(57)【要約】【課題】サスペンションの荷重曲げ部および角度調整部の折り曲げを精度よく行うこと。【解決手段】サスペンションの荷重曲げ部２０２及び角度調整部には、折り曲げ方向にレーザ照射領域２１１が設定されており、このレーザ照射領域２１１に所定の長さおよび形状のレーザ光を照射する。これにより、荷重曲げ部２０２および角度調整部がレーザの照射に従い湾曲するので、当該レーザ照射を制御することで精度よく折り曲げを行うことができ、適正な荷重および角度を得ることができる。【選択図】　　　図５
2004082161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
梁状の薄板にレーザ光を照射して薄板を折り曲げるにあたり、
前記薄板に対して前記折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを特徴とする薄板の成形方法。
【請求項２】
梁状の薄板にレーザ光を照射して薄板を折り曲げるにあたり、
前記薄板が湾曲するようにレーザ光を照射することを特徴とする薄板の成形方法。
【請求項３】
ハードディスクドライブのサスペンションのディスクを押し付ける荷重を測定する荷重測定ステップと、測定した荷重から荷重調整量を取得する荷重調整量取得ステップと、からなる第一ステップと、
ハードディスクドライブのサスペンションの角度を測定する角度測定ステップと、測定した角度から角度調整量を取得する角度調整量取得ステップと、からなる第二ステップと、
の一方または両方が含まれ、
サスペンションの荷重曲げ部および／または角度調整部の部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておき、前記荷重調整量および／または角度調整量に対応する照射形状組み合せを選択する照射形状組み合せ選択ステップと、
選択した照射形状組み合せに基づいてレーザ照射するレーザ照射ステップと、を含むことを特徴とするサスペンションの修正方法。
【請求項４】
全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部、およびこれに続く直線部からなり、
前記ヘッド搭載部内を中心としてＸＹ軸を設定すると共に、Ｘ軸をジンバル長手方向としてＸＹ座標に領域Ｉ〜領域ＩＶを形成し、この領域Ｉ及び領域ＩＩＩ、または領域ＩＩ及び領域ＩＶに、それぞれ角度をプラス修正するレーザ照射領域、またはマイナス修正するレーザ照射領域を設け、
前記プラス修正領域またはマイナス修正領域にレーザ照射することで角度調整を行うことを特徴とするサスペンションの修正方法。
【請求項５】
全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部、およびこれに続く直線部からなり、
前記ばね部内を中心としてジンバル長手方向の直交方向に境界を設けて、前記ヘッド搭載部側に第一領域を形成し、反対側に第二領域を形成し、この第一領域にピッチ角をプラス修正するレーザ照射領域、第二領域にピッチ角をマイナス修正するレーザ照射領域を設け、
前記プラス修正領域またはマイナス修正領域にレーザ照射することで角度調整を行うことを特徴とするサスペンションの修正方法。
【請求項６】
少なくとも一部が湾曲状態で且つ梁状の薄板であり、前記湾曲方向と略同一な方向にレーザ光の照射軌跡が直線的に形成されていることを特徴とする薄板。
【請求項７】
サスペンションのディスクに押し付ける荷重を測定する荷重測定手段と、
サスペンションの磁気ヘッド搭載部の角度を測定する角度測定手段と、
の一方または両方を有し、更に、
荷重測定手段および／または角度測定手段により測定した荷重および／または角度に基づいて、サスペンションの荷重および／または角度の修正領域に対し、折り曲げ方向と略同一方向となるようにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、
搬送ステージ上にサスペンションを固定し、荷重測定手段および／または角度測定手段と、レーザ照射手段とに対して位置決めしながら搬送する搬送手段と、を有することを特徴とするサスペンションの修正装置。
【請求項８】
前記レーザ照射手段にはレーザマーカが含まれ、このレーザマーカによるレーザ照射形状を照射形状として記憶していることを特徴とする請求項７に記載のサスペンションの修正装置。
【請求項９】
サスペンションの荷重曲げ部のいずれかの部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておく第一手順と、
サスペンションの角度調整部のいずれかの部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておく第二手順と、
の一方のみまたは両方が含まれ、
測定したハードディスクドライブのヘッドをディスクに押し付ける荷重から取得した荷重調整量および／または角度調整量をもとに、これに対応する照射形状の組み合せを選択し、レーザ照射に用いる手順をコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ハードディスクドライブの磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションの荷重および角度を適正に修正する薄板の成形方法、薄板およびサスペンションの修正装置、並びに修正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、ハードディスクドライブの記録密度が飛躍的に向上し、これに伴い、磁気ヘッドを支持するサスペンションの製造精度が相当に厳しくなってきている。即ち、磁気ヘッドは、所定の圧力によりディスク上に押し当てられ且つディスクの回転時に所定間隔を以って空力的に浮上するため、サスペンションの荷重および微小なロール角、ピッチ角が浮上姿勢に大きな影響を及ぼす。このため、各サスペンション毎に製造工程中にて、前記荷重および前記ロール角、ピッチ角の修正を行なうようにしている。ここで、従来から前記荷重やロール角およびピッチ角の修正は、フレキシャ先端のアウトリガー部を把持し、曲げ・ねじり等の変位を与えることで機械的に行うようにしていたが、機械的に把持するので、製品形状に合わせたツールの準備とツール移動・把持等を含む加工時間がかかり、修正作業が面倒になるという問題を抱えていた。
【０００３】
このような問題に対して、近年ではレーザ光線をサスペンションに照射し、当該部位の熱変形を利用して荷重修正及び、ロール角およびピッチ角の修正を行う技術が提案されている。このような修正技術としては、例えば特開２０００−３３９８９４号公報、特公平７−７７０６３号公報等に開示のものが知られている。特開２０００−３３９８９４号公報に係る修正方法では、磁気ヘッドを保持するフレキシャのアウトリガーに対し、当該アーム長手方向に垂直または斜め（フレキシャの幅方向）にレーザ走査を行うことで、走査部位にて折り曲げ変形を起こし、ロール角およびピッチ角の修正を行う。特に、前記レーザ光は、アウトリガーが折り曲げ変形を起こす方向に対して略垂直方向に走査され、且つ変形を自然に行わせしめるため、アウトリガー端縁からレーザを進入させ、対向する端縁に抜けるようにレーザ走査している。また、特公平７−７７０６３号公報に係る成形方法では、スプリングアームの幅方向にレーザ光を照射することで荷重修正を行い、規定の接触圧を得るようにしている。この場合も、スプリングアームの端縁からレーザを進入させ、対向する端縁に抜けるようにレーザ照射を行うようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の修正方法では、折り曲げ変形を起こす方向に対して略垂直或いは斜めにレーザ走査を行うようにしているため、折り曲げ変位を精度良く調整するのが困難な問題点がある。即ち、サスペンションを横方向から見た場合、レーザ走査した部位を支点としてアウトリガーが折り曲がることになり、この走査部位の誤差がサスペンション端部に大きく現れてしまう。サスペンションは、上述のように極めて高精度に成形する必要があるところ、係る修正方法では微小な修正を行うのが困難か、或いは修正と検査を多数回繰り返す必要があり、生産性が極めて悪くなる。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、サスペンション等の板材の折り曲げ変位を精度良く調整することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１の発明は、梁状の薄板にレーザ光を照射して薄板を折り曲げるにあたり、前記薄板に対して前記折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを特徴とする。
【０００７】
薄板に折り曲げ方向と略同一方向にレーザ光を照射すると、薄板が湾曲して折り曲がるようになる。このため、薄板の折り曲げをレーザ光の照射長さ等により精密に制御できるようになる。この成形方法は、薄板の折り曲げ修正に好適であるが、通常の曲げ成形にも用いられる。なお、以下同様であるが、直線的に照射する態様には、好ましくは一直線にレーザ照射することであり、これ以外にも点線状にレーザ照射すること等が含まれる。また、略面一となる特定物体は、例えばハードディスクドライブのディスクを挙げられるが、これに限定されない。ハードディスクドライブの場合、梁状の薄板にはサスペンション等が該当する。特に、ハードディスクドライブの場合は、前記梁状の薄板は、略面一となる特定物体面に対して相対する。また、前記薄板には、金属製のものや樹脂製のものが含まれる。
【０００８】
請求項２の発明は、梁状の薄板にレーザ光を照射して薄板を折り曲げるにあたり、前記薄板が湾曲するようにレーザ光を照射することを特徴とする。
【０００９】
従来のように、薄板を角度を持って折り曲げるよりも、湾曲して折り曲げたほうが、曲がり量を精密に制御できる。このため、例えばハードディスクドライブのサスペンションの折り曲げを精密に行う場合に好適である。
【００１０】
なお、上記構成において、更に、前記薄板は、その表面に配線領域を有し、前記レーザ光は、配線領域以外の部分に照射される場合がある。配線領域にレーザ光を照射すると、熱により断線したり或いは接続不良等を起こすが、この配線領域を避けてレーザ光を照射すれば係る問題を防止できる。薄板上に配線領域が形成される場合とは、例えば薄板上に電子部品を搭載し、これと接続する配線を表面に形成するときが該当する。
【００１１】
なお、上記構成において、更に、前記レーザ光の照射始点または終点は、前記薄板上に設定するようにしても良い。レーザ光の照射始点または終点が薄板上に存在すると、始点または終点において加工熱が周囲に拡散するので、薄板の端縁付近の変色や焼け焦げ等の不具合が生じなくなる。
【００１２】
なお、上記構成において、前記レーザ光は、少なくともレーザ照射痕を生じない程度までデフォーカスされて前記薄板に照射されるようにしても良い。即ち、この発明はレーザ光により表面を改質することで湾曲成形を行うことを目的とするので、照射痕を生じるまで加熱する必要はない。このため、レーザ照射痕が生じない程度までデフォーカスすることで、照射面積を大きくし、成形速度を速めることもできる。
【００１３】
なお、上記構成において、更に、前記レーザ光はガルバノヘッドから照射されるようにするのが好ましい。ガルバノヘッドによれば、高速の走査が可能になる。また、上記構成において、前記薄板としては、例えばハードディスクドライブのサスペンションを挙げることができる。ハードディスクドライブのサスペンションは、ディスクに対して一定の荷重で押圧され、また磁気ヘッド搭載部は安定した浮上姿勢をとらなければならないため、一定の角度を保つ必要がある。従って、精度の高い曲げ成形が要求されるところ、この発明のように湾曲して曲げ成形するようにすれば、高い精度で曲げ成形が可能となる。
【００１４】
請求項３の発明は、ハードディスクドライブのサスペンションのディスクを押し付ける荷重を測定する荷重測定ステップと、測定した荷重から荷重調整量を取得する荷重調整量取得ステップと、からなる第一ステップと、ハードディスクドライブのサスペンションの角度を測定する角度測定ステップと、測定した角度から角度調整量を取得する角度調整量取得ステップと、からなる第二ステップと、の一方または両方が含まれ、サスペンションの荷重曲げ部および／または角度調整部の部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておき、前記荷重調整量および／または角度調整量に対応する照射形状組み合せを選択する照射形状組み合せ選択ステップと、選択した照射形状組み合せに基づいてレーザ照射するレーザ照射ステップとを含むことを特徴とする。
【００１５】
この発明において、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することは、上記の通り、湾曲させて折り曲げ精度の向上を図るものである。また、一般的なレーザマーカで用いる照射形状でレーザ光の照射位置を表し、この照射形状の組み合せにより多数の荷重調整量および／または角度調整量に対応する照射形状組み合せをテーブルにしておく。この中から実際に修正する荷重調整量および／または角度調整量に対応する照射形状組み合せを選択し、これに基づいてレーザ照射を行う。このようにすれば、サスペンションの荷重調整を簡単かつ高精度に行うことができる。なお、第一ステップと第二ステップの両方を用いる場合は、これらの順番は逆でも良い。
【００１６】
請求項４の発明は、全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部およびこれに続く直線部からなり、前記ヘッド搭載部内を中心としてＸＹ軸を設定すると共に、Ｘ軸をジンバル長手方向としてＸＹ座標に領域Ｉ〜領域ＩＶを形成し、この領域Ｉ及び領域ＩＩＩ、または領域ＩＩ及び領域ＩＶに、それぞれ角度をプラス修正するレーザ照射領域、またはマイナス修正するレーザ照射領域を設け、前記プラス修正領域またはマイナス修正領域にレーザ照射することで角度調整を行うことを特徴とする。
【００１７】
請求項５の発明は、全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部およびこれに続く直線部からなり、前記ばね部内を中心としてジンバル長手方向の直交方向に境界を設けて、前記ヘッド搭載部側に第一領域を形成し、反対側に第二領域を形成し、この第一領域にピッチ角をプラス修正するレーザ照射領域、第二領域にピッチ角をマイナス修正するレーザ照射領域を設け、前記プラス修正領域またはマイナス修正領域にレーザ照射することで角度調整を行うことを特徴とする。
【００１８】
請求項６の発明は、少なくとも一部が湾曲状態で且つ梁状の薄板であり、前記湾曲方向と略同一な方向にレーザ光の照射軌跡が直線的に形成されていることを特徴とする。なお、レーザ光の照射軌跡は、目視できるか否かは問わない。なお、上記構成において、更に、前記薄板上には配線領域が形成されており、前記照射軌跡は、前記配線領域以外の部分に形成されている場合がある。このように配線領域以外にレーザ光の照射領域を形成することで、配線領域がレーザ光の熱による悪影響を受けないようになる。このため、配線が断線等を起こすのを有効に防止できる。なお、薄板上に配線領域が形成される場合とは、例えば薄板上に電子部品を搭載し、これと接続する配線を表面に形成するときが該当する。
【００１９】
なお、この発明には、ハードディスクドライブのサスペンションの一部が湾曲状態となり、この湾曲方向と略同一な方向にレーザ光の照射軌跡が直線的に形成されているサスペンションが含まれる。
【００２０】
なお、この発明のサスペンションでは、全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部、およびこれに続く直線部からなり、前記ヘッド搭載部内を中心としてＸＹ軸を設定すると共に、Ｘ軸をジンバル長手方向としてＸＹ座標に領域Ｉ〜領域ＩＶを形成し、この領域Ｉ及び領域ＩＩＩ、または領域ＩＩ及び領域ＩＶに、角度をプラス修正したレーザ照射軌跡、またはマイナス修正したレーザ照射軌跡を有することを特徴とする。
【００２１】
なお、この発明のサスペンションでは、全体的に薄板状に形成されると共に、ヘッド搭載部の一端からばね部を介してアウトリガーに連結し、このアウトリガーは前記ヘッド搭載部の両側に至る曲り部、およびこれに続く直線部からなり、前記ばね部内を中心としてジンバル長手方向の直交方向に境界を設けて、前記ヘッド搭載部側に第一領域を形成し、反対側に第二領域を形成し、この第一領域にピッチ角をプラス修正したレーザ照射軌跡、または第二領域にピッチ角をマイナス修正したレーザ照射軌跡を有することを特徴とする。
【００２２】
請求項７の発明は、サスペンションのディスクに押し付ける荷重を測定する荷重測定手段と、サスペンションの磁気ヘッド搭載部の角度を測定する角度測定手段と、の一方または両方を有し、更に、荷重測定手段および／または角度測定手段により測定した荷重および／または角度に基づいて、サスペンションの荷重および／または角度の修正領域に対し、折り曲げ方向と略同一方向となるようにレーザ光を照射するレーザ照射手段と、搬送ステージ上にサスペンションを固定し、荷重測定手段および／または角度測定手段と、レーザ照射手段とに対して位置決めしながら搬送する搬送手段とを有することを特徴とする。
【００２３】
即ち、この発明では搬送手段によりサスペンションを荷重測定手段、角度測定手段に対して位置決めし、荷重および角度を測定し、引き続き搬送手段によりレーザ照射手段に対して位置決めし、前記測定結果に基づき前記レーザ照射手段によりサスペンションの所望位置にレーザ照射する。このとき、折り曲げ方向と略同一方向にレーザ照射を行う。サスペンションに折り曲げ方向と略同一方向にレーザ光を照射すると、サスペンションが湾曲して折り曲がるようになる。このため、サスペンションの荷重および角度の調整を精密に制御できるようになる。
【００２４】
請求項８の発明は、上記構成において、前記レーザ照射手段にはレーザマーカが含まれ、このレーザマーカによるレーザ照射形状を照射形状として記憶していることを特徴とする。この発明は、一般的なレーザマーカをレーザ照射手段に応用し、このレーザマーカの有する照射形状としてレーザ照射形状を記憶しておくことで、比較的簡単に特定のレーザ照射形状をサスペンションにレーザ照射できる。
【００２５】
なお、上記構成において、更に、前記照射形状を組み合せてレーザ照射するにあたり、照射形状同士の送りピッチ量を実質的に０としてもよい。照射形状同士の送りピッチ量を実質的に０とすることで、複数の照射形状により同じ位置にレーザ照射できる。このため、照射形状の組み合せが簡単に行える。
【００２６】
また、上記構成において、前記レーザ照射手段の修正工程下流に、更に、サスペンションのディスクに押し付ける荷重を測定する荷重測定手段と、サスペンションの磁気ヘッド搭載部の角度を測定する角度測定手段とを設けても良い。
【００２７】
レーザ照射手段によりサスペンションの修正を行ったのち、搬送手段により修正工程下流に設けた荷重測定手段、角度測定手段により再測定を行う。この再測定により、規定の荷重および角度が得られていないと判った場合は、再びレーザ照射手段により修正を行ってもよい（その場合はレーザ照射部位は同じ部分ではなく既照射部位の近傍であるのが好ましい）。なお、レーザ照射手段の修正工程下流に荷重測定手段、角度測定手段が存在していれば良いので、搬送装置を逆移動して、もとの荷重測定手段、角度測定手段に戻すようにしても良い。このようにすれば、サスペンションの修正を完全に行うことができる。
【００２８】
更に、上記構成において、前記レーザ照射装置のサスペンションをはさんで反対側に別のレーザ照射装置を設けるようにしても良い。サスペンションをはさんで反対側に別のレーザ照射手段を設けることで、サスペンションの両側からレーザ光を照射できることになる。これにより、一方側からのレーザ照射では修正方向が限定されてしまうワーク形状でも、修正レンジを拡大することができる。更に再修正もできる。
【００２９】
請求項９の発明は、サスペンションの荷重曲げ部のいずれかの部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておく第一手順と、サスペンションの角度調整部のいずれかの部位に、折り曲げる方向と略同一な方向にレーザ光を直線的に照射することを照射形状により定義し、これらの照射形状を組み合せたものを複数用意しておく第二手順と、の一方のみまたは両方が含まれ、測定したハードディスクドライブのヘッドをディスクに押し付ける荷重から取得した荷重調整量および／または角度調整量をもとに、これに対応する照射形状の組み合せを選択し、レーザ照射に用いる手順をコンピュータに実行させるプログラムである。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。
【００３１】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係るサスペンション修正装置を示す構成図である。図２は、図１に示したサスペンション修正装置の構成を示すブロック図である。図３は、サスペンションを修正装置に固定した状態を示す説明図である。同図に示すように、このサスペンション修正装置１００は、荷重測定装置１と、角度測定装置２と、レーザマーカ３と、サスペンション２００を搬送する搬送装置４と、制御用コンピュータ５と、レーザマーカ本体６とを有する。なお、この実施の形態ではレーザマーカ３が発明に好適であるため、一例として開示したが、レーザ光を照射する手段はこれに限定されない（以下同様）。
【００３２】
搬送装置４は、搬送ステージ７上にサスペンション２００を仮固定した状態で移動し、荷重測定装置１、角度測定装置２、レーザマーカ３の下方にそれぞれ位置決め可能となっている。搬送ステージ７は、サーボモータ８、ボールねじ９および直動案内１０により移動制御される。なお、前記仮固定の方法は、例えばサスペンション２００を搬送ステージ７上に冶具１１（図３中点線で示す）により挟んで固定する。これ以外の仮固定手段としては、吸引装置、ボルト止め、マグネット等の各種手段を挙げることができる。搬送ステージ７や仮固定手段（１１）は、そのコントローラー（図示省略）が制御用コンピュータ５に接続され、当該制御用コンピュータ５により実質的に制御される。
【００３３】
荷重測定装置１は、サスペンション２００の特定部位を所定量押圧するプローブ１２と、プローブ１２に設けたロードセル１３とから構成される。プローブ１２の上下移動は、直動案内を備えたサーボモータ１４（またはステッピングモータ）およびボールねじ１５の組み合せ、或いは図示しない油圧シリンダーから構成した上下移動用のアクチュエータにより行う。プローブ１２の先端１２ａは略球形状となっており、サスペンション２００の磁気ヘッド搭載部（具体例は後述する）に押し当てられる。このときの押し込み量は一定であり、そのときのロードセル１３の出力信号は制御用コンピュータ５に送られる。制御用コンピュータ５は、前記出力電圧からサスペンション２００の荷重を演算測定する。
【００３４】
角度測定装置２は、例えばサスペンション２００の磁気ヘッド搭載部に対してレーザ光を照射するレーザ光源１６と、前記磁気ヘッド搭載部で反射したレーザ光を受けるＣＣＤ１７およびアンプ１８を有する受光部１９とから構成される（実際には同一の筐体内に収容される）。ＣＣＤ１７の出力信号は制御用コンピュータ５に送信され、制御用コンピュータ５では前記レーザ光の反射光の位置によりサスペンション２００の曲り角度を測定する。荷重測定装置１と角度測定装置２とは、レーザマーカ３の修正工程の上流に位置している。
【００３５】
一般的なレーザマーカは、ワークに対してレーザ光を照射し、吸収熱によりワーク表面を蒸発または改質、変色させることで、当該レーザ照射部位とレーザ照射していない部位とを異なる見え方に加工するものである。この発明では、これに限定されるものではないが、レーザマーカ３を応用して修正装置を構成するため、マーカ本来のアプリケーションをそのまま使用するのが好ましい。即ち、文字等のマーク（フォント）としてサスペンション２００に対するレーザ照射形状を登録しておけば済む。なお、通常のマークのように所定ピッチずつ送りながら加工を行うと（例えば文章のように文字を所定ピッチ送りで形成すると）、各種レーザ照射形状を複数組み合せて照射できないので、ピッチ「０」の状態でレーザ光の照射を行う。
【００３６】
前記レーザマーカ３は、レーザマーカヘッド２０と、光ファイバー２１を介して接続したレーザマーカ本体６とからなる。レーザマーカ３本体内で発振したレーザ光は、光ファイバー２１内を伝送し、レーザマーカヘッド２０からサスペンション２００に対して照射される。レーザマーカヘッド２０は、ＸＹ方向のガルバノスキャナミラー２２によりレーザビームを偏向させ、集光レンズ２３でエネルギー密度を高めたレーザ光をサスペンション２００に対して照射する。レーザマーカ本体６には、レーザ発振部２４およびコントローラー２５が内蔵されている。レーザ発振部２４は、発振媒体（例えばＹＡＧ等）をフラッシュランプ、ＬＤ（レーザダイオード）等により励起させてレーザ光を出射するものである。また、コントローラー２５は、レーザ発振とミラー駆動を同期させ、特定部位にレーザ光を照射するように前記レーザマーカヘッド２０を制御する。特に、シングルモードレーザを用いることでレーザ径を小さくできるので、後述するように配線間の狭い部分であっても確実に照射できる。また、ガルバノヘッドからのレーザ光を長焦点距離レンズで集光し、深い焦点深度が得られるように調整すれば、レーザマーカヘッド２０とサスペンション２００との距離が変化しても、レーザ光のエネルギー密度の変化は少ない。このため、焦点距離の精密な制御を行わずに済む。
【００３７】
制御用コンピュータ５は、サスペンション２００に要求される荷重設定値を記憶する荷重設定値記憶部５１と、荷重測定装置１の出力信号と前記設定した荷重設定値を比較して荷重調整量を計算する荷重調整量計算部５２と、各荷重に対応する各種の荷重キャラクタ（照射形状）の組み合せを記憶した荷重データベース５３と、適正な荷重に修正するため複数の荷重キャラクタの組み合せから特定の荷重キャラクタの組み合せを選択する荷重キャラクタ組み合せ選択部５４とを有する。
【００３８】
また、制御用コンピュータ５は、サスペンション２００に要求される角度設定値を記憶する角度設定値記憶部５５と、角度測定装置２の出力信号と前記設定した角度設定値を比較して角度調整量を計算する角度調整量計算部５６と、各角度に対応する各種の角度キャラクタ（照射形状）の組み合せを記憶した角度データベース５７と、適正な角度に修正するため複数の角度キャラクタの組み合せから特定の角度キャラクタの組み合せを選択する角度キャラクタ組み合せ選択部５８とを有し、更に、前記荷重キャラクタ組み合せ選択部５４の選択した荷重キャラクタおよび角度キャラクタ組み合せ選択部５８の選択した角度キャラクタを加算する加算部５９を有する。上記制御用コンピュータ５は、上記機能を当該コンピュータのＣＰＵ、メモリ等のハードウエアおよび所定のソフトウエアにより実現する。
【００３９】
また、レーザマーカ本体６のコントローラー２５には、キャラクタ設定コードを格納するキャラクタ設定コード記憶部６１と、キャラクタコードをキャラクタ設定コードを参照してデコードし、キャラクタを形状の情報に変換するキャラクタ変換部６２と、変換された形状の情報から実際にレーザ照射する位置形状に変換するレーザ照射位置変換部６３とが設けられている。上記キャラクタ変換部６２およびレーザ照射位置変換部６３は、汎用コンピュータと所定のソフトウエアにより同様の機能を有するものとして構成できる。
【００４０】
次に、サスペンション修正装置により修正を行うサスペンションについて説明する。図４は、図１および図２のサスペンション修正装置による修正対象となるサスペンションの一例を示す斜視図である。このサスペンション２００は、ベースプレート２０１に荷重曲げ部２０２を介してロードビーム２０３が設けられたものであり、当該ロードビーム２０３の先端にはフレキシャ２０４がスポット溶接されている。フレキシャ２０４は、図６に示すように、ジンバルばね部２０５、アウトリガー２０６，２０６、サスペンションアーム取付部２０７、磁気ヘッド搭載部２０８から構成されている。磁気ヘッド部２０８には、ロードビーム先端に形成されたディンプル２０８ａが接している。ディンプル２０８ａは、ヘッドを搭載した際、その略中央に位置する。
【００４１】
サスペンションアーム取付部２０７は、ロードビーム２０３に取り付けられる。フレキシャ２０４は、ステンレス板を所定形状にエッチングまたは打ち抜きプレスで形成される。浮上のためのスライダ２０９は磁気ヘッド搭載部２０８に設けられ、当該スライダ２０９端部には磁気ヘッド２１０が設けられる（図中点線で示す）。なお、ベースプレート２０１とロードビーム２０３は一体成形ではなく別部材をスポット溶接で接合する構成であっても良い。このとき、ロードビーム２０３と荷重曲げ部２０２が一体となり、荷重曲げ部２０２の一部または全体をパーシャルエッチングなどにより板厚を薄くした構造とすることができる。または、別体である荷重曲げ部２０２をロードビーム２０３にヒンジ状に固定した構造とし、そして、この荷重曲げ部２０２をベースプレート２０１にスポット溶接により固定するようにしても良い。
【００４２】
前記荷重曲げ部２０２は、磁気ヘッド搭載部２０８において適正な荷重が得られるように予めプレス等でピッチ方向に曲げ成形されている。サスペンション２００の曲げ成形は上述したように機械的に行われているため、磁気ヘッド搭載部２０８に適正荷重が加わるよう当該荷重を修正する必要がある。また、磁気ヘッド搭載部２０８がハードディスクドライブのディスクに対して適正な角度で相対するように当該角度を修正する必要がある。
【００４３】
図５に、サスペンションの荷重曲げ部におけるレーザ照射領域を示し、図６に、サスペンションの角度調整部におけるレーザ照射領域を示す。荷重曲げ部２０２は、ベースプレート２０１とロードビーム２０３との間を例えば２本の足で渡すように位置しており、必要により当該荷重曲げ部を薄く形成する。レーザ照射領域２１１は、荷重曲げ部２０２の曲げ方向（曲げた場合の屈曲または湾曲する稜線に垂直な方向）にて直線的に複数設定される。ここで、レーザ照射領域２１１は、レーザ光を照射可能な範囲を意味し、後述するが当該範囲内でレーザ光の照射長さや形状が決定され、当該レーザ照射領域２１１内の全部または一部にレーザ照射を行うことになる。また、レーザ照射領域２１１の始点Ｆおよび終点Ｅは、荷重曲げ部２０２内に収められている。なお、始点Ｆまたは終点Ｅのみが、荷重曲げ部２０２内に収められる場合がある。荷重曲げ部２０２のレーザ照射領域２１１には、例えば４種類の長さのレーザ照射が行われることを予定しており、この場合は修正の程度（荷重調整量）に従い適当な長さを選択することになる。このレーザ照射領域２１１の左右対称な修正は、サスペンション２００をピッチ方向に湾曲させることになる。なお、レーザ照射領域２１１と定義しても、実際の荷重曲げ部２０２には同図に示す形状がマーキングされるわけではなく、修正装置１００内でその位置で修正を行うと定義されているのみである。
【００４４】
また、図６に示したように、角度調整部２１２のレーザ照射領域２１３，２１４は、フレキシャ２０４のアウトリガー２０６に複数設定される。具体的には、アウトリガー２０６のベース板２０４ａ部分から延出した直線部２０６ａおよび、直線部２０６ａからジンバルばね部２０５に至る曲り部２０６ｂに設定され、上記同様に修正装置１００内で角度調整部２１２と定義され、特にマーキング等は施されない。なお、レーザ照射領域２１１，２１３，２１４を視認できるようにマーキングを行うようにしても良い。
【００４５】
また、磁気ヘッド搭載部の中央位置（一般にはディンプル２０８ａの位置）を中心としてＸＹ軸をとった場合、アウトリガー部の範囲Ｉおよび範囲ＩＩＩのレーザ照射領域へのレーザ照射によりロール角がマイナス修正され、範囲ＩＩおよび範囲ＩＶのレーザ照射領域へのレーザ照射によりロール角がプラス修正される。また、ジンバルばね部２０５の中心を境界とした領域Ｖ（第一領域）のレーザ照射領域へのレーザ照射によりピッチ角がプラス修正され、領域ＶＩ（第二領域）のレーザ照射領域へのレーザ照射によりピッチ角がマイナス修正される。このため、ピッチ角とロール角を単独で修正することはできないが、これらを組み合せることにより、ロール角およびピッチ角を適正に修正できる。
【００４６】
なお、上記図４乃至図６に示したサスペンション２００は一例であり、これ以外の形状をしたサスペンションにおいても、荷重および角度を支配する部位に対して上記レーザ照射領域を設けることができることは言うまでもない。また、そのレーザ照射領域の形状等についてもそのサスペンションの形状や材質等の諸条件により決定されるので、全てのサスペンションに対して一義的にその形状等を決定することはできない。レーザ照射領域は、経験的に或いはコンピュータによるシミュレーションによりその形状や位置等を設定できる。
【００４７】
また、レーザ照射領域２１３，２１４の始点Ｆおよび終点Ｅは、角度調整部２１２内に収められている。なお、始点Ｆまたは終点Ｅのみが、角度調整部２１２内に収められる場合がある。また、図６に示すように、前記レーザ照射領域２１３，２１４は、アウトリガー２０６と磁気ヘッド搭載部２０８との間に位置する配線領域２１５ａに重ならないように設定される。配線領域２１５ａには、例えばパターニングされた銅と絶縁層を含む配線部（例えばフレキシブル基板等）が配置され、実際にはアウトリガー２０６から離れて浮いた状態になっている。
【００４８】
この配線領域２１５ａにレーザ光を照射すると、配線に対する熱負荷が過大になる等に起因して、断線や配線不良が生じる恐れがある。また、フレキシブル基板が焼ける恐れがある。そこで、同図に示すように配線領域２１５ａを避けてレーザ照射領域２１３，２１４を設定することで、配線領域２１５ａ上にレーザ光が照射されることがない。このため、レーザ光に起因した不具合が発生しないという利点がある。なお、前記配線領域２１５は、図７に示すように、フレキシャ２０４のステンレス面上にアウトリガー２０６，２０６の長手方向に沿って絶縁層を形成し、この絶縁層上に導体を形成するような構造の場合もある。係る構造でも、上記同様に配線に対する熱負荷が過大になる等の問題点が生じるため、同図に示すように、当該配線領域２１５を避けてレーザ照射領域２１３，２１４を設定するのが好ましい。
【００４９】
この発明は、レーザ光をサスペンション２００の所定部位に照射してこの熱変形を利用し、荷重および角度の修正を行うものである。このため、レーザ光による熱変形量をレーザ照射領域２１１，２１３，２１４ごとに予め取得しておく必要がある。例えば図５および図６に示すレーザ照射領域２１１，２１３，２１４に所定の形状および長さのレーザ光の照射を行うと、レーザ光の照射により荷重曲げ部２０２、角度調整部２１２の変位が変わるので、この関係を実験的或いはシミュレーションにより取得してデータベース化しておく必要がある。このようなデータベースの具体例は、図２に示した制御用コンピュータ５内に構築されており、荷重調整量または角度調整量に基いて修正を行うときのレーザ光の照射形状をキャラクタとして登録し、データベース化している。
【００５０】
図８は、レーザ照射形状をキャラクタ登録する場合の、キャラクタの一例を示す説明図である。符号Ｃ１のキャラクタは、レーザマーカ３の通常の使用時に用いる場合のレーザ光照射形状（アルファベット）を示す。符号Ｃ２〜符号Ｃ１１は、所定の荷重調整量だけ修正を行うときの、キャラクタを示す。例えば符号Ｃ２のキャラクタは、所定大きさの枠（レーザ照射範囲）内にて下方左よりの位置にレーザ光を照射するためのものである。符号Ｃ３のキャラクタは、枠内上方左よりの位置にレーザ光を照射するためのものである。符号Ｃ４〜符号Ｃ１２のキャラクタについても、所定位置にレーザ光を照射するためのものである。
【００５１】
また、符号Ｃ１３〜符号Ｃ１５は、キャラクタの組み合せを示したものである。例えば符号Ｃ１３は、キャラクタ１とキャラクタ４とを組み合せたものである。キャラクタＣ１３は、この組み合せにより所定の荷重調整量または角度調整量の修正を可能とする。符号Ｃ１４〜符号Ｃ１５も同様に所定のキャラクタを組み合せたものであり、この組み合せにより所定の荷重調整量または角度調整量の修正を可能とする。実際には、要求される荷重調整量または角度調整量の範囲の全てをカバーするような複数種類のキャラクタの組み合せが用意され、荷重データベースまたは角度データベースに記憶される。なお、キャラクタの組み合せにより修正を行うのは、上記のように各キャラクタを用いてロール角（またはピッチ角）の修正を行うにしても、殆ど不可避的にピッチ角（またはロール角）に影響を与えるため、ロール角またはピッチ角単独の修正ができないためである。このため、実際に修正を行う場合は、複数のキャラクタを組み合せることで最適なキャラクタを生成する必要がある。
【００５２】
前記キャラクタ組み合せは、荷重データベース５３および角度データベース５７にコード化されて格納されており、荷重調整および角度調整のためキャラクタ組み合せ選択部５４，５８により選択され、加算部５９において加算されたキャラクタコードは、上記キャラクタ変換部６２にて前記キャラクタ設定コードを参照して位置データに変換され、更にレーザ照射位置変換部６３にてレーザ光を照射するための照射位置データに変換される。
【００５３】
次に、このサスペンション修正装置１００の動作について説明する。図９は、このサスペンションの修正工程を示すフローチャートである。まず、修正対象となるサスペンション２００を搬送ステージ７上に保持し、続いて搬送ステージ７を所定量移動させ、サスペンション２００を荷重測定装置１の直下に位置決めする（ステップＳ１）。荷重測定装置１は、プローブ１２を下げてその先端１２ａをサスペンション２００の磁気ヘッド搭載部２０８に押し当て、続けて所定量押し込む。そして、荷重測定装置１は、所定量押し込むことでサスペンション２００に加わる荷重を、前記ロードセル１３により測定する（ステップＳ２）。
【００５４】
ロードセル１３の出力信号は制御用コンピュータ５に送信され、荷重調整量計算部５２ではこの荷重を荷重設定値記憶部５１に記憶している荷重設定値と比較し、必要とされる荷重調整量を算出する（ステップＳ３）。次に、搬送ステージ７を移動してサスペンション２００を角度測定装置２の直下に位置決めする（ステップＳ４）。続いて、レーザ光をサスペンション２００の磁気ヘッド搭載部２０８に照射し、この反射したレーザ光をＣＣＤ１７により受光する。ＣＣＤ１７の出力信号は制御用コンピュータ５に送信され、ここで実際の角度を演算する（ステップＳ５）。
【００５５】
角度調整量計算部５６は、実際の角度と角度設定値記憶部５５に記憶している角度設定値とを比較し、角度調整量を決定する（ステップＳ６）。続いて、荷重キャラクタ組み合せ選択部５４は、荷重調整量に基づいて荷重データベース５３に格納されている複数の荷重キャラクタを選択し、更に、角度キャラクタ組み合せ選択部５８は、角度調整量に基づいて角度データベース５７に格納されている複数の角度キャラクタを選択する（ステップＳ７）。引き続き、加算部５９は、荷重キャラクタ組み合せ選択部５４および角度キャラクタ組み合せ選択部５８において選択した荷重キャラクタと角度キャラクタとを加算し、換言すれば最終的にロール角およびピッチ角の両方を修正するためのキャラクタを生成する（ステップＳ８）。キャラクタ組み合せは、例えば図８に例示したようなものである。
【００５６】
コード化されているキャラクタコードは、レーザマーカ３に送信される。次に、レーザマーカ３のキャラクタ変換部６２は、キャラクタ設定コード記憶部６１に記憶されているコードを参照し、前記キャラクタコードをキャラクタ変換する（ステップＳ９）。続いてレーザ照射位置変換部６３は、変換されたキャラクタをレーザ照射位置データに変換する（ステップＳ１０）。そして、データベースよりレーザ出力量を選択し（ステップＳ１１）、同じくデータベースよりレーザ光のデフォーカス量を選択する（ステップＳ１２）。続いて、レーザマーカ本体６は、このレーザ照射位置データに基づいて、レーザマーカヘッド２０を駆動制御し、サスペンション２００の荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２にレーザ光を照射する（ステップＳ１３）。ここで、組み合わされたキャラクタは、それぞれ順番に照射されるが、送りピッチが「０」であるため、実質的にはキャラクタを組み合せた形のものがレーザ照射されることになる。
【００５７】
図５および図６に戻り、実際にレーザ光を照射するときの照射条件は、実験的に把握できる。例えば図５に示したサスペンションの荷重曲げ部２０２における荷重変化量はレーザ光の走査長さおよび本数に比例する。各荷重キャラクタ組み合せは、走査長さおよび照射本数を定義しており、必要な荷重調整量から対応するものが選択され、それに従いレーザ光が照射されるので、高速な荷重調整が可能になる。これは、図６に示した角度調整部における角度変化量についても同様で、各角度キャラクタ組み合せがレーザ光の走査長さおよび本数に比例し、必要な角度調整量から対応する角度キャラクタ組み合せが選択され、それに従いレーザ光が照射される。
【００５８】
荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２のレーザ照射領域２１１，２１３，２１４に所定長さおよび形状のレーザ光を照射することで、図１０（ａ）に示すように、レーザ照射領域がその周囲を含めて湾曲変形する。例えば図５に示す荷重曲げ部２０２の場合は、紙面略垂直方向に所定曲率で湾曲し、レーザ照射領域２１１中の実際にレーザ光を照射した部位が湾曲形状の弧となる。図６の角度調整部２１２についても同様に、レーザ光の照射部位が湾曲変形する。これに対して、上記従来の荷重および角度の修正方法では、折り曲げ変形を起こす方向に対して略垂直或いは斜めにレーザ走査を行うようにしているため、図１０（ｂ）に示すように、サスペンション９００がレーザ走査線９０１で角度をもって折れ曲がることになり、精度良く調整するのは困難である。このように、レーザ光を折り曲げ変形させる方向に沿って走査し湾曲変形させることで、折り曲げ変形を精度良く行うことができる。また、従来の方法では、レーザ走査線９０１に応力が集中し、破壊される恐れがあったが、この発明では、レーザ光の照射部位が湾曲変形するので、変形による応力集中が防止され、破壊の恐れもなくなる。更に、エッジ部分にレーザ光を照射しないので、周囲にレーザ光の熱が拡散する。このため、焦げ目が発生するのを防止できる。これに対して従来の方法では、レーザ走査線９０１が荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２のエッジを通過することになり、且つ当該エッジ部分ではレーザ光の拡散領域が少なくなるため、比較的焦げ目を発生し易い。
【００５９】
ここで、図５および図６に示したように、レーザ光の走査始点Ｆおよび終点Ｅはサスペンション２００上の任意点に位置している。このため、始点Ｆおよび終点Ｅにおいて加工熱が照射表面付近に拡散し、サスペンション２００の端縁付近の変色・焼け焦げ等の不具合が生じなくなる。また、レーザ照射長さを任意に設定できるので、照射位置のエリア分け（例えば図５において、１０本のレーザ照射領域２１１のうち、内側の８本を粗調整領域、外側の２本を微調整領域とする）すると、高速で精密な加工を実現できる。即ち、このようにエリア分けし且つその一方を粗調整領域、他方を微調整領域とし、例えば粗調整領域のレーザ光の照射を高エネルギーにより高速で行い、微調整領域のレーザ光の照射を比較的低いエネルギーで正確に行うことで、全体的に高速で精密な加工を行える。
【００６０】
ここで、レーザマーカヘッド２０は、ガルバノヘッドからのレーザ光を長焦点距離レンズで集光しているので深い焦点深度が得られ、サスペンション２００のレーザマーカヘッド２０との間の距離が変化した場合であっても、レーザ光のエネルギー密度の変化を抑制できる。このため、サスペンション２００に対する焦点距離の精密なアクティブ制御を行わずに済むか、或いは比較的粗い制御で十分となる。この結果、修正装置を安価に構成できる。また、過渡のエネルギー集中により焼け焦げ等の不具合を生じさせることがない。
【００６１】
また、実際のレーザ光の径は、集光レンズ２３等によりある程度デフォーカスすることでレーザ光のエネルギー密度を調整でき、これによりレーザ光の照射痕を削減し、且つ加工速度の向上を図ることができる。デフォーカスの程度はサスペンションの材質や厚さ、レーザ光照射位置等により適宜決定する。要するに、サスペンションの材質等を参照し、焼け等のレーザ照射痕が発生しない程度にレーザ光の径を調整すれば良い。また、長焦点距離レンズにより深い焦点深度を得ることでレーザ光の径を略一定にすること、及びレーザ光の径をデフォーカスによりある程度大きくすること、の両条件を満たす場合はレーザ照射痕の削減に極めて有効である。
【００６２】
ここで、レーザ光の照射にあたり、レーザ照射領域２１１，２１３，２１４に対してレーザ光の径を小さくすることで、配線周り或いは配線と配線との間にレーザ照射しても、当該配線に焼け焦げ等の悪影響を及ぼすことがない。図１１は、配線領域２１５とレーザ光のレーザ照射領域２１３との関係の一例を示す説明図である。このように、配線領域２１５が、フレキシャ２０４のアウトリガー２０６に形成されており、この配線２１５ａと配線２１５ｂとの間に当該配線２１５ａ，ｂと略平行してレーザ光のレーザ照射領域２１３ａを設定する。また必要により、配線２１５ｂとアウトリガー２０６の端縁との間にレーザ光のレーザ照射領域２１３ｂを設定する。このようにすれば、配線領域２１５上にレーザ光が照射されることがないので、配線２１５ａ，ｂの焼け焦げや断線などの問題を防止できる。
【００６３】
また、図１２に示すように、フレキシャ２０４におけるアウトリガー２０６の直線部２０６ａおよび、直線部２０６ａからジンバルばね部２０５に至る曲り部２０６ｂ（角度調整部２１２）に配線領域２１５が存在する場合において、この配線２１５ａと配線２１５ｂとの間に当該配線２１５ａ，ｂに沿ったレーザ照射領域２１４を設定しても良い。また、別の観点では前記レーザ照射した場合に配線領域２１５にレーザ光の熱が伝わることになるが（特にサスペンション２００がステンレス等の金属製であるため）、この熱影響が問題とならない程度まで当該配線領域２１５とレーザ光のレーザ照射領域２１３，２１４を離す必要がある。その距離は、実験的またはシミュレーションにより決定すればよい。また、アライメント不足等によりレーザ光の照射位置がずれると配線にダメージを与える場合があるが、そのようなときでも、係るずれを考慮してレーザ照射領域２１３，２１４を設定するのが好ましい。
【００６４】
更に別の観点では、配線領域２１５に沿ってレーザ照射領域２１３，２１４を設定することで、配線への悪影響を防止できる。更に別の観点では、配線領域２１５を避けてレーザ照射領域２１３，２１４を設定できる。なお、上記配線領域とレーザ照射領域との位置関係は、上記図５，６，１０，１１に示したもの以外であっても、同様に適用できる。
【００６５】
また、図１３に示すように、レーザ照射領域２１６を一定間隔で直線的に設定し、それぞれのレーザ照射領域２１６にレーザ光を照射するようにしても良い。このように直線的にレーザ光を照射する結果、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２は図１０（ａ）に示したものと略同じように湾曲する。即ち、この発明において精度良く折り曲げ修正を行うには、レーザ照射領域が連続した直線である必要はなく、同図のように実質的に直線に近い状態であれば良い。この他、直線的にレーザ光を照射する場合として、例えば設定したレーザ照射領域内に散点的にレーザ照射しても良いし、設定したレーザ照射領域内に波状にレーザ照射しても良い（図示省略）。
【００６６】
更に、レーザ走査中にレーザ光のエネルギーを変化させることで曲げ形状を緻密にコントロールできる。例えば図１４に示すように、レーザ光のフォーカスを制御することで径を変更し、アウトリガー２０６に照射するレーザ光の照射幅を変えるようにしても良い（レーザ照射領域２１７）。このようにすれば、照射幅の大きい部分２１７ａの曲率を大きく、小さい部分２１７ｂの曲率を小さくすることができ、これを使い分けることでより緻密に折り曲げを行うことができる。また、前記レーザ径を変更することなく、レーザ光のエネルギー密度を変えることで、出力調整を行うようにしても良い。これにより、１点にエネルギーが集中せず、所定のレーザ径をもって出力調整できるので、焦げ目等が生じない。
【００６７】
また、図１に示したように、サスペンション修正装置１００では、荷重測定装置１、角度測定装置２により修正工程の上流で、サスペンション２００の荷重および角度を測定しているが、修正後の荷重および角度を測定するため、レーザマーカヘッド２０の下流に更に荷重測定装置１、角度測定装置２を設けるようにしても良い（図示省略）。下流の荷重測定装置１および角度測定装置２により修正が適正に行われたか否かを判断できる。修正不足の場合は再び荷重および角度の修正を行えばよい。なお、図１に示した構成でも、修正後に搬送ステージ７を逆方向に戻し、上流の荷重測定装置１および角度測定装置２で荷重および角度の再測定を行うようにしても良い。
【００６８】
（実施の形態２）
図１５は、この発明の実施の形態２に係るサスペンション修正装置を示す構成図である。このサスペンション修正装置３００は、レーザマーカヘッド２０，３０１をサスペンション２００の上下両方向に設置した点に特徴があり、その他の点は実施の形態１に係るサスペンション修正装置１００と同じであるので、その説明を省略する。上述した通り、レーザ光をサスペンション２００の荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２に照射すると、照射側に湾曲変形するところ、レーザ光の照射状態によっては過修正となる場合がある。この場合、第一のレーザマーカヘッド２０の反対側に配置した第二のレーザマーカヘッド３０１により、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２の反対面にレーザ照射を行うようにする。これにより、一旦湾曲させた方向とは逆方向に荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２を湾曲させ、負の修正を行うことで前記過修正を解消する。また、反対面にレーザ照射を行うことで、一方向からレーザ照射する場合に比べて修正レンジを拡大できる。
【００６９】
また、第二のレーザマーカを反対側に置かず、第一のレーザマーカヘッドと同じ側に置き、第一のレーザマーカヘッドで照射後、サスペンションを上下反転させた後、第二のレーザマーカヘッドで照射してもよい（図示省略）。また、第一のレーザマーカヘッドで照射後、サスペンションを上下反転させ、サスペンションを再び第一のレーザマーカヘッドの位置まで搬送して照射することもできる。この場合、第二のレーザマーカは不要になる。
【００７０】
また、上記のように、レーザマーカヘッドを２つ用いるようにしても良いが、図１６の変形例に示すように、単一のレーザマーカヘッド２０を用い、サスペンション２００の反対側には前記レーザマーカヘッド２０のレーザ光を反射し、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２の裏面にレーザ光を照射するための反射ミラー３０２を設置するようにしても良い。反射ミラー３０２を用いる場合のレーザ走査は、レーザマーカヘッド２０側で行うのが好ましいが、反射ミラー３０２側で行っても良い。
【００７１】
更に、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２の両面で同じ位置にレーザ光を照射すると、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２が薄板であるため、材料の熱影響部が重なる等から期待通りに曲げ変形できないことがある。このときは、図１７に示すように、荷重曲げ部２０２および角度調整部２１２の両面の異なる位置（表面のレーザ照射領域２１８は実線、裏面のレーザ照射領域２１９は点線で示す）にレーザ光のレーザ照射領域を設定するのが好ましい。
【００７２】
（その他の実施の形態）
以上の説明では、サスペンション修正装置の修正対象をサスペンションとして説明しているが、これ以外にも上記修正装置により修正可能である。即ち、ピッチ角および／またはロール角の微小な修正を必要とするものであれば、この修正装置の修正対象として好適である。例えば金属板を用いる原子間力顕微鏡のカンチレバープローブ、光ヘッド・光通信コネクタ等の光軸調整、マイクロコンタクター等を挙げることができる。
【００７３】
また、上記実施の形態１，２では、レーザマーカ３を用いてレーザ照射を行うようにしたが、上記のようなキャラクタをプログラムとして用意したものであれば、市販のレーザマーカ３を流用する必要はない。
【００７４】
更に、上記実施の形態では、荷重調整および角度調整を同時に行うようにしているが、これら一方のみを行うようにしても良い。その場合のキャラクタの組み合せは、取得した荷重調整量または角度調整量に基づいて選定すれば良い。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る薄板の成形方法では、精密な曲げ成形を行うことができる。また、サスペンションの荷重調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００７６】
また、この発明に係る薄板は、精度良く折り曲げ成形された適正な製品となる。更に、この発明に係るサスペンションの修正装置は、サスペンションの荷重および角度の調整を精密に制御できる。
【００７７】
また、この発明に係るサスペンションの修正装置は、比較的簡単に特定のレーザ照射形状をサスペンションにレーザ照射できる。また、この発明に係るサスペンションの修正装置は、レーザ照射装置のサスペンションをはさんで反対側に別のレーザ照射装置を設けたので、修正レンジを拡大できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係るサスペンション修正装置を示す構成図である。
【図２】図１に示したサスペンション修正装置の構成を示すブロック図である。
【図３】サスペンションを修正装置に固定した状態を示す説明図である。
【図４】図１および図２のサスペンション修正装置による修正対象となるサスペンションの一例を示す斜視図である。
【図５】サスペンションの荷重曲げ部におけるレーザ照射領域を示す説明図である。
【図６】サスペンションの角度調整部におけるレーザ照射領域を示す説明図である。
【図７】別形態のサスペンションの場合の角度調整部におけるレーザ照射領域を示す説明図である。
【図８】レーザ照射形状をキャラクタ登録する場合の、キャラクタの一例を示す説明図である。
【図９】サスペンションの修正工程を示すフローチャートである。
【図１０】荷重曲げ部と角度調整部の湾曲状態を示す比較説明図である。
【図１１】配線領域とレーザ光のレーザ照射領域との関係の一例を示す説明図である。
【図１２】配線領域とレーザ光のレーザ照射領域との関係の一例を示す説明図である。
【図１３】配線領域とレーザ光のレーザ照射領域との関係の別の一例を示す説明図である。
【図１４】配線領域とレーザ光のレーザ照射領域との関係の別の一例を示す説明図である。
【図１５】この発明の実施の形態２に係るサスペンション修正装置を示す構成図である。
【図１６】図１４に示したサスペンション修正装置の変形例を示す構成図である。
【図１７】レーザ照射領域の配置を示す説明図である。
【符号の説明】
１００　サスペンション修正装置
１　　　　　荷重測定装置
２　　　　　角度測定装置
３　　　　　レーザマーカ
４　　　　　搬送装置
５　　　制御用コンピュータ
６　　　　　レーザマーカ本体
７　　　　　搬送ステージ
２０　　　レーザマーカヘッド
２１　　　光ファイバー
２２　　　ガルバノスキャナミラー
２３　　　集光レンズ
２４　　　レーザ発振部
２５　　　コントローラー
５１　　　荷重設定値記憶部
５２　　　荷重調整量計算部
５３　　　荷重データベース
５４　　　荷重キャラクタ組み合せ選択部
５５　　　角度設定値記憶部
５６　　　角度調整量計算部
５７　　　角度データベース
５８　　　角度キャラクタ組み合せ選択部
５９　　　加算部
６１　　　キャラクタ設定コード記憶部
６２　　　キャラクタ変換部
６３　　　レーザ照射位置変換部
２００　サスペンション
２０１　ベースプレート
２０２　荷重曲げ部
２０３　ロードビーム
２０４　フレキシャ
２０５　ジンバルばね部
２０６　アウトリガー
２０７　サスペンションアーム取付部
２０８　磁気ヘッド搭載部
２０９　スライダ
２１０　磁気ヘッド
２１１，２１３，２１４　レーザ照射領域
２１２　角度調整部
２１５　配線領域
【図１】
2004082161.tif 000003
【図２】
2004082161.tif 000004
【図３】
2004082161.tif 000005
【図４】
2004082161.tif 000006
【図５】
2004082161.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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