(57)【要約】【課題】エア操作弁と手動閉じ機構とを一体化することによって、省スペース及び低コスト化実現することができる新規な手動閉じ機構を備えたエア操作弁を提供する。【解決手段】エア操作によってシリンダピストン３３を進退し該ピストンと一体に形成された弁体４０を作動するエア操作弁において、前記シリンダピストンの後部に作動部材５１をバネ部材５２を介して配置し、先端にカム部５７を有する手動操作レバー５６と前記作動部材とを連結して前記操作レバーの回動により前記作動部材を進退可能とし、前記作動部材の前進時には前記ピストンを強制的に前進させて前記弁体４０を弁座１６に当接させて弁閉状態を作出するようにした。【選択図】　　　　図３
2004028312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エア操作によってシリンダピストンを進退し該ピストンと一体に形成された弁体を作動するエア操作弁において、
前記シリンダピストンの後部に作動部材をバネ部材を介して配置し、先端にカム部を有する手動操作レバーと前記作動部材とを連結して前記操作レバーの回動により前記作動部材を進退可能とし、前記作動部材の前進時には前記ピストンを強制的に前進させて前記弁体を弁座に当接させて弁閉状態を作出するようにしたことを特徴とする手動閉じ機構を備えたエア操作弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、エア操作弁に関し、特には半導体の製造ライン等において薬液や純水等の流体の制御に使用される手動閉じ機構を備えたエア操作弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体の製造ラインやあるいは各種薬品の製造ライン等においては各種の薬液や純粋の供給がダイヤフラム弁等を有する弁部材によって制御される。例えば、流体制御を行う装置において、エア操作によってラインの開閉を行うエア操作弁と、緊急時等に手動でラインを遮断する手動閉じ機構は、それぞれ直列に配管されている。
【０００３】
しかし、前記エア操作弁と手動閉じ機構を直列に並べて配管することは、装置２台分のスペースを必要とするとともに、複雑な流路となるため流体の液溜まり箇所が増えるという問題もでてくる。当然、装置の数が増えることは、コストの増加のみならず、複雑な部品点数の増加により装置の管理も煩雑になる嫌いがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は前記の点に鑑みなされたもので、前記エア操作弁と手動閉じ機構とを一体化することによって、省スペース及び低コスト化実現することができる新規な手動閉じ機構を備えたエア操作弁を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
すなわち、この発明は、エア操作によってシリンダピストンを進退し該ピストンと一体に形成された弁体を作動するエア操作弁において、前記シリンダピストンの後部に作動部材をバネ部材を介して配置し、先端にカム部を有する手動操作レバーと前記作動部材とを連結して前記操作レバーの回動により前記作動部材を進退可能とし、前記作動部材の前進時には前記ピストンを強制的に前進させて前記弁体を弁座に当接させて弁閉状態を作出するようにしたことを特徴とする手動閉じ機構を備えたエア操作弁に係る。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１はこの発明の一実施例に係る手動閉じ機構を備えたエア操作弁を示す断面図、図２は図１の手動閉じ機構を備えたエア操作弁の弁閉状態を示す断面図、図３は手動閉じ機構による弁閉状態を示す断面図である。
【０００７】
図１に示す、この発明の手動閉じ機構を備えたエア操作弁１０は、エア操作によってシリンダピストンを進退し該ピストンと一体にされた弁体を作動するエア操作弁部１１に、手動閉じ機構５０を備えたものである。
【０００８】
まず、この実施例の図の下部に示すエア操作弁部１１は、ダイヤフラム弁であって、バルブボディ１２の弁室１３内を可動膜部４１を有するダイヤフラム弁体４０が進退して弁室１３の流入口１４を開閉制御して流出口１５から流出する流体Ｆ１の流通を制御する。
【０００９】
図の符号２１は流体Ｆ１の流入側流路、２２は流出側流路あり、また符号３０はダイヤフラム弁体４０の作動機構（シリンダ装置）を表し、３１はシリンダ室、３２は該シリンダ室３１と前記弁室１３とを区画する区画ブロック、３３は前記ダイヤフラム弁体４０と連結されたシリンダピストン、３４及び３５は前記シリンダピストン３３を進退する作動流体の流出入部、３６はエア抜き部、３７はダイヤフラム弁体４０の緩衝材となるゴムクッション、３８はシリンダピストンを付勢するバネ部材である。
【００１０】
前記手動閉じ機構５０は、前記シリンダピストン３３の後部に作動部材５１をバネ部材５２を介して配置し、先端にカム部５７を有する手動操作レバー５６と前記作動部材５１とを連結して前記操作レバー５６の回動により前記作動部材５１を進退可能とし、前記作動部材５１の前進時には前記シリンダピストン３３を強制的に前進させて前記弁体４０を弁座１６に当接させて弁閉状態を作出する。
【００１１】
前記作動部材５１は、前記手動操作レバー５６に連結されており、該手動操作レバー５６のカム部５７によって該装置１０内に挿入される作動部材５１の長さが変化されるため、作動部材５１を進退可能とすることができる。また、該作動部材５１は常に装置１０内に対し（図面の下方へ）付勢するバネ部材５２を介して配置されているため、手動操作レバー５６は常にＡ方向（開け）とＢ方向（閉め）に傾倒した状態を保持されるため誤作動を防止することができる。
【００１２】
この実施例のエア操作弁１０においては、通常、前記手動操作レバー５６をＡ方向に傾倒させて作動部材５１を後退した状態では、前記作動部材５１とシリンダピストン３３は連結されていないために、シリンダピストン３３はバネ部材３８の付勢作用で常に前進位置にある。
【００１３】
図１のエア操作弁１０は、手動操作バー５６をＡ方向に傾倒させ、作動部材５１を後退させたもので、かつ矢印のようにエア流入部３５よりエアを流入させることによってシリンダピストン３３を後退させて弁体４０を弁座１６から離間させ流体Ｆ１を流すことができる弁開状態を示す例である。
【００１４】
また、図２に示すエア操作弁１０は、前記図１と同じく手動操作レバー５６をＡ方向に傾倒させて作動部材５１を後退させているが、この例では、前記実施例のようにエア流入部３５よりエアを流入させていないため、シリンダピストン３３はバネ部材３８により前進されて弁体４０を弁座１６に当接させた弁閉状態としている。
【００１５】
さらに、図３は手動操作レバー５６をＢ方向に傾倒させることにより、作動部材５１を前進させて、さらにシリンダピストン３３を押し出すことにより弁体４０を弁座１６に当接させて閉鎖した状態を示すものである。このように手動操作レバー５６をＢ方向へ倒して、流体Ｆ１の緊急遮断を行う場合には、エア操作弁部１１のシリンダピストン３３にエア圧がかかった弁開状態であっても、作動部材５１を押し下げるバネ部材５２の付勢力のほうが強いため、強制的に弁体４０を閉鎖するとともに、また弁閉状態を維持することができる。
【００１６】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、この発明の手動閉じ機構を備えたエア操作弁によれば、エア調節弁に、前記シリンダピストンの後部に作動部材をバネ部材を介して配置し、先端にカム部を有する手動操作レバーと前記作動部材とを連結して前記操作レバーの回動により前記作動部材を進退可能とし、前記作動部材の前進時には前記ピストンを強制的に前進させて前記弁体を弁座に当接させて弁閉状態を作出するようにした手動閉じ機構を備えたものであるため、緊急時には現場で速やかに手動で流体の遮断を行うことができる。
【００１７】
また、この構造の手動閉じ機構を備えたエア操作弁によれば、従来２個の装置であったことに比べ、配管されるスペースが小さくなるとともに、コストの低減、部品点数の減少により管理や故障も軽減する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例に係る手動閉じ機構を備えたエア操作弁を示す断面図である。
【図２】図１の手動閉じ機構を備えたエア操作弁の弁閉状態を示す断面図である。
【図３】手動閉じ機構による弁閉状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０　手動閉じ機構を備えたエア操作弁
１１　エア操作弁部
１４　作動流体の流入部
１５　作動流体の流出部
１６　弁座
３０　弁体の作動機構
３３　シリンダピストン
４０　弁体（ダイヤフラム）
５０　手動閉じ機構
５１　作動部材
５２　バネ部材
５６　操作レバー
５７　カム部
【図１】
2004028312.tif 000003
【図２】
2004028312.tif 000004
【図３】
2004028312.tif 000005