(57)【要約】【課題】基板又はシート表面洗浄装置を構成する粘着ラバーロールの交換を容易にすると共に、この洗浄装置内の塵埃等の発生を抑制して、洗浄作業の作業効率の向上や使用環境に対する汚損を防止する。【解決手段】洗浄装置（１）内において、複数の粘着ラバーロール（５）（５’）を保持フレーム体（１１）により一体に保持することで粘着ラバーロールユニット（１０）とした上で、この粘着ラバーロールユニット（１０）をフレーム（２）に対してカバー体で被覆された挿脱機構（１２Ａ）を介して取り付けることで、粘着ラバーロールの脱着は粘着ラバーロールユニットごと挿脱させることで容易に装置外で行うことができると共に、挿脱機構内に塵埃等が侵入せず、又、該挿脱機構から塵埃等を表面装置内部に落下させることがないので、洗浄装置内部やその装置の使用環境を汚損することがないものである。【選択図】　　　　図３
2004017008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームにおいて、動力により駆動し回転自在に保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着しうるようにアダプターを介して回転自在に保持される粘着テープロールから構成され、基板又はシートの両面のうち少なくとも一面に対して粘着ラバーロールを当接させつつ通過させることによって、基板又はシートの面に付着した塵埃等を粘着ラバーロールに転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された塵埃等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで除塵を行う基板又はシート表面洗浄装置において、
保持フレーム体に回転自在に保持された単数もしくは複数の粘着ラバーロールからなる粘着ラバーロールユニットを、カバー体により被覆されてなる挿脱機構によりフレームに対して挿脱自在に取り付けてなる基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項２】
粘着ラバーロールユニットの長辺方向に対して一体に設けられたスライドレールと、フレームに固定された固定レールとをベアリング介して摺動自在としてなる挿脱機構を設けてなる請求項１記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項３】
粘着テープロール並びに、該粘着テープロールと平行な保持具支持部材と、該保持具支持部材の粘着テープロール端縁側両端に設けられ、前記粘着テープロールを回転自在に保持する保持具と、カバー体により被覆されてなる挿脱機構を介して前記保持具支持部材と連設する昇降部材とからなる粘着テープロールユニットを、フレームに固定された昇降装置と前記昇降部材とを連設することにより昇降自在に吊持してなる請求項１又は２記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項４】
粘着テープロールユニットの昇降部材に立設された棒状の摺動体を、フレームに固定された、エアーシリンダーを内装する昇降装置内に挿嵌することで、この昇降装置内に挿嵌される摺動体によって粘着テープロールユニットを昇降自在にフレームに吊持してなる請求項３記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項５】
保持具支持部材に対して粘着テープロールの長辺方向に設けられたスライドレールと、昇降部材に固定された固定レールとをベアリング介して摺動自在としてなる挿脱機構を設けてなる請求項３又は４記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項６】
基板又はシートを搬送する回転子を軸着する搬送体の内、粘着ラバーロールに近接して配置された搬送体、並びに粘着ラバーロール自体を、それぞれモーター等の動力により直接的又は互いに噛合するギア集合体により間接的に回転させると共に、上記モーター等の動力並びに駆動力伝達機構を各々被覆体により被覆してなる請求項１乃至５記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【請求項７】
基板又はシート表面洗浄装置内部を閉塞状態とした上で、吸引ポンプ等の動力により内部の空気を外部へ吸引、排除してなる請求項１乃至６記載の基板又はシート表面洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、基板やシートの表面に製造工程において付着する塵埃等を粘着力を有する粘着ラバーロールにより吸着して除去する基板又はシート表面洗浄装置において、その作動や操作等によって発生する塵埃等に対する防塵に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板やシートの表面に製造工程において付着する塵埃等を、粘着力を有する粘着ラバーロールにより吸着して除去する基板又はシート表面洗浄装置においては、多数の摺動部が存在する。例えば、上記粘着ラバーロールに対して当接して、粘着ラバーロールの表面に付着する塵埃等を最終的に吸着、除去する粘着テープロールは、この粘着ラバーロールの表面への当接具合を調整できるように上下方向にスライド自在となるよう樹脂製のスライダーを介して回転自在に保持されている。更に基板又はシートに当接してその表面に付着する塵埃等を吸着して除去する粘着ラバーロールや、この粘着ラバーロールに対して基板又はシートを搬送してなる搬送体は、動力であるモーター等の駆動力をベルトやチェーン、或いは複数のギアが互いに噛合してなるギア集合体を介して各々伝達することで回転しているものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の基板又はシート表面洗浄装置内に設置される、例えば粘着テープロールを上下方向にスライド自在、且つ回転自在に保持してなる樹脂製のスライダー、また粘着ラバーロール自体や基板又はシートを搬送してなる搬送体を回転させる駆動力伝達用のベルトやチェーン、或いはギア集合体等の多くの摺動部においては、この基板又はシート表面洗浄装置の作動や操作に伴い、摩擦が生じて塵埃等を当該基板又はシート表面洗浄装置内外に多量に発生させることとなる。更に、その摺動部に外部から塵埃等が入り込むと、単にその摺動部の摺動能力が低下するだけでなく、その摺動に伴ってより一層塵埃等を発生させることとなる。このため、上記各摺動部が発生させる多量の塵埃等は当該表面洗浄装置内外に漏出して漂い、表面洗浄の前後を問わず基板又はシート表面に付着し、引いてはこの基板又はシート表面洗浄装置が使用されることとなるクリーンルーム内の使用環境の汚損までも招いてしまう恐れがある。
【０００４】
そこで、上記基板又はシート表面洗浄装置を作動させあるいは操作することで発生する前記多数の摺動部からの多量の塵埃等が、基板又はシート表面洗浄装置内外に漏出して漂い、洗浄の前後を問わず基板又はシートに対して付着し、引いてはこの基板又はシート表面洗浄装置を使用するクリーンルーム内の使用環境をも汚損してしまうことがないようにするため、この基板又はシート表面洗浄装置全体を極力閉塞状態とする方法が採られている。そして、吸引ポンプ等の動力により基板又はシート表面洗浄装置内部の空気を、外部の空気を導入しつつ多量の塵埃等と共に基板又はシート表面洗浄装置下部より吸引、排除することが行われている。従って、基板又はシート表面洗浄装置内部は吸引ポンプによって減圧されることで、外部から空気が基板又はシート表面洗浄装置内部に導入されて基板又はシート表面洗浄装置外に塵埃等が漏出することを防止できると共に、基板又はシート表面洗浄装置内を漂う多量の塵埃等はこの基板又はシート表面洗浄装置外部から導入された空気と共に基板又はシート表面洗浄装置下部に向かって吸引、排除されることとなる。しかしながら、上記基板又はシート表面洗浄装置内において発生する塵埃等は、重力並びに基板又はシート表面洗浄装置下部方向への吸引力によって基板又はシート表面洗浄装置下部側へ移動して排除されることとなるので、基板又はシート表面洗浄装置内で発生した塵埃等の内、特に洗浄すべき基板又はシートが通過する粘着ラバーロールよりも上部で発生した塵埃等は、吸引ポンプ等によって空気と共に吸引、排除しているにもかかわらず、基板又はシートに付着してしまうこととなる。
【０００５】
また、特に基板又はシート表面洗浄装置がクリーンルーム内において使用される場合、近年、クリーンルームにおいては著しく高い清浄度が要求されることから、基板又はシート表面洗浄装置を作動させることにより摺動部から発生する塵埃等が、少なくとも基板又はシート表面洗浄装置内外に拡散することがないようにする機構が強く求められるようになった。
【０００６】
更に、例えば基板又はシートを搬送する回転子を軸着する搬送体においては、各搬送体をそれぞれ自転させるためにベルトやチェーン、或いはギア集合体が用いられていたが、これらのベルト等の作動自体が塵埃等の発生の要因となり、又、粘着ラバーロールを回転させるベルトやチェーン、或いはギア集合体は、そのベルト等の作動自体が塵埃等の発生の要因となるだけでなく、粘着ラバーロールの脱着交換を行った場合には、その脱着交換作業が煩雑で新たな塵埃等の発生要因となりうる上、ベルトやチェーン或いはギアの脱着と共に調整が必要となって、その調整作業によっても新たな塵埃等が発生する要因となっていた。
【０００７】
そこで、この発明は、上記従来のものの有する欠点を改善するものであり、基板又はシート表面洗浄装置内において塵埃等が発生することを防止し、又、万一塵埃等が発生しても基板又はシート表面洗浄装置内を漂うことがないようにすることで、この塵埃等により、基板又はシート自体や、この基板又はシート表面洗浄装置を使用することとなるクリーンルーム等の使用環境の汚損を防止しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そのために、保持フレーム体に回転自在に保持された単数もしくは複数の粘着ラバーロールからなる粘着ラバーロールユニットを、カバー体により被覆されてなる挿脱機構によりフレームに対して挿脱自在に取り付けてなるものである。そしてより具体的には、その挿脱機構を、粘着ラバーロールユニットの長辺方向に対して一体に設けられたスライドレールと、フレームに固定された固定レールとをベアリング介して摺動自在としてなるものとするものである。これにより、粘着ラバーロールの交換に際しては、粘着ラバーロールユニットの挿脱が容易であるので、脱着交換作業を簡易且つ迅速に行うことができ、新たな塵埃等の発生を抑制できるだけでなく、挿脱機構が被覆されていることから、当該挿脱機構内に塵埃等が入り込むことがない。そのため、粘着ラバーロールの交換に際しての挿脱機構の操作時に、挿脱機構の操作性を低下させないだけでなく、その操作によって新たな塵埃を作出することもなく、粘着ラバーロールの交換作業中あるいは作業後の塵埃等の発生を最小限とすることができる。又、万一塵埃等が発生しても、該塵埃等はカバー外へ漂い出ることが無く、基板又はシートへの汚損を防止できる。
【０００９】
更に、粘着テープロール並びに、該粘着テープロールと平行な保持具支持部材と、該保持具支持部材の粘着テープロール端縁側両端に設けられ、前記粘着テープロールを回転自在に保持する保持具と、カバー体により被覆されてなる挿脱機構を介して前記保持具支持部材と連設する昇降部材とからなる粘着テープロールユニットを、フレームに固定された昇降装置と前記昇降部材とを連設することにより昇降自在に吊持してなるものである。そしてより具体的には粘着テープロールユニットの昇降部材に立設された棒状の摺動体を、フレームに固定された、エアーシリンダーを内装する昇降装置内に挿嵌することで、この昇降装置内に挿嵌される摺動体によって粘着テープロールユニットを昇降自在にフレームに吊持してなるものとし、又、挿脱機構を、保持具支持部材に対して粘着テープロールの長辺方向に設けられたスライドレールと、昇降部材に固定された固定レールとをベアリング介して摺動自在としてなるものとするものである。この昇降装置内に挿嵌される摺動体によって粘着テープロールユニットを昇降自在にフレームに吊持することで、基板又はシート表面洗浄装置の使用に際して、粘着ラバーロールに密着すべく粘着テープロールを昇降させても、この粘着テープロールは上記昇降装置内のベアリングやエアーシリンダーにより円滑に昇降するので塵埃等を発生することがないものとなる。また、この粘着テープロールを回転自在に保持する保持具を支持する保持具支持部材に取り付けてなる挿脱機構がカバー体により被覆されているので、その挿脱機構内に塵埃等が入り込むことがない。そのため、粘着テープロールの交換に際しての挿脱機構の操作時に、挿脱機構の操作性を低下させないだけでなく、その操作によって新たな塵埃等を作出することもなく、粘着テープロールの交換作業中あるいは作業後の塵埃等の発生を最小限とすることができる。又、万一塵埃等が発生しても、該塵埃等はカバー外へ漂い出ることが無く、基板又はシートへの汚損を防止できる。
【００１０】
また、駆動力により自転する搬送体の数を減少させて、基板又はシートを搬送する回転子を軸着する搬送体の内、粘着ラバーロールに近接して配置された搬送体、並びに粘着ラバーロール自体を、それぞれモーター等の動力により直接的又は互いに噛合するギア集合体により間接的に回転させると共に、上記モーター等の動力並びに駆動力伝達機構を各々被覆体により被覆することで、基板又はシート表面洗浄装置を作動させるためにモーター等の駆動力を伝達していたベルト、チェーン或いはギア集合体を最大限省略し、摺動部等において生じる摩擦等による塵埃等の発生を最小限とすると共に、モーター等の動力並びに駆動力伝達機構により生じる塵埃等の拡散をも防止できるので、基板又はシート表面洗浄装置内部や基板又はシート表面洗浄装置を使用する環境の汚損を防止できる。
【００１１】
その上、粘着テープロール、粘着ラバーロール及びフレーム等も含めた基板又はシート表面洗浄装置内部を閉塞状態とした上で、吸引ポンプ等の動力により内部の空気を外部へ吸引、排除することで、基板又はシート表面洗浄装置を作動させることにより発生する塵埃等の他、基板又はシート等に付着していた塵埃等をも排除するので、基板又はシート表面洗浄装置内は常に清浄な状態に維持されると共に、塵埃等の基板又はシートへの付着或いは基板又はシート表面洗浄装置内外への漏出による汚損を防止できるものである。
【００１２】
【実施例】
この発明を図に示す実施例により更に説明する。図１における（１）はこの発明の実施例を具える基板又はシート表面洗浄装置であり、この基板又はシート表面洗浄装置（１）は、操作パネル（２３）の下方に有する開閉自在な扉体（３）の内部において、フレーム（２）に対して、モーター（４ａ）により回転自在となって保持される上下の粘着ラバーロール（５）（５’）と、この上下の粘着ラバーロール（５）（５’）の表面に対して上下方向から密着するようにアダプター（６）を介して回転自在に取り付けられた上下の粘着テープロール（７）（７’）から構成される。そして、被洗浄物である基板又はシート（８）を、この上下の粘着ラバーロール（５）（５’）間の空間（５”）に対して、回転子（９’）を軸着する搬送体（９）（９ａ）（９ｂ）（９ｃ）の回転によって送出させることで、その両面に粘着ラバーロール（５）（５’）を当接させつつ通過させることにより、基板又はシート（８）の両面に付着した塵埃等をまず上下の粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着させる。その後、この上下の粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着された基板又はシート（８）の両面に付着していた塵埃等を、最終的に上下の粘着テープロール（７）（７’）に転写、吸着させることで除塵を行うものである。なお、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）において使用される粘着ラバーロール（５）（５’）には導電性材料を使用しているため、通常、表面洗浄後の基板又はシート（８）において電荷を中和するために必要とされるコロナ放電を利用した除電板は省略されているが、粘着ラバーロール（５）（５’）に絶縁性材料、例えばシリコンゴム等を使用する場合には、表面洗浄後の基板又はシート（８）において電荷が残留してしまうので、この残留した電荷を中和するため基板又はシート表面洗浄装置（１）内にコロナ放電を利用する除電板を設置する必要がある。
【００１３】
ここで、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）を構成する上下の粘着ラバーロール（５）（５’）及びこの粘着ラバーロール（５）（５’）の間に配置される搬送体（９ａ）は、それらを回転自在に保持する保持フレーム体（１１）によって、一体の粘着ラバーロールユニット（１０）を形成してなるものである。そして、粘着ラバーロールユニット（１０）の長辺側両側（基板又はシートの進行方向に対して直角方向）にそれぞれ設けられたスライドレール（１２’）が、フレーム（２）に設けられた固定レール（１２）に対してベアリングを介して摺動自在となることにより、上記粘着ラバーロールユニット（１０）がフレーム（２）に対して摺動自在となる。すなわち、フレーム（２）の両側に設けられた各固定レール（１２）に、それぞれ下押し上げベアリング（１２ａ）と横幅基準ベアリング（１２ｂ）が設けられると共に、上押さえベアリング固定治具（１２ｃ）を介して上押さえベアリング（１２ｄ）が設けられることにより、粘着ラバーロールユニット（１０）に設けられたスライドレール（１２’）をその上・下及び外側横方向から摺動自在に支持する挿脱機構（１２Ａ）が構成され、該左右一対となるスライドレール（１２’）及び固定レール（１２）よりなる挿脱機構（１２Ａ）は、固定レール（１２）からスライドレール（１２’）が挿脱される面を除いてカバー体（１３）により被覆されている。又、上記粘着ラバーロールユニット（１０）を構成する保持フレーム体（１１）において、粘着ラバーロールユニット（１０）の短辺側両側には保持板（１１ａ）（１１ｂ）が設けられ、その一方の保持板（１１ａ）には把持部（１１ｃ）が付設されている。なお、前記挿脱機構（１２Ａ）自体は前述したようなレールとベアリングとの組み合わせによるものに限定されるものではなく、挿脱効果を奏する既存の装置を使用することが可能である。
【００１４】
また、上記粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、除去された塵埃等を最終的に転写、除去してなる粘着テープロール（７）（７’）は、それぞれを回転自在に保持する保持具（１６）と、該保持具（１６）を支持する粘着テープロール（７）と平行に設けられた保持具支持部材（１６’）と、その両側に設けられた挿脱機構（１５）並びに保持具支持部材（１６’）の両側に設けられた挿脱機構（１５）を介して前記保持具支持部材（１６’）と連設する昇降部材（１８）とにより、粘着テープロールユニット（７Ａ）を形成している。そして、この挿脱機構（１５）は粘着テープロール（７）を回転自在に保持する保持具（１６）を支持する保持具支持部材（１６’）の長辺側両側において粘着テープロールユニット（７Ａ）の長辺方向にそれぞれ設けられた、第１スライドレール（１５ａ）と、該第１スライドレール（１５ａ）と第１ベアリング（１５ｂ）を介して摺動自在となる第２スライドレール（１５ｃ）、並びに該第２スライドレール（１５ｃ）を第２ベアリング（１５ｄ）を介して摺動自在とする固定レール（１５ｅ）とからなるものである。そして、その保持具支持部材（１６’）の両側に設けられた挿脱機構（１５）は、その片側ずつにおいて、固定レール（１５ｅ）から第２スライドレール（１５ｃ）が挿脱される面を除いてカバー体（１４）により被覆されている。一方、挿脱機構（１５）自体は、その両側の固定レール（１５ｅ）がそれぞれカバー体（１４）を介して下向きコの字型断面の昇降部材（１８）の内側に抱き込むように固定され、この昇降部材（１８）上部の両短辺側端縁には、それぞれ棒状の摺動体（１９）が立設される。一方、フレーム（２）を構成するフレームバー（２’）には、前記昇降部材（１８）に立設された摺動体（１９）に対応する位置に孔が設けられ、その孔に対して、それぞれその内部にベアリングと共に圧縮空気の給排気により上下動するエアーシリンダーを内装する円筒状の昇降装置（１７）が嵌合された上、該昇降装置（１７）内に対して昇降部材（１８）に立設された摺動体（１９）が挿嵌されることにより、フレーム（２）に粘着テープロールユニット（７Ａ）が吊持されることとなる。従って、この昇降装置（１７）内のエアーシリンダーに対する給排気により上記棒状の摺動体（１９）を介して吊持される粘着テープロールユニット（７Ａ）を昇降させることとなり、その結果、粘着テープロール（７）（７’）を粘着ラバーロール（５）（５’）に対して密着又は離脱させうることとなる。なお、摺動体（１９）の両側にはガイド体（２４）が設けられ、フレームバー（２’）に設けられた孔に嵌合されたベアリング（２５）に挿嵌されて、粘着テープロールユニット（７Ａ）の昇降に際して余分な塵埃等を発生させることなく、粘着テープロールユニット（７Ａ）の揺動を抑制している。又、粘着テープロールユニット（７Ａ）を粘着ラバーロール（５）（５’）に密着させた際には、粘着ラバーロール（５）（５’）はその押圧により、若干の摺動が可能となっている。更に、前記挿脱機構（１５）自体は前述したようなレールとベアリングとの組み合わせによるものに限定されるものではなく、挿脱効果を奏する既存の装置を使用することが可能である。
【００１５】
更に、粘着ラバーロールユニット（１０）を形成する上下各２本の粘着ラバーロール（５）（５’）及びこの粘着ラバーロール（５）（５’）の間に設けられた搬送体（９ａ）は１個のモーター（４ａ）によりギア集合体（２０）を介して回転させられ、該モーター（４ａ）及びギア集合体（２０）は被覆体（２１ａ）により被覆されている。又、粘着ラバーロールユニット（１０）の直近に設けられる搬送体（９ｂ）（９ｃ）、すなわち基板又はシート（８）の搬送方向において粘着ラバーロールユニット（１０）の前後に位置する搬送体（９ｂ）（９ｃ）には、それぞれ個別にモーター（４ｂ）（４ｃ）を直接連結し、該モーター（４ｂ）（４ｃ）はそれぞれ被覆体（２１ｂ）（２１ｃ）により被覆されている。なお、上記粘着ラバーロール（５）（５’）及び基板又はシート（８）を搬送する搬送体（９）を各々駆動するモーター（４ａ）（４ｂ）（４ｃ）は、それぞれ供給する電気を制御することにより、その回転を調整しているものである。
【００１６】
そして、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）はその開閉自在となる扉体（３）の閉鎖によってその内部をできる限り閉鎖空間とした上で、下部に設けた吸引ポンプ（２２）によりこの表面洗浄装置（１）内部の空気を外部からの空気を導入しつつ吸引、排除するものである。なお、当該基板又はシート表面洗浄装置（１）をクリーンルーム内で使用する場合には、吸引ポンプ（２２）により吸引、排除した塵埃等を含む空気は、クリーンルーム外に排出することは言うまでもない。
【００１７】
この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）は以上の構成を具えるので、まず基板又はシート表面洗浄装置（１）を構成する粘着ラバーロール（５）（５’）を交換しようとする場合は、上記表面洗浄装置（１）正面の扉体（３）を開放する。その後、この表面洗浄装置（１）内において、フレーム（２）に対して挿脱自在に取り付けられている粘着ラバーロールユニット（１０）を、一体に付設される把持部（１１ｃ）を持って手前方向、すなわち扉体（３）から外側へ引張することにより、上記粘着ラバーロールユニット（１０）は、固定レール（１２）に対するスライドレール（１２’）のスライドにより、単独で、かつ円滑に洗浄装置（１）外に出脱することとなる。従って、従来の基板又はシート表面洗浄装置においては粘着ラバーロールの交換に当たって、装置の上部から粘着テープロール、粘着ラバーロールの順に順々に脱着していたことから、上側の粘着ラバーロールの交換の場合には、その上部に存する粘着テープロールを一旦取り外さなければならず、更には、下側の粘着ラバーロールの交換の場合には、その上に上側の粘着ラバーロールまでも一旦取り外さなければならないのに対し、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）においては、粘着ラバーロール（５）の交換に際して、その上部に存する粘着テープロール（７）を脱着をする必要もなく、迅速且つ容易に行えることとなる。すなわち、基板又はシート表面洗浄装置（１）から粘着ラバーロールユニット（１０）を引き出した状態で粘着ラバーロール（５）（５’）を交換した後、この粘着ラバーロールユニット（１０）を洗浄装置（１）内方向へ押勢することによって、洗浄装置（１）内に円滑に収容させることができる。それ故、粘着ラバーロール（５）（５’）の交換作業に伴って発生する塵埃等が基板又はシート表面洗浄装置（１）内に落下してしまい、基板又はシート表面洗浄装置（１）内部を汚損してしまうことを防止できるものとなる。
【００１８】
更に、この粘着ラバーロールユニット（１０）を基板又はシート表面洗浄装置（１）から挿脱する際にスライドすることとなる挿脱機構（１２Ａ）は、左右一対となるスライドレール（１２’）及び固定レール（１２）並びに両者の間に配置される３種のベアリング（１２ａ）（１２ｂ）（１２ｄ）よりなり、それらが左右それぞれ、固定レール（１２）からスライドレール（１２’）が挿脱される面を除いてカバー体（１３）により被覆されている。そのため、先ず、スライドレール（１２’）の固定レール（１２）に対する摺動に際しては最小限の摩擦の発生ですむので塵埃等の発生は最小限となるものである。更に、前記カバー体（１３）により、この挿脱機構（１２Ａ）内へ塵埃等が侵入することがなく、その塵埃等がスライドレール（１２’）の固定レール（１２）に対する摺動によって更なる塵埃等を発生させることもなく、又、万一塵埃等が発生したとしても、基板又はシート表面洗浄装置（１）内外へ漏出、拡散することがなく、基板又はシート（８）やこの基板又はシート表面洗浄装置（１）の使用環境に対する汚損を防止できるものである。
【００１９】
また、上記粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、除去された塵埃等を最終的に転写、除去してなる粘着テープロール（７）（７’）を粘着ラバーロール（５）（５’）に対して密着又は離脱させる場合には、従来におけるようにギア機構を利用するのではなく、フレームバー（２’）に設けられた、ベアリングを内装する昇降装置（１７）のエアーシリンダーを作動させて、該昇降装置（１７）に吊持された粘着テープロールユニット（７Ａ）を昇降させることにより行うものである。従って、この昇降装置（１７）による粘着テープロールユニット（７Ａ）の昇降に際しては圧縮空気が利用されるとともに、粘着テープロールユニット（７Ａ）に設けられた摺動体（１９）と昇降装置（１７）との摺動部分にはベアリングが介在することとなって、当該摺動体（１９）の昇降により発生しうる塵埃等を最小限に抑制することができる。それ故、基板又はシート表面洗浄装置（１）内やこの基板又はシート表面洗浄装置（１）を使用する使用環境内に対する塵埃等の汚染を確実に防止できるものである。その上、上記粘着テープロールユニット（７Ａ）を構成し、保持具支持部材（１６’）の両側に設けられる挿脱機構（１５）は、その挿脱機構（１５）を形成する第１スライドレール（１５ａ）、第１ベアリング（１５ｂ）、第２スライドレール（１５ｃ）、第２ベアリング（１５ｄ）及び固定レール（１５ｅ）がそれぞれ片側ずつカバー体（１４）によって被覆されているので、この粘着テープロール（７）（７’）を脱着するため基板又はシート表面洗浄装置（１）外へ引張して、挿脱機構（１５）を形成する第１スライドレール（１５ａ）及び第２スライドレール（１５ｃ）をスライドさせても、内装する第１ベアリング（１５ｂ）及び第２ベアリング（１５ｄ）により摩擦を低減させ、塵埃等の発生を最小限に抑制することができるとともに、上記カバー体（１４）による被覆により塵埃等が挿脱機構（１５）内に侵入して挿脱機構（１５）の円滑な作動を阻害したり、更にはその侵入した塵埃等が更なる塵埃等を発生させることを防止でき、又、万一塵埃等が発生したとしても、前記カバー体（１４）による被覆により、塵埃等が基板又はシート表面洗浄装置（１）内部やこの基板又はシート表面洗浄装置（１）を使用する使用環境内に漏出、拡散することがなく、汚損を防止することができる。
【００２０】
次に、粘着ラバーロールユニット（１０）を形成する上下各２本の粘着ラバーロール（５）（５’）及びこの粘着ラバーロール（５）（５’）の間に設けられた搬送体（９ａ）は、被覆体（２１ａ）により被覆された１個のモーター（４ａ）及びギア集合体（２０）により回転させられ、又、粘着ラバーロールユニット（１０）の直近に設けられる搬送体（９ｂ）（９ｃ）は、それぞれ被覆体（２１ｂ）（２１ｃ）により被覆されたモーター（４ｂ）（４ｃ）に直接連結されており、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）を作動させた際に、モーター（４ａ）（４ｂ）（４ｃ）又はこのモーター（４ａ）の駆動力を伝達するギア集合体（２０）が被覆体（２１ａ）（２１ｂ）（２１ｃ）により被覆されていることから、その摩擦や摺動等を生ずる部分には塵埃が侵入しにくく、又、そこでの摩擦等によって発生する塵埃等が基板又はシート表面洗浄装置（１）内外に漏出、拡散することを確実に防いで、基板又はシート表面洗浄装置（１）内部のみならず、この表面洗浄装置（１）を使用する環境に対する汚損を防止することができるものとなる。
【００２１】
その上、この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置（１）においては、下部に設けた吸引ポンプ（２２）によりこの表面洗浄装置（１）内部の空気を外部からの空気を導入しつつ吸引、排除するものであるので、この基板又はシート表面洗浄装置（１）内において、粘着ラバーロールユニット（１０）や粘着テープロール（７）（７’）の挿脱、あるいは粘着テープロールユニット（７Ａ）の昇降、又、粘着ラバーロール（５）（５’）及び粘着テープロール（７）（７’）の交換、更には粘着ラバーロール（５）（５’）や搬送体（９ａ）（９ｂ）（９ｃ）等を回転させるモーター（４ａ）（４ｂ）（４ｃ）の駆動やギア集合体（２０）の作動により発生する塵埃等は、迅速かつ確実に基板又はシート表面洗浄装置（１）外に吸引、排除されることとなる。そして、基板又はシート表面洗浄装置（１）外に拡散しようとしても常に外部の空気が導入されて基板又はシート表面洗浄装置（１）外に拡散することができず、再度基板又はシート（８）へ付着し又はこの基板又はシート表面洗浄装置（１）を使用する使用環境へ拡散して汚損することを防止することができる。
【００２２】
【発明の効果】
以上のとおり、粘着ラバーロールの交換作業を容易にすると共に、基板又はシート表面洗浄装置の使用に伴い発生しうる塵埃等を極力抑制することで、洗浄の前後を問わず基板又はシートへの塵埃等の付着或いはこの洗浄装置の使用環境に塵埃等を拡散させることによる汚損を防止できるので、より高い精度で効率よく基板又はシートの洗浄作業を行うことができるようになり、より高い清浄度が要求されるクリーンルーム内においても使用環境を汚損することがないという優れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の正面図である。
【図２】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の側面概括図である。
【図３】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の要部拡大縦断面図である。
【図４】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の要部拡大横断面図である。
【図５】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の粘着ラバーロールの挿脱状態を示す図である。
【図６】この発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置の粘着テープロールの昇降状態を示す図である。
【符号の説明】
１　基板又はシート表面洗浄装置
２　フレーム
２’フレームバー
３　扉体
４ａ、４ｂ、４ｃ　モーター
５、５’　粘着ラバーロール
５”　空間
６　アダプター
７、７’粘着テープロール
７Ａ　粘着テープロールユニット
８　基板又はシート
９、９ａ、９ｂ、９ｃ　搬送体
９’　回転子
１０　粘着ラバーロールユニット
１１　保持フレーム体
１１ａ、１１ｂ　保持板
１１ｃ　把持部
１２　固定レール
１２’スライドレール
１２Ａ　挿脱機構
１２ａ　下押し上げベアリング
１２ｂ　横幅基準ベアリング
１２ｃ　上押さえベアリング固定治具
１２ｄ　上押さえベアリング
１３　カバー体
１４　カバー体
１５　挿脱機構
１５ａ　第１スライドレール
１５ｂ　第１ベアリング
１５ｃ　第２スライドレール
１５ｄ　第２ベアリング
１５ｅ　固定レール
１６　保持具
１６’保持具支持部材
１７　昇降装置
１８　昇降部材
１９　摺動体
２０　ギア集合体
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ　被覆体
２２　吸引ポンプ
２３　操作パネル
２４　ガイド体
２５　ベアリング
【図１】
2004017008.tif 000003
【図２】
2004017008.tif 000004
【図３】
2004017008.tif 000005
【図４】
2004017008.tif 000006
【図５】
2004017008.tif 000007
【図６】
2004017008.tif 000008