(57)【要約】【課題】方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を有する第１の高周波回路装置と、もう一方の非放射性誘電体線路を有する第２の高周波回路装置とを組み立ててなる高周波モジュールにおいて、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てる前に第１の高周波回路装置の特性を測定する。【解決手段】第２の高周波回路装置に形成されている非放射性誘電体線路と同一の構造を持つ測定具を、第１の高周波回路装置に形成されている方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路に近接させて方向性結合器を構成することによって、第１の高周波回路装置の特性を測定する。【選択図】　　　　図１
2004128918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を有する第１の高周波回路装置と、前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路を有する第２の高周波回路装置とを組み立ててなる高周波モジュールの製造方法において、
前記第２の高周波回路装置に形成されている一方の非放射性誘電体線路と同じ構造を持つ測定具を準備する工程と、
前記第１の高周波回路装置の非放射性誘電体線路に、前記測定具の非放射性誘電体線路を対向させて方向性結合器を構成して、前記第１の高周波回路装置の特性を測定する工程と、
前記測定後の第１の高周波回路装置と、前記第２の高周波回路装置とを組み立てて方向性結合器を構成する工程と、を含むことを特徴とする、高周波モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記第１の高周波回路装置を測定する工程において、
複数の第１の高周波回路装置をステージに固定し、該ステージあるいは前記測定具を動かすことにより、あるいは前記ステージと前記測定具の双方を動かすことにより、前記複数の第１の高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させることにより方向性結合器を構成し、前記ステージに固定された複数の前記第１の高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする、請求項１に記載の高周波モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記第１の高周波回路装置は電圧制御発振器を含むことを特徴とする、請求項１あるいは請求項２に記載の高周波回路装置の製造方法。
【請求項４】
方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を備える高周波回路装置を固定するステージと、
前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路の構造を持つ測定具とを有し、
前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路に、前記測定具の非放射性誘電体線路を対向させることによって方向性結合器を構成し、前記高周波回路装置の特性を測定することを特徴とする高周波回路装置の測定装置。
【請求項５】
方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を備える複数の高周波回路装置を固定するステージと、
前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路の構造を持つ測定具とを有し、
前記ステージもしくは前記測定具を動かすことによって、または前記ケースと前記測定具の双方を動かすことによって、前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させて方向性結合器を構成し、前記ステージに固定されている複数の前記高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする、高周波回路装置の測定装置。
【請求項６】
前記ステージは円盤状であり、前記ステージの側面に前記高周波回路装置を複数個固定し、前記ステージを回転させることによって、前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させて方向性結合器を構成し、前記高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする、請求項３に記載の高周波回路装置の測定装置。
【請求項７】
前記ステージが温度槽内に設けられており、該温度槽内の温度を変化させることによって、前記高周波回路装置の温度特性を測定することを特徴とする、請求項５あるいは請求項６に記載の高周波回路装置の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミリ波レーダなどの高周波モジュールの製造方法、および高周波回路装置の測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ミリ波レーダや通信機などに用いられる高周波モジュールでは、放射損失の少ない非放射性誘電体線路が用いられることがある。例えば特開２０００−８２９０４号公報において、非放射性誘電体線路を用いた方向性結合器を備える高周波モジュールの構成が開示されている。この高周波モジュールは、電圧制御発振器などを備え高周波を発振する第１の高周波回路装置と、アンテナなどを備える第２の高周波回路装置とからなる。第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置は非放射性誘電体線路を用いた方向性結合器によって接続されている。この高周波モジュールの出力を測定するには、第１の高周波回路装置に形成されている回路の中に測定具を取り付けることが困難なため、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てた後に、第２の高周波回路装置に備えられているアンテナの出力を一つずつ測定していた。この方法では、高周波モジュールを組み立てた後に特性を測定するため、周波数や出力パワーなどの調整を、高周波モジュール組立後に行うことなる。
【０００３】
なお、特許文献１において、方向性結合器の構成を利用したアンテナ電力測定治具の構成が開示されているが、サスペンデッドラインを測定器接続用の伝送路とする点で本願発明とは異なり、特許文献１に記載された測定治具の構成では、被測定部に治具を物理的に接触させることなく特性を測定できるという本願発明の大きな効果の１つを実現させることができない。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１３５０１２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の方法では、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立ててから特性を測定するため、第１の高周波回路装置の特性が規定値を外れていて修正も不能である場合には第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを分解して第１の高周波回路装置を交換しなければならず、さらに交換した後にもう一度特性を測定して良品であるかを確かめる必要があり、効率が悪かった。また、一つずつ特性を測定していくので量産性が低かった。
【０００６】
本発明の目的は、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てる前に簡便に特性測定を行える高周波モジュールの製造方法を提供することである。
【０００７】
また、本発明の目的は、複数の高周波回路装置を連続的に測定できる、量産に適した測定装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために請求項１に記載の発明は、方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を有する第１の高周波回路装置と、前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路を有する第２の高周波回路装置とを組み立ててなる高周波モジュールの製造方法において、前記第２の高周波回路装置に形成されている一方の非放射性誘電体線路と同じ構造を持つ測定具を準備する工程と、前記第１の高周波回路装置の非放射性誘電体線路に、前記測定具の非放射性誘電体線路を対向させて方向性結合器を構成して、前記第１の高周波回路装置の特性を測定する工程と、前記測定後の第１の高周波回路装置と、前記第２の高周波回路装置とを組み立てて方向性結合器を構成する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てる前に第１の高周波回路装置を測定し、その後に第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てることができるので、不良が発見された場合に再び第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを分解するという手間がなくなり、生産性が向上する。また、第２の高周波回路装置を取り付けた完成品を測定するよりも第１の高周波回路装置のみを測定したほうが被測定部分が小さくなるから、省スペースで測定できる。さらに、第１の高周波回路装置と測定具とは、２本の非放射性誘電体線路によって構成される方向性結合器によって電磁気的に結合しているから、第１の高周波回路装置と測定具とを物理的に接触させることなく測定を行うことができるため、第１の高周波回路装置と測定具とを例えばネジ等によって固定する手間は不要であるから測定工程が迅速化され、また、物理的接触に伴うキズの発生などの損傷も防ぐことができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、前記第１の高周波回路装置を測定する工程において、複数の第１の高周波回路装置をステージに固定し、該ステージあるいは前記測定具を動かすことにより、あるいは前記ステージと前記測定具の双方を動かすことにより、前記複数の第１の高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させることにより方向性結合器を構成し、前記ステージに固定された複数の前記第１の高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、複数の第１の高周波回路装置を連続的に測定できるから測定の効率がよく、量産に適する。また、ステージと測定器との位置合わせを一度行えば複数の第１の高周波回路装置を次々と測定できるから、第１の高周波回路装置と測定器とを一つ一つ精密に位置合わせする必要がない。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、前記第１の高周波回路装置は電圧制御発振器を含むことを特徴とする。
【００１３】
電圧制御発振器は、外部から加える電圧値によって発振周波数が連続に変化する発振器であるが、これをミリ波レーダに用いる場合には、レーダの検知性能を高めるために周波数変調特性の直線性を高める必要がある。本発明によれば、実際の使用状態に近い状態で特性を測定できるため、測定結果をもとに電圧制御発振器や、その制御回路を調整して周波数変調特性の直線性を高めることができる。
【００１４】
また、請求項４に記載の高周波回路装置の測定装置は、方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を備える高周波回路装置を固定するステージと、前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路の構造を持つ測定具とを有し、前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路に、前記測定具の非放射性誘電体線路を対向させることによって方向性結合器を構成し、前記高周波回路装置の特性を測定することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、上述の第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てる前に測定を行うことができるので、不良が発見された場合に再び第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを分解するという手間がなくなり、生産性が向上する。また、第１の高周波回路装置と測定具とは２本の非放射性誘電体線路によって構成される方向性結合器によって電磁気的に結合しているので、第１の高周波回路装置と測定具とを物理的に接触させる必要がなく、高周波回路装置と測定具とを強固に接合する必要がないため短時間での測定が可能である。また、物理的接触に伴って第１の高周波回路装置の損傷が発生するおそれもない。さらに、第２の高周波回路装置を取り付けた完成品を測定するよりも第１の高周波回路装置のみを測定したほうが被測定部分が小さくなるから、測定装置を小型化することができる。
【００１６】
また、請求項５に記載の高周波回路装置の測定装置は、方向性結合器を構成する２本の非放射性誘電体線路のうちの一方の非放射性誘電体線路を備える複数の高周波回路装置を固定するステージと、前記方向性結合器のもう一方の非放射性誘電体線路の構造を持つ測定具とを有し、前記ステージもしくは前記測定具を動かすことによって、または前記ケースと前記測定具の双方を動かすことによって、前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させて方向性結合器を構成し、前記ステージに固定されている複数の前記高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、ステージと測定具との位置関係を変位させることによって複数の高周波回路装置に次々と測定具を対向させて特性を測定できるため、複数の高周波回路装置を短時間で測定でき、量産に適した測定装置を提供できる。
【００１８】
また、請求項６に記載の高周波回路装置の測定装置は、前記ステージは円盤状であり、前記ステージの側面に前記高周波回路装置を複数個固定し、前記ステージを回転させることによって、前記高周波回路装置の非放射性誘電体線路と前記測定具の非放射性誘電体線路とを次々と対向させて方向性結合器を構成し、前記高周波回路装置を連続的に測定することを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、装置の中で駆動する部分は円盤状のステージのみであるから、複数の高周波回路装置を連続的に測定する装置を簡単な構造で実現できる。
【００２０】
また、請求項７に記載の高周波回路装置の測定装置は、前記ステージが温度槽内に設けられており、該温度槽内の温度を変化させることによって、前記高周波回路装置の温度特性を測定することを特徴とする。
【００２１】
以上のように本発明によれば、複数の高周波回路装置の温度特性を連続的に測定することが可能であり、高周波回路装置を量産する際の生産性が向上する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）以下に図１から図４を参照しつつ、本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００２３】
図１（ａ）は、本発明の高周波モジュールの回路図であり、図２は高周波モジュールの模式図である。本発明に係る高周波モジュールは伝送線路２として、略平行に配置された２つの導体板の間に誘電体ストリップを配してなる非放射性誘電体線路を用いている。電圧制御発振器（ＶＣＯ）３は変調信号に応じたミリ波を発振する。アイソレータ４は、電圧制御発振器３の出力信号を第１の方向性結合器５方面に伝送すると共に、電圧制御発振器３方面に反射波が戻ることを防ぐ。第１の方向性結合器５は、アイソレータ４からの信号をサーキュレータ７方面へ伝送すると共に、その一部をローカル信号として取り出し、ミキサ８へ伝送する。サーキュレータ７は、送信信号を第２の方向性結合器６方面へ伝搬させると共に、第２の方向性結合器６方面からの受信信号をミキサ８方面へ伝搬させる。第２の方向性結合器６は、送信信号をアンテナ９に伝搬させると共に、アンテナ９からの受信信号をサーキュレータ７に伝搬させる。ミキサ８は、受信信号とローカル信号をミキシングして、そのビート信号を中間周波数として出力する。伝送線路２および第１、第２の方向性結合器５、６は非放射性誘電体線路によって構成されている。伝送線路２の端部には終端器１０を設けて、信号の反射を防いでいる。
【００２４】
本実施例の高周波モジュールは第１の高周波回路装置１ａと、第１の高周波回路装置１ａに図の矢印方向に変位可能に取り付けられる第２の高周波回路装置１ｂとからなる。すなわち、第２の方向性結合器６を構成する２本の非放射性誘電体線路６ａ、６ｂのうちの一方の非放射性誘電体線路６ａと電圧制御発振器３などが形成されている第１の高周波回路装置１ａと、もう一方の非放射性誘電体線路６ｂとアンテナ９とが構成された第２の高周波回路装置１ｂとからなる。
【００２５】
この高周波モジュールは車載レーダなどに用いられるものであり、第２の高周波回路装置１ｂを図２の矢印方向に変位させることによってアンテナ９の指向方向を変えることができるようになっている。第１の高周波回路装置１ａ、第２の高周波回路装置１ｂは共に略平行に配置された下部導体板１３、１４と上部導体板とに挟まれているが、図２では上部導体板は図示していない。
【００２６】
次に、第１の高周波回路装置の特性を測定する工程について、図１（ｂ）を参照しつつ詳細に説明する。本発明の製造工程においては、まず高周波モジュールのうち第１の高周波回路装置１ａを形成する。次に、第２の高周波回路装置１ｂの非放射性誘電体線路６ｂと同一の構成の非放射性誘電体線路を有する測定具１１を第１の高周波回路装置１ａに近接させて、第１の高周波回路装置１ａの非放射性誘電体線路６ａと測定具１１の非放射性誘電体線路とで方向性結合器１５を構成する。この状態で第１の高周波回路装置１ａを作動させると、第１の高周波回路装置１ａで発振された信号は、方向性結合器１５を介して測定具１１に伝播される。測定具１１には、スペクトラムアナライザやパワーメータなどの測定機器１２が伝送線路を介して接続されており、第１の高周波回路装置１ａの特性を計測することができる。第１の高周波回路装置１ａと測定具１１とは、方向性結合器１５によって電磁気的に結合する構成であるから、第１の高周波回路装置１ａと測定具１１とを物理的に接触させる必要はない。よって、第１の高周波回路装置１ａと測定具１１とが物理的に接触することによって、第１の高周波回路装置１ａにキズなどの損傷が発生することはない。また、第１の高周波回路装置１ａと測定具１１をネジなどによって固定する必要がないので、迅速に測定を行うことができる。
【００２７】
このような測定を行うための測定装置の斜視図を図３に示す。ベース１６の上に測定具１１とステージ１７があり、ステージ１７はベース１６上を可動するようになっている。被測定装置１８は非放射性誘電体線路が露出している部分を測定具１１側に向けてステージ１７に固定されている。ここで、被測定装置１８とは、上述の高周波モジュールの第１の高周波回路装置１ａのことである。図３では、ネジ１９によって被測定装置１８をステージ１７に固定しているが、どのような方法で固定しても構わない。ステージ１７を動かして、測定具１１の非放射性誘電体線路２０と被測定装置１８の非放射性誘電体線路を対向させると、測定具１１の非放射性誘電体線路２０と被測定装置１８の非放射性誘電体線路とで方向性結合器が構成され、被測定部１８で発振された信号が測定具１１に伝播され、この信号が伝送線路２１を介して測定機器などに送られて、被測定装置１８の特性の測定をすることができる。図４に、被測定装置と測定具の断面図を示す。測定具１１と被測定装置１８とはそれぞれ端部に上部導体板２２ａ、２２ｂと下部導体板２３ａ、２３ｂに挟まれた非放射性誘電体線路２０、２４が形成されており、これを対向させることによって方向性結合器を構成し、この方向性結合器によって被測定装置１８から測定具１１に信号を伝播する。なお、上部導体板２２ｂおよび下部導体板２３ｂに形成されている溝２５は伝播損失を低くするためのものであり、この溝２５は場合によってはなくても構わない。また、図３および図４から明らかなように、被測定装置１８と測定具１１とは物理的に接触していないので、物理的接触によって被測定装置１８を損傷させるおそれがない。
【００２８】
上述の方法で被測定装置１８、すなわち高周波モジュールの第１の高周波回路装置１ａの特性を検査したのちに、必要であれば周波数や出力の調整を行って、第２の高周波回路装置１ｂを取付け、本発明の高周波モジュールが完成する。
【００２９】
このような高周波モジュールは車載用のミリ波レーダなどに用いられるものであるが、レーダの検知性能を向上させるためには電圧制御発振器３の周波数変調特性の直線性を高めることが重要であり、そのためには一つずつ特性を測定して調整することが必要であるから、本発明によれば高周波モジュールの性能向上を実現できる。また、電圧制御発振器３を単体で測定するよりも、本発明のように第１の高周波回路装置１ａに組み込んでから測定するほうが実使用状態に近いため、より精密な測定および調整が可能となる。
【００３０】
また、第１の高周波回路装置１ａと第２の高周波回路装置１ｂとを組み立ててから特性を検査する従来の方法では、検査で調整不能の不良が発見された場合には再び第１の高周波回路装置１ａと第２の高周波回路装置１ｂとを分解しなければならなかった。しかし、本発明の製造方法によれば、第１の高周波回路装置１ａと第２の高周波回路装置１ｂとを組み立てる前に第１の高周波回路装置１ａの特性を検査することができるから、第１の高周波回路装置１ａと第２の高周波回路装置１ｂとを再び分解するという余計な工程を省くことができる。
【００３１】
（実施の形態２）次に、図５から図７を用いて本発明の高周波回路装置の測定装置について説明する。図５は、本発明の高周波回路装置の測定装置の模式図を示している。
【００３２】
ステージ２６は円盤状で、側面に格納部２７がある。格納部２７には、この測定装置によって測定される被測定装置１８が格納されている。ここでは、被測定装置１８は第１の実施例で説明した高周波モジュールの第１の高周波回路装置１ａである。
【００３３】
図６にステージ２６側面にある格納部２７の拡大図を示す。格納部２７には溝２８があり、この溝２８に被測定装置１８をはめこみ、上から天板２９をのせて固定する。被測定装置１８は方向性結合器の一方の非放射性誘電体線路２４を外側に向けて固定されている。図では被測定部１８は１個しか図示されていないが、各溝１８にそれぞれ一つずつ被測定装置１８をはめ込む。ステージ２６側面の構造は必ずしもこのような形状に限らず、例えばネジなどで被測定装置を固定する構造となっていてもよい。
【００３４】
測定具１１には、第１の実施例で説明した高周波モジュールの第２の高周波回路装置に形成される、方向性結合器のもう一方の伝送線路と同じ構造の非放射性誘電体線路が形成されている。測定具１１は伝送線路を介してスペクトラムアナライザやパワーメータなどの測定機器１２と接続されており、被測定装置１８から取り出した信号を測定機器１２へと伝送する。
【００３５】
測定具１１とステージ２６は温度槽３０の中に形成されており、測定具１１によって被測定装置１８の温度特性を測定することができる。
【００３６】
コンピュータ３１は、測定機器１２、温度槽３０、モータ３２に接続されており、これらを制御して測定を自動化している。
【００３７】
モータ３２は第１の回転軸３４ａに動力を伝え、ギア３３によって第１の回転軸３４ａの動力は第２の回転軸３４ｂに伝えられ、第２の回転軸３４ｂに接続されている円盤状のステージ２６が回転する。ステージ２６を回転させて、格納部２７に格納されている複数の被測定装置１８のうちの一つを測定具１１と対向させて特性を測定し、これが終わればステージ２６を回転させて次の被測定装置１８を測定具１１と対向させて計測する。これを繰り返すことによって、複数の被測定装置１８を次々と測定することができる。
【００３８】
このような構造にすることによって、ステージ２６は１軸で駆動するから簡単な構造でステージ２６を駆動させることができ、測定装置を安価に製造できる。
【００３９】
ここで、この装置によって周波数変調特性や温度特性を測定する方法を説明する。まず、複数の被測定装置１８をステージ２６に固定し、温度槽３０内の温度をある一定の温度に設定する。その状態で、全ての被測定装置１８の出力パワー、周波数などを測定する。次に、温度槽３０内の温度を次の設定温度に調整し、全ての被測定装置１８を測定する。これを何度か繰り返すことによって、すべての被測定装置１８の温度特性を効率的に測定することができる。その後、高周波モジュールの制御回路に測定データをもとにした特性補正データを書き込むことによって、良好な特性の高周波モジュールを得ることができる。制御回路は高周波モジュールに内蔵されていてもよいし、別に形成して後から取り付けてもよい。
【００４０】
本実施例の変形例として、図７（ａ）に示すように、ステージ２６には格納部２７を複数段設けてもよい。この場合には、ステージ２６は回転すると共に上下にも動くことによって、被測定装置１８と測定具１１の位置を合わせる。
【００４１】
また、ステージ２６は円盤状に限らず、図７（ｂ）に示すように平面に格納部２７を設けた構造であってもよい。この場合には、図に矢印で示すように、ステージ２６が横方向に動くことによって被測定装置１８と測定具１１の位置を合わせる。
【００４２】
また、ステージ２６は動かず、測定具１１を動かして位置合わせをしてもよいし、ステージ２６および測定具１１の双方を動かして位置合わせをする構造であってもよい。
【００４３】
この測定装置によれば、多数の高周波回路装置を連続的に測定することができるから、量産の際にも容易に全数の特性を測定することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上のように、本発明の高周波回路装置の製造方法によれば、第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを組み立てる前に特性を測定できるから、不良が発見された場合でも第１の高周波回路装置と第２の高周波回路装置とを再び取り外す必要がなく、生産性が向上する。また、複数個の第１の高周波回路装置を連続的に測定することが可能であるので、量産の際にも容易に全数を測定することができ、品質の安定と向上を図ることができる。さらに、第１の高周波回路装置と測定具とを物理的に接触させる必要がないので、測定工程の迅速化、および測定工程における損傷の発生の防止が可能である。
【００４５】
また、本発明の高周波回路装置の測定装置によれば、複数の高周波回路装置を連続的に測定することが可能であり、量産の際にも容易に全数を測定できるから、品質の安定と向上を図ることができる。また、第１の高周波回路装置のみを被測定装置として検査するため、第２の高周波回路装置を取り付けてから検査するよりも測定装置の小型化を図ることができる。さらに、第１の高周波回路装置と測定具とを物理的に接触させる必要がないので、測定工程の迅速化、および測定工程における損傷の発生の防止が可能である。また、ステージを円盤状にすることにより、簡単な構造で測定装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例において、高周波モジュールを示す回路図と、被測定装置と測定具との関係を示す回路図である。
【図２】本発明の第１の実施例において、高周波モジュールを示す模式図である。。
【図３】本発明の第１の実施例における被測定装置と測定具の部分断面図である。
【図４】本発明の第１の実施例における測定装置を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施例における、測定装置を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施例における測定装置のステージを示す拡大図である。
【図７】本発明の第２の実施例の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ａ　第１の高周波回路装置
１ｂ　第２の高周波回路装置
２　　伝送線路
３　　電圧制御発振器
４　　アイソレータ
５　　第１の方向性結合器
６　　第２の方向性結合器
６ａ、６ｂ、２０、２４　非放射性誘電体線路
７　　サーキュレータ
８　　ミキサ
９　　アンテナ
１０　終端器
１１　測定具
１２　測定機器
１３、１４　下部導体板
１５　方向性結合器
１６　ベース
１７　ステージ
１８　被測定装置
１９　ネジ
２１　伝送線路
２２ａ、２２ｂ　上部導体板
２３ａ、２３ｂ　下部導体板
２５　溝
２６　ステージ
２７　格納部
２８　溝
２９　天板
３０　温度槽
３１　コンピュータ
３２　モータ
３３　ギア
３４ａ　第１の回転軸
３４ｂ　第２の回転軸
【図１】
2004128918.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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