(57)【要約】  【課題】口金を分解することなく洗浄でき、分解、組み立ての作業が軽減できるとともに組み立てに人の介在が不要となる洗浄装置を提供する。  【解決手段】吐出口を有する口金を洗浄液に浸漬した状態で収納する洗浄槽と、該洗浄槽に洗浄液を循環させる循環系と、該口金に洗浄液に浸漬した状態で超音波を放射する超音波放射手段とを有する循環式口金洗浄装置において、洗浄液を該口金内部にも循環させる口金内循環手段を有し、口金内部の異物を除去するため口金を傾斜させる手段を有することを特徴とする循環式口金洗浄装置。【選択図】図１
2004314048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口を有する口金を洗浄液に浸漬した状態で収納する洗浄槽と、該洗浄槽に洗浄液を循環させる循環手段と、該口金を洗浄液に浸漬した状態で超音波を放射する超音波放射手段とを有する循環式口金洗浄装置において、洗浄液を該口金内部にも循環させる口金内循環手段を有することを特徴とする循環式口金洗浄装置。
【請求項２】
口金内部に洗浄液を循環させる際に口金を傾ける手段を有する請求項１記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項３】
口金内部に洗浄液を循環させる際に洗浄液中に気泡を混入させる手段とその気泡の量を調整する調整手段とを有する請求項１記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄槽および循環手段を複数個有する請求項１記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項５】
該循環系のいずれかに濾過手段を有する請求項１記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項６】
電子情報材料塗布口金の洗浄に使用される請求項１記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項７】
該電子情報材料塗布口金がプラズマディスプレイパネル製造工程に用いられる蛍光体塗布口金である請求項４記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項８】
洗浄完了後、ノズル内外面を乾燥させる手段を有する請求項１〜７記載の循環式口金洗浄装置。
【請求項９】
吐出口を有する口金を循環する洗浄液中に浸漬させ、該口金に超音波を放射して洗浄する洗浄方法において、洗浄液を口金内部にも循環させて洗浄することを特徴とする循環式口金洗浄方法。
【請求項１０】
口金内部に洗浄液を循環させる際に口金を傾けることを特徴とする請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１１】
口金内部に洗浄液を循環させる際に洗浄液中に気泡を混入させ、その気泡の量を調整することを特徴とする請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１２】
洗浄を行うための洗浄槽および洗浄液を口金内部に循環させるための循環手段を複数個有し、段階的に洗浄を行うことを特徴とする請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１３】
循環系のいずれかで濾過による洗浄液の清浄化を行うことを特徴とする請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１４】
循環系を複数有し、該循環系のうち高次のものから低次のものへ順次洗浄液を流用することを特徴とする請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１５】
該洗浄する期間の最初を除く少なくとも一部の期間の間、該口金内部に未循環の洗浄液を循環させるものである請求項９記載の循環式口金洗浄方法。
【請求項１６】
洗浄完了後、ノズル内外面を乾燥させることを特徴とする請求項９〜１５記載の循環式口金洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吐出口を有する口金の洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ペースト等を吐出して電子情報材料を塗布する工程、特に、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとする）製造工程においては吐出口を有する口金からＲＧＢの各色から選ばれた蛍光体ペーストを吐出して塗布する工程がある（特許文献１参照）。この口金の洗浄に関する従来技術を以下に説明する。
【０００３】
この口金を洗浄する際、口金を部品ごとに分解し、例えば洗浄液を満たした槽の底部に超音波振動子を設置し、その上方の洗浄液中に被洗浄物を浸漬して洗浄を行う（特許文献２参照）。洗浄は超音波振動子から超音波を放射することで洗浄液を振動させ、その超音波振動により発生したキャビテーションの衝撃エネルギーにより汚れを除去する方式である。また、洗浄槽内の洗浄液を強制的に循環させながら洗浄を行う方式も知られている（特許文献３参照）。その他には被洗浄物内部に洗浄液を循環させ、同時に気泡を混入させたり、洗浄液の供給液の経路を変えて洗浄を行う方式も知られている（特許文献４参照）。
【特許文献１】特開平１１−１１１１８３号公報第３〜４頁
【特許文献２】特開平３−１０９９８２号公報
【特許文献３】特開平９−３１４０７６号公報第１〜４頁
【特許文献４】特開２００３−１３６６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の方法では口金の分解、組み立てが必要であり、人の手間がかかることはもちろんであるが組み立ての際に口金内部に異物が混入する恐れがある。この場合、塗布中に吐出口の詰まりが発生しＰＤＰの歩留まり低下の一因となっている。また、バッチ式の洗浄であるため汚れた洗浄液は洗浄の都度廃棄することになり洗浄液使用量が多量になるといった課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は吐出口を有する口金を洗浄液に浸漬した状態で収納する洗浄槽と、該洗浄槽に洗浄液を循環させる循環系と、該口金に洗浄液に浸漬した状態で超音波を放射する超音波放射手段とを有する循環式口金洗浄装置において、該口金内部にも洗浄液を循環させる口金内循環手段を有することを特徴とする循環式口金洗浄装置を提供する。また、口金内部に洗浄液を循環させる際に口金を傾ける手段を有する循環式口金洗浄装置を提供する。
【０００６】
さらに、吐出口を有する口金を循環する洗浄液中に浸漬させ、該口金に超音波を放射して洗浄する洗浄方法において、洗浄液を口金内部にも循環させて洗浄することを特徴とする循環式口金洗浄方法を提供するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は吐出口を有する口金の洗浄を行う際、洗浄液が循環する洗浄槽内に浸漬した口金に超音振動子から超音波を放射すると同時に口金内部にも洗浄液を循環させて洗浄を行う洗浄装置を提供する。これにより口金を非分解で洗浄でき、分解、組み立ての作業が軽減できるとともに組み立てに人が介在しないことから口金内部への異物混入を防止でき、また、口金を非分解で洗浄することにより口金内部の異物が除去し難くなるが、口金を傾斜させた状態で口金内部に洗浄液を循環させることで口金内部の異物を除去することができ、口金詰まりによる塗布対象物の歩留まり向上効果も望める。
【０００８】
さらに、洗浄槽を複数設け、段階的に濾過による洗浄液の清浄化機能を付加し、その段階に応じた洗浄液の清浄度で口金を洗浄することで効率的な洗浄が行える。また、循環手段により洗浄液を繰り返し使用できることから洗浄液使用量を従来より大幅に削減することも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は本発明の実施形態からなる口金洗浄装置の一例を示すものである。吐出口を有する口金としては、外部との連絡孔（そのうちの少なくとも１つが吐出口）を少なくとも２つ以上有する一本以上の管状中空を有する構造であるならば、特に限定されるものではない。好適には電子情報材料塗布口金、特にＰＤＰの製造工程において、蛍光体ペーストを吐出塗布する際に用いられる口金（以下、ＰＤＰ用口金という）であるので、専ら、これを例に説明する。ＰＤＰ用口金は複数個（好ましくは５０〜２０００個）の微細（好ましくは内径８０〜１５０μｍ）な吐出口（吐出部分の形状は平板、ノズルまたはニードル等。口形状は円形、楕円形またはスリット等）を有しており、口金へ吐出物を供給する供給口（好ましくは内径８〜２０ｍｍ）を１個もしくは複数個（好ましくは１〜４個）有している。前記吐出口と供給口の間には、内室（好ましくは１００〜５０００ｃｍ3）が備えられてることが好ましい。又、供給口から前記内室に向かって、供給口から内室への連絡管は幾重にか枝分かれしていることも好ましい。なお、ＰＤＰ用口金では通常、前記内室には圧空口が連絡され、そこからの圧空により口金内部に充填された蛍光体ペーストを吐出口から吐出させ基板上に塗布するような構造となっていることが多い。
【００１０】
まず、本発明の洗浄槽およびその循環手段を単数個有する態様について説明する。
【００１１】
図１では洗浄液を満たした洗浄槽２に被洗浄物である口金１を浸漬させている。洗浄液は循環系により循環させる。さらに、口金内循環手段により、洗浄液を口金内部にも循環させる。口金内循環手段は、洗浄液循環ラインと口金内部へ洗浄液の循環を導入させるためのコネクタよりなるものであり、口金へ吐出物を供給する供給口や圧空口などにコネクタを介して洗浄液循環ラインと接続するものである。コネクタは、洗浄液循環ラインと接続されているものであり、供給口や圧空口との着脱が自在に操作できる機構を備えた器具であることが好ましい。口金循環手段による循環方法としては、洗浄液循環ラインの洗浄液供給ラインを口金の一方の供給口乃至圧空口に接続し、もう一方の供給口乃至圧空口には、洗浄液循環ラインの洗浄液回収ラインに接続することがもっとも好ましいが、どちらか一方であっても良い。口金内部は洗浄液の循環による洗浄作用、口金の吐出口および口金の外部は超音波振動子４から発せられる超音波（好ましくは振動数２５〜４０ｋＨｚ、ワット密度０．５〜０．８Ｗ／ｃｍ2）を外槽３に満たされた水などの媒体（以下の説明では水とする）を介してキャビテーションの衝撃エネルギーを与えることで洗浄する機構である。直接洗浄液に超音波を放射すると有機溶剤よりなる洗浄液が加熱乃至は気化されて防火や健康に好ましくないからである。なお、洗浄液としては有機溶剤（ケトン類、アルコール類等）が好ましく、洗浄対象がバインダーを有するペーストである場合はそのバインダーに対して溶解力を持つ有機溶剤であればより好ましい。しかしながら、特にそれらに限定されるものではない。
【００１２】
上記洗浄装置の構成やこの装置を用いた作業の手順を洗浄の流れに沿ってさらに説明する。まず、給水バルブ１１を開き、図示しない給水経路から水を取り入れ、給水管路３０を経由して外槽３に水を満たす。この時点で他のすべてのバルブは閉とする。
【００１３】
次にバッファタンク７に洗浄液を供給する。洗浄液量は２０〜８０Ｌ程度が好ましい。温度調節装置８を始動させ洗浄液の温度をコントロールする。設定温度範囲は０〜１００℃程度が好ましい。洗浄液が有機溶剤の場合には特に常温以上の温度域で使用することで被洗浄物の溶解速度が加速され効率的に洗浄を行うことができる。ただし洗浄液が引火性を有する場合には温度を引火点以下に設定する、または排気設備を併用する等の安全対策が必要である。バルブ１５を開きポンプ９を起動させる。ポンプの能力は１０〜４０Ｌ／ｍｉｎ、洗浄液循環ラインおよび口金内部での流速が０．５〜３ｍ／ｓ程度に設定することが好ましい。バルブ１８を開にすることでバッファタンク７の洗浄液は管路２３を経由しポンプ９により管路２５に送り出され、後述するフィルタ３４を通り管路２６，管路２７に分岐する。バルブ１９を開にすることで洗浄液が管路２６側に流れ、洗浄槽２に供給される。洗浄槽２には液面計６が取り付けられており洗浄液が一定以上になるとバルブ１９を制御して閉にし、洗浄液の供給を停止する。バルブ１３を開にすると洗浄槽２内の洗浄液は自重で後述するフィルタ３３を通りバッファタンク７に戻る。洗浄液面が一定以下になると液面計６がバルブ１９を制御し、洗浄液を供給する。この繰り返しで洗浄槽２内部の洗浄液は一定量を保ちながら循環を始める。ここで超音波発振器５を起動して超音波振動子４から超音波を放射することでキャビテーションを発生させキャビテーションの衝撃エネルギーを与えることにより口金１の吐出口３５と口金１の外部の汚れを洗浄する。
【００１４】
バルブ２０を開けるとポンプ９で送り出された洗浄液は管路２７側にも流れ、口金１内部へと流入する。バルブ２２を開けると口金１内部の洗浄液は管路２８、フィルタ３３を通りバッファタンク７へ戻る。これで口金１内部でも洗浄液の循環が始まり超音波の洗浄効果と併せて洗浄液の循環により口金１内部に付着した汚れを洗浄する。ここで口金１内部にかかる圧力により吐出口３５からも洗浄液が流出するが液面計６がバルブ１９を制御することで洗浄液が洗浄槽２からオーバーフローすることはない。加えて、管路２７にエアを供給する配管３９を接続し、バルブ３８を開けることで口金１内部に流入する洗浄液に気泡を混入させ洗浄効果を高め、口金１内部に付着した汚れを洗浄する。また、管路２７、２８に設置したバルブ２２、４４〜４６を開閉し、口金１内部に流入する洗浄液の流路を切り換えることで、口金１内部での洗浄液の流れを換え、１方向での流れでは落としきれなかった汚れを洗浄できるよう洗浄力をアップさせることもできる。洗浄により汚れた洗浄液は管路２８または管路２９を経由してフィルタ３３を通過する。フィルタ３３は被洗浄物の汚れの粗取りを目的としておりフィルタの孔径は汚れの成分の粒径が１〜１０μｍとすると５μｍ程度に設定する。この粗取りフィルタを設けることでバッファタンク７壁面への汚れの付着、堆積を抑制できる。その後、より濾過性能の高いフィルタ３４（孔径１μｍ以下）を通過させることで洗浄液の汚れをほぼ取り除き常に清浄な洗浄液を洗浄槽２、口金１に供給できる。
【００１５】
一定時間（好ましくは１０〜２０分）この洗浄液循環と超音波の放射を行い、口金１の洗浄を行う。しかしながらフィルタ３３、フィルタ３４で汚れを完全に除去することは難しく、また、洗浄液中に溶け込む汚れの成分も存在することからこれらの汚れが口金１に再付着する場合があり得る。そこで、次にのような態様がより好ましい。即ち、洗浄する期間の最初を除く少なくとも一部の期間の間、好ましくは、一定時間の循環洗浄後、バルブ１５，バルブ１８，バルブ１９，バルブ２０を閉止し、洗浄槽２，口金１への洗浄液循環は停止する。そして、未循環の新しい洗浄液（以下新洗浄液）をタンク１０に供給する（１０〜６０Ｌ程度）。ここでバルブ１６を開けるとポンプ９によりタンク１０内の新洗浄液が吸い上げられる。バルブ１７を開けその新洗浄液を管路３２に送る。バルブ２１を開けることで新洗浄液が口金１内部に流入する。この時点で液面計６を停止させておき、洗浄槽２内の循環洗浄で使用した旧洗浄液はバッファタンク７に戻しておく。このようにして短時間（１〜５分程度）新洗浄液を口金１内部に流入させることで特に清浄度が必要とされる口金１内部および吐出口３５の最終洗浄を行うことができる。ここでＰＤＰ用口金の洗浄では吐出口３５を下向きにして行うがこの場合、吐出口（内径８０〜１４０μｍ）を通過できない異物は、口金内部から吐出口３５に向かう流れのため、洗浄液の出口にある管路２８に到達することができない。そこで、図３で示すように洗浄液を流さずに口金を傾斜させた状態で超音波の放射を行い、異物が吐出口付近から剥離した後に、洗浄液を流すことで、口金内部から吐出口に向かう水流の影響を受けずに異物を管路２８を通して口金外部に排出することができる。また、新洗浄液の流速は循環洗浄時の流速０．５〜３ｍ／ｓ程度に合わせるのが好ましい。この最終洗浄に使用した新洗浄液は循環させず、バッファタンク７に貯留し次回の循環洗浄に再利用する。これで洗浄は完了する。左記の態様においては、新洗浄液に切り替えて口金内部を洗浄するため、通常の循環系とは別の専用切替ライン（バルブ１７−管路３２−バルブ２１）が併設されている。これにより、汚染された既循環洗浄液の混入が少なく、口金内部の洗浄がより清浄に行えて好ましいものであるがこれに限定されるものでもない。
【００１６】
洗浄完了後は口金を使用するまでに乾燥させる必要があるが、真空乾燥、温風乾燥またはドライエアによる乾燥を行うと乾燥するまでの時間を短縮することができる。例えば、ＰＤＰ用口金では、異物が口金詰まりの原因となるため、図４に示すように口金１をノズル乾燥台４８上に置き、チャンバーで覆い密閉した状態で真空ポンプ４８にてチャンバー内を減圧し真空乾燥を行う。乾燥終了後は大気開放弁４８を開にし、チャンバー内を大気圧にした後、チャンバー４７から口金１を取り出す方法が好ましい。
【００１７】
繰り返し洗浄を行った後、バッファタンク７内の洗浄液交換が必要なとき、または最終洗浄を実施することで増加した洗浄液を一部抜き出す際にはバルブ１４を開けて管路２４から洗浄液を抜き出す。この廃液ラインを汚れの堆積しやすいバッファタンク７底部に設置することで汚れを排出しやすくし、逆に循環ラインへの供給はバッファタンク７の中層から上層部で行うと汚れが系内に入りにくくなり好ましい。また、バッファタンク７は清掃のため容易に取り外しできる構造であることが好ましい。外槽３内の水を抜き出す際にはバルブ１２を開け、管路３１を用いて実施する。
【００１８】
なお、装置は別の態様である、吐出口を有する口金を循環する洗浄液中に浸漬させ、該口金に超音波を放射して洗浄する洗浄方法において、洗浄液を口金内部にも循環させて洗浄することを特徴とする循環式口金洗浄方法については、前記洗浄装置を用いて前述の手順に従って、実現できるものであるが、何等、前記洗浄装置を用いることに限定されるものではない。
【００１９】
次に、本発明の洗浄槽およびその循環手段を複数個有する態様を説明する。基本的には、前記態様とは、洗浄槽や循環手段が複数ある点が異なるものであり、超音波洗浄に関する事項、洗浄液、設定温度などについては同様のものである。
【００２０】
図２では洗浄液を満たした洗浄槽２ｉ、２ｊ、２ｋに被洗浄物である口金１ｉ、１ｊ、１ｋを浸漬させている。洗浄槽は３槽に限らず複数であればよく、口金１ｉ、１ｊ、１ｋを低次の洗浄槽２ｉから洗浄槽２ｊ、２ｋと高次の洗浄槽に順に移動させて洗浄を行う。洗浄液はすべて同一のものである必要はなく洗浄途中で洗浄液の置換を行いたい場合には最終洗浄槽２ｋを置換のための洗浄液にすることなども可能である。洗浄液は循環系により循環させる。さらに、口金内循環手段により、洗浄液を口金内部にも循環させる。口金内循環手段は、洗浄液循環ラインと口金内部へ洗浄液の循環を導入させるためのコネクタよりなるものである。口金へ吐出物を供給する供給口や圧空口などにコネクタを介して洗浄液循環ラインと接続するものである。コネクタは、洗浄液循環ラインと接続されているものであり、供給口や圧空口との着脱が自在に操作できる機構を備えた器具であることが好ましい。口金循環手段による循環方法としては、洗浄液循環ラインの洗浄液供給ラインを口金の一方の供給口乃至圧空口に接続し、もう一方の供給口乃至圧空口には、洗浄液循環ラインの洗浄液回収ラインに接続することがもっとも好ましいが、どちらか一方であっても良い。
【００２１】
上記洗浄装置の構成やこの装置を用いた作業の手順を洗浄の流れに沿ってさらに説明する。まず、給水バルブ１１ｏを開き、図示しない給水経路から水を取り入れ、給水管路３０ｏを経由して外槽３ｏに水を満たす。この時点で他のすべてのバルブは閉とする。
【００２２】
次にバッファタンク７ｉ、７ｊ、７ｋにそれぞれの給液管路４２ｉ、４２ｊ、４２ｋから洗浄液を供給する。今回はすべて同一の洗浄液で洗浄を行うものとする。洗浄液量は２０〜８０Ｌ程度が好ましい。温度調節装置８ｉ、８ｊ、８ｋを始動させ洗浄液の温度をコントロールする。
【００２３】
洗浄は洗浄槽２ｉから開始する（１次洗浄）。１次洗浄は口金１に付着した大部分の汚れを粗洗浄することを目的とする。口金１を吊り下げ搬送手段３７ｏにより洗浄槽２ｉ内部に収納する。洗浄液供給ラインである管路２７ｉを口金１の供給口または圧空口に接続し、洗浄液回収ラインである管路２２ｉを別の供給口または圧空口に接続する。バルブ１５ｉ、１８ｉを開にしポンプ９ｉを起動させる。ポンプの能力は１０〜４０Ｌ／ｍｉｎ、洗浄液循環ラインおよび口金内部での流速が０．５〜３ｍ／ｓ程度に設定することが好ましい。バルブ１９ｉを開けることで洗浄液は管路２３ｉ、２５ｉを経由し管路２６ｉから洗浄槽２ｉへと流れる。洗浄液が口金１を浸漬したところで液面計６ｉがバルブ１３ｉを制御し余分な洗浄液は管路２９ｉからバッファタンク７ｉに戻される。バルブ１９ｉを閉にし超音波発振器５ｏを起動させると超音波振動子４ｏから超音波が放射される。そこでバルブ２０ｉ、２２ｉを開にすると口金内部への洗浄液循環が行われ、循環と超音波による洗浄作用により口金１の洗浄が開始される。洗浄中口金１の吐出口からも洗浄液は排出され洗浄槽２ｉの液量は増加するが液面計６ｉにより液面は一定に保たれ、洗浄槽内でも洗浄液が循環することになる。この段階では口金１の汚れがひどいため洗浄液はかなり汚れた状態となる。この時点でフィルタによる濾過を行うと目詰まりによりフィルタ交換頻度が高くなることが予想されるため汚れたままの洗浄液（１次洗浄液）を循環し続けることで口金１に付着した大部分の汚れを落とす粗洗浄を行う。なお１次洗浄液は洗浄能力の続く限り繰り返し使用するものとする。一定時間（好ましくは１０〜２０分）この粗洗浄（１次洗浄）を行い、口金１内部にペースト状の汚れ付着がない状態まで洗浄する。この時、図示しない圧空ラインから管路３９ｉ、２７ｉを経由しバルブ３８ｉを開とすることで圧空を洗浄液中に混入させることで洗浄力をアップさせ、洗浄時間を短縮することもできる。その後ポンプ９ｉ、超音波発振器５ｏを停止させバルブ２０ｉ、１３ｉ以外のバルブを閉止する。洗浄槽２ｉ内の洗浄液は管路２９ｉを通りバッファタンク７ｉに戻される。そこでバルブ３８ｉを開き、図示しない圧空ラインから管路３９ｉ、２７ｉを経由し圧空を口金１内部に送り込む。こうすることで口金１内部に残留した洗浄液を吐出口から押し出すことができる。口金１内部も含めて洗浄槽２ｉ内の１次洗浄液がバッファタンク７ｉに戻された時点で１次洗浄終了となる。
【００２４】
２次洗浄は１次洗浄後の口金１を吊り下げ搬送手段３７ｏにより洗浄槽２ｊに移して行う。この洗浄工程ではより微細な汚れの除去を目的とする。洗浄の順序は１次洗浄と同様である。口金１に管路２７ｊ、２８ｊを接続し、バルブ１５ｊ、１８ｊを開にしポンプ９ｊを起動させるバッファタンク７ｊの２次洗浄液は管路２３ｊ、２５ｊを経由しフィルタ３４ｊを通過する。２次洗浄の段階でフィルタを設けることにより１次洗浄と比較して汚れの少ない状態の洗浄液が濾過されることになる。こうすることでフィルタの交換頻度は大きく削減できる。ここで用いるフィルタは汚れの平均粒径程度とし、たとえば１〜１０μｍまでの粒度分布であれば５μｍ程度のフィルタを使用することが好ましい。ここで１次洗浄後、口金１に付着していた汚れのうち半分程度が濾過により取り除かれ、より清浄化された２次洗浄液が循環することになる。１次洗浄同様バルブ４０を開き洗浄槽６に洗浄液が満たされた状態でバルブ２０ｊ、２２ｊを開にして、超音波発振器５ｏを起動させ洗浄を開始する。洗浄終了後はバルブ２０ｊ、１３ｊ以外を閉にして管路２９ｊから２次洗浄液をバッファタンク７ｊに戻すと同時にバルブ３８ｊを開け、管路３９ｊから圧空により口金１内部に残った洗浄液を吐出口から吐出させ回収する。これで２次洗浄は終了である。
【００２５】
３次洗浄は完全に汚れを除去することを目的とした仕上げ洗浄である。洗浄は１次、２次洗浄と同様の手順で実施する。この時、前述したように口金を傾斜させ洗浄を実施するとより異物を除去しやすくすることができる。この口金傾斜手段の一例を図６に示す。まず口金の両端に口金傾斜用ジグ５２（以下、ジグ）を取り付ける。このジグには口金吊り上げのための穴が空いており、この穴に口金吊り上げ爪を挿入し、口金チャック用アクチュエータにより口金をチャックする。チャックした後、口金傾斜用アクチュエータの一方を上昇、他方を下降させることにより口金を傾斜させる。この状態で超音波を放射し、口金内部を一定時間（好ましくは３〜５分）超音波洗浄する。その後、口金内の異物が外部に排出できるよう図３の経路で洗浄液を流す。この超音波洗浄と洗浄液の送液を繰り返し（好ましくは３〜５回）行うと、口金内部をより清浄にすることができる。また、ここで用いるフィルタ３４ｊはすべての汚れが除去できるものを使用する。１〜１０μｍの粒径であれば１μｍ以下のフィルタ径を選択する。この段階で完全に清浄化された３次洗浄液が循環することで仕上げ洗浄が行われる。
【００２６】
３次洗浄（仕上げ洗浄）後は、前述したように真空乾燥等乾燥工程を入れることで乾燥時間を短縮することも可能である。図５に３次洗浄の後に真空乾燥工程を導入した口金洗浄装置の例を示す。３次洗浄後、搬送手段３７ｏにて口金をノズル乾燥台４８に載置し、チャンバー昇降用アクチュエータ５１にてチャンバーを下降させ、チャンバー内を密閉する。その後、真空ポンプ４９を起動し、チャンバー内を減圧（好ましくは２〜１０Ｔｏｒｒ）し、一定時間（好ましくは６０〜８０分）真空乾燥を行い、乾燥完了後チャンバーを上昇させ、搬送手段３７ｏで所定の位置に搬送し、一連の洗浄・乾燥作業は完了となる。
【００２７】
バッファタンクからそれぞれの洗浄液を抜き出す際はバルブ１４ｉ、１４ｊ、１４ｋを開にして管路２４ｉ、２４ｊ、２４ｋを利用して抜き出す。汚れの成分が沈殿する場合にはタンクに角度を設け、底部から抜き出すことで汚れを多く含んだ洗浄液を効率的に抜き出すことができる構造にすることが好ましい。また高次の洗浄液を低次の洗浄液として再利用したい場合にはポンプによりバッファタンク間の洗浄液を移動させる。たとえば２次洗浄液を１次洗浄液として利用したい場合、バルブ１８ｊを閉じてバルブ１５ｊ、１７ｉを開にしてポンプ９ｊを起動させる。バッファタンク７ｊ内の２次洗浄液は管路２３ｊ、４１ｉを経由してバッファタンク７ｉに送られ１次洗浄液として利用できる。それぞれのバッファタンクは清掃のため取り外しが容易であることが好ましい。また、外槽３ｏ内の水を抜き出す際にはバルブ１２ｏを開にして管路３１ｏから抜き出す。
【００２８】
なお、装置は別の態様である、吐出口を有する口金を循環する洗浄液中に浸漬させ、該口金に超音波を放射して洗浄する洗浄方法において、洗浄液を口金内部にも循環させて洗浄することを特徴とする循環式口金洗浄方法については、前記洗浄装置を用いて前述の手順に従って、実現できるものであるが、何等、前記洗浄装置を用いることに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態(単数態様)からなる口金洗浄装置の概略図である。
【図２】本発明の実施形態(複数態様)からなる口金洗浄装置の概略図である。
【図３】口金を９０度傾斜させた状態で口金を洗浄した時の概略図である。
【図４】真空乾燥装置概略図である。
【図５】本発明の実施形態(複数態様)に乾燥工程を追加した口金洗浄装置の概略図である。
【図６】口金傾斜装置概略図である。
【符号の説明】
【００３０】
１、１ｉ、１ｊ、１ｋ：口金
２、２ｉ、２ｊ、２ｋ：洗浄槽
３、３ｏ：外槽
４、４ｏ：超音波振動子
５，５ｏ：超音波発振器
６、６ｉ、６ｊ、６ｋ：液面計
７、７ｉ、７ｊ、７ｋ：バッファタンク
８、８ｉ、８ｊ、８ｋ：温度制御装置
９、９ｉ、９ｊ、９ｋ：ポンプ
１０：新洗浄液供給タンク
１１、１１ｏ：給水バルブ
１２、１２ｏ：外槽排出バルブ
１３、１３ｉ、１３ｊ、１３ｋ：洗浄槽側洗浄液回収バルブ
１４、１４ｉ、１４ｊ、１４ｋ：洗浄液排出バルブ
１５、１５ｉ、１５ｊ、１５ｋ：バッファタンク−ポンプ間バルブ
１６、１６ｉ、１６ｊ、１６ｋ：新洗浄液供給バルブ
１７：新洗浄液専用管路入口側バルブ
１８、１８ｊ、１８ｋ：ポンプ−洗浄系間バルブ
１９、１９ｉ、１９ｊ、１９ｋ：洗浄槽側洗浄液供給バルブ
２０、２０ｉ、２０ｊ、２０ｋ：口金側洗浄液供給バルブ
２１：新洗浄液専用管路出口側バルブ
２２、２２ｉ、２２ｊ、２２ｋ：口金側洗浄液回収バルブ
２３、２３ｉ、２３ｊ、２３ｋ：バッファタンク−ポンプ間管路
２４、２４ｉ、２４ｊ、２４ｋ：洗浄液排出管路
２５、２５ｉ、２５ｊ、２５ｋ：ポンプ−洗浄系間管路
２６、２６ｉ、２６ｊ、２６ｋ：洗浄槽側洗浄液供給管路
２７、２７ｉ、２７ｊ、２７ｋ：口金側洗浄液供給管路
２８、２８ｉ、２８ｊ、２８ｋ：口金側洗浄液回収管路
２９、２９ｉ、２９ｊ、２９ｋ：洗浄槽側洗浄液回収管路
３０、３０ｏ：給水管路
３１、３１ｏ：外槽排出管路
３２：新洗浄液専用管路
３３：復路濾過フィルタ
３４、３４ｊ、３４ｋ：往路濾過フィルタ
３５：吐出口
３６：口金内室
３７ｏ：搬送手段
３８、３８ｉ、３８ｊ、３８ｋ：圧空供給バルブ
３９、３９ｉ、３９ｊ、３９ｋ：圧空供給管路
４０ｉ、４０ｊ：使用済洗浄液移送バルブ
４１ｉ、４１ｊ：使用済洗浄液移送管路
４２ｉ、４２ｊ、４２ｋ：新洗浄液供給管路
４３、４３ｏ：自動制御コントローラ
４４、４５、４６：流路切換バルブ
４７：チャンバー
４８：ノズル乾燥台
４９：真空ポンプ
５０：大気開放バルブ
５１：チャンバー昇降用アクチュエータ
５２：口金傾斜用ジグ
５３：口金傾斜用アクチュエータ
５４：口金吊り上げ爪
５５：口金チャック用アクチュエータ
５６：搬送アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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