(57)【要約】【課題】クリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための有効適切な気密試験方法を提供する。【解決手段】クリーンルーム１全体の気密性能を確認し評価するための試験方法であって、クリーンルーム１とその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機を運転して外気をクリーンルーム１に送風することによりクリーンルーム１内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づいてクリーンルーム１全体の気密性能を確認し評価する。試験のための送風機としては、クリーンルームに備えられている外調機６に組み込まれている送風機６ａを利用すれば良い。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための試験方法であって、クリーンルームとその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機により外気をクリーンルームに送風することによりクリーンルーム内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づきクリーンルーム全体の気密性能を確認し評価することを特徴とするクリーンルームの気密性能試験方法。
【請求項２】
クリーンルームに備えられている外調機に組み込まれている送風機を運転してクリーンルームを加圧することを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの気密性能試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームの気密性能試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、高度の清浄度が要求されるクリーンルームには外部から汚染原因物質が入り込むことのないように高度の気密性能が要求される。また、外部からの汚染原因物質の流入を確実に防止するために、クリーンルーム内の圧力を外部の圧力よりも常に若干高く維持する、つまり内圧を常に正圧状態に維持するような圧力制御が行われる。
【０００３】
そのようなクリーンルームの施工に際しては、所期の気密性能を確保できるような施工精度が要求されることは当然であり、クリーンルームの完成時にはその気密性能を確認するための試験を行うことが好ましいとされ、たとえば特許文献１には、クリーンルーム内に取り付けられる設備機器類（具体的には、コンセント等の配電用のボックスを使用して取り付けられるもの）を対象として、その取付部における気密性能を個々に試験するための気密試験器が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２７６５７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルームにおける気密性能は、上記のような設備機器類の取付部のみならず、たとえば出入口や搬出入口等の開口部廻り、あるいはダクトや配管類の貫通部等における気密処理の状況等によっても影響されるものであるが、上記の気密試験器は設備機器類の取付部を対象とする試験を行い得るのみで、それ以外の部位における気密性能試験に適用できるようなものではない。そして、従来においてはクリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための手法は確立されておらず、それを可能とする有効適切な気密試験方法の開発が必要とされていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記事情に鑑み、請求項１の発明は、クリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための試験方法であって、クリーンルームとその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機により外気をクリーンルームに送風することによりクリーンルーム内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づきクリーンルーム全体の気密性能を確認し評価することを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、クリーンルームに備えられている外調機に組み込まれている送風機を運転してクリーンルームを加圧することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施形態を示すもので、クリーンルーム１を対象としてその気密性能試験を実施している状況を示す概念図である。本実施形態におけるクリーンルーム１は、破線矢印で示しているように、天井チャンバー２内に設けたファンフィルタユニット３により給気を下向きに吹き出すとともに、還気を床下チャンバー４からリタンダクト５を通して天井チャンバー２に戻して循環させるような空調方式とされている。また、外調機６から外気供給ダクト７により所定量の外気をクリーンルーム１内に供給するとともに、生産装置８から排気ダクト９により所定量の排気を外部へ直接的に排出するようにし、外気量を排気量よりも常に多くなるように設定することでクリーンルーム１内を常に正圧に維持するようにしている。符号１０は差圧ダンパーであり、これは内圧が設定値を超えた場合に余剰空気を外部に逃がすことで内圧を設定値に維持するように作動するものである。
【０００９】
本実施形態の気密性能試験は、このクリーンルーム１とその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止し、その状態で外調機６に組み込まれている送風機６ａを運転してクリーンルーム１内を加圧するとともに、クリーンルーム１内を所定の設定圧力に維持するに要する外気送風量を測定することにより、その測定結果に基づいてクリーンルーム１全体の機密性能を確認し評価するものである。
【００１０】
具体的には、クリーンルーム１に設けられている出入口や搬出入口等の開口部を閉じることはもとより、クリーンルーム１の内外を貫通する状態で設けられている各種のダクトに組み込まれているダンパー（図示例の場合には差圧ダンパー１０および生産装置８からの排気ダクト９に組み込まれているダンパー１１）を完全に閉じ、それによりクリーンルーム１全体を密閉状態とする。
【００１１】
その状態で外調機６に組み込まれている送風機６ａを運転してクリーンルーム１に外気を強制的に供給すると、クリーンルーム１内は外部よりも加圧されることになるから、クリーンルーム１の内圧を外部よりも僅かに高い（たとえば１０Ｐａないし２０Ｐａ程度）所定の設定圧力に維持するように送風機６ａを運転し、それに要する外気供給量を外気供給ダクト７に設けた流量計あるいは風速計等の測定手段１２により測定する。
【００１２】
この場合、クリーンルーム１の気密性能が充分に高ければ供給された外気が外部にリークすることが殆どないので、外気を僅かに供給するだけでクリーンルーム１内を設定圧力に維持することができるが、クリーンルーム１の気密性能が充分でない場合には多量のリークが生じることから、内圧を設定圧に維持できなかったり、あるいは設定圧に維持するに要する外気供給量が多くなり、したがって設定圧に維持するに要する外気供給量を測定すれば、それを指標としてクリーンルーム１全体の気密性能を定量的に確認でき評価できることになる。
【００１３】
そして、気密性能が充分でない場合には、上記の試験を行いつつクリーンルーム１の各部を内外から目視観察すれば、大きなリークが生じている部分ではリーク音が発生するので潜在しているリーク箇所を容易に発見し易く、リーク箇所を発見したら補修する等、必要な処置を施せば良い。また、上記のようにしてリーク箇所を補修しながら、あるいはリークが生じると想定される部位に目張りを行ったり、特定の開口部やダンパー等を開いた状態と閉じた状態で試験を行う等、条件を様々に変更しながら上記の試験を繰り返すことにより、潜在的なリーク箇所やそこでのリーク程度を特定できるし、補修の良否を判定することもできる。
【００１４】
以上のように、本実施形態の気密性能試験によれば、クリーンルーム１全体の気密性能を概括的に確認でき評価できるとともに、その試験はクリーンルーム１に備えられている外調機６を用いるだけであるから格別の試験装置類を必要とせず、また、単に全ての開口部を閉じて外調機６を運転するだけであるから何等面倒な手間も必要とせず、さしたる費用を必要としない。
【００１５】
なお、従来においてはクリーンルーム１全体の気密性能を必ずしも正確に確認、評価できないことから、通常運転時には安全率を充分に見込んで内圧を過度に高く設定しがちであり、そのために外調機６の容量および外気供給量を過大に設定することが一般的であるが、本方法の採用によりクリーンルーム１の気密性能を明確に確認し評価することが可能となれば、従来のように安全率を過度に見込む必要がなくなり、したがって外調機６の運転を最適かつ経済的に行うことが可能であり、設備費および運転費の軽減に寄与することができる。たとえば、従来一般にはクリーンルーム内を正圧に維持するに要する余剰空気量を安全率を見込んで換気回数に換算して０．５〜１回／ｈ程度に設定することが一般的であるが、本方法により充分な気密性能を有することを確認できればそれを０．１〜０．２回／ｈ程度まで削減することも可能となるので、それにより大幅な運転費削減を実現することができる。
【００１６】
以上で本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものでは勿論なく、様々な用途、規模、形態、空調方式のクリーンルームに広く適用できることはいうまでもない。
【００１７】
また、上記実施形態では外調機６に組み込まれている送風機６ａを利用して気密試験を行うようにしたが、それに限らず、クリーンルームに備えられている給気ファン等の他の送風機を用いることでも良いし、あるいは気密試験に際してそのための試験用の送風機を一時的に設置して試験を行うことでも良い。
【００１８】
【発明の効果】
請求項１の発明は、クリーンルームとその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機を運転することにより外気をクリーンルームに送風してクリーンルーム内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づいてクリーンルームの気密性能を確認し評価する方法であるので、何等面倒な手間を必要とせずクリーンルーム全体の気密性能を簡便に確認でき評価することが可能である。
【００１９】
請求項２の発明は、クリーンルームに備えられている外調機に組み込まれている送風機を利用して試験を行うので、格別の試験装置を一切必要としない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態である気密性能試験を実施している状態を示す図である。
【符号の説明】
１  クリーンルーム
２  天井チャンバー
３  ファンフィルタユニット
４  床下チャンバー
５  リタンダクト
６  外調機
６ａ  送風機
７  外気供給ダクト
８  生産装置
９  排気ダクト
１０  差圧ダンパー
１１  ダンパー
１２  測定手段
【図１】
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