(57)【要約】【課題】要求される小型化を確保しながら、供給される原料流体を効率よく混合できるマイクロチャンネルチップを提供する。【解決手段】蓋板1aと中間板4と底板５とを接合した構成とし、蓋板1aに複数の供給口11等と取出し口13と蓋板1a側の反応流路の分流部となる凹部を設け、底板５に蓋板1aの凹部に対向させて反応流路の分流部となる凹部を設け、中間板４に供給流路31bおよび第1合流部331と第2合流部333と第3合流部335となる３つの凹部を設け、3枚の板材が接合されて形成する反応流路33bの途中に分流部332等を備えている。合流および分流の組み合わせで高い撹拌効果が得られる。【選択図】        図１
2004202613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料流体を供給する複数の供給口と、供給された複数の原料流体が混合された結果として送り出されてくる反応結果流体を取り出す取出し口と、それぞれの供給口から合流部までへのそれぞれの供給流路および合流部から取出し口までへの反応流路からなる流路と、を備え、この流路を形成するための凹部や貫通孔を有する複数の板材が一体化されてなるマイクロチャンネルチップであって、
前記反応流路が、板材の主面に平行な部分と垂直な部分との組み合わせで構成されている、
ことを特徴とするマイクロチャンネルチップ。
【請求項２】
前記の複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を有し、
蓋板には、前記の複数の供給口および前記取出し口となる複数の貫通孔と、反応流路の一部となる凹部と、を備え、
底板には、蓋板の凹部に対向する位置に、その凹部と同じ形状で反応流路の一部となる凹部を備え、
中間板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の凹部および底板の凹部の入口に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、蓋板の凹部および底板の凹部がそれぞれ複数である場合に、前段の両凹部の出口および後段の両凹部の入口に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、最終段の両凹部の出口に連通し且つ取出し口となる蓋板の貫通孔に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロチャンネルチップ。
【請求項３】
前記の複数の板材として、蓋板および基板の２枚の板材を有し、
蓋板には、前記の複数の供給口となる同数の貫通孔と、基板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、反応流路となる蓋板の凹部または基板の凹部の最終端と連通して前記取出し口となる貫通孔と、を備え、
基板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の初段の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、蓋板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロチャンネルチップ。
【請求項４】
前記の複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を有し、
中間板には、蓋板の貫通孔および凹部と底板の凹部とを連通させるための複数の貫通孔を備え、
蓋板には、前記の複数の供給口となる同数の貫通孔と、底板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、反応流路となる蓋板の凹部または底板の凹部の最終端と連通して前記取出し口となる貫通孔と、を備え、
底板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の初段の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、蓋板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載のマイクロチャンネルチップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、微小な流路内で微小容量の流体を混合させたり反応させたりなどするマイクロチャンネルチップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、進歩の著しいマイクロマシニング技術によって、シリコンやガラス、プラスチック等の基板を加工して、微小流路（マイクロチャンネル）をもつデバイスを作製し、その微小空間を各種反応（混合や合成、分離、分析等）の場として利用することが試みられ、注目を浴びている。このようなデバイスは、その使用目的に応じて、マイクロミキサーとかマイクロリアクタと呼ばれている。
通常、反応の場となる微小空間、すなわち反応流路、の等価直径が500μmより小さいものが微小流路（マイクロチャンネル）とされており、このような微小流路をもつチップがマイクロチャンネルチップである。マイクロチャンネルチップには、1つだけの微小流路をもつものもあれば、複数の微小流路をもつものもあり、多数の微小流路をもつウェハ状のものもある。
【０００３】
このようなマイクロチャンネルチップのように流路のスケールが微小化してくると、以下の特徴が得られる。
・  レイノルズ数が小さくなるので、流れは層流支配となる。
・  単位体積当たりの表面積が非常に大きくなる。
・  温度、圧力、濃度等の勾配が大きくなる。
これらの特徴によって、熱伝導や、拡散等の物質移動、等の効率が向上し、反応系での反応時間の短縮や、反応速度の向上、等の利点が得られる。更に、微小空間内での反応であっても適量合成とか高い再現性が得られるので、反応に使用される薬品や触媒、試薬等を含めた原料流体の量を大幅に低減することも可能となって、経済的なメリットも大きい。
【０００４】
ここで、先ず、マイクロチャンネルチップの一般的な構成を説明する。
図5は、従来技術によるマイクロチャンネルチップの一例の部品を示し、（ａ）は蓋板１の斜視図、（ｂ）は基板２の斜視図であり、図6は、この蓋板１および基板２が接合や接着で一体化されてマイクロチャンネルチップとなった状態での、第１の供給流路31および反応流路33に沿った断面図である。
蓋板１には、各種の原料流体（溶液や薬品、試薬等で、微小固体を含む液体や気体も含む）を混合等の反応のために供給する２つの供給口（図5では第1供給口11および第2供給口12）と、混合された結果として送り出されてくる混合流体や生成流体等の反応結果流体を取り出す取出し口13と、が形成されている。
【０００５】
基板2には、２つの供給口11および12からの供給流路となる第1供給流路用溝21および第２供給流路用溝22と反応流路となる反応流路用溝23とが形成されている。反応流路用溝23の幅は、図5（ｂ）では２つの供給流路用溝21および22の幅より広く描かれているが、その長さと合わせて必要な反応時間との兼ね合いで決定される。
基板2上に蓋板１が接合されると、図6に示した様に、第1供給流路31、不図示の第２供給流路および反応流路33からなる流路3が形成される。
第1供給口11および第2供給口12 からそれぞれに供給された原料流体は、それぞれ第1供給流路31および第２供給流路を通って反応流路33へ導かれ、ここで混合や合成等の所定の反応をし、反応結果流体として取出し口13から取り出される。
【０００６】
等価直径が500μm以下の微小流路のレイノルズ数は、10〜数100程度と極めて小さい。そのため、その内部を流れる流体は、前述したように層流支配状態となる。したがって、図5に示したような流路構成の微小流路の場合には、2つの供給口11および12から供給されたそれぞれの原料流体は、反応流路33内においても2つの層流となって流れ、供給された2つの原料流体の混合は、主に２つの層流の間の拡散によって支配される。このため、両流体が完全な混合状態に達するまでには、微小流路ではあっても、ある程度の時間を必要とする。
この混合所要時間を更に短縮して効率化するために、流れを幾つにも分割して多数の層流を作り、拡散所要時間を短くしようとする試みも幾つか提案されている。
【０００７】
図7は、その一例の基板2aの形状を示した平面図であって、この基板2a上に図５ (ａ) に示した蓋板１と同様の蓋板が接合されて、マイクロチャンネルチップとなる。なお、図7においては、流路用溝を流路として示している。
蓋板の2つの供給口11および12につながる第1供給流路31aおよび第2供給路32aは、それぞれに3段階で分岐されて、反応流路である細かい網目状のマルチ流路33aにつながれている。マルチ流路33aの出口側は供給流路側とは逆に段段に集められて取出し口13につながっている。供給される2種類の原料流体は、細かい網目状のマルチ流路33aで十分に混合される。
【０００８】
以上で説明したようなマイクロチャンネルチップの基板および蓋板用の素材には、通常、シリコンやガラス、金属、プラスチック等の板が用いられる。これら素材の中から、その使用目的に適合する材料が選択され、その材料に適した加工技術で微小流路等を加工され、接合や接着、Ｏ−リング締結等で一体化されてマイクロチャンネルチップとなる。
この種のマイクロチャンネルチップの構造等に関する従来技術としては、表面に異方性エッチングにより形成された複数の独立した反応チャンバ用溝を有するシリコン基板と、このシリコン基板の表面に静電接合され反応チャンバを形成させる平板と、からなるものが知られている（特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１０−３３７１７３号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
図6等に示したような同一平面上に形成された微小流路内を流れる流体は、前述したように、外部から特別な状態を付与しない限り層流となるので、供給された原料流体の混合は、主に相互拡散に依存し、均一な混合状態を得るためには、その微小さの割には長い時間を必要とする。そのため、混合効率を高めるためには、流体の流れを幾つもの流れに分割して拡散に要する時間を短縮することが必要となり、図7に示したようなマルチ流路が採用されてきた。しかし、マルチ流路方式は、原料流体の数が多くなると流路を形成する基板の面積を大きくしなければならず、小型化の要求から乖離することになる。
【００１１】
同じ流路断面積を持つ流路において、平行に流れる2つの流れが相互拡散で混合するのに要する時間は、接触面積が大きいほど短くなる。したがって、図5および図6のような、供給口が同じ側に配置されているマイクロチャンネルチップの場合には、供給口から送り込まれた流体が反応流路内で幅方向に並んだ層流となるので、幅が狭くて深い反応流路を形成すれば、層流間の接触面積が大きくなって、混合時間を短縮することができる。しかし、そのような反応流路は、反応流路溝の加工時間を長くさせるのに加えて、溝の形状精度を低下させる。そのため、反応流路の形状としては、深さに比べて幅の広いものが望ましい。
【００１２】
この発明の課題は、要求される小型化を確保でき、反応流路の形状精度が高く、且つ供給される複数の原料流体を効率よく混合できるマイクロチャンネルチップを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、原料流体を供給する複数の供給口と、供給された複数の原料流体が混合された結果として送り出されてくる反応結果流体を取り出す取出し口と、それぞれの供給口から合流部までへのそれぞれの供給流路および合流部から取出し口までへの反応流路からなる流路と、を備え、この流路を形成するための凹部や貫通孔を有する複数の板材が一体化されてなるマイクロチャンネルチップであって、前記反応流路が、板材の主面に平行な部分と垂直な部分との組み合わせで構成されている。
【００１４】
反応流路が板材の主面に平行であれば、従来技術の項で説明したように、反応流路内の流体の流れは層流支配となり、複数の流体を混合させるのに要する時間が長くなる。しかし、反応流路に板材の主面に垂直な部分を組み合わせると、この部分で、流体の流れが急激に曲げられて層流支配状態を乱され、反応流路の幅全体にわたって乱流状態を発生する。その結果として、反応流路内での原料流体の攪拌効果が高まる。
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記の複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を有し、蓋板には、前記の複数の供給口および前記取出し口となる複数の貫通孔と、反応流路の一部となる凹部と、を備え、底板には、蓋板の凹部に対向する位置に、その凹部と同じ形状で反応流路の一部となる凹部を備え、中間板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の凹部および底板の凹部の入口に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、蓋板の凹部および底板の凹部がそれぞれ複数である場合に、前段の両凹部の出口および後段の両凹部の入口に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、最終段の両凹部の出口に連通し且つ取出し口となる蓋板の貫通孔に連通して反応流路の一部となる貫通孔と、を備える。
【００１５】
この発明の構成は、反応流路の途中に、互いに対称な上下2つ分岐流路を形成するものであり、分岐部で流体の流れを急激に曲げるのに加えて、合流部で分流した流体同士をぶつかり合わせるので、大きな撹拌効果を得ることができる。なお、中間板を用いても厚さが幾分厚くなるだけであって、小型化に対する要求の支障にはならない。
請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記の複数の板材として、蓋板および基板の２枚の板材を有し、蓋板には、前記の複数の供給口となる同数の貫通孔と、基板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、反応流路となる蓋板の凹部または基板の凹部の最終端と連通して前記取出し口となる貫通孔と、を備え、基板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の初段の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、蓋板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、を備える。
【００１６】
この発明の構成は、板材2枚の構成であって最も単純な構成であるが、反応流路の流れを急激に変えさせることはできるので、撹拌効果を得ることができる。請求項４の発明は、請求項１の発明において、前記の複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を有し、中間板には、蓋板の貫通孔および凹部と底板の凹部とを連通させるための複数の貫通孔を備え、蓋板には、前記の複数の供給口となる同数の貫通孔と、底板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、反応流路となる蓋板の凹部または底板の凹部の最終端と連通して前記取出し口となる貫通孔と、を備え、底板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔にそれぞれに連通する供給流路となり且つ蓋板の初段の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、蓋板の凹部と連通して反応流路の一部となる凹部と、を備える。
【００１７】
この発明の構成は、中間板を用いることによって、反応流路の流れをより急激に変えさせるものであり、より大きい撹拌効果を得ることができる。なお、中間板を用いても厚さが幾分厚くなるだけであって、小型化に対する要求の支障にはならない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
この発明によるマイクロチャンネルチップの特徴は、同じ側にある複数の供給口から供給された複数の原料流体を、反応流路の幅がその深さより大きいものにおいても効率よく混合させるために、反応流路を板材の主面に平行な部分と垂直な部分との組み合わせで構成して、流体の流れを急激に変え、乱流状態を発生させて撹拌効果を得ていることである。
以下において、この発明の実施の形態について実施例を用いてより詳しく説明する。なお、従来技術と同じ機能の部分には同じ符号を付ける。
【００１９】
〔第１の実施例〕
図１は、この発明によるマイクロチャンネルチップの第１の実施例の構成を示し、（ａ）は外観を示す斜視図、（ｂ）は反応流路33bに沿った断面図であり、従来例の図6に相当する。図２はこの実施例の部品を示し、（ａ）は蓋板1aの平面図、（ｂ）は中間板４の平面図、（ｃ）は底板５の平面図である。
この実施例は、蓋板1aと中間板４と底板5とが静電接合で一体化されて構成されている。蓋板1aおよび底板5には硼珪酸ガラス板を用い、中間板４にはシリコンウェハを用いた。なお、蓋板1aおよび底板5をシリコンウェハとし、中間板４を硼珪酸ガラス板とすることもできる。
【００２０】
蓋板1aには、各種の原料流体を混合や化学反応等の反応をさせるために供給する２つの供給口（第1供給口11および第2供給口12）と、混合された結果として送り出されてくる反応結果流体を取り出す取出し口13と、が貫通孔として形成されており、中間板４と接合される下面には、反応流路の一部である蓋板1a側の第1分流部332および第2分流部334となる2つの凹部、すなわち第1凹部14および第2凹部15が形成されている。
底板５には、蓋板1aの第1凹部14および第2凹部15に対向する位置に、反応流路の一部である底板５側の第1分流部332および第2分流部334となる２つの凹部、すなわち第1凹部51および第2凹部52が形成されている。
【００２１】
中間板４には、第1供給流路31bおよび不図示の第2供給流路および第1合流部331となる第1貫通部41と、第1分流部332と第2分流部334とを連通する第2合流部333となる第2貫通部42と、第2分流部334と取出し口13とを連通する第3合流部335となる第3貫通部43と、が形成されている。
参考までに、この実施例の板材の厚さや加工形状の一例を示すと、蓋板1aおよび底板５の厚さは0.5mm、供給口11および12の直径は0.3mm、取出し口13の直径は0.5mm、中間板４の厚さは0.35mm、第1凹部14等の凹部の深さは0.1mm、である。上記の貫通孔、凹部および貫通部の加工には、サンドブラスト加工と弗酸および硝酸の混合液による湿式エッチングとを併用した。
【００２２】
蓋板1aおよび底板５が、中間板4の上下にそれぞれ静電接合によって接合されて、第1供給流路31b、不図示の第２供給流路および反応流路33bからなる流路を形成する。反応流路33bは、第1合流部331、上下2つに分かれる第1分流部332、第2合流部333、再度上下2つに分かれる第2分流部334および第3合流部335からなる。
参考までに静電接合の条件例を示すと、500℃に設定されたヒータ上に底板5、中間板4および蓋板1aの順に積層し、これらの部材が500℃に到達した段階で、450Vの直流電圧をガラス部材とシリコン部材との間に印加する。この条件で、構成部材は完全に一体化し、接合部からの液体の漏洩は全く認められなかった。
【００２３】
第1供給口11および第2供給口12からそれぞれに供給された原料流体は、それぞれ第1供給流路31bおよび第２供給流路を通って反応流路33bへ導かれ、ここで混合や化学反応等をし、反応結果流体となって取出し口13から取り出される。
反応流路33b内を流れる原料流体は、第1供給流路31bおよび第２供給流路の合流部で互いに正面からぶつかり合って合流し、第1合流部331を流れ、第1分流部332の入口で流れの方向を急激に変えて乱流状態を伴いながら上下2つの流れに分かれて第1分流部332を流れる。第1分流部332の2つの流れは、第2合流部333の入口で互いに正面からぶつかり合って再度合流し、第2合流部333を流れる。第2合流部333内の流れは、第２分流部334の入口で、第1分流部332の入口におけると同様に、流れの方向を急激に変えて乱流状態を伴いながら上下2つの流れに分かれて第２分流部334を流れる。第２分流部334の2つの流れは、第３合流部335の入口で互いに正面からぶつかり合って合流し、第３合流部335を流れ、取出し口１３に達する。このようにして、２つの供給口11および12から送り込まれた原料流体は、正面からぶつかり合う合流と乱流を伴う分流とによって、反応流路33b内で十分に混合される。
【００２４】
この実施例は分流部を2つ備えているものであるが、分流部の数は2つに限定されるものではない。更に、分流部の数だけではなく、その配置位置や長さ等を選定することによって、反応流路の断面形状や必要とする混合条件等に合致した最適の混合状態を実現することができる。
〔第２の実施例〕
図３は、第２の実施例の構成を示す反応流路33cに沿った断面図である。
この実施例は、反応流路33cとなる凹部をそれぞれに備えた蓋板1bおよび基板2cが静電接合で接合されて構成されている。蓋板1bには硼珪酸ガラス板を用い、基板2cにはシリコンウェハを用いた。なお、蓋板1bをシリコンウェハとし、基板2cを硼珪酸ガラス板とすることもできる。
【００２５】
蓋板1bには、原料流体の供給口である第1供給口11および不図示の第2供給口となる貫通孔と、反応結果流体を取り出す取出し口13となる貫通孔と、基板2cとの接合によって蓋板側反応流路336となる3つの凹部とが形成され、基板2cには、蓋板1bとの接合によって第1供給流路31cおよび不図示の第2供給流路および初段の基板側反応流路337と2段目および3段目の各基板側反応流路337となる3つの凹部が形成されている。蓋板側の凹部および基板側の凹部は、蓋板1bと基板2cとが接合された時に互いに両端部が連通して1つの流路を形成するような位置関係にある。なお、取出し口13となる貫通孔と蓋板側反応流路336となる凹部の最終端とは連通している。
【００２６】
このような蓋板1bと基板2cとが接合されて、図3に示すような、基板側反応流路337と蓋板側反応流路336とが交互に端部で連通された状態の、上下にジグザグ状に曲がった反応流路33cを形成する。なお、供給流路31d等の形状は第1の実施例と同様である。
この実施例の反応流路33c内の流体の流れは、ジグザグ状に曲がる度に乱流状態を発生するので、内部を流れる原料流体は、乱流状態の撹拌効果で効率よく混合される。
〔第３の実施例〕
図４は、第３の実施例の構成を示す反応流路に沿った断面図である。
【００２７】
この実施例は、第2の実施例の反応流路の曲がりをより大きくしたものであり、そのために中間板4aを追加している。なお、この実施例では、第2の実施例の基板2cに相当する部材を底板5aと呼んでいる。蓋板1cおよび底板5aには硼珪酸ガラス板を用い、中間板4aにはシリコンウェハを用いた。なお、蓋板1cおよび底板5aをシリコンウェハとし、中間板4aを硼珪酸ガラス板とすることもできる。
この実施例における蓋板1cおよび底板5aは、第2の実施例の蓋板1bおよび基板2cと同様であるので、詳しい説明は省略し、異なる点のみを説明する。
蓋板側反応流路338となる蓋板1cの凹部は2つであり、底板5aの底板側反応流路340となる凹部の最終端が取出し口13となる貫通孔と連通する位置関係になっている。
【００２８】
中間板4aには、蓋板1cの貫通孔および凹部と底板4aの凹部とを連通させて反応流路33dを完成させるための、第1供給口用貫通孔44、不図示の第2供給口用貫通孔、取出し口用貫通孔46、および蓋板1cの凹部の端部と底板4aの凹部の端部とを連通させる4つの貫通孔反応流路339が形成されている。
蓋板1cおよび底板5aが、中間板4aの上下に接合されて、第1供給流路31d、不図示の第２供給流路、および大きなジグザグ状の曲がりをもつ反応流路33dからなる流路を形成する。
この実施例の反応流路33d内の流体の流れは、中間板4aでより大きくされたジグザグ状の曲がりによって、より激しい乱流状態を発生するので、内部を流れる原料流体はより効率よく混合される。
【００２９】
以上に説明してきた３つの実施例では、供給流路の数がいずれも2つであったが、供給流路の数は2つに限定されるものではない。
【００３０】
【発明の効果】
請求項１の発明においては、反応流路が、板材の主面に平行な部分と垂直な部分との組み合わせで構成されている。反応流路が板材の主面に平行であれば、従来技術の項で説明したように、反応流路内の流体の流れは層流支配となり、複数の流体を混合させるのに要する時間が長くなる。しかし、反応流路に板材の主面に垂直な部分を組み合わせると、この部分で、流体の流れが急激に曲げられて層流支配状態を乱され、反応流路の幅全体にわたって乱流状態を発生する。その結果として、反応流路内での原料流体の攪拌効果が高まる。
【００３１】
したがって、この発明によれば、要求される小型化を確保しながら、反応流路の形状精度が高く、且つ供給される複数の原料流体を効率よく混合できるマイクロチャンネルチップを提供することができる。
請求項２の発明においては、複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を有し、蓋板には、複数の供給口および取出し口となる複数の貫通孔と、反応流路の一部となる凹部と、を備え、底板には、蓋板の凹部に対向する位置に、その凹部と同じ形状で反応流路の一部となる凹部を備え、中間板には、供給口となる蓋板の複数の貫通孔のそれぞれに連通する供給流路となり且つ反応流路の一部となる貫通孔と、反応流路の一部となり且つ蓋板の凹部および底板の凹部の両方に連通する貫通孔と、を備える。この構成は、反応流路の途中に、互いに対称な上下2つの分岐流路を形成するものであり、分岐部で流体の流れを急激に曲げるのに加えて、合流部で分流した流体同士をぶつかり合わせるので、撹拌効果を一段と高める。
【００３２】
したがって、この発明によれば、要求される小型化を確保しながら、反応流路の形状精度が高く、且つ供給される複数の原料流体を効率よく混合できるマイクロチャンネルチップを確実に提供することができる。
請求項３の発明においては、複数の板材として、蓋板および基板の２枚の板材を用い、蓋板に形成した反応流路の一部となる凹部と、基板に形成した反応流路の一部となる凹部とを、それぞれの端部で連通させて、反応流路を構成しているので、連通させた凹部の端部が、板材の主面に垂直な反応流路部分として機能して、反応流路の流れを急激に変えさせ、反応流路の幅全体にわたって乱流状態を発生させる。なお、この発明は板材2枚で構成されるので、構成が単純でありコストも安い。
【００３３】
請求項４の発明においては、複数の板材として、蓋板、中間板および底板の３枚の板材を用い、蓋板に形成した反応流路の一部となる凹部と、底板に形成した反応流路の一部となる凹部とを、中間板に形成した貫通孔で連通させて、反応流路を構成しているので、板材の主面に垂直な部分が、凹部の深さに中間板の厚さ分を加えた大きさとなり、反応流路の流れをより急激に変えさせて、反応流路の幅全体にわたってより激しい乱流状態を発生させる。
なお、請求項2および請求項4の発明においては中間板を用いているが、中間板を用いても厚さが幾分厚くなるだけであって、小型化に対する要求の支障とはならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるマイクロチャンネルチップの第１の実施例の構成を示し、（ａ）は外観を示す斜視図、（ｂ）は反応流路に沿った断面図
【図２】第１の実施例の部品を示し、（ａ）は蓋板の平面図、（ｂ）は中間板の平面図、（ｃ）は底板の平面図
【図３】第２の実施例の構成を示す反応流路に沿った断面図
【図４】第３の実施例の構成を示す反応流路に沿った断面図
【図５】従来技術によるマイクロチャンネルチップの一例の部品を示し、（ａ）は蓋板の斜視図、（ｂ）は基板の斜視図
【図６】図５の部品による従来例の断面図
【図７】従来技術によるマイクロチャンネルチップの他例の基板の形状を示す平面図
【符号の説明】
１, 1a  蓋板
11  第1の供給口                    12  第2の供給口
13  取出し口                        14  第1凹部
15  第2凹部
２, 2a, 2c  基板                         2b  圧電体製基板
21  第1の供給流路用溝              22  第2の供給流路用溝
23  反応流路用溝                    23b 反応流路用凹部
24  内側共通電極                    25  外側電極
３  流路
31, 31a, 31b, 31c, 31d  第1の供給流路
32a  第2の供給流路
33, 33b, 33c, 33d  反応流路          33a  マルチ流路
331  第1合流部                    332  第1分流部
333  第2合流部                    334  第2分流部
335  第3合流部                    336, 338  蓋板側反応流路
337  基板側反応流路                339  貫通孔反応流路
340  底板側反応流路
４, 4a  中間板
41  第1貫通部                      42  第2貫通部
43  第3貫通部                      44  第1供給口用貫通孔
46  取出し口用貫通孔
５, 5a  底板
51  第1凹部                        52  第2凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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