(57)【要約】【課題】少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための方法と装置。【解決手段】球面分離によって少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための方法の場合、切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部が使用される。分離本体部はこの場合、基本的本体部によって移動されるか、または、基本的本体部は分離本体部によって移動され、相対的な回転運動は、基本的本体部と旋回運動の中心点を通って通過する回転軸線を有する分離本体部との間で行なわれる。【選択図】　　図１
2004059422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部を備えた基本的本体部から球面分離によって少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための方法であって、前記分離本体部が前記基本的本体部を通って移動されるか、あるいは、前記基本的本体部が前記分離本体部を通って移動され、同時に、旋回運動の中心点（Ｍ）を通って通過している回転軸線によって前記基本的本体部と前記分離本体部との間で相対的回転運動が行なわれる方法。
【請求項２】
前記球面のキャップ状分離本体部は、分離切断中回転する請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記基本的本体部は、分離切断中回転する請求項１記載の方法。
【請求項４】
光学的部材用の少なくとも２つの光学的ブランクは、第１の光学的部材の凹面側と第２の光学的部材の凸面側とが　　　　単一の分離切断によって同時に形成されるようにして前記基本的本体部から取り除かれる請求項１記載の方法。
【請求項５】
レンズが、光学的部材として製造される請求項４記載の方法。
【請求項６】
レンズが、投影レンズ用またはマイクロリソグラフィーの照明光学装置用に、石英ガラスから製造される請求項５記載の方法。
【請求項７】
レンズが、投影レンズ用またはマイクロリソグラフィーの照明光学装置用に、フッ化カルシウム、塩化バリウム、フッ化マグネシウム、またはフッ化リチウムのような結晶から製造される請求項５記載の方法。
【請求項８】
切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部を持った基本的本体部から球面分離によって少なくとも１つの湾曲面を有し、投影レンズ用またはマイクロリソグラフィーの照明光学装置用のレンズを製造するための方法であって、前記分離本体部が前記基本的本体部を通って移動されるか、あるいは、前記基本的本体部が前記分離本体部を通って移動され、同時に、旋回運動の中心点（Ｍ）を通って通過している回転軸線によって前記基本的本体部と前記分離本体部との間で相対的回転運動が行なわれる方法。
【請求項９】
前記球面のキャップ状分離本体部は、分離切断中回転する請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記基本的本体部は、分離切断中回転する請求項８記載の方法。
【請求項１１】
光学的部材用の少なくとも２つの光学的ブランクは、第１の光学的部材の凹面側と第２の光学的部材の凸面側とが単一の分離切断によって同時に形成されるようにして前記基本的本体部から取り除かれる請求項８記載の方法。
【請求項１２】
切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部を備えた基本的本体部から少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための装置であって、前記分離本体部または前記基本的本体部は、前記基本的本体部内に導入されるべき分離切断の曲率に対応する旋回点（Ｍ）の周りの曲率を有する旋回軸線の周りで旋回可能であり、また、前記基本的本体部は少なくとも１つの収容部内に収容されている装置。
【請求項１３】
前記基本的本体部は、少なくとも１つの収容部内でその長手方向の軸線の周りに回転可能に収容されている請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記分離本体部は、旋回運動の中心点（Ｍ）を通って通過する回転軸線を有する駆動装置を備えた請求項１２記載の装置。
【請求項１５】
製造されるべき光学的部材はレンズであって、前記球面のキャップ状分離本体部は部分的球面シェルを有していて、また、第１のレンズの凹面側と第２のレンズの凸面側とが分離切断によって同時に製造できるようにように、基本的本体部からレンズ用の少なくとも２つの光学的ブランクを取り除くことが可能である請求項１２記載の装置。
【請求項１６】
前記分離本体部は、ほぼベルの形状の部分的球面シェルを有し、前記切断部材は部分的球面シェルの外側周辺に配置されている請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記分離本体部は、前記基本的本体部がその収容部とともに収容され得る孔を有する前記分離本体部の旋回軸線の領域に設けられた部分的球面シェルを有していて、また、前記部分的球面シェルはその外側周辺を保持装置によって前記分離本体部に保持されていて、前記切断部材は、前記部分的球面シェルの内側周辺に設けられている請求項１５記載の装置。
【請求項１８】
部分的球面シェル用の保持装置は、前記部分的球面シェルを前記分離本体部に取り外し可能に接続するクランプ装置を有している請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記部分的球面シェルが前記クランプ装置を介して接続された前記分離本体部は、少なくともほぼ円筒状のハウジングに形成されている請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
前記円筒状のハウジングは、機械に固定された装置に回転ベアリングによって支持されている請求項１９記載の装置。
【請求項２１】
前記円筒状のハウジングは、減衰部材を備えている請求項１９記載の装置。
【請求項２２】
前記部分的球面シェルは、減衰部材を備えている請求項１７記載の装置。
【請求項２３】
１つまたはそれ以上の減衰部材は、前記部分的球面シェル内に集合されているかまたはそれに接続されている請求項２２記載の装置。
【請求項２４】
前記減衰部材は、部分的球面シェルの一側または両側に配置されている請求項２３記載の装置。
【請求項２５】
前記減衰部材は、径方向に移動可能に前記部分的球面シェルに配置されている請求項２４記載の装置。
【請求項２６】
前記減衰部材は、前記部分的球面シェルの振動を取り上げるセンサーによって、開成ループまたは閉成ループ下において個々に移動可能である請求項２５記載の装置。
【請求項２７】
前記基本的本体部は、空気的に、機械的的に、液圧的に、または磁気的に両端部で収容部に収容されている請求項１２記載の装置。
【請求項２８】
前記２つの収容部の一方は、回転駆動装置を有して備えられていて、また、前記他方の収容部は従動装置を有して備えられている請求項２７記載の装置。
【請求項２９】
前記収容部は、旋回運動の中心点（Ｍ）を通って通過する回転軸線の方向へ移動可能である請求項２７記載の装置。
【請求項３０】
前記基本的本体部は、分離切断中にクランプ状態において少なくとも１つの収容部の軸線的張力下にある請求項１２記載の装置。
【請求項３１】
前記分離本体部の周辺に配置された切断部材を有する前記分離本体部は、振動減衰構造を有する請求項１２記載の装置。
【請求項３２】
前記分離本体部は、２つまたはそれ以上の部品に分割されている請求項１２記載の装置。
【請求項３３】
前記分離本体部は、へこみを有する少なくとも１つの面に設けられている請求項１２記載の装置。
【請求項３４】
前記へこみは、溝のように形成されている請求項３３記載の装置。
【請求項３５】
前記へこみは、前記分離本体部を完全に通って通過している請求項３３記載の装置。
【請求項３６】
前記溝は、前記分離本体部上に不規則に分配されている請求項３４記載の装置。
【請求項３７】
前記溝は、流れ出る流体を前記切断部材に伝達するために備えられている請求項３４記載の装置。
【請求項３８】
前記切断部材は、前記分離本体部上に不規則に配置されている請求項１２記載の装置。
【請求項３９】
前記切断部材は、断面がくさび形状な方法で形成されていて、くさびの広い幅の側が外側に配置されている請求項１２記載の装置。
【請求項４０】
前記分離本体部は、その周辺壁に間隙または孔が備えられている請求項１２記載の装置。
【請求項４１】
基本的本体部から少なくとも１つの湾曲面を有する投影光学またはマイクロリソグラフィーの照明光学用のレンズを製造するための装置であって、切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部を備え、前記分離本体部または前記基本的本体部は、前記基本的本体部内に導入されるべき分離切断の湾曲部に対応する軸線回転（Ｍ）の周りの湾曲部を有する旋回軸線の周りに旋回可能であって、前記基本的本体部は少なくとも１つの収容部内に収容されている装置。
【請求項４２】
前記基本的本体部は、少なくとも１つの収容部内にその長手方向軸線の周りに回転可能に収容されている請求項４１記載の装置。
【請求項４３】
前記分離本体部は、旋回運動の中心点（Ｍ）を通って通過した回転軸線を有する駆動装置を備えられている請求項４１記載の装置。
【請求項４４】
前記球面のキャップ状分離本体部は、部分的球面シェルを有していて、また、第１のレンズの凸面側と第２のレンズの凹面側とが分離切断によって同時に製造されるように、基本的本体部からレンズ用の少なくとも２つの光学的ブランクを取り除くことが可能な請求項４１記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、球面分離（ｓｐｈｅｒｉｃａｌ　ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ）によって、少なくとも１つの湾曲面（ｃｕｒｖｅｄ　ｓｕｒｆａｃｅ）を有する光学的部材を製造するための方法に関する。
本発明はまた、球面のキャップ状分離本体部（ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ　ｂｏｄｙ）を有する球面分離によって、少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、平坦な並行プレートを縫い合わせることによって、または、モールド内に軟らかいガラスの滴下（ｄｒｏｐ）のようにプレスすることによって製造されることがレンズ用に知られていて、モールドは、仕上げられていない形状または仕上げられるレンズの仕上げられた形状に対応する。ガラスの滴下がモールド内で冷却された後、機械加工がどの面にも必要ではないばかりでなく、慣習的な仕上げの光学的機械加工操作のみが必要であるにすぎない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
投影レンズ（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ　ｌｅｎｓ）を有する投影露出装置において半導体部材を製造する場合、石英（ｑｕａｒｔｚ）ガラスまたはフッ化カルシウムのような結晶（ｃｒｙｓｔａｌ）は、漸増的に短くなる波長のために使用されなければならない。石英ガラスの特徴は、それが、同質性と伝達に関する品質の損失なしで、最終的なレンズに近い所望の外形に形成できないことである。
形成されるべき湾曲面を有するブランクとしてのプレートからレンズを製造することは、非常に複雑でコストがかかる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
従って本発明は、例えば、レンズ特に石英ガラスまたは結晶のような少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材が、簡単でコストを節約する方法で製造できる装置と方法が基本である。同時に、例えば振動エネルギーおよび結晶の破壊に導く熱的負荷への感度のような、結晶を機械加工する場合に生ずる問題を考慮することもまた企図されている。
この目的は、球面のキャップ状分離本体部を有する球面分離方法により本発明によって達成され、分離本体部が基本的本体部（ｂａｓｉｃ　ｂｏｄｙ）によって移動されるか、あるいは、基本的本体部が分離本体部によって移動され、同時に、旋回運動（ｐｉｖｏｔｉｎｇ　ｍｏｖｅｍｅｎｔ）の中心点Ｍを通って通過している回転軸線を有して基本的本体部と分離本体部（ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ　ｂｏｄｙ）との間で相対的回転運動が行なわれる。
【０００６】
基本的本体部から少なくとも１つの湾曲面を有する光学的部材を製造するための本発明による装置は、切断部材を有する球面のキャップ状分離本体部を備えていて、分離本体部または基本的本体部は、基本的本体部内に導入されるべき分離切断（ｓｅｐａｒａｔｉｎｇ　ｃｕｔ）の曲率に対応する旋回中心点Ｍの周りの曲率を有する旋回軸線の周りで旋回可能であり、また、基本的本体部は少なくとも１つの収容部内に収容されている。
【０００７】
本発明による方法の場合および本発明用の装置において、所望の湾曲面を有する光学的部材の仕上げされていない形状は、１回の操作において球面のキャップ状分離本体部によって取り除かれる。この分離は、この場合、害のない方法で達成されるので、結晶のレンズに影響する欠点は回避され、またそれゆえそれらは損傷されず破壊されない。
【０００８】
本発明の非常に有利な展開は、第１の光学的部材の凹部側と第２の光学的部材の凸部側とが単一の分離切断によって同時に形成されるように、光学的部材用の少なくとも２つの光学的ブランク（ｂｌａｎｋ）が基本的本体部から取り除かれることからなる。
本発明によるこの展開によって、例えば、光学的材料およびコストと時間もまた節約した、１回の操作において製造されるべきレンズの２つの仕上げられていない形状用に可能である。
特に、フッ化カルシウムを球面に分離する場合、フッ化カルシウムは非常に高価であり機械的に高度に敏感であるので、少ない損失と低い振動球面分離が要求される。
【０００９】
本質的に少なくともほぼベルの形状である球面のキャップ状分離本体部に替るものとして、本発明の１つの構成において、分離本体部は、基本的本体部がその収容部とともに収容され得る孔を有する分離本体部の旋回軸線の領域に設けられた部分的球面シェルを有していて、また、部分的球面シェルはその外側周辺を保持装置によって分離本体部に保持されていて、切断部材は、部分的球面シェルの内側周辺に設けられている。
【００１０】
この構成の場合において、分離本体部はその中心に大きな中央開口部を有している。基本的本体部は、機械加工されるべき光学的部材としてこの開口部内に入る。分離切断はついで、分離本体部またはその代わりの光学的部材の旋回運動中に行なわれる。
実際上は、分離本体部のこの形状は、保持装置によって外側に支持された球面の湾曲したリングを表わす。
本発明のこの形状において、分離本体部は、例えば、円筒状のハウジングの形状に、その外側周辺において非常に強固に形成される。
【００１１】
これに加えて、または、これに替えて、分離本体部はその外側周辺壁に取着されてもよく、または、中間に存在する回転ベアリングによって固定された機械部品に支持されている。
この構成は、分離本体部がもっとより強固に作られるか、または、切断部材を介して導かれたより大きい力を伝達するのを可能にする。
さらに、振動のリスクは明らかに低くなり、振動発生はまたかなりより急速に消失される。
さらに、球面に湾曲したリングの形状の部分的球面シェルはまた対応して、開成ループ（ｏｐｅｎ　ｌｏｏｐ）または閉成ループ（ｃｌｏｓｅｄ　ｌｏｏｐ）制御下で個々に移動可能である減衰部材を備えられる。
【００１２】
有害な振動と熱的負荷を回避するために、特にベルの形状の構造の場合において、分離本体部は、振動減衰構造、２つへの分割、特に例えば溝のような不規則なへこみの分離本体部の面のへこみの配列、および／または、分離本体部のそれらの不規則な配置、強制冷却を有する冷却ダクトおよびそれに類するものを有して対応して形成される。
本発明の有利な展開および構造は、残りの従属請求項から、および図面に基づいて原則として以下に述べられる例示的実施例から分かる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
球面のキャップ状分離本体部１は、これ以上詳細に表わさないが、回転駆動装置２に接続されている。回転駆動装置２は、これ以上詳細に表わさないが、旋回部材３上に配置されているか、または、それと接続されている。旋回部材３は、回転駆動装置２とともに、矢印４の方向へ旋回中心点Ｍの回りに旋回運動（ｐｉｖｏｔｉｎｇ　ｍｏｖｅｍｅｎｔ）する。旋回部材３は、回転駆動装置２とともに、矢印６による旋回中心点Ｍを通って旋回軸線５に沿って、固定的に移動可能である。このようにして、種々の旋回半径が設定できる。分離本体部１の球面キャップの半径は、どの場合においても旋回半径と対応しなければならないことを特筆しなければならない。これは、分離本体部１が対応して変更されるかまたは各適用されることを意味する。図１において、分離本体部の位置は、その回転駆動装置とともに、分離切断を比較的小さなブランク７’上にもたらすために、付加的に点線で示されている。
【００１４】
基本的本体部７内に導かれ、基本的本体部７から形成されるレンズの曲率に対応する分離切断は、同様に旋回中心点Ｍの周りの旋回半径に対応しなければならない。基本的本体部７は、２つの収容部８と９との間で両側を支持されている。これは、例えば、液圧的、空気圧的、または機械的手段によって行なわれる。好ましい方法において、分離ギャップの詰まり（ｊａｍｍｉｎｇ）が分離切断中に起きないように、分離切断中に分離されるべき基本的本体部７に引っ張り力をおよぼすことができるように、真空装置がこのために使用される。分離本体部１は旋回軸線５の周りに矢印１０の方向へ回転する。同時に、分離本体部１はまた、旋回中心点Ｍを通って通過している回転軸線１２の周りに矢印１１の方向へ回転する。収容部９は、駆動装置１３（これ以上詳細には示さない）に配置されていて、それによって軸線１２に沿った矢印１４の方向の移動が可能になる。収容部８は、従動装置１５を有していて、それによって、収容部８の矢印１４の方向への移動が同様に可能になる。
【００１５】
基本的本体部７から、第１が凹面形状を有し、第２が凸面形状を有する（図３参照）２つのレンズブロック１６と１７とを作り出すために、旋回軸線５の周りに回転する球面のキャップ状分離本体部１は、矢印４の方向へ基本的本体部７内に旋回される。これが生ずると、周囲に分配する方法で配置された分離本体部１の切断部材１８は、切断部材１８の幅に対応する方法で分離切断１９を作り出す。回転軸線１２の周りの基本的本体部７の同時回転のために、基本的本体部７の分離用に、分離本体部１を回転軸線１２まで導くことのみが必要である。
【００１６】
分離操作中、得られた光学的レンズブロック１６と１７は、分離ギャップ１９に関して詰まることなく収容部８と９によって確実に保持されることが補償されなければならない。同様のことが分離が行なわれた後で適用される。分離操作の完了後、２つの収容部８、９は後方へ移動され、レンズブロック１６と１７とが取り除かれる。矢印１４の方向への収容部８と９に対応する移動は、基本的本体部７の異なった厚さと異なった旋回半径への適応とをもたらす。
【００１７】
収容部８と９の移動用に、駆動装置１３と１５として装置の大幅な変更がこのために可能である。
例えば、この目的のためにスピンドル駆動部が使用でき、一方のスピンドル駆動部が一方の収容部用に備えられるのに対して、他方のスピンドルは、単に従動部としてのみ作用し、駆動スピンドルに同期的に接続されている。
【００１８】
真空装置が２つの収容部８と９用に使用された場合、損傷しないでそれらに受けられている２つのブランク１６、１７のみでなく、わずかな引っ張り力もまた同時にそれらにおよぼされ、それによって詰まりの事実は避けられる。同時に、この場合において両方のブランク１６、１７は、一旦基本的本体部７が通って切断されると各確実に保持される。
どのような所望の公知の装置も、種々の供給および回転駆動装置２および収容部８と９の旋回運動用に可能であるが、それらについてこれ以上詳細には述べない。
【００１９】
図２から分かるように、分離本体部１は球面のキャップ状形状すなわち薄い壁の球面シェルを有している。分離切断をもたらすために、分離本体部１と基本的本体部７との両方が回転することは完全には必要でない。これらの２つの部品間に相対的な回転運動があることのみが必要である。分離本体部１のみが回転する場合、分離本体部１は分離切断をもたらすために基本的本体部７によって完全に旋回されなければならない。
【００２０】
例えばフッ化カルシウムのような、結晶（ｃｒｙｓｔａｌ）のような材料のレンズが球面に分離される場合、種々の予防的措置が採られなければならず、また、分離切断中に、結晶の損壊に導くようなあらゆる有害な振動エネルギーおよび熱的負荷の発生を回避するための構造が供えられなければならない。
【００２１】
このための１つの可能性は、球面のキャップ状分離本体部１が、２つまたは３つに分割されていることである（図４の点線参照）。さらに、溝２０の形状のへこみ（ｄｅｐｒｅｓｓｉｏｎ）は表面においてなされ、好ましくは、それらが、分離本体部１の周辺上に不規則になされ、また、径方向に不規則に走っている（図４参照）。１つの部分の球面のキャップは、図４の１つの領域に示されたように、例えば波型形状に局部的に分離されるか切断される。これは、大きい周波数を有する球面キャップの均一な共振周波数の発生を阻止する。溝２０は二重の機能を有している。一方においてそれは、閉成されたプレートすなわち球面のシェルの振動周波数を多くの異なった個々の周波数にブレークダウンし、他方において、溝２０は、周辺で回転軸線から備品（ｆｉｔｔｉｎｇ）すなわち切断部材１８へ冷却潤滑材を強制するために同時に使用できる。へこみはまた、分離本体部１を完全に通って通過していてもよい。
【００２２】
分離本体部１が、複数の個々の球面キャップすなわち複数の個々の球面キャップ部品で組み立てられた場合、個々の部品は、表面領域の一部分または全体にわたって接着剤によって互いに接続できる。例えば、タングステン粉末の充填のような比較的厚い接着層の場合において、非常に良好な受動的振動減衰効果が同時に達成できる。他の可能性は、分離本体部１の表面に、種々に整形されまた異なって配置された接着領域２１を備えることであり、これは同様に振動の発生に反作用する。
【００２３】
切断部材１８すなわち備品は、それらが周辺に不規則に分配されるように配置されている。図２からわかるように、断面で見た場合、切断部材１８は、くさび（ｗｅｄｇｅ）または台形の形状を有していて、前側が比較的幅広く、それによって自由に切断する分離切断が達成される。同時に、このようにして横方向の摩擦が回避され、これは同様に比較的低い熱発生の積極的効果を有している。
【００２４】
図５からわかるように、切断部材１８の間に間隙すなわち開口部２２が備えられていて、これは、周壁の分離本体部１の周辺に分配されていて、振動の発生に対して同様に反作用するために異なった長さと寸法である。同時に、冷却潤滑材がこれらの間隙すなわち開口部２２を介して導入できる。
【００２５】
類似する構造が図６ａと６ｂとに表わされている。しかしながら、さらに、分離本体部１の周辺領域が、結晶構造に損傷がより少ないように波型形状で形成されている。波の空間的（ｓｐａｔｉａｌ）周波数は好ましくは、分離本体部の周辺上で確率論的に変わる。これは、加工物の単一周波数用の共振応答を抑制する。図６ａによれば、開口部２２を有する単一波形状（ｓｉｎｇｌｅ　ｗａｖｅ　ｆｏｒｍ）が示されている。確率的周波数変更を有する反走行二重波（ｃｏｕｎｔｅｒ−ｒｕｎｎｉｎｇ　ｄｏｕｂｌｅ　ｗａｖｅ）は、図６ｂに示されたように、変更抑制用に非常に有利である。
【００２６】
図７には分離本体部１の構造が示されていて、これは、球面に湾曲したリング形状の部分的球面シェル１ａを有している。このリングは、旋回軸線５の領域に大きな孔を有する湾曲中心点Ｍを持った半径を有する。部分的球面シェル１ａの内側周辺には、切断部材１８がある。製造されるべき基本的本体部７である光学的部材は孔内に導かれる。基本的本体部７は、図１および以下の図１４においてもまた示されたのと同様の方法で設けられ保持されている。
【００２７】
部分的球面シェル１ａは、その外側周辺で、分離本体部１の円筒状のハウジング１ｂに接続されている。これは有利には、部分的球面シェル１ａの迅速な着脱可能性およびそれに続く交換可能性を達成するためにクランプ装置２３の形状の保持装置によって行なわれる。このようにして、異なった寸法と湾曲の異なった半径を有する基本的本体部７は、同一の装置で素早くまた簡単に製造できる。
【００２８】
図８において、クランプ装置２３は単に原理的に示されている。幅広い多様な装置がこの目的のために使用できる。図８はまた、分離本体部１の円筒状のハウジング１ｂ内の減衰リングの形状の減衰部材２４を示していて、発生する振動を減衰するように企図されている。減衰リングは例えば、ゴムに粘着的に結合されたねずみ鋳鉄からなっている。円筒状のハウジング１ｂはまた、三次元的に釣り合いがとられた鋳鉄のポットまたはリングでもよい。
【００２９】
フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化リチウムまたはフッ化ナトリウムのような結晶を機械加工する場合、切断部材１８と基本的本体部７とが最初に接触するのは疑問であり、あるいはリスクにみちている。図９と１０によれば、機械加工はそれゆえ、２つの異なった部分的球面シェル１ａを有して行なわれる。
【００３０】
第１の切り込み（ｉｎｃｉｓｉｏｎ）は、一方の部分的球面シェル１ａで行なわれ、これは減衰部材２５が統合された（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ）厚さを備えている。このようにして、振動減衰は達成される。しかしながら、この切り込みは、厚くする開始の限りにおいてのみ行なわれる。続いて、図９による部分的球面シェル１ａは、図１０による部分的球面シェル用に変えられ、これは長さ全体にわたって薄い壁を有して形成される。
【００３１】
図１１は、図９に示された部分的球面シェルのような部分的球面シェル１ａと類似する構成を示している。しかしながら、この場合において、減衰部材２５は、部分的球面シェル１ａ内に統合されていないけれども、一方の湾曲した側に配置されている。もし必要であれば、減衰部材はまた、点線によって図１１の右側描写に表わされていように、両方の側に備えられてもよい。
【００３２】
図１２は、図１１に示されたのと類似する形状の減衰部材２５を有する部分的球面シェル１ａの構造を示している。しかしながら、後者と異なっているのは、図１２における減衰部材が矢印２６に従って径方向に移動可能であることである。減衰部材２５は、この場合において、適切であれば案内部を越えて分離本体部１の部分的球面シェル１ａまで、後方へ押し戻せることであり、それによって切断は基本的本体部７内により深く導くことができる。減衰部材２５が完全に引き戻された場合、完全に分離した切断が単一の部分的球面シェル１ａを有してもたらされる。
減衰部材２５が三次元的に釣り合いがとられていなければならないことはいうまでもない。
【００３３】
図１３に示されているのは移動可能な減衰部材を有する部分的球面シェル１ａの平面図であって、互いに離間していて、周辺にわたって分配されているように配置されている。振動を減衰するために、好ましくは５、７または１１の減衰部材２５を有する素数（ｐｒｉｍｅ−ｎｕｍｂｅｒ）の配置が備えられている。
【００３４】
減衰部材２５は、図示されていないが調整部材によって矢印に従って径方向に、個々にまたは共同して移動できる。振動発生の監視用に振動センサー（図示されていない）が使用された場合、工具すなわち分離本体部１の不安定さは、対応する閉成されたループ制御でリアルタイムに最小化できる。
この方法は、旋盤のジョーチャック（ｊａｗ　ｃｈｕｃｋ）に匹敵する。しかしながら、減衰部材２５は、開成ループ制御下においてもまた共同して移動される。
【００３５】
図３から６に基づいて述べられた減衰処置（ｄａｍｐｉｎｇ　ｍｅａｓｕｒｅ）はまた、円筒状のハウジング１ｂを有する球面の湾曲したリングとして部分的球面シェル１ａを有する例示的実施例の場合においても実現できる。
【００３６】
図１４は、図７による分離本体部１用の装置の構造を原理的に示している。原則として、装置の構造は、図１に示された装置に匹敵し、その理由により、同様の参照符号はまた同一の部品用にここで保有されている。主な相異は、機械に固定された装置の部品２８に関するボールベアリング２７の形状の支持点による円筒状のハウジング１ｂを有する分離本体部１の外側への据え付けにある。回転軸線１２の周りの駆動装置１３による収容部９のための回転駆動と、基本的本体部７の反対側の収容部８のための回転駆動は同期しなければならない。同様に、例えば負圧下において操作される吸引ベルのような収容部８と駆動装置１３との共同した旋回運動がなければならない。旋回軸線５と回転軸線１２とはそれゆえ同等でなければならない。分離本体部１は同様に回転し、これは当然、図示されたボールベアリング２７に替えて備えられる摺動ベアリング、あるいは、空気または液体ベアリング用に可能である。
【００３７】
対称の軸線すなわち旋回軸線５は、好ましくは重力に対して平行であるかまたは垂直である。分離本体部１用の従来の駆動に替えて、例えば、電磁気的力の直接導入によって円筒状のハウジング１ｂが駆動されてもよい。この場合において、円筒状のハウジング１ｂは、それ自身モータ、すなわちリニアモータの方法のロータまたはステータである。このように、導入された振動は、より少なく移動する構成要素によってよりさらに減少される。
【００３８】
基本的本体部７内に導入されるべき半径に依存して、また、従って部分的球面シェル１ａの半径にもまた依存して、基本的本体部７用の収容部９および同様に収容部８は、図示されていないステアリングキャリッジによって移動される。基本的本体部７の長手方向の軸線は、旋回軸線５上に設けられている。
【００３９】
分離本体部１用の収容部すなわち据え付け部が、それ自身単一の変更不可能な捕捉（ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎ）であるので、一般的に切断の相対的移動のほとんどは、収容部の対応する駆動部によって分離本体部１の収容部を介して備えられる。係合開口部のタイプに依存して、基本的本体部７である加工物（ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ）は、全く回転しないかあるいはゆっくりとのみ回転する。
【００４０】
図１５は、基本的な表現において、図１４による装置を有する基本的本体部７内に分離切断を導入する切断方法を示している。この場合に表わされているのは、基本的本体部７と、基本的本体部７の交差部（ｉｎｔｅｒｓｅｃｔｉｏｎ）２９の曲線とともに切断部材１８を有する孔の領域における部分的球面シェル１ａとの概略である。切断分離本体部１の中心点Ｍ１は、切断結果（ｅｖｅｎｔ）に関連して一方の側に存在する。交差部の曲線および切断工具すなわち切断部材１８は、小さな開口部を有した接触角を作り出すので、２つの円は接線的に遭遇し、曲率の中心点は明らかに離間して存在する。
【００４１】
切断が導入された場合、交差部２９の曲線の円は、それが０になるまで次第により小さくなる。これが起きると、基本的本体部７が矢印３１の方向へ外側に移動するか、あるいは、分離本体部１が反対の方向の矢印３２の方向へ移動する。２つの移動が組み合わされることもまた可能である。
【００４２】
２つの回転軸線Ｍ１とＭ２とは、交差部の共通点を有していて、これは図１５による表現において図面の外側に存在する。交差部の共通点は、その周りに基本的本体部７または分離本体部１のいずれかが分離切断をもたらすために軸支されている固定された回転の点である。
球面分離中のピッチは、切断部材１８の曲線および加工物の交差部２９の曲線用の同一の代数的記号を有している。
【００４３】
分離本体部１および基本的本体部７のタイプと寸法とに依存して、要求された旋回運動は、分離本体部１と基本的本体部７とのいずれかの対応する旋回によって、中心点Ｍを有する旋回軸線５の周りにもたらされる。切断部材１８が分離本体部１の外側周辺に配置された図１による構成の場合において、分離本体部１は、すでに述べたように、基本的本体部７によって旋回される。切断部材１８が部分的球面シェル１ａの内側周辺に配置された図７から１４に対応する構成による場合において、基本的本体部７は、旋回部材３に対応して旋回部材に配置され、分離本体部１によって旋回される。
【図面の簡単な説明】
【図１】基本的本体部からレンズを製造するための装置の基本を示すための図。
【図２】球面のキャップ状分離本体部を通った断面図。
【図３】基本的本体部から２つの光学的ブランクを作り出すことを基本的に示す図。
【図４】球面のキャップ状分離本体部の構造の平面図。
【図５】分離本体部の周辺壁の展開された投影（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）の詳細部分を示す図。
【図６ａ】他の形状の分離本体部の周辺部の詳細な形状を示す図。
【図６ｂ】他の形状の分離本体部の周辺部の詳細な形状を示す図。
【図７】球面に湾曲したリングの形状の部分的球面シェルを有する分離本体部の構造を示す図。
【図８】球面に湾曲したリングの部分と分離本体部への固定具を有する図４による例示的実施例を拡大して示す図。
【図９】集合された減衰部材を有する部分的球面シェルを示す図。
【図１０】通常の構造における球面に湾曲したリングの形状の部分的球面シェルを示す図。
【図１１】側面に配置された減衰部材を有する部分的球面シェルを示す図。
【図１２】部分的球面シェルを有しまた移動可能な減衰部材を有する分離本体部の下方の部分を示す図。
【図１３】図１２による移動可能な減衰部材を有する分離本体部の平面図。
【図１４】図７に対応して表わされた分離本体部を有する基本的本体部からレンズを製造するための装置の詳細な形状の基本を示す図。
【図１５】分離本体部と基本的本体部との公差の湾曲面に沿った回転および旋回運動に関する基本を示す図。
【符号の説明】
１……分離本体部；
１ａ……部分的球面シェル；
１ｂ……ハウジング；
２……回転駆動装置；
３……旋回部材；
４、６、１０、１１、１４……矢印；
５……旋回軸線；
７……基本的本体部；
８、９……収容部；
１２、Ｍ１、Ｍ２……回転軸線；
１３……駆動装置；
１５……従動装置；
１６、１７……レンズブロック；
１８……切断部材；
１９……分離切断；
２０……溝；
２２……開口部；
２３……クランプ装置；
２４、２５……減衰部材；
２９……交差部；
Ｍ……旋回中心点；
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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