(57)【要約】【課題】本発明は、絶縁体あるいは光導電体の表面状態をプローブ走査で評価する際短時間にかつ正確な２次元分布図が得られる表面電位計測方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の表面電位計測方法によれば、電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後、電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と電位計測ユニットの走査方向の位置データとに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する。【選択図】　　　　図３
2004028873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体あるいは光導電体の膜が形成された円筒状の被測定対象物の表面を帯電し、被測定対象物の軸方向の長手方向に走査させる電位計測ユニットにより被測定対象物の表面の電位を計測する表面電位計測方法において、
前記電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後、前記電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と前記電位計測ユニットの走査方向の位置データとに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成することを特徴とする表面電位計測方法。
【請求項２】
前記電位計測ユニットが計測した信号を前記電位計測ユニットの走査位置情報に同期した信号をトリガとして逐一サンプリングする請求項１記載の表面電位計測方法。
【請求項３】
Ｎ（Ｎは正の整数）回目のユニット等速度走査中、予め組み込まれた判定基準よりはずれた電位を計測したとき、数値Ｎと判定基準外信号検出時のサンプリング数Ｍを記憶し、ドラム全周の走査測定後ドラム周方向に関して繰り返し数Ｎの位置、軸方向に関してサンプリング数Ｍ（Ｍは正の整数）に対応する位置近傍を、サンプリング周波数を高め、かつ周方向への移動ピッチを小さくして走査測定する請求項１記載の表面電位計測方法。
【請求項４】
絶縁体あるいは光導電体の膜が形成された円筒状の被測定対象物の表面を帯電し、電位計測ユニットを被測定対象物の軸方向の長手方向に走査させ、前記電位計測ユニットにより被測定対象物の表面の電位を計測する表面電位計測装置において、
前記電位計測ユニットの走査速度が等速度になったことを検出する等速度検出手段と、
等速度で走査される前記電位計測ユニットの位置を示す位置データを検出する位置データ検出手段と、
前記等速度検出手段により前記電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後前記電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と、前記位置データ検出手段によって検出される前記位置データを記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶されたサンプリングのポイント数及び前記位置データに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する電位分布特性作成手段と
を有することを特徴とする表面電位計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表面電位計測方法及びその装置に関し、詳細には絶縁体あるいは光導電体の表面の電位を計測する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子写真分野で使用される有機感光体ドラムを例にとると、従来ドラム表面全体における問題、例えば、塗工時のゴミ混入による塗膜欠陥、塗工上の問題による膜厚ムラ、等を非破壊、非接触で知るために、人の目による外観検査、ＣＣＤラインセンサあるいはＣＣＤカメラを利用し画像処理で検査する方法等が知られている。この方法は、ピンホール、付着したゴミ等の検出にはよいが、電子写真プロセスで使われる際に感光体に必要となる電子写真特性、例えば帯電特性が場所により異ならないかどうか、等の情報を得ることができない。そこで、電子写真プロセスの帯電方式で直接ドラム表面全体を帯電させ、表面電位を計測し、表面全体の電位分布図を作り電子写真特性を把握する方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の方法によれば、絶縁体あるいは光導電体表面電位の計測から感光体表面全体の分布図をつくる場合、電子写真特性を測定するのに一般的に使用される市販の表面電位計では、測定対象との距離が２ｍｍで検出範囲が１０〜１５ｍｍφ程度あるため、この表面電位計プローブを使用して１直線の帯電電位計測を繰り返し、それをつないだ分布図を作っても空間分解能の点で微細な欠陥検出などには使用できない。
【０００４】
一方で、測定対象との距離を０．５ｍｍ程にすると検出範囲が３ｍｍφ程度になり、測定目的によっては在市販の表面電位計であっても有意なデータ採取が可能であることが分かった。しかし、その場合走査方向ではデータサンプリングの周波数を上げて、データの空間分解能（サンプリング数／単位長さ）を上げる必要がある。このようにして得られたサンプリングデータを並べて２次元電位分布のグラフを作ることになるが、サンプリングデータにおいてある位置から数えたポイント数が測定対象上の空間的位置との対応づけが不正確であると、得られる２次元分布図が不正確となってしまう。例として、等速度Ｖで走査することにしたとき、走査開始時の速度０から目標速度Ｖまでは速度が変化しており、Ｖに到達したとき若干のオーバーシュートがあることもあり、等速度Ｖに到達するまでの時間（Ｖで安定する時間）が異なることがある。また、走査開始時の位置が機械精度の点から若干ずれることがある。このとき走査開始時からデータのサンプリングを開始し、全走査データをサンプリング開始のポイント（１ポイント目のこと）を揃えて並べても空間的な位置が揃わないことになる。更に、ドラム表面全体の電位分布を測定することは大量のデータを扱うことになるが、特に欠陥検出を目的としたときには周方向での移動ピッチを小さくする必要があり、走査回数が通常に比較して１０〜１００倍増えることもあり、計測処理及びデータ処理に時間がかかる。
【０００５】
本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、絶縁体あるいは光導電体の表面状態をプローブ走査で評価する際短時間にかつ正確な２次元分布図が得られる表面電位計測方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、本発明の表面電位計測方法は、絶縁体あるいは光導電体の膜が形成された円筒状の被測定対象物の表面を帯電し、電位計測ユニットを被測定対象物の軸方向の長手方向に走査して被測定対象物の表面の電位を計測するが、電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後、電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と、電位計測ユニットの走査方向の位置データに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する。よって、得られたサンプリングデータを空間的な位置を揃えて並べることが可能となり、短時間にかつ正確な２次元分布図が得られる。
【０００７】
また、電位計測ユニットが計測した信号を電位計測ユニットの走査位置情報に同期した信号をトリガとして逐一サンプリングすることにより、空間的な位置情報に基づき表示することが容易かつ正確に行うことができる。
【０００８】
更に、Ｎ（Ｎは正の整数）回目のユニット等速度走査中、予め組み込まれた判定基準よりはずれた電位を計測したとき、数値Ｎと判定基準外信号検出時のサンプリング数Ｍ（Ｍは正の整数）を記憶し、ドラム全周の走査測定後、ドラム周方向に関して繰り返し数Ｎの位置、軸方向に関してサンプリング数Ｍに対応する位置近傍を、サンプリング周波数を高め、かつ周方向への移動ピッチを小さくして走査測定する。よって、微小欠陥検出が可能となり、かつ計測処理及び計測データの処理時間に大幅な増加のない計測方法を提供できる。
【０００９】
また、別の発明としての表面電位計測装置は、電位計測ユニットの走査速度が等速度になったことを検出する等速度検出手段と、等速度で走査される電位計測ユニットの位置を示す位置データを検出する位置データ検出手段と、等速度検出手段により電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と、位置データ検出手段によって検出される位置データを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶されたサンプリングのポイント数及び位置データに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する電位分布特性作成手段とを有する。よって、正確な２次元分布図が得られる表面電位計測装置を提供できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の表面電位計測方法によれば、電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後、電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と電位計測ユニットの走査方向の位置データとに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する。
【００１１】
【実施例】
はじめに、本発明の計測方法の原理について説明する。本発明は円筒状の絶縁体あるいは光導電体において軸方向の一端を開始点として表面をスキャンしながら帯電し、場合によっては露光し、その直後の電位を計測し、他端に到達後帯電をＯＦＦにし、場合によっては露光をＯＦＦにし、開始点に戻り、円筒状の被測定対象物を円周方向に所定ピッチだけ移動させ、上記動作を繰り返し、表面全体の電位分布データを得て、測定対象の全表面にわたる表面状態の情報を得ようとするものである。また、走査開始後、電位計測プローブの走査速度が等速度になったことを検知し、その後電位計測信号のサンプリングポイント（以下基準点と称す）とこれに対応する位置のデータを１組みとし、１組以上のデータを記憶装置に記憶するようにしたものである。更に、走査ユニットの走査速度が一定になったことを検知する手段が走査ユニットの外部に固定設置されているため、検出した時点のユニットのドラム軸方向での位置がいつでも同じであるようにしたものである。また、記憶された位置データが被測定対象物上の位置データに置き換えられたものにしたものである。更に、Ｎ（Ｎは正の整数）回目のユニット等速度走査中、予め組み込まれた判定基準よりはずれた電位を計測したとき、数値Ｎと判定基準外信号検出時のサンプリング数Ｍを記憶し、ドラム全周の走査測定後、ドラム周方向に関して繰り返し数Ｎの位置、軸方向に関してサンプリング数Ｍ（Ｍは正の整数）に対応する位置近傍を、サンプリング周波数を高め、かつ周方向への移動ピッチを小さくし、走査測定するようにしたものである。
【００１２】
なお、本発明で使われる表面電位計は電子写真プロセス分野で通常使用されるものを想定しているが、これより、空間分解能の高いもの（＝検出範囲が狭いもの）であればさらに好ましい。
【００１３】
このような走査型の評価方法では、走査速度は一定にして行われるが、走査開始から一定速度に到達するまでの時間にバラツキが生じると、走査開始と同時にサンプリングを開始したデータポイントと走査方向の空間位置との対応にズレが生じ、収録されたサンプリングデータを並べて２次元電位分布図を作成したとき不正確なデータになってしまう。これを防ぐため、走査速度が所定の速度に達したことを検出し、その後のある時刻におけるサンプリングデータのポイント数、例えばいくつ目のデータを、サンプリング時点のユニットの位置データと共に記憶装置に記憶するようにし、この位置データの情報を基準にして並べると空間的に正確な２次元電位分布図を得ることができる。
【００１４】
ここで、等速度になったことを検知する方法としては走査ユニットを移動させるモータドライバの速度制御機能を使い、指定された速度条件毎に加速度が異なることになるが予め所定の速度に達するまでの時間を設定しておき、この時間で等速度になったことを検出する方法がある。これは検出方法がユニットと一体となった方法といえる。ただし、この場合は加速度の条件設定によっては所定の速度に到達する際、オーバーシュート等があり、所定の速度に安定して到達する時間は必ずしも一定とならないことがある。すなわち、所定の速度に達する時間を設定しても、走査開始から毎回、同じ時間で所定速度に達するとは限らない。従って走査ユニットによるデータのサンプリングが走査開始から行われると、一定時間になったとき、走査方向におけるユニットの位置とサンプリングポイントとの対応が毎回異なり、サンプリングデータを並べて２次元分布図を作成する際、表面状態について不正確な情報を与えることになる。従って、設定した時間＋αを加味した時間を一定速度になる時間とする必要がある。その上で、一定速度に到達した後の特定のサンプリングポイントとそのときの位置データが分かれば、これを基準にして並べることで、正確な２次元分布図を得ることができる。なお、一定速度に到達したことを検出する方法としては、上記以外にも、フィルムスケール（市販品）を走査ユニットに貼り付け、これを光ピックアップで読み取り速度を検出するという光ドップラー効果を利用した移動体の線速測定器（市販品）の利用等もある。位置データの検出にはモータ駆動の場合、モータドライバのパルスカウンタからの出力値で移動距離を知ることができる。
【００１５】
また、等速度で移動する走査ユニットの移動距離を検出する方法として、上述の如くモータドライバのバルスカウンタ値を利用する方法に対し、ここでは移動する走査ユニットと独立してユニット位置を検出する機構を固定設置し、利用する方法がある。この機構としては発光素子と受光素子が対をなして一体となったデバイスを用意し、ユニットに付けられた薄い遮蔽版を発光素子と受光素子の間を通過させ、このときの信号を検出することで、位置を検出する方法が考えられる。一般的に機械的な機構には必ず「あそび」があり、機械的な設計精度はパルスのような電気信号の精度に比較し劣る。すなわち走査ユニットが走査開始点に戻った時、この位置が僅かであるが、異なることがある。走査開始の位置に違いがあればモータドライバのバルスカウンタ値を利用する方法では移動距離は分かっても、絶対的な位置が正確でなくなる。これに対し、外部に検出機構を固定設置するこの方法では、評価装置内の任意に設定した原点に対するこの検出機構の位置が分かっているので、上記のような走査開始位置のバラツキがあっても、走査ユニットの走行を検出すると、この位置を通過したときのサンプリングデータをこの位置を基準に並べると、より精度の高い２次元分布図が得られる。また、この方法では移動距離を算出する必要はなく、ユニットが「位置検出機構」を通過したかどうかの信号検出だけで済む。
【００１６】
更に、絶縁体あるいは光導電体の膜が形成された円筒状ドラムの周囲に少なくとも帯電、露光、電位計測プローブの各ユニットがドラム軸方向に並列に１組を成して、ドラム軸方向に帯電及び露光をし、かつ電位計測をしつつ走査され、他端に到達したところで帯電及び露光がＯＦＦされ、走査開始点に戻り、次にドラムを周方向に所定量だけ移動させ、前回とは異なる位置で上記動作を繰り返すように配置・構成された装置にあって、電位計測プローブの計測した電位信号を走査ユニットの位置情報に同期した信号をトリガとして逐一サンプリングするようにした方法である。走査方向の位置情報に同期した信号としては走査ユニットを軸方向に移動させるモータとしてパルスモータを使用すると、駆動させるパルス列を利用することができる。仮に１００パルスで０．１ｍｍ軸方向に進行するように設計されているとき、１００パルスに一度トリガパルスを出すようにし、これを電位計測信号のサンプリングのトリガとして、逐一サンプリングするようにすると、０．１ｍｍ移動毎のデータサンプリングが可能になる。この方法では走査ユニットの走査速度が０から所定の速度まで加速中であっても、位置情報とサンプリングデータの対応がずれることはない。走査開始点、あるいは走査途中のある一点における位置情報データとこの位置でのサンプリングデータを記憶するようにし、毎回の走査毎にこの一組のデータを記憶するようにすると、そしてこの位置情報データを評価装置内の絶対座標位置と対応させることで、容易にかつ正確なドラム上の位置に対する２次元分布図を得ることができる。
【００１７】
次に、以上説明した表面電位計測方法を実現する計測装置の構成について説明する。
図１は本発明の一実施例に係る表面電位計測装置に用いる走査ユニットの構成を示す正面図である。図２は本実施例の表面電位計測装置を用いた計測の様子を示す図であり、図２の（ａ）は平面図、図２の（ｂ）は側面図である。図１に示す走査ユニット１０は、スコロトロン帯電器１１、露光器１２、表面電位計プローブ１３及び除電ＬＥＤ１４を含んで構成されている。そして、スキャン方向に向かって、表面電位計プローブ１３、露光器１２、スコロトロン帯電器１１、除電ＬＥＤ１４の順に一列に並んで配列されている。図２において、被測定対象物である電子写真用感光体２１の両端にドラム長延長治具２２を嵌入又は嵌着し、更に各ドラム長延長治具２２をドラムチャック治具２３でチャッキング状態にして固定させる。そして、走査ユニット１０は電子写真用感光体２１の軸方向における長手方向の表面に沿って走査する。ここで、表面電位計プローブ１３はトレックジャパン（株）のモデル３４４、プローブはモデル５５５Ｐ−４を使用した。
【００１８】
また、図１及び図２に示すような走査ユニットを搭載させた評価装置の構成を図３に示す。同図において、評価装置は、走査ユニット走行用モータ３１、モータドライバ３２、モータドライバ用パルス列の分周回路３３、電位計測プローブ用ケーブル３４、電位計測本体３５、Ａ／Ｄ変換器３６、ＰＣ３７、ディスプレイ３８、外付け位置検出ユニット３９及び遮蔽板４０を含んで構成されている。また、評価装置内には座標軸４１が設けられており、当該座標軸４１にはホームポジション４２、外付け位置検出ユニット３９の固定位置座標４３、電子写真用感光体２１の端部位置座標４４が設けられている。なお、走査ユニット１０に設けられたスコロトロン帯電器１１はスコロトロン方式のコロナ帯電であり、露光器１２にはＯＮ時ハロゲンランプ光源から光ガイドにより導かれた光がバンドパスフィルタ６３３ｎｍを透過した単色光としたものを用いた。除電ＬＥＤ１４は赤色の６６０ｎｍのＬＥＤを使用した。走査ユニット１０を軸方向にスキャンする速度は１００ｍｍ／ｓにした。データのサンプリングクロックは１０００Ｓ／ｓとした。グラフ表示において、データを半分に間引いているものもある。走査速度は０．７ｓで所定の速度に達するように設定されている。使用したドラムは３３４ｍｍ長の６０ｍｍφの感光体ドラムを使用した。測定においては片端より長さの２／３程度とした。感光体は計測前に軸方向中央部およそ１５０ｍｍの幅で帯電露光を繰り返し、帯電特性の劣化したサンプルを用いた。これは本発明で問題としていることが現れやすいためである。走査ユニットの走行はパルスモータを使い、復路は往路で使用されたパルス数だけ使い走行した。周方向の測定回数は周長１８８．５ｍｍに対し、２ｍｍピッチで測定を９５回繰り返し、２回目から９５回目の９４走査回数のデータを使用した（グラフ中のＹ軸に対応）。データ集録はＰＣとＡ／Ｄ変換カード、サンプリングデータの２次元分布図作成には市販ソフト「ＨｉＱ」（日本ナショナルインスツルメンツ（株））を使用した。Ａ／Ｄ変換カードによりＰＣに取り込まれたサンプリングデータは表計算ソフトのシート上に展開され、測定が終了すると、オペレータの操作で表計算ソフトから分布図作成用ソフトを呼び出し、データを渡し、分布図作成のためのスクリプトを実行するようにし、分布図表示までは自動実行されるようにした。
【００１９】
なお、電位データ、バイアスデータは負極性であるが、グラフ中、説明文中では絶対値にして表示している。
【００２０】
（具体例１）
具体例１は、上記条件で感光体を帯電しなが走査した。走査ユニットの走査開始と同時に電位データのサンプリングを開始した。走査開始１．０ｓ後に走査ユニットを走行させるパルスモータドライバより、スタート開始からのパルスの累積数を取り込み、これをサンプリングのポイントデータと共に記憶するようにした。９４回の走査すべてで同様のことを実施した。
結果は以下の表１のようであった。
【００２１】
【表１】
2004028873.tif 000003
【００２２】
これより、２３回目と６２回目の走査データはサンプリングポイントでみると、１０１５ポイントが６５ｍｍ位置のデータであり、このデータを他の走査データにおける１０００ポイントデータに合わせて並べると良いことがわかる。そのようにして並べた分布図を図４に示した。
【００２３】
（比較例１）
比較例１は、位置データを取り込まず、走査ユニットの走査開始と同時に電位データのサンプリングを開始した。すべての走査が終了した後、走査開始から１．０ｓ以前のデータは破棄し、残りのデータを順次並べて２次元分布図を作成したところ、図５及び図６のようになった（図中の丸印）。明らかにデータの位置が揃っていない走査データがあり、不正確な分布図になることが分かる。
【００２４】
（具体例２）
具体例２は、上記具体例１と同様にし、かつ位置検出器をホームポジションより１００ｍｍの位置に設置した。位置検出器はＬＥＤ発光素子と受光素子が対になった素子間に遮蔽板が入ったところで検出信号（パルス）が出力するようになっている。検出信号はすべて同じ出力位置６５ｍｍのものだった。このときのサンプリングポイントは走査回数毎に数ポイントから１０数ポイントずれる回数が複数回あった。この６５ｍｍの位置を基準に走査データを並べたものは比較例１のようなズレもなく正確な分布図であった。
【００２５】
（具体例３）
具体例３は、走査ユニットの走行開始と同時に走査ユニットを走行させるパルスモータドライバのパルス列を使い、１００パルス毎に１パルスが発生するようにし、これをＡ／Ｄ変換器のサンプリングトリガとして逐次電位データを取り込むようにした。走査ユニットの復路は往路で発生されたパルス数だけ発生させて戻り、戻ったところで、一旦、ホームポジションの検出器を通り過ぎ、その後即戻り、ホームポジションを再度検出して停止する、ホームポジション検出の動作がはいるようにした。このようにして収録されたデータは、サンプリングポイントの１番から揃えて並べ、分布図を作成したところ正確な分布図であった。
【００２６】
（具体例４）
具体例４は、測定サンプルとして、アルミ蒸着ＰＥＴフィルム（厚み７５μｍ）に１．０ｍｍφ、０．８ｍｍφ、０．６ｍｍφ、０．５ｍｍφ、０．４ｍｍφ、０．３ｍｍφの孔を貫通させ、アルミ面を上にして３０ｍｍφ、３４０ｍｍ長のアルミドラムに巻き付けた。前記の孔は軸方向に並ぶようにした。このフィルムに１００Ｖのバイアスを印加して、１００Ｖに帯電した感光体表面に０Ｖまでリークしたピンホールに相当する疑似ピンホールをつくった。この表面を軸方向０．１ｍｍのサンプリング分解能、周方向１ｍｍピッチで走査データを得た。周方向１ｍｍピッチは、表面電位計とサンプル表面との距離０．５ｍｍのとき電位計の検出エリアが３ｍｍφ程度であることから決めた。途中の走査で図７に示す如きデータが得られたとき、このときの走査回数、電位ドロップ部のサンプリングポイントを記憶し、１周の走査が終了した後、この位置に戻り、電位ドロップ部周辺を軸方向０．０５ｍｍピッチで１０ｍｍの範囲、周方向０．１ｍｍピッチで５ｍｍの範囲をサンプリングし、図８のような分布図（ピンホール１．０ｍｍφ、サンプリング分解能０．０５ｍｍ×０．１ｍｍ）が得られた。最初の１周の走査に約１０分を要した。その後、ピンホール部の測定に１カ所あたり約５分を要した。これに対し、当初より軸方向０．０５ｍｍピッチ、周方向０．１ｍｍピッチでサンプリングした場合、９６分を要した。このように従来の方法に比して大幅に時間を短縮することができた。
【００２７】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面電位計測方法は、絶縁体あるいは光導電体の膜が形成された円筒状の被測定対象物の表面を帯電し、電位計測ユニットを被測定対象物の軸方向の長手方向に走査して被測定対象物の表面の電位を計測するが、電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後、電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と、電位計測ユニットの走査方向の位置データに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する。よって、得られたサンプリングデータを空間的な位置を揃えて並べることが可能となり、短時間にかつ正確な２次元分布図が得られる。
【００２９】
また、電位計測ユニットが計測した信号を電位計測ユニットの走査位置情報に同期した信号をトリガとして逐一サンプリングすることにより、空間的な位置情報に基づき表示することが容易かつ正確に行うことができる。
【００３０】
更に、Ｎ（Ｎは正の整数）回目のユニット等速度走査中、予め組み込まれた判定基準よりはずれた電位を計測したとき、数値Ｎと判定基準外信号検出時のサンプリング数Ｍ（Ｍは正の整数）を記憶し、ドラム全周の走査測定後、ドラム周方向に関して繰り返し数Ｎの位置、軸方向に関してサンプリング数Ｍに対応する位置近傍を、サンプリング周波数を高め、かつ周方向への移動ピッチを小さくして走査測定する。よって、微小欠陥検出が可能となり、かつ計測処理及び計測データの処理時間に大幅な増加のない計測方法を提供できる。
【００３１】
また、別の発明としての表面電位計測装置は、電位計測ユニットの走査速度が等速度になったことを検出する等速度検出手段と、等速度で走査される電位計測ユニットの位置を示す位置データを検出する位置データ検出手段と、等速度検出手段により電位計測ユニットの走査速度が等速度になった後電位計測ユニットから出力される電位計測信号のサンプリングのポイント数と、位置データ検出手段によって検出される位置データを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶されたサンプリングのポイント数及び位置データに基づいて被測定対象物の電位分布特性を作成する電位分布特性作成手段とを有する。よって、短時間にかつ正確な２次元分布図が得られる表面電位計測装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る表面電位計測装置に用いる走査ユニットの構成を示す正面図である。
【図２】本実施例の表面電位計測装置を用いた計測の様子を示す図である。
【図３】走査ユニットを搭載させた評価装置の構成を示す概略図である。
【図４】具体例１による２次元表面電位分布を示す図である。
【図５】比較例１による２次元表面電位分布を示す図である。
【図６】比較例１による２次元表面電位分布を示す図である。
【図７】具体例４による１次元電位分布を示す図である。
【図８】具体例４による疑似ピンホールの電位分布を示す図である。
【符号の説明】
１０；走査ユニット、１１；スコロトロン帯電器、１２；露光器、
１３；表面電位計プローブ、１４；除電ＬＥＤ、
２１；電子写真用感光体、２２；ドラム長延長治具、
２３；ドラムチャック治具、３１；走査ユニット走行用モータ、
３２；モータドライバ、３３；分周回路、
３４；電位計測プローブ用ケーブル、３５；電位計測本体、
３６；Ａ／Ｄ変換器、３７；ＰＣ、３８；ディスプレイ、
３９；外付け位置検出ユニット、４０；遮蔽板、
４１；座標軸、４２；ホームポジション、４３；固定位置座標、
４４；端部位置座標。
【図１】
2004028873.tif 000004
【図２】
2004028873.tif 000005
【図３】
2004028873.tif 000006
【図４】
2004028873.tif 000007
【図５】
2004028873.tif 000008
【図６】
2004028873.tif 000009
【図７】
2004028873.tif 000010
【図８】
2004028873.tif 000011