(57)【要約】【課題】光照射部から出射する光を、不所望な部分に照射することなく、シール剤上に精度よく照射すること。【解決手段】棒状のランプ１ａを内蔵する複数の光照射部１と、この光照射部を各々単独で１軸方向に移動させる光照射部移動機構４−１，４−２とを設け、光照射部１の各々を独立して移動できるようにし、また、その移動平面と平行な面内で回転可能とする。そして、光照射部１から照射される光の照射位置と、液晶パネル２０上のシール剤２２の位置が一致するように、光照射部移動機構４−１，４−２を駆動して、各光照射部１を位置決めするとともに、上記光照射部１から照射される光が上記シール剤２２に照射されるように光照射部の上記移動方向に対する角度を調整する。また、アライメント顕微鏡を設け、光照射部１からの光がシール剤上に照射されるように位置合わせするようにしてもよい。【選択図】          図１
2004325544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の光透過性基板間の光硬化型シール剤に光を照射して、上記２枚の光透過性基板を貼り合わせるディスプレイパネルの貼り合わせ装置であって、
棒状のランプを内蔵する複数の光照射部と、
上記複数の光照射部を各々単独で、１軸方向に移動させる光照射部移動機構と、
上記光照射部の各々に設けられ、該光照射部を、光照射部が光照射部移動機構により移動する平面と平行な面内で回転させる角度調整機構と、
上記光照射部から照射される光の照射位置と上記シール剤の位置が一致するように、上記光照射部移動機構を駆動して、光照射部を位置決めするとともに、上記光照射部から照射される光が上記シール剤に一様に照射されるように上記角度調整機構により光照射部の上記移動方向に対する角度を調整する制御部とを備えた
ことを特徴とするディスプレイパネルの貼り合わせ装置。
【請求項２】
上記シール剤または光透過性基板に形成されるブラックマトリックスを撮像し、撮像したシール剤または、ブラックマトリックスの位置情報を出力する、少なくとも２個のアライメント顕微鏡を備え、
上記制御部は、上記アライメント顕微鏡からの位置情報に基づき、上記光照射部移動機構および上記角度調整機構を駆動して、光照射部の位置および角度を調整する
ことを特徴とする請求項１のディスプレイパネルの貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル等のディスプレイパネルの組立工程において、２枚の光透過性基板を光硬化型のシール剤で貼り合わせるディスプレイパネルの貼り合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶画面は、液晶パネルとそれを制御するドライバ、および液晶パネルを裏面から照明するバックライトから構成されている。液晶パネルは液晶を封入し、それに印加する電圧を制御することにより、バックライトからの光を透過させたり遮光したりして画面を表示する。
通常、液晶パネルは、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とからなる、２枚の光透過性基板（ガラス基板、樹脂製基板、樹脂フィルム基板）から構成されている。カラーフィルタ基板には、ブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜や、カラーフィルタ等が形成され、ＴＦＴ基板には、液晶を駆動するための駆動素子、例えばＴＦＴ素子（薄膜トランジスタ）や、透明導電膜で形成された液晶駆動電極が形成されている。
液晶パネルにおいて、画像を見る側（表側）がカラーフィルタ基板であり、反対側（裏側）がＴＦＴ基板となる。
ブラックマトリックスは、例えばクロム蒸着膜や黒色樹脂等で形成されており、画像の表示に関係のない部分（液晶以外の部分）、例えばＴＦＴ素子や配線の部分から、バックライトからの光が漏れて画像を乱さないように、目隠しの役割を果たす。
【０００３】
近年、液晶表示素子の製造方法において、滴下工法（Ｏｎｅ  Ｄｒｏｐ  Ｆｉｌｌ略してＯＤＦという）と呼ばれる製造方法が採用されるようになってきた（例えば特許文献１参照）。
図１２を用いて、この工法を簡単に説明する。
同図に示すように、上記した一方の光透過性基板２１（ガラス基板）上に、紫外線硬化樹脂であるシール剤２２による囲みを複数形成する。シール剤２２は、ガラス基板に形成される液晶画面（画郭）２３を囲むように設けられる。そして、真空中で、形成したシール剤２２による囲みの中に液晶を滴下する。
その上に、他方のガラス基板を載せ、空気中に出して液晶をシール剤２２による囲み内で拡散させ、ガラス基板越しに紫外線を照射し、シール剤２２を硬化させ、２枚のガラス基板を貼り合わせる（接着する）。
接着後、画郭ごとに基板を分割（切断）し、テレビやパソコンに表示画面として組み込む。
上記のようにシール剤を硬化させるために液晶パネルに対して紫外線を照射する際、シール剤以外の部分、例えば、ＴＦＴ素子や液晶部分に、紫外線が照射されることを極力防ぐことが要求されている。これはＴＦＴ素子や液晶に強い紫外線が照射されると、不所望の特性変化が生じるためである。
紫外線が照射される領域をシール剤部分に限定する方法として、従来から、遮光マスクを用いる方法や、光の照射領域をスポット状に絞って照射する方法が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−７３０９６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、シール剤以外の部分に、紫外線が照射されることを極力防ぐため、従来から遮光マスクを用いる方法や、光の照射領域をスポット状に絞って照射する方法が提案されている。
しかし、遮光マスクを用いる方法は、マスクの製作費用が高く、また、製品毎にマスクを用意する必要があるため、コストがアップするという問題点がある。また、スポット状に絞った光を照射する方法は、全面を一括して照射を行なう場合に比べて接着処理に時間がかかり、生産性が低下するという問題がある。
そこで、本出願人は、上記のような液晶パネルの貼り合わせ装置において、棒状ランプを内蔵した光照射部を液晶パネル上で移動させ、液晶パネルに形成されているシール剤とその近辺にのみ光を照射する装置を提案している。
この装置では、光照射部からの光がシール剤以外の不所望の部分（液晶やＴＦＴ素子等）  に照射されないように、光照射部の光出射口にアパーチャを設け、光の幅を適切に絞っている。
【０００６】
ここで、製作される液晶画面の大きさや種類、またはメーカによって多少異なるが、シール剤自体の幅（太さ）  は１〜１．５ｍｍ、シール剤からその中に封止されている液晶までの距離は１ｍｍ程度である。
したがって、１列のシール剤に対して光照射を行なう場合は、シール剤の幅に合わせて１〜１．５ｍｍに絞った光を、シール剤に対して１ｍｍ以上横にずれないように照射しなければならない。もし１ｍｍ以上ずれると、光が液晶に照射されて液晶の特性が変化する、また、シール剤に光が照射されず硬化しないという問題が生じる。
しかし、基板が搬送機構により搬送され、ワークステージに置かれる際には、搬送機構によりプリアライメントを行なつたとしても、±１〜２ｍｍ程度のずれが生じることがある。
したがって、光照射部の停止位置精度を良くしたとしても、光照射部から照射される光の位置に対するシール剤の位置は、上記の±１〜２ｍｍずれが生じる。また、シール剤はディスペンサーにより塗布され、その塗布位置の精度には０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度のずれがある。したがって、シール剤に光照射を行なうにあたっては、対象となる列のシール剤に対して、光照射部（照射する光）  の位置合せを行なう必要がある。
ところが、複数列のシール剤に対して光照射を行なう場合、液晶パネル（ワークステージ）  を移動させて位置合せを行なおうとしても、シール剤の各列が平行でなく、それぞれ回転方向に位置ずれがあり、そのずれ量が異なると、複数列のシール剤に対して同時に、位置合せを行なうことが困難な場合がある。
また、近年では液晶パネルが大型化しており、これに伴い上記光照射部の大型化が要求されているが、光照射部が大型化すると、光照射部の停止位置精度が悪くなり、シール剤に対する光照射部の位置合わせも難しくなってきている。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、ワークステージに置かれる基板の位置に、±１〜２ｍｍ程度のずれがあっても、光照射部から出射する光を、不所望な部分に照射することなく、シール剤上に精度よく照射することができ、また、複数の光照射部から同時に複数列のシール剤に対して光照射を行なう場合であっても、各々の光照射部から出射する光と、シール剤の位置とを正確に位置合せできるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を本発明においては、次のように解決する。
（１）棒状のランプを内蔵する複数の光照射部と、この複数の光照射部を各々単独で１軸方向（棒状ランプの長手方向とは異なる方向）に移動させる光照射部移動機構と、この光照射部の各々に、光照射部を光照射部移動機構により移動する平面と平行な面内で回転させる角度調整機構とを設ける。
そして、上記光照射部から照射される光の照射位置と上記シール剤の位置が一致するように、上記光照射部移動機構を駆動して、各光照射部を位置決めするとともに、上記光照射部から照射される光が上記シール剤に一様に照射されるように上記角度調整機構により光照射部の上記移動方向に対する角度を調整する。
なお、上記位置合わせは、シール剤が伸びる方向（ランプの長手方向）  に直交する方向のみ行なえばよく、シール剤が伸びる方向、即ちランプの長手方向については、一括して光照射が行なわれるため、位置合せを行なう必要がない。
（２）上記（１）において、上記シール剤または光透過性基板に形成されるブラックマトリックスを撮像し、撮像したシール剤または、ブラックマトリックスの位置情報を出力する、少なくとも２個のアライメント顕微鏡を設け、このアライメント顕微鏡からの位置情報に基づき、上記光照射部移動機構を駆動して、光照射部の位置および角度を調整する。
本発明においては、上記のように構成したので、光照射部から出射する光と、シール剤の位置とを正確に位置合せできる。このため、ワークステージに置かれる基板の位置にずれがあったり、塗布されたシール剤に位置ずれがあっても、光照射部から出射する光を、正確にシール剤に照射し、不所望の部分には照射しないようにすることができる。
また、複数の光照射部のそれぞれに光照射部移動機構が設けられ、各光照射部を位置位置決めするとともに、移動方向に対する角度を調整しているので、光照射を行なうシール剤に対して、それぞれの光照射部の位置合せを行なうことができる。シール剤が塗布される位置ずれが、各列において異なる場合も、各光照射部の位置合せを行なうことができる。
特に、前記したようにシール剤が回転方向で位置ずれがあり、そのずれ量が各列において異なっていたとしても、各光照射部の回転移動量は独立して制御することができるので、各シール剤に対して問題なく位置合せを行なうことができる。
また、上記（２）のように、複数の光照射部のそれぞれに２個以上のアライメント顕微鏡と回転移動機構とを取り付け、光照射を行なう前に、シール剤またはブラックマトリックスを基準にして、光照射部を回転させ位置合せを行なうことにより、光照射部から出射する光を、正確にシール剤に照射し、不所望の部分には照射しないようにすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施例のディスプレイパネル（液晶パネル）の貼り合わせ装置全体の主な構成を示す斜視図である。同図では、分かりやすいように、光照射部１からディスプレイパネル（以下液晶パネルという）までの距離を実際よりも広く離して示している。実際の装置において、光照射を行なう場合、光照射部の下部から液晶パネルまでの距離は、０．  ５ｍｍ〜１ｍｍ程度である。
同図に示すように、光照射部が複数設けられ、それぞれの光照射部１には、紫外線を含む光を照射する棒状ランプ１ａ（例えば高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ）と、該ランプ１ａの長手方向に沿って伸び、ランプ１ａからの光を反射して集光する樋状ミラー（集光鏡）１ｂが設けられる。
光照射部１の下部（図面下方向）には光出射口があり、図示しないシャッタを開くと、上記ランプ１ａとミラー１ｂによって反射された光（紫外線）が出射する。
２個の光照射部１は、その長手方向のほぼ中央部がリニアガイド３に回転可能にかつリニアガイド３に沿って移動可能（同図のＸ方向）に取付けられている。リニアガイド３はフレーム２に固定されている。
なお、同図では光照射部を２つ設けた場合について示しているが、任意の数の光照射部を設けることができる。
【００１０】
それぞれの光照射部１の長手方向の両側には、光照射部移動機構４−１，４−２が設けられ、リニアガイド３に沿って各光照射部１が独立して移動する。また、光照射部１の両側に取付けられた光照射部移動機構４−１，４−２を個別に駆動することにより、光照射部１はリニアガイド３に設けられた回転軸を中心に、光照射部１の移動する平面内で回転する（以下ではこの回転をθ回転という）。光照射部移動機構４−１、４−２もフレーム２に取り付けられている。
各光照射部１の両側には、光照射部が移動した時の位置を検出するセンサも設けられるが、図１では図が煩雑になるため示していない（後述する図２と図４に示す）。
光照射部１の下方（光出射口側）には、貼り合わせを行なう液晶パネル２０を載置するワークステージ５が設けられる。液晶パネル２０（以下では基板２０ともいう）は、液晶が封止された状態で、不図示の搬送機構により搬送されワークステージ５上に載置される。
なお、基板２０は、搬送装置によりおおむねの位置合せ（プリアライメント）が行なわれ、ワークステージ５には、光照射部１の棒状ランプ１ａの長手方向と、基板２０に塗布されているシール剤の伸びる方向とが一致するように、±１〜２ｍｍの精度で所定の位置に置かれる。
ワークステージ５は、不図示の回転移動機構を備えており、基板２０が載置される平面内で９０°回転する。これにより基板２０も９０°回転する。
【００１１】
図２は、光照射部１の付近を図１のＡ方向から見た断面図である。なお、同図では、後述するアパーチャ、シャッタ、アライメント顕微鏡等は省略されている。
光照射部１は、上記光照射部移動機構４−１，４−２により、図面手前奥方向に移動するとともに回転する。
光照射部移動機構４−１，４−２としては、市販のリニアシャフトモータを用いることができ、リニアシャフトモータは、例えば図３に示すように、リニアシャフト４ａとそれに取り付けられたモータ４ｂとからなる。
モータ４ｂはリニアシャフト４ａに沿って移動する。このようなリニアシャフトモータを用いれば、図３に示すように、１本のシャフト４ａに、シャフト上を独立して移動可能な複数の駆動部（モータ）４ｂを設けることができる。
光照射部１の移動機構４−１，４−２には、それぞれ光照射部１の位置を検出する位置検出センサ６−１，６−２が設けられる。
位置検出センサ６−１，６−２は、光照射部１に取付けられたセンサ６ａと、フレームに取付けられたリニアスケール６ｂとを一組として用いるもので、センサ６ａが出力した信号をリニアスケール６ｂに反射させ、再びこの信号を入力することにより位置が検出する。この位置検出センサ６としては、市販のものを使用することができる（上記図３に、センサ６ａとリニアスケール６ｂからなる位置検出センサ６が示されている）。このようなリニアセンサ６−１，６−２を用いることで、２つの光照射部１の両側の位置と間隔を検出することができる。
【００１２】
図４に光照射部１をθ回転させるための構成例を示す。同図は、図１において、一つの光照射部１を上から見た図であり、フレーム２は省略している。
光照射部１は、回転軸受け３ａを介してリニアガイド３に取り付けられ、Ｘ方向に移動可能であり、また、上記回転軸受け３ａの軸を中心としてθ方向に回転可能である。リニアガイド３は前記したようにフレーム２に固定されている。
光照射部１のランプ長手方向の両側には、光照射部移動機構４−１，４−２が設けられている。該移動機構４−１，４−２は、前記したようにリニアシャフト４ａとリニアシャフトに沿って移動するモータ４ｂから構成されている。以下では一方を第１の移動機構４−１、他方を第２の移動機構４−２と呼ぶ。また、第１，２の移動機構４−１，４−２には、前記したように位置検出センサ６−１，６−２が設けられている（図示せず）。
第１，２の移動機構４−１，４−２において、光照射部１は、リニアシャフト４ａに直交方向のリニアガイド４ｃと回転軸受け４ｄを介してモータ４ｂに取り付けられている。
【００１３】
図４（ａ）に示すように、両方の移動機構４−１，４−２のモータ４ｂが、同じ速度で同じ方向に移動する場合、光照射部１は、モータ４ｂの移動する方向に、直線移動する。また、図４（ｂ）に示すように、例えば第１の移動機構４−１のモータ４ｂと、第２の移動機構４−２のモータ４ｂの移動方向が異なる場合、光照射部１はθ回転する。この場合、第１の移動機構４−１の回転軸Ａ、光照射部１の中央部のリニアガイド３の回転軸Ｂ、第２の移動機構４−２の回転軸Ｃが、それぞれ回転する。
また、光照射部１が回転した分、第１，第２の移動機構４−１，４−２のモータ４ｂからリニアガイド３の回転軸Ｂまでの距離が長くなるが、これは、回転軸受け４ｄが第１、第２の移動機構４−１，４−２のリニアガイド４ｃ上を移動することにより補われる。
このような、光照射部１をθ回転させる機構は、複数の光照射部１のそれぞれに設けられる。
【００１４】
ところで、ＴＦＴ素子や液晶に強い紫外線が照射されると、不所望の特性変化が生じる。光照射部からの光がシール剤以外の不所望の部分（液晶やＴＦＴ素子等）  に照射されないように、光照射部の光出射口にアパーチャを設け、光の幅を適切に絞ることが望ましい。
そこで、各光照射部１の光出射口１ｄ側に、ランプの長手方向に対して直角方向の幅が可変なアパーチャを設けて、光照射部から出射される光の幅を可変にできるようにする。
図５は、上記のようなアパーチャを設けた光照射部の構成例を示す図であり、同図は、光照射部１の、ランプ長手方向に対して直角方向の断面図である。
同図に示すように、アパーチャ７は、アパーチャ板７ａと、ステッピングモータ等により駆動されるアパーチャ板駆動機構１６から構成され、アパーチャ板７ａはラックアンドピニオン７ｃを介して、ステッピングモータ等の駆動手段により、図面左右に移動する。
アパーチャ板７ａは光照射部１の光出射口１ｄの図面左右に設けられ、２枚のアパーチャ板７ａによりアパーチャ（スリット）が形成される。
スリットの幅が狭ければ、光照射部１から出射される光の（ランプ長手方向に対して直角方向の）幅は狭くなり、光が照射される領域の幅は狭くなる。スリットの幅が広ければ、出射する光の幅は広くなり、照射される領域の幅は広くなる。
【００１５】
本発明では、シール剤またはブラックマトリックスの位置を検出し、上記したように光照射部１をθ回転させて、光照射部１から出射する光がシール剤上に照射されるように位置合わせを行う。
このため、光照射部１にはシール剤またはブラックマトリックスの位置を検出するためのアライメント顕微鏡が設けられる。
図６にアライメント顕微鏡が取り付けられた光照射部の構成例を示す。同図は光照射部のランプ長手方向の断面図であり、同図では上記アパーチャ等は省略されている。
同図に示すように、アライメント顕微鏡８は、光照射部１の光出射口１ｄの両側に設けられている。図６（ａ）に示すように、シャッタ１ｅが開いて光が照射されているときは、光が当たらない場所に格納されている。
光照射部１とシール剤２２の位置合せを行なうときは、図６（ｂ）に示すように、シャッタ１ｅが閉じ、光が照射されない状態で、アライメント顕微鏡８が、顕微鏡移動機構１５によって、光出射口１ｄからワークステージ５に載置された基板２０が見える位置に移動する。アライメント顕微鏡８の移動方向は、ランプの長手方向の軸に平行な方向である。
顕微鏡移動機構１５は、例えばエアシリンダから構成され、アライメント顕微鏡６がガイド１５ａ上を図面左右に移動する。なお、アライメント顕微鏡８を移動させる手段としては、ステッピングモータとボールねじを組み合わせたものでも良い。
【００１６】
図７に、アライメント顕微鏡の概略構成と制御系の構成を示す。
制御部１０は、ランプ点灯装置１１により光照射部１のランプ１ａの点灯を制御するとともに、シャッタ駆動機構１４によりシャッタ１ｅの開閉を制御する。また、制御部１０は前記したように位置検出センサ６の出力に基づき光照射部移動機構４−１、４−２により光照射部１の位置決めを行うとともに、ワークステージ駆動機構１３により、ワークステージ５を基板２０が載置される平面内で（θ方向）９０°回転させる。
また、制御部１０は、アパーチャ板駆動機構１６によりアパーチャ板７ａを移動させ、シール剤２２には光が照射されるが、液晶等には照射されないように、スリット幅を形成する。
すなわち、光出射部１から出射される光は発散光である。アパーチャ７から液晶パネル２０までの距離は、０．  ５ｍｍ〜１ｍｍ程度に設定されるが、アパーチャ７から出射した光は、幅がやや広がって液晶パネル２０に照射される。そのため、あらかじめ、アパーチャ７のスリット幅と実際に光が照射される幅の関係を求めておき、制御部１０により、アパーチャ７の開度を照射される領域の幅に応じて制御する。
【００１７】
さらに、制御部１０は、前記したアライメントを行う際、顕微鏡移動機構１５によりアライメント顕微鏡８を、ワークステージ５に載置された基板２０が見える位置に移動させる。
アライメント顕微鏡８は、ミラー８ａ、ハーフミラー８ｂ、レンズＬ１，Ｌ２，ＣＣＤカメラ８ｃと、照明用ランプ８ｄ、ミラー８ｅを備えている。
照明用ランプ８ｄから出射する光は、ミラー８ｅ→ハーフミラー８ｂ→ミラー８ａと反射され、基板２０のシール剤２２またはブラックマトリックス２４を照明する。基板２０で反射した照明光は、アライメント顕微鏡８に入射し、ミラー８ａで反射し、ハーフミラー８ｂ、レンズＬ１，Ｌ２を通過してＣＣＤカメラ８ｃに入射し、シール剤２２またはブラックマトリックス２４の画像が受光される。モニタ１２には、ＣＣＤカメラ８ｃが取り込んだ画像が表示され、取り込んだ画像情報は、制御部１０の演算部１０ｃにて画像処理される。
制御部１０は、上記シール剤２２またはブラックマトリックス２４の画像と、予め登録された登録パターンが一致するように、光照射部移動機構４−１、により光照射部１を移動させ、光照射部１から出射する光がシール剤２２上に照射されるように位置合わせを行う。
【００１８】
次に図８により、液晶パネルの構成について簡単に説明する。なお、図８（ｂ）は同図（ａ）に示す液晶パネルの断面図である。
同図に示すように液晶画面は透明基板上に複数形成される。ガラス基板２１上には、液晶画面が製作される画郭（点線）２３が設定され、画郭２３より１ｍｍ程度内側に、光硬化型のシール剤２２がディスペンサーによって塗布され、液晶を封じる囲みが形成される。
シール剤２２の太さ（幅）は約１〜１．５ｍｍである。シール剤２２のさらに内側に太いブラックマトリックス２４が形成され、液晶画面を囲む。この太いブラックマトリックス２４に囲まれた内側が、液晶が表示される部分である。
なお、ブラックマトリックス２４とシール剤２２は、図のように離れて形成されている場合もあるし、重なって形成されている場合もある。本実施例では離れている場合を例にして示す。
【００１９】
以下、本実施例の装置による光照射部１と液晶パネル（基板）２０との位置合わせ手順について説明する。
（１）アライメント顕微鏡７と光照射部１のランプ１ａの位置関係は装置を製造調整する段階で制御部１０の記憶部１０ｂに記憶されている。
即ち、アライメント顕微鏡７のＣＣＤカメラ８ｃが画像を取り込む位置と、ランプ１ａの光が照射される位置との関係は、あらかじめ上記記憶部１０ｂに記憶されている。なお、両者の位置は必ずしも一致している必要はない。
（２）  不図示の搬送機構により、貼り合わせを行なう液晶パネル（前記図８参照）が搬送され、図１に示したワークステージ５に載置される。
液晶パネル（基板）２０は搬送装置においてプリアライメントが行なわれ、棒状ランプ１ａの長手方向と、液晶パネル２０のシール剤２２の伸びる方向とが一致するように、ワークステージ５上に±１〜２ｍｍの精度で置かれる。
（３）  光照射部１とワークステージ５の位置関係、ワークステージ５上に置かれる液晶パネル２０の位置等は、装置の組み立て調整の段階で、制御部１０の記憶部１０ｂに記憶されている。
貼り合わせ処理を行なう前、作業者は、制御部１０の入力部１０ａから、液晶パネル２０のシール剤２２の位置を入力し、記憶部１０ｂに記憶させる。制御部１０は、これらの記憶しているパラメータに基づき、光照射部１を液晶パネル２０のシール剤２２付近に移動させる。この時、光照射部１のシャッタ１ｅは閉じており、光は出射していない。
【００２０】
（４）  前記図６（ｂ）に示したように、アライメント顕微鏡８が移動挿入される。アライメント顕微鏡８内に設けられたランプ８ｄの照明光が基板２０に照射され、図９（ａ）に示すシール剤２２またはブラックマトリックス２４の画像がＣＣＤカメラ８ｃに取り込まれる。
取り込まれた画像は、モニタ１２に表示される。その画像は図９（ｂ）に示すように、視野全体に縦（ランプ長手）方向に伸びる像となる。したがって、シール剤２２を検出するために登録される形状は、例えば図９（ｃ）に示すように、シール剤の一部を抜き出した直線状のパターンである。
（５）  図１０に、アライメント顕微鏡８に取り込まれモニタ１２に表示される画像の一例を示す。同図（ａ）（ｂ）は、２つのアライメント顕微鏡８により取り込まれたそれぞれの画像を示す。
制御部１０は、アライメント顕微鏡８に取り込まれた画像を画像処理し、登録されたパターンと比較し、シール剤の位置と登録パターンが一致するように、光照射部移動機構をＸ方向に移動させるとともに、θ回転させる。両者が一致すれば位置合せ終了となる。上記位置合わせを、光照射部１の光出射口１ｄの両側に設けられアライメント顕微鏡８のそれぞれについて行う。これにより、光照射部１から照射される光が、シール剤に照射されるように光照射部１が位置決めされる。
【００２１】
（６）  この位置合せは、各光照射部１において行なう。したがって、光照射を行なうそれぞれのシール剤２２の列に対して、各光照射部１を精度良く位置合せを行なうことができる。
特にシール剤２２のθ回転方向の位置ずれ量が、各列において異なっていたとしても、各光照射部１の回転移動量は独立して制御することができるので、各シール剤２２に対して問題なく位置合せを行なうことができる。
なお、シール剤が伸びる方向に対して、ランプの長手方向が十分に長く、Ｙ方向（光照射部のランプ１ａの長手方向）には一括して照射を行なうので、Ｙ方向には位置合せを行なう必要がない。
（７）  位置合せ終了後、アライメント顕微鏡を光が照射される領域から退避させアライメント顕微鏡８のＣＣＤカメラ８ｃが画像を取り込む位置と、光照射部１のランプ１ａが光照射を行なう位置とが一致しているのであれば、その位置でシャッタ１ｅを開き、シール剤２２に対して光照射を行なう。
また、アライメント顕微鏡８と光照射部１のランプ１ａの位置が一致していないのであれば、アライメント顕微鏡８とランプ１ａの位置の差分だけ、光照射部１をＸ方向に移動させてから光照射を行なう。
【００２２】
（８）  その列のシール剤２２に対して光照射が終了すると、光照射部１を次に光照射を行なうシール剤２２の位置に移動させる。上記と同様の位置合せを行ない、光を照射する処理を繰り返す。
（９）  Ｘ方向のシール剤２２に対して光照射が終わると、制御部１０は光照射部１のシャッタ１ｅを閉じ、ワークステージ５をワークステージ駆動機構１３により９０°回転する。これにより、液晶パネル２０も９０°回転する。そして、上記と同様に、各シール剤の列に対して光を照射する。
（１０）すべてのシール剤２２に対して光照射が終了すると、不図示の搬送機構により、液晶パネル２０がワークステージ５から搬出される。
【００２３】
なお、上記実施例は、アライメントにおいて、シール剤２２を検出するようにしているが、ブラックマトリックス２４を検出するようにしても良い。
シール剤２２の内側にあるブラックマトリックス２４は太いので、アライメント顕微鏡８に取り込まれる画像は、図９（ｄ）のように、画面の半分が黒い像になる。したがって、ブラックマトリックス２４を検出するための登録パターンは、図９（ｅ）のような半分が黒いパターンになる。
なお、ブラックマトリックス２４はガラス基板にクロム等で形成される遮光パターンであるので、アライメント顕微鏡８に取り込まれる画像が、シール剤２２に比べシャープになり（コントラストが高くなり）  、画像処理が行ないやすく、正確な位置合せができるという利点がある。ただし、シール剤２２とブラックマトリックス２４の位置との正確な位置関係を求めておき、位置合せ後、光照射がシール剤に行なわれるように、光照射部１を移動させる必要がある。
【００２４】
上記実施例においては、光照射部１の長手方向の両側に設けられた光照射部移動機構４−１，４−２により光照射部１を移動させるとともにθ回転を行っているが、フレーム２の光照射部１の長手方向のほぼ中央部に、その長手方向に対して、直交させてリニアシャフトを設け、該リニアシャフトに取り付けたモータにより、光照射部１を移動させるとともに、角度調整機構を設けて、光照射部１をθ回転させるようにしてもよい。
図１１は上記のように構成した本発明の第２の実施例を示す図であり、同図（ａ）は光照射部の上から見た図、（ｂ）は光照射部をランプの長手方向から見た図である。なお、同図においては、前記した、アライメント顕微鏡、シャッタ、アパーチャ、位置検出センサ等は省略されている。
【００２５】
同図において、光照射部１の光出射口１ｄとは反対側（上側）  の略中央部には、光照射部移動機構４１が設けられている。該移動機構４１は、リニアシャフト４１ａとリニアシャフト４１ａに沿って移動する駆動手段（モータ）４１ｂから構成されている。なお、上記リニアシャフト４１ａとモータ４１ｂとしては前記図３に示したリニアシャフトモータを用いることができる。
また光照射部１は、角度調整機構４２を介して上記光照射部移動機構４１に取り付けられている。
角度調整機構４２には、光照射部１をその移動平面範囲内で回転させる、駆動手段（モータ）  が設けられている。
光照射部１は、上記光照射部移動機構４１により、光照射面と平行な平面内であって、ランプ１ａの長手方向と直角方向に（Ｘ方向）に移動する。また、上記角度調整機構４２により、光照射面に直交する軸の周りをθ回転する。なお、上記リニアシャフト４１ａとは別に、光照射部１を案内する前記したリニアガイドを設けてもよい。
【００２６】
本実施例の装置による位置合わせ手順は前記第１の実施例の場合と基本的には同じであるが、以下簡単に本実施例の装置による位置合わせ手順について説明する。
（１）  不図示の搬送機構により、貼り合わせを行なう液晶パネルが搬送され、図示しないワークステージに載置される。
前記したように液晶パネルは搬送装置においてプリアライメントが行なわれ、棒状ランプ１ａの長手方向と、液晶パネル２０のシール剤の伸びる方向とが一致するように、ワークステージ５上に±１〜２ｍｍの精度で置かれる。
（２）  光照射部１に設けられた、２個のアライメント顕微鏡（図示せず）が移動挿入される。前記したように照明光が基板に照射され、シール剤またはブラックマトリツクスの画像がアライメント顕微鏡のＣＣＤカメラに取り込まれる。
（３）  図示しない制御部は、アライメント顕微鏡に取り込まれた画像を画像処理し、登録されたパターンと比較し、シール剤の位置と登録パターンが一致するように、光照射部１を、光照射部移動機構４１によりＸ方向に移動させ、また、角度調節機構４２によりθ回転する。そして、前記したように、シール剤の位置と登録パターンが一致すれば位置合せ終了となる。
（４）  位置合せ終了後、図示しないシャッタを開き、シール剤に対して光照射を行なう。
以下、前記したように光照射部１を次に光照射を行なうシール剤の位置に移動させ、上記と同様の位置合せを行ない光を照射する処理を繰り返す。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）光照射部から出射する光と、シール剤の位置とを正確に位置合せできる。このため、ワークステージに置かれる基板の位置にずれがあったり、塗布されたシール剤に位置ずれがあっても、光照射部から出射する光を、正確にシール剤に照射し、不所望の部分には照射しないようにすることができる。
（２）複数の光照射部のそれぞれに光照射部移動機構が設けられ、各光照射部を位置位置決めするとともに、移動方向に対する角度を調整しているので、光照射を行なうシール剤に対して、それぞれの光照射部の位置合せを行なうことができ、シール剤が塗布される位置ずれが、各列において異なる場合も、各光照射部の位置合せを行なうことができる。
（３）複数の光照射部のそれぞれに２個以上のアライメント顕微鏡と回転移動機構とを取り付け、光照射を行なう前に、シール剤またはブラックマトリックスを基準にして、光照射部を回転させ位置合せを行なうことにより、光照射部から出射する光を、正確にシール剤に照射し、不所望の部分には照射しないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の装置全体の主な構成を示す斜視図である。
【図２】光照射部１の付近を図１のＡ方向から見た断面図である。
【図３】リニアシャフトモータの一例を示す図である。
【図４】光照射部１をθ回転させるための構成例を示す図である。
【図５】アパーチャを設けた光照射部の構成例を示す図である。
【図６】アライメント顕微鏡が取り付けられた光照射部の構成例を示す図である。
【図７】アライメント顕微鏡の概略構成と制御部と各種駆動機構の構成を示す図である。
【図８】液晶パネルの例を示す図である。
【図９】光照射部と液晶パネルとの位置合わせ手順を示す図である。
【図１０】アライメント顕微鏡に取り込まれモニタに表示される画像の一例を示す図である。
【図１１】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図１２】滴下工法（ＯＤＦ）を説明する図である。
【符号の説明】
１              光照射部
１ａ            ランプ
１ｂ            樋状ミラー（集光鏡）
２              フレーム
３              リニアガイド
４−１，４−２  光照射部移動機構
５              ワークステージ
６−１，６−２  位置検出センサ
７              アパーチャ
８              アライメント顕微鏡
１０            制御部
１１            ランプ点灯装置
１２            モニタ
１３            ワークステージ駆動機構
１４            シャッタ駆動機構
１５            顕微鏡移動機構
１６            アパーチャ板駆動機構
２０            液晶パネル（基板）
２１            光透過性基板（ガラス基板）
２２            シール剤
２３            画面（画郭）
２４            ブラックマトリックス
４１            光照射部移動機構
４２            角度調整機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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