(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知ユニットとの位置関係を高精度に設定する必要がなく、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】液滴不吐出検出装置５０は、反射率が８０％以上の反射面を対向させて配置された一対の反射板５０１、５０２と、反射板５０１、５０２の一端部付近に位置しており、光ビーム５０５を発する発光手段５０３と、反射板５０１、５０２の他端部付近に位置しており反射板５０１、５０２で交互に繰り返し反射してきた光ビーム５０５を受光する受光手段５０４とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
互いの反射面をほぼ平行に対向させて配置された一対の反射板と、発した光が前記一対の反射板で交互に繰り返し反射しつつ進行するように光を発する発光手段と、前記発光手段から発せられて前記一対の反射板で交互に繰り返し反射してきた光を受光する受光手段とを有する液滴検知ユニットと、
前記液滴吐出ヘッドが前記一対の反射板の間に向けて液滴を吐出するように吐出動作を行った際に、前記受光手段からの出力信号に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする液滴不吐出検出装置。
【請求項２】
前記反射板の反射面は、反射率が８０％以上である請求項１に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項３】
前記一対の反射板と前記発光手段と前記受光手段とは、一つのベースに設置されている請求項１または２に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項４】
前記液滴検知ユニットを覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバーをさらに備える請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項５】
前記発光手段が発する光の光軸方向を調整する調整手段をさらに備える請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項６】
前記発光手段は、複数本の光ビームを発し、前記受光手段は、前記一対の反射板で交互に繰り返し反射してきた前記各光ビームを受光する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項７】
駆動回路によりアクチュエータを駆動して液体が充填されたキャビティ内の圧力を変化させることにより前記キャビティに連通するノズルから前記液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記液滴吐出ヘッドに対し、吐出異常の原因を解消させる回復処理を行う回復手段をさらに備え、
前記液滴不吐出検出装置によって吐出異常が検出された場合、前記回復手段による回復処理を行う請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記回復手段による回復処理を行った後、前記液滴不吐出検出装置による検出を再度行う請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズルが配列されるノズル面をワイパにより拭き取るワイピング処理を行うワイピング手段を含む請求項８または９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズル面を覆うキャップに接続するポンプによりポンプ吸引処理を行うポンピング手段を含む請求項８ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記液滴検知ユニットを移動させる移動手段をさらに備え、
前記移動手段の作動により、前記液滴不吐出検出装置による吐出異常の検出を行うときには、前記液滴吐出ヘッドと前記キャップとの間に前記液滴検知ユニットを挿入し、前記液滴不吐出検出装置による吐出異常の検出を行わないときには、前記液滴吐出ヘッドと前記キャップとの間から前記液滴検知ユニットを退避させる請求項１１に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットプリンタなどのインクジェットヘッドのノズル孔が詰まったり、紙粉や異物が付着したり、気泡がインクジェットヘッドのキャビティなどに入った場合には、本来インク滴が吐出されるべき時に吐出されない場合があった。
【０００３】
インク滴が吐出されたかどうかを検出するために、主にインク滴を検出する各種センサを用いる方法がある。その中でも、光学式センサを用いてインク滴がノズルから吐出されたことを検出する方法は、インク滴径と光ビーム径を適切に選び且つ精度よく位置合わせを行うことによって確実に検出ができるため多くの提案がされている。
【０００４】
この方法は、インクジェットプリンタのインク滴吐出原理（ピエゾ方式、サーマルジェット方式、ソリッドインク方式など）が異なっていても適用できる点で優れている。また、インク滴が真っ直ぐに飛行せずに、曲がって飛行し記録紙上の着弾位置がずれる場合も、インク滴が検出領域を通過しないので、検出することが可能である。
【０００５】
図２０（ａ）は、従来の光学式のインク滴検出方法の原理を示す模式図である。
発光素子からの光は発光領域６０３を出て、フォトトランジスタなどの受光素子が設置されている受光領域６０４に入る。この発光領域６０３と受光領域６０４との間に位置する領域が検出領域６０７になる。その検出領域６０７に対して上方からインク滴６１０が吐出されてくると、インク滴６１０は染料や顔料などの色材を含んでいるため、光の透過率が低く光を遮ることになる。
【０００６】
すると、受光素子に入る光量が減少するため、電気信号に変化された時の電圧が小さくなり、インク滴６１０が検出できる。検出領域６０７の断面積と受光領域６０４の面積とが同じと仮定すると、それらの面積Ｓ２とインク滴投影部６１１の面積Ｓ１とから、Ｓ１／Ｓ２がインク滴６１０の減少分に相当することになる。
【０００７】
図２０（ｂ）は、キャリッジ軸６２２上をヘッドユニット６０８が移動しつつインク滴６１０をインク滴受け６０９に向けて吐出し、ちょうど検出領域６０７をインク滴６１０が通過する様子を示す図である。
インク滴６１０が上方から速度Ｖ１で吐出され、ヘッドユニット６０８が速度Ｖ２で移動していると、インク滴６１０はその合成速度（Ｖ１＋Ｖ２）となり、検出領域６０７へ確実に通過させるにはかなりの精度が要求される。検出感度を高めようとすると、Ｓ１／Ｓ２を大きくする即ち受光領域６０４の面積Ｓ２を小さくすればよいが、そうするとインク滴６１０が検出領域６０７を通過する検出のタイミングを精度良くしなければならない。
【０００８】
逆に、インク滴６１０が検出領域６０７を通過する検出のタイミングを緩やかにすれば、検出感度が低下してしまう。この課題を解決しようといくつかの提案がされている。
具体的には、例えば、インクジェットヘッドのインク吐出口の並び方向に対して、インク吐出を検出するフォトセンサの発光素子と受光素子とで決定される検出光軸を相対的に所定角度なすように配置し、フォトセンサによる検出範囲を広くする技術がある（特許文献１）。
【０００９】
しかし、特許文献１に記載されている技術は、感度を低下させずに受光領域を斜めにインク滴が透過する分だけ検出タイミングが緩やかになるが、依然としてその改善効果は比較的小さい。また、インク滴が検出領域の対角線上を通過するように、インク吐出口と検出領域との位置関係を高精度に設定しなければ、逆に、検出範囲が狭くなりかねない。
【００１０】
また、別の検出方法として、インクに対する撥水性の高い反射板と、反射光量を検知するセンサとを有し、インク滴を吐出させ、反射板からの反射光量をセンサで検出して吐出インク滴の状態を検出する技術がある（特許文献２）。
しかし、特許文献２に記載されている技術は、反射板に着弾したインク滴に浮遊する紙粉やゴミなどが付着すると、反射板の反射率が低下することもあるので、インク滴を反射板に着弾させるという手法では、長期間の使用を考慮すると、信頼性という点では課題がある。
【００１１】
【特許文献１】
特開平９−９４９４８号公報
【特許文献２】
特開平８−３３２７３６号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知ユニットとの位置関係を高精度に設定する必要がなく、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴不吐出検出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
互いの反射面をほぼ平行に対向させて配置された一対の反射板と、発した光が前記一対の反射板で交互に繰り返し反射しつつ進行するように光を発する発光手段と、前記発光手段から発せられて前記一対の反射板で交互に繰り返し反射してきた光を受光する受光手段とを有する液滴検知ユニットと、
前記液滴吐出ヘッドが前記一対の反射板の間に向けて液滴を吐出するように吐出動作を行った際に、前記受光手段からの出力信号に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
これにより、一対の反射板間の大半を、インク滴を含む液滴の検出領域とすることが可能となるので、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知ユニットとの位置関係を高精度に設定する必要がないことから、組み立て・製造が容易であり、また、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置を提供することができる。
【００１４】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記反射板の反射面は、反射率が８０％以上であることが好ましい。
これにより、反射板の反射面での光の反射効率がよく、受光手段まで光がさほど減衰することなく到達するので、液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無をより高い精度で検出することができる。
【００１５】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記一対の反射板と前記発光手段と前記受光手段とは、一つのベースに設置されていることが好ましい。
これにより、各反射板、発光手段、受光手段の間の相対的な位置関係の精度を良くして容易に配置することができ、また、その位置精度に狂いを生じることもより確実に防止することができる。
【００１６】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記液滴検知ユニットを覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバーをさらに備えることが好ましい。
これにより、液滴検知ユニットにゴミ等が付着するのを防止することができ、よって、例えば反射板の光の反射効率が低下するというような、各部の機能低下を回避することができる。
【００１７】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記発光手段が発する光の光軸方向を調整する調整手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、検出領域における光ビームの配置の粗密の程度を容易に調整することができる。
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記発光手段は、複数本の光ビームを発し、前記受光手段は、前記一対の反射板で交互に繰り返し反射してきた前記各光ビームを受光することが好ましい。
これにより、反射板での反射回数が少なくても検出領域を光ビームでカバーすることができる。よって、受光手段に到達するまでの光ビームの減衰を少なくすることができるので、検出精度をより高くすることができる。また、発光手段が発する光ビームの光量が小さくても、検出が可能となる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、駆動回路によりアクチュエータを駆動して液体が充填されたキャビティ内の圧力を変化させることにより前記キャビティに連通するノズルから前記液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
本発明の液滴不吐出検出装置とを備えることを特徴とする。
これにより、一対の反射板間の大半を、インク滴を含む液滴の検出領域とすることが可能となるので、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知ユニットとの位置関係を高精度に設定する必要がないことから、組み立て・製造が容易であり、また、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置を備えた液滴吐出装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッドに対し、吐出異常の原因を解消させる回復処理を行う回復手段をさらに備え、
前記液滴不吐出検出装置によって吐出異常が検出された場合、前記回復手段による回復処理を行うことが好ましい。
これにより、吐出異常が生じた液滴吐出ヘッドを正常な状態に回復させることができるので、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのを防止することができる。
【００２０】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段による回復処理を行った後、前記液滴不吐出検出装置による検出を再度行うことが好ましい。
これにより、回復処理によって、液滴吐出ヘッドの異常が解消されたかどうか（正常状態に回復したかどうか）を確認することができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのをより確実に防止することができる。
【００２１】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズルが配列されるノズル面をワイパにより拭き取るワイピング処理を行うワイピング手段を含むことが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの出口に紙粉などの異物が付着した場合の吐出異常を回復させるのに好適な回復処理を行うことができる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズル面を覆うキャップに接続するポンプによりポンプ吸引処理を行うポンピング手段を含むことが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルが目詰まりした場合や、キャビティ内に気泡が混入した場合の吐出異常を回復させるのに好適な回復処理を行うことができる。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴検知ユニットを移動させる移動手段をさらに備え、
前記移動手段の作動により、前記液滴不吐出検出装置による吐出異常の検出を行うときには、前記液滴吐出ヘッドと前記キャップとの間に前記液滴検知ユニットを挿入し、前記液滴不吐出検出装置による吐出異常の検出を行わないときには、前記液滴吐出ヘッドと前記キャップとの間から前記液滴検知ユニットを退避させることが好ましい。
これにより、液滴不吐出検出装置に専用の液滴受け皿が不要となり、回復手段のキャップを兼用で用いることができるので、構造の合理化や、装置の小型化が図れる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１７を参照して本発明の液滴吐出装置の好適な実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態は例示として挙げるものであり、これにより本発明の内容を限定的に解釈すべきではない。なお、以下、本実施形態では、本発明の液滴吐出装置の一例として、インク（液状材料）を吐出して記録用紙（液滴受容物）に画像をプリントするインクジェットプリンタを用いて説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態における液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタ１の構成を示す概略図である。なお、以下の説明では、図１中、上側を「上部」、下側を「下部」という。まず、このインクジェットプリンタ１の構成について説明する。
図１に示すインクジェットプリンタ１は、装置本体２を備えており、上部後方に記録用紙Ｐを設置するトレイ２１と、下部前方に記録用紙Ｐを排出する排紙口２２と、上部面に操作パネル７とが設けられている。
【００２６】
操作パネル７は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤランプ等で構成され、エラーメッセージ等を表示する表示部（図示せず）と、各種スイッチ等で構成される操作部（図示せず）とを備えている。この操作パネル７の表示部は、報知手段として機能する。
また、装置本体２の内部には、主に、往復動する印字手段（移動体）３を備える印刷装置（印刷手段）４と、記録用紙Ｐを印刷装置４に対し供給・排出する給紙装置（液滴受容物搬送手段）５と、印刷装置４および給紙装置５を制御する制御部（制御手段）６とを有している。
【００２７】
制御部６の制御により、給紙装置５は、記録用紙Ｐを１枚ずつ間欠送りする。この記録用紙Ｐは、印字手段３の下部近傍を通過する。このとき、印字手段３が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。すなわち、印字手段３の往復動と記録用紙Ｐの間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となって、インクジェット方式の印刷が行われる。
【００２８】
印刷装置４は、印字手段３と、印字手段３を主走査方向に移動（往復動）させる駆動源となるキャリッジモータ４１と、キャリッジモータ４１の回転を受けて、印字手段３を往復動させる往復動機構４２とを備えている。
印字手段３は、複数のヘッドユニット３５と、各ヘッドユニット３５にインクを供給するインクカートリッジ（Ｉ／Ｃ）３１と、各ヘッドユニット３５およびインクカートリッジ３１を搭載したキャリッジ３２とを有している。なお、インクの消費量が多いインクジェットプリンタの場合には、インクカートリッジ３１がキャリッジ３２に搭載されず別な場所に設置され、チューブでヘッドユニット３５と連通されインクが供給されるように構成してもよい（図示せず）。
【００２９】
なお、インクカートリッジ３１として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック（黒）の４色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。この場合、印字手段３には、各色にそれぞれ対応したヘッドユニット３５（この構成については、後に詳述する。）が設けられることになる。ここで、図１では、４色のインクに対応した４つのインクカートリッジ３１を示しているが、印字手段３は、その他の色、例えば、ライトシアン、ライトマゼンダ、ダークイエロー、特色インクなどのインクカートリッジ３１をさらに備えるように構成されてもよい。
往復動機構４２は、その両端をフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸４２２と、キャリッジガイド軸４２２と平行に延在するタイミングベルト４２１とを有している。
【００３０】
キャリッジ３２は、往復動機構４２のキャリッジガイド軸４２２に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト４２１の一部に固定されている。
キャリッジモータ４１の作動により、プーリを介してタイミングベルト４２１を正逆走行させると、キャリッジガイド軸４２２に案内されて、印字手段３が往復動する。そして、この往復動の際に、印刷されるイメージデータ（印刷データ）に対応して、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００から適宜インク滴が吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００３１】
給紙装置５は、その駆動源となる給紙モータ（Ｍ）５１と、給紙モータ５１の作動により回転する給紙ローラ５２とを有している。
給紙ローラ５２は、記録用紙Ｐの搬送経路（記録用紙Ｐ）を挟んで上下に対向する従動ローラ５２ａと駆動ローラ５２ｂとで構成され、駆動ローラ５２ｂは給紙モータ５１に連結されている。これにより、給紙ローラ５２は、トレイ２１に設置した多数枚の記録用紙Ｐを、印刷装置４に向かって１枚ずつ送り込んだり印刷装置４から１枚ずつ排出したりするようになっている。なお、トレイ２１に代えて、記録用紙Ｐを収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成であってもよい。
【００３２】
さらに給紙モータ５１は、印字手段３の往復動作と連動して、画像の解像度に応じて、記録用紙Ｐの紙送りも行う。給紙動作と紙送り動作については、それぞれ別のモータで行うことも可能であり、また、電磁クラッチなどのトルク伝達の切り替えを行う部品によって同じモータで行うことも可能である。
制御部６は、例えば、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）やディジタルカメラ（ＤＣ）等のホストコンピュータ８から入力された印刷データに基づいて、印刷装置４や給紙装置５等を制御することにより記録用紙Ｐに印刷処理を行うものである。また、制御部６は、操作パネル７の表示部にエラーメッセージ等を表示させ、あるいはＬＥＤランプ等を点灯／点滅させるとともに、操作部から入力された各種スイッチの押下信号に基づいて、対応する処理を各部に実行させるものである。さらに、制御部６は、必要に応じてエラーメッセージや吐出異常などの情報をホストコンピュータ８（図２）に転送することもある。
【００３３】
図２は、本発明のインクジェットプリンタの主要部を概略的に示すブロック図である。この図２において、本発明のインクジェットプリンタ１は、ホストコンピュータ８から入力された印刷データなどを受け取るインターフェース部（ＩＦ：Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）９と、制御部６と、キャリッジモータ４１と、キャリッジモータ４１を駆動制御するキャリッジモータドライバ４３と、給紙モータ５１と、給紙モータ５１を駆動制御する給紙モータドライバ５３と、ヘッドユニット３５と、ヘッドユニット３５を駆動制御するヘッドドライバ３３と、回復手段２４と、操作パネル７と、発光手段５０３と、受光手段５０４とを備える。なお、回復手段２４については、詳細を後述する。
【００３４】
この図２において、制御部６は、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００に対し印刷処理や反射板５０１、５０２（図７）間に液滴を吐出するように命令したり、発光手段５０３に対して発光命令したりするなどの各種処理を実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）６１と、ホストコンピュータ８からＩＦ９を介して入力される印刷データを図示しないデータ格納領域に格納する不揮発性半導体メモリの一種であるＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｅｒａｓａｂｌｅ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）６２と、ＣＰＵ６１が種々の命令を行うデータを含む各種データを一時的に格納し、あるいは印刷処理などのアプリケーションプログラムを一時的に展開するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）６３と、各部を制御する制御プログラム等を格納する不揮発性半導体メモリの一種であるＰＲＯＭ６４とを備えている。なお、制御部６の各構成要素は、図示しないバスを介して電気的に接続されている。
【００３５】
上述のように、印字手段３は、各色のインクに対応した複数のヘッドユニット３５を備える。また、各ヘッドユニット３５は、複数のノズル（吐出ノズル）１１０（図３）と、これらの各ノズル１１０にそれぞれ対応する静電アクチュエータ１２０（図３）とを備える。すなわち、ヘッドユニット３５は、１組のノズル１１０および静電アクチュエータ１２０を有してなるインクジェットヘッド１００（液滴吐出ヘッド）を複数個備えた構成になっている。そして、ヘッドドライバ３３は、各インクジェットヘッド１００の静電アクチュエータ１２０を駆動して、インクの吐出タイミングを制御する駆動回路（図示せず）を有している。なお、静電アクチュエータ１２０の構成については後述する。
【００３６】
また、制御部６には、図示しないが、例えば、インクカートリッジ３１のインク残量、印字手段３の位置、温度、湿度等の印刷環境等を検出可能な各種センサが、それぞれ電気的に接続されている。
制御部６は、ＩＦ９を介して、ホストコンピュータ８から印刷データを入手すると、その印刷データをＥＥＰＲＯＭ６２に格納する。そして、ＣＰＵ６１は、この印刷データに所定の処理を実行して、この処理データおよび各種センサからの入力データに基づいて、各ドライバ３３、４３、５３に駆動信号を出力する。各ドライバ３３、４３、５３を介してこれらの駆動信号が入力されると、ヘッドユニット３５の複数の静電アクチュエータ１２０、印刷装置４のキャリッジモータ４１および給紙装置５がそれぞれ作動する。これにより、記録用紙Ｐに印刷処理が実行される。
【００３７】
次に、印字手段３内の各ヘッドユニット３５の構造を説明する。図３は、図１に示すヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）の概略的な断面図であり、図４は、１色のインクに対応するヘッドユニット３５の概略的な構成を示す分解斜視図であり、図５は、図３および図４に示すヘッドユニット３５を適用した印字手段３のノズル面の一例を示す平面図である。なお、図３および図４は、通常使用される状態とは上下逆に示されている。
【００３８】
図３に示すように、ヘッドユニット３５は、インク取入れ口１３１、ダンパ室１３０およびインク供給チューブ３１１を介して、インクカートリッジ３１に接続されている。ここで、ダンパ室１３０は、ゴムからなるダンパ１３２を備えている。このダンパ室１３０により、キャリッジ３２が往復走行する際のインクの揺れおよびインク圧の変化を吸収することができ、これにより、ヘッドユニット３５に所定量のインクを安定的に供給することができる。
【００３９】
また、ヘッドユニット３５は、シリコン基板１４０を挟んで、上側に同じくシリコン製のノズルプレート１５０と、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板（ガラス基板）１６０とがそれぞれ積層された３層構造をなしている。中央のシリコン基板１４０には、独立した複数のキャビティ（圧力室）１４１（図４では、７つのキャビティを示す）と、一つのリザーバ（共通インク室）１４３と、このリザーバ１４３を各キャビティ１４１に連通させるインク供給口（オリフィス）１４２としてそれぞれ機能する溝が形成されている。各溝は、例えば、シリコン基板１４０の表面からエッチング処理を施すことにより形成することができる。このノズルプレート１５０と、シリコン基板１４０と、ガラス基板１６０とがこの順序で接合され、各キャビティ１４１、リザーバ１４３、各インク供給口１４２が区画形成されている。
【００４０】
これらのキャビティ１４１は、それぞれ短冊状（直方体状）に形成されており、後述する振動板１２１の振動（変位）によりその容積が可変であり、この容積変化によりノズル１１０からインク（液状材料）を吐出するよう構成されている。ノズルプレート１５０には、各キャビティ１４１の先端側の部分に対応する位置に、ノズル１１０が形成されており、これらが各キャビティ１４１に連通している。また、リザーバ１４３が位置しているガラス基板１６０の部分には、リザーバ１４３に連通するインク取入れ口１３１が形成されている。インクは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１、ダンパ室１３０を経てインク取入れ口１３１を通り、リザーバ１４３に供給される。リザーバ１４３に供給されたインクは、各インク供給口１４２を通って、独立した各キャビティ１４１に供給される。なお、各キャビティ１４１は、ノズルプレート１５０と、側壁（隔壁）１４４と、底壁１２１とによって、区画形成されている。
【００４１】
独立した各キャビティ１４１は、その底壁１２１が薄肉に形成されており、底壁１２１は、その面外方向（厚さ方向）、すなわち、図３において上下方向に弾性変形（弾性変位）可能な振動板（ダイヤフラム）として機能するように構成されている。したがって、この底壁１２１の部分を、以後の説明の都合上、振動板１２１と称して説明することもある（すなわち、以下、「底壁」と「振動板」のいずれにも符号１２１を用いる）。
【００４２】
ガラス基板１６０のシリコン基板１４０側の表面には、シリコン基板１４０の各キャビティ１４１に対応した位置に、それぞれ、浅い凹部１６１が形成されている。したがって、各キャビティ１４１の底壁１２１は、凹部１６１が形成されたガラス基板１６０の対向壁１６２の表面に、所定の間隙を介して対峙している。すなわち、キャビティ１４１の底壁１２１と後述するセグメント電極１２２の間には、所定の厚さ（例えば、０．２ミクロン程度）の空隙が存在する。なお、前記凹部１６１は、例えば、エッチングなどで形成することができる。
【００４３】
ここで、各キャビティ１４１の底壁（振動板）１２１は、ヘッドドライバ３３から供給される駆動信号によってそれぞれ電荷を蓄えるための各キャビティ１４１側の共通電極１２４の一部を構成している。すなわち、各キャビティ１４１の振動板１２１は、それぞれ、後述する対応する静電アクチュエータ１２０の対向電極（コンデンサの対向電極）の一方を兼ねている。そして、ガラス基板１６０の凹部１６１の表面には、各キャビティ１４１の底壁１２１に対峙するように、それぞれ、共通電極１２４に対向する電極であるセグメント電極１２２が形成されている。また、図３に示すように、各キャビティ１４１の底壁１２１の表面は、シリコンの酸化膜（ＳｉＯ２）からなる絶縁層１２３により覆われている。このように、各キャビティ１４１の底壁１２１、すなわち、振動板１２１と、それに対応する各セグメント電極１２２とは、キャビティ１４１の底壁１２１の図３中下側の表面に形成された絶縁層１２３と凹部１６１内の空隙とを介し、対向電極（コンデンサの対向電極）を形成
（構成）している。したがって、振動板１２１と、セグメント電極１２２と、これらの間の絶縁層１２３および空隙とにより、静電アクチュエータ１２０の主要部が構成される。
【００４４】
図３に示すように、これらの対向電極の間に駆動電圧を印加するための駆動回路（図示せず）を含むヘッドドライバ３３は、制御部６から入力される印字信号（印字データ）に応じて、これらの対向電極間の充放電を行う。ヘッドドライバ（電圧印加手段）３３の一方の出力端子は、個々のセグメント電極１２２に接続され、他方の出力端子は、シリコン基板１４０に形成された共通電極１２４の入力端子１２４ａに接続されている。なお、シリコン基板１４０には不純物が注入されており、それ自体が導電性をもつために、この共通電極１２４の入力端子１２４ａから底壁１２１の共通電極１２４に電圧を供給することができる。また、例えば、シリコン基板１４０の一方の面に金や銅などの導電性材料の薄膜を形成してもよい。これにより、低い電気抵抗で（効率良く）共通電極１２４に電圧（電荷）を供給することができる。この薄膜は、例えば、蒸着あるいはスパッタリング等によって形成すればよい。ここで、本実施形態では、例えば、シリコン基板１４０とガラス基板１６０とを陽極接合によって結合（接合）させるので、その陽極結合において電極として用いる導電膜をシリコン基板１４０の流路形成面側（図３に示すシリコン基板１４０の上部側）に形成している。そして、この導電膜をそのまま共通電極１２４の入力端子１２４ａとして用いる。なお、本実施形態では、例えば、共通電極１２４の入力端子１２４ａを省略してもよく、また、シリコン基板１４０とガラス基板１６０との接合方法は、陽極接合に限定されない。
【００４５】
図４に示すように、ヘッドユニット３５は、複数のノズル１１０が形成されたノズルプレート１５０と、複数のキャビティ１４１、複数のインク供給口１４２、一つのリザーバ１４３が形成されたシリコン基板１４０と、絶縁層１２３とを備え、これらがガラス基板１６０を含む基体１７０に収納されている。基体１７０は、例えば、各種樹脂材料、各種金属材料等で構成されており、この基体１７０にシリコン基板１４０が固定、支持されている。
【００４６】
なお、ノズルプレート１５０に形成されたノズル１１０は、図４では簡潔に示すためにリザーバ１４３に対して略並行に直線的に配列されているが、ノズルの配列パターンはこの構成に限らず、通常は、例えば、図５に示すノズル配置パターンのように、段をずらして配置される。また、このノズル１１０間のピッチは、印刷解像度（ｄｐｉ：ｄｏｔ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）に応じて適宜設定され得るものである。なお、図５では、４色のインク（インクカートリッジ３１）を適用した場合におけるノズル１１０の配置パターンを示している。
【００４７】
図６は、図３のＩＩＩ−ＩＩＩ断面の駆動信号入力時の各状態を示す。ヘッドドライバ３３から対向電極間に駆動電圧が印加されると、対向電極間にクーロン力が発生し、底壁（振動板）１２１は、初期状態（図６（ａ））に対して、セグメント電極１２２側へ撓み、キャビティ１４１の容積が拡大する（図６（ｂ））。この状態において、ヘッドドライバ３３の制御により、対向電極間の電荷を急激に放電させると、振動板１２１は、その弾性復元力によって図中上方に復元し、初期状態における振動板１２１の位置を越えて上部に移動し、キャビティ１４１の容積が急激に収縮する（図２（ｃ））。このときキャビティ１４１内に発生する圧縮圧力により、キャビティ１４１を満たすインク（液状材料）の一部が、このキャビティ１４１に連通しているノズル１１０からインク滴として吐出される。
【００４８】
さて、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００では、前述したような吐出動作を行ったにもかかわらずノズル１１０からインク滴が正常に吐出されない現象、すなわち液滴の吐出異常が発生する場合がある。この吐出異常が発生する原因としては、例えば、（１）キャビティ１４１内への気泡の混入、（２）ノズル１１０付近でのインクの乾燥・増粘（固着）、（３）ノズル１１０出口付近への紙粉付着、等が挙げられる。
【００４９】
この吐出異常が発生すると、その結果としては、典型的にはノズル１１０から液滴が吐出されないこと、すなわち液滴の不吐出現象が現れ、その場合、記録用紙Ｐに印刷（描画）した画像における画素のドット抜けを生じる。また、吐出異常の場合には、ノズル１１０から液滴が吐出されたとしても、液滴の量が過少であったり、その液滴の飛行方向（弾道）がずれたりして適正に着弾しないので、やはり画素のドット抜けとなって現れる。
そして、このようなインクジェットプリンタ１は、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）の吐出異常の有無、すなわちヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）からインク滴５１０が正常に吐出されるかどうかを検出する液滴不吐出検出装置５０を備えている。
【００５０】
図７（ａ）は、図１に示すインクジェットプリンタ１が備える液滴不吐出検出装置５０の構成を示す平面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す液滴不吐出検出装置５０の検出領域５０７の周辺を示す側面図、図８は、図７（ａ）に示す液滴不吐出検出装置５０の液滴検知ユニット５１１を覆うカバー５１２を示す断面図である。
【００５１】
図７（ａ）に示すように、液滴不吐出検出装置５０は、互いの反射面をほぼ平行に対向させて設置された一対の反射板５０１、５０２と、制御部６からの発光命令に従って光ビーム５０５を発する発光手段５０３と、例えばフォトダイオードなどで構成された受光手段５０４とを有している。これらの、反射板５０１、５０２と、発光手段５０３と、受光手段５０４とで、液滴検知ユニット５１１が構成される。
【００５２】
発光手段５０３は、反射板５０１（または反射板５０２）の一端付近（図７（ａ）中の右側）に向けて、光ビーム５０５を発する。発光手段５０３から発せられた光ビーム５０５は、まず反射板５０１で反射し、その反射光が反射板５０２で反射し、というように反射板５０１と反射板５０２とで交互に繰り返し反射しつつ進行し、徐々に反射板５０１、５０２の他端側（図７（ａ）中の左側）に移行していく。そして、光ビーム５０５は、反射板５０２（または反射板５０１）の他端を超える位置まで移行すると、反射板５０２（または反射板５０１）の他端側に設置された受光手段５０４に入射する。受光手段５０４からの出力信号は、制御部６に入力される（図２参照）。本実施形態では、制御部６が、インク滴５１０の吐出異常の有無を検出（判定）する検出手段として機能するが、この検出手段は制御部６と別個に設けられていてもよく、また、電子回路によりハード的に構成されたものでもよい。
【００５３】
本実施形態の液滴不吐出検出装置５０は、ベース（支持部材）５０６をさらに有しており、反射板５０１、５０２と、発光手段５０３と、受光手段５０４とは、この一つの（共通の）ベース５０６に設置されている。これにより、インクジェットプリンタ１を長期間使用しても、反射板５０１、５０２、発光手段５０３、受光手段５０４の間の相対的な位置精度に狂いを生じるようなことを確実に防止することができ、高い信頼性が得られる。
【００５４】
このような液滴不吐出検出装置５０では、反射板５０１と反射板５０２との間の空間の一部または全部が検出領域（検出空間）５０７となり、この検出領域５０７を通過したインク滴５１０を検出することができる。
この検出領域５０７では、反射板５０１、５０２の一端側から他端側に向かい、繰り返し反射した光ビーム５０５が並列して位置するようになっている。検出領域５０７においては、隣り合って位置する光ビーム５０５同士の隙間は、インク滴５１０の直径より小さく設定されるのが好ましい。これにより、検出領域５０７のどこをインク滴５１０が通過しても、確実にそのインク滴５１０を検出することができる。なお、検出領域５０７においては、隣り合って位置する光ビーム５０５同士の間隔（ピッチ）が光ビーム５０５のビーム径より小さくてもよい、すなわち、隣り合って位置する光ビーム５０５同士が一部重なっていてもよい。
【００５５】
ベース５０６には、検出領域５０７に相当する位置に開口５０８が形成されている。この開口５０８は、検出領域５０７の投影面積と同じかまたはやや大きい面積で形成されている。ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）から検出領域５０７に向けて吐出されたインク滴５１０は、検出領域５０７、開口５０８を順次通過して、ベース５０６の反対側に飛行する。
【００５６】
図７（ｂ）に示すように、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）の吐出異常の有無を検出する際には、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）は、制御部６からの命令に基づき、検出領域５０７に向けてインク滴５１０を吐出するべく、吐出動作を行う。これに対し、制御部６は、受光手段５０４の出力信号のレベル変化の有無に基づいて吐出異常の有無を検出（判定）する。すなわち、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）から正常にインク滴５１０が吐出された場合には、インク滴５１０によって光ビーム５０５が遮られ、受光手段５０４に入射する光量が減少するため、受光手段５０４にて電気信号に変化されたときの電圧が小さくなる。よって、制御部６は、受光手段５０４からの出力信号の電圧レベルが低下した場合には、インク滴５１０が正常に吐出されている（インクジェットヘッド１００の吐出異常はない）と判定する。これに対し、制御部６は、受光手段５０４からの出力信号の電圧レベルの変化がない（または変化が微弱な）場合には、インク滴５１０が正常に吐出されていない（インクジェットヘッド１００の吐出異常がある）と判定する。
【００５７】
このような本発明の液滴不吐出検出装置５０では、図７（ａ）に示すように光ビーム５０５を反射板５０１、５０２で交互に繰り返し反射させるので、検出領域５０７を広く確保することができる。このため、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）のノズル１１０と、検出領域５０７との位置関係を高精度に設定（制御）する必要がない、という利点がある。よって、インクジェットプリンタ１は、液滴不吐出検出装置５０に関連して、高い組み立て精度や位置精度を要求されないので、容易に組み立て・製造を行うことができ、また、液滴不吐出検出装置５０は、長期間の使用に際しても高い信頼性を維持することができる。
【００５８】
検出領域５０７の広さは、特に限定されないが、例えば、ヘッドユニット３５におけるノズル１１０が配列されている領域の面積より少し大きい程度とすることができる。これにより、ヘッドユニット３５を液滴検知ユニット５１１に対し静止したまま、各インクジェットヘッド１００について吐出異常の有無の検出を行うことができる。
【００５９】
なお、反射板５０１、５０２での光ビーム５０５の反射回数の総数は、特に限定されないが、検出領域５０７を広く確保することと、発光手段５０３の出力、受光手段５０４の感度、および反射板５０１と５０２との間による減衰とを考慮して、通常は、１０〜３００回程度が好ましい。
また、インク滴の検出領域５０７がインク滴を吐出する全てのノズル領域をカバーできない場合には、ノズル領域を複数のブロックに分割し、ヘッドユニット３５を移動しながら各ブロックごとにインク滴の検出を行うことができる。
【００６０】
本実施形態の液滴不吐出検出装置５０は、発光手段５０３から出射する光ビーム５０５の光軸方向を調整する調整機構（調整手段）５１５をさらに備えている。調整機構５１５は、発光手段５０３を回動可能に支持する支点５１５ａと、発光手段５０３の回動位置（角度）を調整して固定するネジ機構５１５ｂとで構成されている。この調整機構５１５によって発光手段５０３から出射する光ビーム５０５の光軸方向を微調整すると、反射板５０１、５０２に対する光ビーム５０５の入射角が調整され、これにより、検出領域５０７における並列して位置する光ビーム５０５の粗密の程度の調整、すなわち、検出領域５０７における隣り合う光ビーム５０５同士の間隔の調整を行うことができる。
【００６１】
また、発光手段５０３としては、特に限定されず、いかなるものでもよいが、例えば、単波長の光ビーム５０５を発する半導体レーザ等が好ましく用いられる。また、その場合、光ビーム５０５の波長は特に限定されないが、例えば６５０ｎｍあるいは７８０ｎｍ程度とすることができる。
また、反射板５０１、５０２の反射面の反射率は、光ビーム５０５の中心波長に対し、８０％以上であるのが好ましく、９０％以上であるのがより好ましい。これにより、光ビーム５０５の繰り返しの反射による減衰を少なくすることができ、検出精度の向上が図れる。
【００６２】
反射板５０１、５０２の構成材料は、特に限定されないが、アルミニウムであるのが好ましい。アルミニウムは、光反射率が比較的高く、かつ機械加工性も優れているので表面（反射面）の平滑度を高くすることが可能であるからである。また、反射面の反射率をさらに高める方法として、アルミニウムの表面に銀、金、銅などの光反射率の高い金属材料を蒸着したもの、多層の誘電体膜を蒸着したものなどがあり、このようなものを用いることが特に好ましい。（下記表１を参照）
【００６３】
【表１】
2004291475.tif 000003
【００６４】
また、本実施形態のインクジェットプリンタ１は、ベース５０６を移動させる図示しない移動手段を有している。これにより、液滴不吐出検出装置５０では、液滴検知ユニット５１１を図７（ｂ）の紙面に垂直な方向に移動可能になっている。この移動手段の作動により、インクジェットプリンタ１では、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）の吐出異常の検出を行うときには、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）と、後述するキャップ３１０との間に液滴検知ユニット５１１を挿入（移動）する（図７（ｂ）に示す状態）。これにより、液滴不吐出検出装置５０に専用のインク滴受け皿が不要となり、キャップ３１０で兼用することができるので、インクジェットプリンタ１の構造の合理化、小型化が図れる。そして、吐出異常の検出を行わないとき（印刷時や、キャップ３１０を用いたポンプ吸引時など）には、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）とキャップ３１０との間から液滴検知ユニット５１１を退避させる。
【００６５】
また、図８に示すように、本実施形態の液滴不吐出検出装置５０は、液滴検知ユニット５１１を覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバー５１２をさらに備えている。吐出異常の有無の検出を行わないときには、液滴検知ユニット５１１は、このカバー５１２に覆われている。これにより、液滴検知ユニット５１１の各部にゴミ、紙粉、インクミスト等が付着するのを防止することができ、光ビーム５０５の反射効率が低下したりするような事態を回避できるので、インクジェットプリンタ１の長期間の使用後でも、液滴不吐出検出装置５０の信頼性を維持することができる。
【００６６】
このカバー５１２は、図示しないカバー移動手段によって移動することにより、液滴検知ユニット５１１を覆う位置と覆わない位置とに移動する。あるいは、カバー５１２を固定とし、液滴検知ユニット５１１（ベース５０６）が移動するのに伴って、液滴検知ユニット５１１がカバー５１２内から出たり入ったりするようになっていてもよい。
【００６７】
次に、液滴不吐出検出装置５０の動作について説明する。
まず、制御部６は、ヘッドユニット３５が例えばホームポジションのように液滴不吐出検出装置５０の作動可能位置にあるか否かを判定し、作動可能位置に位置していない場合には、キャリッジガイド軸４２２によってガイドしながら、ヘッドユニット３５をホームポジションに移動させる。
【００６８】
次いで、制御部６は、図示しない移動手段によって、液滴検知ユニット５１１をヘッドユニット３５とキャップ３１０との間に移動して、ヘッドユニット３５とキャップ３１０との間に検出領域５０７を位置合わせさせる。
次いで、制御部６は、発光手段５０３に対して、発光命令を行う。すると、発光手段５０３は、この発光命令に従って光ビーム５０５を発する。光ビーム５０５は、反射板５０１、５０２間で反射していき、受光手段５０４に到達する。
【００６９】
受光手段５０４は、反射板５０１、５０２で繰り返し反射してきた光ビーム５０５を受光して、光ビーム５０５の光量に応じたレベルの電気信号を制御部６へ出力する。
この状態で、制御部６からヘッドユニット３５のインクジェットヘッド１００にインク滴５１０の吐出命令がされると、命令されたインクジェットヘッド１００は吐出動作を行い、ノズル詰まり等の吐出異常がなければ、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出される。なお、このとき、ヘッドユニット３５を静止させたままで吐出動作を行っても、キャリッジガイド軸４２２に沿ってヘッドユニット３５を移動させながら吐出動作を行ってもよい。
【００７０】
インク滴５１０は染料や顔料などの色材を含んでいて光ビーム５０５の透過率が低いため、インク滴５１０が検出領域５０７を通過して光ビーム５０５を遮ると、受光手段５０４で受光される光ビーム５０５の光量が減少する。よって、受光手段５０４から出力されている電気信号のレベルが低下する。このため、制御部６（検出手段）は、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出（判定）することができる。
【００７１】
なお、ヘッドユニット３５から吐出されたインク滴５１０は、キャップ３１０内に設置されたインク吸収体３３０に着弾するので、その位置で飛び散ったりすることなく吸収される。なお、インク吸収体３３０のインクの吸収量が多くなると、飽和したインクはキャップ３１０の下方へ染み出して、排インクカートリッジ３４０（図１２参照）へ流れていく。
【００７２】
一方、制御部６からインクジェットヘッド１００に対してインク滴５１０の吐出命令がされたときに、当該インクジェットヘッド１００に異常があると、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されないことになる。
この場合には、光ビーム５０５の透過率がさほど低下しない、あるいは、全く低下しないことになるので、受光手段５０４で受光される光ビーム５０５の光量が減少せず、受光手段５０４から出力されている電気信号のレベルは維持される。このため、制御部６（検出手段）は、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されていないということを検出（判定）することができる。
このようにして、液滴不吐出検出手段５０は、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００について、吐出異常の有無を検出することができる。
【００７３】
図９（ａ）は、本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態を示す平面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す液滴不吐出検出手段５０’における発光手段５０３’から発せられる光ビーム５０５ａ〜５０５ｃのビーム径および間隔とインク液滴５１０との大小関係を示す図である。以下、これらの図に基づいて本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態について説明するが、前記図７（ａ）の液滴不吐出検出装置５０との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００７４】
図９（ａ）に示す液滴不吐出検出手段５０’は、前記の発光手段５０３に代えて、複数（ここでは３つ）の光ビーム５０５ａ〜５０５ｃを発する発光手段５０３’を備えている。発光手段５０３’からは、３本の光ビーム５０５ａ〜５０５ｃが平行に発せられ、これらの光ビーム５０５ａ〜５０５ｃは、前記と同様に、反射板５０１、５０２で交互に繰り返し反射しながら進行し、受光手段５０４に入射する。
【００７５】
図９（ｂ）に示すように、光ビーム５０５ａ〜５０５ｃの相互の隙間は、インク滴５１０の直径よりも狭くされている。これにより、インク滴５１０は、光ビーム５０５ａ〜５０５ｃのいずれかを遮ることなく光ビーム５０５ａ〜５０５ｃの間をすり抜けることはないので、液滴不吐出検出手段５０’は、インク滴５１０を確実に検出することができる。すなわち、実際には所定量のインク滴５１０が正常に吐出されているにもかかわらず、吐出異常であると誤って判定することが防止される。
【００７６】
このように本実施形態では、３本の光ビーム５０５ａ〜５０５ｃが隣り合って並んでいるので、検出可能な幅が大きい。よって、反射板５０１、５０２での反射回数が少なくても検出領域５０７を光ビーム５０５ａ〜５０５ｃでカバーすることができる。よって、受光手段５０４に到達するまでの光ビーム５０５ａ〜５０５ｃの減衰を少なくすることができるので、検出精度をより高くすることができる。また、発光手段５０３’が発する光ビーム５０５ａ〜５０５ｃの光量が小さくても、検出が可能となる。
【００７７】
次に、本発明の液滴吐出装置におけるインクジェットヘッド１００（ヘッドユニット３５）に対し、吐出異常（ヘッド異常）の原因を解消させる回復処理を実行する構成（回復手段２４）について説明する。図１０は、図１に示すインクジェットプリンタ１の上部から見た概略的な構造（一部省略）を示す図である。この図１０に示すインクジェットプリンタ１は、図１の斜視図で示した構成以外に、インク滴不吐出（ヘッド異常）の回復処理を実行するためのワイパ３００とキャップ３１０とを備える。
【００７８】
回復手段２４が実行する回復処理としては、各インクジェットヘッド１００のノズル１１０から液滴を予備的に吐出するフラッシング処理と、後述するワイパ３００（図１１参照）によるワイピング処理と、後述するチューブポンプ３２０によるポンピング処理（ポンプ吸引処理）が含まれる。すなわち、回復手段２４は、チューブポンプ３２０およびそれを駆動するパルスモータと、ワイパ３００およびワイパ３００の上下動駆動機構と、キャップ３１０の上下動駆動機構（図示せず）とを備え、フラッシング処理においてはヘッドドライバ３３およびヘッドユニット３５などが、また、ワイピング処理においてはキャリッジモータ４１などが回復手段２４の一部として機能する。
【００７９】
ここで、ワイピング処理とは、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（ノズル面）に付着した紙粉などの異物をワイパ３００により拭き取る処理のことをいう。また、ポンピング処理（ポンプ吸引処理）とは、後述するチューブポンプ３２０を駆動して、ヘッドユニット３５の各ノズル１１０から、キャビティ１４１内のインクを吸引して排出する処理をいう。このように、ワイピング処理は、上述のようなインクジェットヘッド１００の液滴の吐出異常の原因の一つである紙粉付着の状態における回復処理として適切な処理である。また、ポンプ吸引処理は、前述のフラッシング処理では取り除けないキャビティ１４１内の気泡を除去し、あるいは、ノズル１１０付近のインクが乾燥によりまたはキャビティ１４１内のインクが経年劣化により増粘した場合に、増粘したインクを除去する回復処理として適切な処理である。なお、それほど増粘が進んでおらず粘度がそれほど大きくない場合には、上述のフラッシング処理による回復処理も行われ得る。この場合、排出するインク量が少ないので、スループットやランニングコストを低下させずに適切な回復処理を行うことができる。
【００８０】
図１０に示すように、ヘッドユニット３５は、キャリッジ３２に搭載され、２本のキャリッジガイド軸４２２にガイドされてキャリッジモータ４１により、図中その上端に備えられた連結部３４を介してタイミングベルト４２１に連結して移動する。キャリッジ３２に搭載されたヘッドユニット３５は、キャリッジモータ４１の駆動により移動するタイミングベルト４２１を介して（タイミングベルト４２１に連動して）主走査方向に移動可能である。なお、キャリッジモータ４１は、タイミングベルト４２１を連続的に回転させるためのプーリの役割を果たし、他端側にも同様にプーリ４４が備えられている。
【００８１】
また、キャップ３１０は、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（図５参照）のキャッピングを行うためのものである。キャップ３１０には、その底部側面に孔が形成され、後述するように、チューブポンプ３２０の構成要素である可撓性のチューブ３２１が接続されている。なお、チューブポンプ３２０については、図１３において後述する。
【００８２】
記録（印字）動作時には、所定のインクジェットヘッド１００（液滴吐出ヘッド）の静電アクチュエータ１２０を駆動しながら、記録用紙Ｐは、副走査方向、すなわち、図１０中下方に移動し、印字手段３は、主走査方向、すなわち、図１０中左右に移動することにより、インクジェットプリンタ（液滴吐出装置）１は、ホストコンピュータ８から入力された印刷データ（印字データ）に基づいて所定の画像などを記録用紙Ｐに印刷（記録）する。
【００８３】
図１１は、図１０に示すワイパ３００と印字手段３（ヘッドユニット３５）との位置関係を示す図である。この図１１において、印字手段３（ヘッドユニット３５）とワイパ３００は、図１０に示すインクジェットプリンタ１の図中下側から上側を見た場合の側面図の一部として示される。ワイパ３００は、図１１（ａ）に示すように、印字手段３のノズル面、すなわち、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０と当接可能なように、上下移動可能に配置される。
【００８４】
ここで、ワイパ３００を利用する回復処理であるワイピング処理について説明する。ワイピング処理を行う際、図１１（ａ）に示すように、ノズル面（ノズルプレート１５０）よりもワイパ３００の先端が上側に位置するように図示しない駆動装置によってワイパ３００は上方に移動される。この場合において、キャリッジモータ４１を駆動して図中左方向（矢印の方向）に印字手段３を移動させると、ワイピング部材３０１がノズルプレート１５０（ノズル面）に当接することになる。
【００８５】
なお、ワイピング部材３０１は可撓性のゴム部材等から構成されるので、図１１（ｂ）に示すように、ワイピング部材３０１のノズルプレート１５０と当接する先端部分は撓み、その先端部によってノズルプレート１５０（ノズル面）の表面をクリーニング（拭き掃除）する。これにより、ノズルプレート１５０（ノズル面）に付着した紙粉などの異物（例えば、紙粉、空気中に浮遊するごみ、ゴムの切れ端など）を除去することができる。また、このような異物の付着状態に応じて（異物が多く付着している場合には）、印字手段３（ヘッドユニット３５）にワイパ３００の上方を往復移動させることによって、ワイピング処理を複数回実施することもできる。
【００８６】
図１２は、ポンプ吸引処理時における、ヘッドユニット３５と、キャップ３１０およびポンプ３２０との関係を示す図である。チューブ３２１は、ポンピング処理（ポンプ吸引処理）におけるインク排出路を形成するものであり、その一端は、上述のように、キャップ３１０の底部に接続され、他端は、チューブポンプ３２０を介して排インクカートリッジ３４０に接続されている。
【００８７】
キャップ３１０の内部底面には、インク吸収体３３０が配置されている。このインク吸収体３３０は、ポンプ吸引処理やフラッシング処理においてインクジェットヘッド１００のノズル１１０から吐出されるインクを吸収して、一時貯蔵する。なお、インク吸収体３３０によって、キャップ３１０内へのフラッシング動作時に、吐出された液滴が跳ね返ってノズルプレート１５０を汚すことを防止することができる。
【００８８】
図１３は、図１２に示すチューブポンプ３２０の構成を示す概略図である。この図１３（Ｂ）に示すように、チューブポンプ３２０は、回転式ポンプであり、回転体３２２と、その回転体３２２の円周部に配置された４つのローラ３２３と、ガイド部材３５０とを備えている。なお、ローラ３２３は、回転体３２２により支持されており、ガイド部材３５０のガイド３５１に沿って円弧状に載置された可撓性のチューブ３２１を加圧するものである。
【００８９】
このチューブポンプ３２０は、軸３２２ａを中心にして回転体３２２を図１３（Ｂ）に示す矢印Ｘ方向に回転させることにより、チューブ３２１に当接している一つまたは２つのローラ３２３が、Ｙ方向に回転しながら、ガイド部材３５０の円弧状のガイド３５１に載置されたチューブ３２１を順次加圧する。これにより、チューブ３２１が変形し、このチューブ３２１内に発生した負圧により、各インクジェットヘッド１００のキャビティ１４１内のインク（液状材料）がキャップ３１０を介して吸引され、気泡が混入し、あるいは乾燥により増粘した不要なインクがノズル１１０を介して、インク吸収体３３０に排出され、このインク吸収体３３０に吸収された排インクがチューブポンプ３２０を介して排インクカートリッジ３４０（図１２参照）に排出される。
【００９０】
なお、このチューブポンプ３２０は、図示しないパルスモータなどのモータにより駆動される。パルスモータは、制御部６により制御される。チューブポンプ３２０の回転制御に対する駆動情報、例えば、回転速度、回転数が記述されたルックアップテーブル、シーケンス制御が記述された制御プログラムなどは、制御部６のＰＲＯＭ６４などに格納されており、これらの駆動情報に基づいて、制御部６のＣＰＵ６１によってチューブポンプ３２０の制御が行われている。
【００９１】
さて、このような回復手段２４を備えるインクジェットプリンタ１では、液滴不吐出検出装置５０によりヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００に対して吐出異常の有無の検出を行った結果、吐出異常が検出された場合には、回復手段２４によって、上述したフラッシング処理、ポンピング処理、ワイピング処理のうちの少なくとも１つの回復処理を行うように作動する。これにより、吐出異常が生じたインクジェットヘッド１００を正常な状態に回復させることができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのを防止することができる。
【００９２】
また、このようにして回復手段２４による回復処理を行った場合には、その後、液滴不吐出検出装置５０による検出を再度行うことが好ましい。これにより、回復処理によって、インクジェットヘッド１００の異常が解消されたかどうか（正常状態に回復したかどうか）を確認することができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのをより確実に防止することができる。なお、この再度の検出によっても吐出異常が検出された場合には、回復手段２４によるフラッシング処理、ポンピング処理、ワイピング処理のうちの少なくとも１つの回復処理を行うのが好ましい。
【００９３】
次に、本発明における液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の他の構成例について説明する。本発明における液滴吐出ヘッドは、前述したインクジェットヘッド１００のような構成のものに限らず、いかなるものでもよく、例えば、以下に説明するインクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｅのような構成のものであってもよい。
【００９４】
図１４〜図１７は、それぞれ、インクジェットヘッド（ヘッドユニット）の他の構成例を示す断面図である。図１８および図１９は、インクジェットヘッド（ヘッドユニット）のさらに他の構成例を示す斜視図および断面図である。以下、これらの図に基づいて説明するが、前述した実施形態と相違する点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００９５】
図１４に示すインクジェットヘッド１００Ａは、圧電素子２００の駆動により振動板２１２が振動し、キャビティ２０８内のインク（液体）がノズル２０３から吐出するものである。ノズル（孔）２０３が形成されたステンレス鋼製のノズルプレート２０２には、ステンレス鋼製の金属プレート２０４が接着フィルム２０５を介して接合されており、さらにその上に同様のステンレス鋼製の金属プレート２０４が接着フィルム２０５を介して接合されている。そして、その上には、連通口形成プレート２０６およびキャビティプレート２０７が順次接合されている。
【００９６】
ノズルプレート２０２、金属プレート２０４、接着フィルム２０５、連通口形成プレート２０６およびキャビティプレート２０７は、それぞれ所定の形状（凹部が形成されるような形状）に成形され、これらを重ねることにより、キャビティ２０８およびリザーバ２０９が形成される。キャビティ２０８とリザーバ２０９とは、インク供給口２１０を介して連通している。また、リザーバ２０９は、インク取入れ口２１１に連通している。
【００９７】
キャビティプレート２０７の上面開口部には、振動板２１２が設置され、この振動板２１２には、下部電極２１３を介して圧電素子（ピエゾ素子）２００が接合されている。また、圧電素子２００の下部電極２１３と反対側には、上部電極２１４が接合されている。ヘッドドライバ２１５は、駆動電圧波形を生成する駆動回路を備え、上部電極２１４と下部電極２１３との間に駆動電圧波形を印加（供給）することにより、圧電素子２００が振動し、それに接合された振動板２１２が振動する。この振動板２１２の振動によりキャビティ２０８の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２０８内に充填されたインク（液体）がノズル２０３より液滴として吐出する。
液滴の吐出によりキャビティ２０８内で減少した液量は、リザーバ２０９からインクが供給されて補給される。また、リザーバ２０９へは、インク取入れ口２１１からインクが供給される。
【００９８】
図１５に示すインクジェットヘッド１００Ｂも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２２１内のインク（液体）がノズルから吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｂは、一対の対向する基板２２０を有し、両基板２２０間に、複数の圧電素子２００が所定間隔をおいて間欠的に設置されている。
【００９９】
隣接する圧電素子２００同士の間には、キャビティ２２１が形成されている。キャビティ２２１の図１５中前方にはプレート（図示せず）、後方にはノズルプレート２２２が設置され、ノズルプレート２２２の各キャビティ２２１に対応する位置には、ノズル（孔）２２３が形成されている。
【０１００】
各圧電素子２００の一方の面および他方の面には、それぞれ、一対の電極２２４が設置されている。すなわち、一つの圧電素子２００に対し、４つの電極２２４が接合されている。これらの電極２２４のうち所定の電極間に所定の駆動電圧波形を印加することにより、圧電素子２００がシェアモード変形して振動し（図１５において矢印で示す）、この振動によりキャビティ２２１の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２２１内に充填されたインク（液体）がノズル２２３より液滴として吐出する。すなわち、インクジェットヘッド１００Ｂでは、圧電素子２００自体が振動板として機能する。
【０１０１】
図１６に示すインクジェットヘッド１００Ｃも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２３３内のインク（液体）がノズル２３１から吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｃは、ノズル２３１が形成されたノズルプレート２３０と、スペーサ２３２と、圧電素子２００とを備えている。圧電素子２００は、ノズルプレート２３０に対しスペーサ２３２を介して所定距離離間して設置されており、ノズルプレート２３０と圧電素子２００とスペーサ２３２とで囲まれる空間にキャビティ２３３が形成されている。
【０１０２】
圧電素子２００の図１６中上面には、複数の電極が接合されている。すなわち、圧電素子２００のほぼ中央部には、第１電極２３４が接合され、その両側部には、それぞれ第２の電極２３５が接合されている。第１電極２３４と第２電極２３５との間に所定の駆動電圧波形を印加することにより、圧電素子２００がシェアモード変形して振動し（図１６において矢印で示す）、この振動によりキャビティ２３３の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２３３内に充填されたインク（液体）がノズル２３１より液滴として吐出する。すなわち、インクジェットヘッド１００Ｃでは、圧電素子２００自体が振動板として機能する。
【０１０３】
図１７に示すインクジェットヘッド１００Ｄも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２４５内のインク（液体）がノズル２４１から吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｄは、ノズル２４１が形成されたノズルプレート２４０と、キャビティプレート２４２と、振動板２４３と、複数の圧電素子２００を積層してなる積層圧電素子２０１とを備えている。
【０１０４】
キャビティプレート２４２は、所定の形状（凹部が形成されるような形状）に成形され、これにより、キャビティ２４５およびリザーバ２４６が形成される。キャビティ２４５とリザーバ２４６とは、インク供給口２４７を介して連通している。また、リザーバ２４６は、インク供給チューブ３１１を介してインクカートリッジ３１と連通している。
【０１０５】
積層圧電素子２０１の図１７中下端は、中間層２４４を介して振動板２４３と接合されている。積層圧電素子２０１には、複数の外部電極２４８および内部電極２４９が接合されている。すなわち、積層圧電素子２０１の外表面には、外部電極２４８が接合され、積層圧電素子２０１を構成する各圧電素子２００同士の間（または各圧電素子の内部）には、内部電極２４９が設置されている。この場合、外部電極２４８と内部電極２４９の一部が、交互に、圧電素子２００の厚さ方向に重なるように配置される。
【０１０６】
そして、外部電極２４８と内部電極２４９との間にヘッドドライバ３３より駆動電圧波形を印加することにより、積層圧電素子２０１が図１７中の矢印で示すように変形して（図１７上下方向に伸縮して）振動し、この振動により振動板２４３が振動する。この振動板２４３の振動によりキャビティ２４５の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２４５内に充填されたインク（液体）がノズル２４１より液滴として吐出する。
液滴の吐出によりキャビティ２４５内で減少した液量は、リザーバ２４６からインクが供給されて補給される。また、リザーバ２４６へは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１を介してインクが供給される。
【０１０７】
図１８および図１９に示すヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００Ｅ）は、いわゆる膜沸騰インクジェット方式（サーマルジェット方式）によるもので、支持板４１０と、基板４２０と、外壁４３０および隔壁４３１と、天板４４０とが、図１８および図１９中下側からこの順に接合された構成のものである。
【０１０８】
基板４２０と天板４４０とは、外壁４３０および等間隔で平行に配置された複数（図示の例では６枚）の隔壁４３１を介して所定の間隔をおいて設置されている。そして、基板４２０と天板４４０との間には、隔壁４３１によって区画された複数（図示の例では５個）のキャビティ（圧力室：インク室）１４１が形成されている。各キャビティ１４１は、短冊状（直方体状）をなしている。
【０１０９】
また、図１８および図１９に示すように、各キャビティ１４１の図１９中左側端部（図１８中上端）は、ノズルプレート（前板）４３３により覆われている。このノズルプレート４３３には、各キャビティ１４１に連通するノズル（孔）１１０が形成されており、このノズル１１０からインク（液状材料）が吐出する。図１８では、ノズルプレート４３３に対しノズル１１０が直線的に、すなわち列状に配置されているが、ノズルの配置パターンはこれに限定されないことは言うまでもない。
【０１１０】
なお、ノズルプレート４３３を設けず、各キャビティ１４１の図１８中上端（図１９中左端）が開放しており、この開放した開口がノズルとなるような構成のものでもよい。
また、天板４４０には、インク取り入れ口４４１が形成され、該インク取り入れ口４４１には、インク供給チューブ３１１を介して、インクカートリッジ３１に接続されている。
【０１１１】
基板４２０の各キャビティ１４１に対応する箇所には、それぞれ、発熱体４５０が設置（埋設）されている。各発熱体４５０は、ヘッドドライバ（通電手段）３３により、それぞれ別個に通電され、発熱する。ヘッドドライバ３３は、制御部６から入力される印刷信号（印刷データ）に応じ、発熱体４５０の駆動信号として例えばパルス状の信号を出力する。
【０１１２】
また、発熱体４５０のキャビティ１４１側の面は、保護膜（耐キャビテーション膜）４５１で覆われている。この保護膜４５１は、発熱体４５０がキャビティ１４１内のインクと直接接触するのを防止するために設けられたものである。この保護膜４５１を設けることにより、発熱体４５０がインクと接触することによる変質、劣化等を防止することができる。
【０１１３】
次に、インクジェットヘッド１００Ｅの作用（作動原理）について説明する。ヘッドドライバ３３から駆動信号（パルス信号）が出力されて発熱体４５０に通電されると、発熱体４５０は、瞬時に３００℃以上の温度に発熱する。これにより、保護膜４５１上に膜沸騰による気泡（前述した吐出異常の原因となるキャビティ内に混入、発生する気泡とは異なる）４８０が発生し、該気泡４８０は瞬時に膨張する。これにより、キャビティ１４１内に満たされたインク（液状材料）の液圧が増大し、インクの一部がノズル１１０から液滴として吐出される。
インク滴の吐出によりキャビティ１４１内で減少した液量は、インク取り入れ口４４１から新たなインクがキャビティ１４１内に供給されて補給される。このインクは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１内を通って供給される。
【０１１４】
以上、本発明の液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、液滴不吐出検出装置あるいは液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができ、また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１１５】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド（上述の実施形態では、インクジェットヘッド１００）から吐出する吐出対象液（液滴）としては、特に限定されず、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。すなわち、カラーフィルタのフィルタ材料（インク）、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料、電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料、ＤＮＡチップやプロテインチップなどのバイオセンサに利用する各種試験液体材料などである。
また、本発明では、液滴を吐出する対象となる液滴受容物は、記録用紙のような紙に限らず、フィルム、織布、不織布等の他のメディアや、ガラス基板、シリコン基板等の各種基板のようなワークであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタの構成を示す概略図である。
【図２】本発明のインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の主要部を概略的に示すブロック図である。
【図３】図１に示すインクジェットプリンタにおけるヘッドユニット（インクジェットヘッド）の概略的な断面図である。
【図４】図３のヘッドユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図５】４色インクを用いるヘッドユニットのノズルプレートのノズル配置パターンの一例である。
【図６】図３のＩＩＩ−ＩＩＩ断面の駆動信号入力時の各状態を示す状態図である。
【図７】図１に示すインクジェットプリンタが備える液滴不吐出検出装置の構成を示す平面図、および、液滴不吐出検出装置の検出領域の周辺を示す側面図である。
【図８】図７に示す液滴不吐出検出装置における液滴検知ユニットを覆うカバーを示す断面図である。
【図９】本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態を示す平面図、および、発光手段から発せられる光ビームのビーム径および間隔とインク液滴との大小関係を示す図である。
【図１０】図１に示すインクジェットプリンタの上部から見た概略的な構造（一部省略）を示す図である。
【図１１】図１０に示すワイパとヘッドユニットとの位置関係を示す図である。
【図１２】ポンプ吸引処理時における、ヘッドユニットと、キャップおよびポンプとの関係を示す図である。
【図１３】図１２に示すチューブポンプの構成を示す概略図である。
【図１４】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図１５】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図１６】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図１７】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図１８】本発明におけるインクジェットヘッドのさらに他の構成例を示す斜視図である。
【図１９】図１８に示すインクジェットヘッドの断面図である。
【図２０】従来の光学式のインク滴検出方法の原理を示す模式図である。
【符号の説明】
１……インクジェットプリンタ  ２……装置本体  ２１……トレイ  ２２……排紙口  ３……印字手段  ３１……インクカートリッジ  ３１１……インク供給チューブ  ３２……キャリッジ  ３３……ヘッドドライバ  ３４……連結部  ３５……ヘッドユニット  ４……印刷装置  ４１……キャリッジモータ  ４２……往復動機構  ４２１……タイミングベルト  ４２２……キャリッジガイド軸  ４３……キャリッジモータドライバ  ４４……プーリ  ５……給紙装置  ５１……給紙モータ  ５２……給紙ローラ  ５２ａ……従動ローラ  ５２ｂ……駆動ローラ  ５３……給紙モータドライバ  ６……制御部  ６１……ＣＰＵ  ６２……ＥＥＰＲＯＭ  ６３……ＲＡＭ  ６４……ＰＲＯＭ  ７……操作パネル  ８……ホストコンピュータ  ９……ＩＦ  ２４……回復手段  １００、１００Ａ〜１００Ｅ……インクジェットヘッド  １１０……ノズル  １２０……静電アクチュエータ  １２１……振動板（底壁）  １２２……セグメント電極  １２３……絶縁層
１２４……共通電極  １２４ａ……入力端子  １３０……ダンパ室  １３１……インク取入れ口  １３２……ダンパ  １４０……シリコン基板  １４１……キャビティ  １４２……インク供給口  １４３……リザーバ  １５０……ノズルプレート  １６０……ガラス基板  １６１……凹部  １６２……対向壁  ２００……圧電素子  ２０１……積層圧電素子  ２０２、２２２、２３０、２４０……ノズルプレート  ２０３、２２３、２３１、２４１……ノズル  ２０４……金属プレート  ２０５……接着フィルム  ２０６……連通口形成プレート  ２０７、２４２……キャビティプレート  ２０８、２２１、２３３、２４５……キャビティ
２０９、２４６……リザーバ  ２１０、２４７……インク供給口  ２１１……インク取入れ口  ２１２、２４３……振動板  ２１３……下部電極  ２１４……上部電極  ２１５……ヘッドドライバ  ２２０……基板  ２２４……電極  ２３２……スペーサ  ２３４……第１電極  ２３５……第２電極  ２４４……中間層
２４８……外部電極  ２４９……内部電極  ３００……ワイパ  ３０１……ワイピング部材  ３１０……キャップ  ３２０……チューブポンプ（回転式ポンプ）  ３２１……（可撓性）チューブ  ３２２……回転体  ３２２ａ……軸  ３２３……ローラ  ３３０……インク吸収体  ３４０……排インクカートリッジ  ３５０……ガイド部材  ３５１……ガイド  ５０、５０’……液滴不吐出検出装置
５０１、５０２……反射板  ５０３、５０３’……発光手段  ５０４……受光手段  ５０５、５０５ａ〜５０５ｃ……光ビーム  ５０６……ベース  ５０７……検出領域  ５０８……開口  ５１０……インク滴  ５１１……液滴検知ユニット  ５１２……カバー  ５１５……調整機構  ５１５ａ……支点  ５１５ｂ……ネジ機構  Ｐ……記録用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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