(57)【要約】【課題】この発明の目的は、簡便にして容易な粗動及び微動調整の切り替えを実現したうえで、迅速にして高精度な粗動調整を実現することにある。【解決手段】直線移動される中板１２の移動力量を、その移動中に該中板１２に移動自在に配された取付台２４４と、該中板１２と一体的に設けられた支持台２１との間で変更するように構成し、初期の目的を達成した。【選択図】　　図１
2004126037.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線移動可能な可動体と、前記可動体と共に移動する第１の部材と、前記可動体に対して移動しない第２の部材とを備えた顕微鏡の移動機構において、
前記可動体の移動力量を、前記可動体の移動中に前記第１の部材と前記第２の部材との間で変更可能な移動力量変更手段を具備したことを特徴とする顕微鏡の移動機構。
【請求項２】
さらに前記第１の部材と前記第２の部材との間の摩擦力を調整する摩擦力調整手段を具備することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の移動機構。
【請求項３】
前記摩擦力調整手段は、滑り部材と、前記滑り部材に対して加圧／解除が可能な加圧部材と、前記加圧部材の加圧力を任意に制御する加圧力制御手段とを有し、一方が前記第１の部材に、他方と前記加圧力制御手段が前記第２の部材に設けられたことを特徴とする請求項２記載の顕微鏡の移動機構。
【請求項４】
前記加圧部材を前記第２の部材に、回転自在となるように支持するとともに、前記滑り部材を前記第１の部材に設け、該滑り部材に、前記加圧部材の幅よりも広く、前記可動体の移動方向に開口したスリットを設け、前記加圧力制御手段を操作して、前記加圧部材を回動させて前記スリットの側面に押圧させることにより、前記可動体の移動力量を移動中に変更させることを特徴とする請求項３記載の顕微鏡の移動機構。
【請求項５】
前記加圧部材を、前記第２の部材に回動自在に支持され、前記可動体の移動方向に沿って配されたバー部材の外周部に設けるとともに、前記滑り部材を、前記加圧部材の一方方向の回転に連動して収縮可能に前記第１の部材に配し、前記加圧力制御手段の操作による、前記加圧部材の一方方向の回動に連動して前記滑り部材を、収縮させ、前記バー部材の外周部に押圧させることにより、前記可動体の移動力量を移動中に変更させることを特徴とする請求項３記載の顕微鏡の移動機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば半導体部品等の測定体が載置される顕微鏡のステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、顕微鏡においては、そのステージ上に測定体、試料を載置して、この試料を対物レンズにより観察して高さ寸法や深さ寸法等を測定するのに用いるものがある。このような顕微鏡のステージは、測定形態の多様化を図るために、手動式で１００〜３００程度のストロークが要求される。
【０００３】
ところで、このようなステージの送り構造としては、特開平８―１６８９３３号公報に開示される移動機構が提案されている。
【０００４】
この公報に開示される移動機構は、図７乃至図９に示すように、直動ガイドレール１が下ステージ２上に取り付けられ、この直動ガイドレール１には、図示しない直動ベアリングに支持される上ステージ３が矢印方向に移動自在に組付けられる。上ステージ３には、支持部材４が取付けられる。この支持部材４には、図７及び図８に示すように一対の支持板４ａ、４ｂが所定の間隔に対向配置されて、その各一端部が回動軸５ａ、５ｂを介して上記移動方向と略直交する軸回りに回動自在に支持される。
【０００５】
一対の支持板４ａ、４ｂには、対の割ナット６ａ、６ｂがそれぞれ対向して配され、この割ナット６ａ、６ｂには、ねじ部材７が螺合される。このねじ部材７は、軸受部８ａ、８ｂを介して上記移動方向と平行な軸回りに回転自在に配され、その一端部が駆動モータ９ａに回転力伝達可能に連結される。
【０００６】
また、上記一対の支持板４ａ、４ｂの先端部間には、ばね部材９ｂが係着される。このばね部材９ｂは、一対の支持板４ａ、４ｂを当接方向に付勢して、割ナット６ａ、６ｂとねじ部材７とを調整自在に螺合する。これにより、ねじ部材７の回転に連動して割ナット６ａ、６ｂの螺合が可変され、上記上ステージ３が支持部材４を介して直動ガイドレール１上を直動移動される。
【０００７】
ところで、上記顕微鏡においては、その試料の形状等に応じて、先ず、粗動調整により、上ステージ３を大きく移動させ、その後、微動調整を行うような使用形態がある。
【０００８】
そこで、上記使用形態を満足する場合には、上記移動機構において、例えばねじ部材７を回転駆動する駆動モータ９ａに代えてハンドル機構を配備し、そのハンドル機構をハンドル操作してねじ部材７を回転させて微動調整を行い、粗動調整時には、その支持板４ａ、４ｂを回動調整して、割ナット５ａ、５ｂとねじ部材７との螺合を解除させ、上ステージ３を直接的に押したりして直動ガイドレール１上を移動させて粗動調整する方法が採られる。
【０００９】
しかしながら、上記移動機構を用いたステージでは、粗動操作を比較的容易に行うことが可能であるが、粗動調整の際に試料を含む上ステージ３の質量による慣性が直接的に作用するために、所望の位置への位置合わせが煩雑となり、粗動調整時の操作性が低下されるという不都合を有する。
【００１０】
【特許文献１】
特開平８―１６８９３３号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の顕微鏡の移動機構では、粗動調整と微動調整の双方を実現し得るように構成すると、粗動調整時の位置あわせが煩雑となり、操作に時間を費やすという不都合を有する。
【００１２】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、簡便にして容易な粗動及び微動調整の切り替えを実現したうえで、迅速にして高精度な粗動調整を実現し得るようにした顕微鏡の移動機構を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明は、直線移動可能な可動体と、前記可動体と共に移動する第１の部材と、前記可動体に対して移動しない第２の部材とを備えた顕微鏡の移動機構において、前記可動体の移動力量を、前記可動体の移動中に前記第１の部材と前記第２の部材との間で変更可能な移動力量変更手段を具備して構成した。
【００１４】
上記構成によれば、移動力量変更手段により、可動体の移動力量を、粗動及び微動調整に適した値に変更設定することにより、可動体の調整形態に適した高精度な操作が容易に可能となる。従って、調整形態に応じた最適な調整操作を、迅速に行うことが可能となる。
【００１５】
この発明は、前記移動力量変更手段に、さらに、前記第１の部材と前記第２の部材との間の摩擦力を調整する摩擦力調整手段を備えて構成した。これによれば、可動体の移動力量の変更と共に第１及び第２の部材間の摩擦力を調整することで、さらに、各調整形態における移動力量の微調整が可能となり、調整操作の操作性の向上を図ることが可能となる。
【００１６】
また、この発明は、前記摩擦力調整手段を、滑り部材と、前記滑り部材に対して加圧／解除が可能な加圧部材と、前記加圧部材の加圧力を任意に制御する加圧力制御手段とを有し、一方が前記第１の部材に、他方と前記加圧力制御手段が前記第２の部材に設けて構成した。これによれば、加圧力制御手段の操作により、加圧部材が滑り部材を加圧／加圧解除して、第１及び第２の部材間の摩擦力を可変設定していることにより、簡便にして容易に移動力量の微調整を行うことが可能となる。
【００１７】
また、この発明は、前記加圧部材を前記第２の部材に、回転自在となるように支持するとともに、前記滑り部材を前記第１の部材に設け、該滑り部材に、前記加圧部材の幅よりも広く、前記可動体の移動方向に開口したスリットを設け、前記加圧力制御手段を操作して、前記加圧部材を回動させて前記スリットの側面に押圧させることにより、前記可動体の移動力量を移動中に変更させるように構成した。
【００１８】
上記構成によれば、加圧力制御手段の操作に連動して、加圧部材が回動されて滑り部材のスリットの側面に押圧され、その回動位置に応じて可動体の移動力量を微調整する。これにより、可動体の移送機構に影響を及ぼすことなく、移動力量の調整を行うことが可能となる。
【００１９】
また、この発明は、前記加圧部材を、前記第２の部材に回動自在に支持され、前記可動体の移動方向に沿って配されたバー部材の外周部に設けるとともに、前記滑り部材を、前記加圧部材の一方方向の回転に連動して収縮可能に前記第１の部材に配し、前記加圧力制御手段の操作による、前記加圧部材の一方方向の回動に連動して前記滑り部材を、収縮させ、前記バー部材の外周部に押圧させることにより、前記可動体の移動力量を移動中に変更させるように構成した。
【００２０】
上記構成によれば、加圧力制御手段の操作に連動して、加圧部材がバー部材を介して一方方向に回動されると、該加圧部材が滑り部材を収縮させて、該滑り部材をバー部材の外周部に押圧させ、可動体の移動力量を微調整する。これにより、可動体の移送機構に影響を及ぼすことなく、移動力量の調整を行うことが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１及び図２は、この発明の一実施の形態に係る顕微鏡の移動機構を示すもので、図１は、上面から見た状態を示し、図２は、側面から見た状態を示す。
【００２３】
即ち、固定ステージを構成する下板１０は、図示しない顕微鏡本体に固定配置され、この下板１０の上面部には、一対の直動ガイドを構成する２本のガイドレール１１１、１１２が、矢印Ａ、Ｂ方向（例えばＸ軸方向）の移動中心を挟んだ略対称位置に延出されて形成される。そして、この下板１０上には、移動ステージを構成する中板１２が矢印Ａ、Ｂ方向に移動自在に積重配置される。中板１２には、その下面部にベアリング１３１、１３２が上記２本のガイドレール１１１、１１２に対応して設けられ、これらベアリング１３１、１３２が上記下板１０のガイドレール１１１、１１２にそれぞれ移動自在に係合されて該下板１０上に積重配置される。
【００２４】
また、中板１２上には、移動ステージを構成する上板１４が、矢印Ｃ、Ｄ方向（上記矢印Ａ、Ｂ方向と略直交する例えばＹ軸方向）の移動中心を挟んで略対称位置に配置される一対の直動ガイド１４１（図１参照、但し、図の都合上、一方のみを図示）を介して同方向に移動案内自在に積重配置される。この場合には、中板１２が上板１４に対する固定ステージを構成する。このように順に積重配置される下板１０、中板１２及び上板１４は、協働していわゆるＸ―Ｙステージを構成する。
【００２５】
また、上記中板１２には、Ｘ軸操作ハンドル機構２０を構成する第２の部材である略コ字形状の支持台２１が上記矢印Ａ、Ｂ方向に略平行に、例えば螺子を用いて取付けられ、この支持台２１には、リードスクリューと称する螺子部材２２が軸受２３を介して回転自在に取付けられる。螺子部材２２は、そのピッチが、例えば１〜２ｍｍ位に設定され、その中間部に詳細を後述する移動力量変更手段を構成する第１の部材であるクラッチ部２４が組付けられる。そして、この螺子部材２２の一端には、Ｘ軸操作ハンドル２５が設けられる。
【００２６】
また、螺子部材２２の一端部には、摩擦力調整手段の加圧力制御手段である圧力制御部材２６が玉軸受、滑り軸受等の軸受２７を介して回転操作自在に組付けられる。この圧力制御部材２６には、歯車部２６１が同軸的に設けられ、この歯車部２６１には、歯車２８が噛合される。この歯車２８は、バー部材２９の一端に嵌着される。このバー部材２９は、上記支持台２１に対して上記螺子部材２２と略平行に配されて玉軸受、滑り軸受、メタル軸受等の軸受３０を介して回転自在に取付られる。これにより、バー部材２９は、上記圧力制御部材２６が回転されると、その回転力が歯車部２６１、歯車３０を介して伝達されて回転駆動される。
【００２７】
そして、このバー部材２９には、その軸方向に沿って加圧部材を構成するキー２９１が突出して設けられ、その中間部に上記クラッチ部２４が詳細を後述するように組付けられる。
【００２８】
ここで、上記クラッチ部２４について説明する。即ち、クラッチ部２４は、図３及び図４に示すように第１及び第２の移動板２４１、２４２が回転軸２４３を介して下板１０に取付けられた取付台２４４に回動自在に設けられる。これら第１及び第２の移動板２４１、２４２には、対を構成する割ナット２４５、２４６が対向配置されて、例えば螺子２４７を用いて取付けられる。また、第１及び第２の移動板２４１、２４２は、それぞれ図示しないカム駆動部に係合され、クラッチ開閉ハンドル２４８の回動操作に連動して上記カム駆動部（図示せず）を介して逆方向に回動される。
【００２９】
これにより、第１及び第２の移動板２４１、２４２は、クラッチ開閉ハンドル２４８が回動操作されると、上記カム駆動部（図示せず）を介して互いに逆方向に回動されて、その割りナット２４５、２４６を、螺子部材２２に螺合させる微動調整、あるいは螺合部材２２から螺合解放させる粗動調整状態に調整形態を設定する。
【００３０】
また、上記取付台２４４には、凹部２４０が上記バー部材に対応して設けられ、この凹部２４０には、例えば摩擦係数の小さな樹脂材料で形成される滑りナットと称する滑り部材３１が取付けられる。この滑り部材３１には、挿通孔３１１が上記バー部材２９に対応して設けられる。この挿通孔３１１は、軸方向に所定幅間隔を有したスリット３１２が連続して形成され、そのスリット３１２に対して上記バー部材２９のキー２９１を遊挿した状態で、バー部材２９が軸方向に移動自在に挿通されて組付けられる。
【００３１】
これにより、バー部材２９は、圧力制御部材２６の回転操作に連動して回転付勢されると、そのキー２９１が、取付台２４４の滑り部材３１のスリット３１２の側面を押圧し、摩擦抵抗力を発生させて、中板１２の移動力量を増加させる。そして、バー部材２９は、回転力が付与されない状態において、そのキー２９１が滑り部材３１の挿通孔３１１のスリット３１２との間に摩擦抵抗が発生しないことで、取付台２４４の軸方向の移動を許容する。
【００３２】
クラッチ部２４は、クラッチ開閉ハンドル２４８が図３中二点鎖線で示す位置に回動されると、第１及び第２の移動板２４１、２４２の割ナット２４５、２４６が螺子部材２２から離間される。これにより、中板１２は、例えば上記支持台２１が矢印Ａ、Ｂ方向に移動付勢されると、その付勢力に応じて矢印Ａ、Ｂ方向に移動されて粗動調整形態に設定される。この際、中板１２は、バー部材２９及びキー２９１が取付台２４４の凹部２４０の滑り部材３１の挿通孔３１１及びスリット３１２に案内されることにより、矢印Ａ、Ｂ方向の移動が許容される。
【００３３】
そして、この粗動調整形態において、例えば中板１２の移動を停止する場合には、圧力制御部材２６を回転操作すると、その回転に連動して歯車部２６１が歯車２８を回転付勢し、バー部材２９を回動させる。ここで、バー部材２９は、そのキー２９１で取付台２４４の滑り部材３１のスリット３１２を押圧して摩擦抵抗を発生させ、中板１２の移動力量を増加させて停止させる。
【００３４】
また、クラッチ部２４は、クラッチ開閉ハンドル２４８が図３中実線で示す位置に回動されると、第１及び第２の移動板２４１、２４２の割ナット２４５、２４６が螺子部材２２に螺合され、上記Ｘ軸操作ハンドル２５が回転操作される。これにより、螺子部材２２が回転され、該螺子部材２２のピッチに基づいて第１及び第２の移動板２４１、２４２の割ナット２４５、２４６が矢印Ａ、Ｂ方向に螺合調整され、中板１２の微動調整形態に設定される。この際、中板１２は、粗動調整形態の場合と同様にバー部材２９及びキー２９１が取付台２４４の凹部２４０の滑り部材３１の挿通孔３１１及びスリット３１２に案内されることにより、矢印Ａ、Ｂ方向の移動が許容される。
【００３５】
上記構成において、中板１２のＸ軸方向の粗動調整を行う場合には、先ずＸ軸操作ハンドル機構２０のクラッチ開閉ハンドル２４８を上述したように二点鎖線で示す位置に回動させる。ここで、クラッチ開閉ハンドル２４８は、第１及び第２の移動板２４１、２４２を回動させて、その割ナット２４５、２４６を螺子部材２２から離間させ、粗動調整状態に設定される。この粗動調整設定状態において、例えば支持台２１、あるいはＸ軸操作ハンドル機構２０を手にして中板１２を矢印Ａ、Ｂ方向に移動付勢する。これにより、中板１２は、支持台２１と共に同方向に移動されて粗動調整される。
【００３６】
そして、中板１２が所望の位置に到達した状態で、圧力制御部材２６を回転操作する。圧力制御部材２６は、その回転により、歯車部２６１を介して歯車２８を回転させ、該歯車２８の回転によりバー部材２９が一体的に回動され、キー２９１が滑り部材３１のスリット３１２の側面を押圧して摩擦抵抗を発生させ、取付台２４４のバー部材２９に対する移動を停止する。これにより、中板１２をガイドレール１１１、１１２とベアリング１３１、１３２とが本来持っている移動力量で高速に所望の位置まで移動させたとしても、その圧力制御部材２６を回転操作することで、速度を緩めることなく所望の位置に停止させることが可能となり、迅速な粗動調整が実現される。
【００３７】
ここで、上記圧力制御部材２６は、その操作方向が時計あるいは反時計方向の何れに回転操作しても、バー部材２９の回転方向が同方向に回転され、そのキー２９１の側面が滑り部材３１にスリット３１２の側面を押圧して摩擦抵抗力を発生させて移動力量を変更して中板１２の移動を停止させる。この圧力制御部材２６の操作方向は、使用者の好み等により選択される。
【００３８】
なお、上記粗動調整の手順としては、その他、例えば中板１２を高速で移動させながら圧力制御部材２６を一旦、回動させて摩擦抵抗を発生させ、中板１２の移動速度を低下させ、その後、速度が低下された中板１２を直接的に制動して調整位置に停止させるようにすることもできる。
【００３９】
また、中板１２を微動調整する場合には、先ず、クラッチ部２４のクラッチ開閉ハンドル２４８を反転操作して実線で示す位置に回動させる。すると、第１及び第２の移動板２４１、２４２は、その割ナット２４５、２４６が螺子部材２２に螺合する方向に回動されて螺合調整自在に螺合され、上述したようにＸ軸操作ハンドル機構２０が微動調整状態に設定される。
【００４０】
ここで、上記Ｘ軸操作ハンドル２５が回転操作されると、螺子部材２２が回転され、その回転に連動して第１及び第２の移動板２４１、２４２の割ナット２４５、２４６との螺合が調整されて、中板１２が下板１０に対して支持台２１とともに、矢印Ａ、Ｂ方向に螺子部材２２のピッチに対応して同方向に移動される。これにより、中板１２は、その移動力量に影響されることなく、Ｘ軸操作ハンドル２５の回転量により、螺子部材２２のピッチに基づいて矢印Ａ、Ｂ方向に微動調整される。
【００４１】
この際、圧力制御部材２６は、支持台２１に軸受２７を介して回転自在に支持されていることで、Ｘ軸操作ハンドル２５の回転操作にともなう螺子部材２２の回転を許容し、その回転角が初期状態に保たれる。この結果、バー部材２９は、その歯車２８に回転力が伝達されないことで、そのキー２９１と滑り部材３１とによる摩擦抵抗を発生させることがなく、取付台２４４の安定した微動調整を許容する。
【００４２】
また、クラッチ部２４のクラッチ開閉ハンドル２４８を回転操作して、粗動／微動観察を順に切替式に行う場合、使用者は、微動調整時、一方の手でクラッチ開口ハンドル２４８を持ち、他方の手でＸ軸操作ハンドル２５を持ち、粗動調整時、他方の手を圧力制御部材２６に持ち替えることで、各調整形態における調整操作を行うことができる。
【００４３】
なお、上記中板１２と上板１４との間には、Ｙ軸操作ハンドル機構３２が組付け配置され、このＹ軸操作ハンドル機構３２を介して上記上板１４が粗動調整あるいは微動調整が行われる。このＹ軸操作ハンドル機構３２は、上記Ｘ軸操作ハンドル機構２０と略同様にクラッチ部３３を介して粗動調整あるいは微動調整が可能に切換設定される。
【００４４】
上記クラッチ部３３には、図示しないが上記歯車部２６１が一体的に設けられた圧力制御部材２６、歯車２８、バー部材２９、キー２９１及び滑り部材３１で構成される摩擦力調整手段を備える移動力量調整手段が組付け配置される。
【００４５】
この中板１２と上板１４との間に介在されるＹ軸操作ハンドル機構３２、クラッチ部３３の構成及び動作については、上述したＸ軸操作ハンドル機構２０、クラッチ部２４の構成及び動作と、その配置位置及び作用方向がＹ軸に対応するようにしたことが異なるだけであることで、ここでは、その詳細な説明を省略する。
【００４６】
このように、上記顕微鏡の移動機構は、直線移動される中板１２の移動力量を、その移動中に該中板１２に移動自在に配された取付台２４４と、該中板１２と一体的に設けられた支持台２１との間で変更するように構成した。
【００４７】
これによれば、中板１２の移動力量を、粗動及び微動調整に適した値に変更設定することにより、中板１２の調整形態に適した高精度な操作が容易に実現され、しかも、粗動調整形態における迅速にして高精度な調整を行うことが可能となる。
【００４８】
すなわち、粗動調整時、使用者が、測定したい試料の大まかな場所を肉眼で決めて、その場所に中板１２を移動させる時に、ある程度のスピードで目的の場所まで移動させ、停止時、中板１２の移動力量を増加させて停止させていることで、目的の場所に確実に停止することが可能となるため、例えば顕微鏡測定の効率を上げることができる。
【００４９】
具体的には、中板１２の粗動時に移動を停止するのに圧力制御部材２６を回転操作して移動力量を増加させて所望の位置に停止させるように構成していることにより、中板１２の迅速な粗動調整を実現したうえで、簡便にして容易な停止操作が実現される。
【００５０】
また、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、摩擦力調整手段を、例えば図５及び図６に示すように構成しても、略同様の効果が期待される。但し、図５及び図６においては、上記図３及び図４と同一部分について、同一符号を付して、その詳細な説明について省略する。
【００５１】
即ち、取付台２４４には、移動方向に略平行な貫通孔２４９が設けられ、この貫通孔２４９には、例えば摩擦係数の小さな樹脂材料で形成された筒状の滑り部材３４が挿着される。この滑り部材３４には、軸方向にスリット３４１が形成され、このスリット３４１の一端部がキー３５を介して貫通孔２４９に内壁に位置決め固定される。そして、この滑り部材３４には、上記バー部材２９が内挿される。
【００５２】
滑り部材３４には、そのスリット３４１の他端部の内壁にキー溝３４２が形成され、このキー溝３４２には、上記バー部材２９のキー２９１が軸方向に移動自在に挿入される。ここで、滑り部材３４は、バー部材２９が上記圧力制御部材２６、歯車部２６１及び歯車２８を介して図５中時計方向に回転されると、そのキー溝３４２の側面がバー部材２９のキー２９１に押圧される。ここで、滑り部材３４は、そのスリット３４１の作用により径方向が収縮される。すると、滑り部材３４は、その内壁がバー部材２９の外周部に押圧されて摩擦抵抗力を発生させ、取付台２４４の移動力量を増加させて中板１２の移動を停止させる。
【００５３】
なお、この実施の形態は、上述した実施の形態と略同様にクラッチ部２４、３３が構成され、このクラッチ部２４、３３を操作して粗動／微動調整形態に設定される。
【００５４】
この実施の形態によれば、中板１２の停止動作を、バー部材２９の周囲を滑り部材３４で包み込みようにして摩擦抵抗力を発生させるように構成していることにより、バー部材２９に対して軸方向の停止力が付与されるため、中板１２の運動性能に対するピッチング、ヨーイングの負荷が発生することがない。この結果、さらに安定した停止動作が実現される。
【００５５】
なお、上記実施の形態では、加圧力制御手段を構成する圧力制御部材２６を、螺子部材２２と同軸的に配するように構成した場合で説明したが、この配置構成に限ることなく、その他の配置構成も可能である。
【００５６】
また、上記圧力制御部材２６とバー部材２９との間の回転力伝達を歯車伝達機構を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、ベルト伝達機構等の各種の回転力伝達機構を用いて構成することが可能である。
【００５７】
さらに、上記実施の形態では、クラッチ部２４（３３）と摩擦力調整手段を取付台を用いて一体的に配するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、クラッチ部２４（３３）と摩擦力調整手段とを別体に配するように構成することも可能である。
【００５８】
さらに、上記実施の形態では、Ｘ―Ｙテーブル構造に適用した場合で説明したが、これに限ることなく、一軸テーブル構造等の各種のテーブル構造においても適用可能で同様の効果を期待することができる。
【００５９】
よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００６０】
例えば実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、簡便にして容易な粗動及び微動調整の切り替えを実現したうえで、迅速にして高精度な粗動調整を実現し得るようにした顕微鏡の移動機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係る顕微鏡の移動機構の一部を断面して示した平面図である。
【図２】図１を正面から示した正面図である。
【図３】図１のＸ軸操作ハンドル機構のクラッチ部及び摩擦力調整手段の一部を断面して示した断面図である。
【図４】図３のＸ軸操作ハンドル機構のクラッチ部及び摩擦力調整手段を上面から示した平面図である。
【図５】この発明の他の実施の形態に係る顕微鏡の移動機構の要部を断面して示した断面図である。
【図６】図５を上面側から示した平面図である。
【図７】従来のステージの移動機構を示した平面図である。
【図８】図７の移動機構の要部を取り出して示した斜視図である。
【図９】図８を送り方向から見た状態を示した平面図である。
【符号の説明】
１０　…　下板
１１１、１１２　…　ガイドレール
１２　…　中板
１３１、１３２　…　ベアリング
１４　…　上板
１４１　…　直動ガイド
２０　…　Ｘ軸操作ハンドル機構
２１　…　支持台
２２　…　螺子部材
２３　…　軸受
２４　…　クラッチ部
２４０　…　凹部
２４１　…　第１の移動板
２４２　…　第２の移動板
２４３　…　回転軸
２４４　…　取付台
２４５、２４６　…　割ナット
２４７　…　螺子
２４８　…　クラッチ開閉ハンドル
２４９　…　貫通孔
２５　…　Ｘ軸操作ハンドル
２６　…　圧力制御部材
２６１　…　歯車部
２７　…　軸受
２８　…　歯車
２９　…　バー部材
２９１　…　キー
３０　…　軸受
３１　…　滑る部材
３１１　…　貫通孔
３１２　…　スリット
３２　…　Ｙ軸操作ハンドル機構
３３　…　クラッチ部
３４　…　滑り部材
３４１　…　スリット
３４２　…　キー溝
３５　…　キー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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