(57)【要約】【課題】高周波電気信号に反射等を起こして伝送特性が大きく劣化する。【解決手段】半導体素子６が搭載される基体１と、複数個のグランド配線導体２ｂおよび第１配線導体２ａと、前記グランド配線導体２ｂおよび第１配線導体２ａに電気的に接続しているグランド用パッド３ｂおよび入出力用パッド３ａと、第２配線導体４と、線材５ａが前記第２配線導体４に電気的に接続されているコネクター５とで形成され、前記入出力用パッド３ａの平面積が０．１９６ｍｍ２以下で、かつ基体１が５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成されている。【選択図】  図１
2004158572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４０ＧＨｚ〜８０ＧＨｚの電気信号を送受信する半導体素子が搭載される搭載部を有する基体と、該基体の前記搭載部より下面にかけて導出されている複数個のグランド配線導体および第１配線導体と、前記基体の下面に形成され、前記グランド配線導体および第１配線導体に電気的に接続している複数個のグランド用パッドおよび入出力用パッドと、前記基体の搭載部より上面もしくは側面にかけて導出されている第２配線導体と、導電性の線材と絶縁性の外囲体とから成り、線材が前記第２配線導体に電気的に接続されているコネクターとで形成され、前記入出力用パッドの平面積が０．１９６ｍｍ２以下であり、かつ前記基体が５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成されていることを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体素子収納用パッケージと４０ＧＨｚ〜８０ＧＨｚの電気信号を送受信する半導体素子とから成り、前記パッケージの搭載部に半導体素子を搭載固定するとともに該半導体素子の各電極を第１配線導体および第２配線導体に電気的に接続したことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高周波の電気信号を送受信する半導体素子を収納する半導体素子収納用パッケージ、およびその半導体素子収納用パッケージを用いて成る半導体装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電気信号を送受信する半導体素子を収容するための半導体素子収納用パッケージは、一般に、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成り、上面に半導体素子の搭載部が形成された基体と、タングステン、モリブデン、マンガン等の金属材料から成り、基体の半導体素子搭載部から下面にかけて被着導出された複数の電気信号の入出力用およびグランド用の配線導体と、この配線導体と電気的に接続するようにして基体の下面に形成された複数個のグランド用パッドおよび入出力用パッドと、基体の搭載部より上面もしくは側面にかけて導出されている出入力用の配線導体と、導電性の線材と絶縁性の外囲体とから成り、線材の一端が出入力用配線導体に接続され、他端が外部に導出されているコネクターとにより構成されている。
【０００３】
かかる半導体素子収納用パッケージは、その搭載部に電気信号を送受信する半導体素子がＡｕ−Ｓｎロウ材あるいは半田等の接合材を介して接着固定されるとともに、半導体素子の電極が入出力配線導体、グランド用配線導体および出入力配線導体にボンディングワイヤや接続用リボン、半田等の導電性接続材を介して接続され、その後、必要に応じて蓋体等で半導体素子を封止することによって半導体装置となる。
【０００４】
また前記半導体装置は基体の下面に形成されているグランド用パッドおよび入出力用パッドを外部電気回路基板の回路導体に半田バンプ等を介し接続させることによって内部に収容する半導体素子が外部電気回路に接続され、同時にコネクターに同軸ケーブル等を介し外部の通信装置等の外部機器を接続させることによって半導体素子と外部機器とが接続するようになっている。
【０００５】
なお、前記半導体装置に使用されている半導体素子は複数の電気信号を合成して一つの電気信号に変換する、或いは一つの電気信号を分離して複数の電気信号に変換する機能を有しており、外部電気回路から入出力用パッド及び第１配線導体を介して入力される５〜１０ＧＨｚの複数の電気信号は半導体素子で合成されて４０〜８０ＧＨｚの一つの電気信号となり、この４０〜８０ＧＨｚの電気信号は第２配線導体を介してコネクターに伝送されるとともにコネクターより外部の通信装置等の外部機器に伝送され、またコネクターを介して外部機器より伝送された４０〜８０ＧＨｚの電気信号は半導体素子で５〜１０ＧＨｚの複数の電気信号に変換され、各々の５〜１０ＧＨｚの電気信号は第１配線導体及び入出力用パッドを介して外部電気回路に伝送されることとなる。
【０００６】
また前記酸化アルミニウム質焼結体やムライト質焼結体等から成る基体はその線膨張係数が４×１０−６／℃〜７．５×１０−６／℃であるのに対し、外部電気回路基板は一般にガラスエポキシ樹脂材で形成されており、その線膨張係数は約１５×１０−６／℃程度であり、大きく相違することから外部電気回路基板の回路導体に入出力用パッドを半田バンプ等を介して接続した後、基体と外部電気回路基板に熱が作用すると基体と外部電気回路基板の熱膨張量の相違に起因して大きな応力が発生しこの応力によって入出力用パッドが基体より剥離したり、半田バンプに破断が発生して半導体素子と外部電気回路との間の接続が破られてしまう。そのためこの従来の半導体素子収納用パッケージ等は入出力用パッドを直径が１ｍｍ以上の円形形状（平面積が０．７８５ｍｍ２以上の円形形状）とし基体と入出力用パッドとの接合強度を強くするとともに外部電気回路基板の回路導体と入出力用パッドとを接続する半田バンプ等の量を多くし破断が発生しないようにしている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−１６４４６６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置においては、第１配線導体と外部電気回路基板の回路導体とを接続する入出力用パッドが直径１ｍｍ以上の円形形状（平面積で０．７８５ｍｍ２以上の円形形状）をなし、第１配線導体の外形寸法（直径が約０．３ｍｍ以上、平面積で約０．０７ｍｍ２以上の円形形状等）に比し約１０倍大きく、入出力用パッドのインピーダンスが第１配線導体や外部電気回路基板の回路導体に比べ低いものとなっている。そのためこの入出力用パッドを介して第１配線導体と外部電気回路基板の回路導体とを接続するとともに５〜１０ＧＨｚの電気信号を伝送させた場合、５〜１０ＧＨｚの電気信号は高周波信号であるためインピーダンスが低い入出力用パッドで反射等を起こし、伝送特性が大きく劣化してしまうという欠点を有していた。
【０００９】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は入出力用パッドでの高周波の電気信号の反射等を有効に防止し、外部電気回路と半導体素子とを接続する第１配線導体および入出力用パッドでの電気信号の伝送特性を改善した半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、４０ＧＨｚ〜８０ＧＨｚの電気信号を送受信する半導体素子が搭載される搭載部を有する基体と、該基体の前記搭載部より下面にかけて導出されている複数個のグランド配線導体および第１配線導体と、前記基体の下面に形成され、前記グランド配線導体および第１配線導体に電気的に接続している複数個のグランド用パッドおよび入出力用パッドと、前記基体の搭載部より上面もしくは側面にかけて導出されている第２配線導体と、導電性の線材と絶縁性の外囲体とから成り、線材が前記第２配線導体に電気的に接続されているコネクターとで形成され、前記入出力用パッドの平面積が０．１９６ｍｍ２以下であり、かつ前記基体が５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
また本発明の半導体装置は、上記構成の半導体素子収納用パッケージと４０ＧＨｚ〜８０ＧＨｚの電気信号を送受信する半導体素子とから成り、前記パッケージの搭載部に半導体素子を搭載固定するとともに該半導体素子の各電極を第１配線導体および第２配線導体に電気的に接続したことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置によれば、第１配線導体を外部電気回路基板の回路導体に接続する入出力用パッドの平面積を０．１９６ｍｍ２以下とし、入出力用パッドのインピーダンスを第１配線導体や外部電気回路基板の回路導体のインピーダンスに近似させたことから入出力用パッドを介して第１配線導体と外部電気回路基板の回路導体とを接続するとともに５〜１０ＧＨｚの高周波の電気信号を伝送させたとしても入出力用パッドで大きな反射等を起こすことはなく、伝送特性を優れたものとなすことができる。
【００１３】
また本発明の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置によれば、基体を５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成し、その線膨張係数を約１２×１０−６／℃としたことからガラスエポキシ樹脂等の樹脂材で形成されている外部電気回路基板の線膨張係数に近似し、外部電気回路基板の回路導体に入出力用パッドを半田バンプ等を介して接続した後、基体と外部電気回路基板に熱が作用したとしても外部電気回路基板との間には両者の線膨張係数の相違に起因する大きな熱応力が発生することはなく、これによって入出力用パッドを基体に強固に接合させておくことができるとともに半田バンプ等に破断が発生するのを有効に防止して半導体素子と外部電気回路基板との接続の信頼性を極めて高いものとなすことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。
図１は本発明の半導体素子収納用パッケージの一実施礼を示し、１は基体、２ａは第１配線導体、２ｂはグランド配線導体、３ａは入出力用パッド、３ｂはグランド用パッド、４は第２配線導体、５はコネクターである。これら基体１、第１配線導体２ａ、グランド配線導体２ｂ、入出力用パッド３ａ、グランド用パッド３ｂ、第２配線導体４およびコネクター５により半導体素子６を収納するための半導体素子収納用パッケージ７が基本的に構成される。
【００１５】
前記基体１は、５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成されており、その上面に半導体素子６を搭載するための搭載部１ａを有し、該搭載部１ａに半導体素子６がガラス、樹脂、ロウ材等の接着剤を介して接着固定される。
【００１６】
前記基体１は、例えば、ＢａＯを５〜６０質量％含有するガラスに、フィラーとしてのクォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイト、フォルステライトの少なくとも１種と、有機樹脂バインダー、及び分散剤、可塑剤、有機溶媒を加えて泥漿物を作るとともに該泥漿物をドクターブレード法やカレンダーロール法を採用することによってグリーンシート（生シート成形体）となし、しかる後、前記グリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともにこれを複数枚積層し約８５０℃〜１３００℃の温度で焼成することによって製作される。
【００１７】
また前記基体１は、半導体素子の搭載部１ａから下面にかけて複数個の第１配線導体２ａおよびグランド用配線導体２ｂが形成されており、該各配線導体２ａ、２ｂは半導体素子の電気信号入出力用、接地用の各電極を、入出力用パッド３ａやグランド用パッド３ｂに接続するための導電路として作用し、搭載部１ａ側の一端には半導体素子６の電気信号入出力用、接地用の各電極が導電性接続材を介して電気的に接続される。
【００１８】
前記第１配線導体２ａおよびグランド用配線導体２ｂ、入出力用パッド３ａおよびグランド用パッド３ｂは、銅、銀、金、パラジウム等の金属材料から成り、例えば銅から成る場合であれば、銅粉末に有機溶剤等を添加して成る金属ペーストを基体１となるグリーンシートの表面にスクリーン印刷法により所定パターンに印刷しておくことによって形成される。
【００１９】
この第１配線導体２ａおよびグランド用配線導体２ｂの基体１下面側の一端は、それぞれ対応する入出力用パッド３ａおよびグランド用パッド３ｂと電気的に接続しており、これらの入出力用パッド３ａ、グランド用パッド３ｂを外部電気回路の所定の信号用や接地用等の回路導体に接続することにより、半導体素子６の電気信号入出力用、接地用の各電極が外部電気回路と電気的に接続される。
【００２０】
また前記基体１は、半導体素子の搭載部１ａから上面や側面等にかけて第２配線導体４が形成されており、該第２配線導体４は半導体素子６の電極をコネクター５の線材５ａに接続するための導電路として作用し、搭載部１ａ側の一端には半導体素子６の電極が導電性接続材８を介して電気的に接続される。
【００２１】
前記第２配線導体４は、上述の第１配線導体２ａ等と同様に、銅、銀、金、パラジウム等の金属材料から成り、例えば銅から成る場合であれば、銅粉末に有機溶剤等を添加して成る金属ペーストを基体１となるグリーンシートの表面にスクリーン印刷法により所定パターンに印刷しておくことによって形成される。
【００２２】
この第２配線導体４の基体１外表面側の一端はコネクター５の線材５ａと電気的に接続しており、このコネクター５を同軸ケーブル等を介して通信装置等の外部機器に接続することにより半導体素子６と外部機器との間で高周波信号の送受信が行われる。
【００２３】
前記コネクター５は、半導体素子収納用パッケージ７の第２配線導体４を同軸ケーブル等を介して外部機器に接続するための接続体として作用し、例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属の線材５ａの周囲を、ホウ珪酸系ガラス等の絶縁性の外囲体５ｂで取り囲んだ構造である。
【００２４】
前記線材５ａと外囲体５ｂとから成るコネクター５は、例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金から成る線材５ａを、鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成る円筒状の容器の中央にセットし、容器内にホウ珪酸ガラス等のガラス粉末を充填した後、ガラス粉末を加熱溶融させて線材５ａの周囲に被着させることによって製作される。
【００２５】
かくして上述の半導体素子収納用パッケージによれば、基体１の搭載部１ａに半導体素子６を搭載するとともにガラス、樹脂、ロウ材等の接着材を介して固定し、しかる後、半導体素子６の各電極を第１配線導体２ａおよびグランド用配線導体２ｂに、例えば、ボンディングワイヤ８を介して接続し、最後に蓋体１０を基体１の上面に封止材を介して接合させ、半導体素子６を気密に封入することによって半導体装置１１となる。
【００２６】
この半導体装置１１は基体１下面の入出力用パッド３ａおよびグランド用パッド３ｂが外部電気回路基板の所定の信号用や接地用等の回路導体に半田バンプ等の外部端子を介して接続され、これによって半導体素子６の信号用、接地用の各電極は外部電気回路と電気的に接続される。
【００２７】
また、この半導体装置１１に取着されているコネクター５の線材５ａに同軸ケーブル等の外部接続用の導線を接続することにより、半導体素子６の電極が通信装置等の外部機器に接続される。
【００２８】
そしてかかる半導体装置１１は、外部電気回路から供給される５〜１０ＧＨｚの複数の電気信号を入出力用パッド３ａ及び第１配線導体２ａを介して半導体素子６に入力させ、半導体素子６でこれら入力された電気信号を合成して、４０〜８０ＧＨｚの電気信号とするとともにこれを第２配線導体４を介してコネクター５に出力し、該コネクター５の線材５ａを介して外部の通信装置等の外部機器に伝送する、或いは、外部の通信装置等の外部機器から伝送された４０〜８０ＧＨｚの一つの電気信号をコネクター５の線材５ａ及び第２配線導体４を介して半導体素子６に入力し、半導体素子６で入力された４０〜８０ＧＨｚの電気信号を５〜１０ＧＨｚの複数の電気信号に変換するとともにこれらの個々の電気信号を第１配線導体２ａ及び入出力用パッド３ａを介して外部電気回路に供給することとなる。
【００２９】
本発明の半導体素子収納用パッケージおよびこれを用いた半導体装置においては、第１配線導体２ａと外部電気回路基板の回路導体を接続する入出力用パッド３ａの平面積を０．１９６ｍｍ２以下としておくことが重要である。
【００３０】
前記入出力用パッド３ａの平面積を０．１９６ｍｍ２以下としておくと入出力用パッド３ａのインピーダンスが第１配線導体２ａと外部電気回路基板の回路導体等のインピーダンスに近似し、その結果、入出力用パッド３ａを介して第１配線導体２ａと外部電気回路基板の回路導体とを接続するとともに５〜１０ＧＨｚの高周波の電気信号を伝送させたとしても入出力用パッド３ａで大きな反射等を起こすことはなく、伝送特性が極めて優れたものとなすことができる。
【００３１】
なお、前記入出力用パッド３ａはその平面積が０．１９６ｍｍ２を超えると第１配線導体２ａと外部電気回路基板の回路導体とを入出力用パッド３ａを介して接続した後、５〜１０ＧＨｚの高周波の電気信号が伝送された場合、入出力用パッド３ａで電気信号に反射が発生し伝送特性が大きく劣化してしまう。従って、前記入出力用パッド３ａはその平面積が０．１９６ｍｍ２以下のものに特定される。
【００３２】
また前記入出力用パッド３ａの平面積を０．１９６ｍｍ２以下にする方法としては、金属ペーストを基体１となるグリーンシートに印刷しておくことによって入出力用パッド３ａを形成する際、スクリーン印刷におけるスクリーンマスクの開口を０．１９６ｍｍ２以下としておくことによって行われる。
【００３３】
更に、本発明の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置においては入出力用パッド３ａが形成されている基体１を５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成しておくことが重要である。
【００３４】
前記基体１を、５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成すると、かかるガラスセラミック焼結体の線膨張係数が約１２×１０−６／℃であり、ガラスエポキシ樹脂等の樹脂材で形成されている外部電気回路基板の線膨張係数に近似することから外部電気回路基板の回路導体に入出力パッド３ａを半田バンプ等を介して接続した後、基体１と外部電気回路基板に熱が作用したとしても基体１と外部電気回路基板との間には両者の線膨張係数の相違に起因する大きな応力が発生することはなく、その結果、入出力用パッド３ａの平面積が０．１９６ｍｍ２以下と小さいものであっても入出力用パッド３ａを基体１に強固に接合させておくことができるできるとともに半田バンプ等に破断が発生するのを有効に防止して半導体素子６と外部電気回路との接続の信頼性を極めて高いものとなすことができる。
【００３５】
なお、前記基体１を構成する、５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体において、酸化バリウム（ＢａＯ）を５〜６０質量％含有しているガラスを用いるのは該酸化バリウム含有ガラスは低軟化点でガラス量を少なくしてフィラーを多く添加することが可能となるためであり、酸化バリウムの量を５〜６０質量％の範囲とするのは、５質量％より少ないとガラスの低軟化点化が困難となり、また耐薬品性が著しく低下してしまうためである。特に酸化バリウムの量は２０〜４０質量％が望ましい。
【００３６】
また前記ガラスセラミック焼結体の酸化バリウム含有ガラスはその屈伏点が４００〜８００℃に特定され、特に４００〜７００℃であることが望ましい。これは酸化バリウム含有ガラスとフィラーとから成る成形体を焼成してガラスセラミック焼結体を作製する際、有機樹脂バインダーを混合しているが、焼成時に前記有機樹脂バインダーを効率良く除去するとともに、基体１と同時に形成される第１配線導体２ａ等との焼成条件をマッチングさせるためであり、屈伏点が４００℃より低いと、低い温度で焼成が開始され、焼結開始温度が６００〜８００℃である第１配線導体２ａ等を構成する銀、銅、金等は基体１の焼成と同時に基体１に焼成によって被着形成するのが困難となり、また成形体の緻密化が低温で開始するため有機樹脂バインダーの分解揮散が困難となり、基体１内に有機樹脂バインダーが残留し、特性に悪影響を及ぼす危険性があるためである。一方、屈伏点が８００℃より高いと酸化バリウム含有ガラスの量を多くしないと焼結しにくくなるため、高価な酸化バリウム含有ガラスを大量に必要とするために焼結体のコストを高めることになってしまう。
【００３７】
前記酸化バリウム含有ガラスとしては、例えば、
ＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−ＣａＯ
ＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２−ＳｒＯ
ＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｂ２Ｏ３−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−ＺｒＯ２
ＳｉＯ２−ＢａＯ−Ｂ２Ｏ３−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ
等の組成物も好適に使用される。
【００３８】
前記酸化バリウム含有ガラスと組み合わされるフィラーはガラスセラミック焼結体の熱膨張特性などの目的に応じて適当な比率で混合される。前記酸化バリウム含有ガラスは、フィラー無添加では収縮開始温度は７００℃以下で、８５０℃以上では溶融してしまい、第２配線導体２ａ等を基体１に同時焼成により被着形成することができない。しかし、フィラーを混合することによって焼成温度を上昇させるとともにフィラーを液相焼結させるための液相を形成させることができる。また、成形体全体の収縮開始温度を上昇させることができるため、このフィラーの含有量の調整により第１配線導体２ａ等との同時焼成条件をマッチングさせることができる。
【００３９】
前記ガラスセラミック焼結体の酸化バリウム含有ガラスとフィラーの比率は、酸化バリウム含有ガラスが２０〜８０体積％、フィラーが８０〜２０体積％に特定される。この酸化バリウム含有ガラスとフィラーの量を上記の範囲とするのは酸化バリウム含有ガラスの量が２０体積％より少ない、言い換えればフィラーが８０体積％より多いと液相焼結することができずに高温で焼成する必要があり、その場合に融点が低い銅や銀、金またはこれらを主成分とする金属から成る第１配線導体２ａ等を基体１と同時焼成によって基体１の所定位置に被着形成させることができなくなる危険性があり、また酸化バリウム含有ガラスが８０体積％より多い、言い換えるとフィラーが２０体積％より少ないとガラスセラミック焼結体の焼結開始温度が低くなるために第１配線導体２ａ等と同時焼成できなくなる危険性があるためである。
【００４０】
また、前記フィラーは、酸化バリウム含有ガラスの屈伏点に応じ、その量を適宜調整することが望ましい。すなわち、酸化バリウム含有ガラスの屈伏点が４００〜７００℃と低い場合、低温での焼結性が高まるためフィラーの含有量は４０〜８０体積％と比較的多く配合できる。これに対して、酸化バリウム含有ガラスの屈伏点が７００〜８００℃と比較的高い場合、焼結性が低下するためフィラーの含有量は２０〜５０体積％と比較的少なく配合することが望ましい。
【００４１】
更に前記ガラスセラミック焼結体は、前記フィラー中および／またはガラス中にジルコニウム化合物（Ｚｒ化合物）を酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）換算で０．１〜３０質量％の割合で含有させておくことが重要である。
【００４２】
前記Ｚｒ化合物の含有はガラスセラミック焼結体の耐酸化性を高めるためであり、第１配線導体２ａ等の表面にニッケル等のめっきを施す際、基体１をめっき液やめっき用処理液に浸漬したとしても基体１が酸化、腐食するのを有効に防止することができ、これによって基体１の信頼性を確保することができる。
【００４３】
前記Ｚｒ化合物としては、例えば、ＺｒＯ２、ＺｒＳｉＯ２、ＣａＯ・ＺｒＯ２、ＺｒＢ２、ＺｒＰ２Ｏ７、ＺｒＢの群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。このＺｒ化合物は化合物粉末としてフィラー中の一成分として混合する。この場合、添加時のＺｒ化合物、特にＺｒＯ２のＢＥＴ比表面積によって、ガラスセラミック焼結体の耐薬品性が変化する傾向にあり、ＢＥＴ比表面積が２５ｍ２／ｇ以上であることが望ましく、ＢＥＴ比表面積が２５ｍ２／ｇよりも小さいと耐薬品性の改善効果が小さくなる傾向にある。また他の配合形態としては、酸化バリウム含有ガラスの一成分として酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）を含有させておいてもよい。
【００４４】
前記Ｚｒ化合物は、また酸化バリウム含有ガラス及び／又はフィラーへの添加量がＺｒＯ２換算で０．１質量％未満であると、ガラスセラミック焼結体の耐薬品性を改善する効果が不十分となり、基体１がめっき液や、フッ酸等のめっき前処理液等で酸化腐食され、外観不良や基体としての信頼性に劣化が生じてしまい、３０質量を超えると、焼結性が著しく低下し、基体としての機械的強度が不十分なものとなる。従って、Ｚｒ化合物の酸化バリウム含有ガラス及び／又はフィラーへの添加量はＺｒＯ２換算で０．１〜３０質量％の範囲に特定され、０．２〜１０質量％の範囲がより一層好ましい。
【００４５】
前記ガラスセラミック焼結体は、所定の量に秤量された酸化バリウム含有ガラス、フィラー、Ｚｒ化合物に、適当な成形の有機樹脂バインダーを添加した後、ドクターブレード法や圧延法、金型プレス法等の成形手段により任意の形状、例えば、シート状に成形し、しかる後、焼成することによって製作される。
【００４６】
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば変更は可能である。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置によれば、第１配線導体を外部電気回路基板の回路導体に接続する入出力用パッドの平面積を０．１９６ｍｍ２以下とし、入出力用パッドのインピーダンスを第１配線導体や外部電気回路基板の回路導体のインピーダンスに近似させたことから入出力用パッドを介して第１配線導体と外部電気回路基板の回路導体とを接続するとともに５〜１０ＧＨｚの高周波の電気信号を伝送させたとしても入出力用パッドで大きな反射等を起こすことはなく、伝送特性を優れたものとなすことができる。
【００４８】
また本発明の半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置によれば、入出力用パッドが形成されている基体を５乃至６０質量％のＢａＯを含有する屈伏点が４００乃至８００℃のガラス２０乃至８０体積％と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも１種から成るフィラー２０乃至８０体積％とから成り、前記ガラス及び／またはフィラー中にＺｒ化合物がＺｒＯ２換算で０．１乃至３０質量％含有しているガラスセラミック焼結体で形成し、その線膨張係数を約１２×１０−６／℃としたことからガラスエポキシ樹脂等の樹脂材で形成されている外部電気回路基板の線膨張係数に近似し、外部電気回路基板の回路導体に入出力用パッドを半田バンプ等を介して接続した後、基体と外部電気回路基板に熱が作用したとしても外部電気回路基板との間には両者の線膨張係数の相違に起因する大きな熱応力が発生することはなく、これによって入出力用パッドを基体に強固に接合させておくことができるとともに半田バンプ等に破断が発生するのを有効に防止して半導体素子と外部電気回路基板との接続の信頼性を極めて高いものとなすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体素子収納用パッケージおよびこの半導体素子収納用パッケージを用いた半導体装置の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１・・・・・基体
１ａ・・・・搭載部
２ａ・・・・第１配線導体
２ｂ・・・・グランド配線導体
３ａ・・・・入出力用パッド
３ｂ・・・・グランド用パッド
４・・・・・第２配線導体
５・・・・・コネクター
５ａ・・・・線材
５ｂ・・・・外囲体
６・・・・・半導体素子
７・・・・・半導体素子収納用パッケージ
８・・・・・ボンディングワイヤ
１０・・・・蓋体
１１・・・・半導体装置
【図１】
2004158572.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月19日(2003.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
従来、電気信号を送受信する半導体素子を収容するための半導体素子収納用パッケージは、一般に、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成り、上面に半導体素子の搭載部が形成された基体と、タングステン、モリブデン、マンガン等の金属材料から成り、基体の半導体素子搭載部から下面にかけて被着導出された複数の入出力用配線導体（第１配線導体）およびグランド用配線導体と、この配線導体と電気的に接続するようにして基体の下面に形成された複数個のグランド用パッドおよび入出力用パッドと、基体の搭載部より上面もしくは側面にかけて導出されている出入力用配線導体（第２配線導体）と、導電性の線材と絶縁性の外囲体とから成り、線材の一端が出入力用配線導体（第２配線導体）に接続され、他端が外部に導出されているコネクターとにより構成されている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
かかる半導体素子収納用パッケージは、その搭載部に電気信号を送受信する半導体素子がＡｕ−Ｓｎロウ材あるいは半田等の接合材を介して接着固定されるとともに、半導体素子の電極が入出力配線導体（第１配線導体）、グランド用配線導体および出入力配線導体（第２配線導体）にボンディングワイヤや接続用リボン、半田等の導電性接続材を介して接続され、その後、必要に応じて蓋体等で半導体素子を封止することによって半導体装置となる。