(57)【要約】【課題】パターン欠陥解析の効率を向上させ、解析工数を削減する。【解決手段】プリント配線板が一定の位置にセットされるセットテーブル１と、このセットテーブルを座標データに基づき制御および駆動し移動させるテーブル駆動ユニット２と、セットテーブル１の上方に設置されプリント配線板を拡大倍率で実写しプリント配線板の拡大画像の画像信号および倍率データを出力するカメラユニット３と、画像信号を入力し拡大画像を表示する拡大表示ユニット５と、ネットデータに基づきガーバーデータから不良パターンのデータを抽出し不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し倍率データに基づきカメラユニット３の視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し座標データを出力する組込コンピュータ６とを備える。【選択図】　　　図１
2004028831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータに基づき、前記プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータから不良パターンのデータを抽出してグラフィック表示し、前記不良パターンの欠陥解析を支援するパターン欠陥解析支援装置において、
前記プリント配線板が一定の位置にセットされるセットテーブルと、
このセットテーブルを座標データに基づき制御および駆動し移動させるテーブル駆動ユニットと、
前記セットテーブルの上方に設置され前記プリント配線板を拡大倍率で実写し前記プリント配線板の拡大画像の画像信号および倍率データを出力するカメラユニットと、
前記画像信号を入力し前記拡大画像を表示する拡大表示ユニットと、
前記ネットデータに基づき前記ガーバーデータから前記不良パターンのデータを抽出し前記不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し前記倍率データに基づき前記カメラユニットの視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し前記座標データを出力する組込コンピュータとを備えることを特徴とするパターン欠陥解析支援装置。
【請求項２】
前記組込コンピュータが、前記複数の部分座標範囲からコマンド入力により選択した部分座標範囲を示すデータと、前記不良パターンおよびその周辺パターンのデータとをビットマップデータへ変換しグラフィック表示する、請求項１記載のパターン欠陥解析支援装置。
【請求項３】
前記拡大表示ユニットと別の表示ユニットが、前記ビットマップデータをグラフィック表示する、請求項２記載のパターン欠陥解析支援装置。
【請求項４】
前記拡大表示ユニットが、前記ビットマップデータを前記拡大画像と重ねてグラフィック表示する、請求項２記載のパターン欠陥解析支援装置。
【請求項５】
前記拡大表示ユニットが、前記ビットマップデータを選択的にグラフィック表示する、請求項２記載のパターン欠陥解析支援装置。
【請求項６】
プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータに基づき、前記プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータから前記不良ポイントと対応の不良パターンのデータを抽出してグラフィック表示する処理を組込コンピュータに実行させ、前記不良パターンの欠陥解析を支援するパターン欠陥解析支援プログラムにおいて、
前記処理が、前記ネットデータに基づき前記ガーバーデータから前記不良パターンのデータを抽出し前記不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し、前記プリント配線板が一定の位置にセットされ座標データに基づき制御および駆動されて移動するセットテーブルの上方に設置されたカメラユニットの倍率データに基づき、前記ＸＹ座標範囲を前記カメラユニットの視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し前記座標データを出力することを特徴とするパターン欠陥解析支援プログラム。
【請求項７】
前記処理が、前記複数の部分座標範囲からコマンド入力により選択した部分座標範囲を示すデータと、前記不良パターンおよびその周辺パターンのデータとをビットマップデータへ変換しグラフィック表示する、請求項６記載のパターン欠陥解析支援プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パターン欠陥解析支援装置に関し、特に、プリント配線板の不良パターンの欠陥解析を支援するパターン欠陥解析支援装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＬＳＩなどの電子部品が実装されるプリント配線板の検査工程では、一般的に、配線パターン上の電子部品の取り付け部、スルーホール部または検査パッド部など各ポイント間の導通または絶縁を検査する導通検査または布線検査が、検査機器を用いて行われている。また、この導通検査により不良判定されたプリント配線板に対して、不良パターンの欠陥箇所特定または欠陥解析が行われ、さらには、修理が行われている。
【０００３】
この不良パターンの欠陥解析は、たとえば、パターン欠陥解析支援装置を用いて行われる。このパターン欠陥解析支援装置は、一般的な入出力または表示ユニット，メモリおよびＣＰＵを備えた組込コンピュータを備え、パターン欠陥解析支援プログラムのインストールまたはファームウェア化により、コマンド入力に応じて動作する。この従来例では、解析対象のプリント配線板の識別データ入力に基づき、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータと、プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータとをそれぞれファイルから抽出して読み込み、ネットデータに基づきガーバーデータから不良パターンのデータをそれぞれ抽出して表示ユニットにグラフィック表示する。
【０００４】
このパターン欠陥解析支援装置によるグラフィック表示を参照しながら、解析者が、実際のプリント配線板の目視により、不良パターンを順にトレースおよび検索し、不良パターン上の欠陥箇所を特定している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、配線パターンが微細化され配線密度が高いプリント配線板が増加している。しかし、この従来の不良パターンの欠陥解析方法では、プリント配線板の配線パターンが微細化し配線密度が高いほど、実際のプリント配線板の目視による不良パターンのトレースおよび検索が難しくなり、不良パターン上の欠陥箇所を特定する解析工数が増大する問題がある。
【０００６】
また、上述した従来の不良パターンの欠陥解析方法以外に、光学式外観検査装置を用いて、デザインルール及び比較検査を行い、不良パターン上の不良箇所を表示させる方法がある。しかし、現状の光学式外観検査装置を用いた方法では、真の欠陥箇所ではない誤報が非常に多く検出され、検出された欠陥箇所から真の欠陥箇所を特定する解析工数が増大する問題がある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、パターン欠陥解析の効率を向上させ、解析工数を削減することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータに基づき、前記プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータから不良パターンのデータを抽出してグラフィック表示し、前記不良パターンの欠陥解析を支援するパターン欠陥解析支援装置において、
前記プリント配線板が一定の位置にセットされるセットテーブルと、
このセットテーブルを座標データに基づき制御および駆動し移動させるテーブル駆動ユニットと、
前記セットテーブルの上方に設置され前記プリント配線板を拡大倍率で実写し前記プリント配線板の拡大画像の画像信号および倍率データを出力するカメラユニットと、
前記画像信号を入力し前記拡大画像を表示する拡大表示ユニットと、
前記ネットデータに基づき前記ガーバーデータから前記不良パターンのデータを抽出し前記不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し前記倍率データに基づき前記カメラユニットの視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し前記座標データを出力する組込コンピュータとを備えている。
【０００９】
また、前記組込コンピュータが、前記複数の部分座標範囲からコマンド入力により選択した部分座標範囲を示すデータと、前記不良パターンおよびその周辺パターンのデータとをビットマップデータへ変換しグラフィック表示している。
【００１０】
また、前記拡大表示ユニットと別の表示ユニットが、前記ビットマップデータをグラフィック表示している。
【００１１】
また、前記拡大表示ユニットが、前記ビットマップデータを前記拡大画像と重ねてグラフィック表示している。
【００１２】
また、前記拡大表示ユニットが、前記ビットマップデータを選択的にグラフィック表示している。
【００１３】
また、本発明は、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータに基づき、前記プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータから前記不良ポイントと対応の不良パターンのデータを抽出してグラフィック表示する処理を組込コンピュータに実行させ、前記不良パターンの欠陥解析を支援するパターン欠陥解析支援プログラムにおいて、
前記処理が、前記ネットデータに基づき前記ガーバーデータから前記不良パターンのデータを抽出し前記不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し、前記プリント配線板が一定の位置にセットされ座標データに基づき制御および駆動されて移動するセットテーブルの上方に設置されたカメラユニットの倍率データに基づき、前記ＸＹ座標範囲を前記カメラユニットの視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解し、これら部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し前記座標データを出力している。
【００１４】
また、前記処理が、前記複数の部分座標範囲からコマンド入力により選択した部分座標範囲を示すデータと、前記不良パターンおよびその周辺パターンのデータとをビットマップデータへ変換しグラフィック表示している。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について、図面を参照して説明する。図１は、本発明のパターン欠陥解析支援装置の実施形態を示すブロック図である。図１を参照すると、本実施形態のパターン欠陥解析支援装置は、セットテーブル１，テーブル駆動ユニット２，カメラユニット３，光照射ユニット４，拡大表示ユニット５および組込コンピュータ６とを備える。
【００１６】
セットテーブル１には、解析対象のプリント配線板が一定の位置にセットされ、また、テーブル駆動ユニット２は、座標データに基づきセットテーブルを制御および駆動しＸＹＺ方向に移動させる。
【００１７】
カメラユニット３は、セットテーブル１の上方に設置され、セットテーブル１にセットされたプリント配線板を拡大倍率で実写し、プリント配線板の拡大画像の画像信号および倍率データを出力し、また、光照射ユニット４は、カメラユニットと共に、セットテーブル１の上方に設置され、セットテーブル１にセットされたプリント配線板へ光を照射する。
【００１８】
拡大表示ユニット５は、カメラユニット３から画像信号を入力し、プリント配線板の拡大画像を表示する。
【００１９】
組込コンピュータ６は、従来と同じく、一般的な入出力または表示ユニット，メモリおよびＣＰＵを備え、パターン欠陥解析支援プログラムのインストールまたはファームウェア化により、コマンド入力に応じて動作する。
【００２０】
本実施形態の組込コンピュータ６は、解析対象とするプリント配線板の識別データの入力に基づき、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータと、プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータとをそれぞれファイルから抽出して読み込み、ネットデータに基づきガーバーデータから不良パターンのデータを抽出する。また、抽出した不良パターンのデータから不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し、カメラユニット３からの倍率データに基づきカメラユニット３の視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解する。また、分解した複数の部分座標範囲の１つをコマンド入力により選択し座標データをテーブル駆動ユニット２へ出力する。
【００２１】
さらに、本実施形態の組込コンピュータ６は、複数の部分座標範囲からコマンド入力により選択した部分座標範囲を示すデータと、ネットデータに基づきガーバーデータからそれぞれ抽出した不良パターンおよびその周辺パターンのデータとをビットマップデータへ変換し、表示ユニット５にグラフィック表示する。
【００２２】
図２は、本実施形態のパターン欠陥解析支援装置を用いたパターン欠陥解析方法の手順を示す流れ図である。このパターン欠陥解析方法について、次に、図２を参照して簡単に説明する。
【００２３】
まず、ステップ７１において、解析者により、解析対象のプリント配線板をセットテーブル１の一定の位置にセットし、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータと、プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータとをそれぞれ格納するファイルを準備する。
【００２４】
ステップ７２において、解析者が解析対象のプリント配線板の識別データを入力すると、識別データに基づき、プリント配線板の導通検査により検出された不良ポイントと対応の配線パターンのネットデータと、プリント配線板の配線パターンの標準フォーマット設計データであるガーバーデータとをそれぞれファイルから抽出して読み込む。
【００２５】
ステップ７３において、読み込んだネットデータに基づきガーバーデータから不良パターンのデータを抽出し、不良パターンのＸＹ座標範囲を算出し、カメラユニット３からの倍率データに基づきカメラユニット３の視野とそれぞれ同等の複数の部分座標範囲に分解する。
【００２６】
ステップ７４において、分解した複数の部分座標範囲の１つを解析者のコマンド入力により選択し、座標データをテーブル駆動ユニット２へ出力する。これにより、セットテーブルが、座標データに基づきテーブル駆動ユニット２により制御および駆動され、選択された部分座標範囲へ移動し、セットテーブル１の上方に設置されたカメラユニット３により、プリント配線板の不良パターンの部分座標範囲を拡大倍率で実写し、拡大表示ユニット５には、不良パターンの部分座標範囲の拡大画像が表示される。この拡大画像により、解析者による欠陥箇所の特定が行われる。また、組込コンピュータ６の表示ユニットには、選択された部分座標範囲と、抽出された不良パターンおよびその周辺パターンとを示すビットマップデータが、グラフィック表示される。
【００２７】
また、ステップ７５により、全不良パターンに対して欠陥箇所の特定が終了するまで、ビットマップデータのグラフィック表示の参照により、ステップ７３の解析者のコマンド入力と、部分座標範囲の拡大画像の表示とがそれぞれ繰り返される。
【００２８】
このように、本実施形態のパターン欠陥解析支援装置は、プリント配線板の検査工程において一般的に行われている導通検査または布線検査の検査結果に基づき、抽出された不良パターンおよびその周辺パターンと、選択された部分座標範囲とを示すビットマップデータのグラフィック表示し、且つ、不良パターンの部分座標範囲の拡大画像を拡大表示ユニット５により表示し、解析者は、ビットマップデータのグラフィック表示を参照しながら、不良パターンの部分座標範囲の拡大画像により不良パターン上の欠陥箇所を順に特定できる。このため、従来のように、解析者が、実際のプリント配線板の目視により、不良パターンを順にトレースおよび検索する必要が無く不良パターン上の欠陥箇所を特定でき、不良パターン上の欠陥箇所の特定が容易化され、パターン欠陥解析の効率が向上し、解析工数が削減される。
【００２９】
なお、本実施形態のパターン欠陥解析支援装置では、抽出された不良パターンおよびその周辺パターンと、選択された部分座標範囲とを示すビットマップデータが、組込コンピュータ６の表示ユニットに表示されるとして説明した。しかし、本実施形態のパターン欠陥解析支援装置に限定されず、たとえば、組込コンピュータ６の表示ユニットと拡大表示ユニット５とを一体化し、ビットマップデータを不良パターンの部分座標範囲の拡大画像と重ねてグラフィック表示する変形例も可能であり、コマンド入力によりビットマップデータを選択的にグラフィック表示する変形例も可能である。同様に、パターン欠陥解析の効率が向上し、解析工数が削減される。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によるパターン欠陥解析支援装置は、プリント配線板の検査工程において一般的に行われている導通検査または布線検査の検査結果に基づき、抽出された不良パターンおよびその周辺パターンと、選択された部分座標範囲とを示すビットマップデータのグラフィック表示し、且つ、不良パターンの部分座標範囲の拡大画像を拡大表示ユニットにより表示し、解析者は、ビットマップデータのグラフィック表示を参照しながら、不良パターンの部分座標範囲の拡大画像により不良パターン上の欠陥箇所を順に特定できる。このため、従来のように、解析者が、実際のプリント配線板の目視により、不良パターンを順にトレースおよび検索する必要が無く不良パターン上の欠陥箇所を特定でき、不良パターン上の欠陥箇所の特定が容易化され、パターン欠陥解析の効率が向上し、解析工数が削減されるなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン欠陥解析支援装置の実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１のパターン欠陥解析支援装置を用いたパターン欠陥解析方法の手順を示す流れ図である。
【符号の説明】
１　　セットテーブル
２　　テーブル駆動ユニット
３　　カメラユニット
４　　光照射ユニット
５　　拡大表示ユニット
６　　組込コンピュータ
７１〜７５　　ステップ
【図１】
2004028831.tif 000003
【図２】
2004028831.tif 000004