(57)【要約】【課題】光学素子の取り付けや製造誤差等で生じる走査線湾曲を低減すると共に、像面湾曲やスポット径の変動等の光学特性も良好に補正することのできる光走査装置を得ること。【解決手段】光源手段１と、該光源手段から出射した光束を偏向手段５に導光する第１の光学系２３と、該偏向手段からの光束を被走査面７上に導光する第２の光学系６と、を具備する光走査装置において、該第２の光学系は、第１、第２の光学素子６ａ，６ｂを含む複数の光学素子を有し、副走査断面内における該第１、第２の光学素子の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、｜Ｐｐ／Ｐｓ｜≦０．４なる条件を満足すること。【選択図】    図１
2004317790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源手段と、該光源手段から出射した光束を偏向手段に導光する第１の光学系と、該偏向手段からの光束を被走査面上に導光する第２の光学系と、を具備する光走査装置において、
該第２の光学系は、第１、第２の光学素子を含む複数の光学素子を有し、副走査断面内における該第１、第２の光学素子の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、
｜Ｐｐ／Ｐｓ｜≦０．４
なる条件を満足することを特徴とする光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光走査装置に関し、特に光源手段から出射した光束を光偏向器としてのポリゴンミラーにより反射偏向させ、走査レンズ系を介して被走査面上を光走査して画像情報を記録するようにした、例えば電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタやデジタル複写機、マルチファンクションプリンタ（多機能プリンタ）等の画像形成装置に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりレーザービームプリンタ等の光走査装置においては光源手段から画像信号に応じて光変調され出射した光束を、例えば回転多面鏡（ポリゴンミラー）より成る光偏向器により周期的に偏向させ、ｆθ特性を有するｆθレンズ系によって感光性の記録媒体（感光ドラム）面上にスポット状に収束させ、該記録媒体面上を光走査して画像記録を行なっている。
【０００３】
図１７は従来の光走査装置の要部概略図である。
【０００４】
同図において、９１は光源手段であり、例えば半導体レーザより成っている。９２は開口絞りであり、光源手段９１から射出した光束を所望の最適なビーム形状に整形している。９３はコリメーターレンズであり、開口絞り９２を通過した光束を略平行光束に変換している。９４はシリンドリカルレンズであり、副走査方向のみに所定の屈折力を有している。尚、開口絞り９２、コリメーターレンズ９３、そしてシリンドリカルレンズ９４等の各要素は入射光学系１０２の一要素を構成している。
【０００５】
９５は偏向手段としての光偏向器であり、例えば回転多面鏡より成り、モーター等の駆動手段（不図示）により図中矢印Ａ方向に一定速度で回転している。１０１はｆθ特性を有する走査レンズ系（ｆθレンズ系）であり、２枚の走査レンズ（ｆθレンズ）１０１ａ，１０１ｂより成り、副走査断面内において光偏向器９５の偏向面９５ａ近傍と被走査面としての感光ドラム面９９近傍との間を共役関係にすることにより倒れ補正機能を有している。
【０００６】
９６は同期検出用の結像レンズ（ＢＤレンズ）であり、感光ドラム面９９上の走査開始位置のタイミングを調整するための同期信号検知用の光束（ＢＤ光束）を主走査断面内において同期検出用のスリット（ＢＤスリット）９７面上に結像させている。また副走査断面内において偏向器の偏向面倒れを補正する所謂、面倒れ補正機能を備えている。９８は同期検出素子としての光センサー（ＢＤセンサー）であり、同図においては該ＢＤセンサー９８からの出力信号を検知して得られた同期信号（ＢＤ信号）を用いて感光ドラム面９９上への画像記録の走査開始位置のタイミングを調整している。
【０００７】
同図において光源手段９１から出射した発散光束は開口絞り９２によって該光束（光量）を整形され、コリメーターレンズ９３によって略平行光束（もしくは略発散光束もしくは略収束光束）とされ、副走査方向のみに屈折力を有するシリンドリカルレンズ９４に入射している。シリンドリカルレンズ９４に入射した光束のうち主走査断面内においてはそのままの状態で出射し、副走査断面内においては収束して光偏向器９５の偏向面９５ａ近傍にほぼ線像として結像している。
【０００８】
そして光偏向器９５の偏向面９５ａで反射偏向された光束は走査レンズ系１０１を介して感光ドラム面９９上へ導光され、該光偏向器９５を矢印Ａ方向に回転させることによって該感光ドラム面９９上を矢印Ｂ方向（主走査方向）に光走査して画像情報の記録を行っている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記走査レンズ系１０１を構成する２枚の走査レンズ１０１ａ，１０１ｂは、それぞれが副走査断面内において屈折力（パワー）を有しているため、該走査レンズ１０１ａ，１０１ｂを光学箱に取り付ける際に、該走査レンズ１０１ａ，１０１ｂが基準位置に対してシフト又は／及びチルトしたときに感光ドラム面９９上で走査線が副走査方向に湾曲し、画像を劣化させるという問題点がある。
【００１０】
また感光ドラム面９９上の走査線照射位置や走査線傾きや走査線の伸び等を走査レンズ１０１ａ，１０１ｂを用いてシフト又は／及びチルトさせて補正したときには走査線が副走査方向に湾曲し、画像を劣化させるという問題点もある。
【００１１】
特に複数の感光ドラム面上に画像を重ね合わせ、多色画像を形成するカラー画像形成装置の場合には色ずれが発生するという問題点がある。
【００１２】
本発明は光学素子の取り付けや製造誤差等で生じる走査線湾曲を低減すると共に、像面湾曲やスポット径の変動等の光学特性をも良好に補正することのできる光走査装置の提供を目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光走査装置は、
光源手段と、該光源手段から出射した光束を偏向手段に導光する第１の光学系と、該偏向手段からの光束を被走査面上に導光する第２の光学系と、を具備する光走査装置において、
該第２の光学系は、第１、第２の光学素子を含む複数の光学素子を有し、副走査断面内における該第１、第２の光学素子の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、
｜Ｐｐ／Ｐｓ｜≦０．４        ‥‥（１）
なる条件を満足することを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
［実施形態１］
図１は本発明の光走査装置の実施形態１の主走査方向の要部断面図（主走査断面図）、図２は図１の副走査方向の要部断面図（副走査断面図）である。
【００１５】
ここで、主走査方向とは偏向手段の回転軸及び走査レンズ系の光軸に垂直な方向（偏向手段で光束が反射偏向（偏向走査）される方向）を示し、副走査方向とは偏向手段の回転軸と平行な方向を示す。また主走査断面とは主走査方向に平行で走査レンズ系の光軸を含む平面を示す。また副走査断面とは主走査断面と垂直な断面を示す。
【００１６】
同図において１は光源手段であり、例えば半導体レーザ等より成っている。２３は第１の光学系であり、コリメーターレンズより成る光学素子（光束変換素子）２とシリンドリカルレンズより成る光学素子（レンズ系）３とを有している。コリメーターレンズ２は光源手段１から放射された光束を略平行光束に変換している。シリンドリカルレンズ３は副走査方向にのみ所定のパワーを有しており、コリメーターレンズ２を通過した光束を副走査断面内で後述する光偏向器５の偏向面（反射面）５ａにほぼ線像として結像させている。４は開口絞りであり、通過光束を制限してビーム形状を整形している。尚、コリメーターレンズ２、シリンドリカルレンズ３、開口絞り４等の各要素は入射光学系の一要素を構成している。
【００１７】
５は偏向手段としての光偏向器であり、例えば４面構成のポリゴンミラー（回転多面鏡）より成っており、モーター等の駆動手段（不図示）により図中矢印Ａ方向に一定速度で回転している。
【００１８】
６は集光機能とｆθ特性とを有する第２の光学系としての走査レンズ系（ｆθレンズ系）であり、光偏向器５側から順にプラスチック材料より成る第１、第２の２枚の光学素子（走査レンズ）６ａ，６ｂを有し、共に主走査断面内で非円弧形状のアナモフィックレンズより成り、光偏向器５によって反射偏向された画像情報に基づく光束を被走査面としての感光ドラム面７上に結像させ、かつ副走査断面内において光偏向器５の偏向面５ａと感光ドラム面７との間を共役関係にすることにより、倒れ補正機能を有している。
【００１９】
７は被走査面としての感光ドラム面である。
【００２０】
本実施形態において画像情報に応じて光源手段１から光変調され出射した光束はコリメータレンズ２により略平行光束に変換され、シリンドリカルレンズ３に入射する。シリンドリカルレンズ３に入射した光束のうち主走査断面内においてはそのままの状態で出射して開口絞り４を通過する（一部遮光される）。また副走査断面内においては収束して開口絞り４を通過し（一部遮光される）光偏向器５の偏向面５ａにほぼ線像（主走査方向に長手の線像）として結像する。そして光偏向器５の偏向面５ａで反射偏向された光束は走査レンズ系６により感光ドラム面７上にスポット状に結像され、該光偏向器５を矢印Ａ方向に回転させることによって、該感光ドラム面７上を矢印Ｂ方向（主走査方向）に等速度で光走査している。これにより記録媒体である感光ドラム面７上に画像記録を行っている
本実施形態において走査レンズ系６を構成する第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂの形状は次式の関数で表わされる。
【００２１】
例えば第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂと光軸との交点を原点とし、図１に示すように光軸に対して走査開始側７ａと走査終了側７ｂでの主走査断面内の面形状は、光軸をＸ軸、主走査断面内において光軸と直交する方向をＹ軸、副走査断面内で光軸と直交する方向をＺ軸としたとき、
走査開始側７ａの面形状は
【００２２】
【数１】
2004317790.tif 000003
【００２３】
走査終了側７ｂの面形状は
【００２４】
【数２】
2004317790.tif 000004
【００２５】
で表される。
【００２６】
但し，Ｒは曲率半径、Ｋ，Ｂ４、Ｂ６、Ｂ８、Ｂ１０は非球面係数である。
【００２７】
本実施形態では第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂの主走査断面内の形状を光軸に対して略対称に形成している、即ち、走査開始側７ａと走査終了側７ｂの非球面係数を一致させている。
【００２８】
また副走査断面内は光軸に対して走査開始側７ａと走査終了側７ｂで第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂのうち、第２の走査レンズ６ｂの出射面（最も被走査面側のレンズ面）ｒ４の曲率を、該走査レンズ６ｂの有効部内において連続的に変化させている。
【００２９】
この出射面ｒ４は走査レンズ系を構成する複数のレンズの複数のレンズ面のうち最も屈折力（パワー、焦点距離の逆数）が強く成るように構成されている。また第１の走査レンズ６ａは主走査断面内において非円弧な面を含んでいる。
【００３０】
第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂの副走査断面内の形状は図２に示すように光軸に対して走査開始側と走査終了側で、光軸をＸ軸、主走査断面内において光軸と直交する方向をＹ軸、副走査断面内で光軸と直交する方向をＺ軸としたとき、以下の連続関数で表せる。
【００３１】
走査開始側７ａの面形状は
【００３２】
【数３】
2004317790.tif 000005
【００３３】
走査終了側７ｂの面形状は
【００３４】
【数４】
2004317790.tif 000006
【００３５】
で表される。
【００３６】
但し、ｒ′は副走査方向の曲率半径、Ｄ２、Ｄ４、Ｄ６、Ｄ８、Ｄ１０は係数である。
【００３７】
係数のサフィックスｓは走査開始側、ｅは走査終了側を表している。尚、副走査方向の曲率半径とは主走査方向の形状（母線）に直交する断面内における曲率半径のことである。
【００３８】
本実施形態では副走査断面内のピント補正（像面湾曲補正）と走査レンズ系６における副走査断面内の倍率の一様性（スポット径の像高による変動）を補正するために上記の如く第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を、該走査レンズ６ｂの有効部内において連続的に変化させている。
【００３９】
通常の光走査装置においては副走査断面内の曲率を少なくとも２面変化させて像面湾曲とスポット径の変動の両者を補正しているが、本実施形態では主走査断面内の形状で倍率の一様性が補正されるように構成しているため、第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４、一面のみ変化させることで像面湾曲とスポット径の変動の両者を補正可能としている。
【００４０】
次に本発明の目的を達成するための手段と効果について説明する。
【００４１】
本実施形態の第１、第２の２枚の走査レンズ６ａ，６ｂは上記の如く共にプラスチックレンズで作製されており、成形上有利なように主走査断面内の形状が走査開始側７ａと走査終了側７ｂで略対称に形成されている。更に上記の如く第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を、該走査レンズ６ｂの有効部内において連続的に変化させており、これにより像面湾曲、波面収差、スポット径の変動を補正している。
【００４２】
また本実施形態においては光源手段１より出射した光束が主走査断面内において走査レンズ系６の光軸に対して角度α（≠０）で該走査レンズ系６に入射しているため、光偏向器５の回転に伴う面の出入り（サグ）が走査開始側７ａと走査終了側７ｂで非対称に発生する。
【００４３】
一般にこの非対称なサグにより像面湾曲、波面収差、スポット径の変動が光軸に対して非対称性に変化するのを良好に補正するために走査開始側７ａと走査終了側７ｂで光軸上から軸外に向かうに連れて副走査断面内の曲率の変化が異なる面（以下、「副走査曲率半径非対称面」とも称す。）を設けている。本実施形態はこの面の出入り量（サグ量）が小さいため、その非対称性は非常に小さく上記の如く光軸に対して略対称な形状で形成している。
【００４４】
また波面収差を良好に補正するためには副走査曲率半径非対称面の曲率の変化を２つ以上の極値を持つことなく変化させることが望ましい。
【００４５】
一方、副走査断面内の曲率を少なくとも１面以上変化させないと像面湾曲とスポット径の変動の両者を同時に補正できなくなるので良くない。また副走査曲率半径非対称面がその変化に極値を２つ以上持つと、波面収差を良好に補正することができず、感光ドラム面７上でのスポット形状が悪化するので良くない。
【００４６】
本実施形態における第１の走査レンズ６ａは副走査断面内の曲率が無限大（平面）で形成され、副走査断面内のパワーをほとんど有していない。よってこの第１の走査レンズ６ａが取り付け誤差や製造誤差等で基準位置に対してシフト又は／及びチルトしても走査線湾曲は生じ難い（走査線湾曲敏感度が低い）。また第２の走査レンズ６ｂも副走査倍率が全像高で一定になるように設定されているのでシフト又は／及びチルトしても走査線湾曲は生じ難い（走査線湾曲敏感度が低い）。
【００４７】
本実施形態において走査線湾曲敏感度εを
ε＝（走査線湾曲量）／（偏心量）
と定義する。ここである像高位置での走査線湾曲敏感度εは、レンズ（レンズ面）を単位量Δａ（ｍｍ）だけ光軸と垂直方向に偏心させたときの像面湾曲量をΔｂ（ｍｍ）とするとき、
ε＝Δｂ／Δａ
で表わされる。
【００４８】
また走査線湾曲敏感度εは、レンズ（レンズ面）を単位量（分）Δβだけチルトさせたときの像面湾曲量をΔγ（ｍｍ）とするとき、
ε＝Δγ／Δβ（ｍｍ／分）
で表わされる。
【００４９】
本実施形態において第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂをｚ方向へ単位量偏心させたときの走査線湾曲量を各々Δ１Ｈ、Δ２Ｈとするとき、
｜Δ１Ｈ｜＋｜Δ２Ｈ｜＜１                ‥‥（２）
なる条件を満足するように設定している。
【００５０】
また本実施形態において第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂをｙ軸と平行な軸を中心に単位量チルトさせたときの走査線湾曲量を各々Δ１Ｔ、Δ２Ｔとするとき、
｜Δ１Ｔ｜＋｜Δ２Ｔ｜＜  ２０．０×１０−３          ‥‥（３）
なる条件を満足するように設定している。
【００５１】
また光走査装置をコンパクト化するためには主走査断面内の主点位置をできるだけ光偏向器側に近づけた方がよく、また第１の走査レンズ６ａの主走査断面内のパワーを光軸上で正（凸）とし、第２の走査レンズ６ｂの主走査断面内のパワーを光軸上で負（凹）となるように構成するのが良い。
【００５２】
更に走査レンズ系６をできるだけ光偏向器５に近づけた方が光走査装置の小型化が可能になると共に、走査レンズ系６のコストを抑えることができるというメリットも有する。
【００５３】
副走査断面内のパワーは第１の走査レンズ６ａより第２の走査レンズ６ｂで構成した方が、副走査倍率を低減できるというメリットを有する。更に副走査断面内のパワーを第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４のみに略集中させることで、レンズ取り付け時や製造時に生じる誤差でレンズ面（レンズ）がシフト又は／及びチルトした際の走査線湾曲の劣化も防止できる。
【００５４】
表−１に本実施形態の光学パラメータを示す。また図３（Ａ），（Ｂ）に本実施形態の光学特性、図４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に本実施形態の走査線湾曲敏感度を示す。
【００５５】
【表１】
2004317790.tif 000007
【００５６】
本実施形態における第１、第２の２枚の走査レンズ６ａ，６ｂは主走査断面内において共に被走査面７側に凸面を向けたの正のメニスカス形状であり、前述の如く該第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂのうち、第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を、該走査レンズの有効部内において、連続的、かつ光軸に対して略対称に変化させることにより、像面湾曲の非対称性とスポット径の変動を同時に補正している。
【００５７】
本実施形態では副走査断面内における第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂの光軸上のパワーをＰｐ、Ｐｓとするとき、パワー比が
｜Ｐｐ／Ｐｓ｜≦０．４        ‥‥（１）
なる条件を満足するように設定している。
【００５８】
本実施形態では
Ｐｐ：Ｐｓ＝０：１
と設定しており、副走査断面内の全パワーを第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４のみに集中させている。
【００５９】
また本実施形態では副走査断面内において曲率が像高によって変化する副走査曲率変化面を第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４の１面で構成しており、かつその出射面ｒ４を軸外に極値を持つことなく光軸に対して略対称に変化させることによって波面収差を良好に補正している。
【００６０】
また本実施形態では第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂを成形上有利になるように主走査断面内の形状を前述の如く被走査面７の垂直二等分線（光軸）に対して略対称に形成している。特に第１の走査レンズ６ａは副走査断面内の曲率が無限大であり、副走査断面内のパワーをほとんど有していない。本実施形態では副走査断面内の結像性能を第２の走査レンズ６ｂの出射面ｒ４のみで補正している。
【００６１】
本実施形態において走査レンズ系６の副走査断面内の屈折力をφ、該走査レンズ系６のうち最も光偏向器５に近い光学素子（第１の走査レンズ６ａ）の副走査断面内の屈折力をφＡとするとき、
０＜｜φＡ／φ｜＜０．２              ‥‥（４）
なる条件を満足するように設定している。また第１の走査レンズ６ａは被走査面上の走査線湾曲量を低減させる面より成っている。
【００６２】
本実施形態の光学特性は図３（Ａ），（Ｂ）に示すように主走査断面、副走査断面共に良好に補正されている。更に副走査断面内のパワーを一面に略集中させることにより、図４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように走査レンズ６ａ，６ｂを光学箱に取り付ける際に発生する誤差や、光学箱を製作する際に発生する際の誤差で該走査レンズ６ａ，６ｂがシフト又は／及びチルトした際に発生する走査線湾曲敏感度や、走査レンズ成形時に発生する誤差で各走査レンズ６ａ，６ｂの各面がシフト又は／及びチルトした際に発生する被走査面７上での走査線湾曲敏感度を低減させている。
【００６３】
図４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）において横軸は像高（走査位置）を示し、Ｇ１は第１の走査レンズ６ａを示し、Ｇ２は第２の走査レンズ６ｂを示す。またＺシフトとは図１、図２のＺ方向へ偏芯することを示し、Ｙ−ｒｏｔ（ｙｒ）は図１、図２のＹ軸周りの回転を示している。移動量はシフトが０．０５ｍｍ、チルト（ｙ−ｒｏｔ）が３分である。いずれも製造誤差等で発生し得る量であり、図４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように走査線湾曲量が５０μｍ以下と小さいため、画像はほとんど劣化しない。
【００６４】
尚、本実施形態の走査レンズ系６の光軸は主走査方向における被走査面の垂直二等分線と一致させている。また本実施形態では走査レンズ系６を２枚のレンズで構成したが、これに限らず、３枚以上であってもよく、さらに回折素子等の光学素子で構成しても前述の実施形態１と同様の効果を得ることができる。また本実施形態では光源手段１を単一の発光点を有するシングルビームレーザーで構成したが、これに限らず、２以上の複数の発光点を有するマルチビームレーザーで構成しても前述の実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００６５】
このように本実施形態では上記の如く第１、第２の走査レンズ６ａ，６ｂの副走査断面内の屈折力のパワー比を条件式（１）を満たすように設定することにより、像面湾曲やスポット径の変動を同時に補正することができ、また製造や取り付け等で発生する走査線湾曲敏感度も低減することができ、これにより高性能な光走査装置を得ている。
【００６６】
（実施形態２）
図５は本発明の光走査装置の実施形態２の主走査方向の要部断面図（主走査断面図）、図６は図５の副走査断面内の要部断面図（副走査断面図）である。図５，図６において、図１、図２に示した要素と同一要素には同一符番を付している。
【００６７】
本実施形態において前述の実施形態１と異なる点は走査レンズ系１６を構成する第１、第２の走査レンズ１６ａ，１６ｂの副走査断面内の曲率を変更したことである。その他の構成および光学的作用は実施形態１と略同様であり、これにより同様な効果を得ている。
【００６８】
即ち、同図において１６は集光機能とｆθ特性とを有する第２の光学系としての走査レンズ系（ｆθレンズ系）であり、光偏向器５側から順にプラスチック材料より成る第１、第２の２枚の走査レンズ（ｆθレンズ）１６ａ，１６ｂより成り、共に主走査断面内で非球面形状のアナモフィックレンズより成り、光偏向器５によって反射偏向された画像情報に基づく光束を被走査面としての感光ドラム面７上に結像させ、かつ副走査断面内において光偏向器５の偏向面５ａと感光ドラム面７との間を共役関係にすることにより、倒れ補正機能を有している。
【００６９】
表−２に本実施形態の光学パラメータを示す。図７（Ａ），（Ｂ）に本実施形態の光学特性、図８（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に本実施形態の走査線湾曲敏感度を示す。
【００７０】
【表２】
2004317790.tif 000008
【００７１】
本実施形態においては前述の実施形態１と同様に上記条件式（１）を満たすように第１、第２の走査レンズ１６ａ，１６ｂの副走査断面内の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、そのパワー比を設定している。
【００７２】
即ち、本実施形態では
Ｐｐ：Ｐｓ＝１：９
と設定しており、副走査断面内の全パワーを第２の走査レンズ１６ｂの出射面ｒ４に略集中させている。
【００７３】
本実施形態の第１、第２の走査レンズ１６ａ，１６ｂは共にプラスチックレンズで作製されており、成形上有利なように主走査断面内の形状が走査開始側７ａと走査終了側７ｂで略対称に形成されている。更に第２の走査レンズ１６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を、該走査レンズ１６ｂの有効部内において連続的に変化させており、これにより像面湾曲、波面収差、スポット径の変動を補正している。
【００７４】
また本実施形態は実施形態１と同様にサグ量が小さいため、第２の走査レンズ１６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を光軸に対して略対称に変化させている。その変化は波面収差を良好に補正するために極値を２以上持つことなく変化させている。
【００７５】
また本実施形態ではレンズを成形上有利なように第１の走査レンズ１６ａの両レンズ面ｒ１，ｒ２と、第２の走査レンズ１６ｂの光偏向器５側のレンズ面ｒ３とも副走査断面内の曲率半径ｒを｜ｒ｜≧１００としている。
【００７６】
一般にモールド成型は平面を構成するのが難しく、光学面にくせが発生しやすいため緩い曲率半径（｜ｒ｜≧１００）をつけた方が成型上有利になるというメリットを有している。またレンズの取り付けや、製造誤差当等により発生するシフト又は／及びチルトにより発生する走査線湾曲を低減するためには平面の方が有利であるが、｜ｒ｜≧１００であれば、被走査面７上での走査線湾曲劣化量が小さいので問題ない。｜ｒ｜≦１００になると走査線湾曲が劣化するのでよくない。
【００７７】
本実施形態においては前述の実施形態１と同様に副走査断面内の結像性能を第２の走査レンズ１６ｂの出射面ｒ４で補正している。
【００７８】
このように本実施形態では上記の如く最も被走査面７側のレンズ面以外の副走査断面内の曲率半径ｒを｜ｒ｜≧１００で構成することにより、成形上発生する光学面のひけ等の影響を低減し、レンズ作製上の光学性能劣化を防止している。
【００７９】
さらに本実施形態では前述の実施形態１と同様に第１、第２の走査レンズ１６ａ，１６ｂの副走査断面内の屈折力のパワー比を条件式（１）を満たすように設定することにより、像面湾曲やスポット径の変動を同時に補正することができ、また製造や取り付け等で発生する走査線湾曲敏感度も低減することができ、これにより高性能な光走査装置を得ている。
【００８０】
（実施形態３）
図９は本発明の光走査装置の実施形態３の主走査方向の要部断面図（主走査断面図）、図１０は図９の副走査断面内の要部断面図（副走査断面図）である。図９，図１０において、図１、図２に示した要素と同一要素には同一符番を付している。
【００８１】
本実施形態において前述の実施形態１と異なる点は走査レンズ系２６を構成する第１、第２の走査レンズ２６ａ，２６ｂの副走査断面内の曲率を変更し、かつ光偏向器５の偏向面５ａへ入射する光束を副走査断面内において斜め方向から角度を持たせて入射させたことである。その他の構成および光学的作用は実施形態１と略同様であり、これにより同様な効果を得ている。
【００８２】
即ち、本実施形態における入射光学系は光偏向器５の偏向面５ａへ入射する光束を副走査断面内において斜め方向から所定の角度β（２．２ｄｅｇ）を持たせて入射させる、所謂斜入射光学系より構成されている。
【００８３】
同図において２６は集光機能とｆθ特性とを有する第２の光学系としての走査レンズ系であり、光偏向器５側から順にプラスチック材料より成る第１、第２の２枚の走査レンズ２６ａ，２６ｂを有している。第１、第２の走査レンズ２６ａ，２６ｂは共に主走査断面内で非球面形状のアナモフィックレンズより成り、光偏向器５によって反射偏向された画像情報に基づく光束を被走査面としての感光ドラム面７上に結像させ、かつ副走査断面内において光偏向器５の偏向面５ａと感光ドラム面７との間を共役関係にすることにより、倒れ補正機能を有している。
【００８４】
８は防塵ガラスであり、平行平板で構成されている。防塵ガラス８は、光走査装置から光束が射出する際の出口を密閉するために用いられ、正反射光が光源手段１に戻るのを防止するために副走査断面内で５ｄｅｇ傾けて配置している。
【００８５】
表−３に本実施形態の光学パラメータを示す。図１１（Ａ），（Ｂ）に本実施形態の光学特性、図１２（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に各々本実施形態の走査線湾曲敏感度を示す。
【００８６】
【表３】
2004317790.tif 000009
【００８７】
本実施形態においては前述の実施形態１と同様に上記条件式（１）を満たすように第１、第２の走査レンズ２６ａ，２６ｂの副走査断面内の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、そのパワー比を設定している。
【００８８】
即ち、本実施形態では
Ｐｐ：Ｐｓ＝０：１
と設定しており、副走査断面内の全パワーを第２の走査レンズ２６ｂの出射面ｒ４のみに集中させている。
【００８９】
本実施形態では図１０に示すように光源手段１からの光束が角度を有して偏向面５ａへ入射しているので、例えば後述する図１３に示すように複数光束を折り返しミラー８でその光路を分離し、複数の感光ドラム面上に導光することができる。また偏向面５ａへ入射する光束を副走査断面内において斜め方向から角度を持たせて入射させているため、軸上光束と軸外光束は走査レンズ系２６内を通過する副走査方向の高さ（光軸からの高さ）が互いに異なっている。
【００９０】
本実施形態において第１、第２の走査レンズ２６ａ、２６ｂの光軸は共に光偏向器５の偏向面の法線と平行に配置されている。さらに第１、第２の走査レンズ２６ａ、２６ｂの光軸は共に入射光束が偏向面５ａと交わる点から各々順に副走査方向にδ１＝−０．５ｍｍ、δ２＝１．４５６ｍｍだけ高さが異なるようにシフトさせて構成している。これにより本実施形態では斜入射による波面収差の劣化を低減すると共に、被走査面７上での走査線湾曲量を小さくしている。
【００９１】
尚、本実施形態では第１、第２の走査レンズ２６ａ、２６ｂの光軸を共にシフトさせたが、これに限らず、例えばチルト（傾ける）させても同様の効果が得られる。さらに第２の走査レンズ２６ｂの出射面ｒ４のみをシフト又は／及びチルトさせても同様の効果が得られる。
【００９２】
本実施形態の第１、第２の走査レンズ２６ａ、２６ｂは共にプラスチックレンズで作製されており、成形上有利なように主走査断面内の形状が走査開始側７ａと走査終了側７ｂで略対称に形成されており、また第２の走査レンズ２６ｂの出射面の副走査断面内の曲率を、該走査レンズの有効部内において連続的に変化させている。これにより本実施形態では像面湾曲、波面収差、スポット径の変動を良好に補正している。
【００９３】
また本実施形態では実施形態１と同様にサグ量が小さいため、第２の走査レンズ２６ｂの出射面ｒ４の副走査断面内の曲率を光軸に対して略対称に変化させている。その変化は波面収差を良好に補正するために極値を２以上持つことなく変化させている。
【００９４】
また本実施形態では前述の実施形態２と同様にレンズを成形上有利なように第１の走査レンズ２６ａの両レンズ面ｒ１，ｒ２と、第２の走査レンズ２６ｂの光偏向器５側のレンズ面ｒ３とも副走査断面内の曲率半径ｒを｜ｒ｜≧１００としている。これは平面で構成しても同様の効果を得られることは明らかである。
【００９５】
本実施形態においては前述の実施形態１と同様に副走査断面内の結像性能を第２の走査レンズ２６ｂの出射面ｒ４のみで補正している。
【００９６】
このように本実施形態では前述の実施形態１と同様に第１、第２の走査レンズ２６ａ，２６ｂの副走査断面内の屈折力のパワー比を条件式（１）を満たすように設定することにより、像面湾曲やスポット径の変動を同時に補正することができ、また製造や取り付け等で発生する走査線湾曲敏感度も低減することができ、これにより高性能な光走査装置を得ている。
【００９７】
ここで各実施形態１，２，３において、
Ａ＝走査レンズの傾き偏心により発生する走査線湾曲敏感度εの絶対値の和
（図４（Ａ）、図８（Ａ）、図１２（Ａ）参照）
Ｂ＝走査レンズの平行偏心により発生する走査線湾曲敏感度εの絶対値の和
（図４（Ａ）、図８（Ａ）、図１２（Ａ）参照）
Ｃ＝各面の傾き偏心により発生する走査線湾曲敏感度εの絶対値の和
（図４（Ｃ）、図８（Ｃ）、図１２（Ｃ）参照）
Ｄ＝各面の平行偏心により発生する走査線湾曲敏感度εの絶対値の和
（図４（Ｂ）、図８（Ｂ）、図１２（Ｂ）参照）
とするとき、
各実施形態では走査領域全てにおいて
Ａが２０μｍ／１′以下で問題ない。（望ましくは１０μｍ／１′が良い。）
Ｂは１ｍｍ／１ｍｍ以下で問題ない。（望ましくは０．３ｍｍ／１ｍｍが良い。）
Ｃは４０μｍ／１′以下で問題ない。（望ましくは２０μｍ／１′が良い。）
Ｄは２ｍｍ／１ｍｍ以下で問題ない。（望ましくは０．６ｍｍ／１ｍｍが良い。）
［画像形成装置］
図１３は本発明の画像形成装置の実施形態を示す副走査断面内の要部断面図である。
【００９８】
同図における画像形成装置は前述の実施形態３で示した斜入射光学系より成るマルチビーム光走査装置を複数用い、１つの光偏向器５に対して両側からそれぞれ複数の光束を入射させ、対応する感光ドラム面７ａ〜７ｄ上に導光して、カラー画像を高速に印字するものである。
【００９９】
即ち、同図においてはマルチビーム光源（不図示）から出射した複数の光束を副走査断面内において角度を成して斜め方向から光偏向器５の偏向面に入射させ、該偏向面で反射された複数の光束を複数の折り返しミラーによりその光路を分離し、該分離された複数の光束を対応する感光ドラム面７ａ〜７ｄ上にそれぞれ導光し、カラー画像を形成している。
【０１００】
［カラー画像形成装置］
図１４は、本発明の画像形成装置の実施形態を示す副走査断面内の要部断面図である。図１４において、６０はカラー画像形成装置、１１は図１３に示した構成を有するマルチビーム光走査装置、２１，２２，２３，２４は各々像担持体としての感光ドラム、３１，３２，３３，３４は各々現像器、５１は搬送ベルトである。
【０１０１】
図において、カラー画像形成装置６０には、パーソナルコンピュータ等の外部機器５２からＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の各色信号が入力する。これらの色信号は、装置内のプリンタコントローラ５３によって、Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）、Ｂ（ブラック）の各画像データ（ドットデータ）に変換される。これらの画像データは、それぞれマルチビーム光走査装置１１に入力される。そしてマルチビーム光走査装置からは、各画像データに応じて変調された光ビーム４１，４２，４３，４４が出射され、これらの光ビームによって感光ドラム２１，２２，２３，２４の感光面が主走査方向に走査される。
【０１０２】
本実施態様におけるカラー画像形成装置は１つのマルチビーム光走査装置１１から、各Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）、Ｂ（ブラック）の各色に対応した光線を射出し、感光ドラム２１，２２，２３，２４面上に画像信号（画像情報）を記録し、カラー画像を高速に印字するものである。
【０１０３】
本実施態様におけるカラー画像形成装置は上述の如く１つのマルチビーム光走査装置１１により各々の画像データに基づいた光ビームを用いて各色の潜像を各々対応する感光ドラム２１，２２，２３，２４面上に形成している。その後、記録材に多重転写して１枚のフルカラー画像を形成している。
【０１０４】
前記外部機器５２としては、例えばＣＣＤセンサを備えたカラー画像読取装置が用いられても良い。この場合には、このカラー画像読取装置と、カラー画像形成装置６０とで、カラーデジタル複写機が構成される。
【０１０５】
［画像形成装置］
図１５は、本発明の画像形成装置の実施形態を示す副走査方向の要部断面図である。図において、符号１０４は画像形成装置を示す。この画像形成装置１０４には、パーソナルコンピュータ等の外部機器１１７からコードデータＤｃが入力する。このコードデータＤｃは、装置内のプリンタコントローラ１１１によって、画像データ（ドットデータ）Ｄｉに変換される。この画像データＤｉは、実施形態１〜３のいずれかに示した構成を有する光走査ユニット１００に入力される。そして、この光走査ユニット１００からは、画像データＤｉに応じて変調された光ビーム１０３が出射され、この光ビーム１０３によって感光ドラム１０１の感光面が主走査方向に走査される。
【０１０６】
静電潜像担持体（感光体）たる感光ドラム１０１は、モータ１１５によって時計廻りに回転させられる。そして、この回転に伴って、感光ドラム１０１の感光面が光ビーム１０３に対して、主走査方向と直交する副走査方向に移動する。感光ドラム１０１の上方には、感光ドラム１０１の表面を一様に帯電せしめる帯電ローラ１０２が表面に当接するように設けられている。そして、帯電ローラ１０２によって帯電された感光ドラム１０１の表面に、前記光走査ユニット１００によって走査される光ビーム１０３が照射されるようになっている。
【０１０７】
先に説明したように、光ビーム１０３は、画像データＤｉに基づいて変調されており、この光ビーム１０３を照射することによって感光ドラム１０１の表面に静電潜像を形成せしめる。この静電潜像は、上記光ビーム１０３の照射位置よりもさらに感光ドラム１０１の回転方向の下流側で感光ドラム１０１に当接するように配設された現像器１０７によってトナー像として現像される。
【０１０８】
現像器１０７によって現像されたトナー像は、感光ドラム１０１の下方で、感光ドラム１０１に対向するように配設された転写ローラ１０８によって被転写材たる用紙１１２上に転写される。用紙１１２は感光ドラム１０１の前方（図１５において右側）の用紙カセット１０９内に収納されているが、手差しでも給紙が可能である。用紙カセット１０９端部には、給紙ローラ１１０が配設されており、用紙カセット１０９内の用紙１１２を搬送路へ送り込む。
【０１０９】
以上のようにして、未定着トナー像を転写された用紙１１２はさらに感光ドラム１０１後方（図１５において左側）の定着器へと搬送される。定着器は内部に定着ヒータ（図示せず）を有する定着ローラ１１３とこの定着ローラ１１３に圧接するように配設された加圧ローラ１１４とで構成されており、転写部から搬送されてきた用紙１１２を定着ローラ１１３と加圧ローラ１１４の圧接部にて加圧しながら加熱することにより用紙１１２上の未定着トナー像を定着せしめる。更に定着ローラ１１３の後方には排紙ローラ１１６が配設されており、定着された用紙１１２を画像形成装置の外に排出せしめる。
【０１１０】
図１５においては図示していないが、プリントコントローラ１１１は、先に説明したデータの変換だけでなく、モータ１１５を始め画像形成装置内の各部や、後述する光走査ユニット内のポリゴンモータなどの制御を行う。
【０１１１】
［カラー画像形成装置］
図１６は本発明の実施態様のカラー画像形成装置の要部概略図である。本実施形態は、光走査装置を４個並べ各々並行して像担持体である感光ドラム面上に画像情報を記録するタンデムタイプのカラー画像形成装置である。図１６において、２６０はカラー画像形成装置、２１１，２１２，２１３，２１４は各々実施形態１〜３に示したいずれかの構成を有する光走査装置、２１１，２１２，２１３，２１４は各々像担持体としての感光ドラム、２３１，２３２，２３３，２３４は各々現像器、５１は搬送ベルトである。
【０１１２】
図１６において、カラー画像形成装置２６０には、パーソナルコンピュータ等の外部機器２５２からＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の各色信号が入力する。これらの色信号は、装置内のプリンタコントローラ２５３によって、Ｃ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）、Ｂ（ブラック）の各画像データ（ドットデータ）に変換される。これらの画像データは、それぞれ光走査装置２１１，２１２，２１３，２１４に入力される。そして、これらの光走査装置からは、各画像データに応じて変調された光ビーム２４１，２４２，２４３，２４４が出射され、これらの光ビームによって感光ドラム２２１，２２２，２２３，２２４の感光面が主走査方向に走査される。
【０１１３】
本実施態様におけるカラー画像形成装置は光走査装置（２１１，２１２，２１３，２１４）を４個並べ、各々がＣ（シアン），Ｍ（マゼンタ），Ｙ（イエロー）、Ｂ（ブラック）の各色に対応し、各々平行して感光ドラム２２１，２２２，２２３，２２４面上に画像信号（画像情報）を記録し、カラー画像を高速に印字するものである。
【０１１４】
本実施態様におけるカラー画像形成装置は上述の如く４つの光走査装置２１１，２１２，２１３，２１４により各々の画像データに基づいた光ビームを用いて各色の潜像を各々対応する感光ドラム２２１，２２２，２２３，２２４面上に形成している。その後、記録材に多重転写して１枚のフルカラー画像を形成している。
【０１１５】
前記外部機器２５２としては、例えばＣＣＤセンサを備えたカラー画像読取装置が用いられても良い。この場合には、このカラー画像読取装置と、カラー画像形成装置２６０とで、カラーデジタル複写機が構成される。
【０１１６】
［本発明の実施態様］
本発明の様々な例と実施形態が示され説明されたが、当業者であれば、本発明の趣旨と範囲は本明細書内の特定の説明と図に限定されるのではなく、本願特許請求の範囲に全て述べられた様々の修正と変更に及ぶことが理解されるであろう。
【０１１７】
本発明の実施態様の例を以下に列挙する。
【０１１８】
［実施態様１］
光源手段と、該光源手段から出射した光束を偏向手段に導光する第１の光学系と、該偏向手段からの光束を被走査面上に導光する第２の光学系と、を具備する光走査装置において、
該第２の光学系は、第１、第２の光学素子を含む複数の光学素子を有し、副走査断面内における該第１、第２の光学素子の屈折力をＰｐ、Ｐｓとするとき、
｜Ｐｐ／Ｐｓ｜≦０．４
なる条件を満足することを特徴とする光走査装置。
【０１１９】
［実施態様２］
前記第１の光学系は前記光源手段から出射した光束を略平行光束に変換する光学素子ａと、該光学素子ａからの光束を主走査断面内で長い線像として結像させる光学素子ｂとを有し、
該光学素子ｂから射出された光束は、副走査断面内で前記偏向手段の偏向面に斜め方向から入射していることを特徴とする実施態様１記載の光走査装置。
【０１２０】
［実施態様３］
主走査断面内において、前記第２の光学系を構成する複数の光学素子のうち、最も前記偏向手段側の光学素子は光軸上の屈折力が正であり、他の１つの光学素子は光軸上の屈折力が負であることを特徴する実施態様１又は２記載の光走査装置。
【０１２１】
［実施態様４］
前記第２の光学系を構成する複数の光学素子のうち、最も前記偏向手段側の光学素子は、主走査断面内において非円弧の面を含むことを特徴する実施態様１、２又は３記載の光走査装置。
【０１２２】
［実施態様５］
副走査断面内において、前記第２の光学系を構成する複数の光学素子の複数のレンズ面のうち、最も被走査面側にあるレンズ面が最も屈折力が強いことを特徴する実施態様１乃至４の何れか１項に記載の光走査装置。
【０１２３】
［実施態様６］
前記第２の光学系を構成する複数の光学素子は副走査断面内において、曲率が像高によって変化する副走査曲率変化面を一面以上有することを特徴とする実施態様１乃至５の何れか１項に記載の光走査装置。
【０１２４】
［実施態様７］
前記第２の光学系の屈折力をφ、該第２の光学系のうち、最も前記偏向手段に近い光学素子の屈折力をφＡとするとき、
０＜｜φＡ／φ｜＜０．２
であることを特徴する実施態様１又は２記載の光走査装置。
【０１２５】
［実施態様８］
前記第２の光学系のうち、前記偏向手段に最も近い面は前記被走査面上の走査線湾曲量を低減させる面であることを特徴とする実施態様７記載の光走査装置。
【０１２６】
［実施態様９］
前記第１、第２の光学素子を単位量偏心させたときの走査線湾曲量を各々Δ１Ｈ、Δ２Ｈとするとき、
｜Δ１Ｈ｜＋｜Δ２Ｈ｜＜１
であることを特徴する実施態様１記載の光走査装置。
【０１２７】
［実施態様１０］
前記第１、第２の光学素子を単位量チルトさせたときの走査線湾曲量を各々Δ１Ｔ、Δ２Ｔとするとき、
｜Δ１Ｔ｜＋｜Δ２Ｔ｜＜２０．０×１０−３
であることを特徴する実施態様１記載の光走査装置。
【０１２８】
［実施態様１１］
実施態様１乃至１０の何れか１項に記載の光走査装置と、前記被走査面に配置された感光体と、前記光走査装置で走査された光ビームによって前記感光体上に形成された静電潜像をトナー像として現像する現像器と、現像されたトナー像を被転写材に転写する転写器と、転写されたトナー像を被転写材に定着させる定着器とを有することを特徴とする画像形成装置。
【０１２９】
［実施態様１２］
実施態様１乃至１０の何れか１項に記載の光走査装置と、外部機器から入力したコードデータを画像信号に変換して前記光走査装置に入力せしめるプリンタコントローラとを有していることを特徴とする画像形成装置。
【０１３０】
［実施態様１３］
各々が実施態様１乃至１０のいずれか１項に記載の光走査装置の被走査面に配置され、互いに異なった色の画像を形成する複数の像担持体とを有することを特徴とするカラー画像形成装置。
【０１３１】
［実施態様１４］
外部機器から入力した色信号を異なった色の画像データに変換して各々の光走査装置に入力せしめるプリンタコントローラを有していることを特徴とする実施態様１３記載のカラー画像形成装置。
【０１３２】
【発明の効果】
本発明によれば前述の如く副走査断面内における第１、第２の光学素子の屈折力のパワー比を適切に設定することにより、像面湾曲、スポット径の変動を同時に補正し、かつ製造、取り付け等で発生する走査線湾曲敏感度を低減し、高性能な光走査装置を得ることができる光走査装置を達成することができる。
【０１３３】
また本発明によれば前述の如く複数の異なる感光ドラム面上の画像を重ね合わせる画像形成装置で発生する色むらや、色ずれを低減することができる画像形成装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１の主走査断面図
【図２】本発明の実施形態１の副走査断面図
【図３】本発明の実施形態１の光学特性を示す図
【図４】本発明の実施形態１の走査線湾曲敏感度を示す図
【図５】本発明の実施形態２の主走査断面図
【図６】本発明の実施形態２の副走査断面図
【図７】本発明の実施形態２の光学特性を示す図
【図８】本発明の実施形態２の走査線湾曲敏感度を示す図
【図９】本発明の実施形態３の主走査断面図
【図１０】本発明の実施形態３の副走査断面図
【図１１】本発明の実施形態３の光学特性を示す図
【図１２】本発明の実施形態３の走査線湾曲敏感度を示す図
【図１３】本発明の実施形態３の光走査装置を示す図
【図１４】本発明の画像形成装置を示す要部断面図
【図１５】本発明の画像形成装置の要部断面図
【図１６】本発明のカラー画像形成装置の要部断面図
【図１７】従来の光走査装置を示す要部概略図
【符号の説明】
１  光源手段
２  第１の光学系
３  第２の光学系
４  開口絞り
５  偏向手段（光偏向器）
６、１６，２６  第３の光学系（走査レンズ系）
７  被走査面（感光ドラム面）
１１、１２、１３、１４  光走査装置
２１、２２、２３、２４  像担持体（感光ドラム）
３１、３２、３３、３４  現像器
４１  搬送ベルト
５１  マルチビームレーザー
５２  外部機器
５３  プリンタコントローラ
６０  カラー画像形成装置
１００  光走査装置
１０１  感光ドラム
１０２  帯電ローラ
１０３  光ビーム
１０４  画像形成装置
１０７  現像装置
１０８  転写ローラ
１０９  用紙カセット
１１０  給紙ローラ
１１１  プリンタコントローラ
１１２  転写材（用紙）
１１３  定着ローラ
１１４  加圧ローラ
１１５  モータ
１１６  排紙ローラ
１１７  外部機器
２１１、２１２、２１３、２１４  走査光学系
２２１、２２２、２２３、２２４  像担持体（感光ドラム）
２３１、２３２、２３３、２３４  現像器
２４１  搬送ベルト
２５１  マルチビームレーザー
２５２  外部機器
２５３  プリンタコントローラ
２６０  カラー画像形成装置
【図１】
2004317790.tif 000010
【図２】
2004317790.tif 000011
【図３】
2004317790.tif 000012
【図４】
2004317790.tif 000013
【図５】
2004317790.tif 000014
【図６】
2004317790.tif 000015
【図７】
2004317790.tif 000016
【図８】
2004317790.tif 000017
【図９】
2004317790.tif 000018
【図１０】
2004317790.tif 000019
【図１１】
2004317790.tif 000020
【図１２】
2004317790.tif 000021
【図１３】
2004317790.tif 000022
【図１４】
2004317790.tif 000023
【図１５】
2004317790.tif 000024
【図１６】
2004317790.tif 000025
【図１７】
2004317790.tif 000026