(57)【要約】【課題】ワークの寸法にばらつきがあっても、ワークをスムースに搬送しかつ移載することができるワーク搬送装置およびワーク搬送方法を提供する。【解決手段】ワーク搬送装置は外面にワーク１を吸着保持するワーク吸着面４ｃが形成された正多角形状吸着テーブル４ａからなる第１搬送テーブル４と、外面にワーク１を吸着保持するワーク吸着面１０ｃが形成された正多角形状吸着テーブル１０ａからなる第２搬送テーブル１０とを備えている。第１搬送テーブル４と第２搬送テーブル１０との間に、移載装置９が設けられている。第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃに吸着されたワーク１は、移載装置９の移載ピン９ａにより押圧されて、第２搬送テーブル１０のワーク吸着面１０ｃ側へ移載される。【選択図】　図１
2004010301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外面にワークを吸着保持するワーク吸着面が複数形成された第１搬送手段と、
外面にワークを吸着保持するワーク吸着面が複数形成された第２搬送手段と、
第１搬送手段と第２搬送手段との間に設けられ、第１搬送手段のワーク吸着面により吸着保持されたワークを第２搬送手段のワーク吸着面側へ移載する移載装置と、
を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
第１搬送手段および第２搬送手段は、いずれも正多角形の吸着テーブルを有し、ワーク吸着面はこれら吸着テーブルの外面に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
第１搬送手段は吸着テーブル上方に配置され、ワークを上方から係止する上カバーを有し、
第２搬送手段は吸着テーブル下方に配置され、ワークを下方から係止する下カバーを有することを特徴とする請求項２記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
第２搬送手段の下カバーは、ワークを載置する複数の受座部を有し、受座部間に切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項３記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
第１搬送手段と第２搬送手段は、互いに平行にかつ隣接して配置され、
第２搬送手段側に位置する第１搬送手段のワーク吸着面は、対向する第２搬送手段のワーク吸着面より上方に位置することを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
第２搬送手段側に位置する第１搬送手段のワーク吸着面は、対向する第２搬送手段のワーク吸着面と離間し、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持したワークが、対向する第２搬送手段のワーク吸着面に干渉しないようになっていることを特徴とする請求項５記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
移載装置は、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを押圧して第２搬送手段側へ移載する移載ピンを有することを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
第２搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを排出するワーク排出装置を設けたことを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
ワーク排出装置はワーク吸着面に吸着保持されたワークを係止して排出させる排出ピンを有することを特徴とする請求項８記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
第２搬送手段に、ワーク吸着面に吸着保持されたワークを下カバーの切欠き部から落下して排出させるワーク排出手段を設けたことを特徴とする請求項４記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
ワークは６面体からなり、第１搬送手段および第２搬送手段の近傍に、６面体のワークの各面を検出するワーク撮像手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項１２】
第１搬送手段のワーク吸着面によりワークを吸着保持して搬送する工程と、
第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを第２搬送手段のワーク吸着面へ移載する工程と、
第２搬送手段のワーク吸着面によりワークを吸着保持して搬送する工程と、
を備えたことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項１３】
ワークを移載する工程は、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを押圧して第２搬送手段のワーク吸着面に移載することを特徴とする請求項１２記載のワーク搬送方法。
【請求項１４】
第２搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを係止して排出させる排出工程を更に備えたことを特徴とする請求項１２記載のワーク搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ状ワークを搬送するワーク搬送装置およびワーク搬送方法に係り、とりわけ外観検査若しくは特性試験を容易にし、更にワークの供給からワークの排出に至る一連の作業を高速化することができるワーク搬送装置およびワーク搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６により、従来の６面外観検査装置について説明する。図６に示すように、従来の６面外観検査装置において、リニアフィーダ２により整列搬送されてきたワーク１は、図示しない分離機構により１個毎分離されて、水平搬送機構１００へ送られる。ワーク１は次に水平搬送機構１００の間欠回転する水平搬送テーブル１０１の周縁部に複数設けられたワーク収納凹部１０１ａに個々に収納され、水平搬送機構１００の基台１０２の搬送面を摺動して搬送される。このように搬送される過程において、撮像手段１１０ａによりワーク１の上面側が撮像され、撮像手段１１０ｃによりワーク１の一方の端面側が撮像され、更に基台１０２に設けられた図示しない測定用窓を介して撮像手段１１０ｂによりワーク１の下面側が撮像される。画像データは図示しない画像処理装置に送信されて処理され、良否判定が行なわれる。
【０００３】
ワークの移載位置１０３において水平搬送テーブル１０１と直交するように配設された垂直搬送テーブル１０５は、周縁部に複数のワーク収納凹部１０５ａを有している。この垂直搬送テーブル１０５は、ワーク収納凹部１０５ａが移載位置１０３において水平搬送テーブル１０１のワーク収納凹部１０１ａと対峙するように水平搬送テーブル１０１に同期して間欠回転されている。
【０００４】
ワーク１が水平搬送テーブル１０１により搬送されて移載位置１０３に到達すると、図示しない移載機構によりワーク１は水平搬送テーブル１０１のワーク収納凹部１０１ａから垂直搬送テーブル１０５のワーク収納凹部１０５ａに移載される。垂直搬送テーブル１０５により搬送される過程において、撮像手段１１０ｄによりワーク１の一方の側面側が撮像され、撮像手段１１０ｅによりワーク１の他方の側面側が撮像され、更にワーク１の端面のうち、残りの端面が撮像手段１１０ｆにより撮像される。画像データは図示しない画像処理装置に送信されて処理され、水平搬送テーブル１０１での判定結果と合わせて総合的に良否判定が行われ、図示しない排出部において良否別に分類されて排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このようなワーク１の外観検査装置において、ワーク１の寸法が公差内でばらついた場合、ワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａに収納することができなかったりすることがある。他方、このワーク１の寸法公差内でのばらつきに対応できるようにするためにワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａの寸法を大きくすると、ワーク１の搬送中にワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａ内で正常寸法のワーク１が振動してワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａの摩耗が増大するだけでなく、ワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａを破損させたり、基台１０２のワーク搬送面を傷付け、若しくはワーク１自体の破損につながる場合もある。このため、ワーク１の寸法公差をカバーする数種類の搬送テーブルを準備する必要がある。
【０００６】
また、基台１０２の搬送面をワーク１が高速で摺動搬送されるため摩擦による静電気が発生し、移載位置１０３において水平搬送テーブル１０１のワーク収納凹部１０１ａ内にワーク１が付着してしまい移載に支障が生ずることもある。
【０００７】
更に、水平搬送テーブル１０１から垂直搬送テーブル１０５へワーク１を移載するワーク１の移載機構は、水平搬送テーブル１０１のワーク収納凹部１０１ａ内から噴射される圧縮空気と、垂直搬送テーブル１０５のワーク収納凹部１０５ｂの真空吸引をそれぞれ単独或いは共用して用いている。この場合、水平搬送テーブル１０１のワーク収納凹部１０１ａは移載位置１０３に到達する直前まで真空吸引によりワーク１を固定させており、移載位置１０３に到達して圧縮空気を噴射しようとしても真空状態から直ちに圧縮空気の噴射状態に切り替わらないため、ワーク１の移載をスムーズに行なうことができず、ワーク搬送の高速化を妨げることがある。
【０００８】
また、水平搬送テーブル１０１と垂直搬送テーブル１０５はワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａを有しているが、ワーク収納凹部１０１ａ，１０５ａからのワークの取り出しを一つづつ行う必要があり、速度遅延の一因にもなっている。
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ワークの寸法にばらつきがあってもワークをスムースかつ高速に搬送しかつ移載することができるワーク搬送装置およびワーク搬送方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外面にワークを吸着保持するワーク吸着面が複数形成された第１搬送手段と、外面にワークを吸着保持するワーク吸着面が複数形成された第２搬送手段と、第１搬送手段と第２搬送手段との間に設けられ、第１搬送手段のワーク吸着面により吸着保持されたワークを第２搬送手段のワーク吸着面側へ移載する移載装置と、を備えたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１１】
本発明は、第１搬送手段および第２搬送手段は、いずれも正多角形の吸着テーブルを有し、ワーク吸着面はこれら吸着テーブルの外面に形成されていることを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１２】
本発明は、第１搬送手段は吸着テーブル上方に配置され、ワークを上方から係止する上カバーを有し、第２搬送手段は吸着テーブル下方に配置され、ワークを下方から係止する下カバーを有することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１３】
本発明は、第２搬送手段の下カバーは、ワークを載置する複数の受座部を有し、受座部間に切欠き部が形成されていることを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１４】
本発明は、第１搬送手段と第２搬送手段は、互いに平行にかつ隣接して配置され、第２搬送手段側に位置する第１搬送手段のワーク吸着面は、対向する第２搬送手段のワーク吸着面より上方に位置することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１５】
本発明は、第２搬送手段側に位置する第１搬送手段のワーク吸着面は、対向する第２搬送手段のワーク吸着面と離間し、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持したワークが、対向する第２搬送手段のワーク吸着面に干渉しないようになっていることを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１６】
本発明は、移載装置は、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを押圧して第２搬送手段側へ移載する移載ピンを有することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１７】
本発明は、第２搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを排出するワーク排出装置を設けたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１８】
本発明は、ワーク排出装置はワーク吸着面に吸着保持されたワークを係止して排出させる排出ピンを有することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１９】
本発明は、第２搬送手段に、ワーク吸着面に吸着保持されたワークを下カバーの切欠き部から落下して排出させるワーク排出手段を設けたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００２０】
本発明は、ワークは６面体からなり、第１搬送手段および第２搬送手段の近傍に、６面体のワークの各面を検出するワーク撮像手段を設けたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００２１】
本発明は、第１搬送手段のワーク吸着面によりワークを吸着保持して搬送する工程と、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを第２搬送手段のワーク吸着面へ移載する工程と、第２搬送手段のワーク吸着面によりワークを吸着保持して搬送する工程と、を備えたことを特徴とするワーク搬送方法である。
【００２２】
本発明は、ワークを移載する工程は、第１搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを押圧して第２搬送手段のワーク吸着面に移載することを特徴とするワーク搬送方法である。
【００２３】
本発明は、第２搬送手段のワーク吸着面に吸着保持されたワークを係止して排出させる排出工程を更に備えたことを特徴とするワーク搬送方法である。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。ここで図１は本発明によるワーク搬送装置の一実施例を示す平面図であり、図２はワーク搬送装置のワーク移載位置を示す断面図であり、図３はワーク搬送装置のワーク吸着面の変形例を示す断面図であり、図４はワーク搬送装置の排出装置を示す部分拡大図であり、図５は排出装置の変形例を示す部分拡大図である。
【００２５】
図１に示すように、ワーク搬送装置は６面体からなるワーク１を整列搬送するリニアフィーダ２と、リニアフィーダ２からのワーク１を１個毎に分離する分離供給機構３と、分離供給機構３により分離されたワーク１を吸着保持する複数のワーク吸着面４ｃを有する回転自在の第１搬送テーブル（第１搬送手段）４と、ワーク１を吸着保持する複数のワーク吸着面１０ｃを有する回転自在の第２搬送テーブル（第２搬送手段）１０と、第１搬送テーブル４と第２搬送テーブル１０との間に配置され、第１搬送テーブル４の吸着面４ｃに吸着保持されたワーク１を第２搬送テーブル１０の吸着面１０ｃへ移載する移載装置９とを備えている。
【００２６】
このうち、第１搬送テーブル４と第２搬送テーブル１０は、水平方向に互いに平行に配置されており、移載位置２０を介して隣接し、移載装置９はこの移載位置２０に配置されている。また図２に示すように、第１搬送テーブル４は第２搬送テーブル１０よりわずかに上方に配置されている。
【００２７】
水平に配設された第１搬送テーブル４は、各辺面（外面）にワーク１を吸着して搬送するための吸引ノズル５が開口する正多角形状吸着テーブル４ａと、吸着テーブル４ａの上面をカバーする上カバー４ｂとを有し、吸着テーブル４ａの正多角形の各辺面に、ワーク吸着面４ｃが形成されている。また上カバー４ｂのうち吸着テーブル４ａのワーク吸着面４ｃの上方には、上カバー４ｂを貫通して移載孔８が設けられている。この場合、上カバー４ｂは受座部４ｄによりワーク１を上方から係止するようになっている。
【００２８】
次に第２搬送テーブル１０について説明する。第２搬送テーブル１０は、第１搬送テーブル４と同様に水平に配設されている。第２搬送テーブル１０は、第１搬送テーブル４の吸着テーブル４ａと同様に、各辺面（外面）に吸引ノズル１１が開口する正多角形状の吸着テーブル１０ａと、吸着テーブル１０ａの各辺面に形成された吸着面１０ｃに吸着されて搬送されるワーク１を下方から係止する下カバー１０ｂとを有している。このうち下カバー１０ｂはワーク吸着面１０ｃに吸着されたワーク１を下方から支える複数の受座部１０ｄと、受座部１０ｄ間に形成され、ワーク１を排出するための切欠き部１０ｅとを有している。
【００２９】
第２搬送テーブル１０の吸着テーブル１０ａは、図２、図３に示すように、第１搬送テーブル４の吸着テーブル４ａからワーク１の略厚さ分だけ下がった位置に配置されている。第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃと第２搬送テーブル１０のワーク吸着面１０ｃがそれぞれ回転して互いに平行に向き合った場合、第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃに吸着されたワーク１と、第２搬送テーブル１０の吸着面１０ｃとが回転により干渉しないよう、第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃと第２搬送テーブルのワーク吸着面１０ｃとは離間している。
【００３０】
吸着テーブル４ａ，１０ａの各ワーク吸着面４ｃ，１０ｃに開口する吸引ノズル５，１１は、図示しない真空発生源に連通された集合吸引部７，１３に連通されている。また吸引ノズル５，１１には集合吸引部７，１３と吸着面４ｃ，１０ｃとの間に吸引力を制御するための絞り５ａ，１１ａが設けられている。
【００３１】
このようなワーク搬送装置において、ワーク１は第１搬送テーブル４の吸着テーブル４ａの吸着面４ｃに吸着され、第１搬送テーブル４が間欠回転して搬送される。この場合、図２に示すように、吸引ノズル５は吸着テーブル４ａの上面に形成された溝と上カバー４ｂの下面により形成されており、ワーク１は吸着テーブル４ａの吸着面４ｃに吸着されると共に、上カバー４ｂの下面にも吸引されて位置決めされるようになっている。
【００３２】
次に移載位置２０に配置された移載装置９について説明する。移載装置９は装置本体９ｂと、装置本体９ｂに取付けられて上下方向に進退する移載ピン９ａとを有し、この移載ピン９ａは第１搬送テーブル４の上カバー４ｂに設けられた移載孔８内に挿入されるようになっている。すなわち移載ピン９ａが下方へ延び移載孔８内を貫通することにより、移載ピン９ａは吸着テーブル４ａに吸着されているワーク１を押圧して下方に移動させ、吸引ノズル５による真空吸着からワーク１を離脱させる。このとき第２搬送テーブル１０の吸着テーブル１０ａに設けられた吸引ノズル１１によりワーク１を吸引してワーク吸着面１０ｃによりワーク１を吸着保持する。同時に、下カバー１０ｂの受座部１０ｄによりワーク１を位置決めするようになっている。
【００３３】
図１において、第１搬送テーブル４と第２搬送テーブル１０とは互いに同期して同一方向または反対方向に間欠回転するようになっている。この場合、ワーク１の受け渡しを行なう第１搬送テーブル４および第２搬送テーブル１０のワーク吸着面４ｃ，１０ｃが移載位置２０において互いに向き合って、ワーク１の移載がスムースに行なわれるようになっている。
【００３４】
また、第１搬送テーブル４および第２搬送テーブル１０の近傍には、６面体からなるワーク１の全６面を撮像する撮像装置１８ａ〜１８ｆが配置され、撮像装置１８ａ〜１８ｆによりワーク１の全６面を撮像した後、撮像データは画像処理装置３０に送られて良否・階層判定される。さらに第２搬送テーブル１０には、複数の排出装置１４，１６が設けられ、画像処理装置３０からの信号に基づいてワーク１が階層別に排出されて、各排出装置１４，１６にそれぞれ対応するワーク収納部１５，１７に収納される。
【００３５】
なお、撮像装置１８ａ〜１８ｆのうち、撮像装置１８ａ，１８ｂは第１搬送テーブル４側に設けられてワーク１の２面を撮像し、撮像装置１８ｃ〜１８ｆは第２搬送テーブル１０側に設けられてワーク１の残り４面を撮像する。
【００３６】
次に排出装置１４，１６について、図４により詳述する。排出装置１４，１６は略同一構成を有しているため、ここでは図４により排出装置１４について説明する。
【００３７】
図４に示すように排出装置１４は、アクチュエータ１４ａと、アクチュエータ１４ａに進退自在に設けられた排出ピン１４ｂとを有し、排出すべきワーク１が排出装置１４に到達すると、アクチュエータ１４ａにより排出ピン１４ｂが延びてワーク１を係止するようになっている。この場合、第２ワーク搬送テーブル１０がワーク１をワーク吸着面１０ｃにおいて吸着保持しながら回転するため、ワーク吸着面１０ｃ上をワーク１が摺動して吸引ノズル１１からワーク１が離れる。このためワーク１は下カバー１０ｂの受座部１０ｄから外れて、受座部１０ｄ間の切欠き部１０ｅから落下してワーク収納部１５内に収納されるようになっている。
【００３８】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。図１に示すように、リニアフィーダ２により連続して搬送されるワーク１は分離供給機構３において１個毎に分離されて、第１搬送テーブル４へ送られる。
【００３９】
第１搬送テーブル４において、ワーク１は吸着テーブル４ａのワーク吸着面４ｃにおいて吸引ノズル５からの吸引力によって吸着保持される。この場合、ワーク１は上カバー４ｂによって上方からも吸引保持され係止して位置決めされる。その後、第１搬送テーブル４の回転に伴ってワーク１が搬送され、ワーク１が移載位置２０にきたとき、移載装置９の移載ピン９ａが第１搬送テーブル４の上カバー４ｂに設けられた移載孔８内を貫通し、ワーク１を下方へ押圧する。このとき第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃおよび受座部４ｄに吸着されていたワーク１は吸引ノズル５による真空吸着から離脱し、第２搬送テーブル１０の吸着テーブル１０ａ側へ落下し、吸着テーブル１０ａのワーク吸着面１０ｃおよび受座部１０ｄにおいて吸引ノズル１１からの吸引力によって吸着保持される。
【００４０】
この場合、ワーク１は下カバー１０ｂによって下方から係止して位置決めされる。
【００４１】
その後第２搬送テーブル１０の回転に伴ってワーク１が搬送され、ワーク１は排出機構１４，１６側へ達する。
【００４２】
この間、ワーク１は撮像装置１８ａ〜１８ｆによって、その６面が撮像され、撮像装置１８ａ〜１８ｆからの撮像データは画像処理装置３０に送られて判定される。次に画像処理装置３０からの信号に基づいて、排出装置１４，１６のいずれかが作動し、第２搬送テーブル１０により搬送されるワーク１を排出装置１４によりワーク収納部１５へ落下させて収納するか、または排出装置１６によりワーク収納部１７へ落下させて収納する。尚処理のスピードアップを図るため、落下速度が遅い場合には図示しないエアの噴射等を付加しても良い。
【００４３】
この場合、例えば、画像処理装置３０によりワーク１が不良品と判断した場合、排出装置１４によりワーク１をワーク収納部１５へ収納し、ワーク１が良品と判断した場合、排出装置１６によりワーク１をワーク収納部１７へ収納することができる。
【００４４】
以上本発明の実施の形態によれば、第１搬送テーブル４により吸着保持されたワーク１が、第２搬送テーブル１０に移載される際、ワーク１の異なる面を外方へ露出させるので、ワーク１の６面を確実に撮像装置１８ａ〜１８ｆにより撮像することができる。
【００４５】
また第１搬送テーブル４のワーク吸着面４ｃにワーク１を吸着した状態で、このワーク１を第２搬送テーブル１０のワーク吸着面１０ｃに移載するので、ワーク１の移載速度を高速度で行なうことができる。
【００４６】
さらに、多角形の吸着テーブル４ａ，１０ａの外面にワーク吸着面４ｃ，１０ｃが形成されているので、ワーク１の形状によらず確実にワーク１をワーク吸着面４ｃ，１０ｃに吸着保持することができる。
【００４７】
次に第１搬送テーブル４ａのワーク吸着面４ｃと第２搬送テーブル１０ａのワーク吸着面１０ｃの変形例について、図３により説明する。図３に示すように、吸引ノズル５，１１をそれぞれ上カバー４ｂおよび下カバー１０ｂに設け、ワーク吸着面４ｃ，１０ｃと吸引ノズル５，１１との間に、真空吸引用ポット６，１２を設けてもよい。この場合、真空吸引用ポット６，１２はワーク１のサイズに応じて吸着テーブル４ａ，１０ａに凹部を削掘するか、吸着テーブル４ａと上カバー４ｂとの接合面側の稜、または吸着テーブル１０ａと下カバー１０ｂとの接合面側の稜を面取りすることにより形成される。
【００４８】
第１搬送テーブル４および第２搬送テーブル１０の各吸引ノズル５，１１に設けた絞り５ａ，１１ａは、吸引ノズル５，１１による搬送時の吸引力の制御に用いられ、移載時及び排出時に吸引力を弱めて移載及び排出によるワーク１のダメージを軽減若しくは除去することができるようになっている。この際、移載及び排出時にワーク１のダメージが発生しない場合は、絞り５ａ，１１ａを設ける代わりに、吸引ノズル５，１１を単に細系のノズルとして吸引力のみを規制するようにしても良い。
【００４９】
ところで、吸引ノズル５，１１の絞り５ａ，１１ａは、集合吸引部７，１３の真空吸引に対しワーク１が無くても空気の大量流入による真空度の低下を防止すると共に、ワーク１を吸着するのに十分な真空度を確保するためのものである。吸着ノズル５，１１の一部を細管にするか、又は吸着ノズル５，１１全体を細管にした場合は、絞り５ａ，１１ａと同様、管路抵抗により空気流入を制御することができる。
【００５０】
次に排出装置１４の変形例について説明する。図４に示すように排出ピン１４ｂによってワーク１を係止する代わり、図５に示すように、吸着テーブル１０ａの吸引ノズル１１を絞り１１ａにより絞って吸引ノズル１１の真空吸引を停止させると共に、ワーク排出用吸引機構１９によりワーク１を吸引して排出してもよい。
【００５１】
なお、排出装置１６においても、図５に示すワーク排出用吸引機構１９によりワーク１を吸引して排出してもよい。
【００５２】
さらに上記実施の形態において、本発明をワークの外観検査装置に適用する例について説明したが、ワークの特性試験装置に適用してもよい。
【００５３】
また、本実施の形態において、第１搬送テーブル４および第２搬送テーブル１０は、正多角形状吸着テーブル４ａ，１０ａを有し、この吸着テーブル４ａ，１０ａにワーク吸着面４ｃ，１０ｃが形成されているが、これに限らず直線的な動作を行なう、例えば無端搬送ベルトやチェーン等を第１及び第２搬送手段として用い、これらのベルトまたはチェーンの端面にワーク吸着面を設けても良い。
【００５４】
さらに本実施の形態では、第１搬送テーブル４および第２搬送テーブル１０を水平に配置する例について説明したが、これはワーク収納部１５，１７へワーク１を落下して収納することができるためである。しかしながら、他の収納手段を用いる場合には、第１搬送テーブル４と第２搬送テーブル１０とを同一傾斜面（又は同一角度）に配置すれば良く、水平に配置しなくてもよい。
【００５５】
また、第１搬送テーブル４の上カバー４ｂを開孔して移載孔８を設けた例について説明したが、上カバー４ｂを吸着テーブル４ａより若干大きく、かつ位相の合った正多角形とし、上カバー４ｂに移載ピン９ａと干渉しない受座部４ｄを設け、ワーク１をワーク吸着面４ｃと受座部４ｄとにより位置決め固定してもよい。この場合、移載ピン９ａは受座部４ｄの外周に配置される。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第１搬送手段と第２搬送手段は、その外面にワークを吸着させるワーク吸着面を有しているので、ワークの寸法公差に左右されること無くワークを吸着保持することができる。また第１搬送手段と第２搬送手段間でワークを移載することにより、ワークの全面を確実に検査することができる。また、搬送過程においては、ワークがワーク吸着面を摺動することが無いため摺動に伴うワークの破損や静電気の発生等がなくなり、安定したワークの供給・搬送ができる。また移載位置においては、移載装置により安定且つ速やかにワークを移載することができるため、ワーク搬送の高速化に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるワーク搬送装置の一実施例を示す平面図。
【図２】ワーク搬送装置の移載位置の断面図。
【図３】ワーク吸着面の変形例を示す断面図。
【図４】ワーク搬送装置の排出装置を示す部分拡大図。
【図５】排出装置の変形例を示す部分拡大図。
【図６】従来技術の６面外観検査装置を示す図。
【符号の説明】
１　ワーク
２　リニアフィーダ
３　分離供給機構
４　第１搬送テーブル
４ａ　吸着テーブル
４ｂ　上カバー
４ｃ　吸着面
４ｄ　受座部
５　吸引ノズル
５ａ　絞り
６　真空吸引用ポット
７　集合吸引部
８　移載孔
９　移載装置
９ａ　移載ピン
９ｂ　装置本体
１０　第２搬送テーブル
１０ａ　吸着テーブル
１０ｂ　下カバー
１０ｃ　吸着面
１０ｄ　受座部
１０ｅ　切欠き部
１１　吸引ノズル
１１ａ　絞り
１２　真空吸引用ポット
１３　集合吸引部
１４，１６　排出装置
１４ａ　アクチュエータ
１４ｂ　排出ピン
１５，１７　ワーク収納部
１８ａ〜１８ｆ　撮像手段
１９　ワーク排出用吸引機構
２０　移載位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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