(57)【要約】【課題】メンテナンス頻度を低減することができるレジスト剥離装置を提供する。【解決手段】ベルトコンベア１５の上方に設けられているノズル１８から被洗浄基板１２に向けて、剥離液１９を噴射して、被洗浄基板１２表面のレジスト被膜１２ａを剥離する。このとき、被洗浄基板１２はベルトコンベア１５上に載置されているので、従来のように剥離されたレジスト被膜１２ａが搬送ロールに絡み付くのを防止することができ、被洗浄基板１２を正常に搬送することができる。また、剥離液１９は被洗浄基板１２に対して斜め方向に噴射されるので、レジスト被膜１２ａをより完全に剥離することができると共に、被洗浄基板１２上を流れる剥離液１９の方向が一定となるので、剥離したレジスト被膜１２ａの流れを安定させことができる。これにより、剥離室１１の底部にレジスト被膜１２ａが滞留するのを防止することができ、メンテナンス頻度を低減することができる。【選択図】　　　　図３
2004128235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄基板に剥離液を供給して被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離装置であって、
前記剥離装置内において前記被洗浄基板を水平方向に引き込み支承するベルトコンベアと、
前記ベルトコンベアの上方に配置されて前記被洗浄基板に対して斜め方向から剥離液を噴射するノズルとを備えたことを特徴とするレジスト剥離装置。
【請求項２】
前記ノズルは、前記ベルトコンベア上に前記被洗浄基板を引き込み、前記被洗浄基板を載せた前記ベルトコンベアを停止させた状態で、前記被洗浄基板に対して剥離液を噴射することを特徴とする請求項１に記載したレジスト剥離装置。
【請求項３】
被洗浄基板に剥離液を供給して被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離装置であって、
前記剥離装置内において前記被洗浄基板を水平方向に引き込み支承するベルトコンベアと、
前記ベルトコンベアの上方に配置されて前記被洗浄基板に対して斜め方向から剥離液を噴射するノズルとを備え、
前記ベルトコンベアは、側部に整流板が設けられていることを特徴とするレジスト剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などのフラットディスプレイパネル基板等の保護膜として使用されたレジスト被膜（マスク部材）等を基板から除去する際に使用することができるレジスト剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレイパネル、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などのフラットディスプレイパネル基板のエッチング工程等で使用されたレジスト被膜を除去するレジスト剥離装置としては、例えばシャワー式（スプレー式）のものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図１及び図２に示すように、このようなシャワー式のレジスト剥離装置１００では、全体箱状の剥離室１０１が設けられている。剥離室１０１の図１中左側前壁１０１ｆの中央には、表面に付着しているレジスト被膜１０２ａを剥がす被洗浄基板としてのガラス基板１０２を搬入する入口開口部１０３が設けられ、図１中右側後壁１０１ｒには洗浄したガラス基板１０２を搬出する出口開口部１０４が設けられている。
【０００４】
剥離室１０１の内部には、ガラス基板１０２を水平状態に支承して搬送する複数個の搬送ローラ１０５と、搬送ローラ１０５上のガラス基板１０２に向けて剥離液１０７を噴射する複数個のノズル１０６を備えている。
剥離室１０１の底部１０１ｃには、剥離液１０７や剥離されたレジスト被膜１０２ａのカス１０２ｂ等を外部に排出する排出口１０８が設けられている。
【０００５】
従って、ガラス基板１０２を入口開口部１０３から剥離室１０１内の搬送ローラ１０５上に搬入し、ガラス基板１０２を搬送ローラ１０５に載置してノズル１０６から剥離液１０７をガラス基板１０２に向けて噴射する。
これにより、ガラス基板１０２上のレジスト被膜１０２ａは、剥離液１０７によって剥離される。レジスト被膜１０２ａを剥離した剥離液１０７は、カス１０２ｂと共に剥離室１０１の底１０１ｃの排出口１０８から排出される。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−７０１７号公報（第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したように、搬送ローラ１０５を用いたレジスト剥離装置１００では、ガラス基板１０２から剥離したレジスト被膜１０２ａのカス１０２ｂが搬送ローラ１０５に巻き付き、ガラス基板１０２が蛇行して搬送されたり、ガラス基板１０２の搬送が停止するという問題がある。また、剥離したレジスト被膜１０２ｂが、剥離室１０１の底部１０１ｃで滞留して排液配管のつまりなどを生じるという問題がある。
そこで、メンテナンスの頻度を上げて上記問題に対処することが考えられるが、これでは稼働率の低下を招くという問題がある。
【０００８】
本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、例えばメンテナンス頻度を低減することができるレジスト剥離装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明にかかるレジスト剥離装置は、請求項１に記載したように、被洗浄基板に剥離液を供給して被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離装置であって、
前記剥離装置内において前記被洗浄基板を水平方向に引き込み支承するベルトコンベアと、
前記ベルトコンベアの上方に配置されて前記被洗浄基板に対して斜め方向から剥離液を噴射するノズルとを備えたことを特徴としている。
【００１０】
また、本発明にかかるレジスト剥離装置は、請求項３に記載したように、被洗浄基板に剥離液を供給して被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離装置であって、
前記剥離装置内において前記被洗浄基板を水平方向に引き込み支承するベルトコンベアと、
前記ベルトコンベアの上方に配置されて前記被洗浄基板に対して斜め方向から剥離液を噴射するノズルとを備え、
前記ベルトコンベアは、側部に整流板が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るレジスト剥離装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図３に示すように、本発明に係るレジスト剥離装置の実施形態であるレジスト剥離装置１０では、全体箱状の剥離室１１が設けられている。剥離室１１の図３中左側前壁１１ｆの中央には、表面に付着しているレジスト被膜１２ａを剥がす被洗浄基板としてのガラス基板１２を搬入する入口開口部１３が設けられ、図３中右側後壁１１ｒには洗浄したガラス基板１２を搬出する出口開口部１４が設けられている。
【００１３】
剥離室１１の内部中央には、ガラス基板１２搬送用のベルトコンベア１５が走行自在に設けられている。このベルトコンベア１５は、駆動ローラ１６ａと従動ローラ１６ｂに巻回されており、駆動ローラ１６ａを駆動モータ（図示省略）によって回転させることにより、ベルトコンベア１５は例えば図３中右方向へ走行する。なお、ベルトコンベア１５の前後には、ガラス基板１２の搬送を補助する搬送ローラ１７が設けられている。
また、ベルトコンベア１５の左右両側部には、ノズル１８から噴射される剥離液１９を一定方向に安定して流すために整流板としてのリブ２０、２０（図４参照）が近接して設けられている。
【００１４】
剥離室１１の内部におけるベルトコンベア１５の上方には、ベルトコンベア１５上に載置されているガラス基板１２に剥離液１９を噴射するための複数個のノズル１８が設けられている。
このノズル１８は鉛直下方に対して一定方向に傾斜している。例えば、ガラス基板１２の搬送方向に対して反対方向（図３中左方向）に傾斜して取り付けられている。
【００１５】
剥離室１１の底部１１ｃは中央に向かって下方に傾斜しており、最下部には剥離液１９やガラス基板１２の表面から剥離されたレジスト被膜１２ａのカスを剥離室１１の外部へ排出する排出口２１が設けられている。
なお、前述したように、剥離液１９がベルトコンベア１５上を図３中左方向へ流れるようにノズル１８を傾けた場合には、排出口２１がベルトコンベア１５の左端の下方位置近辺に位置するように設けるのが好ましい。
【００１６】
次に、レジスト剥離装置１０によるガラス基板１２の洗浄動作について説明する。
剥離室１１の入口開口部１３から供給されたガラス基板１２は、搬送ローラ１７を介してベルトコンベア１５に搬入される。ベルトコンベア１５を走行させて、ガラス基板１２を洗浄位置であるベルトコンベア１５上に搬入し、ベルトコンベア１５を停止させてガラス基板１２を停止させた状態で、ノズル１８からガラス基板１２の上面に向けて剥離液１９を噴射する。
【００１７】
ノズル１８から噴射されガラス基板１２の表面のレジスト被膜１２ａを剥離させた剥離液１９及び剥離されたレジスト被膜１２ａのカスは、ベルトコンベア１５上を一定方向（図３及び図４中左方向）へ流れる。
このとき、ベルトコンベア１５の左右両側部に近接して設けられているリブ２０が、剥離液１９やカスの流れが安定するように整流する。ベルトコンベア１５から流れ落ちた剥離液１９やカスは、剥離室１１の底部１１ｃに設けられている排出口２１から外部に排出される。
【００１８】
以上、前述したレジスト剥離装置１０によれば、ベルトコンベア１５上に載置されたガラス基板１２をベルトコンベア１５により剥離室１１に搬入し、ベルトコンベア１５の上方に設けられているノズル１８からガラス基板１２に向けて、剥離液１９を噴射して、ガラス基板１２表面のレジスト被膜１２ａを剥離する。このとき、ガラス基板１２はベルトコンベア１５上に載置されていて剥離液１９やカスはベルトコンベア１５上を流れるので、従来のように剥離されたレジスト被膜１２ａが搬送ロールに絡み付くのを防止することができ、ガラス基板１２を正常に搬送することができる。これに伴い、メンテナンス頻度を低減することができる。
【００１９】
さらに、ノズル１８から剥離液１９を斜め一方向に噴射することによりガラス基板１２上を流れる剥離液１９やカスの流れる方向が一定となるので、剥離液１９等の流れを安定させ、剥離室１１の底部１１ｃにカスが滞留するのを防止することができ、メンテナンス頻度を低減することができる。
【００２０】
特に、ベルトコンベア１５の左右両側部にリブ２０を設けた場合には、剥離液１９やカスの流れを一層安定させることができる。
【００２１】
なお、本発明のレジスト剥離装置１０は、前述した実施形態に限定されるものでなく、適宜な変形、改良等が可能である。
すなわち、前述した各実施形態では、ノズル１８から噴射される剥離液１９の方向を、ガラス基板１２の搬入方向に対して反対方向に傾いて設定された場合について説明したが、これに限らない。
例えば、剥離室１１の排出口２１がベルトコンベア１５の図３中端の下方近辺に設けられているような場合には、ノズル１８の向きを右方向へ傾けて設けるようにするのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレジスト剥離装置を示す断面図である。
【図２】図１中ＩＩ方向から見た平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るレジスト剥離装置を示す断面図である。
【図４】図３中ＩＶ方向から見た平面図である。
【符号の説明】
１０　レジスト剥離装置
１２　ガラス基板（被洗浄基板）
１２ａ　レジスト被膜
１５　ベルトコンベア
１８　ノズル
１９　剥離液
２０　リブ（整流板）
【図１】
2004128235.tif 000003
【図２】
2004128235.tif 000004
【図３】
2004128235.tif 000005
【図４】
2004128235.tif 000006