(57)【要約】【課題】モジュール全体としての結合効率が高まり、迷光の抑制が可能な光モジュールを提供する。【解決手段】図中符号１１−３ａはクラッドである。Ｙ分岐部分１３−１ａでは通常２つの導波路に分波するため、１本で伝わってきた導波モードと異なり、迷光が発生する。その一方でＰＤ１２−２ａで、吸収層１２−２ａ−１はシングルモードでなくとも受光可能であり、あえて光導波路としてシングルモード導波路によりＰＤに光を導く必要はない。Ｙ分岐回路１３−１ａの一方の回路をマルチモードの光導波路１１−２ａとし、その末端にフォトダイオードを配置することとした。さらに、マルチモード光導波路として急激に光導波路を変化させた場合、高次のモードが大量に発生し、完全に光を閉じ込めることが困難となるため徐々に導波路幅を拡大し、伝搬可能な高次モードのみが発生する構成とした。【選択図】　　　　図１
2004126128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールにおいて、
前記シングルモード光導波路からなる光回路部分の近傍にマルチモード光導波路を備え、
該マルチモード光導波路を介して前記光部品に光結合させる
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光モジュールにおいて、
前記光回路部分の近傍は、Ｙ分岐回路の後段である
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項３】
請求項１に記載の光モジュールにおいて、
前記光回路部分の近傍は、交差回路であり、
該交差回路の透過光を前記光部品に光結合させる
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項４】
請求項１に記載の光モジュールにおいて、
前記光回路部分の近傍は、交差回路であり、
該交差回路の反射光を前記光部品に光結合させる
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項５】
請求項１に記載の光モジュールにおいて、
前記マルチモード光導波路は、前記光部品に向かって開き角度を有し、該開き角度は、ｔａｎΘ＝λ／（πｗ）（λ；媒質中の波長、ｗ；フィールド半径、π；円周率）なる関係を満たす角度Θである
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記光部品に光結合させる光は、前記シングルモード光導波路の漏れ光である
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項７】
請求項６記載の光モジュールにおいて、
前記シングルモード光導波路は曲がり導波路である
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項８】
請求項１又は４に記載の光モジュールにおいて、
前記マルチモード光導波路に替えて、光を閉じ込め可能なクラッド構造を備えたことを特徴とする光モジュール。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記光回路部分の近傍は、方向性結合器の後段である
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記光回路部分の近傍は、スターカプラの後段である
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項１１】
シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールにおいて、
前記シングルモード光導波路に該シングルモード光導波路とはフィールド径の異なる光素子が結合されており、
当該結合部分の近傍に光を閉じ込め可能なクラッド構造を備え、
該クラッド構造を介して前記光部品に光結合させる
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光モジュールにおいて、
前記クラッド構造の軸は、前記結合部分から前記光部品への光の所定の放射角度に沿う
ことを特徴とする光モジュール。
【請求項１３】
請求項１１又は１２の光モジュールにおいて、
前記光部品に光結合させる光は、前記シングルモード光導波路の漏れ光である
ことを特徴とする光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路回路と光半導体素子を集積した光モジュールに関し、より詳しくは、受光素子などのマルチモードの光導波路構造を有する光部品を集積する光回路へ適応する光モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
シングルモード光導波路と光半導体素子をハイブリッド集積した光モジュールにおいて、光半導体素子に対して一般にシングルモード光導波路によって光を素子まで導き光導波路と光半導体素子を光結合する構造がとられてきた（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
図７は従来技術の例である。図中符号７１−１は、シングルモード光導波路コアである。光導波路基板上の光導波路の一部を取り除き、くぼみを設け、そこに光半導体素子としてレーザダイオード（以下、ＬＤ（ｌａｓｅｒ　ｄｉｏｄｅ）ともいう）７２−１と受信用のフォトダイオード（以下、ＰＤ（ｐｈｏｔｏ　ｄｉｏｄｅ）ともいう）７２−２とを基板上に固定し、光導波路７１−１のＹ分岐回路７３−１と組み合わせて光トランシーバを構成するものである。
【０００４】
一般にシングルモード光導波路においては光回路部分、あるいは光結合部分において損失が大きく光がクラッドへと放射される。従来例の図７においても、Ｙ分岐の部分で光の放射が現れ損失となる。符号７１０−２は、迷光である。
また、図８に示すようなＸ交差導波路においては、交差部分のＸ交差回路８３−２で一方の導波路光がもう一方の導波路の領域と交差するとその部分で光が放射的になり、その先の光導波路が入射側と同じ構造の場合結合しない光が存在し非効率であり、また、余分な迷光を導波路の中に発生させることになる。符号８１０−２は、迷光である。
【０００５】
【非特許文献１】
吉田淳一ほか、”光アクセスシステム用部品経済化の技術展望”、ＮＴＴ　Ｒ＆Ｄ、１９９７、Ｖｏｌ．４６、Ｎｏ．５、ｐｐ４６７−４７２
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような光モジュールでは、光導波路のＹ分岐、光導波路の交差部、及び光導波路と半導体素子との光結合部において、迷光が発生してしまう。
【０００７】
このため、ＰＤで受光すべき光が減少したり、迷光が他のＰＤと結合したりするという解決すべき課題が従来技術にはあった。
【０００８】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、モジュール全体としての結合効率が高まり、迷光の抑制が可能な光モジュールを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明の光モジュールは、シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールであって、前記シングルモード光導波路からなる光回路部分の近傍にマルチモード光導波路を備え、該マルチモード光導波路を介して前記光部品に光結合させることを特徴とする（実施形態１、２、及び４、図１〜４、及び６に対応）。
【００１０】
ここで、前記光回路部分の近傍は、Ｙ分岐回路の後段であることを特徴とすることができる（実施形態１、図１）。
【００１１】
また、前記光回路部分の近傍は、交差回路であり、該交差回路の透過光を前記光部品に光結合させることを特徴とすることができる（実施形態２、図３、４）。
【００１２】
また、前記光回路部分の近傍は、交差回路であり、該交差回路の反射光を前記光部品に光結合させることを特徴とすることができる（実施形態４、図６）。
【００１３】
また、前記マルチモード光導波路は、前記光部品に向かって開き角度を有し、該開き角度は、ｔａｎΘ＝λ／（πｗ）（λ；媒質中の波長、ｗ；フィールド半径、π；円周率）なる関係を満たす角度Θであることを特徴とすることができる（実施形態２、図３、４）。
【００１４】
また、前記光部品に光結合させる光は、前記シングルモード光導波路の漏れ光であることを特徴とすることができる（実施形態実１、２、及び４、図１〜４、及び６）。
【００１５】
また、前記シングルモード光導波路は曲がり導波路であることを特徴とすることができる（実施形態１、図２）。
【００１６】
また、前記マルチモード光導波路に替えて、光を閉じ込め可能なクラッド構造を備えたことを特徴とすることができる（実施形態１、図１、実施形態４、図６）。
【００１７】
また、前記光回路部分の近傍は、方向性結合器の後段であることを特徴とすることができる（実施形態１、２、又は４）。
また、前記光回路部分の近傍は、スターカプラの後段であることを特徴とすることができる（実施形態１、２、又は４）。
【００１８】
また上記目的を達成するために、本発明の光モジュールは、シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールであって、前記シングルモード光導波路に該シングルモード光導波路とはフィールド径の異なる光素子が結合されており、当該結合部分の近傍に光を閉じ込め可能なクラッド構造を備え、該クラッド構造を介して前記光部品に光結合させることを特徴とする（実施形態３、図５）。
【００１９】
ここで、前記クラッド構造の軸は、前記結合部分から前記光部品への光の所定の放射角度に沿うことを特徴とすることができる（実施形態３、図５）。
【００２０】
また、前記光部品に光結合させる光は、前記シングルモード光導波路の漏れ光であることを特徴とすることができる（実施形態３、図５）。
【００２１】
以上の構成により、シングルモード主とする平面型光導波路回路とマルチモードの光導波路構造を部品内に有する光モジュールにおいて、光導波路回路の合分波器または光結合部分の近傍にマルチモード光導波路構造を形成し、その導波路をもってマルチモードの光部品に光結合させる。
【００２２】
マルチモードの光導波路は一般にフィールド径が大きく、シングルモードの導波路構造では結合しない光でも伝播させることが可能である。このことから上記構成を用いることにより、光合分波回路において発生し、通常漏れ光となる光についても容易に光部品へと導け、かつ、光部品がマルチモードであることから、回路全体として効率良い光部品を作製することが可能となる。
【００２３】
なお、特許請求の範囲と対応する実施形態及び図番を（）で示す。ただし、特許請求の範囲に記載した構成要素は上記（）部の実施形態の構成部に限定されるものではない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、各図面において同様の機能を有する箇所には同一の符号を付し、説明の重複は省略する。
【００２５】
本実施形態では全て、光導波路はシリカでできていて、ステップインデックス型のコア構造を有するものとする。ただし、本発明は光導波路としてシリカでなくてもよいし、また、導波路コアの構造としてステップインデックス型でなくともよい。
【００２６】
［実施形態１］
図１（ａ）、（ｂ）は、Ｙ分岐回路を有する光導波路基板上に導波路の一部を取り除き光素子搭載部を設け、レーザダイオード（ＬＤ）とフォトダイオード（ＰＤ）をハイブリッド集積した光モジュールの図である。図１（ａ）はマルチモード導波路コアを用いた場合の図である。図１（ｂ）はクラッドの一部を取り除き導波路構造とした場合の図である。図１（ａ）には、レーザダイオード（ＬＤ）１２−１ａとフォトダイオード（ＰＤ）１２−２ａをハイブリッド集積してある。図１（ｂ）には、レーザダイオード（ＬＤ）１２−１ｂとフォトダイオード（ＰＤ）１２−２ｂをハイブリッド集積してある。
【００２７】
図１（ａ）、（ｂ）において、図中符号１１−３ａ、１１−３ｂはクラッドである。Ｙ分岐部分１３−１ａ、１３−１ｂでは通常２つの導波路に分波するため、１本で伝わってきた導波モードと異なり、図７に示した迷光７１０−２のように結合しない光が発生する。その一方でＰＤ１２−２ａ、ＰＤ１２−２ｂで、吸収層１２−２ａ−１、１２−２ｂ−１はシングルモードでなくとも受光可能であり、あえて光導波路としてシングルモード導波路によりＰＤに光を導く必要はない。
【００２８】
そこで本実施形態１においては、図１（ａ）のように、Ｙ分岐回路１３−１ａの一方の回路をマルチモードの光導波路１１−２ａとし、その末端にフォトダイオードを配置することとした。さらに、マルチモード光導波路として急激に光導波路を変化させた場合、高次のモードが大量に発生し、完全に光を閉じ込めることが困難となるため徐々に導波路幅を拡大し、伝搬可能な高次モードのみが発生する構成とした。これにより、Ｙ分岐において従来１ｄＢ程度あった過剰損失を１ｄＢ程度に抑制することが可能となった。
【００２９】
本構成の光モジュールとして、図１（ｂ）のように、迷光を導波させる構造として、クラッド１１−３ｂの一部を取り除いた構造としてもよい。この際、ＰＤ１２−２ｂへとつながる導波路のコア１１−４としてはなくてもよいし、シングルモードまたは他モードの導波路でもよい。
【００３０】
さらに、図２（ａ）、（ｂ）は、曲がり導波路を使用した光モジュールの図である。図２（ａ）は曲がり導波路による光の放射の説明図である。図２（ｂ）は曲がり導波路の放射光を導波させＰＤに入射させる場合の図である。
【００３１】
図２（ａ）において、符号２１−１ａはシングルモード光導波路コア、２１−３ａはクラッド、２１０−１ａは伝搬光であり、光導波路を急激に屈曲させると曲がり部分から迷光２１０−２ａが発生する。
【００３２】
図２（ｂ）において、符号２１−１ａはシングルモード光導波路コア、２１−３ｂはクラッド、２２−１ｂ−１はレーザダイオード素子活性層、２２−２ｂ−１はマルチモードに対応したフォトダイオード素子吸収層、２２０−３は従来の曲率半径による光導波路の軌道である。ＰＤに入る光の量が微量であっても問題ない場合は図２（ｂ）のように漏れ光と結合するマルチモードの導波路構造２１−２ｂを設けて、光をＰＤに導いてもよい。これにより導波路の曲げる際の曲率半径を小さくとることが可能となる。本実施形態１においては電極をとるためにＬＤ２２−１ｂとＰＤ２２−２ｂとの間に距離を約１ｍｍ開ける必要があり、この間の距離を稼ぐために、従来のＹ分岐回路では図面上の横方向に約３ｍｍを必要とした。図２（ｂ）の実施形態では約２ｍｍまでＬＤ−ＰＤ間の距離の図面上縦方向の距離を開けるために、必要な図面上の横方向の距離を短縮することができた。
【００３３】
なお、分岐回路としては以下の実施形態２〜４でも同様であるが、実施形態１にあるＹ分岐のほかに方向性結合器、スターカプラでもよい。
【００３４】
［実施形態２］
図３と８は、ポリイミドフィルム上に形成した誘電体多層膜からなる１．３ミクロン１．５５ミクロン波フィルタ（３３−４、８３−４）をＸ交差光導波路を使用したＸ交差回路３３−２、８３−２に集積した波長分岐回路を有する光導波路と、ＬＤ３２−１、８２−１とマルチモードに対応したＰＤ３２−２、８２−２とをハイブリッド集積した光モジュールの図である。
【００３５】
図８はＸ交差導波路とフィルタによる波長多重光トランシーバの従来構造の図で、符号８１−１はシングルモード光導波路コア、８１−３はクラッドである。フィルム８３−４は２０ミクロン前後の厚みであるが、この部分において光が回折し、透過光は出射側導波路が入射側光導波路と同じ太さの光導波路では、比較的大きな回折損失が発生する。
【００３６】
そこで、図３では、ＰＤ出射側光導波路をマルチモード光導波路３１−２とした場合を示す。符号３１−１はシングルモード光導波路コア、３１−３はクラッドである。
【００３７】
ここで、放射角度はガウスビームを仮定しておおむね導波路の幅ｗ３２０−２（放射部からの距離により決まる放射角に対応したフィールド径（放射角×距離）、シングルモード導波路におけるフィールド半径）に対して、媒質中の波長λを用いてｔａｎΘ＝λ／（πｗ）なる関係を満たす角度Θであらわされるから、マルチモードの光導波路の幅の拡張率（光軸に対する導波路側面の仰角）を同程度とした。これにより従来の回折による迷光８１０−２がコア部に閉じ込められＰＤの結合率が約０．２ｄＢ改善された。
【００３８】
さらに、図３の構成の光モジュールを同一基板上に複数形成した、多チャンネル波長多重光トランシーバの構造を図４に示す。ここでフィルタ回路４３−４は上記の回路（図３の回路）を１単位とする複数の単位モジュールに渡って挿入されており、ＬＤ出射側光がＰＤ側に漏れるのを抑制している。符号４１−３はクラッド、４３−２はＸ交差回路、４２−１ａ〜４２−１ｄはレーザダイオード素子、４２−２ａ〜４２−２ｄはマルチモードに対応したフォトダイオード素子である。
【００３９】
一方、図８の構成の光モジュールを同一基板上に複数形成した、従来の多チャンネル波長多重光トランシーバの構造を図９に示す。ここでフィルタ回路９３−４は上記の回路（図８の回路）を１単位とする複数の単位モジュールに渡って挿入されており、ＬＤ出射側光がＰＤ側に漏れるのを抑制している。符号９１−３はクラッド、９３−２はＸ交差回路、９２−１ａ〜９２−１ｄはレーザダイオード素子、９２−２ａ〜９２−２ｄはフォトダイオード素子である。
【００４０】
ＰＤ側への入射光に関してはほぼ同一の波長の光が、例えば光導波路コア９１−１を介してＰＤ９２−２ａに入射されるため、結合しなかった光が迷光８１０−２となって他のＰＤ９２−２ｂ〜９２−２ｄに入った場合、漏話雑音９１０−３となる。
【００４１】
しかしながら、本実施形態２の図４においてはＰＤ４２−２ａへの光導波路において従来迷光となっていた光が光導波路コア４１−２に閉じ込められＰＤまで伝搬する（伝搬光４１０−１）ため、光クロストークの抑制が可能となる。これにより、光漏話のレベルを従来約３０ｄＢであったものを約４０ｄＢまで抑制することが可能となった。
【００４２】
［実施形態３］
図１０は、従来のモニタつきＬＤモジュールの構成図で、図５は、本実施形態３の光導波路にＬＤとＰＤを集積した光モジュールの図である。
【００４３】
図１０において、符号１０２−２はフォトダイオード素子、１０１０−１は伝搬光で、光導波路１０１−１とＬＤ１０２−１との光結合は通常フィールド径が異なるため、結合損失が発生し、光導波路端面近傍においては非結合光１０１０−２が大量に発生する。
【００４４】
そこで図５に示すように、本実施形態３では、ＬＤ５２−１の出射強度を一定にするために出力モニタ用にマルチモードに対応したＰＤ５２−２を用いた。図５において、符号５１０−１は伝搬光、５１０−２は非結合光、５２０−１は放射角、５１−３はクラッドである。ここでＬＤ５２−１と光導波路５１−１との結合部近傍に、マルチモードの光導波路としてクラッドの一部を取り除き（５１−４など）光のガイド構造を設けた。
【００４５】
ここで用いたＰＤ５２−２は屈折型ＰＤと呼ばれるもので、チップの側面からの入射光をチップの斜めの壁面で屈折し、チップ表面に光を取り出し面型の吸収層で受光するものである。このため、受光部の面積は大きく概ね１００μｍφ程度であった。クラッドによる光のガイド構造の大きさは約２０μｍ角であるから、ＰＤ５２−２の受光径に対して十分に小さなスポットとなり、モジュール出力０ｄＢｍ時１００μＡと十分な出力モニタが可能であった。
【００４６】
また、ＰＤ５２−２の配置に当たっては光導波路をさえぎることはできないことから、ＬＤの光軸から十分に離す必要がある。一方、モニタ光の散乱などによる減少を少なくするためにはできるだけＬＤ近傍にＰＤを配置する必要がある。したがって本実施形態３においては、光導波構造の向きとしてはＬＤの放射角度と合わせて光の減少しない範囲にその構造をもうけ、かつＬＤからの距離をできるだけ近づける構造をとった。この構造はこの光導波路端面によるＬＤへの戻り光を考慮して導波路の端の面を斜めにした場合は、導波路の光軸と同様にスネルの法則に従って屈折した向きにとればよい。この場合ＬＤ５２−１の端面の放射角５２０−１は２５度であったので、おおよそ２５度に傾けて、ガラスと空気の界面で全反射が成立する程度にクラッドの壁をＰＤに向けて漏斗形に窄めた構造とした。
【００４７】
［実施形態４］
図１１は、従来の光モニタ回路の構成例で、図６は、本実施形態４の光モニタ回路の構成例である。この実施形態４は、図６において、左から光ファイバ６１−５ａ〜６１−５ｃを介して導波路６１−１ａ〜６１−１ｃに入射した光のうち一部を、フィルタ６３−４によって反射し、光強度をマルチモードに対応したＰＤ６２−２ａ〜６２−２ｃによってモニタするものである。
【００４８】
従来、図１１のように、導波路１１１−１にはシングルモード導波路が用いられており、フィルタ１１３−４の反射部のトレランスは厳しく、ＰＤ１１２−２ａに対して良好な光結合をとるのが困難であり、かつ漏れた光が他の光素子１１２−２ｂ〜１１２−２ｄに入射して漏話光１１１−−３を発生させる原因となっていた。符号１１１０−１は伝搬光、１１３−２はＸ交差回路、１１１−３はクラッドである。
【００４９】
そこで本実施形態４においては、図６に示すように、ＰＤ６２−２ａ〜６２−２ｂ側光導波路６１−２ａ〜６１−２ｂをマルチモード導波路とした（図６の下側の導波路回路）。これにより、上記実施形態２と同様に、ＰＤへ反射される光のうち従来光導波路と結合せずに迷光となっていた光が導波路により導かれ、ＰＤへ結合し結果的に高効率な光結合が得られる。さらに従来の図１１で迷光となり漏話光となっていた光１１１０−３が、コア部６１−２ａ〜６１−２ｂに閉じ込められるため、他の素子への漏話を抑制することが可能となる。符号６１０−１は伝搬光、６３−２ａ〜６３−２ｃはＸ交差回路、６１−３はクラッドである。
【００５０】
また、図６の上側の導波路回路にあるように、クラッドの一部を除いた導波路構造を用いてもよい。符号６１−４ａ、６１−４ｂがクラッド除去部である。本実施形態４では光がクラッド高さ５０μｍに広がっても問題ないようにＰＤ６２−２ｃとして約１００μｍφの受光面をもつ屈折型ＰＤを用いている。
【００５１】
さらに、ファイバ６１−５ｃと光導波路６１−１ｃとの結合によって漏れた光もＰＤ６２−２ｃが受光できるように、ファイバ近傍からガイド構造を設けフィルタ６３−４で反射させる構造とした。この構造を用いた場合は意図的にファイバ６１−５ｃを導波路６１−１ｃからずらすことにより、ＰＤ６２−２ｃに入る光の量を調整することも可能となる。
【００５２】
［実施形態の効果］
以上説明したように、本実施形態によれば、マルチモードに対応した光素子とマルチモードの光導波路を光モジュールの一部に用いることによりモジュール全体としての結合効率を高め、さらに、従来、迷光となっていた光をマルチモード光導波路と結合することになるため、迷光の抑制も同時に実現できる。さらに、光導波路の構造を、フィールド径および出射方向に最適化することにより、マルチモードと放射光との光結合を高めることが可能となる。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールは、シングルモード光導波路からなる光回路部分の近傍にマルチモード光導波路を備え、そのマルチモード光導波路を介して上記光部品に光結合させる。このため、モジュール全体としての結合効率が高まり、迷光の抑制が可能となる。
【００５４】
また、本発明によれば、シングルモード光導波路とマルチモードに対応した光部品とを含み、面型の素子構造を有する光素子を集積した光モジュールは、シングルモード光導波路にそれとはフィールド径の異なる光素子が結合されており、その結合部分の近傍に光を閉じ込め可能なクラッド構造を備え、そのクラッド構造を介して上記光部品に光結合させる。
このため、モジュール全体としての結合効率が高まり、迷光の抑制が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１の、Ｙ分岐回路を有する光導波路基板上に導波路の一部を取り除き光素子搭載部を設け、レーザダイオード（ＬＤ）とフォトダイオード（ＰＤ）をハイブリッド集積した光モジュールの図で、（ａ）はマルチモード導波路コアを用いた場合、（ｂ）はクラッドの一部を取り除き導波路構造とした場合の図である。
【図２】本発明の実施形態１の曲がり導波路を使用した光モジュールの図で、（ａ）は曲がり導波路による光の放射の説明図、（ｂ）は曲がり導波路の放射光を導波させＰＤに入射させる場合の図である。
【図３】本発明の実施形態２のＰＤ側にマルチモード導波路を用いた場合の図である。
【図４】本発明の実施形態２の構成による多チャンネル波長多重光トランシーバの構造図である。
【図５】本発明の実施形態３のクラッドにより非結合光を導波させる構造をもつモニタつきＬＤモジュールの図である。
【図６】本発明の実施形態４による光モニタ回路の構成例で、導波路コアによる場合とクラッドによる場合を一括して表している図である。
【図７】従来例のＹ分岐回路をもつ光トランシーバの図である。
【図８】従来のＸ交差導波路とフィルタによる波長多重光トランシーバの構造図である。
【図９】従来の多チャンネル波長多重光トランシーバの構造図である。
【図１０】従来のモニタつきＬＤモジュールの構成図である。
【図１１】従来の光モニタ回路の構成例の図である。
【符号の説明】
７１−１、２１−１ａ、８１−１、３１−１、９１−１、１０１−１、５１−１、６１−１ａ〜６１−１ｃ、１１１−１　シングルモード光導波路コア
１１−２ａ、２１−２ｂ、３１−２、４１−２、６１−２ａ〜６１−２ｂ　マルチモード光導波路コア
１１−４　導波路コア
１−３、９１−３、５１−３、１１１−３、６１−３　クラッド
５１−４、６１−４ａ、６１−４ｂ　クラッド除去部
６１−５ａ〜６１−５ｃ　光ファイバ
７２−１、１２−１ａ、１２−１ｂ、２２−１ｂ、３２−１、８２−１、４２−１ａ〜４２−１ｄ、９２−１ａ〜９２−１ｄ、１０２−１、５２−１　レーザダイオード素子
２２−１ｂ−１　レーザダイオード素子活性層
７２−２、１２−２ａ、１２−２ｂ、２２−２ｂ、３２−２、８２−２、４２−２ａ〜４２−２ｄ、９２−２ａ〜９２−２ｄ、１０２−２、５２−２、６２−２ａ〜６２−２ｃ、１１２−２ａ〜１１２−２ｄ　フォトダイオード素子
１２−２ａ−１、１２−２ｂ−１２２−２ｂ−１　フォトダイオード素子吸収層
７３−１、１３−１ａ、１３−１ｂ　Ｙ分岐回路
８３−２、３３−２、４３−２、９３−２、１１３−２、６３−２ａ〜６３−２ｃ　Ｘ交差回路
３３−４、８３−４、４３−４、９３−４、６３−４、１１３−４　誘電体多層膜フィルタ
２１０−１ａ、４１０−１、１０１０−１、５１０−１、１１１０−１、６１０−１　伝搬光
７１０−２、８１０−２、２１０−２ａ、１０１０−２、５１０−２　迷光
９１０−３、１１１０−３　漏話光
５２０−１　放射角
３２０−２　シングルモード導波路におけるフィールド半径
２２０−３　従来の曲率半径による光導波路の軌道
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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