(57)【要約】【課題】超音波式吸入器の用いられる微細な貫通孔を有するメッシュに関するものである。【解決手段】大きな径の貫通孔８を有する薄板１０とを形成し、さらに大きな径の貫通孔９を有する薄板１１を形成し、薄板１０と薄板１１を貫通孔８の中心と貫通孔９の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように積層させ接合すると、貫通孔８および９よりも小さな径の貫通孔１２が形成された積層板メッシュ１４が得られ、このようにして形成された微細な貫通孔はエッチング法、放電加工法、レーザー加工法により直接形成された貫通孔に比べて低コストで均一かつ正確な寸法を有する貫通孔を形成することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する少なくとも２枚の薄板を、貫通孔の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように積層させ接合して形成してなる微細な貫通孔を有する積層板メッシュからなることを特徴とする超音波式吸入器用メッシュ。
【請求項２】
一枚の薄板の両面から中心をずらせた有底孔を、有底孔の底が一致する深さまで形成した微細な貫通孔を有するメッシュからなることを特徴とする超音波式吸入器用メッシュ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、超音波式吸入器の用いられる微細な貫通孔を有するメッシュに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、超音波式吸入器は、図５の断面図に示されるように、ケース１の下部に薬液Ｌを入れるボトル部２を形成し、ケース１の中間部に振動子５を弾性体６に支持して設け、この振動子５にパイプ３を固定し、パイプ３の下端部はボトル部２内部の薬液Ｌに浸漬できるようにボトル部２に突出させ、一方、パイプ３の上端をメッシュ４に接するように固定した構造を有している。
かかる構造を有する超音波式吸入器において、振動子５を超音波振動させると、振動子５に固定されているパイプ３は矢印方向に上下に振動子が振動して、ボトル部２内の薬液Ｌを吸い上げ、吸い上げられた薬液Ｌが共振するメッシュ４によって薬液ミストＬ´になり、このミストになった薬液ミストＬ´は多数の貫通孔７を通って外部に放散させる。
前記メッシュ４の貫通孔７は、エッチング法、放電加工法、レーザ加工法などにより形成されることが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−８０３６９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年、注射薬を超音波式吸入器でミスト状にし、投与する試みが成されており、この時必要とする注射薬ミストの粒の大きさは１〜３μｍであるといわれている。かかる大きさの注射薬ミストを超音波式吸入器で得るには、超音波式吸入器に使用されるメッシュ４に形成される貫通孔の直径を一層微細化しなければならない。
かかる微細な貫通孔を有するメッシュは、フォトレジストフィルムに形成する露光径を小さくしてエッチングするか、または照射径を小さくした放電加工またはレーザーを用いて穿孔することにより形成することができることは理論上分かっているが、これらエッチング法、放電加工法またはレーザー加工法では寸法精度の優れた深い微細な貫通孔を形成するにはコストがかかり過ぎ、深い微細な貫通孔を有するメッシュが得られたとしても、貫通孔径にバラツキが生じ、均一な径を有する微細貫通孔を形成することは難しい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、均一で微細な貫通孔を有する超音波式吸入器用メッシュを得るべく研究を行った結果、
（イ）大きな径の貫通孔は、小さな径の貫通孔に比べて径が均一で正確な寸法の貫通孔を形成することができ、また貫通孔の寸法精度は薄い板に形成するほど向上する、
（ロ）したがって、図１の平面図および図１のＸ−Ｘ断面図である図２に示されるように、大きな径の貫通孔８を有する薄板１０とを形成し、さらにもう一枚の大きな径の貫通孔９を有する薄板１１を形成し、薄板１０と薄板１１を貫通孔８の中心と貫通孔９の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように積層させ接合すると、貫通孔８および９よりも小さな径の貫通孔１２が形成された積層板メッシュ１４が得られ、このようにして形成された微細な貫通孔はエッチング法、放電加工法、レーザー加工法により直接形成された貫通孔に比べて低コストで均一かつ正確な寸法を有する貫通孔を形成することができる、
（ハ）さらに、図３の貫通孔部拡大平面図に示されるように、薄板１５に設けられた貫通孔２０、薄板１６に設けられた貫通孔２１、薄板１７に設けられた貫通孔２２を、貫通孔２０、２１および２２の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように３枚の薄板１５、１６および１７を積層させ接合することにより微細な貫通孔を形成することができる、などの知見を得たのである。
【０００６】
この発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって、
（１）貫通孔を有する少なくとも２枚の薄板を、貫通孔の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように積層させ接合して形成してなる微細な貫通孔を有する積層板メッシュからなる超音波式吸入器用メッシュ、に特徴を有するものである。
【０００７】
さらに、この発明は、図４の断面図に示されるように、一枚の薄板２４にＡ方向から有底孔１８を形成し、次ぎに薄板２３の裏側にＢ方向から中心が一致しないようにかつ有底孔の底が一致するように有底孔１９を形成して微細な貫通孔１２を有するメッシュを作製することができる。この有底孔１８、１９はエッチング法、放電加工法、レーザ加工法などで形成することが可能であるが、放電加工法、レーザ加工法などで寸法精度の優れた有底孔を形成することは難しい。したがって、有底孔を形成するにはエッチング法によることが最も好ましい。
【０００８】
したがって、この発明は、
（２）一枚の薄板の両面から中心をずらせた有底孔を、有底孔の底が一致する深さまで形成した微細な貫通孔を有するメッシュからなる超音波式吸入器用メッシュ、に特徴を有するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
実施例１
厚さ：７．５μｍのＴｉ板を用意し、このＴｉ板に１０μｍ×１０μｍの寸法を有する正方形の貫通孔：１００００個を１００μｍピッチでレーザ加工法により形成した。かかる貫通孔を形成したＴｉ板を、貫通孔の中心が一致しないようにかつ貫通孔が塞がることがないように積層させ接合して、１μｍ×１μｍの寸法を有する正方形の微細貫通孔を１００ピッチで１００００個形成してなる微細な貫通孔を有する積層板メッシュが得られた。この積層板メッシュを切断し、縦：２０ｍｍ、横：２０ｍｍ、厚さ：１５μｍの寸法を有する超音波式吸入器用メッシュを作製することができた。
【００１０】
実施例２
厚さ：１５μｍのＳｉ板を用意し、このＳｉ板の片面にフォトレジストを塗布し、露光し、現像したのち、Ｃ２Ｆ６ガスを使用してドライエッチング法により縦：１０μｍ、横：１０μｍ、深さ：７．５μｍの寸法を有する正方形の有底孔：１００００個を１００μｍピッチで形成した。かかる有底孔を形成したＳｉ板の反対側の面に、同様にして前記有底孔の中心が一致しないようにずらせてドライエッチング法により縦：１０μｍ、横：１０μｍ、深さ：７．５μｍの寸法を有する正方形の有底孔を形成し、１μｍ×１μｍの寸法を有する正方形の微細貫通孔を１００ピッチで１００００個形成してなる微細な貫通孔を有するメッシュが得られた。このメッシュを切断し、縦：２０ｍｍ、横：２０ｍｍ、厚さ：１５μｍの寸法を有する超音波式吸入器用メッシュを作製することができた。
【００１１】
【発明の効果】
上述のように、この発明によると、寸法精度にばらつきの少ない微細な貫通孔を有する超音波式吸入器用メッシュを比較的簡単に低コストで提供することができ、特に医療産業上すぐれた効果をもたらすものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の超音波式吸入器用メッシュの製造方法を説明するための平面図である。
【図２】この発明の超音波式吸入器用メッシュの製造方法を説明するための図１におけるＸ−Ｘ断面図である。
【図３】この発明の超音波式吸入器用メッシュの製造方法を説明するための拡大一部平面図である。
【図４】この発明の超音波式吸入器用メッシュの製造方法を説明するための断面図である。
【図５】従来の超音波式吸入器の断面説明図である。
【符号の説明】
１  ケース
２  ボトル部
３  パイプ
４  メッシュ
５  振動子
６  弾性体
７  貫通孔
Ｌ  薬液
Ｌ´  薬液ミスト
８、９、１２  貫通孔
１０、１１、１５、１６、１７、２３  薄板
１８、１９  有底孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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