(57)【要約】【課題】行先を簡単に振り分けることができるようにし、振り分け作業を手間のかからないようにすることができる移送ケース及び半導体製造装置を提供する。【解決手段】各工程で加工処理されるウェハを収納するケース本体２に行先表示機構３を備え、また行先表示機構３が行先表示部４と、外部との情報授受を行う通信部５と、予め各工程毎に少なくとも１つ以上の選択可能な行先である加工処理装置を記憶する記憶部６と、通信部からの信号に基づき記憶部に記憶された行先から次の行先を選択し、行先表示部４に選択した行先を表示させるための表示信号を出力する演算処理部７を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各工程で処理される処理物を入れるケース本体と、このケース本体に備えられた行先表示機構と、この行先表示機構に設けられた行先表示部と、前記行先表示機構に設けられた外部との情報授受を行う通信部と、前記行先表示機構に設けられた予め各工程毎に少なくとも１つ以上の選択可能な行先を記憶する記憶部と、前記通信部からの信号に基づき前記記憶部に記憶された行先から次の行先を選択し、前記行先表示部に選択した前記行先を表示させるための表示信号を出力する演算処理部を備えていることを特徴とする移送ケース。
【請求項２】
前記行先表示機構が、前記行先表示部の表示内容を該表示部内で上下方向及び左右方向に移動させる移動操作部を備えていることを特徴とする請求項１記載の移送ケース。
【請求項３】
前記通信部が、赤外線を用いて外部との情報の授受を行うものであることを特徴とする請求項１記載の移送ケース。
【請求項４】
前記通信部を通じ、外部との間で各工程の加工処理の開始と終了の情報を授受することを特徴とする請求項３記載の移送ケース。
【請求項５】
前記請求項１記載の移送ケースと、この移送ケースの通信部に各工程毎の少なくとも１つ以上の選択可能な行先を送信する工程制御部の端末装置とを具備していることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項６】
端末装置による送信が、移送ケースを最先の工程に投入する前になされることを特徴とする請求項５記載の半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体装置製造過程で用いる移送ケース及び半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造工程、例えばウェハに所定の加工処理を施す工程では、図示しないが加工処理前のウェハをキャリアケースに入れ、各加工処理工程の間を移送し、所定の加工処理がなされる。この時、キャリアケースには、例えば図４に示すような各工程における作業内容が記述されたトラベルシートがいっしょに移動するように設けられており、トラベルシートの内容を確認しながらウェハの加工処理が行われていた。
【０００３】
すなわち、キャリアケースは、四角形の上部開口を有するケース本体によりなり、その側面には、トラベルシートが取り付けられている。トラベルシートは、ケース本体に入れて移送するウェハのロットに応じて、そのロット番号や加工処理工程名、加工処理装置、数量等が予め記述されており、また加工処理日や作業者等を記入できるようになっている。
【０００４】
このため、所定数のウェハが収納されたキャリアケースが製造工程に運ばれると、先ず、作業者がトラベルシートを見て、トラベルシートに記載された第１の工程を実行することができる製造工程内の装置で、現在加工処理を行うことができる加工処理装置を選択し、装置決定を行う。これにより、その加工処理装置にキャリアケース１は運ばれる。そして、そこでの加工処理が実行され、図示しないウェハに所定の加工処理が施される。第１の工程での所定数量の加工処理が終わると、作業者によって加工処理日、作業者の加工処理終了のサイン等がトラベルシートに行なわれる。
【０００５】
第１の工程が終了すると、再び作業者がトラベルシートを見て、第１の工程でと同様に、次の第２の工程における加工処理装置の選択、決定と加工処理等が行なわれ、以下同様にしながら、トラベルシートに記載された各工程での加工処理等が行なわれる。
【０００６】
しかしながら上記の従来技術においては、運ばれてきたキャリアケースと、そのトラベルシートを作業者が見て、その内容から、工程内の複数ある装置の中から、加工処理を行うことができる装置で、待ち状態あるいは実行中の加工処理が最初に終了する加工処理装置がどれであるかを選択し、加工処理を行わせる装置を決定する判断をしなければならず、キャリアケースの装置への振り分けは、製造工程を熟知した作業者による判断に頼る手間のかかるものとなっていた。このため、熟練者に頼ることなく、キャリアケースを加工処理装置に簡単に振り分けられるようにすることが、強く望まれていた。また、キャリアケースにトラベルシートを取り付け、移動を行うため、取り付け間違いや移動途中での脱落等による混乱が生じる虞があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的とするところは行先を簡単に振り分けることができるようにし、振り分け作業を手間のかからないようにすることができる移送ケース及びこれを用いた半導体製造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の移送ケースは、各工程で処理される処理物を入れるケース本体と、このケース本体に備えられた行先表示機構と、この行先表示機構に設けられた行先表示部と、前記行先表示機構に設けられた外部との情報授受を行う通信部と、前記行先表示機構に設けられた予め各工程毎に少なくとも１つ以上の選択可能な行先を記憶する記憶部と、前記通信部からの信号に基づき前記記憶部に記憶された行先から次の行先を選択し、前記行先表示部に選択した前記行先を表示させるための表示信号を出力する演算処理部を備えていることを特徴とするものであり、さらに、前記行先表示機構が、前記行先表示部の表示内容を該表示部内で上下方向及び左右方向に移動させる移動操作部を備えていることを特徴とするものであり、
さらに、前記通信部が、赤外線を用いて外部との情報の授受を行うものであることを特徴とするものであり、
さらに、前記通信部を通じ、外部との間で各工程の加工処理の開始と終了の情報を授受することを特徴とするものである。
【０００９】
また、前記移送ケースと、この移送ケースの通信部に各工程毎の少なくとも１つ以上の選択可能な行先を送信する工程制御部の端末装置とを具備していることを特徴とする装置であり、
さらに、端末装置による送信が、移送ケースを最先の工程に投入する前になされることを特徴とする装置である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の一実施形態を、図１乃至図３を参照して説明する。図１は斜視図であり、図２は行先表示機構の構成を示す図であり、図３は管理マスターを説明するために示す図である。
【００１１】
図１乃至図３において、１は図示しないウェハを収納し移送するキャリアケースであり、その四角形の上部開口を有するケース本体２の一側面に、行先表示機構３が設けられている。行先表示機構３は、液晶表示装置等でなる行先表示部４と、外部との情報の授受を行う通信部５と、図３に管理マスターを例示するように、収納したウェハの加工処理工程及び各工程毎の加工処理可能な加工処理装置、さらに数量等の加工処理に必要な内容を予め記憶させた記憶部６と、通信部５からの信号を得て記憶部６に記憶された所定記憶内容を呼び出し処理し、行先表示部４に所定表示を行わせるための信号を出力するＣＰＵ等でなる演算処理部７と、行先表示部４に表示された内容を上下左右方向に移動させる移動操作部８を備えて構成されている。
【００１２】
また、行先表示部４は、所定表示を行う表示画面９を外部から見ることができるようケース本体２の一側面に設けており、表示画面９下方のケース本体２側面に設けられた移動操作部８の４つの操作ボタン１０Ｕ，１０Ｄ，１０Ｒ，１０Ｌに示された矢印方向、すなわち上下左右方向に表示内容が、移動できるようになっている。
【００１３】
さらに、通信部５は、操作ボタン１０Ｕ，１０Ｄ，１０Ｒ，１０Ｌの下方のケース本体２側面に送信開口１１ａ、受信開口１１ｂを有する送受信器１２を備えており、外部の製造工程の制御部１３に設けられた端末装置１４との間で、赤外線Ｒによる情報の授受が行われるようになっており、例えば記憶部６に予め記憶させる加工処理に必要な内容の外部からの取り込み、すなわち、製造工程制御部１３の端末装置１４からの取り込み、また各工程での加工処理の開始や終了の入力、使用中の加工処理装置が何れであるか、あるいは使用中であるが最初に使用可能となる装置が何れであるか等の随時の情報、また外部からの指令に基づく応答がなされる。
【００１４】
また、こうした構成を有するため、以下のように用いられる。すなわち、ウェハの加工処理に際し、先ずケース本体２内に所定数の未加工ウェハが収納される。そして、外部の製造工程の制御部１３に設けられた端末装置１４と行先表示機構３の間で、通信部５の送受信器１２の受信開口１１ｂを介して記憶部６に、ロット番号、品名、収納したウェハの数量や加工処理工程、その順序、また各工程毎に、その工程での加工処理を行うことが可能な全ての装置等を記憶させる。
【００１５】
例えば図３の管理マスターによれば、工程は、第１の工程（００２００１）、第２の工程（００２００２）、第３の工程（００２００３）、……で、この順に工程は進められ、第１の工程で使用可能な装置は、装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｄであり、第２の工程で使用可能な装置は、装置Ｃ、装置Ｅ、装置Ｆであり、以下同様に記憶される。
【００１６】
次に、行先表示機構３の記憶部６への所定の記憶がなされたキャリアケース１は、制御部１３の端末装置１４からの加工処理開始の指令を受け、それに基づき行先表示部４の表示面９に、記憶部６に記憶された第１の工程の加工処理を行うことが可能な装置の中から使用可能な加工処理装置が、演算処理部７での処理結果として出力され表示される。例えば装置Ａが使用中であれば、使用可能な加工処理装置として、装置Ｂ、装置Ｄが表示される。
【００１７】
そして、作業者が表示面９に表示された内容を見て、キャリアケース１を製造工程の第１の工程を実行することが可能な装置Ｂ、装置Ｄの片方、例えば装置Ｂを選択し、キャリアケース１を装置Ｂに運び、第１の工程が装置Ｂで実行される。その後、第１の工程が終了すると、作業者によって加工処理終了の入力が行先表示機構３に通信部５を通じてなされる。
【００１８】
次に、行先表示機構３への加工処理終了の入力がなされると、演算処理部７での処理のもとに、記憶部６に記憶された第２の工程の加工処理を行うことが可能な装置、例えば装置Ｃ、装置Ｅ、装置Ｆの中から使用可能な加工処理装置の装置Ｃと装置Ｅが、行先表示部４の表示面９に表示される。
【００１９】
そして、第１の工程と同様に、作業者が表示面９に表示された内容を見て、キャリアケース１を製造工程の第２の工程を実行することが可能な装置Ｃ、装置Ｅの片方、例えば装置Ｃを選択し、キャリアケース１を装置Ｃに運び、第２の工程が装置Ｃで実行される。その後、第２の工程が終了すると、作業者によって加工処理終了の入力が行先表示機構３に対してなされる。
【００２０】
次に、行先表示機構３への加工処理終了の入力がなされると、演算処理部７での処理のもとに、記憶部６に記憶された第３の工程の加工処理を行うことが可能な装置、例えば装置Ｂ、装置Ｄの中から使用可能な加工処理装置の選択が行われる。この時、装置Ｂ、装置Ｄが使用中である場合には、次の使用が先に可能となる装置Ｂが選択され、装置Ｂが行先表示部４の表示面９に表示される。
【００２１】
そして、第１の工程と同様に、作業者が表示面９に表示された内容を見て、キャリアケース１を製造工程の第３の工程を実行することが先に可能となる装置Ｂにキャリアケース１を運び、第３の工程が装置Ｂで実行される。その後、第３の工程が終了すると、作業者によって加工処理終了の入力が行先表示機構３に対してなされる。以下同様にして各工程が実行される。
【００２２】
なお、上記各工程を実行する過程で、行先表示部４の表示面９に表示する内容が多く、一画面に収まりきらないために、他の内容を表示して確認したい場合には、移動操作部８の４つの操作ボタン１０Ｕ，１０Ｄ，１０Ｒ，１０Ｌを操作して、ボタン面に示された矢印方向、すなわち上下左右方向に表示内容を移動させ、確認可能となっている。
【００２３】
また、各工程での入力情報等は、随時、通信部５の送受信器１２の送信開口１１ａを介し制御部１３の端末装置１４に送られるようになっている。さらに必要に応じ制御部１３からの指示を受けて、各キャリアケース１の状況、例えばどの工程までをそれぞれどの装置により実行したか等の情報が出力できるようになっている。
【００２４】
そして、上記の通り構成されているので、各工程のそれぞれの複数ある装置の中から、加工処理を行うことができる装置を選択し、行先表示部４の表示面９に表示することができるので、熟練者であるか否かに関わらず作業者のだれでもが、簡単に行先である加工処理装置にキャリアケース１を移動させることができる。また、キャリアケース１に行先表示機構３は取り付けられているため、移動途中での脱落や取り付け間違い等を起こすことがなく、不良品を多く加工処理してしまうといった虞がない。
【００２５】
なお、上記の実施形態においては、半導体装置製造過程のウェハの加工処理に用い、行先を各加工処理装置としたが、行先が別工程、ストック場所等でも、また単なる製品の配送等に用い、その配送先を行先としてもよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、行先を簡単に振り分けることができ、また振り分け作業に手間がかからない等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態における行先表示機構の構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態における管理マスターを説明するために示す図である。
【図４】従来技術に係るトラベルシートを示す図である。
【符号の説明】
２…ケース本体
３…行先表示機構
４…行先表示部
５…通信部
６…記憶部
７…演算処理部
８…移動操作部
１３…制御部
１４…端末装置
【図１】
2004158675.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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