレート４の表面は研磨されていて滑らかであり、表裏の間において全面に気体の導通性がある。
【００１３】
このように製作された吸着冶具は、小さな気孔径である前記吸着プレート６の表面で吸着するものであり、吸引パイプ３に接続された負圧源で薄いフィルム、薄いガラス、紙、等を吸着することにより吸い込むことがなく、シワが寄ることもなく、破壊することもなく、一枚一枚をページめくりの如くに吸着、吸着剥がしをすることができる。例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、等用のガラス、シリコンウェハ、等の搬送に用いて歪みを生じさせることなく、傷を付けることなく、吸着痕を残すことなく有用である。
【００１４】
【発明の効果】
本発明に係る吸着冶具は、負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる吸着冶具、また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍである吸着冶具である。このような吸着冶具は、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸着冶具の一実施態様を示す図である。
【図２】本発明に係る吸着冶具の一実施態様を示す図である。
【符号の説明】
１  吸着冶具
２  ドラム
３  吸引パイプ
４  吸着口（吸着面体）
５  受け皿
６  吸着プレート（吸着面体）
【図１】
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【図２】
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