(57)【要約】【課題】設備内で自然流下する水の位置エネルギー、運動エネルギーを利用することによりエネルギーコストが低減され、別途冷却水を確保したり冷却設備を設けたりすることのない水没式熱交換装置を提供すること。【解決手段】冷却水を循環させる熱交換パイプ１２を、流速を持った水槽または水路１３内に設置し、設備内で自然流下する水の位置エネルギー、運動エネルギーを利用することにより、熱交換パイプ１２内の冷却水を効果的に冷却でき、しかもエネルギーコストが低減され、別途冷却水を確保したり冷却設備を設けたりすることはない。【選択図】  図１
2004309059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱機器の冷却水を循環させる熱交換パイプを、流速を持った水槽または水路内に水没状態で設置したことを特徴とする水没式熱交換装置。
【請求項２】
発熱機器がオゾン発生器で、水槽または水路がオゾン接触槽であることを特徴とする請求項１に記載の水没式熱交換装置。
【請求項３】
発熱機器がオゾン発生器で、水槽または水路がオゾン接触槽に通じる配管内であることを特徴とする請求項１に記載の水没式熱交換装置。
【請求項４】
発熱機器がオゾン発生器で、水槽または水路が内部に迂流部を設けたオゾン接触槽の迂流部であることを特徴とする請求項１に記載の水没式熱交換装置。
【請求項５】
熱交換パイプが、水槽または水路における水流方向に対し、垂直方向に並列配置され、これら並列配置されたものが必要数、千鳥状に段積み配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の水没式熱交換装置。
【請求項６】
並列配置された熱交換パイプは、１本のパイプを必要パスの回数折り返して形成されていることを特徴とする請求項５に記載の水没式熱交換装置。
【請求項７】
並列配置された熱交換パイプは、複数本のパイプを折り返すことなく所定の間隔で配置したものであることを特徴とする請求項５に記載の水没式熱交換装置。
【請求項８】
迂流部の下流側に、洗浄用のオゾン散気管を設置したことを特徴とする請求項４に記載の水没式熱交換装置。
【請求項９】
オゾン接触槽の天板には、水没した熱交換パイプを外部に取り出すための開口を設け、前記天板内面の開口周縁から、内部水面下に達する水封パイプを一体に設け、この水封パイプ及び前記開口を通って前記熱交換パイプを外部に取り出すように構成した請求項２に記載の水没式熱交換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水処理設備などに適用される発熱機器冷却用の水没式熱交換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、上下水、し尿・産業排水に対する水処理設備として、オゾンを用いた高度処理が用いられるようになった。このような処理場において、オゾン発生器等の発熱機器を冷却するために、場内の処理水を冷却水として利用することが考えられた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この装置では、処理水を一次冷却水としてポンプで給水し、熱交換器にて二次側冷却水（循環水）と熱交換させている。また、熱交換器の設置場所は防水処置を施した防液堤内としている。一次冷却水として沈殿水等の処理水を用いている場合、熱交換器に直接通すと目詰まりが起こりやすい為、オートストレーナを介しての給水としている。この場合、熱交換器は定期的に分解洗浄し、都度、パッキンの交換を行わなければならない。
【０００４】
上水処理では、冷却水として使用できる水が十分あるため、熱交換器方式での冷却を行っているが、下水・し尿処理場の場合は冷却水として使用することができない。このため、チラーによる冷却が一般的であり、更に動力が必要となっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−２９２７３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、発熱機器を有する処理場内の処理水を、熱交換器などを用いて１次冷却水として用いることが考えられたが、この１次冷却水を熱交換器に供給するためのポンプ設備が必要であり、多くのエネルギーコストを必要とする。また、沈殿水等を１次冷却水に用いる場合は、１次側の目詰まりが生じやすいのでオートストレーナの設置や、熱交換器に対する定期的な分解洗浄が必要になる。さらに、下水やし尿処理水は１次冷却水としての利用が困難である。
【０００７】
本発明の目的は、設備内で自然流下する水の位置エネルギー、運動エネルギーを利用することにより、エネルギーコストが低減され、別途冷却水を確保したり冷却設備を設けたりすることのない水没式熱交換装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による水没式熱交換装置は、発熱機器の冷却水を循環させる熱交換パイプを、流速を持った水槽または水路内に設置したことを特徴とする。
【０００９】
本発明は、発熱機器をオゾン発生器、水槽または水路をオゾン接触槽の出口部分とすることができる。
【００１０】
また、本発明は、発熱機器をオゾン発生器、水槽または水路をオゾン接触槽に通じる配管内とすることができる。
【００１１】
さらに、本発明は、発熱機器がオゾン発生器で、水槽または水路が内部に迂流部を設けたオゾン接触槽の迂流部とすることもできる。
【００１２】
本発明では、熱交換パイプが、水槽または水路における水流方向に対し、垂直方向に並列配置され、これら並列配置されたものが必要数、千鳥状に段積み配置された構成にするとよい。
【００１３】
この場合、並列配置された熱交換パイプは、１本のパイプを必要パスの回数折り返して形成された構成とする。
【００１４】
また、並列配置された熱交換パイプは、複数本のパイプを折り返すことなく所定の間隔で配置した構成としてもよい。
【００１５】
さらに、本発明では、迂流部の下流側に、洗浄用オゾン散気管を設置してもよい。
【００１６】
また、本発明による水没式熱交換装置は、オゾン接触槽の天板に、水没した熱交換パイプを外部に取り出すための開口を設け、前記天板内面の開口周縁から、内部水面下に達する水封パイプを一体に設け、この水封パイプ及び前記開口を通って前記熱交換パイプを外部に取り出すように構成してもよい。
【００１７】
これらの発明では、冷却水を循環させる熱交換パイプを、流速を持った水槽または水路内に設置し、設備内で自然流下する水の位置エネルギー、運動エネルギーを利用することにより、熱交換パイプ内の冷却水を効果的に冷却でき、しかもエネルギーコストが低減され、別途冷却水を確保したり冷却設備を設けたりすることはない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による水没式熱交換装置の一実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は本実施の形態を説明する概念図である。図１において、１１は発熱機器で、ここではオゾン発生器として説明する。１２は冷却用の熱交換パイプで、流速を持った水槽または水路１３内に設置されている。熱交換パイプ１２内には、ポンプ１４により、オゾン発生器１１および関連補機を冷却するための冷却水が流通しており、流速を持った水槽または水路１３内の流水によって冷却される。
【００２０】
上記水槽または水路１３としては、流速を持つものなら何でもよいが、例えば、水処理施設におけるオゾン接触槽等が適する（以下、オゾン接触槽として話を進める）。この場合、熱交換パイプ１２を設置する場所としては、図示のように底部近くでよいが、より流速が早い部分、例えば、オゾン接触層１３の出口部分や、或いはオゾン接触槽に通じる配管内でもよい。
【００２１】
このように、浸漬させた熱交換パイプ１２によって熱交換させるため、機器寸法の制限を受けず、処理水槽（オゾン接触槽）１３自体を用いることから、冷却水の流速を大きく取れ、熱伝導率を向上できる。また、設定温度は処理水側の温度がほとんど変わらない程度とできる。
【００２２】
なお、処理水槽１３がオゾン接触槽の場合、内部空間（処理水面より上部の空間）には排オゾンガスが滞留している。この排オゾンガスは、処理水内部で反応しきれずに上部に浮上したもので、最終的には、図示しない排オゾン分解塔を経て外部に排出される。この排オゾンガスが、排オゾン分解塔を通ることなく、オゾン接触槽１３から外部に直接排出されることは環境上好ましくない。
【００２３】
ところで、前記熱交換パイプ１２は洗浄などのために、オゾン接触槽１３の外に取り出すことがある。この取り出し作業はオゾン接触槽１３の天板に設けた開口の蓋を開けて行なわれる。このため、オゾン接触槽１３内に溜っている排オゾンが直接外部に排出されることになり、環境上好ましくない。
【００２４】
そこで、図２及び図３で示すように、オゾン接触槽１３の天板１３ａに、水没した熱交換パイプ１２を外部に取り出すための開口１６を設け、この天板１３ａの内面に水封パイプ１７を一体に設ける。すなわち、開口１６の周縁から、先端が内部水面下に達するように水封パイプ１７を一体に設ける。熱交換パイプ１２は、この水封パイプ１７の先端と対抗するように配置し、開口１６を覆う蓋１８を貫通して循環用の配管１２ｉ，１２ｏと連結する。
【００２５】
このように構成したことにより、熱交換パイプ１２を外部に取り出す際、排オゾンガスの漏出を防止できる。すなわち、熱交換パイプ１２を取り出す場合は、循環用配管１２ｉ，１２ｏとの連結部を取り外し、蓋１８の開口１６への締め付けを解除する。この状態で、図３で示すように、熱交換パイプ１２を蓋１８ごと引き上げることにより、水没していた熱交換パイプ１２は水封パイプ１７内を通り、開口１６から外部に取り出すことができる。
【００２６】
このとき、オゾン接触槽１３内の上部空間に滞留していた排オゾンガスは、水封パイプ１７の下端部が水面以下に位置するため、開口１６との間は処理水により水封されている。このため、オゾン接触槽１３内に滞留していた多量の排オゾンガスが開口１６から外部に排出されることはない。
【００２７】
上述の熱交換パイプ１２を水没させた水没式熱交換装置は、以下の設計条件で、伝熱面積が決定される。
【００２８】
ここで、処理水（１次冷却水）と循環水（２次冷却水）との関係は以下のように表される。
【００２９】
処理水入口温度ｔ１→処理水出口温度ｔ２
循環水出口温度Ｔ２←循環水入口温度Ｔ１
また、発熱機器であるオゾン発生器１１の、オゾン発生による発熱を冷却する冷却量Ｑに対して、熱交換パイプ１２に必要な伝熱面積Ｓは、次式で表される。
【００３０】
【数１】
2004309059.tif 000003
上式において、Ｕは熱通過率、θは対数平均温度差である。このうち、熱通過率Ｕは下式のように示される。
【００３１】
【数２】
2004309059.tif 000004
上式において、
ｈ１：管外側の熱伝達率［Ｗ／ｍ２・Ｋ］、流速Ｖ１ｍ／ｓの乱流条件から決定
ｈ２：管内側の熱伝達率［Ｗ／ｍ２・Ｋ］、流速Ｖ２ｍ／ｓの乱流条件から決定
Ａ１：管外径の表面積［ｍ２］（単位長当たり）
Ａ２：管内径の表面積［ｍ２］（単位長当たり）
δｗ：熱交壁材厚さ［ｍ］
Ｋｗ：壁材熱伝導率［  Ｗ／ｍ・Ｋ］
ｒｆ：汚れ係数［ｍ２・Ｋ／Ｗ］
また、対数平均温度差θは下式で示される。
【００３２】
【数３】
2004309059.tif 000005
上式において、θ１＝Ｔ１−ｔ２，  θ２＝Ｔ２−ｔ１である。
【００３３】
（１）〜（３）式から、Ｓ［ｍ２］が得られると、熱交換パイプ１２の仕様は次式のように表される。
【００３４】
Ｓ＝パイプ長さ×パイプ径×π×パス数×本数×セット数    ・・（４）
このように、１本のパイプを、折り返しｘ１パスで１ラインとし、これを千鳥配置にｘ２段積みしたものがｘ３セットで構成される熱交換器となる。図４の例は、１本のパイプを、ピッチ（Ｓ１）３２ｍｍで折り返してｘ１＝１３パスとした１ラインを、段積みピッチ（Ｓ２）２４ｍｍでｘ２＝５６段、千鳥配置で段積みした状態を示している。セット数ｘ３は２セットとする。
【００３５】
この場合、パイプ仕様は標準とするが、本数、セット数は、設置先のスペースに合わせて調整する。
【００３６】
なお、１パスで折り返し無しとし、パイプ本数を増やす設計としてもかまわない。この場合、パイプを折り返す必要がないので、パイプに冷却フィンを設けることができ、放熱特性をさらに向上させることができる。
【００３７】
このように構成すると、熱交換装置の１次側に冷却水を供給する動力が不要となり、１次冷却水ポンプの設置スペース、ポンプから熱交換器までの配管工事、保守作業を省力化できる。熱交換パイプ１２の設置スペースは水槽１３内となるため、床上に防液堤付きで確保する必要が無くなる。
【００３８】
ここで、従来、熱交換器の１次冷却水に処理水を用いた場合、２次側冷却水はイオン交換水を循環させているため、２次側のチューブが汚れることはないが、１次側に汚損・目詰まりが発生する。
【００３９】
これに対し、上記構成によると、１次側冷却水が２次側冷却水配管（熱交換パイプ１２）の外面を直接冷却するので、従来のように、１次側管内の洗浄が不要となる。
【００４０】
また、１次冷却水として、オゾン接触を行っていない水を用いると、スライム等の付着で熱交換が阻害され易いが、この実施の形態のように、熱交換パイプ１２をオゾン接触槽１３内に設置することで、熱交換パイプ１２の表面は清浄な状態が保持され、熱交換が阻害されることはない。すなわち、処理水中の溶存オゾンがスライムの付着を防止し、或いは付着したスライムを剥離させるためである。
【００４１】
また、従来、熱交換器方式とするには処理水が足りないとされていた下水処理場等においても、上記実施の形態によれば、オゾン接触層１３内で、熱交換パイプ１２の外面部分に、オゾン処理水を通過させるだけなので、採用可能となる。
【００４２】
沈殿水を冷却水に用いるに際して、従来はオートストレーナを介する必要が生じるケースもあるが、上記実施の形態によれば、このような機器設置も不要となる。
【００４３】
熱交換パイプ１２の洗浄に当たっては、水槽の水を抜いて散気管の洗浄を行う際に、熱交換パイプ１２の外面をジェット洗浄すればよく、容易に洗浄することができる。
【００４４】
また、オゾン接触槽１３が、図５及び図６で示すように、迂流部２１を有する構成の場合、熱交換パイプ１２を、処理水の流速が速くなる迂流部に設置することで、熱交換の効率が良くなる。この場合、パイプ断面積分、処理水通水面積が減り流速が上がるため、熱交換の効率は更に良くなる。
【００４５】
なお、熱交換パイプ１２のパイプ設置密度を上げ過ぎると圧損が大きくなり、後段処理に影響を与えるので、熱交換パイプ１２のパイプ密度による圧損は３００ｍｍＡｑ程度以下となるよう設計する。
【００４６】
［実施例］
図５及び図６で示すように、オゾン接触槽１３が迂流部２１を有し、この迂流部２１に熱交換パイプ１２を設置した場合について説明する。
【００４７】
図において、オゾン接触槽１３は３段接触方式であり、３つの迂流部２１により、流入部２２、第１段接触部２３、第２段接触部２４及び第３段接触部２５に仕切られている。各オゾン接触部２３，２４，２５の底部には、それぞれオゾン散気管２６が設けられており、これらはオゾン供給管２７にそれぞれ接続している。
【００４８】
また、各迂流部２１は、底部上に立設された迂流壁２９と、天井部から吊設された垂れ壁３０とで構成されている。熱交換パイプ１２は、オゾン接触槽１３内の下流側に位置する迂流部２１、すなわち、迂流壁２９と垂れ壁３０との間に設置されている。この熱交換パイプ１２は、図４で示したように、パイプを折り返す等して複数本並列に配置したものであり、並列配置されたパイプが、水流方向に対して垂直方向となるように配設され、必要段数、千鳥状に段積み構成されている。
【００４９】
また、この熱交換パイプ１２は、図５で示すように、オゾン接触槽１３の側壁面を貫通する入口管１２ｉおよび出口管１２ｏを有し、これらは図示しないが、オゾン発生器側の冷却管と接続している。また、迂流部２１の下部には洗浄用のオゾン散気管３２が設けられており、付属バルブ３３を介してオゾン供給管２７と連結している。
【００５０】
この洗浄用散気管３２は、通常時は付属バルブ３３を閉としており、熱交換パイプ１２の洗浄時のみ使用される。すなわち、付属バルブ３３を開とすることで、熱交換パイプ１２の外面にオゾン化空気が直接散気され、気泡洗浄が行われる。この結果、交換パイプ１２の表面に付着したスライム等を剥離洗浄する。
【００５１】
このオゾン接触槽１３の上流側には被処理水の流入渠３５が設けられ、また、下流側にはオゾン処理水の流出渠３６が設けられている。
【００５２】
上記構成において、流入渠３５内の被処理水はオゾン接触槽１３の流入部２２内に流入し、第１の迂流部２１により短絡流を生じることなく第１段接触部２３内に流入する。そして、この第１段接触部２３内にて、底部に設けられたオゾン散気管２６から吹き出されるオゾン化空気と接触し、オゾン処理される。この後、第２の迂流部２１により同じく短絡流を生じることなく第２段接触部２４内に流入し、オゾン散気管２６から吹き出されるオゾン化空気と接触し、オゾン処理される。さらに、第３の迂流部２１を経て第３段接触部２５内に流入し、オゾン散気管２６からのオゾン化空気と接触してオゾン処理され、流出渠３６に流出する。
【００５３】
ここで、熱交換パイプ１２は、流速が速くなる迂流部２１に設置したので、迂流部の速い流速によって効果的に冷却される。また、熱交換パイプ２１は、オゾン接触槽１３内の下流側である第３の迂流部２１に設置したので、この迂流部を流れる処理水にはオゾンが充分に溶存しており、熱交換パイプ１２へのスライム付着を低減することができる。また、定期的に、或いは必要に応じて、洗浄用散気管３２の付属バルブ３３を開操作することにより、オゾン化空気が熱交換パイプ１２の表面に直接散気され、気泡洗浄が行われる。このため、熱交換パイプ１２の表面に付着したスイライム等は剥離洗浄される。この結果、オゾン接触槽１３を開放しての大がかりな洗浄の頻度を下げることができる。
【００５４】
通常、オゾン処理を行う機場で、オゾン発生器を冷却するのに必要な冷却水量は、オゾン発生量にほぼ比例し、処理水量も同様にスケールアップして計算できるの。例えば、オゾン発生量が１ｋｇ／ｈのオゾン発生器（この時の発熱の冷却量Ｑは、約２００００ｋｃａｌ／ｈ）の場合の必要な冷却水量と処理水量、水槽容量への機器設置法を、従来技術による場合と比較して具体的に検討する。
【００５５】
▲１▼  従来の熱交換器を用いて冷却を行った場合
処理水入口温度  ３０℃  →  処理水出口温度  ３３℃
循環水出口温度  ３２℃  ←  循環水入口温度  ３５℃
このときに必要な冷却水量：６．７ｍ３／ｈ
総括伝熱係数  ３０４８ｋｃａｌ／ｍ２ｈ℃（汚れ係数考慮）
平均温度差    ２℃
熱交換器プレートの伝熱面積は  ２００００÷２÷３０４８＝３．２８ｍ２
となる。
【００５６】
熱交換器の大きさとしては、  ４００Ｗ×４００Ｄ×１１００Ｈ  程度である。
【００５７】
冷却水ポンプのモータ容量は１．５ｋＷないし２．２ｋＷとなる。
【００５８】
また、チラーを用いて冷却していた場合は、７ｋＷ程度の電力消費がある。
【００５９】
▲２▼  本実施例で熱交換を行った場合
循環水、冷却水の温度設定は以下となる。
【００６０】
処理水入口温度  ３０℃  →  処理水出口温度  ３０．２３℃
循環水出口温度  ３２℃  ←  循環水入口温度  ３４．９℃
冷却管は熱交換パイプとしてのＳＵＳ製標準サイズで外形１６ｍｍ、肉厚１．２ｍｍを選定する。
【００６１】
Ｑ：２００００ｋｃａｌ／ｈに対して必要な伝熱面積Ｓは、前述した（１）、（２）、（３）式に以下の数値を代入することで、１０．２ｍ２となる。
【００６２】
ｈ１：管外側の熱伝達率、流速  ０．０５５ｍ／ｓの乱流条件で、１５９２Ｗ／ｍ２・Ｋ
（１００ｍ３／ｈの水量が、迂流部断面２ｍ×０．５ｍを通過する）
（パイプ径と同寸の間隔で熱交換パイプが千鳥配置されている）
ｈ２：管内側の熱伝達率、流速  １．５ｍ／ｓの乱流条件で、７０７１Ｗ／ｍ２・Ｋ
Ａ１：管外径の表面積（単位長当たり）  ０．０１６πｍ２
Ａ２：管内径の表面積（単位長当たり）  ０．０１３６πｍ２
δｗ：熱交壁材厚さ  ０．００１２ｍ
Ｋｗ：壁材熱伝導率  ４０  Ｗ／ｍ・Ｋ
ｒｆ：汚れ係数  ０．０００５３ｍ２・Ｋ／Ｗ
θ１＝Ｔ１−ｔ２＝４．５℃，  θ２＝Ｔ２−ｔ１＝２．０℃
熱交換パイプの仕様としては、図２で示したように、
長さ１．８ｍ×１３パス×５６本組×２セット
となる。
【００６３】
よって、１本のパイプを、芯−芯で３２ｍｍ間隔（Ｓ１＝３２ｍｍ）で折り返し１３パスで１ラインとし、これを２４ｍｍ間隔（Ｓ２＝２４ｍｍ）で千鳥配置に５６段重ねたものが２式で構成される熱交換器となる。
【００６４】
熱交換パイプ１２部分の寸法は、４５０ｍｍ×１４００ｍｍ×１８００ｍｍが２式となる。
【００６５】
次に、オゾン接触槽１３についてみると、その大きさは、オゾンと処理水とが約３０分接触・滞留するよう処理水量に合わせて決定される。オゾン接触槽１３では、図３及び図４で説明したように、通常、３段階のオゾン接触法がとられ、各段階の３／４が接触、１／４が迂流の空間配分となるように水槽が仕切られている。従って、熱交換パイプ１２の取り付けスペースとして、接触槽の１／１２が与えられることになる。
【００６６】
前述した１ｋｇ／ｈのオゾン発生器に対しては、処理水別に次の水量となる。
【００６７】
浄水処理向け：オゾン注入率３ｇ／ｍ３  →処理水量３３３ｍ３／ｈ
下水処理向け：オゾン注入率１０ｇ／ｍ３→処理水量１００ｍ３／ｈ
水槽が比較的小さく、設置スペースの少ない下水の流量で、設置条件を検討する。
【００６８】
オゾンの接触・滞留時間を３０分とすると、水槽容量は５０ｍ３となり、有効寸法として、２ｍＷ×６．２５ｍＬ×４ｍＤとなる。従って、熱交換パイプ１２を設置する迂流部のスペースはおよそ２ｍＷ×０．５ｍＬ×４ｍＤとなる。下水におけるこのスペースで、先に示した熱交換パイプ１２を設置することが可能と検証できた。
【００６９】
処理水量が２倍になると水槽も２倍になり、熱交換パイプ１２の設置スペースは２倍となる。また、発生オゾン量が２倍となることから交換熱量も２倍で、熱交換器は同仕様で２台あればよい。よって、大容量の処理水に対しても設置スペースの問題は無い。
【００７０】
このように、場内処理水の流水を有効に利用したので、熱交換器１次側に冷却水を供給する動力が不要となる。また、１次冷却水ポンプ、オートストレーナも不要となる。さらに、これらの設置スペース、防液堤設置、ポンプから熱交換器間の配管工事が不要となる。また、１次側冷却水をオゾン処理水とし２次側冷却水配管の外面を直接冷却する熱交換装置とすることで、機器を分解洗浄する保守作業が不要となり、外面からのジェット洗浄で足りることとなる。
【００７１】
また、従来、熱交換器方式とするには処理水が足りないとされた下水処理場等においても採用できる。
【００７２】
【発明の効果】
本発明によれば、設備内で自然流下する水の位置エネルギー、運動エネルギーを利用することにより、発熱機器が生じる熱を効果的に冷却できるので、エネルギーコストが低減されると共に、別途冷却水を確保したり冷却設備を設けたりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による水没式熱交換装置の一実施の形態を説明する概念図である。
【図２】同上一実施の形態における熱交換パイプの取り出し構造を示す部分図である。
【図３】図２に示した部分の取り出し状態を説明する図である。
【図４】同上一実施の形態で用いる熱交換パイプの構成を示す図である。
【図５】同上一実施の形態におけるオゾン接触槽の一実施例を示す平面図である。
【図６】同上一実施の形態におけるオゾン接触槽の一実施例を示す正面図である。
【符号の説明】
１１    発熱機器
１２    熱交換パイプ
１３    流速を持った水槽または水路
２１    迂流部
２３，２４，２５    オゾン接触部
【図１】
2004309059.tif 000006
【図２】
2004309059.tif 000007
【図３】
2004309059.tif 000008
【図４】
2004309059.tif 000009
【図５】
2004309059.tif 000010
【図６】
2004309059.tif 000011