(57)【要約】【課題】本発明は、平面度を簡易に高精度に維持することができ、事前の研磨作業、実際の調整作業の簡略化による製造コストの低廉化を図ることができ、更に仮に歪力等が作用したとしても損傷箇所を最小限に止めことができるガラス製平面調整テーブルを提供する。【解決手段】本発明のガラス製平面調整テーブルは、分割配置で縦横に並設した複数個の平板状のガラス板２と、当該複数個のガラス板２の下方に配置した支持台１０と、前記支持台１０上において各ガラス板２に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板２を各々３点で高さ調整可能に連結支持する３個のボルト１２と、３個のボルト受具１３、３個の調整ナット１４からなる３点調整支持部１１とを有するものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割配置で縦横に並設した複数個の平板状のガラス板と、
複数個のガラス板の下方に配置した支持台と、
前記支持台上において各ガラス板に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板を各々３点で高さ調整可能に連結支持する３点調整支持部と、
を有することを特徴とするガラス製平面調整テーブル。
【請求項２】
前記３点調整支持部は、前記支持台上において個々のガラス板に対応して三角形を呈する配置に立設した３個のボルトと、個々のガラス板に三角形を呈する配置で埋設した前記各ボルトが螺合する３個のボルト受具と、各ガラス板の下側で各ボルトに螺合した高さ調整用の３個の調整ナットとを具備することを特徴とする請求項１記載のガラス製平面調整テーブル。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス製平面調整テーブルに関し、詳しくは、その平面度の調整が可能であり、低コストに構成できるガラス製平面調整テーブルに関するものである。
【従来の技術】
従来、集積回路やプリント配線板の製造に使用されるフォトマスクは、微細なパターンがフィルムに焼付け形成されていて、その寸法形状を高精度に保つ必要性がある。
前記フィルムに焼き付けられているこの種の微細なパターンは、製造に使用する前に、その寸法形状が設計図面と一致しているかどうかの検査が不可欠となる。
この検査には、例えば、特開平７−１２５１２号公報に開示されているような二次元座標測定機が用いられる。この公報に開示されている測定機では、ガラス製の測定テーブルの下方からフォトマスク側に向けて昭明光を照射し、フォトマスクの上面側に、例えば、顕微鏡を設置して、この顕微鏡により透過光を集光して、パターンの形状や寸法が数十ミクロンといった精度で測定される。この際に、測定精度を所望のレベルにするためにガラス製の測定テーブルの平面度も高精度に調整し維持しなければならない。
このような測定テーブルは、具体的には図４に示すように、フォトマスクが載置される平板状で縦、横寸法が例えば１２００×１４００ｍｍ程度のガラス板５１と、このガラス板５１を、例えばボルト、ナットを組み合わせた多数の支持調整部材６０を介して支持する枠体５２とから構成している。そして、多数の支持調整部材６０を各々個別に調整し、更にガラス板５１の上面を予め事前に研磨したガラス板５１の上面が高精度の平面度を有するようにしている。
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４に示す従来の測定テーブルの場合、以下のような問題がある。即ち、縦、横寸法が例えば１２００×１４００ｍｍ程度のガラス板５１は非常に高価であり、ガラス板５１の上面の事前の研磨作業中や多数の支持調整部材６０による平面度の調整中に部分的な歪みが生じてガラス板５１が割れてしまったり、測定テーブルの輸送中にガラス板５１が割れてしまうという事態が多々生じていた。
また、前記ガラス板５１の上面の研磨作業、多数の支持調整部材６０による平面度の実際の調整作業は煩雑、困難であり、このため測定テーブルの製造コスト増を招いていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、平面度を簡易に高精度に維持することができ、事前の研磨作業、実際の調整作業の簡略化による製造コストの低廉化を図ることができ、更に仮に歪力等が作用したとしても損傷箇所を最小限に止めことができるガラス製平面調整テーブルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、分割配置で縦横に並設した複数個の平板状のガラス板と、複数個のガラス板の下方に配置した支持台と、前記支持台上において各ガラス板に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板を各々３点で高さ調整可能に連結支持する３点調整支持部とを有することを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載のガラス製平面調整テーブルにおいて前記３点調整支持部は、前記支持台上において個々のガラス板に対応して三角形を呈する配置に立設した３個のボルトと、個々のガラス板に三角形を呈する配置で埋設した前記各ボルトが螺合する３個のボルト受具と、各ガラス板の下側で各ボルトに螺合した高さ調整用の３個の調整ナットとを具備することを特徴とするものである。
本発明によれば、支持台上において分割配置の各ガラス板に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板を各々３点で高さ調整可能に連結支持するボルト、ボルト受具及び調整ナットからなる３点調整支持部を備えた構成であるから、分割構造の個々のガラス板毎に夫々個別に事前に研磨を行い、また各３点調整支持部により平面度の実際の調整を行なうことができ、全体として平面度を簡易に高精度に維持することができる。
また、事前の研磨作業、実際の調整作業は各ガラス板毎に行えるため、研磨作業、調整作業が簡略化して製造コストの低廉化を図ることができる。更に、研磨作業、実際の調整作業や輸送時において仮に歪力等が作用したとしても、損傷箇所を分割構造の個々のガラス板の一部で済ませることができ、ガラス板の割れによる損害を最小限に止めることができる。
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態のガラス製平面調整テーブルの外観状態を示す斜視図、図２は本実施の形態のガラス製平面調整テーブルの一部拡大斜視図、図３は本実施の形態のガラス製平面調整テーブルの３点調整支持部の構造を示す拡大断面図である。
本実施の形態のガラス製平面調整テーブル１は、図１に示すように、分割配置で、例えば縦に４個横に４個並設した合計１６個の平板状のガラス板２と、各ガラス板２の下方に配置した支持台１０と、この支持台１０上において各ガラス板２に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板２を各々３点で高さ調整可能に連結支持する３点調整支持部１１とを有している。
各ガラス板２は、例えば縦４００ｍｍ、横３００ｍｍの寸法を有し、また、各ガラス板２の間の隙間３の寸法は例えば５０ｍｍ程度に設定している。
前記支持台１０は、各ガラス板２の縦、横の各寸法、隙間３の寸法を考慮して、例えば縦１８００ｍｍ、横１５００ｍｍ程度に設定した平坦な直方体形状としている。
次に、前記３点調整支持部１１について図２、図３を参照して説明する。
この３点調整支持部１１は、図２、図３に示すように、前記支持台１０上において個々のガラス板２に対応して三角形を呈する配置に立設した３個のボルト１２と、個々のガラス板２に三角形を呈する配置で、且つ、その上面と直交する方向に埋設した内周部にねじ孔１３ａを有し、前記３個のボルト１２が各々螺合する３個のボルト受具１３と、個々のガラス板２の下側で３個のボルト１２に各々螺合した高さ調整用の３個の調整ナット１４とを具備している。
そして、３個の調整ナット１４の上面を各々ガラス板２の下面に接触させつつ個別に回動させ螺合位置を変えることで、個々のガラス板２の高さを３点調整し、その平面度を出すように構成している。
本実施の形態の場合、このような３点調整支持部１１が前記支持台１０上において前記例えば合計１６個のガラス板２に対応して合計１６箇所設けられている。
本実施の形態のガラス製平面調整テーブル１によれば、前記支持台１０上において、例えば１６個分割配置の各ガラス板２に各々対応する配置に設けられ、各ガラス板２を各々３点で高さ調整可能に連結支持するボルト１２、ボルト受具１３及び調整ナット１４からなる合計１６箇所の３点調整支持部１１を備えているので、分割構造の個々のガラス板２毎に夫々個別に上面の事前の研磨を行うことが可能であるとともに、各３点調整支持部１１により個々のガラス板２毎に平面度の３点調整を行なうことができ、全体として合計１６個のガラス板２の平面度を簡易に高精度に調整し、維持することができる。
また、合計１６個のガラス板２の個々の事前の研磨作業、実際の調整作業は各ガラス板２毎に行えることから、これらの事前の研磨作業、実際の調整作業が簡略化するとともに、個別の各ガラス板２の予備のものを予め用意しておくこともできるので、これらの面から製造コストの低廉化を図ることができる。
更に、合計１６個のガラス板２の事前の研磨作業、実際の調整作業や、ガラス製平面調整テーブル１の輸送時、移動時等において、仮に歪力等の外力が合計１６個のガラス板２に作用したとしても、損傷箇所を分割構造の個々のガラス板２の一部だけで済ませることができ、この結果、ガラス板２の割れによる損害を最小限に止めることができる。
なお、上述したガラス板２、支持台１０の各寸法は一例であり、これらの寸法とは異なる寸法のガラス板２、支持台１０を使用してガラス製平面調整テーブル１を構成する場合にも同様に本発明を適用可能である。
【発明の効果】
本発明によれば、各３点調整支持部により分割構造の個々のガラス板毎に夫々個別の研磨、平面度の調整を行なうことができ、全体として平面度を簡易に高精度に維持することが可能であり、研磨作業、実際の調整作業が簡略化して製造コストの低廉化を図れ、更に研磨作業、実際の調整作業や輸送時におけるガラス板の割れによる損害を最小限に止めることができ、実用価値の高いガラス製平面調整テーブルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のガラス製平面調整テーブルの外観を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態のガラス製平面調整テーブルの一部拡大斜視図である。
【図３】本実施の形態のガラス製平面調整テーブルの３点調整支持部の構造を示す拡大断面図である。
【図４】従来の測定テーブルの斜視図である。
【符号の説明】
１　　ガラス製平面調整テーブル
２　　ガラス板
１０　　支持台
１１　　３点調整支持部
１２　　ボルト
１３　　ボルト受具
１３ａ　ねじ孔
１４　　調整ナット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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