(57)【要約】【課題】本発明はＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）においてＰＤＰ電極を通過する信号の周波数特性から迅速に電極異常有無及び異常位置まで認識できる周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法及び装置を提供する。【解決手段】本発明は多数の検査対象電極と直接接触しないようグラウンドプレーンを設け、前記多数検査対象電極の一端に接触するよう伝送線を追加した後、前記伝送線の一端に所定の間隔を有する多数周波数から成る検査信号を印加し、前記伝送線の他端から出力される信号波形の周波数別ピーク値を検出して、前記検出した出力波形特性を分析し電極の異常有無を判断するものである。【選択図】　図８
2004031348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ横または縦方向に多数の電極が印刷される上板パネルと下板パネルが結合されて成るＰＤＰの電極を検査する方法において、
前記パネルに印刷された検査対象ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階と、
前記伝送線構造に変換されたＰＤＰ電極に諸周波数の検査信号を印加した後、当該ＰＤＰ電極の一端から反射した反射波と合成された検査信号の周波数別大きさ及び位相を検出する段階と、
前記検出した周波数別大きさ及び位相特性を分析して電極の異常を判断する段階と
から成ることを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項２】
前記ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階は、
前記検査対象電極が印刷されたパネルの反対側に導体板を付着する段階と、
前記付着した導体板を接地させグラウンドプレーンを設ける段階と
から成ることを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項３】
前記ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階は、
前記ＰＤＰパネルの検査対象ＰＤＰ電極が形成された面に誘電物質から成るインピーダンス調節層を形成する段階と、
前記インピーダンス調節層の下部に導体板を付着する段階と、
前記導体板を接地させてグラウンドプレーンに用いる段階と
から成ることを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項４】
前記ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階は、前記検査対象電極が印刷されたＰＤＰパネルを導電性と比重が高い液体上に前記電極印刷面が上向きになるよう浮かべ、前記液体をグラウンドプレーンに用いることにより、ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項５】
前記ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階は、前記検査対象ＰＤＰ電極をそれぞれ２個の相互隣接する電極を一対に指定し、前記指定し電極対別に、任意の一電極を検査対象電極に設定し、残りの電極を接地させ該当検査電極を伝送線構造に変換することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項６】
前記信号印加及び検出段階は、
一つのパネル上に印刷された多数のＰＤＰ電極に共通に接触するよう導体線を設ける段階と、前記導体線の一側端部に検査信号を印加する段階と、
前記検査信号が印加された導体線の反対側端部から出力される信号の周波数及び位相特性を検出する段階と
から成り、多数の検査対象電極を同時に検査することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項７】
前記信号印加及び検出段階は、前記多数の検査対象ＰＤＰ電極それぞれに電極の一側端部に検査信号を印加し、同時に前記検査信号が印加された端部から信号波形の周波数及び位相特性を検出することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項８】
前記信号印加及び検出段階において印加される検査信号は
【数１】
2004031348.tif 000011
（ここで、Ｌは分岐線の長さ、ΔＬは区別しようとする検査対象ＰＤＰ電極の長さ変化、ｃは光の進行速度、εｒは伝送線を構成する誘電物質の相対誘電率）の周波数間隔（Δｆ）を有する複数個の周波数信号であることを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項９】
前記判断段階は、前記信号印加及び検出段階において検出された周波数特性結果において極小点の位置をチェックし、予め把握された正常状態での極小点の位置と異なれば検査対象電極に異常が発生したものと判断することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１０】
前記判断段階は、前記信号印加及び検出段階において検出された周波数特性結果において極小点を有する周波数から異常電極の異常位置を判断することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１１】
前記判断段階は、前記信号印加及び検出段階において検出された周波数特性結果においた極小点の個数と大きさから異常電極の数を判断することを特徴とする請求項１に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１２】
前記方法は、検査対象電極のインピーダンスを調節して分岐点において分岐する信号の分配比を決定することにより検査敏感度を調節する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１３】
前記導体線を追加する段階は多数の検査対象電極が導体線接触位置から一端までほぼ同じ長さを有するよう導体線を形成し、この際、前記判断段階は予め収集してある正常電極での出力波形と前記伝送線構造に変換された検査対象電極の出力波形とで極小点の位置を比較し、該当ＰＤＰパネルにおける異常有無を判断することを特徴とする請求項６に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１４】
前記導体線を追加する段階は前記検査対象電極が互いに導体線接触位置から一端までの長さにおいて一定間隔ずつ差を有するよう導体線を形成し、前記判断段階は同じ条件下において正常状態の電極に対する出力波形と前記検査対象電極の出力波形のパターンを比較分析し、電極の異常有無及び異常位置を検査することを特徴とする請求項６に記載の周波数特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１５】
前記検査敏感度の調節段階は、前記誘電層の誘電物質の種類、厚さ、そして導体線の太さを調節することにより厚さを調節して電極インピーダンスを調節するか、グラウンドプレーンとＰＤＰ電極と間隔を調節することによりインピーダンスを調節することを特徴とする請求項１２に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１６】
前記方法は、前記判断段階において電極に異常があるものと判断されたパネルをビジョンシステムで検査し、電極の異常位置を検出する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法。
【請求項１７】
検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極を伝送線構造に変化させ、前記電極にすべて接触する導体線が付着された検査対象ＰＤＰパネルと、
多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる信号発生器と、
前記信号発生器と検査対象ＰＤＰパネルの導体線との間にインピーダンスをマッチングさせ前記検査信号を導体線の第１端部に伝達する第１インピーダンス変換器と、
前記検査対象電極を経て導体線の第２端部から出力される出力信号の周波数別大きさを測定するピーク検出器と、
前記導体線の第２端部とピーク検出器のインピーダンスをマッチングさせ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する第２インピーダンス変換器と
を含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置。
【請求項１８】
検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極を伝送線構造に変化させる検査対象ＰＤＰパネルと、
多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる多数の信号発生器と、
前記多数の信号発生器とＰＤＰパネルに印刷された多数の検査対象電極との間にそれぞれ設けられ信号発生器と電極とのインピーダンスをマッチングさせながら当該検査信号を電極別に印加する多数の第１インピーダンス変換器と、
前記ＰＤＰパネル上に印刷された検査対象電極それぞれの出力波形の周波数別大きさを測定する多数のピーク検出器と、
前記多数の検査対象電極とピーク検出器との間に設けられて反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する多数の第２インピーダンス変換器と
を含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置。
【請求項１９】
検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極が伝送線構造に変化される検査対象ＰＤＰパネルと、
多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる信号発生器と、
前記信号発生器とＰＤＰパネルに印刷された検査対象電極との間に位置し検査信号を反射無しで電極側に伝達する第１インピーダンス変換器と、
前記ＰＤＰパネル上に印刷された検査対象電極の出力波形の周波数別大きさを測定するピーク検出器と、
前記検査対象電極とピーク検出器との間に設けられ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する第２インピーダンス変換器と、
前記第１、２インピーダンス変換器を多数の検査対象電極中の一電極に選択的に連結するスイッチと
を含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置。
【請求項２０】
多数の検査対象電極が印刷された検査対象ＰＤＰパネルと、
前記ＰＤＰパネルに印刷された隣接する電極にそれぞれ連結され、当該電極を第１選択端子または第２選択端子に交差連結させ、前記第２選択端子は接地電位に連結される一つ以上のスイッチと、
複数個の周波数信号から成る検査信号を発生させ、前記多数スイッチの第１選択端子にそれぞれ連結される一つ以上の信号発生器と、
前記信号発生器と検査対象電極との間に位置し検査信号を反射無しで電極側に伝達する一つ以上の第１インピーダンス変換器と、
前記多数スイッチの第１選択端子にそれぞれ連結され当該スイッチを通して入力された検査対象電極の出力波形の周波数別大きさを測定する一つ以上のピーク検出器と、
前記検査対象電極とピーク検出器との間に設けられ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する一つ以上の第２インピーダンス変換器と
を含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野及び従来の技術】
本発明は多数の電極から成るプラズマ画面表示装置（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ、以下「ＰＤＰ」という）の電極異常有無を検査する装置に関するもので、より詳しくは電極の断線、短絡などの欠陥の発生に起因する周波数特性の変化を検出して迅速且つ安価に異常有無及び異常位置を検出できる周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査方法及び装置に関するものである。
【０００２】
ＰＤＰはガス放電現象に基づく平板ディスプレー装置として、小スペース占有、広い視野角、軽量、カラー化容易などの利点があり、最も有望な大型ＨＤＴＶ及び壁付けマルチメディアディスプレー装置中一つとして注目を浴びている。しかも、最近ディスプレーの大型化につれてＰＤＰ需要が増加しており、とりわけ、ＰＤＰは２０インチから８０インチまでの画面寸法に対して４インチ以下の厚さを有し、配置にあたって空間の制約を受けず、その需要はより増加する見込みである。
【０００３】
前記ＰＤＰは密封された上板パターンと下板パネル、蛍光物質そして各パネル上に印刷された電極から成る。そして、前記ＰＤＰは大画面において高解像度を得るべく、各パネルがかなり多数の電極を有し、また各電極の大きさも大変小さいので、損傷の危険が高い。
【０００４】
例えば、ＨＤＴＶ級ＰＤＰの場合、横電極は５７６０個、縦電極は１０８０個から成り、各ＰＤＰ電極は数百μの幅と数百ｎｍから数μｍの厚さを有する。
そればかりでなく、前記ＰＤＰ電極には２００Ｖ程の高電圧が印加される為、電極の一部だけ損傷されたとしても電極損傷の進行が大変速い。
【０００５】
また、上板パネルと下板パネルとを結合した後には、電極に異常があっても補修し難いので組立てたＰＤＰ自体を廃棄しなければならない問題があった。
そうであるだけに、ＰＤＰ製品の生産において生産単価を下げ製品の質を向上させるためには、上板パネルと下板パネルの組立て前にＰＤＰ電極の異常有無を検査する必要性は大変高いといえる。
【０００６】
従来のＰＤＰ電極の検査方法はビジョンシステム（Ｖｉｓｉｏｎ　ｓｙｓｔｅｍ）方式として、検査対象ＰＤＰの大きさ（幅）に合わせて一列に配置される多数のラインスキャンカメラ（ｌｉｎｅ　ｓｃａｎ　ｃａｍｅｒａ）とフレームグラッバー（ｆｒａｍｅ　ｇｒａｂｂｅｒ）から成るもので、ＰＤＰの上板パネルと下板パネルとを結合した後、電極に電圧を印加し、発生する実際の画面情報を前記多数のラインスキャンカメラでスキャンして異常有無を検査するといったものである。こうした従来の検査方法は、ラインスキャンカメラの数が検査解像度及び検査対象ＰＤＰの大きさに比例し、検査解像度が大きくなるほど、検査しようとするＰＤＰの大きさが大きくなるほど、システム価格が上がり検査時間が長くなる欠点を抱えている。
【０００７】
より具体的に説明すれば、ビジョンシステムの核心要素であるラインスキャンカメラは所定のピクセル数を有するもので現在のところ最大データ出力速度が１００ＭＨｚで、ライン当り検査速度は最大１００ＫＨｚを超えられない。現在のラインスキャンカメラを使用する場合、ビジョンシステムは４０インチＰＤＰパネル１枚当り数十秒以上の検査時間がかかる。しかし、ビジョンシステムにおいて、検査解像度または検査対象の大きさと出力データ量とが比例するので、検査解像度が高くなったりＰＤＰの大きさが大きくなれば、検査所要時間も長くなる。
【０００８】
さらに、大きいサイズのＰＤＰを高解像度で検査するためには高速、高解像度のラインスキャンカメラで構成されるビジョンシステムが必要であるが。高速高解像度のカメラは１台当り価格が数千万ウォンと、かなり高価である。
したがって、ビジョンシステムは、例えば解像度を２倍高めるためには検査時間を４倍に増加させるか、カメラ数を２倍に増やさなければならない。したがって、ビジョンシステムでＰＤＰ電極を検査の際、検査解像度を高めたり検査対象ＰＤＰの大きさが増加する場合、検査時間が長引くか検査コストが上昇する問題があった。
【０００９】
上述したビジョンシステム以外の方式には、磁気センサやローラープローブ、ＩＣプローブなどを利用したものがあるが、こうした方式は全てセンサやプローブがＰＤＰ上を動きながら検査する方式であるため、ＰＤＰの大きさが大きくなるほどスキャン面積が増加し検査時間が長くなる欠点があり、センサやプローブの接触によりＰＤＰ電極部位が損傷される恐れがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
こうして、本発明は上述した従来の問題点を解決するために提案されたものとして、その目的はＰＤＰ電極の周波数特性を測定し、迅速且つ安価にＰＤＰ組立前に電極の異常有無及び異常位置まで認識できる周波数領域特性を利用した電極検査方法及び装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を成し遂げるための構成手段として、本発明は、それぞれ横または縦方向に多数の電極が印刷される上板パネルと下板パネルとが結合されて成るＰＤＰ電極を検査する方法において、前記パネルに印刷された検査対象ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階と、前記伝送線構造に変換されたＰＤＰ電極に諸周波数の検査信号を印加してから、該ＰＤＰ電極の一端に反射した反射波と合成された検査信号の周波数別大きさ及び位相を検出する段階と、前記検出した周波数別大きさ及び位相特性を分析し電極の異常を判断する段階とから行われるものであり、大容量のデータ処理無しで検出した周波数特性から電極異常有無及び異常位置を容易に判断できる効果を奏する。
【００１２】
さらに、本発明のＰＤＰ電極検査方法において、前記ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換する段階は、前記検査対象電極が印刷されたパネルの反対面に導体板を付着する段階と、前記付着した導体板を接地させグラウンドプレーンを形成する段階とで成ることができ、さらに、前記ＰＤＰパネルの検査対象ＰＤＰ電極が形成された面に誘電物質から成るインピーダンス調節層を形成する段階と、前記インピーダンス調節層の下部に導体板を付着する段階と、前記導体板を接地させグラウンドプレーンとする段階とで成ることもでき、他の方法として、前記検査対象電極が印刷されたＰＤＰパネルを電気が通じ比重の高い液体上に前記電極印刷面が上向きになるよう浮かばせ、前記液体をグラウンドプレーンとすることによって、ＰＤＰ電極を伝送線構造に変換することもでき、また他の方法として、それぞれ二つの相互隣接した電極を一対に指定し、前記指定した電極対別に任意の一電極を検査対象電極に設定し、残りの電極を接地させ該検査電極を伝送線構造に変換することもできる。
【００１３】
さらに、本発明によるＰＤＰ電極検査方法において、前記信号印加及び検出段階は一つのパネル上に印刷された多数のＰＤＰ電極に共通に接触するよう導体線を設け、ＰＤＰ電極を分岐線に用いて検査を行ってもよく、前記多数の検査対象ＰＤＰ電極のそれぞれに電極の一側端部に検査信号を印加し、同時に前記検査信号が印加された端部から信号波形の周波数及び位相特性を検出することで、電極を伝送線に用いて検査してもよい。
【００１４】
そして、本発明のＰＤＰ電極検査方法において、前記信号印加及び検出段階で印加される検査信号は、
【数２】
2004031348.tif 000003
（ここで、Ｌは分岐線の長さ、ΔＬは区別しようとする分岐線の長さ変化、ｃは光の進行速度、εｒは伝送線を構成する誘電物質の相対誘電率である）の周波数間隔（Δｆ）を有する複数個の周波数信号で、前記のような検査信号の周波数間隔調節により検査解像度及び正確性を調節することができる。
【００１５】
さらに、本発明によるＰＤＰ電極検査方法において、前記判断段階は前記信号印加及び検出段階において検出した周波数特性の結果から極小点の位置をチェックし、予め把握してある正常状態での極小点位置と異なる場合、検査対象電極に異常が発生したものと判断して異常有無を確認することもでき、前記信号印加及び検出段階において検出した周波数特性の結果において極小点を有する周波数から異常電極の異常位置を判断することもでき、前記信号印加及び検出段階において検出した周波数特性の結果において極小点の個数と大きさから異常電極の数を検出することもできる。
【００１６】
さらに、本発明によるＰＤＰ電極検査方法は、前記判断段階において電極に異常があると判断されたパネルをビジョンシステムで検査し、電極の異常位置を検出することによって、ビジョンシステムの負担を減少させることもできる。
【００１７】
さらに、本発明は、検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極を伝送線構造に変化させ、前記電極にすべて接触する導体線が付着された検査対象ＰＤＰパネルと、多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる信号発生器と、前記信号発生器と検査対象ＰＤＰパネルの導体線との間でインピーダンスをマッチングさせ前記検査信号を導体線の第１端部に伝達する第１インピーダンス変換器と、前記検査対象電極を経て導体線の第２端部から出力する出力信号の周波数別大きさを測定するピーク検出器と、前記導体線の第２端部とピーク検出器のインピーダンスをマッチングさせ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達させる第２インピーダンス変換器とから成る周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置を提供する。
【００１８】
さらに、本発明は、検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極を伝送線構造に変化させる検査対象ＰＤＰパネルと、多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる多数の信号発生器と、前記多数の信号発生器とＰＤＰパネルに印刷された多数の検査対象電極との間にそれぞれ設けられ信号発生器と電極間のインピーダンスをマッチングさせながら当該検査信号を電極別に印加する多数の第１インピーダンス変換器と、前記ＰＤＰパネル上に印刷された検査対象電極それぞれの出力波形の周波数別大きさを測定する多数のピーク検出器と、前記多数の検査対象電極とピーク検出器との間に設けられ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達させる多数の第２インピーダンス変換器とを含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置を提供する。
【００１９】
さらに、本発明は、検査対象電極が印刷され、前記電極と所定間隔離れるようグラウンドプレーンが設けられ前記電極が伝送線構造に変化される検査対象ＰＤＰパネルと、多数の周波数信号から成る検査信号を発生させる信号発生器と、前記信号発生器とＰＤＰパネルに印刷された検査対象電極との間に位置して検査信号を反射無しで電極側に伝達する第１インピーダンス変換器と、前記ＰＤＰパネル上に印刷された検査対象電極の出力波形の周波数辺別大きさを測定するピーク検出器と、前記検査対象電極とピーク検出器との間に設けられ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する多数の第２インピーダンス変換器と、前記第１、２インピーダンス変換器を多数の検査対象電極中一電極に選択的に連結するスイッチとを含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置を提供する。
【００２０】
さらに、本発明は、多数の検査対象電極が印刷された検査対象ＰＤＰパネルと、前記ＰＤＰパネルに印刷された隣接する２個の電極にそれぞれ連結され、連結された両電極を第１選択端子または第２選択端子に交差連結させ、前記第２選択端子は接地電位に連結される多数のスイッチと、複数個の周波数信号から成る検査信号を発生させ、前記多数のスイッチの第１選択端子にそれぞれ連結される多数の信号発生器と、前記信号発生器と検査対象電極との間に位置して検査信号を反射無しで電極側に伝達する第１インピーダンス変換器と、前記多数のスイッチの第１選択端子にそれぞれ連結され当該スイッチを通して入力された検査対象電極の出力波形の周波数別大きさを測定するピーク検出器と、前記検査対象電極とピーク検出器との間に設けられ反射無しで出力信号をピーク検出器に伝達する多数の第２インピーダンス変換器とを含むことを特徴とする周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極検査装置を提供する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
上述した本発明の特徴及び利点は添付の図面を参照しながら実施形態を通してより容易に理解できる。
【００２２】
《分岐線検査》
本発明によるＰＤＰ電極異常検査装置の検査原理に対する理解を容易にさせるべく、先ず伝送線を対象にした分岐線検査方法について説明する。
図１は分岐線（ｓｔｕｂ）を有する伝送線（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｌｉｎｅ）を表すもので、前記伝送線（Ｌ１）に信号（Ｓ１）を印加すると、分岐点（Ｐ）から伝送線（Ｌ１）に沿って進行する信号の一部は伝送線（Ｌ１）に沿って印加され続け、一部は分岐線（Ｌ２）に印加される。この際、前記分岐線（Ｌ２）に印加された信号は分岐線（Ｌ２）の特性インピーダンスと終端インピーダンスとの不一致により、進行しては終端において反射する。
【００２３】
この際、分岐線（Ｌ２）の終端が断線されていると信号は位相変化無しで反射し、短絡していると位相が１８０度変って反射する。
前記のように、分岐線（Ｌ２）の終端において反射した反射波は分岐点（Ｐ）に向って進行し、伝送線（Ｌ１）に沿って進行していた信号（Ｓ１）と重畳し、この重畳した信号が伝送線（Ｌ１）の出力端に出力される。
【００２４】
前記分岐線（Ｌ２）の終端において反射し分岐点（Ｐ）に到達した反射波は入力波（Ｓ１）に対して、分岐線（Ｌ２）を往復するのにかかる時間、即ち（進行距離）／（進行速度）の時間遅延を経験する。この際、進行距離は信号が分岐線を往復した距離なので分岐線の長さの２倍になる。したがって、反射波は入力波に対して前記時間遅延に当るだけ位相差を有することになり、両波が重畳した出力波は遅延時間に伴って異なる特性を示すようになる。
【００２５】
とりわけ、入力波（Ｓ１）が正弦波である場合、伝送線（Ｌ１）から出力される出力波は分岐線（Ｌ２）の長さに比例した位相差を有する２つの正弦波が重畳した結果なので、出力波の大きさを測定することにより伝送線に対する分岐線の存在有無及び分岐線の長さを把握することができる。
【００２６】
図２は前記図１における分岐線を有する伝送線に対する信号特性を調べるための等価回路図であり、前記図２を参照して伝送線（Ｌ１）に入力する入力波（Ｓ１）として正弦波を用いる場合を考える。この際、伝送線（Ｌ１）のインピーダンスと分岐線（Ｌ２）のインピーダンスとが同等と仮定し、入力された正弦波の大きさをＡ、周波数をωだとすれば、図８の分岐点（Ｐ）から分岐線（Ｌ２）に入力される波形の大きさは伝送線（Ｌ１）に入力された波形の２／３となる。したがって、分岐線（Ｌ２）に入力される正弦波は”（２Ａ／３）ｓｉｎωｔ”となり、反射波は分岐線（Ｌ２）の終端状態に応じて異なってくる。前記反射波の時間遅延をΔｔとすれば、分岐線（Ｌ２）の終端状態が断線の場合、分岐点（Ｐ）に到達した反射波は（２Ａ／３）ｓｉｎω（ｔ＋Δｔ）＝（２Ａ／３）ｓｉｎ（ωｔ＋ωΔｔ）となり両波形の位相差θはωΔｔとなる。そして、分岐線（Ｌ２）の終端状態が短絡の場合、分岐点（Ｐ）に到達する反射波は−（２Ａ／３）ｓｉｎω（ｔ＋Δｔ）＝（２Ａ／３）ｓｉｎ（ωｔ＋ωΔｔ＋π）となり、入力波と反射波との位相差θはωΔｔ＋πとなる。
【００２７】
図２において、ＺＬ両端の出力波形は入力波と反射波とが重畳したものなので、両波形の位相差によって大きさが決まるが、位相差がπの奇数倍になると反射波の極性は入力波と反対になるので相殺する。即ち、断線した分岐線においてはωΔｔが、短絡した分岐線においてはωΔｔ＋πがπの奇数倍になると、両波形が互いに相殺して出力波の大きさはほぼゼロになる。例えば、分岐線が断線の場合、信号の減衰を無視した出力波形、ＶＯ（ｔ）は
【数３】
2004031348.tif 000004
となり、前記式から出力波形の大きさは位相差ωΔｔの関数であることがわかる。コサイン関数は位相が（２ｎ−１）πの場合−１の最小値を有するので、出力波形の大きさはωΔｔが（２ｎ−１）πで最小になる。こうした位相差は正弦波の周波数と時間遅延により決定され、前記時間遅延は先に説明したように正弦波の進行速度と分岐線の長さにより決定される。一定の長さの分岐線に対して特定周波数においてのみ位相差がπの奇数倍になり両波形が相殺する。したがって、周波数を変化させながら信号を印加し、その反射波及び入力波の重畳信号を検出して大きさが相殺する周波数を測定することにより分岐線の長さを把握することができる。
【００２８】
次いで、前記分岐線（Ｌ２）の長さと伝送線（Ｌ１）の出力波の大きさとの関係は次のとおりである。前記分岐線（Ｌ２）の長さをＬとすると、断線された分岐線の場合に例えると、分岐線（Ｌ２）による時間遅延によって重畳する正弦波の相殺条件はｎを自然数とすると次の式１のように表すことができる。
（式１）
ωΔｔ＝（２ｎ−１）π
【００２９】
前記式１において、信号の周波数をｆとすると、ω＝２πｆの関係があり、正弦波の進行速度をｖｐとすると、Δｔ＝２Ｌ／ｖｐの関係にある。この関係を前記式１に代入すると、次の式２のようになる。
【数４】
2004031348.tif 000005
【００３０】
前記式２から長さがＬの分岐線（Ｌ２）において位相差により相殺する周波数ｆを求めると、次の式３のとおりである。
【数５】
2004031348.tif 000006
そして、真空中の光の速度をｃ、伝送線（Ｌ１）を成す誘電体の相対誘電率（ｒｅｌａｔｉｖｅ　ｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ）をεｒとすると、信号の進行速度（ｖｐ）は、
【数６】
2004031348.tif 000007
の関係が成立する。
【００３１】
図３は一定の長さの分岐線を有する伝送線から出力される正弦波の定規化した大きさを周波数別に表すものである。図３において、正弦波の大きさがほぼゼロになる点を確認でき、この点の存在から伝送線に分岐線があることが判る。前記大きさがほぼゼロになる周波数は上述の式３からｎ＝１、２、．．．を代入して得られる値であり、分岐線の長さにより決定される値である。
【００３２】
伝送線において図３のような周波数特性を測定すると、分岐線の長さを把握することができる。分岐線の長さを測定するためには、前記式３にｎ＝１を代入してから、Ｌに対して整理すれば次の式４のとおりになる。
【数７】
2004031348.tif 000008
【００３３】
前記式４においてｆは相殺が表れる最初の周波数、即ち最も低い周波数となる。したがって、伝送線において周波数特性を測定し、大きさが減衰する地点があるか否かによって分岐線の有無を判断でき、減衰があれば、減衰の発生する最小周波数から分岐線の長さを把握することができる。
分岐線の終端が断線の場合には、反射波の位相が変らず、短絡の場合には反射波の位相が１８０度変る為、同じ測定対象に対しても分岐線の終端状態に応じて周波数特性が異なってくる。
【００３４】
《断線の場合の出力波形》
断線はインピーダンスが無限大の場合なので、分岐線の終端が断線すると伝送線の出力インピーダンスは伝送線の特性インピーダンスとなり出力波形は図３のように表れる。そして分岐線長さと減衰が発生した周波数との関係は上述の式４に従う。
【００３５】
《短絡の場合の出力波形》
短絡はインピーダンスがゼロの場合なので、分岐線の終端が短絡すると低周波において伝送線の出力インピーダンスはゼロになり、出力波形は図４のように表れる。即ち、図２と図４を比較するとわかるように、短絡した分岐線と断線した分岐線による出力波形は低周波特性が異なり、この低周波特性の差から分岐線の状態が断線か短絡かを区別することができる。そして、前記短絡の場合の位相差はωΔｔ＋πなので次の式５のとおりになる。
（式５）
ωΔｔ＋π＝（２ｎ−１）π
【００３６】
そして、前記式５から分岐線長さと減衰が発生した周波数との関係を求めると次の式６のとおりである。
【数８】
2004031348.tif 000009
したがって、短絡した分岐線においても断線の場合と同様に周波数特性測定を通して分岐線長さを把握することができる。
【００３７】
《分岐線が２個以上存在する場合の出力波形》
相殺が起こる周波数は伝送線に分岐線が存在する位置とは関係無く、唯一分岐線の長さにのみ関係する。したがって、同じ長さの分岐線が複数個連結された伝送線において相殺の起こる周波数は同じ長さの分岐線が一個連結された伝送線における周波数と同じである。しかし、長さの異なる分岐線が複数個連結された伝送線においては相殺の起こる周波数が複数個存在し、その周波数同士の間に整数倍が成立しない。もちろん、分岐線の長さが一定な伝送線においても大きさが相殺する周波数は複数個存在するが、この場合その周波数同士の間には最小周波数の整数倍になる規則が存在する。
【００３８】
即ち、断線の場合相殺の起こる周波数同士では上述した式３のように最小周波数と奇数倍の関係を満たし、短絡の場合には式５のように最小周波数と整数倍の関係を満たす。従って、互いに整数倍の関係を満たさない周波数の個数が長さの異なる分岐線の個数と一致する。例えば、断線した伝送線において２ＧＨｚまでの周波数特性を測定した結果、３００ＭＨｚ、４５０ＭＨｚ、９００ＭＨｚ、１３５０ＭＨｚ、１５００ＭＨｚの周波数において相殺が起きたなら、長さが約８ｃｍと１２ｃｍである２個の分岐線を有する伝送線であることがわかる。
【００３９】
そして、同じ長さを有する分岐線の個数が多数の場合、出力波形の大きさを通して分岐線の個数を把握することができる。分岐線同士の干渉を無視する場合、相殺の程度は同じ長さの分岐線の個数に比例する。そして、一般に、分岐線同士の間隔は相互干渉を無視できる程離れはしないが、同じ長さの分岐線の個数が増加すれば入力波と反射波が相殺する程度がひどくなるので、出力波形の大きさは減少してくる。したがって、同じ長さの分岐線が複数個存在しても、出力波形の相殺周波数と相殺程度から分岐線の長さと数を把握することができる。
【００４０】
以下、先に説明した分岐線検査の原理を適用して、ＰＤＰ電極の異常有無を検査する方法について説明する。
【００４１】
《ＰＤＰ電極の構造》
図５はＰＤＰ電極パネルの基本構造を表すもので、基本的にＰＤＰは図示のようにガラス（ｇｌａｓｓ）板（７０）上に多数の平行電極（ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）（７１）が印刷された構造の上板パネル及び下板パネルから成る。電極印刷パターンや電極の材質、寸法（ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）などは製造会社、そして上板パネルか下板パネルかによって異なるが、およそ図５のような構造を保っている。
【００４２】
ところで、先に説明した周波数領域特性を利用した検査方法は電極のインピーダンス変化による信号の反射を利用するため、電極のインピーダンスが位置に関らず一定に維持されなければならず、インピーダンス変化の影響を容易に区別できなければならない。本発明はＰＤＰ電極に上述した周波数領域特性を利用した検査方法を適用できるよう、検査にあたってＰＤＰ電極の構造を伝送線（ｍｉｃｒｏ−ｓｔｒｉｐ、ｓｔｒｐｉｌｉｎｅ、ｃｏａｘｉａｌ　ｃａｂｌｅ、ｔｗｉｓｔｅｄ　ｐａｉｒなど）構造になるよう変形させなければならない。
【００４３】
図６はＰＤＰ電極構造をマイクロストリップライン（ｍｉｃｒｏ−ｓｔｒｉｐ）構造に変形した例である。図示のように、ガラス板（７０）の電極印刷面の反対面にグラウンドプレーン機能を行える導体板（７３）を追加し、多数個のＰＤＰ電極に接触されるよう導体線（ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ　ｌｉｎｅ）（７２）を連結する。こうして、導体線（７２）が伝送線になり、多数のＰＤＰ電極が分岐線になり、ガラス板（７０）が誘電（ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ）物質として機能し、周波数領域特性を利用した電極検査が可能となる。
【００４４】
《ＰＤＰ電極の伝送線構造変換及びインピーダンス調節》
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明により検査のために伝送線構造を有するよう変形されたＰＤＰパネルの断面図である。
図７Ａをみれば、ガラス板（７０）のＰＤＰ電極（７１）印刷面に誘電物質から成る誘電層（７４）を載せ、前記誘電層（７４）の下にグラウンドプレーン機能を行う導体板（７３）を付着する。こうした構造においては、誘電層（７４）の誘電物質種類と層厚を調節して電極インピーダンスを調節することができ、前記ＰＤＰ電極（７１）が分岐線に当該する。
【００４５】
他の方法として、図７ＢのようにＰＤＰ電極（７１）が印刷されたガラス板（７０）の電極（７１）の反対面にグラウンドプレーン機能を行う導体板（７５）を形成する。この際、前記導体板（７５）には金属板を使ってもよく、導体板（７５）の代わりに水銀のように導電性と比重が高い液体を使ってもよい。後者の場合、前記ＰＤＰ電極（７１）が上向きになるようガラス板（７０）を水銀のように導電性と比重が高い液体に浮かばせることにより、前記液体をグラウンドプレーンとして用いる。前記において、ガラス板（７０）は誘電層の役目を果たし、導体板または水銀などの比重の高い液体がグラウンドプレーンの役目を果たし伝送線構造になる。
【００４６】
このように変換された伝送線構造において、誘電物質の種類と層厚、追加導体線の太さを調節することにより、ＰＤＰ電極のインピーダンスを調節することができる。その他の異なるインピーダンス調節方法として、空気ポンプのような圧力調節装置を利用することもできる。即ち、ＰＤＰ電極とグラウンドプレーンとの間に誘電物質を挿入せず、空気ポンプを用いてＰＤＰ電極とグラウンドプレーンとの間の空気層厚を調節すれば相対誘電率が１の空気を誘電物質に用いる結果となり、こうした空気層の厚さを調節してインピーダンスを調節する伝送線構造を有することになる。
【００４７】
このように、導体線とＰＤＰ電極のインピーダンス比によって分岐点で分岐する信号の比が決定され、結局各ＰＤＰ電極が全体の出力信号に与える影響が導体線とＰＤＰ電極のインピーダンス比により決まることになる。
今まではグラウンドプレーンを追加してＰＤＰ電極が伝送線構造を有するよう変換したが、この方法の他にも、２個のＰＤＰ電極が相互平行し間隔が一定となる特性を利用して伝送線構造に変換することもできる。ＰＤＰ電極はすべて一定の間隔で平行に配列している為、両電極によるインピーダンスは一定に保たれる。したがって、２個のＰＤＰ電極を設け、一電極は信号を印加する検査対象伝送線に、他電極はグラウンド信号のための線に用いることによって、検査対象電極を伝送線構造に変換させる。
【００４８】
《検査信号の印加及び検出》
以上の諸方法によりＰＤＰ電極が電極線構造に変換されると、前記ＰＤＰ電極に正弦波を周波数変換させながら印加し、前記信号印加後表れる出力波形の周波数特性を検出する。この際、検出した出力波形の周波数特性曲線はＰＤＰ電極の長さに対応する周波数において極小点を有するようになる。
【００４９】
図８は上述したように、伝送線構造のＰＤＰ電極に対する異常有無を検査する装置のブロック構成図である。図示のように、本発明によるＰＤＰ電極検査装置は伝送線構造に変換された検査対象ＰＤＰ電極（８０）と、諸周波数の検査信号を発生させる信号発生器（８１）と、前記信号発生器（８１）から発生した検査信号を反射波が発生しないよう検査対象電極（８０）に伝達する第１インピーダンス変換器（８２）と、前記検査対象電極（８０）の出力信号を反射無しで検出するための第２インピーダンス変換器（８３）と、前記第２インピーダンス変換器（８３）を通して印加された検査対象電極（８０）の出力波の周波数特性を検出するピーク検出器（８４）とで成る。
【００５０】
前記信号発生器（８１）は所望の周波数の信号を発生させ第１インピーダンス変換器（８２）を経て検査しようとする測定対象（伝送線構造に変換されたＰＤＰ電極または伝送線構造のＰＤＰ電極に接触されるよう追加した導体線）に印加する。前記第１、２インピーダンス変換器（８２、８３）は、信号発生器（８１）と検査対象電極（８０）、そして、検査対象電極（８０）とピーク検出器（８４）との間に反射波が発生しないようインピーダンスをマッチングさせる役目を果たす。信号発生器の出力インピーダンスとピーク検出器の入力インピーダンスは一般に５０Ωなので、５０Ωと導体線の特性インピーダンスとをマッチングさせる。したがって、導体線の特性インピーダンスを５０Ωにする場合は、インピーダンス変換器が不要となる。前記ピーク検出器（３４）は入力信号が検査対象（８０）を経て出る出力波の大きさを測定し、測定した周波数別大きさから電極の異常有無及び異常位置を把握する。
【００５１】
先に説明した式３からわかるように、分岐線の長さに応じて特定周波数でのみ相殺が起こるので、分岐線に対応する検査対象ＰＤＰ電極の長さを把握するためには入力信号の周波数を変化させながら印加しなければならない。したがって、前記信号発生器（８１）からは諸周波数の検査信号を検査対象（８０）に印加する。この際、入力する検査信号の周波数間隔が狭いほど区別可能な電極長さの差が小さくなる。そして、高周波数の信号を印加するほどより短い電極まで検出することができる。したがって、印加する検査信号の周波数間隔が狭いほど測定した電極長さの正確度が向上し、印加する検査信号の周波数範囲が高くなるほど検出できない範囲は減少する。
【００５２】
前記手段の他にも、周波数を変換させながら各波形の大きさを測定するためには、これを制御するための制御手段及び駆動プログラムと測定した波形の大きさデータを貯蔵するためのメモリーを追加することができる。
【００５３】
《ＰＤＰ電極の異常有無の判断》
図９はＰＤＰ電極の異常有無を検査するために検査装置を連結したものを表し、ここで、検査信号はすべてのＰＤＰ電極（７１）に接触されるよう追加された導体線（７２）である。ＰＤＰ電極の異常有無を検査するためには図９に表すように、検査装置のインピーダンス変換器（８２、８３）の間に直列で導体線（７２）の入出力端子を連結する。そして、信号発生器（８１）を通して正弦波信号を周波数変換させながら導体線（７２）に印加し、前記導体線（７２）から出力する出力信号の大きさをピーク検出器（８４）で測定する。こうして測定された周波数特性曲線は各ＰＤＰ電極の長さ（Ｌｓ）に該当する周波数において減衰が生じた極小点を有する。
【００５４】
ＰＤＰ電極の異常は主に電極の断線や部分断線の形で発生し、こうした異常は電極インピーダンスの変化を引き起こす。したがって、ＰＤＰ電極の異常箇所において信号が反射し周波数特性に変化を来し、こうした周波数特性からＰＤＰ電極の異常有無を判断することができる。
【００５５】
《異常電極の長さの分析》
図９において、全電極の長さが同一になるよう導体線が追加された状態において、１個の電極が途中断線され長さが異なったと仮定しよう。
この場合、図１１Ａに示すように、断線した電極長さに該当する周波数において追加的な極小点が生じる。したがって、正常状態の周波数特性曲線と比較して追加的に発生した極小点の周波数から異常電極の有無及び長さを把握することができる。図１１Ａにおいて、実線は異常の無いＰＤＰ電極パネルに対する周波数特性曲線を表し、点線や一点鎖線、二点鎖線で表した曲線は異常電極が存在し断線の位置が異なる場合の周波数特性曲線を表す。前記グラフに比較されるように、追加的な極小点の存在有無から異常電極の有無を把握することができる。そして、異常電極の長さに応じて追加的な極小点が発生する周波数が式４のように変化するので、これから異常電極の長さを把握することができる。
【００５６】
《異常電極個数の分析》
図９において、全電極の長さが同一になるよう導体線が追加された状態において、多数個の異常電極が存在し、その断線の長さがすべて異なる場合には、相互長さの異なる分岐線が存在するのと同様なので、相互異なる周波数位置に多数個の極小点が発生する。したがって、極小点の個数を測定することにより、異常電極の個数を把握することができる。そして、同じ長さの異常電極が多数個存在する場合には、極小点の大きさを把握することにより、同じ長さにおいて異常が発生した電極の個数を区別することができる。図１１Ｂは同じ長さを有する異常電極の数に応じた周波数特性の変化を表すもので、実線はすべてのＰＤＰ電極の長さが同じな場合、即ちＰＤＰ電極がすべて正常的な場合の周波数特性曲線で、点線は２個の同じ長さを有する異常電極が存在する場合の周波数特性曲線、二点鎖線は同じ長さを有する４個の異常電極が存在する場合の周波数特性曲線を表す。図示のように、同じ長さの異常電極の数が増加するほど同一周波数における極小点の大きさがより減少することがわかる。したがって、前記のように極小点の大きさを比較することから同じ長さを有する異常電極の個数も把握することができる。
【００５７】
《検査信号の周波数間隔選定》
上述した式４及び式６から判るように、相殺する周波数は分岐線の長さと反比例の関係を示し、同じ長さの差（ΔＬ）でも分岐線の長さに応じて相殺周波数の変化幅は異なってくる。即ち、そもそも分岐線の長さが長ければ短い分岐線に比して同じ長さ変化に対する相殺周波数の変化は少ない。したがって、分岐線の長さに関らず同一な長さ解像度を有し、速い検査速度を得るためには、印加する検査信号の周波数間隔を検査しようとする長さ（Ｌ）に応じて調節しなければならない。
【００５８】
即ち、長さがＬの分岐線においてΔＬほどの長さ変化を区別しようとする場合印加しなければならない周波数間隔は次のとおりである。
断線した分岐線の場合、長さＬの分岐線における相殺周波数をｆ１、長さが（Ｌ−ΔＬ）の分岐線における相殺周波数をｆ２（＝ｆ１＋Δｆ）だとすると、前記式４から両周波数の差（Δｆ）は次の式７のように表すことができる。この周波数間隔（Δｆ）がΔＬの長さ差を区別するため印加しなければならない周波数間隔なので、これを式７のように調節して印加すると、分岐線長さに関らず所望の検査解像度（ΔＬ）を維持することができる。
【００５９】
【数９】
2004031348.tif 000010
前記式７においてＬは分岐線の長さ、△Ｌは区別しようとする分岐線（即ち、ＰＤＰ電極）の長さ変化、Δｆは印加する周波数間隔、ｃは光の進行速度、εｒは伝送線を成す誘電物質の相対誘電率である。
【００６０】
《実施例》
本発明によるＰＤＰ電極検査の際、迅速な検査のために電極の異常有無のみ検査してもよく、正確な検査のために異常有無及び異常位置を検査することもできる。
電極の異常有無のみを検査する場合にも、異常電極の長さが把握でき、異常電極の位置把握を要する場合より迅速な検査が可能で検査時間を省くことができる。また、グラウンドプレーンを用いてＰＤＰ電極を伝送線構造に変形する場合にもＰＤＰ電極を伝送線に連結された分岐線に用いる方法とＰＤＰ電極自体を伝送線に用いる２種の検査方法がある。
【００６１】
図１０Ａは、信号を印加する別途の導体線（即ち、伝送線）を追加し、ＰＤＰ電極を伝送線に連結された分岐線に用いる検査方法の一例を表すもので、図面において符合９１はガラス板（７０）に印刷された諸ＰＤＰ電極（７１）に同時に連結され信号を印加する導体線である。前記ＰＤＰ電極（７１）が導体線（９１）に連結された分岐線となる。この際、ピーク検出器（８４）は前記導体線（９１）のインピーダンスと同じ入出力インピーダンスを有する。そして、この方法の場合、追加する導体線（９１）の特性（形態、特性インピーダンス、連結するＰＤＰ電極の数など）を変化させることにより、他の波形特性が得られるようにする。例えば、ＰＤＰ電極の実際の長さは少しずつ異なるが、前記導体線（９１）を追加する際、導体線（９１）の接触位置から各電極の終端までの長さがすべて同じになるよう導体線（９１）の形態を調節することができる。このように、導体線（９１）の接触部から終端までの電極長さが同一な場合、すべてのＰＤＰ電極に異常が無ければ、出力波形は唯一な分岐線を有する場合と同じくなり、すべて同じ周波数において極小点を有するようになる。逆に、ＰＤＰ電極中一つでも断線していると、正常状態のＰＤＰ電極より短い長さの分岐線が発生した状態となり、正常状態より高い周波数領域に極小点を有するようになる。このように導体線（９１）の出力波形を分析することで、電極の異常有無を短時間内に把握できるようになる。
【００６２】
図１０ＢはＰＤＰ電極（７１）自体を伝送線に用いる方法の例を表すもので、導体線無しで信号発生器（８１）及びピーク検出器（８４）が検査対象電極（７１）に同時に連結される。この際、ピーク検出器（８４）はインピーダンスマッチングのために高いインピーダンスを有しなければならない。前記検査装置はｓｏｕｒｃｅ　ｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎされている。この構造においては、各ＰＤＰ電極別に検査信号を印加し、出力波形を分析して、電極の異常有無を検査する。
【００６３】
次に、ＰＤＰ電極の異常有無及び異常位置まで検査する方法について説明する。
グラウンドプレーンを用いる構造において信号印加用導体線をＰＤＰ電極に追加する際、導体線から各電極の終端までの長さが電極別に設定された差を有するよう導体線形態を調節する。
【００６４】
この際、同一解像度においてより速い検査速度を得るためには、周波数をログスケールで印加するのが良いので、電極長さも相殺周波数がログスケールにおいて一定間隔ずつ差が出るよう調節することがよい。そうすると、検査対象ＰＤＰ電極中一部に異常がある場合、異常がある電極の長さに該当する周波数の相殺度合いが変化し、どの電極に異常が発生したかを容易に察知できる。即ち、異常電極の無いＰＤＰ電極における測定波形を基準波形として基準波形における相殺周波数と、検査対象体の測定波形のパターンとを比較分析して異常電極の位置を把握することができる。この実施例において、異常有無及び位置検査が一度の信号測定及び分析から行われるので検査速度が大変速いとの利点がある。
【００６５】
さらに、図１０Ｂのように、導体線無しでＰＤＰ電極をそのまま伝送線に用いる方法の場合にも各電極別に前記検査を繰り返すことで、異常電極を把握することができる。図１２Ａ及び図１２ＢはＰＤＰ電極を伝送線に用いる方法による検査装置の実施例を表すものである。
図１２Ａに表す検査装置はＰＤＰ電極（７１）別にそれぞれ信号発生器（８１）とピーク検出器（９４）とを並列連結したもので、各電極の異常有無及び長さ検出を同時に行うことで、一度の実行により異常電極の位置及び長さが把握でき、検査速度が速いとの利点がある。
【００６６】
図１２Ｂに表す検査装置はスイッチ（リレーまたはマルチプレクサなども含む）（８５）を通して一つの信号発生器（８１）とピーク検出器（８４）を多数のＰＤＰ電極（７１）に選択的に連結する構造として、多数のＰＤＰ電極を順次検査する。この際、前記図１２Ａに表す実施例とは異なり信号発生器（８１）及びピーク検出器（８４）の数が減少し、必要な装置数は減るが、一度に一電極に対する検査のみ実施するので、検査速度が遅くなりかねない。
【００６７】
さらに、本発明は周波数特性から異常有無のみを検査した後、異常のあるＰＤＰパネルのみを対象にビジョンシステムを使ってより詳しい異常検査を実施することができる。本発明により電極検査を実施すれば、異常電極の大体の位置及び長さを知ることができるので、ビジョンシステムを使って全体ＰＤＰパネルを検査するのでなく、前記検出された異常電極の周辺のみ検査する。したがって、高速ラインスキャンカメラが必要無く、ＰＤＰパネルの大きさが増加するにつれて所要する検査時間を短縮させられる。即ち、本発明による検査方法とビジョンシステムとを結合することにより、ビジョンシステムのみ利用する場合抱える高価の装備と大容量データ処理問題を解決することができる。
【００６８】
グラウンドプレーンを使わずに、相互平行な両電極をそれぞれ信号線とグラウンド線とに用いる場合は、図１３Ａ及び図１３Ｂのように、各電極に直接信号を印加して出力波形を測定しなければならない。
図１３Ａに表す実施例の場合、任意選択した一対の電極（信号電極とグラウンド電極）にそれぞれ信号発生器（８１）とピーク検出器（８２）とを連結し、スイッチ（８５）を通して一対の電極がそれぞれ如何なる動作をするか決定する。この場合、一対の電極（７１）に対して、動作を異ならせた二度の検査を行うことにより異常有無を把握することができる。
【００６９】
次いで、図１３Ｂに表す実施例においては、一個の信号発生器（８１）とピーク検出器（８４）を用いて多数の電極を検査するもので、信号発生器（８１）とピーク検出器（８４）をそれぞれ１個ずつ用意し、２個のスイッチ（８５）を制御して信号端と接地端をそれぞれ多数ＰＤＰ電極に選択的に連結する。この際、スイッチ（３５）の動作により一度に一対の電極に対する検査が実施されるので、装置数は減るが、検査速度は遅くなりかねない。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように、多様な実施例により具現可能な本発明による周波数領域特性を利用したＰＤＰ電極異常検査方法及び装置は、従来のビジョンシステムを利用したＰＤＰ検査方法や装置に比して検査所要時間が少なく、漸次大型化され需要が増加してきたＰＤＰに合わせて検査の効率性を高めることができる。さらに、本発明はビジョンシステムにおけるように大量のデータを処理する必要が無く構成が単純で、低コストで検査装置の構成が可能な効果を奏する。さらに、検査対象ＰＤＰの大きさが増加しても追加的なハードウェアが不要で、検査時間もほぼ増加しない利点がある。
【００７１】
以上のような本発明の周波数特性の測定によるＰＤＰ電極検査方法及び装置はＰＤＰ電極ばかりでなく、分岐線を有するすべての伝送線構造にも適用可能で、通信線の異常有無及び異常箇所の検査が容易に行え、印刷回路基板のパターン検査にも拡大適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】分岐線を有する伝送線を表す模式図である。
【図２】分岐線を有する伝送線における信号の伝達及び反射関係を表す図面である。
【図３】断線した分岐線を有する伝送線に対する周波数別出力特性を表すグラフである。
【図４】短絡した分岐線を有する伝送線における周波数別出力特性を表すグラである。
【図５】ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）の基本構造図である。
【図６】本発明により伝送線（ｍｉｃｒｏ−ｓｔｒｉｐ　ｌｉｎｅ）構造に変形されたＰＤＰ電極を表す図面である。
【図７Ａ】本発明においてＰＤＰ電極の異常を検査するためのインピーダンス調節構造を表す断面図である。
【図７Ｂ】本発明においてＰＤＰ電極の異常を検査するためのインピーダンス調節構造を表す断面図である。
【図８】本発明によるＰＤＰ電極検査方法を適用した装置のブロック構成図である。
【図９】本発明によるＰＤＰ電極検査装置の実施例を表す回路図である。
【図１０Ａ】本発明によるＰＤＰ電極検査方法中の異常の有無を検査するための構造を表す例示図である。
【図１０Ｂ】本発明によるＰＤＰ電極検査方法中の異常の有無を検査するための構造を表す例示図である。
【図１１Ａ】本発明によるＰＤＰ電極検査において、ＰＤＰ電極における一電極の長さ変化と周波数特性変化との関係を表すグラフである。
【図１１Ｂ】本発明によるＰＤＰ電極検査において、ＰＤＰ異常電極の数と周波数特性変化との関係を表すグラフである。
【図１２Ａ】本発明によるＰＤＰ電極検査方法において異常電極の位置判別のための検査構造を表す例示図である。
【図１２Ｂ】本発明によるＰＤＰ電極検査方法において異常電極の位置判別のための検査構造を表す例示図である。
【図１３Ａ】本発明の他実施例によるＰＤＰ電極検査構造を表す例示図である。
【図１３Ｂ】本発明の他実施例によるＰＤＰ電極検査構造を表す例示図である。
【符合の説明】
７０…ガラス板
７１…ＰＤＰ電極
７２…導体線
７３…グラウンドプレーン
７４…誘電層
８１…信号発生器
８２、８３…インピーダンス変換器
８４…ピーク検出器
８５…スイッチ
【図１】
2004031348.tif 000012
【図２】
2004031348.tif 000013
【図３】
2004031348.tif 000014
【図４】
2004031348.tif 000015
【図５】
2004031348.tif 000016
【図６】
2004031348.tif 000017
【図７Ａ】
2004031348.tif 000018
【図７Ｂ】
2004031348.tif 000019
【図８】
2004031348.tif 000020
【図９】
2004031348.tif 000021
【図１０Ａ】
2004031348.tif 000022
【図１０Ｂ】
2004031348.tif 000023
【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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