(57)【要約】【課題】安価で煩雑な工程を増やすことなく信頼性が高い測定結果が得られる真円度測定機の相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具、その製造方法を提供する。【解決手段】互いに対向する第１、第２基準面間寸法が規定寸法に加工された第１、第２ゲージブロック４１，４２が、各々の第１基準面４１１，４２１と円筒４０の検査治具軸線Ｓ３が略平行となるように円筒４０の両端面に固定された検査治具４を心水平出しテーブル２１に載置し、第１基準面４１１，４２１の位置測定から検出器案内方向軸線Ｓ２と検査治具軸線Ｓ３との第１相対傾斜量を求め、心水平出しテーブル２１を１８０度回転させた後、第２基準面４１２，４２２の位置測定から検出器案内方向軸線Ｓ２と検査治具軸線Ｓ３との第２相対傾斜量を求め、第１、第２相対傾斜量からテーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを求める。【選択図】            図３
2004163358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向に案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める真円度測定機の相対傾斜量測定方法であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意し、
前記回転テーブルに前記検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置した後、前記検査治具の軸線と前記回転軸が略一致するように前記検査治具の姿勢を調整するとともに、前記各ゲージブロックの第１基準面が前記検出器に対向するように前記回転テーブルを回転させ、
前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第１相対傾斜量を求め、
前記回転テーブルを略１８０度回転させた後、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求め、
前記第１相対傾斜量および第２相対傾斜量から、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める
ことを特徴とする真円度測定機の相対傾斜量測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の真円度測定機の相対傾斜量測定方法を用いて、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めた後、
前記被測定物を前記回転テーブルに載置し、
前記被測定物の指定測定位置における径方向座標値を、前記検出器により測定して測定値を得て、
測定された前記測定値から、前記指定測定位置に対応する前記相対傾斜量を差し引くことにより平行度誤差を補正する、
ことを特徴とする真円度測定機による測定値補正方法。
【請求項３】
被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向へ案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めるために用いられる検査治具であって、
柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された、
ことを特徴とする検査治具。
【請求項４】
請求項３に記載の検査治具において、
前記第１ゲージブロックと前記第２ゲージブロックとは、同一形状である、
ことを特徴とする検査治具。
【請求項５】
請求項４に記載の検査治具の製造方法であって、
平らの作業面上にスペーサを介して前記中間体の軸線が作業面と略平行となるように中間体を載置し、
この中間体を挟んで第１および第２ゲージブロックを配置するとともに、各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に載置し、
この各ゲージブロックを作業面上でかつ中間体に向かってスライドさせながら中間体の両端面に密着固定する、
ことを特徴とする検査治具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真円度測定機における回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具、および、検査治具の製造方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、真円度測定機において、検出器をコラムに沿って上下方向へ移動させることにより回転テーブルに載置された検査治具の複数の位置を測定し、この測定結果を演算することにより回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める、真円度測定機の相対傾斜量測定方法が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の真円度測定機の相対傾斜用測定方法では、検査治具として円筒スコヤもしくは鋼球が用いられている。
【０００３】
円筒スコヤを用いた真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、円筒スコヤを回転テーブルに載置した後、回転テーブルの回転軸と円筒スコヤの軸とが略一致するように円筒スコヤの傾斜を調整する。検出器をコラムに沿って上下方向へ移動させながら回転テーブルに載置された円筒スコヤの所定位置を測定し、この測定結果を最小二乗法により処理することにより、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めていた。
鋼球を用いた真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、鋼球を鋼球載置台を介して回転テーブルに載置した後、検出器で鋼球の径を測定する。次にこの状態から鋼球載置台と回転テーブルとの間にスペーサを挿入した後検出器で鋼球の径を測定する。この測定された２つの径の差とスペーサの高さから、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めていた。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２７７４００７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この測定方法では、検査治具として円筒スコヤもしくは鋼球を用いているが、円筒スコヤおよび鋼球をそれぞれ理想的な円筒度および真球度に加工することは難しく、その結果、極めて高価な検査治具を必要としていた。
円筒スコヤの円筒度および鋼球の真球度は国家標準に対してトレーサブルではないので、それらの信頼性を明確にすることは単純な長さ測定に比べて極めて困難であった。
【０００６】
円筒スコヤを用いた測定方法では、予め円筒スコヤの軸心と直交する任意の２断面の径差の値付けをする工程が必要であったが、この工程が煩雑であるとともに値付けにより得られた径差の信頼性は低いものであった。
鋼球を用いた測定方法では、鋼球を鋼球載置台を介して回転テーブルに載置し検出器で鋼球の径を測定した後、回転テーブルと鋼球載置台との間にスペーサを載置する工程が必要であり、その作業が煩雑であった。
【０００７】
本発明の目的は、安価であるとともに、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い測定結果を得ることができる真円度測定機の相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具およびその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の真円度測定機の相対傾斜量測定方法は、被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向に案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求める真円度測定機の相対傾斜量測定方法であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意し、前記回転テーブルに前記検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置した後、前記検査治具の軸線と前記回転軸が略一致するように前記検査治具の姿勢を調整するとともに、前記各ゲージブロックの第１基準面が前記検出器に対向するように前記回転テーブルを回転させ、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第１相対傾斜量を求め、前記回転テーブルを略１８０度回転させた後、前記検出器をコラムに沿って移動させ、前記各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、前記検査治具の軸線と前記コラムの検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求め、前記第１相対傾斜量および第２相対傾斜量から、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定された検査治具を予め用意する。
【００１０】
回転テーブルに検査治具の第１ゲージブロックが接するように検査治具を回転テーブル上に載置する。
検査治具の軸線（以下、検査治具軸線、と略す）と、回転テーブルの回転軸（以下、テーブル回転軸、と略す）が略一致するように検査治具の姿勢を調整するとともに、各ゲージブロックの第１基準面が検出器に対向するように回転テーブルを回転させる。
検出器をコラムに沿って所定距離だけ移動させることにより、各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を測定し、検査治具軸線と、コラムの検出器案内方向軸線（以下、検出器案内方向軸線、と略す）との第１相対傾斜量を求める。
【００１１】
たとえば、第１ゲージブロックの第１基準面の所定位置を測定した値と、第２ゲージブロックの第１基準面の所定位置を測定した値との差を求め、その差と検出器の移動距離とから第１相対傾斜量を求める。
この第１相対傾斜量は、テーブル回転軸と検出器案内方向軸線との相対傾斜量（以下、コラム相対傾斜量、と略す）と、テーブル回転軸と検査治具軸線との相対傾斜量（以下、第１検査治具相対傾斜量、と略す）と、検査治具軸線と各ゲージブロックの第１基準面における所定位置を結合した線との相対傾斜量（以下、第１基準面相対傾斜量、と略す）の総和となる。
【００１２】
回転テーブルを略１８０度回転させた後、検出器をコラムに沿って所定距離だけ移動させることにより、各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を測定し、検査治具軸線と検出器案内方向軸線との第２相対傾斜量を求める。
たとえば、第１ゲージブロックの第２基準面の所定位置を測定した値と、第２ゲージブロックの第２基準面の所定位置を測定した値との差を求め、その差と検出器の移動距離とから第２相対傾斜量を求める。
この第２相対傾斜量は、コラム相対傾斜量と、テーブル回転軸と検査治具軸線との相対傾斜量（以下、第２検査治具相対傾斜量、と略す）と、検査治具軸線と各ゲージブロックの第２基準面における所定位置を結合した線との相対傾斜量（以下、第２基準面相対傾斜量、と略す）の総和となる。
【００１３】
これら第１および第２相対傾斜量から、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対対傾斜量を求める。
たとえば、第１および第２相対傾斜量の和を求めると、コラム相対傾斜量の２倍の量と、第１および第２検査治具相対傾斜量と、第１および第２基準面相対傾斜量の和（以下、基準面相対傾斜量、と略す、）との総和となる。
ここで、第１相対傾斜量を求め、回転テーブルを略１８０度回転させた後、第２相対傾斜量を求めるので、第１および第２検査治具相対傾斜量は、互いに正負が異なる等しい量となり、これらの和はゼロになる。
基準面相対傾斜量は、第１ゲージブロックの第１および第２基準面間の寸法と第２ゲージブロックのそれとの差（以下、基準面間寸法差、と略す）に比例した量となる。第１および第２ゲージブロックは、それぞれの第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工されているので、それらの値から基準面間寸法差および基準面相対傾斜量を計算により容易に求める事ができる。
したがって、第１および第２相対傾斜量を前述した方法により測定した後、これらの量の和を求め、この和と基準面相対傾斜量との差を求めた後、この差を２で除することにより、コラム相対傾斜量、つまり、回転テーブルの回転軸とコラムの検査治具軸線との相対傾斜量を求めることができる。
【００１４】
この相対傾斜量の測定に用いられている検査治具は、円筒スコヤおよび鋼球と比べて安価で市販されている第１および第２ゲージブロックを有しており、これらのゲージブロックは、高精度に精密加工されており、その寸法精度は国家標準にトレーサブルである。
相対傾斜量を求めるときの誤差要因となりうる、円筒スコヤの軸心と直交する任意の２断面の径差に相当する基準面間寸法差は、第１ゲージブロックの第１および第２基準面間の寸法と第２ゲージブロックのそれとの差なので、中間体に対する第１および第２ゲージブロックの取り付け位置が変わってもその値は変化しない。
したがって、検査治具の製造を高精度に行う必要がないので、誰でも安価で信頼性が高い検査治具を得ることができ、しかも、この検査治具を用いて上述した方法により相対傾斜量を求めるようにしたので、回転テーブルの回転軸とコラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を高精度に求めることができる。
【００１５】
検査治具を回転テーブルから移動させることなく相対傾斜量を求めることができるので、鋼球を用いた測定のときに行っていた、回転テーブルに対して鋼球の高さを調整する工程を設ける必要がない。
各ゲージブロックの第１および第２基準面における、それぞれ１点ずつの所定位置を測定するだけなので、少ないデータ数でコラム相対傾斜量を求めることができる。
したがって、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い相対傾斜量を求めることができる。
【００１６】
本発明の真円度測定機による測定値補正方法は、前述した真円度測定機の相対傾斜量測定方法を用いて前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めた後、前記被測定物を前記回転テーブルに載置し、前記被測定物の指定測定位置における径方向座標値を前記検出器により測定して測定値を得て、測定された前記測定値から、前記指定測定位置に対応する前記相対傾斜量を差し引くことにより平行度誤差を補正することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、前述した測定方法により相対傾斜量を求めた後、被測定物を回転テーブルに載置し、被測定物の指定測定位置における径方向座標値を検出器により測定する。
この測定された測定値から、被測定物の指定測定位置に対応する相対傾斜量を差し引くことにより、平行度誤差が補正された被検査物の測定値を求めることができる。
したがって、信頼性が高い検査治具を用いて求められた相対傾斜量に基づいて、被検査物の測定結果が補正されるので、テーブル回転軸と検出器案内方向軸線との平行度誤差が補正された信頼性の高い測定値を得ることができる。
【００１８】
本発明の検査治具は、被測定物を載置する回転テーブルと、前記被測定物の各断面の真円度を測定する検出器と、この検出器を上下方向へ案内するコラムとを備えた真円度測定機において、前記回転テーブルの回転軸と前記コラムの検出器案内方向軸線との相対傾斜量を求めるために用いられる検査治具であって、柱状の中間体と、互いに平行な第１および第２基準面間の寸法が規定寸法に加工された直方体形状の第１および第２ゲージブロックとを有し、前記各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸方向と略平行になるように各ゲージブロックが中間体の両端面に密着固定されたことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、円筒スコヤおよび鋼球と比べて安価で市販されている第１および第２ゲージブロックと中間体とによって形成されているので、安価に構成できる。
しかも、第１および第２ゲージブロックは、高精度に精密加工されており、その寸法精度は国家標準にトレーサブルであるので、誰でも信頼性が高い検査治具を容易に製造することができる。
【００２０】
本発明の検査治具は、前記第１ゲージブロックと前記第２ゲージブロックとは、同一形状であることが望ましい。
この発明によれば、各ゲージブロックが同一形状なので、基準面間寸法差および基準面相対傾斜量がゼロとなり、各ゲージブロックの形状が異なる検査治具を用いる場合に比べて、相対傾斜量を容易に求めることができる。
【００２１】
本発明における、同一形状の第１および第２ゲージブロックを用いて構成された検査治具の製造方法であって、平らの作業面上にスペーサを介して前記中間体の軸線が作業面と平行となるように中間体を載置し、この中間体を挟んで第１および第２ゲージブロックを配置するとともに、各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に載置し、この各ゲージブロックを作業面上でかつ中間体に向かってスライドさせながら中間体の両端面に密着固定することを特徴とする。
この発明によれば、中間体をその軸線が作業面と平行になるように作業面上に載置し、この中間体を挟んで各ゲージブロックの第１基準面を作業面上に配置した後、各ゲージブロックを中間体に向かって作業面上をスライドさせながら中間体の両端面に密着固定すると検査治具が得られる。
したがって、各ゲージブロックの第１および第２基準面が中間体の軸線と平行となるような検査治具を確実に製造することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１および図２には、本発明の一実施形態に係るコラム相対傾斜量の測定に用いられる真円度測定機１および検査治具４が示されている。
本真円度測定機１は、図１に示すように、本体１０と、この本体１０の上面一側寄りに配置され被測定物もしくは検査治具４を回転駆動させる被測定物回転機構２０と、本体１０の上面他側寄りに配置され被測定物もしくは検査治具４の外表面位置を検出する位置検出機構３０とを備えている。説明のために、本体１０の上面で互いに直交する二方向をＸ方向、Ｙ方向とし、本体１０の上面に垂直な方向をＺ方向とする。
【００２３】
被測定物回転機構２０は、本体１０に図示しない回転駆動機構を介してテーブル回転軸Ｓ１を中心に回転可能に設けられた回転体（図示せず）と、この回転体の上面に配置され被測定物もしくは検査治具４が載置される心水平出しテーブル２１とを備えている。
心水平出しテーブル２１には、この心水平出しテーブル２１をＸ方向およびＹ方向へ移動させるＸ方向心出し調整つまみ２１１およびＹ方向心出し調整つまみ２１２が設けられている。
また、心水平出しテーブル２１上面の水平出しを行うＸ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみ（図示せず）が設けられており、被測定物もしくは検査治具４の軸心と回転体のテーブル回転軸Ｓ１を一致させることができるようになっている。
なお、回転体の回転角は、図示しないエンコーダによって検出されている。
【００２４】
位置検出機構３０は、本体１０に略垂直（Ｚ軸と略平行）に立設された直方体形状を有するコラム３１と、このコラム３１の検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って昇降可能に設けられたスライダ３２と、このスライダ３２にＸ方向へ摺動可能に設けられた水平アーム３３と、この水平アーム３３の先端側に検出器ホルダ３４を介して取り付けられた検出器３５とを備えている。
コラム３１は、Ｘ方向と略直交するＸ方向基準面３１１と、Ｙ方向と略直交するＹ方向基準面３１２とを備えている。
このＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２によって、スライダ３２が検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って昇降されるようになっている。
なお、検出器案内方向軸線Ｓ２は、本体１０に備えられたコラム傾斜調整機構１１により、Ｘ方向およびＹ方向に対する傾斜角度を調整できるようになっている。
【００２５】
検査治具４は、図２に示すように、円筒形状を有する中間体としての円筒４０と、この円筒４０の両端に密着された直方体形状を有する第１ゲージブロック４１および第２ゲージブロック４２とを備えている。
各ゲージブロック４１，４２は、第１基準面４１１，４１２とこれに平行な第２基準面４２１，４２２との距離Ｌ１，Ｌ２が同一寸法Ｌとなるように同一形状に加工されている。
各ゲージブロック４１，４２は、第１基準面４１１，４２１が同一面となるとともに、各ゲージブロック４１，４２の中心と円筒４０の軸心である検査治具軸線Ｓ３とが一致するように、円筒４０の両端に密着されている。
【００２６】
この検査治具４を用いて、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを測定する方法について説明する。
図１に示すように、心水平出しテーブル２１上に、検査治具４の第１ゲージブロック４１を載置した後、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが略一致するようにＸ方向心出し調整つまみ２１１、Ｙ方向心出し調整つまみ２１２、Ｘ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみにより調整を行う。
たとえば、円筒４０における任意の断面の真円度を測定し、その測定結果に基づきＸ方向心出し調整つまみ２１１、Ｙ方向心出し調整つまみ２１２、Ｘ方向傾斜調整つまみ２１３およびＹ方向傾斜調整つまみを操作し、心水平出しテーブル２１を移動あるいは傾斜させることによりテーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とを略一致させる。
【００２７】
検査治具軸線Ｓ３とコラム３１のＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２とが略平行となるように、コラム傾斜調整機構１１を用いてコラム３１の傾斜角度を調整する。
たとえば、検査治具４が回転しないように心水平出しテーブル２１を固定した後、スライダ３２を円筒４０上の上端近傍の任意の測定位置から下端近傍の任意の測定位置まで検出器案内方向軸線Ｓ２に沿って下降させながら測定子３５１の変位を測定する。この測定結果に基づきコラム傾斜調整機構１１を用いてコラム３１の傾斜角度を調整することにより、検査治具軸線Ｓ３とＸ方向基準面３１１およびＹ方向基準面３１２とを略平行にする。
【００２８】
各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１とＸ方向基準面３１１とが略平行となるように心水平出しテーブル２１を調整する。
たとえば、検出器３５の測定子３５１を第１基準面４１１に当接させた状態で心水平出しテーブル２１を回転させ測定子３５１の変位を測定する。
この測定値が最小のときが第１基準面４１１とＸ方向基準面３１１とが略平行となるので、その位置で心水平出しテーブル２１を固定する。
このときの状態を回転角０度状態とする。
【００２９】
図３には、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の相対変位量（以下、コラム相対変位量、と略す）Ｃの測定方法を示す概念図が示されている。
ここでは、テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２および検査治具軸線Ｓ３の両方がＸ方向に傾斜している場合について説明していく。
印Ｍは、検査治具４が１８０度回転したことを理解しやすくするために用いた目印である。
テーブル回転軸Ｓ１と平行な仮想軸線Ｓ１１は、コラム相対変位量Ｃを理解しやすくするために用いたものである。
したがって、印Ｍおよび仮想軸線Ｓ１１はいずれも実際には存在しないものである。
【００３０】
回転角０度状態で、測定子３５１を原点位置から第１ゲージブロック４１の第１基準面４１１上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１１を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ１とする。
測定子３５１を第１基準面４１１からそのまま上昇させ、第２ゲージブロック４２の第１基準面４２１上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１２を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ２とする。
以上の過程において、測定子３５１を、ポイントＰ１，Ｐ２間のＺ方向の距離が移動距離Ｈとなるように移動させる。
測定子３５１を第１基準面４２１から離した後下降させ原点位置に移動させる。
【００３１】
変位Ｋ１１，Ｋ１２、コラム相対変位量Ｃ、ポイントＰ１とポイントＰ２とのＸ方向の相対変位量Ｘ１を用いて、回転角０度状態での検査治具軸線Ｓ３と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の第１相対変位量Ｒ（０）を表すと、
Ｒ（０）＝Ｋ１２−Ｋ１１・・・（１）
Ｋ１２＝Ｘ１＋Ｋ１１＋Ｃ・・・（２）
が成り立つので、（１），（２）より、
Ｒ（０）＝Ｃ＋Ｘ１・・・（３）
となる。
【００３２】
心水平出しテーブル２１を１８０度回転させることにより、第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２とＸ方向基準面３１１とを略平行にする。このときの状態を回転角１８０度状態とする。
測定子３５１を原点位置から第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１３を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ３とする。
測定子３５１を第２基準面４１２からそのまま上昇させ、第２ゲージブロック４２の第２基準面４２２上の所定の測定位置に当接させるように移動させ変位Ｋ１４を求める。このときの測定子３５１の位置をポイントＰ４とする。
以上の過程において、測定子３５１を、ポイントＰ３，Ｐ４間のＺ方向の距離が移動距離Ｈとなるように移動させる。
測定子３５１を第２基準面４２２から離した後下降させ原点位置に移動させる。
【００３３】
変位Ｋ１３，１４、コラム相対変位量Ｃ、ポイントＰ３とポイントＰ４とのＸ方向の相対変位量Ｘ２（ただし、Ｘ２＜０）を用いて、回転角１８０度状態での検査治具軸線Ｓ３と検出器案内方向軸線Ｓ２とのＸ方向の第２相対変位量Ｒ（１８０）を表すと、
Ｒ（１８０）＝Ｋ１４−Ｋ１３・・・（４）
Ｋ１４＝Ｋ１３＋Ｘ２＋Ｃ・・・（５）
が成り立つので、（４），（５）より、
Ｒ（１８０）＝Ｃ＋Ｘ２・・・（６）
となる。
【００３４】
各ゲージブロック４１，４２は、それぞれの第１基準面４１１，４２１と第２基準面４１２，４２２との距離Ｌ１，Ｌ２との間に、Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ、が成り立つように加工されているので、
Ｘ１＝−Ｘ２・・・（７）
が成り立つ。
したがって、第１相対変位量Ｒ（０）と第２相対変位量Ｒ（１８０）からコラム相対変位量Ｃを求めるために、Ｒ（０）＋Ｒ（１８０）を計算すると、（３），（６），（７）から
Ｒ（０）＋Ｒ（１８０）＝２Ｃ・・・（８）
となる。
したがって（８）から、コラム相対変位量Ｃは、
Ｃ＝（Ｒ（０）＋Ｒ（１８０））／２・・・（９）
となる。
このコラム相対変位量Ｃを測定子３５１の移動距離Ｈで除することにより、コラム相対傾斜量Ｑを算出し、このコラム相対傾斜量Ｑを図示しない記憶装置に記憶させる。
【００３５】
真円度測定機１を用いて被測定物の測定を行う場合には、検査治具４を用いて前述した手順により、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを求めた後、検査治具４を心水平出しテーブル２１から取り除く。被測定物を心水平出しテーブル２１に載置した後、検出器３５を指定測定位置に移動させ径方向座標値の測定を行う。
この測定により得られた測定値から、指定測定位置に対応するコラム相対傾斜量Ｑを差し引くことにより、テーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２との平行度誤差が補正された被検査物の測定値を求めることができる。
【００３６】
前述したコラム相対傾斜量の測定に用いられる検査治具４は、各ゲージブロック４１，４２が同一形状を有するときには、それぞれのゲージブロックの第１基準面４１１，４２１が同一面もしくは平行である必要があり、この条件を満たさない検査治具を用いた場合、コラム相対傾斜量Ｑを正確に求めることができないことがある。
【００３７】
たとえば、図４には、第２ゲージブロック４２が第１ゲージブロック４１に対して傾き第１基準面４１１，４２１が平行でない検査治具４Ａの正面図が示されている。
ポイントＰ１１〜Ｐ１４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
検査治具４Ａを用いて前述した方法によりコラム相対傾斜量Ｑの測定を行うと、ポイントＰ１２，Ｐ１４間の距離Ｔ２がポイントＰ１１，Ｐ１３間の距離Ｔ１よりも長くなるのでコラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
【００３８】
図５（Ａ）〜（Ｄ）には、第２ゲージブロック４２がＺ方向に平行な軸で回転され第１基準面４１１，４２１が平行でない検査治具４Ｂの上面図が示されている。
図５（Ａ），（Ｂ）に示されたポイントＰ２１〜Ｐ２４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
図５（Ｃ），（Ｄ）に示されたポイントＰ３１〜Ｐ３４は、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行であるが、テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２がＹ方向へ傾斜量Ｙ１だけ傾斜しているときの、回転角０度状態および回転角１８０度状態での測定時における測定子３５１の位置を表す。
【００３９】
検査治具４Ｂを用いて前述した方法によりコラム相対傾斜量Ｑの測定を行うと、テーブル回転軸Ｓ１と検査治具軸線Ｓ３とが平行なときには、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、ポイントＰ２１とポイントＰ２３とのＸ方向の相対変位量Ｘ２１と、ポイントＰ２２とポイントＰ２４とのＸ方向の相対変位量Ｘ２２は等しくならない。
したがって、コラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
【００４０】
テーブル回転軸Ｓ１に対して検出器案内方向軸線Ｓ２がＹ方向に傾斜量Ｙ１だけ傾斜していると、図５（Ｃ），（Ｄ）に示すように、ポイントＰ３１とポイントＰ３３とのＸ方向の相対変位量Ｘ３１と、ポイントＰ３２とポイントＰ３４とのＸ方向の相対変位量Ｘ３２は等しくならない。
したがって、コラム相対変位量Ｃおよびコラム相対傾斜量Ｑを正しく求めることができない。
以上のことから、コラム相対傾斜量Ｑを正しく求めるためには、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面もしくは平行である検査治具を用いる必要がある。
【００４１】
各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面となるような検査治具４の製造方法を図６を用いて説明する。
円筒４０を、この円筒４０の軸位置に備えられた検査治具軸線Ｓ３と、平面マスタ５０に備えられた作業面５０Ａとが平行となるように、支持スペーサ５１を介して平面マスタ５０に載置する。
円筒４０は、直径がＥとなるように加工されているとともに、両端面に検査治具軸線Ｓ３に垂直な密着面４０１，４０２を備えている。
支持スペーサ５１は、円筒４０を作業面５０Ａ上で支持したときに、円筒４０と作業面５０Ａとの距離Ｆが、Ｆ＝（Ｌ−Ｅ）／２となるように加工されている。なお、Ｌは第１ゲージブロック４１（第２ゲージブロック４２）の第１基準面４１１（４２１）と第２基準面４１２（４２２）との距離である。
【００４２】
円筒４０を挟んで、各ゲージブロック４１，４２を配置し、それぞれの第１基準面４１１，４２１を作業面５０Ａ上に載置する。
このとき、各ゲージブロック４１，４２に備えられた固定座４１３，４２３は、円筒４０の密着面４０１，４０２と対向するように配置されている。
第１ゲージブロック４１を第１基準面４１１と作業面５０Ａが離れないように密着面４０１に向かってスライドさせ、固定座４１３を密着面４０１に押し付け密着させることにより、第１ゲージブロック４１を円筒４０に固定する。
第２ゲージブロック４２を第１基準面４２１と作業面５０Ａが離れないように密着面４０２に向かってスライドさせ、固定座４２３を密着面４０２に押し付け密着させることにより、第２ゲージブロック４２を円筒４０に固定する。
【００４３】
前述のような実施形態によれば、次のような効果がある。
第１ゲージブロック４１の第１基準面４１１上のポイントＰ１を測定したときの変位Ｋ１１と、第２ゲージブロック４２の第１基準面４２１上のポイントＰ２を測定したときの変位Ｋ１２から第１相対変位量Ｒ（０）を求め、検査治具４を１８０度回転させた後、第１ゲージブロック４１の第２基準面４１２上のポイントＰ３を測定したときの変位Ｋ１３と、第２ゲージブロック４２の第２基準面４２２上のポイントＰ４を測定したときの変位Ｋ１４から第２相対変位量Ｒ（１８０）を求め、これら第１相対変位量Ｒ（０）および第２相対変位量Ｒ（１８０）からコラム相対傾斜量Ｑを求めるようにしたので、検査治具４を用いてテーブル回転軸Ｓ１と検出器案内方向軸線Ｓ２とのコラム相対傾斜量Ｑを容易に求めることができる。
【００４４】
検査治具４を、円筒４０と第１および第２ゲージブロック４１，４２とから構成したので、つまり、安価でかつ高精度加工された第１および第２ゲージブロック４１，４２を用いて構成したので安価に構成できる。
しかも、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が平行ならば、円筒４０に対する各ゲージブロック４１，４２の取り付け位置はコラム相対傾斜量Ｑの測定誤差要因にはならないので、誰でも信頼性が高い検査治具４を容易、かつ、安価に製造することができる。
【００４５】
検査治具４を心水平出しテーブル２１から移動させることなくコラム相対傾斜量Ｑを求めることができるので、鋼球を用いた測定のときに行っていた、回転テーブルに対しての鋼球の高さを調整する工程を設ける必要がない。
ポイントＰ１〜Ｐ４の４点を測定するだけなので、少ないデータ数でコラム相対傾斜量Ｑを求めることができる。
各ゲージブロック４１，４２は、同一形状に加工されているので、各ゲージブロックの形状が異なる場合に比べて、コラム相対傾斜量Ｑを容易に求めることができる。
また、測定にあたっては、信頼性が高い検査治具４を用いて求められたコラム相対傾斜量Ｑに基づいて被検査物の測定結果を補正するようにしたので、平行度誤差が補正された信頼性の高い測定値を得ることができる。
【００４６】
検査治具４は、円筒４０を検査治具軸線Ｓ３が作業面５０Ａと平行となるように平面マスタ５０に載置し、この円筒４０を挟んで各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１を作業面５０Ａ上に配置した後、各ゲージブロック４１，４２を作業面５０Ａ上をスライドさせながら円筒４０の密着面４０１，４０２にリンギングさせ固定することにより製造されるので、各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が、検査治具軸線Ｓ３と平行となるような検査治具４を確実に製造することができる。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれるものである。
たとえば、コラム相対傾斜量の測定に各ゲージブロック４１，４２の第１基準面４１１，４２１が同一面となるような検査治具４を用いたが、図７（Ａ）に示すように、同一形状のゲージブロック４１Ｃ，４２Ｃを用いて、第１基準面４１１Ｃ，４２１Ｃが同一面ではないが平行となるように製造された検査治具４Ｃを用いることもできる。
また、図７（Ｂ）に示すように、Ｌ１１≠Ｌ１２となるように形成されたゲージブロック４１Ｄ，４２Ｄを用いて、第１基準面４１１Ｄ，４２１Ｄが平行となるように製造された検査治具４Ｄを用いてもよい。
要は、第１基準面と第２基準面とが平行であるとともに、この両者間の距離が既知の値である２つのゲージブロックを用いて、各ゲージブロックの第１基準面が平行となるように製造された検査治具であればよい。
【００４８】
前記実施形態では、テーブル回転軸Ｓ１に対する検出器案内方向軸線Ｓ２のＸ方向の傾斜についてのコラム相対傾斜量Ｑを求めたが、同様の方法を用いてＹ方向のコラム相対傾斜量Ｑ１を求める構成としてもよい。
また、テーブル回転軸Ｓ１に対する検出器案内方向軸線Ｓ２のＸ方向およびＹ方向の傾斜についてのコラム相対傾斜量Ｑ，Ｑ１を求める構成としてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、安価であるとともに、煩雑な工程を増やすことなく、信頼性が高い測定結果を得ることができる真円度測定機の相対傾斜量測定方法、測定値補正方法、検査治具およびその製造方法を提供することができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る真円度測定機の正面図。
【図２】前記実施形態における検査治具の斜視図。
【図３】前記実施形態における傾斜量測定方法の概念図。
【図４】前記実施形態における検査治具の正面図。
【図５】前記実施形態における検査治具の上面図。
【図６】前記実施形態における検査治具製造方法の説明図。
【図７】検査治具の異なる例を示す正面図。
【符号の説明】
１              真円度測定機
４              検査治具
２１            心水平出しテーブル（回転テーブル）
３０            コラム
３５            検出器
４０            円筒（中間体）
４１            第１ゲージブロック
４２            第２ゲージブロック
５０Ａ          作業面
５１            支持スペーサ
４０１，４０２  密着面（中間体の端面）
４１１，４２１  第１基準面
４１２，４２２  第２基準面
Ｑ              コラム相対傾斜量（相対傾斜量）
Ｓ１            テーブル回転軸（回転軸）
Ｓ２            検出器案内方向軸線
Ｓ３            検査治具軸線（検査治具の軸線）
【図１】
2004163358.tif 000003
【図２】
2004163358.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004163358.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004163358.tif 000009