(57)【要約】【課題】複雑な方法や装置を必要とせず、グリーンシートがキャリアフィルムの表面に形成された複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離して回収する。【解決手段】キャリアフィルム剥離方法は、外周面に粘着性を有する粘着ロール４を用いて、複合シート３の端部から途中までの区間においてグリーンシート２から分離したキャリアフィルム１の剥がし代を形成する剥がし代形成工程と、剥がし代の領域のうち端部を避けた位置に、粘着ロール４を押し当ててキャリアフィルム１を保持した後に、粘着ロール４を回転させてキャリアフィルム１をグリーンシート２から引き剥がすキャリアフィルム除去工程とを含む。【選択図】　　　　図９
2004017623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートがキャリアフィルムの表面に形成された複合シートにおいて、前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離方法であって、
前記複合シートの端部から途中までの区間において前記セラミックグリーンシートから分離した前記キャリアフィルムの一部分である剥がし代を形成する剥がし代形成工程と、
前記剥がし代の領域のうち前記端部を避けた位置に、外周面に粘着性を有する粘着ロールを押し当てて前記キャリアフィルムを保持した後に、前記粘着ロールを回転させて前記キャリアフィルムを前記セラミックグリーンシートから引き剥がすキャリアフィルム除去工程と
を含む、キャリアフィルム剥離方法。
【請求項２】
前記剥がし代形成工程は、
前記粘着ロールを前記キャリアフィルムに押し当てて転動させることで、前記キャリアフィルムの一部を巻取り、前記セラミックグリーンシートから剥離する部分剥離工程と、
前記粘着ロールを前記転動の逆向きに回転させることにより、前記キャリアフィルムと前記粘着ロールとを離す工程と
を含む、請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項３】
前記部分剥離工程は、
前記キャリアフィルムの前記セラミックグリーンシートが形成された面と反対側の主表面に対して略垂直な方向から、前記キャリアフィルムの端部に前記粘着ロールを押し当てて巻取りを開始する、請求項２に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項４】
前記部分剥離工程は、
前記キャリアフィルムの端より外側から内側に向かって巻取りを行なう、請求項２に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項５】
前記部分剥離工程は、
キャリアフィルムの剥離を開始してから、巻取りを完了するまでの前記粘着ロールの前記転動が１回転以内である、請求項２から４のいずれかに記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項６】
前記剥がし代形成工程は、
他の粘着ロールを前記キャリアフィルムに押し当てて転動させることで、前記キャリアフィルムの一部を巻取り、前記セラミックグリーンシートから剥離する工程と、
前記他の粘着ロールを前記転動の逆向きに回転させることにより、前記キャリアフィルムと前記他の粘着ロールとを離す工程と
を含む、請求項１に記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項７】
前記キャリアフィルム除去工程は、セパレータにより、前記粘着ロールの前記外周面から前記キャリアフィルムを剥ぎ取る工程を含む、請求項１から６のいずれかに記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項８】
前記剥がし代形成工程と前記キャリアフィルム除去工程とは、前記セラミックグリーンシートを保持部材で保持した状態で行なう、請求項１から７のいずれかに記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項９】
前記剥がし代形成工程と前記キャリアフィルム除去工程とは、積層対象物の上面に前記セラミックグリーンシートが接するように前記複合シートを積み重ねて圧着することにより固定した状態で行なう、請求項１から７のいずれかに記載のキャリアフィルム剥離方法。
【請求項１０】
セラミックグリーンシートがキャリアフィルムの上に形成された複合シートから、前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、
ロール部と、
前記複合シートを固定するための保持部材と、
前記ロール部の前記複合シートに対する相対的な位置を調整するための位置調整機構と
を備え、前記ロール部は、
粘着性の外周面を有し、前記キャリアフィルムの一部を前記セラミックグリーンシートから剥離するための剥がし代形成用粘着ロールと、
粘着性の外周面を有し、前記キャリアフィルムを前記セラミックグリーンシートから除去するための除去用粘着ロールと
を含む、キャリアフィルム剥離装置。
【請求項１１】
前記剥がし代形成用粘着ロールの回転軸と前記除去用粘着ロールの回転軸との前記複合シートの面に平行な方向の距離は、前記剥がし代形成用粘着ロールが転動して前記キャリアフィルムを巻取る長さと前記剥がし代形成用粘着ロールを逆向きに転動させて前記キャリアフィルムから離した後も前記逆向きの転動を継続する距離との和の２倍以内である、請求項１０に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１２】
前記位置調整機構は、
保持部材を前記複合シートの面に平行な一方向に移動させる保持部材移動機構と、
前記複合シートの面に対して略垂直な方向に、前記剥がし代形成用粘着ロールと前記除去用粘着ロールとを移動させるロール駆動部と
を備える、請求項１０または１１に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１３】
前記複合シートから剥離された前記キャリアフィルムを前記除去用粘着ロールから引き剥がすためのセパレータを備える、請求項１０から１２のいずれかに記載のキャリアフィルム剥離装置。
【請求項１４】
前記セパレータは、前記除去用粘着ロールとともに移動する、請求項１３に記載のキャリアフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は剥離装置に関し、特に、積層型電子部品の製造過程において、シート状のキャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートを形成したものからキャリアフィルムのみを剥離するキャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
積層型電子部品は、内部電極や配線を形成したセラミックグリーンシートの積層を行ない、この積層体をチップ状に切断して焼成した後に、外部電極を取り付けるなどの工程を経て製造される。以下に積層型電子部品の製造方法を詳細に説明する。まず、セラミック誘電体粉末やバインダーを含むスラリーを、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などで形成した長尺状のキャリアフィルムの表面にたとえばドクターブレード法によって薄く広げて配置する。これを乾燥すると固体化されたシート状のセラミックグリーンシートを得る。キャリアフィルムの上に形成されているセラミックグリーンシートに、スクリーン印刷による内部電極または配線の印刷や、予め穿設したビアホールに対する導体ペーストの充填などを行なって、積層体の内層となるセラミックグリーンシートの１層を得る。以下、このようにセラミックグリーンシートに電極が形成されたシートを「内層シート」というものとする。また、ここでの「電極」とは、内部電極、配線パターン、およびビアなども含むものとする。この状態では、セラミックグリーンシートはキャリアフィルムの表面に配置されており、ここから、セラミックグリーンシートを積層した積層体を形成する。
【０００３】
積層体を形成するには、セラミックグリーンシートが形成された長尺状のキャリアフィルムを所定の大きさに切断した後（以下、キャリアフィルムの上にセラミックグリーンシートが形成されたシートを「複合シート」という。）、１枚ずつキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離して、得られたセラミックグリーンシートの単層を積み重ねる方法や、セラミックグリーンシートが積層されたもの（以下、積層途中の積層体を「積層対象物」という。）に複合シートのセラミックグリーンシート側の面を圧着して、その後にキャリアフィルムを剥離する方法の他、特開平７−０７８７２５号公報に示されるように、予めキャリアフィルムは長尺状に残るようにセラミックグリーンシートのみに切り込みを入れた後に、圧着設備の内部に積層対象物を保持する構造を有する設備を用いて、積層対象物にセラミックグリーンシートを圧着させ、長尺状のままキャリアフィルムを剥離する方法などがある。
【０００４】
いずれの方法においても、セラミックグリーンシートを積み重ねる際には、加熱と加圧とを含む。加圧には機械的に圧力をかける方法の他に流体によって圧力をかける方法もある。たとえば、特開平７−０７８７２５号公報には機械的に加圧する方法が示されているのに対し、特開平６−２８３３７６号公報では最終的な加圧の方法として静水圧による加圧方法が示されている。
【０００５】
加熱した状態で圧力をかけて接合する際に、セラミックグリーンシートの元の材料であるスラリーに含まれるバインダーがそれぞれの積層シートを互いに結合する役割を果たし、加熱と加圧とによる積層の後に、冷却されてセラミックグリーンシート同士が接着して固定化し、内部に電極などが形成されたセラミックグリーンシートの積層体が得られる。
【０００６】
形成された積層体をチップ状に切断し、このチップ状の積層体を焼成した後に、外部電極を取り付けるなどの工程を経て積層型電子部品が製造される。
【０００７】
前述の説明の通り、セラミックグリーンシートはまずキャリアフィルムの上に形成され、積層の際にキャリアフィルムが剥離される。キャリアフィルムの剥離方法のうち、予め適切な大きさに切断した複合シートを用いて剥離を行なう従来の方法の一例として特開平７−０３０２５２号公報に記載された装置を図３４に示す。
【０００８】
図３４（ａ）に示すように、複合シート３は載架台３０の上面に配置され、載架台３０は筐体３５に固定されている。載架台３０は多孔質材料で形成されており、さらに、筐体３５の内部は空洞で真空状態になるように真空引きがなされている。この真空引きの作用によって複合シート３は載架台３０に吸着して保持される。筐体３５は、ガイドレール３４によって支えられ、ガイドレール３４に沿って水平方向に移動する構造を有している。複合シート３の上方には、揺動軸３７を支点としたアーム体３６が備えられ、アーム体３６の先端には外周面に接着剤が塗布され粘着性を有する粘着ロール４が配置されている。粘着ロール４はアーム体の動きと共に上下する機構を有し、回転自在に保持されている。
【０００９】
キャリアフィルム１の剥離に際しては、複合シート３に含まれるセラミックグリーンシート２が載架台３０に吸着される向きに配置され、上面に剥離の対象となるキャリアフィルム１が現れる。すなわち粘着ロール４とキャリアフィルム１とが対向するように複合シートが保持される。アーム体３６の揺動と筐体３５の移動とによって、キャリアフィルム１の端部に粘着ロール４が圧接され、キャリアフィルム１は粘着ロール４の外周面に保持される。粘着ロール４が接触されている状態を維持して、粘着ロール４が複合シート１の内側に向かうように矢印２３の向きに筐体３５を移動させると、粘着ロール４はキャリアフィルム１の上を転動して同時にキャリアフィルム１を外周面に保持して、キャリアフィルム１の剥離を開始する。
【００１０】
キャリアフィルム１の剥離を行なっている状態を示す断面図を図３４（ｂ）に示す。粘着ロール４は矢印２５の向きに転動して、セラミックグリーンシート２とキャリアフィルム１とを分離させる。この時、セラミックグリーンシート２は十分な吸着力によって載架台３０に固定され、キャリアフィルム１に付随して粘着ロール４の外周面に巻取られることはなく、キャリアフィルム１のみが巻取られる。この公報のセラミックグリーンシート２には、ビアホール３３が穿設されている。ビアホール３３には導体ペースト３１が充填されており、粘着ロール４の曲率を利用することによって、キャリアフィルム１の貫通孔３２に引きずられてセラミックグリーンシート２から導体ペースト３１が外れることを回避できることが示されている。
【００１１】
この装置において、図３４（ｂ）に示す巻取りを継続すると、いずれ粘着ロール４とキャリアフィルムとの間に巻取られたキャリアフィルムの端部が挟まれてしまう。このため、キャリアフィルム１の剥離を継続するためには粘着ロール４よりキャリアフィルム１を何らかの方法で連続的に引き剥がして回収する必要がある。
【００１２】
キャリアフィルムを確実に剥ぎ取る方法として、特開平５−２８３２７６号公報にセラミックグリーンシートに予めスリット部を形成する方法が開示されている。図３５にその方法の説明図を示す。図３５（ａ）はスリット部４１を形成した複合シート３の平面図である。スリット部４１は内部電極パターン４０が形成されたセラミックグリーンシート２の辺縁に形成されている。
【００１３】
図３５（ｂ）に図３５（ａ）のＸＸＸＶＢ−ＸＸＸＶＢ線に関する矢視断面図を示す。スリット部４１の深さはセラミックグリーンシート２を貫通し、キャリアフィルム１まで達するように形成される。図３５（ｃ）に示されるように、スリット部４１を備える複合シート３が積層対象物２０の上面に圧着される。その後、複合シート３の掴み代４２を掴んで矢印２７の向きに引っ張るとキャリアフィルム１を剥離することができる。
【００１４】
本方法に従うと、キャリアフィルムを剥離するための機構と別の機構を用意してキャリアフィルムを回収することなく剥離が可能である。しかし、前もって押しつけ刃などによって複合シート３にスリット部４１を形成しておく必要があり、また、セラミックグリーンシート２の一部を切り欠く作業を行なうので、切り屑が積層対象物に混入して積層体の品質を悪化させることがあった。
【００１５】
予め複合シートにスリット部を形成する必要がなく、また、確実にキャリアフィルムを剥離して回収する装置が、実開平５−０１６２２０号公報に開示されている（図示省略）。
【００１６】
この装置においては、キャリアフィルムを剥離する粘着ロールを下端に備えたアームと、開閉爪によって剥離したキャリアフィルムの一部を挟持した状態で、開閉爪を斜め上方に引き上げる引き上げ機構とを備える。複合シートはキャリアフィルムが上面になるように保持される。その状態において、アームを下降させてアームの先端に配置された粘着ロールをキャリアフィルムの端部に押し当てた後に、アームを移動して粘着ロールを転動させることによってキャリアフィルムの一部を剥ぎ取る。剥ぎ取った一部を開閉爪で挟持して引き上げ機構によって斜め上方に引き上げるとキャリアフィルムが引っ張られる。開閉爪の引き上げ動作とアームの移動とを同期化させるとキャリアフィルムが完全に剥離される構造を備えている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
前述のとおり、特開平７−０３０２５２号公報に開示されている方法においては、キャリアフィルムを粘着ロールから引き剥がす必要があり、また、特開平５−２８３２７６号公報の方法においては、予め、スリット部を形成する際の切り屑が積層対象物に混入するなどの問題点を有していた。これらの問題を解決する装置として、実開平５−０１６２２０号公報が開示されているが、この方法には以下の問題点があった。
【００１８】
この方法によると、セラミックグリーンシートにスリット部などを設ける必要はなく、また、切り屑が発生する心配もなく確実にキャリアフィルムを剥離できる。しかし、キャリアフィルムを挟む開閉爪や、粘着ロールの移動と開閉爪の上昇とを同期化させる機構が必要であり、装置の機構が非常に複雑なものとなる。
【００１９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、複雑な方法や装置を必要とせず、複合シートからキャリアフィルムのみを確実に剥離して回収する方法と装置を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に基づくキャリアフィルム剥離方法は、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムの表面に形成された複合シートにおいて、上記セラミックグリーンシートから上記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離方法であって、上記複合シートの端部から途中までの区間において上記セラミックグリーンシートから分離した上記キャリアフィルムの一部分である剥がし代を形成する剥がし代形成工程と、上記剥がし代の領域のうち上記端部を避けた位置に、外周面に粘着性を有する粘着ロールを押し当てて上記キャリアフィルムを保持した後に、上記粘着ロールを回転させて上記キャリアフィルムを上記セラミックグリーンシートから引き剥がすキャリアフィルム除去工程とを含む。この方法を採用することにより、上記剥がし代を形成し、上記剥がし代の領域から上記粘着ロールを用いて剥離するために、セラミックグリーンシートを傷つけることなくキャリアフィルムを確実に剥離することができる。
【００２１】
上記発明において好ましくは、上記剥がし代形成工程は、上記粘着ロールを上記キャリアフィルムに押し当てて転動させることで、上記キャリアフィルムの一部を巻取り、上記セラミックグリーンシートから剥離する部分剥離工程と、上記粘着ロールを上記転動の逆向きに回転させることにより、上記キャリアフィルムと上記粘着ロールとを離す工程とを含む。この方法を採用することにより、上記剥がし代を上記粘着ロールで形成することができ、上記剥がし代を形成するための複雑な機構を備えることなく、上記剥がし代を形成することができる。
【００２２】
上記発明において好ましくは、上記部分剥離工程は、上記キャリアフィルムの上記セラミックグリーンシートが形成された面と反対側の主表面に対して略垂直な方向から、上記キャリアフィルムの端部に上記粘着ロールを押し当てて巻取りを開始する。この方法を採用することにより、上記セラミックグリーンシートを上記キャリアフィルムとともに巻き取ったり、上記セラミックグリーンシートを傷つけたりすることなく上記剥がし代の形成を開始することができる。
【００２３】
あるいは、上記部分剥離工程は、上記キャリアフィルムの端より外側から内側に向かって巻取りを行なう。この方法を採用することにより、上記キャリアフィルムの剥離開始位置に対して上記粘着ロールの位置が多少ずれたとしても必ず上記キャリアフィルムの端部に上記粘着ロールが接して、確実に剥がし代の形成を開始することができる。
【００２４】
上記発明において好ましくは、上記部分剥離工程は、キャリアフィルムの剥離を開始してから、巻取りを完了するまでの上記粘着ロールの上記転動が１回転以内である。この方法を採用することにより、上記キャリアフィルムの上記粘着ロールへの巻取りが２重以上とならず、上記セラミックグリーンシートを傷つけることを回避できる。
【００２５】
上記発明において好ましくは、上記剥がし代形成工程は、他の粘着ロールを上記キャリアフィルムに押し当てて転動させることで、上記キャリアフィルムの一部を巻取り、上記セラミックグリーンシートから剥離する工程と、上記他の粘着ロールを上記転動の逆向きに回転させることにより、上記キャリアフィルムと上記他の粘着ロールとを離す工程とを含む。この方法を採用することにより、上記剥がし代形成工程から上記キャリアフィルム除去工程に移行する時間を短縮することができて、作業効率が向上する。
【００２６】
上記発明において好ましくは、上記キャリアフィルム除去工程は、セパレータにより、上記粘着ロールの上記外周面から上記キャリアフィルムを剥ぎ取る工程を含む。この方法を採用することにより、上記キャリアフィルムの弾性に依って上記粘着ロールから自然に剥がれることを考慮する必要性がなくなり、上記粘着ロールから上記キャリアフィルムを確実に剥がし取り、回収することが可能となる。
【００２７】
上記発明において好ましくは、上記剥がし代形成工程と上記キャリアフィルム除去工程とは、上記セラミックグリーンシートを保持部材で保持した状態で行なう。この方法を採用することにより、上記複合シートから上記キャリアフィルムを１枚ずつ分離することとなり、積層対象物を傷つける可能性を回避して、上記キャリアフィルムを剥離することができる。
【００２８】
あるいは、上記剥がし代形成工程と上記キャリアフィルム除去工程とは、上記積層対象物の上面に上記セラミックグリーンシートが接するように上記複合シートを積み重ねて圧着することにより固定した状態で行なう。この方法を採用することにより、上記セラミックグリーンシートを圧着する工程と上記キャリアフィルムを剥離する工程を１つの装置で連続して行なうことができる。
【００２９】
上記目的を達成するため、本発明に係るキャリアフィルム剥離装置は、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムの上に形成された複合シートから、上記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離装置であって、ロール部と、上記複合シートを固定するための保持部材と、上記ロール部の上記複合シートに対する相対的な位置を調整するための位置調整機構とを備え、上記ロール部は、粘着性の外周面を有し、上記キャリアフィルムの一部を上記セラミックグリーンシートから剥離するための剥がし代形成用粘着ロールと、粘着性の外周面を有し、上記キャリアフィルムを上記セラミックグリーンシートから除去するための除去用粘着ロールとを含む。この構成を採用することにより、キャリアフィルムを剥離するための時間が短縮され、作業効率を向上することができる。
【００３０】
上記発明において好ましくは、上記剥がし代形成用粘着ロールの回転軸と上記除去用粘着ロールの回転軸との上記複合シートの面に平行な方向の距離は、上記剥がし代形成用粘着ロールが転動して上記キャリアフィルムを巻取る長さと上記剥がし代形成用粘着ロールを逆向きに転動させて上記キャリアフィルムから離した後も上記逆向きの転動を継続する距離との和の２倍以内である。この構成を採用することにより、上記剥がし代を形成する工程から上記キャリアフィルムを除去する工程に移行する時間を短縮することができて、作業効率が向上する。
【００３１】
上記発明において好ましくは、上記位置調整機構は、保持部材を上記複合シートの面に平行な一方向に移動させる保持部材移動機構と、上記複合シートの面に対して略垂直な方向に、上記剥がし代形成用粘着ロールと上記除去用粘着ロールとを移動させるロール駆動部とを備える。この構成を採用することにより、上記位置調整機構の構造を簡単にすることができ、また、装置の制御も容易にすることができる。
【００３２】
上記発明において好ましくは、上記複合シートから剥離された上記キャリアフィルムを上記除去用粘着ロールから引き剥がすためのセパレータを備える。この構成を採用することにより、上記キャリアフィルムの弾性に依って自然に剥がれることを考慮する必要性がなくなり、上記除去用粘着ロールから上記キャリアフィルムを確実に剥がし取り、回収することが可能となる。
【００３３】
上記発明において好ましくは、上記セパレータは、上記除去用粘着ロールとともに移動する。この構成を採用することにより、上記セパレータを上記除去用粘着ロールの付近に常に配置することになり、上記キャリアフィルムを除去するために最適な上記セパレータの位置を確保することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
（剥離装置の構成と機能）
本発明に基づく実施の形態１におけるキャリアフィルム剥離方法について説明を行なうのに先立ち、図１１を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるキャリアフィルム剥離装置について説明する。
【００３５】
図１１（ａ）はキャリアフィルム剥離装置の全体の概要を示す図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）に示すＡ部を拡大した断面図である。
【００３６】
キャリアフィルム１とセラミックグリーンシート２とを備える複合シート３は所定の大きさに予め切断されている。図１１（ｂ）に示すように複合シート３は、剥離されるキャリアフィルム１が粘着ロール４と接することが可能な向きに保持部材７に固定される。すなわちセラミックグリーンシート２が保持部材７に固定される。複合シート３の固定は、たとえば、保持部材７において、複合シート３との接触面を多孔質の基板で形成して、空洞化した内部を真空引きすることで複合シート３を吸着させることにより行なう。
【００３７】
粘着ロール４は複合シート３に対向するように配置される。粘着ロール４は外周面に粘着性を有する円柱形のロールであり、材質はたとえばポリオレフィン系ゴムであり、キャリアフィルム１をセラミックグリーンシート２から剥離するに十分な粘着性を有する。直径はたとえば２０ｍｍから４０ｍｍである。粘着ロール４の径が小さいと、もしくは、キャリアフィルム１の弾性が強いと、セラミックグリーンシート２からキャリアフィルム１を剥離した後にキャリアフィルム１の弾性によって自然に粘着ロール４から剥がれるが、確実に粘着ロール４からキャリアフィルム１を回収するためにセパレータ８が粘着ロール４の外周面に近接する位置に設けられている。セパレータ８で剥ぎ取られたキャリアフィルム１はフィルムガイド９に導かれてフィルム回収筒１８に送られ回収される。
【００３８】
本実施の形態では、セパレータ８が粘着ロール４とキャリアフィルム１とが接触する側の反対側（接触する点から時計回りに１８０°の方向）に配置されているが、この方向に限られず、たとえば、接触する点から時計回りに２７０°の方向に取り付けられていてもよい。フィルムガイド９についてもセパレータ８で剥ぎ取られたキャリアフィルム１をフィルム回収筒１８に導く形状や配置であればよく、たとえば円弧を描く板状などであってもよい。
【００３９】
粘着ロール４はエアシリンダ１１に連結されており、粘着ロール４の駆動はエアシリンダ１１によって行なわれる、本実施の形態では粘着ロール４は図１１において上下方向に移動する。エアシリンダ１１は空気圧で動作させて、粘着ロール４をキャリアフィルム１に圧接させたり、逆に複合シート３から粘着ロール４を離したりする役割を果たす。本実施の形態では、キャリアフィルム１に圧接させる際に、粘着ロール４は図１１の上の向きに移動する。逆にキャリアフィルム１を保持部材７に配置するために保持部材７を移動する際などには、粘着ロール４は下に移動して粘着ロール４と複合シート３との間隙を確保する。また、エアシリンダ１１は空気圧で動作することによって、適切な圧力を加えて粘着ロール４をキャリアフィルム１に接触させることが可能である。
【００４０】
本剥離装置は保持部材移動機構１６を備えており、保持部材７はリニアガイド１４に沿ってリニアガイド１４の長手方向と平行に移動する。図１１（ａ）においては水平方向に移動する。移動の駆動力は保持部材駆動用モータ１３によって発生し、保持部材駆動用モータ１３の主軸にカップリングしたねじ軸１５を回転させる。ねじ軸１５とナット１９とはボールネジの構造になっており、ねじ軸１５の回転に伴ってナット１９と接続された保持部材７が移動する。
【００４１】
（剥離方法）
図１から図１０までを参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるキャリアフィルム剥離方法について説明する。それぞれの図は、複合シート３と粘着ロール４とが接触する部分を抜粋して拡大した図である。
【００４２】
はじめに、粘着ロール４が複合シート３の端部に接触する位置まで保持部材７を移動する。図１に示す状態で粘着ロール４を矢印２１の向きに移動させて図２に示すようにキャリアフィルム１の端部に圧接させる。粘着ロール４を圧接させたまま、図２の矢印２３の向きに保持部材７を移動すると、矢印２５の向きに粘着ロール４が転動し始める。粘着ロール４の外周面に有する粘着性によってキャリアフィルム１がセラミックグリーンシート２から剥離され始める。
【００４３】
図３に示すように転動を継続して剥離を進行させる。この際に粘着ロール４を多く転動させると、セパレータ８と粘着ロール４との隙間にキャリアフィルム１が巻込まれたり、キャリアフィルム１が２重に巻取られたりする可能性があるので粘着ロール４の径やセパレータ８の位置に応じて適切な位置で転動を停止する。たとえば、本実施の形態においては、粘着ロール４が１／４回転したところで保持部材７を停止する。
【００４４】
次に図４に示すように保持部材７を元の位置に戻すように移動を開始する。この移動に伴って粘着ロール４は矢印２６の向きに転動を開始し、剥離されたキャリアフィルム１を粘着ロール４から離す動作を開始する。図５に示すように粘着ロール４から完全にキャリアフィルム１がはずれるまで、保持部材７の移動を継続する。図５の二点鎖線に示すように剥離されたキャリアフィルム１の一部分が自由端となっており、この部分が剥がし代１７となる。図４の工程において、剥離したキャリアフィルム１の一部とセラミックグリーンシート２とが圧接されるが、キャリアフィルム１には離型層が塗工されているので、再度密着して接合することはない。
【００４５】
剥がし代１７の形成が完了したら、図５の矢印２２に示すように粘着ロール４を保持部材７から離す。この状態で図６の矢印２３に示す向きに保持部材７を移動する。図５および図６の図中、二点鎖線で示すようにキャリアフィルム１の弾性が弱く垂れ下がる時は、図６において保持部材７を移動する際に垂れ下がった剥がし代１７に粘着ロール４が接触しないように粘着ロール４を保持部材７から十分に離す必要がある。
【００４６】
粘着ロール４をキャリアフィルム１の端部を避けた剥がし代１７の領域内に接触させることができる位置まで保持部材７を移動したら、図７に示すように粘着ロール４をキャリアフィルム１に圧接させる。「剥がし代１７の領域」とは、図１から図５の工程において剥離されたキャリアフィルム１の一部分を指しており、セラミックグリーンシート２にいまだ密着している部分と剥離された部分との境界も含むものとする。本実施の形態においては、セラミックグリーンシート２にいまだ密着している部分と剥離された部分との境界に粘着ロール４が圧接されている。しかし、保持部材７の作動誤差によって上記の境界からずれ、キャリアフィルム１とセラミックグリーンシート２とがいまだ密着している領域から剥離を開始することがある。この場合は、セラミックグリーンシート２を破るおそれがあり、セラミックグリーンシート２を傷つけないために、作動誤差を考慮した剥がし代１７の領域に圧接させることが好ましい。
【００４７】
粘着ロール４がキャリアフィルム１に圧接されたら、図８の矢印２３の向きに保持部材７の移動を開始して、キャリアフィルム１を完全に剥離する。この際、剥がし代１７の一部分は図９に示すように、その剛性によって粘着ロール４に密着せず自由端となる。図１０に示すようにこの自由端の部分と粘着ロール４との間に入り込むようにセパレータ８が配置されており、粘着ロール４からキャリアフィルム１が剥ぎ取られる。
【００４８】
保持部材７の移動は、図１０に示すようにキャリアフィルム１がセラミックグリーンシート２から剥離された後も、粘着ロール４からキャリアフィルム１を剥ぎ取るために継続される。剥ぎ取られたキャリアフィルム１は、フィルムガイド９に導かれて回収される。
【００４９】
このようにして得られたセラミックグリーンシート２の単層は、積層機に運搬され、加熱と加圧とによって接合を繰り返して積層体が形成される。
【００５０】
（効果）
本実施の形態に示す装置ないし方法を採用することにより、粘着ロールを１つ備える装置を用いて、キャリアフィルムに剥がし代を形成することができ、剥がし代を形成するための別の装置は不要となる。あるいは、剥がし代を形成するための機構と剥離するための機構とを備える複雑な装置も不要であり、切り屑も発生しない。また、形成した剥がし代の領域から剥離を開始することによって、セラミックグリーンシートを傷つけることなく、キャリアフィルムを剥離することが可能になり、セパレータなどの機能によって、剥離されたキャリアフィルムを確実に回収することができる。
【００５１】
（実施の形態２）
（剥離装置の構成と機能）
装置の構成および機能については、装置に積層対象物を加熱、加圧する機能が加わる以外は、実施の形態１と同様でありここでは説明を省略する。
【００５２】
（剥離方法）
図１２から図２１までを参照して本発明に基づく実施の形態２におけるキャリアフィルム剥離方法について以下に説明する。
【００５３】
実施の形態１は、予め切断された複合シート３を保持部材７に固定し、キャリアフィルム１を剥離してセラミックグリーンシート２の単体を得た後、この単体を積層していくことによって積層体を形成する方法を採用していた。本実施の形態においては、先に複合シート３を積層対象物に接合して、その後にキャリアフィルム１を剥離する方法を採用している。
【００５４】
図１２に示すように複合シート３は積層対象物２０の主表面にセラミックグリーンシート２が接触する向きに接合される。接合は加熱と加圧とを伴い、完全な圧着まで行なわれてもよいし、積層体を形作るための比較的密着力が弱い仮止めであってもよい。仮止めの場合は、積層を繰り返して所定枚数積み上げた後に、圧着機などによってもう一度加熱と加圧とが施されて強く密着される。
【００５５】
実施の形態１と同様にキャリアフィルム１に対向するように粘着ロール４とセパレータ８とが配置される。キャリアフィルム１が剥離される手順は実施の形態１と同様である。まず、図１２から図１４に示すように、粘着ロール４をキャリアフィルム１の端に圧接させて、保持部材７を矢印２３の向きに移動することにより、キャリアフィルム１を部分的に剥離する。次に、図１５から図１７に示すように粘着ロール４を圧接させたまま保持部材７を矢印２４の向きに移動させて、粘着ロール４からキャリアフィルム１を剥がす。このように剥がし代１７（図１６参照）を形成する。実施の形態１と同様に、図１５から図１６の工程において、剥離したキャリアフィルム１の一部とセラミックグリーンシート２とが圧接されるが、キャリアフィルム１には離型層が塗工されているので、再度密着して接合することはない。
【００５６】
図１８から図２１に示すように、形成された剥がし代１７（図１９参照）の領域に粘着ロール４を圧接させた状態で転動させることによって、キャリアフィルム１を完全に剥離する。図１８において、粘着ロール４を、剥がし代１７の領域といまだセラミックグリーンシート２に密着している領域との境界より若干剥がし代１７の領域の方にずらした位置に圧接する方が好ましいことは実施の形態１と同様である。
【００５７】
図２１において、セラミックグリーンシート２からキャリアフィルム１が完全に剥離された後も、粘着ロール４からキャリアフィルム１を剥がすために粘着ロール４を回転させる必要がある。粘着ロール４を慣性で自転させたり、保持部材７に接触させて回転させたり、他の面に接触させて回転させたりすることによってキャリアフィルム１を粘着ロール４から完全に引き剥がして回収する。たとえば、図２１において保持部材７の左方に垂直な壁を設けて粘着ロール４を接触させ、エアシリンダで粘着ロール４を上昇させることによってキャリアフィルムを引き剥がす。
【００５８】
上記の工程はセラミックグリーンシート１枚を積層する方法を示しており、これらの操作を繰り返して、所定枚数のセラミックグリーンシートを積層することによって積層体を形成する。
【００５９】
（効果）
本実施の形態に示す装置または方法を採用することにより、実施の形態１の効果に加えて、セラミックグリーンシートの積層とキャリアフィルムの剥離とを、同一の設備で連続して行なうことができる。
【００６０】
（剥がし代を形成する他の方法）
実施の形態１と実施の形態２とにおいては、ともに粘着ロール４をキャリアフィルム１の端部に圧接させて剥がし代１７の形成を開始していた。この方法においては、正確にキャリアフィルム１の端部に粘着ロール４を圧接させる必要があり、粘着ロール４がキャリアフィルム１の端部より少し内側に圧接すると、セラミックグリーンシート２もともに巻取ったり、セラミックグリーンシート２を破ったりするなどの不具合が生じる可能性がある。このため、粘着ロール４と保持部材７との相対的な位置関係を微調整できる機構が必要である。
【００６１】
図２２から図２４にキャリアフィルム１を部分的に剥離して剥がし代１７を形成する方法について異なる方法を説明する。この方法は、たとえば、実施の形態１における図１から図３までの工程に対応する。この方法では、図２２に示すように粘着ロール４をキャリアフィルム１の端より外側の保持部材７に接触させた後に、図２３に示すように保持部材７を矢印２３の向きに移動させて粘着ロール４をキャリアフィルム１に接合する。キャリアフィルム１の巻取りを開始した後は、図２４に示すように前述の方法と同じである。たとえば、図２４の工程は実施の形態１における図３の工程に対応する。
【００６２】
図２３においては、保持部材７に粘着ロール４を接触させて保持部材７の移動を開始しているが、必ずしも接触させなくてもキャリアフィルム１を巻取ることが可能な位置まで粘着ロール４を保持部材７に接近させて保持部材７の移動を行なってもよい。この方法を採用することによって、保持部材７の移動方向に対する微調整を行なう必要がなく確実にキャリアフィルム１の剥離を開始することができる。
【００６３】
（実施の形態３）
（剥離装置の構成と機能）
本発明に基づく実施の形態３におけるキャリアフィルム剥離装置について図３３を参照して以下に説明する。
【００６４】
図３３（ａ）に本実施の形態におけるキャリアフィルム剥離装置の概略図を示し、図３３（ｂ）に図３３（ａ）のおけるＢの部分の拡大断面図を示す。
【００６５】
保持部材７、保持部材移動機構１６の説明や複合シート３の保持方法などは実施の形態１と同様であるのでここでは説明を省略する。
【００６６】
本発明の装置の特徴は粘着ロールを２個備えるところにある。図３３（ｂ）に示すように複合ロール部１０は、剥がし代形成用粘着ロール５と除去用粘着ロール６とを含む。複合ロール部１０は保持部材７に固定された複合シート３に含まれるキャリアフィルム１と対向するように配置される。
【００６７】
２つの粘着ロールにはそれぞれエアシリンダ１１が接続されており、それぞれの粘着ロールが独立に移動する機能を提供するロール駆動部１２が備わる。実施の形態１と同様に、粘着ロールの移動方向は図３３において上下方向である。剥がし代形成用粘着ロール５は、剥がし代１７を形成するために用いられ、除去用粘着ロール６はキャリアフィルム１を完全に剥離するために用いられる。セパレータ８とフィルムガイド９とは、除去用粘着ロール６に近接して配置される。
【００６８】
（剥離方法）
図２５から図３２までを参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるキャリアフィルム剥離方法について以下に説明する。粘着ロールを用いて剥がし代を形成することや、その後粘着ロールを用いてキャリアフィルムを剥離する点においては実施の形態１や実施の形態２と共通するが、粘着ロールを２つ用いてそれぞれ個別に役割を持たせることに違いを有する。
【００６９】
図２５に示すように剥がし代形成用粘着ロール５がキャリアフィルム１の端部に圧接できるように保持部材７を移動した後に、矢印２１の向きに剥がし代形成用粘着ロール５を移動してキャリアフィルム１に圧接させる。図２６と図２７とに示すように保持部材７を矢印２３の向きに移動して剥がし代形成用粘着ロール５を転動させてキャリアフィルム１の一部をセラミックグリーンシート２から巻取る。次に図２８に示すように保持部材７を矢印２４の向きに移動することによって、剥がし代形成用粘着ロール５が矢印２６の向きに転動する。剥がし代形成用粘着ロール５がキャリアフィルム１から離れる位置まで保持部材７を移動させて剥がし代１７を剥がし代形成用粘着ロール５から剥ぎ取る。
【００７０】
図２９に示すように、除去用粘着ロール６を剥がし代１７の領域に圧接できる位置まで保持部材７を移動した後に、矢印２２に示すように剥がし代形成用粘着ロール５を保持部材から離して、矢印２１に示すように除去用粘着ロール６をキャリアフィルム１に圧接させる。剥がし代１７の領域とキャリアフィルム１がセラミックグリーンシート２にいまだ密着している領域との境界より、若干剥がし代１７の領域の方にずらした位置に除去用粘着ロール６を圧接する方が好ましいことや、図２８から図２９の工程において剥がし代領域のキャリアフィルム１とセラミックグリーンシート２とが圧接されるが、再度密着して接合することはないことは、実施の形態１および実施の形態２と同様である。
【００７１】
図３０に示すように保持部材７を矢印２３の向きに移動させて除去用粘着ロール６を転動させてキャリアフィルム１を剥離する。図３１に示すように剥がし代１７は自由端となる。図３２に示すようにセパレータ８でキャリアフィルム１が除去用粘着ロール６から引き剥がされ、フィルムガイド９によってキャリアフィルム１が回収されるべき適切な方向に導かれるのは実施の形態１および実施の形態２と同様である。
【００７２】
このようにして得られたセラミックグリーンシート２の単層は、積層機に運搬され加熱と加圧とによって接合を繰り返して積層体が形成される。
【００７３】
（効果）
本実施の形態の装置または方法を採用することによって、キャリアフィルムを剥離する時間が短縮され生産能力が向上する。たとえば、実施の形態１における図６の状態から図７の状態に移行するための移動距離が短くなり、キャリアフィルム１の剥離に要する時間が短縮される。
【００７４】
ただし、剥がし代形成用粘着ロール５と除去用粘着ロール６とが離れすぎていると、かえって時間がかかる。そこで、剥がし代形成用粘着ロール５の回転軸と除去用粘着ロール６の回転軸との複合シート３の面に平行な方向の距離は、ある長さ以下であることが好ましい。この距離は、図２９を参照して説明すると、剥がし代形成用粘着ロール５が転動してキャリアフィルムを巻取る長さである剥がし代長さ２８と剥がし代形成用粘着ロール５を逆向きに転動させてキャリアフィルム１から離した後も逆向きの転動を継続する距離である余裕長さ２９との和の２倍以内である。
【００７５】
また、時間的な利点がなくとも、粘着ロールが２つに増えることによって、粘着ロールの交換頻度を下げることができ、連続運転時間を長くすることが可能になるという利点を有する。
【００７６】
本実施の形態においても、実施の形態２と同様に積層対象物２０の上に複合シート３を接合してからキャリアフィルム１を剥離して積層体を形成する方法や、複合シート３を保持部材７の上に保持して粘着ロールを上から圧接させる方法であってもよい。また、図２２から図２４に示すように、剥がし代形成用粘着ロール５をキャリアフィルム１の端より外側から内側に向かってキャリアフィルム１と剥がし代形成用粘着ロール５とを接合させて巻取りを開始してもよい。
【００７７】
実施の形態１から実施の形態３のキャリアフィルム剥離装置については、全て保持部材が水平方向に移動して粘着ロールが水平方向に動いているが、粘着ロールと保持部材との相対的な位置を調整する機構を備えていればよい。積層対象物や複合シートについても保持部材の上下どちら側の面に保持されてもよい。また、キャリアフィルムの剥離は、通常は主表面が四角形の形状であるキャリアフィルムの１つの辺と粘着ロールの長手方向とが平行になるように粘着ロールを圧接させて剥離を行なっているが、この方法に限られるわけではなく、四角形の対角方向に剥離を行なってもよい。
【００７８】
このほか、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００７９】
【発明の効果】
本発明によれば、剥がし代を予め形成しなくても、粘着ロールを用いて剥がし代を形成することができるため、剥がし代を形成するための別設備が不要である。また、キャリアフィルムを挟み回収するなどの複雑な機構も不要であり、比較的容易に装置を製作することができる。加えて、予めスリット部を形成する必要もなく、積層対象物への切り屑の混入も回避することができる。剥離されたキャリアフィルムは、剥がし代とセパレータとの作用によって確実に粘着ロールから剥がされて回収される。換言すると、複雑な方法や装置を必要とせず、複合シートからキャリアフィルムを確実に剥離して回収する方法および装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールをキャリアフィルムに接合させる工程の説明図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールの転動の開始を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールによってキャリアフィルムの一部を剥離する工程の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールに接合したキャリアフィルムを粘着ロールから剥ぎ取る工程の開始を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールを保持部材から離す工程の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る保持部材の移動の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係る粘着ロールを剥がし代領域に接合させる工程の説明図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る剥がし代を残して粘着ロールの転動を開始させることを説明する図である。
【図９】本発明の実施の形態１に係る剥がし代を残して粘着ロールでキャリアフィルムを剥離する工程の説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係るキャリアフィルムの回収方法の説明図である。
【図１１】（ａ）は本発明の実施の形態１に係る剥離装置の部分断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡの部分を拡大した断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールをキャリアフィルムに接合させる工程の説明図である。
【図１３】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールの転動の開始を説明する図である。
【図１４】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールによってキャリアフィルムの一部を剥離する工程の説明図である。
【図１５】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールに接合したキャリアフィルムを粘着ロールから剥ぎ取る工程の開始を説明する図である。
【図１６】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールを積層対象物から離す工程の説明図である。
【図１７】本発明の実施の形態２に係る保持部材の移動の説明図である。
【図１８】本発明の実施の形態２に係る粘着ロールを剥がし代領域に接合させる工程の説明図である。
【図１９】本発明の実施の形態２に係る剥がし代を残して粘着ロールの転動を開始させることを説明する図である。
【図２０】本発明の実施の形態２に係る剥がし代を残して粘着ロールでキャリアフィルムを剥離する工程の説明図である。
【図２１】本発明の実施の形態２に係るキャリアフィルムの回収方法の説明図である。
【図２２】本発明の実施の形態１から実施の形態３のいずれかに係る粘着ロールの転動をキャリアフィルムの端の外側から開始することを説明する図である。
【図２３】本発明の実施の形態１から実施の形態３のいずれかに係る保持部材の移動の開始を説明する図である。
【図２４】本発明の実施の形態１から実施の形態３のいずれかに係るキャリアフィルムの一部を剥離する工程を説明する図である。
【図２５】本発明の実施の形態３に係る剥がし代形成用粘着ロールをキャリアフィルムに接合させる工程の説明図である。
【図２６】本発明の実施の形態３に係る剥がし代形成用粘着ロールの転動の開始を説明する図である。
【図２７】本発明の実施の形態３に係る剥がし代形成用粘着ロールによってキャリアフィルムの一部を剥離する工程の説明図である。
【図２８】本発明の実施の形態３に係る剥がし代形成用粘着ロールに接合したキャリアフィルムを剥がし代形成用粘着ロールから剥ぎ取る工程の開始を説明する図である。
【図２９】本発明の実施の形態３に係る保持部材から剥がし代形成用粘着ロールを離して除去用粘着ロールをキャリアフィルムに接合させる工程を説明する図である。
【図３０】本発明の実施の形態３に係る剥がし代を残して除去用粘着ロールの転動を開始させることを説明する図である。
【図３１】本発明の実施の形態３に係る剥がし代を残して除去用粘着ロールでキャリアフィルムを剥離する工程の説明図である。
【図３２】本発明の実施の形態３に係るキャリアフィルムの回収方法の説明図である。
【図３３】（ａ）は本発明の実施の形態３に係るキャリアフィルム剥離装置の部分断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢの部分を拡大した断面図である。
【図３４】（ａ）は従来技術に基づく第１のキャリアフィルム剥離装置の側面図であり、（ｂ）は従来技術に基づく第１のキャリアフィルム剥離方法を説明する図である。
【図３５】（ａ）は従来技術に基づき複合シートにスリットを形成した正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸＸＸＶＢ−ＸＸＸＶＢ線に関する矢視断面図であり、（ｃ）は従来技術に基づく第２のキャリアフィルム剥離方法を説明する図である。
【符号の説明】
１　キャリアフィルム、２　セラミックグリーンシート、３　複合シート、４粘着ロール、５　剥がし代形成用粘着ロール、６　除去用粘着ロール、７　保持部材、８　セパレータ、９　フィルムガイド、１０　複合ロール部、１１　エアシリンダ、１２　ロール駆動部、１３　保持部材駆動用モータ、１４　リニアガイド、１５　ねじ軸、１６　保持部材移動機構、１７　剥がし代、１８　フィルム回収筒、１９　ナット、２０　積層対象物、２１〜２７　矢印、２８　剥がし代長さ、２９　余裕長さ、３０　載架台、３１　導体ペースト、３２　貫通孔、３３　ビアホール、３４　ガイドレール、３５　筐体、３６　アーム体、３７揺動軸、４０　内部電極パターン、４１　スリット部、４２　掴み代。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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