(57)【要約】【課題】設置スペースを一層低減できる積重ね方式の吸着処理装置であって、装置構成が簡単で且つ流体中の不純物を一層確実に吸着処理することが出来る吸着処理装置、ならびに、当該吸着処理装置に好適に使用できる吸着処理ユニットを提供する。【解決手段】吸着処理ユニット（１Ａ）は、流体中の不純物を吸着処理するユニットであり、吸着剤が充填された柔軟な流体透過性のケーシング（２）と、周面に多数の吐出孔が設けられ且つケーシング（２）内の吸着剤に埋設状態で挿通された流体供給用のパイプ（３）とから成り、パイプ（３）は、ケーシング（２）の側面部（２１）から横向きに挿通される。そして、吸着処理装置は、上記の吸着処理ユニット（１Ａ）を複数基積み重ねて構成される。【選択図】        図１
2004202433.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体中の不純物を吸着処理する吸着処理ユニットであって、吸着剤が充填された柔軟な流体透過性のケーシングと、周面に多数の吐出孔が設けられ且つ前記ケーシング内の吸着剤に埋設状態で挿通された流体供給用のパイプとから成り、当該パイプは、前記ケーシングの側面部から横向きに挿通されていることを特徴とする吸着処理ユニット。
【請求項２】
ケーシングは、略鉛直方向を厚さ方向とする扁平な形状に形成され、少なくとも側面部が流体透過性になされている請求項１に記載の吸着処理ユニット。
【請求項３】
ケーシングは、側面部の全ての部位が予め実験的に求められた距離以上にパイプの各吐出孔から離間し且つ流体透過性になされている請求項１又は２に記載の吸着処理ユニット。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の吸着処理ユニットを複数基積み重ねて構成されていることを特徴とする吸着処理装置。
【請求項５】
最上段に位置する吸着処理ユニットの上には、錘部材が配置され、各吸着処理ユニットにおいては、前記錘部材による加圧および各吸着処理ユニットの積重ねにより、吸着剤が実質的に非流動状態に保持されている請求項４に記載の吸着処理装置。
【請求項６】
最上段に位置する吸着処理ユニットのケーシングの上面部および最下段に位置する吸着処理ユニットのケーシングの下面部がそれぞれ流体非透過性になされている請求項４又は５に記載の吸着処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着処理ユニット及び吸着処理装置に関するものであり、詳しくは、例えば空気中の悪臭ガスや有害ガスを吸着処理する吸着処理ユニットであって、柔軟なケーシングに吸着剤を充填して成る吸着処理ユニット、および、当該吸着処理ユニットを複数基積み重ねて成る吸着処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
活性炭などの吸着剤を利用した吸着処理装置は、例えば、空気中の悪臭ガスや有害ガスを除去する空気の清浄化処理などに使用される。上記の吸着処理装置としては、活性炭が充填された流体透過性の柔軟な袋（ケーシング）と、周面に多数の孔が設けられ且つ袋の内部に上方から挿入された流体供給用のパイプとから構成され、空気などの被処理流体をパイプから袋内に供給し、活性炭の充填領域を通過させることにより、悪臭ガス等の不純物を吸着し、清浄化された空気を袋の外周面から排出する様にした装置が知られている。斯かる装置は、構成が簡単であり且つ袋を折り畳むことが出来るため、部材ごとに小さなスペースに保管でき、しかも、使用時には適用場所に部材単位で搬入して簡単に設置することが出来る（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２８６７２０号公報。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の吸着処理装置は、袋の上部から被処理流体を供給する縦型方式であるため、多量の流体を処理する場合は、床面などの設置場所に対し、平面的に多数配置する必要があり、より多くの設置面積が必要となる。もっとも、設置面積を少なくするため、上記の吸着処理装置を上下に積み重ね、流体供給用パイプを上下で連結した装置も考えられるが、積重ね方式の装置においては、上下の装置間でのパイプの漏洩のない接続構造が必要となる等、構造が複雑化し、設備費が増大すると言う問題がある。
【０００５】
しかも、上記の吸着処理装置においては、積み重ねるにしても、流体供給用パイプが上方から挿入されており、各袋が独立しているため、処理の進行に伴い、流体の通過によって袋内の活性炭が流動し、活性炭の分布に偏りが生じ、また、活性炭の見かけ体積の減少や袋の膨張から袋の上部に空隙が発生する。その結果、流体の一部は活性炭に十分に接触することなく排出され、処理効率が低下すると言う問題を生じる。更に、袋内部における流体の片流れにより、全ての活性炭が有効に活用されないため、活性炭の交換頻度が増加し、その結果、ランニングコストが増加するという問題も惹起する。
【０００６】
本発明は、上記の実情に鑑みなされたものであり、その目的は、設置スペースを一層低減できる積重ね方式の吸着処理装置であって、装置構成が簡単で且つ流体中の不純物を一層確実に吸着処理することが出来る吸着処理装置、ならびに、当該吸着処理装置に好適に使用できる吸着処理ユニットを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明の吸着処理ユニットは、流体中の不純物を吸着処理する吸着処理ユニットであって、吸着剤が充填された柔軟な流体透過性のケーシングと、周面に多数の吐出孔が設けられ且つ前記ケーシング内の吸着剤に埋設状態で挿通された流体供給用のパイプとから成り、当該パイプは、前記ケーシングの側面部から横向き挿通されていることを特徴とする。すなわち、上記の吸着処理ユニットにおいて、ケーシングに対して流体供給用のパイプが横向きに挿通された構造は、当該吸着処理ユニットの複数の直接的な積重ねを可能にする。
【０００８】
また、本発明の吸着処理装置は、上記の吸着処理ユニットを複数基積み重ねて構成されていることを特徴とし、各吸着ユニットにおいて流体供給用のパイプがケーシングの側面部から略水平に挿通された構造は、上下の吸着処理ユニット間でのパイプの直接接続がなく、そして、各吸着処理ユニットの直接的な積重ね構造は、ケーシングの膨張を抑制し、吸着剤を実質的に非流動状態に保持する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、吸着処理装置の構成要素としての本発明に係る吸着処理ユニットの一例の外観を示す斜視図であり、図２は、図１の吸着処理ユニットの内部構造を示す水平断面図である。また、図３は、本発明に係る吸着処理装置の一例の外観を示す斜視図である。
【００１０】
先ず、吸着処理装置を構成する本発明の吸着処理ユニットについて説明する。本発明の吸着処理ユニットは、流体中の不純物を吸着処理する吸着処理ユニットであり、図１及び図２に符号（１Ａ）にて示されている。本発明において、不純物を含む処理すべき流体としては、悪臭ガスや有害ガスを含む空気、貯蔵タンク等のベントガス、種々の悪臭ガス、腐食性ガス等の気体の他、廃水、汚染地下水、汚染水などの液体が挙げられる。
【００１１】
本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）は、図示する様に、吸着剤（１）が充填された柔軟な流体透過性のケーシング（２）と、周面に多数の吐出孔（３１）が設けられ且つケーシング（２）内の吸着剤（１）に埋設状態で挿通された流体供給用のパイプ（３）とから主に構成され、そして、パイプ（３）は、ケーシング（２）の側面部（２１）から横向きに挿通される。
【００１２】
吸着剤（１）としては、石炭系粒状炭、ヤシガラ系粒状炭、木質系粒状炭、及びそれらの硫黄添着炭、酸アルカリ添着炭、金属酸化物添着炭などの活性炭の他、コークスブリーズ、酸化カルシウム、酸化亜鉛などの各種粒状の吸着剤が挙げられる。吸着剤（１）の粒径は、０．５〜２０ｍｍ程度である。
【００１３】
ケーシング（２）は、保管、搬送の利便性を高めるため、折畳み可能な素材、典型的にはＰＶＣ、ＥＶＡ、ＥＰＴ、ＣＲ、ＰＰ、ＰＥ等の各種の合成樹脂やエラストマーのクロスによって袋状に構成される。ケーシング（２）の形状は、任意の形状に設計することが出来るが、後述する吸着処理装置として積み重ねる際の取扱い性を考慮し、通常、ケーシング（２）は、略鉛直方向を厚さ方向とする扁平な形状に形成される。典型的には、図１及び図２に示す様に、ケーシング（２）は鉛直方向を厚さ方向とする略直方体に形成される。
【００１４】
ケーシング（２）は、通常、上記の素材を袋状に縫製して作製されるが、上記の様な扁平形状の場合、処理すべき流体と吸着剤（１）との接触効率を高めるため、換言すれば、流体の滞留支管をより長くするため、その少なくとも側面部、すなわち、図示する様に直方体に形成された場合では上面部（２２）及び下面部（２３）を除く４つの側面部（２１）が流体透過性になされている。具体的には、ケーシング（２）の側面部（２１）は篩目状に構成される。斯かる篩目構造は、ケーシング（２）の素材と同様の合成樹脂やエラストマーから成る篩目構造でもよいし、また、ステンレス、チタン等の金属から成る篩目構造でもよい。篩目構造の目開き（メッシュの大きさ）は、吸着剤（１）が通過することなく且つ吸着剤（１）によって目詰まりを起こさない程度の大きさとされる。
【００１５】
なお、後述する吸着処理装置として積み重ねる場合の最上段および最下段を除く吸着処理ユニット（１Ａ）においては、ケーシング（２）の全ての面、図示した形状の場合の各側面部（２１）、上面部（２２）及び下面部（２３）とも流体透過性を備えていてもよい。更に、各側面部（２１）、上面部（２２）及び下面部（２３）を流体透過性の素材で構成され、必要に応じて所定の部位、例えば上面部（２２）又は下面部（２３）に流体非透過性のフィルムを貼着することにより、側面部（２１）だけが流体透過性になされていてもよい。
【００１６】
ケーシング（２）の一部、例えば前面部（２１ａ）には、ケーシング（２）内に吸着剤（１）を充填し、また、使用済の吸着剤（１）を取り出すための充填口（２５）が設けられる。斯かる充填口（２５）は、筒状に形成され且つワイヤー等の紐状部材で結束することにより閉じる様になされている。なお、ケーシング（２）の大きさは適宜に設計することが出来るが、取扱い性および設置スペースを考慮し、図示したケーシング（２）の場合、吸着剤（１）を充填した状態において、平面形状における縦横の長さは各々３０〜１００ｃｍ程度、厚さ（側面部（２１）の高さ）は１０〜５０ｃｍ程度に設計される。
【００１７】
上記の流体供給用のパイプ（３）としては、耐薬品性、耐熱性、耐久性に優れたステンレス製パイプや合成樹脂製パイプが使用される。パイプ（３）には、ケーシング（２）内へ被処理流体を供給するための吐出孔（３１）が多数設けられる。本発明においては、吸着処理ユニット（１Ａ）を積み重ねて使用し得る様に、パイプ（３）は、横向きに配置される必要がある。パイプ（３）の配置形態は、パイプ（３）の端部が上面部（２２）及び下面部（２３）に突出しない限り傾斜していてもよく、また、平面視した場合にパイプ（３）の一部または全体が一方の側面部（２１）に偏っていてもよいが、好ましくは、パイプ（３）は、ケーシング（２）内の吸着剤（１）に略水平に挿通され、しかも、ケーシング（２）内の略中央に挿通される。
【００１８】
具体的には、図２に示す様に、吸着処理ユニット（１Ａ）は、ケーシング（２）の略中央にパイプ（３）が挿通された構造を有する。すなわち、平面視した場合にケーシング（２）を２分割する中心線に沿って相対向する側面部（２１）、例えば前面部（２１ａ）と背面部（２１ｂ）には、円筒状の挿通口（２４）がそれぞれ設けられ、各挿通口（２４）間にパイプ（３）を架け渡し且つパイプ（３）の基端部および先端部に各挿通口（２４）をそれぞれバンド等の結束部材（４）によって結束することにより、ケーシング（２）とパイプ（３）とが一体化される。
【００１９】
上記の様にケーシング（２）とパイプ（３）とを一体化することにより、ケーシング（２）内でのパイプ（３）の遊動を防止でき、パイプに対する相対的な吸着剤（１）の偏りを防止できる。なお、パイプ（３）は、その先端部、例示した吸着処理ユニット（１Ａ）においてはケーシング（２）の背面部（２１ｂ）側の端部が閉塞され、基端部に被処理流体を供給する様になされている。また、ケーシング（２）の内容積、処理速度、取扱い性を考慮し、通常、パイプ（３）の直径（内径）は１０〜２００ｍｍ程度とされ、吐出孔（３１）の直径は０．２〜１０ｍｍ程度、吐出孔（３１）の数は１〜３０個／ｃｍ２程度とされる。
【００２０】
また、本発明においては、ケーシング（２）内に供給した被処理流体をショートパスさせることなく均一に吸着剤（１）と接触させるため、前面部（２１ａ）及び背面部（２１ｂ）以外の側面部（２１）だけが流体透過性になされており、ケーシング（２）内に位置するパイプ（３）の略全長に亙って吐出孔（３１）が設けられていてもよいが、パイプ（３）における吐出孔（３１）の配置によっては全ての側面部（２１）が流体透過性を備えていてもよい。
【００２１】
すなわち、本発明の好ましい態様においては、ケーシング（２）内に供給した被処理流体をショートパスさせることなく均一に吸着剤（１）と接触させ、しかも、処理効率を高めるため、ケーシング（２）は、側面部（２１）の全ての部位が予め実験的に求められた距離（Ｌ１）以上にパイプ（３）の各吐出孔（３１）から離間し且つ側面部（２１）の全ての部位が流体透過性になされている。
【００２２】
換言すれば、図示した吸着処理ユニット（１Ａ）の場合、ケーシング（２）の前面部（２１ａ）及び背面部（２１ｂ）を含む全ての側面部（２１）は、流体透過性を有し、そして、ケーシング（２）の前面部（２１ａ）に最も近接するパイプ（３）の吐出孔（３１）から前面部（２１ａ）までの距離（Ｌ２）、および、ケーシング（２）の背面部（２１ｂ）に最も近接するパイプ（３）の吐出孔（３１）から背面部（２１ｂ）までの距離（Ｌ２）は、各々、パイプ（３）の周面からケーシング（２）の側面部（２１）（前面部（２１ａ）及び背面部（２１ｂ）以外の側面部）までの距離（Ｌ１）と同等以上の距離に設定される。なお、上記の距離（Ｌ１）は、被処理流体の種類、被処理流体中の不純物濃度、吸着剤（１）の種類などに基づき、予め実験的に求められた設計距離である。
【００２３】
本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）は、装置構成が簡単であり、しかも、ケーシング（２）を折り畳むことが出来るため、部材ごとに小さなスペースに保管でき、そして、使用時には適用場所に部材単位で搬入して簡単に設置することが出来る。すなわち、吸着処理ユニット（１Ａ）は、先ず、各挿通口（２４）からケーシング（２）の内部にパイプ（３）を挿通し、結束部材（４）により挿通口（２４）をパイプ（３）に締め付けてパイプ（３）をケーシング（２）に固定した後、充填口（２５）から吸着剤（１）をケーシング（２）に充填して充填口（２５）を封止することにより組み立てることが出来る。
【００２４】
本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）を使用して例えば気体を処理する場合は、処理すべき気体をパイプ（３）の基端部側からブロワー等の送風装置によって供給する。処理すべき気体は、パイプ（３）の吐出孔（３１）からケーシング（２）内に供給され、吸着剤（１）の間を通過して例えば篩目構造のケーシング（２）の側面部（２１）から排出される。そして、吸着剤（１）の間を通過する間、吸着剤（１）が気体中の不純物を吸着するため、ケーシング（２）の側面部（２１）からは清浄化された気体が排出される。
【００２５】
本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）は、勿論、単独で使用することも出来るが、後述する様に複数基を組み合わせることにより、設置面積が少なく且つ吸着能力の一層大きな吸着処理装置を簡単に構成することが出来る。すなわち、本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）は、流体供給用のパイプ（３）がケーシング（２）の側面部（２１）から略水平に挿通されているため、ユニット間における特別な接続構造を採用することなく、簡単に積み重ねることが出来、一層コンパクトな吸着処理装置を構成することが出来る。
【００２６】
次に、上記の吸着処理ユニット（１Ａ）を利用したコンパクトな吸着処理装置について説明する。本発明の吸着処理装置は、図３に示す様に、上記の様な各態様の吸着処理ユニット（１Ａ）を上下方向に複数基積み重ねて構成される。吸着処理装置においては、積み重ねる吸着処理ユニット（１Ａ）の数に特に制限はないが、安定性や処理能力の観点から、通常は吸着処理ユニット（１Ａ）を３〜１０基程度、例えば図示する様に５基積み重ねられる。各吸着処理ユニット（１Ａ）は、流体の供給を容易にするため、パイプ（３）を同一方向に向けて配置される。
【００２７】
本発明の吸着処理装置においては、各吸着処理ユニット（１Ａ）での吸着剤（１）の流動を防止し、ケーシング（２）内の吸着剤（１）の偏りを防止するため、最上段に位置する吸着処理ユニット（１Ａ）の上には、錘部材（５）が配置され、各吸着処理ユニット（１Ａ）においては、錘部材（５）による加圧および各吸着処理ユニット（１Ａ）の積重ねにより、吸着剤（１）が実質的に非流動状態に保持されている。
【００２８】
錘部材（５）は、最上段の吸着処理ユニット（１Ａ）のケーシング（２）の上面部（２２）の略全面を加圧するため、ケーシング（２）の上面部（２２）と略同等の底面形状を備えている。錘部材（５）は、剛性の容器を使用して構成されてもよいが、通常はケーシング（２）と同様の柔軟な袋状の容器に粒状物や液状物を充填して構成される。
【００２９】
すなわち、最上段の吸着処理ユニット（１Ａ）には、錘部材（５）によって荷重を掛け、２段目以下の各吸着処理ユニット（１Ａ）には、錘部材（５）及び吸着処理ユニット（１Ａ）自体によって荷重を掛けることにより、各ケーシング（２）内においては、吸着剤（１）が膨張、収縮し、また、流体が通過しても、吸着剤（１）が殆ど流動しない様になされている。
【００３０】
本発明の吸着処理装置においては、図３に示す様に、複数の吸着処理ユニット（１Ａ）が積み重ねられているため、各吸着処理ユニット（１Ａ）においては、ケーシング（２）の側面部（２１）が流体透過性を備えていればよいが、最上段および最下段を除く中段部分の各吸着処理ユニット（１Ａ）においては、ケーシング（２）の上面部（２２）及び下面部（２３）が流体透過性を備えていてもよい。
【００３１】
すなわち、本発明の吸着処理装置においては、少なくとも、最上段に位置する吸着処理ユニット（１Ａ）のケーシング（２）の上面部（２２）及び最下段に位置する吸着処理ユニット（１Ａ）のケーシング（２）の下面部（２３）がそれぞれ流体非透過性になされているのが好ましい。最上段および最下段を除く各吸着処理ユニット（１Ａ）は、ケーシング（２）の上面部（２２）及び下面部（２３）から流体が透過したとしても、斯かる流体は上段または下段の他の吸着処理ユニット（１Ａ）に移動するため、上面部（２２）及び下面部（２３）を通じてショートパスすることがない。
【００３２】
また、本発明の吸着処理装置においては、各吸着処理ユニット（１Ａ）に対して被処理流体を一括供給するため、各吸着処理ユニット（１Ａ）のパイプ（３）の上流側は、予め必要な数の枝管を主管に接続して成るヘッダー（６）に接続される。ヘッダー（６）は、剛性を有する金属製または樹脂製の管によって構成することも出来るが、吸着処理ユニット（１Ａ）における厚さ（高さ）の相違に対応し易い様に、フレキシブルホース等の可撓性の管によって構成されるのが好ましい。
【００３３】
更に、図３に示す様に、本発明の吸着処理装置は、各吸着処理ユニット（１Ａ）を台車などの移動手段（７）に搭載して構成されてもよい。移動手段（７）に吸着処理ユニット（１Ａ）が搭載されている場合には、適切な場所へ簡単に移動させることが出来る。
【００３４】
本発明の吸着処理装置は、複数基の吸着処理ユニット（１Ａ）を上述の通り組み立てた後、これらを例えば移動手段（７）としての台車の上で順次積み重ね、また、必要に応じてヘッダー（６）を装着することにより組み立てられる。なお、ヘッダー（６）を装着する場合は、ヘッダー（６）の各枝管に継手（図示省略）を予め付設しておくことにより、各パイプ（３）の基端を継手に接続するだけで容易に装着できる。
【００３５】
本発明の吸着処理装置を使用して例えば気体を処理する場合は、ヘッダー（６）を介し、ブロワー等の送風装置によって処理すべき気体を各吸着処理ユニット（１Ａ）のパイプ（３）へ供給する。そして、前述の通り、各吸着処理ユニット（１Ａ）において、吸着剤（１）によって気体中の不純物を吸着し、ケーシング（２）の側面部（２１）から清浄化された気体を排出する。
【００３６】
本発明の吸着処理装置は、吸着処理ユニット（１Ａ）を積み重ねて構成されているため、設置面積を一層低減することが出来る。しかも、各吸着処理ユニット（１Ａ）毎に流体供給用のパイプ（３）が水平に挿通されているため、パイプ（３）同士の複雑な接続構造も不要であり、被処理流体を一括供給する場合もヘッダー（６）を装着するだけでよく、装置構成が極めて簡単である。
【００３７】
また、本発明の吸着処理装置は、複数基の吸着処理ユニット（１Ａ）を積み重ねて構成されており、吸着処理ユニット（１Ａ）自体によって荷重されているため、吸着剤（１）が膨張、収縮しても、各吸着処理ユニット（１Ａ）のケーシング（２）が膨れることなく且つケーシング（２）内部における吸着剤（１）の流動がなく、パイプ（３）が相対的に一定位置に且つ吸着剤（１）に埋設された状態に保持される。その結果、各吸着処理ユニット（１Ａ）において、被処理流体のショートパスや片流れを防止でき、吸着剤（１）の吸着効果を効率的に発揮させ、確実に不純物を吸着することが出来る。
【００３８】
特に、最上段の吸着処理ユニット（１Ａ）の上に錘部材（５）が配置されている場合には、最上段の吸着処理ユニット（１Ａ）においても一層効率的に吸着効果を発揮させることが出来る。そして、本発明の吸着処理装置においては、ケーシング（２）の内部における被処理流体のショートパスや片流れがなく、全ての吸着剤（１）が有効に活用されるため、ランニングコストをより低減することが出来る。
【００３９】
なお、本発明の吸着処理ユニット（１Ａ）及び吸着処理装置において、ケーシング（２）の平面形状は、三角形、正方形、円形であってもよく、ケーシング（２）の平面形状が例えば三角形に形成されている場合には、室内などの処理空間の入隅部に設置するのに好適である。また、パイプ（３）は、１つのケーシング（２）に対して複数本挿通されていてもよい。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明の吸着処理ユニットによれば、流体供給用のパイプがケーシングの側面部から略水平に挿通されているため、ユニット間における特別な接続構造を採用することなく、簡単に積み重ねることが出来、一層コンパクトな吸着処理装置を構成することが出来る。
【００４１】
また、本発明の吸着処理装置によれば、上記の吸着処理ユニットを積み重ねて構成されているため、装置構成が極めて簡単であり、かつ、設置面積を一層低減することが出来、しかも、吸着処理ユニット自体によって荷重されており、各吸着処理ユニットのケーシング内部における吸着剤の流動がなく、パイプが相対的に一定位置に且つ吸着剤に埋設された状態に保持されるため、各吸着処理ユニットにおいて、被処理流体のショートパスや片流れを防止でき、吸着剤の吸着効果を効率的に発揮させ、確実に不純物を吸着することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】吸着処理装置の構成要素としての本発明に係る吸着処理ユニットの一例の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の吸着処理ユニットの内部構造を示す水平断面図である。
【図３】本発明に係る吸着処理装置の一例の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  ：吸着剤
２  ：ケーシング
２１：側面部
２２：上面部
２３：下面部
２４：挿通口
２５：充填口
３  ：パイプ
３１：吐出孔
５  ：錘部材
６  ：ヘッダー
７  ：移動手段
１Ａ：吸着処理ユニット
【図１】
2004202433.tif 000003
【図２】
2004202433.tif 000004
【図３】
2004202433.tif 000005