(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルの異常発光セルを不点灯化して、良好なパネルを得る。【解決手段】透明電極および金属電極からなる表示電極が形成された前面基板２２と、この前面基板２２に対向配置されかつ前記表示電極との間で複数のセルを構成する電極を形成した背面基板２３とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、複数のセルのうち、異常発光のセルを構成する表示電極の抵抗値を変化させることにより不点灯化する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明電極および金属電極からなる表示電極が形成された前面基板と、この前面基板に対向配置されかつ前記表示電極との間で複数のセルを構成する電極を形成した背面基板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記複数のセルのうち、異常発光のセルを構成する表示電極の抵抗値を変化させることにより不点灯化することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
異常発光のセルに対応する透明電極に、前面基板を通して透明電極に吸収される波長のレーザー光を照射することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
表示電極は、放電ギャップを介して互いに対向する主体部を有する透明電極とこの透明電極に放電電力を供給するように透明電極に接続した金属電極とで構成し、異常発光のセルにおいて、透明電極の主体部と金属電極との間に透明電極に吸収される波長のレーザー光を照射することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
吸収される波長のレーザー光は、１０００〜１２００ｎｍの基本波のレーザーを用いて、その基本波、２次高調波または３次高調波のいずれかにより得ることを特徴とする請求項２または３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＰＤＰを用いたディスプレイは、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化および大画面化が進められている。
【０００３】
このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。
【０００４】
図６にＰＤＰにおけるパネル構造の一例を示している。図６に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成され、そして基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が配置形成されている。この走査電極２および維持電極３は、それぞれ透明電極２ａ、３ａおよびこの透明電極２ａ、３ａに電気的に接続された銀等の母線２ｂ、３ｂとから構成されている。また、前記前面側の基板１には、前記複数対の電極群を覆うように誘電体層６が形成され、その誘電体層６上には保護膜７が形成されている。
【０００５】
また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側の基板８上には、走査電極２及び維持電極３の表示電極４と直交する方向に、絶縁体層９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されている。このデータ電極１０間の絶縁体層９上には、データ電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１１が配置され、この隔壁１１間の側面１１ａおよび絶縁体層９の表面に蛍光体層１２が設けられている。
【０００６】
これらの基板１と基板８とは、走査電極２および維持電極３とデータ電極１０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁１１によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数のセル１３が設けられ、その各セル１３には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層１２が一色ずつ順次配置されている。
【０００７】
このパネル本体の電極配列は、図７に示すように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭおよび維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のデータ電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このＰＤＰでは、パネルとして完成した後、あるセルが他のセルよりも非常に強い輝度で光る、一般に「輝点」と呼ばれるセルの異常発光が発見されることがある。この輝点は、ＰＤＰが低輝度の表示の時、あるいはＰＤＰが単色表示されている場合に輝点がその単色以外の色の時においては非常に目立つものである。
【０００９】
しかしながら、ＰＤＰではこれまでこの異常発光するセルをなくす方法がなく、この輝点が一部のセルに発見された場合は、パネル自体を不良品として処分する必要があった。
【００１０】
本発明はこのような現状に鑑みなされたもので、異常発光セルを不点灯化して、良好なパネルを得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数のセルのうち、異常発光のセルを構成する表示電極の抵抗値を変化させることにより不点灯化するものである。
【００１２】
この方法により、異常発光するセルをなくすことができ、製造歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、透明電極および金属電極からなる表示電極が形成された前面基板と、この前面基板に対向配置されかつ前記表示電極との間で複数のセルを構成する電極を形成した背面基板とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記複数のセルのうち、異常発光のセルを構成する表示電極の抵抗値を変化させることにより不点灯化することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、異常発光のセルに対応する透明電極に、前面基板を通して透明電極に吸収される波長のレーザー光を照射することを特徴とする。
【００１５】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１において、表示電極は、放電ギャップを介して互いに対向する主体部を有する透明電極とこの透明電極に放電電力を供給するように透明電極に接続した金属電極とで構成し、異常発光のセルにおいて、透明電極の主体部と金属電極との間を透明電極に吸収される波長のレーザー光を照射することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３において、吸収される波長のレーザー光は、１０００〜１２００ｎｍの基本波のレーザーを用いて、その基本波、２次高調波または３次高調波のいずれかにより得ることを特徴とするものである。
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について、図１〜図５の図面を用いて説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法を実施している状況を示す図、図２は図１に示したレーザー照射領域およびその周辺領域を前面基板の表面側から見た図、図３は図２のＡ−Ａ断面図であり、レーザー光を照射した状態を示している。
【００１９】
まず、図１において、ＰＤＰ２１は前面基板２２と背面基板２３とを対向配置して周辺部を封着部材により封着し、この基板間の空間にキセノンを含む希ガスを封入して構成されたもので、複数のセルが形成されている。２４はレーザー集光照射ユニットで、このレーザー集光照射ユニット２４から発生させたレーザー光２５を前面基板２２の表面側であるパネル点灯表示面側から、ＰＤＰ２１の点灯検査で発見された異常発光セルの領域であるレーザー照射領域２６に集光して照射するものである。
【００２０】
また、図２、図３において、ＰＤＰ２１の構成について説明すると、前面基板２２上には、透明電極２７および金属電極であるバス電極２８が形成され、これら透明電極２７およびバス電極２８を覆うようにガラスからなる誘電体層２９およびＭｇＯからなる保護層３０が積層形成されている。電流を流しやすくするためのバス電極２８は、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等の低抵抗の金属膜層により構成され、放電面積を確保するための透明電極２７は酸化錫等の比較的抵抗の高い透明な電極材料により構成されている。また、透明電極２７は、各セルにおいて、互いに放電ギャップ３１を介して対向するように島状に分離されて形成されている。
【００２１】
背面基板２３上には、銀からなる帯状のデータ電極３２が形成され、データ電極３２を覆うようにガラスからなる誘電体層３３が形成されている。この誘電体層３３上には、隣接するデータ電極３２の間に帯状の隔壁３４が設けられ、誘電体層３３上から隔壁３４の側面にかけて蛍光体３５が設けられている。
【００２２】
そして、前面基板２２と背面基板２３との間の放電空間３６には、キセノンを含む希ガスが封入されている。なお、破線で囲まれた領域が１つのセル３７を表している。
【００２３】
このＰＤＰにおいては、１つのセル３７内の２本のバス電極２８の間に電圧が印加されると、透明電極２７を介して保護層３０の表面に電荷が蓄積される。そこにデータ電極３２により臨界電圧を超えるパルス電圧を印加すると、セル３７内の２つの透明電極２７の間で放電が生じる。この放電により放電空間３６内に充填されている希ガスがエネルギー励起されて紫外光を放出する。この紫外光により蛍光体３５が励起されて赤、緑、青各色に蛍光発光することにより、ＰＤＰにカラー画像が表示される。
【００２４】
図１に示すように、本発明においては、ＰＤＰ２１を完成させた後、ＰＤＰ２１の複数のセル３７のうち、異常発光のセルを構成する表示電極である透明電極２７の抵抗値を変化させてセルを不点灯化するもので、異常発光のセル３７に対応する透明電極２７のレーザー照射領域２６に、前面基板２２を通して透明電極２７に吸収される波長のレーザー光２５をレーザー集光照射ユニット２４から照射して不点灯化する方法である。すなわち、パネルとして完成した後、あるセルが他のセルよりも非常に強い輝度で光る、輝点が一部のセルに発見された場合、その輝点となる異常発光のセル３７に対応する透明電極２７の抵抗値を変化させて不点灯化し、輝点をなくすことにより、輝点によるパネル不良を削減するものである。
【００２５】
次に、異常発光しているセル３７を不点灯化する具体例について説明すると、レーザー集光照射ユニット２４として、ＣＷ−ＹＡＧレーザー（波長：１０６４ｎｍ）を用い、約２０μｍの直径をもつ円形状に集光して、異常発光するセル３７の中のレーザー照射領域２６（２５０μｍ×１００μｍ×２領域／セル）部分にレーザー照射されるように折り返しスキャン照射した。この結果、異常発光していたセル３７はまったく発光しなくなり、このセル３７を不点灯化することができた。
【００２６】
光学顕微鏡で観察した結果、レーザー照射されたレーザー照射領域２６に存在する酸化錫からなる透明電極の色が変化し、この変色した部分を解析すると、酸化錫が変質し、測定不可能なほど高抵抗になっていた。
【００２７】
この構造のＰＤＰでは、セルの放電開始電圧はそのセルに含まれる透明電極間の放電ギャップ電極間距離により規定される。放電ギャップである透明電極間にバス電極からの放電電圧が伝わらないと、透明電極ギャップ間に充分な電圧が印加されなくなる。透明電極が途中で切断されて透明電極ギャップ間に充分な電圧が印加されなくなると、バス電極に印加されている電圧では放電が生じなくなる。
【００２８】
このことから、図２および図３に示した構造のＰＤＰでは、異常発光するセル３７の中のレーザー照射領域２６にＹＡＧレーザーを照射すると、レーザー照射領域２６にある透明電極は、レーザーエネルギーを吸収して熱により変質して高抵抗化するため、異常発光するセル３７の透明電極ギャップ間への電圧が印加されなくなる。これにより、放電開始電圧がこのセル３７に印加されなくなるため、不点灯化するものである。
【００２９】
次に、照射されたレーザー光による挙動について説明すると、通常のガラス材の赤外線吸収特性は、１０μｍ前後の波長に吸収を持つことが知られておりその他の赤外線はほとんど吸収しない。図３に示すように前面基板２２の表面側から照射されたレーザー光２５は、前面基板２２ではほとんどエネルギー吸収されずに透明電極２７に到達し、透明電極２７がレーザーエネルギーを吸収することにより加熱されるため、透明電極２７は変質しているものと推測できる。透明電極２７でエネルギー吸収されたレーザー光２５は、パワーが低下する上に、その先の誘電体層２９に吸収されることはほとんどないため、熱破壊によって誘電体層２９に穴があいたり内部に泡が生じたりすることはほとんどない。したがって、ＰＤＰの駆動時に誘電体層２９において絶縁破壊が生じることはない。
【００３０】
なお、透明電極の変質の主原因は、透明電極によるレーザーエネルギーの吸収である。上記実施の形態ではＹＡＧレーザーを用いた場合について説明したが、レーザーの種類は透明電極に吸収される波長のものであれば、これ以外のレーザーでも同様の効果を得ることができる。例えば、ＣＷ−ＹＡＧレーザーをスキャン照射する代わりにシングルパルス発振ＹＡＧレーザーのスポットをレーザー照射領域２６に当たるようにパルス照射した場合にも同様の効果が得られた。
【００３１】
また、適用可能なレーザー波長として、各種レーザーを確認したところ、ＹＬＦレーザー（波長：１０４６ｎｍ）、ＹＬＦの２次高調波レーザー（５２３ｎｍ）、ＹＬＦの３次高調波レーザー（３４９ｎｍ）を用いた場合にも同様の効果を実現できた。上記実施の形態で用いたのと同じＹＡＧレーザーについて２次高調波レーザー（５３２ｎｍ）、ＹＡＧの３次高調波レーザー（３５５ｎｍ）を用いた場合にも同様の結果が得られた。
【００３２】
図４、図５は本発明の他の実施の形態によるＰＤＰの要部構造を示す図である。図４に示す実施の形態のものは、Ｔ字形状の透明電極３８を、各セルにおいて、互いに放電ギャップ３１を介して対向するように島状に分離して形成したものである。また、図５に示す実施の形態では、放電ギャップ３１を介して互いに対向する主体部３９ａとこの主体部３９ａを連結するように設けた連結部３９ｂとを有する櫛形状の透明電極３９と、この透明電極３９に放電電力を供給するように連結部３９ｂ上で透明電極３９と接続した金属電極２８とで表示電極を構成し、異常発光のセルにおいて、透明電極３９の主体部３９ａと金属電極２８との間を透明電極３９に吸収される波長のレーザー光を照射するものである。
【００３３】
これらの実施の形態のような形状の透明電極を有するパネルに対しても、上記実施の形態と同様の処理を実施した結果、異常発光セルを不点灯化することができた。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、異常発光するセルを不点灯化して目立たなくすることが可能になる。また、透明電極に吸収される波長のレーザーを用いるため、誘電体層ではレーザーエネルギーはほとんど吸収されず、誘電体層の熱破壊による絶縁破壊も生じない。このように欠陥部を修正することでプラズマディスプレイパネルの製造歩留まりを向上することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法を実施している状況を示す斜視図
【図２】同プラズマディスプレイパネルのレーザー照射領域およびその周辺領域を示す平面図
【図３】図２のＡ−Ａ線で切断した断面図
【図４】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法における要部構造を示す平面図
【図５】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法における要部構造を示す平面図
【図６】一般的なプラズマディスプレイパネルの一部を切り欠いて示す斜視図
【図７】同パネルの電極配列を示す電気配線図
【符号の説明】
２１　プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
２２　前面基板
２３　背面基板
２４　レーザー集光照射ユニット
２５　レーザー光
２６　レーザー照射領域
２７、３８、３９　透明電極
２８　バス電極
３２　データ電極
３７　セル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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