(57)【要約】【課題】ネットワークを介したホストにおいて、ロットの検査結果を判定して検査装置に表示させ、また、次工程との連動を図ることのできる検査工程における測定結果表示方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムを提供する点にある。【解決手段】図１に示すように、本実施の形態に係る検査工程における測定結果表示システムは、工程管理サーバ１０及び装置制御サーバ２０を備えるホストＡと、ホスト端末３０と、シグナルタワー（４灯式ライト、４色表示器）４０Ｔを有する装置（計測器）４０とで概略構成され、装置４０にてロット（キャリア）５０毎の測定が行われる。【選択図】　　　　図１
2004128203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示方法であって、
一つ又は複数の工程で処理されるロットを検査する装置を集中して制御・管理するホストにおいて、投入決定されたロットの測定条件を前記装置に送信する第１のステップと、
前記装置において、前記ネットワークを介して受信した前記測定条件に基づく前記ロットの測定を行い、測定データを得る第２のステップと、
前記ホストにおいて、前記ネットワークを介して受信した前記測定データを、予め設定された判定基準に基づき異常、又は、正常の測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する第３のステップと、
前記装置において、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行う第４のステップとを有する
ことを特徴とする検査工程における測定結果表示方法。
【請求項２】
前記第３のステップは、前記ホストに接続されたホスト端末において、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ホストに接続されたホスト端末に前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項３】
前記第４のステップは、前記装置に接続された各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器の４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う第５のステップを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項４】
前記第４のステップは、前記装置に接続された装置モニタに、前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うステップを含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項５】
前記第３のステップは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信するステップを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項６】
前記第２のステップは、前記装置が備える識別手段によりバーコードなどのロット番号を読みとり、該ロット番号を前記測定データに付加して前記ホストに送信するステップを含み、
前記第３のステップは、生成された測定値判定結果に前記ロット番号を含めるステップを含む
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の動作を実現可能なコンピュータプログラムであって、請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の各ステップをコード化したことを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項８】
ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示システムであって、
前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定を行い測定データを得る装置と、
一つ又は複数の工程における前記装置の制御・管理を集中して行うホストとを備え、
該ホストは、
投入決定されたロットの前記測定条件を前記ネットワークを介して前記装置に送信する装置制御サーバと、
前記ネットワークを介して受信した前記測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを有し、
前記装置は、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行う
ことを特徴とする検査工程における測定結果表示システム。
【請求項９】
前記ホストは前記ネットワークに接続されたホスト端末を有し、
該ホスト端末は、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示する
ことを特徴とする請求項８に記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１０】
前記装置は、各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器を有し、
該４色表示器は、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う
ことを特徴とする請求項８又は９に記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１１】
前記装置は装置モニタを有し、該装置モニタは前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１２】
前記ホストは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１３】
前記装置は、バーコードなどのロット番号を読みとる識別手段を備え、
該識別手段は前記ロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストに送信し、
前記工程管理サーバは、生成された前記測定値判定結果に前記ロット番号を含める
ことを特徴とする請求項８乃至１２のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システム。
【請求項１４】
請求項８乃至１３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムを利用したロット処理システムであって、複数の工程におけるロットを各々検査する装置を制御・管理するホストは、ロットの測定値判定結果が異常の場合、ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とするロット処理システム。
【請求項１５】
ネットワークを利用した検査工程に利用されるホストサーバであって、
一つ又は複数の工程における前記検査工程の装置を前記ネットワークを介して制御し、投入決定されたロットの測定条件を前記装置に送信する装置制御サーバと、
前記装置の管理を集中して行い、前記ネットワークを介して受信した測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを備える
ことを特徴とするホストサーバ。
【請求項１６】
前記工程管理サーバは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項１５に記載のホストサーバ。
【請求項１７】
ネットワークを利用した検査工程において検査を行う装置であって、
各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器と、
前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定をして得た測定データを前記ネットワークを介してホストサーバに送信する装置本体とを備え、
前記４色表示器は、前記装置本体が前記ネットワークを介して前記ホストサーバから受信した測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置本体の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う
ことを特徴とする装置。
【請求項１８】
前記装置本体の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行う装置モニタを備えることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
バーコードなどのロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストサーバに送信する識別手段を備え、
前記装置モニタは、前記ホストサーバから送信された前記測定値判定結果に含まれる前記ロット番号を表示することを特徴とする請求項１７又は１８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定結果確認方法に関し、特にネットワークを利用した検査工程における測定結果表示方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造など工場での検査工程の運用環境において、計測器１台につきホスト端末１台が設置されている。また、計測器に関しては、シグナルタワー装備及び端末装備の計測器が混在していた。また、測定データに対するデータの妥当性の確認について、各工程における各々データ規格が異なるため、測定データをホストで判定する。オペレータが（中間）製品を、次工程に流動（引渡し）可能かどうかを判断するために、ホスト端末にて、工程管理システムのアプリケーションを利用して対応する測定結果を認識し、次工程へのロットの流動可否判断を行っていた。
【０００３】
図６は、従来の検査工程での運用方法における動作の流れを示す図である。
工程管理サーバにおいて、▲１▼ホスト端末より対象ロットの投入を決定。装置制御サーバにおいて、▲２▼装置に対して予約を行う。装置において、▲３▼測定のため予約受付を行う。装置制御サーバにおいて、▲４▼測定条件指示、測定開始指示を行う。装置において、▲５▼測定開始し、▲６▼測定データ通知を行う。装置制御サーバにおいて、▲７▼測定データ取得を行う。工程管理サーバにおいて、▲８▼測定データ判定を行い、▲９▼ホスト端末にて測定結果確認を行う。測定結果ＯＫの場合、ロットを次工程に運ぶ。測定結果ＮＧの場合、次工程への流動を停止する。
【０００４】
また、電気的特性の測定結果による分類毎に外観検査し、電気的特性の測定結果及び外観検査別に分類して収容マガジンに収容するもの（例、特許文献１）や電気特性の測定結果の分類別に捺印、加工整形するもの（例、特許文献２）がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−７４８９９号公報
【特許文献２】
特開平５−７４９００号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術には以下に掲げる問題点があった。
製品の測定が終了しても、シグナルタワー装備の計測器の確認は可能であるが、測定結果の妥当性の判断が外見上即時にできなかった。また、検査工程の作業者は、複数の装置を担当しており、１ロットの計測が数十分となる装置に作業者がかかりきりになる場合、他の計測器を離れることがあった。更に、オペレータは、測定終了ロットが品質規格を満たしているかどうかの確認が行われたか、次工程へ流動すべきロットか、エンジニアへ連絡を要するロットなのか等の判断について、ホスト端末で確認の後、アクション（必要とされる処理行動）を起こさなければならなかった。
【０００７】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ネットワークを介したホストにおいて、ロットの検査結果を判定して検査装置に表示させ、また、次工程との連動を図ることのできる検査工程における測定結果表示方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムを提供する点にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明の要旨は、ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示方法であって、一つ又は複数の工程で処理されるロットを検査する装置を集中して制御・管理するホストにおいて、投入決定されたロットの測定条件を前記装置に送信する第１のステップと、前記装置において、前記ネットワークを介して受信した前記測定条件に基づく前記ロットの測定を行い、測定データを得る第２のステップと、前記ホストにおいて、前記ネットワークを介して受信した前記測定データを、予め設定された判定基準に基づき異常、又は、正常の測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する第３のステップと、前記装置において、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行う第４のステップとを有することを特徴とする検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項２記載の本発明の要旨は、前記第３のステップは、前記ホストに接続されたホスト端末において、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ホストに接続されたホスト端末に前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項３記載の本発明の要旨は、前記第４のステップは、前記装置に接続された各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器の４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行う第５のステップを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項４記載の本発明の要旨は、前記第４のステップは、前記装置に接続された装置モニタに、前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うステップを含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項５記載の本発明の要旨は、前記第３のステップは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信するステップを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項６記載の本発明の要旨は、前記第２のステップは、前記装置が備える識別手段によりバーコードなどのロット番号を読みとり、該ロット番号を前記測定データに付加して前記ホストに送信するステップを含み、前記第３のステップは、生成された測定値判定結果に前記ロット番号を含めるステップを含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法に存する。
請求項７記載の本発明の要旨は、請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の動作を実現可能なコンピュータプログラムであって、請求項１乃至６のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示方法の各ステップをコード化したことを特徴とするコンピュータプログラムに存する。
請求項８記載の本発明の要旨は、ネットワークを利用した検査工程における測定結果表示システムであって、前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定を行い測定データを得る装置と、一つ又は複数の工程における前記装置の制御・管理を集中して行うホストとを備え、該ホストは、投入決定されたロットの前記測定条件を前記ネットワークを介して前記装置に送信する装置制御サーバと、前記ネットワークを介して受信した前記測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを有し、前記装置は、受信した前記測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、前記測定値判定結果に対応する表示を行うことを特徴とする検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項９記載の本発明の要旨は、前記ホストは前記ネットワークに接続されたホスト端末を有し、該ホスト端末は、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ロットの異常を表示し、前記測定値判定結果が正常の場合、次工程の処理開始を表示することを特徴とする請求項８に記載の検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項１０記載の本発明の要旨は、前記装置は、各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器を有し、該４色表示器は、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行うことを特徴とする請求項８又は９に記載の検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項１１記載の本発明の要旨は、前記装置は装置モニタを有し、該装置モニタは前記装置の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行うことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項１２記載の本発明の要旨は、前記ホストは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項１３記載の本発明の要旨は、前記装置は、バーコードなどのロット番号を読みとる識別手段を備え、該識別手段は前記ロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストに送信し、前記工程管理サーバは、生成された前記測定値判定結果に前記ロット番号を含めることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムに存する。
請求項１４記載の本発明の要旨は、請求項８乃至１３のいずれかに記載の検査工程における測定結果表示システムを利用したロット処理システムであって、複数の工程におけるロットを各々検査する装置を制御・管理するホストは、ロットの測定値判定結果が異常の場合、ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とするロット処理システムに存する。
請求項１５記載の本発明の要旨は、ネットワークを利用した検査工程に利用されるホストサーバであって、一つ又は複数の工程における前記検査工程の装置を前記ネットワークを介して制御し、投入決定されたロットの測定条件を前記装置に送信する装置制御サーバと、前記装置の管理を集中して行い、前記ネットワークを介して受信した測定データについて、予め設定された判定基準に基づき測定データ判定を行い、測定値判定結果を生成して前記装置に送信する工程管理サーバとを備えることを特徴とするホストサーバに存する。
請求項１６記載の本発明の要旨は、前記工程管理サーバは、前記測定値判定結果が異常の場合、前記ネットワークを介して前記ホストに接続された搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信しない、又は、バッファへの搬送指示を送信し、前記測定値判定結果が正常の場合、搬送部に対して該当するロットの搬送指示を送信し、また、次工程の処理装置に対して該当するロットの処理開始指示を送信することを特徴とする請求項１５に記載のホストサーバに存する。
請求項１７記載の本発明の要旨は、ネットワークを利用した検査工程において検査を行う装置であって、各々色の異なる第１の表示部と第２の表示部と第３の表示部と第４の表示部とを有する４色表示器と、前記検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定をして得た測定データを前記ネットワークを介してホストサーバに送信する装置本体とを備え、前記４色表示器は、前記装置本体が前記ネットワークを介して前記ホストサーバから受信した測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、４色の点灯、又は、消灯、又は、点滅により前記測定値判定結果に対応する表示と、前記装置本体の稼働又は未稼働を示す稼働状態の表示とを行うことを特徴とする装置に存する。
請求項１８記載の本発明の要旨は、前記装置本体の稼働状態や前記測定値判定結果に対応する表示を行う装置モニタを備えることを特徴とする請求項１７に記載の装置に存する。
請求項１９記載の本発明の要旨は、バーコードなどのロット番号を読みとり、前記測定データに付加して前記ホストサーバに送信する識別手段を備え、前記装置モニタは、前記ホストサーバから送信された前記測定値判定結果に含まれる前記ロット番号を表示することを特徴とする請求項１７又は１８に記載の装置に存する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る検査工程における測定結果表示システムの概略構成を示す図である。
【００１０】
図１に示すように、本実施の形態に係る検査工程における測定結果表示システムは、工程管理サーバ１０及び装置制御サーバ２０を備えるホスト（ホストサーバ）Ａと、ホスト端末３０と、シグナルタワー（４灯式ライト、４色表示器）４０Ｔを有する装置（計測器）４０とで概略構成され、装置（装置本体）４０にてロット（キャリア）５０毎の測定が行われる。
ホストＡ側にて、装置４０の機種、工程番号、検査項目（例えば厚さや幅）、検査内容（例えば膜厚や線幅）などを有するホスト管理テーブルと、工程フロー（流動票）と、ロット進捗・処理ログなどが格納される。また、ホスト端末３０より対象ロットの投入を決定し、処理ポートの予約と測定条件指示を行う。測定条件として、処理レシピ、測定ポイント数、測定キャリア内ウェハ位置などのパラメータ（測定条件）が設定される。更に、装置４０からの測定データ取得し、測定データ判定を行い、測定値判定結果の送信を行う。
【００１１】
また、装置４０は、異常ロット番号などを表示するための装置モニタ（図示せず）を備える。
次に、検査工程における測定結果表示システムを用いた方法を説明する。
【００１２】
図２は、本実施の形態に係る検査工程における測定結果表示方法の動作の流れを示す図である。
ホストＡ側において、ホスト端末３０より対象ロットの投入を決定する（ステップＳ１）。
処理ポートの予約と測定条件指示を行う（ステップＳ２）。測定条件として、処理レシピ、測定ポイント数、測定キャリア内ウェハ位置などのパラメータ（測定条件）が設定される。
装置４０にて、測定のための予約受付を行う（ステップＳ３）。
ホストＡ側にて、測定開始指示を行う（ステップＳ４）。
装置４０にて、測定開始し（ステップＳ５）、ホストＡ側に測定データ通知を行う（ステップＳ６）。
ホストＡ側にて、測定データ取得し（ステップＳ７）、測定データ判定を行い（ステップＳ８）、測定値判定結果の送信を行う（測定値判定結果表示指示）（ステップＳ９）。
測定値判定結果が異常の場合（ステップＳ８において、判定結果異常の場合）、シグナルタワー赤点滅や装置モニタにて異常ロット番号表示などを行う（ステップＳ１０）。
測定値判定結果が正常の場合（ステップＳ８において、判定結果正常の場合）、シグナルタワー黄点滅、測定結果正常を表示する（ステップＳ１１）。
【００１３】
図３は、図２における各ステップの動作状態を示す図である。
図３に示すように、ステップＳ１は「待機（ポートに空がある場合、ロットの搬入を待つ）」、ステップＳ３は「前処理」を行う。この前処理Ｐ０１に示すように、搬送待ち（ＷＡＩＴ）（ステップＳ３ａ）→キャリアカセット装置（ＲＥＳＥＲＶＥ）→ホストＡからスタート指示を受ける（ステップＳ３ｂ）→ポート上での処理開始待ち（ＳＴＡＮＤ　ＢＹ）となる。ステップＳ５は「実処理（ステップＳ２におけるホストＡからの指示に基づいて検査実施を行う）」である。ステップＳ７〜Ｓ１０は「後処理」に対応する。具体的には、ホストＡ側にて、測定データ取得し（ステップＳ７）、測定データ判定を行い（ステップＳ８）、測定値判定結果の送信を行う（測定値判定結果表示指示）（ステップＳ９）。測定値判定結果が異常の場合（ステップＳ８において、判定結果異常の場合）、シグナルタワー赤点滅や装置モニタにて異常ロット番号表示などを行う（ステップＳ１０）。
ステップＳ２、ステップＳ４及びステップＳ６はホストＡ側と装置４０との「送受信」状態を示す。具体的には、ホストＡ側において、ステップＳ２：処理ポートの予約と測定条件指示を行う。ステップＳ４：測定開始指示を行う。装置４０において、ステップＳ６：ホストＡ側に測定データ通知を行う。
【００１４】
図４は、図１におけるシグナルタワー４０Ｔの表示と図２におけるステップとの関係を示す図である。
シグナルタワー４０Ｔ、青色表示部（第１の表示部）Ｃ１と緑色表示部（第２の表示部）Ｃ２と黄色表示部（第３の表示部）Ｃ３と赤色表示部（第４の表示部）Ｃ４とを備える４灯式ライト４０Ｔである。
ステップＳ１〜Ｓ１１において装置４０がホストＡの制御下にある場合に青色表示部Ｃ１が点灯する。このときオンライン処理可能を意味する。また、消灯時はマニュアル測定可能を意味する。
ステップＳ５において、装置４０で処理が行われている場合に緑色表示部Ｃ２が点灯する。このとき測定中を意味する。また、消灯時は装置４０が未稼働を意味する。
ステップＳ１１において、ステップＳ８での測定結果が正常であった場合に黄色表示部Ｃ３が点滅する。これは、測定処理が正常終了し、且つ、測定データが全て品質規格内にあることが確認された正常を意味する。また、同時に装置モニタには、異常が発生した場合の異常ロット番号表示、装置４０の測定中や未稼働など装置稼働状況の表示を行う。
ステップＳ１０において、装置４０でのハード異常の場合、又は、ステップＳ２にて行われた処理ポートの予約と測定条件指示及びステップＳ４にて行われた測定開始指示に対して測定結果が異常であった場合に赤色表示部Ｃ４が点滅する。
以上のように、４灯式ライト４０Ｔの第１の表示部Ｃ１〜第４の表示部Ｃ４を利用して装置４０の稼働、又は、未稼働を示す稼働状態表示と、ロット５０の測定値判定結果の正常、又は、異常の表示とを行う。
【００１５】
図５は、図１のホスト端末３０及び装置４０に接続される装置モニタに表示されるメッセージとシグナルタワー４０Ｔとの対応例を示す図である。
図５には、メッセージ番号Ｄ１、ステップ番号（シーケンス）Ｄ２、メッセージ内容Ｄ３及びシグナルタワー表示Ｄ４を示す。
シーケンスＤ２の「Ｓ２」は、ステップＳ２に対応する結果であり、
ホストが指示したレシピ情報に対して装置４０が、本体に指定されたレシピが存在しない場合、
指定された装置ポートが使用可能な状態にない場合、
指定された装置ポートに既に別のロット５０の指示を受けている場合、
ホストＡが指定したレシピの情報（測定ポイント、測定枚数等）に不備がある場合、
指定された装置ポートで既に別のロット５０が処理されている場合、
装置４０で処理が終了し、ポート上から処理後のロット５０の搬出を待っている場合
が該当する。シグナルタワー表示Ｄ４は、図４の赤色表示部Ｃ４の点滅が対応する。
シーケンスＤ２の「Ｓ４」は、ステップＳ４に対応する結果であり、
装置４０が処理可能な状態にない場合、
指定された装置ポートにロット５０の予約を受けていない場合（ロット５０の有無に関係なし）、
指定された装置ポートで既に別のロット５０が処理されている場合、
装置４０で処理が終了し、ポート上から処理後のロット５０の搬出を待っている場合
が該当する。シグナルタワー表示Ｄ４は、図４の赤色表示部Ｃ４の点滅が対応する。
シーケンスＤ２の「Ｓ１０」は、ステップＳ１０に対応し、
測定したデータが、１データでも社内で定められた製品保証の規格範囲を外れた場合
が該当する。シグナルタワー表示Ｄ４は、図４の赤色表示部Ｃ４の点滅が対応する。
シーケンスＤ２の「Ｓ１１」は、ステップＳ１１に対応し、
測定したデータが、全て社内で定められた製品保証の規格範囲にあった場合
が該当する。シグナルタワー表示Ｄ４は、図４の青色表示部Ｃ１及び緑色表示部Ｃ２の点滅が対応する。また、黄色表示部Ｃ３が点滅する（図示せず）。
【００１６】
なお、ホストＡは、測定値判定結果が異常の場合、ホストＡに接続された搬送部（図示せず）に該当するロット５０の搬送指示を送信しないか、バッファを搬送先とする搬送指示を送信し、測定値判定結果が正常の場合、搬送部に該当するロット５０の搬送を開始指示を送信し、次工程の処理装置に該当するロット５０の処理開始指示を送信する。上述の搬送指示により異常ロットに対応する処理が速やかに行うことができる。
また、装置４０に、バーコードやＲＦＩＤなどのロット番号を読みとる識別手段（図示せず）を備えることで、ロット番号を読みとり、測定データに付加してホストＡに送信し、ホストＡは、測定値判定結果にロット番号を付加することで正常、又は、異常と判定された当該ロット５０の確定を容易にすることができる。
【００１７】
また、本実施の形態においては、本発明はそれに限定されず、本発明を適用する上で好適な検査工程における測定結果表示方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに適用することができる。
また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。
なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されているので、以下に掲げる効果を奏する。
オペレータ作業に依存する検査工程において、装置のポート上に放置されたままのロットが残り、オペレータが次の測定を待つことがなくなる。
次工程へロットを流動させるのか、異常が発生したので関係部門へ連絡するか等、測定完了後のロットに対する次のアクションを速やかに行うことができ、検査工程におけるロット流動上の人為的要因によるロットの停滞を少なくすることができる。
ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）など半導体業界の標準団体の規格に利用することで、一部工程をネットワークに接続して運用することで、該当工程の業務外部委託を容易意にすることができる。
ホスト側で検査装置を管理することで、特別な合否フラグが不要となる。また、ＮＧロットを次工程に搬送することがない（搬送しても処理をしない）。シグナルタワーの情報により、装置側のオペレータが合否を感知・把握しやすく判断が容易にでき、オペレータによる対象ロットの処理を行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査工程における測定結果表示システムの概略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る検査工程における測定結果表示方法の動作の流れを示す図である。
【図３】図２における各ステップの動作状態を示す図である。
【図４】図１におけるシグナルタワーの表示と図２におけるステップとの関係を示す図である。
【図５】図１のホスト端末及び装置に接続される装置モニタに表示されるメッセージとシグナルタワーとの対応例を示す図である。
【図６】従来の検査工程での運用方法における動作の流れを示す図である。
【符号の説明】
１０　工程管理サーバ
２０　装置制御サーバ
３０　ホスト端末
４０　装置（計測器、（装置本体））
４０Ｔ　シグナルタワー（４灯式ライト、４色表示器）
５０　ロット（キャリア）
Ａ　ホスト（ホストサーバ）
Ｃ１　青色表示部（第１の表示部）
Ｃ２　緑色表示部（第２の表示部）
Ｃ３　黄色表示部（第３の表示部）
Ｃ４　赤色表示部（第４の表示部）
Ｄ１　メッセージ番号
Ｄ２　ステップ番号（シーケンス）
Ｄ３　メッセージ内容
Ｄ４　シグナルタワー表示
Ｐ０１　前処理
【図１】
2004128203.tif 000003
【図２】
2004128203.tif 000004
【図３】
2004128203.tif 000005
【図４】
2004128203.tif 000006
【図５】
2004128203.tif 000007
【図６】
2004128203.tif 000008