(57)【要約】【課題】結晶核からの十分なラテラル成長を実現して大粒径の結晶化半導体膜を生成することのできる結晶化装置。【解決手段】位相シフトマスク（１）を照明する照明系（２）を備え、位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターンの光強度分布を有する光を非晶質半導体膜（４）に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置。照明系と位相シフトマスクとの間の光路中に集光発散素子（３）が配置されている。集光発散素子は、照明系から供給された光を、位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光に変換して位相シフトマスクに照射する。【選択図】　図１
2004031840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位相シフトマスクを照明する照明系を備え、前記位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターンの光強度分布を有する光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置において、
前記照明系と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置されて、前記照明系から供給された光を、前記位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光に変換して前記位相シフトマスクに照射するための光変換素子を備えていることを特徴とする結晶化装置。
【請求項２】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとは互いにほぼ平行に且つ近接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の結晶化装置。
【請求項３】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置された結像光学系をさらに備え、
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜は、前記位相シフトマスクと光学的に共役な面から前記結像光学系の光軸に沿って所定距離だけ離れて設定されていることを特徴とする請求項１に記載の結晶化装置。
【請求項４】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置された結像光学系をさらに備え、
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜は、前記位相シフトマスクと光学的にほぼ共役な面に設定され、
前記結像光学系の像側開口数は、前記逆ピークパターンの光強度分布を発生させるための所要の値に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の結晶化装置。
【請求項５】
前記光変換素子は、前記位相シフト部において光束が発散されて照明される領域と前記位相シフト部の周囲において光束が集光されて照明される領域とを生成する集光発散素子であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の結晶化装置。
【請求項６】
前記集光発散素子は、光束を発散させるための発散屈折面と光束を集光させるための集光屈折面とを有することを特徴とする請求項５に記載の結晶化装置。
【請求項７】
前記発散屈折面および前記集光屈折面は、所定の方向に沿って一次元的に屈折機能を有することを特徴とする請求項６に記載の結晶化装置。
【請求項８】
前記発散屈折面および前記集光屈折面は、２つの方向に沿って二次元的に屈折機能を有することを特徴とする請求項６に記載の結晶化装置。
【請求項９】
前記発散屈折面と前記集光屈折面とは、全体的に正弦波形状の屈折面を形成していることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の結晶化装置。
【請求項１０】
前記全体的に正弦波形状の屈折面は、連続的な曲面形状に形成されていることを特徴とする請求項９に記載の結晶化装置。
【請求項１１】
前記全体的に正弦波形状の屈折面は、段差形状に形成されていることを特徴とする請求項９に記載の結晶化装置。
【請求項１２】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜に照射される光強度分布は、前記位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターン領域と、該逆ピークパターン領域から周囲に向かって光強度が増加する凹型パターン領域とを有し、前記逆ピークパターン領域と前記凹型パターン領域との間において周囲に向かって傾きが減じる変曲点を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の結晶化装置。
【請求項１３】
前記光変換素子と前記位相シフトマスクとが一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の結晶化装置。
【請求項１４】
一体的に形成された前記光変換素子と前記位相シフトマスクとは、光の入射方向から順に、前記光変換素子の入射面、前記光変換素子と前記位相シフトマスクとの界面、および前記位相シフトマスクの位相シフト面を有することを特徴とする請求項１３に記載の結晶化装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の前記光変換素子と前記位相シフトマスクとが一体的に形成されていることを特徴とする光学部材。
【請求項１６】
位相シフトマスクを照明し、前記位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターンの光強度分布を有する光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化方法において、
前記位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光を前記位相シフトマスクに照射することを特徴とする結晶化方法。
【請求項１７】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとを互いにほぼ平行に且つ近接して配置することを特徴とする請求項１６に記載の結晶化方法。
【請求項１８】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に結像光学系を配置し、
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜を前記位相シフトマスクと光学的に共役な面から前記結像光学系の光軸に沿って所定距離だけ離れて設定することを特徴とする請求項１６に記載の結晶化方法。
【請求項１９】
前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に結像光学系を配置し、
前記結像光学系の像側開口数を前記逆ピークパターンの光強度分布を発生させるための所要の値に設定し、
前記位相シフトマスクと光学的にほぼ共役な面に前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜を設定することを特徴とする請求項１６に記載の結晶化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、結晶化装置および結晶化方法に関する。特に、本発明は、位相シフトマスクを用いて位相変調されたレーザ光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する装置および方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、たとえば液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ−Ｃｒｙｓｔａｌ−Ｄｉｓｐｌａｙ：ＬＣＤ）の画素に印加する電圧を制御するスイッチング素子などに用いられる薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ−Ｆｉｌｍ−Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：ＴＦＴ）の材料は、非晶質シリコン（ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−Ｓｉｌｉｃｏｎ）と多結晶シリコン（ｐｏｌｙ−Ｓｉｌｉｃｏｎ）とに大別される。
【０００３】
多結晶シリコンは、非晶質シリコンよりも電子移動度が高い。したがって、多結晶シリコンを用いてトランジスタを形成した場合、非晶質シリコンを用いる場合よりも、スイッチング速度が速くなり、ひいてはディスプレイの応答が速くなり、他の部品の設計マージンを減らせるなどの利点がある。また、ディスプレイ本体以外にドライバ回路やＤＡＣなどの周辺回路をディスプレイに組み入れる場合に、それらの周辺回路をより高速に動作させることができる。
【０００４】
多結晶シリコンは結晶粒の集合からなるが、結晶シリコンに比べると電子移動度が低い。また、多結晶シリコンを用いて形成した小型のトランジスタでは、チャネル部における結晶粒界数のバラツキが問題となる。そこで、最近、電子移動度を向上させ且つチャネル部における結晶粒界数のバラツキを少なくするために、大粒径の多結晶シリコンを生成する結晶化方法が提案されている。
【０００５】
従来、この種の結晶化方法として、多結晶半導体膜または非晶質半導体膜と平行に近接させた位相シフトマスクにエキシマレーザ光を照射して結晶化半導体膜を生成する「位相制御ＥＬＡ（Ｅｘｃｉｍｅｒ　Ｌａｓｅｒ　Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）」が知られている。位相制御ＥＬＡの詳細は、たとえば「表面科学Ｖｏｌ．２１，　Ｎｏ．５，　ｐｐ．２７８−２８７，　２０００」に開示されている。
【０００６】
位相制御ＥＬＡでは、位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度がほぼ０の逆ピークパターン（中心において光強度がほぼ０で周囲に向かって光強度が急激に増大するパターン）の光強度分布を発生させ、この逆ピークパターンの光強度分布を有する光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射する。その結果、光強度分布に応じて溶融領域が生じ、光強度がほぼ０の点に対応して溶けない部分または最初に凝固する部分に結晶核が形成され、その結晶核から周囲に向かって結晶が横方向に成長（ラテラル成長）することにより大粒径の結晶が生成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来技術では、位相シフト部に対応する点において光強度がほぼ０の逆ピークパターンの光強度分布を有する光を半導体膜に照射し、その光強度分布において光強度がほぼ０の点に対応した部分に結晶核が形成されるので、結晶核の形成位置の制御が可能である。しかしながら、互いに隣接する２つの位相シフト部に対応して形成される２つの隣接した逆ピークパターンの間の中間部における光強度分布の制御を行うことは不可能である。
【０００８】
実際に、従来技術では、中間部における光強度分布は不規則なうねり（光強度の増大と減少とを繰り返すような波状分布）を伴うのが一般的である。この場合、結晶化のプロセスにおいて、結晶核から周囲に向かって開始したラテラル成長が、中間部において光強度が減少する部分で停止してしまい、大きな結晶の成長が妨げられるという不都合があった。また、仮に中間部においてほぼ一様な光強度分布が得られたとしても、この一様な光強度分布の任意の位置でラテラル成長が停止してしまい、大きな結晶の成長が妨げられるという不都合があった。
【０００９】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、結晶核からの十分なラテラル成長を実現して大粒径の結晶化半導体膜を生成することのできる結晶化装置および結晶化方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の第１発明では、位相シフトマスクを照明する照明系を備え、前記位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターンの光強度分布を有する光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化装置において、前記照明系と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置されて、前記照明系から供給された光を、前記位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光に変換して前記位相シフトマスクに照射するための光変換素子を備えていることを特徴とする結晶化装置を提供する。
【００１１】
第１発明の好ましい態様によれば、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとは互いにほぼ平行に且つ近接して配置されている。あるいは、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置された結像光学系をさらに備え、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜は、前記位相シフトマスクと光学的に共役な面から前記結像光学系の光軸に沿って所定距離だけ離れて設定されている。あるいは、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に配置された結像光学系をさらに備え、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜は、前記位相シフトマスクと光学的にほぼ共役な面に設定され、前記結像光学系の像側開口数は、前記逆ピークパターンの光強度分布を発生させるための所要の値に設定されている。
【００１２】
また、第１発明の好ましい態様によれば、前記光変換素子は、前記位相シフト部において光束が発散されて照明される領域と前記位相シフト部の周囲において光束が集光されて照明される領域とを生成する集光発散素子である。この場合、前記集光発散素子は、光束を発散させるための発散屈折面と光束を集光させるための集光屈折面とを有することが好ましい。また、この場合、前記発散屈折面および前記集光屈折面は、所定の方向に沿って一次元的に屈折機能を有するか、あるいは２つの方向に沿って二次元的に屈折機能を有することが好ましい。
【００１３】
本発明の第２発明では、位相シフトマスクを照明し、前記位相シフトマスクの位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターンの光強度分布を有する光を多結晶半導体膜または非晶質半導体膜に照射して結晶化半導体膜を生成する結晶化方法において、前記位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光を前記位相シフトマスクに照射することを特徴とする結晶化方法を提供する。
【００１４】
第２発明の好ましい態様によれば、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとを互いにほぼ平行に且つ近接して配置する。あるいは、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に結像光学系を配置し、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜を前記位相シフトマスクと光学的に共役な面から前記結像光学系の光軸に沿って所定距離だけ離れて設定する。あるいは、前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜と前記位相シフトマスクとの間の光路中に結像光学系を配置し、前記結像光学系の像側開口数を前記逆ピークパターンの光強度分布を発生させるための所要の値に設定し、前記位相シフトマスクと光学的にほぼ共役な面に前記多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜を設定する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。第１実施形態の結晶化装置は、位相シフトマスク１を照明する照明系２を備えている。照明系２は、たとえば２４８ｎｍの波長を有する光を供給するＫｒＦエキシマレーザ光源２ａを備えている。なお、光源２ａとして、ＸｅＣｌエキシマレーザ光源のような他の適当な光源を用いることもできる。光源２ａから供給されたレーザ光は、ビームエキスパンダ２ｂを介して拡大された後、第１フライアイレンズ２ｃに入射する。
【００１６】
こうして、第１フライアイレンズ２ｃの後側焦点面には複数の光源が形成され、これらの複数の光源からの光束は第１コンデンサー光学系２ｄを介して、第２フライアイレンズ２ｅの入射面を重畳的に照明する。その結果、第２フライアイレンズ２ｅの後側焦点面には、第１フライアイレンズ２ｃの後側焦点面よりも多くの複数の光源が形成される。第２フライアイレンズ２ｅの後側焦点面に形成された複数の光源からの光束は、第２コンデンサー光学系２ｆを介して、位相シフトマスク１を重畳的に照明する。
【００１７】
ここで、第１フライアイレンズ２ｃおよび第１コンデンサー光学系２ｄは第１ホモジナイザを構成し、この第１ホモジナイザにより位相シフトマスク１上での入射角度に関する均一化が図られる。また、第２フライアイレンズ２ｅおよび第２コンデンサー光学系２ｆは第２ホモジナイザを構成し、この第２ホモジナイザにより位相シフトマスク１上での面内位置に関する均一化が図られる。したがって、照明系２と位相シフトマスク１との間の光路中には集光発散素子３が配置されているが、集光発散素子３が介在しない状態では照明系２はほぼ均一な光強度分布を有する光を位相シフトマスク１に照射する。
【００１８】
位相シフトマスク１を介して位相変調されたレーザ光は、位相シフトマスク１と平行に且つ近接して配置された被処理基板４に照射される。ここで、被処理基板４は、たとえば液晶ディスプレイ用板ガラスの上に化学気相成長法により下地膜および非晶質シリコン膜を形成することにより得られる。換言すれば、位相シフトマスク１は、非晶質半導体膜と対向するように設定されている。被処理基板４は、真空チャックや静電チャックなどにより基板ステージ５上において所定の位置に保持されている。
【００１９】
図２は、位相シフトマスクおよび集光発散素子の基本単位部分の構成を概略的に示す図である。図２（ａ）を参照すると、位相シフトマスク１の基本単位部分１１は、４つの矩形状の領域１１ａ〜１１ｄを有する。ここで、第１領域１１ａの透過光と第２領域１１ｂの透過光との間にはπ／２の位相差が付与され、第２領域１１ｂの透過光と第３領域１１ｃの透過光との間にもπ／２の位相差が付与され、第３領域１１ｃの透過光と第４領域１１ｄの透過光との間にもπ／２の位相差が付与され、第４領域１１ｄの透過光と第１領域１１ａの透過光との間にもπ／２の位相差が付与されるように構成されている。
【００２０】
具体的は、たとえば位相シフトマスク１が２４８ｎｍの波長を有する光に対して１．５の屈折率を有する石英ガラスで形成されている場合、第１領域１１ａと第２領域１１ｂとの間には１２４ｎｍの段差が付与され、第１領域１１ａと第３領域１１ｃとの間には２４８ｎｍの段差が付与され、第１領域１１ａと第４領域１１ｄとの間には３７２ｎｍの段差が付与されている。なお、各領域の境界線である４つの位相シフト線の交点は、後述するように位相シフト部１１ｅを構成する。位相シフトマスク１は、図３に示すように、基本単位部分１１を二次元的に配置することにより構成されている。
【００２１】
一方、集光発散素子３の基本単位部分１３は、全体的に正弦波形状の屈折面１３ａを有する。この正弦波形状の屈折面１３ａは、図２（ａ）に示すように、ｘ方向に沿って一次元的に屈折機能を有するように形成されている。そして、図２（ａ）の線Ａ−Ａに沿った断面図である図２（ｂ）に示すように、正弦波形状の屈折面１３ａのうち、上に凸の形状を有する発散屈折面１３ｂの中心が位相シフトマスク１の基本単位部分１１の位相シフト部１１ｅに対応して位置決めされている。そして、発散屈折面１３ｂの両側に、下に凸の形状を有する集光屈折面１３ｃが位置決めされている。
【００２２】
こうして、集光発散素子３の基本単位部分１３に入射した光のうち、発散屈折面１３ｂが形成された領域を介した光は発散作用を受けて、位相シフト部１１ｅを中心とする領域に達する。また、集光屈折面１３ｃが形成された領域を介した光は集光作用を受けて、位相シフト部１１ｅのｘ方向に沿った両側に達する。集光発散素子３も、位相シフトマスク１と同様に、基本単位部分１３を二次元的に配置することにより構成されている。
【００２３】
図４は、位相シフトマスクの作用を説明する図である。以下、照明系２と位相シフトマスク１との間の光路中に集光発散素子３が介在しない場合における位相シフトマスク１の基本的作用を説明する。この場合、位相シフトマスク１では、隣接する２つの領域の間の位相差がπ／２に設定されているので、位相シフト線に対応する位置では光強度が減少するが０にはならない。一方、位相シフト線の交点を中心とする円形領域の複素透過率の積分値が０になるように設定されているので、この交点すなわち位相シフト部１１ｅに対応する位置では光強度がほぼ０になる。
【００２４】
その結果、被処理基板４上では、図４に示すように、位相シフトマスク１の位相シフト部１１ｅに対応する点において光強度がほぼ０で且つ周囲に向かって急激に光強度が増加する逆ピークパターンの光強度分布が得られる。この逆ピークパターンの光強度分布は、ｘｚ平面およびｙｚ平面の双方においてほぼ同じプロファイルを有する。なお、逆ピークパターンの幅寸法は、位相シフトマスク１と被処理基板４との距離（すなわちデフォーカス量）の１／２乗に比例して変化する。
【００２５】
前述したように、従来技術では、図４に示すような逆ピークパターンの光強度分布を有する光を半導体膜に照射していた。この場合、互いに隣接する２つの位相シフト部に対応して形成される２つの隣接した逆ピークパターンの間の中間部における光強度分布は不規則なうねりを伴っているので、光強度がほぼ０の点に対応したピーク部分に形成された結晶核から周囲に向かって開始したラテラル成長が中間部において光強度の減少する部分で停止してしまい、大きな結晶の成長が妨げられる。そこで、第１実施形態では、結晶核からの十分なラテラル成長を実現するために、照明系２と位相シフトマスク１との間の光路中に集光発散素子３を導入している。
【００２６】
図５は、集光発散素子の作用を説明する図である。上述したように、集光発散素子３の基本単位部分１３は、位相シフト部１１ｅに対応して形成された発散屈折面１３ｂとその両側に形成された集光屈折面１３ｃとからなる全体的に正弦波形状の屈折面１３ａを有する。したがって、発散屈折面１３ｂが形成された領域を介して発散作用を受けた光は位相シフト部１１ｅを中心とする領域に達し、集光屈折面１３ｃが形成された領域を介して集光作用を受けた光は位相シフト部１１ｅの両側に達する。
【００２７】
その結果、図５に示すように、位相シフトマスク１上では、その位相シフト部１１ｅにおいて光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布が得られる。具体的には、発散屈折面１３ｂの中心に対応する位置において光強度が最も小さく、集光屈折面１３ｃの中心に対応する位置において光強度が最も大きいような凹型パターンの光強度分布が得られる。なお、この凹型パターンの光強度分布は、ｘｚ平面において図５に示すような曲線状のプロファイルを有するが、ｙｚ平面におけるプロファイルは一様である。
【００２８】
図６は、集光発散素子と位相シフトマスクとの協働作用により被処理基板上で得られる光強度分布を説明する図である。上述したように、位相シフトマスク１は、均一な光強度分布を有する光に基づいて図４に示すような逆ピークパターンの光強度分布を有する光に変換して被処理基板４に（ひいては半導体膜に）照射する機能を有する。一方、集光発散素子３は、照明系２から供給された均一な光強度分布を有する光を、位相シフト部１１ｅにおいて光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光に変換して位相シフトマスク１に照射する機能を有する。
【００２９】
したがって、第１実施形態では、集光発散素子３と位相シフトマスク１との協働作用により、逆ピークパターンの光強度分布と凹型パターンの光強度分布との積で表される図６に示すような２段逆ピークパターンの光強度分布が被処理基板４の半導体膜上において得られる。図６に示す２段逆ピークパターンの光強度分布では、上述の逆ピークパターンに対応するように、位相シフト部１１ｅに対応する点において光強度がほぼ０で、その周囲に向かって放射状に急激に光強度が増加して所定の値に達する。その後、光強度は、上述の凹型パターンに対応するように、ｙ方向には変化することなくｘ方向に沿ってのみほぼ単調に増加している。
【００３０】
その結果、第１実施形態では、２段逆ピークパターンの光強度分布において光強度がほぼ０の点（すなわち位相シフト部１１ｅに対応する点）に対応した部分に結晶核が形成される。次いで、結晶核から、光強度勾配（ひいては温度勾配）の大きいｘ方向に沿って且つ周囲に向かってラテラル成長が開始される。このとき、２段逆ピークパターンの光強度分布では、従来技術とは異なり中間部において光強度が減少する部分が実質的に存在しないので、ラテラル成長が途中で停止することなく大きな結晶の成長を実現することができる。
【００３１】
こうして、第１実施形態では、結晶核からの十分なラテラル成長を実現して、大粒径の結晶化半導体膜を生成することができる。特に、生成された大粒径の結晶では、ラテラル成長の方向（ｘ方向）に高い電子移動度を有するので、ラテラル成長の方向にトランジスタのソース−ドレインを配置することにより、良好な特性のトランジスタを製造することができる。
【００３２】
図７は、本発明の第２実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。第２実施形態は第１実施形態と類似の構成を有するが、第２実施形態では位相シフトマスク１と被処理基板４との間の光路中に結像光学系６を備えている点が第１実施形態と基本的に相違している。以下、第１実施形態との相違点に着目して、第２実施形態を説明する。なお、図７では、図面の明瞭化のために、照明系２の内部構成の図示を省略している。
【００３３】
第２実施形態では、図７に示すように、被処理基板４は位相シフトマスク１と光学的に共役な面（結像光学系６の像面）から光軸に沿って所定距離だけ離れて設定されている。この場合、位相シフトマスク１の作用により被処理基板４の半導体膜上に形成される逆ピークパターンの幅寸法は、結像光学系６の解像度が十分だとすると、結像光学系６の像面と被処理基板４との距離（すなわちデフォーカス量）の１／２乗に概ね比例して変化する。なお、結像光学系６は、屈折型の光学系であってもよいし、反射型の光学系であってもよいし、屈折反射型の光学系であってもよい。
【００３４】
第２実施形態においても第１実施形態と同様に、集光発散素子３と位相シフトマスク１との協働作用により２段逆ピークパターンの光強度分布が被処理基板４の半導体膜上に形成されるので、結晶核からの十分なラテラル成長を実現して大粒径の結晶化半導体膜を生成することができる。なお、第１実施形態では被処理基板４におけるアブレーションに起因して位相シフトマスク１が汚染され、ひいては良好な結晶化が妨げられることがある。これに対して、第２実施形態では、位相シフトマスク１と被処理基板４との間に結像光学系６が介在し且つ被処理基板４と結像光学系６との間隔も比較的大きく確保されているので、被処理基板４におけるアブレーションの影響を受けることなく良好な結晶化を実現することができる。
【００３５】
また、第１実施形態では、位相シフトマスク１と被処理基板４との間に設定すべき間隔が非常に小さい（たとえば数μｍ〜数百μｍ）ので、位相シフトマスク１と被処理基板４との間の狭い光路中に位置検出のための検出光を導入することが困難であり、ひいては位相シフトマスク１と被処理基板４との間隔を調整することが困難である。これに対して、第２実施形態では、被処理基板４と結像光学系６との間隔が比較的大きく確保されているので、被処理基板４と結像光学系６との間の光路中に位置検出のための検出光を導入して、被処理基板４と結像光学系６との位置関係を調整することが容易である。
【００３６】
図８は、本発明の第３実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。第３実施形態は第２実施形態と類似の構成を有するが、第３実施形態では結像光学系７を介して位相シフトマスク１と被処理基板４とが光学的に共役に配置されている点が第２実施形態と基本的に相違している。以下、第２実施形態との相違点に着目して、第３実施形態を説明する。なお、図８においても、図面の明瞭化のために、照明系２の内部構成の図示を省略している。
【００３７】
第３実施形態では、結像光学系７は、その瞳面に配置された開口絞り７ａを備えている。開口絞り７ａは、開口部（光透過部）の大きさの異なる複数の開口絞りを有し、これらの複数の開口絞りは光路に対して交換可能に構成されている。あるいは、開口絞り７ａは、開口部の大きさを連続的に変化させることのできる虹彩絞りを有する。いずれにしても、開口絞り７ａの開口部の大きさ（ひいては結像光学系７の像側開口数）は、被処理基板４の半導体膜上において所要の逆ピークパターンの光強度分布を発生させるように設定されている。
【００３８】
この場合、位相シフトマスク１の作用により被処理基板４の半導体膜上に形成される逆ピークパターンの幅寸法は、結像光学系７の解像度Ｒと同程度になる。結像光学系７の解像度Ｒは、使用光の波長をλとし、結像光学系７の像側開口数をＮＡとすると、Ｒ＝ｋλ／ＮＡで規定される。ここで、定数ｋは、位相シフトマスク１を照明する照明系２の仕様や、光源１から供給される光束のコヒーレンスの程度、解像度の定義にもよるが、ほぼ１に近い値である。このように、第３実施形態では、結像光学系７の像側開口数ＮＡを小さくして、結像光学系７の解像を低下させると、逆ピークパターンの幅寸法が大きくなる。
【００３９】
第３実施形態においても第１実施形態および第２実施形態と同様に、集光発散素子３と位相シフトマスク１との協働作用により２段逆ピークパターンの光強度分布が被処理基板４の半導体膜上に形成されるので、結晶核からの十分なラテラル成長を実現して大粒径の結晶化半導体膜を生成することができる。また、第３実施形態においても第２実施形態と同様に、被処理基板４におけるアブレーションの影響を受けることなく良好な結晶化を実現することができるとともに、被処理基板４と結像光学系７との位置関係を調整することが容易である。
【００４０】
なお、上述の各実施形態では、集光発散素子３は全体的に正弦波形状の屈折面１３ａを有するが、この正弦波形状の屈折面１３ａは連続的な曲面形状に形成されていてもよいし、あるいは段差形状に形成されていてもよい。図９は、集光発散素子の正弦波形状の屈折面を段差形状に形成した場合に位相シフトマスク上で得られる凹型パターンの光強度分布に関するシミュレーション結果を示す図である。
【００４１】
このシミュレーションでは、集光発散素子３の正弦波形状の屈折面３ａを、位相差が２２．５度〜１８０度に相当する８レベル段差で近似している。また、照明系２の開口数を０．０２５に設定し、集光発散素子３から４０μｍだけ間隔を隔てて配置された位相シフトマスク１上における光強度分布を計算により求めている。図９に示すように、集光発散素子３の正弦波形状の屈折面３ａを正弦波形状に多段近似しても、位相シフト部において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布が得られることがわかる。
【００４２】
なお、連続的な曲面やその多段近似に限定されることなく、位相差にして０〜２πの範囲を折り返した「キノフォーム」として集光発散素子３を構成することもできる。また、集光発散素子３に屈折面を付与することなく、光学材料の屈折率分布によりその集光発散作用を実現してもよい。この場合、光強度により屈折率が変調されるフォトポリマーや、ガラスのイオン交換などの従来技術を使用することができる。また、ホログラムもしくは回折光学素子を用いて、集光発散素子３と等価な光変換作用を実現してもよい。
【００４３】
また、上述の各実施形態では、集光発散素子３の屈折面１３ａがｘ方向に沿って一次元的に屈折機能を有するように形成されているが、これに限定されることなく、ｘ方向およびｙ方向に沿って二次元的に屈折機能を有するように設定することもできる。この場合、集光発散素子３の作用により位相シフトマスク１上に形成される凹型パターンの光強度分布では、ｘｚ平面およびｙｚ平面の双方において同様の凹型のプロファイルを有することになる。
【００４４】
さらに、上述の各実施形態では、位相シフトマスク１が、０、π／２、π、３π／２の位相に対応する４つの矩形状の領域から構成されているが、これに限定されることなく、位相シフトマスクについて様々な変形例が可能である。たとえば、３以上の位相シフト線からなる交点（位相シフト部）を有し、この交点を中心とする円形領域の複素透過率の積分値がほぼ０であるような位相シフトマスクを用いることができる。また、図１０に示すように、位相シフト部に対応する円形状の段差を有し、この円形状の段差部分の透過光とその周囲の透過光との位相差がπになるように設定された位相シフトマスクを用いることもできる。
【００４５】
ところで、図６を再び参照すると、被処理基板４の半導体膜（多結晶半導体膜または前記非晶質半導体膜）に照射される光強度分布は、位相シフトマスク１の位相シフト部に対応する点において光強度の最も小さい逆ピークパターン領域と、この逆ピークパターン領域から周囲に向かって光強度が増加する凹型パターン領域とを有する。そして、この２段逆ピークパターンの光強度分布は、逆ピークパターン領域と凹型パターン領域との間において周囲に向かって傾きが減じる変曲点を有する。
【００４６】
この場合、逆ピークパターンの光強度分布において傾きの大きな位置に結晶核は発生するが、結晶核の内部は多結晶になり、その周囲に所望の単結晶が形成される。したがって、逆ピークパターン領域と凹型パターン領域との間において傾きが減じる変曲点が存在しないような光強度分布を被処理基板４の半導体膜に照射しても、結晶核の発生位置が外側になり、結晶化する領域の面積が狭くなってしまう。なお、光強度分布は設計の段階でも計算できるが、実際の被処理面（被露光面）での光強度分布を観察して確認しておくことが望ましい。そのためには、被処理面を光学系で拡大し、ＣＣＤなどの撮像素子で入力すれば良い。使用光が紫外線の場合は、光学系が制約を受けるため、被処理面に蛍光板を設けて可視光に変換しても良い。
【００４７】
また、上述の実施形態では、光変換素子としての集光発散素子３と位相シフトマスク１とが個別の光学部材として形成されているが、これに限定されることなく、集光発散素子３と位相シフトマスク１とを一体的に形成することもできる。この場合、装置に取り付ける際に集光発散素子３および位相シフトマスク１をそれぞれ位置合わせする必要がなく、一体化された１つの光学部材として集光発散素子３と位相シフトマスク１とを装置に対して精度良く取り付けることができる。
【００４８】
なお、一体的に形成された集光発散素子３と位相シフトマスク１とは、光の入射方向から順に、集光発散素子３の入射面、集光発散素子３と位相シフトマスク１との界面、および位相シフトマスク１の位相シフト面を有することが好ましい。このように、位相シフト面よりも被処理基板４側にガラスなどの層構造がない構成を採ることにより、第１実施形態において位相シフト面と被処理基板４との距離を十分に接近させて良好な結晶化を行うことができる。
【００４９】
また、第２実施形態および第３実施形態においては、特に逆ピークパターンの光強度分布を正確に形成するために高解像度を要するが、位相シフト面よりも被処理基板４側にガラスなどの層構造がない構成を採ることにより、不要な収差の発生を回避することができるので有利である。以下、一体的に形成された集光発散素子３と位相シフトマスク１との製造方法について簡単に説明する。
【００５０】
図１１は、一体的に形成された集光発散素子３と位相シフトマスク１との製造方法について説明する図である。図１１を参照すると、たとえば屈折率が１．５０８４１の石英基板４０にレジスト４１を塗布し、電子線描画および現像を行うことにより、レジストパターン４１ａが得られる。次いで、このレジストパターン４１ａをマスクとしてドライエッチングを行い、さらにレジスト除去を行うことにより、石英基板４０の表面がエッチング加工される。そして、レジスト塗布からレジスト除去までの工程を繰り返すことにより、石英基板４０の表面において全体的に正弦波形状の屈折面（たとえば深さ０．１２４μｍ）４０ａが形成される。
【００５１】
次いで、石英基板４０の正弦波形状の屈折面４０ａに、たとえば屈折率が２．３程度のＳｉｘＮｙ（高屈折率材料）からなり３μｍの厚さを有する高屈折率材料膜４２をＣＶＤ法により形成する。そして、たとえばＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）の手法により、高屈折率材料膜４２の表面を平坦化する。次いで、平坦化された高屈折率材料膜４２の表面に、たとえば４０μｍの厚さを有する有機ＳＯＧ膜（スピンオングラス、たとえばアルコキシシランをアルキル基で置換したもの）４３を形成する。
【００５２】
さらに、有機ＳＯＧ膜４３の表面にレジスト４４を塗布し、電子線描画および現像を行うことにより、レジストパターン４４ａが得られる。次いで、このレジストパターン４４ａをマスクとしてドライエッチングを行い、さらにレジスト除去を行うことにより、たとえば０．２４８μｍの深さを有する位相シフト面４５が形成される。こうして、集光発散素子３を構成する石英基板４０と、位相シフトマスク１を構成する高屈折率材料膜４２および有機ＳＯＧ膜４３とが一体的に形成される。ここで、正弦波形状の屈折面４０ａは、集光発散素子３と位相シフトマスク１との界面を構成することになる。
【００５３】
図１２は、各実施形態の結晶化装置を用いて電子デバイスを作製する工程を示す工程断面図である。図１２（ａ）に示すように、絶縁基板２０（例えば、アルカリガラス、石英ガラス、プラスチック、ポリイミドなど）の上に、下地膜２１（例えば、膜厚５０ｎｍのＳｉＮおよび膜厚１００ｎｍのＳｉＯ２積層膜など）および非晶質半導体膜２２（例えば、膜厚５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度のＳｉ，Ｇｅ，ＳｉＧｅなど）を、化学気相成長法やスパッタ法などを用いて成膜することにより、被処理基板４を準備する。そして、各実施形態の結晶化装置を用いて、非晶質半導体膜２２の表面の一部もしくは全部に、レーザ光２３（例えば、ＫｒＦエキシマレーザ光やＸｅＣｌエキシマレーザ光など）を照射する。
【００５４】
こうして、図１２（ｂ）に示すように、従来の結晶化装置を用いて生成された多結晶半導体膜に比べて大粒径の結晶を有する多結晶半導体膜または単結晶化半導体膜２４が生成される。次に、図１２（ｃ）に示すように、フォトリソグラフィ技術を用いて多結晶半導体膜または単結晶化半導体膜２４を島状の半導体膜２５に加工し、ゲート絶縁膜２６として膜厚２０ｎｍ〜１００ｎｍのＳｉＯ２膜を化学気相成長法やスパッタ法などを用いて成膜する。さらに、図１２（ｄ）に示すように、ゲート電極２７（例えば、シリサイドやＭｏＷなど）を形成し、ゲート電極２７をマスクにして不純物イオン２８（Ｎチャネルトランジスタの場合にはリン、Ｐチャネルトランジスタの場合にはホウ素）を注入する。その後、窒素雰囲気でアニール処理（例えば、４５０°Ｃで１時間）を行い、不純物を活性化する。
【００５５】
次に、図１２（ｅ）に示すように、層間絶縁膜２９を成膜してコンタクト穴をあけ、チャネル３０でつながるソース３１およびドレイン３２に接続するソース電極３３およびドレイン電極３４を形成する。このとき、図１２（ａ）および（ｂ）に示す工程において生成された多結晶半導体膜または単結晶化半導体膜２４の大粒径結晶の位置に合わせて、チャネル３０を形成する。以上の工程により、多結晶トランジスタまたは単結晶化半導体トランジスタを形成することができる。こうして製造された多結晶トランジスタまたは単結晶化トランジスタは、液晶ディスプレイやＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイなどの駆動回路や、メモリ（ＳＲＡＭやＤＲＡＭ）やＣＰＵなどの集積回路などに適用可能である。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、集光発散素子と位相シフトマスクとの協働作用により２段逆ピークパターンの光強度分布が被処理基板の半導体膜上に形成されるので、結晶核からの十分なラテラル成長を実現して、大粒径の結晶化半導体膜を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】位相シフトマスクおよび集光発散素子の基本単位部分の構成を概略的に示す図である。
【図３】位相シフトマスクがその基本単位部分を二次元的に配置することにより構成されている様子を示す図である。
【図４】位相シフトマスクの作用を説明する図である。
【図５】集光発散素子の作用を説明する図である。
【図６】集光発散素子と位相シフトマスクとの協働作用により被処理基板上で得られる光強度分布を説明する図である。
【図７】本発明の第２実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。
【図９】集光発散素子の正弦波形状の屈折面を段差形状に形成した場合に位相シフトマスク上で得られる凹型パターンの光強度分布に関するシミュレーション結果を示す図である。
【図１０】位相シフトマスクの変形例を示す図である。
【図１１】一体的に形成された集光発散素子と位相シフトマスクとの製造方法について説明する図である。
【図１２】各実施形態の結晶化装置を用いて電子デバイスを作製する工程を示す工程断面図である。
【符号の説明】
１　位相シフトマスク
２　照明系
２ａ　ＫｒＦエキシマレーザ光源
２ｂ　ビームエキスパンダ
２ｃ，２ｅ　フライアイレンズ
２ｄ，２ｆ　コンデンサー光学系
３　集光発散素子
４　被処理基板
５　基板ステージ
６，７　結像光学系
１１　位相シフトマスクの基本単位部分
１３　集光発散素子の基本単位部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004031840.tif 000010
【図９】
2004031840.tif 000011
【図１０】
2004031840.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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