(57)【要約】【課題】複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドの機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される液滴吐出ヘッド保守ユニットとしての、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４を備え、これら各液滴吐出ヘッド保守ユニットは、保守ユニット設置部としての移動台８６にまとめて配置されている。移動台８６は、装置本体と別体となった付属台８５に支持されている。【選択図】図１０
2004202325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドの機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される互いに種類の異なる３つ以上の液滴吐出ヘッド保守ユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッド保守ユニットの少なくとも３つは、保守ユニット設置部にまとめて配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
互いに種類の異なる４つ以上の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットを備え、前記液滴吐出ヘッド保守ユニットの少なくとも４つが前記保守ユニット設置部にまとめて配置されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、それぞれ、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニット、前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける液受け部を有するフラッシングユニット、前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引する際に前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を覆うキャップを有するキャッピングユニット、前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出量を測定するために使用する吐出量測定用ユニット、および、前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査のために使用するドット抜け検出ユニットのいずれかである請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、一列に並んで配置されている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記保守ユニット設置部を水平な方向に移動させる保守ユニット移動機構をさらに備える請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、前記装置本体に対し着脱可能に設置されており、
前記保守ユニット移動機構は、前記保守ユニット設置部に設置された複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットが前記液滴吐出ヘッドの着脱の際にこれと干渉しないような位置に前記保守ユニット設置部を移動可能である請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記相対移動機構は、前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、前記液滴吐出ヘッドを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるＸ軸方向移動機構とで構成される請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし、他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出する請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記保守ユニット設置部を前記Ｙ軸方向に移動させる保守ユニット移動機構をさらに備え、
前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、前記Ｙ軸方向に沿って一列に並んで配置されている請求項７または８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記保守ユニット設置部の高さを調整する高さ調整機構をさらに備える請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記ワーク載置部、前記液滴吐出ヘッドおよび前記相対移動機構は、前記装置本体に支持されており、前記保守ユニット設置部は、前記装置本体と別体となった付属台に支持されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記装置本体は、定盤を有し、前記ワーク載置部、前記液滴吐出ヘッドおよび前記相対移動機構は、前記定盤に支持されている請求項１１に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記付属台の側面には、当該液滴吐出装置で用いる配管関連部品が設置されており、前記配管関連部品は、前記付属台の全幅より内側に引っ込んだ位置に設けられた固定部に固定されることにより、前記付属台の全幅より外側に突出しないように設置されている請求項１１または１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１５に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される各種のユニット（以下、液滴吐出ヘッド保守ユニットと言う）を設置する必要がある。液滴吐出ヘッド保守ユニットとしては、例えば、液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニット、液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピングユニット等が挙げられる。
【０００４】
産業用の液滴吐出装置では、対象物（ワーク）としての基板等の大型化が進行していることなどから、装置の大型化が進んでおり、工場内で広い設置スペースを必要とするということが問題になっている。液滴吐出装置の大型化には、上述したような各種の液滴吐出ヘッド保守ユニットのそれぞれに設置スペースを確保しなければならないことも大きな要因となっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２６０３０７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドの機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される互いに種類の異なる３つ以上の液滴吐出ヘッド保守ユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッド保守ユニットの少なくとも３つは、保守ユニット設置部にまとめて配置されていることを特徴とする。
【０００８】
これにより、複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる液滴吐出装置を提供することができる。
また、保守ユニット設置部において複数種類の液滴吐出ヘッド保守ユニットによる保守をまとめて行うことができるので、１つのワークに要するサイクルタイムを短縮することができ、スループット（生産能率）の向上が図れる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、互いに種類の異なる４つ以上の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットを備え、前記液滴吐出ヘッド保守ユニットの少なくとも４つが前記保守ユニット設置部にまとめて配置されていることが好ましい。
これにより、装置全体としてスペースのさらなる有効利用が図れるとともに、スループットもさらに向上することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、それぞれ、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニット、前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける液受け部を有するフラッシングユニット、前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引する際に前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を覆うキャップを有するキャッピングユニット、前記液滴吐出ヘッドの液滴の吐出量を測定するために使用する吐出量測定用ユニット、および、前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査のために使用するドット抜け検出ユニットのいずれかであることが好ましい。
これにより、クリーニングユニット、フラッシングユニット、キャッピングユニット、吐出量測定用ユニット、ドット抜け検出ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる。本発明の液滴吐出装置では、前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、一列に並んで配置されていることが好ましい。これにより、装置全体としてさらなるスペースの有効利用が図れるとともに、スループットもさらに向上することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、前記保守ユニット設置部を水平な方向に移動させる保守ユニット移動機構をさらに備えることが好ましい。
これにより、保守ユニット設置部における各液滴吐出ヘッド保守ユニットの配置パターンの自由度が高まる結果、装置全体としてスペースのさらなる有効利用が図れる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッドは、前記装置本体に対し着脱可能に設置されており、
前記保守ユニット移動機構は、前記保守ユニット設置部に設置された複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットが前記液滴吐出ヘッドの着脱の際にこれと干渉しないような位置に前記保守ユニット設置部を移動可能であることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの着脱を容易、円滑、迅速に行うことができ、作業性を向上することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記相対移動機構は、前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、前記液滴吐出ヘッドを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるＸ軸方向移動機構とで構成されることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし、他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、前記保守ユニット設置部を前記Ｙ軸方向に移動させる保守ユニット移動機構をさらに備え、
前記保守ユニット設置部に設置された複数の前記液滴吐出ヘッド保守ユニットは、前記Ｙ軸方向に沿って一列に並んで配置されていることが好ましい。
これにより、装置全体としてさらなるスペースの有効利用が図れるとともに、スループットもさらに向上することができる。
本発明の液滴吐出装置は、前記保守ユニット設置部の高さを調整する高さ調整機構をさらに備えることが好ましい。
これにより、製造（処理）するワークの厚さの変更に伴う液滴吐出ヘッドの高さの変更に容易に対応することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワーク載置部、前記液滴吐出ヘッドおよび前記相対移動機構は、前記装置本体に支持されており、前記保守ユニット設置部は、前記装置本体と別体となった付属台に支持されていることが好ましい。
これにより、付属台側で発生する振動が装置本体側に伝達するのを防止することができるので、ワークに形成（描画）するパターンの精度に悪影響を及ぼすのを回避することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置では、前記装置本体は、定盤を有し、前記ワーク載置部、前記液滴吐出ヘッドおよび前記相対移動機構は、前記定盤に支持されていることが好ましい。
これにより、ワークにより高い精度でパターンを形成（描画）することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、前記付属台の側面には、当該液滴吐出装置で用いる配管関連部品が設置されており、前記配管関連部品は、前記付属台の全幅より内側に引っ込んだ位置に設けられた固定部に固定されることにより、前記付属台の全幅より外側に突出しないように設置されていることが好ましい。
これにより、付属台の近傍にオペレーターが立ち入って作業を行う際、配管関連部品が邪魔になることなく、作業を容易、円滑に行うことができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図、図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンク収納部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００２２】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、液滴吐出ヘッド１１１を有する液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００２３】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２４】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、装置本体２の側方に設置された付帯装置（メンテナンス装置）１２と、タンク収納部１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板搬送テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２５】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（electroluminescence）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２６】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２７】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２８】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（捨て打ち、予備吐出またはフラッシングとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収・貯留される。
【００２９】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００３０】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００３１】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００３２】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００３３】
装置本体２および付帯装置１２の近傍には、ラック（棚）１３１を有するタンク収納部１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納部１３のラック１３１には、第１の一次タンク（吐出対象液タンク）４０１、第２の一次タンク（吐出対象液タンク）４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２がそれぞれ設置（収納）されている（第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、図９中では図示を省略）。なお、本実施形態では、一次タンクを２個備えているが、一次タンクは、１個でも３個以上でもよい（他のタンクについても同様）。
【００３４】
第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、液滴吐出ヘッド１１１から吐出するための吐出対象液を貯留する。第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２は、後述するクリーニングユニット８１に供給するための洗浄液を貯留する。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液を貯留する。第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、描画前フラッシングユニット１０４、後述する定期フラッシングユニット８２および後述するドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より吐出された吐出対象液を貯留する。
【００３５】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２は、それぞれ、空になったときに吐出対象液を補充したり、満杯になっているタンクに交換したりすることができるようになっている。なお、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、交換（着脱）と、吐出対象液の補充との少なくとも一方が行えるようになっていればよい。
【００３６】
同様に、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２も、それぞれ、交換または洗浄液の補充を行うことができるようになっている。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、満杯になったときに空のタンクへの交換または内部の液体の抜き取りを行うことができるようになっている。
【００３７】
図１に示すように、ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けの有無を検査（検出）するドット抜け検査（吐出確認検査）を行うものである。ドット抜け検出ユニット１９は、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部と、ドット抜け検査用液受け部とを備えている。
【００３８】
ドット抜け検査を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから液滴を吐出する。ドット抜け検出ユニット１９は、この吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしている吐出ノズルの有無および個所を光学的に検出する。このドット抜け検査の際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体（液滴）は、ドット抜け検査用液受け部で受けられる。
【００３９】
ドット抜け検査用液受け部の底部には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、ドット抜け検査用液受け部が受けた液体は、この吸引チューブを通って後述する排液装置１８により回収され、前記第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２内に貯留される。
なお、ドット抜け検出ユニット１９を用いたドット抜け検査は、具体的には例えば特開２００２−１９２７４０号公報に記載された方法によって行うことができるが、これに限定されず、いかなる方法で行うものでもよい。
【００４０】
液滴吐出装置１の近傍には、制御装置（制御手段）１６が設けられている。制御装置１６は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御するものであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有している。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。
【００４１】
このような液滴吐出装置１は、好ましくは、チャンバ装置９により、雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００４２】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納部１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００４３】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００４４】
また、このような液滴吐出システム１０では、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納部１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納部１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００４５】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４６】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００４７】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。また、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構１０５により、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
【００４８】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００４９】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によって基板搬送テーブル３、Ｙ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００５０】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００５１】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００５２】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００５３】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５４】
液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ（ヘッドユニット支持体）６１と、桁２４上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するとともに駆動するリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１は、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
なお、本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構５とＸ軸方向移動機構６とで、基板搬送テーブル３と液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
【００５５】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対するヘッドユニット１１の高さを調整するヘッドユニット高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と基板Ｗとの隙間を調整することができる。
【００５６】
図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間には、さらに、カメラキャリッジ１０６が架け渡されるようにして設置されている。カメラキャリッジ１０６は、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３をメインキャリッジ６１と共用するとともに、メインキャリッジ６１と独立してＸ軸方向に移動する。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００５７】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００５８】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。前記制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に対し、それぞれ、図示しないドライバを介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の液滴吐出ヘッド１１１の所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
【００５９】
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００６０】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００６１】
次に、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材され、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板搬送テーブル３上で所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板搬送テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板搬送テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００６２】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００６３】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００６４】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００６５】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００６６】
図１０および図１１は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図および側面図、図１９および図２０は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置の平面図である。以下、これらの図に基づいて、液滴吐出装置１の付帯装置１２について説明する。
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）やキャッピングを行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。
【００６７】
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図１０に示すように、この付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６と、クリーニングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００６８】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４（以下、総称して「四種の液滴吐出ヘッド保守ユニット」とも言う）は、それぞれ、液滴吐出ヘッド１１１の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される液滴吐出ヘッド保守ユニットの一種である。本発明の液滴吐出装置１では、これらの互いに種類の異なる４つの液滴吐出ヘッド保守ユニットが、保守ユニット設置部（保守ユニット設置領域）としての移動台８６上にまとめて（ひとまとまりに）配置されていることを特徴としている。
【００６９】
この特徴によって、液滴吐出装置１では、各液滴吐出ヘッド保守ユニットの配置におけるスペース効率が高く、液滴吐出装置１全体としてスペースを有効に活用することができ、よって、液滴吐出装置１が工場内で必要な設置スペース（占有面積）を小さくすることができる。また、四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットが互いに近い位置にまとまって配置されているので、ヘッドユニット１１がこれらの各液滴吐出ヘッド保守ユニットを次々と連続して利用する場合、各液滴吐出ヘッド保守ユニットとヘッドユニット１１との相対的な移動を迅速に行うことができ、無駄な動きが少ないので、基板Ｗ一枚当たりの処理に要するサイクルタイムを短縮でき、スループット（生産能率）の向上が図れる。なお、各液滴吐出ヘッド保守ユニットについては、後に説明する。
【００７０】
付帯装置１２の付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部（上面）には、保守ユニット移動機構８５４が設置されている。保守ユニット移動機構８５４は、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１と、ボールねじ８５２と、このボールねじ８５２を回転駆動するモータ８５３とを有しており、移動台８６をＹ軸方向に移動（前進・後退）させることができる。
【００７１】
図１１に示すように、移動台８６は、上段８６１と、下段８６２と、ボールねじを用いた昇降機構（高さ調整機構）８６３と、昇降ハンドル８６４とを有している。上段８６１は、下段８６２に対し昇降機構８６３により昇降可能になっており、昇降ハンドル８６４を回して昇降機構８６３を作動させることにより、上段８６１の高さを調整可能になっている。なお、昇降機構８６３は、上記のように手動で作動させる構成に限らず、モータ等の駆動源を設けて自動で作動するように構成してもよい。
【００７２】
移動台８６の上段８６１上には、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４が、Ｙ軸方向に沿って一列に並んで設置されている。よって、移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置したとき、これら四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットのいずれかをヘッドユニット１１の下方に選択的に位置決めでき、その選択した液滴吐出ヘッド保守ユニットによる保守を行うことができるようになっている。
【００７３】
例えば、移動台８６の位置が図１に示す状態では、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に移動した場合、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１の下方にキャッピングユニット８３が位置するので、キャッピングを行うことができる。また、移動台８６の位置が図１９に示す状態では、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に移動した場合、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１の下方にクリーニングユニット８１のローラユニット１６０（ローラ７６）が位置するので、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃を行うことができる。同様にして、定期フラッシングユニット８２を用いた捨て吐出や、吐出量測定用ユニット８４への液滴の吐出も行うことができる。
このように、本実施形態では、保守ユニット移動機構８５４を設けたことにより、四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットをＹ軸方向に沿って一列に並べることができることから、装置本体２の側方のスペースをより有効に活用することができ、液滴吐出装置１全体としてのＸ軸方向の長さをより短縮することができる。
【００７４】
また、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１１をヘッドユニット１１ごとメインキャリッジ６１から着脱することにより、液滴吐出ヘッド１１１の交換が行えるようになっている。この液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の交換の際には、図２０に示すように、保守ユニット移動機構８５４が移動台８６を図２０中の最も右端に移動させた状態とした上で、ヘッドユニット１１を付帯装置１２の上方に移動して、これを行う。これにより、着脱する液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）と、移動台８６上の四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットとが干渉しないような状態にすることができ、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の交換を容易、迅速、円滑に行うことができる。
【００７５】
また、本実施形態では、ヘッドユニット高さ調整機構２０によって基板Ｗの厚さに応じて液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の高さが変更された場合、昇降機構８６３によって上段８６１上に設置された各液滴吐出ヘッド保守ユニットの高さをこれに合わせて調整することができ、製造する基板Ｗの厚さの変更に伴う液滴吐出ヘッド１１１の高さの変更に容易に対応することができる。また、各液滴吐出ヘッド保守ユニットと液滴吐出ヘッド１１１との高さの調整（高さ合わせ）は、ヘッドユニット高さ調整機構２０によるヘッドユニット１１の上下動によって行ってもよい。
【００７６】
また、本実施形態では、保守ユニット設置部としての移動台８６を、装置本体２と別体となった付属台８５で支持している。これにより、移動台８６上の各液滴吐出ヘッド保守ユニットや保守ユニット移動機構８５４等が発生する振動が装置本体２に伝達するのを防止することができるので、基板Ｗに形成（描画）するパターンの精度に悪影響を及ぼすのを回避することができる。
【００７７】
また、四種の液滴吐出ヘッド保守ユニット（移動台８６）を石定盤２２上に設置した場合よりも石定盤２２の大きさを小さくすることができるので、高価な石定盤２２に掛かるコストを低減することができ、また、液滴吐出装置１全体としての重量軽減も図れる。なお、移動台８６上に設けられた四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットに要求される位置精度は、比較的低いので、石定盤２２上に設置しなくても、精度上の問題は生じない。
【００７８】
以下、移動台８６の上段８６１上にまとめて配置された四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットについて、順次説明する。
図１４は、図１０および図１１に示す付帯装置におけるクリーニングユニットのローラユニットを示す斜視図である。
クリーニングユニット８１は、定期的あるいは随時に、液滴吐出ヘッド１１１の各ノズル形成面をワイピングシート７５によって拭って清掃するものである。ワイピングシート７５は、液体を吸収し得る性質を有しており、その材質としては特に限定されないが、例えばポリエステルからなる織布が好適に用いられる。
【００７９】
図１０および図１１に示すように、クリーニングユニット８１は、ワイピングシート供給ユニット１５０と、ローラユニット１６０とを有している。ワイピングシート供給ユニット１５０は、ワイピングシート７５を巻き出して供給する巻き出しローラ７８と、各ノズル形成面を拭った後のワイピングシート７５を巻き取る巻き取りローラ７９と、該巻き取りローラ７９を回転駆動する電動モータとを備えている。
【００８０】
図１４に示すように、ローラユニット１６０は、巻き出しローラ７８から巻き出されたワイピングシート７５を各ノズル形成面に押し付ける円柱状のローラ７６を有している。ローラ７６は、ローラケーシング１６１により回転可能に支持されている。ローラ７６は、好ましくはその少なくとも外周部が例えばゴム等の弾性材料で構成されており、その外周面（押し付け面）に対する押圧力に対して反発する弾性を備えている。また、ローラ７６は、ワイピングシート供給ユニット１５０から繰り出されてくるワイピングシート７５の送り速度に同期して回転駆動されるようになっている。ここで、ローラ７６の回転駆動は、該ローラ７６の回転軸７６ａの端部に同軸に取り付けられたプーリ７６ｃを、ベルト１６２を介して電動モータ１６３により駆動することで行われる。
【００８１】
このようなクリーニングユニット８１によれば、ワイピングシート７５の新しい清掃面を絶えず各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に対して供給することができるようになっている。しかも、ローラ７６の押し付け力によりワイピングシート７５を各ノズル形成面に押し付ける構成であるため、各ノズル形成面に対して清掃面を確実に当てることもできるようになっている。
【００８２】
ローラ７６の近傍には、各ノズル形成面を拭う前のワイピングシート７５へ向けて洗浄液を噴射する複数（図示の構成では１２個）の噴射口（ノズル）を備えたノズルユニット１６４が設置されている。このノズルユニット１６４は、複数の噴射口が下向きに穿設された棒状の部材であり、ローラ７６の軸線（回転軸）に対し平行に配置されている。巻き出しローラ７８から巻き出されたワイピングシート７５は、図示しないガイドローラの案内によりノズルユニット１６４の下側を通過してローラ７６に至る。ノズルユニット１６４は、その真下を通過していくワイピングシート７５に対し、その表面（上面）側から、各噴射口より洗浄液を噴射する。このような構成により、各ノズル形成面を拭う直前のワイピングシート７５が洗浄液を吸収し、ワイピングシート７５を湿らせることができる。なお、洗浄液としては、特に限定されないが、例えば各種洗浄剤や有機溶剤などを使用することができる。また、図示の構成と異なり、ノズルユニット１６４が、ワイピングシート７５の裏面（下面）側から洗浄液を噴射するように構成されていてもよい。
【００８３】
ノズルユニット１６４に形成された各噴射口は、互いに連通することなく独立している。そして、ノズルユニット１６４には、各噴射口に対応する配管接続部１６６が設けられており、各配管接続部１６６には、それぞれ、対応する噴射口に洗浄液を供給する枝管４１が接続されている。枝管４１は、図示の構成では、可撓性を有するチューブで構成されている。各噴射口には、後述する洗浄液供給装置５０により、各枝管４１を介して洗浄液が供給される。なお、図１４中では、見易くするため、１２本の枝管４１のうち３本のみを図示している。
【００８４】
このようなクリーニングユニット８１によって、定期的または随時に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００８５】
なお、このようなクリーニングユニット８１では、ローラ７６の外周部がローラ７６の回転軸方向に沿って複数に分割され、各分割部分の外周面（押し付け面）が各液滴吐出ヘッド１１１に対しそれぞれワイピングシート７５を押し付けるように構成されていてもよい。このような構成の場合、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面にワイピングシート７５を押し付けている状態において、互いに隣接する各押し付け面の間で互いに干渉し合うことがないので、全液滴吐出ヘッド１１１に対しより確実にワイピングシート７５を押し付けることができる。
【００８６】
図１０に示すように、定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部８２１を有している。ヘッドユニット１１は、待機時において、定期的または随時に、各液滴吐出ヘッド１１１から液受け部８２１に対し液滴を捨て吐出する。このような動作を行う目的は、次のようなものである。
【００８７】
一般に、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。このため、待機時にも、液受け部８２１に捨て吐出を行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１が適正に液滴を吐出することができる状態を維持する。
【００８８】
液受け部８２１には、好ましくは、例えばスポンジなどで構成された液体吸収体が設置されている。液受け部８２１に捨て吐出された液滴は、まず、この液体吸収体に吸収される。これにより、捨て吐出された液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。また、液受け部８２１には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、液受け部８２１に溜まった吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、後述する排液装置１８により、回収・貯留される。
【００８９】
図１５は、図１０および図１１に示す付帯装置におけるキャッピングユニットを示す斜視図、図１６は、液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図、図１７は、キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図である。以下、これらの図に基づいて、キャッピングユニット８３およびその吸引配管系統について説明する。
【００９０】
図１５に示すように、キャッピングユニット８３は、ベースプレート８３１と、このベースプレート８３１上に配設された１２個のキャップ８７とを有している。１２個のキャップ８７は、それぞれ、ヘッドユニット１１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対応するものであり、液滴吐出ヘッド１１１と同様の配置パターンで配置されている。これにより、各キャップ８７は、それぞれ、対応する液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズル形成面に接触（密着）して、これを覆うことができる。
【００９１】
また、キャッピングユニット８３は、移動台８６上に固定された支持部８３２を有し、ベースプレート８３１は、この支持部８３２によって支持されている。支持部８３２には、ベースプレート８３１を上下方向に昇降させる空気圧シリンダを利用した昇降機構８３３が設けられている。この昇降機構８３３の作動により、各キャップ８７は、一体となって昇降可能になっている。
【００９２】
ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１を各キャップ８７でキャッピングする際には、初めは各キャップ８７を下降させた状態としておき、ヘッドユニット１１がキャッピングユニット８３の上方に位置したら、各キャップ８７を上昇させて各液滴吐出ヘッド１１１に接触（密着）させる。この状態で、後述する吸引ポンプ６０１、６０２および６０３を作動させることにより、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルから流体（気体および液体）を吸引して排出させることができる。
【００９３】
キャップ８７を液滴吐出ヘッド１１１に接触させて流体を吸引する動作（以下、「キャッピング吸引動作」と言う）は、例えば次のような目的で、定期的にまたは随時に行われる。
▲１▼ヘッドユニット１１の待機時（基板Ｗの給材・除材中など）に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止する目的。
▲２▼液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの詰まりを解消して、吐出可能状態を回復する目的。
▲３▼吐出対象液を初期充填する際、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内に吐出対象液を充満させる目的。
▲４▼吐出対象液を異種のものに交換する際などに、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内から吐出対象液を排出する目的。
▲５▼吐出対象液の交換等に先立って各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内を洗浄する際、液滴吐出ヘッド１１１内に洗浄液が供給された状態で、この洗浄液を各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内に流通させる目的。
【００９４】
図１６に示すように、キャップ８７は、キャップ本体８７１と、キャップホルダ８７２とを有し、キャップ本体８７１は、２つのコイルバネ８７３により上方に付勢されるとともに、一定の範囲で上下動可能な状態でキャップホルダ８７２に保持されている。キャップ本体８７１の上面には、液滴吐出ヘッド１１１に形成された吐出ノズル群を包含し得る凹部８７４が形成され、凹部８７４の周縁部には、液滴吐出ヘッド１１１に密着し得るシールパッキン（シール部材）８７５が設置されている。
【００９５】
凹部８７４の底部には、液体を吸収し得る例えばスポンジのような液体吸収体８７６が枠状の押さえ部材８７７により上から押さえられた状態で設置されている。また、凹部８７４の底部には、液滴吐出ヘッド１１１から吸引した流体を排出する排出口８７８が形成され、この排出口８７８は、Ｌ字継ぎ手８７９に連通している。Ｌ字継ぎ手８７９には、後述する吸引流路８８２を構成する図示しない配管（チューブ）が接続される。
【００９６】
各キャップ８７には、開放弁８８０が設けられており、凹部８７４の底面側で外部に開放できるようになっている。開放弁８８０は、コイルバネ８８１で上方の閉じ側に付勢されており、キャッピング吸引動作の最終段階で、開放弁８８０を引き下げて開弁することにより、液体吸収体８７６に含浸している液体をも吸引することができる。
【００９７】
図１１に示すように、移動台８６の下段８６２には、各キャップ８７での（各キャップ８７内に）吸引力（負圧）を発生する吸引力発生手段として、３台の吸引ポンプ（吸引力発生源）６０１、６０２および６０３が設置されている。本実施形態では、吸引ポンプ６０１、６０２および６０３は、それぞれ、ピストンポンプで構成されているが、吸引力発生源としては、他の形式のポンプまたはエジェクタ（真空エジェクタ）などを用いてもよい。
【００９８】
キャッピングユニット８３における１２個のキャップ８７は、４個ずつ３つの組（グループ）に分かれている。すなわち、図１５の紙面中の上側に位置する４個のキャップ８７が第１組７０１を構成し、図１５の紙面中の上下方向中央付近に位置する４個のキャップ８７が第２組７０２を構成し、図１５の紙面中の下側に位置する４個のキャップ８７が第３組７０３を構成する。図１７に示すように、吸引ポンプ６０１、６０２および６０３は、それぞれ、第１組７０１、第２組７０２および第３組７０３に対応している。
【００９９】
各キャップ８７には、それぞれ、吸引流路８８２が接続されており、各吸引流路８８２は、各組ごとに合流して、対応する吸引ポンプ６０１、６０２または６０３の吸入口にそれぞれ接続されている。
各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路を遮断可能な切り替え弁（流路切り替え手段）８８３が設置されている。切り替え弁８８３は、アクチュエータにより自動で切り替え可能になっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
【０１００】
さらに、各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路内の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）８８４が設置されている。この圧力センサ８８４の検出結果は、制御装置１６に入力され、この検出結果に基づいて、各キャップ８７における吸引エラー等を検知して報知したり、各吸引ポンプの作動を制御したりすることができる。
【０１０１】
キャッピング吸引動作では、第１組７０１、第２組７０２および第３組７０３の各組において、それぞれ、切り替え弁８８３の切り替えにより、当該組から選択される１個のキャップ８７以外のキャップ８７からの吸引流路８８２を遮断した状態として、この選択した１個のキャップ８７から吸引する。そして、切り替え弁８８３を切り替えていき、各組の４個のキャップ８７に対し、順次１個ずつ吸引する。
【０１０２】
吸引ポンプ６０１、６０２および６０３の各排出口に接続された配管は、互いに合流して一本の排出流路８８５となり、三方弁（流路切り替え手段）８８６に接続されている。三方弁８８６の下流側は、排出流路１７６と、排出流路８８７とに分岐しており、排出流路１７６は、三方弁（流路切り替え手段）１７５に接続され、排出流路８８７は、廃液タンク（廃液貯留部）８８８に接続されている。三方弁８８６および三方弁１７５は、それぞれ、アクチュエータにより自動で切り替え可能になっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
【０１０３】
前述したように、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内を洗浄する際には、図示しない洗浄液供給手段により、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１に洗浄液を供給して、キャッピング吸引動作を行う（前記▲５▼）。このときには、三方弁８８６の切り替え状態が、排出流路８８５から排出流路８８７へと流れる状態にされ、各液滴吐出ヘッド１１１から排出された洗浄液は、廃液タンク８８８に流入し貯留される。
【０１０４】
これに対し、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１に吐出対象液が供給されている通常の状態におけるキャッピング吸引動作（前記▲１▼〜▲４▼）の場合には、三方弁８８６の切り替え状態が、排出流路８８５から排出流路１７６へと流れる状態にされ、各液滴吐出ヘッド１１１から排出された吐出対象液は、三方弁１７５側に向かって流れる。
【０１０５】
三方弁１７５の下流側は、流入流路１７３と、流入流路１７４とに分岐しており、流入流路１７３は、第１の再利用タンク１７１に接続されており、流入流路１７４は、第２の再利用タンク１７２に接続されている。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、前述したようにタンク収納部１３に設置されている。
【０１０６】
排出流路１７６を流れてきた吐出対象液は、三方弁１７５の切り替えにより、第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２内に導入され、貯留される。
本実施形態では、上述した第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、流入流路１７３、流入流路１７４、三方弁１７５、排出流路１７６、排出流路８８５、三方弁８８６、排出流路８８７および廃液タンク８８８により、液体回収装置（液体回収手段）１７が構成される。
【０１０７】
このように、液体回収装置１７は、キャッピング吸引動作において各液滴吐出ヘッド１１から排出された吐出対象液を移送し、これを他の液体（例えば、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９で受けた吐出対象液や、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内の洗浄に用いた洗浄液など）と混合することなく、専用の第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。
【０１０８】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、液滴吐出ヘッド１１１より排出されてから第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２に移送されてくるまでの間、外部に露出しておらず、外気にも接触していないので、ゴミ等の異物の混入が無いかあっても僅かであり、溶媒が蒸発して濃度が変化しているようなこともない。また、上述したように他の液体も混入していないので、変質・劣化・異物混入などのない、良好な状態の吐出対象液である。よって、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻して、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用することができる。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を大幅に削減することができるので、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
【０１０９】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液に対しては、再利用する前（第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前）に、その中の不純物を除去する処理（例えば、フィルターによるろ過などの処理）や、その中に溶解した気体を除去する脱気処理（例えば、減圧環境下に置いて、溶解した気体を発泡させるなどの処理）を施すことが好ましい。これにより、回収した吐出対象液をより良好な状態にして再利用することができる。
【０１１０】
本実施形態の液体回収装置１７では、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴うキャッピング時の吸引量の増大に有効に対応することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく全体の大容量化が図れるので、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出対象液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【０１１１】
図１３は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。図１３（ｂ）に示すように、液体回収装置１７は、第１の再利用タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７ａをさらに有している。液量検出手段１７７ａは、第１の再利用タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の再利用タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の再利用タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７ａは、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の再利用タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７ａの検出結果は、制御装置１６に入力される。また、液体回収装置１７は、第２の再利用タンク１７２の内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａと同様の液量検出手段１７７ｂをさらに有している。
【０１１２】
このような液体回収装置１７では、図１７に示す状態では、キャッピングユニット８３から吸引された吐出対象液は、第１の再利用タンク１７１内に導入される。そして、第１の再利用タンク１７１内に吐出対象液が蓄積していき、液量検出手段１７７ａが第１の再利用タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、吐出対象液が第２の再利用タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【０１１３】
制御装置１６は、第１の再利用タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の再利用タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（吐出対象液の回収）を作業者に促すのが好ましい。
なお、本実施形態の液体回収装置１７では、上述したように再利用タンクが２個設けられているが、本発明では、再利用タンクの設置個数は、１個でも、３個以上でもよい。
【０１１４】
図１８は、図１０および図１１に示す付帯装置における吐出量測定用ユニットを示す斜視図である。
吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴の吐出前（パターン形成動作前）の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１の液滴の吐出量（一滴の量）を測定するのに利用されるものである。液滴吐出システム１０では、各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を予め測定し、この測定結果に基づいて各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を適正な値（予め設定した値）に調整（適正化）した後、基板Ｗに対して液滴吐出動作を行う。これにより、パターンの形成（描画）を高い精度で行うことができる。
液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量の測定および調整を行う時期は、いつでもよく、液滴吐出システム１０が初めて稼動するときや、吐出対象液の種類を変更したときに行うのはもちろん、定期的に行ってもよいし、一枚一枚の基板Ｗに対する液滴吐出動作前に行ってもよい。
【０１１５】
図１８に示すように、吐出量測定用ユニット８４は、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１のそれぞれに対応する複数（液滴吐出ヘッドと同数）の吐出量測定用液受け部（吐出量測定用受け皿）８４１と、これらの吐出量測定用液受け部８４１をまとめて支持する板状の支持体８４２と、移動台８６上に固定され、支持体８４２を保持する基部８４３とを有している。
【０１１６】
吐出量測定用液受け部８４１は、液滴吐出ヘッド１１１が吐出した液滴を受け、この受けた液体を保持（貯留）する。各吐出量測定用液受け部８４１は、それぞれ、支持体８４２に対し着脱可能になっている。支持体８４２の上面には、各吐出量測定用液受け部８４２の底部が挿入する凹部８４４がそれぞれ形成されており、各吐出量測定用液受け部８４２を各液滴吐出ヘッド１１１と同様の配置で位置決めして支持することができるようになっている。
支持体８４２は、基部８４３に対し固定部材としての２個の蝶ねじ８４５によって固定されており、着脱可能になっている。これにより、１２個の吐出量測定用液受け部８４１をまとめて支持体８４２ごと着脱可能になっており、着脱作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【０１１７】
液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量の測定を行う際には、ヘッドユニット１１が吐出量測定用ユニット８４の上方に位置する状態として、各液滴吐出ヘッド１１１を駆動し、対応する吐出量測定用液受け部８４１に対し、各吐出ノズルより液滴を吐出させる。このとき、各吐出ノズルが吐出する液滴の数は、予め定められており、通常は、１〜１０００００個程度、より好ましくは２５０００〜５００００個程度に設定されるが、何個でもよい
【０１１８】
本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量の測定は、吐出量測定用液受け部８４１で受けた液体（全液滴）の重量を測定することにより行われる。すなわち、液滴を受ける前・後の吐出量測定用液受け部８４１の重量をそれぞれ測定し、その差をもって、吐出量測定用液受け部８４１が受けた全液滴の重量とする。そして、この重量を吐出量測定用液受け部８４１が受けた液滴の数で除算することにより、各吐出ノズルから吐出される一滴の重量が得られる。
【０１１９】
吐出量測定用液受け部８４１の重量を測定する際には、１２個の吐出量測定用液受け部８４１を支持体８４２ごと取り外し、液滴吐出システム１０の外部に設けられた図示しない重量測定装置にかける。この重量測定装置は、電子天秤等の重量計を備え、各吐出量測定用液受け部８４１の重量をそれぞれ好ましくは自動的に測定する。または、このような構成と異なり、吐出量測定用ユニット８４に重量計を設け、その重量計で各吐出量測定用液受け部８４１の重量を測定することとしてもよい。
【０１２０】
上記のようにして各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を測定したら、その測定値に基づいて、各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を調整する。液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量の調整は、液滴吐出ヘッド１１１が備える前記駆動素子（圧電素子）に対する印加電圧（パルス状印加電圧）の大きさ、周波数および駆動波形形状の少なくとも１つを変化させることにより行うことができる。この調整は、制御手段１６の操作パネル（図示せず）を操作して行う。
【０１２１】
各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を調整したら、各液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を再度測定して、その測定値が適正な値になっているかどうかを確認してもよい。このようにして、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量の測定と調整とを必要に応じて繰り返し行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を適正化する。
【０１２２】
このような液滴吐出システム１０では、前述したように、基板Ｗに対する液滴吐出動作（パターン形成動作）を、環境条件としての温度および湿度を管理した雰囲気中で行う。一般に、液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量は、駆動素子に対する駆動条件が同じでも、雰囲気の温度、湿度、ガスの組成、気圧等の環境条件によって変動する。このため、液滴吐出ヘッド１１１の液滴吐出量を測定しても、測定時の環境条件が基板Ｗに対して液滴吐出動作を行うときの環境条件と異なると、その測定値には、実際に基板Ｗに対して液滴吐出動作を行うときの液滴吐出量に対し誤差が生じてしまう。よって、この測定値に基づいて液滴吐出量を適正化しても、精度の向上に限界がある。
【０１２３】
このようなことに鑑み、液滴吐出システム１０では、液滴吐出ヘッド１１１が液滴吐出量を測定するために液滴を吐出する際、すなわち吐出量測定用液受け部８４１に対して液滴を吐出する際、チャンバ９１内の温度および湿度（環境条件）を調整することにより、基板Ｗに対する液滴吐出動作の際に管理するのと同様の温度および湿度（環境条件）に管理（調整）した雰囲気中でこれを行うのが好ましい。
【０１２４】
これにより、液滴吐出システム１０では、液滴吐出量の測定を、実際に基板Ｗに対して液滴吐出動作を行うときの液滴吐出量との誤差を生じることなく、より正確に行うことができる。そして、液滴吐出システム１０では、この正確な測定値に基づいて液滴吐出量を調整して適正化することにより、実際に基板Ｗに対して液滴吐出動作を行うときの液滴吐出量を適正な値により正確に（高い精度で）近づける（調整する）ことができ、ひいては、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）をより高い精度で正確に行うことができる。
【０１２５】
本実施形態では、吐出量測定用液受け部８４１は、受けた液滴（液体）を吸収し得る例えばスポンジのような液体吸収体８４６をその内部に有している。これにより、吐出量測定用液受け部８４１は、液滴吐出ヘッド１１１から受ける液滴を周囲に飛散させることなく確実にその内部に保持することができるので、測定誤差を生じることなく、より正確な測定を行うことができる。また、受けた液体が液体吸収体８４６に吸収されるので、重量測定のために吐出量測定用液受け部８４１を着脱する際、揺らしても液体をこぼすような心配がなく、取り扱いが容易である。
なお、吐出量測定用液受け部８４１は、このような構成に限らず、例えば、受ける吐出対象液より比重の小さい不揮発性液体を予め入れておき、この不揮発性液体中に液滴を受けるように構成されたようなものでもよい。
【０１２６】
また、本実施形態では、基部８４３は、支持体８４２の高さをネジにより調整する高さ調整機構を備えている。これにより、各吐出量測定用液受け部８４１は、その高さを調整可能になっている。この高さ調整機構によって、液滴吐出ヘッド１１１と吐出量測定用液受け部８４１との距離を適切に調整することにより、液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。
なお、各吐出量測定用液受け部８４１の高さ調整機構は、例えば空気圧シリンダ等の作動により自動で高さを調整可能に構成されていてもよい。
【０１２７】
図１２は、図１および図２に示す液滴吐出装置における吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図、図１３は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図および図６に基づいて、液滴吐出装置１における吐出対象液供給装置４、洗浄液供給装置５０、排液装置１８について説明する。
【０１２８】
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液を供給する吐出対象液供給装置４について説明する。
図１２に示すように、吐出対象液供給装置４は、吐出対象液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。一次タンク系４０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。吐出対象液供給装置４は、三方弁４０５の切り替えにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかから選択的に吐出対象液を一次流路４１１に供給することができる。
【０１２９】
また、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２にそれぞれ接続された加圧配管４０７および４０８と、加圧手段４０６からの配管４１０と、これら３つの配管が接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される（後述する加圧手段５０６も同様）。吐出対象液供給装置４は、三方弁４０９の切り替えにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかの内部を加圧手段４０６により選択的に加圧することができる。
【０１３０】
図６に示すように、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から伸びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出対象液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
【０１３１】
一次流路４１１は、好ましくは可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、メインキャリッジ１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から伸びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。
【０１３２】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出対象液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出対象液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【０１３３】
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【０１３４】
図１３（ａ）に示すように、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
【０１３５】
また、吐出対象液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
このような吐出対象液供給装置４は、図１２に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出対象液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
【０１３６】
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出対象液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出対象液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【０１３７】
第２の一次タンク４０２から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出対象液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出対象液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出対象液を再充填する。
【０１３８】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出対象液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル（図示せず）に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【０１３９】
以上説明したような本実施形態の吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出対象液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【０１４０】
次に、クリーニングユニット８１で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５０について説明するが、前記吐出対象液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１２に示すように、洗浄液供給装置５０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット８１への給液配管５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。給液配管５１１の下流側は、図示しないマニホールドを介して、前記ノズルユニット１６４に接続された各枝管４１に分岐している。
【０１４１】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出対象液）を回収する排液装置１８について説明するが、後述する液体回収装置１７と同様の事項については説明を省略する。
図１２に示すように、排液装置１８は、前記タンク収納部１３に設置された（図９中には表れていない）第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。
【０１４２】
三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９からの吸引チューブ（図示せず）が合流した排液配管１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２には、それぞれ、後述する液量検出手段１７７ａ、１７７ｂと同様の液量検出手段（図示せず）が設けられている。
【０１４３】
本実施形態では、このような排液装置１８により、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９から排出された吐出対象液を回収してこれらを共通して貯留する。これらの各ユニットから回収した吐出対象液は、各ユニットの液受け部において一旦外部に露出したものであるので、異物（ゴミ）が混入していたり、外気に触れて溶媒が蒸発して濃度が変化していたりするため、通常は廃棄される。本実施形態では、これらの廃棄すべき液体が共通に第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に貯留されるので、液体を廃棄する作業が１回で済み、オペレーターの労力の軽減に寄与する。
【０１４４】
図２１および図２２は、それぞれ、図１０および図１１に示す付帯装置における付属台の側面に設けられた固定部およびこれに設置された配管関連部品を示す斜視図である。
図１０に示すように、付属台８５の側面には、配管関連部品が固定される固定部（側壁部）８５５、８５６が設けられている。固定部８５５、８５６は、付属台８５の側面を覆う板状のカバー８５７、８５８の一部で構成されている。この固定部８５５、８５６は、付属台８５の全幅（Ｘ軸方向の全幅）より内側に引っ込んだ（凹んだ）個所に位置する。
【０１４５】
図２１に示すように、固定部８５５には、液滴吐出装置１で用いる配管関連部品として、クリーンガスフィルタ７５０、エアフィルタ７５１、ミストセパレータ７５２、三方弁（エアオペレートバルブ）７５３、レギュレータ７５４、レギュレータ７５５、三方弁（エアオペレートバルブ）７５６、レギュレータ７５７等が設置されている。
【０１４６】
エアフィルタ７５１、ミストセパレータ７５２は、それぞれ、前記加圧手段４０６から供給される加圧気体（窒素）に含まれる異物、液滴を除去するものである。エアフィルタ７５１、ミストセパレータ７５２を通過した加圧気体は、レギュレータ７５７で圧力を調整された後、クリーンガスフィルタ７５０を通過して、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に供給される。
【０１４７】
加圧手段４０６から供給される加圧気体は、三方弁７５３および７５６の切り替えにより、液滴吐出ヘッド洗浄用の洗浄液を貯留する加圧タンク（図示せず）と、流路洗浄用の洗浄液を貯留する加圧タンク（図示せず）内にも供給可能になっている。レギュレータ７５４、７５５は、それぞれ、これらの加圧タンクに供給される加圧気体の圧力を調整する。
【０１４８】
図２２に示すように、固定部８５６には、液滴吐出装置１で用いる配管関連部品として、マニホールドバルブ７５８、７５９、空気供給用マニホールド７６０、排液プロセスポンプ用レギュレータ７６１、窒素排気用マニホールド７６２、空気排気用マニホールド７６３等が設置されている。
マニホールドバルブ７５８、７５９は、前述した吐出対象液供給装置４、洗浄液供給装置５０、排液装置１８、液体回収装置１７等における各三方弁を切り替え作動させるためのものである。排液プロセスポンプ用レギュレータ７６１は、排液装置１８が備える排液を吸引するプロセスポンプ（図示せず）の吸引力を調整するものである。空気供給用マニホールド７６０、窒素排気用マニホールド７６２、空気排気用マニホールド７６３は、前述した各三方弁や、液滴吐出装置１が備える各空気圧シリンダなどを作動させるための圧空の流路を分岐または合流させるためのものである。
【０１４９】
本実施形態では、このような各種の配管関連部品が付属台８５の全幅より内側に引っ込んだ個所に位置する固定部８５５、８５６に固定されることにより、これらの配管関連部品は、付属台８５の全幅より外側に突出しないように設置されている。これにより、付属台８５の近傍にオペレーターが立ち入って作業を行う際（ヘッドユニット１１の交換時、メンテナンス時など）、これらの配管関連部品が邪魔になることなく、作業を容易、円滑に行うことができる。
【０１５０】
以上説明したような液滴吐出装置１では、前記四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットが保守ユニット設置部としての移動台８６上にまとめて配置されているものであるが、本発明では、液滴吐出ヘッド保守ユニットの一種であるドット抜け検査ユニット１９が共に保守ユニット設置部にまとめて配置されていてもよい。また、液滴吐出ヘッド保守ユニットとしては、以上の五種のものに限らず、液滴吐出ヘッド１１１の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用されるものであれば、他の種類のもの（他の機能を有するもの）であってもよい。また、本発明では、複数の液滴吐出ヘッド保守ユニットのうちの少なくとも３つが保守ユニット設置部にまとめて配置されていればよい。
【０１５１】
図２３は、本発明の液滴吐出装置の他の実施形態を模式的に示す平面図である。以下、同図に基づいて本発明の液滴吐出装置の他の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点のみを簡単に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図２３（ａ）に示す液滴吐出装置１Ａは、前述した実施形態と同様に、基板搬送テーブル３がＹ軸方向に移動可能に設けられ、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）がＸ軸方向に移動可能に設けられている。そして、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する液滴吐出ヘッド保守ユニット設置部１００に、ドット抜け検出ユニット１９、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４がまとめて、かつ、Ｘ軸方向に一列に並んで配置されている。そして、ヘッドユニット１１がＸ軸方向に移動することにより、これらの各液滴吐出ヘッド保守ユニットの上方にヘッドユニット１１が位置することができる。このような液滴吐出装置１Ａでは、保守ユニット移動機構が不要となり、構造の簡素化が図れる。
【０１５２】
図２３（ｂ）に示す液滴吐出装置１Ｂでは、基板テーブル（ワーク載置部）３’は、装置本体に対し固定的に設けられており、ヘッドユニット１１’（液滴吐出ヘッド１１１）は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられている。そして、この液滴吐出装置１Ｂは、ヘッドユニット１１’を基板テーブル３’上でＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うように構成されている。
【０１５３】
基板テーブル３’の近傍の液滴吐出ヘッド保守ユニット設置部１００には、ドット抜け検出ユニット１９、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４が互いに隣接するようにまとめて配置されている。そして、ヘッドユニット１１’が液滴吐出ヘッド保守ユニット設置部１００においてＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することにより、これらの各液滴吐出ヘッド保守ユニットの上方にヘッドユニット１１が位置することができる。このような液滴吐出装置１Ｂでは、保守ユニット移動機構が不要となり、構造の簡素化が図れる。
【０１５４】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータを利用するものに代えて、例えばボールねじ（送りねじ）などを利用するものでもよい。
【０１５５】
さらに、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、ワーク（ワーク載置部）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明における液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構を備えるものであればよい。
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
【０１５６】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】タンク収納部を示す斜視図。
【図１０】液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１１】液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図。
【図１２】吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図。
【図１３】液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【図１４】クリーニングユニットにおけるローラユニットを示す斜視図。
【図１５】キャッピングユニットを示す斜視図。
【図１６】液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図。
【図１７】キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図。
【図１８】吐出量測定用ユニットを示す斜視図。
【図１９】図１および図２に示す液滴吐出装置の平面図。
【図２０】図１および図２に示す液滴吐出装置の平面図。
【図２１】付属台の側面に設けられた固定部およびこれに設置された配管関連部品を示す斜視図。
【図２２】付属台の側面に設けられた固定部およびこれに設置された配管関連部品を示す斜視図。
【図２３】本発明の液滴吐出装置の他の実施形態を模式的に示す平面図。
【符号の説明】
１２……付帯装置、８１……クリーニングユニット、７８……巻き出しローラ、７９……巻き取りローラ、８２……定期フラッシングユニット、８２１……液受け部、８３……キャッピングユニット、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８５１……ガイド、８５２……ボールねじ、８５３……モータ、８５４……保守ユニット移動機構、８５５……固定部、８５６……固定部、８６……移動台、１５０……ワイピングシート供給ユニット、１６０……ローラユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2004202325.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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