(57)【要約】【課題】簡単な構成で塵埃の除去、及び化学物質、浮遊菌、ウィルスなどの分解・除去が可能な、空気浄化方法及びそれを用いたエアシャワー装置を提供することを目的とする。【解決手段】第１の空間と第２の空間に挟まれて隣接した第３の空間において、前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口が接続された空気循環回路のダクト内にイオン発生器の放電によって浮遊菌や化学物質を分解・除去できる正イオンと負イオンを発生させ、送風手段により回路内を循環させることで、前記第３の空間内の浮遊菌または化学物質を特別なフィルタを用いずに分解・除去できる。【選択図】　　　図５
2004028532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の空間と第２の空間に挟まれて隣接した第３の空間において、
前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口を接続するダクトと、
送風手段と、フィルターによって第１の空気循環回路が形成され、
前記第３の空間内の浮遊菌や化学物質を除去する為に、放電により発生した正イオンと負イオンを用いたことを特徴とする空気浄化方法。
【請求項２】
第１の空間と第２の空間に挟まれて隣接した第３の空間において、
前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口を接続するダクトと、
送風手段と、フィルターによって第１の空気循環回路が形成され、
浮遊菌や化学物質を除去するために、放電によって正イオンと負イオンを放出するイオン発生器を備えたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
前記イオン発生器の電極部分は、前記第３の空間の吐出し口に設けられ、
さらに、前記第３の空間から前記電極が見えるように配置されていることを特徴とする請求項２に記載のエアシャワー装置。
【請求項４】
前記空気循環回路において、
前記吐き出し口は、前記第３の空間の天面に、前記吸い込み口は底面に設けたことを特徴とする請求項２または３に記載のエアシャワー装置。
【請求項５】
前記第１の空間、前記第２の空間、第３の空間において、
空間内空気清浄度は、第１の空間≧第３の空間≧第２の空間であることを特徴とする請求項２乃至４に記載のエアシャワー装置。
【請求項６】
前記第１の空気循環回路において、
前記イオン発生器は、前記第３の空間に対して上流側、
さらに、前記送風手段及びフィルタに対して下流側に設けられたことを特徴とする請求項２乃至５に記載のエアシャワー装置。
【請求項７】
前記正イオンは、Ｈ＋（Ｈ２Ｏ）ｍ（ｍは任意の自然数）、前記負イオンはＯ２−（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）であることを特徴とする請求項２乃至６に記載のエアシャワー装置。
【請求項８】
前記第３の空間は、人感センサを備え、
前記人感センサの検知結果に基づいて、前記イオン発生器の駆動を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項２乃至７に記載のエアシャワー装置。
【請求項９】
前記第３の空間において、
前記第１の空気循環回路とは別の第２の空気循環回路を備え、
前記第２の空気循環回路に構成される吐き出し口は前記第３の空間の側壁に備えたことを特徴とする請求項２乃至８に記載のエアシャワー装置。
【請求項１０】
前記人感センサの検出結果に基づいて、
前記第３の空間に人がいない場合は、前記第１の空気循環回路を駆動し、
前記第３の空間に人がいる場合は、前記第１の空気循環回路及び前記第２の空気循環回路を駆動することを特徴とする請求項８及び９に記載のエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造工場、液晶ディスプレイ製造工場、食品工場、病院などにおける、クリーンルーム（無菌室を含む）に隣接したエアーシャワー室及びその空気浄化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体製造工場、液晶ディスプレイ製造工場、食品工場などは塵埃の少ない比較的清浄な空間での生産が好まれており、特に半導体工場や医薬品工場などは、その製造に際して、塵埃だけでなく製造品の信頼性にも悪影響を与える化学物質をも除去した、極めて清浄度の高い環境が求められている。
【０００３】
ここで、クリーンルーム内における塵埃の最大発生源は、ルーム内作業者であると言われているが、作業者がクリーンルームへ入室するには、防塵服や、帽子、手袋、シューズ、マスク、ゴーグルなどを着衣・装着した後、それらに付着した塵埃をエアシャワー装置によって除去することが義務付けられている。
【０００４】
このようなエアーシャワー装置は、一般的には、クリーンルームと防塵服等を着衣する為の前室との間に設置され、エアーを噴射することによって防塵服になどに付着した塵埃を空気中に拡散させ、これにより塵埃の除去を行うものである。
【０００５】
図１は、従来の一般的なエアーシャワー装置の構造例を示す正面図、側面図及び上面図である。これらの図において、１ａはプレフィルター、２ａはターボファン、３ａはＨＥＰＡフィルター等からなる高性能集塵フィルター、４ａはエアー吹き出し口、５ａは入室用のドアをそれぞれ示している。
【０００６】
全ての人はクリーンルームに入室の際、衣服等に付着した塵埃を落とすためにエアーシャワー室Ｓに入室する。入室すると、ターボファン２ａが動作し、クリーンエアーがエアー吹き出し口４ａから吹き出される。クリーンエアーの流れは、まずプレフィルター１ａを通過し、ターボファン２ａによってエアーが加圧され、高性能集塵フィルタ３ａを経由して、エアー吹き出し口４ａから高速のクリーンエアーが吹き出してくる。そして、吹き出したクリーンエアーは人体の衣服等に付着した塵埃を除去し、再びプレフィルタ１ａに吸い込まれて循環する。
【０００７】
また、特開平１１−６３６０５号公報には、無菌室に隣接して配設されるエアーシャワー室の換気方法が開示されている。エアーシャワー室は無菌室と同じように、一定の期間ごとに、ホルマリン燻蒸等を実施して、無菌な状態に保持する必要があるが、ホルマリン燻蒸した後、エアーシャワー室にはホルマリン臭が充満するため、短時間に効率よく排気する必要がある。図２はエアーシャワー室１１と無菌室１２を示す断面図である。エアーシャワー室１に吸入フィルター１６を介して無菌室１２内の空気を吸入し、さらに、排出フィルター１７を介してエアーシャワー室１１の空気を無菌室１２に排気して、エアーシャワー室１１を無菌室１２に換気しているが、特に化学的な方法でホルマリンを除去しておらず、さらにエアーシャワー室内空気を必ず隣接したクリーンルーム内に排気する為、清浄化する空間容積が大きくなり、ファン、フィルタ等の設備面でも大掛かりなものとなり、何よりエアシャワー室として独立した空気浄化システムを形成することができない。
【０００８】
従来の方法では、エアーシャワー室内でエアーを噴射することによって空気中に拡散した塵埃をＨＥＰＡフィルター等を用いて除去することはできるが、半導体装置等の生産性に影響を与えるガス状の化学物質などの分解除去には、活性炭に種々の薬品類を添加させてある、いわゆるケミカルフィルタや、イオン交換フィルタを用いることが必要である。一般的にケミカルフィルタは、前記ガス状の化学汚染物質と種々の薬品類との化学反応により化学物質を除去する構成としてあり、薬品の種類によって選択的にガス状物質を除去できる。
【０００９】
一方、イオン交換フィルタを用いる場合、空気中のガス状化学物質は、イオン交換フィルタに設けられたイオン交換繊維に接触し吸着される為、イオン交換フィルタを通過した空気はガス状化学物質の除去され、清浄な空気が得られる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記ケミカルフィルタを用いた場合、前記ガス状の化学汚染物質と種々の薬品類との化学反応により化学物質を除去する構成としてあるため、薬品類の種類によっては、使用に耐える湿度条件に制限があったり、薬品類自体が揮発してクリーンルーム内に流入して汚染化学物質となる場合もある。さらに、使用に耐え揮発しにくいものであっても、化学反応によって生じた反応生成物が、活性炭から遊離あるいは揮発してクリーンルーム内に流入してしまうという虞があった。
【００１１】
また、イオン交換フィルタの場合は、ケミカルフィルタのように、反応生成物を生じるわけではないので、反応生成物が揮発してクリーンルーム内に化学汚染物質を流入してしまう虞もなく、クリーンルーム内を清浄に保ちやすい。
【００１２】
しかしながら、イオン交換フィルタを用いた場合、汚染化学物質の吸着量、経時劣化により定期的にイオン交換フィルタ内のイオン交換繊維を交換する必要があり、半導体製造工場などの大規模な設備になると、イオン交換フィルタのコストや交換の手間など問題点も多い。
【００１３】
さらに、前記フィルタ方式では、除塵及び選択的な汚染化学物質の除去は可能であるが、化学物質の分解に加えて、浮遊菌、ウィルス、ＭＲＳＡなどの有害な菌を殺菌・除去することはできない。
【００１４】
そこで本発明は、前記課題を解決するため、簡単な構成で塵埃の除去、及び化学物質、浮遊菌、ウィルスなどの分解・除去が可能な、空気浄化方法及びそれを用いたエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決する為の手段】
上記課題を解決するために、本発明の空気浄化方法は第１の空間と第２の空間に挟まれて隣接した第３の空間において、前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口を接続するダクトと、送風手段と、フィルターによって空気循環回路が形成され、前記第３の空間内の浮遊菌や化学物質を除去する為に、放電によって発生した正イオンと負イオンを用いたことを特徴としている。
【００１６】
上記構成によれば、前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口が接続された空気循環回路のダクト内に、イオン発生器によって浮遊菌や化学物質を分解・除去できる正イオンと負イオンを発生させ、前記送風手段により回路内を循環させることで、前記第３の空間内の浮遊菌または化学物質を分解・除去できる。
【００１７】
本発明のエアシャワー装置は第１の空間と第２の空間に挟まれて隣接した第３の空間において、前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口を接続するダクトと、送風手段と、フィルターによって空気循環回路が形成され、さらに、浮遊菌や化学物質を除去する為に、放電により正イオンと負イオンを放出するイオン発生器とを備えたことを特徴としている。
【００１８】
上記構成によれば、前記第３の空間の吸い込み口と吐出し口が接続された空気循環回路のダクト内に、浮遊菌や化学物質を分解・除去できる正イオンと負イオンを放出するイオン発生器が設けてある。前記イオン発生器で前記正イオンと前記負イオンを発生させ、前記送風手段により回路内を循環させることで、前記第３の空間内の浮遊菌または化学物質を分解・除去できる。
【００１９】
１実施の形態では、前記イオン発生装置の電極部分は、前記第３の空間の吐出し口に設けられ、さらに前記第３の空間から前記電極が見えるように配置されていることを特徴としている。
【００２０】
上記構成によれば、イオン発生器にて生成された正イオンと負イオンは、前記送風手段によって発生した気流によって、前記第３の空間に吐出されるが、イオン発生器の電極部分は吐出し口に設けられているため、新鮮な正イオンと負イオンを前記第３の空間に放出でき、効率よく浮遊菌または化学物質を分解・除去できる。
【００２１】
１実施の形態では、前記空気循環回路において、前記吐き出し口は、前記第３の空間の天面に、前記吸い込み口は前記第３の空間の底面に設けたことを特徴としている。
【００２２】
上記構成によれば、前記空気循環回路の吐出し口は、前記第３の空間の天面に、前記吸い込み口は前記第３の空間の底面に設けられているため、イオン発生器により生成された正イオンと負イオンは第３の空間の天面から吐出され、底面へ吸い込まれる。したがって、気流はダウンフローとなり、正イオンと負イオンは略均一に第３の空間内に行き渡るとともに、気流方向と第３の空間内に飛散した塵埃の沈下方向は同方向となるため、効率よく第３の空間を浄化できる。
【００２３】
１実施の形態では、前記空気循環回路において、前記イオン発生器は、前記第３の空間に対して上流側、さらに、前記送風手段及びフィルタに対して下流側に設けられたことを特徴としている。
【００２４】
上記構成によれば、イオン発生器により生成された正イオンと負イオンは前記送風手段及びフィルタを通過することなく第３の空間に放出される為、正イオンと負イオンは送風手段及びフィルタとの衝突が避けられ、大部分が第３の空間内へ到達できるので効率よく浮遊菌・化学物質を分解・除去できる。
【００２５】
１実施の形態では、前記正イオンは、Ｈ＋（Ｈ２Ｏ）ｍ（ｍは任意の自然数）、前記負イオンはＯ２−（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）であることを特徴としている。
【００２６】
上記構成によれば、放電により前記イオン発生装置から発生した正イオンと負イオンは、正イオンとしてはＨ＋（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）、負イオンとしてはＯ２−（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）である。Ｈ＋（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）、Ｏ２−（Ｈ２Ｏ）ｎは最も安定に生成され、これらの正イオンと負イオンが空気中に同時に生成すると化学反応をし、活性種である過酸化水素Ｈ２Ｏ２又はヒドロキシラジカル・ＯＨを生成する。これらの酸化水素Ｈ２Ｏ２又はヒドロキシラジカル・ＯＨが極めて強力な活性を示し、これにより空気中の浮遊菌やウイルス、化学物質を分解・除去することが出来る。
【００２７】
１実施の形態では、前記第３の空間、または前記第２の空間は、人感センサを備え、前記人感センサの検知結果に基づいて、前記イオン発生器の駆動を制御することを特徴としている。
【００２８】
上記構成によれば、前記第３の空間は人感センサを備えている。このため、前記第３の空間に人が入室した場合はイオン発生器を駆動させ、人が入室していない場合は、イオン発生器を駆動させなくても良い。したがって、必要に応じてイオンを発生させることができ、イオン発生器の電極劣化を抑え長寿命化が可能となる。
【００２９】
１実施の形態では、前記第３の空間において、前記空気循環回路とは別の第２の空気循環回路を備え、前記第２の空気循環回路に構成される吐き出し口は前記第３の空間の側壁に備えたことを特徴としている。
【００３０】
上記構成によれば、第３の空間における空気循環回路を複数設けることができるので、浮遊菌と化学物質の分解・除去を目的とした正イオンと負イオンを含んだ空気循環回路と、流速の早い空気流で塵埃を飛散させることを目的とした空気循環回路を設けることで、目的に合わせて効率よく浄化を行うことができる。
【００３１】
１実施の形態では、前記人感センサの検出結果に基づいて、前記第３の空間に人がいない場合は、前記第１の空気循環回路を駆動し、前記第３の空間に人がいる場合は、前記第１の空気循環回路及び前記第２の空気循環回路を駆動することを特徴としている。
【００３２】
上記構成によれば、第３の空間に人がいない場合は、イオン発生器と第１の空気循環回路を駆動させることで、浮遊菌と化学物質の分解・除去を目的とした正イオンと負イオンを放出して、第３の空間の空気を浄化できる。さらに第３の空間に人が入室した場合は、人感センサの検知により第２の空気循環回路を駆動させて、入室した人に流速が早く予め浄化されたクリーンな空気を吹きつけることで、人体に付着した塵埃や浮遊菌、化学物質を飛散させ、効率よく分解・除去を行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
まずは、既に公知である本発明に用いられる正イオンと負イオンによる浮遊菌及び化学物質の分解原理と、イオン発生器の詳細について説明する。
【００３５】
イオン発生器の作動原理としては、プラズマ領域を形成してイオンを発生するイオン発生電極を有するイオン発生器の電極間に交流の高電圧（多くの場合はパルス電圧）を印加すると、放電によりイオン発生電極から正イオンと負イオンを発生する。発生した正イオンとしてはＨ＋（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）、負イオンとしてはＯ２−（Ｈ２Ｏ）ｎ（ｎは任意の自然数）が最も安定に生成している。これらの正イオンと負イオンが空気中に同時に生成すると化学反応をし、活性種である過酸化水素Ｈ２Ｏ２又はヒドロキシラジカル・ＯＨを生成する。これらの酸化水素Ｈ２Ｏ２又はヒドロキシラジカル・ＯＨが極めて強力な活性を示し、これにより空気中の浮遊菌を除去することが出来る。
【００３６】
このイオン発生器により発生する正負イオンをより広い範囲に拡散させるためには、あわせてイオン発生器を通過させて放出する送風手段とを備えていることが望ましい。送風手段が無く、イオン発生器単体の場合は、イオン発生器で発生した正負イオンが空間に十分に拡散する前に、電荷を失い効力が無くなることがある。ただし、運転方法については特に限定されず連続運転でもよいし、あるいは運転と停止の繰り返しといった方法でも構わない。
【００３７】
このような、イオン発生器と送風手段を組合わせたエアシャワー装置は、殺菌・除菌に極めて効果的な作用を有する。
【００３８】
図３は、本発明に用いたイオン発生器の概要を示す模式図である。
【００３９】
イオン発生器１０１の表面には、誘電体１０２があり、この誘電体１０２の裏側には誘電電極１０４があり、この誘電電極１０４と対抗するように誘電体１０２の表面にはイオン発生電極１０３が取付けられている。図３においては、イオン発生電極１０３の形状は網状となっているが、特に限定されるものではなくイオンを発生できるものであれば公知の形状、例えば針型でもよい。
【００４０】
イオン発生電極１０３と誘導電極１０４は、リード線１０５を通じて高圧パルス駆動回路１０６に接続されている。高圧パルス駆動回路１０６はイオン発生器１０１の内部に形成されている。このような構成であるイオン発生器にイオン発生電極１０３と誘導電極１０４間に正負電圧からなるピーク値が例えば、２．７ｋＶであるパルス電圧を印加すると、イオン発生電極１０３にて正イオン及び負イオンが発生する。これらの正イオン及び負イオンが送風手段により空気中に放出されると、空気中に存在する浮遊菌やウイルスを殺菌することができるものである。
【００４１】
図４には、イオン発生器のイオン発生電極と誘導電極に印加されるパルス電圧の波形の模式図を示す。徐々に減衰する正弦波上のパルス電圧をＴ１秒間印加し、その後Ｔ２秒間の休止時間を設定している。このサイクルを繰り返している。イオン発生器の通常の通常モードにおけるパルス電圧の条件は、正弦波の周波数が２０ｋＨｚ、パルスの繰り返し周期は６０Ｈｚとなっている。また、Ｔ１は１ミリ秒、Ｔ２は約１５．７ミリ秒（１０００／６０−１）、印加するピーク電圧は、正電圧が＋２．７ｋＶ、負電圧が−２．７ｋＶとなっている。このようなパルス駆動を用いると、正負イオンと同時に発生するオゾンが発生されにくくなるというメリットを有する。
【００４２】
この様なイオン発生器から発生する正イオンと負イオンが、浮遊する菌の殺菌・除菌に対して非常に効果的である一方で、人体に対しては全くの無害である。また、このイオン発生器は低消費電力駆動が可能であり、信頼性も高く連続運転することができるものである。
【００４３】
イオン発生器と送風手段を備えたエアシャワー装置において、空間内の殺菌・除菌効果を得るためには、イオン発生器のイオン発生部から１０ｃｍ離れた位置においてのイオン濃度が正イオン、負イオンともに１００００個／ｃｍ３となるように設定すれば、空間内は正イオン及び負イオンが約２０００個／ｃｍ３程度のイオン濃度となり、充分な殺菌・除菌効果を得ることができる。空間が大きくなったりして充分なイオン濃度を維持できない場合には、送風手段の出力を調整したり、あるいはイオン発生器の数を増やすことで対応すればよい。このようにイオン発生器と送風手段を組合わせることにより、除菌の対象となる空間にあわせて正負イオンを放出することができ、効果的な殺菌・除菌作用を得られる。
【００４４】
したがって、このような正イオンと負イオンを発生するイオン発生器と送風手段を備えるエアシャワー装置においては、空間内に正イオンと負イオンを供給することにより、殺菌・除菌の効果を得ることができる。
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかるエアシャワー装置を図５に示す。エアシャワー装置は、周囲を囲まれた密閉形状のエアシャワー室２０１からなり、エアシャワー室２０１はクリーンルーム２０２と前室２０３に挟まれ、それぞれ隣接して設置されている。また、エアシャワー室２０１とクリーンルーム２０２の間にはドア２０４が、エアシャワー室２０１と前室２０３の間にはドア２０５が設けられている。エアシャワー室２０１の天井部２１０には空気を排出する吐き出し口２２１が、また、床部２１１には、空気を吸い込む吸込み口２２２が設けられている。エアシャワー室２０１には空気を循環させるためのダクト２３０と送風手段２４０が、吐き出し口２２１と吸込み口２２２を介して接続されている。さらに、天井部２１０の吐き出し口２２１近傍には、正イオン及び負イオンを放出するイオン発生器１０１が複数個、床部２１１の下には塵埃等を捕獲するＨＥＰＡフィルター２３５が設けられている。
【００４５】
イオン発生器１０１を駆動すると、それぞれＨ＋（Ｈ２Ｏ）ｎとＯ２−（Ｈ２Ｏ）ｎにて構成されている正イオンと負イオンが発生する。送風手段２４０を駆動すると、エアシャワー室２０１には正イオンと負イオンを含んだ空気が流入し、吸込み口２２２へ向かってダウンフローが形成される。
【００４６】
前室２０３にいる人がクリーンルーム２０２へ入室する場合、間に設けられたエアシャワー室２０１で衣服に取り付いた塵埃や、ドア２０５を開放したことにより流入した空気に含まれる塵埃・浮遊菌（カビ菌、大腸菌、ＭＲＳＡ、など）・化学物質（アンモニア、アセトアルデヒド、メタンガス、酢酸、一酸化炭素、二酸化炭素、ホルムアルデヒド、など）を分解・除去し、さらにエアシャワー室２０１内の空気を浄化してからクリーンルーム２０２につながるドア２０４を開放し、クリーンルーム２０２へ入室する。
【００４７】
このプロセスによれば、エアシャワー室２０１内には正イオンと負イオンを含むクリーンな空気が、天井部２１１から床部２１２に向かってダウンフローを形成し、床部２１２からは排気することにより、気流の乱れを小さくし、人の衣服から飛散した塵埃を吹き上がることなく、吸込み口２２２より効率よく室外に排気できる。エアシャワー室から排出された塵埃は、床部２１２の下に設けられた例えば０．３μｍ以下の極めて微細な塵埃等を捕獲できるＨＥＰＡフィルター２３５によって捕獲、除去される。また、エアシャワー室２０１内に拡散した浮遊菌や化学物質は吐き出し口２２１から放出される正イオンと負イオンにより分解・除去されるので、ダクト２３０を通って再循環される空気はほぼ浄化されたクリーンなものになる。
【００４８】
なお、本実施形態のエアシャワー装置では、送風手段２４０の下流側にイオン発生器１０１、エアシャワー室２０１、ＨＥＰＡフィルタ２３５の順番で配置されているが、ＨＥＰＡフィルタ２３５は、送風手段２４０とイオン発生器１０１の間に設けられても良いし、送風手段２４０とイオン発生器１０１の間、及びエアシャワー室２０１と送風手段２４０の間にそれぞれ設けられていても良い。また、イオン発生器１０１は、エアシャワー室２０１の容積及び送風手段２４０の風量にあわせて、１個または複数個設けるようにすれば良い。
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態にかかるエアシャワー装置を図６に示す。エアシャワー装置は、周囲を囲まれた密閉形状のエアシャワー室２０１からなり、エアシャワー室２０１はクリーンルーム２０２と前室２０３に挟まれて、それぞれ隣接して設置されている。また、エアシャワー室２０１とクリーンルーム２０２の間にはドア２０４が、エアシャワー室２０１と前室２０３の間にはドア２０５が設けられている。エアシャワー室２０１の天井部２１０には空気を排出する吐き出し口２２０が、また、床部２１１には、空気を吸い込む吸込み口２２１が設けられている。エアシャワー室２０１には空気を循環させるためのダクト２３０と送風手段２４０が、吐き出し口２２１と吸込み口２２２を介して接続されている。天井部２１０の吐き出し口２２１近傍には、正イオン及び負イオンを放出するイオン発生器１０１が、床部２１１の下には例えば０．３μｍ以下の極めて微細な塵埃等を捕獲するＨＥＰＡフィルター２３５が設けてある。さらに、ダクト２３０の入口から分岐されるダクト２３１が設けられており、ダクト２３１には圧縮機２５０、電磁弁２５１が、エアシャワー室２０１の側壁に設けられた吐き出し口２２３に接続するように設けられている。
【００４９】
図７には本実施形態のエアシャワー装置の空気流れの模式図を示している。送風手段２４０から送風された空気はダクト２３０を介してイオン発生器１０１の近傍を通過し、吐き出し口２２１よりエアシャワー室２０１に吐き出される。一方で、圧縮機２５０で圧縮された空気は、電磁弁２５１を通って、吐き出し口２２３からエアシャワー室２０１内に放出される。エアシャワー室２０１内では、吐き出し口２２１から放出された正イオンと負イオンを含んだ空気と、吐き出し口２２３から放出された圧縮空気とが混合される。吸い込み口２２２より室外へ放出された空気は、ＨＥＰＡフィルター２３５を通過して、再びダクト２３０及び２３１を介して、送風手段２４０と圧縮機２５０へ循環される。
【００５０】
本実施形態のエアシャワー装置において、前室２０３にいる人がクリーンルーム２０２へ入室する場合、間に設けられたエアシャワー室２０１内では、次のプロセスで浄化が行われる。
【００５１】
入室者の衣服に取り付いた塵埃、菌、化学物質などは、電磁弁２５１を開き、圧縮機２５０で圧縮された空気を吐き出し口２２３から噴射することで、効率よく室内に飛散させることができる。この時、吐き出し口２２３はエアシャワー室２０１の側壁に、上下に複数個備えられているため、入室者の頭から足元まで効率よく噴射される。入室者の上方の吐き出し口２２１からは、送風手段２４０により、正イオンと負イオンを含んだ空気が放出されている。この空気流れはダウンフローであるため、入室者から飛散した塵埃や、前室２０３から流入した塵埃を速やかに吸い込み口２２２へ導くことができる。さらに、エアシャワー室２０１内に飛散した浮遊菌や化学物質は、上方から降り注ぐ正イオンと負イオンにより空気中で分解・除去される。
【００５２】
本実施形態では、圧縮器２５０を用いているが、圧縮機２５０の変わりにファンモータを用いても良いし、断面積が出口付近で小さくなるようなダクト形状にしても良い。
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態のエアシャワー装置を図８に示している。本実施形態では、第２の実施形態に、さらに、エアシャワー室２０１内に人感センサ２６０を設けたものである。
【００５３】
エアシャワー室２０１内は予め送風手段２４０及びイオン発生器１０１が駆動されており、正イオンと負イオンが含まれた空気が室内を循環している。エアシャワー室２０１に人が入室した場合、人感センサ２６０が人の入室を検知し、その検知結果が制御手段（図示せず）へ送られる。制御手段（図示せず）は、圧縮機２５０を駆動し、電磁弁２５１を開くことで、圧縮された空気を吐き出し口２２３から噴射し、入室者の衣服に取り付いた塵埃、菌、化学物質などを室内に飛散させる。エアシャワー室２０１内は、正イオンと負イオンを含んだ空気のダウンフローであるため、入室者から飛散した塵埃や、前室２０３から流入した塵埃を速やかに吸い込み口２２２へ導くことができる。さらに、エアシャワー室２０１内に飛散した浮遊菌や化学物質は、上方から降り注ぐ正イオンと負イオンにより空気中で分解・除去できる。
【００５４】
一定時間（例えば５秒から３０秒）経過後、電磁弁２５１を閉じ、圧縮機２５０を停止させて、正イオンと負イオンを含んだ空気を循環させることで、人が入室しているエアシャワー室２０１内の空気をクリーンルーム２０２と同レベルまで浄化したのち、ドア２０４を開放してクリーンルームへ入室する。このとき、ドア２０４を開放すると、エアシャワー室２０１内の空気がクリーンルーム２０２へ流入するが、エアシャワー室２０１内の空気は塵埃・浮遊菌・化学物質を除去したクリーンなものであるので、クリーンルーム２０２内を汚染することなく、入室することができる。
【００５５】
本実施形態では、人が入室していて吐き出し口２２３から空気を放出している場合にもイオン発生器１０１を駆動しているが、人感センサの検知に基づいて、吐き出し口２２３から空気を放出している場合にはイオン発生器１０１を停止し、送風手段２４０のみを駆動しても良く、こうすることで、浄化能力を著しく低下することなく、イオン発生器１０１の電極劣化を抑制することもできる。
【００５６】
なお、本実施形態では、人感センサを用いているが、エアシャワー室２０１内への人の入室が検知できれば良い。したがって、床部２１１に圧力センサを設けて入室を検知しても良いし、ドア２０５に開閉検知手段を設けたものでも同様な効果が得られる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、簡単な構成で空間内の塵埃を除去でき、さらに特別なフィルタを用いることなく化学物質、浮遊菌、ウィルスなどを分解・除去できるといった優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の一般的なエアーシャワー装置の構造例である。
【図２】従来の無菌室に隣接して配設されるエアーシャワー室の換気方法を示す図である。
【図３】本発明に用いたイオン発生器の概要を示す図である。
【図４】本発明に用いたイオン発生器のイオン発生電極と誘導電極に印加されるパルス電圧の波形を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態のエアシャワー装置を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施形態のエアシャワー装置を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のエアシャワー装置内の空気の流れを示した図である。
【図８】本発明の第３の実施形態のエアシャワー装置を示す図である。
【符号の説明】
１０１　イオン発生器
１０２　誘電体
１０３　イオン発生電極
１０４　誘電電極
１０５　リード線
１０６　高圧パルス駆動回路
２０１　エアシャワー室
２０２　クリーンルーム
２０３　前室
２０４、２０５　ドア
２１０　天井部
２１１　床部
２２１　吐き出し口
２２２　吸い込み口
２３０　ダクト
２３５　ＨＥＰＡフィルタ
２４０　送風手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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