(57)【要約】【課題】マイクロメカニカルビームのねじり剛性に著しく影響することなく曲げ剛性を増大させ、マイクロメカニカルビームの強度を増大する。【解決手段】ねじり剛性に著しく影響することなくマイクロメカニカルビームの曲げ剛性を増大させるためにマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成された支持構造体２０５が設けられている。【選択図】図２ａ
2004202683.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロメカニカルビームと共に使用するための装置において、
ねじり剛性に著しく影響することなくマイクロメカニカルビームの曲げ剛性を増大させるためにマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成された支持構造体が設けられていることを特徴とする、マイクロメカニカルビームと共に使用するための装置。
【請求項２】
前記支持構造体が、マイクロメカニカルビームの最大曲げ箇所に位置決めされている、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記支持構造体が、静止摩擦を減じるように構成されている、請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記支持構造体が、丸み付けられた領域を有している、請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記支持構造体が、マイクロメカニカルビームとの取り付け箇所の近傍にテーパした端部を有している、請求項１記載の装置。
【請求項６】
前記支持構造体が、マイクロメカニカルビームの最大曲げ箇所に配置されておりかつ、丸み付けられた接触領域と、取り付け箇所の近傍におけるテーパした端部とを有している、請求項１記載の装置。
【請求項７】
前記支持構造体の形状が、円形、立方体、円筒体、管状、コイル状、クォンセット状、角柱状、三角錐形、正四角柱状、楔形、球状、長球状、円錐形、鎖状、楕円体、放物面状、尖円状、ディスク状、環状、蛇行状、らせん状、凹面状及び凸面状のうちの少なくとも１つを含んでいる、請求項１記載の装置。
【請求項８】
少なくとも１つの付加的な支持構造体が設けられている、請求項１記載の装置。
【請求項９】
支持構造体と少なくとも１つの付加的な支持構造体との、長さ、寸法及び形状のうちの少なくとも１つが等しい、請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記支持構造体と少なくとも１つの付加的な支持構造体との、長さ、寸法及び形状のうちの少なくとも１つが等しくない、請求項８記載の装置。
【請求項１１】
マイクロメカニカルビームと共に使用するためのデバイスにおいて、
マイクロメカニカルビームの曲げ動作を制限するための保護構造体が設けられており、該保護構造体が、ビームに沿った特定の箇所においてマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成されていることを特徴とする、マイクロメカニカルビームと共に使用するためのデバイス。
【請求項１２】
前記保護構造体が、マイクロメカニカルビームの所定の曲げ動作を達成した時に互いに接触してマイクロメカニカルビームの更なる曲げ動作を防止するために配置された、少なくとも２つの隣接した支持構造体を含んでいる、請求項１１記載のデバイス。
【請求項１３】
前記少なくとも２つの隣接した支持構造体が、マイクロメカニカルビームの最も大きな撓みの箇所に位置決めされている、請求項１２記載のデバイス。
【請求項１４】
前記保護構造体が、マイクロメカニカルビームの軸線に沿って、均一な長さを有しながら均等に分配されている、請求項１２記載のデバイス。
【請求項１５】
前記保護構造体が、マイクロメカニカルビームの軸線に沿って不均一に分配されている、請求項１２記載のデバイス。
【請求項１６】
前記保護構造体が、マイクロメカニカルビームの長さに沿って長さが減少しながら分配されている、請求項１５記載のデバイス。
【請求項１７】
前記保護構造体が、マイクロメカニカルビームの長さに沿って長さが増大しながら分配されている、請求項１５記載のデバイス。
【請求項１８】
前記保護構造体が、様々な方向のうちの少なくとも１つ又は全ての方向において曲げ動作を制限する、請求項１１記載のデバイス。
【請求項１９】
マイクロメカニカルミラーと共に使用するための装置において、
マイクロメカニカルミラーに取り付けられたマイクロメカニカルビームと、
マイクロメカニカルビームの曲げ動作を制限するためにマイクロメカニカルビームに取り付けられた支持構造体とが設けられていることを特徴とする、マイクロメカニカルミラーと共に使用するための装置。
【請求項２０】
装置において、
マイクロメカニカルミラープレートと、
該マイクロメカニカルミラープレートに取り付けられたマイクロメカニカルビームと、
該マイクロメカニカルミラービームの曲げ動作を制限するための支持構造体とが設けられていることを特徴とする、装置。
【請求項２１】
マイクロメカニカルミラープレートを保護するための装置において、
マイクロメカニカルミラープレートの平面内移動を制限するように構成された支持構造体が設けられており、該支持構造体が、マイクロメカニカルミラープレートを懸吊したマイクロメカニカルビームに直接に取付け可能であることを特徴とする、マイクロメカニカルミラープレートを保護するための装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロメカニカルな用途、マイクロメカニカルミラーを使用するための改良されたマイクロメカニカルビーム又はばね構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９８５１６６７号明細書は、マイクロメカニカルミラー装置の基本構成に関し、この構成においてマイクロメカニカルミラープレートは１つ以上のねじりビーム又はビームばねによって懸吊されている。ミラープレートの大きな撓み角度を許容するために、ねじりビームは細くかつ長い必要があり、このねじりビームは破損しやすい。
【０００３】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９６３３８２号明細書及びドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９４１０４５明細書は、マイクロメカニカルミラー装置のより頑丈な構成を提供する修正に関する。この修正は、マイクロメカニカルミラープレートが、マイクロメカニカルミラープレートの平面に対して垂直な方向に移動させられる場合、マイクロメカニカルねじりビームに対する応力を緩和するが、マイクロメカニカルミラープレートが、マイクロメカニカルミラープレートに対して平行又は“平面内”の方向で移動させられる場合には緩和しない。強度をさらに高めるために、マイクロメカニカルビームの太さが増大されかつ／又は長さが減じられる。しかしながら、長さ及び太さに対するこのような変更は、マイクロメカニカルビームの“移動の自由度”を低減する。
【０００４】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９６３３８２号明細書及びドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９４１０４５明細書は、２つの平行なビーム構成と、横断ビームを使用することによってテンションが加えられる、基板の表面に対して垂直な垂直方向（すなわちＺ方向）での曲げの転換とに関する。したがって、構造体全体の結果的な剛性は、基本構成の単一ばねの場合よりも著しく高い。
【特許文献１】ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９８５１６６７号明細書
【特許文献２】ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９６３３８２号明細書
【特許文献３】ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９４１０４５明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の課題は、マイクロメカニカルビームのねじり剛性に著しく影響することなく曲げ剛性を増大させ、マイクロメカニカルビームの強度を増大することである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の典型的な実施形態は、マイクロメカニカルビームに直接に取り付けられる１つ以上の支持構造体を加えることによって、マイクロメカニカルねじりビームのための向上した保護を提供する。取付け可能な構造体は、ビームに沿った特定の箇所でのマイクロメカニカルビームの望ましくない曲げ動作を防止することにより、より正確な形式でマイクロメカニカルビームの“移動の自由度”を制限するのを助ける。このような目標に対する集中化若しくは“ピンポイント化”は、ねじり剛性に対する僅かな影響のみで、特定の箇所におけるビームの曲げ剛性を高める。つまり、保護支持構造体は、マイクロメカニカルビームの強度を増大し、過酷及び／又はタフな環境的条件下での使用を可能にする。構造体は、可動な構造体（例えばより高い強度のミラー）の製造をも容易にし、また大量用途及び／又はより高い生産高を可能にする。
【０００７】
取付け可能な構造体は、バーコード読取り装置、レベリング装置、スキャナ、ディスプレイ技術装置、及び特にマイクロメカニカルミラー等の装置において適用される。例えば、取付け可能な支持構造体は、１つ以上のマイクロメカニカルビームによって懸吊されたマイクロメカニカルミラーの平面内移動の自由度を減じるための有効な方法を提供する。取り付け可能な支持構造体は、例えば自動車用途等の移動構成におけるデバイスのための向上した保護をも提供し、自動車用途においては移動により生じる振動が大きな関心事である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の典型的な実施形態は、ねじり剛性に著しく影響することなくマイクロメカニカルビームの曲げ剛性を増大させるためにマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成された支持構造体を有する、マイクロメカニカルビームと共に使用するための装置に関する。
【０００９】
別の典型的な実施形態は、支持構造体が、マイクロメカニカルビームの最大曲げ箇所に位置決めされている装置に関する。
【００１０】
さらに別の典型的な実施形態は、前記支持構造体が、静止摩擦を減じるように構成されている装置に関する。
【００１１】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体が、丸み付けられた接触領域を有している装置に関する。
【００１２】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体が、マイクロメカニカルビームとの取り付け箇所の近傍にテーパした端部を有している装置に関する。
【００１３】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体が、マイクロメカニカルビームの最大曲げ箇所に配置されており、丸み付けられた接触領域と、取り付け箇所の近傍におけるテーパした端部とを有している装置に関する。
【００１４】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体の形状が、円形、立方体、円筒体、管状、コイル状、クォンセット状、角柱状、三角錐形、正四角柱状、楔形、球状、長球状、円錐形、鎖状、楕円体、放物面状、尖円状、ディスク状、環状、蛇行状、らせん状、凹面状及び凸面状のうちの少なくとも１つを含んでいる装置に関する。
【００１５】
さらに別の典型的な実施形態は、少なくとも１つの付加的な支持構造体が設けられている装置に関する。
【００１６】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体と少なくとも１つの付加的な支持構造体との、長さ、寸法及び形状のうちの少なくとも１つが等しい装置に関する。
【００１７】
さらに別の典型的な実施形態は、支持構造体と少なくとも１つの付加的な支持構造体との、長さ、寸法及び形状のうちの少なくとも１つが等しくない装置に関する。
【００１８】
さらに別の典型的な実施形態は、マイクロメカニカルビームの曲げ動作を制限するための保護構造が設けられており、該保護構造が、ビームに沿った特定の箇所においてマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成されている、マイクロメカニカルビームと共に使用するためのデバイスに関する。
【００１９】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造が、マイクロメカニカルビームの所定の曲げ動作を達成した時に互いに接触し、マイクロメカニカルビームの更なる曲げ動作を防止するために配置された少なくとも２つの隣接した支持構造体を含んでいるデバイスに関する。
【００２０】
さらに別の典型的な実施形態は、少なくとも２つの隣接した支持構造物が、マイクロメカニカルビームの最も大きな撓みの箇所に位置決めされているデバイスに関する。
【００２１】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造体が、マイクロメカニカルビームの軸線に沿って、均一な長さで均等に分配されているデバイスに関する。
【００２２】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造体が、マイクロメカニカルビームの軸線に沿って不均一に分配されているデバイスに関する。
【００２３】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造体が、マイクロメカニカルビームの長さに沿って、長さが減少しながら分配されているデバイスに関する。
【００２４】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造体が、マイクロメカニカルビームの長さに沿って長さが増大しながら分配されているデバイスに関する。
【００２５】
さらに別の典型的な実施形態は、保護構造体が、様々な方向のうちの少なくとも１つ又は全ての方向において曲げ動作を制限するデバイスに関する。
【００２６】
さらに別の典型的な実施形態は、マイクロメカニカルミラーに取り付けられたマイクロメカニカルビームと、マイクロメカニカルビームの曲げ動作を制限するためにマイクロメカニカルビームに取り付けられた支持構造体とが設けられている、マイクロメカニカルミラーと共に使用するための装置に関する。
【００２７】
さらに別の典型的な実施形態は、マイクロメカニカルミラープレートと、マイクロメカニカルミラープレートに取り付けられたマイクロメカニカルビームと、マイクロメカニカルミラービームの曲げ動作を制限するための支持構造体とが設けられている装置に関する。
【００２８】
さらに別の典型的な実施形態は、マイクロメカニカルミラープレートの平面内移動を制限するように構成された支持構造体が設けられており、該支持構造体が、マイクロメカニカルミラープレートを懸吊したマイクロメカニカルビームに直接に取付け可能である、マイクロメカニカルミラープレートを保護するための装置に関する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１ａは、マイクロメカニカルミラー装置１００の構成を示している。マイクロメカニカル装置１００は、２つのねじれマイクロメカニカルビーム１０２及び１０３によって吊るされたマイクロメカニカルミラープレート１０１を有している。マイクロメカニカルビーム１０２，１０３により、マイクロメカニカルミラープレート１０１の所定の“移動の自由”が可能となる。特に、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３の張力は、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３の軸線に沿ったＸ方向でのマイクロメカニカルミラープレート１０１の移動を制限し、それと同時に、マイクロメカニカルミラープレート１０１と平面内である方向Ｙ（すなわち、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３の軸線と、マイクロメカニカルミラープレート１０１の平面に対して垂直な方向Ｚとに対して垂直な方向）での移動を可能にする。
【００３０】
マイクロメカニカルミラープレート１０１の移動の自由度を高めるために、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３は、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３の軸線に沿った方向Ｘで長さ方向に延長されかつ／又はその太さが減じられてよい。しかしながら、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３の延長された長さ又は減じられた太さは、マイクロメカニカルビームを壊れやすくするか、又はマイクロメカニカルミラープレート１０１の特定の望ましくない移動を十分に制限しない。
【００３１】
マイクロメカニカルビーム１０２，１０３をより頑丈にするために及び／又はマイクロメカニカルミラープレート１０１の特定の望ましくない移動を制限するために、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３は長さ方向で短縮されかつ／又はその太さが増大される。しかしながら、マイクロメカニカルビーム１０２，１０３のこのような短縮及び／又は太さ増大は、マイクロメカニカルミラープレート１０１の移動の全体的な自由度を制限する。さらに、このような短縮及び／又は太さ増大は、マイクロメカニカルミラープレートの製造に対して大きな挑戦をも課す。
【００３２】
図１ｂは、マイクロメカニカルミラープレート１０１の平面内移動を制限するためにマイクロメカニカルミラーストッパ１０４が付加された、図１ａのマイクロメカニカルミラー装置１００の部分図を示している。マイクロメカニカルミラーストッパ１０４は、例えばマイクロメカニカルミラープレート１０１と同じ材料若しくはフィルムから形成されていてよい。しかしながら、マイクロメカニカルミラー装置１００に衝撃が加えられた場合、マイクロメカニカルミラーストッパ１０４は、マイクロメカニカルミラープレート１０１が下方へ傾斜し、マイクロメカニカルミラーストッパ１０４の下方へ“潜り込む”のを防止しない。
【００３３】
図１ｃは、衝撃が加えられた直後における、図１ｂのマイクロメカニカルミラー装置１００及び付加的なマイクロメカニカルミラーストッパ１０４の部分図を示している。衝撃の結果、マイクロメカニカルミラープレート１０１の端部１０１ａはマイクロメカニカルミラーストッパ１０４の下方に位置決めされる。端部１０１ａのこのような位置は望ましくないか、又はマイクロメカニカルミラープレート１０１及び／又はマイクロメカニカルビーム１０３の潜在的な損傷を生ぜしめる。
【００３４】
図２ａは、少なくとも１つのマイクロメカニカルビーム２０２によって懸吊されたマイクロメカニカルミラープレート２０１の平面内移動を制限するためのマイクロメカニカルビーム装置２００を示している。マイクロメカニカルビーム装置２００は、マイクロメカニカルビーム２０２の曲げ動作を制限する、マイクロメカニカルビーム２０２に直接に取り付けられた１つ以上のマイクロメカニカル支持構造体２０５を有している。このような支持構造体２０５は、マイクロメカニカルビーム２０２の軸線に対して垂直な方向Ｙでマイクロメカニカルビーム２０２の剛性を著しく増大し、ねじり剛性に対する僅かな影響のみを有する。
【００３５】
つまり、例えば、衝撃の場合に、その質量がマイクロメカニカルビーム２０２と比較して比較的高いマイクロメカニカルミラープレート２０１は、マイクロメカニカルビーム２０２に力を加え、これに応力を加え、マイクロメカニカルビームを湾曲させ、マイクロメカニカルビーム２０２の望ましくない撓みを生ぜしめる。マイクロメカニカル支持構造体２０５が取り付けられていることにより、マイクロメカニカルビーム２０２の撓みは制限される。なぜならば、隣接するマイクロメカニカル支持構造体２０５が互いに接触し、最も大きな撓みの箇所においてさらなる湾曲を防止するからである。つまり、加えられた衝撃によって生ぜしめられた撓みはより均一に拡散される。その結果、マイクロメカニカルビーム２０２はより多くのエネルギを吸収し、ひいてはより大きな応力に耐えることができる。つまり、マイクロメカニカル支持構造体２０５を加えることは、マイクロメカニカルビーム２０２の最大負荷及び耐衝撃性と、マイクロメカニカルミラープレート２０２の最大負荷及び耐衝撃性とを高める。
【００３６】
図２ｂは、加えられた衝撃力の応力下で撓んだ状態の、図２ａのマイクロメカニカルビーム装置２００を示しており、マイクロメカニカル支持構造体２０５が著しい曲げ動作の場合にどのように互いに接触し、これによりマイクロメカニカルビーム２０２の最大曲げ動作を制限するかを実際に示している。特に、マイクロメカニカルビーム２０２の撓みが、例えばマイクロメカニカルミラープレート２０１と平面内でありかつマイクロメカニカルビーム２０２の軸線に対して垂直であるＹ方向で生じる場合には、マイクロメカニカル支持構造体２０５は、マイクロメカニカルビーム２０２の軸線に沿った箇所Ｐ１及びＰ２において所定の限界を超えてさらに曲がるのを防止する。つまり、マイクロメカニカルミラープレート２０１の平面内移動は制限され、マイクロメカニカルビーム２０２を破壊するための所要の応力は達成されない。
【００３７】
図２ｃは、加えられた衝撃力の応力下における、図２ａのマイクロメカニカルビーム装置２００を示しており、マイクロメカニカル支持構造体２０５が捻り動作の場合にどのように接触し、これによりやはりマイクロメカニカルビーム２０２の最大曲げ動作を制限するかを実際に示している。特に、マイクロメカニカルビーム２０２の撓みが、例えば、マイクロメカニカルビーム２０２の軸線を中心とした回転方向Ｒでのマイクロメカニカルミラープレート２０１の移動を生ぜしめると、マイクロメカニカル支持構造体２０５は、依然として、マイクロメカニカルビーム２０２の軸線に沿った箇所Ｐ１及びＰ２において所定の限界を越えて曲がるのを防止する。つまり、マイクロメカニカルミラープレート２０１の平面内移動は依然として制限され、マイクロメカニカルビーム２０２を破壊するための所要の応力は達成されない。
【００３８】
より正確な制御を達成するために、マイクロメカニカルビーム２０２の最大曲げ動作は、マイクロメカニカル構造体２０５の長さ及び／又はこのマイクロメカニカル構造体の間のギャップを調節することによって調節される。例えば、マイクロメカニカルビーム２０２の応力及び曲げ動作はその長さ方向に沿って変化する。特に、最大応力は、最大曲げ箇所において生じ、この最大曲げ箇所は、例えばマイクロメカニカルビーム２０２がマイクロメカニカルミラープレート１０１に取り付けられている箇所の近傍において生じる。曲げ動作は、マイクロメカニカルビームに沿った位置に応じて変化するので、マイクロメカニカルビームに沿った全ての位置が等しい保護を必要とするわけではない（例えば二重締め付けビームの中央における曲げ動作はより小さい）。つまり、小さな曲げの箇所においてマイクロメカニカル支持構造体２０５を低減及び／又は排除することによって、緩衝作用がマイクロメカニカルビーム２０２の長さ方向に沿って目標部分に集中させられる。付加的に、マイクロメカニカル支持構造体の長さ及び太さは、緩衝作用を集中化させるために長さ方向に沿って変化させられてよい。緩衝作用のこのような集中化は、取り付けられたマイクロメカニカルミラープレート２０１の移動の“個別変化”を可能にする。
【００３９】
図３ａ，図３ｂ及び図３ｃは、マイクロメカニカル支持構造体２０５の典型的な変化実施例を示している。図３ａには、マイクロメカニカル支持構造体３０５は、マイクロメカニカルビーム３０２の軸線に沿って均一な長さを備えながら均等に分配されており、これにより、Ｙ方向での水平な平面内曲げ動作に対して、マイクロメカニカルビームの軸線に沿って均一な保護を提供している。図３ｂでは、マイクロメカニカル支持構造体３０５は、マイクロメカニカルミラープレート３０１から長さ方向で見て、マイクロメカニカルビーム３０２の軸線に沿って長さが減少しながら分配されている。図３ｃでは、マイクロメカニカル支持構造体３０５は、マイクロメカニカルミラープレート３０１から長さ方向で見て、マイクロメカニカルビーム３０２の軸線に沿って長さが増大しながら分配されている。
【００４０】
図４は、“静止摩擦”（例えば静電効果により支持構造体の表面が固着する傾向）を低減するためのマイクロメカニカル支持構造体４０５の典型的な変化実施例を示している。マイクロメカニカル支持構造体４０５を加えることは、ビームばね４０２の固有ばね定数に影響する。固有ばね定数に対するこのような影響を低減するために、マイクロメカニカル支持構造体４０５の形状及び寸法が変化させられてよい。特に、２つのマイクロメカニカル構造体４０５の間の接触点における丸み付けられた接触領域４０６及び／又はマイクロメカニカル構造体のビームばねとの取り付け箇所の近傍におけるテーパした端部４０７は、このような静止摩擦の効果を減じる。
【００４１】
矩形／平行六面体の形式で説明されたが、支持構造体４０５は、例えば円形、立方体、円筒体、管状、コイル状、クォンセット状、角柱状、三角錐形、正四角柱状、楔形、球状、長球状、円錐形、鎖状、楕円体、放物面状、尖円状、ディスク状、環状、蛇行状、らせん状、凹面状及び凸面状を含むあらゆる適切な形状であってよい。したがって、このような多数の構造タイプを用いることにより、支持構造体は様々な方向（例えばＸ及びＺ方向）及び／又は全ての方向（すなわち“ラップアラウンド”保護、３６０度保護又はその部分）で保護を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１ａ】マイクロメカニカルミラー装置を示す図である。
【００４３】
【図１ｂ】マイクロメカニカルミラープレートの平面内移動を制限するためのマイクロメカニカルミラーストッパが付加された、図１ａのマイクロメカニカルミラー装置の部分図である。
【００４４】
【図１ｃ】衝撃が加えられた直後における、図１ｂのマイクロメカニカルミラー装置と付加的なマイクロメカニカルミラーストッパとの部分図である。
【００４５】
【図２ａ】少なくとも１つのマイクロメカニカルビームによって懸吊されたマイクロメカニカルミラープレートの平面内移動を制限するためのマイクロメカニカルビーム装置を示している。
【００４６】
【図２ｂ】著しい曲げ動作の場合にどのようにマイクロメカニカル支持構造体が互いに接触し、これによりマイクロメカニカルビームの最大曲げ動作を制限するかを示した、加えられた衝撃力の応力下でたわんだ状態における図２ａのマイクロメカニカルビーム装置を示している。
【００４７】
【図２ｃ】ねじり動作の場合にどのようにマイクロメカニカル支持構造体が互いに接触し、これによりさらにマイクロメカニカルビームの最大曲げ動作を制限するかを示した、加えられた衝撃力の応力下における、図２ａのマイクロメカニカルビーム装置を示している。
【００４８】
【図３ａ】マイクロメカニカル支持構造体の典型的な変化実施例を示している。
【００４９】
【図３ｂ】マイクロメカニカル支持構造体の付加的な典型的な変化実施例を示している。
【００５０】
【図３ｃ】マイクロメカニカル支持構造体の別の付加的な典型的な変化実施例を示している。
【００５１】
【図４】静止摩擦を低減するためのマイクロメカニカル支持構造体の典型的な変化実施例を示している。
【符号の説明】
【００５２】
１００  マイクロメカニカルミラー、  １０１  マイクロメカニカルミラープレート、  １０２，１０３  マイクロメカニカルビーム、  １０４  マイクロメカニカルミラーストッパ、  ２００  マイクロメカニカルビーム、  ２０１，３０１  マイクロメカニカルミラープレート、  ２０２，３０２  マイクロメカニカルビーム、  ２０５，３０５，４０５  マイクロメカニカル支持構造体、  ４０２  ビームばね、  ４０６  接触領域、  ４０７  テーパした端部
【図１ａ】
2004202683.tif 000003
【図１ｂ】
2004202683.tif 000004
【図１ｃ】
2004202683.tif 000005
【図２ａ】
2004202683.tif 000006
【図２ｂ】
2004202683.tif 000007
【図２ｃ】
2004202683.tif 000008
【図３ａ】
2004202683.tif 000009
【図３ｂ】
2004202683.tif 000010
【図３ｃ】
2004202683.tif 000011
【図４】
2004202683.tif 000012