(57)【要約】【課題】フィルムの剥離開始に強力な粘着力を必要とせず、フィルム排出手段への受け渡しも容易で、小型なフィルム剥離装置を提供することである。【解決手段】基板搬送手段により搬送している矩形の基板４の表面に略基板の形に貼ってあるフィルム８の端部に粘着テープ２０を圧着してフィルム端部を基板４から剥離しフィルム排出手段６に受け渡して剥離するものであり、粘着テープ２０をフィルム８に圧着させる圧着ローラ３０が、粘着テープ２０とフィルム８の粘着点の軌跡を基板４の角部から所望な距離をフィルム８の略対角方向に移動し、その後フィルム８の辺縁に略平行な方向に移動するように圧着ローラ３０を駆動する駆動手段１６，２７，２８を備えている。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送手段により搬送している矩形の基板の表面に略基板の形に貼ってあるフィルムの端部に粘着テープを圧着して該フィルム端部を該基板から剥離しフィルム排出手段に受け渡して剥離するものにおいて、
粘着テープを該フィルムに圧着させる圧着ローラが、粘着テープと該フィルムの粘着点の軌跡を該基板の角部から所望な距離を該フィルムの略対角方向に移動し、その後フィルムの辺縁に略平行な方向に移動するように該圧着ローラを駆動する駆動手段を備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該駆動手段は圧着ローラを該基板の辺縁内側であって該基板の表面から所望の距離だけ離れた移動開始位置から該基板の角部におけるフィルムの端部に向って移動せしめて該粘着点の軌跡の開始点とし、フィルムの辺縁に平行な方向に移動した後に該移動開始位置に復帰するようにするアクチュエータを含むものであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該駆動手段は基板の幅方向での移動を可能とする移動手段に設けてあることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該圧着ローラは移動の際に回転するようにする回転駆動手段を備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項５】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該駆動手段は該圧着ローラの移動に合わせて移動する基板サポート手段を備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント回路基板などの製造工程で基板の片面または両面に貼付けられた感光性樹脂層（以下、レジストと称する）等を保護するフィルム等を剥離するために使用されるフィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フィルム剥離装置として、基板が搬送手段によって所定の位置まで搬送されてくるとフィルム端縁部には粘着テープを圧着し、粘着テープの粘着力によりフィルムを持ち上げて剥離を行うもの（特開２００１−８９０１８号公報）や、人手等によってフィルムの端縁角部を剥離しその後挟持部材で端縁角部を挟んで基板の対角線の方向に巻き取っていくもの（特開平８−２９２４３３号公報）などがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術における前者は粘着テープで基板の搬送方向に剥離しており、粘着テープの消費を抑えるために強力な粘着力を持つ粘着テープで剥離を開始してから、粘着テープからフィルムを離してフィルム排出手段に受け渡している。粘着テープが狭幅になるほど粘着力は強力なものを用いるので、フィルム排出手段に受け渡すために粘着テープからフィルムを離すためのトルク制御が必要となる。
【０００４】
上記従来技術における後者は、端縁角部を挟んで基板の対角線の方向に巻き取っていくために挟持部材はフィルムにおける対角線の長さ以上の長さを必要とし、装置設置のための床面積が大型化するという問題がある。さらに剥離開始を人手に頼っているので、作業者の肉体的な疲労を招くことから剥離速度の不均一による剥離縞が基板側に発生するという問題がある。
【０００５】
それゆえ本発明の目的は、フィルムの剥離開始に強力な粘着力を必要とせずフィルム排出手段への受け渡しも容易で小型なフィルム剥離装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板搬送手段により搬送している矩形の基板の表面に略基板の形に貼ってあるフィルムの端部に粘着テープを圧着して該フィルム端部を該基板から剥離しフィルム排出手段に受け渡して剥離するものにおいて、粘着テープを該フィルムに圧着させる圧着ローラが、粘着テープと該フィルムの粘着点の軌跡を該基板の角部から所望な距離を該フィルムの略対角方向に移動し、その後フィルムの辺縁に略平行な方向に移動するように該圧着ローラを駆動する駆動手段を備えていることにある。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図に基づいて説明する。
【０００８】
図１に示す本発明になる実施形態において、フィルム剥離装置１は複数個の搬送ローラ２を水平に並べて一点鎖線で示す搬送路を構成する基板搬送手段３があり、矩形の基板４を図の左から右方向に搬送する。５は基板４にほぼ基板の形に貼ってあるフィルムの端部を剥がすフィルム剥離手段である。
【０００９】
フィルムは基板４の上下各表面に貼ってあるので、フィルム剥離手段５は搬送路の上下に配置してある。各フィルム剥離手段５はほぼ同じ構成で同一機能を持っているので、詳細構成は上側のフィルム剥離手段５により後述する。６は各フィルム剥離手段５で剥離した基板４における上下各表面のフィルムの端部を受け取って更に剥離するとともに排出するフィルム排出手段である。
【００１０】
フィルム排出手段６は、前記特開２００１−８９０１８号公報に記載しているフィルム排出手段のように、無端ベルト２本を接触せしめ回転方向を逆として両ベルトの間にフィルムを挟んで排出するものである。７は、フィルム排出手段６で排出する基板４から剥離したフィルム８を収納する収納コンテナである。
【００１１】
図２は基板４へのフィルムの貼り付け状況を示している。
基板４の上下各表面に略基板の形にレジスト９を貼ってあり、その上に保護のためにレジスト９と同じ形にフィルム８を貼ってあり、このフィルム剥離装置１の機能はレジスト９の基板４との粘着性よりもフィルム８との粘着性が低いことを利用してフィルム８を剥離することである。
【００１２】
図３は上側のフィルム剥離手段５を示す概略正面図であり、図４は下流側（図１の右側）から見た概略側面図である。
【００１３】
図３，図４において、１１は搬送路の左右両側にある固定板で、装置本体を構成する図示を略したフレームに固定してある。両固定板１１に中央を境として逆ねじとしたねじ軸１２を取り付けてあり、ねじ軸１２の左右に移動板１３を螺合してある。ねじ軸１２のハンドル１４を回転させると、各移動板１３は中央に寄ったり離れたりして、基板４の幅（搬送方向に直交する方向の長さ）に合わせる。なお、１１ａは各移動板１３の移動時の平行性を出すためのガイドシャフトである。また、フィルム排出手段６は、各移動板１３の対面側に設けてある。
【００１４】
各移動板１３の対面側のフィルム排出手段６よりも外側には、旋回可能にフィルム剥離ユニット１５を垂下させてある。即ち、移動板１３にエアシリンダ（アクチュエータ）１６を固定してあり、その駆動軸を移動板１３に回転可能に係合してあるフィルム剥離ユニット１５の回転軸１７とレバー１８で連結していることから、エアシリンダ１６の動作でフィルム剥離ユニット１５が回転軸１７の軸心を中心として旋回する。
【００１５】
図３に示すように、フィルム剥離ユニット１５は保持板１９を有し、粘着テープ２０の繰出ロール２１と巻取ロール２２を保持している。各ロール２１，２２はモータ２３，２４によりベルト２５，２６を介して駆動する。
【００１６】
保持板１９の下端中央部にエアシリンダ（アクチュエータ）２７を取り付けてある。その駆動軸は下流側に向けて斜めに伸び、駆動軸にはエアシリンダ（アクチュエータ）２８を取り付けている。エアシリンダ２８の駆動軸は上流に向けて水平に伸びており、その駆動軸には圧着ローラ３０と従動ローラ３１を設けている。エアシリンダ２７，２８の動作で、圧着ローラ３０は一点鎖線で示すように移動する。
【００１７】
保持板１９の下端右側部にエアシリンダ（アクチュエータ）３２を取り付けてある。その駆動軸は上流側に向けて水平に伸び、駆動軸の先端にプッシュローラ３３を設けてあり、プッシュローラ３３が伸びた先の上下両側になるように、図示していない保持手段で保持板１９にベンドローラ３４，３５を設けている。
【００１８】
保持板１９の下端左側部にばね３６を介してコンタクトローラ３７を取り付けてある。
繰出ロール２１から巻き出した粘着テープ２０は、コンタクトローラ３７―圧着ローラ３０―従動ローラ３１−ベンドローラ３４―（プッシュローラ３３：エアシリンダ３２で左方に移動した場合）―ベンドローラ３５を経て巻取ロール２２に至る。モータ２３．２４のトルク制御で、粘着テープ２０は適宜に巻き取っていく。この巻き取りについては後述する。
【００１９】
図３において、４１は基板４を搬送ローラ２との間で挟持するピンチローラ、４２，４３は上下の押えプレート、４４，４５は上下のサポートプレート、４６は基板ストッパであり、基板４からフィルムを剥離する場合に動作させる。
【００２０】
装置本体に駆動軸を上流に向けて水平に伸ばしたエアシリンダ（アクチュエータ）４７を取り付けてあり、駆動軸の先端に駆動軸を上方に向けたエアシリンダ４８を設け、その駆動軸に基板ストッパ４６を設けている。なお、４９は、エアシリンダ４８の水平移動をガイドするリニアガイドである。
【００２１】
図４は圧着ローラ３０を基板４の対角線に沿って上流方向に移動しようとする状態を示し、図５は圧着ローラ３０の向きが変わり、基板４の辺縁に沿って上流方向に移動しようとする状態を示している。
【００２２】
移動板１３の下端上流部には、図６に示すように、駆動軸を基板４の幅方向外側に向けたエアシリンダ（アクチュエータ）５１とその駆動軸に設けて垂下した基板ガイド５２からなる基板幅寄手段５３を取り付けている。図７は、移動板１３を省略しているが、基板４を上方から見た状態を示している。
【００２３】
圧着ロール３０によるフィルム剥離時に、基板ガイド５２で正確に基板４の位置決めを行うに当り、前以てハンドル１４で移動板１３の位置を基板の幅に大雑把に合わせてあるため、エアシリンダ５１の動作範囲は短くてよく、早急な位置決めを達成できる。
【００２４】
次に、図８により基板４の搬送とフィルムの剥離について説明する。
図８（ａ）のように、基板４が搬送ロール２で図の左方から右方に移動してくる。この時点では、ピンチローラ４１及び上側の押えプレート４２とサポートプレート４４は上方に位置している。なお、下側の押えプレート４３とサポートプレート４５は搬送路と同一平面位置にある。
【００２５】
図示していないセンサが上流（図８の左方側）から搬送ロール２で右方向に移動してきて基板４の先端を検出すると、エアシリンダ５１が動作して幅寄せを行い基板４の移動中に早急に位置決めをする。
【００２６】
その後、図８（ｂ）のように、ピンチローラ４１は下降して、基板４を停止させないが、基板４の移動速度を下げるようにする。そして、エアシリンダ４７と４８（図３参照）で基板ストッパ４６を左方と上方に移動させて、搬送路上で基板４を停止させるようにする。基板４の停止に合わせて、搬送ロール２も停止する。
【００２７】
図８（ｃ）のように、基板ストッパ４６に基板４が当接して停止すると、ピンチローラ４１及び上側の押えプレート４２は下降して、基板４を硬く挟持して上下・幅方向・前後に移動できないようにする。サポートプレート４４も下降するが、基板４とは僅かな隙間を保っている。
【００２８】
その後、基板４の先端部に向けて、エアシリンダ２７の作動により圧着ローラ３０が下降してきて、粘着テープ２０を圧着する。ほぼ同時にフィルム排出手段６が作動を開始する。
【００２９】
そして、圧着ローラ３０はエアシリンダ２８の作動により回転しつつ上流側に僅かに移動し、基板４に貼り付けてあるフィルムを剥離する。この時、圧着ローラ３０の移動に合わせて、サポートプレート４４，４５も上流側に移動し、圧着ローラ３０の押圧力で基板４の端部が下方に逃げないようにしている。
【００３０】
ここで、図３，図７を中心として粘着テープ２０によるフィルムの剥離の状況を圧着ローラ３０の動きで説明する。
【００３１】
図３は、基板４が基板ストッパ４６のところで停止した状態を示している。この時、プッシュローラ３３は退避していて、ベントローラ３４，３５間を粘着テープ２０は真直ぐになっている。圧着ローラ３０は実線円で示すように基板４から離れた上方に位置している。フィルム剥離期間中、繰出ロール２１と巻取ロール２２はモータ２３，２４でブレーキを掛けてある。
【００３２】
エアシリンダ２７で圧着ローラ３０が降下して、図７に示すように圧着ローラ３０に巻掛けてある粘着テープ２０はフィルム８の角部に圧着する。この間の圧着ローラ３０の移動軌跡を、図７では点線で示している。従って、エアシリンダ２７は、圧着ローラ３０を基板４の辺縁内側であって基板４の表面から離れた移動開始位置から基板４の角部におけるフィルム８の端部に向って移動せしめて粘着点の軌跡の開始点としている。
【００３３】
続いて、エアシリンダ２８が作動して、圧着ローラ３０を上流側に移動させる。この時、フィルム剥離ユニット１５の保持板１９はエアシリンダ１６で基板４の対角線方向に沿っているので、圧着ローラ３０は基板４つまりはフィルム８の対角線の方向に移動することになる。
【００３４】
この移動では、粘着テープ２０がフィルム８に粘着し、粘着テープ２０と圧着ローラ３０との間に摩擦があることから、エアシリンダ２８による移動で圧着ローラ３０に回転が発生して、粘着テープ２０は繰り出され、フィルム８の角部を巻き上げるように剥離を行なう形を取る。
【００３５】
エアシリンダ２８で圧着ローラ３０が移動したところで、エアシリンダ１６で保持板１９は基板４の辺縁に沿った方向に旋回し、圧着ローラ３０は図７に一点鎖線で示す位置に移動する。この圧着ローラ３０の動きで、フィルム８の角部が基板４から剥離する。フィルム８の剥離は僅かな領域で開始するので、粘着テープとしては強力な粘着性を要求されない。エアシリンダ１６による圧着ローラ３０の旋回の前後を図４と図５で示している。
【００３６】
エアシリンダ２８で圧着ローラ３０が旋回したら、エアシリンダ２７は復帰をする。これまでの期間において、粘着テープ２０は圧着ローラ３０の移動に伴って、フィルム８と粘着していくが、ばね３６を介在してあるため、粘着テープ２０は適度な張りを保つとともにフィルム８に粘着し剥離することも速やかに実行されていく。
【００３７】
エアシリンダ２７の復帰は剥離したフィルム８の先行側辺縁部を基板４の上方に持ち上げて、フィルム排出手段６に受け渡すものである。
【００３８】
剥離したフィルム８をフィルム排出手段６に受け渡す時、エアシリンダ２８で圧着ローラ３０を図３に実線で示す移動開位置に復帰させ、フィルム８と圧着ローラ３０に巻き掛けてある粘着テープ２０を剥離する。
【００３９】
そして、モータ２３のブレーキを解き、エアシリンダ３２を作動させ、プッシュローラ３３を図３に点線で示すように上流側に移動させて、粘着テープ２０をベントローラ３４，３５間で屈曲させる。モータ２４はブレーキを掛けたままであるから、粘着テープ２０はこの屈曲経路分だけ繰出ロール２１から新たな領域が巻き出される。新領域巻出後は、モータ２３でブレーキを掛け、エアシリンダ３２を復帰させ、モータ２４の作動により、巻取ロール２２で新領域分の使用済み領域を巻き取り、次の剥離に備える。
【００４０】
フィルム排出手段６によるフィルム８の剥離が終わったら、ピンチローラ４１などを図８（ａ）に示すように基板４の排出が可能なように元の位置に復帰しせめ、搬送ローラ２で基板４を下流機に向けて排出する。
【００４１】
ロット処理が行なわれており、同一仕様の基板４が上流から搬入されてくれば、ハンドル１４による基板の幅合わせをすることなく、順次、以上の動作を繰り返す。
【００４２】
このように、フィルム剥離ユニット１５は搬送ローラ２で構成している基板搬送手段よりも幅方向で食み出していないので、装置床面積が大きくなることは無い。また、フィルムの角部で剥離を開始するので、剥離力は角部に集中することになり、強力な粘着力の粘着テープを必要とせず、フィルム排出手段への受け渡しは容易に行なうことができる。
【００４３】
図９は、フィルムの剥離開始を確実にする他の実施形態を示している。
図９において、６１は圧着ローラ３０の回転軸に設けたらピニオン、６２はエアシリンダ２７の駆動軸にエアシリンダ２８とともに設けたラックである。
【００４４】
エアシリンダ２８が図に矢印で示すように圧着ローラ３０の回転軸を押すと、ラック６２と噛み合ったピニオン６１が回転し、圧着ローラ３０も回転し、粘着テープ２０が繰り出された形となって、粘着したフィルム８の角部を基板４から確実に剥離する。
【００４５】
上記実施形態では基板４の上下表面に貼り付けたフィルムを剥離するもので説明したが、片面に貼り付けてあっても良い。アクチュエータとしてエアシリンダを用いたが、他の手段を利用しても良い。圧着ローラ３０の回転駆動はモータとすれば、軽量小型化を図ることができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フィルムの剥離開始に強力な粘着力を必要とせずフィルム排出手段への受け渡しも容易で小型なフィルム剥離装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態であるフィルム剥離装置の概略構成を示す図である。
【図２】基板へのフィルムの貼り付け状況を示した図である。
【図３】図１に示した上側のフィルム剥離手段を示す概略正面図である。
【図４】図１に示した上側のフィルム剥離手段を下流側から見た概略側面図である。
【図５】図４と同様に、図１に示した上側のフィルム剥離手段を下流側から見た概略側面図である。
【図６】基板幅寄せ手段を上流側から見た概略側面図である。
【図７】フィルム剥離手段間に位置した基板を上方から見た概略平面図である。
【図８】基板搬送手段によりフィルム剥離手段間に移動してきた基板を停止させ、フィルム剥離を行う状況を説明する図である。
【図９】フィルム剥離手段の他の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
２‥搬送ローラ
４‥基板
５‥フィルム剥離手段
６‥フィルム排出手段
８‥フィルム
１１‥両固定板
１２‥ねじ軸
１３‥移動板
１５‥フィルム剥離ユニット
１６，２７，２８，３２，４７，４８‥エアシリンダ（アクチュエータ）
１７‥回転軸
１９‥保持板
２０‥粘着テープ
２１‥繰出ロール
２２‥巻取ロール
２３，２４‥モータ
３０‥圧着ローラ
３３‥プッシュローラ
３４，３５‥ベンドローラ
３７‥コンタクトローラ
４１‥ピンチローラ
４２，４３‥押えプレート
４４，４５‥サポートプレート
４６‥基板ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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