(57)【要約】【課題】コスト低減【解決手段】ハウジング７は、金属材料を射出成形して形成され、円筒状の側部７ｂと、側部７ｂの上端から内径側に一体に延びた環状のシール部７ａとを備えている。底部材６は樹脂材料で形成され、ハウジング７の側部７ｂの下端に固定される。流体軸受装置１は、底部が開口した状態に形成されたハウジング７に軸受スリーブ８および底部材６を固定し、さらに軸部材２を装着することによって組み立てる。【選択図】　図２
2004028165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、該ハウジングの内周に固定された軸受スリーブと、軸部材と、前記軸受スリーブの内周面と前記軸部材の外周面との間に設けられ、軸受隙間に生じる潤滑油の油膜で前記軸部材をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部と、前記ハウジングの底部に設けられ、前記軸部材をスラスト方向に支持するスラスト軸受部とを備えた流体軸受装置において、
前記ハウジングを金属材料の型成形により底部が開口した状態に形成すると共に、前記ハウジングの底部を樹脂製の底部材で形成したことを特徴とする流体軸受装置。
【請求項２】
ハウジングと、該ハウジングの内周に固定された軸受スリーブと、軸部材と、前記軸受スリーブの内周面と前記軸部材の外周面との間に設けられ、軸受隙間に生じる潤滑油の油膜で前記軸部材をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部と、前記ハウジングの開口部に設けられ、前記軸部材の外周面との間にシール空間を形成するシール部とを備えた流体軸受装置において、
前記ハウジングを金属材料の型成形により形成すると共に、前記シール部を樹脂製のシール部材で形成したことを特徴とする流体軸受装置。
【請求項３】
前記ハウジングを金属材料の射出成形により形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の流体軸受装置。
【請求項４】
前記金属材料がマグネシウム合金であることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の流体軸受装置。
【請求項５】
前記軸受スリーブが焼結金属で形成されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の流体軸受装置。
【請求項６】
前記ラジアル軸受部が、前記軸受隙間内の潤滑油に動圧を発生させる動圧軸受であることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の流体軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸受隙間に生じる潤滑油の油膜で軸部材をラジアル方向に非接触支持する流体軸受装置に関する。この軸受装置は、情報機器、例えばＨＤＤ、ＦＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置などのスピンドルモータ、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、あるいは電気機器、例えば軸流ファンなどの小型モータ用として好適である。
【０００２】
【従来の技術】
上記各種モータには、高回転精度の他、高速化、低コスト化、低騒音化などが求められている。これらの要求性能を決定づける構成要素の一つに当該モータのスピンドルを支持する軸受があり、近年では、この種の軸受として、上記要求性能に優れた特性を有する流体軸受の使用が検討され、あるいは実際に使用されている。
【０００３】
この種の流体軸受は、軸受隙間内の潤滑油に動圧を発生させる動圧発生手段を備えたいわゆる動圧軸受と、動圧発生手段を備えていないいわゆる真円軸受（軸受面が真円形状である軸受）とに大別される。
【０００４】
例えば、ＨＤＤ等のディスク装置のスピンドルモータやレーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータに組込まれる流体軸受装置では、軸部材をラジアル方向に回転自在に非接触支持するラジアル軸受部と、軸部材をスラスト方向に回転自在に支持するスラスト軸受部とが設けられ、ラジアル軸受部として、軸受スリーブの内周面又は軸部材の外周面に動圧発生用の溝（動圧溝）を設けた動圧軸受が用いられる。スラスト軸受部としては、例えば、軸部材のフランジ部の両端面、又は、これに対向する面（軸受スリーブの端面や、ハウジングに固定されるスラスト部材の端面等）に動圧溝を設けた動圧軸受や、軸部材の一端面をスラストプレート等によって接触支持する構造の軸受（いわゆるピボット軸受）が用いられる。
【０００５】
通常、軸受スリーブはハウジングの内周の所定位置に固定され、また、ハウジングの内部空間に注油した潤滑油が外部に漏れるのを防止するために、ハウジングの開口部にシール部材を配設する場合が多い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の流体軸受装置は、ハウジング、軸受スリーブ、軸部材、スラスト部材（又はスラストプレート）、及びシール部材といった部品で構成され、情報機器の益々の高性能化に伴って必要とされる高い軸受性能を確保すべく、各部品の加工精度や組立精度を高める努力がなされている。その一方で、情報機器の低価格化の傾向に伴い、この種の流体軸受装置に対するコスト低減の要求も益々厳しくなっている。
【０００７】
本発明の課題は、より一層低コストな流体軸受装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、ハウジングと、ハウジングの内周に固定された軸受スリーブと、軸部材と、軸受スリーブの内周面と軸部材の外周面との間に設けられ、軸受隙間に生じる潤滑油の油膜で軸部材をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部と、ハウジングの底部に設けられ、軸部材をスラスト方向に支持するスラスト軸受部とを備えた流体軸受装置において、ハウジングを金属材料の型成形により底部が開口した状態に形成すると共に、ハウジングの底部を樹脂製の底部材で形成した。
【０００９】
また、上記課題を解決するため、本発明は、ハウジングと、ハウジングの内周に固定された軸受スリーブと、軸部材と、軸受スリーブの内周面と軸部材の外周面との間に設けられ、軸受隙間に生じる潤滑油の油膜で軸部材をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部と、ハウジングの開口部に設けられ、軸部材の外周面との間にシール空間を形成するシール部とを備えた流体軸受装置において、ハウジングを金属材料の型成形により形成すると共に、シール部を樹脂製のシール部材で形成した。
【００１０】
上記の金属材料として、例えばアルミ合金、マグネシウム合金、ステンレス鋼等を用いることができる。また、上記の型成形として、例えばダイキャスト成形、射出成形、金属板のプレス加工（板材又はパイプ材の絞り成形）等の成形法を採用することができる。
【００１１】
ハウジングを金属材料で型成形することにより、旋削加工等で形成する場合に比べて、製造コスト低減を図ることができる。また、底部を樹脂製の底部材で形成し、あるいは、シール部を樹脂製のシール部材で形成することにより、これら部材の製造コスト低減を図ることができると同時に、これら部材を例えばハウジングに超音波溶着、誘導加熱、圧入等によって固定することにより、組立工程を簡素化して、製造コスト低減を図ることができる。さらに、ハウジングの底部を樹脂製の底部材で形成した構成では、軸部材の端面を底部材でスラスト方向に支持することができるので、従来、ハウジングの底部に別途配置していた樹脂製のスラストプレートを不要にして、部品点数の削減を図ることができる。また、ハウジングの底部に動圧溝を形成して動圧軸受を構成する場合、該動圧溝を樹脂製の底部材と同時成形することにより、製造工程の簡略化を図ることができる。
【００１２】
ハウジングを金属材料で射出成形する場合、成形方法として、メタル・インジェクション・モールディング（ＭＩＭ：Ｍｅｔａｌ　Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ　Ｍｏｌｄｉｎｇ）法やチクソモールディング法を採用することができる。ＭＩＭ法は、一般に、金属粉末と樹脂バインダとを混練後、金型に射出して成形し、続いて脱脂してバインダを除いた成形体を焼結して完成品とする成形法であり（焼結後、必要に応じて後処理を行う。）、次のような特長を有している。すなわち、▲１▼複雑な形状の小物部品をニア・ネット・シェイプで形成することができ、▲２▼金型形状を転写し同一形状のものを量産することができ、▲３▼成型時の収縮率、脱脂・焼結時の収縮率などを見極めることにより、寸法精度の高い部品を生産することができ、▲４▼金型形状を転写するので、金型の仕上精度と同一の面精度（面粗度等）を確保することができ、▲５▼ステンレス鋼等の難加工材のニア・ネット・シェイプ化が可能である。また、チクソモールディング法は、マグネシウム合金等のチップをシリンダー内で半溶融状態まで加熱し、スクリューで攪拌してスラリー状としてノズルから射出成形するものである。チクソモールディング法は、寸法精度の高い部品を生産することができると共に、ＳＦ６ガスのような防燃ガスが不要であるため、地球環境にやさしいプロセスである。
【００１３】
ハウジングを成形する金属材料として、マグネシウム合金を用いることにより流体軸受装置のより一層の軽量化を図ることができる。マグネシウム合金は、実用金属中、比重の最も小さい金属であり、その比重は約１．８で、鉄の約４分の１、アルミニウム合金と比べても約３分の２と軽量である。また、アルミニウム合金等と比較して、薄肉成形性に優れている。
【００１４】
さらに、マグネシウム合金は放熱性が良く、マグネシウム合金からなるハウジングを備えた本発明の流体軸受装置は、特に情報機器に搭載されるスピンドルモータの回転支持部に好適である。例えばパソコンでは、ＣＰＵ（中央演算処理装置）のクロック周波数が急速に向上していることに伴い、パソコン内部に熱がこもり易くなっており、ディスク駆動装置等に組み込まれる流体軸受装置の運転環境も厳しさを増している。また、ディスク駆動装置等の高速化に伴い、軸受自身の内部発熱量も多くなり易い傾向にある。一方、流体軸受装置の内部に熱が蓄積されると、潤滑油の劣化が促進され、軸受寿命の低下をきたす一因となる。流体軸受装置のハウジングを放熱性の良いマグネシウム合金で形成することにより、流体軸受装置の内部に熱が蓄積されるのを抑制して、軸受寿命の低下を防止することができる。
【００１５】
また、マグネシウム合金は、再溶解、精錬することによって品質の低下は殆どなく、リサイクル性に優れている。従って、流体軸受装置のハウジングをマグネシウム合金で形成することは、環境負荷を軽減する点からも好ましい。
【００１６】
以上の構成において、軸受スリーブは焼結金属で形成することができ、また、ラジアル軸受部は、軸受隙間内の潤滑油に動圧を発生させる動圧軸受とすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１８】
図１は、この実施形態に係る流体軸受装置１を組み込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を回転自在に支持する流体軸受装置１と、軸部材２に装着されたディスクハブ３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたモータステータ４およびモータロータ５とを備えている。ステータ４はケーシング６の外周に取付けられ、ロータ５はディスクハブ３の内周に取付けられる。流体軸受装置１のハウジング７は、ケーシング６の内周に装着される。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスクＤが一又は複数枚保持される。ステータ４に通電すると、ステータ４とロータ５との間の励磁力でロータ５が回転し、それによって、ディスクハブ３および軸部材２が一体となって回転する。
【００１９】
図２は、流体軸受装置（流体動圧軸受装置）１を示している。この流体軸受装置１は、ハウジング７と、軸受スリーブ８と、軸部材２と、ハウジング７の底部を形成する底部材６を構成部品して構成される。
【００２０】
軸受スリーブ８の内周面８ａと軸部材２の外周面２ａとの間に第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とが軸方向に離隔して設けられる。また、軸部材２の下側端面２ｂと底部材６の端面との間にスラスト軸受部Ｓ１が設けられる。尚、説明の便宜上、底部材６の側を下側、底部材６と反対の側を上側として説明を進める。
【００２１】
軸部材２は、例えば、ステンレス鋼等の金属材で形成され、その下側端面２ｂは凸球状に形成される。
【００２２】
軸受スリーブ８は、例えば、焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする燒結金属の多孔質体で円筒状に形成される。この焼結金属で形成された軸受スリーブ８の内周面８ａには、第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受面となる上下２つの領域が軸方向に離隔して設けられ、該２つの領域には、例えばヘリングボーン形状の動圧溝がそれぞれ形成される。尚、動圧溝の形状として、スパイラル形状や軸方向溝形状等を採用しても良い。
【００２３】
ハウジング７は、例えば、マグネシウム合金等の金属材料を射出成形（メタル・インジェクション・モールディング又はチクソモールディング）して形成され、円筒状の側部７ｂと、側部７ｂの上端から内径側に一体に延びた環状のシール部７ａとを備えている。シール部７ａの内周面７ａ１は、軸部材２の外周面２ａ１と所定のシール空間を介して対向する。尚、この実施形態では、シール部７ａの内周面７ａ１と対向してシール空間を形成する軸部材２の外周面２ａ１を、上方（ハウジング７の外方向）に向かって漸次縮径するテーパ形状に形成している。軸部材２の回転時、テーパ形状の外周面２ａ１は、いわゆる遠心力シールとしても機能する。
【００２４】
底部材６は樹脂材料で形成され、ハウジング７の側部７ｂの下端に固定される。
【００２５】
この実施形態の流体軸受装置１は、上記の型成形により底部が開口した状態に形成されたハウジング７に軸受スリーブ８および底部材６を固定し、さらに軸部材２を装着することによって組み立てることができる。
【００２６】
まず、軸受スリーブ８をハウジング７の開口した底部から側部７ｂの内周面に装着し、上側端面がシール部７ａの内面と当接するまで推し進める。そして、その位置で、軸受スリーブ８を接着、圧入、レーザビーム溶接、高周波パルス接合等の適宜の手段でハウジング７に固定する。つぎに、ハウジング７の側部７ｂの下端に樹脂製の底部材６を適宜の手段で固定する。この実施形態では、側部７ｂの下端に環状のリブ７ｂ１を形成すると共に、底部材６の端面に環状の凹部６ａを形成し、凹部６ａをリブ７ｂ１に嵌合させた状態で、底部材６を側部７ｂの下端に装着し、超音波溶着又は誘導加熱によって固着している。尚、底部材６の固着状態を強固ならしめるため、リブ７ｂ１の内周面及び外周面のうち少なくとも一方にねじ状の凹凸やローレット加工等による凹凸を形成しておくのが好ましい。また、リブ７ｂ１と凹部６ａは相互に嵌合するものであれば、円周方向に非連続なものであってもよい。その後、軸部材２を軸受スリーブ８の内周面８ａに挿入して、その下側端面２ｂを底部材６の端面に接触させる。そして、シール部７ａで密封されたハウジング７の内部空間に潤滑油を給油する。
【００２７】
軸部材２の回転時、軸受スリーブ８の内周面８ａのラジアル軸受面となる領域（上下２箇所の領域）は、それぞれ、軸部材２の外周面２ａとラジアル軸受隙間を介して対向する。そして、軸部材２の回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間に潤滑油の動圧が発生し、軸部材２が上記ラジアル軸受隙間内に形成される潤滑油の油膜によってラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とが構成される。同時に、軸部材２の下側端面２ｂが底部材６によって接触支持される。これにより、軸部材２をスラスト方向に回転自在に支持するスラスト軸受部Ｓ１が構成される。
【００２８】
図３は、図２に示す実施形態の変形例を示している。この変形例では、樹脂製の底部材９をハウジング７の側部７ｂの下端内周に圧入固定している。
【００２９】
図４は、他の実施形態に係る流体軸受装置１１を示している。この実施形態の流体軸受装置１１が図２に示す流体軸受装置１と異なる点は、ハウジング１７に底部１７ｃを一体形成している点、軸部材２の下側端面２ｂをスラストプレート２０によって接触支持している点、ハウジング１７の上端開口部に樹脂製のシール部材１０を装着している点である。シール部材１０は、軸部材２の外周面２ａ１と対向してシール空間を形成する内周面１０ｂを備えている。
【００３０】
ハウジング１７は、例えば、マグネシウム合金等の金属材料を射出成形（メタル・インジェクション・モールディング又はチクソモールディング）して形成され、円筒状の側部１７ｂと、側部１７ｂの下端と一体に連続した底部１７ｃとを備えている。
【００３１】
スラストプレート２０は、低摩擦材、例えば樹脂材で形成され、ハウジング１７の底部１７ｃに配置される。
【００３２】
この実施形態の流体軸受装置１１は、上記の型成形により上端が開口した状態に形成されたハウジング１７に軸受スリーブ８およびシール部材１０を固定し、さらにスラストプレート２０および軸部材２を装着することによって組み立てることができる。
【００３３】
まず、軸受スリーブ８をハウジング１７の上端開口部から側部１７ｂの内周面に装着し、下側端面が底部１７ｃの内面と当接するまで推し進める。そして、その位置で、軸受スリーブ８を接着、圧入、レーザビーム溶接、高周波パルス接合等の適宜の手段でハウジング１７に固定する。つぎに、ハウジング１７の側部１７ｂの上端に樹脂製のシール部材１０を適宜の手段で固定する。この実施形態では、側部１７ｂの上端に環状のリブ１７ｂ１を形成すると共に、シール部材１０の端面に環状の凹部１０ａを形成し、凹部１０ａをリブ１７ｂ１に嵌合させた状態で、シール部材１０を側部１７ｂの上端に装着し、超音波溶着又は誘導加熱によって固着している。尚、シール部材１０の固着状態を強固ならしめるため、リブ１７ｂ１の内周面及び外周面のうち少なくとも一方にねじ状の凹凸やローレット加工等による凹凸を形成しておくのが好ましい。また、リブ１７ｂ１と凹部１０ａは相互に嵌合するものであれば、円周方向に非連続なものであってもよい。その後、ハウジング１７の底部１７ｃにスラストプレート２０を装着し、さらに軸部材２を軸受スリーブ８の内周面８ａに挿入して、その下側端面２ｂをスラストプレート２０の端面に接触させる。そして、シール部材１０で密封されたハウジング１７の内部空間に潤滑油を給油する。
【００３４】
図５は、他の実施形態に係る流体軸受装置２１を示している。この流体軸受装置２１は、ハウジング２７と、軸受スリーブ２８と、軸部材２２と、ハウジング２７の底部を構成する底部材２６を構成部品して構成される。
【００３５】
軸受スリーブ２８の内周面２８ａと軸部材２２の軸部２２ａの外周面２２ａ１との間に第１ラジアル軸受部Ｒ２１と第２ラジアル軸受部Ｒ２２とが軸方向に離隔して設けられる。また、軸受スリーブ２８の下側端面２８ｃと軸部材２２のフランジ部２２ｂの上側端面２２ｂ１との間に第１スラスト軸受部Ｓ２１が設けられ、底部材２６の端面２６ａとフランジ部２２ｂの下側端面２２ｂ２との間に第２スラスト軸受部Ｓ２２が設けられる。
【００３６】
軸部材２２は、例えば、ステンレス鋼等の金属材で形成され、軸部２２ａと、軸部２２ａの下端に一体又は別体に設けられたフランジ部２２ｂとを備えている。
【００３７】
軸受スリーブ２８は、例えば、焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする燒結金属の多孔質体で円筒状に形成される。
【００３８】
この焼結金属で形成された軸受スリーブ２８の内周面２８ａには、第１ラジアル軸受部Ｒ２１と第２ラジアル軸受部Ｒ２２のラジアル軸受面となる上下２つの領域が軸方向に離隔して設けられ、該２つの領域には、例えばヘリングボーン形状の動圧溝がそれぞれ形成される。尚、動圧溝の形状として、スパイラル形状や軸方向溝形状等を採用しても良い。
【００３９】
また、第１スラスト軸受部Ｓ２１のスラスト軸受面となる、軸受スリーブ２８の下側端面２８ｃには、例えばスパイラル形状の動圧溝が形成される。尚、動圧溝の形状として、ヘリングボーン形状や放射溝形状等を採用しても良い。
【００４０】
ハウジング２７は、例えば、マグネシウム合金等の金属材料を射出成形（メタル・インジェクション・モールディング又はチクソモールディング）して形成され、円筒状の側部２７ｂと、側部２７ｂの上端から内径側に一体に延びた環状のシール部２７ａとを備えている。シール部２７ａの内周面２７ａ１は、軸部材２２の外周面２２ａ１と所定のシール空間を介して対向する。尚、この実施形態では、シール部２７ａの内周面２７ａ１と対向してシール空間を形成する軸部材２２の外周面２２ａ１を、上方（ハウジング２７の外方向）に向かって漸次縮径するテーパ形状に形成している。
【００４１】
底部材２６は樹脂材料で形成され、ハウジング２７の側部２７ｂの下端に固定される。第２スラスト軸受部Ｓ２２のスラスト軸受面となる、底部材２６の端面２６ａには、例えばヘリングボーン形状の動圧溝が形成される。底部材２６を樹脂の射出成形で形成する場合、端面２６ａの動圧溝を成形と同時に形成（成形金型で転写）することができる。また、動圧溝の形状として、スパイラル形状や放射溝形状等を採用しても良い。尚、底部材２６のハウジング２７に対する固定は、図２に示す実施形態と同様の態様で行うことができる。あるいは、図３に示す実施形態と同様の態様で行うこともできる。
【００４２】
軸部材２２の軸部２２ａは軸受スリーブ２８の内周面２８ａに挿入され、フランジ部２２ｂは軸受スリーブ２８の下側端面２８ｃと底部材２６の端面２６ａとの間の空間部に収容される。また、シール部２７ａで密封されたハウジング２７の内部空間には潤滑油が給油される。
【００４３】
軸部材２２の回転時、軸受スリーブ２８の内周面２８ａのラジアル軸受面となる領域（上下２箇所の領域）は、それぞれ、軸部２２ａの外周面２２ａ１とラジアル軸受隙間を介して対向する。また、軸受スリーブ２８の下側端面２８ｃのスラスト軸受面となる領域はフランジ部２２ｂの上側端面２２ｂ１とスラスト軸受隙間を介して対向し、底部材２６の端面２６ａのスラスト軸受面となる領域はフランジ部２２ｂの下側端面２２ｂ２とスラスト軸受隙間を介して対向する。そして、軸部材２２の回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間に潤滑油の動圧が発生し、軸部材２２の軸部２２ａが上記ラジアル軸受隙間内に形成される潤滑油の油膜によってラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ２１と第２ラジアル軸受部Ｒ２２とが構成される。同時に、上記スラスト軸受隙間に潤滑油の動圧が発生し、軸部材２２のフランジ部２２ｂが上記スラスト軸受隙間内に形成される潤滑油の油膜によって両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２２をスラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｓ２１と第２スラスト軸受部Ｓ２２とが構成される。
【００４４】
尚、スラスト軸受部に動圧軸受を採用した流体軸受装置に対して、図４に示す実施形態に準じて、ハウジングの上端開口部に樹脂製のシール部材を固定する構成を適用することもできる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、より一層低コストで軽量な流体軸受装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る流体軸受装置を有するスピンドルモータの断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る流体軸受装置を示す断面図である。
【図３】図２に示す実施形態の変形例に係る流体軸受装置を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る流体軸受装置を示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る流体軸受装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１、１１、２１　　　　流体軸受装置
２、２２　　　　　　　　　　軸部材
７、１７、２７　　　ハウジング
８、２８　　　　　　　　　軸受スリーブ
Ｒ１、Ｒ２１　　　第１ラジアル軸受部
Ｒ２、Ｒ２２　　　第２ラジアル軸受部
Ｓ１、Ｓ２１、Ｓ２２　スラスト軸受部
６、２６　　　　　底部材
１０　　　　　　　シール部材
【図１】
2004028165.tif 000003
【図２】
2004028165.tif 000004
【図３】
2004028165.tif 000005
【図４】
2004028165.tif 000006
【図５】
2004028165.tif 000007