(57)【要約】【課題】被覆層の付着力が高く、耐食性に優れた被覆層を有する表面被覆窒化珪素質焼結体を提供する。【解決手段】ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）を粒界結晶相として含む窒化珪素質焼結体からなる基材と、該基材表面に形成された被覆層とから構成された表面被覆窒化珪素質焼結体において、該被覆層がＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）の結晶相からなり、且つ該被覆層に少なくとも２種類の希土類元素を含むとともに、該２種類の希土類元素のうち一方が、前記基材の粒界結晶相を構成する希土類元素と同一であることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）を粒界結晶相として含む窒化珪素質焼結体からなる基材と、該基材表面に形成された被覆層とから構成された表面被覆窒化珪素質焼結体において、該被覆層がＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）の結晶相からなり、且つ該被覆層に少なくとも２種の希土類元素を含むとともに、該２種の希土類元素のうち一方が、前記基材の粒界結晶相を構成する希土類元素と同一であることを特徴とする表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項２】
前記被覆層に含まれる希土類元素のうちの少なくとも１種は前記基材の粒界結晶相に含まれる希土類元素と異なることを特徴とする請求項１記載の表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項３】
前記被覆層が、Ａ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＡ２ＳｉＯ５とＢ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＢ２ＳｉＯ５（Ａ、Ｂは希土類元素、但しＡ≠Ｂ）とを含むことを特徴とする請求項１又は２記載の表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項４】
前記被覆層のＲＥがＬｕ、Ｙｂ、Ｅｒのうち少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項５】
被覆層に含まれる過剰ＳｉＯ２量が５モル％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項６】
前記窒化珪素質焼結体の粒界相中のＲＥがＬｕ、Ｙｂ、Ｅｒのうち少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の表面被覆窒化珪素質焼結体。
【請求項７】
前記基材が、窒化珪素を７０〜９９モル％、希土類元素（ＲＥ）を酸化物換算で０．５〜１０モル％、及び過剰酸素を、下記式：
ＳｉＯ２／ＲＥ２Ｏ３
式中、ＳｉＯ２は換算での過剰酸素量を示し、
ＲＥ２Ｏ３は、酸化物換算での希土類元素含有量を示す、
で表されるモル比が２以上であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の表面被覆窒化珪素質焼結体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、室温から高温までの強度特性に優れると共に破壊靱性、耐酸化性に優れた表面被覆窒化珪素質焼結体に関するものであり、特に、タービンロータ、タービンブレード、ノズル、コンバスタ、スクロール、ノズルサポート、シールリング、スプリングリング、ディフューザ、ダクト、シュラウドなどのガスタービンエンジン用部品に好適に使用される表面被覆窒化珪素質焼結体に関する。
【０００２】
【従来技術】
窒化珪素質焼結体は、従来から、強度、硬度、熱的化学的安定性に優れることからエンジニアリングセラミックスとして、特に熱機関構造用材料としてその応用が進められている。このような窒化珪素質焼結体は、一般には窒化珪素粉末に対してＹ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３あるいはＭｇＯなどの焼結助剤を添加して焼成することにより製造されており、このような焼結助剤の使用により、高密度で高強度の特性が得られている。このような窒化珪素質焼結体は、例えばエンジン用部品として使用されているが、エンジン用部品の使用条件が高温化するにしたがい、窒化珪素焼結体の高温における強度及び耐酸化特性のさらなる改善が求められている。
【０００３】
かかる要求に対して、これまで焼結助剤、粒界相及び焼成条件等の改良や、焼結体表面での酸化保護膜の形成を中心として、その改善が進められてきた。
【０００４】
例えば、特開平９−１８３６７６号公報では、窒化珪素またはサイアロンを主成分とする焼結体表面を、ＳｉＯ２を主体とするガラス層により被覆することにより、高温における機械的強度と耐酸化性を改善することが提案されている。
【０００５】
しかし、特開平９−１８３６７６号公報のように、表面にガラス層を形成する方法では、静的な条件下での特性向上の効果はあるが、実際のエンジン中で高温高圧高速ガスに曝されるとＳｉＯ２の蒸発によりガラス層が急速に消耗してしまい、ガラス層の寿命が短く、該ガラス層が保護膜の用をなさない問題があった。
【０００６】
そこで、本出願人は先に窒化珪素質焼結体の表面に、耐酸化特性の優れたダイシリケートやモノシリケートなどの結晶相を有する被覆層を形成することによって被覆層の剥離や亀裂の発生を防止できることを提案した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、最近のエンジンの多様化及び高性能化によって、ガスの燃焼温度は年々高くなってきており、起動停止時の温度分布による熱応力の発生や、燃焼ガス雰囲気中の微少混入物の衝突によるクラックの発生等による被覆層の剥離が問題となっている。かかる問題を解決するために付着力の強い被覆層が求められている。
【０００８】
したがって、本発明は、被覆層の付着力が高く、耐食性に優れた被覆層を有する表面被覆窒化珪素質焼結体を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被覆層に２種の希土類元素をダイシリケートやモノシリケートの結晶相として存在させるとともに、一方の希土類元素を基材の窒化珪素質焼結体の粒界結晶相であるダイシリケートやモノシリケートに含有させることによって、基材に対する被覆層の付着力を高めることができるという新規知見に基づくものであり、特に、２種の希土類元素からなるダイシリケートやモノシリケートを被覆層に混在させ、一方の希土類元素の結晶相を基材の窒化珪素質焼結体の粒界から被覆層の表面まで略連続的に存在させ、中でも被覆層のみに特定の希土類元素の結晶相を含ませることで高い付着力とともに微小粒子による消耗をも抑制したものである。
【００１０】
即ち、本発明の表面被覆窒化珪素質焼結体は、ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）を粒界結晶相として含む窒化珪素質焼結体からなる基材と、該基材表面に形成された被覆層とから構成された表面被覆窒化珪素質焼結体において、該被覆層がＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）の結晶相からなり、且つ該被覆層に少なくとも２種の希土類元素を含むとともに、該２種の希土類元素のうち一方が、前記基材の粒界結晶相を構成する希土類元素と同一であることを特徴とし、特に、前記被覆層が、Ａ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＡ２ＳｉＯ５とＢ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＢ２ＳｉＯ５（Ａ、Ｂは希土類元素、但しＡ≠Ｂ）とを含むことが好ましい。
【００１１】
特に、前記被覆層に含まれる希土類元素のうちの少なくとも１種は前記基材の粒界結晶相に含まれる希土類元素と異なることが好ましい。これにより、微小粒子による消耗を効果的に抑制することができる。
【００１２】
また、前記被覆層のＲＥがＬｕ、Ｙｂ、Ｅｒのうち少なくとも１種であることが好ましい。これによって、高温での被覆層の化学的結合力が十分に高くでき、ガス中の微少飛来物によるクラックの発生や熱応力によるクラックの発生を抑制することができる。
【００１３】
さらに、被覆層に含まれる過剰ＳｉＯ２量が５モル％以下であることが好ましい。これにより、被覆層の耐食性をより高めることができる。
【００１４】
さらにまた、前記窒化珪素質焼結体の粒界相中のＲＥがＬｕ、Ｙｂ、Ｅｒのうち少なくとも１種であることが好ましい。これによって、高温での粒界相の融点や軟化点を高くすることができ、基材の高温強度を高くすることができると共に、基材の熱膨張率を小さくできるために被覆層との付着力を高くすることができる。
【００１５】
また、前記基材が、窒化珪素を７０〜９９モル％、希土類元素（ＲＥ）を酸化物換算で０．５〜１０モル％、及び過剰酸素を、下記式：
ＳｉＯ２／ＲＥ２Ｏ３
式中、ＳｉＯ２は換算での過剰酸素量を示し、
ＲＥ２Ｏ３は、酸化物換算での希土類元素含有量を示す、
で表されるモル比が２以上であることが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の表面被覆窒化珪素質焼結体は、窒化珪素質焼結体からなる基材の表面に、希土類元素（ＲＥ）の結晶相、即ち、下記式
ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７（ダイシリケート）
又は
ＲＥ２ＳｉＯ５（モノシリケート）
で表される化合物の結晶相が形成されていることが重要である。
【００１７】
このＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７（ダイシリケート）やＲＥ２ＳｉＯ５（モノシリケート）から形成されている被覆層は、従来のＳｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ムライト、コージェライト、ＹＡＧなどの保護膜に比べて、高温酸化性雰囲気でも非常に安定であることから、優れた耐食性が発揮される。また、融点も１６００〜１８００℃と高いために耐熱性に優れ、高温での寿命が長い。特に高温安定性、耐食性に優れる点で、ダイシリケートを用いることが好ましい。
【００１８】
また、本発明では、基材の窒化珪素焼結体にＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）を粒界結晶相として含むとともに、被覆層に含まれる希土類元素が少なくとも２種であって、その一方が基材の粒界結晶相として含まれることが重要である。これにより、同じ希土類元素の基材の結晶粒界相と被覆層は非常に整合性良く連続的に存在するために基材と被覆層の付着力を高めることができる。
【００１９】
被覆層の結晶相は、２種類の希土類元素を含む複合酸化物が含まれていても良いが、複合酸化物は１種類と見なし、２種類の希土類元素がそれぞれダイシリケートやモノシリケートからなり、混在していることが必要である。即ち、Ａ、Ｂを希土類元素とし、Ａ、Ｂはお互いに異なる元素である場合、ＡＢＳｉ２Ｏ７及び／又はＡＢＳｉＯ５等の複合酸化物ではなく、Ａ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＡ２ＳｉＯ５とＢ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＢ２ＳｉＯ５とが混在していることが好ましい。
【００２０】
または、ＡＢＳｉ２Ｏ７及びＡ２Ｓｉ２Ｏ７、或いはＡＢＳｉ２Ｏ７及びＢ２ＳｉＯ７が被覆層にそれぞれ結晶相として存在していれば良く、更に、ＡＢ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＡＢ２ＳｉＯ５等の複合酸化物等の複合酸化物が、被覆層にＡ２Ｓｉ２Ｏ７及びＢ２ＳｉＯ５とともに混在していても良い。
【００２１】
また、２種以上の結晶のうち、少なくとも１種が基材の粒界結晶相と異なるものにすることによって、膜表面に残留応力を発現せしめ、飛来する微小粒子の衝撃に対するクラックの発生を抑制し、消耗を抑制して寿命を長くする効果を高めることができる。
【００２２】
さらに、本発明では、前記被覆層中に含まれる過剰ＳｉＯ２量が５モル％以下、特に好適には３モル％以下、更には１モル％以下、最も好ましくは０．５モル％以下であることが重要である。
【００２３】
つまり、本発明によれば、ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７（ダイシリケート）或いはＲＥ２ＳｉＯ５（モノシリケート）の結晶相自体が非常に優れた耐食性を有することから、被覆層は、優れた耐食性を有する。しかしながら、かかる結晶相の耐食性が良好であっても、この被覆層は多結晶体からなるものであって、その結晶粒界が存在し、この結晶粒界に、このような結晶相に寄与しない不純物的な酸素（過剰酸素）がＳｉＯ２として存在する場合、このＳｉＯ２（即ち、過剰ＳｉＯ２）が水蒸気等と反応して気化し、燃焼ガスで流され、その結果粒界相が抜け落ち、被覆層が破壊されやすくなり、また、空隙となった粒界相を介して窒化珪素質焼結体が腐食されやすくなる。
【００２４】
そこで、本発明によれば、この過剰酸素による粒界相の過剰ＳｉＯ２量を前記範囲に低減することにより、かかる粒界相の生成を抑制できる結果、被覆層中の結晶の粒界を経由した酸素あるいは水蒸気の拡散を防止することができる。
【００２５】
なお、過剰ＳｉＯ２量の下限値は０であることが最も望ましいが、被覆層全体におけるＳｉＯ２量がダイシリケートやモノシリケートの化学量論組成よりも少ないと、ダイシリケートやモノシリケート以外にＹＡＭやアパタイトなどの窒素含有系結晶相が析出する場合がある。したがって、より望ましくは、被覆層がダイシリケートのみからなる場合には、被覆層中のＳｉＯ２／ＲＥ２Ｏ３比（モル比）が１．９〜２．３にあることが好ましく、被覆層がモノシリケートのみからなる場合には０．９〜１．２であることが望ましく、更に被覆層がダイシリケートとモノシリケートとの混合結晶である場合には、ＳｉＯ２／ＲＥ２Ｏ３比（モル比）が０．９〜２．３の範囲にあることが好適である。
【００２６】
本発明において、上記結晶相の構成成分である希土類元素は、周期律表第３ａ族元素であり、具体的にはＹ、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｓｍ、Ｔｂ、Ｓｃ、Ｇｄ及びＴｍなどが挙げられる。これらの中でも、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒが好適である。
【００２７】
これは、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒのイオン半径は小さくイオン間の結合力が大きいためダイシリケート相及びモノシリケート相は、いずれも融点が高い。この様な特性を有しているため、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒのダイシリケート相及びモノシリケート相は、優れた高温強度、高硬度及び高靭性を提供できるとともに、高温での高い化学的安定性を実現できる。
【００２８】
本発明において、前記被覆層を表面に有する基材が、主相である窒化珪素結晶粒子の粒界に、結晶相を有する窒化珪素質焼結体であることが好ましい。
【００２９】
即ち、基材である窒化珪素質焼結体の表面に被覆層を設けたとしても、長い期間にわたって被覆層中を酸素が拡散し、窒化珪素質焼結体に到達し、該焼結体が酸化されると、その機械的特性が劣化してしまうことがある。例えば、窒化珪素結晶は二酸化珪素に変化し、機械的特性劣化の原因となる。しかるに、窒化珪素質焼結体における窒化珪素結晶の粒界に結晶相を存在させることにより、窒化珪素結晶を酸化や腐食から保護することができ、例えば、窒化珪素質焼結体の酸化速度を遅くし、上記酸素の焼結体内部への拡散による酸化に起因する機械的特性の低下を効果的に制御し、窒化珪素質焼結体の特性を最大限に引き出すとともに、その寿命を飛躍的に延ばすことができる。
【００３０】
また、窒化珪素結晶の粒界に存在する上記結晶相は、例えば希土類元素（ＲＥ）、Ｓｉ（珪素）及びＯ（酸素）からなる結晶であることが好ましく、さらに好適には、前記被覆層と同様、化学式：ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７或いはＲＥ２ＳｉＯ５で表されるダイシリケート相もしくはモノシリケート相であることが望ましい。即ち、このような結晶相を窒化珪素結晶粒子の粒界に存在させることにより、窒化珪素質焼結体からなる基材に対する前記被覆層の濡れ性が良好となり、粒界結晶相が基材から被覆層に連続しているので、両者の付着力が強固となり、また、基材と被覆層間の熱膨張差を低減でき、被覆層の剥離を一層効果的に防止できる。
【００３１】
本発明において、基材として用いる窒化珪素質焼結体は、主成分である窒化珪素以外に、希土類元素及び過剰酸素を含有することが好適である。
【００３２】
具体的に、窒化珪素の含有量は、高温強度を十分に発現させるために、７０〜９９モル％、特に８５〜９９モル％の範囲にあることが望ましい。また、この窒化珪素中には、ＡｌやＯが固溶して、サイアロン（ＳＩＡＬＯＮ）を形成していても良い。
【００３３】
希土類元素成分は、焼結助剤に由来するものであり、また上述した粒界結晶相の構成成分である。かかる希土類元素としては、Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒのうち少なくとも１種であることが高温での高い化学的安定性を得るのために好ましく、また、Ｙｂ、Ｌｕ及びＥｒは、易焼結性、高強度の点でも有利である。
【００３４】
焼結体基材中の希土類元素含有量は、緻密で高温強度と高温クリープに優れた窒化珪素質焼結体を得るために、酸化物換算で０．５〜１０モル％が適する。特に１〜７モル％が望ましい。例えば、希土類元素含有量が、上記範囲よりも少ないと、焼結性が低下し、緻密な窒化珪素質焼結体からなる基材をえることが困難となり、また、上記範囲よりも多量に希土類元素を含有する場合には、高温強度及び高温クリープの特性が劣化する傾向がある。
【００３５】
また、過剰酸素とは、主としてＳｉＯ２として存在するものであり、窒化珪素質焼結体中の全酸素量より、希土類元素の酸化物に使用する酸素量を差し引いた酸素量を意味する。本発明において、この過剰酸素量は、下記式：
ＳｉＯ２／ＲＥ２Ｏ３
式中ＳｉＯ２は、ＳｉＯ２換算での過剰酸素量（モル）を示し、
ＲＥ２Ｏ３は、酸化物換算での前記希土類元素含有量（モル）を示す、
で表されるモル比が２以上、特に２〜３．５、更には２．１〜２．７の範囲にあることが望ましい。即ち、このような量で過剰酸素を含むことにより、酸化及び腐食に対する耐性の高いダイシリケート相やモノシリケート相を粒界に形成することができる。例えば、過剰酸素量が上記範囲よりも少ないと、このような結晶相を粒界に析出することが難しい。
【００３６】
また、本発明において、焼結体基材中には、Ｍｇ、Ｃａ、Ｆｅ等の金属成分を含むことがあるが、これらの金属は、低融点の酸化物を形成して粒界の結晶化を阻害するとともに高温強度を劣化させるため、酸化物換算量で１モル％以下、特に０．５モル％以下、さらに望ましくは０．１モル％以下に制御することがよい。
【００３７】
次に、本発明の表面被覆窒化珪素質焼結体の製造方法について説明する。本発明によれば、基材を製造し、次いで該基材表面に上述した被覆層を形成することにより表面被覆窒化珪素質焼結体が製造される。
【００３８】
【実施例】
基材の原料粉末として、下記の窒化珪素粉末、希土類元素酸化物粉末及び酸化珪素粉末を用いた。
窒化珪素粉末：
ＢＥＴ比表面積；９ｍ２／ｇ
窒化珪素のα率；９９％
酸素量；１．１質量％
Ａｌ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｆｅなどの陽イオン金属不純物量；３０ｐｐｍ以下
希土類元素酸化物（ＲＥ２Ｏ３）粉末：
ＲＥ；Ｌｕ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｙ
純度；９６％
平均粒径；１．５μｍ
酸化珪素粉末：
純度；９９．９％
平均粒径；２μｍ
上記の窒化珪素粉末８９．５モル％と、ＲＥ２Ｏ３粉末３モル％と、酸化珪素粉末７．５モル％とからなる混合粉末を調合し、バインダー及び溶媒のメタノールを添加し、窒化珪素ボールを用いて５０時間回転ミルで混合粉砕し、スラリーを調製した。
【００３９】
得られたスラリーを、乾燥後、２９８ＭＰａの圧力でラバープレス成形し、直径６０ｍｍ、厚み２０ｍｍの形状の成形体を作製した。
【００４０】
この成形体を、ガス圧焼成（ＧＰＳ）により、焼成温度１９００℃、焼成時間１０時間で焼成し、基材を得た。いずれの基材にも、粒界にＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７（ダイシリケート）の結晶相が析出していた。
【００４１】
なお、表１中の基材中のＳｉＯ２量は、基材を粉砕し、化学分析によって全酸素量を求め、添加した希土類酸化物中の酸素量を除いた酸素量をＳｉＯ２換算して算出した値である。
【００４２】
次に、表１に示す条件で、ＲＥ２Ｏ３粉末とＳｉＯ２粉末との混合粉末を、それぞれＰＶＡを溶解した蒸留水に分散させてスラリーを作製し、スプレーによって前記で得られた基材表面に、均一になるように塗布した。また、表２に示すように、複数のＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７粉末及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５粉末を、ＰＶＡを溶解した蒸留水に分散させてスラリーを作製し、スプレーによって前記で得られた基材表面に、均一になるように塗布した。
【００４３】
なお、試料Ｎｏ．１４〜１６は、上記混合粉末の代わりに、ＳｉＯ２粉末、ＺｒＯ２粉末又はＡｌ２Ｏ３粉末を使用し、上記と同様にして表面被覆窒化珪素質焼結体を得た。
【００４４】
次いで乾燥した後、窒素雰囲気中で、表１、表２に示す条件で熱処理し、表面被覆窒化珪素質焼結体を得た。
【００４５】
得られた焼結体について、以下の方法で各種特性等を測定し、その結果を表１、表２に示した。
【００４６】
減肉量：
試料の表面被覆焼結体を１２００℃、圧力０．４ＭＰａ、ガス流速５０ｍ／ｓのガス気流中に１００時間曝し、その減肉量を測定した。
【００４７】
結晶の同定：
基材の粒界相の結晶及び被覆層の結晶を、Ｘ線回折測定により同定した。表１において、モノシリケート相をＲＳ、ダイシリケート相をＲ２Ｓで示した。また、併せてＳＥＭ観察およびＥＰＭＡ分析を行い、希土類元素の違いを解析した。
【００４８】
耐エロージョン性：
表面被覆窒化珪素質焼結体に平均粒径１００μｍのガラス粉末を圧力２ｋｇ／ｃｍ２の空気で吹き付け、試験前後の重量変化量から耐エロージョン性を評価した。
【００４９】
熱サイクル試験：
１３００℃と３００℃の熱サイクルをかけ、顕微鏡観察によりクラックが確認される回数により被覆層の密着性を評価した。試験は試験片３本の平均回数で評価した。
【００５０】
【表１】
2004010382.tif 000002
【００５１】
【表２】
2004010382.tif 000003
【００５２】
本発明の試料Ｎｏ．１〜１２及び１７〜２９は、耐エロージョン性が１０％以下で、熱サイクル試験で１００回以上クラックの発生が無く、曝露試験での減肉量が１０μｍ以下であった。
【００５３】
一方、被覆層がＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５以外である本発明の範囲外の試料Ｎｏ．１３〜１６は曝露試験による減肉量が２００μｍ以上であった。
【００５４】
また、窒化珪素質焼結体基板の粒界相に含んでいる希土類元素を被覆層に含まない本発明の範囲外の試料Ｎｏ．３０〜３３は耐エロージョン性が１５％以上で熱サイクル試験９０回以下でクラックが発生した。
【００５５】
【発明の効果】
本発明の表面被覆窒化珪素質焼結体は、ＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）を粒界結晶相として含む窒化珪素質焼結体からなる基材と、該基材表面に形成された被覆層とから構成された表面被覆窒化珪素質焼結体において、該被覆層がＲＥ２Ｓｉ２Ｏ７及び／又はＲＥ２ＳｉＯ５（ＲＥは希土類元素）の結晶相からなり、且つ該被覆層に少なくとも２種類の希土類元素を含むとともに、該２種類の希土類元素のうち一方が、前記基材の粒界結晶相を構成する希土類元素と同一することにより、耐食性が高く、耐エロージョン性も高く長期信頼性の高い表面被覆窒化珪素質焼結体を実現できる。