(57)【要約】【課題】本発明は、縦型熱処理炉に用いるウェーハボートに関し、熱処理時にウェーハ支持の不均等に由来するスリップの発生を防止し、さらにウェーハの縁が欠けたりキズが発生する問題を解決したウェーハボートを提供することを目的としている。【解決手段】ウェーハ支持部材の内少なくとも１本を着脱式ウェーハ支持部材とし、着脱式ウェーハ支持部材は、一方の面にウェーハ載置部を有し、該面に凹部または凸部を有し、他方に凸部または凹部を有し、凹部は他の着脱式ウェーハ支持部材の凸面と嵌合、積み重ねられてウェーハ支持部材を構成する。一方の面と他方の面の間隔は前記固定式ウェーハ支持部材の溝部間隔と同一とさせることにより解決できる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦型の熱処理炉に用いられ、ウェーハ挿入取り出しの開口部を残してウェーハ装入溝を有する固定支持体が複数個配置されたウェーハボートにおいて、前記固定支持体と、ウェーハ円周方向に等間隔をもって開口部に設けた着脱式支持部材にてウェーハを支持することを特徴とする縦型熱処理炉用ウェーハボート。
【請求項２】
上記着脱式支持部材は支持するウェーハに対し個々に分離できることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理炉用ウェーハボート。
【請求項３】
上記着脱式支持部材は一方の面と他方の面の間隔が前記固定式ウェーハ支持部材のウェーハ装入溝部の間隔と同一であり、一方の面にウェーハ載置部を有し、該面に凹部または凸部を有し、他方の面は一方の面と異なる凸部または凹部を有し、凹部は他の着脱式ウェーハ支持部材の凸面と嵌合して積み重ねられ、ウェーハ支持部材を構成することを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理炉用ウェーハボート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、縦型熱処理炉用ウェーハボートに関し、さらに詳細には、半導体ウェーハを熱処理するための縦型熱処理炉用ウェーハボートのウェーハ支持部材の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
縦型熱処理炉は設置スペースも小さく、大口径ウェーハを多量に熱処理するのに適しており、半導体ウェーハの各種熱処理に用いられている。この縦型熱処理炉に用いるウェーハボートは、図３に示すごとく、ウェーハ装入溝部４を有する３本以上のウェーハ支持部材３と該ウェーハ支持部材３を上下で固定するための上部プレート５、下部プレート６から構成され全体でウェーハボート１となっている。
【０００３】
ウェーハ支持部材３が固定されたウェーハボート１では、ウェーハ７をウェーハ支持部材３のウェーハ装入溝部４に載置取り出しするために開口部９が必要であり、２本のウェーハ支持部材３はウェーハの直径相当である１８０度離間して配設されている。このため、ウェーハ７の加重支持位置がウェーハの半分のみの支持となり、支持が均等にならず熱処理時にスリップが発生していた。
【０００４】
ウェーハの加重支持位置を均等にする方法の一例として、ウェーハを移載した後にウェーハを支持する部材がウェーハの周方向に対して移動する事により、ウェーハの加重を均等にする方法である（例えば、特許文献１）。また、ウェーハを開口部から移載した後、開口部に支持部材を取り付け、ウェーハを均等に支持する方法もある（例えば、特許文献２、特許文献３、特許文献４）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−２８３１６２号公報
【特許文献２】
特許第３０３４９０１号公報
【特許文献３】
特許第３１２５９６８号公報
【特許文献４】
特開平１−２２８１２５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェーハを移載した後でウェーハ支持部材を移動させたり、装着したりするとウェーハの縁が欠けたり、キズが発生する原因となる。また、パーティクルも発生し、発生したパーティクルが熱処理することによりウェーハに強固に付着する等の問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような上記問題点に鑑みてなされたものであって、ウェーハ支持の不均等に由来するスリップの発生を防止し、さらにウェーハの縁が欠けたりキズが発生する問題を解決した縦型熱処理炉用ウェーハボートを提供することを目的としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わる縦型熱処理炉用ウェーハボートの実施の形態を図１を用い具体例を示すが、本発明はそれらに限定されるものではない。
【０００９】
縦型熱処理炉に使用するウェーハボート１は、ウェーハ７を載置支持するための多数のウェーハ装入溝部４が形成された複数本の固定式ウェーハ支持部材３と、該支持部材３の両端を固定する上部プレート５、下部プレート６と、積み重ねて１本の支持部材となる着脱式ウェーハ支持部材１０とからなる。
【００１０】
着脱式ウェーハ支持部材１０は、一方の面にウェーハ載置部１１を有し、該面に凹部１２または凸部１３を有し、他方の面は一方の面と異なる凸部１３または凹部１２を有し、凹部１２は他の着脱式ウェーハ支持部材１０の凸面１３と嵌合、積み重ねられてウェーハ支持部材３を構成する。着脱式ウェーハ支持部材１０の一方の面と他方の面の間隔は前記固定式ウェーハ支持部材３のウェーハ装入溝部４の間隔と同一である。
【００１１】
ウェーハ支持部材３はウェーハの円周方向に等間隔であれば、固定式ウェーハ支持部材２本、着脱式ウェーハ支持部材１本に限定されず、ウェーハの支持点数が多いほどウェーハに加わる荷重が分散されるのでスリップの発生が少なくなる。このためウェーハの移載が可能な固定部材の配置間隔を有していれば着脱式ウェーハ支持部材が複数本でも構わない。
【００１２】
【実施例】
本実施例を図１に基づいて説明する。固定式ウェーハ支持部材３を２本有し、上部プレート５および下部プレート６からなるウェーハボート１の下プレート６に着脱式ウェーハ支持部材搬送治具２０を用いて着脱式ウェーハ支持部材１０の凸部１３を下部プレート６の凹部に嵌合させ載置する。ウェーハ７をウェーハ搬送治具２１を用いて固定式ウェーハ支持部材３のウェーハ装入溝部４および着脱式ウェーハ支持部材１０のウェーハ載置部１１に載置する。次に下部プレート６に載置された着脱式ウェーハ支持部材１０の凹部１２に着脱式ウェーハ支持部材搬送治具２０を用いて別の着脱式ウェーハ支持部材１０の凸部１３を嵌合させる。その後前記と同様にウェーハ７をウェーハ搬送治具２１を用いて固定式ウェーハ支持部材３のウェーハ装入溝部４および着脱式ウェーハ支持部材１０のウェーハ載置部１１に載置する。前記を繰り返し行い最後に上部プレート５の凸部を着脱式部材の凹部に嵌合させてウェーハボート１へのウェーハ７の移載を終える。その後縦型熱処理炉へウェーハボート１を挿入し、所定の熱処理を行う。
【００１３】
下部プレートに凹部、上部プレートに凸部を有する場合について述べたが、逆の場合も着脱式部材の上下を変更するだけで可能である。
【００１４】
着脱式ウェーハ支持部材の載置とウェーハの載置を別々に行う方法について述べたが、図２に示すように着脱式ウェーハ支持部材１０のウェーハ載置部１１にあらかじめウェーハ７を載置するとともに、ウェーハ７とウェーハ支持部材１０の載置を同時に行う搬送治具２２により行うことも可能である。
【００１５】
このウェーハボートにシリコンウェーハを載置し、縦型熱処理炉で１２００℃１時間アルゴン雰囲気で熱処理を行い、冷却後シリコンウェーハ裏面を観察したところ、スリップは発生していなかった。
【００１６】
また、比較例として、従来の１８０度開口部を有する４点支持のウェーハボートについて前記と同様の熱処理を行ったところ、ウェーハ支持部にスリップが発生しているのを確認した。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、ウェーハ支持の不均等に由来するスリップの発生を防止し、さらにウェーハの縁が欠けたりキズが発生する問題を解決したウェーハボートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の縦型熱処理炉用ウェーハボートを示す図である。
【図２】本発明の縦型熱処理炉用ウェーハボートの別の例を示す図である。
【図３】一般的な縦型熱処理炉用ウェーハボートを示す図である。
【符号の説明】
１  ウェーハボート
３  ウェーハ支持部材
４  ウェーハ装入溝部
５  上部プレート
６  下部プレート
７  ウェーハ
９  開口部
１０  着脱式ウェーハ支持部材
１１  ウェーハ載置部
１２  凹部
１３  凸部
２０  着脱式ウェーハ支持部材搬送治具
２１  ウェーハ搬送治具
【図１】
2004327776.tif 000003
【図２】
2004327776.tif 000004
【図３】
2004327776.tif 000005