(57)【要約】【課題】基体上へのアナターゼ型チタニア系ナノ構造体の構築とその配列化により、比表面積が増大し、また、例えば、開放表面孔を持つ中空型ナノ構造体を形成し、特に、光触媒活性の高効率化を図ること。【構成】基体上に形成された多孔質陽極酸化皮膜の規則化配列した細孔中に充填され、該細孔底部のアンカー効果を発現する微細凹凸構造を有する導電層上に直接接合している光触媒特性を有するアナターゼ型チタニア系結晶体からなるナノ構造体を、チタニアゾル中に（１）粘度を低下させる酸化物ゾル、（２）３００〜４００℃の低温加熱でガラス化する酸化物ゾル、（３）可視光吸収特性を有する酸化物ゾル、（４）Ｔｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質、からなる群から選ばれる少なくとも１種を添加したチタニアゾルを充填し、そのゲル化及び結晶化により形成する。【選択図】　図２
2004130171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に形成された多孔質陽極酸化皮膜の規則化配列した細孔中に充填され、該細孔底部のアンカー効果を発現する微細凹凸構造を有する導電層上に直接接合しているチタニア系結晶体からなるナノ構造体であって、該結晶体がチタニアゾル中に粘度を低下させる酸化物ゾル、３００〜４００℃の低温加熱でガラス化する酸化物ゾル、可視光吸収特性を有する酸化物ゾル、Ｔｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質、からなる群から選ばれる少なくとも１種を添加したチタニアゾルのゲル化及び結晶化により形成された光触媒特性を有するアナターゼ型チタニアを主成分とする結晶体であることを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体。
【請求項２】
請求項１記載の基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の多孔質陽極酸化皮膜が溶解除去されて形成された、ナノチューブ、ナノドット、ナノロッド、ナノファイバ、又はナノワイアから選ばれた少なくとも１種類からなる形状を有することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体。
【請求項３】
基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に粘度が２．１ｃＳｔ−２０℃以下の酸化物ゾルを１〜２０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【請求項４】
基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に３００〜４００℃の低温加熱でガラス化する酸化物ゾルを０．５〜１０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【請求項５】
基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に可視光吸収特性を有する酸化物ゾルを０．１〜５重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【請求項６】
基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中にＴｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質を０．１〜１０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【請求項７】
請求項３ないし６のいずれかに記載の方法によりアナターゼ型チタニア結晶体を形成した後、多孔質アルミナ皮膜を溶解除去することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体、特に、ガラス等の透明基体上に直接接合して規則配列した、高い比表面積を持ち、有害有機化合物等を高効率で分解除去できるセルディメンション及び化学組成からなる耐久性と強度に優れた光触媒特性を有するナノ構造体、及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光触媒特性を持つアナターゼ型酸化チタンは既に良く知られている。この結晶は、一般的には、例えば、原料の酸化チタン粉末を約７００〜８００℃で焼成したりして作成するが、およそ１０００℃以上の加熱では徐々に安定なルチル型に転移し、これに伴い光触媒特性も徐々に低下する。
【０００３】
これに対して、溶液法のゾル−ゲル法では、約４００〜５００℃程度の低温加熱処理で容易にアナターゼ型となり、６００℃以上ではルチル型に転移する利点をもつ。また、このとき、ゾル−ゲル法により形成したチタニア膜は、粒子が小さく、ＰＶＤ、ＣＶＤ等の蒸着法で形成した膜よりも比表面積が大きいことも知られている。
【０００４】
今日、市販されている光触媒用チタニアの作成は湿式法が多く、粒状原料を用いて焼成して得た平滑な基板や表面凹凸のある基板等が多く用いられている。一方、これらの触媒体の形状は、用途によって異なるが、通常はナノチューブ、ナノロッド等のナノ構造体が配列したほどには微細ではなく、大きなディメンションの構造体である。
【０００５】
従来品のチタニア基板は、表面のクラックや大きな粒子の界面を利用したり、表面にスタンパー等で押印した大きな凹凸模様による表面を利用したりするものであり、比表面積は一般的にあまり大きくはない。これらの微細構造はμｍ〜サブμｍ程度である。また、従来のゾル−ゲル法では、基板上のゲル表面積の凹凸や膜内の大小様々なクラックを利用し比表面積を高めているものもあるが、比表面積はあまり大きくならず限界がある。
他の方法として、陽極酸化皮膜の細孔内にチタニア等の光触媒粒子を充填するものがある（特許文献１〜５）。
【０００６】
最近、急激にナノマテリアルの分野が注目され、新たな視点からのナノ構造体の見直しが始まっている。現在は、ナノ構造体としての多孔質皮膜のみならず、皮膜細孔中の電析物や浸入物質等を含めたナノ構造体に関する多くの知見が見られる。特に、最近では、皮膜をテンプレートとして応用する研究が盛んで、皮膜の細孔中にＣＶＤ法、ＰＶＤ法、ゾル−ゲル法、めっき法、及び有機膜法等により、種々の金属、無機物、有機物を浸入させて、ナノドット、ナノロッド、ナノチューブ及びナノファイバ等が配列したナノ構造体の作製例がある（特許文献６〜１１、非特許文献１〜４）。
【０００７】
上記のような背景を踏まえ、本発明者らは、導電層付き基体の利用展開を目指して、特に、この基体表面と金属の陽極酸化皮膜層との密着性と成膜形態に注目しつつ、陽極酸化法とゾル−ゲル法を組み合わせたチタニアナノチューブ等のナノ構造体の作製上の様々な利点に着目し、これらの技術の総合統一化を図ること、そして、実用化を視野に入れつつ先端技術への展開と地球環境保全のための新たな材料開発手段を開発した（非特許文献５）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−７１８９７号公報
【特許文献２】
特開平１０−２４９２１２号公報
【特許文献３】
特開平１１−２６７５１４号公報
【特許文献４】
特開２００１−２０５１０１号公報
【特許文献５】
特開２００１−３０３２９６号公報
【特許文献６】
特開平１１−２０００９０号公報
【特許文献７】
特開２０００−３１４６２号公報
【特許文献８】
特開２０００−３１４７１４号公報
【特許文献９】
特開２００１−１６２６００号公報
【特許文献１０】
特開２００１−２７８７００号公報
【特許文献１１】
特開２００２−１７５６２１号公報
【０００９】
【非特許文献１】
Ｍａｓｕｄａ，Ｈ．，　Ｔａｎａｋａ，　Ｈ．，　Ｂａｂａ，　Ｎ．，　Ｂｕｌｌ．　Ｃｈｅｍ．　Ｓｏｃ．　Ｊｐｎ．，　１９９３，　６６，　３０５．
【非特許文献２】
Ｍａｒｔｉｎ，　Ｃ．　Ｒ．，　Ｓｃｉｅｎｃｅ，　１９９４，　２６６，　１９６１．
【非特許文献３】
Ｌａｋｓｈｉｍｉ，Ｂ．　Ｂ．，　Ｐａｔｒｉｓｓｉ，　Ｃ．　Ｊ．，　Ｍａｒｔｉｎ，　Ｃ．　Ｒ．，　Ｃｈｅｍ．　Ｍａｔｅｒ．，　１９９７，　９，　２５４４．
【非特許文献４】
Ｋｙｏｔａｎｉ，Ｔ．，　Ｐａｒａｄｈａｎ，　Ｂ．　Ｋ．，　Ｔｏｍｉｔａ，　Ａ．，　Ｂｕｌｌ．　Ｃｈｅｍ．　Ｓｏｃ．　Ｊｐｎ．，　１９９９，　７２，　１９５７．
【非特許文献５】
社団法人　表面技術協会「第１０３回講演大会講演要旨集」、２０５〜２０６頁、２００１年３月５日発行
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
チタニアの中でもアナターゼ型の酸化チタンが紫外光によって光触媒特性を有し、抗菌、脱臭、防汚作用、浄化作用等の効果を示し、有機物を分解することは既によく知られている。そして、最近は、ガス、汚泥、粉塵等の汚染の激しい環境では、省エネルギーやメンテナンスフリー用のパネル（外装材）や空気清浄機用フィルター、土壌や地下水中の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の除去材等として広く利用され、環境保全材料として今後ますますの発展が期待され、開発研究が活発に行われている。
【００１１】
さらなる開発課題としては、チタニアの結晶度及び活性度の向上、耐汚染性、耐久性、リユース性、物理的強度の向上、比表面積の増大、及び太陽光波長域での応用拡大等が挙げられる。特に、チタニアの触媒活性度の向上はアナターゼの結晶性の向上及び比表面積の増大とともに重要な因子である。
【００１２】
ナノレベルで制御された多孔質型及びナノチューブ配列型を含むナノ構造体は、（１）高効率の光触媒体、（２）太陽電池用の高効率フォトセル、（３）ナノレベルの多機能フォトニックス材料、（４）ナノレベルの高性能垂直磁気記録媒体、（５）ナノレベルハイブリッド化による回路実装分野等への展開が図れ、極めて興味深い材料である。
【００１３】
そこで、本発明は、ガラス等の基体上へのアナターゼ型チタニア系ナノ構造体の構築とその配列化により、比表面積を増大させ、また、例えば、開放表面孔を持つ中空型ナノ構造体を形成し、特に光触媒活性の高効率化を図るとともに、光触媒体以外の用途に適する特性の開発を課題とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
アルミニウム陽極酸化皮膜は、高密度の多孔質構造であるため、高い比表面積を持つことが知られている。本発明は、多孔質アルミナ皮膜とゾル−ゲル法とを組み合わせることによりさらに優れた特性を有するアナターゼ型チタニア系ナノ構造体を開発した。
【００１５】
すなわち、本発明は、下記のとおりである。
（１）基体上に形成された多孔質陽極酸化皮膜の規則化配列した細孔中に充填され、該細孔底部のアンカー効果を発現する微細凹凸構造を有する導電層上に直接接合しているチタニア系結晶体からなるナノ構造体であって、該結晶体がチタニアゾル中に粘度を低下させる酸化物ゾル、３００〜４００℃の低温加熱でガラス化する酸化物ゾル、可視光吸収特性を有する酸化物ゾル、Ｔｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質、からなる群から選ばれる少なくとも１種を添加したチタニアゾルのゲル化及び結晶化により形成された光触媒特性を有するアナターゼ型チタニアを主成分とする結晶体であることを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体。
【００１６】
（２）上記（１）記載の基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の多孔質陽極酸化皮膜が溶解除去されて形成された、ナノチューブ、ナノドット、ナノロッド、ナノファイバ、又はナノワイアから選ばれた少なくとも１種類からなる形状を有することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体。
【００１７】
（３）基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に粘度が２．１ｃＳｔ−２０℃以下の酸化物ゾルを１〜２０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【００１８】
（４）基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に３００〜４００℃の低温加熱でガラス化する酸化物ゾルを０．５〜１０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【００１９】
（５）基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中に可視光吸収特性を有する酸化物ゾルを０．１〜５重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【００２０】
（６）基体上にアルミニウムを蒸着し、陽極酸化により基体上に多孔質アルミナ皮膜からなる規則化配列した細孔を形成して、該細孔にチタニアゾル液を浸入させてゲル化させ、これを加熱してアナターゼ型チタニア系結晶体を形成する方法において、チタニアゾル中にＴｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質を０．１〜１０重量％添加することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【００２１】
（７）上記（３）〜（６）のいずれかの方法によりアナターゼ型チタニア結晶体を形成した後、多孔質アルミナ皮膜を溶解除去することを特徴とする基体上に形成されたチタニア系結晶体からなるナノ構造体の製造方法。
【００２２】
本発明は、アナターゼ型チタニア系ナノ構造体の光触媒デバイス分野への実用化に向けて、優れた耐化学性、物理的強度、機械加工性等を得るために、チタニアゾルへの種々の特性を持つ物質を添加した複合ゾルを用いることを特徴とする。
【００２３】
チタニアゾルへＳｉＯ２やＴｅＯ２等の低温加熱でガラス化する酸化物を添加すると、ゾルと細孔壁との濡れ性の改善、ゲルの緻密化による高強度化及び耐化学性等の向上化が図れ、チタニア単独では得られない様々な相乗効果が生まれ、実用化に向けての光触媒体の特性改善が図れる。また、例えば、ＲｕＯ２のような可視光及び紫外光の吸収を強める化合物を含めることができ、さらに光触媒特性を高めることもできる。
【００２４】
多孔質アルミナ皮膜体を利用して、ＣＶＤ法やＰＶＤ法のような乾式（ドライ）法等により細孔の内壁部に金属や無機物等を吸着及び浸入させてナノ構造体を作成する方法は知られている。しかし、こうした研究では、一般的にナノ多孔体内に種々の物質をいかに制御して浸入させるかが重要であり、通常はゾルと壁との濡れ性、ゾルの粘度、細孔径及び細孔のアスペクト比（アスペクト比＝細孔の長さ／細孔の孔径）が重要な問題となる。また、細孔表面の孔径が小さくなるほど、物質の浸入は難しくなる。
【００２５】
特に、細孔が小さい場合には、アスペクト比が大きくなるほど必然的に細孔の奥（深部）への物質の浸入は容易でなくなる。一般的にＰＶＤ等のドライなプロセスでは、多孔質ナノ構造体の奥に浸入できるアスペクト比はおよそ１〜２程度であり、限界値は１０を超すことはない。これに対して、ゾル−ゲル法のような溶液法による方法では、ゾルが浸入できるアスペクト比がおよそ３０００程度までは可能である。
【００２６】
例えば、ダイオキシンやアセトアルデヒドのような有害物質を効率的に分解するには、ある程度以上の大きさの細孔径とアスペクト比が必要である。つまり、細孔中へのガスの出入りが容易な微細構造を設計し、作成することが必要となる。
【００２７】
有害気体等の一分子のみを出入りさせるには、細孔径は最小およそ４ｎｍ以上必要である。したがって、実用化を目指して有害物質を効率的に分解させるために、開放表面孔を持つナノ構造体が望ましい。そのためには、ゾルの浸入のしやすさ及びゲル層を結晶化させるに必要な厚さを考えると、アルミナ多孔質皮膜の細孔径はおよそ８０ｎｍ〜２５０ｎｍの範囲が適切である。勿論、２５０ｎｍ以上でもよいが、その場合には比表面積が低下することもある。
【００２８】
また、チタニア結晶粒子の大きさから考えると、チタニアゲル層を結晶化させるに適切な厚さは、チタニア結晶粒子の大きさのおよそ２倍以上必要である。このため、酸化チタン等の光触媒効率を高め、かつゾル−ゲル液が細孔壁に沿って浸入しやすくするために、適度な孔径のアルミナ多孔質構造を作成する必要があり、そのために主として電解液の種類、電解電圧、化学溶解等の条件やプロセスを適切に制御する。
【００２９】
しかし、こうして作成したアルミナ多孔体へのチタニアゲル単独コーティングにおいても限界があり、ゾルの粘性、ゲル粒子の大きさ、加熱温度によるゲルと細孔壁との密着性や結晶化度等の基本的な問題、及び光触媒体としての実用化に向けたチタニア改質多孔質ナノ構造体の耐化学性、物理的強度、リユース性等のさらなる改善が求められる。
【００３０】
本発明はこうした問題解決のために、チタニア単独ではなく、チタニアの本来の光触媒特性を活かしつつ実用化に向けた諸特性の改善のために、目的に応じた各種化合物を添加した複合ゾルを用い、アルミナ多孔質ナノ構造体の細孔壁をゾル−ゲルコーティングにより改質し、複合強化を図った。
【００３１】
こうして得られた複合ナノ多孔質構造体を『多孔質複合ナノ構造体』と定義する。そして更に、この多孔質複合ナノ構造体を化学溶解法でアルミナ皮膜のみを除去したアナターゼ型チタニアを主成分とする結晶体からなり、その構造がチューブ状のナノ構造体を『ナノチューブ配列構造体』と定義する。
【００３２】
本発明の多孔質複合ナノ構造体は、細孔がナノオーダであることに加え、さらに細孔中のチタニア結晶粒子が小さいため（約４〜８ｎｍ）、比表面積は従来品に比べて格段に大きく、従来品の平面型酸化チタン基板に比較して、およそ２００倍以上となる。
【００３３】
また、本発明の多孔質複合ナノ構造体は、ナノチューブ、ナノドット、ナノロッド、ナノファイバ、又はナノワイア（アスペクト比：５〜３０００）から選ばれた少なくとも１種類からなる形状を有するが、特に、ナノチューブ配列構造体は、分解物質の出入りが容易な中空型であるため、チューブの内壁又はチューブの内壁と外壁の全ての表面を有効に利用でき、光照射により有害化学物質を効率的に分解することができる。
【００３４】
本発明のナノ構造体は、光触媒作用によりダイオキシン類、アセトアルデヒド、窒素酸化物、悪臭のような有害気体、及び大腸菌、ウイールス等の有害物質の分解による無害化、防汚、脱臭に利用することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明の基体上へのチタニア系複合ナノ構造体の作製工程を図に基づいて説明する。図１のａ）に示すように、基体１の表面に導電層２、例えば、ＩＴＯ、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、又はＳｒＣｕ２Ｏ２及びこれらの物質へのドープ元素（例えば、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｆ、Ａｌ、Ｇａ）を含む化合物のうちのいずれかのような透明導電層を形成する。基体１はガラス、アルミナ、ダイヤモンド、又は有機膜等の透明材料や炭化ケイ素、窒化ケイ素等の耐熱性に優れた半透明及び不透明材料を使用できる。
【００３６】
導電層２が存在しない場合は、蒸着金属層３を完全に酸化させることができず、陽極酸化によって形成されるバリヤー層／基体界面に金属が一部残留して透明性が劣るものとなり、透明材料を基体として用いても基体の透明度が低くダイオキシン類の分解用途には利用できない。
【００３７】
また、導電層は、表面が平坦過ぎると蒸着する金属との密着性が悪く、完全に陽極酸化した後、又は加熱処理時に剥離が起こり利用できない。したがって、導電層表面には、蒸着する金属及びその陽極酸化皮膜との密着性を高めるためのアンカー効果を発現する微細凹凸構造が存在するものを用いるほどよい。このアンカー効果を発現する微細凹凸構造は、２〜２００ｎｍの深さが必要で、これにより種々の大きさの蒸着金属粒子との密着性が高まる。
【００３８】
導電層の形成方法は真空蒸着法、イオンプレーティング法及びスパッタリング法等で行うことができる。導電層の膜厚や表面の微細凹凸構造の深さは、目的により該形成方法の使い分けや成膜速度及び基体温度等を制御することによって調整する。
【００３９】
次に、導電層２上に蒸着金属層３を形成する。金属の蒸着は、真空蒸着法、イオンプレーティング法及びスパッタリング法等で成膜されたものを使用できるが、その成膜条件及び膜質等は、次の工程の陽極酸化により細孔がシリンダー状に整然と配列するようにすることが重要である。例えば、通常は成膜速度は０．２ｎｍ／秒程度であるが、本発明のスパッタリング法では少なくともこの条件を１〜２ｎｍ／秒の範囲で制御し、蒸着粒子が小さく、柱状配向性のない緻密な膜とし、かつ表面の平滑性も可能な限り均一で平らになるように配慮する。
【００４０】
次に、図１のｂ）に示すように、蒸着金属層３を陽極酸化する。蒸着金属の陽極酸化では、ダイオキシン類等の有機物が浸入し易い多孔質アルミナ皮膜４の構造を作ることが重要である。ところが、伝統的かつＪＩＳやＩＳＯに規定された標準的な電解条件で行うと、電圧が上げられないだけでなく、細孔径Ａも、例えば、硫酸皮膜１０〜１５ｎｍ、シュウ酸皮膜２０〜５０ｎｍ、リン酸皮膜３０〜６０ｎｍ程度であるため、有機物等の浸入は不十分である。
【００４１】
このため、例えば、分解のための有機物の大きさとその浸入及び酸化物ゾルの大きさ（ＴｉＯ２ゾルでは粒子の大きさは約３〜２０ｎｍである）等を考慮して、これらの物質が浸入できるのに容易な多孔質アルミナ皮膜４の構造として、細孔径Ａがおよそ８０ｎｍ〜２５０ｎｍになるような電解液、電解条件、製造プロセスを総合的に選択する。つまり、電解液は化学溶解性の高いリン酸溶液、シュウ酸溶液を選択し、電解電圧はセル径（図１のｂのＣで示す孔壁の中心と中心間の距離）が３００〜６００ｎｍと大きくなるように高電圧をかけ、液温度も高電圧がかけられるようにできるだけ低温、好ましくはおよそ１０℃以下とする。
【００４２】
多孔質陽極酸化皮膜４と導電層２との密着性が優れた金属蒸着基体１は、９０〜２００Ｖもの高電圧電解でも多孔質アルミナ皮膜４の構造が破壊されることもなく、導電層２からの剥離もなくなり、シリンダー状細孔の配列した強固な皮膜が形成する。つまり、この密着性が考慮されない一般的な陽極酸化では、例えば、シュウ酸皮膜では電圧をおよそ４０Ｖ以上にすることができず、また、リン酸皮膜でもおよそ６０Ｖ以上での電解は困難である。この電圧を超えると、大電流が流れて皮膜溶解と皮膜破壊が同時に起こり、また導電層からの皮膜剥離も起こり、電解処理できない。
【００４３】
次に、該細孔中にチタニア系複合ナノ構造体物質をゾル−ゲルコーティング法により充填する。ゾル−ゲルコーティング法により、ゾルが孔壁を伝って浸入し、さらに、細孔底部の微細凹凸構造を有する導電体層まで浸入して導電体層と強固に直接接合する。さらに、ゾルは、上記のとおり、蒸着時に形成された孔壁の隙間状の境界領域の隙間にも浸入してゲル化する。これにより、ゾル溶液は、基体上に形成された多孔質陽極酸化皮膜の細孔内壁及び細孔中に充填される。
【００４４】
さらに、化学溶解により、アルミナ細孔壁を選択溶解し、ナノチューブ配列構造体を作製して、ナノチューブの外壁の利用も可能である。従って、これらの複合ナノ構造体は比表面積が高く、有害物質と有効に接触できるため高い光触媒特性が得られる。
【００４５】
本発明の方法では、ゾル−ゲルコーティングを以下の方法により行い、光触媒特性及び実用化に向けたその他の諸特性の高性能化を図る。
（１）チタニアゾル中に粘度の低い酸化物ゾルを添加する。
チタニアゾルの粘度は約２．４ｃＳｔ−２０℃であり、これに粘度の低い酸化物ゾルとして、粘度が２．１ｃＳｔ−２０℃以下のＡｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、ＳｎＯ２、ＴａＯ２等のゾルを添加する。粘度がこれより高いものでは効果が乏しくなる。特にＳｉＯ２は粘度が低く、チタニアの光触媒特性に及ぼす影響が少なく、アルミナ多孔体の細孔壁とチタニアゾルとの濡れ性を改善する効果も大きい。酸化物ゾルを添加して混合ゾルの粘度を低くするほど濡れ性は改善されるが、過剰な添加はかえって光触媒効果を減ずるので、添加量は１〜２０重量％の範囲内で調整する。なお、粘度は、ＡＳＴＭ及びＪＩＳに準拠して製作されたガラス製毛管式粘度計（ウベローデ）を用いて、規定の条件において、一定量の液体が毛細管を流れる時間を２０℃で測定し、流出時間（秒）に粘度計定数を乗じて求めた動粘度（ｃＳｔ：センチストークス）である。
【００４６】
これにより、乾燥中にゲルの収縮によって起こる細孔壁からの剥離やゲル体の割れを防止できる。またチタニア粒子の凝集を抑制でき、チタニアゾルの細孔中への浸入を容易にする。つまり、改質層の緻密化による高強度化及び耐久性の向上化及び改質層と細孔底部とのアンカー効果による高密着性化ができる。
よって、その後の加熱処理によるアルミナ細孔壁との密着性が高まり、開放表面孔を持つ中空構造（図１−ｄの６）を形成できる。また、ゲルの成膜性も高め、ゲル粒子及びチタニア結晶間を埋め、ゲル層の強度、緻密性や接着性等も高めることができる。
【００４７】
（２）チタニアゾル中への３００〜４００℃の低温加熱でガラス化できる酸化物は、ＴｅＯ２、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｎｂ２Ｏ３　、Ａｌ２Ｏ３　、ＴｉＯ２　、ＰｂＯ、ＷＯ３　、ＳｒＯ、Ｌａ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ３、ＢａＯ、ＺｎＯ、ＭｇＯ等であり、その添加量は０．５〜１０重量％の範囲内で調整する。過剰な添加は光触媒効果を減少させる。例えば、ＴｅＯ２のようなゾルの添加によりゲル粒子同士の接合性の強化を図ることによりチタニアと基体及びアルミナ細孔壁との密着性がさらに強化される。また、ＳｉＯ２と同様にゲルの成膜性、ゲル層の強度、緻密性や接着性等も高めることができる。これにより、チタニア系複合ナノ構造体の耐久性等の実用化上重要な特性の向上が図れる。
【００４８】
（３）チタニアゾル中へ可視光吸収特性を有する酸化物ゾルを添加する。
可視光吸収特性を有する酸化物は、現在ＲｕＯ２がその代表であるが、この他にも、Ｎｄ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｕ等の酸化物は有効である。これらの添加量は一般的には微量でも効果がある。本発明では０．１〜５重量％の範囲内で調整するが、特に過剰な添加はかえってその効果を失う。例えば、Ｒｕ錯体は、酸化ルテニウムとしての導電性を利用する太陽光、特に、可視光領域の波長の吸収による光増感効果が見込めるため、光触媒効果の利用に留まらず、複合機能の展開を可能にし、例えば、太陽電池分野へも応用できる。
【００４９】
（４）チタニアゾルにＴｉ−Ｏの結合のバンドギャップを狭める物質を添加して、紫外光及び可視光の両方の吸収特性を併せ持つ光触媒体とする。
現在、これに該当する添加元素として、窒素のみが知られる。本発明では窒素を含み、比較的作業性の良好なものとして、硝酸又はアンモニア溶液を選択し、これらの添加量を０．１〜１０重量％の範囲内で調整する。こうして形成した窒素を含む物質は、酸化チタンのＴｉ−Ｏ結合のバンド幅を狭くする効果を生じ、光触媒反応に必要とするエネルギーが減少するため、紫外光領域の光触媒効果が増加し、さらに可視光領域への利用も可能となる。
【００５０】
このようにして形成された多孔質複合酸化物ナノ構造体（図１−ｄの６参照）は、さらに、図１−ｅに示すように、例えば、５重量％リン酸と２重量％クロム酸との混酸等の酸溶液、又は２重量％〜５重量％濃度の水酸化ナトリウム等のアルカリ溶液による化学溶解工程でエッチングすると、アルミニウムの陽極酸化皮膜のみが溶解して、チタニア系ナノチューブ配列構造体７が導電層２を介して基体１上に直接接合して基体面と垂直方向に伸びて基体面に規則的に配列させることができる。
【００５１】
すなわち、これによって、基体１及び導電層２として共に透明材料を用いた場合は、図２に示すように、透明基体１及び透明導電層２上に光触媒特性を有し、比表面積の大きな透明で密着性に優れたチタニア系ナノチューブ配列構造体７の規則化配列体を形成できる。
【００５２】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に示すが、本発明はこれに限定されるものではなく、適宜、本発明の範囲内で変更できるものである。
実施例１
表面に１２０ｎｍの厚さのＩＴＯ層をスパッタコーティングした透明ガラス基板を用いて、この上にさらにＡｌを２μｍほどＲＦスパッタリングした基板を用い、前処理としてアセトン中で１０分間超音波洗浄した試料を陽極酸化に供した。陽極酸化は、１０容量％リン酸溶液中で１３０Ｖにて定電位電解によった。次に、陽極酸化により形成されたアルミナ多孔質膜の孔径を拡大するため、試料を３０℃の５容量％リン酸溶液中に浸漬して孔径をおよそ１８０ｎｍに調整した。
【００５３】
その後、ＴｉＯ２ゾルに２．５重量％ＳｉＯ２ゾルと２．５重量％ＴｅＯ２ゾルを添加した組成の中に試料を浸漬して、ディップコーティングした。
続いて、長時間（１２時間以上）乾燥して複合ゾルを複合ゲル化した後、５００℃で２時間の加熱処理により複合ゲルをアナターゼ型チタニア結晶を主とする構造体とした。最後に、５容量％リン酸と２容量％クロム酸との混酸溶液（７０℃）中で陽極酸化皮膜のみを化学溶解除去し、透明ガラス基板上に基板面と垂直方向に伸びたナノチューブを基板面に規則的に配列したチタニア系複合ナノ構造体（図１の７）の試料１を製造した。
【００５４】
実施例２
実施例１と同じＩＴＯ及びＡｌスパッタリングした透明ガラス基板を用いて、前処理、陽極酸化、細孔拡大及びゾル−ゲル処理まで、実施例１と全く同様のプロセスで試料を作成した。次に、このディップコーティングした複合型の試料を陽極酸化皮膜を化学溶解せずに、最後に５００℃で２時間加熱処理してアナターゼ型チタニア結晶を主とする多孔質チタニア系複合ナノ構造体（図１の６）の試料２を製造した。
【００５５】
実施例３
実施例１と同じＩＴＯ及びＡｌスパッタリングした透明ガラス基板を用いて、前処理、陽極酸化、細孔拡大及びゾル−ゲル処理までも実施例１と全く同様のプロセスで試料を作成した。次に、このディップコーティングした複合型の試料を陽極酸化皮膜を化学溶解せずに、最後に６００℃で２時間加熱処理してルチル型とアナターゼ型の混ざったチタニア結晶を主とする多孔質チタニア系複合ナノ構造体の試料３を製造した。
【００５６】
実施例４
表面に厚さおよそ１２０ｎｍのＩＴＯ層をスパッタリングした透明ガラス基板を用いて、この上に、さらに２μｍほどのＡｌをＲＦスパッタリングした基板を用い、前処理としてアセトン中で１０分間超音波洗浄した試料を陽極酸化に供した。陽極酸化は、３重量％のシュウ酸溶液中で４０Ｖの定電位電解した。陽極酸化により形成されたアルミナ多孔質膜の孔径拡大は、試料を３０℃の５容量％リン酸溶液中に浸漬して孔径をおよそ８０ｎｍに調整した。
【００５７】
その後、実施例１と同じ組成、濃度のゾル中に試料を浸漬して、ディップコーティングした。最後に５００℃にて２時間加熱処理してアナターゼ型チタニア結晶を主とする多孔質チタニア系複合ナノ構造体の試料４を製造した。
【００５８】
実施例５
実施例４までと同じＡｌスパッタリングしたガラス基板を用いて、前処理、陽極酸化、孔径拡大処理までは実施例１と全く同じプロセス、組成、条件により処理した孔径約１８０ｎｍのリン酸陽極酸化皮膜を作成した。次いで、ＴｉＯ２ゾルに５重量％ＳｉＯ２ゾルと５重量％ＴｅＯ２ゾルを添加した組成のゾル中に試料を浸漬してディップコーティングし、最後に６００℃で２時間加熱処理してアナターゼ型チタニア結晶を主とする多孔質チタニア系複合ナノ構造体の試料５を製造した。
【００５９】
実施例６
実施例５までと同じＡｌスパッタリングしたガラス基板を用いて、続く前処理から孔径拡大処理までは実施例１と全く同じプロセス、組成、条件により処理した孔径約１８０ｎｍのリン酸陽極酸化皮膜を作成した。次いで、ＴｉＯ２ゾルに２重量％ＲｕＯ２ゾルを添加した組成のゾル中に試料を浸漬し、最後に５００℃で２時間加熱処理してアナターゼ型チタニア結晶を主とする多孔質チタニア系複合ナノ構造体の試料６を製造した。
【００６０】
本発明のチタニア系複合ナノ構造体の光触媒特性の評価のために、有害化学物質の代表として、アセトアルデヒドガスを用いてＵＶ光照射により、ＣＯ２と水とする無害化のための光分解実験を行った。表１は、上記の実施例１〜６の６種類のチタニア系複合ナノ構造体（ナノチューブ配列型及び多孔質型）の試料１〜６と参考試料、標準試料からなるチタニア系ナノ構造体の合計８種類の試料を用いて、紫外線照射下における照射時間の経過に伴うアセトアルデヒドガスの光分解反応初速度の比較としてまとめたものである。
【００６１】
【表１】
2004130171.tif 000003
【００６２】
光触媒特性の比較のために、標準試料として、市販品のＤｅｇｕｓｓａ　Ｐ２５　純チタニア粉末を用いた。参考試料は、ゾル−ゲルコーティング時のゾル組成がＴｉＯ２単独ゾルであることを除き、作成プロセス及び条件等は、全て実施例２と同一とした多孔質チタニア系ナノ構造体である。
【００６３】
アセトアルデヒドの光分解反応の初速度は、表１から明らかなように、標準試料が０．３７であるのに対して、本発明の６種類の試料は全て５倍以上の値であり、特に、試料１〜４については９倍以上で、最高値はナノチューブの配列した試料１の１７．６倍であり、極めて優れた性能を持つことが明らかになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の『多孔質複合ナノ構造体』の製造工程を示す概念図である。
【図２】図２は、本発明の『ナノチューブ配列構造体』の構造を示す概念図である。
【図１】
2004130171.tif 000004
【図２】
2004130171.tif 000005