(57)【要約】【課題】基板の重ね合わせ精度を向上させ、位置ずれによる性能低下を防止することができるディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。【解決手段】第１位置合わせマークＭ１を前面基板１０の表示領域外１０ｂの４隅に、透明電極Ｘａ，Ｙａの形成工程と同一工程でかつ、ＩＴＯ等の透明導電膜からなる同一材料で同じ層に形成し、第２位置合わせマークＭ２を背面基板１３の表示領域外１３ｂの４隅に、隔壁３５の形成工程と同一工程でかつ、白色顔料含有のガラス層からなる同一材料で、同一層に形成し、表示用の透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁３５（特に縦壁３５ａ）とに対し直接位置合わせを行う。【選択図】　　図８
2004031246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極が配置された第１の基板と、前記第１の基板と離間して対向配置され、前記表示領域内に前記表示セルを区画する隔壁が形成された第２の基板とを備えるディスプレイパネルにおいて、
前記第１の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第１位置合わせマークと、前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上に配置された第２位置合わせマークとを有し、
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、前記透明電極と前記隔壁との位置関係を、直接に認識することが可能となるように配置されていることを特徴とするディスプレイパネル。
【請求項２】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、それぞれ前記第１基板及び前記第２基板の４箇所の隅の位置に対向配置されていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項３】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、対向するマーク同士で形成される組み合わせ形状によって、前記位置関係が認識可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、対向するマーク同士で互いに重心または中心を共通とし、その形状同士が重ならないように形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のディスプレイパネル。
【請求項５】
前記第１位置合わせマークは、前記透明電極と同一層に形成され、前記第２位置合わせマークは、前記隔壁と同一層に形成されてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項６】
前記第１位置合わせマークは、前記透明電極と同一工程で形成され、前記第２位置合わせマークは、前記隔壁と同一工程で形成されてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項７】
前記第１位置合わせマークは、前記透明電極と同一材料で形成され、前記第２位置合わせマークは、前記隔壁と同一材料で形成されてなることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項８】
表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極と前記表示セルを少なくとも第１の方向に区画する第１隔壁とが配置された第１の基板と、前記第１の基板と離間して対向配置され、前記表示セルを少なくとも前記第１の方向に区画する第２隔壁が形成された第２の基板と、を備えるディスプレイパネルにおいて、
前記第１の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第１位置合わせマークと、前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第２位置合わせマークとを有し、
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、前記第１隔壁と前記第２隔壁との位置関係を、直接に認識することが可能となるように配置されていることを特徴とするディスプレイパネル。
【請求項９】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、それぞれ前記第１基板及び前記第２基板の４箇所の隅の位置に対向配置されていることを特徴とする請求項８に記載のディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、対向するマーク同士で形成される組み合わせ形状によって、前記位置関係が認識可能であることを特徴とする請求項８または９に記載のディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマーク各々は、互いに重心または中心を共通とし、その形状同士が重ならないように形成されていることを特徴とする請求項８または９に記載のディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記第１位置合わせマークは前記第１隔壁と同一層に形成され、前記第２位置合わせマークは前記第２隔壁と同一層に形成されてなることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記第１位置合わせマークは、前記第１隔壁と同一工程で形成され、前記第２位置合わせマークは、前記第２隔壁と同一工程で形成されてなることを特徴とする請求項８〜１２のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記第１位置合わせマークは、前記第１隔壁と同一材料で形成され、前記第２位置合わせマークは、前記第２隔壁と同一材料で形成されてなることを特徴とする請求項８〜１３のいずれか１項に記載のディスプレイパネル。
【請求項１５】
表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極が形成された第１の基板と、表示領域内に表示セルを区画する隔壁が形成された第２の基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、
前記重ね合わせ工程の前に、前記第１の基板及び前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に、それぞれ前記透明電極と前記隔壁との位置合わせを確認するための対となる第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークを形成する工程を有することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
前記重ね合わせ工程において、前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークの座標位置を個別に測定し、測定された座標位置のずれを調整するように、前記第１の基板及び前記第２の基板を相対移動させることを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極と前記表示セルを少なくとも第１の方向に区画する第１隔壁とが形成された第１の基板と、表示領域内に表示セルを区画する第２隔壁が形成された第２の基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、
前記重ね合わせ工程の前に、前記第１の基板及び前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に、それぞれ前記第１隔壁と前記第２隔壁との位置合わせを確認するための対となる第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークを形成する工程を有することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記重ね合わせ工程において、前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークの座標位置を個別に測定し、測定された座標位置のずれを調整するように、前記第１の基板及び前記第２の基板を相対移動させることを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルなどのディスプレイパネル及びディスプレイパネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）などのガラス基板を用いたディスプレイは、それぞれ所定の構造物を形成した２枚のガラス基板を所定の間隔を隔てて封着することにより形成される。このようなＰＤＰにおいて、画像等が表示される部分である表示領域の構造（表示セル構造）について、本出願人が提案を行っている一例を挙げて、以下説明する。
【０００３】
図１は、ＰＤＰの表示セル構造を模式的に示す平面図である。図２は図１のＶ１−Ｖ１線における断面図、図３は図１のＶ２−Ｖ２線における断面図、図４は図１のＷ１−Ｗ１線における断面図、図５は図１のＷ２−Ｗ２線における断面図である。
【０００４】
図１〜図５に示されるＰＤＰはその表示領域において、表示面である前面基板１０の背面に、複数の行電極対（Ｘ，Ｙ）が、前面基板１０の行方向（図１の左右方向）に延びるように平行に配列されている。行電極Ｘは、Ｔ字形状に形成されたＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）等の透明導電膜からなる透明電極Ｘａと、前面基板１０の行方向に延びて透明電極Ｘａの狭小の基端部に接続された金属膜からなるバス電極Ｘｂによって構成されている。
【０００５】
行電極Ｙも同様に、Ｔ字形状に形成されたＩＴＯ等の透明導電膜からなる透明電極Ｙａと、前面基板１０の行方向に延びて透明電極Ｙａの狭小の基端部に接続された金属膜からなるバス電極Ｙｂによって構成されている。
【０００６】
この行電極ＸとＹは、前面基板１０の列方向（図１の上下方向）に交互に配列されており、バス電極ＸｂとＹｂに沿って並列されたそれぞれの透明電極ＸａとＹａが、互いに対となる相手の行電極側に延びて、透明電極ＸａとＹａの幅広部の頂辺が、それぞれ所要の幅の放電ギャップｇを介して互いに対向されている。
【０００７】
バス電極Ｘｂ，Ｙｂは、それぞれ表示面側の黒色導電層Ｘｂ１，Ｙｂ１と背面側の主導電層Ｘｂ２，Ｙｂ２の二層構造に形成されている。前面基板１０の背面には、列方向において隣接する行電極対（Ｘ，Ｙ）のそれぞれの互いに背中合わせになったバス電極ＸｂとＹｂの間に、このバス電極Ｘｂ，Ｙｂに沿って行方向に延びる黒色の光吸収層（遮光層）３０が形成されており、さらに、隔壁３５の縦壁３５ａに対向する部分に、光吸収層（遮光層）３１が形成されている。
【０００８】
前面基板１０の背面には、さらに、行電極対（Ｘ，Ｙ）を被覆するように誘電体層１１が形成されており、この誘電体層１１の背面には、互いに隣接する行電極対（Ｘ，Ｙ）の隣り合うバス電極ＸｂおよびＹｂと対向する位置及び隣り合うバス電極Ｘｂとバス電極Ｙｂの間の領域と対向する位置に、誘電体層１１の背面側に突出する嵩上げ誘電体層１１Ａが、バス電極Ｘｂ，Ｙｂと平行に延びるように形成されている。
【０００９】
そして、この誘電体層１１と嵩上げ誘電体層１１Ａの背面側には、ＭｇＯからなる保護層１２が形成されている。一方、前面基板１０と平行に配置された背面基板１３の表示側の面上には、列電極Ｄが、各行電極対（Ｘ，Ｙ）の互いに対となった透明電極ＸａおよびＹａに対向する位置において行電極対（Ｘ，Ｙ）と直交する方向（列方向）に延びるように、互いに所定の間隔を開けて平行に配列されている。背面基板１３の表示側の面上には、さらに、列電極Ｄを被覆する白色の誘電体層１４が形成され、この誘電体層１４上に、隔壁３５が形成されている。
【００１０】
隔壁３５は、互いに平行に配列された各列電極Ｄの間の位置において列方向に延びる縦壁３５ａと、嵩上げ誘電体層１１Ａに対向する位置において行方向に延びる横壁３５ｂとによって格子状に形成されている。そして、この格子状の隔壁３５によって、前面基板１０と背面基板１３の間の空間が、各行電極対（Ｘ，Ｙ）において対となった透明電極ＸａとＹａに対向する部分毎に区画されて、それぞれ方形の放電空間Ｓが形成されている。
【００１１】
隔壁３５の縦壁３５ａの表示側の面は保護層１２に当接されておらず（図４参照）、その間に隙間ｒが形成されているが、横壁３５ｂの表示側の面が、保護層１２の嵩上げ誘電体層１１Ａを被覆している部分に当接されていて（図２および５参照）、列方向において隣接する放電空間Ｓとの間がそれぞれ遮蔽されている。
【００１２】
放電空間Ｓに面する隔壁３５の縦壁３５ａおよび横壁３５ｂの側面と誘電体層１４の表面には、これらの五つの面を全て覆うように蛍光体層１６が、それぞれ順に形成されている。
【００１３】
この蛍光体層１６の色は、各放電空間Ｓ毎にＲ，Ｇ，Ｂの色が行方向に順に並ぶように設定される（図４参照）。そして、放電空間Ｓ内には、希ガスが封入されている。この放電空間Ｓを区画する隔壁３５の横壁３５ｂ１，３５ｂ２は、表示ライン間の光吸収層３０と重なる位置に設けられた隙間ＳＬによって列方向に分離されている。
【００１４】
すなわち、隔壁３５は、表示ライン（行）Ｌ方向に沿って格子状に形成され、列方向において表示ラインＬに沿って延びる隙間ＳＬを介して互いに平行になるように配置されている。この表示ラインＬ間に設けられた隙間ＳＬによって分割された横壁３５ｂの各部分３５ｂ１，３５ｂ２の幅は、それぞれ縦壁３５ａの幅と略同一になるように隙間ＳＬの幅が設定されている。
【００１５】
上記のＰＤＰは、行電極対（Ｘ，Ｙ）がそれぞれマトリクス表示画面の１表示ライン（行）Ｌを構成し、また、格子状の隔壁３５によって区画された放電空間Ｓが、それぞれ一つの放電セルＣを画定している。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のようなＰＤＰは、行電極対、誘電体層、嵩上げ誘電体層、保護層が形成された前面基板と、列電極、列電極保護層、隔壁、蛍光体層が形成された背面基板を重ね合わせて、シールフリットによりその周囲を封着し、内部空間を排気した後放電ガスを封入することにより作製される。
【００１７】
しかしながら、上記の前面基板と背面基板とを貼り合わせる際に、両基板上に形成された構造物が相対的に位置ずれを起こしていると、正常な放電が阻害され、良好な表示品質が得られなくなる。このため、両基板上のＰＤＰの表示領域外に予め位置合わせ用マークを形成しておき、これに基づいて両基板を相対的に位置合わせすることが行われている。
【００１８】
図６は、従来の位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層と表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示している。
【００１９】
図６に示すように、前面基板の表示領域外１０ｂには、表示領域内１０ａに形成されたバス電極Ｘｂ，Ｙｂと、同一層で形成された金属膜からなるバスマークＭｂが形成される。また、背面基板の表示領域外１３ｂには、列電極Ｄと同一層で形成された金属膜からなるアドレスマークＭａが形成される。
【００２０】
従来、このようなバスマークＭｂ及びアドレスマークＭａが位置合わせ用マークとして用いられていた。そして、バスマークＭｂ及びアドレスマークＭａはともに金属膜で形成されているため、透過照明によってマークの相対的位置を検出でき、それぞれ同一層で形成されたバス電極Ｘｂ，Ｙｂと列電極Ｄとの位置合わせができる。
【００２１】
しかし、位置ずれによるＰＤＰの性能に対する影響としては、表示用の電極となるセル毎に放電ギャップを介して対向して突出する透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁（特に縦壁３５ａ）との位置精度、または、嵩上げ誘電体層１１Ａと隔壁（特に横壁３５ｂ）との位置精度がより重要である。
【００２２】
そして、透明電極Ｘａ，Ｙａ及び嵩上げ誘電体層１１Ａは、バスマークＭｂを基準にして前面基板１０上に形成されるものであり、また、隔壁３５はアドレスマークＭａを基準にして背面基板１３上に形成されるものである。このため、その形成工程において発生する位置ずれや、焼成工程における基板縮小の影響などによる位置ずれ等により、それぞれのマークとの位置ずれが生じやすい。
【００２３】
よって、バスマークＭｂ及びアドレスマークＭａに基づいて両基板を相対的に位置合わせし、前面基板１０と背面基板１３とを貼り合わせて形成されたＰＤＰにおいては、透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁（縦壁３５ａ）との間、または、嵩上げ誘電体層１１Ａと隔壁（横壁３５ｂ）との間に位置ずれが生じやすい。
さらに、ＰＤＰの高精細化に対応して表示セルを縮小していくと、上記の位置ずれの影響が大きくなり、ＰＤＰの性能低下が問題となる。
【００２４】
本発明は、上述問題を解決するためになされたものであり、基板の重ね合わせ精度を向上させ、位置ずれによる性能低下を防止することができるディスプレイパネル及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極が配置された第１の基板と、前記第１の基板と離間して対向配置され、前記表示領域内に前記表示セルを区画する隔壁が形成された第２の基板とを備えるディスプレイパネルにおいて、前記第１の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第１位置合わせマークと、前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上に配置された第２位置合わせマークとを有し、前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、前記透明電極と前記隔壁との位置関係を、直接に認識することが可能となるように配置されていることを特徴とする。
【００２６】
また、請求項８に記載の発明は、表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極と前記表示セルを少なくとも第１の方向に区画する第１隔壁とが配置された第１の基板と、前記第１の基板と離間して対向配置され、前記表示セルを少なくとも前記第１の方向に区画する第２隔壁が形成された第２の基板と、を備えるディスプレイパネルにおいて、前記第１の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第１位置合わせマークと、前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に配置された第２位置合わせマークとを有し、前記第１位置合わせマーク及び前記第２位置合わせマークは、前記第１隔壁と前記第２隔壁との位置関係を、直接に認識することが可能となるように配置されていることを特徴とする。
【００２７】
また、請求項１５に記載の発明は、表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極が形成された第１の基板と、表示領域内に表示セルを区画する隔壁が形成された第２の基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、前記重ね合わせ工程の前に、前記第１の基板及び前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に、それぞれ前記透明電極と前記隔壁との位置合わせを確認するための対となる第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークを形成する工程を有することを特徴とする。
【００２８】
また、請求項１７に記載の発明は、表示領域内に表示セルを構成する表示用の透明電極と前記表示セルを少なくとも第１の方向に区画する第１隔壁とが形成された第１の基板と、表示領域内に表示セルを区画する第２隔壁が形成された第２の基板とを重ね合わせる重ね合わせ工程を含むディスプレイパネルの製造方法であって、前記重ね合わせ工程の前に、前記第１の基板及び前記第２の基板の表示領域外の少なくとも２箇所以上の位置に、それぞれ前記第１隔壁と前記第２隔壁との位置合わせを確認するための対となる第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークを形成する工程を有することを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係るディスプレイパネルの構造は、表示用の透明電極Ｘａ，Ｙａが配置された前面基板１０（第１の基板）と、前面基板１０と離間して対向配置され表示領域内１０ａに表示セルを区画する隔壁３５が形成された背面基板１３（第２の基板）と、を重ね合わせる工程に用いる位置合わせ用のマーク（第１位置合わせマークＭ１及び第２位置合わせマークＭ２）以外は、前述の図１〜図５に示したＰＤＰと同様の構造である。
【００３０】
以下、第１の実施の形態に係るディスプレイパネルにおける重ね合わせる工程に用いる位置合わせ用マークの構造について、図７〜図９を用いて説明する。
図７は、第１の実施の形態に係るディスプレイパネルの位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層とＰＤＰの表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示している。
【００３１】
第１の実施の形態に係るディスプレイパネルでは、図７に示すように、前面基板の表示領域外１０ｂには、表示領域内１０ａに形成された表示用の透明電極Ｘａ，Ｙａと同一層に第１位置合わせマークＭ１が形成される。また、背面基板の表示領域外１３ｂには、表示領域内１０ａに形成された隔壁３５と同一層に第２位置合わせマークＭ２が形成される。
【００３２】
次に、第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークの形成位置について説明する。図８は、第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマークの平面上における形成位置の一例を説明する模式的な平面図である。
図８の（ａ）に示すように、前面基板の表示領域外１０ｂの４隅に、透明電極Ｘａ，Ｙａの形成工程と同一工程でかつ、ＩＴＯ等の透明導電膜からなる同一材料で、例えば外径が０．５ｍｍとなる円柱状にＩＴＯマークＭ１（第１の位置合わせマーク）が形成される。なお、ＩＴＯマークＭ１上には、誘電体層が形成されていない。
【００３３】
また、図８の（ｂ）に示すように、背面基板の表示領域外１３ｂの４隅に、隔壁３５の形成工程と同一工程でかつ、白色顔料含有のガラス層からなる同一材料で、例えば外径が１．５ｍｍ、内径が０．８ｍｍとなる円筒状にリブマークＭ２（第２の位置合わせマーク）が形成される。
【００３４】
上述のように、図８の（ａ）及び（ｂ）に示したＩＴＯマークＭ１及びリブマークＭ２の各々は、対向するマーク同士が互いに重心または中心を共通とし、その形状同士が重ならないように形成されている。また、ＩＴＯマークＭ１及びリブマークＭ２の形状は、円形のものでなくてもよく、楕円，三角形，四角形，多角形等の任意の形状であってもよい。
【００３５】
さらに、図９に示すように、十字形の組み合わせによって重ね合わせた図形が一点で交差するようになっているか否か（図９の（ａ））、また、半円の円弧の組み合わせによって重ね合わせた図形が円になっているか否か（図９の（ｂ））など、対向するマーク同士を組み合わせて重ね合わせた図形によって、位置関係が認識可能となるようにＩＴＯマークＭ１及びリブマークＭ２を形成してもよい。
【００３６】
以上のように、第１の実施の形態のディスプレイパネルは、前面基板の表示領域外１０ｂの少なくとも２箇所以上の位置に配置されたＩＴＯマークＭ１（第１位置合わせマーク）と、背面基板の表示領域外１３ｂの少なくとも２箇所以上の位置に配置されたリブマークＭ２（第２位置合わせマーク）とを有しているものである。
【００３７】
また、第１の実施の形態のディスプレイパネルは、ＩＴＯマークＭ１（第１位置合わせマーク）及びリブマークＭ２（第２位置合わせマーク）が、上述の図７及び図８ように構成されたことによって、透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁３５との位置関係を、直接に認識することが可能となるように配置されているものである。
【００３８】
次に、第１の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法の重ね合わせ工程について図１０〜図１３を参照して説明する。
まず、図１０に示すように、上述のＩＴＯマークＭ１が形成された前面基板１０と、リブマークＭ２が形成された背面基板１３と重ね合わせる（ステップＳ１）。
【００３９】
次に、ＩＴＯマークＭ１は透明なマークであるので落射照明３７、すなわち単色光を照射し、図１１に示すように、ＩＴＯマークＭ１の前面基板１０に接する面Ａ及びその反対面Ｂでの反射光の干渉を認識し、座標を測定する（ステップＳ２）。
【００４０】
例えば、膜厚ｔ、屈折率ｎのＩＴＯマークＭ１に対し、波長λの単色光による落射照明３７を照射すると、その反射光には、反射光３７Ａと反射光３７Ｂが存在する。このような落射照明３７を照射したとき、ＩＴＯマークＭ１の膜厚ｔがλ／２ｎの場合には、反射光３７Ａと反射光３７Ｂは強め合い、明るく見え、膜厚ｔがλ／４ｎの場合には、反射光３７Ａと反射光３７Ｂは弱め合い、暗く見える。これにより、位置が認識できるので座標を測定できる。
【００４１】
一方、リブマークＭ２は透過率が低いマークであるので、透過照明により認識し、座標を測定する（ステップＳ３）。例えば、図１２に示すように、リブマークＭ２に対して、透過照明３８を背面基板１３の下方から照射すると、背面基板１３はガラス等で形成されているので、背面基板１３を透過した透過光３８Ａは透過率が高く明るく見える。これに対して、リブマークＭ２は白色顔料含有のガラス層などの透過率が低い素材でできているため、リブマークＭ２を透過した透過光３８Ｂは透過率が低いので、リブマークＭ２の無い部分に比べリブマークＭ２の存在する部分が暗く見える。これにより、リブマークＭ２の位置が認識できるので座標を測定できる。
【００４２】
前述のように、ＩＴＯマークＭ１は落射照明３７により位置認識し座標測定ができ、一方、リブマークＭ２は透過照明３８により位置認識し座標測定ができる。よって、図１０に示したように、それぞれのマーク認識にはそれぞれ異なった方向から照射した照明によって測定することができる。
そして、落射照明３７及び透過照明３８が同時または交互に照射された状態において、例えば、モニタカメラ３６等を用いて透過光及び反射光の明暗を検出してマーク認識を行い座標を測定する。
【００４３】
具体的には、モニタカメラ３６を前面基板１０側に設置し、ＩＴＯマークＭ１は、モニタカメラ３６側からの同軸の落射照明３７によってマーク認識を行う。リブマークＭ２は、背面基板１３側からの透過照明３８によってマーク認識を行う。これらのマーク認識は照明を切り換えてそれぞれ認識する。マーク座標位置の測定方法は、例えば、モニタカメラ３６の視野内での座標で管理する。このとき、モニタカメラ３６の視野内にマークが入るように、予めモニタカメラ３６の位置および基板（前面基板１０および背面基板１３）の位置をロボットティーチング等により決めておく必要がある。あるいは、モニタカメラ３６位置の絶対座標を決めて、モニタカメラ３６視野内のマーク位置の絶対座標化を行ってから処理してもよい。
【００４４】
なお、マーク認識は光の干渉等を利用するため、落射照明３７及び透過照明３８は、単色光が望ましい。また、この単色光の最適波長はＩＴＯマークＭ１の膜厚ｔに依存するものである。
【００４５】
なお、前面基板１０のＩＴＯマークＭ１と背面基板１３のリブマークＭ２との間の距離がモニタカメラ３６（図１０参照）の焦点深度を超えている場合は、各々のマークに対してフォーカスを合わせるようにする。
【００４６】
次に、前面基板１０と背面基板１３とを相対的に移動させて、ステップＳ２で得られた４隅のＩＴＯマークＭ１の座標と、ステップＳ３で得られた４隅のリブマークＭ２の座標との座標位置のずれを、それぞれ最小かつ均等になるように、重ね位置合わせを最適化する（ステップＳ４）。
【００４７】
例えば、図１３に示すように、任意の隅ａにあるＩＴＯマークＭ１の座標を（Ｍ１ａｘ，Ｍ１ａｙ）、リブマークＭ２の座標を（２Ｍａｘ，２Ｍａｙ）とすると、この座標位置のずれΔａは（Ｍ１ａｘ−Ｍ２ａｘ，Ｍ１ａｙ−Ｍ２ａｙ）で求められる。同様に、残りの各隅の座標位置のずれが求められる。そして、前面基板１０または背面基板１３を移動させて、各座標位置のずれを最小かつ均等になるように調整する。
【００４８】
なお、４隅のＩＴＯマークＭ１及びリブマークＭ２のうち、１つあるいは２つを認識できない場合においては、認識できる残りのマーク３つあるいは２つを用いて重ね合わせを行うこともできる。
【００４９】
以上詳述したように、第１の実施の形態によれば、前面基板と背面基板とを貼り合わせる際に、表示用の電極となるセル毎に放電ギャップを介して対向して突出する透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁（特に縦壁３５ａ）との位置精度を良く重ね合わせることができ、位置ずれによるＰＤＰの性能に対する影響を押さえ、良好な表示品質が得られる。
【００５０】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの構造は、表示用の透明電極Ｘａ，Ｙａと、表示セルＣを少なくとも第１の方向（図１における縦方向）に区画する第１隔壁（嵩上げ誘電体層１１Ａ）と、が配置された前面基板１０（第１の基板）と、前面基板１０と離間して対向配置され表示領域内１０ａに表示セルＣを少なくとも第１の方向に区画する第２隔壁（横壁３５ｂ）が形成された背面基板１３（第２の基板）と、を重ね合わせる工程に用いる位置合わせ用のマーク（第１位置合わせマーク及び第２位置合わせマーク）以外は、前述の図１〜図５に示したＰＤＰと同様な構造である。
【００５１】
以下、第２の形態に係るディスプレイパネルにおける重ね合わせる工程に用いる位置合わせ用マークの構造について、図８及び図１４を用いて説明する。
図１４は、第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層と表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示している。
【００５２】
第２の実施の形態に係るディスプレイパネルでは、図１４に示すように、前面基板の表示領域外１０ｂには、表示領域内１０ａに形成された嵩上げ誘電体層１１Ａと同一層（例えばガラス層）に嵩上げマークＭ３（第１位置合わせマーク）が形成される。また、背面基板の表示領域外１３ｂには、背面基板の表示領域内１３ａに形成された嵩上げ誘電体層１１Ａに対向する位置において行方向に延びる横壁３５ｂと同一層にリブマークＭ２（第２位置合わせマーク）が形成される。
【００５３】
次に、嵩上げマークＭ３及びリブマークＭ２の形成位置について説明する。嵩上げマークＭ３の形成位置は、前述の第１の実施の形態と同様であり、図８の（ａ）に示したように、前面基板の表示領域外１０ｂの４隅に設けられる。なお、嵩上げマークＭ３上には、誘電体層が形成されていない。
また、リブマークＭ２の形成位置も前述の第１の実施の形態と同様であり、図８の（ｂ）に示したように、前面基板の表示領域外１３ｂの４隅に設けられる。
【００５４】
第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法は、前述の第１の実施の形態と同様であり、その重ね合わせ工程は、第１の位置合わせマークを嵩上げマークＭ３として、前述した重ね合わせ工程のステップＳ１〜ステップＳ４を同様に行う。これにより、背面基板１３側に嵩上げマークＭ３と対になるリブマークＭ２を形成し、重ね合わせ時に、嵩上げ誘電体層１１Ａ（第１隔壁）と横壁３５ｂ（第２隔壁）の位置合わせを行うようにするものである。
なお、嵩上げマークＭ３は、ＩＴＯマークＭ１と同様に透明なマークであるため、ＩＴＯマークＭ１と同様に落射照明で認識することができる。
【００５５】
さらに、第１の実施の形態のＩＴＯマークＭ１と、これと対になるリブマークＭ２とを別途形成し、表示用の透明電極Ｘａ，Ｙａと隔壁３５の位置合わせも行えるようにしてもよい。
【００５６】
以上詳述したように、第２の実施の形態によれば、前面基板１０と背面基板１３とを貼り合わせる際に、嵩上げ誘電体層１１Ａ（第１隔壁）と隔壁３５（第２隔壁）の位置精度を良く重ね合わせることができ、位置ずれによるＰＤＰの性能に対する影響を押さえ、良好な表示品質が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＰＤＰの表示セル構造を模式的に示す平面図である。
【図２】図１のＶ１−Ｖ１線における断面図である。
【図３】図１のＶ２−Ｖ２線における断面図である。
【図４】図１のＷ１−Ｗ１線における断面図である。
【図５】図１のＷ２−Ｗ２線における断面図である。
【図６】従来の位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層と表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示す。
【図７】第１の実施の形態に係る位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層と表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示す。
【図８】第１及び第２の実施の形態に係る第１位置合わせマークの形成位置（ａ）及び第２位置合わせマークの形成位置（ｂ）を模式的に示す平面図である。
【図９】位置合わせマークの組み合わせ形状の変形例を示す図である。
【図１０】第１及び第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法の重ね合わせ工程のステップＳ１〜Ｓ３を説明する図である。
【図１１】第１及び第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法の重ね合わせ工程のステップＳ２を説明する図であり、第１位置合わせマークに落射照明を照射した模式断面図である。
【図１２】第１及び第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法の重ね合わせ工程のステップＳ３を説明する図であり、第２位置合わせマークに透過照明を照射した模式断面図である。
【図１３】第１及び第２の実施の形態に係るディスプレイパネルの製造方法の重ね合わせ工程のステップＳ４を説明する図である。
【図１４】第２の実施の形態に係る位置合わせ用マークの形成層を説明する図であり、ＰＤＰの表示領域内は、図１のＶ１からＫで直角に折り曲げてＷ１に至る線による断面を示し、表示領域内の各層と表示領域外に形成された位置合わせ用マークの形成層との関係を示す。
【符号の説明】
１０　　前面基板（第１の基板）
１０ａ　前面基板（第１の基板）の表示領域内
１０ｂ　前面基板（第１の基板）の表示領域外
１１Ａ　嵩上げ誘電体層（第１隔壁）
１３　　背面基板（第２の基板）
１３ａ　背面基板（第２の基板）の表示領域内
１３ｂ　背面基板（第２の基板）の表示領域外
３５　　隔壁
３５ａ　縦壁
３５ｂ　横壁（第２隔壁）
Ｃ　　表示セル
Ｍ１　ＩＴＯマーク（第１位置合わせマーク）
Ｍ２　リブマーク（第２位置合わせマーク）
Ｍ３　嵩上げマーク（第１位置合わせマーク）
Ｘａ，Ｙａ　透明電極
【図１】
2004031246.tif 000003
【図２】
2004031246.tif 000004
【図３】
2004031246.tif 000005
【図４】
2004031246.tif 000006
【図５】
2004031246.tif 000007
【図６】
2004031246.tif 000008
【図７】
2004031246.tif 000009
【図８】
2004031246.tif 000010
【図９】
2004031246.tif 000011
【図１０】
2004031246.tif 000012
【図１１】
2004031246.tif 000013
【図１２】
2004031246.tif 000014
【図１３】
2004031246.tif 000015
【図１４】
2004031246.tif 000016