(57)【要約】【課題】本発明の目的は、水晶振動子の製造工程において、炭酸ガススノーを用いた水晶振動子の電極形成の工程と封止の工程のあいだに炭酸ガススノーを水晶振動子の電極膜に当てることで水晶振動子の電極膜の平滑方法を提供することである。【解決手段】本発明は、水晶振動子の電極膜の平滑方法であって、先の水晶振動子の電極形成の工程と封止の工程のあいだに炭酸ガススノーを水晶振動子の電極膜に当てることを特徴として課題を解決するものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子の電極膜の平滑方法であって、
該水晶振動子の電極形成の工程と封止の工程のあいだに炭酸ガススノーを該水晶振動子の電極膜に当てることを特徴とする炭酸ガススノーを用いた水晶振動子の電極膜の平滑方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は水晶振動子の製造工程において、炭酸ガススノーを用いた水晶振動子の電極膜の平滑方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来は水晶振動子の製造工程のなかで行われる所望の周波数を得る水晶振動子の周波数調整の方法としては、主に水晶振動子の電極を形成する金や銀などの材料を、真空蒸着法を用いて電極形成面に蒸着させることが一般的に行われていた。
【０００３】
先述の真空蒸着法を用いた周波数調整の方法では高価な真空蒸着装置を必要とし、主に水晶振動子の電極を形成する金や銀などの材料を電極形成面に蒸着させるのが一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年電子部品は搭載して使用される機器の小型化に伴って極めて急激なその容器形状の外形サイズの小型化、及び低背化の市場からの要求があり、その結果として水晶振動子やアルミナセラミックなどの材質から成る容器の基板や壁の厚さも極力薄くなっており、それらに囲まれた容器のサイズも小さくまた、薄くなっているのが現状である。
【０００５】
ここで、先述の真空蒸着装置を用いた水晶振動子の周波数調整の方法では高いコストの、メインテナンスに工数を要する真空蒸着装置を必要としながらも、蒸着膜の電極への付着が弱いといった問題があった。
【０００６】
また、真空蒸着法によって形成される蒸着膜は、真空蒸着装置内のヒーターのなかで融解した金や銀などの粒子状の蒸着膜の材料が飛散して電極に付着するために、蒸着膜自体の膜質が粗いといった問題があった。
【０００７】
本発明は、このような技術的背景のもとでなされたものである。
したがって、本発明の目的は先述の問題を解決する炭酸ガススノーを用いた水晶振動子の電極表面の平滑方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は水晶振動子の電極膜の平滑方法であって、先の水晶振動子の電極形成の工程と封止の工程のあいだに炭酸ガススノーを水晶振動子の電極膜に当てることを特徴とする。
【０００９】
【本発明の実施の形態】
以下、添付の図面に従がってこの発明の実施例を説明する。なお各図においての、同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１０】
図１は本発明である炭酸ガススノー２を使用した電極膜３の改質工程を水晶振動子１への電極形成工程と封止の工程とのあいだに有するフローチャートである。
まず、水晶振動子の小片であるブランクを洗浄して、その後水晶振動子１に電極を蒸着により形成する。水晶振動子のそれぞれの小片は、容器に接着剤を介して載置する組み立て工程を経て、電極膜３の改質工程をもつ。次に所望の周波数で水晶振動子が振動するように周波数調整を行う。その後容器に蓋をかぶせ気密封止する封止の工程を行う。
【００１１】
図２は水晶振動子１の電極膜３に炭酸ガススノー２を噴射する様子を示した模式図である。ノズル５の先端の噴出口６から吹き出す炭酸ガススノー２を、マスク７に装填された水晶振動子１の電極形成面に吹き付ける。吹き付ける距離は、改質の度合い、電極膜３の形成材料などにより適宜調整する。なお、図２のダクト１１後方の矢印は、水晶振動子１の電極形成面から弾き飛ばされるように剥ぎ取られた汚れの粒子１２が炭酸ガススノーの粒子９とともに吸引され外部に排出される流れを示すものである。
【００１２】
図３は図２と同じく水晶振動子１の電極膜３に炭酸ガススノー２を噴射する様子を示した模式図である。  図３には水晶振動子１の電極形成面の略拡大図が図示されている。図３の略拡大図にあるように膜質の改質を行う電極形成物質の層の粒子８は、炭酸ガススノーの粒子９の衝突によりつきつぶされ、積み重なって形成される。この工程の際に、水晶振動子１の電極形成面の汚れは弾き飛ばされるように剥ぎ取られ、適当な場所に設置してあるダクト１１を通して吸引され外部に排出される。図２のダクト１１後方の矢印は、水晶振動子１の電極形成面から弾き飛ばされるように剥ぎ取られた汚れの粒子１２が炭酸ガススノーの粒子９とともに吸引され外部に排出される流れを示すものである。
【００１３】
図４は、機械的に電極形成面をつきつぶし、電極膜３の改質を行う様子を示す概念的な模式図である。本発明により、機械的に電極形成面をつきつぶし、電極膜３の改質を行うのと同様な電極膜３の改質を行うことができる。なお、本実施例の電極形成面の膜質の改質を行う程度は炭酸ガススノーの噴出圧と電極形成面に対するノズルの位置の距離や角度の調整や、アシストガスを使用する場合は、その圧力や流量の調整により容易に決めることが出来る。
【００１４】
図５は真空蒸着装置を用いて金や銀といった材料を、真空蒸着法を用いて電極形成面に蒸着させる様子を示した概略の模式図である。ヒーター内の材料は例えばイオンビームの照射などにより加熱されて蒸散して電極形成面に蒸着する。したがって、図５中の略拡大図にあるように、電極形成面は拡大してみると電極膜３自体の膜質が粗く、そのために電極膜３の付着が弱くなるのが一般的であった。
【００１５】
図１に示すフローチャートでは、組み立て工程後に電極膜３の改質工程を行った例を示したが、電極形成のすぐ後で組み立て工程前に電極膜３の改質工程を行っても同様な効果が得られる。この場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００１６】
図６は従来の工程を示すフローチャートである。水晶振動子の小片であるブランクを洗浄し、蒸着用のマスクに装填された水晶振動子に電極を形成する。電極が形成された水晶振動子のそれぞれの小片は容器に接着剤を介して載置される組み立ての工程を経て、所望の周波数で水晶振動子が振動するように水晶振動子の電極を形成する材料を真空蒸着法により電極形成面に電極形成材料を蒸着させる周波数調整を行う。その後容器に蓋をかぶせ気密封止する封止の工程を行う。
【００１７】
【発明の効果】
炭酸ガススノーを用いて水晶振動子を周波数調整するために、一例を挙げればチリ状の粒子をふくんだ周波数調整する部分の電極形成物質の層を粒子状の炭酸ガススノーで弾き飛ばしながら剥ぎ取るように周波数調整する。かつ粒子状の炭酸ガススノーが液体とはならず気化するために、周波数調整しながら吸引するだけで気化した粒子状の炭酸ガススノーとともに不要なチリ状の粒子を除去する効果を有する。
【００１８】
また、前述のように電極形成面の膜質の改質を行う程度は炭酸ガススノーの噴出圧と周波数調整を行う電極形成面に対するノズルの位置の調整により容易に決めることが出来るが、本発明による電極膜の改質工程によれば周波数の変化をさせずに水晶振動子の直列共振抵抗値を改善することが出来る。これは電極形成面の状態を炭酸ガススノーの粒子の衝突によりつきつぶすように平滑化しかつ安定化する効果による。
【００１９】
電極形成面の状態を炭酸ガススノーの粒子の衝突によりつきつぶすように平滑化しかつ安定化することにより、不要なチリ状の粒子の電極形成面への本発明による電極膜の改質工程の後の付着を防ぐことが出来る。ここで水晶振動子の直列共振抵抗値の改善の度合いも炭酸ガススノーの噴出圧と周波数調整を行う電極形成面に対するノズルの位置の調整により容易に決めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の炭酸ガススノーを使用した電極膜の改質工程を水晶振動子への電極形成工程と封止の工程とのあいだに有するフローチャートである。
【図２】図２は水晶振動子の電極膜に炭酸ガススノーを噴射する様子を示した模式図である。
【図３】図３は水晶振動子の電極膜に炭酸ガススノーを噴射する様子を示した模式図である。
【図４】機械的に電極形成面をつきつぶし、電極膜の改質を行う様子を示す概念的な模式図である。
【図５】図５は真空蒸着装置を用いて金や銀といった材料を、真空蒸着法を用いて電極形成面に蒸着させる様子を示した概略の模式図である。
【図６】図６は従来の工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  水晶振動子
２  炭酸ガススノー
３  電極膜
４  ブランク
５  ノズル
６  噴出口
７  マスク
８  電極形成物質の層の粒子
９  炭酸ガススノーの粒子
１０  汚れ
１１  ダクト
１２  汚れの粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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