(57)【要約】【課題】  被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものでも、所要の電気的接続が確実に達成され、所期の電気抵抗の測定が高い精度で確実に行われる電気抵抗測定用コネクター、電気抵抗測定用コネクター装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法の提供。【解決手段】  本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具え、前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の３つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも１つは電流供給用電極であり、少なくとも１つが電圧測定用電極である。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の３つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも１つは電流供給用電極であり、少なくとも１つが電圧測定用電極であることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
【請求項２】
絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
【請求項３】
絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
【請求項４】
絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。
【請求項５】
接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極の各々は、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の電気抵抗測定用コネクター。
【請求項６】
絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター。
【請求項７】
複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することを特徴とする請求項６に記載の電気抵抗測定用コネクター。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターと、この電気抵抗測定用コネクターの表面に一体的に積層された異方導電性エラストマー層とを具えてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター装置。
【請求項９】
異方導電性エラストマー層は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々の表面上に配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する絶縁部とよりなることを特徴とする請求項８に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
【請求項１０】
異方導電性エラストマー層における導電路形成部は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなることを特徴とする請求項９に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電気抵抗測定用コネクター装置を製造する方法であって、
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターの表面に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマー用材料層を形成し、このエラストマー用材料層に対して、電気抵抗測定用コネクターの接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい強度の磁場を厚み方向に作用させると共に、当該エラストマー用材料層を硬化処理することにより、当該電気抵抗測定用コネクターの表面に、その接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマー層を形成し、
このエラストマー層における導電性粒子が含有された部分において、接続用電極組における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去して穴部を形成し、その後、この穴部に硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を充填し、当該高分子物質形成材料を硬化処理する工程を有することを特徴とする電気抵抗測定用コネクター装置の製造方法。
【請求項１２】
少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１３】
少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項６または請求項７に記載の電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板とを具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１４】
両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の他面側に配置される、他面側検査用回路基板を具えてなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形成されていることを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１５】
両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターと、
当該被検査回路基板の他面側に配置される、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターと
を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１６】
両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項６または請求項７に記載の電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板と、
前記被検査回路基板の他面側に配置される、請求項６または請求項７に記載の電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する他面側検査用回路基板と
を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
【請求項１７】
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターの接続用電極組における少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極を同時に電気的に接続して測定状態とし、
この測定状態において、前記電気抵抗測定用コネクターにおける電流供給用電極を介して被検査回路基板に電流を供給すると共に、前記一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極のうち１つの電圧測定用電極を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極に電気的に接続された一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気抵抗測定用コネクター、電気抵抗測定用コネクター装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および回路装置の電気抵抗測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図３７に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。
【０００３】
しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。
【０００４】
このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されており、具体的には、（ｉ）エラストマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置（特許文献１参照。）、（ii）同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置（特許文献２参照。）、（iii ）表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置（特許文献３参照。）などが知られている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。
【０００５】
しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。
【０００６】
然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図３８に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図３９（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図３８に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向（図において左右方向）に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
【０００７】
一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−２６４４６号公報
【特許文献２】特開２０００−７４９６５号公報
【特許文献３】特開２０００−２４１４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる電気抵抗測定用コネクターを提供することにある。
本発明の第２の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続が安定に維持される電気抵抗測定用コネクター装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を有利に製造することができる方法を提供することにある。
本発明の第４の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。
本発明の第５の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる回路基板の電気抵抗測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の３つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも１つは電流供給用電極であり、少なくとも１つが電圧測定用電極であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、
前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする。
【００１４】
上記の３つの電極が配置されてなる接続用電極組を有する電気抵抗測定用コネクターにおいては、接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極の各々は、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状を有することが好ましい。
【００１５】
本発明の電気抵抗測定用コネクターにおいては、絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることが好ましい。
このような電気抵抗測定用コネクターにおいては、複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することが好ましい。
【００１６】
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、この電気抵抗測定用コネクターの表面に一体的に積層された異方導電性エラストマー層とを具えてなることを特徴とする。
【００１７】
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置においては、異方導電性エラストマー層は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々の表面上に配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する絶縁部とよりなることが好ましい。
また、導電路形成部は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなることが好ましい。
【００１８】
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の製造方法は、上記の構成の電気抵抗測定用コネクター装置を製造する方法であって、
上記の電気抵抗測定用コネクターの表面に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマー用材料層を形成し、このエラストマー用材料層に対して、電気抵抗測定用コネクターの接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい強度の磁場を厚み方向に作用させると共に、当該エラストマー用材料層を硬化処理することにより、当該電気抵抗測定用コネクターの表面に、その接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマー層を形成し、
このエラストマー層における導電性粒子が含有された部分において、接続用電極組における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去して穴部を形成し、その後、この穴部に硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を充填し、当該高分子物質形成材料を硬化処理する工程を有することを特徴とする。
【００１９】
本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の裏面に中継電極を有する電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に前記電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板とを具えてなることを特徴とする。
【００２１】
上記の回路基板の電気抵抗測定装置において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が両面に電極を有するものである場合には、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の他面側に配置される、他面側検査用回路基板を具えてなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形成されているものであってもよい。
【００２２】
また、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、
当該被検査回路基板の他面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターとを具えてなることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板と、
前記被検査回路基板の他面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、
この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する他面側検査用回路基板と
を具えてなることを特徴とする。
【００２４】
本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、上記の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターの接続用電極組における少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極を同時に電気的に接続して測定状態とし、
この測定状態において、前記電気抵抗測定用コネクターにおける電流供給用電極を介して被検査回路基板に電流を供給すると共に、前記一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極のうち１つの電圧測定用電極を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極に電気的に接続された一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の電気抵抗測定用コネクターによれば、被検査回路基板における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された接続用電極組は、電流供給用電極および／または電圧測定用電極を２つ以上有するため、これらの電極を適宜の位置関係で配置することにより、被検査電極の位置ずれに対する許容度が高くなる。
例えば、接続用電極組における２つの電流供給用電極が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されることにより、当該矩形における辺方向に被検査電極が位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、接続用電極組における電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう配置されることにより、或いは、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の３つの電極がこの順で並ぶよう配置されることにより、被検査電極が、接続用電極組における各電極が並ぶ方向に位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。更に、このような構成において、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々が、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状とされることにより、被検査電極が、接続用電極組における各電極が並ぶ方向と垂直な方向に位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
従って、本発明の電気抵抗測定用コネクターによれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
【００２６】
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネクターを有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の製造方法によれば、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を有利に製造することができる。
本発明の回路装置の電気抵抗測定装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネクターを有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
本発明の回路装置の電気抵抗測定方法によれば、上記の電気抵抗測定用コネクターを用いるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用コネクター〉
図１は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第１の例を示す平面図、図２は、第１の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
この第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０は、絶縁性基板１１を有し、この絶縁性基板１１の表面には、複数の接続用電極組１２が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１２の各々は、図１に示すように、２つの矩形の電流供給用電極１３および２つの矩形の電圧測定用電極１４の合計４つの電極よりなり、これらの４つの電極は、電流供給用電極１３の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、電圧測定用電極１４の各々が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されるよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性基板１１の裏面には、図２に示すように、複数の中継電極１５が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１５の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１６によって、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のいずれか一方が電気的に接続されている。
【００２８】
絶縁性基板１１を構成する材料としては、ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂などを用いることができる。また、絶縁性基板１１は、単層構成のものであっても多層構成のものであってもよい。
絶縁性基板１１の厚みは、例えば５０〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは１００〜５００μｍである。
【００２９】
電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４、中継電極１５および配線部１６を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
また、電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４、中継電極１５および配線部１６は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる。
【００３０】
接続用電極組１２における電流供給用電極１３と電圧測定用電極１４との間の離間距離は、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜８０μｍである。この離間距離が過小である場合には、電流供給用電極１３と電圧測定用電極１４との間に必要な絶縁性を確保することが困難となることがあり、また、当該電気抵抗測定用コネクター１０の製造が困難となることがある。一方、この離間距離が過大である場合には、被検査電極に対する位置ずれの許容度が小さくなり、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方を被検査電極に確実に電気的に接続することが困難となることがある。
【００３１】
上記の電気抵抗測定用コネクター１０においては、図３に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面に、例えば異方導電性シート５を介して当該電気抵抗測定用コネクター１０における各接続用電極組１２が当該被検査回路基板１の各一面側被検査電極２上に位置するよう配置され、適宜の手段によって押圧されることにより、被検査回路基板１０の一面側被検査電極２が、異方導電性シート５を介して、電気抵抗測定用コネクター１０における接続用電極組１２における電極に電気的に接続される。
このような状態において、電流供給用電極１３を介して被検査回路基板１の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被検査回路基板１０における一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１４のうち１つの電圧測定用電極１４を指定し、この指定された電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極１４を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。
【００３２】
第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、各接続用電極組１２には、２つの電流供給用電極１３が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極１４が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されているため、当該矩形における辺方向（図１において左右方向および上下方向）に、一面側被検査電極２が位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、少なくとも１つの電流供給用電極１３および少なくとも１つの電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的な例を挙げて説明すると、図４（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図４（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図４（ハ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図４（ニ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
【００３３】
従って、第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【００３４】
本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１としては、図５（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２のみを有し、当該一面側被検査電極２間に形成された回路４ａのみを有するもの、図５（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂのみを有するもの、図５（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２間に形成された回路４ａおよび一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。
【００３５】
図６は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第２の例を示す平面図、図７は、第２の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
この第２の例の電気抵抗測定用コネクター１０においては、絶縁性基板１１の表面には、複数の接続用電極組１２が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１２の各々は、図６に示すように、１つの矩形の電流供給用電極１３および２つの矩形の電圧測定用電極１４の合計３つの電極よりなり、これらの３つの電極は、電圧測定用電極１４、電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４の順で並ぶよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性基板１１の裏面には、図７に示すように、複数の中継電極１５が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１５の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１６によって、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のいずれか一方が電気的に接続されている。
以上において、絶縁性基板１１の材質および接続用電極組１２における各電極の材質は、前述の第１の例の電気抵抗測定用コネクターと同様である。
【００３６】
第２の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、接続用電極組１２には、電圧測定用電極１４、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の３つの電極が、この順で並ぶよう配置されているため、一面側被検査電極２が、当該接続用電極組１２における各電極が並ぶ方向（図６において左右方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、電流供給用電極１３および少なくとも１つの電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的に説明すると、図８（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、中央に位置された電流供給用電極１３および図において右側に位置された電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図８（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、中央に位置された電流供給用電極１３および図において左側に位置された電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の各々は、それらが並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な矩形の形状を有するため、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該接続用電極組１２における各電極が並ぶ方向と垂直な方向（図６において上下方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
【００３７】
従って、第２の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【００３８】
図９は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第３の例を示す平面図、図１０は、第３の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
この第３の例の電気抵抗測定用コネクター１０においては、絶縁性基板１１の表面には、複数の接続用電極組１２が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１２の各々は、図９に示すように、２つの矩形の電流供給用電極１３および１つの矩形の電圧測定用電極１４の合計３つの電極よりなり、これらの３つの電極は、電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４、電流供給用電極１３の順で並ぶよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性基板１１の裏面には、図１０に示すように、複数の中継電極１５が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１５の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１６によって、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のいずれか一方が電気的に接続されている。
以上において、絶縁性基板１１の材質および接続用電極組１２における各電極の材質は、前述の第１の例の電気抵抗測定用コネクターと同様である。
【００３９】
第３の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、接続用電極組１２には、電流供給用電極１３、電圧測定用電極１４および電流供給用電極１３の３つの電極が、この順で並ぶよう配置されているため、一面側被検査電極２が、接続用電極組１２における各電極が並ぶ方向（図９において左右方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、少なくとも１つの電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の各々は、それらが並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な矩形の形状を有するため、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１２の中心位置から、当該接続用電極組１２における各電極が並ぶ方向と垂直な方向（図９において上下方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
【００４０】
従って、第３の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【００４１】
図１１は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第４の例における構成を示す説明用断面図である。
この第４の例の電気抵抗測定用コネクター１０においては、第１の例の電気抵抗測定用コネクターと同様の構成の接続用電極組１２が絶縁性基板１１の表面に形成されている（図１参照）。絶縁性基板１１の裏面には、複数の中継電極１５が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１５の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１６によって、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のいずれか一方が電気的に接続されており、これらの中継電極１５のうち一部の中継電極１５には、複数の電流供給用電極１３が電気的に接続されている。
以上において、絶縁性基板１１の材質および接続用電極組１２における各電極の材質は、前述の第１の例の電気抵抗測定用コネクターと同様である。
【００４２】
第４の例の電気抵抗測定用コネクター１０によれば、被検査回路基板との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査電極に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
更に、複数の電流供給用電極１３に電気的に接続された中継電極１５を有するため、当該電気抵抗測定用コネクター１０が電気的に接続される検査用回路基板における検査電極の数を少なくすることができ、これにより、検査用回路基板の製造が容易となり、また、検査用回路基板の製造コストの低減化を図ることができる。
【００４３】
本発明の電気抵抗測定用コネクターは、上記の例に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、接続用電極組は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々を少なくと１つ以上有するものであれば、全電極の数は５個以上であってもよい。
また、電流供給用電極および電圧測定用電極の形状は、矩形に限られず、円形、その他の形状であってもよい。
また、接続用電極組における電極の配置パターンは、当該電極の数および形状並びに被検査電極の形状などに応じて適宜設定することができる。
また、一つの中継電極に複数の電圧測定用電極が電気的に接続されていてもよい。
【００４４】
〈電気抵抗測定用コネクター装置〉
図１２は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置２５は、第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０と、この電気抵抗測定用コネクター１０の表面（図において下面）上に一体的に形成された異方導電性エラストマー層２０とにより構成されている。
異方導電性エラストマー層２０は、図１３にも示すように、各接続用電極組１２における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部２１と、これらの導電路形成部２１の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部２２とにより構成されている。また、図示の例では、異方導電性エラストマー層２０の表面には、１つの接続用電極組１２の各電極に対応する４つの導電路形成部２１の表面およびそれらの間に介在された絶縁部２２の表面がその他の絶縁部２２の表面から突出するよう、突出部２３が形成されている。
導電路形成部２１は、当該異方導電性エラストマー層２０の基材を構成する弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されて構成されており、この導電性粒子Ｐの連鎖によって導電路が形成される。これに対して、絶縁部２２は、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど含有されていないものである。
【００４５】
導電路形成部２１を構成する導電性粒子Ｐとしては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属粒子もしくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性の良好な金属のメッキを施したものを用いることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐの粒径は、得られる導電路形成部２１の加圧変形を容易にし、当該導電路形成部２１における導電性粒子Ｐ間に十分な電気的な接触が得られるよう、３〜２００μｍであることが好ましく、特に１０〜１００μｍであることが好ましい。
【００４６】
また、導電性粒子Ｐの含水率は、５％以下であることが好ましく、より好ましくは３％以下、さらに好ましくは２％以下、特に好ましくは１％以下である。このような条件を満足することにより、第１の上部側異方導電性シート２０を形成する際に、当該第１の異方導電性シート２０に気泡が生ずることが防止または抑制される。
【００４７】
導電路形成部２１における導電性粒子Ｐの割合は、体積分率で５〜６０％であることが好ましく、より好ましくは７〜５０％、特に好ましくは１０〜４０％である。この割合が５％未満である場合には、十分に電気抵抗値の小さい導電路を形成することが困難となることがある。一方、この割合が６０％を超える場合には、得られる導電路形成部２１は脆弱なものとなり、導電路形成部としての必要な弾性が得られないことがある。
【００４８】
異方導電性エラストマー層２０の基材を構成する絶縁性の弾性高分子物質としては、架橋構造を有するものが好ましい。架橋構造を有する高分子物質を得るために用いることのできる高分子物質用材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエンブロック共重合体ゴムなどのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、シリコーンゴム、フッ素ゴム、シリコーン変性フッ素ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴムなどが挙げられる。
以上において、成形加工性および電気絶縁特性が高いことから、シリコーンゴム、シリコーン変性フッ素ゴムを用いることが好ましい。
【００４９】
このような第１の例の電気抵抗測定用コネクター装置２５によれば、第１の例の電気抵抗測定用コネクターを有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極を有するものであっても、当該被検査電極に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に、異方導電性エラストマー層２０が一体的に形成されているため、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。
また、異方導電性エラストマー層２０には、電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４に対応して導電路形成部２１が形成されているため、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間の絶縁性が確保され、その結果、被検査回路基板についての電気抵抗を一層高い精度で測定することができる。
【００５０】
第１の例の電気抵抗測定用コネクター装置は、例えば以下のようにして製造することができる。
図１４は、異方導電性エラストマー層２０を得るための金型の一例における構成を示す説明用断面図である。この金型は、上型３０およびこれと対となる下型３５が互いに対向するよう配置されて構成されている。
上型３０においては、強磁性体基板３１の表面（図において下面）に、電気抵抗測定用コネクター１０における接続用電極組１２が形成された領域のパターンと対掌なパターンに従って強磁性体層３２が形成され、この強磁性体層３２が形成された領域以外の領域には、非磁性体層３３が形成されている。非磁性体層３３は強磁性体層３２の厚みより大きい厚みを有し、強磁性体層３２と非磁性体層３３との間に段差が形成されることにより、当該上型３０の成形面には、異方導電性エラストマー層２０における突出部２３を形成するための凹所が形成されている。
下型３５においては、強磁性体基板３６の表面（図において上面）に、電気抵抗測定用コネクター１０における接続用電極組１２が形成された領域のパターンと同一のパターンに従って強磁性体層３７が形成され、この強磁性体層３７が形成された領域以外の領域には、当該強磁性体層３７と実質的に同一の厚みを有する非磁性体層３８が形成されている。
【００５１】
上型３０および下型３５の各々における強磁性体基板３１，３６を構成する材料としては、鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性体金属を用いることができる。この強磁性体基板３１，３６は、その厚みが０．１〜５０ｍｍであることが好ましく、表面が平滑で、化学的に脱脂処理され、また、機械的に研磨処理されたものであることが好ましい。
また、上型３０および下型３５の各々における強磁性体層３２，３７を構成する材料としては、鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性体金属を用いることができる。この強磁性体層３２，３７は、その厚みが１０μｍ以上であることが好ましい。この厚みが１０μｍ未満である場合には、後述するエラストマー用材料層に対して、十分な強度分布を有する磁場を作用させることが困難となり、当該エラストマー用材料層における導電路形成部となるべき部分に導電性粒子を高い密度で集合させることが困難となり、高い導電性を有する導電路形成部が得られないことがある。
また、上型３０および下型３５の各々における非磁性体層３３，３８を構成する材料としては、銅などの非磁性体金属、耐熱性を有する高分子物質などを用いることができるが、フォトリソグラフィーの手法により容易に非磁性体層３３，３８を形成することができる点で、放射線によって硬化された高分子物質を用いることが好ましく、その材料としては、例えばアクリル系のドライフィルムレジスト、エポキシ系の液状レジスト、ポリイミド系の液状レジストなどのフォトレジストを用いることができる。
【００５２】
上記の金型を用い、例えば以下のようにして電気抵抗測定用コネクター装置が製造される。
先ず、図１に示す第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０を作製すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に、磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマー用材料を調製する。
次いで、図１５に示すように、電気抵抗測定用コネクター１０の表面にエラストマー用材料を塗布することにより、所要の厚みのエラストマー用材料層２０Ａを形成すると共に、このエラストマー用材料層２０Ａの表面（図において上面）および電気抵抗測定用コネクター１０の裏面に、上記の上型３０および下型３５を配置する。
【００５３】
そして、上型３０の下面および下型３５の下面に、例えば電磁石を配置してこれを作動させることにより、エラストマー用材料層２０Ａに対し、上型３０の強磁性体層３２と下型３５の強磁性体層３７との間に位置する部分、すなわち電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１２が形成された領域（以下、「接続用電極組領域」ともいう。）の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい強度の磁場を厚み方向に作用させる。その結果、エラストマー用材料層２０Ａ中に分散されていた導電性粒子Ｐが、図１６に示すように、接続用電極組領域の表面上に位置する部分に集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配向する。そして、この状態で、エラストマー用材料層２０Ａの硬化処理を行うことにより、図１７に示すように、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に、その接続用電極組領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマー層２０Ｂが形成される。
【００５４】
以上において、エラストマー用材料の粘度は、温度２５℃において１０００００〜１００００００ｃｐの範囲内であることが好ましい。
エラストマー用材料を塗布する方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、ロール塗布法、ブレード塗布法、スクリーン印刷などの印刷法を利用することができる。
エラストマー用材料層２０Ａに作用される磁場の強度は、平均で２０〜２０００ｍＴとなる大きさが好ましい。
磁場を作用させる手段としては、電磁石の代わりに永久磁石を用いることができる。このような永久磁石としては、上記の範囲の磁場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなるものが好ましい。
エラストマー用材料層２０Ａの硬化処理は、磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、磁場の作用を停止した後に行うこともできる。
エラストマー用材料層２０Ａの硬化処理の条件は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、エラストマー用材料層２０Ａの高分子物質形成材料の種類、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。例えば高分子物質形成材料が室温硬化型シリコーンゴムである場合には、当該エラストマー用材料層の硬化処理は、室温で２４時間程度、４０℃で２時間程度、８０℃で３０分間程度で行われる。
【００５５】
このようにして電気抵抗測定用コネクター１０の表面に形成されたエラストマー層２０Ｂに対して、図１８に示すように、導電性粒子Ｐが含有された部分において、接続用電極組１２における各電極（電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４）の間の領域の表面上に位置する部分を除去することにより、十字状の穴部Ｋを形成する。次いで、この穴部Ｋに、図１９に示すように、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料２３Ａを充填し、その後、当該高分子物質形成材料２３Ａの硬化処理を行うことにより、隣接する導電路形成部２１間に絶縁部２２が形成された異方導電性エラストマー層２０が形成され、以て、図１２および図１３に示す電気抵抗測定用コネクター装置２５が製造される。
【００５６】
以上において、エラストマー層２０Ｂに穴部Ｋを形成する方法としては、炭酸ガスレーザーなどによるレーザー加工法を利用することが好ましい。
穴部Ｋに充填される高分子物質形成材料は、前述のエラストマー用材料に用いられる高分子物質形成材料と同一の種類のものであっても異なる種類のものであってもよい。
【００５７】
このような方法によれば、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組領域の表面上に導電性粒子Ｐが含有された部分を有するエラストマー層２０Ｂを形成し、このエラストマー層２０Ｂに対して、導電性粒子Ｐが含有された部分において電流供給用電極１３若しくは電圧測定用電極１４の表面上に位置する導電路形成部となるべき部分の間に穴部Ｋを形成したうえで、当該穴部Ｋに絶縁部２２を形成するため、隣接する導電路形成部２１間に所要の絶縁性が確保された異方導電性エラストマー層２０を確実に形成することができる。
【００５８】
図２０は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置２５は、第１の例の電気抵抗測定用コネクター１０と、この電気抵抗測定用コネクター１０の表面（図において下面）上に一体的に形成された異方導電性エラストマー層２０とにより構成されている。
異方導電性エラストマー層２０は、図２１にも示すように、各接続用電極組１２における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部２１と、これらの導電路形成部２１の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部２２とにより構成されている。また、図示の例では、異方導電性エラストマー層２０には、導電路形成部２１の表面が絶縁部２２の表面から突出するよう、突出部２３が形成されている。
導電路形成部２１は、当該異方導電性エラストマー層２０の基材を構成する弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されて構成されており、この導電性粒子Ｐの連鎖によって導電路が形成される。これに対して、絶縁部２２は、導電性粒子Ｐが全く含有されていないものである。
異方導電性エラストマー層２０の基材を構成する弾性高分子物質および導電路形成部２１を構成する導電性粒子としては、前述の第１の例の電気抵抗測定用コネクター装置における異方導電性エラストマー層２０と同様のものを用いることができる。
【００５９】
このような第２の例の電気抵抗測定用コネクター装置２５によれば、第１の例の電気抵抗測定用コネクターを有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極を有するものであっても、当該被検査電極に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に、異方導電性エラストマー層２０が一体的に形成されているため、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。
また、異方導電性エラストマー層２０には、電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４に対応して導電路形成部２１が形成されているため、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の間の絶縁性が確保され、その結果、被検査回路基板についての電気抵抗を一層高い精度で測定することができる。
【００６０】
第２の例の電気抵抗測定用コネクター装置は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図２２に示すように、適宜の離型性支持板２６を用意し、この離型性支持板２６の表面に、弾性高分子物質中に導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる導電性エラストマー層２１Ａを、当該離型性支持板２６に剥離可能に支持された状態で形成する。この導電性エラストマー層２１Ａは、形成すべき導電路形成部の厚みと同等の厚みを有するものとされる。
以上において、離型性支持板２６を構成する材料としては、金属、セラミックス、樹脂およびこれらの複合材などを用いることができる。
また、導電性エラストマー層２１Ａを形成する方法としては、（１）予め適宜の方法によって製造された、弾性高分子物質中に導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる導電性エラストマーシートを、離型性支持板２６の表面に剥離可能に接着する方法、（２）硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が分散されてなる導電性エラストマー用材料を調製し、この導電性エラストマー用材料を、離型性支持板１５上に塗布することによって、導電性エラストマー用材料層を形成し、この導電性エラストマー用材料層に対してその厚み方向に磁場を作用させることにより、導電性エラストマー用材料層中の導電性粒子Ｐを厚み方向に並ぶよう配向させ、この状態で、導電性エラストマー用材料層の硬化処理を行う方法、などを利用することができる。
上記（１）の方法において、導電性エラストマーシートを、離型性支持板２６の表面に剥離可能に接着する手段としては、導電性エラストマーシート自体が有する粘着性を利用して接着する方法、粘着剤によって接着する方法などを用いることができる。
上記（２）の方法において、導電性エラストマー用材料を塗布する具体的な手段としては、スクリーン印刷などの印刷法、ロール塗布法、ブレード塗布法などを利用することができる。
導電性エラストマー用材料層に磁場を作用させる手段としては、電磁石、永久磁石などを用いることができる。
導電性エラストマー用材料層に作用させる磁場の強度は、０．２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層の硬化処理は、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層を構成する高分子物質形成材料の種類、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜設定される。
【００６１】
このようにして離型性支持板２６上に形成された導電性エラストマー層２１Ａの表面に、図２３に示すように、メッキ電極用の金属薄層２７を形成する。次いで、図２４に示すように、この金属薄層２７上に、フォトリソグラフィーの手法により、形成すべき導電路形成部のパターン、すなわち電気抵抗測定用コネクターにおける電流供給用電極および電圧測定用電極に対応するパターンに従って複数の開口２８ａが形成されたレジスト層２８を形成する。その後、図２５に示すように、金属薄層２７をメッキ電極として、当該金属薄層２７におけるレジスト層２８の開口２８ａを介して露出した部分に、電解メッキ処理を施すことにより、当該レジスト層２８の開口２８ａ内に金属マスク２９を形成する。そして、この状態で、導電性エラストマー層２１Ａ、金属薄層２７およびレジスト層２８に対してレーザー加工を施すことにより、レジスト層２８、金属薄層２７および導電性エラストマー層２１Ａの一部が除去され、その結果、図２６に示すように、電気抵抗測定用コネクターにおける電流供給用電極および電圧測定用電極に対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部２１が離型性支持板２６上に支持された状態で形成される。その後、導電路形成部２１の表面から残存する金属薄層２７および金属マスク２９を剥離する。
【００６２】
以上において、導電性エラストマー層２１Ａの表面に金属薄層２７を形成する方法としては、無電解メッキ法、スパッタ法などを利用することができる。
金属薄層２７を構成する材料としては、銅、金、アルミニウム、ロジウムなどを用いることができる。
金属薄層２７の厚みは、０．０５〜２μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１μｍである。この厚みが過小である場合には、均一な薄層が形成されず、メッキ電極として不適なものとなることがある。一方、この厚みが過大である場合には、レーザー加工によって除去することが困難となることがある。
レジスト層２８の厚みは、形成すべき金属マスク２９の厚みに応じて設定される。
金属マスク２９を構成する材料としては、銅、鉄、アルミウニム、金、ロジウムなどを用いることができる。
金属マスク２９の厚みは、２μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは５〜２０μｍである。この厚みが過小である場合には、レーザーに対するマスクとして不適なものとなることがある。
レーザー加工は、炭酸ガスレーザーによるものが好ましく、これにより、目的とする形態の導電路形成部２１を確実に形成することができる。
【００６３】
一方、図２７に示すように、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に、硬化されて絶縁性の弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を塗布することにより、絶縁部用材料層２２Ａを形成する。次いで、図２８に示すように、複数の導電路形成部２１が形成された離型性支持板２６を、絶縁部用材料層２２Ａが形成された離型性支持板２６上に重ね合わせることにより、当該電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の各々とこれに対応する導電路形成部２１とを対接させる。これにより、隣接する導電路形成部２１の間に絶縁部用材料層２２Ａが形成された状態となる。その後、この状態で、絶縁部用材料層２２Ａの硬化処理を行うことにより、図２９に示すように、隣接する導電路形成部２１の間にこれらを相互に絶縁する絶縁部１２が、導電路形成部１１および電気抵抗測定用コネクター１０に一体的に形成される。
そして、離型性支持板２６から離型させることにより、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に異方導電性エラストマー層２０が一体的に形成されてなる、図２０に示す構成のアダプター装置が得られる。
【００６４】
以上において、高分子物質形成材料を塗布する手段としては、スクリーン印刷などの印刷法、ロール塗布法、ブレード塗布法などを利用することができる。
絶縁部用材料層２２Ａの厚みは、形成すべき絶縁部２２の厚みに応じて設定される。
絶縁部用材料層２２Ａの硬化処理は、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、絶縁部用材料層２２Ａを構成するエラストマー材料の種類などを考慮して適宜設定される。
【００６５】
このような製造方法によれば、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で分散されてなる導電性エラストマー層２１Ａをレーザー加工してその一部を除去することにより、目的とする形態の導電路形成部２１を形成するため、所要の量の導電性粒子Ｐが充填された所期の導電性を有する導電路形成部２１が形成された異方導電性エラストマー２０を確実に得ることができる。
また、離型性支持板２６上に電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４のパターンに従って配置された複数の導電路形成部２１を形成したうえで、これらの導電路形成部２１の間に絶縁部用材料層２２Ａを形成して硬化処理することによって、絶縁部２２を形成するため、導電性粒子Ｐが全く存在しない絶縁部２２が形成された異方導電性エラストマー層２０を確実に得ることができる。
しかも、異方導電性エラストマー層を形成するために、多数の強磁性体部が配列されてなる高価な金型を用いることが不要となる。
また、レーザー加工による導電路形成部２１の形成工程は、離型性支持板２６上において行われるため、異方導電性エラストマー層２０の形成において、電気抵抗測定用コネクター１０の表面に損傷を与えることがない。
【００６６】
本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、上記の例に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図３０に示すように、電気抵抗測定用コネクター１０は、図６および図７に示す第２の例のものであってもよく、また、図９および図１０に示す第３の例のものまたは図１１に示す第４の例のもの、或いは、その他の本発明に係る電気抵抗測定用コネクターであってもよい。
また、異方導電性エラストマー層２０は、導電路形成部が接続用電極組における全ての電極を覆うよう形成されてなるものであってもよく、弾性高分子物質中に、導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向し、かつ、当該導電性粒子の連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる、いわゆる分散型のものであってもよい。
【００６７】
〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図３１は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第１の例における構成を示す説明図であり、図３２は、図３１に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この第１の例の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図３１において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図３１において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されている。
【００６８】
上部側アダプター４０においては、被検査回路基板１の一面側（図３１において上側）に配置される、例えば図１２に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置２５が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置２５における電気抵抗測定用コネクター１０の裏面（図３１において上面）には、第１の上部側異方導電性シート４４を介して一面側検査用回路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基板４１の表面（図３１において下面）には、電気抵抗測定用コネクター装置２５における中継電極１５のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極４２が配置され、当該一面側検査用回路基板４１の裏面（図３１において上面）には、後述する電極板４８の標準配列電極４９の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極４３が配置されおり、この端子電極４３の各々は対応する検査電極４２に、電気的に接続されている。
【００６９】
一面側検査用回路基板４１の裏面上には、第２の上部側異方導電性シート４５を介して電極板４８が設けられている。この電極板４８は、その表面（図３１において下面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極４９を有し、これらの標準配列電極４９の各々は、第２の上部側異方導電性シート４５を介して一面側検査用回路基板４１の端子電極４３に電気的に接続されると共に、電極板４８の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。
【００７０】
この例における第１の上部側異方導電性シート４４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター１０の中継電極１５のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の上部側異方導電性シート４５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の上部側異方導電性シート４４および第２の上部側異方導電性シート４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
【００７１】
下部側アダプター５０においては、他面側検査用回路基板５１が設けられ、この他面側検査用回路基板５１の表面（図３１において上面）には、被検査回路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに対応するパターンに従って、１つの他面側被検査電極３に対して、互いに離間して配置された電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂよりなる検査電極対が、他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう配置されている。他面側検査用回路基板５１の裏面には、後述する電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂが配置されており、これらの電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂの各々は、対応する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂに電気的に接続されている。
【００７２】
他面側検査用回路基板５１の表面上には、異方導電性エラストマー層５５が一体的に形成されている。この異方導電性エラストマー層５５には、検査電極対の各々を構成する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂの両方の表面（図３１において上面）に接する共通の導電路形成部５６が形成され、隣接する導電路形成部５６の間には、これらを相互に絶縁する絶縁部５７が形成されている。導電路形成部５６は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部５７は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。また、この例の異方導電性エラストマー層５５においては、導電路形成部５６の表面（図３１において上面）が絶縁部５７の表面から突出した状態で形成されている。
【００７３】
他面側検査用回路基板５１の裏面（図３１において下面）には、下部側異方導電性シート６２を介して電極板６０が設けられている。
電極板６０および下部側異方導電性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板４８および第２の上部側異方導電性シート４５に対応するものであり、電極板６０は、その表面（図３１において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極６１を有し、これらの標準配列電極６１の各々は、下部側異方導電性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流供給用端子電極５３ａまたは電圧測定用端子電極５３ｂに電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート６２は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
【００７４】
異方導電性エラストマー層５５における導電路形成部５６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。
この比が１を超える場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、導電路形成部５６における導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
このような異方導電性エラストマー層５５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
また、異方導電性エラストマー層５５および下部側異方導電性シート６２を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
【００７５】
他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極３の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。
【００７６】
以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、他面側検査用回路基板５１の表面上に形成された異方導電性エラストマー層５５が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
【００７７】
この測定状態において、電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１２と他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１４のうち１つの電圧測定用電極１４を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１４と、当該電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極５２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１４を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
【００７８】
以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１２における２つの電圧測定用電極１４が電気的に接続された場合には、図３３に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、２つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１による電気抵抗値および電圧測定用回路Ｃ２による電圧値のうちその値が高いものが採用され、当該電圧値に基づいて一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
【００７９】
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０に図１および図２に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１０が設けられていることにより、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【００８０】
図３４は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第２の例における構成を示す説明図であり、図３５は、図３４に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この第２の例の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図３４において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図３４において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプター４０は、第１の例の電気抵抗測定装置における上部側アダプターと同様の構成である。
【００８１】
下部側アダプター５０においては、被検査回路基板１の他面側（図３４において下側）に配置される、例えば図１２に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置２５が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置２５における電気抵抗測定用コネクター１０の裏面（図３４において下面）には、第１の下部側異方導電性シート６４を介して他面側検査用回路基板５１が配置されており、この他面側検査用回路基板５１の裏面上には、第２の下部側異方導電性シート６５を介して電極板６０が設けられている。この電極板６０は、第１の例の電気抵抗測定装置の下部側アダプターにおける電極板と同様の構成である。
他面側検査用回路基板５１の表面（図３４において上面）には、電気抵抗測定用コネクター装置２５における中継電極１５のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極５２が配置され、当該他面側検査用回路基板５１の裏面（図３４において下面）には、電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極５３が配置されおり、この端子電極５３の各々は対応する検査電極５２に、電気的に接続されている。
【００８２】
この例における第１の下部側異方導電性シート６４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター１０の中継電極１５のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の下部側異方導電性シート６５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の下部側異方導電性シート６４および第２の下部側異方導電性シート６５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。
【００８３】
以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置２５における異方導電性エラストマー層２０が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。
【００８４】
この測定状態において、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１２と下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター１０における電流供給用電極１２との間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極１４のうち１つの電圧測定用電極１４を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１４と、当該電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された電圧測定用電極１４との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１４に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１４を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。
【００８５】
以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１２における２つの電圧測定用電極１４が電気的に接続され、当該被検査回路基板１における１つの他面側被検査電極３に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１２における２つの電圧測定用電極１４が電気的に接続された場合には、図３６に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、４つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１、電圧測定用回路Ｃ２、電圧測定用回路Ｃ３および電圧測定用回路Ｃ４の各々による電圧値のうちその値が最も高いものが採用され、当該電圧値に基づいて、一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
【００８６】
以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の各々に図１および図２に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１０が設けられていることにより、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２および他面側被検査電極３に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２および他面側被検査電極３を有するものであっても、当該一面側被検査電極２および他面側被検査電極３の各々に対する電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極１３および電圧測定用電極１４は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
【００８７】
本発明の回路装置の電気抵抗測定装置は、上記の例に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。
例えば、第１の例において、下部側アダプター５０の他面側検査用回路基板５１は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
また、異方導電性エラストマー層５５としては、電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３の各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。
【実施例】
【００８８】
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
また、以下の実施例において、被検査回路基板として、下記の仕様の片面プリント回路基板を使用した。
縦横の寸法が３ｃｍ×３ｃｍで、一面に直径１００μｍの被検査電極の６００個が０．２ｍｍのピッチで配置されてなる電極群が合計で４つ形成されてなり（被検査電極の合計の数が２４００個）、各電極群における６００個の被検査電極のうち２個ずつが内部配線を介して互いに電気的に接続されて回路が形成された（各電極群における回路数が３００個，全体の回路数が１２００個）片面プリント回路基板。
【００８９】
〈実施例１〉
〔電気抵抗測定用コネクター〕
図１および図２に示す構成に従い、下記の仕様により、電気抵抗測定用コネクターを作製した。
絶縁性基板（１１）：
材質；ガラス繊維補強型エポシキ樹脂，絶縁性基板（１１）の寸法；１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍ，
接続用電極組（１２）：
電流供給用電極（１３）および電圧測定用電極（１４）の寸法；５０μｍ×５０μｍ，電流供給用電極（１３）および電圧測定用電極（１４）の間の離間距離；３０μｍ，接続用電極組（１２）のピッチ；２００μｍ，接続用電極組（１２）の数；６００，
中継電極（１５）：
中継電極（１５）の寸法；直径１２０μｍ（円形），中継電極（１５）のピッチ；３５０μｍ，中継電極（１５）の数；１２００
【００９０】
〔電気抵抗測定用コネクター装置〕
上記の電気抵抗測定用コネクターの表面に、以下のようにして異方導電性エラストマー層を形成して電気抵抗測定用コネクター装置を作製した。
（１）金型：
図１４に示す構成に従い、下記の仕様により、異方導電性エラストマー層を得るための金型を作製した。
すなわち、上型（３０）および下型（３５）の各々において、強磁性体基板（３１，３６）の材質は鉄であり、その厚みは１０ｍｍである。強磁性体層（３２，３７）の材質はニッケルであり、その平面形状は円形で、その寸法は直径が３００μｍ、厚みが１００μｍである。上型（３０）の非磁性体層（３３）の材質はドライフィルムレジストを硬化処理したものであり、その厚みは１５０μｍである。下型（３５）の非磁性体層（３８）の材質はドライフィルムレジストを硬化処理したものであり、その厚みは１００μｍである。
【００９１】
（２）エラストマー用材料：
付加型液状シリコーンゴム１００重量部に、平均粒子径が１０μｍの導電性粒子１５重量部を添加して混合し、その後、減圧による脱泡処理を施すことにより、エラストマー用材料を調製した。以上において、導電性粒子としては、ニッケルよりなる芯粒子に金メッキが施されてなるもの（平均被覆量：芯粒子の重量の４重量％）を用いた。また、エラストマー用材料の粘度は、温度２５℃において４８００Ｐであった。
【００９２】
（３）異方導電性エラストマー層：
上記の電気抵抗測定用コネクター（１０）の表面に、調製したエラストマー用材料をスクリーン印刷法によって塗布することにより、エラストマー用材料層（２０Ａ）を形成し、このエラストマー用材料層（２０Ａ）の表面および電気抵抗測定用コネクター１０の裏面に、上記の上型（３０）および下型（３５）を配置した。そして、上型（３０）の下面および下型（３５）の下面に、電磁石を配置してこれを作動させることにより、エラストマー用材料層（２０Ａ）に対し、上型（３０）の強磁性体層（３２）と下型（３５）の強磁性体層（３７）との間に位置する部分に、その厚み方向に２Ｔの磁場を作用させながら、１２５℃、２時間の条件で、エラストマー用材料層（２０Ａ）の硬化処理を行うことにより、電気抵抗測定用コネクター（１０）の表面に、その接続用電極組領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマー層（２０Ｂ）を形成した。
得られたエラストマー層（２０Ｂ）に対して、炭酸ガスレーザーによるレーザー加工を施すことにより、導電性粒子が含有された部分において、接続用電極組（１２）における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去することにより、十字状の穴部（Ｋ）を形成した。次いで、この穴部（Ｋ）に、付加型液状シリコーンゴムを充填し、１２５℃、２時間の条件で、当該付加型液状シリコーンゴムの硬化処理を行うことにより、異方導電性エラストマー層（２０）を形成し、以て、電気抵抗測定用コネクター装置（２５）を製造した。
【００９３】
（４）回路装置の電気抵抗測定装置：
上記の電気抵抗測定用コネクター装置を用い、図３１に示す上部側アダプターと、テスターとからなる電気抵抗測定装置を作製した。
【００９４】
＜比較例１＞
特開２０００−７４９６５号公報に開示されている構成に従い、被検査電極に対応して電流供給用電極および電圧測定用電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーよりなる接続部材および保持部材と有する電気抵抗測定装置を作製した。
上記の検査用回路基板における電流供給用電極および電圧測定用電極の縦横の寸法は、それぞれ１２０μｍ×４０μｍで、電流供給用電極および電圧測定用電極の離間距離は４０μｍで、接続部材の厚みは０．０６ｍｍで、接続部材を構成する弾性高分子物質としてシリコーンゴムを用いると共に、導電性粒子として、金メッキされた平均粒径１０μｍのニッケル粒子を用いた。
【００９５】
〔評価〕
前述の仕様の被検査回路基板を合計で２００枚用意し、これらの被検査回路基板における各回路の電気抵抗の測定を、実施例１および比較例１に係る電気抵抗測定装置によって行い、回路の電気抵抗の測定値が１Ω以上である場合を、接続不良と判断し、その数を測定した。
その結果、実施例１に係る電気抵抗測定装置においては、１００個の回路基板（１２００回路×１００）中、電気抵抗の測定値が１Ω以上である回路を有する回路基板の数は０個であり、比較例１に係る電気抵抗装置においては、１００個の回路基板（１２００回路×１００）中、電気抵抗の測定値が１Ω以上である回路を有する回路基板の数は２５個であった。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第１の例を示す平面図である。
【図２】第１の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
【図３】被検査回路基板の一面上に、異方導電性シートを介して図１に示す電気抵抗測定用コネクターが配置された状態を示す説明用断面図である。
【図４】第１の例の電気抵抗測定用コネクターにおける接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。
【図５】被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。
【図６】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第２の例を示す平面図である。
【図７】第２の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
【図８】第２の例の電気抵抗測定用コネクターにおける接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。
【図９】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第３の例を示す平面図である。
【図１０】第３の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。
【図１１】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第４の例における構成を示す説明用断面図である。
【図１２】本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図である。
【図１３】図１２に示す電気抵抗測定用コネクター装置を、その異方導電性エラストマー層の一部を破断して示す平面図である。
【図１４】異方導電性エラストマー層を得るための金型の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図１５】電気抵抗測定用コネクターの表面にエラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１６】エラストマー用材料層の厚み方向に強度分布を有する磁場が作用された状態を示す説明用断面図である。
【図１７】電気抵抗測定用コネクターの表面にエラストマー層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１８】エラストマー層に穴部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１９】エラストマー層に形成された穴部に高分子物質形成材料が充填された状態を示す説明用断面図である。
【図２０】本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図である。
【図２１】図２０に示す電気抵抗測定用コネクター装置を、その異方導電性エラストマー層の一部を破断して示す平面図である。
【図２２】離型性支持板上に導電性エラストマー層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２３】導電性エラストマー層上に金属薄層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２４】金属薄層上に開口を有するレジスト層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２５】レジスト層の開口内に金属マスクが形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２６】離型性支持板上に複数の導電路形成部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２７】電気抵抗測定用コネクターの表面に絶縁部用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２８】絶縁部用材料層が形成された電気抵抗測定用コネクター上に、導電路形成部が形成された離型性支持板が重ね合わされた状態を示す説明用断面図である。
【図２９】隣接する導電路形成部間に絶縁部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図３０】本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の他の例における構成を示す説明用断面図である。
【図３１】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第１の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図３２】第１の例の回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図３３】第１の例の回路基板の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。
【図３４】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第２の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図３５】第２の例の回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。
【図３６】第２の例の回路基板の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。
【図３７】電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。
【図３８】従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。
【図３９】従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００９７】
１  被検査回路基板      ２  一面側被検査電極
３  他面側被検査電極    ４ａ，４ｂ  回路
５  異方導電性シート
１０  電気抵抗測定用コネクター
１１  絶縁性基板        １２  接続用電極組
１３  電流供給用電極    １４  電圧測定用電極
１５  中継電極          １６  配線部
２０  異方導電性エラストマー層
２０Ａ  エラストマー用材料層
２０Ｂ  エラストマー層
２１  導電路形成部
２１Ａ  導電性エラストマー層
２２  絶縁部            ２２Ａ  絶縁部用材料層
２３  突出部
２３Ａ  高分子物質形成材料
２５  電気抵抗測定用コネクター装置
２６  離型性支持板      ２７  金属薄層
２８  レジスト層        ２８ａ  開口
２９  金属マスク
３０  上型              ３１  強磁性体基板
３２  強磁性体層        ３３  非磁性体層
３５  下型              ３６  強磁性体基板
３７  強磁性体層        ３８  非磁性体層
４０  上部側アダプター  ４１  一面側検査用回路基板
４２  検査電極          ４３  端子電極
４４  第１の上部側異方導電性シート
４５  第２の上部側異方導電性シート
４８  電極板            ４９  標準配列電極
５０  下部側アダプター  ５１  他面側検査用回路基板
５２  検査電極          ５３  端子電極
５２ａ  電流供給用検査電極
５２ｂ  電圧測定用検査電極
５３ａ  電流供給用端子電極
５３ｂ  電圧測定用端子電極
５５  異方導電性エラストマー層
５６  導電路形成部      ５７  絶縁部
５９  テスター          ６０  電極板
６１  標準配列電極
６２  下部側異方導電性シート
６４  第１の下部側異方導電性シート
６５  第２の下部側異方導電性シート
９０  被検査回路基板
９１，９２  被検査電極  ９３  電源装置
９４  電気信号処理装置
ＰＡ，ＰＤ  電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ  電圧測定用プローブ
Ａ  電流供給用電極      Ｖ  電圧測定用電極
Ｔ  被検査電極          Ｐ  導電性粒子
Ｋ  穴部
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４  電圧測定用回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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