(57)【要約】【課題】搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない板状部材搬送装置を提供する。【解決手段】板状部材搬送装置１０は、台車１１上に、板状部材１２の下端を移動可能に支承する支承部１３と、支承部１３に支承された板状部材１２に振動板１４の音波の放射圧を付与して、板状部材１２を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置１５とが装備されている。各支承部１３はモータ、プーリ及びベルトにより回転される回転軸にそれぞれ一体回転可能に固定されている。【選択図】　　　図１
2004059246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の下端を移動可能に支承する支承部と、
前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置と、
前記板状部材を移動させる移動手段と
を移動体上に装備した板状部材搬送装置。
【請求項２】
前記支承部、前記物体浮揚装置及び前記移動手段は一つのユニットとして構成され、該ユニットが前記移動体上に装備されている請求項１に記載の板状部材搬送装置。
【請求項３】
前記支承部は自由回転可能なローラであり、前記物体浮揚装置は少なくとも進行波を発生可能に構成され、進行波を発生する状態で前記移動手段としても機能する請求項１又は請求項２に記載の板状部材搬送装置。
【請求項４】
前記支承部は駆動手段により駆動されることで前記板状部材を移動可能に構成され、前記駆動手段とともに前記移動手段を構成する請求項１又は請求項２に記載の板状部材搬送装置。
【請求項５】
板状部材の下端を移動可能に支承する支承部と、
前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置と、
前記板状部材を移動させる移動手段と
を備えた板状部材保管装置。
【請求項６】
前記支承部は駆動手段により駆動されることで前記板状部材を移動可能に構成されている請求項５に記載の板状部材保管装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状部材搬送装置及び板状部材保管装置に係り、詳しくは液晶表示装置等の表示装置のガラスパネルや半導体ウエハー等の板状部材を立てた状態で搬送するのに好適な板状部材搬送装置及び板状部材保管装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラスパネル（ガラス基板）や半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材を立てた状態で搬送する板状部材搬送装置が特開２００１−２１３５１７号公報に開示されている。この板状部材搬送装置は、図７に示すように、支持基板５１の片面に複数の圧力容器５２が固定され、圧力容器５２の前面に多孔質体５３が取り付けられている。支持基板５１の下端には、駆動シャフト５４が回転可能に支持され、駆動シャフト５４に駆動ローラ５５が一体回転可能に固定され、各駆動ローラ５５にベルト５６が巻掛けられて搬送手段５７が構成されている。図示しないモータにより駆動シャフト５４が駆動されることにより、ベルト５６が駆動される。そして、多孔質体５３から噴射される圧力流体（圧縮空気）で搬送すべき板状部材５８を支持するとともに、板状部材５８に対して多孔質体５３と反対側に配設された洗浄液噴霧ノズル５９から洗浄液を噴霧しつつ、その板状部材５８の下端部を搬送手段５７で支持して搬送するようになっている。従って、この板状部材搬送装置では、ガラスパネルや半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材５８にその下端のみで接触した状態で搬送することができ、搬送時に板状部材５８が傷つき難い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記従来装置では、搬送すべき板状部材５８を非接触状態で保持するために多孔質体５３から圧縮気体を噴射する構成のためエネルギー消費が大きいという問題があるとともに、多孔質体５３を構成する多孔質セラミックからの発塵が問題になる場合がある。
【０００４】
また、従来、液晶表示装置のガラスパネルは水平状態で保管されていたが、ガラスパネルの大型化に伴い、近年、ガラスパネルを立てた状態で保管することも検討されている。そして、ガラスパネルを立てた状態で保管する保管装置に前記板状部材搬送装置を応用することが考えられるが、前記の問題が残る。
【０００５】
本発明は前記の問題に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない板状部材搬送装置を提供することにある。また、第２の目的はガラスパネル等の板状部材を立てた状態で保管でき、保管位置への出し入れが容易な板状部材保管装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、板状部材の下端を移動可能に支承する支承部と、前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置と、前記板状部材を移動させる移動手段とを移動体上に装備した。
【０００７】
この発明では、板状部材は下端が支承部に支承された状態で、振動板で発生した音波の放射圧により、振動板と非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持される。そして、板状部材は支承部に支承された状態で移動手段の作用により移動される。従って、圧縮流体（圧縮空気）を噴射する構成の従来装置に比較して、少ないエネルギー消費で板状部材を、その下端部のみが支承部に接触する状態で搬送することができる。また、セラミック製の多孔質体から圧縮空気を噴射する場合と異なり、塵埃を板状部材に吹き付ける虞がない。また、前記作用を為す支承部、物体浮揚装置及び移動手段が移動体と共に移動可能なため、移動体を移動させることで板状部材の高速搬送が可能になる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記支承部、前記物体浮揚装置及び前記移動手段は一つのユニットとして構成され、該ユニットが前記移動体上に装備されている。この発明では、前記支承部、前記物体浮揚装置及び前記移動手段をユニットとして組み立てたものを移動体に組み付けるため、前記支承部、前記物体浮揚装置及び前記移動手段を一つずつ移動体上に組み付ける場合に比較して製造が簡単になる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記支承部は自由回転可能なローラであり、前記物体浮揚装置は少なくとも進行波を発生可能に構成され、進行波を発生する状態で前記移動手段としても機能する。この発明では、振動板から発生する進行波が板状部材を移動させる力になるため、移動手段の小型化が容易になる。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記支承部は駆動手段により駆動されることで前記板状部材を移動可能に構成され、前記駆動手段とともに前記移動手段を構成する。この発明では、支承部が駆動されている間板状部材を移動させることができ、進行波を用いて移動させる構成に比較して、板状部材を任意の位置に浮揚状態で保持するのが容易になる。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、板状部材の下端を移動可能に支承する支承部と、
前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置と、前記板状部材を移動させる移動手段とを備えた。
【００１２】
ここで、「立てた状態」とは、鉛直状態又は鉛直方向と為す角度が３０度以上の状態を意味する。この発明では、板状部材は下端が支承部に支承された状態で、振動板で発生した音波の放射圧により、振動板と非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持される。従って、ガラスパネル等の板状部材を立てた状態で保管できる。そして、板状部材の保管位置への出し入れは、板状部材が支承部に支承された状態で移動手段の作用により移動される。保管中は必ずしも振動板を振動させて板状部材を振動板と非接触状態に保持する必要はなく、板状部材が振動板と接触する状態で保管されてもよい。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記支承部は駆動手段により駆動されることで前記板状部材を移動可能に構成されている。この発明では、支承部が駆動されている間板状部材を移動させることができ、進行波を用いて移動させる構成に比較して、板状部材を任意の位置に浮揚状態で保持するのが容易になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明を液晶表示装置の基板ガラスの搬送に使用する板状部材搬送装置に具体化した第１の実施の形態を図１〜図５に従って説明する。図１は板状部材搬送装置の一部省略模式斜視図、図２（ａ）は板状部材搬送装置の模式側面図、図２（ａ）は（ａ）の部分拡大図、図３（ａ）は支承部と駆動手段の配置関係を示す模式正面図、図３（ｂ）は励振手段の模式図、図４は板状部材搬送装置を振動板と平行な斜め上方から見た模式図である。
【００１５】
図１及び図２に示すように、板状部材搬送装置１０は、台車１１上に、板状部材１２の下端を移動可能に支承する支承部１３と、支承部１３に支承された板状部材１２に振動板１４の音波の放射圧を付与して、板状部材１２を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置１５とが装備されている。移動体としての台車１１は、複数個（この実施の形態では４個）の車輪１１ａを備えている。一部の車輪１１ａは図示しないモータにより駆動されるようになっている。
【００１６】
台車１１上には板状部材１２の搬送方向に沿って延びるように支持壁１６が固定され、支持壁１６には所定間隔をおいて互いに平行に、複数本の回転軸１７がその先端側（図２における左端側）に向かって上昇傾斜する状態に軸受（図示せず）を介して回転自在に支持されている。回転軸１７の水平面に対する傾斜角度は、板状部材１２が鉛直面と成す角度とほぼ同じに形成され、例えば１０〜３０度である。
【００１７】
図４に示すように、各回転軸１７の先端には支承部１３としてのローラが一体回転可能に固定され、図２（ａ），（ｂ）に示すように、支持壁１６に対して支承部１３と反対側にはプーリ１８（図２（ｂ），図３（ａ）に図示）が一体回転可能に固定されている。複数の回転軸１７のうち、支持壁１６の中間部に配設された１本の回転軸１７はモータ１９の出力軸１９ａに連結されている。なお、モータ１９は台車１１に支持ブロック２０を介して取り付けられている。各回転軸１７は、各プーリ１８間に巻き掛けられたベルト２１を介してモータ１９により一定方向（図３（ａ）の時計回り方向）に回転される。回転軸１７、プーリ１８、モータ１９及びベルト２１により、支承部１３を駆動する駆動手段２２が構成されている。また、支承部１３及び駆動手段２２により板状部材１２を移動させる移動手段が構成されている。
【００１８】
支承部１３としてのローラは外周面に無端状の溝１３ａが形成され、板状部材１２は下端が溝１３ａに係合した状態で支承部１３に支承されるようになっている。
【００１９】
物体浮揚装置１５を構成する振動子２３は、振動板１４が前記支承部１３に支承された板状部材１２に対してその上部側において音波の放射圧を付与可能な位置に配設されている。振動子２３は、台車１１上に固定されたフレーム２４に対して所定の高さ位置において取り付けられている。フレーム２４は正面から見た形状が門型に構成され、振動子２３はフレーム２４の一対の柱部分に取り付けられている。
【００２０】
振動子２３には所謂ランジュバン形振動子が使用され、図３（ｂ）に示すように、一対のリング状のピエゾ素子２５ａ，２５ｂを備えている。両ピエゾ素子２５ａ，２５ｂ間にリング状の電極板２６が配置され、ピエゾ素子２５ａ，２５ｂの電極板２６と当接する側と反対側の面に当接する金属ブロック２７ａ，２７ｂを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより振動子２３が構成されている。ボルトは金属ブロック２７ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック２７ｂ側から螺合されている。両金属ブロック２７ａ，２７ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。金属ブロック２７ａにはフランジ２８が形成され、金属ブロック２７ａはフレーム２４に形成された孔（図示せず）に嵌合された状態で図示しないボルトによりフランジ２８においてフレーム２４に固定されている。振動子２３は発振器２９に接続されている。電極板２６は配線３０ａを介して発振器２９と接続され、発振器２９の接地端子が配線３０ｂを介して金属ブロック２７ｂに接続されている。
【００２１】
振動板１４は両端部が、ホーン３１の先端に図示しないねじにより固定されている。ホーン３１は偏平なほぼ直方体状に形成され、振動板１４の長手方向端部近傍において長手方向と直交する状態で取付けられている。ホーン３１は振動板１４の幅と同じ幅に形成され、振動板１４が締結される面の反対側の面において振動子２３に固定されている。ホーン３１の先端面は振動子２３の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン３１及び振動子２３は、その中心軸が振動板１４と垂直方向に延びる状態で配置されている。ホーン３１、振動子２３及び発振器２９により振動板１４を励振させる励振手段が構成されている。
【００２２】
次に前記のように構成された板状部材搬送装置１０の作用を説明する。
この板状部材搬送装置１０は、例えば、図５に示すように、平行に配置された複数（３台のみ図示）の縦型コンベヤ３２と、１台の縦型コンベヤ３２とを備えた搬送システムにおける分岐部に配置されて使用される。縦型コンベヤ３２は板状部材１２を立てた状態（斜状）で搬送する装置であり、板状部材搬送装置１０の台車１１の代わりにベースプレート上に、支承部１３、物体浮揚装置１５及び駆動手段２２が装備された構成となっている。そして、各縦型コンベヤ３２の搬送距離が長い場合は、複数の物体浮揚装置１５が直列に配置されている。縦型コンベヤ３２は板状部材１２の搬送方向が図５における左右方向となるように構成されている。板状部材搬送装置１０は台車１１の移動方向が縦型コンベヤ３２による板状部材１２の搬送方向と直交する方向となるように配置される。即ち、図５に矢印で示す方向に移動可能となる。
【００２３】
そして、搬送中に板状部材１２に塵埃等が付着するのを防止するため、台車１１の移動範囲及び各縦型コンベヤ３２の上方には、図示しないが、ＨＥＰＡフィルタを備えたファンユニットが配設されている。ファンユニットからはＨＥＰＡフィルタで濾過された清澄なエアが板状部材搬送装置１０及び各縦型コンベヤ３２の上方から下方に向かって送風されるようになっている。
【００２４】
振動子２３が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振され、ホーン３１が縦振動してホーン３１を介して振動板１４が励振されて撓み振動を行う。両振動子２３は振動板１４に定在波が発生するように励振される。板状部材１２は振動板１４側へ向かって傾く状態で、下端が支承部１３に支承されるため、振動板１４から音波が発せられない状態では板状部材１２の上部寄りにおいて振動板１４と接触する状態となる。しかし、振動子２３の振動に伴って振動板１４から放射される音波の放射圧により、板状部材１２は振動板１４の表面から浮揚する。浮揚距離は例えば数１０〜数１００μｍである。また、板状部材１２の下端部は支承部１３の溝１３ａに接触した状態で支承される。即ち、板状部材１２は支承部１３が駆動されない状態では、支承部１３に支承された下端を除いて非接触状態で物体浮揚装置１５により傾斜した状態で保持される。
【００２５】
そして、モータ１９が駆動されてベルト２１等を介して各支承部１３が所定方向に回転駆動されると、板状部材１２は立てた状態で、かつ非接触状態で図１の右方向へ搬送される。
【００２６】
例えば、符号Ａで示す縦型コンベヤ３２で搬送されて来た板状部材１２を符号Ｂで示す縦型コンベヤ３２へ搬送する場合は、図５に示すように、台車１１は符号Ａで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置に停止し、その状態で縦型コンベヤ３２から板状部材１２を受け取る。板状部材１２が完全に台車１１上の振動板１４と対向する位置まで移動した時点でモータ１９の駆動が停止され、その状態から台車１１はＢで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置まで移動する。そして、Ｂで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置において、再びモータ１９が駆動され、板状部材１２がＢで示す縦型コンベヤ３２上へと搬送される。
【００２７】
以下、台車１１は再び符号Ａで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置に停止し、該縦型コンベヤ３２から板状部材１２を受け取り、受け取った板状部材１２を受け渡すべき縦型コンベヤ３２と対応する位置まで移動し、当該縦型コンベヤ３２に板状部材１２を搬送する作業を繰り返す。
【００２８】
板状部材１２は薄いガラス板で撓み易いが、立てた状態で搬送されるため、水平状態で搬送する場合に比較して撓み量が少なくなり、安定して搬送される。支承部１３と接触する下端部は、常に支承部１３に当接した状態となるため、汚れや擦り傷が付く可能性があるが、ガラス板の端部は最終的には製品とならない不用部となるので支障はない。
【００２９】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）　板状部材搬送装置１０は板状部材１２の下端を移動可能に支承する支承部１３と、板状部材１２に振動板１４の音波の放射圧を付与して板状部材１２を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置１５と、板状部材１２を移動させる移動手段とが台車１１上に装備されている。従って、圧縮流体（圧縮空気）を噴射する構成の従来装置に比較して、少ないエネルギー消費で板状部材１２を、その下端部のみが支承部１３に接触する状態で搬送することができる。また、セラミック製の多孔質体から圧縮空気を板状部材に噴射する従来装置と異なり、塵埃を板状部材１２に吹き付ける虞がない。また、支承部１３、物体浮揚装置１５及び移動手段が台車１１と共に移動可能なため、台車１１を移動させることで所望の位置への板状部材１２の高速搬送が可能になる。
【００３０】
（２）　板状部材１２が傾いた状態で搬送されるため、板状部材１２を水平状態で搬送する非接触式搬送装置に比較して、台車１１の占める面積、ひいては板状部材搬送装置１０の設置に必要な面積を狭くできる。
【００３１】
（３）　支承部１３が外周面に溝１３ａを有するローラで構成されているため、一個のローラが板状部材１２の下方への移動と、厚さ方向への移動とを規制する作用をなす。従って、少ない数のローラで板状部材１２を所望の傾斜状態でガイド可能に支承することができる。
【００３２】
（４）　全ての支承部１３がモータ１９により駆動されるベルト２１を介して積極駆動されるため、簡単な構成で板状部材１２に推力を確実に加えることができ、板状部材１２は小さな推力で円滑に移動できる。
【００３３】
（５）　支承部１３を駆動させる駆動手段２２が板状部材１２の下方に配置されているため、プーリ１８及びベルト２１等から発塵しても、ファンユニットからの送風により塵埃が板状部材１２に悪影響を及ぼさない。
【００３４】
（６）　支承部１３は駆動手段２２により駆動されることで板状部材１２を移動可能に構成され、駆動手段２２とともに板状部材１２を移動させる移動手段を構成する。従って、支承部１３が駆動されている間、板状部材１２を移動させることができ、進行波を用いて移動させる構成に比較して、板状部材１２を任意の位置に浮揚状態で保持するのが容易になる。
【００３５】
（７）　複数の縦型コンベヤ３２が互いに平行に配置されて構成された搬送ラインの分岐部に、前記構成の板状部材搬送装置１０を配置することにより、台車１１が縦型コンベヤ３２による板状部材１２の搬送方向と直交する方向に移動することで、コンパクトな分岐部の構成が可能となる。
【００３６】
（第２の実施の形態）
次に板状部材保管装置に具体化した第２の実施の形態を図６に従って説明する。図６は板状部材保管装置の一部と、板状部材保管装置と他の工程との間で板状部材１２を搬送する板状部材搬送装置とを示す模式斜視図である。支承部及び物体浮揚装置等は前記実施の形態と同様な構成であり、同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００３７】
板状部材１２（ガラス基板）を立てた状態で１枚ずつ搬入、搬出可能に保管する板状部材保管装置３３は、ベースプレート３４上に支承部１３と、物体浮揚装置１５と、板状部材１２を移動させる移動手段とが装備されている。前記支承部１３、物体浮揚装置１５及び移動手段は複数組が所定間隔で平行に配設されている。移動手段も前記実施の形態と同様に支承部１３及び駆動手段により構成され、駆動手段は回転軸１７、プーリ１８、モータ１９及びベルト２１（いずれも図示せず）により構成されている。前記実施の形態ではモータ１９は一定方向に回転される構成であったが、この実施の形態ではモータ１９は正逆回転駆動可能に構成されている点が異なる。
【００３８】
板状部材保管装置３３の一側方には支持壁１６の延びる方向と直交する方向に移動可能に板状部材搬送装置３５が設けられている。板状部材搬送装置３５は、一対のレール３６に沿って移動可能に設けられた移動体３７上に、支承部１３と、物体浮揚装置１５と、板状部材１２を移動させる移動手段とが装備されている。
【００３９】
移動体３７はレール３６上を転動する車輪を備え、リニア誘導モータの一次側可動子が移動体３７上に装備され、二次側固定子が走行路面に配置された構成のリニア誘導モータ（図示せず）の作用によってレール３６に沿って移動可能に構成されている。
【００４０】
この実施の形態では板状部材保管装置３３に保管された板状部材１２を板状部材保管装置３３から搬出する際は、搬出すべき板状部材１２が保持されている物体浮揚装置１５と対応する位置に移動体３７が停止する。その状態で駆動手段が駆動されて各支承部１３が図６の時計回り方向に回転されて、板状部材１２が移動体３７の支承部１３上へ搬出される。そして、移動体３７により所望の位置まで搬送される。
【００４１】
一方、板状部材１２を板状部材保管装置３３へ搬入する際は、移動体３７が板状部材１２を搬入すべき箇所と対応する位置で停止する。その状態で駆動手段が駆動されて各支承部１３が図６の反時計回り方向に回転されて、板状部材１２が移動体３７の支承部１３上から板状部材保管装置３３の支承部１３上へ搬入される。
【００４２】
保管中は必ずしも振動板１４を振動させて板状部材１２を振動板１４と非接触状態に保持する必要はなく、板状部材１２が振動板１４と接触する状態で保管されてもよい。板状部材１２が振動板１４と接触する状態で保管された場合、仮に板状部材１２が振動板１４と接触していた部分に塵埃が付着しても、搬出時に超音波の作用により塵埃が除去されるため支障がない。
【００４３】
この実施の形態は前記実施の形態の（１）〜（６）と同様な効果を有する。但し、台車１１を移動体３７に置き換える。また、次の効果を有する。
（８）　ガラスパネル等の板状部材１２を立てた状態で保管できる。そして、板状部材１２の保管位置への出し入れは、板状部材１２が支承部１３に支承された状態で移動手段の作用により移動される。従って、板状部材保管装置３３の占める面積を小さくでき、効率よく板状部材１２を保管できる。また、保管位置への出し入れが容易になる。
【００４４】
（９）　移動体３７がリニアモータにより移動されるため、車輪を積極駆動させて移動体３７を移動させる構成に比較して塵埃の発生が少なくなる。
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
【００４５】
○　物体浮揚装置１５は、振動板１４が定在波を発生するように振動される構成に代えて、振動板１４が板状部材１２をその移動方向へ付勢する進行波を発生するように構成してもよい。例えば、振動板１４の一端側に締結されたホーン３１を励振させる振動子２３は前記実施の形態と同様に発振器２９に接続する。一方、振動板１４の他端側に締結されたホーン３１を振動させる振動子２３は、抵抗Ｒ及びコイルＬが並列接続されたエネルギー変換手段としての負荷回路に接続する。負荷回路は一方の端子を電極板２６に、他方の端子を金属ブロック２７ｂにそれぞれ接続する。この構成では、振動板１４の振動は負荷回路に接続された振動子２３に伝達され、振動子２３を構成するピエゾ素子２５ａ，２５ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。この電気エネルギーが負荷回路の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、振動板１４に生じる振動の波が一方向へ進む進行波となり、板状部材１２に対して、振動板１４の一端側から他端側へ向かう推力が付与される。この場合、振動板１４から発生する進行波が板状部材１２を移動させる推力の一部を負担するため、支承部１３の駆動力が小さくてすみ、駆動手段の小型化が容易となる。
【００４６】
○　振動板１４の両端に設けられた振動子２３をそれぞれ発振器２９と負荷回路とに選択的に切り換え接続可能に構成する。この場合、発振器２９に接続された状態と、負荷回路に接続された状態との切換を行うことにより、板状部材１２の搬送方向を選択することができる。
【００４７】
〇　台車１１に物体浮揚装置１５等を装備した構成の板状部材搬送装置１０を第１の実施の形態のように、複数の縦型コンベヤ３２を備えた搬送システムの分岐部に使用する場合、板状部材搬送装置１０を複数台設けてもよい。この場合、待ち時間が少なくなり、搬送効率が向上する。
【００４８】
○　第１の実施の形態において、複数の縦型コンベヤ３２を備えた搬送ラインにおいて、各縦型コンベヤ３２による板状部材１２の搬送方向が一定ではなく、図５における矢印方向及び反矢印方向の両方向に搬送可能とし、板状部材搬送装置１０も板状部材１２の搬送方向を変更可能に構成してもよい。この場合、分岐部に板状部材搬送装置１０を複数配置することにより、搬送効率が向上する。例えば、図５にＡで示す縦型コンベヤ３２からＢで示す縦型コンベヤ３２に板状部材１２を搬送させる作業と、Ｂで示す縦型コンベヤ３２から搬送された板状部材１２をＣで示す縦型コンベヤ３２で搬送する作業とが競合する状態を考える。板状部材搬送装置１０（即ち、台車１１）が１台であれば、作業はいずれか一方の作業が先に行われ、次に他方の作業が行われる。しかし、台車１１が複数あれば、先ず１台の台車１１が先にＡで示す縦型コンベヤ３２から板状部材１２を受け取り、Ｂで示す縦型コンベヤ３２の付近で待避する。そして、他の台車１１がＢで示す縦型コンベヤ３２で搬送された板状部材１２を受け取り、Ｃで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置へ移動した後、待避していた台車１１が、Ｂで示す縦型コンベヤ３２と対応する位置へ移動して当該縦型コンベヤ３２上へ板状部材１２を搬送（移載）することができる。従って、全体としての作業時間を短縮できる。
【００４９】
〇　縦型コンベヤ３２を複数直列に接続して搬送ラインを構成する際、途中に台車１１を配置することにより、不具合の発生した板状部材１２が台車１１と対応する位置まで搬送された時点で、台車１１を板状部材１２と共に搬送ラインから退避させる。そして、他の台車１１を配置することで不具合の板状部材１２を搬送ラインから退避させることができる。
【００５０】
〇　台車１１を分岐部や搬送ラインの接続部として使用する代わりに、板状部材１２を非接触状態に保持して台車１１を目的位置まで移動させ、目的位置で駆動手段２２を駆動して板状部材１２を受け渡すようにしてもよい。この場合、板状部材１２の高速搬送が可能になる。
【００５１】
〇　第２の実施の形態において、リニアモータにより移動可能な移動体３７に代えて、台車１１を設けてもよい。
〇　支承部１３、物体浮揚装置１５及び前記移動手段を台車１１又は移動体３７上に直接装備する代わりに、支承部１３、物体浮揚装置１５及び前記移動手段を一つのユニットとしてベースプレート上に構成し、該ユニットを台車１１又は移動体３７上に装備してもよい。この場合は、支承部１３、物体浮揚装置１５及び前記移動手段を一つずつ台車１１又は移動体３７上に組み付ける場合に比較して製造が簡単になる。
【００５２】
○　支承部１３をローラで構成する場合、全ての支承部１３が積極駆動される構成に限らず、一部の支承部１３は積極駆動されず被動回転される構成としてもよい。例えば、一部の回転軸１７に代えて支軸を支持壁１６に固定し、その支軸に回転可能に支承部１３としてのローラを設ける。
【００５３】
○　板状部材保管装置３３の場合、支承部１３を複数のローラで構成する場合、板状部材１２の搬入、搬出側の端部に位置する支承部１３を、正逆回転駆動可能なモータで直接駆動可能とする。この場合、１個の支承部１３を駆動するだけで、搬入方向、搬出方向のいずれの方向へも確実に板状部材１２を移動させることができる。
【００５４】
○　支承部１３として板状部材１２の搬送方向に沿って配置されたベルトを設けてもよい。ベルトは駆動プーリと被動プーリとの間に巻き掛けられ、モータにより駆動される。この場合多数のローラを設ける構成に比較して構造が簡単になる。
【００５５】
○　板状部材１２を鉛直面に対して傾斜した状態で搬送する構成に限らず、板状部材１２を鉛直状態に保持して搬送する構成としてもよい。例えば、板状部材１２を挟むように振動板１４を鉛直状態に配置する。しかし、板状部材１２を傾斜した状態で搬送する方が、振動板１４の数が少なくてよい。
【００５６】
○　板状部材搬送装置１０の搬送距離は板状部材１２の長さ又は幅とほぼ同じに限らず、板状部材１２の長さ又は幅より長い（例えば２倍以上）長さの振動板１４を備えてもよい。
【００５７】
○　板状部材搬送装置１０は、板状部材１２を立てた状態で、かつ接触状態で搬送する搬送装置から受け渡される板状部材１２を搬送するシステムに使用してもよい。板状部材１２を立てた状態で、かつ接触状態で搬送する搬送装置は、例えば、板状部材搬送装置１０と同じ構成の支承部１３を備えるとともに、物体浮揚装置１５の代わりに、板状部材１２の上部に当接して板状部材１２を斜め状態で支承するガイド部（例えばガイドローラ）を備えた構成とする。ガイド部は支承部１３と共同して、板状部材１２を板状部材搬送装置１０での搬送時における傾斜角度とほぼ同じ角度となるように支承する。このように、接触状態で搬送する搬送装置から受け渡される板状部材１２を搬送する板状部材搬送装置１０において、振動板１４をガイド部と同じ高さに配置すれば、ガイド部と当接することにより板状部材１２に付着した塵埃等を振動板１４からの超音波による洗浄機能で自動的に除去できる。
【００５８】
○　板状部材１２の高さが高く、斜めの状態においても撓みが大きな場合、撓みを抑制するため、振動板１４を複数平行に配設してもよい。この場合、面積の大きな板状部材１２をより安定した状態で搬送、あるいは保管することができる。
【００５９】
○　支承部１３をローラで構成する際、支承部１３に溝１３ａを形成せず、板状部材１２の下端を支承するローラと、板状部材１２の下部の表面又は裏面に当接して板状部材１２の厚さ方向への移動を規制する作用をなすローラとを別々に設けてもよい。
【００６０】
○　複数の板状部材搬送装置１０を直列に配設して搬送ラインを構成してもよい。
○　ホーン３１の幅は振動板１４の幅と同じでなくてもよく、振動板１４の幅より広くても、狭くてもよいが、振動板１４の幅以上が好ましい。
【００６１】
○　振動板１４のホーン３１への固定はねじによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
○　振動子２３はランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
【００６２】
前記実施の形態から把握される発明（技術的思想）について以下に記載する。（１）　請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記支承部は前記板状部材を傾いた状態でガイド可能に配設されている。
【００６３】
（２）　請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記移動体はリニアモータで移動可能に構成されている。
（３）　請求項５又は請求項６に記載の発明において、前記支承部は複数のローラで構成され、前記駆動手段は前記板状部材の搬入、搬出側端部に配置された支承部を駆動するモータである。
【００６４】
（４）　請求項１〜請求項６及び前記技術的思想（１）〜（３）のいずれかに記載の発明において、前記板状部材は表示装置用のガラス基板である。
【００６５】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない。請求項５及び請求項６に記載の発明によれば、ガラスパネル等の板状部材を立てた状態で保管でき、保管位置への出し入れが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態の板状部材搬送装置の一部省略模式斜視図。
【図２】（ａ）は同じく一部省略模式側面図、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図。
【図３】（ａ）は支承部とプーリ等との配置関係を示す一部省略模式正面図、（ｂ）は励振手段を示す模式図。
【図４】板状部材搬送装置を斜め上方から見た一部省略模式図。
【図５】作用を説明する搬送システムの模式平面図。
【図６】第２の実施の形態の板状部材搬送装置の一部省略模式斜視図。
【図７】従来技術の搬送装置を示す断面図。
【符号の説明】
１１…移動体としての台車、１２…板状部材、１３…支承部、１４…振動板、１５…物体浮揚装置、２２…駆動手段、３３…板状部材保管装置、３７…移動体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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