(57)【要約】【課題】シート基板のサイズによらず、シート基板上の特定の位置に感光性樹脂層を精度良く圧着することができ、歩留りの低下を防止し得る感光性樹脂層積層方法を提供する。【解決手段】シート基板を予熱し、予熱後のシート基板の一面に感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層積層方法において、前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で複数連ねて載置し、連続する複数のシート基板を、先行のシート基板後端における前記一面と後続のシート基板先端における前記一面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法である。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート基板を予熱し、前記予熱後のシート基板の一面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着する感光性樹脂層積層方法において、
前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で複数連ねて載置し、
連続する複数の前記シート基板を、先行のシート基板後端における前記一面と後続のシート基板先端における前記一面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法。
【請求項２】
先行のシート基板後端と後続のシート基板先端とが粘着性材料を用いて連結される請求項１に記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項３】
粘着性材料が、基材面の少なくとも一方に粘着性層を有してなる請求項２に記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項４】
感光性樹脂層を形成しない選択領域に粘着性材料を付与して連結し、かつ前記選択領域をマスクする請求項２又は３に記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項５】
感光性樹脂層圧着部において複数のシート基板の連結面である前記一面と感光性樹脂層とを重ね合わせて圧着した後、前記粘着性材料を前記シート基板間で切断して除去する請求項２から４のいずれかに記載の感光性樹脂層積層方法。
【請求項６】
粘着性材料が基材面の両方に粘着性層を有してなり、
感光性樹脂層圧着部において複数のシート基板の連結面である前記一面と、仮支持体上に設けられた感光性樹脂層とを重ね合わせて圧着した後、前記仮支持体を剥離除去すると共に前記粘着性材料を除去する請求項２から４のいずれかに記載の感光性樹脂層積層方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばカラー液晶表示素子やプラズマディスプレイ等に用いるカラーフィルタ基板を製造するための感光性樹脂層積層方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタ基板の一つとして液晶カラーフィルタ基板があるが、この液晶カラーフィルタ基板にはＲ、Ｇ、Ｂの各画素が設けられる。Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素を作る工程においては、シート基板（例えばガラス基板）の表面に感光性樹脂層（感光層付き帯状支持体、いわゆる感光性転写材料の該感光層）を加熱圧着させる工程が施される。この感光性樹脂層の加熱圧着処理を実施するために好適な感光層積層方法を既に本出願人が提案している（一例として、特開平６−３４９７２７号公報）。
【０００３】
前記感光層積層方法では、シート基板を予め加熱（予熱）しておき、その後にシート基板を表裏反転させて熱圧着部へ搬送し、熱圧着ローラによってシート基板に所定の感光性樹脂層（感光層付き帯状支持体）を重ね合わせた状態で圧着させる構成となっている。これにより、異物の挟み込みや付着がなくしかも感光層の膜質の変化が防止でき、良質の感光層積層基板（例えば、液晶カラーフィルタ基板）を得ることができる。
【０００４】
ところが、前記感光層積層方法では、シート基板を予め加熱しておき加熱後に表裏反転させて感光性樹脂層（感光層付き帯状支持体）を重ね合わせる構成であったため、シート基板を例えば真空吸着して表裏反転させる際に、シート基板が熱膨張等による僅かな変形を生じていると、シート基板を確実に真空吸着することが困難となる場合があった。また、加熱後に表裏反転させる構成であるため、表裏反転中にシート基板の温度が低下することになり、このため、シート基板の加熱温度を予め約２０℃程度高めに設定する必要があった。また、加熱したシート基板の熱分布が悪化することもあった。
【０００５】
そこで、上記事実を考慮し、特開２０００−１８１０８０において、シート基板の感光性樹脂層の重ね合わせ面やその感光性樹脂層を傷付けたりゴミが付着したり、基板反転不良によりシート基板を破損することなく搬送加熱することができ、しかも、加熱したシート基板が温度低下することなく所定の感光性樹脂層を圧着させることが可能な感光性樹脂層積層方法が提案されている。
【０００６】
しかしながら、感光性樹脂層を圧着してラミネートする直前の加熱基板をエア浮上させて搬送する工程においては、基板が浮上しているために基板自体の加重が搬送ローラに十分にかからず、搬送ローラと基板との間の摩擦力が低下して基板がスリップし所望の位置に制御できない場合があった。このため、基板を精度よく搬送、配置することが難しく、シート基板上の特定の位置に精度よく感光性樹脂層をラミネートすることが困難な場合が少なくなかった。即ち、感光性樹脂層をシート基板にラミネートする際には、基板上に設けられたアライメントマークを避け、なおかつＲＧＢ画素を形成すべき位置、即ち表示部に感光性樹脂層を設ける必要があるが、最近では無駄なエリアを減らしてコスト採算性を向上させるため、アライメントマークと表示部との間隔が狭まり、互いに近接する位置に設けられる傾向にある。また、サイズが１ｍを超えるなど、シート基板も大型化されてきている。したがって、上記のように、ラミネート時のシート基板と感光性樹脂層との位置精度を確保できる手段が必要不可欠な状況にあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、材料の無駄を極力回避しながら、ラミネート時の位置精度を確保でき、大サイズのシート基板を用いた場合でも歩留りの低下を来すことのない技術は、未だ提供されるに至っていないのが現状である。
【０００８】
上記現状を踏まえ、本発明は、前記従来技術における問題を解消し、シート基板のサイズによらず、シート基板上の特定の位置に感光性樹脂層を精度良く圧着、ラミネートすることができ、歩留りの低下を防止し得る感光性樹脂層積層方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための手段は以下の通りである。
＜１＞　シート基板を予熱し、前記予熱後のシート基板の一面（以下、「層圧着面」ともいう。）に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着する感光性樹脂層積層方法において、前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で複数連ねて載置し、連続する複数の前記シート基板を、先行のシート基板後端における前記一面と後続のシート基板先端における前記一面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法である。
【００１０】
＜２＞　先行のシート基板後端と後続のシート基板先端とが粘着性材料を用いて連結される前記＜１＞に記載の感光性樹脂層積層方法である。
＜３＞　粘着性材料が、基材面の少なくとも一方に粘着性層を有してなる前記＜２＞に記載の感光性樹脂層積層方法である。ここで、前記基材面とは、基材の面をなす両方の側をいう。以下、同様である。
＜４＞　感光性樹脂層を形成しない選択領域に粘着性材料を付与して連結し、かつ前記選択領域をマスクする前記＜２＞又は＜３＞に記載の感光性樹脂層積層方法である。
【００１１】
＜５＞　感光性樹脂層圧着部において複数のシート基板の連結面である前記一面と感光性樹脂層とを重ね合わせて圧着した後、前記粘着性材料を前記シート基板間で切断して除去する前記＜２＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性樹脂層積層方法である。
＜６＞　粘着性材料が基材面の両方に粘着性層を有してなり、感光性樹脂層圧着部において複数のシート基板の連結面である前記一面と、仮支持体上に設けられた感光性樹脂層とを重ね合わせて圧着した後、前記仮支持体を剥離除去すると共に前記粘着性材料を除去する前記＜２＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性樹脂層積層方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性樹脂層積層方法においては、シート基板を加熱かつ気体の吐出により非接触に保持可能な加熱プレート上に複数連ねて載置し、連なる複数のシート基板を、前記加熱プレートと非接触な状態とし、特に先行のシート基板後端における層圧着面とこれに続く後続のシート基板先端における層圧着面とが連結された状態として加熱、搬送、圧着（ラミネート）するものである。
以下、本発明の感光性樹脂層積層方法について詳細に説明する。
【００１３】
本発明の感光性樹脂層積層方法は、シート基板を予熱のために加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる側の一面（層圧着面）が下方に向く状態で複数連ねて載置し、連続する複数の前記シート基板を、先行のシート基板後端における前記層圧着面と後続のシート基板先端における前記層圧着面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層圧着部へ搬送する。
【００１４】
即ち、まずシート基板を加熱すると共に気体を吐出することでシート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレートが設けられる。シート基板は、感光性樹脂層が重ね合わされる側の一面（層圧着面）が下方、即ち重力方向と９０°未満である方向に向く状態で加熱プレート上に載置される。この状態では、シート基板は加熱プレートに対し非接触状態で保持されながら所定温度まで予備加熱される。このとき、複数のシート基板は互いに間隔を有して連結された状態にある。
【００１５】
加熱が終了すると、複数のシート基板は順にそのまま感光性樹脂層圧着部へ搬送されるが、このとき、複数のシート基板は、先行して搬送されるシート基板の進行方向後端における層圧着面と、これに連なる後続のシート基板の先端における層圧着面とを連結した状態で同時に搬送される。
【００１６】
シート基板間の連結は、感光性樹脂層圧着部へ搬送される前、具体的には予備加熱する時点又は予備加熱中において連結された状態にあれば、いずれの段階、態様で行ってもよい。例えば、加熱プレート上に載置する前に、予めシート基板の全てをあるいは数個を連結した後に加熱プレートに載置してもよいし、上記の予備加熱の段階のいかんに関わらず、加熱プレート上に個々のシート基板が載置されるごとに連結してもよい。
また、連結は、静置した状態で行ってもよいし、定速で搬送しながら行ってもよい。
【００１７】
シート基板間の連結は、例えば粘着性材料などを用いて行うことができる。
前記粘着性材料のシート基板への付与は、特に制限はないが、例えば、ロール状の粘着性材料の端部から基板の幅方向へ軽くローラで押し付けながら貼り付ける、予め基板幅の長さに切り出した粘着性材料を所望の位置に置いた後、部材等で軽く基板に押し付ける、等の方法により行うことができる。この際、エア浮上したシート基板が加熱プレートに接触しないようにすることが重要である。
【００１８】
以下、図１を用いてシート基板の連結例を示す。図１は、連続する複数のシート基板が連結された状態の一例を下方から見た図である。
搬送方向Ｅに間隔を有して搬送されるシート基板１及び１’は、先行するシート基板１の搬送方向Ｅに向って後端の層圧着面（基板１の感光性樹脂層が圧着される側の表面）と、後続のシート基板１’の搬送方向Ｅに向って先端の層圧着面（基板１’の感光性樹脂層が圧着される側の表面）とにおいて粘着性材料３で連結されている。また、シート基板１は、その先端において更に先行するシート基板の後端と同様に連結され、シート基板１’もその後端において更に後続の図示しないシート基板の先端と同様に連結されている。
【００１９】
粘着性材料は、複数のシート基板が連続搬送される際の基板間の間隔が一定の距離に保持可能なものであればいずれの態様であってもよい。即ち、本発明においては、気体を吐出することでシート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレートが設けられ、シート基板は浮上された状態で搬送されるため、搬送過程で基板間が近接しすぎたり、逆に離れすぎることがあるのを防止して、一定間隔が保持でき、搬送位置のバラツキが抑えられるものであればよい。
【００２０】
したがって、粘着性材料は、粘着性の素材そのものであってもよいし、粘着性の素材を基材上に設けたものであってもよい。また、一旦連結に用いた後、繰り返し利用可能なものであってもよい。
【００２１】
前記粘着性材料としては、少なくともシート基板への貼付が可能で、貼り付けた後剥がすことができる素材から適宜選択でき、例えば、耐熱アルミテープ（住友スリーエム（株）製）、耐熱テープ（カプトンテープ；パーマセル社製）、ポリイミドテープ（三菱樹脂（株）製）、スペリオＵＴテープ（三菱樹脂（株）製）等が挙げられる。中でも、耐熱性に優れ、剥がした後に残らないもの、特に耐熱アルミテープ（住友スリーエム（株）製）が好ましい。
【００２２】
例えば、基材面の少なくとも一方に粘着性層を有してなる粘着性材料を用いることにより好適に連結することができる。具体的には、例えば図１に示すように、先行のシート基板１の後端及び後続のシート基板１’の先端において、粘着性層を有する粘着性材料の該粘着性層の表面を連結しようとする二枚のシート基板に接触させて貼り付け、連結することができる。このとき、単一の粘着性層を貼付して連結してもよいし、複数を貼付してもよい。
【００２３】
この場合、粘着性材料は、シート基板の感光性樹脂層が設けられる側（即ち下方）に設ける。シート基板の下方側に設けることにより、感光性樹脂層を形成する場合に、所望により選択した該層を形成しない選択領域（非形成領域）に感光性樹脂層が形成されないようにシート基板をマスクするマスク材として機能させることができる。したがって、粘着性材料の使用形態としては、マスクとして機能し得る態様が望ましい。
【００２４】
粘着性材料の長さ、すなわちシート基板の搬送方向Ｅと略直交する方向の長さとしては、加熱ラミネートローラの汚れを防止するためや、マスクとしての機能の点で、感光性樹脂層２と略同一幅とするのが望ましい。
【００２５】
粘着性材料３の幅長Ｄとしては、シート基板１の搬送方向Ｅと略直交する一辺からの貼付幅Ｃ、Ｃ’が確保できれば、シート基板間の間隔（Ｄ−（Ｃ＋Ｃ’））に応じて適宜選択することができる。前記貼付幅Ｃ、Ｃ’としては、材料の無駄を回避する点や、シート基板におけるマスク位置の点、搬送の確実の観点などを考慮して適宜選択することができるが、３〜１０ｍｍが望ましい。
また、シート基板の間隔としては、一般に３０〜８０ｍｍが好適である。
【００２６】
前記粘着性材料は、基材面の両側に粘着性層を有してなるものも好適である。この場合、上述のようにシート基板との接触面側となる粘着性層はシート基板との関係で貼付、剥離が可能であればよいが、逆側の粘着性層は、ラミネート後の感光性転写材料（仮支持体）の剥離の際に粘着性材料も同時に除去可能なように、感光性樹脂層との粘着力が、前記接触面側の粘着力よりも大きいことが好ましい。
【００２７】
上記の中でも、粘着性材料としては、１３０〜２００℃程度の耐熱性を有し、剥離しても残存しないものが好ましく、また、貼付後の粘着性材料の剥離時、シート基板（即ち表示部）上にある感光性樹脂層と粘着性材料上にある感光性樹脂層とを該粘着性材料のエッジ部によってきれいに切断することが可能である点で、粘着性材料の端部、即ち搬送方向と略直交する辺が鋭角であるものが好ましく、特に耐熱アルミテープ（住友スリーエム（株）製）は好ましい。
【００２８】
前記シート基板の大きさとしては、「３００（Ｗ）ｍｍ×４００（リットル）ｍｍ×０．３（ｔ）ｍｍ」〜「１５００（Ｗ）ｍｍ×１０００（リットル）ｍｍ×２．５（ｔ）ｍｍ」の範囲のものが適用できる。
【００２９】
また、前記加熱プレートとしては、アルミ鋳込みヒーター（いわゆるホットプレート）が適用できる。
更に、シート基板を加熱する場合の加熱温度としては、８０〜１５０℃の範囲が好ましく、特に１００℃まで加熱するとよい。
【００３０】
また、気体を吐出することでシート基板を非接触状態で保持するには、加熱プレートに複数のエア吐出孔を設け、このエア吐出孔から空気等の気体を吐出することにより実現できる。この場合、エア吐出孔の大きさや個数は加熱搬送するシート基板の大きさ等によって最適な条件が変わるが、φ０．３ｍｍ〜φ２．５ｍｍの大きさのものが好ましく、その個数としては１０〜３００個／ｍ２の範囲が好ましい。また、吐出する気体の流量や流速は、０．２〜１０リットル／吐出孔の範囲が好ましく、特に２リットル／吐出孔が好ましい。
【００３１】
本発明の感光性樹脂層積層方法においては、更に前記加熱プレート上で保持された前記シート基板の幅方向縁端に対応する搬送ローラを設け、前記搬送ローラによって前記シート基板の幅方向縁端のみをエッジ接触して前記シート基板を搬送する態様が好ましい。
【００３２】
この場合には、加熱プレート上で保持されたシート基板の幅方向縁端に対応して搬送ローラが設けられ、該搬送ローラにシート基板の幅方向縁端のみがエッジ接触させることにより、シート基板をの層圧着面や感光性樹脂層を傷付けることなく、しかも加熱プレートによる非接触状態の保持が確実になり、安定して搬送することができる。
尚、搬送ローラがエッジ接触するシート基板の幅方向縁端の範囲としては、幅方向縁端から５〜１０ｍｍの範囲であれば問題ない。
【００３３】
また、本発明の感光性樹脂層積層方法においては、搬送の最初から最後まで（シート基板が通過する間の何れの時点でも）、加熱プレートにシート基板が接触するのを回避する点で、前記加熱プレートの上面を、上方へ向きかつ前記シート基板の搬送方向に倣う凸状に形成する態様が好ましい。
【００３４】
即ち、シート基板を加熱プレート上で気体を吐出することにより非接触状態で保持しながら搬送する場合に、搬送初期等において、シート基板の先端側が加熱プレートから抜け出し、加熱プレート上の全面にシート基板が位置しない状態となると（シート基板の後端側の加熱プレート上が開放され、気体が無負荷で吐出すると）必然的に気体吐出による非接触状態保持力が低下する。このため、例えばシート基板の後端側が不要に垂れ下がって加熱プレートに接触する可能性が生じる。
【００３５】
この点、加熱プレートの上面が上方へ向きかつシート基板の搬送方向に倣う凸状に形成されることで、加熱プレート上で保持されたシート基板の先端側が加熱プレートから抜け出しシート基板の後端側の加熱プレート上が開放された状態となっても、シート基板の後端側が不要に加熱プレートに接触することがなく、加熱プレートによる非接触状態を確実に保持することができる。
【００３６】
前記加熱プレートの凸形状の程度としては、シート基板の搬送方向に沿った長さ１０００ｍｍに対し、０．５ｍｍ〜３ｍｍの程度が好ましく、特に好ましくは１ｍｍである。
【００３７】
本発明の感光性樹脂層積層方法においては、シート基板の全域を効率よく加熱できる点で、前記加熱プレート上で保持された前記シート基板の直上に位置する上面加熱手段を設け、該上面加熱手段によって前記シート基板の他面をも同時に加熱する態様が好ましい。
前記上面加熱手段としては、遠赤外線セラミックヒーター等が適用できる。
【００３８】
また、シート基板の加熱搬送処理するに必要な時間（いわゆるタクト時間）を短縮でき、効率的である点で、前記加熱プレートを隣接して複数段設け、複数のシート基板を連続して加熱搬送する態様が好ましい。
【００３９】
加熱が終了すると、更にシート基板はそのまま感光性樹脂層圧着部へ搬送され、層圧着面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着される。
図２のように、粘着性材料３で連結されたシート基板１、１’は、ロール５、６からなる一対のローラまで搬送されると、該ローラ対向部（感光性樹脂層圧着部）において、シート基板と同速で別途供給される感光性樹脂層を有する感光性転写材料４と該感光性樹脂層の表面において重ね合わせて圧着（ラミネート）され、貼り合せられる。
【００４０】
一般に、感光性樹脂層の形成に用いられる感光性転写材料４は、仮支持体上に感光性樹脂層と保護フィルムとが順に積層されてなるため、感光性樹脂層をシート基板面にラミネートする場合にはローラ間で圧着される前に予め必要な箇所の保護フィルムを除去し、各シート基板の所定の位置に制御しつつ圧着する必要があるが、本発明においては、シート基板が粘着性材料で連結され、かつ後に該粘着性材料を該材料上形成された感光性樹脂層と共に除去できるため、図３に示すように、予め保護フィルムを一様に除去した状態でラミネートすることが可能であり、その一方、ラミネートしないシート基板の端部（先端部、後端部等）は粘着性材料でマスキングされるため、ラミネート位置を高精度に制御することなく、所定の位置に精度良く転写形成することができる。
【００４１】
以上のように、シート基板を非接触状態で加熱搬送（エアフロー加熱搬送）するため、シート基板の感光性樹脂層の重ね合わせ面（層圧着面）や該感光性樹脂層を傷付けたりゴミが付着したりすることがない。しかも、加熱が終了した後はシート基板はそのまま感光性樹脂層圧着部へ搬送されるため、加熱したシート基板が温度低下することがなく、感光性樹脂層を好適に圧着させることが可能となる。
【００４２】
上記のように、感光性樹脂層圧着部において、複数のシート基板の連結面である層圧着面に連続に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着（ラミネート）した後、シート基板から感光性樹脂層を形成するための感光性転写材料が剥離され、シート基板及び連結部となる粘着性材料上には感光性樹脂層が転写形成される。そして、粘着性材料をその上に形成された感光性樹脂層と共に除去することにより、所定位置に感光性樹脂層が設けられたシート基板を得ることができる。
【００４３】
粘着性材料の除去方法としては、特に制限はなく適宜選択することができる。例えば、以下のようにして好適に行うことができる。
前記粘着性材料は、切断せずに剥離することにより、あるいはシート基板間において切断した後、各シート基板に残存する材料片を剥離することにより、除去することができる。また、基材の両側に粘着性層を有する粘着性材料の場合には、シート基板から感光性樹脂層を形成するための感光性転写材料（仮支持体）を剥離する、即ち所望の領域に感光性樹脂層を転写する際に、仮支持体に貼り付いた状態で同時に粘着性材料をも除去することもできる。
【００４４】
以下、本発明の感光性樹脂層積層方法の一例を図を用いて詳述する。図５は、本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するために使用する感光性樹脂層積層装置の全体構成を示す概略図である。
図５に示すように、感光性樹脂層積層装置１０は、投入部１２、加熱部１４、及び感光性樹脂層圧着部１６を備えて構成されている。
【００４５】
投入部１２にはエアフローパネル１８が設けられている。このエアフローパネル１８には、図６に示すように、その上面に複数のエア吐出孔２０が形成されており、エアを吐出することができる。また、エアフローパネル１８の上面は、上方へ向きかつ処理するシート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成されている。
【００４６】
更に、投入部１２には、処理するシート基板Ｋの幅方向縁端に対応して、搬送ローラ２２が設けられている。この搬送ローラ２２は、駆動ローラとされており、シート基板Ｋの幅方向縁端のみにエッジ接触する。これにより、エアフローパネル１８上に載置されたシート基板Ｋを、エア吐出孔２０からのエアの吐出によってエアフローパネル１８と非接触状態で保持すると共に、搬送ローラ２２の駆動力によって搬送できるように構成されている。
搬送ローラ２２がエッジ接触するシート基板Ｋの幅方向縁端の範囲としては、幅方向縁端から５〜１０ｍｍの範囲であれば問題ない。
【００４７】
搬送される複数のシート基板Ｋは、図５に示すように、一定の間隔を有してエアフローパネル１８と対向する側の表面（下方側の表面）で互いに粘着性材料３により連結されている。したがって、各シート基板Ｋは一定の間隔を保持して投入部１２、加熱部１４、及び感光性樹脂層圧着部１６を搬送する。
【００４８】
一方、シート基板搬送路の投入部１２の下流側には、投入部１２に連続して加熱部１４が設けられている。加熱部１４には、加熱プレート２４が設けられている。加熱プレート２４には、エアフローパネル１８と同様に、その上面に複数のエア吐出孔２６が形成されており、エアを吐出することができる。また、図７に示すように、加熱プレート２４の上面も、前記エアフローパネル１８の上面と同様に、上方へ向きかつ処理するシート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成されている。
【００４９】
また、加熱プレート２４には、アルミ鋳込みヒーター２８が設けられており、加熱プレート２４上のシート基板Ｋを加熱できると共に、エア吐出孔２６から吐出されるエアも昇温することができるようになっている。
【００５０】
加熱部１４には、前記投入部１２と同様に、処理するシート基板Ｋの幅方向縁端に対応して搬送ローラ３０が更に設けられている。搬送ローラ３０も駆動ローラとされており、シート基板Ｋの幅方向縁端のみにエッジ接触する。
これにより、エアフローパネル１８から送り込まれたシート基板Ｋを、エア吐出孔２６からのエアの吐出によってこの加熱プレート２４と非接触状態で保持すると共に、搬送ローラ３０の駆動力によって更に搬送できるように構成されている。
ここでのエア吐出孔２６の大きさや個数、あるいは加熱プレート２４の凸形状の程度としては、前記投入部１２と同様、既述した通りである。
【００５１】
加熱プレート２４の上方には、上面加熱手段としての遠赤外線セラミックヒーター３２が設けられている。これにより、加熱プレート２４上で保持されたシート基板Ｋの他面（上面）も同時に加熱することができるようになっている。したがって、シート基板Ｋの全域を効率よく、かつ効果的に加熱することができる。
【００５２】
シート基板搬送方向の加熱部１４の更に下流側には、感光性樹脂層圧着部１６が設けられている。感光性樹脂層圧着部１６には、一対のラミネートローラ３４が対向配置され、例えば１３０℃に昇温された状態に加熱されている。対をなすラミネートローラ３４間を、加熱部１４から連続的に搬送されるシート基板Ｋの層圧着面及び連結部である粘着性材料表面と、感光性樹脂層Ｍ（感光性樹脂層を有する感光性転写材料の該層）の表面とを互いに重ね合わせた状態で通過させることにより、熱圧着（ラミネート）される。
【００５３】
本発明の感光性樹脂層積層方法においては、粘着性材料により連結された複数のシート基板Ｋを、感光性樹脂層Ｍが重ね合わされる側の表面（層圧着面）が下方に向く状態で投入部１２のエアフローパネル１８上に載置し、上記のように構成された感光性樹脂層積層装置１０を起動すると、載置されたシート基板Ｋは、エア吐出孔２０からのエアの吐出によってエアフローパネル１８と非接触状態で保持されながら、搬送ローラ２２の駆動力によって連続的に加熱部１４へ送り込まれる。
【００５４】
加熱部１４に送り込まれたシート基板Ｋは、同様に、加熱プレート２４上でエア吐出孔２６からのエアの吐出によって加熱プレート２４と非接触状態で保持され、この状態でアルミ鋳込みヒーター２８及び遠赤外線セラミックヒーター３２によって所定温度まで加熱される。
加熱が終了すると、シート基板Ｋはそのまま（感光性樹脂層圧着面が下向きの状態のままで）、搬送ローラ３０の駆動力によって感光性樹脂層圧着部１６へ送り込まれ、層圧着面に感光性樹脂層Ｍが圧着、形成される。
【００５５】
以上のように、エアフローパネル１８や加熱プレート２４上で保持されたシート基板Ｋの幅方向縁端に対応して設けられた搬送ローラ２２、３０が、シート基板Ｋの幅方向縁端のみにエッジ接触して、シート基板Ｋが搬送されるため、シート基板Ｋの感光性樹脂層Ｍが重ね合わせられる層圧着面や感光性樹脂層Ｍの損傷を回避することができる。しかも、エアフローパネル１８や加熱プレート２４による非接触状態の保持性も確実となり、より安定に搬送することができる。
【００５６】
また、エアフローパネル１８や加熱プレート２４の上面を、上方へ向きかつ処理するシート基板Ｋの搬送方向に倣う凸状に形成しているため、エアフローパネル１８や加熱プレート２４上で保持されたシート基板Ｋを、エアフローパネル１８や加熱プレート２４に接触することなく、搬送初期から搬送終点に至るまで（シート基板Ｋが通過する間の何れの時点でも）搬送することができる。
【００５７】
即ち、エアフローパネル１８や加熱プレート２４上で気体を吐出することによりシート基板Ｋを非接触状態で保持しながら搬送する場合に、搬送初期において、シート基板Ｋの先端側がエアフローパネル１８や加熱プレート２４から抜け出し、エアフローパネル１８や加熱プレート２４上の全面にシート基板Ｋが位置しない状態となると（シート基板Ｋの後端側のエアフローパネル１８や加熱プレート２４上が開放され、エアが無負荷で吐出すると）必然的にエア吐出による非接触状態保持力が低下するため、例えばシート基板Ｋの後端側が不要に垂れ下がってエアフローパネル１８や加熱プレート２４に接触する可能性が生じるのを防止することができる。
【００５８】
本発明に係る感光性樹脂層を有する感光性転写材料の構成態様としては、例えば特開２００２−３６４４０の記載と同様に構成することができる。即ち、感光性転写材料は、支持体上に少なくとも感光性樹脂層と保護フィルムとをこの順に有してなる。また、感光性転写材料としては、フィルム状の感光性転写材料が好ましいが、これに限定されるものではない。例えば、カラーフィルタの製造に用いる画像形成用の感光性樹脂着色シート、およびブラックマトリックス形成用の感光性黒色シート等が挙げられる。
【００５９】
感光性転写材料を構成する支持体としては、可撓性であって、感光性樹脂層等と良好な剥離性を有し、化学的及び熱的に安定である物質が好ましい。具体的には、テフロン（Ｒ）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等のフィルム若しくはこれらの積層物が好ましい。感光性樹脂層等からの良好な剥離性を確保するためには、グロー放電等の表面処理はせず、またゼラチン等の下塗層も設けないのが一般的である。支持体の厚みとしては、５〜３００μｍが適当であり、特に２０〜１５０μｍが好ましい。
【００６０】
前記感光性樹脂層は、感光性樹脂と着色剤とを主とする層であり、１５０℃以上の温度で軟化もしくは粘着性を示すことが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。感光性樹脂層の層厚としては０．５〜３μｍが好ましく、通常約２μｍである。公知の光重合性組成物からなる層の大部分はこの性質を有する。この層は、熱可塑性樹脂の添加、または相溶性のある可塑剤の添加によってさらに改質が可能である。
【００６１】
前記感光性樹脂としては、例えば特開平３−２８２４０４号公報に記載のものを全て適用することができる。その例として、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂組成物、光重合成組成物、アジド化合物とバインダーからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物を挙げることができる。
【００６２】
前記感光性樹脂層は、例えば、アルカリ可溶性バインダーポリマー、光照射によって付加重合するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重合開始剤、及び着色剤を含有する組成物によって構成することができる。
【００６３】
本発明の感光性樹脂層積層方法を適用し得るシート基板としては、液晶表示素子、ディスプレイ用ＣＲＴ、カラープラズマディスプレイ（カラーＰＤＰ）等を構成するカラーフィルタ基板の作製に好適な基板を挙げることができる。
即ち、本発明に係るシート基板としては、表面に感光性樹脂層（感光性樹脂層付帯状支持体、いわゆる感光性ラミネートシートの該層）を加熱圧着してカラーフィルタを作製するのに用いられる略平板状の基板であればよい。例えば、ガラス基板などが挙げられる。
【００６４】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
図８及び図９に示すように構成された感光性樹脂層積層装置を用意し、下記操作によりシート基板に感光性樹脂層を積層した。図８は、本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するための感光性樹脂層積層装置の一例を示す正面図であり、図９は、図８の感光性樹脂層積層装置を一部破断した平面図である。
【００６５】
シート基板Ｋには、図９に示すように、幅（図１中のＡ）１１００ｍｍ、長さ８００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラス基板を用意した。
【００６６】
感光性樹脂層積層装置４０は、投入部４２及び加熱部４４を備えて構成されている。
投入部４２は、気体を吐出可能なエアフローパネル４６と駆動可能な搬送ローラ５６とを備えている。エアフローパネル４６には、複数のエア吐出孔４８が形成されている。エア吐出孔４８の大きさはφ１ｍｍであり、その個数は５０である。また、吐出する気体の流量は、１００リットル／分に設定されている。これにより、シート基板Ｋを１ｍｍ以下の隙間で非接触状態で保持できるようになっている。搬送ローラ５６は、図９に示すように、シート基板Ｋの幅方向縁端でエッジ接触して駆動できるように複数配置されている。
また、エアフローパネル４６の上面の凸形状の程度は、シート基板Ｋの搬送方向に沿った長さ８００ｍｍに対し１ｍｍに設定されている。
【００６７】
一方、加熱部４４は、加熱すると共に気体を吐出可能な加熱プレート５０と駆動可能な搬送ローラ５８とを備えており、加熱プレート５０には、複数のエア吐出孔５２が形成されている。エア吐出孔５２の大きさや個数、あるいは加熱プレート５０の凸形状の程度は、前記投入部４２と同様の条件に設定してある。また、加熱プレート５０は、１３０℃±５℃に設定されており、シート基板Ｋを１００℃に加熱できるようになっている。投入部４２と同様に、搬送ローラ５８は、図９に示すように、シート基板Ｋの幅方向縁端でエッジ接触して搬送ローラ５６と同期して駆動できるように複数配置されている。
加熱プレート５０の上方には、図８に示すように、更に遠赤外線セラミックヒーター５４が設けられている。
【００６８】
上記のように構成された感光性樹脂層積層装置４０を起動すると、投入部４２及び加熱部４４におけるエア吐出孔４８、５２から気体を吐出し、搬送ローラ５６、５８が定速回転すると共に、加熱プレート５０が所定の設定温度まで加熱される。この状態で、シート基板Ｋを、予め昇温するために収納された加熱槽（不図示）からロボットアームで取り出し、反転させて感光性樹脂層を形成しようとする側の一面（即ち層圧着面）が下方、即ちエアフローパネル４６（加熱プレート５０）と対向する側となるように、エアフローパネル４６上に載置した。このとき、シート基板Ｋは浮上状態にある。
【００６９】
載置されたシート基板Ｋは、エア吐出孔４８からのエアの吐出によってエアフローパネル４６と非接触状態で保持されながら、搬送ローラ５６の駆動力によって一定速度で搬送され、搬送されている状態でシート基板とシート基板との間を、下方側に位置するシート基板の層圧着面において、片側の一面のみに粘着性を有する粘着テープ３（耐熱アルミテープ、住友スリーエム（株）製；粘着性材料）を基板端部から基板幅方向へ軽くローラーで押し付けながら貼り付けることによって貼付し連結した。このとき、シート基板間の間隔は５０ｍｍとし、粘着テープのサイズは、長さ１１００ｍｍ（シート基板Ｋと同一）、幅長（図１中のＤ）７０ｍｍとした。また、両シート基板の先端、後端における各貼付幅（図１中のＣ、Ｃ’）は１０ｍｍとした。
【００７０】
そして、互いに連結されたシート基板Ｋは、更に加熱部４４まで搬送されると、引き続き搬送ローラ５８により加熱部４４内部に搬送され、加熱プレート５０上でエア吐出孔５２からのエアの吐出によってこの加熱プレート５０と非接触状態で保持されながら、１００℃まで加熱された。
加熱終了後、シート基板Ｋはそのまま（感光性樹脂層圧着面が下向きの状態のままで）、搬送ローラ５８の駆動力によって２ｍ／分のスピードで図示しない感光性樹脂層圧着部へ搬送した。
【００７１】
感光性樹脂層圧着部に搬送されたシート基板Ｋは、図５に示すように、対をなすの二つの対向ロール３４を備えるラミネートローラ（日立テクノエンジニアリング社製）により、シート基板Ｋと同速で別途供給される感光性樹脂層Ｍと該層表面において重ね合わせて連続的にラミネートした。感光性樹脂層Ｍは、仮支持体上に設けられてなる感光性転写材料の形態で供給されている。
【００７２】
このとき、図３に示すように、感光性樹脂層Ｍは仮支持体Ｍ’と共にシート基板Ｋの層圧着面及び粘着テープ３上に一様にラミネートされている。その後、図４に示すように、シート基板Ｋ及び粘着テープ３から回転ロール７を介して仮支持体Ｍ’を剥離して、シート基板Ｋの層圧着面及び粘着テープ３上に一様に感光性樹脂層Ｍを転写した。そして、粘着テープ３をその上の感光性樹脂層Ｍと共に、基板幅方向に移動する回転ロール７を介して剥離し除去した。粘着テープが除去されると、各シート基板上の所定の領域内のみに感光性樹脂層が形成された。
【００７３】
以上のように、シート基板間に粘着テープを貼付して連結し、連結した状態でラミネートを行うことにより、各シート基板へのラミネートごとに搬送位置を個々に確認する必要がなく、操作の容易化が図られた。しかも、感光性樹脂層をラミネートするに際し、予め設けられた保護フィルムは一様に除去しておけば足り、ラミネートしないシート基板の端部（先端部、後端部等）は粘着テープでマスキングされるため、ラミネート位置を特にコントロールすることなく、所定の位置から±１．０ｍｍの範囲内に精度良く連続形成することができた。
【００７４】
また、感光性樹脂層積層装置の上記構成により、シート基板Ｋの感光性樹脂層が重ね合わされる層圧着面や感光性樹脂層を傷付けたりゴミが付着したりすることもなかった。加熱されたシート基板Ｋの温度低下や、基板反転不良によるシート基板Ｋの破損もなく、感光性樹脂層を好適に圧着させることができた。また、搬送ローラとエッジ接触して搬送された結果、非接触状態で確実に保持されながら安定に搬送することができた。
【００７５】
尚、加熱プレート５０のエア吐出孔５２から吐出するエアを、インラインヒータによって予熱する構成としてもよく、また、熱風の消費を抑えるために、シート基板Ｋを浮上（非接触状態で保持）させた際に両端の隙間から流出したホットエアをリサイクルし、再度加熱プレート５０のエア吐出孔５２から吐出する構成としてもよい。
【００７６】
（実施例２）
実施例１において、片側の一面のみに粘着性を有する粘着テープに代えて、両面に粘着性を有する両面粘着テープを用いたこと以外、実施例１と同様の操作を行った。このとき、シート基板Ｋを連結する側の粘着性を弱くしてある。
その結果、ラミネート後において、図４に示すように仮支持体Ｍ’を剥離する際に、両面粘着テープ３も感光性樹脂層Ｍを介して仮支持体Ｍ’と共に剥離され、シート基板Ｋの所定の位置に転写すると同時に両面粘着テープをも除去することができた。しかも、シート基板上には、所望の位置にマスキングされて所定の位置から±１．０ｍｍの範囲内に精度良く感光性樹脂層を転写形成することができた。
【００７７】
（比較例１）
実施例１において、粘着テープにより連結しなかったこと以外、実施例１と同様の操作を行った。
その結果、各シート基板へのラミネートごとに搬送位置を個々に確認する必要があるばかりか、ラミネート位置精度も所定の位置から±２．５ｍｍに抑えるのが限界であった。また、感光性樹脂層をラミネートするに際し、ラミネートローラとの接触回避を考慮し、ラミネート面積に対応した領域のみの保護フィルムを除去する操作が必要であった。
【００７８】
【発明の効果】
本発明によれば、シート基板のサイズによらず、シート基板上の特定の位置に感光性樹脂層を精度良く圧着、ラミネートすることができ、歩留りの低下を防止し得る感光性樹脂層積層方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】粘着性材料を貼付し連続する複数のシート基板が連結されている状態を説明するための概略図である。
【図２】連結されたシート基板に感光性樹脂層を圧着するところ（感光性樹脂層圧着部）を説明するための概略図である。
【図３】連結されたシート基板に感光性樹脂層が圧着された状態の一例を示す概略図である。
【図４】連結されたシート基板に感光性樹脂層が圧着された状態から仮支持体を除去しているところを説明するための概略図である。
【図５】本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するための感光性樹脂層積層装置の一例を示す概略構成図である。
【図６】本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するための感光性樹脂層積層装置に備えられるエアフローパネル又は加熱プレートの一例を示す概略平面図である。
【図７】本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するための感光性樹脂層積層装置に備えられるエアフローパネル又は加熱プレートの一例を示す概略断面図である。
【図８】本発明の感光性樹脂層積層方法を実施するための感光性樹脂層積層装置の一例を示す正面図である。
【図９】図８の感光性樹脂層積層装置を一部破断した平面図である。
【符号の説明】
１，１’，Ｋ…シート基板
２，Ｍ…感光性樹脂層
３…粘着性材料
１２…投入部
１４…加熱部
１６…感光性樹脂層圧着部
１８…エアフローパネル
２０，２６…エア吐出孔
２２，３０…搬送ローラ
２４…加熱プレート
２８…アルミ鋳込みヒーター
３２…遠赤外線セラミックヒーター（上面加熱手段）
Ｍ’…仮支持体
【図１】
2004009517.tif 000002
【図２】
2004009517.tif 000003
【図３】
2004009517.tif 000004
【図４】
2004009517.tif 000005
【図５】
2004009517.tif 000006
【図６】
2004009517.tif 000007
【図７】
2004009517.tif 000008
【図８】
2004009517.tif 000009
【図９】
2004009517.tif 000010