(57)【要約】【課題】非線型光学結晶を利用した波長変換レーザにおいて調整や保守が容易で安定なレーザ結晶保持機構を実現する。【解決手段】左右に微小送りできるステージの前後に２個の円筒形のガイドレールを設け、その先端を互いに逆向きのテーパ状に加工する。これを向かい合わせにしてＶ型に配置し、これに交差させてレーザ結晶を保持する円筒形の結晶セルを載せる。両者の接触部は円筒同志が交差する点となるため、結晶セルは長期間安定に最適な姿勢を保つことができる。また、ステージを移動することで結晶セル前後に接したテーパー部が動き、結晶セルの傾きが最適になるまで姿勢を調整できる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主にレーザ媒体結晶などの光学結晶を略円筒形の結晶保持部材の中央部に装着したホルダー本体と、当該ホルダー本体を案内支持する２本の略円筒形のガイドレール部材を有し、上記ホルダー本体の円筒側面部の前後２ヶ所にて前記２本のガイドレール部材がホルダー本体と接触しつつこれを位置決め保持するステージ機構とから構成され、上記のステージ機構の２本のガイドレール部材を前記ホルダー本体との接触箇所が、当該ガイドレール部材の軸方向に沿って互いに逆方向に直径が変化するなめらかな略テーパー形状に加工整形し、かつ上記のステージ機構が前記ガイドレール部材をホルダー本体との接触を保ちつつ前記ホルダー本体の円筒側面部の接線方向に案内駆動するように構成したことを特徴とするレーザ装置の光学結晶保持機構。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザー装置の光学結晶保持機構において、前記のステージ機構を上記ホルダー本体を挟んで互いに対向するように２基配置し、２基のステージ機構の夫々のガイドレール部材により略Ｖ字型に形成された上記ホルダー本体の保持部に上記ホルダー本体が円筒側面部の４ヶ所にて当該ガイドレール部材の略テーパー状部分と接して設置するように構成したことを特徴とするレーザー装置の光学結晶保持機構。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のレーザー装置の光学結晶保持機構において、上記ホルダー本体の円筒形の結晶保持部材を外側円筒部と内側結晶装着部、および内側結晶装着部に接してこれの温度を所望の範囲に保持制御する温度制御手段の略３部材にて構成し、前記の外側円筒部を例えばフッ素金雲母を主成分とした機械加工性が高くかつ熱伝導率の小さなセラミック部材にて形成し、内側結晶装着部を銅合金などの熱伝導率の高い材料にて形成したことを特徴とするレーザー装置の光学結晶保持機構。
【請求項４】
請求項３に記載のレーザー装置の光学結晶保持機構において、前項に記載の内側結晶装着部は光学結晶を保持する略円筒部分と、当該円筒部分を熱的に前記の温度制御手段に接続する目的のフランジ部分により構成し、かつ前記の略円筒部分とフランジ部分により形成された上記の内側結晶装着部の中心付近に当該内側結晶装着部を貫通するレーザービーム通過用の穴を設けたことを特徴とするレーザー装置の光学結晶保持機構。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザー装置の光学結晶保持機構において、前項に記載の内側結晶装着部の略円筒部分を中心軸に沿って少なくとも２分割して光学結晶を容易に装着できるようにするとともに、光学結晶を装着後に分割した当該略円筒部分を合わせてバネ性を有するリング状部材をかぶせ、光学結晶を最適な保持力で保持できるように構成したことを特徴とするレーザー装置の光学結晶保持機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明はレーザー装置に係り、特に長波長の基本レーザービームによりレーザー結晶を励起して基本レーザービームの高次高調波変調を行うことにより基本レーザービームの高次高調波レーザーを生成出力する固体レーザー装置に関わるものであり、生成した高次高調波レーザービームの出力と品位を高精度にに最適化調整でき、かつ調整後の良好なる状態を長期間にわたって安定に維持できるレーザー結晶の高精度位置決め装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の固体レーザー装置では、特にレーザー媒体である光学結晶の位置決め保持に関していくつかの問題点があった。
【０００３】
特に上記に述べたような、レーザー結晶を光学的変調素子として利用し、これに基本レーザービームを直接照射することによってその２次以上の高調波レーザービームを変調生成する方式の装置では、レーザー結晶の格子長が基本レーザービームの波長とレーザービームの照射方向において丁度同調するように位置決めする必要があり、基本レーザービームの照射方向とレーザー結晶格子の特定の方向が厳密に一致するように位置決めしなくてはならない。
【０００４】
またこの際、レーザー結晶の格子長さが基本レーザービームの波長と特定の関係を保つように、レーザー結晶の温度を厳密にコントロールしておく必要がある。
【０００５】
例えば基本レーザービームとしてＮｄ：ＹＡＧ（化学組成Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２；以下ＹＡＧと略記）による１０６４ｎｍ波長のレーザービームを用い、これをＢｅｔａ−ＢａｒｉｕｍＢｏｒａｔｅ（化学組成  β−ＢａＢ２Ｏ４；以下ＢＢＯと略記）の光学結晶に照射して２次（波長５３３ｎｍ）のレーザービームを生成する装置においては基本レーザービームの品位により多少の違いはあるもののＢＢＯ結晶の姿勢を基本レーザービームの光軸に対して約０．３ｍｒａｄ以下の姿勢誤差に保つ必要がある。
【０００６】
またこの状態で、周囲の温度変化によりＢＢＯ結晶の格子定数が変化してしまうことを避けるにはＢＢＯ結晶の温度変化を約±０．１°以内に保たなければならない。
【０００７】
このような要求を満たすレーザー結晶保持機構として従来は、保温セルにレーザー結晶を入れ、これを２軸のゴニオステージまたは２軸調整可能なミラーホルダーに取付けて用いていた。
【０００８】
保温セルは内部が銅合金でできた結晶保持部分になっており、これをヒーターで適宜加熱しながら結晶の温度を均一に保つように制御する。
【０００９】
また周囲はプラスチックなど熱伝導率の低い材料で蔽われていて外部の急激な温度変化の影響を受けにくいようになっている。
【００１０】
一方、姿勢調整のためのゴニオステージはウォームギヤまたはラックピニオンギヤにより、アリ溝にてガイドされた可動ステージ部を特定の回転中心に対して微動回転調整するものである。
【００１１】
レーザー結晶の姿勢を基本レーザービームの光軸に垂直な２軸のまわりに回転調整するためには上記のゴニオステージを２台組合わせて使用していた。
【００１２】
また、ゴニオステージの代わりにミラー調整用のミラーホルダーを利用する場合もあった。
【００１３】
これは背面の精密送りネジを回転してミラー取付部の一部を押し引きし、これによりミラーの２軸まわりの角度調整を行うものである。
【００１４】
ミラーの代わりに上記の保温セルを取付ければレーザー結晶の姿勢を調整することが可能である。
【００１５】
上記の従来例では、レーザー結晶の姿勢を調整することは可能であるが、姿勢を調整した後、これを長期間にわたって維持することが困難である。
【００１６】
上記に述べたゴニオステージでは、ステージ部分のガイドがアリ溝であり、オス溝とメス溝の間には必ず勘合のための遊びが必要になる。
【００１７】
また、オス溝とメス溝のガイド部分は面同士の接触であり、機械加工公差による理想幾何学面との相違により接触面がガイド面全体にわたって均一にはなっていない。
【００１８】
勘合の遊びや幾何学面からのずれによる不均一さは巨視的には問題ないレベルであっても、先の例に示した角度精度０．３ｍｒａｄといったきわめて小さな領域での安定性には問題となる。
【００１９】
特に温度変化による部材の微小な伸び縮みや、熱応力によって容易に姿勢を変えてしまうことがあった。
【００２０】
一方、ミラーホルダーを使用する場合は、ホルダーの可動部分を案内支持するのは背面から操作される精密送りねじの先端部分であり、この部分は球形状に加工されているので、アリ溝のような面同士の接触を用いていない。
【００２１】
また、可動部分をバネによってこの精密送りねじ先端の球面部に押し付ける構造であるので、アリ溝の場合のような遊びも生じないようになっている。
【００２２】
しかし、精密送りねじの内部ではオスネジとメスネジが勘合してすべり接触しており、これらのネジ山がすべて均一に予圧されて接触しているとは言えない。
【００２３】
このため振動や熱などの外乱要因によってこの場合も送りネジ内部の接触分布がわずかに変化してしまい、位置決め後の姿勢を高い再現性で長期間維持することが困難であった。
【００２４】
加えて、レーザー結晶の温度制御のために用いる保温セルは周囲の温度変化の影響を押える目的で周囲をプラスチック製の断熱部材により構成されていて、ステージなどへの取付けもプラスチック製の周辺部分を固定する構造であった。
【００２５】
プラスチックの一般的特徴として線膨張係数が金属と比較して一桁以上大きいことと高分子材料特有のクリープ現象による寸法変化があり、これらの理由で内部に保持しているレーザー結晶の長期的姿勢安定を実現することがきわめて困難であった。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は上記の従来技術の問題点を解消することにより、固体レーザー装置において長期間にわたり高い姿勢安定性でレーザー結晶を保持することが可能で、かつレーザー結晶の着脱などの操作性に優れたレーザー装置用光学結晶保持機構を提供することである。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明におけるレーザ装置の光学結晶保持機構を主にレーザ媒体結晶などの光学結晶を略円筒形の結晶保持部材の中央部に装着したホルダー本体と、当該ホルダー本体を案内支持する２本の略円筒形のガイドレール部材を有し、上記ホルダー本体の円筒側面部の前後２ヶ所にて前記２本のガイドレール部材がホルダー本体と接触しつつこれを位置決め保持するステージ機構とから構成し、上記のステージ機構の２本のガイドレール部材を前記ホルダー本体との接触箇所が、当該ガイドレール部材の軸方向に沿って互いに逆方向に直径が変化するなめらかな略テーパー形状に加工整形し、かつ上記のステージ機構が前記ガイドレール部材をホルダー本体との接触を保ちつつ前記ホルダー本体の円筒側面部の接線方向に案内駆動するようにしたものである。
【００２８】
また、前記のステージ機構を上記ホルダー本体を挟んで互いに対向するように２基配置し、２基のステージ機構の夫々のガイドレール部材により略Ｖ字型に形成された上記ホルダー本体の保持部に上記ホルダー本体が円筒側面部の４ヶ所にて当該ガイドレール部材の略テーパー状部分と接して設置するように構成したものである。
【００２９】
また、上記ホルダー本体の円筒形の結晶保持部材を外側円筒部と内側結晶装着部、および内側結晶装着部に接してこれの温度を所望の範囲に保持制御する温度制御手段の略３部材にて構成し、前記の外側円筒部を例えばフッ素金雲母を主成分とした機械加工性が高くかつ熱伝導率の小さなセラミック部材にて形成し、内側結晶装着部を銅合金などの熱伝導率の高い材料にて形成したものである。
【００３０】
また、上記の内側結晶装着部は光学結晶を保持する略円筒部分と、当該円筒部分を熱的に前記の温度制御手段に接続する目的のフランジ部分により構成し、かつ前記の略円筒部分とフランジ部分により形成された上記の内側結晶装着部の中心付近に当該内側結晶装着部を貫通するレーザービーム通過用の穴を設けたものである。
【００３１】
また、上記に記載の内側結晶装着部の略円筒部分を中心軸に沿って少なくとも２分割して光学結晶を容易に装着できるようにするとともに、光学結晶を装着後に分割した当該略円筒部分を合わせてバネ性を有するリング状部材をかぶせ、光学結晶を最適な保持力で保持できるように構成したものである。
【００３２】
【作用】
レーザー結晶を保持する結晶ホルダー本体の外形を円筒形とし、この円筒側面をこれと直交する別の円筒部材で支える構造とした。以後ホルダー本体を支持する円筒部材をガイドレール部材と呼ぶことにする。
【００３３】
以下、本発明の作用について図３を用いて説明する。
【００３４】
２本のガイドレール部材を間隔Ｌだけ離して並行に配置し、その上にホルダー本体を橋渡しするように据え付ける。
【００３５】
このときホルダー本体のなす円筒と、ガイドレール部材のなす円筒とは夫々互いに直交して接するため、その接触箇所は２個の円筒面の交差する稜線が成す交点付近のごく微小な領域に限定され、実用上は点接触とみなすことができる。
【００３６】
面同士の接触の場合、面が理想的な幾何学平面に加工されていれば接触箇所はその接触面全体にわたって均一に接するが、実際の加工形状では微細な凹凸や、幾何公差、表面粗さなどのため接触面全体のうち強く接する領域と接触しない領域に別れて分布している。
【００３７】
この分布は対象物ごとに不定であり、外部から振動や応力、温度変化などの要因が作用すると、その要因の作用に応じて接触面の分布も微細に変化する。
【００３８】
このような微細な変化でも、先に述べた例のような０．３ｍｒａｄ程度の姿勢保持には影響があり、長期的にレーザー結晶を安定に保持することが困難になる。
【００３９】
これに比較して本発明では先に述べたように、円筒を交差させた際の点接触でホルダー本体を支えるため、ガイドレール部材がホルダー本体を支える箇所は常に同じであって変化することがない。
【００４０】
このようにしてガイドレール部材２本がホルダー本体をその前後２点で支持するように構成することでホルダー本体の中心軸に垂直な一方向につき、その姿勢を安定に拘束することが可能である。
【００４１】
さらに別のガイドレール部材２本をこれも同じく間隔Ｌだけ離して並行に並べ、先のガイドレール部材と直交するように配置し、これにホルダー本体の円筒側面を接するようにすれば先のガイドレール部材２本と後のガイドレール部材２本による合計４箇所の接点でホルダー本体を完全に安定に拘束することができるが、この構成は特許請求範囲その２に記載したものであり、ここでは基本となるガイドレール部材２本の作用にのみ注目して説明することにする（  以上図３（ａ））。
【００４２】
このままでもホルダー本体の特定方向の姿勢を安定に保持できるが、レーザー結晶を基本レーザービームにて照射する際に、基本レーザービームの照射方向に対し、レーザー結晶の姿勢を微調整することが必要である。
【００４３】
この目的のためガイドレール部材がホルダー本体を支える先端部分を滑らかなゆるい円錐状に構成し、このテーパーの向きを前後２本のガイドレール部材で逆になるようにした。
【００４４】
また、２本のガイドレール部材をその中心軸方向にのみ前後に移動可能な送り機構に取付け、送り機構の移動に従ってガイドレール部材が前後に移動するにつれ、ホルダ―本体が接する箇所のガイドレール部材の直径が一方は増大し、他方は減少するようにした。
【００４５】
このようにして送り機構を適宜調節することにより、例えばホルダー本体の前方が下がって後方が上がるので結果的にホルダー本体の姿勢を軸Ａの回りに微小に変化させ最適な角度にまで調整することが可能である。
【００４６】
この際の調整の角度感度βは送り機構の送り代をＤ、ガイドレール部材の円錐部の頂角を２αとして下記の式で表される。
【００４７】
β（ｒａｄ）＝２Ｄｔａｎα÷Ｌ
【００４８】
ここで、送り機構はマイクロメータによる送りネジで送ることとし、マイクロメータの送りピッチを０．５ｍｍとする。
【００４９】
また、円錐部の頂角を５°＝０．０８８ｒａｄ、ガイドレール部材の間隔をＬ＝４０ｍｍとすると、マイクロメータ１回転の送りによるホルダー本体の姿勢変化は約１．１ｍｒａｄとなる。
【００５０】
従って０．３ｍｒａｄ程度の調整を行うためにはマイクロメータを約１／３．７回転程度回転させて調整すればよく、十分な感度で調節可能である。
【００５１】
この場合の送りはマイクロメータによるもので、先に示した従来技術と同じく内部に遊びを持っている。
【００５２】
しかしガイドレール部材先端部を円錐形状とし、いったんマイクロメータの不安定さを緩和する構造になっているので例えば先の例に示すようにマイクロメータの不安定さが送りピッチ０．５ｍｍの１／２０程度あったとしてもホルダー本体の姿勢の不安定さは角度にして０．０６ｍｒａｄ程度となり、実用上問題ない（  以上図３（ｂ））。
【００５３】
【実施例】
以下本発明の一実施例につき、図１、図２に従って説明する。
【００５４】
図１において、結晶ホルダー本体１は機構の構造が判りやすいように表示を省いている。
【００５５】
ただし、図１にて一点鎖線で示した箇所に装着されるものとしている。
【００５６】
ホルダー本体１を支持するためのステージ機構２ａと２ｂが互いに直交するように配置してありこれらは全く同じ構造であるため、以後図中ではａとｂの記号で区別することにする。
【００５７】
ステージ機構２ａ（２ｂ）の構造は以下のようになっている。
【００５８】
２本のガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）を互いに平行になるように固定したキャリッジ３ａ（３ｂ）はマイクロメータ用送りネジ７ａ（７ｂ）にて送り方向ｄａ（ｄｂ）の方向に位置決め調整できるようになっている。
【００５９】
ガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）の側面は高精度に円筒加工したうえ焼入れ処理がなされており、この面に接する複数個のガイド用カムフォロア４ａ（４ｂ）によって案内支持されていて精密にｄａ（ｄｂ）の方向にのみ位置決めされる。
【００６０】
一方、ガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）の先端部は円錐状の形状であり、しかも円錐の方向はＡ−Ａ断面図（前側）とＢ−Ｂ断面図（後側）に比較して示すように前側と後側では逆向きになるように配置している。
【００６１】
このため、キャリッジ３ａ（３ｂ）が前後（ｄａまたはｄｂ方向）に移動するにつれ、Ａ−Ａ断面図に示した前側ではホルダー本体１はガイドレール部材５ａ（５ｂ）先端の円錐斜面との接触点ｐａ（ｐｂ）にて円錐斜面に沿ってｓａ（ｓｂ）の方向に移動する。
【００６２】
また、Ｂ−Ｂ断面図に示した後側ではホルダー本体１はガイドレール部材６ａ（６ｂ）先端の円錐斜面との接触点ｐａ（ｐｂ）にて円錐斜面に沿ってｓａ’（ｓｂ’）の方向に移動する。
【００６３】
この時ｓａとｓａ’（ｓｂとｓｂ’）は前後ガイドレール部材先端の円錐加工の向きが互いに逆であるため、それぞれ逆向きに同じ距離だけの移動となる。
【００６４】
このようにして、ホルダー本体１の姿勢をその前後中央を中心として微小に変化させることができる。
【００６５】
本実施例では、この微動調整機構によってホルダー本体１に装着したレーザー結晶をこれに照射する励起用レーザービームの光軸８に対して、レーザー結晶が励起用レーザービームと位相整合して２次高調波を誘導放出する条件である約０．３ｍｒａｄ以内の精度にて精密に姿勢調整でき、かつ姿勢調整後も長期間にわたってその姿勢を維持することが可能である。
【００６６】
特に従来の装置で問題であった調整後の安定保持に関して下記の２点で大きく改善されている。
【００６７】
１）ホルダー本体を２個のステージ機構２ａと２ｂに保持された４本のガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）の円筒側面４点（ｐａとｐｂ）で支持しており、支点が点に近いごく狭い領域に限定されている。
【００６８】
このため温度変化や振動などの影響を受けることがなく、ホルダー本体１のレーザービーム光軸８に対する姿勢を長期間安定に保つことが可能である。
【００６９】
２）マイクロメータ用送りネジ７ａ（７ｂ）の内部の遊びがあってもガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）先端の円錐部分にて遊びによる影響を軽減しているため実使用上ホルダー本体の姿勢保持への影響はほとんど無視できる程度である。
【００７０】
図２は、本発明におけるレーザー結晶保持用のホルダー本体１の構造である。
【００７１】
ホルダー本体１の全体はフッ素金雲母性の快削性セラミック材による外側円筒部１６と、レーザー媒体であるＢＢＯ結晶１３を装着保持する銅合金性の内側結晶装着部９、そして内側結晶装着部９の温度を±０．１℃以内の温度範囲内に正確に温度コントロールする目的のペルチェ式温度コントロールモジュール１７の３部分から構成される。
【００７２】
内側結晶装着部９は円筒形部分１０とこれに続くフランジ部分１１にて構成された形状であり、円筒部分９の先端は縦に２分割されて、ここにＢＢＯ結晶１３が装着できるようになっている。
【００７３】
分割部分には結晶の側面と丁度密着する形状のＶ溝加工がなされており、結晶装着後同じく銅合金でＶ溝加工のなされた結晶押え部材１４にて挟みこみさらにスプリング材でできたＣ型リング部材１５をかぶせてＢＢＯ結晶１３を保持できるようになっている。
【００７４】
このような構造であるためＢＢＯ結晶１３の着脱交換がきわめて容易である。
【００７５】
またＢＢＯ結晶１３とこれを保持する装着部分のＶ溝とがＣリング部材１５の弾性により適度の圧力で密着するためＢＢＯ結晶１３とこれを保持する内側結晶装着部９との熱的抵抗が最小となり、ＢＢＯ結晶１３の温度を高い精度でコントロールすることができる。
【００７６】
内側結晶装着部９のフランジ部分１１は温度コントロールモジュール１７の一方の極板に密着してＢＢＯ結晶１３と温度コントロールモジュール１７との熱伝達経路となる。
【００７７】
このために内側結晶装着部９と結晶押え部材１４は熱伝導率の大きな銅合金製としている。
【００７８】
温度コントロールモジュール１７は電子冷却効果を有するペルチェ半導体素子を２枚の極板間にアレイ上に配置したものであり、ペルチェ素子の電極間に適切な電圧を印加することで一方の極板から他方の極板へと熱を移動しこれによって極板に密着した部材の温度を冷却または加熱することができる。
【００７９】
被制御部材を冷却するか加熱するかは、ペルチェ素子に流す電流の向きによって自由に制御することが可能であるので常温付近での光学結晶の温度制御に都合が良い。
【００８０】
本実施例では温度コントロールモジュール１７の効率をさらに高めるため、もう一方の極板に放熱または吸熱用のフィン１８を密着させている。
【００８１】
また本実施例では励起用レーザービーム８をＢＢＯ結晶１３に照射するため、内側結晶保持部材９の中心に貫通穴１２を設け、また温度コントロールモジュール１７も中心のあいたリング状のものを使用し、フィン１８の中央部も貫通穴加工してある。
【００８２】
さらに全体をセラミック製の外側円筒部１６で覆い、外側円筒部１６の円筒側面を図１にて説明したレーザー結晶保持機構のガイドレール部材５ａと６ａ（５ｂと６ｂ）の側面部にて支持して、図１における一点鎖線の箇所に装着するようになっている。
【００８３】
本実施例ではホルダー本体１の支持部材である外側円筒部にフッ素金雲母材を母体としたセラミック材料を採用して長期的な寸法安定性を確保するとともに、その高い断熱特性による内側結晶保持部材９の外部雰囲気からの隔離を効果的に行うことができる。
【００８４】
セラミック材料は金属並の寸法安定性とプラスチック並の断熱性を有しており、本発明によるレーザー結晶保持機構に最適の材料である。
【００８５】
【発明の効果】
本発明によると、レーザー媒体であるレーザー結晶を励起用レーザービームに対して０．１ｍｒａｄ程度の精度で精密に姿勢調整することができ、かつ姿勢調整後もその状態を長期間にわたり安定に保持することができる。
【００８６】
またレーザー結晶の温度を高い精度で温度コントロールすることができる。
【００８７】
加えてレーザー結晶が劣化、または汚損した場合などは容易にこれを分解交換できるので、産業用途などの緊急を要する保守メンテナンス作業にも好適なレーザー結晶保持機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例であり、特にレーザー結晶を保持するホルダー本体を精密に
位置決めするレーザー結晶保持機構のステージ部分の図である。
【図２】同じく本発明の実施例のうち、レーザー結晶を保持するホルダー本体の部分の図である。
【図３】本発明の作用において、レーザー結晶を保持するホルダー本体を高精度に姿勢調整、維持するためのレーザー結晶保持機構の動作原理の説明図である。
【符号の説明】
１  ホルダー本体
２ａ、２ｂ  ステージ機構
３ａ、３ｂ  キャリッジ
４ａ、４ｂ  カムフォロア
５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂ  ガイドレール部材
７ａ、７ｂ  マイクロメータ用送りネジ
８  励起レーザービーム
ｄａ、ｄｂ  キャリッジ送り方向
ｓａ、ｓｂ、ｓａ’、ｓｂ’  ホルダー本体移動方向
ｐａ、ｐｂ  支点
９  内側結晶保持部材
１０  円筒形部分
１１  フランジ部分
１２  貫通穴
１３  ＢＢＯ結晶
１４  押え部材
１５  Ｃリング
１６  外側円筒部
１７  温度コントロールモジュール
１８  フィン
【図１】
2004163779.tif 000003
【図２】
2004163779.tif 000004
【図３】
2004163779.tif 000005