(57)【要約】【課題】性能を良好なものに保ちつつ、製造を容易にすることが可能な構成の回折光学素子及びこれを用いた光学系を提供する。【解決手段】互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素３と第２の回折素子要素４とが密着接合され、これら両回折素子要素３，４の接合面に所定形状の回折格子溝５が形成されている回折光学素子１において、第１の回折素子要素３の厚さｄ１と第２の回折素子要素４の厚さｄ２をともに５．５μｍ以上とし、回折格子溝５の最小ピッチｐを５０μｍ以上とする。また、少なくとも、一枚の正レンズと一枚の負レンズとを貼り合わせた貼り合わせレンズと、上記回折光学素子１とを有して光学系を構成する。【選択図】　　　　図１
2004126061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素と第２の回折素子要素とが密着接合され、前記両回折素子要素の接合面に所定形状の回折格子溝が形成されている回折光学素子において、
前記第１の回折素子要素の厚さと前記第２の回折素子要素の厚さがともに５．５μｍ以上であり、前記回折格子溝の最小ピッチが５０μｍ以上であることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
前記両回折素子要素の一方の材質がガラスモールド用のガラスであり、他方の材質が紫外線硬化樹脂であることを特徴とする請求項１記載の回折光学素子。
【請求項３】
前記ガラスモールド用のガラスは、ｄ線での屈折率をｎｄＧとし、アッベ数をνｄＧとしたとき、両式
１．５５≦ｎｄＧ≦１．６５
５５≦νｄＧ≦６５
を満足し、かつ、前記紫外線硬化樹脂は、ｄ線での屈折率をｎｄＲとし、アッベ数をνｄＲとしたとき、両式
１．５０≦ｎｄＲ≦１．６０
νｄＲ≦４５
を満足することを特徴とする請求項２記載の回折光学素子。
【請求項４】
前記ガラスモールド用のガラスは、ｄ線での屈折率をｎｄＧとし、アッベ数をνｄＧとしたとき、両式
１．６３≦ｎｄＧ≦１．７３
５０≦νｄＧ≦６０
を満足し、かつ、前記紫外線硬化樹脂は、ｄ線での屈折率をｎｄＲとし、アッベ数をνｄＲとしたとき、両式
１．５８≦ｎｄＲ≦１．６８
νｄＲ≦３５
を満足することを特徴とする請求項２記載の回折光学素子。
【請求項５】
前記回折格子溝の高さｈが、式
８．０μｍ≦ｈ≦１８．０μｍ
を満足することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の回折光学素子。
【請求項６】
少なくとも、一枚の正レンズと一枚の負レンズとを貼り合わせた貼り合わせレンズと、請求項１〜５のいずれかに記載の回折光学素子とを有したことを特徴とする光学系。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、入射した光に対して回折光束を生じさせる回折光学素子に関し、特に、広波長領域で使用可能な回折光学素子に関する。また、このような回折光学素子を用いて構成する光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回折光学素子は、微小間隔（約１ｍｍ）当たり数百本程度の細かい等間隔のスリット状若しくは溝状の格子構造を備えて作られた光学素子であり、光が入射されると、スリットや溝のピッチ（間隔）と光の波長とで定まる方向に回折光束を生じさせる性質を有している。このような回折光学素子は種々の光学系に用いられており、例えば、特定次数の回折光を一点に集めてレンズとして使用するものなどが知られている。
【０００３】
このような回折光学素子では、近年において、図８に示されるような複層型の回折光学素子が提案されるようになってきている。この図に示される複層型の回折光学素子は、同一の回折格子溝１３において、ガラスからなる第１の回折素子要素１１と、樹脂からなる第２の回折素子要素１２とが貼り合わされた構成をしている。このような構成とすることで、ｇ線（４３５．８ｎｍ）からＣ線（６５６．３ｎｍ）までの広波長領域で、回折効率を９０％以上とすることが可能となっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−２７１５１４号公報
【特許文献２】
特開平１１−２７１６８７号公報
【特許文献３】
特開平１１−３０５１２６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図８に示される従来の複層型の回折光学素子では、ガラスからなる第１の回折素子要素１１の回折格子溝１３をその頂部１４まで満たすように樹脂（第２の回折素子要素１２）を充填させる必要がある。つまり、第１の回折素子要素１１には或る程度の厚さの層１１ａが存在するが、第２の回折素子要素１２には、一定の厚みのある層が存在しない。
【０００６】
また、このような構成の回折光学素子を製造することは非常に難しく、図８に示される従来通りの複層型回折光学素子を製造しようとしても、実際には、図９に示されるような形状になってしまう。すなわち、樹脂からなる第２の回折素子要素１２の厚さが非常に薄い層１２ａが形成されてしまう。このような非常に薄い層１２ａは、この回折光学素子を通り抜けた光束が所望の波面とは異なる波面を形成する原因となるため、従来における複層型回折光学素子では、所望の性能を得ることができない場合も生じていた。
【０００７】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、性能を良好なものに保ちつつ、製造を容易にすることが可能な構成の回折光学素子及びこれを用いた光学系を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、請求項１に記載の回折光学素子は、互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素と第２の回折素子要素とが密着接合され、これら両回折素子要素の接合面に所定形状の回折格子溝が形成されている回折光学素子において、第１の回折素子要素の厚さと第２の回折素子要素の厚さがともに５．５μｍ以上であり、回折格子溝の最小ピッチが５０μｍ以上であることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の回折光学素子は、請求項１に記載の回折光学素子において、両回折素子要素の一方の材質がガラスモールド用のガラスであり、他方の材質が紫外線硬化樹脂であることを特徴とする。請求項３の記載の回折光学素子は、請求項２に記載の回折光学素子において、ガラスモールド用のガラスが、ｄ線での屈折率をｎｄＧとし、アッベ数をνｄＧとしたとき、式１．５５≦ｎｄＧ≦１．６５及び５５≦νｄＧ≦６５を満足し、かつ、紫外線硬化樹脂が、ｄ線での屈折率をｎｄＲとし、アッベ数をνｄＲとしたとき、式１．５０≦ｎｄＲ≦１．６０及びνｄＲ≦４５を満足することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に記載の回折光学素子は、請求項２に記載の回折光学素子において、ガラスモールド用のガラスが、ｄ線での屈折率をｎｄＧとし、アッベ数をνｄＧとしたとき、式１．６３≦ｎｄＧ≦１．７３及び５０≦νｄＧ≦６０を満足し、かつ、紫外線硬化樹脂が、ｄ線での屈折率をｎｄＲとし、アッベ数をνｄＲとしたとき、式１．５８≦ｎｄＲ≦１．６８及びνｄＲ≦３５を満足することを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の回折光学素子は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の回折光学素子において、回折格子溝の高さｈが、式８．０μｍ≦ｈ≦１８．０μｍを満足することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６に記載の光学系は、少なくとも、一枚の正レンズと一枚の負レンズとを貼り合わせた貼り合わせレンズと、請求項１から請求項５のいずれかに記載の回折光学素子とを有したことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に係る回折光学素子の模式断面図である。本実施形態における回折光学素子１では、互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素３と第２の回折素子要素４とが密着接合されてなり、両回折素子要素３，４の境界には所定形状の回折格子溝５が形成されている。本実施形態では、この回折格子溝５は図のように鋸歯形状をしているが、本発明がこれに限定されるわけではない。
【００１４】
本発明の回折光学素子１では、上記のような構成にすることにより、ｇ線（４３５．８ｎｍ）からＣ線（６５６．３ｎｍ）までの広波長領域で、回折効率を９０％以上とすることが可能となる。ここで、本発明では、互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素３と第２の回折素子要素４それぞれの厚さｄ１及びｄ２を、ともに５．５μｍ以上に設定する。なお、本発明に係る回折光学素子１においては、上記厚さｄ２及びｄ３には、回折格子溝５の高さｈ（図１参照）を含まない。
【００１５】
光は波動であるので、回折格子溝５の頂部５ａから出射した直後の波面は、幾何光学的な波面とは一致せず、回折格子溝５の頂部５ａから或る程度離れたところで幾何光学的波面と一致する。通常、光は、境界面から約１０波長分離れれば、幾何光学的な波面と一致するといわれている。このため本発明では、可視光の代表波長として５５０ｎｍを選択し、その１０倍の５．５μｍを、回折格子溝５から次の境界面までの厚さとして設定した。このように、回折素子要素３，４それぞれに或る程度の厚さを持たせることで、性能が良好で、かつ、製造を容易にすることができる。ここで、製造を更に容易にするには、回折素子要素３，４それぞれの厚さｄ１，ｄ２をともに５０μｍ以上とすることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る回折光学素子１では、更に、回折格子溝５の最小ピッチｐ（図１参照）を５０μｍ以上の緩いピッチとすることで、その製造を容易にしている。これは、回折格子溝５の最小ピッチｐを５０μｍ以上と大きくすれば、回折格子溝５の頂角θ（図１参照）が緩やかになるからであり、このように回折格子溝５の頂角θを緩やかになれば、金型（後述）を用いて第１の回折素子要素３を成形するときに、その形状を正確に転写することができるとともに、このように転写成形された回折格子溝５上に塗布する樹脂（第２の回折光学素子４）が第１の回折素子要素３上に形成された（転写された）回折格子溝５の窪み部分に充分に行き渡るようになるため、所定形状の回折格子溝５を容易に形成することが可能となる。また、入射角に対する回折効率を向上させる観点からも、５０μｍ以上の緩いピッチを採用している。更に、回折格子溝５の最小ピッチｐを更に大きく８０μｍ以上とすれば、回折格子溝５の形成はより一層容易になり、回折効率も更に良くなる
【００１７】
また、本発明の回折光学素子１では、第１及び第２の回折素子要素３，４を構成する材質の一方はガラスモールド用のガラスにより構成され、他方は紫外線硬化樹脂により構成されることが好ましい。このようにすることで、回折格子溝５を形成するに必要な金型は一つだけで済むようになる。すなわち、金型にガラスを合わせ込んで固め、金型からガラスを取り出し、型取りしたガラスに紫外線硬化樹脂を塗布するという作業を行うだけで、本回折光学素子１を製造することができるようになる。
【００１８】
前述のように、本発明では、紫外線硬化樹脂を用いることが好ましい。紫外線硬化樹脂は紫外線を照射するだけで硬化するので、簡単な設備とすることが可能であり、最終的に製造を容易にすることができる。熱可塑性樹脂は、硬化させるために大がかりな装置が必要であり、かつ、製造のための時間もかかるため、紫外線硬化樹脂よりも製造は容易とならない。
【００１９】
更に、本発明の回折光学素子１では、第１の回折素子要素３の材質は、ｄ線での屈折率をｎｄＧとし、アッベ数をνｄＧとしたとき、下の両式（１），（２）を満足し、かつ、第２の回折素子要素４の材質は、ｄ線での屈折率をｎｄＲとし、アッベ数をνｄＲとしたとき、下の両式（３），（４）を満足することが好ましい。
【００２０】
【数１】
１．５５≦ｎｄＧ≦１．６５　…　（１）
５５≦νｄＧ≦６５　　　…　（２）
１．５０≦ｎｄＲ≦１．６０　…　（３）
νｄＲ≦４５　　　…　（４）
【００２１】
或いは、第１の回折素子要素３の材質が下の両式（５），（６）を満足し、かつ、第２の回折素子要素４の材質が下の両式（７），（８）を満足するのであってもよい。
【００２２】
【数２】
１．６３≦ｎｄＧ≦１．７３　…　（５）
５０≦νｄＧ≦６０　　　…　（６）
１．５８≦ｎｄＲ≦１．６８　…　（７）
νｄＲ≦３５　　　…　（８）
【００２３】
上記式（１），（２），（３），（４）、或いは式（５），（６），（７），（８）は、より良い性能で、図１に示すような、互いに異なる材質（ここでは、ガラスモールド用のガラスと紫外線硬化樹脂）が共通の回折格子溝５で接することができる（回折格子溝５を形成することができる）ため条件である。すなわち、これらの式に規定された領域を外れると、本発明の回折光学素子１を得ることが困難となる。特に、式（１），（３）は、良好な角度特性を得るためのものであり、条件式（１）の下限を外れるか、或いは条件式（３）の上限を外れると、回折格子溝５の高さｈが非常に高くなってしまい、角度特性を良好に保ちつつ所定の格子形状を得ることはできなくなってしまう。また、条件式（２），（４）は、特に、全波長域で良好な回折効率を得るためのものであり、それぞれの条件範囲を外れると、全波長領域で良好な回折効率を得ることができなくなる。
【００２４】
ここで、更に良い結果を得るためには、式（１）の下限を１．５７とすることが好ましい。また、上限は１．６３とすることが好ましい。また、式（２）の下限を５７とすることが好ましい。また、上限は６３とすることが好ましい。また同様に、式（３）の下限を１．５２とすることが好ましい。また、上限は１．５８とすることが好ましい。また、式（４）の下限を２５とすることが好ましい。
【００２５】
或いは、更に良い結果を得るためには、式（５）の下限を１．６５とすることが好ましい。また、上限は１．７０とすることが好ましい。また、式（６）の下限を５２とすることが好ましい。また、上限は５８とすることが好ましい。また同様に、式（７）の上限を１．６５とすることが好ましい。また、式（８）の下限を２０とすることが好ましい。また、上限は３０とすることが好ましい。
【００２６】
また、本発明の回折光学素子１では、回折格子溝５の高さｈは、下式（９）を満足していることが好ましい。
【００２７】
【数３】
８．０μｍ≦ｈ≦１８．０μｍ　…　（９）
【００２８】
上記式（９）は角度特性（入射光線の入射角の変化に対する回折効率の低下の度合い）に関する条件であり、この条件を満たすようにすることにより、従来の複層型回折光学素子に比して角度特性を向上させることができる。すなわち、回折格子溝５の高さｈを式（９）の上限値（１８．０μｍ）以下にして回折格子溝５の高さを低くすることにより、光透過時の損失を小さくして角度特性を向上させることができる。但し、回折格子溝５の高さｈを無制限に小さくすることは、厳しい製造精度を満足し得なくなる可能性があるため、式（９）においては、回折格子溝５の高さｈに下限の値を設けている。ここで、更に良い結果を得るためには、上記条件式（９）の下限の値を８．５μｍとすることが好ましい。また、上限の値は１５．０μｍとすることが好ましい。
【００２９】
このように、本発明に係る回折光学素子１によれば、互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素３の厚さｄ１と第２の回折素子要素４の厚さｄ２がともに、可視光の代表波長である５５０ｎｍの１０倍の長さである５．５μｍ若しくはそれ以上の値に設定されており、複層型の回折光学素子でありながら、その性能は良好なものに保たれるようになっている。また、回折格子溝５の最小ピッチｐは５０μｍ以上と緩いピッチになっているので、その製造は大変容易なものとなっている。
【００３０】
なお、本発明の回折光学素子１は特定次数の回折光が一点に集まるようにしてレンズのように用いることができ、この場合、本回折光学素子は全体が円盤状に作られる。また、本回折光学素子の断面形状は図１に示すような平行平板状であってもよいが、その他の形、例えば球面状になっていてもよい。
【００３１】
また、本発明に係る光学系は、少なくとも、一枚の正レンズと一枚の負レンズとを貼り合わせた貼り合わせレンズと、上記本発明の回折光学素子とを一緒に用いて構成される。このような構成の光学系では、回折光学素子単一で色収差を補正するよりもより良好に色収差補正を行うことが可能になり、結像性能を向上させることができる。なお、このとき、貼り合わせレンズは、回折光学素子よりも入射側に配置されることが好ましい。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明に係る光学系の具体的な実施例を示す。下に示す実施例では、本発明の光学系をテレコンバーターレンズに適用しており、このテレコンバーターレンズの像側に設置されるマスターレンズには、デジタルカメラに用いるレンズを用いた。
【００３３】
（第１実施例）
図２は第１実施例に係る光学系を構成する諸レンズの配置を示す図である。本実施例におけるマスターレンズの諸元を下の表１に示す。ここで、表１における面番号１〜１２はテレコンバーターレンズＴＣに関するものであり、図２における符号１〜１２に対応する。また、表１における面番号１３〜３６はマスターレンズＭに関するものであり、図２における符号１３〜３６に対応する。表１におけるｒはレンズ面の曲率半径であり、ｄはレンズ面の間隔である。また、νｄはアッベ数、ｎｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率である。また、以下の全ての諸元値において掲載されている曲率半径ｒ、面間隔ｄその他の長さの単位は、特記のない場合一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることもできる。なお、本実施例では、正レンズＬ１と負レンズＬ２とが貼り合わされて貼り合わせレンズＬが構成されており、この貼り合わせレンズＬが本発明の回折光学素子１よりも光の入射側（図における左側）に位置するようになっている（後述する第２及び第３実施例についても同様）。
【００３４】
【表１】
2004126061.tif 000003
2004126061.tif 000004
【００３５】
本実施例では、回折光学素子を、ｎｄ＝１．６０９７０、νｄ＝５７．７９であるガラスモールド用ガラスと、ｎｄ＝１．５５３８９、νｄ＝３８．０９である紫外線硬化樹脂とで構成した。両材質の厚さｄ１，ｄ２はそれぞれ、光軸上でｄ１＝１１．５ｍｍ、ｄ２＝０．１ｍｍであり、第１及び第２の回折素子要素３，４の厚さｄ１，ｄ２がそれぞれ５．５μｍ以上であるという条件が満たされていた。また、回折光学素子の回折格子溝の深さは９．９５μｍであり、前述の式（９）が満たされていた。
【００３６】
図３は第１実施例における光学系の諸収差図である。各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、Ｙは像高を、ｄはｄ線に対する結果を、ｇはｇ線に対する結果を、ＣはＣ線に対する結果を、ＦはＦ線に対する結果をそれぞれ示している。また、非点収差を示す収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。以上の収差図の説明は、以降の他の収差図においても同様である。各収差図から明らかなように、本第１実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００３７】
（第２実施例）
図４は第２実施例に係る光学系を構成する諸レンズの配置を示す図である。本第２実施例におけるマスターレンズＭの諸元は上述の表１に示した通り（面番号１３〜３６）であり、テレコンバーターレンズＴＣに関する面番号１〜１１は図４における符号１〜１１に対応する。
【００３８】
【表２】
2004126061.tif 000005
【００３９】
本実施例では、回折光学素子を、ｎｄ＝１．５９３８０、νｄ＝６１．４１であるガラスモールド用ガラスと、ｎｄ＝１．５４９８８、νｄ＝４１．６３である紫外線硬化樹脂とで構成した。両材質の厚さｄ１，ｄ２はそれぞれ、光軸上で、ｄ１＝１２ｍｍ、ｄ２＝０．１ｍｍであり、第１及び第２の回折素子要素３，４の厚さｄ１，ｄ２がそれぞれ５．５μｍ以上であるという条件が満たされていた。また、回折光学素子の回折格子溝の深さは１２．７μｍであり、前述の式（９）が満たされていた。
【００４０】
図５は第２実施例における光学系の諸収差図である。各収差図から明らかなように、本第２実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４１】
（第３実施例）
図６は第３実施例に係る光学系を構成する諸レンズの配置を示す図である。本第３実施例におけるマスターレンズＭの諸元は上述の表１に示した通り（面番号１３〜３６）であり、テレコンバーターレンズＴＣに関する面番号１〜１１は図６における符号１〜１１に対応する。
【００４２】
【表３】
2004126061.tif 000006
【００４３】
本実施例では、回折光学素子を、ｎｄ＝１．５９０８７、νｄ＝６２．３３であるガラスモールド用ガラスと、ｎｄ＝１．５５３８９、νｄ＝３８．０９である紫外線硬化樹脂とで構成した。両材質の厚さｄ１，ｄ２はそれぞれ、光軸上でｄ１＝１０．３ｍｍ、ｄ２＝０．２ｍｍであり、第１及び第２の回折素子要素３，４の厚さｄ１，ｄ２がそれぞれ５．５μｍ以上であるという条件が満たされていた。また、回折光学素子の回折格子溝の深さは１５．８μｍであり、前述の式（９）が満たされていた。
【００４４】
図７は第３実施例における光学系の諸収差図である。各収差図から明らかなように、本第３実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４５】
（第４実施例）
本第４実施例は本発明の複層型回折光学素子１単体に関するものである。本発明の回折光学素子１を構成するガラスモールド用のガラスとして住田光学ガラス製ＶＣ７８（ｎｄ＝１．６６９１０、νｄ＝５５．４）を用い、樹脂としてカネボウ製Ｏ−ＰＥＴ　ＴＹＰＥ４（ｎｄ＝１．６０８９、νｄ＝２６．５）を用いたところ、回折格子溝５の高さｈが９．９μｍの回折光学素子が得られた。このように、前述の式（５），（６）及び式（７），（８）を満たし、かつ式（９）を満たす本実施例における回折光学素子の回折効率を測定したところ、９０％以上と良好な結果が得られた。
【００４６】
（第５実施例）
本第５実施例も本発明の複層型回折光学素子１単体に関するものである。本発明の回折光学素子１を構成するガラスモールド用のガラスとして住田光学ガラス製ＬａＦＫ５５（ｎｄ＝１．６９４００、νｄ＝５６．３）を用い、樹脂としてカネボウ製Ｏ−ＰＥＴ　ＴＹＰＥ２（ｎｄ＝１．６２９３、νｄ＝２３．５）を用いたところ、ガラス及び樹脂の厚さがそれぞれ１．０ｍｍであるとともに、回折格子溝５の高さｈが９．３μｍの回折光学素子が得られた。このように、前述の式（５），（６）及び式（７），（８）を満たし、かつ式（９）を満たす本実施例における回折光学素子の回折効率を測定したところ、９０％以上と良好な結果が得られた。
【００４７】
上記第４及び第５実施例では、樹脂として熱可塑性樹脂を用いたが、これをアデール製ＨＶ１６（ｎｄ＝１．５９８０、νｄ＝２８．０）、或いは三菱化学製ＵＶ１０００（ｎｄ＝１．６３６３、νｄ＝２３．０）等の紫外線硬化樹脂に変えても性質良好な複層型回折格子を構成することが確認できた。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る回折光学素子によれば、互いに異なる材質からなる第１の回折素子要素の厚さと第２の回折素子要素の厚さがともに、可視光の代表波長である５５０ｎｍの１０倍の長さである５．５μｍ若しくはそれ以上の値に設定されており、複層型の回折光学素子でありながら、その性能は良好なものに保たれる。また、回折格子溝の最小ピッチｐは５０μｍ以上と緩いピッチになっているので、その製造は大変容易である。
【００４９】
また、本発明に係る光学系は、少なくとも、一枚の正レンズと一枚の負レンズとを貼り合わせた貼り合わせレンズと、上記本発明の回折光学素子とを一緒に用いて構成されるので、回折光学素子単一で色収差を補正するよりもより良好に色収差補正を行うことが可能になり、結像性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る回折光学素子を示す模式断面図である。
【図２】第１実施例における光学系の諸レンズ配置を示す図である。
【図３】第１実施例における光学系の諸収差図である。
【図４】第２実施例における光学系の諸レンズ配置を示す図である。
【図５】第２実施例における光学系の諸収差図である。
【図６】第３実施例における光学系の諸レンズ配置を示す図である。
【図７】第３実施例における光学系の諸収差図である。
【図８】従来の複層型回折光学素子の構成を示す模式断面図である。
【図９】従来の複層型回折光学素子の構成を示す模式断面図である。
【符号の説明】
１　　　回折光学素子
３　　　第１の回折素子要素
４　　　第２の回折素子要素
５　　　回折格子溝
ｐ　　　回折格子溝のピッチ
ｈ　　　回折格子溝の高さ
ＴＣ　　テレコンバーターレンズ
Ｌ　　　貼り合わせレンズ
Ｌ１　　正レンズ
Ｌ２　　負レンズ
Ｍ　　　マスターレンズ
【図１】
2004126061.tif 000007
【図２】
2004126061.tif 000008
【図３】
2004126061.tif 000009
【図４】
2004126061.tif 000010
【図５】
2004126061.tif 000011
【図６】
2004126061.tif 000012
【図７】
2004126061.tif 000013
【図８】
2004126061.tif 000014
【図９】
2004126061.tif 000015