(57)【要約】【課題】レーザからの発生熱による干渉縞のゆらぎが発生せず、また光源であるレーザの故障や寿命による交換時に複雑な調整を必要とせず、同時に各種波長のレーザをも使用可能とする汎用性のある干渉計装置及びその光源装置を得ること。【解決手段】干渉計本体部のコリメータレンズは色消し光学系とし、光分割手段、及び光重ね合わせ手段は使用波長帯域に対応したコーティング処理を施すと共に、光源装置はレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、光コネクタで干渉計本体部と結合されるようにしたこと。【選択図】        図１
2004163334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源装置と、該光源装置からの光束を平行光束にするコリメータレンズと、該平行光束を参照光と被検光に分割する光分割手段と、参照面及び被検体に入射した後、該参照面で反射した参照光と該被検体を経た被検光又は該被検体で反射した被検光を重ね合わせる光重ね合わせ手段と、を有する干渉計装置において、
該光源装置は少なくともレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、該レーザから発せられる光束は、偏波面保存ファイバコードを経由して、該コリメータレンズに入射することを特徴とする干渉計装置の光源装置。
【請求項２】
該レーザは半導体レーザであることを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の光源装置。
【請求項３】
該偏波面保存ファイバコード端部に光コネクタを設け、該光コネクタにより該コリメータレンズ入射面側に固定されることを特徴とする請求項１又は２記載の干渉計装置の光源装置。
【請求項４】
該コリメータレンズの焦点距離をＬとし、該光コネクタの寸法許容差から導かれる該光コネクタが接続された時の最大光軸ずれ量をＴとした時、
Ｔａｎ−１（Ｔ／Ｌ）＜０．０２５°
を満足する光コネクタを用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の干渉計装置の光源装置。
【請求項５】
該光源装置と該干渉計装置は同一光軸上に配置されていないことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の干渉計装置の光源装置。
【請求項６】
レーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、該レーザから発せられる光束は、偏波面保存ファイバコードを経由して射出する光源装置と、該光源装置からの光束を平行光束にするコリメータレンズと、該平行光束を参照光と被検光に分割する光分割手段と、参照面及び被検体に入射した後、該参照面で反射した参照光と該被検体を経た被検光又は該被検体で反射した被検光を重ね合わせる光重ね合わせ手段と、を有する干渉計装置において、
該コリメータレンズは色消し光学系とし、該光分割手段、及び該光重ね合わせ手段は使用波長帯域に対応した無位相、無偏光コーティング処理を施したことを特徴とする干渉計装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源装置及びそれを用いた干渉計装置に関し、特にレーザを光源とする干渉計装置に好適に適用できるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より干渉計等の光源として、コヒーレントな光を簡便に得られるレーザが一般に用いられてきた。近年では、種々の波長の半導体レーザが手軽に入手可能になっており、各種の計測装置に多用されている。
【０００３】
また、レーザ光源からの光を、光分割器で分割し、再度重ね合わせる干渉計として、マイケルソン（Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ）の干渉計、マッハ・ツェンダー（Ｍａｃｈ−Ｚｅｈｎｄｅｒ）の干渉計、トワイマン・グリーン（Ｔｗｙｍａｎ−Ｇｒｅｅｎ）の干渉計、フィゾー（Ｆｉｚｅａｕ）の干渉計等がその用途に応じて使用されている。
【０００４】
これら従来の干渉計の一例として図８に、光ピックアップ用対物レンズや、コリメータレンズ、プリズム等の透過波面収差測定に用いられる、トワイマン・グリーン型の干渉計装置の概略構成を示す。この形式の干渉計では、光分割手段と光重ね合わせ手段は同一の部材であるビームスプリッタで構成される。
【０００５】
図８の、干渉計装置において、１２は半導体レーザ、２１は半導体レーザを駆動するレーザドライバ、１３はコリメータレンズ、１４は光分割手段及び重ね合わせ手段であるビームスプリッタで、１４ａの面は半透鏡膜が施されている。１６は表面鏡である参照平面ミラー、１５は被検体用ステージ、２３はステージ駆動装置である。１７は撮像レンズであり、この後方に撮像レンズにより結像された画像を光電変換する撮像素子（例えばＣＣＤ）１８が配置される。また２６は、撮像素子１８からの出力に対し所望の画像処理をおこなう画像処理手段、２７は画像処理後のデータを取り込んで表示、解析したり、レーザドライバ２１やステージ駆動装置２３を制御するコンピュータである。
【０００６】
このように構成された従来のトワイマン・グリーン型の干渉計装置の概略動作を説明する。まず、被検体用ステージ１５に被検レンズＭＬをセットする。次にレーザドライバ２１を駆動して半導体レーザ１２から、特定波長の光を出射させる。コリメータレンズ１３はこの半導体レーザから発振された光を平行光束とする。この平行光束はミラー３０で反射し、ビームスプリッタ１４へ導かれ、半透鏡面１４ａで参照平面ミラー１６の方向と被検レンズＭＬの方向と、即ち参照光と被検光に光分割される。参照平面ミラー１６方向の参照光束は、その表面１６ａで反射されビームスプリッタ１４方向へ戻される。一方、被検レンズ方向へ向かう被検光束は被検体が図示のようにレンズであり、その透過波面性能を計測する場合、被検レンズＭＬの後方に参照凹面ミラー３１を、その曲率中心と被検レンズＭＬの集光点を一致させて配置し、被検レンズＭＬを経た被検光を反射させ、再び被検レンズＭＬを経てほぼ平行光束にしてビームスプリッタ１４の半透鏡面１４ａに戻し、参照光と干渉させる。被検レンズＭＬが光ディスク用対物レンズ等の、所定の平行平面板を介して集光するべく設計されたレンズの場合は、参照凹面ミラー３１と被検レンズＭＬとの間にディスクの光路長に相当するカバーガラス３２を配置する。
【０００７】
また撮像素子１８上には、撮像レンズ１７により参照光と被検光が重ね合わせられ発生する干渉縞の画像が投影される。この干渉縞の画像は、撮像素子１８で電気信号に光電変換された後、画像処理手段２６へ送られ画像処理され、コンピュータ２７のモニター上に表示する。また必要であれば、この画像データをコンピュータ２７に内蔵のメモリや、その他の記録媒体に記録できるようになっている。以上が、従来の干渉計の一例である。
【０００８】
また、ロータリエンコーダ等の装置の光源として、半導体レーザとコリメータレンズで平行平面波を射出する光源ユニットを構成し、この光源ユニットが一体として着脱可能としたものがある（例えば特許文献１参照。）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平８−８２５３３号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
半導体レーザには、バルク劣化、反射面劣化、サージによる発光端面破壊等で寿命があり、交換が必要になるのが現状である。干渉計の構成部品となるレンズやプリズム、ビームスプリッタは光源となるレーザの光軸を基準に調整をおこなっているため、光源交換時にはその光軸が、本来あるべき位置からずれることが考えられる。このような場合、構成部品の再調整をおこなうか、光源の位置調整が必要となる。例えば、上述の干渉計の測定が、光学部品の製造ラインの一部を構成している場合、レーザ交換及びその後のアライメント調整のために、多大な時間と労力を費やすことになっては工程が停止してしまうし、予備に一台用意しておくのは不経済である。
【００１１】
また、レーザは、消費電力の一部が熱になり、筐体内部に放出される。またレーザの温度変化による波長変動と熱によるレーザの劣化を防ぐため、レーザ周辺をペルチェ素子で温度制御したり、干渉計の構造や部材の形状により熱を発散させる等の工夫をしている。しかしこれらの熱は、筐体内部に熱勾配をもたらし、その結果、光路長変化をおこさせて、干渉縞にゆらぎを生じ、測定精度を低下させる問題がある。即ち、上述の特許文献１のような方法では、交換は容易かもしれないが、この熱に対しては同様の問題を含んでいる。
【００１２】
さらに、測定する被検レンズを変更する場合、例えばＣＤ用は７８０ｎｍ、ＤＶＤ用は６５０ｎｍと、その用途により、レンズの使用波長が異なるものであり、このため被検レンズの使用波長に応じ、その波長の半導体レーザと交換する必要がある。この場合にも、上述の調整に関わる問題に加え、その波長に対応した光学系の交換の煩わしさは避けられず、干渉計装置の汎用性を大きく阻害している。
【００１３】
本発明は、上記問題に鑑み、半導体レーザからの発生熱による干渉縞のゆらぎが発生せず、また光源である半導体レーザの故障や寿命による交換時に簡便で上述の調整を必要とせず、同時に各種波長の半導体レーザをも使用可能とする汎用性のある干渉計装置及びその光源装置を得ることを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、
１）  光源装置と、該光源装置からの光束を平行光束にするコリメータレンズと、該平行光束を参照光と被検光に分割する光分割手段と、参照面及び被検体に入射した後、該参照面で反射した参照光と該被検体を経た被検光又は該被検体で反射した被検光を重ね合わせる光重ね合わせ手段と、を有する干渉計装置において、該光源装置は少なくともレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、該レーザから発せられる光束は、偏波面保存ファイバコードを経由して、該コリメータレンズに入射することを特徴とする干渉計装置の光源装置、
とすることで上記の目的は達成され、干渉計本体部から発熱する光源部を離間することができる。
【００１５】
２）  レーザは半導体レーザである１）の干渉計装置の光源装置、
とすることでコンパクトで各種の波長を有する光源装置を得ることができる。
【００１６】
３）  偏波面保存ファイバコード端部に光コネクタを設け、光コネクタによりコリメータレンズ入射面側に固定される１）又は２）の干渉計装置の光源装置、とすることで、即座に容易に光源装置を交換可能とできる。
【００１７】
４）  コリメータレンズの焦点距離をＬとし、光コネクタの寸法許容差から導かれる光コネクタが接続された時の最大光軸ずれ量をＴとした時、
Ｔａｎ−１（Ｔ／Ｌ）＜０．０２５°
を満足する光コネクタを用いる１）〜３）のいずれかの干渉計装置の光源装置、とすることで光源装置を交換しても精度を確保でき、上述の調整は不要となる。
【００１８】
５）  光源装置と干渉計装置は同一光軸上に配置されていない１）〜４）のいずれかの干渉計装置の光源装置、
とすることで自由なレイアウトが可能となる。
【００１９】
６）  レーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、該レーザから発せられる光束は、偏波面保存ファイバコードを経由して射出する光源装置と、該光源装置からの光束を平行光束にするコリメータレンズと、該平行光束を参照光と被検光に分割する光分割手段と、参照面及び被検体に入射した後、該参照面で反射した参照光と該被検体を経た被検光又は該被検体で反射した被検光を重ね合わせる光重ね合わせ手段と、を有する干渉計装置において、該コリメータレンズは色消し光学系とし、該光分割手段、及び該光重ね合わせ手段は使用波長帯域に対応した無位相、無偏光コーティング処理を施したことを特徴とする干渉計装置、
とすることで、各波長の光源装置を用意すれば、この光源装置の交換のみで対応可能となり、干渉計の汎用性を高めることができる。
【００２０】
即ち本発明者は、偏波面保存ファイバと光コネクタにより、光源部を干渉計本体部から分離しても、干渉計の必要条件と総合精度を満足できる方法を見いだし、本発明に至ったものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２２】
図１は、本発明の干渉計装置及びその光源装置の全体の構成を示した図である。図８と同一の部分には、同一の符号を付して重複説明を省略する。図１において、２００が本発明の光源装置、１５０は解析及び制御部、１００に示す一点鎖線で囲む部分が干渉計本体部であり、光学系を内包している。３５は半導体レーザその他を内蔵する光源部、３６は半導体レーザを駆動するレーザドライバでありコンピュータ２７により制御される。３７は偏波面保存ファイバコード、３８は光コネクタのプラグであり偏波面保存ファイバコード３７の端部に設けられている。３９は光コネクタのレセプタクルであり、このレセプタクル３９は干渉計本体部１００内のコリメータレンズ１３に対し位置調整された後、固定されている。このプラグ３８をレセプタクル３９と結合することにより、光源部３５内の半導体レーザの光束を偏波面保存ファイバコード３７を介し干渉計本体部１００内へと導くよう構成されている。なお光源部３５にレーザドライバ３６を内包してもよい。即ち、光源装置２００は干渉計本体部１００と光コネクタにより結合され、また同様に、レーザドライバ３６又はコンピュータ２７ともコネクタ結合されているため、容易に光源装置２００のみ干渉計装置から分離可能になっている。
【００２３】
なお本発明の干渉計本体部１００に内包されるコリメータレンズ１３及び撮像レンズ１７は、使用する半導体レーザの各種波長に対して色消し光学系として設計されており、光分割手段及び光重ね合わせ手段であるビームスプリッタ１４は半透鏡面１４ａには同様に各種波長に対し分割比、偏光状態が変化しないビームスプリッタコートが施され、他方の透過面は、例えば４０５ｎｍ、６５０ｎｍ、７８０ｎｍに対し最大の透過率を持ち、偏光状態が変化しない反射防止膜が施されている。ビームスプリッタ１４に施されるこれらのコートは、一般的には無位相コート、無偏光コートと言われているものである。
【００２４】
図２は、本発明の光源部３５の内部の概略を示した図である。図２において４０は半導体レーザ、４１はコリメータレンズ、４２は集光レンズでコリメータレンズ４１で平行光束とされた光束をファイバのコアに集光させるためのものである。４３はホルダでファイバコードを固定するものである。４４はビームスプリッタ、４５はフォトダイオードである。
【００２５】
このように構成された光源部３５の動作概略を説明する。コンピュータ２７から駆動開始の命令がレーザドライバ３６へ出され、レーザドライバ３６がＯＮされる。これにより半導体レーザ４０が発振を始め、この光はコリメータレンズ４１により、平行光束とされ集光レンズ４２方向へ向かう。コリメータレンズ４１と集光レンズ４２の間のビームスプリッタ４４により半導体レーザの発光量の一部をフォトダイオード４５方向へ反射させる。このフォトダイオード４５は受光光量に対応した出力をレーザドライバ３６へ出力する。レーザドライバ３６は、この出力が所望の出力となるよう半導体レーザ４０への注入電流を調節し、これにより半導体レーザ４０は所定の発光量となるよう制御される。一方ビームスプリッタを透過した大部分の光は集光レンズ４２で集光され、ホルダ４３に保持された偏波面保存ファイバコード３７の端面に入射する。
【００２６】
この偏波面保存ファイバコード３７は、その端面が斜め（例えば８°）に研磨され、その端面には使用する半導体レーザ４０の波長に対応した反射防止コートが施され、表面反射した光が半導体レーザ４０方向へ回帰しないように加工される。これは回帰した光により半導体レーザ４０の発振が不安定になることを防止するためのものである。このようにして半導体レーザ４０から発振された光は偏波面保存ファイバコード３７内部を伝搬して他方の端部の光コネクタのプラグ３８へ導かれる。以上が光源部３５の内部と動作の概略である。
【００２７】
なおこの光源部３５では省略したが、半導体レーザの波長安定性とレーザ温度上昇によるレーザ破壊のため温度制御装置を設けることが望ましい。
【００２８】
即ち、この光源部３５内で半導体レーザ４０とコリメータレンズ４１、集光レンズ４２、偏波面保存ファイバ３７の入射側端面の間でアライメント調整をおこなっておき、干渉計本体部１００側でコリメータレンズ１３に対し位置調整されたレセプタクル３９にプラグ３８を接続すれば、容易に光源を交換でき、従来のような干渉計本体での光源交換における問題点を解決することが可能となる。
【００２９】
次に、本発明の光源装置に使用する偏波面保存ファイバについて説明する。
図３は、本発明の光源装置に使用する偏波面保存ファイバの一例を示したものである。図３（ａ）は、偏波面保存ファイバの偏波保持の概念図である。図３（ｂ）はその断面図である。図３（ｂ）に示すようにコアを中心部に置き、コアのＸ軸に応力をかけ、Ｘ軸、Ｙ軸で屈折率が異なる構造としている。この構造としては、パンダ型、楕円クラッド型等あり、図３はパンダ型を示している。
【００３０】
図３（ａ）に示す偏波面保存ファイバに対し、入射する光束の偏光方向をＸ軸（もしくはＹ軸）にあわせて入射させると、この偏光状態を保持したままこのファイバ中を伝搬し、射出端においてもＸ軸（もしくはＹ軸）方向に偏光した光束を得ることが可能なものである。また、この偏波面保存ファイバの横モード保存性は波長にも関係がある。
【００３１】
図４は、この横モード保存性を説明するための概念図である。図４は、波長４０５ｎｍに対応した偏波面保存ファイバに、各種波長のガウスビーム（Ｇａｕｓｓｉａｎ−ｂｅａｍ）を入射させ、射出面でその光量分布を観察したものである。（ａ）は波長４０５ｎｍの場合、（ｂ）は６３３ｎｍの場合、（ｃ）は１５５０ｎｍの場合であり付帯のグラフはその横モード（断面強度分布）を示したものである。このように４０５ｎｍの場合はガウス分布が保存されるが、６３３ｎｍでは２つのビームに分離され、１５５０ｎｍでは４つに分離されることが観察された。
【００３２】
即ち、本発明の光源装置においては、半導体レーザ４０から発振される光束の偏光方向と、この偏波面保存ファイバ３７の入射側端面の偏波保持方向を一致させるのは勿論のこと、更にこの偏波面保存ファイバ３７の射出側の端面の偏波保持方向とプラグ３８の取り付けに対しても、所望の偏光方向で干渉計本体部１００側のコリメータレンズ１３に入射するように組み立てられる。また使用する半導体レーザ４０の発振波長に対応して偏波面保存ファイバ３７の特性を鑑み適切な選択がなされる。
【００３３】
次に、本発明に使用される光コネクタについて説明する。
本発明に使用される光コネクタは、整列フェルール構造を備えたプラグ−レセプタクル結合方式の単心ファイバコネクタ、例えばＪＩＳ−Ｃ５９７０−Ｆ０１形単心光ファイバコネクタのうち位置決め可能な構造のものが望ましいが、同等の機能、精度が保証されればこれにこだわるものではない。
【００３４】
図５は、この光コネクタのプラグとレセプタクルの関係の一例を示した図である。図５はＪＩＳ−Ｃ５９７０−Ｆ０１形単心光ファイバコネクタのうち、プラグの等級Ｂを選択したときの光コネクタ結合部の断面を示している。５１はレセプタクル側のフェルール受け部であり、５２はプラグ側のフェルール、５３はファイバのコアである。
【００３５】
例えば等級Ｂを選択したとする。この場合、フェルール寸法と寸法公差より、フェルール５２とコア５３の同軸度は０．００１４ｍｍ以下であり、フェルール５２の寸法は２．４９８５ｍｍ〜２．４９９５ｍｍの範囲となる。一方、レセプタクル側のフェルール受け部５１は同様に２．５０４ｍｍ〜２．５０１ｍｍとなる。即ち、プラグ側フェルール５２とレセプタクル側のフェルール受け部５１の隙間Ｄは０．００５５ｍｍが最大となる。さらにフェルール５２とコア５３の同軸度０．００１４ｍｍを加えて０．００７９ｍｍが、コア部のレセプタクル側のフェルール受け部５１に対する最大ずれ量となる。
【００３６】
一方、干渉計本体部１００に設けられたコリメータレンズ１３の焦点距離が例えば１２５ｍｍで、ＪＩＳ−Ｃ５９７０−Ｆ０１形単心光ファイバコネクタ、プラグの等級Ｂを選択した場合は、この光コネクタの着脱で上記の最大ずれ量から、コリメータレンズ１３を出射する光束の光軸の傾きθは以下の式、
θ＝Ｔａｎ−１（０．００７９／１２５）＝０．００３６°
で求められる。即ちコリメータレンズ１３から出射の光束は、本来あるべき光軸から最大０．００３６°傾くことになる。一般に干渉計の、この光軸の傾きの許容量は用途により異なるが０．０２５°程度と言われており、十分な精度が確保できることがわかる。
【００３７】
即ち、使用する光コネクタの公差による誤差、干渉計本体部１００のコリメータレンズ１３と光コネクタのレセプタクルの組み立て位置調整に際しての許容誤差、被検体に要求される測定精度を勘案することで、この光コネクタの要求精度が求められ、それに対応できる精度の光コネクタが選択される。
【００３８】
次に、コリメータレンズ１３に入射させる光源光束の偏光方向を簡単に変換する方法について説明する。
【００３９】
図６は、偏波面保存ファイバに取り付ける光コネクタのプラグの取り付け方向を示した図である。４３は図２に示したファイバコードを固定するホルダ、３７は偏波面保存ファイバ、３８は光コネクタのプラグである。
【００４０】
図６に示すように、偏波面保存ファイバ３７の入射側端面にＸ軸方向に偏光した光束を入射させると仮定する。干渉計本体部１００側に取り付けられたレセプタクル３９のプラグに対する位置決め部３９ｃが図６（ｃ）に示すように上方にあるように取り付けられているとする。この時、図６（ａ）に示すようにプラグ３８の位置決め部３８ａを、偏波面保存ファイバ３７のＸ軸に対し上方にして組み付けると、レセプタクルに結合した際にも、偏光方向は図示のＸ軸方向に偏光した光束が、干渉計本体部１００のコリメータレンズ１３へ導かれる。
【００４１】
一方、図６（ｂ）に示すようにプラグ３８の位置決め部３８ａを、偏波面保存ファイバ３７のＸ軸方向にして組み付けると、干渉計本体部１００のレセプタクル３９に結合した際には、偏光方向は図示のＹ軸方向に偏光した光束が、干渉計本体部１００のコリメータレンズ１３へ導かれることになる。
【００４２】
即ち、この偏波面保存ファイバに取り付ける光コネクタのプラグの取り付け方向を変えておくことで、干渉計本体部１００のコリメータレンズ１３へ入射させる光束の偏光方向を自在に変えることが可能となる。これにより、干渉計の光路中に１／２波長板を挿脱することや、主軸の回転角の調整等を廃止できる。
【００４３】
図７は、本発明の光源装置をフィゾー型の干渉計に適用した図である。図１と同一機能の部分には、同一の符号を付して重複説明は省略する。
【００４４】
光源部３５内の半導体レーザ４０から発振された光束は、偏波面保存ファイバコード３７を経て、光コネクタのプラグ３８と結合したレセプタクル３９からコリメータレンズ１３に入射する。この光束は半透鏡３３を通過し１４ａを参照面とするビームスプリッタ１４で光分割され、被検光は被検レンズＭＬへ向かい、被検レンズＭＬ後方の参照凹面ミラー３１で反射され、再度平行光として参照面へもどり、参照光と干渉した干渉縞を半透鏡３３を介し撮像レンズ１７で撮像素子上に干渉縞の画像が投影されるようになっている。
【００４５】
即ち、本発明の光源装置は、種々の干渉計の光源部として使用可能である。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、干渉計本体部と光源部をその結合精度を維持しつつ分離したので、使用中の光源が不具合を起こしても、予備の交換用光源部があれば、干渉計本体部の装置構成部品を取り外すことも位置調整の必要も無く、即座に容易に交換可能となる。
【００４７】
また、干渉計本体部に設けられた光学部品を色消しにしたため、各種の波長のレーザを有する光源ユニットを用意しておけば、この光源ユニットの交換のみで、他の波長帯域で使用する被検体を測定することも可能となり干渉計の汎用性を飛躍的に増大させることができる。
【００４８】
更に、干渉計本体部と光源部を分離したことにより、熱源となっていた半導体レーザ及び半導体レーザの温度調整機構を干渉計本体と離間させることができ、干渉計本体内部の大気のゆらぎや光路長変化を防止でき、このため干渉縞のゆらぎが無くなり測定の不安定要因が排除され、同時に干渉計自体の熱対策も不要とできる。
【００４９】
また、光源部は、同様の光コネクタで接続可能とされた干渉計であれば他種の干渉計にも使用可能となるため、上述の干渉計の汎用性のみならず、光源部をも汎用性の高いものとすることができる。加えて、干渉計本体部に入射させる光源の偏光方向を簡単に変えることも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の干渉計装置及びその光源装置の全体の構成を示した図である。
【図２】本発明の光源部の内部の概略を示した図である。
【図３】本発明の光源装置に使用する偏波面保存ファイバの一例を示したものである。
【図４】偏波面保存ファイバの横モード保存性を説明するための概念図である。
【図５】光コネクタのプラグとレセプタクルの関係の一例を示した図である。
【図６】偏波面保存ファイバに取り付ける光コネクタのプラグの取り付け方向を示した図である。
【図７】本発明の光源装置をフィゾー型の干渉計に適用した図である。
【図８】従来のトワイマン・グリーン型の干渉計装置の概略構成を示した図である。
【符号の説明】
１３  コリメータレンズ
１４  ビームスプリッタ
１５  被検体用ステージ
１６  参照平面ミラー
１７  撮像レンズ
１８  撮像素子
２３  ステージ駆動装置
２６  画像処理手段
２７  コンピュータ
３１  参照凹面ミラー
３５  光源部
３６  レーザドライバ
３７  偏波面保存ファイバコード
３８  プラグ（光コネクタ）
３９  レセプタクル（光コネクタ）
１００  干渉計本体部
２００  光源装置
【図１】
2004163334.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004163334.tif 000009
【図８】
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