(57)【要約】【課題】回転ロールを利用して、常に清潔かつ乾燥状態の塗布面に必要な予備吐出が行なえるようにすること。【解決手段】洗浄液１４を貯える貯液槽１０と、上側が洗浄液１４から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルト１と、ベルト１を駆動させる一組の支持ロール２及び３と、ベルト１の外周表面を洗浄液１４内で擦るように配置された洗浄液内ドクタ５と、洗浄液内ドクタ５で擦られたベルト１の外周表面をさらに洗浄液１４外で擦るように配置された洗浄液外ドクタ７とを備え、ベルト１の上側の外周表面に、塗布ヘッド１６の吐出部先端を近接させて塗布液１５を吐出させるものであることを特徴とする予備吐出装置。【選択図】図１
2004130159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を貯える貯液槽と、上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルトと、ベルトを駆動させる一組の支持ロールと、ベルトの外周表面を洗浄液内で擦るように配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られたベルトの外周表面をさらに洗浄液外で擦るように配置された洗浄液外ドクタとを備え、
ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置。
【請求項２】
貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置。
【請求項３】
ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置。
【請求項４】
洗浄液を貯える貯液槽で上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬し、一組の支持ロールによって駆動されているベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、ベルトの外周表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされたベルトの外周表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とすことを特徴とする予備吐出方法。
【請求項５】
ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法。
【請求項６】
貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイコート方式の塗布装置を構成する塗布ヘッドの予備吐出を行なう装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ダイコート方式の塗布装置で基板にレジストを塗布する場合、待機中の乾燥状態によって生じるレジスト内異物および塗布後の塗布ヘッドのインライン洗浄によって浸入した洗浄液を排出させるために、基板にレジストを塗布する直前に予備吐出を行う。
【０００３】
しかし塗布ヘッドからただ液を出すだけでは、表面張力によって先端部に液が広がってしまい基板への塗布時にムラや膜厚均一性不良を生じてしまう。
【０００４】
またロール上に予備吐出を行う場合でも、ロール表面を清潔かつ乾燥させておかないと次回の予備吐出時にヘッド先端に汚れや洗浄液が転移し、基板への塗布に影響を及ぼす。
【０００５】
特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法は、この公報の図３に見られるように、塗布エレメント２１の吐出口２２からの予備吐出を、回転するローラ３３上に行なうものであるが、塗布エレメント２１の吐出口２２から吐出された塗布液Ｌ２が付着したローラ３３表面を洗浄液Ｌ１に浸漬した後に、ローラ３３表面に付着した塗布液Ｌ２を、シャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄し、さらに排気口４１からの排気により、洗浄されたローラ３３表面を乾燥させるものである。特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法では、この公報の図３から分るように、ローラ３３表面をシャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄してから、ローラ３３の表面に再度予備吐出がなされるまでにローラ３３が回転する角度は９０度程度と小さいので、再度予備吐出を行なうまでにローラ３３の表面が乾燥し難いことが懸念される。このことは、特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法の実施の形態で、洗浄液Ｌ１に、高揮発性のものを使用していることからも強く示唆される。
【０００６】
特開２００２−４５７６０号公報に記載の塗布装置および方法では、この公報の図１及び２に見られるように、被塗布基板８に塗布液を塗布するのに先だって、予備塗布ブロック１０の塗布面に塗布液を塗布する。被塗布基板８に塗布液を塗布後、予備塗布ブロック１０の塗布面は、回転させることにより洗浄液供給ノズル１２に向けられ、洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液で洗浄された後、排気ポート１４を介して空気等を循環させることにより乾燥される。従って、少なくとも予備塗布ブロック１０の塗布面を回転させている間は、予備吐出も、被塗布基板８への塗布液の塗布も、行なえない。さらに、特開２００２−４５７６０号公報に記載の塗布装置および方法には、以下のような欠点があると推測される。
【０００７】
第１に、予備塗布ブロック１０を洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液のみで洗浄するので多量の洗浄液を使用し洗浄時間も長いことが想像される。
【０００８】
第２に、予備塗布ブロック１０の大きさによって予備吐出量に制限がある。液の種類によっては予備吐出を多めに行う必要があった場合に予備塗布ブロック１０の幅内で予備吐出を行うためには、吐出レートを上げてやればよいが、そうすると逆に塗布ノズル５の先に付着する余剰液は多くなってしまう（塗布ノズル５の先を汚す）ことが考えられる。
【０００９】
第３に、この予備塗布ブロック１０を数十から数ミクロンの精度で加工し、全ての面が塗布ノズル５から同程度の範囲内に収まるように設置することは実際には困難であると思われる。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−３１０１４７号公報
【特許文献２】
特開２００２−４５７６０号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、係る従来技術の状況を鑑みてなされたもので、回転ロールを利用して、常に清潔かつ乾燥状態の塗布面に必要な予備吐出が行なえるようにすることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、洗浄液を貯える貯液槽と、上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルトと、ベルトを駆動させる一組の支持ロールと、ベルトの外周表面を洗浄液内で擦るように配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られたベルトの外周表面をさらに洗浄液外で擦るように配置された洗浄液外ドクタとを備え、
ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置としたものである。
【００１３】
また請求項２の発明では、貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１４】
また請求項３の発明では、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１５】
また請求項４の発明では、洗浄液を貯える貯液槽で上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬し、一組の支持ロールによって駆動されているベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、ベルトの外周表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされたベルトの外周表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とすことを特徴とする予備吐出方法としたものである。
【００１６】
また請求項５の発明では、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１７】
また請求項６の発明では、貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明の予備吐出装置の一実施形態の側面図、図２は本発明の予備吐出装置の一実施形態の上面図である。
【００１９】
本実施形態の予備吐出装置は、洗浄液１４を貯える貯液槽１０と、上側が洗浄液１４から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルト１と、ベルト１を駆動させる一組の支持ロール２及び３と、ベルト１の外周表面を洗浄液１４内で擦るように配置された洗浄液内ドクタ５と、洗浄液内ドクタ５で擦られたベルト１の外周表面をさらに洗浄液１４外で擦るように配置された洗浄液外ドクタ７とを備え、ベルト１の上側の外周表面に、塗布ヘッド１６の吐出部先端を近接させて塗布液１５を吐出させるものである。
【００２０】
さらに詳しく説明すると、支持ロール２及び３は、所定の同一方向の回転を行ない、支持ロール２に接するベルト１の部分を下降させ、ベルト１の下側を支持ロール２から支持ロール３へ移動させ、支持ロール３に接するベルト１の部分を上昇させ、ベルト１の上側を支持ロール３から支持ロール２へ移動させるように、ベルト１を駆動する。そして、洗浄液内ドクタ５は、洗浄液１４内で、支持ロール３に接して上昇するベルト１の部分の外周表面を擦る。そして、洗浄液外ドクタ７は、洗浄液１４外で、支持ロール３に接して上昇するベルト１の部分の外周表面を擦る。そして、塗布ヘッド１６の吐出部先端を近接させて、予備吐出が行なわれる、ベルト１の上側の外周表面は、支持ロール２の上端の上に位置する。
【００２１】
また本実施形態の予備吐出装置は、貯液槽１０内に洗浄液１４を供給する洗浄液供給ノズル４と、貯液槽１０から洗浄液１４をオーバーフローさせるオバーフロー管９とを備える。洗浄液供給ノズル４は、洗浄液１４外で、支持ロール２に接して下降するベルト１の部分の外周表面の方に向いている。
【００２２】
また本実施形態の予備吐出装置は、ドレンバルブ１１を有するドレン管１３を貯液槽１０の底に備える。ドレンバルブ１１が開くと、ドレン管１３は、貯液槽１０の底から洗浄液１４を排出し、ドレンバルブ１１が閉じると、洗浄液１４は、貯液槽１０に貯めておかれる。
【００２３】
本実施形態の予備吐出装置による塗布ヘッドの予備吐出は、以下の通りである。
【００２４】
まず、洗浄液１４を貯液槽１０に貯めておく。
【００２５】
次に支持ロール２上端の上に位置するベルト１上に適切な間隔をもって近接させられた塗布ヘッド１６より、予備吐出を行う。
【００２６】
このとき再び洗浄液ノズル４から洗浄液１４を供給する。洗浄液１４を、塗布液１５が付着したベルト１にかけながら供給するとより高い洗浄効果が期待できる。
【００２７】
ベルト１上に吐出された塗布液１４は、支持ロール２及び３の回転とともに洗浄液１４中に浸漬し、洗浄液内ドクタ５によって掻き落される。洗浄液１４中であるため、掻き落された塗布液１５が乾燥してベルト１や洗浄液内ドクタ５を汚染することはない。
【００２８】
次に洗浄液外ドクタ７によってベルト１に付着した洗浄液１４を掻き取る。
【００２９】
洗浄液外ドクタ７で洗浄液１４を掻き取られたベルト１の外周表面は、支持ロール２上端に到達して、塗布ヘッド１６の予備吐出が再度なされるまでに、乾燥する。
【００３０】
支持ロール２上端の上に位置するベルト１上に予備塗布を行うため、塗布液１５が付着直後に洗浄液１４に浸されことができ、逆に洗浄液１４の掻き取り後は一定時間大気中を移動するためその間にベルト１の表面を乾燥させることができる。
【００３１】
予備吐出中は常に洗浄液１４が洗浄液供給ノズル４から供給されており余剰分はオーバーフロー管９からオーバーフローされるため、貯液槽１０内の洗浄液１４は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３２】
また適時ドレンバルブ１１を開いて、ドレン管１３から洗浄液１４を排出し、洗浄液供給ノズル４から洗浄液１４を供給することで洗浄液１４を新液と入れ替えることもできる。
【００３３】
ベルト１は洗浄液１４に侵されず、塗布ヘッド１６との間隙を維持できる厚み精度を持ったステンレス製などの金属ベルトを用いるのが良い。
【００３４】
また、洗浄液供給ノズル１４は図のような円筒管を多数並列させずに、一連のスリットを持つノズル形状でも良い。
【００３５】
【発明の効果】
本願の各請求項に記載の発明は、以下に列挙する効果を有する。
【００３６】
請求項１及び請求項４の発明は、塗布液が付着したベルトの外周表面は、支持ロールが１８０度回転するまでに洗浄液に侵漬させ、支持ロールの間を移動している間洗浄液に侵漬させた後、洗浄液内ドクタによって洗浄液中で塗布液が掻き落とされるので、確実に掻き落とされ、かつ掻き落とされた塗布液が乾燥してベルトを汚染することが無い。また、洗浄液内ドクタで塗布液が掻き落とされたベルトの外周表面は、そこに付着した洗浄液が洗浄液外ドクタで掻き落とされ、さらに支持ロール間を移動する間に大気に晒されるので、再度予備吐出がなされるまでに、確実に乾燥する。
【００３７】
請求項２及び請求項５の発明は、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせられるので、貯液槽内の洗浄液は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３８】
請求項３及び請求項６の発明は、塗布液が付着したベルトの外周表面に、貯液槽に供給される洗浄液をかけるので、より高い洗浄効果が得られる。
【００３９】
以上、本発明は、回転ロールを利用して、常に清潔かつ乾燥状態の塗布面に必要な予備吐出が行なえるようにできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施形態の側面図。
【図２】本発明装置の一実施形態の上面図。
【符号の説明】
１…ベルト
２…支持ロール
３…支持ロール
４…洗浄液供給ノズル
５…洗浄液内ドクタ
６…ドクタホルダ
７…洗浄液外ドクタ
８…ドクタホルダ
９…オーバーフロー管
１０…貯液槽
１１…ドレンバルブ
１２…洗浄液供給バルブ
１３…ドレン管
１４…洗浄液
１５…塗布液
１６…塗布ヘッド
【図１】
2004130159.tif 000003
【図２】
2004130159.tif 000004