(57)【要約】【課題】研磨面を損傷させることなく薄板を剥離して保持し得る薄板の剥離・保持装置の提供。【解決手段】直線状の対をなすセグメント２，３の基端部がヒンジピン４により連結され、上下動可能な移動支持体６に上端を係止した２本のスリング７の下端に両セグメントの先端部が係止されて鉛直面内で折曲可能となるように吊持されるアーム１と、一方のセグメントの基端部上面に基部が取り付けられ、端部がヒンジピンを越えて他方のセグメントの基端部の上方へ斜めに延びたブラケット９と、ブラケットの端部に螺入され、他方のセグメントの基端部上面を押圧する折曲角度調整ねじ１０と、両セグメントの先端部の下面に適宜下方へ位置させて対向して設けられ、薄板Ｗの辺縁部に係合可能で、少なくとも先端下部が鋭角をなすＶ字状の爪１３とを備える。【選択図】        図１
2004202672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨定盤の研磨布に密着した方形の薄板を剥離して保持する薄板の剥離・保持装置であって、直線状の対をなすセグメントの基端部がヒンジピンにより連結され、上下動可能な移動支持体に上端を係止した２本のスリングの下端に両セグメントの先端部が係止されて鉛直面内で折曲可能となるように吊持されるアームと、アームにおける一方のセグメントの基端部上面に基部が取り付けられ、端部がヒンジピンを越えて他方のセグメントの基端部の上方へ斜めに延びたブラケットと、ブラケットの端部に螺入され、他方のセグメントの基端部上面を押圧する折曲角度調整ねじと、アームにおける両セグメントの先端部の下面に適宜下方へ位置させて対向して設けられ、薄板の辺縁部に係合可能で、少なくとも先端下部が鋭角をなすＶ字状の爪とを備えることを特徴とする薄板の剥離・保持装置。
【請求項２】
前記アームを平行になして水平方向へ所要間隔で配置される請求項１記載の複数台の薄板の剥離・保持装置と、各薄板の剥離・保持装置のアームにおける両セグメントの先端部同士をそれぞれ所要間隔に保持すべく着脱可能に連結する水平な２本の間隔保持杆とを備えることを特徴とする薄板の剥離・保持装置。
【請求項３】
前記アームにおける他方のセグメントの基端部側面に基部が取り付けられ、ヒンジピンを越えて一方のセグメントの基端部の上方へ斜めに延びた端部に前記スリングの下端が係止可能なかにばさみアームを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の薄板の剥離・保持装置。
【請求項４】
前記アームにおける少なくとも一方のセグメントが伸縮可能であることを特徴とする請求項１、２又は３記載の薄板の剥離・保持装置。
【請求項５】
前記両爪が相対的に接近離隔可能であることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の薄板の剥離・保持装置。
【請求項６】
前記爪の摺動部に潤滑剤入り樹脂部材が介装されていることを特徴とする請求項５記載の薄板の剥離・保持装置。
【請求項７】
前記移動支持体が水平移動及び水平回動可能であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６記載の薄板の剥離・保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨定盤の研磨布に密着した方形の薄板、例えば、フォトマスクや液晶パネル基板等のガラス板、あるいは合成樹脂板、金属板等を剥離して保持する薄板の剥離・保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の薄板の剥離・保持装置としては、薄板の搬送経路に配置された定盤の上方に、前記薄板を搬送経路に沿って搬送するための搬送台が移動自在に設けられ、薄板の縁部を保持して定盤に対して持ち上げるための保持部材が前記搬送台に対して昇降自在に設けられ、薄板の端部が前記保持部材で定盤に対して持ち上げられた状態で、前記定盤に沿って定盤と薄板との間に介入する薄板剥離用部材が定盤に沿って移動自在に設けられ、前記薄板剥離用部材を定盤に沿って移動させるための移動装置が設けられた薄板の保持搬送装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−５２１５８号公報
【０００４】
上記薄板の保持搬送装置は、薄板の縁部を保持部材で持ち上げ、薄板の縁部を持ち上げた際に定盤と薄板との間に生じる隙間から薄板剥離用部材を挿入することで定盤から薄板を剥離して、確実かつ容易に、薄板を損傷させることなく安全に搬送することができる、というものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の薄板の剥離・保持装置では、保持部材及び薄板剥離用部材が、薄板の研磨面（ポリッシュ面やラッピング面等を含む）に接触するため、研磨面を損傷する不具合につながり易い。
又、保持部材を搬送台に対して昇降可能に、かつ、互いに接近離隔可能に設けたり、あるいは薄板剥離用部材を搬送台に沿って移動可能に設けたりしなければならず、構成が複雑となる傾向がある。
【０００６】
そこで、本発明は、研磨面を損傷させることなく薄板を剥離して保持し、かつ、構成を簡単にし得る薄板の剥離・保持装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明の第１の薄板の剥離・保持装置は、研磨定盤の研磨布に密着した方形の薄板を剥離して保持する薄板の剥離・保持装置であって、直線状の対をなすセグメントの基端部がヒンジピンにより連結され、上下動可能な移動支持体に上端を係止した２本のスリングの下端に両セグメントの先端部が係止されて鉛直面内で折曲可能となるように吊持されるアームと、アームにおける一方のセグメントの基端部上面に基部が取り付けられ、端部がヒンジピンを越えて他方のセグメントの基端部の上方へ斜めに延びたブラケットと、ブラケットの端部に螺入され、他方のセグメントの基端部上面を押圧する折曲角度調整ねじと、アームにおける両セグメントの先端部の下面に適宜下方に位置させて対向して設けられ、薄板の辺縁部に係合可能で、少なくとも先端下部が鋭角をなすＶ字状の爪とを備えることを特徴とする。
【０００８】
第２の薄板の剥離・保持装置は、前記アームを平行になして水平方向へ所要間隔で配置される請求項１記載の複数台の薄板の剥離・保持装置と、各薄板の剥離・保持装置のアームにおける両セグメントの先端部同士をそれぞれ所要間隔に保持すべく着脱可能に連結する水平な２本の間隔保持杆とを備えることを特徴とする。
【０００９】
又、第３の薄板の剥離・保持装置は、第１又は第２のものにおいて、前記アームにおける他方のセグメントの基端部側面に基部が取り付けられ、ヒンジピンを越えて一方のセグメントの基端部の上方へ斜めに延びた端部に前記スリングの下端が係止可能なかにばさみアームを備えることを特徴とする。
【００１０】
一方、前記アームにおける少なくとも一方のセグメントは、伸縮可能であることが好ましい。
前記両爪は、相対的に接近離隔可能であることが好ましい。
前記爪の摺動部には、潤滑剤入り樹脂部材が介装されていることが好ましい。
又、前記移動支持体は、水平移動及び水平回動可能であることが好ましい。
【００１１】
【作用】
本発明の第１の薄板の剥離・保持装置においては、両セグメントの先端部にスリングの下端を係止してアームを移動支持体に吊持した状態で、折曲角度調整ねじを緩めて相互間の間隔を広げた両爪を、薄板を挟むようにしてその対向する辺縁部に接近させて、薄板を載置した定盤（具体的には、研磨装置定盤上の研磨布）の上に載せた後、折曲角度調整ねじをねじ込んで両爪間の間隔を狭めると、両爪の先端下部が薄板の下に潜り込み、かつ、それぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板を持ち上げると共に、両爪に薄板の水平方向で対向する辺縁部がそれぞれ上下方向で対向する辺縁角部を介して係合される。
【００１２】
第２の薄板の剥離・保持装置においては、各アームにおける両セグメントの先端部にスリングの下端を係止してそれぞれのアームを移動支持体に吊持した状態で、各アームの折曲角度調整ねじを緩めて相互間の間隔を広げた両爪を、薄板を挟むようにしてその対向する辺縁部に接近させて、薄板を載置した定盤の上に載せた後、各アームの折曲角度調整ねじを順次ねじ込んで各アームの両爪間の間隔を狭めると、両爪の先端下端が薄板の下に潜り込み、かつ、それぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板を持ち上げると共に、各アームの両爪に薄板の水平方向で対向する辺縁部がそれぞれ上下方向で対向する辺縁角部を介して係合されると共に、各アームの間隔が水平な２本の間隔保持杆によって一定に保持される。
【００１３】
又、第３の薄板の剥離・保持装置においては、第１又は第２のものによる作用の他、一方のセグメントの先端部とかにばさみアームの端部にスリングの下端を係止してアームを移動支持体に吊持すると、アームには、装置の自重及び保持した薄板の重量により、両爪間の間隔を狭めるような力が常時作用する。
【００１４】
一方、アームにおける少なくとも一方のセグメントが伸縮可能であることにより、両爪間の間隔の粗調整が可能となる。
両爪が相対的に接近離隔可能であることにより、両爪間の間隔の微調整が可能となる。
爪の摺動部に潤滑剤入り樹脂部材が介装されていることにより、粉塵の発生が防止される。
又、移動支持体が水平移動及び水平回動可能であることにより、薄板の水平移動、水平回動が可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１、図２、図３及び図４は本発明に係る薄板の剥離・保持装置を２台用いた第１の実施の形態を示す正面図、側面図、要部の平面図及び図３におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
【００１６】
図中１は角筒からなる直線状の本体部２ａ，３ａ及び本体部２ａ，３ａの先端部を直角に屈曲させた爪取付部２ｂ，３ｂからなるＬ字状の対をなすセグメント２，３の本体部２ａ，３ａの基端部を、それぞれの爪取付部２ｂ，３ｂを同一側（図１においては下側）に位置させた状態で、ヒンジピン４により両爪取付部２ｂ，３ｂの端部を接近離隔自在になして連結したアームで、このアーム１における一方のセグメント２の本体部２ａは、入れ子式になっていると共に、入れ子に設けた多数の透孔（図示せず）に挿抜されるインデックスプランジャ５により伸縮可能に設けられている。
なお、入れ子は、本体部の長さの異なる数種類を揃えておき、交換して使用するようにしてもよい。
６はホイストやクレーン等（図示せず）により上下移動、水平移動及び水平回動可能に設けられた直線状の水平な移動支持体で、この移動支持体６には、上述した２つのアーム１が、移動支持体５の下面の２つのフック（図示せず）にそれぞれ上端を係止した各２本のスリング７の下端を、各アーム１における両セグメント２，３の屈曲部、すなわち、本体部２ａ，３ａの先端部に取り付けたアイボルト８にフック（図示せず）を介して係止することにより、各爪取付部２ｂ，３ｂが下側に位置するようにし、適宜に離隔して平行に吊持されている。
【００１７】
各アーム１における一方のセグメント２の本体部２ａには、基部側を本体部２ａの基端部に外嵌する角筒状に設け、かつ、端部側を上下方向へ拡開する角錐筒状に設けたブラケット９の基部が、端部をヒンジピン４を越えて他方のセグメント３の本体部３ａの基端部側に位置させた状態で取り付けられており、このブラケット９の端部の上側には、アーム１における両セグメント２，３の本体部２ａ，３ａのなす折曲角度を調整すべく、他方のセグメント３の本体部３ａの上面を押圧する折曲角度調整ねじ１０が螺入されている。
又、アーム１における他方のセグメント３の本体部３ａの両側には、後述する薄板の保持力を増大するためのヘ字状のかにばさみアーム１１の基部が、ブラケット９と干渉することがないようにし、端部をヒンジピン４を越えて一方のセグメント２の本体部２ａの上方へ斜めに延ばさせた状態で取り付けられており、このかにばさみアーム１１の端部には、前述したスリング７の一方の下端を係止するためのアイボルト１２が取り付けられている。
そして、各アーム１における両セグメント２，３の爪取付部２ｂ，３ｂの下端には、フッ素樹脂等の合成樹脂からなり、研磨定盤の研磨布Ｇに密着した方形の薄板Ｗの辺縁部に、その上下で対向する辺縁角部に当接するようにして係合可能で、先端の下部と上部が鋭角をなすＶ字状の爪１３が対向して設けられている。
【００１８】
上述した薄板の剥離・保持装置を用いて研磨定盤上の研磨布Ｇに密着した方形の薄板（例えば、フォトマスク）Ｗを剥離して保持するには、先ず、図５に示すように、各アーム１における両セグメント２，３のアイボルト８にスリング７の下端を係止してそれぞれのアーム１を吊持した状態で、折曲角度調整ねじ１０を緩め、各アーム１における両セグメント２，３の上面のなす角度が１７０°程度となるように両セグメント２，３の本体部２ａ，３ａの折曲角度を調整して両爪１３間の間隔を広げた後、移動支持体６を下降させて両爪１３を薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部に接近させて研磨定盤の研磨布Ｇの上に載せる。
次に、折曲角度調整ねじ１０をねじ込んで両爪１３間の間隔を狭めてゆくと、図１に示すように、両爪１３の先端下部が薄板Ｗの下に潜り込み、更に折曲角度調整ねじ１０をねじ込むと、図６に示すように、両爪１３がそれぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部を持ち上げて研磨布Ｇから剥離すると共に、両爪１３に薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部の上下方向で対向する辺縁角部が係合し、薄板Ｗが剥離・保持装置に保持される。
次いで、移動支持体６を適宜に動かすことにより、薄板Ｗが所望の場所へ搬送される。
【００１９】
一方、薄板Ｗが撓み易い場合には、各アーム１における一方のセグメント２のアイボルト８とかにばさみアーム１１のアイボルト１２にスリング７の下端を係止してそれぞれのアーム１を吊持した状態で、上述した場合にと同様にして薄板Ｗを研磨布Ｇから剥離して保持し、所望の場所へ搬送する。
又、薄板Ｗの大きさが変化した場合には、インデックスプランジャ５を入れ子の透孔から引き抜き、入れ子を薄板Ｗの大きさに対応させて適宜に移動したり、あるいは所要長さの入れ子と交換して、所要の透孔にインデックスプランジャ５を挿入することにより、両爪１３間の間隔を調整する。
【００２０】
図７及び図８は本発明に係る薄板の剥離・保持装置の第２の実施の形態を示す要部の一部を省略した正面図及び図７におけるＶＩＩＩ  方向矢視図である。
この薄板の剥離・保持装置は、前述した第１の実施の形態のものが爪１３をアーム１におけるセグメント２，３の爪取付部２ｂ，３ｂの下端に固定して設けたのに対し、対向して設けられる爪１３を互いに接近離隔可能に設けたものである。
すなわち、各アーム１における両セグメント２，３の爪取付部２ｂ，３ｂ（図７、図８においては他方のセグメントの爪取付部のみ示す）の下端には、本体部２ａ，３ａの長手方向へ延びるＴ形溝１４を下面に設けたガイドベース１５がそれぞれ取り付けられており、各ガイドベース１５の下面には、スライドブロック１６が、上部に設けたＴ形の突条１７をＴ形溝１４に摺動自在に係合することにより、それぞれ本体部２ａ，３ａの長手方向へ移動自在に設けられている。
そして、各スライドブロック１６には、ガイドベース１５の外側面（図７における右側面）に取り付けられたブラケット１８に螺入した間隔調整ねじ１９の内端部が回転自在に連係されている一方、それぞれの下面には、爪１３が取り付けられているものである。
他の構成は、第１の実施の形態のものと同様であるので、同一の構成部材等には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２１】
上述した薄板の剥離・保持装置は、第１の実施の形態のものと同様にして研磨定盤上の研磨布Ｇに密着した薄板Ｗの剥離、保持及び搬送に用いられる他、折曲角度調整ねじ１０の進退及びアーム１における一方のセグメント２の長辺部２ａの伸縮によっても両爪１３間の間隔が薄板Ｗの大きさと僅かに適合しない場合、間隔調整ねじ１９を進退することにより、対向する爪１３間の間隔の微調整が可能となる。
【００２２】
図９、図１０は本発明に係る薄板の剥離・保持装置を２台用いた第３の実施の形態を示す正面図、側面図である。
【００２３】
図中２１は角筒からなる直線状の対をなすセグメント２２，２３の基端部を、ヒンジピン２４により連結したアームで、このアーム２１における一方のセグメント２２は、入れ子式になっていると共に、入れ子に設けた多数の透孔（図示せず）に挿抜されるインデックスプランジャ２５により伸縮可能に設けられている。
なお、入れ子は、長さの異なる数種類を揃えておき、交換して使用するようにしてもよい。
【００２４】
各アーム２１における両セグメント２２，２３の先端部上には、図９〜図１２に示すように、後述する間隔保持杆を受け入れるコ字状の保持杆受け２６（図１１，図１２においては一方のセグメントのもののみ示す）が、開口部を先端側に位置させて載設されており、それぞれの保持杆受け２６には、受け入れた間隔保持杆の離脱を防止するほぼコ字状のフック２７が、保持杆受け２６の開口部を閉鎖するようにしてピン２８を介して一側（図１２においては右側）に軸着されている一方、後述するスリングのフックが係止されるアイボルト２９が、上部に螺着されている。
図１１、図１２においては３０はフック２７を全閉状態（図１１、図１２において実線で示す状態）に停止させる全閉ストッパ、３１はフック２７を全開状態（図１１、図１２において二点鎖線で示す状態）に停止させる全開ストッパであり、３２はフック２７を開閉する際のつまみである。
【００２５】
図９、図１０中３３は４本のスリング３４を介して吊持されて、ホイストやクレーン等（図示せず）により上下移動、水平移動及び水平回動可能に設けられた矩形枠状の水平な移動支持体で、その四隅の上下には、アイボルト３５，３６がそれぞれ螺着されている。
移動支持体３３には、前述した２つのアーム２１が、移動支持体３３の下面の４つのアイボルト３６に上端を係止した各２本のスリング３１の下端を、各アーム２１における両セグメント２２，２３の先端部に取り付けた前記アイボルト２９にフック３８（図１１、図１２参照）を介して係止することにより、各アーム２１が鉛直面内で折曲可能となるようにし、適宜に離隔して平行に吊持されている。
【００２６】
各アーム２１における一方のセグメント２２の基端部には、図９に示すように、第１、第２の実施の形態のものと同様、基部側をセグメント２２に外嵌する角筒状に設け、かつ、端部側を上下方向へ拡開する角錐筒状に設けたブラケット３９の基部が、端部をヒンジピン２４を越えて他方のセグメント２３の基端部側に位置させた状態で取り付けられており、このブラケット３９の端部の上側には、アーム２１における両セグメント２２，２３のなす折曲角度調整ねじ４０が螺入されている。
図９において４１はブラケット３９の下側に取り付けた補助ブラケットで、他方のセグメント２３の下方への過大な折れ曲がりをブラケット３９の下側と相俟って阻止するものである。
【００２７】
又、各アーム２１における両セグメント２２，２３の先端部の下面には、図９、図１０、図１３、図１４及び図１５に示すように（図１３〜図１５においては他方のセグメントのもののみ示す）、第２の実施の形態のものと同様、セグメント２２，２３の長手方向へ延びるＴ形溝４２を下面に設けたガイドベース４３がそれぞれ取り付けられており、各ガイドベース４３の下面には、スライドブロック４４が、上部に設けたＴ形の突条４５を、合成樹脂に潤滑剤を混入してなる潤滑剤入り樹脂部剤４６，４７を介装してＴ形溝４２に摺動自在に係合することにより、それぞれセグメント２２，２３の長手方向へ移動自在に設けられている。
各スライドブロック４４には、ガイドベース４３の外側面（図１３においては右側面）に取り付けられたブラケット４８に螺入した間隔調整ねじ４９の内端部が回転自在に連係されている一方、それぞれの下面には、間隔調整ねじ４９が研磨定盤の部材と干渉するのを防止するスペーサブロック５０が連設されており、各スペーサブロック５０の下面には、フッ素樹脂等の合成樹脂からなり、研磨定盤の研磨布Ｇに密着した方形の薄板Ｗの辺縁部に、その上下で対向する辺縁角部に当接するようにして係合可能で、先端の下部と上部が鋭角をなすＶ字状の爪５１が取り付けられている。
【００２８】
更に、各アーム２１における一方のセグメント２２の先端部の保持杆受け２６同士及び他方のセグメント２３の先端部の保持杆受け２６同士には、図９、図１０及び図１６に示すように、所要長さの角筒状の間隔保持杆５２が、その外周に摺動自在に嵌装したポリプロピレン等の合成樹脂からなる角筒状の各２個の鍔付きスライダー５３を介して掛け渡されており、各鍔付きスライダー５３の相対向する端部には、鍔付きスライダー５３を間隔保持杆５２に固定して各アーム２１における両セグメント２２，２３の先端部同士を所要間隔に保持すべく、間隔保持杆５２に設けた多数の透孔（図示せず）に挿抜されるインデックスプランジャ５４が付設されている。
図１０、図１６において５５は間隔保持杆５２の端部に設けたスライダーストッパで、間隔保持杆５２からの鍔付きスライダー５３の離脱を防止するものである。
【００２９】
上述した薄板の剥離・保持装置を用いて研磨定盤上の研磨布Ｇに密着した方形の薄板Ｗを剥離して保持するには、先ず、各アーム２１における両セグメント２２，２３のアイボルト２９に、移動支持体３３に上端を係止したスリング３７の下端をフック３８を介して係止してそれぞれのアーム２１を吊持した状態で、折曲角度調整ねじ４０を緩め、各アーム２１における両セグメント２２，２３の上面のなす角度が１７０°程度となるように両セグメント２２，２３の折曲角度を調整して両爪５１間の間隔を広げた後、移動支持体３３を下降させて両爪５１を薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部に接近させて研磨定盤の研磨布Ｇの上に載せる。
次に、一方のアーム２１の両アイボルト２９からスリング３７のフック３８を取り外した後、折曲角度調整ねじ４０をねじ込んで両爪５１間の間隔を狭めてゆくと、両爪５１の先端下部が薄板Ｗの下に潜り込み、更に折曲角度調整ねじ４０をねじ込むと、両爪５１がそれぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部を持ち上げて研磨布Ｇから剥離すると共に、両爪５１に薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部の上下方向で対向する辺縁角部が係合する。
次いで、上述した場合と全く同様にして、他方のアーム２１の両爪５１に薄板Ｗの水平方向で対向する辺縁部の上下方向で対向する辺縁角部を係合した後、各アーム２１における両セグメント２２，２３の先端部同士の保持杆受け２６に間隔保持杆５２を鍔付きスライダー５３を介してそれぞれ掛け渡し、しかる後に、フック２１を回動して保持杆受け２６の開口部を閉鎖する。
次に、各アーム２１の全てのアイボルト２９にスリング３７のフック３８を係止した後、移動支持体３３を適宜に動かすことにより、薄板Ｗが所望の場所へ搬送される。
【００３０】
一方、薄板Ｗの撓み易い場合には、保持された薄板Ｗを折曲角度調整ねじ４０の更なるねじ込み及び／又は間隔調整ねじ４９のねじ込みにより予め撓ませておく。
又、薄板Ｗの大きさが変化した場合には、インデックスプランジャ２５を入れ子の透孔から引き抜き、入れ子を薄板Ｗの大きさに対応させて適宜に移動したり、あるいは所要長さの入れ子と交換して、所要の透孔にインデックスプランジャ２５を挿入することにより、両爪５１間の間隔を調整する。
更に、上述した入れ子の移動又は交換によっても両爪５１間の間隔が微調整できない場合には、間隔調整ねじ４９によって両爪５１間の間隔を微調整する。
【００３１】
なお、上述した各実施の形態においては、薄板の剥離・保持装置を２台用いる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、薄板Ｗの大きさに応じて１台又は３台以上の薄板の剥離・保持装置を用いてもよい。
又、折曲角度調整ねじ１０，４０が螺入されるブラケット９，３９は、角筒と角錐筒を連設した形状とする場合に限らず、アーム１，２１における一方のセグメント２の本体部２ａの基端部又は一方のセグメント２２の基端部の上面に基部が取り付けられ、端部がヒンジピン４，２４を越えて他方のセグメント３の本体部３ａの基端部又は他方のセグメント２３の基端部の上方へ斜めに延びたヘ字状のものであればよい。
更に、爪１３，５１は、先端の下部と上部が鋭角をなすＶ字状に設ける場合に限らず、先端の下部のみが鋭角をなすＶ字状であればよい。
更に又、アーム１，２１における一方のセグメント２の本体部２ａ又は一方のセグメント２２を伸縮可能に設ける場合に限らず、他方のセグメント３の本体部３ａ又は他方のセグメント２３を伸縮可能に設けてもよく、あるいは両方のセグメント２，３の本体部２ａ，３ａ又は両方のセグメント２２，２３を伸縮可能に設けるようにしてもよい。
又、爪１３，５１は、両方が移動可能である場合に限らず、一方のみが移動可能であればよい。
更に、薄板の剥離・保持装置は、研磨盤の研磨布Ｇに密着した薄板Ｗの剥離、保持及び搬送に用いる場合に限らず、保管場所に置かれた薄板Ｗを保持して研磨盤や他の装置等へ搬送して載置したりすることができるのは勿論である。
【００３２】
更に又、第１、第２の実施の形態のものにおいて、アーム１のセグメント２，３を本体部２ａ，３ａと爪取付部２ｂ，３ｂからなるＬ字状とする場合に限らず、第３の実施の形態のもののように、アーム１のセグメント２，３を本体部２ａ，３ａのみからなるものとし、爪１３を本体部２ａ，３ａの先端部の下面にスペーサブロックを介在して適宜下方へ位置させて設けるようにしてもよい。
又、第３の実施の形態のものにおいて、第１、第２の実施の形態のもののように、他方のセグメント２３の基端部にかにばさみアームを取り付けるようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第１の薄板の剥離・保持装置によれば、両セグメントの先端部にスリングの下端を係止してアームを移動支持体に吊持した状態で、折曲角度調整ねじを緩めて相互間の間隔を広げた両爪を、薄板を挟むようにしてその対向する辺縁部に接近させて、薄板を載置した定盤の上に載せた後、折曲角度調整ねじをねじ込んで両爪間の間隔を狭めると、両爪の先端下部が薄板の下に潜り込み、かつ、それぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板を持ち上げると共に、両爪に薄板の水平方向で対向する辺縁部がそれぞれ上下方向で対向する辺縁角部を介して係合されるので、研磨面を損傷させることなく薄板を剥離して保持することができると共に、構成を簡単にすることができる。
【００３４】
第２の薄板の剥離・保持装置によれば、各アームにおける両セグメントの先端部にスリングの下端を係止してそれぞれアームを移動支持体に吊持した状態で、各アームの折曲角度調整ねじを緩めて相互間の間隔を広げた両爪を、薄板を挟むようにしてその対向する辺縁部に接近させて、薄板を載置した定盤の上に載せた後、各アームの折曲角度調整ねじを順次ねじ込んで各アームの両爪間の間隔を狭めると、両爪の先端下部が薄板の下に潜り込み、かつ、それぞれの下面を支点としたてこの作用により薄板を持ち上げると共に、各アームの両爪に薄板の水平方向で対向する辺縁部がそれぞれ上下方向で対向する辺縁部を介して係合されると共に、各アームの間隔が水平な２本の間隔保持杆によって一定に保持されるので、第１のものと同様の作用効果が得られる他、薄板に対して局所的な力が作用することを防止することができる。
【００３５】
又、第３の薄板の剥離・保持装置によれば、第１、第２のものによる作用効果の他、一方のセグメントの先端部とかにばさみアームの端部にスリングの下端を係止してアームを移動支持体に吊持すると、アームには、装置の自重及び保持した薄板の重量により、両爪間の間隔を狭めるような力が常時作用するので、薄板の保持力を増大させることができ、薄板が撓んだとしても安全、確実に保持することができる。
【００３６】
一方、アームにおける少なくとも一方のセグメントが伸縮可能であることにより、両爪間の間隔の粗調整が可能となるので、薄板の大きさの変化に対応させることができる。
両爪が相対的に接近離隔可能であることにより、両爪間の間隔の微調整が可能となるので、折曲角度調整ねじの進退及びアームにおけるセグメントの伸縮によって両爪間の間隔が薄板の大きさに適合しない場合でも、確実に適合させることができる。
爪の摺動部に潤滑剤入り樹脂部材が介装されていることにより、粉塵の発生が防止されるので、粉塵の研磨布への落下によって薄板が損傷を受けることがなくなる。
又、移動支持体が水平移動及び水平回動可能であることにより、薄板の水平移動、水平回動が可能であるので、研磨定盤上の研磨布からの薄板の剥離・保持のみならず、薄板の移載、搬送を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る薄板の剥離・保持装置の第１の実施の形態を示す正面図である。
【図２】図１の薄板の剥離・保持装置の側面図である。
【図３】図１の薄板の剥離・保持装置の要部の平面図である。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。
【図５】図１の薄板の剥離・保持装置の作用を示す剥離前段状態の平面図である。
【図６】図１の薄板の剥離・保持装置の作用を示す保持状態の正面図である。
【図７】本発明に係る薄板の剥離・保持装置の第２の実施の形態を示す要部の一部を省略した正面図である。
【図８】図７におけるＶＩＩＩ  方向矢視図である。
【図９】本発明に係る薄板の剥離・保持装置の第３の実施の形態を示す正面図である。
【図１０】図９の薄板の剥離・保持装置の側面図である。
【図１１】図９の薄板の剥離・保持装置の要部の拡大図である。
【図１２】図１１におけるＸＩＩ方向矢視図である。
【図１３】図９の薄板の剥離・保持装置の他の要部の一部破断した拡大図である。
【図１４】図１３におけるＸＩＶ方向矢視図である。
【図１５】図１４の部分拡大図である。
【図１６】図１０の一部省略した部分拡大図である。
【符号の説明】
１  アーム
２  セグメント
２ａ  本体部
２ｂ  爪取付部
３  セグメント
３ａ  本体部
３ｂ  爪取付部
４  ヒンジピン
５  インデックスプランジャ
６  移動支持体
７  スリング
８  アイボルト（先端部）
９  ブラケット
１０  折曲角度調整ねじ
１１  かにばさみアーム
１２  アイボルト（端部）
１３  爪
１４  Ｔ形溝
１５  ガイドベース
１６  スライドブロック
１７  突条
１８  ブラケット
１９  間隙調整ねじ
２１  アーム
２２  セグメント
２３  セグメント
２４  ヒンジピン
２５  インデックスプランジャ
２６  保持杆受け
２７  フック
２９  アイボルト（先端部）
３３  移動支持体
３７  スリング
３９  ブラケット
４０  折曲角度調整ねじ
４２  Ｔ形溝
４３  ガイドベース
４４  スライドブロック
４５  突条
４６  潤滑剤入り樹脂部材
４７  潤滑剤入り樹脂部材
４８  ブラケット
４９  間隔調整ねじ
５１  爪
５２  間隔保持杆
５３  鍔付きスライダー
５４  インデックスプランジャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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