(57)【要約】【課題】薄板の圧着接合時にシワ不良の発生を抑制することが可能な積層帯材を提供する。【解決手段】真空槽内で、第一の帯材と第二の帯材との被接合面に、活性化処理施した後、該活性化面同士をロールによって圧着接合して積層箔を得る方法において、急峻度が０．５％以下の帯材を用いる積層帯材の製造方法である。好ましくは、活性化処理は第一の帯材の被接合面と、第二の帯材の被接合面の何れか若しくは両方に、乾式成膜層を付着形成して、活性化面を形成する積層帯材の製造方法である。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内で、第一の帯材と第二の帯材との被接合面に、活性化処理施した後、該活性化面同士をロールによって圧着接合して積層箔を得る方法において、前記の第一の帯材と第二の帯材の急峻度が０．５％以下の帯材を用いることを特徴とする積層帯材の製造方法。
【請求項２】
活性化処理は第一の帯材の被接合面と、第二の帯材の被接合面の何れか若しくは両方に、乾式成膜層を付着形成して、活性化面を形成することを特徴とする請求項１に記載の積層帯材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シワ発生を抑制することが可能な積層帯材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
薄い材料同士を接合する技術として、特開２００１−１６２３８２号に開示されるように本発明者が提案する蒸着ロール接合技術がある。この方法は、真空槽内で活性面を利用して薄い材料同士を圧着接合することから、比較的低荷重での接合が可能であり、そりや残留歪の抑制等の観点において優れている。
このため、例えば電子部品の回路形成するような用途に用いられる積層帯材を得る方法として好適である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法で積層箔を得ようとすると、シワの発生による不良が多く、安定生産を阻害するものとなっていた。
特に、厚さが５００μｍ以下の薄い帯材同士の接合では、このシワが発生することで、シワの部分で二つの帯材の接合強さが弱くなったり、また、例えば電子回路用の用途に用いた場合、回路をエッチングで形成しようとすると、シワの部分にエッチング液が溜まったり残留したりして、所望の配線の形状が得られない等の問題を生じた。
本発明の目的は、薄板の圧着接合時にシワ不良の発生を抑制することが可能な積層帯材を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者はこのシワ発生の問題を解決しようと、製造条件や素材について種々の検討を行ってみた所、素材として用いる帯材の形態がシワ不良の発生の大きな要因となっていることを知見し、本発明に到達した。
即ち本発明は、真空槽内で、第一の帯材と第二の帯材との被接合面に、活性化処理施した後、該活性化面同士をロールによって圧着接合して積層箔を得る方法において、急峻度が０．５％以下の帯材を用いる積層帯材の製造方法である。
好ましくは、活性化処理は第一の帯材の被接合面と、第二の帯材の被接合面の何れか若しくは両方に、乾式成膜層を付着形成して、活性化面を形成する積層帯材の製造方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の重要な特徴は、素材として用いる帯材の形態に着目し、素材の急峻度を特定量以下にすると、圧着された積層箔のシワ発生が抑制できたことにある。
以下に本発明を詳しく説明する。
先ず、本発明では素材の表面形態ができる限り平坦であることが必要であり、この平坦を示す指標として急峻度を用いた。この急峻度とは、帯材の端伸びや中伸び等の平坦度不良を定量的に表すもので、波高さＲと波ピッチＬとの比λ＝Ｒ／Ｌの百分率で定義されたものである（日本塑性加工学会編、塑性加工用語辞典（１９９８年）による）。
本発明においては、帯材の長さ５００ｍｍ〜１０００ｍｍ、幅２００ｍｍ〜６００ｍｍの範囲において、レーザ変位計により形状を測定し、長手方向の急峻度を求めた。
【０００６】
ところで、本発明で平坦度を示す指標として急峻度を規定した理由は、接合する被表面同士では、その被接合表面の一部の平坦度を測定していても、それが帯材表面全体の平坦度を表すものとは言い難いからである。
例えば、圧延された金属帯材では、圧延ロールがクラウンとなっている場合があったり、圧下が幅方向の両端部で異なっていたりすると、圧延された帯材も表面全体で見れば、平坦度が損なわれている場合があり、特に薄い帯材同士の圧着では、この帯材の形態がシワ不良に直接作用するため、本発明では急峻度を平坦度を示す指標として用いた。
【０００７】
以上説明する急峻度が０．５％以下となる帯材を本発明では使用する。
これは、急峻度が０．５％を超えると例えば５００μｍ以下の薄い帯材同士をロールで圧着接合すると、シワが発生し易くなるためである。望ましい急峻度は０．３％以下である。急峻度が０．３％以下であれば、例えば３００μｍ以下の薄い帯材であってもシワの発生が抑制できる。
つまり、本発明の方法は厚みが５００μｍ以下の薄い帯材を素材とする積層帯材の製造方法として好適である。
【０００８】
そして、本発明では急峻度が０．５％以下となるような二つの帯材を準備し、これらを真空槽内で活性化処理した後、ロールにて圧着接合する。
帯材の材質としては純銅、銅合金、純鉄、鉄合金、アルミ等の金属のほか、ＰＥＴフィルム等の樹脂系の材質でも良く、急峻度が０．５％以下の帯材であれば良く、上述のように厚みが５００μｍ以下の薄い帯材であれば更に望ましい。
【０００９】
本発明では、上述するように二つの帯材をロールでの圧着接合して積層箔とするが、二つの帯材（第一の帯材と第二の帯材）の被接合面の何れか若しくは両方の表面に活性化処理を行う。
活性化処理方法には二つの方法があり、本発明者らが提案した、特開２００１−１６２３８２号に示されるような乾式成膜により活性面を形成する方法のほか、特公平７−５５３８４号に示されるようなドライエッチング法により活性面を形成しても良い。
特に前者の方法は、活性化による接合を行うとともに帯材とは異なった材質の中間層を形成することができるため、プリント基板用途等で求められているエッチングバリア層を有する三層の積層材を容易に得ることができる点で優れている。
【００１０】
なお、活性化処理をすべき面を帯材の一方もしくは両方のどちらでもよいとしたのは、例えば帯材の一方が別の工程で既に活性化されていたり、また材質が既に比較的活性な状態である場合には、特に活性化処理を要しないからである。但し、接合強度を高めたり、汚染物質による接合力不足を回避するためには、活性化処理は厚着接合の直前に、接合する両方の帯材の被接合面に対して行うのが最適である。
また、真空槽内で実施するのは、活性化処理した後の帯材の表面の酸化や異物の付着を防ぐためであり、厳密な真空である必要はなく、例えば１×１０−３Ｐａ以上のアルゴンガス、クリプトンガス等の不活性ガスや窒素ガス、水素ガス、酸素ガス等の充填雰囲気であっても良い。
【００１１】
【実施例】
表１に示すような素材を用いて、前記、特開２００１−１６２３８２号に示す乾式成膜層を付着形成して、活性化面を形成する方法にて圧着接合を試みた。この結果を表１に示す。
一例として、図１及び図２は実施例▲１▼の第一の帯材（Ｃｕ、厚さ３５μｍ、急峻度０．３８％）の形状の測定結果を示す。図１は帯材の形状の三次元表示を示す図であり、図２は図１中に示すＡ，Ｂ，Ｃの個所の断面形状を示す図として示しておく。ここでは、幅２７０ｍｍ、長さ８００ｍｍの範囲について形状測定を行ない、幅方向全域の急峻度を算出し、最も高い値を代表値としている。
【００１２】
【表１】
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【００１３】
実施例▲１▼〜▲４▼においては、肉眼でシワの発生は観察されず、比較例▲１▼〜▲４▼においては肉眼でシワが確認された。
また、実施例▲４▼及び比較例▲１▼〜▲３▼のエッチングテストを行った結果、実施例▲４▼では微細な配線の加工を行うことができたが、比較例▲１▼〜▲３▼においては、何れも微細な配線の形成はできなかった。
【００１４】
【発明の効果】
本発明によれば薄い帯材を圧着接合する際に生じるシワの問題を飛躍的に改善することができ、美観や微細加工性に優れた積層帯材の製造に欠くことのできない技術となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】帯材の急峻度算出の元になる形状の測定結果の一例である。
【図２】帯材の急峻度算出の元になる形状の測定結果の一例である。
【図１】
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【図２】
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