(57)【要約】【課題】引出電極の断線を防止するとともにより設計自由度の高い電極形成が行え、かつより電気的特性の安定した信頼性の高い圧電振動デバイスを提供する。【解決手段】中央部と、外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が一体形成されてなる圧電振動デバイス１であって、前記中央部に形成された励振電極２１と第１の引出電極２３と、前記中央部と外枠部に形成された第２の引出電極２５とを有し、前記第１の引出電極は、面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域に向かって延出され、前記第２の引出電極は、前記特定領域で前記第１の引出電極の上面に形成され電気的に接続されており、かつ、この特定領域から前記面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成され外部接続端子を構成してなる。【選択図】  図１
2004242132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主振動部を備えた中央部と、この中央部を囲むように形成された外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が圧電材料により一体形成されてなる圧電振動デバイスであって、
圧電振動デバイスの中央部に形成された励振電極と第１の引出電極と、圧電振動デバイスの中央部と外枠部に形成された第２の引出電極とを有し、
前記第１の引出電極は、面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域に向かって延出され、
前記第２の引出電極は、前記特定領域で前記第１の引出電極の上面に形成され電気的に接続されており、かつ、この特定領域から前記面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成され外部接続端子を構成してなることを特徴とする圧電振動デバイス。
【請求項２】
前記中央部が多角形状からなり、前記面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域が、前記中央部の角部分であることを特徴とする特許請求項１記載の圧電振動デバイス。
【請求項３】
主振動部を備えた中央部と、この中央部を囲むように形成された外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が圧電材料により一体形成されてなる圧電振動デバイスであって、
前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部が形成されており、
圧電振動デバイスの中央部に形成された励振電極と第１の引出電極と、圧電振動デバイスの中央延出部と外枠部に形成された第２の引出電極とを有し、
前記第１の引出電極は、前記中央延出部の面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域に向かって延出され、
前記第２の引出電極は、前記特定領域で前記第１の引出電極の上面に形成され電気的に接続されており、かつ、この特定領域から前記面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成され外部接続端子を構成してなることを特徴とする圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶振動子等に代表される圧電振動デバイスに係る。特に、主振動部を備えた中央部と、この中央部を囲むように形成された外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が圧電材料により一体形成された、メサ構造または逆メサ構造で構成されてなる圧電振動デバイスの電極構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通信機器の高周波数化やマイクロコンピュータの動作周波数の高周波数化に伴って、水晶振動子や水晶フィルタ等の圧電振動デバイスも高周波数化が要求されつつある。一般に、高周波数化に対応した水晶振動板（水晶板）として、ＡＴカット水晶板の厚みすべり振動がよく用いられており、周知のとおりその周波数は水晶振動板の厚さで決定され、周波数と厚さとは反比例する。例えば、基本振動周波数として６００ＭＨｚを得ようとした場合、３μｍ以下の極薄型の水晶振動板が必要になる。このような極薄板の加工は、研磨作業が難しく製造歩留まりを向上させることが困難であった。
【０００３】
この課題を解決するために、特許文献１に開示されているように、水晶振動板の中央部分にエッチング等の加工技術によって凹部を設け、この凹部の底部に薄肉加工した主振動部（中央部）を構成し、段差部を介して、その周囲の厚肉の補強部（外枠部）によって振動領域を補強した所謂逆メサ型と呼ばれる構成が提案されている。この種の水晶振動板は、薄肉化された主振動部とその周囲に形成された補強部とを有する水晶振動板に、励振電極及び引出電極を形成した構成となっている。このような構成を採用することにより、主振動部を従来のものよりもかなり薄くすることができ、また、歩留まりの向上も図ることができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２−２３１８０８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したような水晶振動板では、引出電極を前記主振動部と前記外枠部をつなぐ段差部を有しており、当該引出電極が細い場合、製造時等に、この段差部の頂部（稜部）において、前記引出電極の断線を招くことがあった。特に水晶振動板は異方性圧電結晶体であるのでエッチングされる方向（結晶軸）によってエッチングされる速度が異なる。エッチングされる速度の早い順番は、Ｚ’＞＋Ｘ＞−Ｘ＞Ｙ’となる（ＡＴカット水晶の場合、Ｚ軸からθ°ずれた新たな軸をＺ’と称し、Ｙ軸からθ°ずれた新たな軸をＹ’と称している。）。このため、方向によって段差部の傾斜角度が異なるので、鋭角になる頂部（稜部）と鈍角になる頂部（稜部）が混在し、鋭角になる段差部における引出電極の断線率は極めて高いものであった。特許文献１では、凹部が形成される側の全面に電極を構成することで、上述の断線を防止することを提案している。
【０００６】
しかしながら、特許文献１の構成では、一方の主面の電極が全面電極であるので、励振電極以外の引出電極部分でも電極が対向する領域が存在するため、これらの電極の位置ずれや面積ばらつきにより、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス）等の電気的特性に悪影響を与え、より安定した電気的特性が得にくいという問題がある。また、一方の主面の電極が全面電極であるので、励振電極や引出電極などの設計自由度も制限される。
【０００７】
さらに、特許文献１の構成では、一方の主面のみに凹部を構成するものにしか適用できないので、主振動部を薄肉加工する場合、両方の主面に凹部を構成するのにくらべてより段部の深さが深くなるため、より高周波化（主振動部の薄型化）されるになるにしたがい加工時間が長くなり、主振動部の面荒れによる歩留まり低下を招きやすい。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高周波化に対応できる主振動部と外枠部をつなぐ段差部を有した圧電振動デバイスにおいて、引出電極の断線を防止するとともにより設計自由度の高い電極形成が行え、かつより電気的特性の安定した信頼性の高い圧電振動デバイスを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、主振動部を備えた中央部と、この中央部を囲むように形成された外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が圧電材料により一体形成されてなる圧電振動デバイスであって、圧電振動デバイスの中央部に形成された励振電極と第１の引出電極と、圧電振動デバイスの中央部と外枠部に形成された第２の引出電極とを有し、前記第１の引出電極は、面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域に向かって延出され、前記第２の引出電極は、前記特定領域で前記第１の引出電極の上面に形成され電気的に接続されており、かつ、この特定領域から前記面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成され外部接続端子を構成してなることを特徴とする。
【００１０】
より具体的には、前記中央部が多角形状からなり、前記面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域が、前記中央部の角部分であることを特徴とする。
【００１１】
また、主振動部を備えた中央部と、この中央部を囲むように形成された外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が圧電材料により一体形成されてなる圧電振動デバイスであって、前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部が形成されており、圧電振動デバイスの中央部に形成された励振電極と第１の引出電極と、圧電振動デバイスの中央延出部と外枠部に形成された第２の引出電極とを有し、前記第１の引出電極は、前記中央延出部の面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域に向かって延出され、前記第２の引出電極は、前記特定領域で前記第１の引出電極の上面に形成され電気的に接続されており、かつ、この特定領域から前記面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成され外部接続端子を構成してなることを特徴とする。
【００１２】
【発明の効果】
本発明の特許請求項１によれば、圧電振動デバイスの励振電極を外部接続端子へ延出する引出電極を励振電極と一体に形成される第１の引出電極と、段差部を経由して外部接続端子を構成する第２の引出電極を別々に構成するとともにこれらを電気的に接続することで、別工程での電極形成が可能となるため、より断線を起こしにくい引出電極の形成が行える。
【００１３】
また、第１の引出電極と第２の引出電極は、面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域のみに延出され、お互いに電気的に接続されているので、励振電極以外の領域で異極の電極が表裏面で対向することがなく、電極形成時のばらつきにより、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス）等の電気的特性に悪影響を及ぼすことがなく、より安定した電気的特性が得られるとともに、より設計自由度の高い電極形成が行える。
【００１４】
また、第２の引出電極は面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成されているので、１つの段差部の頂部（稜部）において、前記第２の引出電極の一部が断線することがあっても、他の段差部で導通を確保することができる。特に水晶振動板の場合では、前記第２の引出電極が、鋭角になる段差部の頂部のみを経由するのでなく、より鈍角になる段差部の頂部も経由するので、当該鈍角側の段差部の頂部では第２の引出電極が断線することがなく、安定した導通を確保できる。
【００１５】
本発明の特許請求項２によれば、上述の作用効果に加えて、前記中央部が多角形状からなり、当該中央部の角部分を前記面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域とすることで、前記各引出電極の形成する際の位置決めが容易であり、精度の高い電極形成が行えるとともに、段差部の頂部中央に比べて、機械的な接触が起こりにくく、断線の危険性が極めて低い構成となる。
【００１６】
本発明の特許請求項３によれば、圧電振動デバイスの励振電極を外部接続端子へ延出する引出電極を励振電極と一体に形成される第１の引出電極と、段差部を経由して外部接続端子を構成する第２の引出電極を別々に構成するとともにこれらを電気的に接続することで、別工程での電極形成が可能となるため、より断線を起こしにくい引出電極の形成が行える。
【００１７】
また、第１の引出電極と第２の引出電極は、中央延出部の面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域のみに延出され、お互いに電気的に接続されているので、励振電極以外の領域で異極の電極が表裏面で対向することがなく、電極形成時のばらつきにより、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス）等の電気的特性に悪影響を及ぼすことがなく、より安定した電気的特性が得られるとともに、より設計自由度の高い電極形成が行える。
【００１８】
さらに、第１の引出電極と第２の引出電極は、前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部に形成されているので、面方向の異なる段差部が前記各引出電極に近接した状態で配置され、段差部の頂部における機械的な接触が起こりにくく、断線の危険性が飛躍的に低減できる構成となる。前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部に形成されているので、中央部に形成された励振電極に悪影響を及ぼすことなく、第２の引出電極が形成できる。
【００１９】
また、第２の引出電極は中央延出部の面方向の異なるそれぞれの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成されているので、１つの段差部の頂部（稜部）において、前記第２の引出電極の一部が断線することがあっても、他の段差部で導通を確保することができる。特に水晶振動板の場合では、前記第２の引出電極が、鋭角になる段差部の頂部のみを経由するのでなく、より鈍角になる段差部の頂部も経由するので、当該鈍角側の段差部の頂部では第２の引出電極が断線することがなく、安定した導通を確保できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。本実施形態では、圧電振動デバイスとしてＡＴカット水晶振動子を構成する水晶振動板に本発明を適用した場合について説明する。
【００２１】
（第１実施形態）
−水晶振動板１の構成−
図１は、本発明の第１の形態に係る水晶振動板１の平面図、図２は図１の底面図。図３は図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面図である。図４〜図６は本形態の製造方法を示した図である。
【００２２】
本形態に係る水晶振動板１は、例えば平面矩形状のＡＴカットの水晶振動板からなり、逆メサ構造の中央部１１と、これを取り囲む外枠部１２と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ内部側壁としての段差部１３，１４とが一体的に構成されている。
【００２３】
前記中央部１１は、表面側の段差部１３として、例えば、面方向の異なる段差部１３１，１３２，１３３，１３４が形成され、裏面側の段差部１４として、例えば、面方向の異なる段差部１４１，１４２，１４３，１４４が形成され、各表裏主面に極薄肉の主振動部（圧電振動領域）を構成する方形状の凹部が形成されている。前記外枠部１２は、前記中央部に比較して数倍の厚さ寸法を有する補強部として形成されている。なお、本発明の水晶振動板では、表裏方向をＹ軸方向であり（表側を＋Ｙ’軸とし、裏側を−Ｙ軸とする）、前記段差部１３１と１３３が延在する方向が水晶振動板のＸ軸方向であり（前記段差部１３１の方向を＋Ｘ軸とし、前記段差部１３３の方向を−Ｘ軸とする）、前記段差部１３２と１３４が延在する方向が水晶振動板のＺ’軸方向である（前記段差部１３２の方向を＋Ｚ軸とし、前記段差部１３４の方向を−Ｚ’軸とする）。このような凹部の成形は後述するウェットエッチング法により行われる。
【００２４】
前記表裏面の凹部の中央部には、それぞれ励振電極２１，２２が形成されている。前記励振電極２１は、第１の引出電極２３により、端部から面方向の異なる段差部１３１，１３２がお互い近接する中央部の角部分１５１に向かって延出されており、前記角部に近接する段差部１３１，１３２を経由して、外枠部１２の角部１２１へと形成されている。前記励振電極２２は、第１の引出電極２４により、端部から面方向の異なる段差部１４１，１４４がお互い近接する中央部の角部分１６４に向かって延出されており、前記角部に近接する段差部１４１，１４４を経由して、外枠部１２の角部１２２へと形成されている。これらの電極は、真空蒸着法等により行われ、各電極材料としては、例えば、クロムの上面に金が積層されたものからなる。
【００２５】
また、前記表裏面の外枠部の角部１２１，１２２には、前記励振電極２１，２２と電気的に接続され、外部接続端子を構成する第２の引出電曲２５，２６が形成されている。これらの第２の引出電極は、前記励振電極と第１の引出電極が形成された後、別工程により形成される。前記第２の引出電極２５は、前記第１の引出電極２３の一部と上部で重なるように、前記中央部の角部分１５１の近傍から前記角部に近接する段差部１３１，１３２を経由して、外枠部１２の角部１２１へと形成され外部接続端子を構成してなる。前記第２の引出電極２６は、前記第１の引出電極２４の一部と上部で重なるように、前記中央部の角部分１６３の近傍から前記角部に近接する段差部１４３，１４４を経由して、外枠部１２の角部１２２へと形成され外部接続端子を構成してなる。これらの電極は、真空蒸着法等により行われ、各電極材料としては、例えば、クロムの上面に銀、さらに上面にクロムが積層されたものからなる。これらの第２の引出電極は、前記第１の引出電極の幅より広く形成する事が好ましい。
【００２６】
以上の構成により、第１の引出電極と第２の引出電極を別々に構成しているので、例えば、第２の引出電極をより最終工程に近くの別工程での電極形成が可能となるため、より断線を起こしにくい引出電極の形成が行える。また、第２の引出電極は面方向の異なる２つの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成されているので、１つの段差部の頂部（稜部）において、前記第２の引出電極の一部が断線することがあっても、他の段差部で導通を確保することができる。特に本実施形態のように水晶振動板を用いたの場合では、前記第２の引出電極が、鋭角になる段差部１３２，１４４の頂部の頂部のみを経由するのでなく、より鈍角になる段差部１３１，１４３の頂部も経由するので、当該鈍角側の段差部の頂部では第２の引出電極が断線することがなく、安定した導通を確保できる。
【００２７】
なお、前記第２の引出電極の役割としては、第１の引出電極との導通し、外部接続端子として導電性接合材を介して後述するセラミックパッケージの外部電極パッドと接続される。従って、本願発明のように励振電極と第１の引出電極材料をクロム＋金で構成し、第２の引出電極をクロム＋銀＋クロムとする事で、第１の引出電極と第２の引出電極との導通が安定し、かつ、導電性接合材（特にシリコン系）とのなじみもよいのでセラミックパッケージの外部電極パッドと導通も安定する。
【００２８】
そして、図示していないが、このような圧電振動デバイスをアルミナ等のセラミックスからなるパッケージに収納し、前記各外部接続端子を外部に導出するためにセラミックパッケージの外部電極パッドと電気的接続を行い、蓋板にてパッケージ上面と気密接合することによって表面実装型の水晶振動子を得ることができる。
【００２９】
なお、上記実施形態では、面方向の異なる段差部がお互い近接する特定領域として、方形状の中央部の１つの角部分にのみ、第１の引出電極を延出し、第２の引出電極と電気的に接続しているが、中央部として他の多角形状であってもよく、さらに複数の角部に第１の引出電極を延出し、第２の引出電極と電気的に接続してもよい。
【００３０】
−水晶振動板１の加工方法−
次に、上記形態に係る水晶振動板１の加工方法について図４、図５、図６とともに説明する。
【００３１】
図４＜水晶振動板のエッチング＞
１−水晶振動板１の表裏面の全面に対してＣｒ及びＡｕの２層構造で成るレジスト膜ＭＲを蒸着する。
２−その上面にネガティブタイプのレジスト膜ＮＲを形成する。
３−フォトリソ技術を用いて、前記水晶振動板１の表裏面の中央部１１に相当する領域を除く領域を露光、現像する。
４−前記中央部１１に相当する領域のレジスト膜ＭＲ（ＡｕとＣｒ）をエッチング液によってメタルエッチングを行う。
５−前記ネガティブタイプのレジスト膜ＮＲを除去して、フッ酸＋フッ化アンモニウム溶液等のエッチング液によるウェットエッチングを行うことで、薄肉の中央部１１、段差部１３，１４（図示せず）、及び外枠部１２が形成される。
６−前記レジスト膜ＭＲについて、エッチング液によって全面的にメタルエッチングを行う。
【００３２】
図５＜励振電極と第１の引出電極形成＞
７−上述の工程後、前記水晶振動板１の表裏面の全面に対してＣｒ及びＡｕの２層構造で成る電極膜Ｍ１を蒸着する。
８−その上面にポジティブタイプのレジスト膜ＰＲを形成する。
９−フォトリソ技術を用いて、前記励振電極２１，２２（図示せず）と第１の引出電極２３，２４（図示せず）に相当する領域を除く領域を露光、現像する。
１０−当該領域の電極膜Ｍ１（ＡｕとＣｒ）をエッチング液によってメタルエッチングを行う。
１１−前記ポジティブタイプのレジスト膜ＰＲを除去する。
【００３３】
図６＜第２の電極形成＞
１２−上述の工程後、前記水晶振動板１の中央部の角部分１５１、あるいは１６４（図示せず）の近傍から外枠部１２の角部１２１、あるいは１２２（図示せず）にかけてＣｒ、Ａｇ及びＣｒの３層構造で成る電極膜Ｍ２を蒸着し、第２の引出電極２５，２６を形成する。この際、当該第２の引出電極は水晶振動板の外枠部の側端面にも形成されているので、外部接続端子として取り扱いが容易な構成となっている。
【００３４】
以上の工程により図１〜図３に示すように、中央部１１とそれを囲む段差部１３，１４によって連結された外枠部１２を有する水晶振動板１が形成される。
【００３５】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。本形態は、中央部２の形状の変形例であって、その他の構成は上述した第１実施形態のものと同様である。従って、ここでは第１実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００３６】
図７は、本発明の第２の形態に係る水晶振動板１の平面図、図８は図７の底面図。図９は図７におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
この図に示すように、本形態に係る水晶振動板１は、逆メサ構造の中央部１１と、これを取り囲む外枠部１２と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部１３，１４とが一体的に構成されており、中央部１１の一部が当該中央部の一方の主面と同一平面で外枠部１２の端縁近傍にまで延出された中央延出部１１１，１１２を具備してなる。
【００３７】
前記中央延出部１１１は、表面側の段差部１３１と１３２の近接する部分から当該段差部１３１，１３２に連続して段差部１３１１と１３１２が形成され、さらに外枠部の角部１２１の近傍に段差部１３１３が形成されることで、中央部の一部が当該中央部の表側と同一平面（同じ深さ）で外枠部の端縁近傍にまで延出されている。
【００３８】
前記中央延出部１１２は、表面側の段差部１４１と１４４の近接する部分から当該段差部１４１，１４４に連続して段差部１４４１と１４４２が形成され、さらに外枠部の角部１２２の近傍に段差部１４４３が形成されることで、中央部の一部が当該中央部の裏側と同一平面（同じ深さ）で外枠部の端縁近傍にまで延出されている。
【００３９】
このように、本形態に係る水晶振動板１は、各表裏主面に極薄肉の主振動部（圧電振動領域）を構成する方形状の凹部と、この凹部の一部が外枠部の端縁近傍にまで延出された凹部が形成されている。このような凹部の成形はウェットエッチング法により行われる。
【００４０】
前記表裏面の凹部の中央部には、それぞれ励振電極２１，２２が形成されている。前記励振電極２１は、第１の引出電極２３により、端部から前記中央延出部１１２の端部である段差部１３１３に向かって延出されている。前記励振電極２２は、第１の引出電極２４により、端部から前記中央延出部１１２の端部である段差部１４４３に向かって延出されている。これらの電極は、真空蒸着法等により行われ、各電極材料としては、例えば、クロムの上面に金が積層されたものからなる。
【００４１】
また、前記表裏面の外枠部の角部１２１，１２２には、前記励振電極２１，２２と電気的に接続され、外部接続端子を構成する第２の引出電曲２５，２６が形成されている。これらの第２の引出電極は、前記励振電極と第１の引出電極が形成された後別工程により形成される。前記第２の引出電極２５は、前記第１の引出電極２３の一部と上部で重なるように、前記中央部延出部１１１の端部近傍から当該中央延出部の端部に近接する段差部１３１１，１３１２，１３１３を経由して、外枠部１２の角部１２１へと形成され外部接続端子を構成してなる。前記第２の引出電極２６は、前記第１の引出電極２４の一部と上部で重なるように、前記中央部延出部１１２の端部近傍から当該中央延出部の端部に近接する段差部１４４１，１４４２，１４４３を経由して、外枠部１２の角部１２２へと形成され外部接続端子を構成してなる。これらの電極は、真空蒸着法等により行われ、各電極材料としては、例えば、クロムの上面に銀、さらに上面にクロムが積層されたものからなる。これらの第２の引出電極は、前記第１の引出電極の幅より広く形成する事が好ましい。
【００４２】
以上の構成により、第１の引出電極と第２の引出電極を別々に構成しているので、例えば、第２の引出電極をより最終工程に近くの別工程での電極形成が可能となるため、より断線を起こしにくい引出電極の形成が行える。また、第２の引出電極は中央延出部の端部に近接する面方向の異なる３つの段差部を経由して圧電振動デバイスの外枠部の端部へと形成されているので、１つの段差部の頂部（稜部）において、前記第２の引出電極の一部が断線することがあっても、他の段差部で導通を確保することができる。特に本実施形態では、前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部に形成されているので、面方向の異なる段差部が前記各引出電極に近接した状態で配置され、段差部の頂部における機械的な接触が起こりにくく、断線の危険性が飛躍的に低減できる構成となる。前記中央部の一部が、前記外枠部の端縁近傍にまで延出された中央延出部に形成されているので、中央部に形成された励振電極に悪影響を及ぼすことなく、第２の引出電極が形成できる。
【００４３】
なお、上記実施形態では、方形状の中央部の１つ角部に中央延出部を形成したものを例にしているが、方形状の中央部の辺部に中央延出部を形成してもよい、さらに複数の中央延出部を形成してもよく、かつ複数の中央延出部に第１の引出電極を延出し、第２の引出電極と電気的に接続してもよい。
【００４４】
−その他の実施形態−
以上説明した各実施形態は何れも、表裏主面に凹部（段差部）を構成するについて説明しているが、表裏のうち一方の主面にのみ凹部（段差部）を構成するものにも適用できる。加えて、薄肉の中央部と、この中央部を囲むように形成された厚肉の外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が水晶振動板により一体形成された逆メサ構造のものについて説明したが、厚肉の中央部と、この中央部を囲むように形成された薄肉の外枠部と、前記中央部と前記外枠部をつなぐ段差部が水晶振動板により一体形成されたメサ構造のものにも適用可能である。また、中央部と外枠部との間には階段状の内部側壁としての段差部を形成してよく、外枠部に応力が作用した場合であっても、それを容易に緩和することができ局部的な応力集中を回避できる。更に、上述した各実施形態では圧電振動デバイスとして水晶振動板を採用した場合について説明した。本発明はこれに限らずその他の圧電材料で成る圧電振動デバイスに対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る水晶振動板の平面図。
【図２】図１の底面図。
【図３】図１におけるＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図４】第１実施形態の製造方法を示した図。
【図５】第１実施形態の製造方法を示した図。
【図６】第１実施形態の製造方法を示した図。
【図７】第２実施形態に係る水晶振動板の平面図。
【図８】図７の底面図。
【図９】図７におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図。
【符号の説明】
１          水晶振動板
１１        中央部
１２        外枠部
１３，１４  段差部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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