(57)【要約】【課題】複数個同時に製造する全ての圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にするとともに、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にする。【解決手段】圧電フィルタ１は、ウエハ５から形成された２つの圧電基板２、３の一方の主面にそれぞれ入出力振動電極対２１（２１ａ、２１ｂ）、３１（３１ａ、３１ｂ）が形成されるとともに他方の主面にアース電極２１ｃ、３１ｃが形成され、これら圧電基板２、３が保持器４に載置されてなる。入出力振動電極対２１、３１は、それぞれの圧電基板２、３のＺ’軸上に沿って形成されるとともに、それぞれ入力電極２１ａ、３１ａを基準にして＋Ｚ’軸方向に向かって出力振動電極２１ｂ、３１ｂが形成されている。【選択図】図１
2004128885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハから形成された複数枚の圧電基板の主面にそれぞれ入出力振動電極対が形成され、これら複数枚の圧電基板が保持器に載置された圧電フィルタであって、
前記入出力振動電極対は、それぞれの前記圧電基板の同一軸上に沿って形成されるとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極が形成され、
複数枚の圧電基板は、それぞれ前記他方の振動電極と前記一方の振動電極とが接続されて連接されたことを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項２】
前記圧電基板には、その軸方向及び、前記一方の振動電極と前記他方の振動電極との形成位置関係を認識するための認識手段が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の圧電フィルタ。
【請求項３】
複数枚の前記圧電基板は、それぞれの軸方向が同一方向に揃えられるとともに、前記一方の振動電極と前記他方の振動電極との形成位置関係が各圧電基板とも同一位置に配されるように形成されたことを特徴とする請求項２に記載の圧電フィルタ。
【請求項４】
前記一方の振動電極は、入力振動電極であり、前記他方の振動電極は、出力振動電極であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電フィルタ。
【請求項５】
ウエハから形成した複数枚の圧電基板の主面にそれぞれ入出力振動電極対を形成し、これら複数枚の圧電基板を保持器に載置して製造する圧電フィルタの製造方法であって、
ウエハから複数枚の圧電基板を形成する基板形成工程と、
入出力振動電極対をそれぞれの前記圧電基板の同一軸上に沿って形成するとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極を形成する電極形成工程と、
複数枚の圧電基板を、それぞれ前記他方の振動電極と前記一方の振動電極とを接続して連接する接続工程と、を有することを特徴とする圧電フィルタの製造方法。
【請求項６】
前記圧電基板の軸方向及び、前記一方の振動電極と前記他方の振動電極との形成位置関係を認識する認識工程を有することを特徴とする請求項５に記載の圧電フィルタの製造方法。
【請求項７】
複数枚の前記圧電基板を前記保持器に載置する際、各圧電基板の軸方向を一定方向に揃えるとともに、前記一方の振動電極と前記他方の振動電極との形成位置関係を各圧電基板とも同一位置になるように配する配置工程を有することを特徴とする請求項６に記載の圧電フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電フィルタ及び、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電基板の厚みすべり振動等を利用した圧電フィルタにおいては、一般に、圧電基板の主面に所定のギャップを開けて入出力振動電極対（分割電極）を形成するとともに、その反対側の主面にはこれらと対向するようにアース電極を形成した構造を採る。
【０００３】
この種の圧電フィルタにおいては、通常、高い減衰特性を得るためには、複数の圧電フィルタを縦属接続する、いわゆる多段接続とする必要があるが、１つの表面実装型保持器内に１つの圧電フィルタを収容したものでは、このような多段接続を行う場合には実装面積が大となってしまい、機器の小型化を阻害する原因となる。
【０００４】
このような問題を解決すべく、従来、１つの圧電基板上に２組の入出力振動電極対およびアース電極を形成して保持器内に収容した、いわゆる多段接続多重モード圧電フィルタ素子が提案され、実用化されている。
【０００５】
この多段接続多重モード圧電フィルタ素子は、通常、１つの圧電基板上に２組の電極群を形成するとともに、その一方の組の出力振動電極と他方の組の入力振動電極とを、別途接続することによって製品化される。
【０００６】
しかし、この場合、一方の電極群を励振すると、各電極群間の音響的結合および電磁的結合に起因して、他方の電極群も共振してしまうため、個々のフィルタを独立的に調整することが実質的に不可能であり、製品の最終調整が極めて困難であるという問題がある。
【０００７】
また、この多段接続多重モード圧電フィルタ素子によるスプリアス発振は、図８に示す波形となる。この図８からわかるように、この波形における負側の保証減衰量特性については所望する減衰値を得られているが、その正側の保証減衰量特性ついては所望する減衰値を得られていない。
【０００８】
そこで、このような問題を解決するために、１つの保持器内に、それぞれ入出力振動電極対およびアース電極が形成された２つの圧電基板を収容する圧電フィルタが開発された（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
この下記する特許文献１に開示された圧電フィルタ１は、１つの保持器４内に、それぞれ入出力振動電極対２１（２１ａ、２１ｂ）、３１（３１ａ、３１ｂ）およびアース電極（図示省略）が形成された２つの圧電基板２、３を収容し、その各圧電基板２、３の各電極のうち、少なくともアース電極を除いた全ての電極を、それぞれ保持器４内に設けられた個別の接続端子２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、３９ａ、３９ｂ、３９ｃに独立的に接続された構造とする（図９参照）。
【００１０】
この構造により、圧電基板２、３間の音響的結合を阻止し、かつ、各圧電基板２、３を個別に最終調整した後に縦属接続可能となる。
【００１１】
【特許文献１】
特開平９−４６１７０号公報参照
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した特許文献１に開示された圧電フィルタ１を製造する際、以下に示すような問題が生じる。
【００１３】
この圧電フィルタ１には水晶からなる矩形状に形成された圧電基板２、３が用いられており、これら圧電基板２、３には光学軸（Ｚ’軸）と電気軸（Ｘ軸）と機械軸（Ｙ軸）とがある（図２参照）。そのため、２つの圧電基板２、３を保持器４に載置する際のそれぞれの軸方向、もしくは入出力振動電極対２１、３１の圧電基板２、３上での形成位置によって、スプリアス発振は異なる。
【００１４】
例えば、２つの圧電基板２、３のＺ’軸方向が同一方向になるように保持器４に形成され、かつ、＋Ｙ軸方向側の主面であって＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対２１、３１が形成され、入出力振動電極対２１の図９における上方側と入出力電極対３１の図９における下方側とが接続された場合、そのスプリアス発振は図１０に示すような波形となる。
【００１５】
また、２つの圧電基板２、３のＺ’軸方向が逆向きになるように保持器４に形成され、かつ、＋Ｙ軸方向側の主面であって＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対２１、３１が形成され、入出力振動電極対２１の図９における上方側と入出力電極対３１の図９における上方側とが接続された場合、そのスプリアス発振は図１１に示すような波形となる。
【００１６】
また、２つの圧電基板２、３のＺ’軸方向が逆向きになるように保持器４に形成され、かつ、−Ｙ軸方向側の主面であって＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対２１、３１が形成され、入出力振動電極対２１の図９における下方側と入出力電極対３１の図９における下方側とが接続された場合、そのスプリアス発振は図１２に示すような波形となる。
【００１７】
また、２つの圧電基板２、３のＺ’軸方向が同一方向になるように保持器４に形成され、かつ、−Ｙ軸方向側の主面であって−Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対２１、３１が形成され、入出力振動電極対２１の図９における下方側と入出力電極対３１の図９における上方側とが接続された場合、そのスプリアス発振は図１３に示すような波形となる。
【００１８】
この特許文献１に開示された圧電フィルタ１では、圧電基板２、３が矩形状に形成されているため、その圧電基板２、３のＺ’軸方向が分からず、Ｚ’軸方向が揃わない状態で載置する場合や、異なる配置の入出力振動電極対２１、３１を圧電基板２、３に形成する場合等がある。そのため、これら図１０乃至図１３からわかるように、上記した水晶からなり矩形状に形成された圧電基板２、３を用いた場合、２つの圧電基板２、３のＺ’軸方向を揃えることは難しく、または形成する入出力振動電極２１、３１の配置によって圧電基板２、３の軸方向を可変させることは難しく、波形特性が異なる圧電フィルタ１を製造する場合が多く、大量生産を行なう場合、歩留まりが劣る。
【００１９】
そこで、上記課題を解決するために本発明は、複数個同時に製造する全ての圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にするとともに、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にする、圧電フィルタ及び、その製造方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明に係る圧電フィルタは、ウエハから形成された複数枚の圧電基板の主面にそれぞれ入出力振動電極対が形成され、これら複数枚の圧電基板が保持器に載置された圧電フィルタであって、前記入出力振動電極対は、それぞれの前記圧電基板の同一軸上に沿って形成されるとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極が形成され、複数枚の圧電基板は、それぞれ前記他方の振動電極と前記一方の振動電極とが接続されて連接されたことを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、入出力振動電極対は、それぞれの圧電基板の同一軸上に沿って形成されるとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極が形成され、複数枚の圧電基板は、それぞれ他方の振動電極と一方の振動電極とが接続されて連接されるので、複数枚の各圧電基板に形成される入出力振動電極対の形成位置関係と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続関係とを所望した関係にすることが可能となり、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることが可能となる。その結果、常に所望したスプリアス発振を得る圧電フィルタの大量生産が可能となる。また、一つの圧電基板に複数個の入出力振動電極対が形成されずに、圧電基板毎にそれぞれ入出力振動電極対が一対形成されるので、圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にすることが可能となる。
【００２２】
上記構成において、上記圧電基板には、その軸方向及び、上記一方の振動電極と上記他方の振動電極との形成位置関係を認識するための認識手段が設けられてもよい。
【００２３】
この場合、認識手段が設けられているので、複数枚の各圧電基板に形成する入出力振動電極対の形成位置と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続とを明確にすることが可能となる。なお、ここでいう認識手段とは、外観上軸方向を認識可能にするために圧電基板の一部を加工形成して設けた辺や孔等のことをいい、例えば、軸方向を同一にした複数枚のそれぞれの圧電基板の同一角に形成した基板用切欠部のことをいう。また、この基板用切欠部以外に、軸方向を同一にした複数枚のそれぞれの圧電基板の同一角に形成した孔であってもよく、軸方向を同一にした複数枚のそれぞれの圧電基板の同一角に形成した窪み部であってよく、軸方向を同一にした複数枚のそれぞれの圧電基板の同一辺の一部を凸形成したものであってもよく、複数枚のそれぞれの圧電基板の外周縁をその軸方向を同一にした台形状に形成したものであってもよい。
【００２４】
上記構成において、複数枚の上記圧電基板は、それぞれの軸方向が同一方向に揃えられるとともに、上記一方の振動電極と上記他方の振動電極との形成位置関係が各圧電基板とも同一位置に配されるように形成されてもよい。
【００２５】
この場合、複数枚の圧電基板それぞれの一方の振動電極と他方の振動電極とを接続させるための圧電フィルタにおける引き出し線の形成が容易になり、圧電フィルタの小型化が図れる。
【００２６】
上記構成において、上記一方の振動電極は、入力振動電極であり、上記他方の振動電極は、出力振動電極であってもよい。
【００２７】
上記目的を達成するため本発明に係る圧電フィルタの製造方法は、ウエハから形成した複数枚の圧電基板の主面にそれぞれ入出力振動電極対を形成し、これら複数枚の圧電基板を保持器に載置して製造する圧電フィルタの製造方法であって、ウエハから複数枚の圧電基板を形成する基板形成工程と、入出力振動電極対をそれぞれの前記圧電基板の同一軸上に沿って形成するとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極を形成する電極形成工程と、複数枚の圧電基板を、それぞれ前記他方の振動電極と前記一方の振動電極とを接続して連接する接続工程と、を有することを特徴とする。
【００２８】
この発明によれば、基板形成工程と電極形成工程と接続工程とを有するので、複数枚の各圧電基板に形成する入出力振動電極対の形成位置関係と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続関係とを所望した関係にすることが可能となり、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることが可能となる。その結果、常に所望したスプリアス発振を得る圧電フィルタの大量生産が可能となる。また、一つの圧電基板に複数個の入出力振動電極対を形成せずに、圧電基板毎にそれぞれ入出力振動電極対を一対形成しているので、圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にすることが可能となる。
【００２９】
上記方法において、上記圧電基板の軸方向及び、上記一方の振動電極と上記他方の振動電極との形成位置関係を認識する認識工程を有してもよい。
【００３０】
この場合、認識工程を有しているので、複数枚の各圧電基板に形成する入出力振動電極対の形成位置関係と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続とを明確にすることが可能となる。
【００３１】
上記方法において、複数枚の上記圧電基板を上記保持器に載置する際、各圧電基板の軸方向を一定方向に揃えるとともに、上記一方の振動電極と上記他方の振動電極との形成位置関係を各圧電基板とも同一位置になるように配する配置工程を有してもよい。
【００３２】
この場合、配置工程を有しているので、複数枚の圧電基板それぞれの一方の振動電極と他方の振動電極とを接続させるための圧電フィルタにおける引き出し線の形成が容易になり、圧電フィルタの小型化が図れる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施の形態では、圧電基板として水晶素板に本発明を適用した場合を示すが、これに限定されるものではなく、例えばＬｉＴａＯ３　（タンタル酸リチウム）やＬｉＮｂＯ３　（ニオブ酸リチウム）等からなる軸方向を有する圧電基板であればよい。
【００３４】
この圧電フィルタ１は、図１に示すように、ウエハ５から形成された２つの圧電基板２、３の一方の主面にそれぞれ入出力振動電極対２１（２１ａ、２１ｂ）、３１（３１ａ、３１ｂ）が形成されるとともに他方の主面（一方の主面に対向する面）にアース電極２１ｃ、３１ｃが形成され、これら圧電基板２、３が保持器４に載置されてなる。この保持器４に載置された２つの圧電基板２、３の入出力振動電極対２１（２１ａ、２１ｂ）、３１（３１ａ、３１ｂ）は、それぞれの圧電基板２、３のＺ’軸上に沿って形成される（図１、２参照）とともに、それぞれ入力電極２１ａ、３１ａを基準にして＋Ｚ’軸方向に向かって出力振動電極２１ｂ、３１ｂが形成されている。これら入出力振動電極対２１、３１には、それぞれの入出力振動電極用の引き出し電極パターン２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂが形成されている。これら入出力用振動電極用の引き出し電極パターン２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂの先端が導電性接着剤６を介して、独立的に形成された各接続端子２９ａ、２９ｂ、３９ａ、３９ｂに接続されている。また、この圧電フィルタ１では、接続端子２９ｂと接続端子３９ａとが保持器４に配された配線基板（図示省略）を介して接続された状態になっており、多重モード圧電フィルタとして使用される。なお、アース電極用の接続端子２９ｃ、３９ｃが各圧電基板２、３の一角に形成され、これら接続端子２９ｃ、３９ｃに、アース電極２１ｃ、３１ｃそれぞれの引き出し電極パターン２８ｃ、３８ｃの先端が導電性接着剤６を介して接続されている。
【００３５】
ところで、圧電基板２、３には、その軸方向及び、入力電極２１ａ、３１ａと出力振動電極２１ｂ、３１ｂとの形成位置関係を認識するための認識手段が設けられている。この認識手段は、任意の一角を切り欠いた基板用切欠部２２、３２である（図１、図６参照）。また、この基板用切欠部２２、３２は、ともに軸方向を＋Ｚ’軸方向にした同一角に設けられている。
【００３６】
次にこの圧電フィルタ１を製造する工程を、図１乃至図６を用いて、説明する。
【００３７】
まず、水晶の一部を切り出してウエハ５を形成する（本発明でいう基板形成工程）。この形成したウエハ５は、図２に示すように、その軸方向を認識するために＋Ｚ’軸方向認識用のウエハ用切欠部５２を形成した後に研磨する（本発明でいう認識工程のひとつ）。
【００３８】
図２に示すように、研磨したウエハ５の＋Ｚ’軸方向側の主面（以下、＋Ｚ’面という）を上にして、ウエハ用切欠部５２が＋Ｚ’面であってその左端にくるように配する。そして、配したウエハ５と同じ状態で重ねるように他のウエハ５を配したウエハ５の後方に並べる（図３参照）。
【００３９】
次に、貼り付け用ガラスを、重ねたウエハ５１（以下、ウエハ群という）のうち最後方に位置するウエハ５の後方に貼り付ける。この時、−Ｙ軸方向を認識するために貼り付け用ガラスの片面をワックスで溶けない油性マジックを用いて色を塗り、色塗りした貼り付け用ガラスの片面が完全に乾燥した後に、色塗りした片面をウエハ５に接するよう貼り付け用ガラスをウエハ５に貼り付ける。また、貼り付け用ガラスとの接着強度を上げるために、ウエハ５の接着面が面一になるまで研磨する。そして、貼り付け用ガラスの貼り付けの後に、ウエハ群５１の側面５１ａ（図３参照）を研磨し、その後に＋Ｚ’面をマジックを用いて色を塗る。
【００４０】
ウエハ群５１への貼り付け用ガラスの貼り付けを終えた後に、ウエハ群５１を、＋Ｚ’面を上方に向けて配する（図３参照）。＋Ｚ’面を上方に向けて配した後に、その＋Ｚ’面に切断用ガラスを貼り付ける。そして、ウエハ５から、予め設定した寸法の複数枚の圧電基板を形成するために、ウエハ５にその寸法線の切り込みを入れる。この時、形成予定の各圧電基板にはマジックを用いてその一角に色を塗り、この一角を後の基板用切欠部２２、３２になるように印付ける（本願発明でいう認識工程のひとつ）。
【００４１】
そして、ウエハ群５１を、貼り付け用ガラス及び切断用ガラスごとＺ’軸方向に沿ってワイヤーソーを用いて切断し、切断した後にその切断面を研磨する。そして、切断面を研磨した一次切断後のウエハ群５１は、−Ｘ軸方向側の主面（以下、−Ｘ面という）を上方に向けて配する。−Ｘ面を上方に向けて配した後に、その−Ｘ面に切断用ガラスを貼り付ける。この時、−Ｘ面にマジックを用いて色を塗る。そして、一次切断後のウエハ群５１を、貼り付け用ガラス及び切断用ガラスごとＸ軸方向に沿ってワイヤーソーを用いて切断し、その後にマジックを用いて印付けた形成予定の各圧電基板の一角をワイヤーソーを用いて切断して基板用切欠部２２、３２を形成し（本発明でいう認識工程のひとつ）、これら切断面を研磨して、二次切断後のウエハ群５１を形成する（図４参照）。そして、この二次切断後のウエハ群５１から貼り付け用ガラス及び切断用ガラスを外して複数枚の圧電基板に分け、分けた複数枚の圧電基板を洗浄及び研磨して（図５参照）、例えば、圧電基板２、３を形成する。
【００４２】
これら圧電基板２、３を形成した後に、これら圧電基板２、３の＋Ｙ面に入出力振動電極対２１、３１を＋Ｚ’軸方向に沿って形成する（図６参照）。この時、基板用切欠部２２、３２によりそれぞれの圧電基板２、３の＋Ｚ’軸方向を確認しながら、入力振動電極対２１ａ、３１ａと出力振動電極対２１ｂ、３１ｂとの形成位置関係は、それぞれ入力電極２１ａ、３１ａを基準にして＋Ｚ’軸方向に向かって出力振動電極２１ｂ、３１ｂを形成する（本発明でいう電極形成工程）。そして、入出力振動電極対２１、３１を形成した２つの圧電基板２、３を、それぞれの圧電基板２、３の＋Ｚ’軸方向を確認しながら、その軸方向を＋Ｚ’軸方向に揃えて保持器４に載置して（本発明でいう配置工程）、載置した圧電基板２に形成した出力振動電極２１ｂと圧電基板３に形成した入力振動電極３１ａとを、それぞれ引き出し電極パターン２８ｂ、３８ａに接続された接続端子２９ｂ、３９ａから保持器４に配された配線基板（図示省略）を介して電気的に接続して（本発明でいう接続工程）、図１に示す圧電フィルタ１を製造する。
【００４３】
上記したように、この圧電フィルタ１では、入出力振動電極対２１、３１が、それぞれの圧電基板２、３の＋Ｚ’軸上に沿って形成されるとともに、入力振動電極２１ａ、３１ａを基準にして＋Ｚ’軸方向に向かって出力振動電極２１ｂ、３１ｂが形成され、圧電基板２の出力振動電極２１ｂと、圧電基板３の入力振動電極３１ａとが接続されて連接されるので、各圧電基板２、３に形成される入出力振動電極対２１、３１の形成位置関係と、圧電基板２、３における入出力振動電極対２１、３１の接続関係とを所望した関係にすることができ、圧電フィルタ１のスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし（図１０（ａ）参照）、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることができる。その結果、常に所望したスプリアス発振を得る圧電フィルタ１の大量生産が可能となる。
【００４４】
また、一つの圧電基板に複数個の入出力振動電極対が形成されずに、圧電基板２、３毎にそれぞれ入出力振動電極対２１、３１が一対形成されるので、圧電フィルタ１のスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にすることができる（図１０（ｂ）参照）。
【００４５】
また、上記圧電フィルタ１には、認識手段が設けられているので、各圧電基板２、３に形成する入出力振動電極対２１、３１の配置と、圧電基板２、３におけるそれぞれの入出力振動電極対２１ｂ、３１ａの接続とを明確にすることができる。
【００４６】
また、この圧電フィルタ１では、圧電基板２、３は、それぞれの軸方向が同一方向に揃えられるとともに、各圧電基板２、３に形成された入力振動電極２１ａ、３１ａと出力振動電極２１ｂ、３１ｂとの形成位置関係が各圧電基板２、３とも同一位置に配されるように形成されているので、圧電基板２の出力振動電極２１ｂと圧電基板３の入力振動電極３１ａとを接続させるための圧電フィルタ１における配線基板の形成が容易になり、圧電フィルタ１の小型化が図れる。
【００４７】
なお、本実施の形態では、認識工程により、軸方向を同一にし、入出力振動電極２１、３１の位置関係を同じにした複数枚の圧電基板２、３の同一角にウエハ用切欠部５２が設けられているが、これに限定されるものではない。他の実施例として、図７（ａ）に示すように、軸方向を同一にした複数枚の圧電基板２、３の同一角に孔２３、３３が形成されてもよい。また、図７（ｂ）に示すように、軸方向を同一にした複数枚の圧電基板２、３の同一角に窪み部２４、３４が形成されてもよい。また、図７（ｃ）に示すように、軸方向を同一にした複数枚の圧電基板２、３の同一辺２５、３５の一部が凸２６、３６に形成されてもよい。また、図７（ｄ）に示すように、複数枚の圧電基板２、３の外周縁２７、３７がその軸方向を同一にした台形状に形成されてもよい。
【００４８】
また、本実施の形態では、２つの圧電基板２、３を保持器４に載置しているが、その枚数はこれに限定されるものではない。
【００４９】
また、本実施の形態では、圧電基板２、３の＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対２１、３１を形成しているが、圧電基板２、３の軸方向と入出力振動電極対２１、３１の形成位置との関係はこれに限定されるものではなく、例えば、スプリアス発振の所望するループ帯域の帯域幅を得るために、入出力振動電極対２１、３１を、Ｘ軸またはＺ’軸の任意の方向に沿って形成してもよく、また入出力振動電極対２１、３１の形成位置関係が、本実施の形態とは逆に一方の振動電極に出力振動電極２１ｂ、３１ｂを用いてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明にかかる圧電フィルタ及び、その製造方法によれば、複数個同時に製造する全ての圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にするとともに、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることができる。
すなわち、この発明にかかる圧電フィルタによれば、入出力振動電極対は、それぞれの圧電基板の同一軸上に沿って形成されるとともに、一方の振動電極を基準にして沿う軸方向に向かって他方の振動電極が形成され、複数枚の圧電基板は、それぞれ他方の振動電極と一方の振動電極とが接続されて連接されるので、複数枚の各圧電基板に形成される入出力振動電極対の形成位置関係と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続関係とを所望した関係にすることができ、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることができる。その結果、常に所望したスプリアス発振を得る圧電フィルタの大量生産ができる。また、一つの圧電基板に複数個の入出力振動電極対が形成されずに、圧電基板毎にそれぞれ入出力振動電極対が一対形成されるので、圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にすることができる。
【００５１】
また、本発明にかかる圧電フィルタの製造方法によれば、基板形成工程と電極形成工程と接続工程とを有するので、複数枚の各圧電基板に形成する入出力振動電極対の形成位置関係と、複数枚の圧電基板におけるそれぞれの入出力振動電極対の接続関係とを所望した関係にすることができ、圧電フィルタのスプリアス発振におけるループ帯域を常に良好な状態にし、かつ、その波形特性を同一にして歩留まりを良好にすることができる。その結果、常に所望したスプリアス発振を得る圧電フィルタの大量生産ができる。また、一つの圧電基板に複数個の入出力振動電極対を形成せずに、圧電基板毎にそれぞれ入出力振動電極対を一対形成しているので、圧電フィルタのスプリアス発振における正負側の補償減衰量特性を常に良好にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる圧電フィルタに載置された圧電基板の入出力振動電極対が形成された主面側の平面図である。
【図２】本実施の形態にかかる圧電フィルタを製造する工程におけるウエハの平面図である。
【図３】本実施の形態にかかる圧電フィルタを製造する工程における、複数枚重ねたウエハ群の斜視図である。
【図４】本実施の形態にかかる圧電フィルタを製造する工程における、Ｘ軸方向及びＺ’軸方向に切断した複数枚重ねたウエハ群の斜視図である。
【図５】本実施の形態にかかる圧電フィルタに載置する圧電基板の概略平面図である。
【図６】本実施の形態にかかる圧電フィルタに載置する圧電基板の入出力振動電極対が形成された主面側の平面図である。
【図７】（ａ）は、本実施の形態にかかる圧電フィルタに用いる、認識手段が一角に形成した窪み部である圧電基板の平面図であり、（ｂ）は、本実施の形態にかかる圧電フィルタに用いる、認識手段が一角に形成した孔である圧電基板の平面図であり、（ｃ）は、本実施の形態にかかる圧電フィルタに用いる、認識手段が一辺の一部に形成した凸である圧電基板の平面図であり、（ｄ）は、本実施の形態にかかる圧電フィルタに用いる、認識手段が台形状に形成した外周縁である圧電基板の平面図である。
【図８】従来の圧電フィルタによるスプリアス発振の波形図である。
【図９】従来の圧電フィルタに載置された圧電基板の入出力振動電極対が形成された主面側の平面図である。
【図１０】（ａ）は、２つの圧電基板のＺ’軸方向が同一方向になるように保持器に形成され、かつ、＋Ｙ軸方向側の主面であって、＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対が形成され、入出力振動電極対の図９における上方側と入出力電極対の図９における下方側とが接続された場合の圧電フィルタによるスプリアス発振の波形のうちループ帯域の波形図であり、（ｂ）は、そのスプリアス発振の波形図である。
【図１１】（ａ）は、２つの圧電基板のＺ’軸方向が逆向きになるように保持器に形成され、かつ、＋Ｙ軸方向側の主面であって、＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対が形成され、入出力振動電極対の図９における上方側と入出力電極対の図９における上方側とが接続された場合の圧電フィルタによるスプリアス発振の波形のうちループ帯域の波形図であり、（ｂ）は、そのスプリアス発振の波形図である。
【図１２】（ａ）は、２つの圧電基板のＺ’軸方向が逆向きになるように保持器に形成され、かつ、−Ｙ軸方向側の主面であって、＋Ｚ’軸方向に沿って入出力振動電極対が形成され、入出力振動電極対の図９における下方側と入出力電極対の図９における下方側とが接続されたた場合の圧電フィルタによるスプリアス発振の波形のうちループ帯域の波形図であり、（ｂ）は、そのスプリアス発振の波形図である。
【図１３】（ａ）は、２つの圧電基板のＺ’軸方向が同一方向になるように保持器に形成され、かつ、−Ｙ軸方向側の主面であって、−Ｘ軸方向に沿って入出力振動電極対が形成され、入出力振動電極対の図９における下方側と入出力電極対の図９における上方側とが接続された場合の圧電フィルタによるスプリアス発振の波形のうちループ帯域の波形図であり、（ｂ）は、そのスプリアス発振の波形図である。
【符号の説明】
１　　圧電フィルタ
２、３　　圧電基板
２１、３１　　入出力振動電極対
２１ａ、３１ａ　　入力振動電極
２１ｂ、３１ｂ　　出力振動電極
２１ｃ、３１ｃ　　アース電極
２２、３２　　基板用切欠部
２３、３３　　孔
２４、３４　　窪み部
２５、３５　　一辺
２６、３６　　凸
２７、３７　　外周縁
２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂ、引き出し電極パターン
２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、３９ａ、３９ｂ、３９ｃ　　接続端子
４　　保持器
５　　ウエハ
５１　　ウエハ群
５１ａ　　側面
５２　　ウエハ用切欠部
６　　導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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