(57)【要約】【課題】圧力損失が低くしかも粉塵捕集率が高い流体フィルタを提供する。【解決手段】流体の流通方向及び／又は該流通方向と交叉方向において、平均孔径の小さい領域１２，３２，５２，６０と平均孔径の大きい領域１１，２０，３１，４０，５１とが交互に配置されている流体フィルタ１。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が一方の面から他方の面に向って流通するセラミック多孔体よりなる流体フィルタにおいて、
該流体の流通方向及び／又は該流通方向と交叉方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されていることを特徴とする流体フィルタ。
【請求項２】
請求項１において、該流体の流通方向及び該流通方向と交叉方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されていることを特徴とする流体フィルタ。
【請求項３】
請求項１又は２において、該流体の流出面側に平均孔径の小さい領域が配置されていることを特徴とする流体フィルタ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、該流体フィルタは平板状であり、該流通方向は平板状流体フィルタの厚み方向であり、該厚み方向及び厚み方向と直交方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されていることを特徴とする流体フィルタ。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれか１項において、該流体フィルタは筒状であり、該流通方向は径方向であり、該筒状の流体フィルタの筒軸心線と平行方向及び径方向において、平均孔径の大きい領域と平均孔径の小さい領域とが交互に配置されていることを特徴とする流体フィルタ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、該セラミック多孔体が、内部連通空間を有する３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体をセラミックスラリーに浸漬して上記合成樹脂発泡体にセラミックを付着せしめた後、乾燥、焼成して得られる３次元網状骨格構造のセラミック多孔体であることを特徴とする流体フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気等の流体を濾過して除塵するための、セラミック多孔体よりなる流体フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、内部連通空間を有する３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体、例えばセル膜のない軟質ポリウレタンフォームをセラミックスラリーに浸漬し、セラミックをポリウレタンフォームの骨格に付着させ、これを乾燥、焼成することによって得られた３次元網状骨格を有するセラミック多孔体が知られている（例えば、特開平１１−２８５７８２号、特開２０００−１０９３７６号）。
【０００３】
このセラミック多孔体は、かさ比重が小さく、耐熱性が高く、不活性で、通気抵抗、即ち圧力損失が低い等の特徴を有するため、厨房用グリスフィルター、触媒担体、通気性断熱材、溶融金属ろ過材等に用いられているが、これらの用途に使用するにあたっては圧力損失ができるかぎり低いことが求められている。
【０００４】
従来、圧力損失を小さくするには、ポリウレタンフォームへのセラミックスラリーの付着度合いを少なくし、目づまりをほとんどなくすことが行われていたが、セラミック多孔体の見かけ比重が小さくなり、強度面で問題があった。
【０００５】
また、セラミックスラリー中へ種々の有機系の界面活性剤、解膠剤などを添加して泥漿特性を調節する方法が採用されており、この方法によれば、骨格は太くなり、強度も大きくなるが、目づまりが多少生じ、圧力損失は十分には下がらないという問題がある。しかも、セラミック原料土のほか可燃消失の有機成分が多いため、得られたセラミック多孔体は気孔が多く残り、ポーラスな構造となる。このため、例えば含塵ガスのフィルタとして用いた場合、粉塵がセラミック多孔体の骨格に侵入し、経時的に圧損が上昇する。更に、ポーラスな骨格のため、強度面で問題になる恐れがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、除塵性能に優れると共に圧力損失が低いセラミック多孔体よりなる流体フィルタを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体フィルタは、流体が一方の面から他方の面に向って流通するセラミック多孔体よりなる流体フィルタにおいて、該流体の流通方向及び／又は該流通方向と交叉方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の流体フィルタでは、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されているため、流体フィルタに流入した流体は、フィルタ内部を通過する際、フィルタ流入面から流出面まで直線的に通過することができなくなり、濾過長が長くなり、粉塵等の捕集効果が向上する。また、含塵流体が平均孔径の小さい領域において流れ方向を変えられる際に、流体よりも比重の高い粉塵等は遠心力、慣性等により、この平均孔径の小さい領域に捕集される。このように、含塵流体から、遠心力、慣性を利用して粉塵の分離・捕集を行うため、含塵流体は平均孔径の大きい領域を選択的に通過し、圧力損失の低減が可能となる。
【０００９】
本発明の流体フィルタでは、流体の流出面側に平均孔径の小さい領域を配置しておくことが好ましく、これにより、上述の遠心力、慣性等による捕集性能では捕集し得なかった粉塵をこの流出面側の平均孔径の小さい領域で捕集することができるようになる。
【００１０】
本発明の流体フィルタは、具体的には、次のような構成とすることができる。
▲１▼  平板状であり、流体の流通方向は平板状流体フィルタの厚み方向であり、該厚み方向及び厚み方向と直交方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されている流体フィルタ。
▲２▼  筒状であり、流体の流通方向は径方向であり、該筒状の流体フィルタの筒軸心線と平行方向及び径方向において、平均孔径の大きい領域と平均孔径の小さい領域とが交互に配置されている流体フィルタ。
【００１１】
本発明のセラミック多孔体は、内部連通空間を有する３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体をセラミックスラリーに浸漬して上記合成樹脂発泡体にセラミックを付着せしめた後、乾燥、焼成して得られる３次元網状骨格構造のセラミック多孔体であることが好ましい。
【００１２】
本発明の流体フィルタは、空気などのガスを除塵処理するのに好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の流体フィルタの実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
本発明のセラミック多孔体は、好ましくは、上述したように、内部連通空間を有する３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体を基材として作られるものである。
【００１５】
このような合成樹脂発泡体としては、内部連通空間を有する３次元網状骨格構造を有すればいずれのものも使用できるが、軟質ポリウレタンフォーム、特にセル膜のない軟質ポリウレタンフォームが好適に使用できる。このセル膜のないポリウレタンフォームとしては、発泡時のコントロールによりセル膜をなくしたもの、あるいはアルカリ処理、熱処理、水圧処理等によりセル膜を除去したものが使用でき、セル数、空孔率その他の物性は用途に応じて選択することができる。
【００１６】
セラミック多孔体は、上述した合成樹脂発泡体をセラミックスラリーに浸漬し、合成樹脂発泡体にセラミックスラリーを付着せしめた後、乾燥、焼成し、該合成樹脂発泡体を熱分解又は焼却して得られる。
【００１７】
セラミックとしては、アルミナ、シリカ、コーディエライト等の酸化物セラミックのほか、炭化珪素、窒化珪素などの非酸化物セラミック、あるいはサイアロン等が挙げられる。
【００１８】
なお、セラミックスラリーの安定性を増加させるため粘土を配合することができる。この粘土としては、例えば木節粘土、蛙目粘土などが使用できる。また、配合量は全セラミック成分に対し０〜１５％とすることが好ましい。１５％より多く配合するとチクソトロピー指数が変化して目づまりの原因となる。
【００１９】
そのほかセラミックスラリーには必要に応じポリビニルアルコール、カルボキシルメチルセルロース等の結合剤を配合することによりチクソトロピー性を調整することもできる。
【００２０】
なお、セラミックスラリーの粘度は目的とするセラミック多孔体のセルの大きさなどに応じ、水の添加量を加減して調節することができる。
【００２１】
次に、上述したセラミックスラリーに３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体を浸漬し、余剰泥漿を除去し、乾燥し、焼成炉で１０００〜１５００℃程度の温度で焼成することにより、合成樹脂発泡体に対応したセル構造の内部連通空間を有する３次元網状骨格構造のセラミック多孔体を得ることができる。
【００２２】
本発明の流体フィルタは、流体の流通方向及び／又は該流通方向と交叉方向において、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されている。
【００２３】
このように平均孔径の異なる領域を交互に配置するには、平均孔径が異なる、即ち目の粗さが異なる３次元網状骨格構造の合成樹脂発泡体筒状体を所定の配置となるように組み合わせて一体化した前駆体を製作し、この前駆体をセラミックスラリーに浸漬し、余剰泥漿を除去し、乾燥し、焼成炉で焼成すればよい。
【００２４】
本発明の流体フィルタにおいて、平均孔径の小さい領域の平均孔径及び平均孔径の大きい領域の平均孔径には特に制限はなく、流体フィルタの形状や用途（処理流体の種類）、平均孔径の小さい領域及び平均孔径の大きい領域の配置や当該領域の大きさ等に応じて適宜決定されるが、平均孔径の小さい領域は、捕集性能の確保のために平均孔径が０．１〜１．５ｍｍ程度であることが好ましく、一方、平均孔径の大きい領域は、圧力損失の低減のために、平均孔径が１．０〜５．０ｍｍ程度であることが好ましい。特に、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とは、その平均孔径において、差が大きい方が平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とを交互に配置することによる本発明の効果を十分に得ることができ、好ましい。従って、平均孔径の大きい領域の平均孔径は、平均孔径の小さい領域の平均孔径の１．２倍以上であることが好ましい。流体フィルタの設計上、平均孔径の大きい領域の平均孔径は、平均孔径の小さい領域の平均孔径の２〜４倍であることが特に好ましい。
【００２５】
なお、本発明の流体フィルタにあっては、平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域との２種類の平均孔径の異なる領域を交互に配置したものに限らず、平均孔径の小さい領域及び平均孔径の大きい領域と、これらの領域の平均孔径の中間の平均孔径を有する領域の３種類以上の領域を組み合わせて配置しても良い。
【００２６】
本発明の流体フィルタにおいては、流体の流通方向及び／又は該流通方向と交叉方向に平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されている場合、この流体フィルタの流体の流通方向に沿う断面における平均孔径の小さい領域の面積割合（該断面における平均孔径の小さい領域が占める面積の総和を、該断面の総面積で除した割合の百分率。以下「細目領域比」と称す場合がある。）は枠部を除く濾過部のみにおいて２０〜８０％、特に３０〜６０％程度であることが好ましい。この割合が２０％未満では捕集性能が不足し、８０％を超えると圧力損失が大きくなり、好ましくない。
【００２７】
本発明の流体フィルタにおいて、流体の流通方向と交叉方向に平均孔径の小さい領域と平均孔径の大きい領域とが交互に配置されている場合、この流体フィルタの流体の流通方向と交叉方向に沿う断面における細目領域比についても枠部を除く濾過部のみにおいて２０〜８０％、特に４０〜６０％程度であることが好ましい。この割合が２０％未満では捕集性能が不足し、８０％を超えると圧力損失が大きくなり、好ましくない。
【００２８】
以下に図面を参照して本発明の流体フィルタの具体的な構成を説明する。
【００２９】
図１は実施の形態に係る流体フィルタ１を示すものであり、（ａ）図は流体フィルタの平面図、（ｂ）図は正面図、（ｃ）図は（ａ）図のＣ−Ｃ線断面図、（ｄ）図は（ｃ）図のＤ−Ｄ線断面図である。図２，３は別の実施の形態に係る流体フィルタを示す図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は正面図、図３（ａ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００３０】
図１の流体フィルタ１は、方形平板形状のものであり、平均孔径の小さい（以下、「細目」ということがある。）領域と平均孔径の大きい（以下、「粗目」ということがある。）領域とが混在している。
【００３１】
この流体フィルタ１は、細目の枠部２と、該枠部２内に流体フィルタ１の厚さ方向に重なり合う層状に形成された第１層１０、第２層２０、第３層３０、第４層４０、第５層５０及び第６層６０を有する。第２，４，６層２０，４０，６０は、いずれも全体として細目である。第１，３，５層１０，３０，５０は、厚さ方向と直方する一方向（図１（ａ），（ｃ）の左右方向）において細目の領域と粗目の領域とが交互に設けられている。
【００３２】
第１層１０にあっては、流体フィルタの一側辺（図１（ｃ）の左側辺）から他側辺（図１（ｃ）の右側辺）に向って粗目領域１１と細目領域１２とが交互に配置されている。第３層３０にあっては、該一側辺から他側辺に向って細目領域３２と粗目領域３１とが交互に配置されている。第５層５０にあっては、第１層１０と同様に、該一側辺から他側辺に向って粗目領域５１と細目領域５２とが交互に配置されている。各粗目領域１１，３１，５１及び細目領域１２，３２，５２の幅は略同一である。
【００３３】
第３層３０のみが細目領域と粗目領域との配列が第１，５層１０，５０と逆になっているので、第１，５層の細目領域１２，５２間には第３層の粗目領域３１が配置され、第１，５層の粗目領域１１，５１間には第３層の細目領域３２が配置されている。
【００３４】
図１の流体フィルタ１は、通常１辺の長さが５０〜２００ｍｍ程度で厚さが２０〜１００ｍｍ程度の板状であることが好ましい。また、細目領域１２，３２，５２及び粗目領域１１，３１，５１の流体流入面方向の幅は５〜３０ｍｍであることが好ましく、フィルタの厚さ方向の高さは５〜３０ｍｍ程度であることが好ましい。なお、細目領域及び粗目領域の幅や高さは均一である必要はなく、細目領域と粗目領域とで異なっていても良く、配置箇所によって異なる大きさであっても良い。
【００３５】
また、流体フィルタ１の流体流出面側に配置する細目領域（第６層６０）の厚さは１〜３０ｍｍ程度であることが好ましい。
【００３６】
なお、図１では、厚み方向と直交方向において細目領域と粗目領域とが交互に配置された層が、厚み方向に合計３層設けられているが、この層の数はこれに限定されず、２又は４層以上であってもよい。また、第２，４層２０，４０は粗目領域とされているが、前述の好適な細目領域比を満たす範囲において、これらは細目領域としても良い。流体流出面側となる第６層６０については細目領域とすることが捕集性能の面で好ましい。また、枠部２についても流体フィルタの強度の確保の点及び含塵ガスのリーク防止の為にも細目領域とすることが好ましい。
【００３７】
この流体フィルタ１は、軟質ポリウレタンフォーム製の前駆体を、前述の如く、セラミックスラリーに浸漬し、余剰のスラリーを除去し、乾燥後、焼成することにより製造された多孔質セラミック製である。この焼成により、前躯体は焼失除去される。この前駆体の構成について図４を参照して説明する。
【００３８】
この前駆体は、枠部２を形成するための方形の枠体３の底部に第６層６０を形成するための底板４を嵌合させて桝形状体とし、この枡形状体内に第５層５０を形成するための角棒体５，６を左右に隣接させて交互に敷き並べ、その上に第４層４０を形成するための平板７を敷き、その上に第３層３０を形成するための角棒体６，５を敷き並べ、その上に第２層形成用の平板７を敷き、最後に、この上に、第１層１０を形成するための角棒体５，６を敷き並べたものである。枠体３、底板４、及び角棒体５は細目の軟質ポリウレタンフォームよりなる。角棒体６及び平板７は粗目の軟質ポリウレタンフォームよりなる。角棒体５，６は同一寸法であり、それらの長さは枠体３の内寸と同一となっている。底板４及び平板７は同一寸法である。角棒体６及び平板７が粗目であるので、焼成により得られる流体フィルタは粗目領域１１，３１，５１及び第２層２０と第４層４０が粗目であり、その他は細目となる。
【００３９】
図１の流体フィルタ１は、側面から流体を吸い込まれないようにケーシング内に配置され、図１（ｃ）に矢印で示す流通方向に流体が流れるように、流体の流出側を吸引することにより、流入した流体を濾過して除塵する。
【００４０】
図２，３の流体フィルタ７０は、円筒形であり、流体は放射方向（求心方向と逆方向）に流通する。
【００４１】
この流体フィルタ７０は、外周側から内周側に向って同軸状に積層状に配置された第１層７１〜第８層７８の８層よりなる。第１層７１は細目領域のみよりなり、第３，５，７層７３，７５，７７は粗面領域のみよりなり、第２，４，６，８層７２，７４，７６，７８は粗目領域７２ａ，７４ａ，７６ａ，７８ａと細目領域７２ｂ，７４ｂ，７６ｂ，７８ｂとを有する。
【００４２】
これらの粗目領域７２ａ，７４ａ，７６ａ，７８ａ及び細目領域７２ｂ，７４ｂ，７６ｂ，７８ｂはいずれも流体フィルタ７０を周回する環状である。各領域７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７４ｂ，７６ａ，７６ｂ，７８ａ，７８ｂの流体フィルタ軸心線と平行方向の幅員は同一である。
【００４３】
第２層７２及び第６層７６は、一端面（図３（ａ）の上端面）から他端面（図３（ａ）の下端面）に向って細目領域７２ｂ，７６ｂと粗目領域７２ａ，７６ａとが交互に配置されている。第４層７４及び第８層７８にあっては、該一端面から他端面に向って粗目領域７２ａ，７８ａと細目領域７２ｂ，７８ｂとが交互に配置されている。流体フィルタ７０の両端面はいずれも細目となっている。
【００４４】
第２層及び第６層の粗目領域７２ａ，７６ａ及び細目領域７２ｂ，７６ｂの配置と、第４層及び第８層の粗目領域７４ａ，７８ａ及び細目領域７４ｂ，７８ｂの配置を逆としているため、求心方向において第２層及び第６層の粗目領域７２ａ，７６ａと第４層及び第８層の細目領域７４ｂ，７８ｂとが重なり合い、第２層及び第６層の細目領域７２ｂ，７６ｂと第４層及び第８層の粗目領域７４ａ，７８ａとが重なり合う。
【００４５】
図２，３の流体フィルタ７０は、通常、外径１２０〜３００ｍｍ、内径４０〜１６０ｍｍ、厚さ（（外径−内径）／２）４０〜１００ｍｍ、高さ５０〜１５０ｍｍ程度の円筒形であることが好ましく（図２，３に記載される寸法の数値の単位はｍｍである。）、細目領域及び粗目領域の高さや幅、流体流出面側の細目領域の厚さについては、図１の流体フィルタの説明において前述した値と同程度とすることが好ましい。
【００４６】
なお、図３では、周方向において細目領域と粗目領域とが交互に配置された層が、径方向に合計４層設けられているが、この層の数はこれに限定されず、３層以下であっても５層以上であってもよい。また、第３，５，７層７３，７５，７７は粗目領域とされているが、これらは、前述の好適な細目領域比を満たす範囲において、細目領域としても良い。両端面については流体フィルタの強度の確保の点及び含塵ガスのリーク防止の為にも細目領域とすることが好ましい。
【００４７】
この流体フィルタ７０も、軟質ポリウレタンフォーム製の前駆体を、セラミックスラリーに浸漬した後、余剰のセラミックスラリーを除去し、乾燥及び焼成することにより製造されたものである。この前駆体は、第１層形成用の筒状の細目のポリウレタンフォームと第３，５，７層形成用の筒状の粗目のポリウレタンフォームと、粗目領域７２ａ，７４ａ，７６ａ，７８ａ形成用の粗目の環状ポリウレタンフォームと、細目領域７２ｂ，７４ｂ，７６ｂ，７８ｂ形成用の細目の環状軟質ポリウレタンフォームと、流体フィルタの両端面形成用の環板状の細目の軟質ポリウレタンフォームとを組み合わせて形成される。
【００４８】
図２，３の流体フィルタ７０は、両端面から流体を吸い込まれないようにケーシング内に配置され、図２（ａ）に矢印で示す流通方向に流体が流れるように流体の流出側（円筒形流体フィルタの外側部分）を吸引することにより、流入した流体を濾過して除塵する。なお、この流体フィルタ７０は、内周側を吸引して、外周面から内周面へ流体を流通させるようにしても良い。ただし、この時は、外周側の細目領域を内周側に配置することとする。
【００４９】
図１及び図２，３のいずれの流体フィルタであっても、流体フィルタに流入した流体は細目領域と粗目領域とが交互に配置された流体フィルタ内部を通過する間に、効率的に除塵され、また、粗目領域の存在で、圧力損失が低減し、長期に亘り低い圧力損失で除塵処理を行うことができる。
【００５０】
【実施例】
図１に示す流体フィルタ１と、比較例に係る流体フィルタとについて行った粉塵捕集率と圧力損失の測定結果を次に説明する。
【００５１】
実施例のセラミック多孔体は次のようにして製造されたものである。
【００５２】
即ち、バイヤー法アルミナ９５重量部と、木節粘土５重量部と、ポリビニルアルコール４重量部と、水２０重量部とを混合してセラミックスラリーを調製した。
【００５３】
また、１インチ（２５ｍｍ）当たりセル数が３０個の細目領域形成用のセル膜のない３次元網状骨格構造の軟質ポリウレタンフォームと、１インチ（２５ｍｍ）当たりセル数が１０個の粗目領域形成用のセル膜のない３次元網状骨格構造の軟質ポリウレタンフォームとを図２に示すように組み合わせて嵌め合わせ、前駆体を製作した。この前駆体を上記スラリーに浸漬した後、余分なスラリーを除去し、十分に乾燥し、次いで１３００℃で１０時間焼成を行ってセラミック多孔体を得た。
【００５４】
このセラミックス多孔体よりなる流体フィルタは、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×４５ｍｍ厚さ（枠部を含んだ外形の大きさ）の平板形状であり、細目領域の平均孔径は０．５０ｍｍ、粗目領域の平均孔径は１．９０ｍｍで、各部の寸法は次の通りである。
【００５５】
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【００５６】
比較例１の流体フィルタは、全体が上記細目領域のセラミック多孔体であり、比較例２の流体フィルタは全体が上記細目領域よりも更に平均孔径の小さいセラミック多孔体（１インチ（２５ｍｍ）当たりのセル数が４０個のセル膜のない３次元網状骨格構造の軟質ポリウレタンフォームを前駆体として製造されたもの）である。比較例１，２のいずれのセラミック多孔体についても一辺の長さが１００ｍｍ×１００ｍｍで表１に示す厚さのものについて各々測定を行った。
【００５７】
各流体フィルタに５０００Ｌ／ｍｉｎの流量で含塵空気を流通させて圧力損失及び粉塵捕集率を調べた。含塵空気としては、ＪＩＳ−１２種の粉塵（カーボンブラック）を０．２ｇ／ｍ３含むものを用いた。結果を次の表１に示す。
【００５８】
【表１】
2004330023.tif 000004
【００５９】
表１より明らかなように、実施例１の本発明の流体フィルタは、比較例のうち、最も粉塵捕集率の高い比較例２の２０ｍｍ厚みのものよりも更に捕集率は高く、また、圧力損失についてはその１／２程度に低減されている。
【００６０】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によると、圧力損失が低くしかも粉塵捕集率が高い流体フィルタが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態に係る流体フィルタ１を示すものであり、（ａ）図は流体フィルタの平面図、（ｂ）図は正面図、（ｃ）図は（ａ）図のＣ−Ｃ線断面図、（ｄ）図は（ｃ）図のＤ−Ｄ線断面図である。
【図２】別の実施の形態に係る流体フィルタを示す図であり、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は正面図である。
【図３】図３（ａ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】図１の流体フィルタを製造するための軟質ポリウレタンフォームピースの組み立て構造図である。
【符号の説明】
１，７０  流体フィルタ
２  枠部
１０  第１層
１１，３１，５１，７２ａ，７４ａ，７６ａ，７８ａ  粗目領域
１２，３２，５２，７２ｂ，７４ｂ，７６ｂ，７８ｂ  細目領域
２０  第２層
３０  第３層
３０  第３層
４０  第４層
５０  第５層
６０  第６層
【図１】
2004330023.tif 000005
【図２】
2004330023.tif 000006
【図３】
2004330023.tif 000007
【図４】
2004330023.tif 000008