(57)【要約】　　　（修正有）【課題】オイルの流出や溶接熱などによるオイルの吹出しによる封止箇所のシール性の信頼性の低下、オイル充填量の減少による圧力センサとしての信頼性の低下がなく、しかも、溶接部においてボイドの発生によるシール性の低下がなく、完全かつ確実に封止部をシール封止可能とする。【解決手段】オイル充填用パイプの液封室と反対側の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部４４を形成し、圧潰扁平部の先端部４６近傍を一次溶接して、圧潰扁平部を封止する一次溶接部４８を形成し、一次溶接部を二次溶接して、二次溶接部５４の液導入開口側の一部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、オイル充填用パイプ３６の液導入開口を封止する。【選択図】　図４
2004028784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液封型圧力センサの液封室にオイルを充填するための液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法であって、
前記オイル充填用パイプの液封室と反対側の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成し、
前記圧潰扁平部を一次溶接して、圧潰扁平部を封止する一次溶接部を形成し、前記一次溶接部を二次溶接して、前記一次溶接部の液導入開口側の一部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項２】
前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部の先端部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の表層部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする請求項１に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項３】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側の先端部に対してレーザ溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の表層部に対してレーザ溶接にて、一次溶接よりも短時間で行うことを特徴とする請求項２に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項４】
前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の上方部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする請求項１に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項５】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、スポット溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする請求項４に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項６】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、高温加熱しながら圧接する高温圧接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする請求項４に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法。
【請求項７】
液封型圧力センサの液封室にオイルを充填するための液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造であって、
前記オイル充填用パイプの液封室と反対側の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成し、
前記圧潰扁平部を一次溶接して、圧潰扁平部を封止する一次溶接部を形成し、前記一次溶接部を二次溶接して、前記一次溶接部の液導入開口側の一部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止して構成したオイル充填用パイプを備えることを特徴とする液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【請求項８】
前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部の先端部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の表層部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする請求項７に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【請求項９】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側の先端部に対してレーザ溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の表層部に対してレーザ溶接にて、一次溶接よりも短時間で行うことを特徴とする請求項８に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【請求項１０】
前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の上方部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする請求項７に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【請求項１１】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、スポット溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする請求項１０に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【請求項１２】
前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、高温加熱しながら圧接する高温圧接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする請求項１０に記載の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法およびそれを用いた液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、流体圧検出用の圧力センサとして、液封型圧力センサが知られている。図９は、このような液封型圧力センサ１０２を示したものである。この圧力センサ１０２は、継手１０４の通路１０６に連通された圧力室１０７内に、薄い金属製のダイヤフラム１０３が収容され、その外方に保護カバー１０８が配置されている。
【０００３】
また、圧力センサ１０２は、ダイヤフラム１０３の外周縁部と、その上に重ねた保護カバー１０８の外周縁部とが、溶接によって気密に固着されることによって、エレメント本体１１０の中央開口１１２部分において、ハーメチックガラス１１４とダイヤフラム１０３との間に、オイルが封入される液封室１１６が画成されている。そして、通路１０６から圧力室１０７内に伝達された流体圧は、保護カバー１０８の連通孔を通ってダイヤフラム１０３の表面を押圧し、この押圧力を液封室１１６内のセンサチップ１２０により検知するようにしている。
【０００４】
ところで、このような液封型圧力センサ１０２においては、液封型圧力センサ１０２の液封室１１６にオイルを充填するために、オイル充填用パイプ１２２が設けられている。このオイル充填用パイプ１２２を介して、液封室１１６にオイルを充填した後には、オイル導入開口であるオイル充填用パイプ１２２の先端１２４を溶接などによって封止している。このオイル充填用パイプ１２２の封止は、液封室１１６を完全密閉し、長期間にわたってオイル漏れがないよう、信頼性高く、確実に行う必要がある。
【０００５】
すなわち、通常片側が開放された状態の封止部であれば、ヘリウムやハロゲンを検知ガスとして使用して、漏れ検査によってシール部の信頼性を確保することができる。しかしながら、液封型圧力センサ１０２のオイル充填用パイプ１２２のように、液封室１１６にオイルを充填封入した密閉型の封止部の場合には、このような検知ガスを導入することが不可能であり、漏れ検査を行うことができない。
【０００６】
また、ダイヤフラム１０３側から圧力をかけて、オイルの滲み出しを見るという考えもあるが、漏れ量が僅かである場合には、漏れを確認するために時間がかかり、漏れの有無を判定することも困難である。
このため、液封型圧力センサ１０２のオイル充填用パイプ１２２のように、液封室１１６にオイルを充填封入した密閉型の封止部の場合には、封止部分を信頼性を上げる構造とする必要がある。
【０００７】
しかしながら、溶接による封止工程中には、溶接時のオイルの燃焼や内圧の上昇によって、まだ封止されていないオイル充填用パイプ１２２よりオイルが流出し、液封室１１６のオイル充填量が減って圧力センサとしての信頼性が低下するおそれがあった。また、このようなオイルの流出や溶接熱などによるオイルの吹出しによって、溶接性が阻害されて、溶接が不完全となり。封止箇所のシール性の信頼性を確保することができなかった。
【０００８】
このため、特開２００２−３５８５０号公報では、図１０および図１１（Ａ）に示したように、オイル充填パイプ２００の先端部２０２（オイル導入側開口部）近傍を横方向に圧潰して、仮封止部２０４を形成して、この仮封止部２０４の先端側を扁平に圧潰している。そして、図１１（Ｂ）に示したように、第１回目の溶接によって、この圧潰扁平部２０６の端面２０８を、一部２０８ａを残して部分溶接している。さらに、図１１（Ｃ）に示したように、第２回目の溶接によって、この圧潰扁平部２０６の端面２０８全体を完全に溶接して封止するようにしている。
【０００９】
このように構成することによって、第１回目の溶接は、圧潰扁平部２０６の端面２０８の被封止部分を一部を残して行われることで、仮封止部２０４より先端側の圧潰扁平部２０６内にオイルが残存していても、非溶接部２０８ａからオイルが逃げ、２回目の溶接ではオイルが吹き出すことがなく、溶接封止が確実に行われるようになっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、オイルを封入したオイル充填パイプの封入部のパイプ溶接部の信頼性の低下の原因となるのは、図１２に示したように、溶接時のオイルの蒸発ガスが、オイル充填パイプ３００の金属溶融部３０２にボイド３０４として空間を形成するために、これらが内部から外部へとつながる可能性があるからである。
【００１１】
すなわち、オイル充填パイプを溶接する際に、パイプの圧潰扁平部の僅かな隙間に残存したオイルが沸騰して、パイプ先端部から抜け出たり、加熱による内部のオイルの膨張が、パイプ先端の溶接部に逃げ場を求めることになる。その結果、溶接部にボイドが発生して、溶接部のシール性を損なうこととなっている。
このような現象は、溶接部では短時間に加熱、溶融、凝固の現象が起こるので、図１３（Ａ）の矢印で示したように、溶融部がかなり攪拌されて、ボイド３０４の発生位置が広範囲にわたることになり、シール性の低下の原因となっている。また、図１３（Ｂ）に示したように、急速な加熱によって、オイルが沸騰して、一部でボイドが発生して、大きなクレータ３０６が形成されることになり、封止部のシール性の低下の原因ともなっている。
【００１２】
また、特開２００２−３５８５０号公報に開示されるオイル充填パイプの封止方法においても、１回目の溶接と２回目の溶接によって形成される溶接部における溶接組織は単一の溶接組織となっているため、このようなボイドの発生によるシール性の低下を完全には回避できるまでにはいたっていない。
本発明は、このような現状に鑑み、オイルの流出や溶接熱などによるオイルの吹出しによる封止箇所のシール性の信頼性の低下、オイル充填量の減少による圧力センサとしての信頼性の低下がなく、しかも、溶接部においてボイドの発生によるシール性の低下がなく、完全かつ確実に封止部をシール封止可能な、液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法およびそれを用いた液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法は、液封型圧力センサの液封室にオイルを充填するための液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法であって、
前記オイル充填用パイプの液封室と反対側の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成し、
前記圧潰扁平部を一次溶接して、圧潰扁平部を封止する一次溶接部を形成し、前記一次溶接部を二次溶接して、前記一次溶接部の液導入開口側の一部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造は、液封型圧力センサの液封室にオイルを充填するための液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造であって、
前記オイル充填用パイプの液封室と反対側の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成し、
前記圧潰扁平部を一次溶接して、圧潰扁平部を封止する一次溶接部を形成し、前記一次溶接部を二次溶接して、前記一次溶接部の液導入開口側の一部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止して構成したオイル充填用パイプを備えることを特徴とする。
【００１５】
このように構成することによって、オイルを封入したオイル充填用パイプの液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成することによって溶接部におけるオイルを少なくするとともに、オイル充填用パイプ内部からのオイル膨張圧力の伝わりが絞られることになる。
そして、一次溶接によって、圧潰扁平部を一次溶接することによって、二次溶接の溶接部となる箇所の圧潰扁平部の隙間に残存するオイルを燃焼焼失させる。これにより、二次溶接の際に、オイルの膨張による逃げ道を防ぐことができ、たとえボイドが発生したとしても、二次溶接の際に、オイル充填用パイプ内部からのオイルの膨張による圧力が溶接部にかからないようになっている。
【００１６】
そして、二次溶接によって、一次溶接部の液導入開口側の一部を部分的に溶解させるので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分を再溶融、凝固して溶接部が形成されることになる。従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００１７】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定である。
【００１８】
また、本発明では、前記二次溶接を、一次溶接よりも短時間で行うことを特徴とする。
このように、二次溶接を、一次溶接よりも短時間で行うことによって、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織とすることができる。
【００１９】
従って、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
また、本発明では、前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部の先端部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の表層部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする。
【００２０】
このように、圧潰扁平部の先端部に一次溶接部を形成した後に、一次溶接部の液導入開口側の表層部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成するので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分である一次溶接部の表層部を再溶融、凝固して溶接部を形成することができる。
【００２１】
従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を表層部に形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で一次溶接部の表層部を再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００２２】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した表層部の結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定である。
【００２３】
また、本発明では、前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側の先端部に対してレーザ溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の表層部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする。
このように構成することによって、一次溶接を、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部に対してレーザ溶接にて行うことによって、レーザのパワーを制御することができ、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部をゆっくり加熱して溶融し、この溶融部を自重で融合しながら溶接できる。
【００２４】
従って、溶融部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、たとえ、ボイドが発生したとしても、圧潰扁平部の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがない。
また、二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の表層部に対してレーザ溶接にて行うので、レーザのパワーを制御することができ、表層部を部分的に短時間に溶解させて、二次溶接部を形成することができる。
【００２５】
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織を一次溶接部の液導入開口側の表層部に形成することができる。
従って、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
【００２６】
また、本発明では、前記一次溶接にて、前記圧潰扁平部に一次溶接部を形成して、
前記二次溶接にて、一次溶接部の液導入開口側の上方部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成して、前記オイル充填用パイプの液導入開口を封止することを特徴とする。
【００２７】
このように、圧潰扁平部に一次溶接部を形成した後に、一次溶接部の液導入開口側の上方部を部分的に溶解させて二次溶接部を形成するので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分である一次溶接部の上方部を再溶融、凝固して溶接部を形成することができる。
従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を上方部に形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で一次溶接部の上方部を再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００２８】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した上方部の結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定である。
【００２９】
また、本発明では、前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、スポット溶接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする。
このように構成することによって、一次溶接を、圧潰扁平部の液導入開口側の離間した先端部近傍に対してスポット溶接にて行うことによって、電極によって、圧潰扁平部に力を加えながら通電し、内部を溶かして溶接するので、オイルの膨張による噴き出しを抑えることができ、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部近傍を溶接できる。
【００３０】
従って、溶融部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、たとえ、ボイドが発生したとしても、圧潰扁平部の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがない。
また、二次溶接であるレーザ溶接は、スポット溶接の位置が先端よりも離間した位置であり、縦長に溶接されるので、この二次溶接は、一次溶接に比較して短時間に行う必要はなく、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部をゆっくり加熱して溶融し、この溶融部を自重で融合しながら溶接できる。
【００３１】
しかも、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うので、レーザのパワーを制御することができ、上方部を部分的に溶解させて、二次溶接部を形成することができる。
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織一次溶接部の液導入開口側の上方部に形成することができる。
【００３２】
従って、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
また、本発明では、前記一次溶接を、前記圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、高温加熱しながら圧接する高温圧接にて行い、
前記二次溶接を、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うことを特徴とする。
【００３３】
このように構成することによって、一次溶接を、圧潰扁平部の液導入開口側の離間した先端部近傍に対して高温圧接にて行うことによって、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部近傍をゆっくり加熱しながら圧接できる。
従って、圧接部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、たとえ、ボイドが発生したとしても、圧潰扁平部の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがない。
【００３４】
また、二次溶接であるレーザ溶接は、スポット溶接の位置が先端よりも離間した位置であり、縦長に溶接されるので、この二次溶接は、一次溶接に比較して短時間に行う必要はなく、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部をゆっくり加熱して溶融し、この溶融部を自重で融合しながら溶接できる。
しかも、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うので、レーザのパワーを制御することができ、上方部を部分的に溶解させて、二次溶接部を形成することができる。
【００３５】
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織一次溶接部の液導入開口側の上方部に形成することができる。
従って、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。図１は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を用いた液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造を示す液封型圧力センサの縦断面図、図２は、図１の部分拡大断面図である。
【００３７】
図１に示したように、液封型圧力センサ１０は、圧力検出エレメント１２と、継手１４と、コネクタハウジング１６との結合体により構成されている。
圧力検出エレメント１２は、金属製のエレメント本体１８を備えており、このエレメント本体１８に形成された中央開口２０内に、ハーメチックガラス２２が嵌め込まれて固着されている。
【００３８】
また、圧力検出エレメント１２の一方の端面（下底面）には、金属ダイヤフラム２４の外周縁部が溶接によって気密に固着されている。そして、金属ダイヤフラム２４の下方に、連通孔２６が形成されたダイヤフラム保護カバー２８が取り付けられている。
そして、この構造によって、エレメント本体１８の中央開口２０の部分において、ハーメチックガラス２２と金属ダイヤフラム２４との間に、オイルが封入される液封室３０が形成されている。
【００３９】
一方、ハーメチックガラス２２の液封室３０の側の面部には、ワンチップ構造のセンサチップ３２が接着剤によって固定されている。
このセンサチップ３２は、液封室３０内に配設されており、ピアゾ抵抗型圧力センサなどによるワンチップ構造のセンサチップとして構成されている。
また、ハーメチックガラス２２には、センサチップ３２に対する信号の入出力を行うための複数個のリードピン３４と、オイル充填用パイプ３６が、それぞれ、貫通状態で、ハーメチック処理により固定されている。
【００４０】
リードピン３４は、図示されていない金製あるいはアルミニウム製のワイヤによってセンサチップ３２と導通接続され、センサチップ３２の外部出力端子や外部入力端子を構成している。リードピン３４には、例えば、ＦＰＣ（フレキジブルプリント回路）３１が導通接続され、ＦＰＣ３１とコネクタハウジング１６の接続端子３８とが導通接続されている。
【００４１】
この場合、オイル充填用パイプ３６は、液封室３０にオイルを充填する液導入開口（充填口）として使用され、オイルの充填が完了した後に、先端部が液密封止され、封入溶接部４０が形成されるようになっている。
以下に、このように構成される液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法について説明する。
【００４２】
図３（Ａ）は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第１の実施例を説明するオイル充填パイプの部分拡大縦断面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の部分拡大図、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のオイル充填用パイプの上面図、図４は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第１の実施例を示す概略図である。
（１）圧潰扁平部形成工程
図３に示したように、オイル充填用パイプ３６の液封室３０と反対側の液導入開口側の先端部４２を、例えば、かしめ加工などによって、オイル充填用パイプ３６を横方向に両側から押圧して、扁平状態に圧潰して、圧潰扁平部４４を形成する。なお、この圧潰扁平部４４の扁平寸法ｔは、オイル充填用パイプ３６の内径、肉厚などによって適宜選択すればよく、特に限定されるものではないが、一例を挙げれば、扁平寸法ｔは、オイル充填用パイプ３６の肉厚が０．２〜０．３ｍｍ程度であれば、０．４〜０．６ｍｍ程度で、パイプ内径部の許容扁平圧潰間隙ａは、０．０１ｍｍ以下であることが好ましい。
【００４３】
なお、この場合、圧潰扁平部４４の形成方法としては、図３に示したように、横方向に両側から押圧して形成する方法の他、図５に示したように、片側からのみ押圧して、片側のみ変形させて押圧させるようにしても良く、特に限定されるものではない。
このように、オイルを封入したオイル充填用パイプ３６の液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部４４を形成することによって溶接部におけるオイルを少なくするとともに、オイル充填用パイプ３６の内部からのオイル膨張圧力の伝わりが絞られることになる。
（２）一次溶接工程
このようにオイル充填用パイプ３６の液封室３０と反対側の液導入開口側の先端部４２に、圧潰扁平部４４を形成した後、圧潰扁平部４４の先端部４６を一次溶接して、圧潰扁平部を全面的に封止する一次溶接部４８を形成する（図４（Ｂ）参照）。
【００４４】
この場合、この一次溶接としては、レーザ溶接にて行うのが好ましく、図６に示したように、ゆっくり加熱して溶融し、この溶融部を自重で融合しながら溶接するのが望ましい。
このようなレーザ溶接による一次溶接よって、溶融部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、図４（Ｂ）に示したように、たとえ、ボイド５０が発生したとしても、圧潰扁平部４４の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがないようになっている。
【００４５】
このようなレーザ溶接の条件としては、レーザの種類などによっても異なるが、一例を挙げれば、例えば、ＹＡＧレーザの場合、出力が１４０Ｗで、パルス幅が、１．２ｍｓｅｃ、繰り返し速度７０ｐｐｓ、ショット数が４０ショットとするのが望ましい。
このような一次溶接によって、圧潰扁平部４４の先端部４６を一次溶接することによって、二次溶接の溶接部となる箇所の圧潰扁平部４４の隙間に残存するオイルを燃焼焼失させることができる。これにより、二次溶接の際に、オイルの膨張による逃げ道を防ぐことができ、たとえボイドが発生したとしても、二次溶接の際に、オイル充填用パイプ３６の内部からのオイルの膨張による圧力が溶接部にかからないようになっている。
（３）二次溶接工程
このように圧潰扁平部４４の先端部４６を一次溶接することによって、一次溶接部４８を形成した後、二次溶接にて、一次溶接部４８の液導入開口側の表層部５２を部分的に溶解させて二次溶接部５４を形成する。これによって、オイル充填用パイプ３６の液導入開口を封止する封止部５６が形成される。
【００４６】
この場合、この二次溶接としては、レーザ溶接にて行うのが好ましく、一次溶接部４８の液導入開口側の表層部５２を部分的に短時間に溶解させて、二次溶接部５４を形成するのが望ましい。
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部４８の表層部５２の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、図４（Ｃ）に示したように、一次溶接とは独立した溶接組織を一次溶接部の液導入開口側の表層部に形成することができる。
【００４７】
このようなレーザ溶接の条件としては、上記の一次溶接に比較して、短時間に行う必要があり、レーザの種類などによっても異なるが、一例を挙げれば、例えば、ＹＡＧレーザの場合、エネルギーが６．８Ｊで、パルス幅が、４ｍｓｅｃ、ショット数が１ショットとするのが望ましい。
このように、圧潰扁平部４４の先端部４６に一次溶接部４８を形成した後に、一次溶接部の液導入開口側の表層部５２を部分的に溶解させて二次溶接部５４を形成するので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分である一次溶接部４８の表層部５２を再溶融、凝固して溶接部（封止部）５６を形成することができる。
【００４８】
従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を表層部５２に形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で一次溶接部４８の表層部５２を再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００４９】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した表層部の結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定である。
【００５０】
図７は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第２の実施例を示す概略図である。
この実施例の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法は、図３および図４に示した第１の実施例と（１）の圧潰扁平部形成工程は、同様な工程であるので、その詳細な説明を省略し、（２）の一次溶接工程と、（３）の二次溶接工程について、以下に説明する。
（２）一次溶接工程
図７（Ａ）に示したように、（１）の圧潰扁平部形成工程において、オイル充填用パイプ３６の液封室３０と反対側の液導入開口側の先端部４２に、圧潰扁平部４４を形成した後、圧潰扁平部４４の液導入開口側から離間した先端部近傍５８に対して、スポット溶接にて、圧潰扁平部４４を全面的に封止する一次溶接部６０を形成する（図７（Ｂ）参照）。
【００５１】
この場合、この一次溶接としては、図７（Ｂ）の矢印で示したように、スポット溶接にて行うのが好ましい。
このようなスポット溶接によれば、電極によって、圧潰扁平部４４に力を加えながら通電し、内部を溶かして溶接するので、オイルの膨張による噴き出しを抑えることができる。しかも、溶融部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、図７（Ｂ）に示したように、たとえ、ボイド５０が発生したとしても、圧潰扁平部４４の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがないようになっている。
【００５２】
このようなスポット溶接の条件としては、オイル充填用パイプ３６の径などによって異なり、特に限定されるものではないが、一例を挙げれば、加圧力が１１００Ｎ、通電電流が３ＫＡ、０．１秒の通電時間とするのが望ましい。
なお、この場合、スポット溶接を行う先端部近傍５８の位置としては、図７（Ｂ）に示したように、圧潰扁平部４４の先端からの距離Ｌが、好ましくは、０．５〜１．０ｍｍとするのが望ましい。また、この実施例の場合には、先端部近傍５８にスポット溶接を行ったが、圧潰扁平部４４の先端部４６にスポット溶接を行うことも可能である。
【００５３】
このような一次溶接によって、圧潰扁平部４４の先端部近傍５８を一次溶接することによって、二次溶接の溶接部となる箇所の圧潰扁平部４４の隙間に残存するオイルを燃焼焼失させることができる。これにより、二次溶接の際に、オイルの膨張による逃げ道を防ぐことができ、たとえボイドが発生したとしても、二次溶接の際に、オイル充填用パイプ３６の内部からのオイルの膨張による圧力が溶接部にかからないようになっている。
（３）二次溶接工程
このように圧潰扁平部４４の先端部近傍５８を一次溶接することによって、一次溶接部６０を形成した後、二次溶接にて、一次溶接部６０の液導入開口側の上方部６２を部分的に溶解させて二次溶接部６４を形成する。これによって、オイル充填用パイプ３６の液導入開口を封止する封止部６６が形成される。
【００５４】
この場合、この二次溶接としては、レーザ溶接にて行うのが好ましく、一次溶接部６０の液導入開口側の上方部６２を部分的に溶解させて、二次溶接部６４を形成するのが望ましい。
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部６０の上方部６２の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、図７（Ｃ）に示したように、一次溶接とは独立した溶接組織を一次溶接部の液導入開口側の表層部に形成することができる。
【００５５】
このような二次溶接であるレーザ溶接は、スポット溶接の位置が先端よりも離間した位置であり、縦長に溶接されるので、この二次溶接は、図４に示した実施例の二次溶接のように一次溶接に比較して短時間に行う必要はない。また、このようなレーザ溶接の条件としては、上記の一次溶接に比較して、短時間に行う必要はなく、一次溶接と同様に、レーザの種類などによっても異なるが、一例を挙げれば、例えば、ＹＡＧレーザの場合、出力が１４０Ｗで、パルス幅が、１．２ｍｓｅｃ、繰り返し速度７０ｐｐｓ、ショット数が４０ショットとするのが望ましい。
【００５６】
このように、圧潰扁平部４４の先端部近傍５８に一次溶接部６０を形成した後に、一次溶接部６０の液導入開口側の上方部６２を部分的に溶解させて二次溶接部６４を形成するので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分である一次溶接部６０の上方部６２を再溶融、凝固して溶接部（封止部）６６を形成することができる。
【００５７】
従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を表層部５２に形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で一次溶接部６０の上方部６２を再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００５８】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した表層部の結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定である。
【００５９】
図８は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第３の実施例を示す概略図である。
この実施例の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法は、図７に示した第１の実施例と（１）の圧潰扁平部形成工程、（３）の二次溶接工程は、実質的に同様な工程であるので、その詳細な説明を省略し、（２）の一次溶接工程について、以下に説明する。
（２）一次溶接工程
図８（Ａ）に示したように、（１）の圧潰扁平部形成工程において、オイル充填用パイプ３６の液封室３０と反対側の液導入開口側の先端部４２に、圧潰扁平部４４を形成した後、圧潰扁平部４４の液導入開口側から離間した先端部近傍５８に対して、高温加熱しながら圧接する高温圧接にて、圧潰扁平部４４を全面的に封止する一次溶接部６０を形成する（図８（Ｂ）参照）。
【００６０】
この場合、この一次溶接としては、図８（Ｂ）の矢印で示したように、高温加熱しながら圧接する高温圧接にて行うのが好ましく、ゆっくり加熱しながら圧接するのが望ましい。
このような高温圧接によって、圧接部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、図８（Ｂ）に示したように、たとえ、ボイド５０が発生したとしても、圧潰扁平部４４の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがないようになっている。
【００６１】
このような高温圧接の条件としては、オイル充填用パイプ３６の径などによって異なり、特に限定されるものではないが、一例を挙げれば、例えば、出力が３００Ｗ、加圧力が１２０Ｎ、パルス幅が、１ｍｓｅｃ、繰り返し速度１００ｐｐｓ、ショット数が４５０ショットとするのが望ましい。
なお、この場合、高温圧接を行う先端部近傍５８の位置としては、図７（Ｂ）に示したように、圧潰扁平部４４の先端からの距離Ｌが、好ましくは、０．３〜０．８ｍｍとするのが望ましい。また、この実施例の場合には、先端部近傍５８に高温圧接を行ったが、圧潰扁平部４４の先端部４６に高温圧接を行うことも可能である。
【００６２】
このような一次溶接によって、圧潰扁平部４４の先端部近傍５８を一次溶接することによって、二次溶接の溶接部となる箇所の圧潰扁平部４４の隙間に残存するオイルを燃焼焼失させることができる。これにより、二次溶接の際に、オイルの膨張による逃げ道を防ぐことができ、たとえボイドが発生したとしても、二次溶接の際に、オイル充填用パイプ３６の内部からのオイルの膨張による圧力が溶接部にかからないようになっている。
【００６３】
このように一次溶接にて、圧潰扁平部４４の先端部近傍５８を一次溶接することによって、一次溶接部６０を形成した後、上記の図７に示した第２の実施例の（３）の二次溶接工程と同様にして、二次溶接にて、一次溶接部６０の液導入開口側の上方部６２を部分的に溶解させて二次溶接部６４を形成する。これによって、オイル充填用パイプ３６の液導入開口を封止する封止部６６が形成される。
【００６４】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、特開２００２−３５８５０号公報に開示されるように、（１）の圧潰扁平部形成工程において、オイル充填用パイプ３６の横切方向に筋状の圧潰部による仮封止部を形成してもよく、また、上記の実施例では、レーザ溶接、スポット溶接、高温圧接を第１の実施例〜第３の実施例のように組み合わせた場合を示したが、その他の組み合わせを採用することも可能であるなどなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６５】
【発明の効果】
本発明によれば、オイルを封入したオイル充填用パイプの液導入開口側の先端部を扁平状態に圧潰して圧潰扁平部を形成することによって溶接部におけるオイルを少なくするとともに、オイル充填用パイプ内部からのオイル膨張圧力の伝わりが絞られることになる。
【００６６】
そして、一次溶接によって、圧潰扁平部の先端部または先端部近傍を一次溶接することによって、二次溶接の溶接部となる箇所の圧潰扁平部の隙間に残存するオイルを燃焼焼失させる。これにより、二次溶接の際に、オイルの膨張による逃げ道を防ぐことができ、たとえボイドが発生したとしても、二次溶接の際に、オイル充填用パイプ内部からのオイルの膨張による圧力が溶接部にかからないようになっている。
【００６７】
そして、二次溶接によって、一次溶接部の液導入開口側の一部である、表層部または上方部を部分的に溶解させるので、オイルも存在せずオイルの燃焼による影響もなく、オイルの膨張による圧力もかからない部分を再溶融、凝固して溶接部が形成されることになる。
従って、オイル燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく均一な溶接組織を形成することができる。しかも、一次溶接でボイドが発生したとしても、二次溶接で再溶融するため、内部のボイドは外部へ放出されたり、凝固の際の溶融部に表面のヒケに置換されて、ボイドが発生することがない。
【００６８】
また、たとえ、二次溶接の際の再溶融部にボイドが残存していたとしても、一次溶接とは独立した結晶組織内に残存することになるので、オイル充填用パイプ内部からのオイルとは遮断されることになる。
さらに、一次溶接、二次溶接ともレーザ溶接でオイル充填用パイプの先端部に対して行う場合に、二次溶接を、一次溶接よりも短時間で行うことによって、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織とすることができる。これにより、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
【００６９】
また、本発明によれば、一次溶接を、圧潰扁平部の液導入開口側から離間した先端部近傍に対して、スポット溶接または高温圧接にて行うことによって、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部近傍をゆっくり加熱しながら圧接できる。
従って、圧接部における攪拌が生じず、ボイドが発生せず、たとえ、ボイドが発生したとしても、圧潰扁平部の中央の接合面に集中することになり、内部から外部へつながってシール性を低下するおそれがない。
【００７０】
また、二次溶接であるレーザ溶接は、スポット溶接の位置が先端よりも離間した位置であり、縦長に溶接されるので、この二次溶接は、一次溶接に比較して短時間に行う必要はなく、圧潰扁平部の液導入開口側の先端部をゆっくり加熱して溶融し、この溶融部を自重で融合しながら溶接できる。
しかも、一次溶接部の液導入開口側の上方部に対してレーザ溶接にて行うので、レーザのパワーを制御することができ、上方部を部分的に溶解させて、二次溶接部を形成することができる。
【００７１】
これにより、溶融部を激しく攪拌せずに一次溶接部の金属部分のみを加熱、溶融、冷却できることになるので、オイルの燃焼や膨張による圧力の影響を受けることなく、均一な溶接組織がえられるとともに、一次溶接とは独立した溶接組織一次溶接部の液導入開口側の上方部に形成することができる。従って、ボイドによる影響がなく、封止部のシール性を極めて向上することができる。
【００７２】
従って、漏れ検査のできない密閉型の液封型圧力センサのオイル充填用パイプであっても、パイプ先端部の封止部のシール性を極めて向上することができるとともに、圧力センサのセンサ機能も極めて安定であるなどの幾多の顕著で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を用いた液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止構造を示す液封型圧力センサの縦断面図である。
【図２】図２は、図１の部分拡大断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第１の実施例を説明するオイル充填パイプの部分拡大縦断面図、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の部分拡大図、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のオイル充填用パイプの上面図である。
【図４】図４は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第１の実施例を示す概略図である。
【図５】図５は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の別の実施例を説明するオイル充填パイプの部分拡大縦断面図である。
【図６】図６は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第１の実施例の一次溶接工程を示す概略図である。
【図７】図７は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第２の実施例を示す概略図である。
【図８】図８は、本発明の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法の第３の実施例を示す概略図である。
【図９】図９は、従来の液封型圧力センサの縦断面図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、従来の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を説明するオイル充填パイプの部分拡大縦断面図、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）の部分拡大図である。
【図１１】図１１は、従来の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を説明するオイル充填パイプの上面図である。
【図１２】図１２は、従来の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を説明する概略図である。
【図１３】図１３は、従来の液封型圧力センサのオイル充填用パイプの封止方法を説明する概略図である。
【符号の説明】
１０　液封型圧力センサ
１２　圧力検出エレメント
１４　継手
１６　コネクタハウジング
１８　エレメント本体
２０　中央開口
２２　ハーメチックガラス
２４　金属ダイヤフラム
２６　連通孔
２８　ダイヤフラム保護カバー
３０　液封室
３２　センサチップ
３４　リードピン
３６　オイル充填用パイプ
３８　接続端子
４０　封入溶接部
４２　先端部
４４　圧潰扁平部
４６　先端部
４８　一次溶接部
５０　ボイド
５２　表層部
５４　二次溶接部
５６　封止部
５８　先端部近傍
６０　一次溶接部
６２　上方部
６４　二次溶接部
６６　封止部
１０２　液封型圧力センサ
１０３　ダイヤフラム
１０４　継手
１０６　通路
１０７　圧力室
１０８　保護カバー
１１０　エレメント本体
１１２　中央開口
１１４　ハーメチックガラス
１１６　液封室
１２０　センサチップ
１２２　オイル充填用パイプ
１２４　先端
２００　オイル充填パイプ
２０２　先端部
２０４　仮封止部
２０６　圧潰扁平部
３００　オイル充填パイプ
３０２　金属溶融部
３０４　ボイド
３０６　クレータ
Ｌ　距離
ｔ　扁平寸法
【図１】
2004028784.tif 000003
【図２】
2004028784.tif 000004
【図３】
2004028784.tif 000005
【図４】
2004028784.tif 000006
【図５】
2004028784.tif 000007
【図６】
2004028784.tif 000008
【図７】
2004028784.tif 000009
【図８】
2004028784.tif 000010
【図９】
2004028784.tif 000011
【図１０】
2004028784.tif 000012
【図１１】
2004028784.tif 000013
【図１２】
2004028784.tif 000014
【図１３】
2004028784.tif 000015