(57)【要約】【課題】実装工程におけるキズの発生を抑制することができる電気光学表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】所定の間隙を介して対面配置された一対の基板を備える電気光学表示装置の製造方法において、一対の基板のうち、少なくとも対向基板２にＵＶテープ５が貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）が貼り合わせられた状態で一対の基板の実装を行い、ＵＶテープ５を剥離した後に光学的特性の合否判定を行う。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隙を介して対面配置された一対の基板を備える電気光学表示装置の製造方法において、
前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板に保護テープが貼合された保護ガラスが貼り合わせられた状態で前記一対の基板の実装を行う工程と、
前記保護テープを剥離した後に光学的特性の合否判定を行う工程とを備える
ことを特徴とする電気光学表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記保護テープが貼合された保護ガラスは、保護ガラス表面に形成された低反射膜面に保護テープを貼り、反対面にダイシングテープを貼り、低反射膜面からフルカットダイシングを行うことによって形成する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記保護テープが貼合された保護ガラスは、保護ガラス表面に形成された低反射膜面に保護テープを貼り、反対面に溝部を形成し、低反射膜面からダイシングテープを切断しないフルカットダイシングを行うことによって形成する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記保護テープが貼合された保護ガラスは、保護ガラス表面に形成された低反射膜面に溝部を形成し、低反射膜面に保護テープを貼り、反対面から保護テープを切断しないフルカットダイシングを行い、更に保護テープをカットすることによって形成する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記保護テープが貼合された保護ガラスは、保護ガラス表面に形成された低反射膜面に保護テープを貼り、真空吸着治具で保護テープ面を保持し、反対面から保護テープを切断するフルカットダイシングを行うことによって形成する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項６】
基板の実装前に前記保護テープの粘着力を低下させる
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記保護テープは、紫外線が照射されることによって接着力が低下する
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記保護テープは、帯電防止機能を有する基材或いは粘着剤である
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６または請求項７に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記保護テープは、基材がポリオレフィン或いはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）であり、粘着剤が透明アクリル系紫外線照射硬化型粘着剤である
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７または請求項８に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記保護テープは、基材が熱収縮型ポリオレフィンであり、粘着剤が透明アクリル系紫外線照射硬化型粘着剤である
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または請求項９に記載の電気光学表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気光学表示装置の製造方法に関する。詳しくは、所定の間隙を介して対面配置された一対の基板を備える電気光学表示装置の製造方法に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置の高輝度化に伴う入射光量の増加により、液晶表示装置の冷却が重要となってきており、冷却による液晶表示装置の長寿命化と、キズによる画質劣化を防止すべくＴＦＴ基板及び対向基板に高透過率で低反射率のＡＲ（Ａｎｔｉ−Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ）膜が形成された防塵ガラスを貼り合わせた液晶表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
以下、上記した防塵ガラスが貼り合わせられた従来の液晶表示装置の製造方法を説明する。
従来の液晶表示装置の製造方法では、先ず、図８（ａ）で示す様な、複数の画素がマトリクス状に形成されたＴＦＴ基板１０１とＴＦＴ基板と所定の間隙を介して対面配置された対向基板１０２とから成る一対の基板のＴＦＴ基板及び対向基板に、図８（ｂ）で示す様に低反射膜１０３が形成された防塵ガラス１０４をシリコーン等の耐光性の透明接着剤で貼り合わせる。
【０００４】
次に、図８（ｃ）で示す様に、ＴＦＴ基板にフレキシブル基板１０５を取り付けた後に、ＴＦＴ基板及び対向基板を金属枠１０６に取り付け、特に入射光の対向基板側面からの放熱を促進するために、ＴＦＴ基板及び対向基板と金属枠との間を、金属微粉末を含有した高熱伝導性モールド樹脂１０７で封止を行い、続いて、見切り板１０８を取り付けることによって図８（ｄ）で示す様な液晶表示装置を得ることができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−２０９６３５号公報  （第２−９頁、第２図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記した従来の液晶表示装置の製造方法では、所定の真空吸着パッド治具がＴＦＴ基板及び対向基板に貼り合わせられた防塵ガラス表面に接してピックアップ作業や搬送作業等を行い、金属枠の取り付けやモールド樹脂封止作業等の実装作業を進めていくのであるが、その真空吸着パッド治具が防塵ガラス表面に接することによって防塵ガラスに打痕キズが生じてしまい、画質不良となり歩留り及び品質の低下を招くという不具合があった。
【０００７】
また、入射光の対向基板側からの放熱を促進すべく、高熱伝導性モールド樹脂が対向基板の全側面を埋める様に充填した場合には、基板のクリーニング作業の際に、高熱伝導性モールド樹脂に含まれている金属微粉末がクリーニング布に巻き込まれ、この金属微粉末によって防塵ガラス表面に擦りキズが生じ、画質不良として歩留、品質を低下させてしまうという不具合もあった。なお、高熱伝導性モールド樹脂が対向基板の全側面を充分に埋めていない場合には、液晶表示装置の冷却効果が充分でないために信頼性や寿命に問題を残すことになる。
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑みて創案されたものであって、実装工程におけるガラスキズの発生を抑制することができる電気光学表示装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る電気光学表示装置の製造方法は、所定の間隙を介して対面配置された一対の基板を備える電気光学表示装置の製造方法において、前記一対の基板のうち、少なくとも一方の基板に保護テープが貼合された防塵ガラスなどの保護ガラスが貼り合わせられた状態で前記一対の基板の実装を行う工程と、前記保護テープを剥離した後に光学的特性の合否判定を行う工程とを備える。
【００１０】
ここで、一対の基板のうち少なくとも一方の基板に保護テープが貼合された防塵ガラスなどの保護ガラスが貼り合わせられた状態で一対の基板の実装を行うことによって、実装工程における基板に貼り合わせられた防塵ガラスなどの保護ガラスのキズ発生を抑制することができる。
その後、光学的画質欠陥にならない極めて薄い糊残りのある保護テープを剥離することで、ゴミや汚れの拭き取り作業が廃止出来るので、歩留及び品質向上と工数削減によるコストダウンが可能となる。尚、以降では保護ガラスを防塵ガラスと表現する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００１２】
図１は本発明を適用した電気光学表示装置の製造方法の一例である透過型液晶表示装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。
ここで、透過型液晶表示装置の製造方法では、先ず、図１（ａ）で示す様に、複数の画素がマトリクス状に形成されたＴＦＴ基板１にポリイミド等の液晶配向膜形成及び液晶配向処理を行い、同様にポリイミド等の液晶配向膜形成及び液晶配向処理を行った対向基板２と所定の間隙を介して対面配置する様に重ね合わせる。次に、ＴＦＴ基板と対向基板との間隙内に例えばツイストネマティック（ＴＮ）型液晶（図示せず）を注入封止し、熱処理による液晶配向処理を施す。
【００１３】
続いて、図１（ｂ）で示す様に、その表面に基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系であると共に帯電防止機能を有する紫外線硬化型の保護テープ（以下、ＵＶテープと言う）５が貼合された、光学特性を満足する石英ガラスやバイコールガラスから成る防塵ガラス（１）３の表面に低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６をＴＦＴ基板に透明のＵＶ照射硬化型接着剤で貼り合わせる。また、その表面にＵＶテープが貼合された、光学特性を満足するサファイアガラス、ネオセラムガラス、マグネシア（焼結ＭｇＯ）ガラスから成る防塵ガラス（２）７の表面に低反射膜（Ｂ）８が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）９を対向基板に透明のＵＶ照射硬化型接着剤で貼り合わせる。なお、ＵＶテープはＵＶ照射硬化後の糊面の表面抵抗が小さいものを用いるのがゴミ付着低減で好ましい。
尚、低反射膜（Ａ）と低反射膜（Ｂ）は同じ光学特性（透過率及び低反射率など）であってもよく、或いは必要に応じてそれぞれに最適化して違う光学特性でもよいが、波長４５０〜６３０ｎｍにおいて反射率０．８％以下、透過率９５％以上の光学特性であることが望ましい。
更に、防塵ガラス（１）と防塵ガラス（２）は同じ材質（例えば、石英ガラス同士、ネオセラムガラス同士など）であってもよく、或いはＵＶカット機能、高熱伝導機能などの必要に応じてそれぞれに最適化した材質の透明ガラスであることが望ましい。
【００１４】
ここで、ＵＶテープ５が低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の一例としては、先ず、図２（ａ）で示す様に、その表面に低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の低反射膜（Ａ）４側表面にＵＶテープ５を貼り合わせ、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）のＵＶテープとは反対側をダイシングテープ１０により固定する。
次に、図２（ｂ）で示す様に、ダイシングブレード１１によって低反射膜（Ａ）４面からＵＶテープ及びＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のフルカットダイシング加工を行った後に、ＵＶ照射硬化して接着力低下させ、図２（ｃ）で示す様に、ＵＶテープが貼合された個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を真空ピンセット１２によりピックアップ作業を行うことによって図２（ｄ）で示す様なＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を得ることができる。
この時に、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のＵＶ照射硬化して接着力低下させたＵＶテープがダイシング後の真空ピックアップ及び実装作業中に剥離しないような接着力を保持していることが必要である。
【００１５】
なお、上記したＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の一例では、ＵＶテープ面を真空ピックアップするので、ゴミ、キズ付着がなく、ダイシング後のゴミ・キズ検査廃止ができる。また、帯電防止機能を有するＵＶテープであるので、光学特性の合否判定直前のＵＶテープ剥離時の静電気ダメージ及びゴミ付着が無い。
【００１６】
また、ＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の製造方法の他の一例としては、先ず、図３（ａ）で示す様に、その表面に低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４側をダイシングテープにより固定し、図３（ｂ）で示す様にＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４とは反対側表面にＶカットブレード１３によってＶ溝部１４を形成する。
次に、ダイシングテープからＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を剥離し、図３（ｃ）で示す様に、低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４側表面にＵＶテープを貼り合わせ、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４とは反対側をダイシングテープによって固定する。続いて、図３（ｄ）で示す様にダイシングブレードによって低反射膜（Ａ）４面からダイシングテープを切断しない様にＵＶテープ及びＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のフルカットダイシング加工を行った後に、図３（ｅ）で示す様に、ＵＶテープが貼合された個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を真空ピンセットによりピックアップ作業を行うことによって図３（ｆ）で示す様なＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を得ることができる。
【００１７】
なお、上記したＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の製造方法の他の一例では、予めＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６にＶ溝部が形成されているために、ダイシングブレードによって個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６に分割する際にダイシングテープに切り込むまで必要が無いので、ダイシングテープの糊付着したガラスや糊付着したテープ切り屑などのゴミ付着が無く、チッピングを抑制できると共に、ダイシングブレードの磨耗を抑制することができる。また、ＵＶテープ面を真空ピックアップするので、ゴミ、キズ付着がなく、ダイシング後のゴミ・キズ検査廃止ができる。更に、帯電防止機能を有するＵＶテープであるので、光学特性測定直前のＵＶテープ剥離時の静電気ダメージ及びゴミ付着が無い。
尚、この時に、ＶカットブレードによるＶ溝部の代わりに、ＵカットブレードによるＵ溝部としてもよい。
【００１８】
また、ＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の製造方法の更に他の一例としては、先ず、図４（ａ）で示す様に、その表面に低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４とは反対側をダイシングテープにより固定し、図４（ｂ）で示す様にＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４側表面にＶカットブレードによってＶ溝部１４を形成する。
次に、ダイシングテープからＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を剥離し、図４（ｃ）で示す様に、低反射膜（Ａ）４側表面にＵＶテープを貼り合わせ、ダイシングブレードによって低反射膜（Ａ）４面とは反対側からＵＶテープを切らないＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のフルカットダイシング加工を行った後に、図４（ｄ）で示す様にＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のＵＶテープ側を真空吸着治具１５で固定し、続いて、テープカッター１６でＵＶテープを切断し、図４（ｅ）で示す様に、ＵＶテープが貼合された個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を真空ピンセットでピックアップ作業を行うことによって図４（ｆ）で示す様なＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を得ることができる。
尚、この時に、ＶカットブレードによるＶ溝部の代わりに、ＵカットブレードによるＵ溝部としてもよい。
【００１９】
なお、上記したＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の更に他の一例では、ＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の他の一例と同様に、予めＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６にＶ或いはＵ溝部が形成されているために、ダイシングブレードによって個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６に分割する際にダイシングテープに切り込むまで必要が無いので、ダイシングテープの糊付着したガラスや糊付着したテープ切り屑などのゴミ付着が無く、チッピングを抑制できると共に、ダイシングブレードの磨耗を抑制することができる。
更に、テープカッターでのＵＶテープカットでは糊でのゴミ付着が無い。
尚、帯電防止機能を有するＵＶテープの場合は、光学特性測定直前のＵＶテープ剥離時の静電気ダメージ及びゴミ付着が無い。
【００２０】
また、ＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の製造方法のまた更に他の一例としては、先ず、図５（ａ）で示す様に、その表面に低反射膜（Ａ）４が形成されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６の低反射膜（Ａ）４側表面にＵＶテープを貼り合わせ、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のＵＶテープ側を真空吸着治具により固定する。
次に、図５（ｂ）で示す様に、ダイシングブレードによって低反射膜（Ａ）４面とは反対側からＵＶテープ及びＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６のフルカットダイシング加工を行った後に、図５（ｃ）で示す様に、ＵＶテープが貼合された個々のＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を真空ピンセットによりピックアップ作業を行うことによって図５（ｄ）で示す様なＵＶテープが低反射膜（Ａ）４の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を得ることができる。
【００２１】
なお、上記したＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法のまた更に他の一例では、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）６を固定するためのダイシングテープが不要である。更に、帯電防止機能を有するＵＶテープであるので、光学特性の合否判定直前のＵＶテープ剥離時の静電気ダメージ及びゴミ付着が無い。
【００２２】
ここで、保護テープはダイシング時には強い粘着力で低反射膜を保護し、実装作業中には剥離しない接着力で低反射膜を保護し、実装後の光学特性の合否判定前には容易に剥離できることが求められる。しかし、ＵＶテープの場合は実装後の光学特性の合否判定前にＵＶ照射硬化すると、ＴＦＴ特性が変動して歩留・品質低下となるので好ましくない。そこで、ＵＶテープの場合はダイシング後のダイシングテープからのピックアップ前にＵＶ照射硬化して粘着力を低下させ、実装後のＵＶテープ剥離を容易にしておく必要がある。
従って、ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）のＵＶ照射硬化して接着力低下させたＵＶテープは、ダイシング後の真空ピックアップ及び実装作業中に剥離しないような接着力を保持していることが必要である。
【００２３】
また、上記では、ＴＦＴ基板に貼り合わせるＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法について説明を行ったが、対向基板に貼り合わせるＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）についても同様の製造方法によって得ることができる。
【００２４】
また、本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法では、ＵＶ照射硬化型テープの保護テープを用いているが、保護テープはＡＲコート防塵ガラスのキズの発生を抑制することができれば充分であって、必ずしもＵＶ照射硬化型テープである必要は無くいかなる保護テープ、例えば加熱することで粘着剤中に含有させたガスが膨張して自己剥離する熱膨張型テープでもよいが、光学的画質欠陥となるゴミ付着する保護テープは好ましくない。
ところで、金属枠取り付け前のＴＦＴ側ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の保護テープと、見切り板取り付け前の対向基板側ＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）の保護テープは、ＡＲコート防塵ガラスから容易に剥離する必要があるために、事前にＵＶ照射硬化して接着力低下させたＵＶテープがダイシング後の真空ピックアップ及び実装作業中に剥離しないような接着力を保持したＵＶテープを用いる方が好ましい。
更に、保護テープをＡＲコート防塵ガラスから容易に剥離させる為に、保護テープとして熱収縮型ＵＶテープを使用してもよい。
これは、一軸延伸したポリオレフィンのベース基材に、透明アクリル系ＵＶ照射硬化型粘着剤を塗布したテープであり、ＵＶ照射硬化して接着力低下させた後に６０℃以上に加熱すると一軸延伸したポリオレフィンが収縮して自己剥離する特徴を利用してＡＲコート防塵ガラスから容易に剥離させてもよい。
【００２５】
更に、低反射膜が形成されたＡＲコート防塵ガラスにおいて、どの様な構造の低反射膜が防塵性に効果があるのかを確認すべく、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により表面形状観察を行うことによって得られた低反射膜（１）〜（５）のＲｒｍｓ（ｒｏｏｔ  ｍｅａｎ  ｓｑｕａｒｅ  ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ）、Ｒａ（ａｖｅｒａｇｅ  ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ）、Ｒｍａｘ（ｒａｎｇｅ  ｍａｘｉｍｕｍ）  が形成されたＡＲコート防塵ガラスとゴミ付着の度合いとの関係を示す。
表１より、石英ガラス製ＡＲコート防塵ガラスに形成された低反射膜表面の凹凸形状はＲｒｍｓ、Ｒａ、Ｒｍａｘが小さいほどゴミ付着し難い、即ち、粉塵を含有する気流に触れたとき、その低反射膜表面の凹凸（突起の高さと谷の深さ及び突起と谷の数）が小さいほどゴミ付着が少ないと言える。
【００２６】
【表１】
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尚、各低反射膜の構造を下記に示す。
低反射膜（１）；  Ａｉｒ／ＳｉＯ２／ＺｒＯ２／ＳｉＯ２／ＺｒＯ２／ガラス基板
低反射膜（２）；  Ａｉｒ／ＭｇＦ２／ＺｒＯ２／ＡＬ２Ｏ３／ガラス基板
低反射膜（３）；  Ａｉｒ／ＭｇＦ２／Ｌａ２Ｏ３／ＡＬ２Ｏ３／ガラス基板
低反射膜（４）；  Ａｉｒ／（ＳｉＯ２／ＴｉＯ２）ｎ／ガラス基板
低反射膜（５）；  Ａｉｒ／ＳｉＮｘ／ＳｉＯ２・ＡＬ２Ｏ３／ＴｉＯ２／ガラス基板
【００２７】
なお、従来のＡＲコート防塵ガラスのチップ品の場合、水溶性のワックスを保護膜として用いて、アルカリ洗浄を行うことによってワックスを除去洗浄する方法が保護膜剥離という点では優れているとも考えられる。
【００２８】
しかし、ＡＲコート防塵ガラスのワックス保護ダイシングとＵＶテープ保護ダイシングの帯塵率を比較した表２より、水溶性ワックスをＡＲコート防塵ガラスの保護膜として用いてダイシングを行った後にアルカリ洗浄によってワックスを除去したものは、ＵＶテープをＡＲコート防塵ガラスの保護テープとして用いてダイシングを行った後にＵＶテープ剥離したものよりもゴミ付着し易い、即ち、後者の低反射膜表面の凹凸がＵＶ照射硬化した糊で埋められて表面が平坦化した場合には、粉塵の気流の接触抵抗が低く粉塵が付着し難いが、前者のアルカリ洗浄して低反射膜表面の凹凸がそのまま露出した場合には粉塵の気流の接触抵抗が大きく粉塵が付着し易いと言える。従って、ＡＲコート防塵ガラス表面の低反射膜の微小凹凸形状の平坦化を図ることができない水溶性ワックスを保護膜としてダイシングするよりも、保護テープを剥離した後に極めて薄い糊残りが生じることによってＡＲコート防塵ガラスに形成された低反射膜表面の微小凹凸形状の平坦化を図り、表面電気抵抗の低減を通じて静電気によるゴミ付着の抑制が期待できるという点からもＵＶ照射硬化型の保護テープを用いる方が好ましい。
尚、表２に示す結果を得るためのテストに使用したのは、上記した表１中の低反射膜（１）で、ＵＶテープはいずれもポリオレフィンのベース基材で透明アクリル系ＵＶ照射硬化型粘着剤である。
【００２９】
【表２】
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【００３０】
また、本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法では、帯電防止機能を有するＵＶテープを用いているが、上記した様に、保護テープはＡＲコート防塵ガラスのキズの発生を抑制することができれば充分であって、必ずしも帯電防止機能を有するＵＶテープである必要は無くいかなる保護テープであっても良いが、保護膜を剥離する際に、静電気によるＴＦＴダメージや静電気によるＡＲコート防塵ガラスへのゴミの付着を抑制すべく、保護テープは帯電防止機能を有するＵＶテープを用いる方が好ましい。
【００３１】
更に、本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法では、基材がポリオレフィンであり粘着剤がアクリル系ＵＶ照射硬化型である保護テープを用いているが、上記した様に、保護テープはＡＲコート防塵ガラスのキズの発生を抑制することができれば充分であって、必ずしも基材がポリオレフィンであり粘着剤がアクリル系ＵＶ照射硬化型である保護テープを用いる必要は無くいかなる保護テープであっても良いが、剥離後の気流の表面抵抗低減とゴミの付着防止という点を考慮すると基材がポリオレフィンであり粘着剤がアクリル系ＵＶ照射硬化型である保護テープを用いる方が好ましい。
【００３２】
基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型であるＵＶテープ（１）〜（３）におけるＵＶ照射後の糊面側の表面抵抗と帯塵率との関係を示す表３より、ＵＶ照射硬化後の糊面の表面抵抗が小さいＵＶテープほど、静電気によるゴミ付着し難い傾向があると言える。従って、基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型であるＵＶテープの場合は、ＵＶ照射硬化後の糊面の表面抵抗がより小さいものを用いた方が好ましいと言える。
【００３３】
【表３】
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【００３４】
ここで、基材がポリ塩化ビニルであり粘着剤が透明アクリル系であるＵＶ照射硬化型の保護テープを用いると、上記した基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型の保護テープの場合と比較して保護テープの剥離後の表面抵抗が小さく、表面抵抗の低減という点では優れているとも考えられる。
【００３５】
しかし、基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型であるＵＶテープ（１）、（２）及び基材がポリ塩化ビニルであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型であるＵＶテープ（３）におけるＵＶ照射後の糊面側の表面抵抗と帯塵率との関係を示す表４より、ポリオレフィン基材よりもポリ塩化ビニル基材の方が可塑剤の影響で表面抵抗（ＵＶ後糊面側）は低いものの、その可塑剤の影響で粘着剤が柔らかくベタツキがあり、ゴミ付着し易い傾向にあると言える。従って、ＵＶテープの剥離後にベタツキが生じることなくゴミ付着し難いという点を考慮すると基材がポリオレフィンであり粘着剤が透明アクリル系ＵＶ照射硬化型であるＵＶテープを用いる方が好ましい。
尚、ＵＶテープ（３）の帯塵率についてはベタツキのせいかサンプル内でのゴミ付着バラツキが大きかった。
【００３６】
【表４】
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【００３７】
以上のまとめとして、
保護テープの必要条件は、ダイシング時には強い粘着力で低反射膜面を保護し、実装中には剥離せずに低反射膜面を保護し、実装後には容易に剥離することが必要であり、しかも糊残りでゴミ付着させないテープであることであり、これを満足するテープはポリオレフィン基材のアクリル系ＵＶ照射硬化型粘着剤のＵＶテープである。
【００３８】
尚、上記の帯塵率は、粉塵試験機（ＤＴＳ−１２）において、ＪＩＳ規定試験用ダストであるＪＩＳ１０種のフライアッシュ（コークス微粉末）の所定粉塵濃度雰囲気（例えば粉塵量７２ｍｇ／ｍ３のファン拡散雰囲気中）中に、例えば０．７インチサイズの低反射膜形成されたＡＲコート防塵ガラスを所定時間（例えば１５分間）放置し、このＡＲコート防塵ガラス表面に付着した微細粉塵量を顕微鏡撮影し、画像処理して粉塵付着面積の全面積に対する比率で現している。
【００３９】
さて、図１（ｂ）で示す様にＴＦＴ基板にＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）を貼り合わせる共に対向基板にＵＶテープが低反射膜（Ｂ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）を貼り合わせた後に、図１（ｃ）で示す様に、ＴＦＴ基板にフレキシブル基板１７を異方性導電膜の熱圧着で取り付ける。
続いて、ＴＦＴ基板に貼り合わせたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の表面に貼合したＵＶテープの剥離を行い、図１（ｄ）で示す様に、ＴＦＴ基板及び対向基板を金属枠１８に取り付け、ＴＦＴ基板及び対向基板と金属枠との間を、金属微粉末を含有した高熱伝導性モールド樹脂１９で封着を行う。なお、対向基板の冷却を促進するために、高熱伝導性モールド樹脂は対向基板側面が埋まるまで充填する方が好ましい。
【００４０】
次に、対向基板に貼り合わせたＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）の表面に貼合したＵＶテープの剥離を行い、見切り板２０を取り付けることによって図１（ｅ）で示す様な透過型液晶表示装置を得ることができる。その後、光学的測定を行って、合格した液晶表示装置に必要に応じて図６で示す様に保護フィルム２１を貼って出荷する。
尚、見切り板が不要である場合や、透明ＵＶテープでの光学特性測定で十分な液晶表示装置の場合は、ＵＶテープの剥離を行わず、ＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）に透明ＵＶテープが貼り合わせられた状態で光学特性の合否判定を行い、さらに透明ＵＶテープが貼り合わせられた状態で出荷を行い、セット組立直前に透明ＵＶテープをＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）から剥離することによって、運搬時におけるキズ発生やゴミ付着を抑制することが可能となる。
【００４１】
なお、上記では、本発明を適用した電気光学表示装置の製造方法の一例として透過型液晶表示装置の製造方法を例に挙げて説明を行っているが、電気光学表示装置としては透過型液晶表示装置に限定することは無く、半透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置や有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）等であっても構わないのは勿論である。
【００４２】
尚、反射型液晶表示装置の場合は、ＳｉなどのＴＦＴ基板にはＡＲコート防塵ガラスが不要であり、図７（ａ）で示す様にＴＦＴ基板側を金属枠に直接固着し、金属枠と保護テープで保護された対向側ＡＲコート防塵ガラス、対向基板及びＴＦＴ基板の隙間に高熱伝導性モールド樹脂を充填し、保護テープを剥離した後に図７（ｂ）で示す様に見切り板を取り付ける。その後、光学的測定を行って、合格した液晶表示装置に必要に応じて保護フィルムを貼って出荷する。
【００４３】
【発明の効果】
本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法では、ＵＶテープがＡＲコート防塵ガラスに貼り合わせられた状態で金属枠への取り付け作業や高熱伝導性モールド樹脂の封止作業が行われるために、実装工程におけるＡＲコート防塵ガラス表面のキズ発生を抑制することができ、大幅な歩留まり、品質及び生産性の向上を期待することができる。
【００４４】
更に、ＵＶテープ保護されているので実装作業中にゴミ付着がない為にＡＲコート防塵ガラス表面のクリーニング作業が不要で、クリーニング布に巻き込まれた金属微粉末によってＡＲコート防塵ガラス表面の擦りキズ発生防止できるので、キズ不良撲滅と作業工数削減によるコストダウンが可能となる。
【００４５】
また、ＵＶテープを剥離した際に残存する極めて薄いＵＶ照射硬化した糊残りによってＡＲコート防塵ガラス表面に形成された低反射膜表面の凹凸が埋め込まれて平坦化され、粉塵気流の表面抵抗が低減するのでゴミ付着を低減することができる。
【００４６】
更に、帯電防止機能を有するＵＶテープを用いているために、ＵＶテープを剥離する際に静電気によるＴＦＴダメージや静電気によるＡＲコート防塵ガラスへのゴミの付着を抑制することができる。
【００４７】
また、ポリオレフィン基材であり透明アクリル系ＵＶ照射硬化型粘着剤であるＵＶテープを用いているために、ダイシング時には強い粘着力で低反射膜面を保護し、実装中には剥離せずに低反射膜面を保護し、実装後には容易に剥離することができる。更に、ＵＶ照射硬化後の糊面の表面抵抗が小さいＵＶテープを用いているために、静電気によるゴミの付着がし難い。
【００４８】
また、実装前にＵＶ照射硬化してＵＶテープの粘着力を低下させているために、実装後の光学特性の合否判定前にＵＶ照射硬化を行う必要が無く、ＴＦＴ特性に変動または劣化が生じることも無い。
【００４９】
また、ＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）にＵＶテープを貼り合せた状態で、ＴＦＴ基板及び対向基板と金属枠との間を充分な量の高熱伝導性樹脂でモールドしているために、対向基板からの放熱が促進され、冷却促進による液晶表示装置の長寿命化が可能となる。
【００５０】
ここで、上記した本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法では、見切り板を取り付けた透過型液晶表示装置であるために、見切り板を取り付ける前に対向基板に貼り合わせたＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）の表面に貼り合わせられたＵＶテープの剥離を行ったが、見切り板が不要である透過型液晶表示装置の場合にあっては、ＵＶテープの剥離を行わず、必要に応じてＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）にＵＶテープが貼り合わせられた状態で光学特性の合否判定を行い、さらにＵＶテープが貼り合わせられた状態で出荷を行い、セット組立直前にＵＶテープをＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）から剥離することによって、運搬時におけるキズ発生やゴミ付着を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した透過型液晶表示装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。
【図２】ＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の一例を説明するための模式的な図である。
【図３】ＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の他の一例を説明するための模式的な図である。
【図４】ＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法の更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図５】ＵＶテープが低反射膜（Ａ）の上層に貼合されたＡＲコート防塵ガラス（Ａ）の製造方法のまた更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図６】保護フィルムを貼り合わせた透過型液晶表示装置を説明するための模式的な断面図である。
【図７】反射型液晶表示装置の例を説明するための模式的な断面図である。
【図８】従来の液晶表示装置の製造方法を説明するための模式的な図である。
【符号の説明】
１    ＴＦＴ基板
２    対向基板
３    防塵ガラス（１）
４    低反射膜（Ａ）
５    ＵＶテープ
６    ＡＲコート防塵ガラス（Ａ）
７    防塵ガラス（２）
８    低反射膜（Ｂ）
９    ＡＲコート防塵ガラス（Ｂ）
１０    ダイシングテープ
１１    ダイシングブレード
１２    真空ピンセット
１３    Ｖカットブレード
１４    Ｖ溝部
１５    真空吸着治具
１６    テープカッター
１７    フレキシブル基板
１８    金属枠
１９    高熱伝導性モールド樹脂
２０    見切り板
２１    保護フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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