(57)【要約】　　　（修正有）【課題】装置のフットプリントを増大させず、種々の測定が実行できるウエハ処理装置を提供する。【解決手段】処理チャンバ３０，３１を備えたウエハ処理装置１であって、該装置１は、ウエハ収納ボックス４に収納されたウエハが前記装置１に供給されることが可能な供給部２１と、ウエハを前記処理チャンバ３０，３１において処理するために、ウエハ収納ボックス４から搬出することが可能なウエハ制御装置１３と、センサボックス３であって、前記ウエハ制御装置１３がこのセンサボックス３内に、このセンサボックス３にウエハ供給の目的で設けられた開口部を通ってウエハを供給し得るように設けられ、ウエハでの測定を実行するように設けられたセンサボックス３とを含み、センサボックス３が移動可能に設けられ、前記センサボックス３を収納位置から測定位置まで移動させるように設けられたセンサボックス制御装置１０を備える。【選択図】　　　図１
2004031901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの処理チャンバを備えたウエハ処理装置であって、
供給部であって、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットに収納されたウエハが、前記装置に供給されることが可能な供給部と、
ウエハ制御装置であって、ウエハを、前記処理チャンバにおいて処理するために、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットから搬出することが可能なウエハ制御装置と、
少なくとも１つのセンサボックスであって、前記ウエハ制御装置がこの少なくとも１つのセンサボックス内に、この少なくとも１つのセンサボックスにウエハ供給の目的で設けられた開口部を通ってウエハを供給し得るように設けられ、ウエハでの測定を実行するように設けられた少なくとも１つのセンサボックスと、を含む前記ウエハ処理装置において、
少なくとも１つのセンサボックスが移動可能に設けられ、
前記少なくとも１つのセンサボックスを収納位置から測定位置まで移動させるように設けられたセンサボックス制御装置を備えることを特徴とするウエハ処理装置。
【請求項２】
たとえば、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスを開けるために設けられたウエハ収納ボックスドアオープナのような、少なくとも１つのウエハ収納ボックスドアオープナを備え、
前記センサボックスが、前記ウエハ収納ボックスドアオープナと協働するように設けられたドアを備えることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記センサボックス制御装置は、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスおよびＦＯＵＰウエハ収納ボックス制御装置の規格を満たす、前記センサボックスとのインターフェースを備え、
前記センサボックスは、前記センサボックスとのインターフェースがＦＯＵＰウエハ収納ボックスおよびＦＯＵＰウエハ収納ボックス制御装置の規格を満たすような、寸法を有し、
前記センサボックス制御装置は、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスを移動させるためにも使用され得ることを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
複数のウエハ収納ボックスのための収納装置を有し、前記センサボックスはこの収納装置の構成に適合されることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記センサボックスのための固定された収納位置を有することを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項６】
収納位置と測定位置との間で移動可能に設けられた第２のセンサボックスを備えることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記ウエハ収納ボックスは標準化されたＦＯＵＰボックスとして設計され、前記ウエハ収納ボックスドアオープナはＦＯＵＰドアオープナとして設計されることを特徴とする請求項１〜６のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項８】
前記移動可能なセンサボックスは、制御信号および測定データのような信号を無線で送受信する送信機および受信機を備えることを特徴とする請求項１〜７のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記センサボックスはエリプソメータを収納することを特徴とする請求項１〜８のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記センサボックスはパーティクルカウンタを収納することを特徴とする請求項１〜９のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記センサボックスはウエハノッチ露光装置を収納することを特徴とする請求項１〜１０のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記センサボックスはウエハＩＤ読取装置を収納することを特徴とする請求項１〜１１のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
固定的に配置された測定ステーションを、前記ウエハ制御装置がこの固定された測定ステーションにウエハを配置し、この固定された測定ステーションからウエハを搬出し得るような位置で含むことを特徴とする請求項１〜１２のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記固定された測定ステーションは、エリプソメータ、ウエハノッチ露光装置、およびウエハＩＤ読取装置を含み、所定の移動可能なセンサボックスはパーティクルカウンタを含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記処理チャンバはその下側からウエハボートを搭載可能な、垂直に配置された処理チャンバであることを特徴とする請求項１〜１４のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
少なくとも２つの処理チャンバと少なくとも２つのボートとを備え、一方のボートがアンロードおよびロード位置で取出しかつ搭載されることができ、その間に他方のボートが処理チャンバにおいて処理を受け、
前記アンロードおよびロード位置にあるボートのウエハは、ウエハ制御装置によっ所定のセンサボックスまで移動可能であることを特徴とする請求項１〜１５のうちのいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
請求項１〜１６のうちのいずれかに記載の装置を明らかに対象としたセンサボックス。
【請求項１８】
前記センサボックスは、標準化されたＦＯＵＰウエハ収納ボックスと協働するように設けられたドアオープナおよびウエハ収納ボックス搬送収納装置と協働するように適合されたインターフェースおよび寸法を備えることを特徴とする請求項１７記載のセンサボックス。
【請求項１９】
前記センサボックスは、制御信号および測定データのような信号を無線で送受信する送信機および受信機を備えることを特徴とする請求項１７または１８記載のセンサボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、少なくとも１つの処理チャンバを備えたウエハ処理装置に関する。この装置は供給部であって、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットに収納されたウエハが、前記装置に供給されることが可能な供給部と、ウエハ制御装置であって、ウエハを、前記処理チャンバにおいて処理するために、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットから搬出することが可能なウエハ制御装置と、少なくとも１つのセンサボックスであって、前記ウエハ制御装置がこの少なくとも１つの測定センサボックス内に、この少なくとも１つのセンサボックスにウエハ供給の目的で設けられた開口部を通ってウエハを供給し得るように設けられ、ウエハでの測定を実行するように設けられた少なくとも１つのセンサボックスと、を含む。
【０００２】
【従来の技術】
このような装置は、慣行上知られており、とりわけ出願人によって流通する状態にされている。この周知の装置において、多数のウエハは、少なくとも１つの処理チャンバにおいて、たとえば、ＣＶＤ法による層の付与、ウエハに対する熱処理、またはＩＣチップの製造工程の一部を通常構成するような処理などを受ける。
【０００３】
従来、ウエハは、前記処理装置の処理チャンバにおける処理ステップを受けた後、この装置から搬出され、ウエハにおいて所望の効果を達成したかどうかを検査するために、この装置の外側に配置された測定装置に移動される。この場合、ウエハは、次の処理ステップを受け得る。特にこの次の処理ステップが前記処理装置において再び実行されなければならない場合、このオフラインの測定方法は多大な時間を要する。したがって、この装置は測定センサを備える傾向にあり、その結果ウエハでの測定は、ウエハが第一にウエハ収納ボックスまたはウエハカセットに再び受領されること、およびオフラインの測定ステーションに搬送されるためにこの装置から除去されること、を要求することなく実施され得る。このような統合された測定装置は、２００１年４月のＳｏｌｉｄ　Ｓｔａｔｅ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙにおける論文「統合された測定を用いる２００／３００ｍｍ縦型炉の解析（Ａｎａｌｙｓｅｓｏｆ　ａ　２００／３００　ｍｍ　ｖｅｒｔｉｃａｌ　ｆｕｒｎａｃｅ　ｗｉｔｈ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ）」に記載される（非特許文献１参照）。この論文は、特に統合された測定センサによってより短いサイクル時間がウエハの製造に関して達成され得ること、およびウエハ処理装置の「全体的装置効率（ｏｖｅｒａｌｌ　ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓ；略称　ｏ．ｅ．ｅ．）」が改良され得ること、を示す。オフラインの測定において、測定結果を得るためにかかる時間はたいてい３０分を超える。この時間が減少され得るならば、サイクル時間は短くされることができ、待機する問題は軽減され得る。さらに継続および中止の決定はより迅速になされることができ、これはウエハ処理装置のより良い効率につながる。
【０００４】
【非特許文献１】
「統合された測定を用いる２００／３００ｍｍ縦型炉の解析（Ａｎａｌｙｓｅｓ　ｏｆ　ａ　２００／３００　ｍｍ　ｖｅｒｔｉｃａｌ　ｆｕｒｎａｃｅ　ｗｉｔｈ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ）」，ソリッドステートテクノロジ（Ｓｏｌｉｄ　Ｓｔａｔｅ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ），２００１年４月
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、測定センサが統合された結果、装置の「フットプリント（ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ）」が増大し得る。この装置は、追加の床表面の使用が非常に高価な、いわゆるクリーンルームにおいて配置されるので、このフットプリントが増大しないこと、またはできる限り増大しないことは極めて重要である。本発明に従った装置に関しては、測定センサが統合された結果、装置のフットプリントが増大しないこと、またはできる限り増大しないこと、およびこの装置の標準処理能力が標準処理プロトコルに関して消極的に影響されないことが達成されなければならない。
【０００６】
したがって本発明の目的は、種々の測定が実行されることができ、その上装置のフットプリントが増大しない、またはできる限り増大しないように、冒頭の段落に記載されたタイプの装置を改良することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に従った装置は、以下の構成を備える。
【０００８】
本発明は、少なくとも１つの処理チャンバを備えたウエハ処理装置であって、供給部であって、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットに収納されたウエハが、前記装置に供給されることが可能な供給部と、
ウエハ制御装置であって、ウエハを、前記処理チャンバにおいて処理するために、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットから搬出することが可能なウエハ制御装置と、
少なくとも１つのセンサボックスであって、前記ウエハ制御装置がこの少なくとも１つのセンサボックス内に、この少なくとも１つのセンサボックスにウエハ供給の目的で設けられた開口部を通ってウエハを供給し得るように設けられ、ウエハでの測定を実行するように設けられた少なくとも１つのセンサボックスと、を含む前記ウエハ処理装置において、
少なくとも１つのセンサボックスが移動可能に設けられ、
前記少なくとも１つのセンサボックスを収納位置から測定位置まで移動させるように設けられたセンサボックス制御装置を備えることを特徴とするウエハ処理装置である。
【０００９】
このような装置によって、処理したところのウエハに測定を受けさせることが可能であり、センサボックスは、ウエハ制御装置によってウエハを容易に搭載し得る位置に、移動され得る。これらの測定が実行される必要がないとき、移動可能に設けられたセンサボックスは収納位置に容易に移動され得る。この移動可能なセンサボックスは、種々の装置において使用可能である。さらに、複数のセンサボックスが、複数の収納位置で装置に収納されることができ、その結果その時の必要に応じて、種々のタイプの測定が実行されることができる。移動可能であるので、ウエハ制御装置の到達範囲内にすべてのセンサボックスを配置する必要性はない。たとえばウエハ収納ボックスの収納装置の中またはその近辺のような、センサボックスの他の収納位置もふさわしい。
【００１０】
したがって、すべての装置があらゆる測定装置を備えることを必要とせず、その上さらにすべての所望の測定があらゆる装置に関して原則利用可能なままなので、移動可能なセンサボックスは、より扱い難い装置を有する工場に、より優れた適応性を提供する。
【００１１】
さらに有利な本発明に従った装置は、たとえば、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスを開けるために設けられたウエハ収納ボックスドアオープナのような、少なくとも１つのウエハ収納ボックスドアオープナを備え、センサボックスがウエハ収納ボックスドアオープナと協働するために設けられたドアを備える。
【００１２】
このようなウエハ収納ボックスドアオープナはたいていウエハ収納ボックスを開けるために利用することができ、その結果ウエハ制御装置はウエハ収納ボックスからウエハを搬出することができ、かつこれらをボートに配置することができる。３００ｍｍの寸法のウエハに関して、前記ＦＯＵＰ（前開き一体型ポッド（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ））が、標準化されたウエハ収納ボックスとして使用される。ＦＯＵＰは、ウエハを受けるために固定的に配置されたボートと、操作者の媒介なしに対応の標準化されたウエハ収納ボックスドアオープナによって取外され得る取外し可能なドアとを備えるウエハ収納ボックスである。現代の処理装置において、主に２つ以上のウエハ収納ボックスドアオープナが利用可能なので、これらのオープナのうち１つは、これに対してセンサボックスを配置するために一時的に使用されることができ、このセンサボックスはＦＯＵＰドアオープナと協働するように設けられる。この方法で、統合された測定センサが処理後のウエハを検査するために利用され得ない、既存の装置は、このような測定センサをさらに備えることができる。実際上、この既知の装置において、ウエハ収納ボックスドアオープナと協働し得るセンサボックスを含むことだけが必要である。この装置の制御ソフトウェアが、本質的に既知の装置を形成し、かつ統合された測定に適した循環に乗せるために、調整されることを必要とするのみである。
【００１３】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記センサボックス制御装置は、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスおよびＦＯＵＰウエハ収納ボックス制御装置の規格を満たす、前記センサボックスとのインターフェースを備え、前記センサボックスは、前記センサボックスとのインターフェースがＦＯＵＰウエハ収納ボックスおよびＦＯＵＰウエハ収納ボックス制御装置の規格を満たすような、寸法を有し、前記センサボックス制御装置は、ＦＯＵＰウエハ収納ボックスを移動させるためにも使用され得る。
【００１４】
これによって、ウエハ収納ボックスは、本装置におけるすでに利用可能なセンサボックス制御装置によって容易に移動されることができ、分離したウエハ収納ボックス制御装置をこれ以上備える必要はない。
【００１５】
さらなる本発明に従った装置は、複数のウエハ収納ボックスのための収納装置を有し、前記センサボックスは収納装置の構成に適合される。
【００１６】
センサボックスは、たとえば、ウエハ収納ボックスの収納装置から、ウエハが該センサボックスに配置され得る測定位置まで、センサボックス制御装置によって搬送されることができる。また、センサボックス制御装置によって、ウエハ収納ボックスは、たとえば、ウエハ収納ボックスの収納装置から、ウエハ収納ボックスドアオープナが備えられ、かつウエハ収納ボックスのドアを開けた後にウエハ制御装置がウエハ収納ボックスからウエハを搬出し得る位置まで、搬送されることができる。
【００１７】
さらに有利な本発明に従った装置は、前記センサボックスのための固定された収納位置を備える。
【００１８】
この固定された収納位置は、移動可能なセンサボックスがいずれの測定も実行される必要がないときに配置され得る位置である。このような固定された収納位置の利点は、センサボックスが固定された配線によって本装置と接続されたままにされ得ることであり、なぜならセンサボックスが本装置内を横断する通路、すなわちこの固定された収納位置からウエハ収納ボックスドアオープナまでが、常に識別されるからである。
【００１９】
この固定された収納位置が、所定のウエハ収納ボックスドアオープナの近くに配置され、センサボックス制御装置の必要範囲が、可能な収納ボックス制御装置の必要範囲内である場合、センサボックス制御装置がウエハ収納ボックスのすべての必要動作を実行することができるように、センサボックス制御装置の範囲を拡張することは非常に容易である。
【００２０】
別の実施形態において、センサボックスは、この固定された収納位置からウエハ収納ボックスドアオープナまで、特にセンサボックス搬送目的で供給されるセンサボックス制御装置によって搬送され、その上ウエハ収納ボックスを搬送するためにウエハ収納ボックス制御装置が供給される。
【００２１】
さらに有利な本発明に従った装置は、収納位置と測定位置との間で移動可能に設けられた第２のセンサボックスを備える。
【００２２】
さらに有利な本発明に従った装置において、好ましくは、ウエハ収納ボックスは標準化されたＦＯＵＰボックスとして設計され、ウエハ収納ボックスドアオープナはＦＯＵＰドアオープナとして設計される。両者ともＳＥＭＩスタンダードＥ４７．１．による。
【００２３】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記移動可能なセンサボックスは、制御信号および測定データのような信号を無線で送受信する送信機および受信機を備える。
【００２４】
センサボックスがウエハ収納ボックスの収納装置内に収納されるという変形例において、センサボックスは、一般にこの収納装置において種々の位置をとることができる。このような変形例において、移動可能なセンサボックスは、制御信号および測定データのような信号を無線で送受信する送信機および受信機、ならびにバッテリおよび累算機を備える。この結果センサボックスは本装置にケーブルで接続されないけれども、本装置を自由に移動することができるので有利である。このために、当業者に知られている、ＩＲＤＡなどの赤外線信号技術、または無線通信技術、特に世界標準「ブルートゥース（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ）」が使用され得る。このような無線接続はまた、センサボックスおよび測定位置が測定位置にセンサボックスを配置することで相互に接触するプラグおよび反対プラグを備える場合、達成され得る。
【００２５】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記センサボックスはエリプソメータを収納する。
【００２６】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記センサボックスはパーティクルカウンタを収納する。
【００２７】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記センサボックスはウエハノッチ露光装置を収納する。
【００２８】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記センサボックスはウエハＩＤ読取装置を収納する。
【００２９】
さらに本発明に従った装置は、固定的に配置された測定ステーションを、前記ウエハ制御装置がこの固定された測定ステーションにウエハを配置し、かつこの固定された測定ステーションからウエハを搬出し得るような位置で含み得る。
【００３０】
さらに有利な本発明に従った装置において、前記固定された測定ステーションは、エリプソメータ、ウエハノッチ露光装置、およびウエハＩＤ読取装置を含み、所定の移動可能なセンサボックスはパーティクルカウンタを含む。
【００３１】
さらに本発明に従った装置において、前記処理チャンバは、その下側からウエハボートを搭載可能な、垂直に配置された処理チャンバである。
【００３２】
さらに有利な本発明に従った装置は、少なくとも２つの処理チャンバと少なくとも２つのボートとを備え、一方のボートがアンロードおよびロード位置で取出しかつ搭載されることができ、その間に他方のボートが処理チャンバにおいて処理を受け、前記アンロードおよびロード位置にあるボートのウエハは、ウエハ制御装置によって所定のセンサボックスまで移動可能である。
【００３３】
これによって、第１のウエハボートの処理中に、処理後のウエハボートからのウエハは、センサボックスにおいて複数の測定を受けることができる。このような測定はたとえば、エリプソメータによる、塗布された層の厚さの検査、またはパーティクルカウンタによる、塗布された層の粒子数の検査を含み得る。さらに、センサボックスは、ウエハノッチ露光装置を備えることができ、その結果ウエハの回転位置が決定されることができ、また、このセンサボックスはウエハＩＤ読取装置を収納し得る。
【００３４】
本発明はまた、上記の本発明に従った装置を明らかに対象としたセンサボックスに関する。このセンサボックスは、好ましくは、標準化されたＦＯＵＰウエハ収納ボックスと協働するように設けられたドアオープナおよびウエハ収納ボックス搬送収納装置と協働するように適合させたインターフェースおよび寸法を備える。また、このセンサボックスは、好ましくは、制御信号および測定データのような信号を無線で送受信する送信機および受信機を備える。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明は図面を参照して、複数の典型的実施形態に基づいて以下に説明される。
【００３６】
図１は、ウエハ処理に関する本発明に従った装置の典型的実施形態の斜視図である。この装置１は２つの処理チャンバ３０，３１を備え、これらはボート３４を下側から搭載、すなわち装填可能であり、このボート３４内には多数のウエハが供給される。ボート３４はボート回転ラックに配置され、これによってボート３４は、図２で明確に表されるロードおよび／またはアンロード位置３５から、第１処理チャンバ３０および第２処理チャンバ３１の下の処理位置まで移動され得る。両処理チャンバ３０，３１において、リフト３３が設けられ、これによってウエハボートは、このボートを処理チャンバ３０，３１に移動させるために持ち上げられ得る。さらに、ロードおよび／またはアンロード位置３５に対向して、冷却位置３６が利用可能であり、ここで前記回転ラック３２上に配置されたウエハボート３４は、これが処理チャンバ３０，３１において処理を受けた後、冷却され得る。ボートリフト３３を備えた処理チャンバ３０，３１およびボート回転ラック３２は、本装置の空間３９に設けられ、この空間は隔壁３８によって境界が示される。第２隔壁４３は、第１隔壁３８とともにウエハ制御空間４４の境界を示す。このウエハ制御空間４４に配置されるものは、ウエハ制御装置１３であり、これによってウエハはボート３４に配置され得る。ボート３４はボート制御装置１２によって第１隔壁３８を介してロードおよび／またはアンロード位置３５に移動されることができ、かつ、そこから除去されてウエハロードおよび／またはアンロード位置４６に配置されることができる。第２隔壁４３はいわゆるドアオープナ１８，１９によって制限された複数の開口部を含む。本典型的実施形態において、ドアオープナ１８，１９は２段で利用可能である。このようなドアオープナ１８，１９によって、ウエハ収納ボックスのドアは、ＦＯＵＰと称される本技術において、開閉され得る。正確な記載のために、国際公開第９９／３８１９９号パンフレットが参照され、この内容は本明細書に参照によって挿入されたとみなされる。ウエハ制御空間４４とは反対側の、第２隔壁４３の片側に設けられた空間は、特にウエハ収納ボックス制御装置１０およびウエハ収納ボックス収納装置２で満たされ、ここに複数のウエハ収納ボックス４が供給され得る。また、このウエハ収納ボックス制御空間４５において利用可能なものは、２つのターンテーブル１５，１６であり、ここにウエハ収納ボックス４はウエハ収納ボックス制御装置１０によって配置されることができ、これによってウエハ収納ボックス４はドアオープナ１８，１９の前に移動され得る。ウエハ収納ボックス制御装置１０はまた、収納装置２またはターンテーブル１５，１６のいずれかにウエハ収納ボックスを配置するために、ウエハ収納ボックス４を入力／出力ステーション２１から搬送することができるように配置される。さらに、操作パネル２０が示され、これによって操作者は本装置を操作することができる。
【００３７】
図１および図２の典型的実施形態においては、移動可能なセンサボックス３が含まれる。図１においてこのセンサボックス３は、ウエハ収納ボックス制御装置１０によって、ウエハ収納ボックス４の収納装置２の上側付近で制御される。本装置と無線で接続されたセンサボックス３は、ウエハ収納ボックス制御装置との協働およびウエハ収納ボックス収納装置におけるセンサボックスの配置に適合させたインターフェースおよび寸法を備える。さらに、このセンサボックスは、本装置のウエハ収納ボックスドアオープナ１８，１９と協働するために設けられたドアを備える。測定がウエハで実行される場合、センサボックス３はウエハ収納ボックス制御装置１０およびその一部を構成するリフト１１によって、ドアオープナ１８，１９まで搬送され、そこでセンサボックスのドアは開かれる。その後、ウエハ制御装置１３によって、ウエハは、ウエハで１つ以上の測定を実行するために、ウエハ制御空間４４に設けられたウエハを備えたボート３４から、センサボックス３まで移動されることができる。所望の測定が実施された場合、センサボックスは、ターンテーブル１５，１６およびウエハ収納ボックス制御装置１０，１１によって、再びドアオープナ１８，１９から除去され、収納装置２に配置されることができる。センサボックス３がケーブルで本装置と接続されないので、センサボックスを本装置に案内すること、または本装置から入力／出力ステーション２１およびウエハ収納ボックス制御装置１０を介してこれを除去することは、非常に容易である。
【００３８】
図３〜図６に示された第２の典型的実施形態は、第１の典型的実施形態とは異なり、センサボックスがウエハ収納ボックス４のすでに利用可能な収納装置に収納されずに、第２隔壁４３におけるドアオープナの上に配置されるそれ自身固定された収納位置４０で収納される。この位置によって、収納位置４０は本装置に余計なフットプリントを占有しない。ウエハ収納ボックス制御装置１０がセンサボックス３をこの収納位置から搬送し、かつ上記ターンテーブル１５，１６にこれを配置することができ、その結果センサボックスはドアオープナ１９に対して移動されることができることは明らかに示されている。図４は、収納位置におけるセンサボックスを実線で、複数の中間位置におけるセンサボックスを破線で示す。図５は、ドアオープナ１９がセンサボックス３のドアを開けることができる状態でのセンサボックスを示す。図６は、第２の典型的実施形態の要部の平面図であり、ここにおいて収納位置４０から中間位置までのセンサボックス３の動作方向が黒矢印Ｐによって示される。
【００３９】
図７は、第３の典型的実施形態を示し、ここにおいてセンサボックス３はドアオープナ１８，１９の上に固定された収納位置４０を備える。これらの収納位置とドアオープナとの間で配置されるものは、固定された測定ステーション４２であり、ここにウエハは、これらで測定を実行するために、ウエハ制御装置１３によって配置され得る。したがって、第３の典型的実施形態は、固定統合された測定ステーションと移動可能なセンサボックス３とを組合せる。
【００４０】
図８および図９は、代替的なウエハ収納ボックス制御装置を示し、ここにおいてウエハ収納ボックス制御装置１１０は水平軸１１２によって水平方向に移動可能な垂直リフト１１１を備える。さらに、複数のウエハ収納ボックス棚１０６が設けられ、ここにおいてウエハ収納ボックス１０４が配置され得る。壁１４３において、２つのドアオープナ１１８，１１９が設けられ、これによってウエハ収納ボックス１０４のドアが開かれ得る。図８の左上側で示される前記棚１０６において、センサボックス１０３が示され、これはウエハ収納ボックス制御装置１１０によってドアオープナまで搬送され得る。図８および図９の典型的実施形態が図１および図２に示される回転ラック収納を備えたウエハ収納ボックス制御装置に代替するものを構成することは明らかであろう。また、壁１４３の裏側に配置されるウエハ処理装置は、図１および図２の実施例以外の別の設計にされ得る。したがってこの装置は、一連のウエハの連続処理に合わせて設計されることができ、１つのウエハが処理チャンバにおいて同時に処理される。この装置は１つ、または２つ以上の処理チャンバを有することができる。ウエハ制御装置は、ボートでの中間配置なしに、ウエハがウエハ収納ボックスからウエハ制御装置によって搬送され、かつ処理チャンバに直接に配置されることができるような設計にされ得る。また、全体の処理は、いくつかの移動可能に設けられたセンサボックスにおいて実行される、ウエハでの測定を実施すること、またはいくつかの種々の測定を連続して実施することにある。
【００４１】
図１０および図１１は、本発明に従った代替的装置の最後の典型的実施形態を示す。前記制御装置２１３の周りに、３つの処理チャンバ２４０，２４１，２４２および２つの搭載チャンバ２２１が配置され、ここにおいてウエハ収納カセット２０４が配置可能である。２００ｍｍ以下の寸法を有するウエハに関して、オープンカセットは従来のウエハコンテナである。クリーンルームを通ってウエハを搬送するために、カセットは搬送ボックスの中で操作者によって配置される。ウエハ制御装置２１３はその他の閉じられた空間に配置され、その結果所望の圧力がそこに形成され得る。ウエハ収納カセット２０４からウエハ収納装置２１３によって搬送されたウエハは、異なる処理チャンバ２４０，２４１，２４２に配置され得る。さらに、検査ステーション２１１は利用可能であり、ここにおいて移動可能なセンサボックスはセンサボックス制御装置２１０によって配置され得る。図１１は、図１０の切断面線ＸＩ−ＸＩから見た図であり、ここにおいてセンサ制御装置２１０は、ドアオープナを備えた検査開口部２０８の前に配置するために、異なる棚２１２からセンサボックスを受けることができる。好ましくは、センサボックス２０３は通常の標準化されたウエハ収納ボックス（ＦＯＵＰ）のインターフェースおよび寸法に対応するインターフェースおよび寸法を備え、その結果標準ウエハ収納ボックス制御装置がセンサボックス制御装置２１０に使用され得ることができる。また、標準ドアオープナ２０８は、センサボックス２０３が検査ステーション２１１に配置されるときに、これを開けるために使用され得る。このセンサボックスは真空耐久設計にされ、対応して設計されたドアオープナ２０８と協働する、真空耐久かつ真空密閉のインターフェースを備えることも可能である。
【００４２】
移動可能に設けられたセンサボックスの結果として、工場で利用され得る種々の装置において、要求どおりに種々の測定センサを使用することができる。したがって、限られた数のセンサボックスを工場に搬入することが必要となるのみで、各ウエハ処理装置に関する測定センサの完全なセットは必要ない。実施される測定の数に関連して結果生じる適応性は、非常に有利である。
【００４３】
本発明は記載された典型的実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が本発明の枠組の範囲内で可能であるということは明らかである。
【００４４】
したがって移動可能なセンサボックスの概念はまた、用語の古典的な意味におけるウエハの処理、すなわち、たとえばＣＶＤ工程による層の付与、またはウエハの熱処理用の処理チャンバを備えない装置において、使用され得る。その連鎖処理は測定処理も含み得る。そのため、本発明に従えば、処理チャンバは移動可能な設計にされ得る。換言すれば、本明細書の意味する範囲内のセンサボックスは、処理チャンバも構成し得る。この概念が使用され得る装置は、たとえ蘭国特許出願第Ｃ−１０１０３１７号明細書、特にその請求項３に記載されている。蘭国特許出願第Ｃ−１０１０３１７号明細書の内容は、参照によってここにおいて挿入されたとみなされる。したがって、本発明に従った装置は、ウエハ収納ボックスまたはウエハカセットに収納されたウエハを選別する装置を含み、この選別装置は、少なくとも２つのウエハ収納ボックスまたはウエハカセットを受ける供給部を備え、この選別装置は、ウエハ収納ボックスまたはカセットとその他のウエハ収納ボックスまたはカセットとの間でウエハを移動させるウエハ制御装置を備え、この選別装置はまた、ウエハ収納ボックスの収納装置およびウエハ収納ボックス制御装置を備え、この装置は、少なくとも１つのセンサボックスを備え、この少なくとも１つのセンサボックスは、ウエハ制御装置が少なくとも１つのセンサボックスに対して少なくとも１つのセンサボックスのために備えられる開口部を通ってウエハを供給し得るように設けられ、この少なくとも１つのセンサボックスは、ウエハでの測定を実行するために設けられ、前記少なくとも１つのセンサボックスは移動可能に設けられ、この装置は、前記少なくとも１つのセンサボックスを収納位置から測定位置まで移動させるために設けられたセンサボックス制御装置を備え得るであろう。前記センサボックス制御装置が前記ウエハ収納ボックス制御装置によって構成され得ることは自明である。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、移動可能なセンサボックスの結果として、すべての装置があらゆる測定装置を備えることを必要とせず、その上すべての所望の測定があらゆる装置に関して原則利用可能なままであるので、より扱い難い装置を有する工場に、より優れた適応性を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従った装置の第１の典型的実施形態の斜視図である。
【図２】図１に示された第１の典型的実施形態の平面図である。
【図３】第２の典型的実施形態の側面図であり、側面のメッキの一部が除去された結果、センサボックスがその固定された収納位置が明確に示される。
【図４】第２の典型的実施形態の側面図であり、ここにおいてセンサボックスに関する構成の固定箇所が明確に示される。
【図５】図３に示されたような類似の図であり、ここにおいてセンサボックスはウエハ収納ボックスドアオープナと接続される。
【図６】図３および図４に示された部分の平面図である。
【図７】図３に示されたような類似の側面図であり、ここにおいて固定的に配置されたセンサボックスは移動可能に設けられたセンサボックスの下に設けられる。
【図８】ウエハ収納ボックスの収納装置の正面図である。
【図９】図８に示された収納装置の斜視図である。
【図１０】本発明に従った装置の第４実施形態の平面図である。
【図１１】図１０の切断面線ＸＩ−ＸＩから見た図である。
【符号の説明】
１，１０１　ウエハ処理装置
２，１０２，２０２　ウエハ収納ボックス収納装置
３，１０３，２０３　センサボックス
４，１０４，２０４　ウエハ収納ボックス、ウエハ収納カセット
１０，１１０，２１０　ウエハ収納ボックス制御装置
１２　ボート制御装置
１３，２１３　ウエハ制御装置
１５，１６　ターンテーブル
１８，１９，１１８，１１９　ドアオープナ
２０　操作パネル
２１　出力／入力ステーション
３０，３１，２４０，２４１，２４２　処理チャンバ
３２　ボート回転ラック
３４　ボート
３５　ロードおよび／またはアンロード位置
３６　冷却位置
３８　第１隔壁
３９　ウエハ処理空間
４０　固定された収納位置
４２　固定された測定ステーション
４３　第２隔壁
４４　ウエハ制御空間
４５　ウエハ収納ボックス制御空間
４６　ウエハロードおよび／またはアンロード位置
１０６　ウエハ収納ボックス棚
２０８　検査開口部、ドアオープナ
２１１　検査ステーション
２１２　棚
２２１　搭載チャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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