(57)【要約】【課題】既存の電離真空計コントローラを併用して、真空計測定子に流入する荷電粒子のみならず、圧力信号伝達系の計測用ケーブルに流入するノイズ電流による圧力値への影響を除去可能な補正機能を備えた真空計用圧力補正装置を提供することである。【解決手段】補正電極を付設する自己補正電極付測定子と放射線等によるノイズ電流を検出するダミーケーブルを有する測定用ケーブルとに接続され、電離真空計コントローラ５からの圧力情報に基づいて求める変換テーブルを有する不揮発性メモリ７と、この不揮発性メモリ７の出力を電流値に変換したものとダミーケーブルで検出したノイズ電流と補正電極で検出した外部から測定子へ流入する荷電粒子の電流値との偏差を用いて電離真空計コントローラ５からの圧力値を補正して表示する手段１６を備えるものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリッドと外部からの荷電粒子を検出する補正電極が電離真空計に付設された自己補正電極付測定子及び外部からの放射線等による計測系ケーブルへのノイズ電流を検出するダミーケーブルを有する計測用ケーブルと、前記電離真空計本体を駆動制御する電離真空計コントローラとに接続され、前記外部からの荷電粒子及び放射線ノイズの影響を排除した圧力値を算出するための前記電離真空計コントローラと併用される真空計用圧力補正装置において、前記自己補正電極付測定子自身から前記補正電極に流入するイオン電流の電圧変換値を前記電離真空計コントローラからの圧力情報に基づいて求める変換テーブルを有する不揮発性メモリと、この不揮発性メモリの出力を電流値に変換し、この電流変換値と前記ダミーケーブルで検出したノイズ電流との和から偏差を求め、前記補正電極流入電流値から前記偏差を差し引いた値を前記電離真空計の電極形状に基づいて換算されたコレクタ流入電流値として算出して圧力変換した値を、前記ノイズ電流を圧力値へ変換した値とともに前記電離真空計コントローラからの圧力値から差し引いて補正表示する手段を備えたことを特徴とする真空計用圧力補正装置。
【請求項２】
前記補正表示手段は、前記電離真空計コントローラからのアナログによる圧力情報をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、前記圧力情報と照合し、前記不揮発性メモリの出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器と、前記Ｄ／Ａ変換器の出力信号を増幅する第１の増幅器と、前記補正電極からの検出値を増幅する第２の増幅器と、前記ダミーケーブルからのノイズ電流値を増幅する第３の増幅器と、前記第１及び第３の増幅器の出力信号の和と前記第２の増幅器の出力信号の偏差を求める第１の差動増幅器と、この第１の差動増幅器の出力信号を第１の差圧に変換する第１の演算回路と、前記第３の増幅器の出力信号を第２の差圧に変換する第２の演算回路と、前記第１及び第２の差圧の和と前記電離真空計コントローラの圧力表示値との偏差を求める第２の差動増幅器と、補正した最終圧力を表示する補正圧力表示部とを備えたことを特徴とする請求項１記載の真空計圧力補正装置。
【請求項３】
前記電離真空計コントローラは、既存の真空計コントローラであることを特徴とする請求項１記載の真空計用圧力補正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空計用圧力補正装置に係り、特に、外部から流入する荷電粒子や放射線によるノイズ等の影響を補正してより精度よく圧力を測定できるようにした真空計用圧力補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、放射光を発生させる電子貯蔵リング、粒子衝突実験のための加速器や材料構造分析のための測定装置などにおいては、ビーム寿命の延長や分解能の向上のため超高真空が必要である。その雰囲気の維持、管理する上で圧力を精度よく測定する必要があり、高い信頼性と汎用性を備えた電離真空計が多用されている。
図３は、従来の自己補正電極付測定子５０を示す側面図である。図３において、本体部５１が測定対象の機器の内壁などにフランジ５２を介して設置される。フィラメント５３は通電によって熱電子を発生し、この熱電子は適正な正電位を印加されたグリッド５４の近傍で往復運動を行う。この熱電子は、測定雰囲気中（空間中）に残留しているガス分子に衝突してイオン化し、イオン化されたガス分子はコレクタ５５に集まり、イオン電流が発生する。従ってガス分子が多いほどイオン化も促進され、大きなイオン電流が得られるが、この電流値からガスの全圧を判定する。グリット５４に囲まれた補正電極５６は外部から流入する荷電粒子を検出するためのものである。
【０００３】
通常、電離真空計の測定精度は、機械的な圧力測定装置の国際基準代表例であるスピニングロータゲージを基準としている。このスピニングロータゲージは、磁気浮上させた球の回転抵抗から圧力を換算する真空計であり、このスピニングロータゲージを用いて１０−５Ｐａ台まで較正を行い、これ以下の圧力較正は、外挿して圧力を決定している。また、エキストラゲージを用い、参考としている。
【０００４】
通常、電離真空計における圧力換算式は、次のように表される。全圧Ｐ（Ｐａ）に対応するコレクタ５５に流入するイオン電流値Ｉｉ（Ａ）は、真空計固有の感度係数Ｓ（１／Ｐａ）、フィラメント５３からの電子放出電流Ｉｅ（Ａ）から、
Ｉｉ＝Ｓ×Ｐ×Ｉｅ
と表せる（ここで、ＳとＩｅは、ほぼ一定）。
ところが、近年、荷電粒子が多数飛び交う超高真空雰囲気内で圧力を測定する場合が多くなり、外部からの荷電粒子流入が圧力の精密測定に影響を及ぼす現象が頻発している。
例えば、電子貯蔵リングでは多量の光や電子が真空計測定子に流入し、コレクタ５５で測定するイオン電流値Ｉｉが、コレクタ５５に到達する前に光電子等により中和されるため、表示圧力値Ｐを実際値よりも低い値に表示しているのが実状である。
【０００５】
そこで、図３に示したように補正電極５６を、延長されたグリッド５４のコレクタ５５の延長線上の先端部に設けている。
このように電離真空計に補正電極を設け、荷電粒子による影響が測定結果に現れないようにして本来の圧力を精度よく測定可能にする提案は、例えば非特許文献１に掲載されている。
【０００６】
図４は、前記自己補正電極付測定子５０に対応する真空計用圧力補正装置６０の従来技術を示すブロック図である。この真空計用圧力補正装置は、本願発明者によって先に発明されたものであって、既に手続を終えた特願２００１−１４８０６６号に開示されているものである。
真空計用圧力補正装置６０は、補正電極５６に接続され、入力端子６２、及びコレクタ５５からの入力信号を入力端子６１を介して接続された電離真空計コントローラ６３から出力されるアナログ圧力情報である仮数部（ファクタ）、指数部（オーダー）の出力端子に接続される。真空計用圧力補正装置６０は、電離真空計コントローラ６３の圧力データに基づいて補正した圧力値ＰＣＯを算出する差動アンプ７０、電離真空計コントローラ６３からの圧力データの仮数部（ファクタ）と指数部（オーダー）の情報（例えば、仮数部＝４．８、指数部＝−８）入力に対してＡ／Ｄ変換器６４の出力（圧力情報）に基づいてＶＰを出力するＲＯＭ６５、このＲＯＭ６５の出力電圧をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器６６、このＤ／Ａ変換器６６の出力電圧を電流増幅するＤＣアンプ６７、このＤＣアンプ６７の出力電流ＩＰが（−）入力端子に入力されると共に出力電流が差圧計算演算回路７１の入力端子へ出力される差動アンプ６９、入力端子６２に接続され、入力された補正電極５５の検出電流ＩＣＥを増幅し、差動アンプ６９の（＋）入力端子に入力するＤＣアンプ６７、差動アンプ６９の出力信号に電離真空計の電極形状係数を乗じて差圧Δｐを差動アンプ７０に出力する差圧計算演算回路７１、差動アンプ７０から出力される補正値を表示する補正圧力表示部７２を備えている。
【０００７】
ＲＯＭ６５は、外部からの荷電粒子流入なしの状態で事前に電離真空計自身からの流入イオンを測定した真空計の固有値（ＶＰ値）をテーブルとして設定しており、これをＡ／Ｄ変換器６４の出力（圧力値）に基づいて検索し、応答する値を出力する。電離真空計コントローラ６３は、補正電極の接続を考慮していない真空計に接続されていた汎用電離真空計コントローラである。
次に、図４の真空計用圧力補正装置６０の動作について説明する。電離真空計コントローラ６３からは、圧力情報として仮数部と指数部の２つの値が出力され、それぞれがデジタル信号に変換された後、ＲＯＭ６５に入力される。ＲＯＭ６５によって得られたＶＰは、Ｄ／Ａ変換器６６によってアナログ信号に変換され、ＤＣアンプ６７に入力される。ＤＣアンプ６７では、ＶＰに対応する電流値ＩＰを出力する。電極形状係数αは、補正電極５６とコレクタ５５の表面積の比を抵抗値で除したものであり、外部からコレクタ５５へ流入する荷電粒子電流を求める換算係数である。
【０００８】
前記ＩＰとＤＣアンプ６８からの検出電流ＩＣＥとに基づいて、差動アンプ６９で、（ＩＣＥ−ＩＰ）を算出し、この値を差圧計算演算回路７１へ送出する。差圧計算演算回路７１では、差圧Δｐを、
Δｐ＝｛α（ＩＣＥ−ＩＰ）／ＳＩｅ｝
として計算し、これを差動アンプ７０の（−）入力端子に入力する。また、電離真空計コントローラ６３の出力（ＰＣ）は差動アンプ７０の（＋）入力端子に入力される。差動アンプ７０は、ΔｐとＰＣの偏差を求めることにより、圧力値を補正し、この補正圧力値ＰＣＯを補正圧力表示部７２に表示する。
このような真空計用圧力補正装置によれば、真空計測定子に流入する荷電粒子によるイオン電流への影響を除去するための補正を汎用電離真空計コントローラとの併用で容易に行うことができる。
【０００９】
【非特許文献１】
「Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｖａｃｕｕｍ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ＆  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ａ」  Ｖｏｌ．１８、２４４（２０００）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来技術においては、真空計測定子に流入する荷電粒子による影響を除去することはできるものの、これ以外、特に放射線等に起因するノイズの圧力信号伝達系であるケーブルへの流入に対しては補正できなかった。ところが、この圧力信号伝達系のケーブルへのノイズ流入は、１０−１０Ａ台〜１０−１１Ａ台に到達し、その結果、実際の圧力値よりもさらに低い圧力を示してしまい、場合によっては大きく桁変わりしてしまい超高真空環境における圧力測定において、無視できるレベルとはいえないものとなってきた。
【００１１】
そこで、既存の真空計用圧力補正装置にケーブルに流入するノイズ電流に関しても補正処理可能な機能を組み込むことが要望されていた。
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、既存の汎用電離真空計コントローラに併用して、真空計測定子に流入する荷電粒子による影響のみならず、圧力信号伝達系のケーブルで発生するノイズ電流による圧力値への影響をも除去可能な補正機能を備えた真空計用圧力補正装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明である真空計用圧力補正装置は、グリッドと外部からの荷電粒子を検出する補正電極が電離真空計に付設された自己補正電極付測定子及び外部からの放射線等による計測系ケーブルへのノイズ電流を検出するダミーケーブルを有する計測用ケーブルと、前記電離真空計本体を駆動制御する電離真空計コントローラとに接続され、外部からの荷電粒子及び放射線ノイズの影響を排除した圧力値を算出するための汎用電離真空計コントローラと併用される真空計用圧力補正装置において、測定子自身から前記補正電極に流入するイオン電流の電圧変換値を電離真空計コントローラからの圧力情報に基づいて求める変換テーブルを有する不揮発性メモリと、この不揮発性メモリの出力を電流値に変換し、この電流変換値と前記ダミーケーブルで検出したノイズ電流との和から偏差を求め、前記補正電極流入電流値から前記偏差を差し引いた値を前記電離真空計の電極形状に基づいて換算されたコレクタ流入電流値として算出して圧力変換した値をノイズ電流を圧力値変換した値とともに電離真空計コントローラからの圧力値から差し引いて補正表示する手段を有するものである。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明である真空計用圧力補正装置は、請求項１に記載の真空計用圧力補正装置において、補正表示手段が、電離真空計コントローラからのアナログによる圧力情報をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、圧力情報と照合し、不揮発性メモリの出力をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器と、Ｄ／Ａ変換器の出力信号を増幅する第１の増幅器と、補正電極からの検出値を増幅する第２の増幅器と、ダミーケーブルからのノイズ電流値を増幅する第３の増幅器と、第１及び第３の増幅器の出力信号の和と第２の増幅器の出力信号の偏差を求める第１の差動増幅器と、この第１の差動増幅器の出力信号を第１の差圧に変換する第１の演算回路と、第３の増幅器の出力信号を第２の差圧に変換する第２の演算回路と、第１及び第２の差圧の和と電離真空計コントローラの圧力表示値との偏差を求める第２の差動増幅器と、補正した最終圧力を表示する補正圧力表示部とを備えるものである。
【００１４】
さらに、請求項３に記載のように、既存の電離真空計コントローラに併用して補正機能を持たせることが可能な真空計用圧力補正装置を提供するものである。
【００１５】
上記構成の請求項１乃至請求項３に記載の真空計用圧力補正装置は、ダミーケーブルを備えることによって、圧力信号ケーブルに重畳する外部からの放射線等によるノイズ電流の影響を補正する機能を有する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る真空計用圧力補正装置の実施の形態を図１に基づき説明する。（請求項１及び請求項２に対応）
図１は本発明の実施の形態に係る真空計用圧力補正装置の構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態における真空計用圧力補正装置１は、入力端子２，３及びコレクタ５５からの入力信号を入力端子４を介して接続された電離真空計コントローラ５に接続される。真空計用圧力補正装置１は、入力端子４から電離真空計のコレクタ電流ＩＣを入力する電離真空計コントローラ５と、この電離真空計コントローラ５の圧力データに基づいて補正した圧力ＰＣＯを算出する差動アンプ１３を備え、また、電離真空計コントローラ５からの圧力アナログ信号の仮数部（ファクタ）と指数部（オーダー）の情報を入力するＡ／Ｄ変換器６、このＡ／Ｄ変換器６の圧力データに基づいてＶＰを出力するＲＯＭ７、このＲＯＭ７の出力電圧をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器８、さらに、Ｄ／Ａ変換器８から出力されるアナログ信号ＶＰを電流増幅するＤＣアンプ９を備えている。
【００１７】
また、真空計用圧力補正装置１は、入力端子２から入力される補正電極５６からの検出電流ＩＣＥを増幅するためのＤＣアンプ１０、さらに入力端子３から入力される図示しないダミーケーブルからの検出電流ＩＣＡを増幅するためのＤＣアンプ１１を備えている。ダミーケーブルは、圧力情報を伝える信号ケーブルと同一経路上で、同一種ケーブルで構成されるものである。このダミーケーブルに流入する外部放射線等のノイズ電流を検出し、その偏差を圧力換算し、圧力値に補正を加えるべく設けられるものである。
【００１８】
ＤＣアンプ９，１０，１１で増幅された電流ＩＰ，ＩＣＥ，ＩＣＡは、差動アンプ１２のぞれぞれ（−）入力端子、（＋）入力端子、（−）入力端子に接続され、その出力電流ＩＣＥ−ＩＰ−ＩＣＡは、差圧計算演算回路１５に入力され、そこで電離真空計の電極形状係数αを乗じて差圧ΔＰＣＥを演算し、差動アンプ１３の（−）入力端子に出力する。このΔＰＣＥは、補正電極からの圧力補正信号に対するケーブル補正をも加えた補正値である。また、ＤＣアンプ１１からの出力電流ＩＣＡを入力して圧力変換する差圧計算演算回路１４の出力ＰＣＡも差動アンプ１３の（−）入力端子に入力される。さらに、電離真空計コントローラ５から出力される圧力値ＰＣも差動アンプ１３の（＋）入力端子に入力され、出力される補正値は補正圧力表示部１６に表示される。
【００１９】
ＲＯＭ７は、本実施の形態においても従来と同様に、事前に測定した真空計の固有値（ＶＰ値）をテーブルとして設定しており、これをＡ／Ｄ変換器６の出力（圧力値）に基づいて検索して応答する値を出力する。また、電離真空計コントローラ５は、本実施の形態においても補正装置（補正回路）の接続を考慮していない従来の真空計に接続された汎用電離真空計コントローラであるが、本発明の真空計用圧力補正装置が必要とする圧力情報は従来品より出力されているものである。
【００２０】
このように構成される本実施の形態に係る真空計用圧力補正装置の動作について説明する。既存の設備である電離真空計コントローラ５からは圧力情報として仮数部と指数部の２つの値が出力され、それぞれがデジタル信号に変換された後、ＲＯＭ７に入力され、出力信号としてＶＰを得る。このＶＰはＤ／Ａ変換器８でアナログ変換されＤＣアンプ９に入力される。ＤＣアンプ９はこのＶＰを電流増幅してＩＰとして出力し、差動アンプ１２に入力する。差動アンプ１２は、このＩＰの他、前述のとおりＤＣアンプ１０とＤＣアンプ１１からＩＣＥとＩＣＡを入力し、これらの偏差を求めて差圧計算演算回路１５で電極形状係数αを乗算して下式で表される補正用の差圧ΔＰＣＥを演算する。
ΔＰＣＥ＝｛α（ＩＣＥ−ＩＰ−ＩＣＡ）／ＳＩＣ｝
これを差動アンプ１３の（−）入力端子に入力する。また、電離真空計コントローラ５の出力（ＰＣ）は、差動アンプ１３の（＋）入力端子に入力される。さらに、ＤＣアンプ１１の出力電流ＩＣＡを差圧計算演算回路１４で差圧変換したＰＣＡを差動アンプ１３の（−）入力端子に接続して、差動アンプ１３は、ΔＰＣＥとＰＣＡの和とＰＣの偏差を求めることにより、圧力値を補正し、下式で表される補正圧力値ＰＣＯを補正圧力表示部１６に表示する。
ΔＰＣＯ＝ＰＣ−ＰＣＡ−ΔＰＣＥ
【００２１】
なお、この式の中で、ＰＣ−ＰＣＡは、コレクタ５６からの圧力信号に対するケーブル補正を加えた圧力信号値を示すものである。
真空雰囲気内の圧力測定においては、瞬間的な測定によって正確な値を得ることは、イオン電流値の測定に基づいているため難しく、少なくとも数回程度の測定の平均値を取る必要がある。また、測定値は、ファクターにおいては小数点以下２桁で大きく変動している。そこで、サンプリング時間を１００ｍｓ程度以下にとり、繰り返し測定を行って平均化させる必要がある。
【００２２】
以上説明したとおり、本実施の形態に係る真空計用圧力補正装置によれば、既存の電離真空計コントローラと併用することが可能であると同時に、真空計測定子に流入する荷電粒子の影響のみならず、圧力信号ケーブルに重畳するノイズ電流の影響をも補正することができるため、超高真空環境において高精度の圧力測定が可能となる。
【００２３】
次に、本発明の真空用圧力測定装置の適用例を図２に示す。図２において、小型放射光発生装置２０の超高真空ビームダクト２１に本発明に係わる自己補正電極付測定子２２およびダミーケーブルを有する計測用ケーブル２３が設置されている。超高真空ビームダクト２１は、内部を周回する電子ビーム２４を収束発散させるための４極電磁石２５、収束用の６極電磁石２６およびビーム軌道を偏向させるための偏向電磁石２７に挟持されている。超高真空ビームダクト２１内は、各所に設置した超高真空用スパッタイオンポンプ２８により、１０−６Ｐａ台以下の超高真空雰囲気に維持されている。小型放射光発生装置２０は、放射線発生装置であるため、放射線遮蔽壁２９内に設置されている。
【００２４】
自己補正電極付測定子２２と接続された計測用ケーブル２３は、放射線遮蔽壁２９を介して、電離真空コントローラ３０および本発明の真空計用圧力補正装置３１に接続されている。
【００２５】
高周波加速空洞（図示せず）により所定の加速エネルギーを供給された電子ビーム２４は、偏向電磁石２７を通過する際に、軌道接線方向に放射光３２を放出する。また電子ビーム２４は、超高真空ビームダクト２１内を通過する際に、残留するガスとの相互作用で、高エネルギーγ線３３を放射する。さらに、放射された放射光３２の散乱光（図示せず）は、超高真空ビームダクト２１内面から光電子３４を発生させる。
【００２６】
その結果、自己補正電極付測定子２２のコレクタには、光電子３４が流入する。放射光３２および高エネルギーγ線３３との相互作用に伴い、計測用ケーブル２３内には、放射線ノイズが生じる。
【００２７】
真空計用圧力補正装置３１で、自己補正電極付測定子２２の補正電極にて外部から流入する光電子３４の電流値ＩＣＥを測定し、ダミーケーブル（図示せず）にて計測用ケーブル２３内に生じる放射線ノイズＩＣＡを測定し、電離真空コントローラ３０で測定した誤差成分を含んだコレクタでのイオン電流値から、誤差成分を除去し、実際の圧力値に対応したイオン電流値ＩＣＯを算出し、圧力換算表示する。
【００２８】
このような真空用圧力補正装置３１によれば、測定子へ流入する荷電粒子の影響のみならず、重要な圧力状報を伝達する計測用ケーブル２３に重畳する外部から流入する放射線等によるノイズ電流の影響をも排除できるため、苛烈な電気ノイズ発生源での超高真空環境の精密圧力測定が可能となる。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１から請求項３に記載された本発明の真空計用圧力補正装置においては、自己補正電極付測定子及びダミーケーブルを有する計測用ケーブルを真空計用圧力補正装置に接続して、ダミーケーブルから流入する放射線等に起因するノイズを計測して圧力補正を可能な構成としたため、既存の電離真空計コントローラと併用しながら、真空計測定子に流入する荷電粒子のみならず、圧力信号伝達系のケーブルで発生するノイズ電流による圧力値への影響を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る真空計用圧力補正装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の真空用圧力補正装置の適用例を示す構成図である。
【図３】従来の自己補正電極付測定子を示す側面図である。
【図４】自己補正電極付測定子に対応する真空計用圧力補正装置の従来技術を示すブロック図である。
【符号の説明】
１…真空計用圧力補正装置  ２…入力端子  ３…入力端子  ４…入力端子  ５…電離真空計コントローラ  ６…Ａ／Ｄ変換器  ７…ＲＯＭ  ８…Ｄ／Ａ変換器９…ＤＣアンプ  １０…ＤＣアンプ  １１…ＤＣアンプ  １２…差動アンプ  １３…差動アンプ  １４…差圧計算演算回路  １５…差圧計算演算回路  １６…補正圧力表示部  ２０…小型放射光発生装置  ２１…超高真空ビームダクト  ２２…自己補正電極付測定子  ２３…計測用ケーブル  ２４…電子ビーム  ２５…４極電磁石  ２６…６極電磁石  ２７…偏向電磁石  ２８…超高真空用スパッタイオンポンプ  ２９…放射線遮蔽壁  ３０…電離真空計コントローラ  ３１…真空計用圧力補正装置  ３２…放射光  ３３…高エネルギーγ線  ３４…光電子  ５０…自己補正電極付測定子  ５１…本体部  ５２…フランジ  ５３…フィラメント  ５４…グリッド  ５５…コレクタ  ５６…補正電極  ６０…真空計用圧力補正装置  ６１…入力端子  ６２…入力端子  ６３…電離真空計コントローラ  ６４…Ａ／Ｄ変換器  ６５…ＲＯＭ  ６６…Ｄ／Ａ変換器  ６７…ＤＣアンプ  ６８…ＤＣアンプ  ６９…差動アンプ  ７０…差動アンプ  ７１…差圧計算演算回路  ７２…補正圧力表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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