(57)【要約】【課題】測定データの傾向を、ウエハ上の位置の傾向と関連付けて、容易に把握することができるデータ解析装置を提供すること。【解決手段】表示対象データのグラフ表示を行うグラフ表示手段と、表示対象データの測定位置に関するマップ表示手段と、グラフ表示手段上で所望のグラフ表示データを選択し、その選択されたデータに関連するマップ表示手段上のマップ表示データを強調表示するグラフ要素選択手段とを備えたデータ解析装置。あるいは、マップ表示手段上で所望のデータを選択し、その選択されたマップ表示データに関連するグラフ表示手段上のグラフ表示データを強調表示するマップ要素選択手段とを備えたデータ解析装置。【選択図】図１
2004031690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体測定データのデータ分析装置において、
表示対象データのグラフ表示を行うグラフ表示手段と、
前記表示対象データの測定位置に関するマップ表示手段と、
前記グラフ表示手段上で所望のグラフ表示データを選択し、該選択されたデータに関連する前記マップ表示手段上のマップ表示データを強調表示するグラフ要素選択手段と
を備えて成るデータ分析装置。
【請求項２】
半導体測定データのデータ分析装置において、
表示対象データのグラフ表示を行うグラフ表示手段と、
前記表示対象データの測定位置に関するマップ表示手段と、
前記マップ表示手段上で所望のデータを選択し、該選択されたマップ表示データに関連する前記グラフ表示手段上のグラフ表示データを強調表示するマップ要素選択手段と
を備えて成るデータ分析装置。
【請求項３】
前記マップ表示手段上で所望のデータを選択し、該選択されたマップ表示データに関連する前記グラフ表示手段上のグラフ表示データを強調表示するグラフ要素選択手段と
を備えて成る請求項１に記載のデータ分析装置。
【請求項４】
前記グラフ表示手段のグラフ表示は、散布図、折れ線グラフ、棒グラフ、円グラフ、累積分布図のいずれかであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ分析装置。
【請求項５】
前記マップ表示手段のマップ表示は、ウエハマップ、あるいは、ダイマップであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体のウエハプロセスにおける測定データの解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体の製造工程においては、製造品質を維持または向上させるために、半導体を検査し、その検査データを解析して製造工程にフィードバックする技術が知られている。例えば特開平１０−３０３２６７号公報では、解析結果の表示形態としてグラフ表示とウエハマップ表示があり、さらに、解析対象となるデータを検索および抽出し、解析し、解析結果を表示して内容を検討するという一連の操作を繰り返して解析を進めることが記載されている。
【０００３】
このような従来の解析装置では、オペレータは、測定データをグラフ表示したものと、ウエハマップ表示したものを見比べて検討することができるが、グラフ上のどの測定点がウエハマップ上のどの位置のダイで測定されたデータであるかを容易に確認することができないという欠点があった。すなわち、オペレータがより一層の解析を必要とする時には、データの抽出・解析・結果表示の一連の作業をやりなおすか、解析元のデータを探し出して、グラフやウエハマップとの対応関係を確認する必要があった。そのために、解析に時間がかかったり、うまく原因の特定をできないことがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述の問題点に鑑み、本願発明者は、この種の解析をするオペレータにとって、測定データの傾向を、測定時のウエハ上の位置の情報と関連付けて、容易に把握できるようにすることが、半導体製造工程の解析やフィードバックをする上で有益であるとの知見に達し、本願発明をするに至った。
【０００５】
すなわち、本発明の目的は、測定データのグラフ表示の傾向を、マップ表示の傾向と関連付けて、容易に把握することができるデータ解析装置を提供することである。
【０００６】
別の目的は、測定データのグラフ表示とマップ表示に対し、どちらか一方の表示において任意のデータを選択すると、他方の表示において選択されたデータに対応するデータが強調表示されるデータ解析装置を提供することである。
【０００７】
さらに別の目的は、測定データのグラフ表示において、一つあるいはそれ以上の所望の測定データを選択すると、測定データのマップ表示において、選択された測定データに対応する位置データを強調表示するデータ解析装置を提供することである。
【０００８】
また、さらに別の目的は、測定データのマップ表示において、一つあるいはそれ以上の所望の位置データを指定すると、測定データのグラフ表示において、選択された位置データに関連する測定データを強調表示するデータ解析装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明による第１の実施態様に示されるデータ分析装置では、表示対象データのグラフ表示を行うグラフ表示手段と、表示対象データの測定位置に関するマップ表示手段と、グラフ表示手段上で所望のグラフ表示データを選択し、その選択されたデータに関連するマップ表示手段上のマップ表示データを強調表示するグラフ要素選択手段とを備える。
【００１０】
本発明による第２の実施態様に示されるデータ分析装置では、表示対象データのグラフ表示を行うグラフ表示手段と、表示対象データの測定位置に関するマップ表示手段と、マップ表示手段上で所望のデータを選択し、その選択されたマップ表示データに関連するグラフ表示手段上のグラフ表示データを強調表示するマップ要素選択手段とを備える。
【００１１】
本発明による第３の実施態様では、第１の実施態様においてさらに、マップ表示手段上で所望のデータを選択し、該選択されたマップ表示データに関連するグラフ表示手段上のグラフ表示データを強調表示するグラフ要素選択手段とを備える。
【００１２】
ここで、データには測定データあるいは測定データを基にして解析処理をした処理結果データも含まれる。さらに、グラフ表示手段でのグラフ表示には、散布図、折れ線グラフ、棒グラフ、円グラフ、累積分布図などの、２次元あるいは３次元グラフを含む周知のグラフ形態を含む。また、マップ表示手段でのマップ表示には、ウエハマップ、ダイマップなどの、データに起因する要素の物理的位置情報を表示する周知のマッピング形態を含む。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１に本発明による実施形態である（半導体測定における）データ解析装置１００のブロック図を示す。データ解析装置１００は、制御手段１１４と表示手段１２０と記憶手段１１０と入力手段１１２を備える。表示手段１２０はＣＲＴまたは液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などの表示デバイスを含み、制御手段から表示データを受け取る。記憶手段１１０は、メモリなどの一時記憶デバイス、及び／または、ハードディスクなどの恒久記憶デバイスを含み、制御手段１１４により制御される。入力手段１１２は、マウスなどのポインティングデバイス及び／またはキーボードを含み、オペレータからのデータ入力やポインティングデバイスによる指示入力を制御部に伝える。制御手段は、入力手段１１２及び／または記憶手段１１０からのデータあるいは指示をもとに処理を行い、その結果を表示手段１２０に表示する。
【００１４】
表示手段１２０はさらに、グラフ表示手段１２２とマップ表示手段１２４とを備える。グラフ表示手段１２２は、表示対象データを、所望の種類のグラフに表示する機能を有する。表示されるグラフの種類としては、散布図、折れ線グラフ、棒グラフ、円グラフ、累積分布図など周知のものを含む。
【００１５】
マップ表示手段１２４は、表示対象データの物理的位置情報をマップ表示する機能を有する。表示されるマップとしては、ウエハマップ、ダイマップなどを含む。
【００１６】
制御部１１４はさらに、グラフ要素選択手段１１６とマップ要素選択手段１１８を含む。グラフ要素選択手段１１６は、オペレータの操作により、入力手段１１２及び記憶手段１１０と協働して、グラフ表示手段１２２によってグラフ表示された表示要素のうち一つあるいは複数を選択する機能を有する。また、選択された要素を他の要素と区別されるように強調表示する指示をグラフ表示手段１２２に送る機能も備える。ここで、強調表示とは、選択された要素が他の要素と区別がつくような表示方法であって、別の色で表示することや、元の表示色と反転した色で表示することや、描画パターンを他と異なるパターンで、例えば、塗りつぶし、縞模様、斑点模様で、表示することを含む。
【００１７】
マップ要素選択手段１１８は、オペレータの操作により、入力手段１１２及び記憶手段１１０と協働して、マップ表示手段１２４によってマップ表示されたマップ要素のうち一つあるいは複数を選択する機能を有する。また、選択された要素を他の要素と具別されるように強調表示する指示をマップ表示手段１２４に送る機能も備える。
【００１８】
データ解析装置１００の動作を図２ないし図６を用いて説明する。図２は、本発明による画面表示全体の概略を示す図である。表示手段１２０によるＣＲＴあるいは液晶に表示された画面２００上に、グラフ表示手段１２２によるグラフ表示ウインドウ２１２とマップ表示手段１１８によるマップ表示ウインドウ２１４と、データ解析装置１００のその他の各種の機能の操作をつかさどるコンソールウインドウ２１０とが表示される。ここでは例示のためにコンソールウインドウを独立したウインドウとして示したが、グラフ表示ウインドウ及びマップ表示ウインドウを包含する形態など、当業者にはコンソールウインドウについて様々な形態のものを考えることができる。
【００１９】
図３に示したように、グラフ表示ウインドウ２１２には、グラフ表示部３１０及び各種操作ボタン３２０及び３２２とが表示される。ここで、グラフ表示部３１０には、一例として散布図が表示されている。この散布図中、白い丸（一部分に３１２と３１６の参照番号が付してある）はデータを表し、直線３１４は回帰直線を表す。なおここで、本画面は、一例であって、散布図には必ずしも回帰直線が表示されるものを示すものではない。
【００２０】
マップ表示ウインドウ２１４については、図４に示されているように、マップ表示部４１０と各種ボタン４２２及び４２４が表示される。ここで、マップ表示部４１０には、一例としてウエハマップが表示され、ウエハ４１２に対し、グラフ表示ウインドウ２１２で表示されたデータがあるダイを斑点表示のダイ（一部分に４１４と４１８の参照番号が付してある）として表示し、表示されたデータがないダイを白いダイ（例えば４１６）として表示している。
【００２１】
図１ないし図６を用いて、本発明の動作について説明する。オペレータが、最初のデータ抽出の結果をグラフ表示及びマップ表示した結果、図３及び図４がそれぞれ図２の画面中に表示されているとする。ここで、オペレータが図３のグラフ表示のうち、下方に外れた３個のデータ３１６について、マップ表示での対応するデータの位置情報に興味を持ったとする。その場合、オペレータは、マウスをドラッグしてこの３個のデータ３１６を領域指定し選択する。この領域中には一つあるいは複数のデータを含むことができる。この領域指定の方法は、ウインドウ操作の周知の方法を用いるが、例えば、データをクリックしたり、キーボード上のコントロールキーを押し下げながらデータをクリックするなどの様々な入力方法を代替入力方法とすることもできる。
【００２２】
この領域指定の表示は、図１のグラフ要素選択手段１１６が記憶手段１１０と入力手段１１２と協働して、記憶されたデータとポインティングデバイスの指示位置などとともに判定し、その結果に従いグラフ表示手段１２２を制御し、マウスのドラッグ中は矩形領域の境界３１８を表示する。ドラッグの終了とともに、グラフ要素選択手段１１６はグラフ表示手段１２４を制御し、領域指定された範囲内のデータを図５に３個のデータ５１２として示されるように強調表示する。さらに、グラフ選択手段１１６は、今度はマップ表示手段１２４を制御して、図６に示すように、選択された３個のデータ５１２に対応するダイ、すなわち、ここでは３個のデータ５１２が測定された２個のダイ６１８を塗りつぶしパターンを用いて強調表示する。なお、図５及び図６では強調表示として塗りつぶしパターンを用いたが、上述のように、当業者には各種の方法で代替することができるのは言うまでもない。
【００２３】
以上の動作を、グラフ要素選択手段１１６のフローチャートとして、図７に示す。グラフ要素選択手段１１６は、グラフ表示ウインドウ２１２で、領域選択されたかを判定し（ステップ７０２）、領域選択されていれば（ＹＥＳ）、領域指定内の全表示データを選択されたデータとして強調表示し（ステップ７０４）、マップ表示ウインドウ２１４に選択されたデータに対応する表示データを強調表示する（ステップ７０６）。ステップ７０２で、領域選択されなければ（ＮＯ）、何もしない。
【００２４】
このようにして、本発明を用いることで、オペレータは、グラフ表示された内容のうち問題のあるグラフ表示要素について、容易にウエハマップ表示の対応するダイの位置を知ることができるので、半導体製造プロセスの解析において、特に不良解析において効率よく問題点を解析することができる。
【００２５】
オペレータが、ウエハマップ表示されたダイのうちのいくつかについて、グラフ表示されたデータのうちのどれがそのダイに対応するデータなのか分布が知りたい場合の、データ解析装置１００の動作について説明する。オペレータが、最初のデータ抽出の結果をグラフ表示及びマップ表示した結果、図３及び図４がそれぞれ図２の画面中に表示されているとする。オペレータは図４の２個のダイ４１８を、対応するグラフ表示分布を知りたいダイとして選択する。選択をするためには、マウスをドラッグして対象ダイを領域内に含める。そのドラッグ中は、矩形領域の境界が点線４２０でウエハマップ４１０上に表示され、ドラッグ終了とともに、選択が確定され図６の６１８として示されるように、選択された２つのダイが塗りつぶしパターンにより強調表示される。
【００２６】
ここで、先の例で指摘したように、ダイの指定方法としては、様々な代替方法をとることができる。
【００２７】
マップ要素選択手段１１８は、今度はグラフ表示手段１２２を制御して、図５に示すように、選択された２個のダイ６１８で測定されたデータ、すなわち、ここでは３個のデータ５１２を塗りつぶしパターンを用いて強調表示する。
【００２８】
以上の動作を、マップ要素選択手段１１８のフローチャートとして、図８に示す。マップ要素選択手段１１８は、マップ表示ウインドウ２１４で、領域選択されたかを判定し（ステップ８０２）、領域選択されていれば（ＹＥＳ）、領域指定内の全表示データを選択されたデータとして強調表示し（ステップ８０４）、グラフ表示ウインドウ２１２に選択されたデータに対応する表示データを強調表示する（ステップ８０６）。また、ステップ８０２で、領域選択されなければ（ＮＯ）、何もしない。
【００２９】
本発明の実施形態を説明した。上述の実施形態では、オペレータがグラフ表示手段上の所望のデータの選択を完了するか、あるいはマップ表示手段上で所望のマップ表示要素の選択を完了すると、直ちにそれに呼応して、位置表手段あるいはグラフ表示手段上の対応する要素が強調表示された。これに対し、別の実施形態では、上記の選択が完了後、表示手段に設けられている表示更新のためのＵＰＤＡＴＥボタン（３２０あるいは４２２）が押されると、他方の表示手段の表示に対応した強調表示が行われる。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように、本発明を用いると、測定データの傾向を、ウエハ上の位置の傾向と関連付けて、容易に把握できるデータ解析装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施形態を示す関するブロック図である。
【図２】図１の実施形態による画面表示の概略図である。
【図３】図２におけるグラフ表示ウインドウの表示例を示す概略図である。
【図４】図２におけるマップ表示ウインドウの表示例を示す概略図である。
【図５】図３におけるグラフ表示ウインドウのグラフ表示部３１０の別の表示例を表示部５１０として示す概略図である。
【図６】図４におけるマップ表示ウインドウのマップ表示部４１０の別の表示例を表示部６１０として示す概略図である。
【図７】図１の実施形態によるグラフ要素選択手段の動作を示すフローチャートである。
【図８】図１の実施形態によるマップ要素選択手段の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１００：データ分析装置
１１０：記憶手段
１１２：入力手段
１１４：制御手段
１１６：グラフ要素選択手段
１１８：マップ要素選択手段
１２０：表示手段
１２２：グラフ表示手段
１２４：マップ表示手段
１３０，１３２，１３４：データ
【図１】
2004031690.tif 000003
【図２】
2004031690.tif 000004
【図３】
2004031690.tif 000005
【図４】
2004031690.tif 000006
【図５】
2004031690.tif 000007
【図６】
2004031690.tif 000008
【図７】
2004031690.tif 000009
【図８】
2004031690.tif 000010