(57)【要約】【課題】より低コストで大量の気体中に含まれる微粒子を効率的に除去しうる微粒子除去装置を提供する。【解決手段】微粒子を含む気体が通過させられる気体経路中に、気体の移動方向に沿うようにして液体導入管２，３を設置するとともに、この液体導入管２，３の周壁に環状スリット２２，３２を設けて環状ノズル機構２０，３０を形成し、この環状ノズル機構２０，３０から液体が放射状に噴射するようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子を含む気体が通過させられる気体経路中に、気体の移動方向に沿うようにして液体導入管を設置するとともに、この液体導入管の周壁に環状スリットを設けて環状ノズル機構を形成し、この環状ノズル機構から液体が放射状に噴射するようにしたことを特徴とする、微粒子除去装置。
【請求項２】
上記液体経路には、円筒部が設けられているとともに、この円筒部の中心軸に沿うようにして上記液体導入管が設置されている、請求項１に記載の微粒子除去装置。
【請求項３】
上記環状ノズル機構は、上記環状スリットから噴射された液体がいったん衝突させられる微細液滴形成手段をさらに備えている、請求項１または２に記載の微粒子除去装置。
【請求項４】
上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管の外周にフランジ状部材を固定するとともに、上記環状スリットから放射状に噴射された液体がいったん上記フランジ状部材に衝突するように構成されている、請求項３に記載の微粒子除去装置。
【請求項５】
上記環状スリットは、上記フランジ状部材を挟んで上記液体導入管の軸線方向に離れた２箇所に形成されており、上記液体導入管の縦断面における各環状スリットの軸線が上記フランジ状部材と交差するように傾斜させられている、請求項４に記載の微粒子除去装置。
【請求項６】
上記フランジ状部材における上記液体が衝突する部位には、凹凸が形成されている、請求項４または５に記載の微粒子除去装置。
【請求項７】
上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管の周囲を取り囲むように配置されたリング状部材によって形成されている、請求項３に記載の微粒子除去装置。
【請求項８】
上記リング状部材における上記液体が衝突する部位には、凹凸が形成されている、請求項７に記載の微粒子除去装置。
【請求項９】
上記リング状部材は、ねじ棒をリング状に曲げて形成されている、請求項８に記載の微粒子除去装置。
【請求項１０】
上記環状ノズル機構は、上記気体経路中に複数箇所設けられている、請求項１ないし９のいずれかに記載の微粒子除去装置。
【請求項１１】
微粒子を含む気体が通過させられる気体経路中に、液体導入管を設置するとともに、この液体導入管の側壁に一列に並ぶノズル孔または一列に延びるスリットを設けてノズル機構を形成し、このノズル機構から噴射される液体がいったん衝突させられる微細液滴形成手段を備えていることを特徴とする、微粒子除去装置。
【請求項１２】
上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管に対して所定間隔を隔てて配置された棒状部材によって形成されており、かつ、この棒状部材における上記液体が衝突させられる部位には、凹凸が形成されている、請求項１１に記載の微粒子除去装置。
【請求項１３】
上記棒状部材は、ねじ棒によって形成されている、請求項１２に記載の微粒子除去装置。
【請求項１４】
上記環状ノズル機構または上記ノズル機構から噴射させられた液体を回収して溜める液体槽を含んでおり、この液体槽に溜められた液体の液面に、上記気体経路を移動する気体が接触する、請求項１ないし１３のいずれかに記載の微粒子除去装置。
【請求項１５】
上記液体槽に溜められた液体は、適宜上記液体導入管に導入される、請求項１４に記載の微粒子除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、微粒子除去装置に関し、より詳しくは、気体中に含まれる煤煙等の微粒子を効果的に除去することができる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
燃焼排ガス等の気体に含まれる有害微粒子を除去するために、このような気体を水等の液体に接触させるように構成した有害微粒子除去装置が知られている。たとえば、特許文献１には、水中に配置したノズルから上記の気体を噴射させ、水中を泡となって上昇する間に気体中の有害微粒子が水に吸着されるようにした装置が開示されている。また、特許文献２には、有害微粒子を含む気体が通過する経路中に管端から水を噴射するようにしたノズルを配置し、水滴が有害微粒子に衝突する際にこの有害微粒子を吸着するようにした装置が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１４６５８１号公報
【特許文献２】
特開２０００−２２９２１７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示された装置では、有害微粒子を除去するべき気体の流量が多い場合には、あまり適当であるとはいえない。大量の気体を水中に送り込むためには、特別のポンプが必要であるし、また、大型の水槽が必要となり、また、有害物質によっては、水面に大量の泡が発生し、この泡を消失させるための付加的な機構が必要となるからである。この場合、装置は高コストで大型なものとなる。
【０００５】
また、特許文献２に開示された装置では、気体が通過する経路の断面にまんべんなくノズル噴射によって生じた水滴を充満させることが困難であり、有害微粒子の除去効率が概して低いという問題がある。有害微粒子の除去効率を高めるためには、ノズルの数を増やせばよいが、その場合、大幅なコスト上昇を招くことになる。
【０００６】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、より低コストで大量の気体中に含まれる微粒子を効率的に除去しうる微粒子除去装置を提供することをその課題とする。
【０００７】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００８】
すなわち、本願発明の第１の側面によって提供される微粒子除去装置は、微粒子を含む気体が通過させられる気体経路中に、気体の移動方向に沿うようにして液体導入管を設置するとともに、この液体導入管の周壁に環状スリットを設けて環状ノズル機構を形成し、この環状ノズル機構から液体が放射状に噴射するようにしたことを特徴としている。
【０００９】
好ましい実施の形態においては、上記液体経路には、円筒部が設けられているとともに、この円筒部の中心軸に沿うようにして上記液体導入管が設置されている。
【００１０】
このような構成において、環状スリットから噴射される液体は、液体導入管の全周にわたって連続する放射状液膜流れを形成した後、細かく砕けた液滴となって飛翔する。このような液滴の運動は、液体導入管を中心とした放射状であるため、気体経路の断面の隅々に及ぶことになる。したがって、煙や匂いの成分、あるいは有害物質からなる固体または液体微粒子は、これを含む気体が上記の気体経路を移動する間に、上記した放射状に飛翔する液滴によるカーテンを通過することとなり、その結果、このような微粒子は、上記液滴に吸着されて効果的に除去されることになる。
【００１１】
好ましい実施の形態においてはまた、上記環状ノズル機構は、上記環状スリットから噴射された液体がいったん衝突させられる微細液体形成手段をさらに備えている。
【００１２】
好ましい実施の形態において上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管の外周にフランジ状部材を固定するとともに、上記環状スリットから放射状に噴射された液体がいったん上記フランジ状部材に衝突するように構成されている。
【００１３】
この場合において好ましくは、上記環状スリットは、上記フランジ状部材を挟んで上記液体導入管の軸線方向に離れた２箇所に形成されており、上記液体導入管の縦断面における各環状スリットの軸線が上記フランジ状部材と交差するように傾斜させられている。また、好ましくは、上記フランジ状部材における上記液体が衝突する部位には、凹凸が形成されている。
【００１４】
このような構成においては、環状スリットから噴射されて連続する放射状液膜流れは、高速でフランジ状部材に衝突することによってより細かな液滴に砕かれ、こうして生成された微小な液滴が放射状に飛翔することになる。液滴が微小となればなるほど、気体経路中を移動する気体に混入する微粒子が液滴に接触し、かつこれに吸着される確率が高まり、その結果、微粒子除去効率が高められる。
【００１５】
他の好ましい実施の形態において上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管の周囲を取り囲むように配置されたリング状部材によって形成されており、好ましくは、このリング状部材における上記液体が衝突する部位には、凹凸が形成されている。このような条件を満足する適当な部材としては、たとえば、ねじ棒をリング状に曲げて形成された部材を選択することができる。
【００１６】
このような構成においては、環状スリットから噴射されて連続する放射状液膜流れは、高速でリング状部材に衝突することによって細かな液滴に砕かれる。上記のように、リング状部材の表面に凹凸が形成されている場合には、より細かな液滴が形成され、あたかも、気体経路が霧によって満たされたような状態を作りだすことができる。液滴が微小となればなるほど、気体経路中を移動する気体に混入する微粒子が液滴に接触し、かつこれに吸着される確率が高まり、その結果、微粒子除去効率が高められる。
【００１７】
好ましい実施の形態においてはさらに、上記環状ノズル機構から噴射させられた液体を回収して溜める液体槽を含んでおり、この液体槽に溜められた液体の液面に、上記気体経路を移動する気体が接触するように構成されている。
【００１８】
このような構成においては、液体槽の液面がこれに接触しつつ移動する気体流れによって波立てられ、気体に混入する微粒子が液面に接触する機会が増大し、このことによっても、微粒子除去効率が高められる。
【００１９】
好ましい実施の形態においてはまた、上記液体槽に溜められた液体は、適宜上記液体導入管に導入される。
【００２０】
本願発明の第２の側面によって提供される微粒子除去装置は、微粒子を含む気体が通過させられる気体経路中に、液体導入管を設置するとともに、この液体導入管の側壁に一列に並ぶノズル孔または一列に延びるスリットを設けてノズル機構を形成し、このノズル機構から噴射される液体がいったん衝突させられる微細液滴形成手段を備えていることを特徴としている。
【００２１】
好ましい実施の形態において、上記微細液滴形成手段は、上記液体導入管に対して所定間隔を隔てて配置された棒状部材によって形成されており、かつ、この棒状部材における上記液体が衝突させられる部位には、凹凸が形成されている。
【００２２】
好ましい実施の形態において上記棒状部材は、ねじ棒によって形成されている。
【００２３】
このような構成においても、本願発明の第１の側面について上述したのと同様に、ノズル機構から高速で噴射させられた液体がいったん棒状部材に衝突することにより、微小な液滴に砕かれる。棒状部材の表面に凹凸が存在する場合には、衝突時に形成される液滴の大きさはより小さくなり、気体経路を霧で充満させたような状態を簡単に作りだすことができる。液滴が微小となればなるほど、気体経路中を移動する気体に混入する微粒子が液滴に接触し、かつこれに吸着される確率が高まるので、この微粒子除去装置による微粒子除去効率は、きわめて高いものとなる。
【００２４】
本願発明のその他の特徴および利点は、図面を参照して以下に行なう詳細な説明から、より明らかとなろう。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２６】
図１および図２は、本願発明の第１の実施形態を示している。この微粒子除去装置Ａは、直方体形状のケーシング１を備えており、その天井壁１ａの一端側には吸気口１１が、他端側には排気口１２が設けられており、吸気口１１から導入した気体が排気口１２から排気されるまでの間に、気体に混入される煙、匂い、あるいは有害物質からなる固体、または液体微粒子が液体吸着の手法によって効果的に除去されるように構成されている。
【００２７】
吸気口１１と連通するようにして、天井壁１ａから円筒壁１３が垂下させられている。この円筒壁１３よりケーシング１の他端側において天井壁１ａから円筒壁１３の長さよりやや長寸で垂下する垂直壁１ｃと、この垂直壁１ｃの下端からケーシング１の一端側に向かって延びる水平壁１ｄが形成され、これら垂直壁１ｃ、水平壁１ｄ、天井壁１ａおよびケーシング１の側壁１ｂで上記円筒壁１３を囲い込むようにして、第１の微粒子除去空間Ｓ１が形成されている。
【００２８】
水平壁１ｄには、開口１ｅが形成されており、この開口１ｅには、上記円筒壁１３と同一軸線をもち、上記円筒壁１３よりやや小径の円筒状導風壁１４が挿通支持されている。この円筒状導風壁１４の上端は、上記円筒壁１３の下端部とほぼ対応して位置させられている。そして、円筒状導風壁１４および上記円筒壁１３の軸線に沿うようにして、第１の液体導入管２が配置されている。この第１の液体導入管２の上端は閉じており、かつ、この液体導入管２の上記円筒壁１３の内側に位置する部位には、この液体導入管２に導入された液体を円筒壁１３の内壁に向けて放射状に噴射する第１の環状ノズル機構２０が配置されている。この環状ノズル機構２０の詳細については、後述する。
【００２９】
上記環状ノズル機構２０から噴射されて円筒壁１３に衝突し、この円筒壁１３の内壁を伝って下方に移動する液体は、円筒壁１３と円筒状導風壁１４との間の環状すきま１３ａを介して水平壁１ｄに滴下するが、こうして水平壁１ｄに滴下した液体をさらにケーシング１の内壁を伝ってケーシング下部に導くための導液ガイド１５が、ケーシング１の内壁に沿うようにして形成されている。ケーシング１の下部は、液体貯留槽１６となっており、循環使用される液体が所定の液面高さを維持して貯められている。
【００３０】
ケーシング１における上記垂直壁１ｃよりも他端側には、上記垂直壁１ｃと平行な関係にある垂直隔壁１７が形成されている。この垂直隔壁１７の下端は、ケーシング１の底壁よりも上位に位置しつつ、上記液体貯留槽１６の液面よりも下位に位置し、上端は、ケーシング１の天井壁１ａに対して所定の間隔をあけて下位に位置する。そして、この垂直隔壁１７の上端を覆うようにして、図１の紙面と直交する軸線を共通軸線とする二重の半円筒壁１８ａ，１８ｂからなる導風壁１８が形成されている。外側の半円筒壁１８ａの一端縁は、上記垂直壁１ｃに接続されており、他端縁は、垂直方向下方に延びる延長壁となっている。この外側の半円筒壁１８ａよりもケーシング他端側の空間は、排気口１２に連通させられている。
【００３１】
図１から判るように、上記垂直隔壁１７よりもケーシング１の一端側であって、上記水平壁１ｃよりも下位の空間は、第２の微粒子除去空間Ｓ２となっている。すなわち、この第２の微粒子除去空間Ｓ２には、上記垂直隔壁１７よりもケーシング一端側であって、上記二重の半円筒壁１８ａ，１８ｂの下方に位置するように、第２の液体導入管３が垂直状に配置されている。この第２の液体導入管３の上端もまた閉じられており、第１の液体導入管２と同様にして、この第２の液体導入管３に導入された液体を放射状に噴射する第２の環状ノズル機構３０が配置されている。
【００３２】
上記第１の液体導入管２および第２の液体導入管３の下端は、ケーシング下方の液体貯留槽１６内を水平に延びる導液管４０に接続されており、この導液管４０には、ポンプ５０により、液体貯留槽１６中の液体が循環送出される。もちろん、ケーシング１には、適宜ドレン管（図示略）が接続されるとともに、新たな液体の供給管（図示略）が接続され、貯留液体の汚れの程度に応じて、適宜、液体貯留槽の液体を連続的に、あるいは、間欠的に入れ換えるようにすることができる。
【００３３】
この実施形態において、第１の液体導入管２および第２の液体導入管３に設けられる環状ノズル機構２０，３０の詳細を図２に示す。この環状ノズル機構２０，３０は、環状スリット２２，３２から放射状に噴射させられた液体がいったん衝突して微細化させられる微細液滴形成手段２ａ，３ａを備えている。より詳しくは、液体導入管２，３の外周には、水平のフランジ状部材２１，３１が固定されているとともに、このフランジ状部材２１，３１の上方および下方において、液体導入管２，３に環状スリット２２，３２が形成されている。この環状スリット２２，３２は、液体導入管２，３の縦断面において、上記フランジ状部材２１，３１と交差するように傾斜させられている。これにより、環状スリット２２，３２から噴射させられた液体は、いったんフランジ状部材２１，３１に衝突させられる。環状スリット２２，３２は、液体導入管２，３の外周をとぎれなく連続することが最も好ましいが、もちろん、ある程度の途切れ部が存在していてよい。図に示す実施形態では、フランジ状部材２１，３１の上下にそれぞれ１つの環状スリット２２，３２が設けられているが、液体導入管２，３の軸線方向に離れて複数設けられていても良い。本願発明において環状スリット２２，３２とは、液体導入管２，３の周囲から、全体として液体が放射状に噴出されるようになっていることを意味する。
【００３４】
上記環状ノズル機構２０，３０においては、環状スリット２２，３２から放射状液膜を形成して高速で噴射される液体は、いったんフランジ状部材２１，３１に衝突することによって強制的に砕かれて細かな液滴となってさらに放射状に飛翔する。このように液体導入管２，３を中心として放射状に飛翔する液滴は、液体導入管２，３の周囲にまんべんなく行き渡り、高速で飛翔する液滴によるカーテンを形成する。なお、上記フランジ状部材２１，３１おける液体が衝突する部位に凹凸（図示略）を形成しておくと、液体の衝突に際しての液体の微細化がより高度に達成されることが確認されている。
【００３５】
吸気口１１から導入された微粒子混じりの気体は、第１の微粒子除去空間Ｓ１において、第１の液体導入管２に形成された第１の環状ノズル機構２０によって形成された上記の微細液滴によるカーテンを通過する。フランジ状部材２１に衝突することにより、環状スリット２２から噴射させられた液体は、確実に、細かな液滴とされているから、この第１の微粒子除去空間Ｓ１を移動する気体の抵抗となることはなく、また、この液滴は高速で上記円筒壁１３の断面に行き渡るカーテンを形成するから、上記気体中に含まれる微粒子が液滴に接触して吸着される機会が著しく大きい。したがって、液体中に含まれる煙、匂い、有害物質等の固体あるいは液体からなる微粒子は、きわめて効率的に除去される。
【００３６】
第１の環状ノズル機構２０から噴射させられ、かつ、上記のように微粒子吸着作用をした液体は、円筒壁１３の内壁に衝突し、重力によって水平壁１ｄ上に至り、そして、導液ガイド１５を伝って液体貯留槽１６に戻される。
【００３７】
第１の微粒子除去空間Ｓ１を通過した気体は、さらに、第２の微粒子除去空間Ｓ２を通過する。このとき、気体の流れは、液体貯留槽１６の液面でＵターンし、上記二重の半円筒壁１８ａ，１８ｂからなる導風壁１８に導かれてケーシング１の他端側に向かうが、この際にも、第２の液体導入管３に形成された第２の環状ノズル機構３０から噴射され、微細な液滴とされた液体による微粒子吸着作用を受ける。このように、この実施形態では、２段階にわたって微粒子除去作用が行われる。さらに、第２の微粒子除去空間Ｓ２をＵターンしつつ移動する気体の流れにより、液体貯留槽１６の液面が波立たされる。これにより、気体が液体貯留槽１６の液面に接触する面積が拡大され、このことによっても、気体中の微粒子除去作用が行われる。このようなことから、この実施形態にかかる微粒子除去装置Ａの微粒子除去効率は、きわめて優れたものとなる。こうして、微粒子が除去された気体は、ケーシング１の天井壁１ａの他端側に設けた排気口１２から、排気される。
【００３８】
なお、この微粒子除去装置Ａは、燃焼排気ガス、あるいは調理場から生じる煙を含んだ空気等、固体状、あるいは液体状の微粒子を含んだあらゆる気体における微粒子除去に適用することができる。また、使用する液体としては、水のほか、目的の微粒子吸着に適した液状薬剤、あるいは薬剤を含んだ水等が用いられる。
【００３９】
微粒子除去空間Ｓ１，Ｓ２およびその内部に配置される環状ノズル機構２０，３０としては、上記した実施形態のものに限定されるものではない。たとえば、図３に示す構成は、ケーシング１の天井壁１ａに設けた吸気口１１から連続して垂下する円筒壁１３の外側にケーシング１の内壁あるいはケーシング１に適宜設けた隔壁により、環状空間を形成する一方、円筒壁１３の中心に垂直状の液体導入管２を配置するとともに環状ノズル機構２１を設け、円筒壁１３における環状ノズル機構２０から噴射される液体が衝突する部位をメッシュ１３ｂとし、このメッシュ１３ｂを通過した液体を回収するようにしている。
【００４０】
また、この図３に示す例では、環状ノズル機構２０は、液体導入管２に単に環状スリット２２を設けた構成としているが、もちろん、環状ノズル機構２０の構成としては、図２に示した構成をも採用しうる他、種々の変更が可能である。この図３に示される構成においては、環状ノズル機構２０から噴射させられた液体の飛翔速度が円筒壁１３に衝突することによって減じられることがなくなるので、高い微粒子除去効率を期待することができる。
【００４１】
図４および図５は、図２または図３に示した構成の微粒子除去装置に適用される環状ノズル機構２０，３０のさらに他の実施形態を示している。この実施形態においても、液体導入管２，３に形成した環状スリット２２，３２から噴射させられる液体がいったん高速で衝突してより微細化させられる微細液滴形成手段２ａ，３ａを備えている。より詳しくは、図４に表れているように、液体導入管２，３に環状スリット２２，３２を形成するとともに、この環状スリット２２，３２の半径方向外方を取り囲むように、リング状部材２３，３３が支持されている。このリング状部材２３，３３は、上記液体導入管２，３の外周から延出する所定本数のステー２４，３４を介して支持されている。このリング状部材２３，３３には、上記環状スリット２２，３２から噴射させられた液体が衝突する部位に凹凸が形成されていることが好ましいのであるが、この実施形態では、リング状部材２３，３３として、ねじ棒をリング状に曲げ形成したものを用いることにより達成している。すなわち、ねじ棒の外周に形成されているねじ山が、高速で衝突させられた液体をより微細化するのに適当な凹凸として機能する。
【００４２】
上記構成の環状ノズル機構２０，３０においては、環状スリット２２，３２から放射状に噴射させられた液体は、高速で上記リング状部材２３，３３に衝突し、その際、きわめて微細な液滴に砕かれる。これにより、気体経路は、微細な液滴が形成する霧で充満させられたような状態が容易に形成される。その結果、気体経路中を移動する気体に混入する微粒子が液滴に接触し、かつこれに吸着される確率が高まることから、微粒子除去効率が高められる。
【００４３】
図６は、本願発明に係る微粒子除去装置の気体経路中に配置されるノズル機構のさらに他の実施形態を示している。このノズル機構２０′，３０′は、気体経路中に適当な姿勢で配置した液体導入管２，３の側面に、一列に並ぶ複数のノズル孔２６，３６を形成するとともに、これらのノズル孔２６，３６から噴射させられる液体がいったん衝突させられる微細液滴形成手段２ａ，３ａを備えて構成されている。この実施形態において微細液滴形成手段２ａ，３ａは、上記液体導入管２，３に対して所定間隔を隔てて配置された棒状部材２５，３５によって形成されている。この棒状部材２５，３５における上記ノズル孔２６，３６から噴射させられる液体が衝突する部位には凹凸が形成されていることが、より微細な液滴を形成する上で好ましい。この実施形態では、棒状部材２５，３５として、ねじ棒を用いることによって実現している。すなわち、ねじ棒の表面に形成されるねじ山が、上記の凹凸として機能する。
【００４４】
この構成の微粒子除去装置においても、ノズル孔２６，３６から噴射させられる液体が高速で凹凸のある部材に衝突することにより、より微細な液滴が形成されるのであり、気体通路を微細な液滴からなる霧で充満させることができる。これにより、気体中の微粒子がより効率よく除去されることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の微粒子除去装置の一例の全体構成を示す縦断面図である。
【図２】図１の実施形態に用いられる環状ノズル機構の詳細を示す拡大縦断面図である。
【図３】環状ノズル機構の他の実施形態を示す縦断面図である。
【図４】環状ノズル機構のさらに他の実施形態を示す斜視図である。
【図５】図４に示す環状ノズル機構の縦断面図である。
【図６】本願発明の微粒子除去装置に用いられるノズル機構のさらに他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
Ａ    微粒子除去装置
１    ケーシング
２    第１の液体導入管
３    第２の液体導入管
２ａ，３ａ    微細液滴形成手段
１１    吸気口
１２    排気口
１３    円筒壁
１４    円筒状導風壁
１５    導液ガイド
１６    液体貯留槽
１７    垂直隔壁
１８    導風壁
２０，３０    環状ノズル機構（第１および第２の）
２０′，３０′    ノズル機構
２１，３１    フランジ状部材
２２，３２    環状スリット
２３，３３    リング状部材
２４，３４    ステー
２５，３５    棒状部材
２６，３６    ノズル孔
４０    導液管
５０    ポンプ
【図１】
2004314002.tif 000003
【図２】
2004314002.tif 000004
【図３】
2004314002.tif 000005
【図４】
2004314002.tif 000006
【図５】
2004314002.tif 000007
【図６】
2004314002.tif 000008