(57)【要約】【課題】ワイヤーボンディング性に優れた半導体装置用接着テープを提供する。【解決手段】絶縁性フィルムの少なくとも片面に、熱硬化性接着剤層が形成された半導体装置用接着テープであり、熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積が０．２５ＭＰａ／μｍより大きい半導体装置用接着テープ。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性フィルムの少なくとも片面に、熱硬化性接着剤層が形成された半導体装置用接着テープであり、
前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積が、０．２５ＭＰａ／μｍより大きいことを特徴とする半導体装置用接着テープ。
【請求項２】
前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率との積が、１ＭＰａ／μｍより大きいことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置用接着テープ。
【請求項３】
前記熱硬化性接着剤層が、ポリアミド樹脂を含有し、
該ポリアミド樹脂が、炭素数３６の不飽和脂肪酸二量体を用いて得られたものであることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置用接着テープ。
【請求項４】
前記炭素数３６の不飽和脂肪酸二量体が、リノール酸を用いて得られたものであることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置用接着テープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの組立工程に用いられ、デバイスの高密度実装に適したＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式に用いるＴＡＢ用テープ；ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等のインターポーザーに好適なＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）用テープ；リードフレーム固定用テープ；およびリードフレームとフィルムキャリアテープをワイヤボンディングにより接続する方式；等に用いる半導体装置用接着テープに関し、特に面実装型半導体装置に好適な半導体装置用接着テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、小型、薄型、軽量で実装密度の高い半導体装置の要求が高まっており、電子部品の中核を構成している多ピンのＩＣ（半導体集積回路）パッケージは、従来の周辺接続型からエリア接続型のＢＧＡ、ＣＳＰと呼ばれる高密度実装可能なＩＣパッケージに変わりつつある。
ＢＧＡおよびＣＳＰは、パッケージの裏面に面格子状の半田ボールを外部接続端子として設けている。ＩＣは、再配線等のための回路基板（以下、再配線基板という）に実装されＩＣパッケージ（ＢＧＡ、ＣＳＰ）となり、マザーボードである硬質プリント基板等に装着される。
ＢＧＡは、再配線基板の種類により、プラスチックＢＧＡ（Ｐ−ＢＧＡ）、テープＢＧＡ（Ｔ−ＢＧＡ）に大別される。Ｔ−ＢＧＡの中には、従来のＴＡＢのＩＬＢ（インナーリードボンディング）を用いた方式によるタイプ、ワイヤボンディング方式によるタイプがあり、後者は特にファインピッチＢＧＡ（ＦＢＧＡ）もしくはテープＣＳＰ（Ｔ−ＣＳＰ）と呼ばれている。
【０００３】
従来、前記ＢＧＡにおける再配線基板としては、ガラスエポキシ基板等の硬質基板が主であったが、近年、携帯電話等の普及に伴い、軽量、薄型化の要求が高まり、かつ一般的に硬質基板よりも高密度の配線を作製しやいことから、テープ基板が主流となりつつあり、このテープ基板を用いたＴ−ＢＧＡ（ＴＣＰタイプ、およびワイヤボンディング方式によるタイプのＦＢＧＡもしくはＴ−ＣＳＰ）が盛んに採用されている。特に、Ｔ−ＣＳＰは、従来のＴ−ＢＧＡのファンアウト方式からファンイン方式にすることで、小型化され、実装面積の狭小化が実現され、今後更に拡大すると期待されている。
【０００４】
上述したような、これらＴＡＢ方式のパッケージ（ＴＣＰ）、ＦＢＧＡに用いられている基板としては、ポリイミドフィルムに接着剤を介して金属箔を積層したものが使用されている。そして、ここで用いられる接着剤には、可とう性と接着性が要求されている。
また、ワイヤボンディング方式のＴ−ＣＳＰに関しては、ボンディング時において、テープ基板上に設置したＩＣチップ上のアルミ電極部と、ＴＡＢテープ基板上の電極配線部（パッド部）とを金ワイヤ等で接続する際に、高温かつボンディングツールからの圧力が加わるため、接着剤には高温における硬さが要求されている。つまり、テープ基板が良好なワイヤボンディング性を有するために、接着剤には高温である程度の硬さを有することが要求されている。
また、テープ基板には、パッケージ用の基板であることから、一般的なリフロー等の実装性や銅マイグレーション等の絶縁性信頼性、その他の信頼性が必要とされる。
【０００５】
従来、前記接着剤としては、熱硬化性樹脂を含有した、エポキシ樹脂／ＮＢＲ（アクリロニトリル−ブタジエン共重合体）系接着剤（特許文献１）やシリコーン系接着剤が使用されてきた。中でも、エポキシ樹脂／ＮＢＲ系の接着剤は、低コスト、使いやすさ等から前記基板に限らず汎用的に使用されている。しかしながら、エポキシ樹脂／ＮＢＲ系接着剤を用いたテープ基板は、ワイヤボンディング時にＮＢＲの柔らかさのためにパッド部が沈み込み、ワイヤーがパッド部に付着しない等、ワイヤボンディング性に問題があった。また、長時間の温度変化や高温高湿度下において、耐リフロー性、ワイヤボンディング性および絶縁性に問題を有するものであった。これは、ＮＢＲがジエン化合物を出発原料としているために、長時間高温に曝されると主鎖に含まれる二重結合が酸化により開裂し、しだいに弾性を失ってしまい、応力緩和効果がなくなり、半田ボール部での接続信頼性などに問題が生じるためである。また、配線基板のファインピッチ化が進んでくると、高温高湿下において、ＮＢＲのアクリロニトリル基による銅イオンの誘引等のために、銅マイグレーション等の問題が生じていた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−１８１２２７号公報（第２−５頁）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
よって、本発明の目的は、従来の接着剤が有していた問題点が解決された、すなわち、ワイヤボンディング性に優れた半導体装置用接着テープを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
従来、半導体装置用接着テープのワイヤボンディング性は、接着剤の貯蔵弾性率にのみにより決定されると考えられていた。接着剤の厚さも一般的な厚さが規定されているが、これはワイヤボンディング性を考慮した上での設定ではなかった。
本発明者等の鋭意検討の結果、貯蔵弾性率や損失弾性率が低くとも、接着剤の厚さを薄くすることでワイヤボンディング性が向上することがわかった。
【０００９】
すなわち、本発明の半導体装置用接着テープは、絶縁性フィルムの少なくとも片面に、熱硬化性接着剤層が形成された半導体装置用接着テープであり、前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積が、０．２５ＭＰａ／μｍより大きいことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の半導体装置用接着テープにおいては、前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率との積が、１ＭＰａ／μｍより大きいことが望ましい。
【００１１】
また、前記熱硬化性接着剤層は、ポリアミド樹脂を含有し、該ポリアミド樹脂が、炭素数３６の不飽和脂肪酸二量体を用いて得られたものであることが望ましい。
また、前記炭素数３６の不飽和脂肪酸二量体は、リノール酸を用いて得られたものであることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
［半導体装置用接着テープ］
本発明の半導体装置用接着テープは、絶縁性フィルムの少なくとも片面に、熱硬化性接着剤層が形成されたものであり、熱硬化性接着剤層の厚さ（μｍ）の逆数と、硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率（ＭＰａ）との積（損失弾性率×１／厚さ）が、０．２５ＭＰａ／μｍより大きいものである。
【００１３】
［絶縁性フィルム］
本発明における絶縁性フィルムは、電気絶縁性を有するフィルムである。絶縁性フィルムとしては、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン等のフィルムが使用できる。中でも、ポリイミドフィルムが最も絶縁性や耐熱性に優れるので好ましい。ポリイミドフィルムは市販されており、東レ・デュポン社の商品名：カプトン、宇部興産社の商品名：ユーピレックス、鐘淵化学工業社の商品名：アピカル等が好ましく使用される。
絶縁性フィルムの厚さは、２０μｍ〜２００μｍが好ましく、より好ましくは２５μｍ〜１２５μｍである。絶縁性フィルムの厚さが２０μｍ未満では、半導体装置用接着テープの硬さ不足により、ハンドリング性が悪くなり、２００μｍより厚いと、小型の半導体装置が得られにくくなる。
【００１４】
［熱硬化性接着剤層］
本発明における熱硬化性接着剤層は、熱によって硬化する性質を持つ接着剤からなる層である。
そして、本発明の熱硬化性接着剤層は、その厚さ（μｍ）の逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率（ＭＰａ）との積（損失弾性率×１／厚さ）が、０．２５ＭＰａ／μｍより大きいことを特徴とする。つまり、損失弾性率が低くとも、接着剤の厚さを薄くすることで、ワイヤボンディング性を向上させることができる。そして、ワイヤボンディング性は接着剤層の損失弾性率と接着剤層の厚さの逆数との積により決まる。より望ましくは、熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積は、０．６ＭＰａ／μｍ以上である。
【００１５】
熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積が０．２５ＭＰａ／μｍ以下となると、ワイヤボンディング工程時に金ワイヤーがパッド部に付着しないか、または、金ワイヤーとパッド部とが十分に接続されないため、ワイヤボンディング工程後、金ワイヤーがパッド部から剥がれるという問題が起こる。なお、ここでいう熱硬化後とは、７０℃程度の低温から所定のプログラムにて温度を加え、さらに１５０〜１７０℃で１〜１０時間程度熱処理されたものをいう。これを実現するには、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂等の低分子量の反応性物質を含有させたり、フェノール樹脂、エポキシ樹脂等の反応性の硬化性物質を含有させることにより可能である。
【００１６】
熱硬化性接着剤層の厚さは、回路用銅箔の凹凸面への接着剤の埋め込み性や接着力を考慮すると、３μｍ以上が好ましく、その時の損失弾性率は０．７５ＭＰａ程度でよい。また、熱硬化性接着剤層の静的弾性率が高い場合には、接着剤と絶縁性フィルムとの熱膨張や静的弾性率の違いによりカール等の現象が発生しやすいことや、パッケージの薄膜化を考えると、熱硬化性接着剤層の厚さは、薄い方が望ましい。
【００１７】
また、熱硬化性接着剤層は、その厚さ（μｍ）の逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率（ＭＰａ）との積（貯蔵弾性率×１／厚さ）が、１ＭＰａ／μｍより大きいことが好ましい。熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率との積が１ＭＰａ／μｍ以下となると、ワイヤボンディング工程時に金ワイヤとパッドとの接続が十分とれにくい。
熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率との積は、特に、３ＭＰａ／μｍより大きいことが好ましく、さらに１０ＭＰａ／μｍより大きいことが好ましい。以上を達成するには、ポリアミド樹脂やフェノール樹脂等の架橋点間分子量の小さい、常温で弾性率の高い樹脂を熱硬化性接着剤層に含有させることにより可能である。
【００１８】
ここで、損失弾性率および貯蔵弾性率は、ＤＭＡ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ａｎａｌｙｚｅｒ）により測定することができる。損失弾性率および貯蔵弾性率の測定条件等については実施例において説明する。
【００１９】
［接着剤層用材料］
熱硬化性接着剤層に用いられる接着剤層用材料は、熱によって硬化する性質を持つ接着剤であり、このような材料としては、例えば、ポリアミド樹脂および硬化性樹脂を含有するものが挙げられる。
【００２０】
［ポリアミド樹脂］
ポリアミド樹脂は、好ましくは、炭素数４以上の脂肪族ジアミンと不飽和脂肪酸二量体との縮合により合成されるものである。この場合の炭素数４以上の脂肪族ジアミンの具体例としては、ブチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、ドデカメチレンジアミンなどが挙げられる。中でも、炭素数４〜１８の脂肪族ジアミンが好ましく、炭素数４〜１２の脂肪族ジアミンがより好ましく、炭素数６〜１２の脂肪族ジアミンがさらに好ましい。このように、従来のエチレンジアミンより炭素数の多い（長い分子の）脂肪族ジアミンを用いることで、熱硬化性接着剤層は、高温時においても高い粘度（粘着性）を示し、かつ高接着力を示すので、絶縁性フィルムと良好な密着力が得られる。さらに、ポリアミド樹脂を含む熱硬化性接着剤層は、湿熱時にも優れた高絶縁性が得られるようになり、熱収縮性も低いものとなる。
【００２１】
不飽和脂肪酸二量体としては、炭素数３６のものが、可とう性や接続性、低吸湿性の点で、好ましく使用される。炭素数３６の不飽和脂肪酸二量体は、炭素数１８の不飽和脂肪酸を縮合させて得ることができる。該炭素数１８の不飽和脂肪酸としては、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸等が挙げられる。この中でも、特にリノール酸が、前記（損失弾性率×１／厚さ）を０．２５ＭＰａ／μｍより大きくなるように調整しやすいので好ましく、さらに９９．１〜８０質量％のリノール酸と、０．１〜２０質量％のオレイン酸またはリノレン酸とからなるものが好ましい。
【００２２】
また、ポリアミド樹脂を合成する際、炭素数４以上の脂肪族ジアミンと不飽和脂肪酸二量体以外に、副成分として少量の三官能以上の酸成分、三官能以上のアミン成分を用いて分岐状ポリアミド樹脂を合成することもできる。副成分である三官能以上の酸成分（あるいは三官能以上のアミン成分）は、ポリアミド樹脂中の全酸成分（あるいは全アミン成分）の２０モル％以内にすることが好ましく、１０モル％以内がより好ましい。副成分が２０モル％を超えると、硬化後の熱硬化性接着剤層の可とう性が悪くなる。
【００２３】
ポリアミド樹脂の質量平均分子量は、溶剤への溶解性等の点で、５００〜５００００が好ましく、より好ましくは１０００〜２００００である。質量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定される。また、ポリアミド樹脂のアミン価は、０．５〜６０が好ましく、より好ましくは５〜６０である。アミン価が０．５未満では、電気絶縁性が不良になりやすく、アミン価が６０を超えると、未反応のアミノ基が残り回路が汚染されやすく、ボンディング不良を引き起こすなどの問題が発生しやすい。また、アミン価の異なる２種類のポリアミド樹脂を用いると、硬化した熱硬化性接着剤層の可とう性を容易に制御できるので好ましい。ここで、ポリアミド樹脂のアミン価は、ポリアミド樹脂１ｇをトルエン／ｎ−ブタノール混合溶液に溶解し、指示薬としてブロムクレゾールグリーンの０．１％メタノール溶液を用い、滴定液として０．１Ｎ塩酸を用いて行われ、当量の水酸化カリウムのｍｇで表示する。
【００２４】
また、ポリアミド樹脂のアミド基間の分子量（酸とジアミンの分子量を合計して２で除したもの）は、２５０〜４００のものが、接着剤の常温の凝集力が下がり、平坦性が確保され、その結果半導体用接着テープの常温での熱硬化性接着剤層によるカールがなく作業性が向上するため好ましい。
【００２５】
［硬化性樹脂］
次に、接着剤層用材料を構成する硬化性樹脂について述べる。
硬化性樹脂は、熱硬化性、光硬化性など硬化性を有する樹脂であれば使用でき、中でも、熱硬化性樹脂、特にフェノール樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂が優れた電気絶縁性および高耐熱性が得られるので好ましい。フェノール樹脂としては、例えば、アルキルフェノール樹脂、ｐ−フェニルフェノール樹脂、ビスフェノールＡ型フェノール樹脂等のノボラックフェノール樹脂、およびレゾールフェノール樹脂、ポリフェニルパラフェノール樹脂等が挙げられる。特に、レゾールフェノール樹脂は、高耐熱性が得られ、後述するエポキシ樹脂を硬化させる機能を有するので好ましい。フェノール樹脂は、熱硬化性接着剤層の耐熱性を得るために重要な成分であり、質量平均分子量が２０００〜５００００、好ましくは２０００〜１５０００、さらに好ましくは２０００〜８０００のものが、耐熱性が得られるため好ましい。また、フェノール樹脂の軟化点は、１５１℃以上のものが、さらに耐熱性が向上するため好ましい。
【００２６】
また、エポキシ樹脂としては、エポキシ基を２個以上有する樹脂であれば使用できる。具体的には、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、テトラグリシジルフェノールアルカン型エポキシ樹脂、ジグリシジルフェノールプロパン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂等の２官能または多官能エポキシ樹脂があげられ、特に耐熱性に優れる多官能エポキシ樹脂が好ましく使用される。
また、イミド樹脂としては、ビスマレイミド系樹脂等が好ましく使用される。
【００２７】
また、接着剤層用材料には、上記フェノール樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂以外の硬化性樹脂成分を併用することもできる。さらにまた、硬化促進剤として、ポリアミン、酸無水物、イミダゾール化合物を含有してもよい。また、熱硬化性接着剤層においては、ポリアミド樹脂の含有量が、硬化性樹脂を含めた樹脂成分中に２０〜８０質量％であることが、耐熱性や耐薬品性の点で好ましく、３０〜７０質量％であればより好ましい。
【００２８】
また、熱硬化性接着剤層には、ポリアミド樹脂と硬化性樹脂に加えて、熱可塑性樹脂を含有させてもよい。熱可塑性樹脂を含有させることで、硬化後の熱硬化性接着剤層に可とう性を付与することができる。熱可塑性樹脂としては、前記ポリアミド樹脂の組成とは異なるポリアミド樹脂（例えば、炭素数３以下の脂肪族ジアミンを縮合成分としたポリアミド樹脂）；カルボキシル基含有アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アミノ基含有アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、グリシジル基含有アクリロニトリル−ブタジエン共重合体等のアクリロニトリル−ブタジエン共重合体；熱可塑性ポリエステル樹脂、アクリルゴム、スチレン−ブタジエン共重合体等が挙げられ、アミノ基、カルボキシル基、水酸基等の官能基を有する熱可塑性樹脂であれば可とう性の制御がより容易になるので好ましく用いられる。
【００２９】
また、熱硬化性接着剤層には、平均粒径１μｍ以下のフィラーを含有させてもよい。フィラーとしては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化ケイ素、タルク、石英粉、酸化マグネシウム等の無機フィラー、ポリシロキサン樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂等の樹脂粉末からなる有機フィラーのいずれでも使用でき、これらの絶縁性のフィラーが好ましく使用される。フィラーの添加量は樹脂固形分１００質量部に対して、３０質量部までの範囲で添加することができる。
【００３０】
［半導体装置用接着テープの製造］
本発明の半導体装置用接着テープを作製するには、上記した接着剤層用材料を有機溶剤にて溶解、混合して液状の樹脂組成物とし、該組成物を塗料として絶縁性フィルムの少なくとも片面に塗布、積層、乾燥して熱硬化性接着剤層を形成する。熱硬化性接着剤層の乾燥後の厚さは、好ましくは３μｍ〜１５０μｍ、より好ましくは８μｍ〜２０μｍである。熱硬化性接着剤層は、乾燥して、半硬化状態にしておくことが好ましい。
本発明の半導体装置用接着テープの作製の際には、液状の樹脂組成物を絶縁性フィルムに直接塗工してもよいし、剥離性フィルム等の仮の支持体に塗工して得られた接着シートを絶縁性フィルムに貼り合わせてもよい。
【００３１】
液状の樹脂組成物の調製に好ましく用いられる有機溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレン、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフラン、エタノール、イソプロパノール、メチルセロソルブ等が挙げられる。これらの有機溶剤は２種以上を併用することもできる。
【００３２】
また、熱硬化性接着剤層の表面には保護フィルムを設けることが好ましく、本発明の半導体装置用接着テープの使用時には、この保護フィルムを剥がして使用する。保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートやポリオレフィン等のフィルムが使用でき、シリコーン等で剥離処理を施して剥離性を付与したフィルムが好ましく使用される。
【００３３】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって説明する。
［実施例１］
剥離処理を施した厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる保護フィルムの片面に、下記組成の接着剤層形成用塗料を乾燥後の厚さが１２μｍになるよう塗布し、１３０℃で５分間乾燥して接着フィルムを作製した。
次いで、接着フィルムに厚さ７５μｍのポリイミドフィルムからなる絶縁性フィルムを重ね合わせ、１００℃、１ｋｇ／ｃｍ２  の条件で加熱圧着して、本発明の半導体装置用接着テープを作製した。
【００３４】
（接着剤層形成用塗料）
・９０質量％のリノール酸および１０質量％のオレイン酸から得られた不飽和脂肪酸二量体と、ヘキサメチレンジアミンとを縮合成分とするポリアミド樹脂（アミン価２０、質量平均分子量２８００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：６４質量部
・ナフタレン型エポキシ樹脂（大日本インキ化学工業社製、商品名：エピクロンＨＰ７２００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１５質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：６．５質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＥＬＳ３７３Ｚ）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１３質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：３質量部
【００３５】
［実施例２］
接着剤層形成用塗料として下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして本発明の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは２０μｍである。
【００３６】
（接着剤層形成用塗料）
・８５質量％のリノール酸および１５質量％のオレイン酸から得られた不飽和脂肪酸二量体と、ヘキサメチレンジアミンとを縮合成分とするポリアミド樹脂（アミン価５０、質量平均分子量２３００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：４７質量部
・８０質量％のリノール酸および２０質量％のオレイン酸から得られた不飽和脂肪酸二量体と、ヘキサメチレンジアミンとを縮合成分とするポリアミド樹脂（アミン価１５、質量平均分子量８０００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：２０質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ９０８Ａ）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：３３質量部
【００３７】
［実施例３］
接着剤層形成用塗料として下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして本発明の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは１２μｍである。
【００３８】
（接着剤層形成用塗料）
・８０質量％のリノール酸および２０質量％のリノレン酸から得られた不飽和脂肪酸二量体と、ヘキサメチレンジアミンとを縮合成分とするポリアミド樹脂（アミン価２０、質量平均分子量２３００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：６４質量部
・ナフタレン型エポキシ樹脂（大日本インキ化学工業社製、商品名：エピクロンＨＰ７２００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１５質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：６．５質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＥＬＳ３７３Ｚ）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１３質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：３質量部
【００３９】
［実施例４］
接着剤層形成用塗料として、下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして本発明の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは８μｍである。
【００４０】
（接着剤層形成用塗料）
・ポリアミド樹脂（ヘンケルジャパン社製、商品名：マクロメルト６２３８、アミン価７、質量平均分子量８０００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：４０質量部
・ポリイミド樹脂（質量平均分子量４００００）を３０質量％混合したテトラヒドロフラン溶液：２２質量部
・ナフタレン型エポキシ樹脂（大日本インキ化学工業社製、商品名：エピクロンＨＰ７２００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：２０質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：６．５質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：５質量部
【００４１】
［実施例５］
接着剤層形成用塗料として、下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして本発明の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは３μｍである。
【００４２】
（接着剤層形成用塗料）
・ポリアミド樹脂（ヘンケルジャパン社製、商品名：マクロメルト６９００、酸価２、アミン価０．５、質量平均分子量５５０００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：６３質量部
・エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名：エピコート１００１）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：２０質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１３質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：５質量部
【００４３】
［比較例１］
接着剤層形成用塗料として、下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして比較用の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは１２μｍである。
【００４４】
（接着剤層形成用塗料）
・ポリアミド樹脂（アミン価７、質量平均分子量１００００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：４０質量部
・ポリイミド樹脂（質量平均分子量４００００）を３０質量％混合したテトラヒドロフラン溶液：２２質量部
・ナフタレン型エポキシ樹脂（大日本インキ化学工業社製、商品名：エピクロンＨＰ７２００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：２０質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：６．５質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：５質量部
【００４５】
［比較例２］
接着剤層形成用塗料として、下記組成のものを用いた以外は、実施例１と同様にして比較用の半導体装置用接着テープを作製した。接着剤層の厚さは１２μｍである。
【００４６】
（接着剤層形成用塗料）
・ポリアミド樹脂（ヘンケルジャパン社製、商品名：マクロメルト６９００、酸価２、アミン価０．５、質量平均分子量５５０００）を２５質量％混合したイソプロピルアルコール／トルエン混合溶液：６３質量部
・エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名：エピコート１００１）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：２０質量部
・ノボラックフェノール樹脂（昭和高分子社製、商品名：ＣＫＭ２４００）を５０質量％混合したメチルエチルケトン溶液：１３質量部
・２−エチル−４−メチルイミダゾールを１質量％混合したメチルエチルケトン溶液：５質量部
【００４７】
［比較例３］
実施例１と同様にして比較用の半導体装置用接着テープを作製した。なお、接着剤層の厚さは１００μｍである。
【００４８】
［熱硬化性接着剤層の損失弾性率および貯蔵弾性率］
実施例１〜５および比較例１〜３の半導体装置用接着テープの保護フィルムを剥離した後、絶縁性フィルムおよび熱硬化性接着剤層からなる積層体を８０℃に加熱しながら、絶縁性フィルムから熱硬化性接着剤層を剥離した。次に、熱硬化性接着剤層単体を、後述の試験体を作製する際に熱硬化性接着剤層を電解銅箔と接着し加熱させた条件で加熱し、硬化させた。熱硬化後の熱硬化性接着剤層について、次のＤＭＡ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ａｎａｌｙｚｅｒ）を用いて損失弾性率および貯蔵弾性率を測定し、その２００℃における結果を表１および表２に示した。ＤＭＡとしてバイブロン測定器（オリエンテック社製、ＲＨＥＯＶＩＢＲＯＮ  ＤＤＶ−ＩＩ−ＥＰ）を用いて、周波数１１０Ｈｚ、昇温速度３℃／ｍｉｎ、荷重５．０ｇにて測定を行った。試料は幅０．５ｃｍ、長さ３ｃｍおよび厚さは塗布した接着剤層の厚さである。
【００４９】
［半導体装置用接着テープの評価］
（１）試験体の作製
実施例１〜５および比較例１〜３の半導体装置用接着テープの保護フィルムを剥離し、熱硬化性接着剤層面に約１８μｍ厚の電解銅箔を１３０℃、１ｋｇ／ｃｍ２  の条件で貼り合わせて積層体とした。その後、７０℃から１６０℃まで８時間かけて等速昇温させて積層体を加熱し、さらに１７０℃で６時間加熱し、熱硬化性接着剤層を硬化させた。続いて、銅箔上にフォトレジスト膜を積層し、パターン露光、エッチング、ニッケルメッキ、金メッキを施して、ワイヤボンディング用のボンディングパッド部を形成した。このようにして、金メッキの厚さが０．５μｍである回路が形成された試験体を得た。
【００５０】
（２）特性の評価
▲１▼ワイヤボンディング性
実施例１〜５および比較例１〜３の試験体におけるダイパッド部上にＩＣチップを設置した後、ＩＣチップ上のアルミ電極部とテープ上のボンディングパッド部とをボールボンディング法にて金ワイヤーで接続した。
次に、接続した金ワイヤーをワイヤープルテスターにて引っ張り、接合強度を測定し、ワイヤープル強度としてワイヤボンディング性を評価し、その結果を表１および表２に示した。なお、実用上支障のないワイヤープル強度は、８ｇｆ程度である。ワイヤボンディングは温度にもよるが、ここでは２００℃にて周波数６０ｋＨｚにて行った。
【００５１】
【表１】
2004158798.tif 000002
【００５２】
【表２】
2004158798.tif 000003
【００５３】
表１および表２から明らかなように、本発明の半導体装置用接着テープでは、ワイヤープル強度が８ｇ以上と実用上問題ないレベルである。特に、従来、弾性率が低くワイヤボンディングに適さないと考えられていた接着剤層でも、その接着剤厚さを薄くすることにより、ワイヤボンディング性は確保されることが分かった。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体装置用接着テープは、絶縁性フィルムの少なくとも片面に、熱硬化性接着剤層が形成された半導体装置用接着テープであり、前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における損失弾性率との積が、０．２５ＭＰａ／μｍより大きいものであるので、ワイヤボンディング性に優れ、問題がない。このような半導体装置用接着テープを、ＢＧＡ、ＣＳＰ等高密度化が進む半導体パッケージに使用することにより、作業性に優れ、またワイヤの接続の信頼性が向上し、より信頼性の高い半導体パッケージが得られる。
【００５５】
また、本発明の半導体装置用接着テープにおいては、前記熱硬化性接着剤層の厚さの逆数と、熱硬化後における熱硬化性接着剤層の２００℃における貯蔵弾性率との積が、１ＭＰａ／μｍより大きければ、良好なワイヤボンディング性を有する。