(57)【要約】【課題】ハーフミラーやハーフプリズム等の偏向部材を光路中に備える落射顕微鏡において、縦横のラインパターンによる解像度の差やコントラストの差を無くすことが可能な落射顕微鏡、及び落射顕微鏡に用いられる対物レンズなどの光学部材を提供する。【解決手段】照明光源１と、照明光源１からの照明光を被観察物体（標本８）側へと導くとともに、被観察物体からの光を像（電子撮像素子９）側へと導くハーフミラー３と、照明光源１からの照明光を、照明光源１から出射したときの偏光状態を保持したままハーフミラー３に入射させる照明光学系２と、対物レンズ５を含み前記照明光によって照明された標本８の像を形成する観察光学系４とを有し、ハーフミラー３と標本８との間に偏光解消素子９を配置した構成となっている。【選択図】  図１
2004163555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光源と、
該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、
前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、
対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡であって、
前記偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子を配置したことを特徴とする落射顕微鏡。
【請求項２】
前記偏光解消素子が、前記照明光学系の光軸に対して略４５°となるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の落射顕微鏡。
【請求項３】
照明光源と、
該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くとともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、
前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、
対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡であって、
前記偏向部材と被観察物体との間にλ／４板を配置したことを特徴とする落射顕微鏡。
【請求項４】
照明光源と、
該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くとともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、
前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、
対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡であって、
次の条件式を満足する空間周波数の物体を観察するときに、前記偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子又はλ／４板が配置されていることを特徴とする落射顕微鏡。
ＮＡ／λ＜Ｐ＜２ＮＡ／λ
但し、ＮＡは対物レンズのＮＡ、λは落射顕微鏡の中心波長、Ｐは観察物体の空間周波数である。
【請求項５】
偏光解消素子を備えたことを特徴とする落射顕微鏡用対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はハーフミラーやハーフプリズムなどの偏向部材を用いた、特に明視野観察を行うための落射顕微鏡、及び落射顕微鏡に用いられる対物レンズなどの光学部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、通常の落射顕微鏡では、照明光源からの照明光を被観察物体側に導くとともに、被観察物体からの光を像側へと導くために、光路中にハーフミラーなどの偏向部材が設けられている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−２０３８８０号
【特許文献２】
特開平５−１７３０７８号
【０００４】
図１０は、特許文献１，２に記載の落射顕微鏡に共通する概略構成図である。
落射顕微鏡は、照明光源１と、照明光学系２と、ハーフミラー３と、観察光学系４とを備えている。照明光学系２は、レンズ２ａ，２ａ’を有して構成されている。ハーフミラー３は、照明光源１からの照明光の一部を被観察物体側（標本８側）へと導くともに、被観察物体からの光の一部を像側（結像レンズ６側）へと導くように構成されている。観察光学系４は、対物レンズ５と、結像レンズ６とを有して構成されている。
【０００５】
このように構成された落射顕微鏡によれば、光源１から出射された光は、レンズ２ａ，２ａ’を経てハーフミラー３に導かれる。ハーフミラー３に入射した光のうち一部の光がハーフミラー３で反射して標本８側に偏向され、対物レンズ５を経て標本８を照射する。標本８で反射した光は、対物レンズ５を経てハーフミラー３に入射する。ハーフミラー３を透過した光は、結像レンズ６により像を形成する。観察者は、形成された像を接眼レンズ７を介して観察する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、偏向部材を構成するハーフミラーは、Ｐ偏光とＳ偏光とで反射率・透過率が異なるという偏光特性を有している。そのため、ハーフミラーを介して被観察物体（標本）に対する照明光は、ランダムな光ではなく、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分のうちいずれか一方の偏光成分が幾分多い偏光特性を帯びた光束となる。
【０００７】
しかるに、Ｐ偏光あるいはＳ偏光のような直線偏光で被観察物体を照明した場合、直線偏光の方向に平行なラインパターンと、直線偏光に垂直な方向のラインパターンとではコントラストが異なる。
このため、特許文献１，２に記載のような従来の落射顕微鏡では、ハーフミラーなどの偏向部材を介して被観察物体を照明した場合、縦のラインパターンと横のラインパターンとでコントラストに大きな違いを生じてしまっていた。
また、偏向部材としてハーフミラーの代わりに光路分割プリズム（ハーフプリズム）を用いた場合も、ハーフミラーを用いた場合と同様に、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分のうちいずれか一方の偏光成分が幾分多くなるという偏光特性をなくすことが難しい。このため、偏向部材に光路分割プリズムを用いた落射顕微鏡であっても、縦のラインパターンと横のラインパターンとでコントラストに違いを生じてしまう。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ハーフミラーやハーフプリズム等の偏向部材を光路中に備える落射顕微鏡において、縦横のラインパターンによる解像度の差やコントラストの差を無くすことが可能な落射顕微鏡及び落射顕微鏡に用いられる対物レンズなどの光学部材を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本第１の発明による顕微鏡は、照明光源と、該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くとともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡であって、前記偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子を配置したことを特徴としている。
【００１０】
また、本第２の発明として、本第１の発明による顕微鏡は、前記偏光解消素子が、前記照明光学系の光軸に対して略４５°となるように配置されているのが好ましい。
【００１１】
また、本第３の発明による顕微鏡は、照明光源と、該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くとともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡であって、前記偏向部材と被観察物体との間にλ／４板を配置したことを特徴としている。
【００１２】
また、本第４の発明による落射顕微鏡は、照明光源と、該照明光源からの照明光を被観察物体側へと導くとともに、前記被観察物体からの光を像側へと導く偏向部材と、前記照明光源からの照明光を、該照明光源から出射したときの偏光状態を保持したまま前記偏向部材に入射させる照明光学系と、対物レンズを含み前記照明光によって照明された被観察物体の像を形成する観察光学系とを有する落射顕微鏡において、次の条件式（１）を満足する空間周波数の物体を観察するときには、前記偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子又はλ／４板を配置することができるようにしたことを特徴としている。
ＮＡ／λ＜Ｐ＜２ＮＡ／λ                                    …（１）
但し、ＮＡは対物レンズのＮＡ、λは落射顕微鏡の中心波長、Ｐは観察物体の空間周波数である。
【００１３】
また、本第５の発明による落射顕微鏡用対物レンズは、偏光解消素子を備えたことを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
実施例の説明に先立ち、本発明の作用について説明する。
本第１の発明のように、通常の落射明視野顕微鏡において、偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子を配置すれば、ハーフミラーやハーフプリズムなどの偏向部材を経てＰ偏光成分とＳ偏光成分のうちいずれか一方の偏光成分の割合が多くなるといった偏光特性を帯びた光がランダムな光に変換されて被観察物体を照明することになる。このため、被観察物体の配置に影響されることなく、縦横のラインパターンがほぼ一定のコントラストでもって被観察物体像を観察することができる。
【００１５】
また、本第２の発明のように、本第１の発明における偏光解消素子を水晶で構成すると、加工、入手が容易となる。
【００１６】
また、本第３の発明のように、偏向部材と被観察物体との間にλ／４板を配置すれば、反射率・透過率特性の異なるハーフミラーやハーフプリズムなどの偏向部材で被観察物体側へと導かれることによって上記のような偏光特性を帯びた照明光が、λ／４板を通過することにより被観察物体を照明するときには円偏光になる。このため、縦横のラインパターンの違いによるコントラスト差が少なくなる。
【００１７】
また、本第４の発明のように、上記条件式（１）を満足する空間周波数の物体を観察する場合に、偏向部材と被観察物体との間に偏光解消素子又はλ／４板を配置すると、縦横のラインパターンのコントラストを一定にする効果が大きくなる。
ＮＡ／λ＜Ｐ＜２ＮＡ／λ                                    …（１）
但し、ＮＡは対物レンズのＮＡ、λは落射顕微鏡の中心波長、Ｐは被察物体の空間周波数である。
被観察物体の空間周波数ＰがＮＡ／λを下回ると、偏光とＳ偏光とでの解像、コントラストに差がでないので、本発明を用いる必要がない。
また、観察物体の空間周波数Ｐが２ＮＡ／λ（カットオフ周波数）を上回ると、観察光学系で解像できなくなる。
【００１８】
また、本第５の発明のように、顕微鏡用対物レンズに偏光解消素子を備えた構成とすれば、この対物レンズを本第１の発明と同様の顕微鏡に用いることで、偏向部材と被観察物体との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、本第１の発明と同様の効果が得られる。
【００１９】
その他、本発明は、上記発明の構成の他に更に次のように構成してもよい。
本第６の発明として、顕微鏡用対物レンズをλ／４板を備えた構成としてもよい。
このようにしても、偏向部材と被観察物体との間の光路中に単独のλ／４板を配置することなく、本第３の発明と同様の効果が得られる。
【００２０】
これら、本第５及び本第６の発明を用いて次の本第７及び第８の発明のような落射顕微鏡が構成できる。
本第７の発明として、本第１の発明の落射顕微鏡は、前記対物レンズが、偏光解消素子を備えているのが好ましい。
【００２１】
また、第８の発明として、本第３の発明の落射顕微鏡は、前記対物レンズが、λ／４板を備えているのが好ましい。
【００２２】
また、本第９の発明として、本第１の発明の落射顕微鏡は、前記偏向部材が、光路に挿脱可能なユニットに備えられ、該ユニットが、前記偏向部材よりも被観察物体側に偏光解消素子を備えているのが好ましい。
【００２３】
本第９の発明のように偏向部材と偏光解消素子を備えたユニットを構成すると、偏向部材と被観察物体との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、本第１の発明と同様の効果が得られる。
【００２４】
また、本第１０の発明として、本第９の発明の落射顕微鏡は、前記偏光解消素子が、該偏向部材の被観察物体側の面に沿って配置されているのが好ましい。
【００２５】
本第１０の発明のように偏向部材の被観察物体側の面に沿って偏光解消素子を配置しても、本第９の発明と同様、偏向部材と被観察物体との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、本第１の発明と同様の効果が得られる。
【００２６】
また、本第１１の発明として、本第７、本第９、本第１０のいずれかの発明は、前記偏光解消素子が、照明光軸に対して光学軸が概ね４５°となるように配置された水晶であるのが好ましい。
偏光解消素子を水晶で構成すると、本第２の発明と同様、加工、入手が容易となる。
【００２７】
また、本第１２の発明として、本第３の発明の落射顕微鏡は、前記偏向部材が、光路に挿脱可能なユニットに備えられ、該ユニットが、前記偏向部材よりも被観察物体側に、λ／４板を備えているのが好ましい。
このようにしても、偏向部材と被観察物体との間の光路中に単独のλ／４板を配置することなく、本第８の発明と同様の効果が得られる。
【００２８】
また、本第１３の発明として、本第９〜第１２のいずれかの発明の落射顕微鏡は、前記偏向部材が、ビームスプリッタで構成されているのが好ましい。
【００２９】
なお、本発明が適用される顕微鏡は、前記偏向部材が、照明光源からの照明光を被観察物体側へ反射するとともに、前記被観察物体からの光を像側へ透過する構成、あるいは、照明光源からの照明光を被観察物体側へ透過するとともに、前記被観察物体からの光を像側へ反射する構成、のいずれのタイプに構成してもよい。
【００３０】
【実施例】
第１実施例
図１は本発明による落射顕微鏡の第１実施例の概略構成図である。図２は本実施例の偏光解消素子を示す図であり、（ａ）は図１の部分図、（ｂ）は図１の構成における標本８側から偏向解消素子１０をみたときの光学軸と偏光成分との関係を示す説明図である。
第１実施例の落射顕微鏡は、照明光源１と、照明光学系２と、ハーフミラー３と、観察光学系４とを備えている。また、電子撮像系あるいは写真撮影系などの撮像光学系９を備えている。
照明光学系２は、レンズ２ａ，２ａ’とを有し、照明光源１からの照明光を、照明光源１から出射したときの偏光状態を保持したままハーフミラー３に入射させるように構成されている。
ハーフミラー３は、照明光源１からの照明光の一部を被観察物体側（標本８側）へと導くともに、被観察物体からの光の一部を像側（結像レンズ６側）へと導くように構成されている。
観察光学系４は、対物レンズ５と、結像レンズ６と、接眼レンズ７とを有して構成されている。
また、本実施例の落射顕微鏡では、ハーフミラー３と対物レンズ５との間に偏光解消素子１０が配置されている。
偏光解消素子１０は、図２（ｂ）に示すように、その光学軸が偏光成分１，２（Ｐ偏光成分，Ｓ偏光成分）など直線偏光成分の偏光方向に対して４５°となるように配置された水晶で構成されており、偏光をランダムな状態の光に変換する作用を有している。
【００３１】
このように構成された第１実施例の落射顕微鏡によれば、光源１から出射された光は、レンズ２ａ，２ａ’を経てハーフミラー３に導かれる。このときの光は、光源１から出射した直後の偏光状態が保たれておりランダムな状態となっている。ハーフミラー３に入射した光のうち一部の光が反射して標本８側に偏向される。このとき、ハーフミラー３の偏光特性により、標本８側に偏向された光に含まれるＰ偏光成分の光とＳ偏光成分の光の割合が変化し、いずれか一方の偏光成分が多くなっている。
このとき、本実施例の落射顕微鏡では、ハーフミラー３と標本８との間に偏光解消素子１０を備えたので、ハーフミラー３で標本８側に偏向された光は、偏光解消素子１０を介してランダムな状態の光に変換されて対物レンズ５に入射する。対物レンズ５に入射した光は、ランダムな状態に保たれながら標本８に照射される。
標本８で反射した光は、対物レンズ５、偏光解消素子１０を経てハーフミラー３に入射する。ハーフミラー３を透過した光は、結像レンズ６により像を形成する。観察者は、一部の光で形成された像を、接眼レンズ７を介して観察する。結像レンズ６を透過したその他の光は、撮像光学系９を介して撮像面又は撮影面に像を形成する。
【００３２】
このように、第１実施例の落射顕微鏡によれば、ハーフミラー３を介して標本８側へ偏向された光に含まれるＰ偏光成分とＳ偏光成分の光の割合が一方に偏ったとしても偏光解消素子１０がその偏光状態をランダムな光に変換する。このため、標本８にはランダム光が照射される。
従って、本実施例の落射顕微鏡によれば、標本８の配置に影響されることなく、縦横のラインパターンがほぼ一定のコントラストでもって標本８の像を観察することができる。
また、本実施例の落射顕微鏡によれば、偏光解消素子１０を水晶で構成したので、加工、入手が容易となる。
なお、本実施例の落射顕微鏡においては、ハーフミラー３の代わりにビームスプリッタを用いてもよい。
【００３３】
第２実施例
図３は本発明による落射顕微鏡の第２実施例の概略構成図である。
第２実施例の落射顕微鏡は、図１に示した第１実施例における偏光解消素子１０の代わりにλ／４板１１が配置されている。その他の構成は第１実施例と同様である。
【００３４】
このように構成された第２実施例の落射顕微鏡によれば、光源１から出射された光は、レンズ２ａ，２ａ’を経てハーフミラー３に導かれる。このときの光は、光源１から出射した直後の偏光状態が保たれておりランダムな状態となっている。ハーフミラー３に入射した光のうち一部の光が反射して標本８側に偏向される。このとき、ハーフミラー３の偏光特性により、標本８側に偏向された光に含まれるＰ偏光成分の光とＳ偏光成分の光の割合が変化し、いずれか一方の偏光成分が多くなっている。
このとき、本実施例の落射顕微鏡では、ハーフミラー３と標本８との間にλ／４板１１を備えたので、ハーフミラー３で標本８側に偏向された光は、λ／４板１１を介して円偏光となって対物レンズ５に入射する。対物レンズ５に入射した光は円偏光の偏光状態を保たれながら標本８に照射される。
標本８で反射した光は、対物レンズ５、λ／４板１１を経てハーフミラー３に入射する。ハーフミラー３を透過した光は、結像レンズ６により像を形成する。観察者は、一部の光で形成された像を、接眼レンズ７を介して観察する。結像レンズ６を透過したその他の光は、撮像光学系９を介して撮像面又は撮影面に像を形成する。
【００３５】
このように、第２実施例の落射顕微鏡によれば、ハーフミラー３を介して標本８側へ偏向された光に含まれるＰ偏光成分とＳ偏光成分の光の割合が一方に偏ったとしてもλ／４板１１が円偏光に変換する。このため、標本８には円偏光が照射される。
従って、本実施例の落射顕微鏡によれば、標本８の配置に影響されることなく、縦横のラインパターンがほぼ一定のコントラストでもって標本８の像を観察することができる。
【００３６】
第３実施例
図４は本発明による落射顕微鏡の第３実施例の概略構成図である。
第３実施例の落射顕微鏡は、図１に示した第１実施例における偏光解消素子１０が、対物レンズ５の鏡筒内において像側（結像レンズ６側）に組み込まれている。その他の構成は第１実施例と同様である。
本実施例のように、対物レンズ５に偏光解消素子１０を備えた構成とすれば、ハーフミラー３と標本８との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、第１実施例と同様の効果が得られる。
【００３７】
第４実施例
図５は本発明による落射顕微鏡の第４実施例の概略構成図である。
第４実施例の落射顕微鏡は、図１に示した第１実施例におけるハーフミラー３を光路に挿脱可能なユニットして構成されたキューブ１２の内部に備えるとともに、偏光解消素子１０をキューブ１２の内部におけるハーフミラー３よりも被観察物体側（標本８側）に備えている。
本実施例のように、ハーフミラー３と偏光解消素子１０とをユニット内に備えた構成とすれば、ハーフミラー３と標本８との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、第１実施例と同様の効果が得られる。
なお、本実施例の落射顕微鏡における偏光解消素子１０は、光源１からの光軸に対して９０°より幾分傾いて配置されているが、これは、光源１からの光が偏光解消素子１０に入射するときに一部の光が表面反射したとしても反射方向が結像レンズ６からずれて観察に悪影響を与えないようにするためである。従って、他の実施例の落射顕微鏡おいても、偏光解消素子を光軸に対して垂直に配置された構成のものは、実際には、本実施例の落射顕微鏡における偏光解消素子１０に示すように光源１からの光軸に対して９０°より幾分傾いて配置されていると好ましい。
【００３８】
第５実施例
図６は本発明による落射顕微鏡の第５実施例の概略構成図、図７は図６の要部拡大説明図である。図８は図７の偏光解消素子の光学軸と偏光成分との関係を示す説明図であり、（ａ）は図７の矢印Ａ側から偏向解消素子１３ｂを垂直にみたときの状態、（ｂ）は図７と同じ側から偏向解消素子１３ｂみたときの状態、（ｃ）は図７の矢印Ｂ側から偏向解消素子１３ｂをみたときの状態を夫々示している。
第５実施例の落射顕微鏡は、第４実施例におけるハーフミラー３と偏光解消素子１０とを兼ね備えた部材１３を用いている。この部材１３は、偏光解消素子１３ｂにハーフミラー面１３ａが一体的に備えられた構成となっている。
ハーフミラー面１３ａは、偏光解消素子１３ｂの像側に設けられている。偏光解消素子１３ｂは、水晶を用いて、その光学軸がＰ偏光成分、Ｓ偏光成分などの直線偏光成分の偏光方向に対して４５°となるように構成されており、偏光をランダムな状態の光に変換する作用を有している。また、偏光解消素子１３ｂの標本８側の面には、光源１からの入射光の表面反射を防止するようにＡＲコート１３ｃが施されている。その他の構成は第１実施例と同様である。
本実施例のように、ハーフミラー面１３ａを偏光解消素子１３ｂに一体的に設けた構成とすれば、少ない部品点数で、ハーフミラー面と標本８との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、第１実施例と同様の効果が得られる。
【００３９】
第６実施例
図９は本発明による落射顕微鏡の第６実施例の概略構成図である。
第６実施例の落射顕微鏡は、図１に示した第１実施例におけるハーフミラー３の代わりにビームスプリッタ３’が配置されるとともに、偏光解消素子１０が、ビームスプリッタ３’の標本８側に接合されている。
本実施例のように、ビームスプリッタ３’に偏光解消素子１０を備えた構成とすれば、第４実施例と同様、ビームスプリッタ３’と標本８との間の光路中に単独の偏光解消素子を配置することなく、第１実施例と同様の効果が得られる。
【００４０】
なお、図示は省略するが、本発明の落射顕微鏡のその他の実施例として、上記第３〜第６実施例の落射顕微鏡の構成おいて、偏光解消素子に代えてλ／４板を用いて落射顕微鏡を構成してもよい。
そのように構成した場合には、ハーフミラーあるいはビームスプリッタと標本との間の光路中に単独のλ／４板を配置することなく、第２実施例と同様の効果が得られる。
【００４１】
以上説明したように、本発明の落射顕微鏡及び落射顕微鏡用対物レンズは、特許請求の範囲に記載された発明の他に、次に示すような特徴も備えている。
【００４２】
（１）λ／４板を備えたことを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。
【００４３】
（２）前記対物レンズが、偏光解消素子を備えていることを特徴とする請求項１に記載の落射顕微鏡。
【００４４】
（３）前記対物レンズが、λ／４板を備えていることを特徴とする請求項３に記載の落射顕微鏡。
【００４５】
（４）前記偏向部材が、光路に挿脱可能なユニットに備えられ、該ユニットが、前記偏向部材よりも被観察物体側に偏光解消素子を備えていることを特徴とする請求項１に記載の落射顕微鏡。
【００４６】
（５）前記偏光解消素子が、該偏向部材の被観察物体側の面に沿って配置されていることを特徴とする上記（４）に記載の落射顕微鏡。
【００４７】
（６）前記偏光解消素子が、前記光偏向部材を介して偏向された照明光に含まれる直線偏光成分の偏光方向に対して光学軸が４５°となるように配置された水晶であることを特徴とする上記（２）、（４）、（５）のいずれかに記載の落射顕微鏡。
【００４８】
（７）前記偏向部材が、光路に挿脱可能なユニットに備えられ、該ユニットが、前記偏向部材よりも被観察物体側に、λ／４板を備えていることを特徴とする請求項１に記載の落射顕微鏡。
【００４９】
（８）前記偏向部材が、ビームスプリッタで構成されていることを特徴とする上記（４）〜（７）のいずれかに記載の落射顕微鏡。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、縦横のパターンに関係なく、均一な解像、コントラストで被観察物体の観察を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による落射顕微鏡の第１実施例の概略構成図である。
【図２】本実施例の偏光解消素子を示す図であり、（ａ）は図１の部分図、（ｂ）は図１の構成における標本８側から偏向解消素子１０をみたときの光学軸と偏光成分との関係を示す説明図である。
【図３】本発明による落射顕微鏡の第２実施例の概略構成図である。
【図４】本発明による落射顕微鏡の第３実施例の概略構成図である。
【図５】本発明による落射顕微鏡の第４実施例の概略構成図である。
【図６】本発明による落射顕微鏡の第５実施例の概略構成図である。
【図７】図６の要部拡大説明図である。
【図８】図７の偏光解消素子の光学軸と偏光成分との関係を示す説明図であり、（ａ）は図７の矢印Ａ側から偏向解消素子１３ｂを垂直にみたときの状態、（ｂ）は図７と同じ側から偏向解消素子１３ｂみたときの状態、（ｃ）は図７の矢印Ｂ側から偏向解消素子１３ｂをみたときの状態を夫々示している。
【図９】本発明による落射顕微鏡の第６実施例の概略構成図である。
【図１０】従来の落射顕微鏡の概略構成図である。
【符号の説明】
１          照明光源
２          照明光学系
２ａ，２ａ’          レンズ
３          ハーフミラー
３’        ビームスプリッタ
４          観察光学系
５          対物レンズ
６          結像レンズ
７          接眼光学系
８          標本
９          撮像光学系
１０        偏光解消素子
１１        λ／４板
１２        キューブ
１３        偏向作用と偏向解消作用とを兼ね備えた部材
１３ａ      ハーフミラー面
１３ｂ      偏光解消素子
１３ｃ      ＡＲコート面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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