(57)【要約】【課題】測定対象物の法線の傾斜の粗調整と微調整の双方が可能なオートコリメータを提供する。【解決手段】光源Ｓ１からのレーザ光を測定対象物Ｍに照射し、測定対象物Ｍから反射されてくる戻り光Ｌ１ａを凸レンズ１５によって集光し、さらに、凹レンズ１６によって平行光にして第１スクリーン１３に映し出すことによって測定対象物Ｍの法線の傾きを検出するオートコリメータ１０において、凸レンズ１５と凹レンズ１６の間に、測定対象物Ｍからの戻り光Ｌ１ａの一部を分岐するビームスプリッタ１９と、このビームスプリッタ１９によって戻り光Ｌ１ａから分岐された分岐光Ｌ１ｂを映し出す粗調整用確認スクリーン２０とを備えている。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を測定対象物に照射し、測定対象物から反射されてくる戻り光を凸レンズによって集光し、さらに、凹レンズによって平行光にして第１スクリーンに映し出すことによって測定対象物の法線の傾きを検出するオートコリメータにおいて、
前記凸レンズと凹レンズの間に、測定対象物からの戻り光の一部を分岐する光分岐素子と、
この光分岐素子によって分岐された分岐光を映し出す第２スクリーンと、
を備えていることを特徴とするオートコリメータ。
【請求項２】
前記光分岐素子がビームスプリッタである請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項３】
前記光分岐素子が、凹レンズとの間の間隔が第２スクリーンとの間の間隔と略同一になる位置に配置されている請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項４】
前記凹レンズを通過した測定対象物からの戻り光を順次反射する複数の反射ミラーを有し、測定対象物からの戻り光がこの複数の反射ミラーによって反射された後に第１スクリーンに入射される請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項５】
前記光分岐素子によって測定対象物からの戻り光から分岐された分岐光を反射する反射ミラーを有し、戻り光からの分岐光がこの反射ミラーによって反射された後に第２スクリーンに入射される請求項４に記載のオートコリメータ。
【請求項６】
前記光分岐素子と凹レンズとの間の間隔が、光分岐素子とこの光分岐素子からの分岐光を反射する反射ミラーとの間の間隔およびこの分岐光を反射する反射ミラーと第２スクリーンとの間の間隔の和と略同一になる位置に、光分岐素子が配置されている請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項７】
前記凹レンズを通過した測定対象物からの戻り光を順次反射して第１スクリーンに入射させる二枚の反射ミラーと、光分岐素子によって測定対象物からの戻り光から分岐された分岐光を反射して第２スクリーンに入射させる一枚の反射ミラーを備えている請求項１に記載のオートコリメータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、オートコリメータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
オートコリメータは、例えば、ミラーやレンズ，プリズム等の光学部品の取り付け検査，ＣＤやＤＶＤのディスクの揺れや傾き検査，ＣＤ装置やＤＶＤ装置のピックアップの組み付け調整，レーザ・ダイオード（ＬＤ）の光軸傾き調整，ＨＤＤのヘッド傾き検査，ＣＣＤ素子とカバーガラスの平行度測定，定盤やテーブル，部品等の各種平面の傾きや平行度測定などの種々の検査や測定，調整に使用される。
【０００３】
図１は、従来のレーザ・オートコリメータの概略構成図である。
【０００４】
この図１において、オートコリメータ１は、略箱形状のケーシング２の一方の端面（図１においては左側端面）に形成された開口部に、カバーガラス３が嵌め込まれており、さらに、ケーシング２の他方の端部（図１においては右側端部）の側面に形成された開口部に、確認用スクリーン４が取り付けられている。
【０００５】
このケーシング２内には、カバーガラス３側から順に、ビームスプリッタ５と凸レンズ６，凹レンズ７が、それぞれ、ケーシング２の軸線と平行な軸線ａに沿って互いに同軸になる位置に固定されている。
【０００６】
凹レンズ７は、凸レンズ６の焦点位置に位置されている。
そして、ケーシング２の確認用スクリーン４が取り付けられている側の端部内には、軸線ａと交差する位置に、第１反射ミラー８が、その法線が軸線ａに対して確認用スクリーン４と反対側に傾斜した状態で固定され、さらに、確認用スクリーン４と対向する位置に、第２反射ミラー９が、確認用スクリーン４の法線に対して第１反射ミラー８側に傾斜した状態で固定されている。
【０００７】
この第１反射ミラー８および第２反射ミラー９のそれぞれの法線の傾斜角度は、後述するように、カバーガラス３側からビームスプリッタ５および凸レンズ６，凹レンズ７を介して入射してくる光が、第１反射ミラー８および第２反射ミラー９による反射によって確認用スクリーン４に入射される角度に設定されている。
【０００８】
ケーシング２内のビームスプリッタ５に対向する部分には、レーザダイオードを有する光源Ｓが、レーザ光Ｌをビームスプリッタ５に対して照射する向きに取り付けられている。
【０００９】
このオートコリメータ１は、光源Ｓから出光したレーザ光Ｌをビームスプリッタ５によって直角向きに反射して、カバーガラス３を通して測定対象物Ｍに照射する。
【００１０】
この測定対象物Ｍからカバーガラス３を通してケーシング２内に反射されてきたレーザ光Ｌの戻り光Ｌａは、ビームスプリッタ５を通過した後、凸レンズ６によって集光され、さらに、凹レンズ７によって平行光にされる。
【００１１】
測定対象物Ｍの法線が軸線ａに対して傾斜している（ぶれている）場合には、戻り光Ｌａにぶれが生じており、この戻り光Ｌａが凹レンズ７によって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００１２】
そして、凹レンズ７を通過した戻り光Ｌａは第１反射ミラー８と第２反射ミラー９によって反射されて、確認用スクリーン４に映し出される。
【００１３】
この確認用スクリーン４には、中心位置とこの中心位置からのぶれを示す目盛りが表示されており、その中心位置が測定対象物Ｍの法線にぶれが生じていない場合の戻り光Ｌａの光点Ｐと一致するように設定されている。
【００１４】
したがって、測定対象物Ｍの取付状態等によってその法線にぶれが生じている場合には、戻り光Ｌａの光点Ｐが確認用スクリーン４の中心位置からずれた位置に映し出され、これによって、オペレータは、測定対象物Ｍの法線のぶれを検出することが出来る（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
【特許文献１】
特公昭５５−２５６０５号公報
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような構成を有する従来のオートコリメータ１は、凹レンズ７から確認用スクリーン４までの間の戻り光Ｌａの光路が、第１反射ミラー８と第２反射ミラー９の二枚のミラーを用いることによって、戻り光Ｌａを凹レンズ７から確認用スクリーンに直接に入射させる場合と比べて延長してあることにより、戻り光Ｌａのぶれがさらに拡大され、これによって、測定対象物Ｍの取付状態の高精度な検出を行うことが出来るようになっている。
【００１７】
しかしながら、このように戻り光Ｌａのぶれを拡大してオートコリメータ１の検出の精度を高める場合には、測定対象物Ｍの法線のわずかなぶれでも、戻り光Ｌａの光点Ｐが確認用スクリーン４上から外れてしまい、測定対象物Ｍの取付位置の調整方向が分からなくなってしまうという問題が発生する。
【００１８】
この発明は、上記のような従来のオートコリメータが有している問題点を解決することをその解決課題の一つとしているものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の発明（請求項１に記載の発明）によるオートコリメータは、光源からの光を測定対象物に照射し、測定対象物から反射されてくる戻り光を凸レンズによって集光し、さらに、凹レンズによって平行光にして第１スクリーンに映し出すことによって測定対象物の法線の傾きを検出するオートコリメータにおいて、前記凸レンズと凹レンズの間に、測定対象物からの戻り光の一部を分岐する光分岐素子と、この光分岐素子によって分岐された分岐光を映し出す第２スクリーンとを備えていることを特徴としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００２１】
図２は、この発明によるオートコリメータの実施形態における第１の例を示す概略構成図である。
【００２２】
この図２において、オートコリメータ１０は、略箱形状のケーシング１１の一方の端面（図２においては左側端面）に形成された開口部に、カバーガラス１２が嵌め込まれており、さらに、ケーシング１１の他方の端部（図２においては右側端部）の側面に形成された開口部に、微調整用確認スクリーン１３が取り付けられている。
【００２３】
このケーシング１１内には、カバーガラス１２側から順に、ビームスプリッタ１４と凸レンズ１５，凹レンズ１６が、それぞれ、ケーシング１１の軸線と平行な軸線ａ１に沿って互いに同軸になる位置に固定されている。
【００２４】
凹レンズ１６は、凸レンズ１５の焦点位置に位置されている。
そして、ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が取り付けられている側の端部内には、軸線ａ１と交差する位置に、第１反射ミラー１７が、その法線が軸線ａ１に対して微調整用確認スクリーン１３と反対側に傾斜した状態で固定され、さらに、微調整用確認スクリーン１３と対向する位置に、第２反射ミラー１８が、微調整用確認スクリーン１３の法線に対して第１反射ミラー１７側に傾斜した状態で固定されている。
【００２５】
この第１反射ミラー１７および第２反射ミラー１８のそれぞれの法線の傾斜角度は、後述するように、カバーガラス１２側からビームスプリッタ１４および凸レンズ１５，凹レンズ１６を介して入射してくる光が、第１反射ミラー１７および第２反射ミラー１８による反射によって微調整用確認スクリーン１３に入射される角度に設定されている。
【００２６】
ケーシング１１内のビームスプリッタ１４に対向する部分には、レーザダイオードを有する光源Ｓ１が、レーザ光Ｌ１をビームスプリッタ１４に対して照射する向きに取り付けられている。
【００２７】
以上の構成は、図１の従来のオートコリメータ１の構成とほぼ同様である。
【００２８】
このオートコリメータ１０は、さらに、ビームスプリッタ１９が、凸レンズ１５と凹レンズ１６の間のこれらと同軸になる所定位置に、固定されている。
【００２９】
そして、ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が設けられているのと同じ側面のビームスプリッタ１９に対向する位置（したがって、微調整用確認スクリーン１３よりも内側位置）に、粗調整用確認スクリーン２０が取り付けられている。
【００３０】
このビームスプリッタ１９は、その反射面１９ａの向きが、凸レンズ１５から入射してくる戻り光Ｌ１ａの一部を粗調整用確認スクリーン２０側に反射する向きになるように設定され、かつ、その反射面１９ａと凹レンズ１６との間の距離ｓ１が粗調整用確認スクリーン２０との間の距離ｓ２と等しくなる位置に、位置決めされている。
【００３１】
このオートコリメータ１０は、図１のオートコリメータ１の場合と同様に、光源Ｓ１から出光されたレーザ光Ｌ１が、ビームスプリッタ１４によって直角向きに反射されて、カバーガラス１２を通して測定対象物Ｍに照射される。
【００３２】
この測定対象物Ｍからカバーガラス１２を通してケーシング１１内に反射されてきたレーザ光Ｌ１の戻り光Ｌ１ａは、ビームスプリッタ１４を通過した後、凸レンズ１５によって集光され、さらに、凹レンズ１６によって平行光にされる。
【００３３】
測定対象物Ｍの法線が傾斜している（ぶれが生じている）場合には、戻り光Ｌ１ａにぶれが生じており、この戻り光Ｌ１ａが凹レンズ１６によって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００３４】
そして、凹レンズ１６を通過した戻り光Ｌ１ａは第１反射ミラー１７と第２反射ミラー１８によって反射されて、微調整用確認スクリーン１３に映し出される。
【００３５】
この微調整用確認スクリーン１３には、中心位置とこの中心位置からのぶれを示す目盛りが表示されており、その中心位置が測定対象物Ｍの法線にぶれが生じていない場合の戻り光Ｌ１ａの光点Ｐ１と一致するように設定されている。
【００３６】
したがって、測定対象物Ｍの取付状態等によってその法線にぶれが生じている場合には、戻り光Ｌ１ａの光点Ｐ１が微調整用確認スクリーン１３の中心位置からずれた位置に映し出されることにより、オペレータは、測定対象物Ｍの法線のぶれを検出することが出来る。
【００３７】
そして、このオートコリメータ１０は、凹レンズ１６から微調整用確認スクリーン１３までの間の戻り光Ｌ１ａの光路が、第１反射ミラー１７と第２反射ミラー１８の二枚のミラーを用いることによって、戻り光Ｌ１ａを凹レンズ１６から確認スクリーンに直接に入射させる場合と比べて延長されていることにより、戻り光Ｌ１ａのぶれがさらに拡大され、これによって、測定対象物Ｍの取付状態の微調整を高精度に行うことが出来る。
【００３８】
また、このオートコリメータ１０において、凸レンズ１５を通過した戻り光Ｌ１ａの一部Ｌ１ｂは、ビームスプリッタ１９によって反射されて、粗調整用確認スクリーン２０に映し出される。
【００３９】
このとき、ビームスプリッタ１９の反射面１９ａと凹レンズ１６の間の距離ｓ１が、反射面１９ａと粗調整用確認スクリーン２０との間の距離ｓ２に等しくなるように設定されていることによって、このビームスプリッタ１９の反射面１９ａによって反射されて粗調整用確認スクリーン２０上に映し出される戻り光Ｌ１ａの一部（分岐光）Ｌ１ｂが粗調整用確認スクリーン２０上に焦点を結ぶので、これによって、鮮明な光点Ｐ２が粗調整用確認スクリーン２０上に映し出される。
【００４０】
この粗調整用確認スクリーン２０に映し出される戻り光Ｌ１ａの分岐光Ｌ１ｂは、戻り光Ｌ１ａのぶれが凹レンズ１６や第１反射ミラー１７，第２反射ミラー１８によって拡大される前の光なので、測定対象物Ｍの法線のぶれが大きい場合であっても、戻り光Ｌ１ａの分岐光Ｌ１ｂの光点Ｐ２が、粗調整用確認スクリーン２０上から外れることはほとんど無い。
【００４１】
したがって、オペレータは、微調整用確認スクリーン１３上から戻り光Ｌ１ａの光点Ｐ１が外れている場合であっても、粗調整用確認スクリーン２０に映し出される光点Ｐ２を視認することによって、測定対象物Ｍの法線のぶれの方向を確認することが出来る。
【００４２】
そして、オペレータは、粗調整用確認スクリーン２０の光点Ｐ２を手掛かりに、測定対象物Ｍの取付位置等の粗調整を行い、微調整用確認スクリーン１３上に戻り光Ｌ１ａの光点Ｐ１が映し出されるようになった後は、この微調整用確認スクリーン１３上の光点Ｐ１を手掛かりに、測定対象物Ｍの取付位置等の微調整を行うことにより、測定対象物Ｍに対して、容易かつ高精度の検査や調整等を行うことが出来るようになる。
【００４３】
図３は、この発明によるオートコリメータの実施形態における第２の例を示す概略構成図である。
【００４４】
この第２の例のオートコリメータ３０は、略箱形状のケーシング１１の一方の端面（図３においては左側端面）に形成された開口部に、カバーガラス１２が嵌め込まれており、さらに、ケーシング１１の他方の端部（図３においては右側端部）の側面に形成された開口部に、微調整用確認スクリーン１３が取り付けられている。
【００４５】
このケーシング１１内には、カバーガラス１２側から順に、ビームスプリッタ１４と凸レンズ１５，凹レンズ１６が、それぞれ、ケーシング１１の軸線と平行な軸線ａ１に沿って互いに同軸になる位置に固定されている。
凹レンズ１６は、凸レンズ１５の焦点位置に位置されている。
【００４６】
そして、ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が取り付けられている側の端部内には、軸線ａ１と交差する位置に、第１反射ミラー１７が、その法線が軸線ａ１に対して微調整用確認スクリーン１３と反対側に傾斜した状態で固定され、さらに、微調整用確認スクリーン１３と対向する位置に、第２反射ミラー１８が、微調整用確認スクリーン１３の法線に対して第１反射ミラー１７側に傾斜した状態で固定されている。
【００４７】
この第１反射ミラー１７および第２反射ミラー１８のそれぞれの法線の傾斜角度は、後述するように、カバーガラス１２側からビームスプリッタ１４および凸レンズ１５，凹レンズ１６を介して入射してくる光が、第１反射ミラー１７および第２反射ミラー１８による反射によって微調整用確認スクリーン１３に入射される角度に設定されている。
【００４８】
ケーシング１１内のビームスプリッタ１４に対向する部分には、レーザダイオードを有する光源Ｓ１が、レーザ光Ｌ２をビームスプリッタ１４に対して照射する向きに取り付けられている。
【００４９】
以上の構成は、図２のオートコリメータ１０の構成と同様であり、同一の符号が付されている。
【００５０】
このオートコリメータ３０には、ビームスプリッタ３１が、凸レンズ１５と凹レンズ１６の間のこれらと同軸になる所定位置に、固定されている。
【００５１】
このビームスプリッタ３１は、その反射面３１ａが、前記の例のビームスプリッタ１９と反対向きに設置されていて、光源Ｓ１から照射されたレーザ光Ｌ２の測定対象物Ｍからの戻り光Ｌ２ａの一部Ｌ２ｂが、ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が設けられている側面と反対側の側面の方向に向かって反射されるようになっている。
【００５２】
このビームスプリッタ３１の戻り光Ｌ２ａの一部（分岐光）Ｌ２ｂが反射される側（ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が設けられている側面と反対側）の側方部に、反射ミラー３２が軸線ａ１に対して平行な向きに取り付けられている。
【００５３】
そして、ケーシング１１の微調整用確認スクリーン１３が設けられている側面のビームスプリッタ３１と対向する面には、粗調整用確認スクリーン３３が取り付けられている。
【００５４】
ビームスプリッタ３１の取付位置は、その反射面３１ａと凹レンズ１６の間の距離ｓ３が、反射面３１ａと反射ミラー３２の間の距離ｓ４および反射ミラー３２と粗調整用確認スクリーン３３との間の距離ｓ５の和に等しい（ｓ３＝ｓ４＋ｓ５）となるように設定されている。
【００５５】
このオートコリメータ３０は、図１のオートコリメータ１の場合と同様に、光源Ｓ１から出光されたレーザ光Ｌ２が、ビームスプリッタ１４によって直角向きに反射されて、カバーガラス１２を通して測定対象物Ｍに照射される。
【００５６】
この測定対象物Ｍからカバーガラス１２を通してケーシング１１内に反射されてきたレーザ光Ｌ２の戻り光Ｌ２ａは、ビームスプリッタ１４を通過した後、凸レンズ１５によって集光され、さらに、凹レンズ１６によって平行光にされる。
【００５７】
測定対象物Ｍの法線が傾斜している（ぶれが生じている）場合には、戻り光Ｌ２ａにぶれが生じており、この戻り光Ｌ２ａが凹レンズ１６によって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００５８】
そして、凹レンズ１６を通過した戻り光Ｌ２ａは第１反射ミラー１７と第２反射ミラー１８によって反射されて、微調整用確認スクリーン１３に映し出される。
【００５９】
この微調整用確認スクリーン１３には、中心位置とこの中心位置からのぶれを示す目盛りが表示されており、その中心位置が測定対象物Ｍの法線にぶれが生じていない場合の戻り光Ｌ２ａの光点Ｐ３と一致するように設定されている。
【００６０】
したがって、測定対象物Ｍの取付状態等によってその法線にぶれが生じている場合には、戻り光Ｌ２ａの光点Ｐ３が微調整用確認スクリーン１３の中心位置からずれた位置に映し出されることにより、オペレータは、測定対象物Ｍの法線のぶれを検出することが出来る。
【００６１】
そして、このオートコリメータ３０は、凹レンズ１６から微調整用確認スクリーン１３までの間の戻り光Ｌ２ａの光路が、第１反射ミラー１７と第２反射ミラー１８の二枚のミラーを用いることによって、戻り光Ｌ２ａを凹レンズ１６から確認スクリーンに直接に入射させる場合と比べて延長してあることにより、戻り光Ｌ２ａのぶれが拡大され、これによって、測定対象物Ｍの取付状態の微調整を高精度に行うことが出来る。
【００６２】
また、このオートコリメータ３０において、凸レンズ１５を通過した戻り光Ｌ２ａの一部Ｌ２ｂは、ビームスプリッタ３１の反射面３１ａによって反射ミラー３２の方向に反射され、さらに、この反射ミラー３２によって反射されてビームスプリッタ３１を通過した後、粗調整用確認スクリーン３３上に映し出される。
【００６３】
このとき、ビームスプリッタ３１の反射面３１ａと凹レンズ１６の間の距離ｓ３が、反射面３１ａと反射ミラー３２の間の距離ｓ４および反射ミラー３２と粗調整用確認スクリーン３３との間の距離ｓ５の和に等しくなるように設定されている（ｓ３＝ｓ４＋ｓ５）ことによって、このビームスプリッタ３１の反射面３１ａから凹レンズ１６までの光路と反射面３１ａから粗調整用確認スクリーン３３までの光路が同じ長さになり、これによって、粗調整用確認スクリーン３３上に映し出される戻り光Ｌ２ａの一部Ｌ２ｂが粗調整用確認スクリーン２０上に焦点を結んで、その光点Ｐ４が鮮明になる。
【００６４】
この粗調整用確認スクリーン３３に映し出される戻り光Ｌ２ａの分岐光Ｌ２ｂは、戻り光Ｌ２ａのぶれが凹レンズ１６や第１反射ミラー１７，第２反射ミラー１８によって拡大される前の光なので、測定対象物Ｍの法線のぶれが大きい場合であっても、戻り光Ｌ２ａの分岐光Ｌ２ｂの光点Ｐ４が、粗調整用確認スクリーン３３上から外れることはほとんど無い。
【００６５】
したがって、オペレータは、微調整用確認スクリーン１３上から戻り光Ｌ２ａの光点Ｐ３が外れている場合であっても、粗調整用確認スクリーン３３に映し出されている分岐光Ｌ２ｂの光点Ｐ４を視認することによって、測定対象物Ｍの法線のぶれの方向を確認することが出来る。
【００６６】
そして、オペレータは、粗調整用確認スクリーン３３上の分岐光Ｌ２ｂの光点Ｐ４を手掛かりに、測定対象物Ｍの取付位置等の粗調整を行い、微調整用確認スクリーン１３上に戻り光Ｌ２ａの光点Ｐ３が映し出されるようになった後は、この微調整用確認スクリーン１３上の光点Ｐ３を手掛かりに、測定対象物Ｍの取付位置等の微調整を行うことにより、測定対象物Ｍに対して、容易かつ高精度の検査や調整等を行うことが出来るようになる。
【００６７】
このとき、このオートコリメータ３０では、戻り光Ｌ２ａが第１反射ミラー１７と第２反射ミラー１８によって二回反射されて微調整用確認スクリーン１３に到達するのに対し、戻り光Ｌ２ａの分岐光Ｌ２ｂも、ビームスプリッタ３１の反射面３１ａと反射ミラー３２によって、同じく二回反射されて粗調整用確認スクリーン３３上に到達するので、微調整用確認スクリーン１３上において光点Ｐ３によって表示される測定対象物Ｍの法線のぶれの方向が、粗調整用確認スクリーン３３上において光点Ｐ４によって表示されるぶれの方向と一致することになる。
【００６８】
これによって、前記第１の例のオートコリメータ１０と比較して、オートコリメータ３０は、測定対象物Ｍの法線のぶれに対応して微調整用確認スクリーン１３と粗調整用確認スクリーン３３上にそれぞれ同じ方向に表示される光点Ｐ３とＰ４を見ながら、容易にそのぶれの検出や調整を行うことが出来るようになる。
【００６９】
上記各例のオートコリメータは、光源からの光を測定対象物に照射し、測定対象物から反射されてくる戻り光を凸レンズによって集光し、さらに、凹レンズによって平行光にして第１スクリーンに映し出すことによって測定対象物の法線の傾きを検出するオートコリメータにおいて、前記凸レンズと凹レンズの間に、測定対象物からの戻り光の一部を分岐する光分岐素子と、この光分岐素子によって分岐された分岐光を映し出す第２スクリーンとを備えている実施形態のオートコリメータを、その上位概念の実施形態としているものである。
【００７０】
この上位概念を構成する実施形態のオートコリメータは、光源からの光を測定対象物に照射して、この測定対象物から反射された戻り光を凸レンズによって集光し、さらに、凹レンズによって平行光にした後に、第１スクリーンに入射させる。
【００７１】
このとき、測定対象物の法線が傾斜している場合には戻り光にぶれが生じており、この戻り光が凹レンズによって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００７２】
これによって、凹レンズを通過して第１スクリーンに映し出された戻り光の光点は、戻り光にぶれが生じていない場合の第１スクリーン上の光点の位置に対して、測定対象物の法線の傾斜の度合いに対応してずれた位置に映し出される。
【００７３】
したがって、オペレータは、この第１スクリーン上の戻り光の光点の位置を視認することによって、測定対象物の法線の傾斜（ぶれ）を検出することが出来る。
【００７４】
このとき、第１スクリーン上には、そのぶれが拡大された戻り光による光点が表示されるので、測定対象物の法線の傾斜を精密に検出してその微調整を行うことが可能になる。
【００７５】
さらに、このオートコリメータは、光分岐素子によって、凸レンズを通過した測定対象物からの戻り光からその一部を分岐して、その分岐光を第２スクリーンに入射させる。
【００７６】
このとき、この第２スクリーンに映し出される戻り光からの分岐光は、戻り光のぶれが凹レンズ等によって拡大される前の光なので、測定対象物の法線の傾斜（ぶれ）が大きい場合であっても、戻り光からの分岐光の光点が、第２スクリーン２０上から外れることはほとんど無い。
【００７７】
したがって、オペレータは、第１スクリーン上から戻り光の光点が外れている場合であっても、第２スクリーンに映し出されている光点を視認することによって、測定対象物の法線の傾斜（ぶれ）の方向を確認することが出来る。
【００７８】
このようにして、オペレータは、第２スクリーン上の分岐光の光点を手掛かりに、測定対象物の法線の傾斜（ぶれ）の粗調整を行い、第１スクリーン上に戻り光の光点が映し出されるようになった後は、この第１スクリーン上の光点を手掛かりに、測定対象物の傾斜（ぶれ）の微調整を行うことにより、測定対象物に対して、容易かつ高精度の検査や調整等を行うことが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のオートコリメータの構成を概略的に示す構成図である。
【図２】この発明によるオートコリメータの第１の例を示す構成図である。
【図３】この発明によるオートコリメータの第２の例を示す構成図である。
【符号の説明】
１０，３０      …オートコリメータ
１１            …ケーシング
１２            …カバーガラス
１３            …微調整用確認スクリーン（第１スクリーン）
１４            …ビームスプリッタ
１５            …凸レンズ
１６            …凹レンズ
１７            …第１反射ミラー（反射ミラー）
１８            …第２反射ミラー（反射ミラー）
１９，３１      …ビームスプリッタ（光分岐素子）
１９ａ，３１ａ  …反射面
２０，３３      …粗調整用確認スクリーン（第２スクリーン）
３２            …反射ミラー
Ｓ              …光源
Ｍ              …測定対象物
Ｌ１，Ｌ２      …レーザ光
Ｌ１ａ，Ｌ２ａ  …戻り光
Ｌ１ｂ，Ｌ２ｂ  …分岐光
【図１】
2004317424.tif 000003
【図２】
2004317424.tif 000004
【図３】
2004317424.tif 000005