(57)【要約】【課題】ピックアップ時のチップへのダメージを抑えることができるピックアップ補助装置を提供する。【解決手段】基礎部３２にロッド３３を固定し、ロッド３３にピン３５を固定する。ロッド３３外周部に可動部４１を設け、可動部４１にヘッド４３を固定する。ヘッド４３の接触面４４に吸気口５１を設け、吸気口５１の開口部位に吸着溝５２を設ける。ヘッド４３の負圧供給路５３から負圧を供給し、接触面４３の挿通穴４５の負圧でシート１６を吸着可能とする。可動部４１にカムフォロア７１を設け、カムフォロア７１上にカム７３を設ける。カム７３を回転してピン３５がヘッド４３内に位置する非突出状態８１と、ピン３５が接触面４４の挿通穴４５より突出した突出状態８２とを形成可能とする。【選択図】　　　　図２
2004119531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート上面に貼着されたチップをツールでピックアップする際に、該ツールによるピックアップを容易とするピックアップ補助装置において、
前記シートの下面に接する接触面を備えたヘッドと、
該ヘッド内に設けられたピンと、
前記ヘッドを前記ピンに対して昇降し、該ピンの先端が前記ヘッド内に位置した非突出状態及び前記接触面の挿通穴より突出した突出状態を形成する昇降機構と、
前記シートを、前記接触面の前記挿通穴の外周部に吸着する吸着手段と、
を備えたことを特徴とするピックアップ補助装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シートに貼着されたチップをボンディングツールでピックアップする際に用いられるピックアップ補助装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図５に示すように、ウエハリングに張設されたシート７０１上面には、ダイシングされたウエハのチップ７０２が貼着されており、このチップ７０２を、シート７０１から剥離してボンディングツールで吸着する際には、ピックアップ補助装置としてのチップ突き上げ装置７０３が用いられていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
このチップ突き上げ装置７０３のベース７１１には、突き上げポスト７１２が固定されており、該突き上げポスト７１２には、突き上げピン７１３が上下動自在に支持されている。該突き上げピン７１３の上端部は、前記突き上げポスト７１２に固定された突き上げステージ７１４内に収容されており、前記シート７０１の下面に接する前記突き上げステージ７１４上面には、前記突き上げピン７１３が挿通する挿通穴７１５が設けられている。
【０００４】
前記突き上げピン７１３より下方に延出した下方延出部は、突き上げポスト７１２より下方へ突出しており、その下端には、カムフォロア７２１を備えた駆動部７２２に固定されている。前記突き上げポスト７１４から下方へ突出した前記下方延出部の部位には、コイルスプリング７２３が外嵌しており、該コイルスプリング７２３は、前記突き上げポスト７１４と前記駆動部７２２間に設けられ、図５の（ａ）に示したように、前記突き上げピン７１３が前記突き上げステージ７１４上面から突出しないように下方へ付勢されている。
【０００５】
前記駆動部７２２に設けられた前記カムフォロア７２１は、モータ７３１で駆動されるカム７３２に摺接するように構成されている。これにより、前記モータ７３１で前記カム７３２を回動することで前記突き上げピン７１３を上下動できるように構成されており、図５の（ｂ）に示したように、前記駆動部７２２を上動して前記突き上げピン７１３を突き上げステージ７１４上面より突出させ、前記シート７０１に貼着したチップ７０２を剥離できるように構成されている。
【０００６】
図６は、このピックアップ補助装置７０３の動作を示す図であり、第１工程７４１で、ピックアップ対象となるチップ７０２の下部位置に突き上げピン７１３を配置し、第２工程７４２で、このチップ７０２の上面にボンディングツール７４３を当接してバキューム穴７４４に負圧を加える。第３工程７４５で、前記突き上げピン７１３を上動して前記チップ７０２をシート７０１から剥離し、第４工程７４６で、当該チップ７０２をボンディングツール７４３で引き上げる。そして、第５工程７４７において、ピックアップした前記チップ７０２を、図外のボンディング箇所へ移送するとともに、突き上げステージ７１４から突出した突き上げピン７１３を下降する。
【０００７】
【特許文献１】
特願２００１−３６１８２１号明細書（「実施の形態」の欄及び図５）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のピックアップ補助装置７０３にあっては、チップ７０２を突き上げピン７１３で突き上げてシート７０１から剥離するとともに、この際のチップ７０２は、突き上げピン７１３とボンディングツール７４３間に挟まれた状態となる。これにより、チップ７０２へ与えるダメージが比較的大きなものであった。
【０００９】
これを解消する為に、前記ボンディングツール７４３を突き上げピン７１３に同期して上動させる制御が行われているが、その制御は難しく、制御の煩雑化を招いていた。
【００１０】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ピックアップ時のチップへのダメージを抑えることができるピックアップ補助装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のピックアップ補助装置にあっては、シート上面に貼着されたチップをツールでピックアップする際に、該ツールによるピックアップを容易とするピックアップ補助装置において、前記シートの下面に接する接触面を備えたヘッドと、該ヘッド内に設けられたピンと、前記ヘッドを前記ピンに対して昇降し、該ピンの先端が前記ヘッド内に位置した非突出状態及び前記接触面の挿通穴より突出した突出状態を形成する昇降機構と、前記シートを、前記接触面の前記挿通穴の外周部に吸着する吸着手段と、を備えている。
【００１２】
すなわち、シート上面に貼着されたチップをピックアップする際には、ピックアップ対象となるチップの下部位置にヘッド内のピンを配置するとともに、このチップの上面側にツールを配置し、前記シートの下面を吸着手段によって前記ヘッドの接触面に吸着する。この状態において、昇降機構によって前記ヘッドをピンに対して下降し、該ピンの先端が接触面の挿通穴より突出した突出状態を形成する。
【００１３】
すると、吸着手段によって前記ヘッドの接触面に吸着されたシートは、ヘッドと共に下降される一方、前記チップは、下部に配置されたピンで支持されることによって、その位置が保たれる。これにより、前記シートは、前記チップから剥離される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるピックアップ補助装置１を備えたダイボンダ２を示す模式図である。
【００１５】
このダイボンダ２の基台１１の起立壁１２には、開口部１３を有したウエハリング支持部１４が設けられており、該ウエハリング支持部１４には、ウエハリング１５が支持されている。該ウエハリング１５には、軟質のシート１６が張設されており、このシート１６上面には、円板状のウエハがダイシングされてなるチップ１７，・・・が貼着されている。前記ウエハリング１５の上部には、前記チップ１７をピックアップするボンディングツール１８が設けられており、該ボンディングツール１８で前記チップ１７を吸着してリードフレームへ移送し、ボンディングできるように構成されている。
【００１６】
前記ウエハリング１５の下部には、前記ボンディングツール１８によるピックアップを容易とする為の前記ピックアップ補助装置１が設けられている。このピックアップ補助装置１は、前記基台１１に設けられたＸ−Ｙテーブル２１上に設けられており、その外周部を構成する筒部２２内は、図２に示すように構成されている。
【００１７】
すなわち、前記Ｘ−Ｙテーブル２１に固定された架台３１には、基礎部３２が固定されており、該基礎部３２には、ロッド３３が起立した状態で固定されている。該ロッド３３の先端部には、連結部３４が設けられており、該連結部３４には、ピン３５の下端が挿入された状態で固定されている。
【００１８】
前記ロッド３３の外周部には、上下駆動される可動部４１が設けられており、該可動部４１の天面４２には、ヘッド４３が固定されている。該ヘッド４３内には、前記可動部４１を挿通した前記ピン３５が収容されており、当該ヘッド４３は、筒体の上端が閉鎖された形状に形成され、その上面は、前記ウエハリング１５のシート１６下面に接する接触面４４を形成している。該接触面４４には、図３にも示すように、前記ピン３５を挿通する複数の挿通穴４５，・・・が設けられており、ピックアップするチップ１７の大きさに応じて、使用するピン３５の数を変更できるように構成されている。
【００１９】
この接触面４４には、前記各挿通穴４５，・・・を包囲するように複数の吸気口５１，・・・が開設されており、各吸気口５１，・・・が開口した部位には、円状の吸着溝５２が形成されている。前記吸気口５１は、前記ヘッド４３内部に連通しており、該ヘッド４３には、図２に示したように、内部に負圧を供給する負圧供給路５３が設けられている。これにより、前記接触面４３には、前記挿通穴４５，・・・の外周部に前記シート１６を吸着する吸着手段が形成されている。なお、前記ヘッド４３の形状は、取り扱うチップ１７のサイズと、前記シート１６の粘着力に応じて決定するものとする。
【００２０】
前記ロッド３３の下端部は、前記可動部４１の底面６１を挿通しており、該底面６１より下方に延出した前記ロッド３３の下端部には、コイルスプリング６２が外嵌している。このコイルスプリング６２は、前記可動部４１の底面６１と前記基礎部３２間に配置されており、前記可動部４１を上方へ付勢している。
【００２１】
前記可動部４１の側部には、カムフォロア７１が設けられており、該カムフォロア７１の上部には、モータ７２で回動されるカム７３が設けられている。これにより、前記可動部４１は、前記コイルスプリング６２によって上方へ付勢される一方、前記カムフォロア７１が前記カム７３に摺接することで、その上限位置が規制されるように構成されており、前記ヘッド４３を前記ピン３５に対して昇降する昇降機構７４が構成されている。この昇降機構７４においては、前記モータ７２の回転速度を制御することで、前記ヘッド４３の昇降速度を任意に設定することができるように構成されている。
【００２２】
前記カム７３は、図２の（ａ）に示したように、前記ヘッド４３の上動を許容し、前記ピン３５の先端が前記ヘッド４３内、具体的には前記接触面４４より１０〜５０μｍ下がった高さに位置した非突出状態８１を形成できる形状に形成されている。また、前記カム７３は、図２の（ｂ）に示したように、前記ヘッド４３を下方へ押し下げ、前記ピン３５の先端が前記接触面４４の挿通穴４５より突出した突出状態８２を形成できる形状に形成されている。このカム７３は、その形状を変更することで、前記ヘッドの４１の下降量を任意に設定することができる。
【００２３】
以上の構成にかかる本実施の形態において、シート１６上面に貼着されたチップ１７をピックアップする際には、図４に示すように、第１工程９１で、ピックアップ対象となるチップ１７の下部位置にピックアップ補助装置１のピン３５を配置するとともに、ヘッド４３内に負圧を供給して吸気口５１及び吸着溝５２を減圧してシート１６をヘッド４３の接触面４４に吸着する。第２工程９２で、このチップ１７の上面にボンディングツール９３を当接してバキューム穴９４に負圧を供給する。
【００２４】
第３工程１０１で、前記昇降機構７４により前記ヘッド４３を前記ピン３５に対して下降し、該ピン３５の先端がヘッド４３の接触面４４の挿通穴４５より突出した突出状態８２を形成する。すると、前記ヘッド４３の接触面４４に吸着されたシート１６は、ヘッド４３と共に下降される一方、前記チップ１７は、下部に配置されたピン３５で下方から支持されることによって、その位置が保たれる。これにより、前記チップ１７から前記シート１６を剥離することができる。
【００２５】
このため、チップ１７を突き上げピンで突き上げてシート１７から剥離する従来と比較して、突き上げピンから加えられるチップ衝突時のダメージを防止することができる。また、突き上げピンでチップ１７を突き上げる構造上、チップ１７が突き上げピンとボンディングツール９３間に挟まれた状態となる従来と比較して、挟持力によって生じるチップ１７へのダメージを抑制することができる。したがって、ピックアップ時のチップ１７へのダメージを抑えることができる。
【００２６】
そして、突き上げピンとボンディングツール９３間に挟まれたチップ１７のダメージを減少する為に、ボンディングツール９３を突き上げピンに同期して上動させるといった煩雑な制御が不要となり、制御の簡素化も図ることができる。
【００２７】
また、前記ヘッドの外周部には、筒部２２が設けられており、この筒部２２によって前記シート１６が下方へ引張される範囲を規制することができる。これにより、当該筒部２２より外側にてシート１６に貼着されたチップ１７への影響を防止することができる。
【００２８】
次に、第４工程１１１において、当該チップ１７をボンディングツールで引き上げ、第５工程１１２で、ピックアップした前記チップ１７を、図外のリードフレームのボンディング箇所へ移送してボンディングするとともに、ヘッド４３を昇降機構７４で上昇して、突出した前記ピン３５をヘッド４３内に収容する。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のピックアップ補助装置にあっては、チップの下部に配置されたヘッドを、内部のピンに対して下降し、該ピンの先端を接触面より突出させることで、前記チップからシートを剥離することができる。
【００３０】
このため、チップを突き上げピンで突き上げてシートから剥離する従来と比較して、突き上げピンから加えられるチップ衝突時のダメージを防止することができる。また、突き上げピンでチップを突き上げる構造上、チップが突き上げピンとツール間に挟まれた状態となる従来と比較して、挟持力によって生じるチップへのダメージを抑制することができる。したがって、ピックアップ時のチップへのダメージを抑えることができる。
【００３１】
そして、突き上げピンとツール間に挟まれたチップのダメージを減少する為に、ツールを突き上げピンに同期して上動させるといった煩雑な制御が不要とり、制御の簡素化も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態の要部を示す模式図で、（ａ）には非突出状態が示されており、（ｂ）には突出状態が示されている。
【図３】同実施の形態のヘッドを示す平面図である。
【図４】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図５】従来のピックアップ補助装置の動作を示す模式図である。
【図６】同従来例の動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１　　ピックアップ補助装置
１６　　シート
１７　　チップ
１８　　ボンディングツール
３５　　ピン
４３　　ヘッド
４４　　接触面
４５　　挿通穴
５１　　吸気口
５２　　吸着溝
７４　　昇降機構
８１　　非突出状態
８２　　突出状態
【図１】
2004119531.tif 000003
【図２】
2004119531.tif 000004
【図３】
2004119531.tif 000005
【図４】
2004119531.tif 000006
【図５】
2004119531.tif 000007
【図６】
2004119531.tif 000008