(57)【要約】【課題】成形によって得られる光学素子の形状の高精度化や、成形用金型の長寿命化及び生産性の向上を図ることができる光学素子の成形用金型及びその製造方法を提供すること。【解決手段】光学素子の成形用金型１０は、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金で構成される成形面部１２と、ＷＣ単体よりも耐酸化性の高い合金であるニッケルクロムモリブデン鋼（ＳＮＣＭ４３９）で構成される母材部１３とが一体に接合される構成とした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子のプレス成形を行う成形面を有した成形用金型であって、
前記成形面を構成する成形面部と、
該成形面部と一体に接合された母材部とから構成され、
前記成形面部が、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金で構成され、
前記母材部がタングステンカーバイド単体よりも耐酸化性の高いクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含む合金で構成されていることを特徴とする光学素子の成形用金型。
【請求項２】
前記成形面部の表面に、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）のうち少なくとも１種類の元素を主成分とする合金又は化合物で構成された保護膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子の成形用金型。
【請求項３】
前記母材部が、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含むタングステンカーバイド（ＷＣ）で構成され、
前記成形面部が、タングステンカーバイド（ＷＣ）で構成され、
前記保護膜が、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）で構成されていることを特徴とする請求項２記載の光学素子の成形用金型。
【請求項４】
光学素子のプレス成形を行う成形面を有した成形用金型であって、
前記成形面を構成する成形面部と、
該成形面部と一体に接合された母材部とから構成され、
前記成形面部が、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）のうち少なくとも１種類の元素を主成分とする合金あるいは化合物で構成され、
前記母材部が、タングステンカーバイド単体よりも耐酸化性の高いクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含む合金から構成されていることを特徴とする光学素子の成形用金型。
【請求項５】
前記成形面部と前記母材部とが、その間に設けられたタングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金部を介して接合されていることを特徴とする請求項４記載の光学素子の成形用金型。
【請求項６】
請求項１から５の何れかに記載の光学素子の成形用金型を製造する方法であって、
前記接合を放電プラズマ焼結法により行うことを特徴とする光学素子の成形用金型の製造方法。
【請求項７】
前記母材部となるクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含むタングステンカーバイド（ＷＣ）と、前記成形面部となるタングステンカーバイド（ＷＣ）とを放電プラズマ焼結法で焼結するとともに接合する工程と、
前記成形面部表面に酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）の保護膜を形成する工程とを有していることを特徴とする請求項６記載の光学素子の成形用金型の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学機器に使用されるレンズなどの高精度なガラス光学素子を成形するための光学素子の成形用金型及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学部品などの成形精度を高く要求される成形品、例えば光学用非球面レンズなどは、非常に高い表面形状精度、仕上げ精度が要求される。
特に近年、光学性能の向上を目的として、これら部品の高精度化が進み、温度湿度などの環境変化による形状の変形が問題になる、また過酷な環境のためプラスチックを使用することができない、さらにプラスチックでは屈折率などの材料特性が限られてしまうため適用できない、などの理由によりガラス素材が光学素子の被成形物として選ばれる場合が多い。
【０００３】
このガラス光学素子を成形するための成形用金型の母材としては、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金などの機械的強度に優れ、かつ耐熱性に優れた焼結体が最も一般的に用いられている。
【０００４】
しかし、ＷＣは６００℃以上になると急激に酸化が進行して体積が膨張するため、成形面の形状が変化してしまい、成形品の形状精度が保てなくなってしまう。
【０００５】
そこで、この問題を解決するため、従来の光学素子の成形用金型は、例えば、ＷＣを主成分とする超硬合金を母材とし、これに対してダイヤモンド砥粒を用いた研磨加工によって所望の光学面を形成した後、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、炭素（Ｃ）で構成されたコーティング膜をスパッタリング法によって形成して製造されている（例えば、特許文献１参照。）。また、成形機にて成形部に不活性ガスを導入して雰囲気を制御し、非酸化性雰囲気とした状態で金型を加熱して光学素子の成形が行われている（例えば、特許文献２参照。）。あるいは、ＷＣの母材に様々な添加物を加え、耐酸化性を向上させたものが製造されている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特公平６−８８８０３号公報
【特許文献２】
特開平５−２９４６３８号公報
【特許文献３】
特開昭６１−２５６９３１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の光学素子の成形用金型及びその製造方法においては、次のような問題があった。
すなわち、超硬合金から成る母材を研磨して形成した光学面に膜をコーティングして成形面を形成した場合、成形面以外で生じた酸化物が剥がれ落ちて成形面に付着して形状が不良になる、あるいは、体積変化によって外径が変化するために成形時の位置決め精度が劣化し成形品が不良になる等の問題があった。
また、成形機にて雰囲気を制御する場合、成形機の構造が複雑になって大きなコストアップになってしまう問題があった。
さらに、ＷＣの母材に様々な添加物が加えられた金型の場合では、ＷＣ単体に比較すると、金型の強度が低下し、また母材が均一でなくなるため、その粒界から酸化などが起き易くなり、その結果、金型寿命の低下をもたらす問題があった。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、成形によって得られる光学素子の形状の高精度化や、成形用金型の長寿命化及び生産性の向上を図ることができる光学素子の成形用金型及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明の光学素子の成形用金型は、光学素子をプレス成形する成形面を有する成形用金型であって、前記成形面を構成する成形面部と、該成形面部と一体に接合された母材部とから構成され、前記成形面部が、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金で構成され、前記母材部がタングステンカーバイド単体よりも耐酸化性の高いクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含む合金で構成されていることを特徴とする。
【００１０】
この光学素子の成形用金型によれば、成形面部がＷＣによって構成されているので、成形を行うような高温領域においても必要な強度を確保することができる。
また、成形に寄与しない母材部がＷＣ単体よりも耐酸化性の高いＣｒ、Ｎｉの少なくとも一方を含む合金によって構成されているので、高温での耐酸化性を確保することができる。従って、成形に必要な強度と優れた耐酸化性とを両立させることができる。
【００１１】
本発明は、請求項１記載の光学素子の成形用金型であって、前記成形面部の表面に、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）のうち少なくとも１種類の元素を主成分とする合金又は化合物で構成された保護膜が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
この光学素子の成形用金型によれば、成形面部の表面に上述の合金又は化合物で構成された保護膜が形成されているので、成形の際に光学素子との転写性及び離型性を向上させることができる。
また、成形に寄与しない母材部がＷＣ単体よりも耐酸化性の高いＣｒ、Ｎｉの少なくとも一方を含む合金によって構成されているので、高温での耐酸化性を確保することができる。
【００１３】
本発明は、請求項２記載の光学素子の成形用金型であって、前記母材部がクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含むタングステンカーバイド（ＷＣ）で構成され、前記成形面部が、タングステンカーバイド（ＷＣ）で構成され、前記保護膜が、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）で構成されていることを特徴とする。
【００１４】
この光学素子の成形用金型によれば、ＷＣで構成される成形面部の表面にＣｒ２Ｏ３の保護膜が形成されているので、成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上することができる。
また、成形に寄与しない母材部がＣｒ、Ｎｉの少なくとも一方を含むＷＣで構成されているので、高温での耐酸化性を確保することができる。
【００１５】
本発明は、光学素子をプレス成形する成形面を有する成形用金型であって、前記成形面を構成する成形面部と、該成型面部と一体に接合された母材部とから構成され、前記成形面部が、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）のうち少なくとも１種類の元素を主成分とする合金あるいは化合物で構成され、前記母材部がタングステンカーバイド単体よりも耐酸化性の高いクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含む合金から構成されていることを特徴とする。
【００１６】
この光学素子の成形用金型によれば、成形面部が上述の合金あるいは化合物によって構成されているので、成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上することができる。
また、成形に寄与しない母材部がＷＣ単体よりも耐酸化性の高いＣｒ、Ｎｉの少なくとも一方を含む合金によって構成されているので、高温での耐酸化性を確保することができる。
【００１７】
本発明は、請求項４に記載の光学素子の成形用金型であって、前記成形面部と前記母材部とが、その間に設けられたタングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金部を介して接合されていることを特徴とする。
【００１８】
この光学素子の成形用金型によれば、成形面部及び母材部とがその間に設けられた超硬合金部を介して接合しているので、高温域での機械的強度をより高く保つことができる。
【００１９】
本発明は、請求項１から５の何れかに記載の光学素子の成形用金型を製造する方法であって、前記接合を放電プラズマ焼結法により行うことを特徴とする。
【００２０】
この光学素子の成形用金型の製造方法によれば、成形用金型の接合を放電プラズマ焼結法によって行うので、接合面の強度を非常に高いものにすることができる。また、接合と焼結とを同時に行うことができるので、成形工程を削減することができる。
【００２１】
本発明は、請求項６記載の光学素子の成形用金型の製造方法であって、前記母材部となるクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）の少なくとも一方を含むタングステンカーバイド（ＷＣ）と、前記成形面部となるタングステンカーバイド（ＷＣ）とを放電プラズマ焼結法で焼結するとともに接合する工程と、前記成形面部表面に酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）の保護膜を形成する工程とを有していることを特徴とする。
【００２２】
この光学素子の成形用金型の製造方法によれば、放電プラズマ焼結法で焼結するとともに接合する工程を有するので、接合面の強度が非常に高い成形用金型を製造することができる。また、保護膜を形成する工程を有するので、ガラス成形の際にガラスとの転写性と離型性に優れた成形用金型を製造することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の第１の実施形態について、図１を参照して説明する。
図１に示す光学素子の成形用金型１０は、ガラスからなる光学素子を図示しないプレス装置にてプレス成形する際に用いる金型であって、成形面１１を有する成形面部１２と、プレス装置に把持される母材部１３とが一体に接合されることによって構成されている。
【００２４】
成形面部１２は、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金で構成されている。また、母材部１３は、ＷＣ単体よりも耐酸化性の高いクロム（Ｃｒ）を含む合金であるニッケルクロムモリブデン鋼（ＳＮＣＭ４３９）で構成されている。上記成形面部１２と母材部１３とは、ロウ材１４を加熱・溶融することによって一体に接合されている。
【００２５】
この光学素子の成形用金型１０によれば、成形面部１２がＷＣによって構成されているので、ガラス成形を行うような高温領域においても必要な強度を確保することができる。
また、成形に寄与しない母材部１３がニッケルクロムモリブデン鋼（ＳＮＣＭ４３９）、すなわちＣｒを含んでＷＣ単体よりも耐酸化性に優れた合金であるので、高温での耐酸化性を確保することができる。
【００２６】
次に、本発明に係る第２の実施形態について、図２及び図３を参照して説明する。
第２の実施形態と上記第１の実施形態との異なる点は、第１の実施形態の光学素子の成形用金型１０では、成形面部１２がＷＣを主成分とする超硬合金で構成されており、母材部１３がニッケルクロムモリブデン鋼で構成されているのに対して、第２の実施形態の光学素子の成形用金型２０は、図２に示すように、成形面２１を有する成形面部２２がＰｔ−Ｉｒ（白金―イリジウム）合金で構成され、母材部２３がニッケル基耐熱合金でありＣｒを含むインコネル６００（Ｉｎｃｏｎｅｌは登録商標）（ＮＣＦ６００）（主成分：２２Ｎｉ−２０Ｃｒ−３Ｍｎ−２．５Ｎｂ）で構成されているとした点である。
【００２７】
また、本実施形態の光学素子成形用金型２０は、図３に示す放電プラズマ焼結装置２４によって製造される。
この放電プラズマ焼結装置２４は、焼結ユニット２５を内部に配設している真空チャンバ２６と、この真空チャンバ２６の上下に設けられ焼結ユニット２５を間に挟んで配設された上部パンチ電極２７及び下部パンチ電極２８と、これら電極を介して焼結ユニット２５にパルス電力を印加する電源部２９とを備えている。
【００２８】
焼結ユニット２５は、成形面部２２及び母材部２３の側面を支持する筒状の成形外枠３０と、成形面部２２の上面を加圧機構３１（例えば、油圧プレス機構）に接続されて上部方向から加圧する上パンチ３２と、母材部２３の下面を加圧機構３１に接続されて下部方向から加圧する下パンチ３３とを備えている。
また、上パンチ３２は、上部パンチ電極２７と上部で接触して電気的に接続されているとともに、下パンチ３３は、下部パンチ電極２８と下部で接触して電気的に接続されている。
【００２９】
次に、本実施形態に係る成形用金型２０の製造方法について図３を参照して説明する。
母材部２３の原材料であるインコネル６００（ＮＣＦ６００）と成形面部２２の原材料であるＰｔ−Ｉｒ合金とが、上パンチ３２と下パンチ３３との間に配設された焼結ユニット２５を、放電プラズマ焼結装置２４の真空チャンバ２６内に配設する。このとき、上パンチ３２は上部パンチ電極２７と接続され、下パンチ３３は下部パンチ電極２８と接続される。
【００３０】
続いて、図示しない真空ポンプによって真空チャンバ２６内を一旦真空引きした後、図示しない不活性ガス供給装置から不活性ガスを真空チャンバ２６内に供給して所定の圧力とする。
同時に加圧機構３１を駆動して成形面部２２及び母材部２３を上パンチ３２と下パンチ３３とによって上下方向から所定の圧力で加圧する。
そして、電源部２９からパルス電圧を印加して放電プラズマを発生させて成形面部２２及び母材部２３を自己加熱させることによって両者を一体に接合して、焼結体３４を得る。
この焼結体３４の成形面２１を研削・研磨して光学面を形成し、光学素子の成形用金型２０が得られる。
【００３１】
この光学素子の成形用金型２０によれば、成形面部２２がＰｔ−Ｉｒ合金で構成されているので、光学素子のプレス成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上させることができる。
また、成形に寄与しない母材部２３が、Ｃｒを含むインコネル６００で構成されているので、成形面部２２とともに高温での耐酸化性を確保することができる。
【００３２】
次に、本発明に係る第３の実施形態について、図４及び図５を参照して説明する。
第３の実施形態と上記第２の実施形態との異なる点は、第２の実施形態の光学素子の成形用金型２０は、成形面部２２がＰｔ−Ｉｒ合金で構成され、母材部２３がインコネル６００（ＮＣＦ６００）で構成されているのに対して、第３の実施形態の光学素子の成形用金型４０は、図４に示すように成形面４１を有する成形面部４２がＰｔ−Ｒｈ（白金―ロジウム）合金で構成され、母材部４３がＮｉを含むタングステン基合金であるアンビロイ（登録商標）１１５０（主成分：９４Ｗ−２Ｎｉ−３Ｍｏ−１Ｆｅ）で構成されているとした点である。
【００３３】
次に、以上の構成からなる本実施形態の光学素子の成形用金型の製造方法について図５を参照して説明する。
この光学素子成形用金型４０は、図５に示すように第２の実施形態で用いた放電プラズマ焼結装置２４を使用して製造される。
本実施形態に係る製造方法において第２の実施形態と異なる点は、成形面部４２と母材部４３との間に、超硬合金部４６としてＷＣ粉末を充填した状態で接合を行う点である。
【００３４】
すなわち、まず、下から順に母材部４３の原材料であるＰｔ−Ｒｈ合金と、超硬合金部４６の原材料であるＷＣ粉末と、成形面部４２の原材料であるアンビロイ１１５０とが積載されて上パンチ３２と下パンチ３３との間に配設された焼結ユニット４５を、真空チャンバ２６内に配設した後、第２の実施形態と同様の方法にて真空チャンバ２６内を所定の圧力とする。
同時に加圧機構３１を駆動して成形面部４２及び母材部４３を上パンチ３２と下パンチ３３とによって上下方向から所定の圧力で加圧する。
【００３５】
そして、電源部２９からパルス電圧を印加して放電プラズマを発生させて超硬合金部４６を焼結すると同時に、成形面部４２及び母材部４３を一体に接合して、焼結体４７を得る。
この焼結体４７の成形面部４２の表面を研削・研磨して、光学面となる成形面４１を有する光学素子の成形用金型４０が得られる。
【００３６】
この光学素子の成形用金型４０によれば、成形面部４２がＰｔ−Ｒｈ合金で構成されているので、プレス成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上することができる。
また、成形面部４２及び母材部４３が超硬合金部４６を介して接合されているので、高温域での機械的強度を高く保つことができる。
さらに、成形に寄与しない母材部４３がアンビロイ１１５０で構成されているので、成形面部４２とともに高温での耐酸化性を確保することができる。
【００３７】
次に、本発明に係る第４の実施形態について、図６及び図７を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態にて説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
第４の実施形態と上記第１の実施形態との異なる点は、第１の実施形態の光学素子の成形用金型１０は、成形面１１が成形面部１２自体の露出面であり、母材部１３がニッケルクロムモリブデン鋼（ＳＮＣＭ４３９）で構成されているのに対して、第４の実施形態の光学素子の成形用金型５０は、図６に示すように、成形面５１として成形面部１２に酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）からなる保護膜５３が形成されており、さらに、母材部５４がＷＣにＣｒが１０重量％混入したもので構成されているとした点である。
【００３８】
この光学素子成形用金型５０は、図７に示すように第２の実施形態で用いた放電プラズマ焼結装置２４を使用して製造される。
本実施形態に係る製造方法において第２の実施形態と異なる点は、成形面部１２と母材部５４とが接合された後で、さらに、保護膜５３を形成する工程を有している点である。
【００３９】
すなわち、まず、下から順に母材部５４の原材料であるＷＣにＣｒが１０重量％混入した合金と、成形面部１２の原材料であるＷＣとが積載されて上パンチ３２と下パンチ３３との間に配設された焼結ユニット５６を真空チャンバ２６内に配設した後、第２の実施形態と同様の方法にて真空チャンバ２６内を所定の圧力とする。
同時に加圧機構３１を駆動して成形面部１２及び母材部５４を上パンチ３２と下パンチ３３とによって上下方向から所定の圧力で加圧する。
そして、電源部２９からパルス電圧を印加して放電プラズマを発生させて成形面部１２及び母材部５４を一体に接合して、焼結体５７を得る。
この焼結体５７の成形面部１２の表面を研削・研磨して光学面となる成形面５１を形成し、さらに、表面にＣｒ２Ｏ３からなる保護膜５３を形成することによって光学素子の成形用金型５０が得られる。
【００４０】
この光学素子の成形用金型５０によれば、成形面５１がＣｒ２Ｏ３で構成されているので、プレス成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上することができる。
また、成形面部１２がＷＣによって構成されているので、高温域での機械的強度を高く保つことができる。
さらに、成形に寄与しない母材部５４がＣｒの添加されたＷＣで構成されているので、高温での耐酸化性を確保することができる。
【００４１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、第１の実施形態では、成形面部１２がＷＣを主成分とする合金で構成されており、第２の実施形態では、成形面部２２がＰｔ−Ｉｒ合金で構成されており、第３の実施形態では、成形面部４２がＰｔ−Ｒｈ合金で構成されている。しかし、成形面部の構成材料の元素としては、Ｗ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｈ及びＣｒ以外の元素であってもよく、ガラスとの転写性及び離型性に優れるパラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、レニウム（Ｒｅ）、モリブデン（Ｍｏ）の少なくとも１種類の元素を主成分とする合金又は化合物であっても構わない。
【００４２】
また、第４の実施形態では、保護膜５３がＣｒを含む化合物で構成されている。しかし、保護膜の構成材料の元素としては、Ｃｒ以外の元素であってもよく、ガラスとの転写性及び離型性に優れるＰｔ、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、Ｒｈ、Ｉｒ、レニウム（Ｒｅ）、Ｗ、モリブデン（Ｍｏ）の少なくとも１種類の元素を主成分とする合金又は化合物であっても構わない。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明した本発明においては以下の効果を奏する。
本発明に係る光学素子の成形用金型によれば、母材部が耐酸化性の高いＣｒ、Ｎｉの少なくとも一方を含む合金で構成されているので、高温領域での強度を確保することができるとともに、耐酸化性を向上することができ、成形用金型の強度や成形面部の精度を維持して長寿命化を図ることができる。従って、成形によって得られる光学素子の形状の高精度化や、成形用金型の生産性の向上を図ることができる。
【００４４】
また、本発明に係る光学素子の成形用金型によれば、成形面が白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）のうち少なくとも１種類の元素を主成分とする合金あるいは化合物で構成されているので、成形の際に光学素子との転写性と離型性を向上することができる。従って、成形時間の短縮化を図ることができるとともに、成形用金型の長寿命化と生産性、及び光学素子の品質の向上を図ることができる。
【００４５】
本発明に係る光学素子の成形用金型の製造方法によれば、接合と焼結とを同時に行うことができるので、より高い接合強度を得ることができるとともに成形工程を削減することができ、光学素子の成形用金型の生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態における成形用金型を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態における成形用金型を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態における放電プラズマ焼結装置を示す要部を断面とした構成図である。
【図４】本発明の第３の実施形態における成形用金型を示す断面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態における放電プラズマ焼結装置を示す要部を断面とした構成図である。
【図６】本発明の第４の実施形態における成形用金型を示す断面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態における放電プラズマ焼結装置を示す要部を断面とした構成図である。
【符号の説明】
１０、２０、４０、５０  成形用金型
１１、２１、４１、５１  成形面
１２、２２、４２  成形面部
１３、２３、４３、５４  母材部
４６  超硬合金部
５３  保護膜
【図１】
2004231476.tif 000003
【図２】
2004231476.tif 000004
【図３】
2004231476.tif 000005
【図４】
2004231476.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004231476.tif 000008
【図７】
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