(57)【要約】【課題】光の減衰を少なくでき且つ光路長を増やすことが出来る光出射位置調整装置を提供する。【解決手段】入射光Ａを反射する第１の鏡１と、第１の鏡１で反射された反射光Ｂを反射して入射光Ａに平行な出射光Ｃとする第２の鏡２と、第１の鏡１および第２の鏡２を一体的に保持する鏡台３と、入射光Ａと出射光Ｃとを含む平面に平行または略平行な平面内で鏡台３が回動できるように鏡台３を支持するベース４とをする。【効果】鏡台３を回動させることで、出射光Ｃの位置を水平方向に調整できる。光が光学材料を透過しないため、光の減衰がほとんどない。第１の鏡１と第２の鏡２の間隔を大きくすれば、光路長を増やすことが出来る。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を反射する第１の鏡と、前記第１の鏡で反射された反射光を反射して前記入射光に平行な出射光とする第２の鏡と、前記第１の鏡および前記第２の鏡を一体的に保持する鏡台と、前記入射光と前記出射光とを含む平面に平行または略平行な平面内で前記鏡台が回動できるように前記鏡台を支持するベースとを具備したことを特徴とする光出射位置調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光出射位置調整装置において、前記鏡台がコ字形状をしており、コ字形状の開放端側の上辺と下辺の間隔を変更可能であり、コ字形状の上辺に前記第１の鏡および前記第２の鏡を一体的に保持し、コ字形状の下辺で前記ベースに支持されることを特徴とする光出射位置調整装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光出射位置調整装置を具備したことを特徴とするレーザ装置。
【請求項４】
半導体レーザと、前記半導体レーザからの放射光を平行光にするコリメーティングレンズとを備えたレーザ装置において、前記半導体レーザと前記コリメーティングレンズの間に請求項１または請求項２に記載の光出射位置調整装置を設置したことを特徴とするレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光出射位置調整装置およびレーザ装置に関し、更に詳しくは、光の減衰を少なくでき且つ光路長を増やすことが出来る光出射位置調整装置および該光出射位置調整装置を備えたレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、入射光を平行平面板に入射し、平行平面板を透過した光を出射光とし、入射光に対する平行平面板の傾きを変えることが出来るようにした光出射位置調整装置が知られている。平行平面板の傾きを変えることで、出射光の位置を調整できる（例えば、特許文献１参照。）。
また、従来、上記のような光出射位置調整装置を含むレーザ装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−３３７７９６号公報
【特許文献２】
特開２００１−１９６６７４号公報（［００１３］−［００１４］、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記光出射位置調整装置では、光が光学材料（平行平面板）を透過するため、光の減衰が大きい問題点がある。
また、光路中に光出射位置調整装置を入れた場合と省いた場合の光路長がほとんど同じであり、光路長を増やせない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、光の減衰を少なくでき且つ光路長を増やすことが出来る光出射位置調整装置および該光出射位置調整装置を備えたレーザ装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
第１の観点では、本発明は、入射光を反射する第１の鏡と、前記第１の鏡で反射された反射光を反射して前記入射光に平行な出射光とする第２の鏡と、前記第１の鏡および前記第２の鏡を一体的に保持する鏡台と、前記入射光と前記出射光とを含む平面に平行または略平行な平面内で前記鏡台が回動できるように前記鏡台を支持するベースとを具備したことを特徴とする光出射位置調整装置を提供する。
上記第１の観点による光出射位置調整装置では、鏡台を回動させることで入射光に対する鏡の角度を変えると、出射光の位置を調整できる。そして、光が光学材料を透過しないため、光の減衰がほとんどない。また、第１の鏡と第２の鏡の間隔を大きくすれば、全体の光路長を増やすことが出来る。
【０００６】
第２の観点では、本発明は、上記構成の光出射位置調整装置において、前記鏡台がコ字形状をしており、コ字形状の開放端側の上辺と下辺の間隔を変更可能であり、コ字形状の上辺に前記第１の鏡および前記第２の鏡を一体的に保持し、コ字形状の下辺で前記ベースに支持されることを特徴とする光出射位置調整装置を提供する。
上記第２の観点による光出射位置調整装置では、コ字形状の開放端側の上辺と下辺の間隔を変更することで、鏡台の回動による出射光の位置調整方向と略直交する方向に出射光の位置を調整することが出来る。
【０００７】
第３の観点では、本発明は、上記構成の光出射位置調整装置を具備したことを特徴とするレーザ装置を提供する。
上記第３の観点によるレーザ装置では、前記光出射位置調整装置により、出射光の位置を調整できる。
【０００８】
第４の観点では、本発明は、半導体レーザと、前記半導体レーザからの放射光を平行光にするコリメーティングレンズとを備えたレーザ装置において、前記半導体レーザと前記コリメーティングレンズの間に上記構成の光出射位置調整装置を設置したことを特徴とするレーザ装置を提供する。
例えば固体レーザ装置では、半導体レーザからの放射光は、コリメーティングレンズにより平行光にされた後、レーザ媒体に集光されてレーザ媒体を励起するが、コリメーティングレンズの焦点距離が長い場合、半導体レーザからコリメーティングレンズまでの距離を長くとる必要がある。しかし、半導体レーザからコリメーティングレンズまでの距離を直線的に長くすると、それだけレーザ装置が長くなってしまう。
しかし、上記第４の観点によるレーザ装置では、前記光出射位置調整装置により光路長を増やすことが出来るため、半導体レーザからコリメーティングレンズまでの距離を直線的に長くする必要がなくなる。従って、レーザ装置をコンパクト化できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図に示す実施形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態にかかるレーザ装置１００を示す斜視である。
このレーザ装置１００は、基盤１の上面に、半導体レーザ２１，光出射位置調整装置１０，コリメーティングレンズ２２，フォーカシングレンズ２３，レーザ媒質２４，非線形光学素子２５，波長選択性素子２６，レーザミラー２７，光検出器２８およびレンズ２９を設置したものである。
【００１１】
図２は、光出射位置調整装置１０を示す斜視図である。また、図３は、光出射位置調整装置１０を示す上面図である。また、図４は、光出射位置調整装置１０を示す一部破断正面図である。
この光出射位置調整装置１０は、入射光Ａを反射する第１の鏡１と、第１の鏡１で反射された反射光Ｂを反射して入射光Ａに平行な出射光Ｃとする第２の鏡２と、第１の鏡１および第２の鏡２を一体的に保持する鏡台３と、入射光Ａと出射光Ｃとを含む平面に平行または略平行な平面内で鏡台３が回動できるように鏡台３を支持するベース４とを具備している。
【００１２】
第１の鏡１および第２の鏡２は、ダイクロイックミラーであり、所望の波長の光のみを反射する。
【００１３】
鏡台３は、コ字形状をしており、コ字形状の上辺３ａと下辺３ｂの開放端側の間隔ｇを変更可能である。
また、鏡台３は、コ字形状の上辺３ａに第１の鏡１および第２の鏡２を一体的に保持している。
また、図４に示すように、鏡台３は、下辺３ｂから突設した鏡台回転軸３ｃを、ベース４に穿設された軸孔４ｃに挿入して、軸支されている。
【００１４】
図５に示すように、鏡台３を回動して入射光Ａに対する鏡１，２の角度を変えると、出射光Ｃの位置が、出射光Ｃ’のように、水平方向に変化する。
また、鏡台３の上辺３ａと下辺３ｂの開放端側の間隔ｇを変えると、出射光Ｃの位置が、図示しないが、垂直方向に変化する。
そこで、半導体レーザ２１からの光Ａがコリメーティングレンズ２２の光軸に適合して入射されるように、出射光Ｃの位置を調整できる。なお、調整後は、出射光Ｃの位置が変動しないように、接着剤により固定する。
【００１５】
以上の光出射位置調整装置１０およびレーザ装置１００によれば、鏡台３を回動させたり、鏡台３の上辺３ａと下辺３ｂの開放端側の間隔ｇを変えることで、出射光Ｃの位置を水平方向および垂直方向に調整できる。そして、光が光学材料を透過しないため、光の減衰がほとんどない。また、第１の鏡１と第２の鏡２の間隔を大きくすれば、コリメーティングレンズ２２の焦点距離に適合するように半導体レーザ２１からコリメーティングレンズ２２まで光路長を増やすことが出来る。
【００１６】
【発明の効果】
本発明の光出射位置調整装置およびレーザ装置によれば、鏡台を回動させることで、出射光の位置を調整できる。そして、光が光学材料を透過しないため、光の減衰がほとんどない。また、第１の鏡と第２の鏡の間隔を大きくすれば、全体の光路長を増やすことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るレーザ装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る光出射位置調整装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る光出射位置調整装置を示す上面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る光出射位置調整装置を示す一部破断正面図である。
【図５】鏡台の回動による出射光の位置変化を示す説明図である。
【符号の説明】
１              第１の鏡
２              第２の鏡
３              鏡台
３ａ            上辺
３ｂ            下辺
３ｃ            鏡台回転軸
４              ベース
４ｃ            軸孔
１０            光出射位置調整装置
１００          レーザ装置
Ａ              入射光
Ｂ              反射光
Ｃ              出射光
ｇ              鏡台の上辺と下辺の開放端側の間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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