(57)【要約】【課題】簡単な形状の部品を用いることができるとともに、装置構成の単純化を図ることができ、製造が容易となるマイクロアセンブリー装置を提供する。【解決手段】円盤状の磁性体１５と、この磁性体１５を収容する孔部１８と、この孔部１８の下方で相互に直交する方向に延びる第１及び第２の電線路２３，２７とを備えて搬送装置１０が構成されている。これら第１及び第２の電線路２３，２７には、相互に位相が９０度ずれた交流電流が供給され、これによって、磁性体１５が孔部１８内を回転するようになっている。【選択図】　　　　　図２
2004130408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で相互に相違する方向に延びる複数の電線路とを備え、
前記孔部は、前記電線路の交差部分に略相対する位置に設けられ、各電線路に電流が供給されたときに、前記磁性体が前記孔部内を回転することを特徴とするマイクロアセンブリー装置。
【請求項２】
前記孔部は、その開放側の一部で前記磁性体を部分的に突出させる内部形状に設けられていることを特徴とする請求項１記載のマイクロアセンブリー装置。
【請求項３】
磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で所定方向に延びる電線路とを備え、
前記電線路に電流が供給されたときに、前記磁性体が前記孔部内を揺動することを特徴とするマイクロアセンブリー装置。
【請求項４】
前記磁性体は、その少なくとも一部に光透過部を有し、前記孔部の内壁側には、複数の光通路の端部が配置され、前記磁性体の回転若しくは揺動により、前記光透過部を介して前記各光通路が選択的に接続されることを特徴とする請求項１、２又は３記載のマイクロアセンブリー装置。
【請求項５】
磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で所定方向に延びる電線路とを備え、
所定の外力により前記磁性体が前記孔部内を回転若しくは揺動したときに、前記電線路に電流が発生することを特徴とするマイクロアセンブリー装置。
【請求項６】
前記孔部は、前記電線路内に形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のマイクロアセンブリー装置。
【請求項７】
前記磁性体と前記孔部の内壁との間には、当該磁性体の回転若しくは揺動による前記磁性体と内壁との動摩擦抵抗を低減する流体が介装されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のマイクロアセンブリー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロアセンブリー装置に係り、更に詳しくは、比較的単純な構成で製造が容易なマイクロアセンブリー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時においては、各種装置の微小化が促進されており、例えば、特許文献１に示されるマイクロ搬送装置や特許文献２に示される光スイッチ等のマイクロアセンブリー装置が知られている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−１１６６８３号公報
【特許文献２】
特開２０００−２５８７０４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記各マイクロアセンブリー装置にあっては、構造が比較的複雑であって、当該装置の製造に手間がかかるという不都合がある。すなわち、特許文献１のマイクロ搬送装置にあっては、固定子に形成された微小な空間内に、吸引電極、ばね部材、絶縁膜、搬送子、及びセンサ等の各種微小部材を正確に取り付けなければならず、組み立てに多大な手間がかかる。また、特許文献２の光スイッチにあっては、複雑な工程からなるエッチング作業が必要となって、製造に多大な時間と手間がかかる。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、簡単な形状の部品を用いることができるとともに、装置構成の単純化を図ることができ、製造が容易となるマイクロアセンブリー装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で相互に相違する方向に延びる複数の電線路とを備え、
前記孔部は、前記電線路の交差部分に略相対する位置に設けられ、各電線路に電流が供給されたときに、前記磁性体が前記孔部内を回転する、という構成を採っている。このような構成によれば、簡単な形状の微小部品を用いた単純な装置構成で、所定の回転駆動力を付与するマイクロアセンブリー装置を形成可能となる。これによって、装置の製造に際しては、例えば、円盤状、棒状、球状等の磁性体を平面視略円形の孔部上に散布すること等の簡単な作業で行うことができる。
【０００７】
ここで、前記孔部は、その開放側の一部で前記磁性体を部分的に突出させる内部形状に設けられる、という構成を採ることが好ましい。このような構成により、孔部上に所定の搬送対象物を載せたときに、孔部から突出した磁性体の回転によって、搬送対象物を所定方向に搬送することができ、前記マイクロアセンブリー装置を搬送装置として利用可能となる。
【０００８】
また、本発明は、磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で所定方向に延びる電線路とを備え、
前記電線路に電流が供給されたときに、前記磁性体が前記孔部内を揺動する、という構成を採っている。このような構成によっても、簡単な形状の微小部品を用いた単純な装置構成で、磁性体に揺動力を付与するマイクロアセンブリー装置を形成することができ、前述した目的を達成できる。
【０００９】
ここで、前記磁性体は、その少なくとも一部に光透過部を有し、前記孔部の内壁側には、複数の光通路の端部が配置され、前記磁性体の回転若しくは揺動により、前記光透過部を介して前記各光通路が選択的に接続される、という構成を採ることができる。これにより、前記マイクロアセンブリー装置を光スイッチとして利用可能となる。
【００１０】
また、本発明は、磁性体と、この磁性体を収容する孔部と、この孔部の近傍で所定方向に延びる電線路とを備え、
所定の外力により前記磁性体が前記孔部内を回転若しくは揺動したときに、前記電線路に電流が発生する、という構成を採っている。このような構成によれば、簡単な形状の微小部品を用いた単純な装置構成で、前記外力に対する測定装置を形成することができ、前述した目的を達成できる。
【００１１】
更に、前記孔部は、前記電線路内に形成される、という構成を採用することができる。このような構成によれば、磁性体と電流路との離間距離を短縮することができ、装置全体の微小化を一層促進できる他、アセンブリー装置を回転駆動源や揺動駆動源として活用した場合に、少ない供給電流で、磁性体の回転や揺動のエネルギー源となる磁場をより強くすることができる。
【００１２】
また、前記磁性体と前記孔部の内壁との間には、当該磁性体の回転若しくは揺動による前記磁性体と内壁との動摩擦抵抗を低減する流体が介装される、という構成とするとよい。このような構成によれば、磁性体の回転や揺動の際における磁性体と前記孔部の内壁との動摩擦抵抗によるエネルギー損失を低減させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
［第１実施例］
図１には、第１実施例に係るマイクロアセンブリー装置としての搬送装置の概略分解斜視図が示され、図２には、図１の一部拡大図が示されている。また、図３には、図２の概略平面図が示され、図４には、図３のＡ−Ａ線に沿う断面図が示されている。これらの図において、搬送装置１０は、上側に位置する上部構成体１１と、この上部構成体１１の下面側に敷設された中間構成体１２と、この中間構成体１２の下面側に敷設された下部構成体１３とからなる三層構造に設けられている。なお、以下においては、説明の便宜上、図１中Ａ方向を縦方向と称し、図１中Ｂ方向を横方向と称する。
【００１５】
前記上部構成体１１は、円筒形状をなす円盤状の磁性体１５と、この磁性体１５を脱落不能に保持する基板１６とを備えて構成されている。この基板１６には、磁性体１５が収容される孔部１８が多数形成されている。これら孔部１８は、基板１６の上面すなわち表面１６Ａから内部に落ち込むように形成されるとともに、縦横両方向でそれぞれ略等間隔に設けられている。また、各孔部１８は、図４に示されるように、その内径が磁性体１５の外径よりも僅かに小径とされる一方、その深さが同図中左側から右側に向かって次第に減少するように設定され、孔部１８の開放側の一部で磁性体１５が部分的に突出する内部形状に設けられている。すなわち、孔部１８に収容された磁性体１５は、その上部１９が、図４中左側から右側に向かって次第に上向きに傾斜し、同図中略中央から右端側までの領域１９Ａが孔部１８の開放側から突出するようになっている。なお、この突出領域１９Ａの範囲は、本図示例に限定されるものではなく、更に拡縮された状態とすることもできる。
【００１６】
前記中間構成体１２は、図１に示されるように、板状のベース２１と、このベース２１に保持されて横方向に延びる複数の第１の電線路２３とを備えて構成されている。第１の電線路２３は、特に限定されるものではないが、ベース２１上に形成された凹状の溝に受容されたような状態となっており、上端部がベース２１の上面と略面一となっている。また、第１の電線路２３は、前記孔部１８における縦方向のピッチと略同一のピッチで相互に平行に配置されており、孔部１８が第１の電線路２３の直上に位置するようになっている。更に、各電線路２３には、図示しない交流発生装置から、所定の周波数の交流電流が供給される。
【００１７】
前記下部構成体１３は、図１に示されるように、板状のベース２５と、このベース２５に保持されて第１の電線路２３に略直交する方向に延びる複数の第２の電線路２７とを備えて構成されている。第２の電線路２７は、前記第１の電線路２３に対し、延出向きを９０度変えた点を除いて略同一構成となっている。この第２の電線路２７には、第１の電線路２３に供給される電流に対し、同一の周波数で位相が９０度ずれた交流電流が供給される。
【００１８】
以上のように構成された搬送装置は、図２及び図３に示されるように、第１及び第２の電線路２３，２７の交差部分の上方に、磁性体１５及び孔部１８の中央部分が位置することになる。このため、第１及び第２の電線路２３，２７に、相互に位相が９０度ずれた交流電流が流れると、磁性体１５と第１の電線路２３との間の磁場が略水平面内を回転するようになり、これによって、磁性体１５が、その軸線Ｃ（図４参照）を中心として、交流電流の周波数に対応した回転数で回転することになる。このように磁性体１５が回転すると、図５に示されるように、当該磁性体１５の突出領域１９Ａ（同図中網掛け部分）が同図中矢印方向の何れか一方に回転することにより、基板１６上に載せられた搬送対象物（図示省略）を図５中上下方向に搬送することが可能になる。なお、特に限定されるものではないが、本実施例における磁性体のサイズは、例えば、直径０．２ｍｍ〜２ｍｍ程度、高さ（厚み）１ｍｍ程度を事例とする。また、例えば、交流電流の周波数は、０．１Ｈｚ〜数ｋＨｚ程度、好ましくは、０．１Ｈｚ〜１Ｈｚ程度、振幅は、数ｍＡ〜１Ａ程度を事例とする。
【００１９】
前記搬送装置１０は、例えば、次のようにして製造される。先ず、磁性体１５を多数形成するとともに、基板１６上に孔部１８を開ける。そして、多量の磁性体１５をまとめて基板１６上に散布し、当該磁性体１５を各孔部１８内に収容させることで上部構成体１１が形成される。また、中間構成体１２や下部構成体１３は、単純なエッチング作業やプリント作業等の公知の方法で形成する。そして、これら各構成体１１〜１３を貼合して搬送装置１０が完成する。なお、中間構成体１２や下部構成体１３を基板１６に貼合してから、磁性体１５を基板１６上に散布してもよい。このように、搬送装置１０は、本出願人によって既に提案された特願２００１−２３７２００の方法等を用いて簡単に形成することが可能である。
【００２０】
従って、このような第１実施例によれば、比較的簡単な形状の微小部品を用いて簡単な構成の搬送装置１０を形成することができ、当該搬送装置１０を微小化しても、その製造を容易に行えるという効果を得る。
【００２１】
なお、第１及び第２の電線路２３，２７に流す交流電流を所定位置の電線路２３，２７に限定し、所望の位置の磁性体１５を選択的に回転させることも可能である。このことは、前記搬送対象物の種別に応じて交流電流を流す電線路２３，２７を変えることで、搬送対象物を種別毎に仕分けする自動仕分け機能に応用できる。具体的に、ここでは、搬送装置１０の上流側に設置された所定のセンサ（図示省略）で搬送対象物の種別を認識し、当該種別に応じて交流電流を流す電線路２３，２７を変えることを例示できる。また、前記搬送対象物の電荷量の相違に応じて当該搬送対象物を種別毎に仕分けすることも可能である。この場合は、前述のセンサを設けずに、電流と電荷量との相互作用による磁性体の回転特性の相違により、搬送対象物を電荷量に応じて異なる場所に搬送する。
【００２２】
更に、第１及び第２の電流路２３，２７に流れる交流電流は、当該電流路２３，２７と関係のない離れた磁性体１５に影響を及ぼさずに、所望の磁性体１５を確実に回転できる限りにおいて、位相のずれを前述よりも増減したり、振幅に差を設定することもでき、また、流す電流をパルス状とすることも可能である。
【００２３】
次に、本発明の前記以外の実施例について説明する。なお、以下の説明において、前記第１実施例と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
【００２４】
［第２実施例］
第２実施例は、図６及び図７に示されるように、マイクロアセンブリー装置としてのファン装置３０に本発明を適用したところに特徴を有する。このファン装置３０は、前記搬送装置１０における磁性体１５の回転構造が採用されている。
【００２５】
前記ファン装置３０は、搬送装置１０の孔部１８に対して形状の相違する孔部３２が基板１６に形成されているとともに、磁性体１５の上部１９の外周側に羽根３３が取り付けられている。なお、その他の構成は、第１実施例の搬送装置１０の構成と実質的に同一となっている。前記孔部３２は、その深さが略全域で一定となる平面視略円形の凹状に設けられている。また、孔部３２に収容される磁性体１５は、その上部１９の全域が基板１６の表面１６Ａから突出する高さ（厚み）に設定されており、当該突出部位の外周側に前記羽根３３が固定されている。
【００２６】
このように構成されたファン装置３０は、前記第１実施例と同様に、第１及び第２の電線路２３，２７に、位相が相互に９０度ずれた交流電流を流すと、磁性体１５がその周方向に回転し、これに伴って羽根３３が基板１６の表面１６Ａに沿う水平面内を回転する。
【００２７】
［第３実施例］
第３実施例は、マイクロアセンブリー装置としての表示装置に本発明を適用したところに特徴を有する。図８に示されるように、この表示装置４０も、前記搬送装置１０における回転構造が採用されている。
【００２８】
この表示装置４０は、球状の磁性体４２と、この磁性体４２が収容されるとともに、磁性体４２よりも僅かに大きな内径を有する半球状の孔部４３とを設けた点において、前記第１実施例と相違する。なお、その他の構成は、前記搬送装置１０の構成と実質的に同一となっている。前記磁性体４２は、図８中上半分の球面部分が、同下半分の球面部分に対して異なる色彩が施されている。
【００２９】
このように構成された表示装置４０は、前記第１実施例と同様に、第１及び第２の電線路２３，２７に位相が相互に９０度ずれた交流電流を流すと、磁性体４３が図８中矢印方向の何れか一方に回転し、各球面部分のうち表出する部分が変わる。従って、各球面部分を白黒に塗り分ければ、一個の磁性体４２を１ドットとして、各磁性体１５の任意の位置の回転で、所望の文字を表現することが可能となる。また、磁性体４２の外面を複数色で塗り分けて当該磁性体４２を回転することにより、独楽の模様のように、外面の各色が融合した模様や色彩を表出させることもできる。
【００３０】
なお、以上の第１〜第３実施例における磁性体１５，４２の回転構造を、管路の途中に設けられた開閉弁を駆動させる動力として用いることもできる。
【００３１】
［第４実施例］
第４実施例は、マイクロアセンブリー装置としての乱流測定装置に本発明を適用したところに特徴を有する。この乱流測定装置５０は、図９に示されるように、丸棒状の磁性体５２を採用した他は、前記第２実施例の構成と実質的に同一となっている。
【００３２】
前記乱流測定装置５０は、外力によって磁性体５２が回転することで第１及び第２の電線路２３，２７に電流を発生させ、当該電流の大きさに応じて乱流の状況を分析可能に設けたものである。この乱流測定装置５０は、例えば、図１０に示されるように、乱流発生部位に、磁性体５２側が表向きになるように設置する。そして、乱流が生じると、各磁性体５２の回転速度に相違が生じ、これによって、電線路２３，２７内を流れる電流の大きさに差が生じ、当該差に応じて乱流の状況を分析可能となる。なお、乱流測定装置５０の設置位置は、図１０の位置に限定されるものではなく、追加変更可能である。
【００３３】
なお、ここでの磁性体５２には、回転力を一層得るために、前記第２実施例の羽根３３のような翼状体を取り付けることが望ましい。
【００３４】
また、磁性体５２の回転により乱流の状況を分析可能な他の乱流測定装置５０としては、図１１に示される乱流検知プローブ５４を例示することができる。この乱流検知プローブ５４は、正面視略Ｔ字状をなすベース５５と、このベース５５の先端面５５Ａ（図１１（Ａ）の上端側）に設けられた磁性体ユニット５６とを備えて構成されている。この磁性体ユニット５６は、前記先端面５５Ａに複数形成された孔部１８内を回転する複数の磁性体５２と、これら磁性体５２にそれぞれ連なるとともに、孔部１８から突出する中心軸５７と、各中心軸５７の外周面から径方向外側に延びる４枚の回転翼５８とを備えている。当該回転翼５８は、先端面５５Ａに沿って回転可能に設けられ、これに伴って、磁性体５２が孔部１８内を回転し、例えば、図１１（Ｂ）中上方からの乱流に対し、当該乱流の平均速度や分布速度を測定することができる。なお、乱流検知プローブ５４は、例えば、図１１（Ｃ）に示されるように配置されるが、この際、当該プローブ５４による流れの乱れが極力発生しないように配置することが好ましい。また、ここでの磁性体５２は、複数設けられているが、乱流の微細状況を把握するために一個の磁性体５２で磁性体ユニット５６を構成してもよい。
【００３５】
なお、第４実施例と同様の構造を流速測定装置に適用することもできる。この場合には、流速が変化すると、磁性体５２の回転速度に相違が生じ、これによって、電線路２３，２７内を流れる電流の大きさが変化するため、当該電流を測定することで流速が検出可能となる。
【００３６】
また、以上の乱流測定装置５０や流速測定装置に用いられる磁性体としては、前述した丸棒状の磁性体５２に限らず、第１及び第３実施例の磁性体１５，４２としてもよい。また、第２実施例のように磁性体１５に羽根３３を付けることも可能である。
【００３７】
［第５実施例］
第５実施例は、マイクロアセンブリー装置としての光スイッチに本発明を適用したところに特徴を有する。
【００３８】
図１２に示されるように、第５実施例に係る光スイッチ６０は、上側に位置する上部構成体６１と、この上部構成体６１の下面側に敷設された下部構成体６２とからなる二層構造に設けられている。
【００３９】
前記上部構成体６１は、丸棒状の磁性体６４と、この磁性体６４を収容する孔部６５が形成された基板６７とを備えて構成されている。磁性体６４は、軸線方向両端側が開放する略円筒状の磁性材の内部に、丸棒状の透光材を介装して得られる。この透光材は、透明ガラス材、水晶、透明プラスチックに例示される光透過率の良好な材料によって形成され、当該透光材の部分が軸方向両端間に延びる光透過部６８となっている。ここで、前記磁性体６４としては、前記透光材の表面に前記磁性材を蒸着させることで形成してもよい。なお、以上の磁性体６４は、常温で使用可能となる。
孔部６５は、前記第２実施例の孔部３２と実質的に同一となる形状をなしており、その内壁６５Ａに第１〜第４の光通路７０〜７３の端部７５が配置されている。ここで、特に限定されるものではないが、第１及び第２の光通路７０，７１は、それら各軸線が相互に略同一直線上に位置するように延設される一方、第３及び第４の光通路７２，７３は、それら各軸線が相互に略同一直線上に位置するように延設されており、第１及び第２の光通路７０，７１と第３及び第４の光通路７２，７３とがそれぞれクロスするように配置されている。
【００４０】
前記下部構成体６２は、前記第１実施例の中間構成体１３と実質的に同一となっており、ここでは詳細な説明を省略する。
【００４１】
このように構成された光スイッチ６０は、電線路２３に電流が流されていない初期状態では、磁性体６４を介して第１及び第２の光通路７０，７１が接続されるようになっている。この状態から、電線路２３に交流電流が流れると、磁性体６４が揺動することになる。すなわち、電線路２３内を電流が流れると、図１２（Ａ）中二点鎖線で示されるように、磁性体６４が回転して、当該磁性体６４を介して第３及び第４の光通路７１，７２が接続される。そして、電線路２３内を前述と逆方向に電流が流れると、磁性体６４が前述と逆向きに回転して、前記初期状態に戻るようになっている。
【００４２】
なお、スイッチングに必要となる磁性体６４の揺動若しくは変位が得られる限りにおいて、電線路に流す電流を直流電流或いはパルス状の電流とすることもできる。
【００４３】
また、前記第５実施例に対して、光通路７０〜７３の本数を増減し、及び／又は、それらの配置を変えた構成としてもよい。例えば、光通路を、入力側に一本、出力側に二本配置し、磁性体６４の揺動若しくは変位により、出力側の二本の光通路に対して入力側の光通路を選択的に連通させる構造としてもよい。これは、逆に、光通路を、入力側に二本、出力側に一本配置した場合でも同様である。
要するに、光スイッチへの本発明の適用は、前記図示例に限らず、前記各実施例で説明した磁性体１５，６４の回転構造や揺動構造を用いてスイッチの切り替えができる限りにおいて、種々の構造を採用することができる。
【００４４】
更に、第５実施例に係る磁性体の揺動構造を前記第４実施例の乱流測定装置等にも適用することができる。
【００４５】
また、前記第２〜第５実施例における各種マイクロアセンブリー装置においても、第１実施例と同様に形成される。
【００４６】
更に、前記各実施例において、基板１６，６７を省略し、図１３に示されるように、孔部１８，３２，４３，６５を電線路２３の上面側に直接形成するとよい。これによれば、磁性体１５，４２，６４と電線路２３との距離が一層近接し、これによって、少ない電流でより強い磁場を得ることができる。
【００４７】
また、各実施例における各種部材の形状は、前述した形状及び構造に限定されず、前述した各種作用を奏することができる限りにおいて、種々の形状及び構造を採用することができる。
【００４８】
更に、少なくとも、磁性体１５等と孔部１８等の内壁との間に、磁性体の回転若しくは揺動による磁性体１５等と内壁との動摩擦抵抗を低減する流体を介装するとよい。この流体としては、オイル状の潤滑剤を例示できる。
【００４９】
また、本発明は、前述した各種装置に対する適用に限定されず、所定の部材が回転若しくは揺動する他のマイクロアセンブリー装置に対しても適用することができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、簡単な形状の部品を用いることができるとともに装置構成の単純化を図ることができ、装置全体の製造を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係る搬送装置の概略分解斜視図。
【図２】図１の一部拡大図。
【図３】図２の概略平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図５】前記搬送装置の拡大平面図。
【図６】第２実施例に係るファン装置の拡大平面図。
【図７】図６のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図８】第３実施例に係る表示装置の拡大断面図。
【図９】第４実施例に係る乱流測定装置の拡大斜視図。
【図１０】前記乱流測定装置の取付状態を示す概念図。
【図１１】（Ａ）は、第４実施例の変形例に係る乱流測定装置の拡大斜視図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の一部拡大図であり、（Ｃ）は、（Ａ）の乱流測定装置の取付状態を示す概念図である。Ａ）の平面図である
【図１２】（Ａ）は、第５実施例に係る光スイッチの拡大斜視図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の平面図である。
【図１３】（Ａ）〜（Ｃ）は、前記各実施例の変形例を示す要部拡大斜視図である。
【符号の説明】
１０　搬送装置（マイクロアセンブリー装置）
１５　磁性体
１８　孔部
２３　第１の電線路
２７　第２の電線路
３０　ファン装置（マイクロアセンブリー装置）
３２　孔部
４０　表示装置（マイクロアセンブリー装置）
４２　磁性体
４３　孔部
５０　乱流測定装置（マイクロアセンブリー装置）
５２　磁性体
６０　光スイッチ（マイクロアセンブリー装置）
６４　磁性体
６５　孔部
６５Ａ　内壁
６８　光透過部
７０　第１の光通路
７１　第２の光通路
７２　第３の光通路
７３　第４の光通路
７５　端部
【図１】
2004130408.tif 000003
【図２】
2004130408.tif 000004
【図３】
2004130408.tif 000005
【図４】
2004130408.tif 000006
【図５】
2004130408.tif 000007
【図６】
2004130408.tif 000008
【図７】
2004130408.tif 000009
【図８】
2004130408.tif 000010
【図９】
2004130408.tif 000011
【図１０】
2004130408.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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