(57)【要約】【課題】正常パターンやあらゆる修正パターンの判定を行う場合について、グレートーン部がユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かの検査（判定）を容易に行うことができるグレートーンマスクの判定（検査、保証）・修正方法を提供する。【解決手段】透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクの欠陥判定方法であって、（１）前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、（２）前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、（３）前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、を有することを特徴とするグレートーンマスクの欠陥検査方法。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクの欠陥検査方法であって、
前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、
前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、
前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、
を有することを特徴とするグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項２】
前記画像処理を施す工程は、ぼかし処理を含むことを特徴とする請求項１に記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項３】
前記画像処理を施す工程は、強調処理を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項４】
前記グレートーン部は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域であることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項５】
前記欠陥検査は、前記画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の許容範囲（閾値）に基づいて行うことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項６】
前記画像データは、修正後のグレートーン部の画像データであることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項７】
前記修正後のグレートーン部は、正常パターンと近似形状のパターン、あるいは、正常パターンと同等のグレートーン効果を奏するが異なる形状及び／又は配列の修正パターンを含むことを特徴とする請求項６に記載のグレートーンマスクの欠陥修正方法。
【請求項８】
グレートーンマスクがＬＣＤ製造用マスク又は表示デバイス製造用マスクであることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
【請求項９】
透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクのパターン決定方法において、
（１）所定の形状及び／又は配列にて前記グレートーン部を作成する工程と、
（２）前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、
（３）前記画像データに基づきグレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、を有し、
上記（１）〜（３）の工程により得られた前記画像処理後のデータに、欠陥が存在しないようにグレートーン部の形状及び／又は配列を決定することを特徴とするグレートーンマスクのパターン決定方法。
【請求項１０】
前記画像処理を施す工程は、ぼかし処理を含むことを特徴とする請求項９に記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
【請求項１１】
前記画像処理を施す工程は、強調処理を含むことを特徴とする請求項９又は１０に記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
【請求項１２】
前記グレートーン部は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域であることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれかに記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部を有するグレートーンマスクのグレートーン部の欠陥検査（判定）方法及び欠陥修正方法等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大型ＬＣＤ用マスクの分野において、グレートーンマスクを用いてマスク枚数を削減する試みがなされている（非特許文献１）。
ここで、グレートーンマスクは、図５（１）に示すように、透明基板上に、遮光部１と、透過部２と、グレートーン部３とを有する。グレートーン部３は、例えば、グレートーンマスクを使用する大型ＬＣＤ用露光機の解像限界以下の遮光パターン３ａを形成した領域であって、この領域を透過する光の透過量を低減しこの領域による照射量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的として形成される。３ｂはグレートーン部３における露光機の解像限界以下の微細透過部である。遮光部１と遮光パターン３ａはともにクロムやクロム化合物等の同じ材料からなる同じ厚さの膜から通常形成されている。透過部２と微細透過部３ｂはともに、透明基板上において遮光膜等が形成されていない透明基板の部分である。
グレートーンマスクを使用する大型ＬＣＤ用露光機の解像限界は、ステッパ方式の露光機で約２．５μｍ、ミラープロジェクション方式の露光機で約３μｍである。このため、例えば、図３（１）でグレートーン部３における微細透過部３ｂのスペース幅を２．５μｍ未満、露光機の解像限界以下の遮光パターン３ａのライン幅を２．５μｍ未満とする。上記大型ＬＣＤ用露光機で露光した場合、グレートーン部３を通過した露光光は全体として露光量が足りなくなるため、このグレートーン部３を介して露光したポジ型フォトレジストは膜厚が薄くなるだけで基板上に残る。つまり、レジストは露光量の違いによって通常の遮光部１に対応する部分とグレートーン部３に対応する部分で現像液に対する溶解性に差ができるため、現像後のレジスト形状は、図５（２）に示すように、通常の遮光部１に対応する部分１’が例えば約１μｍ、グレートーン部３に対応する部分３’が例えば約０．４〜０．５μｍ、透過部２に対応する部分はレジストのない部分２’となる。そして、レジストのない部分２’で被加工基板の第１のエッチングを行い、グレートーン部３に対応する薄い部分３’のレジストをアッシング等によって除去しこの部分で第２のエッチングを行うことによって、１枚のマスクで従来のマスク２枚分の工程を行い、マスク枚数を削減する。
【０００３】
ところで、上記のようなグレートーンマスクにおけるグレートーン部は、微細パターンの加工が容易ではないことや、製造工程中に発生するごみなどが大きく影響してしまうことなどの理由から、遮光パターン３ａの細り、太りなどのＣＤエラーや、余剰パターン（突起（凸）、ショート（ブリッジ）、スポットなど）や欠落パターン（欠け（凹）や断線など）からなるパターン欠陥など（以下、パターンの太りや余剰パターン欠陥等を黒欠陥と称し、パターンの細りや欠落欠陥等を白欠陥と称す）が発生してしまう。
【０００４】
そこで、グレートーン部に発生した欠陥については、パターン修正が施されるが、グレートーン部のパターンが微細であるために、種々の問題が生じる。
第１に、例えば、２μｍ以上のグレートーンパターンを最小スリットサイズ２μｍの修正装置で修正する場合においては、グレートーン部のパターンが微細である（線幅が細い）こと、修正装置よる修正精度に限界があることに起因して、修正パターンを形成すべき部分と修正パターンを形成しようとする部分とのずれに相当する位置合わせ精度、並びに、修正パターンを形成すべき部分と修正パターンが実際に形成される部分との差異に相当する修正精度、には限界がある。このことから、正常パターンと同一形状（正常パターンのＣＤ許容精度内）で修正することは、発生する欠陥によっては技術的に非常に困難である（例えば巨大欠落欠陥部分に微細修正膜パターンを形成して修正する場合）ため、可能な限り正常パターンに近くなるように修正、即ち正常パターンに近似した修正（正常パターンのＣＤ許容精度外）を行っていた。
第２に、例えば１μｍのグレートーンパターンを最小スリットサイズ２μｍの修正装置で修正するすることは技術的に不可能であることから、正常パターンと近似した形状に復元せずに、正常パターンと同等のグレートーン効果が得られるような修正パターン（正常パターンとは異なる形状及び／又は異なる配列の修正パターン）を形成することにより、グレートーン部の修正を行う技術（特殊な修正方法）に関し、本願出願人は先に出願を行っている（特許文献１）。
【０００５】
【非特許文献１】月刊ＦＰＤ  Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｃｅ、ｐ．３１−３５、１９９９年５月
【特許文献１】特開２００２−１０７９１３
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術には以下に示す問題点がある。
第１に、正常パターンと同一形状（正常パターンのＣＤ許容精度内）のパターンとなるよう修正した場合は、通常のパターン同士を比較して検査を行う比較検査が行えるが、正常パターンと近似形状のパターン（正常パターンのＣＤ許容精度外）で修正した場合や、正常パターンと異形状のパターンで修正した場合は、通常の比較検査が行えないため、検査が容易でないという問題があった。
第２に、黒欠陥をレーザリペア装置で除去する場合、ガラス基板はダメージを受けやすいので、修正後の遮光パターン３ａが設定されたスペック（パターン線幅・形状）を満たす場合であっても、微細透過部（ガラス部）３ｂがダメージを受けている場合には微細透過部（ガラス部）３ｂの透過率が低下するので、ユーザの露光・転写プロセスでは問題となる場合がある。具体的には、ガラスダメージを受けている場合、微細透過部（ガラス部）３ｂの透過率低下を補うべく、設定されたスペック（パターン線幅・形状）よりも細い線幅の遮光パターン３ａにする必要が生じる。このような場合は、パターン形状のみの検査では不充分であるという問題があった。
第３に、ユーザの要求（ユーザで露光した際に、所定のレジスト膜厚を残せるようにすること）を満たすべく設定されたスペック（パターン線幅・形状）を満たす正常パターン（当然ＣＤ許容精度内）及び正常パターンのＣＤ許容精度内の修正パターンであっても、ユーザが実際にグレートーンマスクを用いて被転写基板のレジスト上に転写パターンを得る際の露光条件が、転写に用いられる露光装置の光学条件の設定条件によって異なる場合があるので、ユーザの露光・転写プロセスにおいては問題となる場合がある。具体的には、ユーザーが使用するグレートーンマスクの露光条件が、通常の条件で無い場合（例えば、光の照射量条件が通常の条件で無い場合（過不足のある照射条件など）や、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件がある。以上のことから、（１）設定されたスペック（パターン線幅・形状）を満たす正常パターンや修正パターン（いずれもＣＤ許容精度内）であっても、ユーザの露光・転写プロセスにおいては問題となる場合があること、（２）正常パターンに近似した修正パターン（正常パターンのＣＤ許容精度外）であってもユーザの露光・転写プロセスにおいて問題とならなければ良いということ（ユーザでの露光後のレジストパターンの合否判定結果が合格であれば良いということ）、（３）ユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かの検査（判定）を行う必要性・重要性があること、が判る。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、グレートーン部がユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かの検査（判定）を容易かつ高精度に行うことができるグレートーンマスクの検査（判定、保証）・修正方法の提供を第１の目的とする。
また、上記検査（判定）方法を利用したグレートーンマスクのグレートーン部パターン決定方法の提供を第２の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の構成を有する。
（構成１）  透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクの欠陥検査方法であって、
前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、
前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、
前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、
を有することを特徴とするグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成２）  前記画像処理を施す工程は、ぼかし処理を含むことを特徴とする構成１に記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成３）  前記画像処理を施す工程は、強調処理を含むことを特徴とする構成１又は２に記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成４）  前記グレートーン部は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域であることを特徴とする構成１乃至３いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成５）  前記欠陥検査は、前記画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の許容範囲（閾値）に基づいて行うことを特徴とする構成１乃至４いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成６）  前記画像データは、修正後のグレートーン部の画像データであることを特徴とする構成６に記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成７）  前記修正後のグレートーン部は、正常パターンと近似形状のパターン、あるいは、正常パターンと同等のグレートーン効果を奏するが異なる形状及び／又は配列の修正パターンを含むことを特徴とする構成６に記載のグレートーンマスクの欠陥修正方法。
（構成８）  グレートーンマスクがＬＣＤ製造用マスク又は表示デバイス製造用マスクであることを特徴とする構成１乃至７いずれかに記載のグレートーンマスクの欠陥検査方法。
（構成９）  透過量を調整した領域であってこの領域を透過する光の透過量を低減してフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的とするグレートーン部と、遮光部と、透過部とを有するグレートーンマスクのパターン決定方法において、
（１）所定の形状及び／又は配列にて前記グレートーン部を作成する工程と、
（２）前記グレートーン部の画像データを作成する工程と、
（３）前記画像データに基づきグレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、を有し、
上記（１）〜（３）の工程により得られた前記画像処理後のデータに、欠陥が存在しないようにグレートーン部の形状及び／又は配列を決定することを特徴とするグレートーンマスクのパターン決定方法。
（構成１０）  前記画像処理を施す工程は、ぼかし処理を含むことを特徴とする構成９に記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
（構成１１）  前記画像処理を施す工程は、強調処理を含むことを特徴とする構成９又は１０に記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
（構成１２）  前記グレートーン部は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域であることを特徴とする構成９乃至１１のいずれかに記載のグレートーンマスクのパターン決定方法。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明のグレートーンマスクの検査（判定、保証）・修正方法は、
（１）グレートーン部を含む画像（例えば修正後のグレートーン部のパターンを含む画像や正常パターンを含む画像等）の画像データを作成する工程と、
（２）前記画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、
（３）前記画像処理後のデータに基づき、欠陥検査を行う工程と、を有することを特徴とする（構成１）。
本発明では、グレートーン部を含む画像（例えば修正後のグレートーン部のパターンを含む画像や正常パターンを含む画像等）の画像データに基づき、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成し、グレートーン部のパターンがユーザでの許容範囲に入るようにする。
ここで、グレートーン部を含む画像の画像データを作成する工程（工程（１））では、グレートーン部を含む領域を観察・解像し得る光学系（例えば修正装置に備えられる顕微鏡や、単独の顕微鏡、検査装置等の光学系など）によって得られたグレートーン部を含む画像を、写真撮影やＣＣＤ撮像した画像をスキャナーで読み取る手法や、ビデオキャプチャーで直接読み取る手法等によって、グレートーン部を含む画像を電子化した画像データを得る。
光学系としては、反射光や透過光による観察が可能な光学系が挙げられるが、このうち透過光観察が可能な光学系は、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況により近い状態を実現できるので好ましい。
また、画像データに基づき、グレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施すこと（工程（２））によって、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成する。
本発明において、画像処理としては、例えば、「ぼかし処理」（構成２）や、「強調処理」（構成３）の他、画像の取り込み処理、グレースケール化（色情報の破棄）処理、色調補正処理（画像内の特定の明るさの領域だけを補正する処理を言い、例えば白、黒情報のみを抽出する処理が含まれる）等が具体的に挙げられる。
ここで、「ぼかし処理」とは、「シャープ処理」の逆で、変化を滑らかにする処理を言う。この「ぼかし処理」は、画像処理によって、画像を微細化（分割）し、この微細化した個々に対して面積（強度）を変えずにガウシアン分布化した後、再度個々を重ね合わせる（足し合わせる）処理方法を通常主として指すが、画像処理の分野において「ぼかし処理」と呼ばれる他の処理方法も含まれる。「ぼかし処理」の条件は、画像の微細化（ピクセル化）の程度や、ガウシアン分布化したデータの加工（例えばほかす部分の範囲（距離）を変化させること）などによって詳細に設定でき、検査するパターン等に応じて、詳細な設定条件（つまりぼかし効果の程度の設定）を変更できる。なお、ぼかし処理後も、面積（強度）の合計は変わらない。このぼかし処理条件は、ユーザの露光・転写プロセスにおける実際の光の転写状態とほぼ同等であることをシミュレーションで確認した。つまり、ユーザでの露光条件（例えば、光の照射量条件や、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件等）を検討し、これに対応したぼかし処理を行うことで、グレートーン部のパターンから、ユーザでの露光後の転写イメージに対応した、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成することが可能となる。
このように、本発明は、画像処理によって、ユーザでの露光条件を任意に設定しシュミレーションすることによって、ユーザでの露光後の転写イメージに対応したイメージ、即ちユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成することが可能となる。つまり、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成する手段として、画像処理を採用しているので、ユーザでの露光条件を任意に設定しシュミレーションすることが容易かつ高精度に行うことができ、特に光の照射量条件を任意に設定しシュミレーションできることは、露光機を使用して実際に確認する手法に比べ、格段に有利であり有用性が高い。
また、「強調処理」とは、画像中の欠陥部分を強調化する処理を言う。例えば、画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の閾値に基づいて、閾値を超える領域を強調表示する処理が挙げられる。
本発明では「ぼかし処理」と「強調処理」の双方を行うことが欠陥検査（判定）精度の向上を図る上で好ましい。
【００１０】
前記画像処理後のデータに基づき欠陥検査を行う工程（工程（３））においては、画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の許容範囲（例えば閾値）に基づいて欠陥検査（判定）を行うことができる（構成５）。
グレートーン部には繰り返しパターンが存在するため、繰り返しパターンのＣＤばらつきが存在する。これらのＣＤばらつき範囲を考慮したうえで、ユーザでは「上限（例えば太パターン）」、「下限（例えば細パターン）」のどちらでも影響が出ない条件で露光を行っている。そのため、修正後のパターンは、上限〜下限（許容ばらつき範囲）の間に入るようにする必要がある。一例として、この上限〜下限（許容ばらつき範囲）に対応させて、閾値を設定する。例えば、グレートーン部の未修正の正常パターンのＣＤ許容精度に対応する透過率範囲に対し、±５％又は−５％範囲を広げた透過率範囲が得られる濃淡の許容範囲（閾値）に基づいて欠陥検査（判定）を行うことができる。
【００１１】
本発明では  ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうる画像処理後のデータ（イメージ）に基づき修正部を評価を行い、この評価結果に基づき修正後のパターンがユーザでの許容範囲に入るように再度修正することができる（構成６）。さらに、このような評価結果を予め蓄積しておき、この蓄積されたデータに基づいてグレートーン部の欠陥修正を行うこともできる（構成６）。
【００１２】
本発明の欠陥検査方法は、グレートーン部が、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下の遮光パターンを形成した領域である場合に特に適する（構成４）。これは、閾値を超えた線幅の太り或いは細りの影響が画像処理によって顕在化するので、ユーザでの露光条件においてグレートーン部のパターンが欠陥かどうかについて高い精度で判定することができるためである。
なお、本発明の欠陥修正・判定方法は、グレートーン部が、半透光膜を形成した領域である場合にも適用可能である。
【００１３】
本発明は、グレートーンマスクのグレートーン部における新規のパターンや正常パターンと異形状の修正パターンについてのパターン決定方法に利用できる。
具体的には、
（１）所定の形状及び／又は配列にて前記グレートーン部における新規のパターンや正常パターンと異形状の修正パターンを作成する工程と、
（２）前記グレートーン部のパターンを含む画像データを作成する工程と、
（３）前記画像データに基づきグレートーン部における欠陥が識別可能となるような画像処理を施す工程と、を有し、
上記（１）〜（３）の工程により得られた前記画像処理後のデータに基づいてユーザでの露光条件において問題となるか否かを判定し、この判定結果をフィードバックして、欠陥が存在しないようにグレートーン部の形状及び／又は配列を決定することによって、所望のグレートーン効果を奏するグレートーン部のパターンを決定できる（構成９）。
【００１４】
本発明は、ＬＣＤ製造用グレートーンマスク又は表示デバイス製造用グレートーンマスクの欠陥修正・判定方法として特に有用である（構成８）。これは、近年の表示装置の高精細化に伴い上述した各種問題の解決が急務であるからである。
【００１５】
上述した本発明によれば、以下の効果を奏する。
（１）ユーザでの露光条件（例えば、光の照射量条件や、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件等）を検討し、これに対応した画像処理を行うことで、グレートーン部のパターンから、ユーザでの露光後の転写イメージに対応した、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成することが可能となる。
（２）画像データを作成することにより、画像処理ソフトを用いて欠陥が識別可能となるような画像処理を行うことができるため、高精度の欠陥検査が可能となる。
（３）新規のパターンに対して、所望のグレートーン効果を奏するかどうかが判定可能となる。
（４）上述した第１の問題に対し、正常パターンと近似形状のパターン（正常パターンのＣＤ許容精度外）で修正した場合（構成７）や、正常パターンと異形状のパターンで修正した場合（構成７）（即ちいずれも通常の比較検査が行えない場合）であっても、ユーザでの露光条件（例えば、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件や、光の照射量条件（例えば過不足のある照射条件など）等）に対応した転写イメージにより容易に判定可能となる。
（５）上述した第２の問題に対し、修正によるガラスダメージにより、ガラス基板の透過率が低下した場合でも、ユーザでの露光条件（例えば、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件や、光の照射量条件（例えば過不足のある照射条件など）等）で問題になるかが判定可能となる。
（６）上述した第３の問題に対し、ユーザでの露光条件（例えば、意図的にグレートーンパターンが解像しないような条件や、光の照射量条件（例えば過不足のある照射条件など）等）において、グレートーン部のパターンが欠陥かどうかが判定可能となる。
（７）例えば、ユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となる微小な欠陥まで判定することが可能となる。
【００１６】
【実施例】
図４は実施例で使用したレーザ修正装置（レーザＣＶＤリペア装置）の概略構成を説明するための模式図である。
これらの図面において、レーザービーム１１は、ビームエキスパンダ１２によって広げられ、平凸レンズ１３によって平行光線とされ、矩形に可変可能な長方形スリット（可変矩形アパーチャ）１４で整形され、結像レンズ（対物レンズ）１５によって縮小されてフォトマスク２０上に結像され、矩形アパーチャの像である矩形のレーザ修正領域を形成する。図４において、パイロット光１６は、可変矩形アパーチャ１４のフォトマスク２０上の像である矩形のレーザ修正領域をレーザ照射前に顕微鏡１７によって確認するため、及び、欠陥位置に顕微鏡１７によってレーザ修正領域を位置合わせするための照明系であり、照明（ハロゲンランプ等）１８は、フォトマスク２０を挟んで結像レンズ（対物レンズ）１５の反対側に位置し、顕微鏡１７によってフォトマスク２０の透過光観察を可能とする照明系である。なお、欠陥位置とレーザ修正領域との位置合わせは、マクスが載置されたＸＹ粗動ステージで大まかに位置合わせし、その後ＸＹ微動ステージにて正確に位置合わせする。
この装置においては、レーザ照射によって膜を除去（黒欠陥の修正）することができるレーザ除去機能（レーザリペア機能）と、レーザ照射によって膜を成膜（白欠陥の修正）することができるレーザ成膜機能（レーザ光ＣＶＤ機能）とを有する。
【００１７】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例にかかるグレートーン部における黒欠陥修正・検査方法を説明するための部分平面図である。
図１（１）に示すようにグレートーン部３における遮光パターン３ａの一部に黒欠陥（つぶれ）が発生した場合、図２に示したレーザリペア装置等により、黒欠陥を除去して、正常パターンに近似した修正（正常パターンのＣＤ許容精度外）を行った（図１（２））。このとき、ライン幅が太った部分をレーザリペア装置でさらに除去すること（いわゆる修正精度の追い込み）は、隣接する微細透過部３ｂ（ガラス部パターン）や遮光パターン３ａに影響を及ぼすため行わなかった。なお、本実施例では、レーザリペア装置による黒欠陥の除去によって、微細透過部３ｂ（ガラス部パターン）がダメージを受け、修正個所の透過率が低下している。
【００１８】
修正後のパターンを含む領域の画像について、本発明の画像処理を行った。つまり、グレートーン部を含む領域を観察・解像し得る光学系を用いて、グレートーン部を含む画像を読み取り、電子化した画像データを得た。
具体的には、図２に示すレーザ修正装置における結像レンズ（対物レンズ）１５を動かして、修正後のパターンを含む領域の画像のピントの合った画像を顕微鏡によって取得し、この画像を、ビデオキャプチャー（ＶＣ）で直接読み取る手法等によって、グレートーン部を含む画像を電子化した画像データを得た（図１（３））。
この電子化した画像データを、グレースケール化（色情報の破棄）処理し、続いて、色調補正処理（例えば白、黒情報のみを抽出する処理であり、正常パターンの場合、ガラス基板部分が「白」に、パターン部分が「黒」にほぼ相当する）を行った（図１（４））。なお、ビデオキャプチャーで取得した画像は、画像の電子化が容易なため簡単な操作で画像を処理することが可能であるという利点がある。
上記色調補正処理後の画像データについて、「ぼかし処理」を行った。具体的には、画像を微細化（分割）し、この微細化した個々に対して面積（強度）を変えずにガウシアン分布化した後、再度個々を重ね合わせる（足し合わせる）処理によって、「ぼかし処理」を行った。「ぼかし処理」を行った状態を図１（５）に示す。
このとき、正常パターンからなるグレートーン部（図示せず）はほぼ均一な明るさ（ほぼ均一なグレー色）に見えるのに対し、修正後のパターンを含む領域の画像は図１（５）に示すように暗い（濃いグレー色）の部分を有する。そこで、正常パターンからなるグレートーン部のほぼ均一な明るさ（ほぼ均一なグレー色）に対し、一定以上暗い（一定以上濃いグレー色）の部分を有する修正パターンを含むグレートーン部について、一定以上暗い（一定以上濃いグレー色）の部分の暗さ（濃さ）、面積、位置等を総合的に判断して、修正部を評価することができた。
本実施例では、「ぼかし処理」後の画像について、画像中の欠陥部分を強調化する「強調処理」処理を行った。「強調処理」後の画像を図１（６）に示す。この「強調処理」は、画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の閾値に基づいて、閾値を超える領域を強調表示する処理を施して行った。具体的には、図２に示すように、「ぼかし処理」後の画像について、正常パターンのＣＤ許容精度に対応する範囲（図中、グレートーン部許容範囲と表示）に対し、その範囲以下（閾値以下）となる一定以上濃いグレー色の部分を黒で表示し、その範囲以上（閾値以上）となる一定以上薄いグレー色の部分を白で表示することによって、「強調処理」を行った。この「強調処理」によると、閾値に基づく数値処理によって、欠陥部分を黒又は白で表示できるので、より容易かつ高精度で欠陥検査を行うことが可能であった。
本実施例では、画像処理による「ぼかし処理」で顕在化する線幅の太りの影響と、同じく画像処理による「ぼかし処理」で顕在化するガラス部のダメージによる透過率の低下の影響とが、複合して生じる影響が、ユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かについて高い精度で容易に判定することができた。
本実施例では、修正装置上で修正後、同じ修正装置上で修正直後に修正個所を評価することが可能となった。
【００１９】
（実施例２）
図３は、本発明の実施例にかかるグレートーン部における黒欠陥修正・検査方法を説明するための部分平面図である。
本実施例は、図３（１）に示すグレートーン部３の正常パターンに対し、図３（２）に示すような、ユーザの要求を満たすべく設定されたスペック（パターン線幅・形状）では問題とならない微小黒欠陥（凸欠陥）がグレートーン部３における遮光パターン３ａの一部に発生した場合に関する。このとき、微小黒欠陥（凸欠陥）をレーザリペア装置でさらに除去すること（いわゆる修正精度の追い込み）は、隣接する微細透過部３ｂ（ガラス部パターン）や遮光パターン３ａに影響を及ぼすため行わなかった。
【００２０】
修正後のパターンを含む領域の画像について、本発明の画像処理を行った。つまり、グレートーン部を含む領域を観察・解像し得る光学系を用いて、グレートーン部を含む画像を読み取り、電子化した画像データを得た。
具体的には、欠陥の観察・検査に通常用いられている顕微鏡における結像レンズ（対物レンズ）を動かして、修正後のパターンを含む領域の画像のピントの合った画像を写真撮影によって取得し、この画像写真を、スキャナー等を使用して、グレートーン部を含む画像を電子化した画像データを得た（図３（３））。
この電子化した画像データを、グレースケール化（色情報の破棄）処理し、続いて、色調補正処理（例えば白、黒情報のみを抽出する処理であり、正常パターンの場合、ガラス基板部分が「白」に、パターン部分が「黒」にほぼ相当する）を行った（図３（４））。
上記色調補正処理後の画像データについて、「ぼかし処理」を行った。具体的には、画像を微細化（分割）し、この微細化した個々に対して面積（強度）を変えずにガウシアン分布化した後、再度個々を重ね合わせる（足し合わせる）処理によって、「ぼかし処理」を行った。「ぼかし処理」を行った状態を図３（５）に示す。
このとき、正常パターンからなるグレートーン部（図示せず）はほぼ均一な明るさ（ほぼ均一なグレー色）に見えるのに対し、修正後のパターンを含む領域の画像は図１（５）に示すように暗い（濃いグレー色）の部分を有する。そこで、正常パターンからなるグレートーン部のほぼ均一な明るさ（ほぼ均一なグレー色）に対し、一定以上暗い（一定以上濃いグレー色）の部分を有する修正パターンを含むグレートーン部について、一定以上暗い（一定以上濃いグレー色）の部分の暗さ（濃さ）、面積、位置等を総合的に判断して、修正部を評価することができた。
本実施例では、「ぼかし処理」後の画像について、画像中の欠陥部分を強調化する「強調処理」処理を行った。「強調処理」後の画像を図３（６）に示す。
この「強調処理」は、画像処理後のデータに対して予め設けられた濃淡の閾値に基づいて、閾値を超える領域を強調表示する処理を施して行った。具体的には、実施例１と同様に、「ぼかし処理」後の画像について、正常パターンのＣＤ許容精度に対応する範囲に対し、それ以下の範囲となる一定以上濃いグレー色の部分を黒で表示することによって、「強調処理」処理を行った。この「強調処理」処理によると、閾値に基づく数値処理によって、欠陥部分を黒で表示できるので、より容易かつ高精度で欠陥検査を行うことが可能であった。
本実施例では、画像処理によるぼかし処理で顕在化する微小黒欠陥（ユーザの要求を満たすべく設定されたスペック（パターン線幅・形状）では問題とならない微小黒欠陥）が、ユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となるか否かについて高い精度で容易に判定することができた。
【００２１】
なお、本発明では、正常パターンからなるグレートーン部の「ぼかし処理」後の画像中のほぼ均一な明るさ（ほぼ均一なグレー色）に対し、一定以上明るい（一定以上薄いグレー色）部分を有する修正パターンを含むグレートーン部について、一定以上明るい（一定以上薄いグレー色）部分の明るさ（薄さ）、面積、位置等を総合的に判断して、修正部の白欠陥を評価することができる。また、「強調処理」処理を行い、閾値に基づく数値処理によって、欠陥部分を白で表示できるので、より容易かつ高精度で欠陥検査を行うことが可能である。
【００２２】
（比較例）
図１（２）に示す修正後のパターン、及び図３（２）に示す微小黒欠陥を有するパターンについて、正常パターンとの通常の比較検査を行った結果、修正部のみが強調され、合否判定が困難であった。なお、図１（２）に示す修正後のパターンについては、通常の比較検査は当然行うことができなかった。また、図３（２）に示す微小黒欠陥については、通常の比較検査では検出することができなかった。
【００２３】
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではない。
上記実施例１では、正常パターンに近似した修正（正常パターンのＣＤ許容精度外）を行った場合を挙げたが、（１）正常パターンと同等のグレートーン効果を奏するが異なる形状及び／又は配列の修正パターンを形成した場合、（２）正常パターンやあらゆる修正パターンの判定を行う場合、について、ユーザでの露光条件において、グレートーン部のパターンが欠陥かどうかが判定可能となる。
また、上述した第２の問題である「ガラスダメージによるガラス基板の透過率低下」においては、透過光観察による画像を用いることで、ユーザでの露光後の転写イメージに対応した欠陥判定が可能となる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、以下の効果を有する。
（１）ユーザでの露光条件を検討し、これに対応した画像処理を行うことで、グレートーン部のパターンから、ユーザでの露光後の転写イメージに対応した、ユーザの露光・転写プロセスにおける転写状況を判定しうるイメージを作成することが可能となる。
（２）画像データを作成することにより、画像処理ソフトを用いて欠陥が識別可能となるような画像処理を行うことができるため、高精度の欠陥検査が可能となる。
（３）新規のパターンに対して、所望のグレートーン効果を奏するかどうかが判定可能となる。
（４）上述した第１の問題に対し、正常パターンと近似形状のパターン（正常パターンのＣＤ許容精度外）で修正した場合や、正常パターンと異形状のパターンで修正した場合（即ちいずれも通常の比較検査が行えない場合）であっても、ユーザでの露光条件に対応した転写イメージにより容易に判定可能となる。
（５）上述した第２の問題に対し、修正によるガラスダメージにより、ガラス基板の透過率が低下した場合でも、ユーザでの露光条件で問題になるかが判定可能となる。
（６）上述した第３の問題に対し、ユーザでの露光条件において、グレートーン部のパターンが欠陥かどうかが判定可能となる。
（７）例えば、ユーザの露光・転写プロセスにおいて問題となる微小な欠陥まで判定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１にかかるグレートーン部における黒欠陥修正・検査方法を説明するための部分平面図である。
【図２】本発明の実施例にける強調処理を説明するための模式図である。
【図３】本発明の実施例２にかかるグレートーン部における微小黒欠陥の検査方法を説明するための部分平面図である。
【図４】レーザ修正装置の概略構成を説明するための模式図である。
【図５】グレートーンマスクを説明するための図であり、（１）は部分平面図、（２）は部分断面図である。
【符号の説明】
１      遮光部
２      透過部
３      グレートーン部
３ａ        遮光パターン
３ｂ    微細透過部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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