(57)【要約】      （修正有）【課題】研削加工における潤滑あるいは冷却用の研削液の使用量を低減するのに効果的な潤滑・冷却液供給方法及びこれを用いた研削装置の提供。【解決手段】砥石の研削面に潤滑・冷却液を供給する方法において、砥石１の回転外周面１２とノズル先との距離が潤滑・冷却液が吐出できるだけの極くわずかの間隙になるように、ノズル２を近接配置した。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石の研削面に潤滑・冷却液を供給する方法において、砥石の回転外周面とノズル先との距離が潤滑・冷却液が吐出できるだけの極くわずかの間隙になるように、ノズルを近接配置したことを特徴とする潤滑・冷却液の供給方法。
【請求項２】
回転砥石と、この回転砥石の外周面に極くわずかの間隙を隔ててノズル先が位置するように、このノズルを有する潤滑・冷却液供給手段とが備えられたことを特徴とする研削装置。
【請求項３】
砥石が回転した状態でノズル先が前進して砥石表面に当接後、所定の間隙になるようにノズル先が後退するようにプリセット機能が備えられたことを特徴とする請求項２記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板等の研削加工において、砥石の潤滑及び冷却用に使用される潤滑・冷却液の供給方法及びその研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置等に広くガラス基板が使用されている。
上記ガラス基板においては、エッジ部を起点とした欠けや割れを防止するための面取りや、外形寸法の調整等を目的に研削加工が施されている。
【０００３】
ガラス基板等の研削加工においては、砥石のダイヤモンド砥粒等の焼き付きを防止し、研削面の品質を確保するために潤滑あるいは冷却を目的に純水等の潤滑・冷却液が加工点に噴射されている。
【０００４】
このような分野に使用されている純水としては、高純度が要求されるために高価であり、使用後には研削粉等が含有し、廃水処理費もコストアップの要因の１つになっていた。
従って、潤滑・冷却用の純水の使用量の低減が要求されている。
【０００５】
本出願人は先に、純水での冷却の替わりに冷却エアーを噴き付ける発明について提案している（特願２００２−１８５１４３号）が、本発明は冷却エアーを使用しなくても純水の使用が低減出来る潤滑・冷却液の供給方法及びその研削装置に関する。
【０００６】
【特許文献１】
特願２００２−１８５１４３号
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、研削加工における潤滑あるいは冷却用の研削液の使用量を低減するのに効果的な潤滑・冷却液供給方法及びこれを用いた研削装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転砥石に効率良く研削液を巻き付ける方法を精意検討してなされたものである。
その技術的要旨は、砥石の研削面に潤滑・冷却液を供給する方法において、砥石の回転外周面とノズル先との距離が潤滑・冷却液が吐出できるだけの極くわずかの間隙になるように、ノズルを近接配置した点にある。
【０００９】
ここで、潤滑・冷却液が吐出できるだけの極くわずかの間隙になるようにノズルを近接配置したとは、ノズルの先から研削液（潤滑液、冷却液）が吐出するとそのまま砥石表面に巻き付くようなわずかの間隙を隔てて砥石表面とノズル先が配置されていることをいう。
【００１０】
更に具体的に説明すると、従来はノズル先から研削液を砥石に向けて噴射する際には、ノズル先から噴射された研削液がある程度広がりながら砥石表面に当たるように比較的大きい間隔が設けられていて、少なくとも１０ｍｍ以上の距離を有していた。
【００１１】
このような従来の方法では、砥石の表面に当たる研削液の広がりは大きいものの、砥石表面に巻き付く量よりもはね返る量の方が多く、効率的ではなかった。
これに対して本発明は、ノズル先から吐出した研削液がそのまま砥石に巻き付くように砥石表面とノズルの先が１ｍｍ以下の間隙になるように近づけて配置したものである。
理想的には、０．０１〜０．１ｍｍ程度の極くわずかの間隙にすると更に少量の研削液で充分に砥石表面に巻き付き研削加工が出来るようになる。
【００１２】
第２の技術的要旨は、上記のような少量の研削液で研削加工が出来る研削装置の提供にあり、回転砥石と、この回転砥石の外周面に極くわずかの間隙を隔ててノズル先が位置するように、このノズルを有する潤滑・冷却液供給手段とが備えられた研削装置とした。
【００１３】
砥石は使用により摩耗して径が小さくなるので、研削に使用する前に砥石が回転した状態でノズル先が前進して砥石表面に当接後、所定の間隙になるようにノズル先が後退するようにプリセット機能を備えると、砥石表面のノズルの先の間隔を所定の範囲に維持しやすくなる。
ここで、砥石が回転した状態でノズル先を当接させると、ノズル先が砥石にて研削され、砥石の形状が転写される。
このようにして、砥石の形状がノズル先に転写されることにより、その後に所定の間隙になるようにノズル先を後退させた際に一定の間隙が得られやすい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１に溝付き砥石による研削装置に本願発明を適用した例を示す。
図１は研削装置を真上から見た図を示す。
砥石１がＷの方向に回転し、この砥石１にノズル２を用いて、そのノズル先から潤滑及び冷却用の純水が吐出される。
この砥石に対して、ガラス基板３（被研削材）がＶの方向に進行して面取りがされる。
【００１５】
図２には研削面の拡大側面図を示す。
回転砥石１の外周に溝１１が形成され、この溝にガラス基板３のコーナー部３１が当たり、研削され面取りされる。
砥石の砥粒としては、ダイヤモンド粉等が用いられ、約５００℃以上の高温になると焼き付いてしまう。
そこで図３に示すように、砥石１の溝１１の外周表面１２に０．０１〜０．１ｍｍ程度の間隔ｄを隔てて、ノズルの先２１が位置するようにノズル２が配設されている。
ノズルの先１２から吐出された純水は、そのまま砥石溝の外周表面１２に巻き付くので少量の純水を吐出すれば良い。
この方法によれば、従来の噴射方法に比較して純水の使用量が１／１０以下に低減出来た。
また、ノズル２は快削材で製作されていて、砥石１を回転させた状態でノズルの先を一旦当てて砥石の形状をノズル側に転写させ、その後に所定のクリアランスｄが得られるようにノズルを後退させるのが良い。
【００１６】
図４には外周面が平面であるマルチ砥石に本発明を適用した例を示す。
マルチ砥石１ａ、１ｂを上下に配置し、上部の砥石１ａはＷ１の方向に回転させ、下部の砥石１ｂはＷ２の方向に回転させ、その側部にガラス基板３を当接させながら砥石の回転軸と並行に走行させることで、ガラス基板の上下の稜辺が面取りされる。
【００１７】
マルチ砥石１ａには砥石毎に純水吐出ノズル２ａがわずかの隙間ｄをおいて配置されている。
マルチ砥石１ｂにも砥石毎に純水吐出ノズル２ｂが隙間ｄをおいて配置されている。
ノズル２ａ、２ｂのノズル先２１ａ、２１ｂと砥石の外周表面との間隔ｄは次のように調整される。
まず、研削加工をはじめる前に砥石を回転させた状態でノズルの先２１ａ、２１ｂが砥石の表面に当たるまで前進させる。
すると、斜視図を図５に示すようにノズル２ａのノズル先２１ａに砥石の外形が転写される。
次のこの位置から所定の距離ｄだけノズルを後退させることで、ノズルの位置がセットされる。
このプリセットは手動でも自動制御でも良い。
図６にノズル先の位置がセットされた状態の断面図を示す。
図６の例では３枚の砥石からなるマルチ砥石となっている。
砥石ａ１、ａ２、ａ３の外形形状がノズル２ａに転写され、その後のクリアランスｄになるようにノズル２ａが後退している。
このように砥石の外周表面とノズルの先の間隔がセットされた後に、研削加工が開始される。
これにより、ノズルの位置を砥石の摩耗に合わせて調整出来るようになった。
【００１８】
【発明の効果】
本発明においては、回転砥石の表面とノズルの先との間隙が極くわずかになるように設定されているので、ノズル先から吐出してきた研削液はそのまま回転砥石の表面に巻き付き、研削加工点に誘導されるので少量の研削液で効率良く潤滑・冷却用に供される。
これにより、従来の噴射方法に対して研削液の使用量を大きく低減出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】研削装置を上から見た構成図を示す。
【図２】ガラス基板の面取り加工部の拡大側面図を示す。
【図３】砥石と研削液供給ノズルとの位置関係を示す。
【図４】外周面表面砥石を用いた研削装置に本発明を適用した例を示す。
【図５】マルチ砥石用のノズル形状例を示す。
【図６】マルチ砥石とノズルの位置関係を示す。
【符号の説明】
１    溝付き砥石
１１  砥石の外周溝
１２  砥石の外周表面
１ａ、１ｂ    マルチ砥石
２    ノズル
２１ａ、２１ｂ    ノズルの先
３    ガラス基板（被研削材）
３１  ガラス基板の稜辺
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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