(57)【要約】　　　（修正有）【課題】電圧効率の良い矩形波形を利用して、安定した小液滴噴射を可能とするシェアモード方式のインク滴噴射装置を提供すること。【解決手段】電気・機械変換素子の作動により圧力を発生するシェアモード方式のインク滴噴射装置において、インク滴を噴射させるため印加する駆動波形が、少なくとも、圧力発生室の容積を増大させる第１の膨張エッジと、該第１の膨張エッジからＴ１時間後に圧力発生室の容積を収縮させてインクをノズルから出射させる第１の収縮エッジと、該第１の収縮エッジからＴ２時間後に圧力発生室の容積をさらに収縮させる第２の収縮エッジとからなり、前記第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と前記第１の収縮エッジの電位差Ｖ２とが、Ｖ１＞Ｖ２であり、且つ前記Ｔ１及びＴ２が、０．８ＡＬ〜１．２ＡＬ（ＡＬは圧力発生室の音響的共振周期の１／２）である矩形波形であることを特徴とするインク滴噴射装置。【選択図】　　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気・機械変換素子の作動により圧力を発生する圧力発生室と、圧力発生室の一端に形成され該圧力の作用によりインク滴を出射するノズルと、圧力発生室に連通し圧力発生室にインクを供給するためのインク供給路とを有するシェアモード方式のインク滴噴射装置において、インク滴を噴射させるために電気・機械変換素子に印加する駆動波形が、少なくとも、圧力発生室の容積を増大させる第１の膨張エッジと、該第１の膨張エッジからＴ１時間後に圧力発生室の容積を収縮させてインクをノズルから出射させる第１の収縮エッジと、該第１の収縮エッジからＴ２時間後に圧力発生室の容積をさらに収縮させる第２の収縮エッジとからなり、前記第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と前記第１の収縮エッジの電位差Ｖ２とが、Ｖ１＞Ｖ２であり、且つ前記Ｔ１及びＴ２が、０．８ＡＬ〜１．２ＡＬ（ＡＬは圧力発生室の音響的共振周期の１／２）である矩形波形であることを特徴とするインク滴噴射装置。
【請求項２】
前記駆動波形が、前記第１の膨張エッジによる膨張開始前と、前記第２の収縮エッジによる収縮終了後の期間に、インクメニスカスを乱さない程度の収縮部と膨張部を含むことを特徴とする請求項１に記載のインク滴噴射装置。
【請求項３】
前記第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と、前記第１の収縮エッジの電位差Ｖ２とが、Ｖ２＝（Ｖ１）／２であることを特徴とする請求項１又は２記載のインク滴噴射装置。
【請求項４】
前記インク滴を出射するノズルを有する圧力発生室の少なくとも両隣に、インクの出射を行わないダミーチャネルを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインク滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録装置等に用いるインク滴噴射装置に関し、詳しくは高解像度の画像を記録可能なインク滴噴射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ドロップ−オン−デマンドでインク滴を噴射するインク滴噴射装置が、画像を記録するインクジェット記録装置のインクジェットヘッド等として現在広く使用されている。最近では、インク滴を微小化し、又、インク滴の大きさを可変にして、多諧調で高解像度の画像が得られる様になり、インクジェットで写真を越える画像を形成できる様になった。人間の目は、低空間周波数を持つ画像領域では、非常に細かいグラデーションを見分けられるので、インクジェット画像のハイライト部の粒状性に敏感である。インクジェット画像のハイライト部を、高解像度の微小インク滴で形成すると、粒状感が大幅に低減される。人間の肉眼が粒子を認識できなくなるドット径は４０μｍ以下であり、これを達成するインク滴径は２０μｍ以下、そのインク滴量は４ｐｌ以下となる。
【０００３】
インクジェット画像のドットを小径化するためには、ノズル径の縮小が有効であるが、あまりノズル径を微細化するとノズル詰まりが起こりやすくなるので好ましくない。又、吐出電圧を下げれば微小インク滴を吐出できるが、吐出速度が遅くなり飛翔曲がりや着弾位置ずれが起こりやすくなるので、やはり好ましくない。
【０００４】
ノズル径より小さいインク滴を吐出する方法としては、特開２００２−１２７４１８に、インクメニスカスを一度押し出した後、ノズル内の奥深くに引き込んでから吐出する方法が、特開２０００−１４１６４２に、インクメニスカスに三次振動を励起して、インクメニスカスの突起部をインク滴として吐出する方法が、特開２００１−１５０６７２に、吐出するインク滴を途中で引きちぎって微小滴を吐出する方法が、特開平１１−２６８２６６に、圧力室を膨張させる信号の電位差を、縮小させる信号の電位差より大きくして微小滴を吐出する方法等がそれぞれ記載されている。
【０００５】
圧電素子を使用したインクジェットヘッドには、振動板を使用する方式（例えば積層ピエゾ方式、撓みモード方式）と、振動板を使用せずにインクチャネルの側壁をせん断変形させるシェアモード方式とがある。振動板をインクチャネルの外から駆動する積層ピエゾ方式は、圧電素子をインクチャネルの外に設けるため圧電素子の形状や大きさに余り制限を受けず、強力な素子を使用して強い圧力を発生させることが可能で、インク滴の吐出性や吐出制御性に優れる。しかし、構造が複雑になるので、大きなヘッドの製造は難しく、１００チャネル程度が限度である。
【０００６】
一方、シェアモード方式のヘッドは、圧電素子にインクチャネルとなる溝を掘り込んだ簡単な構造なので、数百チャネル持つ大きなヘッドを製造することが可能である。しかし、インクチャネルの側壁を駆動するので、隣接チャネルとの相互作用が大きく、駆動に工夫が必要となる。
【０００７】
特公平６−６１９３６に、シェアモード方式の記録ヘッドの基本技術が公開されている。それによると、分極した圧電素子基板に、インク溝を形成して、溝の両側面の壁に電極を形成する。吐出チャネルの電極に正電圧を印加し、隣のチャネルの電極を接地すると、吐出チャネルの側壁が外側にせん断変形してチャネルが膨張する。チャネル内には負圧が発生し、マニホールドからインクが流れこむ。同時に、マニホールド端とノズル端から圧力が上がり始め、正の圧力波がチャネルの中央に向かって伝搬を初め、１ＡＬ経過すると、それらの音響波が反対端に達してチャネル内が正圧となる。このタイミングで吐出チャネルの電極を接地すると、側壁が中立位置に復帰するためチャネル内には高い圧力が発生し、ノズルからインクが押し出される。同時にマニホールド端とノズル端の圧力が大気圧以下に低下し、マニホールド端とノズル端から、負の圧力波が発生して、チャネルの中央に向かって伝搬する。１ＡＬ経過すると、負の圧力波がそれぞれ、他端に達して、チャネル内部が負圧となる。この負圧がノズルに達すると、押し出されたインクとチャネル内のインクを繋ぐヒモが切れて、インク滴が吐出される。又、このタイミングでチャネルを収縮させると正圧が発生して、チャネル内の負圧の一部がキャンセルされる。更に、１ＡＬ経過すると、圧力が反転して、チャネル内が正圧になるので、このタイミングでチャネルの側壁を中立位置に戻すと、負圧が発生して、更にキャンセルが掛かり、チャネル内の圧力波が完全に消滅する。これで、次の液滴を吐出できる。
【０００８】
ちなみに、ＡＬ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ　Ｌｅｎｇｔｈ）とは、インクチャネルの音響的共振周期の１／２のことであり、インクチャネルの長さをＬ、インク中の音速をＣとすると、Ｌ／Ｃであらわされる時間（単位：μｓ）である。駆動パルス幅をＡＬに合わせると、最も効率良く吐出できる。しかし、インク中の音速を測定するのは難しいので、パルス幅を変化させて、インク滴の飛翔速度を測定し、速度が最大になるときのパルス幅をそのヘッドのＡＬと定義する。
【０００９】
圧電素子タイプのインクジェットヘッドは、インク吐出時に大きな圧力変動を生じると、インクチャネルから共通インク室（マニホールド）にインクが逆流することがあり、吐出効率の低下につながる。又、圧力波の振動が共通インク室に伝わり、そこを介して別のチャネルの駆動に影響を与えることもある。これを防止するために、共通インク室とインクチャネル入口との境界に絞りを設けた構造が採られる。
【００１０】
積層ピエゾ方式などの外部の圧電素子で振動板を駆動するタイプのヘッドは、その構造上、大きな圧力が発生するので、前述の絞りによってインクチャネル入口の面積と出口であるノズル面積とが略同一になるように設計されている。このため、インクチャネルを急速に膨張させると、インクの供給が不足したりメニスカスがインクチャネルの奥深くに引き込まれたりして吐出液滴の大きさばらつきを生じる。従って、台形波を利用してゆっくりとチャネルを変位させなければならない。台形波は、圧力波やメニスカスを正確に制御できるが、矩形波に比べて効率が悪く高い電圧が必要となる。例えば、シェアモードヘッドを矩形波で駆動すれば、１０〜１５Ｖで吐出できるが、台形波を使用すると、３０〜４０Ｖ必要であり、ヘッドの発熱は、約４倍も多くなってしまう。又、圧電素子の抗電界を越えてしまうので、使用中の感度低下が大きくなる。
【００１１】
一方、シェアモード方式のヘッドは、インクチャネル内の圧力波振動の反射を利用してインクを吐出するためあまり大きな圧力は発生せず、入口絞りを設ける必要がない。入口絞りのない場合、インクチャネル入口の断面積はインクチャネル出口であるノズル断面積の２０〜５０倍もあるので、インク室を急激に膨張させても、インクの供給が不足したり、インクメニスカスがインクチャネル内の奥深く引きこまれすぎたりすることが起こらない。従って、シェアモード方式のヘッドの駆動には、台形波よりも駆動電圧が低く、応答が早い矩形波形を利用することが可能である。
【００１２】
前述の先行技術は全て、台形波で微小滴の吐出を達成する方法であり、高い駆動電圧が必要となるため、ヘッド構成部材である圧電素子の発熱や劣化が問題となる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の課題は、電圧効率の良い矩形波形を利用して、安定した小液滴噴射を可能とするシェアモード方式のインク滴噴射装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１５】
（１）電気・機械変換素子の作動により圧力を発生する圧力発生室と、圧力発生室の一端に形成され該圧力の作用によりインク滴を出射するノズルと、圧力発生室に連通し圧力発生室にインクを供給するためのインク供給路とを有するシェアモード方式のインク滴噴射装置において、インク滴を噴射させるために電気・機械変換素子に印加する駆動波形が、少なくとも、圧力発生室の容積を増大させる第１の膨張エッジと、該第１の膨張エッジからＴ１時間後に圧力発生室の容積を収縮させてインクをノズルから出射させる第１の収縮エッジと、該第１の収縮エッジからＴ２時間後に圧力発生室の容積をさらに収縮させる第２の収縮エッジとからなり、前記第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と前記第１の収縮エッジの電位差Ｖ２とが、Ｖ１＞Ｖ２であり、且つ前記Ｔ１及びＴ２が、０．８ＡＬ〜１．２ＡＬ（ＡＬは圧力発生室の音響的共振周期の１／２）である矩形波形であることを特徴とするインク滴噴射装置。
【００１６】
（２）前記駆動波形が、前記第１の膨張エッジによる膨張開始前と、前記第２の収縮エッジによる収縮終了後の期間に、インクメニスカスを乱さない程度の収縮部と膨張部を含むことを特徴とする（１）に記載のインク滴噴射装置。
【００１７】
（３）前記第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と、前記第１の収縮エッジの電位差Ｖ２とが、Ｖ２＝（Ｖ１）／２であることを特徴とする（１）又は（２）記載のインク滴噴射装置。
【００１８】
（４）前記インク滴を出射するノズルを有する圧力発生室の少なくとも両隣に、インクの出射を行わないダミーチャネルを有することを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載のインク滴噴射装置。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２０】
図１は、インク滴噴射装置としてのインクジェット記録装置におけるせん断モード（シェアモード）方式の記録ヘッドの概略構成を示す図であり、（ａ）は外観斜視図、（ｂ）は断面図、図２はその作動を示す図である。同図において、１はインクチューブ、２はノズル形成部材、３はノズル、Ｓは電気・機械変換手段としての側壁、６はカバープレート、７はインク供給口、８は基板である。そして、図２に示すように圧力発生室としてのインクチャネルＡが側壁Ｓとカバープレート６及び基板８によって形成されている。
【００２１】
図１（ｂ）には１個のノズル３を有する１個のインクチャネルＡの断面図が示されているが、実際のせん断モードで動作する記録ヘッドＨでは、図２（ａ）に示すようにカバープレート６と基板８との間には複数の電気・機械変換手段としての側壁Ｓ、即ち、Ｓ１、Ｓ２、…Ｓｎ＋１で隔てられたインクチャネルＡ、即ち、Ａ１、Ａ２、…Ａｎが多数構成されている。インクチャネルＡ１、Ａ２、…Ａｎの一端（以下、これをノズル端という場合がある）はノズル形成部材２に形成されたノズル３につながり、他端（以下、これをマニホールド端という場合がある）はインク供給部を構成する供給口７及びインクチューブ１によって図示されていないインクタンクに接続されていて、ノズル３にはインクによるインクメニスカスを形成している。
【００２２】
各側壁Ｓ１、Ｓ２、…は、図２の矢印で示すように分極方向が異なる２個の圧電材料からなる側壁Ｓ１ａ、Ｓ２ａ、…とＳ１ｂ、Ｓ２ｂ、…とから構成されており、側壁Ｓ１には密着形成された電極Ｑ１、Ｑ２が、側壁Ｓ２には密着形成された電極Ｑ３、Ｑ４が設けてある。同様に各側壁にそれぞれ電極が密着形成されており、各電極Ｑ１、Ｑ２、…は駆動パルス発生回路に接続している。
【００２３】
かかる記録ヘッドＨにおいては、図２（ａ）に示す状態において、例えば、電極Ｑ１及びＱ４をアースに接続すると共に電極Ｑ２及びＱ３に駆動パルスを印加すると、側壁Ｓ１、Ｓ２を構成する圧電材料の分極方向に直角な方向の電界が生じ、図２（ｂ）に示すように側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂともに側壁の接合面にズリ変形を生じる。また、側壁Ｓ２ａ、Ｓ２ｂも同様に反対方向にズリ変形を生じて、側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ及び側壁Ｓ２ａ、Ｓ２ｂは互いに外側に向けて変形し、インクチャネルＡ１の容積を拡大してインクチャネルＡ１内に負の圧力が生じてインクが流れ込む。更に、図２（ｃ）に示すように、側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ及びＳ２ａ、Ｓ２ｂを互いに逆方向に変形するように駆動パルスを印加して、インクチャネルＡ１の容積を縮小すると、インクチャネルＡ１内に正の圧力が生じる。これによりインクチャネルＡ１を満たしているインクの一部によるノズル３内のインクメニスカスがノズル３から押し出される方向に変化する。この正の圧力がインク滴をノズル３から射出する程に大きくなると、インク滴はノズル３から吐出する。
【００２４】
また、各インクチャネルも同様に駆動パルスの印加によって上記と同様に動作する。
【００２５】
シェアモード方式の記録ヘッドＨでは、前記のようにインク滴を吐出させるインクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２が変形の動作をすると、隣のインクチャネルＡ２が影響を受けるため、隣接するインクチャネルＡ１、Ａ２からは同時にインク滴の吐出ができない。このため、通常、インクチャネルを３チャネル毎に３群に分けて吐出するいわゆる３サイクル吐出法が行われる。例えば、Ａ１、Ａ４、Ａ７…を同一周期のパルスで駆動し、次の周期でＡ２、Ａ５、Ａ８…を駆動する方法が行われる。しかし、一つのインクチャネルからインク滴を吐出すると、吐出したインクチャネルの振動が隣接するインクチャネルにも伝わるので、これらの振動が収まってから次の吐出が可能となる。また、別のチャネル構成として、インクチャネルと該インクチャネルの少なくとも両隣にインクを含まない、即ちインクの出射を行わない空気チャネル（ダミーチャネル）を交互に設けて、インク滴を吐出したインクチャネルの影響が、その隣のインクチャネルに伝わらないようにする方法がある。この場合、各インクチャネルは同じタイミングでインク滴の吐出を行うことができる。本発明は上記いずれの方法にも適用可能であるが、特に後者の場合、ノズルよりも微小なインク滴をより安定して吐出可能となるために好ましい。
【００２６】
図３は、本発明において、インク滴を吐出するために駆動パルス発生回路から電極に印加される駆動波形を示している。本発明における駆動波形は、少なくとも、圧力発生室としてのインクチャネルの容積を増大させる第１の膨張エッジＥ１と、該第１の膨張エッジＥ１からＴ１時間後にインクチャネルの容積を収縮させてインクをノズルから出射させる第１の収縮エッジＥ２と、該第１の収縮エッジＥ２からＴ２時間後にインクチャネルの容積をさらに収縮させる第２の収縮エッジＥ３とからなり、前記第１の膨張エッジＥ１の電位差Ｖ１と前記第１の収縮エッジＥ２の電位差Ｖ２とが、Ｖ１＞Ｖ２であり、且つ前記Ｔ１及びＴ２が、０．８ＡＬ〜１．２ＡＬ（ＡＬはインクチャネルの音響的共振周期の１／２）である矩形波形からなる。
【００２７】
ここで矩形波形とは、電圧の０−９０％までの立ち上がり時間、立ち下り時間のいずれもがＡＬの１／４以内であるような波形を示す。但し、ＡＬが長い場合でも上記時間は１μｓ以内とする。
【００２８】
図３（ａ）は、図２（ａ）に示すようにインクチャネルＡの側壁Ｓが中立位置にある状態を０電位として、正電圧の矩形波形を構成している。また、図３（ｂ）は、同じくインクチャネルＡの側壁Ｓが中立位置にある状態（０電圧）を中間電位とし、正電圧＋ＶＡと負電圧−ＶＡとの間で矩形波形を構成しており、第１の膨張エッジＥ１のパルスによる膨張開始前の期間にインクチャネルを収縮させる収縮部Ｐ１と、第２の収縮エッジＥ３のパルスによる収縮終了後の期間にインクチャネルを膨張させる膨張部Ｐ２とを含んでおり、本発明において好ましい態様を示している。これら収縮部Ｐ１と膨張部Ｐ２は、ここでは記録ヘッドのノズルにおけるインクメニスカスを乱さない（振動させない）程度のスロープ波形によって中間電位と第１の膨張エッジＥ１の始点電位及び第２の収縮エッジＥ３の終点電位と中間電位をそれぞれ接続しているが、この収縮部Ｐ１と膨張部Ｐ２は、図６に示すような階段状矩形波形であってもよい。
【００２９】
ここで図３（ｂ）に示す駆動波形を、例えば図２に示すインクチャネルＡ１の電極Ｑ２及びＱ３に印加し、電極Ｑ１及びＱ４を接地すると、まず、図２（ａ）に示す中立位置にあるインクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２は、収縮部Ｐ１のパルスによって内側に向けて収縮変形し、インクチャネルＡ１の容積をゆっくりと減少させる。このとき収縮部Ｐ１のパルスはスロープ波形からなるため、ノズル３内のインクメニスカスはゆっくりとノズル３から押し出され、振動することはなく、インク滴が吐出することはない。
【００３０】
この状態を一定時間維持した後、負電圧−ＶＡから正電圧＋ＶＡの第１の膨張エッジＥ１のパルスが印加されると、インクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２は、電位差Ｖ１の電圧により外側に向けて急激に膨張変形し、インクチャネルＡ１の容積を大きく増大させる。これによりノズル３から押し出されていたインクメニスカスはノズル３内に大きく引き込まれる。
【００３１】
この状態はＴ１時間継続され、このＴ１時間の後、続いて第１の収縮エッジＥ２のパルスが印加されると、インクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２は電位差Ｖ２の電圧により急激に収縮し、インクチャネルＡ１の容積を急激に減少させる。このときの電位差Ｖ２は上記第１の膨張エッジＥ１のパルスの電位差Ｖ１よりも小さく（Ｖ１＞Ｖ２）、上記第１の膨張エッジＥ１のパルスによりそれまでノズル３内に大きく引き込まれていたインクメニスカスは、この第１の収縮エッジＥ２のパルスによってインクチャネルＡ１内に発生する急激な正の圧力により、その一部がノズル３から押し出され、更にインクからちぎれてノズル径よりも微小なインク滴として吐出する。
【００３２】
この第１の収縮エッジＥ２のパルスはＴ２時間継続され、このＴ２時間の後、続いて第２の収縮エッジＥ３のパルスが印加されると、インクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２は更に収縮してインクチャネルＡ１の容積を減少させ、このときに発生する圧力波がインクチャネル内の圧力波残響をキャンセルする。
【００３３】
この状態を一定時間維持した後、続いて膨張部Ｐ２のパルスによって、インクチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２は外側に向けて膨張変形し、インクチャネルＡ１の容積をゆっくりと増大させる。このとき膨張部Ｐ２のパルスはスロープ波形からなるため、ノズル３内のインクメニスカスはゆっくりとノズル３から後退して振動することはなく、次のインク吐出開始動作に影響を与えることはない。このため、インク滴出射後のインクメニスカス振動が抑制され、矩形波形で短周期での安定出射が可能となる。
【００３４】
第１の膨張エッジＥ１のパルスと第１の収縮エッジＥ２のパルスとのそれぞれの印加期間（パルス幅）Ｔ１及びＴ２は、共に０．８ＡＬ〜１．２ＡＬの期間であると、小液滴吐出とインク滴の出射安定性との両立を図り得る。パルス幅が０．８ＡＬ未満では、吐出液滴量が大きくなってしまい、小液滴化の要請を満足できない。また、１．２ＡＬを越えるようになると、サテライトの飛散や吐出速度ぶれなどの出射不安定性が生じるようになるために好ましくない。
【００３５】
以上は、図３（ｂ）に示す駆動波形を、図２に示すインクチャネルＡ１により例示される電極Ｑ２及びＱ３に印加し、電極Ｑ１及びＱ４を接地した場合であるが、別の態様として、上記インクチャネルＡ１における電極Ｑ１及びＱ４と電極Ｑ２及びＱ３にそれぞれ駆動パルスを印加することもできる。図４（ａ）（ｂ）は、この後者の態様において好ましい駆動波形の一例を示している。図３（ｂ）と同一符号は同一の構成を示している。
【００３６】
即ち、図４（ａ）に示す正電圧の駆動波形を、例えばインクチャネルＡ１において電極Ｑ２及びＱ３に印加する一方、図４（ｂ）に示す正電圧の駆動波形を、電極Ｑ１及びＱ４に印加する。これによっても上記図３（ｂ）の駆動波形を印加した場合と全く同一の効果を奏することができる上に、正電圧のみによって回路構成が可能であるため、回路設計上有利である。特に、第１の膨張エッジＥ１の電位差Ｖ１と第１の収縮エッジＥ２の電位差Ｖ２とが、Ｖ２＝（Ｖ１）／２の関係にあるとき、駆動波形は図４（ａ）（ｂ）に示す通りとなり、回路構成は＋Ｖの単電源で可能となるため、更に回路設計上有利となり好ましい。
【００３７】
なお、以上説明した図３（ｂ）に示す駆動波形は、中間電位をＧＮＤレベルとしているため、低電圧化が可能であり、駆動電圧の低減化により、圧電材料（ＰＺＴ）の劣化を抑えることができると共に、低い駆動電圧でありながら、インクチャネル内に大きな圧力変動を与えることが可能である。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の効果を実施例に基づいて例証する。
【００３９】
＜実施例１＞
図１に示すシェアモードタイプの記録ヘッド（ノズル数：２５６、ノズル径：２３μｍ）の各インクチャネルを３群に分け、図３（ｂ）に示す駆動波形を用いて、電位差Ｖ１／Ｖ２を図５に示すように変化させながら、以下の条件で３サイクル駆動を行い、吐出したインク滴の液滴体積を測定した。その結果を図５に示す
【００４０】
条件
Ｔ１＝Ｔ２＝１．０ＡＬ＝４．０μｓ
インク：水性インク
粘度４．０ｍＰａ・ｓ　表面張力３５．５ｍＮ／ｍ　ａｔ２５℃
駆動周期：１００μｓ
【００４１】
液滴体積の測定方法
吐出速度を変化させた条件で、各ノズルから１２５０００発の液滴を吐出して、採取したインクを計量し、１ｄｏｔ当たりの液滴体積（吐出速度：８ｍ／ｓ）に換算した。
【００４２】
図５に示すように、第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と第１の収縮エッジの電位差Ｖ２が、Ｖ１＞Ｖ２となる本発明では、液滴体積が格段に微小化していることが確認された。
【００４３】
＜実施例２＞
実施例１と同一の記録ヘッドにおいて、第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と第１の収縮エッジの電位差Ｖ２を、Ｖ２＝（Ｖ１）／２とし、パルス幅をＴ１＝Ｔ２の条件で表１に示す通りに変化させたときの小液滴化効果と、出射の安定性を評価した。
【００４４】
小液滴化効果の評価方法
第１の膨張エッジのパルス幅Ｔ１と第１の収縮エッジのパルス幅Ｔ２が、Ｔ１＝Ｔ２＝１．０ＡＬ、且つ、第１の膨張エッジの電位差Ｖ１と第１の収縮エッジの電位差Ｖ２がＶ１＝Ｖ２である駆動波形を印加した場合の液滴体積（吐出速度：８ｍ／ｓ）を上記と同様の測定方法により測定して基準体積Ｘ０とし、吐出された液滴体積をこの基準体積Ｘ０に対する比率で比較し、以下の基準で評価した。その結果を表１に示す。
【００４５】
評価基準
◎：Ｘ０の８０％未満
○：Ｘ０の８０％以上９０％未満
△：Ｘ０の９０％以上１００％未満
×：Ｘ０以上
【００４６】
出射安定性の評価方法
電位差Ｖ１、Ｖ２を変化させることにより、液滴の吐出速度を上げていき、出射状態を観察した。吐出方向の曲がりやサテライトの飛散等が起こらない吐出速度の上限を安定出射速度上限と定め、以下の基準で評価した。その結果を表１に示す。
【００４７】
評価基準
◎：１２ｍ／ｓ≦安定出射速度上限
○：１０ｍ／ｓ≦安定出射速度上限＜１２ｍ／ｓ
△：８ｍ／ｓ≦安定出射速度上限＜１０ｍ／ｓ
×：安定出射速度上限＜８ｍ／ｓ
【００４８】
【表１】
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【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、電圧効率の良い矩形波形を利用して、安定した小液滴噴射を可能とするシェアモード方式のインク滴噴射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はインクジェット記録装置における記録ヘッドの概略構成を示す外観斜視図、（ｂ）はその断面図
【図２】記録ヘッドの作動を示す図
【図３】（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明における駆動波形を示す図
【図４】（ａ）（ｂ）は駆動波形の別の態様を示す図
【図５】駆動電圧比と液滴体積との関係を示すグラフ
【図６】駆動波形の更に別の態様を示す図
【符号の説明】
１：インクチューブ
２：ノズル形成部材
３：ノズル
６：カバープレート
７：インク供給口
８：基板
Ａ１、…：インクチャネル
Ｓ１、…：隔壁（電気・機械変換手段）
Ｑ１、…：電極
Ｈ：記録ヘッド
Ｅ１：第１の膨張エッジ
Ｅ２：第１の収縮エッジ
Ｅ３：第２の収縮エッジ
Ｐ１：収縮部
Ｐ２：膨張部
【図１】
2004082425.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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