(57)【要約】【課題】薄型で剛性の低いシート状物を液体で処理する場合に、処理残し部分が生じることなく、ムラなく均一に処理できる液体処理装置を提供する。【解決手段】薄型シート状物を懸架して支持する支持体２１を備えたシート状物支持手段２０と、懸架された薄型シート状物に処理液を噴射する噴射手段３０とを具備する液体処理装置１０。シート状物は自重でのみ支持されるので留め具が必要なく、留め具が存在することによる処理残しがない。また、支持体２１として、軸方向に沿い下方に向けて開口した開口部を有し、周面には多数の貫通穴が形成された筒体を使用し、かつ、噴射手段３０として、処理液をシート状物の外面に向けて噴射可能なものと、処理液を開口部を通してシート状物の内面に向けて噴射可能なものとを具備することにより、両面同時処理もできる。【選択図】  図１
2004158692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄型シート状物を処理液で処理する液体処理装置であって、
薄型シート状物を懸架して支持する支持体を備えたシート状物支持手段と、
懸架された前記薄型シート状物に処理液を噴射する噴射手段とを具備していることを特徴とする薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項２】
前記噴射手段は、複数並設されていることを特徴とする請求項１に記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項３】
前記支持体は、懸架された前記薄型シート状物と、該支持体との接触部分が変化するように回動することを特徴とする請求項１または２に記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項４】
前記支持体は、遠隔操作により回動することを特徴とする請求項３に記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項５】
前記支持体は、軸方向に沿い下方に向けて開口した開口部が形成された筒体であって、その周面には多数の貫通穴が形成され、かつ、
前記噴射手段は、前記処理液を前記薄型シート状物の外面に向けて噴射可能な外面用噴射ノズルと、前記処理液を前記開口部を通して前記薄型シート状物の内面に向けて噴射可能な内面用噴射ノズルとを備えていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項６】
前記支持体の頭頂部に、軸方向に沿う凸条が１本以上形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【請求項７】
前記支持体上に、網状の補助シートが設けられ、該補助シートを介して前記薄型シート状物は懸架されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の薄型シート状物の液体処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は柔軟で剛性が低く取扱いにくい薄型シート状物を、ムラなく均一に液体処理する液体処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ基板、液晶用ガラス基板などの各種基板上に回路パターンを形成する際には、基板上に銅箔などの薄膜を積層し、これをパターンニングする方法が一般的である。パターンニングの具体的方法としては、フォトレジスト膜を薄膜上に所望のパターンに形成した後、エッチング処理する方法がある。エッチング処理により薄膜はパターン形成され、その後、薄膜上に残存するフォトレジスト膜が剥離、除去される。
一方、例えばブラウン管ディスプレイ、プラズマディスプレイなどのディスプレイには、電磁波シールド用として、厚さ５〜５０μｍ程度の薄型の銅メッシュシートが内蔵されることが多い。このような銅メッシュシートも、銅箔上にフォトレジスト膜をメッシュパターンに形成した後、エッチング処理し、その後、残存するフォトレジスト膜を剥離、除去する方法により製造されている。
【０００３】
フォトレジスト膜の剥離装置としては、例えば、基板を剥離液中に浸漬させた状態で搬送ローラで搬送しながらフォトレジスト膜を剥離する装置（例えば、特許文献１）、ローラコンベア（搬送ローラ）で搬送されている基板に、剥離液をスプレーする剥離装置（例えば、特許文献２および３）、剥離液が充満した剥離槽を備え、これに垂直に基板を浸漬させた状態で、基板に剥離液を噴射する剥離装置（例えば、特許文献４）などが知られている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−８８２０４号公報
【特許文献２】
特開平９−９２９６０号公報
【特許文献３】
特開平１１−２９５９０５号公報
【特許文献４】
特開平９−２２８６７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記各特許文献１〜３に記載されたフォトレジスト膜の剥離装置は、いずれも、基板上に形成されたフォトレジスト膜を剥離することを目的とし、処理対象である基板は剛性を有しているため、これをローラで搬送することが可能となっていた。すなわち、電磁波シールド用の銅メッシュシートのように基板を備えておらず、薄型で剛性の低いものの場合には、これをローラで搬送することは困難であり、これらの剥離装置を使用してフォトレジスト膜を剥離することはできなかった。
また、ディスプレイに使用されるメッシュシートの場合、メッシュシートはあらかじめディスプレイのサイズに応じて裁断されているので、その点からも長尺物の巻物を処理対象としたローラを備えた剥離装置は使用できなかった。
【０００６】
一方、特許文献４に記載された剥離装置では、あらかじめ所定のサイズに裁断された基板を処理対象としている。ところが、この剥離装置では、基板を剥離液が充満された剥離槽に垂直を維持したまま浸漬し、さらにこれに剥離液を噴射するようになっていて、メッシュシートのように基板を備えておらず、薄型で剛性の低いものについては、このような剥離作業中に形状を維持することが困難であり、やはり使用できなかった。
そのため、従来、このようなメッシュシートからのフォトレジスト膜の剥離には、作業者が剥離液を満たした剥離槽中にシートを１枚ずつ浸漬したうえで、手洗いする方法を取らざるを得なかった。このような方法においては、剥離液による処理の後に、水洗処理、中和処理などの複数の処理を手作業で行う必要があり、非効率的なうえ、使用する処理液の種類によっては、処理液が作業者に付着しないように細心の注意を払う必要もあった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、薄型で剛性の低いメッシュシートのようなシート状物を、剥離液などの液体を用いて処理する場合であっても、処理残し部分が生じることなく、ムラなく均一に処理可能な液体処理装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の液体処理装置は、薄型シート状物を処理液で処理する液体処理装置であって、薄型シート状物を懸架して支持する支持体を備えたシート状物支持手段と、懸架された前記薄型シート状物に処理液を噴射する噴射手段とを具備していることを特徴とする。
前記噴射手段は、複数並設されていることが好ましい。
前記支持体は、懸架された前記薄型シート状物と、該支持体との接触部分が変化するように回動することが好ましい。
前記支持体は、遠隔操作により回動することが好ましい。
前記支持体は、軸方向に沿い下方に向けて開口した開口部が形成された筒体であって、その周面には多数の貫通穴が形成され、かつ、前記噴射手段は、前記処理液を前記薄型シート状物の外面に向けて噴射可能な外面用噴射ノズルと、前記処理液を前記開口部を通して前記薄型シート状物の内面に向けて噴射可能な内面用噴射ノズルとを備えていることが好ましい。
前記支持体の頭頂部に、軸方向に沿う凸条が１本以上形成されていることが好ましい。
前記支持体上に、網状の補助シートが設けられ、該補助シートを介して前記薄型シート状物が懸架されることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下本発明について、処理対象である薄型シート状物の一例として、両面にフォトレジスト膜が形成された銅箔製のメッシュシートを挙げ、このメッシュシートの両面からフォトレジスト膜を剥離する装置を液体処理装置の一例として示し、詳細に説明する。
なお、以下、両面にフォトレジスト膜が形成された銅箔製のメッシュシートを被処理シートという。
【００１０】
図１は本実施形態例の液体処理装置１０の正面図であって、被処理シート４０を、垂れ下がった状態にかけ渡して支持、すなわち、懸架して支持する支持体２１を備えたシート状物支持手段２０と、支持体２１に懸架された被処理シート４０に対して処理液を噴射する４台の噴射手段３０とを有している。この例において４台の噴射手段３０は並設され、後述するように、シート状物支持手段２０がコンベア５０により、これら噴射手段３０に沿って順次移動することにより、被処理シート４０を、４台の噴射手段３０からの処理液により連続的に処理できるようになっている。
【００１１】
図２および図３は、図１の液体処理装置１０が具備するシート状物支持手段２０の斜視図および側面図である。
この例のシート状物支持手段２０は、支持体２１として、水平に配される回動軸２２と、この回動軸２２の軸方向に互いに間隔を有して固定された複数枚の環状枠板２３と、これら環状枠板２３の外形に沿うように湾曲して張設されたステンレスなどの金属網２４とから概略構成される円筒体を有している。
ここで各環状枠板２３は下部の一部分が途切れ、また、この環状枠板２３の外形に沿うように張設され、この支持体２１の周面を形成している金属網２４も、環状枠板２３の途切れにともなって下方に向けて開口し、軸方向に沿う開口部２４ａが形成されている。また、この例で支持体２１の周面は金属網２４からなっているので、周面には多数の貫通孔として、多数の網目が形成されている。
なお、図２および３は、支持体２１に被処理シート４０が懸架されていない状態を示している。また、図４に、回転軸２２と環状枠板２３の形態を解りやすくするために、環状枠板２３に金属網２４が張設されていない状態を示す。
【００１２】
また、この支持体２１は、その回動軸２２がシート状物支持手段２０を構成する枠部材２５の上部に水平に軸支されているとともに、回動軸２２の一方の端部近傍にこの回動軸２２に対して垂直に配され、この回動軸２２と一体に回動する回動板２７を備えている。そして、この回動板２７の外周にはチェーン２７ａが掛回されている。
よって、このチェーン２７ａの一端を引き下げることにより、支持体２１を所望の程度に回動させることができるようになっている。
なお、この例においてチェーン２７ａの両端は、枠部材２５を構成している２本の支柱２５ａに沿って上下移動可能な移動部材２６に各々固定されている。よって、この２つの移動部材２６のうちのいずれか一方を、後述する引き下げ部材３１で引き下げることにより、適宜回動させられるようになっている。また、この例で回動軸２２は、回動板２７においては中心位置に、環状枠板２３においては偏芯位置に設けられていて、少ない引き下げ距離で支持体２１を大きく回動させることが可能となっている。
【００１３】
また、この例の支持体２１の周面の頭頂部には、支持体２１の周面を形成しているものと同じ金属網が湾曲加工されて形成された凸条２８が、軸方向に沿って２本近接して設けられている。
さらに、この支持体２１の周上には、メッシュ数の異なる金属網からなる２枚の補助シート４１，４２が懸架されていて、これら補助シート４１，４２を介して、被処理シート４０を懸架するようになっている。この例で２枚の補助シート４１，４２は、支持体２１の周面を形成している金属網２４と同程度のメッシュ数のもの（以下、粗目補助シートという。）４１と、よりメッシュ数が多く目が細かいもの（以下、細目補助シートという。）４２の順に支持体２１に懸架されている。
【００１４】
なお、この例で粗目補助シート４１は、支持体２１の周面に沿うように湾曲した２枚の金属網４１ａ，４１ｂが図示略の紐状部材で結ばれてなるものであり、紐状部材が支持体２１に形成された２本の凸条２８を跨るように懸架されている。また、ここでは紐状部材の長さが適宜調整され、この粗目補助シート４１が懸架された際に、粗目補助シート４１と支持体２１の周面とが密着せず、図３中符号２９で示すような空間が形成されるようになっている。また、粗目補助シート４１は、後述するように支持体２１が回動した際に、支持体２１の周面から離れないように固定されている。
細目補助シート４２は、その両下端が支持体２１よりも下方にまで延出するような大きさ、位置で懸架されている。なお、この例では、細目補助シート４２が安定に懸架されるように、錘として作用する粗目金網４２ａが１枚の金属網の両下端に接続された形態となっている。
【００１５】
図１の例の液体処理装置１０は４台の噴射手段３０を具備していて、これらは、支持体２１の軸方向に沿って並んで配置されている。
これら４台のうち、最も前段側に配置された第１の噴射手段３０ａは、処理液としてフォトレジスト膜を軟化して剥離させる水酸化ナトリウム水溶液を噴射するものである。第１の噴射手段３０ａの次に配置された第２の噴射手段３０ｂは、処理液として水洗用の水を、第２の噴射手段３０ｂの次に配置された第３の噴射手段３０ｃは処理液として水酸化ナトリウムを中和するための酸性溶液を、第３の噴射手段３０ｃの次に配置された最も後段側の第４の噴射手段３０ｄは、処理液として水洗用の水をそれぞれ噴射するものである。
【００１６】
そして、この例の液体処理装置１０においては、図５に示すように、シート状物支持手段２０が各噴射手段３０内に収まるような大きさ、形状に形成されているとともに、図１に示すように４台の噴射手段３０内を順次移動可能なようにコンベア５０が敷設されている。
また、各噴射手段３０は、懸架された被処理シート４０の外面に向けて処理液をシャワー状に噴射する複数の外面用噴射ノズル３２と、懸架された被処理シート４０の内面に向けて処理液をシャワー状に噴射する複数の内面用噴射ノズル３３とを、それぞれ枠部材３４に固定して備えている。
よって、シート状物支持手段２０が被処理シート４０をその支持体２１に懸架した状態で、このコンベア５０で移動することにより、第１の噴射手段３０ａから第４の噴射手段３０ｄの枠部材３４内を順次通過して処理されるようになっている。
【００１７】
また、各噴射手段３０の枠部材３４を構成している支柱３４ａのうちの２本には、回動板２７に掛回されたチェーン２７ａの両端に接続した移動部材２６を引き下げるための引き下げ部材３１がそれぞれ設けられている。各引き下げ部材３１は、圧縮空気などで作動するシリンダ部３１ａと、シリンダ部３１ａに接続されたアーム部３１ｂとを具備していて、図示略のボンベなどから圧縮空気をシリンダ部３１ａに供給することによって、アーム部３１ｂが作動するようになっている。そして、各噴射手段３０内にシート状物支持手段２０が停止した際には、アーム部３１ｂの先端が、移動部材２６に形成された突起２６ａを引っかけて引き下げ、図６に示すように支持体２１を両方向に適宜回動させられるようになっている。
【００１８】
次にこの例の液体処理装置１０を使用して、被処理シート４０であるメッシュシートの両面から、フォトレジスト膜を剥離する方法について説明する。
まず、図２および３に示すように、頭頂部に２本の凸条２８が位置するように支持体２１をセッティングし、ついで、この周面上に、粗目補助シート４１と、細目補助シート４２とを順次懸架する。この際、粗目補助シート４１については、支持体２１が回動した際に、支持体２１の周面から離れないように固定する。そして、さらにこの上に、図７に示すように被処理シート４０を懸架する。なお、ここで被処理シート４０の両下端が細目補助シート４２の両下端よりも下方に延出するような大きさの細目補助シート４２を用いることが好ましい。また、この時点でシート状物支持手段２０は、図１に示すように、第１の噴射手段３０ａよりも前段側の位置に停止している。
【００１９】
ついで、このシート状物支持手段２０をコンベア５０で移動させ、第１の噴射手段３０ａ内に停止させる。そして、第１の噴射手段３０ａが備える複数の外面用噴射ノズル３２と内面用噴射ノズル３３とから、好ましくは１〜１．５質量％濃度に調製され、６０〜６５℃に加温された水酸化ナトリウム水溶液を所定時間、連続的または断続的に噴射する。
【００２０】
すると、外面用噴射ノズル３２から噴射された水酸化ナトリウム水溶液は、被処理シート４０の外面側に形成されたフォトレジスト膜を軟化して、剥離する。一方、内面用噴射ノズル３３から噴射された水酸化ナトリウム水溶液は、支持体２１の周面を構成している金属網２４の網目と２枚の補助シート４１，４２の網目とを通過して、被処理シート４０の内面側に到達し、被処理シート４０の内面側に形成されたフォトレジスト膜を軟化して、剥離する。
【００２１】
ここで、この例の液体処理装置１０においては、支持体２１として、被処理シート４０を懸架することにより支持可能なものを使用しているので、被処理シート４０は自重により支持されるのみであって、留め具などで固定される必要がない。よって、被処理シート４０において留め具と接触する部分の液体処理が妨げらてれて、処理残しが生じてしまうことがない。
また、この例で支持体２１は、その周面が金属網２４からなり、多数の貫通穴を有しているとともに、その周面には下方に向けて開いた開口部２４ａが形成されている。よって、この支持体２１よりも下方に設けられた内面用噴射ノズル３３から上方に向けて噴射された水酸化ナトリウム水溶液が、開口部２４ａから円筒状の支持体２１の内側（中空部）に入り、周面をなす金属網２４の網目（多数の貫通穴）と、補助シート４１，４２の網目とを通過して被処理シート４０の内面に到達することができる。したがって、この例のようにフォトレジスト膜が被処理シート４０の両面に形成されていて、両面に対して液体処理する必要がある場合でも、両面同時に処理することができる。
【００２２】
また、この例においては、支持体２１の周面上に金属網からなる２本の凸条２８が形成されているので、補助シート４１，４２や被処理シート４０を懸架した際に、これらが支持体２１の周面に密着しにくく、図３中符号２９で示す空間を形成しつつ懸架されるようになっている。よって、被処理シート４０の内面においてこの空間２９に接している部分に対して、水酸化ナトリウム水溶液を十分に噴射し、処理することができる。また、ここでは凸条２８が２本となっているので、より周面と、補助シート４１，４２や被処理シート４０との密着面積を小さくしつつ、懸架することができる。
【００２３】
さらに、この例においては、メッシュ数の異なる２枚の補助シート４１，４２を介して被処理シート４０が支持体２１上に懸架されているので、上述した凸条２８による効果と相まって、より効果的に被処理シート４０の内面を洗浄することができる。
すなわち、補助シート４１，４２が懸架されず、支持体２１上に被処理シート４０が直接懸架されると、剛性の低い被処理シート４０の際には、被処理シート４０が凸条２８や周面に沿って密着してしまい、空間２９を形成しない場合がある。このような場合には、密着した部分に対して水酸化ナトリウム水溶液が到達しにくく、被処理シート４０の内面を十分に処理できない可能性が生じる。しかしながら、このように補助シート４１，４２を介して被処理シート４０が懸架されていると、剛性の低い被処理シート４０の場合であっても、補助シート４１，４２の存在により支持体２１の周面への密着が抑制される。また、この例のように、特に２枚の補助シート４１，４２として、粗目補助シート４１と細目補助シート４２との２枚を併用すると、粗目補助シート４１は、通常、細目補助シート４２に比べて剛性を有しているので、被処理シート４０の支持体２１の周面への密着を抑制する効果を発揮する。そして、この際に、細目補助シート４２を同時に使用することにより、噴射される水酸化ナトリウム水溶液が細目補助シート４２を通過することにより微細な液滴となりつつ、被処理シート４０に到達する。よって、このように粗目補助シート４１と細目補助シート４２とを組み合わせて使用することにより、被処理シート４０の内面における処理残し、処理ムラの発生をより効果的に抑制しつつ、液体処理することができる。
【００２４】
また、このようにシート状物支持手段２０が第１の噴射手段３０ａ内に停止し、被処理シート４０に水酸化ナトリウム水溶液が噴射されている間に、引き下げ部材３１を作動させて支持体２１を両方向に交互に回動させ、懸架された被処理シート４０と、支持体２１との接触部分を変化させることが好ましい。
すなわち、まず、第１の噴射手段３０ａの枠部材３４の支柱３４ａに設けられた２つの引き下げ部材３１のうち、一方を作動させ、引き下げ部材３１のアーム部３１ｂの先端を、チェーン２７ａの一端に接続した移動部材２６の突起２６ａに引っかけて引き下げ、支持体２１を図６（ａ）の状態から（ｂ）の状態へと回動させる。
ついで、直ちに、または一定時間経過後、他方の引き下げ部材３１を作動させ、その引き下げ部材３１のアーム部３１ｂの先端を、チェーン２７ａの他端に接続した移動部材２６の突起２６ａに引っかけて引き下げ、支持体２１を図６（ｂ）の状態から（ｃ）の状態へと反対方向に回動させる。
このような操作を１回または２回以上、必要に応じて行った後、再び支持体２１の頭頂部に２本の凸条２８が位置するように、支持体２１を図６（ａ）の状態に戻す。
【００２５】
このように支持体２１を両方向に回動させることにより、図６に示すように、被処理シート４０の内面において回動前に支持体２１の周面に接触していた部分が、周面から離れ、回動前には噴射された水酸化ナトリウム水溶液が到達しにくかった部分に対しても、水酸化ナトリウム水溶液が確実に到達し、十分な処理が可能となる。
また、この例では、特に支持体２１の頭頂部に凸条２８が２本形成されているので、支持体２１が回動した際、被処理シート４０の内面がより一層支持体２１の周面から離れやすくなる。よって、図６（ｂ）（ｃ）中、破線矢印で示すように、被処理シート４０の内面の回動前には処理しにくかった部分に、より水酸化ナトリウム水溶液が到達し、処理効率が一層向上する。
さらにこの際、細目補助シート４２の両下端が、支持体２１の下方にまで延出するようにされているので、支持体２１が回動した際に、被処理シート４０が支持体２１の周面に密着したまま離れないようなことがなく、回動に伴って支持体２１の周面からスムーズに離れる。すなわち、被処理シート４０が支持体２１の周面に同伴されて離れにくくなることを抑制できる。
ここで回動させる回数には特に制限はなく、フォトレジスト膜の状態に応じて適宜設定できる。また、回動の角度は、懸架された被処理シート４０が支持体２１から落下しない範囲内であれば、適宜設定できる。なお、回動の角度は、移動部材２６を移動させる距離に応じて変化する。
【００２６】
また、ここで支持体２１の回動は、回動軸２２と一体に回動する回動板２７に掛回されたチェーン２７ａを引き下げ部材３１により引き下げるという遠隔操作により行っている。このように遠隔操作で回動させることができると、場所をとる電動モータなどを支持体２１の中空部などに回動用として設ける必要がないので、処理液の噴射が電動モータなどに妨げられることなく被処理シート４０をムラなく処理できる。
【００２７】
このようにして第１の噴射手段３０ａにおいて、水酸化ナトリウム水溶液による処理がなされた後、シート状物支持手段２０を再び移動させ、第２の噴射手段３０ｂ内に停止させ、第２の噴射手段３０ｂが備える複数の外面用噴射ノズル３２と内面用噴射ノズル３３とから、処理液として水を所定時間噴射して、第１の噴射手段３０ａで噴射された水酸化ナトリウム水溶液を洗い流す。
また、この際にも、第１の噴射手段３０ａの場合と同様に、第２の噴射手段３０ｂの枠部材３４に設けられた引き下げ部材３１を適宜作動させ、支持体２１のチェーンの両端に接続した移動部材２６を交互に引き下げ、支持体２１を両方向に回動させることが好ましい。
【００２８】
こうして第２の噴射手段３０ｂにおいて水洗処理がなされた後には、シート状物支持手段２０を第３の噴射手段３０ｃ内に停止させ、残存している水酸化ナトリウムを酸性溶液により中和する中和処理を行い、ついで、第４の噴射手段３０ｄ内にシート状物支持手段２０を停止させ、水洗処理を行う。また、これら第３の噴射手段３０ｃおよび第４の噴射手段３０ｄにおいても、第１の噴射手段３０ａおよび第２の噴射手段３０ｂの場合と同様に、適宜それぞれの噴射手段３０に設けられた引き下げ部材３１を作動させて支持体２１を回動させ、被処理シート４０の内面をも十分に処理することが好ましい。
以上のようにしてシート状物支持手段２０を、第１の噴射手段３０ａから第４の噴射手段３０ｄまで順次通過させることにより、被処理シート４０に対して４つの処理液による処理を順次連続的に効率よく行うことができる。
【００２９】
なお、以上の例においては、噴射手段３０を４台備え、シート状物支持手段２０が順次移動することにより、４つの処理液による処理を連続的に実施可能な形態を示したが、このような形態には限定されず、噴射手段３０は必要に応じて４台以外の複数台であってもよいし１台であってもよい。
例えば、処理対象の薄型シート状物を、１種類の処理液でのみ処理すればよい場合には、噴射手段３０は１台でよく、噴射手段３０の枠部材３４にシート状物支持手段２０が位置するように噴射手段３０とシート状物支持手段２０とを固定配置しておいてもよい。また、噴射手段３０が１台の場合であっても、その枠部材３４内でシート状物支持手段２０が移動できるようにして、よりムラなく処理できるようにしてもよい。
しかしながら、この例のように複数の噴射手段３０を、支持体２１の軸方向に沿って複数並べて設け、シート状物支持手段２０に対して順次処理可能とすることにより、複数の処理液による処理が連続的に効率よく行える。また、この例においては、シート状物支持手段２０を移動させ噴射手段３０を固定配置することにより、省スペース化が図られているが、反対にシート状物支持手段２０を固定配置して、噴射手段３０の側を移動させるような形態としてもよい。さらに、この例においてシート状物支持手段２０の移動は、コンベア５０によりなされているが、これに限定されない。
【００３０】
また、この例においては、処理対象として、両面にフォトレジスト膜が形成され、両面に対して処理液で処理する必要のある被処理シート４０を例示しているので、これを懸架する支持体２１として、支持体２１の周面には多数の貫通穴が形成されるとともに、周面の下部には、軸方向に沿い下方に向けて開いた開口部２４ａが形成された円筒体を使用し、かつ、噴射手段３０として、処理液を被処理シート４０の外面に向けて噴射する外面用噴射ノズル３２と、処理液を開口部２４ａを通して被処理シート４０の内面に向けて噴射する内面用噴射ノズル３３とを備えている。しかしながら、フォトレジスト膜が片面にのみ形成されているものが処理対象の場合には、支持体２１の周面には、貫通孔や開口部２４ａが形成されていなくてもよいし、円筒体などの筒体にも限定されず、被処理シート４０を懸架可能であればよい。また、噴射手段３０としても、内面用噴射ノズル３３は必要でなく、外面用噴射ノズル３２のみを備えていればよい。この際には、フォトレジスト膜が形成された側が外面となるように、被処理シート４０を支持体２１上に懸架する。
また、両面を処理する場合であっても、支持体２１の周面は金属網２４から形成される形態に限定されず、処理液に対して耐性のある材料からなり、多数の貫通穴および開口部２４ａが形成されていればよい。たとえば、ステンレスのパンチシートや、樹脂製の網状シートなどでもよい。
【００３１】
さらに、この例においては、支持体２１の周上に形成された凸条２８は２本となっているが、１本または３本以上であってもよい。しかしながら、３本以上であると被処理シート４０を安定に懸架できない場合があり、一方、１本では、周面と補助シート４１，４２や被処理シート４０との密着面積を十分に小さくしたり、支持体２１の回動時における被処理シート４０の離れやすさを十分に向上できない場合があるため、２本とすることが好ましい。
さらに、この例では、補助シートとして、メッシュ数の異なる２枚の補助シート４１，４２が懸架されているが、この形態に限定されないし、補助シートがなくてもよい。
【００３２】
そして、以上の説明においては、銅箔からなるメッシュシートにフォトレジスト膜が形成されたものを、水酸化ナトリウム水溶液、水、酸性溶液、水で順次処理する場合を例示したが、処理対象の薄型シート状物としては、剛性がなく、支持体２１の周上に懸架可能なものであれば制限はないし、処理としても、洗浄に限定されず、コーティング処理などであってもよい。
しかしながら、上述した例のように作業者が取り扱う際に特に注意を払う必要のある水酸化ナトリウム水溶液などの処理液を使用して、薄型のシート状物を処理をする必要のある場合に、このような液体処理装置１０を使用すると、作業者が手作業で処理液を取り扱う必要がないため、効率的かつ安全な処理が可能となる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の液体処理装置によれば、薄型で剛性の低いメッシュシートのようなシート状物を支持体に懸架して支持可能であり、シート状物を留め具などで固定する必要がないので、剥離液などの液体を用いて処理する場合において、処理残し部分が生じることなく、ムラなく均一に処理することができる。また、本発明の液体処理装置によれば、作業者が処理液を取り扱う必要がないため、安全面からも優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体処理装置の一例を示す正面図である。
【図２】図１の液体処理装置の具備するシート状物支持手段の斜視図である。
【図３】図１の液体処理装置の具備するシート状物支持手段の側面図である。
【図４】図３のシート状物支持手段の支持体が備える環状枠板、回転軸を示す斜視図である
【図５】図１の液体処理装置において、シート状物支持手段が噴射手段内に配置された状態を示す側面図である。
【図６】図２および３のシート状物支持手段の支持体が回動する様子を説明する説明図である。
【図７】図２および３のシート状物支持手段の支持体に被処理シートが懸架された状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  液体処理装置
２１  支持体
２０  シート状物支持手段
３０  噴射手段
２４ａ  開口部
３２  外面用噴射ノズル
３３  内面用噴射ノズル
２８  凸条
４０  被処理シート（薄型シート状物）
４１，４２  補助シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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