Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】ガムテープのコーティング面にはじかれてることがなく、かつ、水で濡れた面であっても筆記可能であって、筆記対象物にインキが強く密着性し、強く指で擦っても取れることがないマーキングペン用油性インキであって、かつ、染料が析出することなく長期間の保存にも耐え得るマーキングペン用油性インキを提供することを目的とする。【解決手段】フェニル基を有する染料及び／又はアルキルフェノール樹脂と結合した染料、炭素数６〜１０のイソパラフィン炭化水素からなる有機溶剤、アルキルフェノール樹脂からなるマーキングペン用油性インキ。【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェニル基を有する染料及び／又はアルキルフェノール樹脂と結合した染料、炭素数６〜１０のイソパラフィン炭化水素からなる有機溶剤、アルキルフェノール樹脂からなるマーキングペン用油性インキ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガムテープに筆記でき、かつ、水で濡れた面にも筆記できるマーキングペン用油性インキに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
荷物の梱包や段ボール箱の封印に用いられるガムテープは、粘着剤が塗布してある面と反対の面にシリコーンコーティングがされており、通常の油性マーカーではインキがはじかれてしまって筆記できなかった。
また、主溶剤にアルコールやキシレンを採用した従来の油性マーカーは、水で濡れた発泡スチロールなどの表面に筆記すると、水分を吸収し、すぐに筆記不可能となる欠点があった。
前記欠点を解決すべく発明された油性インキとして、特開昭６０−１３８６５号、特開昭６１−２１１６９号が開示されているが、インキの密着性が弱く、強く指で擦ると取れてしまう欠点があった。特に、ポリエチレンやポリプロピレンを素材とした物体に筆記した場合、密着性が極めて悪く、すぐに取れてしまう欠点があった。
また、特開昭４９−１２５１２５号のようにポリオレフィン系樹脂フィルムに堅牢に定着固化できるインキも知られているが、１００℃〜１３０℃・３０分の加熱撹拌工程を必要とする各実施例のインキ製法から見てもわかる通り、当該発明のインキは常温で不安定であり、染料が析出し易い欠点があった。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６０−１３８６５号公報
【特許文献２】
特開昭６１−２１１６９号公報
【特許文献３】
特開昭４９−１２５１２５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点を解決すべくなされたものであって、ガムテープのコーティング面にはじかれてることがなく、かつ、水で濡れた面であっても筆記可能であって、筆記対象物にインキが強く密着性し、強く指で擦っても取れることがないマーキングペン用油性インキであって、かつ、染料が析出することなく長期間の保存にも耐え得るマーキングペン用油性インキを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する為に、フェニル基を有する染料及び／又はアルキルフェノール樹脂と結合した染料、炭素数６〜１０のイソパラフィン炭化水素からなる有機溶剤、アルキルフェノール樹脂からなるマーキングペン用油性インキを提供する。
【０００６】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明では着色剤としてフェニル基を有する染料及び／又はアルキルフェノール樹脂と結合した染料を用いることができ、アントラキノン系、シアニン系、モノアゾ系、ジスアゾ系、キノリン系等や、アルキルフェノール樹脂と結合したキサンテン系等の油溶性染料の１又は２以上を用いることができる。具体的には、Ｃ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＢｌａｃｋ３、Ｃ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＲｅｄ１８、Ｃ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＢｌｕｅ７０、Ｃ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＹｅｌｌｏｗ１４、Ｃ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＹｅｌｌｏｗ３３、アルキルフェノール樹脂と結合したＣ．Ｉ．ＳｏｌｖｅｎｔＲｅｄ４９などを例示することができる。
当該染料はインキ全量に対して、０．１〜５０重量％を用いることができ、１〜１５重量％が特に好ましい。
【０００７】
有機溶剤は、炭素数６〜１０のイソパラフィン炭化水素の中から選択できる。
炭素数６〜１０のイソパラフィン炭化水素とは、具体的には、イソヘキサン、イソヘプタン、イソオクタン、イソノナン、イソデカンを指す。
本発明では、前記溶剤のなどから任意に選択することができ、単独溶剤又は２種類以上の混合溶剤を用いることができるが、その中でも、イソヘプタン、イソオクタン、イソノナンが最も好ましく用いられる。
有機溶剤はインキ全量に対して、４０〜９９重量％を用いることができ、５０〜９５重量％が特に好ましい。
【０００８】
樹脂としてはヘキシルフェノール樹脂、ヘプチルフェノール樹脂、オクチルフェノール樹脂、ノニルフェノール樹脂、デシルフェノール樹脂などのアルキルフェノール樹脂を用いる。アルキルフェノール樹脂は前記染料と前記溶剤の双方に相溶性を有するので、実質的に両者の界面活性剤的役割を果たし、前記染料を前記溶剤に常温の状態で完全に溶解させることができる。また、アルキルフェノール樹脂が染料の溶解剤として作用すると言い換えても良く、その結果本発明のインキは長期間経過しても染料が析出分離することはない。
アルキルフェノール樹脂はインキ全量に対して、０．１〜５０重量％を用いることができ、１〜４０重量％が特に好ましい。
【０００９】
また他に、本発明では一般の油性マーキンペン用インキに用いられる防腐剤、防かび剤、アミン類・リン酸エステル・脂肪酸等の染料溶解助剤、ベンジルアルコール等の浸透剤などの添加剤を更に配合することもできる。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明を実施例をもって説明する。
（実施例１）
2004231726.tif 000002
【００１１】
（実施例２）
2004231726.tif 000003
【００１２】
（実施例３）
2004231726.tif 000004
【００１３】
繊維ペン芯とインキ吸収体を備えた本体とキャップとからなるマーキングペンに前記実施例、及び、比較例として特開昭４９−１２５１２５の実施例３を充填し、各試験を行なった。
▲１▼密着性試験：ガムテープのコーティング面に筆記し、強く指で擦った。
◎：全く筆記線が取れなかった。
×：一部の筆記線が取れた。
▲２▼筆記性試験：水で濡れた発泡スチロールに筆記し、筆記性を調べた。
◎：全く問題なく筆記できた。
×：十分な筆記線を得ることができなかった。
▲３▼経時安定性試験：インキをガラス瓶に採り、低温／高温器（インキュベータ（三洋電機社製））内に置き、３月間−１０℃から５０℃への温度上昇及び５０℃から−１０℃への温度低下をそれぞれ６０分間で繰返し行わせた後、染料等の固形分の析出及びインキ組成物の増粘の有無を観察評価した。
◎：インキの増粘及び固形分の析出はなかった。
×：インキの増粘及び／又は固形分の析出があった。
以下、試験結果を表にする。
【００１４】
2004231726.tif 000005
【００１５】
【効果】
以上、特定の物質を選択的に配合したことにより、ガムテープのコーティング面にインキがはじかれてることがなくクリアに筆記でき、かつ、水で濡れた面であっても全く問題なく筆記可能であって、筆記対象物にインキが強く密着性し、強く指で擦っても取れることがないマーキングペン用油性インキを得ることができた。また、本発明インキ又は本発明インキを内蔵したマーキンペンを長期間保存しておいても染料が析出することがない油性インキを得ることができた。
(57)【要約】【課題】課金を安全に複数のサーバーに対し行うことができる課金システムを提供する。【解決手段】携帯端末１０１と、課金サーバー１０３と、有料サービスデータを提供する複数の有料サービスサーバー１０４とがネットワーク１０６で接続される課金システムであって、有料サービスサーバー１０４による有料サービスの提供に際し、課金サーバー１０３は、携帯端末固有のＩＤをキーとしたデータを利用し認証、及び課金を行う。【選択図】      図１
2004178005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯端末と、課金サーバーと、有料サービスデータを提供する複数の有料サービスサーバーとがネットワークで接続される課金システムであって、前記有料サービスサーバーによる有料サービスの提供に際し、前記課金サーバーは、携帯端末固有のＩＤをキーとしたデータを利用し認証、及び課金を行うことを特徴とする課金システム。
【請求項２】
請求項１において、前記携帯端末固有のＩＤを公開鍵暗号とすることを特徴とする課金システム。
【請求項３】
請求項１において、前記課金サーバー上に課金情報を蓄積することを特徴とする課金システム。
【請求項４】
請求項１において、前記有料サービスサーバーには固有のＩＤが付されていることを特徴とする課金システム。
【請求項５】
請求項１において、前記ネットワークにはパーソナルコンピュータが接続され、当該パーソナルコンピュータには携帯端末固有のＩＤが記録されていることを特徴とする課金システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、課金サーバーを利用する課金システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
携帯端末を電子財布のように使用するものとして、ＷＯ９９／０９５０２のようなものや、ＮＴＴｄｏｃｏｍｏ社の課金サービス等がある。
【特許文献１】ＷＯ９９／０９５０２
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の課金サーバーを利用する課金システムは、携帯端末を電子財布のように使用したり、課金は可能であるが定額であり、かつ通話料に定額を上乗せするようなキャリアに制限されたものであった。また、サーバー毎に課金システムを持っていたり、また、課金情報をネットワーク上にデータとして流す必要があるというセキュリティ上の課題を持っている。
本発明は、課金を安全に複数のサーバーに対し行うことができる課金システムを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、携帯端末と、課金サーバーと、有料サービスデータを提供する複数の有料サービスサーバーとがネットワークで接続される課金システムであって、有料サービスサーバーによる有料サービスの提供に際し、課金サーバーは、携帯端末固有のＩＤをキーとしたデータを利用し認証、及び課金を行う課金システムを最も主要な特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１において、携帯端末固有のＩＤを公開鍵暗号とする課金システムを主要な特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１において、課金サーバー上に課金情報を蓄積する課金システムを主要な特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項１において、有料サービスサーバーには固有のＩＤが付されている課金システムを主要な特徴とする。
請求項５記載の発明は、請求項１において、ネットワークにはパーソナルコンピュータが接続され、当該パーソナルコンピュータには携帯端末固有のＩＤが記録されている課金システムを主要な特徴とする。
本発明では、課金情報をデータとしてやり取りするのではなく携帯装置端末固有のＩＤをキーとし認証を行い、あとは課金するために必要な情報のみをやり取りすることにより、課金を複数のサーバーに対し安全に行うことができるようになる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態に係る課金システムの構成図である。本システムは、携帯端末１０１と、携帯端末１０１からのパケットデータをネットワークデータに変換するための変換装置１０２と、課金サーバー１０３と、有料サービスデータを提供する複数の有料サービスサーバー１０４と、ユーザのパーソナルコンピュータ１０５とがインターネット等のネットワーク１０６で接続されることにより構成されている。
【０００６】
次にその動作を説明する。変換装置１０２は、携帯端末１０１からのパケットデータをネットワークデータに変換する時、携帯端末１０１固有のＩＤを得ることができる。そして携帯端末１０１から課金サーバー１０３へのアクセスにより携帯端末１０１の個有ＩＤ（例えば電話番号）によりアクセスユーザを特定する。
ここで認証が完了するので、続いて利用したい任意の有料サービスサーバー１０４へアクセスする。ここでも携帯端末１０１の固有ＩＤを利用する。有料サービスサーバー１０４はこの固有ＩＤを課金サーバー１０３へ問い合わせ、認証されたユーザかどうかを確認する。認証されたユーザであればＩＤと課金情報の組み合わせを課金サーバー１０３へ送ることにより携帯端末１０１を使用するユーザに対し課金が行われる。
ここで、携帯端末１０１の固有ＩＤは、課金サーバー１０３と有料サービスサーバー１０４で共有している情報であるので、これを公開鍵としサーバー間でデータをやり取りする際に暗号化しセキュリティを高めることができる。
また課金サーバー１０３上に課金情報を蓄積することにより課金情報を一律に管理することが可能となる。
有料サービスサーバー１０４の識別はサーバー固有のＩＤをつけることにより行う。この情報は公開鍵として使用することも可能であるし、課金情報の管理に使用することもである。
また、ユーザがパーソナルコンピュータ１０５を使う際に、パーソナルコンピュータ１０７に携帯端末固有のＩＤを入れることにより、この課金システムの利用が可能となり、移動先でのセキュリティを確保することが可能である。
【０００７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明により携帯端末での情報課金を共通の課金サーバーで行うことができるようになり、課金の信頼性と安全性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る課金システムの構成図である。
【符号の説明】
１０１  携帯端末
１０２  変換装置
１０３  課金サーバー
１０４  有料サービスサーバー
１０５  パーソナルコンピュータ
１０６  ネットワーク
【図１】
2004178005.tif 000003
(57)【要約】【課題】漢字の文字数の制限からの解放。メールの文字化けの解消。【解決手段】現行の漢字かな混じり文は１字１コードであるが、かなは音素の母音、子音に分解し母音コード、子音コードを設定し、このコードを組み合わせてかな複数コード文字とし、かなフォントは逐次母音検出時に表示しする。漢字も文字要素の点画、部首に分解し点画コード、部首コードを設定し、このコードを組み合わせて漢字をあらわす複数コード文字とする。すなはち、漢文の構造は１語１字であるが英文は１単語が複数のアルファベットである。漢字かなも電子情報処理に便利な７ビット、８ビットの文字要素を並べて漢字かな混じり文を処理するようにする。漢字フォントは１字１語に復元して表示する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
現行の１字１コードの日本語電子文字を、かなは音素、漢字は点画に分解し、各文字要素をＡＳＣＩＩコードに割り振り、音素かな、点画漢字の複合コード文字を創生する。
【請求項２】
請求項１のＡＳＣＩＩコードの音素、点画を内部コードの音素、点画に変換し、部首を追加して内部コードテーブルをつくり、この内部コードを用いて、音素カタカナ、音素ひらがな、点画漢字、部首漢字の複合コード文字に変換し内部処理に供する。
【請求項３】
音素かなは訓令式とし、濁音は子音を三重複し、半濁音は子音を二重複し、長音は母音を連続し、複合音節の拗音跋音は、子音のみを組み合わせてかな文字とし、かなフォントは母音検出時に出力する。
【請求項４】
点画漢字から短縮形の部首漢字を創出し相互にリンクし、入力時の正誤検証等に供する。
【請求項５】
漢字の点画、部首、画数等は、康煕字典を参考にし、「点画漢字」の配列は教育漢字の書き順とし、「部首漢字」の配列は先頭は部首コードとし点画コードは後に続く、漢字フォントはスペース又は漢字シフトコードの検出時に出力する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】日本語電子情報処理。
【０００２】
【従来の技術】１字１コード日本語電子情報処理。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】海外通信時の文字化け、登録漢字数の制約、漢字フォントの硬直性、新生漢字の許容。入力手段の多様化。
【０００４】
【課題を解決するための手段】１文字１コードの漢字かなを１群の複合コードで１文字で表示する。
【０００５】
【発明の実施の形態】日本語の漢字かなを、かなは音素、漢字は点画に分解し各文字要素をＡＳＣＩＩコードに割り振り、音素かな、点画漢字の複合コード文字を創生する。
【０００６】
ＡＳＣＩＩコードの音素かなコードを５母音コードと９子音コードとかなシフトコードに再変換し、点画漢字コードを１２の点画コードに再変換し、点画シフトコード、漢字シフトコード、＋−と０〜９の数字コードと部首コードを追加した内部コードテーブルを作る。
【０００７】
【発明の実施の形態】
ＡＳＣＩＩ複合コード文字と内部複合コード文字の連関レコードのファイルを作り相互変換する。
複合コード文字は次の規約に従う。
かな文字は子音コードと母音コードの複合コード文字とし母音の検出時に逐次かなフォントを出力し同種の文字は連続列とし終端はスペースで閉じる。
カタカナは先頭に、かなシフトコードを置き、ひらがなは無い（ＡＳＣＩＩは大文字）。
かなの音素の組み合わせは訓令式ローマ字に近似し濁音は子音を三重コードとし半濁音は子音を二重コードとした子音母音の複合コード文字を作り、複合音節の拗音、跋音は子音のみを組合せて母音で閉じるて複合コード文字とする。
【０００８】
漢字は点画コードのみで構成する複合コード文字の点画漢字と、部首コードで始まる複合コード文字の部首漢字の両方式がリンクした漢字レコードのファイルに登録し使用目的により切り替える。
点画漢字はタイプ入力の正誤検証力があり、部首漢字は基本漢字である。
両方式とも１漢字１ブロックとしスペースの検出時に漢字フォントを出力する。但し熟語は文字間に当該方式のシフトコードを挟み、シフトコードの検出で漢字フォントを逐次出力する（ＡＳＣＩＩは大文字）。
【０００９】
【実施例】
2004178532.tif 000002
【００１０】
【発明の効果】
漢字かな混じり文の入力手段が広がる。漢字の辞書の広狭が自在に出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＡＳＣＩＩかな点画漢字要素テーブル
【図２】内部コードかな部首漢字要素テーブル
【図１】
2004178532.tif 000003
【図２】
2004178532.tif 000004
(57)【要約】【課題】本発明の課題は、膝の上のような狭いスペースに乗せてキーボード操作が容易で、画面に直接入力する際にキーボードが邪魔にならず併用性の良い、ノート型情報端末の構造について明確にすることである。【解決手段】前記した課題の解決方法は、ペンおよび指で画面に直接入力可能な画面体と、キーボードを収納したまま操作可能な画面台を、折り畳みかつ角度自在に結合し、画面台よりキーボードを引き出し可能なノート型情報端末にすることで、前期の課題が達成される。【選択図】図３
2004178540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペンおよび指で画面に直接入力可能な画面体と、キーボードを収納したまま操作可能な画面台を、折り畳みかつ角度自在に結合し、画面台よりキーボードを引き出し可能な、ノート型情報端末
【請求項２】
ポインティングデバイスと一体化したキーボードを収納できる、請求項１に記載のノート型情報端末
【請求項３】
ワイヤレスで通信が可能なキーボードを収納脱着できる、請求項１または請求項２に記載のノート型情報端末
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画面に直接入力可能でキーボードを合わせ持つ、ノート型情報端末についてである。
【０００２】
【従来の技術】ペンおよび指で画面に直接入力可能な画面体と、キーボードを収納し操作可能な画面台を、折り畳みかつ角度自在に結合した、ノート型情端末が一般に知られている。また、ペンおよび指で画面に直接入力可能な画面体と、キーボードを収納した画面台を、折り畳みかつ角度自在に結合し、画面台よりキーボードを引き出し可能な、ノート型情報端末も特願２００１−１８４１００で開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術による画面台にキーボードを収納し操作かつ画面に直接入力可能なノート型情報端末では、キーボードが邪魔で本格的な画面への直接入力やその切り替えが困難であった。また、それを改善した特願２００１−１８４１００のノート型情報端末では、必要に応じて画面台よりキーボードを引き出しながら画面への直接入力との併用を手軽できる反面、膝の上のような限られたスペースではキーボードを引き出して入力するのが困難であった。
【０００４】本発明の目的は、膝の上のような限られたスペースに本体を乗せてキーボード操作が容易で、画面に直接入力する際にキーボードが邪魔にならず併用性の良い、ノート型情報端末の構造について明確にすることである。また第二の目的は、より軽量にフリースタイルで利用できる、ノート型情報端末の構造について明確にすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記した目的は、ペンおよび指で画面に直接入力可能な画面体と、キーボードを収納したまま操作可能な画面台を、折り畳みかつ角度自在に結合し、画面台よりキーボードを引き出し可能な、ノート型情報端末にすることで、前期の目的が達成される。また第二の目的は、ポインティングデバイスをキーボードと一体化、およびワイヤレスで通信が可能なキーボードを本体から分離して利用することで、第二の目的が達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施例は図面に基づいて説明される。図１、図２、図３、図４、図５、図６、図７、図８は、その１実施例における各部の状態の変化を示した斜面図である。まず図１は、ペン１１および指で画面１２に直接入力可能な画面体１３と、キーボード１４を収納したまま操作可能な画面台１５を、折り畳みかつ角度自在に結合し画面１２が見易い、もしくはキーボード１４への入力や画面１２への直接入力がし易い角度に開けた図である。また図２は図１の状態から、画面１２を閉じ携帯できるように画面体１３を前方に折り畳んだ図である。また図３は図１の状態から、画面台１５よりキーボード１４を引き出している図である。また図４は図３の状態から、キーボード１４は引き出して分離して、画面体１３が画面台１５の後方になるように折り曲げた図である。また図５は図４の状態から、キーボード１４を画面台１５に入れ、画面１２への入力の際にキーボード１４が邪魔にならないように引き出した図である。また図６は図５の状態から、キーボード１４のさらに多くのキーへの入力ができるようにキーボード１４をさらに引き出した図である。また図７は図５の状態から、画面体１３を後方に折り畳んだ図である。また図８は図７の状態からペン１１もしくは指で画面１２への直接入力専用にキーボード１４を完全に入れ収納した図である。
【０００７】また図１、図２、図３、図４、図５、図６、図７、図８による１実施例より、そのペン１１を回転かつスライドをガイドするレール１６を含むローラースライド式や他のポインティングデバイスを一体化、またワイヤレスで通信可能なキーボード１４として実施して良いのは明らかである。また、キーボード１４に換えて補助電源や補助記憶装置など他の装置を本体に差込み、新たな機能に変更して実施して良いのも明らかである。
【０００８】
【発明の効果】本発明は、キーボードを画面台に収納して操作、もしくは引き出しながら操作、また本体から分離して操作、それぞれ利用する場所において最適な画面への直接入力との併用形態が選択できるので、画面に直接入力できる機能とキーボード入力の機能の付加価値を、ノート型情報端末において追及できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例を示した斜面図
【図２】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図３】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図４】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図５】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図６】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図７】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【図８】図１の実施例で、別の状態を示した斜面図
【符号の説明】
１１    ペン
１２    画面
１３    画面体
１４    キーボード
１５    画面台
１６    レール
【図１】
2004178540.tif 000003
【図２】
2004178540.tif 000004
【図３】
2004178540.tif 000005
【図４】
2004178540.tif 000006
【図５】
2004178540.tif 000007
【図６】
2004178540.tif 000008
【図７】
2004178540.tif 000009
【図８】
2004178540.tif 000010
(57)【要約】      （修正有）【課題】高速・高負荷でのネジ軸送り装置において、熱膨張によるネジの伸びと歪みによって、クローズドループ制御では、ハンチングあるいは振動を発生させるが、本発明は精度内に熱対策をほどこしながら、制御するサーボシステムである。【解決手段】ネジの伸び量を検出し、熱影響をうけた領域長さで割り、その値を係数として、予め指令される指令値に係数を掛け、伸びていれば減算し、縮んでいたら加算して、補正した値をサーボモータの指令値として用いる。セミクローズドループ制御によって、振動も発生せず目標の精度を達成するものである。【選択図】図２
2004178534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールネジでセミクローズドループ制御システムのサーボ送り使用した時、熱膨張でネジ軸が伸びることによるリード誤差を、ボールスクリュー端のリニヤスケールあるいは直線変化を回転エンコーダの値とする装置で熱膨張を算出し、それによりサーボーモータの指令値を指示する前に補正し、サーボモータをコントロールする。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ボールネジを使用したサーボモータ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱膨張をクローズドループ制御システムで行うことで、熱膨張の影響を取り除いていた。
この場合においては、送り力に依る変形が、リニアスケールの分解能以下である必要がある。
又、セミクローズドループにおいては、ボールネジ支持間で熱膨張分だけ予め引っ張って歪ませた状態で使用し、熱膨張による伸び量を吸収していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
１．送り速度や加工力の為に送りネジが発熱し、熱膨張してもネジを支持しているベアリングが熱膨張により、スラスト力を受けないようにする。
２．クローズドループのように送り力の変化によって、リニアスケールの分解能以上に送り系が歪み、力の変化も速く頻繁な場合フィードバックの指令によるハンチングやそれに依る振動が発生するが、そのような状況を発生させないようにする。
３．サーボモータに目標指令値を指示する前に、指令値を熱補正された値で指示することで、熱によるネジ軸の伸び、あるいは縮みを補正する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
目的を達成すべく本発明は、問題を解決する手段として、ボールスクリューの端に、リニヤスケール或いは、直線移動量を回転式のエンコーダに変換させるエンコーダ装置により、熱膨張を支持間の伸びとして数値化し、その値に係数を掛けた値で、指令値を減算あるいは加算して、サーボモータの指令値とする。具体的な例として、直接変位を回転変位として補正するものを表記する。熱膨張によりベアリング間に支持されたボールスクリューが伸びる。図−２では、ボールスクリュー２が伸び、皿バネ７を歪ませ、１３、６を直線移動させた移動量を６のネジからナットにより回転運動に変化させ、１１を通して５のエンコーダで読みとられる。図−３は、皿バネがないだけで原理的には図−２と同じである。
尚、リニヤスケールあるいはポジションコーダの場合は１３からの直線変化を直接に読みとる事ができる。
以上読み取った値を熱膨張を発生している長さで割り、指示値から比例計算により減算あるいは加算した指令値をサーボモータの指令値として用いてセミクローズドループ制御としてＮＣ制御するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
加工速度や加工力による発熱により、ネジ軸が熱膨張の為に軸方向に伸びる状態において、ネジ軸の伸び量をリニアスケールまたはロータリーエンコーダにより測定し、送り装置が伸びのない状態での  指令値をＮパルス、伸び量をパルス変換した量を△ｎ、熱影響による領域パルス変換した値をＮｏとすると、補正指令パルス値ＮＨ＝Ｎ（１±△ｎ／Ｎｏ）としてサーボモータに指令パルスを送信する。尚、括弧内の＋はネジが縮んだ時、−はネジが伸びた時の計算式である。これらの機構を用いると加工力により歪んだ量をフィードバックすることによるハンチングや振動を防ぐことができる。
位置決めは熱影響を少なくなる処理も出来ることになる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明は、次の様な効果を得ることが出来る。
１．クローズドループにおいては加工力による歪みが測定装置の分解能値より大きくなると、ハンチングあるいは振動が発生し、制御不能になるが、本提案のセミクローズドループ制御によりその問題を発生することなく熱対策も出来る。
２．ネジ送りした時に、熱膨張が制御に影響しない様に、予め膨張値だけネジを引っ張っていたが、その事に依る支軸ベアリングの負荷を取り除くことができる。
３．従来早い送り速度に依るネジ部の熱発生を少なくする為に、ネジのリードを大きくし、サーボモータの許容イナーシャ値内に、負荷イナーシャをおさめる為、ギヤーボックス等を用いていたが、それが不要になる。
４．ネジのリードを小さくすることができ、そして又、同じ負荷でもナットの長さを小さくでき、小スペース化が可能になる。
５．ネジの伸びをサーボモータ起動前に知ることができ、補正した指令値を初期の段階で指示することができる。。
【０００７】
【図面の簡単な説明】
【図１】ネジ軸指示の構成図
【図２】ネジ支持方式：固定−固定形式支持エンコーダ部拡大図
【図３】ネジ支持方式：固定−支持形式支持エンコーダ部拡大図
【符号の説明】
１・・サーボモータ［エンコーダ付き］
２・・送り用ボールネジ
３・・移動体
４・・リニアスケール
５・・ロータリーエンコーダ
６・・エンコーダ用ボールネジ
７・・皿バネ
８・・ベアリング
９・・ベアリング
１０・・ベアリング
１１・・カップリング
１２・・回り止め兼用ガイド
１３・・ハウジング
１４・・モータ及びボールネジブラケット
１５・・ボールネジブラケット
１６・・カップリング
2004178534.tif 000003
【図１】
2004178534.tif 000004
【図２】
2004178534.tif 000005
【図３】
2004178534.tif 000006
(57)【要約】【課題】従来のコイン店舗の店舗の管理は単にコイン機器にコインを貯めて、定期的に貯まったコインを回収し、故障などの異常時にはコイン店舗を使用したユーザーの電話連絡などに頼って修理するなど、店舗管理上きわめて対応の遅い、店舗のオーナーにとっても、ユーザーにとっても不便な方法がとられていた。【解決手段】複数のコイン店舗に個々にＩＴ（Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）端末機を設置し、これら複数のコイン店舗のＩＴ端末機をＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）接続して統括するＩＴホスト機器を喫茶店などの有人店舗に設置し、この有人店舗の店員がこれらの複数のコイン店舗を日常管理できることを特徴とするコイン複合店システムである【選択図】            図１
2004178528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コインを投入して機器を使用するいわゆるコイン店舗において、複数のコイン店舗に個々にＩＴ（Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）端末機を設置し、これら複数のコイン店舗のＩＴ端末機をＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）接続して統括するＩＴホスト機器を喫茶店などの有人店舗に設置し、この有人店舗の店員がこれらの複数のコイン店舗を日常管理できることを特徴とするコイン複合店システム。
【請求項２】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコイン店舗の管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のコイン店舗の店舗の管理は単にコイン機器にコインを貯めて、定期的に貯まったコインを回収し、故障などの異常時にはコイン店舗を使用したユーザーの電話連絡などに頼って修理するなど、店舗管理上きわめて対応の遅い、店舗のオーナーにとっても、ユーザーにとって不便な方法がとられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のこのような店舗の対応の遅い、オーナーにとっても、ユーザーにとっても不便なコイン店舗の管理方法を改善しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するための本発明における技術的手段は次の通りである。即ち、複数のコイン店舗に個々にＩＴ（Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）端末機を設置し、これら複数のコイン店舗のＩＴ端末機をＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）接続して統括するＩＴホスト機器を喫茶店などの有人店舗に設置し、この有人店舗の店員がこれらの複数のコイン店舗を日常管理できることを特徴とするコイン複合店システムである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図１、図２に基づいて説明する。
図１は複数のコイン店舗を配置した平面図である。図２はこれらの複数のコイン店舗の正面図である。
本実施例の図１ではコイン精米機を備えた精米所１、コイン洗濯機や乾燥機を備えたコインランドリー２と、これらをＬＡＮ接続して統括する有人の喫茶店３を示している。精米所１内にはコインを投入して操作するコイン精米機４と、これを制御し情報を送信するＩＴ端末機５を備えている。コインランドリー２内にはコインを投入して操作する洗濯機６、乾燥機７と、これを制御し情報を送信するＩＴ端末機８を備えている。有人の喫茶店３内には上記のＩＴ端末機にＬＡＮ接続したホストコンピューター９と無人店舗の精米所１とコインランドリー２を監視するモニター１０を備えている。また、精米所１にはインターホーン１１、コインランドリー２にはインターホーン１２が壁際に設けてあり、ユーザーとモニター１０を介して直接交信できるようになっている。
尚、有人の喫茶店３にはコイン発券機１３が備えてあり、喫茶店３の売上などの情報もホストコンピューター９に集計されて、総合管理ができるようになっている。また、本実施例ではコイン精米所、コインランドリーと有人喫茶店の組合わせであるが、その他のコイン店舗の組合わせでもよい。
更に、本実施例ではコイン精米所、コインランドリー、と有人喫茶店を一箇所にまとめた店舗形式のものを示しているが、それぞれ別々の近所に所在する店舗形式のものも含まれる。
【０００６】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明のコイン複合店システムは複数のコイン操作の無人店舗を一つの有人店舗で総合的なシステム管理することにより、機器の故障などが発生した場合には迅速な対応が可能となり、また、コインの管理や店舗経営が即座に把握できるなど、オーナーにとっても、ユーザーにとっても極めて有用な、コイン複合店舗システムが構築できる。
また、本実施例ではコイン精米所、コインランドリーと有人喫茶店の組合わせであるが、その他のコイン店舗の組合わせでも同様の効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例の複数のコイン店舗を配置した平面図である。
【図２】本発明実施例の複数のコイン店舗を配置した正面図である。
【符号の説明】
１  精米所
２  コインランドリー
３  喫茶店
４  コイン精米機
５、８  ＩＴ端末機
６  洗濯機
７  乾燥機
９  コンピューター
１０  モニター
１１、１２  インターホーン
１３  コイン発券機
【図１】
2004178528.tif 000003
【図２】
2004178528.tif 000004
(57)【要約】【課題】簡易な方法で、セキュリティレベルを高めるカード認証方法を提供する。【解決手段】カードＩＤ、パスワード、更新回数をカードに格納しておく。カードＩＤと更新回数との対応関係をＣＰＵ装置に登録しておく。そして、カードを紛失した場合、紛失したカードに格納されていたカードＩＤであり、更新回数は異なるカードを発行する。また、発行したカードのカードＩＤと更新回数との対応関係をＣＰＵ装置に登録しておく。そして、カードの認証において、パスワードが正しく、カードに格納された更新回数とＣＰＵ装置に登録された認証対象のカードの更新回数が一致するとき認証を合格させる。【選択図】  図１
2004178120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カードＩＤ、パスワード、更新回数が格納されたカードを用いたカード認証方法であって、前記カードＩＤと更新回数との対応関係をＣＰＵ装置に登録しておき、紛失したカードを再発行する際に、カードＩＤは紛失したカードのカードＩＤであり、更新回数は紛失したカードとは異なる更新回数であるカードを再発行するとともに、再発行したカードのカードＩＤと更新回数との対応関係を前記ＣＰＵ装置に登録し、認証対象のカードのパスワードが正しく、認証対象のカードに格納された更新回数と前記ＣＰＵ装置に登録された認証対象のカードの更新回数が一致するとき正しいカードと認証することを特徴とするカード認証方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カード認証方法に関し、特に、簡易な方法で、セキュリティレベルを高めるとともに、紛失したのち回収されたカードの再利用を可能とするカード認証方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開２００１−２９１１０３号公報は、ＩＣカードを使用した指紋認証装置を開示している。まず、ＩＣカードに予め指紋データを記録しておく。そして、この指紋認証装置では、ＩＣカードに記録された指紋データを読み出し、新たにユーザの指紋データを読み出し、２つの指紋を照合することによって本人認証を行なっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２９１１０３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記のように従来の方法では、以下の問題がある。
【０００５】
ＩＣカードに指紋データを記録するための設備や、指紋を認証する装置等が必要であり、大掛かりな設備が必要となる。
【０００６】
本発明の目的は、簡易な方法で、セキュリティレベルを高めるカード認証方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、カードＩＤ、パスワード、更新回数をカードに格納しておく。また、カードＩＤと更新回数との対応関係をＣＰＵ装置に登録しておく。そして、カードを紛失した場合、紛失したカードに格納されていたカードＩＤであり、更新回数は異なるカードを発行する。
【０００８】
また、発行したカードのカードＩＤと更新回数との対応関係をＣＰＵ装置に登録しておく。そして、カードの認証において、パスワードが正しく、カードに格納された更新回数とＣＰＵ装置に登録された認証対象のカードの更新回数が一致するとき認証を合格させる。
【０００９】
このようにして、簡易な方法で、セキュリティレベルを高めるカード認証方法を提供できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本発明のＩＣカード１の構造図である。ＩＣカード１は、カードＩＤ２、更新回数３、パスワード４を含む。更新回数２の更新については、後で、詳述する。
【００１２】
図２は、本発明のシステム構成図である。ＣＰＵ装置５は、外部入力制御機能６と他装置連携機能７とを有する。ＣＰＵ装置１０は、他装置連携機能１１と情報格納装置１２と、外部入力制御装置１３を有する。また、ＣＰＵ装置５と１０とは、ネットワーク９により接続されている。情報格納装置１２には、ＩＣカード１に格納されるカードＩＤ２と更新回数３が格納されている。
【００１３】
なお、情報格納装置１２に格納される更新回数は、特定の権限を持つ管理者などが、外部入力制御機能１３を使用し変更可能とし、一般ユーザは参照できないこととする。一般ユーザがＩＣカード１を紛失した場合、管理者が、新たなＩＣカード１を発行し、この新たなＩＣカード１のカードＩＤ２は、紛失したＩＣカードと同一とし、更新回数３は紛失したＩＣカードの更新回数とは異なる数値（例えば、紛失した更新回数に１を加算した値）とする。そして、新たなＩＣカード１の更新回数３を情報格納装置１２に、カードＩＤ２に対応付けて記録する。
【００１４】
このようにして、ＩＣカード１を紛失したユーザは、紛失前のＩＣカード１と同じカードＩＤ２、パスワード３のカードを利用可能となり利便性が高まる。また、管理者は、ＩＣカード１に対応する更新回数３を変更することで、紛失したＩＣカードを悪用しようとする者が、照合を試みても不合格とすることができる。
【００１５】
なお、ＣＰＵ装置５に情報格納装置１２を有し、ネットワーク９により他装置と連携することなく上記機能を実現することも可能である。
【００１６】
図３は、本発明のＩＣカード認証方法のフロチャートである。ステップ１４にて、ＣＰＵ装置５の電源を投入する。ステップ１５にて、ＣＰＵ装置５によりＩＣカード認証の要求が行われる。一般ユーザは、ステップ１６で、ＩＣカード１を外部入力制御機能６に挿入し、ステップ１７にて、カードＩＤ２およびパスワード４を外部入力制御機能６を使用して入力する。
【００１７】
以下ステップ１８の照合処理が開始される。ステップ１９にて、カードＩＤ２、パスワード４の照合が行われ、合格の場合ステップ２１へ進み、不合格の場合、ステップ２０のようにステップ１７へ戻る。
【００１８】
以上が従来のフローであるが、ステップ２１が、本発明による新規のステップである。ステップ２１にて、ＩＣカード１に格納されたカードＩＤ２に対応する情報格納装置１２に格納された更新回数を抽出し、ＩＣカード１に格納された更新回数２と照合する。照合が合格した場合、業務が開始され、不合格の場合ステップ１７へ戻る。
【００１９】
以上、ＩＣカードにおける認証について説明したが、ＩＣカード以外のカードにも適用できる。
【００２０】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明によりこのようにして、簡易な方法で、セキュリティレベルを高めるカード認証方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＩＣカード１の構造図である。
【図２】本発明のシステム構成図である。
【図３】本発明のＩＣカード認証方法のフロチャートである。
【符号の説明】
１・・・ＩＣカード、２・・・カードＩＤ、３・・・更新回数、４・・・パスワード、５・・・ＣＰＵ装置、９・・・ネットワーク。
【図１】
2004178120.tif 000003
【図２】
2004178120.tif 000004
【図３】
2004178120.tif 000005
(57)【要約】【課題】スプーラで障害が発生した場合に、印刷処理が停止してしまうという問題が発生する。本発明の目的は、スプーラの状態を監視し、障害を検出した後、印刷処理を自動的に再開させることにある。【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は印刷ジョブ開始時間と任意に設定されたタイムアウト値からスプーラが障害であると判断する。また、スプーラプロセスの状態が異常であると判断する時刻を経過した場合に、待機しているスプーラに制御を移す。【選択図】  図１
2004178124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷データをスプーラにスプールし、プリンタに送信して印刷を行なうコンピュータシステムにおいて、スプーラ（正）へ登録する前に印刷データを取得、格納するスプーラ（副）と、印刷ジョブの印刷実行状況を取得、監視し、またスプーリングプロセスの動作状況を取得、監視する手段を備えたことを特徴とする印刷自動回復装置。
【請求項２】
請求項１記載の印刷自動回復装置において、スプール（正）で障害が発生しているか否かを、印刷ジョブの登録および実行開始から印刷ジョブの終了までの経過時間が、設定した時間を超えているか否か、およびスプーリングプロセスが動作しているかで判断し、スプーラ（正）で障害が発生していると判断した場合には、スプーラ（正）に蓄積されている印刷データを破棄し、以降の印刷ジョブのスプーラ（正）への登録を中止し、スプーラ（正）と同じシステム内に存在するスプーラ（副）にて、障害発生時点の印刷ジョブから印刷を再開することを特徴とする印刷自動回復装置。
【請求項３】
請求項２記載の印刷ジョブ実行後にジョブが終了せずに停滞している時間を任意に定義する手段を備えたことを特徴とする印刷自動回復装置。
【請求項４】
スプーラ（副）はスプーラ（正）とは異なるプロセスで動作し、独立していることを特徴とする印刷自動回復装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スプーラを使用して印刷ジョブを実行し、プリンタに出力するコンピュータシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術として、プリンタの障害（用紙詰りや用紙切れ）に対して障害を検出し利用者に通知することによって復旧させるものや、２系統以上のシステムによって障害の発生していないプリンタに対して自動的に代行印刷させるものがある。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−８９９２１号公報（第３−５頁、第５図）
【特許文献２】
特開平１１−２７７８５４号公報（第２−３頁、第２図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし従来の機能では、プリンタの障害に対する回復手段が存在するが、スプーラで障害が発生した場合に、それを検出し復旧させるという手段がなく、印刷ジョブが停滞してしまうという問題が発生する。
【０００５】
そこで本発明の目的は、印刷ジョブの実行状況を時間監視し、またスプーラの動作状況を監視することで、スプーラの障害を検知し、その場合には同じシステム内に待機させてあるもう一つのスプーラによって印刷を再開させ、印刷ジョブの停滞を防止することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明はスプールした印刷ジョブデータをプリンタに送信して印刷を行なうコンピュータシステムにおいて、スプールされた印刷ジョブの実行開始時間および印刷ジョブ実行状況を取得する。
【０００７】
印刷ジョブの実行開始時間からスプールされた印刷ジョブの状態を監視し、印刷ジョブが終了せずに停滞している時間を算出する。
【０００８】
また、スプーラの状態が異常であると判断する時刻を経過した場合に、印刷制御をスプーラ（正）から待機しているスプーラ（副）へ切り換える。
【０００９】
また、スプーラの稼動状態を監視し、機能が停止している場合に、印刷制御をスプーラ（正）から待機しているスプーラ（副）へ切り換える。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について図１を参照して説明する。
図１は本発明に適用される印刷自動回復装置の主要部を示す図である。印刷自動回復装置はコンピュータにおいて、専用ポート１から印刷ジョブデータを保存し、待機するスプーラ２とスプーラ２から渡された印刷ジョブデータをスプールするスプーラ３とスプーラ３からプリンタ４に送信された印刷ジョブデータの実行状況を監視し、またスプーラ３のプロセスが正常に動作しているか否かを監視し、異常が発生しているか否かを判定するジョブ監視手段５と現在どのジョブまでが実行されているかを管理するジョブ管理手段６とによって構成される。
【００１１】
図２で印刷自動回復装置の動作について説明する。まず、専用ポート２０１を介して印刷ジョブデータがスプーラ２０２に渡される。そこで印刷ジョブデータはスプーラ２０２に保存される。（２０３）スプーラ２０２から送られた印刷ジョブデータは、スプーラ２０４にスプールされた後、プリンタに送信され、印刷が行われる。（２０５）
印刷ジョブ実行開始時に印刷ジョブデータの管理情報をジョブ管理手段２０６が取得し、管理テーブル２０７に登録する。（２０８）その後印刷ジョブ終了までジョブ監視手段２０９で監視を続ける。（２１０）
監視時間が一定値を超えた場合、またはスプーラ２０４のプロセスが正常に動作していないことを検出すると、スプーラ２０４で異常が発生しているものと判定（２１１）し、印刷制御をスプーラ２０２に移す。（２１２）
どのジョブから実行するかは管理テーブル２０７から判定し、２０３で保存された印刷ジョブデータを使用して印刷を行う。（２１３）
図３は、図２で示した管理テーブルの構造を示した図である。
管理テーブルではスプールされた印刷データ毎にジョブＩＤ３１および、ジョブ名３２、を格納する。さらにジョブ登録時間３３、ジョブ実行開始時間３４、ジョブ実行状況３５、さらにタイムアウト値３６を格納する。
【００１２】
【発明の効果】
本発明を使用することにより、スプーラの障害で印刷が中断されるようなケースにおいてその発生を検出し、手作業による復旧作業なしで自動的に印刷が再開できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は本発明の構成を示した図。
【図２】はジョブ管理手段で使用するテーブル図。
【図３】はタイムアウト発生時のフローチャート図
【符号の説明】
１  専用ポート
２  スプーラ（副）
３  スプーラ（正）
４  プリンタ
５  ジョブ管理手段
６  ジョブ監視手段
【図１】
2004178124.tif 000003
【図２】
2004178124.tif 000004
【図３】
2004178124.tif 000005
(57)【要約】【課題】エレクトロンシャワー装置より供給される電子がビーム経路管内壁を通じて地絡する事で、ウェーハ上の電気的平衡を得るための電子が不足する場合がある。【解決手段】本発明のイオン注入ビーム経路管は電子の地絡を防止するために絶縁膜の被膜をビーム経路管内壁に設ける。または、絶縁シールドをビーム経路管とイオンビームの中間に設置してエレクトロンが地落することを防止する。【選択図】      図１
2004178993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内壁の全面に均一に絶縁膜を被覆することを特徴とするイオン注入ビーム経路管。
【請求項２】
前記イオン注入ビーム経路管は接地電位に固定されていることを特徴とする請求項１記載のイオン注入ビーム経路管。
【請求項３】
前記絶縁膜はビーム管の材質の酸化物で形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のイオン注入ビーム経路管。
【請求項４】
シールドを内部に取り付けることを特徴とするイオン注入ビーム経路管。
【請求項５】
前記シールドは接地電位が印加されていることを特徴とする請求項４記載イオン注入ビーム経路管。
【請求項６】
前記シールドが絶縁膜で被覆されていることを特徴とする請求項４または５記載のイオン注入ビーム経路管。
【請求項７】
前記シールドの芯部が金属で形成されこのシールドの表面が前記シールドの芯部の金属の酸化物で被覆されていることを特徴とする請求項４乃至６記載のイオン注入ビーム経路管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はイオン注入装置のビーム経路管に関し、特に絶縁膜をコートするあるいは絶縁を施したシールドを経路管の内壁に有するイオン注入用ビーム経路管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、イオン注入装置には半導体素子の静電破壊防止を目的として、電子銃を金属に照射し、その２次電子を抽出する装置、即ちエレクトロンシャワー装置を一般的に有している。イオン注入装置のビーム経路管の内壁に絶縁膜を有することにより、上記のエレクトロンシャワー装置から供給される電子がビーム経路管を介して地絡して、ウェーハに到達する電子が減少する事を防ぐ。また、イオン注入を行う事でビーム経路管の内壁に絶縁膜が成長する。その膜厚の変化によりビーム経路管を介して地絡する電子の量が変動することを抑える。この種のイオン注入装置では、電子をウェーハ上に供給し、ウェーハ上の電気的平衡を保ち、半導体素子の静電破壊を防ぐことが重要な要素の一つとなっている。この種の先行技術として特開昭６４−１０５６３号公報がある。この技術はウェハに照射するイオンビームを取り囲み、且つ、断面が該イオンビームの形状より若干大の導電性筒の開口部を該ウエハ面に設けると共に、該導電性筒内に電子シャワーを設けている。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６４−１０５６３号公報（第２−４頁、第２図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のイオン注入用ビーム経路管においては、次のような問題点がある、その第１は、エレクトロンシャワー装置より供給される電子がビーム経路管内壁を通じて地絡する事でウェーハ上の電気的平衡を得るための電子が不足する事である。
【０００５】
第２の問題点は、イオン注入を通じてビーム経路管内壁に絶縁膜が生成され、その成長と共にビーム経路管内壁の絶縁性が変化するため、ビーム経路管内壁を通じて地絡する電子の量が変動するという欠点がある。
【０００６】
したがって、本発明の目的はイオン注入ビーム経路管内壁に絶縁膜を設けるまたはシールドを設けることにより、エレクトロンシャワー装置から供給される電子の地絡による損失を防ぎ、また電子の量を安定化させて半導体素子の静電破壊を防ぐ事である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のイオン注入ビーム経路管は、内壁の全面に均一に絶縁膜を被覆することを特徴とする、また絶縁膜付きのシールドを内部に取り付けることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の実施の形態はイオン注入装置のビーム経路管１に沿ってイオンビーム発射部９からのイオンビーム２がシリコンウェーハ３へと進行する。シリコンウェーハ３表面の電気的平衡を保つためにエレクトロンシャワー装置により経路管１の横から電子６が経路管を介してシリコンウェーハ３へ供給され、空間中に存在する自由電子５と共にイオン注入による正電荷のチャージを緩和する。ビーム経路管１は接地ライン７により接地電位に固定される。本発明ではビーム経路管１の内壁の全面に均一に絶縁膜４を被覆する、この絶縁膜はビーム経路管を構成する金属の酸化物で被覆することも可能である。もしくは、図２の様に、ビーム経路管１とイオンビーム２の間に接地ライン７により接地電位に固定された金属製の絶縁シールド８を設置することによりチャージを緩和する。この絶縁シールド８は接地電位に固定されまたこのシールドの表面を絶縁膜で被覆することも前述のビーム経路管を絶縁物で被覆するのと同様の効果がある。
【０００９】
【発明の効果】
以上説明したように、ビーム経路管内壁に被覆または装着した絶縁膜または、シールドにより電子が地絡せずにウェーハに到達するため、第１の効果は、ウェーハへの電子の到達量が多くなるため、半導体素子の静電破壊を防止できる。第２の効果は常にビーム経路管内壁を絶縁することでイオン注入を通じてビーム経路管の内壁に生成される絶縁膜の成長がビーム経路管接地ラインを通じて地絡する電子の量に影響を与えない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を装着したイオン注入装置ビーム経路管の断面図である。
【図２】本発明の絶縁シールドを装着したイオン注入装置ビーム経路管の断面図である。
【符号の説明】
１    経路管
２    イオンビーム
３    シリコンウェーハ
４    絶縁膜
５    自由電子
６    電子
７    接地ライン
８    絶縁シールド
９    イオンビーム発射部
【図１】
2004178993.tif 000003
【図２】
2004178993.tif 000004