(57)【要約】【課題】分子ポンプなどの真空ポンプで、モータ装置が発生する振動を低減すること。【解決手段】モータの発生するトルクが一定となるような、各電磁石に供給する電磁石電流の補正値をロータを回転させながらロータの所定の角度ごとに求め、各相の電磁石電流を補正する。補正値は、モータの誘起電圧などを用いて、所定の数式により算出することができる。また、モータ駆動時に所定の角度ごとに補正値を算出してＲＡＭに記憶し、モータ運転中は、ＲＡＭから補正値を読み出して電磁石電流を補正するように構成することもできる。【選択図】  図１
2004328822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線が巻回された電磁石と、を具備したモータを制御するモータ制御装置であって、
前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
前記モータ巻き線に、前記検出した回転角に応じた所定相数の電流を供給する電流供給手段と、
前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を用いて、前記電流供給手段で前記モータ巻き線に供給する前記電流を補正する補正手段と、
を具備したことを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
前記電磁石は、各相ごとに複数存在し、かつ、前記電磁石は、それぞれ独立して前記電流供給手段から電流を供給され、前記補正手段は、前記電磁石ごとに電流を補正することを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記補正手段は、前記取得した回転角度に対応する補正電流値を前記電流に加算することを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載のモータ制御装置。
【請求項４】
前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を記憶する記憶手段を備え、前記補正手段は、前記取得した回転角度に対応する補正電流値を前記記憶手段から取得して前記電流に加算することを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載のモータ制御装置。
【請求項５】
各相の前記モータ巻き線の誘起電圧を取得する誘起電圧取得手段と、
前記取得した誘起電圧を用いて、前記各相の前記モータロータの回転角度に対応する前記補正電流値を算出する補正電流値算出手段と、を備え、
前記補正電流値算出手段は、前記取得した誘起電圧を用いて前記補正電流値を算定することを特徴とする請求項１から請求項４までのうちの何れか１の請求項に記載のモータ制御装置。
【請求項６】
前記モータロータの角速度を取得する角速度取得手段を具備し、
前記補正電流値算出手段は、Ｎを２以上の整数とし、
Ｎ相の電流に対して、ｎを０からＮ−１までの整数値をとるものとし、
Ｖｎを前記誘起電圧取得手段で取得した各相ｎの前記誘起電圧とし、
ωを前記角速度取得手段で取得した角速度とし、
Ｆｎを前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの誘起電圧定数の理論値とし、
ＥｎをＥｎ＝Ｖｎ／ω−Ｆｎの計算式によって算出された値とし、
Ｉｎを前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの前記電流値とし、
Ｃｎ＝−Ｅｎ・Ｉｎ／（Ｆｎ＋Ｅｎ）の計算式によって、ｎ番目の相の前記補正電流値Ｃｎを算出することを特徴とする請求項５に記載のモータ制御装置。
【請求項７】
所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、
前記モータロータの周囲に配設されモータ巻き線が巻回された電磁石と、
前記モータ巻き線に所定の相数の電流を供給する請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のモータ制御装置と、
を具備したことを特徴とするモータ装置。
【請求項８】
円筒形状を有する筐体と、
前記筐体の内周に設けられたポンプステータと、
前記筐体と前記ポンプステータに対し相対的に回転自在に軸支された回転軸と、
該回転軸が固設され前記ポンプステータの内周側に設けられたポンプロータと、
前記ポンプロータを回転させる、請求項７に記載のモータ装置と、
を具備したことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項９】
所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線が巻回された電磁石と、を具備したモータに供給する所定の相数の電流を補正する補正電流値を取得する補正電流値計測装置であって、
前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、
各相の前記モータ巻き線の誘起電圧を前記検出した回転角度に対応付けて取得する誘起電圧取得手段と、
前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を、前記取得した誘起電圧を用いて算出する補正電流値算出手段と、
前記算出した補正電流値を出力する出力手段と、
を具備したことを特徴とする補正電流値計測装置。
【請求項１０】
前記モータロータの角速度を取得する角速度取得手段を具備し、
前記補正電流値算出手段は、
Ｎを２以上の整数とし、
Ｎ相の電流に対して、ｎを０からＮ−１までの整数値をとるものとし、
Ｖｎを前記誘起電圧取得手段で取得した各相ｎの前記誘起電圧とし、
ωを前記角速度取得手段で取得した角速度とし、
Ｆｎを前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの誘起電圧定数の理論値とし、
ＥｎをＥｎ＝Ｖｎ／ω−Ｆｎの計算式によって算出された値とし、
Ｉｎを前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの前記電流値とし、
Ｃｎ＝−Ｅｎ・Ｉｎ／（Ｆｎ＋Ｅｎ）の計算式によって、ｎ番目の相の前記補正電流値Ｃｎを算出することを特徴とする請求項９に記載の補正電流値計測装置。
【請求項１１】
所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線により励磁される電磁石と、を具備したモータを制御するモータ制御方法であって、
回転角度検出手段と、電流供給手段と、補正手段と、を備えたモータ制御装置で、
前記回転角度検出手段で、前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出ステップと、
前記電流供給手段で、前記モータ巻き線に、前記検出した回転角に応じた所定相数の電流を供給する電流供給ステップと、
前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を用いて、前記補正手段で、前記電流供給手段で前記モータ巻き線に供給する前記電流を補正する補正ステップと、
から構成されたことを特徴とするモータ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はモータ制御装置などに関し、例えば、真空ポンプのロータを回転させるモータを制御するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
分子ポンプやドライポンプなどのようにロータをモータで回転駆動することにより排気作用を生む方式の真空ポンプは、排気能力が高く、高真空を容易に実現できるため、例えば、半導体製造装置の反応ガスの排気、電子顕微鏡の鏡筒の排気など、産業・研究分野で広く使用されている。
その真空ポンプの中でもターボ分子ポンプは、回転翼を形成したロータをモータで高速回転させ、高速回転する回転翼と筐体に固定した固定翼との作用により、排気作用を行う。
このモータには、ＤＣブラシレスモータが一般に使用されている。ＤＣブラシレスモータは、ステータ側に配設した電磁石に供給する電磁石電流を制御することにより、回転磁界を発生させ、これをロータ側に設けた永久磁石に作用させて回転させる。
ＤＣブラシレスモータが発生するトルクは、例えば３相モータの場合、次の式（１）で表される。
【０００３】
【数１】
2004328822.tif 000003
【０００４】
ここで、ｎ＝０、１、２であり、Ｋはトルク定数（誘起電圧定数）であり、Ｉは各相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の電流振幅であり、θはロータ回転角である。これは、正弦駆動方式の場合である。
ＫとＩはそれぞれ界磁の機構設計と回路の設計により定まる定数である。式（１）から、ＤＣブラシレスモータが発生するトルクは定数となり、原理上トルク脈動とこれに起因する振動は発生しない。
ＤＣブラシレスモータの振動を低減する従来の技術としては、例えば、次のものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−３５６０８４
【０００６】
この文献に記載の疑似正弦波の作成方法は、ＤＣブラシレスモータのトルクリップルを低減するために、簡易な方法で疑似正弦波を作成するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のＤＣブラシレスモータは、界磁界の発生手段となる永久磁石の磁束密度が、初期（製作時）には、材料の組成や着磁によってばらつき、更にモータ運転中にはモータ巻き線が構成する電磁石が発生する磁界を受けて減磁してばらつき量が大きくなる。
また、モータロータとモータステータの同軸度誤差と、軸受に磁気軸受を用いる場合は軸受のロータ支持剛性がボールベアリングと比較して低いために、ロータはその重心を中心にして回転する。このため、ロータの重心と形状中心の位置がずれていると、回転中にロータとステータ間のギャップ量に変動が生じる。
これらの理由から、実際のＤＣブラシレスモータは、式（１）のＫ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）の値を高精度に設計値通りに管理することは困難であり、誤差Ｅｎを持つ。このＥｎを考慮すると、上の式（１）は、次の式（２）のようになる。
【０００８】
【数２】
2004328822.tif 000004
【０００９】
式（２）によれば、モータが発生するトルクは一定の定数とはならず、トルク脈動が発生し、ステータはこのトルク脈動の反作用を受けて振動を発生する。
そして、この振動は、分子ポンプを接続した機器に問題を及ぼすことがあった。例えば、この振動が電子顕微鏡に伝播した場合、電子顕微鏡の画像が乱れ、分解能が低下することが考えられる。
図７は、従来のモータ制御装置により、３相ＤＣブラシレスモータを運転した場合の波形図である。図５（ａ）〜（ｃ）は、それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相のモータ巻き線に生じる誘起電圧を表した波形図であり、本来は振幅が等しく位相が２π／３ずつずれた正弦波となるべきであるが、図に示したような誤差を持った正弦波となる。
図７（ｄ）〜（ｆ）は、それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相のモータ巻き線に供給される電磁石電流を表した波形図であり、図に示したようにそれぞれ位相が２π／３ずつずれた正弦波になる。
図７（ｇ）は、モータが発生するトルクを示した波形図である。原理上はトルクは一定になるはずであるが、実際は図に示したように脈動する。そして、ステータはこのトルク脈動の反作用を受けて振動を発生する。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、真空ポンプなどで、モータ装置が発生する振動を低減することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に記載した発明では、所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線が巻回された電磁石と、を具備したモータを制御するモータ制御装置であって、前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、前記モータ巻き線に、前記検出した回転角に応じた所定相数の電流を供給する電流供給手段と、前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を用いて、前記電流供給手段で前記モータ巻き線に供給する前記電流を補正する補正手段と、を具備したことを特徴とするモータ制御装置を提供する。
なお、前記補正電流値は、各相ごとに設けられており、前記補正手段は、各相の電流を対応する各相の補正電流値を用いて補正する。
前記回転角度検出手段の前記モータロータの回転角度の検出方法としては、例えば、前記モータロータが所定角度回転する毎に電気信号を発生する信号発生器を備え、前記電気信号の数を直接計測する方法と、前記電気信号を逓倍した信号の数を計測する方法などがあげられる。
請求項２に記載の発明では、前記電磁石が、各相ごとに複数存在し、かつ、前記電磁石は、それぞれ独立して前記電流供給手段から電流を供給され、前記補正手段は、前記電磁石ごとに電流を補正することを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置を提供する。
請求項３に記載の発明では、前記補正手段は、前記取得した回転角度に対応する補正電流値を前記電流に加算することを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載のモータ制御装置を提供する。
請求項４に記載の発明では、前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を記憶する記憶手段を備え、前記補正手段は、前記取得した回転角度に対応する補正電流値を前記記憶手段から取得して前記電流に加算することを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載のモータ制御装置を提供する。
請求項５に記載の発明では、各相の前記モータ巻き線の誘起電圧を取得する誘起電圧取得手段と、前記取得した誘起電圧を用いて、前記各相の前記モータロータの回転角度に対応する前記補正電流値を算出する補正電流値算出手段と、を備え、前記補正電流値算出手段は、前記取得した誘起電圧を用いて前記補正電流値を算定することを特徴とする請求項１から請求項４までのうちの何れか１の請求項に記載のモータ制御装置を提供する。
請求項６に記載の発明では、前記モータロータの角速度を取得する角速度取得手段を具備し、前記補正電流値算出手段は、Ｎを２以上の整数とし、Ｎ相の電流に対して、ｎを０からＮ−１までの整数値をとるものとし、Ｖｎ（単位Ｖ）を前記誘起電圧取得手段で取得した各相ｎの前記誘起電圧とし、ω（単位ｒａｄ／ｓｅｃ）を前記角速度取得手段で取得した角速度とし、Ｆｎ（単位Ｖ・ｓｅｃ／ｒａｄ）を前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの誘起電圧定数の理論値とし、ＥｎをＥｎ＝Ｖｎ／ω−Ｆｎの計算式によって算出された値とし、
Ｉｎ（単位Ａ）を前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの前記電流値とし、Ｃｎ＝−Ｅｎ・Ｉｎ／（Ｆｎ＋Ｅｎ）の計算式によって、ｎ番目の相の前記補正電流値Ｃｎを算出することを特徴とする請求項５に記載のモータ制御装置を提供する。
前記角速度取得手段の前記角速度の取得方法としては、例えば、ωを検出するセンサを用いてωを直接計測する方法と、θの時間変化からωを算出する方法などがあげられる。
請求項７に記載の発明では、所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設されモータ巻き線が巻回された電磁石と、前記モータ巻き線に所定の相数の電流を供給する請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のモータ制御装置と、を具備したことを特徴とするモータ装置を提供する。
請求項８に記載の発明では、円筒形状を有する筐体と、前記筐体の内周に設けられたポンプステータと、前記筐体と前記ポンプステータに対し相対的に回転自在に軸支された回転軸と、該回転軸が固設され前記ポンプステータの内周側に設けられたポンプロータと、前記ポンプロータを回転させる、請求項７に記載のモータ装置と、を具備したことを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項９に記載の発明では、所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線が巻回された電磁石と、を具備したモータに供給する所定の相数の電流を補正する補正電流値を取得する補正電流値計測装置であって、前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出手段と、各相の前記モータ巻き線の誘起電圧を前記検出した回転角度に対応付けて取得する誘起電圧取得手段と、前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を、前記取得した誘起電圧を用いて算出する補正電流値算出手段と、前記算出した補正電流値を出力する出力手段と、を具備したことを特徴とする補正電流値計測装置を提供する。
請求項１０に記載の発明では、前記モータロータの角速度を取得する角速度取得手段を具備し、前記補正電流値算出手段は、Ｎを２以上の整数とし、Ｎ相の電流に対して、ｎを０からＮ−１までの整数値をとるものとし、Ｖｎ（単位Ｖ）を前記誘起電圧取得手段で取得した各相ｎの前記誘起電圧とし、ω（単位ｒａｄ／ｓｅｃ）を前記角速度取得手段で取得した角速度とし、Ｆｎを（単位Ｖ・ｓｅｃ／ｒａｄ）を前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの誘起電圧定数の理論値とし、ＥｎをＥｎ＝Ｖｎ／ω−Ｆｎの計算式によって算出された値とし、Ｉｎ（単位Ａ）を前記モータロータの回転角度に対応した各相ｎの前記電流値とし、Ｃｎ＝−Ｅｎ・Ｉｎ／（Ｆｎ＋Ｅｎ）の計算式によって、ｎ番目の相の前記補正電流値Ｃｎを算出することを特徴とする請求項９に記載の補正電流値計測装置を提供する。
前記角速度取得手段の前記角速度の取得方法としては、例えば、ωを検出するセンサを用いてωを直接計測する方法と、θの時間変化からωを算出する方法などがあげられる。
請求項１１に記載の発明では、所定の極数の磁極が形成されたモータロータと、前記モータロータの周囲に配設され、モータ巻き線により励磁される電磁石と、を具備したモータを制御するモータ制御方法であって、回転角度検出手段と、電流供給手段と、補正手段と、を備えたモータ制御装置で、前記回転角度検出手段で、前記モータロータの回転角度を検出する回転角度検出ステップと、前記電流供給手段で、前記モータ巻き線に、前記検出した回転角に応じた所定相数の電流を供給する電流供給ステップと、前記モータロータの発生するトルクと該トルクの理論値との差分を補償する前記モータロータの回転角度に対応した補正電流値を用いて、前記補正手段で、前記電流供給手段で前記モータ巻き線に供給する前記電流を補正する補正ステップと、から構成されたことを特徴とするモータ制御方法を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図６を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施の形態のモータ制御装置は、モータの発生するトルクが理論値から求められる一定値となるような各電磁石に供給する電磁石電流の補正電流値（以下補正値）をロータを回転させながら所定の時間間隔で求め、電磁石電流にこの補正値を加算してモータ巻き線に出力する。
この補正値は、モータの誘起電圧などを用いて、後述する数式により算出することができる。
このように、本実施の形態では、モータを駆動しながら補正値を計算し、電磁石電流をリアルタイムで補正することができる。
【００１３】
（２）実施形態の詳細
まず、本実施の形態で行うモータ制御方法の理論的な背景について説明する。
なお、本実施の形態の分子ポンプは３相正弦波駆動方式により駆動されるＤＣブラシレスモータを使用するものとする。
本実施の形態のモータ制御装置は、ＤＣブラシレスモータに、各相の電磁石に供給する正弦波電流である電磁石電流Ｉ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）に補正成分Ｃｎを加算し、モータが発生するトルクを一定となるようにする。まず、この条件を満たすＣｎを求める。ただし、ｎ＝０（Ｕ相）、１（Ｖ相）、２（Ｗ相）である。
式（２）において加算した補正成分Ｃｎを考慮すると次の式（３）が得られる。
【００１４】
【数３】
2004328822.tif 000005
【００１５】
ここで各相のトルク脈動及び振動の原因となる項、即ち式（３）の最右辺のΣで加算する項を各相ごとに０とおくと、次の式（４）を得る。
【００１６】
【数４】
2004328822.tif 000006
【００１７】
この式（４）をＣｎについて解くと、次の式（５）を得る。
【００１８】
【数５】
2004328822.tif 000007
【００１９】
各相ごとに式（５）で求めたＣｎが、各相の電磁石電流値に加算すべき補正値である。
次に、式（５）について更に考える。
式（５）において、θはモータに設けられたモータロータ回転角検出手段の検出結果から求まる。
また、モータ回転中に各相の誘起電圧Ｖｎ（＝誘起電圧定数×回転速度ω）を検出し、これを回転速度検出手段の検出結果ωで除すことでＫ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）＋Ｅｎが求まり、これから既知である設計値Ｋ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）を差し引くことでＥｎが求まる。
即ち、Ｅｎは、次の式（６）で表される。
【００２０】
【数６】
2004328822.tif 000008
【００２１】
ＫとＩは既知の設計値であることを考慮すると、以上の計算と式（５）によって補正値Ｃｎが求まる。このＣｎを各相の電磁石電流値に加算すると、実際のモータが発生するトルクを表す式（２）は次の式（７）のようになり、トルク脈動を表す項が消去される。
【００２２】
【数７】
2004328822.tif 000009
【００２３】
次に、本実施の形態のモータ制御装置１について説明する。
図１は、本実施の形態に係るモータ制御装置１の機能的な構成を示した図である。図１は、モータ制御装置１のもつ機能の相互関係を示したもので、必ずしも実際の回路構成を示したものではない。
なお、図１には、モータ制御装置１により制御されるモータ部３も図示されている。
モータ部３は、３相の正弦波電流により駆動されるＤＣブラシレスモータであり、モータ制御装置１によって回転を制御される。
【００２４】
詳細な構造は後述するが、モータ部３は、ステータ側に電磁石が回転対称に設けてあり、モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃが巻いてある。モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃは直列に接続されず独立しており各相の電流は独立して流れる。各モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃは、それぞれＵ相、Ｖ相、Ｗ相の正弦波電流が供給され、電磁石はこれら正弦波電流により励磁される。
一方、モータロータ側には、永久磁石８が取り付けてあり、モータロータの周囲にＮ極とＳ極の磁極が形成されている。
モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに３相交流を供給すると、永久磁石８の周囲に回転磁界が発生し、この回転磁界が永久磁石８を吸引してモータロータを回転させるようになっている。
【００２５】
更に、モータ部３には回転角センサ９（回転角度検出手段）が取り付けてあり、モータロータの回転角度を検出できるようになっている。回転角センサ９は、例えば、ロータリエンコーダで構成される。
なお、本実施の形態では、回転角センサ９で検出した回転角度の時間変化からモータロータの角速度を演算するように構成した（角速度検出手段）が、これに限定するものではなく、モータロータの角速度を直接検出するセンサをモータ装置３に装備してもよい。
【００２６】
回転角検出器１１は、回転角センサ９の出力からモータロータの回転角度を検出し、これをディジタル信号に変換して電流制御部１８に送る。
抵抗６ａ、６ｂ、６ｃは、それぞれ抵抗値が等しい抵抗体であり、モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃと相似に結線されている。
このように抵抗体を配設して抵抗６ａ、６ｂ、６ｃに発生している電圧を検出することにより、それぞれモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに発生している誘起電圧を検出することができる（誘起電圧取得手段）。
【００２７】
Ａ／Ｄコンバータ１０は、所定の時間間隔で各相のモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃのそれぞれに流れる電流値と、モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃの夫々に発生する誘起電圧をサンプリングし、ディジタルデータに変換して電流制御部１８に送る。
電流制御部１８は、演算部１５、ＲＡＭ１２、ＲＯＭ１３、Ｄ／Ａコンバータ１４などから構成されている。
演算部１５は、ＲＯＭ１３に格納されている各種プログラムにより演算を行う演算器である。後述するように、演算部１５は、モータロータの回転に伴い、所定の時間間隔で補正後の電流指令値を計算して出力する。
ＲＡＭ１２は、演算部１５が演算する際にワーキングエリアを提供する。
【００２８】
演算部１５は、演算結果として電流指令値をディジタル信号でＤ／Ａコンバータ１４に出力し、Ｄ／Ａコンバータ１４は、これをアナログ信号に変換し、電流指令値を電圧としてアンプ１６に出力する（正弦波電流供給手段）。
本実施の形態では、演算部１５を例えば、マイクロコンピュータで構成したが、これに限定するものではなく、例えば、高速な演算が可能なＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）など、他の演算器を用いて構成することもできる。
アンプ１６は、Ｄ／Ａコンバータ１４から受け取った電流指令値に応じた電流をモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに供給する。
【００２９】
ここで、演算部１５の機能についてより詳細に説明する。
ＲＯＭ１３は、プログラムやデータを記憶した不揮発性のリードオンリーメモリであり、電流指令値取得機能、補正値算出機能、電磁石電流補正機能などを演算部１５に発揮させるためのプログラムが格納されている。
演算部１５は、電流指令値取得機能を発揮することにより、所定の時間間隔で次のような処理を行う。
まず、回転角検出器１１からの信号により、モータロータの回転角度θ（永久磁石８の磁極の位置）を取得する。
そして、取得したθに応じた、モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに対する電流指令値（補正前）を取得する。モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに出力すべき、θに応じた電流指令値はＲＯＭ１３に記憶されており、演算部１５は、ＲＯＭ１３から電流指令値を読み出して出力する。又は、演算部１５がθに応じて電流指令値を演算するように構成してもよい。電磁石電流指令値は、θに応じた３相正弦波電流となる。
【００３０】
演算部１５は、補正値算出機能を発揮することにより、所定の時間間隔で次のような処理を行う（補正電流値算出手段）。
まず、回転角検出器１１から取得されたモータロータの回転角度θを時間で微分してモータロータの角速度ωを算出する。
また、Ａ／Ｄコンバータ１０から各モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃの誘起電圧を取得する。
なお、設計値Ｋ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）など、予めわかっている値は、ＲＯＭ１３にθに応じて記憶してあり、これを用いる。
これら取得した値を用いて、式（５）及び式（６）に示した演算を行い、Ｃｎ（ｎ＝０、１、２）を求める。これにより現在のθにおけるＣｎ（ｎ＝０、１、２）が得られる。
【００３１】
演算部１５は、電磁石電流補正機能を発揮することにより、次のような処理を行う（補正手段）。
まず、電流指令値取得機能により各相の補正前の電流指令値を取得する。次に、このときのθに対する各相の補正値を補正値算出機能により算出した後、これを各相の補正前の電流指令値にそれぞれ加算して、各相の電流指令値を補正する。そして、補正して得た補正後の電流指令値をＤ／Ａコンバータ１４に出力する。
この場合、アンプ１６は、補正された電磁石電流をモータ部３に供給するため、モータロータのトルクが一定となる。
演算部１５は、以上の補正処理を所定の時間間隔で行う。所定の時間としては、例えばＡ／Ｄコンバータ１０のサンプリング周期や、演算部１５を構成するマイクロコンピュータやＤＳＰの演算周期などがあげられる。
【００３２】
図２は、演算部１５が、所定の時間間隔で、補正された電流指令値を算出する手順を説明するためのフローチャートである。
まず、演算部１５は、モータ部３の駆動を開始する（ステップ１０５）。
次に、演算部１５は、ＲＯＭ１３から設計値Ｋ、Ｉを取得する（ステップ１１０）。
次に、演算部１５は、回転角検出器１１からθを取得する（ステップ１１５）。
そして、演算部１５は、θの時間変化から（例えば、複数個のθをサンプリングしてその時間変化から求める）ωを算出する（ステップ１２０）。なお、本実施の形態では、検出したθを用いてωを算出するように構成したが、これに限定するものではなく、ωを検出するセンサを用いてωを直接計測してもよい。ωを直接計測するとωを算出する時間を省略することができるため、処理を高速化することができる。
【００３３】
次に、演算部１５は、Ａ／Ｄコンバータ１０からモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃの誘起電圧を取得し（ステップ１２５）、これと、ステップ１１５で取得したθ及びステップ１２０で算出したωと、ステップ１１０で取得したＫを用いて式（６）により各相の誤差Ｅｎを計算する（ステップ１３０）。
次に、演算部１５は、ステップ１３０で算出したＥｎ、及びステップ１１５で得たθ、ステップ１１０で得たＫ、Ｉを用いて式（５）により各相の補正値Ｃｎを算出する（ステップ１３５）。
次に、演算部１５は、ＲＯＭ１３から各相の補正前の電流指令値を読み出す（ステップ１４０）。
次に、演算部１５は、補正前の電流指令値にステップ１３５で算出した補正値を各相ごとに加算する（ステップ１４５）。
次に、演算部１５は、補正後の電流指令値をＤ／Ａコンバータ１４に出力する（ステップ１５０）。
次に、モータ部３の運転を継続する場合は（ステップ１５５；Ｙ）、ステップ１１５に戻り、モータ部３の運転を停止する場合は（ステップ１５５；Ｎ）、モータ部３を停止し（ステップ１６０）、動作を停止する。
【００３４】
次に、以上のように構成したモータ部３、及びモータ制御装置１を用いて駆動される分子ポンプについて説明する。
図３は、本実施の形態に係る分子ポンプ１０１の構成を示した図であり、ロータ軸１０２の軸線方向の断面を示している。
分子ポンプ１０１のケーシング１０５は円筒状の形状をしており、その中心にロータ軸１０２が設置されている。ケーシング１０５は、ベース１０６と共に分子ポンプ１０１の筐体１３１を形成する。
ロータ軸１０２の軸線方向の上部と下部及び底部には、それぞれ磁気軸受部１０７、１０８、１０９が設けられている。ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０７、１０８によってラジアル方向（ロータ軸１０２の径方向）に非接触で支持され、磁気軸受部１０９によってスラスト方向（ロータ軸１０２の軸方向）に非接触で支持されている。これらの磁気軸受部１０７、１０８、１０９は、いわゆる５軸制御型の磁気軸受を構成しており、ロータ軸１０２はロータ軸１０２の軸線周りの回転の自由度を有している。
【００３５】
磁気軸受部１０７では、４つの電磁石がロータ軸１０２の周囲に、９０°ごとに対向するように配置されている。ロータ軸１０２は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、これらの電磁石の磁力により吸引されるようになっている。
変位センサ１１０は、ロータ軸１０２のラジアル方向の変位を検出する。図示しない制御部は、変位センサ１１０からの変位信号によってロータ軸１０２がラジアル方向に所定の位置から変位したことを検出すると、各電磁石の磁力を調節してロータ軸１０２を所定の位置に戻すように動作する。このように電磁石の磁力の調節は、各電磁石の励磁電流をフィードバック制御することにより行われる。
【００３６】
図示しない制御部は、変位センサ１１０の信号により磁気軸受部１０７の磁力をフィードバック制御する。これにより、ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０７において電磁石から所定のクリアランスを隔ててラジアル方向に磁気浮上し、空間中に非接触で保持される。
磁気軸受部１０８の構成と作用は、磁気軸受部１０７と同様である。
磁気軸受部１０８では、ロータ軸１０２の周囲に、９０°ごとに電磁石が４つ配置されており、これらの電磁石の磁力の吸引力により、ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０８でラジアル方向に非接触で保持される。
【００３７】
変位センサ１１１は、ロータ軸１０２のラジアル方向の変位を検出する。
図示しない制御部は、ロータ軸１０２のラジアル方向の変位信号を変位センサ１１１から受信すると、この変位を修正してロータ軸１０２を所定の位置に保持するように電磁石の励磁電流をフィードバック制御する。
制御部は、変位センサ１１１の信号により磁気軸受部１０８の磁力をフィードバック制御する。これにより、ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０８において電磁石から所定のクリアランスを隔ててラジアル方向に磁気浮上し、空間中に非接触で保持される。
このように、ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０７、１０８の２カ所でラジアル方向に保持される。
【００３８】
ロータ軸１０２の下端に設けられた磁気軸受部１０９は、円板状の金属ディスク１１２、電磁石１１３、１１４、変位センサ１１５によって構成され、ロータ軸１０２をスラスト方向に保持する
金属ディスク１１２は、鉄などの高透磁率材で構成されており、その中心においてロータ軸１０２に垂直に固定されている。金属ディスク１１２の上には電磁石１１３が設置され、下には電磁石１１４が設置されている。電磁石１１３は、磁力により金属ディスク１１２を上方に吸引し、電磁石１１４は、金属ディスク１１２を下方に吸引する。制御部は、この電磁石１１３、１１４が金属ディスク１１２に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１０２をスラスト方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。
【００３９】
変位センサ１１５は、ロータ軸１０２のスラスト方向の変位を検出し、これを図示しない制御部に送信する。制御部は、変位センサ１１５から受信した変位検出信号によりロータ軸１０２のスラスト方向の変位を検出する。
ロータ軸１０２がスラスト方向のどちらかに移動して所定の位置から変位した場合、制御部は、この変位を修正するように電磁石１１３、１１４の励磁電流をフィードバック制御して磁力を調節し、ロータ軸１０２を所定の位置に戻すように動作する。制御部は、このフィードバック制御を連続的に行い、これらよりロータ軸１０２はスラスト方向に所定の位置で磁気浮上して保持される。
以上に説明したように、ロータ軸１０２は、磁気軸受部１０７、１０８によりラジアル方向に保持され、磁気軸受部１０９によりスラスト方向に保持されるため、ロータ軸１０２は軸線周りの回転の自由度を有している。
【００４０】
ロータ軸１０２において、磁気軸受部１０７、１０８の間にはモータ部３が設けてある。本実施の形態では、一例としてモータ部３は、以下のように構成されたＤＣブラシレスモータであるとする。
モータ部３では、ロータ軸１０２の周囲に永久磁石８が固着してある。この永久磁石８は、ロータ軸１０２の周りに、例えばＮ極とＳ極が１８０°ごとに配置されるように固定されている。このように、モータ部３では、ロータ軸１０２がモータロータを構成している。
【００４１】
永久磁石８の周囲には、ロータ軸１０２から所定のクリアランスを経て、例えば６個の電磁石が６０°ごとにロータ軸１０２の軸線に対して対照的に対向するように配置されている。この電磁石には、モータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃが巻いてあり、これらモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに供給されるＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電流により励磁される。
より詳細に述べると、６個の電磁石のうち、ロータ軸１０２を挟んで対向している電磁石もの同士が３つの組を形成しており、これら組となっている電磁石にＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電流が供給される。
【００４２】
また、ロータ軸１０２の下端には、図示しない回転角センサ９が取り付けられている。これにより、モータ制御装置１は、ロータ軸１０２の回転角を検出することができる。
ロータ軸１０２の上端にはロータ１１７が複数のボルト１１８により取り付けられている。
以下に説明するように、ロータ１１７のおおよそ中ほどから吸気口１０３側、即ち、図中上方向は分子ポンプ部となっており、おおよそ中ほどから図中下方向、即ち排気口１０４側はねじ溝式ポンプ部となっている。
【００４３】
ロータ１１７の吸気口１０３側に位置する分子ポンプ部では、ロータ翼１１９がロータ軸１０２の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して、ロータ１１７から放射状に複数段取り付けてある。ロータ翼１１９は、ロータ１１７に固着されており、ロータ軸１０２と共に高速回転するようになっている。
ケーシング１０５の吸気口１０３側には、ステータ翼１２０が、ロータ軸１０２の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して、ケーシング１０５の内側に向けて、ロータ翼１１９の段と互い違いに配設されている。
【００４４】
ロータ１１７がモータ部３により駆動されてロータ軸１０２と共に回転すると、ロータ翼１１９とステータ翼１２０の作用により、吸気口１０３から排気ガスが吸気される。
吸気口１０３から吸気された排気ガスは、ロータ翼１１９とステータ翼１２０の間を通り、図中下半に構成されたねじ溝ポンプ部へ移送される。このとき、ロータ翼１１９と排気ガスとの摩擦や、モータ部３で発生した熱の伝導などにより、ロータ翼１１９の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子などによりステータ翼１２０に伝導される。
【００４５】
スペーサ１２１はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
スペーサ１２１は、ステータ翼１２０によって形成された段を所定の間隔に保つために、ステータ翼１２０の段の間に介在させられると共に、ステータ翼１２０を所定の位置に保持する。
各スペーサ１２１は、外周部で互いに接合しており、ステータ翼１２０がロータ翼１１９から受け取った熱、及び排気ガスとステータ翼１２０との摩擦によって発生した熱などを伝導する熱伝導路を構成している。
【００４６】
ロータ１１７の排気口１０４側に形成されたねじ溝ポンプ部は、ロータ１１７とねじ溝スペーサ１２２から構成されている。
ねじ溝スペーサ１２２は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状の複数のねじ溝１２３が複数条形成されている。
ねじ溝１２３の螺旋の方向は、ロータ１１７の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、該分子が排気口１０４の方へ移送される方向である。
ロータ１１７がモータ部３により駆動されて回転すると、排気ガスが図中上半の分子ポンプ部からねじ溝ポンプ部へ移送されてくる。この移送されてきた排気ガスは、ねじ溝１２３にガイドされながら、排気口１０４の方へ移送される。
【００４７】
ベース１０６の底部の開口部に裏蓋１２６が取り付けられている。
この裏蓋１２６には、ポンプ内部基板１２５が配置されている。ポンプ内部基板１２５は、例えば、分子ポンプ１０１の運転時間、エラー履歴などを記憶する記憶装置が配設されており、分子ポンプ１０１の保守点検に用いられる。
【００４８】
以上、本実施の形態のモータ制御装置１について説明したが、分子ポンプ１０１は、磁気軸受を用いてロータ軸１０２を支持するため、ボールベアリングに比べてロータ軸の支持剛性が低い。このため、ロータの不釣り合い力等により、ロータが回転している間にモータ部３でモータロータと電磁石とのクリアランスが変動することが考えられる。この場合、このクリアランスの変動による影響は、Ｋ・ｓｉｎ（θ−２ｎπ／３）の誤差Ｅｎとなって現われる。
なお、モータ制御装置１は３相以外のモータにも適用可能である。例えば、２相の場合は、式（５）は、次の式（８）のようになる。
【００４９】
【数８】
2004328822.tif 000010
【００５０】
ただし、ｎ＝０、１である。また、より一般にＮ相の場合、式（５）は次の式（９）のようになる。
【００５１】
【数９】
2004328822.tif 000011
【００５２】
ただし、ｎ＝０、１、…、Ｎ−１である。
【００５３】
更に、図示しないが、各相ごとに複数個（ｋ個）の電磁石をロータ軸１０２を挟んで対向配置し、モータ巻き線を直列に接続することなく各電磁石ごとに電流が独立して流れるように接続し、誘起電圧検出手段を各電磁石ごとに誘起電圧を検出するように構成し、上記と同様に、各電磁石ごとに電流値に補償値Ｃｎｊを次式（１０）のように加算すれば、対向する電磁石がロータ軸１０２に及ぼすラジアル方向の力の反力、例えば１の電磁石がロータ軸１０２に及ぼすラジアル方向の力Ｆ１の反力と１の電磁石に対向する電磁石がロータ軸１０２に及ぼすラジアル方向の力Ｆ２の反力は、互いに大きさが高精度に等しく向きが反対となり高精度に相殺される。対向する全ての電磁石がこの関係を満たすので、ステータのラジアル方向の振動が低減する。
【００５４】
【数１０】
2004328822.tif 000012
【００５５】
（ただし、ｊ＝１、２、…ｋである）
【００５６】
図４は、本実施の形態のモータ制御装置１を用いてモータ部３を駆動した場合の各種波形図である。
図４（ａ）〜（ｃ）は、電流補正前のモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃの誘起電圧を示した図である。図に示したように、２π／３ずつずれた正弦波となる。ただし、これらの波形は正しい正弦波ではなく上述したように誤差を含んでいる。
図４（ｄ）〜（ｆ）は、それぞれモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃに供給する補正後の電磁石電流を示した波形図である。図に示したように、各相の電流ともリップル状の部分があり、正弦波からずれた形となっている。これは、各相の電流に補正値を加算したため、正弦からずれたものである。
図４（ｇ）は、補正後の電磁石電流によりモータ部３を運転した場合に、モータ部３が発生するトルクを示した波形図である。図に示したように、トルクは一定値となっている。
【００５７】
以上に説明した本実施の形態により以下のような効果を得ることができる。
ＤＣブラシレスモータが発生する振動が製造後の初期だけでなく、減磁などの経時変化の後も大幅に低減されるので、本実施の形態を適用することでＤＣブラシレスモータを使用する分子ポンプ１０１の振動が大幅に低減される。また、分子ポンプ１０１を使用した電子顕微鏡などの画像の乱れを改善し、分解能の向上に寄与することができる。
【００５８】
（変形例）
次に、本実施の形態の変形例について説明する。本変形例では、電流制御部１８やモータ部３などの構成は実施の形態と同様であるので、対応する構成要素には、同じ符合を付して説明する。
上で説明した実施の形態では、電流制御部１８は、モータ部３を駆動しながらリアルタイムで補正値を算出し、電流指令値を補正した。これに対し、本変形例では、モータ部３の駆動時に各所定角度について補正値を算出し、これをＲＡＭ１２に記憶しておく。そして、演算部１５は、ＲＯＭ１３から読み出した補正前の電流指令値を、ＲＡＭ１２に記憶した補正値で補正し、Ｄ／Ａコンバータ１４に補正後の電流指令値を出力する。
以下に、本変形例における演算部１５の動作についてフローチャートを用いて説明する。
【００５９】
図５は、演算部１５が補正された電流指令値を算出する手順を説明するためのフローチャートである。ＲＡＭ１２には、各所定角度における各相ごとの補正値が記憶されているものとする。
演算部１５は、以下の処理を所定角度ごとに連続的に行う。
まず、演算部１５は、永久磁石８の磁極の位置を特定するために、回転角検出器１１からθを取得し（ステップ５）、θが所定角度であるか確認する。
次に、演算部１５は、θが所定角度であった場合、ＲＯＭ１３からこのθに対応する各相の電流指令値（補正前）を取得する（ステップ１０）。
次に、演算部１５は、ＲＡＭ１２からステップ５で取得したθに対応する各相の補正値を取得する（ステップ１５）。
【００６０】
次に、演算部１５は、ステップ１０で取得した電流指令値に、ステップ１５で取得した補正値を各相ごとに加算し、補正後の電流指令値を取得する（ステップ２０）。
次に、演算部１５は、補正後の電流指令値をＤ／Ａコンバータ１４に出力し（ステップ２５）、処理を終える。演算部１５は、このθに関する処理を終えると、次にサンプリングしたθに関して同様の処理を行う。そして、この処理をモータ部３が稼動している間持続する。
一方、Ｄ／Ａコンバータ１４は、演算部１５から出力された補正後の電流指令値をアナログ信号に変換してアンプ１６に出力し、アンプ１６はモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃのそれぞれに流れる電流値がＤ／Ａコンバータ１４が出力する電流指令値と等しくなるように制御する。
【００６１】
次に、演算部１５が補正値Ｃｎを算出する手順について図６のフローチャートを用いて説明する。
この処理は、モータ部３を起動する際に行う。
まず、演算部１５は、ＲＯＭ１３から設計値Ｋ、Ｉを取得する（ステップ３０）。
次にカウンタｉを０にセットする（ステップ３５）。これは、補正値を複数回計測して、これを平均するため、計測回数をカウントするのに用いる。
次に、演算部１５は、補正をかけずにモータ部３を駆動する（ステップ４０）。
【００６２】
次に、演算部１５は、回転角検出器１１からの信号からθが０となる時点を検出する（ステップ４２）。この時点から各θに対する補正値の取得が開始される。
次に、演算部１５は、回転角検出器１１からθを取得する（ステップ４５）。
次に、演算部１５は、θの時間変化から（例えば、複数個のθをサンプリングしてその時間変化から求める）ωを算出する（ステップ５０）。なお、本実施の形態では、検出したθを用いてωを算出するように構成したが、これに限定するものではなく、ωを検出するセンサを用いてωを直接計測してもよい。ωを直接計測するとωを算出する時間を省略することができるため、処理を高速化することができる。
【００６３】
次に、演算部１５は、Ａ／Ｄコンバータ１０からモータ巻き線５ａ、５ｂ、５ｃの誘起電圧を取得し（ステップ５５）、これと、ステップ４５で取得したθ及びステップ５０で算出したωと、ステップ３０で取得したＫを用いて式（６）により各相の誤差Ｅｎを計算する（ステップ６０）。
次に、演算部１５は、ステップ６０で算出したＥｎ、及びステップ４５で得たθ、ステップ３０で得たＫ、Ｉを用いて式（５）により各相の補正値Ｃｎを算出し（ステップ６５）、これらをＲＡＭ１２に一時的に記憶する（ステップ７０）。
次に、演算部１５は、θが２π未満か否かを判断し（ステップ７２）、θが２π未満である場合（ステップ７２；Ｙ）、θに２π／Ｍを加算してθを更新し（ステップ７３）、ステップ４５に処理を戻る。ここで、Ｍは３６０度をＭ分割したことを意味し、θ＋（２π／Ｍ）・Ｎが所定角度となる。ただし、Ｎ＝０、１、…、Ｍ−１である。
そして、ステップ４５では、回転角検出器１１からの出力が更新されたθに達したときに処理を開始する。
ステップ７２でθが２π未満でないと判断した場合は（ステップ７２；Ｎ）、演算部１５は、ステップ７５に処理を移行する。
このようにして、モータ制御装置１は、０から２πまで２π／Ｍおきに、θに対応する各相の補正値Ｃｎを算出し、これをＲＡＭ１２に記憶する。
【００６４】
次に、演算部１５はｉが１０未満であるか否かを判断する（ステップ７５）。ｉが１０未満であった場合（ステップ７５；Ｙ）、演算部１５は、ｉを１だけインクリメントし（ステップ８０）、ステップ４５の処理に戻る。ｉが１０未満でなかった場合（ステップ７５；Ｎ）、演算部１５は、ＲＡＭ１２に一時的に記憶していた補正値の算出値を、θごとに総和を求めこれを補正値算出の繰り返し回数（ここでは１０回）で除して、θに対応する各相の補正値の平均値を求める（ステップ８５）。
次に、演算部１５は、この平均値を、モータ部３を運転する際の補正値としてＲＡＭ１２に記憶し（ステップ９０）、処理を終了する。
以上の計測は、モータ部３が定常回転に達した後でもよいし、モータ部３が定常回転に達するまでの間に行ってもよい。
【００６５】
以上の手順で得た補正値Ｃｎは、モータ部３が動作している間中使用し、モータ部３の動作が終了した場合にＲＡＭ１２から消去する。そして、次回に再度モータ部３を起動する際に、演算部１５は新たに補正値を算出しＲＡＭ１２に記憶する。このように、モータ部３を起動する際にその都度補正値を取得するように構成することにより、モータ部３の経時変化により誤差Ｅｎが変化した場合でも対応することができる。
【００６６】
なお、本変形例では、モータ部３の起動時に予め補正値を計測してＲＡＭ１３に格納するように構成したが、これに限定せず、モータ部３を駆動しながら、所定時間間隔で補正値を算出し、補正値を更新しながらモータ部３を運転するように構成してもよい。
【００６７】
また、補正値を予め工場出荷時に計測し、これをＲＯＭ１３に記憶しておくように構成してもよい。この場合、モータ部３の経時変化に対応することは困難であるが、モータ制御装置１は、補正値を算出するための構成要素（抵抗６ａ、６ｂ、６ｃ、Ａ／Ｄコンバータ１０など）を装備する必要が無くなり、コストの低減を図ることができる。モータ部３の経時変化による振動の発生が問題にならないような用途では、このようにモータ制御装置１を構成することができる。
【００６８】
以上、本発明の１実施形態について説明したが、本発明は説明した実施形態に限定されるものではなく、各請求項に記載した範囲において各種の変形を行うことが可能である。
例えば、説明した実施形態では、演算部１５により、補正前の電流指令値と補正後の電流指令値を生成したが、補正前の電流指令値を別の素子で生成し、これに演算部１５で算出した補正値を加算するように構成することもできる。
また、本実施の形態では、ＤＣブラシレスモータを正弦波駆動方式で駆動する場合について説明したが、例えば、擬似的な正弦波駆動電流などに適用することもできる。
【００６９】
【発明の効果】
本発明によれば、真空ポンプなどにおいて、モータの発生する振動を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係るモータ制御装置の機能的な構成を示した機能構成図である。
【図２】演算部が電流指令値を出力する手順を説明するためのフローチャートである。
【図３】本実施の形態に係る分子ポンプの構成を示した図である。
【図４】本実施の形態のモータ制御装置に係る波形図である。
【図５】変形例において、演算部が補正された電流指令値を算出する手順を説明するためのフローチャートである。
【図６】変形例において、演算部が補正値Ｃｎを算出する手順を示したフローチャートである。
【図７】従来のモータ制御装置に係る波形図である。
【符号の説明】
１  モータ制御装置
３  モータ部
５  モータ巻き線
６  抵抗
１０  Ａ／Ｄコンバータ
１１  回転角検出器
１２  ＲＡＭ
１３  ＲＯＭ
１４  Ｄ／Ａコンバータ
１５  演算部
１６  アンプ
１８  電流制御部
【図１】
2004328822.tif 000013
【図２】
2004328822.tif 000014
【図３】
2004328822.tif 000015
【図４】
2004328822.tif 000016
【図５】
2004328822.tif 000017
【図６】
2004328822.tif 000018
【図７】
2004328822.tif 000019