(57)【要約】【課題】製造コストを安価にする。多品種少量生産に適するようにする。保守点検等に伴う分解，組立作業を容易にする。バッチのワークの研磨仕上がりを均質にする。【解決手段】ワークＷが装着されるワーク装着孔１１が複数個穿孔された薄板形のキャリア１を備えている。キャリア１のワーク装着孔１１に挿通されてワークＷを押すピン２２が設けられたプッシャ２を備えている。プッシャ２のピン２２はワークＷの研磨の進行に伴ってワークＷ側へ進出可能な軸長を有している。【選択図】                図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが装着されるワーク装着孔が複数個穿孔された薄板形のキャリアを備えた研磨パレットにおいて、キャリアのワーク装着孔に挿通されてワークを押すピンが設けられたプッシャを備え、プッシャのピンはワークの研磨の進行に伴ってワーク側へ進出可能な軸長を有していることを特徴とする研磨パレット。
【請求項２】
請求項１の研磨パレットにおいて、キャリア，プッシャの間に介在されてプッシャをスライド可能に支持するホルダを備えたことを特徴とする研磨パレット。
【請求項３】
請求項２の研磨パレットにおいて、ホルダは、一方の面にキャリアが嵌合されるキャリア取付溝が設けられ、他方の面にプッシャがスライド嵌合されるプッシャ取付溝が設けられ、キャリア取付溝，プッシャ取付溝に連通してプッシャのピンが挿通されるピン挿通孔が設けられていることを特徴とする特徴とする研磨パレット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの研磨パレットにおいて、プッシャのピンは、ワークに対面する面に吸着構造を備えていることを特徴とする研磨パレット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶等からなるワークを研磨する際にワークを保持して研磨具（定盤）に対面させる研磨パレットに係る技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、圧電振動素子として製造される水晶板等からなる小形，薄形のワークは、精密な研磨を実現するために、キャリアに保持され揺動，振動等が抑制された状態で研磨される。キャリアは、ワークが装着されるワーク装着孔が穿孔された薄板形に形成されて、ワーク装着孔から表面（表裏両面）に露出したワークを研磨具に対面させるように構成されている。従って、ワークのさらなる薄性化に対応するためには、キャリアの薄性化が必要になる。
【０００３】
然しながら、最近のワークの薄性化（３０μｍ以下）に対応するキャリアの薄性化には、歪み，変形等のクリアできない技術的課題が出現してきており、既に限界に達している。このため、キャリアを薄性化することなくワークの薄性化に対応することのできる技術の開発が切望されている。
【０００４】
従来、キャリアを薄性化することなくワークの薄性化に対応することのできる技術としては、例えば、以下に記載のものが知られている。
【特許文献１】特開２０００−２４６６０９号公報。
特許文献１には、ワークが装着されるワーク装着孔が複数個穿孔された薄板形のキャリアと、キャリアのワーク装着孔に挿通される筒形のキャリアスペーサと、キャリアスペーサに挿通されるピンが設けられたプッシャとを備えた研磨パレットが記載されている。
【０００５】
特許文献１に係る研磨パレットは、キャリアスペーサの軸長をプッシャのピンの軸長よりも長くすることで、キャリアスペーサをいわば第２のキャリアとして軸長の差でワークの厚さを規定しようとするものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】特許文献１に係る研磨パレットでは、小形の筒形部材となる複数個のキャリアスペーサとプッシャの複数本のピンとを精密に製造して、キャリアスペーサとプッシャのピンとの軸長差を正確に設定しなければならないため、製造コストが高くなるという問題点がある。また、異なる厚さのワークについてキャリアスペーサまたはプッシャ（ピン）を交換することで対応しなければならないため、多品種少量生産に適さないという問題点がある。また、小形の筒形部材であるキャリアスペーサをキャリアに取付け，取外す必要があるため、保守点検等に伴う分解，組立作業が面倒であるという問題点がある。また、各キャリアスペーサがキャリアのワーク装着孔にそれぞれ挿通されて独立しているため、各キャリアスペーサの揺動，振動等が別個になってしまい、１つのキャリアに装着されたバッチのワークの研磨仕上がりが不均質になるという問題点がある。
【０００７】
本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので、製造コストが安価で多品種少量生産に適するとともに、保守点検等に伴う分解，組立作業が容易でバッチのワークの研磨仕上がりが均質になる研磨パレットを提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するため、本発明に係る研磨パレットは、次のような手段を採用する。
【０００９】
即ち、請求項１では、ワークが装着されるワーク装着孔が複数個穿孔された薄板形のキャリアを備えた研磨パレットにおいて、キャリアのワーク装着孔に挿通されてワークを押すピンが設けられたプッシャを備え、プッシャのピンはワークの研磨の進行に伴ってワーク側へ進出可能な軸長を有していることを特徴とする。
【００１０】
この手段では、各部材でワークの厚さを固定的に設定するのを避けて、プッシャのピンをワークの研磨の進行に伴ってワーク側へ進出させる。また、特許文献１に係る研磨パレットのキャリアスペーサに相当する部材が排され、ワークが共通のキャリアに直接的に保持される。
【００１１】
また、請求項２では、請求項１の研磨パレットにおいて、キャリア，プッシャの間に介在されてプッシャをスライド可能に支持するホルダを備えたことを特徴とする。
【００１２】
この手段では、プッシャがホルダに支持されてスライドする。
【００１３】
また、請求項３では、請求項２の研磨パレットにおいて、ホルダは、一方の面にキャリアが嵌合されるキャリア取付溝が設けられ、他方の面にプッシャがスライド嵌合されるプッシャ取付溝が設けられ、キャリア取付溝，プッシャ取付溝に連通してプッシャのピンが挿通されるピン挿通孔が設けられていることを特徴とする特徴とする。
【００１４】
この手段では、嵌合構造でキャリア，ホルダ，プッシャが積層される。
【００１５】
また、請求項４では、請求項１〜３のいずれかの研磨パレットにおいて、プッシャのピンは、ワークに対面する面に吸着構造を備えていることを特徴とする。
【００１６】
この手段では、ワークをプッシャに吸着することが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る研磨パレットの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
この実施の形態では、圧電振動素子として製造される水晶板からなる極めて小形，薄形のワークＷを研磨するに好適なものを示してある。
【００１９】
この実施の形態は、図１に示すように、キャリア１，プッシャ２，ホルダ３で構成されている。
【００２０】
キャリア１は、薄い円板形からなるもので、ワークＷが装着される円形のワーク装着孔１１が８個放射状の配置で穿孔されている。ワーク装着孔１１は、キャリア１の表面（下面）１２，裏面（上面）１３に貫通している。
【００２１】
プッシャ２は、キャリア１よりも厚さのある円盤形の本体部２１と、本体部２１に取付けられた８本のピン２２とからなる。プッシャ２の内部には、細孔形の吸気路２３，吸気枝路２４が配設されている。吸気路２３の端末は、本体部２１のピン２２が取付けられていない面に開口されている。吸気枝路２４の端末は、ピン２２の端面（先端面）に開口され、テーパ形の吸着構造２５を形成している。ピン２２の径は、キャリア１のワーク装着孔１１の径よりも小さく形成され、キャリア１のワーク装着孔１１に挿通が可能になっている。ピン２２の軸長は、ワークＷの研磨厚さよりも少し長い余裕長が設定されている。
【００２２】
ホルダ３は、キャリア１よりも厚さのある円盤からなるもので、一方の面にキャリア１が嵌合される円溝形のキャリア取付溝３１が設けられ、他方の面にプッシャ２の本体部２１がスライド嵌合される円溝形のプッシャ取付溝３２が設けられ、キャリア取付溝３１，プッシャ取付溝３２に連通してプッシャ２のピン２２が挿通される８個のピン挿通孔３３が設けられている。キャリア取付溝３１の深さは、キャリア１の厚さよりも浅く形成されている。プッシャ取付溝３２の深さは、プッシャ２の本体部２１の厚さよりも浅く形成されている。ピン挿通孔３３の軸長は、プッシャ２のピン２２の軸長よりも短くなっている。
【００２３】
これ等のキャリア１，プッシャ２，ホルダ３は、図５以下に示されるように、介在するホルダ３の両面にキャリア１，プッシャ２が嵌合され、同軸に積層された状態に組付けられる。従って、研磨装置に使用される研磨パレットとしての一体性が確保される。なお、前述の特許文献１に係る研磨パレットにおけるキャリアスペーサに相当する小形の部材が存在しないため、製造が容易で製造コストが安価になるとともに、保守点検等に伴う分解，組立作業が容易になる。
【００２４】
この実施の形態は、例えば、図２以下に示す研磨装置に使用される。
【００２５】
この研磨装置の研磨具（定盤）４は、図２に示すように、ドーナッツ形に形成されている。前述の実施の形態は、研磨具４の上に複数個が位置を固定されて載置され、回転する研磨具４の内周側，外周側の周速の差から回転（自転する）することで、ワークＷを研磨することになる。
【００２６】
この研磨では、図５に示すように、プッシャ２のピン２２の軸長に余裕長が設定されているため、ワークＷの研磨の進行に伴って、プッシャ２がホルダ３に対して自重でスライドし、プッシャ２のピン２２がワークＷを押しながらワークＷ側へ進出する。従って、研磨時間やプッシャ２の降下量（ピン２２の進出量）で研磨されるワークＷの厚さを規定することができる。この結果、キャリア１，プッシャ２，ホルダ３の各部材を精密に製造して、ワークＷの厚さを固定的に設定する必要がないため、安価に製造することができる。また、プッシャ２のピン２２の軸長をできるだけ長く設定しておくことにより、部材交換等を伴わずに異なる厚さのワークＷに確実に対応することができるため、多品種少量生産に好適となる。
【００２７】
さらに、この研磨では、ワークＷが共通のキャリア１に保持され共通のプッシャ２の本体部２１に取付けられているピン２２で押され、前述の特許文献１に係る研磨パレットの独立したキャリアスペーサでワークＷを保持するようになっていない。このため、キャリア１に保持されたバッチのワークＷに別個の揺動，振動等が作用することがないため、１つのキャリア１に装着されたバッチのワークＷの研磨仕上がりが均質になる。
【００２８】
この研磨装置では、前述の研磨が片面研磨となるため、ワークＷを反転させるための受渡機構５が備えられている。
【００２９】
受渡機構５は、図３，図４に示すように、研磨具４に近接して配置されワークＷが通過可能な通過孔５１が穿孔された受渡テーブル５２を備えている。受渡テーブル５２の上下両側には、前述の実施の形態のプッシャ２の本体部２１に接続されるハンド部５３と、ハンド部５３を昇降させるエアシリンダ等からなる昇降部５４と、昇降部５４（ハンド部５３）と横方向へ移動させるエアシリンダ等からなる横移動部５５とがそれぞれ対になって設置されている。これ等のハンド部５３，昇降部５４，横移動部５５には、プッシャ２の吸気路２３に接続される吸気経路（図示せず）が配設されている。
【００３０】
受渡機構５の受渡テーブル５２（通過孔５１），ハンド部５３，昇降部５４，横移動部５５は、円弧形の支持枠５６に固定れ、ローラ５７を介して円形のレール５８に回転可能に支持されている。支持枠５６には、モータ等の回転駆動部５９が連結されている。
【００３１】
この受渡機構５では、ワークＷの片面の研磨が終了した場合（複数回研磨を行う場合には１工程の研磨が終了した場合）に、図６に示すように、吸気経路からの吸気をプッシャ２の吸気路２３，吸気枝路２４，吸着構造２５に作用させて、プッシャ２のピン２２の先端面でワークＷを吸着する。そして、昇降部５４によって、ハンド部５３とともにプッシャ２，ワークＷを上昇させる。
【００３２】
この後、図７に示すように、横移動部５５によって、ハンド部５３，昇降部５４，プッシャ２，ワークＷを受渡テーブル５２までスライド移動させる。このとき、ワークＷが持上げられた状態となっているため、ワークＷの研磨面Ｗ’を不測に傷付けることはない。なお、受渡テーブル５２の下側には、対となるハンド部５３，昇降部５４，横移動部５５が待機している。待機しているハンド部５３は、前述の実施の形態を別個に接続支持している。待機している昇降部５４は、ハンド部５３，プッシャ２を降下させている。
【００３３】
この後、図８に示すように、受渡テーブル５２の上側でのワークＷに対する吸気を解除し、受渡テーブル５２の下側でのワークＷに対する吸気を開始する。この結果、ワークＷは、受渡テーブル５２の通過孔５１を通過して下側のプッシャ２のピン２２に吸着される。
【００３４】
この後、図９に示すように、回転駆動部５９を駆動して、全体を１８０度回転させる。この結果、ワークＷの研磨面Ｗ’が上側に位置して未研磨面が下側を向くことになる。
【００３５】
この後、図１０に示すように、横移動部５５によって、ハンド部５３，昇降部５４，プッシャ２，ワークＷを研磨具４までスライド移動（復帰）させる。そして、吸気経路からのプッシャ２の吸気路２３，吸気枝路２４，吸着構造２５への吸気を解除して、プッシャ２のピン２２の先端面からワークＷを離脱させ、昇降部５４によってハンド部５３とともにプッシャ２を降下させて、ワークＷの未研磨面を研磨する。
【００３６】
従って、この実施の形態では、片面研磨となるものの、研磨装置の工夫で大量研磨が可能になる。
【００３７】
以上、図示した実施の形態の外に、水晶板以外のワークＷに適用することも可能である。
【００３８】
さらに、図示した以外の研磨装置（例えば、遊星機構を利用した研磨装置）に使用することも可能である。
【００３９】
さらに、キャリア１，プッシャ２，ホルダ３，研磨具４を上下逆に構成として、プッシャ２を自重ではなく適当な押圧機器で押すようにすることも可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る研磨パレットは、各部材でワークの厚さを固定的に設定するのを避けているため、各部材の製造に精密性が要求されなくなって製造コストが低くなる効果がある。
【００４１】
さらに、各部材でワークの厚さを固定的に設定するのを避けて、プッシャのピンをワークの研磨の進行に伴ってワーク側へ進出させることから、プッシャのピンの軸長をできるだけ長く設定しておくことにより、部材交換等を伴わずに異なる厚さのワークに確実に対応することができるため、多品種少量生産に好適となる効果がある。
【００４２】
さらに、前述の特許文献１に係る研磨パレットのキャリアスペーサに相当する部材が排されているため、保守点検等に伴う分解，組立作業が容易になるという効果がある。
【００４３】
さらに、ワークが共通のキャリアに保持されワークに別個の揺動，振動等が作用することがないため、１つのキャリアに装着されたバッチのワークの研磨仕上がりが均質になる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る研磨パレットの実施の形態を示す分解状態の斜視図である。
【図２】図１の研磨装置への適用例を示す平面図である。
【図３】図２におけるワークの受渡動作図である。
【図４】図２におけるワークの受渡機構の側面図である。
【図５】図２の研磨加工を示す断面図である。
【図６】図５に続く受渡の最初の工程を示す断面図である。
【図７】図６の受渡の次ぎの工程を示す断面図である。
【図８】図７の受渡の次ぎの工程を示す断面図である。
【図９】図８の受渡の次ぎの工程を示す断面図である。
【図１０】図９の受渡の次ぎの工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１                キャリア
２                プッシャ
２２          ピン
２５          吸着構造
３            ホルダ
３１                    キャリア取付溝
３２                    プッシャ取付溝
３３                    ピン挿通孔
４            研磨具（定盤）
５            受渡機構
Ｗ            ワーク
【図１】
2004314211.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004314211.tif 000008
【図７】
2004314211.tif 000009
【図８】
2004314211.tif 000010
【図９】
2004314211.tif 000011
【図１０】
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