(57)【要約】【課題】  着色材料を高濃度で含有しても、高感度を示す着色感光性樹脂組成物、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成する着色画素の端部の形状が順テーパー形状になり、画素上にオーバーコートを介さずＩＴＯ膜を形成しても前記のＩＴＯ膜が断線しない着色感光性樹脂組成物、および前記の着色感光性樹脂組成物を用いる高品質のカラーフィルタを提供する。【解決手段】  バインダー樹脂（Ａ）、光重合性モノマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、着色材料（Ｄ）および溶剤（Ｅ）を含有する着色感光性樹脂組成物において、光重合性モノマー（Ｂ）が、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）および同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダー樹脂（Ａ）、
光重合性モノマー（Ｂ）、
光重合開始剤（Ｃ）、
着色材料（Ｄ）および
溶剤（Ｅ）を含有する着色感光性樹脂組成物において、
光重合性モノマー（Ｂ）が、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）および同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）を含む
ことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）ならびに同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）の分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量が、それぞれ１，０００より小さい請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）と同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）との合計を１００質量部としたとき、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）の使用比率が１０〜９０質量部の範囲である請求項１または２に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
光重合開始剤（Ｃ）が、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物およびビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種を含んでなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
バインダー樹脂（Ａ）が、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を含む重合体である請求項１〜４のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
バインダー樹脂（Ａ）が、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と（メタ）アクリレート化合物から導かれる構成単位を含む共重合体である請求項１〜５のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
さらに、光重合開始助剤（Ｃ−１）を含有する請求項１〜６のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１〜７の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像するパターンの形成方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項９に記載のカラーフィルタを使用した液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線硬化型インキやフォトレジストなどに広く利用されている感光性樹脂組成物に関するものであり、特に、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像（以下、画素と言うことがある。）を形成するためのレジストに好適な着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置や撮像素子などにおけるカラーフィルタは、通常、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に、赤、緑および青の三原色画素を形成することにより製造されている。また、通常、これら画素間を遮光するためのブラックマトリックスが設けられる。そして、これら各色の画素を形成するには、ブラックマトリックスが形成された基板上に、各色に相当する顔料を含有するレジスト液をスピンコーターにより均一に塗布した後、加熱乾燥（プリベーク）し、その塗膜を露光、現像する方法が採用されており、これらの操作をカラーフィルタに必要とされる色毎に繰り返すことにより、各色の画像を得ている。このようなレジストとして、顔料およびバインダー樹脂とともに、光重合性モノマーおよび光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が多く使用されている。また、ブラックマトリックスの形成にも、黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いることがある。
【０００３】
このようなレジストに使用される光重合性モノマーは、カラーフィルタを作製するのに必要な特性および品質を左右することから、感度、現像性、解像性および密着性が良好なカラーフィルタ用光重合性組成物として、重合性モノマーが同一分子内に３〜４個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーと同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーとの混合物が提案されている（例えば、特許文献１など参照。）。
【０００４】
前記のカラーフィルタを形成する場合、通常は画素上にオーバーコートを介してＩＴＯ膜を蒸着する（例えば、特許文献３〜５、非特許文献１など参照。）ので、画素が熱履歴を受けても問題は生じなかったが、近年、カラーフィルタの生産性を上げるために、オーバーコートを省略することが望まれている。しかし、オーバーコートを省略して、画素上にＩＴＯ膜を形成すると、画素にシワが入ったり、ＩＴＯ膜が断線したりという問題がある（例えば、特許文献６、特許文献２など参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３１９５８３号公報  ２ページ左欄２行目−２ページ左欄８行目
【特許文献２】特開２００２−２３６２１０号公報  ２ページ左欄４９行目−右欄２行目
【特許文献３】特開平７−５３１９号公報８ページ左欄１７行目−４７行目
【特許文献４】特開平７−１２８５１９号公報６ページ左欄２１行目−３５行目
【特許文献５】特開２００２−１２９３０７号公報４ページ左欄４５行目−６ページ右欄１４行目
【特許文献６】特開平９−２９２５１４号公報２ページ左欄１１−２５行目、３ページ右欄３８−４６行目
【非特許文献１】特許庁”標準技術集  電気  有機ＥＬ  スパッタ蒸着法利用ＩＴＯ電極製造法”、[online]、［更新日  2002.6.28］、［平成１５年１０月２日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/yuuki_el/body_htm/d008.htm＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、着色材料を高濃度で含有しても、高感度を示す着色感光性樹脂組成物、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成する着色画素の端部の形状が順テーパー形状になり、画素上にオーバーコートを介さずＩＴＯ膜を形成しても前記のＩＴＯ膜が断線しない着色感光性樹脂組成物、および前記の着色感光性樹脂組成物を用いる高品質のカラーフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、鋭意検討の結果、特定の光重合開始剤を含む着色感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、  バインダー樹脂（Ａ）、光重合性モノマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、着色材料（Ｄ）および溶剤（Ｅ）を含有する着色感光性樹脂組成物において、光重合性モノマー（Ｂ）が、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）および同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物、前記の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像するパターンの形成方法、前記の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の着色感光性樹脂組成物により得られる着色画素は、順テーパー形状になり好ましい。したがって、前記の順テーパー形状の画素上にオーバーコートを介さずに直接ＩＴＯ膜を形成してもＩＴＯ膜が断線することはない。したがって、本発明の着色感光性樹脂組成物を顔料分散レジストとして使用し、カラーフィルタを作製する場合、生産性に優れ、かつ高品質なカラーフィルタを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、主に顔料分散レジストとして使用されるものであって、通常は顔料である着色材料（Ｄ）、バインダー樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｃ）および光重合性モノマー（Ｂ）として、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーおよび同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマーと同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーとの混合物、任意に（Ｆ）その他の添加剤が、溶剤（Ｅ）に溶解または分散されている。
【００１１】
バインダー樹脂（Ａ）は、アルカリ溶解性を有し、また着色材料の分散媒として作用する。本発明で用いられるバインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を含む重合体が好ましい。前記のバインダー樹脂として、不飽和カルボン酸およびこれと共重合が可能な他のモノマーとを共重合させて得られる樹脂がより好ましい。
【００１２】
前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位としては、具体的には、アクリル酸から導かれる構成単位およびメタクリル酸から導かれる構成単位が挙げられる。アクリル酸およびメタクリル酸は、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。また、これらのアクリル酸やメタクリル酸に加えて、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸など、他の不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種のカルボン酸を併用することもできる。また、α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有するモノマーを併用することもできる。
【００１３】
本発明に用いられるバインダー樹脂は、以上のような不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と、前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と共重合可能な構成単位から得られる樹脂が好ましい。前記の不飽和カルボン酸から導かれる構成単位と共重合可能な構  
【００１４】
成単位としては、好ましくはアクリル酸エステルから導かれる構成単位が挙げられる。
【００１５】
アクリル酸エステルから導かれる構成単位としては、アクリレート化合物が挙げられ、具体的には、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよびアミノエチル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸の無置換または置換アルキルエステル；
シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘプチル（メタ）アクリレート、シクロオクチル（メタ）アクリレート、メンチル（メタ）アクリレート、シクロペンテニル（メタ）アクリレート、シクロヘキセニル（メタ）アクリレート、シクロヘプテニル（メタ）アクリレート、シクロオクテニル（メタ）アクリレート、メンタジエニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ピナニル（メタ）アクリレート、トリシクロデシル（メタ）アクリレート、トリシクロデシルオキシエチル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、ノルボルネニル（メタ）アクリレート、ピネニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレートおよびジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸の脂環式基を含むエステル；
グリシジル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸グリシジルエステル；
オキセタン（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸オキセタンエステル；
オリゴエチレングリコールモノアルキル（メタ）アクリレートのようなグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステルなどが挙げられ、好ましくは、メチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００１６】
さらに好ましくは、前記の共重合体において、不飽和カルボン酸およびアクリル酸エステルと共重合が可能な他のモノマーを用いることもできる。前記の他のモノマーから導かれる構成単位としては、スチレン、α−メチルスチレンおよびビニルトルエンのような芳香族ビニル化合物；
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル；
（メタ）アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルのようなシアン化ビニル化合物；
Ｎ−フェニルマレイミドのようなマレイミド化合物などが挙げられる。
これらは、バインダー樹脂（Ａ）の製造にあたって、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いてもよい。
また、さらに、必要により、アクリル酸エステル以外の不飽和化合物を併用しても差し支えない。
【００１７】
これら他の構成単位のなかでも、（メタ）アクリル酸エステル、とりわけ（メタ）アクリル酸の無置換または置換アルキルエステルや（メタ）アクリル酸の脂環式基を含むエステルが有利に用いられる。
【００１８】
バインダー樹脂（Ａ）において、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位は、前記共重合体の全構成単位のうち、通常１０〜５０質量％、好ましくは１５〜４０質量％の範囲で存在させるのが好ましい。不飽和カルボン酸から導かれる構成単位が前記の基準で１０〜５０質量％であると、現像液への溶解性が十分であるので、未露光部の基板上に残渣が発生することなく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じることがなく画素全体が剥離することがない傾向にあり、好ましい。
【００１９】
バインダー樹脂（Ａ）は、ポリスチレン換算の重量平均分子量が１０，０００〜１００，０００の範囲にあることが好ましく、より好ましくは１５，０００〜５０，０００の範囲である。バインダー樹脂（Ａ）の重量平均分子量が、１０，０００〜１００，０００の範囲にあると、現像時に膜減りが生じにくく、また現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
このバインダー樹脂（Ａ）は、レジスト組成物中の全固形分量に対して、通常５〜９０質量％、好ましくは１０〜７０質量％の範囲で含有される。バインダー樹脂（Ａ）が、前記の基準で５〜９０質量％であると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
【００２０】
本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合性モノマー（Ｂ）は、光および後述する光重合開始剤（Ｃ）の作用で重合しうる化合物であり、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ１１）および同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマー（ｂ１２）からなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマー（ｂ１０）と、同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマー（ｂ２０）とを併用することに特徴がある。
【００２１】
同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−１，３−ジアクリロキシプロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸変性物、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、好ましくはジメチロール−トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸変性物が挙げられ、より好ましくはジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂のアクリル酸変性物が挙げられる。
【００２２】
同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーとしては、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、１，３−ブチレングリコールジビニルエーテル、１，４−ブタンジオールジビニルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジビニルエーテル、１，４−シクロヘキサンジオールジビニルエーテル、ネオペンチルグリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ジプロピレングリコールジビニルエーテル、トリプロピレングリコールジビニルエーテル、ポリプロピレングリコールジビニルエーテル、２−ヒドロキシ−１，３−ジビニルオキシプロパン、２，２−ビス［４−（ビニルオキシエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（ビニルオキシジエトキシ）フェニル］プロパン、３−メチルペンタンジオールジビニルエーテル、ジメチロール−トリシクロデカンジビニルエーテル、ハイドロキノンのジビニルエーテル化物、ビスフェノールＡのジビニルエーテル化物などが挙げられ、好ましくはが挙げられ、より好ましくはが挙げられる。
【００２３】
同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーとしては、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートや共栄社化学（株）製のＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ等のウレタンアクリレートが挙げられ、好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが挙げられる。
【００２４】
前記の同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーおよび同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマーならびに同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーの分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量は１，０００未満であることが好ましく、８００未満であることがより好ましい。前記の各モノマー成分の分子量ポリスチレン換算重量平均分子量が前記の範囲にあると、均一な塗膜が得られるので好ましい。ただし、前記の各モノマー成分の分子量またはポリスチレン換算重量平均分子量が１，０００を越える場合でも、均一な塗膜が得られるものであれば、使用することは差し支えない。
【００２５】
その他、本発明の効果を損なわない程度に、その他の単官能モノマーやその他の多官能モノマーを使用することができる。その他の単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
その他の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、などが挙げられる。
【００２６】
光重合性モノマー（Ｂ）は、着色感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂（Ａ）および光重合性モノマー（Ｂ）の合計１００質量部に対して、通常１〜６０質量部、好ましくは５〜５０質量部の範囲で含有される。光重合性モノマー（Ｂ）の含有量が、前記の基準で１〜６０質量部の範囲であると、画素部の強度、パターン形状や平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
また、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーおよび同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマーと、同一分子内に５個以上の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーの使用比率は、これらのモノマーの合計を１００質量部とした場合、同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーおよび同一分子内に２個のビニルエーテル基を有するビニルエーテルモノマーからなる群から選ばれる少なくとも１種のモノマーの使用比率が１０〜９０質量部の範囲が好ましく、１５〜８０質量部の範囲がより好ましい。使用比率が前記の範囲内であると、順テーパー形状が得られるので好ましい。
【００２７】
次に、本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤（Ｃ）は、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物およびアセトフェノン化合物の少なくとも１種を含有する光重合開始剤であると、得られる着色感光性樹脂組成物は、より高感度となり好ましい。
さらに、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物およびビイミダゾール化合物の少なくとも１種を含有する光重合開始剤に加えて、光重合開始助剤（Ｃ−１）を併用することで、得られる着色感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてカラーフィルタを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。
【００２８】
本発明の着色感光性樹脂組成物において用いられる光重合開始剤（Ｃ）に含まれるトリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシフェニル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシナフチル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシスチリル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられ、アセトフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、さらに、ビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば特許文献７および８等。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば特許文献９および１０等。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（特許文献１１）などが挙げられ、好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００２９】
【特許文献７】特開平６−７５３７２号公報  ３ページ左欄２７行目−４１行目
【特許文献８】特開平６−７５３７３号公報  ３ページ左欄４９行目−右欄１３行目
【特許文献９】特公昭４８−３８４０３号公報  ２ページ左欄４０行目−右欄４４行目
【特許文献１０】特開昭６２−１７４２０４号公報  ２ページ右欄１３行目−３ページ左欄９行目
【特許文献１１】特開平７−１０９１３号公報  ３ページ左欄２３行目−３７行目
【００３０】
また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等を併用することができ、例えば、ベンゾイン系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、アントラセン系、およびその他の開始剤が挙げられる。より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または２種以上組み合わせて用いることができる。
【００３１】
（ａ）ベンゾイン系
ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、
ベンゾインイソブチルエーテルなど。
（ｂ）ベンゾフェノン系
ベンゾフェノン、
ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、
４−フェニルベンゾフェノン、
４−ベンゾイル−４′−メチルジフェニルサルファイド、
３，３′，４，４′−テトラ（tert−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、
２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなど。
【００３２】
（ｃ）チオキサントン系
２−イソプロピルチオキサントン、
４−イソプロピルチオキサントン、
２，４−ジエチルチオキサントン、
２，４−ジクロロチオキサントン、
１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなど。
【００３３】
（ｄ）アントラセン系
９，１０−ジメトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、
９，１０−ジエトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなど。
【００３４】
（ｅ）その他
２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、
１０−ブチル−２−クロロアクリドン、
２−エチルアントラキノン、
ベンジル、
９，１０−フェナンスレンキノン、
カンファーキノン、
フェニルグリオキシル酸メチル、
チタノセン化合物など。
【００３５】
また、光重合開始剤に光重合開始助剤（Ｃ−１）を組み合わせて用いることもできる。光重合開始助剤としては、アミン化合物、チオール基含有化合物および特定のカルボン酸化合物が好ましく、アミン化合物は芳香族アミン化合物がより好ましい。光重合開始助剤の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられ、チオール基含有化合物は、分子中にチオール基を有する化合物であり、チオール基を一個有するチオール化合物として、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール等、脂肪族基にチオール基を複数有する脂肪族多官能チオール化合物の例としては、ヘキサンジチーオル、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレ−ト、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネートおよび、これらの他に、多価ヒドロキシ化合物のチオグリコレート、チオプロピオネートなどが挙げられ、好ましくはトリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレートおよびペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートが挙げられる。特定のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などが挙げられる。
【００３６】
光重合開始剤（Ｃ）において、バインダー樹脂（Ａ）および光重合性モノマー（Ｂ）の合計１００質量部に対し、光重合開始剤（Ｃ）の合計量は、通常０．１〜４０質量部、好ましくは１〜３０質量部である。また（３）光重合開始助剤の合計量は、バインダー樹脂（Ａ）および光重合性モノマー（Ｂ）の合計１００質量部に対し、通常０．１〜５０質量部、好ましくは１〜４０質量部の範囲で含有される。
光重合開始剤（Ｃ）の合計量が前記の範囲にあると、着色感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度や、前記の画素の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
さらに光重合開始剤（Ｃ）に加えて、光重合開始助剤（Ｃ−１）の量が前記の範囲にあると、得られる着色感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成するカラーフィルタの生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
【００３７】
着色材料（Ｄ）は、通常顔料であり、顔料分散レジストに通常用いられる有機顔料または無機顔料であることができる。無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。また有機顔料および無機顔料として、具体的には、カラーインデックス（Colour Index）（The Society of Dyers and Colourists 出版）で、ピグメント（Pigment） に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス（Ｃ.Ｉ.）番号の化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００３８】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６および１７３；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５および７１；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２２４、２４２および２５４；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１４、１９、２３、２９、３２、３３、３６、３７および３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５（１５：３、１５：４、１５：６など）、２１２２、２８、６０および６４；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、１０、１５、２５、３６および４７；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１および７など。
【００３９】
これらの着色材料（Ｄ）は、それぞれ単独で、または２種以上組み合わせて用いることができる。着色材料（Ｄ）は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分量を基準に、通常５〜６０質量％、好ましくは１０〜５５質量％の範囲で用いられる。着色材料（Ｄ）の含有量が、前記の基準で５〜６０質量部の範囲であると、薄膜にしても画素の色濃度が十分であり、現像時に非画素部の抜け性が低下することがないため、残渣が発生しにくい傾向があり、好ましい。
【００４０】
溶剤（Ｅ）は、この分野で用いられている各種のものであることができる。その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類；
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンのようなケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンのようなアルコール類；
３−エトキシプロピオン酸エチルおよび３−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類；
γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などが挙げられる。
これらの溶剤（Ｅ）は、それぞれ単独で、または２種類以上混合して用いることができる。
溶剤（Ｅ）の使用量は、前記の溶剤を含む着色感光性樹脂組成物全体の量を基準に、６０〜９０質量％、好ましくは７０〜８５質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が、前記の基準で６０〜９０質量部の範囲であると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００４１】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材などの添加剤（Ｆ）を混合使用することもできる。
【００４２】
充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが、他の高分子化合物として具体的には、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレートなどを用いることができる。
【００４３】
顔料分散剤としては、市販の顔料分散剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファックス（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821（味の素（株）製）などが挙げられる。
【００４４】
密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００４５】
酸化防止剤として具体的には、２，２′−チオビス（４−メチル−６−tert−ブチルフェノール）、２，６−ジ−tert−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００４６】
紫外線吸収剤として具体的には、２−（３−tert−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４７】
他の高分子化合物として具体的には、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂やポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。
【００４８】
また凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００４９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。すなわち、着色材料（Ｄ）を予め溶剤（Ｅ）と混合し、着色材料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤が使用され、またバインダー樹脂（Ａ）の一部または全部が配合されることもある。得られた分散液（ミルベース）に、バインダー樹脂（Ａ）の残り、光重合性モノマー（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）、必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤を、所定の濃度となるように添加し、目的の着色感光性樹脂組成物を得る。
【００５０】
こうして調製された感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして基材上に塗布し、光硬化および現像を行って、ブラックマトリックスまたは着色画像とすることができる。まず、この組成物を基板（通常はガラス）上にスピンコートし、加熱乾燥（プリベーク）することにより溶剤を除去して、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、およそ１〜３μｍ程度である。このようにして得られた塗膜に、目的のブラックマトリックスまたは画像を形成するためのネガマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜を希アルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするブラックマトリックスまたは画像が得られる。現像後、必要に応じて１５０〜２３０℃で１０〜６０分程度の後硬化（ポストベーク）を施すこともできる。
【００５１】
パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の好ましい濃度は、０．０１〜１０質量％の範囲であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【００５２】
またアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また２種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通常０．０１〜１０質量％の範囲、好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【００５３】
以上のような感光性樹脂液の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各工程を経て、感光性樹脂組成物中の着色材料の色に相当する画素またはブラックマトリックスが得られ、さらにこれらの操作を、カラーフィルタに必要とされる色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタが得られる。すなわち、カラーフィルタは通常、ブラックマトリックス並びに、赤、緑および青の三原色画素を基板上に配置したものであるが、ある色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて上記の操作を行うことにより、その色のブラックマトリックスまたは画素を得て、他の色についても所望の色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて同様の操作を行い、ブラックマトリックスおよび三原色画素を基板上に配置することができる。もちろん、ブラックマトリックスおよび三原色のうちいずれか一色、二色または三色にのみ、本発明の感光性樹脂組成物を適用することも可能である。なお、遮光層であるブラックマトリックスは、例えば、クロム層などで形成されることもあるので、この場合にはもちろん、ブラックマトリックスの形成に本発明の着色感光性樹脂組成物を用いる必要はない。
【００５４】
そして、本発明の感光液を用いて製造されたカラーフィルタは、面内の膜厚差が小さく、例えば１〜３μｍの膜厚で、面内膜厚差を０．１５μｍ以下、さらには０．０５μｍ以下とすることができる。
さらに得られた画素上に、オーバーコートを介することなく、ＩＴＯ膜を形成することができる。ＩＴＯ膜は、例えば、非特許文献１に記載の条件を適宜検討することで、形成しうる。
したがって、こうして得られるカラーフィルタは、順テーパー形状の画素パターンを有し、これをカラー液晶表示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶パネルを高い歩留りで製造することができる。
【実施例】
【００５５】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味 および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す％および部は、特に断らないかぎり質量基準である。
【００５６】
実施例１
表１に記載の各成分のうち、予め顔料および顔料分散剤の合計量が、顔料、顔料分散剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物に対して２０質量％となるように混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、これにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの残量を含む残りの成分を加えて混合し、着色感光性樹脂組成物を得た。
【００５７】
【表１】
2004163917.tif 000002
【００５８】
２インチ角のコーニング社製＃７０５９ガラス基板を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、上で調製した感光性樹脂液（表１）をスピンコートし、次にクリーンオーブン中、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、このレジスト塗布基板と石英ガラス製フォトマスク（透過率を１〜１００％の範囲で階段状に変化させるパターンと１ミクロンから５０ミクロンまでのライン／スペースパターンを有する）との間隔を１００μｍとし、ウシオ電機（株）製の超高圧水銀ランプ（型番；ＵＳＨ−２５０Ｄ）を用いて大気雰囲気下、１００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で光照射した。その後、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％を含む水系現像液に上記塗膜を室温で所定時間浸漬して現像し、水洗後、２２０℃で３０分間ポストベークを行って、画素を得た。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ＩＴＯ膜を形成した。ＩＴＯ膜の形成は、アネルバ（株）製の蒸着装置（型番；ＳＰＦ−５３０Ｈ）を用い、スパッタ温度120℃、蒸着速度５０ｎｍ／分で３分間ＩＴＯスパッタした後、常圧のクリーンオーブン中において２３０℃で４０分間アニール処理してＩＴＯ膜を形成した。走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、ＩＴＯ膜が断線していないことを確認した。
【００５９】
実施例２
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ネオペンチルグリコールジアクリレート（分子量２１２）に変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく形成されたＩＴＯ膜は、断線していなかった。
【００６０】
実施例３
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸変性化物（共栄社化学（株）製  エポキシエステル３０００Ａ；分子量４８４）に変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたＩＴＯ膜は、断線していなかった。
【００６１】
比較例１
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）KAYARAD DPHA）に変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ＩＴＯ膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にＩＴＯ膜が成膜されておらず、ＩＴＯ膜が断線していた。
【００６２】
比較例２
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ペンタエリスリトールテトラアクリレートに変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ＩＴＯ膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にＩＴＯ膜が成膜されておらず、ＩＴＯ膜が断線していた。
【００６３】
比較例３
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、トリメチロールプロパントリアクリレートに変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表２に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、ＩＴＯ膜を形成すると、走査型電子顕微鏡による画素断面観察で、逆テーパー部分にＩＴＯ膜が成膜されておらず、ＩＴＯ膜が断線していた。
【００６４】
実施例４
実施例１において、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレートを、ビスフェノールＡのジビニルエーテル化物（日曹丸善ケミカル（株）製  ＢＰＡ−ＤＥＶＥ；分子量３６８）に変更する以外は、実施例１と同様の操作を行った。得られた結果を表３に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたＩＴＯ膜は、断線していなかった。
【００６５】
実施例５
実施例４において、ビスフェノールＡのジビニルエーテル化物を、ハイドロキノンのジビニルエーテル化物（日曹丸善ケミカル（株）製  ＨＱ−ＤＥＶＥ）に変更する以外は、実施例４と同様の操作を行った。得られた結果を表３に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたＩＴＯ膜は、断線していなかった。
【００６６】
実施例６
実施例４において、ビスフェノールＡのジビニルエーテル化物を、１，４−ブタンジオールのジビニルエーテル化物（ＢＡＳＦ社製  Butandiol-1,4-Divinyl ether）に変更する以外は、実施例４と同様の操作を行った。得られた結果を表３に示す。得られた画素上にオーバーコートを介することなく、形成されたＩＴＯ膜は、断線していなかった。
【００６７】
【表２】
2004163917.tif 000003
【００６８】
【表３】
2004163917.tif 000004
【００６９】
表中の注釈の説明
*1：現像しても表面荒れがないパターンを形成するために必要な最低必要露光量を示す。
*2：露光量３０ｍJ／ｃｍ２で露光し、現像およびポストベーク（２２０℃×２０分）後の画素断面を走査型電子顕微鏡観察した。（逆テーパー形状でない形状；○、逆テーパー形状；×）
【００７０】
表２および得られた結果からから、本発明の光重合開始剤を含む実施例１〜３の着色感光性樹脂組成物では、高感度で、順テーパー形状のパターンが得られ、ポストベーク後の表面平滑性は良好であることがわかるが、本発明の同一分子内に２個の（メタ）アクリル基を有する（メタ）アクリルモノマーを含まない比較例１〜４の着色感光性樹脂組成物では、感度は良好であるが、順テーパー形状が得られないことがわかる。
また、表３および得られた結果から、本発明の光重合開始剤を含む実施例４〜６の着色感光性樹脂組成物では、順テーパー形状のパターンが得られたことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像を形成するためのレジストに好適な着色感光性樹脂組成物である。