(57)【要約】【課題】ノズルヘッドに組付けられた部品の位置を精度高く検出する。【解決手段】ノズルヘッド１００は、インクを吐出するための複数のインク溝１０８が表面に形成された基板１０２と、インク溝１０８が形成された表面に対向するように取付けられる振動板１０４と、複数のインク溝１０８に対応する数の吐出孔１１２を有するノズルプレート１０６とからなる。基板１０２は、インク溝１０８と溝幅が等しいように、その表面に形成された評価溝１１０を有する。ノズルプレート１０６は、評価溝１１０と予め定められた関係を満足する位置であって、かつ複数のインク溝１０８と複数の吐出孔１１２とがそれぞれ対向する位置に設けられる。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための複数の第１の溝が表面に形成された第１の平板と、
前記表面に対向するように取付けられた第２の平板と、
前記複数の第１の溝に対応する複数の吐出孔を有する第３の平板とを含み、
前記第１の平板は、前記表面に、溝幅が前記第１の溝と等しい第２の溝をさらに含み、
前記第３の平板は、前記第２の溝と予め定められた関係を満足する位置であって、かつ前記複数の第１の溝と前記複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられた、ノズルヘッド。
【請求項２】
前記予め定められた関係を満足する位置は、前記第２の溝の直立する一辺と、前記第３の平板の一辺とが予め定められた関係を満足する位置である、請求項１に記載のノズルヘッド。
【請求項３】
前記予め定められた関係を満足する位置は、前記第２の溝の直立する一辺が、予め定められた前記第３の平板の一辺と接する位置である、請求項２に記載のノズルヘッド。
【請求項４】
前記予め定められた関係を満足する位置は、前記第２の溝の直立する一辺が、予め定められた前記第３の平板の一辺と接する位置であって、
かつ前記第２の溝の端面が前記第３の平板によって覆われる位置である、請求項２に記載のノズルヘッド。
【請求項５】
前記第２の溝は、前記第１の溝と平行に、前記複数の第１の溝を挟んで設けられた複数の溝である、請求項１〜４のいずれかに記載のノズルヘッド。
【請求項６】
前記第２の溝は、前記第１の溝より浅い、請求項１〜５のいずれかに記載のノズルヘッド。
【請求項７】
前記第２の溝は、前記第１の溝より全長が短い、請求項１〜６のいずれかに記載のノズルヘッド。
【請求項８】
インクを吐出するための複数の第１の溝が表面に形成された第１の平板と、前記表面に対向するように取付けられた第２の平板と、前記複数の第１の溝に対応する複数の吐出孔を有する第３の平板とを含み、前記第１の平板は、前記表面に、溝幅が前記第１の溝と等しい第２の溝をさらに含み、前記第３の平板は、前記第２の溝と予め定められた関係を満足する位置であって、かつ前記複数の第１の溝と前記複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられた、ノズルヘッドの評価方法であって、
前記第２の溝と前記第３の平板との位置関係を表す特徴量を測定する測定ステップと、
前記測定ステップによって得られた結果に基づいて、前記複数の第１の溝と前記複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価する評価ステップを含む、ノズルヘッドの評価方法。
【請求項９】
前記第２の溝は、前記第３の平板が取付けられた前記第１の平板の第１の端面から、前記第１の端面に相対する第２の端面まで貫通する溝であって、
前記測定ステップは、
前記第２の端面から光を照射する照射ステップと、
前記第１の端面から、前記第２の溝を通過した光の量を測定する受光ステップとを含み、
前記評価ステップは、前記光の量と、前記第２の溝が予め定められた条件を満たしているときの光の量とを比較することにより、前記複数の第１の溝と前記複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価するステップを含む、請求項８に記載のノズルヘッドの評価方法。
【請求項１０】
前記第１の平板の表面には、複数の第２の溝が設けられ、前記受光ステップは、前記複数の第２の溝を通過する光の量を測定するステップを含み、
前記評価ステップは、前記複数の第２の溝を通過した光の量を比較することにより、前記複数の第１の溝と前記複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価するステップを含む、請求項９に記載のノズルヘッドの評価方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高精度の評価を容易に行える安価な部品およびその評価方法に関し、特にインクジェットプリンタ用のノズルヘッドおよびその評価方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的なインクジェットプリンタ用のノズルヘッドは、平板の表面にインク溝を構成する凹部が形成された基板と、基板とは別の平板である振動板と、平板上にインク溝に対応する数の吐出孔が設けられたノズルプレートとからなる。振動板は、インクの流路の一内壁を形成すべく基板の表面に取付けられる。ノズルプレートは、インク溝と吐出孔とがそれぞれ対向する位置に取付けられる。
【０００３】
ノズルプレートが取付けられた位置を検査する場合、ポリイミドなどの合成樹脂が材質であるノズルプレートは光を透過する。このため、顕微鏡などを用いて吐出孔を観察すれば、吐出孔とインク溝とが対向しているか否かを容易に検査できる。一方、Ｎｉやステンレスなどの金属を材料として製造されたノズルプレートは光を透過しない。このため、ノズルプレートを基板および振動板に接合した際、顕微鏡で吐出孔を観察しても、インク溝に対向するように収まっているか否かを検査できない。したがって、金属を材料として製造されたノズルプレートの吐出孔とインク溝とが対向しているか否かを検査するためには特別な方法が必要である。たとえば、まず基板または振動板の特定の場所を基準の位置と定め、その基準の位置から吐出孔までの距離を測定する。次に、予め求めておいた、基準の位置からインク溝までの距離と比較する。そして両者の差が予め定めておいた許容値の範囲内であれば、ノズルプレートの吐出孔とインク溝とが対向していると判断する方法などがある。しかし吐出孔の位置にはミクロンオーダーの精度が要求されるにも関わらず、基板または振動板を加工する際の精度によって、前述した特定の基準の位置からインク溝までの距離にバラツキが発生し、正確な評価を阻害する。
【０００４】
特開平８−１１８６２０号公報は、この問題を解消するインクジェットプリンタ用のノズルヘッドを開示する。このノズルヘッドは、表面にインク溝が形成された基板と、インクの溝の一内壁を形成すべく基板の表面に取付けられる振動板とを含む。振動板には、インク溝に対向する位置に、基板表面に対して垂直方向にインク滴を噴出させる吐出孔が設けられている。
【０００５】
このノズルヘッドによると、基板に振動板を取付ける位置の精度を高くすることにより、インク溝に対して取付けられた吐出孔の位置の精度を高くすることができる。すなわち、基板に取付けられた振動板の位置の精度が予め定められた関係を満足するか否か判断することにより、インク溝に対する吐出孔の位置の精度が所定の基準を満足するか否かを判断させている。したがって微小な吐出孔について検査する代わりに比較的大きな基板と振動板とについて検査することにより、インク溝と吐出孔とがそれぞれ対向する位置に正しく取付けられているか否か容易に検査することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述の公報に開示されたノズルヘッドにおいて、基板に振動板を高精度に取付けるためには、基準の位置へのマーキングなどを高精度に加工する必要がある。したがって、そのための特別な設備や工程が必要になる。その結果、ノズルヘッドを製作するためのコストに影響が及ぶ。
【０００７】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであって、その目的は精度の高い検査を容易にでき、かつ安価なノズルヘッドおよびその評価方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に係るノズルヘッドは、インクを吐出するための複数の第１の溝が表面に形成された第１の平板と、表面に対向するように取付けられた第２の平板と、複数の第１の溝に対応する複数の吐出孔を有する第３の平板とを含み、第１の平板は、表面に、溝幅が第１の溝と等しい第２の溝をさらに含み、第３の平板は、第２の溝と予め定められた関係を満足する位置であって、かつ複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられている。
【０００９】
第１の発明によれば、第３の平板は、第２の溝と予め定められた関係（たとえば第３の平板の吐出孔の中心から第２の溝の側面までの距離が一定の範囲にあること）を満足する位置であって、かつ複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられる。この構成によれば、予め定められた関係を満たしていなければ、複数の第１の溝と複数の吐出孔とはそれぞれ対向する位置にない。これにより、第３の平板と第２の溝との関係が予め定められた関係を満足する位置にあるか否かを確認すれば、複数の第１の溝と複数の吐出口とがそれぞれ対向する位置に設けられているか否かを容易に判断することができる。しかも、第１の溝と第２の溝とは溝幅が等しい。したがって、第１の溝を形成する際、同じ装置により、第２の溝を形成することができる。これにより、第２の溝を形成するための専用の設備は不要となるばかりでなく、形成に要する時間はわずかで済む。その結果、精度の高い検査を容易にでき、かつ安価なノズルヘッドを提供することができる。なお、この発明においては、第１の溝の溝幅と第２の溝の溝幅とが等しいとは、複数の第１の溝と複数の吐出口とがそれぞれ対向する位置に設けられているか否かを判断することに支障がない範囲にある場合を含める。ちなみに、第１の溝を形成する際、同じ装置により第２の溝をあわせて形成すれば、その装置の送り機構の位置決め精度は、第１の溝と吐出孔との位置を検査するために必要な精度よりも一般に高いことが多いので、第２の溝の位置的な精度を容易に高めて検査の精度を上げることもできる。
【００１０】
第２の発明に係るノズルヘッドは、第１の発明の構成に加えて、予め定められた関係を満足する位置が、第２の溝の直立する一辺と、第３の平板の一辺とが予め定められた関係を満足する位置である。
【００１１】
第２の発明によれば、第２の溝の直立する一辺と、第３の平板の一辺が予め定められた関係を満足するか否かにより複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置にあるか否かを検査する。線分を判断の対象としているため、点であるポンチ穴などを判断の対象にする場合に比べ、予め定められた関係を満たしているか否かを判断しやすい。これにより、吐出口と複数の第１の溝とがそれぞれ対向する位置に設けられているか否か、一層容易に判断することができる。その結果、精度の高い検査を容易にでき、かつ安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００１２】
第３の発明に係るノズルヘッドは、第２の発明の構成に加えて、予め定められた関係を満足する位置は、第２の溝の直立する一辺が、予め定められた第３の平板の一辺と接する位置である。
【００１３】
第３の発明によれば、第３の平板が正しく取付けられたか否かは、第２の溝の直立する一辺が、第３の平板の、たとえば直立する短辺など、予め定められた一辺と接しているか否かによって判断される。辺同士が接しているか否かを判断することは一般的に容易であるので、第１の溝と吐出孔とが対向する位置に設けられているか否かを容易に判断することができる。これにより、高い精度を要求される場合でも高性能の検査装置を用いる必要がなくなる。その結果、精度の高い検査を一層容易にでき、かつ安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００１４】
第４の発明に係るノズルヘッドは、第２の発明の構成に加えて、予め定められた関係を満足する位置は、第２の溝の直立する一辺が、予め定められた第３の平板の一辺と接する位置であって、かつ第２の溝の断面が第３の平板によって覆われる位置である。
【００１５】
第４の発明によれば、第３の平板が正しく取付けられたか否かは、第２の溝が観察できるか否かによって判断される。第２の溝を観察できるか否かは、一般的に容易であるので、第１の溝と吐出孔とが対向する位置に設けられているか否かを一層容易に判断することができる。これにより、たとえば第２の溝に光を通す照明回路と、第２の溝を通過した光を検知する受光回路を含む簡単な装置などによって検査を行うことができる。その結果、精度の高い検査を簡単な装置で容易にでき、かつ安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００１６】
第５の発明に係るノズルヘッドは、第１〜４の発明の構成に加えて、第２の溝は、第１の溝と並行であって、複数の第１の溝を挟んで設けられた複数の溝である。
【００１７】
第５の発明によれば、第２の溝は、複数の第１の溝を挟んで設けられている。したがって、第３の平板を取付る位置に偏りがある場合、第２の溝のうち少なくとも１本について、予め定められた関係を満足しない。これにより、第２の溝が第１の溝を挟まずに設けられている場合に比べ、第３の平板が正しく取付けられたか否かをより厳密に判断することができる。その結果、信頼性が高く、精度の高い検査を容易にでき、かつ安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００１８】
第６の発明に係るノズルヘッドは、第１〜５の発明の構成に加えて、第２の溝は、第１の溝より浅い溝である。
【００１９】
第６の発明によれば、第２の溝を形成する際に、第１の平板から切削される切屑の量は、第１の溝を形成する際よりも少ない。したがって、第２の溝を形成することによって生じる工具磨耗や製作時間のアップを抑えることができる。これにより、第２の溝を形成するためのコストを抑えることができる。その結果、精度の高い検査を容易にでき、かつより安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００２０】
第７の発明に係るノズルヘッドは、第１〜６の発明の構成に加えて、第２の溝は、第１の溝より全長が短い。
【００２１】
第７の発明によれば、第２の溝を形成する際に第１の平板から切削される切屑の量は、第１の溝を形成する際よりも少なくなる。特に、第２の溝の全長が極めて短い場合は、たとえばダイシングブレードによる切り込みなどの動作のみによって、極めて簡単に第２の溝を形成するができる。したがって、第２の溝を形成することによって生じる工具磨耗や製作時間のアップを大幅に抑えることができる。これにより、第２の溝を形成するためのコストを大幅に抑えることができる。その結果、精度の高い検査を容易にでき、かつ一層安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００２２】
第８の発明に係る部品の評価方法は、インクを吐出するための複数の第１の溝が表面に形成された第１の平板と、表面に対向するように取付けられる第２の平板と、複数の第１の溝に対応する複数の吐出孔を有する第３の平板とを含み、第１の平板は、表面に、溝幅が第１の溝と等しい第２の溝をさらに含み、第３の平板は、第２の溝と予め定められた関係を満足する位置であって、かつ複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられた、ノズルヘッドの検査方法であって、第２の溝と第３の平板との関係を表す特徴量を測定する測定ステップと、測定ステップによって得られた結果に基づいて、複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価する評価ステップを含む。
【００２３】
第８の発明によれば、測定ステップにて、たとえば第３の平板の一辺から第２の溝の直立する一辺までの距離などを測定して、評価ステップとして予め定められた関係が成立するか否かを評価する。その際、予め定められた関係は、第３の平板が複数の第１の溝と吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられた場合に必然的に定まる関係である。一例としては、前述した第３の平板の一辺から第２の溝の直立する一辺までの距離と、第１の溝および第２の溝が形成された際に定められた、第２の溝の直立する一辺から第１の溝の中心軸までの距離との差が一定の範囲内にあることなどが考えられる。この場合、予め定められた関係を満たしていなければ、複数の第１の溝と吐出孔とがそれぞれ対向する位置にあることはない。したがって、第２の溝と第３の平板との位置関係を表す特徴量を測定すれば、予め定められた関係が成立するか否か明確に判断できる。これにより、吐出口と複数の第１の溝とがそれぞれ対向する位置に設けられているか否か、容易に判断することができる。その結果、精度の高い検査を容易にでき、かつ安価な評価方法を提供することができる。
【００２４】
第９の発明に係る部品の評価方法は、第８の発明の構成に加えて、第２の溝は、第３の平板が取付けられた第１の平板の第１の端面から、第１の端面に相対する第２の端面まで貫通する溝であって、測定ステップは、第２の端面から光を照射する照射ステップと、第１の端面から、第２の溝を通過した光の量を測定する受光ステップとを含み、評価ステップは、光の量と、第２の溝が予め定められた条件を満たしているときの光の量とを比較することにより、複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価するステップを含む。
【００２５】
第９の発明によれば、たとえば第２の溝を通過した光の光量を測定することで、間接的に第２の溝と第３の平板との位置関係を測定することができる。すなわち、第２の溝が第３の平板にかぶさっていると、通過する光の光量などが異なる。したがって、画像処理装置などの第２の溝と第３の平板との位置関係を直接的に測定する装置に比べ、汎用のセンサなどを用いた簡単な装置による測定が可能である。これにより、予め定められた関係が成立するか否か容易に把握することができる。すなわち第１の溝と吐出孔とがそれぞれ対向する位置に設けられたか否か、簡単な装置により容易に判断することができる。その結果、検査が容易で、信頼性が高く、かつ安価なノズルヘッド評価方法を提供することができる。
【００２６】
第１０の発明に係る部品の評価方法は、第９の発明の構成に加えて、第１の平板の表面には、複数の第２の溝が設けられ、受光ステップは、複数の第２の溝を通過する光の量を測定するステップを含み、評価ステップは、複数の第２の溝を通過した光の量を比較することにより、複数の第１の溝と複数の吐出孔とがそれぞれ対向する位置であるか否かを評価するステップを含む。
【００２７】
第１０の発明によれば、受光ステップにおいて、複数の第２の溝を通過した光の量を測定する。評価ステップにおいては、第２の溝を通過した光の量を比較する。たとえば、ある第２の溝を通過した光の量と別の第２の溝を通過した光の量の差を求めることで、第３の平板によって塞がれていない第２の溝を特定して、第３の平板が正しく取付けられているか否かを判断するように、放射量の測定結果の比較やそれらの測定結果を利用した解析などを行うことができる。これにより、多様な判断を行い、部品の取付けが適当か否かさらに詳細に把握することができる。その結果、さらに信頼性が高く、精度の高い検査を容易にでき、かつ安価な評価方法を提供することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同一である。したがって、それらについての詳細な説明は繰返さない。
【００２９】
＜第１の実施の形態＞
図１に本実施の形態に係るノズルヘッド１００の全体図を示す。図１に示すようにノズルヘッド１００は、基板１０２と、振動板１０４と、ノズルプレート１０６とからなる。基板１０２には、複数のインク溝１０８と、インク溝１０８より浅く、溝幅が等しく、かつ全長が短い評価溝１１０とが、同一の表面に形成されている。振動板１０４は、基板１０２に対し、インク溝１０８が形成された表面に対向するように取付けられる。ノズルプレート１０６は、基板のインク溝１０８に対応する数の吐出孔１１２を有し、基板１０２に対してインク溝１０８の中心軸に対向するように取付けられる。評価溝１１０は、ノズルプレート１０６の短辺が評価溝の端面１１６の一部を塞ぐように形成されている。この評価溝１１０は、ノズルプレートが取付けられた位置を評価するための溝である。
【００３０】
インク溝１０８および評価溝１１０の加工は、たとえば以下のようにして行われる。まず、溝加工を行う装置に、基板１０２となる圧電セラミック材料をセットする。次に、溝加工用のブレードを、評価溝１１０を設ける位置にセットする。その際、一旦ブレードをノズルヘッド１００の外側まで移動させ、その後評価溝１１０を設ける位置へ移動させる。これは、ブレード送り機構のバックラッシによってブレードの位置に誤差が生じるのを防ぐためである。ブレードをセットしたら、ブレードの切込量やブレードの速度を設定した後に、評価溝１１０を加工する。
【００３１】
評価溝１１０の加工が終わったら、ブレードをさらに移動させ、インク溝１０８を設ける位置にブレードをセットし、インク溝１０８を加工する。なお、その際もバックラッシが生じるのを防ぐため、ブレードの送り方向は常に同じ方向でなくてはならない。
【００３２】
このような方法で評価溝１１０およびインク溝１０８を加工すると、結果として、両者の位置の精度はブレード送り機構の位置決め精度に依存する。一方、加工用の機械の送り機構はミクロンオーダー以上の高い精度を有するのが一般的である。これにより、結果として、両者の位置の精度はミクロンオーダー以上の高い精度を有する。一方、インク溝１０８と吐出孔１１２との位置の精度はこれよりも低い。したがって、ノズルプレート１０６の位置を決定する基準をインク溝と同じ幅の溝とすることで、ミクロンオーダー以上の高い精度が容易に得られ、インク溝１０８に対向するように吐出孔１１２が設けられているか否かを検査できる。
【００３３】
なお、インク溝１０８を加工した後、評価溝１１０を加工しても良い。その場合も、バックラッシが生じるのを防ぐため、ブレードの送り方向は常に同じ方向でなくてはならない。
【００３４】
図２に、ノズルヘッド１００を検査する画像処理装置１３０の構成図を示す。図２に示すように画像処理装置１３０は、ノズルヘッド１００の検査面、すなわちノズルプレート１０６が取付けられた面を撮影するカメラ１３２と、カメラ１３２が撮影した画像を解析する解析装置１３４とを含む。解析装置１３４は、カメラ１３２に接続され、データの形式を変換するインターフェース１４０Ａと、図示しない作業ロボットに接続され、データの形式を変換するインターフェース１４０Ｂと、この画像処理装置１３０を制御する制御部１３８と、制御部１３８の指示により記憶部１４２に記憶された画像データの処理を実行する処理部１３６と、画像の解析に必要な情報および評価溝の端面１１６の側壁およびノズルプレート１０６の短辺（以下「境界」とする）の間の距離ＬＡに対する適正値の範囲を記憶する記憶部１４２とを含む。
【００３５】
なお、これらの構成は各々の機能が達成できるものであればよく、特定のものには限定されない。また、これらの構成は単独の装置によってなされるものの他、複数の装置によってなされるものであってもよい。さらに、単一の装置が複数の役割を担当するものであってもよい。
【００３６】
図３のフローチャートを参照して、本実施の形態に係るノズルヘッド１００は画像処理装置１３０により、以下のような手順で、吐出孔１１２がインク溝の端面１１４に対向しているか否かが検査される。なお、以下の説明ではノズルヘッド１００は作業ロボットによりハンドリングされると想定したが、本発明は、これに限定されない。
【００３７】
ステップ１００（以下、ステップをＳと略す。）にて、画像処理装置１３０の制御部１３８は、不要なデータの消去やフラグの設定などの初期設定を行う。
【００３８】
Ｓ１０２にて、制御部１３８は、図示しない作業ロボットに、ノズルヘッド１００をカメラ１３２の前にセットさせるための信号を出力する。
【００３９】
Ｓ１０４にて、制御部１３８は、カメラ１３２に、ノズルヘッド１００の検査面を撮影させるための信号を出力する。Ｓ１０６にて、処理部１３６は、カメラ１３２が撮影した画像を取込み、境界を認識する。そして境界の位置を表すデータを記憶部１４２に記憶させる。
【００４０】
Ｓ１０８にて、処理部１３６は、記憶部１４２に記憶させたデータに基づいて、境界間の距離ＬＡを算出する。
【００４１】
Ｓ１１０にて、処理部１３６は、距離ＬＡが記憶部１４２から呼出した許容値の範囲内にあるか否か判断する。距離ＬＡが許容値内にあると判断した場合には（Ｓ１１０にてＹＥＳ）、処理はＳ１１２へと移される。もしそうでないと（Ｓ１１０にてＮＯ）、処理はＳ１１４へと移される。
【００４２】
Ｓ１１２にて、制御部１３８は、作業ロボットに、ノズルヘッド１００を次工程に転送させるための信号を出力する。Ｓ１１４にて、制御部１３８は、作業ロボットに、ノズルヘッド１００を廃棄させるための信号を出力する。
【００４３】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、ノズルヘッド１００を検査する際の動作について説明する。
【００４４】
［ノズルプレートが正しく取付けられている場合］
境界間の距離ＬＡを測定する場合の動作について説明する。初期設定終了後、制御部１３８からの信号を受けた作業ロボットによりノズルヘッド１００がカメラ１３２の前にセットされる（Ｓ１０２）。
【００４５】
ノズルヘッド１００のセットが完了すると、制御部１３８はカメラ１３２にノズルヘッド１００の検査面を撮影させる（Ｓ１０４）。
【００４６】
カメラ１３２がノズルヘッド１００の検査面を撮影すると、処理部１３６は、カメラ１３２が撮影した画像を取込み、境界を認識する。境界の位置を表すデータを記憶部１４２に記憶させる（Ｓ１０６）。
【００４７】
処理部１３６はこれらの位置を表すデータを記憶部１４２に記憶させると、記憶部１４２に記憶させたデータを基に、境界間の距離ＬＡを算出する（Ｓ１０８）。
【００４８】
制御部１３８が、ノズルプレート１０６が正常に取付けられているか否かを判断する場合の動作について説明する。制御部１３８は、距離ＬＡの算出が終了すると、距離ＬＡが記憶部１４２から呼出した許容値の範囲内にあるか否か判断する（Ｓ１１０）。この場合、制御部１３８はＬＡが許容値内にあると判断する（Ｓ１１０にてＹＥＳ）。制御部１３８は、作業ロボットにノズルヘッド１００を次工程に転送させる信号を出力する（Ｓ１１２）。
【００４９】
［ノズルプレートが正しく取付けられていない場合］
Ｓ１００からＳ１１０までの動作は前述の場合と同じであるので、それらについての動作は、ここでは繰返さない。
【００５０】
制御部１３８がノズルプレート１０６は正常に取付けられているか否かを判断する場合の動作について説明する。制御部１３８は、距離ＬＡの算出が終了すると、距離ＬＡが記憶部１４２から呼出した許容値の範囲内にあるか否か判断する（Ｓ１１０）。この場合、制御部１３８はＬＡが許容値内にないと判断する（Ｓ１１０にてＮＯ）。制御部１３８は、作業ロボットにそのノズルヘッド１００を廃棄させる信号を出力する（Ｓ１１４）。
【００５１】
以上のようにして、本実施の形態に係るノズルヘッド１００は、第２の溝を第３の平板の短辺に対して予め定められた距離にあるように設けられている。その距離を測定すると、その距離の許容値は別に求められて記憶部１４２に記憶されているから、制御部１３８はノズルプレート１０６が正しく取付けられているか否かを容易に検査をすることができる。
【００５２】
なお、図４（Ａ）に示すように、ノズルプレート１０６が正しく取付けられていた場合、その短辺と評価溝１１０の側壁との間に、ノズルプレート１０６を取付る位置に対して許容される誤差に相当する間隔Ｄが生じるように、評価溝１１０を設けても良い。この構成によると、ノズルプレート１０６を取付る位置の誤差が間隔Ｄを超えると、ノズルプレート１０６と評価溝の端面１１６との間の隙間が見えなくなる。これにより、ノズルプレート１０６が正しく取付けられていないことが容易に判断できる。その結果、より精度が高く、かつ検査が簡単なノズルヘッドを提供することができる。
【００５３】
また、ノズルプレート１０６が正しく取付けられた場合、その短辺と評価溝１１０の側壁とが接するように、評価溝１１０を設けてもよい。この構成によると、前述の場合とは逆にノズルプレート１０６が正しく取付けられていないとき、ノズルプレート１０６と評価溝の端面１１６との間に隙間が見える。これによりやはりノズルプレート１０６が正しく取付けられていないことがわかる。その結果、検査が簡単なノズルヘッドを提供することができる。
【００５４】
なお、図４（Ｂ）に示すように、距離ＬＡの代わりに、吐出孔の中心１１２から評価溝の側壁１１６までの距離ＬＢを測定してもよい。この構成によると、ノズルプレート１０６の外形の寸法を高精度に製作する必要がなくなる。したがってノズルプレート１０６の製作コストを下げることができる。これによりノズルヘッド全体の製作コストも下げることができる。その結果、より安価なノズルヘッドを提供することができる。
【００５５】
＜第２の実施の形態＞
図５に、本実施の形態に係るノズルヘッド２００の全体図を示す。ノズルヘッド２００の評価溝２１０は、基板１０２の側面から、その側面に相対する側面へ貫通している。ノズルプレート２０６は、評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂを覆い、かつノズルプレート２０６の短辺と評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂの直立する一辺とが接するように取付けられる。このように取付けられると、インク溝の端面１１４と吐出孔１１２とがそれぞれ対向する。なお、その他の構成については前述の第１の実施の形態と同じである。それらについての機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明はここでは繰返さない。
【００５６】
図６にノズルヘッド２００の検査をする検査装置１５０の構成図を示す。ノズルヘッド２００を検査する検査装置１５０は、発光ダイオード１５２と、試料ステージ１５４と、検知装置１５６と、評価装置１５８を含む。検知装置１５６は、評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂを通過する光を受光する受光器１６０Ａ、１６０Ｂと、受光器が受光した光量を比較する比較器１６２と、比較器１６２の出力をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器１６４を含む。
【００５７】
評価装置１５８は、検知装置１５６と接続され、データの形式を変換するインターフェース１７４Ａと、発光ダイオード１５２の電源に接続され、データの形式を変換するインターフェース１７４Ｂと、図示しない作業ロボットに接続され、データの形式を変換するインターフェース１７４Ｃと、検査装置１５０を制御する制御部１７２と、制御部１７２の指示により比較器１６２の出力を評価する処理部１７０と、比較器１６２の出力の評価に必要な情報を記憶する記憶部１７６とを含む。なお、ノズルヘッド２００に光を照射するものは、発光ダイオードに限定されない。
【００５８】
図７のフローチャートを参照して、本実施の形態に係るノズルヘッド２００について、以下のような手順で、吐出孔１１２がインク溝の端面１１４に対向しているか否かを検査する。なお図７に示すフローチャートにおける処理の中で図３の処理と同じ処理については、同じステップ符号を付してある。それらについての処理も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。
【００５９】
Ｓ１２０にて、制御部１７２は、図示しない作業ロボットに、ノズルヘッド２００を試料ステージ１５４にセットするような信号を出力する。
【００６０】
Ｓ１２２にて、制御部１７２は、発光ダイオード１５２を点灯し、ノズルヘッド２００の背面、すなわちノズルプレート２０６が取付けられた面に相対する面から光を照射させる。
【００６１】
Ｓ１２４にて、受光器１６０Ａ、１６０Ｂは、それぞれ評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂを通過した光を受光し、比較器１６２は受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差を求める。Ｓ１２６にて、処理部１７０は、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差の値を取得する。
【００６２】
Ｓ１２８にて、処理部１７０は、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差が記憶部１７６から呼出した許容値の範囲内にあるか否かを判断する。なお、本実施の形態の場合、評価溝２１０がインク溝１０８を挟んで設けられている。ノズルプレート２０６が取付けられる位置が左右のいずれにずれていても、評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂのいずれかが露出する。受光器１６０Ａ、１６０Ｂのいずれか片方のみに光が入力するので、ノズルプレート２０６はどちらの方向にずれているかが判断できる。ノズルプレート２０６が正しく取付けられたと判断すると（Ｓ１２８にてＹＥＳ）、処理はＳ１１２へ移される。もしそうでないと（Ｓ１２８にてＮＯ）、処理はＳ１１４ヘ移される。
【００６３】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、ノズルヘッドの検査の動作について説明する。
【００６４】
［ノズルプレートが正しく取付けられている場合］
評価溝２１０を通過した光を検知する場合の動作について説明する。初期設定が終了すると、制御部１７２は、作業ロボットに、ノズルヘッド２００を試料ステージ１５４にセットさせるような信号を出力する（Ｓ１２０）。
【００６５】
ノズルヘッド２００のセットが完了すると、発光ダイオード１５２が点灯されて、ノズルヘッド２００の背面、すなわちノズルプレート２０６が取付けられた面に相対する面から光が照射される（Ｓ１２２）。
【００６６】
発光ダイオード１５２が点灯すると、受光器１６０Ａ、１６０Ｂは、評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂを通過した光を受光し、比較器１６２は受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差を求める（Ｓ１２４）。
【００６７】
比較器１６２により前述の出力差が求められると、処理部１７０は、Ａ／Ｄ変換器１６４、インターフェース１７４Ａを介して受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差を取得する（Ｓ１２６）。
【００６８】
処理部１７０がノズルプレート２０６は正常に取付けられているか否かを判断する場合の動作について説明する。処理部１７０は、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差を取得すると、その値が記憶部１７６から呼出した許容値の範囲内にあるか否かを判断する（Ｓ１２８）。この場合、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差は記憶部１７６から呼出した許容値の範囲内にあると判断されるので（Ｓ１２８にてＹＥＳ）、処理はＳ１１２へ移される。
【００６９】
［ノズルプレートが正しく取付けられていない場合］
Ｓ１００からＳ１２６までの動作は前述の場合と同様であるので、それらについての動作は、ここでは繰返さない。
【００７０】
処理部１７０がノズルプレート２０６は正常に取付けられているか否かを判断する場合の動作について説明する。処理部１７０は、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差を取得すると、その値が記憶部１７６から呼出した許容値の範囲内にあるか否かを判断する（Ｓ１２８）。この場合、受光器１６０Ａ、１６０Ｂの出力差は、記憶部１７６から呼出した許容値の範囲内にないと判断されるので（Ｓ１２８にてＮＯ）、処理はＳ１１４ヘ移される。
【００７１】
以上のようにして、本実施の形態に係るノズルヘッド２００は、ノズルプレート２０６が正しく取付けられているか否か容易に検査をすることができる。
【００７２】
なお、図８に示すように、ノズルプレート２０６が正しく取付けられた場合、その両側の短辺と評価溝の端面２１６Ａ、２１６Ｂの外側の直立する一辺との間に、ノズルプレート２０６を取付けられる位置に対して許容される誤差に相当する間隔Ｄが生じるように、評価溝２１０を設けても良い。この構成によると、ノズルプレート２０６を取付る位置の誤差が間隔Ｄを超えた場合にのみ評価溝の端面が露出し、検査時に受光器１６０Ａ、１６０Ｂが光を受光する。これにより、ノズルプレート２０６が正しく取付けられていないことが容易にわかる。その結果、汎用性が高いノズルヘッドを提供することができる。
【００７３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均などの意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るノズルヘッドの全体図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るノズルヘッドを検査する画像処理装置の構成図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るノズルヘッドを検査する手順を表すフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るノズルプレートと評価溝との関係の変形例を表す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るノズルヘッドの全体図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るノズルヘッドを検査する装置の構成図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るノズルヘッドを検査する手順を表すフローチャートである。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るノズルプレートと評価溝との関係の変形例を表す図である。
【符号の説明】
１００　ノズルヘッド、１０２　基板、１０４　振動板、１０６　ノズルプレート、１０８　インク溝、１１０　評価溝、１１２　吐出孔、１１４　インク溝の端面、１１６　評価溝の端面、１３０　画像処理装置、１３２　カメラ、１３４　解析装置、１３６　処理部、１３８　制御部、１４０Ａ，１４０Ｂ　インターフェース、１４２　記憶部、１５０　検査装置、１５２　発光ダイオード、１５４　試料ステージ、１５６　検知装置、１５８　評価装置、１６０Ａ，１６０Ｂ　受光器、１６２　比較器、１６４　Ａ／Ｄ変換器、１７０　処理部、１７２制御部、１７４Ａ，１７４Ｂ，１７４Ｃ　インターフェース、１７６　記憶部、２００　ノズルヘッド、２０６　ノズルプレート、２１０　評価溝、２１６Ａ，２１６Ｂ　評価溝の端面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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