(57)【要約】【課題】ゲート電極からの不純物の侵入を防止して特性の劣化を防ぐとともに、窒素含有による動作の悪化を除去し得る電界効果型トランジスタを製造する。【解決手段】前処理工程で、シリコン基板１０の能動領域１２上に窒素成分を含むシリコン酸化膜１３が形成される。非酸化性ガス雰囲気下で熱処理を施す偏析工程で、シリコン基板１０とシリコン酸化膜１３との界面にシリコン窒化膜層１４が偏析される。その後、シリコン窒化膜層１４上の不要なシリコン酸化膜１３が除去され、露出したシリコン窒化膜層１４を透過させつつ、熱拡散によりその下にシリコン酸化膜層１５が形成される。その後、シリコン窒化膜層１４およびシリコン酸化膜層１５からなるゲート絶縁膜上にゲート電極１６が形成される。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板の能動領域上にゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタの製造方法であって、前記ゲート絶縁膜の形成工程は、
前記能動領域上に窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程と、
前記窒素含有シリコン酸化膜に対して、非酸化性ガス雰囲気下で熱処理をすることによって、前記窒素含有シリコン酸化膜中の窒素原子を偏析させ、前記窒素含有シリコン酸化膜と前記シリコン基板との界面にシリコン窒化膜を形成する工程と、
前記窒素含有シリコン酸化膜を除去した後、酸化性ガス雰囲気下で熱処理をすることによって、前記シリコン窒化膜と前記シリコン基板との界面にシリコン酸化膜を形成する工程と
を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項２】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、一酸化二窒素ガス雰囲気下で熱処理をすることによって行われることを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項３】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、酸化窒素ガス雰囲気下でのアニーリング処理からなる請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項４】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、前記能動領域への窒素成分の導入のための窒素イオン注入ステップと、シリコン酸化膜の形成のための熱処理ステップとからなる請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項５】
前記シリコン窒化膜を形成する工程は、急速加熱アニーリング法（ＲＴＡ）によるアニーリング処理からなる請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項６】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域には該シリコン窒化膜層を透過させつつ、シリコン酸化膜層を形成する一方、シリコン窒化膜層がない能動領域には前記シリコン窒化膜層の下に形成されるシリコン酸化膜層よりも厚いシリコン酸化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項７】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域上に窒素成分を含むシリコン酸化膜を形成し、
前記シリコン窒化膜を形成する工程では、前記複数の能動領域におけるシリコン基板と前記シリコン酸化膜との界面にシリコン窒化膜層を偏析させ、
偏析したシリコン窒化膜層を露出させるべく該シリコン窒化膜層上の不要なシリコン酸化膜を除去した後、
露出したシリコン窒化膜層を必要とする能動領域を保護膜で被覆し、不要なシリコン窒化膜層をエッチングにより除去し、その後に前記保護膜を除去する工程を設け、
当該工程によって、前記複数の能動領域のうちの一部の能動領域にだけシリコン窒化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項８】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、酸化窒素ガス雰囲気下でのアニーリング処理からなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域には該シリコン窒化膜層を透過させつつ、シリコン酸化膜層を形成する一方、シリコン窒化膜層がない能動領域には前記シリコン窒化膜層の下に形成されるシリコン酸化膜層よりも厚いシリコン酸化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項９】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、前記能動領域への窒素成分の導入のための窒素イオン注入ステップと、シリコン酸化膜の形成のための熱処理ステップとからなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域には該シリコン窒化膜層を透過させつつ、シリコン酸化膜層を形成する一方、シリコン窒化膜層がない能動領域には前記シリコン窒化膜層の下に形成されるシリコン酸化膜層よりも厚いシリコン酸化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１０】
前記シリコン窒化膜を形成する工程は、急速加熱アニーリング法（ＲＴＡ）によるアニーリング処理からなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域には該シリコン窒化膜層を透過させつつ、シリコン酸化膜層を形成する一方、シリコン窒化膜層がない能動領域には前記シリコン窒化膜層の下に形成されるシリコン酸化膜層よりも厚いシリコン酸化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１１】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、一酸化二窒素ガス雰囲気下で熱処理をすることによって行われ、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域には該シリコン窒化膜層を透過させつつ、シリコン酸化膜層を形成する一方、シリコン窒化膜層がない能動領域には前記シリコン窒化膜層の下に形成されるシリコン酸化膜層よりも厚いシリコン酸化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１２】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域に該シリコン窒化膜層を透過させてシリコン酸化膜層を形成しつつ、シリコン窒化膜層がない能動領域に前記シリコン窒化膜層と同等の厚さのシリコン酸化膜層を形成し、
これらのシリコン窒化膜層とシリコン酸化膜層とにそれぞれゲートを形成した後、
シリコン窒化膜層側にはｐ型の電界効果型トランジスタを形成し、シリコン酸化膜層側にはｎ型の電界効果型トランジスタを形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１３】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域上に窒素成分を含むシリコン酸化膜を形成し、
前記シリコン窒化膜を形成する工程では、前記複数の能動領域におけるシリコン基板と前記シリコン酸化膜との界面にシリコン窒化膜層を偏析させ、
偏析したシリコン窒化膜層を露出させるべく該シリコン窒化膜層上の不要なシリコン酸化膜を除去した後、
露出したシリコン窒化膜層を必要とする能動領域を保護膜で被覆し、不要なシリコン窒化膜層をエッチングにより除去し、その後に前記保護膜を除去する工程を設け、
当該工程によって、前記複数の能動領域のうちの一部の能動領域にだけシリコン窒化膜層を形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１４】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、酸化窒素ガス雰囲気下でのアニーリング処理からなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域に該シリコン窒化膜層を透過させてシリコン酸化膜層を形成しつつ、シリコン窒化膜層がない能動領域に前記シリコン窒化膜層と同等の厚さのシリコン酸化膜層を形成し、
これらのシリコン窒化膜層とシリコン酸化膜層とにそれぞれゲートを形成した後、
シリコン窒化膜層側にはｐ型の電界効果型トランジスタを形成し、シリコン酸化膜層側にはｎ型の電界効果型トランジスタを形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１５】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、前記能動領域への窒素成分の導入のための窒素イオン注入ステップと、シリコン酸化膜の形成のための熱処理ステップとからなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域に該シリコン窒化膜層を透過させてシリコン酸化膜層を形成しつつ、シリコン窒化膜層がない能動領域に前記シリコン窒化膜層と同等の厚さのシリコン酸化膜層を形成し、
これらのシリコン窒化膜層とシリコン酸化膜層とにそれぞれゲートを形成した後、
シリコン窒化膜層側にはｐ型の電界効果型トランジスタを形成し、シリコン酸化膜層側にはｎ型の電界効果型トランジスタを形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１６】
前記シリコン窒化膜を形成する工程は、急速加熱アニーリング法（ＲＴＡ）によるアニーリング処理からなり、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域に該シリコン窒化膜層を透過させてシリコン酸化膜層を形成しつつ、シリコン窒化膜層がない能動領域に前記シリコン窒化膜層と同等の厚さのシリコン酸化膜層を形成し、
これらのシリコン窒化膜層とシリコン酸化膜層とにそれぞれゲートを形成した後、
シリコン窒化膜層側にはｐ型の電界効果型トランジスタを形成し、シリコン酸化膜層側にはｎ型の電界効果型トランジスタを形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１７】
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程は、一酸化二窒素ガス雰囲気下で熱処理をすることによって行われ、
前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する工程およびシリコン窒化膜を形成する工程では、前記シリコン基板の複数の能動領域のうちの一部の能動領域に前記シリコン窒化膜層を偏析させ、
前記シリコン酸化膜を形成する工程によって、シリコン窒化膜層がある能動領域に該シリコン窒化膜層を透過させてシリコン酸化膜層を形成しつつ、シリコン窒化膜層がない能動領域に前記シリコン窒化膜層と同等の厚さのシリコン酸化膜層を形成し、
これらのシリコン窒化膜層とシリコン酸化膜層とにそれぞれゲートを形成した後、
シリコン窒化膜層側にはｐ型の電界効果型トランジスタを形成し、シリコン酸化膜層側にはｎ型の電界効果型トランジスタを形成することを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１８】
前記ゲート絶縁膜上にゲートを形成した後、当該ゲート絶縁膜に窒素イオン原子を注入する工程と、
前記窒素イオン原子を酸化膜中に偏析させるべく熱処理を施して窒素イオン濃度を高める工程とを追加したことを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【請求項１９】
前記ゲート絶縁膜上にゲートを形成した後、当該ゲート絶縁膜に窒素イオン原子を注入する工程と、
前記窒素イオン原子を酸化膜中に偏析させるべく熱処理を施して窒素イオン濃度を高める工程とを追加し、
前記窒素イオン濃度を高める工程は、急速加熱アニーリング法（ＲＴＡ）によるアニーリング処理からなる請求項１記載の製造方法。
【請求項２０】
前記ゲート絶縁膜上にゲートを形成した後、特定の回路が形成される領域についての当該ゲート絶縁膜に窒素イオン原子を注入する工程と、
前記窒素イオン原子を酸化膜中に偏析させるべく熱処理を施して窒素イオン濃度を高める工程とを追加したことを特徴とする請求項１記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層ゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタの製造方法に関し、特に、ゲート絶縁膜を薄くして電界効果型トランジスタを小型化でき、かつ動作特性が良好な電界効果型トランジスタを構成できる製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高集積化高性能化が進むシステムＬＳＩにおいては、電界効果型トランジスタにおけるゲート絶縁膜の薄膜化が進んでいる。このようなゲート絶縁膜には、酸化膜中に窒素を含有させたものが用いられている。これは、ゲート絶縁膜の薄膜化に伴い、ゲート電極の不純物が酸化膜中を拡散して電界効果型トランジスタの性能を劣化させることを窒素原子によって防止するためである。
このような電界効果型トランジスタのゲート絶縁膜を形成するための従来の製造方法として以下のようなものがあった。
【０００３】
第１の方法として、シリコン基板上の電界効果型トランジスタを形成する領域を一酸化窒素（ＮＯ）や二酸化窒素（Ｎ２Ｏ）等の窒素原子を含むガス雰囲気中で熱処理することにより、そこにＳｉＯＮ膜を形成する方法があった。これは、広く用いられている方法である。
また、第２の方法として、シリコン基板上の電界効果型トランジスタを形成する領域をまず酸素ガス雰囲気中で熱処理して酸化膜を形成し、次に窒素含有ガス雰囲気中で熱処理することにより、その酸化膜中にＳｉＯＮを生成する方法も考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の技術には、次のような課題があった。
すなわち、酸化膜中に存在する窒素原子は、ゲート電極に含まれている不純物の拡散を抑制する一方で、電界効果型トランジスタの動作も妨げることが明らかとなってきた。これは、ＳｉＯ２とは異なり、ＳｉＯＮが規則正しい結晶構造を形成せず、キャリアの導通を妨げるためと考えられる。このような不具合は、ゲート絶縁膜の薄膜化が進むに従って著しくなった。このため、ゲート絶縁膜においては、その上層部分にのみ窒素原子を含有させて下層部分は酸化膜とすることが望まれていた。ところが、上述した第１の従来方法では、これをなし得なかった。
また、上述した第２の従来方法を用いて上層部分にのみ窒素原子を含ませようとしても第１の従来方法と同様の結果となった。これは偏析と呼ばれる現象により、窒素原子が酸化膜中に熱拡散していくためである。この現象もゲート絶縁膜の薄膜化に伴い、顕著となった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は以上の点を解決するためになされたもので、特に、薄膜構造の電界効果型トランジスタについて、上層部分に窒素原子を含有させ、下層部分は純粋な酸化膜とした多層構造のゲート絶縁膜を有するような電界効果型トランジスタの製造方法を提供したものである。そのために、次の構成を採用する。
【０００６】
〈構成〉
シリコン基板の能動領域上にゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタの製造方法において、以下のような工程から成るゲート絶縁膜形成工程を有する。第１の工程として、前記能動領域上に窒素含有シリコン酸化膜を形成する前処理工程を有する。
第２の工程として、前記窒素含有シリコン酸化膜に対して、非酸化性ガス雰囲気下で熱処理をすることによって、前記窒素含有シリコン酸化膜中の窒素原子を偏析させ、前記窒素含有シリコン酸化膜と前記シリコン基板との界面にシリコン窒化膜を形成する偏析工程を有する。
第３の工程として、前記窒素含有シリコン酸化膜を除去した後、酸化性ガス雰囲気下で熱処理をすることによって、前記シリコン窒化膜と前記シリコン基板との界面にシリコン酸化膜を形成する拡散工程を有する。
【０００７】
また、前記シリコン窒化膜を形成する偏析工程の前にパターンニングの工程を追加することにより、特定の領域には窒化膜を形成しないようにして、それに続く前記シリコン酸化膜を形成する拡散工程を行う。
【０００８】
〈作用〉
本発明に係る前記製造方法では、前記窒素含有シリコン酸化膜を形成する前処理の工程で前記能動領域上に形成された窒素成分を含むシリコン酸化膜と前記シリコン基板との界面には、前記前処理後の前記偏析工程により、シリコン窒化膜層が偏析される。シリコン窒化膜層上の不要なシリコン酸化膜は除去され、露出したシリコン窒化膜層を透過させつつ、酸素原子が拡散され、シリコン窒化膜層下の前記シリコン基板内に酸化膜層が形成される。これにより、前記シリコン窒化膜層および前記酸化膜層からなる積層構造を有するゲート絶縁膜が形成され、該ゲート絶縁膜上にゲートが形成される。
【０００９】
また、前記偏析工程は、急速加熱アニーリング法（ＲＴＡ）によるアニーリング処理を採用することができる。この急速加熱アニーリング法を採用することにより、前記シリコン酸化膜と前記シリコン基板との界面に、シリコン窒化膜層をより効率的に偏析させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態について詳細に説明する。
〈具体例１〉
図１は、本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例１を示す製造工程図である。
図１に示す例では、シリコン基板として、例えばｐ型のシリコン基板が用いられている。
【００１１】
図１（ａ）に示されているように、ｐ型シリコン基板１０の表面には、例えば従来よく知られたＬＯＣＯＳ法を用いて形成された約５０ｎｍ〜３００ｎｍの厚さ寸法を有するフィールド酸化膜からなる素子分離領域１１により、素子形成領域である能動領域１２が区画される。
能動領域１２の形成後、シリコン基板１０は、例えば一酸化二窒素ガス（Ｎ２Ｏ）雰囲気下で、第１の熱処理すなわち第１のアニーリング処理を受ける。この熱処理にはＲＴＡ（急速加熱アニーリング）法を用いることが望ましく、例えば７００℃〜１２００℃でのＲＴＡ法を用いた前処理により、シリコン基板１０の能動領域１２上には、図１（ｂ）に示されているように、窒素成分を含む例えば１ｎｍ〜２０ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン酸化膜１３が形成される。
【００１２】
シリコン酸化膜１３の形成後、例えば窒素ガス（Ｎ２）のような非酸化性ガス雰囲気下で、シリコン基板１０は、前処理である前記第１の熱処理後の第２の熱処理を受ける。この第２の熱処理すなわち第２のアニーリング処理は、前処理におけると同様な例えば７００℃〜１２００℃でのＲＴＡ法を用いることができる。この第２の熱処理により、図１（ｃ）に示されているように、シリコン基板１０とシリコン酸化膜１３との間には、該シリコン酸化膜中の窒素原子の偏析すなわちパイルアップにより、例えば０．１ｎｍ〜５ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン窒化膜層１４が形成される。
【００１３】
この窒素原子の偏析によるシリコン窒化膜層の偏析現象は、例えばＳＳＤＭ（応用物理学会、固体素子および材料）１９９８年、第１０６および１０７頁に記載されている。
シリコン窒化膜層１４の偏析工程として、ＲＴＡ法以外の熱処理を採用することができる。しかしながら、窒素原子の効果的な偏析により、シリコン窒化膜層１４を効率的に形成する上で、すなわち効果的にシリコン窒化膜層１４を偏析させる上で、前記したＲＴＡ法を用いることが望ましい。
【００１４】
シリコン窒化膜層１４の形成後、該シリコン窒化膜層１４上の不要なシリコン酸化膜１３が、図１（ｄ）に示されているように、除去される。このシリコン酸化膜１３の除去には、例えば濃度が０．１％〜１０％のフッ化水素酸溶液を用いたエッチング処理を用いることができる。
シリコン酸化膜１３の除去によって能動領域１２上で露出するシリコン窒化膜層１４下のシリコン基板内には、図１（ｅ）に示されているように、シリコン酸化膜層（ＳｉＯ２）１５が形成される。
シリコン酸化膜層１５は、酸素ガス雰囲気下で、例えば７００〜１２００℃での熱処理により、例えば０．１ｎｍ〜１０ｎｍの厚さ寸法に形成される。
【００１５】
前記したシリコン酸化膜層１５の形成処理では、能動領域１２が酸素の透過を抑制するシリコン窒化膜層１４で覆われていることから、シリコン窒化膜層１４下でのシリコン酸化膜の成長が効果的に制御される。従って、膜厚が薄い多層ゲート絶縁膜の形成が容易となる。
以上の工程により、シリコン基板１０の能動領域１２上には、シリコン窒化膜層１４およびシリコン酸化膜層１５からなる積層構造を有するゲート絶縁膜（１４および１５）が形成される。
このゲート絶縁膜（１４および１５）上には、例えば従来よく知られたスパッタ法によりゲート電極材料となる窒化チタン（ＴｉＮ）が形成された後、この窒化チタン膜へのフォトリソグラフィおよびエッチング処理により、図１（ｆ）に示すようなゲート電極１６が形成される。
【００１６】
このゲート電極１６をマスクとして、例えばリンがイオン注入法により、選択的に能動領域１２に注入され、シリコン基板１０が熱処理を受けることにより、その能動領域１２に、一対の拡散領域からなる従来よく知られたソース・ドレイン領域１７および１７が形成される。
その後、シリコン基板１０上には、図１（ｇ）に示されているように、ゲート電極１６を埋設すべく、例えばＣＶＤ法により、例えば酸化シリコンからなる層間絶縁膜１８が形成される。この層間絶縁膜１８には、従来よく知られているように、例えばフォトリソエッチング技術を用いて、ソース・ドレイン領域１７および１７に開放するコンタクト孔１９が形成される。層間絶縁膜１８上には、コンタクト孔１９を充填すべく、例えばスパッタ法により、アルミニゥムのような金属材料が堆積され、この堆積された不要な金属材料がフォトリソエッチング技術により、除去されることにより、各ソース・ドレイン領域１７および１７に至る配線２０が形成され、これにより、電界効果型トランジスタ１が形成される。
【００１７】
尚、上述した実施例では、熱処理により窒素が混入したシリコン酸化膜１３を形成する場合について説明したが、これに限らず、イオン注入法を用いることができる。すなわち、前述した前処理の工程において、能動領域１２に、その表面から、窒素イオンを例えば１０ｋＶ〜１００ｋＶの加速電圧で注入する。そして、能動領域１２の表面のほぼ全域に窒素成分が導入されたシリコン基板１０を、一酸化二窒素ガス雰囲気下で、熱処理する。この熱処理には、前記したと同様な例えば７００℃〜１２００℃のＲＴＡ法を用いることが望ましい。この第１の熱処理を含む前処理工程により、能動領域１２には、図１（ｂ）に示したと同様な窒素成分を含むシリコン酸化膜１３が形成される。
【００１８】
以上詳細に説明したように、本発明に係る具体例１による電界効果型トランジスタの製造方法では、シリコン窒化膜層１４は、シリコン酸化膜１３とシリコン基板１０との間への窒素原子の偏析により形成され、シリコン酸化膜層１５は、シリコン酸化膜１３を取り除いた後のシリコン窒化膜層１４を透過した酸素の拡散により形成されることから、上層部分がシリコン窒化膜層１４であり、下層部分がシリコン酸化膜層１５である多層構造のゲート絶縁膜を形成することができる。よって、上層部分のシリコン窒化膜層１４によって、下層部分のシリコン酸化膜層１５に対するゲート電極１６からの不純物の侵入を防止するとともに、下層部分のシリコン酸化膜層１５とシリコン基板１０との界面でのキャリアの導通により、電界効果型トランジスタの動作を良好に保つことができる。
【００１９】
また、偏析により、シリコン窒化膜層１４について、例えば０．１ｎｍ程度と言う極めて薄い厚さ寸法に適正に制御することができるとともに、シリコン窒化膜層１４による酸素原子の拡散の抑制により、シリコン酸化膜層１５についても、同様に、例えば０．１ｎｍ程度と言う極めて薄い厚さ寸法に適正に制御することができる。よって、ゲート絶縁膜の厚さ寸法の均一化を容易に行うことができる。
さらに、窒素成分を含むシリコン酸化膜１３の形成に、イオン注入法を用いることにより、より効果的にシリコン酸化膜１３に窒素成分を導入することができることから、このイオン注入を含む前処理工程後の偏析工程すなわち前記第２の熱処理で、効果的にシリコン窒化膜層１４を偏析させることが可能となる。
従って、偏析のための熱処理温度の低減化および熱処理時間の短縮化が可能となり、これによりシリコン基板１０が高熱処理を受けることによる転位の発生および増大等の熱処理損傷を防止することができ、この熱処理損傷による電界効果型トランジスタ１の性能の低減を防止し、性能の向上を図ることができる。
【００２０】
前記したところでは、前処理のためのガス雰囲気として、一酸化二窒素（Ｎ２Ｏ）ガスを用いたが、これに代えて例えば一酸化窒素（ＮＯ）のようなＮ原子を含むガス雰囲気を適宜選択することができる。また、前処理のための熱処理は、ＲＴＡ法に代えて、通常の加熱炉等を用いたアニーリング処理を採用することができる。
さらに、偏析工程のためのガス雰囲気には、前記した窒素ガスに限らず、アルゴン等の不活性ガスを用いることができ、さらに偏析工程では、前処理におけると同様に、ＲＴＡ法に代えて、通常の加熱炉等を用いたアニーリング処理を採用することができる。
【００２１】
この偏析工程で加熱炉を用いたアニーリング処理を採用する場合、大気圧あるいは減圧下でのガス雰囲気を採用することができるが、効率的な窒素の偏析を得る上で、高圧雰囲気を採用することが望ましい。
【００２２】
〈具体例２〉
図２は、本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例２を示す製造工程図である。
具体例２は、具体例１において詳述した本発明をシステムＬＳＩの製造方法として実施するものである。
システムＬＳＩにおいては、同一チップ上に多種多様な回路が存在し、それに伴い、多種多様な電界効果型トランジスタの形成が必要となる。そのような回路の中で、コア回路部（主演算回路部）とＩ／Ｏ回路部（入出力回路部）は、システム上の主な構成要素となっている。ところで、コア回路部とＩ／Ｏ回路部とでは一般に動作電圧が異なる。これはＩ／Ｏ回路部がＬＳＩの外部のＩ／Ｏ装置の動作を制御する部分である一方、コア回路部は外部から制約を受けることはないからである。
【００２３】
電界効果型トランジスタは一般にゲート絶縁膜を薄膜化するほど高性能のものとなる。しかし、ゲート絶縁膜の一定の絶縁耐圧を超えて動作することはできないため、薄膜化するほど動作電圧を下げなければならない。ところが、システムＬＳＩでは、上述したＩ／Ｏ回路部のように外部からの要求により動作電圧を下げることができない部分がある。このように、システムＬＳＩ上では、高い動作電圧の電界効果型トランジスタと低い動作電圧の電界効果型トランジスタとが共存することとなり、高性能化に伴って薄膜化が進む一方で、ゲート絶縁膜の薄膜化に制限を加えなければならない部分が存在する。以上の事情により、同一チップ上に多種類の膜厚のゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタが必要となる。
【００２４】
ところが、前述した具体例１に具現化された技術だけでは、ゲート絶縁膜を超薄膜化させた電界効果型トランジスタを形成したチップ上に一定以上の膜厚のゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタを形成できない。
そこで、以下の図２に示す具体例２でこれを可能とした。
図２に示す例では、シリコン基板として、例えばｎ型のシリコン基板が用いられている。
【００２５】
図２（ａ）に示されているように、ｎ型シリコン基板２１の表面には、ＬＯＣＯＳ法を用いて形成された素子分離領域２２により、素子形成領域である能動領域が区画されており、図示の例では、左方がコア回路部が形成される領域となり、右方がＩ／Ｏ回路部が形成される領域となっている。
これらの能動領域の形成後、シリコン基板２１は、酸素雰囲気下で熱処理され、これらの能動領域には、例えば０．１〜１０ｎｍのシリコン酸化膜が形成される。その後、例えば一酸化窒素ガス（ＮＯ）雰囲気下で、例えば７００℃〜１２００℃の温度での例えば１０秒〜１００分の熱処理により、シリコン基板２１の能動領域上には、図２（ｂ）に示されているように、窒素成分を含む例えば１ｎｍ〜２０ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン酸化膜２３ａ、２３ｂが形成される。
【００２６】
その後、例えば窒素ガス（Ｎ２）のような非酸化性ガス雰囲気下で、シリコン基板２１は、例えば７００℃〜１２００℃の温度で熱処理される。これにより、図２（ｃ）に示されているように、シリコン基板２１とシリコン酸化膜２３ａ、２３ｂとの間には、該シリコン酸化膜中の窒素原子の偏析により、例えば０．１ｎｍ〜５ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン窒化膜層２４ａ、２４ｂが形成される。その後、該シリコン窒化膜層２４ａ、２４ｂ上の不要なシリコン酸化膜２３ａ、２３ｂが、図２（ｄ）に示されているように、例えば濃度が０．１％〜１０％のフッ化水素酸溶液を用いたエッチング処理により除去される。
【００２７】
ここで、本具体例の特徴として、図２（ｅ）に示されているように、コア回路部が形成される能動領域にホトリソ技術によりレジスト保護膜２５が形成された後、エッチング技術によりＩ／Ｏ回路部が形成される領域のシリコン窒化膜２４ｂが例えば濃度１〜１００％のリン酸溶液によるエッチングで除去される。その後、レジスト保護膜２５が除去される。
その後、図２（ｆ）に示されているように、酸素ガス雰囲気下で、例えば７００〜１２００℃での熱処理により、シリコン基板２１内には、シリコン酸化膜層（ＳｉＯ２）２６が形成される。このとき、この形成と同時に、具体例１と同様に、シリコン窒化膜層２４ａ下のシリコン基板２１内には、シリコン酸化膜層（ＳｉＯ２）２７が形成される。シリコン酸化膜層２７は、具体例１で説明したように、シリコン窒化膜層２４ａによる拡散抑制作用により、例えば０．１ｎｍ〜１０ｎｍの厚さ寸法に形成される。
【００２８】
以上の工程により、シリコン基板２１の能動領域上には、シリコン窒化膜層２４ａおよびシリコン酸化膜層２７からなる積層構造を有するゲート絶縁膜（２４ａおよび２７）が形成されるとともに、これよりも厚いシリコン酸化膜２６からなる単層のゲート絶縁膜が形成される。
これらのゲート絶縁膜上には、例えば従来よく知られたスパッタ法によりゲート電極材料となる窒化チタン（ＴｉＮ）が形成された後、この窒化チタン膜へのフォトリソグラフィおよびエッチング処理により、図２（ｇ）に示すようなゲート電極２８ａ、２８ｂがそれぞれ形成される。
【００２９】
これらのゲート電極２８ａ、２８ｂをマスクとして、例えばホウ素がイオン注入法により、選択的に能動領域に注入され、シリコン基板２１が熱処理を受けることにより、それらの能動領域に、それぞれ一対の拡散領域からなるソース・ドレイン領域２９ａ、２９ａおよび２９ｂ、２９ｂが形成される。これにより、それぞれｐ型の電界効果型トランジスタ２、３が形成される。
尚、その後、シリコン基板２１上には、図１（ｇ）に示して説明したのと同様に、ゲート電極２８ａ、２８ｂを埋設すべく、層間絶縁膜が形成され、その層間絶縁膜には、ソース・ドレイン領域２９ａ、２９ａおよび２９ｂ、２９ｂに開放するコンタクト孔が形成され、層間絶縁膜上には、そのコンタクト孔を充填すべく、アルミニゥム等が堆積され、フォトリソエッチング技術により、各ソース・ドレイン領域２９ａ、２９ａおよび２９ｂ、２９ｂに至る配線が形成される。
【００３０】
以上詳細に説明したように、本発明に係る具体例２による電界効果型トランジスタの製造方法では、コア回路部に形成される電界効果型トランジスタ２は具体例１による電界効果型トランジスタ１と全く同様に超薄膜で高性能のものにすることができる。これとともに、本具体例では、Ｉ／Ｏ回路部に形成される電界効果型トランジスタ３を動作電圧が高いものとすることができる。また、シリコン酸化膜２６は一定以上の厚さを有するものであり、ゲート電極２８ｂから侵入する不純物による動作特性の劣化を生じにくい。よって、このような不純物の侵入を阻止する窒素原子の含有を必要としない。これに対応して、本具体例では、電界効果型トランジスタ３のシリコン酸化膜２６からなるゲート絶縁膜には不必要な窒素原子が導入されることなく、電界効果型トランジスタ３についても動作特性を高いものとすることができる。さらに、シリコン窒化膜２４ａの厚さを偏析により自在に制御することによって、その後の拡散処理によるシリコン酸化膜２７の形成される厚さを制御し、これとシリコン酸化膜２６の厚さとの差を自在に制御することができる。
【００３１】
〈具体例３〉
図３は、本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例３を示す製造工程図である。
具体例３は、具体例１において詳述した本発明をｐ型およびｎ型の混在した電界効果型トランジスタの製造方法として実施するものである。
電界効果型トランジスタの動作特性を劣化させる程度は、不純物の種類によって異なり、ホウ素の場合にその程度が大きく、リンの場合にはその程度が小さい。よって、ｎ型電界効果型トランジスタでは、ゲート絶縁膜に窒素原子を含有させる必要性があまり高くなく、ｐ型電界効果型トランジスタのゲート絶縁膜にだけ窒素原子を含有させる必要性が高い。
しかし、前述した具体例１の技術だけでは、このような必要性の違いに対応し得なかった。
そこで、以下の図３に示す具体例３でこれを可能とした。
【００３２】
図３（ａ）に示されているように、シリコン基板３１の表面には、ＬＯＣＯＳ法を用いて形成された素子分離領域３２により、素子形成領域である能動領域が区画されており、図示の例では、この能動領域の左方がｐ型電界効果型トランジスタが形成される領域となり、右方がｎ型電界効果型トランジスタが形成される領域となっている。
この能動領域の形成後、シリコン基板３１は、前述した各具体例と同様に、酸素雰囲気下で熱処理され、この能動領域に、例えば０．１〜１０ｎｍのシリコン酸化膜が形成された後、一酸化窒素ガス（ＮＯ）雰囲気下での熱処理により、図３（ｂ）に示されているように、窒素成分を含む例えば１ｎｍ〜２０ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン酸化膜３３が形成される。
【００３３】
その後、例えば窒素ガス（Ｎ２）のような非酸化性ガス雰囲気下で、シリコン基板３１は、例えば７００℃〜１２００℃の温度で熱処理される。これにより、図３（ｃ）に示されているように、シリコン基板３１とシリコン酸化膜３３との間には、該シリコン酸化膜中の窒素原子の偏析により、例えば０．１ｎｍ〜５ｎｍの厚さ寸法を有するシリコン窒化膜層３４が形成される。
その後、該シリコン窒化膜層３４上の不要なシリコン酸化膜３３が、図３（ｄ）に示されているように、例えば濃度が０．１％〜１０％のフッ化水素酸溶液を用いたエッチング処理により除去される。
【００３４】
ここで、本具体例の特徴として、図３（ｅ）に示されているように、ｐ型電界効果型トランジスタが形成される能動領域にホトリソ技術によりレジスト保護膜３５が形成された後、エッチング技術によりｎ型電界効果型トランジスタが形成される領域のシリコン窒化膜３４が例えば濃度１〜１００％のリン酸溶液によるエッチングで除去される。その後、レジスト保護膜３５が除去される。
その後、図３（ｆ）に示されているように、酸素ガス雰囲気下で、例えば７００〜１２００℃での熱処理により、シリコン基板３１内には、シリコン酸化膜層（ＳｉＯ２）３６が例えば０．１ｎｍ〜１０ｎｍの厚さ寸法に形成される。このとき、この形成と同時に、具体例１と同様に、シリコン窒化膜層３４下のシリコン基板３１内には、シリコン酸化膜層（ＳｉＯ２）３７が具体例１で説明したように、シリコン窒化膜層３４による拡散抑制作用により抑制されつつ、わずかに形成される。
【００３５】
以上の工程により、シリコン基板３１の能動領域上には、シリコン窒化膜層３４およびシリコン酸化膜層３７からなる積層構造を有するゲート絶縁膜（３４および３７）が形成されるとともに、シリコン酸化膜３６からなる単層のゲート絶縁膜が形成される。
これらのゲート絶縁膜上には、それぞれゲート電極３８ａ、３８ｂが、図３（ｇ）に示すように形成される。
【００３６】
これらのゲート電極３８ａ、３８ｂをマスクとして、イオン注入法により選択的に、ゲート電極３８ａ側ではホウ素が注入され、ゲート電極３８ｂ側ではリンが注入される。そして、シリコン基板３１が熱処理を受けることにより、各能動領域に、それぞれ一対の拡散領域からなるソース・ドレイン領域３９ａ、３９ａおよび３９ｂ、３９ｂが形成される。これにより、それぞれｐ型の電界効果型トランジスタ４およびｎ型の電界効果型トランジスタ５が形成される。
尚、その後の処理は前述した各具体例と同様である。
以上詳細に説明したように、本具体例によれば、ゲート絶縁膜への窒素原子の添加をｐ型の電界効果型トランジスタ４についてのみ行うことができる。これにより、ｎ型の電界効果型トランジスタ５については、動作特性の劣化を防ぐことができる。
【００３７】
〈具体例４〉
図４は、本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例４を示す製造工程図である。
電界効果型トランジスタでは、その動作において、ゲート絶縁膜の中央部分よりもその両側のソース・ドレイン領域付近での電界が低くなる。よって、この部分には窒素原子が多く存在しても動作特性への影響が少ない。そのため、この部分の窒素濃度を高めて不純物の侵入を効果的に抑制することができる。
そこで、具体例４は、具体例２において詳述した製造工程にさらに次の工程を加えたものである。
【００３８】
図４（ａ）に示すように、具体例２における図２（ｇ）の工程の後に、イオン注入技術により各ゲート電極２８ａ、２８ｂに対して斜め方向から窒素イオン原子を例えば１ＫｅＶ〜１００ＫｅＶの加速電圧で例えば１ｃｍ２当たり１０の１２乗から１６乗個のドーズ量で導入する。その後、例えば窒素ガス等の非酸化性雰囲気下で例えば７００〜１２００℃の温度での熱処理により導入された窒素原子をシリコン酸化膜２６、２７中に偏析させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、各ゲート電極２８ａ、２８ｂ直下の酸化膜中よりも高濃度の窒素濃度を有するゲート絶縁膜領域３０を形成する。
尚、上述したイオン注入は、レジスト保護膜等によるマスクで特定の回路が形成される領域に限定することができる。また、イオン注入の工程は、ゲート電極加工形成後であればよく、拡散層の形成前でもよい。
本具体例によれば、ゲート絶縁膜領域３０の形成によってソース・ドレイン領域２９ａ、２９ｂ付近だけ窒素濃度を高くすることによって、不純物の侵入を効果的に抑制することができる。
本具体例は、具体例２を改良する場合について述べたが、具体例１および３についても本具体例と同様の改良ができることは明らかである。
【００３９】
尚、上述した各具体例では、熱酸化膜を用いる場合について説明したが、これに限らず、Ａｌ２Ｏ３（アルミナ）、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３等のあらゆる高誘電率酸化膜に適用することが可能である。また、具体例１と具体例２の素子を混在させることも可能であることはもちろんである。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、前記したように、シリコン基板の能動領域上に形成された窒素成分を含むシリコン酸化膜と前記シリコン基板との界面に、シリコン窒化膜層を偏析させ、該シリコン窒化膜上の不要なシリコン酸化膜を除去した後、露出するシリコン窒化膜層下にシリコン酸化膜層を形成することにより、不純物の侵入を防止し、かつ動作特性を良好にできる超薄膜の２層構造を有するゲート絶縁膜を形成することができ、これにより、超小型で高性能の電界効果型トランジスタを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例１を示す製造工程図である。
【図２】本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例２を示す製造工程図である。
【図３】本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例３を示す製造工程図である。
【図４】本発明に係る電界効果型トランジスタの製造方法の具体例４を示す製造工程図である。
【符号の説明】
１　電界効果型トランジスタ
１０　シリコン基板
１２　能動領域
１３　シリコン酸化膜
１４　シリコン窒化膜層
１５　シリコン酸化膜層
１６　ゲート電極
【図１】
2004031494.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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