(57)【要約】【課題】石英ガラス材の内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の微小な欠陥を容易に、正確に、短時間で検出できる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。【解決の手段】検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材に照射した光の中から、石英ガラス材内部の欠陥による反射および／または屈折に起因する異常光を同時に検出することを特徴とする石英ガラス材内部の欠陥検査方法および欠陥検査装置を用いる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材に照射した光の中から、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を同時に検出することを特徴とする石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項２】
照射方向の異なる複数の平行光及び／又は複数の拡散光を照射することを特徴とする請求項１記載の石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項３】
平行光の一部又は全部を石英ガラス材に照射し、その透過した光を焦点距離５００ｍｍ以下のレンズ又は凹面鏡により集光後、集光された光を遮光することことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項４】
拡散光と、平行光の一部又は全部とを、検出系に入射しない方向に向け、石英ガラス材に光を照射することを特徴とする請求項３記載の石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項５】
石英ガラス材に直線偏光の光を照射し、前記直線偏光の光の偏光状態変化を検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項６】
石英ガラス材内部の欠陥の最大径が１０００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の石英ガラス材内部の欠陥検査方法。
【請求項７】
検査対象の石英ガラス材に照射方向の異なる平行光および拡散光を照射するための照明系と、石英ガラス材を積載するための試料台と、石英ガラス材に照射した光の中から石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光のみを抽出するための集光系及び遮光系と、抽出された異常光を検出するための検出系と、からなる石英ガラス材内部の欠陥検査装置。
【請求項８】
集光系として焦点距離５００ｍｍ以下の集光レンズ又は凹面鏡を使用することを特徴とする請求項７記載の石英ガラス材内部の欠陥検査装置。
【請求項９】
照明系として石英ガラス材を透過した平行光あるいは拡散光が直接、検出系に入射しないように、石英ガラス材への光の照射方向が可変可能であることを特徴とする請求項７又は請求項８記載の石英ガラス材内部の欠陥検査装置。
【請求項１０】
石英ガラス材に直線偏光の平行光を照射するための照明系、前記直線偏光の光の偏光状態変化を検出するための検出系を有することを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の石英ガラス材内部の欠陥検査装置。
【請求項１１】
試料台が移動可能であり、検出系としてＣＣＤカメラを使用することを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載の石英ガラス材内部の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、石英ガラス材内部に含まれる欠陥を検査する方法および検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造におけるフォトリソグラフィ工程において、紫外光等による回路パターン転写時に使用されるフォトマスク、レンズ等の用途に用いられるガラス材には、高い光線透過性および光線透過の均一性が必要とされる。このため、紫外域の光線透過性に優れた石英ガラス材が使用されており、また、ガラス材の内部には微小なものも含め、泡、異物、脈理等の欠陥がないことが望ましい。
【０００３】
従来、石英ガラス材内部に含まれる泡、異物等の微小な欠陥は、ガラス材に投光器や蛍光灯からの強い光を照射し、欠陥による反射光又は屈折光等の異常光を目視などで確認するという方法により検査していた（例えば、非特許文献１を参照）。
【０００４】
【非特許文献１】
葛生伸、Ｋブックス１１１「石英ガラスの世界」、７７〜１０１頁、工業調査会発行、１９９９年４月５日
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス内部の欠陥を目視検査する場合、微小な欠陥による反射光又は屈折光等の異常光は非常に小さいため、欠陥を見逃す可能性が高い。また、検査には熟練が必要であり、さらに検査に時間を要するという問題もあった。
【０００６】
本発明の目的は、特に石英ガラス材の内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の微小な欠陥を容易に、正確に、短時間で検出できる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は上述のような現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材に照射した光の中から、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を同時に検出することにより、石英ガラス材内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の微小な欠陥や、場合によっては脈理を、容易に、正確に、短時間で検出できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち本発明は、検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材に照射した光の中から、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を同時に検出することを特徴とする石英ガラス材内部の欠陥検査方法であり、さらに、検査対象の石英ガラス材に照射方向の異なる平行光および拡散光を照射するための照明系と、石英ガラス材を積載するための試料台と、石英ガラス材に照射した光の中から石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光のみを抽出するための集光系及び遮光系と、抽出された異常光を検出するための検出系と、からなる石英ガラス材内部の欠陥検査装置に関する。
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】
石英ガラス材内部の欠陥が不透明である場合には、平行光および拡散光を照射した場合に、光の照射方向と異なる方向に欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光が発生しやすく、光の照射方向と異なる方向から観察することで欠陥の認識が可能である。
【００１１】
また、石英ガラス材内部の脈理等、屈折率の不均一性を可視化する方法としてシュリーレン法がある。このシュリーレン法は、平行光線を、検査対象とするガラス材及びその後ろに配置される照射された光を集光するための集光系に向けて照射され、ガラス材を透過した光をレンズまたは凹面鏡で集光し、その焦点付近にナイフエッジを置き、集光後、広がった光をスクリーンに投影するなどして像を観察するものである。ガラス材を透過した平行光はレンズまたは凹面鏡の焦点を通るが、ガラス材内部に存在する脈理により屈折した光は平行光と進行方向が異なるため、焦点を通らない。ナイフエッジにより、脈理により屈折した光、あるいはガラス材をそのまま透過した平行光のいずれかをカットすることにより、通常の目視観察よりも脈理等、屈折率不均一部のコントラストを強調して観察することが可能となる方法である。
【００１２】
これに対して、本発明の石英ガラス材内部の欠陥検査方法（以下「本発明方法」という。）は、検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材に照射した光の中から、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を同時に検出するものであり、上記したように、不透明欠陥による光反射及び／又は光屈折に起因する異常光を、シュリーレン法の特徴を利用するのみならず、シュリーレン法では用いられない拡散光をも利用して、同時に検出することで、石英ガラス材内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の微小な欠陥や、場合によっては石英ガラス材内部の脈理を検査するものである。
【００１３】
本発明方法は、検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射するものであり、シュリーレン法のような集光系に向けて照射される一定方向からの平行光を用いるだけではなく、集光系には向けられない方向へ照射される平行光及び拡散光を用いることが好ましい。このようにすることで、検査対象の石英ガラス材内部の不透明欠陥をより正確に検出できることになる。
【００１４】
さらに、本発明に用いられる平行光や拡散光は、本発明の効果をより奏するために、照射方向の異なる複数の平行光や、複数の拡散光、あるいは両者を共に複数用いることがより好ましい。
【００１５】
また、照射方向の異なる複数の平行光を用いる場合、平行光の一部又は全部を、検出系に入射しない方向に向け、石英ガラス材に光を照射してもよい。平行光を検出系に入射しない方向に向ける場合の態様としては、例えば、ハーフミラーを使い、平行光を直接検査対象の石英ガラス材へ照射せず、ミラーを介して石英ガラス材に照射した後、ハーフミラーに対し石英ガラス材の反対側に配置された反射鏡により再度石英ガラス材に光が照射されるような態様を採用できる。
【００１６】
本発明方法において検査対象となる石英ガラス材とは、主として石英（二酸化珪素：ＳｉＯ２）のみからなるガラスのことであり、ガラス材内部に含まれる欠陥からの光反射及び／又は光屈折を得るという観点から平行光および拡散光を透過できる透明性を有した石英ガラス材であれば、二酸化珪素以外の成分を含んでいても差し支えない。
【００１７】
石英ガラス材の内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の微小な欠陥についても、平行光線を透過させた場合、その界面で反射や屈折が起こり、光線方向や偏光状態が異なる異常光が発生する。光線方向が平行光と異なるため、シュリーレン法により原理的には観察することが可能である。しかしながら、微小な欠陥による異常光は微弱であるため、その判別は容易でない。このため、本発明方法では、上述の異常光の検出法を用いながら、石英ガラス材に直線偏光の光を照射し、石英ガラス材を透過した直線偏光の光の偏光状態変化を検出することで、欠陥の判別がより容易とすることができる。
【００１８】
本発明方法では、検査対象の石英ガラス材に、照射方向の異なる平行光および拡散光を照射するが、上記したように、照射した平行光および拡散光のうち、１方向以上の平行光の集光および遮光を行い、石英ガラス材内部の欠陥による異常光のみを抽出する。その他の方向に照射した平行光および拡散光は、石英ガラス材内部の欠陥による反射光を得るために用いるが、その際、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光の検出の妨げにならないよう直接、検出系に光が入射しない方向に向け、石英ガラス材に光を照射する必要がある。
【００１９】
また、本発明方法では、石英ガラス材を透過した平行光及び拡散光の内、平行光については、その一部又は全部をレンズ又は凹面鏡で集光するが、石英ガラス材内部の欠陥による異常光はレンズ又は凹面鏡の焦点を通らず分散する。ここで集光レンズ又は凹面鏡の焦点距離が短くなる程、欠陥による異常光の分散は小さくなるため、石英ガラス材内部の欠陥の大きさとして、その最大径が１０００μｍ以下という微小な欠陥による異常光を検出するには、集光レンズ又は凹面鏡の焦点距離は５００ｍｍ以下、さらに３００ｍｍ以下が好ましい。
【００２０】
また、偏光子及び検光子を使用し、石英ガラス材に直線偏光の平行光を照射し、石英ガラス材を透過した光を、直接あるいは上記のように集光し、遮光して抽出されたガラス材内部の欠陥による異常光の偏光状態変化を検出しても良い。
【００２１】
本発明の石英ガラス材内部の欠陥検査装置（以下「本発明装置」という。）は、検査対象の石英ガラス材に照射方向の異なる平行光および拡散光を照射するための照明系と、石英ガラス材を積載するための試料台と、石英ガラス材に照射した光の中から石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光のみを抽出するための集光系及び遮光系と、抽出された異常光を検出するための検出系と、からなる。
【００２２】
ここで、照明系としては、ハロゲンランプ等の光源より発せられる光をコリメータレンズ等により平行光とする機能を有しており、目的に応じて、偏光子を使用して直線偏光の平行光を生じさせてもよい。照射方向の異なる平行光と拡散光を得るため、複数の光源を利用しても良いし、光学系を利用しても構わない。また、石英ガラス材を透過した平行光あるいは拡散光が直接、検出系に入射しないように、石英ガラス材へ照射する光の照射方向がおのおの可変可能であることが好ましい。
【００２３】
検査対象の石英ガラス材の形状としては特に制限はないが、石英ガラスの外部形状に多少凹凸があって平行光が屈折するような外部形状となっている場合には同程度の屈折率を有した液体等に浸漬させるとよい。
【００２４】
石英ガラス材を積載するための試料台としては、平行光から石英ガラス材への方向をＸ軸方向、Ｘ軸とは垂直でかつ水平な方向をＹ軸方向、Ｘ軸とは垂直でかつ縦方向をＺ軸方向、とした場合、いずれの方向へも移動可能となっているとよく、さらに垂直な２方向に移動可能とすることで、石英ガラス材における平行光の照射部位を移動させることができ、平行光の照射範囲よりも大きいガラス材の内部全域が検査可能となる。また、平行光の方向に対して平行な方向に移動可能とすることで、異常光の検出の際に像をより鮮明にすることができ、作業がより容易かつ正確となる。
【００２５】
石英ガラス材を透過した光の中から石英ガラス材内部の欠陥による異常光を抽出するための集光系としては、レンズ又は凹面鏡を用いればよく、その焦点距離も上記したように５００ｍｍ以下、さらに３００ｍｍ以下が好ましい。
【００２６】
石英ガラス材を透過した光の中から石英ガラス材内部の欠陥による異常光のみを抽出するための遮光系としては、上記したように集光された光を遮光できる機能を有しておれば特に制限はなく、例えばナイフエッジが用いられる。
【００２７】
石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を検出するための検出系としては特に制限はないが、上記した直線偏光の平行光を使用する場合には、偏光状態変化を検出するための検出系を用いるとよく、欠陥による異常光をより正確に検出できる。また、本発明では目視により欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を捉えることができるが、例えばＣＣＤカメラを用いて石英ガラス材内部の欠陥による異常光を捉え、目的に応じて画像処理を施すことで石英ガラス材内部の欠陥をより的確に捉えることもできる。
【００２８】
図１に本発明の一実施態様の検査装置の概略構成を示す。ハロゲンランプ１１からの拡散光は、ピンホール１２通過後、コリメータレンズ１３により平行光化され、検査対象であるガラス材２１に照射される。平行光線の入射面、出射面は鏡面状態に研磨し、光軸方向と垂直になる様にガラス材２１を設置する。ガラス材２１はＸＹＺ方向に移動可能な試料台２の上に設置されており、ガラス材２１を移動することにより、ガラス材全域に平行光を照射可能としている。ガラス材２１のコリメータレンズ１３とは反対側には、ガラス材を透過した平行光を集光する集光レンズ３１を設置し、このレンズにより平行光が集光する位置にナイフエッジ３２を設置する。コリメータレンズおよび集光レンズは、色収差、球面収差の観点から、アクロマティックレンズを使用することが望ましく、また、集光レンズには焦点距離５００ｍｍ以下のレンズを使用する。集光レンズの上下にはハロゲンランプ１４、１５を設置し、ガラス材２１に向かい拡散光を照射する。ナイフエッジ３２は集光した平行光を遮断する位置に合わせ、ガラス内部の欠陥２２による拡散光の反射光、および集光系、遮光系により抽出された異常光だけが入射する様にカメラレンズ４１及びＣＣＤカメラ４２を設置する。ガラス材２１をＸＹＺ方向に移動しながら、ＣＣＤカメラ４２からの映像をモニターすることにより、内部欠陥とその存在位置について容易に検査することができる。
【００２９】
上記においては平行光の遮光にナイフエッジを用いたが、この代わりに一部に不透明処理を施したガラス板等を用いてもよい。
【００３０】
また、コリメータレンズ１３とガラス材２１の間に偏光子、及びガラス材２１と集光レンズ３１の間に検光子を挿入し、ガラス内部の欠陥２２による異常光の偏光状態変化を検出しても構わない。
【００３１】
図２に本発明の一実施態様の検査装置の概略構成を示す。ハロゲンランプ１１からの拡散光は、ピンホール１２通過後、コリメータレンズ１３により平行光化され、ハーフミラー１４により反射後、検査対象であるガラス材２１に照射される。平行光線の入射面、出射面は鏡面状態に研磨し、光軸方向と垂直になる様にガラス材２１を設置する。ガラス材２１はＸＹＺ方向に移動可能な試料台２の上に設置されており、ガラス材２１を移動することにより、ガラス材全域に平行光を照射可能としている。ガラス材２１のハーフミラー１４とは反対側には、ガラス材を透過した平行光を反射するミラー１５を設置し、このミラーにより平行光はガラス材２１の両面から照射される。ハーフミラーの後方には、ガラス材を透過した平行光を集光する集光レンズ３１を設置し、このレンズにより平行光が集光する位置にナイフエッジ３２を設置する。集光レンズ３１には焦点距離５００ｍｍ以下のものを使用する。ナイフエッジ３２は集光した平行光を遮断する位置に合わせ、ガラス内部の欠陥２２による反射光、および集光系と遮光系により抽出された異常光だけが入射する様にカメラレンズ４１及びＣＣＤカメラ４２を設置する。ガラス材２１をＸＹＺ方向に移動しながら、ＣＣＤカメラ４２からの映像をモニターすることにより、内部欠陥とその存在位置について容易に検査することができる。
【００３２】
上記においては平行光の遮光にナイフエッジを用いたが、この代わりに一部に不透明処理を施したガラス板等を用いてもよい。
【００３３】
また、ミラー１５とガラス材２１の間に偏光子、及びガラス材２１と凹面鏡３１の間に検光子を挿入し、ガラス内部の欠陥２２による異常光の偏光状態変化を検出しても構わない。
【００３４】
以上、本発明の石英ガラス材内部の欠陥検査方法および検査装置を実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【００３５】
【実施例】
以下に図面を参照して本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００３６】
実施例１
図１に示すような構成の欠陥検査装置を用意した。即ち、ハロゲンランプ１１の手前に、口径１．０ｍｍのピンホール１２を設置し、ピンホール１２から２００ｍｍ離れた位置に、レンズ径５０ｍｍ、焦点距離２００ｍｍであるアクロマティックレンズ１３を設置した。このアクロマティックレンズ１３から３００ｍｍ離れた位置にレンズ径５０ｍｍ、焦点距離２００ｍｍであるアクロマティックレンズ３１を設置し、アクロマティックレンズ３１の上下にはハロゲンランプ１４、１５をアクロマティックレンズ１３方向に向けて設置し、アクロマティックレンズ３１から２００ｍｍ離れた位置にナイフエッジ３２を設置した。ナイフエッジ３２の直後に焦点距離２８〜７０ｍｍのズームレンズ４１を取り付けた画素数４１万画素の白黒ＣＣＤカメラ４２を設置し、モニターに接続した。各部品は光軸を合わせて設置し、アクロマティックレンズ３１を通過したハロゲンランプ１１の光は、ナイフエッジ３２上に集光することにより遮光され、ズームレンズ４１を通してＣＣＤカメラ４２に入らないよう調整した。その後、アクロマティックレンズ１３とアクロマティックレンズ３１の間に光軸に対し垂直な２方向に移動可能な試料台２を設置し、欠陥検査装置を完成させた。
【００３７】
以上のようにして用意した装置を使用し、幅と奥行きが１５４ｍｍ、高さが３００ｍｍの表面を鏡面状態に研磨してある石英ガラスブロックの内部に存在する泡および異物の検査を行った。ハロゲンランプ１１の電源の電圧は１２ｖ（ボルト）、ハロゲンランプ１４、１５それぞれの電源の電圧は６Ｖ（ボルト）に調整し、ブロックは試料台上に側面が光軸に対し垂直になるように設置し、ガラスブロックに平行光、および拡散光を照射しながら、ＣＣＤカメラからの映像をモニターすることにより、内部欠陥による反射光、および異常光の有無を確認した。試料台を操作しガラスブロックを移動させることにより、ガラスブロックの内部全域の検査を行った。
この検査の結果、ガラスブロック内部から異物９個が検出された。ガラスブロックを回転させ、アクロマティックレンズ１８に対向するブロックの側面を変更して検査を行ったいずれの場合にも、検査結果は同じであった。検出された異物について、その大きさを長作動距離型顕微鏡を使用し測定したところ、最も大きな異物の大きさは８８０μｍであり、最も小さな異物の大きさは９０μｍであった。
【００３８】
実施例２
図２に示すような構成の欠陥検査装置を用意した。即ち、ハロゲンランプ１１の手前に、口径１．０ｍｍのピンホール１２を設置し、ピンホール１２から２００ｍｍ離れた位置に、レンズ径５０ｍｍ、焦点距離２００ｍｍであるアクロマティックレンズ１３を設置した。このアクロマティックレンズ１３から１００ｍｍ離れた位置に光線方向が９０度変わるようにハーフミラー１４ａを設置した。ハーフミラー１４ａから３００ｍｍ離れた位置に径５０ｍｍのミラー１５ａを設置した。ハーフミラー１４ａの直後にレンズ径５０ｍｍ、焦点距離２００ｍｍであるアクロマティックレンズ３１を設置し、アクロマティックレンズ３１から２００ｍｍ離れた位置にナイフエッジ３２を設置した。ナイフエッジ３２の直後に焦点距離２８〜７０ｍｍのズームレンズ４１を取り付けた画素数４１万画素の白黒ＣＣＤカメラ４２を設置し、モニターに接続した。各部品は光軸を合わせて設置し、アクロマティックレンズ３１を通過したハロゲンランプ１１の光は、ナイフエッジ３２上に集光することにより遮光され、ズームレンズ４１を通してＣＣＤカメラ４２に入らないよう調整した。その後、ミラー１５ａとアクロマティックレンズ３１の間に光軸に対し垂直な２方向に移動可能な試料台２を設置し、欠陥検査装置を完成させた。
【００３９】
以上のようにして用意した装置を使用し、幅と奥行きが１５４ｍｍ、高さが３００ｍｍの表面を鏡面状態に研磨してある石英ガラスブロックの内部に存在する泡および異物の検査を行った。ハロゲンランプ１１の電源の電圧は１５ｖ（ボルト）に調整し、ブロックは試料台上に側面が光軸に対し垂直になるように設置し、ガラスブロックに平行光を照射しながら、ＣＣＤカメラからの映像をモニターすることにより、内部欠陥による反射光、および異常光の有無を確認した。試料台を操作しガラスブロックを移動させることにより、ガラスブロックの内部全域の検査を行った。
【００４０】
この検査の結果、ガラスブロック内部から異物９個が検出された。ガラスブロックを回転させ、アクロマティックレンズ１８に対向するブロックの側面を変更して検査を行ったいずれの場合にも、検査結果は同じであった。検出された異物について、その大きさを長作動距離型顕微鏡を使用し測定したところ、最も大きな異物の大きさは８８０μｍであり、最も小さな異物の大きさは９０μｍであった。
【００４１】
比較例１
実施例１で使用した装置からハロゲンランプ１４、１５を取り外し、実施例１で検査した石英ガラスブロックの内部に存在する泡および異物の検査を行った。この検査でも、ガラスブロック内部から異物９個が検出されたが、ガラスブロックを回転させ、アクロマティックレンズ１８に対向するブロックの側面を変更して検査を行うと、異物が８個しか検出されない面が２面あった。検出性が変化した異物は大きさ１３０μｍの偏平形状で不透明なものであった。
【００４２】
【発明の効果】
本発明においては、検査対象の石英ガラス材に照射方向の異なる複数の平行光および拡散光を照射し、当該石英ガラス材内部の欠陥による反射光、およびシュリーレン法を用いて当該石英ガラス材を透過した平行光を焦点距離５００ｍｍ以下のレンズ又は凹面鏡により集光後、遮光することにより、
（１）欠陥の形状が歪んでいて屈折光に方向性があった場合でも検出方向に関係なく検出しやすいこと、
（２）欠陥が不透明な場合でも屈折、反射光を検出しやすいこと、
（３）屈折光量が増えるので、よりはっきり検出しやすいこと、
ガラス材内部の欠陥による異常光のみを検出することにより、石英ガラス材内部の欠陥による反射及び／又は屈折に起因する異常光を同時に検出することにより、石英ガラス材内部に含まれる欠陥、特に泡、異物等の、１０００μｍ以下の微小な欠陥を容易に、正確に、短時間で検出でき、石英ガラス材の品質管理に極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図１】複数の光源を用いた本発明の欠陥検査装置の一実施態様の概略構成（側面図）
【図２】単一の光源を用いた本発明の欠陥検査装置の一実施態様の概略構成（側面図）
【符号の説明】
１：照明系
１１：ハロゲンランプ
１２：ピンホール
１３：コリメータレンズ
１４、１５：ハロゲンランプ
１４ａ：ハーフミラー
１５ａ：ミラー
２：試料台
２１：被検査物（ガラス材）
２２：ガラス材内部の欠陥
３：光学系
３１：集光レンズ
３２：ナイフエッジ
４：検出系
４１：カメラレンズ
４２：ＣＣＤカメラ
【図１】
2004309137.tif 000002
【図２】
2004309137.tif 000003