(57)【要約】【課題】安全にかつ効率良く加水分解反応を進めることができ、好ましくは塩素イオンの除去により後の洗浄工程も簡略化できるジルコニアゾルの製造方法、及びその方法を用いたジルコニア微粉末の製造方法を提供する。【解決手段】ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液にオゾン含有ガス又はオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入することを特徴とする。【選択図】　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液にオゾン含有ガスを連続的に又は間欠的に導入することを特徴とするジルコニアゾルの製造方法。
【請求項２】
前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液に水分を補給する請求項１記載のジルコニアゾルの製造方法。
【請求項３】
ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液にオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入することを特徴とするジルコニアゾルの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３いずれかに記載のジルコニアゾルの製造方法で得られたジルコニアゾルを、乾燥、仮焼、及び粉砕してジルコニア又は部分安定化ジルコニアの微粉末を得るジルコニア微粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法、及びその方法を用いたジルコニア微粉末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりジルコニア微粉末は、必要に応じてバインダーが添加された後に焼結されて、固体電解質、酸素センサなどの機能性セラミックスや、光コネクタ部品などの構造用セラミックス等として使用されている。このようなジルコニア微粉末の製造方法としては、加水分解法、共沈法、アルコキシド法、水熱合成法などによりジルコニアゾルを得た後、これを脱水・乾燥し、更に仮焼したものを粉砕する方法が一般的であった。なかでも加水分解によりジルコニアゾルを製造する方法は、アルコキシド法や水熱合成法に比べ生産性が高く、また共沈法に比べ得られる微粒子の均一性が良く、焼結温度が低いことなどから、焼結体の機械的特性なども良好になることが知られている。
【０００３】
上記の加水分解法は、オキシ塩化ジルコニウムなどのジルコニウム塩を含む水溶液を、加熱・反応させてジルコニウム塩を加水分解させるものである。しかし、単に加熱を行うだけでは、反応・熟成に長時間を要し、生産性に問題があった。
【０００４】
そこで、加水分解反応を効率良く行わせる目的で、過酸化水素や過酸化水素を生成する化合物を添加して加熱する方法が幾つか提案されている（特開昭６１−４４７１４号公報、特開昭６２−１４１６２０号公報、特開平３−２５７０２１号公報、特開平８−２７７１１４号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように過酸化水素水を添加した原料を加熱して加水分解を行うと、１００℃付近で爆発的なガス発生がおこるため、安全を期するための付帯設備が過大となり、工業的な利用が困難であった。
【０００６】
また、ジルコニウム塩水溶液にオゾンを添加する方法も、特公平４−４９７９号公報、及び特開平８−２７７１１４号公報に記載されているが、添加方法についての具体的な記載は存在せず、オゾン水を原料水溶液に最初に添加することを意図していると理解される。
【０００７】
一方、上記の加水分解法を行う際、還流器付きの反応容器を用いて還流しながら反応させるなど、閉じた系で反応を行うのが通常であった。しかし、閉じた系で反応を行うと、原料のオキシ塩化ジルコニウムに由来する塩素イオンが系内に残存し、加水分解反応が十分進まず、反応率が低下する又は反応に長時間を要するなどの問題があった。また、残存する塩素イオンは、仮焼工程などの高温加熱の際に有毒ガスを生じさせるため、十分な洗浄が必要であった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、安全にかつ効率良く加水分解反応を進めることができ、好ましくは塩素イオンの除去により後の洗浄工程も簡略化できるジルコニアゾルの製造方法、及びその方法を用いたジルコニア微粉末の製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、加水分解反応を促進する方法について鋭意研究したところ、ジルコニウム塩を含む水溶液にオゾン含有ガス又はオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入することにより、加水分解反応が促進され、しかも爆発的なガス発生も生じにくいことを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
即ち、本発明のジルコニアゾルの製造方法は、ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液にオゾン含有ガスを連続的に又は間欠的に導入することを特徴とする。
【００１１】
その際、前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液に水分を補給することが好ましい。
【００１２】
一方、本発明の別のジルコニアゾルの製造方法は、ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液にオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入することを特徴とする。
【００１３】
他方、本発明のジルコニア微粉末の製造方法は、上記何れかのジルコニアゾルの製造方法で得られたジルコニアゾルを、乾燥、仮焼、及び粉砕してジルコニア又は部分安定化ジルコニアの微粉末を得ることを特徴とする。
【００１４】
［作用効果］
本発明のジルコニアゾルの製造方法によると、実施例の結果が示すように、水溶液にオゾン含有ガスを連続的に又は間欠的に導入するため、加水分解反応を促進することができ、しかも爆発的なガス発生も生じにくい。加水分解反応を促進することができる理由の詳細は不明であるが、連続的に又は間欠的に導入するため、水溶液にある程度のオゾン濃度、すなわち酸化力が維持でき、またオゾン含有ガスの導入により揮発する塩素成分の排出が促進されるためと推測される。
【００１５】
その際、前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液に水分を補給する場合、水溶液中の塩素成分が蒸発し、その蒸発成分を系外に排出するため、水溶液中の塩素イオン濃度を減少させることができ、これによって加水分解反応をより促進することができる。また、蒸発に伴って水溶液の水分が減少するが、水溶液に水分を補給することで、水分減少による問題を回避することができる。更に、水溶液中の塩素イオン濃度が減少するため、後の洗浄工程も簡略化できる。従って、簡易な工程を付加するだけで、低コストで更に効率良く加水分解反応を進めることができ、後の洗浄工程も簡略化できるようになる。
【００１６】
一方、本発明の別のジルコニアゾルの製造方法によると、水溶液にオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入するため、加水分解反応を促進することができ、しかも爆発的なガス発生も生じにくい。加水分解反応を促進することができる理由の詳細は不明であるが、連続的に又は間欠的に導入するため、水溶液にある程度のオゾン濃度、すなわち酸化力が維持でき、またオゾン含有水から発生するガスにより揮発する塩素成分の排出が促進されるためと推測される。その際、水溶液からの蒸発成分を系外に排出するため、水溶液中の塩素イオン濃度を減少させることができ、これによって加水分解反応をより促進することができる。
【００１７】
他方、本発明のジルコニア微粉末の製造方法によると、上記の如き作用効果を奏する加水分解を行うため、全体として安全にかつ効率良くジルコニア微粉末を製造することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
〔ジルコニアゾルの製造方法〕
本発明のジルコニアゾルの製造方法は、ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させてジルコニアゾルを得るものである。本発明において、ジルコニアゾルとは、ジルコニウム化合物（水和物、水酸化物等）を主成分とし、必要に応じて安定化剤等の添加剤を含むコロイド状物を指す。一方、本発明における部分安定化ジルコニアとは、安定化剤を固溶させることで、正方晶を安定な相（準安定相）として存在させたものである。
【００１９】
本発明における加水分解は、ジルコニウム塩を含む水溶液（以下「ジルコニウム塩水溶液」と略す場合がある）を加熱して行うが、ジルコニウム塩としては、オキシ塩化ジルコニウム、塩化ジルコニウム、硝酸ジルコニル、硫酸ジルコニウム、炭酸ジルコニウム、酢酸ジルコニウムなどが挙げられる。また、アルカリまたは酸などを添加して加水分解させることも可能である。更に、部分安定化ジルコニアを得る目的で、後述する安定化剤やその原料となる水溶性化合物を添加してもよい。
【００２０】
一方、さらに加水分解反応を促進させるために、ジルコニウム塩水溶液には中和共沈法により生成したジルコニアゾルや、加水分解により生成した水酸化物又は水和物（いわゆるタネ）を添加してもよい。これらのタネは、水洗したものを添加してもよい。加水分解によってタネを調製する場合、本発明のジルコニアゾルの製造方法により得られたジルコニアゾル又はそのろ過物などを使用してもよい。
【００２１】
使用するジルコニウム塩水溶液の濃度は、０．０１〜４ｍｏｌ／リットルとすることが好ましく、より好ましくは０．１〜２ｍｏｌ／リットルである。また、ジルコニウム塩水溶液を調整する際に、アンモニア水、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリを用いてｐＨ調整を行ったり、イオン交換樹脂、又は尿素などを分解して塩基性を示す化合物などを用いてｐＨ調整を行ってもよい。このようにしてｐＨ調整を行う場合、加水分解反応をより促進する観点より、ｐＨ１〜３が好ましい。
【００２２】
ジルコニウム塩水溶液の加水分解は加熱しながら行われ、その際、蒸発が生じるが、これを還流したり、又は蒸発成分を系外に排出しつつ水溶液に水分を補給してもよい。加熱温度は、一般的に加水分解反応が効率良く上で、８０℃〜煮沸温度が好ましい。
【００２３】
本発明では、前記ジルコニウム塩水溶液にオゾン含有ガスを連続的に又は間欠的に導入することを特徴とする。オゾン含有ガスの導入方法は、供給管、供給ノズル、供給用多孔体を水溶液中に配置して、適当な圧力で供給すればよい。但し、気泡径が小さいほど、オゾンを溶解させる効率が高いため、気泡径を小さくする導入方法のが好ましい。
【００２４】
オゾン含有ガスを連続的に導入する場合の供給量としては、加水分解反応の促進する上で、ジルコニウム塩水溶液１リットルあたり、オゾン量で１０〜５００ｇ／ｈが好ましく、３０〜１００ｇ／ｈがより好ましい。また、間欠的に供給する場合の供給量も、上記に相当する量を適当な時間間隔で供給すればよい。
【００２５】
オゾン含有ガスは、市販のオゾンガス生成装置で生成することができ、これをそのままで或いは適当なガスで希釈して使用することができる。ジルコニウム塩水溶液に導入するオゾン含有ガス中のオゾン濃度は１０〜１００ｇ／ｍ３が好ましい。１０ｇ／ｍ３未満では、投入するオゾン量に比べガス流量が多くなりすぎ、水溶液の吹き上がり等の制御が難しくなる傾向がある。１００ｇ／ｍ３を超えると、ガス流量が少なくなりすぎ、キャリアーガスとしての効果が薄れる傾向がある。
【００２６】
また、本発明では、前記ジルコニウム塩水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液に水分を補給するのが好ましい。その場合の加熱温度は、１０５〜１２０℃が好ましい。１０５℃より低いと塩酸の蒸発が効率良く行われず、塩素イオンの除去効果が低くなる傾向がある。また、１２０℃を超えて加熱しても、蒸発量は顕著には変わらず、塩素除去の効果は促進されにくい傾向がある。
【００２７】
水溶液からの蒸発成分を系外に排出する方法としては、凝縮器まで蒸発成分を導いて凝縮器で液化して系外に排出する方法や、キャリアーガス（加熱温度以上が好ましい）によって系外に排出して中和、液化、又は除害などを行う方法、系内を減圧したうえ蒸発成分を導いて凝縮器で液化して系外へ排出する方法などが挙げられる。なかでも凝縮器で液化する方法が、操作が簡便であるため、好ましい。凝縮器としては、冷却水を用いるもの、空冷式、冷却装置を備えるものなど何れでもよい。なお、上記のオゾン含有ガスは、当該キャリアーガスとしての効果をも有する。
【００２８】
キャリアーガスを使用する場合、酸素、空気、窒素、希ガスなどの不活性ガスなど、特に制限なく使用することができる。また、キャリアーガスを循環させながら、その循環経路に設けた凝縮器によって液化成分を系外に排出しつつ、キャリアーガスを系内に戻すようにしてもよい。これによると、蒸発成分の流動と液化が迅速に行え、効率良く蒸発成分の排出が行えるようになる。
【００２９】
水溶液に水分を補給する方法としては、減量に応じた水分を連続的又は間欠的に添加する方法が挙げられる。但し、本発明では、ジルコニウム塩水溶液の水分量を厳密に一定に維持する必要はなく、極端な水分量の変化が生じない程度に水分を補給すればよい。水分は、純水、イオン交換水などを、高温で添加するのが好ましく、８０〜９９℃で添加するのが好ましいが、反応液の温度を維持できるならば、室温でもかまわない。また、上記の凝縮器による液化で生じた塩酸水溶液から、中和沈殿などで塩酸を除去した液を、系内に戻すようにしてもよい。
【００３０】
上記のような操作によって、未処理の場合に比べ、塩素含有量が１／２以下のジルコニアゾルを高収率で得ることができる。その際、反応終了時の塩素含有量が未処理の場合に比べ１／３以下となるように条件設定するのが好ましい。その結果、後の洗浄工程を簡略化することができる。また、反応時間を従来の還流を行う場合と比べて、２０〜４０％程度短縮することができる。
【００３１】
〔別発明のジルコニアゾルの製造方法〕
本発明の別のジルコニアゾルの製造方法は、ジルコニウム塩を含む水溶液を加熱して加水分解させるジルコニアゾルの製造方法において、前記水溶液からの蒸発成分を系外に排出するとともに、前記水溶液にオゾン含有水を連続的に又は間欠的に導入することを特徴とする。つまり、以上で説明した水分の補給の代わりに、オゾン含有水を使用する点のみが相違する。以下、相違点のみについて説明する。
【００３２】
オゾン含有水は、市販のオゾン水生成装置等を用いて製造することができ、例えば純水中に生成したオゾン含有ガスを注入して溶解させる方法、水道水などの原料水を直接電気分解する方法などが挙げられる。
【００３３】
オゾン含有水のオゾン濃度は、反応促進効果を考慮すると濃度が高いほど好ましいが、高濃度オゾン水は人体に対して危険性があるため、５〜１０ｐｐｍが好ましい。導入するオゾン含有水の温度は、溶解性との関係から１０〜５０℃が好ましい。
【００３４】
また、加熱温度は、８０℃〜煮沸温度が好ましい。８０℃より低いと塩酸の蒸発が効率良く行われず、塩素イオンの除去効果が低くなる傾向がある。また、煮沸温度を超えて加熱しても、蒸発量は顕著には変わらず、塩素除去の効果は促進されにくい傾向がある。この際、導入オゾン水が低温であるため、水溶液の温度が、維持できるよう加熱温度を調整するのが好ましい。
【００３５】
〔ジルコニア微粉末の製造方法〕
一方、本発明のジルコニア微粉末の製造方法は、以上のようなジルコニアゾルの製造方法で得られたジルコニアゾルを、乾燥、仮焼、及び粉砕してジルコニア又は部分安定化ジルコニアの微粉末を得るものである。
【００３６】
本発明では、上記のようにして得られたジルコニアゾルをまず乾燥する。乾燥方法は何れの方法でもよく、例えば、ジルコニアゾルを含む懸濁液をそのまま、または該懸濁液に有機溶媒を添加してスプレー乾燥する方法、該懸濁液にアルカリなどを添加して濾過・水洗したあとに乾燥する方法を挙げることができる。但し、一旦ろ過などにより脱水を行った後に乾燥することが、後工程において有害なイオン成分を除去できるため好ましい。また、脱水方法としては、水を減圧留去等により除去し濃縮し、この濃縮した物、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール或いはアセトン等の有機溶媒を加えて溶媒置換を行い、脱水処理し、溶媒を除去する方法もある。
【００３７】
また、安定化剤を含む部分安定化ジルコニアの微粉末を得る場合には、ジルコニアゾルの懸濁液に安定化剤を添加して乾燥してもよく、あるいは加水分解のときに前もって添加してもよく、両者に分割して添加してもよい。また、安定化剤を添加してからアルカリを用いて共沈させた後、乾燥を行ってもよい。
【００３８】
安定化剤としては、例えば、カルシウム、マグネシウム、又はイットリウム、チタン、セリウム、ケイ素、ジスプロシウム、ランタン系希土類、遷移金属等、３価以上の金属元素の水溶性塩、酸化物、水酸化物、水和物などが挙げられる。なお、安定化剤は、仮焼後において、上記金属の酸化物等として機能するが、当該金属酸化物の生成プロセスに応じた原料化合物（例えば前記の水溶性化合物）が通常添加される。
【００３９】
また、必要に応じて安定化剤以外の金属化合物、例えば、アルミナ、スピネル、マグネシア、シリカ、ムライトなどを添加してもよい。その際、これらを水溶性化合物として添加してもよいが、工業的には粉体として添加・混合するのが好ましく、本発明の製造方法で得られるジルコニア微粉末に対して、乾式操作で混合したり、仮焼後の粉体に対して混合するのが好ましい。
【００４０】
次いで、本発明では、上記の乾燥したジルコニア微粒子を仮焼するが、前記の乾燥と仮焼を分けずに行ってもよい。仮焼温度は、３００〜１３００℃の範囲にするのが好ましく、より望ましい仮焼温度は、５００〜１２００℃である。仮焼温度が３００℃よりも低くなると、安定化剤と十分に固溶したジルコニア微粉末が得にくくなり、いっぽう、１３００℃よりも高くなると、粒子間の焼結による強固な凝集が起こるために分散性のよいジルコニア微粉末が得にくくなる傾向がある。
【００４１】
仮焼時の雰囲気ガスは、種々のガスを選択することができる。このときに使用するガスは、水蒸気を含んでいてもよい。ガスの種類としては、空気、二酸化炭素、酸素等を挙げることができる。
【００４２】
仮焼の保持時間は、仮焼温度にもよるが例えば０．５〜１０時間が適当である。保持時間が０．５時間よりも小さくなると均一に仮焼されにくく、１０時間よりも長くなると生産性が低下する傾向がある。
【００４３】
得られた仮焼物の粉砕は、湿式粉砕又は乾式粉砕により行うことができる。湿式粉砕の方法としては、湿式ボールミルなどの湿式媒体ミル、高圧高速液流を利用した湿式ミルなどを用いる方法が挙げられる。また、乾式粉砕の方法としては、カウンター式ジェットミル、衝突式ジェットミルなどのジェットミル、乾式ボールミルなどの乾式媒体ミル、その他の機械式衝撃粉砕機などが挙げられる。粉砕は凝集粒子の平均粒子径が２．０μｍ以下となるまで行うのが好ましい。
【００４４】
以上のようにして得ることができるジルコニア微粉末は、典型的には、Ｘ線回折法により求めた正方晶率または正方晶率と立方晶率の和が６０〜１００％であり、凝集粒子の平均粒子径が２．０μｍ以下であるジルコニア微粉末である。
【００４５】
このようなジルコニア微粉末は、通常行われている方法で焼結して焼結体とすることができる。なお、焼結に際し、その温度は１２００〜１６００℃、特に１３００〜１５００℃とすることができ、また時間は３０分〜４時間とすることができる。
【００４６】
【実施例】
以下、本発明の構成と効果を具体的に示す実施例等について説明する。なお、実施例等における生成率と塩素含有量は下記のようにして測定を行った。
【００４７】
〔ジルコニアゾルの生成率〕
誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ）を用いて、原料水溶液および得られたジルコニアゾルに含まれるジルコニウムイオン量を各々測定し、両者の差を前者で除した値を百分率で示した。なお、ジルコニウムイオン量の測定は、原料水溶液又はジルコニアゾルを限外ろ過して、得られたろ液に含まれる量を測定した。
【００４８】
〔塩素含有量〕
塩素含有量はチップ形塩化物イオン電極を備えたイオン濃度計を用いて測定した。
【００４９】
〔実施例１〕
純水にオキシ塩化ジルコニウムを溶解し、０．２ｍｏｌ／Ｌのジルコニウム水溶液を作製し、この水溶液がｐＨ２．０になるまでアンモニア水（濃度２８重量％）を添加した。一方、市販のオゾンガス生成装置を用い、酸素ガスからオゾン含有ガスを生成（オゾン３ｇ／ｈ、オゾン濃度５５ｇ／ｍ３、供給ガス量２Ｌ／分）させ、これを上記水溶液（１Ｌ）中に多孔板付ノズル（気泡径約０．５ｍｍ）から導入して連続的にオゾンを供給した。この状態で、１００℃で３６時間維持して水和ジルコニアゾルを得た。
【００５０】
その際、蒸発分は還流させずに系外で水冷型の凝縮器により液化して排出し、５分ごとの排出重量と同重量の純水（２５℃）を５分毎に系内に投入した。加熱中、爆発的なガス発生は観察されず、また得られたジルコニアゾルの生成率は９３％、水溶液中の塩素含有量は４４００ｐｐｍであった。
【００５１】
〔実施例２〕
純水にオキシ塩化ジルコニウムを溶解し、０．２ｍｏｌ／Ｌのジルコニウム水溶液を作製し、この水溶液がｐＨ２．０になるまでアンモニア水（濃度２８重量％）を添加した。一方、市販のオゾン水生成装置を用い、オゾン濃度８ｐｐｍのオゾン水を連続的に作製した。上記水溶液を１００℃で３６時間維持して水和ジルコニアゾルを得た。
【００５２】
その際、蒸発分は還流させずに系外で水冷型の凝縮器により液化して排出し、５分ごとの排出重量と同重量の上記オゾン水（２５℃）を５分毎に系内に投入した。加熱中、爆発的なガス発生は観察されず、また得られたジルコニアゾルの生成率は９４％、水溶液中の塩素含有量は５１００ｐｐｍであった。
【００５３】
〔比較例１〕
純水にオキシ塩化ジルコニウムを溶解し、０．２ｍｏｌ／Ｌのジルコニウム水溶液を作製し、この水溶液に対し体積比で１／３０にあたる過酸化水素水（濃度３１重量％）を添加した上で、更にｐＨ２．０になるまでアンモニア水（濃度２８重量％）を添加した。
【００５４】
得られた水溶液を還流下で加熱し、１００℃で３６時間維持して水和ジルコニアゾルを得た。加熱中、１００℃付近で爆発的なガス発生がおこり、冷却還流塔から塩素臭のするガスが流出した。得られたジルコニアゾルの生成率は９８％、水溶液中の塩素含有量は５２００ｐｐｍであった。
【００５５】
〔比較例２〕
比較例１において、加熱温度を７０℃にして加水分解を行うこと以外は同じ操作により、加水分解を行った。低温のため加熱中、爆発的なガス発生はおこらなかったが、得られたジルコニアゾルの生成率は７６％、水溶液中の塩素含有量は１２０００ｐｐｍであった。
【００５６】
〔比較例３〕
純水にオキシ塩化ジルコニウムを溶解し、０．２ｍｏｌ／Ｌのジルコニウム水溶液を作製し、この水溶液にｐＨ２．０になるまでアンモニア水（濃度２８重量％）を添加した。得られた水溶液を還流下で加熱し、１００℃で３６時間維持して水和ジルコニアゾルを得た。加熱中、爆発的なガス発生は観察されず、また得られたジルコニアゾルの生成率は８５％、水溶液中の塩素含有量は１３１００ｐｐｍであった。
【００５７】
〔比較例４〕
市販のオゾンガス生成装置を用い、オゾン濃度８ｐｐｍのオゾン水を１Ｌ作製した。このオゾン水にオキシ塩化ジルコニウムを溶解し、０．２ｍｏｌ／Ｌのジルコニウム水溶液を作製し、この水溶液がｐＨ２．０になるまでアンモニア水（濃度２８重量％）を添加した。得られた水溶液を還流下で加熱し、１００℃で３６時間維持して水和ジルコニアゾルを得た。加熱中、爆発的なガス発生は観察されず、また得られたジルコニアゾルの生成率は８６％、水溶液中の塩素含有量は１３１００ｐｐｍであった。
【００５８】
〔実施例３〕
実施例１で得られたジルコニアゾルをフィルタでろ過し、イットリア換算で３ｍｏｌ％にあたるＹＣ１３水溶液を加え攪拌し、さらにｐＨ１０になるまでアンモニア水を滴下し、共沈物を得た。この共沈物をフィルタでろ過し、純水で洗浄し、噴霧乾燥してイットリウム含有水和ジルコニア微粉末を得た。この水和ジルコニアゾルを１０５０℃、大気下で２時間仮焼し、部分安定化ジルコニア微粉末を得た。
【００５９】
得られたジルコニア微粉末のＢＥＴ比表面積は１２１ｍ２／ｇだった。このジルコニア微粉末を流動層式のカウンター式ジェットミル（ホソカワミクロン（株）製、型式：１００ＡＦＧ）にて乾式粉砕した。その際、内蔵する分級機の回転数は１８，０００ｒｐｍとした。得られたジルコニア微粉末の凝集粒子の平均粒径は０．９μｍ、ＢＥＴ比表面積は１２．５ｍ２／ｇだった。また、ジルコニア微粉末の正方晶率は９４％、単斜晶率は６％だった。