(57)【要約】　　　（修正有）【課題】外乱磁界を遮蔽するために、磁気シールドルームの開口部に設置する磁気遮蔽部材であって、該開口部に変更を加える際に、その変更に対応して容易に設置することが可能な磁気遮蔽部材を提供する。【解決手段】磁気遮蔽部材１は、高透磁率のシート（磁気シールドシート）で作成されており、磁気シールドルーム（ＭＳＲ）の壁面２に設けられた開口部５の外側、内側、若しくは、その両方に取り付けられる。この磁気遮蔽部材１は、のれん状、すだれ状、クロス状等の適当な切れ込みを有している。ケーブルは、この切れ込みからＭＳＲの内部に引き込まれる。磁気遮蔽部材１は、ケーブルと開口部５の縁との間の隙間を塞ぐことにより、開口部５からの磁界ノイズの侵入を防ぐ。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高透磁率材料のシートからなり、ケーブルや配管を通すためのスリット又は切れ込みを有することを特徴とする磁気遮蔽部材。
【請求項２】
外乱磁界を遮蔽した装置設置空間を内部に有する磁気シールドルームであって、
該磁気シールドルームの壁に、ケーブルや配管を通すための開口部が設けられており、
該開口部に、高透磁率材料のシートからなる、ケーブルや配管を通すためのスリット又は切れ込みを有する磁気遮蔽部材が取り付けられていることを特徴とする磁気シールドルーム。
【請求項３】
感応基板上に荷電粒子線を選択的に照射してデバイスパターンを形成する露光装置であって、
前記露光装置本体の周囲に請求項２記載の磁気シールドルームが設けられていることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野及び発明が解決しようとする課題】
本発明は、外乱磁界を遮蔽する磁気遮蔽部材及び磁気シールドルーム（Ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ　Ｓｈｉｅｌｄｅｄ　Ｒｏｏｍ、以下、単にＭＳＲとも書く。）に関する。さらに、周囲にこのようなＭＳＲが設けられた、半導体集積回路等のリソグラフィに用いられる露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
荷電粒子線を用いた露光装置においては、地磁気や電源設備、ケーブル等によって生じる静電場や変動磁場の影響を荷電粒子線が受けないようにするため、装置の光学鏡筒やウェハ（感応基板）チャンバ等に磁気シールドが施されている。また、装置周辺の部品（ウェハローダ、レチクルローダ、電磁レンズ、真空ポンプ等）の発生する磁界についてもさまざまな対策を施して、荷電粒子線光学系の特性を制御している。
【０００３】
このような磁気シールドの方法としては、荷電粒子線光学系の鏡筒やウェハチャンバを、パーマロイ等の磁性材で一重、二重あるいは三重に覆って磁気シールドルーム（ＭＳＲ）を形成するのが一般的である。
【０００４】
一般に、ＭＳＲの壁面には、ＭＳＲの内部に設置する機材のケーブルや配管を通すための開口部が設けられている。これらの開口部から磁界ノイズがＭＳＲの内部に侵入すると、ＭＳＲ内部の磁気性能が劣化してしまう。このため、該開口部からの磁界ノイズの侵入を防ぐための対策を講じる必要がある。このような方法としては、ＭＳＲの開口部にパーマロイ等の磁性体で作成された筒を設置するのが一般的である。
【０００５】
図４は、磁気シールドルーム（ＭＳＲ）の開口部に設置された、従来の磁気遮蔽部材（磁性体筒）の一例を示す図である。図４（Ａ）は、該開口部のＭＳＲ外側の平面図であり、図４（Ｂ）は、該開口部の断面図である。
図４に示すＭＳＲの壁２には、ケーブル３を引き込むための開口部５が設けられている。この開口部５には、パーマロイ等の磁性体で作成された筒４が、壁２を貫くように設置されており、この筒４の長さＬは一例で開口径Ｄの３倍以上である（Ｌ≧３Ｄ）。この磁性体筒４により、外部から侵入する磁界ノイズの入射を低減し、磁界ノイズに対するＭＳＲの遮蔽度を高めている。
【０００６】
ところで、ＭＳＲを設置した後に、該ＭＳＲの内部に設置された機材の変更等に伴い、ケーブルや配管を変更する必要が生じることがある。しかしながら、上記の構成によると、開口部の口径や位置の変更を行うのは容易でない。その結果、ＭＳＲの内部に設置する機材の種類が限られてしまうなど、ＭＳＲの使い方が限定されやすいという問題がある。
【０００７】
【非特許文献１】
鹿島、「電子機器に悪影響を及ぼす磁気の進入をシャットアウト」、［ｏｎｌｉｎｅ］、２００１年１月２４日、鹿島、［２００２年９月３０日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｋａｊｉｍａ．ｃｏ．ｊｐ／ｎｅｗｓ／ｐｒｅｓｓ／２００１０１／２４ａ１ｔｏ−ｊ．ｈｔｍ＞
【０００８】
上記の点に鑑み、本発明は、磁気シールドルームの開口部に設置する磁気遮蔽部材であって、該開口部に通すケーブルや配管の施工に融通性の高い磁気遮蔽部材及びこのような磁気遮蔽部材を用いた磁気シールドルーム（ＭＳＲ）などを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、本発明に係る磁気遮蔽部材は、高透磁率材料のシートからなり、ケーブルや配管を通すためのスリット又は切れ込みを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る磁気遮蔽部材によれば、開口部の変更に柔軟に対応することが可能になる。
【００１１】
本発明に係る磁気シールドルーム（ＭＳＲ）は、外乱磁界を遮蔽した装置設置空間を内部に有する磁気シールドルームであって、該磁気シールドルームの壁に、ケーブルや配管を通すための開口部が設けられており、該開口部に、高透磁率材料のシートからなる、ケーブルや配管を通すためのスリット又は切れ込みを有する磁気遮蔽部材が取り付けられていることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る磁気シールドルーム（ＭＳＲ）によれば、ＭＳＲを設置した後の内部に設置された装置の変更に伴う、開口部の口径や位置の変更に柔軟に対応することでき、内部に設置される装置の自由度を向上させることが可能になる。
【００１３】
本発明に係る露光装置は、感応基板上に荷電粒子線を選択的に照射してデバイスパターンを形成する露光装置であって、前記露光装置本体の周囲に上記の磁気シールドルーム（ＭＳＲ）が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、同一の構成要素には同一の参照番号を付して、説明を省略する。
図１は、本発明の一実施形態に係る磁気シールドルーム（ＭＳＲ）の開口部に設置された磁気遮蔽部材（磁気シールドシート）を示す図である。図１（Ａ）は、該開口部のＭＳＲ外側の平面図であり、図１（Ｂ）は、該開口部の断面図である。
【００１５】
図１に示すＭＳＲの壁２には、ケーブル３を引き込むための開口部５が設けられている。この開口部５の外壁には、のれん状に加工された磁気遮蔽部材１が取り付けられている。この磁気遮蔽部材１は高透磁率のシート（以下、磁気シールドシートと書く。）からなっている。
ケーブル３は、前記開口部５を通してＭＳＲの内部に導入される。この際、ケーブル３と開口部５の縁との間に隙間が生じる。磁気シールドシート１は、そののれん状に垂下している部分（詳細後述。）がこの隙間を塞ぐように取り付けられている。これにより、ＭＳＲの外部から侵入する磁界ノイズを低減することができる。
【００１６】
本実施形態によれば、磁気シールドシート１は、高透磁率のシートでできており、裁断等の加工をすることが容易である。したがって、開口部の口径や位置の変更に対して柔軟に対応することが可能である。
また、本実施形態に係るシールドシートを用いることにより、ＭＳＲの設計の自由度を高めることができ、さらに、ＭＳＲの内部に設置する機材の変更に柔軟に対応することができる。
【００１７】
図１においては、磁気シールドシート１はＭＳＲの外壁に取り付けられているが、磁気シールドシート１は、ＭＳＲの外壁と内壁のいずれに取り付けても構わないし、また、これらの両方にとりつけてもよい。
ここで、磁気シールドシートをＭＳＲに取り付ける場合には、磁気シールドシートの切れ込みの位置を相互に調整することにより、磁界ノイズに対する遮蔽効果をさらに高めることができる。
【００１８】
また、磁気シールドシート１の形状も図１に示したのれん状に限らない。つまり、以下に説明するように、適当な形状を選択することができる。
図２は、本発明に係る磁気シールドシート１の形状の具体例を示す平面図である。
図２（Ａ）に示す磁気シールドシートは、図中シートの縦方向に適当な数の切れ込み２１ａが形成されている。磁気シールドシートは、この切れ込み２１ａによって、下端だけが切り離されており、下側の部分が短冊状になって垂下するのれん状になっている。これは、図１の説明で用いた磁気シールドシート１と同一の形状である。
図２（Ｂ）に示す磁気シールドシートは、図中シートの縦方向に適当な数の切れ込み２１ｂが形成されている。磁気シールドシートは、図の上下の両端付近まで切れ込み２１ｂが入っており、すだれ状になっている。
図２（Ｃ）に示す磁気シールドシートは、図中シートの中央から、縦と横の方向に１本ずつクロス状（放射状に）切れ込み２１ｃが入っている。
【００１９】
本発明の磁気遮蔽部材としては、図２に例示したような磁気シールドシートの形状のいずれを用いてもよい。いずれにせよ、図１の開口部５を通して導入されるケーブルや配管の太さなどを考慮して、磁界ノイズを確実に遮蔽できるような形状を選択すればよい。
【００２０】
次に、本発明のＭＳＲを用いた露光装置について説明する。図３は、本発明の一実施形態に係る露光装置を示すブロック図である。図３に示す露光装置１００は、電子銃３１からレチクル３４に電子線を照射して、ウェハ（感応基板）４０にレチクル３４上のデバイスパターンを縮小転写する電子線露光装置である。
【００２１】
以下に、露光装置１００の構成について説明する。
露光装置１００の最上流には、電子銃３１が配置されており、電子銃３１は、図３の下方に向けて電子線を照射する。電子銃３１の下方にはコンデンサレンズ３２及び照明レンズ３３が備えられており、電子線は、これらのレンズ３２、３３を通って、レチクル３４を照射する。
【００２２】
レンズ３２、３３を主な構成要素とする照明光学系には、図示されていないが、照明ビーム成形開口やブランキング偏向器、ブランキング開口、照明ビーム偏向器等が配置されている。この照明光学系で成形された照明ビームＩＢは、レチクル３４上で順次走査され、照明光学系の視野内にあるレチクル３４の各サブフィールドの照明を行う。
【００２３】
レチクル３４は、多数のサブフィールドを有し、移動可能なレチクルステージ３５上に設置されている。このレチクルステージ３５を光軸に垂直な平面上を移動させることにより、照明光学系の視野よりも広い範囲に広がるレチクル３４上の各サブフィールドを照明する。
【００２４】
レチクル３４の下方には、第１投影レンズ３６、第２投影レンズ３９及び収差補正や像位置補正に用いられる偏向器群３７（３７−１〜３７−６）が配置されている。レチクル３４の１つのサブフィールドを通過した電子線は、投影レンズ３６、３９及び偏向器群３７によって、ウェハ（感応基板）４０上の所定の位置に結像する。ウェハ４０上には適当なレジストが塗布されており、レジスト上に電子線のドーズが与えられ、レチクル３４上のパターンが縮小（一例で１／４）されてウェハ４０上に転写される。
【００２５】
レチクル３４とウェハ４０との間を縮小率比で内分する点にクロスオーバーＣ．Ｏ．が形成され、同クロスオーバーの位置には、コントラスト開口３８が設けられている。この開口３８は、レチクル３４の非パターン部で散乱された電子線がウェハ４０に達しないように遮断する。
【００２６】
ウェハ４０は、静電チャックを介して、光軸に垂直な平面上を移動することが可能なウェハステージ４１上に設置されている。レチクルステージ３５とウェハステージ４１とを互いに逆方向に同期移動させることにより、投影光学系の視野の外に広がるレチクル３４上のデバイスパターンの各部を順次露光して、ウェハ４０上に転写することができる。
【００２７】
図３に示すように、露光装置１００は、直方体状の磁気シールドルーム（ＭＳＲ）１０１の内部に設置されている。このＭＳＲ１０１の壁２には開口部５ａ、５ｂ、５ｃが設けられており、該開口部５ａ、５ｂ、５ｃの外側には、それぞれ磁気シールドシート１ａ，１ｂ、１ｃが取り付けられている。この磁気シールドシート１ａ、１ｂ、１ｃは、図２に例示した形状のうちいずれか適当なものに加工されている。
ケーブル３ａ、３ｂ、３ｃは、それぞれ開口部５ａ、５ｂ、５ｃを通してＭＳＲの内部に導入され、露光装置１００の所要の箇所に接続されている。磁気シールドシート１ａ、１ｂ、１ｃは、ケーブル３ａ、３ｂ、３ｃと開口部５ａ、５ｂ、５ｃの周縁部との間に生じた隙間を塞ぐように調整されており、外部から磁界ノイズが侵入するのを防いでいる。
【００２８】
本実施形態によれば、露光装置１００を構成する種々の装置を変更又は更新する必要が生じた場合にも、開口部の口径や位置の変更を容易に行うことが可能である。
【００２９】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、加工の容易な磁気シールドシートを用いて磁気遮蔽措置を施すことにより、ＭＳＲの壁に設けられている開口部の口径や位置の変更に柔軟に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気シールドルーム（ＭＳＲ）の開口部に設置された磁気遮蔽部材（磁気シールドシート）を示す図である。
（Ａ）　該開口部のＭＳＲ外側の平面図である。
（Ｂ）　該開口部の断面図である。
【図２】本発明に係る磁気遮蔽部材（磁気シールドシート）の形状の具体例を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る露光装置を示すブロック図である。
【図４】磁気シールドルーム（ＭＳＲ）の開口部に設置された、従来の磁気遮蔽部材（磁性体筒）の一例を示す図である。
（Ａ）　該開口部のＭＳＲ外側の平面図である。
（Ｂ）　該開口部の断面図である。
【符号の説明】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ　磁気遮蔽部材
２　磁気シールドルームの壁
３、３ａ、３ｂ、３ｃ　ケーブル
５、５ａ、５ｂ、５ｃ　開口部
３１　電子銃
３２　コンデンサレンズ
３３　照明レンズ
３４　レチクル
３５　レチクルステージ
３６　第１投影レンズ
３７−１、３７−２、…、３７−６　偏向器
３８　コントラスト開口
３９　第２投影レンズ
４０　ウェハ（感応基板）
４１　ウェハステージ
１００　露光装置
１０１　磁気シールドルーム
【図１】
2004128248.tif 000003
【図２】
2004128248.tif 000004
【図３】
2004128248.tif 000005
【図４】
2004128248.tif 000006