(57)【要約】【課題】ロードポートを効率的に運用できるように選択し、また、歩留まりの向上を図ることができる半導体製造設備の稼働制御方法を提供する。【解決手段】半導体製造設備１を構成する各装置３，４に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアｘを受け渡しをするロードポート９，１５，１６が複数設けられている場合において、ロードポート９，１５，１６毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポート９，１５，１６を選択し、その選択したロードポート９，１５，１６を介して装置３，４に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行する。【選択図】        図１
2004327575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造設備を構成する各装置に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポートを選択し、その選択したロードポートを介して上記装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行することを特徴とする半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項２】
半導体ウェハの装置内への投入操作と装置からの払出操作とが兼用可能なロードポートが複数設けられている場合において、投入操作の場合と払出操作の場合とを区別して、ロードポート毎に投入操作の場合と払出操作の場合とで別々に優先順位を予め設定することを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項３】
半導体製造設備を構成する各装置に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に指定順序を予め設定し、その指定順序に従ってロードポートを順繰りに指定し、その指定したロードポートが空いているときには上記装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行することを特徴とする半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項４】
半導体ウェハの装置内への投入操作と装置からの払出操作とが兼用可能なロードポートが複数設けられている場合において、投入操作の場合と払出操作の場合とを区別して、ロードポート毎に投入操作の場合と払出操作の場合とで別々に指定順序を予め設定することを特徴とする請求項３記載の半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項５】
上記ロードポートにアクセスする搬送装置の搬送方向に応じた優先順位あるいは指定順序を予め設定しておき、搬送方向の切り替えに応じて予め設定されている優先順位あるいは指定順序を切り替えることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項６】
上記装置の処理能力あるいは環境の変化をロードポート毎にモニタし、そのモニタ結果に基づいてロードポートに対する優先順位あるいは指定順序を自動的に設定することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の半導体製造設備の稼働制御方法。
【請求項７】
稼働制御対象となる装置は、半導体ウェハ搬送用のキャリアを格納するストッカであることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の半導体製造設備の稼働制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造設備の稼働制御方法に関し、特には半導体ウェハの各処理装置に半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合に、各ロードポートを効率的に運用するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造設備は、半導体ウェハに対してイオン注入、拡散、成膜、エッチング等の各種の処理を行う処理装置や、各種の検査を行う検査装置、多数の半導体ウェハが収納されたキャリアを各装置間に渡って搬送する搬送装置、ならびにキャリアを一時的に格納するストッカなどの各種の装置を組み合わせて構成されている。
【０００３】
そして、上記の各処理装置や検査装置などには、それぞれキャリアを受け渡しする複数のロードポートが設けられており、これらのロードポートにキャリアを載置した後、装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作が実行されるようになっている。
【０００４】
ところで、半導体製造設備の稼働制御を行う稼働制御システムにおいて、半導体ウェハの処理あるいは検査を実施するために、半導体ウェハが収納されたキャリアをロードポートに対して受け渡しする場合、従来技術では、各ロードポートの登録順ならびにロードポートの空き状況に応じて一義的にロードポートが選択されるようにしている。
【０００５】
すなわち、いま、複数の処理装置があるとした場合、図１１に示すように、各装置に付随するロードポートの情報を予めデータテーブルとして登録しておく。ここでは、各処理装置を識別するために装置名が記載され、また、各装置に付随するロードポートには各ポートを識別するためにポート名が個別に記載されている。さらに、各ロードポートには、装置への投入操作を行うものか、装置からの払出操作を行うものか、投入操作と払出操作を兼用して行うものかを識別するための識別子Ｉ，Ｏ，Ｉ／Ｏが記載されている。
【０００６】
そして、所定の処理を実施するために半導体ウェハを処理装置に対して出し入れする際には、ロードポートの空き状況を確認しながら、データテーブルを参照してロードポートの登録順に従って順次ロードポートを一つずつ選択するようにしている。
【０００７】
たとえば、図１１において、一つの処理装置“Ｅｑｐ１”に付随する３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”はいずれも投入操作と払出操作とが兼用可能であって、最初に登録されている一番目のロードポート“ＬＰ０１”が空いておれば、このポートが第１候補として選択される。このロードポートが空いていなければ、次に登録されている２番目のロードポート“ＬＰ０２”が選択される。このロードポートも空いていなければ、次に登録されている３番目のロードポート“ＬＰ０３”が選択される。そして、こうして選択されたロードポートを経由して半導体ウェハの装置への出し入れが実行される。
【０００８】
なお、従来は、無人搬送車制御システムにおいて、設備および一時保管の投入、払出のロードポートに優先順位を予め設けておき、設備間を搬送する指示があった場合には、上記の優先順位に基づいて搬送指示の優先度を決定し、優先度の高い搬送指示から順に設備間の搬送処理を実行する技術（たとえば、特許文献１参照）や、また、半導体装置製造設備において、処理対象となるロットが複数ある場合には、各ロットごとに優先順位を設定し、優先度の高いロットから順に処理を実行する技術（たとえば、特許文献２）などが提案されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−１６３１２６号公報
【特許文献２】
特開２００１−１８９３６３号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、半導体ウェハの処理あるいは検査を実施するために、キャリアを処理装置に対して出し入れする場合に、従来技術では、ロードポートの登録順に従ってその空き状況を確認しながら順次ロードポートを一義的に選択している。このため、装置の使用環境や条件によってロードポートの選択が非効率な運用となったり、歩留まりの低下をもたらすなどの課題がある。
【００１１】
たとえば、図１１に示した一つの処理装置“Ｅｑｐ１”において、３つのロードポートの内、中央のロードポート“ＬＰ０２”から半導体ウェハを出し入れするのが装置内での半導体ウェハの移動距離が最も短くて稼働効率が良い場合でも、ロードポートの登録順は“ＬＰ０１”，“ＬＰ０２”，“ＬＰ０３”であるので、従来では常に１番目のロードポート“ＬＰ０１”が優先的に選択されてしまう。このため、半導体ウェハの装置内の投入から処理後の払出までに余分な時間がかかって稼働効率が低下する。
【００１２】
また、たとえば、図１１に示した一つの処理装置“Ｅｑｐ１”において、３つのロードポートの内、中央のロードポート“ＬＰ０２”から半導体ウェハを出し入れするのがパーティクルの混入が少なくて最も清浄な状態を維持でき、しかも静電気の発生も少ないなど、処理環境が良好な場合でも、ロードポートの登録順は“ＬＰ０１”，“ＬＰ０２”，“ＬＰ０３”であるので、従来では常に１番目のロードポート“ＬＰ０１”が優先的に選択されてしまう。このため、不良品の発生が多くなって歩留まりが低下する。
【００１３】
さらに、上記の処理装置“Ｅｑｐ１”において、たとえば、搬送装置におけるキャリアの搬送方向が３番目のロードポート“ＬＰ０３”から１番目のロードポート“ＬＰ０１”に向かうように設定されている場合には、３番目のロードポート“ＬＰ０３”から半導体ウェハを装置内に投入して、１番目のロードポート“ＬＰ０１”で払出を受けると効率が良い。しかし、ロードポートの登録順は“ＬＰ０１”，“ＬＰ０２”，“ＬＰ０３”であるため、従来では常に１番目に登録されているロードポート“ＬＰ０１”が優先的に選択されて半導体ウェハの投入操作が行われるので、ロードポートに対するキャリアの受け渡しがキャリアの搬送方向と逆行することになり、稼働効率が低下する。
【００１４】
なお、前述の特許文献１に記載されている技術では、各設備の投入、払出のロードポートに優先順位を予め設けているものの、これは各設備間で荷物を搬送する搬送処理の優先度を決定するためのもので、ロードポートを効率的に運用するための技術ではない。したがって、ここで問題としている課題を解決することができない。
【００１５】
また、前述の特許文献２に記載されている技術は、半導体装置製造設備において、処理対象となるロットが複数ある場合に、ロットに対して優先順位を予め設定し、優先度の高いロットから順に処理を実行するようにしたものであって、ロードポートを効率的に運用するための技術ではなく、したがって、上記の場合と同様に、ここで問題としている課題を解決することができない。
【００１６】
本発明は、上記の課題を解決し、ロードポートを効率的に運用できるように選択し、また、製品歩留まりの向上を図ることができる半導体製造設備の稼働制御方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、次のようにしている。
【００１８】
すなわち、第１の発明に係る半導体製造設備の稼働制御方法は、半導体製造設備を構成する各装置に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポートを選択し、その選択したロードポートを介して上記装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行することを特徴としている。
【００１９】
これにより、装置の種類、環境、プロセスなどの各種の条件に応じてロードポートの優先順位を設定することができるので、常に、その優先順位に従った適切なロードポートが選択されて投入操作や払出操作が実行される。このため、ロードポートを効率的に運用できるとともに、不良品の発生を抑えて歩留まりの向上を図ることができる。
【００２０】
また、第２の発明に係る半導体製造設備の稼働制御方法は、半導体製造設備を構成する各装置に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に指定順序を予め設定し、その指定順序に従ってロードポートを順繰りに指定し、その指定したロードポートが空いているときには上記装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行することを特徴としている。
【００２１】
これにより、空き状態のロードポートが順繰りに指定されて投入操作や払出操作が実行されるため、ロードポートの平均的な使用が可能となり、各種機器の偏った消耗を無くすことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係る半導体製造設備の全体構成を示す概念図である。
【００２３】
この実施の形態１における半導体製造設備１は、管理単位となるベイ２を備える。各ベイ２は、半導体ウェハに対してイオン注入、拡散、成膜、エッチング等の各処理工程に属する処理装置３の複数台が集合されるとともに、半導体ウェハが収納されたキャリアｘを格納するストッカ４、およびキャリアｘをストッカ４と処理装置３との間、ならびに各処理装置３の相互間に渡って搬送するベイ内搬送装置５を備えて構成されている。さらに、各ベイ２の相互間は、キャリアｘをベイ２間で搬送するベイ間搬送装置６によって互いに接続されている。
【００２４】
上記の処理装置３は、たとえば、図２に示すように、キャリアｘを受け渡しする場所となるロードポート９が複数箇所に設けられるとともに、ロードポート９を介して装置３内に投入、払出されるキャリアｘを一時的に保管する内部バッファ１０と、キャリアｘに収納されている各半導体ウェハに対して所定の処理を行う処理本体１１とを備えている。なお、処理装置３の内には、内部バッファ１０を設けずに直接に半導体ウェハを投入、払出する構成のものもある。
【００２５】
また、上記のストッカ４は、たとえば、図３に示すように、キャリアｘを収納する棚１４、ベイ内搬送装置５との間でキャリアｘを受け渡しする場所となるベイ内ロードポート１５、ベイ間搬送装置６との間でキャリアｘを受け渡しする場所となるベイ間ロードポート１６、このベイ間ロードポート１６とベイ間搬送装置６との間でキャリアｘの積み降ろし作業を行うローダ１７などを備えている。
【００２６】
図４は同設備１の稼働制御を行う稼働制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【００２７】
この実施の形態１において、各処理装置３の動作は、ホストコンピュータなどで構成される統括制御部２０によって制御されており、また、ストッカ４、ベイ内搬送装置５、およびベイ間搬送装置６には、これらの各装置の動作を制御するコントローラ２１〜２３が個別に設けられ、各コントローラ２１〜２３はこれらの各装置４〜５の相互間の搬送制御を円滑に行うための機器管理制御部２４により制御されている。さらに、機器管理制御部２４は上記の統括制御部２０によって統括制御されている。
【００２８】
そして、統括制御部２０が備えるハードディスク等の外部記憶装置２５には、各種の制御プログラムに加えて、各処理装置３やストッカ４に付随する各ロードポート９，１５，１６を選択するための情報が予めテーブル化されてデータベースとして登録されている。
【００２９】
たとえば、図５に示すように、各処理装置３に関するデータテーブルには、半導体製造設備１を構成する全ての処理装置３を識別するための装置名が記載され、各装置３に付随するロードポート９には各ポートを識別するためのポート名が個別に記載されている。また、各ロードポート９には、装置３への投入操作が行われるものか、装置３からの払出操作が行われるものか、投入操作と払出操作が兼用して行われるものかを識別するための識別子“Ｉ”，“Ｏ”，“Ｉ／Ｏ”が記載されている。さらに、この実施の形態１の特徴として、各ロードポート９を選択する際の優先順位が設定されている。この場合、数値が小さいものほど優先順位が高いことを示している。なお、ストッカ４に付随する各ロードポート１５，１６についても、図５に示したものと同様な内容のデータテーブルにおいて優先順位が設定されている。
【００３０】
次に、上記構成を有する半導体製造設備１の稼働制御方法、特にここでは、各ロードポート９を効率的に運用するためのロードポートの選択方法について説明する。
【００３１】
いま、一つの処理装置３にキャリアｘを投入する場合、統括制御部２０は、当該装置３のロードポート９の空き状況を逐次把握しているので、図５に示したデータテーブルを参照して、ロードポートの優先順位に従って空き状況を確認しながら所定のロードポート９を選択する。
【００３２】
具体例として、ここでは各々の装置３やロードポート９を区別できるように、各装置３には装置名を、また、各ロードポート９にはポート名を付して説明すると、いま、図５に示した一つの処理装置“Ｅｑｐ１”に着目したとき、３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”は、いずれも投入操作と払出操作とが兼用可能であって、かつ、ロードポートの優先順位は“ＬＰ０１”，“ＬＰ０３”，“ＬＰ０２”の順となっている。したがって、３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”が全て空いておれば、優先順位が一番高いロードポート“ＬＰ０１”が選択される。このロードポート“ＬＰ０１”が空いていなければ、次に優先順位の高いロードポート“ＬＰ０３”が選択される。このロードポート“ＬＰ０３”も空いていなければ、第３番目の優先順位であるロードポート“ＬＰ０２”が選択される。
【００３３】
そして、統括制御部２０は、このようにして空き状況を確認しながら優先順位に従って選択されたロードポート９を介して半導体ウェハが装置３内に投入されるように処理装置３の動作を制御する。
【００３４】
上記の説明は処理装置３にキャリアｘを投入操作する場合であるが、装置３内からキャリアｘを払出操作する場合についても同様に、図５のデータテーブルに設定された優先順位に従ってロードポート９が選択される。また、処理装置３がキャリアｘを一時的に保管する内部バッファ１０を備えていない場合には、キャリアｘに収納されている各半導体ウェハが処理装置３に対して直接に投入、払出操作されることがあるが、その際も同様に優先順位に従ってロードポート９が選択される。
【００３５】
以上のように、この実施の形態１では、ロードポート９毎に半導体ウェハの装置３への投入から払出までの稼働効率に違いが見られる場合や、ロードポート９毎に半導体ウェハに対する処理環境（清浄度や静電気発生など）の違いが見られる場合には、これらの事情を考慮して各ロードポート９に優先順位を設定することで、ロードポート９を効率的に運用できるとともに、不良品の発生を抑えて歩留まりの向上を図ることができる。
【００３６】
なお、ストッカ４に付随する各ロードポート１５，１６についても、図５に示したものと同様な内容のデータテーブルにおいて優先順位が設定されているので、その優先順位に従ってロードポート１５，１６を選択することにより、ストッカ４および各搬送装置５，６の効率的な運用が可能になる。
【００３７】
実施の形態２．
この実施の形態２において、半導体製造設備の全体構成、および稼働制御システムの全体構成は実施の形態１の場合と同様であるからここでは詳しい説明は省略する。
【００３８】
この実施の形態２の特徴は、処理装置３に付随する各ロードポート９が装置３に対するキャリアｘの投入操作と払出操作とが兼用可能な場合において、投入操作（Ｉ）の場合と払出操作（Ｏ）の場合とを区別して、ロードポート９毎に投入操作する場合と払出操作する場合とで別々に優先順位が設定されており、その優先順位に従って各ロードポート９が選択されるようにしていることである。
【００３９】
すなわち、たとえば図６に示す処理装置３に関するデータテーブルには、半導体製造設備１を構成する全ての処理装置３を識別するための装置名が記載され、各装置３に付随するロードポート９には各ポートを識別するためのポート名が個別に記載されている。また、この実施の形態２では、各ロードポート９はいずれもキャリアｘの投入操作と払出操作とが兼用可能であって、その場合、これらの各ロードポート９に対しては、投入操作の場合と払出操作の場合とを区別して、各操作の識別子“Ｉ”，“Ｏ”に対応させて別々に優先順位が設定されている。この場合、数値が小さいものほど優先順位が高いことを示している。
【００４０】
したがって、いま、一つの処理装置３にキャリアｘを投入する場合、統括制御部２０は、当該装置３のロードポート９の空き状況を逐次把握しているので、図６に示したデータテーブルを参照して、ロードポートの優先順位に従って空き状況を確認しながら所定のロードポート９を選択する。
【００４１】
具体例として、各々の装置３やロードポート９が区別できるように、各装置３には装置名を、各ロードポート９にはポート名を付し、また、投入、払出の操作を区別できるように識別子を付して説明すると、図６に示した一つの処理装置“Ｅｑｐ１”に着目したとき、キャリアｘの投入操作“Ｉ”の場合、ロードポートの優先順位は“ＬＰ０１”，“ＬＰ０２”，“ＬＰ０３”の順となっている。したがって、３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”が全て空いておれば、優先順位が一番高いロードポート“ＬＰ０１”が選択される。このロードポート“ＬＰ０１”が空いていなければ、次に優先順位の高いロードポート“ＬＰ０２”が選択される。このロードポート“ＬＰ０２”も空いていなければ、第３番目の優先順位であるロードポート“ＬＰ０３”が選択される。
【００４２】
一方、キャリアｘの払出操作“Ｏ”の場合、ロードポートの優先順位は“ＬＰ０３”，“ＬＰ０２”，“ＬＰ０１”の順となっている。したがって、３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”が全て空いておれば、優先順位が一番高いロードポート“ＬＰ０３”が選択される。このロードポート“ＬＰ０３”が空いていなければ、次に優先順位の高いロードポート“ＬＰ０２”が選択される。このロードポート“ＬＰ０２”も空いていなければ、第３番目の優先順位であるロードポート“ＬＰ０１”が選択される。
【００４３】
以上のように、この実施の形態２では、キャリアｘを受け渡しするベイ内搬送装置５の搬送方向を考慮して、キャリアｘの投入操作“Ｉ”の場合と払出操作“Ｏ”の場合とで別々に優先順位を設定することにより、キャリアｘの投入操作時には搬送方向の上流側のロードポートが、キャリアｘの払出操作時には搬送方向の下流側のロードポートが優先的に選択されるようにすることが可能になるため、ベイ内搬送装置５の稼働効率を向上させることができる。
【００４４】
なお、ストッカ４についても、これに付随する各ロードポート１５，１６がキャリアｘの投入操作と払出操作とが兼用可能な場合において、上記と同様に投入操作“Ｉ”の場合と払出操作“Ｏ”の場合とを区別して、ロードポート１５，１６毎に各操作“Ｉ”，“Ｏ”に対応させて別々に優先順位を設定することにより、ベイ内、ベイ間の各搬送装置５，６の稼働効率を向上させることができる。
【００４５】
実施の形態３．
この実施の形態３において、半導体製造設備の全体構成、および稼働制御システムの全体構成は実施の形態１の場合と同様であるからここでは詳しい説明は省略する。
【００４６】
この実施の形態３の特徴は、各処理装置３のロードポート９毎に指定順序を予め設定し、その指定順序に従ってロードポート９を順繰りに選択し、その選択したロードポート９を介して装置３に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行するようにしていることである。
【００４７】
すなわち、たとえば図７に示す処理装置３に関するデータテーブルには、半導体製造設備を構成する全ての処理装置３を識別するための装置名が記載され、各装置３に付随するロードポート９には各ポートを識別するためのポート名が個別に記載されている。また、各ロードポート９には、装置３への投入操作が行われるものか、装置からの払出操作が行われるものか、投入操作と払出操作が兼用して行われるのかを識別するための識別子Ｉ，Ｏ，Ｉ／Ｏが記載されている。さらに、この実施の形態３では、各ロードポート９を選択する際の指定順序が設定されている。この場合、小さい数値から大きい数値に向けて順次ロードポートが指定されることを示している。
【００４８】
したがって、いま、一つの処理装置３にキャリアを投入する場合、統括制御部２０は、当該装置３のロードポート９の空き状況を逐次把握しているので、図７に示したデータテーブルを参照して、ロードポートの指定順序に従って空き状況を確認しながらロードポート９を順に選択する。
【００４９】
たとえば、図７に示した一つの処理装置“Ｅｑｐ１”に着目したとき、ロードポートの指定順序は“ＬＰ０１”→“ＬＰ０３”→“ＬＰ０２”となっている（図８参照）。したがって、３つのロードポート“ＬＰ０１〜０３”の内、最初にロードポート“ＬＰ０１”が指定される。このとき、このロードポート“ＬＰ０１”が空いておれば、このロードポート“ＬＰ０１”を介してキャリアｘの投入操作や払出操作が実行される。次に、この処理装置“Ｅｑｐ１”で処理を行うキャリアｘが発生した場合には、最初に指定されたロードポート“ＬＰ０１”の空き状況に関係なく、次のロードポート“ＬＰ０３”が指定される。この指定されたロードポート“ＬＰ０３”が空いておれば、このロードポート“ＬＰ０３”を介してキャリアｘの投入操作や払出操作が実行されるが、空いていなければ次の順番のロードポート“ＬＰ０２”が指定される。順番の最後のロードポート“ＬＰ０２”が空いていなければ、先頭のロードポート“ＬＰ０１”が指定される。
【００５０】
以上のように、この実施の形態３では、ロードポート９毎にその指定順序に従って空き状況を確認しながら所定のロードポート９を選択するようにしているので、ロードポート９が平均的に使用されるようになり、ロードポート９や処理装置３内の稼働機器、およびベイ内搬送装置５の偏った消耗等を無くすことが可能になる。
【００５１】
なお、上記の実施の形態３では、各々のロードポート９について一つずつ指定順序を設定しているが、投入操作の場合と払出操作の場合とを区別して、ロードポート９毎に投入操作の場合と払出操作の場合とで別々に指定順序を設定することも可能である。その場合にも、ロードポート９や搬送装置５等の偏った消耗等を無くすことが可能になる。また、ストッカ４についても、上記と同様に各ロードポート１５，１６について指定順序を設定すれば、ロードポート１５，１６やストッカ４の稼働機器、および各搬送装置５，６の偏った消耗等を無くすことが可能になる。
【００５２】
実施の形態４．
この実施の形態４において、半導体製造設備の全体構成、および稼働制御システムの全体構成は実施の形態１の場合と同様であるからここでは詳しい説明は省略する。
【００５３】
処理装置３のレイアウトの変更や、処理装置３のメンテナンス等の諸般の事情により、ベイ内搬送装置５の搬送方向を逆転させる必要が生じる場合がある。その場合には、各処理装置３に付随するロードポート９の選択についても、搬送方向の切り替えに応じて優先順位を変更する必要が生じる。
【００５４】
たとえば、図９に示すように、ベイ内搬送装置５が天井軌道走行型搬送車（ＯＨＴ）で構成されているとした場合、このＯＨＴは台車２７がレール２８に沿って走行されるとともに、昇降機構２９によってキャリアｘが各ロードポート９に対して受け渡しされる。その場合、通常は図中符号Ａで示す方向に搬送されていても、諸般の事情のために搬送方向を切り替えて図中符号Ｂで示す方向にキャリアｘを搬送する必要が生じることがある。
【００５５】
そこで、この実施の形態４では、図１０のデータテーブルに示すように、搬送方向Ａ，Ｂに応じてそれぞれロードポート９の優先順位を設定している。そして、搬送方向Ａ，Ｂに応じて優先順位を切り替え、切り替え後のロードポートの優先順位に基づいて各ロードポート９が選択される。
【００５６】
以上のように、この実施の形態４では、ロードポート９の選択において搬送方向の切り替えに応じて優先順位を変更できるようにしているので、搬送装置５の搬送方向が切り替えられるたびに優先順位の設定をやり直す手間が省けるとともに、入力設定ミスを無くすことができる。
【００５７】
なお、ストッカ４についても、上記と同様にベイ内とベイ間の各搬送装置５，６の搬送方向の切り替えに応じて優先順位を変更できるようにすることが可能である。また、この実施の形態４では、各搬送装置５，６は一つの搬送ルートのみを有しているが、搬送装置５，６によっては複数の搬送ルートを有しており、各ルート毎に搬送方向が変更される場合もある。そのときには、ルート毎に搬送方向の切り替えに応じた優先順位を設定することにより、適切な対応が可能になる。さらに、優先順位を切り替える代わりに、実施の形態３のような指定順序を設定する場合には、搬送方向の切り替えに応じて指定順序を切り替えるようにすることも可能である。
【００５８】
上記の実施の形態１〜４について、次のような変形例や応用例を考えることができる。
【００５９】
（１）  上記の各実施の形態１〜４では、優先順位や指定順序の設定のために、１，２，３，…などの自然数を用いているが、あるロードポート９において、投入操作や払出操作を行うと支障を来す事態が生じたような場合には、優先順位や指定順序を示す数値として“０”などの特別な値を設定することで、そのロードポート９を投入操作や払出操作の選択対象外とすることも可能である。
【００６０】
（２）  上記の実施の形態１〜４では、優先順位の設定や指定順序の設定は、手入力によって外部記憶装置２５にデータテーブルとして登録するようにしているが、たとえば、処理環境（清浄度や静電気発生など）を計測する環境計測機器によってロードポート９毎に処理状況を計測したデータを統括制御部２０に取り込んで常時モニタし、そのモニタ結果に基づいて、自動的にデータテーブルの優先順位や指定順序が設定されるようにすることも可能である。このようにすれば、設定作業の煩雑さが解消されるとともに、設定入力時のミスを無くすことができる。
【００６１】
（３）  上記の実施の形態１〜４では、処理装置３とストッカ４に付随するロードポート９，１５，１６に対して本発明を適用する場合について説明したが、半導体ウェハの各種検査を行う検査装置が備えるロードポートについても本発明を適用することが可能である。
【００６２】
【発明の効果】
第１の発明に係る半導体製造設備の稼働制御方法によれば、ロードポート毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポートを選択し、その選択したロードポートを介して装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を行うので、装置の種類、環境、プロセスなどの各種の条件に応じて常に適切なロードポートを選択することができる。このため、ロードポートを効率的に運用できるとともに、不良品の発生を抑えて歩留まりの向上を図ることが可能になる。
【００６３】
また、第２の発明に係る半導体製造設備の稼働制御方法によれば、半導体ウェハに対して所定の処理や検査を行う各装置に付随してロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に指定順序を予め設定し、その指定順序に従ってロードポートを順繰りに指定し、その指定したロードポートが空いているときには装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を行うようにしているので、各ロードポートの平均的な使用が可能となり、各種機器の偏った消耗を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における半導体製造設備の全体構成を示す概念図である。
【図２】同設備を構成する処理装置の一例を示す斜視図である。
【図３】同設備を構成するストッカの一例を示す斜視図である。
【図４】半導体製造設備の稼働制御を行う稼働制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態１において、各装置に付随するロードポートを選択するために、ロードポート毎に優先順位を設定したデータテーブルの一例を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２において、各装置に付随するロードポートを選択するために、投入操作の場合と払出操作の場合とを区別して、ロードポート毎に投入操作の場合と払出操作の場合とで別々に優先順位を設定したデータテーブルの一例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態３において、各装置に付随するロードポートを選択するために、ロードポート毎に指定順序を設定したデータテーブルの一例を示す図である。
【図８】ロードポート毎に指定順序を設定した場合に、ロードポートが指定される手順を示す説明図である。
【図９】ベイ内搬送装置により各処理装置間に渡ってキャリアを搬送する場合の状態を示す説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態４において、各装置に付随するロードポートを選択するために、搬送装置の搬送方向の切り替えに応じてそれぞれロードポートの優先順位を設定したデータテーブルの一例を示す図である。
【図１１】従来の半導体製造設備の稼働制御を行う稼働制御システムにおいて、処理装置に付随するロードポートに関するデータテーブルの一例を示す図である。
【符号の説明】
１  半導体製造設備、３  処理装置、４  ストッカ、５  ベイ内搬送装置、６ベイ間搬送装置、９  ロードポート、１５  ベイ内ロードポート、１６  ベイ間ロードポート、ｘ  キャリア。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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