(57)【要約】【課題】従来のクリーンルームの施工においては、施工中の換気は、所定の換気口を介して外気を入れる自然換気を行なっていたので、特に夏季等においては、施工中のクリーンルーム内に結露が発生し、結露除去作業が大変であるという課題があった。【解決手段】本発明によるクリーンルームの施工方法によれば、クリーンルームの施工中に、施工しているクリーンルーム内にドライエア３ａを供給するようにした。特に、クリーンルームの内装工事以後に、ドライエア３ａを供給するようにし、クリーンルームの内装仕上げ表面の結露を防止する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの施工中に、施工しているクリーンルーム内にドライエアを供給するようにしたことを特徴とするクリーンルームの施工方法。
【請求項２】
クリーンルームの内装工事以後に、ドライエアを供給するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの施工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等に使用されるクリーンルームの施工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、手術室等のクリーンルームが知られている。このクリーンルームの施工に際しては、クリーンルームの清浄度を、低コスト，短工期で最終レベルにするために、建物建設段階からクリーン化対策を行なっている。即ち、施工中の毎日の掃除、周毎の掃除を徹底し、また、躯体工事、鉄骨工事完了後は、入室者に対して上履き入室を義務付け、その後、施工が進む毎に、入室者に対して、クリーンスーツの着用、さらにはエアーシャワーを介しての入室を義務付ける等してクリーン施工化を図っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のクリーンルームの施工においては、施工中の換気は、所定の換気口を介して外気を入れる自然換気を行なっていたので、特に夏季等においては、施工中のクリーンルーム内に結露が発生し、結露除去作業が大変であるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明によるクリーンルームの施工方法によれば、クリーンルームの施工中に、施工しているクリーンルーム内にドライエアを供給するようにしたことにより、施工中のクリーンルーム内の結露を防止でき、結露除去作業が不要になる。
特に、クリーンルームの内装工事以後に、ドライエアを供給するようにすれば、内装仕上げ表面の結露を防止できる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態における半導体製造工場のクリーンルームの概要を図２に基づいて説明する。一般に、クリーンルームは３つのエリアに区切られた構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設けられており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗浄を行なった後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のドア、４２は柱、４２ａは有孔床１１の鉄骨根太、４３，４４は耐火被覆梁、４５は二重窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットである。
【０００６】
次に、実施の形態によるクリーンルームの施工方法を図１を参照して順を追って説明する。ここでは、施工管理を６段階に分けて実施した例を示す。
・ステップ１
躯体工事、鉄骨建方工事等を行なう。このステップ１から入室者の出入口、資材等の搬入口が指定される。そして、日々の作業が終了する毎及び周毎に、掃き掃除を行なう。
ステップ１の躯体工事の完了直後に、図１に示すように、床下エリア２０の躯体床２１上にシート材１を敷設し、噴霧機２により、施工中のクリーンルーム内に水を噴霧する。
このように、躯体工事の完了直後に、床下エリア２０の躯体床２１上に、シート材１を敷設することにより、躯体床２１からの発塵による粉塵の浮遊を防止でき、さらに、水を噴霧することにより、施工中のクリーンルーム内に浮遊している粉塵は噴霧水２ａに付着してシート材１上に落下するので、施工中のクリーンルームの空間に浮遊する粉塵を効率的に除去できる。
尚、粉塵を付着してシート材１上に落下した噴霧水２ａは、適宜掃除機で吸い取る。また、噴霧は毎日行ない、シート材１は汚れ具合によって適宜取り替える。
このように躯体床２１上にシート材１を敷設して施工中のクリーンルーム内に水を噴霧することによる防塵及び徐塵作業は、ステップ３に移るまで行なう。
・ステップ２
足場組立工事、ＡＬＣ版等の壁下地コンクリート成形板，壁下地ボード，天井デッキ，耐火被覆ケイカル板の取付工事、建具取付工事、天井デッキ塗装工事等を行なう。このステップ２から入室者に上履きによる入室を義務付ける。また、日々の作業が終了する毎及び周毎に、掃除機等を用いて掃除を行なう。
・ステップ３
足場解体工事、床の塗装工事、クロス貼り工事、シーリング工事、建具，鉄骨の塗装工事等を行なう。このステップ３からは、建具を常時閉鎖するとともに、図１に示すように、仮設の空調機３（例えば防塵機能付きエアコン）を用いて施工中のクリーンルーム内にドライエア３ａを送る。これにより、施工中のクリーンルーム内の結露、特に、クロス表面、塗装表面等の内装仕上げ表面における結露を防止できる。尚、この仮設の空調機３によるドライエア３ａの供給は、天井エリア３０に空調機３１が設置され運転されるまで続ける。また、ステップ２と同様な掃除を行なう。
・ステップ４
有孔床（グレーチング）工事、天井エリア工事、動力配管配線工事、空調ダクト配管工事等を行なう。このステップ４から入室者にクリーンスーツ（ラフなもの）の着用を義務付ける。また、日々の作業が終了する毎及び周毎に、水拭き掃除を行なう。
・ステップ５
プロセスエリア１０の内壁パネル取付工事、床下設備設置作業、純水配管作業、薬液配管作業等を行なう。このステップ５からは正規入室ルートでの入室、即ち、前室からの入室を義務付ける。また、毎日の掃除、周毎の一斉掃除において、内装材を純水で拭き掃除する。
・ステップ６
空調機３１，空気洗浄フィルタ３２の取付工事、ガス機器工事、空調機３１の試運転（空気循環運転）等を行なう。このステップ６からは正規のクリーンスーツの着用及びエアーシャワーを経た入室を義務付ける。また、ステップ５と同様な掃除を行なう。
【０００７】
尚、上記では、ステップ３以降、即ち、内装工事に入った時から、施工中のクリーンルーム内にドライエア３ａを供給する例を示したが、クリーンルームの空間がある程度閉じている場合は、ステップ１からドライエア３ａを供給するようにしてもよい。
また、上記シート材１として、例えば、液状の防水剤を含浸させたウエットシートを用いれば、このウエットシート上に一旦落下した粉塵が再び空間に舞い上がって浮遊するようなことも防止でき、さらに、防水処理が施されているので、粉塵を付着した噴霧水２ａが躯体床２１に浸透して躯体床２１上を汚してしまうようなことも防止できる。
また、上記各ステップによる工事の区分けは一例であり、これに限るわけではない。
【０００８】
【発明の効果】
本発明の請求項１によれば、クリーンルーム施工中において、施工中のクリーンルーム内の結露を防止できる。
請求項２によれば、クリーンルームの内装仕上げ表面の結露を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるクリーンルームの施工方法を説明するための説明図である。
【図２】実施の形態による施工方法により施工されたクリーンルームの概要を示す断面図。
【符号の説明】
３  空調機、３ａ  ドライエア。
【図１】
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【図２】
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