(57)【要約】    【課題】  凝固、溶融にかかる時間を短くし、簡易かつ安価な装置で、強い固着力によって作業安定性を向上させることのできる固定剤を提供する。    【解決手段】  サリチル酸誘導体を主成分とする基材中に、無機充填材を０．００１〜２０vol％以下添加して固定剤とする。また、ワーク固定治具の載置面上に付与された上記固定剤が加熱溶融状態となった中に少なくともワークの一部を浸漬させた後、溶融状態の固定剤を凝固させてワークをワーク固定治具に固定する。さらに、固定されたワークに対して所定の加工を施した後、固定剤を加熱溶融させてワークを取り出すことによりワークを加工する工程とする。【選択図】  図１
2004156033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サリチル酸誘導体を主成分とする基材中に、無機充填材を０．００１〜２０vol％添加したことを特徴とする固定剤。
【請求項２】
前記基材の０．０１〜４０vol％が、下記構造式で表される結晶成長抑制剤からなることを特徴とする請求項１に記載の固定剤。
【化１】
2004156033.tif 000008
【請求項３】
前記基材の０．０１〜２０vol％が、界面活性剤からなることを特徴とする請求項２に記載の固定剤。
【請求項４】
ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、ワークを固定するワークの固定方法であって、
前記載置面上に請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与し、加熱することによって溶融状態となった前記固定剤中に少なくとも前記ワークの一部を浸漬させた後、溶融状態の前記固定剤を凝固させることを特徴とするワークの固定方法。
【請求項５】
ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与する第１ステップと、
前記固定剤を加熱することにより溶融状態とする第２ステップと、
溶融状態の前記固定剤上にワークを載置して、少なくとも前記ワークの一部を前記固定剤中に浸漬させる第３ステップと、
溶融状態の前記固定剤を凝固させ、前記ワークを前記ワーク固定治具に固定する第４ステップと、
固定された前記ワークに対して、所定の加工を施す第５ステップと、
前記固定剤を再度加熱することにより溶融状態とする第６ステップと、
溶融状態の前記固定剤から加工済みの前記ワークを取り出す第７ステップと、
を備えることを特徴とするワークの加工方法。
【請求項６】
ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与する第１ステップと、
前記固定剤上にワークを載置する第２ステップと、
前記固定剤を加熱することにより溶融状態とするとともに、少なくとも前記ワークの一部を前記固定剤中に浸漬させる第３ステップと、
溶融状態の前記固定剤を凝固させ、前記ワークを前記ワーク固定治具に固定する第４ステップと、
固定された前記ワークに対して、所定の加工を施す第５ステップと、
前記固定剤を再度加熱することにより溶融状態とする第６ステップと、
溶融状態の前記固定剤から加工済みの前記ワークを取り出す第７ステップと、
を備えることを特徴とするワークの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対して切断、研磨、切削等の加工を施す際にワークの固定に用いる固定剤、およびその固定剤を用いたワーク固定方法、ならびにワークの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、切断加工、研磨加工、切削加工、穿孔加工等の様々な機械加工をワークに施すことが行われている。このとき、被加工物であるワークはこの機械加工によってかけられる力に耐え得るように、機械加工装置の作業台に固定しておく必要がある。
【０００３】
このワークの固定方法としては、機械的にワークを把持する方法やマグネットでワークを吸着する方法が一般的に用いられている。しかしながら、ワークを機械的に把持する方法は、ワークの形状が複雑であったり、サイズが小さ過ぎたりした場合は把持できないという問題があった。また、ワークの強度が小さ過ぎたりした場合はワークを変形させたり破損させたりするという問題があった。一方、ワークをマグネットで吸着する方法は、ワークが磁性体に限られるという制約があった。
【０００４】
そこで、作業台とワークとの間に高分子系固定剤であるワックスを介在させ、ワックスの凝固点以上に加熱することによりワックスを溶融させて、ワークをワックス上に載置した後、ワックスを凝固させることによって、作業台とワークとを固定するという方法が提案されている。この方法であれば、ワークの形状、サイズ、強度に関係なくワークを保持することができる。
【０００５】
一方、作業台とワークとの間に水を介在させ、この水を凍結させることによって作業台とワークとを固定するという方法が提案されている。この方法でもワークの形状、サイズ、強度に関係なくワークを保持することができる。さらに、特許文献１には、０℃以下に冷却した不凍液を加工液として供給することが開示されている。また、特許文献２には、水の凝固点より高い凝固点を有するシリコーンオイルを主成分とする高分子系固定剤を用い、その凝固点より低い温度の加工液または冷却気体を供給して、高分子固定剤を凝固させるとともにその状態を維持させることが開示されている。
【特許文献１】特開平８−２１５９６６号公報
【特許文献２】特開平１０−２３０４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の固定剤によってワークを固定する方法には、以下のような問題点があった。
１．ワックスを用いた固定剤の場合は、融点が８０〜１４０℃と高いうえ、固着力も十分大きいとはいえない。また、ワックスは高分子であるため、融点を挟んでの固体から液体への状態変化、液体から固体への状態変化に時間がかかる。
２．水を用いた固定剤の場合は、融点を挟んでの状態変化は速いものの、固定剤を凝固させている間、常に固定剤を氷点下に保っておく必要がある。そのため、加工液には不凍液を用いなければならないなど制約が多く、大掛かりかつ高価な冷却装置が必要である。さらに、ワークの加工熱により固定剤の一部が溶融して固着力が低下し、作業安定性が損なわれる。
３．シリコーンオイルを用いた固定剤の場合は、融点を挟んでの状態変化の速度については問題ないものの、水を固定剤とした場合と同じく、固定剤を凝固させている間、常に冷却しておく必要がある。そのため、加工液には不凍液を用いなければならないなど制約が多く、大掛かりかつ高価な冷却装置が必要である。また、作業安定性も高いとはいえない。
【０００７】
本発明の目的は、凝固、溶融にかかる時間を短くし、簡易かつ安価な装置で、高い固着力によって作業安定性を向上させることのできる固定剤、その固定剤を用いたワークの固定方法、およびワークの加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記のような課題に鑑みてなされたものである。
本発明の固定剤は、サリチル酸誘導体中に、無機充填材を０．００１〜２０vol％添加したことを特徴とする。
【０００９】
このような組成にすることにより、凝固、溶融にかかる時間を短くし、固着力に優れ、作業安定性を向上させた固定剤とすることができ、かつこのような凝固を簡易な装置で実現することができる。すなわち、固定剤の主剤としてサリチル酸誘導体を用いているので、融点自体が常温からそれほど離れておらず、融点までの昇温時間を短くできる。また、固定剤の融点が作業温度より高いため、ワークを固定する際に冷却し続ける必要はない。したがって、ワークの設置および取り外しのときのみ加熱するだけでよいので、ワーク加工の作業中に固定剤の固着力が低減するといった問題がない。さらに、サリチル酸誘導体中に無機充填材を添加することにより、上記効果に加え、融点を挟んで固体から液体への状態変化、および液体から固体への状態変化が素早く完了するとともに、固定剤としての固着力を向上させることができる。
【００１０】
また、本発明の固定剤は、基材の０．０１〜４０vol％が、下記構造式で表される結晶成長抑制剤からなることが好ましい。
【００１１】
【化１】
2004156033.tif 000003
【００１２】
このような組成にすることにより、固定剤の固着力さらに向上させることができる。
【００１３】
また、本発明の固定剤は、基材の０．０１〜２０vol％が、界面活性剤からなることが好ましい。
【００１４】
このような組成にすることにより、固定剤に結晶成長抑制剤が添加されていても固定剤のワークからの洗浄性を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明のワークの固定方法は、ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、ワークを固定するワークの固定方法であって、前記載置面上に請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与し、加熱することによって溶融状態となった前記固定剤中に少なくとも前記ワークの一部を浸漬させた後、溶融状態の前記固定剤を凝固させることを特徴とする。
【００１６】
このような固定方法にすることによって、ワークの固定には局部的な加熱処理だけ行えばよくなり、用いる装置自体に大掛かりな冷却機構を必要としないので、簡易で安価なものを用いることができる。
【００１７】
また、本発明のワークの加工方法は、ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与する第１ステップと、前記固定剤を加熱することにより溶融状態とする第２ステップと、溶融状態の前記固定剤上にワークを載置して、少なくとも前記ワークの一部を前記固定剤中に浸漬させる第３ステップと、溶融状態の前記固定剤を凝固させ、前記ワークを前記ワーク固定治具に固定する第４ステップと、固定された前記ワークに対して、所定の加工を施す第５ステップと、前記固定剤を再度加熱することにより溶融状態とする第６ステップと、溶融状態の前記固定剤から加工済みの前記ワークを取り出す第７ステップとを備えることを特徴とする。
【００１８】
また、ワークの載置面を有するワーク固定治具の前記載置面上に、請求項１から請求項３のいずれかに記載の固定剤を付与する第１ステップと、前記固定剤上にワークを載置する第２ステップと、前記固定剤を加熱することにより溶融状態とするとともに、少なくとも前記ワークの一部を前記固定剤中に浸漬させる第３ステップと、溶融状態の前記固定剤を凝固させ、前記ワークを前記ワーク固定治具に固定する第４ステップと、固定された前記ワークに対して、所定の加工を施す第５ステップと、前記固定剤を再度加熱することにより溶融状態とする第６ステップと、溶融状態の前記固定剤から加工済みの前記ワークを取り出す第７ステップとを備えることを特徴とする。
【００１９】
このような加工方法にすることによって、ワークの加工中にワークの脱落や位置ずれ等を起こすことがなく、安定した加工を行うことができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の固定剤は、サリチル酸誘導体中に、無機充填材を０．００１〜２０vol％以下添加しているので、凝固、溶融にかかる時間が短く、固着力に優れているので、作業安定性を向上させることができ、かつこのような凝固を簡易な装置で実現することができる。
【００２１】
また、本発明の固定剤は、基材の０．０１〜４０vol％が、下記構造式で表される結晶成長抑制剤からなるので、固定剤の固着力さらに向上させることができる。
【００２２】
【化１】
2004156033.tif 000004
【００２３】
また、本発明の固定剤は、結晶成長抑制剤が添加された基材の０．０１〜２０vol％が、界面活性剤からなるので、固定剤のワークからの洗浄性を向上させることができる。
【００２４】
また、本発明のワークの固定方法は、ワークの載置面を有するワーク固定治具の載置面上に上記固定剤を付与し、加熱することによって溶融状態となった固定剤中に少なくともワークの一部を浸漬させた後、溶融状態の固定剤を凝固させるので、ワークの固定には局部的な加熱処理だけ行えればよく、装置自体も大掛かりな冷却機構を必要としないので、簡易で安価なものを用いることができる。
【００２５】
また、本発明のワークの加工方法は、上記のように作業温度下でワークを固定した状態で、ワークの機械加工を行うので、作業中常に温度調整をする必要がなく、加工液に安価な水を用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（固定剤の説明）
本発明の固定剤は、基材の主成分としてサリチル酸誘導体を用いる。なお、ここでいうサリチル酸誘導体とは、サリチル酸のカルボキシル基を他の基に置き換えたものや、さらに他の基を付加したものを指す。具体的には、サリチル酸フェニル、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−Ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−エチルフェノール等が挙げられる。サリチル酸誘導体は、固体と液体との間の状態変化にかかる時間が一般の高分子材料に比べて短く、その融点も室温より高くかつ室温に近いので、室温での作業において固体を維持でき、溶融させる場合もその温度を速やかに融点以上まで上昇させることができる。したがって、サリチル酸誘導体は機械加工を施すワークの固定剤としては理想的な材料であるといえる。
【００２７】
また、固定剤には、固着力の向上および状態変化時間の短縮のために無機充填材を０．００１〜２０vol％の割合で添加する。この無機充填材としては、アルミナや炭化珪素等のセラミックス、ガラス等の非晶質材料、水晶やシリコン等の単結晶材料などが挙げられる。なお、無機充填材は、ワークを固着した際にワークの姿勢に影響を及ぼさないように２００μｍ以下とすることが好ましい。
【００２８】
ここで、サリチル酸誘導体に無機充填材を添加する理由について説明する。サリチル酸誘導体は、分子構造上電気的活性を帯びており、分子間の電気的斥力や引力が働くため、分子間の運動も活発である。このため、融点以上に加熱して溶融させた後、再度融点以下に戻して固化させようとしても、すぐに固化しないことがある。特に表面が鏡面に磨かれたワークを固着させようとしたときこの傾向が強い。そこで本発明者は、サリチル酸誘導体中にセラミック粉末やガラス粉末といった無機充填材を混入することで、サリチル酸誘導体の分子の自由度を低下させうることを見出した。さらに、この無機充填材を添加することが、自由度が低下した分子に隣接する分子の自由度をも低下させて、サリチル酸誘導体の凝固を開始する要因となることも見出した。これはすなわち、無機充填材が、サリチル酸誘導体の凝固に際して結晶核となり、サリチル酸誘導体における結晶化の促進に寄与することを示す。
【００２９】
また、無機充填材を均一に分散させていることにより、サリチル酸誘導体の結晶化が均一に起こり、残留応力の少ない固定剤となることを見出した。
【００３０】
さらに、固定剤の固着力を向上させるために、基材の０．００１〜４０vol％を
【００３１】
【化１】
2004156033.tif 000005
【００３２】
の構造式で表される結晶成長抑制剤で構成してもよい。以下、この作用について説明する。無機充填材を添加した固着剤を固化させる場合、無機充填材を核として結晶化が始まるが、この結晶化がある一定量以上進むと、サリチル酸誘導体の結晶粒が一点に止まることになり、ワーク面との間で拘束力が生じてしまう。この拘束力が残留応力となって、サリチル酸誘導体が持つ本来の固着力を低減させてしまう原因となる。そこで、基材の一部を結晶成長抑制剤で構成することによって、固化時に、無機充填材の間に分子レベルで分散することによって、無機充填材を核として生じたサリチル酸誘導体の結晶を必要以上に成長させないようにすることができる。その結果、結晶成長の阻害効果の影響で最終的な固化時間は長くなるものの、固着力をより高めることができる。このような結晶成長抑制剤としては、ジステアリルチオジプロピオネート、ジラウリルチオジプロピオネート、ジミリスチルチオジプロピオネート、ジトリデシルチオジプロピオネート等が挙げられる。
【００３３】
また、上記のような結晶成長抑制剤を用いると、ワークの表面にこの結晶成長抑制剤が付着し、その分離が困難となる場合は、基材の０．００１〜２０vol％を界面活性剤で構成することによって、結晶成長抑制剤のワークへの付着を防止することができる。このような界面活性剤としては、グリセロールモノアセテート、グリセロールモノオレエート、グリセロールモノラウレート、グリセロールモノブチレート、グリセロールモノステアレートなどのグリセロールモノ脂肪酸エステル類等が挙げられる。
（固定剤の作製）
主成分として融点が４１℃のサリチル酸フェニルと、結晶成長抑制剤としてジステアリルチオジプロピオネートとを用意し、混合して基材とした。この基材を６０℃で溶融させたものに、無機充填材として平均粒径５０ｎｍのアルミナ粉末を添加し、超音波で５分間加振して混合した。得られた混合物を常温に戻して固化させ、平均粒径１００μｍの粉末状に粉砕して固定剤とした。固定剤の組成比としては、表１の試料番号１〜１０の通りとした。さらに、表面活性剤としてグリセロールモノステアレートを用意し、表２の試料番号１１〜１３に示す組成比となるように基材内に添加し、その他は上記と同様にして固定剤を作製した。また、比較例として、固定剤に天然樹脂系ワックスを用いたものを用意した。
（固定剤の評価）
上記のようにして得られた試料番号１〜１０の固定剤をスチール板上に供給し、作業温度２２℃から加熱して溶融した状態となるまでに要した時間、およびそこから加熱を止め冷却を開始して固化した状態となるまでに要した時間をそれぞれ状態変化時間として測定した。また、上記スチール板上で円柱状のピンを垂直に立てた状態で固着し、このピンをスチール板の主面と平行な方向に引き倒すように、ピンの先端近傍に荷重をかけて固定剤の固着強度を測定した。その結果を表1に示す。なお、固着強度は以下の式に基づいて算出した。
固着強度σf＝３２Ｆfｌ／πｄ3
ただし、Ｆｆ：ピンが倒れたときの荷重、
ｌ：ピンの荷重点と接着面との距離
ｄ：ピンの直径
【００３４】
【表１】
2004156033.tif 000006
【００３５】
表１に示すように、基材に無機充填材を０．００１〜２０vol％の範囲で添加した試料番号２〜６は、固化時間が３０分未満、溶融時間が１分であり、比較例の天然樹脂系ワックスより短く、固着力も６．０MＰａ以上と十分に大きいことがわかる。なお、無機充填材の添加量を０．１〜２０vol％にすれば、固化時間が５分以内と大幅に短縮できるのでより好ましい。また、無機充填材の添加量を０．１〜５vol％にすれば、固化時間が５分以内かつ固着力が１２．０ＭＰａ以上の固定剤とすることができるのでさらに好ましい。
【００３６】
これに対し、基材に無機充填材を添加していない試料番号１は、固着力は６．０ＭＰａ以上と十分に大きいが、固化時間が６００分とかかりすぎるため好ましくない。一方、基材に無機充填材を２０vol％を超えて添加している試料番号７は、固化時間が１分と短いが、固着力が１ＭＰａ以下と小さく好ましくない。
【００３７】
また、基材に結晶成長抑制剤を含む試料番号８〜１０は、固定剤の固化時間が２０分とやや長くなっているものの、結晶成長抑制剤を含まない試料番号５などに比べて固着力が向上していることがわかる。なお、結晶成長抑制剤の含有率を０．０１〜４０vol％としたのは、０．０１vol％未満の場合は実質的な添加効果が表れず、４０vol％を超える場合は結晶化自体を阻害する恐れがあるためである。
【００３８】
また、試料番号９，１１〜１３の固定剤については、上記の評価項目に加え、３０分間水で洗浄してワークにおける固定剤の残渣の有無についても調べた。その結果を表２に示す。
【００３９】
【表２】
2004156033.tif 000007
【００４０】
表２に示すように、基材に結晶成長抑制剤および表面活性剤を含む試料番号１１
〜１３は、固着力も高く、ワーク表面に固定剤が残っていないことから洗浄性もよいことがわかる。一方、結晶成長抑制剤は含むが表面活性剤は含まない試料番号９は、固着力は高いものの、ワーク表面に固定剤が残っており、洗浄性に劣ることがわかる。なお、表面活性剤の含有率を０．０１〜２０vol％としたのは、０．０１vol％未満の場合は実質的な添加効果が表れず、２０vol％を超える場合は固着力を低下させる原因となる恐れがあるからである。
（ワークの固定方法および加工方法の説明）
本発明のワークの固定方法は、ワーク固定治具上に固定剤を供給し、この固定剤上にワークを載置し、固定剤中にワークの一部を浸漬させた状態で、固定剤を凝固させてワークをワーク固定治具に固定するものである。また、本発明のワークの加工方法は、上記のようにして固定されたワークに所定の物理的加工を施すものである。
【００４１】
このうち、ワーク固定治具は、平坦な載置面を有する治具であり、チャック等で把持して搬送されたり、ワークの作業台に固定されるため、十分な強度と、挟持または把持しやすい形状を備えている。具体的な材質としては、フェライト、ガラス、カーボン等からなる。また、形状は矩形板状であるが、ワークを切断加工する場合には、特にこれらに限定するものではない。なお、必要に応じて固定剤が流出しないような側壁を載置面に形成してもよい。
【００４２】
本発明のワークの固定方法においては、ワーク固定治具とワークとの間に固定剤を介在させる必要があるため、ワーク固定治具上に固定剤が供給された後にワークを供給することになるが、固定剤の溶融とワークの供給との順番は特にどちらが先でも構わない。
【００４３】
また、固定剤の溶融については、固定剤を融点以上に加熱することでなされるが、確実かつ素早く溶融させるために融点より５〜２０℃高い温度に加熱することが好ましい。また、溶融状態の固定剤の凝固は加熱をやめて作業温度（常温）に戻すことでなされるため、特に冷却装置を設ける必要はない。
【００４４】
次に、ワークの加工方法に用いられるワーク加工装置について説明する。図１は第１実施形態のワーク加工装置を示す概略説明図、図２は第２実施形態のワーク加工装置を示す概略説明図である。図１、図２に示すように、ワーク加工装置１は、ワーク固定治具１０を搬送する搬送部（図示しない）と、ワーク固定治具１０に固定剤１２を供給する固定剤供給部３と、ワーク固定治具１０にワーク１１を供給するワーク供給部４と、固定剤１２を溶融させる第１加熱部５と、ワーク１１に加工を施すワーク加工部６と、固定剤１２を再度溶融させる第２加熱部７と、ワーク固定治具１０からワーク１１を取り出すワーク取出部８とを備えている。
【００４５】
さらに詳しく各構成を説明すると、搬送部（図示しない）はワーク固定治具１０をワーク加工装置１内において、各部間を矢印１５に沿って搬送するためのものであり、本実施形態においてはベルトコンベアが用いられている。この他、ワーク固定治具を保持しながらガイドに沿って移動するアクチュエータや、エアシリンダ等を用いることができるが、特にその形態を限定するものではない。また、特別に搬送部を設けず、人手で各部間の搬送を行っても構わない。
【００４６】
固定剤供給部３は、粉末状の固定剤１２を所定量ワーク固定治具１０の載置面上に供給するものであるが、供給される固定剤の状態は粉末状であっても液状であってもよい。固定剤を液状で供給する場合には、固定剤の融点以上に維持し得る加熱手段を固定剤供給部に備えるようにすればよい。また、固定剤の供給量は１〜数サイクルごとに不足分を補うように供給してもよいし、１〜数サイクルごとに新たに全量を供給し直してもよい。固定剤を新たに全量供給する場合は、必ずしも固定剤を粉末状や液状にする必要はなく、必要量を板状に固めたものをワーク固定治具の載置面上に置くようにしても構わない。
【００４７】
ワーク供給部４は、ワークをワーク固定治具１０の載置面上に供給された固定剤１２上にワーク１１を供給するものであり、本実施形態では真空吸着ヘッドを備えたものを採用している。なお、ワーク供給部は上記のような吸着ヘッド以外に、チャック装置等を用いてもよく、ワークの形状やサイズに合わせて適当なものを選ぶことができる。
【００４８】
第１加熱部５は、供給された固定剤を溶融させるためのものであり、固定剤１２をその融点より５〜２０℃高い温度に加熱している。なお、本実施形態では固定剤１２の融点より１０℃高い温度に設定している。また、第１加熱部５の構成としては、ワーク固定治具１０を下方から加熱するホットプレートを採用しているが、全方向から加熱するオーブンもしくはトンネル炉等であってもよい。
【００４９】
ここで、図１のように先に固定剤１２を溶融させてからワーク１１を供給してもよいし、図２のように固体（粉末）状の固定剤１２の上にワーク１１を供給し、その後固定剤１２を溶融させてもよい。
【００５０】
ワーク加工部６は、固定剤１２によってワーク固定治具１０に固着されたワーク１１に対し、ダイシング加工を施すものである。このワーク加工部６は、ダイサー６ａと、作業台６ｂと、治具固定機構６ｃと、加工液供給機構６ｄとからなる。このうちダイサー６ａには、外経５２ｍｍ×厚さ０．１５ｍｍのダイヤモンド製砥石からなる工具を用いた。また、治具固定機構６ｃは、ワーク加工時にかかる力より大きな力でワーク固定治具１０を物理的に保持するものであればよく、マグネットチャック、真空吸引による保持、機械的なチャック等が挙げられるが、本実施形態ではマグネットチャックを用いている。また、加工液供給機構６ｄは、一般水道水を１．５Ｌ／ｍｉｎでワークと工具とが接触する加工部位に噴射するものであり、噴射ノズルの径を１ｍｍとした。なお、本実施形態においては、ワーク加工部６が１つであるが、特にその設置数を限定するものではない。例えばこの後にラッピング加工を施すワーク加工部を連続的に配置しても構わない。特に、ワークをダイシングした後、分割したワークの位置関係を変えずに次の加工を行いたい場合などは、ワークがダイシングされた後も、分割された各ワークは固定剤に固着されているため、上記のようにワーク加工部を連続配置することが有効である。また、電気的な測定装置等ワークに機械的な加工を施さないような装置をワーク加工部と連続的に設置してもよい。
【００５１】
第２加熱部７は、ワーク１１をワーク固定治具１０から解放するために、固定剤１２を再溶融させるものであり、構成は第１加熱部５と同様である。また、第２加熱部として、固定剤の融点以上の温度に維持した温水を用いることもできる。このような構成にした場合、ワークの洗浄も同時に行うことができる。ただし、固定剤は温水中に分散するので、次のサイクルにおいては、固定剤を全量供給し直す必要がある。
【００５２】
ワ−ク取出部８は、ワーク固定治具１０上にある加工済みのワーク１１を取り出すためのものであり、本実施形態では分割されたワーク毎に真空吸着ヘッドを備えたものを採用している。なお、ワーク取出部には上記のような吸着ヘッド以外に、チャック装置等を用いてもよく、ワークの形状やサイズに合わせて適当なものを選ぶことができる。また、網状容器に加工済みワークをワーク固定治具ごと収納し、固定剤の融点より高い温度に維持した温水中に浸漬することで固定剤のみを温水中に流出させ、しかる後に網状容器を温水中から引き上げてワークを取り出すようにしてもよい。
（ワークの固定および加工の実施例）
ワークとして５０ｍｍ×５０ｍｍ×０．５ｍｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）板、ワーク固定治具として６０ｍｍ×６０ｍｍ×４ｍｍのフェライト板、本実施形態において作製した固定剤（試料番号１〜１３）を用意し、２２℃の作業温度下、以下に示すようなステップでワークの加工を行った。
・ワーク固定治具の載置面に固定剤供給装置から粉末状固定剤を均一に供給した。（第１ステップ）
・固定剤を供給したワーク固定治具を第１加熱部上に搬送し、５０℃で５分加熱し、固定剤を溶融させた。（第２ステップ）
・ワーク供給部より溶融している固定剤上にワークを供給し、ワークの一部を固定剤中に浸漬させた。（第３ステップ）
・ワーク固定治具、固定剤、およびワークを常温で５分放置し、固定剤を凝固させてワークをワーク固定治具に固定した。（第４ステップ）
・ワークを固定したワーク固定治具をワーク加工部に搬送し、治具固定機構によりワーク固定治具を作業台上に把持固定した後、加工液をかけながらダイサーによってワークをダイシングし、所定サイズに分割した。なお、送り速度１８００ｍｍ／ｍｉｎ、回転数２００００ｒｐｍという加工条件で下方向にカットした。（第５ステップ）
・ワーク固定治具を第２加熱部上に搬送した後、５０℃で５分加熱し、固定剤を再溶融させてワークをワーク固定治具から解放した。（第６ステップ）
・ワーク固定治具上の加工済みワークをそれぞれワーク取出部によって吸着して取り出し、ワークの加工工程を完了した。（第７ステップ）
（評価）
上記のようにしてワークの加工を行った後、加工時間および加工精度について評価を行った。
試料番号２〜６，８〜１３の固定剤を用いたワークは加工時間も短く、加工精度も問題はなかった。これに対して、試料番号１の固定剤を用いたワークは加工精度は問題なかったが、加工時間がかかりすぎており評価はＮＧであった。また、試料番号７の固定剤を用いたワークは第５ステップでワークのダイシング中ワークがワーク固定治具からはずれてしまい、最終的な評価はできなかった。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態のワーク加工装置を示す概略説明図
【図２】第２実施形態のワーク加工装置を示す概略説明図
【符号の説明】
【００５４】
１          ワーク加工装置
３          固定剤供給部
４          ワーク供給部
５          第１加熱部
６          ワーク加工部
７          第２加熱部
８          ワーク取出部
１０          ワーク固定治具
１１          ワーク
１２          固定剤
【図１】
2004156033.tif 000009
【図２】
2004156033.tif 000010