(57)【要約】【課題】水系の配管に付着する付着物を簡単に精度よく同定すること。【解決手段】試料を付着させるための金属膜を表面の一部に有する赤外光透過部材を備え、赤外光透過部材は、赤外光を受け入れる受光面と、受け入れて試料に反射した赤外光を出射させる出射面とを有する付着物検出センサを用い、そのセンサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出する。【選択図】  図２
2004317224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を付着させるための金属膜を表面の一部に有する赤外光透過部材を備え、赤外光透過部材は、赤外光を受け入れる受光面と、受け入れて試料に反射した赤外光を出射させる出射面とを有する付着物検出センサ。
【請求項２】
請求項１記載のセンサと、センサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出する分析装置とを備えた付着物検出装置。
【請求項３】
請求項１記載のセンサと、そのセンサを収容する測定室と、センサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出する分析装置とを備え、測定室は、水を導入するための水導入口と、排水を行うための排水口と、前記センサを洗浄するための洗浄装置とを備え、センサが導入された水に接触可能に設けられた付着物検出装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の付着物検出装置を用い、付着物検出装置の検出結果に基づいて、水処理薬剤の種類の選択と添加量の調整との少なくとも一方を行うことを特徴とする水処理方法。
【請求項５】
試料を付着させる付着面と、赤外光を受け入れる受光面と、受け入れて試料に反射した赤外光を出射させる出射面とを有する赤外光透過部材からなる付着物検出センサを、対象水系内に付着した付着物に接触させ、受光面から赤外光干渉波を入射し、出射面からの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出し、それによって対象水系内の付着物を検出し、その検出結果に基づいて、水処理薬剤の種類の選択と添加量の調整との少なくとも一方を行うことを特徴とする水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、付着物検出用センサとそれを用いた付着物検出装置に関し、主に、工業用水系及び工業廃水系の付着物質を検出するために用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
水資源は、我々の生活に欠くことのできない資源であり、その用途は、水道用水、工業用水及び農業用水に区分される。科学技術の進歩に伴い、これら用水の利用分野によっては、利用形態が複雑化し、より高度な品質が要求されるようになってきている。
この高品質の用水を確保するため、用水の汚染状況を把握し、その結果に基づいて様々な物理的、化学的処理が行われている。
【０００３】
工業用水の利用分野、例えば、多量の用水を製造工程水や冷却水として使用する製鉄、石油化学、製紙等の各種工場においては、節水のために可能な範囲で用水の濃縮又は循環によって、その有効利用を図っている。
【０００４】
しかし、上記製造工程水系や冷却水系では、カルシウムのような無機物、油脂のような有機物、あるいはバクテリアのような微生物などに起因するスライムなどによる付着障害が多発している。ここでスライムとは、粘性塊状泥状物質であり、このスライムが工場の熱交換器や配管等に発生すると、それが配管壁面に付着して流体抵抗を増大させると共に冷却効率を低下させ、時には配管を閉塞させる。
【０００５】
また、スライムが紙・パルプ工場の製造工程中に発生すると、製造設備や配管壁面から剥離したスライムが紙料に混入し、抄紙・巻取り工程で紙を切断させ運転を中断させる。更に混入したスライムが紙に斑点を形成させ、製品の品質を低下させる。
【０００６】
冷却水系では、濃縮や循環により水質が悪化し、水に起因する障害の発生に拍車を掛ける。これらの障害としては、機器の耐用年数の低下、機器・配管の閉塞及び破損、熱効率の低下によるエネルギー損失、メンテナンス費用の増大等が挙げられる。
そこで従来より、このような汚染物質の配管への付着を防止するために、種々の水処理薬剤を添加することが行われている。
【０００７】
そして、どの種類の水処理薬剤がその効果を充分に発揮するかを確認するために、水質分析、薬剤濃度分析及び生菌数測定等の管理状況のチェックや、テストクーポン或いは電気化学的方法（分極抵抗法、交流インピーダンス法等）による腐食状況のチェック、熱交換のスケール付着状態を知るためのバイパス試験及びスライムボード等によるスライム状況のチェック等のモニタリングが行われてきた。
【０００８】
しかし、水質分析等の管理状況のチェックは、間接的な方法であり実際の障害を防止しているかどうかの判断の目安にしかならない。また、テストクーポンやスライムボードの設置及びバイパス試験は、直接的な方法であるが、モニタリング期間が７〜３０日程度の長期間となる。
【０００９】
そこで、その対策として、水系内に浸漬配置される透明板と、その透明板の一方の側に配置された発光部と、他方の側に配置された受光部と、透明板を介して受光される光量の測定手段とを備えた検知装置を水系内の水槽内に設置し、透明板に付着する付着物の量から水系配管内の付着物の量を推定して水系にスライム防止剤を添加する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
【特許文献１】
特開平９−２３６５４６号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来の技術には、次のような問題点がある。
（１）対象系水中に懸濁物質が存在する場合（例えば、抄紙工程水系でパルプ繊維濃度が高い場合）、懸濁物質が光の透過を妨げ、付着物による光の吸収か懸濁物質による光の吸収かの判別ができず、測定が不可能となる。そのため、このような系においては、光透過度の測定前に、測定部位を清水通水に切り替えてから光透過度を測定するか、あるいは、試験水をろ過して懸濁物質を除去する必要があり、実際の汚染状況を忠実に反映する結果にならない。
（２）また、対象系水が着色されている場合（例えば、冷却水系の熱交換器）も、光が透過しないことから測定が不可能であり、汚染状況を把握することができない。
（３）付着物組成の詳細を特定することができない。
（４）測定部位を透明部材にする必要があり、該部材の材質が系内配管の材質と異なることから、該部材における付着物と系内の付着物とが必ずしも一致しない。
（５）スライム発生の早期（初期）段階での検知が困難である。
【００１２】
この発明はこのような事情を考慮してなされたもので、水系の配管部材の材質によって付着物の種類が異なる点に着目し、配管部材の材質に対応する金属膜を有するセンサを水系の一部に浸漬して金属膜に付着する物質を初期段階で短時間に検出し、それによって水処理を適正に行うことができる付着物検出用センサとそれを用いた付着物検出装置および水処理方法を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明は、試料を付着させるための金属膜を表面の一部に有する赤外光透過部材を備え、赤外光透過部材は、赤外光を受け入れる受光面と、受け入れて試料に反射した赤外光を出射させる出射面とを有する付着物検出センサを提供するものである。なお、赤外光透過部材には、いわゆるＩＲＥ（Ｉｎｔｅｒｎａｌ  Ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ  Ｅｌｅｍｅｎｔ）が用いられる。
【００１４】
また、この発明は、上記のセンサと、センサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光の強度をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出する分析装置とを備えた付着物検出装置を提供するものである。
【００１５】
さらに、この発明は、上記のセンサと、そのセンサを収容する測定室と、センサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出する分析装置とを備え、測定室は、水を導入するための水導入口と、排水を行うための排水口と、前記センサを洗浄するための洗浄装置とを備え、センサが導入された水に接触可能に設けられた付着物検出装置を提供するものである。
この発明は、前記の付着物検出装置を用い、付着物検出装置の検出結果に基づいて、水処理薬剤の種類の選択と添加量の調整との少なくとも一方を行うことを特徴とする水処理方法を提供するものである。
【００１６】
また、別の観点から、この発明は、試料を付着させる付着面と、赤外光を受け入れる受光面と、受け入れて試料に反射した赤外光を出射させる出射面とを有する赤外光透過部材からなる付着物検出センサを、対象水系内に付着した付着物に接触させ、受光面から赤外光干渉波を入射し、出射面からの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出し、それによって対象水系内の付着物を検出し、その検出結果に基づいて、水処理薬剤の種類の選択と添加量の調整との少なくとも一方を行うことを特徴とする水処理方法を提供するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
この発明のセンサにおける金属膜とは、対象とする水系の設備や配管の材料と同じか又はそれに相当する金属材料を赤外光透過部材の表面に蒸着した膜で赤外光が透過できるもの、又は赤外光透過部材の表面に接着した金網、あるいは多数の開口やスリットを有する金属薄板などであり、その金属材料としては、ステンレス鋼，銅，黄銅，クロム，クロム合金，ニッケル銅合金，チタン，チタン合金などが挙げられる。
【００１８】
この発明のセンサにおける赤外光透過部材は、例えば、後述するようＡＴＲ法に適用可能な細長い平板状もの又は細長い円柱状のものであり、平板状のものではその両面又は片面に、円柱状のものではその円周面に金属膜が形成される。
【００１９】
金属蒸着膜はその材料によっても異なるが、通常は厚さが１０ｎｍ〜５０００ｎｍであることが好ましい。金属蒸着には従来公知の種々の方法を用いることができる。なお、合金の蒸着においては通常成分が変化した膜が形成されるが、蒸着材を短時間で蒸発させる、いわゆるフラッシュ蒸着を行うことにより、合金の成分変化のほとんどない膜を作ることができる。
【００２０】
この発明のセンサにおいて、赤外光を試料に反射させて試料を同定する方法には、いわゆるＡＴＲ（Ａｔｔｅｎａｔｅｄ  Ｔｏｔａｌ  Ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ）法を好適に用いることができる。
【００２１】
以下に、ＡＴＲ法について説明する。
屈折率ｎ１の物質１から屈折率ｎ２（ｎ１＞ｎ２）の物質２との界面へ赤外光が入射角θで入射すると、θが臨界角θｃより大きい場合には入射光は物質２の界面で１００％反射、つまり全反射される。
【００２２】
しかし、ミクロ的にみると、赤外光はその波長程度だけ物質２へ滲み込む。この滲み込む光はエバネッセント波（Ｅ波）と呼ばれ、このＥ波が試料表面層を通過する際に起こる吸収の波数依存性が吸収スペクトルとして検出できることが知られている。
【００２３】
図１はＡＴＲ法を示す説明図であり、細長い板状の赤外光透過部材１の両面に試料２が密着し、部材１の一方の端面（投光面）に入射した赤外光ＩＲが試料２と部材１との界面で多重全反射される。そして、部材２の他の端面（受光面）から出射する赤外光ＩＲを測定することによって吸収を得ることができるようになっている。
従って、赤外光透過部材１に赤外光干渉波を入射し、それからの出射光をフーリエ変換して赤外吸収スペクトルを検出することにより試料２を同定することができる。なお、図１では赤外光ＩＲが多重反射されるようになっているが、最低１回の反射であってもよい。
【００２４】
赤外光透過部材の材料としては、ＡｇＣｌ，ＡｇＢｒ，ＺｎＳ，ＺｎＳｅ，ＢａＦ２，ＣａＦ２，ＣｄＴｅ，Ｓｉ，Ｇｅ，ＳｉＯ２，サファイア，ＡＭＴＩＲ，ＫＲＳ−５，ダイヤモンドなどを挙げることができる。
【００２５】
また、この発明では赤外光透過部材と試料との間に金属膜が介在するので、赤外吸収スペクトルとして金属膜の吸収スペクトルと試料の吸収スペクトルとの両方が混合して得られることになるが、金属膜のものは既知であるので、それを減算することにより、試料のみの吸収スペクトルを得ることができる。
【００２６】
この発明のセンサと、センサに赤外光干渉波を入射しセンサからの出射光をフーリエ変換して赤外スペクトルを検出する分析装置とを備えた付着物検出装置において、センサと分析装置とを光ファイバーで接続し、分析装置を持ち運び可能なハウジングに収容するようにしてもよい。
これによって、対象とする水系の任意の開放部分にセンサを浸漬させることができ、きわめて簡便に付着物の同定を行うことが可能となる。
この発明のセンサの洗浄装置としては、例えば超音波発生器が挙げられる。
【００２７】
また、この発明による水処理方法において、付着物検出センサを対象水系内に付着した付着物に接触させる方法としては、センサを水系内の設備や配管などに付着した付着物に直接接触させる方法、水系内の設備や配管などと同質の金属材料からなるテストピースを一定時間水系内に設置して付着物を付着させた後、そのテストピースを付着物検出センサに接触させる方法などが挙げられる。
【００２８】
実施例
以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。これによってこの発明が限定されるものではない。
実施例１
図２は実施例１の付着物検出装置の外観斜視図であり、この装置は付着物検出用センサ１１と分析装置１２を備え、付着物検出用センサ１１は分析装置１２へ光ファイバーケーブル１３で接続されている。分析装置１２は手提げ可能なハウジング１４内に収容され、ハウジング１４の表面には、ＬＣＤからなる表示部１５とキーボードからなる入力部１６が設けられている。
【００２９】
図３はセンサ１１の正面図、図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。これらの図に示すようにセンサ１１はセンサハウジング１７を備え、センサハウジング１７は中央部を水平方向に貫通する窓１８を有する。細長い板状の赤外光透過部材１９が窓１８を垂直方向に横切るように設けられ、赤外光透過部材の両端はそれぞれシール部材２０，２１によってセンサハウジング１７に水密的に固定されている。
【００３０】
また、赤外光透過部材１９の両端面（投光面と受光面）にはそれぞれ投光部２２と受光部２３が装着され、各々に投光用光ファイバー２４と受光用光ファイバー２５が接続されている。各ファイバー２４，２５は、センサハウジング１７の上面に固定されたブッシング２６によって束ねられ、光ファイバーケーブル１３によって分析装置１２（図２）へ接続される。
【００３１】
図５は赤外光透過部材１９の要部断面図である。同図に示すように赤外光透過部材１９は、対象水系配管の金属材料に対応する材料で形成された金属蒸着膜２７を両面全面に備える。
【００３２】
この実施例では、赤外光透過部材１９として、長さ５０ｍｍ，幅１０ｍｍ，厚板２ｍｍの溶融石英（ＳｉＯ２）を使用し、金属蒸着膜２７として厚さ１０ｎｍのステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）の膜を形成している。従って、金属蒸着膜２７の表面には、後述するように配管内壁に付着するものと同じ付着物（試料）２８が堆積するようになっている。
【００３３】
図６は、実施例１の付着物検出装置の光学系を示す構成説明図である。同図に示すようにこの光学系では、赤外光源２９から出射された赤外光ＩＲａは凹面鏡３０を介して干渉計３１に入射する。干渉計３１は、ビームスプリッタ３２、干渉計走査鏡３３、干渉計平面鏡３４，３５を備え、入射した赤外光ＩＲａを干渉波（インターフェログラム）ＩＲｂに変換する。
【００３４】
干渉波ＩＲｂは凹面鏡３６と投光用光ファイバー２４とを介して付着物検出用センサ１１へ投光され、赤外光透過部材１９内で多重反射された後、受光用光ファイバー２５と凹面鏡３７とを介して検出器３８に受光されるようになっている。
【００３５】
図７は、付着物検出装置の制御系を示すブロック図である。同図に示すように、この制御系は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭからなる情報処理部３９を備える。情報処理部３９は入力部１６と検出器３８からの出力を受けて情報処理を行い、表示部１５と駆動回路部４０に出力するようになっている。駆動回路部４０は干渉計３１の駆動部を駆動するためのドライバー（駆動回路）を備える。
【００３６】
また、情報処理部３９は分析部４１，記憶部４２，制御部４３を備える。分析部４１は、検出器３８の出力をうけてフーリエ変換し、赤外吸収スペクトルを作成し、赤外吸収スペクトルから付着物の成分を同定し、対応する適正な水処理薬剤を決定する。そして、赤外吸収スペクトルと、付着物成分と、水処理薬剤名が表示部１５に表示される。
【００３７】
記憶部４２は入力部１６から設定される各種測定条件と、分析部４１による分析結果とを一時的に格納すると共に、各種金属蒸着膜の既知の赤外吸収スペクトルデータと、情報処理部の処理プログラムなどを予め格納する。制御部４３は処理プログラムに従って駆動回路部４０を制御する。
【００３８】
このような構成を有する実施例１の使用方法と動作を次に説明する。
まず、使用者は、図２に示す付着物検出用センサ１１を対象水系の所望の開放部の水中に挿入する。この実施例では対象とする水系の配管の材料はステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）であると想定している。材料が異なる場合には、その異なる材料で金属蒸着膜２７を形成したセンサ１１を用いればよい。
【００３９】
そこで、使用者は入力部１６から金属蒸着膜２７の材料名「ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）」を入力設定し、次に「測定開始」を入力する。水中にあるセンサ１１では、窓１８（図４）の両側から水が入り込んで赤外光透過部材１９の両面に接触している。
【００４０】
そして、所定時間（例えば、５分）が経過して、図５に示すように赤外光透過部材１９の金属蒸着膜２７上に必要量の付着物２８が堆積すると、情報処理部３９は赤外光源２９を点灯し、干渉計３１で生成した干渉波ＩＲｂを付着物検出用センサ１１へ投入する。
【００４１】
投入された干渉波ＩＲｂは、赤外光透過部材１９に付着した付着物２８により金属蒸着膜２７を介して多重反射され、センサ１１から出射する。出射した干渉波ＩＲｂは検出器３８によって検出され、情報処理部３９での分析部４１でフーリエ変換され赤外吸収スペクトルが作成される。
【００４２】
入力部１６から金属蒸着膜の材料名が入力されているので、その材料名に対応する既知のスペクトルが記憶部４２から読み出される。分析部４１で作成されたスペクトルから金属蒸着膜の既知のスペクトルが減算され、付着物２８のみのスペクトルが表示部１５に表示される。
【００４３】
それと同時に、分析部４１は、付着物のスペクトルから付着物の成分とそれに対応する水処理薬剤名を特定して表示部１５に表示する。以上のように実施例１の装置を使用して簡単な操作で短時間に付着物の同定を行うことができる。
【００４４】
図１０は金属蒸着膜２７の代りに用いるための金属膜２７ａを示す正面図である。
図１０（ａ）は金属製の網板を示し、図１０（ｂ）は赤外光透過部材１９の長手方向に直交する方向の複数のスリットを有する金属板を示し、図１０（ｃ）は赤外光透過部材１９の長手方向に伸びる複数のスリットを有する金属板を示す。
【００４５】
これらの金属膜２７ａは金属蒸着膜２７の代りに赤外光透過部材１９の表面に接着される。この場合、図１１に示すように付着物２８は、金属膜２７ａの上と、赤外光透過部材１９の表面との両方に堆積する。したがって、付着物２８を赤外光透過部材１９の表面に円滑に付着させるためには、金属膜（金属板）２７ａの厚さは０．５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００４６】
次に、図１２と図１３は、付着物検出用センサ１１（図３と図４）の変形例としてのセンサ１１ａを示す断面図および下面図である。これらの図に示すようにセンサ１１ａはセンサハウジング１７ａを備え、センサハウジング１７ａは底面に窓１８ａを有する。
【００４７】
細長い板状の赤外光透過部材１９ａが窓１８ａにはめ込まれ、赤外光透過部材１９ａはシール部材２０ａを介してセンサハウジング１７ａの底面に４本のビス５５により水密的に固着される。その他の構成は前述のセンサ１１と同等である。但し、この変形例では赤外光透過部材１９ａの表面には金属蒸着膜２７が形成されていない。従って、その使用法がセンサ１１とは異なる。
【００４８】
つまり、使用者は、センサ１１ａを工業用水系または工業廃水系内の設備や配管などに付着物に直接接触させる。あるいは、工業用水系または工業排水系内の設備や配管などと同材質の金属材料からなるテストピースを一定時間対象の水系内に設置して付着物を付着させた後、そのテストピースをセンサ１１ａに接触させる。それによって、付着物（試料２８）は、図１４に示すように赤外透過部材１９ａの表面（片面）に直接付着する。
【００４９】
そこで、使用者は入力部１６（図２，図７）から「測定開始」を入力する。
情報処理部３９は赤外光源２９を点灯させ、干渉計３１で生成した干渉波ＩＲｂを付着物検出用センサ１１ａへ投入する。
【００５０】
投入された干渉波ＩＲｂは、赤外光透過部材１９ａに付着した付着物２８により多重反射され、センサ１１ａから出射する。出射した干渉波ＩＲｂは検出器３８によって検出され、情報処理部３９での分析部４１でフーリエ変換され赤外吸収スペクトルが作成され、表示部１５に表示される。それと同時に、分析部４１は、付着物のスペクトルから付着物の成分とそれに対応する水処理薬剤名を特定して表示部１５に表示する。
【００５１】
実施例２
図８は実施例２の付着物検出装置の構成説明図である。
同図に示すように付着物検出装置５２は設置形であり、測定室５３と、その中に収容された付着物検出用センサ１１（図３，図４）および洗浄用の超音波発生器４４とを備える。測定室５３は底部に試料水導入口４５と、清水導入口４６と、排出口４７を備える。
【００５２】
試料水導入口４５はポンプ４８を介して対象の水系水路５１に接続され、清水導入口４６はバルブ４９を介して図示しない清水源に接続され、排水口４７はバルブ５０を介して水路５１に接続されている。
実施例２の光学系は図６に示す光学系と同等であるので、説明を省略する。
【００５３】
図９は実施例２の制御系を示すブロック図であり、図７に示す制御系の駆動回路部４０を駆動回路部４０ａと置換したものである。そして、駆動回路部４０ａは干渉計３１の駆動部を駆動するドライバーの他に超音波発生器４４とポンプ４８とバルブ４９，５０をそれぞれ駆動するためのドライバーを備える。その他の構成は図７に示すものと同等である。
【００５４】
このような構成を有する実施例２の使用方法と動作を次に説明する。
まず、使用者は図９の入力部１６からセンサ１１の金属蒸着膜２７（図５）の材料名を入力する。但し、この場合、対象の水系配管材料と金属蒸着膜２７の材料とは一致しているものとする。
【００５５】
次に、「測定開始」を入力する。それによって所定時間だけバルブ４９が開き、清水が洗浄用水として測定室５３に満たされる。次に、超音波発生器４４が所定時間だけ駆動され、それによってセンサ１１の金属蒸着膜２７の表面を洗浄する洗浄工程が実施される。
【００５６】
次に、バルブ５０が開き、洗浄用水が排出される。次に、ポンプ４８が駆動され、所定量の水（試料水）が水路５１から導入されて測定室４３に貯留されると、バルブ５０が開く。これによって測定室５３の水は常時所定量だけ貯留されながら水路５１と測定室５３との間を循環する。
【００５７】
そして、所定時間、例えば５分が経過すると、ポンプ４８が停止してバルブ５０が閉じる。この循環期間に図５に示すように赤外光透過部材１９の金属蒸着膜２７上に必要量の付着物２８が堆積する。
【００５８】
そこで、情報処理部３９は赤外光源２９を点灯し、干渉計３１で生成した干渉波ＩＲｂを付着物検出用センサ１１へ投入する。投入された干渉波ＩＲｂは、赤外光透過部材１９に付着した付着物２８により金属蒸着膜２７を介して多重反射され、センサ１１から出射する。出射した干渉波ＩＲｂは検出器３８によって検出され、情報処理部３９での分析部４１でフーリエ変換され赤外吸収スペクトルが作成される。
【００５９】
作成されたスペクトルから金属蒸着膜の既知のスペクトルが減算され、付着物２８のみのスペクトルが表示部１５に表示される。それと同時に、分析部４１は、付着物のスペクトルから付着物の成分とそれに対応する水処理薬剤名を特定して表示部１５に表示する。以上のように実施例２の装置を使用して簡単な操作で短時間に付着物の同定を行うことができる。
【００６０】
なお、付着物の同定が終了すると、バルブ５０が開き測定室５３内の貯留水が水路５１へ排出される。この後、次の同定作業に備えて、前述のような洗浄工程を行っておいてもよい。
【００６１】
【発明の効果】
この発明によれば、赤外光透過部材の表面に水系の配管と同じ材料の金属膜を形成し、その膜に付着する付着物を赤外分光法で検出することにより、水系の配管材料によって異なる付着物を短時間で精度よく検出できることから、早期（初期）状態の付着物の特定および付着傾向が解明でき、従って、付着物による障害が生じる前に的確な処置を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係るＡＴＲ法の説明図である。
【図２】この発明に係る実施例１の外観斜視図である。
【図３】この発明に係るセンサの正面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図５】この発明に係る赤外透過部材の要部断面図である。
【図６】この発明に係る実施例１の光学系の構成説明図である。
【図７】この発明に係る実施例１の制御系のブロック図である。
【図８】この発明に係る実施例２の構成説明図である。
【図９】この発明に係る実施例２の制御系を示すブロック図である。
【図１０】この発明の金属膜の変形例を示す説明図である。
【図１１】この発明の金属膜の変形例を示す断面図である。
【図１２】この発明のセンサの変形例を示す断面図である。
【図１３】この発明のセンサの変形例を示す下面図である。
【図１４】この発明のセンサの変形例の付着物の付着状況を示す断面図である。
【符号の説明】
１  赤外光透過部材
２  試料
１１  付着物検出用センサ
１１ａ  付着物検出用センサ
１２  分析装置
１３  光ファイバーケーブル
１４  ハウジング
１５  表示部
１６  入力部
１７  センサハウジング
１７ａ  センサハウジング
１８  窓
１８ａ  窓
１９  赤外光透過部材
１９ａ  赤外光透過部材
２０  シール部材
２０ａ  シール部材
２１  シール部材
２２  投光部
２３  受光部
２４  投光用光ファイバー
２５  受光用光ファイバー
２６  ブッシング
２７  金属蒸着膜
２７ａ  金属膜
２８  付着物
２９  赤外光源
３０  凹面鏡
３１  干渉計
３２  ビームスプリッタ
３３  干渉計走査鏡
３４  干渉計平面鏡
３５  干渉計平面鏡
３６  凹面鏡
３７  凹面鏡
３８  検出器
３９  情報処理部
４０  駆動回路部
４０ａ  駆動回路部
４１  分析部
４２  付着物検出装置
４３  測定室
４４  超音波発生器
４５  試料水導入口
４６  清水導入口
４７  排水口
４８  ポンプ
４９  バルブ
５０  バルブ
５１  水路
５２  付着物検出装置
５３  測定室
５５  ビス
ＩＲ  赤外光
ＩＲａ  赤外光
ＩＲｂ  干渉波
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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