(57)【要約】【課題】  核融合炉のための高度に耐熱性の複合構造部材を製造するための従来のプロセスは複雑なため、製造コストが非常に高かった。さらに、プロセス技術上の制約から、製造できるのはフラットタイル構造だけに限られ、モノブロック形状を製造するのは不可能であった。【解決手段】  少なくとも、タングステンまたはタングステン合金からなるプラズマ対向領域２、平均結晶粒径が１００μｍを超える銅または銅合金からなる熱放散領域４、および、高融点金属と銅との複合金属からなる中間層３からなり、ここで、高融点金属と銅との複合金属が、巨視的に一様な銅と高融点金属の濃度分布を示し、その厚み全体において高融点金属成分が１０容積％より大かつ４０容積％より小である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
核融合炉のための高度に耐熱性の複合構造部材（１）であって、それが少なくとも、タングステンまたはタングステン含有量が９０重量％より高いタングステン合金からなるプラズマ対向領域（２）、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫより高くかつ平均結晶粒径が１００μｍより大きい銅または銅合金からなる熱放散領域（４）、およびその間に存在する高融点金属と銅との複合金属からなる領域（３）からなり、
前記高融点金属と銅との複合金属が、０．１ｍｍより大かつ４ｍｍより小の厚みｄ全体において、巨視的に一様な銅とタングステンの濃度分布を示し、高融点金属成分ｘが１０容積％より大かつ４０容積％より小であり、ここで前記高融点金属相が近似的に連続の骨格を形成していることを特徴とする、核融合炉のための高度に耐熱性の複合構造部材。
【請求項２】
室温における強度が３００ＭＰａより大である金属材料からからなる構造部材（５）が、銅または銅合金からからなる熱放散領域（４）に接合されていることを特徴とする請求項１記載の複合構造部材。
【請求項３】
前記構造部材（５）がＣｕ−Ｃｒ−Ｚｒ合金からなることを特徴とする請求項２記載の複合構造部材。
【請求項４】
前記構造部材（５）がオーステナイト鋼からなることを特徴とする請求項２記載の複合構造部材。
【請求項５】
前記中間領域（３）が粉末冶金プロセスを用いて製造された高融点金属と銅との複合金属からなることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の複合構造部材。
【請求項６】
前記高融点金属と銅との複合金属が、タングステンと１０〜４０容積％の銅とからなることを特徴とする請求項５記載の複合構造部材。
【請求項７】
前記高融点金属と銅との複合金属が、モリブデンと１０〜４０容積％の銅とからなることを特徴とする請求項５記載の複合構造部材。
【請求項８】
前記プラズマ対向領域（２）がタングステンまたはタングステン合金のセグメント化構造であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の複合構造部材。
【請求項９】
前記構造部材（１）がフラットタイルであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の複合構造部材。
【請求項１０】
前記構造部材（１）がモノブロックであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の複合構造部材。
【請求項１１】
タングステンまたはタングステン合金からなる１個または複数個の成形部材（２）が、高融点金属と銅との複合金属からなり、真空中または不活性ガス雰囲気中で好適な耐熱性および耐腐食性のたとえばグラファイトの形態のプレートに設計された１個または複数個の成形部材（３）と接合されること、および、それらが、銅含有構成成分を溶融させ次いで室温にまで冷却して銅または銅合金からなる領域（４）に結合され、このように加工された構造部材が、機械加工後に、溶接、ろう付け、拡散またはめっきにより、３００ＭＰａを超える強度を示す金属構造部材（５）と形状的にぴったりと接合されることを特徴とする請求項９記載の高度に耐熱性の複合構造部材（１）を製造するための方法。
【請求項１２】
貫通孔を有するタングステンまたはタングステン合金からなる１個または複数個の成形部材（２）が、真空中または非酸化性不活性ガス雰囲気中で好適な耐熱性および耐腐食性のたとえばグラファイトの形態の、高融点金属と銅との複合金属からなる１個または複数個のリング形状の部材（３）と接合されること、および、それらが、銅含有構成成分を溶融させ次いで室温にまで冷却して銅または銅合金からなる領域（４）に結合され、このように加工された構造部材が、機械加工後に、溶接、ろう付け、拡散またはめっきにより、３００ＭＰａを超える強度を示す金属構造部材（５）と形状的にぴったりと接合されることを特徴とする請求項１０記載の高度に耐熱性の複合構造部材（１）を製造するための方法。
【請求項１３】
銅または銅合金からからなる厚み０．００５〜０．５ｍｍの箔／シート（６）を、タングステンまたはタングステン合金からなる前記成形部材（２）と、高融点金属と銅との複合金属からなる前記成形部材（３）との間に装入することを特徴とする請求項１１または１２記載の製造方法。
【請求項１４】
鉄系金属元素または合金、好ましくはニッケルからなる層を、タングステンまたはタングステン合金からなる前記成形部材（２）、高融点金属と銅との複合金属からなる前記成形部材（３）、および／または銅または銅合金からなる前記箔／シート（６）の接合表面に施すことを特徴とする請求項１１ないし１３のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも、タングステンまたはタングステン含有量が９０重量％より高いタングステン合金からなるプラズマ対向領域と、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫより高く、平均結晶粒径が１００μｍより大きい銅または銅合金からなる熱放散領域と、高融点金属と銅との複合金属からなる中間に存在する領域とからなる、核融合炉のための高度に耐熱性の複合構造部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
核融合炉の定常的な運転では、最高１０ＭＷ／ｍ2もの電力潮流が第一壁構造部材の表面領域にかかるものと予期される。この第一壁構造部材はＰＦＣ（ｐｌａｓｍａ  ｆａｃｉｎｇ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ＝プラスマ対向構造部材）とも呼ばれる。プラズマ崩壊に際しては、露出箇所では、ほんの数ミリ秒の間に約２０ＧＪが放出される可能性がある。最大のエネルギー密度となる領域、たとえばダイバータ、バッフルおよびリミッタ領域において使用するために特別に設計されるＰＦＣの開発は、核融合研究の結果を技術的に実用化する際のキーとなる要素である。
【０００３】
ＰＦＣ構造部材に適用できる材料としての要件は多種多様で、それぞれの要件の間で矛盾があることも多い。高熱伝導率、高融点、低蒸気圧、良好な耐熱衝撃性および加工適合性などの物理的および機械的性質に加えて、核融合において使用するとなると、特殊な性能も要求され、そのようなものの例を挙げれば、大量の中性子照射下でも放射化および核種変換が低いこと、トリチウムの連続吸収が低いこと、プラズマイオンおよび中性子粒子によるエロージョンが少ないこと、アーク放電およびホットスポットのような局所的な作用によるスパッタ速度およびエロージョンが低いこと、さらには、特性放射によるコアプラズマの冷却が低いことなどがある。
【０００４】
負荷条件に応じて、ＰＦＣとして好適な材料には、ベリリウム、炭素繊維強化炭素（ＣＦＣ）およびタングステンがある。タングステンは、比較的プラズマ温度が低く、粒子密度が高いことが多い第一壁に使用するのには特に適している。タングステンは、たとえば高い熱伝導率（室温で１６５Ｗ／ｍＫ）などのように、非常に良好な熱的性質を有している。さらに、高融点、低トリチウム吸収能、低真空ガス速度および低スパッタ速度などの面から、タングステンはＰＦＣに使用するために特に優れている。エネルギー密度の極めて高い領域から効果的に熱を除去する目的で、ＰＦＣは積極的に冷却しなければならない。これは、冷却媒体で貫流される銅構造部材を採用することによって達成することが可能で、それをヒートシンクとしてタングステン構造部材と組み合わせる。充分に高い機械的安定性と剛性を得るためには、銅ヒートシンクを、高度に剛性の高い金属構造材料と結合させるのが有利である。オーステナイト鋼および粒子強化銅合金、たとえば時効硬化Ｃｒ−Ｚｒ合金化銅合金（Ｃｕ−Ｃｒ−Ｚｒ）またはＯＤＳ（ｏｘｉｄｅ−ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ−ｓｔｒｅｎｇｔｈｅｎｅｄ＝酸化物分散強化）銅材料（たとえば、Ｃｕ−Ａｌ2Ｏ3、Ｃｕ−ＺｒＯ2、Ｃｕ−Ｙ2Ｏ3、Ｃｕ−希土類酸化物）などは、この種の補強要素としては好ましいものである。高エネルギー密度領域において使用されるＰＦＣの設計には、２種類のものが考えられる。いわゆるフラットタイルにおいては、個々の材料の間の移行領域は近似的に平面状に形成される。モノブロック構造部材の場合には、冷却媒体で貫流される、たとえば時効硬化銅合金またはＯＤＳ銅でできている管によって充分な構造的安定性と剛性が与えられている。外側に向かっては、フラットタイルの場合と同様な配置でその他の材料を配列する。タングステンセグメントは、冷却管を取り巻く立方体の形状をとっているが、そこでは、柔軟性があって延性のある材料、好ましくは低酸素含量の純銅（ＯＦＨＣ銅）からなる緩衝層が、冷却管とタングステンセグメントとの間に配置される。
【０００５】
たとえばフラットタイルまたはモノブロック構造部材のような、核融合炉のための複合部材を製造する際に生じる特別な難点は、タングステンと銅とが非常に異なった熱膨張挙動を示すことである。すなわち室温におけるタングステンの熱膨張率が４．５×１０-6Ｋ-1であるのに対して、銅のそれは１６．６×１０-6Ｋ-1である。
【０００６】
タングステンを銅に接合させるのに推奨される技術としては、ろう付け、拡散溶接、バックキャスティングがある。拡散溶接は、特許文献１に記載されているようにして、熱間静水圧加圧法（ｈｏｔ  ｉｓｏｓｔａｔｉｃ  ｐｒｅｓｓｉｎｇ＝ＨＩＰ）を使用して実施することができる。上記のプロセスは、約７００〜１３００℃の温度範囲内で実施される。冷却時に、タングステンと銅の熱膨張率の差があるために、結合部の近傍に応力が集中することになる。しかしながら、ＰＦＣの使用に際しても、それらが周期的な熱負荷にさらされると、応力がさらに加わる。これらの応力が、タングステンと銅の界面におけるひび割れや分離の原因となる可能性がある。そのことによって熱放散を妨げられ、その結果複合構造部材が溶融する危険性がもたらされる。積極的に冷却している銅ヒートシンクに形状的にぴったりと接合させたプラズマ対向タングステンセグメントからなる、界面領域で低い接合応力を示すような複合構造部材を実現させる目的の、積極的な開発計画が開始されていて、そのいくつかはすでに実施されている。
【０００７】
個々では辺や直径が数ミリメートルの小さな立方体または棒状物の集成物としてのタングステンセグメントを設計することによって、応力をかなり減少させることが可能となったが、この場合はその立方体や棒状物は銅セグメントの中を貫通させる。この形式のセグメンテーションによって、接合プロセスおよび周期的な運転からくる熱応力は、減少する。しかしながら、この設計は、タングステンと銅との界面における疲労クラックの危険性を増大させている。
【０００８】
タングステンと銅セグメントの間に段階をつけた中間層を組み込むことによって、界面における張力を減らそうとする試みが多数なされてきた。たとえば、特許文献２には、タングステンと銅とのＦＧＭ（ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｌｙ  ｇｒａｄｅｄ  ｍａｔｅｒｉａｌ＝機能的に段階をつけた材料）を製造するための方法が記載されているが、そこでは、たとえば熱プラズマスプレー法によって製造した多孔度に段階をつけたタングステンセグメントに銅を溶浸させている。
【０００９】
さらに特許文献３には、熱プラズマスプレー法を使用してタングステンと銅セグメントの間で段階をつけた中間層を得る製造プロセスが記載されている。特許文献２に記載されているプロセスとは対照的に、銅相も熱プラズマスプレー法によって分離されており、そこでは添加された特殊な粉末ブレンドが、対応するタングステンと銅の比率を含んでいる。タングステンとＦＧＭの間にある薄い金属膜が接合を促進している。
【００１０】
特許文献３にはさらに、タングステンと銅ヒートシンクの間に、銅とタングステンのブレンドからなる層をろう付けまたは拡散接合によって装入する試みも記載されている。しかしながら、熱膨張率における差が大きすぎ、この文献には、それ以上詳しい説明はされていない。
【００１１】
特許文献２および特許文献３の両方に記載されている製造プロセスは、熱誘導クラックに対する顕著に高い抵抗性を示す積層部材を製造するものであると考えられる。
【００１２】
【特許文献１】欧州特許第１０２５９３８号明細書
【特許文献２】米国特許第５１２６１０６号明細書
【特許文献３】米国特許第５９８８４８８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、これらの特許に記載されたプロセスの欠点は、そのプロセスが複雑で、その結果、記載された方法で製造された部材が、非常に高価となることである。それに加えて、プロセス技術上の制約から、上記の技術が適用できるのは、フラットタイル構造だけに限られる。一般的に言って、形状的な理由から、それらの技術によってモノブロック形状を製造することは不可能である。
【００１４】
本発明の課題は、少なくとも一部はタングステンまたはタングステン合金と銅または銅合金とからなり、特に熱疲労に関して充分な効力を有していて、コスト面で経済的に製造することが可能であり、モノブロック形状とするのにも適した、核融合炉のための複合構造部材を製造することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この課題を解決するために、高融点金属と銅との複合金属が、巨視的に一様な銅とタングステンの濃度分布を示し、０．１ｍｍより大かつ４ｍｍより小の厚みｄ全体において高融点金属成分ｘが１０容積％より大かつ４０容積％より小であり、ここでその高融点金属相が近似的に連続の骨格を形成している。
【００１６】
高融点金属と銅との構造部材は、多くの産業用途で使用されており、例を挙げれば、エレクトロニクスパッケージにおけるヒートシンクまたはヒートスプレッダーなどである。高融点金属とは、１８００℃を超える融点を有する周期律表の第ＩＶb族および第Ｖb族の元素で、特に金属のＮｂ、Ｔａ、Ｃｒ、ＭｏおよびＷである。
【００１７】
核融合炉のためのタングステンと銅との複合構造部材における応力は、ＦＧＭを使用する以外には減少させることはできないという、広く一般に言われている考え方に反して、驚くべきことには実験で明らかになったのは、高融点金属と銅との材料からなる中間相で、巨視的に一様な銅と高融点金属との濃度分布を有するものもまた有効に使用できるということである。巨視的に一様な濃度分布とは、濃度における微視的な差とは関わりなく、高融点金属と銅との複合金属の厚み全体を通しての濃度分布と定義する。濃度における微視的な差は、高融点金属と銅との複合材料中に常に現れるが、その理由は高融点金属と銅とはまったく溶け合わないか、あるいは互いにほんのわずかしか溶け合わないからである。したがって、互いに隣り合った銅と高融点金属相の領域は、５〜５０μｍの間の大きさにある。
【００１８】
境界領域における応力の効果的な削減は、高融点金属と銅との複合金属からなる層の厚みが少なくとも０．１ｍｍの場合にのみ、達成できる。より薄い層では、充分な応力の削減はできない。それに対して厚みが４ｍｍ以上もあると、分離抵抗性および熱的に誘導される疲労クラックに対する抵抗性の点では複合部分の効力を損なうことはないが、高融点金属と銅との複合金属の熱伝導率が低いために熱放散が低下してしまい、その結果複合部分の機能に関する信頼性が確保できなくなってしまう。
【００１９】
効力を充分とするためのさらなる前提条件として、高融点金属と銅との複合材料中での高融点金属の成分が１０〜４０容積％でなければならない。高融点金属の成分がこれより高いあるいは低いのいずれの場合も、プロセスの信頼性を充分に確保することはできない。さらに、この高融点金属と銅との複合金属は、高融点金属相が近似的に連続の骨格を形成するように製造しなければならない。
【００２０】
この要件を満たすためには、多孔質な高融点金属体を銅で溶浸させるような、粉末冶金プロセスを使用して、高融点金属と銅との複合材料を製造する。多孔質な高融点金属体は、加圧成形しただけのものであっても、焼結したものであってもよい。近似的に連続の骨格を有する高融点金属と銅との複合材料はまた、粉末混合物または複合金属粉末を加圧し、焼結することによって製造できる。このようにして製造されるＷ−ＣｕおよびＭｏ−Ｃｕ複合材料のほかに、圧延または押出し成形したＭｏ−Ｃｕ複合材料が特に有利であることがわかった。さらに、銅または銅合金セグメントは、熱的に誘導される応力を充分に減少させることができなければならい。「熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫより大」という選択基準を設けるならば、合金元素の含有量が少なくしたがって降伏強さの弱い銅材料だけが使用できる。さらにその銅または銅合金セグメントは、効果的な応力削減を達成するためには、その平均粒子径が１００μｍより大きくなければならない。ＯＦＨＣ（ｏｘｙｇｅｎ−ｆｒｅｅ−ｈｉｇｈ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ＝無酸素高導電性）銅を使用した銅または銅合金セグメントを、溶融によって高融点金属と銅との複合金属に接合させると、極めて有利となることが判った。このプロセスを使用すれば、銅／銅合金セグメント中の平均粒子径を常に１００μｍよりも大きくすることができる。同じプロセス相の間にタングステン／タングステン合金セグメントを高融点金属と銅との複合金属セグメントに銅相を溶融させることによって接合させることもできる。タングステンと高融点金属と銅の複合金属との間に厚みが０．００５〜０．５ｍｍの銅箔または銅シートを装入すると有利となることが判った。タングステンと銅との間の濡れを向上させるためには、タングステンと銅の両方に可溶であるかまたはこれら２種の材料と反応するような金属元素または合金を、たとえばタングステンセグメントをコーティングすることによって、装入することもまた有利となる。この目的には、鉄族金属の元素または合金、たとえばニッケルが適している。
【００２１】
プラズマ対向セグメントのために好適なタングステン材料の例を挙げると、単結晶タングステン、純タングステン、ＡＰＳ（ａｌｕｍｉｎｕｍ−ｐｏｔａｓｓｉｕｍ−ｓｉｌｉｃａｔｅ  ｄｏｐｅｄ＝アルミニウム−カリウム−シリケートでドープした）タングステン、ＵＨＰ（ｕｌｔｒａ−ｈｉｇｈ−ｐｕｒｉｔｙ＝超高純度）タングステン、ナノクリスタリンタングステン、アモルファスタングステン、ＯＤＳ（ｏｘｉｄｅ−ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ−ｓｔｒｅｎｇｔｈｅｎｅｄ＝酸化物分散強化）タングステン、Ｗ−Ｒｅ、ＯＤＳ−Ｗ−Ｒｅ、および炭化物−、窒化物−またはホウ化物−析出硬化タングステン合金であって好ましくは炭化物、窒化物またはホウ化物濃度が０．０５〜１容積％の間のもの、などがある。タングステン／タングステン合金構造部材のセグメンテーションが有利である。タングステン構造部材のクラック生長速度は、変形と平行な方向の方がそれとは垂直な方向よりは著しく高いので、部品が高いレベルの応力を受ける場合には、変形の方向がプラズマ対向表面と垂直になるようにタングステン部材を作ることが望ましい。
【００２２】
充分な構造安定性と剛性を得るためには、３００ＭＰａよりも高い強度を有する金属材料からなる構造部材を、銅セグメントに接合させる。特に好適な金属材料としては、時効硬化Ｃｕ−Ｃｒ−Ｚｒ、およびＯＤＳ−Ｃｕ材料、さらにはオーステナイト鋼などが挙げられる。最も好適な接合方法の選択は、対にする材料のタイプによって変わってくる。銅と銅、または銅と鋼の組合せでは、硬ろう付け法、または拡散接合法、たとえば熱間静水圧加圧法を使用するのが最適な接合法である。銅と銅の組合せでは、高エネルギー電子ビーム溶接法のような、溶融溶接プロセスもまた適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
フラットタイルまたはモノブロック部材としての複合構造部材の製造を、以下の実施例によって説明する。図１〜５は、単に説明として示すだけのものである。
【実施例１】
【００２４】
核融合炉のためのダイバータプレート１を、フラットタイルとして製造した（図１参照）。第１の工程で、２０×４０×６．５ｍｍの大きさのタングステンタイル２を直径６０ｍｍのタングステン棒状物から切り出した。このタイルは、タイルの高さ（６．５ｍｍ）方向が棒状物の軸と平行になるように、棒状物から切り出した。このようにすれば、粒子は、後の主熱流方向に配列される。次いで厚み２ｍｍ、幅２０ｍｍ、長さ４０ｍｍの中間タイル３を、タングステンと銅との複合金属で銅含有量が１５重量％のもの（Ｔ７５０と呼ぶ）からなるプレートから切り出した。
【００２５】
適当なキャスティング装置中で、タングステンタイル２、厚み０．１０ｍｍのＯＨＦＣ銅箔６、Ｔ７５０中間タイル３、および２０×４０×１０ｍｍの大きさのＯＦＨＣ−銅ブロック４を積み重ねた。次いでこのスタックを、ＯＨＦＣ銅を使用して、不活性ガス炉中で水素雰囲気下、温度１２５０℃でバックキャストした。その温度を３０分間保つと、溶融した銅とこの構造のすべての固い構造部材との濡れが保証される。
【００２６】
バックキャスティング装置からバックキャストしたスタックを取り出した後、そのスタックのすべての側面に加工を行った。このプロセスでは、バックキャストした銅を厚みが２ｍｍ残るまでに切削加工した（図３参照）。望ましくない銅の析出物を除去するために、すべての側面のその他の表面にも加工を行った。
【００２７】
続いて行われた超音波試験および平行試料の接合部分の金属組織学的カット面から、温度が銅の融点以下に低下した冷却相の間に、スタック全体に堅牢な材料同士の接合が形成されていたことが判明した。
【００２８】
特許文献１に記載されたＨＩＰ法を使用して、上記のバックキャスティングプロセスで製造された複合タイルを、Ｃｕ−Ｃｒ−Ｚｒヒートシンク５に接合した。このヒートシンクに冷却構造７をＨＩＰユニットより取り出してから機械加工した。構造部材の配列順を図式的に図２に示した。
【実施例２】
【００２９】
同様のプロセスで図４に示すモノブロックの形態のダイバータプレート１を製造した。
【００３０】
このため長さ１０ｍｍ、直径１５．２ｍｍの孔を、３０×２０×１０ｍｍの大きさのタングステンブロック２の中央に貫通させた。外径１５ｍｍ、壁厚ｄ１ｍｍ、長さ１０ｍｍのリング３を、銅含有量２０重量％のタングステンと銅との複合金属材料（Ｔ８００と呼ぶ）からなるプレートから切り出した。
【００３１】
厚み０．１ｍｍのＯＨＦＣ銅箔、Ｔ８００から作ったリング３、および直径１３ｍｍで長さ１５ｍｍのＯＦＨＣ銅の棒状物を、図２に示した材料の配列順に従って、タングステンブロックの貫通孔の中に装入した。次いでこの貫通させたタイルを、不活性ガス炉中に水素雰囲気下温度１２５０℃で３０分間かけて、ＯＦＨＣ銅を用いてバックキャストした。バックキャストしたモノブロックを取り出してから、そのバックキャストした銅の中に、タングステンブロックの貫通孔と同心の直径１２ｍｍの貫通孔を穿孔した。この加工工程の後に、この複合ブロックは、貫通孔中に厚み０．５０ｍｍのＯＦＨＣ銅層４を有する（図５参照）。このようにして製造した構造部材を、ＨＩＰプロセスで外径１２ｍｍとしたＣｕ−Ｃｒ−Ｚｒ管５に接合した。この管に冷却構造７を、ＨＩＰユニットから取り出してから機械加工した。それに続けて超音波試験と金属組織学的分析をしたところ、このような方法で製造した複合体の接合部の品質が極めて良好であることが判った。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施例１に記載のフラットタイルとして製造したダイバータ構造部材を示す斜視図。
【図２】実施例１および２に記載の材料の配列順の断面図。
【図３】実施例１に記載したバックキャスティングに続けて機械加工した中間製品の斜視図。
【図４】実施例２に記載したモノブロックとして製造したダイバータ構造部材を示す斜視図。
【図５】実施例２に記載したモノブロックとして製造したダイバータ構造部材でＣｕ−Ｃｒ−Ｚｒ管を接合する前の斜視図。
【符号の説明】
【００３３】
１：  複合構造部材
２：  プラズマ対向領域
３：  中間領域
４：  熱放散領域
５：  構造部材
６：  箔／シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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