(57)【要約】【課題】定着性と熱効率に優れ、広範囲で連続した光沢度制御が可能な定着ベルト方式の定着装置を備えた画像形成装置を提供する。【解決手段】用紙Ｐ上に形成された未定着トナー画像を、加熱された定着ベルトと加圧ローラとにより挟持して加熱定着する定着装置８を備えた画像形成装置であって、定着ベルト８５の温度を検知して設定温度に制御する制御手段と、設定温度を変更する設定温度変更手段と、定着ベルト８５の外側より圧接して定着ベルト８５に補助ニップ領域Ｍを形成する外部加圧ローラ８２と、定着ベルト８５の内側から外部加圧ローラ８２に向けて圧力を付与する内部加圧手段８６と、補助ニップ領域Ｍのニップ量を切り換える切換手段と、を有する画像形成装置。【選択図】　　　　図２
2004126110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写材上に形成された未定着トナー画像を、加熱された定着ベルトと加圧部材とにより挟持して加熱定着する定着装置を備えた画像形成装置であって、
前記定着ベルトの温度を検知して設定温度に制御する制御手段と、
前記設定温度を変更する設定温度変更手段と、
前記定着ベルトの外側より圧接して前記定着ベルトに補助ニップ領域を形成する外部加圧手段と、
前記定着ベルト内側から前記外部加圧手段に向けて圧力を付与する内部加圧手段と、
前記補助ニップ領域のニップ量を切り換える切換手段と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記定着ベルトの設定温度変更手段と、前記補助ニップ領域のニップ量を可変に切り換える切換手段とは、前記画像形成装置に設けた画像光沢度入力手段により入力される光沢度指令によって可変に制御されることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写材上に形成された未定着トナー画像を、定着ベルトを有する定着装置によって加熱定着して画像を形成する画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複写機、プリンタ、ファクシミリ及びこれらの機能を有する複合機等の電子写真式画像形成装置に用いられている定着装置は、所定の温度に維持された定着ローラと、弾性層を有してその定着ローラに圧接する加圧ローラとによって、未定着のトナー画像が形成された転写材を挟持搬送しつつ加熱する熱ローラ定着方式が、低速機から高速機まで、モノクロ機からカラー機に至るまで、幅広く採用されている。
【０００３】
従来の熱ローラ定着方式の定着装置では、転写材上のトナーを加熱する際に、熱容量の大きな定着ローラを加熱する必要があるため、省電力面で不利であり、また、プリント時に定着ローラを暖めるのに時間がかかり、プリントを開始するまでの時間（ウォーミングアップタイム）が長くなってしまうという問題がある。
【０００４】
近年、定着装置に定着ベルトを用い、熱ローラを定着ベルトにより低熱容量化し、温度制御されたヒータを定着ベルトに直接加圧接触させることで熱伝導効率を大幅に向上させ、省電力とウォーミングアップタイムを殆ど必要としないクイックスタートを図ったベルト定着方式の定着装置や画像形成装置が提案され、最近用いられてきている。
【０００５】
特許第３１５９１２５号明細書に記載された定着装置は、発熱手段が内蔵された加熱ローラ、複数のローラによって張架されると共に加熱ローラの周面の一部に対して巻き付くように配設された無端状の定着ベルトと、定着ベルトを介して加熱ローラに圧接する加圧ローラと、定着ベルトを介して定着ベルトの内面側から加熱ローラに圧接する補助加圧部材とから構成され、加熱ローラと定着ベルトとの間に挟み込まれた記録シートの搬送速度が、加圧ローラと補助加圧部材との間の位置における加熱ローラの表面速度とほぼ同一速度に制御されるものである。
【０００６】
【特許文献１】
特許第３１５９１２５号明細書
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来のベルト定着方式の定着装置における画像の光沢度制御手段として、定着ベルトの温度を変更する、補助加圧部材の加圧ローラへの圧接圧力を切り換えてニップ量を制御する、などの方法が採られてきた。しかし、これらの従来方法では、光沢度の制御範囲が狭い、制御範囲が不連続になる、などで不十分なものであった。
【０００８】
本発明は、定着ベルト方式の定着装置を備えた画像形成装置により、ウォーミングアップタイムを短縮したクイックスタート化を達成し、且つ、定着ベルトの熱容量を大きくして、高い定着性能を得るとともに、広範囲にわたって且つ連続的な光沢度制御を可能にする定着装置を備えた画像形成装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、下記の手段により達成される。
【００１０】
（１）　転写材上に形成された未定着トナー画像を、加熱された定着ベルトと加圧部材とにより挟持して加熱定着する定着装置を備えた画像形成装置であって、前記定着ベルトの温度を検知して設定温度に制御する制御手段と、前記設定温度を変更する設定温度変更手段と、前記定着ベルトの外側より圧接して前記定着ベルトに補助ニップ領域を形成する外部加圧手段と、前記定着ベルト内側から前記外部加圧手段に向けて圧力を付与する内部加圧手段と、前記補助ニップ領域のニップ量を切り換える切換手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
【００１１】
（２）　前記定着ベルトの設定温度変更手段と、前記補助ニップ領域のニップ量を可変に切り換える切換手段とは、前記画像形成装置に設けた画像光沢度入力手段により入力される光沢度指令によって可変に制御されることを特徴とする前記（１）に記載の画像形成装置。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る定着装置及び該定着装置を搭載した画像形成装置を図面によって説明する。
【００１３】
［画像形成装置の一実施形態］
図１は、本発明に係る定着装置を備えた画像形成装置の一実施形態を示すカラー画像形成装置の断面構成図である。
【００１４】
このカラー画像形成装置は、タンデム型カラー画像形成装置と称せられるもので、縦列配置された複数組の画像形成部１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｋと、複数のローラを巻回する回動可能な半導電性エンドレスベルト状の中間転写体７と、給紙搬送手段、及び定着装置８とから成る。
【００１５】
イエロー色の画像を形成する画像形成部１０Ｙは、像担持体１Ｙの周囲に配置された帯電手段２Ｙ、露光手段３Ｙ、現像手段４Ｙ、一次転写手段５Ｙ、クリーニング手段６Ｙを有する。マゼンタ色の画像を形成する画像形成部１０Ｍは、像担持体１Ｍ、帯電手段２Ｍ、露光手段３Ｍ、現像手段４Ｍ、一次転写手段５Ｍ、クリーニング手段６Ｍを有する。シアン色の画像を形成する画像形成部１０Ｃは、像担持体１Ｃ、帯電手段２Ｃ、露光手段３Ｃ、現像手段４Ｃ、一次転写手段５Ｃ、クリーニング手段６Ｃを有する。黒色画像を形成する画像形成部１０Ｋは、像担持体１Ｋ、帯電手段２Ｋ、露光手段３Ｋ、現像手段４Ｋ、一次転写手段５Ｋ、クリーニング手段６Ｋを有する。入力手段９は、画像形成装置の各種機能の設定、開始、及び表示を行う。
【００１６】
画像形成部１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｋより形成された各色の画像は、一次転写手段５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋにより、回動する中間転写体７上に逐次転写されて、合成されたカラー画像が形成される。給紙カセット２０内に収容された転写材（以下、用紙と称す）Ｐは、給紙手段２１により給紙され、複数の中間ローラ２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ、レジストローラ２３を経て、二次転写手段５Ａに搬送され、用紙Ｐ上にカラー画像が一括転写される。カラー画像が転写された用紙Ｐは、定着装置８により定着処理され、排紙ローラ２４に挟持されて機外の排紙トレイ２５上に載置される。
【００１７】
両面画像形成時には、定着装置８から排出された第１面に画像形成された用紙Ｐは、分岐手段２６により用紙排紙路から分岐され、下方の反転通紙路２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃを通過して、中間ローラ２２Ｄにおいて合流する。反転搬送された用紙Ｐは、レジストローラ２３を経て、二次転写手段５Ａに搬送され、用紙Ｐの第２面上にカラー画像が一括転写される。カラー画像が転写された用紙Ｐは、定着装置８により定着処理され、排紙ローラ２４に挟持されて機外の排紙トレイ２５上に載置される。
【００１８】
一方、二次転写手段５Ａにより用紙Ｐにカラー画像を転写した後、用紙Ｐを曲率分離した中間転写体７は、クリーニング手段６Ａにより残留トナーが除去される。
【００１９】
画像形成処理中、一次転写手段５Ｋは常時、像担持体１Ｋに圧接している。他の一次転写手段５Ｙ，５Ｍ，５Ｃはカラー画像形成時にのみ、それぞれ対応する像担持体１Ｙ，１Ｍ，１Ｃに圧接する。二次転写手段５Ａは、ここを用紙Ｐが通過して二次転写が行われる時にのみ、中間転写体７に圧接する。
【００２０】
［定着装置の全体構成］
図２は、本発明の定着装置の一実施の形態を示す断面図である。
【００２１】
ベルト定着方式の定着装置８は、圧接して回転する一対の加圧部材である支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ（外部加圧手段）８２、回転可能な加熱ローラ８４、ハロゲンランプ等の加熱源８３、加熱ローラ８４と支持加圧ローラ８１の各外周面を巻回する加熱部材である定着ベルト８５、定着ベルト８５の内側に摺接するパッド８６Ａを外部加圧ローラ８２に向けて圧力を付与する内部加圧手段８６等から構成されている。
【００２２】
支持加圧ローラ８１、外部加圧ローラ８２、定着ベルト８５の駆動は、図示しない駆動手段により支持加圧ローラ８１もしくは外部加圧ローラ８２、或いはこれらの両ローラを駆動することによって行われる。
【００２３】
定着ベルト８５の内側に配置されて接離可能に移動する内部加圧手段８６のパッド８６Ａを保持する保持部材８６Ｂは、図示しない案内手段により移動可能に支持され、バネ８６Ｃにより付勢され、更に、カム８６Ｄにより移動可能である。なお、定着ベルト８５の内側より圧接するパッド８６Ａの代わりに弾性ローラなどを配置する構成でも、同様に効果があることは言うまでもない。
【００２４】
内部に加熱源８３を備えた加熱ローラ８４は、図示しない案内手段により移動可能に支持され、バネ８７により付勢されて、定着ベルト８５を張設する。バネ８８は軸受部８２Ａを介して外部加圧ローラ８２を付勢して、定着ベルト８５を介して支持加圧ローラ８１を押圧する。
【００２５】
外部加圧ローラ８２は、図示しない駆動手段により揺動され、図示の破線位置から実線位置に移動可能である。
【００２６】
加熱ローラ８４の外周面には温度検知素子ＴＳが配置されている。温度検知素子ＴＳは、加熱ローラ８４の表面温度を検知する。温度検知素子ＴＳの検出信号により、制御手段は、温度変更手段によって加熱ローラ８４の表面温度を所定温度に制御する。
【００２７】
定着ベルト８５の下方には、ガイド板８９が配置されている。図示しない搬送手段により定着装置８に搬送される用紙Ｐは、ガイド板８９と、加熱源８３により加熱された定着ベルト８５との傾斜間隙を通過し、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とが圧接する定着ニップ領域Ｎに送り込まれる。
【００２８】
用紙Ｐ上に形成されたトナー像ｔは、定着ニップ領域Ｎにおいて、定着ベルト８５と外部加圧ローラ８２により加熱、溶融されるとともに、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とにより圧接されて用紙Ｐに定着される。
【００２９】
図３は支持加圧ローラ８１、外部加圧ローラ８２、定着ベルト８５、内部加圧手段８６の拡大断面図である。
【００３０】
支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とは、バネ８８（図２参照）により付勢されて、定着ニップ領域Ｎを形成する（図２参照）。
【００３１】
定着ニップ領域Ｎの用紙搬送方向上流側から搬送される用紙Ｐは、外部加圧ローラ８２の外周面に巻き付くように、定着ベルト８５の図示下方から進行し、定着ニップ領域Ｎの用紙搬送方向上流側に接触領域（以下、補助ニップ領域とも称す）Ｍを形成する。この補助ニップ領域Ｍでは、定着ベルト８５と用紙Ｐとの間に微少な速度差が発生し、トナー像が用紙Ｐの上でずれるという不具合が発生する。
【００３２】
図４は、定着ベルト８５の線速度・温度と、画像ずれ発生の関係を示す特性図である。
【００３３】
補助ニップ領域Ｍで内部加圧手段８６による加圧を行わない場合、図４に示すように、定着ベルト８５の温度を高くする必要がある。特に、定着ベルト８５を高線速度で回動させる場合、定着ベルト８５の温度を高くする必要がある。定着ベルト８５の温度を高くすると、定着ベルト８５の耐久性等に問題が生じると同時に、定着ベルト８５の温度を低くできないため、温度を下げて低光沢度を得ることができなくなってしまう。
【００３４】
しかしながら、補助ニップ領域Ｍにおいて、定着ベルト８５の内側から３０ｋＰａ〜１５０ｋＰａの圧力で５０ｍｓ程度の時間幅で加圧すると、図４の太い破線で示すように、トナー画像ずれ抑止加減温度が低下し、選択できる温度領域が大きく広がる。
【００３５】
この定着ベルト８５の内側からの加圧は、画像ずれ抑止の点からは高い方が望ましいが、加圧が高すぎると、定着ベルト８５等の部材の耐久性に悪影響を与える。
【００３６】
なお、この特性図は、外部加圧ローラ８２を１２０℃〜１４０℃の範囲に設定し、単位面積当たりの質量１００〜１１０ｇ／ｍ２の厚さの用紙について求めたもので、対象とする用紙Ｐや、外部加圧ローラ８２の設定温度や、使用するトナーにより上下に移動する事になる。
【００３７】
補助ニップ領域Ｍにおいて、用紙Ｐは、外部加圧ローラ８２と、加熱源８３を有する加熱ローラ８４により加熱された定着ベルト８５に密接して、予備加熱される。用紙Ｐは、更に、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とが圧接する定着ニップ領域Ｎにおいて、定着ベルト８５と、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２との加圧によりトナー像が加熱定着される。
【００３８】
定着ニップ領域Ｎのみで定着した場合に比べ、補助ニップ領域Ｍによって余熱が行われ、また、熱伝導によってトナーが加熱される時間が長くなるため、トナーはより高温になり、高い光沢度を得ることができる。
【００３９】
以下に、定着装置８の定着ニップ領域Ｎを構成する部材の一実施例を示す。
支持加圧ローラ８１及び外部加圧ローラ８２のゴム層は、アルミニウム合金、鋼などから成る厚さ１〜１０ｍｍの金属製の芯金の外側に、厚さ約１〜３ｍｍ、直径約３０〜６０ｍｍのシリコーンゴムにより形成される。
【００４０】
定着ベルト８５は、ニッケル電鋳などの金属基体、もしくはポリイミド（ＰＩ）などの耐熱樹脂基体等の上に、シリコーンゴム、あるいは耐熱性ゴムに高熱容量物質（金属・金属酸化物など）粒子を分散した耐熱性ゴムから成る中間層を形成し、さらにパーフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）又はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの離型層を外側層に設けた層構成をなす。ポリイミド（ＰＩ）などの耐熱樹脂基体を用いる場合には、この耐熱樹脂基体にも高熱容量物質を分散させてもよい。
【００４１】
パッド８６Ａは、耐熱性、耐摩耗性に優れた弾性部材により形成され、例えば、シリコーンゴムから成り、定着ベルト８５との摺接面にはＰＦＡ又はＰＴＦＥなどの摩擦係数の低い樹脂シートによって被覆されている。
【００４２】
定着ベルト８５は、支持加圧ローラ８１もしくは外部加圧ローラ８２によって駆動されており、ガイド板８９等により定着領域に搬送されてきたトナー像ｔを保持した用紙Ｐと定着ベルト８５を支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とにより挟んで加圧する。支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２との間で形成される定着ニップ領域Ｎによる主加圧ニップに先立ち、支持加圧ローラ８１に巻き掛けた定着ベルト８５と外部加圧ローラ８２の間に形成された補助ニップ領域Ｍにより用紙Ｐが挟まれて予熱される。定着ベルト８５の持つ熱と、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とによる押圧力によって、トナー像ｔは用紙Ｐに定着される。
【００４３】
トナー像ｔにはゴム、もしくはごく薄い離型性層を介してゴムが当接されるため、ゴムが弾性変形して用紙Ｐやトナー像ｔの凹凸に追従して、均一に接触し、光沢むらなどのない均一な定着が行われ、定着後のトナー像ｔは適度な光沢を持つ。また定着後には、用紙Ｐは安定して定着ベルト８５から分離する。
【００４４】
図５は、外部加圧ローラ８２が図示しない駆動手段によって移動され、支持加圧ローラ８１の直下の位置に停止した状態の定着装置の断面図である。
【００４５】
外部加圧ローラ８２を移動させる事により、補助ニップ領域Ｍを切り換える事ができる。図４に示す停止位置においては、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２との各外周面が圧接する定着ニップ領域Ｎにおいてのみ定着ベルト８５が挟持され、補助ニップ領域Ｍは形成されない。
【００４６】
［光沢度］
光沢の強さは、通常、鏡面光沢度ＧＳでパーセントで表示している。
【００４７】
ＧＳ＝（ＩＰ／ＩＳ）×１００
ここで、ＩＰは画像の正反射光量、ＩＳは基準面の正反射光量である。
【００４８】
光沢度ＧＳは、日本工業規格ＪＩＳ−Ｚ８７４１の「鏡面光沢度−測定方法」で規定されている。紙に対する鏡面光沢度の測定方法は、光源からの入射角と受光器への出射角がそれぞれ７５度に設定され、ＧＳ（７５°）と表示される。
【００４９】
［光沢度の制御］
図２にしめすように、定着ベルト８５は、支持加圧ローラ８１もしくは外部加圧ローラ８２によって駆動されている。ガイド板８９により定着領域に搬送されてきたトナー像ｔを保持した用紙Ｐは、定着ベルト８５と外部加圧ローラ８２に挟まれて加圧、加熱されて、トナー像ｔは用紙Ｐに定着される。
【００５０】
高光沢度を得たい場合には、支持加圧ローラ８１と外部加圧ローラ８２とで形成される定着ニップ領域Ｎに先立ち、外部加圧ローラ８２に巻き掛けた定着ベルト８５と外部加圧ローラ８２とにより形成される補助ニップ領域Ｍに用紙Ｐが挟持され、更に、内部加圧手段８６のパッド８６Ａによって加圧、予熱される。その後、定着ニップ領域Ｎにおいて、定着ベルト８５が有する熱と、外部加圧ローラ８２による圧力とによって、トナー像ｔは用紙Ｐに定着される。
【００５１】
トナー像ｔには、離型性層を介してゴムが当接するから、ゴムが加圧力により弾性変形して、用紙Ｐやトナー像ｔの凹凸に追従して均一に接触し、光沢ムラのない均一な定着が行われ、また、定着後、用紙Ｐは安定して定着ベルト８５から分離する。
【００５２】
図６は、用紙種別の光沢度制御範囲を示す特性図である。図７は、定着装置制御のブロック図である。
【００５３】
単独の画像形成指令が画像形成装置の入力手段９により入力された場合、その指令の光沢度指定に従って、補助ニップ領域Ｍや定着ベルト８５の温度を選択して出力する。即ち、制御手段は、定着ベルト８５の表面温度を温度検知素子ＴＳによって検知して所定温度に制御する。また、制御手段は、設定された光沢度に対応する補助ニップ領域Ｍのニップ量を選択して、外部加圧ローラ８２を図示しない切換手段及び駆動手段により移動させ、所定位置に停止させる。
【００５４】
図６に示す▲１▼の領域は、線速度３００ｍｍ／ｓｅｃのとき、補助ニップ領域Ｍを形成した状態（図２参照）で、定着ベルトの耐熱上限温度と、補助ニップ領域Ｍでの用紙Ｐと定着ベルト８５との速度差に起因する画像ずれを発生しない下限温度での光沢度範囲を示したものである。
【００５５】
用紙ＰＡは普通紙、用紙ＰＢはコート紙であるが、このような得られる光沢度は用紙の種類だけではなく、使用するトナーや適用する線速度などによって異なり、図６はその一例を示したものである。
【００５６】
なお、上限温度と下限温度は、測定系のバラツキや温度制御の追従性を考慮して、それぞれ２０℃の余裕がみてある。
【００５７】
補助ニップ領域Ｍの入口では、内部加圧手段８６のパッド８６Ａによって、３０〜１５０ｋＰａ、２０〜１００ｍｓの先行加圧がなされているが、この先行加圧を行わないと、画像ずれ発生の下限温度が高くなり、選択できる光沢度領域が小さくなり、２００ｍｍ／ｓｅｃ以上の線速度では、出力可能な温度域がなくなってしまう。これは、先に図４で示したように、高線速度ほど画像ずれ発生の下限温度が高いためである。
【００５８】
▲１▼の領域の図示左方の低光沢度は、補助ニップ領域Ｍを変更して得る。図６に示す▲２▼の領域は、図３で示す補助ニップ領域Ｍをゼロとして、定着ベルト８５の温度を変更したときに得られる光沢度である。この場合、補助ニップ領域Ｍで発生する画像ずれの制約がないため、光沢度上限側は定着ベルト８５の耐熱上限温度、光沢度下限側は定着性が得られる下限である。
【００５９】
この二つの領域が連続しているため、マットな画像からグロッシーな画像まで、任意の光沢度を得る事ができる。
【００６０】
定着ベルト８５の温度変更と、外部加圧ローラ８２による補助ニップ領域Ｍの形成と、内部加圧手段８６による補助ニップ領域Ｍ入口部付近の先行加圧、とをすべて組み合わせる事で、従来にない広範囲で連続した光沢度制御が可能になった。これらの何れかが欠けても、光沢度制御はごく狭い範囲か、不連続な範囲にとどまる。
【００６１】
なお、温度切り換えの範囲を限定したり、不連続な多段設定（例えば、１７０℃、１８０℃、１９０℃のような）にすることで生じる不連続な制御も本発明に含まれる事はいうまでもない。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の画像形成装置の定着装置により、定着性と熱効率に優れ、広範囲で連続した光沢度制御が可能な定着ベルト方式の定着装置を備えた画像形成装置が提供される。
【００６３】
特に、カラー画像形成装置の定着装置において、４色のトナー画像を加熱定着するとき、グラフィック画像、ピクチャー画像等を形成する場合、カラー画像に光沢を付与させるときに優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る定着装置を備えた画像形成装置の一実施形態を示すカラー画像形成装置の断面構成図。
【図２】本発明の定着装置の一実施の形態を示す断面図。
【図３】支持加圧ローラ、外部加圧ローラ、定着ベルト、内部加圧手段の拡大断面図。
【図４】定着ベルトの線速度・温度と、画像ずれ発生の関係を示す特性図。
【図５】外部加圧ローラが支持加圧ローラの直下の位置に停止した状態の定着装置の断面図。
【図６】用紙種別の光沢度制御範囲を示す特性図。
【図７】定着装置制御のブロック図。
【符号の説明】
８　定着装置
９　入力手段
８１　支持加圧ローラ
８２　外部加圧ローラ（外部加圧手段）
８３　加熱源
８４　加熱ローラ
８５　定着ベルト
８６　内部加圧手段
８６Ａ　パッド
８７，８８　バネ
Ｍ　接触領域（補助ニップ領域）
Ｎ　定着ニップ領域
Ｐ　転写材（用紙）
ＴＳ　温度検知素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004126110.tif 000005
【図４】
2004126110.tif 000006
【図５】
2004126110.tif 000007
【図６】
2004126110.tif 000008
【図７】
2004126110.tif 000009