(57)【要約】【課題】プラズマ放電領域内には製造工程で残留する不純ガスのみだけでなく、プラズマ放電により蛍光体等の材料から発生する不純ガスが存在し、この不純ガスはプラズマ放電特性に異常を生じさせる原因となる。パネル全面の不純ガスを効率よく吸収することにより、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させることを目的とする。【解決手段】プラズマディスプレイ装置において、背面側基板上の隔壁にジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料を含ませる。これにより、パネル全面の不純ガスを効率よく吸収することができ、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させることができる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極を配置したプラズマディスプレイ装置において、背面側基板上の隔壁は、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料を含むものであることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項２】
合金材料が粉末であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ装置。
【請求項３】
合金材料の粒径が５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする請求項２記載のプラズマディスプレイ装置。
【請求項４】
隔壁の頂部、または側面もしくはその両方に合金材料による層を設けたことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ装置。
【請求項５】
少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに、前記基板の周辺部を封着してパネルを構成するプラズマディスプレイ装置の製造方法において、背面側基板上の隔壁を、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料を含む構成とし、かつパネルを封着し放電空間を排気する工程を設けるとともに、その排気の工程での温度を２００℃〜７００℃としたことを特徴とするプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマディスプレイ装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイ装置は、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化及び大画面化が進められている。
【０００３】
このプラズマディスプレイ装置には、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化及び製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のプラズマディスプレイ装置が主流を占めるようになってきている。
【０００４】
図３にプラズマディスプレイ装置におけるパネル構造の一例を示し、図４に図３のＡ−Ａ線で切断した断面を示し、図５に図３のＢ−Ｂ線で切断した断面を示している。図に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成され、そして基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が配置形成されている。この走査電極２及び維持電極３は、それぞれ透明電極２ａ、３ａ及びこの透明電極２ａ、３ａに電気的に接続された銀等の母線２ｂ、３ｂとから構成されている。また、前記前面側の基板１には、前記複数対の電極群を覆うように誘電体層６が形成され、その誘電体層６上には保護膜７が形成されている。
【０００５】
また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側の基板８上には、走査電極２及び維持電極３の表示電極４と直交する方向に、絶縁体層９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されている。このデータ電極１０間の絶縁体層９上には、データ電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１１が配置され、この隔壁１１間の側面１１ａ及び絶縁体層９の表面に蛍光体層１２が設けられている。
【０００６】
これらの基板１と基板８とは、走査電極２及び維持電極３とデータ電極１０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周辺部はガラスフリットなどの封着シール部材により封着され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁１１によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１３が設けられ、その各放電セル１３には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層１２が一色ずつ順次配置されている。
【０００７】
このパネル本体の電極配列は、図６に示すように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭ及び維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のデータ電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このようなプラズマディスプレイ装置においては、プラズマ放電領域内には製造工程で残留する不純ガスのみだけでなく、プラズマ放電により蛍光体等の材料から発生する不純ガスが存在し、この不純ガスはプラズマ放電特性に異常を生じさせる原因となる。この不純ガスを吸収する手段としてパネル端部に数個の不純ガス吸収用合金（ゲッター）を設けているが、パネル全体の不純ガスを吸収するには不十分である。
【０００９】
本発明はこのような課題を解決するもので、パネル全面の不純ガスを効率よく吸収することにより、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させることを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイ装置は、背面側基板上に形成される隔壁に不純ガス吸収用合金の粉末あるいは合金層を形成したことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極を配置したプラズマディスプレイ装置において、背面側基板上の隔壁は、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料を含むものであることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、合金材料が粉末であることを特徴とし、請求項３に記載の発明は、請求項２において、合金材料の粒径が５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１において、隔壁の頂部、または側面もしくはその両方に合金材料による層を設けたものである。
【００１４】
さらに、請求項５に記載の発明は、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに、前記基板の周辺部を封着してパネルを構成するプラズマディスプレイ装置の製造方法において、背面側基板上の隔壁を、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料を含む構成とし、かつパネルを封着し放電空間を排気する工程を設けるとともに、その排気の工程での温度を２００℃〜７００℃としたことを特徴とする製造方法である。
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置について、図１、図２を用いて説明する。なお、図１、図２において、図３〜図６に示す部分と同一部分については、同一番号を付している。
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置における隔壁を示す図である。すなわち、本発明においては、パネルを構成する背面側基板８の隔壁１１内に、不純ガス吸収用のジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料の粉粒体２０を混入させたものである。
【００１７】
このように隔壁１１内に不純ガス吸収用の合金材料の粉粒体２０を混入させる方法としては、背面側基板８上に隔壁１１を形成するときに、ガラス材料などの隔壁材料中に、例えば粒径が直径５μｍ〜１０μｍ程度の不純ガス吸収用合金の粉粒体２０を、隔壁材料の体積の１０〜２０％程度の量で混入させ、不純ガス吸収用合金の粉粒体２０を含む隔壁を形成する。なお、隔壁１１の形成方法としては、サンドブラスト法により切削して溝を形成する方法や、印刷法により隔壁材料を積層して所定の高さの隔壁を形成する方法や、フォトリソ法により隔壁材料層を所定の形状に露光現像して隔壁を形成する方法などを使用することができる。
【００１８】
そして、本発明においては、基板１と基板８とを、走査電極２及び維持電極３とデータ電極１０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置し、周辺部をガラスフリットなどの封着シール部材により封着してパネルを組み立てる後工程において、パネルを封着、排気するときに真空排気の工程で、例えばピーク温度４００℃を３時間保持することにより、不純ガス吸収用合金の粉粒体２０の活性化を行う。この活性化された不純ガス吸収用合金の粉粒体２０を含む隔壁１１により、従来のパネル端部に設けられた不純ガス吸収用合金（ゲッター）では吸収できなかったパネル中央部に残留する不純ガスやプラズマ放電により蛍光体等の材料から発生する不純ガスを効率よく吸収することができ、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させることができる。
【００１９】
図２は本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイ装置における隔壁を示す図であり、この実施の形態においては、隔壁１１の頂部に不純ガス吸収用のジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）の少なくとも１種類の合金材料からなる合金層２１を形成したものである。
【００２０】
すなわち、背面側基板８上に、例えば厚み１５０μｍの隔壁材料膜を形成した後、上記不純ガス吸収用の合金層を２０μｍの厚みで形成し、次に、例えば３００℃、１時間の熱処理を加えて隔壁材料膜と合金層を密着させてから、写真製版を行い、例えばウェットエッチングにより合金層のパターニングを行った後、サンドブラスト法により隔壁１１を形成することにより、頂部に不純ガス吸収用の合金材料からなる合金層２１を形成した隔壁１１を形成するものである。
【００２１】
なお、この合金層２１は、隔壁１１の頂部のみでなく、隔壁１１の側面に設けてもよい。また、隔壁１１の頂部と側面の両方に合金層２１を設けてもよい。
【００２２】
この実施の形態においても、上記実施の形態と同様に、パネルを組み立てる後工程において、パネルを封着、排気するときに真空排気の工程で、例えばピーク温度４００℃を３時間保持することにより、不純ガス吸収用合金の合金層２１の活性化を行う。この活性化された不純ガス吸収用合金層２１により、従来のパネル端部に設けられた不純ガス吸収用合金（ゲッター）では吸収できなかったパネル中央部に残留する不純ガスやプラズマ放電により蛍光体等の材料から発生する不純ガスを効率よく吸収することができ、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させることができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明にかかるプラズマディスプレイ装置及びその製造方法によれば、隔壁に形成した活性化された合金粒体もしくは合金層により、パネル全面の不純ガスを効率よく吸収することができ、安定したプラズマ放電特性を提供し、製品の品質を向上させる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置における隔壁の一例を示す斜視図
【図２】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイ装置における隔壁の一例を示す斜視図
【図３】プラズマディスプレイ装置のパネル構造を一部を切り欠いて示す斜視図
【図４】図３のＡ−Ａ線で切断した断面図
【図５】図３のＢ−Ｂ線で切断した断面図
【図６】同装置の電極配列を示す配線図
【符号の説明】
１、８　基板
２　走査電極
２ａ、３ａ　透明電極
２ｂ、３ｂ　母線
３　維持電極
４　表示電極
６　誘電体層
７　保護膜
９　絶縁体層
１０　データ電極
１１　隔壁
１２　蛍光体層
１３　放電セル
２０　不純ガス吸収用合金の粉粒体
２１　合金層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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