(57)【要約】【課題】本発明はワーク裏面とステージとを非接触に保ったまま、充分な位置精度で再現性良くワークの仮位置決めを行うことが可能であるとともに、安価な仮位置決め機構を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、平板状のワークＷをステージ１の支持面１ｃ上で所定位置に仮位置決めするためのワークＷの仮位置決め機構において、前記支持面１ｃ側に設けられ、前記ワークＷに対して気体を噴出させる噴出穴１ｄ，１ｄ・・・と、前記支持面１ｃを所定方向に傾斜させるための傾斜手段２ａ，３ａと、前記支持面１ｃの所定位置に設けられ、前記ワークＷの側面部を仮位置決め位置に係止するピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・とを有することを特徴とするワークＷの仮位置決め機構を提供する。【選択図】　図１
2004031799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め機構において、
前記支持面側に設けられ、前記ワークに対して気体を噴出させる気体噴出手段と、前記支持面を所定方向に傾斜させるための傾斜手段と、前記支持面の所定位置に設けられ、前記ワークの側面部を仮位置決め位置に係止する係止手段とを有することを特徴とするワークの仮位置決め機構。
【請求項２】
前記傾斜手段は、前記ステージの一端部を軸支する回動軸と、前記ステージの他端部を昇降自在に支持する昇降機構とを有する請求項１に記載のワークの仮位置決め機構。
【請求項３】
平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め機構において、
前記支持面側に設けられ、前記ワークに対して気体を噴出して移動させる気体噴出手段と、前記支持面上に設けられ前記ワークの側面部を仮位置決め位置に係止する係止手段と、を有し、
前記気体噴出手段は、前記係止手段に向かって傾斜する噴出穴を備えることを特徴とするワークの仮位置決め機構。
【請求項４】
平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め方法において、
前記ステージに前記ワークを導入する工程と、
前記ステージの前記支持面に設けられた噴出穴より前記ワークに気体を噴出させる工程と、
前記ステージを傾斜手段により所定方向に傾斜させることで、前記ワークを前記支持面上で前記所定方向に滑動させる工程と、
前記支持面に立設させた複数のピン又はローラに、前記ワークを当接させることで、所定位置で停止させる工程と、
からなることを特徴とするワークの仮位置決め方法。
【請求項５】
平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め方法において、
前記ステージに前記ワークを導入する工程と、
前記ステージの前記支持面に傾斜して設けられた噴出穴より気体を噴出し、前記ワークを支持面に沿って所定方向に滑動する工程と、
前記所定位置に立設させた複数のピン又はローラに、前記ワークを当接させることで、所定位置で停止させる工程と、
からなることを特徴とするワークの仮位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、投影露光装置等で露光されるワークの予備的な位置決めを行うための仮位置決め機構及び仮位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、投影露光装置において、ワークは、搬入用ローラ等で搬入ステージまで搬送され、搬入ステージ上で次の露光工程に備えて予備的に仮位置決めされる。その後、ワークはハンドラ等のワーク移動手段により保持されて露光台に搬送される。
【０００３】
尚、ワークの露光方式には、ワークを水平姿勢で露光する所謂横向き露光方式とワークを垂直姿勢で露光する所謂縦向き露光方式とが存在し、前記したワーク移動手段は、露光方式に応じて適切にワークを露光台まで搬送する。
【０００４】
ワーク移動手段からワークを受け渡された露光台はワークを保持し、精密位置決めを行った後に露光が行われる。露光終了後ワークは、ハンドラ等のワーク移動手段に保持されて搬出用ステージに搬送され、さらに搬出用ローラ等で次の工程に搬出される。
【０００５】
ここで、搬入ステージ上における長方形状のワークの仮位置決めについて詳述する。図７は、従来行われていたワークの仮位置決め機構の正面図（ａ）及び断面図（ｂ）であり、第１の従来例である。
【０００６】
搬入ステージ１００には、複数のローラ１０１，１０１・・・からなるコンベアが設けられており、長方形状のワーク１０２は、このコンベアにより搬入ステージ１００に導入される。ワーク１０２が搬入ステージ１００上で停止すると、ワーク１０２を仮位置決めするための複数のピン１０３，１０３・・・が昇降機構（不図示）により、搬入ステージ１００底部より突出し、これらの複数のピン１０３，１０３・・・は、駆動機構（不図示）により、それぞれワーク１０２の４辺に向かって移動し、ワーク１０２をピン１０３，１０３・・・で挟持することで、ワーク１０２の仮位置決めを行っていた。
【０００７】
ここで、ピン１０３には、ワーク１０２とピン１０３との接触を検知するためのセンサが設置されており、ピン１０３がワーク１０２と接触したことを確認するとピン１０３の移動が停止し、ワーク１０２の仮位置決めを達成するように構成されていた。
【０００８】
この方式においては、ピン１０３，１０３・・・の移動時に、搬入ステージ表面より気体を噴出させ、ワーク１０２を搬入ステージ１００から浮揚させることでワーク１０２の裏面と搬入ステージ１００との摺動を防止する手段が採用されることもある。
【０００９】
また、図８に、仮位置決め機構の第２の従来例における正面図（ａ）及び断面図（ｂ）を示す。
この方式は、搬入ステージ１００上で停止したワーク１０２に設けられた特定の位置合わせマークをカメラ１０４等により認識して、予め設定されているワークの理想位置とのズレを評価し、搬入ステージ１００を支持するＸＹθ方向に駆動可能な支持台１０５をこのズレに応じて駆動させることでワーク１０２を理想位置に仮位置決めするものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第１の従来例においては、ピン１０３に取り付けられたセンサが何らかの原因で正常に作動しない場合には、ピン１０３がワーク１０２の内側に過剰に移動してしまい、ワーク１０２を破損してしまう恐れがあった。また、この方式においては、ピン１０３を昇降するための昇降機構やピン１０３を移動させるための駆動機構等が必要となるために、仮位置決め機構の構成が複雑且つ高価になるという問題点が存在した。
【００１１】
また第２の従来例においては、基本的に、露光台における精密位置決めと同様の機構であるために、位置決めの精度は充分であるものの、さほど位置決め精度が要求されない仮位置決め機構としてはオーバースペックであり、この方式を採用すると、仮位置決め機構が高価になるという問題点が存在する。
【００１２】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、ワーク裏面とステージとを非接触に保ったまま、充分な位置精度で再現性良くワークの仮位置決めを行うことが可能であるとともに、安価な仮位置決め機構及び仮位置決め方法を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記した課題を解決するために次のように構成した。
請求項１に記載の発明は、平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め機構において、前記支持面側に設けられ、前記ワークに対して気体を噴出させる気体噴出手段と、前記支持面を所定方向に傾斜させるための傾斜手段と、前記支持面の所定位置に設けられ、前記ワークの側面部を仮位置決め位置に係止する係止手段とを有することを特徴とするワークの仮位置決め機構である。
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、気体噴出手段より噴出される気体により平板状のワークは支持面上に浮揚する方向に付勢された状態で載置されるので、仮位置決め作業の際のワーク裏面とステージの支持面との接触を最低限に抑えることが可能となる。
【００１５】
また、前記支持面上に浮揚する方向に付勢されたワークは、傾斜手段により支持面が所定方向に傾斜すると、自重により支持面上を非接触に近い状態のまま所定方向に滑動し、支持面上に設けられた係止手段により仮位置決め位置に係止されることで、仮位置決めがなされるので、仮位置決めの精度を落とすことなく仮位置決め機構の構造を簡素にすることが可能となる。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明は、前記ワークの位置決め機構において、前記傾斜手段は、前記ステージの一端部を軸支する回動軸と、前記ステージの他端部を昇降自在に支持する昇降機構とを有するものである。
請求項２に記載の発明によれば、ステージの他端部に設けられた昇降機構によりステージの他端部を下降あるいは上昇させると、ステージの支持面は、ステージの一端部に設けられた回動軸を支点として、一端部側から他端部側へと傾斜する。これにより、支持面上で気体を噴出されているワークは、ステージの一端部側から他端部側へと支持面上を非接触に近い状態で滑動する。
尚、昇降機構としては、シリンダ、送りネジ、リンク機構等を用いることが可能である。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め機構において、前記支持面側に設けられ、前記ワークに対して気体を噴出して移動させる気体噴出手段と、前記支持面上に設けられ前記ワークの側面部を仮位置決め位置に係止する係止手段と、を有し、前記気体噴出手段は、前記係止手段に向かって傾斜する噴出穴を備えるワークの仮位置決め機構である。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、支持面上に支持されたワークは、係止手段に向かって傾斜する噴出穴を有する気体噴出手段より噴出される気体により支持面上で浮揚する方向に付勢され、ワーク裏面とステージの支持面との接触を最低限に抑えられた状態で係止手段に向かって支持面上を滑動する。
【００１９】
支持面上を滑動するワークは、係止手段に当接し、仮位置決め位置に係止される。これにより、仮位置決めの精度を落とすことなく仮位置決め機構の構造を簡素にすることが可能となる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め方法において、前記ステージに前記ワークを導入する工程と、前記ステージの前記支持面に設けられた噴出穴より前記ワークに気体を噴出させる工程と、前記ステージを傾斜手段により所定方向に傾斜させることで、前記ワークを前記支持面上で前記所定方向に滑動させる工程と、前記支持面に立設させた複数のピン又はローラに、前記ワークを当接させることで、所定位置で停止させる工程と、からなることを特徴とするワークの仮位置決め方法である。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、水平な状態の支持面に平板状のワークを搬送し、支持面に設けられた噴出穴より気体を噴出することによりワークを支持面上で浮揚する方向に付勢させ、支持面を傾斜手段により所定方向に傾斜させることで、ワークを非接触に近い状態で支持面上を滑動させる。そして、支持面の所定方向前方に設けられたピン又はローラにより、支持面上を滑動するワークを所定位置で停止させ、前記噴出穴からの気体の噴出を停止することで、ワークを所定位置において支持面上に下降させ、傾斜手段により、前記支持面を水平な状態に復帰させることでワークの仮位置決めを完了する。
【００２２】
尚、ワークがピン又はローラにより停止した位置で噴出穴から大気を吸引する動作を行うと、ワークは仮位置決め状態を確実に維持することができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、平板状のワークをステージの支持面上で所定位置に仮位置決めするためのワークの仮位置決め方法において、前記ステージに前記ワークを導入する工程と、前記ステージの前記支持面に傾斜して設けられた噴出穴より気体を噴出し、前記ワークを支持面に沿って所定方向に滑動する工程と、前記所定位置に立設させた複数のピン又はローラに、前記ワークを当接させることで、所定位置で停止させる工程と、からなることを特徴とするワークの仮位置決め方法である。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、水平な状態の支持面に平板状のワークを搬送し、支持面に傾斜して設けられた噴出穴より気体を噴出することによりワークを支持面上に浮揚させる方向に付勢するとともに、噴出穴より傾斜して噴出する気体により、ワークを支持面上において滑動させ、その支持面の所定方向前方に設けられたピン又はローラにより、支持面上を滑動するワークを所定位置で停止させ、前記噴出穴からの気体の噴出を停止することで、ワークを所定位置において支持面上に下降させることでワークの仮位置決めを完了する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明の仮位置決め機構の斜視図であり、図２（ａ）は本発明の仮位置決め機構の斜視図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ方向から見た側面図であり、図３は、本発明の仮位置決め方法の工程図であり、（ａ）はステージが水平状態の場合の模式図であり、（ｂ）は、（ａ）の側面図であり、（ｃ）はステージが傾斜状態の場合の模式図であり、（ｄ）は、（ｃ）の側面図である。
【００２６】
図１，図２を参照して本発明の仮位置決め機構における第１の実施形態の構成を説明する。
本発明の仮位置決め機構１は、長方形状のワークＷを支持するための長方形平板状のステージ１と、このステージ１の対角線の両端部１ａ，１ｂにそれぞれ設置され、ステージ１を支持する第１支持脚２、第２支持脚３とを備えている。
【００２７】
ステージ１の表面は、ワークＷを支持するための平板状の支持面１ｃとなっている。この支持面１ｃには、不図示の気体供給装置（コンプレッサー等）より供給された気体を噴出するための複数の噴出穴１ｄ，１ｄ・・・が支持面の１ｃの全面に渡って設けられている。この噴出穴１ｄ，１ｄ・・・より噴出される気体により、支持面１ｃに搬送されるワークＷとの間に気体層を形成し、ワークＷを支持面１ｃ上において浮揚させる方向に付勢し、非接触に近い状態で載置することが可能である。
また、ステージ１の他端部１ｂを挟む２辺１ｆ１，１ｆ２のそれぞれに平行に、支持面１ｃからピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・を突出させている。これらのピン１ｅ１，１ｅ２は垂直軸線方向に対して回転自在に設けられている。
【００２８】
詳細は後記するが、支持面１ｃが対角線に沿って傾斜した際に、支持面１ｃ上を浮揚する方向に付勢されたワークＷは、これらのピン１ｅ１，１ｅ１・・、又は、ピン１ｅ２，１ｅ２・・、或いはピン１ｅ１，１ｅ２に接触しながら案内されて支持面１ｃ上を傾斜に沿って滑動し、ピン１ｅ１，１ｅ２により形成される直角の隅部で両側面部Ｗ１，Ｗ２を当接させた状態で停止する。この隅部が、ワークＷの仮位置決め位置となるように設定されている。このように、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・は、傾斜した支持面１ｃ上を滑動するワークＷを案内すると共に、その直角の配置によりワークＷの仮位置決め位置を規定している。
【００２９】
ここで、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・は、ワークＷが停止した際に２辺Ｗ１，Ｗ２が当接することで、ワークＷの仮位置決め位置を規制する部材であるので、ピン１ｅ１，１ｅ１・・・及びピン１ｅ２，１ｅ２・・は、仮位置決め精度を満足する程度の直線性を持って配置されていることが望ましい。同様にピン１ｅ１，１ｅ１・・・及びピン１ｅ２，１ｅ２・・のなす角度も仮位置決め精度を満足する程度に直角に配置されていることが望ましい。また、本実施の形態においては、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・は、ステージ１の他端部１ｂを挟む２辺１ｆ１，１ｆ２にそれぞれ３本ずつ配置されているが、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・の本数は、これに限られないことは勿論である。さらに、ワークＷと接触した際の摺動摩擦を低減するために、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・の替わりにローラを配置すればより一層好適である。
【００３０】
さらに図２に示すように、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・は、設置間隔が一定となるように設定されているが、ワークＷが仮位置決めできる状態であれば、特に設置間隔に制限はないが、ワークＷの頂点Ｗａが、正しくピン１ｅ１，１ｅ２に当接して挟まれるような設置間隔であることが望ましい。
【００３１】
ステージ１の対角線の一端部１ａに設けられた第１支持脚２は、ステージ１の裏面と係合されている。ステージ１と第１支持脚２との係合部には、回動軸２ａが支持面１ｃと平行且つ前記対角線と直角に嵌装されている。このためステージ１（支持面１ｃ）は、この回動軸２ａを回転軸として前記対角線方向に傾斜することが可能である。
ここで、ステージ１の傾斜角度は、支持面１ｃ上をワークＷが滑らかに滑動可能であり、かつ、ワークＷが、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・と当接した際の衝撃力によりワークＷが破損したり、ワークＷがステージ１の外に飛び出してしまわないような角度であれば特に制限はない。
【００３２】
また、ステージ１の対角線の他端部１ｂに設けられた第２支持脚３は、シリンダ３ａ等のステージ昇降機構を介してステージ１を支持している。シリンダ３ａを伸縮することにより、ステージ１の他端部を上下することが可能である。
尚、昇降機構としては、シリンダ３ａの他に、送りネジやリンク機構を使用することが可能である。
【００３３】
また、噴出穴１ｄ，１ｄ・・・に供給される気体としては、コンプレッサー等の気体供給装置より供給されるものの他に、排気用ファンから発生する気体を用いることも可能である。
【００３４】
本発明の仮位置決め機構は前記のような構成を有しており、シリンダ３ａが伸張した状態においては、ステージ１（支持面１ｃ）が水平に保持される状態（水平状態）となり、シリンダ３ａが収縮した状態においては、ステージ１（支持面１ｃ）が、前記対角線の一端部１ａから他端部１ｂにかけて下向きに傾斜した状態（傾斜状態）となる。
【００３５】
尚、特許請求の範囲で言うところの「傾斜手段」及び「昇降機構」が回動軸２ａ及びシリンダ３ａに、また、「所定方向」がステージ１の一端部１ａから他端部１ｂへと向かう方向にそれぞれ相当する。
【００３６】
続いて図３を参照して、仮位置決め機構の動作及び本発明の仮位置決め方法について説明する。
図３（ａ）は不図示の搬送機構によりワークＷがステージ１に搬送された直後の様子を示す模式図、図３（ｂ）は図３（ａ）の側面図である。
ワークＷがステージ１に搬送された直後は、ステージ１は前記した水平状態にある。つまり、シリンダ３ａは伸張状態であり、支持面１ｃは水平な状態に保持されている。また、ワークＷが支持面１ｃに導入されると、不図示のセンサ等がそれを検知し、噴出穴１ｄ，１ｄ・・・より気体が噴出され、ワークＷの裏面と支持面１ｃとの間に気体層を形成し、ワークＷは、支持面１ｃ上に非接触に近い状態で支持される。
【００３７】
図３（ｃ）は、ステージ１が傾斜状態となり仮位置決めが実行されている状態を示す模式図であり、図３（ｄ）は図３（ｃ）の側面図である。
図３（ａ），（ｂ）で示したように、ワークＷが支持面１ｃ上に完全に搬送されたことが確認されると、シリンダ３ａが収縮して、ステージ１は対角線の一端部１ａから他端部１ｂにかけて下向きに傾斜する（傾斜状態）。
【００３８】
ところで、ワークＷは、支持面１ｃ上に気体層を介して支持されているので、ワークＷと支持面１ｃとの間の接触摩擦が最小限となるため、支持面１ｃが傾斜するとワークＷは自重によりその傾斜方向に向かって支持面１ｃ上を滑動する。つまり、ワークＷは、ステージ１の一端部１ａから他端部１ｂ方向へとステージ１の対角線に沿って支持面１ｃ上を滑り落ちる。
【００３９】
ところで、ステージ１の他端部１ｂを挟む２辺１ｆ１，１ｆ２のそれぞれに平行にピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・が突出しているので、ワークＷは、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・と干渉（接触）しながら、支持面１ｃ上を滑動する。そして、ワークＷは、ワークＷの滑動方向前方の頂点Ｗａを挟む２辺の内一方の辺Ｗ１が、ピン１ｅ１，１ｅ１と当接し、ワークＷの滑動方向前方の頂点Ｗａを挟む２辺の内他方の辺Ｗ２がピン１ｅ２，１ｅ２・・と当接して、最終的に両辺Ｗ１，Ｗ２が支持面１ｃ上でピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・で規制された所定位置に停止する。
このワークＷが停止した所定位置が、仮位置決め位置となる。
【００４０】
ワークＷが仮位置決め位置で停止したならば、噴出穴１ｄ，１ｄ・・・からの気体の噴出が停止され、ワークＷの浮揚状態が解かれ、ワークＷは支持面１ｃに当接し、ワークＷは、仮位置決め位置に自重により固定される。尚、ワークＷを仮位置決め位置に固定させるために、噴出穴１ｄから大気を吸引するように、気体供給装置（不図示）を動作させるようにしても構わない。
その後、シリンダ３ａが伸張され、ステージ１は水平状態に復帰し、ワークＷの仮位置決めが終了する。
【００４１】
このように本発明の仮位置決め機構及び仮位置決め方法においては、ワークＷと支持面１ｃとを非接触状態に保ったまま、支持面１ｃを傾斜させて、ワークＷの自重により支持面１ｃ上を滑動させ、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・にワークＷを当接することで仮位置決めさせるので、ワークＷの裏面に支持面１ｃ上の汚染物質が付着することを防止することが可能である。また、支持面１ｃを傾斜させるという簡単な機構でワークＷの仮位置決めを行うことが可能となる。さらに、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・を仮位置決め時のワークＷの位置精度を満足するような精度で予め配置することで、再現性良く、良好な位置精度でワークＷの仮位置決めを実行することが可能となる。
【００４２】
続いて、図４〜５を参照して本発明の仮位置決め機構の第２の実施形態について説明する。
図４は、第２実施形態の模式図であり、図５（ａ）は、図４の要部拡大正面図であり、図５（ｂ）は、図４の要部拡大斜視図である。尚、図４，図５において、図１〜３と同様の部材には同符号を付し、その説明は省略する。
【００４３】
図４に示した第２実施形態の仮位置決め機構は、長方形状のワークＷを支持するための長方形平板状のステージ１、このステージ１の対角線の両端部１ａ，１ｂにそれぞれ設置され、ステージ１を支持する第１支持脚２’、第２支持脚３’とからなる。
【００４４】
第１実施形態においては、ステージ１を傾斜させるために第１支持脚２には回動軸２ａ（図１）が、第２支持脚３には、シリンダ３ａ（図１）が設けられていたが、本実施の形態においては、第１支持脚２’及び第２支持脚３’は、ステージ１の裏面に固定されており、ステージ１は常に水平状態に保たれている。
【００４５】
図５（ａ）は、第２実施形態のステージ１の要部拡大正面図、図５（ｂ）はステージ１の要部拡大断面図である。支持面１ｃ表面に複数の噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・が開口している。本実施の形態においては、これらの噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・は、支持面１ｃに対して傾斜して設けられている。図５（ａ）より明らかなように、正面から見たときに、噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・は、ステージ１の対角線方向（一端部１ａから他端部１ｂへ向かう方向）に平行に、気体の流路が形成されることになる。このため、噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・から噴出される気体は、ワークＷをピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・に向かって移動させる噴出強さにより図示しない気体供給装置から供給される。
【００４６】
このため、支持面１ｃ上に存在するワークＷは、噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・から噴出され、ステージ１の対角線方向に平行な気体によりワークＷが浮揚する方向に付勢され、ステージ１の一端部１ａから他端部１ｂへと支持面１ｃ上を滑動する。
【００４７】
そして、前記したように、ワークＷは、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・と干渉（接触）しながら、支持面１ｃ上を滑動し、ついには、ワークＷの滑動方向前方の頂点Ｗａを挟む２辺の内一方の辺Ｗ１は、ピン１ｅ１，１ｅ１と当接し、ワークＷの滑動方向前方の頂点Ｗａを挟む２辺の内他方の辺Ｗ２はピン１ｅ２，１ｅ２・・と当接して、ワークＷは支持面１ｃ上でピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・で規制された所定位置に停止する。
【００４８】
ワークＷが仮位置決め位置で停止したならば、噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・からの気体の噴出が停止され、ワークＷの浮揚状態が解かれ、ワークＷは支持面１ｃに当接し、ワークＷは、仮位置決め位置に自重により固定され、仮位置決めが終了する。
【００４９】
このように第２実施形態の仮位置決め機構は、噴出穴１ｄ’，１ｄ’・・・から噴出されるステージ１の対角線方向の速度成分を有する気体により、ワークＷを支持面１ｃから浮揚させた状態のまま、ステージ１の一端部１ａから他端部１ｂへと滑動させて、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・で規制された仮位置決め位置にワークＷを仮位置決めさせるので、ワークＷの裏面に支持面１ｃ上の汚染物質が付着することを防止することが可能である。また、第１の実施形態のように支持面１ｃを傾斜させる必要もないので、より簡単な機構でワークＷの仮位置決めを行うことが可能となる。さらに、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・を仮位置決め時のワークＷの位置精度を満足するような精度で予め配置することで、再現性良く、良好な位置精度でワークＷの仮位置決めを実行することが可能となる。
【００５０】
尚、図６に示す仮位置決め機構としても構わない。図６において、図１と同様の部材については同符号を付し、その説明を省略する。
【００５１】
ここに示す仮位置決め機構は、ステージ１に搬送ローラ１ｇが設けられた状態であっても対応して使用できるものである。この搬送ローラ１ｇとステージ１とは、互いに離間する方向に移動できるような構成を有しており、例えば、不図示の昇降機構により、昇降することが可能である。
【００５２】
つまり、ワークＷをステージ１に搬送する際には、支持面１ｃより突出した状態となっており、ワークＷは搬送ローラ１ｇの転動によりステージ１上に搬送される。その後、噴出穴１ｄ，１ｄ・・・より気体が噴出され、ワークＷが支持面１ｃ上で浮揚すると、搬送ローラ１ｇは前記した昇降機構により支持面１ｃの下に下降する。
【００５３】
この状態で、シリンダ３ａを収縮させると、ステージ１は傾斜して、ワークＷはこの傾斜に沿って滑動し、ピン１ｅ１，１ｅ１・・１ｅ２，１ｅ２・・と当接して仮位置決め位置で停止する。
【００５４】
【発明の効果】
本発明は、次のような顕著な効果を奏する。
本発明の仮位置決め機構は、気体噴出手段によりワークをステージの支持面上に浮上させる方向に付勢して、傾斜手段により支持面を傾斜させるだけで、ワークは自重により斜面（支持面）を滑動して仮位置決め位置まで移動し、ステージに予め設けられた係止手段と当接することにより仮位置決め位置に固定されるので、ワークを仮位置決め位置まで搬送するための搬送ローラ等の特別な搬送装置を設ける必要がなく、簡単であって正確な仮位置決めが可能となる（請求項１）。
【００５５】
本発明の仮位置決め機構において、傾斜手段は、シリンダ等の単純な機構で達成できるので、従来用いられていたワークを挟持するためのピン、その昇降機構、駆動機構を設ける必要がなくなり、装置構成を単純化することが可能となるので、故障などのトラブルを発生を回避できるとともに、充分な位置精度で仮位置決めを行うことが可能となる（請求項２）。
【００５６】
本発明の仮位置決め機構は、噴出穴より噴出される気体により、ワークをステージの支持面上に浮上させる方向に付勢した状態で仮位置決め位置まで滑動させるため、前記したような支持面を傾斜させるための傾斜装置等を設ける必要が無くなり、より装置構成を単純なものにすることが可能となり、より安価に、より故障の発生を少なくすることが可能となる（請求項３）。
【００５７】
本発明の仮位置決め方法は、支持面上にワークを浮上させる方向に付勢した状態（非接触状態）で支持するので、支持面に浮上するワークは、傾斜手段により支持面を所定方向に傾斜することで、自重により支持面上を滑動し、ワークを所定方向に移動させるために特別な手段を設ける必要がない。また、支持面上を滑動するワークは、所定方向前方に設けられたピン又はローラに当接することにより、仮位置決め位置で停止するので、従来用いられていたワークを挟持するためのピン、その昇降機構、駆動機構を設ける必要がなく、支持面を傾斜させるという簡単な操作により、充分な位置精度で再現性良く仮位置決めを行うことが可能となる（請求項４）。
【００５８】
本発明の仮位置決め方法は、支持面上にワークを浮上させる方向に付勢した状態（非接触状態）で支持し、支持面に設けられた傾斜した噴出穴より噴出される気体により、ワークは所定方向に支持面上を滑動するので、ワークを所定方向に移動させるために特別な手段を設ける必要がない。また、支持面上を滑動するワークは、所定方向前方に設けられたピン又はローラに当接することにより、仮位置決め位置で停止するので、従来用いられていたワークを挟持するためのピン、その昇降機構、駆動機構を設ける必要がなく、支持面を傾斜させるという簡単な操作により、充分な位置精度で再現性良く仮位置決めを行うことが可能となる（請求項５）。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の仮位置決め機構の斜視図である。
【図２】図２（ａ）は本発明の仮位置決め機構の斜視図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ方向から見た側面図である。
【図３】本発明の仮位置決め方法の工程図であり、（ａ）はステージが水平状態の場合の模式図であり、（ｂ）は、（ａ）の側面図であり、（ｃ）はステージが傾斜状態の場合の模式図であり、（ｄ）は、（ｃ）の側面図である。
【図４】本発明の第２実施形態の模式図である。
【図５】図５（ａ）は、図４の要部拡大正面図であり、図５（ｂ）は、図４の要部拡大斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態の模式図である。
【図７】従来例を示す模式図である。
【図８】従来例を示す模式図である。
【符号の説明】
１　ステージ
１ａ　一端部
１ｂ　他端部
１ｃ　支持面
１ｄ，１ｄ’　噴出穴
１ｅ１，１ｅ２　ピン
１ｆ１、１ｆ２　２辺
２，２’　第１支持脚
２ａ　回動軸
３，３’　第２支持脚
３ａ　シリンダ
Ｗ　ワーク
Ｗａ　頂点
Ｗ１，Ｗ２　頂点Ｗａを挟む２辺
【図１】
2004031799.tif 000003
【図２】
2004031799.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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