(57)【要約】【課題】プローブ担体基板上に配置された各プローブ材料に、異なったプローブ材料が混ざることのない、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の製造方法および製造装置の提供。【解決手段】液体吐出ユニットからプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液を基板上に吐出することにより、前記基板上に複数種のプローブの各々が配置されたプローブ担体の製造方法であって、前記プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは、複数のノズルが配置されたノズル面と、該ノズル面上の異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝を有する事を特徴とするプローブ担体の製造方法。【選択図】        図１０
2004309358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出ユニットからプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液を基板上に吐出することにより、前記基板上に複数種のプローブの各々が配置されたプローブ担体の製造方法であって、
前記プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは、複数のノズルが配置されたノズル面と、該ノズル面上の異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝を有することを特徴とするプローブ担体の製造方法。
【請求項２】
液体吐出ユニットからプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液を基板上に吐出することにより、前記基板上に複数種のプローブの各々が配置されたプローブ担体の製造装置であって、
前記プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは、複数のノズルが配置されたノズル面を有し、該ノズル面の異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝を有することを特徴とするプローブ担体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固相基板上にプローブ担体を製造する方法、ならびに、専ら前記の製造方法の実施に利用されるプローブ担体の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析を行う場合、あるいは多項目に関する高信頼性の遺伝子診断を同時に行う場合などにおいて、目的とする塩基配列を有するＤＮＡを複数種のプローブを用いて選別することが必要となる。この選別作業に利用される複数種のプローブを提供する手段として、ＤＮＡマイクロチップが注目を浴びている。また、薬剤等のハイスループット・スクリーニングあるいはコンビナトリアル・ケミストリーによる薬剤等の開発においても、対象となる多数（たとえば９６種、３８４種または１５３６種）のタンパク質あるいは薬物の溶液の秩序立ったスクリーニングを行うことが必要となる。その目的で多数種の薬剤を配列するための手法、その状態での自動化されたスクリーニング技術、専用の装置、一連のスクリーニング操作を制御し、また結果を統計的に処理するためのソフトウェア等も開発されてきている。
【０００３】
基本的に、これらの並列的なスクリーニング作業は、評価すべき物質に対する選別手段となる既知のプローブを多数並べてなる、いわゆるプローブ担体（プローブ・アレイ）を利用して行われ、同一条件下でのプローブ材料に対する作用あるいは反応などの有無を検出するものである。一般的に、どのようなプローブ材料に対する作用あるいは反応を利用するかはあらかじめ決定されており、従って、ひとつのプローブ担体に搭載されるプローブ材料は、例えば、塩基配列の異なる一群のＤＮＡプローブ材料など、大きく区分すると一種類の物質である。すなわち、一群のプローブ材料として利用される物質は、例えば、ＤＮＡ、タンパク質、合成された化学物質（薬剤）などである。多くの場合、一群をなす複数種のプローブからなるプローブ担体を用いることが多いが、スクリーニング作業の性質によっては、プローブとして、同一の塩基配列を有するＤＮＡ、同一のアミノ酸配列を有するタンパク質、同一の化学物質を多数点並べ、アレイ状とした形態を利用することもあり得る。これらは主として薬剤スクリーニング等に用いられる。
【０００４】
一群をなす複数種のプローブからなるプローブ担体では、具体的には、異なる塩基配列を有する一群のＤＮＡ、異なるアミノ酸配列を有する一群のタンパク質、あるいは異なる化学物質の一群について、その一群を構成する複数種を、所定の配列順序に従って、アレイ状に基板上などに配置する形態をとることが多い。なかでも、ＤＮＡプローブ担体は、遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析を行う際、あるいは信頼性の高い遺伝子診断を同時に多項目に関して行う際などに用いられる。
【０００５】
複数種のプローブを基板上にアレイ状に配置する１つの方法として、液体吐出ユニットを用いて複数種のプローブ溶液を所望のタイミングで順次吐出し、基板上に配置させる方法がある。液体吐出ユニットには、プリンタに一般的に用いられているインクジェット法の技術が用いられている発明が開示されている。
【０００６】
例えば、プローブ材料を含む液体をサーマルインクジェットヘッドにより液滴として固相に付着させて、プローブを固相上に配置する方法が開示されている（特許文献１参照）。この方法では、プローブ材料として用いるＤＮＡをあらかじめ合成および精製し、場合によってはその塩基長を確認した上で、基板上に付着させている。
【０００７】
また、ＤＮＡの固相合成において利用される、ヌクレオチドモノマー、ならびに、アクティベーターをそれぞれ別のピエゾ・ジェット・ノズルより供給することにより、それぞれ所定の塩基配列を有するＤＮＡ複数種を固相合成する方法が開示されている（特許文献２参照）。この方法では、基板上においてＤＮＡの固相合成を行い、各伸長段階毎に、インクジェット法により合成に必要な物質の溶液を基板上に供給している。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−１８７９００号公報
【０００９】
【特許文献２】
欧州特許ＥＰ  ０  ７０３  ８２５Ｂ１号
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
以上に紹介したように、プローブ担体を作製する従来の方法として、プリンタに一般的に用いられているインクジェット法の技術が用いられている。しかしながら、プローブ担体を作製する際、プリンタ用のインクの吐出方法をそのまま、プローブ溶液の吐出方法に応用するだけでは問題があった。以下この点に関してＤＮＡプローブ担体を例にとって詳しく述べる。
【００１１】
ＤＮＡプローブ担体には、これまで説明したように、基板上にそれぞれ異なった多種類のプローブ材料が配置されている。このためプローブ担体の作製には従来のプリンタ用インクジェットヘッドとは異なり、多種類の液体を吐出することが可能な液体吐出ユニットを用いることが望まれる。一方、一般的なプリンタ用のインクジェットヘッドでは、使用されるインクの種類が４〜７種類である。
【００１２】
図１に従来プリンタ用インクジェットヘッドのノズルの配列形態を示す。図１では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（ＢＫ）の４色のインクを吐出するヘッドのノズル構成を示した。図１において、１１はノズル、１２はノズル面である。
【００１３】
現在のプリンタでは、１色あたり２５６個ないし５１２個のノズルを持つヘッドがあるが、説明を簡便に行うために、図１では１色あたり８個のノズルを持つヘッドを示した。図１に示したヘッドでは、１色あたり８個のノズルで構成されるノズル列が４列並んでいる。
【００１４】
プリントを行っている際、意図せぬインクやゴミがノズル面に付着する場合がある。このような付着がおきた場合インクの吐出状態に影響を与え、印字品位を落とす場合がある。これを防ぐために、一般的なプリンタでは、印字中の所望のタイミングでワイピングという動作を行う。ワイピングでは、ゴムや高分子からなるワイパーでノズル面の表面を走査し、付着したインクやゴミを除去する。
【００１５】
図１に示したような一般的なプリンタ用ヘッドでは、図２に示したように、同色のインクが吐出するノズル列と垂直方向にワイパーを配置し、ワイパーをノズル列の配列方向（図２中、白抜き矢印で示した方向）に走査させる。図２において、１３はワイパーである。
【００１６】
図２のＩＩＩ−ＩＩＩ’線での断面図を、図３に示す。図３において、１４は流路である。図３には説明を簡便に行うために、ノズルおよび流路を形成するノズル材の部分のみ示している。このようにワイピングを行う際、ワイパーがノズル部を通過する時に、ノズル内部に存在するインクの一部を引き出す場合がある。また、吐出した主たる液滴（主滴）に付随して発生するサテライトと呼ばれる副滴の一部が、紙等の被印刷物に到達せずにノズル面に付着する現象が知られている。この場合、それぞれのノズルの近傍には、それぞれのノズルから吐出したインクのサテライトが付着する。
【００１７】
このような現象が知られているため、上記した様に一般的なプリンタ用ヘッドでは、ワイパーの走査方向が、同色のインクを吐出するノズルの配列方向と一致するようにワイピングを行い、異なった色のインクが混ざる現象、すなわち混色を防いでいる。
【００１８】
ところで、前記したように、プローブ担体の作製の場合、多種類の液体を吐出することが可能な液体吐出ユニットを用いることが望まれる。
【００１９】
図４に液体吐出ユニットのノズルの配列形態を示す。図４では、８行８列のノズル配列を持つ液体吐出ユニットのノズル構成を示した。この液体吐出ユニットでは、６４個のそれぞれのノズルから異なった６４種類のプローブ溶液を吐出する。図４において、１１はノズル、１２はノズル面である。
【００２０】
このような液体吐出ユニットにおいて、前記したようなプリンタ用のヘッドと同様なワイピング動作を行うと、各列で異なったプローブ溶液を吐出するノズルが並んでいるため、プローブ溶液が混ざってしまう。このような状態でプローブ溶液の吐出を行うと、得られたプローブ担体のそれぞれのプローブは、意図せぬプローブ材料が混在した物になってしまう。従って、プリンタ用のワイピング方法を、そのままプローブ担体作製に応用するだけでは、良好なプローブ担体の作製は行えない。
【００２１】
本発明は前記の課題を解決するもので、液体吐出ユニットを用いてプローブ担体を製造する際に、プローブ担体基板上に配置された各プローブ材料に、異なったプローブ材料が混ざることのない、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の製造方法および、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の提供を可能にするプローブ担体の製造装置を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記課題の解決を図るべく、鋭意研究を進めた結果、液体吐出ユニットのノズル面に溝を設ける事で、ワイピングする際に生じる、意図せぬプローブ材料の混合を大きく抑制できることを見出した。すなわち、本発明では、二次元のノズル配列を持つ前記液体吐出ユニットにおいて、複数のノズルが配置されたノズル面の、異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に、溝を有することを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のプローブ担体の製造方法に関して、より詳しく説明する。なお、ここに示す実施例は、本発明の最良の実施の形態の一例ではあるものの、本発明は、これら実施例により限定されるものではない。
【００２４】
［実施例１］
図５に、液体吐出ユニットを用いた、プローブ担体製造装置の構造の模式図を示す。図５中、５１は液体吐出ユニット、５２は液体吐出ユニットの移動を略平行に案内するシャフト、５３はプローブ担体の基板が固定されるステージ（基板担持機構）、５４はプローブ担体の基板となるガラス基板、５５はワイピングを行うためのワイピング装置である。
【００２５】
液体吐出ユニット５１は、図５中のＸ方向に移動することができ、ステージ５３はＹ方向に移動することができる。従って、液体吐出ユニット５１は、ステージ５３に対して相対的に２次元的に移動できることになる。
【００２６】
液体吐出ユニット５１がステージ５３に固定されているガラス基板５４上を通過する際、所望のタイミングで液体吐出ユニットからプローブ溶液の吐出を行い、プローブをガラス基板上に配置する。
【００２７】
図６は、プローブ担体の模式図を示す。プローブ５６は、図２に示したように規則的にガラス基板５４上に配置される。配置されたプローブの直径は１０μｍないし１５０μｍであり、隣接したプローブの距離は、５０μｍないし１０００μｍである。
【００２８】
あらかじめ合成および精製されたプローブ材料（たとえばＤＮＡ）を基板上に配置する場合、液体吐出ユニット５１は、ガラス基板上に配置するプローブと同数のプローブ溶液を吐出可能なノズルを備えた構造の物が好ましい。
【００２９】
たとえば、図６に示した８行８列のプローブ配列を持ったプローブ担体を、図４に示した８行８列の異なったプローブ材料を吐出できる液体吐出ユニットを用いて作製する場合、プローブ溶液の入替え無しでプローブ担体を作製出来る。
【００３０】
また、作製するプローブ担体のプローブの配置密度と、液体吐出ユニットのノズルの配置密度が同等の場合、１回の液体吐出ユニットの走査でプローブ担体が作製できるので好ましい。
【００３１】
図５では、複数のガラス基板５４を固定して、プローブを配置する場合のプローブ担体製造装置の構造を示したが、１枚の大きなガラス基板上にプローブを配置し、その後、該ガラス基板を切断して複数のプローブ担体を得ても良い。
【００３２】
図７に、液体吐出ユニットの模式図を示す。液体を吐出させる方式としては、ヒータから発生する熱エネルギーにより液体の吐出を行うサーマルジェット方式と、ピエゾ素子に電圧を印加して生じる素子の変形により液体の吐出を行うピエゾジェット方式がある。図７にはサーマルジェット方式の液体吐出ユニットの構造を示した。図７において、７１はシリコン基板、７２は絶縁膜、７３はＴａＮ、ＴａＳｉＮ、ＴａＡｌ等から成るヒータ、７４は保護膜、７５はＴａ等から成る耐キャビテーション膜、７６はノズル材、７７はノズル、７８は流路、７９は供給口である。
【００３３】
ヒータ７３の両端にはアルミニウム等からなる配線（不図示）が接続され、該配線を介してヒータ７３両端に所望の電圧パルスが印加される。
【００３４】
絶縁膜７２は、シリコン基板を熱酸化して作成される熱酸化膜、あるいはＣＶＤにより作成される酸化膜もしくは窒化膜等のいずれの膜でもよい。
【００３５】
保護膜７４は、ＣＶＤにより作成される酸化膜または窒化膜等のいずれの膜でもよい。
【００３６】
ノズル７７および流路７８を形成しているノズル材７６の形成は、あらかじめノズルおよび流路を有したノズル材を半導体基板に貼り付けてもよいし、フォトリソグラフィー技術を用いる半導体プロセスによって形成してもよい。
【００３７】
供給口７９は水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）溶液を用いたシリコンの異方性エッチングにより作製され、図７に示したように、基板表面に対して約５４．７°の角度で傾斜して開口する。供給口７９は、基板裏面から基板表面に液体（プローブ溶液）を供給すると共に、液体（プローブ溶液）を保持する液体リザーバーとしても機能する。
【００３８】
プローブ担体の製造枚数が少なく、かつ１つのプローブに対するプローブ溶液の吐出量が少ない場合は、供給口内に存在するプローブ溶液量で、一連のプローブ担体製造に充分な場合がある。より多くのプローブ溶液の吐出が必要とされる場合は、該供給口７９に接続される第２のリザーバー（不図示）を設ける。
【００３９】
液体（プローブ溶液）は基板裏面から図８に示したように、供給口７９から基板表面に導かれ、流路７８を通ってノズル７７まで導かれる。ヒータ７３両端に所望の電圧パルスが印加されると、ヒータ近傍の液体（プローブ溶液）が過熱され膜沸騰を起こし、液体は図８に示したように吐出する。
【００４０】
液体（プローブ溶液）を安定に吐出させるためには、安定に膜沸騰を起こすことが必須である。安定な膜沸騰を起こすためには、ヒータに対して０．１ないし５μｓの電圧パルスを印可することが望ましい。
【００４１】
一度に一個のノズルから吐出されるプローブ溶液の量は、プローブ溶液の粘度、プローブ溶液と固相基板の親和性、プローブ材料と固相基板との反応性などの様々の要素を考慮の上で、形成されるプローブ（アレイ）のドットサイズや形状に応じて、適宜選択されるものである。プローブ溶液は水性溶媒を用いることが一般的であり、本発明の方法においては、液体吐出ユニットの各ノズルから吐出されるプローブ溶液の液滴は、一般的に、その液量を０．５ｐｌから１００ｐｌの範囲内で選択され、その液量に合わせてノズル径などを設計することが好ましい。
【００４２】
プローブ材料は固相基板に結合可能な構造を有するものとし、プローブ溶液を吐出および付着させた後、かかる結合可能な構造を利用して固相基板に結合させることが望ましい。この固相基板へ結合可能な構造は、例えば、アミノ基、メルカプト基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、酸ハロゲン化物（−ＣＯＸ）、ハロゲン化物、アジリジン、マレイミド、スクシイミド、イソチオシアネート、スルホニルクロリド（−ＳＯ２Ｃｌ）、アルデヒド（−ＣＨＯ）、ヒドラジン、ヨウ化アセトアミドなどの有機官能基をプローブ材料分子にあらかじめ導入する処理を施すことで形成することができる。その場合、一方、基板表面には、前記の各種有機官能基と反応して共有結合を形成する構造、有機官能基を導入する処理をあらかじめ行っておくことが必要となる。
【００４３】
次に本発明の特徴である、液体吐出ユニットに関して説明する。図５を用いて説明したプローブ担体製造装置では、前記したように、図５において５５に示したワイピング装置を備えている。前記したように、プローブ材料の配置を行っている際に、所望のタイミングでワイピングを行い、ノズル面に付着した意図せぬ液体やゴミを除去する。ワイピングを行う際は、液体吐出ユニット５１は、ワイピング装置５５まで移動し、ワイピング動作を受ける。
【００４４】
前記したように、従来のプリンタ用ヘッドでのワイピング方法では、液体吐出ユニットのワイピングに適さない。これを図９を用いて説明する。従来のワイピング方法、すなわち図９で矢印で示したように、ノズルの配列方向と平行な方向にワイパーを動かす場合を考える。前記したように、液体吐出ユニットでは、それぞれのノズルから異なった溶液を吐出する。従って、図９中に示された８行８列、計６４個のノズルには、それぞれ異なった６４種類のプローブ溶液が充填されている。図９においては、列は左から順にＡ、Ｂ、Ｃ……Ｈ、行は上から１、２、３……８とする。たとえはＡ列を例にとって説明すると、Ａ列にはＡ−１〜Ａ−８までの８ノズルがあり、それぞれ異なった８種類のプローブ溶液がノズル内に充填されている。
【００４５】
ここで、従来のワイピングを行うと、初めにワイパーが通過するのはノズルＡ−１であるが、ワイパーがノズルＡ−１を通過する際、ノズル内に充填されているプローブ溶液がわずかに引き出される。また、ノズルＡ−１の近傍には、サテライトの付着すなわち、ノズルＡ−１から吐出したプローブ溶液が付着する場合がある。
【００４６】
従って、ワイパーはノズルＡ−１に充填されているプローブ溶液を移動させながらノズルＡ−２を通過する。この時ワイパーによって運ばれたノズルＡ−１に充填されていたプローブ溶液の一部はノズルＡ−２に入り込む。すなわち、ノズルＡ−２内に充填されているプローブ溶液に、ノズルＡ−１に充填されていたプローブ溶液が混ざってしまうのである。また同様に、ワイパーの移動に伴って、ノズルＡ−２に充填されていたプローブ溶液は、ノズルＡ−３に運ばれる。同様な現象がノズルＡ−８まで繰り返される。他の列、すなわちＢ列〜Ｈ列でも同様な現象が起こる。このように、従来の液体吐出ユニットの構造は、液体吐出ユニットのワイピングには適していない。
【００４７】
図１０に本発明の液体吐出ユニットの構造を示す。本発明では図１０に示したように、異なるプローブ溶液を吐出する隣接するノズル間に、溝１５を備える。図１０のＸＩ−ＸＩ’線での断面図を、図１１に示す。
【００４８】
図１２を用いて、より詳しく説明を行う。図１２は図１１の一部を拡大した図である。図１２において１５は溝、１６はノズルから引き出されたり、サテライトの付着により発生したりした、ノズル面上に存在するプローブ溶液である。
【００４９】
図１２（ａ）は、あるノズル上をワイパーが通過し、そのノズル内に充填されていたプローブ溶液がワイパーの移動に伴って移動している様子を示している。
【００５０】
図１２（ｂ）は、ワイパーが溝１５を通過する際の様子を示した図である。ワイパーの移動でプローブ溶液１６は移動し、溝１５を横切る際、そのほとんどが、溝１５内に入り込む。この際ノズル面が撥水処理され、ノズル面１２でのプローブ溶液のぬれ性が、溝１５内のぬれ性よりも悪いことが望ましい。
【００５１】
ノズル１１および流路１４がフォトリソグラフィー技術を用いて作成される場合、前記溝１５は、ノズル１１の形成と同様にフォトリソグラフィー技術を用いて作成できる。ノズル１１の形成の前に、塗布や転写によりノズル面１２を撥水処理した後、フォトリソグラフィー技術を用いノズル１１および溝１５を作成することにより、ノズル面１２でのプローブ溶液のぬれ性を、溝１５のぬれ性より悪くすることが出来る。
【００５２】
無論、溝１５はノズル材の切削により形成しても良い。溝１５を切削で作成する場合、ノズル材が樹脂、金属等のいかなる材料で作成されている場合においても溝１５の形成が可能である。
【００５３】
図１２（ｃ）は、ワイパーが溝１５を通過し終わり、隣のノズルの手前まで移動した際の様子を示した図である。前記したようにワイパーが溝１５を横切る際にプローブ溶液のほとんどが溝１５内に入り込むため、隣接したノズルに充填されていたプローブ溶液がワイピングに伴い隣接したノズル近傍まで運ばれる現象はほとんど起こらない。従って、隣接したノズル内に充填されていたのプローブ溶液が、ノズルに入り込む現象はほとんど起こらない。
【００５４】
このように、本発明により、液体吐出ユニットを用いてプローブ担体を製造する際に、プローブ担体基板上に配置された各プローブ材料に、異なったプローブ材料が混ざることのない、配置された各プローブ材料の純度が高い良好なプローブ担体の製造が出来る。
【００５５】
図１０に示したように隣接ノズル間に、ノズル材の厚さと同一の溝を設けることは、ノズル材を小面積の領域に分離することになる。前記したようにノズル材は保護膜、絶縁膜、シリコン基板等が積層された基板と接着されているが、ノズル材とこの基板の熱膨張率が異なり、またノズル面の面積が大きい場合、ノズル材の剥がれが生じる場合がある。本実施例のようにノズル材を小面積の領域に分離することは、このノズル剥がれを起こりにくくする効果も有する。
【００５６】
なお、図１０では、８行８列のノズル配列をもつ液体吐出ユニットにおいて、７行７列の溝がある場合に関して示したが、図１３に示したように、同ノズル配列において、９行９列、すなわち各ノズル間だけでなく、配列されたノズル群の外側にも溝を備えていても良い。
【００５７】
また、図１１には、溝の深さはノズル材の厚さと同一である場合を示したが、溝の深さはノズル材の深さと同一である必要性は無く自由に設定できる。たとえは図１４に示したように、ノズルの深さがノズル材の厚さ以下であっても良い。
【００５８】
［実施例２］
図１５に、第２の実施例を示す。実施例１では、隣接ノズル間に溝が１本存在する場合を示したが、実施例２では溝が２本存在する場合を示した。このように溝の本数を増やすことで、より確実に、プローブ溶液の混合を抑えることが出来る。なお、溝の個数は２本に限らず、多ければ多いほど効果は大きい。
【００５９】
［実施例３］
図１６に、第３の実施例を示す。実施例３では、ノズルの周囲にドーナツ状の溝１６が存在し、さらにドーナツ状の溝１６の外側に、溝１５が存在する。この場合も、実施例１に示した隣接ノズル間に溝が１本存在する場合と比較して、より確実に、プローブ溶液の混合を抑えることが出来る。
【００６０】
以上、実施例１ないし実施例３で、ワイピングの際に隣接したノズルに充填されていたプローブ溶液が混ざり合う現象がほとんど生じない、液体吐出ユニットの構造およびプローブ担体の製造方法を示した。
【００６１】
以上の説明では説明を明確にするために、１種類のプローブ溶液は、１つのノズルから吐出させるという最も単純な液体吐出ユニットの構成で説明を行ってきたが、１種類のＤＮＡを吐出するノズルが複数である構成でも良い。この場合、異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝があれば良い。また、本発明の溝の形態は実施例１ないし実施例３に示した形態に限られる物ではない。
【００６２】
また、これまでサーマルジェット方式の液体吐出ユニットを用いて説明を行ってきたが、本発明はサーマルジェット方式に限らず、ピエゾジェット法等の、他の方式の液体吐出ユニットにも適用可能である。
【００６３】
本発明の実施態様の例を、以下に列挙する。
［実施態様１］  液体吐出ユニットからプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液を基板上に吐出することにより、前記基板上に複数種のプローブの各々が配置されたプローブ担体の製造方法であって、
前記プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは、複数のノズルが配置されたノズル面と、該ノズル面上の異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝を有することを特徴とするプローブ担体の製造方法。
【００６４】
［実施態様２］  前記溝が複数であることを特徴とする実施態様１に記載のプローブ担体の製造方法。
【００６５】
［実施態様３］  前記複数のノズルはｍ列、ｎ行の格子状に配列されており、前記溝はｍ−１列、ｎ−１行の格子状に配置されていることを特徴とする実施態様２に記載のプローブ担体の製造方法。
【００６６】
［実施態様４］  前記複数のノズルの外側に配置される溝をさらに有し、前記溝がｍ＋１列、ｎ＋１行の格子状に配置されていることを特徴とする実施態様２に記載のプローブ担体の製造方法。
【００６７】
［実施態様５］  液体吐出ユニットからプローブ材料を含有する複数種のプローブ溶液を基板上に吐出することにより、前記基板上に複数種のプローブの各々が配置されたプローブ担体の製造装置であって、
前記プローブ溶液の吐出を行う前記液体吐出ユニットは、複数のノズルが配置されたノズル面を有し、該ノズル面の異なるプローブ溶液を吐出するノズル間に溝を有することを特徴とするプローブ担体の製造装置。
【００６８】
［実施態様６］  前記溝が複数であることを特徴とする実施態様５に記載のプローブ担体の製造装置。
【００６９】
［実施態様７］  前記複数のノズルはｍ列、ｎ行の格子状に配列されており、前記溝はｍ−１列、ｎ−１行の格子状に配置されていることを特徴とする実施態様６に記載のプローブ担体の製造装置。
【００７０】
［実施態様８］  前記複数のノズルの外側に配置される溝をさらに有し、前記溝がｍ＋１列、ｎ＋１行の格子状に配置されていることを特徴とする実施態様６に記載のプローブ担体の製造装置。
【００７１】
【発明の効果】
本発明のプローブ担体の製造方法では、液体吐出ユニットのノズル面をワイピングを行った場合においても、隣接するノズルに充填されている、異なるプローブ溶液が互いに混ざり合う現象を抑えることができ、得られたプローブ担体は、個々のプローブで純度の高い良好な物が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のプリンタ用インクジェットヘッドのノズルの配列形態を示す模式図である。
【図２】従来のプリンタ用インクジェットヘッドのワイピング方法を説明するための模式図である。
【図３】従来のプリンタ用インクジェットヘッドのワイピング方法を説明するための模式図（断面図）である。
【図４】液体吐出ユニットのノズルの配列形態を示す模式図である。
【図５】プローブ担体製造装置の構造の模式図である。
【図６】プローブ担体の模式図である。
【図７】液体吐出ユニットの模式図である。
【図８】液体吐出ユニットの模式図である。
【図９】液体吐出ユニットに、従来のヘッドのワイピング方法を適用した場合の問題点を説明するための模式図である。
【図１０】本発明の実施例を説明するための模式図である。
【図１１】本発明の実施例を説明するための模式図である。
【図１２】本発明の実施例を説明するための模式図である。
【図１３】本発明の実施例を説明するための模式図である。
【図１４】本発明の実施例を説明するための模式図である。
【図１５】本発明の他の実施例を説明するための模式図である。
【図１６】本発明の他の実施例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１１    ノズル
１２    ノズル面
１３    ワイパー
１４    流路
１５    溝
１６    溝
５１    液体吐出ユニット
５２    シャフト
５３    ステージ
５４    ガラス基板
５５    ワイピング装置
５６    プローブ
７１    シリコン基板
７２    絶縁膜
７３    ヒータ
７４    保護膜
７５    耐キャビテーション膜
７６    ノズル材
７７    ノズル
７８    流路
７９    供給口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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