(57)【要約】　　　（修正有）【課題】被加工物を貫通した高圧のウォータージェットを受け止めその勢いを緩和する機能を有するとともに、切断後の被加工物の取扱を容易にすることができる被加工物保持機構を備えたウォータージェット加工装置を提供する。【解決手段】被加工物１００を保持する被加工物保持機構と、該被加工物保持機構に保持された被加工物にウォータージェットを噴射するノズルとを具備するウォータージェット加工装置であって、被加工物保持機構はベーステーブル３６と、該ベーステーブルに被加工物を着脱可能に位置付ける着脱テーブルとから構成されており、着脱テーブルはタック性を有し被加工物をタック力によって支持する支持部材１１と、該支持部材を装着しノズルから噴射され被加工物を貫通したウォータージェットを受け止める緩和部材１２とからなっている。【選択図】　　　　図４
2004130400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する被加工物保持機構と、該被加工物保持機構に保持された被加工物にウォータージェットを噴射するノズルとを具備するウォータージェット加工装置において、
該被加工物保持機構は、ベーステーブルと、該ベーステーブルに被加工物を着脱可能に位置付ける着脱テーブルとから構成されており、
該着脱テーブルは、タック性を有し被加工物をタック力によって支持する支持部材と、該支持部材を装着し該ノズルから噴射され被加工物を貫通したウォータージェットを受け止める緩和部材と、からなっている、
ことを特徴とするウォータージェット加工装置。
【請求項２】
該着脱テーブルは、該緩和部材を保持する保持トレーを含んでいる、請求項１記載のウォータージェット加工装置。
【請求項３】
該ベーステーブルは、該ノズルから噴射されるウォータージェットの方向に対して直角な面内で切断方向および該切断方向と直角な割り出し方向に移動可能に構成されているとともに、該ノズルから噴射されるウォータージェットに対して直角な面内で回転可能に構成されている、請求項１乃至３のいずれかに記載のウォータージェット加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を高圧のウォータージェットを噴射して切断するウォータージェット加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリートといわれる切断ラインに沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
携帯電話やパソコン等の電気機器はより軽量化、小型化が求められており、半導体チップのパッケージもチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。ＣＳＰ技術の一つとして、Ｑｕａｄ　Ｆｌａｔ　Ｎｏｎ−ｌｅａｄ　Ｐａｃｋａｇｅ（ＱＦＮ）と称するパッケージ技術が実用化されている。このＱＦＮと称するパッケージ技術は、半導体チップの接続端子に対応した接続端子が複数形成されているとともに半導体チップ毎に区画するストリートが格子状に形成された銅板等の金属板に複数個の半導体チップをマトリックス状に配設し、半導体チップの裏面側から樹脂をモールディングした樹脂部によって金属板と半導体チップを一体化することによりＣＳＰ基板を形成する。このＣＳＰ基板をストリートに沿って切断することにより、個々にパッケージされたチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）に分割する。
【０００３】
上記ＣＳＰ基板の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切削装置によって施される。このダイシング装置は、環状の砥粒層を備えた切削ブレードを備え、この切削ブレードを回転させつつＣＳＰ基板のストリートに沿って相対移動することにより、ＣＳＰ基板をストリートに沿って切削し、個々のＣＳＰに分割する。しかるに、ＣＳＰ基板を切削ブレードによって切断すると、接続端子にバリが生じ、隣接する接続端子同士が短絡してチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）の品質および信頼性を低下させるという問題がある。
【０００４】
また、ＣＳＰ基板に限らず、半導体ウエーハ等の被加工物を切削ブレードによって切削すると、被加工物の表面に微細な切削屑が付着して汚染するという問題もある。
このような切削ブレードによる切断における問題を解消する切断技術として、被加工物保持機構によって保持された被加工物に高圧のウォータージェットを噴射して被加工物を切断するウォータージェット切断加工が提案されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００５】
【特許文献１】
特許第２５９６７６８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
而して、ウォータージェット切断加工においては、ウォータージェットが被加工物を貫通するため、この被加工物を貫通したウォータージェットによって被加工物を被加工物保持手段が損傷されないようにする必要がある。このため、被加工物保持手段は被加工物を切断部以外の部分で支持するように構成されており、被加工物を貫通したウォータージェットを水槽に噴出するようになっている。しかしながら、ＣＳＰ基板のように格子状に形成された被加工物の場合には、切断部以外の部分で支持して切断することが困難であるとともに、切断後の被加工物の取扱が困難である。従って、ＣＳＰ基板のような被加工物の場合には、被加工物保持手段は被加工物を貫通した高圧のウォータージェットを受け止めその勢いを緩和する機能を具備するとともに、切断後の被加工物の取扱を容易にする必要がある。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、被加工物を貫通した高圧のウォータージェットを受け止めその勢いを緩和する機能を有するとともに、切断後の被加工物の取扱を容易にすることができる被加工物保持機構を備えたウォータージェット加工装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する被加工物保持機構と、該被加工物保持機構に保持された被加工物にウォータージェットを噴射するノズルとを具備するウォータージェット加工装置において、
該被加工物保持機構は、ベーステーブルと、該ベーステーブルに被加工物を着脱可能に位置付ける着脱テーブルとから構成されており、
該着脱テーブルは、タック性を有し被加工物をタック力によって支持する支持部材と、該支持部材を装着し該ノズルから噴射され被加工物を貫通したウォータージェットを受け止める緩和部材と、からなっている、
ことを特徴とするウォータージェット加工装置が提供される。
上記着脱テーブルは、上記緩和部材を保持する保持トレーを含んでいることが望ましい。
【０００９】
本明細書において使用する語句「タック性」は、粘着乃至接着剤を使用することなくゴム特性によって被加工物を接合せしめる特性（所謂自己粘着性）を意味する。タック性を有するゴムシートとしては、例えば、クレハエラストマー株式会社から商品名「ぺらぺら君」として販売されているシリコーンゴムシートを挙げることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成されたウォータージェット加工装置の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明に従って構成されたウォータージェット加工装置の一部を分解した斜視図が示されている。図１に示されたウォータージェット加工装置は、静止基台２と、該静止基台２に矢印Ｘで示す切断送り方向に移動可能に配設され被加工物を保持する被加工物保持機構３と、静止基台２に上記矢印Ｘで示す方向と直角な矢印Ｙで示す割り出し方向に移動可能に配設されたウォータージェット噴射ユニット支持機構４と、該ウォータージェット噴射ユニット支持機構４に矢印Ｚで示す方向に移動可能に配設されたウォータージェット噴射ユニット５を具備している。
【００１２】
上記被加工物保持機構３は、静止基台２上に矢印Ｘで示す方向に沿って平行に配設された一対の案内レール３１、３１と、該案内レール３１、３１上に矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設された第一の滑動ブロック３２と、該第１の滑動ブロック３２上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された第２の滑動ブロック３３と、該第２の滑動ブロック３３上に円筒部材３４によって支持された支持テーブル３５と、ベーステーブル３６を具備している。ベーステーブル３６は、円筒部材３４内を挿通して配設された回転軸３４０の上端に取り付けられており、円筒部材３４内に配設された図示しないパルスモータによってウォータージェット噴射ユニット５の後述するノズルから噴射されるウォータージェットの方向に対して直角な面内、即ち水平面内で回転せしめられるように構成されている。このベーステーブル３６に被加工物を着脱可能に位置付ける着脱テーブルが載置され保持される。以下、ベーステーブル３６および着脱テーブルについて、図２乃至図４を参照して説明する。
【００１３】
図２は本発明に従って構成された着脱テーブル１０を分解して示す斜視図、図３は本発明に従って構成された着脱テーブル１０と被加工物としてのＣＳＰ基板１００を示す斜視図、図４は着脱テーブル１０をベーステーブル３６に保持した状態を示す断面図である。
先ず、ベーステーブル３６について図４および図１を参照して説明する。
図示の実施形態におけるベーステーブル３６は、底壁３６１と上壁３６２および枠状の側壁３６３からなる矩形状に形成され、これら各壁によって形成された負圧室３６０を備えている。ベーステーブル３６を構成する底壁３６１の中央部には、負圧室３６０と回転軸３４０に設けられた通路３４０ａと連通する負圧導入穴３６１ａ形成されている。なお、回転軸３４０に設けられた通路３４０ａは、図示しない負圧制御回路を介して吸引源に連通されている。ベーステーブル３６を構成する上壁３６２の中央部には、負圧室３６０と連通し載置面となる上面に開口する吸引口３６２ａが設けられている。
【００１４】
図示の実施形態における着脱テーブル１０は、図２に示すように直方体状に形成されており、被加工物を支持する支持部材１１と、該支持部材１１を装着する緩和部材１２と、該緩和部材１２を保持する保持トレー１３とからなっている。支持部材１１は、タック性、即ちゴム特性によってその表面に被加工物をタック力によって接合せしめる所謂自己粘着性を有するゴムシートから形成されている。タック性を有するゴムシートの好適例としては、クレハエラストマー株式会社から商品名「ぺらぺら君」として販売されているシリコーンゴムシートを挙げることができる。上記緩和部材１２は、図示の実施形態においてはウレタンによって形成されており、上面にタック性を有するゴムシートからなる支持部材１１が装着されている。なお、緩和部材１２を構成する材料としては、ウレタン等の樹脂の外、ステンレス鋼、タングステン、ニッケル、銅等の金属、アルミナ等のセラミックスを用いることができる。緩和部材１２を保持する保持トレー１３は、図２に示すように矩形状の底壁１３１と、該底壁１３１の周縁から上方に突出して形成された枠状の側壁１３２とからなり、上方が開放されている。なお、保持トレー１３は、ステンレス鋼等の金属材によって構成されている。このように構成された保持トレー１３に、図３および図４に示すように上方開口側から上記緩和部材１２の下部が嵌合される。
【００１５】
上記のように構成された着脱テーブル１０の支持部材１１の上面にＣＳＰ基板等の被加工物１００を載置すると、支持部材１１が有する所謂自己粘着性（タック性）によって粘着保持される。このようにして、支持部材１１の上面に被加工物１００を支持した着脱テーブル１０は、ベーステーブル３６上に載置される。ベーステーブル３６上に被加工物１００を支持した着脱テーブル１０が載置されたならば、図示しない負圧制御回路を制御して回転軸３４０に設けられた通路３４０ａを図示しない吸引源に連通すると、ベーステーブル３６の底壁３６１に設けられた負圧導入穴３６１ａ、負圧室３６０、ベーステーブル３６の上壁３６２に設けられた吸引口３６２ａを通して着脱テーブル１０を構成する保持トレー１２の下面に負圧が作用し、保持トレー１２がベーステーブル３６に吸引保持される。
【００１６】
図１に戻って、説明を続けると、上記第１の滑動ブロック３２は、その下面に上記一対の案内レール３１、３１と嵌合する一対の被案内溝３２１、３２１が設けられているとともに、その上面に矢印Ｙで示す方向に沿って平行に形成された一対の案内レール３２２、３２２が設けられている。このように構成された第１の滑動ブロック３２は、被案内溝３２１、３２１が一対の案内レール３１、３１に嵌合することにより、一対の案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態における被加工物保持機構３は、第１の滑動ブロック３２を一対の案内レール３１、３１に沿って矢印Ｘで示す方向に移動させるための第１の移動手段３７を具備している。第１の移動手段３７は、上記一対の案内レール３１と３１の間に平行に配設された雄ネジロッド３７１と、該雄ネジロッド３７１を回転駆動するためのパルスモータ３７２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３７１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック３７３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ３７２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３７１は、第１の滑動ブロック３２の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ３７２によって雄ネジロッド３７１を正転および逆転駆動することにより、第一の滑動ブロック３２は案内レール３１、３１に沿ってウォータージェット噴射ユニット５の後述するノズルから噴射されるウォータージェットの方向に対して直角な面内、即ち水平面内において矢印Ｘで示す方向に移動せしめられる。
【００１７】
上記第２の滑動ブロック３３は、その下面に上記第１の滑動ブロック３２の上面に設けられた一対の案内レール３２２、３２２と嵌合する一対の被案内溝３３１、３３１が設けられており、この被案内溝３３１、３３１を一対の案内レール３２２、３２２に嵌合することにより、矢印Ｙで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態における被加工物保持機構３は、第２の滑動ブロック３３を第１の滑動ブロック３２に設けられた一対の案内レール３２２、３２２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動させるための第２の移動手段３８を具備している。第２の移動手段３８は、上記一対の案内レール３２２と３２２の間に平行に配設された雄ネジロッド３８１と、該雄ネジロッド３８１を回転駆動するためのパルスモータ３８２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３８１は、その一端が上記第１の滑動ブロック３２の上面に固定された軸受ブロック３８３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ３８２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３８１は、第２の滑動ブロック３３の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ３８２によって雄ネジロッド３８１を正転および逆転駆動することにより、第２の滑動ブロック３３は案内レール３２２、３２２に沿って矢印Ｘと直角な矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【００１８】
上記支持テーブル３５の矢印Ｘで示す方向の両側には蛇腹手段３９１、３９２が配設されており、被加工物保持機構３を構成するベーステーブル３６以外の各構成部材は蛇腹手段３９１、３９２によって覆われている。この蛇腹手段３９１、３９２は、対向する端部がそれぞれ支持テーブル３５に取り付けられる。蛇腹手段３９１、３９２の両側端部は、上記被加工物保持機構３を囲撓して静止基台２上に配設される枠状の排水樋手段３９３の内側端壁３９３ａ、３９３ｂに取り付けられる。
【００１９】
上記ウォータージェット噴射ユニット支持機構４は、静止基台２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール４１、４１と、該案内レール４１、４１上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台４２を具備している。この可動支持基台４２は、案内レール４１、４１上に移動可能に配設された移動支持部４２１と、該移動支持部４２１に取り付けられた装着部４２２とからなっている。装着部４２２は、一側面に矢印Ｚで示す方向に延びる一対の案内レール４２２ａ、４２２ａが平行に設けられている。図示の実施形態におけるウォータージェット噴射ユニット支持機構４は、可動支持基台４２を一対の案内レール４１、４１に沿って割り出し送り方向である矢印Ｙで示す方向に移動させるための第３の移動手段４３を具備している。第３の駆動手段４３は、上記一対の案内レール４１、４１の間に平行に配設された雄ネジロッド４３１と、該雄ねじロッド４３１を回転駆動するためのパルスモータ４３２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４３１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４３２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４３１は、可動支持基台４２を構成する移動支持部４２１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ４３２によって雄ネジロッド４３１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台４２は案内レール４１、４１に沿って矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【００２０】
図示の実施形態のおけるウォータージェット噴射ユニット５は、ユニットホルダ５１と、該ユニットホルダ５１に取り付けられたウォータージェット噴射手段５２を具備している。ユニットホルダ５１は、上記装着部４２２に設けられた一対の案内レール４２２ａ、４２２ａに摺動可能に嵌合する一対の被案内溝５１ａ、５１ａが設けられており、この被案内溝５１ａ、５１ａを上記案内レール４２２ａ、４２２ａに嵌合することにより、矢印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。図示の実施形態におけるウォータージェット噴射ユニット５は、ユニットホルダ５１を一対の案内レール４２２ａ、４２２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動させるための第４の移動手段５３を具備している。第４の移動手段５３は、上記第１乃至第３の移動手段と同様に一対案内レール４２２ａ、４２２ａの間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ５３２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５３２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ５１およびウォータージェット噴射手段５２を案内レール４２２ａ、４２２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動せしめる。
【００２１】
上記ウォータージェット噴射手段５２は、上記ユニットホルダ５１に固定され実質上水平に延出する円筒形状のケーシング５２１の先端に配設されたノズル５２２を備えている。このノズル５２２は、直径が３０〜１００μｍの噴射口を備えており、ケーシング５２１内に設けられた図示しない通路およびフレキシブルパイプ５４を介して高圧水生成手段５５に接続されている。なお、高圧水生成手段５５は、フレキシブルパイプ５６によって水タンク５７に接続されている。高圧水生成手段５５によって３００〜５００メガパスカル（ＭＰａ）に昇圧された高圧水は、フレキシブルパイプ５４および円筒形状のケーシング５２１内に設けられた図示しない通路を通して、ノズル５２２からウォータージェットとして噴射される。また、上記水タンク５７には水だけでもよいが、シリカ、ガーネット等の微細な砥粒を混入してもよい。なお、図示の実施形態におけるウォータージェット噴射手段５２は、１本のノズル５２２を備えたものを示したが、複数本のノズルを並設して同時に複数本切断できるようにしてもよい。
【００２２】
上記ウォータージェット噴射手段５２を構成するケーシング５２１の前端部には、撮像手段５８が配設されている。この撮像手段５８は、ＣＳＰ基板等の被加工物に形成されたストリート等を撮像するための顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。
【００２３】
図示の実施形態におけるウォータージェット加工装置は以上のように構成されており、以下その切断動作について主に図１を参照して説明する。
被加工物保持機構３を構成するベーステーブル３６が図１に示す位置に位置付けられた状態で、図４に示すようにベーステーブル３６上に着脱テーブル１０の保持トレー１３を吸引保持する。このとき、着脱テーブル１０を構成する支持部材１１の上面には被加工物１００が粘着支持されている。次に、ベーステーブル３６および着脱テーブル１０を第１の移動手段３７の作動により案内レール３１、３１に沿って移動せしめ、撮像手段５８の直下に位置付ける。
【００２４】
上述したようにベーステーブル３６および着脱テーブル１０が撮像手段５８の直下に位置付けられると、撮像手段５８および図示しない制御手段によって着脱テーブル１０の保持された被加工物１００に形成されているストリートと、ストリートに沿ってウォータージェットを噴射するウォータージェット噴射ユニット５のノズル５２２との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、ウォータージェット噴射位置のアライメントが遂行される。
【００２５】
上記のようにしてアライメントが行われたならば、ベーステーブル３６および着脱テーブル１０をウォータージェット噴射ユニット５のノズル５２２が位置する切削領域に移動し、切削領域において被加工物１００における上述のようにして検出されたストリートに沿ってノズル５２２からウォータージェットを噴射し、ストリートに沿って切断する。この切断動作時においては、ウォータージェットは被加工物１００を切断時に貫通するが、切断後のウォータージェットは着脱テーブル１０の支持部材１１を通して緩和部材１２に受けられて、その勢いが和らげられる。このウォータージェットの作用によって緩和部材１１は次第に損傷するので、所定回数使用したら交換する。なお、切断作用後に勢いが和らげられた水は、蛇腹手段３９１、３９２から落下して、枠状の排水樋手段３９３に流れる。
【００２６】
上述したように所定のストリートに沿って切断したら、ベーステーブル３６および着脱テーブル１０を矢印Ｙで示す割り出し方向にストリートの間隔だけ割り出し送りし、上記切断動作を遂行する。ベーステーブル３６および着脱テーブル１０の割り出し送りは、被加工物保持機構３を構成する第２の移動手段３８によって行われる。なお、割り出し送りは、ウォータージェット噴射ユニット支持機構を構成する第３の移動手段４３によって実行してもよいが、高圧水生成手段５５に影響するためベーステーブル３６を移動するのが好ましい。このようにして所定方向に延在する全てのストリートについて切断動作と割り出し動作を遂行したならば、ベーステーブル３６および着脱テーブル１０を９０度回動せしめて、上記所定方向に対して垂直に延びる各ストリートに沿って上記切断動作と割り出し動作を実行することにより、着脱テーブル１０に保持された被加工物１００は個々のチップに分割される。
【００２７】
このようにして、被加工物１００を個々のチップに分割したら、被加工物１００を保持している着脱テーブル１０およびベーステーブル３６は、図１に示す位置に戻され、ここで、着脱テーブル１０と吸引源との連通を遮断する。この結果、着脱テーブル１０のベーステーブル３６への吸引保持が解除される。従って、被加工物１００が分割された個々のチップは、着脱テーブル１０の支持部材１１に粘着保持された状態で所定の場所に搬送することができる。なお、図示の実施形態においては、着脱テーブル１０を支持部材１１および緩和部材１２と保持トレー１３とによって構成した例を示したが、保持トレー１３は必ずしも必須ではなく、支持部材１１を装着した緩和部材１２をベーステーブル３６上に直接載置してもよい。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によるウォータージェット加工装置は以上のように構成され、被加工物保持機構がベーステーブルと、該ベーステーブルに被加工物を着脱可能に位置付ける着脱テーブルとから構成されており、該着脱テーブルがタック性を有し被加工物をタック力によって支持する支持部材と、該支持部材を装着しノズルから噴射され被加工物を貫通したウォータージェットを受け止める緩和部材とからなっているので、被加工物を着脱テーブルに支持した状態でベーステーブルに着脱でき、被加工物の取り扱いが容易となる。また、ウォータージェットの作用によって緩和部材は次第に損傷するが、機能が喪失した際に支持部材を装着した緩和部材だけ交換すればよいので、経済的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたウォータージェット加工装置の一部を分解して示す斜視図。
【図２】図１に示すウォータージェット加工装置に用いられる着脱テーブルを構成する緩和部材と保持トレーを分解して示す斜視図。
【図３】図１に示すウォータージェット加工装置に用いられる着脱テーブルと被加工物を示す斜視図。
【図４】図３に示す着脱テーブルをベーステーブルに保持した状態を示す断面図。
【符号の説明】
２：静止基台
３：被加工物保持機構
３１：案内レール
３２：第１の滑動ブロック
３３：第２の滑動ブロック
３５：支持テーブル
３６：ベーステーブル
３６０：負圧室
３７：第１の移動手段
３８：第２の移動手段
４：ウォータージェット噴射ユニット支持機構
４１：案内レール
４２：可動支持基台
４３：第３の移動手段
５：ウォータージェット噴射ユニット
５１：ユニットホルダ
５２：ウォータージェット噴射手段
５２２：ノズル
５３：第４の移動手段
５５：高圧水生成手段
５７：水タンク
５８：撮像手段
１０：着脱テーブル
１１：支持部材
１２：緩和部材
１３：保持トレー
１００：被加工物
【図１】
2004130400.tif 000003
【図２】
2004130400.tif 000004
【図３】
2004130400.tif 000005
【図４】
2004130400.tif 000006