(57)【要約】【課題】インクへの気体混入を抑制してインクの脱気性を高め、ヘッドからの安定した液滴吐出を実現可能にする液滴吐出装置用チューブを提供する。【解決手段】本発明に係るチューブ４８は、内部にインクが流れる流路１０１を備える内管１０２と、内管１０２の外側に形成された略筒状の中空層１０３と、中空層１０３の外側に形成された外管１０４とを備えて構成されている。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するヘッドに対して液状体を供給する供給路をなす液滴吐出装置用チューブであって、
前記液状体が流れる流路を内部に備える内層と、
該内層の外側に形成され、減圧可能に構成された中間層と、
該中間層の外側に形成された外層とを備えることを特徴とする液滴吐出装置用チューブ。
【請求項２】
液滴を吐出するヘッドに対して液状体を供給する供給路をなす液滴吐出装置用チューブであって、
前記液状体が流れる流路を内部に備える複数の内層と、
該内層の外側に形成された外層と、
前記複数の内層と前記外層との間に形成され、減圧可能に構成された中間層とを備えることを特徴とする液滴吐出装置用チューブ。
【請求項３】
前記中間層が中空層にて構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項４】
前記外層には、外部から前記中間層に貫通し、該中間層を減圧するための通気孔が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項５】
前記内層が、常圧若しくは減圧下で気体透過性を示す材料にて構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項６】
前記中間層には、前記内層と前記外層との間隔を形成するためのスペーサーが設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項７】
前記内層及び前記外層が可撓性材料にて構成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項８】
前記外層が剛体にて構成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブ。
【請求項９】
ベースと、このベース上の被滴下材料に対して液状体を吐出するヘッドとを備えてなる液滴吐出装置であって、
前記液状体を収容する収容部と、
前記収容部から前記ヘッドに対して前記液状体を供給する供給部とを備え、
前記供給部が、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の液滴吐出装置用チューブにて構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置用チューブ及び液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータや携帯用の情報機器といった電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルターが用いられている。カラーフィルターの製造方法の一つとして、従来より、基板に対しＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクを所定のパターンで着弾させることで形成する、インクジェット方式による方法が知られている。
【０００３】
このインクジェット方式を採用したインクジェット装置としては、例えばインクを基板上に所定パターンで吐出するインクジェットヘッドと、インクを保存するインクタンクと、該インクタンクからインクジェットヘッドに対してインクを供給するチューブとを備えた構成が知られている。このようなインクジェット装置では、ヘッドからの吐出安定性を確保するためにインクの脱気が要求されており、例えば特許文献１には供給途上に脱気装置が具備されたものが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−４２７７１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に開示されたインクジェット装置では、脱気装置が具備されているものの、チューブ自体の構成が、その供給途上において完全に気密性が高いものではない。したがって、脱気装置にてインクの脱気を行ったとしても、チューブ内の供給途上においてインク中に気体が混入する惧れがある。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、インクへの気体混入を抑制してインクの脱気性を高め、ヘッドからの安定した液滴吐出を実現可能にするとともに、設計性を高め、製造効率の高い液滴吐出装置用チューブと、該チューブを備えた液滴吐出装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置用チューブは、液滴を吐出するヘッドに対して液状体を供給する供給路をなす液滴吐出装置用チューブであって、前記液状体が流れる流路を内部に備える内層と、該内層の外側に形成され、減圧可能に構成された中間層と、該中間層の外側に形成された外層とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置用チューブによると、内層と外層との間に中間層を形成したため、該中間層を減圧（例えば大気圧以下）することにより内層の内部を流れる液状体に外部から気体が混入する不具合が解消され、液状体本来の気体濃度を保つことが可能となり、ヘッドからの安定した液滴吐出性を実現することが可能となる。しかも、チューブの部分的ではなく、供給路全体に気密性を確保可能なため、液状体に対する気密性を一層高めるものとなり、長いチューブにおいても十分に気密性を確保可能となる。
また、内層と外層とを中間層を介して設けているため、例えば内層と外層とを貼り合わせてなる中間層を設けない構成に比して、液状体の種類に応じて内層のみを変更可能で、使用する液状体の種類が変更された場合でも外層の使い回しが可能となり、すなわち内層のみを変更するだけで液状体の種類に拘らず良好な液状体流通性を確保可能となる。したがって、当該液滴吐出装置用チューブの設計性が高まり、製造効率を高めることが可能となる。なお、内層の変更は、例えば各液状体の流動性を高める材料にて構成されたものを適宜選択して行なうことが好ましく、その他にも使用環境に応じて耐磨耗性、耐溶剤性等を考慮して適宜選択することができる。具体的には、例えば特別な気密性を必要とする液状体を扱うときでも、当該チューブのガスバリア性を考慮する必要はなく、より安く、液状体の特性のみに着眼して内層を選択できるため、幅広い用途に適応することが可能となる。
【０００９】
前記中間層は例えば中空層にて構成することが好ましく、その他、例えば多孔性の材料を充填して構成とすることも可能で、減圧可能に構成されていれば良い。中間層を減圧可能にする手段としては、例えば前記外層に、外部から中間層に貫通する通気孔を設け、該通気孔から中間層を減圧するものとすることができる。このような構成により、簡便に中間層の気圧を制御可能となる。
【００１０】
前記内層は、常圧若しくは減圧下で気体透過性を示す材料にて構成されていることが好ましい。これにより、例えば液状体に含まれた気体があった場合にも、中間層を減圧することで容易に該液状体の脱気を行うことが可能となる。
【００１１】
また、前記中間層には、前記内層と前記外層との間隔を形成するためのスペーサーが設けられているものとすることができる。これにより内層と外層との間に中間層を確実に確保することが可能となるとともに、内層と外層との極度の摩擦を回避可能となり、内層及び外層のそれぞれが破損する等の不具合を解消することが可能となる。特に、内層及び外層を可撓性材料にて構成した場合には、摩擦抑制効果は一層顕著となる。なお、スペーサーとしては、例えば内層と外層との間に所定の外径寸法を備える球状部材を、チューブの長さ方向及び径方向に所定間隔毎に形成する構成とすることができるが、その他にも、例えば内層と外層との間に多孔性材料層を形成する構成とすることもできる。
【００１２】
一方、前記外層は剛体にて構成することができる。この場合、内層を外的衝撃等から保護することが可能となり、液状体の流路を確実に保護することが可能となる。また、液状体が遮光性を必要とする場合、例えば光重合性等を有する液状体を使用する場合には、遮光性の高い外層、例えば遮光性金属材料からなる外層を用いることが好ましい。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置用チューブでは、内層についてはガスバリア性を考慮する必要はなく、液状体の流動性の確保と、耐性とを考慮した素材を選択すれば良い。また、外層については特に仕様上の制限はないが、気密性が高いものを選択するのが好ましい。さらに、中間層の減圧量については特に限定されるものではないが、減圧量が小さい場合、大気圧に比べて僅かでも減圧状態ならば、上記本発明の効果を得ることができる。一方、減圧量が大きい場合、内層を介して液状体に含まれる気体を中間層に吸引することができ、一層中間層内の脱気性が向上する。さらに、中間層の断面積の許される範囲において、予備の内層を予め用意しておくことにより（すなわち複数の内層を設けることにより）、使用に供されている内層が破損した場合にも、別の内層に取り替えることで、容易に対応することが可能となる。
【００１４】
具体的な液滴吐出装置用チューブの構成としては、例えば有機ＥＬ素子の正孔注入層に用いるポリチオフェン誘導体（ＰＥＤＯＴ）を液状体として供給する場合には、内層として４フッ化エチレンとエチレンの共重合体フッ素樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）からなるものを、外層としてポリウレタンからなるものを適用することが好ましい。
また、例えば有機ＥＬ素子の発光層に用いるフルオレン系高分子誘導体を液状体として供給する場合には、内層としてテトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体からなるものを、外層として塩化ビニル系樹脂からなるものを適用することが好ましい。
【００１５】
なお、本発明の液滴吐出装置用チューブでは、液状体を供給する過程において中間層を吸引するのみならず、内部に長時間液状体を滞留させておく場合にも気体の進入を防ぐことが可能で、この場合、滞留中に特に減圧を維持し続けなくても気密性を確保することが可能である。
【００１６】
次に、本発明の液滴吐出装置は、ベースと、このベース上の被滴下材料に対して液状体を吐出するヘッドとを備えてなる液滴吐出装置であって、前記液状体を収容する収容部と、前記収容部から前記ヘッドに対して前記液状体を供給する供給部とを備え、前記供給部が上記液滴吐出装置用チューブにて構成されていることを特徴とする。このような液滴吐出装置によると、ノズルからの液滴吐出性が安定化し、液滴を目的の地点に確実に着弾させることが可能となり、またノズルにおいて目詰まりも生じ難く、安定して液状体を吐出することが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置用チューブを備えた液滴吐出装置の一実施の形態を説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置に係るインクジェット装置３０の概略構成を示す斜視図である。このインクジェット装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、インクジェットヘッド（ヘッド）３４、インク（液状体）供給手段３５等を有して構成されたものである。ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００１８】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。スライダ３７には、θ軸用のモータ（図示せず）が備えられている。このモータは、例えばダイレクトドライブモータからなるものであり、これのロータ（図示せず）はテーブル３９に固定されている。このような構成のもとに、モータに通電するとロータおよびテーブル３９は、θ方向に沿って回転し、テーブル３９をインデックス（回転割り出し）するようになっている。
【００１９】
テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するものである。すなわち、このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピン（図示せず）により、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。テーブル３９には、インクジェットヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア４１が設けられている。この捨打ちエリア４１は、Ｘ軸方向に延びて形成されたもので、テーブル３９の後端部側に設けられたものである。
【００２０】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向にインクジェットヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これによりインクジェットヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２１】
インクジェットヘッド３４には、揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、インクジェットヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、インクジェットヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、インクジェットヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、インクジェットヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。
【００２２】
このようにインクジェットヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、インクジェットヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
ここで、インクジェットヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はインクで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射するためのノズル孔１８が一列に配列された状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にインクを供給するための孔１９が形成されている。
【００２３】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板に向けてインクの液滴２２が吐出される。なお、インクジェットヘッド３４のインクジェット方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式のものとしてもよい。
【００２４】
図１に戻り、インク供給手段３５は、インクジェットヘッド３４にインク滴を供給するインク供給源４７と、このインク供給源４７からインクジェットヘッド３４にインクを送るためのインク供給チューブ４８とからなるものである。すなわちステンレス製等の容器からなるインク供給源４７にインクを一時保管して、そこよりインクをインク供給チューブ４８によりヘッドまで供給する方式を採用している。
なお、インク供給源４７として、図３に示した構成のインクパック（収容部材）を備えたものを適用することも可能である。すなわち、図３に示したインク供給源４７は、インク液を充填した袋状のインクパック（収容部材）４９と、インクパック４９を収容するケース５０ａおよびその蓋５０ｂとによって構成されたものである。インクパック４９は、インクの取出し口となる管４９ａを有したもので、ケース５０にはこの管４９ａを引き出すための凹部５０ｃが形成されている。また、ケース５０の凹部５０ｃから引き出された管４９ａには、インク供給チューブ４８が接続されており、このインク供給チューブ４８は前記インクジェットヘッド３４に接続されている。なお、このインクパック４９については、管４９ａからインクを出すのでなく、インク供給チューブ４８に接続する針をインクパック４９に突き刺すことにより、インクを流出するように構成してもよい。このインクパック４９やこれを収容するケース５０ａ、蓋５０ｂについては、特許第３０２４２６０号に記載されたものが好適に用いられる。
【００２５】
一方、インク供給源４７からインクジェットヘッド３４にインクを送るためのインク供給チューブ（チューブ）４８は、図４に示す構成を備えている。図４（ａ）はチューブ４８の部分切欠斜視図で、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。チューブ４８は、内部にインクが流れる流路１０１を備える内管（内層）１０２と、内管１０２の外側に形成された略筒状の中空層（中間層）１０３と、中空層１０３の外側に形成された外管（外層）１０４とを備えて構成されている。
【００２６】
外管１０４には、外部から中空層に貫通する通気孔１０５が形成され、通気孔１０５から中空層１０３を減圧可能に構成されている。また、内管１０２は、常圧若しくは減圧下で気体透過性を示す材料、例えば液体の透過は阻止し、気体の透過を許容する微細孔を有した筒状部材にて構成されている。
【００２７】
このような構成のチューブ４８は、中空層１０３を例えば４００Ｐａ程度の大気圧以下に減圧することにより、内管１０２の内部に形成された流路１０１を流れるインクに外部から気体が混入する不具合が解消され、ヘッド３４（図１参照）からの安定した液滴吐出性を実現することが可能となる。しかも、チューブ４８の一部分ではなく、インクの流路全域に気密性を確保可能なため、インクの気密性は極めて高いものとなる。
【００２８】
また、内管１０２と外管１０４とを中空層１０３を介して設けているため、吐出するインクの種類に応じて、該インクの流通性を高めるために内管１０２のみの交換を可能とした。すなわち、使用するインクの種類が変更された場合でも外管１０４の使い回しが可能となり、内管１０２のみを変更するだけでインクの種類に拘らず良好なインクの流通性を確保可能となる。したがって、チューブ４８の設計性が高まり、該チューブ４８の製造効率を高めることが可能となる。
【００２９】
以上のような構成の本実施形態のインクジェット装置３０は、例えば図７に示すように長方形形状の基板Ｓ上に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルター領域５１をマトリックス状に形成する際に適用できる。これらのカラーフィルター領域５１は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルターとして用いることができる。なお、カラーフィルター領域５１としては、図７に示したようにＲのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等としてもよい。
【００３０】
このようなカラーフィルター領域５１を形成するには、まず、図８（ａ）に示すように透明の基板Ｓの一方の面に対し、ブラックマトリックス５２を形成する。このブラックマトリックス５２の形成方法としては、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、パターニングすることで行う。このブラックマトリックス５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルターエレメント５３については、例えばＸ軸方向の巾を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。
【００３１】
次に、図８（ｂ）に示すように、前記のインクジェットヘッド３４からインク滴（液滴）５４を吐出し、これをフィルターエレメント５３に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。
このようにして基板Ｓ上のすべてのフィルターエレメント５３にインク滴５４を充填したら、ヒータを用いて基板Ｓが所定の温度（例えば７０℃程度）となるように加熱処理する。この加熱処理により、インクの溶媒が蒸発してインクの体積が減少する。この体積減少の激しい場合には、カラーフィルターとして十分なインク膜の厚みが得られるまで、インク吐出工程と加熱工程とを繰り返す。この処理により、インクに含まれる溶媒が蒸発して、最終的にインクに含まれる固形分のみが残留して膜化し、図８（ｃ）に示すようにカラーフィルタ５５となる。
【００３２】
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつカラーフィルタ５５を保護するため、図８（ｄ）に示すようにカラーフィルタ５５やブラックマトリックス５２を覆って基板Ｓ上に保護膜５６を形成する。この保護膜５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、カラーフィルタ５５の場合と同様に、図１に示したインクジェット装置３０を用いて行うこともできる。
【００３３】
次いで、図８（ｅ）に示すようにこの保護膜５６の全面に、スパッタ法や真空蒸着法等によって透明導電膜５７を形成する。その後、透明導電膜５７をパターニングし、図８（ｆ）に示すように画素電極５８を前記フィルターエレメント５３に対応させてパターニングする。なお、液晶表示パネルの駆動にＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を用いる場合には、このパターニングは不用となる。
【００３４】
また、本実施形態のインクジェット装置３０は、有機ＥＬ素子の構成要素となる薄膜の形成にも用いることができる。図９は、電気ＥＬ装置としての有機ＥＬパネルの構成を説明するための平面図であり、図９中符号２７０は有機ＥＬパネルである。この有機ＥＬパネル２７０は、ガラス等からなる基板２１０と、マトリックス状に配置された画素２７１を形成する多数の有機ＥＬ素子と、封止基板２２０（図１０参照）とを具備して構成されたものである。
基板２１０は、例えばガラス等の透明基板からなるもので、基板２１０の中央に位置する表示領域２０２ａと、基板２１０の周辺部に位置して表示領域２０２ａの外側に配置された非表示領域２０２ｂとに区画されている。表示領域２０２ａは、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子によって形成された領域であり、有効表示領域とも言われるものである。
【００３５】
図１０は、図９に示した有機ＥＬパネルの画素２７１を形成する有機ＥＬ素子の構成を示す断面模式図である。有機ＥＬ素子は、ＩＴＯ２１１がパターニングされたガラス基板２１０上に、ＳｉＯ２膜２１２およびポリイミド膜２１３が積層されている。ポリイミド膜２１３は隔壁部を構成し、該隔壁部の間にはパターン化したＩＴＯ２１１が配設されるとともに、ＩＴＯ２１１上には正孔注入／輸送層２１６及び発光層２１８が形成され、さらに発光層２１８上には陰極２１９及び封止層２２０が形成されている。
【００３６】
以上のような構成の有機ＥＬ素子においても、例えば正孔注入／輸送層２１６、及び／又は発光層２１８を成膜する際に、図１に示したインクジェット装置３０を用いることができる。具体的な成膜方法を正孔注入／輸送層２１６の成膜工程を例にとり説明する。
【００３７】
まず、正孔注入／輸送層２１６を構成するための液状組成物（インク）を滴下する前に、大気圧プラズマ処理によりポリイミド膜２１３にて構成されるバンクを撥インク処理する。大気圧プラズマ処理条件は、大気圧下で、パワー３００Ｗ、電極−基板間距離１ｍｍ、酸素プラズマ処理では酸素ガス流量８０ｃｃｍ、ヘリウムガス流量１０ＳＬＭ、テーブル搬送速度５ｍｍ／ｓで行い、続けてＣＦ４プラズマ処理では、ＣＦ４ガス流量１００ｃｃｍ、ヘリウムガス流量１０ＳＬＭ、テーブル搬送速度３ｍｍ／ｓで行った。
【００３８】
基板の表面処理後、不活性ガス雰囲気下、例えばグローブボックス（窒素ガス１．１ａｔｍ、水分濃度ならびに酸素濃度１ｐｐｍ以下）内で、ポリチオフェン誘導体（ＰＥＤＯＴ）を含むインクを調整し、該インクをインクジェット装置３０のヘッド３４（図１参照）から１５ｐｌ吐出し、パターン塗布した。吐出条件は、水分濃度１％以下、酸素濃度１ｐｐｍ以下の窒素ガス雰囲気下にて行った。そして、真空中（１ｔｏｒｒ）室温２０分という条件で溶媒を除去し、その後大気中２００℃（ホットプレート上）１０分の熱処理により正孔注入／輸送層２１６を形成した。なお、発光層２１８についても、例えばフルオレン系高分子誘導体を含むインクを調整し、このインクを上記と略同様の方法にて、図１に示したインクジェット装置３０を用いて吐出することにより成膜することが可能である。
【００３９】
なお、上記正孔注入／輸送層２１６を形成する工程において、ポリチオフェン誘導体（ＰＥＤＯＴ）をインクとして供給する場合には、チューブ４８の内管１０２としては４フッ化エチレンとエチレンの共重合体フッ素樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）からなるものを用いるのが好ましく、この場合、外管１０４としてはポリウレタンからなるものを適用することが好ましい。
また、発光層２１８を形成する工程において、フルオレン系高分子誘導体をインクとして供給する場合には、チューブ４８の内管１０２としてはテトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体からなるものを用いるのが好ましく、外管１０４としては塩化ビニル系樹脂からなるものを適用することが好ましい。
このように、供給するインクの種類により内管１０２及び／又は外管１０４の構成（特に構成材料）を変更することにより、各インクに適した材料のものを筒を設計可能で、ひいては良好なインクの流通性を確保することが可能となる。
【００４０】
なお、本発明に係る液滴吐出装置用チューブは、図１に示したインクジェット装置３０に適用されたチューブ４８の構成に限られるものではない。以下、チューブ４８の変形例を示す。
【００４１】
図５は、図４（ｂ）の断面図に対応するチューブ４８１の断面図であり、この場合、内管１０２と外管１０４との間隔を形成するためのスペーサー１１１が中空層１０３に設けられている。スペーサー１１１は樹脂製の球状スペーサーであって、この場合、スペーサー１１１が通気孔１０５を塞いでしまうことを防止するために、通気孔１０５の通気管１１５を中空層１０３の内部に突出させることが好ましく、具体的には内管１０２と通気管１１５との距離がスペーサー１１１よりも小さくなる程度に突出させるのが好ましい。なお、スペーサー１１１を多孔性部材にて構成した場合には、該スペーサー１１１が通気孔１０５を塞ぐ等の不具合も生じ難いため、通気管１１５を必ずしも突出形態とする必要はない。
このようなスペーサー１１１を形成することにより、内管１０２と外管１０４との間に中空層１０３を確実に確保することが可能となるとともに、内管１０２と外管１０４との極度の摩擦を回避可能となり、内管１０２及び外管１０４のそれぞれが破損する等の不具合を解消することが可能となる。このような構成は、特に内管１０２及び外管１０４を可撓性材料にて構成した場合には、その摩擦抑制効果が一層顕著となる。
なお、内管１０２と外管１０４との間隔を形成するために、中空層１０３を充填する態様にて、多孔性材料層を形成してもよい。この場合、多孔性材料層がスペーサーの役割を担うとともに、自身が通気性を備えてなるため減圧層として機能することとなる。
【００４２】
次に、図６に示したチューブ４８２は、外管１０４がアルミ管等の金属材料製の剛体にて構成されたものであって、所定のチューブ保持部に対して固定治具１０６を介して固定されている。この場合、内管１０２ａ，１０２ｂを外的衝撃等から保護することが可能となり、インクの流路１０１を確実に保護することが可能となる。また、この場合の外管１０４は遮光性を備えており、例えば供給されるインクが光重合性等を有する場合にも、供給途上において重合が開始してしまう等の不具合を回避できるものとされている。さらに、複数の内管１０２ａ，１０２ｂを含んでおり、それらを同時に流路として用いることも可能であるが、例えば内管１０２ａを主として用い、内管１０２ｂを予備として用いることで、使用に供されている内管１０２ａが破損した場合にも、内管１０２ｂに切り換えて用いることで、容易に対応することが可能となる。
【００４３】
以上、本発明の液滴吐出装置用チューブに係る実施形態を示したが、本発明の液滴吐出装置用チューブは、インクを供給する過程において中空層を吸引するのみならず、流路内にインクを長時間滞留させておく場合にも気体の進入を防ぐことが可能で、この場合、滞留中に特に減圧を維持し続けなくても気密性を確保することが可能である。なお、通気孔１０５から中空層１０３を減圧する場合には、ポンプによる吸引により減圧することが可能であるが、その他にも例えば加圧Ｎ２ガスを用いた減圧法を採用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液状吐出装置の一実施形態たるインクジェット装置の概略構成を斜視図。
【図２】インクジェットヘッドの概略構成を示す要部斜視図及び要部断面図。
【図３】インク供給源の概略構成を示す分解斜視図。
【図４】インク供給チューブの概略構成を示す部分切欠斜視図及び断面図。
【図５】インク供給チューブの変形例を示す断面図。
【図６】インク供給チューブの変形例を示す部分切欠斜視図。
【図７】基板上のカラーフィルタ領域を示す図。
【図８】カラーフィルタ領域の形成方法を工程順に示す要部側断面図。
【図９】本発明の液滴吐出装置を用いて製造可能な有機ＥＬパネルの構成を示す平面図。
【図１０】本発明の液滴吐出装置を用いて製造可能な有機ＥＬパネルの構成の要部を示す断面図。
【符号の説明】
３０…インクジェット装置、３１…ベース、３４…インクジェットヘッド（ヘッド）、４７…インク供給（供給源）、４８…インク供給チューブ（チューブ）、１０１…インク流路（流路）、１０２…内管（内層）、１０３…中空層（中間層）、１０４…外管（外層）、１０５…通気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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