(57)【要約】【課題】光学素子の面形状を面全体において形状表現の自由度の高い表記により表現した光学素子により構成された露光装置の投影光学系を提供することである。【解決手段】レチクルＲに形成されたパターンの像をウエハＷ上に投影露光する露光装置の投影光学系において、投影光学系ＰＬに含まれるミラー（Ｍ１〜Ｍ６）の少なくとも１つが回転対称な非球面を有し、該回転対称な非球面は、該非球面の回転軸に垂直な平面と該非球面の間隔を該回転軸に平行に計測した距離をｚ、該回転軸からの距離をｈとするときに、ｚ＝ｇ（ｈ）と表記され、該ｇ（ｈ）は、導関数が該回転軸上で零となる偶関数でない関数である。【選択図】　図１
2004031808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面に形成されたパターンの像を第２面上に投影露光する露光装置の投影光学系において、
前記投影光学系に含まれる光学素子の少なくとも１つが回転対称な非球面を有し、
該回転対称な非球面は、該非球面の回転軸に垂直な平面と該非球面の間隔を該回転軸に平行に計測した距離をｚ、該回転軸からの距離をｈとするときに、
ｚ＝ｇ（ｈ）
と表記され、該ｇ（ｈ）は、導関数が該回転軸上で零となる偶関数でない関数であることを特徴とする露光装置の投影光学系。
【請求項２】
前記露光装置の投影光学系は、反射系により構成される反射型投影光学系であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置の投影光学系。
【請求項３】
前記偶関数でない関数は、ベキ級数項を有する関数であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置の投影光学系。
【請求項４】
前記ベキ級数の各項の次数は、１より大きい数の何れかであることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の露光装置の投影光学系。
【請求項５】
前記第１面に設定されたマスクに露光光を照明し、該マスクに形成されたパターンの像を投影光学系を介して前記第２面に設定された感光基板上に投影する露光装置において、
前記投影光学系は、請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の露光装置の投影光学系によって構成されることを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記第１面に設定されたマスクに露光光を照明し、該露光光に基づいて前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光基板上に形成する露光方法において、
請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の露光装置の投影光学系を用いて前記パターンの像を前記感光基板上に形成することを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上にマスクパターンの縮小像を形成する露光装置の投影光学系、該投影光学系を備えた露光装置及び露光方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体デバイスや液晶表示デバイスをリソグラフィ技術を用いて製造する際に、パターンが形成されたマスクに露光用照明光（露光光）を照明し、このマスクのパターンの像を投影光学系を介してフォトレジスト等の感光剤が塗布された半導体ウエハやガラスプレート等の基板上に投影露光することが行われている。近年においては、パターンの微細化の要求がますます高まっているため、この投影露光を行う露光装置は、より解像力の高いものが要求されている。
【０００３】
この要求を満足するためには、光源から射出される露光光の波長を短波長化し、且つ光学系の開口数（ＮＡ）を大きくしなければならない。しかしながら、露光光の波長が短くなると、光の吸収のために実用に耐える光学ガラスは限られ、例えば、波長が１８０ｎｍ以下となると、実用上使用できる硝材は蛍石だけとなる。また、さらに短波長の紫外線やＸ線になると、使用できる光学ガラスは存在しなくなる。このような場合、屈折光学系だけか、または反射屈折光学系により縮小投影光学系を構成することは、全く不可能となる。
【０００４】
そのため、反射系のみで投影光学系を構成する、いわゆる反射縮小投影光学系が、例えば特開平９−２１１３３２号公報に提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、投影光学系を構成するレンズ、ミラー等の光学素子の面形状には、投影光学系の収差を小さくするために非球面の面形状が用いられることがある。従来、一般には、非球面の面形状を表現するために（数式１）を用いている。
【０００６】
【数１】
（数式１）
ｚ＝ｃｈ２／｛１＋〔１−（１＋ｋ）・ｃ２・ｈ２〕１／２｝
＋（Ａ）ｈ４＋（Ｂ）ｈ６＋（Ｃ）ｈ８＋（Ｄ）ｈ１０
＋（Ｅ）ｈ１２＋（Ｆ）ｈ１４＋（Ｇ）ｈ１６＋（Ｈ）ｈ１８
＋（Ｊ）ｈ２０
ここで、ｚは、平面からの光軸方向サグ量、ｃは、面頂点での曲率（＝１／曲率半径）、ｈは、光軸からの高さ、ｋは、円錐係数（ｋ＝０のとき、第１項は球面の式、ｋ＝−１のとき、第１項は放物面の式になる）、Ａは４次の非球面係数、Ｂは６次の非球面係数、Ｃは８次の非球面係数、Ｄは１０次の非球面係数、Ｅは１２次の非球面係数、Ｆは１４次の非球面係数、Ｇは１６次の非球面係数、Ｈは１８次の非球面係数、Ｊは２０次の非球面係数である。
【０００７】
即ち、従来は、表現しようとしているレンズ、ミラー等の光学素子の面形状は、光軸を軸とする回転対称な面であり、その断面は光軸を挟んで線対称になることから、（数式１）においては、２項以下のベキ級数部分に偶数次項のみを用いていた。
【０００８】
しかしながら、（数式１）によれば、面周辺部の形状表現の自由度は高いが、面中央部、即ち光軸近傍の形状表現の自由度は低くなる。これは、（数式１）における偶数次数のベキ級数項の値の変化が光軸から離れるに従い急激になるためである。
【０００９】
本発明の課題は、光学素子の面形状を面全体において形状表現の自由度の高い表記により表現した光学素子により構成された露光装置の投影光学系を提供することである。また、この投影光学系を備えた露光装置及び、この露光装置を用いた露光方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の露光装置の投影光学系は、第１面に形成されたパターンの像を第２面上に投影露光する露光装置の投影光学系において、前記投影光学系に含まれる光学素子の少なくとも１つが回転対称な非球面を有し、該回転対称な非球面は、該非球面の回転軸に垂直な平面と該非球面の間隔を該回転軸に平行に計測した距離をｚ、該回転軸からの距離をｈとするときに、ｚ＝ｇ（ｈ）　と表記され、該ｇ（ｈ）は、導関数が該回転軸上で零となる、換言すればｄｇ（０）／ｄｈ＝０となる偶関数でない関数であることを特徴とする。
【００１１】
本請求項１記載の露光装置の投影光学系によれば、回転対称な非球面形状を表現する関数は、導関数が該回転軸上で零となる偶関数でない関数であることから、非球面の面形状を滑らかにすることができる。また、非球面形状の表現自由度を大きくすることができ面形状の制御をきめ細かに行うことができる。
【００１２】
また、請求項２記載の露光装置の投影光学系は、前記露光装置の投影光学系が、反射系により構成される反射型投影光学系であることを特徴とする。
【００１３】
本請求項２記載の露光装置の投影光学系によれば、反射型投影光学系を構成する光学素子の非球面形状をきめ細かに制御することができる。
【００１４】
また、請求項３記載の露光装置の投影光学系は、前記偶関数でない関数が、ベキ級数項を有する関数であることを特徴とする。
【００１５】
本請求項３記載の露光装置の投影光学系によれば、ベキ級数項として偶数次項に加えて奇数次項を用いることにより、非球面形状を表す関数の低次のパラメータを増加させることができ、非球面形状の光軸に近い箇所の面形状の制御をよりきめ細かに行うことができる。
【００１６】
また、請求項４記載の露光装置の投影光学系は、前記ベキ級数の各項の次数が、１より大きい数の何れかであることを特徴とする。
【００１７】
本請求項４記載の露光装置の投影光学系によれば、非球面形状を表現するために、ベキ級数項の次数として１以上の自然数以外の数も用いるため非球面形状の表現自由度を更に大きくすることができる。
【００１８】
また、請求項５記載の露光装置は、前記第１面に設定されたマスクに露光光を照明し、該マスクに形成されたパターンの像を投影光学系を介して前記第２面に設定された感光基板上に投影する露光装置において、前記投影光学系が、請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の露光装置の投影光学系によって構成されることを特徴とする。
【００１９】
本請求項５記載の露光装置によれば、良好に収差補正され優れた結像性能を有する投影光学系を用いて露光処理が行われるので、微細なパターンでも精度良く形成することができる。
【００２０】
また、請求項６記載の露光方法は、前記第１面に設定されたマスクに露光光を照明し、該露光光に基づいて前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に設定された感光基板上に形成する露光方法において、請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の露光装置の投影光学系を用いて前記パターンの像を前記感光基板上に形成することを特徴とする
本請求項６記載の露光方法によれば、良好に収差補正され優れた結像性能を有する投影光学系を用いて露光処理が行われるので、微細なパターンでも精度良く形成することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る露光装置の投影光学系、露光装置及び露光方法について図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る露光装置の投影光学系の横断面の光路図であり、図１では光束の幅は横断面のみを表している。
【００２２】
図１において、投影光学系ＰＬは、レチクル（第１面）Ｒ上の物体の縮小像をウエハ（第２面）上に結像する反射縮小投影光学系である。この投影光学系ＰＬは、複数の反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）を備えている。
【００２３】
ここで、第１反射鏡Ｍ１は、レチクルＲとウエハＷとの間の光路中に配置されて凹面形状の反射面を有する。第２反射鏡Ｍ２は、第１反射鏡Ｍ１とウエハＷとの間の光路中に配置されて凹面形状の反射面を有する。第３反射鏡Ｍ３は、第２反射鏡Ｍ２とウエハＷとの間の光路中に配置されて凸面形状の反射面を有する。第４反射鏡Ｍ４は、第３反射鏡Ｍ３とウエハＷとの間の光路中に配置されて凹面形状の反射面を有する。第５反射鏡Ｍ５は、第４反射鏡Ｍ４とウエハＷとの間の光路中に配置されて凸面形状の反射面を有する。第６反射鏡Ｍ６は、第５反射鏡Ｍ５とウエハＷとの間の光路中に配置されて凹面形状の反射面を有する。
【００２４】
また、第２反射鏡Ｍ２は、反射面がウエハＷ側に向くように配置され、第２反射鏡Ｍ２の頂点とウエハＷとの間に、反射面がウエハＷ側に向くように第４反射鏡Ｍ４の頂点が位置決めされている。また、第４反射鏡Ｍ４の頂点とウエハＷとの間に、反射面がレチクルＲ側に向くように第１反射鏡Ｍ１の頂点が位置決めされている。また、第１反射鏡Ｍ１の頂点とウエハＷとの間に、反射面がレチクルＲ側に向くように第３反射鏡Ｍ３の頂点が位置決めされている。また、第３反射鏡Ｍ３の頂点とウエハＷとの間に、反射面がウエハＷ側に向くように第６反射鏡Ｍ６の頂点が位置決めされている。また、第６反射鏡Ｍ６の頂点とウエハＷとの間に、反射面がレチクルＲ側に向くように第５反射鏡Ｍ５の頂点が位置決めされている。なお、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の反射面は、回転対称な非球面により構成されている。ここで各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の中の何れかの反射鏡の反射面を球面により構成するようにしてもよい。
【００２５】
各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）は、レチクルＲ側からウエハＷ側にむかって、第２反射鏡Ｍ２、第４反射鏡Ｍ４、第１反射鏡Ｍ１、第３反射鏡Ｍ３、第６反射鏡Ｍ６、第５反射鏡Ｍ５の順で配置されている。このとき、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）は光軸ＡＸに対して同軸に配置されている。なお、反射鏡の頂点とは、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸと反射鏡との交点であり、反射鏡が光軸上において物理的に存在しないときには、反射鏡の反射面の仮想的な延長面との交点を意味する。
【００２６】
この投影光学系ＰＬにおいては、第４反射鏡Ｍ４と第５反射鏡Ｍ５との間の光路中に中間像が形成される。即ち、レチクルＲからの光は、第１反射鏡Ｍ１、第２反射鏡Ｍ２、第３反射鏡Ｍ３、第４反射鏡Ｍ４の順で反射された後に、第４反射鏡Ｍ４と第５反射鏡Ｍ５との間の光路中に中間像を形成し、この中間像からの光は第５反射鏡Ｍ５及び第６反射鏡Ｍ６の順で反射されウエハＷへ導かれる。
【００２７】
この投影光学系ＰＬを構成する各ミラー（Ｍ１〜Ｍ６）の面形状は、（数式２）により表現される。
【００２８】
【数２】
（数式２）
2004031808.tif 000003
【００２９】
ここで、Ｚは、平面からの光軸方向サグ量、ｒは、面頂点での曲率半径、ｈは、光軸からの高さ（回転軸からの距離）、ｋは、円錐係数（ｋ＝０のとき、第１項は球面の式、ｋ＝−１のとき、第１項は放物面の式になる）、Ｃ２〜Ｃ２８は、２次〜２８次の非球面係数である。
【００３０】
この（数式２）は、導関数が回転軸上で零となる偶関数でない関数である。また、（数式２）は、ベキ級数項を有する関数であり、ベキ級数項の次数として奇数及び偶数の自然数が用いられる。なお、ベキ級数項の次数として奇数の自然数のみを用いるようにしてもよく、更に、ベキ級数項の次数として、１より大きい数の何れか（例えば、１．１、１．３など）を用いるようにしてもよい。
【００３１】
本露光装置の投影光学系によれば、回転対称な非球面形状を表現する関数は、導関数が該回転軸上で零となる偶関数でない関数であることから、非球面の面形状を滑らかにすることができる。また、非球面形状の表現自由度を大きくすることができ面形状の制御をきめ細かに行うことができる。
【００３２】
また、ベキ級数項として偶数次項に加えて奇数次項を用いることにより、非球面形状を表す関数の低次のパラメータを増加させることができ、非球面形状の光軸に近い箇所の面形状の制御をよりきめ細かに行うことができる。更に、非球面形状を表現するために、ベキ級数項の次数として１以上の自然数以外の数も用いるため非球面形状の表現自由度を更に大きくすることができる。
【００３３】
また、本実施の形態において、投影光学系ＰＬに用いられた反射鏡は６枚と少ないので、この投影光学系ＰＬを露光装置に適用した場合、露光光の光量の低下の恐れは低減されるとともに、反射面の面形状誤差による結像性能の劣化を招く恐れも低減される。例えば、露光光として、波長５〜１５ｎｍの軟Ｘ線領域の光（ＥＵＶ光）や、この波長以下の硬Ｘ線領域の光を用いた場合、この波長域における反射膜の反射率が低くても、反射面の数が６面だけなので実用上問題無い程度の光量を確保することができる。
【００３４】
また、第５反射鏡Ｍ５の凹面状部分とウエハＷとが対向するようにしたので、第５反射鏡Ｍ５とウエハＷとの間の距離（ワーキングディスタンス）を大きくとることが可能となる。このため、このウエハＷに感光基板をロードする場合などの作業性を向上させることができる。
【００３５】
また、第１反射鏡Ｍ１、第３反射鏡Ｍ３及び第５反射鏡Ｍ５は、各反射面がレチクルＲ側に向くようにそれぞれ配置され、第２反射鏡Ｍ２、第４反射鏡Ｍ４及び第６反射鏡Ｍ６は、各反射面がウエハＷ側に向くようにそれぞれ配置されているので、レチクルＲからの光は各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）間で交互に反射を繰り返しながらウエハＷ側に導かれる。このような構成にすることにより、光路を折り返すための平面反射鏡が不用であるとともに、レチクルＲとウエハＷとの距離を短くすることが可能となる。従って、投影光学系ＰＬ全体のコンパクト化を実現することができる。
【００３６】
更に、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）を、光軸ＡＸに対して同軸に配置することによっても、投影光学系ＰＬ全体のコンパクト化を実現することができるとともに、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の鏡筒組み込み・調整を容易にすることができる。
【００３７】
なお、本実施の形態にかかる投影光学系ＰＬに開口絞りを設けるようにしてもよい。この場合には、開口絞りの光軸方向の位置は、ウエハＷ側がテレセントリックとなるように位置決めされることが好ましく、この場合、良好な結像特性を得ることができる。開口絞りの開口部の口径を可変とすることによって収差補正を行うことができるとともに、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の反射面の非球面形状を任意に設定することによっても収差補正を行うことができる。従って、開口絞りを設ける場合においては、収差補正は、各反射鏡の反射面の形状の調整の他に、開口絞りの光軸方向の位置の調整によっても行うことができ、自由度の高い収差補正を行うことができる。
【００３８】
次に、図２を参照しながら、本発明に係る投影光学系ＰＬを備えた露光装置Ｅについて説明する。図２は本発明に係る投影光学系ＰＬを備えた露光装置Ｅの構成図である。この露光装置Ｅは、反射型レチクル（マスク）Ｒに露光用照明光（露光光）ＥＬを照射し、レチクルＲに形成されたパターンの一部の像を投影光学系ＰＬを介して感光基板（ウエハ）Ｗ上に投影しつつ、レチクルＲと感光基板Ｗとを投影光学系ＰＬに対して１次元方向（Ｙ方向）に相対走査することによって、レチクルＲのパターンの全体を感光基板Ｗ上の複数のショット領域の各々にステップ・アンド・スキャン方式で転写するものである。
【００３９】
本実施の形態では、露光光ＥＬとして波長５〜１５ｎｍ程度の軟Ｘ線領域の光（ＥＵＶ光）が用いられている。なお、図２においては、投影光学系ＰＬの光軸方向をＺ方向とし、このＺ方向と直交する方向であってレチクルＲ及び感光基板Ｗの走査方向をＹ方向とし、これらＹＺ方向と直交する紙面垂直方向をＸ方向とする。
【００４０】
図２において、露光装置Ｅは、光源３０からの光束をレチクルステージＲＳに支持されるレチクルＲに照明する照明光学系３と、露光光ＥＬで照明されたレチクルＲのパターンの像を感光基板Ｗ上に投影する投影光学系ＰＬと、基板Ｗを支持する基板ステージＷＳとを備えている。本実施の形態における露光光であるＥＵＶ光は、大気に対する透過率が低いため、ＥＵＶ光が通過する光路は真空チャンバＶＣにより覆われて外気より遮断されている。
【００４１】
図２における照明光学系３について説明する。光源３０は、赤外域〜可視域の波長のレーザ光を供給する機能を有し、例えば半導体レーザ励起によるＹＡＧレーザやエキシマレーザ等を用いることができる。このレーザ光は第１集光光学系３１により集光されて位置３２に集光する。ノズル３３は気体状の物体を位置３２に向けて噴出し、この噴出された物体は位置３２において高照度のレーザ光を受ける。このとき、噴出された物体がレーザ光のエネルギで高温になり、プラズマ状態に励起され、低ポテンシャル状態へ遷移する際にＥＵＶ光を放出する。
【００４２】
この位置３２の周囲には、第２集光光学系を構成する楕円鏡３４が配置されており、この楕円鏡３４は、その第１焦点が位置３２とほぼ一致するように位置決めされている。楕円鏡３４の内表面には、ＥＵＶ光を反射するための多層膜が設けられており、ここで反射されたＥＵＶ光は、楕円鏡３４の第２焦点で一度集光した後、第３集光光学系を構成するコリメート鏡としての放物面鏡３５へ向かう。放物面鏡３５は、その焦点が楕円鏡３４の第２焦点位置とほぼ一致するように位置決めされており、その内表面には、ＥＵＶ光を反射するための多層膜が設けられている。
【００４３】
放物面鏡３５から射出されるＥＵＶ光は、ほぼコリメートされた状態でオプティカルインテグレータとしての反射型フライアイ光学系３６へ向かう。反射型フライアイ光学系３６は、複数の反射面を集積した第１の反射素子群３６ａと、第１の反射素子群３６ａの複数の反射面と対応した複数の反射面を有する第２の反射素子群３６ｂとで構成されている。これら第１及び第２の反射素子群３６ａ、３６ｂを構成する複数の反射面上にもＥＵＶ光を反射させるための多層膜が設けられている。
【００４４】
放物面鏡３５からのコリメートされたＥＵＶ光は、第１の反射素子群３６ａにより波面分割され、各々の反射面からのＥＵＶ光が集光されて複数の光源像が形成される。これら複数の光源像が形成される位置の近傍のそれぞれには、第２の反射素子群３６ｂの複数の反射面が位置決めされており、これら第２の反射素子群３６ｂの複数の反射面は、実質的にフィールドミラーの機能を果たす。このように、反射型フライアイ光学系３６は、放物面鏡３５からの略平行光束に基づいて、２次光源としての多数の光源像を形成する。尚、このような反射型フライアイ光学系３６については、特開平１１−３１２６３８号公報に開示されている。
【００４５】
本実施の形態では、２次光源の形状を制御するために、第２の反射素子群３６ｂ近傍には、開口絞りとしてのσ絞りＡＳ１が設けられている。このσ絞りＡＳ１は、例えば互いに形状が異なる複数の開口部をターレット状に設けたものからなる。そして、σ絞り制御ユニットＡＳＣ１により、どの開口部を光路内に配置するのかの制御が行われる。
【００４６】
さて、反射型フライアイ光学系３６により形成された２次光源からのＥＵＶ光は、この２次光源位置の近傍が焦点位置となるように位置決めされたコンデンサミラー３７へ向かい、このコンデンサミラー３７にて反射集光された後に、光路折り曲げミラー３８を介して、レチクルＲに達する。これらコンデンサミラー３７及び光路折り曲げミラー３８の表面には、ＥＵＶ光を反射させる多層膜が設けられている。そして、コンデンサミラー３７は、２次光源から発するＥＵＶ光を集光して、レチクルＲを均一照明する。
【００４７】
なお、本実施の形態では、レチクルＲへ向かう照明光と、このレチクルＲにて反射されて投影光学系ＰＬへ向かうＥＵＶ光との光路分離を空間的に行うために、照明光学系３は非テレセントリック系であり、かつ投影光学系ＰＬもレチクル側非テレセントリックな光学系としている。
【００４８】
レチクルＲ上には、ＥＵＶ光を反射する多層膜からなる反射膜が設けられており、この反射膜は、感光基板Ｗ上へ転写すべきパターンの形状に応じたパターンとなっている。このレチクルＲにて反射されて、レチクルＲのパターン情報を含むＥＵＶ光は、投影光学系ＰＬに入射する。
【００４９】
投影光学系ＰＬは、図１において説明した通り、第１反射鏡〜第６反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の６枚構成となっている。なお、投影光学系ＰＬに可変開口絞りが配置されている場合には、可変開口絞りの開口部の口径は可変開口絞り制御ユニットＡＳＣ２により制御される。
【００５０】
レチクルＲにて反射されたＥＵＶ光は、投影光学系ＰＬを通過して、感光基板Ｗ上の円弧形状の露光領域内に、所定の縮小倍率β（例えば｜β｜＝１／４，１／５、１／６）のもとでレチクルＲのパターンの縮小像を形成する。
【００５１】
レチクルＲは少なくともＹ方向に沿って移動可能なレチクルステージＲＳにより支持されており、感光基板ＷはＸＹＺ方向に沿って移動可能な基板ステージＷＳにより支持されている。これらのレチクルステージＲＳ及び基板ステージＷＳの移動は、それぞれレチクルステージ制御ユニットＲＳＣ及び基板ステージ制御ユニットＷＳＣにより制御される。露光動作の際には、照明光学系３によりレチクルＲに対してＥＵＶ光を照射しつつ、投影光学系ＰＬに対してレチクルＲ及び感光基板Ｗを、投影光学系ＰＬの縮小倍率により定まる所定の速度比で移動させる。これにより、感光基板Ｗ上の所定のショット領域内には、レチクルＲのパターンが走査露光される。
【００５２】
なお、本実施の形態において、σ絞りＡＳ１、可変開口絞りＡＳは、ＥＵＶ光を十分に遮光するために、Ａｕ、Ｔａ、Ｗなどの金属から構成されることが好ましい。また、以上述べた各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の表面の反射面は、ＥＵＶ光を反射するために反射膜としての多層膜が形成されている。この多層膜は、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、珪素、珪素酸化物のうちの複数の物質を積層させて形成されている。
【００５３】
なお、上述の投影光学系ＰＬでは、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）の反射面を光軸ＡＸに関して回転対称な高次非球面形状としているため、各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）にて発生する高次収差を補正して良好な結像性能を達成している。ここで、各反射鏡の反射面の面形状誤差や投影光学系の製造時における組み立て誤差等に起因する回転非対称な収差成分を補正するために、回転対称非球面を回転非対称な非球面としてもよい。
【００５４】
本実施の形態の露光装置として、マスクと基板とを静止した状態でマスクのパターンを露光し、基板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート型の露光装置を用いることもできる。
【００５５】
露光装置の用途としては半導体製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適用できる。
【００５６】
基板ステージやレチクルステージにリニアモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもよい。また、ステージは、ガイドに沿って移動するタイプでもよいし、ガイドを設けないガイドレスタイプでもよい。
【００５７】
ステージの駆動装置として平面モ−タを用いる場合、磁石ユニット（永久磁石）と電機子ユニットのいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットの他方をステージの移動面側（ベース）に設ければよい。
【００５８】
レチクルステージの移動により発生する反力は、特開平８−１６６４７５号公報、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装置においても適用可能である。
【００５９】
以上のように、本実施の形態の露光装置は、各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【００６０】
上述の実施の形態にかかる露光装置では、照明光学装置によってマスクを照明し（照明工程）、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板に露光する（露光工程）ことにより、マイクロデバイス（半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等）を製造することができる。以下、図２に示す実施の形態の露光装置を用いて感光基板としてのウエハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る半導体デバイスの製造方法を、図３のフローチャートを参照して説明する。
【００６１】
先ず、図３のステップ３０１において、１ロットのウエハ上に金属膜が蒸着される。次のステップ３０２において、その１ロットのウエハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップ３０３において、図２に示す本実施の形態の露光装置を用いて、マスク上のパターンの像がその投影光学系を介して、その１ロットのウエハ上の各ショット領域に順次露光転写される。即ち、照明光学装置によりマスクを照明し（照明工程）、マスクのパターンをウエハ上に転写する（露光工程）。
【００６２】
その後、ステップ３０４において、その１ロットのウエハ上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップ３０５において、その１ロットのウエハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウエハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【００６３】
また、図２に示す本実施の形態の露光装置では、プレート（ガラス基板）上に所定のパターン（回路パターン、電極パターン等）を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることもできる。以下、図４のフローチャートを参照して、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を製造する方法を説明する。図４において、パターン形成工程４０１では、実施の形態の露光装置を用いてマスクのパターンを感光性基板（レジストが塗布されたガラス基板等）に転写露光する、所謂光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レチクル剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成され、次のカラーフィルター形成工程４０２へ移行する。
【００６４】
次に、カラーフィルター形成工程４０２では、Ｒ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、Ｂ（Ｂｌｕｅ）に対応した３つのドットの組がマトリックス状に多数配列され、またはＲ、Ｇ、Ｂの３本のストライプのフィルターの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルターを形成する。そして、カラーフィルター形成工程４０２の後に、セル組み立て工程４０３が実行される。セル組み立て工程４０３では、パターン形成工程４０１にて得られた所定パターンを有する基板、およびカラーフィルター形成工程４０２にて得られたカラーフィルター等を用いて液晶パネル（液晶セル）を組み立てる。セル組み立て工程４０３では、例えば、パターン形成工程４０１にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルター形成工程４０２にて得られたカラーフィルターとの間に液晶を注入して、液晶パネル（液晶セル）を製造する。
【００６５】
その後、モジュール組み立て工程４０４にて、組み立てられた液晶パネル（液晶セル）の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【００６６】
（実施例）
以下、本発明に係る投影光学系の数値実施例について説明する。実施例における各反射鏡（Ｍ１〜Ｍ６）は光軸ＡＸに関して回転対称な非球面形状を有しており、この非球面形状は上述の（数式２）で表される。なお、実施例の投影光学系ＰＬは、ＥＵＶ光の波長（露光波長）が１３．４ｎｍ、縮小倍率｜β｜が１／４倍、物体側の開口数ＮＡが０．２６、物体高が２８．５〜３０．５であり、物体側テレセントリックに構成されている。
【００６７】
以下の（表１）に、実施例の投影光学系ＰＬの諸元の値を示す。（表１）において、左端には各反射面の面番号が示されている。また、曲率半径として示されているＩＮＦＩＮＩＴＹは、その面が平面であることを示している。距離は、各反射面間の面間隔を示している。なお、曲率半径、距離を示す単位としては、例えば、ｍｍを用いることができる。
【００６８】
2004031808.tif 000004
次に、（表２）に各面の非球面係数を示す。
【００６９】
2004031808.tif 000005
2004031808.tif 000006
2004031808.tif 000007
（比較例）
次に、比較例にかかる投影光学系の数値例について説明する。比較例における各反射鏡は光軸ＡＸに関して回転対称な非球面形状を有しており、この非球面形状は上述の（数式１）で表される。なお、比較例の投影光学系ＰＬは、ＥＵＶ光の波長（露光波長）が１３．４ｎｍ、縮小倍率｜β｜が１／４倍、物体側の開口数ＮＡが０．２６、物体高が２８．５〜３０．５であり、物体側テレセントリックに構成されている。
【００７０】
以下の（表３）に、比較例の投影光学系ＰＬの諸元の値を示す。（表３）において、左端には各反射面の面番号が示されている。また、曲率半径として示されているＩＮＦＩＮＩＴＹは、その面が平面であることを示している。距離は、各反射面間の面間隔を示している。なお、曲率半径、距離を示す単位としては、例えば、ｍｍを用いることができる。
【００７１】
2004031808.tif 000008
次に、（表４）に各面の非球面係数を示す。
2004031808.tif 000009
2004031808.tif 000010
（考察）
以下に、実施例及び比較例にかかる投影光学系ついての波面収差、像歪みを各像高毎に示す。波面収差については、１３．４ｎｍの光を用いてウエハ側から光線追跡を行うことにより得た、波面収差のＲＭＳ値を示している。
【００７２】
2004031808.tif 000011
これらの値より、本発明により、波面収差、像歪みともに、改善されていることが明らかである。即ち、波面収差については、比較例よりも実施例の値が小さくなっており、像歪みについては、比較例よりも実施例の値のばらつきが小さくなっている。
【００７３】
【発明の効果】
本発明の露光装置の投影光学系によれば、回転対称な非球面形状を表現する関数は、導関数が該回転軸上で零となる偶関数でない関数であることから、非球面の面を滑らかにすることができる。また、非球面形状の表現自由度を大きくすることができ面形状の制御をきめ細かに行うことができる。
【００７４】
また、ベキ級数項として偶数次項に加えて奇数次項を用いることにより、非球面形状を表す関数の低次のパラメータを増加させることができ、非球面形状の光軸に近い箇所の面形状の制御をよりきめ細かに行うことができる。また、非球面形状を表現するために、ベキ級数項の次数として１以上の自然数以外の数も用いるため非球面形状の表現自由度を更に大きくすることができる。
【００７５】
また本発明の露光装置によれば、良好に収差補正され優れた結像性能を有する投影光学系を用いて露光処理が行われるので、微細なパターンでも精度良く形成することができる。
【００７６】
また、本発明の露光方法によれば、良好に収差補正され優れた結像性能を有する投影光学系を用いて露光処理が行われるので、微細なパターンでも精度良く形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる投影光学系（実施例）の横断面の光路図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる投影光学系を備えた露光装置の構成を説明するための図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかるマイクロデバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態にかかるマイクロデバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
ＰＬ…投影光学系、Ｍ１…第１反射鏡、Ｍ２…第２反射鏡、Ｍ３…第３反射鏡、Ｍ４…第４反射鏡、Ｍ５…第５反射鏡、Ｍ６…第６反射鏡、ＡＳ…開口絞り、Ｅ…露光装置、３０…光源、Ｒ…レチクル、Ｗ…感光基板、ＲＳ…レチクルステージ、ＷＳ…基板ステージ。
【図１】
2004031808.tif 000012
【図２】
2004031808.tif 000013
【図３】
2004031808.tif 000014
【図４】
2004031808.tif 000015