(57)【要約】【課題】温度センサの温度検出信号と、重量センサが感じている温度とに間に差がある場合にも、この差を考慮して温度補償を行う。【解決手段】載荷された荷重に対応した重量信号を重量センサ２が出力し、当該重量信号は、周囲温度の変化に従って変動する。この重量センサ２が感じている温度を間接的に温度センサ８が測定し、温度信号を発生する。この温度信号は重量センサ２が実際に感じている温度と異なった特性を有している。重量信号と温度信号とを入力し、温度信号を重量センサ２が実際に感じている温度を表す信号に変換し、この変換信号によって重量信号を温度補償して、演算手段１６、１８、２０、２４、２８、３０、３２が出力する。【選択図】        図１
2004309251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載荷された荷重に対応した重量信号を出力し、当該重量信号は、周囲温度の変化に従って変動する重量検出手段と、
この重量検出手段が感じている温度を間接的に測定した温度信号を発生し、この温度信号は前記重量検出手段が実際に感じている温度よりも速く変化する特性を有している温度検出手段と、
前記重量信号と前記温度信号とを入力し、前記温度信号を前記重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号に変換し、この変換信号によって前記重量信号を温度補償して出力する演算手段とを、
具備する計量装置。
【請求項２】
請求項１記載の計量装置において、前記演算手段は、
前記温度検出手段からの温度信号が供給される信号処理手段を有し、この信号処理手段は、前記温度信号を入力し、前記温度信号を前記重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号に変換して出力する伝達関数を有する
計量装置。
【請求項３】
請求項２記載の計量装置において、第１の温度の状態から第２の温度の状態に前記重量検出手段の温度がステップ的に変化させられたとき、前記重量検出手段が実際に感じている温度は、第１の温度から第２の温度に時間経過と共に変化する第１の過渡応答特性を示す第１の伝達関数を有し、第１の温度の状態から第２の温度の状態にステップ的に前記温度検出手段の温度が変化させられたとき、前記温度信号は、第１の温度から第２の温度に時間経過と共に変化する第２の過渡応答特性を示す第２の伝達関数を有し、前記信号処理手段は、第２の伝達関数とカスケード接続したとき第１の伝達関数にほぼ相当する伝達関数となる第３の伝達関数を、前記信号処理手段の伝達関数として有する計量装置。
【請求項４】
請求項１記載の計量装置において、前記演算手段は、前記変換信号を入力し、この変換信号を引数として前記重量信号の推定変化分を算出する関数手段を有し、この関数手段の出力によって前記重量信号を補償する補償演算手段を有する計量装置。
【請求項５】
請求項２記載の計量装置において、前記重量検出手段は、複数の部品から構成され、前記重量信号には前記各部品が感じている温度に従ってそれぞれ異なる変動が生じ、前記温度検出手段は１台設けられ、前記温度信号と前記各部品が感じている温度とが異なっており、前記信号処理手段は、前記各部品が感じている温度に、前記温度信号を変換する複数の伝達関数を有している計量装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、計量装置に関し、特に、計量装置が備えている重量検出手段が発生する重量信号の温度変化を補償するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
計量装置としては、例えばロードセルのような重量センサ、測定回路及びＡ／Ｄ変換回路等を含む重量検出手段を備えるものがある。これらの部分は、電源の供給によって発熱する。上述した重量センサ等に含まれる抵抗器、半導体等の温度が上昇することによって、重量信号の零点やスパンに変動が生じる。
【０００３】
このような重量信号の変動を補償する計量装置の例が、特許文献１に開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−３０７９６５号公報
【０００５】
特許文献１の技術では、計量装置の重量センサの内部の温度を検出する温度センサを設け、電源投入後の重量測定信号の零点出力の変化量を、センサ内部の温度と、経過時間との関数として捉えている。重量センサの調整モードにおいて、予め重量センサの異なる内部温度ごとに、電源投入時から経過時間に応じて変化する零点出力を測定して、メモリに記憶させる。測定出力に対して重量センサの内部温度と経過時間とを変数としたテーブルを作成し、計量装置の使用モードにおいて、重量センサの内部温度と電源投入時からの経過時間とを測定して、これらに対応する測定記憶値をテーブルから読み出して、現在の測定値から読み出した値を減算して、零点のドリフトを補償している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１の技術では、様々な温度ごとに電源投入時からの経過時間と、様々な時間ごとの零点測定値を記憶しなければならず、テーブルの構成が複雑になり、メモリに多くの容量が必要になる。
【０００７】
また、温度センサと重量センサとの間には、熱容量や熱伝達特性に差があるので、重量センサの周囲の温度が変化するとき、温度の変化過程において温度センサが感じている温度と、重量センサが感じている温度との間には、差が生じている。従って、特許文献１の技術では、温度センサと重量センサとが完全に周囲の温度に熱平衡し、同じ温度になっている場合には、温度センサの出力によって零点の温度変化を補償することができる。しかし、温度が変化している過程では、正確な温度補償を行うことができず、大きな測定誤差を生じる。上記の説明は、零点の変動に関するものであるが、実際にはスパンも温度変化によって変動することがある。従って、気温変化が激しい場合には、重量信号の零点やスパンが変動する。
【０００８】
この現象の対策として、温度センサと重量センサとの温度応答速度を一致させるように、温度センサの取付位置や温度センサを取り付ける物体を選択したり、温度センサを樹脂で保護したりすることが行われている。しかし、これらの方法は、手間がかかる上に、重量センサの構造によっては完全な対策をとることができなかった。
【０００９】
一般に、重量センサの信号は、演算増幅器等の増幅手段によって増幅され、その後にＡ／Ｄ変換器によってデジタル化されることがある。この場合、演算増幅器の出力信号も温度変化の影響を受けて、変動するので、この出力も温度補償する必要がある。しかし、１台の温度センサによって、測定した温度と、重量センサが感じている温度及び演算増幅器が感じている温度とが異なっていることがある。このような場合には、さらに、温度補償を正確に行うことができない。
【００１０】
本発明は、温度センサのような温度検出手段の温度検出信号と、重量センサや演算増幅器等を含む重量検出手段が感じている温度とに間に差がある場合にも、この差を考慮して温度補償を簡単な構成で行うことができる計量装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明による計量装置は、重量検出手段を有している。重量検出手段は、これに載荷された荷重に対応した重量信号を出力する。当該重量信号は、重量検出手段の周囲温度の変化に従って変動する。即ち、重量信号は、周囲温度を変数（引数）とする関数で表される。この関数には、例えば周囲温度を変数とする零点の変動分を表す項と、周囲温度を変数とするスパン係数を表す項とが含まれることがある。重量検出手段としては、重量センサ、例えばロードセルや、増幅手段、例えば演算増幅器等を含む重量測定系を使用することができる。この重量検出手段が感じている温度を間接的に測定した温度信号を温度検出手段が発生する。この温度信号は、前記重量検出手段が実際に感じている温度よりも速く変化する特性を有している。この特性は、例えば伝達関数で表した場合、遅れ要素を含むもの、例えば一次遅れ要素、高次遅れ要素または一次遅れ要素プラス無駄時間要素を含むものとして表すことができる。重量信号と温度信号とが演算手段に入力され、演算手段は、温度信号を重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号に変換し、この変換信号によって重量信号を温度補償して出力する。演算手段での温度補償は、例えば或る基準温度における荷重を表す信号となるように、重量信号を変換することによって行われる。例えば零点の変動を補償する場合、現在の重量信号の零点出力を或る基準温度における零点出力との偏差として推定される温度補償信号を生成し、これと現在の重量信号との代数和を求めるという補償演算を行う。この場合、重量検出手段に、重量センサの他に、増幅手段が含まれている場合、この増幅手段における零点の変動も同様にして補償される。また、例えばスパンを補償する場合、現在のスパンを或る基準温度におけるスパンに変換するための変換係数を求め、この変換係数を現在の重量信号に乗算する。
【００１２】
このように構成した計量装置では、演算手段では、温度検出手段からの温度信号を、重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号に変換して、この変換信号を用いて重量信号の温度補償を行っているので、正確に温度補償を行うことができる。
【００１３】
前記演算手段は、温度検出手段からの温度信号が供給される信号処理手段を有するものとできる。この信号処理手段は、デジタル処理を行うものを使用することもできるし、アナログ処理を行うものを使用することもできる。この信号処理手段は、温度信号が入力され、温度信号を前記重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号に変換して出力する伝達関数を有している。温度信号も伝達関数を有することがある。信号処理手段が有する伝達関数は、この伝達関数と温度信号との伝達関数とを加算した伝達特性が、重量検出手段が実際に感じている温度を表す信号が持つ伝達特性に一致するように、設定されている。
【００１４】
さらに、第１の温度の状態から第２の温度の状態に重量検出手段の温度がステップ的に変化させられたとき、重量検出手段が実際に感じている温度は、第１の温度から第２の温度に時間経過と共に変化する第１の過渡応答特性を示す第１の伝達関数を有することがある。このとき、第１の温度の状態から第２の温度の状態にステップ的に温度検出手段の温度が変化させられたとき、温度信号は、第１の温度から第２の温度に時間経過と共に変化する第２の過渡応答特性を示す第２の伝達関数を有している。第１の伝達関数と第２の伝達関数とは通常には異なったものである。信号処理手段は、第２の伝達関数とカスケード接続したとき第１の伝達関数にほぼ等しい伝達関数となる第３の伝達関数を、信号処理手段の伝達関数として有している。信号処理手段は、デジタルフィルタによって第３の伝達関数を有する手段を実現することができ、デジタルフィルタとしてはその構成の簡易さから巡回形デジタルフィルタを使用することが望ましい。
【００１５】
演算手段は、前記変換信号を入力し、この変換信号を引数として前記重量信号の推定変化分を算出する関数手段を有するものとできる。例えば零点の変化分を推定することもできるし、或いはスパンの変化を推定することもできるし、或いは両者を推定することもできる。この関数手段の出力によって重量信号を補償する補償演算手段が設けられている。補償演算手段としては、零点の変化に対しては加算または減算手段を使用することができ、スパンの変化に対して乗算または除算手段を使用することもできる。
【００１６】
重量検出手段は、複数の部品から構成されることもある。上述したように、重量センサと、増幅手段とから構成されることもある。この場合、重量信号には各部品が感じている温度に従ってそれぞれ異なる変動が生じる。例えば、重量センサが感じる温度に基づいて零点変動が生じ、増幅手段が感じる温度に従ってスパンが変動する。温度検出手段は１台設けられている。温度信号と各部品が感じている温度とが異なっており、信号処理手段は、各部品が感じている温度に、前記温度信号を変換する複数の伝達関数を有している。温度信号を変換した各変換信号に基づいて、例えば零点変動を補償するための補償信号、スパン変動を補償するための補償信号を、それぞれ生成する関数手段が、信号処理手段に設けられている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の１実施形態の計量装置について説明する前に、その基礎となる計量装置について、図８を参照しながら説明する。
【００１８】
この計量装置は、重量検出手段として、重量センサ２、例えばストレインゲージ式ロードセルを有し、さらに、重量検出手段として、増幅手段、例えば演算増幅器４も有している。演算増幅器４は、重量センサ２とは離れた位置、例えば測定装置５内に収容されている。重量センサ２は、載荷された荷重に対応する重量信号、例えば電圧信号を発生する。この重量信号と荷重との変換係数をＫ１とする。演算増幅器４は、重量センサ２の重量信号をゲインＫ２で増幅し、Ａ／Ｄ変換器６に供給する。重量センサ２は、無負荷の状態でも、零点信号Ｗｚを出力する。演算増幅器４も、重量センサ２から重量信号が供給されていない状態でも、オフセット信号Ｅｚを発生する。載荷された荷重がＷであるとすると、演算増幅器４の出力電圧Ｖ０は、
Ｖ０＝Ｋ２（Ｋ１Ｗ＋Ｗｚ＋Ｅｚ）
となる。演算増幅器４のゲインＫ２は温度変化に対して充分に安定であるとすると、重量センサの変換係数Ｋ１の温度ドリフト、零点Ｗｚの温度ドリフト、演算増幅器４のオフセット電圧Ｅｚの温度ドリフトが、計量精度の上で問題となる。そのため、補償が必要である。
【００１９】
変換係数Ｋ１、重量センサ２の零点ｗｚ、演算増幅器４のオフセット電圧Ｅｚが、重量センサ２及び演算増幅器４の周囲温度θを変数とする関数であり、それぞれＫ１（θ）、Ｗｚ（θ）、Ｅｚ（θ）と表される。従って、演算増幅器４の出力電圧Ｖ（θ）は、
Ｖ０（θ）＝Ｋ２（Ｋ１（θ）Ｗ＋Ｗｚ（θ）＋Ｅｚ（θ））
となる。このＶ０（θ）はＡ／Ｄ変換器６に入力されて、デジタル化される。従って、温度補償もデジタル演算で行われる。
【００２０】
Ｖ（θ）を温度補償するために、重量センサ２の周囲温度を測定するために温度センサ８が設けられている。演算増幅器４を含む演算回路の周囲温度を測定するために温度センサ１０が設けられている。これら温度センサ８、１０は、これらが設置された場所の温度を検出して、温度θを得ている。
【００２１】
この計量装置の製作及び調整時に、次のようにして、Ｋ１（θ）、Ｗｚ（θ）、Ｅｚ（θ）が求められている。
【００２２】
まず、重量センサ２を無負荷の状態として、できるだけ重量信号が零に近い値に調整する。続いて、重量センサ２を温度θ１、θ２・・・θｎのそれぞれ異なる温度に設定された温度槽（恒温槽）中にそれぞれ充分に長い時間にわたって置く。それぞれの温度における重量センサ２の無負荷状態の場合と、既知の重量Ｗｍの物体を重量センサ２に載荷した場合の出力電圧Ｖ０を、温度が常に一定である位置に配置した測定装置５によって測定する。
【００２３】
無負荷時の出力電圧Ｖ０ｚは、任意の温度θの場合、
Ｖ０ｚ（θ）＝Ｗｚ（θ）
で表される。またＷｍ負荷時の出力電圧Ｖ０ｍ（θ）は、任意の温度θの場合、
Ｖ０ｍ（θ）＝Ｋ１（θ）Ｗｍ＋Ｗｚ（θ）
で表される。重量Ｗｍの物体のみによる出力は、
Ｖ０ｍ（θ）−Ｖ０ｚ（θ）＝Ｋ１（θ）Ｗｍ
であるので、温度θにおける変換係数Ｋ１（θ）は、
Ｋ１（θ）＝（Ｖ０ｍ（θ）−Ｖ０ｚ（θ））／Ｗｍ
である。
【００２４】
ここで、重量センサ２の使用可能な温度範囲のほぼ中間に相当する温度θｍを基準温度として、重量センサ２の周囲温度がθｍの場合の変換係数Ｋ１（θｍ）を測定し、この値をＫ１と定める。任意の温度における変換係数Ｋ１（θ）との比率を表す変換係数比率関数Ｒ１（θ）を、
Ｒ１（θ）＝Ｋ１／Ｋ１（θ）
と定義する。
【００２５】
温度θ１・・・θｎにおける零点出力Ｗｚ（θ１）・・・Ｗｚ（θｎ）と、変換係数Ｋ１（θ１）・・・Ｋ１（θｎ）とが求められるので、これらを使用して任意の温度θにおける零点出力関数Ｗｚ’（θ）と、変換比率係数関数Ｒ１’（θ）を例えば最小自乗法等によって求める。例えばこれら関数を２次式に近似したとすると、
Ｗｚ’（θ）＝ａ１θ２＋ａ２θ＋ａ３
Ｒ１’（θ）＝ｂ１θ２＋ｂ２θ＋ｂ３
のように表される。Ｗｚ’（θ）と、  Ｒ１’（θ）とを使用することによって、任意の温度θにおける重量センサ２の零点変動量と変換係数を推定することができる。
【００２６】
測定装置５を温度がθ１、θ２・・・・θｎである温度槽中に充分に長い時間にわたって置いて、それぞれの温度で演算増幅器４の入力を短絡した場合と、既知の標準電圧Ｅｍを供給した場合との出力電圧Ｅ０を測定する。
【００２７】
任意温度θの場合、演算増幅器４の入力短絡時の出力電圧Ｅ０ｚ（θ）は、
Ｅ０ｚ（θ）＝Ｋ２（θ）Ｅｚ（θ）
で表され、標準電圧Ｅｍを入力した時の演算増幅器４の出力電圧Ｅ０ｍ（θ）は、
Ｅ０ｍ（θ）＝Ｋ２（θ）Ｅｍ＋Ｋ２（θ）Ｅｚ（θ）
で表される。電圧Ｅｍによる出力は、
Ｅ０ｍ（θ）−Ｅ０ｚ（θ）＝Ｋ２（θ）Ｅｍ
であるので、任意温度θにおける演算増幅器４のゲイン係数Ｋ２（θ）は、
Ｋ２（θ）＝（Ｅ０ｍ（θ）−Ｅ０ｚ（θ））／Ｅｍ
である。しかし、演算増幅器４のゲインは温度変化に対して安定に設計することが比較的容易であるので、演算増幅器４を安定に設計して、測定装置５の使用可能な温度範囲の中間的な温度θｍのときのゲイン係数Ｋ２（θｍ）をゲイン係数Ｋ２として使用する。
【００２８】
温度θ１・・・θｎにおける演算増幅器４の入力短絡時の出力、即ち零点出力とゲイン係数Ｋ２とが求められたので、これらを使用して任意温度θにおける零点出力を最小自乗法などによって求める。例えば２次式に近似したなら、
Ｋ２Ｅｚ’（θ）＝ｃ１θ２＋ｃ２θ＋ｃ３
のように任意温度θにおける演算増幅器４の零点出力を得ることができる。
【００２９】
測定装置５では、温度センサ８、１０の温度信号をＡ／Ｄ変換器１２、１４によってデジタル化する。温度センサ８が測定している重量センサ２の周囲温度をθｘ、温度センサ１０が測定している演算増幅器４の周囲温度をθｙとすると、重量センサ２に重量Ｗの物体が載荷されたときの演算増幅器４の出力電圧Ｖは、
Ｖ＝Ｋ２（Ｋ１（θｘ）Ｗ＋Ｗｚ（θｘ）＋Ｅｚ（θｙ））
である。
【００３０】
推定変換比率係数関数Ｒ１’（θ）、重量センサ推定零点変動量Ｗｚ’（θ）、演算増幅器推定零点変動量Ｅｚ’（θ）を、対応する温度信号θｘ、θｙのデジタル信号が入力されることによって発生する関数発生器１６、１８、２０が設けられ、更に演算増幅器のゲイン係数Ｋ２を記憶するメモリ２２が設けられている。
【００３１】
計量装置の使用時には、演算増幅器４の出力電圧Ｖをデジタル化した信号が補償演算回路２４に供給される。関数発生器１６、１８には温度信号θｘをデジタル化したものが供給され、関数発生器２０には温度信号θｙをデジタル化したものが供給される。関数発生器１６はＲ１’（θｘ）を、関数発生器１８はＷｚ’（θｘ）を発生し、関数発生器２０はＥｚ’（θｙ）を発生し、これらを補償演算回路２６に供給する。従って、補償演算回路２４は、
2004309251.tif 000003
の演算を行って、重量信号Ｖから温度に影響を受けない重量信号を得る。
【００３２】
しかし、温度センサ８、１０と、温度補償の対象物である重量センサ２、演算増幅器４との間には、熱容量や熱伝達特性に差があるので、これらの周囲温度が変化したとき、温度の変化過程で温度センサ８、１０が感じる温度と、重量センサ２、演算増幅器４が感じている実際の温度との間には、差がある。従って、温度センサ８と重量センサ２とが周囲温度に完全に熱平衡した状態、温度センサ１０と演算増幅器４とが完全に熱平衡した状態であれば、図８の計量装置において温度補償を行うことができる。しかし、周囲温度が変化している過程では、重量センサ２と温度センサ８とが感じている温度に差があり、同様に演算増幅器４と温度センサ１０とが感じている温度に差がある。この場合、図８の計量装置では、正確な温度補償ができず、大きな測定誤差が生じる。
【００３３】
この点を改善したのが、本実施形態の計量装置で、計量装置の周囲温度が変化している状態において、温度センサ８、１０の温度信号を、実際に重量センサ２、演算増幅器４が感じている温度を表す信号に変換するものである。
【００３４】
そのため、計量装置の製作時または調整時に、温度補償対象物である重量センサ２、演算増幅器４、温度センサ８、１０に温度変化のステップ入力を与える。そして、重量センサ２、演算増幅器４の零点の時間経過に伴う出力変化、温度センサ８、１０の時間経過に伴う出力の変化を求める。温度変化のステップ入力は、第１の温度、例えば温度θ１に長い時間にわたって置いた状態から、第１の温度とは異なる第２の温度、例えば温度θ２の環境下に、計量装置を置くことによって、計量装置に与えられる。
【００３５】
重量センサ２、演算増幅器４を、複数の異なる一定の温度環境下に置いて、重量センサ２、演算増幅器４が当該温度を感じている状態とし、重量センサ２、演算増幅器４に複数の異なる一定の温度を与えて、この複数の異なる一定温度に対する出力信号の変動量を求め、温度と変動量との関係を求める。この関係を基に、変動量から重量センサ２、演算増幅器４が実際に感じている温度の値を知る。
【００３６】
そして、時間経過と重量センサ２、演算増幅器４の出力変動量との関係と、重量センサ２、演算増幅器４の出力変動量と重量センサ２、演算増幅器４が実際に感じている温度との関係から、重量センサ２、演算増幅器４に温度変化のステップ入力が加えられたときの時間経過に伴う重量センサ２、演算増幅器４が感じている温度値を求める。
【００３７】
時間経過に伴って重量センサ２、演算増幅器４が実際に感じている温度の値が求まると、重量センサ２、演算増幅器４が周囲温度を感じる速度は、温度センサ８、１０が周囲温度を感じる速度よりも速いので、温度センサ８、１０の温度信号を遅れ要素を持つ伝達関数に入力することによって、温度センサ８、１０の温度信号を、重量センサ２、演算増幅器４が時間経過に伴って実際に感じる温度を表す信号に変換している。
【００３８】
これら変換信号を上述した関数発生器１６、１８、２０のうち対応するものに供給することによって、以後、図８を参照して説明したのと同様にして温度補償が行われる。
【００３９】
次に、重量センサ２を例として、重量センサ２の出力信号の零点変動の補償用温度信号の生成手段の作成法と、これを用いた補償法について説明する。
【００４０】
まず、計量装置の製作時または調整時に、重量センサ２の零点出力と、温度センサ８の温度信号との温度ステップ入力に対する過渡応答特性を求める。
【００４１】
重量センサ２と温度センサ８とを第１の温度θ１の雰囲気中に充分な長さの時間にわたって配置した後、無負荷の状態の重量センサ２の出力と、温度センサ８の出力とを測定する。このときの重量センサ２の零点出力をＺ（θ１）と、温度センサ８の出力をθ１とする。無負荷の重量センサ２は、温度θ１で出力はほぼ零に調整されているので、Ｚ（θ１）はほぼ零である。
【００４２】
別に温度槽を準備し、温度槽の温度を、補償温度領域においてθ１とは充分に離れた第２の温度θ２としておき、重量センサ２と温度センサ８とを温度槽内に配置する。この時刻をｔ１とし、時刻ｔ１から重量センサ２の零点出力と温度センサ８の温度信号とを、予め定めた時間間隔ごとに測定する。
【００４３】
時刻ｔ１での重量センサ２の零点出力をＺ（ｔ１）、温度センサ８の温度信号をθ（ｔ１）とすると、温度槽内に重量センサ２と温度センサ８とを配置した瞬間には、重量センサ２と温度センサ８とは温度θ１を感じたままであるので、重量センサ２の零点出力Ｚ（ｔ１）＝Ｚ（θ１）であり、温度センサ８の温度信号θ（ｔ１）＝θ１である。
【００４４】
やがて、時間の経過と共に、重量センサ２、温度センサ８が感じる温度は、周囲温度θ２に向かう。零点出力は、重量センサ２が感じる温度に従って変動する。また、温度信号も、温度センサ８が感じる温度に従って変動する。重量センサ２が実際に感じる温度がθ２に接近するに連れて、図２（ａ）に示すように、零点出力は飽和し始め、時刻ｔ２において変動量はほぼ一定値に収束する。時刻ｔ２での零点変動量をＺ（ｔ２）とすると、重量センサ２は時刻ｔ２において、ほぼ温度θ２を感じているので、Ｚ（ｔ２）＝Ｚ（θ２）が成立する。このテストによって、図２（ａ）に示すような温度ステップ入力に対する重量センサ２の過渡応答特性が得られる。
【００４５】
温度センサ２が実際に感じる温度θ２に接近するに連れて、温度信号も飽和し始め、図３（ｃ）に示すように、時刻ｔ２’においてほぼ温度θ２を感じているので、温度信号θ（ｔ２’）＝θ２が成立する。このテストによって、図３（ｃ）に示すような温度ステップ入力に対する温度センサ８の過渡応答特性が得られる。
【００４６】
次に、重量センサ２が感じている温度と、その温度における零点出力との関係を求める。
【００４７】
即ち、無負荷状態の重量センサ２を温度槽内に入れて、まず重量センサ２を温度θ１に長時間保ち、充分に重量センサ２が温度θ１を感じている状態として、零点変動値Ｚ（θ１）を測定する。次に、温度槽を、温度θ２までのそれぞれ異なる複数の温度とし、これら温度それぞれに重量センサ２を長時間保ち、これら温度をそれぞれ重量センサ２が感じている状態として、零点変動値をそれぞれ測定する。その結果、温度変化に対する零点変動値の変化の関係を図２（ｂ）に示すように得る。
【００４８】
重量センサ２の周囲温度をステップ状に変化させた場合に、重量センサ２が時間経過と共に感じる温度の過渡応答特性を求める。
【００４９】
即ち、図２（ａ）、（ｂ）より、大きさが（θ２−θ１）の温度ステップ入力を重量センサ２に加えたときの時間の経過に対する重量センサ２が感じる温度θの時間応答特性を求めることができる。重量センサ２は、温度θ１からθ２に向かって時間経過と共に、感じる温度が徐々に変化し、それに応じて零点も変動する。図２（ｂ）は重量センサ２の零点変動と、重量センサ２が感じている温度との関係を示しているので、零点の変動値から、重量センサ２が感じている温度が判る。
【００５０】
図２（ａ）は、時間経過に伴って、重量センサ２が感じる温度がθ１からθ２に変化するに従って重量センサ２の零点が変動する状態を示しているので、図２（ａ）、（ｂ）に基づいて、重量センサ２の時間経過に従って、重量センサ２が感じる温度の変化を導くことができる。
【００５１】
図２（ａ）において時刻ｔ２１での零点変動量Ｚ（ｔ２１）は、重量センサ２が或る温度を感じた結果として出力されたもので、ｍ２１のように破線を延長すると、図２（ｂ）の曲線と交点ｑ２１で交差し、この交点ｑ２１から温度軸上に垂線ｎ２１を立てると、温度軸との交点が零点変動量Ｚ（ｔ２１）のときに、重量センサ２が感じている温度θ２１を表す。
【００５２】
図２（ｃ）に示すように、時刻ｔ１からの時間経過と重量センサ２が感じている温度との関係を表す座標を準備し、垂線ｎ２１を延長し、時間軸の時刻ｔ２１から垂線ｒ２１を立てると、垂線ｎ２１、ｒ２１の交点ｐ２１が求められる。交点ｐ２１は、時刻ｔ２１において重量センサ２が実際に感じている温度がθ２１であることを表している。以下、同様にして、時刻ｔ３１、時刻ｔ４１、・・・時刻ｔ２までの時刻ごとに交点ｐ３１、ｐ４１、・・・ｐ２を求め、これらを結んで、曲線を得ると、この曲線は、時刻ｔ１において大きさが（θ２−θ１）の温度ステップ入力を重量センサ２に加えたときの、時間経過に従って、重量センサ２が実際に感じている温度の変化を示した過渡応答特性となる。
【００５３】
次に、温度センサ２の温度信号の過渡応答特性を、重量センサ２が実際に感じている温度の過渡応答特性に変換するための信号処理手段を作成する。
【００５４】
実際に重量センサ２が感じている温度を求められ、これを図８に示す関数発生器１８に入力すると、正確に零点変動量を推定できる。従って、重量センサ２の零点の温度補償もリアルタイムに正確に行える。
【００５５】
しかし、図２（ｃ）と図３（ｃ）との比較から明らかなように、重量センサ２が実際に感じている温度の過渡応答特性と、温度センサ８の過渡応答特性とは、異なっている。従って、温度センサ８の出力を重量センサ２が実際に感じている温度を表す変換信号（温度補償信号）に変換する信号処理手段が設けられている。
【００５６】
図３（ａ）は、図２（ｃ）に示した重量センサ２が実際に感じる温度の過渡応答特性を再掲したもので、この特性は、遅れ要素を持つ伝達関数に近似している。最も簡単な事例として、この特性が、時定数Ｔの１次遅れ系の伝達関数Ｈ（ｓ）に近似するものとすれば、
Ｈ（ｓ）＝１／（１＋Ｔｓ）
と表される。１次遅れ系において、時定数をＴすると、時刻Ｔにおける時間応答は、
１−ｅｘｐ（−ｔ／Ｔ）＝１−ｅｘｐ（−Ｔ／Ｔ）＝１−ｅｘｐ（−１）
＝１−０．３６８＝０．６３２
であるので、図３（ａ）において、
θｔ−θ１＝０．６３２（θ２−θ１）を満足するθｔを温度軸上に取って、これを通り時間軸に平行な直線を引き、時間応答曲線との交点をｐｔとし、ｐｔに対応する時間軸上の値を、時定数Ｔと定める。この時定数Ｔを持つ１次遅れ系伝達関数の時間応答特性を図３（ｂ）に示す。
【００５７】
温度センサ８は周囲温度を速く感じるように製作されているので、一般に質量が大きく、熱容量の大きい重量センサ２よりも温度応答が速く、図３（ｃ）に示すような過渡応答特性を示し、温度θ１から上述したθｔに到達するのに時間Ｔ１だけかかる。温度センサ８の過渡応答特性も、下記の１次遅れ系伝達関数Ｇ１（ｓ）に近似される。
Ｇ１（ｓ）＝１／（１＋Ｔ１ｓ）
【００５８】
この過渡応答特性を持つ温度センサ８の温度信号を、伝達関数Ｇ２（ｓ）を持つフィルタに入力し、その出力が上述した伝達関数Ｈ（ｓ）に相当するものになるように信号処理手段がしている。ここで伝達関数Ｇ２（ｓ）を例えば、時定数Ｔ２を持つ一次遅れ系の
Ｇ２（ｓ）＝１／（１＋Ｔ２ｓ）
とすると、
Ｈ（ｓ）＝Ｇ１（ｓ）Ｇ２（ｓ）＝Ｇ（ｓ）
が成立するように、時定数Ｔ２を定め、Ｇ２（ｓ）、Ｇ（ｓ）を決定する。厳密には、Ｇ（ｓ）は２つの１次遅れ伝達関数の積であるので、１つの１次遅れの伝達関数Ｈ（ｓ）とは完全に一致しないが、近似的には、次のようにすることでほぼ近い応答を得ることができる。
【００５９】
１次遅れ伝達関数Ｇ１（ｓ）、Ｇ２（ｓ）の一般形を
Ｇ１（ｓ）＝ｐ１／（ｓ＋ｐ１）
Ｇ２（ｓ）＝ｐ２／（ｓ＋ｐ２）
と置いて、これらをカスケード接続した伝達関数Ｇ（ｓ）を、時間応答関数ｇ（ｔ）に変換すると、
ｇ（ｔ）＝１−（ｐ２／（ｐ２−ｐ１））ｅｘｐ（−ｐ１ｔ）＋（ｐ１／（ｐ２−ｐ１））ｅｘｐ（−ｐ２ｔ）
と表される。横軸にｐ１ｔを取って、ｐ２の値をｐ１のｎ倍に変化させたとき、１の大きさのステップ入力に対する時間応答は、図４のように示される。Ｇ１（ｓ）、Ｇ２（ｓ）は、
Ｇ１（ｓ）＝ｐ１／（ｓ＋ｐ１）＝１／（１＋（１／ｐ１）ｓ）
Ｇ２（ｓ）＝ｐ２／（ｓ＋ｐ２）＝１／（１＋（１／ｐ１）ｓ）
と表されるので、Ｔ１＝１／ｐ１、Ｔ２＝１／ｐ２と置くと、図４は時定数がＴ１、Ｔ２の１次遅れ伝達関数のカスケード接続における大きさ１のステップ入力に対する時間応答を示している。
【００６０】
図５では、時定数の異なる複数の伝達関数の時間応答関数をｆ（ｔ）として縦軸に取り、ｐ１ｔの値を横軸に取っている。ここで、大きさ１で重量センサ２及び温度センサ８の周囲温度がステップ状に変化した場合の温度信号の時間応答が、ｇ１（ｔ）であるとする。この曲線ｇ１（ｔ）は、ｐ２＝∞の場合、即ちＴ２＝０、伝達関数Ｇ２（ｓ）＝１の場合の応答曲線であり、図３（ｃ）に相当する。
【００６１】
伝達関数Ｈ（ｓ）の特性を持つ重量センサ２の周囲温度変化が１の大きさのステップ状に変化した場合に対応する温度の時間応答特性が曲線ｈ（ｔ）である。この曲線ｈ（ｔ）は、過渡応答値０．６３２を通り横軸に平行に引いた直線と曲線ｈ（ｔ）との交点をＱとし、このＱから横軸に立てた垂線と横軸との交点をＡ２とすると、ｐ１ｔ＝０Ａ２を時定数とする１次遅れ伝達関数で、図２（ｃ）に相当するものである。
【００６２】
温度センサ８の出力応答を重量センサ２が実際に感じている温度の応答に合わせるため、曲線ｇ１（ｔ）の時間応答特性を持つ伝達関数Ｇ１（ｓ）に対して伝達関数Ｇ２（ｓ）のフィルタをカスケード接続して、その結果Ｇ（ｓ）＝Ｇ１（ｓ）Ｇ２（ｓ）の時間応答ｇ（ｔ）が、上述した交点Ｑを通るようにする。
【００６３】
図５の場合では、ｐ２＝２ｐ１とした伝達関数Ｇ２（ｓ）を持つフィルタに温度センサ８の温度信号を供給するようにすれば、Ｇ（ｓ）＝Ｇ１（ｓ）Ｇ２（ｓ）の時間応答特性がＱ点を通るので、ほぼＧｓ（ｓ）とＨ（ｓ）との時間応答特性は等しくなる。
【００６４】
このようにして、温度センサ８の温度信号の過渡応答特性は、重量センサ２が実際に感じる温度の過渡応答特性に一致するように補償されている。この伝達関数Ｇ２（ｓ）を持つフィルタが温度補償信号出力手段の一例である。
【００６５】
伝達関数Ｇ２（ｓ）は、以下のようにして実際には決定される。
【００６６】
目的とする伝達関数Ｈ（ｓ）の時間応答特性ｈ（ｔ）に近似した２次応答特性の時間応答曲線を得るため、図５に示す時間応答曲線ｇ１（ｔ）を基準にして、ｐ２をいくらの値にするかを定めるための参照曲線を、図６に示すように作成する。
【００６７】
この曲線は、図５の曲線に置いてｐ１ｔの値が１のラインをＡとし、伝達関数ｇ１（ｔ）に、ｐ２＝４ｐ１、ｐ２＝２ｐ１、ｐ２＝ｐ１を定数とする伝達関数を接続した伝達関数Ｇ（ｓ）のステップ応答が、時定数を定める目標値０．６３２へ到達するタイミングラインＡ１、Ａ２、Ａ３を求める。
【００６８】
ＡＡ１、ＡＡ２、ＡＡ３の長さをそれぞれｘ１、ｘ２、ｘ３とする。ｐ２＝４ｐ１（ｐ２／ｐ１＝４）のときｘ＝ｘ１、ｐ２＝２ｐ１（ｐ２／ｐ１＝２）のときｘ＝ｘ２、ｐ２＝ｐ１（ｐ２／ｐ１＝１）のときｘ＝ｘ３であるので、（ｘ１、４）の点ａ１、（ｘ２、２）の点ａ２、（ｘ３、１）の点ａ３を図６上にプロットする。なお、図６の縦軸はｐ２／ｐ１の値であり、横軸はｐ１ｔである。
【００６９】
温度センサ２の伝達関数Ｇ１（ｓ）が１／（１＋Ｔ１ｓ）と同定され、重量センサの伝達関数Ｈ（ｓ）が１／（１＋Ｔａｓ）と同定されたとする。但し、Ｔａ＝ｍＴ１（Ｔａ＞Ｔ１。従って、ｍ＞１）であるとし、ｐ１＝１／Ｔ１とする。
【００７０】
Ｇ１（ｓ）、Ｈ（ｓ）の時間応答特性ｇ１（ｔ）、ｈ（ｔ）は
ｇ１（ｔ）＝１−ｅｘｐ（−ｔ／Ｔ）＝１−ｅｘｐ（−ｐ１ｔ）
ｈ（ｔ）＝１−ｅｘｐ（−ｔ／Ｔａ）＝１−ｅｘｐ（−ｔ／（ｍＴ１））＝１−ｅｘｐ（ｐ１ｔｍ）
と表される。従って、図５の曲線において時間応答が０．６３２に到達するのは、ｇ１（ｔ）がｐ１ｔ＝１のとき、ｈ（ｔ）はｐ１ｔ＝ｍのときである。伝達関数Ｇ１（ｓ）に対して伝達関数Ｇ２（ｓ）をカスケード接続した伝達関数Ｇ（ｓ）の時間応答特性ｇ（ｔ）では、ｐ１ｔ＝ｍにおいて応答が０．６３２となるようにするために、図６の曲線を使用して、ｘ＝ｍ−１を横軸に取り、横軸に垂線を立てて、この曲線との交点を取り、この交点の縦軸の値ｐ２／ｐ１がｂとすると、
ｐ２＝ｂｐ１＝１／Ｔ２
Ｔ２＝１／ｂｐ１
として、接続すべき１次遅れ伝達関数Ｇ２（ｓ）＝１／（１＋Ｔ２ｓ）の時定数Ｔ２が決定される。
【００７１】
なお、図５の事例を拡張して、図６の曲線の有効範囲を広げる場合には、次のようにする。例えばＰ２＝（１／２）ｐ１を持つＧ２（ｓ）をＧ１（ｓ）に接続した場合の時間応答関数を図５にプロットする。ｐ２＝（１／２）ｐ１の場合には、
ｇ（ｔ）＝１−｛ｐ２／（ｐ２−ｐ１））ｅｘｐ（ｐ１ｔ）＋（ｐ１／（ｐ２−ｐ１）｝ｅｘｐ（−ｐ２ｔ）
であるので、この式にｐ１ｔ＝０．５、１、２、３・・・等の値を代入して求めたｇ（ｔ）の値を図６にプロットする。求めた曲線の時間応答が０．６３２となるｐ１ｔを読み取って、この値から１を減算したｘの値を求め、図６の座標上でｘの値とｐ２／ｐ１＝０．５との交点をａ４とし、ａ３−ａ４間に直線を引けばよい。
【００７２】
さらに、ｐ２＝（１／１０）ｐ１等の場合のｐ１ｔからｘの値を予め計算し、図６のグラフに加えておけば、さらに図６の曲線の有効範囲を広げることができる。
【００７３】
上記のような方法の他に、ａ１、ａ２、ａ３等の各点を通る曲線を表す関数を最小自乗法によって求めて、その関数を表す曲線を使用することもできる。
【００７４】
上記の説明は、重量センサ２の周囲温度を測定している温度センサ８の温度信号を、重量センサ２が実際に感じ、かつ零点変動に影響を及ぼす温度を表す信号に変換するためのものである。同じ重量センサ２であっても、例えばストレインゲージ式のロードセルの金属起歪体は、周囲温度の変化によってヤング率が変化し、スパンが変化する。また、起歪体の表面に貼付されているストレインゲージの温度変化によって出力信号の零点が変化するが、周囲温度に影響を受ける速度は、スパンよりも速い。このように、重量センサ２が実際に感じている温度の時間応答特性は、スパンに対するものと零点変動に対するものとでは異なる。従って、上述したものと同様にして、温度センサ８の温度信号を、零点変動補償用に使用する伝達関数と、スパン補償用に使用する伝達関数とは異なったものとなるが、上述した説明と同様にしてスパン補償用の伝達関数も決定することができる。また、演算増幅器４においても、零点変動が生じ、これも上述したのと同様にして、零点補償用に、温度センサ１０からの温度信号を演算増幅器４が実際に感じている温度を表す信号に変換するための伝達関数が決定される。
【００７５】
重量センサ２における零点の温度補償用に使用する伝達関数をＧ２２（ｓ）、重量センサにおけるスパンの温度補償用に使用する伝達関数をＧ２３（ｓ）、演算増幅器４における零点の温度補償用に使用する伝達関数をＧ３２（ｓ）とする。
【００７６】
これら伝達関数Ｇ２２（ｓ）、Ｇ２３（ｓ）、Ｇ３２（ｓ）を決定し、これら伝達関数で、温度センサ８、１０の温度信号を処理することによって、重量センサ２の零点変動に影響を与えている温度、重量センサ２のスパン変動に影響を与えている温度、演算増幅器４の零点変動に影響を与えている温度を、それぞれリアルタイムに得ることができ、これら温度に基づいてリアルタイムに温度補償を行うことができる。
【００７７】
図１は、本発明の１実施形態の計量装置のブロック図で、図８に示した基本構成の計量装置と比較すると、上述した各伝達関数Ｇ２２（ｓ）、Ｇ２３（ｓ）、Ｇ３２（ｓ）を持つ信号処理手段、例えばデジタルフィルタ２８、３０、３２が設けられている。他の構成は、図８の計量装置と同一であるので、同等部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００７８】
デジタルフィルタ２８は、１／（１＋Ｔ２２ｓ）で表される伝達関数Ｇ２２（ｓ）を持つもので、温度センサ８の温度信号をＡ／Ｄ変換器１２によってデジタル化したデジタル温度信号を入力し、これを重量センサ２の零点変動の補償用の変換信号に変換して、重量センサ２の零点補償用の関数発生器１８に供給する。デジタルフィルタ３０は、１／（１＋Ｔ２３ｓ）で表される伝達関数Ｇ２３（ｓ）を持つもので、温度センサ８の温度信号をＡ／Ｄ変換器１２によってデジタル化したデジタル温度信号を入力し、これを重量センサ２のスパン変動の補償用の変換信号に変換して、重量センサ２のスパン補償用の関数発生器１６に供給する。デジタルフィルタ３２は、１／（１＋Ｔ３２ｓ）で表される伝達関数Ｇ３２を持つもので、温度センサ１０の温度信号をＡ／Ｄ変換器１４でデジタル化したデジタル温度信号を入力し、これを演算増幅器４の零点変動補償用の変換信号に変換して、演算増幅器４の零点補償用の関数発生器２０に供給する。
【００７９】
デジタルフィルタ２８は、例えば図７に示すような巡回形とすることができる。デジタルフィルタ２８の伝達関数Ｇ２２（ｓ）をＨ２２（ｓ）／Ｆ２２（ｓ）と表すと、Ｆ２２（ｓ）は、
Ｆ２２（ｓ）＝（１＋Ｔ２２ｓ）Ｈ２２（ｓ）
と表される。これの時間応答特性ｆ２２（ｔ）は、
ｆ２２（ｔ）＝Ｔ２２ｄｈ２２（ｔ）・ｄｔ＋Ｈ２２（ｔ）
と表される。これを差分方程式に変換すると、
ｆ２２（ｎΔｔ）＝Ｔ２２（ｈ２２（ｎΔｔ）−ｈ２２（（ｎ−１）Δｔ）／Δｔ＋ｈ２２（ｎΔｔ）
となる。これを移項して、整理すると、
ｈ２２（ｎΔｔ）＝Ａ２２ｈ２２（（ｎ−１）Δｔ）＋Ｂ２２ｆ２２（ｎΔｔ）となる。但し、
Ａ２２＝（Ｔ２２／Δｔ）／（（Ｔ２２／Δｔ）＋１）
Ｂ２２＝１／（（Ｔ２２／Δｔ）＋１）
である。Δｔは、所定時間間隔である。
【００８０】
計量装置を使用するために計量装置へ電源を供給した時には、温度センサ８及び重量センサ２の温度は、周囲温度に一致していると考えられる。温度センサ８の計量信号をデジタル化したデジタル温度信号にＢ２２を乗算した値Ｂ２２ｆ２２（ｎΔｔ）をｈ２２（（ｎ−１）Δｔ）として遅延用のメモリ３４に記憶させると共に、出力ｈ２２（ｎΔｔ）として出力させる。以後、デジタル温度信号がｆ２２（ｎΔｔ）として入力されるごとに、これに係数Ｂ２２を乗算器３６によって乗算し、かつメモリ３４に記憶されている値に乗算器３８によって係数Ａ２２を乗算し、これらを加算器４０によって加算し、ｈ２２（ｎΔｔ）として出力すると共に遅延用メモリ３４に記憶させることを繰り返す。
【００８１】
他のデジタルフィルタ３０、３２も同様に構成する。
【００８２】
このようなデジタルフィルタ２８、３０、３２を使用すると、演算回路に演算を行わせるだけであるので、コストがかからず、しかも定量的に正確に遅れ要素の伝達関数の係数を求めることができるので、温度センサの上に遅れ伝熱特性を持った温度保護層を設けるなどの機械的な手段を施す方法に比べて、極めて容易に、しかも殆ど応答差がなく正確に温度補償を行うことができる。また、デジタルフィルタ２８、３０、３２と同一の伝達関数を持つアナログフィルタを、デジタルフィルタ２８、３０、３２に代えて使用することもできる。しかも、アナログフィルタでは、抵抗器やコンデンサ等の部品が必要になるが、過渡応答特性を数値的に合わせることができるので、温度保護層を設けるような機械的な手段を施す方法に比べて、正確でしかも調整範囲を広く取ることができる。
【００８３】
重量センサ２や演算増幅器４の感温時間応答特性が極めて遅く、時間応答曲線が高次遅れ系であると見なせる場合には、この時間応答曲線を高次遅れ系伝達関数に同定したり、無駄時間プラス１次遅れ系の形に同定したりすることもできる。
【００８４】
温度センサ８を重量センサ２上に設置して、重量センサ２自身の感じる温度の時間応答に近い時間応答で周囲温度を感じるようにして、温度センサ８の出力に設けるフィルタ２８、３０の時定数が小さくなるようにすることもできる。
【００８５】
上記の計量装置では、説明の便宜上、デジタルフィルタ２８、３０、３２、関数発生器１６、１８、２０、メモリ２４、補償演算回路２６の各ブロックに分けて説明した。しかし、実際には、これらブロックは、マイクロコンピュータ等によって構成される。
【００８６】
上記の計量装置では、重量センサ２用の温度センサ８と、演算増幅器４等の演算回路用の温度センサ１０とを設けたが、重量センサ２と演算増幅器４とが同じ温度である気体雰囲気中にあるときには、温度センサを１台だけ設け、重量センサ２と演算増幅器４とに共通に使用できる。
【００８７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、温度センサの温度信号を、実際に重量センサや増幅手段を含む重量検出手段が感じている温度を表す信号にリアルタイムに変換することができる。従って、この変換された信号を使用することによって、リアルタイムに且つ正確に重量信号を温度補償することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の計量装置の１実施例のブロック図である。
【図２】図１の重量センサに温度ステップ信号を入力したときの零点が時間経過と共に変化する状態を示す図と、図１の重量センサを様々な温度下での零点の変化を示す図と、図１の重量センサに温度ステップ信号を入力したときの重量センサが感じる温度が時間経過と共に変化する状態を示す図である。
【図３】図１の重量センサに温度ステップ信号を入力したときの重量センサが感じる温度が時間経過と共に変化する状態を示す図と、これに対応する過渡応答特性を示す図と、図１の温度センサに温度ステップ信号を入力したときの温度信号が時間経過と共に変化する状態を示す図とである。
【図４】図１の温度センサの温度信号をそれぞれ異なる伝達関数を持つフィルタに供給した場合の出力の変化状態を示す図である。
【図５】図１の温度センサの温度信号を重量センサが実際に感じている温度に変換するための伝達関数を定める過程の一部を示す図である。
【図６】図１の温度センサの温度信号を重量センサが実際に感じている温度に変換するための伝達関数を定める過程の他の部分を示す図である。
【図７】図１の計量装置に置いて使用されるデジタルフィルタのブロック図である。
【図８】図１の計量装置の前提となる計量装置のブロック図である。
【符号の説明】
２  重量センサ（重量検出手段）
４  演算増幅器（重量検出手段）
８  １０  温度センサ（温度検出手段）
１６  １８  ２０  関数発生器（演算手段）
２４  補償演算回路（演算手段）
２８  ３０  ３２  デジタルフィルタ（演算手段）
【図１】
2004309251.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004309251.tif 000009
【図７】
2004309251.tif 000010
【図８】
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