(57)【要約】【課題】シールダイアフラム６Ａに外部から印加され内部空間の封入液ＬＱＡを介して伝達された高圧側圧力と、シールダイアフラム６Ｂに外部から印加され内部空間の封入液ＬＱＢを介して伝達された低圧側圧力との差圧を検出する検出部１を過大圧から保護する保護部２内の保護ダイアフラムに、過大圧印加後に残る塑性変形を減らして差圧測定時の零点変動を抑制する。【解決手段】シールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）に過大圧が作用してシールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が本体５Ａ（５Ｂ）の右（左）の波形表面に着座すると、シールダイアフラム室８Ａ（８Ｂ）にあった封入液ＬＱＡ（ＬＱＢ）は保護ダイアフラム室９Ａ（９Ｂ）と１０Ａ（１０Ｂ）に分散して移動するため、この時の保護ダイアフラム４Ａ（４Ｂ）の変位が保護ダイアフラム１枚の場合より減り、保護ダイアフラムの発生応力、従って過大圧印加後に保護ダイアフラムに残る塑性変形が減少する。【選択図】　　　　図１
2004028704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の封入液を介して伝達された第１の圧力と第２の封入液を介して伝達された第２の圧力との差圧を検出する差圧センサと、
周縁が固定されると共に第１の封入液が充填された第１の液体空間に対する外部からの第１の圧力の入力面を構成し、第１の圧力が第２の圧力に対し、所定の第１の差圧分高まった第１の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体に着座し第１の液体空間側への変位を停止する第１のシールダイアフラムと、
同じく周縁が固定されると共に第２の封入液が充填された第２の液体空間に対する外部からの第２の圧力の入力面を構成し、第２の圧力が第１の圧力に対し、所定の第２の差圧分高まった第２の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体に着座し第２の液体空間側への変位を停止する第２のシールダイアフラムと、
周縁が固定されて第１の液体空間と第２の液体空間との界面を構成し、前記第１の過大圧状態では第２の液体空間側に弾性変形によってそれぞれ所定の第１の体積分変位し、前記第２の過大圧状態では第１の液体空間側に弾性変形によってそれぞれ所定の第２の体積分変位する複数枚の保護ダイアフラムとを備えたことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の差圧測定装置において、
前記保護ダイアフラムが支持板を介して同軸に配置され、該支持板が対向する保護ダイアフラムと周縁において接合されると共に、該保護ダイアフラムとの間に該保護ダイアフラムの当該支持板側への弾性変形を妨げず、且つ該保護ダイアフラムの反対面側の液体空間とは異なる前記第１または第２の液体空間に連通する保護ダイアフラム室を形成してなることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の差圧測定装置において、
前記保護ダイアフラムを２枚としたことを特徴とする差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定差圧に応じた信号を出力する検出部と、過大圧から検出部を保護するための保護ダイアフラムとを備えた差圧測定装置であって、特に過大圧印加による出力変動を抑制できる差圧測定装置に関する。
なお、以下各図において同一の符号は同一もしくは相当部分を示す。
【０００２】
【従来の技術】
図２は過大圧に対する保護機能を備えた従来の差圧測定装置の構成例を示し、同図内の断面部分は主として以下に述べる保護部２の軸断面である。この図２の装置は大別すると、検出部１と保護部２とからなり、検出部１と保護部２とは高圧側の導圧管７Ａと低圧側の導圧管７Ｂを介して連結されている。なお、本例では図の向かって右側の保護部２を高圧側の保護部とし、同じく向かって左側の保護部２を低圧側の保護部とする。
【０００３】
検出部１は、本例ではその膜面両側の差圧に比例して変位し膜面を可動電極の電極面とするダイヤフラムと、このダイヤフラムの両面側にそれぞれ設けられた固定電極とを持ついわゆる静電容量型の差圧センサ（図外）を備えており、測定すべき差圧を電気信号に変換して出力する。この検出部１の構成は周知の通りであるから、その説明は省略する。
【０００４】
保護部２は導入圧力に対して、差圧センサの耐圧強度を超える差圧が検出部１に伝達されないように保護する役割を持ち、本例ではこの保護部２は、主として円形平板状の保護ダイアフラム４と、この保護ダイアフラム４を挟んで面対称に対向し、保護ダイアフラム４および導圧孔１５Ａ，１５Ｂの中心線を軸とする円柱状の本体５Ａ，５Ｂと、本体５Ａ，５Ｂと同軸で回転対称の波形断面を持ち本体５Ａ，５Ｂのそれぞれ右，左の端面に互いに面対称に取付けられた円形薄膜状のシールダイアフラム６Ａ，６Ｂとからなる。
【０００５】
そして、これら保護ダイアフラム４と本体５Ａ，５Ｂとはそれぞれの外周ないし周縁部で互いに接合され、本例では保護ダイアフラム４の外周部分の溶接部ＷＤにて互いに溶接されている。
ここで、保護ダイアフラム４は、この差圧測定装置が測定する差圧の範囲内では保護ダイアフラム４の両面間に加わる圧力差に対して、その変位（歪み）が比例するような弾性変形を行い、他方、シールダイアフラム６Ａ，６Ｂは上記測定差圧の範囲内では、その剛性が無視できる状態で変位するものとする。
【０００６】
図右側（高圧側）の本体５Ａの左端面は本体５Ａの軸に回転対称に擂鉢状に凹んでおり、これにより保護ダイアフラム４との間に保護ダイアフラム室９Ａが形成されている。また、本体５Ａの右端面は本体５Ａの軸に回転対称のシールダイアフラム６Ａの波形断面とほぼ同じ断面形状を持つ波形面に形成され、シールダイアフラム６Ａは本体５Ａのこの右端面との間にシールダイアフラム室８Ａを形成するようにその周縁部で本体５Ａに接合されている。
【０００７】
導圧孔１５Ａは本体５Ａをその軸線に沿つて貫通し、シールダイアフラム室８Ａと保護ダイアフラム室９Ａとに連通している。また、本体５Ａに別に穿たれた導圧孔１３Ａは一方では保護ダイアフラム室９Ａの外周近傍に開口し、他方では導圧管７Ａを経て検出部１の図示していない高圧側の導圧空間に連通している。同様に、図左側（低圧側）の本体５Ｂの右端面は本体５Ｂの軸に回転対称に擂鉢状に凹んでおり、これにより保護ダイアフラム４との間に保護ダイアフラム室９Ｂが形成されている。また、本体５Ｂの左端面は本体５Ｂの軸に回転対称のシールダイアフラム６Ｂの波形断面とほぼ同じ断面形状を持つ波形面に形成され、シールダイアフラム６Ｂは本体５Ｂのこの左端面との間にシールダイアフラム室８Ｂを形成するようにその周縁部で本体５Ｂに接合されている。
【０００８】
導圧孔１５Ｂは本体５Ｂをその軸線に沿つて貫通し、シールダイアフラム室８Ｂと保護ダイアフラム室９Ｂとに連通している。また、本体５Ｂに別に穿たれた導圧孔１３Ｂは一方では保護ダイアフラム室９Ｂの外周近傍に開口し、他方では導圧管７Ｂを経て検出部１の図示していない低圧側の導圧空間に連通している。保護ダイアフラム４により右側に仕切られた、シールダイアフラム室８Ａ、導圧孔１５Ａ、保護ダイアフラム室９Ａ、導圧孔１３Ａ、導圧管７Ａ、検出部１内の図外の高圧側導圧空間等からなる高圧側内部空間には圧力伝達用の封入液ＬＱＡが充填されている。
【０００９】
同様に、保護ダイアフラム４により左側に仕切られた、シールダイアフラム室８Ｂ、導圧孔１５Ｂ、保護ダイアフラム室９Ｂ、導圧孔１３Ｂ、導圧管７Ｂ、検出部１内の図外の低圧側導圧空間等からなる低圧側内部空間には圧力伝達用の封入液ＬＱＢが充填されている。
この従来装置の動作は次のとおりである。測定対象の２ケ所の圧力がシールダイアフラム６Ａ，６Ｂにそれぞれ印加されると、シールダイアフラム６Ａに印加された圧力は、高圧側内部空間の封入液ＬＱＡを媒体にして検出部１の高圧側に、またシールダイアフラム６Ｂに印加された圧力は、低圧側内部空間の封入液ＬＱＢを媒体にして検出部１の低圧側にそれぞれ伝達される。
【００１０】
ここで、高圧側（低圧側）から過大圧が作用した場合、その圧力に応じて保護ダイアフラム４が低圧側（高圧側）へ変位して、その変位体積分だけシールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が対向する本体５Ａ（５Ｂ）側に変位する。
そして、シールダイアフラム室８Ａ（８Ｂ）にあった封入液が保護ダイアフラム室９Ａ（９Ｂ）に移動し、シールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が対向する本体５Ａ（５Ｂ）の右側（左側）の波形表面に着座すると、それ以上の過大圧は検出部１へは伝達されなくなり、検出部１は過大圧から保護されることになる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
保護ダイアフラム４は、測定差圧範囲内でシールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が本体５Ａ（５Ｂ）に着座しないように、そのばね定数が決定される。このため測定差圧が大きい仕様の場合、ぱね定数を大きく設定するために保護ダイアフラム４の板厚を厚くする必要がある。
【００１２】
このような高差圧仕様では、保護ダイアフラム４の変位による封入液空間の同じ体積変化に対する保護ダイアフラム４内の発生応力が高くなり、保護ダイアフラム４の設計を困難にしている。また、過大圧印加後に保護ダイアフラム４に残留する塑性変形に起因する、差圧測定時の零点変動を余儀なくされたり、使用圧力等の条件を制限しなくてはならない等の問題がある。
【００１３】
この発明の目的は、保護ダイアフラムに生じる応力を抑制することにより、過大圧印加後に保護ダイアフラムに残る塑性変形に起因する零点変動を改善した差圧測定装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、請求項１の差圧測定装置は、
第１の封入液（ＬＱＡ）を介して（導圧管７Ａ等を経て）伝達された第１の（高圧側の）圧力と第２の封入液（ＬＱＢ）を介して（導圧管７Ｂ等を経て）伝達された第２の（低圧側の）圧力との差圧を検出する（検出部１内の図外の）差圧センサと、
周縁が固定されると共に第１の封入液が充填された（シールダイアフラム室８Ａ、保護ダイアフラム室９Ａ等を含む）第１の液体空間に対する外部からの第１の圧力の入力面を構成し、第１の圧力が第２の圧力に対し、所定の第１の差圧分高まった第１の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体（本例では本体５Ａ）に着座し第１の液体空間側への変位を停止する第１のシールダイアフラム（６Ａ）と、
同じく周縁が固定されると共に第２の封入液が充填された（シールダイアフラム室８Ｂ、保護ダイアフラム室９Ｂ等を含む）第２の液体空間に対する外部からの第２の圧力の入力面を構成し、第２の圧力が第１の圧力に対し、所定の第２の差圧分高まった第２の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体（本例では本体５Ｂ）に着座し第２の液体空間側への変位を停止する第２のシールダイアフラム（６Ｂ）と、
周縁が固定されて第１の液体空間と第２の液体空間との界面を構成し、前記第１の過大圧状態では第２の液体空間側に弾性変形によってそれぞれ所定の第１の体積分変位し、前記第２の過大圧状態では第１の液体空間側に弾性変形によってそれぞれ所定の第２の体積分変位する複数枚の保護ダイアフラム（４Ａ，４Ｂなど）とを備えたものとする。
【００１５】
また請求項２の差圧測定装置は、請求項１に記載の差圧測定装置において、
前記保護ダイアフラムが支持板（３など）を介して同軸に配置され、該支持板が対向する保護ダイアフラムと周縁において接合されると共に、該保護ダイアフラムとの間に該保護ダイアフラムの当該支持板側への弾性変形を妨げず、且つ該保護ダイアフラムの反対面側の液体空間とは異なる前記第１または第２の液体空間に連通する保護ダイアフラム室（１０Ａ，１０Ｂなど）を形成してなるようにする。
【００１６】
また請求項３の差圧測定装置は、請求項１または２に記載の差圧測定装置において、前記保護ダイアフラムを（４Ａ，４Ｂの）２枚とする。
本発明の作用は、保護ダイアフラムの枚数を複数枚とすることにより、過大圧印加時にシールダイアフラムが本体に着座する際、シールダイアフラム室にあった封入液が複数の保護ダイアフラム室に分散して移動することから、保護ダイアフラムの変位による封入液空間の体積変化分が少なくなって、保護ダイアフラムに生じる応力を下げることができ、これにより過大圧印加後に保護ダイアフラムに残る塑性変形を少なくして、塑性変形に起因する差圧測定時の零点変動を改善するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例としての構成を示し、同図ａ）は図２に対応している。また、同図ｂ）は同図ａ）の下方の中央部分（具体的には後述の本体５Ａの円筒状突出部５１Ａと本体５Ｂの円筒状突出部５１Ｂとの接合部分）の近傍の拡大図である。
【００１８】
次に図１の図２と異なる点を主体に説明する。図１は図２に対し、保護ダイアフラムが、軸を同じくする厚い円盤状の支持板３を挟んで同軸に並ぶ４Ａと４Ｂの２枚になっている点が大きく異なる。
ここで、本体５Ａの図右側の端面には、図２と同様にシールダイアフラム６Ａが取り付けられると共に、高圧側の過大圧印加時にシールダイアフラム６Ａが本体５Ａに密着して着座できるように、本体５Ａの軸に回転対称の同心円状の波形加工が施されている。
【００１９】
また本体５Ａの図左側の端面には本体５Ａを同軸円筒状に突出させた円筒状突出部５１Ａが設けられ、この円筒状突出部５１Ａの底面になる本体５Ａの左側端面は本体５Ａの軸に回転対称の擂鉢状にへこんだ凹面になっている。
本体５Ｂも本体５Ａとほぼ同じ構造で、本体５Ｂの図左側の端面には図２と同様、シールダイアフラム６Ｂが取り付けられると共に、低圧側の過大圧印加時にシールダイアフラム６Ｂが本体５Ｂに密着して着座できるように、本体５Ｂの軸に回転対称の同心円状の波形加工が施されている。
【００２０】
また本体５Ｂの図右側の端面には本体５Ｂを同軸円筒状に突出させた円筒状突出部５１Ｂが設けられ、この円筒突出部５１Ｂの底面になる本体５Ｂの右側端面は本体５Ｂの軸に回転対称の擂鉢状にへこんだ凹面になっている。
そして、本体５Ａの円筒状突出部５１Ａの左側の端面と、本体５Ｂの円筒状突出部５１Ｂの右側の端面とが互いに接合するように構成されている。
【００２１】
支持板３の外周上の、支持板３の軸方向（厚さ方向）の中間部分には、支持板３と同軸で回転対称の一様な厚みを持ち、外径が本体５Ａ，５Ｂの円筒状突出部５１Ａ，５１Ｂの内径に等しい鍔状の突起部３１が設けられている。
そして、支持板３の両面は、この支持板３の軸に回転対称のそれぞれ擂鉢状にへこんだ凹面になっており、支持板３はこの各凹面の周縁の溶接部ＷＤ１，ＷＤ２でそれぞれ保護ダイアフラム４Ａ，４Ｂと溶接されている。
【００２２】
これにより、支持板３の右側の凹面と保護ダイアフラム４Ａとの間には保護ダイアフラム室１０Ｂが形成され、支持板３の左側の凹面と保護ダイアフラム４Ｂとの間には保護ダイアフラム室１０Ａが形成されている。
保護ダイアフラム４Ａ，４Ｂを溶接された支持板３は、その鍔状突起部３１の外周が、本体５Ａの円筒状突出部５１Ａの先端部分で円筒状突出部５１Ａの内周に嵌合し、且つ保護ダイアフラム４Ａの右側の面が本体５Ａの左側端面の凹面の周縁に接合するように本体５Ａに組み合わされて、円筒状突出部５１Ａの先端部分の溶接部ＷＤ３で本体５Ａに溶接されている。
【００２３】
また、本体５Ｂは、その円筒状突出部５１Ｂの先端部分で、この円筒状突出部５１Ｂの内周が、本体５Ａに溶接されてなお一部が円筒状突出部５１Ａの左側の端面から突き出ている支持板３の鍔状突起部３１の外周に嵌合し、且つ保護ダイアフラム４Ｂの左側の面が本体５Ｂの右側端面の凹面の周縁に接合するように、支持板３および本体５Ａに組み合わされ、本体５Ａと５Ｂの円筒状突出部５１Ａと５１Ｂとの突き合わせ部分としての溶接部ＷＤ４で本体５Ａに溶接されている。
【００２４】
これにより、本体５Ａの左側の凹面と保護ダイアフラム４Ａとの間には保護ダイアフラム室９Ａが形成され、本体５Ｂの右側の凹面と保護ダイアフラム４Ｂとの間には保護ダイアフラム室９Ｂが形成されている。
さらに、支持板３の鍔状突起部３１の右側における支持板３および保護ダイアフラム４Ａの外周と、円筒状突出部５１Ａの内周との間には導圧空間２１Ａが形成され、同様に支持板３の鍔状突起部３１の左側における支持板３および保護ダイアフラム４Ｂの外周と、円筒状突出部５１Ｂの内周との間には導圧空間２１Ｂが形成されている。
【００２５】
そして、保護ダイアフラム室１０Ａは支持板３内に穿たれた導圧孔１１によって導圧空間２１Ａに連通し、さらに導圧空間２１Ａは本体５Ａに穿たれた導圧孔１７によって導圧孔１５Ａの中間部に連通している。導圧孔１５Ａは図２と同様に本体５Ａの軸心を通って一端は保護ダイアフラム室９Ａに連通し他端はシールダイアフラム室８Ａに連通しており、さらにこの導圧孔１５Ａ上の前記中間部に一端が開口している導圧孔１３Ａを介して検出部１への高圧側の導圧管７Ａに連通している。
【００２６】
また、保護ダイアフラム室１０Ｂは支持板３内に穿たれた導圧孔１２によって導圧空間２１Ｂに連通し、さらに導圧空間２１Ｂは本体５Ｂに穿たれた導圧孔１８によって導圧孔１３Ｂの中間部に連通している。この導圧孔１３Ｂは一端は検出部１への低圧側の導圧管７Ｂに連通すると共に、他端は導圧孔１５Ｂの中間部に連通している。そして導圧孔１５Ｂは図２と同様に本体５Ｂの軸心を通って一端は保護ダイアフラム室９Ｂに連通し、他端はシールダイアフラム室８Ｂに連通している。
【００２７】
シールダイアフラム室８Ａ、導通孔１５Ａ、保護ダイアフラム室９Ａ、導通孔１７、導圧空間２１Ａ、導通孔１１、保護ダイアフラム室１０Ａ、導通孔１３Ａ、導圧管７Ａ、検出部１内の図外の高圧側導圧空間等からなる高圧側内部空間には圧力伝達用の封入液ＬＱＡが充填されている。
同様に、シールダイアフラム室８Ｂ、導通孔１５Ｂ、保護ダイアフラム室９Ｂ、導通孔１３Ｂ、導通孔１８、導圧空間２１Ｂ、導通孔１２、保護ダイアフラム室１０Ｂ、導圧管７Ｂ、検出部１内の図外の低圧側導圧空間等からなる低圧側内部空間には圧力伝達用の封入液ＬＱＢが充填されている。
【００２８】
以上の構成において、２枚の保護ダイアフラム４Ａ，４Ｂは並列に動作するようになる。ここで、高圧側あるいは低圧側の一方から過大圧が作用した場合の過大圧保護作用について説明する。
即ち、高圧側（低圧側）のシールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）に過大圧が作用すると、圧力は、内部封入液ＬＱＡ（ＬＱＢ）を媒体にして２枚の保護ダイアフラム４Ａ，４Ｂに伝達され、その圧力に応じて２枚の保護ダイアフラム４Ａ，４Ｂが低圧側（高圧側）へ変位して、その変位分だけシールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が対向する本体５Ａ（５Ｂ）側に変位する。
【００２９】
このとき本例では、シールダイアフラム室８Ａ（８Ｂ）にあった封入液のうち、前記変位に対応するシールダイアフラム室８Ａ（８Ｂ）の体積変化分の１／２は、導圧孔１５Ａ（１５Ｂ）を介して保護ダイアフラム室９Ａ（９Ｂ）へ移動し、他の１／２は導圧孔１５Ａ，１７、導圧空間２１Ａ、導圧孔１１（導圧孔１５Ｂ，１３Ｂ，１８、導圧空間２１Ｂ、導圧孔１２）を介して保護ダイアフラム室１０Ａ（１０Ｂ）に移動する。
【００３０】
そして、シールダイアフラム６Ａ（６Ｂ）が対向する本体５Ａ（５Ｂ）の右（左）側の波形表面に着座すると、それ以上の過大圧は検出部１へは伝達されなくなり、　検出部１は過大圧から保護されることになる。
【００３１】
【発明の効果】
従来技術である１枚構造保護ダイアプラムと本発明の２枚構造保護ダイアフラムとで、ダイアフラムに発生する応力値を比較してみる。
１枚構造保護ダイアフラムを２枚構造保護ダイアフラムに置き換えた場合を比較するので、１枚構造保護ダイアフラムのばね定数と２枚構造保護ダイアフラムの合成ばね定数は等しいという条件とする。なお、保護ダイアフラムのばね定数を次式のように定義する。
【００３２】
【数１】
（ばね定数）＝（圧力変化）／（体積変化）
ここで、
（圧力変化）：保護ダイアフラムの両面に加わる圧力相互の差、
（体積変化）　：上記の（　圧力変化）に基づき保護ダイアフラムが変位することによって生ずる空間の体積変化。
【００３３】
また、装置の大きさを同一にするために、保護ダイアフラムの作動径も１枚構造、２枚構造ともに等しい条件とする。
従来技術である１枚構造保護ダイアフラムの場合、等分布荷重を受ける周辺固定円板の材料力学の公式から、中央変位ｗ１　、最大応力σ１　はそれぞれ次式（１）、（２）で表され、
２枚構造保護ダイアフラムの場合、各ダイアフラムの中央変位ｗ２　、最大応力σ２　は式（１）、（２）と同様にそれぞれ次式（３）、（４）で表される。
【００３４】
【数２】
１枚構造保護ダイアフラムの場合：
中央変位ｗ１　＝３ｑａ４　（１−ν２　）／１６Ｅｈ１３　　・・・式（１）
最大応力σ１　＝３ｑａ２　／４ｈ１２　　　　　　　　　　・・・式（２）
２枚構造保護ダイアフラムの場合：
中央変位ｗ２　＝３ｑａ４　（１−ν２　）／１６Ｅｈ２３　　・・・式（３）
最大応力σ２　＝３ｑａ２　／４ｈ２２　　　　　　　　　　・・・式（４）
但し
ｗ１　：１枚構造保護ダイアフラムの中央変位
ｗ２　：２枚構造保護ダイアフラムの各ダイアフラム中央変位
σ１　：１枚構造保護ダイアフラムに発生する最大応力
σ２　：２枚構造保護ダイアフラムに発生する最大応力
ｈ１　：１枚構造保護ダイアフラムの板厚
ｈ２　：２枚構造保護ダイアフラムの各ダイアフラムの板厚
ｑ：保護ダイアフラムに印加される圧力
ａ：保護ダイアフラムの半径
ν：保護ダイアフラムのポアソン比
Ｅ：保護ダイアフラムの縦弾性係数
１枚構造保護ダイアフラムのばね定数と２枚構造保護ダイアフラムの合成ばね定数は等しいという条件から、　同じ圧力ｑに対して、２枚構造保護ダイアフラムの各ダイアフラムの中央変位ｗ２　は、次式（５）のように１枚構造保護ダイアフラムの中央変位ｗ１　の１／２となる。この式（５）に式（１），（３）を代入して次式（６）が得られる。
【００３５】
【数３】
ｗ２　＝ｗ１　／２　　　　　　　　　　　　　　・・・式（５）
ｈ２　＝２１／３　・ｈ１　　　　　　　　　　　　　・・・式（６）
この式（６）は、従来技術の１枚構造保護ダイアフラムを合成ばね定数が等しい２枚構造保護ダイアフラムに置き換える場合、　２枚構造保護ダイアフラムの各ダイアフラムの板厚ｈ２　は、１枚構造保護ダイアフラムの板厚ｈ１　の２１／３　（　≒１．２６）倍に設計すれば良いことを示している。
【００３６】
式（４）の両辺をそれぞれ式（２）の両辺で割って、次式（７）が得られ、この式（７）に式（６）を代入して次式（８）の関係が得られる。
【００３７】
【数４】
σ２　／σ１　＝ｈ１２／ｈ２２　　　　　　　　　　　　　　・・・式（７）
σ２　＝２−２／３・σ１　≒０．　６３σ１　　　　　　・・・式（８）
この式（８）から、従来技術の１枚構造保護ダイアフラムを、合成ばね定数が等しい２枚構造保護ダイアフラムに置き換えれば、保護ダイアフラムに発生する応力を約６３％に低減できることがわかる。
【００３８】
つまり、本発明に関わる実施例では、従来の技術に比べ、保護ダイアフラムに生じる応力を約３７％低減させることができ、過大圧印加後に保護ダイアフラムに残る塑性変形を少なくし、塑性変形に起因する差圧測定時の零点変動を抑制できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例としての差圧測定装置の要部の構成図
【図２】図１に対応する従来例の構成図
【符号の説明】
１　　　　　　　　　　　　　　検出部
２　　　　　　　　　　　　　　保護部
３　　　　　　　　　　　　　　支持板
４Ａ，４Ｂ　　　　　　　　　　保護ダイアフラム
５Ａ，５Ｂ　　　　　　　　　　本体
６Ａ，６Ｂ　　　　　　　　　　シールダイアフラム
７Ａ，７Ｂ　　　　　　　　　　導圧管
８Ａ，８Ｂ　　　　　　　　　　シールダイアフラム室
９Ａ，９Ｂ，１０Ａ，１０Ｂ　　保護ダイアフラム室
１１，１２，１３Ａ，１３Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ，１７，１８　　導圧孔
２１Ａ，２１Ｂ　　　　　　　　導圧空間
３１　　　　　　　　　　　　　鍔状突起部
５１Ａ，５１Ｂ　　　　　　　　円筒状突出部
ＷＤ１〜ＷＤ４　　　　　　　　溶接部
ＬＱＡ，ＬＱＢ　　　　　　　　封入液
【図１】
2004028704.tif 000003
【図２】
2004028704.tif 000004