(57)【要約】【課題】液体材料を吐出する際に不具合の原因となる気体成分を除去する液体吐出装置及び液体材料の製造方法、膜形成方法、並びに、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る液体吐出装置は、液体材料７１を脱気する脱気機構を有する前処理部Ｒと、前記前処理部Ｒで処理された液体材料に電気信号を前記液体材料の吐出する圧力に変換して前記液体材料を用いて吐出する吐出部２０と、前記前処理部Ｒと前記吐出部２０との間に、前記液体材料を輸送するための第一の輸送部３１ｂと、を具備したこと、を特徴としている。【選択図】　　　　図１
2004130214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を脱気する脱気機構を有する前処理部と、
前記前処理部で処理された前記液体材料に電気信号を前記液体材料の吐出する圧力に変換して前記液体材料を用いて吐出する吐出部と、
前記前処理部と前記吐出部との間に、前記液体材料を輸送するための第一の輸送部と、を具備したこと、
を特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記第一の輸送部は前記前処理部と前記吐出部とに接続された第一の配管から構成され、前記第一の配管内を前記液体材料が輸送されること、を特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記前処理部は、前記液体材料を脱気する際の該液体材料の温度を設定するための温度制御機構をさらに備えていること、
を特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記液体材料を調製する材料調製部を具備していること、
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記材料調製部と前記前処理部との間に第二の配管で構成された第二の輸送部が、さらに設けられ、前記第二の配管内を前記液体材料が輸送されること、
を特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記吐出部から吐出された前記液状材料が配置される基材を支持しつつ移動可能なステージ装置を具備したことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
有機材料と溶媒と界面活性剤とを含む組成物を調製する第一の工程と、前記第一の工程で得られた前記組成物を前記溶媒固有の凝固点以下に冷却した状態で、前記組成物を減圧下で脱気する第二の工程と、を備えたことを特徴とする液体材料の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出装置を用い有機ＥＬ素子を構成する有機膜を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項９】
液体材料を脱気する工程Ａと、
前記工程Ａにおいて脱気された前記液体材料を所定面上に吐出することにより膜を形成する工程Ｂと、を含み、
前記工程Ａから前記工程Ｂに至る過程において、前記工程Ａにおいて脱気された前記液体材料を外気に触れさせないようにすること、
を特徴とする膜形成方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の膜形成方法により有機ＥＬ素子を構成する有機膜を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体吐出装置及び液体材料の製造方法、膜形成方法、並びに、有機ＥＬ装置の製造方法に係る。より詳細には、液体により文字や画像などの記録を行うために用いる液体吐出装置及び液体材料の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液体により文字や画像などの記録を行うために用いる液体吐出装置としては、液体として水溶性インクを用いるインクジェット方式を用いた液体吐出装置が広く用いられている。
【０００３】
画信号に応じてインク材料を細かいノズルから噴射し、普通紙等の紙面に付着させて記録を得るインクジェト方式の液体吐出装置で用いられる水溶性インクとしては、水、水溶性染料、水溶性有機溶剤、及び界面活性剤を含有するインクが実用化されている。この様なインクは紙に対するインクの浸透性が高いため、少量のインク滴で大きな印字ドット径が得られ、また普通紙に対して品質の良い印刷が行えるだけでなく、再生紙やレジスター用プリンタに使用されるレジスター用紙などの粗悪紙に対しても、紙の繊維方向へのインクの染み出しによるフェザリングが発生せず、品質の良い印刷画像が得られる。
【０００４】
その際、インクに気体が溶存していると、吐出安定性が低下することがある。このような不具合を解消するための方法としては、例えば、インクジェット方式で用いるインクの製造工程において、脱気しながら加熱攪拌することによりインク中に溶存する空気を除く方法（例えば、特許文献１参照）が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−１２５３１２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、液体材料を吐出する際に不具合の原因となる気体成分を除去する液体吐出装置及び液体材料の製造方法、膜形成方法、並びに、有機ＥＬ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液体吐出装置は、液体材料を脱気する脱気機構を有する前処理部と、前記前処理部で処理された前記液体材料に電気信号を前記液体材料の吐出する圧力に変換して前記液体材料を用いて吐出する吐出部と、前記前処理部と前記吐出部との間に、前記液体材料を輸送するための第一の輸送部と、を具備したこと、を特徴としている。
【０００８】
電気信号を液体材料を吐出する圧力に変換する方法としては、例えば、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などを採用することができる。
【０００９】
本発明によれば、まず前処理部において、脱気機構を用い液体材料を減圧下で脱気することにより、液体材料の中に含まれる気泡の発生を抑えることができる。次いで、吐出部を用いることにより、この前処理部で処理した気泡の発生が少ない液体材料を所定面に吐出することが可能となる。その際、前処理部から吐出部へ液体材料を輸送するためには第一の輸送部を用いる。したがって、本発明に係る液体吐出装置であれば、ノズル抜けや飛行曲がりが減少し、極めて安定した吐出状態が得られる。
【００１０】
前記第一の輸送部としては、前記前処理部と前記吐出部とに接続された第一の配管から構成され、前記第一の配管内を前記液体材料が輸送される構成が採用される。この構成からなる第一の輸送部であれば、第一の輸送部を通過する液体材料を外気と遮断した状態で移動させることができるので、この移動に伴い液体材料中に外気から不要なガス成分が溶け込む等の不具合を回避できる。
【００１１】
前記前処理部は、前記液体材料を脱気する際の該液体材料の温度を設定するための温度制御機構をさらに備えた構成が採用される。この温度制御機構を配することによって、脱気する際の液体材料の温度を、脱気効果が向上する温度となるようにに適宜制御できる。この脱気の際の温度は、液体材料の沸点より低いことが好ましく、液体材料の凝固点よりも低いことがさらに好ましい。
【００１２】
本発明に係る液体吐出装置は、前記液体材料を調製する材料調製部を具備する構成としてもよい。材料調製部を備えていれば、例えば、有機材料と溶媒と界面活性剤からなる液体材料を所望の組成比で調製し、直ちに前述した前処理部へ供給できるので、前記組成比の時間的変動の発生を抑制できる。
【００１３】
この場合は、材料調製部と前処理部との間に第二の配管で構成された第二の輸送部が、さらに設けられ、前記第二の配管内を前記液体材料が輸送される構成とすることが好ましい。この構成によれば、材料調製部で調製された液体材料を前処理部へ移動させる際に、この移動に伴い液体材料中に外気から不要なガス成分が溶け込む等の不具合を回避できる。
【００１４】
また本発明に係る液体吐出装置において、前記吐出部から吐出された前記液状材料が配置される基材を支持しつつ移動可能なステージ装置を具備した構成が採用される。この構成によれば、基材を移動しながら液状材料を所定の面上に設けることができるので、効率よく膜を製造することが可能となる。
【００１５】
本発明に係る液体吐出装置の液体製造方法は、有機材料と溶媒と界面活性剤とを含む組成物を調製する第一の工程と、前記第一の工程で得られた前記組成物を冷却し、この冷却された液体を減圧下において脱気する第二の工程と、前記第二の工程で処理された前記組成物を所定面上に吐出する吐出工程と、を備えてなり、前記第二の工程は、前記第一の工程で得られた前記組成物を前記溶媒固有の凝固点以下に冷却した状態で、前記組成物を減圧下で脱気することを特徴としている。
【００１６】
本発明の液体材料の製造方法では、特に、第二の工程が、前段をなす第一の工程で得られた液体を予め溶媒固有の凝固点以下まで冷却した後、この冷却された液体を減圧下で脱気するので、液体材料から揮発成分が蒸発することによる液体材料の組成比の変化が生じることなく、液体材料に含まれる気泡や酸素を十分に取り除くことが可能となる。ゆえに、本発明に係る液体材料の製造方法は、液体吐出装置用の液体材料として好適であり、液体を液滴状にして吐出する際に、安定した液滴の吐出状態を維持することに寄与する。
【００１７】
また、上記のように液体材料の製造方法により所望の組成比を維持したまま、脱気ができるので、特に酸素や水などにより素子劣化が引き起こされる有機ＥＬ素子を製造する際の材料を製造する方法として好適である。例えば、有機ＥＬ素子を構成する発光層あるいはキャリア輸送層などを液体吐出装置を用いて形成する際に上記の製造方法により製造された液体材料を用いれば、吐出安定性とともに素子寿命の向上を図ることができる。
【００１８】
ところで、溶媒に溶質が溶解している場合は、凝固点降下が生じることになる。しかしながら、この場合であっても、上記構成からなる液体材料の製造方法であれば、液体を予め溶媒固有の凝固点以下まで冷却するので、極めて効果的な脱気処理が可能となり、その結果、前述した液体に含まれる気泡の十分な除去が達成される。すなわち、最高でも溶媒固有の凝固点以下とすることで、この作用・効果は安定して得られる。
【００１９】
本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法は、前述した液体吐出装置で作製した有機膜を有機ＥＬ素子の少なくとも一部として形成することを特徴としている。
【００２０】
前述した液体吐出装置を用いたことにより、液体を液滴として吐出する際に不具合の原因となる液滴内における気泡の発生が抑制され、かつ、インクの組成崩れが抑えられるので、液滴の吐出状態は極めて安定した状態を維持することが可能となり、ひいては膜厚や組成の変動が少ない有機膜が得られる。
【００２１】
上記構成からなる有機ＥＬ装置の製造方法は、このように膜厚分布や組成変動の少ない有機膜を用いて有機ＥＬ素子の少なくとも一部を形成する。例えば、このような特徴を備えた有機膜で有機ＥＬ素子の発光層を形成した場合は、発光特性が良好で長期安定性にも優れた、経時変化の少ない有機ＥＬ素子が得られる。
【００２２】
そして、この発光特性や長期安定性、経時変化の面で改善された有機ＥＬ素子を搭載することにより、優れた光学特性や長期信頼性を有する有機ＥＬ装置の提供が可能となる。
【００２３】
本発明に係る膜形成方法は、液体材料を脱気する工程Ａと、前記工程Ａにおいて脱気された前記液体材料を所定面上に吐出することにより膜を形成する工程Ｂと、を含み、前記工程Ａから前記工程Ｂに至る過程において、前記工程Ａにおいて脱気された前記液体材料を外気に触れさせないようにすること、を特徴としている。
【００２４】
上記構成によれば、工程Ａから工程Ｂに至る過程において、工程Ａで脱気処理された液体材料は外気に触れさせないようにしたので、工程Ｂで吐出するために使用する時点でも液体材料は含有する気泡の量を低い状態に保つことができる。
【００２５】
ゆえに、工程Ｂで吐出される液滴状の液体は、極めて安定した状態、すなわちノズル抜けや飛行曲の発生率が極めて小さい状態、を維持することが可能となる。その結果、液体材料から形成される膜の材料は、有機あるいは無機に依存せず、この工程Ａと工程Ｂを経て作製される膜であればいかなる材料の膜であっても、その膜厚や組成の変動を抑えられる。
【００２６】
したがって、本発明に係る膜形成方法であれば、例えば平坦性の高い膜、優れたステップカバレッジを有する膜、あるいは面内方向あるいは膜厚方向に組成分布の小さな膜等を容易に形成できるので、膜の諸特性を再現性よく実現できる。
【００２７】
この本発明に係る膜形成方法により有機ＥＬ素子を構成する有機膜を形成した場合は、前述したように、例えば、このような特徴を備えた有機膜で有機ＥＬ素子の発光層を形成した場合は、発光特性が良好で長期安定性にも優れた、経時変化の少ない有機ＥＬ素子が得られる。
【００２８】
そして、この発光特性や長期安定性、経時変化の面で改善された有機ＥＬ素子を搭載することにより、優れた光学特性や長期信頼性を有する有機ＥＬ装置の提供が可能となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る液体吐出装置について図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係る成膜装置として機能する液体吐出装置の一例を示す概略斜視図である。図１の液体吐出装置は、液体材料を脱気する脱気機構を有する前処理部Ｒと、この前処理部Ｒで処理された前記液体材料に電気信号を前記液体材料の吐出する圧力に変換して前記液体材料を用いて吐出する吐出部２０と、前処理部Ｒと吐出部２０との間に、前記液体材料を輸送するための第一の輸送部３１ｂと、を具備した構成からなる。
【００３０】
図１において、液体吐出装置ＩＪは、基板（基材）Ｐの表面（所定面）に組成物を設置可能な成膜装置であって、ベース１２と、ベース１２上に設けられ、基板Ｐを支持するステージ（ステージ装置）ＳＴと、ベース１２とステージＳＴとの間に介在し、ステージＳＴを移動可能に支持する第１移動装置１４と、ステージＳＴに支持されている基板Ｐに対して有機機能材料を含む液体組成物を定量的に吐出（滴下）可能な液滴吐出ヘッドからなる液体組成物の吐出部２０と、液状組成物吐出部２０を移動可能に支持する第２移動装置１６とを備えている。
【００３１】
液状組成物吐出部２０における液体組成物の吐出動作や、第１移動装置１４及び第２移動装置１６の移動動作を含む液体吐出装置ＩＪの動作は、制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００３２】
図１の液体吐出装置ＩＪでは、まず所望の組成に整えた液体組成物７１を、前処理部Ｒのタンク７０内に所定の高さの液面７１ａとなるまで導入する。この前処理部Ｒは、温度制御機構７２を用いて液体組成物７１を冷却または加熱したり、あるいは一定の温度に保持することができる。
【００３３】
また、所定の温度とした液体組成物７１に対し、減圧下で脱気する脱気機構が設けられている。この脱気機構は給気装置７３と排気装置７５から構成されており、給気装置７３はパイプ７４を介して、排気装置７５はパイプ７６を介して、それぞれタンク７０の上部に接続されている。給気装置７３は、例えば窒素ガスなどの不活性な気体をパイプ７４を通して、タンク７０の上部空間すなわち液面７１ａの上に位置する空間に供給可能な機能を備えている。
【００３４】
一方、給気装置７３は、パイプ７６を通じてタンク７０の上部空間から気体を排気し、所定の圧力までタンク７０の上部空間を減圧させることが可能な機能を備えている。温度制御機構７２や脱気機構を用いることにより、所定の温度に冷却保持された液体組成物７１に対して、脱気機構は給気装置７３による加圧処理と排気装置７５による減圧処理を交互に行うことにより、液体組成物７１からは気泡が除去され、液体組成物７１は所望の粘度に調整された状態となる。
【００３５】
タンク７０は第一の輸送部３１ｂをなす第一の配管（流路）を介して液滴状の液体組成物を吐出する吐出部２０に接続しているので、吐出部２０から吐出される液体組成物はタンク７０から第一の輸送部３１ｂを介して供給される。
【００３６】
また、第一の配管からなる第一の輸送部３１ｂを流れる液体組成物は、第一の配管に配される温度調整装置（不図示）によって所定の温度に制御され、粘度を調整される。更に、吐出部２０から吐出される液滴状の液体組成物の温度は、吐出部２０に設けられた温度調整装置（不図示）により制御され、所望の粘度が保たれるようになっている。
【００３７】
図２は本発明に係る成膜装置として機能する液体吐出装置の他の一例を示す概略斜視図である。
【００３８】
図２の液体吐出装置は、液体材料を脱気する脱気機構を有する前処理部Ｒの前段として、液体材料を調製する材料調製部Ｓを配すると共に、材料調製部Ｓと前処理部Ｒとの間に第二の配管で構成されたを設け、第二の配管内を液体材料が輸送されるように構成した点が、図１の液体吐出装置と異なっている。
【００３９】
つまり、吐出部２０で用いる液体組成物は、まず材料調製部Ｓで調製された液体組成物を第二の輸送部３１ａを通して前処理部Ｒへ送り、次に前処理部Ｒで冷却および脱気処理した後、第一の輸送部３１ｂを通じて吐出部２０へ供給される。
【００４０】
図１及び図２の液体吐出装置における材料調製部Ｓは、例えば有機材料と溶媒とを含有する溶液に界面活性剤を添加することにより液体組成物を生成する。
【００４１】
タンク３０には、このタンク３０に対して有機材料を供給する有機材料供給装置（不図示）と、タンク３０に対して所定の溶媒を供給する溶媒供給装置（不図示）と、界面活性剤を供給する界面活性剤供給装置（不図示）とが接続されている。
【００４２】
そして、これら供給装置のそれぞれからタンク３０に供給された有機材料、溶媒、及び界面活性剤が攪拌装置３３により攪拌されることによりこれら有機材料、溶媒、及び界面活性剤を含む液体組成物が生成される。
【００４３】
攪拌装置３３に攪拌されることにより液体組成物に含まれる材料は均一に分散する。ここで、温度調整装置３２は制御装置ＣＯＮＴにより制御され、タンク３０内の液体組成物は温度調整装置３２により温度調整されることで所望の粘度に調整される。
【００４４】
タンク３０は第二の輸送部３１ａを介してタンク７０に接続しているので、材料調製部Ｓで得られた液体組成物は前処理部Ｒに供給される。
【００４５】
このタンク７０へ供給された液体組成物に対しては、所定の脱気処理が行われる。その後、脱気処理を施された液体組成物は、第一の輸送部３１ｂを通して吐出部２０へ供給される。図２に示す液体吐出装置ＩＪの場合も、前処理部Ｒにおける脱気処理および吐出部２０への液体組成物の輸送に関しては、図１に示した液体吐出装置ＩＪに基づき説明した内容と同様である。
【００４６】
第１移動装置１４はベース１２の上に設置されており、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。第２移動装置１６は、支柱１６Ａ，１６Ａを用いてベース１２に対して立てて取り付けられており、ベース１２の後部１２Ａにおいて取り付けられている。
【００４７】
第２移動装置１６のＸ軸方向は、第１移動装置１４のＹ軸方向と直交する方向である。ここで、Ｙ軸方向はベース１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に沿った方向である。これに対してＸ軸方向はベース１２の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Ｚ軸方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向である。
【００４８】
第１移動装置１４は、例えばリニアモータによって構成され、ガイドレール４０、４０と、このガイドレール４０に沿って移動可能に設けられているスライダー４２とを備えている。このリニアモータ形式の第１移動装置１４のスライダー４２は、ガイドレール４０に沿ってＹ軸方向に移動して位置決め可能である。
【００４９】
また、スライダー４２はＺ軸回り（θｚ）用のモータ４４を備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ４４のロータはステージＳＴに固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとステージＳＴとは、θｚ方向に沿って回転してステージＳＴをインデックス（回転割り出し）することができる。すなわち、第１移動装置１４は、ステージＳＴをＹ軸方向及びθｚ方向に移動可能である。
【００５０】
ステージＳＴは基板Ｐを保持し、所定の位置に位置決めするものである。また、ステージＳＴは吸着保持装置５０を有しており、吸着保持装置５０が作動することにより、ステージＳＴの穴４６Ａを通して基板ＰをステージＳＴの上に吸着して保持する。
【００５１】
第２移動装置１６はリニアモータによって構成され、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂと、このコラム１６Ｂに支持されているガイドレール６２Ａと、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されているスライダー６０とを備えている。
【００５２】
スライダー６０はガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、液滴吐出ヘッド２０はスライダー６０に取り付けられている。
【００５３】
液体を液滴状にして吐出する吐出部２０は、揺動位置決め装置としてのモータ６２，６４，６６，６８を有している。モータ６２を作動すれば、吐出部２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。
【００５４】
このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。モータ６４を作動すると、吐出部２０は、Ｙ軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ６６を作動すると、吐出部２０は、Ｘ軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。
【００５５】
モータ６８を作動すると、吐出部２０は、Ｚ軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。すなわち、第２移動装置１６は、吐出部２０をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に支持するとともに、この吐出部２０をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向に移動可能に支持する。
【００５６】
このように、図１の吐出部２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、吐出部２０の吐出面２０Ｐは、ステージＳＴ側の基板Ｐに対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、吐出部２０の吐出面２０Ｐには液体組成物を吐出する複数のノズルが設けられている。
【００５７】
吐出部２０から液体組成物を吐出するには、まず、制御装置ＣＯＮＴが液状体組成物を吐出させるための吐出信号を液滴吐出ヘッド２０に供給する。液体組成物は吐出部２０のキャビティ８１に流入しており、吐出信号が供給された吐出部２０では、その圧電体素子８７がその上部電極と下部電極との間に加えられた電圧により体積変化を生ずる。
【００５８】
この体積変化は振動板８５を変形させ、キャビティ８１の体積を変化させる。この結果、そのキャビティ８１のノズル穴２１１から液滴状の液体組成物が吐出される。液体組成物が吐出されたキャビティ８１には吐出によって減った液体組成物が新たに後述するタンク３０から供給される。
【００５９】
なお、上記吐出部２０は圧電体素子に体積変化を生じさせて液体組成物を吐出させる構成であったが、発熱体により液体材料に熱を加えその膨張によって液滴状の液体材料を吐出させるような構成であってもよい。
【００６０】
以下では、上述した構成の液体吐出装置ＩＪを用い、前処理部Ｒにおける処理条件（液体組成物の温度と脱気処理の有無）を変えて液体組成物を作製し、得られた液体組成物の諸特性を検討した結果について述べる。
【００６１】
まず最初に、予備実験として液体組成物の代わりに水単体を用い、水が揮発するか否かを確認した。その際、水の温度は、冷却を行わない場合が室温（略２０℃）であり、冷却を行った場合は４℃となるように温度制御機構７２により調整した。
【００６２】
そして、この温度調整をした水に対して、脱気処理を施した。脱気条件は、排気装置７５で減圧する際の圧力は１６０Ｐａとし、給気装置で加圧する際の圧力は０．１ＭＰａとした。表１は、処理条件と得られた液体組成物の諸特性を調べた結果である。
【００６３】
【表１】
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【００６４】
表１から、冷却を行わず脱気処理を施した場合（番号１、２）は、脱気後の重量が大きく変化し、その変化率は４％を越えてしまう。これに対して、予め冷却された水ならば（番号３、４）、脱気処理を施しても重量は殆ど変化せず、その変化率は１％〜１．５％程度に抑えられることが明らかとなった。
【００６５】
次いで、この予備実験から得られた知見に基づき、液体組成物としてＰＥＤＯＴインクを用い、上述した冷却後の脱気処理を行い、インク重量の変化を調べた。その際、冷却温度は−０．５℃とした。また、ここで用いたＰＥＤＯＴインクとは、次に示す構成からなる液体組成物である。
【００６６】
＜ＰＥＤＯＴインクの構成物＞
構成物１：バイトロンＰ、１０重量％
構成物２：水、５０重量％
構成物３：１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、４０重量％
【００６７】
液体組成物としてＰＥＤＯＴインクを用いた実験は、冷却の有無、脱気の有無という処理条件を変えて、処理前と後における重量とその変化率を調べた。その結果を表２に示した。
【００６８】
【表２】
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【００６９】
表２から、冷却を行わず脱気処理を施した場合（番号５、６．２）は、脱気後の重量に変化が見られ、その変化率は３％前後に達する。これに対して、予め零度以下に冷却された液体組成物（番号７、８）ならば、脱気処理を施しても重量は殆ど変化せず、その変化率は０．５％以内に抑えられることが判明した。
【００７０】
次に、表２に示す各処理条件で作製した液体組成物に対して、ノズル抜けの生じたノズル数、飛行曲がりの生じたノズル数、粘度変化率を調査した。その結果を表３に示した。
【００７１】
ここで、ノズル抜けとは、液体吐出装置で基板上に液体組成物を吐出し、着弾が確認できない現象を指し、ノズル抜けの発生回数とは、１８０本のノズルを用い、この現象が発生したノズルの本数を表す。
【００７２】
飛行曲がりとは、液体吐出装置で基板上に液体組成物を吐出し、着弾が他のノズルに比べて大きくずれる現象を指し、飛行曲がりの発生回数とは、１８０本のノズルを用い、この現象が発生したノズルの本数を表す。
【００７３】
粘度変化率とは、１６０Ｐａに減圧脱気したことによって生じた液体組成物の粘度の変化率を意味する。
【００７４】
【表３】
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【００７５】
表３から、以下の点が明らかとなった。
（１）冷却処理と脱気処理の両方とも行わなかった場合（番号９）は、ノズル抜けが発生するノズルが多く見られた。これは、液体組成物に含まれる気泡が影響しているものと見られる。
【００７６】
（２）冷却は行わず脱気処理のみ行った場合（番号１０、１１）は、ノズル抜けの発生は抑えられるが、飛行曲がりの発生が確認され、粘度変化率が６％を越えたことから、液体組成物の組成比に乱れが生じたと思われる。
【００７７】
（３）冷却処理と脱気処理の両方とも行った場合（番号１２、１３）は、ノズル抜けも、飛行曲がりも全く観測されず、粘度変化率が０．５％程度に抑えられていることから、液体組成物は含有する気泡が極めて少なく、かつ、組成比にも乱れが無いと判断される。
【００７８】
したがって、予め冷却処理を行った後で脱気処理を施すことによって、本発明に係る液体吐出装置に好適な液体組成物が安定して得られることが明らかとなった。つまり、上述した吐出部２０で用いる液体組成物を供給する前処理部Ｒは、吐出部２０において液体を液滴状にして吐出する際の吐出安定性に寄与するものである。
【００７９】
本発明に係る液体吐出装置の液体製造方法は、有機材料と溶媒と界面活性剤とを含む組成物を調製する第一の工程と、前記第一の工程で得られた前記組成物を冷却し、この冷却された液体を減圧下において脱気する第二の工程と、前記第二の工程で処理された前記組成物を所定面上に吐出する吐出工程と、を備えてなり、前記第二の工程は、前記第一の工程で得られた前記組成物を前記溶媒固有の凝固点以下に冷却した状態で、前記組成物を減圧下で脱気することを特徴としている。
【００８０】
前述した表３の結果から明らかように、前処理部Ｒにおいて施される第二の工程をなす、組成物を冷却し、この冷却された液体を減圧下において脱気する処理は、液体組成物の組成比に乱れを生じさせることなく、液体組成物の含有する気泡を大幅に低減できる。ゆえに、これらの処理を施す工程を備えた液体製造方法は、液体を液滴状にして吐出部２０から安定に吐出させることを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る液体吐出装置の一例を示す模式的な斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液体吐出装置の他の一例を示す模式的な斜視図である。
【符号の説明】
ＩＪ　液体吐出装置、Ｓ　材料調製部、Ｒ　前処理部、２０　吐出部。
【図１】
2004130214.tif 000006
【図２】
2004130214.tif 000007