(57)【要約】【課題】２つのチップトレイを重ね合わせて一方のチップトレイに載置されたＩＣチップの表裏を確実に反転させる。【解決手段】ＩＣチップが載置された第１のチップトレイとＩＣチップが載置されていない第２のチップトレイとを重ね合わせて第１のチップトレイに載置されたＩＣチップを第２のチップトレイに移し変えることによりＩＣチップを反転させるチップ反転装置において、第２のチップトレイが搭載されるテーブル１０ｂに、第２のチップトレイの裏面から第２のチップトレイに設けられた貫通穴を介して吸引を行う吸引部１４を設けるとともに、第１のチップトレイが搭載されるテーブル１０ａに、第１のチップトレイの裏面から第２のチップトレイに設けられた貫通穴を介して空気を注入する注入部１３を設ける。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣチップが載置された第１のチップトレイとＩＣチップが載置されていない第２のチップトレイとを重ね合わせて前記第１のチップトレイに載置されたＩＣチップを前記第２のチップトレイに移し変えることによりＩＣチップを反転させるチップ反転装置であって、
前記第１及び第２のチップトレイは、前記ＩＣチップの載置面にて該ＩＣチップを載置するために区画された領域毎に貫通穴を有し、
前記第１のチップトレイが前記第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて前記第２のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して吸引を行う第１の吸引手段を有することを特徴とするチップ反転装置。
【請求項２】
請求項１に記載のチップ反転装置において、
前記第１のチップトレイが前記第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて前記第１のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して空気を注入する注入手段を有することを特徴とするチップ反転装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のチップ反転装置において、前記２つのチップトレイが重ね合わされるまで前記第１のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して吸引を行う第２の吸引手段を有することを特徴とするチップ反転装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップトレイ上に載置された複数のＩＣチップを反転させるチップ反転装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、チップトレイ上に載置された複数のＩＣチップを反転させるチップ反転装置は、様々な分野で利用されている。
【０００３】
例えば、非接触型ＩＣカード等のような非接触状態にて情報の書き込み及び読み出しが可能なＲＦ−ＩＤメディアの製造工程においては、ウェハからダイシングされたＩＣチップがチップトレイ上に載置され、その後、表裏が反転されて表面の検査が行われるとともに、ピックアップされて基板上に搭載されることになる。
【０００４】
このようなチップ反転装置においては、分割された複数の区画にそれぞれＩＣチップが載置されたチップトレイと同一の形状を有する空のチップトレイをＩＣチップが載置されたチップトレイのＩＣチップ載置面に正対させるように上方から重ね合わせ、その後、２つのチップトレイの上下を反転させることによって、ＩＣチップが表裏反転しながら空のチップトレイ上に移し変えられることになる。
【０００５】
このようなチップ反転装置の１つとして、２つのチップトレイがそれぞれ搭載される２つのテーブルが蝶番を介して連接され、蝶番によって２つのテーブルが開閉自在に構成されているものもある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１２６９９８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来のチップ反転装置においては、ＩＣチップとチップトレイとの間において発生する静電気や、チップトレイの分割された区画のポケット形状や、ＩＣチップの表面に付着したウェハテープ等が原因となって、２つのチップトレイの上下を反転させても、ＩＣチップが空のチップトレイ上に移し変えられずに元のチップトレイ上に残存してしまう場合がある。
【０００８】
本発明は、上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされたものであって、２つのチップトレイを重ね合わせて一方のチップトレイに載置されたＩＣチップの表裏を反転させるチップ反転装置であって、ＩＣチップを確実に反転させることができるチップ反転装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、
ＩＣチップが載置された第１のチップトレイとＩＣチップが載置されていない第２のチップトレイとを重ね合わせて前記第１のチップトレイに載置されたＩＣチップを前記第２のチップトレイに移し変えることによりＩＣチップを反転させるチップ反転装置であって、
前記第１及び第２のチップトレイは、前記ＩＣチップの載置面にて該ＩＣチップを載置するために区画された領域毎に貫通穴を有し、
前記第１のチップトレイが前記第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて前記第２のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して吸引を行う第１の吸引手段を有することを特徴とする。
【００１０】
また、前記第１のチップトレイが前記第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて前記第１のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して空気を注入する注入手段を有することを特徴とする。
【００１１】
また、前記２つのチップトレイが重ね合わされるまで前記第１のチップトレイの裏面から前記貫通穴を介して吸引を行う第２の吸引手段を有することを特徴とする。
【００１２】
（作用）
上記のように構成された本発明においては、ＩＣチップが載置された第１のチップトレイとＩＣチップが載置されていない第２のチップトレイとを重ね合わせて第１のチップトレイに載置されたＩＣチップを第２のチップトレイに移し変えることによりＩＣチップを反転させる場合、第１のチップトレイが第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて第２のチップトレイの裏面から第１の吸引手段によって吸引が行われる。ここで、第１及び第２のチップトレイには、ＩＣチップの載置面にて該ＩＣチップを載置するために区画された領域毎に貫通穴が形成されているので、第１のチップトレイに載置されたＩＣチップが、第１の吸引手段による吸引によって、第２のチップトレイに形成された貫通穴を介して第２のチップトレイに吸いつけられるように載置されることになる。
【００１３】
これにより、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップが反転した状態で第２のチップトレイ上に載置される。
【００１４】
また、第１のチップトレイが第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて第１のチップトレイの裏面から注入手段によって空気が注入される場合は、注入手段によって注入された空気は第１のチップトレイに形成された貫通穴を介して第１のチップトレイの表面側に流れ出ようとするため、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップがこの空気によって第１のチップトレイから押し出されるようになる。
【００１５】
また、２つのチップトレイが重ね合わされるまで第１のチップトレイの裏面から第２の吸引手段によって吸引が行われる場合は、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップが、２つのチップトレイが重ね合わされるまで第１のチップトレイから落下してしまうことがなくなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明のチップ反転装置の第１の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【００１８】
本形態は図１に示すように、ＩＣチップが載置されたチップトレイが搭載されるテーブル１０ａと、ＩＣチップが移し変えられる側のチップトレイが搭載されるテーブル１０ｂとが、保持部材１２によって互いに回転自在に連結されて構成されている。また、テーブル１０ａには、チップトレイが組み込まれるような凹部からなるトレイ搭載部１１ａが形成されており、そのトレイ搭載部１１ａ内には、トレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイに対して裏面から空気を注入する注入手段である注入部１３が設けられている。また、テーブル１０ｂには、チップトレイが組み込まれるような凹部からなるトレイ搭載部１１ｂが形成されており、そのトレイ搭載部１１ｂ内には、トレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイの裏面から吸引を行う第１の吸引手段である吸引部１４が設けられている。
【００１９】
図２は、本発明のチップ反転装置に用いられるチップトレイの構成を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【００２０】
本形態におけるチップトレイ２０は図２に示すように、ＩＣチップを１つずつ載置するために複数の区画に分割されており、それぞれの区画には、表裏を貫通するような貫通穴２１がそれぞれ形成されている。
【００２１】
以下に、図１及び図２に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法について説明する。
【００２２】
図３は、図１及び図２に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法を説明するための図である。
【００２３】
まず、ＩＣチップが載置されたチップトレイ２０をテーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込むとともに、ＩＣチップが移し変えられる側となる空のチップトレイをテーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込む（図３（ａ））。
【００２４】
次に、テーブル１０ｂを保持部材１２を軸として回転させ、テーブル１０ａ上にテーブル１０ｂを重ね合わせる（図３（ｂ））。
【００２５】
次に、テーブル１０ａとテーブル１０ｂとを互いに重ね合わされた状態で回転させ、テーブル１０ａ，１０ｂの上下を反転させる（図３（ｃ））。
【００２６】
その後、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から注入部１３によって空気が注入されるとともに、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引部１４によって吸引が行われる（図３（ｄ））。
【００２７】
すると、注入部１３から注入された空気がチップトレイ２０の貫通穴２１を介して、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の表面に流出するように作用し、それにより、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０に載置されたＩＣチップが、注入部１３から注入された空気によってチップトレイ２０から押し出される。また、吸引部１４による吸引によって、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の表面側の空気が、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の貫通穴２１を介してチップトレイ２０の裏面側に流れ込むように作用し、それにより、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０に載置されたＩＣチップが、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０に吸いつけられるように載置される。
【００２８】
これにより、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０上に載置されたＩＣチップが、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０上に表裏反転して載置されることになる。
【００２９】
なお、その後、重ね合わされたチップトレイ２０を、超音波振動等により振動させれば、テーブル１０ａのトレイ搭載部１１ａに組み込まれたチップトレイ２０上に載置されたＩＣチップを、テーブル１０ｂのトレイ搭載部１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０上に確実に載置することができる。
【００３０】
（第２の実施の形態）
図４は、本発明のチップ反転装置の第２の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【００３１】
本形態は図４に示すように、ＩＣチップが載置されたチップトレイが搭載されるテーブル１１０ａと、ＩＣチップが移し変えられる側のチップトレイが搭載されるテーブル１１０ｂとが、保持部材１１２によって互いに回転自在に連結されて構成されている。また、テーブル１１０ａには、チップトレイが組み込まれるような凹部からなるトレイ搭載部１１１ａが形成されており、そのトレイ搭載部１１１ａ内には、トレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイに対して裏面から吸引を行ったり空気を注入したりする第２の吸引手段と注入手段を兼ねる吸入／注入部１１３が設けられている。また、テーブル１１０ｂには、チップトレイが組み込まれるような凹部からなるトレイ搭載部１１１ｂが形成されており、そのトレイ搭載部１１１ｂ内には、トレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイの裏面から吸引を行う第１の吸引手段である吸引部１１４が設けられている。
【００３２】
以下に、図２及び図４に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法について説明する。
【００３３】
図５は、図２及び図４に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法を説明するための図である。
【００３４】
まず、ＩＣチップが載置されたチップトレイ２０をテーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込むとともに、ＩＣチップが移し変えられる側となる空のチップトレイをテーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込む（図５（ａ））。
【００３５】
次に、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引／注入部１１３によって吸引が行われる（図５（ｂ））。
【００３６】
次に、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引／注入部１１３によって吸引が行われている状態において、テーブル１１０ａを保持部材１１２を軸として回転させ、テーブル１１０ａ上にテーブル１１０ｂを重ね合わせる（図５（ｃ））。なお、この際、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引／注入部１１３によって吸引が行われているため、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０上に載置されたＩＣチップが落下してしまうことはない。
【００３７】
その後、吸引／注入部１１３による吸引を停止し、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引／注入部１１３によって空気が注入されるとともに、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の裏面から吸引部１１４によって吸引が行われる（図５（ｄ））。
【００３８】
すると、注入部１１３から注入された空気がチップトレイ２０の貫通穴２１を介して、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０の表面に流出するように作用し、それにより、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０に載置されたＩＣチップが、吸引／注入部１１３から注入された空気によってチップトレイ２０から押し出される。また、吸引部１１４による吸引によって、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の表面側の空気が、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０の貫通穴２１を介してチップトレイ２０の裏面側に流れ込むように作用し、それにより、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０に載置されたＩＣチップが、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０に吸いつけられるように載置される。
【００３９】
これにより、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０上に載置されたＩＣチップが、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０上に表裏反転して載置されることになる。
【００４０】
なお、その後、重ね合わされたチップトレイ２０を、超音波振動等により振動させれば、テーブル１１０ａのトレイ搭載部１１１ａに組み込まれたチップトレイ２０上に載置されたＩＣチップを、テーブル１１０ｂのトレイ搭載部１１１ｂに組み込まれたチップトレイ２０上に確実に載置することができる。
【００４１】
また、上述した２つの実施の形態においては、チップトレイ２０が搭載される２つのテーブル１０ａ，１０ｂ，１１０ａ，１１０ｂが、互いに回転自在となるような保持部材１２，１１２によって連結されているが、２つのテーブル１０ａ，１０ｂ，１１０ａ，１１０ｂを重ね合わせる手段はこれに限定されるものではない。
【００４２】
また、チップトレイ２０が搭載されるテーブル１０ａ，１０ｂ，１１０ａ，１１０ｂを設けずに、注入部１３、吸引部１４，１１４及び吸引／注入部１１３をチップトレイ２０を保持するような構成を有するものとし、それらによってチップトレイ２０を保持した状態で空気の注入あるいは吸引を行うような構成とすることも考えられる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、ＩＣチップが載置された第１のチップトレイとＩＣチップが載置されていない第２のチップトレイとを重ね合わせて第１のチップトレイに載置されたＩＣチップを第２のチップトレイに移し変えることによりＩＣチップを反転させるチップ反転装置において、第１及び第２のチップトレイには、ＩＣチップの載置面にて該ＩＣチップを載置するために区画された領域毎に貫通穴が有けられ、また、第１のチップトレイが第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて第２のチップトレイの裏面から貫通穴を介して吸引を行う第１の吸引手段が設けられた構成としたため、第１のチップトレイに載置されたＩＣチップが、第１の吸引手段による吸引によって、第２のチップトレイに形成された貫通穴を介して第２のチップトレイに吸いつけられるように載置されることになり、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップを、確実に第２のチップトレイ上に反転した状態で載置することができる。
【００４４】
また、第１のチップトレイが第２のチップトレイ上に重ね合わされた状態にて第１のチップトレイの裏面からチップトレイに設けられた貫通穴を介して空気を注入する注入手段が設けられたものにおいては、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップが注入手段によって注入される空気によって第１のチップトレイから押し出されるようになり、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップを、さらに確実に第２のチップトレイ上に反転した状態で載置することができる。
【００４５】
また、２つのチップトレイが重ね合わされるまで第１のチップトレイの裏面からチップトレイに設けられた貫通穴を介して吸引を行う第２の吸引手段が設けられたものにおいては、第１のチップトレイ上に載置されたＩＣチップが、２つのチップトレイが重ね合わされるまで第１のチップトレイから落下してしまうことがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチップ反転装置の第１の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【図２】本発明のチップ反転装置に用いられるチップトレイの構成を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【図３】図１及び図２に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法を説明するための図である。
【図４】本発明のチップ反転装置の第２の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図である。
【図５】図２及び図４に示したチップ反転装置を用いたチップ反転方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１０ａ，１０ｂ，１１０ａ，１１０ｂ　　テーブル
１１ａ，１１ｂ，１１１ａ，１１１ｂ　　トレイ搭載部
１２，１１２　　保持部材
１３　　注入部
１４，１１４　　吸引部
１１３　　吸引／注入部
２０　　チップトレイ
２１　　貫通穴
【図１】
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【図２】
2004119590.tif 000004
【図３】
2004119590.tif 000005
【図４】
2004119590.tif 000006
【図５】
2004119590.tif 000007