(57)【要約】　　　（修正有）【課題】シンプルかつ安価で、長期信頼性のある把持装置を提供する。【解決手段】微小部品５０をチャック４０によりピックアップする微小部品把持装置１０において、位置決めモータによりチャック４０の一対の爪部材を開閉作動するチャック開閉手段１５と、ＣＣＤカメラ１７からなる微小部品５０の検出手段と、該検出手段からの微小部品５０の被把持部の幅および隣接する微小部品との間隔の検出信号に基づいてチャック４０の一対の爪部材の開閉ストロークを設定する演算処理手段１８を備え、演算処理手段１８からの信号で位置決めモータの回転量を制御する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小部品をチャックによりピックアップする微小部品把持装置において、
位置決めモータによりチャックの一対の爪部材を開閉作動するチャック開閉手段と、ＣＣＤカメラからなる微小部品の検出手段と、該検出手段からの微小部品の被把持部の幅および隣接する部品との間隔の検出信号に基づいて上記チャックの一対の爪部材の開閉ストロークを設定する演算処理手段を備え、
上記演算処理手段からの信号で上記位置決めモータの回転量を制御する構成としていることを特徴とする微小部品把持装置。
【請求項２】
上記チャック開閉手段は、上記位置決めモータと、該位置決めモータで作動されるカムと、該カムに従動して昇降すると共に下向きに拡がる両側テーパ部を有する昇降部材と、該昇降部材の両側テーパ部に当接されるカムフォロアを上端に連結していると共に下端に把持爪を有する一対の上記爪部材と、該一対の爪部材を離反方向に付勢して連結するバネ手段と、該一対の爪部材を近接・離反方向にスライド自在に保持するリニアガイドとを備え、
上記位置決めモータの回転で上記カムを介して上記昇降部材を昇降させ、該昇降部材の両側テーパ部に沿う上記カムフォロアと上記バネ手段とにより一対の爪部材を近接・離反させて上記チャックの一対の爪部材を上記位置決めモータにより設定されるストロークで開閉させる構成としている請求項１に記載の微小部品把持装置。
【請求項３】
上記チャック開閉手段を目標とする微小部品の位置に位置決めする手段を備え、該位置決め手段はＸ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、Ｚ軸テーブルを備え、該Ｚ軸テーブルに上記チャック開閉手段を取り付けている請求項１または請求項２に記載の微小部品把持装置。
【請求項４】
上記チャック開閉手段にチャック回転モータの下向きに突出する出力軸を取り付け、上記一対の爪部材の間の中心軸線を回転軸としてチャック開閉手段を回転して、一対の爪部材で把持した微小部品を回転できる構成としている請求項３に記載の微小部品把持装置。
【請求項５】
上記チャックの一対の爪部材をボール軸受けを介して上記リニアガイドにスライド自在に嵌合させ、
上記微小部品の把持作業時には１／２回転未満で回転される上記カムを、把持作業時以外の時間に上記ボールの潤滑用として１回転させ、上記リニアガイド上を爪部材が移動することで上記ボールを１回転以上させる設定としている請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の微小部品把持装置。
【請求項６】
上記ピックアップする微小部品は高密度にシート上に配列され、上記チャックの一対の爪部材により把持される上記微小部品の被把持部の幅は０．０５〜５ｍｍで、隣接する微小部品との間の寸法は０．２ｍｍ以上であり、上記チャックの一対の爪部材の開閉ストロークを０〜９．３ｍｍとし、上記位置決めモータの１パルス当たりに０．１〜１．０μｍ開閉する構成としている請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の微小部品把持装置。
【請求項７】
上記チャック開閉手段は、ハウジングの上壁と上記昇降部材との間にバネを取り付けて、該昇降部材を上方に付勢して保持していると共に、上記ハウジングに上下方向のガイドレールを設け、該ガイドレールに上記昇降部材より突設した摺動片を嵌合している請求項２乃至請求項６のいずれか１項に記載の微小部品把持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微小部品把持装置に関し、詳しくは、精密機器、電子機器等に使用される微小部品の加工、組立、検査、整列箱詰等を行う生産作業において、該微小部品を自動制御されるチャックで把持してピックアップする装置に関し、特に、高密度パターンでシート上に作成されるコンタクトプローブのピックアップ装置として好適に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の微小部品の把握装置として種々の装置が提供されている。
例えば、実公昭６３−３４８６８号公報に開示された把握装置１では、図８に示すように、ピンセット２の根元部をホルダー３に差し込み、ピンセット固定部よりわずかに前方に位置する開き量調節ねじ７でピンセット２の最大開き量を制限していると共に、アクチュエータ４に連動した作動レバー５の先端に対向して設けられた作動ねじ６によりピンセット２を可動させている。アクチュエータ４は、空圧や油圧やモータ等により駆動している。
【０００３】
また、特開昭６３−１５６６８０号では電歪素子、特公平５−２４７１号では圧電素子、特開平５−２９３７７８号では積層型ピエゾ素子を、それぞれピンセットの把持部に組み込み、これらの素子に電圧を印加してピンセットを自動的に開閉して微小部品を把持する装置が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記実開昭６３−３４８６８号公報に開示された把握装置１では、ピンセット２の開閉を担うアクチュエータ４は空圧やモータ等により駆動されているため、ピンセット２の先端の微小な開閉量の制御が困難であると共に、ピンセット２の開閉はアクチュエータ４との間に作動レバー５を介して行っているため、装置の軽量化および小型化が十分でない問題がある。また、ピンセット２の開閉ストロークは狭く、対象物の品種変更に対するフレキシビリティが低い問題もある。
【０００５】
さらに、前記特開昭６３−１５６６８０号の電歪素子、特公平５−２４７１号の圧電素子、特開平５−２９３７７８号の積層型ピエゾ素子を用いてピンセットを開閉制御する装置は、どれも構造自体が複雑であると共に、ピンセットを開閉させるための制御が複雑で非常に高価となる問題があり、また、ノイズによる誤動作も考えられる。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、構造がシンプルかつ安価であり、フレキシブルで長期信頼性のある把持装置を提供することを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、微小部品をチャックによりピックアップする微小部品把持装置において、
位置決めモータによりチャックの一対の爪部材を開閉作動するチャック開閉手段と、ＣＣＤカメラからなる微小部品の検出手段と、該検出手段からの微小部品の被把持部の幅および隣接する部品との間隔の検出信号に基づいて上記チャックの一対の爪部材の開閉ストロークを設定する演算処理手段を備え、
上記演算処理手段からの信号で上記位置決めモータの回転量を制御する構成としていることを特徴とする微小部品把持装置を提供している。
【０００８】
上記構成とすると、上記ＣＣＤカメラで上記微小部品を撮像し、２値化処理やパターンマッチング等の画像処理により上記微小部品の被把持部（ｅｘ．重心位置）を割り出し、上記演算処理手段により、隣接する微小部品との間隔からチャックの開き量を算出し、該被把持部の幅からチャックの閉じ量を算出することができる。
また、上記位置決めモータによりチャックの開閉作動を行っているので、位置決めモータのパルス毎の微小な開閉量の制御を行うことができる。
【０００９】
上記チャック開閉手段は、上記位置決めモータと、該位置決めモータで作動されるカムと、該カムに従動して昇降すると共に下向きに拡がる両側テーパ部を有する昇降部材と、該昇降部材の両側テーパ部に当接されるカムフォロアを上端に連結していると共に下端に把持爪を有する一対の上記爪部材と、該一対の爪部材を離反方向に付勢して連結するバネ手段と、該一対の爪部材を近接・離反方向にスライド自在に保持するリニアガイドとを備え、
上記位置決めモータの回転で上記カムを介して上記昇降部材を昇降させ、該昇降部材の両側テーパ部に沿う上記カムフォロアと上記バネ手段とにより一対の爪部材を近接・離反させて上記チャックの一対の爪部材を上記位置決めモータにより設定されるストロークで開閉させる構成としている。
【００１０】
上記構成とすると、位置決めモータでパルス毎に上記カムを回転させることにより、カムの回転運動が上記昇降部材の上下運動に変換され、該昇降部材の上下運動が上記爪部材の水平方向の開閉運動に変換される。
詳しくは、上記チャック開閉手段は、ハウジングの上壁と上記昇降部材との間にバネを取り付けて、該昇降部材を上方に付勢して保持していると共に、上記ハウジングに上下方向のガイドレールを設け、該ガイドレールに上記昇降部材より突設した摺動片を嵌合している。
上記バネによる昇降部材の上方への付勢により、該昇降部材をカムに安定して当接させることができ、カムの回転で突出側が昇降部材に接触すると下降する一方、非突出側が昇降部材側となった時はバネにより上昇させ、カムの回転に昇降部材を追従させることできる。かつ、昇降部材をガイドレールに上下に摺動自在に取り付けることにより、昇降部材を安定して上下運動させることができる。
したがって、シンプルな構造で安価な把持装置を提供することができると共に、位置決めモータのパルス毎の微小な開閉制御が可能となる。
【００１１】
上記チャック開閉手段を目標とする微小部品の位置に位置決めする手段を備え、該位置決め手段はＸ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、Ｚ軸テーブルを備え、該Ｚ軸テーブルに上記チャック開閉手段を取り付けている。
【００１２】
上記構成とすることで、Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルでチャック開閉手段をＸ−Ｙ方向に移動させて位置決めし、Ｚ軸テーブルで上記位置決めされたチャック開閉手段を降下させ上記微小部品の両側に上記チャックの爪部材を配置し、チャックを閉じて微小部品を把持した後、上昇させて微小部品をピックアップすることができる。
【００１３】
上記チャック開閉手段にチャック回転モータの下向きに突出する出力軸を取り付け、上記一対の爪部材の間の中心軸線を回転軸としてチャック開閉手段を回転して、一対の爪部材で把持した微小部品を回転できる構成としている。
【００１４】
上記構成とすることで、微小部品をピックアップした状態で、上記チャック回転モータによりチャック開閉手段を回転させることで、微小部品を任意の方向に向けることができ、ピックアップした微小部品を次工程で整列収容する際などに好適である。
【００１５】
上記チャックの一対の爪部材をボール軸受けを介して上記リニアガイドにスライド自在に嵌合させ、
上記微小部品の把持作業時には１／２回転未満で回転される上記カムを、把持作業時以外の時間に上記ボールの潤滑用として１回転させ、上記リニアガイド上を爪部材が移動することで上記ボールを１回転以上させる設定としている。
【００１６】
微小部品を把持する際のチャックの開閉ストロークは小さく、上記ボール軸受けのボールは１／２回転未満（例えば１／１０〜１／１５程度）しか回転しないため、ボールの同じ箇所ばかり擦れて油膜が無くなり磨耗する恐れがある。しかし、上記構成によると、微小部品の把持作業を行っていない時間を利用して、上記カムを１回転させることによりチャックを大きく開閉してボールを１回転以上させてボール表面の油膜を潤滑させるようにしているので、ガイドの長期信頼性を向上させることができる。
【００１７】
上記ピックアップする微小部品は高密度にシート上に配列され、上記チャックの一対の爪部材により把持される上記微小部品の被把持部の幅は０．０５〜５ｍｍで、隣接する微小部品との間の寸法は２ｍｍ以上であり、上記チャックの一対の爪部材の開閉ストロークを０〜９．３ｍｍとし、上記位置決めモータの１パルス当たりに０．１〜１．０μｍ開閉する構成としている。
【００１８】
上記微小部品はシート上に粘着した状態で高密度に形成されるコンタクトプローブ等をピックアップする場合に好適に用いられるものであり、上記チャックの一対の爪部材の開閉ストロークを上記寸法に設定すると、隣接する微小部品に接触せず且つピックアップする微小部品を十分に把持することができる。しかも、開閉ストロークを０〜９．３ｍｍとしているため、把持される微小部品の大きさが変更になってもそのままで対応することができる。
また、上記位置決めモータの１パルス当たりの上記チャックの開閉寸法を０．１〜１．０μｍとして高分解能にすることで、高密度パターンに配置された微小部品も精度良く把持することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は微小部品把持装置１０を示し、基台９にＸ軸テーブル１１を固定し、該Ｘ軸テーブル１１にＴ字形状のＸ方向可動部１２をＸ方向に移動自在に搭載している。該Ｘ方向可動部１２のＹ方向突出部をＹ軸テーブル１２ａとし、該Ｙ軸テーブル１２ａにＹ方向にＺ軸テーブル（兼、Ｙ方向可動部）１３を移動自在に搭載している。Ｚ軸テーブル１３にＺ方向可動部１４をＺ軸方向に移動自在に取り付けると共に、ＣＣＤカメラ（検出手段）１７およびこれに電気的に接続した演算処理装置１８を付設している。上記Ｚ方向可動部１４にチャック回転モータ１６を固定し、該チャック回転モータ１６の下向きに突出する出力軸にチャック開閉手段１５を取り付けている。
【００２０】
チャック開閉手段１５は、上記チャック回転モータ１６の出力軸にハウジング２１を固定し、図３に示すように、該ハウジング２１の背面側に位置決めモータ２３を搭載し、該位置決めモータ２３の出力軸をハンジグ２１に回転自在に貫通させ、偏心させたカム２４を固定し、上記出力軸をカム軸２２としている。
なお、本実施形態の位置決めモータ２３はいわゆるステッピングモータとしている。
【００２１】
上記カム２４の下部にカム２４の回転に対応して上下運動する昇降部材２５を配置し、該昇降部材２５の上下運動に従動して開閉する一対の爪部材３３を設けたチャック４０を昇降部材２５に連係させて設けている。
【００２２】
上記昇降部材２５は、下部に下向きに広がる一対のテーパ部２５ａ、２５ｂを有するテーパコーン状の凹部２５ｃを設けている。該昇降部材２５の背面に摺動片２９を突設し、ハウジング２１の側壁に上下方向に固定されたガイドレール３２に上下方向にスライド嵌合されている。かつ、該昇降部材２５の正面側にカムフォロア受部２７を取り付け、該カムフォロア受部２７を昇降部材２５より突設した調節部３０により上下位置を調節すると共に支持している。
上記カムフォロア受部２７に上記カム２４の外周面に当接させるカムフォロア２６を回転自在に取り付けると共に、カムフォロア受部２７より前方に突出させたバネ受け２７ａとハウジング２１の上壁より下方に突出させた支持部２１ａとの間にバネＳ１を縮装し、昇降部材２５を上方に付勢した状態で支持している。このように、バネＳ１により昇降部材２５およびカムフォロア２６を上方に付勢していることにより、カムフォロア２６をカム２４の外周面に押し付けて安定して接触させ、カム２４の回転に応じてカムフォロア２６および昇降部材２５が昇降される構成としている。
【００２３】
チャック４０は対称形状の一対の爪部材３３からなり、各爪部材３３は本体部３５の背面にボール軸受け３８を固定する一方、ハウジング２１の側面に水平方向に設けられたリニアガイド３９に上記ボール軸受け３８をスライド嵌合して、爪部材３３を夫々水平方向にスライド自在に支持している。
なお、図４および図５に示すように、ボール軸受け３８には直径１ｍｍ程度のボール４１がリニアガイド３９との当接面に複数配置された滑り軸受けとしている。
【００２４】
爪部材３３の本体部３５の上端にはカムフォロア３４を回転自在に取り付け、これらカムフォロア３４を上記昇降部材２５の両側のテーパ部２５ａ、２５ｂに当接するするように位置させている。
また、本体部３５の下端３５ａに対向して断面Ｌ字状の凹部３５ａ−１を形成し、先端に極細の把持爪３６ａを突出した取付材３６を上記凹部３５ａ−１に嵌合しネジ３７で固定している。上記左右の爪部材３３の間に離反方向に付勢するバネＳ２を張設している。
【００２５】
上記のように、一対の爪部材３３をリニアガイド３９を介してハウジング２１に水平方向にスライド自在に支持すると共に、爪部材３３同士を連結するバネＳ２により離反方向に付勢して、カムフォロア３４を昇降部材２５のテーパ部２５ａ、２５ｂに押し付けている。よって、昇降部材２５が下降すると両側のカムフォロア３４が近接して、把持爪３６ａが閉鎖方向に移動し、昇降部材２５が上昇すると両側のカムフォロア３４が離反して、把持爪３６ａが開き方向に移動させる構成としている。
【００２６】
爪部材３３の先端の把持爪３６ａは、図７に示すように、厚さをＴｍｍ、長さをＬｍｍとすると、Ｔ≧０．１ｍｍ、Ｌ＝１〜３ｍｍとしている。
厚さＴを０．１ｍｍ以上としたのは、把持爪３６ａ自身の折れ曲がりを防止して十分な把持力を得るためであり、また、長さＬを１ｍｍ以上としたのは後述する微小部品５０の高さに干渉しないようにするためであり、長さＬを３ｍｍ以下としたのは、把持爪３６ａの折れ曲がりを防止して十分な把持力を得るためである。
【００２７】
微小部品５０は、ＩＣパッドの検査用コンタクトプローブや精密機器、電子機器等に用いられるもので、図７に示すように、厚さをＷｍｍとし、厚さ方向の互いのピッチをＰｍｍとして、粘着シリコンゴムシート５１上に多数配列している。なお、厚さＷおよびピッチＰの値は、Ｗ＝０．０５〜５ｍｍ、Ｐ≧０．２ｍｍとしている。
厚さＷを５ｍｍ以下としているのは、把持爪３６ａの厚さＴが０．１ｍｍ以上と細いため、微小部品５０の厚さＷが５ｍｍより大きくなると把持爪３６ａが折れる可能性があると共に、粘着シリコンゴムシート５１から微小部品５０を取り外すのに微小部品５０の厚さＷが大きくなると、取り外す力が大きくなってしまうからである。
ピッチＰを０．２ｍｍ以上としているのは、爪部材３３の把持爪３６ａの厚さＴが０．１ｍｍ以上であることより、チャック４０の開閉ストロークを確保する必要があるからである。
【００２８】
微小部品５０の生成方法は、ＬＩＧＡ（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ　Ｇａｌｖａｎｏ−ｆｏｒｍｕｎｇ　Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）プロセスと呼ばれる方法で、放射光から得られるＸ線を使用した深いリソグラフィにより厚いレジストをパターンニングし、電気メッキで金型を作成し、モールドによって微小部品５０を大量・高密度に作り出しており、そのモールド金型に粘着シリコンゴムシート５１を押し付けることにより多数の微小部品５０を転写させて該モールド金型より一括して取り出している。
【００２９】
次に、微小部品把持装置１０による微小部品５０のピックアップ手順について説明する。
先ず、ＣＣＤカメラ１７で粘着シリコンゴムシート５１に張り付けられた微小部品５０を撮像し、演算処理装置１８で２値化処理やパターンマッチング等の画像処理により特定の微小部品５０の重心位置を割り出す。
そして、ＣＣＤカメラ１７からの微小部品５０の重心位置の幅Ｗおよび隣接する微小部品５０との間隔Ｐの検出信号に基づいて、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２ａでＸ方向可動部１２およびＹ方向可動部１３をＸ−Ｙ方向に移動させて、チャック開閉手段１５をその微小部品５０の直上に位置させる。
【００３０】
次いで、演算処理手段１８により、隣接する微小部品５０との間隔Ｐからチャック４０の開き量を算出し、該重心位置の幅Ｗからチャック４０の閉じ量を算出した上で、Ｚ軸テーブル１３でＺ方向可動部１４を降下させ、爪部材３３の把持爪３６ａを微小部品５０の両側の隙間に位置させた状態で停止し、位置決めモータ２３のパルスを微調節してチャック４０を閉じて把持爪３６ａで微小部品５０を把持する。
【００３１】
上記チャック４０の開閉による微小部品５０の把持作動について詳述する。
図２はチャック４０が閉じた状態であり、ここから位置決めモータ２３の回転によりカム軸２２を介してカム２４が回転し、図６に示すように、バネＳ１の収縮によりカムフォロア２６がカム２４の径が小さい部位の外周縁に当接すべく昇降部材２５が上方へスライド移動する。
【００３２】
昇降部材２５が上方へ移動し、かつ、バネＳ２で一対の爪部材３３が離反方向に付勢されていることにより、両側のカムフォロア３４がテーパ部２５ａ、２５ｂに沿って従動し、爪部材３３に固定されたボール軸受け３８がリニアガイド３９上を左右にスライドし、一対の爪部材３３が離反方向に移動してチャック４０が開かれる。
なお、チャック４０が閉じられる動作は、上記同様の原理で開き動作と逆の動作となり、昇降部材２５が下降することにより、一対の爪部材３３が近接方向に閉じられる。
【００３３】
チャック４０の開閉ストロークは０〜９．３ｍｍと十分な大きさに設定しており、微小部品５０の大きさが変更になってもそのままで対応することができる。また、位置決めモータ２３は１パルス当たり０．０３６°の回転分解能で、位置決めモータ２３の１パルス当たりのチャック４０の開閉寸法を０．１〜１．０μｍと高分解能としており、高密度パターンに配置された微小部品５０を精度良く把持することができる。
【００３４】
チャック４０で微小部品５０を把持（チャッキング）した後、Ｚ軸テーブル１３でＺ方向可動部１４を上昇させることにより、チャック開閉手段１５を上昇させて微小部品５０をピックアップすることができる。
上記微小部品５０をピックアップした状態で、チャック回転モータ１６により、チャック４０の中心軸線を回転軸として、チャック開閉手段１５を回転させることにより、微小部品５０を任意の方向に向けることができ、次工程でチャック４０を開き、微小部品５０を収容ケースに整列配置することができる。
【００３５】
上記構成とすると、位置決めモータ２３でパルス毎にカム２４を回転させることにより、チャック４０の微小な開閉量の制御が可能となると共に、シンプルな構造で安価な把持装置１０を提供することができる。
なお、上記把持装置１０は、各微小部品５０が挟ピッチで配置されておらず、各微小部品のピッチＰが大きい場合でも好適に用いられることは言うまでもない。
【００３６】
さらに、上記把持装置１０は、微小部品５０を把持する作業以外の時間に、カム２４を１回転させてボールガイド３８の内部のボール４１の油膜を潤滑させるている。
例えば、粘着シリコンゴムシート５１上に配列された微小部品５０のピッチＰが０．２ｍｍであった場合、隣接する微小部品５０に把持爪３６ａが干渉しないように、チャック４０の爪部材３３の開閉ストロークは０〜０．１８ｍｍと小さくなる。
ボールガイド３８のボール４１として直径φ１ｍｍの極小のものを使用したとしても、その円周が約３．１４ｍｍであることより、ボール４１は微量だけしか回転せず１回転しないので、ボール４１の同じ箇所ばかり擦れて油膜が無くなり局所的に磨耗する恐れがある。
【００３７】
しかし、本発明では、微小部品５０の把持作業を行っていない時間を利用して、カム２４を１回転させてチャックの爪部材３３を大きく開閉させボール４１表面の油膜を潤滑させるようにしているので、ボール４１の磨耗等が防止されて長期信頼性を向上させることができる。
なお、本実施形態では、直径φ１ｍｍのボール４１を使用し、その円周が約３．１４ｍｍで、かつ、チャック４０の爪部材３３の開閉ストロークが０〜９．３ｍｍであることより、カム２４を１回転させることでボール４１を約３回転させることが可能となっている。
【００３８】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、位置決めモータでパルス毎にカムを回転させることで、チャックの微小な開閉量の制御が可能となると共に、シンプルな構造で安価な把持装置を提供することができる。
また、チャックの開閉ストロークを０〜９．３ｍｍと十分な大きさに設定することで、微小部品の大きさが変更になってもそのままで対応することができると共に、上記位置決めモータの１パルス当たりの上記チャックの開閉寸法を０．１〜１．０μｍと高分解能にすることで、高密度パターンに配置された微小部品も精度良く把持することができる。
さらに、微小部品の把持作業を行っていない時間を利用して、カムを１回転させてチャックを大きく開閉させることで、ボールガイドのボール表面の油膜を潤滑させることができ、ガイドの長期信頼性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の微小部品把持装置の斜視図である。
【図２】チャック開閉手段の正面図である。
【図３】チャック開閉手段のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】要部拡大正面図である。
【図５】要部拡大断面図である。
【図６】カムを回転させた状態のチャック開閉手段の正面図である。
【図７】微小部品が配列された状態を示す上面図である。
【図８】従来の把握装置の斜視図である。
【符号の説明】
１０　　　　微小部品把持装置
１１　　　　Ｘ軸テーブル
１２　　　　Ｘ方向可動部
１２ａ　　　Ｙ軸テーブル
１３　　　　Ｚ軸テーブル（Ｙ方向可動部）
１４　　　　Ｚ方向可動部
１５　　　　チャック開閉手段
１６　　　　チャック回転モータ
１７　　　　ＣＣＤカメラ（検出手段）
１８　　　　演算処理手段
２１　　　　ハウジング
２２　　　　カム軸
２３　　　　位置決めモータ
２４　　　　カム
２５　　　　昇降部材
２５ａ、２５ｂテーパ部
２６　　　　カムフォロア
２７　　　　カムフォロア受部
２９　　　　摺動片
３０　　　　調節部
３２　　　　ガイドレール
３３　　　　爪部材
３４　　　　カムフォロア
３５　　　　本体部
３６　　　　取付材
３６ａ　　　把持爪
３７　　　　ネジ
３８　　　　ボール軸受け
３９　　　　リニアガイド
４０　　　　チャック
４１　　　　ボール
５０　　　　微小部品
５１　　　　粘着シリコンゴムシート
Ｓ１、Ｓ２　バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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