(57)【要約】【課題】グリーシート成形用として、特にセラミック積層コンデンサー製造時に使用する、厚みが３μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用として、フィルム厚みむらが極力小さく、離型面が平坦な離型フィルムを提供する。【解決手段】同時二軸延伸されたポリエステルフィルムの片面に離型層を有する離型フィルムであり、フィルム厚みむらが長手方向および幅方向ともに５％以下であり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とするグリーンシート成形用離型フィルム。Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）≦７００  …（１）Ｐ−Ｖ≧４００  …（２）（上記式中、Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）は離型フィルムの離型面の最大粗さ（ｎｍ）、Ｐ−Ｖは離型フィルムの離型層が設けられていない面の最大粗さ（ｎｍ）を示す）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
同時二軸延伸されたポリエステルフィルムの片面に離型層を有する離型フィルムであり、フィルム厚みむらが長手方向および幅方向ともに５％以下であり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とするグリーンシート成形用離型フィルム。
Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）≦７００  …（１）
Ｐ−Ｖ≧４００  …（２）
（上記式中、Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）は離型フィルムの離型面の最大粗さ（ｎｍ）、Ｐ−Ｖは離型フィルムの離型層が設けられていない面の最大粗さ（ｎｍ）を示す）
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は離型フィルムに関するものであり、詳しくはセラミック積層コンデンサー製造時に使用する、特に厚みが３μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用に好適な離型フィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムがセラミック積層コンデンサー、セラミック基板等のセラミック離型用に使用されている。近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容量化が進むに伴い、グリーンシートの厚みも益々薄膜化する傾向にある。グリーンシートの更なる薄膜化に伴い、特に厚みが３μｍ以下の薄膜グリーンシートを成形しようとした場合、離型フィルムの離型層表面の表面粗度が高い場合には、セラミックスラリー塗工時にスラリーのはじきあるいはピンホールの発生、グリーンシート剥離時にはグリーンシートの破断等の不具合を生じる場合がある。
【０００３】
上記不具合を解決するために表面粗度の低いポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムを使用すると、離型フィルムをロール状に巻取った際にブロッキングあるいはシワ等が発生する等の不具合を生じる場合がある。一方、離型フィルムの厚みむらが大きい場合、グリーンシートの薄膜化が進行するに伴い、例えば、グリーンシートの積層数の増加に伴い、グリーンシート１枚自体のシート厚みむらが多層積層化に伴い、より強調され、多層積層後のグリーンシート積層体の厚みむらがさらに大きくなる傾向にあり、静電容量のバラツキが大きくなる等により、高容量のセラミック積層コンデンサーを製造するのが困難な状況にある。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１０５１３１
【特許文献２】特開平１１−１９８２２８
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、グリーシート成形用として、特にセラミック積層コンデンサー製造時に使用する、厚みが３μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用として、フィルム厚みむらが極力小さく、離型面が平坦な離型フィルムを提供することにある。
【０００６】
【発明を解決するための手段】
本発明者らは、上記実状に鑑み鋭意検討した結果、特定の構成からなる離型フィルムによれば、上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。
【０００７】
すなわち、本発明の要旨は、同時二軸延伸されたポリエステルフィルムの片面に離型層を有する離型フィルムであり、フィルム厚みむらが長手方向および幅方向ともに５％以下であり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とするグリーンシート成形用離型フィルムに存する。
Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）≦７００  …（１）
Ｐ−Ｖ≧４００  …（２）
（上記式中、Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）は離型フィルムの離型面の最大粗さ（ｎｍ）、Ｐ−Ｖは離型フィルムの離型層が設けられていない面の最大粗さ（ｎｍ）を示す）
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明において、ポリエステルフィルムに使用するポリエステルはホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。
【０００９】
ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。
【００１０】
一方、共重合ポリエステルの場合は、３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸セバシン酸、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【００１１】
何れにしても本発明でいうポリエステルとは、通常８０モル％以上、好ましくは９０モル％以上がエチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート、エチレン−２，６−ナフタレート単位であるポリエチレン−２，６−ナフタレート等であるポリエステルを指す。
【００１２】
本発明におけるポリエステル層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭５９−５２１６号公報、特開昭５９−２１７７５５号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらにポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。
【００１３】
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等の何れを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。
【００１４】
使用する粒子の平均粒径は０．１〜５μｍを満足するのが好ましく、さらに好ましくは０．５〜３μｍの範囲である。平均粒径が０．１μｍ未満の場合には、粒子が凝集しやすく、分散性が不十分となり、一方、５μｍを超える場合には、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎて、後工程において離型層を設ける場合等に不具合を生じるようになる。
【００１５】
さらにポリエステル中の粒子含有量は、０．０１〜５重量％を満足するのが好ましく、さらに好ましくは０．０１〜３重量％の範囲である。粒子含有量が０．０１重量％未満の場合には、フィルムの易滑性が不十分になる場合があり、一方、５重量％を超えて添加する場合にはフィルム表面の平滑性が不十分になる場合がある。
【００１６】
ポリエステル中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。
【００１７】
本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは特にグリーンシートに対する離型性を軽剥離化する点より、フィルムの腰による影響を低減させるためにより薄膜であるのが好ましい。しかしながら、一方においては後述する離型層積層時のフィルム平面性確保の必要があり、離型フィルムを構成するポリエステルフィルム厚みが薄膜化しすぎる場合には往々にして熱しわ等により、フィルム平面性が損なわれる場合が多い。かかる観点より、本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは９〜３８μｍ、さらには９〜３０μｍの範囲が好ましい。
【００１８】
本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの延伸配向方法については、長手方向および幅方向ともにフィルム厚みむらを５％以下に抑える必要があるため、同時二軸延伸法を採用する必要がある。フィルム厚みむらに関しては、フィルム長手方向および幅方向ともに３％以下であることがさらに好ましい。フィルム厚みむらが長手方向または幅方向の何れか一方が５％を超える場合、当該ポリエステルフィルムから構成される離型フィルムを用いてグリーンシートを成形した場合、得られるグリーンシートは厚みむらが大きく、例えば、グリーンシートの積層数が４００層以上の高容量のセラミック積層コンデンサー製造用には不適当となる。
【００１９】
次に本発明におけるポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明するが、以下の製造例に何ら限定されるものではない。
【００２０】
すなわち、先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用される。
【００２１】
次に得られた未延伸シートは機械方向および幅方向に同時に二軸方向に延伸される。同時二軸延伸法としては、前記の未延伸シートを通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１０℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で４〜５０倍、好ましくは７〜３５倍、さらに好ましくは１０〜２５倍である。そして、引き続き、１７０〜２５０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。
【００２２】
上述の延伸方式を使用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動式等、従来公知の延伸方式を採用することができる（例えば、特許文献１および特許文献２に記載例がある）。「スクリュー方式」とは、スクリューの溝にクリップを乗せてクリップ間隔を広げていく方式である。「パンタグラフ方式」とは、パンタグラフを用いてクリップ間隔を広げていく方式である。「リニアモーター方式」とは、リニアモーター原理を応用し、クリップを個々に制御可能な方式でクリップ間隔を任意に調整することができる利点を有する。
【００２３】
さらに同時二軸延伸に関しては二段階以上に分割して行ってもよく、その場合、延伸場所は一つのテンター内で行ってもよいし、複数のテンターを併用してもよい。
【００２４】
本発明において、同時二軸延伸により離型フィルムを構成するポリエステルフィルムを延伸することによれば、従来、逐次延伸では面積倍率が大きくなる場合において、延伸時に破断する等の不具合を生じる場合があったが、同時二軸延伸においては延伸追従性が良好であるため、フィルム長手方向および幅方向において、逐次二軸延伸よりもさらに面積倍率を大きくすることが可能なため、さらにフィルム厚みむらの小さいポリエステルフィルムを製造することが可能となる。
【００２５】
また、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法（インラインコーティング）を施すことができる。塗布延伸法にてポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。
【００２６】
本発明の離型フィルムを構成する離型層は離型性を有する材料を含有していれば、特に限定されるものではない。特に硬化型シリコーン樹脂を含有することによれば、離型性が良好となるので好ましい。硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型・縮合型・紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。これらの中でも硬化反応が早い点で付加型が好ましく、さらに付加型の中でも、紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型からなるタイプが、より低温で硬化可能であるために好ましい。また、離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。本発明の離型フィルムを構成する離型層は上述の塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に設けられてもよい。
【００２７】
離型層の塗工量（乾燥後）は０．００５〜２ｇ／ｍ２、さらには０．００５〜１ｇ／ｍ２、特に０．００５〜０．５（ｇ／ｍ２）の範囲が好ましい。離型層の塗工量（乾燥後）が０．００５ｇ／ｍ２未満の場合、塗工性の面で安定性に欠け、均一な塗膜を得るのが困難な場合がある。一方、塗工量が２ｇ／ｍ２を超える場合、離型層自体の塗膜密着性、硬化性等が低下する場合がある。
【００２８】
本発明において、ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、バーコート、ダイコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。
【００２９】
また、本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予めコロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。さらに本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予め接着層、帯電防止層等の塗布層が設けられていてもよい。
【００３０】
本発明の離型フィルムの離型面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ（Ｓｉ））は７００ｎｍ以下であり、好ましくは５００ｎｍ以下、さらに好ましくは４００ｎｍ以下である。Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）が７００ｎｍを超える場合には、離型面の平坦性が不十分となり、例えば、平坦な表面を有するグリーンシートを得るのが困難になる。Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）の下限に関しては、離型フィルムの巻取り性あるいは搬送性等を考慮し、通常１００ｎｍとされる。
【００３１】
さらに本発明の離型フィルムの離型層が設けられていない面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ）は４００ｎｍ以上である。Ｐ−Ｖが４００ｎｍ未満の場合、離型層が設けられていない面が平坦になりすぎて、滑り性が低下する等の不具合を生じるようになる。一方、Ｐ−Ｖの上限に関しては、グリーンシート表面への粗度転写等を考慮し、７００（ｎｍ）を上限とするのが好ましい。
【００３２】
さらに本発明における離型フィルムに関して、離型面とアクリル系粘着テープとの剥離力（Ｆ）は３００ｍＮ／ｃｍ以下が好ましく、２００ｍＮ／ｃｍ以下がさらに好ましい。Ｆが３００ｍＮ／ｃｍを超える場合には、グリーンシート剥離時に剥離困難になる場合がある。
【００３３】
本発明における離型フィルムについて、離型層の残留接着率は成形するグリーンシート表面への離型成分の移行あるいは転着を抑制するため、８０％以上が好ましく、さらに好ましくは９０％以上である。残留接着率が８０％未満の場合、離型フィルムの離型面と接する相手方グリーンシート表面への離型成分の移行が多くなり、例えば、グリーンシート積層時にシート間接着力が低下する等の不具合を生じる場合がある。
【００３４】
【実施例】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、本発明で用いた測定法は次のとおりである。
【００３５】
（１）ポリエステルの固有粘度の測定
ポリエステルに非相溶な他のポリマー成分および顔料を除去したポリエステル１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（重量比）の混合溶媒１００ｍｌを加えて溶解させ、３０℃で測定した。
【００３６】
（２）平均粒径（ｄ５０：μｍ）の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置（（株）島津製作所（製）ＳＡ−ＣＰ３型）を使用して測定した等価球形分布における積算（重量基準）５０％の値を平均粒径とした。
【００３７】
（３）離型フィルムの剥離力（Ｆ）の評価
試料フィルムの離型層に両面粘着テープ（日東電工製「Ｎｏ．５０２」）の片面を貼り付けた後、５０ｍｍ×３００ｍｍのサイズにカットし、室温にて１時間放置後の剥離力を測定する。剥離力は引張試験機（（株）インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離を行った。
【００３８】
（４）離型フィルムの離型面および離型層が設けられていない面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）、Ｐ−Ｖ）評価
直接位相検出干渉法、いわゆるマイケルソンの干渉を利用した２光束干渉法を用いた、非接触表面計測システム「マイクロマップ社製Ｍｉｃｒｏｍａｐ５１２）」により、試料フィルムの離型面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ（Ｓｉ））および離型層が設けられていない面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ）を計測した。なお、測定波長は５５４ｎｍとし、対物レンズは２０倍を用いて、２０視野計測し、その平均値を採用した。
【００３９】
（５）離型層の塗布量測定
蛍光Ｘ線測定装置（（株）島津製作所（製）型式「ＸＲＦ−１５００」）を用いてＦＰ（Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌ  Ｐａｒａｍｅｔｅｒ  Ｍｅｔｈｏｄ）法により、下記測定条件下、離型フィルムの離型層が設けられた面および離型層がない面の珪素元素量を測定し、その差をもって、離型層中の珪素元素量とした。次に得られた珪素元素量を用いて、−ＳｉＯ（ＣＨ３）２のユニットとしての  塗布量（Ｓｉ）（ｇ／ｍ２）を算出した。
《測定条件》
分光結晶：ＰＥＴ（ペンタエリスリトール）
２θ：１０８．８８°
管電流：９５ｍＡ
管電圧：４０ｋｖ
【００４０】
（６）離型フィルムの残留接着率評価
▲１▼残留接着力
試料フィルムの離型面に日東電工（製）Ｎｏ．３１Ｂ粘着テープを２ｋｇゴムローラーにて１往復圧着し、１００℃で１時間加熱処理する。次いで、圧着したサンプルからＮｏ．３１Ｂ粘着テープを剥がし、ＪＩＳ−  Ｃ−２１０７（ステンレス板に対する粘着力、１８０°引き剥がし法）の方法に準じて接着力を測定する。これを残留接着力とする。
【００４１】
▲２▼基礎接着力
残留接着力の場合と同じテープ（Ｎｏ．３１Ｂ）を用いてＪＩＳ−Ｃ−２１０７に準じてステンレス板に粘着テープを圧着して、同様の要領にて測定を行う。この時の値を基礎接着力とする。これらの測定値を用いて、下記式に基づいて残留接着率を求める。
残留接着率（％）＝（残留接着力／基礎接着力）×１００
なお、測定は２０±２℃、６５±５％ＲＨにて行う。
【００４２】
（７）離型フィルムの長手方向および幅方向のフィルム厚みむら測定
試料フィルムを３０ｍｍ幅×３ｍ長に切り出す。その後、安立電気社製連続  フィルム厚み測定器（電子マイクロメーター使用）により測定し、下記式によりフィルム厚みむらを算出した。
厚みむら（％）＝（最大厚み−最小厚み）／平均厚み×１００
例えば、試料サンプルがＡ４カット判サイズの場合には、３０ｍｍ幅に切り出したサンプル同士をつなぎ合わせて、測定長３ｍ分（つなぎ部は除く）を確保する要領にて測定を行うことができる。
【００４３】
（８）セラミックグリーンシートの厚みむら評価
下記組成よりなるセラミックスラリーを公知の手法により湿潤状態で１２μｍとなるようにスロットダイを用いて、試料フィルムの離型面にセラミック層を塗設しセラミックグリーンシートを作成し、セラミックグリーンシートの厚さを非接触式のβ線厚さ計にてフィルム上における縦方向、横方向のセラミック層の厚さを実測し、その結果を基に下記判定基準にて判定を行った。
【００４４】
＜セラミックスラリー組成＞
セラミック粉体（チタン酸バリウム）  １００部
結合剤（ポリビニルブチラール樹脂）  ５部
可塑剤（フタル酸ジオクチル）  １部
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（１：１の配合比率）  １０部
【００４５】
＜グリーンシート厚さムラ判定基準＞
○：厚みむらが３％未満
×：厚みむらが３％以上
○は実用上問題のないレベルである。
【００４６】
（９）グリーンシート表面の平坦性評価
（８）項で得られたグリーンシート表面（測定対象面積；１ｍ２）を走査型レーザー顕微鏡（レーザーテック社製）による表面観察を行い、下記判定基準により判定を行った。
《判定基準》
○…誘電体層表面に深さ１μｍ以上のクレーター（凹み）が１個／ｍ２以下。
×…誘電体層表面に深さ１μｍ以上のクレーター（凹み）が２個／ｍ２以上。
○は実用上問題のないレベルである。
【００４７】
〈ポリエステルの製造〉
製造例１（ポリエチレンテレフタレートＡ１）
テレフタル酸８６部、エチレングリコール７０部を反応器にとり、約２５０℃で４時間エステル交換反応を行った。三酸化アンチモンを０．０３部およびリン酸０．０１部、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子を０．１部加え、２５０℃から２８５℃まで徐々に昇温すると共に圧力を徐々に減じて０．５ｍｍＨｇとした。  ４時間後、重合反応を停止し、極限粘度０．６５のポリエチレンテレフタレートＡ１を得た。
【００４８】
製造例２（ポリエチレンテレフタレートＡ２）
製造例１において、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子０．１部を用いる  代わりに平均粒径０．１μｍの二酸化珪素粒子０．１部を用いる以外は製造例２と同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートＡ２を得た。
【００４９】
製造例３（ポリエチレンテレフタレートＡ３）
製造例１において、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子０．１部を用いる  代わりに平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子６部を用いる以外は製造例２と  同様にして製造し、ポリエチレンテレフタレートＡ３を得た。
【００５０】
〈ポリエステルフィルムの製造〉
製造例４（ＰＥＴフィルムＦ１）
製造例２で製造したポリエチレンテレフタレートＡ２を１８０℃で４時間不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により２９０℃で溶融し、口金から押出し静電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次いで、下記組成からなる塗布剤を塗布した後、フィルムをテンターに導き、９０℃で縦方向に４．５倍、横方向に４．８倍、同時二軸延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ１を得た。
【００５１】
《塗布剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００６）４５重量％
硬化剤含有硬化型シリコーン樹脂（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００５）４５重量％
添加剤（信越化学製：ＫＢＭ４０３）１０重量％
上記離型剤にて固型分濃度５重量％水溶液を作製した。
【００５２】
製造例５（ＰＥＴフィルムＦ２）
製造例４において、塗布剤組成を下記塗布剤組成に変更する以外は製造例４と同様に製造し、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ２を得た。
【００５３】
《塗布剤組成》
硬化型シリコーン樹脂
（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００６）５重量％
硬化剤含有硬化型シリコーン樹脂（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００５）５重量％
ワックス（東邦化学製：Ｅ６８Ａ）４０．５重量％
ワックス（東邦化学製：Ｐ５０６０）４０．５重量％
架橋剤（大日本インキ化学工業製：ベッカミンＭＡ−Ｓ）８重量％
添加剤（信越化学製：ＫＢＭ４０３）１重量％
上記離型剤にて固型分濃度５重量％水溶液を作製した。
【００５４】
製造例６（ＰＥＴフィルムＦ３）
製造例４において、塗布剤組成を下記塗布剤組成に変更する以外は製造例４と同様に製造し、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ３を得た。
【００５５】
《塗布剤組成》
ワックス（東邦化学製：ハイテックＰ５０６０）９０重量％
架橋剤（大日本インキ化学工業製：ベッカミンＭＡ−Ｓ）１０重量％
上記離型剤にて固型分濃度５重量％水溶液を作製した。
【００５６】
製造例７（ＰＥＴフィルムＦ４）
製造例４において塗布層を設けない以外は製造例４と同様にして製造し、ＰＥＴフィルムＦ４を得た。
【００５７】
製造例８（ＰＥＴフィルムＦ５）
製造例４において、ポリエチレンテレフタレートＡ２の代わりに製造例１で製造したポリエチレンテレフタレートＡ１を用いる以外は製造例４と同様にして、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ５を得た。
【００５８】
製造例９（ＰＥＴフィルムＦ６）
製造例４において、ポリエチレンテレフタレートＡ２の代わりに製造例３で製造したポリエチレンテレフタレートＡ３を用いる以外は製造例４と同様にして、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ６を得た。
【００５９】
製造例１０（ＰＥＴフィルムＦ７）
製造例２で製造したポリエチレンテレフタレートＡ２を１８０℃で４時間不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により２９０℃で溶融し、口金から押出し静電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。次いで、８５℃で縦方向に４．５倍延伸した。その後、下記組成からなる塗布剤を塗布した後、フィルムをテンターに導き、横方向に４．８倍延伸した後、２３０℃にて熱固定を行い、塗工量が０．０６ｇ／ｍ２（乾燥後）の塗布層が設けられた、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ７を得た。
【００６０】
《塗布剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００６）４５重量％
硬化剤含有硬化型シリコーン樹脂（旭化成ワッカー製：ＤＥＨＥＳＩＶＥ３９００５）４５重量％
添加剤（信越化学製：ＫＢＭ４０３）１０重量％
上記離型剤にて固型分濃度５重量％水溶液を作製した。
【００６１】
実施例１
製造例７で得たＰＥＴフィルムＦ４の片面に下記組成からなる離型剤を塗布量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ２になるように塗布し、１２０℃、３０秒間熱処理した後、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−５５０８）９５重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＬ−５０００）５重量％
上記をトルエン／ＭＥＫの混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％の塗布液を作製した。
【００６２】
実施例２
製造例４で得たＰＥＴフィルムＦ１を使用した。
実施例３
製造例５で得たＰＥＴフィルムＦ２を使用した。
実施例４
製造例８で得たＰＥＴフィルムＦ５を使用した。
実施例５
製造例６で得たＰＥＴフィルムＦ３を使用した。
【００６３】
比較例１
製造例９で得たＰＥＴフィルムＦ６を使用した。
得られた離型フィルムは表面粗度が大きく、薄膜のグリーンシート成形用には不適当であった。
【００６４】
比較例２
製造例１０で得たＰＥＴフィルムＦ７を使用した。得られた離型フィルムは製膜時の延伸追従性が悪く、破断が発生しやすい状況にあった。そのため、グリーンシート成形用には不適当であった。
以上、上記実施例および比較例で得られた各フィルムの特性を下記表１および２にまとめて示す。
【００６５】
【表１】
2004291240.tif 000002
【００６６】
【表２】
2004291240.tif 000003
【００６７】
【発明の効果】
本発明の離型フィルムはフィルム厚みむらが極力小さく、離型面が平坦であるために特にセラミック積層コンデンサー製造時に使用する、厚みが３μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用に好適な離型フィルムを提供するため、その工業的価値は極めて高い。