(57)【要約】【課題】排水基準を満たしかつ、前処理等を不要とした無人化可能の排水処理システムを提供する。【解決手段】凝集剤を用いて処理された排水を再生するために、回転膜分離装置４で固形分と液体分に分離、処理された１次透過水を、水回収型排水再生装置７にて分離精製を行う排水処理システムであって、水回収型排水再生装置７にて、２次透過水と２次濃縮水に分ける運転工程と、水回収型排水再生装置７に備えられたナノフィルトレーション膜上に付着した汚染物質を洗い流すブロー工程と、ブロー工程終了後、ナノフィルトレーション膜の乾燥および空気との接触を防ぐためにナノフィルトレーション膜を水中で保管する循環工程とを、シーケンスプログラム内で回転膜分離装置４に排水を送水するポンプの動作に連動させて運転する運転手段を設けた排水処理システム。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凝集剤を用いて処理された排水を再生するために、回転膜分離装置で固形分と液体分に分離、処理された１次透過水を、水回収型排水再生装置にて分離精製を行う排水処理システムであって、
前記水回収型排水再生装置にて、２次透過水と２次濃縮水に分ける運転工程と、ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜上に付着した汚染物質を洗い流すブロー工程と、前記ブロー工程終了後、前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜表面の乾燥および空気との接触を防ぐために前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜を水中で保管する循環工程とを、シーケンスプログラム内で前記回転膜分離装置に排水を送水するポンプの動作に連動させて運転する運転手段を設けたことを特徴とする排水処理システム。
【請求項２】
前記水回収型排水再生装置で処理する際に分離された２次透過水と２次濃縮水の通水時の流量値を当該水回収型排水再生装置にフィードバックし、その流量値を元にポンプの出力およびバルブの開度を状況に合わせて調節することにより２次透過水と２次濃縮水の流量比を任意に変更して、２次濃縮水を直接、下水や河川等へ放流する手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の排水処理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工場、施設等から排出される無機、有機の排水を処理するシステムに関し、特に、膜分離法を用いて排水を再利用するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばめっき工場においては、リードフレーム等の基体の表面処理（めっき）を行った後、純水に近い水で表面を洗浄している。洗浄に使用した水には鉛、銅等の金属のほか、処理剤として用いられるフッ素等が高濃度に含まれ、ｐＨが高いため、通常、まずｐＨ調整等を行い、さらに薬剤等を添加して凝集沈殿処理を行うことにより、排水に含まれる有害成分を排水基準値以下に処理して放流している。
【０００３】
一方、工場で消費される水の量を低減して水資源を有効活用するためには、工場で排出される排水を再利用することが望ましい。そのためには、排水をさらに浄化して純水に近い純度まで不純物を除去する必要がある。この不純物の除去方法としては、吸着法や膜分離法がある。最近では、連続処理が可能で運転が比較的容易な膜分離法の採用が増えている。
【０００４】
膜分離法は、水を分離膜によりろ過してイオン、分子、コロイド等の溶質を除去することにより排水を浄化する方法である。
【０００５】
しかしながら、膜分離法で排水を処理する場合、分離膜を装着した膜モジュールの中で浄化処理が進むにつれて溶質成分が原水側に残存し、かつその原水は減少するため、結果として排水は濃縮される。排水の濃縮が進むと、溶質成分の中で溶解度が低い物質が溶解限界に達して固形分として析出し始め、膜表面に付着するようになり、膜表面にスケール層が形成される。そうすると、処理効率が低下するため、処理対象原水の前処理を十分に行ったり、分離膜表面の洗浄を時折行ったりしながら浄化を進める方法が行われている。
【０００６】
図９は、凝集沈殿法による前処理の工程を示すものである。凝集沈殿法では、１次処理槽６１において排水を消石灰等で凝集処理した後、高分子凝集剤を添加してフロックを形成させ、シクナー６２により重金属等を沈殿させる。しかし、１次処理工程だけではフッ素濃度は下水道法基準値をオーバーするため、シクナー６２での上澄み水を総合水ピット６３に貯留し、水洗水等比較的重金属分の少ない排水（総合水）と混合し、再度２次処理槽６４において凝集処理を行う。その後、シクナー６５で固液分離されその上澄み液は放流槽６６を経て一部は放流され、残部は水回収型排水処理装置へ送られる。シクナー６２、６５で沈澱した固形分を含む廃液はスラッジ槽６７で固液分離され、フィルタープレス６８で固形化される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前処理として凝集沈殿法を用いると、１次処理槽６１、２次処理槽６４として大容量のタンクを必要とすることから、設置スペースの問題や凝集物の沈殿に要する処理時間の問題、さらには懸濁物質成分（特にマイクロフロック）の流出による処理能力の限界など、いくつかの問題がある。また、凝集沈殿法で沈殿しきれなかったフロック等の混入により水回収型排水再生装置を十分に運転できないという問題があった。
【０００８】
フロック等を保護フィルタで除去しようとすると、水回収型排水再生装置に設けられている保護フィルタが頻繁に目詰まりするため、保護フィルタの交換、洗浄が定期的に必要となり、無人運転が不可能になる。
【０００９】
そこで本発明は、排水基準を満たしかつ、前処理等を不要とした無人化可能な排水処理システムを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明では、凝集沈殿法に代えて、高懸濁領域でも、ろ過能力に優れた回転膜分離法を導入したものである。
【００１１】
本発明の第１の構成は、凝集剤を用いて処理された排水を再生するために、回転膜分離装置で固形分と液体分に分離、処理された１次透過水を、水回収型排水再生装置にて分離精製を行う排水処理システムであって、前記水回収型排水再生装置にて、２次透過水と２次濃縮水に分ける運転工程と、ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜上に付着した汚染物質を洗い流すブロー工程と、前記ブロー工程終了後、前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜表面の乾燥および空気との接触を防ぐために前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜を水中で保管する循環工程とを、シーケンスプログラム内で前記回転膜分離装置に排水を送水するポンプの動作に連動させて運転する運転手段を設けた排水処理システムである。
【００１２】
第１の構成においては、前記の運転手段を設けたことにより、各工程の連動による無人運転が実現できる。
【００１３】
本発明の第２の構成は、前記第１の構成の排水処理システムにおいて、前記水回収型排水再生装置で処理する際に分離された２次透過水と２次濃縮水の通水時の流量値を当該水回収型排水再生装置にフィードバックし、その流量値を元にポンプの出力およびバルブの開度を状況に合わせて調節することにより２次透過水と２次濃縮水の流量比を任意に変更して、２次濃縮水を直接、下水や河川等へ放流する手段を設けたものである。
【００１４】
この第２の構成においては、前記水回収型排水再生装置で処理する際に分離された２次透過水と２次濃縮水の通水時の流量を当該水回収型排水再生装置にフィードバックし、２次濃縮水の一部は濃度が排水基準値以上になる前に下水や河川等へ放流することで、水の再利用を図り、また排水処理システム内で２次濃縮水の濃度が必要以上に高くなるのを防止する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１から図７を用いて説明する。
【００１６】
図１は回転膜分離装置周辺の排水処理システムを示すものである。図において、排水処理システムは、めっき廃液等の高濃度排水を沈澱処理する１次処理槽１、不純物濃度の低い排水を沈澱処理する２次処理槽２、工場等の雑排水（総合水）を一時貯留する総合水ピット３、固形分と液体分とを分離する回転膜分離装置４、回転膜分離装置４からのオーバーフロー水を貯留するオーバーフロータンク５、回転膜分離装置４で分離された固形分を含む水を貯留するスラッジ槽６、回転膜分離装置４で分離された１次透過水を回収処理する水回収型排水再生装置７を備えている。なお、各装置への水の流れを制御するものとして、原水ポンプ１０、総合水ポンプ１１、真空ポンプ１２、リバースポンプ１３、ドレンポンプ１４、バルブ１５、１６、１７、１８を備えている。
【００１７】
この図１に示した排水処理システムの排水処理プロセスについて以下に説明する。
まず、金属やフッ素などを高濃度で含むめっき廃液等の排水は１次処理槽１において凝集剤等を添加して沈澱処理される。低濃度の雑排水は総合水ピット３に貯留される。総合水ピット３内の排水は総合水ポンプ１１により２次処理槽２に送られる。２次処理槽２には、１次処理槽１で沈殿処理された排水も供給される。２次処理槽２内の水は原水ポンプ１０により回転膜分離装置４に送られる。
【００１８】
回転膜分離装置４は、円形ディスクの表面に分離膜を貼り合わせた平膜ディスクを軸に平行に並べ、その軸をかみ合わせるように複数配置し、それらの軸をモータ８により同一方向に回転させることによって、膜表面に激しい乱流を発生させることで、汚染されにくい状態で排水を吸引する構造を有している。
【００１９】
回転膜を透過した水は真空ポンプ１２で吸引されて水回収型排水再生装置７に送られる。回転膜分離装置４のオーバーフロー水はオーバーフロータンク５に貯留され、リバースポンプ１３により２次処理槽２に供給される（バルブ１８は開、バルブ１６は閉）。
【００２０】
回転膜分離装置４のメンテナンス時には、バルブ１５またはバルブ１７を開いて、ドレンポンプ１４を運転し、回転膜分離装置４内の水をスラッジ槽６または１次処理槽１に送水して回転膜分離装置４の容器を空にする。
【００２１】
上述したように、排水処理システムにおいては、２次処理槽２と総合水ピット３が併設されている。２次処理槽２には中和処理されためっき洗浄処理排水と、総合水ピット３より汲み上げられた他経路の排水とが混合され、回転膜分離装置４へ送られる。
【００２２】
図２は本発明における総合水ピットと２次処理槽のレベル制御の説明図である。
図２（ａ）に示すように、総合水ピット３および２次処理槽２にはそれぞれ液面センサ２１および２２を設けて総合水ポンプ１１および原水ポンプ１０を運転するが、液面センサ２１および２２がそれぞれ１本では、総合水ピット３および２次処理槽２が下限から上限になるまで総合水ポンプ１１および原水ポンプ１０は停止していることになるため、送液頻度が低く、回転膜分離装置４の稼働率が低い。
【００２３】
そこで、回転膜分離装置４の運転効率を高めるために、図２（ｂ）に示すように、総合水ピット３と２次処理槽２の液面センサを２３〜２５のように複数に増やし、原水ポンプ１０と総合水ポンプ１１をそれぞれインバータ制御にする。このことにより、総合水ピット３と２次処理槽２の液面状態でそれぞれのポンプ能力を変化させ、液面の保持をより容易に行うことが可能となり、回転膜分離装置４の運転効率を高めることができる。
【００２４】
また、図３に示すように、回転膜分離装置４の後段の水回収型排水再生装置７の配管途中にｐＨセンサ２７と薬注ポンプ２８を設置し、薬注ポンプ２８からのｐＨ調整液を電動弁２６により１次透過水に添加できるようにする。ｐＨ調整液の添加量は、ｐＨセンサ２７の読み取り値と回転膜分離装置４の１次透過水流量で自動調整できるようにする。
【００２５】
回転膜分離装置４の制御のフローチャートを図４に示す。
ステップＳ１００：回転膜分離装置４を起動する。
ステップＳ１１０：２次処理槽２の液量を検出する。液量が所定レベル以上であればステップＳ１２０に進む。液量が所定レベル未満であれば、ステップＳ１１０を繰り返す。
ステップＳ１２０：回転膜分離装置４の液量を検出する。液量が所定レベル以上であればステップＳ１４０に進む。液量が所定レベル未満であればステップＳ１３０に進む。
ステップＳ１３０：回転膜分離装置４の真空ポンプ１２を停止させ、自動運転を待機する。
ステップＳ１４０：水回収型排水再生装置７の中継タンクの液量を検出する。液量が所定レベル未満であればステップＳ１５０に進む。液量が所定レベル以上であればステップＳ１３０に進む。
ステップＳ１５０：回転膜分離装置４の自動運転を行う。１次透過水ポンプ（真空ポンプ１２）を稼働する。硫酸中和を開始する。
ステップＳ１６０：水回収型排水再生装置７へ給水を行う。ステップＳ１２０へ戻る。
ステップＳ１７０：回転膜分離装置４のオーバーフロー分は２次処理槽２へ戻り循環させる。
【００２６】
図５は水回収型排水再生装置７の構成を示す系統図である。
図中、３０は中継タンク、３１は硫酸タンク、３２はラインミキサ、３３はプレフィルタ、３４はナノフィルトレーション膜（逆浸透膜でもよい）、３５は２次透過水タンク、３６はブースターポンプ、３７は高圧ポンプ、３８は第１移送ポンプ、３９は第２移送ポンプ、４０は排水・中継タンク切替弁、４１は排水・下水切替弁、４２は透過・濃縮切替弁、４３は井戸水切替弁、４４は２次濃縮水加圧弁、４５は定量弁、４６はドレンバルブ、４８はエア抜きバルブ、５１は硫酸薬注ポンプである。５２は水酸化ナトリウムタンク、５３は水酸化ナトリウム薬注ポンプである。
【００２７】
ブースターポンプ３６の稼働条件は、中継タンク３０内の原水がＨレベル以上でＯＮ、Ｌレベル以下でＯＦＦである。第１移送ポンプ３８の稼働条件は、２次透過水タンク３５内の２次透過水がＭレベル以上でＯＮ、Ｌレベル以下でＯＦＦである。第２移送ポンプ３９の稼働条件は、２次透過水タンク３５内の２次透過水がＬＬレベル以上かつ純水機側に設けられるイオン交換機原水タンク（図示せず）がＭレベルでＯＮ、ＨレベルでＯＦＦである。硫酸薬注ポンプ５１の稼働条件は、硫酸タンク３１内の液量がＬレベル以上かつ１次透過水ｐＨ設定値以上でＯＮである。
【００２８】
水回収型排水再生装置７の運転工程を大別すると、「通常工程」、「循環工程」、「ブロー工程」の３つに分けられる。
「通常工程」は、回転膜分離装置４で処理された１次透過水を再生するための分離精製を行い、２次透過水と２次濃縮水に分ける運転工程である。
「循環工程」は、ブロー工程終了後、分離膜を水中に保管することで、膜表面の乾燥および空気との接触を防ぎつつ、バクテリアの発生を防ぎ、次の「通常工程」への待機状態を保つ運転工程である。
「ブロー工程」は、分離膜の１つの汚染防止対策として実施されているもので、大量の水を工程内に高速で流し込むことにより、ナノフィルトレーション膜３４（または逆浸透膜）の面上の汚染物質を洗い流す運転工程である。
【００２９】
この各工程の切り替えは、操作盤上で手動で行うことも可能であるが、シーケンスプログラム内で回転膜分離装置４の原水ポンプ１０に連動したフラグを設定し、そのフラグにより通水工程の動作を連動させるようにする。また、通常工程後のブロー工程・循環工程の順序を設定するようにすることで、洗浄パターンの組み立てが可能となる。
【００３０】
（１）通常工程フロー図
通常工程は、▲１▼フラッシング、▲２▼初期抜水、▲３▼通水という３つのパターンのフローを一連動作として運転する。
各ポンプおよびバルブの作動状態を表１に示す。通常工程のフローを図６に示す。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
ステップＳ２００：操作盤で、通常工程を選択する。
ステップＳ２１０：２次濃縮水加圧弁４４を開き、排水・中継タンク切替弁４０を排水側、排水・下水切替弁４１を下水側、透過・濃縮切替弁４２を濃縮側へと各バルブを稼働する。
ステップＳ２２０：「通常工程」を起動させる。
ステップＳ２３０：中継タンク３０の液量を検出するＬレベル未満であればステップＳ２４０に進み、Ｌレベル以上であればステップＳ２５０に進む。
ステップＳ２４０：通常工程の稼働を待機させる。
ステップＳ２５０：ブースターポンプ３６を稼働させる。１０秒後に高圧ポンプ３７を稼働させる。
ステップＳ２６０：ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜３４の膜を「フラッシング」する。
ステップＳ２７０：２次濃縮水加圧弁４４を閉にする。
ステップＳ２８０：「初期抜水」を行う。流体に圧力をかけると、ナノフィルトレーション膜３４または逆浸透膜の透過側より２次透過水が精製されて出てくる。しかしこの時点では、圧力の立ち上がり状態であり、求められる分離性能が得られないため、中継タンクに循環される。
ステップＳ２９０：透過・濃縮切替弁４２を２次透過水側へ切り換える。
ステップＳ３００：装置が「通水」状態へと移行する。２次透過水が透過水タンク３５に貯められる。このときに高圧ポンプ３７、定量弁４５の動作が制御され、２次透過水と２次濃縮水の流量が調整される。これらの動作は中継タンク３０のＬＬレベルになるまで行われる。
ステップＳ３１０：中継タンク３０の液量を監視する。ＬＬ未満であればステップＳ３２０に進む。ＬＬ以上であればステップＳ３００に戻る。
ステップＳ３２０：ブースターポンプ３６および高圧ポンプ３７を停止する。設定圧力になると、２次濃縮水加圧弁４４を開く。ステップＳ２４０に戻って、装置は待機状態となる。
【００３３】
（２）循環工程
循環工程では、循環と浸漬を繰り返し行う。
各ポンプおよびバルブの作動状態を表２に示す。循環工程のフローを図７に示す。
【００３４】
【表２】
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【００３５】
ステップＳ４００：操作盤で、循環工程を選択する。
ステップＳ４１０：２次濃縮水加圧弁４４が開、排水・中継タンク切替弁４０が中継タンク側、排水・下水切替弁４１が排水側、透過・濃縮切替弁４２を濃縮側にバルブを稼働する。
ステップＳ４２０：「循環工程」を起動させる。
ステップＳ４３０：ブースターポンプ３６を稼働させる。１０秒後に高圧ポンプ３７を稼働させる。
ステップＳ４４０：「循環」運転を行う。
ステップＳ４５０：循環時間タイムアップで循環工程を終了する。
ステップＳ４６０：「浸漬」を行う。浸漬工程では、装置内の流れを止め、ナノフィルトレーション膜３４または逆浸透膜を水に漬ける。
ステップＳ４７０：浸漬時間タイムアップで浸漬工程終了。
ステップＳ４８０：予め設定された繰り返し回数に達したかどうかを監視する。
繰り返し回数の残りがあればステップＳ４３０に戻り、循環工程を行う。繰り返し回数に達したときはステップＳ４９０に進む。
ステップＳ４９０：循環工程を終了する。
このように、循環と浸漬の二つの工程を任意の回数繰り返して運転する。
【００３６】
（３）ブロー工程
ブロー工程は、ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜３４の分離膜の汚染防止対策のために、大量の水を工程内に高速で流し込むことにより、ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜３４の膜表面上の汚染物質を洗い流す運転工程である。
各ポンプおよびバルブの作動状態を表３に示す。循環工程のフローを図８に示す。
【００３７】
【表３】
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【００３８】
ステップＳ５００：操作盤で、ブロー工程を選択する。
ステップＳ５１０：２次濃縮水加圧弁４４が開、排水・中継タンク切替弁４０を中継タンク側、排水・下水切替弁４１を排水側、透過・濃縮切替弁４２を濃縮側にバルブを稼働する。
ステップＳ５２０：「ブロー工程」を起動させる。
ステップＳ５３０：ブースターポンプ３６を稼働させる。１０秒後に高圧ポンプ３７を稼働させる。
ステップＳ５４０：「抜水」運転を行う。
ステップＳ５５０：中継タンクの液量を監視する。Ｌ以上であればステップＳ５４０に戻る。Ｌ未満であればステップＳ５６０に進む。
ステップＳ５６０：給水を行う。
ステップＳ５７０：中継タンクの液量を監視する。指定量未満のときはステップＳ５６０に戻る。指定量以上のときはステップＳ５８０に進む。
ステップＳ５８０：予め設定された繰り返し回数に達したかどうかを監視する。繰り返し回数の残りがあればステップＳ５４０に戻り、抜水工程を行う。繰り返し回数に達したときはステップＳ５９０に進む。
ステップＳ５９０：ブロー工程を終了する。
【００３９】
このように、抜水とブローの二つの工程を任意の回数繰り返して運転する。
ブロー運転の手動操作は、中継タンクへの給水および中継タンクのＬＬレベル付近までのブロー操作を中継タンクの液量を目視確認するといった内容であるため、装置を担当する者がブロー工程実行中に立ち会う必要があった。
そこで、井戸水電動弁４３付の井戸水配管を中継タンク３０に設置し、中継タンク３０のＬＬレベルまでのブローを２回（回数は任意に設定可能）行えるようなプログラムで運転する。それにより、装置を担当するものがブロー工程実行中に立ち会う必要が無くなり、無人化が可能となる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の第１の構成によれば、凝集剤を用いて処理された排水を再生するために、回転膜分離装置で固形分と液体分に分離、処理された１次透過水を、水回収型排水再生装置にて分離精製を行う排水処理システムであって、前記水回収型排水再生装置にて、２次透過水と２次濃縮水に分ける運転工程と、ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜上に付着した汚染物質を洗い流すブロー工程と、前記ブロー工程終了後、前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜表面の乾燥および空気との接触を防ぐために前記ナノフィルトレーション膜または逆浸透膜を水中で保管する循環工程とを、シーケンスプログラム内で前記回転膜分離装置に排水を送水するポンプの動作に連動させて運転する運転手段を設けたことにより、各工程の連動による無人運転が実現できる。
【００４１】
本発明の第２の構成によれば、水回収型排水再生装置で処理する際に分離された２次透過水と２次濃縮水のうちの通水時の流量値を当該水回収型排水再生装置にフィードバックし、２次透過水と２次濃縮水の流量の比率を任意に設定できることにより、２次濃縮水の一部は濃度が排水基準値以上になる前に直接、下水または河川等へ放流することで、水の再利用を図り、また排水処理システム内で２次濃縮水の濃度が必要以上に高くなるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における排水処理システムを示す系統図である。
【図２】本実施の形態における総合水ピットと２次処理槽のレベル制御の説明図である。
【図３】本実施の形態におけるｐＨセンサと薬注ポンプの設置箇所を示す要部拡大図である。
【図４】本実施の形態における回転膜分離装置の制御のフローチャートである。
【図５】本実施の形態における水回収型排水再生装置の構成を示す系統図である。
【図６】本実施の形態における水回収型排水再生装置の通常工程のフローチャートである。
【図７】本実施の形態における水回収型排水再生装置の循環工程のフローチャートである。
【図８】本実施の形態における水回収型排水再生装置のブロー工程のフローチャートである。
【図９】従来における凝集沈殿法による前処理の工程を示すフロー図である。
【符号の説明】
１　１次処理槽
２　２次処理槽
３　総合水ピット
４　回転膜分離装置
５　オーバーフロータンク
６　スラッジ槽
７　水回収型排水再生装置
８　モータ
１０　原水ポンプ
１１　総合水ポンプ
１２　真空ポンプ（１次透過水ポンプ）
１３　リバースポンプ
１４　ドレンポンプ
１５，１６　バルブ
１７，１８　バルブ
２１〜２５　液面センサ
２６　電動弁
２７　ｐＨセンサ
２８　薬注ポンプ
３０　中継タンク
３１　硫酸タンク
３２　ラインミキサ
３３　プレフィルタ
３４　ナノフィルトレーション膜（または逆浸透膜）
３５　２次透過水タンク
３６　ブースターポンプ
３７　高圧ポンプ
３８　第１移送ポンプ
３９　第２移送ポンプ
４０　排水・中継タンク切替弁
４１　排水・下水切替弁
４２　透過・濃縮切替弁
４３　井戸水切替弁
４４　２次濃縮水加圧弁
４５　定量弁
４６　ドレンバルブ
４８　エア抜きバルブ
５１　硫酸薬注ポンプ
５２　水酸化ナトリウムタンク
５３　水酸化ナトリウム薬注ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004082055.tif 000012
【図８】
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【図９】
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