(57)【要約】【課題】特に吐出する液状材料（液状体）が透明の場合にも、液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易に検査することができ、また、液状材料の劣化度なども調べることのできる液滴吐出装置における液滴吐出検査方法、及びこれを可能にした液滴吐出装置、さらにはデバイスの製造方法、電子機器を提供する。【解決手段】液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置における、液滴吐出検査方法である。液状体の液滴を、ｐＨに対応した色を呈する検査媒体４１に吐出し、この検査媒体４１に起きる変色を調べる。また、液状体の液滴の吐出を受けた際、この液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体４１を備えた液滴吐出装置３０。【選択図】　図１
2004097909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置における、液滴吐出検査方法であって、
前記液状体の液滴を、ｐＨに対応した色を呈する検査媒体に吐出し、該検査媒体に起きる変色を調べることを特徴とする液滴吐出装置における液滴吐出検査方法。
【請求項２】
前記液状体がほぼ透明であることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法。
【請求項３】
前記検査媒体に起きる変色を調べることにより、液滴吐出装置の液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法。
【請求項４】
吐出された液滴による検査媒体の変色によって液状体のｐＨを調べ、これにより液状体の劣化度を検査することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法。
【請求項５】
前記検査媒体に起きる変色を、画像処理装置によって調べることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法。
【請求項６】
液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置において、
前記液状体の液滴の吐出を受けた際、該液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
基板の所定箇所に機能性を有する液状体が成膜されたデバイスの製造方法であって、
液滴吐出装置により前記液状体を液滴としてｐＨに対応した色を呈する検査媒体に吐出し、該検査媒体に起きる変色を調べる工程と、
前記変色の結果に応じて前記液滴吐出装置による吐出を調整する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の製造方法によって得られたデバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等の上に液状体の液滴を吐出塗布する液滴吐出装置における液滴吐出検査方法に係り、詳しくは液状体の劣化度や液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することのできる、液滴吐出装置における液滴吐出検査方法、及びこれを可能にした液滴吐出装置、さらにはデバイスの製造方法及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクなどの液滴を吐出して薄膜形成やパターニングなどを行う液滴吐出装置として、一般にインクジェット技術を応用した装置がある。この装置は、液状材料供給部からの液状材料（液状体）の供給を受ける液滴吐出ヘッドと、基板等を液滴吐出ヘッドに対して相対的に移動させるステージとを備え、吐出データに基づいて液滴吐出ヘッドを移動させながら基板上に液滴を吐出させ、薄膜形成やパターニングなどを行うものである。
【０００３】
このような装置では、通常これを用いて正規に液滴吐出を行うに先立ち、液滴吐出ヘッドの全てのノズルが正常な状態にあるか、すなわち液詰まりやゴミ等の付着などによる異常がないかを検査する。
この検査方法では、通常はノズルチェックパターンを白紙などの液状材料（インク）が見易い、すなわち視認性のよい紙の上に描画し、得られた描画状態を目視又は画像処理装置による画像処理によって確認することにより、ノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを検査している。
【０００４】
ところで、従来の液滴吐出装置に用いられる液状材料（インク）は、その発色性自体が重要な機能であり、これを有しているのが前提とされている。したがって、液滴吐出ヘッドから白紙などの上に吐出された液滴は視認性がよい着色状態にあり、肉眼又は画像処理装置を通して容易に吐出状態（描画状態）を確認することが可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年では液滴吐出装置の用途が広がり、当初の目的である文字等の印刷以外にも、前述したような薄膜形成やパターニングなどのため種々の液状材料が用いられるようになってきている。具体的には、有機ＥＬ素子において発光部を形成する各層の形成材料を、液滴吐出装置によって吐出塗布する試みがなされている。また、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質についても、液状材料として液滴吐出装置で所望の位置に吐出するといった試みがなされるようになってきている。
【０００６】
しかしながら、例えば前記発光部を形成する各層のうちの正孔移動層の形成材料は無色透明であり、また、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質も、通常は十分に希釈した状態で試料として用いることから、吐出された状態においてはほぼ無色透明、あるいは非常に視認性の悪いものとなっている。したがって、これらの液状材料を液滴吐出装置で吐出する場合、それに先立つ液滴吐出ヘッドのノズルの検査を、従来のように白紙の上に吐出するといった方法で行おうとしても、得られた描画状態を目視や画像処理装置で確認するのが困難であり、したがってノズルの吐出性能が調べられないのが現状である。
【０００７】
また、液状材料の中には、例えば前記の正孔移動層の形成材料のように、長期の保存などによって劣化し、所望する本来の機能が低下してしまう材料もある。しかしながら、特に液状材料供給部に貯蔵されたものなどでは、これの劣化度を直接調べるには液状材料供給部を開く必要があるなど、作業が面倒である等の不都合があった。
【０００８】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、特に吐出する液状材料（液状体）が透明の場合にも、液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易に検査することができ、また、液状材料の劣化度なども調べることのできる液滴吐出装置における液滴吐出検査方法、及びこれを可能にした液滴吐出装置、さらにはデバイスの製造方法、電子機器を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法では、液状体の液滴を、ｐＨに対応した色を呈する検査媒体に吐出し、該検査媒体に起きる変色を調べることを特徴としている。
この液滴吐出検査方法によれば、液滴吐出ヘッドから例えばノズルチェックパターンで液滴を検査媒体に吐出することにより、液滴を受けた検査媒体が液状体のｐＨに応じた色に変化する。したがって、この色変化（変色）によって形成された描画状態を目視又は画像処理装置などによって確認することにより、全てのノズルから正常に液滴が吐出されているか否かなどを検査することが可能になる。
【００１０】
また、特に液状体が透明性である場合にも、検査媒体の変色によって液状体の描画状態を確認するので、支障なく検査を行うことができる。
【００１１】
また、前記液滴吐出検査方法においては、検査媒体に起きる変色を調べることにより、液滴吐出装置の液滴吐出ノズルの吐出性能を検査するのが好ましい。
このようにすれば、前述したように検査媒体の変色によって形成された描画状態を目視又は画像処理装置などによって確認することにより、全てのノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを検査することができる。
【００１２】
また、前記液滴吐出検査方法においては、吐出された液滴による検査媒体の変色によって液状体のｐＨを調べ、これにより液状体の劣化度を検査するのが好ましい。
このようにすれば、予め対象となる液状体の、正常な状態でのｐＨと劣化時のｐＨとを測定しておき、また、検査媒体の変色とｐＨとの関係を調べておくことにより、検査媒体への液滴の吐出によって液状体の劣化度を容易に検査することができる。
【００１３】
また、前記液滴吐出検査方法においては、前記の検査媒体に起きる変色を、画像処理装置によって調べるのが好ましい。
このようにすれば、例えば各ノズルから吐出された液滴によって変色した部分の線幅を画像処理装置によって調べ、予め記憶させた正常な線幅の範囲に入っているか等を判断することにより、目視で行う場合に比べより正確な検査が可能になる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、液状体の液滴の吐出を受けた際、該液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体を備えたことを特徴としている。
この液滴吐出装置によれば、液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体を備えたことにより、前記の検査方法を容易に実施することができる。
【００１５】
本発明のデバイスの製造方法は、基板の所定箇所に機能性を有する液状体が成膜されたデバイスの製造方法であって、液滴吐出装置により前記液状体を液滴としてｐＨに対応した色を呈する検査媒体に吐出し、該検査媒体に起きる変色を調べる工程と、前記変色の結果に応じて前記液滴吐出装置による吐出を調整する工程と、有することを特徴としている。
このデバイスの製造方法によれば、検査媒体の色変化（変色）によって形成された描画状態を目視又は画像処理装置などによって確認することにより、全てのノズルから正常に液滴が吐出されているか否かなどを検査することが可能になる。したがって、このような検査結果を基に液滴吐出装置による吐出を調整することでより良好な吐出が可能になり、よってデバイスをより良好に形成することができる。
【００１６】
本発明の電子機器は、前記の製造方法によって得られたデバイスを備えたことを特徴としている。
この電子機器によれば、良好に形成されたデバイスを備えてなることにより、この電子機器自体も良好なものとなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明に係る液滴吐出装置の一例を示す図であり、図１において符号３０は液滴吐出装置である。この液滴吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、液滴吐出ヘッド３４、液供給手段３５、制御装置４０等を有して構成されたものである。ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００１８】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ３７上にはステージ３９が固定されている。このステージ３９は、基板Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１９】
ステージ３９上の基板Ｓに対し、その両側、すなわち後述する液滴吐出ヘッド３４の移動方向（Ｘ軸方向）での両側には、液滴吐出ヘッド３４の検査を行うための検査媒体４１が設けられている。これら検査媒体４１、４１は、送りロール４１ａと巻き取りロール４１ｂとの間に巻かれてＹ軸方向に沿って展開されたもので、巻き取りロール４１ｂに連結されたモータ３８により、送りロール４１ａ側から巻き取りロール４１ｂ側に連続的に移送されるようになっている。なお、このような検査媒体４１、４１は、そのベース３１上での位置が予め決められており、その位置が前記制御装置４０によって記憶されている。
【００２０】
また、検査媒体４１は、後述するように液滴吐出ヘッド３４から吐出された液状体の液滴を受けた際、この液滴のｐＨに対応した色を呈する媒体であり、例えば酸塩基指示薬をフィルム基体上に設けたものである。
ここで、酸塩基指示薬としては、例えば、ペンタメトキシレッド、キナルジンレッド、２，４−ジニトロフェノール、ヘキサメトキシレッド、ヘプタメトキシレッド、キノリンブルー、ｏ−クレゾールフタレイン、チモールフタレイン、フェノールフタレイン、メチルオレンジ、コンゴーレッド、サリチル酸、α−ナフチルアミン、３，６−ジヒドロキシフタル酸、ｍ−クレゾールパープル、チモールブルー、ジメチルイエロー、ブロモフェノールブルー、ブロモクレゾールグリーン、メチルレッド、クロロフェノールレッド、ブロモクレゾールパープル、ブロモチモールブルー、ニュートラルレッド、フェノールレッド、クレゾールレッド、チモールブルー等が挙げられるが、本発明においてはこれらのうちの複数種を適宜に混合し、万能指示薬、すなわち広いｐＨ領域に亘っていくつもの変色域をもつ酸塩基指示薬が好適に用いられる。
なお、特に液滴吐出装置で吐出する液状体のｐＨが分かっている場合には、その劣化などを考慮した範囲のｐＨに変色域をもつ酸塩基指示薬を、用いるようにしてもよい。
【００２１】
フィルム基体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートや、ジアセテート、セロハン、セルロイド、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリビニルクロライド、ポリビニリデンクロライド、ポリアクリレート、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの樹脂フィルムが用いられるが、もちろんこれらに限定されることなく、紙なども使用可能である。
【００２２】
また、このようなフィルム基体上に前記酸塩基指示薬を定着させるには、該酸塩基指示薬をバインダーに混ぜ、得られた混合物をフィルム基体上に塗着するといった方法が採られる。酸塩基指示薬を混合するためのバインダーとしては、液状体の液滴を受容でき、かつこの液状体に対して溶解性あるいは親和性を有する水溶性樹脂又は水分散性樹脂が用いられる。例えば、ポリビニルアルコール及びアニオン変性ポリビニルアルコール、カチオン変性ポリビニルアルコール、アセタール変性ポリビニルアルコール等のポリビニルアルコールの変性物；ポリウレタン；ポリビニルピロリドン及びポリビニルピロリドンと酢酸ビニルの共重合体、ビニルピロリドンとジメチルアミノエチル・メタクリル酸の共重合体、四級化したビニルピロリドンとジメチルアミノエチル・メタクリル酸の共重合体、ビニルピロリドンとメタクリルアミドプロピル塩化トリメチルアンモニウムの共重合体などのポリビニルピロリドンの変性物；カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースなどのセルロース及びカチオン化ヒドロキシエチルセルロース等のセルロースの変性物；ポリエステル、ポリアクリル酸（エステル）、メラミン樹脂、あるいはこれらの変性物、ポリエステルとポリウレタンの共重合体等の合成樹脂、また、アルブミン、ゼラチン、カゼイン、でんぷん、カチオン化でんぷん、アラビアゴム、アルギン酸ソーダなどの天然樹脂が好適に用いられる。
【００２３】
なお、前記検査媒体４１は、バインダー成分の分散液中に前記酸塩基指示薬を混合し、さらにこの混合物を前記フィルム基体上に塗布、乾燥することにより、形成することができる。酸塩基指示薬を含むバインダーの厚さについては、５〜５０μｍ程度とするのが、液滴を受容した際そのｐＨに応じて良好に変色するため好ましい。
【００２４】
これら検査媒体４１、４１の近傍には画像処理装置５０が配置されている。この画像処理装置５０は、検査媒体４１、４１の巻き取りロール４１ｂ側の上方に配置されたＣＣＤカメラ５１、５１（図１中においては、片方のＣＣＤカメラ５１の図示を省略）と、これらＣＣＤカメラ５１に接続された処理装置本体５２とからなるものである。ＣＣＤカメラ５１は、検査媒体４１表面の色変化を記録し、その記録データを処理装置本体５２に送るものである。処理装置本体５２は、コンピューター等からなるもので、ＣＣＤカメラ５１から送られてきた記録媒体４１における色変化データを解析することにより、後述するように液滴吐出ヘッド３４の各ノズルの吐出性能を検査したり、液状体のｐＨを調べて液状体の劣化度を検査したりするものである。
【００２５】
なお、処理装置本体５２は、前記の検査媒体４１を送るためのモータ３８、及び後述する制御装置４０とも接続されている。そして、これにより処理装置本体５２は、制御装置４０による制御によって液滴吐出ヘッド３４から検査媒体４１上に液滴が吐出された際、処理装置本体５２はその時間を制御装置４０から受信するようになっている。また、吐出を受けた検査媒体４１がモータ３８によりＣＣＤカメラ５１の視野に到るまでの時間も、予めモータ３８の速度等から演算して記憶しておく。このような構成のもとに処理装置本体５２は、液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴による検査媒体４１の色変化（変色）を、確実にＣＣＤカメラ５１で記録させるようになっている。
【００２６】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２７】
ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。したがって、前述したように検査媒体４１、４１の位置が制御装置４０に記憶されることにより、後述するように液滴吐出ヘッド３４による検査のための液滴の吐出が、検査媒体４１上に確実になされるようになっている。
【００２８】
液滴吐出ヘッド３４は、前記キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も前記制御装置４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動が、制御装置４０に制御されるようになっている。
【００２９】
ここで、液滴吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は液状材料で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５から液状材料を噴射するためのノズル孔１８が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状材料を供給するための孔１９が形成されている。
【００３０】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板に向けて液状材料の液滴２２が吐出される。
【００３１】
なお、このような構成からなる液滴吐出ヘッド３４は、その底面形状が略矩形状のもので、図３に示すようにノズル１８を縦横に整列させた状態に配置したものである。なお、図３では、ノズル１８の記載を省略して横に一列のみ示している。また、図３では、各ノズル１８から検査媒体４１上に同時に液滴を吐出し、かつ検査媒体４１を移動させたときの、液滴により形成されるラインＬの状態も模式的に示している。
【００３２】
液供給手段３５は、液滴吐出ヘッド３４に液状材料を供給する液供給源４５と、この液供給源４５から液滴吐出ヘッド３４に液を送るための液供給チューブ４６とからなるものである。
制御装置４０は、コンピュータ等からなるもので、前述したように記録媒体４１の位置、具体的にはＹ軸に平行となる両方の側縁のＸ座標を記憶するとともに、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、すなわち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール３３ｄ、３３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するものである。なお、フラッシングによる検査に際して、液滴吐出ヘッド３４に検査媒体４１上への液滴の吐出（フラッシング）を行わせたときには、前述したようにその時間を処理装置本体５２に送信するようになっている。
【００３３】
次に、このような構成からなる液滴吐出装置３０の液滴吐出検査方法を説明する。なお、本例は液滴吐出装置３０によって有機ＥＬ装置における発光部を構成する正孔移送層を形成する場合に適用されるもので、正孔移送層形成の前段階としての液滴吐出検査方法である。また、本例では、吐出する液状体として、有機ＥＬ装置における発光部を構成する正孔移送層の形成材料、例えば３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の分散液を用いている。この形成材料は、ほぼ無色透明であり、ｐＨが約２．０の酸性液である。なお、この形成材料は、長期保存等によって劣化すると、そのｐＨが例えば２．５程度とアルカリ側に変化する。
【００３４】
本例では、前準備として、検査媒体４１を送りロール４１ａと巻き取りロール４１ｂとの間にセットしておく。なお、検査媒体４１としては、前述したように万能指示薬を用いたものが好ましいが、液状体のｐＨ域が既知であることから、例えばｐＨ１．５〜３．０程度の範囲に変色域をもつ酸塩基指示薬を、用いるようにしてもよい。また、特に本例では、ｐＨ２．０近傍とｐＨ２．５近傍との間に変色域をもつもの、すなわち液滴がｐＨ２．０近傍の場合と、ｐＨ２．５近傍の場合とで基の色（液滴を受容する前の検査媒体４１自体の色）に対する変色の度合い（色の濃淡、あるいは色相そのもの）が異なるものを用いる。
【００３５】
また、本例では、液滴吐出検査として、液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の検査と、液状体の劣化度の検査とを同時に行うものとしている。すなわち、各ノズル１８の吐出性能の検査に関しては、まず、液滴吐出ヘッド３４から吐出するノズルチェックパターン、例えば図４に示すようなノズルチェックパターンＰを予め処理装置本体５２に記憶させておく。本例におけるノズルチェックパターンＰは、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８一つに対応する線分Ｌを、その長さ方向に８本連続させるとともに、これら８本の線分Ｌからなる列を４行形成するパターンを、複数（例えば６個）有したものである。
【００３６】
なお、処理装置本体５２に記憶させるノズルチェックパターンＰとしては、特に各線分Ｌの線幅や長さを、それぞれノズルが正常であると判定される範囲（有効範囲）として記憶させておく。そして、後述するようにＣＣＤカメラ５１で記録され送られてきた記録データと照合し、記録データにあるノズルチェックパターンにおける各線分の線幅や長さが、前記有効範囲に入っているか否かなどを調べることにより、液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の良否を判定する。
【００３７】
また、液状体の劣化度の検査に関しては、ｐＨ２．０近傍で変色した場合の検査媒体４１の色と、ｐＨ２．５近傍で変色した場合の検査媒体４１の色とを、例えば予めＣＣＤカメラ５１に設けたカラーフィルタを通すことなどによって識別できるようにしておき、これによって液滴（液状体）のｐＨを判別することにより劣化度の判定（検査）を行う。
【００３８】
このようにして前準備を行ったら、図５に示すフローチャートに基づき、液滴吐出検査を行う。
まず、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４をベース３１上のクリーニングステージ（図示せず）に移動させ、クリーニングを行うことにより、液滴吐出ヘッド３４の全ノズルを液滴吐出可能な状態にする（ステップ１；以下、ＳＴ１と記す）。
【００３９】
次に、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４を検査媒体４１上に移動させる（ＳＴ２）。
なお、検査媒体４１はベース３１上の両側にあるが、どちら側を用いるかについては特に決まりはなく、任意の側のものを選択してこれの上に液滴吐出ヘッド３４を移動させる。ただし、選択した側については、処理装置本体５２に認識させておくのはもちろんである。
【００４０】
次いで、選択した側、すなわち液滴吐出ヘッド３４を移動させた側に検査媒体４１が正しくセットされているか否かを確認する（ＳＴ３）。
この確認は、例えば送りロール４１ａ及び巻き取りロール４１ｂにそれぞれ検査媒体４１がセットされているかなどを光センサ等によって検知し、あるいはＣＣＤカメラ５１によって検査媒体４１を認識させることなどによって行う。また、検査媒体４１における液滴吐出位置が、既に液滴が吐出されていることによって変色していないかも確認するが、この確認については、前記したようにＣＣＤカメラ５１によって検査媒体４１を認識させることによって行ってもよい。また、簡易的には、先に液滴吐出検査がなされた後、モータ３８による巻き取りがなされたか否かを処理装置本体５２に記憶させておくことで行ってもよい。
【００４１】
このような確認により、検査媒体４１が正しくセットされていないと判定された場合には、警報を鳴らすなどして作業者にそのことを知らせ、検査媒体４１を再セットする。（ＳＴ４）
その後、再度検査媒体４１が正しくセットされているか否かを確認する（ＳＴ３）。
【００４２】
検査媒体４１が正しくセットされていると判定された場合には、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４から液滴をノズルチェックパターンＰに対応させて吐出させる（ＳＴ５）。
【００４３】
このようにして液滴吐出を行ったら、モータ３８を作動させて検査媒体４１をＣＣＤカメラ５１側に送る（ＳＴ６）。そして、送られてきた液滴の吐出パターンをＣＣＤカメラ５１で撮影して記録し、さらに記録データを処理装置本体５２で解析して前述した検査、すなわち液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の検査と、液状体の劣化度の検査とを行う（ＳＴ７）。
【００４４】
また、液滴の吐出を行い、その変色をＣＣＤカメラ５１で撮影・記録した検査媒体４１については、再度モータ３８を作動させることによって巻き取りロール４１ｂ側に巻き取っておき、液滴吐出ヘッド３４側には新たな検査媒体４１が位置するようにセットする（ＳＴ８）。
【００４５】
そして、前記のＣＣＤカメラ５１で撮影記録して得られた記録データを処理装置本体５２で解析・検査（ＳＴ９）し、その結果全てのノズル１８が正常な状態にあり、また、液状体に許容範囲を越える劣化も認められなかった場合には、検査を終了し、液滴吐出ヘッド３４による正規な動作、本例では正孔移送層の形成を行う。
【００４６】
一方、一つでもノズル１８に異常が認められた場合には、再度前記のクリーニング（ＳＴ１）を行い、以下、図５のフローチャートにしたがって前記工程を再度繰り返す（ＳＴ１０）。また、液状体に許容範囲を越える劣化が認められた場合には、液供給源４５の液状体（正孔移送層の形成材料）を新しい液状体に交換し、その後再度前記のクリーニング（ＳＴ１）を行い、さらに図５のフローチャートにしたがって前記工程を再度繰り返す（ＳＴ１０）。
【００４７】
このような液滴吐出検査方法にあっては、液滴吐出ヘッド３４からノズルチェックパターンＰで無色透明の液滴を検査媒体４１に吐出させ、検査媒体４１を変色させてこの変色により形成された描画状態を画像処理装置５０によって確認することにより、液状体（液滴）が無色透明であるにもかかわらず、全てのノズル１８から正常に液滴が吐出されているか否かを容易にかつ正確に検査することができる。
また、吐出された液滴による検査媒体４１の変色によって液状体のｐＨを調べ、これにより液状体の劣化度についても検査するようにしているので、劣化した液状体をそのまま吐出・塗布してしまい、結果として得られる正孔移動層が所望する機能を発揮しなくなるといった不都合を防止することができる。
また、前記の液滴吐出装置３０にあっては、液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体４１を備えたことにより、前記の検査方法を容易に実施して正常な液滴吐出を行うことができる。
【００４８】
なお、本発明は前記の例に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しないかぎり種々の変更が可能である。例えば、液状体（液滴）として、正孔移動層の形成材料に代えて他の層の形成材料を吐出する場合に適用してもよく、また、このような有機ＥＬ装置などの機能性材料でなく、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質を吐出する場合に適用してもよい。
【００４９】
また、検査媒体４１としては、簡易的にはリトマス紙を用いることもできる。また、前記例では、検査媒体４１によって液滴吐出ヘッド３４の吐出性能と、液状体の劣化度とを検査するようにしたが、例えば液状体を形成する特定成分の濃度がｐＨと相関を有する場合には、ｐＨによって特定成分の濃度を検査することもできる。
さらに、前記例では検査媒体に起きる変色を、画像処理装置５０によって調べるようにしたが、簡易的には肉眼による目視で行うようにしてもよい。
【００５０】
また、本発明のデバイスの製造方法は、前記の液滴吐出装置３０による液滴吐出方法を用いてデバイスを製造する方法であり、この液滴吐出装置３０により液状体を液滴としてｐＨに対応した色を呈する検査媒体に吐出し、該検査媒体に起きる変色を調べる工程と、前記変色の結果に応じて前記液滴吐出装置による吐出を調整する工程と、を有する方法である。この製造方法が適用されるデバイスとしては、カラーフィルタや配線、各種の膜やパターンなどの機能性を有する種々の構成要素を前記液滴吐出装置３０で形成することができれば、特に限定されることなく任意のものとされる。
【００５１】
図６は、このような本発明の製造方法が適用されるデバイスの一例としての、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。
図６に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には、封止用基板３７１が積層されている。
【００５２】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入／輸送層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入／輸送層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入／輸送層形成工程は、正孔注入／輸送層３５２を形成するための第１組成物（機能液）を各画素電極３３１上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（機能液）を正孔注入／輸送層３５２の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００５３】
この発光素子形成工程では、前記液滴吐出装置３０を用いて、前記発光素子を形成するようにしている。したがって、この有機ＥＬ装置３０１の製造方法によれば、検査媒体を用いた検査結果を基に液滴吐出装置３０による吐出を調整することでより良好な吐出が可能になり、よってデバイスをより良好に形成することができる。
【００５４】
次に、本発明の電子機器を説明する。本発明の電子機器は、前記の有機ＥＬ装置（デバイス）を表示部として有したものであり、具体的には図７に示すものが挙げられる。
図７は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図７において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記の有機ＥＬ装置を用いた表示部を示している。
この携帯電話（電子機器）によれば、良好に形成された有機ＥＬ装置（デバイス）を備えてなることにより、この携帯電話自体も良好なものとなる。
なお、本発明の電子機器としては、携帯電話に限定されることなく、腕時計型電子機器やワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置など、従来公知の種々の電子機器に適用可能である。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の液滴吐出装置における液滴吐出検査方法は、液滴吐出ヘッドから例えばノズルチェックパターンで液滴を検査媒体に吐出させ、液滴を受けた検査媒体を液状体のｐＨに応じた色に変化させ、この色変化（変色）によって形成された描画状態を目視又は画像処理装置などによって確認する方法であるから、例えば液状体（液滴）が無色透明である場合にも、全てのノズルから正常に液滴が吐出されているか否かなどを容易に検査することできる。
本発明の液滴吐出装置は、液状体の液滴の吐出を受けた際、該液滴のｐＨに対応した色を呈する検査媒体を備えたものであるから、前記の検査方法を容易に実施して正常な液滴吐出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例の概略構成を示す斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための図であり、（ａ）は要部斜視図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの底面におけるノズルの配置状態を説明するための斜視図である。
【図４】液滴吐出ヘッドから吐出するノズルチェックパターンの一例を説明するための模式図である。
【図５】本発明の液滴吐出装置における液滴吐出方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の製造方法が適用される有機ＥＬ装置の断面図である。
【図７】本発明の電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
３０…液滴吐出装置、３４…液滴吐出ヘッド、４１…検査媒体、
５０…画像処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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