(57)【要約】【課題】把持装置の把持部内で薄板材料の外縁部を挟み込むとともに、把持部からの吸引力により薄板材料の外縁部を吸引することを目的とする。【解決手段】吸気口４ｄからの吸気通路１３内の空気の吸引により、吸気通路１３内のガイド６内に組み込まれた弾性部材（スプリング７）の働きにより、吸気通路１３を囲むように設けられた溝２ｄ、３ｄ内の支持部材（シート部材８）を中心に溝２ｄ、３ｄを移動して溝２ｄ、３ｄ内の隙間をなくし、把持部２ａを把持部３ａに対して並行移動し、把持部２ａ、３ａで薄板材料１０の外縁部１０ａを薄板材料１０の板厚方向から挟み込み、その把持部２ａ、３ａから連続する吸気通路１３内の吸引により薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する薄板材料の把持装置１を提供する。【選択図】  図１
2004202625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から挟持する把持部と、前記把持部から連続する吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気口と、を有する薄板材料の把持装置において、
前記吸気通路を囲み、前記吸気通路に連続する前記把持部の外側に延びる溝と、
前記溝内に挿入され、前記吸気口からの空気の吸引により、前記溝内の隙間をなくし、前記把持部を前記薄板材料の板厚方向へ移動することが可能な支持部材と、
前記吸気通路内に設けられ、前記吸気口からの空気の吸引により、前記把持部を並行移動するためのガイドと、
前記ガイド内に組み込まれ、前記吸気口からの空気の吸引により、前記ガイドを移動させる弾性部材と、を備えることを特徴する薄板材料の把持装置。
【請求項２】
前記弾性部材は、前記吸気通路内に設けた前記ガイドと前記吸気口が設けられた支持プレートとの間にあることを特徴とする請求項１に記載の薄板材料の把持装置。
【請求項３】
前記支持プレートは、前記ガイド内に組み込まれている前記弾性部材の一端を受ける受部と、前記受部を経由して、前記把持部から連続する前記吸気通路内の空気を吸引する前記吸気口に通じる吸気路と、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板材料の把持装置。
【請求項４】
前記吸気口からの空気の吸引を止めると、前記弾性部材により、前記把持部が前記薄板材料の前記外縁部を挟持していた状態から前記薄板材料の前記外縁部を挟持しない状態へ戻ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板材料の把持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ等の薄板材料を把持するために、その薄板材料の外縁部のみを把持する薄板材料の把持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハ、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（ディジタルビデオディスク）等の薄板材料１０１は製造工程等において表面の平坦度が極めて高い精度で要求されている。そのため、製造工程等において薄板材料１０１の表面に触れずに薄板材料１０１を移動する装置として、薄板材料１０１を薄板材料１０１の板厚方向から挟む機構の装置が用いられている。
【０００３】
図７及び図８に従来の薄板材料の把持装置１００が開示されている。把持装置１００は上部プレート８０及び下部プレート９０を重ね合わせて形成されている。把持装置１００の先端部には、円盤状の薄板材料１０１の外縁部１０１ａが把持できるように薄板材料１０１の外縁部１０１ａと略同一の円弧形状の把持部１００ａが形成されている。そして、把持部１００ａの略中央には吸気通路２０（凹部領域）につながる開口部３０が形成されている（図８参照）。また、図８に示すように、把持部１００ａの形状は、吸気通路２０側では対向間隔が狭くなり、把持部１００ａの先端に向かうに従って徐々に対向間隔が広くなるテーパ面８０ａ、９０ａが形成されている。さらに、上部プレート８０及び下部プレート９０には、それぞれ段差部８０ｂ、９０ｂが形成されており、上部プレート８０の段差部８０ｂ、８０ｂと下部プレート９０の段差部９０ｂ、９０ｂとで形成される隙間にはシール部材５０、５０が介挿されている。
【０００４】
つぎに、この把持装置１００の動作について説明する。先ず、図示しない真空ポンプを駆動し、吸気口６０より吸気通路２０内の空気を吸い出す。そして、図７に示すように、薄板材料１０１を矢印方向から把持装置１００に接近させると、吸気通路２０内の空気を吸い出している真空ポンプの吸引力により、薄板材料１０１の外縁部１０１ａが把持装置１００の把持部１００ａに吸い付けられる。吸い付けられると、図８に示すように、外縁部１０１ａと把持部１００ａの間には、外縁部１０１ａと把持部１００ａのテーパ面８０ａ、９０ａとで囲まれる断面略Ｖ字形状の空間である減圧部４０が形成される。このとき、把持装置１００の幅方向の両側では薄板材料１０１の外縁部１０１ａがシール部材５０、５０に押し付けられ、把持装置１００の把持部１００ａは薄板材料１０１の外縁部１０１ａによって密閉された状態になる（図７参照）。そして、把持装置１００の把持部１００ａ内の真空ポンプによる吸引力により、減圧部４０内は大気圧に比べ気圧の低い負圧状態となり、薄板材料１０１の外縁部１０１ａは把持装置１００の把持部１００ａへの吸い付いた状態が維持される（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１８４８４９号公報（段落番号００１９から段落番号００３０、図１から図３）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、把持装置１００では上部プレート８０と下部プレート９０とが固定されているため、把持部１００ａ内のテーパ面８０ａ、９０ａも固定され、所定の板厚の薄板材料１０１の外縁部１０１ａを把持することはできるが、薄板材料１０１の板厚が厚くなったり、薄くなったりすると薄板材料１０１の外縁部１０１ａを把持できなくなる可能性がある。つまり、把持部１００ａ内のテーパ面８０ａ、９０ａが薄板材料１０１の板厚方向に移動することができないため、薄板材料１０１の外縁部１０１ａが把持部１００ａ内のテーパ面８０ａ、９０ａの所定の位置で把持されなくなる。その結果、不安定な把持となり薄板材料１０１の外縁部１０１ａの把持部１００ａでの吸引を確実に行うことができず、把持装置１００の把持部１００ａでの薄板材料１０１の外縁部１０１ａの把持が困難になる場合がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであり、把持装置の把持部内のテーパ面の所定の位置で薄板材料の外縁部を挟み込むとともに、把持装置の把持部からの吸引力により薄板材料の外縁部を吸引する薄板材料の把持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から挟持する把持部と、前記把持部から連続する吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気口と、を有する薄板材料の把持装置において、前記吸気通路を囲み、前記吸気通路に連続する前記把持部の外側に延びる溝と、前記溝内に挿入され、前記吸気口からの空気の吸引により、前記溝内の隙間をなくし、前記把持部を前記薄板材料の板厚方向へ移動することが可能な支持部材と、前記吸気通路内に設けられ、前記吸気口からの空気の吸引により、前記把持部を並行移動するためのガイドと、前記ガイド内に組み込まれ、前記吸気口からの空気の吸引により、前記ガイドを移動させる弾性部材と、を備えることを特徴する。
【０００９】
従って、請求項１に記載の発明によれば、吸気口である小穴から空気を吸引する前では、把持部を備えている、下部プレートと上部プレートとの間には、下部プレートの溝と上部プレートの溝との間に挿入された支持部材であるシート部材により隙間が存在しているが、吸気口から空気が吸引されるとその隙間がなくなる。つまり、吸気口からの空気の吸引により、弾性部材の一端を受ける受部及び弾性部材が挿入されている小穴の吸引が行われ、受部と小穴との間にある弾性部材が伸びた状態から、縮んだ状態になり、弾性部材が挿入されているガイドが弾性部材が縮んだ方向へ移動し、それと伴に、ガイドが固定されている下部プレートも、同様に弾性部材が縮んだ方向である上部プレートの方向へ移動することが可能になる。このとき、吸気通路を囲むようにシート部材が設けられているため、下部プレートを上部プレートの方向へ移動する際に、上部プレートと並行状態を保ったままで移動することを可能にする。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記弾性部材は、前記吸気通路内に設けた前記ガイドと前記吸気口が設けられた支持プレートとの間にあることを特徴とする。
【００１１】
従って、請求項２に記載の発明によれば、弾性部材がガイドと支持プレートの間にあるため（挟まれているため）、支持プレートに設けられた吸気口からの空気の吸引により、ガイドと支持プレートとの間が吸引され、弾性部材が縮んだ状態になり、ガイドを弾性部材が縮んだ方向へ移動し、把持部を備えた下部プレートを把持部を備えた上部プレートの方向へ移動し、把持部内のテーパ面に接触している薄板材料の外縁部を挟み込む（挟持する）ことを可能にする。
【００１２】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成に加え、前記支持プレートは、前記ガイド内に組み込まれている前記弾性部材の一端を受ける受部と、前記受部を経由して、前記把持部から連続する前記吸気通路内の空気を吸引する前記吸気口に通じる吸気路と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
従って、請求項３に記載の発明によれば、支持プレートは、ガイド内に組み込まれている弾性部材の一端を受ける受部を備えているため、下部プレートと上部プレートとを重ね合わせて、弾性部材をガイドに組み込んで（ガイドの上面に穿設してある小穴に挿入して）、支持プレートを上部プレートに取り付けることで、上部プレートから突出している弾性部材を受けることが可能になり、弾性部材の縮んだ状態を維持し、下部プレートを上部プレートの方向へ移動することを可能にするとともに、その受部を経由して、吸気通路内の空気を吸引する吸気口に通じる吸気路（管路）を備えているため、吸気口から空気を吸引することではじめに受部内の空気が吸引され、弾性部材が縮むことにより下部プレートを上部プレートの方向へ移動し、把持部で薄板材料の外縁部を挟み、吸引が続くとさらに吸気通路内の吸引を行い、薄板材料の外縁部の吸引を行うことが可能になる。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の構成に加え、前記吸気口からの空気の吸引を止めると、前記弾性部材により、前記把持部が前記薄板材料の前記外縁部を挟持していた状態から前記薄板材料の前記外縁部を挟持しない状態へ戻ることを特徴とする。
【００１５】
従って、請求項４に記載の発明によれば、吸気口からの吸気通路内の空気の吸引を止めることで、下部プレート及び上部プレートの把持部での薄板材料の外縁部の吸引がなくなるとともに、弾性部材は縮んだ状態から伸びた状態になり、下部プレートが上部プレートから離れる方向へ移動し、下部プレート及び上部プレートの把持部で挟み込んでいた（挟持していた）状態から薄板材料の外縁部を挟み込まない（挟持しない）状態へ戻すことが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
本発明である薄板材料の把持装置１は下部プレート２と上部プレート３とから構成され、円盤状の薄板材料１０を把持するための装置である。図１には、本発明の薄板材料の把持装置１の詳細が示されている。本発明の薄板材料の把持装置１は、図１に示すように、下部プレート２と上部プレート３とを重ね合わせるとともに上部プレート３に支持プレート４を取り付ける構成を採っている。そして、これら下部プレート２、上部プレート３及び支持プレート４は、薄い金属板、或いは合成樹脂板等から形成されている。
【００１８】
図１及び図２に示すように、下部プレート２及び上部プレート３の薄板材料１０を把持する先端部には、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなす把持部２ａ、３ａが形成されている。図１に示すように、下部プレート２の中央には下部プレート２の略相似形状の凹部２ｃが把持部２ａに到達する位置まで形成されている。その凹部２ｃには図１に示す中心線Ｘ（下部プレート２及び上部プレート３の中心位置を示す線）を基準に対称な位置に下部プレート２の板厚方向に延びるガイド用穴２ｂが複数穿設されている。本実施の形態では、ガイド用穴２ｂが二つ穿設されているが、特に二つに限定されることはない。
【００１９】
さらに、下部プレート２上には凹部２ｃを囲むように、所定の幅の溝２ｄが設けられている。この溝２ｄは凹部２ｃ外側を囲み、把持部２ａ内には及ばず把持部２ａの外側に延びている。この溝２ｄには柔軟性のある帯状の支持部材であるシート部材８が挿入されている。このシート部材８の溝２ｄへの挿入方法は、図５に示すように、溝２ｄへ立てた状態で挿入することになる。挿入される下部プレート２の溝２ｄはシート部材８の厚さより幅広く形成されている。そのため、シート部材８は溝２ｄ内で固定されることなくフリーになっている。
【００２０】
また、下部プレート重ね合わされる上部プレート３は、図１から図３に示すように、下部プレート２と略同一形状である。また、上部プレート３には、下部プレート２と重ね合わされて、下部プレート２の凹部２ｃに対向して向かい合う上部プレート３の凹部３ｃ内にガイド用孔３ｂが穿設されており、このガイド用孔３ｂは上部プレート３の板厚方向を貫通している。そして、そのガイド用穴２ｂ及びガイド用孔３ｂにガイド６を挿入し、下部プレート２と上部プレート３とを重ね合わせると、ガイド６の上面と上部プレート３とが略同一面になっている。ガイド６の下面には複数の雌ねじが形成されており、ガイド用穴２ｂにガイド６を挿入した後に、下部プレート２の下面より複数のねじ９よりガイド６をガイド用穴２ｂに固定することになる。ガイド６は、図１及び図３に示すように、円柱状の形状をなしており、ガイド６の上面には上面より所定の深さの小穴６ａが穿設してあり、その小穴６ａには弾性部材であるスプリング７が挿入されている。
【００２１】
また、シート部材８は、図５に示すように、下部プレート２と重ね合わされる上部プレート３にも同様に凹部３ｃを囲むように設けられた溝３ｄへ挿入することになる。この溝３ｄは、下部プレート２の溝２ｄとは異なり、シート部材８の厚さと略同一の幅で形成されている。そのため、シート部材８を溝３ｄへ挿入すると、図５に示すように、シート部材８の溝３ｄへ挿入された分は溝３ｄに接触した状態になる。また、図５においては、溝２ｄ内のシート部材８が真っ直ぐ延びて溝２ｄ内の凹部２ｃ側の側面に接触しているが（実線で示したシート部材８）、必ずしもこのような状態になるとは限らず、シート部材８の柔軟性により溝２ｄ内のシート部材８が曲がって溝２ｄ内の凹部２ｃ側とは反対の側面に接触することもある（点線で示したシート部材８）。さらに、下部プレート２と上部プレート３とを重ね合わせた状態では、図５に示すように、シート部材８は溝２ｄ、３ｄの底面には到達していない。つまり、溝２ｄ、３ｄとシート部材８との間に隙間Ｘがある状態になっている。
【００２２】
このようにして、中心線Ｘを基準に側端部に設けられた下部プレート２の小孔２ｅ、２ｅと上部プレートの小孔３ｅ、３ｅとが重なり合うように、下部プレート２と上部プレート３とを重ね合わせた状態で、小孔２ｅ、２ｅと小孔３ｅ、３ｅとに、ボス状の中心穴には雌ねじが形成されている固定部材１２、１２が挿通してある。そして、上部プレート３上からその固定部材１２、１２の中心穴にねじ１１、１１を挿通して、下部プレート２と上部プレート３とを重ね合わせた状態で固定することになる。
【００２３】
さらに、上部プレート３上には支持プレート４が図示しない固定具であるねじ等により取り付けられることになる。支持プレート４の上面には吸気口である小孔４ｄが設けられており、この小孔４ｄが配管ホース用パイプ１５を経て、図示しない真空ポンプに接続され、把持装置１内の空気を吸引することになる。この小孔４ｄは支持プレート４内に設けられた管路４ａ（吸気路）につながっており、その管路４ａ（吸気路）は支持プレート４の下面に穿設してある、中心線Ｘを基準に対称な位置にある受部である支持穴４ｂ、４ｂにつながっている。支持穴４ｂ、４ｂでは、上部プレート３から突出している、ガイド６、６の上面に穿設してある小穴６ａ、６ａに挿入されているスプリング７、７を受けている。また、支持穴４ｂ、４ｂからは、管路４ｅ（吸気路）を経て支持プレート４の下面に穿設してある連結穴４ｃ、４ｃにつがっている。その連結穴４ｃ、４ｃと重なり合う位置には上部プレート３に穿設してある貫通孔３ｇ、３ｇがあり、凹部２ｃ、３ｃにつながっている。
【００２４】
図３に示すように、下部プレート２と上部プレート３とが重ね合わされて一体に組み立てられた状態では、下部プレート２の凹部２ｃと上部プレート３の凹部３ｃとで吸気通路１３が形成されることになる。また、下部プレート２の把持部２ａと上部プレート３の把持部３ａとの間の間隔は、図３に示すように、吸気通路１３側では狭くなっており、反対に把持部２ａ、３ａの先端部に向かうに従って間隔が広くなっている。具体的には、下部プレート２の把持部２ａと上部プレート３の把持部３ａの先端部では、その先端部へ向かうに従って徐々に対向する間隔が広くなるテーパ面２１、３１が形成されている。
【００２５】
つぎに、本発明である薄板装置の把持装置１の動作について説明する。先ず、図２に示すように、薄板材料１０を図２の矢印方向（実線）へ移動する、或いは、把持装置１を図２の矢印方向（点線）へ移動する。移動して薄板材料１０の外縁部１０ａを把持部２ａ、３ａ内のテーパ面２１、３１に接触させる。そして、図示しない真空ポンプを駆動させて、配管ホース用パイプ１５を経て、支持プレート４に設けられた吸気口である小孔４ｄから管路４ａ（吸気路）内の空気を吸引する。はじめに小孔４ｄから空気を吸引すると、図４に示す矢印方向Ｃに従って管路４ａ（吸気路）を経て支持穴４ｂ、４ｂ部分の空気が吸引される。このとき、支持穴４ｂ、４ｂに対向して向かい合って、スプリング７が挿入されている小穴６ａ、６ａ部分の空気が吸引される（図３参照）。
【００２６】
吸気口である小穴４ｄから空気を吸引する前では、図５に示すように、下部プレート２と上部プレート３との間には、下部プレート２と上部プレート３との間に挿入されたシート部材８により隙間Ｘが存在していたが、小穴４ｄからの空気の吸引があると、図６に示すように、この隙間Ｘがなくなる。具体的には、吸気口である小穴４ｄからの空気の吸引により、支持穴４ｂ、４ｂ及び小穴６ａ、６ａの吸引が行われることにより、支持穴４ｂ、４ｂと小穴６ａ、６ａとの間にあるスプリング７、７が伸びた状態から、縮んだ状態になる。スプリング７、７が縮んだ状態になることにより、スプリング７、７が挿入されているガイド６、６がスプリング７、７が縮んだ方向へ移動する。それと伴に、ガイド６、６が固定されている下部プレート２も、同様にスプリング７、７が縮んだ方向へ移動する。
【００２７】
このとき、小穴４ｄがある中心線Ｘを基準に対称な位置にある支持穴４ｂ、４ｂ内と小穴６ａ、６ａ内の両方には同じ吸引力が働き、同時にガイド６、６をスプリング７、７が縮んだ方向へ移動する。その結果、下部プレート２を上部プレート３に対して並行状態を保ったままで上部プレート３の方向へ（スプリング７、７が縮んだ方向へ）移動する。つまり、小穴４ｄから管路４ａ（吸気路）内の空気の吸引により、吸気通路１３を囲むように設けられた溝２ｄ、３ｄ内のシート部材８を中心に溝２ｄ、３ｄ同士を接近させる。具体的には、シート部材８により下部プレート２の移動方向が規制されるため、下部プレート２は上部プレート３に対して捻れたり、ずれたりすることなくシート部材８に沿って、上部プレート３に並行に上部プレート３の方向へ移動する。
【００２８】
その結果、溝２ｄ、３ｄ内の隙間Ｘがなくなり、把持部２ａが把持部３ａ方向である薄板材料１０の板厚方向へ移動し、把持部２ａ、３ａ同士が接近する。そして、把持部２ａ、３ａ内のテーパ面２１、３１に接触している薄板材料１０の外縁部１０ａを挟み込む（挟持する）。このとき、把持装置１では薄板材料１０を把持する先端部は薄板材料１０の外縁部１０ａによって塞がれ、把持装置１内の下部プレート２の凹部２ｃと上部プレート３の凹部３ｃとで形成される吸気通路１３を外側からシート部材８により塞いでいるため、空気の漏れを防ぎ密閉された状態になる。
【００２９】
さらに、図示しない真空ポンプを駆動させて、吸気口である小孔４ｄから管路４ａ（吸気路）内の空気を吸引すると、支持穴４ｂ、４ｂと小穴６ａ、６ａとの間にあるスプリング７を縮める方向へ働くとともに、図４に示す矢印方向Ｄに従って、管路４ｅ（吸気路）を経て連結穴４ｃ、４ｃ部分の吸引が行われる。連結穴４ｃ、４ｃ部分の吸引が行われると連結穴４ｃ、４ｃに対向して向かい合う貫通孔３ｇ、３ｇを経て、図３に示す矢印方向Ｅに従って、吸気通路１３内の空気が吸引される。
【００３０】
その結果、図３に示す矢印方向Ｆに従って、凹部２ｃ、３ｃ（吸気通路１３）の外側も吸引され、溝２ｄと溝３ｄに挿入されたシート部材８も吸引される。シート部材８は柔軟性があるため、溝２ｄ内では吸気通路１３側に寄り、下部プレート２及び上部プレート３に対して略垂直状態になる。また、薄板材料１０の外縁部１０ａは把持装置１の把持部２ａと把持部３ａとの間に吸引される。その結果、薄板材料１０の外縁部１０ａは把持部２ａ、３ａのテーパ面２１、３１によって挟み込まれる（挟持される）とともに、吸引されて保持される。
【００３１】
このとき、薄板材料１０の外縁部１０ａと把持部２ａ、３ａとで囲まれる断面略Ｖ字形状の空間からなる減圧部１４が形成され、この減圧部１４は薄板材料１０の外縁部１０ａに沿って円弧状に形成され吸気通路１３に続いている。このとき、吸気通路１３と減圧部１４とに接する薄板材料１０の外縁部１０ａには以下の吸引力（吸着力）が発生する。
【００３２】
【数１】
2004202625.tif 000003
【００３３】
ここで、Ｐは吸気通路１３及び減圧部１４内の真空度［Ｐａ］であり、Ｄは薄板材料１０の外径寸法［ｍ］であり、ｔは薄板材料１０の板厚寸法［ｍ］であり、θは薄板材料１０の外縁部１０ａに形成される減圧部全体の角度［゜］である。
【００３４】
そして、把持装置１の把持部２ａ、３ａで把持した薄板材料１０を移動等の処理が終了して把持装置１から薄板材料１０を外す場合には、吸気口である小孔４ｄからの吸気通路１３内の空気の吸引を止める。すると下部プレート２及び上部プレート３の把持部２ａ、３ａでの薄板材料１０の外縁部１０ａの吸引がなくなる。そして、スプリング７は縮んだ状態から伸びた状態になり、下部プレート２が上部プレート３から離れる方向へ移動し、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の把持部２ａ、３ａで挟み込んでいた（挟持していた）状態から挟み込まない（挟持しない）状態へ戻り、把持装置１から薄板材料を外すことが可能になる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、円盤状の薄板材料を把持装置で保持する場合を説明したが、把持装置１の把持部２ａ、３ａの形状を薄板材料の外縁部の形状に対応させることで円盤状以外の他の形状の薄板材料であっても保持することが可能である。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、吸気口からの下部プレートと上部プレートとで形成される吸気通路内の空気の吸引により、はじめに弾性部材の一端を受ける支持プレートの受部及び弾性部材が挿入されているガイドの小穴の吸引が行われ、受部と小穴との間にある弾性部材が伸びた状態から、縮んだ状態になり、弾性部材が挿入されているガイドが弾性部材が縮んだ方向へ移動する。同時に、吸気通路を囲むようにシート部材が挿入された溝内に既に設けられた隙間分だけ下部プレートが上部プレートの方向へ移動する。その結果、挟み込む（挟持する）薄板材料の板厚が所定の板厚より厚くても、薄くても把持装置の把持部で容易に薄板材料の外縁部を挟み込むことができる（挟持することができる）。
【００３７】
また、シート部材が吸気通路を囲むように設けられているため、下部プレートが上部プレートの方向へ移動する際には、下部プレートは上部プレートに対して捻れたり、ずれたりすることなく並行状態を保ったままで移動することができるので、把持部の所定の位置で薄板材料の外縁部を安定した状態で挟み込むことができる（挟持することができる）。
【００３８】
以上のように、下部プレート及び上部プレートの把持部が接近し、把持部内のテーパ面にある薄板材料の外縁部を挟み込み（挟持すると）、さらに、吸気通路内の吸引が続くと、把持部で挟持されている薄板材料の外縁部の吸引が行われ、薄板材料は外縁部の挟み込み（挟持）と吸引とにより保持されるため、より確実な外縁部の挟持を行えることになる。
【００３９】
また、吸気口からの吸気通路内の空気の吸引を止めることで、下部プレート及び上部プレートの把持部での薄板材料の外縁部の吸引がなくなり、弾性部材は縮んだ状態から伸びた状態になり、下部プレートが上部プレートから離れる方向へ移動し、薄板材料の外縁部を下部プレート及び上部プレートの把持部で挟持していた状態から挟持しない状態へ容易に戻すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明である薄板材料の把持装置の分解斜視図である。
【図２】本発明である薄板材料の把持装置が薄板材料を把持する状態を示す平面図である。
【図３】図２に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】吸気口から空気の吸引を示す支持プレートの平面図である。
【図５】図２に示すＢ−Ｂ線に沿った、吸気口から空気が吸引される前の断面図である。
【図６】図２に示すＢ−Ｂ線に沿った、吸気口から空気が吸引された後の断面図である。
【図７】従来の薄板材料の把持装置の平面図である。
【図８】図７に示すＨ−Ｈ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
１…把持装置、２…下部プレート、３…上部プレート、２ａ…把持部、３ａ…把持部、２ｄ、３ｄ…溝、２ｃ、３ｃ…凹部、２１、３１…テーパ面、４…支持プレート、４ｄ…吸気口、６…ガイド、７…スプリング、８…シート部材、１０…薄板材料、１０ａ…外縁部、１３…吸気通路、１４…減圧部
【図１】
2004202625.tif 000004
【図２】
2004202625.tif 000005
【図３】
2004202625.tif 000006
【図４】
2004202625.tif 000007
【図５】
2004202625.tif 000008
【図６】
2004202625.tif 000009
【図７】
2004202625.tif 000010
【図８】
2004202625.tif 000011