(57)【要約】【課題】液晶パネル等の板状物の搬送に用いられる搬送容器として、開閉可能な蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器を用いる場合、搬送工程を自動化することで人員やコストを削減することができるが、搬送工程の自動化を図るに際して、蓋部材を開閉するための開閉装置が必要となる。【解決手段】天板５２、底板５１、及び側板５３により箱状に形成され、該側板５３の一部に開口部５０ａを設け、該開口部５０ａに開閉自在且つ開閉用取手５５を有する蓋５４を備えた密閉可能な搬送トレイ５０における、該蓋５４を開閉するオープナー８０であって、開閉用取手５５に係合して蓋５４を開閉させる開閉アーム８１を備え、前記搬送トレイ５０に板状物５を収納する際又は板状物５を取り出す際に、開閉アーム８１を作動させて蓋５４を開閉させる。【選択図】　　　図１
2004031401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、
被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させることを特徴とする蓋部材開閉装置。
【請求項２】
前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、
前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、
開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させることを特徴とする請求項１に記載の蓋部材開閉装置。
【請求項３】
天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、
板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、
蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする蓋部材開閉装置を備えたステーション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶用パネル、プラズマディスプレイパネル、或いは有機ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）ディスプレイパネルとして用いられるガラス板或いは樹脂板等の特に大型（８５０ｍｍ×９５０ｍｍ以上）の板状物を収納可能な板状物搬送容器に設けられる蓋部材を開閉するための蓋部材開閉装置、及びその蓋部材開閉装置を備えたステーションの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶パネル等の板状物の搬送に用いられる搬送容器として、天井部材と底部材と、天井部材と底部材とを連結するとともに高さ方向に多数の棚を有する支柱とを備えた搬送容器が知られている。板状物は、各棚に積層状態で収納される。
このような搬送容器は密閉されていないため、内部に塵埃が侵入して板状物に付着するのを防止するためには、搬送容器の搬送経路の全てをクリーンな状態に保つ必要があった。これにより、搬送経路の設備やその維持のためのコストがかかるという問題があった。
この問題を解決するために、開閉可能な蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器に、板状部材を収納して搬送することが検討されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の如く、開閉可能な蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器により板状物を搬送する場合、搬送工程を自動化することで人員やコストを削減することができるが、搬送工程の自動化を図るに際して、蓋部材を開閉するための開閉装置が必要となる。
そこで、本発明では、蓋部材を備えた密閉可能な搬送容器の蓋部材を開閉するための蓋部材開閉装置、及びそれを備えたステーションを提供して、該搬送容器への板状物の収納及び取り出しを自動化することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決すべく、以下のような手段を用いるものである。即ち、請求項１の発明においては、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる。
【０００５】
また、請求項２の発明においては、前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させる。
【０００６】
さらに、請求項３の発明においては、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段とを備えるステーションを構成する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、添付の図面より説明する。図１は本発明にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションを示す側面図、図２はステーションのベース台に積層載置される搬送トレイを示す平面図、図３は同じく搬送トレイを示す底面図、図４は同じく２段に積み重ねた搬送トレイを示す正面断面図、図５は同じく搬送トレイの蓋部近傍を示す側面断面図、図６は同じく搬送トレイの上部係合部及び下部係合部を示す斜視図、図７はステーションを示す側面図、図８は同じくステーションを示す正面図、図９は同じくステーションを示す平面図、図１０は搬送トレイの蓋を開閉するオープナーを示す側面図、図１１はオープナーと搬送トレイ及び出し入れされる板状物との位置関係を示す平面図である。
【０００８】
まず、本発明の実施の一形態にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションの全体構成について説明する。
図１に示すように、ステーション７０ａは、露光装置や洗浄装置等の処理装置Ｍに隣接して配設されるローダー／アンローダー７０の筐体７８内に設けられており、開閉自在な蓋５４を備えた密閉可能な板状物搬送容器５０を積層載置するベース台７１と、該板状物搬送容器５０の蓋５４を開閉するための蓋部材開閉装置であるオープナー８０と、ベース台７１を昇降させる昇降機構７７とを備えている。
板状物搬送容器５０内には、例えば、液晶用パネル、プラズマディスプレイパネル、又は有機ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）ディスプレイパネルとして用いられるガラス板或いは樹脂板等の板状物であって、特に大型（８５０ｍｍ×９５０ｍｍ以上）の板状物５が一枚収容されている。
【０００９】
ローダー／アンローダー７０の筐体７８内における、ステーション７０ａよりも処理装置Ｍ側には、ベース台７１上に積層載置した板状物搬送容器５０内に収容される板状物５を、処理装置Ｍへ移載するための枚葉移載装置６２が配設されている。
筐体７８の上面にはフィルターファンユニット（ＦＦＵ）７９が設けられており、該ＦＦＵ７９を通じて清浄化されたエアを筐体７８内部に送り込むようにしている。
【００１０】
ローダー／アンローダー７０の反処理装置Ｍ側には、枚葉移載装置等の移載装置を備えた無人搬送車Ｖが走行しており、該無人搬送車Ｖにより搬送されてきた板状物搬送容器５０が、ステーション７０ａのベース台７１上に積層載置される。
無人搬送車Ｖは、図１の紙面に対する垂直方向に走行して板状物搬送容器５０を搬送しているが、板状物搬送容器５０の搬送はローラコンベア等によっても行うことができる。
【００１１】
次に、ベース台７１上に載置される板状物搬送容器としての搬送トレイ５０について説明する。
図２〜図５に示すように、搬送トレイ５０は、板状物５が一枚収納可能な、厚みが薄い略直方体形状に形成されており、搬送トレイ５０の底面部に配置される底板５１と、天井面部に配置される天板５２と、側面部に配置され底板５１と天板５２とをつなぐ複数の側板５３・５３と、同じく側面部に形成される開口部５０ａ・５０ａと、該開口部５０ａ・５０ａを開閉する蓋５４・５４とを備えている。複数の側板５３・５３は互いに対向する位置に配置され、開口部５０ａ・５０ａは側板５３・５３に対する垂直位置に配置されている。
【００１２】
図３、図４に示すように、底板５１の下方には、井桁形状の枠フレーム６１ａに複数の補強フレーム６１ａを掛架して構成したベースフレーム６１が配置されており、該ベースフレーム６１に底板５１を装着することで、搬送トレイ５０を補強して変形や歪みが生じることを防止している。
ベースフレーム６１の、側板５３・５３が配置される側（図２及び図３における左右）の面からは、運搬用取手６６・６６がそれぞれ外方へ突出しており、該運搬用取手６６・６６を把持して搬送トレイ５０を運搬等することが可能となっている。
【００１３】
図２、図５に示すように、前記蓋５４は、例えば、複数のヒンジ５８により天板５２に対して回動自在に取り付けられており、前記開口部５０ａを開閉可能としている。即ち、蓋５４は、その上端部を中心にして上下回動自在に構成されている。
そして、蓋５４を開くと、開口部５０ａを通じて、搬送トレイ５０内への板状物５の収納、及び搬送トレイ５０からの板状物５の取り出しを行うことができ、蓋５４を全て閉じると、搬送トレイ５０内を密閉することができる。
図５に示すように、蓋５４にはマグネット５４ａが付設されるとともに、搬送トレイ５０の本体側には被吸着部材５０ｃが固設されており、蓋５４を閉じた場合には該マグネット５４ａと被吸着部材５０ｃとが吸着して、ある程度の力がかからないと蓋５４が開かないように構成している。これにより、蓋５４が、搬送トレイ５０の移動や振動などにより、意図に反して開くことを防止している。
【００１４】
なお、蓋５４の開閉機構は、蓋５４が上下にスライドするものや、蓋５４全体が前に外れるような機構等、他の機構でも良く、蓋５４と搬送トレイ５０本体との間には、Ｏリング等の公知のシール手段を配置して密閉性を高めることが好ましい。
また、開口部５０ａの形成面を搬送トレイ５０の前後側面（図２における上下面）とすると、板状物５の移載は前後方向に行われることとなる。
【００１５】
このように、搬送トレイ５０を、底板５１と、天板５２と、側板５３・５３と、開口部５０ａを開閉する蓋５４とで、密閉可能な容器に構成することで、搬送トレイ５０内を清浄な状態に保持していれば、搬送経路等の外部の雰囲気をさほど清浄な状態に保つ必要がなく、クリーン度を低くして設備コストを低減することができる。
【００１６】
また、蓋５４の左右端面からは、それぞれ開閉用取手５５が突出しており、前記オープナー８０により蓋５４を開閉する際には、該オープナー８０の開閉アーム８１を開閉用取手５５に係合することで、開閉操作を行うことが可能となっている。
【００１７】
さらに、図２、図４に示すように、板状物５が液晶用ガラスである場合には、本例のように開口部５０ａ及び蓋５４は、搬送トレイ５０の前後両方の側面部分に設けることが好ましい。これは、例えば、搬送トレイ５０に収納された板状物５を洗浄する場合、一方の開口部５０ａから洗浄液を浸入させて他方の開口部５０ａから排出するといったように、洗浄液の搬送トレイ５０に対する注入及び排出を容易に行うことができ、搬送トレイ５０から板状物５を抜き出すことなく洗浄することが可能となるからである。
また、搬送トレイ５０の前後両側から板状物を移載することができる。
【００１８】
また、搬送トレイ５０内部においては、複数の支持ピン５９・５９・・・が底板５１から上方へ突出している。
複数の支持ピン５９・５９・・・上は搬送トレイ５０に収納される板状物５を支持するものであり、各支持ピン５９・５９・・・は、該支持ピン５９・５９・・・上に載置された板状物５が撓まないような位置に配置されている。
例えば、複数の支持ピン５９・５９・・・は板状物５の移載方向に所定の間隔Ｓｄを設けて列状に並べて配置されており、本例では３列の支持ピン列５９ａ・５９ａ・・・が、所定の間隔Ｓｗを設けて左右に配置されている。そして、この前後方向の間隔Ｓｄ及び左右方向の間隔Ｓｗを、載置された板状物５が撓まないような寸法に設定している。
さらに、各支持ピン列５９ａ・５９ａ・・・の配置間隔Ｓｗは、前記ローダー／アンローダー７０が備える、枚葉移載装置６２の一対のフォーク６２ａ・６２ａが、干渉しないだけの間隔とされている。
【００１９】
板状物５の搬送トレイ５０に対する移載は、板状物５の移載を行う前記枚葉移載装置６２の一対のフォーク６２ａ・６２ａにより板状物５の下面を支持しながら、該フォーク６２ａ・６２ａを移動させることで行われる。
従って、支持ピン５９・５９・・・は、支持した板状物５と搬送トレイ５０の底板５１との間に、少なくとも、前記一対のフォーク６２ａ・６２ａを挿入することができるだけの間隔を確保できるような高さに形成されている。
【００２０】
また、例えば、板状物５を搬送トレイ５０から取り出す場合には、支持ピン５９・５９・・・上に載置されている板状物５を、枚葉移載装置６２により一旦上方へ持ち上げて取り出すため、該板状物５と搬送トレイ５０の上面との間にも所定の空間が設けられている。
なお、支持ピン列５９ａ・５９ａ・・・は、各列の間隔Ｓｗが枚葉移載装置６２のフォーク６２ａが挿入可能な間隔であり、且つ板状物５が撓まないような間隔であれば、４列以上設けることも可能である。
【００２１】
このように支持ピン５９・５９・・・を配列することにより、通常一対のフォーク６２ａ・６２ａを有するローダー／アンローダー７０の枚葉移載装置６２による板状物５の移載を、支障なくスムーズに行うことが可能となっている。
また、支持ピン５９・５９・・・の配置間隔Ｓｄ及び間隔Ｓｗを、板状物５が撓まないような寸法に設定しているので、液晶パネル等の板状物５が搬送トレイ５０やフォーク６２ａ・６２ａに不意に接触する等して破損することを防止することができるとともに、搬送トレイ５０の高さ寸法を抑えて、該搬送トレイ５０を積み重ねた場合における板状物５の収納ピッチを小さくすることができ、収納効率を向上することができる。
【００２２】
図４、図６に示すように、搬送トレイ５０は上下方向に複数段積み重ねることができ、該搬送トレイ５０上面の４箇所の角部、及び下面の４箇所の角部には、それぞれ上部係合部５６及び下部係合部５７が形成されている。
上部係合部５６は天板５２の上面から上方に突出する突起部５６ａを有しており、下部係合部５７は、その下端位置をベースフレーム６１の下面に合わせるとともに、前記突起５６ａの形状に合わせた切り欠き部５７ａを有している。
【００２３】
そして、搬送トレイ５０を上下に積み重ねると、各角部において上部係合部５６と下部係合部５７とが係合し、上下に隣接する搬送トレイ５０の前後方向及び左右方向の位置決めが行われて、両者の位置ずれを防止できるようにしている。これにより、搬送トレイ５０を積み重ねた状態での搬送中に、振動等で上方の搬送トレイ５０が位置ずれを起こし、さらには落下する等といったことを防止でき、搬送トレイ５０の上下方向への積載を確実に行うことができる。
なお、図６に示すように、蓋５４に設けられる前記開閉用取手５５は、左右外方へ突出する軸５５ａによりローラ５５ｂを回転自在に支持して構成されている。
【００２４】
次に、ローダー／アンローダー７０のステーション７０ａ、及び該ステーション７０ａに設けられるオープナー８０について説明する。
図７〜図９に示すように、ステーション７０ａのベース台７１上には複数の弾性部材７２・７２・・・が配設されており、載置される搬送トレイ５０・５０・・・は、該弾性部材７２・７２・・・を介してベース台７１に支持される。
搬送トレイ５０・５０・・・は、弾性部材７２・７２・・・を介して支持されているため、ベース台７１に対して弾性部材７２・７２・・・が弾性変形する範囲内で水平方向に移動可能である。
【００２５】
また、図７、図９に示すように、ベース台７１の対角線上には、一対の位置決め部材７３・７３が配設されている。該位置決め部材７３・７３は、ベース台７１の対角線方向に移動可能であり、中央側へ移動することで搬送トレイ５０・５０・・・を挟持し、該搬送トレイ５０・５０・・・の水平方向の位置決めをする。
この場合、搬送トレイ５０・５０・・・の当初の載置位置と位置決め後の位置とが異なった場合は、位置決めにより搬送トレイ５０・５０・・・が移動した寸法だけ、該搬送トレイ５０・５０・・・を支持する弾性部材７２・７２・・・が、弾性変形することとなる。
ベース台７１上にはいくつかのトレイ検出センサ７４・７４が配設されており、該ベース台７１上に搬送トレイ５０が載置されているか否かの判別を行うようにしている。
【００２６】
図８に示すように、前記昇降機構７７は、ベース台７１に固設されるスライド部７７ｂと、該スライド部７７ｂが上下摺動自在に取り付けられる支持柱７７ａと、スライド部７７ｂを支持柱７７ａに対して上下摺動駆動する図示せぬ駆動部とを備えており、該駆動部の作動によりベース台７１を任意の高さ位置に昇降することを可能としている。
【００２７】
また、図１に示すように、ステーション７０ａにおけるベース台７１の近傍には、搬送トレイ５０の蓋５４を開閉操作するオープナー８０が配設されており、該オープナー８０は、支持部材８２によりローダー／アンローダー７０の筐体７８に取付固定されている。
オープナー８０は、上下に揺動可能な開閉アーム８１を具備しており、該開閉アーム８１を下方から上方へ回動させると、該開閉アーム８１が蓋５４の開閉用取手５５に係合して、該開閉用取手５５を上方に持ち上げる。これにより、蓋５４が開いて、搬送トレイ５０へ板状物を移載する、又は搬送トレイ５０から板状物を取り出すことが可能となる。
尚、図９においては、オープナー８０は搬送トレイ５０の左右一側にのみ配設されているが、該オープナー８０を左右両側に配設して、搬送トレイ５０の左右両側の開閉用取手５５とオープナー８０とを係合させて蓋５４を開閉するように構成することもできる。
【００２８】
図１０に示すように、回動自在に支持されるオープナー８０の腕部材である開閉アーム８１は、通常時（蓋５４を開けないとき）には下方回動した姿勢ａにある。
蓋５４を開けるときは、開閉アーム８１がこの下方回動姿勢から上方回動して、水平位置Ｏよりも所定角度θだけ上方回動した姿勢ｂとなったときに、該開閉アーム８１の先端部と蓋５４の被係合部材である開閉用取手５５とが係合する。
この姿勢ｂにある係合開始時点においては、開閉アーム８１の先端は、開閉用取手５５の中心に対して、寸法ｄだけ開閉アーム８１の回動中心から遠い位置にある。
【００２９】
このように、開閉アーム８１が水平位置Ｏよりも所定角度θだけ上方回動した姿勢ｂにて開閉用取手５５と係合し、係合したときには開閉アーム８１の先端が寸法ｄだけ開閉アーム８１の回動中心から半径方向外側へ突出しているので、開閉アーム８１が姿勢ｂから上方回動すると、係合した開閉用取手５５をオープナー８０側へ引き付けつつすくい上げることとなり、これに伴って蓋５４が上方回動して開く。開閉アーム８１は、蓋５４が完全に開く姿勢ｃとなるまで上方回動する。
開閉アーム８１が係合する開閉用取手５５には、前記ローラ５５ｂが設けられており、ローラ５５ｂが開閉アーム８１に当接し、転動することで、蓋５４の開閉が滑らかに行えるようになっている。
尚、前記開閉アーム８１の形状は、本実施の一形態では、前記開閉用取手５５が係合する部位に凹部を形成して、よりスムーズに開閉できるようにしているが、製造が容易なように、凹部が形成されない直線形状であっても良い。
【００３０】
開閉アーム８１が上方回動して姿勢ｃとなった状態にて、搬送トレイ５０からの板状物５の取り出しや、搬送トレイ５０内への板状物５の収納が行われる。
そして、蓋５４を閉じるときには、開閉アーム８１を姿勢ｃの位置から下方回動すると、蓋５４を自重により下方回動して閉じる。
尚、開閉アーム８１の先端は、姿勢ｂにて開閉用取手５５の中心よりも寸法ｄだけ外側へ突出しているが、回動軌跡ｐで示すように、蓋５４を開閉する搬送トレイ５０よりも一段下方の搬送トレイ５０の開閉用取手５５には接触しないように構成されている。
このように、前記オープナー８０は、その開閉アーム８１が目的の前記搬送トレイ５０の蓋５４に形成されている開閉用取手５５と接触するときには、開閉アーム８１が水平よりも少し上方に回動した位置で接触するが、開閉アーム８１の先端が目的の搬送トレイ５０より一段下の搬送トレイ５０の開閉用取手５５には接触しないように、前記ステーション７０ａに配設されるようになっている。この結果、目的の搬送トレイ５０の蓋５４のみを開閉することができる。
【００３１】
また、図１１に示すように、前記開閉用取手５５及び開閉アーム８１は蓋５４の左右端部よりも外方に位置しており、オープナー８０は出し入れされる板状物５の端部よりも左右外方、且つ開いた状態の蓋５４の端部よりも前後外方（図１１における上方）に位置しているため、オープナー８０及びその開閉アーム８１が板状物５及び前記一対のフォーク６２ａ・６２ａの移動経路から外れた位置に配置されることとなり、板状物５を搬送トレイ５０に対して出し入れする際に、オープナー８０及び該オープナー８０の開閉アーム８１が邪魔になることがない。
【００３２】
このように配置されたオープナー８０の開閉アーム８１が、上下回動する蓋５４の左右端から外方へ突設される開閉用取手５５と係合して該蓋５４を開閉させるように構成しているので、
板状物５の搬送トレイ５０に対する収納及び取り出しを行う際に、開閉アーム８１や開閉用取手５５が板状物５と干渉することがなく、蓋５４の開閉や、板状物５の搬送トレイ５０に対する収納及び取り出しをスムーズ且つ確実に行うことができる。
【００３３】
また、前記ベース台７１は昇降機構７７により昇降可能に構成されているので、該ベース台７１を適宜昇降させることで、複数段に積層される搬送トレイ５０の内、任意の段における搬送トレイ５０の高さ位置をオープナー８０の高さ位置とを合わせることができ、目的とする段の搬送トレイ５０の蓋５４を開閉して、その搬送トレイ５０内に収容される板状物５の取り出し及び収納を行うことができる。
尚、ベース台７１の高さを固定して、オープナー８０を支持部材８２に対して上下スライド可能に取り付け、昇降装置により上下移動させて、該オープナー８０とベース台７１との高さ位置を合わせるようにすることもできる。
【００３４】
このように、オープナー８０は、開閉用取手５５に係合して蓋５４を開閉させる開閉アーム８１を備え、搬送トレイ５０に板状物５を収納する際又は板状物５を取り出す際に、開閉アーム８１を作動させて蓋５４を開閉させるように構成されているので、該開閉アーム８１の動作と枚葉移載装置６２の動作とを連動させることで、板状物５の搬送トレイ５０に対する収納及び取り出しの自動化を図ることが可能となる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、次のような効果を奏するのである。即ち、請求項１記載の如く、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させることにより、
該開閉部材による蓋部材の開閉と、板状物の収納及び取り出しとを連動させることで、板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しの自動化を図ることが可能となる。
【００３６】
さらに、請求項２記載の如く、前記開閉部材は上下方向に回動する腕材であり、前記板状物搬送容器は蓋部材が上下方向に回動し、且つ被係合部材が蓋部材の左右端の少なくとも一端から外方へ突設されており、開閉部材は、上下回動することにより被係合部材と係合して蓋部材を開閉させるので、
板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しを行う際に、開閉部材や被係合部材が板状物と干渉することがなく、蓋の開閉や、板状物の板状物搬送容器に対する収納及び取り出しをスムーズ且つ確実に行うことができる。
【００３７】
さらに、請求項３記載の如く、天井部材、底部材、及び側壁部材により箱状に形成され、該側壁部材の一部に開口部を設け、該開口部に開閉自在且つ被係合部を有する蓋部材を備えた密閉可能な板状物搬送容器における、該蓋部材を開閉する蓋部材開閉装置であって、被係合部材に係合して蓋部材を開閉させる開閉部材を備え、前記板状物搬送容器に板状物を収納する際又は板状物を取り出す際に、開閉部材を作動させて蓋部材を開閉させる蓋部材開閉装置と、板状物搬送容器を積層して載置する載置部と、蓋部材開閉装置の開閉部材の高さ位置が、載置部に積層された板状物搬送容器の内、蓋部材を開閉する板状物搬送容器の高さ位置と合うように、該開閉部材又は積層された板状物搬送容器を上下移動させる移動手段とを備えるので、
板状物搬送容器が複数段に積層されていたとしても、移動手段により、目的の段の板状物搬送容器の蓋を開閉して、その板状物搬送容器に収納される板状物の取り出し及び収納を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる蓋部材開閉装置を備えたステーションを示す側面図である。
【図２】ステーションのベース台に積層載置される搬送トレイを示す平面図である。
【図３】同じく搬送トレイを示す底面図である。
【図４】同じく２段に積み重ねた搬送トレイを示す正面断面図である。
【図５】同じく搬送トレイの蓋部近傍を示す側面断面図である。
【図６】同じく搬送トレイの上部係合部及び下部係合部を示す斜視図である。
【図７】ステーションを示す側面図である。
【図８】同じくステーションを示す正面図である。
【図９】同じくステーションを示す平面図である。
【図１０】搬送トレイの蓋を開閉するオープナーを示す側面図である。
【図１１】オープナーと搬送トレイ及び出し入れされる板状物との位置関係を示す平面図である。
【符号の説明】
Ｍ　処理装置
Ｖ　無人搬送車
５　板状物
５０　搬送トレイ
５４　蓋
５５　開閉用取手
７０　板状物移載装置
７０ａ　ステーション
７１　ベース台
７７　昇降機構
８０　オープナー
８１　開閉アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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