(57)【要約】【課題】圧縮空気の消費量を減らすことができ、流量の微調整及び再現が可能なエアブロー装置及びエアブロー方法を提供することにある。【解決手段】ノズル２０は、吹き出し口２４がエアブロー対象物１に接触しない程度に接近して配置され、エアブロー対象物１の搬送方向に対して斜めに吹き出し口２４が対向するように配置されている。複数の小孔２２は、エアブロー対象物１の幅方向に並べられている。隣同士の小孔２２から吹き出されるエアがエアブロー対象物１上でわずかにのみ重なる。吹き出し口２４から吹き出されるエアは、エアブロー対象物１の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す。減圧弁３０とノズル２０を接続する配管３２の有効断面積Ｓ１と、複数の小孔の合計した有効断面積Ｓ２とは、２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２の関係を有する。【選択図】        図１
2004202288.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮空気を供給する圧縮空気源と、
前記圧縮空気源に接続されてエアブローを行うノズルと、
前記圧縮空気源から前記ノズルへの管路中に設けられた減圧弁と、
を有し、
前記ノズルは、複数の小孔からなる吹き出し口を有し、前記吹き出し口がエアブロー対象物に接触しない程度に接近して配置され、前記エアブロー対象物の搬送方向に対して斜めに前記吹き出し口が対向するように配置され、
前記複数の小孔は、前記エアブロー対象物の幅方向に並べられ、隣同士の前記小孔から吹き出されるエアが前記エアブロー対象物上でわずかにのみ重なるように配置され、
前記吹き出し口は、吹き出されるエアが前記エアブロー対象物の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す大きさで形成されてなり、
前記減圧弁と前記ノズルを接続する配管の有効断面積Ｓ１と、前記複数の小孔の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有するエアブロー装置。
【請求項２】
請求項１記載のエアブロー装置において、
前記減圧弁から前記ノズルへの管路中に設けられた電磁弁と、
前記エアブロー対象物の搬送の有無を検出する検出器と、
を有し、
前記検出器によって、前記エアブロー対象物が搬送されていないことが検出されると、前記電磁弁が閉じるように制御されるエアブロー装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のエアブロー装置において、
複数の前記ノズルを有し、それぞれの前記ノズルは着脱自在になっており、前記エアブロー対象物に応じて最低限必要な本数の前記ノズルが取り付けられて使用されるエアブロー装置。
【請求項４】
複数の小孔からなる吹き出し口を有してエアブロー対象物に接触しない程度に接近したノズルから、前記エアブロー対象物の搬送方向に対して斜めに対向するように、かつ、前記エアブロー対象物の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す範囲にわたって、かつ、隣同士の前記小孔から吹き出されるエアが前記エアブロー対象物上でわずかにのみ重なるように、エアブローを行うこと、及び、
圧縮空気源から前記ノズルへの管路中に設けられた減圧弁によって圧縮空気の圧力を前記ノズル側で減圧すること、
を含み、
前記減圧弁と前記ノズルを接続する配管の有効断面積Ｓ１と、前記複数の小孔の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有するエアブロー方法。
【請求項５】
請求項４記載のエアブロー方法において、
前記エアブロー対象物の搬送の有無を検出する検出器によって、前記エアブロー対象物が搬送されていないことが検出されると、前記減圧弁から前記ノズルへの管路中に設けられた電磁弁を閉じるように制御するエアブロー方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５記載のエアブロー方法において、
前記エアブロー対象物に応じて最低限必要な本数の前記ノズルを取り付けて使用するエアブロー方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアブロー装置及びエアブロー方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、半導体装置やその部品の製造にエアブロー装置を使用して、製造工程で製品に付着した水を吹き飛ばしていた。従来のエアブロー装置では、配管途中に絞りがあるため圧力損失が大きくて勢いの無いエアブローになっており、勢いの無さを流量で補っていたため、圧縮空気の消費量が多かった。また、流量の設定を手動弁の開度によって行うため、流量の微調整ができず、設定流量の再現性が低かった。
【０００３】
本発明の目的は、圧縮空気の消費量を減らすことができ、流量の微調整及び再現が可能なエアブロー装置及びエアブロー方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明に係るエアブロー装置は、圧縮空気を供給する圧縮空気源と、
前記圧縮空気源に接続されてエアブローを行うノズルと、
前記圧縮空気源から前記ノズルへの管路中に設けられた減圧弁と、
を有し、
前記ノズルは、複数の小孔からなる吹き出し口を有し、前記吹き出し口がエアブロー対象物に接触しない程度に接近して配置され、前記エアブロー対象物の搬送方向に対して斜めに前記吹き出し口が対向するように配置され、
前記複数の小孔は、前記エアブロー対象物の幅方向に並べられ、隣同士の前記小孔から吹き出されるエアが前記エアブロー対象物上でわずかにのみ重なるように配置され、
前記吹き出し口は、吹き出されるエアが前記エアブロー対象物の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す大きさで形成されてなり、
前記減圧弁と前記ノズルを接続する配管の有効断面積Ｓ１と、前記複数の小孔の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有する。
本発明によれば、エアブローを効率的に行うことができるので、圧縮空気の消費量を減らすことができる。また、流量の調整を減圧弁によって行うので、流量の微調整及び設定流量の再現が可能である。
（２）このエアブロー装置において、
前記減圧弁から前記ノズルへの管路中に設けられた電磁弁と、
前記エアブロー対象物の搬送の有無を検出する検出器と、
を有し、
前記検出器によって、前記エアブロー対象物が搬送されていないことが検出されると、前記電磁弁が閉じるように制御されてもよい。
（３）このエアブロー装置において、
複数の前記ノズルを有し、それぞれの前記ノズルは着脱自在になっており、前記エアブロー対象物に応じて最低限必要な本数の前記ノズルが取り付けられて使用されてもよい。
（４）本発明に係るエアブロー方法は、複数の小孔からなる吹き出し口を有してエアブロー対象物に接触しない程度に接近したノズルから、前記エアブロー対象物の搬送方向に対して斜めに対向するように、かつ、前記エアブロー対象物の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す範囲にわたって、かつ、隣同士の前記小孔から吹き出されるエアが前記エアブロー対象物上でわずかにのみ重なるように、エアブローを行うこと、及び、
圧縮空気源から前記ノズルへの管路中に設けられた減圧弁によって圧縮空気の圧力を前記ノズル側で減圧すること、
を含み、
前記減圧弁と前記ノズルを接続する配管の有効断面積Ｓ１と、前記複数の小孔の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有する。
本発明によれば、エアブローを効率的に行うことができるので、圧縮空気の消費量を減らすことができる。また、流量の調整を減圧弁によって行うので、流量の微調整及び設定流量の再現が可能である。
（５）このエアブロー方法において、
前記エアブロー対象物の搬送の有無を検出する検出器によって、前記エアブロー対象物が搬送されていないことが検出されると、前記減圧弁から前記ノズルへの管路中に設けられた電磁弁を閉じるように制御してもよい。
（６）このエアブロー方法において、
前記エアブロー対象物に応じて最低限必要な本数の前記ノズルを取り付けて使用してもよい。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るエアブロー装置を説明する図である。本実施の形態では、エアブロー対象物１は、半導体装置の製造に使用されるテープ（例えばＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ）であり、洗浄工程などの後に液を飛ばすためにエアブローが行われる。
【０００６】
エアブロー装置は、圧縮空気源１０を有する。圧縮空気源１０は、コンプレッサを含んでもよく、さらに空気タンクを含んでもよい。圧縮空気源１０は圧縮空気を供給する。
【０００７】
圧縮空気源１０には、１つ又は図１に示すように複数のノズル２０が接続されており、エアブローを行うことができる。ノズル２０は、エアブロー対象物１の上下に配置してもよい。複数のノズル２０は、図１に示すようにエアブロー対象物１の搬送方向に並べてもよいし、エアブロー対象物１の幅方向に並べてもよい。
【０００８】
図２は、ノズルを説明する図である。ノズル２０は、複数の小孔２２からなる吹き出し口２４を有する。ノズル２０は、吹き出し口２４がエアブロー対象物１に接触しない程度に接近して配置されている。ノズル２０は、エアブロー対象物１の搬送方向に対して斜めに（例えば、θ１＝約５〜３０°）、吹き出し口２４が対向するように配置されている。複数の小孔２２は、エアブロー対象物１の幅方向に並べられている。小孔２２から拡がるようにエアが吹き出される。複数の小孔２２は、図２に示すように、隣同士の小孔２２から吹き出されるエアがエアブロー対象物１上でわずかに（例えば、Ｗ１＝約０．１〜２ｍｍ）のみ重なるように配置されている。吹き出し口２４は、吹き出されるエアがエアブロー対象物１の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す大きさ（例えば、Ｗ３−Ｗ２＝約５ｍｍ）で形成されている。それぞれのノズル２０は着脱自在になっている。そして、エアブロー対象物１に応じて、最低限必要な本数のノズル２０が取り付けられて使用される。以上説明した構成によって、エアブローを効率的に行うことができるので、圧縮空気の消費量を減らすことができる。
【０００９】
圧縮空気源１０からノズル２０への管路中には減圧弁３０が設けられている。減圧弁３０によって、圧縮空気源１０側の圧力よりもノズル２０側の圧力を下げることができ、ノズル２０側の圧力を一定に保つことができる。減圧弁３０とノズル２０を接続する配管３２の有効断面積Ｓ１と、複数の小孔２２の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有する。本実施の形態によれば、流量の調整を減圧弁４０によって行うので、流量の微調整及び設定流量の再現が可能である。
【００１０】
エアブロー装置は、減圧弁３０からノズル２０への管路中に電磁弁４０を有する。また、エアブロー装置は、エアブロー対象物１の搬送の有無を検出する検出器４２を有する。検出器４２によって、エアブロー対象物１が搬送されていないことが検出されると、電磁弁４０が閉じるように制御される。こうすることで、エアブローを行う必要のないときに自動的に圧縮空気の供給を止めることができるので、圧縮空気の無駄な消費を削減することができる。
【００１１】
次に、本発明の実施の形態に係るエアブロー方法を説明する。本実施の形態に係るエアブロー方法では、複数の小孔２２からなる吹き出し口２４を有してエアブロー対象物１に接触しない程度に接近したノズル２０からエアブローを行う。エアブロー対象物１の搬送方向に対して斜めに対向するようにエアブローを行う。エアブロー対象物１の幅方向の両端からわずかにのみはみ出す範囲にわたってエアブローを行う。隣同士の小孔２２から吹き出されるエアがエアブロー対象物１上でわずかにのみ重なるようにエアブローを行う。
【００１２】
また、圧縮空気源１０からノズル２０への管路中に設けられた減圧弁３０によって圧縮空気の圧力をノズル２０側で減圧する。減圧弁３０とノズル２０を接続する配管３２の有効断面積Ｓ１と、複数の小孔２２の合計した有効断面積Ｓ２とは、
２Ｓ２≦Ｓ１≦３Ｓ２
の関係を有する。また、エアブロー対象物１に応じて最低限必要な本数のノズル２０を取り付けて使用してもよい。
【００１３】
本実施の形態によれば、エアブローを効率的に行うことができるので、圧縮空気の消費量を減らすことができる。また、流量の調整を減圧弁３０によって行うので、流量の微調整及び設定流量の再現が可能である。
【００１４】
エアブロー対象物１の搬送の有無を検出する検出器４２によって、エアブロー対象物１が搬送されていないことが検出されると、減圧弁３０からノズル２０への管路中に設けられた電磁弁４０を閉じるように制御してもよい。
【００１５】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るエアブロー装置を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るエアブロー装置のノズルを示す図である。
【符号の説明】
１  エアブロー対象物、  １０  圧縮空気源、  ２０  ノズル、  ２２  小孔、２４  吹き出し口、    ３０  減圧弁、    ３２  配管、    ４０  電磁弁、  ４２  検出器
【図１】
2004202288.tif 000003
【図２】
2004202288.tif 000004