(57)【要約】【課題】粘度が高い紫外線硬化性樹脂などの放射線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって塗布して、光透過層を形成する場合にも、気泡の混入がない光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供する。【解決手段】回転可能なステージ２１に、データ記録層３を有する直径約１２０ｍｍの円板状のデータ記録ユニット５０をセットし、ステージ２１を低速で回転させつつ、円板状のデータ記録ユニット５０上に、ノズル３８から、紫外線硬化性樹脂を含む２．２ｇ以上の塗布液６０を吐出し、ステージ２１を高速で回転させて、塗布液６０を、円板状のデータ記録ユニット５０上に展開させ、円板状のデータ記録ユニット５０のほぼ全面に、約８０ないし１２０μｍの膜厚を有する光透過層４を形成することを特徴とする光記録ディスクの製造方法。【選択図】      図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能なステージに、データ記録層を有する直径約１２０ｍｍの円板状のデータ記録ユニットをセットし、前記ステージを低速で回転させつつ、前記円板状のデータ記録ユニット上に、ノズルから、２．２ｇ以上の塗布液を吐出し、前記ステージを高速で回転させて、前記塗布液を、前記円板状のデータ記録ユニット上に展開させ、前記円板状のデータ記録ユニットのほぼ全面に、約８０ないし１２０μｍの膜厚を有する光透過層を形成することを特徴とする光記録ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記ノズルから、２．４ｇ以上の塗布液を吐出することを特徴とする請求項１に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記塗布液が、２５℃において、３０００ないし１００００センチポイズの粘度を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記ノズルが、ニードル型バルブまたはプランジャーポンプ型バルブによって開閉されて、前記塗布液を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項５】
前記円板状のデータ記録ユニット上への前記塗布液の吐出が完了した時点で、前記円板状のデータ記録ユニットの中心から３０ｍｍ以内の領域に、前記塗布液が分布しているように、前記ステージの回転数を制御することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項６】
前記ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、前記塗布液を、前記円板状のデータ記録ユニット上に吐出することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項７】
前記円板状のデータ記録ユニット上への前記塗布液の吐出が完了した後、前記ステージを、１０００ないし３０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させて、前記円板状のデータ記録ユニット上に、前記塗布液を展開させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【請求項８】
前記塗布液が、液状の放射線硬化性樹脂を含んでいることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光記録ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録ディスクの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、粘度が高い紫外線硬化性樹脂などの放射線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって塗布して、光透過層を形成する場合にも、気泡の混入がない光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大容量のデジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録ディスクが広く用いられている。
【０００３】
これらの光記録ディスクは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができないタイプのいわゆるＲＯＭ型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記は可能であるが、データの書き換えができないタイプのいわゆる追記型光記録ディスクと、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能なタイプのいわゆる書き換え型光記録ディスクに大別することができる。
【０００４】
広く知られているように、ＲＯＭ型光記録ディスクにおいては、製造段階で、基板に形成されるプリピットにより、データが記録されるのが一般的であり、書き換え型光記録ディスクにおいては、たとえば、記録層の材料として、相変化材料が用いられ、その相状態の変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００５】
これに対して、追記型光記録ディスクにおいては、記録層の材料として、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、アゾ色素などの有機色素が用いられ、その化学的変化に基づく光学特性の変化を利用して、データが記録されるのが一般的である。
【０００６】
近年、ＤＶＤよりも、さらに長時間にわたって、記録・再生が可能な光記録ディスクの開発が要望されており、記録密度の向上が図られている。
【０００７】
光記録ディスクにおいて、記録密度を高くするためには、光記録ディスクに照射されるレーザ光のビームスポット径を小さくすることが必要であり、レーザ光のビームスポット径は、レーザ光の波長λとレンズの開口数ＮＡとの比に比例するため、波長λの短いレーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが要求される。
【０００８】
そのため、記録密度が高い次世代の光記録ディスクにおいては、波長λの短い青色レーザ光と、開口数ＮＡの大きいレンズを使用して、光記録ディスクにデータを記録することが提案されている。
【０００９】
しかしながら、開口数ＮＡの大きいレンズを用いる場合には、焦点距離が短くなり、ＣＤやＤＶＤのように、光透過性基板を介して、レーザ光を記録層に照射することができないため、記録層あるいは誘電体層上に、光透過層を形成し、光透過層を介して、レーザ光を記録層に照射することが必要になる。
【００１０】
一方、レンズの開口数ＮＡを大きくすると、光透過層の厚みムラに対する許容度が小さくなるため、光透過層を均一に設けることが要求される。
【００１１】
記録層あるいは誘電体層上に、光透過層を形成する方法として、信号面にグルーブなどが形成された基板上に形成された記録層あるいは誘電体層上に、スピンコーティング装置を用いて、液状の紫外線硬化性樹脂を塗布して、形成された塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在、提案されている光記録ディスクの光学的特性を満足させるためには、１００μｍ程度の厚さを有する光透過層を形成することが要求され、そのためには、塗布液として、粘度が高い液状の紫外線硬化性樹脂を用いることが必要になるが、粘度の高い液状の紫外線硬化性樹脂をスピンコーティングにより塗布する場合には、ノズルから、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出する際に、キャビテーションによって、液状の紫外線硬化性樹脂中に発生した気泡が、塗布膜中に捕捉され、紫外線硬化性樹脂を硬化させた後も、光透過層中に残存し、光透過層に欠陥が生じるという問題があった。
【００１３】
したがって、本発明は、粘度が高い紫外線硬化性樹脂などの放射線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって塗布して、光透過層を形成する場合にも、気泡の混入がない光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、データ記録層を有する直径約１２０ｍｍの円板状のデータ記録ユニットのほぼ全面に、スピンコーティングによって、約８０ないし１２０ｍｍの膜厚を有する光透過層を形成する場合には、塗布液の粘度にかかわらず、２．２ｇ以上の塗布液を、円板状のデータ記録ユニット上に吐出することによって、気泡の混入がない光透過層を形成することが可能になる一方で、円板状のデータ記録ユニット上に吐出される塗布液が２．２ｇ未満のときは、光透過層中に気泡が混入し、光透過層に欠陥が生じることを見出した。
【００１５】
したがって、本発明の前記目的は、回転可能なステージに、データ記録層を有する直径約１２０ｍｍの円板状のデータ記録ユニットをセットし、前記ステージを低速で回転させつつ、前記円板状のデータ記録ユニット上に、ノズルから、２．２ｇ以上の塗布液を吐出し、前記ステージを高速で回転させて、前記塗布液を、前記円板状のデータ記録ユニット上に展開させ、前記円板状のデータ記録ユニットのほぼ全面に、約８０ないし１２０μｍの膜厚を有する光透過層を形成することを特徴とする光記録ディスクの製造方法によって達成される。
【００１６】
本発明において、ノズルから吐出される塗布液の吐出量は、２．２ｇ以上であることを要し、２．４ｇ以上であることが好ましい。
【００１７】
本発明において、データ記録ユニットは、支持基板の表面上に、金属層および／または誘電体層、記録層ならびに誘電体層が積層された積層体、支持基板の表面上に、記録層および誘電体層が積層された積層体、支持基板の表面上に、記録層が積層された積層体、ならびに、支持基板の表面に、反射層が形成された支持基板を包含するものである。なお、支持基板の表面には、必要に応じて、グルーブやピットが形成される。
【００１８】
本発明において、好ましくは、塗布液が、２５℃において、３０００ないし１００００センチポイズの粘度を有している。
【００１９】
塗布液の粘度が、３０００センチポイズ未満の場合には、ステージの回転数を増大させると、光透過層の膜厚が、所望の膜厚よりも薄くなり、一方、８０ないし１２０μｍの膜厚の光透過層が形成されるように、ステージの回転数を制限すると、塗布液がデータ記録ユニットの全面に展開されず、周縁部に光透過層が形成されなかったり、光透過層中に、気泡が混入し、好ましくない。また、塗布液の粘度が１００００センチポイズを越えると、塗布液を、円板状のデータ記録ユニット上に、均一に展開することが困難になり、均一な膜厚を有する光透過層を形成することが困難になるため、好ましくない。
【００２０】
本発明の好ましい実施態様においては、前記ノズルが、ニードル型バルブまたはプランジャーポンプ型バルブによって開閉され、前記塗布液を吐出するように構成されている。
【００２１】
ノズルが、ニードル型バルブまたはプランジャーポンプ型バルブによって開閉されて、塗布液を吐出する場合には、キャビテーションによって、塗布液中に、気泡が発生しやすいが、本発明によれば、ノズルが、ニードル型バルブまたはプランジャーポンプ型バルブによって開閉されて、データ記録ユニット上に、塗布液を吐出し、展開させて、光透過層を形成する場合にも、気泡の混入がない光透過層を形成することが可能になる。
【００２２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記円板状のデータ記録ユニット上への前記塗布液の吐出が完了した時点で、前記円板状のデータ記録ユニットの中心から３０ｍｍ以内の領域に、前記塗布液が分布しているように、前記ステージの回転数を制御するように構成されている。
【００２３】
粘度が高い塗布液を、高速で回転している円板状のデータ記録ユニット上へ吐出するときは、吐出されつつある塗布液に、エアが巻き込まれやすく、塗布膜中に、しばしば、気泡が発生するが、本発明の好ましい実施態様によれば、円板状のデータ記録ユニット上への塗布液の吐出が完了した時点で、円板状のデータ記録ユニットの中心から３０ｍｍ以内の領域に、塗布液が吐出しているように、ステージの回転数を制御するように構成されているから、吐出されつつある塗布液に、エアが巻き込まれることに起因して、光透過層中に、気泡が混入することを効果的に防止することが可能になる。
【００２４】
本発明の好ましい実施態様においては、前記ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、前記塗布液を、前記円板状のデータ記録ユニット上に吐出するように構成されている。
【００２５】
粘度が高い塗布液を、高速で回転している円板状のデータ記録ユニット上へ吐出するときは、吐出されつつある塗布液に、エアが巻き込まれやすく、塗布膜中に、しばしば、気泡が発生するが、本発明の好ましい実施態様によれば、ステージを、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、塗布液を、円板状のデータ記録ユニット上に吐出するように構成されているから、吐出されつつある塗布液に、エアが巻き込まれることに起因して、光透過層中に、気泡が混入することを効果的に防止することが可能になる。
【００２６】
本発明の好ましい実施態様においては、前記円板状のデータ記録ユニット上への前記塗布液の吐出が完了した後、前記ステージを、１０００ないし３０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させて、前記データ記録ユニット上に、前記塗布液を展開させるように構成されている。
【００２７】
本発明の好ましい実施態様においては、前記塗布液が、液状の放射線硬化性樹脂を含んでいる。
【００２８】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記塗布液が、液状の紫外線硬化性樹脂または電子線硬化性樹脂を含んでいる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００３０】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図であり、図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【００３１】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスク１は、ポリカーボネートなどによって形成された円形の基板２上に、スパッタリングなどによって形成された記録層３と、記録層３上に形成された光透過層４を備えている。
【００３２】
図２に示されるように、基板２の光透過層４が形成されるべき側の表面には、基板２を射出成形によって形成する際に、スタンパによって、プリグルーブ５が形成されている。
【００３３】
光透過層４は、基板２に形成された記録層３上に、スピンコーティングによって、液状の紫外線硬化性樹脂の塗布膜を形成し、塗布膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂を硬化させて、形成されている。
【００３４】
図１に示されるように、光記録ディスク１の中央部には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのセンターホール６が形成され、センターホール６の外側には、光記録ディスク１を記録・再生機にセットするためのクランプ領域７が形成されており、クランプ領域７には、記録層３および光透過層４が形成されてはいない。
【００３５】
図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の略斜視図であり、図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の略縦断面図である。
【００３６】
図３および図４に示されるように、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるスピンコーティング装置１０は、その径が光記録ディスク１の径とほぼ等しいステージ２１と、ステージ２１の中央部に設けられた第１の突出部２２と、第１の突出部２２の中央部に設けられた第２の突出部２３とを備えている。
【００３７】
ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３は、ステージモータ（図示せず）によって、一体的に回転するように構成されている。
【００３８】
図３および図４に示されるように、第１の突出部２２は、基板２上に、記録層３が形成されたデータ記録ユニットのクランプ領域７に相当する領域が載置される部分であり、その表面には、複数の第１の吸気口２４が形成されている。複数の第１の吸気口２４には、第１の吸気ポンプ（図示せず）が接続され、第１の吸気機構を作動することによって、第１の突出部２２に載置されたデータ記録ユニットが、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定されるように構成されている。
【００３９】
第２の突出部２３は、径が製造されるべき光記録ディスク１のセンターホール６の径に対応しており、第１の突出部２２にデータ記録ユニットを載置したときに、データ記録ユニットのセンターホール６に、第２の突出部２３が挿入されるように構成されている。
【００４０】
図３および図４に示されるように、第２の突出部２３の中央部には、第２の吸気口２５が形成され、第２の吸気口２５には、第２の吸気ポンプ（図示せず）が接続されている。
【００４１】
図３および図４には図示されていないが、スピンコーティング装置１０は、さらに、先端に、柔軟性を有する吸引パッドを備え、データ記録ユニットのクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットし、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１のクランプ領域７を吸引して、保持し、スピンコーティング装置１０から取り出す第１のアームと、キャップを保持して、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置に載置するとともに、キャップを、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂の塗布膜が形成されて、生成された光記録ディスク１から取り去る第２のアームと、紫外線硬化性樹脂を、キャップ上に吐出するノズルを備えている。
【００４２】
図５は、スピンコーティング装置１０の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【００４３】
図５に示されるように、スピンコーティング装置１０の制御系は、スピンコーティング装置１０全体の動作を制御するコントロールユニット３０を備えている。
【００４４】
また、スピンコーティング装置１０の駆動系は、ステージ２１を回転させるステージモータ３１と、第１の吸気ポンプ３２と、第２の吸気ポンプ３３と、データ記録ユニットを吸引して、搬送する第１のアーム３４を移動させる第１のアーム移動手段３５と、キャップを把持して、搬送する第２のアーム３６を移動させる第２のアーム移動手段３７と、ノズル３８を、キャップ上に紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２１から退避した退避位置との間で、移動させるノズル移動手段３９と、ノズル３８を開閉するバルブを駆動するプランジャーポンプ４０と、紫外線ランプ４１を備えている。
【００４５】
以上のように構成されたスピンコーティング装置１０によって、光記録ディスク１を製造するにあたっては、まず、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第１の駆動信号が出力され、基板２と、スパッタリングなどによって、基板２上に形成された記録層３を備えたデータ記録ユニットが、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）に吸引されて、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００４６】
データ記録ユニットは、第１のアーム３４によって、そのクランプ領域７が吸引されて、搬送され、記録層３が上方に位置し、センターホール６に、第２の突出部２３が嵌合するように、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされる。
【００４７】
データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上にセットされると、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に退避信号が出力されて、第１のアーム３４が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第１の吸気ポンプ３２に作動信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２が作動され、第１の突出部２２に載置された基板２が、第１の突出部２２の表面に吸引され、ステージ２１上に固定される。
【００４８】
図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置１０のステージ２１上に固定された状態を示す略断面図である。
【００４９】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第１の駆動信号が出力されて、キャップが、第２のアーム３６によって、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置に載置される。
【００５０】
図７は、本実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップの略斜視図であり、図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【００５１】
図７および図８に示されるように、平面形状が円形で、側面の投影形状が略台形の傘部５６と、傘部５６の頂面に形成され、傘部５６の頂面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる支持軸５７と、傘部５６の底面に形成され、傘部５６の底面の中心から、傘部５６の軸線方向に延びる略円柱状の突起部５８を備えている。
【００５２】
図７および図８に示されるように、スピンコーティングによって、紫外線硬化性樹脂をデータ記録ユニット５０の表面上に塗布するときに、紫外線硬化性樹脂が、毛管現象によって、キャップ５５の傘部５６の底面と基板２の間に入り込むことを防止するため、キャップ５５の傘部５６の底面には、凹部５６ａが形成されている。
【００５３】
キャップ５５は、たとえば、ＳＵＳ４４０Ｃなどの金属によって形成されている。
【００５４】
傘部５６の径は、製造すべき光記録ディスク１のセンターホール６の径よりも大きく、かつ、製造すべき光記録ディスク１のクランプ領域７の外径（記録領域の内径）以下に設定される。本実施態様においては、傘部５６の頂面の径が３６ｍｍのキャップ５５が用いられている。
【００５５】
また、キャップ５５の突起部５８は、その径は、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５の内径よりもわずかに小さくなるように形成されている。
【００５６】
キャップ５５は、第２のアーム３６によって、支持軸５７が把持されて、搬送されるように構成され、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上に載置されたときに、突起部５８が、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合し、所定の位置に位置決めされるように構成されている。
【００５７】
図９は、キャップ５５が、ステージ２１上にセットされたデータ記録ユニット５０上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【００５８】
ここに、キャップ５５は、傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、データ記録ユニット５０上にセットされている。
【００５９】
キャップ５５が、データ記録ユニット５０上にセットされると、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、退避信号が出力されて、第２のアーム３６が、ステージ２１上から退避され、同時に、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３が作動され、スピンコーティング装置１０の第２の吸気口２５に嵌合しているキャップ５５の突起部５８が吸引されて、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定される。
【００６０】
第２の吸気ポンプ３３が作動され、キャップ５５が、データ記録ユニット５０上に固定されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第１の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１が作動され、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３が、一体となって、低速で、たとえば、１３ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。その結果、ステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０と、データ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５も、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３とともに、一体的に、低速で、たとえば、１３ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００６１】
次いで、コントロールユニット３０から、ノズル移動手段３９に第１の駆動信号が出力され、ノズル３８が、データ記録ユニット５０上に固定されたキャップ５５上に、液状の紫外線硬化性樹脂を吐出可能な吐出位置に移動され、さらに、コントロールユニット３０から、プランジャーポンプ４０に駆動信号が出力されて、図１０に示されるように、ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出される。
【００６２】
紫外線硬化性樹脂６０の粘度が、３０００センチポイズ未満の場合には、ステージ２１の回転数を増大させると、光透過層４の膜厚が、所望の膜厚よりも薄くなってしまい、一方、８０ないし１２０μｍの膜厚の光透過層４が形成されるように、ステージ２１の回転数を制限すると、紫外線硬化性樹脂６０がデータ記録ユニット５０の全面に展開されず、周縁部に塗布膜が形成されなかったり、光透過層４中に、気泡が混入し、また、紫外線硬化性樹脂６０の粘度が１００００センチポイズを越えると、紫外線硬化性樹脂６０を、データ記録ユニット５０の全面に、均一に展開することが困難になり、均一な膜厚を有する光透過層４を形成することが困難になるため、本実施態様においては、５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されるように構成されている。
【００６３】
キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０は、ステージ２１が、１３ｒ．ｐ．ｍ．の低速で回転されているため、キャップ５５の近傍に、展開される。
【００６４】
ステージ２１が、１３ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、数回にわたって、回転され、所定の量の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されると、コントロールユニット３０から、プランジャーポンプ４９に駆動停止信号が出力されて、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が停止される。
【００６５】
塗布液の粘度にかかわらず、データ記録ユニット５０上に吐出される塗布液の吐出量が２．２ｇ未満の場合には、光透過層４中に気泡が混入して、光透過層４に欠陥が生じ、一方、データ記録ユニット５０上に吐出される塗布液の吐出量が２．２ｇ以上のときは、気泡の混入がない光透過層を形成することが可能になることが、本発明者によって確認されており、本実施態様においては、２．４ｇの液状の紫外線硬化性樹脂６０が、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出されるように構成されている。
【００６６】
本実施態様においては、ノズル３８からの液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が完了した時点で、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、データ記録ユニット５０の中心から３０ｍｍの範囲内に分布している。
【００６７】
コントロールユニット３０から、プランジャーポンプ４９に駆動停止信号が出力されるのと同時に、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第２の駆動信号が出力されて、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット３０およびデータ記録ユニット３０上に固定されているキャップ５５が、一体として、高速で、たとえば、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転される。
【００６８】
その結果、キャップ５５の傘部５６の頂面に吐出され、円形のデータ記録ユニット５０の中心から３０ｍｍの範囲内に展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０が、ステージ２１の回転によって生じた遠心力により、円形のデータ記録ユニット５０の周縁部に向かって、データ記録ユニット５０の記録層３上を展開され、図１１に示されるように、所定の厚さ、たとえば、約１００μｍの膜厚を有する紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、円形のデータ記録ユニット５０の記録層３上に形成される。
【００６９】
データ記録ユニット５０の記録層３上に、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が形成されると、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に、第３の駆動信号が出力されるとともに、紫外線ランプ４１に駆動信号が出力される。
【００７０】
その結果、ステージモータ３１によって、ステージ２１、第１の突出部２２および第２の突出部２３ならびステージ２１に固定されているデータ記録ユニット５０およびデータ記録ユニット５０上に固定されているキャップ５５が、一体的に、中程度の速度で回転されるとともに、紫外線ランプ４１がオンされて、図１２に示されるように、紫外線４２が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００７１】
紫外線４１が照射されて、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が、ある程度、硬化されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４１に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４１がオフされるとともに、コントロールユニット３０から、ステージモータ３１に駆動停止信号が出力されて、ステージモータ３１の作動が停止され、さらに、コントロールユニット３０から、第２の吸気ポンプ３３に作動停止信号が出力されて、第２の吸気ポンプ３３の作動が停止される。
【００７２】
次いで、コントロールユニット３０から、第２のアーム移動手段３７に、第２の駆動信号が出力され、第２のアーム３６により、キャップ５５の支持軸５７が把持されて、キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られる。
【００７３】
キャップ５５がデータ記録ユニット５０上から取り去られると、コントロールユニット３０から、再び、紫外線ランプ４１に駆動信号が出力されて、紫外線ランプ４１がオンされ、紫外線４２が、データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に照射される。
【００７４】
データ記録ユニット５０の記録層３上に形成された紫外線硬化性樹脂６０の薄膜が完全に硬化され、光透過層４が形成されて、光記録ディスク１が生成されると、コントロールユニット３０から、紫外線ランプ４１に駆動停止信号が出力されて、紫外線ランプ４１がオフされるとともに、第１の吸気ポンプ３２に駆動停止信号が出力されて、第１の吸気ポンプ３２の作動が停止される。
【００７５】
次いで、コントロールユニット３０から、第１のアーム移動手段３５に、第２の駆動信号が出力されて、第１のアーム３４の吸引パッド（図示せず）によって、光記録ディスク１のクランプ領域７が吸引され、第１のアーム３４により、光記録ディスク１が、スピンコーティング装置１１から取り出される。
【００７６】
本実施態様によれば、ステージ２１を、１３ｒ．ｐ．ｍ．の低速で回転させつつ、プランジャーポンプ４０を駆動して、ノズル３８から、２．４ｇの液状の紫外線硬化性樹脂６０を、直径約１２０ｍｍの円形のデータ記録ユニット５０上に吐出させ、その後に、ステージ２１を、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の高速で、回転して、円形のデータ記録ユニット５０上に吐出された液状の紫外線硬化性樹脂６０を、円形のデータ記録ユニット５０上に、展開して、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成し、紫外線４２によって、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させて、光透過層４を形成しているから、プランジャーポンプ４０を駆動して、ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出する際に、キャビテーションによって、液状の紫外線硬化性樹脂６０中に発生した気泡が、塗布膜中に捕捉されて、紫外線硬化性樹脂６０を硬化させた後も残存し、光透過層中に、気泡が混入することを効果的に防止することが可能になる。
【００７７】
また、高速で回転している円形のデータ記録ユニット５０上に、高粘度の液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出すると、吐出されつつある液状の紫外線硬化性樹脂６０に、エアが巻き込まれ、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜中に、しばしば、気泡が発生するが、本実施態様によれば、ステージ２１を、１３ｒ．ｐ．ｍ．の低速で回転させつつ、プランジャーポンプ４０を駆動して、ノズル３８から、液状の紫外線硬化性樹脂６０を、円形のデータ記録ユニット５０上に吐出させているから、吐出されつつある液状の紫外線硬化性樹脂６０に、エアが巻き込まれることに起因して、光透過層４中に、気泡が混入することを効果的に防止することが可能になる。
【００７８】
【実施例】
以下、本発明の効果を、より一層明らかにするため、実施例を掲げる。
【００７９】
実施例１
図１３に示されるように、平面形状が円形で、側面の投影形状が台形をなし、頂面の径が２３ｍｍ、底面の径が３６ｍｍで、高さが２ｍｍの傘部５６を備え、傘部５６の頂面の中央に、４ｍｍの径を有する把持軸５７が形成されたキャップ５５を用い、キャップ５５の傘部５６の頂面上に、径が２ｍｍのノズルから、３８００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出して、スピンコーティング装置によって、径が１２０ｍｍの円形の基板２に形成された記録層３上に、光透過層４を形成した。
【００８０】
まず、キャップ５５を、その傘部５６の周縁部が、基板２の周縁部の同心円上に位置するように、記録層３上にセットし、次いで、スピンコーティング装置のステージ２１を、１３ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、プランジャーポンプ４０を駆動して、キャップ５５の傘部５６の頂面の中心から４ｍｍの位置に、ノズル３８から、２．２ｇの液状の紫外線硬化性樹脂６０を、０．１６ｇ／秒の吐出速度で、吐出した。
【００８１】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【００８２】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了後、スピンコーティング装置のステージ２１の回転数を、７秒間かけて、１３ｒ．ｐ．ｍ．から２０００ｒ．ｐ．ｍ．に増大させ、２０００ｒ．ｐ．ｍ．の速度で、５．１秒間にわたって、スピンコーティング装置のステージ２１を回転させて、キャップ５５の近傍に展開された液状の紫外線硬化性樹脂６０を、基板２に形成された記録層３上に展開させ、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を形成した。
【００８３】
さらに、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜に、紫外線４２を照射し、紫外線硬化性樹脂６０の薄膜を硬化させて、光透過層４を形成し、光記録ディスクサンプル＃１を作製した。
【００８４】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃１を作製した。
【００８５】
実施例２
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．３ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃２を作製した。
【００８６】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【００８７】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃２を作製した。
【００８８】
実施例３
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．８ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃３を作製した。
【００８９】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【００９０】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃３を作製した。
【００９１】
比較例１
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を１．８ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃１を作製した。
【００９２】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃１を作製した。
【００９３】
比較例２
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．０ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃１を作製した。
【００９４】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃２を作製した。
【００９５】
目視および光学顕微鏡によって、こうして作製された光記録ディスクサンプル＃１ないし＃３ならびに光記録ディスク比較サンプル＃１および＃２の光透過層４を観察したところ、光記録ディスク比較サンプル＃１にあっては、基板２の周縁部に、光透過層４が形成されていない部分が認められ、光記録ディスク比較サンプル＃２にあっては、光透過層４に放射状のムラが発生し、光透過層４の周縁部に、気泡の混入が認められた。
【００９６】
これに対し、光記録ディスクサンプル＃１ないし＃３にあっては、光透過層４中に、気泡の混入は認められなかった。
【００９７】
実施例４
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．２ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃４を作製した。
【００９８】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【００９９】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃４を作製した。
【０１００】
実施例５
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．３ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃５を作製した。
【０１０１】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃５を作製した。
【０１０２】
実施例６
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．４ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃６を作製した。
【０１０３】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【０１０４】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃６を作製した。
【０１０５】
実施例７
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．９ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃７を作製した。
【０１０６】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【０１０７】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃７を作製した。
【０１０８】
比較例３
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を１．４ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃３を作製した。
【０１０９】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃３を作製した。
【０１１０】
比較例４
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を１．６ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃４を作製した。
【０１１１】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃４を作製した。
【０１１２】
比較例５
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を１．８ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃５を作製した。
【０１１３】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃５を作製した。
【０１１４】
比較例６
５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．０ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃３を作製した。
【０１１５】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃６を作製した。
【０１１６】
目視および光学顕微鏡によって、こうして作製された光記録ディスクサンプル＃４ないし＃７および光記録ディスク比較サンプル＃３ないし＃６の光透過層４を観察したところ、光記録ディスク比較サンプル＃３および＃４にあっては、基板２の周縁部に、光透過層４が形成されていない部分が認められ、光記録ディスク比較サンプル＃５および＃６にあっては、光透過層４に放射状のムラが発生し、光透過層４の周縁部に、気泡の混入が認められた。
【０１１７】
これに対し、光記録ディスクサンプル＃４ないし＃７にあっては、光透過層４中に、気泡の混入は認められなかった。
【０１１８】
実施例８
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．４ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃８を作製した。
【０１１９】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【０１２０】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃８を作製した。
【０１２１】
実施例９
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．５ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃９を作製した。
【０１２２】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【０１２３】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃９を作製した。
【０１２４】
実施例１０
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．７ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスクサンプル＃１０を作製した。
【０１２５】
液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出完了時には、液状の紫外線硬化性樹脂６０は、径が１２０ｍｍの円形の基板２の中心から３０ｍｍ以内の領域に、分布していた。
【０１２６】
同様にして、合計５つの光記録ディスクサンプル＃１０を作製した。
【０１２７】
比較例７
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を１．８ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃７を作製した。
【０１２８】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃７を作製した。
【０１２９】
比較例８
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．０ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃８を作製した。
【０１３０】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃８を作製した。
【０１３１】
比較例９
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．１ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃９を作製した。
【０１３２】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃９を作製した。
【０１３３】
比較例１０
７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を用い、液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出量を２．３ｇにした以外は、実施例１と同様にして、光記録ディスク比較サンプル＃１０を作製した。
【０１３４】
同様にして、合計５つの光記録ディスク比較サンプル＃１０を作製した。
【０１３５】
目視および光学顕微鏡によって、こうして作製された光記録ディスクサンプル＃８ないし＃１０および光記録ディスク比較サンプル＃７ないし＃１０の光透過層４を観察したところ、光記録ディスク比較サンプル＃７および＃８にあっては、基板２の周縁部に、光透過層４が形成されていない部分が認められ、光記録ディスク比較サンプル＃９にあっては、光透過層４に放射状のムラが発生し、光透過層４の周縁部に、気泡の混入が認められた。また、光記録ディスク比較サンプル＃１０にあっては、光記録層４の周縁部に、気泡の混入が認められる場合と、気泡の混入が認められない場合があった。
【０１３６】
これに対して、光記録ディスクサンプル＃８ないし＃１０にあっては、光透過層４中に、気泡の混入は認められなかった。
【０１３７】
実施例１ないし１０および比較例１ないし１０から、データ記録ユニット５０上に、気泡の混入がない光透過層４を形成するためには、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度の如何にかかわらず、２．２ｇ以上の液状の紫外線硬化性樹脂６０をデータ記録ユニット５０上に吐出することが必要不可欠であり、液状の紫外線硬化性樹脂６０の粘度が７２００センチポイズの場合には、２．４ｇ以上の液状の紫外線硬化性樹脂６０をデータ記録ユニット５０上に吐出することが必要であることがわかった。
【０１３８】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１３９】
たとえば、前記実施態様、前記実施例および比較例においては、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５を用いているが、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５を用いることは必ずしも必要でなく、傘部５６が平坦な頂面または周縁部と同心円をなし、円周方向に均一な凹部が形成された頂面を有していれば、傘部５６の側面が曲面によって形成されていてもよく、また、円板状の傘部５６を備えたキャップ５５を用いることもできる。
【０１４０】
また、前記実施態様、前記実施例および比較例においては、側面の投影形状が略台形状の傘部５６を備えたキャップ５５を用い、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出するように構成されているが、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出することは必ずしも必要でなく、ノズル３８から、径が１２０ｍｍの円形のデータ記録ユニット５０上への液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が完了した時点で、径が１２０ｍｍの円形のデータ記録ユニット５０の中心から３０ｍｍ以内の領域に、液状の紫外線硬化性樹脂６０が分布しているように、ステージ２１の回転数が制御されれば、キャップ５５を用いることなく、データ記録ユニット５０の記録層３上に、液状の紫外線硬化性樹脂６０を直接吐出することもできる。
【０１４１】
さらに、前記実施態様においては、５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に塗布して、光透過層４を形成し、前記実施例においては、３８００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０、５４００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０および７２００センチポイズの粘度を有する液状の紫外線硬化性樹脂６０を、スピンコーティングによって、記録層３上に塗布して、光透過層４を形成しているが、３０００ないし１００００センチポイズの粘度を有していれば、いかなる粘度の液状の紫外線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することができる。
【０１４２】
また、前記実施態様、前記実施例および比較例においては、スピンコーティング装置のステージ２１を、１３ｒ．ｐ．ｍ．の速度で回転させつつ、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出しているが、キャップ５５の傘部５６の頂面に、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、１３ｒ．ｐ．ｍ．に保持することは必ずしも必要でなく、ノズル３８から、データ記録ユニット５０上への液状の紫外線硬化性樹脂６０の吐出が完了した時点で、データ記録ユニット５０の中心から３０ｍｍ以内の領域に、液状の紫外線硬化性樹脂６０が分布しているように、ステージ２１の回転数が制御されればよく、具体的には、液状の紫外線硬化性樹脂６０を吐出する際に、スピンコーティング装置のステージ２１の回転速度を、５ないし１００ｒ．ｐ．ｍ．、好ましくは１０ないし５０ｒ．ｐ．ｍ．の範囲内に保持すればよい。
【０１４３】
さらに、前記実施態様、実施例および比較例においては、プランジャーポンプ４０を用いて、ノズル３８のバルブを開閉し、液状のの紫外線硬化性樹脂６０をノズル３８から吐出しているが、プランジャーポンプ４０を用いて、ノズル３８のバルブを開閉し、液状のの紫外線硬化性樹脂６０をノズル３８から吐出することは必ずしも必要でなく、ニードル型バルブによって、ノズル３８を開閉して、液状の紫外線硬化性樹脂６０をノズル３８から吐出するように構成することもできる。
【０１４４】
また、前記実施態様および前記実施例においては、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成しているが、紫外線硬化性樹脂６０によって、光透過層４を形成することは必ずしも必要でなく、紫外線硬化性樹脂に代えて、電子線硬化性樹脂を用いて、光透過層４を形成することもできる。
【０１４５】
【発明の効果】
本発明によれば、粘度が高い紫外線硬化性樹脂など放射線硬化性樹脂を、スピンコーティングによって塗布して、光透過層を形成する場合にも、気泡の混入がない光透過層を形成することができる光記録ディスクの製造方法を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法によって製造されるべき光記録ディスクの略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に使用されるスピンコーティング装置の略斜視図である。
【図４】図４は、図３に示されたスピンコーティング装置の略縦断面図である。
【図５】図５は、スピンコーティング装置の制御系および駆動系のブロックダイアグラムである。
【図６】図６は、データ記録ユニットが、スピンコーティング装置のステージ上に固定された状態を示す略断面図である。
【図７】図７は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録ディスクの製造方法に用いられるキャップの略斜視図である。
【図８】図８は、図７に示されたキャップの略中央断面図である。
【図９】図９は、キャップが、ステージ上にセットされたデータ記録ユニット上の所定の位置にセットされた状態を示す略断面図である。
【図１０】図１０は、紫外線硬化性樹脂が、スポッティングノズルから、キャップの傘部の頂面に吐出された状態を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、所定の膜厚を有する紫外線硬化性樹脂の薄膜が、データ記録ユニットの記録層上に形成された状態を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、データ記録ユニットの記録層上に形成された紫外線硬化性樹脂の薄膜に、紫外線が照射されている状態を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、実施例に用いたキャップの側面の略投影図である。
【符号の説明】
１  光記録ディスク
２  基板
３  記録層
４  光透過層
５  プリグルーブ
６  センターホール
７  クランプ領域
１０  スピンコーティング装置
２１  ステージ
２２  第１の突出部
２３  第２の突出部
２４  第１の吸気口
２５  第２の吸気口
３０  コントロールユニット
３１  ステージモータ
３２  第１の吸気ポンプ
３３  第２の吸気ポンプ
３４  第１のアーム
３５  第１のアーム移動手段
３６  第２のアーム
３７  第２のアーム移動手段
３８  ノズル
３９  ノズル移動手段
４０  プランジャーポンプ
４１  紫外線ランプ
４２  紫外線
５０  データ記録ユニット
５５  キャップ
５６  キャップの傘部
５７  キャップの把持軸
５８  キャップの突起部
６０  紫外線硬化性樹脂
【図１】
2004164798.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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