(57)【要約】      （修正有）【課題】金属版に凹部を形成するときに生ずる切削屑片の質量を大きくして、カッター等への付着を減少させる。【解決手段】金属板１０の一方面に凹部２を形成するときに他方面側に凸部３を突出させ、この凸部３を切削工具１３により切削する。このときに１回の切削代を小さくして薄板状の切削屑片１６ａを形成し、切削工具１３の切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削すると共に、少なくとも１回目と２回目の切削時に生じた切削屑片１６ｂを連結させて切削屑片１６の質量を大きくする。その後切削屑片１６を凸部３から離脱させる。【選択図】          図１
2004291149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板の一方面からプレス等の押圧形成により凹部を形成すると共に、この凹部の形成によって上記金属板の他方面側に突出した凸部を切削工具により切削することにより、底面に上記金属板より肉厚の薄い底部を有する凹部を形成する方法であって、
上記凸部を切削工具により切削するときに１回の切削代を小さくして薄板状の切削屑片を形成し、
上記切削工具の切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削すると共に、上記切削工具を上記凸部の切削方向下流側端面の手前で停止して、少なくとも１回目の切削時に生じた切削屑片と２回目の切削時に生ずる切削屑片とを連結可能にさせ、
所定回数切削したときに上記切削工具を上記凸部の切削方向下流側端面まで進行させて上記切削屑片を上記凸部から離脱させたことを特徴とする金属板への凹部形成方法。
【請求項２】
前記切削工具は、刃先幅を上記凸部の被切削幅よりも大きくした請求項１に記載の金属板への凹部形成方法。
【請求項３】
前記切削工具により上記凸部を切削する切削代を１００μｍ以下に設定した請求項１に記載の金属板への凹部形成方法。
【請求項４】
金属板の一方面側から凹部を押圧する押圧工程と、他方面側の凸部を切削する切削工程とを複数回繰り返し、上記各工程を経る毎に徐々に所定の深さの凹部と凸部を形成し、上記切削工程は凸部を突出形成する各回の押圧工程の後に、上記切削工具の切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削すると共に、上記切削工具を上記凸部の切削方向下流側端面の手前で停止して、少なくとも１回目の切削時に生じた切削屑片と２回目の切削時に生ずる切削屑片とを連結可能にして、所定回数切削したときに上記切削工具を上記凸部の切削方向下流側端面まで進行させて上記切削屑片を上記凸部から離脱させた請求項１に記載の金属板への凹部形成方法。
【請求項５】
金属板の一方面側から板厚の寸法より浅い所定形状の凹部を押圧形成すると共に、他方面側に上記凹部よりもやや小さい相似形の凸部を形成した請求項１に記載の金属板への凹部形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属板からなる電子部品を収納するためのパッケージ、あるいは、マイクロマシン等のシャーシやベース部材等に凹部を形成する形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品としては、半導体集積回路（ＬＳＩ）を収納するためのパッケージ、あるいは、マイクロマシン等の軽薄短小化されたシャーシやベース部材が実用に供されている。特に、集積回路を収納するパッケージは、高密度化によって発熱量が増加することから、放熱効率が高い放熱手段が要求されているが、この種の電子部品自体が小型化されることによって必要な放熱特性を確保することができない。
【０００３】
半導体集積回路等を収納するパッケージは、金属板に凹部を形成することによりキャビティを形成し、このキャビティ内に上記半導体集積回路を収納することにより、発熱をパッケージ自体に放熱させるようにしている。
【０００４】
図５及び図６は、金属板からなるパッケージの適用例として半導体集積回路用パッケージを示している。パッケージ１は熱伝導率が良好な銅合金、或いはステンレス鋼、またはアルミニウム等からなる金属板から選択される。
【０００５】
パッケージ１の一方面１ａ側には、略正方形のキャビティ２が形成され、このキャビティ２の底面には所定の板厚を有する底板１ｃが形成され、全体としてキャビティ型に形成されている。また、パッケージ１の一方面１ａには、配線基板ＰＢを接着固定されている。さらに、キャビティ２には、半導体集積回路ＩＣのチップを収納すると共に、底板１ｃに面接合状態で接着等により固定している。キャビティ２の底板１ｃは、半導体集積回路ＩＣとのほぼ密着状態で接合するため、３０ミクロン以下の反りと平面度に形成することが条件とされている。
【０００６】
このようにキャビティ２に収納した半導体集積回路ＩＣには、多数の端子が設けられ、配線基板ＰＢの端子部とボンディングワイヤ７によって電気的に接続される。さらに、キャビティ２に封止剤８を注入し、半導体集積回路ＩＣと上記ボンディングワイヤ７を封止している。そして、半導体集積回路ＩＣが動作中に発熱した場合は、パッケージ１自体がヒートスプレッダとしての機能を有しているため、熱がパッケージ１に伝達して放熱される。
【０００７】
以上の構成からなるキャビティタイプのパッケージを形成する方法としては、プレスにより押圧パンチを用いて凹部を押圧加工する方法、或いは化学的なエッチング加工法によって、底部に肉薄の板厚を残すようにして、金属板に所定形状の凹部を形成する方法がある。
【０００８】
しかしながら、プレスによる押圧加工は、凹部の体積分の金属が底部及び周囲に押し込まれることから、周囲の金属部分がカーリングしてしまい、平面度が矯正不能な状態になる。このため、高精度な平面度を要求されるパッケージとしては致命的な問題になる。また、化学的なエッチング加工方法は、エッチングに長時間を要することから大量生産には不向きであり必然的にコストアップになること、更には、エッチング加工の制御の限度から寸法精度が悪くなり、実用化には限界が生ずる問題がある。
【０００９】
そこで、出願人は特開平１１−１０２９９８号（特許文献１）において、上記従来の形成方法が有する問題点を一掃し、この種のパッケージに好適な形成方法を提案した。図７は先に提案した方法による工程を示し、以下にその概要を説明する。
【００１０】
図７（Ａ）は、素材となる金属板１００を示している。図７（Ｂ）は押圧工程を示し、プレス機のダイ１０４に対して位置決め固定した金属板１００に対し、一方面１００ａ側からパンチ１０５によってキャビティとしての凹部１０２を形成することにより、金属板１００の他方面１００ｂ側に凸部１０３を突出形成する。
【００１１】
図７（Ｃ）及び（Ｄ）は切削工程を示し、この押圧工程によって金属板１００の他方面１００ｂ側に形成された凸部１０３を、カッター１０６によって他方面１００ｂと同一面となるように基端から切削する。尚、この切削により底部１００ｃが凹部１０２の方向に変位することを阻止するために、底部１００ｃを押圧工具１０７により押圧する。
【００１２】
以上の各工程により、金属板１００の一方面１００ａ側には凹部１０２が形成され、この凹部１０２の底面には、所定の板厚を有する比較的肉薄な底板１００ｃが形成される。以上の形成方法によれば、押圧工程と切削工程によって所望の深さのキャビティとしての凹部１０２が形成されると共に、切削工程において凸部を肉薄の状態で切削するので、底板１００ｃの破損を大幅に減少させることができる等の特徴がある。
【００１３】
【特許文献１】
特開平１１−１０２９９８号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
図７に示した方法は、金属板１００の一方面１００ａ側に形成する凹部１０２の肉を金属板１００の他方面１００ｂ側に移行させて凸部１０３を突出形成するので、この押圧工程において金属板１００に与えるストレスを小さくすることができる。しかし、切削工程においてカッター１０６により凸部１０３を切削するとき、凸部１０３を厚い切削代によって切削すると、周囲の肉が引っ張られ、金属板１００、特に肉薄に形成される底部１００ｃにストレスを与えてしまう問題がある。このため、底部１００ｃに対するストレス小さくして切削するには、凸部１０３を薄い切削代によって切削することが望ましい。
【００１５】
凸部１０３をカッター１０６により切削するときには、発熱防止や切削効率を高めるために、一般的に、切削油を切削部分に注油している。ところが、凸部１０３を肉薄な切削代によって切削すると、図７（Ｄ）に示すように、切削油によって切削時に発生する切削屑片１０８がカッター１０６に付着することがある。特に、一辺が数十ｍｍ以下の小さな面積の凸部１０３を薄い切削代によって切削する場合には、切削屑片１０８自体が軽量のために、カッター１０６への付着が顕著に発生する。この切削屑片１０８は、カッター１０６の刃先に移動することがあり、このカッター１０６により次の切削を行うと、凸部１０３を薄い切削代によって切削することができなくなる問題が生ずる。
【００１６】
この問題の対策としては、カッター１０６により凸部１０３を切削する毎に付着した切削屑片１０８をエアーの噴射により吹き飛ばす除去作業を行っている。しかし、切削の都度除去作業を行うことから工数が増大すると共に、吹き飛ばされた切削屑片１０８が凸部１０３の切削部分に付着することによって、所定寸法の安定した切削ができず、しかも、切削面の面粗度を悪化させるといった新たな問題が発生する。
【００１７】
本発明は以上のような従来方法の問題点を解決するためになされたもので、金属版に凹部を形成するときに生ずる切削屑片の質量を大きくして、カッター等への付着を減少させることができる金属板への凹部形成方法を提供することを目的とする。
【００１８】
【問題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、金属板の一方面からプレス等の押圧形成により凹部を形成すると共に、この凹部の形成によって金属板の他方面側に突出した凸部を切削工具により切削するときに、１回の切削代を小さくして薄板状の切削屑片を形成し、切削工具の切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削すると共に、切削工具を凸部の切削方向下流側端面の手前で停止して、少なくとも１回目の切削時に生じた切削屑片と２回目の切削時に生ずる切削屑片とを連結可能によって切削屑片の質量を大きくする。その後、所定回数切削したときに切削工具を凸部の切削方向下流側端面まで進行させて切削屑片を凸部から離脱させると、切削屑片の質量が大きくなるので、切削工具に付着することなく除去することを可能としている。
【００１９】
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１における切削工具の刃先幅を上記凸部の被切削幅よりも大きくすることによって、凸部の全面を薄板状の切削して、切削屑片の質量を大きくするようにしている。
【００２０】
また、請求項３に記載の発明は、前記請求項１における切削工具によって切削する切削代を１００μｍ以下に設定したときに、切削屑片が薄板状に形成されて質量が小さくなために切削工具に付着することから、切削毎に生ずる切削屑片を連結させて質量を大きくすることにより、切削工具への付着を防止するようにしている。
【００２１】
さらに、請求項４に記載の発明は、金属板の一方面側から凹部を押圧する押圧工程と、他方面側の凸部を切削する切削工程とを複数回繰り返し、各工程を経る毎に徐々に所定の深さの凹部と凸部を形成し、各回の押圧工程の後に凸部を切削工具によって切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削すると、低い凸部を切削することから、切削するときに凸部の先端面が切削工具の押圧力により傾斜して凹部の底板が変形することや破損することが未然に防止可能となる。
【００２２】
また、請求項５に記載の発明は、金属板の一方面側から板厚の寸法より浅い所定形状の凹部を押圧形成すると共に、他方面側に上記凹部よりもやや小さい相似形の凸部を形成することにより、凹部の底部周縁と凸部の外周外側との間には金属板が挟圧されて肉薄な底板が形成されることから、凹部を押圧形成するときに凸部の抜け落ちが未然に防止される。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による金属板への凹部形成方法について、図１に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。図１（Ａ）は、素材となる金属板１０を示し、銅合金やステンレス鋼或いはアルミニウム等の可塑性を有する各種用途に適した金属材から選択される。金属板１０は、所定の大きさに裁断されたもの、或いは、長尺帯状のフープ材の何れでも良い。
【００２４】
図１（Ｂ）は押圧工程を示している。金属板１０は、図示しないプレス機のダイ１１に対して位置決めした状態で載置した後、この金属板１０の一方面１０ａ側から、上記プレス機に装着された例えば所定寸法の略正方形に形成されたパンチ１２を押圧することにより、予め設定された所定の深さの凹部２を形成する。
【００２５】
このように、凹部２を形成することにより、金属板１０の他方面１０ｂ側には凹部２の容積にほぼ相当する金属の肉がダイ１１の穴１１ａ内に移行し、この穴１１ａ内には凹部２の深さとほぼ等しい高さｈの凸部３が突出形成される。そして、凸部３の外形寸法Ｗ１は、凹部２の開口側寸法Ｗ２よりもやや小さい相似形に形成としている。このように凸部３を小さな寸法に形成するために、ダイ１１の穴１１ａの内径寸法を凸部３の外形寸法Ｗ１となるように設定している。このため、金属板１０をパンチ１２によって押圧したとき、パンチ１２の先端面外縁側がダイ１１の穴１１ａの周囲に対向することから、この対向部分に金属板１０が挟圧される。この結果、対向部分によって凸部３が金属板１０から切断することなく連結状態となる。そして、この連結部分の厚さｔは、後述する凹部２の底板２ｃの板厚にほぼ等しく設定される。
【００２６】
図１（Ｃ）乃至（Ｇ）は切削工程を示している。上記押圧工程によって金属板１０の他方面１０ｂ側に形成した凸部３を、切削工具としてのカッター１３によって他方面１０ｂと同一面となるまで切削が繰り返される。この切削工程に使用されるカッター１３は、図２（Ａ）に示すように、先端の刃部１３ａが凸部３の端面と平行に形成されている。また、カッター１３の刃先幅ｗ３は、凸部３が切削される幅、即ち、被切削幅ｗ４よりも大きく設定されている。このカッター１３の刃先幅ｗ３は、凸部３の被切削幅ｗ４と同じ幅でも良いが、切削時のズレを吸収するために、やや大きく設定することが望ましい。このように設定されたカッター１３によって、以下に説明する切削工程においては、凸部３の全面を切削するようにしている。
【００２７】
切削工程は、まず、図１（Ｃ）に示すように、凸部３の先端側をカッター１３によって第１回目の切削を行う。この切削を行う際には、図示の左方、即ち、カッター１３の切削方向下流側前方に位置する金属板１０の他方面１０ｂを押圧具１４によって押圧し、更に金属板１０の一方面１０ａおよび凹部２を付勢具１５により付勢して、金属板１０を挟持することによって不動状態に保持している。
【００２８】
このような状態から、１回目の切削を行う。即ち、カッター１３を凸部３の右方側端面に突き当てた後に、矢示の下流方向に移動させることによって薄板状の切削屑片１６ａが形成される。そして、カッター１３を凸部３の切削方向下流側端面の手前で停止することにより、切削屑片１６ａの一端は凸部３の下流側端面に連結された状態となる。
【００２９】
この切削工程において、切削時のストレスを最小限とするために、小さな切削代により切削することが望ましい。因みに、切削時の切削代は１００μｍ以下の値に設定している。この結果、切削屑片１６ａは薄板状に形成される。また、カッター１３による切削時のストレスを更に小さくするために、刃部１３ａの形状を図２（Ｂ）に示すように、略矢形状に形成されたカッター１３を使用しても良い。
【００３０】
上述した１回目の切削の後に２回目の切削を行う。この２回目の切削を行う際にも、凸部３の図示の右側に位置する金属板１０の他方面１０ｂを押圧具１４によって押圧すると共に、金属板１０の一方面１０ａおよび凹部２を付勢具１５により付勢し、押圧具１４との間に金属板１０を挟持することによって不動状態に保持している。この状態から、カッター１３を凸部３の左方側端面に突き当てた後に、図１（Ｄ）に示す矢示のように１回目の切削とは逆の下流方向に移動させることによって薄板状の切削屑片１６ｂを形成する。
【００３１】
凸部３の左方側端面にカッター１３を突き当てる位置は、凸部３の表面から１回目の切削時における切削代のほぼ２倍の位置としている。そして、２回目の切削においては、図１（Ｅ）に示すように、カッター１３を凸部３の切削方向下流側端面を過ぎるまで移動して停止する。この結果、切削屑片１６は、１回目の切削時における切削屑片１６ａと１回目の切削時における切削屑片１６ｂとが連結された状態で凸部３から下方に離脱する。
【００３２】
２回目の切削においても、切削代は１００μｍ以下の値に設定することによって切削屑片１６ｂが薄板状に形成される。上述したように、凸部３から離脱する切削屑片１６は、１回目および２回目の切削によって連結されている。また、カッター１３の刃先幅ｗ３を凸部３の被切削幅ｗ４よりも大きくして凸部３の全面を切削しているため、切削屑片１６の面積が大きく、しかも、切削屑片１６ａ、１６ｂを連結させたことから、質量が約２倍に増加しているので、切削油によってカッター１３に付着する付着力よりも切削屑片１６の質量が大きくなり、この結果、カッター１３に付着することなく離脱させることができる。
【００３３】
切削工程における切削代を小さく設定した場合には、上述した２回の切削によっても凸部３が低くなるものの、金属板１０から凸部３突出している。従って、２回目の切削の後に、図１（Ｆ）に示す３回目の切削を行う。この切削は、図１（Ｃ）に示した１回目の切削と同様に行われる。即ち、３回目の切削を行う際にも、カッター１３の切削方向下流側前方の金属板１０を押圧具１４によって押圧すると共に、金属板１０の一方面１０ａおよび凹部２を付勢具１５により付勢して、金属板１０を挟持固定する。この状態からカッター１３を低くなった凸部３の右方側端面に突き当てた後に、凸部３の切削方向下流側端面の手前まで移動させることにより、３回目の切削によって生じた切削屑片１６ｃの一端を凸部３の下流側端面に連結させる。
【００３４】
上述した３回目の切削の後に４回目の切削を行う。４回目の切削は、前述した２回目の切削と同様に、金属板１０の他方面１０ｂを押圧具１４によって押圧すると共に一方面１０ａおよび凹部２を付勢具１５により付勢して金属板１０を挟持固定する。この状態から、カッター１３を凸部３の左方側端面に突き当てた後に、３回目の切削とは逆の下流方向に移動させることによって薄板状の切削屑片１６ｄを形成し、カッター１３を凸部３の切削方向下流側端面を過ぎるまで移動することによって、図１（Ｇ）に示すように、連結された切削屑片１６ｃ、および、切削屑片１６ｄを凸部３から下方に離脱する。この４回目の切削は、カッター１３を金属板１０の他方面１０ｂに沿って移動させることによって、凸部３が除去され、金属板１０の他方面１０ｂは平坦に形成される。そして、金属板１０の一方面１０ａに形成された予め設定された所定の深さの凹部２には、底部に前述した連結部分の厚さｔにほぼ等しい板厚の底板２ｃが形成される。
【００３５】
このように、金属板１０の一方面１０ａ側に凹部２を形成することによって他方面１０ｂ側に突出形成された凸部３は、複数回の切削によって切削時のストレスを最小限にしながら除去される。更に、凸部３の全面をカッター１３によって切削することにより、大きな面積に形成した切削屑片１６を連結させるので、切削屑片１６の質量が大きくなり、この結果、切削屑片１６をカッター１３に付着させることなく容易に離脱することが可能となる。
【００３６】
上述した第１の実施態様において、例えば、１回目の切削に使用するカッターと１回目の切削に使用するカッターとを同符号で示したが、金属板１０を固定した状態で凸部３を切削するときは、各々切削方向が異なる２個のカッターを使用することが望ましい。また、切削毎に金属板１０を１８０度回転させることが可能なときは、切削毎に金属板１０を回転させて１個のカッター１３によって切削するようにしても良い。一方、金属板１０の他方面１０ｂを押圧する押圧具１４については、金属板１０を固定した状態で凸部３を切削するときは、各々別個の押圧具によって押圧し、金属板１０を回転させることが可能なときは、切削毎に金属板１０を回転させて１個の押圧具１４によって押圧するようにしても良い。
【００３７】
更に、凸部３を４回の切削によって除去するようにしたが、凸部３の高さ、切削代の大きさ、或いは、切削屑片１６の質量等により、２回以上の適宜の回数に設定することができる。また、２枚の切削屑片１６、例えば、切削屑片１６ａおよび切削屑片１６ｂを連結させた後に離脱させるようにしたが、切削屑片１６の質量に応じて、更に切削屑片１６ｃおよび切削屑片１６ｄを連結させる等、３枚以上の複数枚を連結させても良い。
【００３８】
図３は、本発明の第２の実施形態であり。凹部２を押圧する押圧工程と凸部３を切削する切削工程とを交互に複数回繰り返して金属板に凹部２を形成する方法を示している。尚、図３において、図１と同符号は同じ部品または同じ場所を示し、その詳細な説明は省略する。図３（Ａ）は１回目の押圧工程を示している。金属板１０は、前述した第１の実施形態と同じく、図示しないプレス機のダイ１１に対して位置決めした状態で載置した後、この金属板１０の一方面１０ａ側から、上記プレス機に装着された例えば所定寸法の略正方形に形成されたパンチ１２を押圧することにより浅い深さの凹部２ａを形成する。この凹部２ａの形成により、金属板１０の他方面１０ｂ側には凹部２ａの容積にほぼ相当する金属の肉がダイ１１の穴１１ａ内に移行し、この穴１１ａ内には凹部２ａの深さとほぼ等しい低い高さの凸部３ａが突出形成される。尚、この実施形態においても、凸部３の外形寸法Ｗ１を凹部２ａの開口側寸法Ｗ２よりもやや小さい相似形に形成としている。
【００３９】
図３（Ｂ）および（Ｃ）は１回目の切削工程を示している。低い高さに形成された凸部３ａは、前述した第１の実施形態と同様に、切削工具としてのカッター１３によって他方面１０ｂと同一面となるまで切削が繰り返される。この１回目の切削工程においても、カッター１３の刃先幅ｗ３を凸部３が切削される幅、即ち、被切削幅ｗ４よりも大きく設定することによって、凸部３の全面を切削するようにしている。
【００４０】
１回目の切削工程は、まず、図３（Ｂ）に示すように、凸部３ａの先端側をカッター１３によって１回目の切削を行う。このときにも、前述した第１の実施形態と同様に、カッター１３の切削方向下流側前方に位置する金属板１０の他方面１０ｂを押圧具１４によって押圧し、更に金属板１０の一方面１０ａおよび凹部２を付勢具１５により付勢して、金属板１０を挟持することによって不動状態に保持する。
【００４１】
このような状態から、カッター１３を凸部３ａの右方側端面から切削方向下流側端面の手前まで矢示の下流方向に移動させることにより、薄板状の切削屑片１６ａを形成する。このとき、１００μｍ以下が望ましい。この１回目の切削を行うことにより、凸部３ａの下流側端面には、切削屑片１６ａが一端を連結した状態で形成される。
【００４２】
この１回目の切削の後に２回目の切削を行う。２回目の切削を行う際にも、付勢具１５と押圧具１４との間に金属板１０を挟持することによって不動状態に保持し、この状態から、カッター１３を凸部３ａの左方側端面から矢示のように、１回目の切削とは逆の下流方向に移動させることによって、薄板状の切削屑片１６ｂが形成される。そして、２回目の切削においては、図３（Ｃ）のように、カッター１３を凸部３ａの切削方向下流側端面を過ぎるまで移動させて、切削屑片１６ｂが連結された切削屑片１６ｂを凸部３ａから下方に離脱させる。上述した２回目の切削においても、切削代は１００μｍ以下に設定して切削屑片１６を薄板状に形成する。
【００４３】
次に、図３（Ｄ）に示す２回目の押圧工程を行う。即ち、１回目の押圧工程によって形成された凹部２ａをパンチ１２によって押圧することにより、更に深さを増すことによって所定の深さの凹部２ｂを形成する。この凹部２ｂの形成により、金属板１０の他方面１０ｂ側には凹部２ｂの容積にほぼ相当する金属の肉がダイ１１の穴１１ａ内に移行し、この穴１１ａ内には凹部２ｂの深さとほぼ等しい低い高さの凸部３ｂが突出形成される。
【００４４】
図３（Ｅ）（Ｆ）は３回目および４回目の切削工程を示している。低い高さに形成された凸部３ｂは、前述した第１の実施形態と同様に、切削工具としてのカッター１３によって、凸部３ｂの全面を２回切削することにより、他方面１０ｂと同一面となるまで切削が繰り返される。即ち、３回目の切削においては、上述した１回目の切削と同様に、カッター１３を凸部３ｂの右方側端面から切削方向下流側端面の手前まで矢示の下流方向に移動させ、切削屑片１６ｃの一端を凸部３ａの下流側端面に連結させた状態で形成する。この切削における切削代は１００μｍ以下が望ましい。
【００４５】
この第３回目の切削の後に４回目の切削を行う。４回目の切削を行う際にも、付勢具１５と押圧具１４との間に金属板１０を挟持することによって不動状態に保持し、この状態から、矢示のようにカッター１３を凸部３ｂの左方側端面から下流側端面を過ぎるまで、第１回目の切削とは逆の下流方向に移動し、３回目および４回目の切削によって、切削屑片１６ｃが連結された薄板状の切削屑片１６ｄを凸部３ｂから下方に離脱させる。
【００４６】
このように、図３（Ａ）および（Ｄ）に示す２回の押圧工程と、図３（Ｂ）（Ｃ）および（Ｅ）（Ｆ）に示す２回の切削工程を繰り返して凹部２を形成する場合には、金属板１０の他方面１０ｂ側に突出形成される凸部３ａ、３ｂの高さが低いので、カッター１３による切削位置が金属板１０に近づく。このため、凸部３ａ、３ｂの先端側をカッター１３で押圧するときに与える捻りのストレスを小さくすることが可能となり、凹部２に形成される底板２ｃの板厚を小さくした場合であっても、底板２ｃの破れや破損を未然に回避することが可能となる。また、ストレスを小さくすることによって、経時変化等による寸法精度の変化を小さくすることが可能となる。更に、前述した第１の実施形態と同様に、切削屑片１６の質量を増加していることから、切削屑片１６をカッター１３に付着することなく離脱させることができる。
【００４７】
図４は、本発明の第３の実施形態として、図示しない順送加工機によって形成する方法を示している。素材となる金属板、例えば銅合金或いはステンレス鋼、またはアルミニウムからなるフープ状金属板材２０には、隣接する個々の中間品２１ａ乃至２１ｄ間を含む周囲に溝孔２４、及び、パイロット孔２６が穿孔される。上記溝孔２４を形成することにより、中間品２１ａ乃至２１ｄはフープ状金属板２０と連結片２５を介して連結している。
【００４８】
その後、中間品２１ａに対し、図１（Ｂ）における第１の押圧工程によってフープ状金属板２０の一方面２０ａに所定の深さとした凹部２を押圧形成する。次に、図１（Ｃ）に示した切削工程のステージに移行し、中間品２１ｂに対し、カッター１３ａによってフープ状金属板２０の他方面に形成された凸部（図示せず）の１回目の切削を行う。その後、後段のステージにおいて、中間品２１ｃに対してカッター１３ｂにより、図１（Ｄ）に示した１回目の切削とは逆の切削方向から２回目の切削を行い、１回目および２回目の切削によって生じた切削屑片（図示しない）を連結させ、２回目の切削によって凸部から離脱させる。
【００４９】
更にその後、後段のステージにおいて、中間品２１ｄに対してカッター１３ｃにより３回目の切削を行い、切削屑片を凸部に連結させた状態で次のステージにおいて４回目の切削（図示しない）を行い、３回目および４回目の切削によって連結された切削屑片（図示しない）を凸部から離脱させる。この４回目の切削のときに、フープ状金属板２０の他方面に達するまで切削した場合には、ここで切削工程ステージが終了するが、凸部の高さが高いとき、或いは切削代を小さく設定した場合は、４回目の切削の後に、フープ状金属板２０の他方面に達するまで切削を繰り返す。
【００５０】
以上の順送加工機による形成方法は、各々の中間品毎にカッター１３によって切削するステージを設定しているが、４個乃至５個の中間品を１単位のユニットとし、このユニットに形成された凸部を同時に切削するステージを設定してもよい。
【００５１】
以上説明した実施形態において、本発明を逸脱しない範囲において種々変更することは可能である。例えば、金属板に形成する凹部は四角形に限らず、他の多角形或いは円形または非円形に形成しても良い。また、カッターによって凸部を切削したときに、切削屑片が大きくカーリングした場合には、押圧具の側面に当接することによって切削屑片が根本から破断して離脱することがある。本発明においては、このように自然落下する切削屑片も連結されているものと見なして前述した切削工程を行うようにしている。また、切削屑片は、金属板の材質によってほぼ平坦な薄板状に形成される等、種々に形状が異なるものであり、必ずしもカーリングするものとは限らない。更にまた、金属板の一方面に凹部を形成するときに、パンチの先端面を凹凸に形成して、凹部の底面を深さの異なる凹凸状に形成しても良い。
【００５２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による金属板への凹部形成方法によれば、金属板の一方面に凹部を形成すると同時に他方面に突出形成される凸部を切削工具によって切削するときに、切削方向を切削毎に相対向する方向に異ならせて切削時に生する切削屑片を連結させる方法としたので、切削屑片の質量を大きくすることが可能となり、切削油を使用しても切削屑片が切削工具等に付着することなく除去することができる。
【００５３】
また、切削工具の刃先幅を凸部の被切削幅よりも大きくすると、凸部の全面を薄板状の切削することによって切削屑片の質量を大きくすることが可能となり、切削屑片の切削工具等への付着を更に改善することができる。
【００５４】
更に、切削工具によって切削する切削代を１００μｍ以下に設定すると、凸部を切削するときのストレスが減少して、経時変化の少ない高精度な凹部を形成することが可能となる。このとき、切削屑片が薄板状に形成されるために質量が小さくなるが、切削毎に生ずる切削屑片を連結させて質量を大きくするので、切削工具等への付着を更に改善することができる。
【００５５】
更にまた、凹部を形成する押圧工程と凸部を切削する切削工程とを複数回繰り返して徐々に所定の深さの凹部を形成し、凸部が突出形成される毎に相対向する方向に異ならせて複数回切削することにより、低い凸部を切削するので、切削時における切削工具の押圧力による凸部の傾斜が小さくなることから、凹部の底板の変形や破損を抑制することが可能となる。
【００５６】
また、金属板の他方面側に凹部よりもやや小さい相似形の凸部を形成すると、凹部の底部周縁と凸部の外周外側との間には金属板が挟圧されて肉薄な底板が形成されることから、凹部を押圧形成するときに凸部の抜け落ちを未然に防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）乃至（Ｇ）は、本発明による金属板への凹部形成方法の第１の実施形態を示す工程説明図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）は、凸部の切削するカッターを示す平面図である。
【図３】（Ａ）乃至（Ｆ）は、本発明による金属板への凹部形成方法の第２の実施形態を示す工程説明図である。
【図４】順送加工機により金属板に凹部を形成する方法を示す斜視図である。
【図５】パッケージを示す分解斜視図である。
【図６】パッケージに電子部品を配設した状態を示す断面図である。
【図７】従来の金属板に凹部を形成する方法を示す工程説明図である。
【符号の説明】
２                凹部
３              凸部
１０          金属板
１０ａ        一方面
１０ｂ        他方面
１１        ダイ
１１ａ      穴
１２            パンチ
１３        カッター
１６        切削屑片
１６ａ      切削屑片（１回目の切削屑片）
１６ｂ      切削屑片（２回目の切削屑片）
ｗ１        凸部の幅（ダイの穴の幅）
ｗ２        凹部の幅
ｗ３        カッターの切削幅
ｗ４        凸部の被切削幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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