(57)【要約】【課題】化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスを用いて、任意の濃度の標準ガスを容易に作成することができる標準ガス作成装置を提供する。【解決手段】互いに反応する複数の液Ｌａ，Ｌｂのいずれか一の液Ｌａに対して他の液Ｌｂを注入してガスを発生させるガス発生部１と、このガス発生部１で発生させた発生ガスを下流側へ送るためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給ライン２とを備え、前記他の液Ｌｂの注入量と、キャリアガスの流量とのいずれか一方または両方を制御することによって、任意の濃度を有する標準ガスを作成するように構成した。【選択図】　　　図１
2004109045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに反応する複数の液のいずれか一の液に対して他の液を注入してガスを発生させるガス発生部と、このガス発生部で発生させた発生ガスを下流側へ送るためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給ラインとを備え、前記他の液の注入量と、キャリアガスの流量とのいずれか一方または両方を制御することによって、任意の濃度を有する標準ガスを作成するように構成したことを特徴とする標準ガス作成装置。
【請求項２】
前記ガス発生部の下流側に、このガス発生部内で発生した発生ガスと前記キャリアガスとを混合してなる標準ガスを分析計に供給するための標準ガス流路が接続されており、さらに、前記分析計の下流側に、前記発生ガスの有毒成分を吸収する吸収手段と、前記分析計を流れたガスの総量を測定するための総量測定部が設けられている請求項１に記載の標準ガス発生装置。
【請求項３】
前記標準ガス流路における前記ガス発生部と前記分析計との間の位置に、吸引ポンプおよび前記発生ガスの有毒成分を吸収する吸収手段を備えた分岐流路が接続され、さらに、標準ガス流路における前記分岐流路の接続位置よりも下流側に吸引ポンプが設けられている一方、前記分岐流路における前記吸収手段よりも上流側の位置に、大気開放部を上流端に有する大気導入流路が接続されており、前記分岐流路に設けた吸引ポンプによって、前記ガス発生部からの標準ガスの一部と、大気開放部からの空気とが分岐流路の下流側へと供給されるようにしてある請求項２に記載の標準ガス発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ガス分析計の校正などに用いられる標準ガスを作成するための標準ガス作成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガス分析計の校正に用いられる標準ガスの作成には、従来より、市販のガスボンベに収容された濃度が既知であるガスを利用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記標準ガスとして、化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスを用いる場合には、前記ガスボンベによる供給が難しく、そのため、上記のようなガスを利用して標準ガスを作成することが非常に困難であった。
【０００４】
本発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスを用いて、任意の濃度の標準ガスを容易に作成することができる標準ガス作成装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の標準ガス作成装置は、互いに反応する複数の液のいずれか一の液に対して他の液を注入してガスを発生させるガス発生部と、このガス発生部で発生させた発生ガスを下流側へ送るためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給ラインとを備え、前記他の液の注入量と、キャリアガスの流量とのいずれか一方または両方を制御することによって、任意の濃度を有する標準ガスを作成するように構成した（請求項１）。
【０００６】
上記の構成により、化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスを用いて、任意の濃度の標準ガスを容易に作成することができる標準ガス作成装置を提供することが可能となる。
【０００７】
また、前記ガス発生部の下流側に、このガス発生部内で発生した発生ガスと前記キャリアガスとを混合してなる標準ガスを分析計に供給するための標準ガス流路が接続されており、さらに、前記分析計の下流側に、前記発生ガスの有毒成分を吸収する吸収手段と、前記分析計を流れたガスの総量を測定するための総量測定部が設けられているとしてもよい（請求項２）。この場合には、前記発生ガスの有毒成分を下流側で吸収手段によって吸収できる。また、前記吸収手段による前記有毒成分の吸収量には限界があり、その限界値を超えると有毒成分が外部に漏れるおそれがあるが、前記総量測定部の計測値を目安にして、吸収手段が有毒成分を吸収した量を推定することにより、前記有毒成分の漏れを未然に防止することが可能となる。
【０００８】
さらに、前記標準ガス流路における前記ガス発生部と前記分析計との間の位置に、吸引ポンプおよび前記発生ガスの有毒成分を吸収する吸収手段を備えた分岐流路が接続され、さらに、標準ガス流路における前記分岐流路の接続位置よりも下流側に吸引ポンプが設けられている一方、前記分岐流路における前記吸収手段よりも上流側の位置に、大気開放部を上流端に有する大気導入流路が接続されており、前記分岐流路に設けた吸引ポンプによって、前記ガス発生部からの標準ガスの一部と、大気開放部からの空気とが分岐流路の下流側へと供給されるようにしてあるとしてもよい（請求項３）。この場合には、標準ガスの流量を大きくすることができるため、配管内におけるガス置換についての所要時間を短縮でき、それだけより早くかつ正確に検量線データを取得することが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施例に係る標準ガス作成装置（以下、作成装置という）Ｄの構成を概略的に示す説明図である。
前記作成装置Ｄは、互いに反応する複数（本実施例では２種類）の液Ｌａ，Ｌｂのいずれか一の液Ｌａに対して他の液Ｌｂを注入してガスを発生させるガス発生部１と、このガス発生部１にキャリアガスを供給するためのキャリアガス供給ライン２と、前記ガス発生部１にて発生させた発生ガスとキャリアガスとを混合してなる標準ガスを分析計３に供給するため標準ガス流路４と、この標準ガス流路４に接続され、標準ガス流路４内を流れる標準ガスの前記ガス発生部１への逆流や漏れなどを防止するための分岐流路５とを備えている。
【００１０】
前記液Ｌａおよび液Ｌｂは、例えば、混合すると有毒ガスを発生するものである。本実施例では、前記液ＬａはＨＣｌ，液ＬｂはＫＣＮであり、混合すると有毒ガスであるＨＣＮが発生する。なお、液Ｌａおよび液Ｌｂは、上記の組み合わせに限るものではない。また、用いる液は、２種類に限るものではなく、３種類以上であってもよい。
【００１１】
前記ガス発生部１は、前記液Ｌａを密閉した状態で収容する混合容器６と、前記液Ｌｂを密閉した状態で収容する供給容器７と、この供給容器７内の液Ｌｂを前記液Ｌａを収容した混合容器６内に注入するための注入流路８と、前記混合容器６内の液Ｌａおよび供給容器７内の液Ｌｂを所定温度に保つための温度調整手段９とを備えている。
【００１２】
前記混合容器６内には、液Ｌａとしての１規定のＨＣｌ水溶液が５０ｍＬ収容されており、また、前記供給容器７内には、液２として１００ｍｇ・ＣＮ−　／Ｌの濃度を有するＫＣＮ水溶液が収容されている。
【００１３】
前記注入流路８は、上流端が、前記供給容器７内の液Ｌｂに浸漬した状態となっており、下流端が、前記混合容器６内に挿入され、かつ液Ｌａに浸漬しない状態となっている。また、前記注入流路８には、供給容器７内の液Ｌｂを吸い上げて混合容器６へと移すための手段として、チュービングポンプなどのポンプ８ａを有している。
【００１４】
そして、前記注入流路８は、前記ポンプ８ａを用いて、前記混合容器６内の液Ｌａに対する液Ｌｂの注入量（または滴下量）を調整できるように構成されている。なお、前記注入流路８は、液Ｌｂの注入量（または滴下量）として、注入される液Ｌｂの量の合計（トータル量）を調整するように構成されていてもよいし、注入される液Ｌｂの単位時間当たりの量（すなわち、流量）を調整するように構成されていてもよいし、両者を調整するように構成されていてもよい。本実施例では、前記注入流路８は、例えば、前記液Ｌｂを１〜５ｍＬ／ｍｉｎの範囲で滴下する。
【００１５】
前記温度調整手段９は、例えば、恒温槽からなり、前記混合容器６内の液Ｌａと供給容器７内の液Ｌｂとを所定温度（本実施例では約２０℃）に保って、両者Ｌａ，Ｌｂを混合することにより起こる化学反応に支障をきたなさいように構成されている。
【００１６】
前記キャリアガス供給ライン２は、前記ガス発生部１で発生させた発生ガスを下流側へ送るためのキャリアガスを前記ガス発生部１の混合容器６内に供給するものであり、上流側から順に、キャリアガス源２ａと、このキャリアガス源２ａから供給されるキャリアガスの流量を制御する流量制御部２ｂとを有しており、その下流端が、前記混合容器６内の液Ｌａに浸漬した状態となっている。
【００１７】
前記キャリアガス源２ａは、キャリアガスとして空気を供給するものである。なお、キャリアガスは空気に限るものではなく、例えば、Ｈｅ，Ｎ２　，Ａｒなどの不活性ガスや、Ｏ２　，Ｈ２　などのガスであってもよい。
【００１８】
前記流量制御部２ｂは、例えば、キャリアガス供給ライン２内を流れるキャリアガスの流量を計測し、それに基づいて弁の開度を調整し、キャリアガス供給ライン２内を流れるキャリアガスの流量を調整する流量調整部としてのマスフローコントローラ（図示せず）を用いて構成される。なお、前記流量制御部２ｂは、前記キャリアガス源２ａから供給されるキャリアガスの流量が、例えば、６Ｌ／ｍｉｎとなるように設定される。
【００１９】
前記分析計３には、前記ガス発生部１から標準ガスが連続的に供給され、これによって校正が行われる。なお、前記分析計３は、例えば、ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光）分析計，ＮＤＩＲ（非分散型赤外線）分析計や質量分析計などである。
【００２０】
前記標準ガス流路４は、前記ガス発生部１の下流側に接続されるのであり、その上流端が、前記ガス発生部１の混合容器６内に、前記液Ｌａに浸漬しないように挿入されている。そして、標準ガス流路４は、上流側から順に、水分吸着器１０と、吸引ポンプ１１と、前記分析計３と、吸収手段１３と、総量測定部１４とを有している。
【００２１】
前記水分吸着器１０は、例えば、ＣａＣｌ２　を用いてその内部を流れるガス中の水分を除去するように構成されている。
【００２２】
前記吸引ポンプ１１は、例えば、５Ｌ／ｍｉｎでガスを吸引するように設定されている。
【００２３】
前記吸収手段１３は、前記ガス発生部１で発生させた発生ガスの特定成分（本実施例では有毒成分）を吸収するためのものであり、吸収液１３ａを密閉した状態で吸収液用容器１３ｂ内に収容してなる。なお、本実施例では、前記ガス発生部１において、液Ｌａに含まれるＨＣｌと液Ｌｂに含まれるＫＣＮとを混合し、化学反応によって発生するＨＣＮを吸収するために、前記吸収液１３ａとしてＮａＯＨ水溶液を用いる。
【００２４】
前記総量測定部１４は、前記分析計３を流れたガスの総量を測定するためのものであり、例えば、温式ガスメータなどの流量計によって構成される。
【００２５】
前記分岐流路５は、前記標準ガス流路４における前記ガス発生部１と前記分析計３との間の位置、詳しくは、前記水分吸着器１０よりも下流側でかつ前記吸引ポンプ１１よりも上流側の位置に設けられた接続部分５ａに接続されている。
【００２６】
そして、前記分岐流路５は、上流側から順に、分岐流路５を流れるガスの流量を測定する流量測定手段としてのフローメータ１５と、吸引ポンプ１６と、前記発生ガスの有毒成分を吸収する吸収手段１７とを有する。
【００２７】
前記吸引ポンプ１６は、例えば、７Ｌ／ｍｉｎでガスを吸引するように設定されている。
【００２８】
前記吸収手段１７は、前記吸収手段１３と同様の構成からなり、吸収液１７ａを密閉した状態で吸収液用容器１７ｂ内に収容してなる。なお、本実施例では、前記ガス発生部１において、液Ｌａに含まれるＨＣｌと液Ｌｂに含まれるＫＣＮとを混合し、化学反応によって発生するＨＣＮを吸収するために、前記吸収液１７ａとしてＮａＯＨ水溶液を用いる。
【００２９】
また、前記分岐流路５における前記吸収手段１７よりも上流側の位置、詳しくは、前記フローメータ１５よりも下流側でかつ前記吸引ポンプ１６よりも上流側の位置に設けられた接続部分５ｂに、大気開放部１８ａを上流端に有し、また、その内部を流れる前記大気開放部１８ａから導入された空気の流量を計測する流量計測手段としてのフローメータ１８ｂを有する大気導入流路１８が接続されている。
【００３０】
上記の構成からなる分岐流路５では、前記吸引ポンプ１６によって、前記ガス発生部１からの標準ガスの一部と、大気開放部１８ａからの空気とが分岐流路５の下流側へと供給されることになる。
【００３１】
また、本実施例の作成装置Ｄは、前記キャリアガス供給ライン２からのキャリアガスを、前記ガス発生部１には送らずに標準ガス流路４に直接送るためのバイパスライン１９を有している。
【００３２】
詳しくは、前記バイパスライン１９は、その上流端が、前記キャリアガス供給ライン２における前記流量制御部２ｂよりも下流側で、かつ前記混合容器６内に挿入される部分よりも上流側の位置に切り換え弁部２０を介して接続され、また、その下流端が、前記標準ガス流路４における前記混合容器６内に挿入されている部分よりも下流側で、かつ前記水分吸着器１０よりも上流側の位置に切り換え弁部２１を介して接続されている。
【００３３】
前記切り換え弁部２０，２１は、例えば、それぞれ三方電磁弁からなる。そして、前記キャリアガス供給ライン２中に設けられた切り換え弁部２０は、キャリアガス供給ライン２の上流側に対して、キャリアガス供給ライン２の下流側が連通する第一状態と、前記バイパスライン１９が連通する第二状態とのいずれかに切り換えるためのものである。また、前記標準ガス流路４中に設けられた切り換え弁部２１は、標準ガス流路４の下流側に対して、標準ガス流路４の上流側が連通する第一状態と、前記バイパスライン１９が連通する第二状態とのいずれかに切り換えるためのものである。
【００３４】
また、本実施例の作成装置Ｄは、前記ガス発生部１からの標準ガスを前記吸収手段１３および総量測定部１４に供給する状態と、前記標準ガスを吸収手段１３および総量測定部１４には供給せずに、前記分岐流路５へと流す状態とに切り換えるための切り換え流路２２を有している。
【００３５】
詳しくは、前記切り換え流路２２は、一端が、前記標準ガス流路４における前記分析計３よりも下流側で、かつ前記吸収手段１３および総量測定部１４よりも上流側の位置に、切り換え弁部２３を介して接続されており、他端が、前記分岐流路５における前記フローメータ１５の上流側、すなわち分岐流路５の上流端とフローメータ１５との間の位置に設けられた接続部分５ｃに接続されている。
【００３６】
前記切り換え弁部２３は、例えば、三方電磁弁からなる。そして、前記標準ガス流路４中に設けられた切り換え弁部２３は、標準ガス流路４の上流側に対して、標準ガス流路４の下流側が連通する第一状態と、前記切り換え流路２２が連通する第二状態とのいずれかに切り換えるためのものである。
【００３７】
上記の構成からなる作成装置Ｄは、装置全体がドラフトチャンバ２４によってほぼ覆われた状態となっている。また、前記キャリアガス源２ａおよび流量制御部２ｂなど、適宜の部分は前記ドラフトチャンバ２４の外部に配置される。
【００３８】
次に、上記の構成からなる作成装置Ｄの動作について説明する。
上記作成装置Ｄを用いて前記分析計３の校正を行うには、予め、前記切り換え弁部２０を切り換えて、キャリアガス供給ライン２の上流側に対して、キャリアガス供給ライン２の下流側が連通する第一状態とし、また、前記切り換え弁部２１を切り換えて、標準ガス流路４の下流側に対して、標準ガス流路４の上流側が連通する第一状態とし、さらに、前記切り換え弁部２３を切り換えて、標準ガス流路７の上流側に対して、前記標準ガス流路７の下流側が連通する第一状態としておく。
【００３９】
そして、前記注入流路８中のポンプ８ａを駆動させることにより、前記混合容器６内の液Ｌａに対する液Ｌｂの滴下を開始し、同時に、前記標準ガス流路４中の吸引ポンプ１１と分岐流路５中の吸引ポンプ１６を駆動させることにより、前記キャリアガス供給ライン２から混合容器６内に対するキャリアガスの供給を開始する。
【００４０】
上記の操作により、前記液Ｌａに対して液Ｌｂが滴下・注入され、両者が混合されることにより、混合容器６内で発生ガスが発生する。そして、発生した発生ガスは、前記キャリアガスにより、混合容器６の内部から、その下流側に接続されている標準ガス流路４へと導出される。また、このとき、前記発生ガスは、キャリアガスによって下流側へ送られつつ希釈され、標準ガスとなる。
【００４１】
前記標準ガス流路４に導出された標準ガスは、前記水分吸着器１０内を通過し、このとき、前記標準ガス中の水分が除去される。その後、標準ガスは前記接続部分５ａにおいて二つに分流し、一方は、引き続き標準ガス流路４内を通ってその下流側へと向かい、他方は、前記分岐流路５内へと向かう。
【００４２】
標準ガス流路４の下流側へと向かった標準ガスは、前記分析計３に供給され、分析計３を経た標準ガスは、その後、吸収手段１３の吸収液１３ａ内に導入される。このとき、標準ガス中の前記発生ガスの有毒成分が吸収液１３ａに吸収されることになる。
【００４３】
上記のように、標準ガスからその中に含まれる発生ガスの有毒成分が吸収されたあと、残りのガスは、前記総量測定部１４に送られ、その後、適宜に処理される。
【００４４】
また、前記接続部分５ａから、分岐流路５の下流側へと向かった標準ガスは、まず、フローメータ１５と吸引ポンプ１６とを経た後、さらに下流側へと送られる。ここで、前記分岐流路５内を流れる標準ガスには、前記接続部分５ｂにおいて、前記大気開放部１８ａから大気導入流路１８内に導入された空気が混入することになり、空気と混合された前記標準ガスが吸収手段１７の吸収液１７ａ内に導入されることとなり、これによって、標準ガス中の前記発生ガスの有毒成分が吸収液１７ａに吸収されることになる。
【００４５】
上記のように、標準ガスからその中に含まれる発生ガスの有毒成分が吸収されたあと、残りのガスは、前記大気導入流路１８から分岐流路５内に導入された空気とともに吸収手段１７の下流側に送られ、その後、適宜に処理される。
【００４６】
そして、上記のような操作を行っているときには、前記吸引ポンプ１１が５Ｌ／ｍｉｎでガスを吸引し、前記吸引ポンプ１６が７Ｌ／ｍｉｎでガスを吸引する一方、前記キャリアガス源２ａから６Ｌ／ｍｉｎでキャリアガスが供給されている。そして、キャリアガス源２ａから供給されるキャリアガスのうち、吸引ポンプ１１側に吸引されなかった約１Ｌ／ｍｉｎのキャリアガスは、前記吸引ポンプ１６側に吸引されるのであり、このとき、前記大気開放部１８ａから約６Ｌ／ｍｉｎの空気が導入されて、吸引ポンプ１１に送られることになる。
【００４７】
以上の操作を、前記吸引ポンプ１１，１６およびポンプ８ａの駆動状態と、前記流量制御部２ｂの制御状態とを適宜に変えて行うことにより、すなわち、前記液Ｌａに対する液Ｌｂの注入量（注入流量）と、混合容器６に対するキャリアガスの供給流量とを適宜に変えて行うことにより、前記分析計３に供給される標準ガスの濃度が変わり、これによって分析計３の校正を行うことができる。
【００４８】
そして、前記作成装置Ｄによって校正を行った分析計３を用いて測定を行うには、例えば、前記分析計３を作成装置Ｄから取り外して用いるようにしてもよいし、図１に示すように、前記標準ガス流路４における分析計３の上流側の位置に、切り換え弁部２５を介してサンプルガス供給ライン２６を接続することにより、分析計３を用いての測定を、作成装置Ｄから分析計３を取り外すことなく行えるようにしてもよい。
【００４９】
詳しくは、前記切り換え弁部２５を、例えば三方電磁弁を用いて構成するとともに、前記切り換え弁部２５を切り換えることにより、前記標準ガス流路４の前記切り換え弁部２５よりも上流側の部分に対して、前記標準ガス流路４の前記切り換え弁部２５よりも下流側の部分が連通する第一状態と、前記供給流路２６が連通する第二状態とに切り換わるように構成しておき、上述した分析計３の校正を行うときには、前記切り換え弁部２５を第一状態に切り換え、校正した分析計３を用いて測定を行うときには、前記切り換え弁部２５を第二状態に切り換えるようにすればよい。
【００５０】
また、上記作成装置Ｄ内をキャリアガス源２ａからのキャリアガスによってパージするには、まず、前記切り換え弁部２０を切り換えて、キャリアガス供給ライン２の上流側に対して、前記バイパスライン１９が連通する第二状態とするとともに、前記切り換え弁部２１を切り換えて、標準ガス流路４の下流側に対して、前記バイパスライン１９が連通する第二状態とする。そして、前記キャリアガス源２ａからキャリアガス供給ライン２へとキャリアガスを供給しつつ、前記切り換え弁部２３を第一状態および第二状態に適宜に切り換えれば、前記キャリアガスが、標準ガス流路４，分岐流路５および切り換え流路２２内を流れることになり、これにより、パージが行われることとなる。
【００５１】
上記の構成からなる作成装置Ｄでは、複数の液Ｌａ，Ｌｂを混合してガスを発生した直後に、その発生したガスをキャリアガスにより希釈できるように構成してあり、さらに、前記液Ｌａに対する液Ｌｂの注入量を制御して、発生するガスの濃度を調整できるとともに、前記キャリアガスの流量を制御して、発生したガスの希釈率を調整できることから、化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスであっても、そのガスが複数の液を混合することによって作成できるものであれば、そのガスを、任意の濃度を有する標準ガスとして容易に作成し、供給することが可能である。
【００５２】
詳しくは、上記のように、前記液Ｌａに対する液Ｌｂの注入量を制御することにより、発生ガスの生成量を調整することができ、前記キャリアガスの流量を任意に変化させることにより、標準ガスの流量を調整することができるとともに、標準ガス濃度を調整できるのである。
【００５３】
また、キャリアガスの成分を任意に変えることにより、被測定成分としての発生ガス成分に対するベースガスとしてのキャリアガスを変更できるため、測定手法等にあわせて様々な被測定成分（発生ガス成分）を選択することが可能となる。そして、上述したように混合する複数の液を適宜に変えることにより、発生ガス成分を任意に変えることが可能であり、また、前記分析計３と、前記標準ガスを供給する対象（例えば、分析計等）とに対して、干渉影響のないキャリアガスを自由に選択することも可能である。
【００５４】
さらに、前記液Ｌａに対する液Ｌｂの供給を行うタイミングを調整することにより、分析計３に対する標準ガスの供給を実行する状態と停止する状態とに容易に切り換えることができる。
【００５５】
また、前記ガス発生部１にて発生させた標準ガスを、標準ガス流路４のみでなく、分岐流路５にも送るようにしてあり、これによって標準ガスの流量を大きくすることができるため、配管内におけるガス置換についての所要時間を短縮でき、それだけより早くかつ正確に前記分析計３の校正を行うことが可能となる。
【００５６】
また、前記吸収手段１３，１７により、標準ガスの作成に用いた発生ガスの特定成分が外部に漏れることを確実に防止できるため、特に、前記発生ガスが人体に有毒なガスである（前記特定成分が有毒成分である）場合に、その能力を最大限に発揮する。すなわち、前記標準ガス流路４に流れた標準ガス中に含まれる発生ガスの有毒成分は、前記吸収手段１３により吸収され、また、前記分岐流路５に流れた標準ガス中に含まれる発生ガスの有毒成分は、前記吸収手段１７により吸収されるのである。
【００５７】
ここで、前記吸収手段１３による前記発生ガスの有毒成分の吸収量には限界があり、その限界値を超えると有毒成分が外部に漏れるおそれがあるが、前記総量測定部１４の計測値を目安にして、吸収手段が有毒成分を吸収した量を推定し、その吸収量に応じて吸収手段１３を適宜に取り換えるなどすることにより、前記有毒成分の漏れを未然に防止することが可能となる。
【００５８】
そして、上記吸収手段１３の取り外しは、以下のようにして行うことができる。すなわち、それぞれが第一状態にある前記３つの切り換え弁部２０，２１，２３のうち、切り換え弁部２３のみを切り換えて、標準ガス流路４の上流側に対して、前記切り換え流路２２が連通する第二状態とすれば、前記吸収手段１３の吸収液用容器１３ｂを標準ガス流路４から取り外すことが可能となるのである。
【００５９】
また、上記のような取り外し操作を行っているときには、前記吸引ポンプ１１が５Ｌ／ｍｉｎで吸引したガスが、切り換え流路２２を経て全て吸引ポンプ１６側へと送られることになり、結果的に、前記キャリアガス源２ａからのキャリアガスは全て吸引ポンプ１６に吸引され、前記大気開放部１８ａから導入され、吸引ポンプ１６側に送られる空気の流量は、約１Ｌ／ｍｉｎとなる。
【００６０】
すなわち、本実施例の作成装置Ｄでは、キャリアガス源２ａからのキャリアガスの供給流量の上限を、前記吸引ポンプ１１のガス吸引流量よりも大きくし、前記吸引ポンプ１６のガス吸引流量を、キャリアガス源２ａからのキャリアガスの供給流量の上限よりも大きくし、少なくとも前記キャリアガスの供給流量の上限と吸引ポンプ１１の吸引流量との差とほぼ同じ程度の流量の空気を前記大気開放部１８ａから内部に導入するようにしてある。
【００６１】
なお、前記標準ガス流路４に設けられた吸収手段１３および分岐流路５に設けられた吸収手段１７を、それぞれ複数用意して、直列に接続して各流路４，５に設置するようにしてもよい。また、前記総量測定部１４に相当するものを、前記分岐流路５に設けてもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、化学的に不安定でガスボンベ等に保存することが難しいガスを用いて、任意の濃度の標準ガスを容易に作成することができる標準ガス作成装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る標準ガス作成装置の構成を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
１…ガス発生部、２…キャリアガス供給ライン、Ｄ…標準ガス発生装置、Ｌａ…一の液、Ｌｂ…他の液。
【図１】
2004109045.tif 000003