(57)【要約】【課題】キャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの間の剥離をするに当たって、剥離現象を安定させ、確実かつ容易に剥離を行なえるようにする。【解決手段】セラミックグリーンシート剥離方法は、マザーシート３からセラミックグリーンシート２を剥離するための方法であって、テーブル５ｈの上にキャリアフィルム１が下側になるように置かれたマザーシート３のうち剥離すべき部分にヘッド６ｈを当接させ吸着保持する吸着工程と、テーブル５ｈが、マザーシート３のうち上記剥離すべき部分を挟む２つの領域においてキャリアフィルム１を固定し、上記２つの領域に挟まれた領域の内部では上記キャリアフィルム１を固定しない状態で、ヘッド６ｈが上記剥離すべき部分を吸着保持したままテーブル５ｈから離れる、ヘッド離隔工程とを含む。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから前記セラミックグリーンシートを剥離するためのセラミックグリーンシート剥離方法であって、
作業台の上に前記キャリアフィルムが下側になるように置かれた前記マザーシートのうち前記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分にヘッドを当接させ吸着保持する吸着工程と、
前記作業台が、前記マザーシートのうち前記剥離すべき部分を挟む２つの領域において前記キャリアフィルムを固定し、前記２つの領域に挟まれた領域の内部では前記キャリアフィルムを固定しない状態で、前記ヘッドが前記剥離すべき部分を吸着保持したまま前記作業台から離れる、ヘッド離隔工程とを含む、セラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項２】
キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから前記セラミックグリーンシートを剥離するためのセラミックグリーンシート剥離方法であって、
作業台の上に前記キャリアフィルムが下側になるように置かれた前記マザーシートのうち前記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分にセラミックグリーンシート積層体を保持するヘッドを当接させ前記積層体と前記剥離すべき部分とを圧着させる圧着工程と、
前記作業台が、前記マザーシートのうち前記剥離すべき部分を挟む２つの領域において前記キャリアフィルムを固定し、前記２つの領域に挟まれた領域の内部では前記キャリアフィルムを固定しない状態で、前記ヘッドが前記作業台から離れる、ヘッド離隔工程とを含む、セラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項３】
前記剥離工程の前に、前記剥離すべき部分を前記セラミックグリーンシートの他の部分から切断する切断工程をさらに有する、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項４】
前記切断工程では、前記キャリアフィルムを完全には切断せずに前記セラミックグリーンシートを完全に切断する、請求項３に記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項５】
前記切断工程は、前記ヘッドが前記剥離すべき部分に当接した状態で行なわれる、請求項３または４に記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項６】
前記２つの領域は、２本の線状の領域である、請求項１から５のいずれかに記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項７】
前記マザーシートはテープ状であって長手方向に沿って送られることで供給されており、前記２つの領域は、前記マザーシートの幅方向に沿って延びる、請求項６に記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項８】
前記２つの領域における前記キャリアフィルムに対する固定は、前記剥離すべき部分を前記作業台の上面に投影した領域の外形線から２ｍｍ以上２０ｍｍ以下の距離を空けた位置で行なう、請求項１から７のいずれかに記載のセラミックグリーンシート剥離方法。
【請求項９】
キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから前記セラミックグリーンシートを剥離するための作業台と、
前記マザーシートの表面の前記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分を吸着保持するためのヘッドと、
前記ヘッドを、前記剥離すべき部分を吸着保持したままの状態で前記作業台から離隔させるための離隔手段とを備え、
前記作業台は、前記マザーシートのうち前記剥離すべき部分を挟む２つの領域において前記キャリアフィルムを固定するための両辺固定手段を備える、
セラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１０】
キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから前記セラミックグリーンシートを剥離するための作業台と、
積層体を保持し、前記マザーシートの表面の前記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分と前記積層体との間の圧着を行なうためのヘッドと、
前記ヘッドを前記作業台から離隔させるための離隔手段とを備え、
前記作業台は、前記マザーシートのうち前記剥離すべき部分を挟む２つの領域において前記キャリアフィルムを固定するための両辺固定手段を備える、
セラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１１】
前記ヘッドが前記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分に当接した状態で、前記剥離すべき部分を前記セラミックグリーンシートの他の部分から切り離すための切断手段をさらに備える、請求項９または１０に記載のセラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１２】
前記２つの領域は、２本の線状の領域である、請求項９から１１のいずれかに記載のセラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１３】
テープ状の前記マザーシートを長手方向に沿って走行させて供給する走行手段をさらに備え、
前記両辺固定手段は、前記マザーシートの幅方向に沿ってそれぞれ設定されている、請求項１２に記載のセラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１４】
前記剥離すべき部分を前記作業台の上面に投影した領域の外形線と前記両辺固定手段で固定できる領域の端との間の距離は、２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である、請求項９から１３のいずれかに記載のセラミックグリーンシート剥離装置。
【請求項１５】
前記ヘッドおよび前記作業台のうち少なくとも一方が加熱手段を備える、請求項９から１４のいずれかに記載のセラミックグリーンシート剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離するためのセラミックグリーンシート剥離装置およびセラミックグリーンシート剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
積層構造を有するセラミック電子部品は、一般的には、セラミックグリーンシートを多数積層して積層体とし、これを焼成することによって製造される。しかし、セラミックグリーンシートは、単独では薄くて破れやすいため、そのままでは取扱いにくい。そこで、セラミックグリーンシートは、キャリアフィルムの表面に付着した状態で供給され、積層を行なう直前に、キャリアフィルムから剥離させ、使用するという方法が一般的である。このキャリアフィルムからセラミックグリーンシートを剥離させる工程のために、従来用いられていたセラミックグリーンシート剥離装置において剥離不良をなくすための改善例の一つとして特開２００１−１５３８０に開示されたものがある。この技術を適用したセラミックグリーンシート剥離装置を図１０に示す。
【０００３】
なお、本明細書においては、キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートを形成した状態のものは、シート状、テープ状を問わず「マザーシート」と呼ぶこととする。
【０００４】
図１０に示すセラミックグリーンシート剥離装置は、テーブル５と、ヘッド６とを備える。テーブル５の上面には、剥離する部分の中央部に対応する領域に中央空気口１１が設けられ、その周囲を四方から取り囲むように周縁空気口１２が設けられている。これらの孔からはテーブル５内部に通じるようにして空気経路１３，１４がそれぞれ設けられている。テーブル５の平面図を図１１に示す。ヘッド６は、吸着面９に多孔質板８を備えており、多孔質板８を介して対象物を吸引保持することができるようになっている。さらにヘッド６は、吸着面９を取り囲むようにカット刃７を備えている。このセラミックグリーンシート剥離装置によるセラミックグリーンシート剥離方法を以下に説明する。
【０００５】
テーブル５の上面にマザーシート３を、セラミックグリーンシート２が上、キャリアフィルム１が下となるように載置する。この状態で空気経路１３，１４を通じて負圧１７，１８を与え、マザーシート３をテーブル５の上面に吸引保持する。ヘッド６を降下させ、多孔質板８を介してセラミックグリーンシート２に当接させ、吸着保持する。このとき同時にカット刃７が降下し、セラミックグリーンシート２の剥離すべき部分（以下「セラミックグリーンシート２ｆ」というものとする。）と他の部分とを分けるように切断する。ただし、この切断においてはセラミックグリーンシート２は切断されるもののキャリアフィルム１は完全には切断されない。
【０００６】
ヘッド６は、セラミックグリーンシート２ｆを保持したままカット刃７とともに上昇する。一方、キャリアフィルム１は、他の部分のキャリアフィルムとつながったままであるので、切り出されたセラミックグリーンシート２ｆはキャリアフィルム１から剥離される。このとき、周縁空気口１２における負圧１８は維持したまま、中央空気口１１では負圧１７を与えるのをやめるか、負圧１７を負圧１８に比べて弱くするか、あるいは逆に負圧１７に代えて正圧１９を与えるように切り換える。こうすることで、剥離される部分の下側ではキャリアフィルム１は凸形に変形する。たとえば、負圧１８と正圧１９とを組合せて与えた場合、破線１６で示すように膨れ上がって変形する。したがって、このセラミックグリーンシート剥離装置を用いればセラミックグリーンシート２とキャリアフィルム１との剥離に関しては、周縁部から中央部に向かって線剥離の状態で進み、剥離を確実かつ容易に行なえるとされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなセラミックグリーンシート剥離方法においては、剥離すべき部分の全周において線剥離が起こり、線剥離は四方あるいは全方向から一斉に中心部に向かって集中するように進む。したがって、線剥離の進行状況が不安定となり、剥離現象の再現性に乏しいものとなるという問題があった。
【０００８】
また、セラミックグリーンシート２の表面には通常は電極が印刷されており、セラミックグリーンシート２が引っ張られるとセラミックグリーンシート２が変形するとともにその表面に印刷された電極の位置もずれることが知られている。セラミックグリーンシート２の周縁部から中央部に向かって線剥離が進行する場合、セラミックグリーンシート２に生じる歪みの生じ方は一定方向にのみ沿った１次元的なもののみではなく、２次元的な複雑なものになる。したがって、電極のずれ具合も複雑なものとなる。そのため、後工程で個々のチップに分割する際の切断位置を一律に補正するなどの手段で対応することが困難になるという問題がある。特に近年は用いられるセラミックグリーンシートの厚みが薄くなってきているので、剥離時の歪みの問題は顕著となり、対策が求められている。
【０００９】
また、マザーシート３が長尺状のもので、テンションをかけて走行させることによって供給している場合、セラミックグリーンシート２剥離後に下側に残って送られ排出されていくキャリアフィルム１にも問題が生じる。キャリアフィルム１は剥離時には図１０の破線１６に示されるように球面状または角錐状に突出するように変形する。キャリアフィルム１は通常、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ　ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：以下「ＰＥＴ」という。）からなるが、セラミックグリーンシートの熱圧着などのためにＰＥＴのガラス転移点を超える程度の温度にまで加熱した状況下で剥離を行なっている場合、ＰＥＴ製のキャリアフィルムに生じた変形は残存するので、剥離後のキャリアフィルムは単なる平面ではなく凸形部分を有することとなる。キャリアフィルムはセラミックグリーンシートを剥離した後もある程度の区間においてはテンションをかけた状態で走行を継続するが、このように変形したキャリアフィルムがテンションをかけた状態で走行することで、蛇行が起こりやすくなるという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明では、上述の諸問題を解消し、なおかつ、安定確実かつ容易にキャリアフィルムとセラミックグリーンシートとの間の剥離を行なえるセラミックグリーンシート剥離装置およびセラミックグリーンシート剥離方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に基づくセラミックグリーンシート剥離方法の一つの局面では、キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから上記セラミックグリーンシートを剥離するためのセラミックグリーンシート剥離方法であって、作業台の上に上記キャリアフィルムが下側になるように置かれた上記マザーシートのうち上記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分にヘッドを当接させ吸着保持する吸着工程と、上記作業台が、上記マザーシートのうち上記剥離すべき部分を挟む２つの領域において上記キャリアフィルムを固定し、上記２つの領域に挟まれた領域の内部では上記キャリアフィルムを固定しない状態で、上記ヘッドが上記剥離すべき部分を吸着保持したまま上記作業台から離れる、ヘッド離隔工程とを含む。この方法を採用することにより、２つの領域の近傍で線剥離が発生し、二方向から剥離すべき部分に向かって挟みこむように進行するので、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえる。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明に基づくセラミックグリーンシート剥離方法の他の局面では、キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから上記セラミックグリーンシートを剥離するためのセラミックグリーンシート剥離方法であって、作業台の上に上記キャリアフィルムが下側になるように置かれた上記マザーシートのうち上記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分にセラミックグリーンシート積層体を保持するヘッドを当接させ上記積層体と上記剥離すべき部分とを圧着させる圧着工程と、上記作業台が、上記マザーシートのうち上記剥離すべき部分を挟む２つの領域において上記キャリアフィルムを固定し、上記２つの領域に挟まれた領域の内部では上記キャリアフィルムを固定しない状態で、上記ヘッドが上記作業台から離れる、ヘッド離隔工程とを含む。この方法を採用することにより、２つの領域の近傍で線剥離が発生し、二方向から剥離すべき部分に向かって挟みこむように進行するので、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえる。また、この方法では、圧着してから剥離する方式となるので、剥離後にヘッドを積層位置まで移動させて積層動作を行なう必要がなく、効率良く積層体を得ることができる。しかも、上記圧着工程において熱圧着を行なっても、線剥離の際の引っ張られる方向が一様となるので、キャリアフィルムの不規則な変形が生じにくく、蛇行を起こさずにマザーシートを走行させることができる。
【００１３】
上記発明において好ましくは、上記剥離工程の前に、上記剥離すべき部分を上記セラミックグリーンシートの他の部分から切断する切断工程をさらに有する。この方法を採用することにより、切断と剥離を一貫して行なうことができ、効率良く作業を進めることができる。
【００１４】
上記発明において好ましくは、上記切断工程では、上記キャリアフィルムを完全には切断せずに上記セラミックグリーンシートを完全に切断する。この方法を採用することにより、切断工程で形成された切れ目を利用してキャリアフィルムからセラミックグリーンシートだけを剥離することができる。
【００１５】
上記発明において好ましくは、上記切断工程は、上記ヘッドが上記剥離すべき部分に当接した状態で行なわれる。この方法を採用することにより、切断時と剥離時のヘッドの位置が変わらないので、位置決めをし直す必要がなく、円滑に作業を進めることができる。
【００１６】
上記発明において好ましくは、上記２つの領域は、２本の線状の領域である。この方法を採用することにより、少ない面積における固定で線剥離を生じさせることができる。
【００１７】
上記発明において好ましくは、上記マザーシートはテープ状であって長手方向に沿って送られることで供給されており、上記２つの領域は、上記マザーシートの幅方向に沿って延びる。この方法を採用することにより、剥離中のマザーシート３に対するテンションを維持しつつ、２つの領域で固定することができる。
【００１８】
上記発明において好ましくは、上記２つの領域における上記キャリアフィルムに対する固定は、上記剥離すべき部分を上記作業台の上面に投影した領域の外形線から２ｍｍ以上２０ｍｍ以下の距離を空けた位置で行なう。この方法を採用することにより、線剥離の開始を安定させ、なおかつ、ヘッドの上昇高さをあまり高くせずに剥離作業を終了することができる。
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明に基づくセラミックグリーンシート剥離装置の一つの局面では、キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから上記セラミックグリーンシートを剥離するための作業台と、上記マザーシートの表面の上記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分を吸着保持するためのヘッドと、上記ヘッドを、上記剥離すべき部分を吸着保持したままの状態で上記作業台から離隔させるための離隔手段とを備え、上記作業台は、上記マザーシートのうち上記剥離すべき部分を挟む２つの領域において上記キャリアフィルムを固定するための両辺固定手段を備える。この構成を採用することにより、剥離作業時には、２つの領域の近傍で線剥離が発生し、二方向から剥離すべき部分に向かって挟みこむように進行するので、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえるセラミックグリーンシート剥離装置とすることができる。
【００２０】
上記目的を達成するため、本発明に基づくセラミックグリーンシート剥離装置の他の局面では、キャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートが付着したものであるマザーシートから上記セラミックグリーンシートを剥離するための作業台と、積層体を保持し、上記マザーシートの表面の上記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分と上記積層体との間の圧着を行なうためのヘッドと、上記ヘッドを上記作業台から離隔させるための離隔手段とを備え、上記作業台は、上記マザーシートのうち上記剥離すべき部分を挟む２つの領域において上記キャリアフィルムを固定するための両辺固定手段を備える。この構成を採用することにより、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえるセラミックグリーンシート剥離装置とすることができる。
【００２１】
上記発明において好ましくは、上記ヘッドが上記セラミックグリーンシートの剥離すべき部分に当接した状態で、上記剥離すべき部分を上記セラミックグリーンシートの他の部分から切り離すための切断手段をさらに備える。この構成を採用することにより、切断と剥離を一貫して行なうことができるセラミックグリーンシート剥離装置とすることができる。
【００２２】
上記発明において好ましくは、上記２つの領域は、２本の線状の領域である。この構成を採用することにより、確実に線剥離を生じさせることができる一方、マザーシートを固定するための領域を少ないスペースに収めて配置することができるようになり、装置をコンパクトにすることができる。
【００２３】
上記発明において好ましくは、テープ状の上記マザーシートを長手方向に沿って走行させて供給する走行手段をさらに備え、上記両辺固定手段は、上記マザーシートの幅方向に沿ってそれぞれ設定されている。この構成を採用することにより、剥離中のマザーシートに対して付与されているテンションの影響を受けずにセラミックグリーンシートを剥離することができるので、より安定した剥離を行なうことができる。また、セラミックグリーンシートの剥離の際にキャリアフィルムを一定方向に引っ張る力が生じるが、この方向がマザーシートの走行方向と一致するので、仮にキャリアフィルムに伸びが生じたとしても、マザーシートの走行に影響を与えることはほとんどない。
【００２４】
上記発明において好ましくは、上記剥離すべき部分を上記作業台の上面に投影した領域の外形線と上記両辺固定手段で固定できる領域の端との間の距離は、２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。この構成を採用することにより、線剥離の開始を安定させ、なおかつ、ヘッドの上昇高さをコンパクトに抑えることができる。
【００２５】
上記発明において好ましくは、上記ヘッドおよび上記作業台のうち少なくとも一方が加熱手段を備える。この構成を採用することにより、加熱しながら剥離することができる。したがって、熱圧着した後に剥離する方式を実行できる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
（剥離装置）
図１、図２を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置について説明する。図１に示すように、このセラミックグリーンシート剥離装置は、作業台としてのテーブル５ｈと、ヘッド６ｈとを備える。テーブル５ｈの平面図を図２に示す。テーブル５ｈで剥離作業を行なう際にセラミックグリーンシートの剥離すべき部分が位置する領域を「領域」２１として二点鎖線で示した。このテーブル５ｈでは、この領域２１を挟むように、２つの領域である固定領域２２が設定されている。領域２１の内部には吸引孔２４が配置されており、固定領域２２の内部には両辺固定手段としての吸引孔２３が配置されている。図１に示すように吸引孔２３は空気経路１４ｈに通じており、吸引孔２４は空気経路１３ｈに通じている。
【００２７】
一方、ヘッド６ｈは、内部に吸引経路３３ｈを備えており、対象物を下面に吸引保持することができるようになっている。さらにヘッド６ｈは、吸着面９を取り囲むように切断手段としてのカット刃７を備えている。カット刃７は、カット刃駆動部３１によって上下に移動することができるようになっている。ヘッド６ｈ自体は、ヘッド昇降機構３２によって上下に移動することができる。ヘッド昇降機構３２は離隔手段に相当する。
【００２８】
（剥離方法）
図１〜図３を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離方法について説明する。まず、テーブル５ｈの上面にマザーシート３を、セラミックグリーンシート２が上、キャリアフィルム１が下となるように載置する。この状態で空気経路１３ｈ，１４ｈを通じて負圧を与え、マザーシート３をテーブル５ｈの上面において位置決めし、吸引することによって固定保持する。ヘッド６ｈを降下させ、セラミックグリーンシート２に当接させ、吸引経路３３ｈを通じて吸着保持する。このとき同時にカット刃７が降下し、セラミックグリーンシート２の剥離すべき部分であるセラミックグリーンシート２ｆと他の部分とを分けるように切断する。ただし、この切断においてはセラミックグリーンシート２は切断されるもののキャリアフィルム１は完全には切断されない。
【００２９】
この時点で、空気経路１４ｈにおける負圧は維持したまま、空気経路１３ｈには負圧を与えるのをやめる。ヘッド６ｈを、セラミックグリーンシート２ｆを吸引保持したままの状態でカット刃７とともに上昇させる。こうすると、セラミックグリーンシート２ｆとキャリアフィルム１との間で剥離が進行する。剥離すべき部分の真下の領域２１を挟む固定領域２２（図２参照）においてのみ吸引が行なわれるので、キャリアフィルム１は図１に示すように台形状に変形し、線剥離は矢印２０の向きに両側から中心に向かって進行する。線剥離進行中のキャリアフィルム１の形状の斜視概念図を図３に示す。図３は、マザーシート３が矩形状であった場合のものである。両側から進行する線剥離の辺はいずれ互いに出会い、セラミックグリーンシート２ｆとキャリアフィルム１との間は完全に分離される。この後、ヘッド６ｈをセラミックグリーンシートの積層位置まで移動させ、セラミックグリーンシート２ｆを他のセラミックグリーンシートの上に積み重ねて置く動作を行ない、ヘッド６ｈまたは他のヘッドによって押圧することで圧着する。これを所定回数繰り返すことによって、セラミックグリーンシートの積層体を得る。
【００３０】
（作用・効果）
このセラミックグリーンシート剥離装置ないしはセラミックグリーンシート剥離方法においては、吸引領域の近傍で線剥離が発生し、二方向から中央に向かって挟みこむように進行するので、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえる。
【００３１】
図２では固定領域２２の片方に注目すると吸引孔２３は１列に配置されているが、１列に限らず、２列以上であってもよい。固定領域２２は線状に限らないが図２に示すように線状であることが望ましい。特に図２に示すように、固定領域２２が互いに平行な２本の線状の領域であれば、図３に示すように線剥離が平行を保ちながら互いに出会うように進行するので、セラミックグリーンシート２ｆが引っ張られる方向が一定となるので好ましい。また、線剥離同士が出会う位置も予定しやすくなる。
【００３２】
図３には、マザーシート３が矩形状であった場合のキャリアフィルム１の変形の仕方を示したが、マザーシート３は矩形状に限らず、他の形状のシートであってもよい。また、マザーシートがテープ状（長尺状）のものであって、長手方向に沿って送られることで供給されるものであってもよい。その場合、図４に示すように固定領域２２はマザーシートの幅方向に沿って延びるように配置されることが望ましい。そうすれば剥離中のマザーシート３に付与されているテンションの影響を受けずに安定して剥離することができるからである。また、セラミックグリーンシートの剥離の際にキャリアフィルムを一定方向に引っ張る力が生じるが、この方向がマザーシートの走行方向と一致するので、仮にキャリアフィルムに伸びが生じたとしても、マザーシートの走行に影響を与えることはほとんどない。
【００３３】
図２に示すように、剥離すべき部分に対応する領域２１の外形線と、両辺固定手段である吸引孔２３で吸引できる領域の端との間のなす距離をＤとすると、距離Ｄは、２ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。距離Ｄが２ｍｍ以上２０ｍｍ以下であれば、図５に示すように、キャリアフィルム１にかかるテンションおよび剥離角度を一定に保ちながら線剥離が安定して進行するからである。たとえば、Ｄ＝２ｍｍのときは、図５に示すように、ヘッド６ｈの吸着面９が０．１ｍｍ上昇した時点で剥離現象が始まり、底辺２ｍｍ高さ０．１ｍｍの直角三角形の相似形を保ちながら線剥離が進行する。厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートにおいては、距離Ｄが２ｍｍ未満の場合、剥離の安定性に欠け、セラミックグリーンシートが破れたり、しわが生じたりする。図５に示しているのは剥離終了直前のキャリアフィルム１の形状であるが、ここからわかるように、距離Ｄを大きくすると剥離終了高さＨも大きくなる。したがって、距離Ｄが２０ｍｍより大きければ、剥離させるためにヘッド６ｈを上昇させるべき高さがあまりに高くなってしまい実用性に欠ける。なお、図５は、キャリアフィルム１の変形を概念的に説明するためのものであって、セラミックグリーンシート２，２ｆ、カット刃７など、この説明に重要でない部分は図示省略している。
【００３４】
なお、上述の例では、カット刃７による切断工程は、ヘッド６ｈがセラミックグリーンシート２に当接した状態で行なっているが、他のタイミングで切断を行なうこととしてもよい。たとえば、切断手段をヘッド６ｈに設けるのではなく、別のところに設け、予めセラミックグリーンシートのみを切断した状態でマザーシートが供給されるようにしてもよい。その場合、ヘッド６ｈに切断手段がなくとも、剥離を行なうことができる。
【００３５】
（実施の形態２）
（剥離装置）
図６、図７を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるセラミックグリーンシート剥離装置について説明する。図６に示すように、このセラミックグリーンシート剥離装置は、作業台としてのテーブル５ｉと、ヘッド６ｉとを備える。テーブル５ｉの平面図を図７に示す。テーブル５ｉで剥離作業を行なう際にセラミックグリーンシートの剥離すべき部分が位置する領域を「領域」２１として二点鎖線で示した。このテーブル５ｈでは、この領域２１を挟むように、２つの領域である固定領域２２が設定され、固定領域２２の内部には両辺固定手段としての吸引孔２３が配置されている点は、実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置のテーブル５ｈと同様であるが、領域２１内部には吸引孔が配置されていない。図６に示すように吸引孔２３は空気経路１４ｉに通じている。テーブル５ｉは内部に加熱手段としてヒータ３５を備えている。
【００３６】
図６に示すように、ヘッド６ｉの内部には加熱手段としてヒータ３４が設けられている。ヘッド６ｉの内部には吸引経路３３ｉが設けられているが、実施の形態１における吸引経路３３ｈが吸着面９に対して剥離すべき領域の全面に配置された多数の孔によって連通していたのに対して、吸引経路３３ｉは剥離すべき領域の中央部を避け、その周囲を取り囲むように配置された孔によって吸着面９に連通している。吸着面９には、マザーシート３から剥離して取り出したセラミックグリーンシートを次々と重ねて互いに熱圧着し、そのまま積層体として保持することができるようになっている。その他の構成については、実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置と同様である。
【００３７】
（動作）
上述のようなセラミックグリーンシート剥離装置を用いれば、ヘッド６ｉおよびテーブル５ｉの内部にヒータが設けられているので、加熱をしながら剥離作業を行なうことができる。すなわち、ヘッド６ｉの吸着面９にセラミックグリーンシートの積層体を保持しておき、ヘッド６ｉをマザーシート３に当接させる際に、加熱しながら加圧することによって、マザーシート３の剥離すべき部分のセラミックグリーンシート２ｆと積層体とを圧着させる。本実施の形態におけるセラミックグリーンシート剥離装置では、ヘッド６ｉにおいては吸着面９の中央には孔が配置されておらず、また、テーブル５ｉにおいても領域２１の内部には吸引孔が配置されていない（図７参照）ことから、ヘッド６ｉ、テーブル５ｉとも機械的強度を高くすることができる。したがって、実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置に比べて高い圧力で押圧することができる。したがって、必要な程度の圧着を行なうことができる。その後で、ヘッド昇降機構３２によってヘッド６ｉを上昇させることで、セラミックグリーンシート２ｆは積層体の一部としてヘッド６ｉに保持されたまま上昇し、キャリアフィルム１から剥離する。その他の動作については、実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置と同様である。
【００３８】
（作用・効果）
本実施の形態におけるセラミックグリーンシート剥離装置ないしはセラミックグリーンシート剥離方法においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。さらに、本実施の形態では、圧着してから剥離する方式であるので、実施の形態１のように剥離後にヘッドを積層位置まで移動させて積層動作を行なう必要がなく、効率良く積層体を得ることができる。また、本実施の形態では、ヘッド６ｉによる加熱を伴うが、加熱によってキャリアフィルムの材質のガラス転移点を超えたとしても、生じる変形は、マザーシートの長手方向に沿った一様なものであるので、キャリアフィルムに凸状の変形が残存せず、従来問題となっていたキャリアフィルムの変形による蛇行を防止することができる。
【００３９】
（実施の形態３）
実施の形態１，２においては、固定領域２２におけるキャリアフィルム１の固定をテーブルに設けた吸引孔によって行なっていたが、固定の方法は、吸引保持に限らない。すなわち、機械的なクランプ手段によってもよい。たとえば、図８に示すように、吸引保持の代わりに押え部材２５によってマザーシート３をテーブル５ｊに向けて押さえつけることとしてもよい。あるいは、図９に示すように、押え部材２５の代わりに、円柱形の押え棒２６を用いて押さえつけることとしてもよい。
【００４０】
本発明を適用するには、ここに例示した以外の他の手段であっても、結局のところ、図３、図４を参照して説明したように、剥離したい部分を挟む２つの領域において、マザーシートをテーブルに対してくっつけた状態で固定する機構を備えていればよい。そのように固定することができれば、線剥離が二方向から一様に進むようにすることができるからである。
【００４１】
本実施の形態では、実施の形態１のセラミックグリーンシート剥離装置において両辺固定手段を吸引孔から機械的なクランプ手段に置き換えた例を示したが、このような置換えは、実施の形態１のセラミックグリーンシート剥離装置に限らず、実施の形態２のセラミックグリーンシート剥離装置においても、同様に適用することができる。
【００４２】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、２つの領域の近傍で線剥離が発生し、二方向から剥離すべき部分に向かって挟みこむように進行するので、剥離の進行状況が安定し、再現性のある剥離が行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置の断面図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離装置のテーブルの平面図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離方法において線剥離進行中のキャリアフィルムの形状の第１の例の斜視図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離方法において線剥離進行中のキャリアフィルムの形状の第２の例の斜視図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート剥離方法における線剥離終了直前の状況を側方から見た説明図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態２におけるセラミックグリーンシート剥離装置の断面図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態２におけるセラミックグリーンシート剥離装置のテーブルの平面図である。
【図８】本発明に基づく実施の形態３における第１のセラミックグリーンシート剥離装置の断面図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態３における第２のセラミックグリーンシート剥離装置の断面図である。
【図１０】従来技術に基づくセラミックグリーンシート剥離装置の断面図である。
【図１１】従来技術に基づくセラミックグリーンシート剥離装置のテーブルの平面図である。
【符号の説明】
１　キャリアフィルム、２，２ｆ　セラミックグリーンシート、３　マザーシート、５，５ｈ，５ｉ，５ｊ　テーブル、６，６ｈ，６ｉ　ヘッド、７　カット刃、８　多孔質板、９　吸着面、１１　中央空気口、１２　周縁空気口、１３，１３ｈ，１４，１４ｈ　空気経路、１６　破線、１７，１８　負圧、１９　正圧、２０　矢印、２１　（剥離すべき部分に対応する）領域、２２　固定領域、２３，２４　吸引孔、２５，２６　押え部材、３１　カット刃駆動部、３２　ヘッド昇降機構、３３ｈ，３３ｉ　吸引経路、３４，３５　ヒータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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