(57)【要約】      （修正有）【課題】電子回路、テレビ用のスクリーンなどの大形平面要素の測定、管理の精度と信頼性を高めた装置を得ること。【解決手段】装置は、上面に大形の平面要素２０を配列できる水平支持平面１７を有する固定台１１、第１の水平軸（Ｘ）に平行に配置された水平案内２１、２２、水平案内２１、２２上を摺動できる支持手段３０、支持手段３０上を第１の水平軸（Ｘ）に垂直な第２の水平軸（Ｙ）に沿って摺動できるスライダ５０、および水平支持平面１７に対して二つの直角方向（Ｘ−Ｙ）に摺動するためにスライダ５０に取付けられた測定、管理ユニット６０を備える。水平案内は、支持構造体３０の案内要素３７が内部に配置される第１の水平コンパートメントを形成するように、水平支持平面１７の一方の側に、第１の軸（Ｘ）と平行にかつ各々から一定の距離ｄのところに配置された少なくとも第１の対の案内バー２１を備えている。【選択図】図１
2004163399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に大形平面要素（２０）を配列できる水平支持平面（１７）を有する固定台（１１）、および第１の水平軸（Ｘ）に平行に配列された第１の案内（２１、２２）、前記第１の案内（２１、２２）上を摺動できる第１の支持手段（３０）、前記第１の支持手段（３０）上を前記第１の水平軸（Ｘ）に垂直な第２の水平軸（Ｙ）に沿って摺動できる第２の支持手段（５０）、前記水平支持平面（１７）に対して二つの直角方向（Ｘ−Ｙ）に摺動するために前記第２の支持手段（５０）に取り付けられた測定、管理ユニット（６０）を備え、前記第１の案内は、前記第１の支持手段（３０）のための案内手段（３７）が内部に配置される第１の水平コンパートメント（２８）を形成するように前記水平支持平面（１７）の一方の側に、前記第1の軸（Ｘ）と平行にかつ各々から限られた距離（ｄ）のところに配置された少なくとも第１の対のガイドバー（２１）を備えていることを特徴とする大形平面要素（２０）測定管理装置。
【請求項２】
前記案内手段は、前記第１の軸（Ｘ）に沿って前記第１の支持手段（３０）を動かす第１のモータ手段（３７）から成ることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記案内バー（２１）は各々前記第１の支持手段（３０）が第１の空気圧手段（３３）によって支持されている水平表面（２３）および前記水平コンパートメント（２８）内に配置された垂直表面（２６）を備えること、および第２の空気圧手段（４５）は、前記案内バー（２１）の二つの垂直表面（２６）から等距離に前記案内手段（３７）を保つので前記第１の支持手段（３０）の前記第１の軸（Ｘ）に沿った基準点を定めることができることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の案内はまた、前記第１の支持手段（３０）のための第２のモータ手段（３９）が内部に配置される第１の水平コンパートメント（２８）を形成するように前記水平支持平面（１７）の他方の側に前記第１の軸（Ｘ）と平行にかつ各々から一定の距離（ｄ）のところに配置された第２の対の案内バー（２２）を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一つに記載の装置。
【請求項５】
前記第２のモータ手段（３９）は、前記第２の水平コンパートメント（２９）内にゆとりをもって収容されていることを特徴とする請求項に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の支持手段は、両端部（３１、３２）に前記第１のモータ手段（３７）と前記第２のモータ手段（３９）がそれぞれ取付けられている事実上水平な構造体（３０）を備えることを特徴とする請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のモータ手段（３７）は、垂直ピン（４６）によって前記構造体（３０）の第１の端部（３１）に接続されて前記構造体（３０）が前記垂直ピン（４６）に対して自由に振動することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記垂直ピン（４６）と前記構造体（３０）の間に少なくとも一つの軸受（４７）が配置されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第２の支持手段は、摺動可能に前記構造体（３０）に取付けられて、第１のグループの空気圧パッド（５１）によって垂直に支持され、第２のグループの空気圧パッド（５２）によって、垂直に案内されたスライダ（５０）を備えることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１０】
前記二つのグループのパッド（５１、５２）は、垂直および水平の対向する力の完全なバランおよびそれに伴う前記構造体（３０）に対する前記スライダ（５０）の最適すべりを保証することができることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子回路、テレビ用のスクリーンなどの大形平面要素（１平方メートル以上もの）を測定、管理するための装置に関する。この装置は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）技術、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）技術または類似の技術によって液晶素子で作られるフラットスクリーンの製作に特に適用される。前記装置は、花崗岩構造体を有するブリッジが、第１の軸（Ｘ）に沿って摺動可能に取り付けられている固定台（花崗岩でできているのが好ましい）を備え、前記ブリッジには、スライダが第１の軸（Ｘ）に対して垂直な第２の軸（Ｙ）に沿って摺動可能に取り付けられ、前記スライダには、１平方ミリメートルにつき１，５００画素以上の範囲で高解像度を有するマトリックスを検査するために、レーザー光線読取装置とデジタル・ビデオカメラを備える高精度測定管理ユニットが取り付けられている。
【０００２】
【従来の技術】
大形の平面エレクトロニクス製品（例えばＴＦＴまたはＰＤＰ技術で作られるテレビのフラットスクリーンなど）を測定、管理する装置が水平支持面を備え、かつスライダに取付けられた適当な検出ユニットによって、２５μごとに１行または列の範囲にあり上述のフラットスクリーンに特有の高解像度マトリックス内にありうる誤差または異常を検出するために、水平で互いに直角な２本の軸（Ｘ−Ｙ）に沿って、最高の精度で動くことができるスライダを設けられなければならないことは周知である。
【０００３】
そのようなフラットスクリーンは、横方向の大きさが１メートル以上あるので、管理されるスクリーンの異なる行と列の間の平行度のありうる誤差を検出するために、前記スライダは必然的に２本の水平軸（Ｘ−Ｙ）に対して非常に正確な方向を維持しなければならないこともまた周知である。
【０００４】
周知の装置は、台とともに可動ブリッジを有し、表面に複数の金属要素を互いに溶接して作られた金属構造体からなるスライダが摺動可能に取り付けられている。これは前記構造体をあまり安定でなく、主に温度の差による変形と引伸しを受け易くするので、事実、従来の技術の場合、スライダおよびそれに関連の測定管理ユニットの非常に正確な動きを得ることは非常に不確実で予測できない。
【０００５】
従って、製品の測定および管理は不正確であまり信頼性が高くなく、品質管理において不完全な製品が受け入れられるかまたは良好な製品が誤って拒絶されるという危険を伴う。
【０００６】
出願人は、これらの欠点を克服して、その他の利点を得るために、本発明による装置を考案して具体化した。
【０００７】
本発明による大形の平面要素を測定、管理する装置は、主請求項に記載されて特徴づけられ、一方、従属請求項は本発明のその他の革新的な特性を記載している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、１平方メートル以上の大形平面要素、例えば電気回路またはテレビ用のフラットスクリーンなどを測定、管理する装置で、数ミクロンの許容誤差の範囲の作業で行われた検査における誤差率を最低限に低減するために、数メートル以上の距離に沿って大きな精度と信頼性で測定、管理をすることを可能にする装置を達成することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この目的に従って、本発明による装置が測定または管理される平面要素を表面に配置することができる水平支持平面を有する固定台および第１の水平軸（Ｘ）に平行に配置された第１の案内を備える。該装置はまた、前記第１の案内上を摺動可能な第１の支持手段および前記第１の支持手段上を前記第１の水平軸（Ｘ）に垂直な第２の水平軸（Ｙ）に沿って摺動可能な第２の支持手段を備える。測定管理ユニットが前記水平支持平面に対して二つの直交する方向（Ｘ−Ｙ）に摺動できるように前記第２の支持手段に取付けられる。第１の案内は、前記第１の支持手段のための案内手段が内部に配置される第１の水平コンパートメントを形成するように、前記水平支持平面の一方の側に、前記第1の軸（Ｘ）に平行で、互いから一定の距離（ｄ）のところに配列された少なくとも第１の対のバーを備えるのが好ましい。
【００１０】
前記案内手段は、前記第１の支持手段に対する第１のモータ手段から成るのが好ましい。
【００１１】
各案内バーは、前記第１の支持手段が表面に第１の空気圧手段によって一端で支持される水平表面および前記第１の水平コンパートメント内に配置された垂直表面を備える。さらに、第２の空気圧手段が前記案内手段を前記案内バーの二つの垂直表面から等距離に保つので、第２の軸（Ｙ）に沿った正確な基準点を定めることができる。
【００１２】
前記第１の案内はまた、前記第１の支持手段のための第２のモータ手段が内部に配置される第１の水平コンパートメントを形成するように前記水平支持平面の他方の側に前記第１の軸（Ｘ）と平行にかつ各々から一定の距離（ｄ）のところに配置された第２の対の案内バー（２２）を備える。前記第２のモータ手段は、第１のモータ手段と異なり、前記第２の水平コンパートメント内にゆとりをもって収容されている。
【００１３】
花崗岩構造体からなるのが好ましい第１の支持手段は、したがって、支持平面の一方の縁だけに沿って横に案内され、対向縁の方へ自由に膨張できる。
【００１４】
さらに、第１のモータ手段はピンによって前記構造体の対応する端部に接続されるので、後者は、対応している垂直表面に対して妨害する空気圧パッドなしで、前記ピンに対して自由に振動できる。
【００１５】
【発明を実施する態様】
図１と２を参照すると、本発明による大形平面要素を測定・管理する装置１０が長さ約２．５ｍ、幅約３ｍおよび高さ約１ｍの固定台１１を備えている。固定台１１は、いくつかが水平にその他が垂直に配列された複数の花崗岩プレート（例えば黒アフリカ花崗岩）で作られ、例えば、本願出願人が２００２年６月１１日に出願した産業発明の特許出願ＵＤ２００２Ａ０００１３１に記載されているような、箱状構造体（固くて事実上変形しない）を形成するために接着剤または周知の形式の機械式取付け要素によって結合されている。
【００１６】
より正確に言えば、固定台１１は、測定、管理されるすべての平面要素２０を載せることができる例えばガラス製の水平支持平面１７を支持する二つの水平ブラケット１５と１６が上に取り付けられている二つの垂直支柱１２と１３を備えている。
【００１７】
固定台１１はまた、片方に配列された２本の水平バー（すなわち目盛り付き棒）２１および支持平面１７の反対側にかつ軸Ｘに平行に配列された２本の水平バー（すなわち目盛り付き棒）２２を備える。バー２１と２２は、また、花崗岩で作られている。
【００１８】
バー２１と２２は、互いに平行な二つの水平コンパートメント２８と２９を形成するそれぞれ水平上表面２３と２５および内側垂直表面２６と２７を持つように形作られている。各コンパートメント２８と２９の垂直表面２６と２７の間の距離「ｄ」（図５）は、一定で約１２５ｍｍに等しい。
【００１９】
事実上水平で花崗岩でできているブリッジ構造体３０（図１、２および３）は、第２の軸Ｙに平行に、軸Ｘに垂直にバー２１と２２によって形成された固定台１１の水平案内上を摺動できる。
【００２０】
ブリッジ構造体３０は、周知の形式で、端部３１、３２とバー２１、２２の上側表面２３、２５の間に空気クッションをもたらすことができる空気圧パッド３３と３５を設けられている。
【００２１】
コンパートメント２８と２９には、それぞれ周知の形式（例えば２００１年１２月１４日に本出願人によって出願された特許出願ＵＤ２００１Ａ０００２０８およびＵＤ２００１Ａ０００２０９に記載された形式）の２台のリニアモータ３７および３９が配置されている。より正確には、モータ３７および３９は、それぞれブリッジ構造体３０の端部３１および３２の下側部分に取付けられ、固定台１１に取り付けられた固定要素４０および４１とそれぞれ協動できる。
【００２２】
本発明の特徴によれば、ブリッジ構造体３０の二つの端部のうちの一つだけ（この場合端部３１）がモータ３７を二つの垂直表面２６から等距離に保って対応するコンパートメント２８内を完全に案内する空気圧パッド４５（図３と５）を設けられている。モータ３７は、したがって、バー２１に対してブリッジ構造体３０のための案内手段として働く。
【００２３】
これに反して、モータ３９は対応するコンパートメント２９（図３）内に十分なゆとりをもって収容されている。このように、軸Ｘに沿って摺動する能力が常に保証されるように、ブリッジ構造体３０（長さ数メートル）のすべての可能な熱体積膨張が端部３２と対応するバー２２のカップリングに悪い影響を及ぼさない。
【００２４】
さらに、本発明のもう一つの特徴によれば、モータ３９が対応する端部３２に取り外し可能な方法で取り付けられているが、モータ３７は垂直ピン４６と二つの軸受４７によって端部３１に取付けられている。このようにして、ブリッジ構造体３０は、反体端部に配置されたモータ３９を損なうことなく、ピン４６に対して数度だけ自由に振動する。
【００２５】
二つのリニアモータ３７および３９のアラインメント並びに軸Ｙに対するブリッジ構造体３０の平行度の維持は、コンパートメント２８と２９内に配置されて、図面に示されていない周知の形式のリニア位置検出器によって生成される電気信号によって周知のようにして生ずるモータ３７と３９の制御によって電子的に保証される。
【００２６】
ブリッジ構造体３０（図１，４およびお６）上には、軸Ｙに沿って摺動可能で、第１のグループの空気圧パッド５１によって垂直に支持され、やはり周知の形式の第２のグループの空気圧パッド５２によって垂直に案内されるスライダ５０が取付けられている。
【００２７】
パッド５１と５２のグループは、例えば垂直と水平の対向する力の完全なバランスおよびそれに伴うブリッジ構造体３０に対するスライダ５０の最適すべりを保証するほどのものである。
【００２８】
周知の形式の測定管理ユニット６０がスライダ５０上に取り付けられ、例えばレーザー光線読取装置６１と一つ以上のデジタル・ビデオカメラ６２を使用している。
【００２９】
スライダ５０および関連の測定管理ユニット６０の軸Ｙに沿った変位は、また周知の形式の、図示されていないリニアモータによって得られる。
【００３０】
リニアアクチュエータ６４が測定管理ユニット６０を支持平面１７に近づけるかまたはそれから遠ざけるように、測定管理ユニット６０の垂直変位を命令するためにスライダ５０に取付けられている。可撓管６５が測定管理ユニット６０をスライダ５０に接続する。
【００３１】
これまで説明したような装置１０に改造および部品の追加を本発明の分野と範囲から逸脱することなく行えることは明らかである。
【００３２】
本発明を特定の例に関して説明したが、当業者が大形平面要素を測定、管理する装置でその全てが本発明の範囲の中に入る多くの他の等価な形態を達成することが確かに可能であろうこともまた明白である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による大形平面要素を測定、管理する装置の平面図である。
【図２】図１内に装置の固定台の正面図である。
【図３】図１内に装置の詳細の拡大正面図である。
【図４】図１の平面図の拡大詳細図である；
【図５】図３の拡大詳細図である；
【図６】図３の線VI-VIに沿った拡大断面図である。
【符号の説明】
１１                  固定台
２０                  平面要素
２１，２２            案内バー
３０                  ブリッジ構造体
３７，３９            リニアモータ
４５，５１，５２        空気圧パッド
５０                  スライダ
６０                  測定管理ユニット
【図１】
2004163399.tif 000003
【図２】
2004163399.tif 000004
【図３】
2004163399.tif 000005
【図４】
2004163399.tif 000006
【図５】
2004163399.tif 000007
【図６】
2004163399.tif 000008
【外国語明細書】
2004163399.tif 000009
2004163399.tif 000010
2004163399.tif 000011
2004163399.tif 000012
2004163399.tif 000013
2004163399.tif 000014
2004163399.tif 000015
2004163399.tif 000016
2004163399.tif 000017
2004163399.tif 000018
2004163399.tif 000019
2004163399.tif 000020
2004163399.tif 000021
2004163399.tif 000022
2004163399.tif 000023
2004163399.tif 000024
2004163399.tif 000025
2004163399.tif 000026
2004163399.tif 000027
2004163399.tif 000028
2004163399.tif 000029
2004163399.tif 000030
2004163399.tif 000031
2004163399.tif 000032
2004163399.tif 000033
2004163399.tif 000034
2004163399.tif 000035
2004163399.tif 000036
2004163399.tif 000037
2004163399.tif 000038
2004163399.tif 000039
2004163399.tif 000040