(57)【要約】【課題】共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタの開口部に流れ込むインクの流速が低下する。【解決手段】共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０と流末の壁１４Ａとの距離をＬ、共通インク流路１４の深さをＺ、共通インク流路１４の幅をＷとするとき、１≦Ｗ／Ｚ  のとき、２Ｚ／３≦Ｌ≦２Ｚ／３＋（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×ＷＷ／Ｚ＜１  のとき、２Ｗ／３≦Ｌ≦２Ｗ／３＋（１−０．１５（（Ｚ／Ｗ）−１））×Ｚの関係になっているので、共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０に流れ込むインクの流速の低下が少ない。このためイジェクタ６０の流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性が悪化することがない。つまり、各イジェクタ６０のインク滴の吐出特性のばらつきが少ない。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルと、
該ノズルに連通した圧力室と、
該圧力室に接して該圧力室内のインクを加圧し、前記ノズルからインク滴を吐出させるアクチュエータと、
前記圧力室に連通し、該圧力室にインクを供給するインク供給路と、
を有するイジェクタと、
前記インク供給路の開口部と繋がり、前記複数のイジェクタにインクを供給する断面が矩形状の共通インク流路と、
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記共通インク流路の最流末に配置された前記イジェクタの前記インク供給路の前記開口部と流末の壁との距離をＬμｍとし、前記共通インク流路の断面の幅をＷμｍとし、前記共通インク流路の前記幅と直交方向の深さをＺμｍとするとき、
１≦Ｗ／Ｚ  のとき、
２Ｚ／３≦Ｌ≦２Ｚ／３＋（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×Ｗ
Ｗ／Ｚ＜１  のとき、
２Ｗ／３≦Ｌ≦２Ｗ／３＋（１−０．１５（（Ｚ／Ｗ）−１））×Ｚ
の関係であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエータが、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記アクチュエータが、前記圧力室内のインクを加熱し発泡させることで加圧する発熱抵抗体であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至は請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドを使用することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドは圧力室内のインクをアクチュエータ、例えば、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する圧電素子を用いて振動板を介して加圧することで、各イジェクタの圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する方法が知られている。また、このようなインクジェット記録ヘッドにおいては、インク供給口から導入されたインクが共通インク流路に充填され、この共通インク流路から各イジェクタのインク供給路を通って圧力室に充填される。また、近年、インクジェット記録装置は高速化の傾向が強まっている。このため共通インク流路に多数のイジェクタを繋ぎ、インクジェット記録ヘッド１つあたりのノズル数を増やし、より短時間に広い領域に画像形成することが可能なインクジェット記録ヘッドが作られている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特表平１０−５０８８０８号公報
【特許文献２】
特開平０９−１５０５１１号公報
【特許文献３】
特開平０９−１５６０９５号公報
【特許文献４】
特開２０００−０２５２１９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタの開口部は、流末の壁の近傍にあるため、インクが流末の壁に当たりインクの流れが拘束され、開口部に流れ込むインクの流速が低下している。このためイジェクタの流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性が悪化する。
【０００５】
このように共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタのインク滴の吐出特性が悪化すると、例えば、インク滴の大きさが、他のイジェクタのインク滴と異なり、記録画像にムラを生じ印字品位を低下させる。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタの開口部に流れ込むインクの流速が低下することによる流路抵抗の増大を防止することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明に係るインクジェット記録ヘッドは、ノズルと、該ノズルに連通した圧力室と、該圧力室に接して該圧力室内のインクを加圧し、前記ノズルからインク滴を吐出させるアクチュエータと、前記圧力室に連通し、該圧力室にインクを供給するインク供給路と、を有するイジェクタと、前記インク供給路の開口部と繋がり、前記複数のイジェクタにインクを供給する断面が矩形状の共通インク流路と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記共通インク流路の最流末に配置された前記イジェクタの前記インク供給路の前記開口部と流末の壁との距離をＬμｍとし、前記共通インク流路の断面の幅をＷμｍとし、前記共通インク流路の前記幅と直交方向の深さをＺμｍとするとき、
１≦Ｗ／Ｚ  のとき、
２Ｚ／３≦Ｌ≦２Ｚ／３＋（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×Ｗ
Ｗ／Ｚ＜１  のとき、
２Ｗ／３≦Ｌ≦２Ｗ／３＋（１−０．１５（（Ｚ／Ｗ）−１））×Ｚ
の関係であることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドによれば、共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタのインク供給路の開口部と流末の壁との距離Ｌ、共通インク流路の断面の幅Ｗ、共通インク流路の幅と直交方向の深さＺは、上記の関係式の関係となっている。
【０００９】
すなわち、共通インク流路の幅Ｗと深さＺから、開口部と流末の壁との適切な距離Ｌが導き出される。
【００１０】
これにより、最流末に配置されたイジェクタの開口部に流れ込むインクの流速の低下が少ない。このためイジェクタの流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性が悪化することがない。つまり、各イジェクタのインク滴の吐出特性のばらつきが少ない。
【００１１】
また、共通インク流路の流末のイジェクタの開口部と流末の壁との距離Ｌが確保されているので、共通インク流路の音響容量が十分確保される。このため、イジェクタ間のクロストーク（圧力干渉）が減少する。
【００１２】
尚、距離Ｌとは、流末の壁の形状、例えば半円形状、フラット形状に関わらず、開口部の最流末側の縁と流末の壁を結ぶ線を共通インク供給路の流路中心線に対して平行としたとき結ぶ線が、最短距離となる長さである。
【００１３】
請求項２に記載の発明に係るインクジェット記録ヘッドは、請求項１に記載の構成において、前記アクチュエータが、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子であることを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明に係るインクジェット記録ヘッドは、請求項１に記載の構成において、前記アクチュエータが、前記圧力室内のインクを加熱し発泡させることで加圧する発熱抵抗体であることを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明に係るインクジェット記録装置は、請求項１乃至は請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドを使用することを特徴としている。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録装置によれば、請求項１乃至は請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドを使用しているので、各イジェクタのインク滴の吐出特性のばらつきが少ない。従って、良好な記録画像となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの実施形態を図１乃至は図３に基づき説明する。尚、各図の矢印Ｆはインクの流れを表す矢印である。
【００１８】
図１に示すようにインクジェット記録ヘッド１１２は、図示しないインク供給部から導入されたインクが充填される複数の共通インク流路１４を備えている。
【００１９】
各共通インク流路１４は断面が矩形状（図２、図３参照）をし、それぞれ平行に並んでいる。また、各共通インク流路１４にはイジェクタ６０のインク供給路１８の開口部２０が所定の間隔で設けられイジェクタ６０が接続されている。
【００２０】
図２及び図３に示すようにイジェクタ６０は、インク滴を吐出するノズル１０と、インクを加圧し連通するノズル１０からインク滴を吐出させ、インクの吐出方向に平面視したときの形状が菱形形状をした圧力室１２と、を備えている。更に、ノズル１０と圧力室１２とを連通するノズル連通室１６と、共通インク流路１４の開口部２０と圧力室１２とを連通するインク供給路１８とを備えている。
【００２１】
また、インクの吐出方向を垂直方向としたとき、垂直方向に平面視すると共通インク流路１４とインク供給路１８と圧力室１２とが重なるように配置されている。このような配置とすることで、共通インク流路１４とインク供給路１８と圧力室１２とが、水平方向に対しては高密度に配置可能となる。
【００２２】
更に、圧力室１２の上面には振動板３４が接着され、振動板３４の上面には、圧電素子３６が接着され、圧電素子３６の上面にはボール半田４０を介して配線基板３８が接合されている。
【００２３】
尚、共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０と流末の壁１４Ａとの距離Ｌは約７００μｍであり、共通インク流路１４の深さＺは約５００μｍであり、共通インク流路１４の幅Ｗは約７００μｍである。
【００２４】
次に本実施形態のインクジェット記録ヘッド１１２の製造方法について説明する。上述したインクジェット記録ヘッド１１２の各インク流路や各インク室は、孔が形成された複数のプレートを積層していくことで構成される。
【００２５】
具体的には、ノズル１０が形成されるノズルプレート２２と、ノズル連通室１６と共通インク流路１４とを形成するインクプールプレート２４、２６と、ノズル連通室１６と共通インク流路１４の開口部２０スループレート２８と、インク供給路１８が形成されたインク供給路プレート３０と、圧力室１２とが形成された圧力室プレート３２とを順番に積層し接合する。
【００２６】
次にノズルプレート２２の表面に撥水コート膜を被覆すると共に、エキシマレーザにてノズル１０を開ける。
【００２７】
そして、ノズル１０を形成後に圧力室プレート３２に振動板３４を接着する。
【００２８】
尚、ノズルプレート２２の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、インク供給路プレート３０、圧力室プレート３２、振動板３４の材質はＳＵＳである。尚、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、インク供給路プレート３０、圧力室プレート３２、振動板３４が接合されたものを流路プレートユニット４４と言う。
【００２９】
次に別途、剥離可能な接着剤、例えば接着後に所定の温度で加熱すると、発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する熱発泡性接着フィルムを介して図示しない固定基板に接着された、図示しない圧電プレートに、例えばサンドブラスト加工を用いて、マトリックス状に配列された圧電素子３６を作成する。
【００３０】
この固定基板上にマトリックス状に作成された圧電素子の固定基板が接着された逆の面を、前述した流路プレートユニット４４の振動板３４の面に接着する
尚、圧電プレートの両面には、電極層として及び第２電極層がスパッタリングなどで予め形成されており、共通電極として兼用する振動板と導電性接着剤で接着することで、第一電極層、すなわち圧電素子３６と振動板とは電気的にも接続される。
【００３１】
続いて、固定基板を加熱して熱発泡性接着フィルムの接着力を低減させ、固定基板を剥離する。
【００３２】
剥離後、各圧電素子３６毎にボール半田４０を形成した配線基板３８を圧電素子３６と接合する。前述したように圧電素子３６の両面には及び第２電極層が形成されているので、第２電極層、すなわち圧電素子３６と配線基板３８とは電気的に接続されている。また、配線基板３８と振動板３４とは導電性材にて接続されている。
【００３３】
このような製造方法にて本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１１２が完成する。
【００３４】
次に実施形態の作用について説明する。
【００３５】
図示しないインク供給部からインクが導入され、各共通インク流路１４に充填されていく。
【００３６】
共通インク流路１４に充填された後、図２（Ｂ）の矢印Ｆのように開口部２０からインク供給路１８を通って各圧力室１２とノズル連通室１６とにインクが充填され、ノズル１０において表面が圧力室１２側に僅かに凹んだメニスカスを形成する。
【００３７】
インクが充填された状態で、例えばボール半田４０から振動板３４へと通電することで圧電素子３６が歪み、振動板３４を介して圧力室１２のインクが加圧され、ノズル１０からインク滴が吐出する。
【００３８】
さて、共通インク流路１４の流末の壁１４Ａの近傍は、インクが壁１４Ａに当たりインクの流れが拘束されるため、最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０に流れ込むインクの流速が低下する。このためイジェクタ６０の流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性を悪化させる。従って、流末の壁１４Ａと開口部２０との距離Ｌをインク滴の吐出特性に影響がでないように十分あける必要がある。
【００３９】
更に後述するように、流末の壁１４Ａと開口部２０との距離Ｌは開きすぎても、最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０に流れ込むインクの流速が低下し、イジェクタ６０の流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性を悪化させる。
【００４０】
つまり、流末の壁１４Ａと最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０と壁１４Ａとの距離Ｌは、開口部２０に流れ込むインクの流速の低下が抑えられる適切な範囲とすることが重要である。
【００４１】
本実施形態では、共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０と流末の壁１４Ａとの距離Ｌは約７００μｍであり、共通インク流路１４の深さＺは約５００μｍであり、共通インク流路１４の幅Ｗは約７００μｍである。
【００４２】
共通インク流路の幅Ｗと深さＺの場合、後述するように、適切な距離Ｌは、
１≦Ｗ／Ｚ  のとき、
２Ｚ／３≦Ｌ≦２Ｚ／３＋（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×Ｗ
Ｗ／Ｚ＜１  のとき、
２Ｗ／３≦Ｌ≦２Ｗ／３＋（１−０．１５（（Ｚ／Ｗ）−１））×Ｚは、である。
【００４３】
つまり、本実施形態では、Ｗ／Ｚ＝７００μｍ／５００μｍ＝１．２であるので、
２Ｚ／３
＝２×５００μｍ／３＝３３３．３３μｍ（距離Ｌの下限）
また、
（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×Ｗ
＝（１−０．１５（７００μｍ／５００μｍ））７００μｍ
＝６５８μｍ（距離Ｌの範囲幅）
従って、インク滴の吐出特性に影響を与えない距離Ｌの範囲は、
３３３．３３μｍ（距離Ｌの下限）≦Ｌ≦３３３．３３μｍ＋６５８μｍ＝９９１．３３μｍ（距離Ｌの上限）
となる。上述したように本実施形態の距離Ｌは７００μｍであるため上記範囲に入っている。従って、最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０に流れ込むインクの流速の低下が少なくなり、インク滴の吐出特性が悪化していない。
【００４４】
また、距離Ｌが確保されているので共通インク流路１４の音響容量が確保される。このため、イジェクト６０間のクロストーク（圧力干渉）が減少する。
【００４５】
さて、本出願人は、インクジェット記録ヘッドの開発過程において、共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタのインク滴の吐出特性が、他のイジェクタのインク滴の吐出特性と異なることを発見した。更に、この理由は、共通インク流路の流末の壁によってインクの流れが拘束されるため、流末の壁近傍にある開口部に流れ込むインクの流速が低下し、このためイジェクタの流路抵抗が増大することが、原因であることをつきとめた。
【００４６】
そこで、本出願人は、図４に示すような流路モデルにおいて、三次元解析ソフトウエアにより、共通インク流路の幅をＷ、共通インク流路の深さをＺ、流末の壁に最も近い開口部２０ａと壁との距離をＬとするとき、流末に最も近い開口部２０ａに流れ込むインクの流速Ｖａと、その他の開口部２０ｂに流れ込むインク流速Ｖｂとの流速差、と幅Ｗ、深さＺ、距離Ｌとの関係を計算した。
【００４７】
その結果、ＶａとＶｂとの流速差が少なくなる、幅Ｗ、深さＺ、距離Ｌの関係を導きだした。具体的には、
１≦Ｗ／Ｚ  のとき、
２Ｚ／３≦Ｌ≦２Ｚ／３＋（１−０．１５（（Ｗ／Ｚ）−１））×Ｗ
Ｗ／Ｚ＜１  のとき、
２Ｗ／３≦Ｌ≦２Ｗ／３＋（１−０．１５（（Ｚ／Ｗ）−１））×Ｚ
との関係式となる。
【００４８】
つまり、単純に共通インク流路の流末の壁と開口部とを十分離せば良いということでなく、共通インク流路の流末の壁と開口部との距離Ｌには、共通インク流路の幅Ｗと深さＺによって決定される適切な距離Ｌの範囲があるということを示している。
【００４９】
尚、三次元解析ソフトウエアは、株式会社シー・エス・エー社のＦＬＯＷ−３Ｄ（登録商標）を用いておこなった。このＦＬＯＷ−３Ｄ（登録商標）は、コントロール・ボリューム法（有限差分法）を用い、自由表面解析機能を有する３次元熱流体解析ソフトウェアで、自由表面および２流体界面の大変形を伴う複雑な流動現象を精度よく計算する。
【００５０】
以下に、本ソフトウエアを用いた計算結果の例を記載する。
【００５１】
図４に示すような流路モデルにおいて、距離Ｌと流速Ｖａ、Ｖｂの流速差の関係グラフにしたものが、図５のグラフである。
【００５２】
共通インク流路の幅Ｗ７００μｍ、深さＺ５００μｍのときをＡ線、幅Ｗ３００μｍ、深さＺ３００μｍのときをＢ線、また、幅Ｗ７００μｍ、深さＺ１００μｍのときをＣ線で示している。
【００５３】
このようにインクの流れ込む流速差が少なくなる距離Ｌの範囲があり、更に幅Ｗ、深さＺによって、この距離Ｌの範囲が決定されるていることが判る。
【００５４】
このような計算を種々行い、検討した結果、本出願人は、上述した関係式を導く至った。
【００５５】
尚、この関係式は、流末の壁の形状には依存しない。例えば、図７に示すように共通インク流路１５の流末の壁１５Ａがフラットの場合でも、同様の関係式で適切な距離Ｌを算出することができる。
【００５６】
次に本実施形態のインクジェット記録ヘッド１１２を使用したインクジェット記録装置について説明する。図６は、インクジェット記録ヘッド１１２を備えたインクジェット記録装置１０２の部分断面斜視図である。
【００５７】
インクジェット記録装置１０２はインクジェット記録ヘッド１１２を搭載するキャリッジ１０４、キャリッジ１０４を主走査方向Ｍに走査する為の主走査機構１０６、記録媒体としての記録紙Ｐを副走査方向Ｓに走査する為の副走査機構１０８、及びメンテナンスステーション１１０等を含んで構成されている。
【００５８】
インクジェット記録ヘッド１１２は、ノズル１０が形成されたノズルプレート２２（図２及び図３参照）が、記録用紙Ｐと対向するようにキャリッジ１０４上に搭載されており、主走査機構１０６によって主走査方向Ｍに移動されながら記録用紙Ｐに対してインク滴を吐出することにより、一定のバンド領域ＢＥに対して画像の記録を行う。主走査方向Ｍへの１回の移動が終了すると、副走査機構１０８によって記録用紙Ｐが副走査方向Ｓに搬送され、再びキャリッジ１０４を主走査方向Ｍに移動させながら次のバンド領域ＢＥを記録する。こうした動作を複数回繰り返すことにより、記録用紙Ｐの全面にわたって画像記録を行うことができる。
【００５９】
尚、インクジェット記録ヘッド１１２は共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０の開口部２０に流れ込むインクの流速の低下は少ないので、流路抵抗が増大し、インク滴の吐出特性が悪化することがない。
【００６０】
また、距離Ｌが確保されているので共通インク流路１４の音響容量が十分確保される。このため、イジェクト６０間のクロストーク（圧力干渉）が減少する。
【００６１】
従って、各イジェクタ６０のインク滴の吐出特性のばらつきが少ない。このため、共通インク流路１４の最流末に配置されたイジェクタ６０のインク滴の吐出特性が異なることによる、例えば、インク滴の大きさが他のイジェクタのインク滴と異なり記録画像にムラを生じさせる等の印字品位の低下を招かない。
【００６２】
尚、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【００６３】
例えば、上記実施の形態では、インクジェット記録ヘッド１１２をキャリッジ１０４によって搬送しながら記録を行ったが、これに限定されるものではない。例えば、ノズルを記録媒体の全幅にわたって配置したインクジェット記録ヘッドを用い、インクジェット記録ヘッドは固定して、記録媒体のみを搬送しながら記録を行っても良い。
【００６４】
また、例えば、上記実施の形態では圧電素子３６は、１枚の圧電素子３６のたわみ振動によって圧力室１２を加圧したが、これに限定されない。例えば、圧電素子を積層する形態であっても良いし、縦振動タイプの圧電素子であっても良い。或いは、その他形態の圧電素子であっても良い。
【００６５】
また、例えば、上記実施の形態では、アクチュエータは圧電素子３６からなっているが、これに限定されない。例えば、圧力室内のインクを加熱し発泡させることで加圧する発熱抵抗体であっても良いし、静電力や磁力を利用したものであっても良い。或いは、その他の形態のアクチュエータであっても良い。
【００６６】
また、本明細書におけるインクジェット記録とは、記録紙上への文字や画像の記録に限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に対して本発明を利用することが可能である。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、共通インク流路の最流末に配置されたイジェクタの開口部に流れ込むインクの流速が低下することによる流路抵抗の増大を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの共通インク流路の流末近傍を示す図である。
【図２】（Ａ）は、本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの要部を示す断面斜視図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＸ部分の拡大図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの要部を示す断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＡ−Ａ部分の断面図である。
【図４】（Ａ）は本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの共通インク流路の流末近傍の計算モデルのための模式図である。（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ断面の図である。
【図５】本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの共通インク流路の流末近傍の計算モデルに基づいて、共通インク流路の幅Ｗ、深さＺ、最流末に配置された開口部と壁との距離Ｌと、最流末に配置された開口部とその他の開口部に流れ込むインクの流速の流速差を計算したグラフである。
【図６】本発明の一の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを使用したインクジェット記録装置を示す図である。
【図７】本発明のその他の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの共通インク流路の流末近傍を示す図である。
【符号の説明】
１０    ノズル
１２    圧力室
１４    共通インク流路
１４Ａ  壁
１８    インク供給路
２０    開口部
３６    圧電素子（アクチュエータ）
６０    イジェクタ
１０２    インクジェット記録装置
１１２    インクジェット記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004284276.tif 000007
【図６】
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【図７】
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