(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシートを適切に切断し、なおかつキャリアフィルムを完全には切断しないという切断作業を安定して行なえるようにする。【解決手段】セラミックグリーンシート切断装置は、キャリアフィルム１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２を切断するための装置であって、セラミックグリーンシート２を切断するための切断刃４と、切断刃４がセラミックグリーンシート２に切り込む進行速度を制御するための切断速度制御手段としてのサーボモータ７と、切断刃４がグリーンシート２に接触を開始してから後に切断刃４の移動量を吸収するための切断刃移動量吸収手段としてのばね１１とを備える。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアフィルムの表面に形成されたセラミックグリーンシートを切断するためのセラミックグリーンシート切断装置であって、
前記セラミックグリーンシートを切断するための切断刃と、
前記切断刃が前記セラミックグリーンシートに切り込む進行速度を制御するための切断速度制御手段と、
前記切断刃が前記キャリアフィルムに接触を開始してから後に前記切断刃の移動量を吸収するための切断刃移動量吸収手段とを備える、セラミックグリーンシート切断装置。
【請求項２】
前記切断刃移動量吸収手段は、前記切断刃を、前記切断刃が前記セラミックグリーンシートへ切り込む向きと逆向きに移動可能に保持するものであって、前記セラミックグリーンシートの切断抵抗より大きく前記キャリアフィルムの切断抵抗より小さい力で、前記マザーシートに向かう向きに前記切断刃を付勢するものである、請求項１に記載のセラミックグリーンシート切断装置。
【請求項３】
前記切断刃移動量吸収手段は、流体により圧力が制御されるシリンダを含む、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシート切断装置。
【請求項４】
前記切断速度制御手段は、サーボモータを含む、請求項１から３のいずれかに記載のセラミックグリーンシート切断装置。
【請求項５】
前記切断刃の刃先角度は、２０°以上５０°以下である、請求項１から４のいずれかに記載のセラミックグリーンシート切断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャリアフィルムの表面に形成されたセラミックグリーンシートを切断するためのセラミックグリーンシート切断装置に関するものである。特に、キャリアフィルムは完全には切断しないようにしつつセラミックグリーンシートの部分は切断することを目的としたセラミックグリーンシート切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
積層構造を有するセラミック電子部品は、一般的には、セラミックグリーンシートを多数積層して積層体とし、これを焼成することによって製造される。しかし、セラミックグリーンシートは、単独では薄くて破れやすいため、そのままでは取扱いにくい。そこで、セラミックグリーンシートは、単独で供給されるのではなく、ＰＥＴ（ｐｏｌｙ　ｅｔｈｙｌｅｎｅ　ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ポリエチレンテレフタレート）などからなるキャリアフィルムの表面にセラミックグリーンシートを形成した状態（以下「マザーシート」という。）で供給される。セラミックグリーンシートの積層体を作る方法としては、積層を行なう直前にキャリアフィルムからセラミックグリーンシートだけを剥離させて取出し、そのセラミックグリーンシートを積層体に積み重ねる方式か、あるいは、セラミックグリーンシート側が積層体に接するようにマザーシートごと積層体の上に積み重ねた後に、キャリアフィルムなどの不要部分を剥離して取り去る方式が一般的である。いずれにしてもセラミックグリーンシートとキャリアフィルムとの間の剥離を行なう剥離工程が必要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の２通りの方式のいずれにしても剥離工程を正しく行なうためには、マザーシートの状態のままセラミックグリーンシートのうち必要な部分とそうでない部分とを切り分ける切断工程が必要である。この切断工程を行なうために、従来から図１２に示すようなセラミックグリーンシート切断装置が考えられている。このセラミックグリーンシート切断装置は、切断用ヘッド３０と、切断用ヘッド３０の周囲を取り囲むように配置された切断刃４とを備える。切断用ヘッド３０は下側に平坦な吸着面１３を有し、吸着面１３には吸引孔１０が設けられている。切断刃４は切断用ヘッド３０に対して固定されている。あるいは、切断刃４は、切断用ヘッド３０に対して、モータによって相対的に上下に移動可能なように取りつけられている場合もある。
【０００４】
この切断工程では、セラミックグリーンシートの層については完全に切断するか、剥離時の引張力で破断できる程度のつながりのみを残して切られることが求められる一方、キャリアフィルムの層については、好ましくは全く切らないこと、そうでなくとも少なくとも完全には切断しないことが求められる。仮にキャリアフィルムまで完全に切断してしまうと、後工程で剥離が正常に行なえないという問題や、切断刃はキャリアフィルムの下のステージに衝突してしまい、切断刃の破損や寿命低下をもたらすという問題がある。図１２に示したように切断刃を固定した構造や、切断刃をモータで切断用ヘッド３０に対して上下動可能に支持しただけの構造においては、切断刃の位置の調整または制御が非常に難しい。
【０００５】
そこで、本発明は、セラミックグリーンシートを適切に切断し、なおかつキャリアフィルムを完全には切断しないという切断作業を安定して行なえるセラミックグリーンシート切断装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に基づくセラミックグリーンシート切断装置は、キャリアフィルムの表面に形成されたセラミックグリーンシートを切断するためのセラミックグリーンシート切断装置であって、上記セラミックグリーンシートを切断するための切断刃と、上記切断刃が上記セラミックグリーンシートに切り込む進行速度を制御するための切断速度制御手段と、上記切断刃が上記キャリアフィルムに接触を開始してから後に上記切断刃の移動量を吸収するための切断刃移動量吸収手段とを備える。上記発明において好ましくは、上記切断刃移動量吸収手段は、上記切断刃を、上記切断刃が上記セラミックグリーンシートへ切り込む向きと逆向きに移動可能に保持するものであって、上記セラミックグリーンシートの切断抵抗より大きく上記キャリアフィルムの切断抵抗より小さい力で、上記マザーシートに向かう向きに上記切断刃を付勢するものである。このような構成を採用することにより、切断速度制御手段によって切断刃を所望の速度でセラミックグリーンシートに切り込ませることができる一方、切断刃の移動量のばらつきを切断刃移動量吸収手段で吸収することができるので、切断刃がセラミックグリーンシートだけでなくキャリアフィルムまで完全に切断してしまうことを防止できる。したがって、セラミックグリーンシートに対しては、安定した切断速度で再現性良く良好な切断を実現しつつ、キャリアフィルムは残してセラミックグリーンシートだけを完全に切断するという作業を安定して行なうことができる。
【０００７】
なお、「切断抵抗」とは、切断刃が対象物を切断しようとするときに進行方向と逆向きに受ける抵抗力をいうものとする。
【０００８】
上記発明において好ましくは、上記切断刃移動量吸収手段は、流体により圧力が制御されるシリンダを含む。この構成を採用することにより、簡単な構成で定圧を切断刃に与えながら移動量を吸収する機構が実現できる。
【０００９】
上記発明において好ましくは、上記切断速度制御手段は、サーボモータを含む。この構成を採用することにより、容易に入手可能な部品により、切断速度を簡単に制御可能な状況を実現できる。
【００１０】
上記発明において好ましくは、上記切断刃の刃先角度は、２０°以上５０°以下である。この構成を採用することにより、セラミックグリーンシートのくずの発生量を特に少なくしつつ、安定して切断を行なうことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図３を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート切断装置について説明する。このセラミックグリーンシート切断装置は、図１に示すように、サーボモータ７によってボールねじ８に沿って上下動可能となっている切断用ヘッド３１と、切断用ヘッド３１の周囲を取り囲むように配置された切断刃４とを備える。切断用ヘッド３１は下側に平坦な吸着面１３を有し、吸着面１３には吸引孔１０が設けられている。切断刃４は切断用ヘッド３１に対して相対的に上下動可能に保持されている。切断刃４のうち一辺に注目してその支持の仕組みを概念図で示すと、図２に示すようになる。すなわち、サーボモータ７によってボールねじ８に沿って上下動可能なように支持された中継部材１４の先に切断刃移動量吸収手段としてのばね１１を介して切断刃４が接続されている。図１のセラミックグリーンシート切断装置では、切断用ヘッド３１が中継部材１４に該当する。サーボモータ７は、切断用ヘッド３１を上下に駆動する役割を果たすと同時に、切断刃４にとっての切断速度制御手段としての役割を兼ねている。図１におけるばねカバー１６の内部にはばね１１が入っている。
【００１２】
切断対象であるマザーシート３は、ＰＥＴなどの樹脂からなり、厚み数十μｍであるキャリアフィルム１の表面に、セラミック粉末１００重量部とバインダとしての水溶性アクリルおよびアクリルエマルジョンを１５重量部とを混合して塗布し、乾燥させることによってセラミックグリーンシート２を形成したものであり、セラミックグリーンシート２の厚みは数μｍ〜数十μｍである。
【００１３】
サーボモータ７によって切断用ヘッド３１がステージ５に向けて一定速度で降下する。これに伴って切断用ヘッド３１に保持された切断刃４が一定速度で降下する。図３に示すように、切断刃４の先端は切断用ヘッド３１の吸着面１３より長さＣだけ下側にくるように配置されているので、まず、切断刃４が一定速度でマザーシート３に当接し、セラミックグリーンシート２を完全に切断する。この時点でサーボモータ７は切断用ヘッド３１の吸着面１３とマザーシート３の上面とが一致するように減速停止を開始する。これに伴い、切断刃４も減速停止を開始するが、切断刃４がキャリアフィルム１に当接した時点でばね１１が縮み始め、切断刃４が減速停止に必要な移動量を吸収するため、切断刃４はセラミックグリーンシート２を貫通するがキャリアフィルム１を貫通しない位置で止まる。
【００１４】
（作用・効果）
セラミックグリーンシート２を適切に安定して切断するには、セラミックグリーンシート２に切り込む際の切断刃４の運動エネルギｍｖ２／２を一定にする必要がある。本実施の形態におけるセラミックグリーンシート切断装置は、切断速度制御手段としてサーボモータ７を備えているので切断刃がセラミックグリーンシートに切り込む際の速度ｖは再現性ある値となり、セラミックグリーンシート２の切断状態を安定させることができる。
【００１５】
一方、セラミックグリーンシート２を確実に切断するには、切断刃４の速度を十分大きい値に設定しておく必要がある。これは速度が小さすぎると切断刃４がセラミックグリーンシート２にめり込んで止まる状態となり、セラミックグリーンシート２が完全に切断されない可能性があるからである。
【００１６】
しかし、ある大きさ以上の速度でセラミックグリーンシート２を切断すべく切断刃４を駆動させる際に、ただ単に、市販のサーボモータ７を用いただけでは、キャリアフィルム１まで切断してしまうという問題が生じる。これは、一般に用いられているキャリアフィルムの厚みである数十μｍでは、大きい速度でセラミックグリーンシート２を切断した切断刃４の減速停止に必要な距離として不十分だからである。
【００１７】
逆に、減速停止に必要な距離を考慮して、切断刃４の速度をセラミックグリーンシート２の切断前に予め減速させるとすると、上述のようにセラミックグリーンシート２の確実な切断ができない。
【００１８】
これに対して、本実施の形態におけるセラミックグリーンシート切断装置は、切断速度制御手段としてサーボモータ７を備えているので、セラミックグリーンシート２の切断に十分な速度を一定に保ちながら、セラミックグリーンシート２を切断できる。その結果、セラミックグリーンシート２の切断状態を安定させながら確実に切断することができる。また、切断刃移動量吸収手段としてのばね１１を備えているので、セラミックグリーンシート２を切断した後、切断刃４の減速停止に必要な距離をばねで吸収することができる。したがって、切断刃４がキャリアフィルム１を完全に切断してしまうことを防止できる。
【００１９】
また、本実施の形態におけるセラミックグリーンシート切断装置は、切断刃移動量吸収手段としてのばね１１を備えているので、サーボモータ７によって定まる停止位置の精度が悪くとも、移動量のばらつきをばね１１で吸収し、切断刃４がキャリアフィルム１を完全に切断してしまうことを防止できる。
【００２０】
具体例としては、図３のＣが約５ｍｍになるように調整されたセラミックグリーンシート切断装置で、サーボモータ７を駆動させて図２のように切断刃４を降下させたときに、ばね１１による移動量の吸収が起こった結果、切断刃４のキャリアフィルム１に対する切込み量が約５μｍとなった。こうして、セラミックグリーンシート２は切断しつつキャリアフィルム１は切断しないという加工を安定して行なうことができた。
【００２１】
なお、本実施の形態では、切断刃４はキャリアフィルム１に対して約５μｍ切り込んでいる。これはセラミックグリーンシート２の切断を完了した切断刃４がキャリアフィルム１に当接するときに生じる不可避の現象であるが、キャリアフィルム１の厚みは数十μｍであるのでこの程度の切込みは全く問題にならない。
【００２２】
（実験例）
本実施の形態では、切断速度制御手段によって定まる速度と、切断刃移動量吸収手段が機能を発揮し始めるための閾値となるばね力との両方を適正な値、すなわちセラミックグリーンシートを完全に切断し、かつキャリアフィルムの完全切断を回避できる条件となるように設定する必要がある。具体的には、セラミックグリーンシートの切断速度をセラミックグリーンシートの完全切断に必要な切断速度とし、ばね力をその切断速度においてセラミックグリーンシートの切断時に切断刃にかかる切断抵抗より大きく、キャリアフィルムに対して切り込もうとしたときにかかる切断抵抗より小さい力に設定することである。発明者らが検討した結果、表１に示すような組合せであればよいことがわかった。
【００２３】
【表１】
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【００２４】
（実施の形態２）
（構成）
図４を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるセラミックグリーンシート切断装置について説明する。このセラミックグリーンシート切断装置は、実施の形態１で示したものに比べて、切断刃移動量吸収手段としてばね１１の代わりにエアシリンダ６および圧力制御弁（図示省略）を備えている点で異なっている。エアシリンダ６は、ロッドを押し出したままの姿勢で設置されている。エアシリンダ６内の空気の圧力は、圧力制御弁によって調整され、切断刃４がセラミックグリーンシート２を切断し、なおかつキャリアフィルム１を完全には切断しない程度の一定圧力に設定されている。他の部分の構成は実施の形態１と同様である。
【００２５】
（作用・効果）
このセラミックグリーンシート切断装置では、サーボモータ７を駆動させて図４のように切断刃４を降下させたとき、セラミックグリーンシート２は切断しつつキャリアフィルム１は切断しないという加工を安定して行なうことができた。
【００２６】
実施の形態１では切断刃移動量吸収手段としてばねを用いていたが、ばねは振動する傾向があるため、振動によりセラミックグリーンシートの切断面がきれいにならないという問題や、セラミックグリーンシートくずが発生しやすいという問題があった。しかし、実施の形態２では、切断刃移動量吸収手段としてはばねではなくエアシリンダ６を用いている。エアシリンダ６は内部に一定圧力の空気を保持することによって弾性を実現するものであるので、ばねと異なり振動発生を防止することができる。したがって、セラミックグリーンシートの切断面をきれいにし、セラミックグリーンシートくずの発生を抑えることができる。
【００２７】
本実施の形態では、切断刃移動量吸収手段としてエアシリンダ６を用いたが、切断刃移動量吸収手段は、空気の代わりに他の流体で弾性を実現するシリンダであってもよい。
【００２８】
（実験例）
本実施の形態では、切断速度制御手段によって定まる速度と、切断刃移動量吸収手段が機能を発揮し始めるための閾値となる圧力との両方を適正な値、すなわちセラミックグリーンシートを完全に切断し、かつキャリアフィルムの完全切断を回避できる条件となるように設定する必要がある。具体的には、セラミックグリーンシートの切断速度をセラミックグリーンシートの完全切断に必要な切断速度とし、エアシリンダ６内の空気の圧力をその切断速度においてセラミックグリーンシートの切断時に切断刃にかかる切断抵抗より大きく、キャリアフィルムに対して切り込もうとしたときにかかる切断抵抗より小さい圧力に設定することである。発明者らが検討した結果、表２に示すような組合せであればよいことがわかった。
【００２９】
【表２】
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【００３０】
（実施の形態３）
本発明に基づく実施の形態３では、実施の形態１で説明したセラミックグリーンシート切断装置において、切断刃４の刃先角度αを何通りかに変更して、切断実験を行ない、セラミックグリーンシートのくずの発生量を観察した。セラミックグリーンシートのくずの発生量は、工学顕微鏡によりくずの体積を測定することにより求めた。
【００３１】
その結果、図５に示すようになった。すなわち、刃先角度αを従来の６０°から２０°に変更することによって、セラミックグリーンシートのくずの発生量は約１／９に減少させることができた。さらに、発明者らは検討を重ね、刃先角度αは２０°以上５０°以下であればセラミックグリーンシートのくずの発生量を特に少なくできることを知得した。
【００３２】
一方、刃先角度αが１０°以下の場合は、製作が非常に困難なうえ、刃先の摩耗が激しく、耐久性に問題があるため好ましくない。
【００３３】
なお、実施の形態２のセラミックグリーンシート切断装置を用いても同様の結果を得ることができる。
【００３４】
（実施の形態４）
本発明に基づく実施の形態４としては、図６〜図９を参照して、実施の形態２で示したセラミックグリーンシート切断装置の動作について説明する。
【００３５】
図６に示すように、ステージ５の上にマザーシート３を供給し、サーボモータ７を駆動させて切断用ヘッド３１を降下させる。ここで、エアシリンダはオンの状態になっており、切断刃４はエアシリンダ６のストローク最大に下方に突出されている。この状態で、切断刃４の先端は吸着面１３に比べて突出する量は、セラミックグリーンシート２の厚みより大きくなっている。図７に示すように、吸着面１３がセラミックグリーンシート２に当接するとともに切断刃４がセラミックグリーンシート２に切込む。ここで、切断刃４は、マザーシート３から抵抗力を受けて後退するが、エアシリンダ６の圧力と釣り合う位置で止まる。この時点で、切断刃４は、マザーシート３のうちセラミックグリーンシート２を切断し、キャリアフィルム１にわずかに切り込んだ位置で止まっている。エアシリンダ６の圧力は、切断刃４がこのような位置で止まる程度の値に予め調整されている。吸引孔１０から真空吸引を行ない、切り取ったセラミックグリーンシート２を吸着面１０に保持する。
【００３６】
図８に示すように、サーボモータ７を駆動させて切断用ヘッド３１を上昇させる。すると、セラミックグリーンシート２のうち切り取られた部分だけが切断用ヘッド３１とともに持ち上げられる。図９に示すように、切断用ヘッド３１を積層台１５の上方まで移動させる。このとき、エアシリンダ６はオフの状態とする。したがって、切断刃４の先端は吸着面１３より上側に位置している。
【００３７】
図９では、積層台１５の上には、セラミックグリーンシート２の積層体２０が既に積み上げられているが、この積層体２０の上に切断用ヘッド３１を降下させ、搬送してきたセラミックグリーンシート２を置き、吸引孔１０から行なっていた真空吸引をやめる。好ましくは、ただ置くだけでなくこのまま切断用ヘッド３１で積層体２０を押圧し、セラミックグリーンシート２を積層体２０に対して圧着する。こうして元の積層体２０の上にセラミックグリーンシート２が１枚圧着されたものが新たな積層体２０となる。これを繰り返すことによって積層体２０を成長させる。
【００３８】
なお、実施の形態１のセラミックグリーンシート切断装置を用いても同様の作業を行なうことができる。
【００３９】
（実施の形態５）
（構成）
上記各実施の形態では、切断用ヘッド３１のみで、セラミックグリーンシート２の切断作業と、切断したセラミックグリーンシートの取出し作業との両方を行なっていたが、図１０に示すように、これらの作業は別々のヘッドで行なうようにしてもよい。本発明に基づく実施の形態５としては、取出し作業は他のヘッドに任せ、切断作業のみを行なう切断用ヘッドの例を示す。
【００４０】
図１０に示した例では、セラミックグリーンシート切断装置は、サーボモータ７によって上下方向に駆動される切断用ヘッド３２を備え、切断用ヘッド３２にエアシリンダ６を介して切断刃４が保持されている。このセラミックグリーンシートは、実施の形態２におけるセラミックグリーンシート切断装置と比較すると、吸着面１３や吸引孔１０がないという点で異なるが、切断刃４やエアシリンダ６については同様の構成である。
【００４１】
このセラミックグリーンシート切断装置を用いる場合、ロールから供給されるテープ状のマザーシート３を張力をかけた状態で長手方向に走行させ、ステージ５の上において、サーボモータ７を駆動させて切断用ヘッド３２を降下させてセラミックグリーンシート２の切断を行なう。この後、切断用ヘッド３２はセラミックグリーンシート２から離れて上昇し、引き続き、マザーシートはステージ５ｓの上に送られる。ここで、サーボモータ７ｓを駆動させてシート取出し用ヘッド３３を降下させ、セラミックグリーンシート２に当接させる。シート取出し用ヘッド３３には吸引孔（図示省略）が設けられており、先ほど切断したセラミックグリーンシート２を吸引保持する。サーボモータ７ｓを駆動させてシート取出し用ヘッド３３を上昇させる。既に切り取られているセラミックグリーンシート２は、シート取出し用ヘッド３３によって持ち上げられ、積層台（図示省略）へと搬送され、積層される。
【００４２】
（作用・効果）
このセラミックグリーンシート切断装置においても、実施の形態１〜３で説明したものと同じ考え方を適用することができる。すなわち、切断速度制御手段としてのサーボモータ７と切断刃移動量吸収手段としてのエアシリンダ６との組合せによって、切断刃４は前進しつつもマザーシート３から受ける抵抗力とエアシリンダ６の圧力との釣り合う位置まで押し戻されることになるので、切断刃４は、セラミックグリーンシート２を貫通するがキャリアフィルム１を貫通しない位置で止まるように設定することができる。また、切断刃移動量吸収手段はエアシリンダに限らず、他の流体を内在するシリンダであってもよいし、ばねであってもよい。切断刃の移動量を吸収できるものであればその他のものであってもよい。これは、上記各実施の形態についてもいえることである。
【００４３】
（実施の形態６）
（構成）
図１１を参照して、本発明に基づく実施の形態６におけるセラミックグリーンシート切断装置について説明する。このセラミックグリーンシート切断装置は、モータ支持板４６に設置されたサーボモータ７ｈと、このサーボモータ７ｈによってボールねじ８ｈに沿って上下動可能となっている切断用ヘッド３４と、切断用ヘッド３４の周囲を取り囲むように配置された切断刃４とを備える。ただし、切断刃４の上下の移動は切断用ヘッドとは別に独立して制御される。すなわち、モータ支持板４６にはサーボモータ７ｈとは別に切断刃４の各々のために移動量制御用のサーボモータ７ｃも設置されており、切断刃４はそれぞれこのサーボモータ７ｃによってボールねじ８ｃに沿って上下動可能となっている。各ボールねじ８ｃの先にはエアシリンダ６が取り付けられており、エアシリンダ６の先端には切断刃４が配置されている。
【００４４】
（作用・効果）
実施の形態１，２におけるセラミックグリーンシート切断装置（図１参照）では、切断刃４の上下動は切断用ヘッド３１のサーボモータ７による上下動に連動していたが、本実施の形態におけるセラミックグリーンシート切断装置に示したように切断刃４と切断用ヘッド３４との各々のサーボモータによる上下動を別個独立に行なっても、上記各実施の形態と同様の効果を得ることができる。両者の上下動を連動させている場合は、切断用ヘッドをセラミックグリーンシートに当接させるタイミングと切断刃をセラミックグリーンシートに切り込ませるタイミングとをほぼ同時にせざるを得ないが、本実施の形態におけるセラミックグリーンシート切断装置のように、別個独立にサーボモータ７ｈ，７ｃで制御することとすれば、両者の上下動のタイミングを自在にずらすことも可能となるので、よりさまざまなニーズにより柔軟に対応することができる。結果的にセラミックグリーンシートをより慎重に精度良く切断することができる。
【００４５】
上述の例では、切断すべき領域の外周を取り囲む切断刃４の各々に別個にサーボモータ７ｃおよびエアシリンダ６が配置されているが、必ずしも切断刃の枚数に一致させる必要はなく、これらの役割はより少ない数のサーボモータおよびエアシリンダでカバーしてもよい。
【００４６】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、切断速度制御手段によって切断刃を所望の速度でセラミックグリーンシートに切り込ませることができる一方、切断刃の移動量のばらつきを切断刃移動量吸収手段で吸収することができるので、切断刃がセラミックグリーンシートだけでなくキャリアフィルムまで完全に切断してしまうことを防止できる。したがって、セラミックグリーンシートに対しては、安定した切断速度で再現性良く良好な切断を実現しつつ、キャリアフィルムは残してセラミックグリーンシートだけを完全に切断するという作業を安定して行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート切断装置の概念図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート切断装置の切断刃近傍の概念図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１におけるセラミックグリーンシート切断装置の切断刃とステージの面との関係を示す説明図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態２におけるセラミックグリーンシート切断装置の切断刃近傍の概念図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態３で用いた、刃先角度とセラミックグリーンシートのくずの体積との関係を示すグラフである。
【図６】本発明に基づく実施の形態４で用いたセラミックグリーンシート切断装置の動作の第１の説明図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態４で用いたセラミックグリーンシート切断装置の動作の第２の説明図である。
【図８】本発明に基づく実施の形態４で用いたセラミックグリーンシート切断装置の動作の第３の説明図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態４で用いたセラミックグリーンシート切断装置の動作の第４の説明図である。
【図１０】本発明に基づく実施の形態５で用いたセラミックグリーンシート切断装置の使用例を示す説明図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態６におけるセラミックグリーンシート切断装置の概念図である。
【図１２】従来技術に基づくセラミックグリーンシート切断装置の概念図である。
【符号の説明】
１　キャリアフィルム、２　セラミックグリーンシート、３　マザーシート、４　切断刃、５，５ｓ　ステージ、６　エアシリンダ、７，７ｃ，７ｈ，７ｓ　サーボモータ、８，８ｃ，８ｈ　ボールねじ、９　吸着板、１０　吸引孔、１１ばね、１３　吸着面、１４　中継部材、１５　積層台、１６　ばねカバー、２０　積層体、３０，３１，３２，３４　切断用ヘッド、３３　シート取出し用ヘッド、４６　モータ支持板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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