(57)【要約】【課題】インクノズルの形成作業の回数を効果的に減少させて製造コストを抑制する。【解決手段】図３（Ｃ）に示されノズルプレート６０では、主走査方向に沿ったインクノズル４４のピッチＰｓが各列間で交互に粗密となると共に、主走査方向に沿ったインクノズル４４のピッチＰｆも各行間で交互に粗密となるように、各インクノズル４４が配置されている。またノズルプレート６０では、全てのインクノズル４４がそれに連通する圧力室４６の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、インクノズル４４が圧力室４６における何れかのコーナ部に面するように選択的に配置されている。これにより、各インクノズル４４は、インクの噴射量、速度、方向等の性能が均一化されている。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主走査方向及び副走査方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、
レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記主走査方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、
前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記主走査方向に沿って前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
主走査方向及び副走査方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、
レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記主走査方向及び前記副走査方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、
前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とするノズルプレート。
【請求項３】
前記複数のインクノズルのピッチを、該複数のインクノズルが前記複数の圧力室の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、設定したことを特徴とする請求項１又は２記載のノズルプレート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主走査方向及び副走査方向に沿って配列された複数のインクノズルから画像信号に応じて選択的にインクを噴射させるインクジェット記録ヘッドに部品として適用され、複数のインクノズルが形成されるノズルプレートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドは、複数のインクノズル（例えば、一色あたり２４個から３００個など）から電気信号（印字データ）に応じて選択的にインクを噴出させ、これを紙面などの記録媒体の表面に沿って走査させることにより紙面などに文字や図形を印刷するものである。この構造は一般に、複数個のノズルに対して共通に設けられた１個のインクプールにインクが蓄えられ、このインクプール内のインクはノズル毎に設けられた狭いインク供給通路を介して圧力室に導入され、電気信号に応じて圧力を発生する圧力発生手段により圧力室内のインクに圧力を印加し、ノズルからインク滴となって噴出されるようになっている。
【０００３】
上記のようなインクジェット記録ヘッドとしては、例えば、特許文献１に記載されているような構造のものが知られている。この特許文献１のインクジェット記録ヘッドは、表面に複数個のインクノズルが配列されたノズルプレートと、このノズルプレートの裏面にこのノズルプレートとの間にインクが供給される間隙、すなわちインクプールを設けてこのノズルプレートにほぼ平行に配置されたインク室プレートと、このインク室プレートおよびノズルプレートにそれぞれ接しインクノズル毎にその裏側にそれぞれインクノズルと連通する個別の空間（圧力室）を形成する隔壁と、ノズルプレートおよびインク室プレートとそれぞれ外周部で接する外壁と、隔壁に設けられインクプールから個別の圧力室にインクを供給するインク供給口と、このインク供給口から個別の圧力室の内部に供給されたインクにそれぞれ個別に圧力を印加する圧力発生手段とを備えたものである。
【０００４】
上記のようなインクジェット記録ヘッドの構造において、ノズルプレートは、例えば、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン等の高分子材料を素材として成形された樹脂基板にエキシマレーザ等の紫外線波長レーザを照射して複数のインクノズルを形成することにより製造される。ここで、ノズルプレートには、副走査方向及び主走査方向に沿ってインクノズルが略マトリックス状配列となるように複数のインクノズルが形成される。これらのインクノズルは、インクジェット記録ヘッドの印字速度、画素密度等に応じて配列（行×列）が変化するが、例えば、主走査方向に沿って３６行、副走査方向に沿って１０列で配列される。
【０００５】
一方、上記のようなノズルプレートを製造するためのレーザ加工装置では、例えば、エキシマレーザ発振器から出射されたエキシマレーザビームを加工テーブル上に載置された樹脂基板に集光してインクノズルを形成する。またレーザ加工装置では、エキシマレーザ発振器と加工テーブルとの間にエキシマレーザビームの断面を整形するマスク、このマスクを通過したエキシマレーザビームを光源像として樹脂基板上に結像するための結像光学系が配置される。マスクは、通過するエキシマレーザビームの断面をインクノズルの断面に対応する形状に整形するとと共に、エキシマレーザビームの照射エリアのうち有効照射エリアのみから選択的にインクノズル加工用エキシマレーザビームを取り出す機能を有している。
【０００６】
すなわち、樹脂基板にインクノズルを形成する際には、有効照射エリアから取り出したエキシマレーザビームによりインクノズルを形成しなければ、多数のインクノズルのノズル径、形状を均一に形成することが困難になるため、各インクノズルから噴射されるインクの量、速度、方向等にばらつきが生じ易くなる。
【０００７】
しかしながら、エキシマレーザの有効照射エリアが、通常、ノズルプレート全体の大きさに対して極めて小さいもの（例えば、２ｍｍ×８ｍｍ以下）であるため、１枚のノズルプレートを製造するには、樹脂基板に１個乃至数個のインクノズルを形成する作業を多数回繰り返す必要がある。具体的には、３００個以上のインクノズルが形成されたノズルプレートを製造する際に、各インクノズルが主走査方向及び副走査方向に沿って均等ピッチで配置されている場合、有効照射エリア内に含むことができるインクノズルは１個乃至数個であり、１枚の樹脂基板にインクノズルを形成する作業を、通常、１００回以上繰り返す必要がある。
【０００８】
また、インクジェット記録ヘッドでは、現在、印字速度の高速化、印字画像の高密度化に伴って１枚のノズルプレートに設けられるインクノズルの個数も増加する傾向にある。このため、１枚のノズルプレートを製造するために、１枚の樹脂基板に対するインクノズルの形成作業の回数も増加する傾向にあり、このことがノズルプレートの製造コストを低減することを阻害する要因の一つになっている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−３００９６０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記事実を考慮して、インクノズルの形成作業の回数を効果的に減少させて製造コストを抑制できるノズルプレートを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る請求項１記載のノズルプレートは、主走査方向及び副走査方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室における隔壁の一部を構成すると共に、該複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記主走査方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記主走査方向に沿って前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とする。
【００１２】
請求項１記載のノズルプレートによれば、レーザビームの照射によりインクノズルを形成する際のレーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、複数のインクノズルの主走査方向に沿ったピッチを選択的に粗密に設定し、レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、主走査方向に沿って有効照射エリアに含むことができるインクノズルの個数を最大化したことより、ノズルプレートの加工素材とる基板へ１回のレーザビームの照射により形成できるインクノズルの個数を増加できるので、１枚のノズルプレートを製造するために必要となる基板へのレーザビームの照射回数及び時間をそれぞれ減少できる。この結果、多数のインクノズルが形成されたノズルプレートの生産性を向上させると共に、ノズルプレートを形成するために必要となるトータルエネルギーを減少できるので、ノズルプレートの製造コストを低減できる。
【００１３】
本発明に係る請求項２記載のノズルプレートは、主走査方向及び副走査方向に沿ってマトリックス状に配列された複数の圧力室内にそれぞれ充填されたインクを、印字データに応じて選択的にインクノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドに適用され、前記複数の圧力室における隔壁の一部を構成すると共に、該複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のインクノズルが形成されたノズルプレートであって、レーザビームの照射により前記インクノズルを形成する際の前記レーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、前記複数のインクノズルの前記主走査方向及び前記副走査方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、前記レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、前記有効照射エリアに含むことができる前記インクノズルの個数を最大化したことを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載のノズルプレートによれば、レーザビームの照射によりインクノズルを形成する際のレーザビームの有効照射エリアの形状及び広さに応じて、複数のインクノズルの主走査方向及び副走査方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定し、レーザビームによる前記インクノズルの形成時に、有効照射エリアに含むことができるインクノズルの個数を最大化したことにより、請求項１記載のノズルプレートと比較して、更にノズルプレートの加工素材とる基板へ１回のレーザビームの照射により形成できるインクノズルの個数を増加できるので、１枚のノズルプレートを製造するために必要となる基板へのレーザビームの照射回数及び時間をそれぞれ減少できる。この結果、多数のインクノズルが形成されたノズルプレートの生産性を向上させると共に、ノズルプレートを形成するために必要となるエネルギーを減少できるので、ノズルプレートの製造コストを低減できる。
【００１５】
ここで、レーザビームの有効照射エリアとは、レーザビームの断面方向に沿った全照射エリアのうち、インクノズルの加工に必要な高いエネルギー密度を有し、かつエネルギー密度の分布が十分に均一化された一部のエリアを言う。
【００１６】
本発明に係る請求項３記載のノズルプレートは、請求項１又は２記載のノズルプレートにおいて、前記複数のインクノズルのピッチを、該複数のインクノズルが前記複数の圧力室の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、設定したことを特徴とする。
【００１７】
請求項３記載のノズルプレートによれば、複数のインクノズルのピッチを、該複数のインクノズルが前記複数の圧力室の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称に配置すれば、複数のインクノズルの主走査方向又は主走査方向及び副走査方向に沿ったピッチをそれぞれ選択的に粗密に設定しても、各圧力室内のインク圧力の変化がインクノズルに対して均一に作用するので、各インクノズルから噴射されるインク滴の速度、量等を安定化できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るノズルプレート及びその製造方法について図面を参照して説明する。
【００１９】
先ず、本発明の実施形態に係るノズルプレートが用いられるインクジェット記録ヘッドの構成について説明する。
【００２０】
図１（Ａ）及び（Ｂ）には、本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。このインクジェット記録ヘッド４０は、表面に複数個（例えば、３６行×１０列＝３６０個）のインクノズル４４が開口したノズルプレート４２と、このノズルプレート４２の裏面にインクノズル４４に連通する連通路４５を備え、かつ圧力室４６に供給するためのインクを貯えたインクプール（図示省略）を形成するインク室プレート４８と、インク室プレート４８と振動板４９によって形成される複数の圧力室４６と、複数の圧力室４６内に供給されたインクにそれぞれ個別に圧力を印加する圧力発生手段５０とを備えている。
【００２１】
ここで、ノズルプレート４２に形成されたインクノズル４４は、連通路４５側の開口端からノズルプレート４２表面における開口端へ向って内径が徐々に狭くなるテーパ状の貫通穴として形成されている。また各インクノズル４４は、副走査方向と平行に直線的に配列されると共に、主走査方向に対して微小角度α傾いた方向に沿って直線的に配列されている。この微小角度αを調整することにより、同一の行に含まれる各インクノズル４４の副走査方向に沿った位置を僅かづつずらせて印字画像の画素密度を調整することが可能になる。
【００２２】
インクジェット記録ヘッド４０では、圧力室４６内にインクプールから供給されるインクが蓄積されており、図外の駆動制御回路から画像データにしたがって電気信号が圧力発生手段５０に加えられると、この電気信号に応じて圧力発生手段５０に機械的変位が生じて、画像データに対応する圧力室４６内のインクにその機械的変位に応じる圧力波が発生し、この圧力室４６に連通するインクノズル４４からインク滴が噴射される。インク滴の噴射後に、いったん後退したインクノズル４４内のインクメニスカスの復帰力により、インクプール内の圧力室４６内に補充される。
【００２３】
次に、上記のように構成されたノズルプレートを樹脂基板から製造するためのレーザ加工装置について説明する。図２にはノズルプレートの製造に用いられるレーザ加工装置の概略構成が示されている。このレーザ加工装置１０には、エキシマレーザビーム（以下、単に「エキシマレーザ」という。）Ｌを出射するレーザ発振器１２及び被加工物が装填される加工テーブル１４が設けられている。ここで、エキシマレーザとしては、２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザを用いている。
【００２４】
またレーザ加工装置１０には、レーザ発振器１２から出射されたエキシマレーザビームＬを折返して加工テーブル１４へ至る光路を形成する折返しミラー１６，１８，２０が配置されている。折返しミラー１６，１８間には、レーザ発振器１２から出射されたエキシマレーザビームＬの断面を所望のサイズに拡大するビームエキスパンダー２２が配置され、折返しミラー１８，２０間には、エキシマレーザビームＬの断面を形成しようとするインクノズル４４に対応する形状に整形するためのマスク２４が設けられると共に、このマスク２４の下流側にマスク２４の開口部を通過した光源像を、レンズユニット２８に導くためのフィールドレンズ２６が設けられている。
【００２５】
レンズユニット２８は結像光学系を構成しており、折返しミラー２０と加工テーブル１４との間に設けられ、マスク２４を透過したエキシマレーザビームＬの光源像を所要の大きさに変倍すると共に、この光源像を被加工物上に結像する。またレーザ加工装置１０には、加工テーブル１４の下部側にＸ−Ｙ駆動機構３０が設けられており、このＸ−Ｙ駆動機構３０は、加工テーブル１４をエキシマレーザビームＬに対して直交する座標軸方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に沿ってスライド可能に支持すると共に、レーザ加工装置１０の制御部（図示省略）からの駆動信号を受けて加工テーブル１４をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って位置調整する。
【００２６】
上記のレーザ加工装置１０では、例えば、ポリイミド製の樹脂基板５２を被加工物としてノズルプレート４２を製造する。樹脂基板５２は、インクジェット記録ヘッドの機種等に応じて規格された面形状に切断加工された後、レーザ加工装置１０の加工テーブル１４上に装填される。
【００２７】
このとき、樹脂基板５２は、Ｘ−Ｙ軸方向に沿って所定の基準位置に位置位置合せされつつ、加工テーブル１４上に載置される。また加工テーブル１４の載置面には、負圧供給用の吸引溝（図示省略）が開口しており、レーザ加工装置１０は、樹脂基板５２が加工テーブル１４上に載置されると、樹脂基板５２の下面に吸引溝を通して負圧を作用させることで、樹脂基板５２を加工テーブル１４上の基準位置に吸着固定する。
【００２８】
上記のように構成されたレーザ加工装置１０を用いて樹脂基板５２からノズルプレート４２を製造する方法について説明する。先ず、樹脂基板５２を加工テーブル１４上に載置し、この樹脂基板５２を負圧の作用により加工テーブル１４上に吸着固定する。この状態で、マスク２４を通りレンズユニット２８によって集光されたエキシマレーザビームＬを樹脂基板５２に照射する。これにより、樹脂基板５２はエキシマレーザビームＬによりアブレーション加工され、エキシマレーザビームＬの照射領域にはエキシマレーザビームＬのビーム断面と略相似形状の穴部が形成され、この穴部がエキシマレーザビームＬの照射時間の増加に従って深く掘り下げられて行く。
【００２９】
レーザ加工装置１０では、照射領域の穴部が樹脂基板５２を貫通するまで、樹脂基板５２に対するエキシマレーザビームＬの照射を継続する。照射領域の穴部が樹脂基板を貫通することにより、樹脂基板５２には所要形状のインクノズル４４が形成される。次いで、レーザ加工装置１０では、樹脂基板５２におけるエキシマレーザビームＬの有効照射エリアの外側にあった部分を有効照射エリアに位置にするようにＸ−Ｙ駆動機構３０により加工テーブル１４をスライドさせ、新たに有効照射エリアに入ってきた部分にエキシマレーザビームＬを照射してインクノズル４４を形成する。このエキシマレーザビームＬの照射作業を必要な回数だけ繰返し、樹脂基板５２に予め設定された個数のインクノズル４４を形成する。これにより、樹脂基板５２を加工素材としてノズルプレート４２が製造される。
【００３０】
次に、本発明の実施形態に係るノズルプレートにおけるインクノズルの配置について説明する。図３（Ａ）には従来のノズルプレートにおけるインクノズルの配置例が示され、図３（Ｂ）及び（Ｃ）には、それぞれ本発明の第１実施形態及び第２実施形態に係るノズルプレートにおけるインクノズルの配置例が示されている。
【００３１】
図３（Ａ）〜（Ｃ）には、それぞれエキシマレーザビームＬの有効照射エリアＡＥが２点鎖線で示されている。この有効照射エリアＡＥ内に含まれるインクノズルについては、１回のエキシマレーザビームＬの照射作業により樹脂基板５２に形成できる。
【００３２】
ここで、有効照射エリアＡＥとは、エキシマレーザビームＬの断面方向に沿った全照射エリアのうち、インクノズルの加工に必要な高いエネルギー密度を有し、かつエネルギー密度の分布が十分に均一化された一部のエリアを言う。具体的には、出力約６０Ｗ、発振周波数２００Ｈｚのレーザ発振器を用いて、加工パルス１５０パルスでインクノズルを形成しようとした場合には、有効照射エリアＡＥにおけるエネルギー密度としては１．３Ｊ／ｃｍ２が必要となり、このような条件を満たす有効照射エリアＡＥは、０．８ｍｍ×４ｍｍ程度の略長方形状の領域になる。
【００３３】
図３（Ａ）に示されるように、従来のノズルプレート１００では、主走査方向に沿ったインクノズル１０２のピッチＰｓ及び、副査方向に沿ったインクノズル１０２のピッチＰｆが任意のインクノズル１０２間でそれぞれ一定値とされている。またノズルプレート１００では、各インクノズル１０２と、それに連通する圧力室１０４との位置関係が全て同一のものになるように、インクノズル１０２が圧力室１０４における同一側（図３（Ａ）では右下側）のコーナ部に面して配置されている。これにより、各インクノズル１０２は、インクの噴射量、速度、方向等の性能が均一化されている。
【００３４】
上記のようにインクノズル１０２が配置されたノズルプレート１００をレーザ加工装置１０（図２参照）により製造する場合には、エキシマレーザビームＬの有効照射エリアＡＥ内に含むことができるインクノズル１０２の個数は最大で３個である。従って、ノズルプレート１００に３６０個のインクノズル１０２を形成しようとすると、エキシマレーザビームＬの照射作業を１２０回程度繰り返す必要がある。
【００３５】
一方、図３（Ｂ）に示されるように、本発明の第１実施形態に係るノズルプレート４２では、副走査方向に沿ったインクノズル４４のピッチＰｆが任意のインクノズル４４間でそれぞれ一定値とされているが、主走査方向に沿ったインクノズル１０２のピッチＰｓが各列間で交互に粗密となるようにインクノズル４４が配置されている。すなわち、インクノズル４４のピッチＰｓは有るｎ列と（ｎ＋１）列の間で狭くなっていれば、次の（ｎ＋１）列と（ｎ＋２）列の間で広くなっている。
【００３６】
またノズルプレート４２では、全てのインクノズル４４がそれに連通する圧力室４６の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、インクノズル４４が圧力室４６における副走査方向に沿った片側（図３（Ｂ）では下側）の２つのコーナ部の一方に面するように選択的に配置されている。具体的には、ｎ列に含まれるインクノズル４４が圧力室４６の下右側のコーナ部に面して配置されていれば、（ｎ＋１）列に含まれるインクノズル４４は圧力室４６の下左側のコーナ部に面して配置されている。これにより、各インクノズル４４は、インクの噴射量、速度、方向等の性能が均一化されている。
【００３７】
上記のようにインクノズル４４が配置されたノズルプレート４２をレーザ加工装置１０（図２参照）により製造する場合には、エキシマレーザビームＬの有効照射エリアＡＥ内に含むことができるインクノズル４４の個数は最大で６個である。従って、ノズルプレート４２に３６０個のインクノズル４４を形成しようとすると、エキシマレーザビームＬの照射作業は６０回程度繰り返すせば良くなり、図３（Ａ）に示されるノズルプレート１００の場合と比較してエキシマレーザビームＬの照射作業を約１／２に減少できる。
【００３８】
本発明の第１実施形態に係るノズルプレート４２について図４を参照して更に詳細に説明する。ノズルプレート４２では、インクノズル４４を副走査線Ｌｆに投影した場合に、投影された各インクノズル４４間のピッチ（＝印字密度ＤＰ）が１／３００インチ（＝０．０８４７ｍｍ）となる。この印字密度ＤＰの制限により、ノズルプレート４２では、１列に含まれる圧力室４６を５行単位で副走査方向に沿って所定量ずつシフトさせている。これにより、図４に示されるように、インクノズル４４を副走査方向に沿って粗密に配置した場合でも、副走査線Ｌｆ上における任意の部位で印字密度ＤＰが一定になる。また密の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｆは、５／３００インチになり、粗の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｆは、１５／３００インチになっている。
【００３９】
また、図３（Ｃ）に示されるように、本発明の第２実施形態に係るノズルプレート６０では、主走査方向に沿ったインクノズル１０２のピッチＰｓが各列間で交互に粗密となると共に、主走査方向に沿ったインクノズル１０２のピッチＰｆも各行間で交互に粗密となるように、各インクノズル４４が配置されている。すなわち、インクノズル４４のピッチＰｓは有るｎ列と（ｎ＋１）列の間で狭くなっていれば、次の（ｎ＋１）列と（ｎ＋２）列の間で広くなり、ピッチＰｆは有るｍ行と（ｍ＋１）列の間で狭くなっていれば、次の（ｍ＋１）列と（ｍ＋２）列の間で広くなっている。なお、本実施形態のノズルプレート６０は、第１実施形態に係るノズルプレート４２に代えて図１に示されるインクジェット記録ヘッド４０に適用可能とされている。
【００４０】
またノズルプレート６０では、全てのインクノズル４４がそれに連通する圧力室４６の中心に対してそれぞれ幾何学的に対称的な配置となるように、インクノズル４４が圧力室４６における何れかのコーナ部に面するように選択的に配置されている。具体的には、ｎ列に含まれるインクノズル４４が圧力室４６の右側のコーナ部に面して配置されていれば、（ｎ＋１）列に含まれるインクノズル４４は圧力室４６の左側のコーナ部に面して配置され、かつｍ列に含まれるインクノズル４４が圧力室４６の下側のコーナ部に面して配置されていれば、（ｍ＋１）列に含まれるインクノズル４４は圧力室４６の上側のコーナ部に面して配置されている。これにより、各インクノズル４４は、インクの噴射量、速度、方向等の性能が均一化されている。
【００４１】
上記のようにインクノズル４４が配置されたノズルプレート６０をレーザ加工装置１０（図２参照）により製造する場合には、エキシマレーザビームＬの有効照射エリアＡＥ内に含むことができるインクノズル４４の個数は最大で８個である。従って、ノズルプレート６０に３６０個のインクノズル４４を形成しようとすると、エキシマレーザビームＬの照射作業は４５回程度繰り返せば良くなり、図３（Ａ）に示されるノズルプレート１００の場合と比較してエキシマレーザビームＬの照射作業を約３／８に減少できる。
【００４２】
本発明の第２実施形態に係るノズルプレート６０について図５を参照して更に詳細に説明する。ノズルプレート６０でも、インクノズル４４を副走査線Ｌｆに投影した場合に、投影された各インクノズル４４間のピッチ（＝印字密度ＤＰ）が１／３００インチ（＝０．０８４７ｍｍ）となる。この印字密度ＤＰの制限により、ノズルプレート６０では、１列に含まれる圧力室４６を４行単位で副走査方向に沿って所定量ずつシフトさせている。これにより、図５に示されるように、インクノズル４４を副走査方向に沿って粗密に配置した場合でも、副走査線Ｌｆ上における任意の部位で印字密度ＤＰが一定になる。また副走査方向に沿って密の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｆは、４／３００インチになり、粗の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｆは、１５／３００インチになっている。一方、主走査方向に沿って密の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｓは、４／３００インチになり、粗の配置となっているインクノズル４４間のピッチＰｓは、２０／３００インチになっている。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のノズルプレートによれば、インクノズルの形成作業の回数を効果的に減少させて製造コストを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るノズルプレートが適用されたインクジェット記録ヘッドの構成を示す斜視図及び側面断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るノズルプレートの製造方法に用いられるレーザ加工装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】（Ａ）は従来のノズルプレートにおける圧力室に対するインクノズルの配置例を示す平面図、（Ｂ）は本発明の第１実施形態に係るノズルプレートにおける圧力室に対するインクノズルの配置例を示す平面図、（Ｃ）は本発明の第１実施形態に係るノズルプレートにおける圧力室に対するインクノズルの配置例を示す平面図である。
【図４】図３（Ｂ）に示されるノズルプレートにおける圧力室に対するインクノズルの配置例を拡大して示す平面図である。
【図５】図３（Ｃ）に示されるノズルプレートにおける圧力室に対するインクノズルの配置例を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
４０    インクジェット記録ヘッド
４２    ノズルプレート
４４    インクノズル
４５    連通路
４６    圧力室
５２    樹脂基板
６０    ノズルプレート
【図１】
2004291294.tif 000003
【図２】
2004291294.tif 000004
【図３】
2004291294.tif 000005
【図４】
2004291294.tif 000006
【図５】
2004291294.tif 000007