(57)【要約】【課題】薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供する。【解決手段】シート材４を平面状に保持するシート材保持具１であって、シート材４を保持する表面にシート材の外周部の内側近傍を吸引保持する溝２１，２２と、溝２１，２２に連通し、真空装置に結合して前記溝内を減圧するための排気口３と、吸引保持する溝内に移動可能に設けた、シート材を押し出す押出具６１を備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材を平面状に保持するシート材保持具であって、
前記シート材を保持する表面に前記シート材の外周部の内側近傍を吸引保持する溝と、
前記溝に連通し、真空装置に結合して前記溝内を減圧するための排気口と
を備えることを特徴とするシート材保持具。
【請求項２】
前記溝が少なくとも２本設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート材保持具。
【請求項３】
前記溝の幅が、０．４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のシート材保持具。
【請求項４】
前記シート材と前記シート材保持具との間に気体を吹き込む吹き出し口を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のシート材保持具。
【請求項５】
前記吹き出し口から吹き出す気体は除電エアーであることを特徴とする請求項４記載のシート材保持具。
【請求項６】
シート材を平面状に保持するシート保持具であって、
前記シート材と平行に配置され、排気孔を有するベース部と、
前記シート材を吸着保持するために、前記シート材と前記ベース部との間で前記ベース部に固定された多孔板と、
を備え、
前記多孔板の孔内の気体を前記排気孔を通して排気することにより前記シート材を前記多孔板を介して前記ベース部に吸着させるようにしたことを特徴とするシート保持具。
【請求項７】
前記ベース部に前記排気口を複数有することを特徴とする請求項６記載のシート材保持具。
【請求項８】
前記吸引保持する溝内に前記シート材を押し出す押出具を移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載のシート材保持具。
【請求項９】
前記押出具が前記シート材と接する面は、前記シート材の吸引保持時に前記シート材保持具のシート材保持面と同一面をなすことを特徴とする請求項８記載のシート材保持具。
【請求項１０】
前記押出具が前記シート材と接する面は前記シート材を前記シート材保持具から取り外す時に前記シート材保持具の前記シート材と対向する面より２ｍｍ以上突出させることを特徴とする請求項８又は９記載のシート材保持具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート材にカバーシート材を貼付ける場合またはシート材に貼り付けられたカバーシート材を剥す場合およびシート材の重ね合わせを行う場合にシート材を平面状に保持するシート材保持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は従来のカバーシート材貼付方法の説明図である。同図において、従来のカバーシート材を貼付する方法は、所定大きさに分割されたシート材１０１を単独でローラ１０２で挟んで送ると同時に、ロール状に巻かれたカバーシート材１０３を引き出して、接着面１０４に貼付された保護シート１０５を剥しながら接着面１０４をシート材１０１の回路面１０６に貼付け、さらにローラ１０７で加圧しながら送ることにより、シート材１０１とカバーシート材１０３とを貼付けていた。
【０００３】
また、カバーシート材１０３をシート材１０１から剥す場合にもシート材１０１の端をベースに押えて、カバーシート材１０３の端をベースに押えたシート材１０１の端と反対側に引っ張って剥していた。
【０００４】
図１１は従来のシート材重ね合わせ方法の説明図である。同図において、シート材１０１，１１０の積層体をつくるためにシート材１１０をシート材１０１に重ね合わせる従来の方法は、重ね合わせるシート材１１０の端をチャック１１５によりチャックして重ね合わせ治具（シート材保持具ともいう）１１１の位置決め具１１３の間に挿入し、その状態でチャック１１５を開放して重ね合わせ治具１１６を重ね合わせ治具１１１から離すことにより行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のシート材１０１，１１０が硬い板状の場合はこれらの方法によるシートカバー材の貼付および重ね合わせが可能であったが、シート材１０１，１１０が柔軟性を持ちしかも薄くなると、シート材単独で取り扱ってシートカバー材１０３を貼付するとシート材１０１もしくはカバーシート材１０３のどちらか薄いほうに皺が発生し、貼り合せた面に気泡が生じるという問題があった。
【０００６】
またシート材１０１，１１０を重ね合わせる場合には、シート材単独にてシート材を皺なく弛みなく平面を確保することが困難であり、位置決め部１１７も軟弱なため正確な位置に重ね合わせることは不可能であった。
【０００７】
さらに、カバーシート材１０３を剥す場合には、剥された後のシート材１０１，１１０が湾曲して互いに接触したり、周りの部材に接触したりしてシート材の表面が汚れるという問題があった。
【０００８】
さらに、シート材保持具１１１を使用して重ね合わせした場合、シート材１０１、１１０を重ね合わせした後で、シート材をシート材保持具１１１から取り外す場合、シート材１０１がシート材保持具１１１に静電気により張り付いて取り外しができないため除電が必要となるが、シート材全面の除電には時間がかかるという問題があった。
【０００９】
さらに、速くシート材保持具１１１を取り除くとシート材保持具１１１にシート材１０１の一部が引っ張られて浮き上がってしまい重ね合わせがうまくいかないという問題があった。
【００１０】
本発明の目的は、上記のごとき状況を鑑みて、薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
課題を解決するために、請求項１のシート材保持具は、
シート材を平面状に保持するシート材保持具が、
シート材を保持する表面にシート材の外周部の内側近傍を吸引保持する溝と、その溝に連通し、真空装置に結合し、溝内を減圧するための排気口とを備えている。
【００１２】
請求項２によれば、上記溝が少なくとも２本設けられている。
【００１３】
請求項３によれば、上記溝の幅が、０．４ｍｍ以下である。
【００１４】
請求項４によれば、シート材とシート材保持具間に気体を吹き込む吹き出し口を備えている。
【００１５】
請求項５によれば、吹き出し口から吹き出す気体は除電エアーである。
【００１６】
請求項６によれば、シート材を平面状に保持するシート保持具であって、シート材と平行に配置され、排気孔を有するベース部と、前記シート材を吸着保持するために、シート材とベース部との間でベース部に固定された多孔板と、を備え、多孔板の孔内の気体を排気孔を通して排気することによりシート材を多孔板を介して前記ベース部に吸着させるようにしたことを特徴とするシート保持具が提供される。
【００１７】
請求項７のシート材保持具は、前記ベース部に前記排気口を複数有することを採用するものである。
【００１８】
請求項８のシート材保持具は、請求項１記載のシート材保持具において、吸引保持する溝内にシート材を押し出す押出具を移動可能に設けたことを採用したものである。
【００１９】
請求項９のシート材保持具は、請求項８記載のシート材保持具において、押出具がシート材と接する面は、シート材の吸引保持時にシート材保持面と同一面をなすようにしたものである。
【００２０】
請求項１０のシート材保持具は、請求項８又は９のシート材保持具において、押出具がシート材と接する面はシート材をシート材保持具から取り外す時にシート材保持具のシート材と対向する面より２ｍｍ以上突出するようにしたものである。
【００２１】
上記手段を採用したことにより、即ち、特に、シート材保持具のシート材を保持する表面にシート材の外周部の内側近傍を吸引保持する溝を有することにより、溝の内側におけるシート材とシート材保持具間の空気を確実に除去することができ、シート材を伸び縮みなくシート材保持具に密着させて保持できる。
【００２２】
また、溝が少なくとも２本設けられていることにより外側の溝は溝より外から吸引された空気を通過させ、内側の溝は溝の内側から吸引された空気を通過させることから、シート材とシート材保持具間の空気を内側の溝で確実に吸引除去することができる。
【００２３】
また、溝幅が、０．４ｍｍ以下であることにより、シート材が溝内に引き込まれたり変形することを防止できるようになる。
【００２４】
また、気体を吹き込む吹き出し口を持つことにより、シート材をシート材保持具から取り外す時にシート材とシート材保持具間に空気の層を形成し確実に取り外すことができる。
【００２５】
また、吹き出す気体が除電エアーであることにより、シート材に静電気が蓄積している場合でも静電気を除去して確実な取り外しができるようになる。
【００２６】
また、シート材保持具が、多孔板と、排気孔を有するベース部とからなることにより、多孔板の全面で吸引することができ、シート材をシート材全面で均一に吸引保持できる。
【００２７】
また、排気口を複数有することにより、大きなシート材を保持する場合でもシート材全面にわたって均一に吸引保持できるようになる。
【００２８】
また、薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供できる。
【００２９】
また、シート材保持具が、多孔板と、排気孔を有するベース部とからなること、排気口を複数有することにより、薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供できる。
【００３０】
また、吸引保持する溝内にシート材を押し出す押出具を移動可能に設けたことにより、シート材保持具とシート材の間に放出する除電エアーにて除電しきれない部分があっても、シート材外周部分を押えた状態にてシート材保持具からシート材を取り外すことができ、容易にすばやく分離することができるようになる。
【００３１】
また、押出具がシート材と接する面を、シート材の吸引保持時にシート材保持面と同一面をなすことによりシート材保持時にシート材全面を所定目的に使用可能になり、製品として有効活用範囲を拡大できるようになる。
【００３２】
また、押出具がシート材と接する面を、シート材を取り外す時にシート材保持具のシート材と対向する面より２ｍｍ以上突出させることによりシート材の取り外し時間が短縮できしかもシート材のずれがなく確実に分離できるようになる。
【００３３】
上記作用が功奏し、即ち、吸引保持する溝内にシート材を押し出す押出具を移動可能に設けたこと、押出具がシート材吸引保持時にシート材保持面と同一面をなすこと、押出具がシート材取り外し時に２ｍｍ以上突出することにより、薄くて柔軟性のあるシート材にカバーシート材を皺や気泡の発生なく貼付でき、また、シート材全面で高精度に位置決めして高速に重ね合わせをすることができるシート材保持具を提供できる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態によるシート保持具を図面を参照しながら説明する。
【００３５】
図１の（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態によるシート材保持具の平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は（Ｂ）における部分Ａの拡大図である。図１の（Ａ）〜（Ｃ）において、１は本発明の第１の実施の形態によるシート材保持具、２１及び２２はシート材を保持する表面にシート材の外周部の内側近傍を吸引保持する減圧保持用溝、３は減圧保持用溝２１及び２２に連通し、真空装置に結合し、溝内を減圧するための排気口の減圧用排気口、４はシート材、５はシート材保持具１内に設けられ、シート材とシート材保持具間に気体を吹き込む吹き出し口、６はシート材銅箔回路面、７はカバーシート材である。
【００３６】
溝は図示のようにシート端部の各々に少なくとも２本設けることが好ましい。２本設けることにより、外側の溝２１はその溝より外側から吸引された空気を通過させ、内側の溝２２はその溝より内側から吸引された空気を通過させるので、シート材４とシート材保持具１の間の空気を確実に吸引除去できる。
【００３７】
溝２１及び２２のそれぞれの溝幅は、空気の吸引時にシート材４が溝内に引き込まれたり変形したりしない程度の大きさである必要があり、この目的のために好ましくは、０．４ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３８】
シート材保持具１内に気体吹き出し口５を設けたことにより、シート材４をシート材保持具１から取り外す時にシート材とシート時保持具との間に空気の層を形成しそれにより確実に取り外すことができる。
【００３９】
また、吹き出す気体を除電エアーとすることにより、シート材４に静電気が蓄積している場合でも静電気を除去してシート材をシート材保持具１から確実に取り外すことができる。
【００４０】
図２の（Ａ）は本発明の第２の実施の形態によるシート材保持具の平面図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。図２において図１と同一部分には同一参照番号を付してある。本実施の形態においては、８はシート材保持具１のベース部、９はシート材４とベース部２との間でベース部に固定された多孔板、１０は排気孔である。
【００４１】
多孔板９の孔内の気体を排気孔１０を通して排気することによりシート材４を多孔板９を介してベース部１に吸着させるようにした。
【００４２】
排気孔１０をベース部に複数（図示例においては３個）設けることにより、大きなシート材を保持する場合でもシート材全面にわたって均一に吸引保持できるようになる。
【００４３】
次に図１又は図２に示したシート材保持具の動作を説明する。
【００４４】
カバーシート材貼付の場合は、まず、シート材保持具１の上にシート材４を、銅箔回路面を上にして広げて置く。
【００４５】
次に、シート材４の上に平板（図示せず）を置いて、シート材保持具１とシート材４間の大きなエアーの塊を除去し、シート材保持具１とシート材４を全ての範囲で接近させる。
【００４６】
次に、シート材保持具１の減圧用排気口３からエアーを吸引してシート材４とシート材保持具１間を減圧してシート材４をシート材保持具１で強固に保持する。
【００４７】
次に、シート材４をシート材保持具１で保持した状態でシート材銅箔回路面６にカバーシート材７を貼付する。
【００４８】
次に、カバーシート材７を切断する。
【００４９】
後は、シート材４は従来の方法で、裏側にカバーシート材を貼付したり、シート材表面を加工したりの処理をおこなうことができるようになる。
【００５０】
次に、シート材重ね合わせの場合は、まず、第１のカバーシート材７が貼付けられた第１のシート材４を第１のシート材保持具１に負圧により吸引保持する。
【００５１】
次に、第１のシート材４の一端を押え板（図示せず）で第１のシート材保持具１に押圧しながら、カバーシート材７の端を引っ張って剥す。
【００５２】
次に、第２のカバーシート材が貼付けられた第２のシート材を第２のシート材保持具に負圧により吸引保持する。
【００５３】
次に、第２のシート材の一端を押え板で第２のシート材保持具に押圧しながら、第２のカバーシート材の端を引っ張って剥す。
【００５４】
次に、第１のシート材保持具１に第１のシート材４を保持した状態で、第２のシート材保持具に保持された第２のシート材を第１のシート材４の上に重ねる。
【００５５】
次に、第２のシート材保持具の略中央部に本発明の実施の形態により設けた気体吹き出し口５から第２のシート材と第２のシート材保持具の間に除電エアーを吹き込むと同時に負圧吸引を大気圧に切り替える。
【００５６】
このようにして第１のシート材４と第２のシート材を正確な位置合わせで、しかもシート材に皺を発生させることなく重ね合わせることができる。
【００５７】
シート材を更に重ね合わせる場合は、同様に、第２のシート材保持具に第３のシート材を吸引保持し、次に、第３のシート材の一端を押え板で第２のシート材保持具に押圧しながら、第３のカバーシート材の端を引っ張って剥す。
【００５８】
次に、第１のシート材４と第２のシートを第１のシート材保持具１に保持した状態で、第２のシート材保持具に保持された第３のシート材を第２のシート材の上に重ねる。
【００５９】
次に、第２のシート材保持具の略中央部に設けた気体吹き出し口５から第３のシート材と第２のシート材保持具の間に除電エアーを吹き込むと同時に負圧吸引を大気圧に切り替える。
【００６０】
このようにして第１のシート材４と第２のシートの上に第３のシート材を重ね合わせることができる。これを必要回数繰り返して、所定枚数のシート材を重ね合わせることができる。
【００６１】
次に本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００６２】
図３の（Ａ）は、本発明の第３の実施の形態によるシート材保持具の平面図、（Ｂ）は図３の（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は図３の（Ａ）におけるＢ−Ｂ線断面の拡大図である。図３の（Ａ）〜（Ｃ）において、３１は本発明の第３の実施の形態によるシート材保持具、３２はシート材を保持する表面にシート材の外周部の内側近傍を吸引保持する減圧保持用溝、３３は減圧保持用溝３２に連通し、真空装置に結合し、溝内を減圧するための排気口の減圧用排気口、３４はシート材を押し出す押出具、３５はシート材、３６は減圧保持用溝、３７は除電用エアーである気体の吹き出し口である。
【００６３】
押出具３４は、シート材保持具３１上の周辺部に矩形状に設けられた減圧保持用溝３６の間で同図の（Ｃ）に示すようにシート材保持具３１の厚さ方向に移動可能に設けられている。減圧排気口３３は、本実施の形態では、同図の（Ａ）に点線で示すように、減圧保持用溝３６の矩形の上下左右の辺の中央部の下の４箇所に設けられているが、減圧保持用溝の位置はこれに限定されるものではない。気体吹き出し口３７は、図３の（Ａ）および（Ｂ）に示すように、シート保持具３１の上平面中央部に対応する位置に設けられている。減圧排気口３３に連通する真空装置（図示省略）により減圧保持用溝３２を減圧することにより、シート材保持具３１上にシート材３５が吸引保持されている時は、押出具３４がシート材３５と接する面は図３の（Ｃ）の左側に示すように、シート材保持具３１のシート材保持面と同一面をなしている。
【００６４】
シート材３５をシート材保持具３１から取り外す時は、減圧排気口３３に連通する真空装置により減圧保持用溝３２を昇圧する。これにより、押出具３４がシート材３５と接する面を、シート材保持具３１のシート材３５と対向する面より２ｍｍ以上突出させる。
【００６５】
次に図３に示した構成における作動を説明する。
【００６６】
図４は図３に示したシート材保持具を用いるカバーシート材貼付の手順の説明図である。同図において、まず、シート材保持具３１の上にシート材３５を、銅箔回路面４０を上にして広げて置く。
【００６７】
次に、シート材３５の上に平板４１を置いて、シート材保持具３１とシート材３５間の大きなエアーの塊を除去し、シート材保持具３１とシート材３５を全ての範囲で接近させる。
【００６８】
次に、シート材保持具３５の減圧用排気口３３からエアーを吸引してシート材３５とシート材保持具３１間を減圧し、シート材３５をシート材保持具３１で強固に保持する。
【００６９】
次に、シート材３５をシート材保持具３１で保持した状態でシート材銅箔回路面にカバーシート材４３を貼付する。
【００７０】
次に、カバーシート材４３を切断する。
【００７１】
後は、シート材３５は従来の方法で、裏側にカバーシート材を貼付したり、シート材表面を加工したりの処理をおこなうことができるようになる。
【００７２】
図５から図９はシート材重ね合わせの手順の説明図である。図５の（Ａ）において、まず、カバーシート材Ａ５１が貼付けられたシート材Ａ５２をシート材保持具Ａ５３に減圧排気口３３を介した負圧により吸引保持する。
【００７３】
次に、図５の（Ｂ）に示すように、シート材Ａ５２の一端を押え板５４でシート材保持具Ａ５３に押圧しながら、カバーシート材Ａ５１の端を矢印方向に引っ張って剥す。
【００７４】
次に、図６の（Ｃ）に示すように、カバーシート材Ｂ５５が貼付けられたシート材Ｂ５６をシート材保持具Ｂ５７に減圧排気口３３Ｂを介した負圧により吸引保持する。
【００７５】
次に、図６の（Ｄ）に示すように、シート材Ｂ５６の一端を押え板５８でシート材保持具Ｂ５７に押圧しながら、カバーシート材Ｂ５５の端を矢印方向に引っ張って剥す。
【００７６】
次に、図７の（Ｅ）に示すように、シート材保持具Ａ５２にシート材Ａ５２を保持した状態で、シート材保持具Ｂ５７に保持されたシート材Ｂ５６をシート材Ａ５２の上に重ねる。
【００７７】
次に、図７の（Ｆ）に示すように、シート材保持具Ｂ５７によるシート材Ｂ５６の負圧による吸引保持を解除し、シート材保持具Ｂ５７の中央部近傍に設けた気体吹き出し口５９（図３における気体吹き出し口３７に相当する）からシート材Ｂ５６とシート材保持具Ｂ５７の間に除電エアーを吹き込む。
【００７８】
すると、図８の（Ｇ）及び（Ｈ）に示すように、シート材保持具Ｂ５７をシート材保持具Ａ５３から切り離すことができ、こうしてシート材Ａ５２とシート材Ｂ５６との重ね合わせが完了する。
【００７９】
図９の（Ａ）は図７の（Ｆ）の状態における吸引保持用溝６０（図３の減圧保持用溝３６に相当する）の部分の拡大図、図９の（Ｂ）は図８の（Ｇ）の状態における吸引保持用溝の部分の拡大図である。図９の（Ａ）および（Ｂ）のいずれも、減圧用排気口３３が存在していない部分の一部断面図である。
【００８０】
図９の（Ａ）および（Ｂ）に示すように、シート材保持具Ｂ５７の吸引保持用の溝内６０に設けられた押出具６１が２ｍｍ以上図の下方に押し出されシート材Ｂ５６をシート材保持具Ｂ５７から剥がすことができる。この場合、吸引保持用の溝６０から除電エアーを吹きだすことを同時に行うとさらに効果的である。
【００８１】
このようにしてシート材Ａ５２とシート材Ｂ５６を正確な位置合わせで、しかもシート材に皺を発生させることなく高速に重ね合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるシート材保持具の説明図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態によるシート材保持具の説明図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態によるシート材保持具の説明図である。
【図４】図３に示したシート材保持具によるカバーシート材貼付の手順の説明図である。
【図５】図３に示したシート材保持具によるシート材重ね合わせの手順の一部の説明図である。
【図６】図３に示したシート材保持具によるシート材重ね合わせの手順の他の一部の説明図である。
【図７】図３に示したシート材保持具によるシート材重ね合わせの手順のさらに他の一部の説明図である。
【図８】図３に示したシート材保持具によるシート材重ね合わせの手順の更に他の一部の説明図である。
【図９】吸引保持用溝部の部分の拡大図である。
【図１０】従来のカバーシート材貼付方法の説明図である。
【図１１】従来のシート材重ね合わせ方法の説明図である。
【符号の説明】
１…シート材保持具
３…減圧用排気口
４…シート材
５…吹き出し口
６…シート材銅箔回路
７…カバーシート材
８…ベース部
９…多孔板
１０…排気孔
２１，２２…減圧保持用溝
３１…シート材保持具
３２…減圧保持用溝
３３、３３Ｂ…減圧用排気口
３４…押出具
３５…シート材
３６…減圧保持用溝
３７…気体吹き出し口
４０…銅箔回路面
４１…平板
４２…保護シート
４３…カバーシート材
５１…カバーシート材
５２…シート材Ａ
５３…シート材保持具Ａ
５４…押え板
５５…カバーシート材Ｂ
５６…シート材Ｂ
５７…シート材保持具Ｂ
５８…押え板
５９…気体吹き出し口
６０…吸引保持用の溝
６１…押出具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004217421.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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