(57)【要約】【課題】基板１１および基板部１５の有効領域１６への影響を低減し、基板１１から基板部１５を分割できる基板分割装置２１を提供する。【解決手段】基板１１は、分割ライン１４によって区画するとともに有効領域１６およびこの有効領域１６外に非有効領域１７を設けた複数の基板部１５を備える。搬送手段３１で、基板１１を分割位置３４へ搬送する。位置決め手段３５で、基板１１から分割する基板部１５の分割ライン１４を基準として、基板１１を分割位置３４に位置決めする。保持手段３８で、基板１１の非有効領域１７を保持する。分割手段４６の分割ヘッド４５に設けたスリット４９を分割する基板部１５の非有効領域１７に配置し、分割ヘッド４５を分割する基板部１５の分割ライン１４を中心として回動させて基板部１５を分割する。分割時に基板１１および基板部１５の有効領域１６に接触せず、分割の起点を非有効領域１７で発生させ、有効領域１６への影響を低減する。【選択図】　　　　図１
2004009208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割ラインによって区画されるとともに有効領域およびこの有効領域外に非有効領域を有する複数の基板部を設けた基板を、この基板に対して分割する基板部の分割ラインを基準として分割位置に位置決めし、
位置決めした基板の非有効領域を保持し、
分割ヘッドを分割する基板部の非有効領域に配置し、この分割ヘッドを回動させて基板部を分割する
ことを特徴とする基板分割方法。
【請求項２】
分割ヘッドを分割する基板部の非有効領域に配置するとき、基板の厚みより広い間隔に設けた分割ヘッドのスリットに分割する基板部の非有効領域を配置する
ことを特徴とする請求項１記載の基板分割方法。
【請求項３】
分割する基板部をバキュームパッドで吸着保持する
ことを特徴とする請求項１または２記載の基板分割方法。
【請求項４】
搬送方向に沿って張設されて回動する丸ベルト上に基板を載せて分割位置へ向けて搬送する
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の基板分割方法。
【請求項５】
分割前の基板は有効領域およびこの有効領域の周辺に形成された非有効領域を有し、
基板の複数の基板部が並ぶ方向に対して交差する方向の少なくとも１辺の非有効領域を残して他の非有効領域を分割除去する
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載の基板分割方法。
【請求項６】
分割した基板部の非有効領域を分割除去する
ことを特徴とする請求項１ないし５いずれか記載の基板分割方法。
【請求項７】
分割ラインによって区画されるとともに有効領域およびこの有効領域外に非有効領域を有する複数の基板部を設けた基板を、この基板に対して分割する基板部の分割ラインを基準として分割位置に位置決めする位置決め手段と、
この位置決め手段で位置決めされた基板の非有効領域を保持する保持手段と、
分割ヘッドを有し、この分割ヘッドを分割する基板部の非有効領域に配置するとともに分割ヘッドを回動させて基板部を分割する分割手段と
ことを特徴とする基板分割装置。
【請求項８】
分割ヘッドは、基板の厚みより広い間隔に設けたスリットを有し、このスリットに分割する基板部の非有効領域を配置する
ことを特徴とする請求項７記載の基板分割装置。
【請求項９】
分割手段で分割する基板部を吸着保持するバキュームパッドを備えている
ことを特徴とする請求項７または８記載の基板分割装置。
【請求項１０】
搬送方向に沿って張設されて回動する丸ベルトを有し、この丸ベルト上に基板を載せて分割位置へ向けて搬送する搬送手段を備えている
ことを特徴とする請求項７ないし９いずれか記載の基板分割装置。
【請求項１１】
分割前の基板は有効領域およびこの有効領域の周辺に形成された非有効領域を有し、
前記基板の複数の基板部が並ぶ方向に対して交差する方向の少なくとも１辺の非有効領域を残して他の非有効領域を分割除去する前処理手段を備えている
ことを特徴とする請求項７ないし１０いずれか記載の基板分割装置。
【請求項１２】
分割された基板部の非有効領域を分割除去する後処理手段を備えている
ことを特徴とする請求項７ないし１１いずれか記載の基板分割装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を分割する基板分割方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、ブラウン管用の電子銃では複数の電極に接続される抵抗器があり、この抵抗器には印刷や塗布により抵抗パターンなどの膜を形成した多孔質のアルミナ基板などの基板が用いられている。この基板は、１枚の元基板に複数個の基板部を一体に形成して分割ラインによって区画し、各基板部を１つずつ分割して製品としている。この基板部の分割には、基板上に形成した膜などを損なう欠けや割れなどが発生することなく、精度良く分割することが要求されている。
【０００３】
従来、基板分割方法としては、例えば、特公平２−２８２７４号公報に記載されているように、分割用の治具を用いて作業者が手作業で分割する例がある。すなわち、作業者により、治具の角部に基板の分割する分割ラインを合わせ、基板に荷重を加えることで基板を分割している。
【０００４】
しかしながら、この分割用の治具を用いて手作業で分割する例では、作業者の感覚や熟練度などによって分割精度や生産数に大きな差が生じる問題がある。治具と分割ラインとの位置ずれを起こした際には、分割ライン以外の部分から割れが進行し、不良となる問題がある。
【０００５】
また、特公平２−６０４９３号公報に記載されているように、下側の対のローラとこれら対のローラ間に対向する上側のローラ間に基板を送り込んで、基板から複数の基板部を自動分割する例がある。
【０００６】
しかしながら、この自動分割する例では、基板の表面にローラが密着するため、基板の表面に形成された印刷や塗布により構成された膜に対して、分割時に発生する破片や微粉末を打ち込むなど、傷を付けてしまう問題がある。
【０００７】
また、特公平７−８８０１２号公報に記載されているように、基板を対のベルト間に挟み込んで対のローラ間を通過させることで、基板から複数の基板部を自動分割する例がある。
【０００８】
しかしながら、この自動分割する例では、基板の表面にベルトが密着するため、基板の表面に形成された印刷や塗布により構成された膜に対して、分割時に発生する破片や微粉末を打ち込むなど、傷を付けてしまう問題がある。
【０００９】
また、特公平４−２８１３０号公報に記載されているように、基板から分割する基板部をチャックで挟み込み、そのチャックによって基板部を折り曲げることで、基板部を自動分割する例がある。
【００１０】
しかしながら、この自動分割する例では、基板の表面にチャックが接触するため、基板の表面に形成された印刷や塗布により構成された膜に対して傷を付けてしまう問題がある。しかも、基板部をチャックで挟み込んだ状態で分割するため、分割時の衝撃によって基板のチャックで挟みこんだ部分に傷を付けやすく、また、分割機構に対して衝撃による負荷をかける問題がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、治具を用いた手作業では、作業者によって分割精度や生産数にばらつきが生じ、また、自動分割する場合には、基板の表面にローラ、ベルトあるいはチャックが接触するため、基板の表面に形成された印刷や塗布により構成された膜に対して傷を付け、品質を損なう問題がある。
【００１２】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、基板およびこの基板から分割する基板部の有効領域に接触することなく基板部を分割でき、基板部の品質を維持し、不良の発生を防止できる基板分割方法およびその装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、分割ラインによって区画されるとともに有効領域およびこの有効領域外に非有効領域を有する複数の基板部を設けた基板を、この基板に対して分割する基板部の分割ラインを基準として分割位置に位置決めし、位置決めした基板の非有効領域を保持し、分割ヘッドを分割する基板部の非有効領域に配置し、この分割ヘッドを回動させて基板部を分割するものであり、分割時に基板および基板部の有効領域に接触せず、分割の起点が非有効領域で発生することで、有効領域への影響が低減される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１５】
図７（ａ）に分割前の元基板である基板１１を示し、この基板１１は、平板状のアルミナ基板１２を有し、このアルミナ基板１２の表面に印刷や塗布によって膜１３が形成されている。基板１１には平行状でかつ等間隔に形成される複数の分割ライン１４によって複数の基板部１５が並列に区画形成され、これら各基板部１５の膜１３が形成された領域が有効領域１６とされ、有効領域１６外であって膜１３が形成されていない基板１１の周辺の４辺の領域が非有効領域１７，１８，１９，２０とされている。
【００１６】
図７（ｂ）に示すように、分割ライン１４は、基板１１の表裏に予め金型などで溝状に入れられた切込みにて形成されている。
【００１７】
次に、図６に基板分割装置２１を示し、この基板分割装置２１は、分割前の元基板である基板１１をストックするストッカ２２を有し、このストッカ２２の側部には、前処理手段として周辺分割手段２３が設置されているとともに、ストッカ２２から１枚の基板１１を取り出して周辺分割手段２３に移載する移載手段２４が設置されている。
【００１８】
周辺分割手段２３は、基板１１が移載されるステージ２５を有し、このステージ２５の周辺には、ステージ２５上に移載された基板１１を四方から挟み込んで所定の分割位置に位置決め保持する各保持体２６が各エアシリンダ２７によって進退可能に配設されている。ステージ２５の上方には、基板１１の周辺の非有効領域１７〜２０との間の分割ライン１４を押さえる爪２８を有する基板押え２９が上下動可能に配設されている。基板１１の３辺の非有効領域１８〜２０に対応するステージ２５の３辺側には、上昇時に基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０に当接して分割する分割ヘッド３０が上下動可能に配設されている。
【００１９】
そして、周辺分割手段２３では、ステージ２５上に移載された基板１１を保持体２６で四方から挟持して所定の分割位置に位置決め保持し、基板押え２９を下降させて爪２８で基板１１の周辺の非有効領域１７〜２０との間の分割ライン１４を押え、分割ヘッド３０を上昇させて基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０に当接させ、基板押え２９と分割ヘッド３０との間で基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０を分割ライン１４から分割して除去する。図７（ｃ）に、基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０を分割除去した状態を示す。
【００２０】
また、図６に示すように、周辺分割手段２３の側部には、搬送手段３１が設置されているとともに、周辺分割手段２３から非有効領域１８〜２０を分割除去した基板１１を取り出して搬送手段３１に移載する移載手段３２が設置されている。
【００２１】
搬送手段３１は、図１および図６に示すように、断面略丸形でかつ無端状で弾性を有する丸ベルト３３を複数本備え、これら丸ベルト３３が、基板１１の幅より狭い間隔で配列されるとともに搬送方向に沿って張設され、図示しない駆動部によって基板１１を載せて下流側へ向けて搬送するように回転駆動される。この搬送手段３１で搬送する基板１１は、搬送方向に複数の基板部１５が並び、搬送方向に対して交差する一側に非有効領域１７が位置する。
【００２２】
また、図１および図６に示すように、搬送手段３１の下流側には、搬送手段３１で搬送する基板１１を、この基板１１に対して分割する基板部１５の分割ライン１４を基準として分割位置３４に位置決めする位置決め手段３５が設置されている。この位置決め手段３５は、分割位置３４の搬送方向下流側に配置されるストッパ３６を有し、このストッパ３６を例えばエアシリンダなどのストッパ駆動部３７で進退移動させ、進出移動時に搬送手段３１で搬送する基板１１の端面に当接させてその基板１１を分割位置３４に位置決め停止させ、基板部１５の分割時にストッパ３６を退避移動させて基板１１から離反させる。
【００２３】
また、分割位置３４の上下には、位置決め手段３５で分割位置３４に位置決めされた基板１１の非有効領域１７を保持する保持手段３８が配設されている。この保持手段３８は、分割位置３４の下方に配設される基板受ヘッド３９、および分割位置３４の上方に配設される基板保持ヘッド４０を有し、これらヘッド３９，４０が例えばエアシリンダなどのヘッド駆動部４１，４２で上下方向に移動する。これらヘッド３９，４０の対向面には基板１１の分割する基板部１５に隣り合う基板部１５の非有効領域１７を保持する保持部４３，４４が配設されている。
【００２４】
そして、保持手段３８では、基板受ヘッド３９を上昇させ、基板保持ヘッド４０を下降させ、これらヘッド３９，４０を閉じることにより、保持部４３，４４で丸ベルト３３上に載っている基板１１の非有効領域１７、すなわち分割する基板部１５に隣り合う基板部１５の非有効領域１７を挟み込んで保持する。
【００２５】
また、分割位置３４には、分割ヘッド４５を有し、この分割ヘッド４５を分割する基板部１５の非有効領域１７に配置するとともに分割ヘッド４５を分割する基板部１５の分割ライン１４を中心として回動させて基板部１５を分割する分割手段４６が配設されている。分割ヘッド４５は、基部４７およびこの基部４７から突設された対のアーム部４８を有し、これらアーム部４８の間に基板１１の厚みより広い間隔のスリット４９が形成されている。分割ヘッド４５は、図示しない分割ヘッド進退移動手段によって基板１１の分割位置３４から退避した退避位置とスリット４９に分割する基板部１５の非有効域１７を挿入する進出位置とに進退移動するとともに、図示しない分割ヘッド回動手段によって図２に示すように分割する基板部１５の分割ライン１４の位置を中心点５０として上方または下方に回動される。
【００２６】
そして、分割手段４６では、分割ヘッド４５を進出移動させてスリット４９に分割する基板部１５の非有効領域１７を配置し、図２に示すように分割する基板部１５の分割ライン１４の位置を中心点５０として分割ヘッド４５を上方または下方に回動させることにより、基板部１５を分割ライン１４に沿って分割する。
【００２７】
また、図４および図６に示すように、搬送手段３１の側部には、分割位置３４において分割手段４６で分割する基板部１５を吸着保持するバキュームパッド５１を有する移載手段５２が配設されている。この移載手段５２は、移載ヘッド５３を有し、この移載ヘッド５３に、バキュームパッド５１を上下方向に移動させる例えばエアシリンダなどのパッド駆動部５４を介してバキュームパッド５１が取り付けられている。移載ヘッド５３は、例えばエアシリンダなどの移載ヘッド駆動部５５によって支持され、分割位置３４において分割手段４６で分割する基板部１５を吸着保持する吸着保持位置と、この吸着保持位置の側方で分割された基板部１５を移載する移載位置とに移動する。
【００２８】
移載手段５２による移載位置には、基板部１５を移載するローラコンベヤ５６が設置され、このローラコンベヤ５６によって移載された基板部１５を搬送する。ローラコンベヤ５６上には、移載された基板部１５に大きな割れや欠けの有無などを含めて正規に分割されているかどうかを検査する検査手段５７が配設されている。図５に示すように、ローラコンベヤ５６の搬送方向の下流位置には、基板部１５を所定の受渡位置に停止させるストッパ５８が配設されている。
【００２９】
また、図５に示すように、ローラコンベヤ５６の下流の受渡位置の側部に、基板部１５から非有効領域１７を分割除去する後処理手段としての非有効領域分割手段５９が配設されている。この非有効領域分割手段５９では、ローラコンベヤ５６の受渡位置の側部に設置されたステージ６０上を基板部１５から非有効領域１７を分割除去する分割位置とするとともに、この分割位置の受渡位置と反対側の側部が非有効領域１７を分割除去した基板部１５を排出する排出位置とし、これら受渡位置、分割位置および排出位置が等間隔に位置されている。
【００３０】
受渡位置から分割位置に、分割位置から排出位置に基板部１５を順に移載する移載手段６１を有している。この移載手段６１は、各位置に沿って移動する移動部６２を有し、この移動部６２の両端に基板部１５を吸着するバキュームパッド６３を有する移載ヘッド６４が配設され、各移載ヘッド６４が例えばエアシリンダなどの移載ヘッド駆動部６５によって上下動可能に支持されている。２つの移載ヘッド６４の間隔は受渡位置、分割位置および排出位置の間隔と等しく設定されている。
【００３１】
受渡位置側の一方の移載ヘッド６４には、ステージ６０上に移載された基板部１５の有効領域１６と非有効領域１７との間の分割ライン１４を上方から押さえる基板押え６６が進退可能に突設されている。ステージ６０には、上昇時に基板１１の非有効領域１７に当接して分割する分割ヘッド６７が例えばエアシリンダなどの分割ヘッド駆動部６８によって上下動可能に配設されている。なお、分割した非有効領域１７は、エアーブローにより確実に除去される。
【００３２】
また、非有効領域分割手段５９の排出位置は、後工程である組立機と直結するようにローディングのスペースとしてもよいが、この部分に、製品である基板部１５を積載するマガジンや、マガジンチェンジャを設けることで、分割後の基板部１５を整列させた状態でマガジン詰めなどを容易に実施することができる。
【００３３】
なお、基板分割装置２１の、各部にシュート、ダクト、ホースなどを配置し、これらを集塵装置に接続することで、微細粉や分割のカスおよび破片などを吸引し、機構への影響を最小限とし、基板１１や製品である基板部１５の傷や破片の飛散および付着による品質の低下を防止する。
【００３４】
次に、基板分割装置２１による基板分割動作を説明する。
【００３５】
図６に示すように、移載手段２４でストッカ２２から１枚の基板１１を取り出して周辺分割手段２３のステージ２５に移載する。
【００３６】
図３に示すように、周辺分割手段２３では、ステージ２５上に移載された基板１１を保持体２６で四方から挟持して所定の分割位置に位置決め保持し、基板押え２９を下降させて爪２８で基板１１の周辺の非有効領域１７〜２０との間の分割ライン１４を押え、分割ヘッド３０を上昇させて基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０に当接させ、基板押え２９と分割ヘッド３０との間で基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０を分割ライン１４から分割して除去する。図７（ｃ）に、基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０を分割除去した状態を示す。
【００３７】
図６に示すように、移載手段３２で周辺分割手段２３から非有効領域１８〜２０を分割除去した基板１１を取り出して搬送手段３１の丸ベルト３３上に移載する。
【００３８】
図１および図６に示すように、搬送手段３１によって基板１１を下流の分割位置３４へ向けて搬送する。この搬送手段３１で搬送する基板１１は、搬送方向に複数の基板部１５が並び、搬送方向に対して交差する一側に非有効領域１７が位置する。
【００３９】
図１（ｂ）に示すように、搬送手段３１で搬送する基板１１の端面をストッパ３６に当接させてその基板１１を分割位置３４に位置決め停止させる。
【００４０】
図１（ｃ）に示すように、保持手段３８の基板受ヘッド３９を上昇させ、基板保持ヘッド４０を下降させ、これらヘッド３９，４０を閉じることにより、保持部４３，４４で丸ベルト３３上に載っている基板１１の非有効領域１７、すなわち分割する基板部１５に隣り合う基板部１５の非有効領域１７を挟み込んで保持する。
【００４１】
図１（ｄ）に示すように、ストッパ３６を退避させて基板１１から離反させ、分割ヘッド４５を進出移動させてスリット４９に分割する基板部１５の非有効領域１７を配置する。
【００４２】
図１（ｅ）および図２に示すように、分割する基板部１５の分割ライン１４の位置を中心点５０として分割ヘッド４５を上方または下方に回動させることにより、基板部１５を分割ライン１４に沿って分割する。このとき、分割する基板部１５をバキュームパッド５１で吸着保持している。また、分割後は、分割ヘッド４５を基板部１５から退避させる。
【００４３】
図４に示すように、移載手段５２によりバキュームパッド５１で吸着保持している基板部１５をローラコンベヤ５６上に移載し、検査手段５７で基板部１５に大きな割れや欠けの有無などを含めて正規に分割されているかどうかを検査する。
【００４４】
図５に示すように、ローラコンベヤ５６で基板部１５をストッパ５８に当接する受渡位置に搬送し、この受渡位置の上方域に移動した非有効領域分割手段５９の一方の移載ヘッド６４を下降させてバキュームパッド６３で受渡位置の基板部１５を吸着保持する。一方の移載ヘッド６４を上昇させ、移動部６２の移動によってステージ６０上に移動させ、一方の移載ヘッド６４を下降させ、基板部１５をステージ６０上に移載する。
【００４５】
基板押え６６を突出させてステージ６０上に移載された基板部１５の有効領域１６と非有効領域１７との間の分割ライン１４を上方から押さえる。分割ヘッド６７を上昇させ、基板１１の非有効領域１７を分割する。分割した非有効領域１７は、エアーブローにより除去する。
【００４６】
ステージ６０上の基板部１５の吸着保持を解除して一方の移載ヘッド６４を上昇させ、この一方の移載ヘッド６４を移動部６２の移動によって受渡位置に移動させ、受渡位置に搬送する次の基板部１５の吸着保持に移行する。また、この移動部６２の移動によって他方の移載ヘッド６４がステージ６０上に位置し、この他方の移載ヘッド６４が下降して非有効領域１７の分割された基板部１５をバキュームパッド６３で吸着保持し、他方の移載ヘッド６４の上昇後に、移動部６２の移動によって排出位置に移動して基板部１５を排出する。
【００４７】
このように、分割ライン１４によって区画されるとともに有効領域１６およびこの有効領域１６外に非有効領域１７を有する複数の基板部１５を設けた基板１１を、この基板１１に対して分割する基板部１５の分割ライン１４を基準として分割位置３４に位置決めし、位置決めした基板１１の非有効領域１７を保持し、分割ヘッド４５を分割する基板部１５の非有効領域１７に配置し、この分割ヘッド４５を分割する基板部１５の分割ライン１４を中心として回動させて基板部１５を分割することにより、基板１１および基板部１５の有効領域１６に接触せず、分割の起点を非有効領域で発生させるため、有効領域１６への分割の影響を低減でき、製品としての基板部１５の品質を維持し、不良の発生を防止できる。
【００４８】
また、分割ヘッド４５は、チャック方式ではなく、基板１１の厚みより広い間隔にスリット４９を設け、このスリット４９内に分割する基板部１５の非有効領域１７を配置し、この分割ヘッド４５を分割する基板部１５の分割ライン１４を中心として回動させて基板部１５を分割するため、つまりフリーな状態での分割であるため、分割時に発生する基板部１５や分割手段４６などに与える衝撃を十分に緩和でき、基板１１の分割ライン１４に沿って確実に分割できる。
【００４９】
また、分割する基板部１５をバキュームパッド５１で吸着保持するため、分割時の衝撃を緩和でき、基板部１５の飛散を防止できる。
【００５０】
そして、スリット方式の分割ヘッド４５にバキュームパッド５１を組み合わせることにより、いわゆる片持ちの分割方式の欠点である確実な保持状態を確保しながら分割を実施できるものであり、分割の衝撃軽減と保持力の両立を考慮した場合、例えばチャック方式では材質を弾性体とせざるを得ないが、分割ヘッド４５には磨耗および補修の有利な一般金属材料で十分な機能を発揮させることができる。また、バキュームパッド５１で基板１１の保持が確保されていることで、分割時の衝撃の大きさに対する柔軟性を得ることができるため、例えばチャック方式の場合のようにチャックのトルク制御などが必要なく、分割ヘッド４５の作動には例えばエアアクチュエータで十分な機能と精度を得ることが可能となり、汎用性を高くできる。そして、確実な位置決めによる精度維持、確実な保持による飛散防止と、フリーな基板１１の保持による分割ライン１４上での分割起点の確実な発生との両立を図ることができる。
【００５１】
また、基板１１の搬送および分割時の保持を弾性体の丸ベルト３３としたことで、微細粉および破片の落下の促進に加え、基板１１と丸ベルト３３との接触面積を減らし、基板１１に多少の反りなどがあっても安定した搬送ができる。しかも、基板１１の搬送にレールを用いた場合のように、レールに微細粉や破片が付着して基板１１に影響を与えるのを防止できる。
【００５２】
また、ストッパ３６は、分割時には基板１１と接触しない位置まで退避するため、基板部１５の有効領域１６などとの不用意な接触を避けることができる。
【００５３】
また、周辺分割手段２３では、基板１１の複数の基板部１５が並ぶ方向に対して交差する方向の１辺の非有効領域１７を残して他の非有効領域１８〜２０を予め分割除去するため、分割位置３４での非有効領域１９，２０などの不要な分割処理をなくし、分割効率を向上でき、しかも、基板部１５の分割長を短くし、精度を向上できる。さらに、基板押え２９で基板１１の周辺の非有効領域１７〜２０との間の分割ライン１４を押え、分割ヘッド３０で基板１１の周辺の非有効領域１８〜２０を分割ライン１４から分割するため、基板１１の有効領域１６に影響を与えずに分割できる。
【００５４】
また、非有効領域分割手段５９では、分割した基板部１５の非有効領域１７を分割除去し、基板部１５を製品として供給できる。基板押え６６で基板部１５の有効領域１６と非有効領域１７との間の分割ライン１４を押さえ、分割ヘッド６７で非有効領域１７を分割ライン１４から分割するため、基板部１５の有効領域１６に影響を与えずに分割できる。
【００５５】
なお、基板分割装置２１の各機構部の寸法や形状は、一般的なライナーなスペーサの類と組合せることで容易に変更可能であり、基板１１のサイズや最終の製品である基板部１５の寸法変更などにも容易に対応することが可能である。つまり、実施の形態では１枚の元基板から１５個の基板部１５を得る例を示しているが、他品種にも容易に改造、変更が可能であり、汎用性を有する。
【００５６】
また、基板分割装置２１は、製造ラインの一部に組み込んで、非有効領域分割手段５９の排出位置を後工程である組立機と直結するようにしてもよいが、単独での使用もでき、汎用性を有する。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、分割ラインによって区画されるとともに有効領域およびこの有効領域外に非有効領域を有する複数の基板部を設けた基板を、この基板に対して分割する基板部の分割ラインを基準として分割位置に位置決めし、位置決めした基板の非有効領域を保持し、分割ヘッドを分割する基板部の非有効領域に配置し、この分割ヘッドを回動させて基板部を分割することにより、分割時に基板および基板部の有効領域に接触せず、分割の起点を非有効領域で発生させるため、有効領域への分割の影響を低減でき、製品としての品質を維持し、不良の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す基板分割装置の分割手段による基板分割処理を（ａ）〜（ｅ）の順に説明する説明図である。
【図２】同上分割手段の分割ヘッドの動作を説明する説明図である。
【図３】同上基板分割装置の前処理手段を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】同上基板分割装置の移載手段の正面図である。
【図５】同上基板分割装置の後処理手段の側面図である。
【図６】同上基板分割装置の正面図である。
【図７】同上基板を示し、（ａ）は分割前の基板の平面図、（ｂ）は基板を拡大した一部の側面図、（ｃ）は１辺の非有効領域を残して他の非有効領域を分割除去した基板の平面図である。
【符号の説明】
１１　　基板
１４　　分割ライン
１５　　基板部
１６　　有効領域
１７〜２０　　非有効領域
２１　　基板分割装置
２３　　前処理手段としての周辺分割手段
３１　　搬送手段
３３　　丸ベルト
３５　　位置決め手段
３８　　保持手段
４５　　分割ヘッド
４６　　分割手段
４９　　スリット
５１　　バキュームパッド
５９　　後処理手段としての非有効領域分割手段
【図１】
2004009208.tif 000003
【図２】
2004009208.tif 000004
【図３】
2004009208.tif 000005
【図４】
2004009208.tif 000006
【図５】
2004009208.tif 000007
【図６】
2004009208.tif 000008
【図７】
2004009208.tif 000009