(57)【要約】【課題】光ファイバ、分波器及び受光素子の相互間を光学的に高精度に接続することができ、コンパクト化でき、簡単にかつ低コストで製造することができる波長多重光通信用分波器、波長多重光通信用分波器の製造方法及び電子機器を提供する。【解決手段】光ファイバ挿入用の凹形状のガイド１３が設けられているブロック１１と、ブロック１１の内部に設けられた導波路であり一方端面がガイド１３の凹形状の底面に露出し、他方端面がブロック１１の表面に露出している光導波路からなる分波器３０と、分波器３０の端面に対向するようにブロック１１に貼り付けられた微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと、を備えることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、
前記ブロックの内部に設けられた導波路であり、一方端面が前記ガイドの凹形状の底面に露出し、他方端面が前記ブロックの表面に露出している光導波路と、前記光導波路の他方端面に対向するように前記ブロックに貼り付けられた微小タイル状素子と、
前記光導波路の一部又は全部として前記ブロックの内部に設けられている分波器とを備えることを特徴とする波長多重光通信用分波器。
【請求項２】
前記微小タイル状素子は、受光素子を備えていることを特徴とする請求項１に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項３】
前記受光素子は、フォトダイオードであることを特徴とする請求項２に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項４】
前記分波器は、
前記ガイドの凹形状の底面に接続された入力導波路と、入力側スラブ導波路と、長さの異なる複数のチャネル導波路からなるアレー導波路回折格子と、出力側スラブ導波路と、前記ブロックの表面に接続された複数の導波路からなる出力導波路と、を有していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項５】
前記ガイド及び前記光導波路は、該ガイドに挿入された光ファイバのコア端面が該光導波路の一方端面に対向するように、配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項６】
前記光導波路及び分波器における端面以外の境界面は、金属反射膜で被われていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項７】
棒形状の透明部材を有して、該透明部材の軸に対して反射面を略４５度傾斜させた複数のダイクロックミラーが埋め込まれてなる棒状部材と、
前記透明部材の屈折率よりも低い屈折率の部材からなるブロックであり、側面に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられており、前記棒状部材の一端が該ガイドの底面に露出するように、該棒状部材が埋め込まれているブロックと、一端が前記ブロックの側面に露出しており、他端が前記棒状部材の側面に接するとともに前記ダイクロックミラーに略４５度の角度で対向するように設けられている複数本の光導波路とを有することを特徴とする波長多重光通信用分波器。
【請求項８】
前記複数のダイクロックミラーは、互いに反射する光の波長が異なることを特徴とする請求項７に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項９】
前記光導波路の屈折率は、前記棒状部材の屈折率に略等しいことを特徴とする請求項７又は８に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項１０】
前記ブロックの側面には、前記複数本の光導波路それぞれの一端面に１対１に対向するように、複数の受光素子が貼り付けられていることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項１１】
前記光導波路は、テーパー形状であることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の波長多重光通信用分波器を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
分波器を備える光導波路と、該光導波路の一方端面側に位置する光ファイバ挿入用のガイドとを有するブロックを形成し、
前記ブロックの表面における前記光導波路の他方端面に対向する位置に、受光素子を有する微小タイル状素子を貼り付けることを特徴とする波長多重光通信用分波器の製造方法。
【請求項１４】
前記ブロックは、複数枚の板状部材を積層したものであり、
前記光導波路及び分波器は、前記複数枚の板状部材のうちの少なくとも１枚に溝を設け、該溝に透明部材を埋め込んで形成することを特徴とする請求項１３に記載の波長多重光通信用分波器の製造方法。
【請求項１５】
前記ガイドは、前記複数の板状部材のうちの少なくとも２つであって、前記溝が設けられた板状部材を少なくとも含む板状部材に設けられた切り欠きからなることを特徴とする請求項１４に記載の波長多重光通信用分波器の製造方法。
【請求項１６】
透明な平板の表面にダイクロックミラーを形成し、
該ダイクロックミラーが形成された平板を複数枚積層して接着し、
該接着され積層された複数枚の平板を、該平板の平面に対して斜めに切り出すことで、棒形状の透明部材を形成し、
前記透明部材の屈折率よりも低い屈折率の部材を用いて、光ファイバ挿入用の凹形状のガイドと、光導波路となる溝と、前記透明部材が嵌め込まれる溝とを有するブロックを形成し、
前記ブロックの溝に前記透明部材を嵌め込むことを特徴とする波長多重光通信用分波器の製造方法。
【請求項１７】
前記透明部材に含まれる複数のダイクロックミラーは、互いに反射する光の波長が異なり、
前記透明部材は、該透明部材の一端面が該ガイドの底面に露出するように、前記ブロックに嵌め込まれることを特徴とする請求項１６に記載の波長多重光通信用分波器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長多重光を分波できる波長多重光通信用分波器、波長多重光通信用分波器の製造方法及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ファイバを用いてレーザ光を伝送させて通信する光通信が行われている。その光ファイバの末端には、発光素子又は受光素子を備えるモジュールと呼ばれる部品が取り付けられている。この光通信用モジュールでは、例えば発光素子から出射された光が効率よく光ファイバのコアへ導入されるように、発光素子、レンズ及光ファイバのコア端面などが相互に３次元において精密に位置合わせして組み付けられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−２４３６８８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の光通信用モジュールでは、発光素子又は受光素子、レンズ及び光ファイバのコア端面の相互間を、高い精度で位置合わせしなければならず、しかも上記各要素の取り付けが３次元の自由度を持つため、その調整に手間がかかり、高いコストを要するという問題点があった。例えば、従来の光通信用モジュールでは、発光素子、レンズ及び光ファイバについて大まかな配置を行う。その後、発光素子から光を放射させ、その光がレンズで集光されて、光ファイバの端面に入射すように、発光素子、レンズ及び光ファイバ端面それぞれを３次元に微調整する必要があった。
【０００５】
また、近年、光通信においては、その伝送容量を飛躍的に増加させる方法として波長多重通信の研究開発が盛んに行われている。この伝送容量を増加させるためには、波長間隔の小さな光を合分波できる装置が必要である。波長間隔の小さな光の合分波が可能で分解能がよく、しかも回折効率の高いものとして、アレー導波路回折格子を用いる手法が知られている。
【０００６】
しかしながら、従来のアレー導波路回折格子を用いる手法でも、発光素子又は受光素子、レンズ、アレー導波路回折格子及び光ファイバのコア端面の相互間を、高い精度で位置合わせしなければならず、しかも上記各要素の取り付けが３次元の自由度を持つため、その調整に手間がかかり、高いコストを要するという問題点があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、光ファイバ、分波器及び受光素子の相互間を光学的に高精度に接続することができ、コンパクト化でき、簡単にかつ低コストで製造することができる波長多重光通信用分波器、波長多重光通信用分波器の製造方法及び電子機器の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明の波長多重光通信用分波器は、光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、前記ブロックの内部に設けられた導波路であり、一方端面が前記ガイドの凹形状の底面に露出し、他方端面が前記ブロックの表面に露出している光導波路と、前記光導波路の他方端面に対向するように前記ブロックに貼り付けられた微小タイル状素子と、前記光導波路の一部又は全部として前記ブロックの内部に設けられている分波器とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、ブロックに設けられているガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバの一端をブロックの所定位置に設定（固定）することができる。そして、ガイドの側面又は底面などには、ブロックに設けられている光導波路の一方端面が位置するので、その光導波路の一方端面とガイドに挿入された光ファイバ一端のコア面とを対向させることができる。これにより、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光ファイバのコアとブロックの光導波路とを光学的に接続することができる。
また、本発明によれば、ブロックの内部には光導波路の一部又は全部として分波器が設けられているので、複数波長のレーザ光などからなる波長多重光が光ファイバのコアからブロックの光導波路に入射した場合、その波長多重光を分波器によって所望帯域毎に分波することができる。例えば、光ファイバのコアに波長λ１，λ２，λ３，λ４からなる４つの光信号が多重化されて伝送された場合、本発明の波長多重光通信分波器はその多重化された光信号を波長λ１の光信号と波長λ２の光信号と波長λ３と波長λ４の光信号とに分けることができる。したがって、本発明によれば、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバと分波器とを光学的に接続することができる。
また、本発明によれば、ブロックに貼り付けられた微小タイル状素子と光導波路の他方端面とは対向しているので、その微小タイル状素子と光導波路（分波器を含む）とを光学的に接続することができる。そこで、分波器で分波された光信号を微小タイル状素子で受信することができる。
また、本発明によれば、光ファイバにはスリーブ又はフェノールなどの光ファイバ支持部品を取り付ける必要がないので、従来よりもコンパクトで安価な波長多重光通信用分波器を提供することができる。
【０００９】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記微小タイル状素子が受光素子を備えていることが好ましい。
本発明によれば、受光素子を極めて小さい形状にすることができるので、極めてコンパクトな波長多重光通信用分波器を容易に提供することができる。すなわち、本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、分波器を含む光導波路の一方端面と光ファイバのコア面とを高精度に位置合わせすることができる。また、受光素子を有する微小タイル状素子は、例えば光導波路の一端面が存在するブロックの表面に貼り付けられるので、その貼り付けのとき２次元の自由度で、受光素子の受光部を光導波路の一方面に、容易に位置合わせすることができる。この位置合わせは、従来３次元の自由度で光ファイバ、レンズ、分波器、受光素子などを相互に位置合わせしなければならないことに比較して、非常に簡易にかつ高精度に行うことができる。したがって、本発明によれば、光ファイバと分波器と受光素子とを簡易にかつ高精度に光結合することができる。また、本発明によれば、受光素子を微小タイル状素子に設けているので、極めてコンパクトな波長多重光通信用分波器を低コストで提供することができる。
【００１０】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記受光素子がフォトダイオードであることが好ましい。
【００１１】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記フォトダイオードがＳＭ型フォトダイオードであることが好ましい。
本発明によれば、ＭＳＭ型フォトダイオードの構造が単純で増幅用トランジスタとともに集積化しやすいので、よりコンパクトで高機能な波長多重光通信用分波器を安価に提供することができる。
【００１２】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記分波器が、前記ガイドの凹形状の底面に接続された入力導波路と、入力側スラブ導波路と、長さの異なる複数のチャネル導波路からなるアレー導波路回折格子と、出力側スラブ導波路と、前記ブロックの表面に接続された複数の導波路からなる出力導波路と、を有していることが好ましい。
本発明によれば、例えばガイドに挿入された光ファイバから出射された波長多重光は、分波器の入力導波路に入射する。次いで波長多重光は、入力側スラブ導波路に入射して回折効果により広がる。その広がった波長多重光は、アレー導波路回折格子を構成する複数のチャネル導波路に入り伝播し、出力側スラブ導波路に達し、さらに出力導波路に集光される。ここで、アレー導波路回折格子を構成する個々のチャネル導波路の長さが異なるので、チャネル導波路伝播後の個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾く。この傾き角度により集光する位置が決まるが、光の位相ずれ量は波長（周波数）に依存し、複数波長の光が存在することから、波長別に集光位置が決まることになる。そこで、その位置毎に出力導波路を配置することで、波長別に光信号を取り出すことができる。
そこで、本発明によれば、１個にブロックに、光ファイバ用のガイド、分波器及び受光素子を設けたので、レンズや回折格子を組み立てるバルク型の分波器などと比較して、格段に量産性、特性の安定性、コンパクト性、製造コストなどの点で良好な波長多重光通信用分波器を提供することができる。
【００１３】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記ガイド及び前記光導波路が、該ガイドに挿入された光ファイバのコア端面が該光導波路の一方端面に対向するように、配置されていることが好ましい。
本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、分波器を有する光導波路の一方端面と光ファイバのコア面とを高精度に位置合わせすることができる。また、受光素子を有する微小タイル状素子は、例えば光導波路の一端面が存在するブロックの表面に貼り付けられるので、その貼り付けのとき２次元の自由度で、発光素子又は受光素子の発光部又は受光部を光導波路の一方面に、容易に位置合わせすることができる。この位置合わせは、従来３次元の自由度で光ファイバと発光素子及びレンズなどとを相互に位置合わせしなければならないことに比較して、非常に簡易にかつ高精度に行うことができる。したがって、本発明によれば、光ファイバと分波器と複数の受光素子とを簡易にかつ高精度に光結合することができる。
【００１４】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記光導波路及び分波器における端面以外の境界面が金属反射膜で被われていることが好ましい。
本発明によれば、上記ブロック及び光導波路などを製造するときの材料及び製法の自由度を高めることができる。
【００１５】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、棒形状の透明部材を有して、該透明部材の軸に対して反射面を略４５度傾斜させた複数のダイクロックミラーが埋め込まれてなる棒状部材と、前記透明部材の屈折率よりも低い屈折率の部材からなるブロックであり、側面に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられており、前記棒状部材の一端が該ガイドの底面に露出するように、該棒状部材が埋め込まれているブロックと、一端が前記ブロックの側面に露出しており、他端が前記棒状部材の側面に接するとともに前記ダイクロックミラーに略４５度の角度で対向するように設けられている複数本の光導波路とを有することを特徴とする。
本発明によれば、ガイドに光ファイバを挿入するだけで、その光ファイバと透明部材とを光学的に結合することができる。そして、光ファイバから出射された波長多重光信号は、透明部材に配置されている複数のダイクロックミラーによって波長選択的に反射される。そこで、例えば波長多重光信号が波長λ１，λ２，λ３の３つの光信号からなる場合、第１ダイクロックミラーが波長λ１の光信号だけを反射してその反射光（波長λ１）を第１光導波路に入射させることができる。同様にして、第２ダイクロックミラーが波長λ２の光信号だけを反射してその反射光（波長λ２）を第２光導波路に入射させることができる。また第３ダイクロックミラーが波長λ３の光信号だけを反射してその反射光（波長λ３）を第３光導波路に入射させることができる。そこで、本発明によれば、光ファイバ、レンズ及び発光素子などの相互間を三次元上で高精度に位置合わせする必要がないので、コンパクトで高性能な波長多重光通信用分波器を低コストで提供することができる。
【００１６】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記複数のダイクロックミラーそれぞれの反射光の波長が異なることが好ましい。
本発明によれば、光ファイバを伝播してきた複数波長からなる波長多重光を複数のダイクロックミラーによって分波することができる。
【００１７】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記光導波路の屈折率が前記棒状部材の屈折率に略等しいことが好ましい。
本発明によれば、光導波路と棒状部材との境界面における反射を低減することができるので、より光結合効率の高い波長多重光通信用分波器を提供することができる。
【００１８】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記ブロックの側面に、前記複数本の光導波路それぞれの一端面に１対１に対向するように、複数の受光素子が貼り付けられていることが好ましい。
本発明によれば、複数のダイクロックミラーによって分波された各光信号をそれぞれ光導波路に入射させて、その各光信号それぞれを受光素子で検出することができる。
【００１９】
また、本発明の波長多重光通信用分波器は、前記光導波路がテーパー形状であることが好ましい。
本発明によれば、例えば光導波路においてダイクロックミラー側を広くして受光素子側を狭くしたテーパー形状とすることで、ダイクロックミラーで反射された所望波長の光信号の大部分を受光素子に入射させることができ、光結合効率を向上させることができる。
【００２０】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、分波器を備える光導波路と、該光導波路の一方端面側に位置する光ファイバ挿入用のガイドとを有するブロックを形成し、前記ブロックの表面における前記光導波路の他方端面に対向する位置に、受光素子を有する微小タイル状素子を貼り付けることを特徴とする。
本発明によれば、分波器と光ファイバ挿入用ガイドとを備えるブロックに、微小タイル状素子を貼り付けるだけで、受光機能を有する波長多重光通信用分波器を製造することができる。そこで、本発明によれば、レンズが不要であり、光ファイバ、レンズ、発光素子などの相互間における三次元上の位置合わせが不要となり、極めて簡易に高精度でコンパクトな波長多重光通信用分波器を製造することができる。
【００２１】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記ブロックが複数枚の板状部材を積層したものであり、前記光導波路及び分波器は、前記複数枚の板状部材のうちの少なくとも１枚に溝を設け、該溝に透明部材を埋め込んで形成することが好ましい。
本発明によれば、簡易にかつ高精度に波長多重光通信用分波器を製造することができる。
【００２２】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記透明部材が樹脂からなることが好ましい。
本発明によれば、板状部材の溝に液状体など樹脂を充填して硬化させることなどで、簡易に上記導波路及び分波器を形成することができる。
【００２３】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記ガイドが、前記複数の板状部材のうちの少なくとも２つであって、前記溝が設けられた板状部材を少なくとも含む板状部材に設けられた切り欠きからなることが好ましい。
本発明によれば、精密な形状のガイドを簡易に設けることができる。
【００２４】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、透明な平板の表面にダイクロックミラーを形成し、該ダイクロックミラーが形成された平板を複数枚積層して接着し、該接着され積層された複数枚の平板を、該平板の平面に対して斜めに切り出すことで、棒形状の透明部材を形成し、前記透明部材の屈折率よりも低い屈折率の部材を用いて、光ファイバ挿入用の凹形状のガイドと、光導波路となる溝と、前記透明部材が嵌め込まれる溝とを有するブロックを形成し、前記ブロックの溝に前記透明部材を嵌め込むことを特徴とする。
本発明によれば、複数のダイクロックミラーなどからなる分波器をブロックの内部に簡易に設けることができる。そして、本発明によれば、ガイドに光ファイバを挿入するだけで、その光ファイバと分波器とを高い光結合効率で接続でき、光ファイバ、レンズ、発光素子などの相互間における三次元上の位置合わせが不要となる。そこで、本発明によれば、光結合効率が高くコンパクトな波長多重光通信用分波器を低コストで製造することができる。
【００２５】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記透明部材に含まれる複数のダイクロックミラーが互いに反射する光の波長が異なり、前記透明部材は、該透明部材の一端面が該ガイドの底面に露出するように、前記ブロックに嵌め込まれることが好ましい。
本発明によれば、例えば光ファイバの端面がガイドの底面に対向するように、該光ファイバをガイドに挿入するだけで、複数のダイクロックミラーなどからなる分波器とその光ファイバとを高精度に接続する波長多重光通信用分波器を簡便に製造することができる。
【００２６】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記光導波路となる溝が、前記ブロックにおいて前記複数のダイクロックミラーそれぞれに対して略４５度の角度で対向するように、複数本設けられていることが好ましい。
本発明によれば、入射角が略４５度の光に対して波長選択的に反射する複数のダイクロックミラーを用いて、簡便に波長多重光通信用分波器を製造することができる。
【００２７】
また、本発明の波長多重光通信用分波器の製造方法は、前記ブロックの側面に、前記複数本の光導波路それぞれの一端面に１対１に対向するように、複数の受光素子を貼り付けることが好ましい。
本発明によれば、複数の受光素子をブロック側面の所望位置に貼り付けるだけで、各ダイクロックミラーにより分波された光信号のそれぞれを、前記受光素子で検出することができる。
【００２８】
本発明の電子機器は、前記波長多重光通信用分波器を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、光ファイバと分波器と受光素子とを光学的に正確に接続できるコンパクトな波長多重光通信用分波器を備えた電子機器を提供することができる。また、本発明によれば、波長多重光信号を受信できるコンパクトな電子機器を安価に提供することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る波長多重光通信用分波器について、図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係る波長多重光通信用分波器を示す概略断面図である。本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ａは、光導波路をなす分波器３０及びガイド１３が形成されているブロック１１と、ブロック１１に直接貼り付けられた複数の微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄとを有する。
【００３０】
微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、受光素子を備える。そして、微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、微小なタイル形状（板形状）の半導体デバイスであり、例えば厚さ１μｍから２０μｍ、縦横の大きさ数十μｍから数百μｍの四角形板状部材である。この微小タイル状素子の製造方法及び貼り付け方法については後で詳細に説明する。なお、微小タイル状素子の形状は四角形に限定されず、他の形状であってもよい。
【００３１】
微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが備える受光素子としては、例えばフォトダイオード、フォトトランジスタなどを適用することができる。ここで、フォトダイオードとしては、ＰＩＮ型フォトダイオード、ＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）、ＭＳＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）型フォトダイオードを用途に応じて選ぶことができる。ＡＰＤは、光感度、応答周波数ともに高い。ＭＳＭ型フォトダイオードは、構造が単純で増幅用トランジスタとともに集積化しやすい。
【００３２】
分波器３０は、ブロック１１を貫くように該ブロック１１の内部に設けられており、入射した波長多重光を分波して出射するものである。そして分波器３０はアレー導波路回折格子型分波器である。具体的には分波器３０は、ガイド１３の凹形状の底面に接続された入力導波路３１と、入力側スラブ導波路３２と、長さの異なる複数のチャネル導波路からなるアレー導波路回折格子３３と、出力側スラブ導波路３４と、ブロック１１の表面（側面など）に接続された複数の導波路からなる出力導波路３５と、を有している。
【００３３】
ガイド１３は、ブロック１１の側面（又は表面など）に形成された光ファイバ挿入用の凹形状の構造物である。ガイド１３の凹形状部に光ファイバの一端部を挿入することで、ブロック１１とその光ファイバ端面とを高精度に位置決めして固定することができる。
【００３４】
また、ブロック１１においてガイド１３と分波器３０の入力導波路３１とは、ガイド１３に挿入された光ファイバのコアの端面が入力導波路３１の端面に対向するように配置されている。ここで、ガイド１３の凹形状は、断面が円形であり、その直径が光ファイバのクラッドを含む端部の直径と略同一か又は若干大きめであることが好ましい。
【００３５】
そして、ガイド１３に挿入された光ファイバ端部のコアの中心軸と入力導波路３１の端部の中心軸とがほぼ一致するように、ガイド１３及び入力導波路３１が形成されていることが好ましい。このようにすると、ガイド１３に光ファイバの一端を挿入するだけで、分波器３０とその光ファイバのコアとを高い光結合効率で接続することができる。
【００３６】
微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、各微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄにおける受光部が分波器３０の出力導波路３５をなす複数の導波路それぞれに１対１に対向するように、ブロック１１の表面（側面など）に貼り付けられている。そして、各微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄにおける受光部の中心と、出力導波路３５の各導波路端面の中心とが一致するように、各微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが配置されることが好ましい。また、各微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄにおける受光領域内に、出力導波路３５の各導波路端面が含まれるように配置してもよい。これらのように、各微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ及び出力導波路３５の各導波路端面を配置することにより、各受光素子と出力導波路３５の各導波路とを高い光結合効率で接続することができる。
【００３７】
これらにより、本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ａによれば、ガイド１３にガイド１３に光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバと分波器３０と微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄとを高い光結合効率で接続することができる。
【００３８】
微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと出力導波路３５の各導波路端面との位置合わせは、微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄをブロック１１の側面上で、Ｘ軸とＹ軸の２次元について位置決めすることで行えばよい。したがって、本実施形態によれば、従来の光通信用モジュールのように、受光素子をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３次元について位置決めする必要がなく、また受光素子を駆動させながら位置決めする必要もない。そこで、本実施形態によれば、従来よりも受光素子の位置決めを簡単にかつ迅速に実行することができる。
【００３９】
また、本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ａは、光導波路をなす分波器３０が光屈折率部材からなり、分波器３０を被うブロック１１が低屈折率部材からなることが好ましい。このようにすると光ファイバのコアとそれを覆うクラッドとの関係のように、分波器３０（高屈折率部材）に入射した光は、高屈折率部材と低屈折率部材との間で全反射するので、その分波器３０の中をほとんど減衰せずに伝播することができる。また、波長多重光通信用分波器１０ａは、光導波路をなす分波器３０とブロック１１との境界面が金属反射膜で被われているものとしてもよい。
【００４０】
次に、本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ａの分波動作について説明する。
例えば、光ファイバのコアに波長λ１，λ２，λ３，λ４からなる４つの光信号が多重化されて伝送されたとする。先ず、ガイド１３に挿入された光ファイバから出射された波長多重光（波長λ１，λ２，λ３，λ４）は、分波器３０の入力導波路３１に入射する。次いで、波長多重光は、入力側スラブ導波路３２に入射して回折効果により広がる。その広がった波長多重光は、アレー導波路回折格子３３を構成する複数のチャネル導波路に入り伝播し、出力側スラブ導波路３４に達し、さらに出力導波路３５に集光される。
【００４１】
ここで、アレー導波路回折格子３３を構成する個々のチャネル導波路の長さが異なるので、チャネル導波路伝播後の個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾く。この傾き角度により出力側スラブ導波路３４において集光する位置が決まるが、光の位相ずれ量は波長（周波数）に依存し、伝播光が波長λ１，λ２，λ３，λ４からなる波長多重光であるので、波長別に集光位置が決まることになる。
【００４２】
そこで、その位置毎に出力導波路３５の各導波路端面を配置することで、その各導波路毎に波長別に光信号を取り出すことができる。そして、出力導波路３５をなす各導波路の他方端面には受光素子を有する微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが１対１に配置されている。これより、例えば微小タイル状素子１ａには波長λ１の光信号が入射し、微小タイル状素子１ｂには波長λ２の光信号が入射し、微小タイル状素子１ｃには波長λ３の光信号が入射し、微小タイル状素子１ｄには波長λ４の光信号が入射することとなる。
これらにより、光ファイバから出射された波長λ１，λ２，λ３，λ４からなる波長多重光信号は、分波器３０で分波され、波長毎に微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄで受信されることとなる。
【００４３】
次に上記波長多重光通信用分波器１０ａの製造方法の一例について説明する。ガイド１３及び分波路３０を備えるブロック１１は、例えば低屈折率材からなる板状部材を複数枚積層することで形成することができる。ここで、ガイド１３は、かかる複数の板状部材における１枚以上に「コの字」の切り欠きを設けることで形成できる。
【００４４】
光導波路をなす分波器３０の形成については、まず上記複数の板状部材における１枚以上に所望形状の溝を設けておく。この溝は、エッチング処理、切削処理、スタンパ又は射出成形などで設けることができる。次いで、それらの板状部材を張り合わせた後に、かかる溝部分に液状体の透明樹脂を充填することで、分波器３０を形成することができる。その液状体の樹脂は、紫外線硬化性樹脂などが好ましく、またブロック１１をなす板状部材に対して高屈折率となるものが好ましい。
【００４５】
次いで、ブロック１１の表面において分波器３０の出力導波路３５をなす各導波路の端面に対向するように、微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを接着する。この微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの配置における位置決めはブロック１１の表面（２次元平面）において行うので、レンズを介した光学系の位置決めのような３次元の位置合わせ及び光源を動作させながらの位置合わせが不要となり、簡易にかつ精密に行うことができる。
これらにより、本製造方法によれば、極めて簡易に高精度でコンパクトな波長多重光通信用分波器を製造することができる。
【００４６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図２から図４を参照して説明する。図２は本発明の第２実施形態に係る波長多重光通信用分波器を示す概略断面図である。本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ｂは、光ファイバ挿入用の凹形状のガイド１３が設けられているブロック１１と、ブロック１１に内蔵されており光導波路となる棒状部材４０と、棒状部材４０に接続されている複数本の光導波路５１，５２，５３と、光導波路５１，５２，５３の端面に対向するようにブロック１１の表面に配置されている微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃとで構成されている。微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃは、フォトダイオードなどの受光素子を備えている。
【００４７】
棒状部材４０は、棒形状の透明部材を有してなり、その透明部材の軸に対して反射面を略４５度傾斜させた複数のダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３が埋め込まれているものである。この棒状部材４０は低屈折率材からなることが好ましく、ブロック１１は高屈折率材からなることが好ましい。
【００４８】
そして、棒状部材４０は、端面がガイド１３の底面に露出するように、ブロック１１に埋め込まれている。これにより、ガイド１３に光ファイバが挿入されると、その光ファイバのコア端面が棒状部材４０の端面に対向することとなる。そこで、その光ファイバのコア端面から出射された光（波長多重光）は、棒状部材４０に入射することとなる。
【００４９】
次いで、棒状部材４０に含まれているダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３の機能について説明する。図３はダイクロックミラーＤＭの機能を示す説明図である。ダイクロックミラーＤＭとは、ＤＢＲ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｂｒａｇｇ  Ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ）ミラーの一種であり、特定の波長の光を反射し（高反射率となる）、その他の波長の光を透過する（低反射率となる）ものである。
【００５０】
例えば図３（ａ）に示すように、あるダイクロックミラーＭＤに対して４５度の角度で波長λ１，λ２，λ３の光をあてると、波長λ２の光だけが上方に反射され、波長λ１，λ３の光はダイクロックミラーＭＤを透過する。このダイクロックミラーＭＤの反射特性を示すものが図３（ｂ）である。図３（ｂ）に示すようにダイクロックミラーＭＤは、波長λ２の付近のみが高い反射率となっており他の波長（波長λ１，λ３など）についてはほとんど反射しない。
【００５１】
図４は棒状部材４０に含まれているダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３の機能を示す説明図である。図４（ｂ）に示すように、ダイクロックミラーＤＭ１は波長λ１付近の光のみ反射し、ダイクロックミラーＤＭ２は波長λ２付近の光のみ反射し、ダイクロックミラーＤＭ３は波長λ３付近の光のみ反射する。
【００５２】
そこで、図４（ａ）のように、各ダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３を水平面に対して略４５度の角度を持たせて列べ、波長λ１，λ２，λ３の波長多重光をダイクロックミラーＤＭ１にあてる。すると、波長λ１の光はダイクロックミラーＤＭ１によって上方に反射され、波長λ２，λ３の光はダイクロックミラーＤＭ１を透過してダイクロックミラーＤＭ２にあたる。すると、波長λ２の光はダイクロックミラーＤＭ２によって上方に反射され、波長λ３の光はダイクロックミラーＤＭ２を透過してダイクロックミラーＤＭ３にあたる。この波長λ３の光はダイクロックミラーＤＭ３によって上方に反射される。
【００５３】
これらにより、波長λ１，λ２，λ３からなる波長多重光は、ダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３により分波され、波長λ１の光と波長λ２の光と波長λ３の光とに分けられる。そして、図４（ａ）に示すダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３の配置構成は、本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ｂのブロック１１に内蔵された棒状部材４０に含まれているダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３の配置構成と同じである。したがって、棒状部材４０に含まれているダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３も上記分波機能をもつこととなる。
【００５４】
さらに、波長多重光通信用分波器１０ｂのブロック１１における光導波路５１は、一端面がブロック１１の側面（表面）に露出するように、また他端面がダイクロックミラーＤＭ１に略４５の角度で対向するように、ダイクロックミラーＤＭ１の上方に配置されている。光導波路５２は、一端面がブロック１１の側面（表面）に露出するように、また他端面がダイクロックミラーＤＭ２に略４５の角度で対向するように、ダイクロックミラーＤＭ２の上方に配置されている。光導波路５３は、一端面がブロック１１の側面（表面）に露出するように、また他端面がダイクロックミラーＤＭ３に略４５の角度で対向するように、ダイクロックミラーＤＭ３の上方に配置されている。
【００５５】
そこで、ダイクロックミラーＤＭ１で反射された波長λ１の光は光導波路５１に入射する。光導波路５１の端面には受光素子を備える微小タイル状素子１ａが配置されているので、波長λ１の光は微小タイル状素子１ａで受信される。
また、ダイクロックミラーＤＭ２で反射された波長λ２の光は光導波路５２に入射する。光導波路５２の端面には受光素子を備える微小タイル状素子１ｂが配置されているので、波長λ２の光は微小タイル状素子１ｂで受信される。
また、ダイクロックミラーＤＭ３で反射された波長λ３の光は光導波路５３に入射する。光導波路５３の端面には受光素子を備える微小タイル状素子１ｃが配置されているので、波長λ３の光は微小タイル状素子１ｃで受信される。
【００５６】
これらにより、本実施形態の波長多重光通信用分波器１０ｂによれば、ガイド１３に光ファイバを挿入するだけで、その光ファイバと棒状部材４０からなる分波器とを光学的に結合することができる。そして、光ファイバから出射された波長多重光信号（λ１，λ２，λ３）は、棒状部材４０に配置されている複数のダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３によって分波され、分波された光信号それぞれを微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃで受信することができる。
【００５７】
上記波長多重光通信用分波器１０ｂにおける光導波路５１，５２，５３は、ダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３側が広く、微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ側が狭いテーパー形状とするのが好ましい。このようにすれば、ダイクロックミラーＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３の反射光のほとんど全てを微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃに入射させることができ、光結合効率を向上させながらよりコンパクトな波長多重光通信用分波器を構成することができる。
【００５８】
次に上記波長多重光通信用分波器１０ａの製造方法の一例について説明する。先ず棒状部材４０の製造方法について説明する。高屈折率材からなる透明な第１平板の表面にダイクロックミラーＤＭ１を形成する。また高屈折率材からなる透明な第２平板の表面にダイクロックミラーＤＭ２を形成する。また高屈折率材からなる透明な第３平板の表面にダイクロックミラーＤＭ３を形成する。次いで、ダイクロックミラーが形成された第１平板、第２平板及び第３平板を積層接着する。次いで、その積層した複数枚の平板について、その平面に対して略４５度に切り出すことで、棒状部材４０を形成する。
【００５９】
次に、ブロック１１の製造方法について説明する。ブロック１１は、例えば低屈折率材からなる板状部材を複数枚積層することで形成することができる。ガイド１３は、かかる複数の板状部材における１枚以上に「コの字」の切り欠きを設けることで形成できる。また、かかる複数の板状部材における１枚以上に、切り欠き又は溝を設けることで、棒状部材４０が挿入される空間及び光導波路５１，５２，５３が形成される空間を、ブロック１１内に設けることができる。
【００６０】
上記空間を有するブロック１１が完成した後、そのブロック１１内の所定空間に棒状部材４０を嵌め込む。また、ブロック１１内の光導波路５１，５２，５３が形成される空間に液状体の透明樹脂を充填することで、光導波路５１，５２，５３を形成する。その液状体の樹脂は、紫外線硬化性樹脂などが好ましく、高屈折率となるものが好ましい。
【００６１】
次いで、ブロック１１の表面において各光導波路５１，５２，５３の端面に対向するように、微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃを接着する。この微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃの配置における位置決めはブロック１１の表面（２次元平面）において行うので、レンズを介した光学系の位置決めのような３次元の位置合わせ及び光源を動作させながらの位置合わせが不要となり、簡易にかつ精密に行うことができる。
これらにより、本製造方法によれば、極めて簡易に高精度でコンパクトな波長多重光通信用分波器を製造することができる。
【００６２】
（微小タイル状素子の製造方法）
次に、上記微小タイル状素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの製造方法と、その微小タイル状素子をブロック１１（最終基板）に貼り付ける方法とについて、図５乃至図１４を参照して説明する。本製造方法は、エピタキシャルリフトオフ法をベースにしている。また本製造方法では、微小タイル状素子としての化合物半導体デバイス（化合物半導体素子）を最終基板となるブロック１１上に接着する場合について説明するが、ブロック１１の種類及び形態に関係なく本発明を適用することができる。なお、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物資から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物資であれば「半導体基板」に含まれる。
【００６３】
＜第１工程＞
図５は本微小タイル状素子の製造方法の第１工程を示す概略断面図である。図５において、基板１１０は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板１１０における最下位層には、犠牲層１１１を設けておく。犠牲層１１１は、アルミニウム・ヒ素（ＡｌＡｓ）からなり、厚さが例えば数百ｎｍの層である。
例えば、犠牲層１１１の上層には機能層１１２を設ける。機能層１１２の厚さは、例えば１μｍから１０（２０）μｍ程度とする。そして、機能層１１２において半導体デバイス（例えばフォトダイオード）１１３を作成する。半導体デバイス１１３としては、他の機能素子（例えばフォトトランジスタ）、あるいはプリアンプ回路などの他の回路などを形成してもよい。これらの半導体デバイス１１３は、何れも基板１１０上に多層のエピタキシャル層を積層して素子が形成されたものである。また、各半導体デバイス１１３には、電極も形成し、動作テストも行う。
【００６４】
＜第２工程＞
図６は本微小タイル状素子の製造方法の第２工程を示す概略断面図である。本工程においては、各半導体デバイス１１３を分割するように分離溝１２１を形成する。分離溝１２１は、少なくとも犠牲層１１１に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、１０μｍから数百μｍとする。また、分離溝１２１は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝１２１を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝１２１は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
また、分離溝１２１相互の間隔を数十μｍから数百μｍとすることで、分離溝１２１によって分割・形成される各半導体デバイス１１３のサイズを、数十μｍから数百μｍ四方の面積をもつものとする。分離溝１２１の形成方法としては、フォトリソグラフィとウェットエッチングによる方法、またはドライエッチングによる方法を用いる。また、クラックが基板に生じない範囲でＵ字形溝のダイシングで分離溝１２１を形成してもよい。
【００６５】
＜第３工程＞
図７は本微小タイル状素子の製造方法の第３工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム１３１を基板１１０の表面（半導体デバイス１１３側）に貼り付ける。中間転写フィルム１３１は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルなフィルムである。
【００６６】
＜第４工程＞
図８は本微小タイル状素子の製造方法の第４工程を示す概略断面図である。本工程においては、分離溝１２１に選択エッチング液１４１を注入する。本工程では、犠牲層１１１のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液１４１として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。
【００６７】
＜第５工程＞
図９は本微小タイル状素子の製造方法の第５工程を示す概略断面図である。本工程においては、第４工程での分離溝１２１への選択エッチング液１４１の注入後、所定時間の経過により、犠牲層１１１のすべてを選択的にエッチングして基板１１０から取り除く。
【００６８】
＜第６工程＞
図１０は本微小タイル状素子の製造方法の第６工程を示す概略断面図である。第５工程で犠牲層１１１が全てエッチングされると、基板１１０から機能層１１２が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム１３１を基板１１０から引き離すことにより、中間転写フィルム１３１に貼り付けられている機能層１１２を基板１１０から引き離す。
これらにより、半導体デバイス１１３が形成された機能層１１２は、分離溝１２１の形成及び犠牲層１１１のエッチングによって分割されて、所定の形状（例えば、微小タイル形状）の微小タイル状素子１６１（上記実施形態の「微小タイル状素子１ａ」）とされ、中間転写フィルム１３１に貼り付け保持されることとなる。ここで、機能層の厚さが例えば１μｍから１０μｍ程度、大きさ（縦横）が例えば数十μｍから数百μｍであるのが好ましい。
【００６９】
＜第７工程＞
図１１は本微小タイル状素子の製造方法の第７工程を示す概略断面図である。本工程においては、（微小タイル状素子１６１が貼り付けられた）中間転写フィルム１３１を移動させることで、最終基板となるブロック１１の所望位置に微小タイル状素子１６１をアライメントする。ここで、ブロック１１の所望の位置（例えば出力導波路３５の端面に対向する位置）には、微小タイル状素子１６１を接着するための接着剤１７３を塗布しておく。接着剤は微小タイル状素子１６１に塗布してもかまわない。
【００７０】
＜第８工程＞
図１２は本微小タイル状素子の製造方法の第８工程を示す概略断面図である。本工程においては、ブロック１１の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子１６１を、中間転写フィルム１３１越しに裏押し治具１８１で押しつけてブロック１１に接合する。ここで、所望の位置には接着剤１７３が塗布されているので、そのブロック１１の所望の位置に微小タイル状素子１６１が接着される。
【００７１】
＜第９工程＞
図１３は本波長多重光通信用分波器の製造方法の第９工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム１３１の粘着力を消失させて、微小タイル状素子１６１（１ａ）から中間転写フィルム１３１を剥がす。
中間転写フィルム１３１の粘着剤は、ＵＶ硬化性又は熱硬化性のものにしておく。ＵＶ硬化性の粘着剤とした場合は、裏押し治具１８１を透明な材質にしておき、裏押し治具１８１の先端から紫外線（ＵＶ）を照射することで中間転写フィルム１３１の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、裏押し治具１８１を加熱すればよい。あるいは第６工程の後で、中間転写フィルム１３１を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子１６１は非常に薄く軽いので中間転写フィルム１３１に保持される。
【００７２】
＜第１０工程＞
本工程は、図示していない。本工程においては、加熱処理などを施して、微小タイル状素子１６１（１ａ）をブロック１１に本接合する。
【００７３】
＜第１１工程＞
図１４は本微小タイル状素子の製造方法の第１１工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子１６１（１ａ）の電極とブロック１１上の回路などとを配線１９１により電気的に繋ぎ、一つの波長多重光通信用分波器１０ａを完成させる。ブロック１１の構成材料としては、シリコン半導体のみならず、ガラス基板、石英基板又はプラスチックフィルムなどを適用してもよい。
【００７４】
これらにより、最終基板１７１であるブロック１１が例えばプラスチックであっても、そのブロック１１上の所望位置にシリコン製のフォトダイオードなどを備える微小タイル状素子１６１（１ａ）を形成するというように、受光素子などをなす半導体素子を当該半導体素子とは材質の異なる基板上に形成することが可能となる。また、半導体基板上でフォトダイオードなどを完成させてから微小タイル形状に切り離すので、波長多重光通信用分波器を作成する前に、予めフォトダイオードなどをテストして選別することが可能となる。
【００７５】
また、上記製造方法によれば、半導体素子（受光素子）を含む機能層のみを、微小タイル状素子として半導体基板から切り取り、フィルムにマウントしてハンドリングすることができるので、受光素子を個別に選択してブロック１１に接合することができ、ハンドリングできる受光素子のサイズを従来の実装技術のものよりも小さくすることができる。したがって、上記製造方法によれば、伝送されてきた波長多重光を分波して受信できる極めてコンパクトな波長多重光通信用分波器１０ａを、簡便に低コストで提供することができる。
【００７６】
（電子機器）
上記実施形態の波長多重光通信用分波器を備えた電子機器の例について説明する。
図１５は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１５において、符号１０００は上記の波長多重光通信用分波器を用いた携帯電話本体を示し、符号１００１は表示部を示している。
【００７７】
図１６は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１６において、符号１１００は上記の波長多重光通信用分波器を用いた時計本体を示し、符号１１０１は表示部を示している。
【００７８】
図１７は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１７において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は上記の波長多重光通信用分波器を用いた情報処理装置本体、符号１２０６は表示部を示している。
【００７９】
図１５から図１７に示す電子機器は、上記実施形態の波長多重光通信用分波器を備えているので、波長多重光信号を用いて高速に動作することができ、低コストでかつコンパクトに製造することができる。
【００８０】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００８１】
例えば上記実施形態では、受光素子を微小タイル状素子で構成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、微小タイル状素子の代わりにフリップチップ素子を用いてもよい。
【００８２】
以上、ガイド１３に裸の光ファイバを直接挿入する形態について説明したが、ガイド１３の寸法を適切に選ぶことで、フェルール付き光ファイバをガイド１３に挿入することも、もちろん可能である。
あるいは、ファイバコネクタの仕様によっては一般的なスリーブを使うことが望ましい場合も考えられる。その場合は、スリーブが直接部分的に挿入できて中心軸が機械的に決まるようガイド１３の寸法を選んで、スリーブを接合してもかまわない。もちろんガイド１３のかわりに、一般的に使用されているスリーブを接合することもできる。この場合はスリーブ中心軸と導波路の端部とを一致させるように調整することが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る波長多重光通信用分波器の概略断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態を示す概略断面図である。
【図３】ダイクロックミラーの機能を示す説明図である。
【図４】棒状部材のダイクロックミラーの機能を示す説明図である。
【図５】上記実施形態における微小タイル状素子の製造方法の第１工程を示す概略断面図である。
【図６】同上の製造方法の第２工程を示す概略断面図である。
【図７】同上の製造方法の第３工程を示す概略断面図である。
【図８】同上の製造方法の第４工程を示す概略断面図である。
【図９】同上の製造方法の第５工程を示す概略断面図である。
【図１０】同上の製造方法の第６工程を示す概略断面図である。
【図１１】同上の製造方法の第７工程を示す概略断面図である。
【図１２】同上の製造方法の第８工程を示す概略断面図である。
【図１３】同上の製造方法の第９工程を示す概略断面図である。
【図１４】同上の製造方法の第１１工程を示す概略断面図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【図１７】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…微小タイル状素子、１０ａ，１０ｂ…波長多重光通信用分波器、１１…ブロック、１３…ガイド、３０…分波器、３１…入力導波路、３２…入力側スラブ導波路、３３…アレー導波路回折格子、３４…出力側スラブ導波路、３５…出力導波路、４０…棒状部材、５１，５２，５３…光導波路、ＤＭ，ＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３…ダイクロックミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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