(57)【要約】【目的】本発明の目的は、プローブの先端部分の形状を変化させることなく、且つプローブの自動クリーニングを行うことのできるプローブ先端クリーニング部材を提供することにある。【構成】クリーニング部材Ａは、プローブ１００の先端部分の異物を除去するための複数の研磨シート１０と、研磨シート１０を支持する複数の支柱２０と、面上にプローブ１００のピッチ間隔と同じピッチ間隔で支柱２０が立設された基板３０とを具備し、支柱２０は、クリーニング時にプローブ１００の先端面から研磨シート１０を通じて作用する押圧力により当該研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられている。【選択図】      図１
2004317272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブの先端部分に付着した異物を除去するのに使用されるプローブ先端クリーニング部材において、プローブの先端部分の異物を除去するための研磨シートと、研磨シートを水平に支持する支柱と、面上に支柱が立設された基板とを具備しており、前記支柱は、クリーニング時にプローブの先端面から研磨シートを通じて作用する押圧力により当該研磨シートの少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられていることを特徴とするプローブ先端クリーニング部材。
【請求項２】
請求項１記載のプローブ先端クリーニング部材において、前記支柱の代わりに面上の一部分に研磨シートが設けられ、当該研磨シートを水平に支持する支持部が備えられており、前記支持部は、クリーニング時にプローブの先端面から研磨シートを通じて作用する押圧力により当該研磨シートの少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられていることを特徴とするプローブ先端クリーニング部材。
【請求項３】
請求項１又は２記載のプローブ先端クリーニング部材において、前記支柱又は支持部には、プローブの先端部分が接触したとしても当該プローブの先端部分が破損しないようにプローブの硬度よりも低い硬度の材料が用いられていることを特徴するプローブ先端クリーニング部材。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載のプローブ先端クリーニング部材において、前記研磨シート、支柱又は支持部及び基板は、−６０℃〜２００℃の耐熱性を有する材料で構成されていることを特徴とするプローブ先端クリーニング部材。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４記載のプローブ先端クリーニング部材において、前記研磨シートの厚さ寸法は０．１μｍ〜１００μｍであることを特徴とするプローブ先端クリーニング部材。
【請求項６】
プローブカードに取り付けられたプローブの先端部分に付着した異物を除去するプローブクリーニング装置において、面上に請求項１、２、３、４又は５のプローブ先端クリーニング部材がセットされるステージと、このステージをプローブカードに対して相対的に移動させる駆動手段と、前記プローブの先端部分と前記プローブ先端クリーニング部材との両方を撮影するカメラと、このカメラで撮影した画面の画像認識を行いつつ、前記駆動手段を制御する制御部とを具備しており、前記制御部は、画像認識の結果に基いて前記駆動手段を動作させて前記ステージをプローブカードに対して相対的に移動させ、これによりプローブカードの面上に取り付けられたプローブの先端面を前記プローブ先端クリーニング部材の研磨シートに押圧させ、これにより前記支柱又は支持部を弾性変形させて前記研磨シートの少なくとも一部を傾斜させ、この状態で、プローブの先端面が傾斜した研磨シートの面上を傾斜方向に滑るように、前記駆動手段を動作させてステージを相対的に微細移動させる構成となっていることを特徴とするプローブクリーニング装置。
【請求項７】
請求項６のプローブクリーニング装置を用いてプローブカードに取り付けられたプローブの先端部分に付着した異物を除去するプローブ先端クリーニング方法において、請求項１、２、３、４又は５のプローブ先端クリーニング部材をステージ上にセットし、前記カメラを通じて画像認識を行いつつ、この認識結果に基いてプローブカードに対して前記ステージを相対的に移動させ、これによりプローブカードの面上に取り付けられたプローブの先端面を前記プローブ先端クリーニング部材の研磨シートに押圧させ、この際の押圧力により前記支柱又は支持部を弾性変形させて前記研磨シートの少なくとも一部を傾斜させ、この状態で、プローブの先端面が傾斜した研磨シートの面上を傾斜方向に滑るように、プローブカードに対してステージを相対的に微細移動させるようにしたことを特徴とするプローブ先端クリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明はプローブの先端部分に付着した異物を除去するプローブ先端クリーニング部材、プローブクリーニング装置及びプローブ先端クリーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のプローブ先端クリーニング部材としては、クリーニング時にプローブの先端面を通じて作用する押圧力により表面が窪むシリコンゴム又はウレタンゴム等の弾性を有する母材に、研磨粒子からなる微粉研磨剤を混入したもの（  特許文献１参照）  、プローブの先端部分の異物を除去するための研磨層と、この研磨層が面上に設けられ、クリーニング時にプローブの先端面を通じて作用する押圧力により表面が窪む内部に気泡を有する多孔質の発砲層とを有するもの（  特許文献２参照）、表面の一部がバフ研磨により削り取られており且つ内部に気泡を有する多孔質の発砲層と、この発砲層の表面上に設けられたプローブの先端部分の異物を除去するための研磨層とを有するもの（  特許文献３参照）がある。
【０００３】
これらのプローブ先端クリーニング部材は、プローブの下方位置に配置されたステージ上に載置されている。このステージを上下方向に移動させることにより、プローブの先端部分をプローブ先端クリーニング部材の面上に略垂直に何回か押圧接触させ、且つ微細移動（  オーバードライブ）  させるようになっている。この過程でプローブの先端部分に付着した異物が除去される。
【０００４】
また、プローブのクリーニングを自動的に行う場合、プローブの先端部分とプローブ先端クリーニング部材との両方をＣＣＤカメラで撮影し、画像認識を通じてステージの移動を制御するようになっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０７−２４４０７４号公報
【特許文献２】
特開２００２−３４６９３９号公報
【特許文献３】
特開平０９−０５７６３４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１及び２記載のプローブ先端クリーニング部材による場合、研磨層の表面が平らに形成されていることから、先端面が球面状であるプローブを約数百と繰り返しクリーニングすると、プローブの先端面が平らに変形してしまう。また、プローブカードの基板に対して斜めに取り付けられたプローブ（  カンチレバータイプのプローブカードにおけるプローブ）  を約数千回と繰り返しクリーニングすると、プローブの先端面が斜めに変形してしまう。このように特許文献１及び２記載のプローブ先端クリーニング部材は、プローブの種類によってはプローブの先端部分の形状が変形してしまうという本質的な問題を有している。
【０００７】
しかも、特許文献１のプローブ先端クリーニング部材は、研磨層の厚みが厚く、クリーニングの際にプローブ先端クリーニング部材がプローブの先端部分の周側面を包むようになっていることから、当該プローブの先端部分の周側面が研磨され易い。このため、前記プローブを前記プローブ先端クリーニング部材の同じ位置でクリーニングし続けると、研磨されたプローブの先端部分がゴミとして堆積し、プローブ先端クリーニング部材の面上及びプローブの先端部分をＣＣＤカメラで認識することができなくなり、その結果、プローブの自動クリーニング工程が途中で停止してしまうという別の問題を有している。なお、特許文献２のプローブ先端クリーニング部材においても、同様にゴミ等の堆積により自動クリーニング工程が停止してしまうという別の問題を有している。
【０００８】
一方、特許文献３記載のプローブ先端クリーニング部材による場合、発砲層がハブ研磨されており、研磨層が平らに形成されていないことから、オーバードライブの設定が非常に困難であり且つ安定し難い。このため、設定によってはプローブの先端部分の形状が変化してしまうという問題を有している。また、研磨層が平らでないことから、研磨層の表面をＣＣＤカメラで認識することができず、プローブの自動クリーニングを行うことができないという別の問題を有している。
【０００９】
本発明は上記した背景の下で創作されたものであって、その主たる目的とするところは、プローブの先端部分の形状を変化させることなく、且つプローブの自動クリーニングを行うことのできるプローブ先端クリーニング部材、プローブクリーニング装置及びプローブ先端クリーニング方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るプローブ先端クリーニング部材は、プローブの先端部分に付着した異物を除去するのに使用されるプローブ先端クリーニング部材であって、プローブの先端部分の異物を除去するための研磨シートと、研磨シートを水平に支持する支柱と、面上に支柱が立設された基板とを具備しており、前記支柱は、クリーニング時にプローブの先端面、研磨シートを通じて作用する押圧力により当該研磨シートの少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられていることを特徴としている。
【００１１】
前記支柱の代わりに面上の一部分に研磨シートが設けられ、当該研磨シートを水平に支持する支持部が備えることもできる。この場合、前記支持部には、クリーニング時にプローブの先端面から研磨シートを通じて作用する押圧力により当該研磨シートの少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられている。
【００１２】
このような構成による場合、前記押圧力により前記支柱又は支持部が弾性変形し、これにより前記研磨シートの少なくとも一部が傾斜する。その結果、プローブの先端面が傾斜した研磨シートの面上を傾斜方向に滑り、その過程でプローブの先端部分の異物が除去されるのである。
【００１３】
より好ましくは、前記支柱又は支持部には、プローブが接触したとしても当該プローブが破損しないようにプローブの硬度よりも低い硬度の材料が用いられていることが望ましい。
【００１４】
より好ましくは、前記研磨シート、支柱及び基板は、−６０℃〜２００℃の耐熱性を有する材料で構成されていることが望ましい。
【００１５】
より好ましくは、前記研磨シートの厚さ寸法は０．１μｍ〜１００μｍであることが望ましい。
【００１６】
本発明に係るプローブクリーニング装置は、プローブカードに取り付けられたプローブの先端部分に付着した異物を除去する装置であって、面上に上記プローブ先端クリーニング部材がセットされるステージと、このステージをプローブカードに対して相対的に移動させる駆動手段と、前記プローブの先端部分と前記プローブ先端クリーニング部材との両方を撮影するカメラと、このカメラで撮影した画面の画像認識を行いつつ、前記駆動手段を制御する制御部とを具備しており、前記制御部は、画像認識の結果に基いて前記駆動手段を動作させて前記ステージをプローブカードに対して相対的に移動させ、これによりプローブカードの面上に取り付けられたプローブの先端面を前記プローブ先端クリーニング部材の研磨シートに押圧させ、これにより前記支柱又は支持部を弾性変形させて前記研磨シートの少なくとも一部を傾斜させ、この状態で、プローブの先端面が傾斜した研磨シートの面上を傾斜方向に滑るように、前記駆動手段を動作させてステージを相対的に微細移動させる構成となっている。
【００１７】
本発明に係るプローブ先端クリーニング方法は、前記プローブクリーニング装置を用いてプローブカードに取り付けられたプローブの先端部分に付着した異物を除去する方法であって、上記プローブ先端クリーニング部材をステージ上にセットし、前記カメラを通じて画像認識を行いつつ、この認識結果に基いてプローブカードに対して前記ステージを相対的に移動させ、これによりプローブカードの面上に取り付けられたプローブの先端面を前記プローブ先端クリーニング部材の研磨シートに押圧させ、この際の押圧力により前記支柱又は支持部を弾性変形させて前記研磨シートの少なくとも一部を傾斜させ、この状態で、プローブの先端面が傾斜した研磨シートの面上を傾斜方向に滑るように、プローブカードに対してステージを相対的に微細移動させるようにしている。
【００１８】
【発明を実施するための最良の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態に係るプローブ先端クリーニングシート部材を図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態に係るプローブ先端クリーニング部材の断面図、図２はプローブの先端面がクリーニングされている様子を併せて示した同プローブ先端クリーニング部材の断面図、図３はプローブの球面状の先端面がクリーニングされている様子を併せて示した同プローブ先端クリーニング部材の模式的拡大側面図、図４は同プローブ先端クリーニング部材の設計変形例を示す断面図、図５は同プローブ先端クリーニング部材の別の設計変形例を示す断面図、図６はプローブの先端面がクリーニングされている様子を併せて示した別の設計変形例のプローブ先端クリーニング部材の断面図、図７はプローブの球面状の先端面がクリーニングされている様子を併せて示した別の設計変形例のプローブ先端クリーニング部材の模式的拡大側面図、図８は本発明の実施の形態を説明するための図であって、プローブクリーニング装置の模式的構成図である。
【００１９】
ここに掲げるプローブ先端クリーニング部材Ａは、プローブ１００の先端部分に付着した異物を除去するのに使用されるものであって、プローブ１００の先端部分の異物を除去するための複数の研磨シート１０と、研磨シート１０を支持する複数の支柱２０と、面上にプローブ１００のピッチ間隔と同じピッチ間隔で支柱２０が立設された基板３０とを具備している。以下、各部を詳細に説明する。なお、プローブ１００の先端面は球面状に形成されている（  図２及び図３参照）  。
【００２０】
基板３０としては、−６０℃〜２００℃の耐熱性を有するウエハ、ガラス、金属板、ＰＥＴフィルム、ホリイミド等のプラスチックフィルム又はプラスチック板等を用いることができる。この基板３０は、後述するプローバ又はホットチャック等のプローブクリーニング装置Ｂのステージ３００に装着される。従って、基板３０についてはプローブクリーニング装置Ｂのステージ３００に応じて適宜選定すれば良く、形状もステージ３００に合わせてカットすれば良い。
【００２１】
支柱２０は、クリーニング時にプローブ１００の先端面から研磨シート１０を通じて作用する押圧力により当該研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられており、基板３０の面上にＣＶＤ、ＰＶＤ、電鋳技術、スピンコート又はスクリーン技法等を使用して製作される。この支柱２０は円柱状に形成されており、その表面上は水平に形成されている。このため、支柱２０は外力が加わらない状態で研磨シート１０を水平に支持することができる。
【００２２】
また、支柱２０の材料としては−６０℃〜２００℃の耐熱性を有し、且つプローブ１００の硬度よりも低い硬度の材料が用いられている。具体的には、支柱２０は、ビッカーズ硬さＨｖ０〜５００を有するばね鋼等の金属弾性変形体、ビッカーズ硬さＨｖ０〜５００を有するＣＶＤ、ＰＶＤ又は電鋳によって成形された弾性変形体、デュロメータ硬さＨＤＤ０〜１００を有するプラスチック弾性変形体、デュロメータ硬さＨＤＤ０〜１００を有するシリコーン樹脂やウレタン樹脂等からなるゴム弾性変形体、又はビッカーズ硬さＨｖ０〜５００を有するこれらの弾性変形体の合成物を用いることができる。従って、支柱２０についてはプローブ１００の材質、硬度等に応じて適宜選定すれば良い。
【００２３】
研磨シート１０としては、支柱２０の面上にＣＶＤ、ＰＶＤ、電鋳技術、スピンコート又はスクリーン技法等を使用して製作されるシート部材又はＣＶＤ、ＰＶＤ又は電鋳技術等により成膜される薄膜を用いることができる。この研磨シート１０の厚さ寸法は、支柱２０の動きを損なわず、且つプローブ１００の先端面を通じて作用される押圧力により突き破られない程度の厚さ（０．  １  μｍ〜１００μｍ）  にする。具体的な値については、この程度の範囲内において、プローブ１００の材質等に応じて適宜選定すれば良い。また、研磨シート１０の材料としては−６０℃〜２００℃の耐熱性を有する材料を用いる。
【００２４】
前記シート部材は、シリコンゴム、ウレタンゴム等のゴム弾性と粘着性とを有する樹脂を母材１１に、プローブ１００の先端面をクリーニングにするに適した研磨粒子１２（図３参照）からなる微粉研磨剤を混入したものである。研磨粒子１２としては、炭素やダイヤモンド等の炭素化合物、酸化錫等の金属酸化物、  シリカや炭化カルシウム等の酸化物、炭化珪素等の炭化物、窒化ホウ素等の窒化化合物を用いることができる。母材１１及び研磨粒子１２についてはプローブ１００の材質、硬度等に応じて適宜選定すれば良い。なお、母材１１に粘着性を有する樹脂を用いると、クリーニング時に除去された異物が研磨シート１０に付着した状態で残るので、除去された異物がプローブ１００の先端部分に再び付着することを防止することができる。
【００２５】
このように構成されたプローブ先端クリーニング部材Ａによる場合、プローブ１００の先端面を研磨シート１０に接触させると、図２に示すように、研磨シート１０と通じて作用する押圧力により支柱２０が湾曲させられたり収縮させられたりする（  すなわち、弾性変形させられる）  。これに伴って研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜する。その結果、図３に示すように、プローブ１００の先端面が研磨シート１０の面上を傾斜方向に滑り、この過程でプローブ１００の先端部分に付着した異物が研磨シート１０研磨されて除去される。このとき、プローブ１００の先端面と研磨シート１０との接触面はプローブ１００の先端面の形状に沿って移動する。このため、従来例のごとく研磨層の面に応じてプローブ１００の先端部分が研磨され、当該プローブ１００の先端部分の形状が変形することが殆どなくなる。しかも、研磨シート１０、支柱２０及び基板３０には、耐熱性を有する材料が用いられている。このため、純水やアルコール（  エタノール）  を用いて洗浄したり、粘着ロールを用いてロールがけをすることによりクリーニング時に研磨シート１０の表面などに付着した異物やゴミ等を除去することができる。すなわち、プローブ先端クリーニング部材Ａ自体をクリーニングすることができるので、プローブ先端クリーニング部材Ａを再利用することができ、その結果、低コスト化を図ることができる。
【００２６】
なお、研磨シート１０については、図４（  ａ）  に示すように、支柱２０の面上からはみ出していても良いし、図４（  ｂ）  に示すように、各研磨シート１０を一体的に設けても良い。
【００２７】
支柱２０については、図５に示すように、この支柱２０に代えて複数の研磨シート１０を支持する支持部４０を備えるようにすることができる。
【００２８】
支持部４０は、クリーニング時にプローブの先端面から研磨シート１０を通じて作用する押圧力により当該研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられており、基板３０の面上にＣＶＤ、ＰＶＤ、電鋳技術、スピンコート又はスクリーン技法等を使用して製作される。なお、支持部４０は、支柱２０のように円柱上に製作する必要がないことから製作工程が少なくてすむ。
【００２９】
支持部４０の材料としては−６０℃〜２００℃の耐熱性を有し、且つプローブ１００の硬度よりも低い硬度の材料を用いる。具体的には、支持部４０は、ＪＩＳ硬度Ａ０〜１００°のシリコーン樹脂又はウレタン樹脂からなるゴム弾性変形体を用いることができる。この支持部についてはプローブ１００の材質、硬度等に応じて適宜選定すれば良い。
【００３０】
支持部４０の面上は水平に形成されており、外力が加わらない状態で研磨シート１０を水平に支持するようになっている。また、支持部４０の面上には、研磨シート１０がプローブ１００のピッチ間隔と同じピッチ間隔で配置されている。
【００３１】
このように支柱２０の代わりに支持部４０を備えるようにした場合、プローブ１００の先端面を研磨シート１０に接触させると、図６に示すように、研磨シート１０と通じて作用する押圧力により支持部４０が収縮させられる（  すなわち、弾性変形させられる）  。これに伴って研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜する。その結果、図７に示すように、プローブ１００の先端面が研磨シート１０の面上を傾斜方向に滑り、この過程でプローブ１００の先端部分に付着した異物が除去される。このとき、プローブ１００の先端面と、研磨シート１０との接触面はプローブ１００の先端面の形状に沿って移動する。このため、従来例のごとく研磨層の面に応じてプローブ１００の先端部分が研磨され、当該プローブ１００の先端部分の形状が変形することが殆どなくなる。また、支持部４０も耐熱性を有する材料が用いられているので、洗浄やロールがけによりプローブ先端クリーニング部材Ａ自体をクリーニングすることができる。
【００３２】
支柱２０及び支持部４０については、プローブ１００の硬度よりも硬度の低い材料が用いられている。このため、プローブ１００の先端部分が傾斜した研磨シート１０から外れ、支柱４０又は支持部４０に接触したとしてもプローブ１００の先端部分が破損しないようになっている。
【００３３】
研磨シート１０の研磨粒子１１については、プローブ１００の材料の硬さに適した硬さを有する材料を選定すれば、先端面が球面状のプローブ１００だけでなく、先端面が平らなプローブにも使用することが可能になる。
【００３４】
プロープ１１０のクリーニングについては上述したプローブ先端クリーニング部材Ａを使用して手作業で行っても良いが、実際には図８に示すようなプローブクリーニング装置Ｂを用いてプローブ１００のクリーニングを自動的に行うのが一般的である。
【００３５】
プローブクリーニング装置Ｂは、プローブカード２００に取り付けられたプローブ１００の先端部分に付着した異物を除去する装置であって、面上にプローブ先端クリーニング部材Ａがセットされるステージ３００と、ステージ３００をプローブカード２００に対して相対的に移動させる駆動手段（  図示せず）  と、プローブ１００の先端部分とプローブ先端クリーニング部材Ａとの両方を撮影するカメラ４００と、カメラ４００で撮影した画面の画像認識を行いつつ、前記駆動手段を制御する制御部５００とを具備している。制御部５００は具体的にはマイクロコンピュータ等である。
【００３６】
なお、プローブクリーニング装置Ｂは、プローブカード２００を用いて半導体チップ等の電気的緒特性を測定する測定装置（  フルオートプローバ）  そのものであり、同測定装置の制御部に若干の設計変更を加えたものを制御部５００として表している。
【００３７】
カメラ４００は、プローブ１００の先端部分とプローブ先端クリーニング部材Ａとの両方を撮影し得る位置に設置されたＣＣＤカメラであり、撮影した画像データを制御部５００に送信する構成となっている。
【００３８】
制御部５００は、前記画像データを受信して画像認識を行い、この認識結果に基いて前記駆動手段を動作させてステージ３００を相対的に移動させ、これによりプローブカード２００の面上に取り付けられたプローブ１００の先端面をプローブ先端クリーニング部材Ａの研磨シート１０に押圧させ、これにより支柱２０又は支持部４０を弾性変形させて研磨シート１０の少なくとも一部を傾斜させ、この状態で、プローブ１００の先端面が傾斜した研磨シート１０の面上を傾斜方向に滑るように、前記駆動手段を動作させてステージ３００を相対的に微細移動させる構成となっている。
【００３９】
次に、以上のように構成されたプローブクリーニング装置Ｂによりプローブ１００がクリーニングされる過程について説明する。
【００４０】
まず、プローブ先端クリーニング部材Ａをステージ３００上に接着剤や両面テープを用いて接着する。その後、カメラ４００を通じて画像認識を行いつつ、この認識結果に基いてプローブカード２００に対してステージ３００を相対的に移動させ、プローブカード２００の面上に取り付けられたプローブ１００の先端面をプローブ先端クリーニング部材Ａの研磨シート１０に接触させる。この際の押圧力により支柱２０又は支持部４０を弾性変形させて研磨１０シートの少なくとも一部を傾斜させる。この状態で、プローブ１００の先端面が傾斜した研磨シート１０の面上を傾斜方向に滑るように、プローブカード２００に対してステージ３００を相対的に微細移動させる。これを繰り返すことによりプローブ１００の先端面のクリーニングが完了する。
【００４１】
このように構成されたプローブクリーニング装置Ｂを使用してプローブ１００のクリーニングを行う場合、プローブ先端クリーニング部材Ａの研磨シート１０が支柱２０又は支持部４０により通常水平に支持されていることから、カメラ４００により撮影することができる。しかも、プローブ先端クリーニング部材Ａ自体をクリーニングすることができることから、プローブ１００から除去した異物等が研磨シート１０の面上に堆積することがない。従って、従来例のごとくカメラ４００によりプローブ先端クリーニング部材Ａの面上及びプローブ１００の先端部分が撮影できず、自動クリーニングが停止することがなくなる。
【００４２】
また、プローブクリーニング装Ｂについては、プローブ先端クリーニング部材Ａが−６０℃から２００の耐熱性を有する材料で構成されているので、ホットチャック機能を付加することができる。
【００４３】
なお、本発明に係るプローブ先端クリーニング部材は上記実施形態に限定されず、基板、研磨層、微粉研磨材の材質等については、上記と同様な機能を有する限りにおいて適宜設定変更することが可能である。また、本発明に係るプローブクリーニング装置は上記実施形態に限定されず、研磨シート１０を水平に支持する支柱２０又は支持部４０を具備し、支柱２０又は支持部４０は、クリーニング時にプローブ１００の先端面から研磨シート１０を通じて作用する押圧力により当該研磨シート１０の少なくとも一部が傾斜するように弾性変形体が用いられているものである限り、どのような設計変更をしてもかまわない。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明に係る請求項１及び２のプローブ先端クリーニング部材による場合、クリーニング時のプローブの先端面から研磨シートを通じて作用する押圧力により支柱又は支持部が弾性変形させられ、これにより前記研磨シートの少なくとも一部が傾斜するようになっている。このため、プローブの先端面が研磨シートの面上を傾斜方向に滑り、この過程でプローブの先端部分に付着した異物が除去される。このとき、プローブの先端面と、研磨シートとの接触面はプローブの先端面の形状に沿って移動するので、従来例のごとく研磨層の面に応じてプローブの先端部分が研磨され、当該プローブの先端部分の形状が変形することが殆どなくなる。
【００４５】
本発明に係る請求項３のプローブ先端クリーニング部材による場合、前記支柱及び支持部には、プローブの硬度よりも硬度の低い材料が用いられている。このため、プローブの先端部分が傾斜した研磨シートから外れ、前記支柱又は支持部に接触したとしてもプローブの先端部分が破損しない。
【００４６】
本発明に係る請求項４のプローブ先端クリーニング部材による場合、前記研磨シート、支柱又は支持部及び基板は、−６０℃〜２００℃の耐熱性を有する材料で構成されているので、純水やアルコールによる洗浄したり、粘着ロールを使用してロールがけしたりすることによりクリーニング部材自体をクリーニングすることができる。すなわち、プローブ先端クリーニング部材を再利用することができるので、低コスト化を図る上でメリットがある。また、クリーニング部材自体をクリーニングすることにより当該クリーニング部材に付着したゴミ等を除去することができるので、クリーニング部材を自動クリーニングに使用する場合、自動クリーニング工程が途中で不用意に止まるようなことがなくなる。さらに、耐熱性を有していることから、ホットチャックに用いることも可能になる。
【００４７】
本発明の請求項５に係るプローブ先端クリーニング部材による場合、前記研磨シートの厚さ寸法が０．１μｍ〜１００μｍとされている。このため、前記支柱又は支持部の弾性変形の動きを妨げない。
【００４８】
本発明に係る請求項６のプローブクリーニング装置及び請求項７のプローブ先端クリーニング方法による場合、上記プローブ先端クリーニング部材を用いてプローブの先端部分をクリーニングするようになっているので、上記と同様のメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ先端クリーニング部材の断面図である。
【図２】プローブの先端面がクリーニングされている様子を併せて示した同プローブ先端クリーニング部材の断面図である。
【図３】プローブの球面状の先端面がクリーニングされている様子を併せて示した同プローブ先端クリーニング部材の模式的拡大側面図である。
【図４】同プローブ先端クリーニング部材の設計変形例を示す断面図である。
【図５】同プローブ先端クリーニング部材の別の設計変形例を示す断面図である。
【図６】プローブの先端面がクリーニングされている様子を併せて示した別の設計変更例のプローブ先端クリーニング部材の断面図である。
【図７】プローブの球面状の先端面がクリーニングされている様子を併せて示した別の設計変更例のプローブ先端クリーニング部材の模式的拡大側面図である。
【図８】本発明の実施の形態を説明するための図であって、プローブクリーニング装置の模式的構成図である。
【符号の説明】
Ａ  プローブ先端クリーニング部材
１０  研磨シート
２０  支柱
３０  基板
４０  支持部
Ｂ  プローブクリーニング装置
１００  プローブ
２００  プローブカード
３００  ステージ
４００  カメラ
５００  制御部
【図１】
2004317272.tif 000003
【図２】
2004317272.tif 000004
【図３】
2004317272.tif 000005
【図４】
2004317272.tif 000006
【図５】
2004317272.tif 000007
【図６】
2004317272.tif 000008
【図７】
2004317272.tif 000009
【図８】
2004317272.tif 000010