(57)【要約】【課題】本発明は、インクジェットヘッドのノズル面に付着した汚れを、ノズル面を損傷させることなく適切に除去可能な機能液滴吐出ヘッドの保守方法および保守装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した汚れを除去することにより、機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、ノズル面に、汚れを吸着する吸着材を押し当てることにより、ノズル面に付着した汚れを除去することを特徴とする。【選択図】  図５
2004330027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した汚れを除去することにより、前記機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、
前記ノズル面に、前記汚れを吸着する吸着材を押し当てることにより、前記ノズル面に付着した汚れを除去することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの保守方法。
【請求項２】
機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した汚れを除去することにより、前記機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、
前記汚れを吸着する吸着材と、
前記ノズル面に臨み、前記吸着材を当該ノズル面に当接させる当接手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項３】
前記当接手段は、前記吸着材を挟んで前記ノズル面に臨む板状部材と、
前記ノズル面に対し、前記板状部材を相対的に昇降させることにより、前記吸着材を前記ノズル面に離接させる昇降機構と、を備えたことを特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項４】
前記昇降機構は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、前記板状部材を平行な姿勢に支持した状態で相対的に昇降させることを特徴とする請求項３に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項５】
前記板状部材の表面には、弾性材が敷設されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項６】
前記板状部材の前記吸着材との接触面にかかる押当て圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段による検出結果に基づいて前記昇降機構を制御する第１制御手段と、をさらに備えたことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項７】
前記吸着材に、前記機能液の洗浄液を散布する洗浄液供給手段をさらに備えたことを特徴とする請求項２ないし６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項８】
前記吸着材は、帯状に形成されており、
巻回状態の前記吸着材を前記当接手段に向かって繰り出す繰出し手段と、
前記当接手段を通過した前記吸着材を巻き取る巻取り手段と、をさらに備えていることを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項９】
前記吸着材は、ポリビニルアルコールまたはポリウレタンの多孔質体で構成されていることを特徴とする請求項２ないし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
【請求項１０】
請求項２ないし９のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置と、
ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を除去することにより、機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守方法および保守装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出装置の一種として従来から知られている印刷装置では、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）のノズル面、特にインク吐出口やその周り、に付着したインクやごみ等の汚れを取り除くために、クリーニング機構を備えている。クリーニング機構は、インクジェットヘッドに配置に対応して配設されたゴム部を用いて、インクジェットヘッド（のノズル面）に洗浄液を含浸させたテープ状の清掃用布を所定の圧力で押し当て、この状態でゴム部および清掃用布をインクジェットヘッドに対して一定方向に水平移動させることにより、インクジェットヘッドの汚れを拭き取るようになっている（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１７１１３５号公報（第２頁−第６頁、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、工業応用で用いられる液滴吐出装置には、多種多様な機能液を導入することが想定されている。したがって、液滴吐出装置に侵食性の強い機能液を導入した場合、上記のように機能液滴吐出ヘッドに清掃用布を押し当てたままこれを移動させることにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを拭き取ると、ノズル面と清掃用布との摩擦等に加え、機能液の侵食性に起因して、ノズル面に形成された撥水膜を傷付けてしまう。撥水膜の損傷は、インク吐出口に形成されるメニスカスの状態を不安定にすると共に、インク吐出口から吐出されるインクの飛行曲がりの原因となり、印刷品質に悪影響を及ぼすため問題になる。
【０００５】
また、清掃用布を移動させながら汚れを拭き取るので、単一の機能液滴吐出ヘッドで複数種類の機能液を吐出させる場合や、異なる機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドを同一の清掃用布で拭き取る場合には、汚れを拭き取った清掃用布により、機能液がノズル面で混合する惧れが生じる。
【０００６】
そこで、本発明は、インクジェットヘッドのノズル面に付着した汚れを、ノズル面を損傷させることなく適切に除去可能な機能液滴吐出ヘッドの保守方法および保守装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した汚れを除去することにより、機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、ノズル面に、汚れを吸着する吸着材を押し当てることにより、ノズル面に付着した機能液を除去することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した汚れを除去することにより、機能液滴吐出ヘッドを保守する機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、汚れを吸着する吸着材と、ノズル面に臨み、吸着材を当該ノズル面に当接させる当接手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
これらの構成によれば、吸着材をノズル面に押し当てることにより、ノズル面に付着した汚れを吸着材に吸着させることができ、ノズル面に付着した汚れを除去することが可能である。すなわち、吸着材をノズル面に接触させた状態で移動させることなく、吸着材をノズル面に押し当てるだけで、ノズル面に付着した汚れを除去することが可能である。なお、本発明は、機能液滴吐出ヘッドの支持姿勢に関わらず適応可能であり、機能液滴吐出ヘッドのノズル面が水平になるよう支持されている場合や、ノズル面が鉛直になるよう支持されている場合にも当然に適用することが可能である。
【００１０】
この場合、当接手段は、吸着材を挟んでノズル面に臨む板状部材と、ノズル面に対して、板状部材を相対的に昇降させることにより、吸着材をノズル面に離接させる昇降機構と、を備えることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ノズル面が水平に支持されている場合、ノズル面に対して板状部材を相対的に昇降させる、すなわち、ノズル面に対して板状部材を直接昇降させる、または、機能液滴吐出ヘッドを昇降させることにより、吸着材をノズル面に離接させて、ノズル面に付着する汚れを除去することが可能である。したがってノズル面に吸着材が当接したまま移動することがないので、吸着材によるノズル面の損傷を防止可能である。また、吸着材がノズル面を移動しないので、吸着材により除去された機能液が吐出ノズル内の機能液と混合することを防止することができる。
【００１２】
この場合、昇降機構は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、板状部材を平行な姿勢に支持した状態で相対的に昇降させることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、板状部材が機能液滴吐出ヘッドのノズル面と平行な姿勢で相対的に昇降されるので、板状部材の上昇時において、吸着材をノズル面に対して均一に当接させることができる。
【００１４】
これら場合、板状部材の表面には、弾性材が敷設されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、弾性材はノズル面にならって変形するため、板状部材の精度を補償することができ、吸着材を機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着して押し当てて、効率的にノズル面に付着した機能液を除去することが可能である。また、弾性材の変形により、板状部材の取付け精度が補償されるため、板状部材を容易に取付け可能となる。さらに、弾性部材は、板状部材の当接圧力を緩衝することができるため、板状部材の押し当てにより機能液滴吐出ヘッドのノズル面を損傷することを防止できる。
【００１６】
これら場合、板状部材の吸着材との接触面にかかる圧力を検出する圧力検出手段と、圧力検出手段による検出結果に基づいて昇降機構を制御する第１制御手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、板状部材の吸着材との接触面にかかる圧力に基づいて昇降機構が制御することが可能である。すなわち、当接させた吸着材により、ノズル面に形成された吐出ノズルのメニスカスを破壊せずに、ノズル面の汚れを適切に吸着できるようにコントロールすることが可能である。具体的には、接触面にかかる圧力を所定の一定圧力に保つようにして、ノズル面に過剰な圧力がかかることを防止することができる。また、板状部材を上昇させていき、接触面にかかる圧力が所定の圧力に達したときに板状部材を降下させるようにしてもよい。
【００１８】
これら場合、吸着材に、機能液の洗浄液を散布する洗浄液供給手段をさらに備えることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、吸着材には、機能液の洗浄液が散布されるので、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着する機能液の汚れを効率よく除去することが可能である。
【００２０】
これらの場合、吸着材は、帯状に形成されており、巻回状態の吸着材を当接手段に向かって繰り出す繰出し手段と、当接手段を通過した吸着材を巻き取る巻取り手段と、をさらに備えていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、常に未使用の吸着材をノズル面に当接させることができ、効果的にノズル面の汚れを吸着材で除去することができる。
【００２２】
これらの場合、吸着材は、ポリビニルアルコールまたはポリウレタンの多孔質体で構成されていることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、吸液性および保液性に優れたポリビニルアルコールまたはポリウレタンの多孔質体で吸着材が構成されているので、機能液を効率よく吸着することが可能である。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液滴吐出ヘッドの保守装置と、ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の損傷を防止可能な機能液滴吐出ヘッドの保守装置を備えているので、機能液滴吐出ヘッドの保守時にノズル面を磨耗させることがなく、適切な印刷品質を維持することが可能である。また、ノズル面の磨耗による機能液滴吐出ヘッドの交換が不要となるため、メンテナンス性を向上させることが可能である。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の磨耗が少なく、メンテナンス性の良い液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置の模式図、図２は、液滴吐出装置を側面視したときの模式図である。両図に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド１１を搭載したヘッドユニット２と、ヘッドユニット２を支持するキャリッジ３と、キャリッジ３を介し、ヘッドユニット２をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル４と、ワークＷを載置する載置テーブル３１を有すると共に、載置テーブル３１を介してワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル５と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル４に臨んだ、ヘッドユニット２の移動軸上には、機能液滴吐出ヘッド１１のメンテナンスに供するメンテナンス手段６が備えられている。
【００３２】
また、液滴吐出装置１には、上記したものの他に、機能液滴吐出ヘッド１１に機能液を供給する機能液供給手段７や、装置の各部を駆動・制御するための圧縮エアー（不活性ガス）を供給するエアー供給手段８等が備えられている。
【００３３】
この液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル５およびＹ軸テーブル４を駆動して、ヘッドユニット２とワークＷとを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１１を駆動して機能液を選択的に吐出させることにより、ワークＷに対して描画を行うと共に、ヘッドユニット２をメンテナンス手段６まで移動させ、メンテナンス手段６により機能液滴吐出ヘッド１１を保守するようになっている。
【００３４】
ヘッドユニット２は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１１と、複数の機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するサブプレート１８と、で構成されている。図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１は、上記した機能液供給手段７からの機能液を導入する機能液導入部１２と、多数（１８０個）の吐出ノズル１６が整列して形成されたノズルプレート１４およびポンプ部１７から成るヘッド本体１３と、を備えている。そして、機能液滴吐出ヘッド１１は、ポンプ部１７の作用により、機能液導入部１２から導入された機能液を吐出ノズル１６から吐出するようになっている。なお、ノズルプレート１４の下面がノズル面１５となっている。また、図３に示すように、サブプレート１８には、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１が６個ずつに二分されて配設されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１１は、各機能液滴吐出ヘッド１１の吐出ノズル１６が副走査方向に連続するように配設されている。なお、吐出ノズル１６が副走査方向に連続していれば、機能液滴吐出ヘッド１１の個数や配列は、上記したものに限られるものではなく任意である。
【００３５】
キャリッジ３は、背面に、後述するＹ軸テーブル４のＹ軸スライダに取り付けられたキャリッジ本体２１と、キャリッジ本体２１に支持され、ヘッドユニット２を支持するキャリッジプレート２２と、を備えている（図２参照）。なお、図示省略したが、キャリッジプレート２２には、サブプレート１８を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２を位置決め固定するようになっている。
【００３６】
Ｘ軸テーブル５は、載置テーブル３１と、載置テーブル３１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアモータ（図示省略）と、を有している。Ｙ軸テーブル４は、Ｘ軸テーブル５と直交し、Ｘ軸テーブル５を跨ぐように配設されており、キャリッジ３を介してヘッドユニット２をＹ軸方向にスライド自在に支持するＹ軸スライダ（図示省略）と、Ｙ軸スライダをＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ（図示省略）と、サーボモータで構成され、Ｙ軸ボールねじを正逆回転させるＹ軸モータ（図示省略）と、を有している。
【００３７】
メンテナンス手段６は、ヘッドユニット２の移動軸上の所定のメンテナンス位置に停止するヘッドユニット２の機能液滴吐出ヘッド１１を保守するためのものであり、図１に示すように、吸引ユニット４１と、ワイピングユニット５１と、を有している。
【００３８】
吸引ユニット４１は、メンテナンス位置に停止するヘッドユニット２の機能液滴吐出ヘッド１１の吐出ノズル１６から吸引を行い、吐出ノズル１６から機能液を強制的に吐出させるためのものである。図示省略したが、吸引ユニット４１は、メンテナンス位置におけるサブプレート１８の（１２個の）機能液滴吐出ヘッド１１の配置に対応し、各機能液滴吐出ヘッド１１（のノズル面１５）に密着可能な１２個のキャップを配設したキャップユニットと、キャップユニットを昇降させ、キャップを機能液滴吐出ヘッド１１から離接させるキャップ昇降機構と、機能液滴吐出ヘッド１１に密着させたキャップを介して機能液の吸引を行う吸引ポンプと、各キャップと吸引ポンプを接続する吸引用チューブと、を有している。
【００３９】
図５は、ワイピングユニット５１の模式図である。同図に示すように、ワイピングユニット５１は、ロール状に巻回され、汚れを吸着する吸着シート（吸着材）５２と、吸着シート５２を繰り出しながら巻き取っていく巻取り手段５３と、繰り出された吸着シート５２を機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に当接させる当接手段５４と、吸着シート５２に洗浄液を供給する洗浄液供給手段５５と、を備えており、上述した機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に付着した機能液やごみ等の汚れを吸着シート５２で除去するためのものである。
【００４０】
吸着シート５２は、スポンジ状の多孔質体で構成されている。具体的には、機能液に対する耐食性を有すると共に、吸液性および保液性に優れたポリビニルアルコールやポリウレタン１００％で吸着シートを構成することが好ましい。なお、吸着シート５２の材質は、状況に応じて適宜選択可能であり、例えば、機能液を吸着可能に表面加工した紙等を吸着シートとして用いることも可能である。
【００４１】
巻取り手段５３は、ロール状の吸着シート５２が装填される繰出しリール６１と、繰出された吸着シート５２を巻き取る巻取りリール６２と、巻取りリール６２を回転させるための巻取りモータ６３（ギヤードモータ）と、を有している。
また、繰出しリール６１の同軸上には、トルクリミッタ（図示省略）等の制動機構が組み込まれており、繰出された吸着シート５２に一定の張力を付与できるようになっている。なお、図示省略したが、巻取りモータ６３の出力軸の軸端には、巻取りモータ６３の回転を検出するロータリエンコーダー（スリット円板とこれに臨むフォトインタラプタから成る）が固定されており、吸着シート５２の送り量を検出できるようになっている。
【００４２】
当接手段５４は、繰出しリール６１と巻取りリール６２との間に配設されており、巻取り手段５３で繰出された吸着シート５２を挟んでヘッドユニット２に臨むようになっている。当接手段５４は、繰出された吸着シート５２を機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に当接させる当接板（板状部材）７１と、当接板７１の表面に敷設された弾性シート７２（弾性材）と、当接板７１を支持する弾性部材７３と、弾性部材７３を介して当接板７１を支持する支持部材７４と、支持部材７４を昇降させる昇降機構７５と、を有している。
【００４３】
当接板７１は、上記したサブプレート１８よりも一回り大きく形成した方形の厚板で構成されている。また、当接板７１は、吸着シート５２を介して、メンテナンス位置に停止するヘッドユニット２（サブプレート１８）に対応させて配設されている。詳細は後述するが、当接板７１には、圧力検出センサ（圧力検出手段）７６が搭載されており、当接板７１（の吸着シート５２との接触面）の押当て圧力を検出可能となっている。なお、吸着シート５２をヘッドユニット２に搭載された全ての機能液滴吐出ヘッド１１と確実かつ均等に当接させて、ヘッドユニット２に搭載された機能液滴吐出ヘッド１１を効率よく保守するためには、当接板７１を、少なくともサブプレート１８と同じ大きさに形成することが好ましいが、当接板７１をサブプレート１８よりも小さく構成することも可能である。
【００４４】
弾性シート７２は、スポンジ（例えば、発泡ウレタン）、ゴム等の弾性体で構成されている。弾性シート７２は、当接板７１の表面を覆うように敷設されており、当接板７１の押当て圧力を緩衝して、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５が損傷することを防止している。さらに、弾性シート７２は、当接板７１による押当て圧力により、ノズル面１５にならって変形するので、効率よく吸着シート５２をノズル面１５に当接させることが可能である。
【００４５】
弾性部材７３は、当接板７１と支持部材７４との間に介設され、当接板７１を支持している。弾性部材７３は、コイルばねで構成され、弾性シート７２と共に当接板７１の押当て圧力を緩衝している。なお、弾性部材７３を１つのコイルばねで当接板７１を支持することも可能であるが、当接板７１を均一かつ安定に支持するために、本実施形態では複数のコイルばねで支持する構成となっている。
具体的には、方形に形成された当接板７１の四隅を４つのコイルばねで対称に支持するようになっている。なお、弾性部材７３には、コイルばねの他に、板ばねやゴム等のような弾性を有する部材を用いることが可能である。
【００４６】
支持部材７４は、弾性部材７３を介し、当接板７１を水平面と平行に支持する支持部本体７７と、支持部本体７７を両持ちで上下方向にスライド自在に支持するスタンド７８と、を備えている。スタンド７８は、支持部本体７７の移動を垂直にガイドする一対のガイド部材７８ａを有している。昇降機構７５は、スタンド７８に垂直に立設したボールねじ７９と、ボールねじ７９を正逆回転させる昇降モータ８０を備えている。支持部本体７７は、雌ねじ部材（図示省略）を介してボールねじ７９に螺合しており、昇降モータ８０を正逆回転してボールねじ７９を正逆回転させることにより、支持部本体７７が昇降するようになっている。
すなわち、昇降機構７５は、当接板７１を水平な姿勢で上下に昇降できるようになっている。
【００４７】
洗浄液供給手段５５は、洗浄液を貯留する洗浄液タンク８１と、洗浄液を吸着シート５２に滴下させる複数の滴下ノズル８２と、洗浄液タンク８１と滴下ノズル８２とを接続する洗浄液供給チューブ８３と、を有している。複数の滴下ノズル８２は、ワイピングユニット５１がヘッドユニット２のメンテナンス位置に臨んだときに、吸着シート５２の送り方向における当接手段５４の上流側に位置するよう配設されている。また、複数の滴下ノズル８２は、吸着シート５２の幅方向に対して均一に洗浄液を滴下できるよう、支持スタンド８４により、吸着シート５２の幅に合わせて横並びに等間隔で支持されている。ここで用いる洗浄液としては、機能液の溶剤であり、かつ比較的揮発性の高い溶剤が用いられる。
【００４８】
なお、吸引ユニット４１およびワイピングユニット５１は、Ｘ軸方向にスライド自在の移動テーブル９１上に配設されている。移動テーブル９１は、Ｘ軸テーブル５と平行に配設されており、これら両ユニット４１、５１をＸ軸方向に移動可能に支持している。通常、ヘッドユニット２のメンテナンス位置には、吸引ユニット４１が臨んで配設されており、メンテナンス位置に停止するヘッドユニット２の各機能液滴吐出ヘッド１１に、吸引ユニット４１の各キャップが密着可能となっている。そして、ワイピングユニット５１を用いるときには、移動テーブル９１を介して両ユニット４１、５１を移動させ、メンテナンス位置のヘッドユニット２に当接板７１を当接できるよう、メンテナンス位置にワイピングユニット５１を臨ませるようになっている。
【００４９】
ところで、この液滴吐出装置１は、パソコン等のホスト・コンピュータ１０１に接続されており、液滴吐出装置１全体は、ホスト・コンピュータ１０１によりコントロールされている。図示省略したが、ホスト・コンピュータ１０１は、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭと、各種記憶領域を有し、制御プログラムや各種データを記憶するハードディスクと、ハードディスクに記憶されたプログラム等に基づいて、各種データを演算処理するＣＰＵと、を備えており、これらはバスで互いに接続されている。また、図示省略したが、ホスト・コンピュータ１０１は、各種データやメッセージ等を表示し、ユーザの視認に用いられるモニタディスプレイや、キーボード等の入力装置、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブを備えている。なお、請求項にいう第１制御手段は、ホスト・コンピュータ１０１により構成されている。
【００５０】
ここで、ホスト・コンピュータ１０１による制御の一例として、図５および図６を参照しながら、ワイピングユニット５１の一連の制御動作について説明する。ワイピングユニット５１の動作命令が為されると、ホスト・コンピュータ１０１は、まず、図外の移動テーブル９１を駆動して、ワイピングユニット５１をメンテナンス位置に臨ませる（図６（ａ）参照）。そして、ホスト・コンピュータ１０１は、滴下ノズル８２から洗浄液を吸着シート５２に滴下させながら、巻取りモータ６３を駆動して吸着シート５２を送っていき、ヘッドユニット２の機能液滴吐出ヘッド１１に当接する範囲Ａ（本実施形態では、サブプレート１８の大きさに略対応する範囲）の吸着シート５２に洗浄液を含浸させる（図６（ｂ）参照）。このように吸着シート５２の当接範囲に対応させて、吸着シート５２に洗浄液を滴下することにより、効率よく機能液滴吐出ヘッド１１の汚れを除去可能となっている。
【００５１】
吸着シート５２に洗浄液を含浸させた後、ホスト・コンピュータ１０１は、巻取りモータ６３の駆動を続けてさらに吸着シート５２を所定量送っていき、吸着シート５２の洗浄液を含浸した部分をヘッドユニット２に臨ませる。なお、この時の吸着シート５２の送り量は、メンテナンス位置における滴下ノズル８２の位置から機能液滴吐出ヘッド１１までの距離に基づいて設定され、ホスト・コンピュータ１０１の記憶領域内に記憶されている。また、吸着シート５２の送り量は、上記したロータリエンコーダーにより検出する構成となっており、ホスト・コンピュータ１０１は、ロータリエンコーダーの検出結果に基づいて巻取りモータ６３の駆動を制御することにより、所定量の吸着シート５２を送ることができるようになっている。
【００５２】
吸着シート５２の洗浄液を含浸した部分がヘッドユニット２に臨むと、ホスト・コンピュータ１０１は、昇降機構７５の昇降モータ８０を正回転させて、支持部材７４の支持部本体７７を上昇させていく。これに伴い、支持部本体７７に支持された当接板７１は上昇していき、吸着シート５２（の洗浄液を含浸した部分）を押し上げていく。さらに、当接板７１は上昇し、吸着シート５２をヘッドユニット２の全機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に押し当てる（図６（ｃ）参照）。これにより、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に付着した機能液等の汚れを吸着シート５２で吸着することができる。
【００５３】
当接板７１は、吸着シート５２が機能液滴吐出ヘッド１１に当接し、当接板１１にかかる圧力が所定の圧力に達するまで上昇するようになっている。そして、当接板７１にかかる圧力が所定圧力に達すると、当接板７１は所定の位置まで下降して、吸着シート５２を機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５から離間させ、一連の動作を終了するようになっている。具体的には、ホスト・コンピュータ１０１は、当接板７１に配設した上記の圧力検出センサ７６の検出結果に基づいて昇降機構７５を制御しており、圧力検出センサ７６により当接板７１にかかる圧力が所定の圧力に達したことが検出されると、ホスト・コンピュータ１０１は、昇降モータ８０を逆回転させ、支持部本体７７を下降させるようになっている。このように、当接板７１にかかる圧力が所定の圧力に基づいて、当接板７１を昇降させることにより、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に過剰な圧力がかかることを回避し、ノズル面１５が損傷することを防止できるようになっている。
【００５４】
なお、本実施形態では、当接板７１にかかる圧力が所定の圧力に達すると、当接板７１が下降するようになっているが、当接板７１にかかる圧力を所定の一定圧力に保持したまま所定時間経過させ、その後に当接板７１を下降させるようにしてもよい。
【００５５】
また、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に対して、当接板７１を昇降させることにより、ノズル面１５に吸着シート５２を当接させる構成となっているが、機能液滴吐出ヘッド１１（ヘッドユニット２）を昇降させる手段をもうけ、機能液滴吐出ヘッド１１を昇降させることにより、ノズル面１５を吸着シート５２に当接させるように構成しても同様の効果を得ることが可能である。かかる場合、支持部材７４を介して当接板７１を昇降させる昇降機構７５を設ける必要はない。
【００５６】
次に、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。図７は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１、３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００５７】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００５８】
上記した液滴吐出装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブルにセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００５９】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００６０】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの液滴吐出装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を液滴吐出装置１で作成することも可能である。
【００６１】
上記した液滴吐出装置１は、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面１５に付着した汚れ等を除去するにあたり、吸着シート５２をノズル面１５に押し当てるだけであるので、ノズル面１５の損傷が極めて少なく、ノズル面１５の損傷による機能液滴吐出ヘッド１１の交換頻度を低下させることができる。すなわち、メンテナンス性が良好であると共に、製造コストを削減することが可能である。また、機能液滴吐出ヘッド１１の交換頻度を低下させることができるので、機能液滴吐出ヘッド１１の交換に要する時間を削減でき、効率よく液晶表示装置３０１を製造することができる。
【００６２】
ところで、上記した液滴吐出装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができ、これらを効率よく製造することが可能である。
【００６３】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図８に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００６４】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００６５】
液滴吐出装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド１１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置１を利用して作成することも可能である。
【００６６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００６７】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の機能液滴吐出ヘッドの保守方法および保守装置によれば、吸着材を機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し当てるだけで、ノズル面に付着した機能液等の汚れを除去することが可能であり、ノズル面の汚れを除去するときに、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を損傷させることがない。
【００６８】
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液滴吐出ヘッドの保守方法および保守装置を適用しているので、ノズル面の汚れを除去するときにノズル面が損傷せず、機能液滴吐出ヘッドを効率よく使用することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドの交換頻度を低下させることができるため、メンテナンスに要する時間を削減できる。さらに、吸着材を機能液滴吐出ヘッドのノズル面に押し当てるだけなので、液滴吐出装置に複数種類の機能液を導入する場合であっても、ノズル面の汚れを除去するにあたり、ノズル面に付着した機能液がノズル面で混合する惧れがなく、安定した吐出結果を得ることが可能である。
【００６９】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるので、機能液滴吐出ヘッドを長期にわたり使用することができると共に、メンテナンスに要する時間を低減させることができるため、これらを効率よく製造可能であると共に製造コストを抑えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の模式図である。
【図２】本実施形態における液滴吐出装置を側面から見た模式図である。
【図３】ヘッドユニットの平面図である。
【図４】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッド廻りの断面図である。
【図５】ワイピングユニット廻りの模式図である。
【図６】ワイピングユニットの一連の動作を示す説明図である。
【図７】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図８】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    １１  機能液滴吐出ヘッド
１５  ノズル面                        ５１  ワイピングユニット
５２  吸着シート                      ５３  巻取り手段
５４  当接手段                        ５５  洗浄液供給手段
６１  繰出しリール                    ６２  巻取りリール
６３  巻取りモータ                    ７１  当接板
７２  弾性シート                      ７５  昇降機構
７６  圧力検出センサ                １０１  ホスト・コンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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