(57)【要約】【課題】対物レンズの開口径よりも小径な穴や幅狭な溝に対しても、その内側面形状を高精度に計測可能な光学式変位センサを提供すること。【解決手段】同軸合焦点方式の光学式変位センサであって、対物レンズを含むセンサヘッド部（１０）と、前記センサヘッド部の対物レンズ前方に所定距離を隔てて配置されかつ前記対物レンズの開口径よりも小型とされた反射鏡部材（３０）と、前記反射鏡部材を前記センサヘッド部に対して支持する支持部材（２２，２３）とを含む。前記反射鏡部材は、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置されるものであり、かつ前記支持部材は、前記反射鏡部材側から前記センサヘッド部側に至る所定距離部分について、断面輪郭が前記対物レンズの開口相当の円内に収まるものであり、さらに前記対物レンズの開口数を実質的に低下させない構造体である。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同軸合焦点方式の光学式変位センサであって、
対物レンズを含むセンサヘッド部と、前記センサヘッド部の対物レンズ前方に所定距離を隔てて配置されかつ前記対物レンズの開口径よりも小型とされた反射鏡部材と、前記反射鏡部材を前記センサヘッド部に対して支持する支持部材とを含み、
前記反射鏡部材は、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置されるものであり、かつ
前記支持部材は、前記反射鏡部材側から前記センサヘッド部側に至る所定距離部分において、断面輪郭が前記対物レンズの開口相当の円内に収まるものである、ことを特徴とする光学式変位センサ。
【請求項２】
前記支持部材が、光軸に沿って延在された１本若しくは２本以上の線材である、ことを特徴とする請求項１に記載の光学式変位センサ。
【請求項３】
同軸合焦点方式の光学式変位センサにおいて、センサヘッド部の対物レンズ前方の所定距離隔てた位置に、該対物レンズの開口径よりも小型な反射鏡部材を、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置するための前記反射鏡部材の取付具であって、
前記センサヘッド部の所定部位に適合した取付部と、
前記反射鏡部材を保持するための保持部と、
前記取付部に対して前記保持部を支持させるための支持部と、を含み、
前記支持部は、前記反射鏡部材側から前記センサヘッド部側に至る所定距離部分において、断面輪郭が前記対物レンズの開口相当の円内に収まるものである、ことを特徴とする反射鏡部材の取付具。
【請求項４】
前記支持部が、光軸に沿って延在された１本若しくは２本以上の線材である、ことを特徴とする請求項３に記載の反射鏡部材の取付具。
【請求項５】
前記センサヘッド部の所定部位が、前記センサヘッド部の対物レンズを収容する鏡胴の先端部である、ことを特徴とする請求項３又は４に記載の反射鏡部材の取付具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、同軸合焦点方式の光学式変位センサに係り、特に、径小な穴の内周面や幅狭な溝の内側面等の変位計測に好適な光学式変位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開平５−９９６３１号公報には、金属にドリル等で開けた穴の内面形状を測定する穴形状光測定装置が開示されている。この穴形状光測定装置は、ビーム状の光線を発する第１の手段と、該光線を９０度からややずれた角度だけ曲げる第２の手段と、当該曲げた光線を元の光線を中心軸として回転させる第３の手段と、曲げられた光線が穴の内面に当たってできる光点の乱反射光を集光する第４の手段と、当該第４の手段によって集光した光が作る光点の像の位置を検出する第５の手段と、当該第５の手段により検出した像位置から、三角測量の原理により光点位置を算出する第６の手段と、を含んでいる。
【０００３】
この穴形状光測定装置によれば、機械的な運動は回転だけで穴の一周に亘る内面形状を連続測定できること、測定装置と穴内面とは接触しないため摩擦・摩耗がないこと、光線を高速に移動させることができるので、従来方法に比べ測定時間を短縮できること、と言った様々な利点が得られる。
【０００４】
また、特開平５−１６４５５６号公報には、非接触表面粗さ計や三次元座標測定器用の非接触倣いプローブ等として好適な合焦点方式の非接触型変位計が開示されている。
【０００５】
この変位計によれば、深溝や穴の表面形状測定が可能であり、しかも対物レンズの交換もできる利点がある。加えて、同公報の図２及び図６には、対物レンズに至る鏡胴内に反射鏡を配置して光軸を９０度曲げることにより、穴の内側面を測定する技術も開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平５−９９６３１号公報に開示された穴形状光測定装置にあっては、三角測量の原理により変位測定を行うものであるから、測定装置から測定対象物へ向かう入射光の光軸と、測定対象物で反射されたのち測定装置へ戻される反射光の光軸との間には、要求される分解能に応じた一定値以上の視差角が必要となる。そのため、径の割には深さの大きい穴や幅の割には深さの大きい溝の内側面を計測しようとすると、前述した入射光路と反射光路との間の視差角によって測定可能な穴の深さが制限される。一方、入射光の光軸と反射光の光軸との視差角を小さくすればより深い溝や穴に対する対応が可能であるが、そうすると測定分解能が低下して、穴や溝の内側面の微小形状変化を正確に計測できない。さらに、測定対象物上での入射光のスポット径は必ずしも絞られた状態にはならないので、微小形状の変位を計測することはできない。
【０００７】
一方、特開平５−１６４５５６号公報に開示された合焦点型非接触変位計によれば、所謂同軸落射型光学系を採用しているため、三角測量原理を採用した場合のような入射・反射光路間の視差角に起因する不都合は生じない。しかし、同公報の図２並びに図６に示される内側面測定技術にあっては、光源から対物レンズに至る鏡胴内に反射鏡を配置して光軸をほぼ直角に折り曲げる構成が採用されているため、測定可能な穴の内径は必然的に鏡胴の外径よりも大きくなければならず、換言すれば対物レンズの開口径よりも小径な穴や溝に対しては、原理上適用できない。
【０００８】
この発明は、上述した従来の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、対物レンズの開口径よりも小径な穴や幅狭な溝に対しても、その内側面形状を高精度に計測可能な光学式変位センサを提供することにある。
【０００９】
この発明の他の目的とするところは、上述した光学式変位センサに好適な反射鏡部材の取付具を提供することにある。
【００１０】
この発明のさらに他の目的並びに作用効果については、以下の明細書の記載を参照することにより、当事業者であれば容易に理解される筈である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の光学式変位センサは、変位検出原理としては、例えば、特開平５−１６４５５６号公報や特開平７−１１３６１７号公報等に記載された同軸合焦点方式を採用している。そのため、例えば、特開平５−９９６３１号公報等に記載された三角測量方式を採用する光学式変位センサのような、視差角に起因する計測制限の問題は生じない。
【００１２】
この光学式変位センサには、対物レンズを含むセンサヘッド部と、前記センサヘッド部の対物レンズ前方に所定距離を隔てて配置されかつ前記対物レンズの開口径よりも十分に小型とされた反射鏡部材と、前記反射鏡部材を前記センサヘッド部に対して支持する支持部材とが含まれている。
【００１３】
なお、『反射鏡部材』とは、対物レンズから到来する計測光を反射することにより、その光軸を所定角度だけ変更するための鏡面を有する部材である。反射鏡部材による光軸変更角度をどの程度とするかは設計事項であるが、穴の内周側面ゃ溝の内側面の変位計測を行う場合には、光軸変更角度は９０度若しくは略９０度とされるであろう。また、反射鏡部材に関して『〜開口径よりも小型』としたのは、本発明の光学式変位センサにおいて、穴の内周面や溝の内側面の変位計測を行うためには、当該穴や溝内に反射鏡部材が挿入されねばならない一方、反射鏡部材のサイズにより、挿入可能な穴径又は溝幅が決定されることを考慮したためである。計測光は対物レンズの有効径（開口相当の円でも可）と測定対象物上の集光点とを結んだ円錐状の光束の形状を有し、反射鏡部材は対物レンズの前方に配置されることから、その断面の大きさは対物レンズの有効径よりも小さく、その反射面の大きさは、その位置における計測光の光束全てを網羅できるだけの大きさを有する。（ここで、断面とは、対物レンズの中心と測定対象物上の集光点とを結んだ線に垂直な平面を言う。）また、『対物レンズの前方に所定距離』とあるが、ここで『所定距離』とは、対物レンズの前方に生ずる集光点よりも手前であることは言うまでもない。
【００１４】
加えて、前記反射鏡部材は、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置されるものでなければならない。例えば、特開平５−１６４５５６号公報の図２又は図６に示されるように、反射鏡部材が鏡胴に包囲される構成を採用すると、鏡胴の外径により適用可能な穴径や溝幅の下限が制限されてしまう。もっとも、鏡胴の外径を対物レンズの開口径よりも小さくすれば、適用可能な穴形や溝幅の下限はより小さくなるが、その場合には鏡胴の内径により穴径や溝幅に拘わらず、対物レンズの開口数が一義的に制限されてしまい、測定分解能が低下する。
【００１５】
これに対して、反射鏡部材が鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態であれば、反射鏡部材が挿入可能であるかぎり、対物レンズの開口数を最大限に利用して内周面（穴の場合）や内側面（溝の場合）の変位測定が可能となる。すなわち、反射鏡部材が穴や溝の入口から内部に挿入開始されたのち、対物レンズから反射鏡部材へ至る円錐状光束の外周縁が穴や溝の入口で遮られるまでの間に関しては、対物レンズの開口数の低下は生じないので、最大限の分解能で変位計測が可能となる。一方、反射鏡部材が穴や溝の内部深くに挿入されたことにより、上記円錐状光束の外周縁が穴や溝の入口で遮られ始めると、対物レンズの開口数は初めて低下を開始し、それに伴い計測分解能は低下するが、それにしても、反射鏡部材が挿入可能であるかぎり、変位計測不能に陥ることはない。
【００１６】
このような反射鏡部材の剥き出し構造を実現するためには、前記支持部材は、前記反射鏡部材側から前記センサヘッド部側に至る所定距離部分（好ましくは、その全長）について、断面輪郭が前記対物レンズの開口相当の円内に収まるものでなければないない。さもなければ、支持部材それ自体が邪魔をして、反射鏡部材を対物レンズの開口径よりも小径な穴や幅狭な溝に奥深くまで挿入できないからである。なお、反射鏡部材と同程度のサイズの穴径や溝幅に対しても、反射鏡部材の挿入を許容するためには、支持部材の断面の占める領域は上記円内の中央寄りであることが好ましいことは言うまでもない。
【００１７】
加えて、支持部材は、対物レンズの開口数を実質的に低下させない非遮光性構造体でなければならない。支持部材が如何に反射鏡部材の穴や溝への挿入を邪魔しないものであっても、それが対物レンズからの光を大きく遮ってしまえば、実質的に開口数が減少して、計測分解能は低下するからである。好ましい実施の形態においては、前記支持部材を構成する非遮光性構造体が、光軸に沿って延在され、かつ互いに平行な１本若しくは２本以上の線材で構成される。
【００１８】
以上述べた本発明の光学式変位センサによれば、対物レンズの開口径よりも小径な穴や幅狭な溝に対しても、その内側面形状を高精度に計測可能となる。
【００１９】
次に、同軸合焦点方式の光学式変位センサにおいて、センサヘッド部の対物レンズ前方の所定距離隔てた位置に、該対物レンズの開口径よりも十分に小型な反射鏡部材を、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置するために、本発明者等は、好適な取付具を提案する。
【００２０】
この取付具は、前記センサヘッド部の所定部位に適合した取付部と、前記反射鏡部材を保持するための保持部と、前記取付部に対して前記保持部を支持させるための支持部と、を含んでいる。前記支持部は、前記センサヘッド部側から前記反射鏡部材側に至るその全長に亘り、断面輪郭が前記対物レンズの開口相当の円内に収まるものであり、さらに前記対物レンズの開口数を実質的に低下させない非遮光性構造体である。先に説明した理由から、好ましい実施の形態では、前記支持部を構成する非遮光性構造体が、光軸に沿って延在され、かつ互いに平行な１本若しくは２本以上の線材により構成されるものであっても良い。
【００２１】
なお、前記センサヘッド部の所定部位としては、前記センサヘッド部の対物レンズを収容する鏡胴の先端部であってもよいし、前記センサヘッド部のヘッドケースそれ自体であってもよい。
【００２２】
このような取付具によれば、同軸合焦点方式の光学式変位センサにおいて、センサヘッド部の対物レンズ前方の所定距離隔てた位置に、該対物レンズの開口径よりも十分に小型な反射鏡部材を、鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態で配置することができ、これにより本発明の光学式変位センサを容易に実現することができる。しかも、取付具と共に反射鏡部材を交換することにより、様々な測定対象物への対応が容易となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明に係る同軸合焦点方式の光学式変位センサ並びに反射鏡部材の取付具の好適な実施の一形態を添附図面にしたがって詳述する。
【００２４】
本発明に係る光学式変位センサの構成図（第１実施形態）が図１に示されている。同図に示されるように、この光学式変位センサ１は、センサヘッド部１０と反射鏡取付具２０と有している。なお、図において、４０は測定対象物、４０ａは測定対象物にドリル等で開けられた上下に貫通する穴である。以下の説明では、本発明の変位センサ１により、この穴４０ａの内周面に関する変位計測を行うものとする。
【００２５】
センサヘッド部１０は、ヘッドケース１１と鏡胴１２とを含んでいる。図示例では、ヘッドケース１１の形状は直方体として、また鏡胴１２の形状は円筒体として描かれているが、これはあくまでも説明上の一例に過ぎないものとして理解されるべきである。
【００２６】
ヘッドケース１１内には、図示しないが、同軸合焦点方式の光学式変位センサを構成する光学系や電気回路等が内蔵されている。一方、鏡胴１２内には、図示しないが、対物レンズが保持されている。なお、同軸合焦点方式の光学式変位センサの光学系については、当業者に周知のものであるが、念のため、後に、図５並びに図６を参照してその一例を説明する。
【００２７】
次に、本発明の要部である反射鏡部材の取付具２０について説明する。図１において、点線で描かれた円で囲まれたＩＩ部の詳細が図２に示されている。
【００２８】
同図に示されるように、反射鏡部材の取付具２０は、センサヘッド部１２の鏡胴１２の先端部（図では下端部）に取り付けられるキャップ２１と、反射鏡部材３０を保持する鏡保持部材２４と、一端（図では上端）がキャップ２１に固定されかつ他端（図では下端）が鏡保持部材２４に固定される２本の支持部材２２，２３とを備えている。
【００２９】
キャップ２１は、鏡胴１２の先端形状に適合する円形皿状に形成され、キャップ２１と鏡胴１２との固定手段としては、例えば接着剤による永久固定構造、或いはネジや圧入嵌合等の着脱可能構造が採用される。キャップ２１の中央部には、鏡胴１２内の図示しない対物レンズに対向して円形の開口２１ａが形成されている。この開口２１ａの内径が対物レンズの開口径を規定することとなる。
【００３０】
反射鏡部材２４は、この例では、上端面が対物レンズの光軸Ａに対して略４５度の角度に傾斜した円筒体とされており、この傾斜面が反射用の鏡面３０ａとされている。そのため、図において、反射鏡部材２４の真上より垂直下向きに鏡面３０ａに入射する光は、鏡面３０ａにて反射されて水平方向に向きを変え、穴４０ａの内周側面に向けて進行する。また、穴４０ａの内周側面で反射された光は、往路と同じ光路を逆行して、対物レンズに戻される。周知のように、この種の同軸合焦点方式の変位センサにあっては、ヘッドケース１１内の光学系の１部品（例えば、対物レンズそれ自体又はそれ以外の光学部品）を操作することにより、穴４０ａの内周側面上に常に集光点が一致（合焦点）するように、焦点調整がなされる。そして、この合焦点状態における光学部品の操作量を介して逆に、被測定面の変位が求められる。図からも明らかなように、反射鏡部材３０のサイズは、対物レンズの開口に相当するキャップ２１の開口２１ａに比べて十分に小型とされている。また、反射鏡部材３０は、その周囲を鏡胴等で取り囲まれることなく、所謂剥き出し状態とされている。さらに、反射鏡部材３０は、鏡保持部材２４によって対物レンズの光軸方向前方（図では下方）において所定距離隔てた位置に保持されている。
【００３１】
鏡保持部材２４は、この例では、反射鏡部材３０よりもやや大径な円筒体として形成されており、その中心部には反射鏡部材３０が位置決め保持されている。反射鏡部材３０を鏡保持部材２４の中心部に位置決め保持するための手段としては、圧入嵌合構造その他ネジ止め等々の様々な公知のものを任意に採用することができる。鏡保持部材２４は、図示例では、２本の支持部材２２，２３を介して、キャップ２１に対して支持されている。
【００３２】
支持部材２２，２３としては、キャップ２１の開口２１ａから反射鏡部材３０の鏡面３０ａに至る円錐台状光束５０をできる限り遮ることがないように、この例では、計測上問題とならない程度の剛性を有する細線材（例えば、金属角柱、金属円柱、金属ワイヤ等）が採用されている。これらの支持部材２２，２３は、対物レンズの光軸に沿って互いに平行に延在されている。支持部材２２，２３は、それぞれその上端部がＬ字状に折り曲げられており、この折り曲げ部２２ａ，２３ａがキャップ２１の開口２１ａの内周縁に対応する環状底部２５に接着等の適宜の結合手段で固定されている。また、支持部材２２，２３の下端部は、鏡保持部材２４の外周縁部に接着等の適宜の結合手段で固定されている。支持部材２２，２３の間隔は、想定される穴４０ａ内に鏡保持部材２４を挿入する際に邪魔にならないように、できるだけ幅狭とされている。支持部材２２，２３の長さは、反射鏡部材３０の鏡面３０ａに、集光点手前のある一定サイズのスポットが形成されるようにして決定される。
【００３３】
換言すれば、支持部材２２，２３は、センサヘッド部１０側から反射鏡部材３０側に至るその全長に亘り、断面輪郭が対物レンズの開口２１ａ相当の円内のほぼ中心部分に収まるものであり、さらに対物レンズの開口数を実質的に低下させない非遮光性構造体とされている。
【００３４】
次に、本発明の作用を説明する。上述の構成を有する反射鏡取付具２０によれば、測定対象物４０の穴４０ａの内径が対物レンズの開口２１ａよりも小さいものであっても、反射鏡部材３０のみを穴４０ａ内に挿入することにより、その内周側面の変位測定を行うことができる。しかも、反射鏡部材３０が穴４０ａの入口から内部に挿入開始されたのち、対物レンズから反射鏡部材３０へ至る円錐状光束５０の外周縁が穴４０ａの入口で遮られるまでの間に関しては、対物レンズの開口数の低下は生じないので、最大限の分解能で変位計測が可能となる。一方、反射鏡部材３０が穴の内部深くに挿入されたことにより、上記円錐状光束５０の外周縁が穴の入口で遮られ始めると、対物レンズの開口数は初めて低下を開始し、それに伴い計測分解能は低下するが、それにしても、反射鏡部材３０が挿入可能であるかぎり、変位計測不能に陥ることはない。
【００３５】
すなわち、本発明によれば、反射鏡部材３０が鏡胴に包囲されることなく剥き出し状態であるので、反射鏡部材３０が挿入可能であるかぎり、対物レンズの開口数を最大限に利用して内周面（穴の場合）や内側面（溝の場合）の変位測定が可能となる。
【００３６】
なお、上記の実施形態において、支持部材２２，２３を適宜なブラケットを介して、鏡胴１２ではなくて、ヘッドケース１１に直接に固定してもよい。また、支持部材２２，２３を角形キャップを介して、鏡胴１２ではなくて、ヘッドケース１１に固定してもよい。このように、支持部材２２，２３とセンサヘッド部１０との結合態様については、様々な構成が採用可能である。
【００３７】
最後に、ヘッドケース１１に内蔵される同軸合焦点方式変位センサの光学系について簡単に説明する。周知のように、同軸合焦点方式の光学式変位センサにあっては、所謂同軸落射型光学系を採用すると共に、同光学系を構成する１光学部品を操作することで、測定対象物の測定面と対物レンズの集光点とが一致した合焦点状態を作り出し、その状態における光学部品の操作量から逆に測定面の変位を求めるものである。合焦点状態を作り出すためには、特開平７−１１３６１７号公報に開示されるように、対物レンズそれ自体を操作する方式（以下、第１方式と言う）のものと、特開平５−１６４５５６号公報に開示されるように、対物レンズは固定したままで、対物レンズに至る光学系の別の光学部品を操作する方式（以下、第２方式と言う）のものとが存在する。本発明では、第１及び第２の何れの方式を採用しても良い。
【００３８】
特開平７−１１３６１７号公報に記載された第１方式の同軸合焦点方式の光学式変位センサの光学系が図３に示されている。同図において、５０１はレーザダイオード、５０２はビームスプリッタ、５０３はコリメートレンズ、５０４は対物レンズ、５０５は被測定物体、５０６は光絞り部、５０７はホトダイオード、５０８は増幅器、５０９はレーザパワー制御回路、５１０は音叉、５１１は音叉振幅検出器、５１２は増幅器、５１３はソレノイド、５１４は音叉振幅制御回路、５１５は演算部、５１６は距離変換部、Ｘは受光量信号、Ｙは振幅信号である。この光学系並びに回路の動作については、同公報に詳細に記述されているため、説明は省略するが、要するに、音叉５１０を介して対物レンズを振動させつつ、受光量信号Ｘの状態に基づいて合焦点状態を検出し、そのときに得られる振幅信号Ｙの状態に基づいて、目的とする変位量を算出するものである。
【００３９】
特開平５−１６４５５６号公報に記載された第２方式の同軸合焦点方式の光学式変位センサの光学系が図４に示されている。同図において、６０１は半導体レーザ、６０２は偏向ビームスプリッタ、６０３はコリメータレンズ、６０４はリレーレンズ、６０５はリレーレンズ、６０６は対物レンズ、６０７は測定面、６０８は結像レンズ、６０９はビームスプリッタ、６１０は受光素子、６１１は受光素子、Ｌ１はリレーレンズの操作量、Ｌ２は対物レンズ集光点の移動量である。この光学系の動作については、同公報に詳細に記述されているため、説明は省略するが、要するに、同図（ａ）と同図（ｂ）との比較から明らかなように、対物レンズ６０６は固定したまま、リレーレンズ６０５だけを上方へ移動させることで、集光点の位置を下方へ移動させることができる。
【００４０】
なお、以上の実施形態において、例えば特開平５−９９６３１号公報記載の装置のように、測定対象物４０と反射鏡部材３０とを相対的に三次元移動並びに回転運動させれば、測定対象物４０の穴４０ａ内の任意の位置に関する変位計測が可能であることは言うまでもない。相対移動を実現するためには、測定対象物４０が載置されたテーブルを三次元的に移動及び回転させたり、或いはセンサ側を三次元的に移動及び回転させればよい。
【００４１】
また、支持部材２２，２３を構成する線材の本数は実施例に限定されるものではなく、要するに、円錐状光束５０を実質的に遮らない（対物レンズの開口数を低下させない）範囲で適宜に変更することができる。
【００４２】
また、支持部材２２，２３それ自体も、必ずしも線状部材で構成する必要はなく、上述の円錐状光束５０を実質的に遮らない（対物レンズの開口数を低下させない）範囲内で任意の形状や材質（網状、螺旋状、透明体等）を採用することができるであろう。
【００４３】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、対物レンズの開口径よりも小径な穴や幅狭な溝に対しても、その内側面形状を高精度に計測可能な光学式変位センサを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光学式変位センサの構成図である。
【図２】本発明の要部拡大図である。
【図３】同軸合焦点方式の光学式変位センサの光学系基本構成図（その１）である。
【図４】同軸合焦点方式の光学式変位センサの光学系基本構成図（その２）である。
【符号の説明】
１　　　　　　　光学式変位センサ
１０　　　　　　センサヘッド部
１１　　　　　　ヘッドケース
１２　　　　　　鏡胴
２０　　　　　　反射鏡取付具
２１　　　　　　キャップ
２１ａ　　　　　開口
２２，２３　　　支持部材
２２ａ，２３ａ　折り曲げ部
２２ｃ，２３ｃ　ブラケット
２４　　　　　　鏡保持部材
２５　　　　　　環状底部
２６　　　　　　角形キャップ
３０　　　　　　反射鏡部材
４０　　　　　　測定対象物体
４０ａ　　　　　穴
５０　　　　　　円錐状光束
【図１】
2004028914.tif 000003
【図２】
2004028914.tif 000004
【図３】
2004028914.tif 000005
【図４】
2004028914.tif 000006