(57)【要約】【課題】単純な発熱抵抗体の構成で、非常に大きなダイナミックレンジをもって階調記録が行え、どの吐出体積においても吐出速度が適正でヨレ、ミストのない、それにより高画質記録が可能なヘッドを提供する。【解決手段】オリフィスプレート１０２には大，中，小のサイズの吐出口１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが発熱抵抗体１０６に対面して形成されている。吐出口は液流路１０９に沿って一列に配置されていて、インク供給開口部の縁１０７から離れるに従って小さなサイズとなっている。前記気泡発生領域として露出した発熱抵抗体１０６は吐出口の配列方向を長手とする形状で、その幅はインク供給開口部の縁１０７から離れるに従ってだんだんと狭くなっていて、開口面積の最も大きい吐出口１０１ａに対面する部分では広く、開口面積の最も小さい吐出口１０１ｃに対面する部分では狭い。【選択図】　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液流路中に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に対面して設けられ、開口面積の異なる複数の吐出口とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
開口面積の小さい吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーが、開口面積の大きい吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーより小さいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
１つの前記発熱抵抗体に対面する複数の吐出口は１列に配置されて、前記発熱抵抗体は吐出口配列方向を長手とする形状になっており、前記発熱抵抗体の幅は開口面積の小さな吐出口に対面する部分では狭く、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では広いことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記発熱抵抗体は保護膜を介して記録液に接するようになっていて、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では前記保護膜の断熱性が高く、開口面積が小さな吐出口に対面する部分では前記保護膜の断熱性が低いことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記発熱抵抗体は薄膜状で基板上に設けられ、かつ、前記発熱抵抗体層と前記基板の間に前記基板より熱伝導率の低い層が挟まれており、当該熱伝導率の低い層は、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では厚く、開口面積の小さな吐出口に対面する部分では薄いことを特徴とした請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液流路中の発熱抵抗体に電気エネルギーを与えて気泡を発生させて、液流路に連通する吐出口から記録液を吐出するインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録装置は、その大部分がプリンタ、ファクシミリ、ワープロ、複写機等におけるプリント装置として知られており、中でもインク吐出に利用されるエネルギーとして熱エネルギーを用い、これによって生じる気泡によってインクを吐出する方式のインクジェット記録装置は最近普及しつつある。
【０００３】
また、この方式のインクジェット記録装置の他の用途として、布に一定のパターンや絵柄あるいは合成画像等をプリントするインクジェット捺染装置にも最近利用されつつある。
【０００４】
上述のようなインクジェット記録装置で用いられるインクジェット記録ヘッドでは、熱エネルギーを発生するものとして発熱体抵抗体（以下、「ヒータ」とも言う。）を用いるが、多くの場合、１つの吐出口に対応して、１つのヒータを備える構成を採用している。これに対し、以下に示すような観点から１つの吐出口に対応して複数のヒータを備えるものも従来より知られている。
【０００５】
すなわち、階調記録を行う目的で、１つの液流路内に２つ以上の発熱抵抗体を設け、駆動する発熱抵抗体の数又は大きさを選択し、単一の吐出口から液滴を吐出させる方法が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしこの方法によると、小さい体積の液滴を吐出させるときに吐出速度が不足し、いわゆるショボ印字になることがあった。逆に小さい体積の液滴を正常記録を行うのに十分な吐出速度で吐出させるべく吐出口面積を小さくすると、大きい側の液滴体積が不足するという事態も生じうる。これらの問題を解決する為、さらには適正液滴体積を得る為、駆動条件等の工夫がなされてきた（例えば
公報参照）。
【０００７】
さらに、発熱抵抗体を配置した液流路の側面に当該発熱抵抗体と相対する吐出口を設けたサイドシュータータイプのヘッドにおいては、１つの液流路に複数の組の発熱抵抗体と抵抗体の大きさに見合う適正吐出速度が得られる吐出口とを設けて階調記録を行う技術も開示されているが、この場合構成が複雑になるという難点があった。
【０００８】
一方、構成が単純な階調記録方法としては、台形形状ヒーターや、ヒーターの保護膜厚に傾斜をもたせる構成などが開示されている（例えば　　　　公報参照）。しかし、ヒーター全域を発泡させる条件でのヒーター部に熱的過負荷がかかる問題が生じることは明らかであり、これまで実用化に至っていない。
【０００９】
本発明はこれらの問題に鑑みなされたもので、その第１の目的は、単純な発熱抵抗体の構成（１液流路当り１発熱抵抗体）で、非常に大きなダイナミックレンジをもって階調記録が行え、どの吐出体積においても吐出速度が適正でヨレ、ミストのない、それにより高画質記録が可能なヘッドを提供することにある。
【００１０】
本発明の第２の目的は、特に吐出が不安定になりがちな極く小さな液滴をも安定に吐出させ高精細記録を極めて高品位に行うことである。
【００１１】
本発明の第３の目的は発熱抵抗体の寿命を一定水準以上に保つことにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明では液流路中に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に対面して設けられ、開口面積の異なる複数の吐出口とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、開口面積の小さい吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーが、開口面積の大きい吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーより小さいことを特徴とするインクジェット記録ヘッドを用いる。さらには、１つの前記発熱抵抗体に対面する複数の吐出口は１列に配置されて、前記発熱抵抗体は吐出口配列方向を長手とする形状になっており、前記発熱抵抗体の幅は開口面積の小さな吐出口に対面する部分では狭く、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では広いことを特徴とするヘッドも有効である。
【００１３】
また、前記発熱抵抗体は保護膜を介して記録液に接するようになっていて、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では前記保護膜の断熱性が高く、開口面積が小さな吐出口に対面する部分では前記保護膜の断熱性が低いことを特徴とするインクジェット記録ヘッドも用いることができる。
【００１４】
以上挙げたヘッドにおいて共通に言えることであるが、前記発熱抵抗体は薄膜状で基板上に設けられ、かつ、前記発熱抵抗体層と前記基板の間に前記基板より熱伝導率の低い層が挟まれており、当該熱伝導率の低い層は、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では厚く、開口面積の小さな吐出口に対面する部分では薄いことを特徴としたインクジェット記録ヘッドも有効である。
【００１５】
（作用）
上記のとおりに構成された本発明のインクジェット記録ヘッドは次のような作用を奏する。
【００１６】
（１）１つの発熱抵抗体に与える電気パルスを可変させることによって吐出する液滴の数又は体積を変調できる。具体的には、幅が一定でない発熱抵抗体を用いれば、短パルスを与えれば幅の狭い部分で気泡が発生し、その領域に対向した小さな吐出口からのみ液滴が吐出され、最小の滴体積が得られる。より長いパルスを与えれば幅の狭い部分のみならずより幅広の部分でも気泡が発生し小さな吐出口とより大きな吐出口とから液滴が吐出される。更に長いパルスを与えると発熱抵抗体全域で気泡が発生し最大の吐出口からも液滴が吐出され最大の滴体積が得られる。
【００１７】
また幅が一定の発熱抵抗体を用いても、発熱体抵抗体の保護膜厚に分布をもたせることによっても上記と同様の効果をもたらすことができる。
【００１８】
（２）１つの発熱抵抗体は大きさの異なる複数の吐出口が設けられているが、これらの間に隔壁が不要である。何故ならば小さな吐出口から小さな液滴を吐出する為に、発熱抵抗体領域のうち小さな吐出口に対面する部分のみ気泡を発生させるので、近接しているより大きな開口面積の吐出口においては吐出に至る程の速度が得られない。逆に大きな開口面積を持つ吐出口から液滴を吐出させる場合はもとより、同時により小さな開口面積を持つ吐出口からも液滴が吐出されるので、いわゆる大小吐出口間のクロストークが吐出口に悪影響を与えないからである。
【００１９】
（３）（２）でも述べたが、大きな液滴を吐出する吐出口の開口面積は広く、小さな液滴を吐出する吐出口の開口面積は小さいので、液滴の大きさに依らず液滴の飛翔速度が大幅に変わることはないので、速度不足による吐出方向のヨレや、速度過剰による液滴の跳ね返りミストの問題も起きない。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
（第１の実施の形態）
図１は本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施形態を概略的に示す斜視図である。
【００２２】
図１において、サイドシュータタイプとされるインクジェット記録ヘッド１６は、例えば、インクタンクＩＴが装着されるインク供給部１８Ｂと、図示が省略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッジ部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部１８Ａとからなる本体部１８と、本体部１８のインク供給部１８Ｂにおける凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接合される支持部材２０と、支持部材２０における第２の接合面としての上面に接着される記録素子基板２４と、記録素子基板２４に電気的に接続され入力端子部１８Ａからの駆動制御信号群を供給するプリント配線基板２２とを含んで構成されている。
【００２３】
本体部１８は、入力端子部１８Ａとインク供給部１８Ｂとが例えば、樹脂により一体に成形されている。本体部１８のインク供給部１８ＢにおけるインクタンクＩＴが装着される部分に対向する上面には、図１および図２に示されるように、略長方形の凹部１８ＢＧが設けられている。凹部１８ＢＧの底部は、支持部材２０が接着される被接合面１８ｂとされる。被接合面１８ｂの一部は、例えば、アルミウム合金で作られたブロック片２６の表面によって形成されている。ブロック片２６は、本体部１８が成形されるとき、金型内に配置されて樹脂で包囲されたものである。被接合面１８ｂの略中央部には、インクタンクＩＴからのインクを導入するインク供給路１８ａの細長い開口端部が開口している。
【００２４】
記録素子基板２４における基板には、例えば、厚さ０．５〜１．０ｍｍのシリコン材料で薄膜が形成されている。また、基板における、インク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接着剤により接着せしめられる面には、図２の（Ａ）に示されるように、オリフィスプレートに対向しインク吐出口２４ａの配列方向に伸びるインク供給開口部２４ｃが設けられている。さらに、その基板におけるインク供給開口部２４ｃを挟んだ両側部分には、図示が省略されるヒータが所定の相互間隔をもってそれぞれ配されている。隔壁部材におけるインク分岐供給路の一方の端部はインク供給開口部２４ｃに連通しており、各インク分岐供給路は、インク供給開口部２４ｃを通じて供給されるインクをそれぞれのヒータに導くものとされる。
【００２５】
記録素子基板２４における基板の各電極には、図１および図２に示されるように、プリント配線基板２２が電気的に接続されている。プリント配線基板２２は、記録素子基板２４が配置される記録素子基板収容部２４Ｂと、本体部１８における入力端子部１８Ａに配される端子部２４Ａとを有している。プリント配線基板２２と記録素子基板２４とをボンディングするにあたっては、例えば、ＴＡＢ（テープ・オートメイティド・ボンディング）方式により接続される。
【００２６】
記録素子基板２４とインク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂとの間に配される支持部材２０は、図１および図２に示されるように、長方形の板状に形成されている。支持部材２０は、例えば、記録素子基板２４の材質と同一のシリコンで作られている。なお、支持部材２０の素材は、シリコンに限られることなく、記録素子基板２４の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板２４の材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支持部材２０の素材は、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミウム（ＡｌＮ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、４窒化３珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちのいずれであってもよい。
【００２７】
支持部材２０は、図２の（Ａ）に示されるように、記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃが設けられる面に接着される第２の接合面２０ｓａと、インク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接着される第１の接合面２０ｓｂとを有している。また、支持部材２０は、記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃとインク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに設けられるインク供給路１８ａとに対応する位置に、長手方向に細長く伸びる連通路２０ａが設けられている。さらに、支持部材２０の短辺、および、長辺の長さは、それぞれ、記録素子基板２４の短辺、および、長辺の長さと同一とされ、支持部材２０の厚さは、記録素子基板２４の厚さと略同一とされる。
【００２８】
プリント配線基板２２が接続された記録素子基板２４をインク供給部１８Ｂに配置するにあたっては、先ず、支持部材２０の第１の接合面２０ｓｂが被接合面１８ｂの所定の位置に接着剤により接着される。続いて、図２の（Ｂ）に示されるように、支持部材２０の第２の接合面２０ｓａが記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃが設けられる面に接着剤により接着される。その接着剤は例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有するものが望ましい。
【００２９】
なお、支持部材２０における連通路２０ａは、上述の例のように１個に限られる必要はない。連通路は、例えば、図３の（Ａ）および（Ｂ）に示されるように、複数に分割されてもよい。図３の（Ａ）および（Ｂ）は、支持部材２０の他の例である支持部材２８および３０をそれぞれ示す。支持部材２８および３０は、支持部材２０と同様な材料で作られ、支持部材２８においては、長手方向に伸びるスリット状の連通路２８ａおよび２８ｂが同一直線上に設けられるものである。また、支持部材３０においては、長手方向に伸びるスリット状の連通路３０ａ、３０ｂ、および３０ｃが同一直線上にそれぞれ設けられたものである。図３の（Ｃ）は、支持部材２０のさらなる他の例である支持部材３２を示す。支持部材３２も上述の支持部材２０の材料と同一の材料により作られている。支持部材３２は、略中央位置に円形状の透孔３２ａが設けられている。これにより、支持部材２８および３０においては、連通路を除く部分が略中央部分における１箇所、もしくは、２箇所で連結される構造なので機械的強度、もしくは、剛性が、支持部材２０の機械的強度、もしくは、剛性に比して改善されることとなる。また、支持部材３２においては、支持部材２０、２８および３０に比しても機械的強度がさらに改善されることとなる。
【００３０】
かかる構成のもとで、プリント配線基板２２を通じて記録素子基板２４における基板の各ヒータに駆動制御信号が供給されて各ヒータが発熱するとき、インク供給路１８ａを通じてインクが隔絶部材のインク分岐供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴ってそのインクがインク吐出口２４ａから記録媒体の記録面に向けて吐出されることとなる。その際、記録素子基板２４がそのヒータによる熱によって膨張した場合であっても支持部材２０が記録素子基板２４と一体に膨張することとなるので記録素子基板２４の実質的な横断面積が増すこととなり温度変化によって破損されることが回避されることとなる。かかるヘッド構成において、本実施形態においてはさらに記録素子基板２４は以下のような構成となっている。
【００３１】
図４は基板２４上の１つの発熱抵抗体及び吐出口の近傍を拡大したもので、（ａ）は平面透視図、（ｂ）は縦断面図である。
【００３２】
図４において、Ｓｉ基板１０３上にＳｉＯ２の蓄熱層１０４が形成され、蓄熱層１０４上に、インク供給開口部の縁１０７と略直交する直線状パターンのＴａＡｌの発熱抵抗体層１０６が形成されている。発熱抵抗体層１０６上には一対のＡｌの電極層１０５が間隔をおいて形成され、発熱抵抗体層１０６の一部が気泡発生領域として露出している。発熱抵抗体層１０６および電極層１０５上には一様の膜厚０．７μｍのＳｉＯ２からなる保護膜１１０が形成されている。
【００３３】
さらに前記気泡発生領域上には、インク供給開口部２４ｃ（図２（ａ）参照）から分岐した液流路１０９が配されている。この液流路１０９は、Ｓｉ基板１０３に接合したオリフィスプレート１０２に設けられた壁１０８で囲まれた溝空間からなる。
【００３４】
オリフィスプレート１０２には大，中，小のサイズの吐出口１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃが、前記気泡発生領域として露出した発熱抵抗体１０６に対面して形成されている。これらの吐出口は液流路１０９に沿って一列に配置されていて、インク供給開口部の縁１０７から離れるに従って小さなサイズのものとなっている。
【００３５】
そして、前記気泡発生領域として露出した発熱抵抗体１０６は吐出口の配列方向を長手とする形状で、その幅はインク供給開口部の縁１０７から離れるに従ってだんだんと狭くなっていて、開口面積の最も大きい吐出口１０１ａに対面する部分では広く、開口面積の最も小さい吐出口１０１ｃに対面する部分では狭い。また、蓄熱層１０４の膜厚は大きな吐出口１０１ａ側が厚く、小さな吐出口１０１ｃ側が薄くなっている。
【００３６】
例えば、発熱抵抗部の形状は、幅が、狭い側で２６μｍ、広い側で４０μｍ、長さ１１６μｍの台形形状になっている。吐出口のサイズは大吐出口１０１ａが３０μｍ角、中吐出口１０１ｂは２４μｍ角、小吐出口１０１ｃは１６μｍ角である。
【００３７】
本実施形態では角形状の吐出口であるが本発明においてはこれに限定されず丸形状の吐出口でも良い。吐出口は、インク供給開口部の縁１０７から近い方が大きな開口面積を有しているが、これは液滴吐出口のリフィル時間を考慮しての事である。
【００３８】
さて、本実施形態においては短パルス（１．５μｓｅｃ程度）の場合には小吐出口１０１ｃに対向する領域でのみ発泡が起き、小吐出口１０１ｃから４×１０−１５ｍ３の大きさの液滴が１５ｍ／ｓの速度で吐出した。より長パルス（２．２μｓｅｃ程度）にすると小吐出口１０１ｃと中吐出口１０１ｂからそれぞれ４×１０−１５ｍ３と１０×１０−１５ｍ３の液滴がそれぞれ１６ｍ／ｓと１４ｍ／ｓの速度で、合わせて１４×１０−１５ｍ３の液滴が吐出した。さらにパルス幅を伸ばし３．１μｓｅｃ程度にすると小吐出口１０１ｃ，中吐出口１０１ｂ，大吐出口１０１ａの全てからそれぞれ２２×１０−１５ｍ３、１０×１０−１５ｍ３、４×１０−１５ｍ３の液滴がそれぞれ１６ｍ／ｓ、１４ｍ／ｓ、１３ｍ／ｓの速度で、合計で３６×１０−１５ｍ３の液滴が吐出した。このように４×１０−１５ｍ３から３６×１０−１５ｍ３まで９倍のダイナミックレンジが達成され、速度においても１３ｍ／ｓ〜１６ｍ／ｓの安定した速度が得られたため、ヨレやミストの問題も発生しなかった。
【００３９】
蓄熱層１０４の厚みは大吐出口１０１ａの直下で２．３μｍ、中吐出口１０１ｂの直下で１．５μｍ、小吐出口１０１ｃの直下で１．０μｍとしている。蓄熱層が薄いと短パルスならばＳｉ基板１０３に熱が逃げづらいが長パルスになるとＳｉ基板１０３への熱の逃げる割合が大きくなる。その為、長パルス時の繰り返しによる発熱抵抗体の幅の狭い側の損傷が和らぐ。この為、本発明においては発熱抵抗体の寿命も上述の大液滴吐出条件で８×１０７パルスを達成して、通常の長方形の発熱抵抗体の寿命１×１０８とほとんど遜色なかった。さらに損傷をおさえるには長パルス時はパルス幅を伸ばすだけではなく、２つ又はそれ以上のパルスに分割するのが望ましい。発熱抵抗体の損傷をおさえる別の方法は、長パルスを与える際、電圧を下げてさらにパルスを伸ばす事である。これによりより薄い蓄熱層を備える小吐出口１０１ｃ側はＳｉ基板１０３への熱の逃げが更に促進される。
【００４０】
本発明においては蓄熱層の厚みに勾配を持たせることは必須要件ではなく、小液滴の吐出を主に行う利用形態に限られる場合や、長寿命を求められない場合（タンクとヘッド一体型でタンク内の記録液が消耗した段階で交換する形態）では不要となる。
【００４１】
本実施形態によるヘッドは、記録画像品位上メリットも多大である。一般に、吐出液滴の小さな場合微妙な発泡不安定の影響を受けやすい。小液滴において短パルスを行うことにより、発泡が安定しこの問題を起こしづらいからである。
【００４２】
（第２の実施の形態）
上述したように台形形状の発熱抵抗体の他に、保護膜の厚みに分布をもたせても本発明は実施可能である。図４に示した露出した発熱抵抗体１０６および一様な膜厚の保護膜１１０に代えて、３０μｍ幅、１１６μｍ長の長方形の発熱抵抗体を用い、大吐出口１０１ａの対向位置の保護膜ＳｉＯ２の厚みを１．９μｍ、中吐出口１０１ｂの対向位置では１．１μｍ、小吐出口１０１ｃの対向位置では０．５μｍとした。すなわち本実施形態では、保護膜を介して記録液に保護膜を介して接するようになっている発熱抵抗体１０６は、開口面積の大きな吐出口１０１ａに対面する部分では前記保護膜の断熱性が高く、開口面積が小さな吐出口１０１ｃに対面する部分では前記保護膜の断熱性が低くなっている。この時、第１の実施形態と同様のパルス幅変調で、第１の実施形態と同様の吐出量の組み合わせを得ることができた。
【００４３】
（第３の実施の形態）
保護膜厚に分布を持たせる実施形態においては、これまで述べた実施形態のような複数の吐出口が直線上に並んでいる必要は全くない。図５は第３の実施例の吐出口と発熱抵抗体の配置を示したものである。本実施形態においても吐出口の大きい位置から順に保護膜厚が薄くなっている。
【００４４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のインクジェット記録ヘッドは、液流路に面して設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に対面配置された開口面積の異なる複数の吐出口とを備え、小面積の吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーが、大面積の吐出口から記録液を吐出させるのに必要な前記発熱抵抗体に与えるエネルギーより小さくて済む構成とした事により、単一の発熱抵抗体において吐出滴体積が非常に大きな範囲にわたって得られた。しかも、どの吐出体積においても大きく吐出速度が変わることがないので、ヨレやミストの少ない良好な記録が行えた。また、吐出が不安定になりがちな極く小さな液滴をも安定に吐出させることができた。
【００４５】
また、前記発熱抵抗体を基板上に前記基板より熱伝導率の低い層を介して形成し、当該熱伝導率の低い層を、開口面積の大きな吐出口に対面する部分では厚く、開口面積の小さな吐出口に対面する部分では薄くした事により、単一発熱抵抗体で高負荷が一部にかかる場合でも寿命低下もおさえることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施形態を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１に示した記録ヘッドの組立て時の断面図である。
【図３】図１および図２に示した支持部材の他の例を示す図である。
【図４】図１および図２に示した記録素子基板上の１つの発熱抵抗体及び吐出口の近傍を拡大したもので、（ａ）は平面透視図、（ｂ）は縦断面図である。
【図５】本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の実施形態における記録素子基板上の１つの発熱抵抗体及び吐出口の近傍を拡大して見た平面透視図である。
【符号の説明】
１６　　インクジェット記録ヘッド
１８　　本体部
１８Ａ　　入力端子部
１８Ｂ　　インク供給部
１８ＢＧ　　凹部
１８ａ　　インク供給路
１８ｂ　　被接合面
２０　　支持部材
２０ａ　　連通路
２０Ｓｂ　　第１の接合面
２０Ｓａ　　第２の接合面
２２　　プリント配線基板
２４　　記録素子基板
２４Ａ　　端子部
２４Ｂ　　記録素子基板収容部
２４ａ　　インク吐出口
２４ｃ　　インク供給開口部
２６　　ブロック片
２８、３０　　支持部材
２８ａ，２８ｂ、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ　　連通路
３２　　支持部材
３２ａ　　透孔
１０１ａ　　吐出口（大）
１０１ｂ　　吐出口（中）
１０１ｃ　　吐出口（小）
１０２　　オリフィスプレート
１０３　　Ｓｉ基板
１０４　　蓄熱層
１０５　　電極層
１０６　　発熱抵抗体
１０７　　インク供給開口部の縁
１０８　　液流路の壁
１０９　　液流路
１１０　　保護膜
【図１】
2004050484.tif 000003
【図２】
2004050484.tif 000004
【図３】
2004050484.tif 000005
【図４】
2004050484.tif 000006
【図５】
2004050484.tif 000007