(57)【要約】【課題】製造プロセス条件に拘わらず、常に端子列同士を導通不良やショートを発生させず適正に接続する。【解決手段】液晶表示素子側の電極配線端子１５を並設してなる電極端子列の両側に第１アライメントマーク１６が、駆動回路基板側の出力配線端子１７を並設してなる出力端子列の両側に第２アライメントマーク１８が、それぞれ設けられ、アライメントマーク対Ｍ１　、Ｍ２　を構成している。各アライメントマーク対Ｍ１　、Ｍ２　には、電極配線端子１５と出力配線端子１７との必要とされる重畳幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示す距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　と、電極配線端子１５と隣り合う出力配線端子１７とのショートを防止するのに必要な離間幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示す距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　が設定されている。【選択図】　　　図３
2004128324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の端子が所定の間隔で並設された第１の回路に設けられている第１のアライメントマークと、前記複数の第１の端子に接続される複数の第２の端子が所定の間隔で並設された第２の回路に設けられている第２のアライメントマークとからなり、前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子とをそれぞれ導通接続する際の位置合せを行うためのアライメントマーク対であって、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、それぞれ、
前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子をそれぞれ対応させた状態において、
互いに重なり合う第１、第２の重り縁部と、互いに離隔して対向する第１、第２の対向縁部とを有し、
前記第１のアライメントマークの前記第１の重り縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の重り縁部との重り幅が、導通接続すべき前記第１の端子と前記第２の端子との必要な重畳幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致し、
前記第１のアライメントマークの第１の対向縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の対向縁部との離隔幅が、互いに隣り合う前記第１の端子と前記第２の端子との必要な離間幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致する、
形状に形成されていることを特徴とするアライメントマーク対。
【請求項２】
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークのうちの少なくとも一方は、そのアライメントマークが設けられた回路に形成される端子と同一材料でフォトリソグラフィーにより同時に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアライメントマーク対。
【請求項３】
前記第２のアライメントマークは４個の枝部を９０°毎に均等に張り出させた十字形をなすと共に互いに逆方向に張り出す２個の枝部を前記第２の端子の長手方向に平行に張り出させてなり、前記第１のアライメントマークは、前記第２のアライメントマークの前記２個の枝部における前記第２の端子の長手方向に平行な４つの側縁にそれぞれ対応して設けられた４個の要素マークからなり、これら４個の要素マークは、それぞれ、対応する前記側縁の一部分を前記第２の重り縁部とする第１の重り縁部と、前記側縁の他の部分を前記第２の対向縁部とする第１の対向縁部とを、備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のアライメントマーク対。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、導通接続すべき一対の回路の各端子列部にそれぞれ設けられる位置合わせ用のアライメントマーク対に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数の端子が所定の間隔で並設されてなる端子列同士を手動によって導通不良やショートを発生させずに確実に導通接続する方法として、それぞれの端子列にアライメントマークを設け、それらアライメントマーク同士を位置合わせすることにより端子列同士を導通接続する方法が、多用されている（例えば、特許文献１参照）。その一例を図７乃至図８に示す。
【０００３】
図７において、一方の電気回路の接続端子部（不図示）には、第１の端子列１を構成する第１の端子１ａ〜１ｄが所定の間隔で並設されると共にその第１の端子列１の両側に第１のアライメントマーク２がそれぞれ配設されている。この第１のアライメントマーク２は、４個の正方形をなす要素マーク２ａ〜２ｄを正方形の４コーナーに相当する位置に分散配置して構成されている。なお、図７では、第１の端子列１が４個の第１の端子１ａ〜１ｄから形成されているように図示されているが、実際は４個より多い多数の端子で形成されている。以下、他の端子列の図示についても同様である。
【０００４】
また、他方の電気回路の接続端子部（不図示）には、第２の端子列３を構成する第２の端子３ａ〜３ｄが所定の間隔で並設されると共にその第２の端子列３の両サイドに第２のアライメントマーク４がそれぞれ配設されている。この第２のアライメントマーク４は、４本の枝部４ａ〜４ｄが四方に均等に張り出した十字形状をなしている。
【０００５】
そして、これら第１のアライメントマーク２と第２のアライメントマーク４は、両電気回路の接続端子部同士が適正に接合された状態では、図６（ａ）に示すように、第１のアライメントマーク２における隣り合う要素マーク２ａ〜２ｄ間の各中間位置に第２のアライメントマーク４の各枝部４ａ〜４ｄが位置する構成となっている。この状態における接続すべき第１の端子と第２の端子の重畳幅Ｗ及び隣り合う第１の端子と第２の端子間の距離Ｌは、それぞれ、必要とされる最小寸法が確保され導通不良及びショートを引き起こす虞のない適正寸法である。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１８８２４３号公報（２頁〜３頁、第３図、第４図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、本例のようなアライメントマーク対を利用した位置合わせ方法では、ある程度の位置ずれは避けられないから、それを見込んだ許容幅が設定されている。本例では、図６（ｂ）に示されるように、第２のアライメントマーク４における例えば枝部４ａとこれを挟む第１のアライメントマーク２の要素マーク２ａ、２ｂの内の一方の要素マーク２ａとの近接する各縁部が重なった状態が許容され得る最大の位置ずれ状態となるように、アライメントマーク対が構成されている。従って、この最大許容位置ずれ状態においては、接続すべき第１の端子と第２の端子の重畳幅Ｗ´と隣り合う第１の端子と第２の端子間の間隔Ｌ´とのうち、少なくとも一方が必要とされる最小寸法に一致し、他方は必要最小寸法以上が確保されている。即ち、本例における位置ずれの許容幅は、図６（ａ）に示す適正接合状態での第１と第２の各アライメントマーク２、４間の端子並設方向に沿った距離ＤＡである。
【０００８】
ところが、電気回路の配線の線幅や配線間隔は、例えばフォトリソグラフィーによる場合のエッチング条件やボンディングの際の温度等、製造プロセスにおける諸条件の変動により、変化するものである。
【０００９】
図８は、図７の例の一対の接続端子部の一方をフォトリソグラフィーにより製造した場合に、オーバーエッチングが発生した状態を示している。この例では、第１の端子列１と第１のアライメントマーク２をフォトリソグラフィーにより形成する際にオーバーエッチングが発生し、形成された各端子１ａ〜１ｄと各要素マーク２ａ〜２ｄのサイズが二点鎖線で示す正規のサイズより全体的に同程度に縮小されている。
【００１０】
このように形成された接続端子部に対し他方の電気回路の接続端子部をアライメントマーク対２、４に基づいて位置合わせを行う場合、位置ずれの許容幅は、図８（ａ）に示すようにオーバーエッチング分だけ拡大された距離ＤＡ´となる。従って、図８（ｂ）に示す最大許容位置ずれ状態においては、第１の端子１ａ〜１ｄと第２の端子３ａ〜３ｄとの各対応端子同士の重畳幅Ｗ´は図７ｂ）に示す必要最小幅Ｗｍｉｎより小さくなっている。このような接合状態は、導通不良を引き起こす原因となり、製品の歩留まりを低下させる。
【００１１】
なお、第１の端子１ａ〜１ｄと第２の端子３ａ〜３ｄとの隣接端子間距離については、オーバーエッチングが発生すると拡大されるから、図７（ｂ）の最大許容位置ずれ状態においても必要最小距離より大きい距離Ｌ´が確保されており、これに起因するショートを引き起こす虞はない。
【００１２】
逆に、エッチング不足となって第１の端子１ａ〜１ｄと第１のアライメントマーク２が大きく形成された場合は、導通不良を引き起こす虞は少なくなるが隣接端子間距離Ｌが小さくなって隣り合う端子間でショートが発生し易くなる。
【００１３】
この発明は、製造プロセス条件に拘わらず、常に端子列同士を導通不良やショートを発生させず適正に接続することを可能とする、アライメントマーク対を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明のアライメントマーク対は、請求項１に記載のように、複数の第１の端子が所定の間隔で並設された第１の回路に設けられている第１のアライメントマークと、前記複数の第１の端子に接続される複数の第２の端子が所定の間隔で並設された第２の回路に設けられている第２のアライメントマークとからなり、前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子とをそれぞれ導通接続する際の位置合せを行うためのアライメントマーク対であって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、それぞれ、前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子をそれぞれ対応させた状態において、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、それぞれ、互いに重なり合う第１、第２の重り縁部と、互いに離隔して対向する第１、第２の対向縁部とを有し、前記第１のアライメントマークの前記第１の重り縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の重り縁部との重り幅が、導通接続すべき前記第１の端子と前記第２の端子との必要な重畳幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致し、前記第１のアライメントマークの第１の対向縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の対向縁部との離隔幅が、互いに隣り合う前記第１の端子と前記第２の端子との必要な離間幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致する、形状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
このアライメントマーク対によれば、端子のサイズが製造プロセス条件により変化しても、その端子と同じ回路側に設けられているアライメントマークのサイズも同様に変化し、且つ、接続すべき端子同士の必要な重畳幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示すアライメントマーク対における対応縁部間の距離が、端子が小さく形成されるに従い小さくなるように、また、隣接する互いに異なる回路の端子同士の必要な離間距離を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示すアライメントマーク対における対応縁部間の距離が、端子が大きく形成されるに従い小さくなるように、各アライメントマークが形成されているから、同じ回路側に形成される端子列とアライメントマークの各サイズが製造プロセス条件の変動により変化しても、必要とされる接続すべき端子同士の重畳幅と異なる回路の隣接端子同士の離間距離及び充分な位置ずれ許容幅を、常に安定して確保することができる。その結果、製造プロセス条件に拘わらず、常に安定して、接続すべき端子列同士を導通不良やショートを発生させずに作業性良く容易に導通接続することができる。
【００１６】
本発明のアライメントマーク対は、請求項２に記載のように、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークのうちの少なくとも一方は、そのアライメントマークが設けられた回路に形成される端子と同一材料でフォトリソグラフィーにより同時に形成されている場合に好適であり、この場合、エッチング条件が変動してオーバーエッチングやエッチング不足が発生しても、常に安定して端子列同士を適正且つ容易に導通接続することができる。
【００１７】
また、本発明のアライメントマーク対は、請求項３に記載のように、前記第２のアライメントマークは４個の枝部を９０°毎に均等に張り出させた十字形をなすと共に互いに逆方向に張り出す２個の枝部を前記第２の端子の長手方向に平行に張り出させてなり、前記第１のアライメントマークは、前記第２のアライメントマークの前記２個の枝部における前記第２の端子の長手方向に平行な４つの側縁にそれぞれ対応して設けられた４個の要素マークからなり、これら４個の要素マークは、それぞれ、対応する前記側縁の一部分を前記第２の重り縁部とする第１の重り縁部と、前記側縁の他の部分を前記第２の対向縁部とする第１の対向縁部とを、備えている構成とすることが好ましい。これにより、端子の配列方向における双方向の位置ずれの状態を、一目瞭然に視認することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
まず、この発明の実施の形態における第１の例（以下、第１実施形態例という）について、図１乃至図５に基づき説明する。なお、図１は第１実施形態例としてのアライメントマーク対を示す平面図、図２はそのアライメントマーク対が適用された液晶表示素子モジュールを示す斜視図、図３はその液晶表示素子モジュールにおける導通接合部を示す模式的説明図で、（ａ）は適正に位置合わせされた状態を示し、（ｂ）は位置ずれが最大に許容された状態を示している。
【００１９】
図２において、液晶表示素子１０は、電極（不図示）が形成された一対のガラス基板１１、１２を、それぞれの電極形成面を対向させて枠状シール材（不図示）を介し接合し、枠状シール材で囲まれたガラス基板１１、１２間に液晶を封入して構成されている。一対のガラス基板１１、１２のうちの一方のガラス基板１１には、一端部を他方のガラス基板１２の端面から突出させて、接続端子部１１ａが形成されている。この接続端子部１１ａには、各ガラス基板１１、１２に設けた複数の電極から引き出された複数の電極配線の接続端子が所定の間隔で並設され、駆動信号を入力するための電極端子列が形成されている。
【００２０】
接続端子部１１ａには、液晶表示素子１０を駆動する信号を出力する駆動回路基板１３の接続端子部が接合されている。本例の駆動回路基板１３は、フレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣ）であり、配線パターン（不図示）が形成されたベースフィルムシート１３ａ上に駆動回路素子１４がチップ・オン・フィルム（ＣｈｉｐＯｎ　Ｆｉｌｍ）方式により直接搭載されてなる。この駆動回路基板１３における液晶表示素子１０の接続端子部１１ａに接合する端部には、駆動信号を出力する複数の信号出力端子（不図示）が所定の間隔で並設されてなる出力端子列が形成されている。
【００２１】
そして、駆動回路基板１３の出力端子列が形成された出力端子部と液晶表示素子１０の接続端子部１１ａとが接合されている接合領域の両サイドには、本発明に係わるアライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２が、それぞれ設けられている。これらアライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２は、図３に示すように、液晶表示素子１０の接続端子部１１ａに所定の間隔で並設された複数の電極配線端子１５からなる電極端子列の両サイドに配設された第１アライメントマーク１６と、駆動回路基板１３の出力端子部に所定の間隔で並設された複数の出力配線端子１７からなる出力端子列の両サイドに配設された第２アライメントマーク１８とで、構成されている。ここで、電極配線端子１５と第１アライメントマーク１６、及び出力配線端子１７と第２アライメントマーク１８は、それぞれ、同じ材料からなり、同じ製造方法で同時に形成されている。本例では、液晶表示素子１０の接続端子部１１ａに形成されている電極配線端子１５と第１アライメントマーク１６は透明導電材料のＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）を、駆動回路基板１３の出力端子部に形成されている出力配線端子１７と第２アライメントマーク１８は銅箔を、それぞれ材料とし、共にフォトリソグラフィーにより形成されている。
【００２２】
各アライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２を構成する第１アライメントマーク１６は、図１に示すように、矩形の４コーナーに相当する位置に分散配置された４個の要素マーク１６ａ〜１６ｄから構成されている。４個の要素マーク１６ａ〜１６ｄは、それぞれ、同じ大きさで略コの字形に形成されている。即ち、例えば要素マーク１６ａは、電極配線端子１５（図３参照）と平行に延在する幹部１６ａ１　とその両端から同方向へ直角に張り出させた長枝部１６ａ２　と短枝部１６ａ３　から成ると共にこれらに囲まれた空白部１６ａ４　を有しており、他の要素マーク１６ｂ、１６ｃ、１６ｄも要素マーク１６ａと同一形状に形成されている。
【００２３】
一方、駆動回路基板側の接続端子部に設けられている第２アライメントマーク１８は、４本の枝部１８ａ〜１８ｄが四方に均等に張り出した略十字形状に形成されている。４本の枝部１８ａ〜１８ｄのうち、出力配線端子１７（図３参照）に平行に延在する縦枝部１８ａ、１８ｃは、図２に示すように液晶表示素子１０の接続端子部１１ａと駆動回路基板１３の出力端子部とを接合させた状態において、第１アライメントマーク１６における各要素マーク１６ａ〜１６ｄの長枝部１６ａ２　〜１６ｄ２　と重畳するように、他の２本の横枝部１８ｂ、１８ｄより幅広に形成されている。
【００２４】
ここで、上述した要素マーク１６ａ〜１６ｄの各長枝部１６ａ２　〜１６ｄ２　のそれぞれの先端縁と、各長枝部１６ａ２　〜１６ｄ２　においてこれに重なる縦枝部１８ａ、１８ｃの側縁との、距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　は、導通接続すべき電極配線端子１５と出力配線端子１７との必要とされる重畳幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅（以下、重畳誤差幅という）を示している。ここで、要素マーク１６ａ〜１６ｄの各長枝部１６ａ２　〜１６ｄ２　におけるそれぞれの先端α１　が本発明の第１の重り縁部に相当し、第２アライメントマーク１８における縦枝部１８ａ、１８ｃの側縁の前記長枝部１６ａ２　〜１６ｄ２　と重なる部分α２　が本発明の第２の重り縁部に相当する。
【００２５】
また、要素マーク１６ａ〜１６ｄの各空白部１６ａ４　〜１６ｄ４　を挟んで対向する縦枝部１８ａ、１８ｃの側縁と各要素マーク１６ａ〜１６ｄの各幹部１６ａ１　〜１６ｄ１　の側縁との距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　は、電極配線端子１５と隣り合う出力配線端子１７とのショートを防止するのに必要な離間幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅（以下、離間誤差幅という）を示している。重畳誤差幅を示す４箇所の距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　は位置ずれの方向とは逆側の２箇所がその方向の位置ずれの許容幅を示し、離間誤差幅を示す４箇所の距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　は位置ずれの方向と同じ側の２箇所がその方向の位置ずれの許容幅を示している。ここで、要素マーク１６ａ〜１６ｄの各幹部１６ａ１　〜１６ｄ１　における各空白部１６ａ４　〜１６ｄ４　側の側縁β１　が本発明の第１の対向縁部に相当し、第２アライメントマーク１８の縦枝部１８ａ、１８ｃにおける各側縁の前記第１の対向縁部となる側縁β１　と各空白部１６ａ４　〜１６ｄ４　を挟んで対向する部分β２　が本発明の第２の対向縁部に相当する。
【００２６】
即ち、図３（ｂ）に示すように出力配線端子１７が電極配線端子１５に対して図中右側にずれる場合は、アライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２における図中左側の距離Ｄｓ２　、Ｄｓ３　がその場合の重畳誤差幅を示す。従って、距離Ｄｓ２　、Ｄｓ３　が０となり対応する両縁部が重なった図３（ｂ）に示す状態における端子重畳幅Ｗ´が、必要最小幅Ｗｍｉｎである。離間誤差幅については、距離Ｄｒ１　、Ｄｒ４　がこの位置ずれ方向における離間誤差幅を示しており、図３（ｂ）の状態における隣接端子間距離Ｌ´は、アライメントマーク対の距離Ｄｒ１　´、Ｄｒ４　´分の許容幅を含む余裕のある寸法である。
【００２７】
なお、本例のアライメントマーク対においては、出力配線端子１７、電極配線端子１５及びアライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２が規定通りに形成された場合には、重畳誤差幅を示す距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　の方が離間誤差幅を示す距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　より小さいから、距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　が液晶表示素子と駆動回路基板の導通接合における位置ずれ許容幅となる。従って、液晶表示素子１０と駆動回路基板１３の導通接合に際しては、距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　が確保されていることを確認しつつ両者の位置合わせを行う。
【００２８】
次に、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、電極配線端子１５と第１アライメントマーク１６がオーバーエッチングのために二点鎖線で示す規定形状より小さく形成された場合について、説明する。
【００２９】
この場合、電極配線端子１５が小さく形成されるのに伴って第１アライメントマーク１６も全体的に同程度に小さく形成されるから、重畳誤差幅も距離Ｄｓ１　´〜Ｄｓ４　´と小さくなる。従って、液晶表示素子１０と駆動回路基板１３の導通接合に際しては、距離Ｄｓ１　´〜Ｄｓ４　´が確保されていることを確認しつつ両者の位置合わせを行えばよい。この場合も、図４（ｂ）に示す距離Ｄｓ２　´、Ｄｓ３　´が０となった状態が、位置ずれが最大に許容された状態であり、そのときの端子重畳幅Ｗ´は必要最小幅Ｗｍｉｎである。このように、本発明のアライメントマーク対Ｍ１　、Ｍ２　によれば、端子とともにアライメントマークが小さく形成された場合においても、これを基準として位置合わせすることにより、必要な端子重畳幅Ｗを確保することができる。なお、離間誤差幅については、電極配線端子１５が小さく形成されるとその分隣接端子間距離Ｌは広がるから、位置ずれが最大に許容された図４（ｂ）に示す状態においても、離間誤差幅を示す距離Ｄｒ１　´、Ｄｒ４　´は図示されるように相当幅が残っており、その隣接端子間距離Ｌ´は必要最小離間幅Ｌｍｉｎより大きい。
【００３０】
次いで、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、電極配線端子１５と第１アライメントマーク１６がエッチング不足等のために二点鎖線で示す規定形状より大きく形成された場合について説明する。
【００３１】
この場合、電極配線端子１５が大きく形成されるのに伴って第１アライメントマーク１６も全体的に同程度に大きく形成されるから、重畳誤差幅も距離Ｄｓ１　″〜Ｄｓ４　″とその分大きくなるが、離間誤差幅は距離Ｄｒ１　″〜Ｄｒ４　″とその分だけ小さくなる。従って、位置ずれが最大に許容されるのは、図５（ｂ）に示すように、距離Ｄｒ１　″、Ｄｒ４　″が０となる状態までである。この状態において、隣接端子離間幅Ｌ´は必要最小離間幅Ｌｍｉｎとなっている。なお、この状態において、重畳誤差幅を示す距離Ｄｓ２　″、Ｄｓ３　″が僅かではあるが存在しているから、端子重畳幅Ｗ´は図２（ｂ）に示す必要最小重畳幅Ｗｍｉｎより大きい。
【００３２】
以上のように、本例のアライメントマーク対Ｍ１、Ｍ２によれば、端子同士の重畳誤差幅を示す距離Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　及び隣接端子間の離間誤差幅を示す距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　の双方が確保されていることを目視により確認し、或いはセンサーまたは画像処理によって検出しつつ、位置合わせを行うだけで、製造プロセス条件の変動により端子のサイズが変化しても、必要とされる接続すべき端子同士の重畳幅と異なる回路の隣接端子同士の離間距離を、常に安定して確保することができる。その結果、製造プロセス条件に拘わらず、常に安定して、接続すべき端子列同士を導通不良やショートを発生させずに適正に導通接続することができる。
【００３３】
次に、本発明のアライメントマーク対の第２実施形態例について図６に基づき説明する。
【００３４】
図６に示すように、本例のアライメントマーク対では、液晶表示素子側に設ける第１アライメントマーク２１が幹部２１ａとこれから４方に均等に張り出した枝部２１ｂ１　〜２１ｂ４　を備えた十字形状に形成され、駆動回路基板側に設けられる第２アライメントマーク２２が円環に形成されている。そして、第２アライメントマーク２２の円環は、第１アライメントマーク２１の４個の枝部２１ｂ１　〜２１ｂ４　に重なる大きさに形成されている。
【００３５】
上述のように構成されたアライメントマーク対においては、端子の並設方向に沿って張り出した枝部２１ｂ１　と２１ｂ３　の各先端縁と第２アライメントマーク２２の外周縁２２ａとの最短距離Ｄｓ１　、Ｄｓ２　が接続すべき端子同士の重畳誤差幅を示している。また、枝部２１ｂ１　と２１ｂ３　の側縁と第２アライメントマーク２２の内周縁２２ｂとの交点から端子の並設方向に対し直角に張り出した枝部２１ｂ２　と２１ｂ４　の側縁までの距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　が、隣り合う端子同士の離間誤差幅を示している。
【００３６】
そして、第１実施形態例と同様に、図示していない電極端子列と第１アライメントマーク２１がオーバーエッチングにより正規のサイズより小さく形成された場合は重畳誤差幅を示す距離Ｄｓ１　、Ｄｓ２　が小さくなり、逆にエッチング不足により電極端子列と第１アライメントマーク２１が大きく形成された場合には離間誤差幅を示す距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　も小さくなるから、これら距離Ｄｓ１　、Ｄｓ２　及び距離Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　を目視により確認し、或いはセンサーまたは画像処理によって検出しつつ、位置合せを行うことにより、製造プロセス条件が変動しても、常に安定して導通不良やショートを発生させず良好に端子同士を導電接続することができる。
【００３７】
なお、本発明は、上記実施形態例に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲において種々の変形が可能であることは勿論である。
【００３８】
例えば、本発明のアライメントマーク対は、同じ回路側に設けられる端子とアライメントマークが同一材料で同一方法によって形成される場合に限らず、端子とアライメントマークが異なる材料或いは異なる製造方法で形成される場合にも好適に適用できる。即ち、各端子及び各アライメントマークがそれぞれ正規の寸法に形成されていた場合でも、その後の端子接合工程において、例えば一方の回路が樹脂シート等のフレキシブル基板からなり異方性導電接着剤を介して熱圧着により端子同士を導通接続する場合は、熱圧着の際にフレキシブル回路基板のフィルムシートが加熱されて膨張し、異なる回路で隣り合う端子間の距離が小さくなる。このような場合でも、本発明のアライメントマーク対によれば、フレキシブル回路基板側のアライメントマークも熱圧着の際に膨張してその許容される離間誤差幅も小さくなるので、この離間誤差幅を目視しつつ位置合わせを行うことで必要な隣接端子間距離を確保することができる。
【００３９】
また、本発明は、液晶表示素子とその駆動回路基板の導通接続に限らず、種々の基板の端子列同士を導通接続する場合に広く適用できる。
【００４０】
【発明の効果】
この発明のアライメントマーク対は、複数の第１の端子が所定の間隔で並設された第１の回路に設けられている第１のアライメントマークと、前記複数の第１の端子に接続される複数の第２の端子が所定の間隔で並設された第２の回路に設けられている第２のアライメントマークとからなり、前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子とをそれぞれ導通接続する際の位置合せを行うためのアライメントマーク対であって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、それぞれ、前記複数の第１の端子と前記複数の第２の端子をそれぞれ対応させた状態において、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、それぞれ、互いに重なり合う第１、第２の重り縁部と、互いに離隔して対向する第１、第２の対向縁部とを有し、前記第１のアライメントマークの前記第１の重り縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の重り縁部との重り幅が、導通接続すべき前記第１の端子と前記第２の端子との必要な重畳幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致し、前記第１のアライメントマークの第１の対向縁部と前記第２のアライメントマークの前記第２の対向縁部との離隔幅が、互いに隣り合う前記第１の端子と前記第２の端子との必要な離間幅を確保するのに許容される位置合わせ誤差幅に一致する、形状に形成されているものであるから、端子のサイズが製造プロセス条件により変化しても、接続すべき端子同士の必要な重畳幅を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示すアライメントマーク対における対応縁部間の距離が、端子のサイズが小さくなるに従い小さくなり、また、隣接する互いに異なる回路の端子同士の必要な離間距離を確保するために許容される位置合わせ誤差幅を示すアライメントマーク対における対応縁部間の距離が、端子のサイズが大きくなるに従い小さくなる。これにより、同じ回路側に形成される端子列とアライメントマークの各サイズが製造プロセス条件の変動により変化しても、必要とされる接続すべき端子同士の重畳幅と異なる回路の隣接端子同士の離間距離及び充分な位置ずれ許容幅を、常に安定して確保することができる。その結果、製造プロセス条件に拘わらず、常に安定して、接続すべき端子列同士を導通不良やショートを発生させずに適正に導通接続することができる。
【００４１】
また、本発明のアライメントマーク対は、請求項２に記載のように少なくとも一方の回路に形成される端子列とアライメントマークの双方を同じ材料でフォトリソグラフィーにより同時に形成した場合に特に有効であり、その場合にエッチング条件が変動してオーバーエッチングやエッチング不足が発生しても、同じ回路側に形成される端子列とアライメントマークのそれぞれの寸法の変動幅は同程度となり、常に安定して端子列同士を容易に適正な配置で導通接続することができる。
【００４２】
また、本発明のアライメントマーク対を、請求項３に記載のように、前記第２のアライメントマークは４個の枝部を９０°毎に均等に張り出させた十字形をなすと共に互いに逆方向に張り出す２個の枝部を前記第２の端子の長手方向に平行に張り出させてなり、前記第１のアライメントマークは、前記第２のアライメントマークの前記２個の枝部における前記第２の端子の長手方向に平行な４つの側縁にそれぞれ対応して設けられた４個の要素マークからなり、これら４個の要素マークは、それぞれ、対応する前記側縁の一部分を前記第２の重り縁部とする第１の重り縁部と、前記側縁の他の部分を前記第２の対向縁部とする第１の対向縁部とを、備えている構成とすることにより、端子の配列方向における双方向の位置ずれの状態を、一目瞭然に視認することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態例としてのアライメントマーク対を示す平面図。
【図２】この発明の第１実施形態例としてのアライメントマーク対が適用された液晶モジュールを示す斜視図。
【図３】上記第１実施形態において同じ回路側の端子列とアライメントマークが正規のサイズに形成された場合の接合状態を示す模式的平面図で、（ａ）は位置ずれが発生していない状態を示し、（ｂ）は位置ずれが発生した状態を示している。
【図４】上記第１実施形態において同じ回路側の端子列とアライメントマークが小さいサイズに形成された場合の接合状態を示す模式的平面図で、（ａ）は位置ずれが発生していない状態を示し、（ｂ）は位置ずれが発生した状態を示している。
【図５】上記第１実施形態において、同じ回路側の端子列とアライメントマークが大きいサイズに形成された場合の接合状態を示す平面図で、（ａ）は位置ずれが発生していない状態を示し、（ｂ）は位置ずれが発生した状態を示している。
【図６】この発明の第２実施形態例としてのアライメントマーク対を示す平面図。
【図７】従来のアライメントマーク対と同じ回路側の端子列が正規のサイズに形成された場合の接合状態を示す模式的平面図で、（ａ）は位置ずれが発生していない状態を示し、（ｂ）は位置ずれが発生した状態を示している。
【図８】上記の従来のアライメントマーク対と同じ回路側の端子列が小さいサイズに形成された場合の接合状態を示す平面図で、（ａ）は位置ずれが発生していない状態を示し、（ｂ）は位置ずれが発生した状態を示している。
【符号の説明】
１０…液晶表示素子
１１ａ…接続端子部
１３…駆動回路基板（ＦＰＣ）
１５…電極配線端子
１６，２１…第１アライメントマーク
１７…出力配線端子
１８，２２…第２アライメントマーク
Ｍ１　，Ｍ２　…アライメントマーク対
Ｄｓ１　〜Ｄｓ４　，Ｄｓ１　´〜Ｄｓ４　´，Ｄｓ１　″〜Ｄｓ４　″…重畳誤差幅を示す距離
Ｄｒ１　〜Ｄｒ４　，Ｄｒ１　´〜Ｄｒ４　´，Ｄｒ１　″〜Ｄｒ４　″…離間誤差幅を示す距離
Ｗ，Ｗ´…端子重畳幅
Ｌ，Ｌ´…隣接端子間距離
α１　…第１の重り縁部
α２　…第２の重り縁部
β１　…第１の対向縁部
β２　…第２の対向縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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