(57)【要約】【課題】所望の向きに光学膜が支持され、安定した光学装置を提供する。【解決手段】基板２３１と、基板２３１上に搭載された光学素子１１８と、光学素子１１８の位置変動を抑制するための抑制部１０６とを有する。光学素子１１８は、所望の光学特性を有する光学膜１０１と、光学膜１０１を支持する支持部１０２、１０４，１０３，１０５とを有する。湾曲した帯状の支持部１０２は一方の端部１０２ｃが基板２３１に固定され、他方の端部を湾曲により持ち上げることにより、光学膜１０１の主平面を基板２３１の主平面に対して非平行に支持する構成である。抑制部１０６は、光学膜１０１が、光学膜の法線方向、または、上方へ位置変動するのを抑制する。【選択図】図２
2004126298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板上に搭載された光学素子と、前記光学素子の位置変動を抑制するための抑制部とを有し、
前記光学素子は、所望の光学特性を有する光学膜と、前記光学膜を支持する支持部とを有し、該支持部は、湾曲した膜部材を含み、該膜部材は一方の端部が前記基板に固定され、他方の端部を前記湾曲により持ち上げることにより、前記光学膜の主平面を前記基板の主平面に対して非平行に支持する構成であり、
前記抑制部は、前記光学膜が、該光学膜の法線方向、または、上方へ位置変動するのを抑制することを特徴とする光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学装置において、前記支持部は、前記湾曲した前記膜部材の他に、湾曲した第２の膜部材と、接続部と、前記光学膜を搭載する光学膜支持部とを有し、
前記接続部は、前記膜部材の前記他方の端部に接続され、前記第２の膜部材は、一方の端部が前記接続部に接続され、前記接続部から下向きに吊り下げられた他方の端部に前記光学膜支持部が接続され、
前記抑制部は、前記光学膜の前記位置変動を抑制するために、前記光学膜支持部の位置変動を抑制することを特徴とする光学装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光学装置において、前記抑制部は、前記基板の一部を切り出して湾曲させた部材であることを特徴とする光学装置。
【請求項４】
請求項２に記載の光学装置において、前記抑制部は、薄膜で構成された立体構造体を複数段積み重ねた多段立体構造体であることを特徴とする光学装置。
【請求項５】
請求項４に記載の光学装置において、該多段立体構造体は、鉤状部を有し、該鉤状部が、前記光学膜支持部に設けられた開口に挿入されていることを特徴とする光学装置。
【請求項６】
請求項４に記載の光学装置において、前記多段立体構造体は、前記光学膜支持部の上部に覆いかぶさる張り出し部を有することを特徴とする光学装置。
【請求項７】
請求項２に記載の光学装置において、前記抑制部は、前記光学膜支持部から基板に向かって設けられた突起部と、前記基板に設けられた開口とを含み、前記突起部は、前記開口に嵌合していることを特徴とする光学装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の光学装置において、前記基板は、前記光学素子を移動させるための可動基板であり、１以上の膜で構成されていることを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜により形成された光学素子を備えた光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
微小なミラーをアクチュエータにより移動させて光路中に挿入することにより、光路を切り換える光スイッチが、例えば特許文献１に記載されている。この光スイッチは、マイクロマシニング技術によって、微小なミラーを搭載した可動電極板を形成している。微小なミラーは、反射面が可動電極板の主平面に対して垂直である。可動電極板と対向する位置には、固定電極が配置され、可動電極板と固定電極との間に電圧を印加することにより、静電力により、可動電極板を移動させる。これにより、微小なミラーを光路中に挿入したり、光路中から取り出したりする構造である。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−４２２３３号公報
上記特許文献１に記載の光スイッチでは、可動電極板上にミラーを形成するために、可動電極板となる薄膜上に、ミラーの高さ分の厚さを有するフォトレジスト膜を形成し、フォトレジスト膜にミラーの形状のエッチングホールを設け、エッチングホール内にめっき法に金属膜を成長させた後、フォトレジスト膜を除去している。
【０００４】
また、微小なミラーをアクチュエータ上に搭載し、アクチュエータによりミラーを光路中に移動させて、光路を切り換える光スイッチが、特許文献２に開示されている。
【０００５】
【特許文献２】
特開２００１−１４２００８号公報
また、基板上にプレートとなる膜を成膜し、このプレートを基板に対して垂直に起こすことにより、基板に垂直なプレートを形成することが、非特許文献１に開示されている。プレートとなる膜の形成プロセスにおいて、プレートの一方の端部と、基板とを接続するヒンジ構造を形成している。このヒンジを中心にプレートを起こし、微細な垂直構造体を形成している。
【０００６】
【非特許文献１】
Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ａ，３３（１９９２）２４９−２５６、”Ｍｉｃｒｏ　ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ　Ｈｉｎｇｅｓ”
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１（特開２００１−４２２３３号公報）記載の光スイッチの微小なミラーは、上述のように、ミラーの高さ分だけ厚く形成されたフォトレジスト膜にエッチングホールを設け、このエッチングホールにめっき法により金属膜を充填することにより形成される。このため、ミラー面は、エッチングホールの側面の表面形状を反転した形状となる。現状のフォトレジスト膜のエッチング技術では、エッチングホールの側面の主平面に対する角度を制御することは難しく、しかも、側面の表面粗さを滑らかにすることも難しい。このため、特許文献１（特開２００１−４２２３３号公報）記載の方法で、可動電極板に対して反射面が垂直で、反射率の高いミラーを製造することは困難であった。
【０００８】
また、上記特許文献２（特開平２００１−１４２００８号公報）には、微小なミラー構造および製造方法についての詳しい記載はなされていない。
【０００９】
また、上記非特許文献１（Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ａ，３３（１９９２）２４９−２５６、”Ｍｉｃｒｏ　ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ　Ｈｉｎｇｅｓ”）に記載のプレートをヒンジにより垂直に起こして支える構成を、光スイッチのミラーに応用することが考えられるが、薄膜プロセスで形成されたプレートを、薄膜プロセスで形成された立体構造のヒンジにより垂直に支える構成であるため、ガタが生じやすく、強度も得にくい。このため、基板面に対してプレートを垂直に維持することは難しい。
【００１０】
本発明は、所望の向きに光学膜が支持され、安定した光学装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、以下のような光学装置が提供される。すなわち、
基板と、該基板上に搭載された光学素子と、前記光学素子の位置変動を抑制するための抑制部とを有し、
前記光学素子は、所望の光学特性を有する光学膜と、前記光学膜を支持する支持部とを有し、該支持部は、湾曲した膜部材を含み、該膜部材は一方の端部が前記基板に固定され、他方の端部を前記湾曲により持ち上げることにより、前記光学膜の主平面を前記基板の主平面に対して非平行に支持する構成であり、
前記抑制部は、前記光学膜が、該光学膜の法線方向、または、上方へ位置変動するのを抑制することを特徴とする光学装置である。
【００１２】
上記光学装置において、前記支持部は、前記湾曲した前記膜部材の他に、湾曲した帯状の第２の膜部材と、接続部材と、前記光学膜を搭載する光学膜支持部とを有する構成にすることが可能であり、
前記接続部は、前記膜部材の前記他方の端部に接続され、前記第２の膜部材は、一方の端部が前記接続部に接続され、前記接続部から下向きに吊り下げられた他方の端部に前記光学膜支持部が接続される構成にすることができ、
前記抑制部は、前記光学膜の前記位置変動を抑制するために、前記光学膜支持部の位置変動を抑制する構成にすることができる。
【００１３】
上記光学装置において、前記抑制部は、前記基板の一部を切り出して湾曲させた部材にすることができる。
【００１４】
上記光学装置において、前記抑制部は、薄膜で構成された立体構造体を複数段積み重ねた多段立体構造体であることができる。
【００１５】
上記光学装置において、該多段立体構造体は、鉤状部を有する構成にすることができ、このとき、該鉤状部が、前記光学膜支持部に設けられた開口に挿入されている構成にすることができる。
【００１６】
上記光学装置において、前記多段立体構造体は、前記光学膜支持部の上部に覆いかぶさる張り出し部を有する構成にすることができる。
【００１７】
上記光学装置において、前記多段立体構造体は、前記光学膜支持部が、前記膜部材の前記一方の端部へ向かう方向とは逆方向に位置変動するのを抑制する構造をさらに有する構成にすることができる。
【００１８】
上記光学装置において、前記抑制部は、前記光学膜支持部から基板に向かって設けられた突起部と、前記基板に設けられた開口とを含み、前記突起部は、前記開口に嵌合している構成にすることができる。
【００１９】
上記光学装置において、前記基板は、前記光学素子を移動させるための可動基板であり、１以上の膜で構成されている構成にすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態の光学装置について図面を用いて説明する。
（第１の実施の形態）
本実施の形態の光学装置は、図２に示したように薄膜で構成されたミラー１１８を光学素子として用い、このミラー１１８に対して一対のストッパ１０６を配置することにより、ミラー１１８に外部から振動等が加わった場合であっても、ミラー１１８の向きが変化するのを抑制することができるように構成した抑制部を有するものである。このような構成により、例えば、光学素子を構成する光学膜の法線方向、または、上方へ位置への変位が抑制される。本実施形態においては、ミラー１１８の反射面を構成する光学膜の、法線方向への変位、法線と直交する上下方向への変位が抑制される。
【００２１】
本実施の形態の光学装置は、図１１（ａ）、（ｂ）のように、光導波路基板２４０と、ミラー構造体基板２３０とを、不図示のスペーサを挟むことにより一定の間隔をあけて重ね合わせた構成の光スイッチである。
【００２２】
ミラー構造体基板２３０には、図１１（ａ），（ｂ）および図１３に示したように可動板２３１が搭載され、可動板２３１上に、上記ミラー１１８が搭載されている。
【００２３】
ミラー１１８は、図２、図３、図１４（ａ），（ｂ）に示したように、２本の支持部（第１の膜部材）１０２と、２つの接続部１０４と、２本の支持部（第２の膜部材）１０３と、反射部１０１と、反射部支持部１０５とを有している。支持部１０２と支持部１０３は、例えば、帯状に形成され、いずれも長手方向に円弧状に湾曲している。また、接続部１０４と反射部支持部１０５と反射部１０１には、剛性を高めるために、縁に段差（折り返し）が形成されている。２本の支持部１０２の一方の端部は、脚部１０２ｃにより可動板２３１に固定されている。２本の支持部１０２の先端には、それぞれ接続部１０４を介して支持部１０３の上端が接続されている。２本の支持部１０３は下向きに垂れ下がり、その先端は、反射部支持部１０５の両端を支持している。反射部支持部１０５には、反射部１０１が搭載されている。これにより、反射部１０１を搭載した反射部支持部１０５は、２本の支持部１０３によって吊り下げられた構成となっている。反射部１０１は、光学素子の工学的な機能を発揮する部分であり、光学膜により構成される。従って、反射部支持部１０５は、光学膜支持部ということもできる。
【００２４】
湾曲した支持部１０２は、図１４（ａ）に示したように窒化シリコン膜１０２ａとＡｌ膜１０２ｂとを積層した２層膜である。一方、支持部１０３は、Ａｌ膜１０３ａと窒化シリコン膜１０３ｂとを積層した２層膜である。支持部１０２，１０３は、いずれも、Ａｌ膜と窒化シリコン膜との熱膨張係数の差異によって生じる応力ならびに成膜時に生じる応力によって円弧状に湾曲している。このとき、図２，図３，図１４（ａ）に示したように、支持部１０２は、可動板２３１に対して上向きに湾曲しているのに対して、支持部１０３は、支持部１０２とは逆向きに湾曲している。このような湾曲を実現するために、支持部１０２は、可動板２３１側から窒化シリコン膜１０２ａ、Ａｌ膜１０２ｂの順に積層され、支持部１０３は、可動板２３１側からＡｌ膜１０３ａ、窒化シリコン膜１０３ｂの順に積層されている。
【００２５】
このように支持部１０３を支持部１０２に対して逆向きに湾曲させることにより、図１４（ａ）のように、反射部１０１が支持される位置を、可動板２３１に近い低い位置にすることができるとともに、水平方向については、支持部１０２の脚部１０２ｃに近い位置に反射部１０１を支持することができる。また、温度変化により支持部１０２，１０３の湾曲状態が変化しても反射部１０１の位置が大きく変化しにくい。これにより、ミラー１１８は、反射部１０１が振動しにくく、反射部１０１の位置を安定させることができる。
【００２６】
さらに、可動板２３１上には、図３に示したように、反射部支持部１０５の片面側（脚部１０２ｃが配置されている側とは逆の側）に、２つの薄膜立体構造体５を第２のストッパとして搭載している。薄膜立体構造体５は、反射部支持部１０５の両脇を図３中のｘ方向に押して支える位置に配置されている。このように薄膜立体構造体５が反射部支持部１０５を図３のｘ方向に支えることにより、温度変化により支持部１０２，１０３の湾曲状態が変化しても、反射部１０１の位置および向きを一定に維持することができる。
【００２７】
このように、ミラー１１８は、薄膜立体構造体５が反射部支持部１０５を支持することにより、温度変化により支持部１０２，１０３の湾曲状態が変化しても安定な構成であるが、本実施の形態では、さらに、外部振動等が加わっても反射部支持部１０５の位置を安定にするために、図２のように反射部支持部１０５の脚部１０２ｃが配置されている側に、ストッパ１０６を配置している。ストッパ１０６は、反射部支持部１０５を挟んで、薄膜立体構造体５と対向する位置にそれぞれ配置されている。ストッパ１０６は、可動板２３１の一部にコの字型の切り込み１０６ａを形成し、切り込み１０６ａの内側の長方形の領域を湾曲により立ち上がらせることにより構成されている。ストッパ１０６の湾曲は、可動板２３１を構成する３層膜の内部応力により生じさせている。湾曲の方向は、ストッパ１０６の長手方向である。可動板２３１の膜構成については、後で詳しく説明する。
【００２８】
ストッパ１０６の先端１０６ｂは、反射部支持部１０５と接触して反射部支持部１０５を薄膜立体構造体５と挟み込むように位置決めされている場合に、外部振動が加わった場合であっても反射部支持部１０５の移動をほぼ完全に抑制でき好ましい。しかしながら、先端１０６ｂは、反射部支持部１０５と必ずしも接触していなくともよく、反射部支持部１０５との間に間隙が空いていてもよい。
【００２９】
その理由は、ミラー１１８の構造上、温度変化により反射部支持部１０５が移動しやすい方向は、薄膜立体構造体５が配置されている方向であり、この移動は、上述のように薄膜立体構造体５が止めている。このため、通常の状態では反射部支持部１０５の位置は薄膜立体構造体５と接する位置で安定している。ストッパ１０６の方向に反射部支持部１０５が移動するのは、大きな外部振動等が加わった場合である。よって、ストッパ１０６の先端１０６ｂと反射部支持部１０５との間に間隙が空いていても、外部振動が加わったときに反射部支持部１０５がストッパ１０６の先端１０６ｂに接するまでわずかに移動するだけであり、それ以上の移動は、ストッパ１０６により制限される。また、外部からの振動がなくなれば、反射部支持部１０５は再び薄膜立体構造体５と接する位置に戻る。よって、ストッパ１０６は、先端１０６ｂが反射部支持部１０５と接していることが好ましいが、必ずしも接していなくとも良く、間隙が空いていてもかまわない。
【００３０】
つぎに、可動板２３１の構造について説明する。
【００３１】
可動板２３１は、図１５（ｂ）のように窒化シリコン膜３６１とＡｌ膜３６２と窒化シリコン膜３６３とを順に積層した３層膜からなる。可動板２３１は、窒化シリコン膜３６１，３６３とＡｌ膜３６２との熱膨張係数の差によって生じる内部応力、ならびに、成膜時に生じた内部応力により、常温で基板２３０に対して上向きに湾曲するように、予め定められた膜厚および成膜条件によって形成されている。
【００３２】
可動板２３１は、図１３に示したようにミラー１１８を搭載するための長方形のミラー搭載板２３１ｂと、ミラー搭載板２３１ｂの端部に接続された２本の帯状の支持板２３１ｃとを含む。支持板２３１ｃは、それぞれの端部に脚部２３１ａおよび脚部２３１ｄを有している。脚部２３１ａおよび２３１ｄは、いずれも基板２３０に固定されている。これにより、可動板２３１は、内部応力により上向きに湾曲することにより、脚部２３１ａ、２３１ｄを固定端として図１１（ｂ）のようにミラー搭載板２３１ｂ側が持ち上がる。これにより、ミラー１１８を、図１１（ｂ）のように、光導波路基板２４０の溝２４６に挿入することができる。
【００３３】
一方、光導波路基板２４０には、図１２に示したように光導波路２４３、２４４が予め定めた角度で交差するように配置されている。これら光導波路２４３、２４４は、光導波路基板２４０に埋め込まれている。光導波路２４３と光導波路２４４とが交差する部分には、ミラー構造体基板２３０のミラー１１８を挿入するための溝２４６が設けられている。溝２４６の開口方向は、図１１（ａ），（ｂ）および図１２に示したようにミラー構造体基板２３０側（下側）に向けられている。この溝２４６に、図１１（ｂ）のように、ミラー１１８の反射部１０１を挿入することにより、交差する光導波路２４４，２４３のうちの一方を伝搬する光を反射して、他方の光導波路に入射させ、スイッチング動作を行うことができる。
【００３４】
また、ミラー構造体基板２３０の可動板２３１には、図１３、図１５（ａ）のようにミラー搭載板２３１ｂの縁に沿って凸部３６４が設けられている（なお、図２では、凸部３６４を省略して図示している。）。凸部３６４は、図１５（ｂ）に示したように、可動板２３１を構成する３層膜を凸型にすることにより形成されている。この凸部３６４は、可動板２３１の支持板２３１ｃの一部の領域にも設けられている。なお、支持板２３１ｃの脚部２３１ａ、２３１ｄ寄りの領域には、凸部３６４は設けられていない。このように凸部３６４を設けることにより、可動板２３１の縁に段差が生じるため、凸部３６４で囲まれた領域および凸部３６４が設けられた領域は、内部応力による湾曲が抑制され、平面性を維持することができる。よって、可動板２３１に搭載されているミラー１１８の形状を一定に保つことができ、反射部１０１の向きを精度良く一定に維持することができる。
【００３５】
また、支持板２３１ｃの脚部２３１ａ、２３１ｂに近い領域は、凸部３６４が設けられていないため、内部応力によって湾曲する。この領域の湾曲より、可動板２３１は、脚部２３１ａ、２３１ｄを固定端として、図１１（ｂ）のように、ミラー搭載板２３１ｂ側が持ち上がる。このように、平面性を維持したい部分のみに凸部３６４を設けることにより、湾曲を利用して可動板２３１を可動な構成にしながら、必要な部分を平面にすることができる。
また、凸部３６４の一部３６４ａ、３６４ｂは、図１５（ａ）に示したように、可動板２３１のうちミラー搭載板２３１ｂの中央部に向かって延びている。これにより、凸部３６４で囲まれたミラー搭載板２３１の中央部の面積が大きい場合であっても、中央部の領域の平面性を維持することができる。また、凸部３６４の一部３６４ｂは、薄膜立体構造体５の１段目を兼用している。
【００３６】
なお、図１５（ａ）に示したように、可動板２３１のうちミラー１１８が搭載されている領域は、上述のように凸部３６４によって囲まれ、平面性が維持される構成であるが、切り込み１０６ａをコの字型に入れたことにより、その内側の長方形のストッパ１０６の部分には、もはや凸部３６４の作用は及ばなくなる。これにより、ストッパ１０６の部分は、可動板２３１を構成する３層膜の有する内部応力により図２のように上向きに反り、ストッパとして作用する。
【００３７】
つぎに、可動板２３１のＡｌ膜３６２の形状について、図１６を用いて説明する。本実施の形態では、ローレンツ力と静電力の両方を用いて可動板を駆動するために、図１６に示したような形状に、Ａｌ膜３６２をパターニングしている。ただし、図１６は、可動板２６１を上面から見た場合のＡｌ膜３６２の形状を示しており、見やすくするためにＡｌ膜３６２の部分にハッチングを付している。
【００３８】
Ａｌ膜３６２のうちパターン３６２ａは、２つの脚部２３１ｄのうちの一方から、可動板２３１の外周の縁に沿って延びて可動板２３１の先端まで到達した後、反対側の可動板２３１の縁に沿って他方の脚部２３１ｄに達するパターンである。このパターン３６２ａは、ローレンツ力により可動板２３１を駆動する際に、ローレンツ力を生じさせるための電流を流す配線として用いられる。パターン３６２ａは、脚部２３１ｄにおいて基板２３０に設けられた配線と接続され、脚部２３１ｄを介して基板２３０から電流を供給される。パターン３６２ａのうち、可動板２３１の先端の一辺２３１ｅに沿った直線の部分を流れる電流が、ローレンツ力を生じさせるために用いられる。また、図示していないが、本実施の形態の光スイッチには、永久磁石または電磁石等の磁界発生手段が取り付けられている。磁界発生手段の磁界の方向は、可動板２３１の先端の一辺２３１ｅと直交する方向であって基板２３０の主平面と平行な方向であり、磁界の向きは、パターン３６２ａに供給する電流の向きとの関係により、可動板２３１を基板２３０に近づける向き（下向き）のローレンツ力を生じるように定められる。
【００３９】
また、Ａｌ膜３６２のうちパターン３６２ｂは、２つの脚部２３１ａのそれぞれから、可動板２３１の内側の縁に沿って可動板２３１の先端部まで延び、先端部に配置された長方形状のパターン３６２ｄに接続されている。パターン３６２ｂは、脚部２３１ａにおいて基板２３０に設けられた配線と接続され、基板２３０内に設けられた電極との間に電圧が印加される。これにより、パターン３６２ｂおよび３６２ｄと、基板２３０内に設けられた電極との間には静電力が生じ、この静電力により可動板２３１は、基板２３０に引き寄せられる、
本実施の形態において、可動板２３１を駆動する場合には、図１７のような波形のローレンツ力用電流を、脚部２３１ｄを介してＡｌ膜３６２のパターン３６２ａに供給するとともに、図１７のような波形の静電力用電圧を、脚部２３１ａを介して、Ａｌ膜３６２のパターン３６２ｂ、３６２ｄに供給する。具体的には、可動板２３１を上側に位置する状態（図１１（ｂ）の状態）から下側に位置する状態（図１１（ａ）の状態）に引き下げる場合には、まず、ローレンツ力用電流を時間Ｔ１から供給する。これにより、可動板２３１は、先端のパターン３６２ａを流れる電流と磁界発生手段の磁界とにより生じるローレンツ力により、下向きの力を受け、基板２３０側に徐々に接近し、時間Ｔ２において、基板２３０に接した状態（図１１（ａ）の状態）となる。このように、可動板２３１が基板２３０に接した状態の時間Ｔ３において、今度は静電力用電圧をＡｌ膜３６２のパターン３６２ｂ、３６２ｄに供給する。これにより、パターン３６２ｂ、３６２ｄと、基板２３０内の電極との間の静電力により、可動板２３１を基板２３０に接した状態（図１１（ｂ）の状態）に保持される。静電力が作用する状態になったならば、ローレンツ力用電流は不要であるので、時間Ｔ４においてローレンツ力用電流をオフにする。また、可動板２３１を再び上側に位置する状態に変化させる場合には、時間Ｔ５において静電力用電圧をオフにする。これにより、可動板２３１は、膜の内部応力より瞬時に持ち上がり図１１（ｂ）の状態に変化する。
【００４０】
このように、ローレンツ力と静電力とを組み合わせることにより、上側に位置する可動板２３１を基板２３０に接するように引きつけるまではローレンツ力を利用し、引きつけた状態を維持するためには静電力を用いることができる。これにより、静電力のみで可動板２３１を基板２３０まで引きつける場合と比較して、消費電力を小さくすることができ、小さな消費電力で駆動可能な光スイッチを提供できる。
【００４１】
つぎに、図３の薄膜立体構造体５の構造について、図１８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を用いて説明する。薄膜立体構造体５は、４段の単位構造部材５１１〜５１４を積み重ねた構造である。１段目の単位構造部材５１１は、可動板２３１の凸部３６４の一部３６４ｂと兼用されており、可動板２３１と一体に構成されている。単位構造部材５１２，５１３は、図１８（ｃ）のように、複数の支持部５１と、平面部５２とを有している。平面部５２は、両端が支持部５１によって支えられている。２段目の単位構造部材５１２は、１段目の単位構造部材５１１上に配置された３つの支持部５１と、３つの支持部５１の間に支持された２つの平面部５２とを有する。３段目の単位構造部材５１３は、２段目の構造部材の２つの平面部５２の上にそれぞれ配置された２つの支持部５１と、その間に支持された１つの平面部５２とを有する。最上段の４段目の単位構造部材５１４は、３段目の単位構造部材５１３の１つの平面部５２上に配置された１つの支持部５１を有し、平面部５２は有していない。最上段の単位構造部材５１４は、最下段の単位構造部材５１１の幅よりも突出する突起部７１が備えられている。この突起部７１が、図３のように反射部支持部１０５と接してｘ方向に押し、反射部支持部１０５を支持している。
【００４２】
単位構造部材５１２、５１３は、それぞれ連続した一つの膜によって、支持部５１と平面部５２とが一体に形成されている。また、単位構造部材５１４は、連続した一つの膜によって支持部と突起部７１とが一体に形成されている。支持部５１は、４つの側面と底面とを有し、これらが連続した膜により形成されている。本実施の形態では、２段目から４段目の単位構造部材５１２〜５１４を構成する膜の厚さは、１μｍ以下、例えば０．２μｍ程度である。また、単位構造部材５１１〜５１４の高さは、それぞれ４μｍである。よって、薄膜立体構造体５の全体の高さは、１６μｍである。
【００４３】
２段目から４段目の単位構造部材５１２〜５１４が互いに接する部分、すなわち支持部５１の底面と、それを搭載する平面部５２との間には、特別な接着層は配置されていないが、成膜時に膜同士が固着する力により、固定されている。また、２段目の単位構造部材５１２の支持部５１の底面は、成膜時に、１段目の単位構造部材５１１を構成する薄膜の可動板２３１に固着し、これにより単位構造部材５１１に固定されている。
【００４４】
２段目および３段目の単位構造部材５１２〜５１３において、複数の支持部５１の間隔は、平面部５２がそれ自身の膜応力やその上段の支持部５１から受ける重さによって撓みを生じない程度の間隔あって、かつ、支持部５１を配置可能な面積の平面部５２が確保できる間隔となるように定められている。
【００４５】
また、２段目から４段目の単位構造部材５１２〜５１４は、膜の周縁部を２回屈曲させることによって形成した段差（折り返し）５３を有している。これにより、０．２μｍ程度という薄い膜で構成されているにも関わらず変形しにくく、薄膜立体構造体５の剛性を高めている。また、単位構造部材５１２〜５１４を構成する膜に内部応力が存在している場合であっても、変形が生じるのを段差５３によって防止することができ、構造を保持できる。
【００４６】
このように薄膜立体構造体５は、薄膜で形成されているため、重量が軽く、薄膜（ＳｉＮ膜）で形成された支持部５１であっても平面部５２を十分に支持することが可能である。よって、１６μｍという高さの高い立体構造を、薄膜のみで十分に維持することができる。しかも、上段へ行くほど、支持部の数が減る（２段目：支持部５１が３つ→３段目：支持部５１が２つ→４段目（最上段）：支持部５１が１つ）というピラミッド構造をとっているため、上段に行くほど軽くなり、支持部５１の負担を軽減している。
【００４７】
このように、本実施の形態の薄膜立体構造体５は、高さがあり、剛性があり、しかも、自重が軽い立体構造体を提供できる。したがって、この薄膜立体構造体５をミラー１１８の反射部支持部１０５のストッパとして用いることにより、可動板２３１に負担を与えることなく、温度変化に対してミラー１１８の位置を維持することができる。
【００４８】
単位構造部材５１１〜５１４は、可動板２３１およびミラー１１８の構成部材とは、全く別の工程で形成することももちろん可能である。しかしながら、単位構造部材５１１を可動板２３１の一部とするのと同時に、可動板２３１やミラー１１８を構成する部材の成膜時に単位構造部材５１２〜５１４を同時に形成することにより、製造工程を大幅に簡略化することができる。本実施の形態では、２段目の単位構造部材５１２は、支持部１０３および支持部１０２を構成する膜を成膜する際に同時に形成した３層膜によって構成する。３段目の単位構造部材５１３は、反射部１０１を構成する膜を成膜する際に同時に形成された薄膜によって構成する。単位構造部材５１４は、ミラー１１８とは別に、窒化シリコン膜により形成する。
【００４９】
つぎに、ストッパ１０６を備えた可動板２３１、ミラー１１８、薄膜立体構造体５の製造工程を図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ｄ）〜（ｆ）を用いて説明する。ストッパ１０６、支持部１０２，１０３、接続部１０４、反射部支持部１０５、反射部１０１、および、薄膜立体構造体５は、図１のような配置および形状にパターニングされる。なお、図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ｄ）〜（ｆ）は、図１のＡ−Ａ断面において製造工程を示している。
【００５０】
まず、図９（ａ）のように、可動板２３１を駆動するために必要な配線（不図示）が形成された基板２３０上に、犠牲層となるレジスト層２００１を形成し、脚部２３１ａ、２３１ｄとなる部分に開口（不図示）を設ける。また、レジスト層２００１の上に、可動板２３１の凸部３６４を設ける部分にレジストアイランド２００２を形成する。この上に、窒化シリコン膜３６１を成膜し、脚部２３１ａ，２３１ｄの開口の底部の窒化シリコン膜に孔を形成する。この上にＡｌ膜３６２を成膜し、図１６のパターン３６２ａ〜３６２ｄの形状にパターニングする。さらに、窒化シリコン膜３６３を成膜した後、窒化シリコン膜３６１、Ａｌ膜３６２、窒化シリコン膜３６３の３層膜を、可動板２３１の外形にパターニングする。このパターニングの際に、図９（ａ）のように、ストッパ１０６のコの字型の切り込み１０６ａを同時に形成する。これにより、ストッパ１０６を有する可動板２３１が形成できる。なお、Ａｌ膜３６２および窒化シリコン膜３６１、３６３のパターニングは、フォトリソグラフィおよびエッチングの手法により行う。
【００５１】
つぎに、全体にレジスト層８１を形成し、支持部１０２の脚部１０２ｃを形成するべき位置、および、薄膜立体構造体５の単位構造部材５１２の支持部５１を形成すべき位置に、開口８１ａおよび開口８１ｂをそれぞれフォトリソグラフィにより形成する。つぎに、接続部１０４ならびに反射部支持部１０５を形成すべき位置、および、薄膜立体構造体５の単位構造部材５１２を形成すべき位置に、それぞれ、レジストアイランド２０１およびレジストアイランド２２０１を形成する（図９（ｂ））。このようにレジストアイランド２０１および２２０１を形成することにより、接続部１０４，反射部支持部１０５、および、単位構造部材５１２の縁に段差を形成することができ、これらの剛性を高めることができる。
【００５２】
つぎに、支持部１０３を構成するＡｌ膜１０３ａを成膜し、フォトリソグラフィとエッチングの手法により、図１の支持部１０３の形状、および、単位構造部材５１２の形状にパターニングする（図９（ｃ））。
【００５３】
つぎに、窒化シリコン膜とＡｌ膜１０２ｂとを順に成膜する（図１０（ｄ））。成膜したＡｌ膜１０２ｂを図１の支持部１０２の形状、および、単位構造部材５１２の形状にパターニングする。さらに、その下の窒化シリコン膜を、支持部１０２、接続部１０４、支持部１０３、反射部支持部１０５、および、単位構造部材５１２の形状にパターニングする（図１０（ｅ））。これにより、支持部１０３の窒化シリコン膜１０３ｂと、接続部１０４と、反射部支持部１０５とが一度に形成される。また、図９（ｃ）と図１０（ｄ）の工程により、Ａｌ膜、窒化シリコン膜、Ａｌ膜を順に積層した３層構造の単位構造部材５１２を形成することができる。
【００５４】
図１０（ｅ）の構造体の全面にレジスト層１４１を形成し、反射部支持部１０５の接続部１０５ｂとなる位置、および、薄膜立体構造体５の単位構造部材５１３の支持部となる位置に、それぞれ開口を形成する。この上にさらに、レジスト層８２を形成し、反射部１０１の縁１０１ａの内側形状部分、および、単位構造部材５１３の形状部分を残して除去し、レジストアイランドを形成する。さらに、レジスト層８２の反射部支持部１０５の接続部１０５ｂとなる位置、および、単位構造部材５１３の支持部５１となる位置に開口を形成した後、全面にＡｌ膜１０１を成膜して、反射部１０１の形状、および、単位構造部材５１３の形状にパターニングする（図１０（ｆ））。これにより、反射部１０１、および、３段目の単位構造部材５１３を形成することができる。これが、図１の状態である。
【００５５】
さらに、全面にレジスト層（不図示）を形成した後、４段目の単位構造部材５１４の支持部５１を形成すべき位置に開口を形成し、この上に、単位構造部材５１４の形状にレジストアイランドを形成する。全面に窒化シリコン膜を形成、単位構造部材５１４の形状にパターニングする。これにより、４段目の単位構造部材５１４が形成できる。
【００５６】
最後に、アッシングにより、すべての犠牲層のレジスト層８１，１４１，８２等を除去する。これにより、支持部１０２および支持部１０３が湾曲して立ち上がり、図３のように反射部１０１がほぼ垂直に立ち上がるとともに、反射部支持部１０５が薄膜立体構造体５に接触し、反射部１０１が基板２３０に対してほぼ垂直に位置決めされる。また、ストッパ１０６も図２のように湾曲し、反射部支持部１０５を介して薄膜立体構造体５と対向する位置から反射部支持部１０５の移動を抑制する。
【００５７】
また、可動板２３１も脚部２３１ａ、２３１ｄを支持部として、基板２３０から立ち上がる（図１１（ｂ））。これにより、ローレンツ力用電流および静電力用電圧をＡｌ膜３６２のパターン３６２ａ、３６２ｂ、３６２ｄに与えることにより、ローレンツ力および静電力によりミラー１１８を上下動することが可能になる。
【００５８】
このように、第１の実施の形態の形態では、ミラー１１８として、薄膜で構成された反射部１０１を、薄膜で構成された支持部１０２，１０３によりほぼ垂直に支持する構成である。よって、反射部１０１の反射面を滑らかな面に形成できるため、容易に高い反射率にすることができる。なお、ミラー１１８の反射部１０１は、製造時に可動板２３１側を向いていた側の面の方が、鏡面度が高く、反射率が高くなる傾向がある。よって、反射部１０１の反射面としては、製造時に可動板２１側を向いていた面を用いることが好ましいため、図３に示した方向から光が入射するように、ミラー１１８を可動板２３１に搭載することが望ましい。
【００５９】
また、製造時に可動板２３１にコの字型の切り込み１０６ａを形成しておくことにより、可動板２３１を構成する３層膜の内部応力を利用して、湾曲したストッパ１０６を形成することができる。よって、外部から振動が加わった場合であっても、ミラー１１８の反射部１０１の向きを一定に維持することができる。
【００６０】
なお、本実施の形態では、光スイッチについて説明したが、これに限られるものではない。また、反射部１０１に代えて光の反射率の低い遮光膜や、偏光特性を有する偏光膜や、光波長フィルタ特性を有する光学薄膜を搭載することも可能である。これにより、光量減衰器や、偏光器、波長選択器等の光学素子を構成することができる。
【００６１】
なお、本実施の形態において、可動板２３１の切り込み１０６ａの外側に凸部もしくは段差を設けることも可能である。このように凸部または段差を設けることにより、ストッパ１０６の周囲の可動板２３１に剛性を持たせることができるため、可動板２３１のストッパ１０６の周辺部分における平面性を高めることができる。
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態の光学装置について図４を用いて説明する。
【００６２】
第２の実施の形態の光学装置は、可動板２３１に設けたストッパ１０６の形状が第１の実施の形態の光学装置とは異なっている。これ以外の構成は、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
【００６３】
第２の実施の形態のストッパ１０６は、図４に示したように、可動板にコの字型の切り込み１０６ａを設け、切り込み１０６ａの内側の長方形領域を湾曲させたものであるという点では第１の実施の形態と同じであるが、ストッパ１０６の長手方向が、第１の実施の形態とは９０度異なっている。図４のストッパ１０６は、長手方向が、反射部支持部１０５と平行であり、側面１０６ｃが、反射部支持部１０５の面と接触することにより、反射部支持部１０５の位置変動を抑制する。ストッパ１０６の側面１０６ｃは、薄膜立体構造体５との間に反射部支持部１０５を挟むように、接触していることが好ましいが、第１の実施の形態で説明したように、反射部支持部１０５との間に間隙があってもかまわない。間隙がある場合でも、外部振動が加わって反射部支持部１０５が移動した場合には、ストッパ１０６の側面１０６ｃが、反射部支持部１０５と接することにより移動を抑制できる。
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態の光学装置を図５（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
【００６４】
第３の実施の形態の光学装置は、図５（ａ）のように可動板２３１に設けたコの字型の切り込み１０６ａを設けるという点では、第１の実施の形態と同様であるが、切り込み１０６ａの内側のストッパ１０６を湾曲させずに平面としている点で第１の実施の形態とは異なっている。また、反射部支持部１０５の下側の縁に突起部１０７を設け、この突起部１０７を、切り込み１０６ａに図５（ｂ）のように挿入し、嵌合させている。この嵌合により、外部振動による反射部支持部１０５の移動を抑制する構成である。ストッパ１０６を平面としているのは、突起１０７とストッパ１０６とのクリアランスを小さくすることができるためである。
【００６５】
ストッパ１０６、突起部１０７以外の構成は、第１の実施の形態の光学装置と同様であるが、ストッパ１０６を平面にするために、可動板２３１を構成する３層膜を少なくともストッパ１０６の部分は、Ａｌ膜を省いて、単層膜とする。
【００６６】
ただし、本実施の形態の構成において、ストッパ１０６は平面に限定されるものではなく、第１の実施の形態のように湾曲させる構成にすることもできる。ストッパ１０６を湾曲させた場合、平面である場合と比較して、突起部１０７とのクリアランスは大きくなるため、外部振動が加わった際の反射部支持部１０５の位置変動が若干大きくなるが、位置変動の抑制効果は得られる。
【００６７】
なお、図５（ａ）の構造を製造する際には、第１の実施の形態で説明した製造工程において、可動板２３１をパターニングする際に、切り込み１０６ａを形成する。また、反射部支持部１０５の外形をパターニングする際に突起部１０７も合わせてパターニングする。これにより、最後の工程で犠牲層を除去することにより、支持部１０２，１０３が湾曲し、反射部支持部１０５が立ち上がる動きによって突起部１０７が切り込み１０６ａに挿入され、嵌合する。
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態の光学装置を図６（ａ），（ｂ）および図１９を用いて説明する。
【００６８】
第４の実施の形態の光学装置は、薄膜立体構造体５の最上段の単位構造部材５１４の先端に鉤状部１１０を設け、この鉤状部１１０を反射部支持部１０５に設けた開口に挿入し、嵌合させた構成である。他の部分の構成は、第１の実施の形態と同じである。
【００６９】
薄膜立体構造体５の最上段の単位構造部材５１４の先端には、図１９に示したように、三角形の頂点を落とした形状の鉤状部１１０が設けられている。鉤状部１１０と単位構造部材５１４の本体とは首部１１０ａで接続されている。鉤状部１１０および首部１１０ａは、最上段の単位構造部材５１４を形成する工程において、犠牲層のアイランドを形成する際および単位構造部材５１４を形成する薄膜をパターニングする際に、図１９の鉤状部１１０および首部１１０ａを含んだ形状に形成およびパターニングすることにより、単位構造部材５１４の本体と一体に形成される。鉤状部１１０および首部１１０ａの高さ（厚み）は、単位構造部材５１４の本体と同じである。
【００７０】
反射部支持部１０５に設けられる開口１０９は、幅Ｗ１が、単位構造部材５１４の鉤状部１１０の幅ｔ１よりも大きく形成されている。開口１０９の高さは、鉤状部１１０の高さよりも高く形成されている。また、開口１０９の上端から垂れ下がるように長方形のバネ部１１１を２本備えている。２本のバネ部１１１の間隔Ｗ２は、単位構造部材５１４の鉤状部１１０の幅ｔ１よりも狭く、首部１１０ａの幅ｔ２よりも広い。開口１０９およびバネ部１１１は、図１０（ｅ）の工程で、反射部支持部１０５を構成する膜を反射部支持部１０５の形状にパターニングする際に、同時にパターニングすることにより形成することができる。
【００７１】
このように、薄膜立体構造体５の先端に鉤状部１１０を設け、反射部支持部１０５に開口１０９を形成しておくことにより、製造工程の最後の工程で犠牲層を除去すると、支持部１０２，１０３の湾曲により反射部支持部１０５が立ち上がる動きによって、薄膜立体構造体５の鉤状部１１０が反射部支持部１０５の開口１０９に挿入される。鉤状部１１０が開口１０９に挿入される際には、開口１０９のバネ部１１１が鉤状部１１０によって上方向に押し上げられ、鉤状部１１０がバネ部１１１を通過したならばバネ部１１１は、首部１１０ａの両脇に係合する。よって、通常の状態では、バネ部１１１が単位構造部材５１４の肩部５１４ａと接触することにより、反射部支持部１０５の温度変化による位置変動を抑制する。また、外部から振動が加わり、反射部支持部１０５が支持部１０２の脚部１０２ｃ側に移動した場合には、バネ部１１１が鉤状部１１０の返し部１１０ｂに接触することにより、反射部支持部１０５の位置変動を抑制する。
【００７２】
なお、開口１０９内のバネ部１１１の向きは、図６の形態では、開口１０９の上部から垂れ下がるような向きで配置しているが、図２０のように開口１０９の両脇から中央に向かって張り出すような向きに配置することも可能である。図２０の構造は、図１９の構造と比較して、反射部支持部１０５の強度を低下させにくいという利点がある。
【００７３】
また、本実施の形態の構成では、反射部支持部１０５に開口１０９を設け、反射部支持部１０５の一部をバネ部１１１として用いる。そこで、反射部支持部１０５に剛性を持たせるとともに、バネ部１１１の強度を高めるために、反射部支持部１０５を単層膜ではなく、強度の大きい多層膜で構成することも可能である。
（第５の実施の形態）
本発明の第５の実施の形態の光学装置を図７および図２１を用いて説明する。
【００７４】
第４の実施の形態の光学装置は、図２１に示したように、薄膜立体構造体５の単位構造部材５１４の上に、さらに単位構造部材５１５，５１６を追加している。最上段の単位構造部材５１６は、反射部支持部１０５側に大きく張り出すように形成されている。張り出し部５１６ｃの下端５１６ｂは、図７のように反射部支持部１０５の上端１０５ａよりも高い位置にある。これにより、単位構造部材５１６の張り出し部５１６ｃは、反射部支持部１０５の上から覆い被さるように配置されている。また、張り出し部５１６ｃの先端には、下向きに突起部５１６ａが備えられている。突起部５１６ａは、支持部５１と同じ構造であり、単位構造部材５１６の支持部５１を形成する際に、同じ工程で形成されたものである。突起部５１６の先端は、反射部支持部１０５の上端１０５ａよりも下側にくるように形成されている。他の部分の構成は、第１の実施の形態と同じである。
【００７５】
このように、薄膜立体構造体５の上部に単位構造部材５１５、５１６を配置することにより、製造工程の最後の工程で犠牲層を除去すると、支持部１０２，１０３の湾曲により反射部支持部１０５が立ち上がる動きによって、反射部支持部１０５の上端は、図２１の単位構造部材５１４の突起部７１と、単位構造部材５１６の突起部５１６ａとの間に挿入される。そして、反射部支持部１０５の単位構造部材５１４側の面は、単位構造部材５１４の突起部７１の先端に接することにより位置決めされ、支持される。
【００７６】
よって、通常の状態では、単位構造部材５１４の突起部７１の先端が、反射部支持部１０５と接し、温度変化による位置変動を抑制する。また、外部から振動が加わり、反射部支持部１０５が支持部１０２の脚部１０２ｃ側に移動した場合には、反射部支持部１０５に覆い被さっている単位構造部材５１６の下向きの突起部５１６ａが反射部支持部１０５の支持部１０２ｃ側の面に接触することにより、反射部支持部１０５の位置変動を抑制する。
【００７７】
また、大きな外部振動が加わり、反射部支持部１０５が上向きに移動した場合には、反射部支持部１０５が単位構造部材５１６の下端５１６ｂに接触することにより、反射部支持部１０５の上向きの移動が抑制される。
（第６の実施の形態）
本発明の第６の実施の形態の光学装置について図８を用いて説明する。
【００７８】
第６の実施の形態では、反射部支持部１０５の下端に突起部１０７を設け、これを可動板２３１に挿入しているという点では、第２の実施の形態と似ているが、本実施の形態では、突起部１０７の先端をＴ字型の鉤部１０７ａにしている。また、可動板２３１には、開口１１３を設け、開口１１３の脚部１０２ｃ側の開口１１３ａは、幅が鉤部１０７ａの幅よりも広く、反射部支持部１０５側の開口１１３ｂは、幅が鉤部１０７ａの幅よりも狭く構成されている。
【００７９】
これにより、製造工程の最後の工程で犠牲層を除去することにより、支持部１０２，１０３の湾曲により反射部支持部１０５が立ち上がる際、その動きによって突起部１０７の鉤部１０７ａが、まず幅の広い開口１１３ａに挿入され、反射部支持部１０５が立ち上がるに連れて、幅の狭い開口１１３ｂ側に移動する。これにより、開口１０７ｂと突起部１０７ａが係合する。
【００８０】
第６の実施の形態の構造は、上述してきた実施の形態とは異なり、外部振動が加わった際に反射部支持部１０５が、支持部１０２の脚部１０２ｃ側に移動する動きを抑制することはできないが、反射部支持部１０５の上方への移動を抑制することができる。
【００８１】
第１〜第６の実施の形態において説明してきたように、本発明によれば、外部振動が加わった際の反射部支持部１０５の位置変動を抑制することができるため、安定したミラー１１８を備えた光学装置を提供することができる。
【００８２】
なお、反射部支持部１０５の位置変動を抑制するための構造は、上述したストッパ１０６や突起部１０７や薄膜立体構造体５等に限定されるものではなく、同様の作用をする他の構成を用いることができる。
【００８３】
また、上述した実施の形態では、一つのミラー１１８に対して、反射部支持部１０５の位置変動を抑制するためのストッパ１０６や突起部１０７や薄膜立体構造体５等の構造を、２つ備える構成について説明したが、１つや３以上にすることも可能である。
【００８４】
また、光学装置の構成は、上述した構成に限定されるものではなく、ミラー１１８が搭載される他の構造の光学装置に、位置変動を抑制するためストッパとして、本実施の形態のストッパ１０６等の構成を用いることも可能である。たとえば、両持ち支持された可動板２３１にミラー１１８を搭載した光学装置に、位置変動を抑制する本実施の形態の構成を用いることが可能である。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、所望の向きに光学膜が支持され、安定した光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー１１８およびストッパ１０６を製造する際の、犠牲層１４１除去前の各部のパターン形状を示す上面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図である。
【図３】図２は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の第３の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の第４の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の開口１０９の正面図である。
【図７】図７は、本発明の第５の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図である。
【図８】図８は、本発明の第６の実施の形態の光学装置のミラー１１８の斜視図である。
【図９】図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置の製造工程を、図１のＡ−Ａ断面において示す断面図である。
【図１０】図１０（ｄ）〜（ｆ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置の製造工程を、図１のＡ−Ａ断面において示す断面図である。
【図１１】図１１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー１１８を搭載した可動板２３１を下に引き下げた状態を示す断面図であり、図１１（ｂ）は、可動板２３１がミラー１１８を持ち上げた状態を示す断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１の実施の形態の光学装置の光導波路基板２４０の斜視図である。
【図１３】図１３は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー構造体基板２３０の斜視図である。
【図１４】図１４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置のミラー１１８の断面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＣ矢視図である。
【図１５】図１５（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置における、可動板２３１の上面図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第１の実施の形態の光学装置における、可動板２３１を上面から見たときのＡｌ膜３６４のパターン形状を示す説明図である。
【図１７】図１７は、本発明の第１の実施の形態の光学装置における、可動板２３１を駆動するためローレンツ用電流の波形と、静電力用電圧の波形と、可動板２３１との位置との関係を示す説明図である。
【図１８】図１８（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の光学装置において、可動板２３１に搭載されている薄膜立体構造体５の上面図であり、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）のＥ−Ｅ断面図であり、図１８（ｃ）は、図１８（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図１９】図１９は、本発明の第４の実施の形態の光学装置において、可動板２３１に搭載されている薄膜立体構造体５の上面図である。
【図２０】図２０は、本発明の第４の実施の形態の光学装置において、ミラー１１８の反射部支持部１０５に設ける開口１０９の別の形状の例を示す正面図である。
【図２１】図２１は、本発明の第５の実施の形態の光学装置において、可動板２３１に搭載されている薄膜立体構造体５の側面図である。
【符号の説明】
５…薄膜立体構造体、５３…段差（折り返し）、７１…突起部、８１…レジスト層、８２…レジスト層、１０１…反射部、１０２…支持部、１０４…接続部、１０５…反射部支持部、１０６…ストッパ、１０６ａ…切り込み、１０７…突起部、１０９…開口、１１０…鉤状部、１１１…バネ部、１１３…開口、２３０…基板、２３１…可動板、２４０…光導波路基板、２４３，２４４…光導波路、２４６…溝、５１１、５１２，５１３，５１４、５１５、５１６…単位構造部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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