(57)【要約】【課題】単時間で確実にレジスト膜の剥離を行うことが可能であるレジスト膜の剥離方法及びレジスト膜の剥離装置を提供する。【解決手段】レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離方法において、レジスト膜８が形成された導電体７を有機系レジスト剥離液中で電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させる。【選択図】　　図２
2004126313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離方法において、
レジスト膜が形成された導電体を有機系レジスト剥離液中で電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させる
ことを特徴とするレジスト膜の剥離方法。
【請求項２】
前記有機系レジスト剥離液として水素イオンを含むものを使用すると共に、レジスト膜が形成された導電体を陰極として電圧を印加して導電体表面から水素ガスを発生させる
ことを特徴とする請求項１に記載のレジスト膜の剥離方法。
【請求項３】
前記有機系レジスト剥離液は、強アルカリ性水溶液である
ことを特徴とする請求項２に記載のレジスト膜の剥離方法。
【請求項４】
レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離装置において、
有機系レジスト剥離液を収める剥離槽と、
該剥離槽中に形成された電極と、
レジスト膜が形成された導電体表面からガスを発生させるべく、前記剥離槽中に配置された前記導電体及び前記電極に電圧を印加する電源とを備える
ことを特徴とするレジスト膜の剥離装置。
【請求項５】
前記剥離槽に水素イオンを含む有機系レジスト剥離液を収めると共に、前記電源からレジスト膜が形成された導電体を陰極として電圧を印加して導電体表面から水素ガスを発生させる
ことを特徴とする請求項４に記載のレジスト膜の剥離装置。
【請求項６】
前記剥離槽に有機系レジスト剥離液は、強アルカリ性水溶液である
ことを特徴とする請求項５に記載のレジスト膜の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレジスト膜の剥離方法及びレジスト膜の剥離装置に関する。詳しくは、レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離方法及びレジスト膜の剥離装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
テレビ用のシャドウマスクを形成する方法の一つに、鋼板にレジスト膜を形成し、レジスト膜にレジストパターンを形成した後にエッチング液によって鋼板のエッチングを行う方法が知られている。
ここで、エッチングの後は鋼板から不要となったレジスト膜を除去する必要があり、レジスト膜として水溶性のレジスト膜を用い、レジストを剥離除去する溶液であるレジスト剥離液としてアルカリ性水溶液を用いて剥離する方法がある。即ち、有機系レジスト剥離液である水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等の強アルカリ性水溶液の中に水溶性のレジスト膜が形成された鋼板を、ｐＨ１３以上、４０〜５０℃の条件で１０分程度浸漬することによってレジストを膨潤させてレジスト膜の剥離を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したレジスト膜の剥離方法では、レジスト膜が形成された鋼板をレジスト剥離液の中に単に浸漬しているだけであり、鋼板に形成されたレジスト膜が膨潤・剥離するにはある程度の時間（１０分程度）を要してしまうという不都合がある。
また、レジスト膜の剥離を行うためにレジスト剥離液に鋼板を浸漬している時間は、鋼板のうちレジスト膜が形成されていない部分や既にレジスト膜が剥離した部分は強アルカリ性のレジスト剥離液にさらされる状態となり、鋼板がレジスト剥離液に侵されてしまうという不具合もある。
【０００４】
本発明は、上記の点に鑑みて創案されたものであって、単時間で確実にレジスト膜の剥離を行うことが可能であるレジスト膜の剥離方法及びレジスト膜の剥離装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係るレジスト膜の剥離方法は、レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離方法において、レジスト膜が形成された導電体を有機系レジスト剥離液中で電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させる。
【０００６】
ここで、レジスト膜が形成された導電体を有機系レジスト剥離液中で電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させることによって、導電体とレジストとの密着力を低減することができる。
【０００７】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係るレジスト膜の剥離装置は、レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離装置において、有機系レジスト剥離液を収める剥離槽と、該剥離槽中に形成された電極と、レジスト膜が形成された導電体表面からガスを発生させるべく、前記剥離槽中に配置された前記導電体及び前記電極に電圧を印加する電源とを備える。
【０００８】
ここで、電源により剥離槽中に配置されたレジスト膜が形成された導電体及び電極に電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させることによって、導電体とレジストとの密着力を低減することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００１０】
図１は本発明を適用したレジスト膜の剥離装置の一例であり、シャドウマスクを形成する際におけるレジスト膜の剥離装置の一例を説明するための模式的な図面である。ここで示すレジスト膜の剥離装置（以下、単に「剥離装置」と言う）１は、水酸化ナトリウム水溶液が収められた６つの剥離槽２及び水が収められた２つの水洗槽３を備えており、剥離槽及び水洗槽内にはシンクロール４が形成されている。
また、剥離槽及び水洗槽の上部にはコンダクターロール５が形成され、コンダクターロールによって鋼板に通電を行うと共に、コンダクターロール及びシンクロールによって鋼板を通板できる様に構成されている。
更に、剥離槽内には不溶性陽極として機能する電極６がコンダクターロール及びシンクロールによって通板される鋼板を挟むように配置されている。
【００１１】
ここで、剥離槽に収められた有機系レジスト剥離液は、鋼板と不溶性陽極との間に電圧を印加した際に、鋼板の表面からガスが発生するものであればどのような有機系レジスト剥離液でも良く、必ずしも水酸化ナトリウム水溶液に限定されるものでは無い。
同様に、鋼板の表面からガスが発生させることができれば良く、必ずしも鋼板を陰極とし、電極を陽極として機能させる必要は無いが、有機系レジスト剥離液として水素イオンを含むものを用い、鋼板を陰極とし、電極を陽極として機能させることにより、鋼板の表面から容易に水素ガスが発生するために、有機系レジスト剥離液として例えば水酸化ナトリウム水溶液のように水素イオンを含むものを用い、電極を陽極として機能させる方が好ましい。
【００１２】
また、電極は鋼板表面からガスを発生させるべく、陽極として機能すれば充分であり、必ずしも鋼板を挟む様に配置される必要は無いが、シャドウマスクを形成するための鋼板のエッチングは一般に両面から行われ、鋼板の両面にレジスト膜を形成するために、剥離の際にも両面を同時に剥離する方が効率的であるので、電極は鋼板を挟む様に配置された方が好ましい。
【００１３】
なお、鋼板の両面にレジスト膜が形成されることにより、レジスト膜が剥離される前においてはコンダクターロールによって鋼板に通電を行うことは困難である場合もあり得るが、水洗槽を経た後の鋼板はレジスト膜が剥離されているために図１中符号ｘで示すコンダクターロールにおいては確実に鋼板に通電することができ、図１中符号ｘで示すコンダクターロールから鋼板全体に確実に通電を行うことができる。
【００１４】
以下、上記の様に構成された本発明を適用したレジスト膜の剥離装置を用いて行うレジスト膜の剥離方法について説明する。即ち、本発明を適用したレジスト膜の剥離方法の一例について説明する。
【００１５】
本発明を適用したレジスト膜の剥離方法の一例では、先ず、コンダクターロール及びシンクロールを回転することにより、図１中符号ａで示す様に、シャドウマスク用にエッチングが施されたレジスト膜が形成された鋼板を装置内の剥離槽に通板する。
即ち、レジスト膜が形成された鋼板を水酸化ナトリウム水溶液が収められた剥離槽の中に通板することによって、図２（ａ）で示す様に、鋼板７に形成されたレジスト膜８に水酸化ナトリウム水溶液が浸透した状態となる。
なお、図２（ａ）中符号ｃはレジスト膜中に浸透した水酸化ナトリウム水溶液を示している。
【００１６】
次に、電極が陽極として、鋼板が陰極として機能する様に電極と鋼板に電圧を印加することにより、図２（ｂ）で示す様にプラスの電荷を有するレジスト膜に浸透した水酸化ナトリウム水溶液中の水素イオンが鋼板の表面に引き寄せられ、図２（ｃ）で示す様に鋼板表面で水素ガスが発生する。
即ち、鋼板が陰極として機能する様に電圧を印加することにより鋼板表面で水素ガスを発生させ、鋼板とレジストの境目に空隙部を形成することによって、鋼板とレジスト膜との密着力の低減させることができる。
なお、図２（ｃ）中符号ｄは鋼板表面で発生した水素ガスを示している。
【００１７】
更にコンダクターロール及びシンクロールを回転し、レジスト膜が剥離された鋼板を水洗槽に通板し、水洗槽でレジスト剥離液が洗い流した後、水切りロール９を通って図１中符号ｂで示す様に、レジストマスクが剥離された鋼板を装置の外へ通板する。
【００１８】
上記した本発明を適用したレジスト膜の剥離装置では、水酸化ナトリウム水溶液を収めた剥離槽中で、電極が陽極として、鋼板が陰極として機能する様に電極と鋼板に電圧を印加し、レジスト膜が形成された鋼板表面から水素ガスを発生させることにより、鋼板とレジスト膜との密着力を低減せしめることによって容易にレジスト膜を剥離することができるものである。
【００１９】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明のレジスト膜の剥離方法及びレジスト膜の剥離装置では、単時間で確実にレジスト膜の剥離を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したレジスト膜の剥離装置の一例を説明するための模式図である。
【図２】水素ガスによるレジスト膜の剥離を説明するための模式的図である。
【符号の説明】
１　　レジスト膜の剥離装置
２　　剥離槽
３　　水洗槽
４　　シンクロール
５　　コンダクターロール
６　　電極
７　　鋼板
８　　レジスト膜
９　　水切りロール
【図１】
2004126313.tif 000003
【図２】
2004126313.tif 000004