(57)【要約】【課題】迅速に、故障解析ができ、修理作業が行えるＩＣテスタ及び試験モジュールを実現することを目的にする。【解決手段】本発明は、複数の試験モジュールにより被試験対象の試験を行うＩＣテスタに改良を加えたものである。本装置は、試験モジュールごとに設けられ、診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部を設け、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データをモジュール記憶部に格納することを特徴とする装置である。【選択図】        図１
2004163194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の試験モジュールにより被試験対象の試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記試験モジュールごとに設けられ、診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部を設け、前記試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納することを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
複数の試験モジュールにより被試験対象の試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記試験モジュールごとに設けられ、診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部と、
前記試験モジュールごとに設けられ、試験モジュールの制御を行うと共に、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納する制御部と
を有することを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項３】
ＩＣテスタに複数設けられ、被試験対象の試験を行う試験モジュールにおいて、
診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部を設け、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方が行われ、診断データまたは校正データが前記モジュール記憶部に格納されることを特徴とする試験モジュール。
【請求項４】
ＩＣテスタに複数設けられ、被試験対象の試験を行う試験モジュールにおいて、
診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部と、
試験モジュールの制御を行うと共に、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納する制御部と
を有することを特徴とする試験モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象、例えば、ＩＣ，ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタ及び試験モジュールに関し、迅速に、故障解析ができ、修理作業が行えるＩＣテスタ及び試験モジュールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣテスタは被試験対象、例えば、ＩＣ，ＬＳＩ等に試験信号を与え、被試験対象の出力により、被試験対象の良否の判定を行うものである。このような装置は、例えば、特許文献１等に示されるように、試験前に診断を行い、動作確認や校正を行っている。以下図２を用いて説明する。
【０００３】
図２において、複数の試験モジュール１は例えばＤＣ電圧測定モジュール、高周波発生・測定モジュール、デジタルファンクションモジュール等で、制御バスＢに接続され、制御部１１を有し、図示しない被試験対象（以下ＤＵＴ）を試験する。制御部１１は、試験モジュール１の内部の制御を行う。ここで、ＤＣ電圧測定モジュールとは、直流電圧を発生するＤＵＴの試験を行う。高周波発生・測定モジュールは、無線用ＤＵＴに対しての高周波信号の試験を行う。デジタルファンクションモジュールは、ＤＵＴに対してデジタル信号を出力すると共に、ＤＵＴからデジタル信号を入力し、デジタル試験を行う。
【０００４】
記憶部２は例えばハードディスクで、ＤＵＴを測定するための各部（試験モジュール１等）を制御する制御プログラム、動作保証を行うための動作診断を制御する診断プログラム、精度保証のため校正制御を行う校正プログラム、プログラムの実行結果などが格納される。テストシステムコントローラ（以下ＴＳＣ）３は、記憶部２に接続すると共に、制御バスＢに接続し、記憶部２の各プログラムにより、装置全体の制御を行う。フレキシブルディスク４はＴＳＣ３からの診断結果を格納する。
【０００５】
このような装置の動作を以下に説明する。試験前に、ＴＳＣ３は、記憶部２の診断プログラム、校正プログラムにより各試験モジュール１の制御部１１を動作させ、制御部１１に診断、校正を行わせる。制御部１１は、試験モジュール１の診断、校正を行い、診断、校正結果を、バスＢを介して、ＴＳＣ３に渡す。ＴＳＣ３は記憶部２に結果を格納する。記憶部２に格納した診断、校正結果を、ＴＳＣ３は、ＣＲＴ、ＬＣＤ等の表示器（図示せず）に表示する。そして、図示しないキーボード等の操作により、ＴＳＣ３は、診断、校正結果を、フレキシブルディスク４に格納する。
【０００６】
表示器の表示結果により、使用者は、不具合が発生した試験モジュール１を取り外し（ａ）、正常な試験モジュール１を取り付ける（ｂ）。そして、不具合が発生した試験モジュール１とフレキシブルディスク４とを、修理業者に渡す。フレキシブルディスク４の内容に基づいて、修理業者は不具合が発生した試験モジュール１の修理を行う。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−９６７５８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ＩＣテスタは多数の試験モジュール１から成り立っているので、試験モジュール１の制御部１１が個別に診断、校正を行い、診断、高速化を図っている。しかし、制御部１１が、同時にＴＳＣ３に診断、校正の細部の結果を送信すると、制御バスＢの競合がおき、逆に処理速度が落ちてしまうので、診断、校正の結果のみをＴＳＣ３に送っている。この結果、不具合が発生した試験モジュール１の故障解析に充分な情報が得られれず、再度、試験モジュール１の診断、校正を行い不良個所を特定しなければならなかった。
【０００９】
また、フレキシブルディスク４に診断結果を格納して、修理業者に渡すので、作業に手間がかかると共に、診断結果の格納ミスが発生してしまう。そして、修理業者には、多くの同じ種類の試験モジュール１が集まるので、どの試験モジュール１とフレキシブルディスク４とが対応するかを管理しなければならず、管理ミスが発生し、不良個所の特定に手間どってしまうという問題点があった。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、迅速に、故障解析ができ、修理作業が行えるＩＣテスタ及び試験モジュールを実現することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
第１の本発明は、
複数の試験モジュールにより被試験対象の試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記試験モジュールごとに設けられ、診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部を設け、前記試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納することを特徴とするものである。
第２の本発明は、
複数の試験モジュールにより被試験対象の試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記試験モジュールごとに設けられ、診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部と、
前記試験モジュールごとに設けられ、試験モジュールの制御を行うと共に、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納する制御部と
を有することを特徴とするものである。
第３の本発明は、
ＩＣテスタに複数設けられ、被試験対象の試験を行う試験モジュールにおいて、
診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部を設け、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方が行われ、診断データまたは校正データが前記モジュール記憶部に格納されることを特徴とするものである。
第４の本発明は、
ＩＣテスタに複数設けられ、被試験対象の試験を行う試験モジュールにおいて、
診断データまたは校正データの少なくとも一方を格納するモジュール記憶部と、
試験モジュールの制御を行うと共に、試験モジュールの診断または校正の少なくとも一方を行い、診断データまたは校正データを前記モジュール記憶部に格納する制御部と
を有することを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図２と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１３】
図１において、複数の試験モジュール５は試験モジュール１の代わりに設けられ、例えばＤＣ電圧測定モジュール、高周波発生・測定モジュール、デジタルファンクションモジュール等で、制御バスＢに接続され、メモリ５１、制御部５２を有し、図示しないＤＵＴを試験する。メモリ５１はモジュール記憶部、例えばＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｅｒａｓａｂｌｅ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）で、診断、校正のログデータ（診断データ、校正データ）を格納する。制御部５２は、試験モジュール５の制御を行うと共に、試験モジュール５の診断、校正を行い、メモリ５１にログデータを格納し、ＴＳＣ３に診断、校正結果を送信する。
【００１４】
このような装置の動作を以下で説明する。試験前に、ＴＳＣ３は、記憶部２の診断プログラム、校正プログラムにより各試験モジュール５の制御部５２を動作させ、制御部５２に診断、校正を行わせる。制御部５２は、試験モジュール５の診断、校正を行い、診断、校正のログデータを、メモリ５１に格納する。また、制御部５２は、試験モジュール５の診断、校正結果を、バスＢを介して、ＴＳＣ３に渡す。ＴＳＣ３は記憶部２に結果を格納する。記憶部２に格納した診断、校正結果を、ＴＳＣ３は、ＣＲＴ、ＬＣＤ等の表示器（図示せず）に表示する。
【００１５】
表示器の表示結果により、使用者は、不具合が発生した試験モジュール５を取り外し、正常な試験モジュール５を取り付ける。そして、不具合が発生した試験モジュール５を、修理業者に渡す。試験モジュール５のメモリ５１の内容に基づいて、修理業者は不具合が発生した試験モジュール５の修理を行う。
【００１６】
このように、試験モジュール５ごとに設けたメモリ５１に、診断、校正のログデータを格納したので、格納ミスがなく、手間なく迅速に、故障解析ができ、修理作業を行うことができる。
【００１７】
また、制御部５２が試験モジュール５の診断、校正を行い、ログデータをメモリ５１に格納するので、ログデータをＴＳＣ３に送る必要がなく、ＴＳＣ３に結果だけ送ればよい。すなわち、診断、校正を短時間に終了することができる。
【００１８】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、制御部５２が診断、校正を行う構成を示したが、制御部は、診断、校正の少なくとも一方を行う構成であればよい。
【００１９】
また、制御部５２は、ＴＳＣ３に診断、校正結果を送信したが、診断モジュール５ごとに、不良ランプを設け、不良のとき、制御部５２は不良ランプを点灯する構成にしてもよい。
【００２０】
また、制御部５２により診断、校正を行う構成を示したが、ＴＳＣ３により診断、校正を行う構成にしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、試験モジュールごとに設けたモジュール記憶部に、診断データまたは校正データを格納したので、格納ミスがなく、手間なく迅速に故障解析ができ、修理作業を行うことができる。
【００２２】
請求項２，４によれば、制御部が試験モジュールの診断または校正を行い、診断データまたは校正データをモジュール記憶部に格納するので、診断データまたは校正データを外部に送る必要がなく、外部に結果だけ表示や送信できればよい。すなわち、診断、校正を短時間に終了することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
５  試験モジュール
５１  メモリ
５２  制御部
【図１】
2004163194.tif 000003
【図２】
2004163194.tif 000004