(57)【要約】【課題】超音波モータの振動体と移動体の接触状態を安定化し、スムーズな駆動をさせる。【解決手段】回転型モータの振動体又はロ一夕に設けられた周方向に分割された接触バネや、リニア型モータの振動体又は移動体に設けられた接触バネのように、端部を有する接触バネのバネ定数は中央部から端部に行＜にしたがって小さくなり、波頭の位置によって接触状態が変わる。そこで、本発明ではすべての接触領域でバネ定数がほぼ均一になるように、接触バネのバネ部の厚さを長手方向中央部より両端部の方を厚＜したり、バネ長を中央部より両端部のほうを短＜したりする。また、接触バネの両端部間の長さより先端の接触部の長さのほうを短＜して、両端部付近が接触しないようにする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を印加することにより該振動体の表面に円運動又は楕円運動を生じさせ、該振動体に押圧した移動体を摩擦駆動する振動波モータにおいて、該振動体又は該移動体は、駆動方向に端部を有しバネ定数が全接触領域で略均一である接触バネを有することを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
該接触バネは板状であることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
該接触バネは、該振動体と該移動体との押圧方向に弾性を有し、該押圧方向と直角方向に延びる第１のバネ部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
該接触バネは、該振動体と該移動体との押圧方向にバネ性を有し、該押圧方向と直角方向に延びる第１のバネ部と、該押圧方向と直角の方向に弾性を有し該押圧方向に延びる第２のバネ部とを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
【請求項５】
該接触バネの第１のバネ部の板厚が、中央部より両端部のほうが厚いことを特徴とする請求項３に記載の振動波モータ。
【請求項６】
該接触バネの第１のバネ部の押圧方向と直角方向におけるバネ長が、中央部より両端部のほうが短いことを特徴とする請求項３に記載の振動波モータ。
【請求項７】
該接触バネの第１のバネ部と該第２のバネ部のうち少なくとも一方の板厚が、中央部より両端部のほうが厚いことを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
【請求項８】
該接触バネの第１のバネ部と該第２のバネ部のうち少なくとも一方のバネ長が、中央部より両端部のほうが短いことを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
【請求項９】
振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を印加することにより該振動体の表面に円又は楕円運動を生じさせ、該振動体に押圧した移動体を摩擦駆動する振動波モータにおいて、該振動体あるいは該移動体は駆動方向に端部を有する接触バネを有し、該接触バネの両端部間の長さより、該接触バネ先端の接触面の長さのほうが短いことを特徴とする振動波モータ。
【請求項１０】
該移動体を直線的に駆動させることを特徴とする請求項１又は９に記載の振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は振動波モータに関し、詳しくは振動波モータの振動体又は移動体の接触バネの形状に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、振動波モータには、回転型としては円環型、円板型、及び棒状タイプのものがあり、リニア型としては平板状、トラック状、及び棒状タイプのものがある。
【０００３】
振動波モータの従来例として、主に棒状タイプのものを応用したリニアモータについて説明する。
【０００４】
図１３に示す概略断面図、及び図１４に示す概略斜視図のような振動波リニアモータにおいて、振動エネルギー発生体となる振動子１は、金属等からなる弾性体９・１０と、該弾性体９・１０の間に挟圧保持された積層圧電素子１１とから構成されている。
【０００５】
弾性体９は該振動子１の骨格部材となる支持棒５に嵌着され、振動子ナット６を該支持棒５のネジ部５ｂに螺着され大径部５ａに押されることにより、弾性体１０との間に積層圧電素子１１を挟圧保持している。
【０００６】
支持棒５は特開平１０−３３７０５１号公報に開示されているように、ヘッダー加工及び転造加工により形成されている。
【０００７】
弾性体９は角状部９ａと円筒部９ｂからなり、角状部９ａには接触バネ９１が設けられている。
【０００８】
該接触バネ９１は接触部の拡大断面図（図１５参照）に示すように、主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部９１ａ、及び先端のマス部９１ｂからなっている。マス部９１ｂの上面は、研磨により平面度と面粗さをおさえている。
【０００９】
このような振動子１は支持棒５のネジ部５ｃに嵌着固定された支持部材７を固定することによって、支持されている。
【００１０】
２は金属やアルミナセラミックスからなる板状の移動体であり、研磨により平面度と面粗さを抑えて、該マス部９１ｂの上面に対向して圧接されている。
【００１１】
前記振動波リニアモータの駆動原理について説明する。なお、積層圧電素子１１の詳細説明は省略する。
【００１２】
振動波リニアモータに２相の交流電圧を印加すると、積層圧電素子１１の伸縮によって、振動子１には図１３において紙面に水平な方向と紙面に垂直な方向の１次曲げ固有振動が励起こされるようになっており、２つの振動を時間的にも９０度位相を違えて加えると、振動子１には長手軸に対して右又は左回りの円運動が発生する。弾性体９は変位拡大のための周溝９ｃを有するため、弾性体９の先端には図１３の矢印のような首振り運動が生じ、接触面（マス部９１ｂの上面）に紙面に略垂直な面内で楕円運動が発生する。この振動子１に、移動体２を加圧接触させると、移動体２は波頭付近の一箇所のみで弾性体９の接触バネ９１のマス部９１ｂの上面と接触し、波の進行方向と逆方向に直動する。
【００１３】
また、振動子１は支持棒５の先端に取り付けられた支持部材７も一体の系として、振動子の固有モードを支持部材７の振動振幅が非常に小さくなるように設計している。また、弾性体９の接触バネ９１は固有振動数が振動子の駆動周波数よりも十分高く、駆動の振動に追従するように設計されている。
【００１４】
なお、弾性体９はステンレス鋼に熱処理したものを用いて硬度をあげて耐摩耗性をあげており、また移動体２も弾性体９と同じ材料、あるいはアルミナセラミックスを用いている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、移動体２は弾性体９の接触バネ９１のマス部９１ｂと一箇所で接触し直動する。この接触バネ９１は特開昭６１−２２４８８２号公報に開示されているような回転型の振動波モータのロータの接触バネのように環状の閉じた形になっていない。そのため、場所によってバネ定数が異なることになる。
【００１６】
例えば、図１４の矢印のような荷重を接触バネ９１に掛けたときの荷重点変位の分布の解析結果を図１６に、モデル図を図１７に示す。
【００１７】
図１６において横軸は駆動方向の位置、縦軸は変位を示す。図１６に示すように長手方向両端の変位が大きくなっている。このため、振動子１の波頭の位置によって接触バネ９１と移動体２の接触状態が異なり、スムーズな駆動が困難になることがある。
【００１８】
また、図１３において紙面に水平な方向の１次曲げ固有振動と紙面に水平な方向の１次伸縮固有振動を用いて、移動体２を紙面左右方向に駆動する場合でも、接触バネ９１と移動体２の接触状態は位置によって異なり、スムーズな駆動が困難になることがある。
【００１９】
そこで、本発明は、上記した問題点を解決し、振動波モータの振動体と移動体の接触状態を安定化し、スムーズな駆動を可能にすることを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願請求項１に記載の発明は、振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を印加することにより該振動体の表面に円又は楕円運動を生じさせ、該振動体に押圧した移動体を摩擦駆動する振動波モータにおいて、該振動体あるいは該移動体は、駆動方向に端部を有しバネ定数が全接触領域で略均一である接触バネを有することを特徴とする。
【００２１】
具体的には、接触バネのバネ部の厚さを長手方向中央部より両端部の方を厚くしたり、バネ長を長手方向中央部より両端部の方を短くしたりして、接触バネのバネ定数を全接触領域でほぼ均一にし、スムーズな駆動を可能にする。
【００２２】
同じく上記課題を解決するため、本願請求項９に記載の発明は、振動体に設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を印加することにより該振動体の表面に円又は楕円運動を生じさせ、該振動体に押圧した移動体を摩擦駆動する振動波モータにおいて、該振動体あるいは該移動体は駆動方向に端部を有する接触バネを有し、該接触バネの両端部間の長さより、該接触バネ先端の接触面の長さのほうが短いことを特徴とする。
【００２３】
つまり、接触バネの両端部間の長さより先端の接触部の長さのほうを短くして両端部付近が接触しないようにすることによって、接触バネのバネ定数を全接触領域でほぼ均一にし、スムーズな駆動を可能にする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図１から図１２を参照して本発明に係る振動波モータの実施の形態について説明する。なお、本実施の形態における例示が本発明を限定することはない。
【００２５】
（第１の実施の形態）
以下、本第１の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００２６】
図１は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。図１は、従来例の概略斜視図を示す図１４とは反対側から見たものであり、移動体との接触面が下側になっている。
【００２７】
図１において、振動子の弾性体１９に設けられた接触バネ１９１は、主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部１９１ａ、及び先端のマス部１９１ｂからなっており、第一のバネ部１９１ａの板厚ｔ１は長手方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくなっている。
【００２８】
これより、接触バネ１９１のバネ定数は、両端にいくにしたがって、従来例の接触バネ１９と比べて相対的に大きくなり、結果としてすべての領域でほぼ均一になる。
【００２９】
このような接触バネ１９１を設ければ、振動子の波頭の位置によって接触バネ１９１と移動体の接触状態が異なることがなくなり、常に安定した駆動が可能になる。
【００３０】
（第２の実施の形態）
以下、本第２の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００３１】
図２は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００３２】
図２において、振動子の弾性体２９に設けられた接触バネ１９２は、主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部１９２ａ、及び先端のマス部１９２ｂからなっており、第一のバネ部１９２ａの板厚は均一であるが、長さＬ１（図示）が長手方向中央部で最も長く、両端に行くにしたがって短くなっている。
【００３３】
したがって、接触バネ１９２のバネ定数は、両端にいくにしたがって、従来例の接触バネ１９と比べて相対的に大きくなり、結果としてすべての領域でほぼ均一になる。
【００３４】
このような接触バネ１９２を設ければ、振動子の波頭の位置によって接触バネ１９２と移動体２の接触状態が異なることがなくなり、常に安定した駆動が可能になる。
【００３５】
（第３の実施の形態）
以下、本第３の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００３６】
図３は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００３７】
図３において、振動子の弾性体３９に設けられた接触バネ１９３は、主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部１９３ａ、及び先端のマス部１９３ｂからなっており、先端のマス部１９３ｂの両端に段部１９３ｃを設けることによって、接触バネ１９３のバネ定数が特に小さい両端部で移動体と接触しないようにしている。
【００３８】
このようにすることによって、移動体と接触している領域においては、バネ定数がほぼ同じレベルになり安定した駆動が可能になる。なお、段部１９３ｃの形状を面取りやＲ形状などとしてもよい。
【００３９】
（第４の実施の形態）
以下、本第４の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００４０】
図４は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００４１】
図４において、振動子の弾性体４９に設けられた接触バネ１９４は主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の第一のバネ部１９４ａと、主に紙面の左右方向にたわみ得る上下方向に延びる第二のバネ部１９４ｃ、及び先端のマス部１９４ｂからなっており、第一のバネ部１９４ａの板厚ｔ１（図示）は長手方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくなっている。そして、同時に第二のバネ部１９４ｃの長さＬ２（図示）も長手方向中央部で最も長く、両端に行くにしたがって短くなっている。
【００４２】
このようにすることによって、接触バネ１９４のバネ定数は長手方向すべての領域でほぼ均一になり安定した駆動が可能になる。
【００４３】
ここでは、第一のバネ部１９４ａ及び第二のバネ部１９４ｃの両方の断面形状を工夫することによって、接触バネのバネ定数を調整しているが、どちらか一方のバネ部の断面形状のみ変化させてバネ定数を調整することもできる。
【００４４】
（第５の実施の形態）
以下、本第５の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００４５】
図５は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００４６】
図５において、振動子の弾性体５９に設けられた接触バネ１９５は主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の第一のバネ部１９５ａと、主に紙面の左右方向にたわみ得る上下方向に延びる第二のバネ部１９５ｃ、及び先端のマス部１９５ｂからなっており、第一のバネ部１９５ａの長さＬ１（図示）は長手方向中央部で最も長く、両端に行くにしたがって短くなっている。そして、同時に第二のバネ部１９５ｃの板厚ｔ２（図示）も長手方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくなっている。
【００４７】
このようにすることによって、接触バネ１９５のバネ定数は長手方向すべての領域でほぼ均一になり安定した駆動が可能になる。
【００４８】
ここでも、第一のバネ部１９５ａ及び第二のバネ部１９５ｃの両方の断面形状を工夫することによって、接触バネ１９５のバネ定数を調整しているが、どちらか一方のバネ部の断面形状のみ変化させてバネ定数を調整することもできる。
【００４９】
（第６の実施の形態）
以下、本第６の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００５０】
図６は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００５１】
図６において、振動子の弾性体６９に設けられた接触バネ１９６は主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の第一のバネ部１９６ａと、主に紙面の左右方向にたわみ得る上下方向に延びる第二のバネ部１９６ｃ、及び先端のマス部１９６ｂからなっており、先端のマス部１９６ｂの両端に段部２９６ｂを設けることによって、接触バネ１９６のバネ定数が特に小さい両端部で移動体と接触しないようにしている。
【００５２】
このようにすることによって、移動体と接触している領域においては、バネ定数がほぼ同じレベルになり安定した駆動が可能になる。なお、段部２９６ｂの形状を面取りやＲ形状などにしてもよい。
【００５３】
（第７の実施の形態）
以下、本第７の実施の形態に係る振動波モータの一形態として棒状振動子を用いた振動波リニアモータについて説明する。
【００５４】
図７は、振動波リニアモータの接触バネの拡大斜視図である。
【００５５】
図７において、振動子の弾性体７９に設けられた接触バネ１９７は主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の第一のバネ部１９７ａと、先端の主に紙面の左右方向にたわみ得る上下方向に延びる第二のバネ部１９７ｃからなっており、上記した図１から図３における先端マス部１９１ｂ、１９２ｂ、１９３ｂに第二のバネ部としてのバネ性を付加した形になっている。
【００５６】
本第７の実施の形態では、第二のバネ部１９７ｃの板厚ｔ２を長手方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくすることによって、接触バネ１９７のバネ定数が長手方向すべての領域でほぼ均一になり安定した駆動が可能になる。
【００５７】
なお、第一のバネ部１９７ａのみに、又は第一のバネ部１９７ａと第二のバネ部１９７ｃに、上記した第１から第６の実施の形態の構成を適用させることができる。
【００５８】
（第８の実施の形態）
以下、本第８の実施の形態に係る振動波モータの一形態としてディスク型振動波モータについて説明する。
【００５９】
図８は、ディスク型振動波モータの一部を切り取った概略斜視図である。
【００６０】
図８において、振動子１０１は２つの弾性体１０９と積層圧電素子１１１とからなり、該弾性体１０９は中空ボルト１０３に螺着されることによって積層圧電素子１１１を挟持している。
【００６１】
１０２は円板状のロータで不図示の加圧手段により弾性体１０９に押圧されている。
【００６２】
弾性体１０９は、例えばプレスによって外周部の厚さを減じ、打ち抜いた後、外周部を折り曲げることによって、圧電素子１１１との接合部である本体部１０９ａと、剛体である円板状のロータ１０２と柔軟に接触するための接触バネ部１０９ｂとから形成されている。
【００６３】
そして、積層圧電素子１１１に軸方向の伸縮運動を起こすことによって、接触バネ部１０９ｂに面外モードの進行性振動波が発生し、その波頭に加圧接触しているロータ１０２が回転運動する。
【００６４】
接触バネ１０９ｂは主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部１１９ａ、及び先端のマス部１１９ｂからなる。
【００６５】
ここで、弾性体１０９の本体部１０９ａは出力を出すためにはある程度の厚さが必要である。そのため、プレスで弾性体１０９を形成する場合は、ある程度厚さのある円板状の板の外周部をつぶして板厚を減じるのは限度があり、フランジ状の第一のバネ部１１９ａの板厚はあまり薄くすることができず、バネ定数はかなり大きいものになってしまい設計が困難であることがあった。
【００６６】
そこで、本発明ではスリット１１９ｃを設けて周方向に分割することによって、バネ定数を小さくしている。それと同時に、先端のマス部１１９ｂが駆動方向（円周方向）の送り速度を増す、てこの役目も果たし回転数を大きくすることができる。
【００６７】
このように、接触バネ１１９ａは周方向に分割された端部を有するので、図９に示すように、フランジ状のバネ部１１９ａの板厚ｔ（図示）を周方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくなるようにして、バネ定数が全領域でほぼ均一になるようにしている。
【００６８】
このタイプの振動波モータは、図１０の断面図ように積層して出力アップをはかってもよく、ロータが円板状なので、積層した割に軸方向の寸法が小さいものにできる。
【００６９】
図１０において、１０４は振動子支持板、１０５はロータ１０２にとともに回転する出力軸、１０７ａ・１０７ｂはケースである。
【００７０】
なお、ここでは板厚の工夫のみ述べたが、上記した第２から第６の実施の形態のようにバネ部の長さを変えてバネ定数を均一にしてもよいし、マス部１１９ｂの両端面付近を、ロータに接触しないように段差や面取りを設けてもよい。また、マス部１１９ｂにもバネ性がある場合は上記した第７の実施の形態のようにしてもよい。
【００７１】
（第９の実施の形態）
以下、本第９の実施の形態に係る振動波モータの一形態として円環型振動波モータについて説明する。
【００７２】
図１１は、円環型振動波モータのロータの一部を切り取った斜視図である。
【００７３】
本第９の実施の形態は、振動子（不図示）に接触バネが設けられていない場合であり、ロータ１１２に周方向に分割された接触バネ１１２ａが設けられている。
【００７４】
そして、接触バネ１１２ａは、主に紙面の上下方向にたわみ得るフランジ状の薄肉の第一のバネ部１２２ａ、及び先端のマス部１２２ｂからなる。この場合も、接触バネ１１２ａは端部を有するので、フランジ状の第一のバネ部１２２ａの板厚ｔ（図１２に図示）を周方向中央部で最も小さく、両端に行くにしたがって大きくなるようにして、バネ定数が全領域でほぼ均一になるようにした（図１２の拡大斜視図参照）。
【００７５】
上記した第８の実施の形態と同様、ここでは板厚の工夫のみ述べたが、上記した第２から第６の実施の形態のようにバネ部の長さを変えてバネ定数を均一にしてもよいし、マス部１２２ｂの両端面付近を、振動子に接触しないように段差や面取りを設けてもよいし、マス部１２２ｂにもバネ性がある場合は上記した第７の実施の形態のようにしてもよい。
【００７６】
なお、振動波リニアモータの振動子に接触バネを設ける先行技術としては、特開平６−３１１７６５号公報の図６があげられるが、ここでは接触ツバの断面形状は均一であり本発明のような工夫は施されていない。また、回転型振動波モータの振動子に周方向に分割された接触バネを設ける先行技術としては、特開平８−１０３０８８号公報の図４（ｆ）や特開平１０−２４８２７４号公報があげられるが、ここでも断面形状は均一である。さらに、特開昭６１−２２４８８２号公報の図５では回転型振動波モータのロータに分割された接触バネが設けられているが、やはり断面形状は均一であり本発明のような工夫はなされていない。
【００７７】
また、上記した第１から第７の実施の形態においては、振動波リニアモータを用いて説明したが、第８又は第９の実施の形態のようにディスク型、あるいは円環型の振動波モータにも適用できることはいうまでもない。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動体又は移動体に設けられた端部を有する接触バネの断面形状を工夫し、板厚を長手方向中央部で最も小さく両端部で徐々に大きくなるようにしたり、長さを長手方向中央部で最も長く両端部で徐々に短くなるようにしたりことによって、接触バネのバネ定数を全接触領域でほぼ均一にし、スムーズな駆動を可能にする。
【００７９】
また、接触バネの両端部間の長さより接触バネ先端の接触部の長さのほうを小さくして両端部付近が接触しないようにすることによっても、接触バネのバネ定数を全接触領域でほぼ均一にし、スムーズな駆動を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図２】本発明に係る第２の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図３】本発明に係る第３の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図４】本発明に係る第４の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図５】本発明に係る第５の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図６】本発明に係る第６の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図７】本発明に係る第７の実施の形態の振動波リニアモータにおける棒状振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図８】本発明に係る第８の実施の形態のディスク型振動波モータの一部を切り取った概略斜視図。
【図９】本発明に係る第８の実施の形態のディスク型振動波モータにおける振動子の接触バネの拡大斜視図。
【図１０】本発明に係る第８の実施の形態のディスク型振動波モータを積層した積層型振動波モータの概略断面図。
【図１１】本発明に係る第９の実施の形態の円環型振動波モータにおけるロータの一部を切り取った斜視図。
【図１２】本発明に係る第９の実施の形態の円環型振動波モータにおけるロータの接触バネの拡大斜視図。
【図１３】従来例の振動波リニアモータの概略断面図。
【図１４】従来例の振動波リニアモータの概略斜視図。
【図１５】従来例の振動波リニアモータにおける接触部の拡大断面図。
【図１６】従来例の振動波リニアモータにおける振動子の接触バネの荷重点の位置と荷重点変位との関係を示す解析結果を表す図。
【図１７】従来例の振動波リニアモータにおける振動子の接触バネのモデル図。
【符号の説明】
１・１０１    振動子
１１・１１１    積層圧電素子
９・１０・１９・２９・３９・４９・５９・６９・７９・１０９・１２９    弾性体
９１・１９１・１９２・１９３・１９４・１９５・１９６・１９７・１０９ｂ振動子接触バネ
２    移動体
１０２・１１２    ロータ
１１２ａ    ロータ接触バネ
９１ａ・１９１ａ・１９２ａ・１９３ａ・１９４ａ・１９５ａ・１９６ａ・１９７ａ・１１９ａ・１２２ａ    第一のバネ部
１９４ｃ・１９５ｃ・１９６ｃ・１９７ｃ    第二のバネ部
９１ｂ・１９１ｂ・１９２ｂ・１９３ｂ・１９４ｂ・１９５ｂ・１９６ｂ・１１９ｂ・１２２ｂ    マス部
５    支持棒
６    振動子ナット
７    支持部材
１０３    中空ナット
１０４    支持板
１０５    出力軸
１０７ａ・１０７ｂ    ケース
【図１】
2004187466.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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