(57)【要約】【課題】カラーフィルタの色ムラを容易かつ確実に検査できる方法を提供する。また、カラーフィルタの形成工程の直後に直ちに検査を行うことができる方法を提供する。【解決手段】光源１１から撮像装置１３までの間、すなわち観察位置の手前において、カラーフィルタ１２２と光フィルタ１４を光軸方向に配置する。光フィルタ１４は、カラーフィルタ１２２内に設けられた着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂのうち一種の着色層に対応する光透過特性を有する。これによって、その対応する着色層から出射された光のみを観察することが可能になり、容易かつ確実にカラーフィルタ１２２の色ムラを検出できる。【選択図】　　　　　図１
2004028833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に異なる色を備えた複数種類の着色層が配列されてなるカラーフィルタの検査方法であって、観察位置の手前に、前記カラーフィルタと、前記複数種類の着色層のうち一種の前記着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する光フィルタとを光軸方向に配列させて観察を行うことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項２】
前記光フィルタを介して前記カラーフィルタを観察することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項３】
前記複数種類の着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する複数の光フィルタを順次用いることにより、前記複数種類の着色層を順次観察することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項４】
前記光フィルタは、前記着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項５】
前記光フィルタは、前記カラーフィルタの全面を光学的にカバーできるように用いられることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項６】
相互に異なる色を備えた複数種類の着色層が配列されてなるカラーフィルタを含む電気光学装置の製造方法であって、
前記カラーフィルタを形成した後に、観察位置の手前に、前記カラーフィルタと、前記複数種類の着色層のうち一種の前記着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する光フィルタとが光軸方向に配列された状態で観察が行われる、前記カラーフィルタの検査工程を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記カラーフィルタの検査工程では、前記光フィルタを介して前記カラーフィルタが観察されることを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記カラーフィルタの検査工程では、前記複数種類の着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する複数の光フィルタを順次用いることにより、前記複数種類の着色層が順次観察されることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
前記光フィルタは、前記着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記光フィルタは、前記カラーフィルタの全面を光学的にカバーできるように用いられることを特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラーフィルタの検査方法及び電気光学装置の製造方法に係り、特に、液晶表示装置の製造プロセスにおいて用いる場合に好適な製造技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置などの電気光学装置においては、カラー表示を可能にするためにカラーフィルタ（マイクロカラーフィルタ）を備えている。このカラーフィルタでは、電気光学装置の画素に対応して、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）などのように、相互に異なる色を有する複数種類の着色層がストライプ配列、デルタ配列、斜めモザイク配列などの適宜の配列態様にて配列される。
【０００３】
カラーフィルタの製造方法には種々の方法があるが、最も一般的なものの一つとして、着色された色材（感光性レジスト）を基板上に塗布し、フォトリソグラフィ法を用いて露光・現像によってパターニングするといった工程により、上記着色層を色毎に繰り返し形成していく方法が知られている。
【０００４】
カラーフィルタの着色層には、上記工程における塗布量の不均一性に起因して色ムラが発生する場合があり、この色ムラはきわめて微妙であるため、カラーフィルタの製造工程の後に目視によってカラーフィルタの外観を検査する工程が必要になる。この検査工程において色ムラが大きいと判定された場合には当該カラーフィルタは製造ラインから排除される。
【０００５】
例えば、色材には凝固部分が含まれる場合があり、これによって塗布ムラが発生し、この塗布ムラが色ムラの原因になる場合がある。また、色材の塗布はスピンコート法やロールコート法などによって行われるが、コーティング時の基板表面の凹凸や色材の供給量の時間的変動などによっても色ムラが生ずる場合がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の電気光学装置の製造方法においては、カラーフィルタに微細で異なる色の複数種類の着色層が所定の態様で配列されていることから、混色効果によって各色の色ムラを目視で検出することがきわめて困難であるという問題点がある。例えば、ＲＧＢの３色の着色層が配列されている場合、３色のそれぞれの色についてそれぞれ色ムラが生じていても、それらの色ムラを目視により別々に認識することは通常きわめて難しい。
【０００７】
一方、上記カラーフィルタの色ムラを容易に検出する方法としては、液晶表示装置などの電気光学装置のパネル構造を完成させた後に、駆動信号により単色表示を行った状態にして観察するという方法がある。しかし、この方法ではパネル構造を完成させてからでなければ検査ができないので、検査によってカラーフィルタの色ムラが発見されたときには、既にカラーフィルタの形成工程からパネル構造の完成までの余分な工数がかかっていることとなるため、生産効率を高めることができず、製造コストの上昇を招くという問題点がある。
【０００８】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、カラーフィルタの色ムラを容易かつ確実に検査できる方法を提供することにある。また、カラーフィルタの形成工程の直後に直ちに検査を行うことができる方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のカラーフィルタの検査方法は、相互に異なる色を備えた複数種類の着色層が配列されてなるカラーフィルタの検査方法であって、観察位置の手前に、前記カラーフィルタと、前記複数種類の着色層のうち一種の前記着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する光フィルタとを光軸方向に配列させて観察を行うことを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、カラーフィルタと光フィルタとを観察位置の手前において光軸方向に配列させて観察を行うことにより、光フィルタの光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する着色層のみが主として視認されることになるため、着色層の種類毎に観察を詳細に行うことが可能になり、その結果、色ムラを容易かつ確実に検出することが可能になる。例えば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の３色の着色層が配列されたカラーフィルタにおいては、Ｒ（赤）の着色層と近似した光透過特性の波長分散を有する光フィルタ（例えば、赤色領域に関するバンドパスフィルタ）を用いることにより、Ｒの着色層から出射される光のみが観察されることとなる。
【００１１】
なお、光フィルタが全面的に同一の光透過特性を有する必要はない。例えば、光フィルタを２分若しくは３分して、或いは、それ以上細分化して、相互に異なる種類の着色層の光透過特性に対応した相互に異なる光透過特性を有する領域が配列されるようにしても構わない。このようにすると、各領域毎に観察対象となる着色層の種類が異なることとなるが、複数の着色層に亘る或る程度の広さにおいて一種の着色層のみが観察されるように構成されていれば、本発明の効果は得られる。
【００１２】
また、光フィルタの光透過特性としては、複数種類の着色層のうちの或る着色層から出射された光は実質的に透過するが、他の着色層から出射された光は実質的に透過しないものであればよい。
【００１３】
ここで、前記光フィルタを介して前記カラーフィルタを観察することが好ましい。カラーフィルタと光フィルタとはいずれを観察側に配置しても構わないが、特に、光フィルタをカラーフィルタよりも観察側に配置することにより、光フィルタを介してカラーフィルタを観察することができる。このようにすると、カラーフィルタの各着色層から出射された光のうち、光フィルタによって透過する波長域の光のみを観察することとなるので、所望の色を有する着色層のみを観察しやすくなる。より具体的には、カラーフィルタを光フィルタよりも観察側に配置した場合にはカラーフィルタを直接視認することとなるので、光フィルタを透過する光以外にも、着色層で反射される反射光も観察されるために、明度は低いものの所望の着色層以外の他の色の着色層も目に入るので、色抜けや異物の付着などについては発見しやすくなるものの、色ムラの観察はやや困難になる。これに対して、光フィルタを観察側に配置して光フィルタを介してカラーフィルタを観察する場合には、カラーフィルタを直接視認することがないため、色情報以外の他の情報が遮断されることにより、色ムラをより容易かつ確実に観察することができる。
【００１４】
さらに、前記複数種類の着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する複数の光フィルタを順次用いることにより、前記複数種類の着色層を順次観察することが好ましい。このようにすると、カラーフィルタに設けられた複数種類の着色層を色毎に順次観察することができる。
【００１５】
また、前記光フィルタは、前記着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することが好ましい。光フィルタがカラーフィルタの着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することにより、着色層と光フィルタの光透過特性をより高いレベルで一致させることができるので、着色層の色ムラをさらに正確に観察することができるとともに、光フィルタの製造も容易になる。
【００１６】
さらに、前記光フィルタは、前記カラーフィルタの全面を光学的にカバーできるように用いられることが好ましい。これにより、カラーフィルタの全面を一括して観察することが可能になるため、より容易かつ迅速に検査を行うことができる。例えば、カラーフィルタが観察側に配置されている場合には、光フィルタを透過した光がカラーフィルタの全面を透過して観察されるように構成し、また、光フィルタが観察側に配置されている場合には、カラーフィルタを透過した全ての光が光フィルタを透過して観察されるように構成する。ただし、光フィルタをカラーフィルタの一部のみに重なるように構成し、光フィルタをカラーフィルタ上で走査しながら部分部分で順次観察を行っていくことも可能である。
【００１７】
次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、相互に異なる色を備えた複数種類の着色層が配列されてなるカラーフィルタを含む電気光学装置の製造方法であって、前記カラーフィルタを形成した後に、観察位置の手前に、前記カラーフィルタと、前記複数種類の着色層のうち一種の前記着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する光フィルタとが光軸方向に配列された状態で観察が行われる、前記カラーフィルタの検査工程を含むことを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、カラーフィルタと光フィルタとを観察位置の手前において光軸方向に配列させて観察を行うことにより、光フィルタの光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する着色層のみが主として視認されることになるため、着色層の種類毎に観察を詳細に行うことが可能になり、その結果、色ムラを容易かつ確実に検出することが可能になる。また、電気光学装置のパネル構造を完成させてから単色表示を行うことによりカラーフィルタの観察を行わなくても、基板上にカラーフィルタを形成した直後に検査を行うことができるようになるため、製造プロセス全体の製造効率を高めることができ、生産性を向上させることが可能になる。
【００１９】
ここで、前記カラーフィルタの検査工程では、前記光フィルタを介して前記カラーフィルタが観察されることが好ましい。カラーフィルタと光フィルタとはいずれを観察側に配置しても構わないが、特に、光フィルタをカラーフィルタよりも観察側に配置することにより、光フィルタを介してカラーフィルタを観察することができる。このようにすると、カラーフィルタの各着色層から出射された光のうち、光フィルタによって透過する波長域の光のみを観察することとなるので、所望の色を有する着色層のみを観察しやすくなる。
【００２０】
また、前記カラーフィルタの検査工程では、前記複数種類の着色層の光透過特性の波長分散と近似した波長分散を備えた光透過特性を有する複数の光フィルタを順次用いることにより、前記複数種類の着色層が順次観察されることが好ましい。このようにすると、カラーフィルタに設けられた複数種類の着色層を色毎に順次観察することができる。
【００２１】
さらに、前記光フィルタは、前記着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することが好ましい。光フィルタがカラーフィルタの着色層と同一素材で構成されたフィルタ層を有することにより、着色層と光フィルタの光透過特性をより高いレベルで一致させることができるので、着色層の色ムラをさらに正確に観察することができるとともに、光フィルタの製造も容易になる。
【００２２】
また、前記光フィルタは、前記カラーフィルタの全面を光学的にカバーできるように用いられることが好ましい。これにより、カラーフィルタの全面を一括して観察することが可能になるため、より容易かつ迅速に検査を行うことができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係るカラーフィルタの検査方法及び電気光学装置の製造方法の実施形態について詳細に説明する。
【００２４】
［第１実施形態］
図１は、カラーフィルタの検査時の様子を模式的に示す概略構成図である。光源１１とＣＣＤカメラ等の撮像装置１３との間に、カラーフィルタ基板１２と光フィルタ１４とが光軸方向に配列されている。光源１１としては、種々のランプを用いることができ、太陽を用いても構わないが、例えば、可視光領域の輝度分布がカラーフィルタの観察に適しているものとして蛍光管（冷陰極管など）を用いることが好ましい。また、常に一定の視野、位置及び感度でカラーフィルタを観察するためには、撮像装置１３を用いることが好ましいが、直接肉眼で、或いは、顕微鏡等の拡大手段を用いて視認してもよい。
【００２５】
カラーフィルタ基板１２は、ガラスやプラスチック等の透明な基板１２１上に、異なる色の複数種類の着色層が配列されてなるカラーフィルタ１２２が形成されたものである。例えば、カラーフィルタ１２２においては、図２（ａ）に示すように、赤色の着色層１２２Ｒと、緑色の着色層１２２Ｇと、青色の着色層１２２Ｂとが適宜のパターンにて配列される。また、各着色層の間は、黒色樹脂や金属膜等で構成される遮光層１２２ＢＭによって遮光される。着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂは、例えば図３（ａ）に示す光透過特性を示す。着色層１２２Ｒは波長６５０〜７５０ｎｍの範囲で高い透過率を有し、着色層１２２Ｇは波長５００〜６００ｎｍの範囲で高い透過率を有し、着色層１２２Ｂは波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で高い透過率を有する波長分散を備えている。
【００２６】
光フィルタ１４は、上記各着色層の光透過特性の波長分散と近似した光透過特性を有するものが選ばれる。例えば、着色層１２２Ｒに対応する光フィルタとしては、波長６５０〜７５０ｎｍの範囲で高い透過率を有し、着色層１２２Ｇに対応する光フィルタとしては波長５００〜６００ｎｍの範囲で高い透過率を有し、着色層１２２Ｂに対応する光フィルタとしては波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で高い透過率を有する波長分散を備えたものがそれぞれ用いられる。
【００２７】
光フィルタ１４としては、上記複数種類の着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂのうち、いずれか一つの着色層が高い透過率を有する波長域において高い透過率を有するとともに、他の着色層において高い透過率を有する波長域の光を実質的に透過しない波長分散特性を有するものが好ましい。
【００２８】
光フィルタ１４としては、着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂと全く同じ色材を用いて形成されたものを用いることがさらに望ましい。図３（ｂ）には着色層１２２Ｇに対応した光フィルタの光透過特性を示す。このように、光フィルタ１４を着色層と同じ色材を用いて形成することにより、その光透過特性の波長分散は着色層のそれと基本的に同様となる。例えば、少なくとも可視光領域において透明なガラスやプラスチック等で構成される基板上に、上記いずれかの着色層と同様の色材（例えば感光性レジスト）を塗布し、硬化させたものを用いることができる。また、この場合に光フィルタに設けられる色材の厚さは着色層とほぼ等しいことが好ましい。より具体的には、着色層の厚さの０．５〜１．５倍の厚さであることが望ましい。光フィルタの色材の厚さが薄すぎると透過率が全波長域で上昇するので、異なる色の他の着色層から出射される光を遮断することが難しくなり、他の色が混じることにより注目している色の色ムラが判別しにくくなる。また、光フィルタの色材の厚さが厚すぎると透過率が全波長域で減少するので、光フィルタを透過する光量が減少するとともに、光フィルタによる吸収割合がカラーフィルタによる光吸収に較べて増大するために、光フィルタの特性が支配的になることから、着色層の色ムラそのものが観察しにくくなる。
【００２９】
本実施形態においては、光源１１から照射された光はカラーフィルタ１２の各着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂを透過して、図３（ａ）に示すスペクトルＲ，Ｇ，Ｂを有する光に変換される。なお、図示Ｔは、スペクトルＲ，Ｇ，Ｂを合成してなる白色スペクトルである。
【００３０】
上記の各着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂを透過した光は光フィルタ１４を通過することによってさらに変換される。例えば、図３（ｂ）に示すように着色層１２２Ｇとほぼ等しい光透過特性を有する光フィルタ１４を用いると、着色層１２２Ｒと１２２Ｂから出射された光はほとんど光フィルタ１４において吸収されるため、着色層１２２Ｇから出射された光のみが光フィルタ１４を透過することにより、最終的に撮像装置１３にて検出される光の分光特性は図３（ｃ）に示すようになる。また、撮像装置１３にて撮像される画像は、図２（ｂ）に示すように、着色層１２２Ｇに対応する領域のみが明るくなり、結果として、着色層１２２Ｇを透過した光の一部だけが観察されることとなる。
【００３１】
本実施形態の場合には、着色層１２２Ｒ，１２２Ｂを透過する光は実質的に観察されなくなるので、着色層１２２Ｇを透過した光のみが観察されることとなり、これによって他の色に妨害されなくなるため、着色層１２２Ｇの色ムラを容易かつ確実に知ることができる。
【００３２】
上記説明では光フィルタ１４を着色層１２２Ｇに対応する光透過特性を有するものとする場合について述べたが、上記と同様に着色層１２２Ｒに対応する光透過特性を有する光フィルタを用いることによって着色層１２２Ｒの色ムラを観察することが可能であり、また、着色層１２２Ｂに対応する光透過特性を有する光フィルタを用いることによって着色層１２２Ｂの色ムラを観察することができる。したがって、複数種類の着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂに対応する光フィルタを差し替えながら順次観察を行うことによって、全ての着色層について色ムラを検出することができる。
【００３３】
また、本実施形態では、図１に示すように、光フィルタ１４を通してカラーフィルタ１２２全体を視認できるように、光フィルタ１４が光学的にカラーフィルタ１２２の全体をカバーするように構成されている。したがって、カラーフィルタ１２２の全体を一度に見渡すようにして色ムラを観察することができるので、色ムラの検出をより容易に行うことができる。
【００３４】
さらに、本実施形態では、或る一種の着色層に対応した全体としてほぼ均一な光透過特性を有する光フィルタを用いるだけでよいため、製造コストを上昇させることがないという利点がある。また、ほぼ均一な光透過特性を有する光フィルタを用いることによって、カラーフィルタ１２２と光フィルタ１４との距離が大きくなっても混色が生じないなど、当該距離の変化に影響を受け難いので、検査時の取り扱いも容易になる。
【００３５】
なお、本実施形態では、カラーフィルタ１２２よりも光フィルタ１４を観察側に配置しているが、これとは逆に、光フィルタ１４よりもカラーフィルタ１２２を観察側に配置して観察を行っても構わない。ただし、この場合には、観察側からカラーフィルタ１２２に入射する外光が着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂで反射されて生ずる反射光も観察されることとなるので、カラーフィルタ１２２の表面状態、色抜け、異物の付着などについては検出しやすくなるものの、観察すべき色の着色層以外の着色層も低い明度ではあるものの視認されるため、色ムラを観察しにくくなる傾向がある。このようなことは後述する他の実施形態についても同様である。
【００３６】
［第２実施形態］
次に、図４を参照して本発明に係る第２実施形態について説明する。この実施形態においては、光フィルタ２４を除いて光源１１、カラーフィルタ基板１２、撮像装置１３は全て第１実施形態と同様であるので、これらの説明は省略する。
【００３７】
本実施形態の光フィルタ２４は、着色層１２２Ｒに対応する光透過特性を有するＲフィルタ部２４Ｒと、着色層１２２Ｇに対応する光透過特性を有するＧフィルタ部２４Ｇと、着色層１２２Ｂに対応する光透過特性を有するＢフィルタ部２４Ｂとを一体に備えている。また、各フィルタ部２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂは、それぞれが光学的にカラーフィルタ１２２の全体をカバーできるように構成されている。
【００３８】
本実施形態においては、光フィルタ２４のＲフィルタ部２４Ｒ，Ｇフィルタ部２４Ｇ及びＢフィルタ部２４Ｂのいずれかを用いてカラーフィルタ１２２を観察することによってそれぞれ着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂを観察することができる。また、光フィルタ２４を図示矢印のように移動させることによって他のフィルタ部による観察を直ちに行うことができる。
【００３９】
［第３実施形態］
次に、図５を参照して本発明に係る第３実施形態について説明する。この実施形態においても、第２実施形態と同様に、光源１１、カラーフィルタ基板１２及び撮像装置１３は第１実施形態と同様であるので、これらの説明は省略する。
【００４０】
本実施形態の光フィルタ３４は、Ｒフィルタ部３４Ｒ，Ｇフィルタ部３４Ｇ，Ｂフィルタ部３４Ｂ，Ｒフィルタ部３４Ｒが順次一体に配列されたものである。ここで、各フィルタ部はカラーフィルタ１２２の一部のみを光学的にカバーするように構成されている。
【００４１】
より具体的には、２つの隣接するフィルタ部によってカラーフィルタ１２２の全体を光学的にカバーできるように構成されている。したがって、例えば、隣接するＲフィルタ部３４ＲとＧフィルタ部３４Ｇをカラーフィルタ１２２と光学的に重ねることによってカラーフィルタ１２２の全体を一度に観察できる。この場合、Ｒフィルタ部３４Ｒが配置されている領域においては着色層１２２Ｒを観察することができ、Ｇフィルタ部３４Ｇが配置されている領域においては着色層１２２Ｇを観察することができる。
【００４２】
上記状態から光フィルタ３４を図示矢印に示すように移動させることにより、Ｇフィルタ部３４ＧとＢフィルタ部３４Ｂとをカラーフィルタ１２２に光学的に重ねることにより、Ｒフィルタ部３４Ｒが配置されていた領域にＧフィルタ部３４Ｇが配置されて着色層１２２Ｇを観察することができ、Ｇフィルタ部３４Ｇが配置されていた領域にＢフィルタ部３４Ｂが配置されて着色層１２２Ｂを観察することができるようになる。
【００４３】
さらに、上記状態から光フィルタ３４をさらに図示矢印に示すように移動させることにより、Ｂフィルタ部３４ＢとＲフィルタ部３４Ｒとをカラーフィルタ１２２に光学的に重ねることにより、Ｇフィルタ部３４Ｇが配置されていた領域にＢフィルタ部が配置されて着色層１２２Ｂを観察することができ、Ｂフィルタ部３４Ｂが配置されていた領域にＲフィルタ部３４Ｒが配置されて着色層１２２Ｒを観察することができるようになる。
【００４４】
以上のようにして、本実施形態でも、カラーフィルタ１２２を全体に亘り各着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂについてそれぞれ観察することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では、カラーフィルタ１２２を２分して２種類のフィルタ部によって観察するようにしているが、３分して３種類のフィルタ部によって観察するようにしてもよく、それ以上の数に分割して観察しても構わない。ただし、分割された領域内に重なる範囲において同種の着色層が複数含まれていて、当該領域において複数の着色層に亘る色ムラが判明可能な状態になっている必要がある。
【００４６】
［電気光学装置の製造方法］
最後に、本発明に係る電気光学装置の製造方法の実施形態について図６を参照して説明する。電気光学装置としては、液晶装置の他に、無機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、フィールドエミッションデバイスなど、電気光学効果を有する電気光学物質を用いて何らかの表示態様を実現できるものが広く含まれるが、本実施形態では液晶装置を構成する場合について以下説明する。
【００４７】
本実施形態では、ガラスやプラスチック等で構成される透明な基板１０１，１０２を、シール材１０３等を介して相互に貼り合せて構成したセルの内部に液晶１０４を封入したパネル構造を有する。
【００４８】
基板１０１の内面には、ＩＴＯ等で構成された透明電極１１１が設けられる。透明電極１１１は例えばスパッタリング法や蒸着法などによって形成される。透明電極１１１上にはポリイミド樹脂等で構成される配向膜１１２が被覆される。配向膜１１２は、未硬化状態の樹脂を塗布し、これを１００〜１５０℃で焼成することによって形成される。配向膜１１２には、公知のラビング処理のように液晶１０４に対して所定の初期配向状態を生じさせるための配向処理が施される。
【００４９】
一方、基板１０２の内面上には上記のカラーフィルタ１２２が形成される。すなわち、着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂと、遮光層１２２ＢＭとが所定のパターンにて配列される。着色層１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂは、例えば感光性樹脂に顔料や染料等の着色材を分散させたものをスピンコート法やロールコート法などにより塗布し、公知のフォトリソグラフィ法により露光・現像してパターニングする一連の工程を色毎に繰り返し行うことにより、後述する画素に対応するように適宜の配列態様で配列される。配列態様としては、公知のストライプ配列、デルタ配列、斜めモザイク配列など、必要とされる表示特性に応じて適宜の配列パターンが選定される。
【００５０】
上記着色層上にはアクリル樹脂等で構成される透明な保護膜１２２Ｐが形成される。この保護膜１２２Ｐは、各着色層内に異物が侵入して変性しないように保護するとともに、カラーフィルタ１２２の表面を平坦化するためのものである。
【００５１】
上記のように構成されたカラーフィルタ１２２上には、ＩＴＯ等で構成される透明電極１２３が上記と同様の方法で形成される。そして、この透明電極１２３上にはさらに上記と同様の配向膜１２４が形成される。
【００５２】
液晶１０４としては、ＴＮ（ツイステッドネマチック）型若しくはＳＴＮ型（スーパーツイステッドネマチック）型の表示モードを用いる場合には、公知のネマチック液晶が用いられる。また、このネマチック液晶に適宜カイラル剤を添加したものを用いてもよい。
【００５３】
基板１０１，１０２の外面上には、偏光板１０５，１０６が相互に透過偏光軸が所定角度で交差する姿勢で貼着される。例えば、通常のＴＮ型液晶表示装置を構成する場合には偏光板１０５と１０６の透過偏光軸は相互に直交するように配置される。
【００５４】
上記のような液晶装置の製造プロセスにおいては、基板１０２上にカラーフィルタ１２２が形成されてなるカラーフィルタ基板に対して、上記第１実施形態乃至第３実施形態に示す方法でカラーフィルタ１２２の検査が行われる。このカラーフィルタ１２２に対する検査（例えば目視検査乃至は外観検査）によってカラーフィルタ１２２の色ムラ等の不良が発見されれば、当該カラーフィルタ基板は製造プロセス中から排除される。したがって、図６に示すパネル構造を完成させた後に電位を供給して単色表示をしなくても、事前に容易かつ確実に検査を行うことが可能になるので、無駄なプロセスを省略することができ、液晶装置の製造を効率的に行うことができるようになる。
【００５５】
尚、本発明のカラーフィルタの検査方法及び電気光学装置の製造方法は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本発明は、各種の電気光学装置の構成、例えば、反射型，反射半透過型，透過型などの表示タイプ、セグメント型，パッシブマトリクス型，アクティブマトリクス型などの各種構造・駆動タイプ、ゲスト−ホスト型，高分子分散型などの原理タイプなどについてそれぞれ種々の構成を有する電気光学装置に対して適用できる。
【００５６】
また、電気光学装置としては、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、電気泳動ディスプレイ装置、プラズマディスプレイ装置、電界放出ディスプレイ装置（フィールドエミッションディスプレイ装置）、ＬＥＤ表示装置（ライトエミッティングダイオードディスプレイ装置）等にも適用可能である。
【００５７】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、カラーフィルタ単体でも、或いは、カラーフィルタの形成直後であっても容易かつ確実に検査を行うことができる。また、検査コストが低く、検査時の取り扱いも容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るカラーフィルタの検査方法の第１実施形態の検査装置或いは検査状況を示す概略構成図である。
【図２】カラーフィルタの一部を拡大して示す拡大部分平面図（ａ）、及び、光フィルタを介してカラーフィルタを観察した場合の様子を拡大して示す拡大部分平面図（ｂ）である。
【図３】カラーフィルタの光透過特性を示すグラフ（ａ）、光フィルタの光透過特性を示すグラフ（ｂ）、及び、観察される光の分光透過率を示すグラフ（ｃ）である。
【図４】本発明に係るカラーフィルタの検査方法の第２実施形態の検査装置或いは検査状況を示す概略構成図である。
【図５】本発明に係るカラーフィルタの検査方法の第２実施形態の検査装置或いは検査状況を示す概略構成図である。
【図６】本発明に係る電気光学装置の製造方法により製造した液晶装置の概略構成を示す概略構成断面図である。
【符号の説明】
１１・・・光源
１２・・・カラーフィルタ基板
１３・・・撮像装置
１４，２４，３４・・・光フィルタ
１２１・・・基板
１２２・・・カラーフィルタ
１２２Ｒ，１２２Ｇ，１２２Ｂ・・・着色層
２４Ｒ，３４Ｒ・・・Ｒフィルタ部
２４Ｇ，３４Ｇ・・・Ｇフィルタ部
２４Ｂ，３４Ｂ・・・Ｂフィルタ部
１００・・・液晶装置
１０１，１０２・・・基板
１０３・・・シール材
１０４・・・液晶
１０５，１０６・・・偏光板
１１１，１２３・・・透明電極
１１２，１２４・・・配向膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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