(57)【要約】【課題】長期間点灯させた場合であっても、高い照度維持率が得られる放電ランプを提供する。【解決手段】シリカガラスからなる放電容器と、この放電容器内に対向配置された一対の電極とを有し、放電容器内に、少なくとも、０．１５ｍｇ／ｍｍ３  以上の水銀と、Ａｒを主成分とする希ガスと、２×１０−４〜７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３  の臭素とが封入されてなり、電極間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させた場合において、Ａｒによる波長６６８ｎｍの発光強度をａ、ＯＨによる波長３０９ｎｍの発光強度をｂ、Ｈによる波長６５６ｎｍの発光強度をｃ、Ｃ２  による波長５１７ｎｍの発光強度をｄ、ＣＨによる波長４３１ｎｍの発光強度をｅとしたとき、１．０×１０−４≦ｂ／ａ≦１．２×１０−１、ｃ／ａ≦１．４×１０−１、ｄ／ａ≦１．２×１０−２、ｅ／ａ≦１．４×１０−２を満足する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカガラスからなる放電容器と、この放電容器内に対向配置された一対の電極とを有し、当該放電容器内に、少なくとも、０．１５ｍｇ／ｍｍ３  以上の水銀と、Ａｒを主成分とする希ガスと、２×１０−４〜７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３  の臭素とが封入されてなる放電ランプであって、
前記電極間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させた場合において、Ａｒによる波長６６８ｎｍの発光強度をａ、ＯＨによる波長３０９ｎｍの発光強度をｂ、Ｈによる波長６５６ｎｍの発光強度をｃ、Ｃ２  による波長５１７ｎｍの発光強度をｄ、ＣＨによる波長４３１ｎｍの発光強度をｅとしたとき、下記の条件（１）乃至条件（４）を満足することを特徴とする放電ランプ。
条件（１）：１．０×１０−４≦ｂ／ａ≦１．２×１０−１
条件（２）：ｃ／ａ≦１．４×１０−１
条件（３）：ｄ／ａ≦１．２×１０−２
条件（４）：ｅ／ａ≦１．４×１０−２
【請求項２】
放電容器内におけるカーボン化合物の濃度が６００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電ランプに関し、更に詳しくは放電容器内に水銀、Ａｒを主成分とする希ガスおよび臭素が封入されてなる放電ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、投光用照明或いは画像表示装置が広く普及してきており、これらの光源として高圧放電ランプが多く用いられている。
また、液晶プロジェクタにおいては、点光源に近く、配向制御が容易であることから、光源としてショートアーク型の放電ランプが用いられており、かかる放電ランプにおいては、輝度の高いものであることが要請されている。
然るに、輝度の高い放電ランプにおいては、点灯中に電極の温度が相当に高くなり、これにより、放電容器の失透、黒化が早期に生じる結果、長期間にわたって高い照度維持率が得られない、という問題がある。
そして、従来、放電ランプにおける放電容器の失透、黒化を抑制または防止する手段として、放電容器内に特定の割合のハロゲンを導入する手段（特許文献１等参照）、放電ランプをグロー放電させた際の希ガスの主発光分光スペクトル強度に対する水素、酸素およびそれらの化合物の発光分光スペクトルの最大強度の比を特定の値以下に制御する手段（特許文献２参照）が提案されている。
【０００３】
また、最近においては、長期間にわたって高い照度維持率を得るために、放電ランプをグロー放電させた際の水銀による波長４０４．７ｎｍのスペクトルの強度に対するＯＨによる波長３０５ｎｍのスペクトルの強度の比が特定の値より大きくなるよう制御することにより、電極から飛散される金属物質が、放電容器内に存在する酸素およびハロゲンと反応して金属化合物とされた後、再度電極に堆積するというハロゲンサイクルを活性化する手段が提案されている（特許文献３参照）。
しかしながら、このような放電ランプにおいては、以下のような問題がある。放電容器を形成するシリカガラス管や電極には、炭素や水素が溶存または表面吸着しており、また、シリカガラス管や電極が、放電ランプの製造工程における雰囲気に晒されることにより、有機物や水分が、当該シリカガラス管や電極に吸着し、その結果、製造後における放電ランプの放電容器内には、不純物として炭素や水素が取り込まれる。そして、炭素や水素が放電容器内に取り込まれると、当該放電容器内において、これらと酸素とが反応してＣＯ、ＣＯ２  、Ｈ２  Ｏなどが形成されるため、ハロゲンサイクルが円滑に機能せず、結局、長期間にわたって高い照度維持率を得ることができない。
また、グロー放電時の水銀のスペクトルの強度は、放電ランプの外部温度環境や放電の形態などによってばらつきが生じるため、このようなスペクトルの強度を高い精度で制御することは困難である。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−２９７２６８号公報
【特許文献２】
特開平１１−３２９３５０号公報
【特許文献３】
特開２０００−７５２６９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、長期間点灯させた場合であっても、高い照度維持率が得られる放電ランプを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の放電ランプは、シリカガラスからなる放電容器と、この放電容器内に対向配置された一対の電極とを有し、当該放電容器内に、少なくとも、０．１５ｍｇ／ｍｍ３  以上の水銀と、Ａｒを主成分とする希ガスと、２×１０−４〜７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３  の臭素とが封入されてなる放電ランプであって、
前記電極間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させた場合において、Ａｒによる波長６６８ｎｍの発光強度をａ、ＯＨによる波長３０９ｎｍの発光強度をｂ、Ｈによる波長６５６ｎｍの発光強度をｃ、Ｃ２  による波長５１７ｎｍの発光強度をｄ、ＣＨによる波長４３１ｎｍの発光強度をｅとしたとき、下記の条件（１）乃至条件（４）を満足することを特徴とする。
条件（１）：１．０×１０−４≦ｂ／ａ≦１．２×１０−１
条件（２）：ｃ／ａ≦１．４×１０−１，
条件（３）：ｄ／ａ≦１．２×１０−２，
条件（４）：ｅ／ａ≦１．４×１０−２
【０００７】
本発明の放電ランプにおいては、放電容器内におけるカーボン化合物の濃度が６００ｐｐｍ以下であることが好ましい。
【０００８】
【作用】
以上の構成によれば、条件（１）乃至条件（４）を満足することにより、放電容器放電空間内には、適度の量の酸素が存在すると共に、その他の不純物が少ないため、ハロゲンサイクルが円滑に機能し、これにより、放電容器の黒化および失透が抑制され、その結果、長期間点灯させた場合であっても、高い照度維持率が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る放電ランプの実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明に係る放電ランプの一例における構成を示す説明用断面図であり、この放電ランプ１は直流電源によって駆動されるものである。
図１に示す放電ランプ１は、シリカガラスよりなる放電容器１０を有し、この放電容器１０は、放電空間Ｓを包囲する楕円球状の発光管部１１と、この発光管部１１の両端の各々に連続して形成された管軸方向外方に伸びる直管状の封止管部１２，１３とにより構成されている。
放電容器１０の放電空間Ｓ内には、それぞれタングステンよりなる陰極１４および陽極１５が互いに対向するよう管軸方向に沿って配置されている。放電容器１０における封止管部１２，１３の各々の内部には、モリブデンよりなる金属箔１６，１７が気密に埋設されており、陰極１４および陽極１５の各々の基端部が、金属箔１６，１７における発光管部側の一端部に例えばスポット溶接等によって固定されて電気的に接続されている。
金属箔１６，１７の他端部には、放電容器１０の管軸方向に沿って伸び、封止管部１２，１３の端部から外部に突出する外部リード棒１８，１９が、例えばスポット溶接等によって固定されて電気的に接続されている。
【００１０】
また、放電容器１０の放電空間Ｓ内には、少なくとも、水銀、アルゴンガスを主成分とする希ガスおよび臭素が封入されている。
水銀の封入量は、０．１５ｍｇ／ｍｍ３  以上とされ、これにより、演色性の良好な放電ランプ１を得ることができる。
臭素の封入量は、２×１０−４〜７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３  とされる。臭素の封入量が２×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  以上であれば、放電空間Ｓにおいて放出される光のうち、短波長紫外線の大部分が、臭素または臭素化合物に吸収されることにより、放電容器１０の管壁に到達する短波長紫外線の量が極めて少なく、その結果、放電容器１０の白濁を抑制することができる。一方、臭素の封入量が７×１０−３μｍｏｌ／ｍｍ３  以下であれば、電極の変形、摩耗が生ずることが抑制される。
希ガスの封入圧は、３〜２０ｋＰａであることが好ましく、これにより、グロー放電点灯時においてＡｒによる発光強度の変化が小さい放電ランプが得られる。
また、希ガスとしては、Ａｒの単独ガス、Ａｒと他の希ガス（Ｘｅ、Ｋｒ等）との混合ガスを用いることができるが、混合ガスを用いる場合には、Ａｒの割合が８０％以上のものであることが好ましい。
【００１１】
そして、この放電ランプ１においては、陰極１４および陽極１５の間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させた場合において、Ａｒによる波長６６８ｎｍの発光強度をａ、ＯＨによる波長３０９ｎｍの発光強度をｂ、Ｈによる波長６５６ｎｍの発光強度をｃ、Ｃ２  による波長５１７ｎｍの発光強度をｄ、ＣＨによる波長４３１ｎｍの発光強度をｅとしたとき、下記の条件（１）乃至条件（４）を満足するものである。
条件（１）：１．０×１０−４≦ｂ／ａ≦１．２×１０−１，
条件（２）：ｃ／ａ≦１．４×１０−１，
条件（３）：ｄ／ａ≦１．２×１０−２，
条件（４）：ｅ／ａ≦１．４×１０−２
ここで、ＯＨによる波長３０９ｎｍの発光スペクトル、Ｃ２  による波長５１７ｎｍの発光スペクトルおよびＣＨによる波長４３１ｎｍの発光スペクトルについては、例えば  Ｒ．Ｗ．Ｂ．  Ｐｅａｒｓｅ  ａｎｄ  Ａ．Ｇ．  Ｇａｙｄｏｎ，”Ｔｈｅ  ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  ｓｐｅｃｔｒａ”，４ｔｈ  ｅｄｉｔｉｏｎ，Ｃｈａｐｍａｎ  ａｎｄ  Ｈａｌｌ  Ｌｔｄ．，Ｌｏｎｄｏｎ  （１９７６）に記載されている。
【００１２】
以上において、比ｂ／ａの値が１．０×１０−４未満である場合には、酸素の量が過小であることにより、ハロゲンサイクルが十分に活性化されず、照度維持率が低下するおそれがある。一方、比ｂ／ａの値が１．２×１０−１を超える場合には、酸素の量が過大であることにより、ハロゲンサイクルが活性化されすぎるため、陰極１４の先端に電極物質であるタングステンが過剰に堆積し、これにより、陰極１４と陽極１５との離間距離が短くなり、その結果、ランプ電圧が下降するので、点灯バラストを壊すおそれがある。
また、比ｃ／ａの値が１．４×１０−１を超える場合には、放電容器１０内において不純物であるＨ２  Ｏが形成されるため、長期間にわたって高い照度維持率を得ることが困難となる。
また、比ｄ／ａの値が１．２×１０−２を超える場合には、放電容器１０内において不純物であるＣＯおよびＣＯ２  が形成されるため、長期間にわたって高い照度維持率を得ることが困難となる。
また、比ｅ／ａの値が１．４×１０−２を超える場合には、放電容器１０内において不純物であるＣＯ、ＣＯ２  およびＨ２  Ｏが形成されるため、長期間にわたって高い照度維持率を得ることが困難となる。
【００１３】
ここで、放電ランプの発光強度ａ〜ｅの測定においては、以下のような装置が用いられる。
図２は、放電ランプの発光強度ａ〜ｅを測定するための分光測定装置の概略を示す説明図である。この図において、２０は分光器であって、回折格子２１と、この回折格子２１を回転させるための回折格子回転ドライバ２２と、この回折格子回転ドライバ２２を制御する制御機構２３とを有する。２５は入射スリットである。３０は分光器からの光を検出するＣＣＤ光検出器であり、３５はＣＣＤ光検出器３０を制御する制御装置である。
入射スリット２５のスリット幅は例えば５０μｍである。分光器２０における回折格子２１は、その刻線数が例えば１２００ｌｉｎｅｓ／ｍｍで、波長５００ｎｍにおける逆数分散が例えば１．５ｎｍ／ｍｍのものである。
【００１４】
そして、上記の測定装置を用い、以下のようにして放電ランプ１の発光強度ａ〜ｅが測定される。
先ず、放電ランプ１の陰極１４および陽極１５の間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させる。放電ランプ１からの光は、入射スリット２５を介して分光器２０に導入され、この分光器２０における回折格子２１によって分光されて当該分光器２０から出射され、更に、ＣＣＤ光検出器３０によって検出される。そして、分光器２０における回折格子２１を回転することにより、制御装置３５においては、分光器２０からの光について、分散方向の光強度分布、すなわち分光スペクトルとして記録される。
【００１５】
以上において、分光器２０およびＣＣＤ光検出器３０を含む測定装置全体における波長分解能は、測定される光の波長によって変動するが、例えば半値幅で０．０５〜０．０８ｎｍである。
また、放電ランプの点灯時間が経過するに従って、ＨｇＨによる発光スペクトルの強度が減少することが知られており（例えば、Ｔｏｓｈｉｊｉ  Ｋａｚｕｉ，Ｈｉｒｏｍｉｔｓｕ  Ｍａｓｕｎｏ  ａｎｄ  Ｍｉｋｉｙａ  Ｙａｍａｎｅ：Ｊ．Ｌｉｇｈｔ  ＆  Ｖｉｓ．Ｅｎｖ．Ｖｏｌ．１  Ｎｏ．２，（１９７７）１０参照）、これと同様の理由により、放電ランプの点灯時間が経過するに従って、ＯＨ、Ｃ２  およびＣＨなどの発光スペクトルの強度も減少する。従って、放電ランプ１の発光強度ａ〜ｅの測定は、繰り返して測定したときの再現性を確保するために、グロー放電を開始してから２秒間で行うことが好ましい。また、繰り返して測定する場合には、一度グロー放電させた放電ランプについて、リセットを目的として５分間定格点灯させた後、測定に供することが好ましい。
【００１６】
本発明の放電ランプにおいては、上記の条件（１）乃至条件（４）を満足するために、放電容器１０の放電空間Ｓ内に存在する酸素、水素および炭素の量が制御される。
具体的に説明すると、放電容器１０の放電空間Ｓ内に存在する酸素を適宜の量に制御することを目的として、通常、放電容器１０の放電空間Ｓ内に、水銀、Ａｒを主成分とする希ガスおよび臭素と共に、Ｏ２  が封入される。
Ｏ２  の封入量は、上記の条件（１）を満足する範囲内で、Ａｒの封入量に応じて適宜されるが、Ａｒの封入量の０．１〜１％であることが好ましい。
【００１７】
また、放電容器１０の放電空間Ｓ内に存在する水素および炭素を適宜の量に制御する、具体的には水素および炭素の量を低下させるためには、放電容器形成材および電極の表面に吸着或いは内部に溶存している水素および炭素の除去処理を行うことが必要であり、通常、放電容器１０を形成するための放電容器形成材（シリカガラス管）に対して真空脱ガス処理が行われると共に、陰極１４および陽極１５を形成するための電極材料に対して熱処理が行われる。
放電容器形成材の真空脱ガス処理の条件としては、処理圧が１×１０−４Ｐａ以下、処理温度が１０００〜１２００℃、処理時間が１０時間以上であることが好ましい。
また、電極材料の熱処理の条件としては、処理圧が１×１０−４Ｐａ以下、処理温度が１０００〜２３００℃、処理時間が１０〜６０分間であることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の放電ランプにおいては、放電容器１０内のカーボン化合物の濃度が６００ｐｐｍ以下であることが好ましい。この濃度が６００ｐｐｍを超える場合には、上記条件（３）およひ条件（４）が満足されず、従って、長期間にわたって高い照度維持率を得ることが困難となる。
【００１９】
ここで、放電容器１０内のカーボン化合物の濃度は、以下のようにして測定することができる。
図３は、放電容器内のカーボン化合物の濃度を測定するためのガス分析装置の概略を示す説明図である。この図において、４０は、放電ランプ１を破壊するためのランプ破壊用チャンバ、４１は、ランプ破壊用チャンバ４０内に標準ガスを導入する標準ガス導入ポート、４２は直線導入機、４３は微量流量調整バルブ、４４は４重極質量分析計、４５はバイパスバルブ、４６はターボ分子ポンプ、４７はロータリポンプである。
このガス分析装置においては、予め、カーボン化合物の濃度を求めるための検量線を作成し、この検量線に基づいて放電容器内のカーボン化合物の濃度を測定する。この検量線は、例えば次のようにして作成することができる。先ず、カーボン化合物例えばＣＨ４  、ＣＯまたはＣＯ２  を適宜の濃度で含むアルゴンガスよりなる標準ガスを調製する。次いで、標準ガスを標準ガス導入ポートからランプ破壊用チャンバ４０内に導入し、当該標準ガスを微小流量調整バルブを介して４重極質量分析計４４に導入して質量分析する。そして、このような操作を、カーボン化合物の濃度が異なる標準ガス、例えばカーボン化合物を１００ｐｐｍ、１０００ｐｐｍ、５０００ｐｐｍの濃度で含む標準ガスを用いて行うことにより、カーボン化合物の濃度を求めるための検量線を作成することができる。
放電容器内のカーボン濃度の測定法について説明すると、先ず、ランプ破壊用チャンバ４０内に放電ランプ１を配置し、当該ランプ破壊用チャンバ４０内を気圧が例えば１０−７Ｐａ台となるよう減圧する。次いで、直線導入機４２によって放電ランプ１を圧壊し、その後、放出したガスを微小流量調整バルブを介して４重極質量分析計４４に導入して質量分析する。そして、その分析結果から、検量線を用いてカーボン化合物の濃度が求められる。
【００２０】
本発明に係る放電ランプ１によれば、上記条件（１）乃至条件（４）を満足することにより、放電容器１０の放電空間Ｓ内には、適度の量の酸素が存在すると共に、その他の不純物が少ないため、ハロゲンサイクルが円滑に機能し、これにより、放電容器１０の黒化および失透が抑制され、その結果、長期間点灯させた場合であっても、高い照度維持率が得られる。
【００２１】
【実施例】
以下、本発明に係る放電ランプの具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２２】
図１に示す構成に従って、それぞれ酸素封入量、放電容器形成材の真空脱ガス条件または電極の熱処理条件が異なる、合計で３３種類の放電ランプを作製した。
これらの放電ランプにおける放電容器、電極、封入物および電気特性についての具体的な仕様は、以下の通りである。
【００２３】
〔放電容器〕
放電容器（１０）は、材質がシリカガラスであり、全長が６０ｍｍである。発光管部（１１）の外径は１０ｍｍで、内径は５ｍｍであり、放電空間（Ｓ）の容積は約８０ｍｍ３  である。封止管部（１２，１３）の長さはそれぞれ２５ｍｍで、外径は５ｍｍである。
また、放電容器形成材の真空脱ガス処理については、処理無し（これを「条件Ｇ１」とする。）、処理圧が５×１０−５Ｐａで、処理温度が１１５０℃で、処理時間が１０時間の処理条件（これを「条件Ｇ２」とする。）、処理圧が５×１０−５Ｐａで、処理温度が１１５０℃で、処理時間が４０時間（これを「条件Ｇ３」とする。）の３通りとした。
【００２４】
〔電極〕
陰極（１４）および陽極（１５）の材質はそれぞれタングステンであり、陰極（１４）と陽極（１５）との離間距離は１．２ｍｍである。
また、陰極（１４）および陽極（１５）の熱処理については、処理なし（これを「条件Ｈ１」とする。）、処理圧が８×１０−５Ｐａで、処理温度が１０００℃で、処理時間が３０分間の処理条件（これを「条件Ｈ２」とする。）、処理圧が８×１０−５Ｐａで、処理温度が２２００℃で、処理時間が３０分間（これを「条件Ｈ３」とする。）の３通りとした。
【００２５】
〔封入物〕
放電容器（１０）内の封入物は、水銀の量が約２０ｍｇ（約０．２５ｍｇ／ｍｍ３  ）、臭素の量が５×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  、Ａｒの封入圧が１３．３ｋＰａであり、Ｏ２  の量は、Ａｒの量の０％、０．１％、０．５％、１％および２％の４通りとした。
〔電気特性〕
これらの放電ランプは、ランプ電圧が６６．７〜１００Ｖ、ランプ電流が２〜３Ａ、ランプ電力が２００Ｗである。
【００２６】
そして、これらの放電ランプについて、陰極および陽極の間に５ｍＡの直流電流を供給してグロー放電させ、図２に示す分光測定装置により、グロー放電が開始してから２秒間経過するまでに発光強度ａ〜ｅを測定し、比ｂ／ａ、比ｃ／ａ、比ｄ／ａおよび比ｅ／ａを求めた。以上において、分光測定装置における分光器としては、（株）ニコン製の「Ｇ−５００ＩＩＩ  型」のものを使用し、ＣＣＤ光検出器としては、Ａｎｄｏｒ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製の電子冷却型ＣＣＤ検出器「ＤＶ−４２０」を使用した。
次いで、放電ランプを定格で点灯させて初期の照度およびランプ電圧を測定すると共に、点灯時間が１０００時間経過した後における照度およびランプ電圧を測定し、照度維持率およびランプ電圧の増加値を求めた。そして、照度維持率が８０％以上のものを○、８０％未満のものを×として評価した。
更に、図３に示すガス分析装置により、放電ランプにおける放電容器内のカーボン化合物の濃度を測定した。以上において、測定対象のカーボン化合物は、ＣＨ４  、ＣＯおよびＣＯ２  とし、標準ガスとして、ＣＨ４  、ＣＯおよびＣＯ２  をそれぞれ１００ｐｐｍ、１０００ｐｐｍおよび５０００ｐｐｍ含むＡｒガスを用い、検量線を作成した。
以上の結果を表１および表２に示す。
【００２７】
【表１】
2004158204.tif 000003
【００２８】
【表２】
2004158204.tif 000004
【００２９】
表１および表２の結果から明らかなように、本発明に係る放電ランプによれば、１０００時間点灯させた後においても、８０％以上の照度維持率が得られることが理解される。また、これらの放電ランプにおける放電容器内のカーボン化合物の濃度は、いずれも６００ｐｐｍ以下であることが確認された。
これに対して、比較用の放電ランプにおいては、１０００時間点灯させた後における照度維持率は、いずれも５５％以下であった。
また、サンプルＮｏ．３３の放電ランプにおいては、ランプ電流の増加による点灯負荷が増大したため、１０００時間点灯させることができなかった。これは、陰極の先端に電極物質であるタングステンが堆積して電極間距離が短くなったためと考えられる。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、長期間点灯させた場合であっても、高い照度維持率が得られる放電ランプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る放電ランプの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図２】放電ランプの発光強度ａ〜ｅを測定するための分光測定装置の概略を示す説明図である。
【図３】放電容器内のカーボン化合物の濃度を測定するためのガス分析装置の概略を示す説明図である。
【符号の説明】
１  放電ランプ
１０  放電容器
１１  発光管部
１２，１３  封止管部
１４  陰極
１５  陽極
１６，１７  金属箔
１８，１９  外部リード棒
２０  分光器
２１  回折格子
２２  回折格子回転ドライバ
２３  制御機構
２５  入射スリット
３０  ＣＣＤ光検出器
３５  制御装置
４０  ランプ破壊用チャンバ
４１  標準ガス導入ポート
４２  直線導入機
４３  微小流量調整バルブ
４４  ４重極質量分析計
４５  バイパスバルブ
４６  ターボ分子ポンプ
４７  ロータリホンプ
【図１】
2004158204.tif 000005
【図２】
2004158204.tif 000006
【図３】
2004158204.tif 000007