(57)【要約】【課題】高温環境下で、大きな変位が長期間に渡って繰り返されるような駆動条件においても絶縁部に割れが生じない、高信頼性の積層型圧電アクチュエータ素子を提供する。【解決手段】積層型圧電アクチュエータの側面に露出した内部電極の絶縁層に低熱膨張係数のフィラーを混合し、また、絶縁層に圧縮応力を発生させることで、絶縁層の機械的強度を改善する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電セラミック層と内部電極層を積層一体化した積層体で、前記内部電極層が対向電極となるよう、前記積層体側面に露出する前記内部電極層を一層おきに絶縁層で被覆し、該絶縁層を覆って一層おきに前記内部電極層と導通する一対の外部電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータ素子において、前記絶縁材がホウケイ酸系ガラスと低熱膨張フィラーの混合物であることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子。
【請求項２】
前記低熱膨張フィラーが石英ガラス粉末または溶融石英ガラス粉末、二酸化ケイ素化合物、チタン酸アルミニウムのうち少なくとも１種類からなることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ素子。
【請求項３】
前記絶縁材は、圧電セラミックスの熱膨張係数の２０％から９５％の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電セラミック層と内部電極層を積層した積層型圧電アクチュエータ素子に関し、特に、高温環境下や、高い電界強度で使用される積層型圧電アクチュエータ素子に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
積層型圧電アクチュエータ素子は、圧電セラミックス層と内部電極層を交互に積層し、内部電極層が一層ずつ対向電極になるように一対の外部電極に接続した構造で、電圧の印加により積層方向に数ミクロンから数１０ミクロンの変位量を発生したり、約３５ＭＰａの力を発生することが出来る。その主な用途は、半導体製造用の微小の位置決め装置や特殊なガスの流量を調整するマスフローコントローラのアクチュエータのような産業機器や、変位量を拡大する機構に積層圧電アクチュエータを組み込み、ワイヤー式ドットプリンターやインチワーム式超音波モータ等の民生機器まで、広い範囲に及んでいる。
【０００３】
近年、自動車のエンジンルーム内や高温蒸着装置内等の１００℃以上の高温環境下で、積層型圧電アクチュエータ素子を使用する用途が増加しているが、繰り返し高温中で、前記積層型圧電アクチュエータ素子を駆動すると、熱履歴による圧電セラミックスと絶縁層の熱膨張係数の異なりが原因で、圧電セラミックス層と絶縁層の境界に応力が生じ、該応力により絶縁層にクラックが生じ、絶縁層と圧電セラミックス層が剥離し絶縁性を失うという問題があり、絶縁性に優れ、高信頼性の積層型圧電アクチュエータ素子が要求されている。
【０００４】
また、積層型圧電アクチュエータ素子を組み込む装置の小型化に伴い、より小型で大きな変位が得られる積層型圧電アクチュエータ素子の開発が必要であり、そのため圧電セラミック層を薄膜化し、従来以上の高い電界強度で駆動が可能な積層型圧電アクチュエータ素子が要求されている。
【０００５】
しかしながら、従来の積層型圧電アクチュエータ素子は、高い電界強度となる電圧を印加して変位量を大きくすると、前記積層型圧電アクチュエータ素子の側面に露出した内部電極層の上の絶縁層に割れを生じ、前記積層型圧電アクチュエータ素子が短絡するため、印加できる電圧には制約（限界電界強度）があり、その結果、目的とする大きな変位量が得られないという問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、１００℃以上の高温環境下や、高い電界強度で大きな変位が長期間に渡って繰り返されるような駆動条件においても、小型で、絶縁層に割れが生じ難い高信頼性の積層型圧電アクチュエータ素子を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、複数の圧電セラミック層と内部電極層を積層一体化した積層体で、前記内部電極層が対向電極となるよう、前記積層体側面に露出する前記内部電極層を一層おきに絶縁層で被覆し、該絶縁材を覆って一層おきに前記内部電極層と導通する一対の外部電極を形成してなる積層型圧電アクチュエータ素子において、前記絶縁層がホウケイ酸系ガラスと、石英ガラス粉末または溶融石英ガラス粉末、二酸化ケイ素化合物粉末、チタン酸アルミニウム粉末のうち少なくとも１種類からなる低熱膨張フィラーからなる混合物であることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子が得られる。
【０００８】
また、本発明によれば、前記積層型圧電アクチュエータの絶縁層に用いられるホウケイ酸系ガラスと二酸化ケイ素等の混合物は、室温から焼き付け温度までの熱膨張係数が前記積層型圧電アクチュエータの圧電セラミックスの熱膨張係数の２０％から９５％の範囲にあることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子が得られる。
【０００９】
積層型圧電アクチュエータ素子の絶縁層の機械的強度向上方法として、絶縁層自体の組織を制御する方法と、絶縁層に加わる応力を減少する二つの方法が考えられる。
【００１０】
前者は、絶縁層の組織に第２相として強度が大きな組成物を混合分散し、絶縁層全体の強度を向上したもので、本発明においては、ホウケイ酸系ガラスの絶縁層を母相として、高強度で、かつ、低熱膨張係数の石英ガラス粉末または溶融石英ガラス粉末、二酸化ケイ素化合物粉末、チタン酸アルミニウム粉末のうち少なくとも１種類を第二相として母相中に混合分散することで、絶縁層の機械的強度を向上し、従来の限界電界強度以上の電界強度でも前記絶縁層が破壊しない積層型圧電アクチュエータ素子を提供するものである。
【００１１】
後者は、積層型圧電アクチュエータ素子の変位時に、積層型圧電アクチュエータ素子から絶縁層に引っ張り応力が加わり、該応力により絶縁層が破壊に至るという破壊のメカニズムから、積層型圧電アクチュエータ素子から絶縁層に、予め圧縮応力を加えておいて、積層型圧電アクチュエータ素子が変位時の絶縁層に加わる引っ張り応力を低減し、絶縁層の強度を向上したものである。
【００１２】
本発明においては、絶縁層の熱膨張係数を積層型圧電アクチュエータ素子の圧電セラミックスの熱膨張係数より小さくすることで、５００℃以上の高温で絶縁層を形成後、室温や１００℃程度の温度に戻した時に、積層型圧電アクチュエータ素子から絶縁層に圧縮応力を加えることが出来、該圧縮応力が前記積層型圧電アクチュエータ素子が変位した時の前記絶縁層へ加わる引っ張り応力を低減し、該絶縁層の破壊を防止することが可能となる。
【００１３】
さらに、絶縁層の熱膨張係数を圧電セラミックスの熱膨張係数の２０〜９５％の範囲内としたのは、２０％未満では絶縁層と圧電セラミックスの熱膨張係数の差が大きくなり過ぎ、室温と１００℃以上の使用温度の熱履歴を繰り返すことにより、該絶縁層と圧電セラミックスの境界部が剥離し、絶縁性が低下してしまうので、前記絶縁層の熱膨張係数の２０〜９５％の範囲内とする必要がある。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態における積層型圧電アクチュエータ素子の長さ方向の断面図である。図１で、圧電セラミックスは圧電歪定数が大きなジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）系圧電セラミックスを使用し、内部電極は銀／パラジウム電極ペーストを使用して、厚膜の印刷、積層法により、複数の圧電セラミック層２と内部電極層３を積層一体化した積層体１で、前記内部電極層３が対向電極となるよう、前記積層体１の側面に露出する前記内部電極層３を一層おきに絶縁層４で被覆し、該絶縁層４を覆って一層おきに前記内部電極層３と導通する一対の焼き付け銀の外部電極５を形成してなる積層型圧電アクチュエータ素子で、前記絶縁層４はホウケイ酸亜鉛ガラスと溶融石英ガラス粉末の混合体を６００℃で焼き付けたものである。
【００１６】
ここで、使用した圧電セラミックスの３０℃〜５００℃の温度範囲における熱膨張係数は、約４５×１０−７／ｄｅｇであり、また、絶縁層に用いたホウケイ酸亜鉛ガラスと溶融石英ガラスの熱膨張係数はそれぞれ６３×１０−７／ｄｅｇと５×１０−７／ｄｅｇである。本発明で用いる石英ガラスや溶融石英ガラスの３０℃〜５００℃の温度範囲における熱膨張係数は、圧電セラミックスやホウケイ酸系ガラスの約１／１０程度で、ホウケイ酸系ガラスとの混合比率を変えることで、絶縁層の熱膨張係数を小さいほうに変化させることが可能である。
【００１７】
寸法が５ｍｍ×５ｍｍ×１０ｍｍで１０ｍｍの方向に厚さ７５μｍの圧電セラミックス層を１２０層積層一体化し、前記ホウケイ酸亜鉛ガラスと溶融石英ガラス粉末の混合比率を変えて、熱膨張係数の異なる絶縁層を有する積層型圧電アクチュエータを試作した。溶融石英ガラス粉末の混合比率を変えた時の絶縁層の熱膨張係数を測定した。また、該熱膨張係数を測定した試料を用いて曲げ強度を測定した。測定結果を表１に示した。
【００１８】
【表１】
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【００１９】
表１から、溶融石英ガラスの混合量が増えるに従い、絶縁層の熱膨張係数が小さくなり、曲げ強度が大きくなることから、絶縁層の機械的強度が向上したことが分かる。
【００２０】
また、試作した積層型圧電アクチュエータを１００℃の高温環境下で、０−１５０Ｖのパルス電圧を印加するエージング試験を実施して、絶縁抵抗の変化を測定した。比較のため、従来使用していたホウケイ酸亜鉛ガラスのみの絶縁層を有する積層型圧電アクチュエータも試作し、同時にエージングを実施し絶縁抵抗の変化を測定した。測定結果を表２に示した。
【００２１】
【表２】
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【００２２】
表２の絶縁抵抗の測定結果から、試料Ｎｏ．２から６までは、エージングによる絶縁抵抗の劣化は比較例に比べ、わずかであり、高温環境下で連続駆動した時、高い信頼性が得られることが分かる。試料Ｎｏ．１は絶縁層の熱膨張係数が小さくなり過ぎ、圧電セラミックス層と絶縁層の密着力が低下したため、エージング中に圧電セラミックス層と絶縁層が剥離し、絶縁抵抗が劣化したものである。試料Ｎｏ．２からＮｏ．６の熱膨張率は、圧電セラミックススの熱膨張係数の２０％から９５％の範囲にある。
【００２３】
本発明の実施の形態では、絶縁層として溶融石英ガラス粉末を用いた実施例の説明をしたが、溶融石英ガラス粉末と同様な、高強度で、かつ、低熱膨張係数の、石英ガラス粉末、二酸化ケイ素化合物粉末、チタン酸アルミニウム粉末のうち少なくとも１種類を用いても、２０００時間のエージングで８０ＭΩ以上と同様の効果が得られた。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、絶縁層に低熱膨張係数のフィラーを混合することにより、絶縁層の強度を改善し、圧電セラミクス層の伸縮に伴う歪の発生に起因する絶縁層のクラックの発生がなくなるため、高電圧の長時間繰り返し印加においても故障が発生することが高信頼性の積層型圧電アクチュエータ素子の提供が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータ素子の長さ方向の断面図。
【図２】従来の積層型圧電アクチュエータ素子の長さ方向の断面図。
【符号の説明】
１，１１　　積層体
２，１２　　圧電セラミック層
３，１３　　内部電極層
４，１４　　絶縁層
５，１５　　外部電極
６，１６　　リード線
【図１】
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【図２】
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