(57)【要約】【課題】穴あけ加工によるクラックの発生を防止して、加工品質を向上させることのできる脆性材料の穴あけ加工方法およびその装置を提供する。【解決手段】脆性材料からなる被加工物１１に貫通穴１２を形成する穴あけ加工方法であって、第１の熱源部のレンズ５により、被加工物１１の加工部１１ａに貫通穴１２を形成する第１のビーム１ａのビーム強度分布Ａを形成するとともに、第２の熱源部のレンズ６により、被加工物１１の加工部１１ａ周辺を加熱する第２のビーム２ａのビーム強度分布Ｂを形成する方法であり、加工装置はこの穴あけ加工方法を用いて被加工物１１に貫通穴１２を形成するものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、
第１の熱源部により前記被加工物の加工部に貫通穴を形成するとともに、第２の熱源部により前記被加工物の加工部周辺を加熱することを特徴とする穴あけ加工方法。
【請求項２】
前記第１の熱源部は、前記被加工物の加工部に貫通穴を形成するビーム強度分布を有する第１のビームを照射するとともに、前記第２の熱源部は、前記被加工物の加工部周辺を加熱するビーム強度分布を有する第２のビームを照射することを特徴とする請求項１記載の穴あけ加工方法。
【請求項３】
前記第１の熱源部のレンズにより、前記被加工物の加工部に貫通穴を形成する第１のビームのビーム強度分布を形成するとともに、前記第２の熱源部のレンズにより、前記被加工物の加工部周辺を加熱する第２のビームのビーム強度分布を形成することを特徴とする請求項２記載の穴あけ加工方法。
【請求項４】
前記第１のビームおよび第２のビームを、前記被加工物の一方の側から照射することを特徴とする請求項２または３記載の穴あけ加工方法。
【請求項５】
前記第１のビームを前記被加工物の一方の側から照射し、前記第２のビームを前記被加工物の他方の側から照射することを特徴とする請求項２または３記載の穴あけ加工方法。
【請求項６】
前記被加工物に貫通穴を形成した後、前記第１のビームの照射を停止し、前記第２のビームの照射を所定時間継続することを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の穴あけ加工方法。
【請求項７】
脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、
熱源部により、前記被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ前記加工部周辺を加熱することを特徴とする穴あけ加工方法。
【請求項８】
前記熱源部は、前記被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ前記加工部周辺を加熱するビーム強度分布を有するビームを照射することを特徴とする請求項７記載の穴あけ加工方法。
【請求項９】
前記熱源部の回折格子により、前記被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ前記加工部周辺を加熱するビームのビーム強度分布を形成することを特徴とする請求項８記載の穴あけ加工方法。
【請求項１０】
脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、
熱源部の制御により、前記被加工物の加工部に照射されるビームの照射強度を、照射時間の経過に対応させて増減させることを特徴とする穴あけ加工方法。
【請求項１１】
前記ビームの照射強度を、照射時間に対応して徐々に強くし、貫通穴形成可能な照射強度に達した後、照射時間に対応して徐々に弱くすることを特徴とする請求項１０記載の穴あけ加工方法。
【請求項１２】
前記ビームはレーザビームであることを特徴とする請求項２，３，４，５，６，８，９，１０または１１記載の穴あけ加工方法。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれかに記載の穴あけ加工方法を用いて、脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成することを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばガラスやセラミックスなどの脆性材料に、例えばインクジェットヘッドのノズル孔や電子部品と電極とを接続するためのスルーホールなどの微細な穴、特に貫通穴を形成する穴あけ加工に、例えばレーザなどのビームを用いる脆性材料の穴あけ加工方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のレーザビームを用いた脆性材料からなる被加工物の切断、穴あけなどの加工方法は、レーザビームを微小径に集光して高エネルギー密度を得ることにより、被加工物を瞬時に溶融並びに蒸発させて、被加工物の切断、穴あけを行うものである（例えば、非特許文献１参照）。
また、レーザ発振装置から発射されたレーザビームを、反射鏡によって方向を変え、集光レンズを通過させて、被加工物の切断部に集光させて切断を行うものである。このとき、切断部にアシストガスを吹き付けて、レーザビームの照射で溶融した被加工物を切断部から飛散させ、切断部に付着することを防ぐとともに、集光レンズ側への付着も防ぐ（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】
新井  武二、外２名、「レーザー加工入門シリーズ３  レーザー切断加工」、アシニスト出版、平成６年３月３１日、ｐ．５４−５５
【特許文献１】
特開平８−１４１７６４号公報（第２頁左欄、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の穴あけ加工は、レーザを用いて加工するため、短時間で微細な貫通穴を形成することができる。しかしながら、被加工物に照射されるレーザビームの強度分布は、図８に示すように、中心部の強度が最も高く分布幅の狭いガウス分布Ｄであるため、被加工物の穴あけ位置（加工部）に強度の高いビームが照射される。これにより、加工部とその周辺との温度差が非常に大きくなってしまい、脆性材料からなる被加工物は、局部的に加わったビーム中心に作用する圧縮応力とその周辺に作用する引っ張り応力とによる熱応力によって、加工部やその近傍にクラックが発生し、加工品質を低下させてしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、穴あけ加工によるクラックの発生を防止して、加工品質を向上させることのできる脆性材料の穴あけ加工方法およびその装置を提供することを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る穴あけ加工方法は、脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、第１の熱源部により被加工物の加工部に貫通穴を形成するとともに、第２の熱源部により被加工物の加工部周辺を加熱する方法である。これによれば、加工時において、加工部と加工部周辺との温度差および温度勾配がなだらかになり、加工部周辺にかかる熱応力を小さくすることができる。これにより、熱応力によるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
【０００７】
また、上記穴あけ加工方法において、第１の熱源部は、被加工物の加工部に貫通穴を形成するビーム強度分布を有する第１のビームを照射するとともに、第２の熱源部は、被加工物の加工部周辺を加熱するビーム強度分布を有する第２のビームを照射する方法である。これによれば、２つの異なるビーム強度分布を有するビームを照射することによって、加工部に貫通穴を形成するとともに加工部周辺を加熱することができ、簡単な方法で加工部周辺にかかる熱応力を小さくすることができる。これにより、熱応力によるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
さらに、上記穴あけ加工方法は、第１の熱源部のレンズにより、被加工物の加工部に貫通穴を形成する第１のビームのビーム強度分布を形成するとともに、第２の熱源部のレンズにより、被加工物の加工部周辺を加熱する第２のビームのビーム強度分布を形成する方法である。これによれば、簡単な構造でそれぞれの役割を有するビームを得ることができ、加工品質を向上させることができる。そして、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【０００８】
また、上記穴あけ加工方法は、第１のビームおよび第２のビームを、被加工物の一方の側から照射する方法である。これにより、加工部と加工部周辺との温度差を小さくすることができ、クラックの発生を防止することができる。
さらに、上記穴あけ加工方法は、第１のビームを被加工物の一方の側から照射し、第２のビームを被加工物の他方の側から照射する方法である。これによれば、被加工物は表裏からビームを照射されるため、より加工部と加工部周辺との温度差を小さくすることができ、クラックの発生を防止することができる。
また、上記穴あけ加工方法は、被加工物に貫通穴を形成した後、第１のビームの照射を停止し、第２のビームの照射を所定時間継続する方法である。これによれば、貫通穴形成後の急激な温度変化を防ぐことができ、クラックの発生を防止することができる。これにより、加工品質を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係る穴あけ加工方法は、脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、熱源部により、被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ加工部周辺を加熱する方法である。これによれば、加工時において、加工部と加工部周辺との温度差および温度勾配をなだらかにすることができ、加工部周辺にかかる熱応力を小さくすることができる。これにより、熱応力によるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
また、上記穴あけ加工方法において、熱源部は、被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ加工部周辺を加熱するビーム強度分布を有するビームを照射する方法である。これによれば、２つの要素を有するビーム強度分布のビームを照射することによって、加工部に貫通穴を形成するとともに加工部周辺を加熱することができ、簡単な方法で加工部周辺にかかる熱応力を小さくすることができる。これにより、熱応力によるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
さらに、上記穴あけ加工方法において、熱源部の回折格子により、被加工物の加工部に貫通穴を形成し、かつ加工部周辺を加熱するビームのビーム強度分布を形成する方法である。これによれば、簡単な構造でそれぞれの役割を有するビームを得ることができ、加工品質を向上させることができる。これにより、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【００１０】
本発明に係る穴あけ加工方法は、脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成する穴あけ加工方法であって、熱源部の制御により、被加工物の加工部に照射されるビームの照射強度を、照射時間の経過に対応させて増減させる方法である。これによれば、加工部と加工部周辺との温度差および温度勾配をなだらかにすることができ、加工部周辺にかかる熱応力を小さくすることができる。これにより、熱応力によるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
また、上記穴あけ加工方法において、ビームの照射強度を、照射時間に対応して徐々に強くし、貫通穴形成可能な照射強度に達した後、照射時間に対応して徐々に弱くする方法である。これによれば、脆性材料でもクラックの発生を防止しながら貫通穴を形成することができ、加工品質を向上させることができる。これにより、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【００１１】
さらに、上記穴あけ加工方法において、ビームはレーザビームである方法である。これにより、短時間で微細な貫通穴を形成することができる。そして、貫通穴を形成するビームは電子ビームなどのでもよく、加工部周辺を加熱するビームは赤外線ランプなどでもよい。
【００１２】
本発明に係る穴あけ加工装置は、上記穴あけ加工方法を用いて、脆性材料からなる被加工物に貫通穴を形成するものである。これによれば、貫通穴の形成時に生じるクラックの発生を防止することができ、加工品質を向上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１の構成説明図である。図において、１は第１のレーザビーム１ａ（例えばＣＯ２  レーザ）が発振される第１のレーザ発振器、２は第２のレーザビーム２ａ（例えばＣＯ２  レーザ）が発振される第２のレーザ発振器、３，４は第１のレーザ発振器１のレーザビーム１ａまたは第２のレーザ発振器２のレーザビーム２ａの進行路上に配置され、レーザビーム１ａ，２ａを例えばガラス板等の脆性材料からなる被加工物１１に向けてそれぞれ反射させる全反射ミラーである。５は全反射ミラー３からのレーザビーム１ａが被加工物１１の加工部（穴あけ部１１ａ）にほぼ集中して照射されるようなレーザ強度分布Ａを形成する第１のレンズ、６は全反射ミラー４からのレーザビーム２ａが被加工物１１の加工部（穴あけ部１１ａ）の周辺を加熱するように照射されるようなレーザ強度分布Ｂを形成する第２のレンズ、７は被加工物１１が載置されるテーブルで、貫通された加工用にげ穴７ａが形成されている。８は全反射ミラー３，４と被加工物１１との間に第１のレンズ５および第２のレンズ６を内部に収容するように配置されたほぼパイプ状のガス吹きつけ用ノズルで、下方にはガス吹きつけ用ノズル８内に圧縮空気などのアシストガスＧを送り込む分岐管８ａが設けられており、分岐管８ａには図示しないアシストガス供給手段が接続されている。９は第１のレーザ発振器１、第２のレーザ発振器２およびアシストガス供給手段に電気的に接続され、第１のレーザ発振器１、第２のレーザ発振器２およびアシストガス供給手段の駆動を制御する制御手段である。
そして、上記１〜９によりレーザ加工装置１０が構成され、第１のレーザ発振器１、全反射ミラー３および第１のレンズ５により第１の熱源部が構成されるとともに、第２のレーザ発振器２、全反射ミラー４および第２のレンズ６により第２の熱源部が構成される。
【００１４】
なお、第１のレーザ発振器１から発振されるレーザビーム１ａは、被加工物１１の穴あけ部１１ａに貫通穴１２を形成する（穴あけ部１１ａの材料を除去する）ためのビームであり、第２のレーザ発振器２から発振されるレーザビーム２ａは、穴あけ部１１ａの材料を除去せずに加熱するためのビーム、つまり穴あけ部１１ａとその周辺との温度差が高くならないようにし、ビーム強度分布の温度勾配も急激に上昇しないようになだらかなものにするためのビームである。よって、各ビームは被加工物１１の種類によって適宜変更することができ、第１のレーザ発振器１と第２のレーザ発振器２は、ビームを同種にして、第１のレーザ発振器１から強いビームを発振し、第２のレーザ発振器２から弱いビームを発振するようにしてもよく、発振するビームの波長を変えて各ビームの役割を果たせるようにしてもよい。
【００１５】
このように構成された実施の形態１に係るレーザ加工装置１０を用いて、被加工物１１に穴あけ加工を行う場合、まず、テーブル７上に被加工物１１をその加工位置（穴あけ部１１ａ）の下面側がテーブル７の加工用にげ穴７ａに対応するように載置する。ついで、制御手段９により第１のレーザ発振器１および第２のレーザ発振器２を駆動するとともに、アシストガス供給手段を駆動する。そして、第１のレーザ発振器１および第２のレーザ発振器２から発振されたレーザビーム１ａ，２ａをそれぞれ全反射ミラー３，４で反射させて、第１のレンズ５および第２のレンズ６により各レーザビーム１ａ，２ａをビーム強度分布Ａ，Ｂになるように形成し、被加工物１１の加工位置（穴あけ部１１ａ）に照射する。
【００１６】
このとき、被加工物１１は、ビーム強度分布Ａに形成されたレーザビーム１ａによって貫通穴１２が形成される部分（穴あけ部１１ａ）の材料が溶融され、最終的に貫通穴１２が形成されるとともに、ビーム強度分布Ｂに形成されたレーザビーム２ａによって貫通穴１２が形成される部分（穴あけ部１１ａ）の周辺の材料が溶融されない程度に加熱され、穴あけ部１１ａと周辺との温度差および温度勾配をなだらかにして熱応力によるクラックの発生を防止する。また、アシストガス供給手段から分岐管８ａを介してガス吹きつけ用ノズル８に供給されたアシストガスＧはガス吹きつけ用ノズル８の先端から穴あけ部１１ａに吹きつけ、レーザビーム１ａの照射で溶融した材料を穴あけ部１１ａから飛散させ、穴あけ部１１ａに付着することを防止する。
【００１７】
貫通穴１２が形成されると、制御手段９によりまず第１のレーザ発振器１の駆動を停止し、第２のレーザ発振器２の駆動を継続する。これは、貫通穴１２の形成後、レーザビーム１ａ，２ａの照射をすぐに停止してしまうと、穴あけ部１１ａとその周辺との温度差および温度勾配がなだらかにならなくなってしまってクラックが発生してしまうおそれがあるため、レーザビーム２ａの照射時間をレーザビーム１ａの照射時間より長くようにする。そして、レーザビーム２ａの照射を所定時間行った後、制御手段９により第２のレーザ発振器２の駆動を停止し、穴あけ加工を終了する。
【００１８】
このように、第１のレーザ発振器１および第２のレーザ発振器２からそれぞれ発振されるレーザビーム１ａ，２ａを、ビーム強度分布Ａ，Ｂになるように形成する第１のレンズ５および第２のレンズ６を設け、レーザビーム１ａにより被加工物１１に貫通穴１２を形成し、レーザビーム２ａにより穴あけ部１１ａの周辺を加熱して大きな温度差および急激な温度勾配にならないようにしたので、穴あけ部１１ａの周辺にかかる熱応力を小さくすることができ、熱応力によるクラックの発生を防止することができる。これにより、加工品質を向上させることができ、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【００１９】
なお、上述の実施の形態１では、被加工物１１の一方の側から、ビーム強度分布Ａに形成されたレーザビーム１ａとビーム強度分布Ｂに形成されたレーザビーム２ａとを照射する場合を示したが、図２に示すように、ビーム強度分布Ｂに形成されたレーザビーム２ａを被加工物１１の他方の側から照射するようにしてもよい。この場合も同様の効果を奏する。
また、被加工物１１を加工する熱源として、レーザビーム１ａ，２ａを用いた場合を示したが、被加工物１１の穴あけ部１１ａに照射して貫通穴１２を形成するレーザビーム１ａに代えて、電子ビームやその他のビームを用いてもよく、被加工物１１の穴あけ部１１ａの周辺に照射してその周辺を加熱するレーザビーム２ａに代えて、赤外線ランプや被加工物１１全体に接触させて加熱する高温の媒体を用いてもよい。これらの場合も同様の効果を奏する。
【００２０】
実施の形態２．
図３は本発明の実施の形態２の構成説明図である。この実施の形態２は、実施の形態１に係るレーザ加工装置１０において、第２の熱源部である第２のレーザ発振器２、全反射ミラー４および第２のレンズ６を省略し、第１のレンズ５と被加工物１１との間に、第１のレーザ発振器１からのレーザビーム１ａを図４に示すビーム強度分布Ｃに形成する回折格子１３を設けたものである。なお、回折格子１３は、第１のレンズ５とともにガス吹きつけ用ノズル８内に配設されており、第１のレンズ５は、実施の形態１のようにレーザビーム１ａをビーム強度分布Ａに形成するものではなく、回折格子１３にレーザビーム１ａを集光させるものである。
【００２１】
このように構成された実施の形態２に係るレーザ加工装置１０を用いて被加工物１１に穴あけ加工を行う場合、実施の形態１と同様にテーブル７上に被加工物１１を載置して、制御手段９により第１のレーザ発振器１およびアシストガス供給手段を駆動し、第１のレーザ発振器１から発振されたレーザビーム１ａを全反射ミラー３により反射させて第１のレンズ５で集光させ、回折格子１３によりビーム強度分布Ｃに形成して被加工物１１の穴あけ部１１ａに照射させるとともに、穴あけ部１１ａにアシストガスＧを吹きつけて溶融した材料を飛散させる。このとき、被加工物１１に照射されたレーザビーム１ａのビーム強度分布Ｃの強度の高い部分Ｃ１で材料を除去して貫通穴１２を形成し、強度の弱い部分Ｃ２で穴あけ部１１ａの周辺を加熱して、穴あけ部１１ａと周辺との温度差および温度勾配がながらかになるようにする。
【００２２】
貫通穴１２が形成されると、制御手段９は、その後も回折格子１３によりビーム強度分布Ｃに形成されたレーザビーム１ａを所定時間照射して穴あけ部１１ａの周辺を加熱し、クラックの発生を防止する。そして、所定時間経過後、制御手段９により第１のレーザ発振器１の駆動を停止して穴あけ加工を終了する。
【００２３】
このように、レーザビーム１ａをビーム強度分布Ｃに形成する回折格子１３を設け、形成されたレーザビーム１ａの強度の高い部分Ｃ１で材料を除去して貫通穴１２を形成し、強度の弱い部分Ｃ２で穴あけ部１１ａの周辺を加熱して大きな温度差および急激な温度勾配にならないようにしたので、簡単な構造で、穴あけ部１１ａの周辺にかかる熱応力を小さくすることができ、熱応力によるクラックの発生を防止することができる。これにより、加工品質を向上させることができ、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【００２４】
なお、上述の実施の形態２では、貫通穴１２を形成した後、穴あけ部１１ａとその周辺において大きな温度差および急激な温度勾配が生じないように、回折格子１３によりビーム強度分布Ｃに形成されたレーザビーム１ａを所定時間照射するようにした場合を示したが、制御手段９により第１のレーザ発振器１から発振されるレーザビーム１ａの強度を弱めて被加工物１１の穴あけ部１１ａ周辺の加熱を継続して行うようにしてもよく、回折格子１３の他に実施の形態１に係る第２のレンズ６のようにビーム強度分布Ｂを形成するレンズまたはビーム強度分布Ｂを形成する回折格子を設けて、貫通穴１２を形成した後、ビーム強度分布Ｃを形成する回折格子１３とビーム強度分布Ｂを形成するレンズまたは回折格子とを交換し、ビーム強度分布Ｂに形成されたレーザビーム１ａを所定時間照射するようにしてもよい。これらの場合も同様の効果を奏する。
【００２５】
実施の形態３．
図５は本発明の実施の形態３の構成説明図である。この実施の形態３は、実施の形態２に係るレーザ加工装置１０において、ビーム強度分布Ｃを形成する回折格子１３を省略し、第１のレーザ発振器１から発振されるレーザビーム１ａの照射強度を、図６に示すように、制御手段９により照射時間に対応させて増減するようにしたものである。
【００２６】
このように構成された実施の形態３に係るレーザ加工装置１０を用いて被加工物１１に穴あけ加工を行う場合も、実施の形態２と同様にテーブル７上に被加工物１１を載置して、制御手段９により第１のレーザ発振器１およびアシストガス供給手段を駆動し、第１のレーザ発振器１から発振されたレーザビーム１ａを全反射ミラー３により反射させて第１のレンズ５で集光させ、被加工物１１の穴あけ部１１ａに照射させるとともに、穴あけ部１１ａにアシストガスＧを吹きつけて溶融した材料を飛散させる。このとき、最初に被加工物１１に照射されるレーザビーム１ａは、制御手段９により照射強度が弱くなるように制御されており、照射時間が経過するにつれて徐々に強くしていき、貫通穴１２が形成される照射強度に達すると、照射時間が経過するにつれて徐々に弱くしていき、照射を終了させる。
【００２７】
このように、制御手段９により被加工物１１に照射されるレーザビーム１ａの照射強度を、照射時間に対応させて増減させるようにしたので、穴あけ部１１ａに照射されるレーザビーム１ａの照射強度を徐々に上げた後、下げることができる。これによって穴あけ部１１ａの周辺まで熱が伝導されるため、穴あけ部１１とその周辺との温度差および温度勾配をなだらかにすることができ、熱応力によるクラックの発生を防止することができる。よって、加工品質を向上させることができ、歩留まりが高くなってコストの低減を図ることができる。
【００２８】
なお、上述の実施の形態１乃至３では、アシストガスＧを穴あけ部１１ａに吹きつけて溶融した材料の飛散させる場合を示したが、図７に示すように、実施の形態１に係るレーザ加工装置１０において、ガス吹きつけ用ノズル８等を省略するとともに、テーブル７に載置された被加工物１１をテーブル７とともに挟持して固定する押さえ治具１４と、上面側が開口し、下部に接続された加圧ポンプ１６によって内部に気体（空気等）または液体（水等）を送り込んで圧空または圧液体として被加工物１１を下面側から加圧する加圧チャンバー１５とを設け、高圧から低圧方向に吹き出される気体等によって貫通穴１２を形成するとともに、溶融した材料の下方への流れ落ちを押さえるようにしてもよい。これにより、クラックの発生を防止することができるとともに、被加工物１１の下面側のドロスの発生も防止することができる。よって、加工品質をより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の構成説明図。
【図２】本発明の実施の形態１の変形例を示す構成説明図。
【図３】本発明の実施の形態２の構成説明図。
【図４】実施の形態２に係るレーザビームのビーム強度分布。
【図５】本発明の実施の形態３の構成説明図。
【図６】実施の形態３に係るレーザビームの照射強度を示す図。
【図７】本発明の実施の形態１の他の変形例を示す構成説明図。
【図８】従来のレーザ加工装置に係るレーザビームのビーム強度分布。
【符号の説明】
１  第１のレーザ発振器、１ａ，２ａ  レーザビーム、２  第２のレーザ発振器、５  第１のレンズ、６  第２のレンズ、９  制御手段、１０  レーザ加工装置、１１  被加工物、１１ａ  穴あけ部（加工部）、１２  貫通穴、１３  回折格子、Ａ，Ｂ，Ｃ  ビーム強度分布。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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