(57)【要約】【課題】コーティング不良を最少化することができる感光物質コーティング方法及び装置を提供する。【解決手段】感光物質を供給するスリットコータ１８０と被塗布対象物３１０との間にスリットコータ１８０からの感光物質の供給量を安定化させるローラ２１０を設けて、供給量が安定化された感光物質を被塗布対象物３１０に供給する。感光物質は感光物質の固形分の量、沸点、表面張力を調節する添加剤が含まれる。これにより、感光物質は均一な厚さに塗布されることができる。【選択図】　　　図９
2004017043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流動性感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更させる段階と、
前記帯形状を有する感光物質を第１表面に第１時間の間供給して前記感光物質の供給量を安定化させる段階と、
前記第１表面から離隔された被塗布対象物に供給量が安定化された前記感光物質を前記幅方向に供給して面形態に塗布する段階と
を含むことを特徴とする感光物質コーティング方法。
【請求項２】
前記感光物質は、塗布速度を向上させるために、約５ｗｔ％〜約２５ｗｔ％の固形分（ｓｏｌｉｄ　ｐｏｗｄｅｒ）と、約９５ｗｔ％〜約７５ｗｔ％の揮発性ソルベントとを含むことを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項３】
前記感光物質は、前記感光物質の乾燥時間を遅延させるための乾燥遅延剤が添加されることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項４】
前記乾燥遅延剤は前記感光物質の沸点より高い沸点を有し、前記感光物質に対して約８０ｗｔ％〜約１０ｗｔ％の乾燥遅延剤が前記感光物質に添加されることを特徴とする請求項３に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項５】
前記感光物質は、表面張力を低下させるために、界面活性剤が添加されることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項６】
前記界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることを特徴とする請求項５に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項７】
前記感光物質に対して約５０００ｐｐｍ〜約２００ｐｐｍの重量の界面活性剤が前記感光物質に添加されることを特徴とする請求項５に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項８】
前記感光物質を塗布する段階は、前記感光物質を第２時間の間に第１圧力に到達するように加圧する段階と、前記感光物質の供給量が目標供給量に到達するまで第３時間の間待機する段階と、前記目標供給量に到達した後、前記感光物質を第２圧力で吐き出す段階とをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項９】
前記第１表面に塗布された前記感光物質の高さは約１０〜約２００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項１０】
前記感光物質を塗布する段階は、被塗布対象物の第１位置で前記感光物質の高さを測定する段階と、前記第１位置と離隔される第２位置で、前記感光物質の高さを測定する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項１１】
前記感光物質を塗布する段階の後に、前記感光物質を乾燥する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項１２】
前記感光物質を塗布する段階後に、残余感光物質を吸入する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング方法。
【請求項１３】
流動性感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更させる形状加工装置と、
前記帯形状を有する感光物質を第１表面に第１時間の間供給して前記感光物質の供給量を安定化させる安定化手段と、
前記第１表面から離隔された被塗布対象物を固定する固定装置と、
前記被塗布対象物に前記安定化された感光物質を幅方向に供給して前記感光物質を面形態に塗布するための移送装置と
を含むことを特徴とする感光物質コーティング装置。
【請求項１４】
前記形状加工装置は、流動性感光物質を供給する供給装置と、前記供給装置から供給される流動性感光物質を帯形状を有する感光物質に変更させるスリットコータとを含むことを特徴とする請求項１３に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項１５】
前記供給装置は、前記感光物質を貯蔵するためのタンク及び前記タンクに貯蔵された前記感光物質に圧力を加えるポンプを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項１６】
前記供給装置は、固形分が貯蔵された第１タンク、揮発性溶剤が貯蔵された第２タンク、沸点調節溶剤が貯蔵された第３タンク、前記第１タンク、第２タンク及び第３タンクに各々連結された混合タンク及び前記混合タンクに連結されたポンプを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項１７】
前記供給装置は、固形分が貯蔵された第１タンク、揮発性溶剤が貯蔵された第２タンク、界面活性剤が貯蔵された第３タンク、前記第１タンク、第２タンク及び第３タンクに各々連結された混合タンク及び前記混合タンクに連結されたポンプを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項１８】
前記スリットコータは、本体、前記本体の内部に形成され、前記感光物質を供給するための供給ポート、前記供給ポートを通じて供給された感光物質を貯蔵する長い空洞形状のバッファ及び前記バッファと連結されて帯形状を有する前記感光物質を吐き出すためのスリットノズルを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項１９】
前記バッファの直径は約３ｍｍ〜約５ｍｍであることを特徴とする請求項１８に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項２０】
前記スリットノズルの長さは約１０ｍｍ〜約３５ｍｍであり、前記スリットノズルの幅は約１００μｍ〜約５０μｍであることを特徴とする請求項１８に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項２１】
前記スリットコータは、前記被塗布対象物と前記スリットコータとの間の間隔を測定するセンサー及び前記被塗布対象物と前記スリットコータ間との間隔を調整する調節装置を含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項２２】
前記感光物質は固形分、揮発性溶剤、前記揮発性溶剤の沸点を調節するための沸点調整溶剤、及び界面活性剤を含むことを特徴とする請求項１３に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項２３】
前記安定化手段は、回転する間に感光物質が塗布されるローラを含むことを特徴とする請求項１３に記載の感光物質コーティング装置。
【請求項２４】
前記形状加工装置と前記ローラとの間のギャップは約１０μｍ〜約２００μｍであることを特徴とする請求項２３に記載の感光物質コーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光物質コーティング方法及び装置に関するものであり、より詳細には、感光物質を均一の厚さを有する面形態に被塗布対象物にコーティングする感光物質コーティング方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体薄膜をパターンニングするに使用される感光物質（ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　ｍａｔｅｒｉａｌ）を面形態にコーティングする方法には、広く知られたスピンコーティング方法が主に使用される。
【０００３】
スピンコーティング方法は高速回転する基板に感光物質を落として感光物質をコーティングする手法である。即ち、この手法では、基板に作用する遠心力によって感光物質をコーティングする。このようなスピンコーティング方法はウェーハのように大きさが小さい基板に感光物質をコーティングする場合に特に適合する。
【０００４】
しかし、スピンコーティング方法は、サイズが大きく重量が重い基板、例えば、液晶表示パネルのようにウェーハに比べて非常に大きい基板に感光物質をコーティングするには適合していない。
【０００５】
最近、サイズが大きく重量が重い基板に感光物質をコーティングするために、幅より長さが長いスリット形状のノズルを通じて感光物質を供給して、面形態に感光物質を塗布するスリットコーティング方法が提案されている。
【０００６】
図１は従来のスリットコータと基板を示した概念図である。
【０００７】
図１に示すように、スリットコータ１０は不定形である感光物質の状態を、幅に比べて長さが長い帯形態に変更させる役割を有する。スリットコータ１０は基板４０に感光物質を供給するための指定された位置Ａにアラインされる。
【０００８】
図２はスリットコータにより感光物質の塗布が行われる状態を示す概念図である。図３は感光物質が部分的にコーティングされた基板の平面図である。
【０００９】
図２に示すように、スリットコータ１０は感光物質供給装置３０から提供される感光物質２０を基板４０に供給する。ここで、スリットコータ１０から供給された感光物質２０は図３に示したように帯形状を有する。
【００１０】
図４はスリットコータにより基板の端部まで感光物質をコーティングしたことを示す概念図である。図５は感光物質がコーティングされた基板の平面図である。図６は従来のスリットコーティング方法により基板に塗布された感光物質のプロファイルを示した断面図である。
【００１１】
図４及び図５に示すように、スリットコータ１０は基板４０の第１位置Ａから第２位置Ｂまで感光物質２０を塗布する。
【００１２】
このような従来のスリットコーティング方法は、ウェーハに比べて面積が大きい基板に容易に感光物質をコーティングすることができるようにするという長所を有する。
【００１３】
しかし、図６に示すように、従来のスリットコーティング方法は、基板４０への感光物質２０の塗布の開始点である第１位置Ａでの厚さＴ１及び感光物質２０の塗布の終了点である第２位置Ｂでの厚さＴ２が、基板の中央部分での厚さＴ３より相対的に厚い。即ち、基板４０にコーティングされた感光物質２０が均一なプロファイルを有しなく、コーティングされた感光物質に波模様が発生したり、部分的に掻かれたように見えるコーティング不良が頻繁に発生する。
【００１４】
このような問題点を克服するために、従来は、スリットコーティング方法で基板に感光物質をコーティングした後、スピンコーティングを実施する方法が使用された。
【００１５】
しかし、スリットコーティング及びスピンコーティングを並行する場合、基板に感光物質をコーティングするにかかる全体時間が相当に増加する。また、スリットコーティング設備及びスピンコーティング設備を全て備えなければならないので、設備費用が大きく増加する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、スリットコーティング方法のみにより、基板に感光物質を均一の厚さでコーティングでき、コーティング不良を最少化することができる感光物質コーティング方法を提供することにある。
【００１７】
本発明の他の目的は、スリットコーティング方法のみにより、基板に感光物質均一の厚さでコーティングでき、コーティング不良を最少化することができる感光物質コーティング装置を提供することにある。
【００１８】
【発明の解決するための手段】
上述した目的を達成するための本発明による感光物質コーティング方法は、流動性感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更させる段階と、前記帯形状を有する感光物質を第１表面に第１時間の間供給して前記感光物質の供給量を安定化させる段階と、前記第１表面から離隔された被塗布対象物に供給量が安定化された前記感光物質を前記幅方向に供給して面形態に塗布する段階とを含む。
【００１９】
上述した目的を達成するための本発明による感光物質コーティング装置は、流動性感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更させる形状加工装置と、前記帯形状を有する感光物質を第１表面に第１時間の間供給して前記感光物質の供給量を安定化させる安定化手段と、前記第１表面から離隔された被塗布対象物を固定する固定装置と、前記被塗布対象物に前記安定化された感光物質を幅方向に供給して前記感光物質を面形態に塗布するための移送装置とを含む。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の望ましい一実施形態をより詳細に説明する。
【００２１】
図７は本発明の一実施形態による感光物質コーティング方法を示すフローチャートである。
【００２２】
図７に示すように、感光物質をコーティングする方法は不定形の流動性感光物質を所定の形状を有する感光物質に変更する段階（Ｓ１）、感光物質が基板に供給される前に感光物質の供給量を安定化させる段階（Ｓ２）及び基板に感光物質を塗布する段階（Ｓ３）により構成される。
【００２３】
不定形の流動性感光物質を所定の形状を有する感光物質に変更する段階（Ｓ１）では、不定形の感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更する。前記帯形状を有する感光物質は、不定形の感光物質を、幅より長さが長いスロット（ｓｌｏｔ）形状の開口を通過させることにより得られる。
【００２４】
ここで、感光物質の形状を帯形状に変更するのは、被塗布対象物に感光物質を面形態に塗布するためである。
【００２５】
ここで、帯形状を有する感光物質は、いずれか部分では供給量が多く、いずれか部分では供給量が少ないという問題点を有する。即ち、これは感光物質の供給量が被塗布対象物の塗布位置により、互いに少しずつ異なることを意味する。
【００２６】
このように、感光物質の供給量が不均一の状態で塗布対象物に感光物質が供給されると、感光物質の厚さが場所により異なる。これを防止するために、感光物質を帯形状に変更させた後には、感光物質の供給量を均一になるように安定化させる段階（Ｓ２）が実施される。
【００２７】
感光物質の供給量を安定化させる段階（Ｓ２）は、前記被塗布対象物に帯形状を有する感光物質を塗布する前に被塗布対象物以外の部分、例えば、ローラ、プレートなどに第１時間の間供給することにより行われる。
【００２８】
ここで、第１時間は感光物質の供給量が均一になる時間である。第１時間は、１秒から５秒程度であれば、十分である。また、帯形状を有する感光物質は第１時間の間に連続的に動く表面に供給されることが望ましい。
【００２９】
このような過程を経た後、感光物質の供給が一時的に停止された状態で、感光物質は被塗布対象物上に移送される。
【００３０】
被塗布対象物上に移送された感光物質は、指定された圧力が加えられながら被塗布対象物に塗布される（Ｓ３）。
【００３１】
前述したように、本発明の一実施形態による感光物質コーティング方法は、スリットコータから排出された帯形状の感光物質の供給量を安定化させた後、被塗布対象物に供給される。従って、従来の感光物質コーティング技術に比べてさらに均一な厚さに感光物質をコーティングすることができる。
【００３２】
ここで、均一なコーティングのために、感光物質には多様な添加剤を含めることができる。
【００３３】
さらに具体的に、感光物質は光と化学反応する特性を有する固形分（ｓｏｌｉｄ　ｐｏｗｄｅｒ）と揮発性を有するソルベントにより構成される。
【００３４】
ここで、固形分は感光物質の粘度に影響を及ぼす。即ち、感光物質に固形分が多く含まれるほど、感光物質の粘度は上昇する。粘度が高い感光物質を利用して前述した方法通りに感光物質を被塗布対象物にコーティングする場合、斑点、掻かれたような模様が頻繁に発生する。
【００３５】
また、感光物質の粘度は塗布速度にも多い影響を及ぼす。即ち、感光物質の粘度が高いほど塗布速度は低下する。
【００３６】
このような理由で、感光物質は約５ｗｔ％（重量パーセント）〜約２５ｗｔ％の固形分と、約９５ｗｔ％〜約７５ｗｔ％の揮発性ソルベントを含むように製造される。これにより感光物質の塗布速度を最大化することができ、斑点及び掻かれた模様のような塗布不良も改善することができる。
【００３７】
また、感光物質は粘度も重要な因子（ｆａｃｔｏｒ）であるが、乾燥時間も重要な因子のうちの一つである。
【００３８】
感光物質の乾燥時間を過度に短縮する場合、感光物質が乾燥されながら排出され、感光物質の流量を変化させ、または斑点及び掻かれた模様のような塗布不良を発生させる場合がある。
【００３９】
感光物質の乾燥時間を調節するために、感光物質には固形分及び揮発性ソルベント以外に感光物質の乾燥時間を遅延させるための乾燥遅延剤がさらに含まれる。
【００４０】
乾燥遅延剤には多様な物質を使用することができる。本発明では一実施形態として揮発性ソルベントより沸点が高い物質を感光物質に混合して感光物質の乾燥時間を遅延させる方法が使用される。
【００４１】
ここで、乾燥遅延剤を非常に多く混合する場合、乾燥が円滑にならないので、感光物質に対して約１０ｗｔ％〜約８０ｗｔ％の乾燥遅延剤が混合されるようにする。望ましくは、前記感光物質は、感光物質に対して約５０ｗｔ％以下の乾燥遅延剤を添加される。
【００４２】
また、感光物質の表面張力も相当に重要な要素である。感光物質の表面張力は被塗布対象物に塗布された感光物質の厚さ均一性に影響を及ぼす。
【００４３】
このような表面張力を考慮して、感光物質には界面活性剤が含まれる。ここで、望ましく界面活性剤は、例えば、フッ素系界面活性剤またはシリコン系界面活性剤が使用されることができる。
【００４４】
感光物質に加えられる界面活性剤は約２００ｐｐｍ〜約５０００ｐｐｍとすることが望ましい。
【００４５】
感光物質を塗布する段階は、感光物質が被塗布対象物に塗布される厚さ均一度を一層向上させるために感光物質に第２時間の間第１圧力に達するまで圧力を加える段階、感光物質の供給量が目標供給量に到達するまで第３時間の間待機する段階、及び感光物質を第２圧力で吐き出す段階をさらに含む。
【００４６】
具体的には、感光物質は、第２時間、例えば０．１秒間、目標圧力である第１圧力に到達するまで加圧され、感光物質の供給量が目標供給量に到達するまで第３時間、例えば０．７秒間待機した後、第２圧力で吐き出される。
【００４７】
他の方法として、感光物質を第２時間、例えば、１秒間、目標圧力である第１圧力に到達するまで加圧し、感光物質の供給量が目標供給量に到達するまで第３時間、例えば、０．２秒間待機した後、第２圧力で吐き出す。ここで、第１時間が長くなるほど第３時間は短くなる。
【００４８】
一方、感光物質の供給量を安定化させる段階で、被塗布対象物以外の部分での感光物質の厚さは相当に重要である。被塗布対象物以外の部分の厚さにより、被塗布対象物上での感光物質の塗布厚さ及び均一性が決定されるためである。本発明では、望ましい一実施形態として、被塗布対象物以外の部分での感光物質の高さが約１０〜約２００μｍになるようにする。
【００４９】
また、感光物質を塗布する段階で被塗布対象物に塗布される感光物質の厚さは相当に重要である。
【００５０】
これを考慮して、感光物質を塗布する段階は、被塗布対象物を基準にして感光物質の厚さを測定する段階をさらに含むことができる。感光物質の厚さは被塗布対象物の第１位置で測定され、前記第１位置と離隔された第２位置で感光物質の厚さが再度測定される。
【００５１】
このような過程を経て被塗布対象物に感光物質が塗布された状態で、スリットコータに残留するその他の感光物質は吸入され除去される。
【００５２】
続いて、被塗布対象物に形成された感光物質は別途の工程、例えば、スピンコーティングなしに乾燥される過程が実施される。
【００５３】
以下、本発明の一実施形態による感光物質コーティング装置の具体的な構成、作用及び効果を、図面を参照して説明する。
【００５４】
図８は本発明の一実施形態による感光物質コーティング装置の構成を示すブロック図である。
【００５５】
図８に示すように、感光物質コーティング装置８００は感光物質形状加工装置１００、塗布量調節ユニット２００、被塗布対象物固定装置３００、移送装置４００及び制御ユニット７００により構成される。
【００５６】
ここで、感光物質コーティング装置８００は間隔測定装置５００、間隔調節装置６００をさらに含む。
【００５７】
図９は感光物質コーティング装置８００の構成を示す斜視図である。
【００５８】
図９に示すように、この感光物質形状加工装置１００は感光物質供給装置１４０及びスリットコータ１８０により構成される。感光物質形状加工装置１００は、流動性であり、不定形である感光物質を幅より長さが長い帯形状を有する感光物質に変更させる。
【００５９】
図１０は本発明による感光物質供給装置の一実施形態を示す概念図である。
【００６０】
図１０に示すように、感光物質供給装置１４０はポンプ１４１及びタンク１４２により構成される。前記タンク１４２には添加剤が混合された感光物質が貯蔵される。
【００６１】
感光物質は５ｗｔ％〜２５ｗｔ％の固形分と９５ｗｔ％〜７５ｗｔ％の揮発性ソルベントにより構成される。
【００６２】
感光物質は、添加剤として、感光物質に対して約５０００ｐｐｍ〜２００ｐｐｍの重量の界面活性剤または感光物質より沸点が高い、感光物質に対して約８０％〜約１０％の重量の乾燥遅延剤を含む。
【００６３】
前記タンク１４２には前述したような組成比を有するように混合された感光物質が貯蔵され、この貯蔵された感光物質は、スリットコータ１８０に供給される。
【００６４】
図１１は本発明による感光物質供給装置の他の実施形態を示す概念図である。
【００６５】
図１１に示すように、タンク１４２は固形分供給装置１４３、ソルベント供給装置１４４、沸点調節装置１４５、界面活性剤供給装置１４６、及び混合タンク１４７を含む。
【００６６】
固形分供給装置１４３は感光物質をなす固形分を混合タンク１４７に供給する。ここで、固形分供給装置１４３は、正確な量の固形分を混合タンク１４７に供給するための供給量調節装置（図示せず）をさらに含むことができる。ここで、固形分は感光物質の約５ｗｔ％〜約２５ｗｔ％を占めるように混合タンク１４７に供給される。
【００６７】
ソルベント供給装置１４４は感光物質をなす揮発性ソルベントを混合タンク１４７に供給する。ソルベント供給装置１４４は正確な量のソルベントを混合タンク１４７に供給するために供給量調節装置（図示せず）をさらに含むことができる。ここで、ソルベントは感光物質の約９５ｗｔ％〜約７５ｗｔ％を占めるように混合タンク１４７に供給される。
【００６８】
固形分供給装置１４３から供給された固形分及び前記ソルベント供給装置１４４により供給された揮発性ソルベントにより感光物質が製造される。
【００６９】
この感光物質には感光物質の乾燥時間を調節する乾燥遅延剤及び感光物質の表面張力を調節する界面活性剤をさらに加えることができる。
【００７０】
沸点調節装置１４５は固形分及び揮発性ソルベントが供給された混合タンク１４７に乾燥遅延剤を供給する。沸点調節装置１４５は正確な量の乾燥遅延剤を混合タンク１４７に供給するために供給量調節装置（図示せず）をさらに含む。ここでは、感光物質に対し約８０％〜約１０％の重量の乾燥遅延剤が供給される。
【００７１】
前記界面活性剤供給装置１４６は固形分及び揮発性ソルベントが供給された混合タンク１４７に界面活性剤を供給する。界面活性剤供給装置１４６は正確な量の界面活性剤を混合タンク１４７に供給するために、供給量調節装置（図示せず）をさらに含むことができる。ここで、感光物質に対し約５０００ｐｐｍ〜約２００ｐｐｍの重量の界面活性剤が供給される。また、この界面活性剤はフッ素系の界面活性剤である。
【００７２】
混合タンク１４７は、固形分、揮発性ソルベント、乾燥遅延剤及び界面活性剤を貯蔵する。前記混合タンク１４７は前記添加剤、例えば、固形分、揮発性ソルベント、乾燥遅延剤及び界面活性剤を完全に混合するために攪拌機（図示せず）を有することが望ましい。
【００７３】
ポンプ１４１は混合タンク１４７の内部を加圧して添加剤が含まれた感光物質を混合タンク１４７の内部から前記スリットコータ１８０に供給する。
【００７４】
図１２は本発明の一実施形態によるスリットコータの斜視図である。図１３は図１２に示したスリットコータのＡ−Ａ断面図である。図１４は図１２に示したスリットコータのＢ−Ｂ断面図である。
【００７５】
図１２乃至図１４に示すように、スリットコータ１８０は本体１８２、供給管１８４、バッファ１８６及びスリットノズル１８８を含む。
【００７６】
前記本体１８２は感光物質が供給される感光物質供給面１８２ａ及び感光物質吐出面１８２ｂ及び側面１８２ｃ、１８２ｄにより構成される。
【００７７】
一実施形態として、感光物質供給面１８２ａは第１幅及び第１長さを有する長方形形状を有する。なお、本明細書において、「幅」とは図１３において図面上左右方向の長さをいい、「長さ」とは図１４において図面上左右方向の長さをいう。
【００７８】
感光物質吐出面１８２ｂは第１幅より小さい第２幅を有し、感光物質供給面１８２ａと同一の第１長さを有する。感光物質吐出面１８２ｂと感光物質供給面１８２ａは相互に平行に配置される。
【００７９】
側面１８２ｃ、１８２ｄは感光物質供給面１８２ａと感光物質吐出面１８２ｂとの間を連結する。
【００８０】
このような構成を有する本体１８２には供給管１８４、バッファ１８６及びスリットノズル１８８が形成される。
【００８１】
図１３及び図１４に示すように、供給管１８４は本体１８２の感光物質供給面１８２ａから本体１８２の内部に所定長さに延びる形状を有する。この供給管１８４は前述した供給装置１４０から供給された感光物質がスリットコータ１８０の内部に供給されるようにする。
【００８２】
バッファ１８６は供給管１８４に連結される。ここで、感光物質バッファ１８６と感光物質供給管１８４は一実施形態としてＴ字形状に連結される。
【００８３】
前記バッファ１８６は供給管１８４を通じて供給された感光物質が安定して供給されるようにバッファリングする役割を有する。ここで、バッファ１８６はパイプ形状を有し、約３ｍｍ〜約５ｍｍの直径を有する。
【００８４】
スリットノズル１８８はバッファ１８６に連結される。スリットノズル１８８は感光物質が帯形状に排出されるように第１幅及び第１長さを有する。
【００８５】
スリットノズル１８８の第１幅は約１００μｍ〜約５０μｍであり、第１長さは約１０ｍｍ〜約３５ｍｍを有する。
【００８６】
このような構成を有する感光物質形状加工装置１００から第１幅及び第１長さを有する感光物質が供給される。
【００８７】
感光物質形状加工装置１００から排出される感光物質は、一般に初期排出量が一定しないという問題点を有する。
【００８８】
本発明では感光物質形状加工装置１００で排出される感光物質の初期排出量を一定にした後、被塗布対象物に感光物質を塗布する。
【００８９】
図９に示すように、前記感光物質形状加工装置１００から排出された感光物質は塗布量調節ユニット２００上に塗布される。塗布量調節ユニット２００は、ローラ２１０、ローラ２１０を回転させるモータ２２０、及び感光物質を除去するためのブレード（ｂｌａｄｅ）を先端に有するプレート２３０により構成される。
【００９０】
より具体的に、ローラ２１０はスリットノズル１８８を通じて形状が変更された感光物質の長さと同一の長さを有する。
【００９１】
モータ２２０はローラ２１０の回転軸（図示せず）に連結され、ローラ２１０を回転させる。
【００９２】
このような構成を有する塗布量調節ユニット２００のローラ２１０へは、感光物質形状加工装置１００から供給された感光物質が所定時間、例えば、５秒程度供給される。
【００９３】
一方、ローラ２１０の表面には感光物質が付く。ローラ２１０に塗布された感光物質は時間が経過するにつれて硬化する。プレート２３０はローラ２１０に付いた感光物質を掻いて除去する。プレート２３０は薄いプレート形状を有し、ローラ２１０の長さと同一の長さを有する。プレート２３０はローラ２１０と相当に狭い間隔を有するように設けられる。
【００９４】
ここで、ローラ２１０とスリットコータ１８０の感光物質吐出面１８２ｂとの間に形成されたギャップは約１０μｍ〜約２００μｍである。
【００９５】
図９に示すように、固定装置３００は被塗布対象物３１０を固定する役割を有する。固定装置３００は被塗布対象物３１０を真空吸着などの方法により堅固に固定する。固定装置３００は塗布量調節ユニット２００に近接する所に形成される。
【００９６】
前記移送装置４００は移送バー４３０、スリットコータ移送ユニット４４０及びスリットコータ固定ユニット４５０により構成される。
【００９７】
移送バー４３０は相互に平行な二つのバー４１０、４２０により構成される。移送バー４３０はスリットコータ１８０を移送する方向に延びる。
【００９８】
スリットコータ移送ユニット４４０は移送バー４３０に連結される。スリットコータ移送ユニット４４０は移送バー４３０に沿って前記スリットコータ１８０を揺れないように、指定された速度で移送する。
【００９９】
スリットコータ固定ユニット４５０は、一側はスリットコータ移送ユニット４４０に結合され、他側はスリットコータ１８０に結合される。
【０１００】
一方、間隔調節装置６００はスリットコータ１８０をアップ−ダウンさせる。このために、間隔調節装置６００はスリットコータ固定ユニット４５０及びスリットコータ移送ユニット４４０との間に設けられる。このような間隔調節装置６００はスリットコータ１８０と被塗布対象物３１０との間の間隔を調節する。ここで、前記間隔調節装置６００による前記スリットコータ１８０と被塗布対象物３１０との間の調節可能な間隔は約５０μｍ〜約１５０μｍである。
【０１０１】
間隔測定装置７００は、スリットコータ１８０の側面１８２ｃに設けられ、スリットコータ１８０と被塗布対象物３１０との間の間隔を測定する。前記感光物コーティング装置８００は一対の間隔測定装置７００を含む。間隔測定装置はレーザビームを被塗布対象物３１０に照射し、この照射されたレーザビームが反射して戻ることを利用して間隔を測定する。
【０１０２】
図１５及び図１６は本発明の一実施形態により塗布量調節ローラに感光物質を供給するための感光物質形状加工装置を示した概念図である。
【０１０３】
図１５に示すように、感光物質形状加工装置１００のスリットコータ１８０は、移送装置４００により塗布量調節ユニット２００のローラ２１０の上方に移送される。この状態で、感光物質供給装置１４０から供給された感光物質は、スリットコータ１８０のスリットノズル１８８を通して回転するローラ２１０に供給される。
【０１０４】
図１６に示すように、感光物質１４１は第１時間の間塗布量調節ローラ２１０に供給される。これにより、スリットノズル１８８の感光物質吐出面１８２ｂ側の端部には、一定の量の感光物質が形成される。
【０１０５】
図１７及び図１８は本発明の一実施形態により基板に塗布された感光物質を示した概念図である。
【０１０６】
図１７に示すように、第１時間が経過した状態で感光物質供給装置１４０から感光物質の供給が中断された状態でスリットコータ１８０は固定装置３００上方に移送される。
【０１０７】
スリットコータ１８０は固定装置３００上に移送され、指定された位置で停止される。続いて、感光物質供給装置１４０は、感光物質に第２時間の間に指定された圧力を加える。これにより、感光物質はスリットコータ１８０から吐き出される。そして、スリットコータが指定された位置に停止している状態で、感光物質供給装置１４０は、指定された量（目標供給量）の感光物質がスリットコータ１８０から吐き出されるまで、感光物質を被塗布対象物３１０に第３時間の間持続的に供給する。
【０１０８】
図１８に示すように、感光物質の供給量が目標供給量に達した後、スリットコータ１８０は移送装置４００により塗布を開始して、被塗布対象物３１０に感光物質を均一の厚さにコーティングする。
【０１０９】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できるであろう。
【０１１０】
【発明の効果】
本発明によると、スリットコータから吐き出される感光物質は被塗布対象物に供給される前に供給量を安定化させる段階を経る。以後、供給量が安定化された感光物質が被塗布対象物に供給されることにより、均一な感光物質膜が形成されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のスリットコータを示す概念図である。
【図２】従来のスリットコータと感光物質が部分的にコーティングされた基板とを示した概略図である。
【図３】従来のスリットコータと感光物質が部分的にコーティングされた基板とを示した概略図である。
【図４】従来のスリットコータにより基板の端まで感光物質をコーティングしたことを示した概略図である。
【図５】従来のスリットコータにより基板の端まで感光物質をコーティングしたことを示した概略図である。
【図６】従来のスリットコーティング方法により基板に塗布された感光物質のプロファイルを示した断面図である。
【図７】本発明の一実施形態による感光物質コーティング方法を示したフローチャートである。
【図８】本発明の一実施形態による感光物質コーティング装置の構成を示したブロック図である。
【図９】感光物質コーティング装置の構成を示した斜視図である。
【図１０】本発明による感光物質供給装置の一実施形態を示した概念図である。
【図１１】本発明による感光物質供給装置の他の実施形態を示した概念図である。
【図１２】本発明の一実施形態によるスリットコータの斜視図である。
【図１３】図１２に示したスリットコータのＡ−Ａ断面図である。
【図１４】図１２に示したスリットコータのＢ−Ｂ断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態により塗布量調節ローラに感光物質を供給するときの感光物質形状加工装置を示した概念図である。
【図１６】本発明の一実施形態により塗布量調節ローラに感光物質を供給するときの感光物質形状加工装置を示した概念図である。
【図１７】本発明の一実施形態により感光物質が基板に塗布された状態を示した概念図である。
【図１８】本発明の一実施形態により感光物質が基板に塗布された状態を示した概念図である。
【符号の説明】
１４２　　感光物質貯蔵タンク
１４３　　固形分供給装置
１４４　　ソルベント供給装置
１４５　　沸点調節装置
１４６　　界面活性剤供給装置
１４７　　混合タンク
１８０　　スリットコータ
１８２　　スリットコータ本体
１８４　　供給管
１８６　　バッファ
１８８　　スリットノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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