(57)【要約】【課題】フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィルタを提供する。【解決手段】本発明に係る光学多層膜フィルタ１は、多角形板状に形成された透明基板２と、透明基板２の互いに対向する表面および裏面のいずれか一方に成膜された光学多層膜３とを備えて構成された光学多層膜フィルタにおいて、透明基板３における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、マーク５が設けられていることを特徴とする。【選択図】  図１
2004163692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、前記透明基板の互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に成膜された光学多層膜とを備えて構成された光学多層膜フィルタにおいて、
前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面に、マークが設けられていることを特徴とする光学多層膜フィルタ。
【請求項２】
前記マークは、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面を段付平面状に形成して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学多層膜フィルタ。
【請求項３】
前記マークは、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面を他の側面と加工模様が異なるように形成することにより、前記側面にマーキング面を形成して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学多層膜フィルタ。
【請求項４】
板状の透明基板材における互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に光学多層膜を成膜してフィルタ部材を形成し、前記フィルタ部材を切断分割する工程を有する光学多層膜フィルタを製造する方法であって、
複数種の切断分割方法を用いて前記フィルタ部材の切断分割を行い、前記透明基板における前記表面および前記裏面を除く少なくとも一つの側面の切断面形態を他の側面の切断面形態と異ならせ、
前記少なくとも一つの側面の切断面形態によりマーキング面を形成することを特徴とする光学多層膜フィルタの製造方法。
【請求項５】
前記フィルタ部材の切断分割時に所定の切断位置に隣接して溝を形成し、次に前記所定の切断位置で前記フィルタ部材を切断分割することにより、
前記マーキング面が段付平面状に形成されることを特徴とする請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
【請求項６】
前記フィルタ部材の切断面の加工模様が、前記マーキング面と、前記他の側面とで異なるように前記フィルタ部材を切断分割し、前記側面に前記マーキング面が形成されることを特徴とする請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
【請求項７】
前記フィルタ部材の切断速度が、前記マーキング面が切断面となる場合と、前記他の側面が切断面となる場合とで異なるように前記フィルタ部材を切断分割し、前記側面に前記マーキング面が形成されることを特徴とする請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明基板と、この透明基板の表面に成膜された光学多層膜とを備えた光学多層膜フィルタおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、インターネット通信等の普及および利用が進み、通信ラインの通信量が急速に増大しつつある。このため、大量の通信量を扱える光ファイバを用いた光通信が主流になりつつあり、さらに、波長分割多重通信技術ＷＤＭ等も用いられている。このような光ファイバを用いた光通信システムにおいて、所定の波長の光をカットしたり、波長選択を行ったり、波長対応ゲイン調整を行ったりするために、高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に積層して作られる光学多層膜フィルタが多く用いられている。
【０００３】
光学多層膜フィルタは、ガラス基板等の透明基板と、透明基板の表面に成膜された光学多層膜と、透明基板の裏面に成膜された反射防止膜とを備えて構成される。そして、このように構成された光学多層膜フィルタを光が通過することで所定のフィルタ処理が行われるようになっている。
【０００４】
ところで、透明基板の内部から透明基板の裏面に達した光は、反射防止膜により透明基板の裏面で反射するのを防止されているが、反射防止膜を用いても完全に光の反射を抑えることはできない。そのため、透明基板の表面と裏面とが平行であると、透明基板の内部における反射防止膜で反射した僅かな光が光学多層膜を通過する光と干渉を起こし、光学多層膜の分光透過率特性が劣化してしまう。そこで、このような光の干渉を抑えるために、透明基板における光学多層膜が成膜される面と、反射防止膜が成膜される面とが平行にならないように、透明基板の表面と裏面との間に傾きが設けられ、光学多層膜フィルタ（透明基板）の表面に垂直でフィルタ表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになっている。
【０００５】
【特許文献１】国際公開第ＷＯ  ０２／３１５４５  Ａ１号パンフレット
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような断面が楔形の光学多層膜フィルタを通過する光は屈折するため、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向は、光学多層膜フィルタに入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、上述のような光通信システムにおいて、光学多層膜フィルタを通過した光を受光する受光部（例えば、コリメータレンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸が重なるように配置されている。
【０００７】
そのため、光学多層膜フィルタを配設する際には、フィルタ表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、１００ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．５ｍｍになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィルタ表面の傾く方向を目視で知ることができる。
【０００８】
しかしながら、光学多層膜フィルタは、大きさが１．４〜２．０ｍｍ角のものが多く用いられており、例えば、１．４ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合では、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．００７ｍｍであり、この差は目視ではほとんど判別できない。そのため、フィルタ表面の傾く方向を容易に知るための方策が求められていた。
【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィルタを提供することを目的とする。本発明はまた、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる光学多層膜フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的達成のため、請求項１に係る発明の光学多層膜フィルタは、透明基板と、透明基板の互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に成膜された光学多層膜とを備えて構成された光学多層膜フィルタにおいて、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、マークが設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明の光学多層膜フィルタは、請求項１に記載の光学多層膜フィルタにおいて、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を段付平面状に形成して設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明の光学多層膜フィルタは、請求項１に記載の光学多層膜フィルタにおいて、マークは、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面を他の側面と加工模様が異なるように形成することにより、側面にマーキング面を形成して設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、板状の透明基板材における互いに対向する表面および裏面の少なくともいずれか一方に光学多層膜を成膜してフィルタ部材を形成し、フィルタ部材を切断分割する工程を有する光学多層膜フィルタを製造する方法であって、複数種の切断分割方法を用いてフィルタ部材の切断分割を行い、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面の切断面形態を他の側面の切断面形態と異ならせ、少なくとも一つの側面の切断面形態によりマーキング面を形成することを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断分割時に所定の切断位置に隣接して溝を形成し、次に前記所定の切断位置でフィルタ部材を切断分割することにより、マーキング面が段付平面状に形成されることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断面の加工模様が、マーキング面と、他の側面とで異なるようにフィルタ部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明の光学多層膜フィルタの製造方法は、請求項４に記載の光学多層膜フィルタの製造方法において、フィルタ部材の切断速度が、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なるようにフィルタ部材を切断分割し、側面にマーキング面が形成されることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る光学多層膜フィルタを図１に示している。この光学多層膜フィルタ１は、ガラス基板等の透明基板２と、透明基板２の表面に成膜された光学多層膜３（厚さ数十μｍ程度）と、透明基板２の裏面に成膜された反射防止膜４（厚さ０．数〜数μｍ程度）とを備えて構成される。
【００１８】
光学多層膜３は、詳細図示しないが、透明基板２の表面に高屈折率物質層と低屈折率物質層とを交互に多数積層して形成され、所定の分光透過率特性を有している。そして、光学多層膜３を光が通過することで、所定のフィルタ処理が行われるようになっている。
【００１９】
なお、光学多層膜フィルタ１が行うフィルタ処理には、例えば、所定の波長の光をカットする処理や、波長選択処理、波長対応ゲイン調整処理等がある。ここで、波長対応ゲイン調整処理は、光信号を増幅する光アンプ（図示せず）の増幅特性が持つ波長依存性を平坦化するための処理であり、このような処理を行うフィルタはゲイン平坦化フィルタＧＦＦ（Ｇａｉｎ  Ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ  Ｆｉｌｔｅｒ）と称される。
【００２０】
反射防止膜４は透明基板２の他方の表面に形成され、透明基板２の内部から他方の表面に達した光が反射するのを防止するようになっている。なお、反射防止膜４の最大反射率は、光学多層膜フィルタ１の動作波長域で０．５％以下となっている。
【００２１】
透明基板２は四角形板状に形成され、透明基板２の表面に光学多層膜３が成膜されるとともに、透明基板２の裏面に反射防止膜４が成膜されている。光学多層膜フィルタ１の寸法は、厚さが１．０〜１．５ｍｍ、大きさが１．４〜２．０ｍｍ角のものが多く用いられている。
【００２２】
図２にも示すように、透明基板２の表面と裏面との間には傾きが設けられ、光学多層膜フィルタ１（透明基板２）の表面に垂直でフィルタ表面の傾く方向と平行な断面が楔形となるようになっている。これにより、透明基板２における光学多層膜３が成膜される面と、反射防止膜４が成膜される面とが平行にならないため、反射防止膜４で反射した透明基板２内部の僅かな光が光学多層膜３を通過する光と干渉を起こして、光学多層膜３の分光透過率特性の劣化を招くことを防止することができる。なお、透明基板２の表面と裏面との間、すなわち、光学多層膜３の表面と反射防止膜４の表面との間の相対的な傾き角αは、０．３度のものが多く用いられている。
【００２３】
上述のような断面が楔形の光学多層膜フィルタ１を通過する光は屈折するため、光学多層膜フィルタ１を通過した光の出射進行方向は、図３に示すように、光学多層膜フィルタ１に入射する光の入射進行方向と同じではなく、光の入射進行方向に対し若干傾いている。そこで、光学多層膜フィルタ１を通過した光を受光する受光部Ｒ（例えば、コリメータレンズ）の設置方向は、光の透過率を損なわないように、光学多層膜フィルタを通過した光の出射進行方向の延長上で、光軸Ｏが重なるように配置されている。
【００２４】
そのため、光学多層膜フィルタ１を配設する際には、フィルタ表面の傾く方向を知る必要がある。例えば、１００ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．５ｍｍになる。これくらいの差であれば、目視でどちらが厚いか判別でき、フィルタ表面の傾く方向を目視で知ることができる。
【００２５】
ところが、１．４ｍｍ角の光学多層膜フィルタに０．３度の傾きをつけた場合、その厚さの薄い方を１ｍｍとすると、厚い方は約１．００７ｍｍであり、この差は目視ではほとんど判別できない。そこで、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図１における光学多層膜フィルタ１の右側面、すなわち、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５が設けられている。
【００２６】
マーキング面５は、段差部６を有する段付平面状に形成されており、マーキング面５の形状を透明基板２における他の側面とは異なる形状にすることで、光学多層膜フィルタ１の向きを判別することができるようになっている。これにより、光学多層膜フィルタ１に設けられたマーキング面５を基に、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。
【００２７】
また、段差部６を有するマーキング面５は光学多層膜フィルタ１における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００２８】
なお、マーキング面５は、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）に設けられているため、光学多層膜フィルタ１を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。
【００２９】
このような構成の光学多層膜フィルタ１において、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）には、段差部６を有するマーキング面５が設けられている。そのため、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィルタ１を所定方向に容易に配設することができる。
【００３０】
そして、図３に示すように、光学多層膜フィルタ１に入射した光は光学多層膜３を通過し、光学多層膜３を通過した光は、透明基板２を通過したのち反射防止膜４を通過する。すなわち、光学多層膜フィルタ１による光信号のフィルタ処理が行われる。
【００３１】
この結果、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ１の右側面）には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５が設けられているため、光学多層膜フィルタ１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、段差部６を有するマーキング面５は光学多層膜フィルタ１における他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００３２】
次に、上述のような光学多層膜フィルタ１の製造方法について説明する。まず、四角形板状に形成された透明基板材１２の表面に、光学多層膜１３を所定の分光透過率特性が得られるように、スパッタリング、蒸着等により成膜する。次に、透明基板材１２の裏面に、反射防止膜１４を、スパッタリング、蒸着等により成膜する。これにより、図４（ａ）に示すように、透明基板材１２の各表面に光学多層膜１３および反射防止膜１４が成膜されたフィルタ部材１１が得られる。なお、透明基板材１２の一方の表面と裏面との間には傾きが設けられており、透明基板材１２における光学多層膜１３が成膜される面と、反射防止膜１４が成膜される面とが平行にならないようになっている。
【００３３】
続いて、フィルタ部材１１を、ダイシングソー２０により升目状に切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ１が得られるように切断する。ダイシングソー２０は、図６に示すように、極薄の円形刃であるダイシングブレード２１を有してなるブレードソーであり、図示しないモータにより回転軸２２を駆動してダイシングブレード２１を回転させる構成となっている。
【００３４】
ダイシングブレード２１は、直径が５０ｍｍから１５０ｍｍ程度、厚さが０．０３ｍｍから２ｍｍ程度であるのが一般的であり、ブロンズ系を主体とした数種類の金属粉を混合焼結したものを結合材としたいわゆるメタルボンドのダイヤモンドブレード、またはフェノールレジン、ポリミド等の樹脂成分を結合材としたいわゆるレジンボンドのダイヤモンドブレードが用いられる場合が多い。
【００３５】
ステージ（基台）２３は、切断対象であるフィルタ部材１１をその上面側に載置する円形の台であり、その上下方向に延びた中心軸ＡＸを中心に回転自在であるとともに、任意の方向に水平移動させることができるようになっている。
【００３６】
ダイシングソー２０によりフィルタ部材１１を切断するには、まず、フィルタ部材１１をホットメルトワックスにより台ガラス２４に接着し、続いて真空吸着により台ガラス２４をステージ２３上に取り付ける。そして、回転軸２２を駆動してダイシングブレード２１をおよそ３００００ｒｐｍで回転させ（この回転数はダイシングブレード２１の材質やフィルタ部材１１の切断面の破断状況によって変化させる）、ステージ２３を送り速度約１〜５ｍｍ／ｓｅｃで移動させてフィルタ部材１１を切断する。
【００３７】
なおこのとき、図７に示すように、ダイシングブレード２１の刃先が台ガラス２４の上面を約０．１〜０．３ｍｍ程切り込むようにし（切り込み深さを図７においてｄで示す）、ステージ２３すなわち台ガラス２４の送り方向をダイシングブレード２１の回転方向と同じにするダウンカットにより切断する。
【００３８】
なお、フィルタ部材１１に成膜された膜が光学多層膜１３である場合には、フィルタ部材１１を光学多層膜１３が上面側になるようにステージ２３上に載置する。ここで、光学多層膜１３が下面側（すなわち、台ガラス２４と接触する側）になるようにすると、ダイシングブレード２１を切り込ませたときに光学多層膜１３が剥離したり比較的大きなチッピングやクラックが発生したりするが、フィルタ部材１１を光学多層膜１３が上面側になるようにステージ２３上に載置した上でダウンカットするようにすれば、チッピングや剥離を減らすことができる。
【００３９】
また、透明基板材１２における光学多層膜１３が成膜された面とは反対側の面に反射防止膜１４が成膜されている場合には、この反射防止膜１４が台ガラス２４と接触するようになるが、反射防止膜は一般に光学多層膜よりも膜厚が小さい。例えば、光通信に用いられる光学多層膜は、波長に対する透過（反射）特性がより高精度に要求されているので、そのような要求を達成するために必要な総膜数が百層を超えるものもある。一方、反射防止膜は数層あれば充分であるので、反射防止膜が膜剥がれを起こす可能性は、光学多層膜に比べて低い。したがって、反射防止膜１４が台ガラス２４と接触した状態で切断しても、反射防止膜１４にチッピングや膜剥がれ等が生じるおそれは少ない。
【００４０】
ダイシングソー２０によりフィルタ部材１１を切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ１を得るには、まず、図４（ｂ）および図８（ａ）に示すように、フィルタ部材１１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向に、フィルタ部材１１における切断位置Ｐに隣接してダイシングブレード２１により所定深さの溝１６を形成し、続いて図８（ｂ）に示すように、この溝１６に隣接した切断位置Ｐでフィルタ部材１１を切断分割する。
【００４１】
そして図８（ｃ）に示すように、このような工程を所定間隔で交互に繰り返すことにより、フィルタ部材１１が所要寸法に切断分割されて必要量のフィルタ部材細片１１ａ，１１ａ，…が得られる。このとき、溝１６がフィルタ部材１１の切断により段差部１６ａとなって、フィルタ部材細片１１ａの一方の側面が段付平面状に形成される。
【００４２】
次に、図５に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、これらのフィルタ部材細片１１ａ，１１ａ，…を所要寸法に切断し、図１に示すような、四角形板状に形成された透明基板２と、透明基板２の表面に成膜された光学多層膜３と、透明基板２の裏面に成膜された反射防止膜４とを備え、透明基板２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面にマーキング面５が段付平面状に形成された複数の光学多層膜１，１，…を得る。
【００４３】
すなわち、フィルタ部材１１における光学多層膜フィルタ１のマーキング面５が切断面となる切断位置に隣接して、ダイシングブレード２１により溝１６を形成し、この溝１６に隣接した前述のマーキング面５が切断面となる切断位置で、ダイシングブレード２１によりフィルタ部材１１を切断分割することにより、溝１６がマーキング面５における段差部６（フィルタ部材細片１１ａにおける段差部１６ａ）となって、マーキング面５が段付平面状に形成される。
【００４４】
この結果、段差部６を有するマーキング面５を、フィルタ部材１１を切断分割するためのダイシングソー２０に構成されるダイシングブレード２１のみを用いて形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【００４５】
なお、本実施例において、フィルタ部材１１の切断分割時に、溝１６を溝深さが互いに異なるように形成し、マーキング面（段差部）の形状が互いに異なる複数の光学多層膜フィルタが形成されるようにしてもよい。このようにすれば、複数の光学多層膜フィルタを個々に判別することができる。
【００４６】
次に、光学多層膜フィルタの第二実施形態について図９を参照して説明する。本実施形態における光学多層膜フィルタ５１は、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、ガラス基板等の透明基板５２と、透明基板５２の表面に成膜された光学多層膜５３と、透明基板５２の裏面に成膜された反射防止膜５４とを備えて構成される。
【００４７】
透明基板５２は四角形板状に形成され、透明基板５２の表面に光学多層膜５３が成膜されるとともに、透明基板５２の裏面に反射防止膜５４が成膜されている。また、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、透明基板５２の表面と裏面との間に傾きが設けられており、透明基板５２における光学多層膜５３が成膜される面と、反射防止膜５４が成膜される面とが平行にならないようになっている。
【００４８】
そして、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができるように、図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面、すなわち、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５５が設けられている。
【００４９】
マーキング面５５は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されている。一方、図９における光学多層膜フィルタ５１の左右および後側面、すなわち、透明基板５２における表面および裏面を除く他の側面は、鏡面（平面）状に形成されている。すなわち、マーキング面５５は、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有する平面状に形成されており、光学多層膜フィルタ５１の向きを判別することができるようになっている。これにより、光学多層膜フィルタ５１に設けられたマーキング面５５を基に、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。
【００５０】
また、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００５１】
なお、マーキング面５５は、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図１における光学多層膜フィルタ５１の前側面）に設けられているため、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１と同様に、光学多層膜フィルタ５１を通過する光に影響を及ぼすことは皆無である。
【００５２】
このような構成の光学多層膜フィルタ５１において、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面）には、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５が設けられている。そのため、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができ、光学多層膜フィルタ５１を所定方向に容易に配設することができる。
【００５３】
そして、光学多層膜フィルタ５１に入射した光は光学多層膜５３を通過し、光学多層膜５３を通過した光は、透明基板５２を通過したのち反射防止膜５４を通過する。すなわち、光学多層膜フィルタ５１による光信号のフィルタ処理が行われる。
【００５４】
この結果、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面（図９における光学多層膜フィルタ５１の前側面）には、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面５５が設けられているため、光学多層膜フィルタ５１におけるフィルタ表面の傾く方向を容易に知ることができる。また、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５は、前記他の側面に対し加工方法を変更するのみで形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するためのマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで提供することができる。
【００５５】
次に、上述のような光学多層膜フィルタ５１の製造方法について説明する。なお、本実施形態における光学多層膜フィルタ５１の製造方法は、第一実施形態における光学多層膜フィルタ１の製造方法とほぼ同じであるので、異なる点のみ説明する。
【００５６】
本実施形態の製造方法で用いられるダイシングブレードは、光学多層膜６３および反射防止膜６４が透明基板材６２に成膜されたフィルタ部材６１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向にフィルタ部材６１を切断分割する第１ダイシングブレード７１と、第１ダイシングブレード７１によるフィルタ部材６１の切断方向とは垂直な方向にフィルタ部材６１を切断分割する第２ダイシングブレード７２とがある。第１ダイシングブレード７１の周部両側面は目の細かい切削面となっており、図１０に示すように、第１ダイシングブレード７１により切断分割されたフィルタ部材６１の両切断面は、鏡面（平面）状に形成されるようになっている。
【００５７】
第２ダイシングブレード７２の一方の周部側面は、第１ダイシングブレード７１の周部側面と同様に目の細かい切削面であるのに対し、第２ダイシングブレード７２の他方の周部側面は、一方の側面と比べて目の粗い切削面となっている。そして、図１１に示すように、第２ダイシングブレード７２により切断分割されたフィルタ部材６１の一方（図１１における右方）の切断面は、第１ダイシングブレード７１による切断面と同様に鏡面（平面）状に形成されるとともに、他方（図１１における左方）の切断面は、加工による複数の条線を認識可能な表面粗さの粗い平面状に形成されるようになっている。なお、比較説明のため、図１０および図１１において、第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２の周部側面の表面粗さを誇張して記載している。
【００５８】
ダイシングソーによりフィルタ部材６１を切断分割して、複数の光学多層膜フィルタ５１を得るには、まず、図１０に示すように、フィルタ部材６１の表面に垂直でフィルタ部材表面の傾く方向と平行な方向に、第１ダイシングブレード７１によりフィルタ部材６１を所要寸法に切断分割し、必要量のフィルタ部材細片６１ａ，６１ａ，…を得る。このとき、フィルタ部材６１の切断面となるフィルタ部材細片６１ａの両側面は、鏡面（平面）状に形成される。
【００５９】
次に、図１１に示すように、第１ダイシングブレード７１による切断方向とは垂直な方向に、第２ダイシングブレード７２によりフィルタ部材細片６１ａ，６１ａ，…を所要寸法に切断し、図９に示すような、四角形板状に形成された透明基板５２と、透明基板５２の表面に成膜された光学多層膜５３と、透明基板５２の裏面に成膜された反射防止膜５４とを備え、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５が形成された複数の光学多層膜フィルタ５１，５１，…を得る。
【００６０】
すなわち、フィルタ部材６１の切断面の加工模様が、マーキング面５５が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異なり、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材６１を切断分割することで、この側面にマーキング面５５が形成される。
【００６１】
この結果、透明基板５２における他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面５５を、フィルタ部材６１を切断分割するためのダイシングソーに構成される第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２のみを用いて形成することが可能であるため、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【００６２】
なお、上述の第二実施形態において、第１ダイシングブレード７１および第２ダイシングブレード７２により、透明基板５２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材６１を切断分割することで、この側面にマーキング面５５が形成されているが、これに限られるものではなく、フィルタ部材の切断速度を、マーキング面が切断面となる場合と、他の側面が切断面となる場合とで異ならせ、透明基板における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面が他の側面と加工模様が異なるようにフィルタ部材を切断分割することで、この側面にマーキング面が形成されるようにしてもよい。
【００６３】
例えば、図１２に示すように、まず、透明基板材１１２の表面および裏面に光学多層膜１１３および反射防止膜１１４が成膜されたフィルタ部材１１１を、ダイシングブレード１２１により所定の回転速度で所要寸法に切断分割し、フィルタ部材１１１の切断面となる側面が鏡面（平面）状に形成される複数のフィルタ部材細片１１１ａ，１１１ａ，…を得る。
【００６４】
次に、図１３に示すように、前記最初の切断工程における切断方向とは垂直な方向に、ダイシングブレード１２１により、前記最初の切断工程における回転速度と、前記最初の切断工程における回転速度よりも遅い回転速度とで交互に繰り返すようにして、フィルタ部材細片１１１ａ，１１１ａ，…を所要寸法に切断し、四角形板状に形成された透明基板１０２と、透明基板１０２の表面に成膜された光学多層膜１０３と、透明基板１０２の裏面に成膜された反射防止膜１０４とを備え、透明基板１０２における表面および裏面を除く少なくとも一つの側面に、他の側面とは異なる加工模様を有するマーキング面１０５が形成された複数の光学多層膜１０１，１０１，…を得る。
【００６５】
このようにすれば、第二実施形態における光学多層膜フィルタ５１の製造方法と同様に、別途マーキング装置等を用いてマーキングを行う必要がなく、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークを備えた光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。なお、図１３に示すように、フィルタ部材細片１１１ａにおいて互いに隣接する光学多層膜フィルタのマーキング面の位置は、互いに異なった位置（反対側の位置）となる。
【００６６】
また、上述の各実施形態において、透明基板における表面および裏面を除く一つの側面に、フィルタ表面の傾く方向を判別するマークとしてのマーキング面が設けられているが、これに限られるものではなく、透明基板の複数の側面にフィルタ表面の傾く方向を判別可能なマーク（マーキング面）が設けられてもよい。
【００６７】
さらに、上述の各実施形態において、透明基板（光学多層膜フィルタ）が四角形板状に形成されているが、これに限られるものではなく、例えば、三角形や五角形等、複数の板側面を有する多角形板状に形成されていればよい。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィルタを提供することができる。また、本発明に係る製造方法によれば、フィルタ表面の傾く方向を容易に知ることが可能な光学多層膜フィルタをより低コストで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる光学多層膜フィルタの斜視図である。
【図２】本発明に係る光学多層膜フィルタの右側面図である。
【図３】本発明に係る光学多層膜フィルタを光が通過する状態を示す図である。
【図４】（ａ）はフィルタ部材の側面図であり、（ｂ）はフィルタ部材の平面図である。
【図５】フィルタ部材を切断分割して複数の本発明に係る光学多層膜フィルタを得た状態を示す平面図である。
【図６】フィルタ部材を切断分割するためのダイシングソーの側面図である。
【図７】ダイシングソーによりダウンカットでフィルタ部材を切断する様子を示す側面図である。
【図８】（ａ）はダイシングブレードによりフィルタ部材に溝が形成された状態を示す拡大図であり、（ｂ）はダイシングブレードによりフィルタ部材が溝に隣接する切断位置で切断された状態を示す拡大図であり、（ｃ）はダイシングブレードによりフィルタ部材が切断されて複数のフィルタ部材細片が得られた状態を示す拡大図である。
【図９】もう一つの本発明に係る光多層膜フィルタの斜視図である。
【図１０】もう一つの本発明におけるフィルタ部材が第１ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１１】もう一つの本発明におけるフィルタ部材細片が第２ダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１２】さらにもう一つの本発明におけるフィルタ部材がダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【図１３】さらにもう一つの本発明におけるフィルタ部材細片がダイシングブレードにより切断された状態を示す拡大図である。
【符号の説明】
１  光学多層膜フィルタ（第一実施形態）
２  透明基板
３  光学多層膜
５  マーキング面
１１  フィルタ部材
１２  透明基板材
１３  光学多層膜
１６  溝
５１  光学多層膜フィルタ（第二実施形態）
５２  透明基板
５３  光学多層膜
５５  マーキング面
６１  フィルタ部材
６２  透明基板材
６３  光学多層膜
１０１  光学多層膜フィルタ（別実施形態）
１０２  透明基板
１０３  光学多層膜
１０５  マーキング面
１１１  フィルタ部材
１１２  透明基板材
１１３  光学多層膜
Ｐ  切断位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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