(57)【要約】【課題】バルク波に起因するスプリアスが低減された弾性表面波装置を提供することにある。【解決手段】圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ１０１〜１０３、２０１〜２０３を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１００、２００を有する弾性表面波装置Ａにおいて、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１００、２００における周波数軸上で隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２とし、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１００、２００におけるバルク波の励振によるリップルの周波数をｆＳＳＢＷとしたとき、ｆＳＳＢＷ≠（ｆ１＋ｆ２）／２とする。【選択図】  図１
2004260402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って、バスバーおよび複数の電極指からなるくし歯状電極を有するくし型電極部が複数形成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを１つ以上有する弾性表面波装置において、
上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける周波数軸上で隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２とし、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおけるバルク波の励振によるリップルの周波数をｆＳＳＢＷとしたとき、
ｆＳＳＢＷ≠（ｆ１＋ｆ２）／２
を満たすことを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
３つ以上の共振モードが存在する場合には、最も周波数間隔が広い、周波数軸上で互いに隣り合う２つの共振モードの共振周波数が、それぞれｆ１、ｆ２であることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
周波数軸上で互いに隣り合う２つの共振モードのうち、少なくとも１つの共振モードの共振周波数が、通過帯域内にあることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項４】
周波数軸上で隣り合う２つの共振モードのうち、周波数がより高い共振モードの共振周波数が、通過帯域内にあることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
周波数軸上で隣り合う２つの共振モードが、縦０次モードと縦２次モードとが縮退した共振モードと、くし型電極部とくし型電極部との間で励振する共振モードとであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項６】
ｆＳＳＢＷ＜（ｆ１＋ｆ２）／２
を満たすことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
通過帯域内に存在する最も低い共振モードよりも、ｆＳＳＢＷが低いことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項８】
弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離により、バルク波の励振によるリップルの周波数が調整されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】
弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離が、上記弾性表面波の波長の０．５５倍以下であることを特徴とする請求項８に記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】
弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離が、０．１０μｍ以上であることを特徴とする請求項９に記載の弾性表面波装置。
【請求項１１】
弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離が、電極指同士の最小ギャップにほぼ等しいことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１２】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタが、３つのくし型電極部を有することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１３】
圧電基板が、バルク波、または擬似弾性表面波を励振する、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）またはニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）であることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置を有することを特徴とする通信装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話機等の通信装置等に用いられる弾性表面波装置およびそれを有する通信装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化、省電力化、高周波数化等に対する技術的進歩は目覚しいものがある。このような状況を背景に、携帯電話機等の通信装置のＲＦ段に使用される弾性表面フィルタ（弾性表面波装置）には、小型化、低損失化、低価格化、品質の安定化等が求められている。特に、携帯電話機では、消費電力を抑えるために、弾性表面波装置における低損失化が重要となっている。
【０００３】
例えば、特許文献１では、弾性表面波共振子において、横モードスプリアスを低減するために、くし型電極部における、電極指の開口長に対する電極指の交叉幅の比を６５〜７５％の比率とし、交叉幅がくし型電極部において一定とすることが開示されている。
【０００４】
また、特許文献２では、圧電基板、特に水晶基板を用いる共振器型弾性表面波装置において、弾性表面波の伝搬方向と垂直な方向に分布するモード（以下、横モードとする）のうち、スプリアスとなる横２次モードを抑制するために、くし型電極部における、電極指の開口長に対する電極指の交叉幅の比を、０．７５〜０．８５（０．７５は除く）の範囲内の値に設定することが開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３では、弾性表面波共振子や共振子型弾性表面波フィルタにおいて、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）またはニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）からなる圧電基板を用いた場合に生じる擬似（漏洩）弾性表面波（Ｌｅａｋｙ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ：以下、ＬＳＡＷとする）と、バルク波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｓｋｉｍｍｉｎｇ  Ｂｕｌｋ  Ｗａｖｅ：以下、ＳＳＢＷとする）との結合による不要なスプリアスを低減するために、くし型電極部の開口長Ｗ１と電極指の非交叉部Ｗ２との比を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とすることが開示されている。
【０００６】
【特許文献１】
特公平６−８５４９２号公報（公開日：１９９４年１０月２６日）
【０００７】
【特許文献２】
特開平９−２６０９９６号公報（公開日：１９９７年１０月３日）
【０００８】
【特許文献３】
特開平６−２３２６８２号公報（公開日：１９９４年８月１９日）
【０００９】
【特許文献４】
特開平１１−１９１７２０号公報（公開日：１９９９年７月１３日）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
多くの弾性表面波装置では、圧電基板として、擬似（漏洩）弾性表面波を利用できる、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）等が使用されている。しかしながら、これらの圧電基板では、実際には、擬似弾性表面波の励振以外に、バルク波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｓｋｉｍｍｉｎｇ  Ｂｕｌｋ  Ｗａｖｅ：以下、ＳＳＢＷとする）が励振され、通過帯域内にリップルが発生し、挿入損失増加の原因となっていた。
【００１１】
特に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを含む弾性表面波装置においては、周波数軸上で互いに隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２としたときの共振周波数の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数ｆＳＳＢＷとが、ほぼ一致している場合には、ＳＳＢＷの励振によるリップルによって、挿入損失が増加してしまうという問題が残されていた。
【００１２】
しかしながら、特許文献３に開示されているように、電極指の先端とバスバーとの間の距離を近づけすぎると、電極指の先端とバスバーとの間の部分での容量が増え、逆に特性が悪化するという問題がある。
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、特性を劣化させることなく、ＳＳＢＷに起因するスプリアスが低減された弾性表面波装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って、バスバーおよび複数の電極指からなるくし歯状電極を有するくし型電極部が複数形成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを１つ以上有する弾性表面波装置において、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける周波数軸上で隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２とし、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおけるバルク波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｓｋｉｍｍｉｎｇ  Ｂｕｌｋ  Ｗａｖｅ：ＳＳＢＷ）の励振によるリップルの周波数をｆＳＳＢＷとしたとき、
ｆＳＳＢＷ≠（ｆ１＋ｆ２）／２
を満たすことを特徴としている。
【００１５】
また、上記弾性表面波装置は、３つ以上の共振モードが存在する場合には、最も周波数間隔が広い、周波数軸上で互いに隣り合う２つの共振モードの共振周波数が、それぞれｆ１、ｆ２であることが好ましい。
【００１６】
さらに、上記弾性表面波装置は、周波数軸上で互いに隣り合う２つの共振モードのうち、少なくとも１つの共振モードの共振周波数が、通過帯域内にあること、または、周波数がより高い共振モードの共振周波数が、通過帯域内にあることが好ましい。
【００１７】
また、上記弾性表面波装置は、周波数軸上で隣り合う２つの共振モードが、縦０次モードと縦２次モードとが縮退した共振モードと、くし型電極部とくし型電極部との間で励振する共振モードとであることが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、通常、挿入損失が大きくなる共振点と共振点との中央の周波数（ｆ１＋ｆ２）／２と、ＳＳＢＷの励振により生じるリップルの周波数とを異ならせているので、上記リップルがより大きくなるとともに、挿入損失が増加することを抑制することができる。これにより、ＳＳＢＷの励振により生じるスプリアスが低減することができ、挿入損失を小さくした弾性表面波装置を提供することができる。
【００１９】
また、ＳＳＢＷの励振よるリップルは、周波数が高くなるほど、該リップルのレベルそのものが大きくなる。そのため、
ｆＳＳＢＷ＜（ｆ１＋ｆ２）／２
を満たすことが好ましく、さらに通過帯域内に存在する最も低い共振モードよりも、ｆＳＳＢＷが低いことが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明の弾性表面波装置は、上記の構成に加えて、弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離により、バルク波の励振によるリップルの周波数が調整されていることが好ましい。
【００２１】
また、本発明の弾性表面波装置は、弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離が、上記弾性表面波の波長の０．５５倍以下であることが好ましい。
【００２２】
さらに、弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離が、０．１０μｍ以上であることが好ましい。これにより、電極指と、バスバーとの間で増加する寄生容量による挿入損失を抑制することができる。
【００２３】
また、弾性表面波が伝搬する電極指の先端と、その電極指に対向する電極指を電気的に接続するためのバスバーとの間の距離を、電極指同士の最小ギャップにほぼ等しくすることが好ましい。上記の構成によれば、電極指とバスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップもどちらもほぼ同一寸法であるために、ギャップの狭い部分が局在化しない。そのため、安定した電気的特性が得られ、さらに、耐サージ性や、耐電力性を向上させることができる。また、電極指とバスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップもどちらもほぼ同一寸法であるためにその製造もより容易となる。
【００２４】
また、本発明の弾性表面波装置は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタが、３つのくし型電極部を有することが好ましい。さらに、上記圧電基板は、バルク波、または擬似弾性表面波を励振する、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）またはニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）であることが好ましい。
【００２５】
本発明の通信装置は、上記弾性表面波装置のいずれかを有することを特徴としている。上記構成によれば、通過帯域内のＳＳＢＷに起因するスプリアスが低減されており、挿入損失が改善されている弾性表面波装置を有することで、伝送特性を向上できる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の第１の実施の形態について図１ないし図６に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２７】
本実施の形態では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタから構成される平衡−不平衡変換機能を有した、ＰＣＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）受信用フィルタを例にとって説明する。
【００２８】
図１に示すように、本実施の形態にかかる弾性表面波装置Ａは、圧電基板（図示せず）上に、第１の弾性表面波フィルタ１００と、該第１の弾性表面波フィルタ１００とは位相が１８０度異なる第２の弾性表面波装置２００、および弾性表面波共振子３００、４００、５００、６００を備えている。
【００２９】
第１の弾性表面波フィルタ１００は、くし型電極部（Ｉｎｔｅｒ−Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下、ＩＤＴという）１０１を中央とし、該ＩＤＴ１０１の左右にＩＤＴ１０２とＩＤＴ１０３とを備えている。さらに、第１の弾性表面波フィルタ１００は、これらＩＤＴ１０１〜１０３を挟みこむように反射器１０４と反射器１０５を備えている。つまり、上記第１の弾性表面波フィルタ１００は、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタとなっている。
【００３０】
なお、ＩＤＴは、帯状のバスバー（基端部）と、そのバスバーの一方の側部から直交する方向に延びる複数の、互いに平行な電極指とを備えたくし歯状電極（ＩＤＴ電極）を２つ備えている。つまり、バスバーは、電極指を電気的に接続している。また、上記各ＩＤＴ電極の電極指の側部が互いに対面するように、互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記ＩＤＴ電極を有している。また、以下では、ＩＤＴにおける互いのＩＤＴ電極において電極指が交叉している部分をＷとし、各電極指の先端と他方のＩＤＴ電極におけるバスバーとの間の距離を、それぞれＧ１、Ｇ２とする。
【００３１】
第２の弾性表面波フィルタ２００は、ＩＤＴ２０１を中央とし、該ＩＤＴ２０１の左右にＩＤＴ２０２とＩＤＴ２０３とを備えている。さらに、第２の弾性表面波フィルタ２００は、これらＩＤＴ２０１〜２０３を挟み込むように反射器２０４と反射器２０５を備えている。つまり、上記第２の弾性表面波フィルタ２００は、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタとなっている。
【００３２】
また、上記第２の弾性表面波フィルタ２００では、中央のＩＤＴ２０１の極性を、第１の弾性表面波フィルタ１００における中央のＩＤＴ１０１の極性と逆にしている。これにより、第２の弾性表面波フィルタ２００は、第１の弾性表面波フィルタ１００とは位相が１８０度異なるようになっている。
【００３３】
さらに、上記第２の弾性表面波フィルタ２００では、弾性表面波装置Ａにおける平衡度を高めるために、ＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０２との境界付近の電極指、およびＩＤＴ２０１とＩＤＴ２０３との境界付近の電極指に、約１／２の直列重み付けが施されている。
【００３４】
弾性表面波共振子３００、４００、５００、６００は、通過帯域外の減衰量を確保するために付加されたものである。弾性表面波共振子３００は、弾性表面波フィルタ１００の中央のＩＤＴ１０１と直列接続されている。弾性表面波共振子４００は、弾性表面波フィルタ２００の中央のＩＤＴ２０１と直列接続されている。弾性表面波共振子５００は、弾性表面波フィルタ１００の左右のＩＤＴ１０２、１０３と直列接続されている。そして弾性表面波共振子６００は、弾性表面波フィルタ２００の左右のＩＤＴ２０２、２０３と直列接続されている。
【００３５】
また、弾性表面波共振子３００の弾性表面波フィルタ１００に直列接続されていない電気端子と、弾性表面波共振子４００の弾性表面波フィルタ２００に直列接続されていない電気端子とは、並列接続され、不平衡信号端子Ａ１に接続されている。弾性表面波共振子５００の弾性表面波フィルタ１００に直列接続されていない電気端子は、平衡信号端子Ａ２に接続されている。弾性表面波共振子６００の弾性表面波フィルタ２００に直列接続されていない電気端子は、平衡信号端子Ａ３に接続されている。
【００３６】
以上の構成により、本実施の形態にかかる弾性表面波装置Ａは、平衡−不平衡変換機能を有している。
【００３７】
ここで、弾性表面波装置における弾性表面波（ＳＡＷ）のエネルギー分布について、１つのＩＤＴを用いて、図２に基づいて簡単に説明する。
【００３８】
図２に示すように、弾性表面波の伝搬方向とは垂直な方向に分布している弾性表面波のエネルギーは、電極指が交叉している部分Ｗだけではなく、わずかに電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２だけ離れている領域や、バスバー部分にも分布している。そのため、電極指の先端とバスバーとの間の距離によって、弾性表面波装置における電気的特性に変化をもたらす。つまり、ＩＤＴの電極指が交叉している部分Ｗにおいては、擬似弾性表面波（ＬＳＡＷ）が支配的に励振されるが、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２だけ離れている領域では、バルク波（ＳＳＢＷ）が支配的に励振される。そのため、バルク波（ＳＳＢＷ）が不要リップルとなって、弾性表面波装置における電気的特性、特に通過帯域内の伝送特性に悪影響を与える。
【００３９】
次に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける弾性表面波の伝搬方向に分布している弾性表面波のエネルギー分布について、図１で示した３つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ１００を用いて、図３および図４に基づいて簡単に説明する。
【００４０】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける、弾性表面波のエネルギーは、図２を用いて示したように、弾性表面波の伝搬方向とは垂直方向の定在波（横モード）の他に、弾性表面波の伝搬方向、言い換えると反射器１０４と１０５との間に閉じ込められる複数の定在波（縦モード）が存在している。縦結合共振子型弾性表面波フィルタは、これら複数の縦モードを音響結合させ、広帯域化させた弾性表面波フィルタである。上記３つのＩＤＴを有する弾性表面波フィルタ１００では、複数の縦モードのうち、主に、縦０次モード、縦２次モード、ＩＤＴとＩＤＴとの間で励振するモード（以下、ＩＤＴ−ＩＤＴモードとする）の３つのモードを音響結合させている。各モードでの弾性表面波のエネルギー分布は、図３に示す。これら３つのモードにおける周波数の関係は、図４に示すように、周波数の低い側から、縦２次モード、縦０次モード、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの順である。ただし、図４には、周波数軸上のモード配置がわかりやすいように整合インピーダンスを外した場合の伝送特性を示す。
【００４１】
ここで、本実施の形態にかかる弾性表面波装置Ａにおける設計パラメータの例（実施例１）について説明する。
【００４２】
第１の弾性表面波フィルタ１００、第２の弾性表面波フィルタ２００の他の設計パラメータについては、以下のとおりである。
【００４３】
第１の弾性表面波フィルタ１００および第２の弾性表面波フィルタ２００は、中央のＩＤＴ１０１、２０１の極性、直列重み付け、反射器の本数以外は、同一の設計である。また、ＩＤＴとＩＤＴとの境界付近に位置する電極指（波長：λ２）は、他の部分のＩＤＴの電極指（波長：λ１）と比較して波長を短くしている（λ１＞λ２）。
交叉幅Ｗ：６０μｍ（２９．３λ１）
ＩＤＴ本数（ＩＤＴ１０２、ＩＤＴ１０１、ＩＤＴ１０３の順、及びＩＤＴ２０２、ＩＤＴ２０１、ＩＤＴ２０３の順）：２９（４）／（４）５５（４）／（４）２９本
カッコ内の本数は、波長の短い電極指（λ２）の本数
ＩＤＴ波長λ１：２．０５μｍ
ＩＤＴ波長λ２：１．８６μｍ
反射器波長λＲ：２．０６μｍ
反射器本数：第１の弾性表面波フィルタ１００：１２０本
第２の弾性表面波フィルタ２００：８０本
ＩＤＴ（λ１）−ＩＤＴ（λ２）間隔：０．２５λ１＋０．２５λ２
ＩＤＴ（λ２）−ＩＤＴ（λ２）間隔：０．５０λ２
ＩＤＴ（λ１）−反射器間隔：０．４７λ１
ＩＤＴ（λ１）デューティー（ｄｕｔｙ）：０．７０
ＩＤＴ（λ２）デューティー（ｄｕｔｙ）：０．６７
反射器デューティー（ｄｕｔｙ）：０．５６
電極膜厚：０．０８０λ１
また、弾性表面波共振子３００、４００の詳細な設計は以下のとおりである。
交叉幅ＷＴ１：３５μｍ（１７．７λＴ１）
ＩＤＴ対数：１４０
ＩＤＴ波長λＴ１：１．９８μｍ
反射器波長λＲＴ１：１．９８μｍ
反射器本数：３０本
電極膜厚：０．０８３λＴ１
また、弾性表面波共振子５００、６００の詳細な設計は以下のとおりである。
交叉幅ＷＴ２：１００μｍ（４９．１λＴ２）
ＩＤＴ対数：１２０
ＩＤＴ波長λＴ２：２．０４μｍ
反射器波長λＲＴ２：２．０４μｍ
反射器本数：３０本
電極膜厚：０．０８１λＴ２
次に、上記弾性表面波フィルタ１００の各ＩＤＴにおいて、電極指とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を１．０μｍとした場合の、ＳＳＢＷの励振よるリップルと、各共振モードにおける周波数の関係について、図５に示す。この図５では、図１で示した弾性表面波装置Ａの弾性表面波フィルタ１００での通過帯域付近の伝送特性と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数と各共振モードの共振周波数との関係が明確にわかるように、整合インピーダンスを約１／１０００として伝送特性を重ねて示している。ここでは、整合インピーダンスを約１／１０００とした場合に現れる伝送特性のピークを、各モードの共振周波数とする。なお、周波数軸上で隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２とし、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数をｆＳＳＢＷとしている。また、３つ以上の共振モードが存在する場合には、周波数軸上で互いに隣り合い、最も周波数間隔が広い２つの共振モードを、それぞれｆ１、ｆ２とすればよい。
【００４４】
なお、ＳＳＢＷの励振は、様々な要因によるが、電極指とバスバーとの間の距離によるものが支配的である。
【００４５】
本実施の形態の弾性表面波装置Ａでは、先に説明した３つのモードの中で、縦０次モードおよび縦２次モードは、周波数軸上において非常に近くに位置している。そのため、縦０次モードおよび縦２次モードは、分離されずに縮退している。従って、図５では、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードによる共振点と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードによる共振点とを、２つのピークとして確認することができる。
【００４６】
図５から明らかなように、ＳＳＢＷの励振によるリップル（約１９４８ＭＨｚ）は、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードによる共振点と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振点との、ほぼ中央部に位置している。共振点と共振点との間（特に共振点と共振点との中央）の挿入損失が大きくなるが、その領域でＳＳＢＷの励振によるリップルが生じるため、上記リップルはより大きくなり、挿入損失が増加していることがわかる。
【００４７】
次に、上記弾性表面波装置Ａにて、第１の弾性表面波フィルタ１００および第２の弾性表面波フィルタ２００における電極指とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２のみを変化させたときの、伝送特性の変化を図６に示す。
【００４８】
図６によると、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を１．０μｍから０．３０μｍに変化させた場合、１９４５ＭＨｚ付近の挿入損失が約０．２ｄＢ減少し、改善していることがわかる。つまり、電極指とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を減少させることによって、バルク波（ＳＳＢＷ）の励振によるリップルが小さくなると共に、リップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）が低域側に移動し、縦０次モードと縦２次モードが縮退したモードの共振周波数（ｆ１もしくはｆ２）と、ＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ２もしくはｆ１）との中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）付近よりも低域側に移動したことにより、挿入損失が改善したものと考えられる。この挿入損失の改善は、ＳＳＢＷのリップルが存在する１９４５ＭＨｚ付近だけではなく、全体的に挿入損失が小さくなっている。このことは、ＳＳＢＷによる励振は、１９４５ＭＨｚ付近だけでなく、通過帯域内に広く影響していることを意味し、ＳＳＢＷの励振を小さくすることは、全体的な挿入損失の改善に適していることを示している。
【００４９】
なお、ＳＳＢＷの励振によるリップルが複数ある場合は、最も大きいリップルの周波数をｆＳＳＢＷとする。
【００５０】
〔比較例１〕
本発明の比較例１について図７ないし図９に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００５１】
比較例１においても、実施の形態１と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタから構成される平衡−不平衡変換機能を有したＰＣＳ受信用フィルタを例にとって説明する。比較例１である弾性表面波装置は、実施の形態１と基本的な構造は同様であるが、ＩＤＴの接続方法が実施の形態１と異なっている。
【００５２】
図７に示すように、比較例１である弾性表面波装置Ｂは、圧電基板（図示せず）上に、第１の弾性表面波フィルタ７００と、該第１の弾性表面波フィルタ７００とは位相が１８０度異なる第２の弾性表面波装置８００、および弾性表面波共振子９００、１０００、１１００、１２００を備えている。
【００５３】
第１の弾性表面波フィルタ７００は、くし型電極部（Ｉｎｔｅｒ−Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下、ＩＤＴという）７０１を中央とし、該ＩＤＴ７０１の左右にＩＤＴ７０２とＩＤＴ７０３とを備えている。さらに、第１の弾性表面波フィルタ７００は、これらＩＤＴ７０１〜７０３を挟みこむように反射器７０４と反射器７０５を備えている。つまり、上記第１の弾性表面波フィルタ７００は、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタとなっている。
【００５４】
第２の弾性表面波フィルタ８００は、ＩＤＴ８０１を中央とし、該ＩＤＴ８０１の左右にＩＤＴ８０２とＩＤＴ８０３とを備えている。さらに、第２の弾性表面波フィルタ８００は、これらＩＤＴ８０１〜８０３を挟み込むように反射器８０４と反射器８０５を備えている。つまり、上記第２の弾性表面波フィルタ８００は、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタとなっている。
【００５５】
また、上記第２の弾性表面波フィルタ８００では、左右のＩＤＴ８０２、８０３の極性を、第１の弾性表面波フィルタ７００における左右のＩＤＴ７０２、７０３の極性と逆にしている。これにより、第２の弾性表面波フィルタ８００は、第１の弾性表面波フィルタ７００とは位相が１８０度異なるようになっている。
【００５６】
さらに、上記第２の弾性表面波フィルタ８００では、弾性表面波装置Ｂにおける平衡度を高めるために、ＩＤＴ８０１とＩＤＴ８０２との境界付近の電極指、およびＩＤＴ８０１とＩＤＴ８０３との境界付近の電極指に、約１／２の直列重み付けが施されている。
【００５７】
弾性表面波共振子９００、１０００、１１００、１２００は、通過帯域外の減衰量を確保するために付加されたものである。弾性表面波共振子９００は、弾性表面波フィルタ７００の左右のＩＤＴ７０２、７０３と直列接続されている。弾性表面波共振子１０００は、弾性表面波フィルタ８００の左右のＩＤＴ８０２、８０３と直列接続されている。弾性表面波共振子１１００は、弾性表面波フィルタ７００の中央のＩＤＴ７０１と直列接続されている。そして弾性表面波共振子１２００は、弾性表面波フィルタ８００の中央のＩＤＴ８０１と直列接続されている。
【００５８】
また、弾性表面波共振子９００の弾性表面波フィルタ７００に直列接続されていない電気端子と、弾性表面波共振子１０００の弾性表面波フィルタ８００に直列接続されていない電気端子とは、並列接続され、不平衡信号端子Ａ１に接続されている。弾性表面波共振子１１００の弾性表面波フィルタ７００に直列接続されていない電気端子は、平衡信号端子Ａ２に接続されている。弾性表面波共振子１２００の弾性表面波フィルタ８００に直列接続されていない電気端子は、平衡信号端子Ａ３に接続されている。
【００５９】
以上の構成により、本実施の形態の比較例である弾性表面波装置Ｂは、平衡−不平衡変換機能を有している。
【００６０】
比較例１では、上記弾性表面波装置Ｂの各ＩＤＴにおいて、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を実施の形態１とは逆に広げた場合の通過帯域付近の伝送特性の変化について示す。
【００６１】
ここで、本実施の形態の比較例である弾性表面波装置Ｂにおける設計パラメータの例（比較例１）について説明する。
【００６２】
第１の弾性表面波フィルタ７００および第２の弾性表面波フィルタ８００は、左右のＩＤＴ７０２、７０３、８０２、８０３の極性、直列重み付け、反射器の本数以外は、同一の設計である。また、ＩＤＴとＩＤＴとの境界付近に位置する電極指（波長：λ４）は、他の部分のＩＤＴの電極指（波長：λ３）と比較して波長を短くしている（λ３＞λ４）。
交叉幅Ｗ：６５μｍ（２９．３λ３）
ＩＤＴ本数（ＩＤＴ７０２、ＩＤＴ７０１、ＩＤＴ７０３の順、及びＩＤＴ８０２、ＩＤＴ８０１、ＩＤＴ８０３の順）：３３（４）／（４）４３（４）／（４）３３本
カッコ内の本数は、波長の短い電極指（λ４）の本数
ＩＤＴ波長λ３：２．０５μｍ
ＩＤＴ波長λ４：１．８７μｍ
反射器波長λＲ：２．０６μｍ
反射器本数：第１の弾性表面波フィルタ７００：１２０本
第２の弾性表面波フィルタ８００：９０本
ＩＤＴ（λ３）−ＩＤＴ（λ４）間隔：０．２５λ３＋０．２５λ４
ＩＤＴ（λ４）−ＩＤＴ（λ４）間隔：０．５０λ４
ＩＤＴ（λ３）−反射器間隔：０．５０λ３
ＩＤＴ（λ３）デューティー（ｄｕｔｙ）：０．６０
ＩＤＴ（λ４）デューティー（ｄｕｔｙ）：０．６０
反射器デューティー（ｄｕｔｙ）：０．６０
電極膜厚：０．０８０λ３
また、弾性表面波共振子９００、１０００の詳細な設計は以下のとおりである。
交叉幅ＷＴ１：５０μｍ（２４．５λＴ１）
ＩＤＴ対数：１４０
ＩＤＴ波長λＴ１：２．０４μｍ
反射器波長λＲＴ１：２．０４μｍ
反射器本数：３０本
電極膜厚：０．０８１λＴ１
また、弾性表面波共振子１１００、１２００の詳細な設計は以下のとおりである。
交叉幅ＷＴ２：３５μｍ（１７．７λＴ２）
ＩＤＴ対数：１４０
ＩＤＴ波長λＴ２：１．９８μｍ
反射器波長λＲＴ２：１．９８μｍ
反射器本数：３０本
電極膜厚：０．０８３λＴ２
図８に、上記弾性表面波装置Ｂの各ＩＤＴにおいて、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を、０．５μｍ、１．０μｍ、２．０μｍとしたときの伝送特性を示す。
【００６３】
図８に示すように、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を広げるにしたがって、実施の形態１（図６参照）とは逆に、ＳＳＢＷの励振によるリップルは大きくなっていることがわかる。さらに、このリップルはさらに高域側に移動していることがわかる。
【００６４】
ここで、実施例１および比較例１において、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）と、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ１もしくはｆ２）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ２もしくはｆ１）の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）と、の関係について説明する。ここでは、電極指の先端とバスバーとの間の距離を伝搬する弾性表面波の波長で規格化した値（横軸）と、２×ｆＳＳＢＷ／（ｆ１＋ｆ２）（縦軸）との関係を図９に示す。なお、２×ｆＳＳＢＷ／（ｆ１＋ｆ２）は、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）と、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ１もしくはｆ２）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ２もしくはｆ１）の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）で規格化した値である。
【００６５】
図９より、特に電極指の先端とバスバーとの間の距離が弾性表面波の波長の０．５５倍以下にすることによって、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ１もしくはｆ２）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ２もしくはｆ１）の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）よりも低くなることがわかる。
【００６６】
以上より、周波数軸上で隣り合った２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２としたときの、２つの共振周波数の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）を異ならせることによって、弾性表面波装置における通過帯域内の挿入損失を改善することができる。その方法として、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を変化させることが有効である。
【００６７】
特に、実施例１で示したように、１つのＩＤＴにおいて、一方のＩＤＴ電極における電極指の先端と、他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間の距離を小さくすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）が、縦０次モードと縦２次モードとが縮退したモードの共振周波数（ｆ１もしくはｆ２）およびＩＤＴ−ＩＤＴモードの共振周波数（ｆ２もしくはｆ１）の中心（（ｆ１＋ｆ２）／２）よりも低くした場合、つまり、ｆＳＳＢＷ＜（ｆ１＋ｆ２）／２の場合には、リップルのレベルも小さくなることから、挿入損失の改善に有効であることがわかる。しかしながら、比較例１で示したように逆にｆＳＳＢＷ＞（ｆ１＋ｆ２）／２の場合には、リップルのレベルそのものが大きくなることから、両者の周波数がほぼ同じ場合よりも挿入損失が悪化することがわかる。
【００６８】
さらに、ｆＳＳＢＷ＜（ｆ１＋ｆ２）／２を実現するためには、電極指の先端と、バスバーとの間の距離を、伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下にすることが特に有効である。
【００６９】
ここで、さらに、比較例１と同様のフィルタ構成において、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数（ｆＳＳＢＷ）での挿入損失との関係を図１０に示す。この図１０により、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を狭くすることにより、ＳＳＢＷの励振によるリップルが挿入損失の改善に有効であることがわかる。
【００７０】
しかし、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を狭くすることにより、電極指の先端とバスバーとの間に入る寄生容量が大きくなる可能性がある。この寄生容量により挿入損失が悪化する可能性がある。そこで、図１１に、比較例１と同様の構成において、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を変化させることによる容量変化を有限要素法で求め、その容量変化による挿入損失の変化を示す。この図１１より、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２が０．１０μｍ以下となると、急激に電極指の先端とバスバーとの間の部分での寄生容量が増加し、結果として挿入損失が悪化することが明らかである。
【００７１】
また、図１２には、図１０で示したＳＳＢＷの励振によるリップルによる挿入損失の変化と、図１１で示した寄生容量による挿入損失の両方を考慮したときの、挿入損失の変化を示す。電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２を狭く、特に伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下とすることで、ＳＳＢＷの励振によるリップルが小さくなるが、この図１２から明らかなように、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２が０．１０μｍ以下となると、ＳＳＢＷのリップルが小さくなることによる挿入損失の低下の効果よりも、寄生容量の増加による挿入損失の悪化の方が大きくなる。結果として、全体の挿入損失が悪化してしまう。よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２は、伝搬する弾性表面波の波長の０．５５倍以下であり、且つ、０．１０μｍ以上であることがより好ましい。
【００７２】
このように、電極指の先端とバスバーとの間の距離Ｇ１、Ｇ２が変化すると、ＳＳＢＷの励振や、寄生容量が変化する。このことから、実際に圧電基板上に金属薄膜からなるＩＤＴを形成する場合には、従来のように、ＩＤＴの膜厚や電極指の線幅を高精度に制御するだけでは弾性表面波装置における安定した電気特性が得られずに、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、同様に高精度に制御する必要がある。
【００７３】
ここで、ＩＤＴの形成には、一般にフォトリソグラフィ法が用いられ、露光光源の波長は０．２μｍから０．４μｍ程度である。そのため、ＩＤＴ電極のギャップ部分の寸法が０．５μｍ程度以下となると、光の回折効果のために、ＩＤＴ電極のギャップ幅を高精度に制御することは難しくなる。しかしながら、特性面でのメリットから、ＩＤＴ電極の微細化が進んでおり、本発明においても、電極指の先端とバスバーとの間の距離、電極指同士の最小ギャップ、いずれとも、露光光源の波長と同程度にすることで効果が得られている。よって、電極指の先端とバスバーとの間の距離と、電極指同士の最小ギャップとをほぼ等しくしておくことにより、電極指の先端とバスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップも、どちらも、高精度に制御することが可能となり、弾性表面波装置においてより安定した電気的特性が得られる。また、電極指の先端と、バスバーとの間の距離も、電極指同士の最小ギャップもどちらも同一寸法となることから、ギャップの狭い部分が局在せず、結果的に耐サージ性や耐電力性が向上するという、さらなる効果も得られる。
【００７４】
本実施例１においては、４０±５度回転ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板を用いたが、この基板に限らず、６４〜７４度回転ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板、４１度回転ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板等の圧電基板であっても同様の効果が得られる。
【００７５】
また、上記では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型フィルタを２個と、弾性表面波素子４個を用いた平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を例として挙げている。そして、上記の効果は、モードの共振周波数と、ＳＳＢＷの励振におけるリップルの周波数との関係によるものである。したがって、上記弾性表面波装置における各設計パラメータは、所望の周波数特性を得るために、任意に交叉幅、ＩＤＴ本数、電極指同士の間隔などを変更したり、必要に応じてトラップ等を増減し、変更しても同様の効果を得られる。さらに、ＩＤＴの数やフィルタの数は、特に限定されるものではない。
【００７６】
そこで、以下に実施の形態２〜７について図１３ないし図１８に挙げて説明する。
【００７７】
図１３に示すように、実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタは、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された３つのＩＤＴを備える平衡−不平衡変換機能を有しない縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
【００７８】
また、図１４に示すように、実施の形態３にかかる弾性表面波フィルタは、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された２つのＩＤＴを有するＩＤＴからなる平衡−不平衡変換機能を有しない縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
【００７９】
また、図１５に示すように、実施の形態４にかかる弾性表面波フィルタは、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された５つのＩＤＴを備える平衡−不平衡変換機能を有しない縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
【００８０】
また、図１６に示すように、実施の形態５にかかる弾性表面波フィルタは、実施の形態３の弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴにおける一方のＩＤＴ電極の電極指の先端と他方のＩＤＴ電極のバスバーとの間に、該バスバーから突き出す小さい電極指を付加した、平衡−不平衡変換機能を有しない縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
【００８１】
また、図１７に示すように、実施の形態６にかかる弾性表面波フィルタは、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを縦続接続した、平衡−不平衡変換機能を有しない縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。
【００８２】
また、図１８に示すように、実施の形態７にかかる弾性表面波フィルタは、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された３つのＩＤＴを備え、３つのＩＤＴのうちの中央のＩＤＴにおける一方のＩＤＴ電極が弾性表面波の伝搬方向に対して分割されて平衡−不平衡変換機能を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。なお、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタでは、中央ＩＤＴの左右のＩＤＴは、不平衡信号端子に接続されている。また、中央のＩＤＴにおける分割されたＩＤＴ電極は、それぞれ、平衡信号端子に接続されている。なお、中央のＩＤＴの平衡信号端子に接続されていないＩＤＴ電極のバスバーが接地されていてもいなくてもよい。
【００８３】
上記の実施の形態２〜７にかかる弾性表面波フィルタは、その弾性表面波フィルタ単独でも、上記実施の形態１に示した効果の原理が示すとおり、同様の効果を得ることができる。上記弾性表面波フィルタ単独でも、弾性表面波装置と呼ぶことができる。また、上記弾性表面波フィルタを複数含む弾性表面波装置であっても、同様に実施の形態１に示した効果を得ることができる。
【００８４】
次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図１９に基づき説明する。上記通信装置１３００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ１３０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ１３０２、アンプ１３０３、Ｒｘ段間フィルタ１３０４、ミキサ１３０５、１ｓｔＩＦフィルタ１３０６、ミキサ１３０７、２ｎｄＩＦフィルタ１３０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ１３１１、ＴＣＸＯ（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ（温度補償型水晶発振器））１３１２、デバイダ１３１３、ローカルフィルタ１３１４を備えて構成されている。
【００８５】
Ｒｘ段間フィルタ１３０４からミキサ１３０５へは、図１９に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【００８６】
また、上記通信装置１３００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ１３０１及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ１３０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ１３２１、ミキサ１３２２、Ｔｘ段間フィルタ１３２３、アンプ１３２４、カプラ１３２５、アイソレータ１３２６、ＡＰＣ（ａｕｔｏｍａｔｉｃ  ｐｏｗｅｒ  ｃｏｎｔｒｏｌ（自動出力制御））１３２７を備えて構成されている。
【００８７】
そして、上記のＲｘ段間フィルタ１３０４、１ｓｔＩＦフィルタ１３０６、ＴｘＩＦフィルタ１３２１、Ｔｘ段間フィルタ１３２３には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
【００８８】
本発明にかかる弾性表面波装置は、通過帯域内のＳＳＢＷに起因するスプリアスが低減されており、挿入損失が改善されているという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【００８９】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００９０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の弾性表面波装置は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを１つ以上有する弾性表面波装置に関し、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って、バスバーおよび複数の電極指からなるくし歯状電極を有するくし型電極部が複数形成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタを１つ以上有する弾性表面波装置において、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおける周波数軸上で隣り合う２つの共振モードの共振周波数をそれぞれｆ１、ｆ２とし、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおけるＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数をｆＳＳＢＷとしたとき、
ｆＳＳＢＷ≠（ｆ１＋ｆ２）／２
を満たす構成である。
【００９１】
上記の構成によれば、ＳＳＢＷに起因するスプリアスが低減され、通過帯域内の挿入損失を低減した弾性表面波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る弾性表面波装置の概略の構成を示す図である。
【図２】上記弾性表面波装置の１つの弾性表面波フィルタにおける、交叉幅方向に分布している弾性表面波のエネルギー分布について説明する図である。
【図３】上記弾性表面波フィルタにおける各モードでの、弾性表面波方向に分布している弾性表面波のエネルギー分布について説明する図である。
【図４】上記弾性表面波フィルタにおける周波数軸上の各モードの位置を説明するための伝送特性を示すグラフである。
【図５】実施の形態１にかかる実施例１の弾性表面波フィルタにおける各モードの共振周波数、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数と配置を説明するための伝送特性を示すグラフである。
【図６】実施例１の弾性表面波フィルタにおける電極指の先端とバスバーとの間の間隔を変化させたときの、伝送特性を示すグラフである。
【図７】本発明の比較例１にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す図である。
【図８】比較例１にかかる実施例２の弾性表面波フィルタにおける電極指の先端とバスバーとの間の間隔を変化させたときの、伝送特性を示すグラフである。
【図９】電極指の先端とバスバーとの間の間隔と、ＳＳＢＷの励振によるリップルの周波数および周波数軸上に隣り合う２つの共振モードの共振周波数との関係を示すグラフである。
【図１０】比較例１と同様の構成とした本発明の実施の形態の弾性表面波フィルタにおけるＳＳＢＷのリップルによる挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１１】比較例１と同様の構成とした本発明の実施の形態の弾性表面波フィルタにおける寄生容量による挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１２】比較例１と同様の構成とした本発明の実施の形態の弾性表面波フィルタにおける、ＳＳＢＷのリップルによる挿入損失と、寄生容量による挿入損失の両方を考慮したときの、挿入損失の変化を示すグラフである。
【図１３】本発明の実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態３にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態４にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１６】本発明の実施の形態５にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１７】本発明の実施の形態６にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１８】本発明の実施の形態７にかかる弾性表面波フィルタ（弾性表面波装置）の概略の構成を示す図である。
【図１９】上記実施の形態の弾性表面波装置を用いた通信装置の要部ブロック図である。
【符号の説明】
Ａ    弾性表面波装置
１００、２００    弾性表面波フィルタ
３００、４００、５００、６００    弾性表面波共振子
１０１、１０２、１０３    くし型電極部（ＩＤＴ）
２０１、２０２、２０３    くし型電極部（ＩＤＴ）
１０４、１０５    反射器
２０４、２０５    反射器
Ａ１    不平衡信号用端子
Ａ２、Ａ３    平衡信号用端子
Ｂ    弾性表面波装置
７００、８００    弾性表面波フィルタ
９００、１０００、１１００、１２００    弾性表面波共振子
７０１、７０２、７０３    くし型電極部（ＩＤＴ）
８０１、８０２、８０３    くし型電極部（ＩＤＴ）
７０４、７０５    反射器
８０４、８０５    反射器
【図１】
2004260402.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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