(57)【要約】【課題】半導体検査装置を用いた半導体装置の出力信号のタイミング測定方法は、論理パターンの判定結果比較に変化があるまでタイミング条件設定を繰り返す必要があり、タイミング条件設定部分の処理時間が大きくなる。【解決手段】半導体装置の機能検査を行う半導体検査装置を用いて複数のタイミング条件を一度で設定（１０１）した検査プログラムと複数のタイミング条件設定を選択できるタイミング条件番号を有した論理パターン（１０２）を用いた半導体装置の出力信号タイミング測定方法で、この測定方法によれば、タイミング条件設定と論理パターンの動作が一度で行えるため、複数回のタイミング条件設定と複数回の論理パターンの実行を必要とせずに半導体装置の出力信号タイミング測定を実現できる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の機能検査を行う半導体検査装置を用いて複数のタイミング条件を一度で設定した検査プログラムと前記複数のタイミング条件の設定を選択できる論理パターンを用いた半導体装置の出力信号タイミング測定方法。
【請求項２】
半導体装置の機能検査を行う半導体検査装置を用いて複数のタイミング条件を一度で設定する処理と、
前記複数のタイミング条件設定を選択できる論理パターンを入力する処理を含むことを特徴とする半導体装置の出力信号タイミング測定方法。
【請求項３】
半導体検査装置の検査プログラムにおいて複数のタイミング条件の設定を行うステップと、
前記複数のタイミング条件が設定できる論理パターンの入力を実行するステップと、
前記論理パターンの実行結果確認で前記論理パターンがパスしたかフェイルしたかを確認するステップと、
前記論理パターンがパスした場合は、被測定半導体装置を不良とするステップと、
前記論理パターンがフェイルした場合は、フェイルアドレス抽出を実行するステップと、
前記抽出されたフェイルアドレスから出力信号が変化したタイミング条件を求め、前記求められたタイミング条件が検査判定の規格内にあるかどうかを確認する判定処理を実行するステップを含むことを特徴とする半導体装置の出力信号タイミング測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体検査装置を用いて半導体装置の出力信号のタイミングを測定する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体検査装置を用いて半導体装置の出力信号のタイミングを測定する方法は、一条件のタイミングを設定し論理パターンを動作させて論理パターンの判定結果を抽出して判定結果に変化がないかを検出する方法で行われる。したがって、判定結果に変化がないかを確認するためには、タイミング条件設定と論理パターンの動作を複数回繰り返す必要がある。
【０００３】
以下、従来の半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法について図面を参照しながら説明する。
【０００４】
図３は、従来の半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のフローチャートである。図３に示すように、半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法は、半導体検査装置の検査プログラムにおいてタイミング条件設定３０１を行い、論理パターン入力３０２を実行する。論理パターンの実行結果の判定結果比較３０３で前回測定した判定結果に変化があるかないかを確認する。
【０００５】
判定結果に変化がなければ再度タイミング条件を変更するためにタイミング条件設定３０１へもどる。前記フローを繰り返し行い、ある一定回数繰り返しても判定結果に変化がなければ被測定半導体装置は不良品となり、判定結果に変化があれば、変化が発生した時のタイミング条件抽出３０４を実行する。
【０００６】
前記抽出されたタイミング条件が検査判定の規格内にあるかどうかを確認する判定処理３０５を実行して規格内になければ、被測定半導体装置は不良品となり、規格内あれば良品として次テストのフローに移行する。
【０００７】
図４は、従来の半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法の論理パターンのタイミングチャートである。図４において、４０１は出力信号、４０２は論理パターンの期待値、４０３は論理パターンの期待値判定タイミング、４０４は判定結果である。
【０００８】
図４に示すように、期待値判定タイミングを変化させるために繰り返しタイミング条件設定と論理パターン入力と判定結果比較を行わなければならない。図４ではｎ＋１回測定を繰り返さなければならない（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１０−２８８６５３号公報（第２図）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体検査装置を用いた半導体装置の出力信号のタイミング測定方法は、論理パターンの判定結果比較に変化があるまでタイミング条件設定を繰り返す必要がある。このため、タイミング条件設定変更部分の処理時間が大きくなり検査時間が長くなるという問題を有していた。
【００１１】
本発明は、前記従来の問題を解決し、半導体検査装置を用いて半導体装置の出力信号のタイミング測定を短い検査時間で測定できる方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、半導体装置の機能検査を行う半導体検査装置を用いて複数のタイミング条件を一度で設定した検査プログラムと複数のタイミング条件設定を選択できる論理パターンを用いた半導体装置の出力信号タイミング測定方法である。
【００１３】
この出力信号タイミング測定方法によれば、タイミング条件設定と論理パターンの動作が一度で行えるため、複数回のタイミング条件設定と複数回の論理パターンの実行を必要とせずに半導体装置の出力信号タイミング測定を実現できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１は本発明の一実施の形態に係る半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のフローチャートである。図１に示すように、半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法は、半導体検査装置の検査プログラムにおいて複数のタイミング条件設定１０１を行い、複数のタイミング条件が設定できる論理パターン入力１０２を実行する。
【００１６】
論理パターンの実行結果確認１０３で論理パターンがパスしたかフェイルしたかを確認する。論理パターンがパスした場合は、論理パターンの期待値に対してタイミングを変化させてもフェイルするタイミングがないので、出力信号の変化点が見つからなかったことになる。したがって、上記の場合は、被測定半導体装置は正常に動作していないので不良品となる。
【００１７】
論理パターンがフェイルした場合は、論理パターンの期待値に対してタイミングを変化させていくとフェイルするタイミングがあるので、出力信号が変化したことがわかる。どのタイミング条件設定でフェイルしたかを確認するために論理パターンのフェイルしたパターンアドレスの抽出を行うフェイルアドレス抽出１０４を実行する。
【００１８】
前記抽出されたフェイルアドレスから出力信号が変化したタイミング条件を求める。前記求められたタイミング条件が検査判定の規格内にあるかどうかを確認する判定処理１０５を実行して規格内になければ、被測定半導体装置は不良品となり、規格内あれば良品として次テストのフローに移行する。
【００１９】
図２は、本実施の形態に係る半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のタイミングチャートである。図中２０１は出力信号、２０２は論理パターンの期待値、２０３はタイミング条件番号、２０４は論理パターンの期待値判定タイミング、２０５は判定結果、２０６は論理パターンアドレスである。
【００２０】
図２に示すように、期待値判定タイミングを変化させるために論理パターンにタイミング条件番号２０３を持たせることにより複数のタイミング条件選択を可能にしている。したがって、論理パターンを一度動作させることにより出力信号の変化点を判定結果２０５がフェイルした論理パターンアドレス２０６から見つけることができる。
【００２１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、検査プログラムに複数のタイミング条件設定を一度で行い、論理パターンにタイミング条件番号を持たせることにより論理パターンの動作一回で複数のタイミング条件での期待値比較が行えるため、複数回のタイミング条件設定と複数回の論理パターンの実行を必要とせずに半導体装置の出力信号タイミング測定を実現できる。
【００２２】
このことにより、繰り返し測定によるタイミング条件設定変更時間と論理パターン動作時間と命令実行数の低減が実現でき、被測定半導体装置の出力信号のタイミング測定時間を短縮でき、検査コストの低減と生産効率の向上ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のフローチャート
【図２】本発明の一実施の形態に係る半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のタイミングチャート
【図３】従来の半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法のフローチャート
【図４】従来の半導体検査装置を用いて半導体装置のタイミングを測定する方法の論理パターンのタイミングチャート
【符号の説明】
１０１    複数のタイミング条件設定
１０２    タイミング条件番号を有した論理パターン入力
１０３    論理パターンの実行結果確認
１０４    フェイルアドレス抽出
１０５    判定処理
２０１    出力信号
２０２    論理パターンの期待値
２０３    タイミング条件番号
２０４    論理パターンの期待値判定タイミング
２０５    判定結果
２０６    論理パターンアドレス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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