(57)【要約】【課題】クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧調整を効率化する。【解決手段】開口率制御部１８は、風速計１３、１４により計測された風速データおよび差圧計１５〜１７により計測された差圧データに基づいて、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ制御することにより、ストッカ１内の陽圧調整を自動化する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パワーゾーンとの境界に設けられ、内部に空洞を有する第１の隔壁と、
クリーンゾーンとの境界に設けられ、内部に空洞を有する第２の隔壁と、
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁との間に設けられ、床面がリターンチャンバに連結された保管室と、
前記パワーゾーンおよび前記保管室内の空気を前記第１の隔壁内に引き込む第１の送風機と、
前記クリーンゾーンおよび前記保管室内の空気を前記第２の隔壁内に引き込む第２の送風機と、
前記第１の隔壁内に引き込まれる空気をフィルタリングする第１のプレフィルタと、
前記第２の隔壁内に引き込まれる空気をフィルタリングする第２のプレフィルタと、
前記第１の隔壁内に引き込まれる空気の風量を調整する第１のシャッタと、
前記第２の隔壁内に引き込まれる空気の風量を調整する第２のシャッタと、
前記第１の隔壁内に引き込まれた空気をフィルタリングして、前記保管室内に排出する第１のフィルタと、
前記第２の隔壁内に引き込まれた空気をフィルタリングして、前記保管室内に排出する第２のフィルタと、
前記第２の隔壁に設けられた入出庫ポートと、
前記保管室の床面に設けられたグレーティングと、
前記グレーティング下に設けられ、前記リターンチャンバへ排出される空気の風量を調整する第３のシャッタと、
前記クリーンゾーン、前記保管室および前記リターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測する差圧計と、
前記入出庫ポートの風速を計測する第１の風速計と、
前記グレーティングの風速を計測する第２の風速計と、
前記差圧計により計測された差圧ならびに前記第１の風速計および前記第２の風速計により計測された風速に基づいて、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を制御する開口率制御手段とを備えることを特徴とするストッカ。
【請求項２】
前記開口率制御手段は、前記リターンチャンバおよび前記保管室間の差圧が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする請求項１記載のストッカ。
【請求項３】
前記開口率制御手段は、前記第１の風速計により計測された風速が所定値以上、前記第２の風速計により計測された風速が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする請求項１または２記載のストッカ。
【請求項４】
パワーゾーンからストッカ内に取り込まれる空気の風量を調整する第１のシャッタと、
クリーンゾーンからストッカ内に取り込まれる空気の風量を調整する第２のシャッタと、
前記ストッカ内からリターンチャンバに排出される空気の風量を調整する第３のシャッタと、
前記クリーンゾーン、前記ストッカ内および前記リターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測する差圧計と、
前記ストッカの入出庫ポートの風速を計測する第１の風速計と、
前記リターンチャンバに排出される空気の風速を計測する第２の風速計と、
前記差圧計により計測された差圧ならびに前記第１の風速計および前記第２の風速計により計測された風速に基づいて、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を制御する開口率制御手段とを備えることを特徴とする空調制御装置。
【請求項５】
前記開口率制御手段は、前記リターンチャンバおよび前記ストッカ間の差圧が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする請求項４記載の空調制御装置。
【請求項６】
前記開口率制御手段は、前記第１の風速計により計測された風速が所定値以上、前記第２の風速計により計測された風速が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする請求項４または５記載の空調制御装置。
【請求項７】
クリーンゾーン、ストッカ内およびリターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測するステップと、
前記ストッカの入出庫ポートの風速を計測するステップと、
前記リターンチャンバに排出される空気の風速を計測するステップと、
前記計測された差圧および風速に基づいて、前記ストッカ内に取り込まれる空気の風量および前記ストッカから前記リターンチャンバに排出される空気の風量を制御するステップとを備えることを特徴とする空調制御方法。
【請求項８】
クリーンゾーン、ストッカ内およびリターンチャンバ間の差圧データをそれぞれ取得するステップと、
前記ストッカの入出庫ポートの風速データを取得するステップと、
前記リターンチャンバに排出される空気の風速データを取得するステップと、
前記取得された差圧データおよび風速データに基づいて、前記ストッカ内に取り込まれる空気の風量および前記ストッカから前記リターンチャンバに排出される空気の風量を制御するステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする空調制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はストッカ、空調制御装置、空調制御方法および空調制御プログラムに関し、特に、ストッカ内のクリーン度調整に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のクリーンルームでは、ウェハを一時的に貯蔵するストッカがクリーンゾーンとパワーゾーンとの間に設けられ、クリーンゾーンとパワーゾーンとの間でのウェハの受け渡しがストッカを介して行われている。
そして、ストッカ内のクリーン度を維持するため、ストッカの床面をリターンチャンバに連結し、ストッカ内のダウンフローを行う方法がある。
【０００３】
図４は、従来のストッカの概略構成を示す断面図である。
図４において、ストッカ３１には、パワーゾーンＰＺとの境界を仕切る隔壁３２ａおよびクリーンゾーンＣＺとの境界を仕切る隔壁３２ｂが設けられ、隔壁３２ａと隔壁３２ｂとの間の空間には、ウェハなどを一時的に貯蔵する保管室３１ａが形成され、この保管室３１ａ内には、ウェハなどを載せる棚３４ａ、３４ｂが各隔壁３２ａ、３２ｂの側面に沿って縦列配置されている。
【０００４】
また、各隔壁３２ａ、３２ｂ内には空洞が設けられ、隔壁３２ａには、パワーゾーンＰＺおよび保管室３１ａ内の空気を隔壁３２ａ内に引き込むファン３５ａが設けられるとともに、隔壁３２ｂには、クリーンゾーンＣＺおよび保管室３１ａ内の空気を隔壁３２ｂ内に引き込むファン３５ｂが設けられている。
そして、隔壁３２ａには、パワーゾーンＰＺから隔壁３２ａ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ３６ａが設けられるとともに、パワーゾーンＰＺから隔壁３２ａ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ３８ａが設けられ、さらに、保管室３１ａから隔壁３２ａ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ３７ａが設けられるとともに、保管室３１ａから隔壁３２ａ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ３９ａが設けられている。
【０００５】
また、隔壁３２ｂには、クリーンゾーンＣＺから隔壁３２ｂ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ３６ｂが設けられるとともに、クリーンゾーンＣＺから隔壁３２ｂ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ３８ｂが設けられ、さらに、保管室３１ａから隔壁３２ｂ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ３７ｂが設けられるとともに、保管室３１ａから隔壁３２ｂ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ３９ｂが設けられている。
【０００６】
また、隔壁３２ａには、隔壁３２ａ内に引き込まれた空気を浄化して、保管室３１ａ内に排出するフィルタ３３ａが設けられ、隔壁３２ｂには、隔壁３２ｂ内に引き込まれた空気を浄化して、保管室３１ａ内に排出するフィルタ３３ｂが設けられている。
また、保管室３１ａの床面はリターンチャンバＲＣに連結され、保管室３１ａの床面には、グレーティング４１が設けられるとともに、グレーティング４１下には、リターンチャンバＲＣへ排出される風量を調整するシャッタ４２が設けられている。
【０００７】
また、隔壁３２ｂには、クリーンゾーンＣＺとの間でウェハの受け渡しを行うストッカ入出庫ポート４０が設けられている。
さらに、ストッカ入出庫ポート４０には、ストッカ入出庫ポート４０から吹き出す空気の風速および向きを計測するための風速計４３および糸４４が設けられている。
【０００８】
ここで、保管室３１ａは、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺに比べて陽圧に保たれている。
そして、隔壁３２ａ、３２ｂに設けられたファン３５ａ、３５ｂをそれぞれ作動させ、パワーゾーンＰＺおよび保管室３１ａから隔壁３２ａ内に空気を引き込み、フィルタ３３ａを介して保管室３１ａ内に空気を吹き出させるとともに、クリーンゾーンＣＺおよび保管室３１ａから隔壁３２ｂ内に空気を引き込み、フィルタ３３ｂを介して保管室３１ａ内に空気を吹き出させる。
【０００９】
そして、グレーティング４１を介し保管室３１ａ内に吹き出された空気をリターンチャンバＲＣへ排出することにより、保管室３１ａ内でダウンフローを実現し、ストッカ３１内のクリーン度を維持する。
ここで、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバＲＣやクリーンゾーンＣＺの圧力が増減し、保管室３１ａ、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の圧力差が増減する。
【００１０】
そして、保管室３１ａ、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の圧力差が適正値からはずれると、ストッカ３１内でのダウンフローが適切に行われなくなるとともに、クリーンゾーンＣＺへの空気の吹き出し量が増大し、ストッカ３１内およびクリーンゾーンＣＺのクリーン度が劣化する。
このため、従来のストッカ３１では、ストッカ３１内でのクリーン度を維持するために、風速計４３および糸４４の向きにより、ストッカ３１内の陽圧を確認し、その強弱によっては、プレフィルタ３６ａ、３７ａ、３６ｂ、３７ｂのシャッタ３８ａ、３９ａ、３８ｂ、３９ｂおよびグレーティング４１下のシャッタ４２の開口率をそれぞれ手作業で調整し、ストッカ３１内の陽圧を調整することが行われていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ストッカ３１内の陽圧を調整するために、プレフィルタ３６ａ、３７ａ、３６ｂ、３７ｂのシャッタ３８ａ、３９ａ、３８ｂ、３９ｂおよびグレーティング４１下のシャッタ４２の開口率をそれぞれ手作業で調整する方法では、試行錯誤を繰り返す必要があり、時間がかかるとともに、生産ラインへの影響が大きいという問題があった。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧調整を効率化することが可能なストッカ、空調制御装置、空調制御方法および空調制御プログラムを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１記載のストッカによれば、パワーゾーンとの境界に設けられ、内部に空洞を有する第１の隔壁と、クリーンゾーンとの境界に設けられ、内部に空洞を有する第２の隔壁と、前記第１の隔壁と前記第２の隔壁との間に設けられ、床面がリターンチャンバに連結された保管室と、前記パワーゾーンおよび前記保管室内の空気を前記第１の隔壁内に引き込む第１の送風機と、前記クリーンゾーンおよび前記保管室内の空気を前記第２の隔壁内に引き込む第２の送風機と、前記第１の隔壁内に引き込まれる空気をフィルタリングする第１のプレフィルタと、前記第２の隔壁内に引き込まれる空気をフィルタリングする第２のプレフィルタと、前記第１の隔壁内に引き込まれる空気の風量を調整する第１のシャッタと、前記第２の隔壁内に引き込まれる空気の風量を調整する第２のシャッタと、前記第１の隔壁内に引き込まれた空気をフィルタリングして、前記保管室内に排出する第１のフィルタと、前記第２の隔壁内に引き込まれた空気をフィルタリングして、前記保管室内に排出する第２のフィルタと、前記第２の隔壁に設けられた入出庫ポートと、前記保管室の床面に設けられたグレーティングと、前記グレーティング下に設けられ、前記リターンチャンバへ排出される空気の風量を調整する第３のシャッタと、前記クリーンゾーン、前記保管室および前記リターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測する差圧計と、前記入出庫ポートの風速を計測する第１の風速計と、前記グレーティングの風速を計測する第２の風速計と、前記差圧計により計測された差圧ならびに前記第１の風速計および前記第２の風速計により計測された風速に基づいて、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を制御する開口率制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
これにより、クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧が適性に保たれるように、ストッカ内の風量を調整するシャッタの開口率を自動的に制御することが可能となり、ストッカ内の陽圧調整を自動化することが可能となる。
このため、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力が増減した場合においても、人手をかけることなく、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となり、生産ラインへの影響を低減することが可能となる。
【００１５】
また、請求項２記載のストッカによれば、前記開口率制御手段は、前記リターンチャンバおよび前記保管室間の差圧が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする。
これにより、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバの圧力が上昇した場合においても、リターンチャンバおよび保管室間の差圧を所定値以上に保つことが可能となり、ストッカ内におけるダウンフローを維持して、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となる。
【００１６】
また、請求項３記載のストッカによれば、前記開口率制御手段は、前記第１の風速計により計測された風速が所定値以上、前記第２の風速計により計測された風速が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする。
これにより、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力増減により、リターンチャンバへの吹き出し量が減少し、クリーンゾーンへの吹き出し量が増加した場合においても、ストッカ内の陽圧を適正に保つことが可能となり、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となる。
【００１７】
また、請求項４記載の空調制御装置によれば、パワーゾーンからストッカ内に取り込まれる空気の風量を調整する第１のシャッタと、クリーンゾーンからストッカ内に取り込まれる空気の風量を調整する第２のシャッタと、前記ストッカ内からリターンチャンバに排出される空気の風量を調整する第３のシャッタと、前記クリーンゾーン、前記ストッカ内および前記リターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測する差圧計と、前記ストッカの入出庫ポートの風速を計測する第１の風速計と、前記リターンチャンバに排出される空気の風速を計測する第２の風速計と、前記差圧計により計測された差圧ならびに前記第１の風速計および前記第２の風速計により計測された風速に基づいて、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を制御する開口率制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１８】
これにより、ストッカ内の陽圧調整を自動化することが可能となり、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力が増減した場合においても、人手をかけることなく、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となる。
また、請求項５記載の空調制御装置によれば、前記開口率制御手段は、前記リターンチャンバおよび前記ストッカ間の差圧が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする。
【００１９】
これにより、リターンチャンバの圧力が上昇した場合においても、リターンチャンバおよび保管室間の差圧を所定値以上に保つことが可能となり、ストッカ内におけるダウンフローを維持して、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となる。
また、請求項６記載の空調制御装置によれば、前記開口率制御手段は、前記第１の風速計により計測された風速が所定値以上、前記第２の風速計により計測された風速が所定値以下の場合、前記第１、第２および第３のシャッタの開口率を上昇させること特徴とする。
【００２０】
これにより、リターンチャンバへの吹き出し量が減少し、クリーンゾーンへの吹き出し量が増加した場合においても、ストッカ内の陽圧を適正に保つことが可能となり、ストッカ内のクリーン度を維持することが可能となる。
また、請求項７記載の空調制御方法によれば、クリーンゾーン、ストッカ内およびリターンチャンバ間の差圧をそれぞれ計測するステップと、前記ストッカの入出庫ポートの風速を計測するステップと、前記リターンチャンバに排出される空気の風速を計測するステップと、前記計測された差圧および風速に基づいて、前記ストッカ内に取り込まれる空気の風量および前記ストッカから前記リターンチャンバに排出される空気の風量を制御するステップとを備えることを特徴とする。
【００２１】
これにより、ストッカ内の陽圧調整を自動化して、クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧を適性に保つことが可能となり、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力が増減した場合においても、ストッカ内のクリーン度を適正に維持することが可能となる。
また、請求項８記載の空調制御プログラムによれば、クリーンゾーン、ストッカ内およびリターンチャンバ間の差圧データをそれぞれ取得するステップと、前記ストッカの入出庫ポートの風速データを取得するステップと、前記リターンチャンバに排出される空気の風速データを取得するステップと、前記取得された差圧データおよび風速データに基づいて、前記ストッカ内に取り込まれる空気の風量および前記ストッカから前記リターンチャンバに排出される空気の風量を制御するステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００２２】
これにより、空調制御プログラムをコンピュータにインストールすることで、クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧を適性に保つことが可能となり、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力が増減した場合においても、人手による試行錯誤を繰り返すことなく、ストッカ内のクリーン度を適正に維持することが可能となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るストッカおよび空調制御方法について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るストッカの概略構成を示す断面図である。図１において、ストッカ１には、パワーゾーンＰＺとの境界を仕切る隔壁２ａおよびクリーンゾーンＣＺとの境界を仕切る隔壁２ｂが設けられ、隔壁２ａと隔壁２ｂとの間の空間には、ウェハなどを一時的に貯蔵する保管室１ａが設けられ、この保管室１ａ内には、ウェハなどを載せる棚４ａ、４ｂが各隔壁２ａ、２ｂの側面に沿って縦列配置されている。
【００２４】
また、各隔壁２ａ、２ｂ内には空洞が設けられ、隔壁２ａには、パワーゾーンＰＺおよび保管室１ａ内の空気を隔壁２ａ内に引き込むファン５ａが設けられるとともに、隔壁２ｂには、クリーンゾーンＣＺおよび保管室１ａ内の空気を隔壁２ｂ内に引き込むファン５ｂが設けられている。
そして、隔壁２ａには、パワーゾーンＰＺから隔壁２ａ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ６ａが設けられるとともに、パワーゾーンＰＺから隔壁２ａ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ８ａが設けられ、さらに、保管室１ａから隔壁２ａ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ７ａが設けられるとともに、保管室１ａから隔壁２ａ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ９ａが設けられている。
【００２５】
また、隔壁２ｂには、クリーンゾーンＣＺから隔壁２ｂ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ６ｂが設けられるとともに、クリーンゾーンＣＺから隔壁２ｂ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ８ｂが設けられ、さらに、保管室１ａから隔壁２ｂ内に引き込まれる空気を浄化するプレフィルタ７ｂが設けられるとともに、保管室１ａから隔壁２ｂ内に引き込まれる空気の風量を調整するシャッタ９ｂが設けられている。
【００２６】
また、隔壁２ａには、隔壁２ａ内に引き込まれた空気を浄化して、保管室１ａ内に排出するフィルタ３ａが設けられ、隔壁２ｂには、隔壁２ｂ内に引き込まれた空気を浄化して、保管室１ａ内に排出するフィルタ３ｂが設けられている。
また、保管室１ａの床面はリターンチャンバＲＣに連結され、保管室１ａの床面には、グレーティング１１が設けられるとともに、グレーティング１１下には、リターンチャンバＲＣへ排出される風量を調整するシャッタ１２が設けられている。
【００２７】
また、隔壁２ｂには、クリーンゾーンＣＺとの間でウェハの受け渡しを行うストッカ入出庫ポート１０が設けられている。
また、グレーティング１１には、リターンチャンバＲＣへ排出される空気の風速を計測する風速計１３が設けられ、ストッカ入出庫ポート１０には、ストッカ入出庫ポート１０から吹き出す空気の風速を計測する風速計１４が設けられている。
【００２８】
また、保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺには、これら保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の差圧を計測する差圧計１５〜１７がそれぞれ設けられている。
さらに、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ制御する開口率制御部１８が設けられ、開口率制御部１８には、風速計１３、１４により計測された風速データおよび差圧計１５〜１７により計測された差圧データがそれぞれ入力される。
【００２９】
そして、開口率制御部１８は、風速計１３、１４により計測された風速データおよび差圧計１５〜１７により計測された差圧データに基づいて、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ制御する。
図２は、本発明の一実施形態に係るストッカの空調制御方法を示す断面図である。
【００３０】
図２（ａ）において、保管室１ａは、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺに比べて陽圧に保たれている。
そして、隔壁２ａ、２ｂに設けられたファン５ａ、５ｂが作動し、パワーゾーンＰＺおよび保管室１ａから隔壁２ａ内に空気を引き込み、フィルタ３ａを介して保管室１ａ内に空気を吹き出すとともに、クリーンゾーンＣＺおよび保管室１ａから隔壁２ｂ内に空気を引き込み、フィルタ３ｂを介して保管室１ａ内に空気を吹き出す。
【００３１】
そして、グレーティング１１を介し保管室１ａ内に吹き出された空気をリターンチャンバＲＣへ排出することにより、保管室１ａ内でダウンフローを実現し、ストッカ１内のクリーン度を維持する。
そして、図２（ｂ）において、例えば、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバＲＣの圧力が増加し、クリーンゾーンＣＺの圧力が減少したものとする。
【００３２】
この場合、リターンチャンバＲＣと保管室１ａとの間の差圧が減少し、クリーンゾーンＣＺと保管室１ａとの間の差圧が増加するため、保管室１ａからリターンチャンバＲＣへの空気の吹き出し量は減少し、保管室１ａからクリーンゾーンＣＺへの空気の吹き出し量は増加する。
このため、ストッカ１内におけるダウンフローが適正に行われなくなり、ストッカ１内におけるクリーン度が劣化するとともに、ストッカ１内に留まっている粉塵がクリーンゾーンＣＺへ流れ込み、クリーンゾーンＣＺにおけるクリーン度も劣化する。
【００３３】
ここで、リターンチャンバＲＣへ排出される空気の風速は、風速計１３によりモニタされるとともに、ストッカ入出庫ポート１０から吹き出す空気の風速は、風速計１４によりモニタされ、これら風速計１３、１４によるモニタ結果は開口率制御部１８に送られる。
また、保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の差圧は、差圧計１５〜１７によりモニタされ、これら差圧計１５〜１７によるモニタ結果は開口率制御部１８に送られる。
【００３４】
そして、開口率制御部１８は、差圧計１５〜１７から送られた差圧データおよび風速計１３、１４から送られた風速データを解析し、リターンチャンバＲＣと保管室１ａとの間の差圧が減少したために、保管室１ａからリターンチャンバＲＣへの空気の吹き出し量が減少し、保管室１ａからクリーンゾーンＣＺへの空気の吹き出し量が増加したと判断した場合、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ増加させる。
【００３５】
これにより、図２（ｃ）に示すように、保管室１ａ内の陽圧を適正に維持して、管室１ａからリターンチャンバＲＣへの空気の吹き出し量を増加させるとともに、保管室１ａからクリーンゾーンＣＺへの空気の吹き出し量を減少させることが可能となり、保管室１ａ内でダウンフローを実現して、ストッカ１内およびクリーンゾーンＣＺのクリーン度を維持することが可能となる。
【００３６】
図３は、本発明の一実施形態に係るストッカの空調制御方法を示すフローチャートである。
図３において、開口率制御部１８は、差圧計１５〜１７により計測された差圧データをそれぞれ取得し（ステップＳ１）、保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の差圧が適正かどうかを判断する（ステップＳ２）。
【００３７】
そして、開口率制御部１８は、保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の差圧が適正でないと判断した場合、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ制御する（ステップＳ３）。
一方、開口率制御部１８は、保管室１ａ内、リターンチャンバＲＣおよびクリーンゾーンＣＺ間の差圧が適正であると判断した場合、風速計１３、１４により計測された風速データをそれぞれ取得し（ステップＳ４）、ストッカ入出庫ポート１０およびグレーティング１１の風速が適正かどうかを判断する（ステップＳ５）。
【００３８】
そして、開口率制御部１８は、ストッカ入出庫ポート１０およびグレーティング１１の風速が適正でないと判断した場合、プレフィルタ６ａ、７ａ、６ｂ、７ｂのシャッタ８ａ、９ａ、８ｂ、９ｂおよびグレーティング１１下のシャッタ１２の開口率をそれぞれ制御する（ステップＳ３）。
これにより、ストッカ１内の陽圧調整を自動化することが可能となり、クリーンルーム内でのレイアウト変更や装置の増設などにより、リターンチャンバＲＣやクリーンゾーンＣＺの圧力が増減した場合においても、人手をかけることなく、ストッカ１内のクリーン度を維持することが可能となる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、クリーンルームに設けられるストッカ内の陽圧が適性に保たれるように、シャッタの開口率を自動的に制御することにより、リターンチャンバやクリーンゾーンの圧力が増減した場合においても、ストッカ内のクリーン度を適正に維持することが可能となり、生産ラインへの影響を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るストッカの概略構成を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るストッカの空調制御方法を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るストッカの空調制御方法を示すフローチャートである。
【図４】従来のストッカの概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１　ストッカ、１ａ　保管室　２ａ、２ｂ　隔壁　３ａ、３ｂ　フィルタ、４ａ、４ｂ　棚、５ａ、５ｂ　ファン、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ　プレフィルタ、８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ　プレフィルタシャッタ、１０　ストッカ入出庫ポート、１１　グレーティング、１２　グレーティング下シャッタ、１３、１４　風速計、１５〜１７　差圧計、１８　開口率制御部、ＰＺ　パワーゾーン、ＣＺ　クリーンゾーン、ＲＣ　リターンチャンバ
【図１】
2004092936.tif 000003
【図２】
2004092936.tif 000004
【図３】
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【図４】
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