(57)【要約】【課題】半導体、液晶露光装置において、ＰＷＭ変調用モータードライバーのリップルノイズによる露光ステージあるいは徐振ダンパーの異常振動を防止する。【解決手段】複数のＰＷＭ変調モータードライバーを有する露光装置において、ＰＷＭ変調用クロック発振器は個別に持たずに、外部あるいはマスタースレーブ供給手段を設け、共通クロックあるいは周波数は等しく位相がドライバーごとに異なるクロックによりＰＷＭ変調を行う手段を設ける。【選択図】      図１
2004158509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子，液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用したステップ・アンド・リピート方式露光装置およびステップ・アンド・スキャン方式露光装置において、
感光基板あるいはマスクパターンを所定の露光位置に移動する為に複数のモーターを設け、また露光時に上記感光基板とマスクパターン及び露光光学系の振動を除振する機構として振動をうち消す方向に動作する複数のモーターを設け、各モーター毎にドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御する複数のモータードライバーを設け、
前記複数のモータードライバーは共通の電源で動作する様に構成され、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成したクロックであり、前記複数のモータードライバーは前記一つの変調用発振器が発生するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することを特長とする露光装置用モータードライブシステム。
【請求項２】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することを特長とする特許請求の範囲１に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【請求項３】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバー中の特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することを特長とする特許請求の範囲１に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【請求項４】
半導体素子，液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用したステップ・アンド・リピート方式露光装置およびステップ・アンド・スキャン方式露光装置において、
感光基板あるいはマスクパターンを所定の露光位置に移動する為に複数のモーターを設け、また露光時に上記感光基板とマスクパターン及び露光光学系の振動を除振する機構として振動をうち消す方向に動作する複数のモーターを設け、各モーター毎にドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御する複数のモータードライバーを設け、
前記複数のモータードライバーは共通の電源で動作する様に構成され、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであることを特長とする露光装置用モータードライブシステム。
【請求項５】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、ドライバー毎の位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段を設けたことを特長とする特許請求範囲４に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【請求項６】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、外部入力手段によりオペレ―タによりドライブの個数ｎを入力されるとクロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件を満たすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたことを特長とする特許請求範囲５に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【請求項７】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、ドライバー自身に接点信号を出力する手段を備え、その各ドライバーが出力する接点信号を受け取ることにより自動的にクロックを供給すべきドライバーの個数ｎを判断する手段を備え、
クロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件をみたすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたことを特長とする特許請求範囲５に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【請求項８】
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックであり、そのクロック発生装置は発振器と各モータードライバー毎の位相ずれ量を最適に可変する手段を備え、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することを特長とする特許請求の範囲４または５，６，７に記載の露光装置用モータードライブシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置において基板あるいはマスクパターンを露光時に決まった位置に位置決めする為のステージを駆動する為のモータードライブシステム、また前記ステージの振動を除振する機構に使用するモータードライブシステム関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体素子、液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用した露光装置が用いられている。この種の装置としてマスクパターンは固定位置にあり、感光基板をＸ、Ｙ方向に移動し、所定の位置で停止させ、その位置でマスクパターンを投影光学系を介して感光基板上のショット領域に転写する露光動作をさせるステップ・アンド・リピート方式の装置とマスクパターン上の所定のスリット状領域を照明光で照射しながら、マスクパターンを保持するステージと感光基板を保持するステージとを投影光学系に対して所定の走査方向に同期移動させ、マスクパターン上の前記スリット領域内のパターンを投影光学系を介して感光基板上に逐次転写することにより、感光基板上の各ショット領域にマスクパターン全面を転写するステップ・アンド・スキャン方式の装置が実用化されている。（特開２０００‐４７７３５）
上記露光装置においてパターンを焼き付ける基板あるいはマスクパターンは各々所定量Ｘ，Ｙ２次元方向に移動可能なステージに搭載され、高速かつ高精度に移動、位置決めが行われている。この様なステージの駆動にはＸ方向への駆動用、Ｙ方向への駆動用と複数のモーターが使用されており、各モーターに対して複数のモータードライバーが用意され別々に制御され各方向での位置決めを行う方法が一般的である。
【０００３】
また、上記各ステージの移動中の加減速時に発生する振動は位置決めをして実際にパターンを焼き付ける際に焼き付け精度の妨げとなる。振動が収まるまでの時間を待って焼き付けを行えば良いが、単位時間あたりに露光できる基板の枚数が減ってしまうので、通常上記加減速時に発生する振動を積極的に抑える除振機能を持つダンパーにより上記各々のステージは保持されている構造が一般的である。この除振機能を持つダンパーはステージの加減速時に発生する振動のＸ方向、Ｙ方向成分に対して、逆方向の微小駆動をステージに行わせることにより除振を実現しようとする構造となっており、複数のモーターを使用しかつ複数のモータードライバーにより個別に制御される構造が一般的である。
【０００４】
上記の様に装置内にはステージ駆動用モータードライバーおよび除振機能を持つダンパー駆動用モータードライバーの複数のモータードライバーが存在する。これらのモータードライバーには一般的に駆動を制御する為にＰＷＭ変調コントローラ及びＰＷＭ変調用の発信器が個別に設けられている。
【０００５】
個々のモータードライバーのＰＷＭ変調コントローラはステージあるいはダンパー構造体の位置を検出する位置検出手段により得られる位置情報を基に次に移動するべき位置までの移動量、移動速度、加速時間、減速時間を算出する制御回路からの指令値により、各モーターに流すドライブ電流に必要なＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動を制御する。
【０００６】
一般的にはモータードライバー、位置検出手段、制御回路でフィードバックループを構成し、精度の向上あるいは駆動時間の短縮を計っている。
【０００７】
またモータードライバーは上記のようなＰＷＭ変調を行っている性質上、比較的発熱の大きい物である。露光装置の性能上、感光基板やマスクパターン、それらを保持して位置決めを行うステージ、あるいは実際に光を照射する投影光学系は熱膨張による精度の悪化を極力なくす必要があるため、一般的に装置内にある複数のモータードライバーは熱の影響を受けてはいけない物からはなれた場所の一カ所に集めて、専用の排熱手段を設けて装置を構成する場合が多い。
【０００８】
この様に一カ所に集められた複数のモータードライバーでは一般的に共通の電源とＧＮＤラインを持つように構成される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記、複数のモータードライバーにおいて、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発信器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を引き起こすことがある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の露光装置用モータードライブシステムは、半導体素子，液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用したステップ・アンド・リピート方式露光装置およびステップ・アンド・スキャン方式露光装置において感光基板あるいはマスクパターンを所定の露光位置に移動する為に複数のモーターを設け、また露光時に上記感光基板とマスクパターン及び露光光学系の振動を除振する機構として振動をうち消す方向に動作する複数のモーターを設け、各モーター毎にドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御する複数のモータードライバーを設け、
前期複数のモータードライバーは共通の電源で動作するように構成され、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成したクロックであり、前記複数のモータードライバーは前記一つの変調用発振器が発生するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御するものである。
【００１１】
請求項２に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項１に記載の露光装置用モータードライブシステムであって、前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御するものである。
【００１２】
請求項３に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項１に記載の露光装置用モータードライブシステムであって、前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバー中の特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御するものである。
【００１３】
請求項４に記載の露光装置用モータードライブシステムは、半導体素子，液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用したステップ・アンド・リピート方式露光装置およびステップ・アンド・スキャン方式露光装置において、
感光基板あるいはマスクパターンを所定の露光位置に移動する為に複数のモーターを設け、また露光時に上記感光基板とマスクパターン及び露光光学系の振動を除振する機構として振動をうち消す方向に動作する複数のモーターを設け、各モーター毎にドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御する複数のモータードライバーを設け、
前期複数のモータードライバーは共通の電源で動作するように構成され、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックとするものである。
【００１４】
請求項５に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項４に記載の露光装置用モータードライブシステムであって、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段を設けたものである。
【００１５】
請求項６に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項５に記載の露光装置用モータードライバーであって、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバーごとに位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、外部入力手段によりオペレ―タによりドライブの個数ｎを入力されるとクロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件をみたすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたものである。
【００１６】
請求項７に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項５に記載の露光装置用モータードライブシステムであって、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、ドライバー自身に接点信号を出力する手段を備え、その各ドライバーが出力する接点信号を受け取ることにより自動的にクロックを供給すべきドライバーの個数ｎを判断する手段を備え、
クロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件をみたすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたものである。
【００１７】
請求項８に記載の露光装置用モータードライブシステムは、請求項４および５，６，７に記載の露光装置用モータードライブシステムであって、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックであり、そのクロック発生装置は発振器と各モータードライバーごとの位相ずれ量を最適に可変する手段を備え、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第一の実施例）
図１は本発明の第１の実施例における露光装置用モータードライバーを使用したステップ・アンド・リピート方式露光装置の装置構成を示すブロック図である。図１に示す様に光源１３１から発する光は、フライアイレンズ１３２、コンデンサレンズ１３３，ミラー１３４及びコンデンサレンズ１３５を介してマスクパターン１３６を照明する。マスクパターン１３６は、投影レンズ１３８を介して感光基板であるウエハ１３９上に投影される。なお、マスクパターン１３６は右側と左側に各々設けられたモーターＲＹＲ１６０、ＲＹＬ１６１によりＹ軸方向に移動するマスクステージ１００上に積載され、ここでは図示しないマスク位置制御手段によりその中心と投影レンズ１３８の光軸とは正確に位置合わせがなされている。ウエハ１３９は、チャック１４０上に真空吸着されている。チャック１４０は、投影レンズ１３８の光軸方向すなわちＺ方向に移動可能なＺステージ１４１上に積載されている。Ｚステージ１４１はモーターＺＡ１６２，ＺＢ１６３，ＺＣ１６４の３つのモーターによりＺ方向に駆動される。Ｚステージ１４１はさらにＸ方向に移動するＸステージ１４２上に積載されている。Ｘステージ１４２はモーターＷＸ１６５によりＸ方向に駆動される。Ｘステージ１４２はさらにＹ方向に移動するＹステージ１４３上に搭載されている。Ｙステージ１４３は右側と左側の各々設けられたモーターＷＹＲ１６６，ＷＹＬ１６７によりＹ方向に駆動される。
【００１９】
Ｚステージ１４１及びＸステージ１４２，Ｙステージ１４３は、上記駆動モーターにより所望の露光位置に移動可能である。
【００２０】
その位置はＺステージ１４１に固定されたミラー１４６の位置として、レーザー測長機１４５で正確にモニターされている。またウエハ１３９の表面位置は、ここでは図示しない通常の露光装置が有する焦点検出手段で計測される。計測結果に応じてＺステージ１４１を駆動させることにより、ウエハ１３９の表面は常に投影レンズ１３８の結像面と一致させることができる。
【００２１】
また、Ｚステージ１４１及びＸステージ１４２，Ｙステージ１４３さらには投影レンズ１３８は、それぞれのステージが移動して停止する時に発生する振動あるいは床振動等の外部振動を除振する機能を持つダンパー１４７，１４８，１４９，１５０の４本により支えられている。各ダンパーにはステージを振動と逆方向のＸ、Ｙ軸方向に微少駆動する為に各２個づつのモーターが備えられている。つまりダンパー１４７にはＭ１Ｘ１６８，Ｍ１Ｙ１６９が、ダンパー１４８にはＭ２Ｘ１７０，Ｍ２Ｙ１７１が、ダンパー１４９にはＭ３Ｘ１７２，Ｍ３Ｙ１７３が、ダンパー１５０にはＭ４Ｘ１７４，Ｍ４Ｙ１７５のモーターが設けられている。
【００２２】
また、各ダンパー１４７，１４８，１４９，１５０にはここでは図示しない変位計と加速度計がＸあるいはＹ方向に設けられ、ステージの加速、減速による振動や床振動による変位量および加速度を検知し、検知結果に応じて各ダンパーに設けられたＭ１Ｘ１６８，Ｍ１Ｙ１６９，Ｍ２Ｘ１７０，Ｍ２Ｙ１７１，Ｍ３Ｘ１７２，Ｍ３Ｙ１７３，Ｍ４Ｘ１７４，Ｍ４Ｙ１７５のモーターを除振する方向に微少駆動する事により、短時間かつ高精度にマスクパターン１３６，投影レンズ１３８，ウエハ１３９の３者の位置関係の補正及び姿勢の制御を実現している。
【００２３】
ここで、マスクステージ１００をＹ軸方向に駆動するモーターＭＹＲ１６０，ＭＹＬ１６１は各々のコイルに流すドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御するモータードライバー２００，２０１に接続されている。
【００２４】
また、ウエハ１３９及びチャック１４０を積載したＺステージ１４１をＺ方向に駆動する３つのモーターＺＡ１６２，ＺＢ１６３，ＺＣ１６４は各々のコイルに流すドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御するモータードライバー２０２，２０３，２０４に接続されている。
【００２５】
さらに、Ｚステージ１４１を積載したＸステージ１４２をＸ方向に駆動するモーターＷＸ１６５及びＸステージ１４２を積載したＹステージ１４３をＹ方向に駆動するモーターＷＹＲ１６６，ＷＹＬ１６７は各々のコイルに流すドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御するモータードライバー２０５，２０６，２０７に接続されている。
【００２６】
そして、ダンパー１４７，１４８，１４９，１５０に設けられたステージを振動と逆方向のＸ、Ｙ軸方向に微少駆動して上記Ｘ、Ｙ、Ｚステージの加減速時に発生する振動を除振する為のモーターＭ１Ｘ１６８，Ｍ１Ｙ１６９，Ｍ２Ｘ１７０，Ｍ２Ｙ１７１，Ｍ３Ｘ１７２，Ｍ３Ｙ１７３，Ｍ４Ｘ１７４，Ｍ４Ｙ１７５は各々のコイルに流すドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御するモータードライバー２０８，２０９，２１０，２１１，２１２，２１３，２１４，２１５に接続されている。
【００２７】
ここで、上記各モータードライバー２００〜２１５はＰＷＭ変調を行っている性質上、比較的発熱の大きい物である。露光装置の性能上、感光基板やマスクパターン、それらを保持して位置決めを行うステージ、あるいは実際に光を照射する投影光学系は熱膨張による精度の悪化を極力なくす必要があるため、これらのモータードライバーは熱の影響を受けてはいけない物からはなれた場所の一カ所に集めて、専用の排熱手段を設けて装置を構成してある。
【００２８】
モータードライバー２００〜２１５は一つの大きなマザーボード１８０に接続されており、ドライブ用の電源、ＧＮＤはここでは図示しないドライバー電源部から、各モーターへの始動、停止、加減速パターン等の指令値はドライバー指令回路１８１から、マザーボード１８０経由で各モータードライバーに供給される。
【００２９】
さらに、本実施例におけるＰＷＭ変調モータードライバー２００〜２１５においては各モータードライバーにはＰＷＭ変調用のクロック発振器を設けていない。各ドライバーは外部からマザーボード１８０経由で供給される発振器１８２のクロックを受信してＰＷＭ変調を行うのに必要なＰＷＭ波形を生成している。
【００３０】
本実施例のモータードライバー２００〜２１５の内部ブロック図を図２に示す。
まず、実際にモーターに対して必要なドライブ電流を出力するドライブ電流出力部３０１は４個のＦＥＴをＨブリッジ型に組んだ構成になっている。各々のＦＥＴのゲートはすべてＰＷＭドライブ部３０２に接続されている。ＰＷＭドライブ部３０２はＰＷＭコントロール部３０１の制御により、ドライブ電流出力部３０１の４個のＦＥＴのゲートを切り替えることにより、ドライバ電源にＰＷＭ変調をかけてそれぞれのモーターが必要とするドライブ電流を送出する。ＰＷＭコントロール部３０３には外部のクロック発振器１８２からマザーボード１８０経由で供給されるＰＷＭ変調用のクロックと、外部のドライバー指令回路１８１からマザーボード１８０経由で送られる各モーター毎の始動、停止、加減速パターン等の指令値が入力されている。ＰＷＭコントロール部３０３では、外部のドライバー指令回路１８１からマザーボード１８０経由で送られる各モーターごとの始動、停止、加減速パターン等の指令値に基づき外部のクロック発振器１８２からマザーボード１８０経由で供給されるＰＷＭ変調用のクロックに同期したＰＷＭ変調波形を生成しＰＷＭドライバ部３０２に送出する。また、ＰＷＭコントロール部３０３には実際にドライブ電流出力部３０１からモーターに出力されるドライブ電流をフィードバック入力させている。こうすることにより外部のドライバー指令回路１８２からマザーボード１８０経由で送られる各モーター毎の始動、停止、加減速パターン等の指令値と実際にドライブ出力部３０１から出力されるドライブ電流との誤差を検出し、リアルタイムでドライブ電流に補正をかけられる様になっている。
【００３１】
ここまで説明してきた様に本実施例のＰＷＭ変調用モータードライバー２００〜２１５では、各モータードライバーにはＰＷＭ変調用のクロックを生成する発振器を設けていない。各ドライバーは外部からマザーボード１８０経由で供給される発振器１８２のクロックを受信してＰＷＭ変調を行うのに必要なＰＷＭ波形を生成している為、全てのモータードライバーが外部に設けられた発振器１８２の生成するクロックに同期して動作することになる。従って、従来のモータードライバーの様に、各ドライバーが個別に発振器を持つことにより、その微妙にクロック周波数がずれた複数の発振器から電源ラインやＧＮＤラインに漏れたノイズがマザーボード上で干渉をおこして、特定の周波数にピークをもつノイズパルスとなり、それが再び電源ラインやＧＮＤラインから各モータードライバーに戻ってきて、ＰＷＭコントロール部やＰＷＭドライブ部、ドライブ電流出力部において、実際にモーターをドライブするＰＷＭ変調されたドライブ電流波形に重畳することにより、最終的にはステージやダンパーにおいて、その特定ピーク周波数がメカ的な固有振動数と一致してステージやダンパーが異常な振動をおこす様な問題を解決することが可能である。
【００３２】
（第２の実施例）
図３は本発明の第２の実施例における露光装置用モータードライバーを使用したステップ・アンド・リピート方式露光装置の装置構成を示すブロック図である。
【００３３】
本実施例においても本体側の構成及び動作については実施例１と全く同様の為、説明は省略する。ドライバーユニット側についても各モータードライバーがマザーボード１８５に接続され、ドライブ用の電源、ＧＮＤはここでは図示しないドライバー電源部から、各モーターへの始動、停止、加減速パターン等の指令値はドライバー指令回路１９１から、マザーボード１８５経由で各モータードライバーに供給されている点は実施例１と全く同様である。
【００３４】
本実施例のＰＷＭ変調モータードライバー４００〜４１５では、各モータードライバーは個別にＰＷＭ変調用のクロックを生成する発振器５００を設けてある。ただし図３に示す様に、複数のモータードライバーが有る場合には、どれか一つのモータードライバー内部の発振器５００が生成したクロックを自分自身のＰＷＭ変調用のクロックとして使用するだけではなく、残りの全てのモータードライバーにマザーボード１８５経由で供給し、他のモータードライバーが実際のモーターへのドライバー電流にＰＷＭ変調をかける際には、そのマザーボード１８５経由で供給されたクロックを使用してＰＷＭ変調を行うものである。
【００３５】
ここで、複数のモータードライバーのうち内部の発振器５００を使用して自分自身及び他のモータードライバーに対してクロックを供給する一つのドライバーをマスター、それ以外のクロックを供給される側のドライバーをスレーブと呼ぶことにする。
【００３６】
図３においてマスターはモータードライバー４００であり、それ以外のモータードライバー４０１〜４１５はスレーブということになる。
本実施例のモータードライバー４００〜４１５の内部ブロック図を図４に示す。
ドライブ電流出力部３０１及びＰＷＭドライブ部３０２、ＰＷＭドライブコントロール部３０３は実施例１のモータードライバー２００〜２１５と全く同様である。
【００３７】
実施例１のモータードライバーと異なる点は発振器５００とマスタースレーブ切り替え入力５０１、マスタースレーブ切り替え回路５０２、クロック入出力双方向インターフェイス５０３が追加されている点である。
【００３８】
今、マスターのモータードライバー４００の場合は、まずマスタースレーブ切り替え入力５０１にマスター側の設定が入力される。この入力はドライバー指令回路１９１から出力される。本実施例ではこのマスター、スレーブの指定は外部入力１９４を用いて外部からオペレータの入力により選択でき、その選択値をドライバー指令回路１９１経由で各ドライバーに通信するものとする。もちろんマザーボード１８５上でスロットによりマスターあるいはスレーブの設定を固定することもできる。するとマスタースレーブ切り替え回路５０２では、発振器５００のクロック出力を自分自身のＰＷＭコントローラ部３０３に接続する。同時にクロック入出力双方向インターフェイス５０３に対しても同じクロックを出力する。このクロック入出力双方向インターフェイス５０３に出力されたクロックはマザーボード１８５を経由して、他のスレーブモータードライバーに供給される。
【００３９】
一方スレーブモータードライバー４０１〜４１５の場合は、マスタースレーブ切り替え入力５０１にスレーブ側の設定が入力される。するとマスタースレーブ切り替え回路５０２では、自分自身の発振器５００のクロック出力を自分自身のＰＷＭコントロール部３０３から切り離す。同時にクロック入出力双方向インターフェイス５０３にマザーボード１８５経由で送られてくるマスターモータードライバー４００の生成したクロックを自分自身のＰＷＭコントローラ部３０３に接続する。
【００４０】
以上の動作によりマスターモータードライバー４００は内部の発振器５００が生成したクロックを自分自身のＰＷＭ変調用のクロックとして使用するだけではなく、残りのスレーブモータードライバー４０１〜４１５にマザーボード１８５経由で供給し、他のモータードライバーが実際のモーターへのドライバー電流にＰＷＭ変調をかける際には、そのマザーボード１８５経由で供給されたクロックに同期してＰＷＭ変調を行うことが可能となる。
【００４１】
ここまで説明してきた様に本実施例のＰＷＭ変調用モータードライバー４００〜４１５では、複数のモータードライバーが有る場合、そのうちの一つのマスターモータードライバーが内部で生成するクロックに同期して全てのモータードライバーがＰＷＭ変調を実現する。従って、従来のモータードライバーの様に、各ドライバーが個別に発振器を持つことにより、その微妙にクロック周波数がずれた複数の発振器から電源ラインやＧＮＤラインに漏れたノイズがマザーボード上で干渉をおこして、特定の周波数にピークをもつノイズパルスとなり、それが再び電源ラインやＧＮＤラインから各モータードライバーに戻ってきて、ＰＷＭコントロール部やＰＷＭドライブ部、ドライブ電流出力部において、実際にモーターをドライブするＰＷＭ変調されたドライブ電流波形に重畳することにより、最終的にはステージやダンパーにおいて、その特定ピーク周波数がメカ的な固有振動数と一致してステージやダンパーが異常な振動をおこす様な問題を解決することが可能である。
【００４２】
また、個々のモータードライバーには各々発振器とマスタースレーブ切り替え回路が設けられている為に、複数のモータードライバーの中のどのモータードライバーをマスターにするかも簡単に切り替えることができる。
【００４３】
（第３の実施例）
図５は本発明の第３の実施例における露光装置用モータードライバーを使用したステップ・アンド・リピート方式露光装置の装置構成を示すブロック図である。
【００４４】
本実施例においても本体側の構成及び動作については実施例１、２と全く同様の為、説明は省略する。ドライバーユニット側についても各モータードライバーがマザーボード１８６に接続され、ドライブ用の電源、ＧＮＤはここでは図示しないドライバー電源部から、各モーターへの始動、停止、加減速パターン等の指令値はドライバー指令回路１８１から、マザーボード１８６経由で各モータードライバーに供給されている点は実施例１と全く同様である。
【００４５】
本実施例のＰＷＭ変調モータードライバー６００〜６１５では実施例１のＰＷＭ変調モータードライバーと基本的構成は同じであり、個々のドライバーにはＰＷＭ変調用のクロックを生成する発振器は設けられていない。従って各ドライバーは外部からマザーボード１８６経由で供給される発振・位相変更回路１８７のクロックを受信してＰＷＭ変調を行うのに必要なＰＷＭ波形を生成している。実施例１と異なる点は外部に設けられたクロックの発生源が単なる発振器ではなく発振・位相変更回路１８７を設けた点である。
【００４６】
図６にこの発振・位相変更回路１８７の回路構成を示すブロック図を示す。
発振・位相変更回路１８７では実施例１で設けた発振器１８２の機能にさらに発振器で生成されたクロックの周波数はそのままで、位相を規定量ずらした複数のクロックを生成する機能を追加してある。またこの発振・位相変更回路１８７で生成する複数のクロックの位相のずれ量は、一つのマザーボード１８６を経由して外部の同じドライバー電源から、電源、ＧＮＤ及び外部のドライバー指令回路１８１から、各モーターへの始動、停止、加減速パターン等の指令値を供給されているモータードライバーの個数により決定するように構成されている。
【００４７】
その為、発振・位相変更回路１８７にはマザーボード１８６にモータードライバーが接続されるとドライバー側に設けられたショート接点により接点が閉じられ、その接点信号を検知する回路１８８が設けられている。この回路によりマザーボード１８６に接続されているモータードライバーの個数すなわちクロックを供給すべきモータードライバーの個数ｎを自動的に認識する。今、図５に示す例では、モータードライバーの個数は６００〜６１５のｎ＝１６個である。発振・位相変更回路１８７の発振クロックの１周期を今仮にＴとする。発振器１８２よりこの周期Ｔの値を、また接点検知回路１８８よりでドライバーの個数ｎを通知された最大ずれ量演算部１９０ではこの発振クロックの１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバー個数ｎで除して最大ずれ量ｓを算出する。さらに数式０＜ｍ≦ｓの条件を満たすずれ量ｍを決定する。図５の例ではｍは数式０＜ｍ≦Ｔ／１６の条件を満たせばよい。この様なずれ量ｍを数式に基づいて算出するのがずれ量算出部１８９である。
【００４８】
図７はこのクロックの位相のずれの状態を説明する図である。
決定された位相のずらし量ｍに基づき、位相ずれクロック生成部１９２では発振器１８２から出力される源発振クロックに対して周波数は等しく、位相がｍずつずれたドライバーの個数分のクロックを生成する。その後この複数のクロックはセレクタ１９３において各ドライバー向けに割り振られてマザーボード１８６に出力される。
この様にして発振・位相変更回路１８７では各ドライバーに対して周波数は等しいが位相がｍずつずれたクロックを出力することができる。
そしてこの周波数は等しく位相がｍずつずれたクロックはマザーボード１８６経由で各モータードライバーに対して供給される。
【００４９】
次に、本実施例のモータードライバー６００〜６１５の内部ブロック図を図８に示す。
ドライブ電流出力部３０１及びＰＷＭドライブ部３０２、ＰＷＭドライブコントロール部３０３は実施例１のモータードライバー２００〜２１５と全く同様である。また、各モータードライバーにはＰＷＭ変調用のクロックを生成する発振器を設けていない点も実施例１のモータードライバー２００〜２１５と同様である。各ドライバーは外部からマザーボード１８６経由で供給される発振・位相変更回路１８７で生成された周波数は等しく位相がｍずつずれたクロックを受信してＰＷＭ変調を行うのに必要なＰＷＭ波形を生成している為、全てのモータードライバーが外部に設けられた発振・位相変更回路１８７の生成するクロックに同期して動作することになる。本実施例のモータードライバー６００〜６１５が実施例１のモータードライバーと異なる点は上記で説明した発振・位相変更回路１８７に設けられた接点信号を検知する回路１８８に対してマザーボード１８６にドライバーが接続されているかどうかの接点信号を送る為にドライバー内にショート接点７００が設けられている点である。
【００５０】
ここまで説明してきた様に本実施例のＰＷＭ変調用モータードライバー６００〜６１５では、各モータードライバーにはＰＷＭ変調用のクロックを生成する発振器を設けていない。各ドライバーは外部からマザーボード１８６経由で供給される発振・位相変更回路１８７で生成された周波数は等しく位相がｍずつずれたクロックを受信してＰＷＭ変調を行うのに必要なＰＷＭ波形を生成している為、全てのモータードライバーが外部に設けられた発振・位相変更回路１８７の生成するクロックに同期して動作することになる。従って、従来のモータードライバーの様に、各ドライバーが個別に発振器を持つことにより、その微妙にクロック周波数がずれた複数の発振器から電源ラインやＧＮＤラインに漏れたノイズがマザーボード上で干渉をおこして、特定の周波数にピークをもつノイズパルスとなり、それが再び電源ラインやＧＮＤラインから各モータードライバーに戻ってきて、ＰＷＭコントロール部やＰＷＭドライブ部、ドライブ電流出力部において、実際にモーターをドライブするＰＷＭ変調されたドライブ電流波形に重畳することにより、最終的にはステージやダンパーにおいて、その特定ピーク周波数がメカ的な固有振動数と一致してステージやダンパーが異常な振動をおこす様な問題を解決することが可能である。
【００５１】
さらに、本実施例のモータードライブシステムでは複数のＰＷＭ変調モータードライバーが外部から供給されるクロックに同期してＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバー毎に規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、実施例１，２のように完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本実施例の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【００５２】
また、本実施例では各ドライバーに供給するクロックの位相のずらし量を図７に示す様に一定値ｍとしているが、この値は０＜ｍ≦ｓの条件を満たす値で有れば、ドライバーごとに可変値としても良い。
【００５３】
なお、本実施例では一つのマザーボードに接続されるモータードライバーの個数を接点信号により自動検知する例について述べたが、これは予めドライバーの個数が決まっているのであれば、固定値としてもよいし、外部から発振・位相変更回路に対して個数を入力して、位相のずらし量を決めてもよいことはいうまでもない。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、半導体素子，液晶表示素子等を製造するためにフォトリソグラフィを利用したステップ・アンド・リピート方式露光装置およびステップ・アンド・スキャン方式露光装置において、
感光基板あるいはマスクパターンを所定の露光位置に移動する為に複数のモーターを設け、また露光時に上記感光基板とマスクパターン及び露光光学系の振動を除振する機構として振動をうち消す方向に動作する複数のモーターを設け、各モーター毎にドライブ電流にＰＷＭ変調をかけて駆動状態を制御する複数のモータードライバーを設け、
前記複数のモータードライバーは共通の電源で動作する様に構成されている場合に本出願に係る第１の発明によれば
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成したクロックであり、前記複数のモータードライバーは前記一つの変調用発振器が発生するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することより
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００５５】
本出願に係る第２の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００５６】
本出願に係る第３の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバー中の特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置より供給されるクロックから生成され、前記複数のモータードライバーは前記特定のモータードライバー一つに設けられたクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することにより、複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００５７】
本出願に係る第４の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、前記複数のモータードライバーは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバーごとに位相をずらしたクロックによりＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することにより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００５８】
さらには、ＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバー毎に規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本発明の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【００５９】
本出願に係る第５の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎とに位相をずらしたクロックであり、ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段を設けたことにより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００６０】
さらには、ＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバー毎に規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本発明の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【００６１】
本出願に係る第６の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバー毎に位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、外部入力手段によりオペレ―タによりドライブの個数ｎを入力されると
クロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件をみたすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたことにより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００６２】
さらには、ＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバーごとに規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本発明の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【００６３】
本出願に係る第７の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは一つの変調用発振器から生成した同一周波数かつ各モータードライバーごとに位相をずらしたクロックであり、
ドライバーごとの位相のずれ量をドライバーの個数により可変にする手段は、ドライバー自身に接点信号を出力する手段を備え、その各ドライバーが出力する接点信号を受け取ることにより自動的にクロックを供給すべきドライバーの個数ｎを判断する手段を備え、
クロック周波数の１周期Ｔを数式Ｔ／ｎ＝ｓに基づきドライバ個数ｎにより除して最大ずれ量ｓを算出し、数式０＜ｍ≦ｓの条件をみたすずれ量ｍを決定する手段を備え、各ドライバに対して位相をｍずつずらしたクロックを供給する手段を備えたことにより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００６４】
さらには、ＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバー毎に規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本発明の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【００６５】
本出願に係る第８の発明によれば、
前記複数のモータードライバーにおけるＰＷＭ変調用クロックは前記複数のモータードライバーの外部に設けられた一つのクロック発生装置より供給されるクロックであり、そのクロック発生装置は発振器と各モータードライバーごとの位相ずれ量を最適に可変する手段を備え、前記複数のモータードライバーは前記外部に設けられた一つのクロック発生装置が供給するクロックに同期してＰＷＭ変調をかけてモーターの駆動状態を制御することにより、
複数のモータードライバーにＰＷＭ変調をかけて露光装置内の複数のモーターを制御する際に、各ドライバーが持つＰＷＭ変調用の発信周波数が少しでもずれていると、電源や制御回路のＧＮＤを通じて相互に伝送された発振器ノイズが干渉を起こし、干渉により発生したビートノイズのピーク周波数がステージ構造体の持つメカ的な固有振動数と一致すると共振が起こり、ステージが動作中に予想外の振動を起こす様な問題を解決することが可能となる。
【００６６】
さらには、ＰＷＭ変調を行う際に、周波数は等しいが位相を各ドライバー毎に規定量ずらしてあることにより、同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかけても必ず位相がずらしてある分だけ各ドライバーのＰＷＭ変調はタイミングがずれることになる。従って、完全に同じクロックに同期して複数のドライバーがＰＷＭ変調をかける際にクロックの立ち上がり、たち下がりが一致していると、その立ち上がり、たち下がりに発生するノイズがドライバーの個数分加算されて電源やＧＮＤがふられてリップルノイズが増加する懸念があるが、本発明の様に各ドライバーのＰＷＭ変調の位相がずれていれば、クロックの立ち上がり、たち下がりが必ず位相ずれ分だけずれることになり、この様な複数のモータードライバーの同期運転の際の電源に対するリップル増加も防止する事が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例における装置構成のブロック図。
【図２】第１の実施例におけるモータードライバーの内部ブロック図。
【図３】第２の実施例における装置構成のブロック図。
【図４】第２の実施例におけるモータードライバーの内部ブロック図。
【図５】第３の実施例における装置構成のブロック図。
【図６】第３の実施例における発振・位相変更回路ブロック図。
【図７】第３の実施例における位相ずれクロック状態の説明図。
【図８】第３の実施例におけるモータードライバーの内部ブロック図。
【符号の説明】１３１…光源、１３２、１３５…フライアイレンズ、１３３…コンデンサレンズ、１３４…ミラー、１３６…マスクパターン、１３８…投影レンズ、１６０…モーターＲＹＲ、１６１…モーターＲＹＬ、１００…マスクステージ、１３９…ウエハ、１４０…チャック、１４１…Ｚステージ、１６２…モーターＺＡ、１６３…モーターＺＢ、１６４…モーターＺＣ、１４２…Ｘステージ、１６５…モーターＷＸ、１４３…Ｙステージ、１６６…モーターＷＹＲ、１６７…モーターＷＹＬ、１４７，１４８，１４９，１５０…ダンパー、１６８…モーターＭ１Ｘ、１６９…モーターＭ１Ｙ、１７０…モーターＭ２Ｘ、１７１…モーターＭ２Ｙ、１７２…モーターＭ３Ｘ、１７３…モーターＭ３Ｙ、１７４…モーターＭ４Ｘ、１７５…モーターＭ４Ｙ、２００〜２１５…モータードライバー、１８０…マザーボード、１８１…ドライバー指令回路、１８２…クロック発振器、３０１…ドライブ電流出力部、３０２…ＰＷＭドライブ部、３０３…ＰＷＭコントローラ部、４００〜４１５…モータードライバー、１８５…マザーボード、１９１…ドライバー指令回路、５００…発振器、５０１…マスタースレーブ切り替え入力、５０２…マスタースレーブ切り替え回路、５０３…クロック入出力双方向インターフェイス、６００〜６１５…モータードライバー、１８７…発振・位相変更回路、１８８…接点検出回路、１８９…位相ずれ量算出部、１９０…最大ずれ量演算部、１９２…位相ずれクロック生成部、１９３…セレクタ、１８６マザーボード、１９４…外部入力。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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