(57)【要約】【課題】隔室を形成するための移動枠体は勿論のこと、被加工品に対して熱加圧を行なう押し板やヒータ、それらの取付板等の重量、真空引きにより隔室にかかる外気圧力などの全てを取り去り、不要な加圧を全くかけることなく、低加圧専用の低推力シリンダの推力のみを使用することができるようにして、微妙な押し力の調節制御を行なうことができるようにした低加圧力による真空加工方法と装置を提案するものである。【解決手段】隔室を形成する部材は勿論のこと、加熱加圧するための押し板等の加圧用各部材の真空下での自重を、背圧をかけた専用のシリンダあるいはそれら真空下での重量に見合う支持力を付与したスプリングによって打ち消すようにバランスをとることにより、低加圧用シリンダの低推力のみが被加工品に付与されるようにして、被加工物に対して、必要以上の加圧力をかけることなく、微妙な極く低加圧の押し力による加工あるいは極低加圧と高加圧の切替えによる加工をすることができ、極低推力の加圧力をデジタル表示制御することができるようにした。【選択図】    図１
2004330291.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空隔室を形成するための上下両枠内において、受け台上の被加工物に対し加熱加圧を行うヒータ付き押し板及びその支持板等の加圧用各移動部材の真空下での自重を常時背圧をかけた専用のバランスシリンダ又はそれら自重に見合う支持力を付与したスプリングによりバランスをとるようにして打ち消し、上記押し板を駆動するための低加圧用シリンダの推力以外には被加工物に対して荷重が極力かからないようにしたことを特徴とするプレス装置を用いた低加圧力真空加工方法。
【請求項２】
基台上には被加工物を載せる受け台と該受け台を取り囲むように立設した下固定枠と該固定枠外周を基台下側の押上げシリンダにより上下摺動自在の摺動枠体とが設けられ、基台上方のフレーム上には相対的に径が大型の引上げ用シリンダ、中型のバランス用シリンダ、小型の低加圧用シリンダの３個の下向きシリンダが上下直列に軸心を同じくして設置され、基台四隅に立設されたガイドポストに貫挿されて上下摺動自在の水平な取付板の中心部には上記直列シリンダの最下端のロッド下端部が摺動自在に挿通され、該ロッド下端は上記取付板の下側に配置された支持板の上面中心部に固定されて、該支持板は取付板を下面から支持すると共に取付板とは別個に上下動可能に構成され、該支持板の下側には下方の上記受け台と対面するヒータ付き押し板が該支持板により支持固定され、上記取付板の下面には下方の上記下固定枠と突合して隔室を形成するために該下固定枠と合致する形状と大きさの上移動枠が上記押し板を取り囲むように垂設固定され、上記バランス用シリンダはヒータ付き押し板及びその支持板等の上記上移動枠内で別個に上下動する加圧用各部材の真空下での自重に見合う背圧が常にかけられてバランスをとるように構成されてなることを特徴とするプレス装置を用いた低加圧力真空加工装置。
【請求項３】
基台上には被加工物を載せる受け台と該受け台を取り囲むように立設した下固定枠と該固定枠外周を基台下側の押上げシリンダにより上下摺動自在の摺動枠体とが設けられ、基台上方のフレーム上には相対的に径の大きな引上げ用シリンダと径の小さな低加圧用シリンダの大小２個の下向きシリンダが上下直列に軸心を同じくして設置され、基台四隅に立設されたガイドポストに貫挿されて上下摺動自在の水平な取付板の中心部には上記直列シリンダの最下端のロッド下端部が摺動自在に挿通され、該ロッド下端は上記取付板の下側に配置された支持板の上面中心部に固定されて、該支持板は取付板を下面から支持すると共に取付板とは別個に上下動可能に構成され、該取付板と支持板とは該両者を上下に摺動自在に貫挿する複数本の抜け出し不能のガイド軸により連結され、該ガイド軸の取付板より上側部分には圧縮コイルスプリングが巻装され、該支持板の下側には下方の上記受け台と対面するヒータ付き押し板が該支持板により支持固定され、上記取付板の下面には下方の上記下固定枠と突合して隔室を形成するために該下固定枠と合致する形状と大きさの上移動枠が上記押し板を取り囲むように垂設固定され、上記スプリングはヒータ付き押し板及びこれを吊持する支持板等の上記上移動枠内で別個に上下動する加圧用各部材の真空下での合計重量と同等又はそれより若干大きな弾発支持力が付与されて上記支持板が常に取付板下面に接するように賦勢されてなることを特徴とするプレス装置を用いた低加圧力真空加工装置。
【請求項４】
請求項２又は３における摺動枠体を使用することなく、隔室を形成するための上移動枠体下端は各ガイドポストの取付板より上側部分に巻装された圧縮コイルスプリングにより受け台上面外周部に直接圧接嵌合するように賦勢されてなる請求項２又は３記載のプレス装置を用いた低加圧力真空加工装置。
【請求項５】
前記摺動枠体は上移動枠外周面に上下摺動自在に嵌装されていて、隔室の形成に当り、基台下側のシリンダの駆動により下方へ向って摺動するようにした請求項２記載のプレス装置を用いた低加圧力真空加工装置。
【請求項６】
前記隔室を上固定枠と下移動枠の嵌合により形成されるようにした請求項２又は３記載のプレス装置を用いた低加圧力真空加工装置。
【請求項７】
基台上方のフレーム上に相対的に径の大きな引上げ用シリンダと径の小さな低加圧用シリンダの大小２個の下向きシリンダが上下直列に軸心を同じくして設置され、基台四隅に立設されたガイドポストに貫挿されて上下摺動自在の水平な取付板はガイドポストの該取付板より上側部分に巻装された圧縮コイルスプリングにより常に下方の下固定枠と突合して隔室を形成するように賦勢され、該取付板の中心部には上記直列シリンダのロッド下端部が摺動自在に挿通されて、該ロッド下端は上記取付板の下側に配置された支持板の上面中心部に固定され、該支持板は取付板とは別個に上下動可能に構成され、該取付板と支持板とは該両者を上下に摺動自在に貫挿する複数本の抜け出し不能のガイド軸により連結され、該ガイド軸の取付板より上側部分には圧縮コイルスプリングが巻装され、該支持板の下側には適当な部材を介して上電極が固定され、また受け台２は上電極と対面する下電極が設置されて、該両電極間で２枚の金属板を挟持することにより直流スポット溶接を行うように構成されたことを特徴とするプレス装置を用いた真空電気溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プレス装置の作動により隔室を形成し、隔室内を真空にして所定の加圧加工を行なう装置において、被加工物に対し必要以上の圧力をかけることなく、微妙な極く低加圧の押し力で加工することが可能な真空加工方法と装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プレス装置を用いた真空加工装置では、プレス装置の作動により真空隔室を形成させてプレス加圧加工するため、隔室を形成する際の上側外壁部材や上側加圧加工部材（シリンダロッドやヒータ付き押し型及びその関連部材等）の重量ならびに隔室内の真空引きによる上側外壁部材への真空による外気差圧加重など、プレス加圧以外の加圧力が付加されるため、高加圧用途に適したものとなっている。
【０００３】
しかし、液晶ディスプレーなどの薄ガラス製品、セラミックスグリーンシートなどの薄軟質シート製品、フィルムコンデンサなどの蒸着薄膜フィルム製品、ＩＣカードなどの素子チップ入りプリント回路基板製品などへの積層貼り合わせでは、亀裂破壊や性能障害、厚み寸法の不均一等の問題が生じやすく、被加工物に対して必要以上の圧力をかけることが嫌われる。さらに、接着剤を加熱溶融するまでは、接着剤の溶融はみ出しの防止や、熱の均等拡散、脱気待機等のため、低圧加圧する必要のあるものも多い。
【０００４】
それに対して、本出願人の提案にかかる特開２００２−９６１９９号公報のように、別の方向から押し圧をかけて、それらの荷重を軽減する方法があるが、この方法では隔室を形成するための上側外壁部材や上側加圧加工部材を上下動する加圧用シリンダは、これらの部材重量以上の高推力を必要としていて、上記のように被加工物に対して必要以上の圧力をかけることなく、微妙な極く低加圧の押し力で加圧加工することはできない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、隔室を形成するための移動枠体は勿論のこと、被加工品に対して熱加圧を行なう押し板やヒータ、それらの取付板等の重量、真空引きにより隔室にかかる外気圧力などの全てを取り去り、不要な加圧を全くかけることなく、低加圧専用の低推力シリンダの推力のみを使用することができるようにして、微妙な押し力の調節制御を行なうことができるようにした低加圧力による真空加工方法と装置を提案するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は隔室を形成する部材は勿論のこと、加熱加圧するための押し板等の加圧用各部材の真空下での自重（重量）も、背圧をかけた専用のシリンダあるいはそれら自重に見合う支持力を付与したスプリングにより打ち消すことにより、低加圧用シリンダの低推力のみが被加工品に付与されるようにし、従来装置では困難であったチップ入りＩＣカード、薄蒸着膜コンデンサーフィルム、薄ガラス液晶ディスプレー、軟質セラミックスグリーンシート等の積層貼り合わせのように、亀裂破損や性能障害、厚み寸法の不均一、接着剤のはみ出しなどを嫌う被加工物に対して、必要以上の加圧力をかけることなく、微妙な極く低加圧の押し力で加工することができ、極低推力の加圧力をもデジタル表示制御することを可能としたものである。
以下、本発明の実施態様を図により詳細に説明する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施例１．
図１〜５は本発明方法を実施するための装置全体の一例を示す正面説明図とその作用説明図であり、１は基台２上の四隅に立設されたガイドポスト３頭部に水平に設けられた支持フレーム４上に下向きに取付けられた引上げ用シリンダで、該シリンダ１上にはそのピストンロッド５を同じくするようにしてバランス用シリンダ６、さらにその上に低加圧用シリンダ７とが順次直列して設けられ、径の異なる大中小の３個のシリンダが上下逆に積重ねられている。なお、図ではこの３個直列のシリンダのロッドは互いに直列固定の状態にしてあるが、軸心を同じくして連結していればよく、また大中小３個のシリンダ１、６、７は必ずしも図のように下から大中小の関係だけに限られるものではない。
【０００８】
８は基台２下側に配置された隔室形成用の上向きの押上げシリンダで、上記した上方の直列シリンダ１、６、７とその軸心を同じくし、そのロッド９先端を基台２下面に固定して、該ロッド９の伸縮により該押上げシリンダ８自体が上下動するようになっている。この押上げシリンダ８は後記する摺動枠体２０を上昇させることにより、下固定枠１２と上移動枠１９との外周面に同時に密着して、内側を真空とすることができる隔室２６を形成するようになっている。
【０００９】
１０は被加工品２５を載せる受け台で、基台２上に浮設固定され、下ヒータ１１を内蔵している。この受け台１０の外側にも若干の間隔を置いて該受け台１０を取り囲むように平面方形（または円形）をなす筒型の下固定枠（下枠）１２が基台２上に立設固定してあり、該下枠１２は後記する真空隔室２６の下半部を構成することとなり、その上端縁は受け台１０の上面位置とほぼ合致するかそれよりやや上方又は下方に位置する。
【００１０】
１３は四隅に前記ガイドポスト３が貫挿されて該ポスト３に沿って上下摺動自在の水平な取付板で、該取付板１２の中心部には前記した下向きの直列シリンダ１、６、７のロッド５下端に下方へ向けて突出固定したシャンク（連結具）１４が摺動自在に挿通され、該シャンク１４下端は上記取付板１３の下側中央部に配置された支持板１５の上面中心部に固定してあり、取付板１３はその下面を支持板１５に支持されることによりロッド５に吊持されて上下移動可能となっている。
【００１１】
１６は上記支持板１５下面から垂設固定された複数本の支持杆１７下端に上ヒータ板１８を介して取付けられた水平な押し板で、該押し板１６は下方の前記受け台１０と対面している。
【００１２】
１９は上記押し板１６を若干の間隔を置いて取り囲むように上記取付板１３下面に垂設固定された上移動枠（上枠）で、該上枠１９は前記した基台２上の下固定枠（下枠）１２と合致する形状と大きさを有する筒型をなし、その下端縁は通常は押し板１６下面より下方に位置している。
【００１３】
２０は下固定枠１２外周面に密に上下摺動自在に嵌装された筒型の摺動枠体で、該枠体２０は前記した基台２下側の押上げシリンダ８の駆動により上下動するようになっている。即ち、例えばこの摺動枠体２０は図示のようにその下縁外周に外向きつば２０ａが形成されていて、この外向きつば２０ａは押上げシリンダ８に水平に取付けられた押上げ板２１と複数本の連結杆２２を介して連結固定され、該シリンダ８のロッド９の伸縮によって該シリンダ８とともに摺動枠体２０は上下動する。
【００１４】
２３は上記取り付け板３の板面の一部に加工した空気吸引孔で、該吸引孔２３は真空ポンプ（図示せず）に接続され、後記するように隔室２６が形成されたときに、該隔室２６内の空気を吸引して高真空の隔室２６を形成するためのものであり、この吸引孔２３は取り付け板３に限られず、隔室２６を形成する基台２、上枠１９又は下枠１２のいずれかに設けてもよい。
【００１５】
２４は隔室２６の気密性を高めるために、下枠１２と基台２、上枠１９と取り付け板１３の接触面や摺動枠体２０の摺動面、シャンク１４の取付板１３への貫挿部分等に設けたＯリング等のシールパッキンである。
【００１６】
ところで、支持フレーム４上の大中小３段直列式のシリンダ１、６、７のうち、大シリンダである引上げ用シリンダ１は主に所定の真空加工を行った後に、取付板１３、上移動枠１９及びヒータ１８付き押し板１６を含む上側移動部分の全体重量を引上げるために使用されるものであり、かかる引上げ力以上の出力を格別有していなくともよい。
【００１７】
また、小シリンダの加圧用シリンダ７は、隔室２６内が高真空となった後、押し板１６を押し下げて、もっぱら受け台１０上の被加工品２５に対して低加圧力で加熱加圧するために使用される。
【００１８】
そして、中シリンダのバランス用シリンダ６は、上移動枠１９内で上下移動可能な部分、即ち支持板１５及びこれに吊持された支持杆１７、上ヒータ１８付き押し板１６、ならびにシリンダロッド５及びシャンク１４の重量、更にシャンク１４面にかかる真空吸引加重等の合計重量と同等又はそれより若干吊り上げ方向に出力するように常に背圧がかけられていて、上記した合計重量対象物とバランスを取っており、上記低加圧用シリンダ７が出力するわずかな加圧力をそのまま実現することができるようになっている。
【００１９】
しかして、例えば薄ガラス液晶ディスプレイ、軟質セラミックスグリーンシート、薄蒸着膜コンデンサフィルム、素子入りＩＣカードなど、亀裂破壊や性能障害、厚み寸法の不均一、接着剤のはみ出し等を嫌う製品の真空下での加熱密着積層貼り合わせ等を行う場合、それら被加工品２５を受け台１０上に載置したら、まず下方の押上げシリンダ８が作動してそのロッド９を引っ込めることにより、連結杆２２を介して摺動枠体２０を下固定枠１２外周面を摺動しながら上昇させて行き、その上方が上移動枠１９外周面に接し、更に少しく上昇させて上・下両枠１９、１２間が該摺動枠体２０により完全に閉塞されるようにし、これにより上方の取付板１３、下方の基台２、上・下両枠１９、１２及び摺動枠体２０とにより囲まれる隔室２６が形成される（図２）。
【００２０】
そこで、バランス用シリンダ６には背圧をかけたままで、引上げ用シリンダ５と加圧用シリンダ７を開放し、同時に真空ポンプ（図示せず）により取付板１３の吸引孔２３から隔室２６内の真空引きを行い、これにより上移動枠１９を取付板１３と共にその自重とあいまって吸引降下させ、上移動枠１９下端を下固定枠１２上端に圧接させる（図３）。なお、バランス用シリンダ６には下方からの空気吹き込みが行われているが、このシリンダ６には前記の通り上移動枠１９より内側のヒータ付き押し板１６やその指示板１５等の上移動枠１９とは別個に上下動可能な部分全体を支持し得る出力しか付与されていないので、上移動枠１９とその取付板１３の自重を保持することはできず、真空引き力とあいまって全体が降下することとなる。このときのバランス用シリンダ６は適度に排気して均一な内部圧力を保っている。
【００２１】
上移動枠１９の下固定枠１２への圧接により、真空引きしている隔室２６内は高真空となって行き、被加工品２５中の気泡は脱気されるが、押し板１６はこの段階では未だ被加工品２５には接触していない（図３）。
【００２２】
そこで、次に引上げ用シリンダ１は開放状態のままで、上方の小さな低加圧用シリンダ７を駆動し、取付板１３下側の指示板１５をバランス用シリンダ６の背圧に抗して押し下げることにより、押し板１６を被加工品２５に接触させて、低押し力により加熱加圧を行うのである（図４）。このとき、押し板１６やその支持板１５等の自重は上記の如くバランス用シリンダ６により支持されているので、それらの自重は被加工品２５に対しては全く加重されず、加圧用シリンダ７の推力だけがかかることになるので、該加圧用シリンダ７の選択により、被加工品２５に対して極めて低加圧の加圧も可能となる。
【００２３】
上記のようにして被加工品２５に対する低押し力によるフィルム貼り付け等の加熱加圧が完了したら、吸引孔２３からの真空引きを停止して、隔室２６内を直ちに大気圧に戻し、また下方の押上げシリンダ８を逆作動させて、そのロッド９を伸張させることにより、摺動枠体２０を摺動降下させ、元位置に戻す。また同時に、上方の低加圧用シリンダ７を開放する共に、引上げ用シリンダ１を駆動させて、支持版１５を介して取付版３、押し板１６等と共に引上げて行き（図５参照）、図１に示す元位置に復帰させるのである。
【００２４】
このように、引上げ用シリンダ１は主に上側移動部分全体の重量を引上げるためのものとして使用されるが、被加工品２５によっては、加圧用シリンダ７による低圧加熱後に大推力で加圧加工する必要がある場合もあり、この場合には引上げ用シリンダ１を押し下げ方向に駆動するようにする。
【００２５】
この実施例によれば、上側移動部分全体を上方の引上げ用シリンダ１、バランス用シリンダ６、低加圧用シリンダ７の大中小３個の上下直列したシリンダにより吊持し、上移動枠１９内側で別個に駆動されるヒータ付き押し板１６やその支持板１５等の加圧用各部材の重量はバランス用シリンダ６への背圧により常に支持していてバランスさせているので、低加圧用シリンダ６による加圧の際に被加工品２５に対して極く低加圧での加熱加圧が可能となるのである。
【００２６】
実施例２．
図６〜７は、実施例１におけるバランス用シリンダ６の使用に代わり、スプリングを用いて上移動枠１９内側で別駆動される加圧用各部材の全体重量を打ち消すようにバランスをとった装置の説明図である。
【００２７】
即ち、２７は取付板１３及びその下側の支持板１５とを上下に摺動自在に貫挿する複数本（例えば方形の支持板１５の四隅に各１本づつ）の抜け出し不能のガイド軸で、該ガイド軸２７の取付板１３より上側部分には圧縮コイルスプリング２８が巻装され、該スプリング２８はヒータ１８付き押し板１６及びこれを吊持する支持板１３並びにシリンダロッド５及びシャンク１４の合計重量と同等又はそれより若干大きな弾発支持力が付与されていて、支持板１５が常に取付板１３下面に接するように賦勢されている。
【００２８】
そこで、実施例１と同様に、押上げシリンダ８の駆動により摺動枠体２０を所定位置まで上昇させて隔室２６を形成したら、空気吸引孔２３より真空引きを開始し、上下直列の引上げ用シリンダ１と低加圧用シリンダ７を開放して、真空引き力と自重により上移動枠１９を下固定枠１２上に降下突合させた後、低加圧用シリンダ７のみを駆動させて、スプリング２８に抗して支持板１５を押し下げることによりヒータ１８付き押し板１６を受け台１０上の被加工品２５に接触させて低加圧で加熱加圧するのである（図７）。
【００２９】
この場合も、実施例１におけるバランス用シリンダ６の作用と同様に、取付板１３と支持板１５とをつなぐガイド軸２７に巻装した圧縮コイルスプリング２８に上移動枠１９内の押し板１６等の加圧用各部材の真空下での重量に見合う支持力が付与されているので、それらの自重が被加工品２５にかかることはないから、加圧用シリンダ７の低推力のみが被加工品２５に付与されることとなる。
【００３０】
そして、被加工品２５に対する所定の低圧加熱加工が終了したら、真空隔室２６内を大気圧に戻し、摺動枠体２０を降下させ、加圧用シリンダ７を開放すると共に、引上げ用シリンダ１を駆動させて支持板１５を介して取付板１３を押し板１６等と共に引上げて行き、元位置（図６）に復帰させる。
【００３１】
実施例３．
上記実施例１〜２は、主に温度３５０〜４００℃の高温で被加工品を加熱加圧することを企図し、気密性保持のためのシールパッキン２４は隔室２６内には臨ませないようにして、隔室２６の形成を摺動枠体２０の上昇により行なわせているが、温度２００℃以下の比較的低温下で真空加工する場合には、シールパッキンも耐えるので、摺動枠体２０を用いることなく（従って押上げシリンダ８や下固定枠１２も不要となる）、上移動枠１９を受け台１０外周部に直接密着させて隔室２６を形成することも可能である。
【００３２】
そこで、図８〜１０はかかる第３実施例を図示している。即ち、図８において２９は取付板１３より上側部分の各ガイドポスト３に巻装した圧縮コイルスプリングで、該スプリング２９は取付板１３を常に下方へ押圧して該取付板１３下面に垂設固定された上移動枠１９下端を受け台１０上面外周部に圧接させると共にその外周部の段部側面に一周するように設けたシールパッキン４０に接するように賦勢されている。
【００３３】
しかして、先ず引上げ用シリンダ１を作動させ、上記スプリング２９に抗して支持板１５を介して取付板１３を引上げ、上移動枠１９下端を受け台１０から離間させ、被加工品２５を受け台１０面にセットする（図８）。
【００３４】
次に、引上げ用シリンダ１を開放する。これにより、上記スプリング２９圧と取付板１３を含む上側移動部分全体の自重で上移動枠１９が降下し、その下端が受け台１０の上面外周部に当圧し、上移動枠１９内側に隔室２６が形成されるので、直ちに取付板１３の空気吸引孔２３から真空引きを行なう（図９）。
【００３５】
隔室２６内が高真空となったら、次に低加圧用シリンダ７を作動させ、取付板１３に貫挿したガイド軸２７に巻装する圧縮コイルスプリング２８に抗して支持板１５を押下げ、ヒータ付き押し板１６を被加工品２５に接触させて低圧で加熱加圧するのである（図１０）。
【００３６】
なお、上記スプリング２８の弾発力は上移動枠１９内側にある押し板１６を含む加圧用各部材全体の真空下での重量とほぼバランスをとっていることは、前記実施例２と同様である。
【００３７】
このようにして、真空下で被加工品２５に対し低加圧の加熱加圧による加工が完了したら、吸引口２３からの真空引きを止めて、隔室２６内を大気圧に戻し、しかる後に加圧用シリンダ７は開放して、前記したように引上げ用シリンダ１を作動させてスプリング２９に抗して取付板１３を元位置（図８）まで引上げるのである。
【００３８】
実施例４．
図１１は、前記実施例２（図６参照）の装置の変形例を示すもので、基台２下方のシリンダ８を実施例２とは異なって引下げ用シリンダとし、連結杆２２を長くとって、摺動枠体２０をあらかじめ上移動枠１９外周面に接するように押し上げておき、隔室２６を形成する際に該シリンダ８を駆動して摺動枠体２０を引下げ、上移動枠１９と下固定枠２とにまたがるようにしたものであり、作用効果上は実施例２とは変らない。
【００３９】
なお、図８〜１１では、ガイドポスト３の取付板１３より上側部分には、実施例３と同様のスプリング２９が巻装してあるが、これは引上げ用シリンダ１に抗して取付板１４を押し下げ方向に賦勢しているもので、必ずしも必要なものではない。
【００４０】
実施例５．
図１２は、実施例１（図１）の装置の変形例を示すもので、実施例１とは上下逆に、隔室２６を形成する枠体は摺動枠体を兼ねる下移動枠３０と上固定枠３１とにより構成され、両枠３０，３１の圧接嵌合により隔室２６を形成するようになっており、この下移動枠３０は受け台１０外周面を上下摺動自在に構成されている。
【００４１】
また、フレーム上にはバランス用シリンダ６と低加圧用シリンダ７とが上下直列して設けられ、そのロッド５下端はフレーム４下側に水平に固定された取付板１３を貫挿して、ヒータ付き押し板１６を支持するために該取付板１３下側に配置された上下動可能な支持板１５に固定されている。
【００４２】
バランス用シリンダ６は上固定枠３１内側のヒータ付き押し板１６やその支持板１３等の加圧用各部材に自重に見合う支持力を付与されてバランスをとるように常時背圧がかけられていることは実施例１と同様である。
【００４３】
しかして、下移動枠３０の上昇により隔室２６が形成されたら、吸引孔２３からの真空引きと共に低加圧用シリンダ７の駆動により、支持板１５を介して押し板１６を降下させ、所定の低推力で被加工品２５に対して加熱加圧を行うのである。
【００４４】
従って、この実施例においても、押し板１６により被加工品２５を加熱加圧する際には、低加圧用シリンダ７の推力以外に荷重がかかることはないのである。
【００４５】
実施例６．
図１３は、本発明の更に他の実施例として、真空下での無酸化電気溶接を行なう場合を示している。例えば２枚の金属片３２ａ、３２ｂを電気溶接する場合、両金属片を面接触させて大電流を通し接触面の電気抵抗による発熱で両者を溶接するいわゆる交流抵抗溶接では、大推力で加圧しても問題はないが、直流スポット溶接、即ち金属片の一方３２ａにあらかじめプレス等により突起（プロジェクション）３２ｃを形成しておき、コンデンサに蓄えた直流電流をこの突起に集中させるようにして上下電極内に放電することにより、この突起を溶融させて接合する場合には、放電の際に大推力で加圧すると上記突起が放電前に潰されてしまい、うまく溶融接合させることできない。
【００４６】
そこで、図１３に示す実施例では、真空下において初期の通電の際には低加圧用シリンダ７により両金属片３２ａ，３２ｂを軽く加圧しながら突起３２ｃを溶融溶着させ，しかる後に大シリンダ１の推力を利用して両金属片が密着するように強圧するのである。
【００４７】
同図中、３３は支持板１５に適当な部材を介して垂設固定された上電極（例えばブラス側）、３４は上電極１５に上下対面するように受け台１０上に設置固定された下電極（マイナス側）であり、２枚の金属片３２ａ，３２ｂは上電極３３の降下により両電極３３，３４間に挟持される。
【００４８】
なお、図では、上移動枠１９は取付板１３と共に降下すると受け台１０外周部上面に設けられた下固定枠１２と互いに圧接嵌合することにより隔室２６が形成されるようにした例を示しているが、隔室２６形成手段として、前記実施例１（図１）及び実施例２（図６）、実施例４（図１１）に示したような摺動枠体２０を使用するものや、実施例３（図８）のように上移動枠１９が直接受け台１０上面外周部に嵌合するようしたもの、あるいは実施例５（図１２）のように上固定枠３１に対して下移動枠３０が上昇して嵌合するように構成してもよいことは勿論である。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は上述のようにしてなり、受け台上の被加工品に対しては、隔室を形成する部材は勿論のこと、加熱加圧するための押し板等の加圧用各部材の真空下での自重も、背圧をかけた専用のシリンダあるいはそれら自重に見合う支持力を付与したスプリングにより打ち消しているので、低加圧用シリンダの低推力のみが被加工品に付与されることとなり、従来装置では不可能であったチップ入りＩＣカード、薄蒸着膜コンデンサーフィルム、薄ガラス液晶ディスプレー、軟質セラミックスグリーンシート等の積層貼り合わせのように、亀裂破損や性能障害、厚み寸法の不均一、接着剤のはみ出しなどを嫌う被加工物に対して、必要以上の圧力をかけることなく、微妙な極く低加圧の押し力で加工することができ、極低推力の加圧力をもデジタル表示制御することが可能となるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施するための装置全体の一例を示す正面説明図である。
【図２】図１の装置の作用説明図である。
【図３】図１の装置の作用説明図である。
【図４】図１の装置の作用説明図である。
【図５】図１の装置の作用説明図である。
【図６】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図７】図６に示す装置の作用説明図である。
【図８】本発明装置の更に他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図９】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図１０】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図１１】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図１２】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【図１３】本発明装置の他の実施例を示す装置の正面説明図である。
【符号の説明】
１−引上げ用シリンダ
２−基台
３−ガイドポスト
４−支持フレーム
５−ピストンロッド
６−バランス用シリンダ
７−加圧用シリンダ
８−押上げシリンダ
９−ロッド
１０−受け台
１１−下ヒータ
１２−下固定枠
１３−取付板
１４−シャンク
１５−支持板
１６−押し板
１７−支持杆
１８−上ヒータ
１９−上移動枠
２０−摺動枠体
２１−押上げ板
２２−連結杆
２３−空気吸引孔
２４−シールパッキン
２５−被加工物
２６−隔室
２７−ガイド軸
２８−スプリング
２９−スプリング
３０−下移動枠
３１−上固定枠
３２−金属片
３３−上電極
３４−下電極
４０−シールパッキン
【図１】
2004330291.tif 000003
【図２】
2004330291.tif 000004
【図３】
2004330291.tif 000005
【図４】
2004330291.tif 000006
【図５】
2004330291.tif 000007
【図６】
2004330291.tif 000008
【図７】
2004330291.tif 000009
【図８】
2004330291.tif 000010
【図９】
2004330291.tif 000011
【図１０】
2004330291.tif 000012
【図１１】
2004330291.tif 000013
【図１２】
2004330291.tif 000014
【図１３】
2004330291.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成15年5月16日(2003.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004330291.tif 000016
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2004330291.tif 000017