(57)【要約】【課題】処理システムでアラームが発生した場合、経験の浅い使用者でも復帰方法の判断に困らず、復帰措置が容易であり、またアラームＩＤのリソース不足を解消することのできるアラーム方法及びアラーム装置を提供することにある。【解決手段】処理システム１９の被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラ１４に入力されたときに、上位コントローラ１２が下位コントローラ１４からの通知に基づき、アラーム情報データベース１３を検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム名称をアラーム情報として得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイル１７からアラーム元が指示するアラーム部位の語句を読み出して、この語句をアラーム名称と合成し、その合成された表示内容の復帰方法をモニター１１にボタン表示させ、このボタンを操作することによりアラームの復帰を指示可能とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づきアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム名称をアラーム情報として得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム部位の語句を読み出して、この語句をアラーム名称と合成し、その合成された表示内容の復帰方法をモニターにボタン表示させ、このボタンを操作することによりアラームの復帰を指示可能とすることを特徴とする処理システムにおけるアラーム方法。
【請求項２】
処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、これを上位コントローラに通知し、上位コントローラが、アラームの復帰方法、アラーム名称などのアラーム情報を記憶したアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム情報を読み出し、そのうち復帰方法については該当する一又は二以上の復帰方法をモニターにボタン表示させ、このボタンを操作することによりアラームの復帰を指示可能とした処理システムにおけるアラーム方法において、
上記アラーム情報データベースに登録された復帰方法をボタン表示すると使用者において復帰指示の適切な判断が難しくなる関係にある特定のアラームが発生した場合に、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づき、上記アラーム情報データベースからアラーム名称を得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム部位の語句を読み出して、この語句をアラーム名称と合成し、その合成された表示内容の復帰方法をモニターに表示させ、復帰指示を可能とする
ことを特徴とする処理システムにおけるアラーム方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の処理システムにおけるアラーム方法において、
上記アラーム部位の語句と共に部位特定名称の語句を読み出し、これらを上記アラーム情報データベースから得たアラーム名称と合成して、その合成された表示内容の復帰方法をモニターに表示させ、復帰指示を可能とすることを特徴とする処理システムにおけるアラーム方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の処理システムにおけるアラーム方法において、
下位コントローラが、処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が入力されたときに、これをアラームＩＤに変換して上位コントローラに通知し、
上位コントローラが、アラーム復帰方法、アラーム名称などのアラーム情報を記憶したアラーム情報データベースを検索して、当該アラームＩＤに対応したアラーム名称ＩＤを読み出し、
このアラーム名称ＩＤに基づき、予め設けたアラーム名称ファイルからアラーム名称を読み出し、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状に作成されたアラーム名称の定義文を作成し、
他方、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム信号に対応したアラーム部位や部位特定名称等の語句を読み出し、この語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた部分を更新し、その更新後のアラーム名称の定義文を復帰方法としてモニターに表示させ、復帰指示を可能とすることを特徴とする処理システムにおけるアラーム方法。
【請求項５】
処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づきアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム情報を出力するように構成した処理システムにおけるアラーム装置において、
上記上位コントローラに、アラーム名称表示用の名称ファイルの他にアラーム名称埋め込み用の語句ファイルを設けると共に、
上記名称ファイルからアラーム信号に対応したアラーム名称を読み出す手段と、
読み出したアラーム名称を用い、予め決められたルールで一部が変数として虫食い状になったアラーム名称の定義文を作成する手段と、
上記語句ファイルからアラーム信号に対応したアラーム部位や部位特定名称等の語句を読み出す手段と、
この読み出した語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた部分を更新する手段と、
その更新後のアラーム名称の定義文を復帰方法としてモニターに表示させ、復帰指示を可能とする手段と
を設けたことを特徴とする処理システムにおけるアラーム装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、処理システムで発生したアラーム信号に対応するアラーム情報を出力する処理システムにおけるアラーム方法及びアラーム装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハや液晶表示器用ガラス基板などの被処理物に所要の処理を施す各種の処理システムにおいて、システムの異常状態を検知してアラームを発生する方法が採られている。例えば、半導体ウエハの塗布、現像などの処理システムにあっては、レジスト塗布装置、現像装置、基板搬送装置などの各部の状況をセンサで検知し、異常時にはセンサがアラーム信号を発生し、このアラーム信号に対応するアラーム情報を記憶装置のアラームファイルから読み出して、モニター、シグナルタワー、ブザー等の出力装置に出力する方法が知られている。
【０００３】
図９に、従来のアラーム装置の構成を示す。アラーム装置は、モニター１１、上位コントローラ１２、及び下位コントローラ１４から構成される。
【０００４】
モニター１１は、例えばタッチパネル入力式であり、タッチペン等の入力手段１１ａを備えており、表示したアラームの復帰方法を選択可能となっている。
【０００５】
上位コントローラ１２はメインコントローラであり、アラーム情報（アラーム復帰方法、アラーム名称のＩＤ、アラーム詳細のＩＤなど）を登録したアラーム情報データベース１３を備える他、アラーム名称（の文章）表示用の名称ファイル１５と、アラーム詳細内容表示用の文章ファイル１６を備える。
【０００６】
下位コントローラ１４は、処理システム１０の被アラーム対象であるモジュール１８−１，…１８−ｎのコントローラ（モジュールコントローラ）である。処理システム１９は、ここでは半導体ウエハの処理システムであって、半導体ウエハに対して種々の処理を行う複数個の処理ユニットと、これらの処理ユニットに対し基板の搬送を行う基板搬送装置（図５の基板搬送装置２１参照）などを備えている。図９のモジュール１８−１，…１８−ｎは、この処理ユニットや基板搬送装置等をそれぞれ一ブロックとして表したものである。
【０００７】
図１０に、モジュールからアラームが発生した場合のアラーム処理の流れを示す。
【０００８】
上記の各モジュール（処理ユニットや基板搬送装置等）１８−１，…１８−ｎには、異常状態を検出するための各種のセンサ（図示せず）が設けられている。モジュールでアラームが発生した場合、各センサの検出信号は、当該モジュールを制御する下位コントローラ（ブロックコントローラ）１４に送られ、ここで各センサごとに個別のアラームＩＤ（識別）、すなわちアラームコードに変換される。アラームコードは上位コントローラ（メインコントローラ）１２に送られる（図１０のステップ（ａ）〜（ｂ））。上位コントローラ１２は、このアラームＩＤに基づき、アラーム情報データベース１３を検索して、復帰方法、名称のＩＤ、詳細のＩＤなどのアラーム情報を読み出し、これを一覧表示画面部分と、復帰方法選定ボタン、詳細画面移行ボタン等のソフト的なボタン表示画面部分とを含む画面形式に整えてモニターに表示する（図１０のステップ（ｃ）〜（ｇ））。後者のソフト的にボタンの形で表示される復帰方法には、「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」、「表示削除」があり、アラームが発生した場合、これらの復帰方法の選択ボタンが、そのまま一個又は複数個、モニターにソフトキーとして表示されるものである。
【０００９】
装置使用者は、モニター１１に表示されたアラームの内容を元に復帰方法を判断し、表示された「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」又は「表示削除」のうちのソフトキーのうち、該当するものを押すことにより、アラームの復帰方法を指示する（図１０のステップ（ｈ））。
【００１０】
上位コントローラ１２は、モニター１１から入力手段１により指示された復帰方法を含めた復帰指示を、アラーム発生元であるモジュール１８に対して行う（図１０のステップ（ｉ））。
【００１１】
モジュール１８が上位コントローラ１２から通知された復帰方法を基に、アラームの復帰動作を行う（図１０のステップ（ｊ））。
【００１２】
なお、上記のようなアラーム装置においては、バージョンアップや特殊アラーム仕様の追加等の変更があった場合、アラーム情報データベースのアラームファイル全体を書き換えて作り直す必要があり、これを不要とするよう、アラームファイルを工夫することが行われている（例えば、特許文献１参照）。この技術は、標準的なシステム，顧客等を想定した標準アラームファイルと、個々のシステム仕様毎ないし顧客毎の特殊アラーム仕様に対応した特殊情報ファイルとを用意し、同一のデータ項目（例えば、アラーム解除情報、アラーム名称など）については、特殊アラームファイルの内容を優先し、その内容を標準アラームファイルから検索されたアラーム情報に上書きして、最終的なアラーム情報を作成して出力するものである。
【００１３】
【特許文献１】
特開平９−７３５９２号公報（特許請求の範囲、図４）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、半導体ウエハ処理システムにおけるアラーム装置においては、上位コントローラと通信可能な下位コントローラが複数存在し、上位コントローラが、アラームの復帰方法をタッチペンで操作入力可能なモニター（表示機器）と、アラーム情報を管理するデータベースを持ち、下位コントローラからアラームが発生した場合、アラーム情報データベースで予め決められた復帰方法をモニターにボタン表示させる。ここで、モニター上には「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」又は「表示削除」といったアラーム復帰ボタンが一個又は複数個表示される。
【００１５】
そして、従来のアラーム装置の場合、オペレータは、表示されたアラームの情報を確認し、装置の状態や処理の状態により、表示されたアラーム復帰ボタンのうちから、適切な復帰方法と判断されるものを押す（モニターへタッチペン入力する）ことで、復帰方法を選択し指示して、アラームの復帰動作を行ってきた。
【００１６】
しかしながら、かかる方法では、下位システムの状態に応じて、オペレータが適切な対処を判断することが難しい場合があった。例えば、基板搬送装置におけるモータが過負荷の場合、当該基板搬送装置にはＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸にそれぞれ独立したモータが使用されているため、これに対応したアラーム復帰が要請されるが、上記の「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」又は「表示削除」といったアラーム復帰ボタンの１又は２以上が表示されるという方法では、経験の浅い使用者の場合、いずれの復帰方法を取れば良いのか迷うことになる。
【００１７】
また、モジュールの処理ユニットは通常カバーで覆われており、内部の状態を知るためにはカバーを外す作業が必要になる。また、カバーを外して内部の状態を確認するといった作業が困難な場合もある。
【００１８】
この問題の解決策の一つとしては、従来行ってきたように、例えばアラーム復帰方法ないしアラーム復帰ボタンの種類を増加させることが考えられる。しかし、これでは、下位システムの状態によりアラームの復帰方法を変更する場合、一つのアラームを別のアラームとして扱うことになり、同じ意味（名前）のアラームが複数存在することになる。また、処理システムのアラーム数が慢性的に肥大するという問題を抱えており、処理状態により復帰方法が変わるための新規アラーム追加は、極力これをなくすことが望まれている。すなわち、アラーム情報データベースには既に数千件のアラームの情報を保持するようになっており、将来的なアラームの追加に対して、いかにしてソフトウエアのアラームＩＤのリソース不足を解消するかが、上位システムのソフトウェアでの課題となっている。
【００１９】
そこで、この発明の目的は、上記課題を解決し、処理システムのモジュールでアラームが発生した場合、アラームの発生元からそのアラームの復帰方法の一部の指定情報を獲得することで、経験の浅い使用者でも判断に困らず復帰措置が容易である、処理システムにおけるアラーム方法及びアラーム装置を提供することにある。
【００２０】
この発明の他の目的は、処理システムのモジュールでアラームが発生した場合、アラームの発生元からそのアラームの復帰方法の一部の指定情報を獲得し、これを基に復帰方法を作成することで、アラームＩＤのリソース不足を解消することのできる処理システムにおけるアラーム方法及びアラーム装置を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明は、次のように構成したものである。
【００２２】
請求項１記載の発明に係る処理システムにおけるアラーム方法は、処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づきアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム名称をアラーム情報として得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム部位の語句を読み出して、この語句をアラーム名称と合成し、その合成された表示内容の復帰方法をモニターにボタン表示させ、このボタンを操作することによりアラームの復帰を指示可能とすることを特徴とする。
【００２３】
請求項２記載の発明に係る処理システムにおけるアラーム方法は、処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、これを上位コントローラに通知し、上位コントローラが、アラームの復帰方法、アラーム名称などのアラーム情報を記憶したアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム情報を読み出し、そのうち復帰方法については該当する一又は二以上の復帰方法をモニターにボタン表示させ、このボタンを操作することによりアラームの復帰を指示可能とした処理システムにおけるアラーム方法において、上記アラーム情報データベースに登録された復帰方法をボタン表示すると使用者において復帰指示の適切な判断が難しくなる関係にある特定のアラームが発生した場合に、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づき、上記アラーム情報データベースからアラーム名称を得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム部位の語句を読み出して、この語句をアラーム名称と合成し、その合成された表示内容の復帰方法をモニターに表示させ、復帰指示を可能とするものである。
【００２４】
復帰指示の適切な判断が難しくなる場合とは、例えば復帰方法を二以上ボタン表示することが必要となるような場合では、かかる特定のアラームＩＤについて、それらを予めアラームの管理リストに掲げておくことで判断することができる。
【００２５】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の処理システムにおけるアラーム方法において、上記アラーム部位の語句と共に部位特定名称の語句を読み出し、これらを上記アラーム情報データベースから得たアラーム名称と合成して、その合成された表示内容の復帰方法をモニターに表示させ、復帰指示を可能とすることを特徴とする。
【００２６】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の処理システムにおけるアラーム方法において、下位コントローラが、処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が入力されたときに、これをアラームＩＤに変換して上位コントローラに通知し、上位コントローラが、アラーム復帰方法、アラーム名称などのアラーム情報を記憶したアラーム情報データベースを検索して、当該アラームＩＤに対応したアラーム名称ＩＤを読み出し、このアラーム名称ＩＤに基づき、予め設けたアラーム名称ファイルからアラーム名称を読み出し、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状に作成されたアラーム名称の定義文を作成し、他方、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム信号に対応したアラーム部位や部位特定名称等の語句を読み出し、この語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた部分を更新し、その更新後のアラーム名称の定義文を復帰方法としてモニターに表示させ、復帰指示を可能とすることを特徴とする。
【００２７】
請求項５記載の発明に係る処理システムにおけるアラーム装置は、処理システムの被アラーム対象からアラーム信号が下位コントローラに入力されたときに、上位コントローラが、下位コントローラからの通知に基づきアラーム情報データベースを検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム情報を出力するように構成した処理システムにおけるアラーム装置において、上記上位コントローラに、アラーム名称表示用の名称ファイルの他にアラーム名称埋め込み用の語句ファイルを設けると共に、上記名称ファイルからアラーム信号に対応したアラーム名称を読み出す手段と、読み出したアラーム名称を用い、予め決められたルールで一部が変数として虫食い状になったアラーム名称の定義文を作成する手段と、上記語句ファイルからアラーム信号に対応したアラーム部位や部位特定名称等の語句を読み出す手段と、この読み出した語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた部分を更新する手段と、その更新後のアラーム名称の定義文を復帰方法としてモニターに表示させ、復帰指示を可能とする手段とを設けたことを特徴とする。
【００２８】
＜作用＞
アラームが発生した場合、従来の処理システムのアラーム装置においては、モニターに復帰方法が複数ボタン表示されることがある。この場合、装置使用者がその状況を判断して適切な指示を行う必要があるが、経験の浅い使用者にはいずれのボタンを操作すべきか判断に困る場合がある。
【００２９】
この発明では、このような状況のアラームが発生した場合、アラーム情報データベースに設定されている、使用者が数種の中から選択して決定づける復帰方法の表示は行わず、代わりに、アラームの発生元からアラームの最も適切な復帰方法についての指定を獲得して、その結果の復帰指示をモニター画面に表示するようにするので、経験の浅い使用者であっても判断に困ることがなくなる。
【００３０】
具体的には、アラームの復帰方法に加えて、アラーム名称やアラーム詳細内容の表示の一部を、アラーム発生元で指定して復帰方法を作成する。すなわち、一方では、上位コントローラにあるアラーム名称ファイルや詳細内容表示用ファイルの定義文を、変更したい文章の一部を虫食い状の形にして用意する。ここで、「虫食い状」とは、定義文の一部が、埋め込みたい埋め込み変数の名前を、例えば［］で挟んで指定した記述部分（虫食い部分）を持つという意味である。他方では、新たに、この虫食いの部分に入れ込むための「語句ファイル」を追加する。そして、アラーム発生元で指定する情報をアラーム発生元から獲得し、その獲得した指定情報に基づいて、語句ファイルから適切な語句（単語や文章）を読み出し、これをアラーム名称や詳細内容の定義文の虫食い部分に埋め込んで、完成された定義文とし、これを復帰方法としてモニターに表示して、オペレータに復帰指示可能とする。
【００３１】
従来では、データベース内に同じアラームでも複数のケースでのアラームがあり得た。この発明では、そのようなケースの場合、アラームＩＤを追加することなく、これをボタン表示できるので、アラームＩＤの数が少なくて済む。したがって、オペレータの負担が軽減されるだけでなく、ソフトウエアにおける将来的なアラームＩＤのリソース不足も解消し得る。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３３】
図５は、この発明を適用したレジスト液塗布・現像処理システムの概略平面図、図６は、図５の正面図、図７は、図６の背面図である。
【００３４】
上記処理システムは、被処理体（基板）として半導体ウェハＷ（以下にウェハＷという）をウエハカセット１で複数枚例えば２５枚単位で外部からシステムに搬入又はシステムから搬出したり、ウエハカセット１に対してウェハＷを搬出・搬入したりするためのカセットステーション１０（搬送部）と、塗布現像工程の中で１枚ずつウェハＷに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置してなる処理装置を具備する処理ステーション２０と、この処理ステーション２０と隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウェハＷを受け渡すためのインター・フェース部３０とで主要部が構成されている。
【００３５】
上記カセットステーション１０は、図５に示すように、カセット載置台２上の突起３の位置に複数個例えば４個までのウエハカセット１がそれぞれのウエハ出入口を処理ステーション２０側に向けて水平のＸ方向に沿って一列に載置され、カセット配列方向（Ｘ方向）及びウエハカセット１内に垂直方向に沿って収容されたウェハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向）に移動可能なウエハ搬送用ピンセット４が各ウエハカセット１に選択的に搬送するように構成されている。また、ウエハ搬送用ピンセット４は、θ方向に回転可能に構成されており、後述する処理ステーション２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット部に属するアライメントユニット（ＡＬＩＭ）及びエクステンションユニット（ＥＸＴ）にも搬送できるようになっている。
【００３６】
上記処理ステーション２０は、図５に示すように、中心部に垂直搬送型の主ウエハ搬送機構（基板搬送ロボット）２１が設けられ、この主ウエハ搬送機構２１を収容する室２２の周りに全ての処理ユニットが１組又は複数の組に渡って多段に配置されている。この例では、５組Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４及びＧ５の多段配置構成であり、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２の多段ユニットはシステム正面（図５において手前）側に並列され、第３の組Ｇ３の多段ユニットはカセットステーション１０に隣接して配置され、第４の組Ｇ４の多段ユニットはインター・フェース部３０に隣接して配置され、第５の組Ｇ５の多段ユニットは背部側に配置されている。
【００３７】
この場合、図６に示すように、第１の組Ｇ１では、カップ２３内でウェハＷをスピンチャック（図示せず）に載置して所定の処理を行う２台のスピナ型処理ユニット例えばレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）及びレジストパターンを現像する現像ユニット（ＤＥＶ）が垂直方向の下から順に２段に重ねられている。第２の組Ｇ２も同様に、２台のスピナ型処理ユニット例えばレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）及び現像ユニット（ＤＥＶ）が垂直方向の下から順に２段に重ねられている。このようにレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を下段側に配置した理由は、レジスト液の排液が機構的にもメンテナンスの上でも面倒であるためである。しかし、必要に応じてレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を上段に配置することも可能である。
【００３８】
図７に示すように、第３の組Ｇ３では、ウェハＷをウエハ載置台２４に載置して所定の処理を行うオーブン型の処理ユニット例えばウェハＷを冷却するクーリングユニット（ＣＯＬ）、ウェハＷに疎水化処理を行うアドヒージョンユニット（ＡＤ）、ウェハＷの位置合わせを行うアライメントユニット（ＡＬＩＭ）、ウェハＷの搬入出を行うエクステンションユニット（ＥＸＴ）、ウェハＷをベークする４つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。第４の組Ｇ４も同様に、オーブン型処理ユニット例えばクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）、エクステンションユニット（ＥＸＴ）、クーリングユニット（ＣＯＬ）、急冷機能を有する２つのチリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及び２つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。
【００３９】
上記のように処理温度の低いクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）を下段に配置し、処理温度の高いホットプレートユニット（ＨＰ）、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及びアドヒージョンユニット（ＡＤ）を上段に配置することで、ユニット間の熱的な相互干渉を少なくすることができる。勿論、ランダムな多段配置とすることも可能である。
【００４０】
なお、図５に示すように、処理ステーション２０において、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２の多段ユニット（スピナ型処理ユニット）に隣接する第３及び第４の組Ｇ３，Ｇ４の多段ユニット（オーブン型処理ユニット）の側壁の中には、それぞれダクト６５，６６が垂直方向に縦断して設けられている。これらのダクト６５，６６には、ダウンフローの清浄空気又は特別に温度調整された空気が流されるようになっている。このダクト構造によって、第３及び第４の組Ｇ３，Ｇ４のオーブン型処理ユニットで発生した熱は遮断され、第１及び第２の組Ｇ１，Ｇ２のスピナ型処理ユニットへは及ばないようになっている。
【００４１】
また、この処理システムでは、主ウエハ搬送機構２１の背部側にも図５に点線で示すように第５の組Ｇ５の多段ユニットが配置できるようになっている。この第５の組Ｇ５の多段ユニットは、案内レール６７に沿って主ウエハ搬送機構２１から見て側方へ移動できるようになっている。したがって、第５の組Ｇ５の多段ユニットを設けた場合でも、ユニットをスライドすることにより空間部が確保されるので、主ウエハ搬送機構２１に対して背後からメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００４２】
上記インター・フェース部３０は、奥行き方向では処理ステーション２０と同じ寸法を有するが、幅方向では小さなサイズに作られている。このインター・フェース部３０の正面部には可搬性のピックアップカセット３１と定置型のバッファカセット３２が２段に配置され、背面部には周辺露光装置３３が配設され、中央部には、ウエハの搬送アーム３４が配設されている。この搬送アーム３４は、Ｘ，Ｚ方向に移動して両カセット３１，３２及び周辺露光装置３３に搬送するように構成されている。また、搬送アーム３４は、θ方向に回転可能に構成され、処理ステーション２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）及び隣接する露光装置側のウエハ受渡し台（図示せず）にも搬送できるように構成されている。
【００４３】
上記のように構成される処理システムは、クリーンルーム４０内に設置されるが、更にシステム内でも効率的な垂直層流方式によって各部の清浄度を高めている。
【００４４】
次に、上記処理システムの動作について、図８を参照して説明する。
【００４５】
まず、カセットステーション１０において、ウエハ搬送用ピンセット４がカセット載置台２上の未処理のウェハＷを収容しているカセット１にアクセスして、そのカセット１から１枚のウェハＷを取り出す。
【００４６】
ウエハ搬送用ピンセット４は、カセット１よりウェハＷを取り出すと、処理ステーション２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット内に配置されているアライメントユニット（ＡＬＩＭ）まで移動し、ユニット（ＡＬＩＭ）内のウエハ載置台２４上にウェハＷを載せる。ウェハＷは、ウエハ載置台２４上でオリフラ合せ及びセンタリングを受ける。その後、主ウエハ搬送機構２１がアライメントユニット（ＡＬＩＭ）に反対側からアクセスし、ウエハ載置台２４からウェハＷを受け取る。
【００４７】
処理ステーション２０において、主ウエハ搬送機構２１はウェハＷを最初に第３の組Ｇ３の多段ユニットに属するアドヒージョンユニット（ＡＤ）に搬入する。このアドヒージョンユニット（ＡＤ）内でウェハＷは疎水化処理を受ける。
【００４８】
疎水化処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷをアドヒージョンユニット（ＡＤ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。このクーリングユニット（ＣＯＬ）内でウェハＷはレジスト塗布処理前の設定温度例えば２３℃まで冷却される。
【００４９】
冷却処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷをクーリングユニット（ＣＯＬ）から搬出し、次に第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属するレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）へ搬入する。このレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）内でウェハＷはスピンコート法によりウエハ表面に一様な膜厚でレジストを塗布する。
【００５０】
レジスト塗布処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷをレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）から搬出し、次にホットプレートユニット（ＨＰ）内へ搬入する。ホットプレートユニット（ＨＰ）内でウェハＷは載置台上に載置され、所定温度例えば１００℃で所定時間プリベーク処理される。これによって、ウェハＷ上の塗布膜から残存溶剤を蒸発除去することができる。
【００５１】
プリベークが終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次に第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）へ搬送する。このユニット（ＣＯＬ）内でウェハＷは次工程すなわち周辺露光装置３３における周辺露光処理に適した温度例えば２４℃まで冷却される。
【００５２】
この冷却後、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷを直ぐ上のエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬送し、このユニット（ＥＸＴ）内の載置台（図示せず）の上にウェハＷを載置する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台上にウェハＷが載置されると、インター・フェース部３０の搬送アーム３４が反対側からアクセスして、ウェハＷを受け取る。
【００５３】
そして、搬送アーム３４はウェハＷをインター・フェース部３０内の周辺露光装置３３へ搬入する。ここで、ウェハＷはエッジ部に露光を受ける。
【００５４】
周辺露光が終了すると、搬送アーム３４は、ウェハＷを周辺露光装置３３から搬出し、隣接する露光装置４０（ＥＸＰ）側のウエハ受取り台（図示せず）へ移送する。この場合、ウェハＷは、露光装置４０（ＥＸＰ）へ渡される前に、バッファカセット３２に一時的に収納されることもある。
【００５５】
露光装置４０（ＥＸＰ）で全面露光が済んで、ウェハＷが露光装置４０（ＥＸＰ）側のウエハ受取り台に戻されると、インター・フェース部３０の搬送アーム３４はそのウエハ受取り台へアクセスしてウェハＷを受け取り、受け取ったウェハＷを処理ステーション２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬入し、ウエハ受取り台上に載置する。この場合にも、ウェハＷは、処理ステーション２０側へ渡される前にインター・フェース部３０内のバッファカセット３２に一時的に収納されることもある。
【００５６】
ウエハ受取り台上に載置されたウェハＷは、主ウエハ搬送機構２１により、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）に搬送され、フリンジの発生を防止するため、あるいは化学増幅型レジスト（ＣＡＲ）における酸触媒反応を誘起するためポストエクスポージャーベーク処理が施される。
【００５７】
その後、ウェハＷは、第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属する現像ユニット（ＤＥＶ）に搬入される。この現像ユニット（ＤＥＶ）内では、ウェハＷはスピンチャックの上に載せられ、例えばスプレー方式により、ウェハＷ表面のレジストに現像液が満遍なくかけられる。現像が終了すると、ウェハＷ表面にリンス液がかけられて現像液が洗い落とされる。
【００５８】
現像工程が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷを現像ユニット（ＤＥＶ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するホットプレートユニット（ＨＰ）へ搬入する。このユニット（ＨＰ）内でウェハＷは例えば１００℃で所定時間ポストベーク処理される。これによって、現像で膨潤したレジストが硬化し、耐薬品性が向上する。
【００５９】
ポストベークが終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウェハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次にいずれかのクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。ここでウェハＷが常温に戻った後、主ウエハ搬送機構２１は、次にウェハＷを第３の組Ｇ３に属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ移送する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台（図示せず）上にウェハＷが載置されると、カセットステーション１０側のウエハ搬送用ピンセット４が反対側からアクセスして、ウェハＷを受け取る。そして、ウエハ搬送用ピンセット４は、受け取ったウェハＷをカセット載置台上の処理済みウエハ収容用のカセット１の所定のウエハ収容溝に入れて処理が完了する。
【００６０】
図１は、上記処理システムにおけるアラーム装置の概要を示す。図１中のモジュール１８−１，…１８−ｎは、上記処理システムにおける処理ユニットや基板搬送装置等の被アラーム対象となるブロックを表している。アラーム装置の基本的構成は、図９で述べたものと同じであり、このモジュールの制御、つまり処理ユニットのプロセス制御や基板搬送装置等の制御や監視を行う下位コントローラ（ブロックコントローラ）１４と、下位コントローラ１４を制御すると共に下位コントローラ１４からのアラーム発生通知を受けて所定のアラーム情報を出力処理する上位コントローラ（メインコントローラ）１２と、上位コントローラ１２で得られたアラーム情報に基づくアラームを表示するモニター１１とを具備して構成される。
【００６１】
しかし、上位コントローラ１２は、アラーム情報データベース１３、アラーム名称表示用の名称ファイル１５、アラーム詳細内容表示用の文章ファイル１６の他に、アラーム名称とアラーム詳細の内容埋め込み用の語句ファイル１７を備えている点で、図９の構成と異なっている。
【００６２】
そして、上位コントローラ１２は、モジュール１８−１，…１８−ｎにアラーム信号が発生したとき下位コントローラ１４から発生される通知に基づき、アラーム情報データベース１３を検索して、当該アラーム信号に対応したアラーム情報を出力する手段と、上記名称ファイル１５からアラーム信号に対応したアラーム名称を読み出す手段と、読み出したアラーム名称を用い、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状になったアラーム名称の定義文を作成する手段と、上記語句ファイルからアラーム信号に対応したアラーム部位や部位特定名称等の語句を読み出す手段と、この読み出した語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた部分を更新する手段と、その更新後のアラーム名称の定義文を復帰方法としてモニターに表示させ、復帰指示を可能とする手段とを具備する。
【００６３】
以下、詳述する。
（下位コントローラ１４）
下位コントローラ１４は、処理を行う複数のモジュール部１８−１，…１８−ｎとそれらをまとめるマネージャ部とで構成されており、上位コントローラ１２からの指示により、代表的にはウェハ等の材料に対する処理を行う。この材料処理を行うにあたり、各モジュール１８−１，…１８−ｎはセンサーを待ち、材料処理状態と自分自身の状態を監視する。そして、材料処理に影響を及ぼすエラー、安全を脅かす危険性のあるエラー（例えば周辺環境、及び人的物的損害を及ぼす危険がある場合等）が発生した場合に、下位コントローラが上位コントローラにアラームを通知することにより、この処理システムの使用者に通知する。
【００６４】
この発明の場合、被アラーム対象となるモジュール１８−１，…１８−ｎには、図５〜図７で説明した主ウエハ搬送機構（基板搬送ロボット）２１やウエハ搬送用ピンセット４が含まれる。
【００６５】
前者の主ウエハ搬送機構（基板搬送ロボット）２１は、ウェハＷを保持するアームを備え、このアームを水平方向に移動させる水平移動機構（Ｘ軸移動機構）と、伸縮しつつ鉛直方向に移動させる伸縮昇降機構（Ｚ軸移動機構）と、鉛直軸周りに回転させる回転駆動機構（θ軸回転機構）とを備えている。そして、これらの機構によってアームは３次元的に移動することが可能である。
【００６６】
すなわち、アームはＸ軸モータによって水平方向のＸ軸に沿った直線運動（前後運動）を行い、Ｙ軸モータによって主ウエハ搬送機構（基板搬送ロボット）２１の中心軸に一致した回転軸（Ｙ軸）の回りの周方向運動（回転運動）を行い、そしてＺ軸モータによって垂直（Ｚ軸）方向の直線運動（上下運動）をするようになっている。
【００６７】
そして、これらのアームいずれかに、動かない等の異常が発生した場合、これを例えばＸ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータの負荷電流の変化から検出して、モジュールがアラーム信号を発生する。下位コントローラ１４はこれをアラームＩＤ（識別）、例えばアラームコードの形で上位コントローラ１２に通知する。
【００６８】
（上位コントローラ１２）
上位コントローラ１２は、アラームの発生時に、アラーム情報データベースに指定された情報だけでなく、アラーム発生元から通知された情報をアラームの出力情報に反映させる。この反映できるようにするアラームの出力情報とは、「アラーム復帰方法」、「アラーム名称」、「アラーム詳細」である。
【００６９】
ここにいう「アラーム復帰方法」には、「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」及び「表示削除」等があり、通常は、このうちの１又は２以上の復帰方法が、そのままモニターにボタンとして表示される。
【００７０】
ここで、アラームの各復帰方法の内容は、次のように定義されている。
【００７１】
「処理続行」：アラーム発生しているが、処理を続行する。例えば、アラームは発生したが、その後の処理に問題がないと判断できる場合に使用する。材料処理が停止しているため、処理を続行したい場合等である。
【００７２】
「再試行」：アラームの原因の確認・処置後、処理をもう一度実行する。例えば、センサーの一時的なぶれによりアラームが発生した場合等の対応に使用する。本当に問題がある状態かどうかを確認させたい場合等に使用する。
【００７３】
「処理中止」：致命的なアラームが発生したため、処理を中止する。  例えば、このまま材料に対する処理を行うべきではないと判断される、処理における致命的なエラーの場合に使用する。
【００７４】
「材料除去」：アラームが発生したモジュールで材料例えば基板を除去後、その後の（他の）材料処理を続行する。例えば、このまま材料に対する処理を行うべきではないと判断され、装置から装置使用者が材料を取り除いた場合に使用する。これは材料を取り除いたという指示を装置に対して行う必要があるためである。
【００７５】
「表示削除」：アラームメッセージの表示を削除する。アラームの復帰動作は行わず、モニターのアラーム表示だけを消去する。
【００７６】
アラーム復帰方法をモニターにボタン表示させる仕方には、表示させるべきアラーム復帰方法（復帰方法ボタンの種類）を、アラーム情報データベースに登録された復帰方法の中から決定する従来の方法と、この発明に従い、アラーム発生元の指示情報から補充語句を決定し、これを定義文と合成して、復帰方法の完成定義文章として表示する方法とがある。
【００７７】
アラーム名称、アラーム詳細についても、上記のアラーム復帰方法の合成定義文章を作成するのと同様の方法で、装置構成する部品の具体的な名称（例えば、ポンプ名称、センサー名称、タンク名称等）を、アラーム発生元の情報により変更することができるようにする。
【００７８】
（アラーム情報データベース１３）
アラーム情報データベース１３は、この装置で発生し得る全てのアラームに対する情報を保持する。このアラーム情報は、［発生日付］・［時間］・［アラームコード］・［ブロック／モジュール番号］・［モジュール名］・［アラーム名称］といった内容である。
【００７９】
この発明に関係の深いものとしては、上記したアラーム復帰方法、アラーム名称のＩＤ、アラーム詳細のＩＤなどであり、これらのアラーム情報を図４に示すように記憶している。これらのアラーム情報は、装置起動時に上位コントローラのソフトウェアにより読み出され、アラーム情報データベース１３として上位コントローラ１２内に存在する。アラームの情報は全てこのデータベースに登録されており、装置起動後に中身の情報を、加工、変更することはできない。
【００８０】
（アラーム名称表示用の名称ファイル１５）
アラーム名称表示用の名称ファイル１５は、モニター１１に表示するアラーム名称（文章）を入れてあるファイルである。個々の文章（アラーム）にはＩＤ（番号）が振られて、アラーム情報データベース内に保持されている。表示の際に発生したアラーム（ＩＤ）とその表示内容（アラーム名称）が関連付けられる。この名称ファイル１５内のアラーム名称は予め決められており、モニター１１にはこの名称ファイル１５内のアラーム名称がそのまま表示される。この内容は図９の場合と同じである。
【００８１】
しかし、復帰指示の適切な判断が難しくなる関係にある特定のアラームが発生した場合には、アラーム名称ファイル１５から読み出された「アラーム名称」を基に、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状に作成されたアラーム名称の定義文が作成される。ここで、「虫食い状」とは、定義文の一部が、埋め込みたい埋め込み変数の名前を、例えば［］で挟んで指定した記述部分（虫食い部分）を持つという意味であり、具体的には、例えば「［％％ｓ，０］［％％ｓ，１］モータ過負荷」という定義文において、「％％ｓ，０」「％％ｓ，１」はそれぞれ埋め込み変数の名前であり、この変数の名前を［］で挟んで指定した記述部分（虫食い部分）と「モータ過負荷」というアラーム名称とで、定義文が記述される。このアラーム名称の定義文は、アラーム発生時にアラーム発生元で指定された情報に基づき、適切な言葉や文章の語句を、上記埋め込み変数部分にはめ込んで表示するという用途に供される。
【００８２】
（アラーム詳細表示用の文章ファイル１６）
アラーム詳細表示用の文章ファイル１６は、モニターに表示するアラーム詳細の文章を入れてあるファイルである。個々のアラーム詳細の文章にはＩＤ（番号）が振られており、表示の際にアラーム（ＩＤ）と関連付けられる。このファイルの文章はあらかじめ決められており、モニター１１にはこのファイル内の名称や文章がそのまま表示される。この内容は図９の場合と同じである。
【００８３】
しかし、復帰指示の適切な判断が難しくなる関係にある特定のアラームが発生した場合には、アラーム名称ファイルから読み出された「アラーム名称」を基に、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状に作成されたアラーム詳細の文章が作成される。このアラーム詳細の文章は、アラーム発生時にアラーム発生元で指定された情報に基づき、適切な言葉や文章の語句をはめ込んで表示するという用途に供される。
【００８４】
（アラーム名称、詳細内容編集用の語句ファイル１７）
アラーム名称、詳細内容編集用の語句ファイル１７は、モニター上に表示するアラーム名称の定義文や詳細内容の定義文に埋め込むアラーム部位や部位特定名称等の語句（名称や文章）を入れてあるファイルである。具体的には、「アラーム部位」は装置構成する部品の具体的な名称、例えばポンプ名称、センサー名称、タンク名称などであり、「部位特定名称」は装置構成する同一部品が複数有る場合にそれらを区別する名称、例えばアームのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸などである。
【００８５】
（モニター１１）
モニター１１は、装置全体のコントロールを行うための操作画面として設けられるヒューマンインタフェースであり、タッチペンやキーボードやポインティングデバイス等の入力手段１１ａ、ここではタッチペンを備えており、タッチペン入力により装置に対する操作を行うことができる。
【００８６】
このモニター１１には、復帰方法のボタン表示と、アラーム名称及び詳細情報の表示とがなされる。すなわち、（１）  アラームが発生した場合、そのアラームで選択し得る全ての復帰方法がモニター上にボタン表示され（単一の場合もあれば、複数の場合もある）、この装置の使用者（オペレータ）が装置の状態や、処理の状態により、適切な復帰方法を判断、選択し、モニターへのタッチペン入力により指示する。また、（２）  アラームが発生した場合、アラーム情報データベース１３の情報に基づき、アラーム名称表示用の文章ファイル１５に記述されているアラーム名称を表示する。画面操作を行えばそのアラームの詳細内容を表示することもできる。このアラームの詳細内容とは、アラームが発生した原因と対処方法を簡潔に示すヘルプのようなものである。表示する内容はアラーム詳細内容の文章ファイル１６に保存されている（これらの情報にはＩＤ番号が振られており、このＩＤ番号で管理し、必要な時に読み出され表示される）。
【００８７】
図２に、モジュールからアラームが発生した場合のアラーム処理の流れを示す。
【００８８】
モジュール１８−１，…１８−ｎのいずれかでアラームが発生した場合、各センサの検出信号は、当該モジュールを制御する下位コントローラ１４に送られ、ここで各センサごとに個別のアラームＩＤ、すなわちアラームコードに変換される。アラームコードは上位コントローラ１２に送られる（図２のステップ（ａ）〜（ｂ））。
【００８９】
上位コントローラ１２は、このアラームＩＤに基づき、アラーム情報データベース１３を検索して、アラーム情報データベースに登録されている情報からモニターに表示する情報を作成する（図２のステップ（ｄ））。
【００９０】
・一般的なアラームの場合
上位コントローラ１２は、一般的なアラームと判断される場合（アラームＩＤから判明する）は、復帰方法、名称のＩＤ、詳細のＩＤなどのアラーム情報を読み出し、これを一覧表示画面部分と、復帰方法選定ボタン、詳細画面移行ボタン等のソフト的なボタン表示画面部分とを含む画面形式に整える。
【００９１】
作成された文章が通常のアラーム名称の文章である場合には、上位コントローラ１２は、アラーム情報を一覧表示画面部分と、［復帰方法］ボタン、［詳細］ボタン等を含む画面形式に整えてモニターに表示する（図２のステップ（ｇ））。
【００９２】
このソフト的にボタン形式で表示される復帰方法には、「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」、「表示削除」があり、アラームが発生した場合、これらの復帰方法の選択ボタンが、そのまま一個又は複数個、モニターにソフトキーとして表示される。すなわち、モニターのアラーム処理画面には、その画面下部に、アラーム対処用のファンクションボタンとして、復帰方法ボタンと詳細画面ボタンが表示される。
【００９３】
復帰方法ボタンは、発生したアラーム内容に応じた対処を行うためのボタンである。このボタンを使用した対処には、［表示削除］、［再試行］、［処理続行］、［処理中止］、［材料除去］などがあり、アラーム内容に応じて、表示・非表示される。
【００９４】
［表示削除］ボタンは、ワーニングによるアラーム発生（処理続行可能）において、アラームメッセージの表示を削除する場合に使用する。［再試行］ボタンは、アラームの原因の確認・処置後、処理のリトライを行う際に使用する。［処理続行］ボタンは、アラーム発生状態において、処理を続行する場合に使用する。［処理中止］ボタンは、アラーム発生状態において、処理を中止する場合に使用する。［材料除去］ボタンは、トラブルモジュールなどにおいて、ウェハを除去する際に使用する。
【００９５】
一方、ファンクションボタンの［詳細画面］ボタンは、これを押すことにより、現在選択されているアラームに対するアラーム詳細画面が表示される。この画面では、［アラームの意味］・［発生原因］・［対処方法］が表示される。ここで表示される［発生原因］・［対処方法］の内容を把握することにより、アラームに対する原因追究、および処置を実施する。
【００９６】
装置使用者（オペレータ）は、このようにモニター１１に表示されたアラームの内容を元に復帰方法を判断し、表示された「処理続行」、「再試行」、「処理中止」、「材料除去」又は「表示削除」のうちのソフトキーのうち、該当するものを押すことにより、アラームの復帰方法を指示する（図２のステップ（ｈ））。
【００９７】
上位コントローラ１２は、モニター１１から入力手段１により指示された復帰方法を含めた復帰指示を、アラーム発生元であるモジュール１８に対して行う（図２のステップ（ｉ））。
【００９８】
モジュール１８が上位コントローラ１２から通知された復帰方法を基に、アラームの復帰動作を行う（図２のステップ（ｊ））。
【００９９】
・特定のアラームの場合
しかし、上位コントローラ１２は、上記アラーム情報データベースに登録された復帰方法をボタン表示すると使用者において復帰指示の適切な判断が難しくなる関係にある特定のアラームが発生した場合（これは予め管理されている特定のアラームＩＤに属することから判明する）には、下位コントローラ１４からの通知に基づき、上記アラーム情報データベース１３からアラーム名称を得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイル１７からアラーム部位の語句や部位特定名称の語句を読み出して（図２のステップ（ｅ））、この語句をアラーム名称と合成し（図２のステップ（ｆ））、その合成された表示内容の復帰方法をモニターに表示させ、復帰指示を可能とする（図２のステップ（ｇ））。
【０１００】
具体的には、上位コントローラ１２は、下位コントローラ１４から送られるアラームＩＤに基づき、アラーム情報データベース１３を検索して、当該アラームＩＤに対応したアラーム名称ＩＤを読み出し、このアラーム名称ＩＤに基づき、予め設けたアラーム名称ファイル１５からアラーム名称を読み出し、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い状にされたアラーム名称の定義文を作成する（図２のステップ（ｄ）。
【０１０１】
プログラムは図２のステップ（ｅ）に進み、上位コントローラ１２は、作成された文章が虫食い状に作成されたアラーム名称の定義文であることを確認すると、アラーム発生元の下位コントローラ１４からアラーム情報の指定（アラーム部位の語句のＩＤや部位特定名称の語句のＩＤ）を受ける（図２のステップ（ｅ））。そして、この指定された語句のＩＤに基づき、埋め込み用の語句ファイル１７から対応するアラーム部位の語句や部位特定名称の語句を読み出し（図２のステップ（ｅ））、この語句で上記アラーム名称の定義文の虫食い状に書かれた変数部分を更新し（図２のステップ（ｆ））、その更新後の完成されたアラーム名称の定義文を、復帰方法として例えばボタンの形でモニターに表示させ、復帰指示を可能とする（図２のステップ（ｇ））。
【０１０２】
この後は、上記アラーム処理と同じであり、装置使用者は、モニター１１に表示されたアラームの内容を元に復帰方法を判断し、表示された復帰方法のソフトキーを押すことにより、アラームの復帰方法を指示する（図２のステップ（ｈ））。
【０１０３】
上位コントローラ１２は、モニター１１から入力手段１により指示された復帰方法を含めた復帰指示を、アラーム発生元であるモジュール１８に対して行う（図２のステップ（ｉ））。
【０１０４】
モジュール１８が上位コントローラ１２から通知された復帰方法を基に、アラームの復帰動作を行う（図２のステップ（ｊ））。
【０１０５】
図３に、より具体的な例として、主ウエハ搬送機構（基板搬送装置）２１のアーム駆動モータ（Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータ）にアラームが発生した場合のアラーム処理の流れを示す。
【０１０６】
下位コントローラ１４は、当該モジュールにおいて、エラー（モータが過負荷で回転しない）を検知した場合、アラーム信号を発生し、これをアラームＩＤ（アラームコード）に変換して上位コントローラ１２に通知する。
【０１０７】
上位コントローラ１２は、下位コントローラ１４からの通知が予めリスト管理しているリスト５０上の特定のアラームＩＤ（この例では「モータ過負荷」に付けられたアラームＩＤ）５１である場合には、このアラームＩＤ５１でアラーム情報データベース１３を検索して、当該アラームＩＤ５１に対応するアラーム名称のＩＤ（「モータ過負荷」のＩＤ）を検索して読み出し、このアラーム名称ＩＤに基づき、予め設けたアラーム名称ファイル１５からアラーム名称「モータ過負荷」を読み出す。そして、予め決められたルールで文章の一部が変数として虫食い部分５７、５８にされたアラーム名称の定義文５６を作成する。図３には、これを
［％％ｓ，０］［％％ｓ，１］モータ過負荷
の形で例示してある。虫食いの部分は、［％％ｓ，０］と［％％ｓ，１］の二つである。
【０１０８】
他方、アラーム発生元のモジュールの下位コントローラ１４は、上記アラームＩＤ５１とは別に、アラーム部位の情報５２として「アラームの情報０番」で「アーム」という語句のＩＤ５４を指定情報として通知する。また、部位特定名称の情報５３として「アラームの情報１番」で「Ｘ軸」という語句のＩＤ５５を指定情報として通知する。
【０１０９】
上位コントローラ１２は、このアラーム部位の「アーム」という語句のＩＤと、部位特定名称の「Ｘ軸」という語句のＩＤの指定を受けると、この指定された語句のＩＤに基づいて検索し、埋め込み用の語句ファイル１７から対応するアラーム部位の語句「アーム」と部位特定名称の語句「Ｘ軸」を得る。
【０１１０】
そして、この語句「アーム」、「Ｘ軸」で上記アラーム名称の定義文５６の虫食い状に書かれた虫食い部分５７、５８を更新し、「アームＸ軸モータ過負荷」という文章から成る完成された定義文５９を作成する。
【０１１１】
この完成されたアラーム名称の定義文５９を、復帰方法として例えばボタンの形でモニターに表示させ、オペレータによる復帰指示を待つ。
【０１１２】
上記したように、この発明は、下位コントローラ１４からの通知に基づき、上記アラーム情報データベース１３からアラーム名称の虫食い状の定義文５６を作成すると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイル１７からアラーム部位の語句や部位特定名称の語句を読み出して、この語句をアラーム名称の定義文の虫食い部分５７、５８に埋め込んで合成し、その合成され完成された定義文５９をモニター１１に表示させ、復帰指示を可能とするため、従来問題があった特定のアラームについて使用者（オペレータ）が復帰方法を迷うことがない。
【０１１３】
また、上記方法によれば、アラーム情報データベース１３に記録保持させておくアラーム情報に復帰方法の追加をしなくて済むので、将来においてもソフトウエアのアラームＩＤのリソース不足を解消することができる。
【０１１４】
上記実施形態では、基板搬送装置のアーム駆動モータに対する適用例について述べたが、この発明はこれに限定されるものではない。
【０１１５】
【表１】
2004341993.tif 000003
【０１１６】
表１に示すように、ウエハ搬送用ピンセット４におけるピンセット番号（１、２、３）の違いや、外部装置（露光機、測定機、検査機）とのハンドシェイクの状態（ＳＥＮＤ、ＲＥＡＤＹ）の違い等に適用することができる。また、表１に示した以外に、例えばレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）や現像ユニット（ＤＥＶ）における回転機構のモータ、あるいは、処理液供給系のノズルやポンプ等にも適用できることは勿論である。
【０１１７】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
【０１１８】
この発明は、下位コントローラからの通知に基づき、上記アラーム情報データベースからアラーム名称の定義文を得ると共に、予め設けた埋め込み用の語句ファイルからアラーム部位の語句や部位特定名称の語句を読み出して、この語句をアラーム名称の定義文と合成し、その合成され完成された定義文をモニターに表示させ、復帰指示を可能とするため、従来問題があった特定のアラームについて経験の浅い使用者でも復帰方法を迷うことがない。
【０１１９】
また、アラーム情報データベースに記録保持させておくアラーム情報に、復帰方法の追加をしなくて済むので、将来においてもソフトウエアのアラームＩＤのリソース不足を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の処理システムにおけるアラーム装置の概略構成図である。
【図２】この発明の処理システムにおけるアラーム方法を示した図である。
【図３】この発明の処理システムのアラーム方法の具体例として、アーム駆動モータでアラームが発生した場合のアラーム方法を示した図である。
【図４】データベースに記録登録されているアラーム情報の一例を示した図である。
【図５】この発明を適用したレジスト液塗布・現像処理システムの一例を示す概略平面図である。
【図６】上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略正面図である。
【図７】上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略背面図である。
【図８】レジスト液塗布・現像処理プロセスを示した図である。
【図９】従来の処理システムにおけるアラーム装置の概略構成図である。
【図１０】従来の処理システムにおけるアラーム方法を示した図である。
【符号の説明】
Ｗ  半導体ウエハ（基板）
１１  モニター
１１ａ  入力手段
１２  上位コントローラ（メインコントローラ）
１３  アラーム情報データベース
１４  下位コントローラ（ブロックコントローラ）
１５  アラーム名称表示用の名称ファイル
１６  アラーム詳細内容表示用の文章ファイル
１７  アラーム名称、詳細内容埋め込み用の語句ファイル
１８  モジュール
１８−１，…１８−ｎ  モジュール
１９  処理システム
２０  処理ステーション
２１  主ウエハ搬送機構（基板搬送ロボット）
５０  リスト
５１  アラームＩＤ
５２  アラーム部位の情報
５３  部位特定名称の情報
５４  「アーム」という語句のＩＤ
５５  「Ｘ軸」という語句のＩＤ
５６  虫食い部分の有る定義文
５７、５８  虫食い部分
５９  完成された定義文
【図１】
2004341993.tif 000004
【図２】
2004341993.tif 000005
【図３】
2004341993.tif 000006
【図４】
2004341993.tif 000007
【図５】
2004341993.tif 000008
【図６】
2004341993.tif 000009
【図７】
2004341993.tif 000010
【図８】
2004341993.tif 000011
【図９】
2004341993.tif 000012
【図１０】
2004341993.tif 000013