(57)【要約】【課題】ポンプのロータ回転数を上げることができ、ポンプ性能を向上することのできる渦流式真空ポンプを提供する【解決手段】ステータ２側に渦発生用のスロット１２を設け、ロータ２５にシールセクションを形成するための突起部３１とガスを吸気する気体導入溝３２とガスを排気する気体排出溝３３を設けて、ロータの形状を単純化し、高速回転に耐えるようにする。【選択図】　図３
2004092478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータのスロット生成円周面に複数の渦発生用のスロットを設け、ロータには、上記スロット生成円周面との間に気体流路を形成する円弧状導壁と、上記スロット生成円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクション形成突起部と、この突起部の両側に配置し上記円弧状導壁の円弧両端に接する気体導入溝および気体排出溝を設けたことを特徴とする渦流式真空ポンプ。
【請求項２】
円周面にポンプ室に向けて複数の渦発生用のスロットを設けられたステータと、
このステータと同芯に上記ポンプ室内に配設され、回転可能のロータと、
このロータの外周側に設けられ、上記円周面との間に適宜の間隔の気体流路を形成する円弧状導壁と、
上記ロータの外周側に設けられ、上記円弧状導壁より突出し上記円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクションを形成する突起部と、
上記ロータの外周側に設けられ、上記突起部の一側と上記円弧状導壁との間に位置し、吸気側に開口する気体導入溝と、
上記ロータの外周側に設けられ、上記突起部の他側と上記円弧状導壁との間に位置し、排気側に開口する気体排出溝と、
上記スロットおよび気体流路の各両側を塞ぐ側壁と
を具備することを特徴とする渦流式真空ポンプ。
【請求項３】
上記円弧状導壁、突起部、気体導入溝および気体排出溝を備えた円板状の主ロータと、
この主ロータより小径で上記気体導入溝に連通する吸気通路備えた円板状の吸気側副ロータと、
上記主ロータより小径で上記気体排出溝に連通する排気通路備えた円板状の排気側副ロータと
が積層一体化され、上記ロータが形成されている請求項２記載の渦流式真空ポンプ。
【請求項４】
上記ステータの一側面が吸気側ケーシング部材の側壁に、他側面が排気側ケーシング部材の側壁にそれぞれ気密に接して、吸気側ケーシング部材、ステータ、排気側ケーシング部材が積層一体化されている請求項２記載の渦流式真空ポンプ。
【請求項５】
上記ロータに設けられた円弧状導壁、突起部、気体導入溝および気体排出溝からなるロータ機能面が、同一ピッチ円上に等間隔に複数設けられている請求項２ないし４のいずれかに記載の渦流式真空ポンプ。
【請求項６】
円周面に複数の渦発生用のスロットが設けられ、板状のステータスペーサを介して積層固定された複数のステータと、
このステータと同芯に配設され、回転可能のロータ軸と、
上記ステータスペーサに対向配置されたロータスペーサを介して、上記複数のステータに対応させて積層され、上記ロータ軸に固定された複数の主ロータと、
上記主ロータの外周側に設けられ、上記円周面との間に適宜の間隔の気体流路を形成する円弧状導壁と、
上記主ロータの外周側に設けられ、上記円弧状導壁より突出し上記円周面と摺接ないし極接近してガスシールするシールセクションを形成する突起部と、
上記主ロータの外周側に設けられ、上記突起部の一側と上記円弧状導壁との間に位置し、吸気側に開口する気体導入溝と、
上記主ロータの外周側に設けられ、上記突起部の他側と上記円弧状導壁との間に位置し、排気側に開口する気体排出溝と、
上記ロータスペーサに設けられ、隣接する吸気側の主ロータの気体排出溝および隣接する排気側の主ロータの気体導入溝にそれぞれ連通する吸排気通路と、
を具備することを特徴とする渦流式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等の密閉されたプロセス室中のガスを吸気して大気に排出する真空ポンプ、特に、その排気工程の下流に用いて、高い圧縮比で大気へ排気するのに好適な渦流式真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
渦流式真空ポンプの作動原理を、図９を参照して説明する。図９において、円筒状のポンプ室１００の吸気口１０１と排気口１０２との間に、やや小径のシールセクション１０３が設けられている。そして、ポンプ室１００内を回転する翼車１０４の外周面をシールセクション１０３の小径部に摺接させて吸気口１０１と排気口１０２との気流の短絡を防ぎ、翼車１０４の回転により吸気口１０１からポンプ室１００内に流入するガスは、翼車１０４周囲の気体流路１０５を排気口１０２に向けて一巡する間に、翼車１０４の外周に設けられた多数の渦発生用翼１０６の翼と翼の間のスロットに繰り返し出入りして渦流となり、高速に撹拌される状態になって排気される。渦発生用翼１０６のスロットに入った高い渦度のガス流はそこで「ピン止め」され、最終的にシールセクションで排除されて、高い圧縮比で排気口１０２から排気されるのである。
【０００３】
この原理を用いた渦流式真空ポンプは、例えば、特開昭６０−２７２１９７号公報、特開平４−７７１６０号公報、特開平６−３３０８８８号公報、特開２００１−１８２６８５号公報等に開示されている。特開昭６０−２７２１９７号公報と特開平４−７７１６０号公報では、最終段に組み込まれた複数段の渦流式真空ポンプが、特開平６−３３０８８８号公報では、改良された渦流式真空ポンプ単体が、特開２００１−１８２６８５号公報では、最終段に組み込まれた、同心円状に配置され、ロータ側のスロットとステータ側のウェブを備えた多段の渦流式真空ポンプがそれぞれ示されているが、いずれも上述の原理で動作し、多数の渦発生用翼付きの回転する翼車に相当する部分と渦発生用スロットを形成する翼に沿った気体流路が存在する。
【０００４】
ところで、渦流式真空ポンプの翼車は、効率のよい真空引きのために高速回転する。翼車が高速回転に耐えてなめらかに回転するためには、複雑な形状の渦発生用翼が均一にバランスよく精密に加工されていることが望ましい。また、複雑な形状の渦発生用翼が高速回転の遠心力で損傷しないように、翼車の材料は充分強度があり、精密加工が容易なものを選択しなければならない。それ故、この精密な翼車の製造コストは必然的に高くなる。
【０００５】
また、回転する翼車に加わる遠心力は、渦発生用翼に大きな応力を発生させるから、渦発生用翼はこれに制約されて形状寸法が制限され、翼車の回転数も制限され、回転数を上げてポンプの性能を上げるのにも制約が加わるという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上述の問題点を解決して、ポンプのロータ回転数を上げることができ、ポンプ性能を向上することのできる渦流式真空ポンプを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、この発明は、ステータのスロット生成円周面に複数の渦発生用のスロットを設け、ロータには、上記スロット生成円周面との間に気体流路を形成する円弧状導壁と、上記スロット生成円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクション形成突起部と、この突起部の両側に配置し上記円弧状導壁の円弧両端に接する気体導入溝および気体排出溝を設けたことを特徴とする。
【０００８】
また、この発明は、円周面にポンプ室に向けて複数の渦発生用のスロットを設けられたステータと、このステータと同芯に上記ポンプ室内に配設され、回転可能のロータと、このロータの外周側に設けられ、上記円周面との間に適宜の間隔の気体流路を形成する円弧状導壁と、上記ロータの外周側に設けられ、上記円弧状導壁より突出し上記円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクションを形成する突起部と、上記ロータの外周側に設けられ、上記突起部の一側と上記円弧状導壁との間に位置し、吸気側に開口する気体導入溝と、上記ロータの外周側に設けられ、上記突起部の他側と上記円弧状導壁との間に位置し、排気側に開口する気体排出溝と上記スロットおよび気体流路の各両側を塞ぐ側壁とを具備することを特徴とする。
【０００９】
上記発明の渦流式真空ポンプにおいて、上記円弧状導壁、突起部、気体導入溝および気体排出溝を備えた円板状の主ロータと、この主ロータより小径で上記気体導入溝に連通する吸気通路備えた円板状の吸気側副ロータと、上記主ロータより小径で上記気体排出溝に連通する排気通路を備えた円板状の排気側副ロータとが積層一体化され、上記ロータが形成されているようにしたり、上記ステータの一側面が吸気側ケーシング部材の側壁に、他側面が排気側ケーシング部材の側壁にそれぞれ気密に接して、吸気側ケーシング部材、ステータ、排気側ケーシング部材が積層一体化されているようにしたりする。
【００１０】
更に、上記の渦流式真空ポンプにおいて、上記ロータに設けられた円弧状導壁、突起部、気体導入溝および気体排出溝からなるロータ機能面が、同一ピッチ円上に等間隔に複数設けられているようにする。
【００１１】
また、この発明は、円周面に複数の渦発生用のスロットが設けられ、板状のステータスペーサを介して積層固定された複数のステータと、このステータと同芯に配設され、回転可能のロータ軸と、上記ステータスペーサに対向配置されたロータスペーサを介して、上記複数のステータに対応させて積層され、上記ロータ軸に固定された複数の主ロータと、上記主ロータの外周側に設けられ、上記円周面との間に適宜の間隔の気体流路を形成する円弧状導壁と、上記主ロータの外周側に設けられ、上記円弧状導壁より突出し上記円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクションを形成する突起部と、上記主ロータの外周側に設けられ、上記突起部の一側と上記円弧状導壁との間に位置し、吸気側に開口する気体導入溝と、上記主ロータの外周側に設けられ、上記突起部の他側と上記円弧状導壁との間に位置し、排気側に開口する気体排出溝と、上記ロータスペーサに設けられ、隣接する吸気側の主ロータの気体排出溝および隣接する排気側の主ロータの気体導入溝にそれぞれ連通する吸排気通路とを具備することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下、図１〜図８を参照して説明する。
【００１３】
図１〜図５は、この発明の一実施の形態を示し、図１は縦断面図、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ断面図、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図、図４は、図１のＩＶ−ＩＶ断面図、図５は、図１のロータを示す。
【００１４】
図１〜図４において、１は吸気側ケーシング、２はステータ、３は排気側ケーシングである。
【００１５】
上記吸気側ケーシング１は、中心に吸気口４を開口したカップ状で、カップの周縁がフランジ５となっていて、その端面（側壁）６が上記ステータ２の一方の端面（側面）７に当接し、内部は吸気室８となっている。吸気側ケーシング１のステータ２に当接する端面６の円環溝には、Ｏリング９が嵌め込まれ、吸気側ケーシング１とステータ２とは、フランジ５の周囲でボルト１０、１０、‥‥で締結され、気密に接して結合されている。
【００１６】
上記ステータ２の内周面は、スロット生成円周面１１となっており、このスロット生成円周面１１には複数の渦発生用のスロット１２、１２、‥‥が全周にわたって設けられている。ステータ２の内部、すなわち、この実施の形態のスロット生成円周面１１の内側がポンプ室１３となっていて、スロット１２、１２、‥‥はポンプ室１３に向けて設けられていることになる。
【００１７】
上記排気側ケーシング３は、側方に排気口１４を開口し、上記ステータ２と接するフランジ１５を有し、後部にモータハウジング１６が形成されている。フランジ１５の端面１７がステータ２の他方の端面１８に当接し、フランジ１５の内部は排気室１９となっている。排気側ケーシング３のステータ２に当接する端面１７の円環溝には、Ｏリング２０が嵌め込まれ、排気側ケーシング３とステータ２とは、フランジ１５の周囲でボルト２１、２１、‥‥で締結され、気密に結合されている。２２は、モータハウジング１６の開口端面を塞ぐカバーで、このカバー２２はＯリング２３とボルト２４、２４‥‥で気密にモータハウジング１６に固定されている。
【００１８】
このように、ステータ２の一側面７が吸気側ケーシング１の側壁６に、他側面１８が排気側ケーシング３の側壁１７にそれぞれ気密に接して積層一体化され、渦流式真空ポンプの外周ケースを構成している。
【００１９】
上記ポンプ室１３には、ステータ２と同芯にロータ２５が配設され、このロータ２５は、ロータ軸２６に一体に固定されている。ロータ軸２６の一側は、上記モータハウジング１６内に伸びて、軸受２７、２７により排気側ケーシング３に回転可能に支持されている。そして、モータハウジング１６内のロータ軸２６には、モータ２８がビルトインされていて、このモータ２８によりロータ軸２６、ロータ２５は、高速回転されるようになっている。
【００２０】
上記ロータ２５の外周側、この実施の形態では外周面には、図３に示すように、ステータ２の上記スロット生成円周面１１との間に適宜の間隔の気体流路２９を形成する円弧状導壁３０と、上記スロット生成円周面１１と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクション形成突起部３１と、この突起部３１の両側に配置し上記円弧状導壁３０の円弧両端に接する気体導入溝３２および気体排出溝３３が設けられている。なお、この発明の実施の形態を示す図面では、ガスシール部を誇張して隙間を開けて示すが、実際には、その隙間はガスがリークしない程度の隙間である。ロータ２５の回転数が比較的小さい真空ポンプの場合は、この隙間をほぼなくして摺接状態にすることができるが、回転数が大きい場合は、摺接による摺接面の摩耗、発熱を避けるためにガス漏れが無視できる程度の極狭い隙間を持たせる。
【００２１】
上記気体導入溝３２は吸気室８側に開口し、気体排出溝３３は排気室１９側に開口している。そして、上記スロット１２および気体流路２９の各両側は吸気側ケーシング１の端面（側壁）６と排気側ケーシング３の端面（側壁）１７とでそれぞれ塞がれている。
【００２２】
上記ロータ２５は、ひとつ物で成形することも可能であるが、この実施の形態では、精度のよいロータを安価に製作するために、図５に示すように、３つの部品、すなわち、主ロータ３４、吸気側副ロータ３５および排気側副ロータ３６に分けてある。
【００２３】
主ロータ３４は、円板状で、上記円弧状導壁３０、突起部３１、気体導入溝３２および気体排出溝３３を備えている。
【００２４】
吸気側副ロータ３５は、主ロータ３４より小径の円板状で気体導入溝３２に連通する吸気通路３７を備え、また、排気側副ロータ３６は、主ロータ３４より小径の円板状で気体排出溝３３に連通する排気通路３８を備えている。
【００２５】
そして、これらの吸気側副ロータ３５、主ロータ３４および排気側副ロータ３６が、図示省略の位置決めピンで軸芯と角度位置を合わせて、積層一体化されてロータ２５を形成している。なお、この３部品は、位置決めピンを使用しないで、例えば、互いにインローで芯合わせしたり、接着したり、これらを組み合わせて積層しロータ２５に一体化することもできる。
【００２６】
ロータ２５とロータ軸２６は、高速回転に備えて、バランス取りをするのであるが、この実施の形態では、吸気側副ロータ３５の紙面左側端面と排気側副ロータ３６の紙面右側端面とをバランス取り面としている。
【００２７】
次に、図１〜図５に示した渦流式真空ポンプの作動を説明する。
【００２８】
モータ２８に駆動されてロータ軸２６、ロータ２５が図３の矢印Ｘ方向に高速回転する。気体流路２９内のガスはロータの円弧状導壁３０とステータのスロット生成円周面１１との相対高速すべりにより、導壁３０側で導壁３０に連れ回り、その急速な流れでスロット生成円周面１１側でスロット１２に入り込んだガスは各スロット１２内で高い渦度の激しい渦流となり、ピン止め状態となる。
【００２９】
ロータ２５の突出部３１でスロット生成円周面１１とロータ２５との隙間が殆どないシールセクションではガスがリークしないので、ピン止め状態のスロット内の高渦度のガスは気体排出溝３３に対向すると気体排出溝３３に排除されて排気通路３７、排気室１９を経由して排気口１４から大気へ排気される。一方、気体導入溝３２に対向するスロット１２では、渦度が低下した残留ガスはピン止め状態でなくなっていて、このスロット１２と付近の気体流路２９には、気体導入溝３２からガスが導入される。この導入により、吸気通路３７、吸気室８、吸気口４経由で吸気口４に接続された図示省略の配管からガスが吸気される。
【００３０】
この渦流式真空ポンプは、従来の翼車の翼をステータ側に設置し、ロータの翼をなくしたものに相当し、その吸気の原理は、上記のように、従来の翼車タイプの渦流式真空ポンプと同様である。
【００３１】
従来タイプと異なる点は、ロータに遠心力で大きい応力が加わるスロット（翼）がないので、高速回転が容易であること、ロータの形状がシンプルなので製作費が安価で精密なロータが製作できること、ステータ側のスロットは、ステータが回転しないものであるから、ロータ側に設ける場合に比べて、精度を要せず、ステータも安価に製作できること、更に、ステータを板状にして両側をケーシング部材で挟み込むようして、スロットを成形しやすくし、ロータを３部品に分割してロータ機能面（円弧状導壁、シールセクション形成突出部、気体導入溝、気体排出溝）の成形をしやすくしてあるので、製作が更に容易、安価で、精度のよい渦流式真空ポンプが得られることである。
【００３２】
吸気通路３７と排気通路３８が、ロータの回転とともに高速回転（公転）する点が、従来タイプとまた相違している。吸気側は真空引きするチャンバーや配管となることがあるから、吸気通路３７の公転軌道を覆う吸気室８を設け、回転しない吸気室８に吸気口４を設けている。排気側は大気放出の場合が多く、この場合、排気口を特定位置に設ける必要はことさらないが、この実施形態では排気室、排気口を設けている。
【００３３】
図６は、この発明の第２の実施の形態を示す。図６の実施の形態では、円弧状導壁３０、突起部３１、気体導入溝３２および気体排出溝３３からなるロータ機能面が、同一ピッチ円上、この実施の形態では、外周上に、等間隔に複数（図６では２個の場合を示す）設けている。これにより、これら複数のロータ機能面が並列に設置されたことになり、複数の全てのロータ機能面が真空ポンプ作用を発揮する。
【００３４】
真空引きの作用は、図１〜図４で説明したロータ機能面が単一のものと同様である。複数の機能面が１円周を分割しているので、その分、円弧状導壁３０の長さが短くなり、また、ステータに図３と同じスロットを用いた場合、スロット数も分割されて少なくなるが、ロータ回転数を高速化できるので、ひとつのロータ機能面のポンプ性能はあまり落ちることがなく、複数並列設置という構成により、総合真空ポンプ性能は向上する。
【００３５】
第２の実施の形態では、円弧状導壁３０、突起部３１、気体導入溝３２および気体排出溝３３からなるロータ機能面が等間隔に配置されるから、設計上のバランスが取れ、バランス取り量が少なくて済むという利点もある。
【００３６】
上述のふたつの実施の形態では、ロータ機能面をロータの外周面に設け、スロットを対向するステータの内筒面に設けて、その間に気体流路を形成したが、この発明は、ロータ機能面をロータの端面の外周側の円周上に設け、ステータをこの機能面に対向させて、その対向面にスロットを設け、その間に気体流路を形成することもできる。
【００３７】
このロータ機能面・ステータスロット端面対向型渦流式真空ポンプでは、気体導入溝と気体排出溝は、いずれも対向するステータのスロッタで塞がれているから、吸気も排気も他の側になる。例えば、ステータのない端面側に吸気通路を、外周側に排気通路を設けて、吸排気を行うことになる。なお、このロータ機能面・ステータスロット端面対向型は、図５に示したようなロータの３分割には適さない。
【００３８】
図７および図８は、この発明の第３の実施の形態を示す。この第３の実施の形態は、ひとつのロータ軸で多段に連結した複数の渦流式ポンプを同時に回転駆動するものである。図７および図８において、図１〜図４に対応する部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３９】
図７および図８においては、円周面（内筒面）に複数の渦発生用のスロット１２が設けられた複数のステータ２、２、‥‥が、板状のステータスペーサ４０、４０、‥‥を介して積層固定されている。
【００４０】
ステータ２、２、‥‥およびステータスペーサ４０、４０、‥‥の内部に形成されるポンプ室内には、複数の主ロータ３４、３４、‥‥がステータ２、２、‥‥に対向して配置され、また、複数のロータスペーサ４１、４１、‥‥が、上記ステータスペーサ４０、４０、‥‥に対向して配置されている。これらの主ロータ３４とロータスペーサ４１とは交互に積層され、ロータ軸４２に固定されている。
【００４１】
ロータ軸４２は、ステータ２、２、‥‥と同芯に配設され、図１の場合と同様、軸受２７、２７に回転可能に支持され、モータ２８により高速に回転駆動される。
【００４２】
上記主ロータ３４には、図５で説明したように、外周側（外筒面）に円弧状導壁３０、突起部３１、気体導入溝３２、気体排出溝３３が設けられている。各円弧状導壁３０とステータ２のスロット１２の間には気体流路２９が形成されている。また、上記ロータスペーサ４１には、隣接する吸気側の主ロータの気体排出溝３３および隣接する排気側の主ロータの気体導入溝３２にそれぞれ連通する吸排気通路４３が設けられている。
【００４３】
多段に積層した主ロータ３４とロータスペーサ４１とは、前段の排気を吸気するようにセットする。つまり、図８（ａ）〜（ｆ）に示すように、前段の主ロータ３４の気体排出溝３３を、ロータスペーサ４１の吸排気通路４３を介して当段の主ロータ３４の気体導入溝３２に通じるように、前段の主ロータ３４の気体排出溝３３、ロータスペーサ４１の吸排気通路４３、当段の主ロータ３４の気体導入溝３２が重なるように、主ロータ３４、ロータスペーサ４１、主ロータ３４、ロータスペーサ４１、‥‥を順次位相をずらして、ロータ軸４２に固定してある。なお、最前段のロータスペーサ４１の吸排気通路４３は吸気室８に開口し、最終段のロータスペーサ４１の吸排気通路４３は排気室１９に開口している。
【００４４】
この第３の実施の形態では、ロータ軸４２の回転により主ロータ３４とその両側のロータスペーサ４１とで形成される各段の渦流式ポンプが前段側の吸排気通路４３経由で前段の渦流式ポンプの排気を吸気し、順次真空に引いて、吸気室８から排気室１９へ高い圧縮比でガスを圧縮する。
【００４５】
第３の実施の形態のような多段型でも、上述のロータ機能面・ステータスロット端面対向型を採用することが可能である。ただし、ロータ機能面・ステータスロット端面対向型は、吸気と排気が同一側になるから、各段の渦流式ポンプの配置は、例えば、同心円配置のように、図７、図８とは全く異なる配置になる。
【００４６】
この発明の渦流式真空ポンプは、上述の実施の形態のように単体で構成するばかりでなく、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプとともにひとつのポンプケーシング中に組み込んで、ハイブリッド型の真空ポンプとすることもできる。
【００４７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１および２の発明においては、従来の渦流式真空ポンプとは逆に、ステータ側に渦発生用のスロットを設け、ロータにはシールセクションを形成するための突起部と気体導入溝と気体排出溝だけを設けるようにしたから、ロータの形状が非常にシンプルになり、静粛で安定したロータ高速回転が容易になって、ポンプ性能を向上することができる。また、ロータに加わる応力が小さくなるので、鋳物等で製作でき、材料の選択幅も拡がり、また、ステータ側は回転しないから、ステータの渦発生用のスロットは、従来のようにロータに設ける場合程に精密に仕上げる必要がなく、ポンプの製作費が安価になる。
【００４８】
請求項３によれば、ロータを主ロータと吸気側副ロータと排気側副ロータとに３分割して積層一体化したから、ロータの加工が一層容易になり、精度のよいロータを一層安価に製作することができる。
【００４９】
請求項４によれば、渦発生用のスロットを備えたステータの両側を吸気側ケーシング部材と排気側ケーシング部材で挟み込んで積層一体化したから、ステータの精密な渦発生用のスロットの加工が容易になる。
【００５０】
請求項５によれば、円弧状導壁、突起部、気体導入溝および気体排出溝からなるロータ機能面をロータの同一ピッチ円上に等間隔に複数設けて並列にガスを引くから、真空ポンプ性能が上がり、しかも、ロータのバランスがよくなって、より高速回転に好適になる。
【００５１】
請求項６によれば、ステータ側に交互に積層された複数のステータとステータスペーサに、ロータ軸に固定された複数の主ロータとロータスペーサを対向して積層配置し、各ステータには渦発生用のスロットを備え、各主ロータには、対向するステータの円周面との間に気体流路を形成する円弧状導壁と、ステータの円周面と先端が摺接ないし極接近してガスシールするシールセクションを形成する突起部と、この突起部の一側と上記円弧状導壁との間に位置する気体導入溝と、突起部の他側と上記円弧状導壁との間に位置する気体排出溝とを備え、各ロータスペーサには、隣接する吸気側の主ロータの気体排出溝および隣接する排気側の主ロータの気体導入溝にそれぞれ連通する吸排気通路を備えて、ステータと主ロータとで形成されるポンプを直列に接続して多段構成としたから、同一部品を位相を変えて組み付けるという、簡単でコンパクトで安価な構成で、非常に高い圧縮比の渦流式真空ポンプとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態を示す縦断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ断面図。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ断面図。
【図５】図１のロータを示し、（ａ）は吸気側の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は排気側の裏面図、（ｄ）は底面図。
【図６】この発明の他の実施形態のロータを示す正面図。
【図７】この発明の更に他の実施形態を示す縦断面図。
【図８】図７の各断面を示し、（ａ）はＡ−Ａ断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、（ｃ）はＣ−Ｃ断面図、（ｄ）はＤ−Ｄ断面図、（ｅ）はＥ−Ｅ断面図、（ｆ）はＦ−Ｆ断面図。
【図９】従来の渦流式真空ポンプを示す横断面図。
【符号の説明】
１　吸気側ケーシング
２　ステータ
３　排気側ケーシング
４　吸気口
６　（吸気側ケーシングの）端面
８　吸気室
１１　スロット生成円周面
１２　スロット
１３　ポンプ室
１４　排気口
１６　モータハウジング
１７　（排気側ケーシングの）端面
１９　排気室
２５　ロータ
２６　ロータ軸
２８　モータ
２９　気体流路
３０　円弧状導壁
３１　突起部（シールセクション形成突起部）
３２　気体導入溝
３３　気体排出溝
３４　主ロータ
３５　吸気側副ロータ
３６　排気側副ロータ
３７　吸気通路
３８　排気通路
４０　ステータスペーサ
４１　ロータスペーサ
４２　ロータ軸
４３　吸排気通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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