(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ピックアップしようとしているダイとマッピングデータ上のダイとがずれてしまうことを防止し、生産タクトの向上を図ること。【解決手段】吸着装填ノズルによりピックアップするダイ供給テーブル上のダイを撮像する認識カメラと、該認識カメラにより撮像した画像を認識処理する認識処理装置と、ウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータを格納するＲＡＭと、ダイ供給テーブル上のピックアップされるべきダイを認識カメラで撮像して認識処理装置で認識処理した際に、当該ダイにバンプが無い場合には、認識処理した結果とＲＡＭに格納されたマッピングデータと比較して、不一致であると判断したときには運転を停止するように制御するＣＰＵとを設けた。【選択図】　図６
2004128010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のピックアップすべきダイを撮像する部品認識カメラと、該部品認識カメラにより撮像した画像を認識処理する認識処理装置と、ウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータを格納する記憶装置と、前記ウエハテーブル上のピックアップされるべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理した際に当該ダイにバンプが無い場合には前記認識処理した結果と前記記憶装置に格納されたマッピングデータとを比較して不一致であると判断したときには運転を停止するように制御する制御装置とを設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ方法において、前記ウエハテーブル上のピックアップすべきダイを部品認識カメラで撮像し、該部品認識カメラにより撮像した画像を認識処理装置で認識処理し、当該ダイにバンプが無い場合には前記認識処理した結果と記憶装置に格納されたウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータとを比較して不一致であると制御装置が判断したときには運転を停止することを特徴とするダイピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハテーブル上のダイをピックアップするダイピックアップ装置及びダイピックアップ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種ダイピックアップ装置にあっては、記憶装置にウエハにおける各ダイが良品であるか不良品であるかの情報であるマッピングデータを格納し、このデータに基づいて良品のみピックアップして、基板に装着していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２６０４１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ウエハテーブル上にバンプが無い不良品が連続して並んでいる場合には、この連続した不良品の次の良品をピックアップすべくスキップして撮像しても、シートの引っ張り（エクスパンド）の程度によっては撮像の対象がピックアップすべき当該良品の両隣のいずれかにずれるという問題があった。特に、ダイが小さくなってくると、尚更ずれる虞れが増加する。
【０００５】
従って、折角マッピングデータを使用しても、これからピックアップしようとしているダイとマッピングデータ上のダイとがずれてしまって、無駄な撮像及び認識処理をしてしまい、生産タクトが悪くなってしまう。
【０００６】
そこで本発明は、ピックアップしようとしているダイとマッピングデータ上のダイとがずれてしまうことを防止し、生産タクトの向上を図ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このため第１の発明は、ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のピックアップすべきダイを撮像する部品認識カメラと、該部品認識カメラにより撮像した画像を認識処理する認識処理装置と、ウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータを格納する記憶装置と、前記ウエハテーブル上のピックアップされるべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理した際に当該ダイにバンプが無い場合には前記認識処理した結果と前記記憶装置に格納されたマッピングデータとを比較して不一致であると判断したときには運転を停止するように制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。
【０００８】
また第２の発明は、ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ方法において、前記ウエハテーブル上のピックアップすべきダイを部品認識カメラで撮像し、該部品認識カメラにより撮像した画像を認識処理装置で認識処理し、当該ダイにバンプが無い場合には前記認識処理した結果と記憶装置に格納されたウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータとを比較して不一致であると制御装置が判断したときには運転を停止することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が適用されるダイピックアップ装置としてダイボンダやテーピング装置などがあるが、テーピング装置に適用する実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１及び図２のテーピング装置の平面図及び左側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１に立設されたピンにテープ供給リール２が回転可能に係止され、当該テープ供給リール２に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）３Ａの先端が、当該テープ本体３Ａに図示しないプーリにより適度なテンションを与えられ、搬送レール４を介して巻取りリール５に固定されている。
【００１０】
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間で、テープ本体３Ａの収納凹部３Ｂ内にダイＤが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納凹部３Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール６から供給されるカバーテープ３Ｃで被覆した後、前記巻取りリール５に巻取られていく。尚、上述したようにテープ本体３Ａと、これに設けられた収納凹部３Ｂと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）３Ｃとでテープ３が形成されるが、前記テープ本体３Ａはボトムテープと間隔子とで形成される。
【００１１】
そして、部品装填装置１０によるテープ本体３Ａの収納凹部３Ｂ内へダイＤが挿入された後、部品検査機構７によりこのダイＤが検査され、そしてテープ圧着機構８によりテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとが圧着され、前記巻取りリール５に巻き取られることとなる。
【００１２】
次に、前記部品装填装置１０について、説明する。先ず、Ｙ軸駆動モータ１１ＡによりＹ方向に移動可能なＹテーブル１１の上にはＸ軸駆動モータ１２ＡによりＸ方向に移動可能なＸテーブル１２が設けられ、該Ｘテーブル１２の上に枠体１３が固定されている。そして、前記枠体１３の水平板１４の中央部にはインデックスユニット１５が、また前後部には対向して認識カメラ１６及び認識カメラ１７が設けられている。
【００１３】
また、前記水平板１４の下面には図示しない駆動モータにより前記インデックスユニット１５を介して間欠回転（９０度間隔で）する回転盤２０が設けられ、該回転盤２０には複数個、例えば９０度間隔で４個配設された各装着ヘッド２１に取出具としての吸着装填ノズル２２が配設されている。
【００１４】
尚、前記吸着装填ノズル２２は図示しない上下軸駆動モータ１８により装着ヘッド２１が上下動可能に構成されると共に、θ軸駆動モータ１９により垂直線回りに回転可能である。
【００１５】
また、前記Ｘテーブル１２の上にはＹ軸駆動モータ２４ＡによりＹ方向に移動可能なＹテーブル２４が設けられ、更に該Ｙテーブル２４の上にはＸ軸駆動モータ２５ＡによりＸ方向に移動可能なＸテーブル２５が設けられている。そして、該Ｘテーブル２５上は支持テーブル２６を介して鉛直方向を軸として所定回転範囲でθ回転可能なダイ供給テーブル２７が設けられ、該供給テーブル２７上にはシート２８に貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイＤに分割された状態で固定されており、このダイＤは裏面より突き上げピン２９により突き上げられながら、取出されるものである。
【００１６】
３０はθ軸駆動モータで、該θ軸駆動モータ３０の駆動軸の周囲に形成された歯車３１が前記ダイ供給テーブル２７の下部周囲に形成された歯車３２に噛み合い、該θ軸駆動モータ３０の駆動による前記駆動軸の回転により両歯車３１、３２が回転してベアリング３３を介して前記ダイ供給テーブル２７を例えば９０度、１８０度、２７０度回転させるものである。
【００１７】
図１における認識カメラ１７の下方は部品吸着（取出し）ステーションで、この図１の状態、即ち回転盤２０の回転中にダイ供給テーブル２７上の取出すべきダイＤ及び次に取出すべきダイＤを認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４で当該ダイＤの位置などを認識し、移動してくる吸着装填ノズル２２の直下方位置に位置するよう前記Ｙテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させ、この部品吸着ステーションでダイ供給テーブル２７上のダイＤを下降した前記吸着装填ノズル２２が吸着して取出す構成である。
【００１８】
次にインデックスユニットを介する回転盤２０の９０度回転に合わせて次の認識ステーションに搬送され、更にその次の部品挿入ステーションに搬送される。この認識ステーションに部品認識カメラ９が配置され、前記吸着装填ノズル２２に吸着保持されているダイＤが撮像され、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置３４により認識される。この場合、外観の形状（欠け等）、バンプの大きさや位置が異常であれば、後述するように廃棄される。
【００１９】
次にインデックスユニットを介する回転盤２０の９０度回転に合わせて次の部品挿入ステーションに搬送されるが、この搬送中において、認識カメラ１６により搬送レール４上のテープ本体３Ａの３個の収納凹部３Ｂを撮像する。即ち、最左の収納凹部３Ｂ内にダイＤが挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納凹部３Ｂ内には挿入されていない（空である）ことの確認及び当該最右の収納凹部３Ｂの位置認識のために３個の収納凹部３Ｂを同時に撮像する。
【００２０】
従って、認識カメラ１６により撮像した後に認識処理装置３４により当該最右の収納凹部３Ｂの位置を認識処理し、その結果に基づいて制御装置であるＣＰＵ３５が前記Ｙテーブル１１の駆動モータ１１Ａ、Ｘテーブル１２の駆動モータ１２Ａ及び前記θ軸駆動モータ１９を補正制御し、真中の収納凹部３Ｂ内の適正位置に下降する吸着装填ノズル２２によりダイＤを挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル２２に吸着されたダイＤを下方で待機している搬送レール４上のテープ本体３Ａの収納凹部３Ｂ内に、回転盤２０のＸＹ方向の補正移動及び吸着装填ノズル２２のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【００２１】
そして、この挿入装填後に、巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間に、部品検査機構７が前記テープ本体３Ａの収納凹部３Ｂ内に挿入された状態のチップ部品に対して部品検査（例えば、電気特性検査等）を行い、テープ圧着機構８でダイＤの検査が終了したテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させるものである。
【００２２】
前記部品検査機構７は、マーク認識カメラ７Ａと検査部７Ｂとから構成され、マーク認識カメラ７Ａは前記収納凹部３Ｂ内に挿入された状態のダイＤを照明装置で照明した状態で撮像するマーク認識カメラで、当該収納凹部３Ｂ内のダイＤに付された機種番号等のマークを認識し、検査部７Ｂは下面にプローブ針を備え、平面方向に移動可能であると共に上下動機構（図示せず）により上下動可能で、下降することにより前記収納凹部３Ｂ内に挿入されたダイＤにプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【００２３】
尚、最左の収納凹部３Ｂ内にダイＤが挿入されたか否かの有無確認のため、前記認識カメラ１６の撮像に基づく認識処理装置３４の認識処理の結果、挿入されていないと判断された場合には、当該テーピング装置を停止するように前記ＣＰＵ３５が制御する。
【００２４】
また、最右の収納凹部３Ｂ内には既に挿入されていると判断された場合にも、当該テーピング装置を停止するように前記ＣＰＵ３５が制御する。
【００２５】
次に、図３に基づき、テーピング装置の制御ブロック図についてする説明。３５はテーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、３６は記憶装置としてのＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）、３７はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ３５は前記ＲＡＭ３６に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ３７に格納されたプログラムに従い、前記テーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作についてインターフェース３８及び駆動回路３９を介して各駆動源を統括制御する。尚、ＲＯＭ３７の代わりにハードディスクを用い、このハードディスクからＲＡＭ３６に読み込まれたプログラムに従い、ＣＰＵ３５が各駆動源を統括制御するようにしてもよい。
【００２６】
前記ＲＡＭ３６には、図４に示す前記ダイ供給テーブル２７に張られたシート２８上の各ダイＤについて、良品であるか不良品であるかの情報及び「バンプＢ無し」の情報であるマッピングデータ（図５参照）が格納されている。尚、「バンプＢ無し」の情報に限らず、バンプＢの有及び無に関する情報を格納してもよいが、「バンプＢ無し」の情報が格納されていない場合には「バンプＢ有り」として扱うものである。
【００２７】
４０は操作部で、数字をキーインするテンキー４１、カーソルキー４２、モードの設定等をするＳＥＴキー４３、電子部品装着装置を教示モードにするための教示キー４４、同装置を自動運転モードにするための自動キー４５、同装置を手動運転モードにするための手動キー４６、始動キー４７、作動キー４８及び停止キー４９とを備えている。
【００２８】
また、前記各認識カメラ１６、１７により撮像された画像を認識処理装置３４が取り込むが、５０はその取り込まれた画像を表示するＣＲＴで、５１は教示の際の編集画面を表示するＣＲＴで、５２はマウスである。
【００２９】
以上の構成により、以下ダイＤの取出し動作について、特に図６に基づき説明する。先ず、部品吸着（取出し）ステーションへの回転盤２０の移動中にダイ供給テーブル２７上の取出すべきダイＤを認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４により当該ダイＤの位置及びバンプＢの数や面積を認識する。このとき、ダイＤの位置については前記認識カメラ１７により撮像された取出すべきダイＤの画像とＲＡＭ３６に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイＤの位置を認識処理装置３４が認識処理する。
【００３０】
そして、この認識結果に基づき、例えばバンプＢの数が４個で面積が設定面積の８０％超であれば良品であり、運転を継続し、移動してくる吸着装填ノズル２２の直下方位置に位置するよう前記Ｙテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させ、この部品吸着ステーションでチップ部品供給テーブル２７上のダイＤを前記吸着装填ノズル２２が下降して吸着して取出す。
【００３１】
そして、順次以上のように認識処理して、良品であればチップ部品供給テーブル２７上のダイＤを前記吸着装填ノズル２２が下降して吸着して取出すが、８番目のダイＤを取出した後は９番目、１０番目及び１１番目のダイＤは不良であるので、１２番目のダイＤを認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４により当該ダイＤの位置及びバンプＢの数や面積を認識する。このとき、認識結果に基づいてバンプＢの数が３個以下か面積が設定面積の８０％以下であれば不良品（認識ＮＧ）であると判別されることとなるが、前記ＲＡＭ３６に格納されたマッピングデータ（図５参照）によれば１２番目のダイＤは良品である。
【００３２】
この認識結果により不良品（認識ＮＧ）であると判別されると、前記認識処理装置３４によるバンプ有無に関する情報（前記認識処理した結果）とマッピングデータのバンプ有無に関する情報とをＣＰＵ３５が照合し、不一致であるので、本テーピング装置を停止するように制御し、必要に応じて警報装置（図示せず）を用いて異常の旨報知する。
【００３３】
これにより、以後の前記認識処理装置３４によるバンプ有無に関する情報とマッピングデータのバンプ有無に関する情報（前記認識処理した結果）とのずれを防止できるから、無駄な撮像及び認識処理による生産タクトのダウンが防止できる。尚、このようにずれが生じるのは、シートの引っ張り（エクパンド）の程度によって、ピックアップすべき当該良品ダイＤ（１２番目）の隣のダイＤ（１１番目）を認識処理した結果、このような事態が生ずるものである。
【００３４】
尚、前記認識処理装置３４によるバンプ有無に関する情報（前記認識処理した結果）とマッピングデータのバンプ有無に関する情報とが一致している場合には、スキップ処理をして、即ち次の１３番目のダイＤについて撮像及び認識処理をし、運転を継続する。
【００３５】
次に、回転盤２０の９０度回転により部品吸着（取出し）ステーションの次の認識ステーションに搬送され、認識カメラ９が吸着装填ノズル２２に吸着保持されているダイＤを撮像し、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置３４により認識される。この場合、外観の形状（欠け等）、バンプの大きさや位置が異常であれば、回収用のトレイ（図示せず）に廃棄される。このとき、前記認識カメラ９により撮像された取出すべきダイＤの画像とＲＡＭ３６に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイＤの位置を認識処理装置３４が認識処理する。
【００３６】
そして、更なる回転盤２０の９０度回転による搬送中において、認識カメラ１６により搬送レール４上のテープ本体３Ａの３個の収納凹部３Ｂを撮像する。即ち、最左の収納凹部３Ｂ内にチップ部品３０が挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納凹部３Ｂ内には挿入されていない（空である）ことの確認及び当該最右の収納凹部３Ｂの位置認識のために３個の収納凹部３Ｂを同時に撮像する。
【００３７】
従って、撮像した後に認識処理装置３４により当該最右の収納凹部３Ｂの位置を認識処理し、その結果に基づいて図示しない制御装置が前記Ｙテーブル１１のＹ軸駆動モータ１１Ａ、Ｘテーブル１２のＸ軸駆動モータ１２Ａ及び前記θ軸駆動モータ１９を補正制御し、真中の収納凹部３Ｂ内の適正位置に下降する吸着装填ノズル２２によりチップ部品３０を挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル２２に吸着されたダイＤを下方で待機している搬送レール４上のテープ本体３Ａの収納凹部３Ｂ内に、部品認識カメラ９及び認識カメラ１６の撮像結果に基づき認識処理され、回転盤２０のＸＹ方向の補正移動及び吸着装填ノズル２２のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【００３８】
そして、この挿入装填後に、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間に、収納凹部３Ｂ内に挿入された状態のダイＤに対して部品検査機構７により部品検査が行なわれる。
【００３９】
即ち、前記収納凹部３Ｂ内に挿入された状態のダイＤを照明装置で照明した状態でマーク認識カメラ７Ａで撮像し、当該チップ部品３０に付された機種番号等のマークを認識する。また、プローブ針を備えた検査部７Ｂが平面方向及び上下方向に移動して、前記収納凹部３Ｂ内に挿入されたダイＤにプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【００４０】
そして、このようにして次々にダイＤは挿入され、検査終了後にテープ圧着機構８によりテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させ、テープ３は巻取りリール５に順次巻き取られていく。
【００４１】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、ピックアップしようとしているダイとマッピングデータ上のダイとがずれてしまうことを防止し、生産タクトの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】テーピング装置の平面図である。
【図２】テーピング装置の左側面図である。
【図３】テーピング装置の制御ブロック図である。
【図４】シート上のダイについての平面図である。
【図５】マッピングデータを示す図である。
【図６】フローチャートを示す。
【符号の説明】
１　　　テーピング装置本体
３　　　収納テープ
３Ａ　　テープ本体
３Ｂ　　収納凹部
３Ｃ　　カバーテープ
１０　　部品装填装置
１７　　認識カメラ
２０　　回転盤
２１　　装着ヘッド
２２　　吸着装填ノズル
２７　　ダイ供給テーブル
２８　　シート
３４　　認識処理装置
３５　　ＣＰＵ
３６　　ＲＡＭ
Ｄ　　　ダイ
【図１】
2004128010.tif 000003
【図２】
2004128010.tif 000004
【図３】
2004128010.tif 000005
【図４】
2004128010.tif 000006
【図５】
2004128010.tif 000007
【図６】
2004128010.tif 000008