(57)【要約】【課題】角部のバリを生じないようにして歩留まりを改善し、常に均一で良好な特性の偏光回折素子、その作製方法、光ピックアップ装置を提供すること。【解決手段】透明基板１に接着層２を形成し（ａ，ｂ）、その上に有機複屈折膜３を載置して貼り付け（ｃ）。周期的な格子模様の金属マスクパターン６を形成して（ｄ）、該金属マスクパターン６を用いて有機複屈折膜３に凹凸格子を形成する（ｅ）。オーバーコート材４を充填し、その上に透明基板５を載置する（ｆ）。最後に、ダイシングにより複数の偏光回折素子に分割する（ｇ）。本発明は、有機複屈折膜３として、予め偏光回折素子の角部分となる部位が除去された有機複屈折膜を用いる。これによってバリのない偏光回折素子を生産性よく作製することが可能になる。【選択図】      図１
2004258374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、該透明基板上に設けられた、表面に周期的凹凸格子を有する有機複屈折膜と、該有機複屈折膜の前記周期的凹凸格子の溝内に被覆あるいは装荷された等方性オーバーコート材とからなる偏光回折素子であって、角部分に前記有機複屈折膜が存在しないようにしたことを特徴とする偏光回折素子。
【請求項２】
請求項１記載の偏光回折素子において、前記オーバーコート材の上に他の透明基板を積層したことを特徴とする偏光回折素子。
【請求項３】
透明基板上に、有機複屈折膜を設ける工程と、該有機複屈折膜に周期的凹凸格子を形成する工程と、該周期的凹凸格子の溝内に等方性オーバーコート材を被覆あるいは装荷する工程と、複数個の偏光回折素子にダイシングする工程とを有する偏光回折素子の作製方法であって、前記有機複屈折膜は、偏光回折素子の角部になる部位が削除されていることを特徴とする偏光回折素子の作製方法。
【請求項４】
請求項３記載の偏光回折素子の作製方法において、
前記有機複屈折膜は前記透明基板の接着面に予め形成された接着剤層上に載置されて接着されたものであることを特徴とする偏光回折素子の作製方法。
【請求項５】
請求項４記載の偏光回折素子の作製方法において、
前記透明基板の接着面に予め形成される前記接着剤層は、回転による遠心力により膜厚を均一化されることを特徴とする偏光回折素子の作成方法。
【請求項６】
レーザー光を出射するレーザー光源と、該レーザー光源から出射されたレーザー光を集束して光記録媒体に照射する対物レンズと、前記レーザー光源と光記録媒体との間の光路上で前記レーザー光源から射出されたレーザー光を透過し、前記光記録媒体からの反射光を回折する請求項１または２記載の偏光回折素子と、前記光記録媒体と前記偏光回折素子との間の光路上でレーザー光の偏光方向を換えるλ／４板と、前記偏光回折素子により回折された反射光を検出する光検出器と、を備えることを特徴とする光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、偏光回折素子技術に係わり、特に角部のバリをなくして生産性を高くした偏光回折素子およびその作製方法ならびにその偏光回折素子を用いた光ピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ディスクや光磁気ディスクなどの光記録媒体が広く普及してきている。これら光記録媒体に光学的情報を書き込んだり、光記録媒体から光学的情報を読み取んだりするために光ピックアップ装置が用いられる。
【０００３】
光記録媒体に情報を記録したり光記録媒体から情報を読み出したりする装置は、レーザー光を出射するレーザー光源、該レーザー光源から出射されたレーザー光を光記録媒体に照射させる対物レンズやレーザー光の偏光方向を換えるλ／４板などの光ピックアップ光学系、光記録媒体からの反射光を検出する光検出器などを備えている。
【０００４】
光ピックアップ装置は、ディスク状の光記録媒体の記録面から反射された信号光を光検出部へ導光（ビームスプリット）するための光学部品を備えているが、この光学部品としては、従来、回折格子またはホログラム素子を用いたものと、プリズム式ビームスプリッタを用いたものが知られている。
【０００５】
近年、回折格子に関して、その光利用効率をさらに上げるために偏光を利用したものが提案されている。中でも光ディスク用ピックアップの小型化を目的とした薄型のピックアップ用の偏光回折素子として複屈折回折格子型偏光分離素子がいくつか提案されている。
【０００６】
複屈折回折格子型偏光分離素子の従来例として、例えば特開昭６３−３１４５０２号公報（特許文献１）に記載されたものがある。これは、複屈折光学結晶であるニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）を基板として使用し、該基板に周期パターンでプロトン交換を施し、さらにプロトン交換領域上に誘電体膜を装荷した構造を形成し、プロトン交換領域において、屈折率が異常光線に対して増加し、且つ常光線に対しては減少するように構成されたものである。
【０００７】
従って、上記特許文献１の複屈折回折格子型偏光分離素子を用いると、プロトン交換領域での常光線の位相差を誘電体膜で相殺して、常光線を直進させるとともに、異常光線だけを回折させることが可能になる。
【０００８】
しかしながら、このような複屈折回折格子型偏光分離素子は、小型化、量産化が可能で高い偏光分離度が得られる偏光分離素子であるが、製造過程において、結晶に対して周期的プロトン交換を行なうだけで数時間を要するため作製に時間がかかるという問題があり、さらに基板に光学結晶を用いるため、製造コストが高くなるなど様々な問題を有している。
【０００９】
そこで、これらの問題点を考慮したものとして、特開平１０−３０２２９１号公報（特許文献２）、特開２０００−７５１３０号公報（特許文献３）に提案されたものがある。これらの公開公報には、偏光回折素子を簡単な工程で安価に作製し得るようにするために、図５に示す如き構造の偏光回折素子１００’が提案されている。
【００１０】
図５では、透明基板１０１上に、周期的凹凸格子を有する複屈折膜１０３を周期的凹凸格子が外方を向くように接着層１０２を介して設け、且つ複屈折膜１０３上に等方性のオーバーコート材１０４を被覆あるいは装荷し、複屈折回折格子型の偏光回折素子１００’を構成している。中でも複屈折膜の材料として高分子複屈折膜を用いた構成のものは材料コストが比較的安価であるため、大量生産が比較的容易である。
【００１１】
また、上記特許文献２および３には、さらに良好な光学特性を得るために、素子両面の平坦性、および素子の強度向上を目的とした構成として、図６の断面図に示す偏光回折素子１００が提案されている。
【００１２】
同図に示すように、偏光回折素子１００は、ガラスやプラスチック等の透明基板１０１上の同一平面に周期的凹凸格子が形成された高分子複屈折膜１０３が接着層１０２により接着され、前記高分子複屈折膜１０３に等方性のオーバーコート材１０４で覆い、さらにオーバーコート材１０４が接着層も兼ねるようオーバーコート材に透明基板１０５を接着させて素子強度を強化する構成を採用している。このような構成のものは、光学素子として強度があり、かつ生産性が良い。
【００１３】
【特許文献１】
特開昭６３−３１４５０２号公報
【特許文献２】
特開平１０−３０２２９１号公報
【特許文献３】
特開２０００−７５１３０号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の如き構成の偏光回折素子は単品づつ別個に作製するのではなく、生産性の点から円形の透明基板（４インチまたは６インチなど）に複数の回折格子を作製し、最終工程においてそれをダイシングなどによる切り離し工程を実行することで、一度に複数個（数百〜数千個）の偏光回折素子を作製するのが普通である。
【００１５】
すなわち、透明基板に接着された有機材料膜の表面に複数（通常１００〜２０００個）の回折格子の形成が行われる。回折格子の形成は、有機材料膜上に金属や酸化物による薄い膜を形成し、フォトリソグラフィにより上記薄い膜をパターニングして回折格子群に対応するエッチングマスクを形成し、このエッチングマスクを介してドライエッチングを行うことによって実現できる。
【００１６】
回折格子形成後、必要に応じてオーバーコート材を形成し、さらに所望により透明な対向基板をオーバーコート材上に載置して全体を一体化する。その後、ダイシング装置を用いて切断を行ない、個々の回折光学素子を得る。
【００１７】
通常、ウエハの分割（切り離し工程）を行う場合、回転するブレードを用いたダイシングが一般的である。ブレードは人造ダイヤなどの砥粒と結合材からなり、結合材にフェノールレジンを用いて焼結したレジン系ブレード、結合材にメタルの粉末を用いて焼成したメタル系ブレードなどがある。
【００１８】
一般にレジン系は砥粒径が粗く、厚いサンプルに対し有効である。またメタルブレードは砥粒径が細かくチッピングを小さくするのに有効であり、またブレードの剛性もあるため高速でダイシングすることも可能である。
【００１９】
ところが、上記のような構成に使用する有機複屈折膜の多くは延伸された高分子材料であり、透明基板等の材料に比べ柔らかい特性を持つ。そのためダイシング工程においては、その柔らかい有機複屈折膜を硬い透明基板で挟まれた異種材料からなる積層構造のため、その条件選定が極めて困難となる。
【００２０】
すなわち、硬い透明基板に適した条件ではダイシング時に有機材料が砥粒間に目詰まりし、焼き付き等が発生しやすくなる。また、柔らかい有機複屈折膜に適する条件では、硬い透明基板でブレードが破損してしまうようなことが発生する。このようなことからダイシング時の条件は非常に限られた範囲の条件となる。
【００２１】
しかし、上記の件を考慮してダイシング条件を選定した場合においても、ダイシング後の偏光回折素子の角部にはブレード回転によりバリが多く発生することが確認された。図７はダイシング後に発生するバリを説明するための図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図であり、ダイシングによって分離された偏光回折素子の４つの角部にバリ１１０が発生している様子を示している。
【００２２】
特に有機複屈折膜部分から発生するバリは数百μｍと大きく、このような偏光回折素子の角部にバリが存在すると、偏光回折素子をピックアップに組み付ける時のハンドリングに不具合が生じ、光ピックアップ作成時の歩留まりの悪化を招くこととなる。
【００２３】
そこで、本発明は上記の問題点を解消し、角部のバリを生じないようにして偏光回折素子作製の歩留まりを改善し、常に均一で良好な特性の偏光回折素子を作製する技術を提供することを目的としたものであり、具体的には、請求項１記載の発明は角部にバリのない偏光回折素子を、請求項２〜４記載の発明は角部にバリのない偏光回折素子の作製方法を、請求項５記載の発明は該偏光回折素子を用いた光ピックアップ装置を提供することを目的としている。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、次のような構成を有する。以下、請求項毎の構成を記す。
【００２５】
ａ）請求項１記載の発明は、透明基板と、該透明基板上に設けられた、表面に周期的凹凸格子を有する有機複屈折膜と、該有機複屈折膜の周期的凹凸格子の溝内に被覆あるいは装荷された等方性オーバーコート材とからなる偏光回折素子であって、角部分に有機複屈折膜が存在しないようにしたことを特徴としている。
【００２６】
ｂ）請求項２記載の発明は、請求項１記載の偏光回折素子において、オーバーコート材の上に他の透明基板を積層したことを特徴としている。
【００２７】
ｃ）請求項３記載の発明は、透明基板上に、有機複屈折膜を設ける工程と、該有機複屈折膜に周期的凹凸格子を形成する工程と、該周期的凹凸格子の溝内に等方性オーバーコート材を被覆あるいは装荷する工程と、複数個の偏光回折素子にダイシングする工程とを有する偏光回折素子の作製方法であって、有機複屈折膜は、偏光回折素子の角部になる部位が削除されていることを特徴としている。
【００２８】
ｄ）請求項４記載の発明は、請求項３記載の偏光回折素子の作製方法において、有機複屈折膜は透明基板の接着面に予め形成された接着剤層上に載置されて接着されたものであることを特徴としている。
【００２９】
ｅ）請求項５記載の発明は、請求項４記載の偏光回折素子の作製方法において、透明基板の接着面に予め形成される接着剤層は、回転による遠心力により膜厚を均一化されることを特徴としている。
【００３０】
ｆ）請求項６記載の発明は、レーザー光を出射するレーザー光源と、該レーザー光源から出射されたレーザー光を集束して光記録媒体に照射する対物レンズと、レーザー光源と光記録媒体との間の光路上でレーザー光源から射出されたレーザー光を透過し、光記録媒体からの反射光を回折する請求項１または２記載の偏光回折素子と、光記録媒体と前記偏光回折素子との間の光路上でレーザー光の偏光方向を換えるλ／４板と、偏光回折素子により回折された反射光を検出する光検出器とを備えることを特徴としている。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を請求項毎に説明し、その後、本発明の具体的な実施例と従来型の構成例（比較例）とを比較する。
【００３２】
上述したように、偏光回折素子は単品づつ別個に作製するのではなく、生産性の点から円形の透明基板上に有機複屈折膜の複数の回折格子を作製し、該回折格子の溝を充填し、かつそれを覆うようにオーバーコート材を設け、最終工程においてそれをダイシングなどによる切り離すことで、一度に複数個（数百〜数千個）の偏光回折素子を作製するのが普通である。
【００３３】
具体的には、円形の透明基板上に有機複屈折膜を接着し、その表面に凹凸回折格子を作製し、該回折格子の溝を充填しかつそれを覆うようにオーバーコート材を設け、最終工程でそれらを分割して各偏光回折素子を作製しているが、分割に従来のダイシングを用いると、各偏光回折素子の角部にバリを生じてしまう。そこで、本発明に係る偏光回折素子は、角部分に有機複屈折膜が存在しない構成にし、ダイシングによっても偏光回折素子の角部分に有機複屈折膜に起因するバリが発生しないようにしたものである。
【００３４】
本発明に係る偏光回折素子によれば、バリの発生が抑止されるため、例えば光ピックアップ装置などの作製時におけるバリに起因する不具合が減少し、光ピックアップ装置作製の歩留まりを改善することができる（請求項１）。
【００３５】
なお、上記偏光回折素子の構成において、オーバーコート材の上に対向透明基板を設けることにより、強度が強く、両面の平行度が良好な偏光回折素子が得られる（請求項２）。
【００３６】
また、本発明に係る偏光回折素子の作製方法の一例としては、図１に示すようにして行われる（詳細な具体例は後述する実施例で述べる）。
まず、透明基板１に接着層２を形成し（図１（ａ），（ｂ））、その上に有機複屈折膜３を載置して貼り付ける（同図（ｃ））。
【００３７】
さらにその上に周期的な格子模様の金属マスクパターン６を形成して（同図（ｄ））、該金属マスクパターン６を用いてエッチングして有機複屈折膜３に凹凸格子を形成する（同図（ｅ））。
【００３８】
次に、有機複屈折膜の凹凸格子の溝を埋めるとともにその上を覆うようにオーバーコート材４を充填し、さらにその上に透明基板５を載置する（同図（ｆ））。最後に、ダイシングにより複数の偏光回折素子に分割する（同図（ｇ））。
【００３９】
ここで本発明が特徴とする点は、図１（ｃ）の工程で透明基板に接着層を介して貼り付ける有機複屈折膜３として、予め偏光回折素子の角部分となる部位が除去された有機複屈折膜を用いた点であり、これによって上述したようなバリのない偏光回折素子を生産性よく作製することが可能になる。
【００４０】
図２は、図１（ｃ）の工程で透明基板に接着層を介して貼り付ける有機複屈折膜３を説明するための図である。同図（ａ）は、偏光回折素子パターンを□で示し、偏光回折素子の角部分を○で示しており、同図（ｂ）は本発明で用いる偏光回折素子の角部分を削除した有機複屈折膜２１を示す図である（請求項３）。
【００４１】
偏光回折素子の角部分となる部位を削除する方法としては、周知の如何なる方法であってもよい。代表的な方法としては、例えば、機械的にその部位を打ち抜く方法またはドライエッチングでその部位を取り除く方法などがある。
【００４２】
上記で使用する有機複屈折膜は、大面積で且つ大量に低コストで作製することを考慮すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミドなどの高分子複屈折膜であることが好ましい。中でも均一な薄膜化の容易さ、耐熱性、耐薬品性の点からポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が望ましい。
【００４３】
上記の偏光回折素子の作製方法において、有機複屈折膜は、透明基板上の接着面に予め形成された接着剤層に載置して接着することが好ましい（請求項４）。この場合、透明基板の接着面に予め形成される接着剤層は、回転による遠心力により層厚を均一化することが好ましい（請求項５）。
【００４４】
上記本発明に係る偏光回折素子を用いた応用例として光ピックアップ装置がある。すなわち、図４に示すように、レーザー光を出射するレーザー光源（３１）と、レーザー光源（３１）から出射されたレーザー光を集束して光記録媒体（３５）に照射する対物レンズ（３４）と、レーザー光源（３１）と光記録媒体（３５）との間の光路上で前記レーザー光源から射出されたレーザー光を透過するとともに、前記光記録媒体（３５）からの反射光を回折する請求項１または２記載の偏光回折素子（３２）と、光記録媒体（３５）と偏光回折素子（３２）との間の光路上でレーザー光の偏光方向を換えるλ／４板（３３）と、偏光回折素子（３２）により回折された反射光を検出する光検出器（３６）とで光ピックアップ装置を構成すれば、光学特性の良好な光ピックアップ装置が得られる（請求項６）。
【００４５】
（実施例の説明）
以下、本発明の偏光回折素子の実施例と従来方法による偏光回折素子の比較例を説明し、本発明の優位性を述べる。
【００４６】
（実施例１）
図１（ａ）に示すように、透明基板１０として、ＢＫ−７ガラスによる、厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍの円板状のものを用意し、その片面（有機材料膜を接着する側の面）に、スピンコート装置を用いて粘度：５００ｃｐ〜１０００ｃｐのエポキシ樹脂系（透明基板と略同一の屈折率を持つ）の紫外線硬化型接着剤を３ｍｌ滴下し、回転数：３００ｒｐｍで３００秒回転して紫外線硬化型接着剤を透明基板の片面全体に塗り広げ、更に、回転数を３００ｒｐｍから増加し、回転数：４００ｒｐｍで３００秒保持して、同図（ｂ）に示すように紫外線硬化型接着剤による厚さ３５μｍの接着剤層を形成した。
【００４７】
延伸により分子鎖を配向させて複屈折性を発現させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）による、厚さ１００μｍの有機複屈折膜から、Φ９０ｍｍの円形の有機複屈折膜２１を切り出し、偏光回折素子の角部分になる部分を除去した（図２）。このようにして得られた有機複屈折膜２１を、透明基板上の接着剤層の形成された面の上に、図１（ｃ）に示す如く載置した。
【００４８】
次いで、図１（ｃ）の状態のものを真空容器中の減圧した状態で接着剤と有機複屈折膜を一体化し、図示されない「紫外線照射装置」で紫外線硬化型接着剤に紫外光を照射した後、１００℃の温度で１０分間ベーキングを行ない、接着層を完全に硬化させた。図１（ｃ）は、上記の如く、透明基板上に接着剤層により有機複屈折膜を接着した状態を模式的に示している。
【００４９】
このような接着状態を実現した後、有機複屈折膜上にフォトリソグラフィにより、フォトレジストの周期パターン（３．０μｍピッチ）を複数個形成した後、その上にＡｌ膜を真空蒸着法で形成し、リフトオフ法を用いてＡｌによるマスクパターンを形成した。マスクパターンの材料として、ここではマスクパターンをＡｌで形成しているが、例えばＣｒ、Ｎｉ等の他の金属を用いても良い。図１（ｄ）は、個々の有機複屈折膜上にマスクパターンが形成された状態を示している。
【００５０】
上記マスクパターンをマスクとしてドライエッチングを行ない、さらにマスクパターンを構成するＡｌを除去し、有機複屈折膜に、断面が矩形形状の凹凸格子による回折格子を形成した（図１（ｅ））。
【００５１】
さらに、回折格子が形成されている有機材料膜の上から、オーバーコート材となるアクリル系の紫外線硬化型樹脂（有機複屈折膜に発現している複屈折性の「常光線に対する屈折率」と略同一の屈折率を有する）をボッティングし、その上から、ＢＫ−７ガラスによる厚さ：５００μｍの透明な対向基板をのせて適度に加圧し、回折格子の凹部内にオーバーコート材を充填した。対向基板を介して紫外光を照射後、１００℃の温度で１０分間ベーキングを行ない完全に硬化させた。この状態を図１（ｆ）に示す。
【００５２】
最後に、ダイシング装置により、図１（ｇ）に示す切断面にそって切断を行ない、５．０ｍｍ×５．０ｍｍサイズのチップに切断し、図３（ａ）の側面図、同（ｂ）の上面図に示すような回折光学素子を多数作製した。
【００５３】
図３において、１’は透明基板、３’は有機複屈折膜、５’は対向する透明基板、Ａは複屈折膜部分を示している。このようにして得られた各偏光回折素子は何れも角部分にバリの発生は見られず、良好なものであった。
【００５４】
本発明は、上記実施例に制限されるものではなく、公知の手法を転用した様々な変形例が可能であることはいうまでもない。
【００５５】
（比較例）
透明基板に厚さ：１．０ｍｍ、直径：φ＝１００ｍｍのＢＫ−７ガラス板による円板形状の透明基板を用い、実施例１と同様の方法により、厚さ１００μｍの有機複屈折膜（ポリエチレンテレフタレート）を、Φ９０ｍｍの円形に切り出し、透明基板上に接着した。その後は実施例１と同様の方法により偏光回折素子を作製した。
【００５６】
このようにして得られた多数の偏光回折素子のうちには、１００μｍ〜３００μｍ程度のバリが存在した。即ち、実施例１の場合に比してピックアップへの偏光回折光学素子の組み付け時の歩留まりが低下した。
以上により、本発明に係る偏光回折素子およびその製作方法が従来のものに比較して著しく優れていることが確認された。
【００５７】
（実施例２）
図４は、本発明に係る偏光回折素子を用いた光ピックアップ装置の一実施形態を示す図である。
【００５８】
本光ピックアップ装置は、半導体レーザ光源３１から放射される光を対物レンズ３４により光記録媒体（光ディスク）の記録面上に光スポットとして集光し、記録面により反射された戻り光束を、対物レンズ３４を介して光検出部３６へ導きつつ、光ディスクに対し、情報の記録・再生・消去の１以上を行う光ピックアップ装置であり、レーザー光源３１と対物レンズ３４との間に偏光回折素子３２が配置されている。ここで用いられる偏光回折素子３２は図３に示すようなものである（実施例１における図３の説明を参照）。
【００５９】
より詳細に説明すると、図４の光ピックアップ装置では、半導体レーザ光源３１からの光が回折光学素子（偏光回折素子）３２を透過する。回折光学素子３２は有機材料膜が有機複屈折膜のものであり「偏光ホログラム素子」として用いられ、光源側からの光はそのまま回折光学素子３２を透過し、さらに、１／４波長板（λ／４板）３３を透過し、対物レンズ３４の作用により、光記録媒体（光ディスク）３５面上に光スポットとして集光する。
【００６０】
光記録媒体３５の記録面により反射された光は「戻り光束」となって対物レンズ３４、１／４波長板３３を透過し、偏光面が当初の方向から９０度旋回した直線偏光となり、回折光学素子３２に入射し、回折光学素子３２による回折作用を受けて光検出部３６へ向けて偏向される。
【００６１】
このとき、戻り光束には回折光学素子３２により、例えば非点収差が与えられ、この光束は光検出部３６で受光され、非点収差法によるフォーカシング信号、プッシュプル法によるトラッキング信号や再生信号を発生させる。
【００６２】
即ち、図４の光ピックアップ装置は、本発明に係る偏光回折素子（請求項１）を、光源側からの光束の光路と、光ディスクからの戻り光束の光路とを光路分離するための偏光回折素子（偏光ホログラム素子）として用いたものである。
【００６３】
以上詳細に説明したことから明らかなように、本発明では、偏光回折素子の角部分にバリの原因となる有機複屈折膜が存在しないので、バリの発生を防止でき、偏光回折素子をピックアップに組み付ける時に発生するハンドリングに不具合を防ぎ、光ピックアップ装置を歩留まりよく作製することができる。また、このような偏光回折素子を用いる光ピックアップ装置は、良好な光ピックアップ機能を実現できる。
【００６４】
【発明の効果】
以下、本発明の効果を請求項毎に述べる。
ａ）請求項１記載の発明によれば、偏光回折素子の角部分に有機複屈折膜が存在しない構成とすることで、バリの発生が防止でき、光ピックアップ装置への組み付け時に良好な偏光回折素子にすることができる。また、請求項２記載の発明によれば、偏光回折素子の両側に透明基板を有することにより、機械的強度が強く、平行度に優れた偏光回折素子が得られる。
【００６５】
ｂ）請求項３に記載の発明によれば、作製時に使用する有機複屈折膜の形状を、偏光回折素子の角部分になるところを除去しているものとすることで、生産性良く作製することができる。
【００６６】
ｃ）請求項４に記載の発明によれば、透明基板上の接着面に予め接着剤層を形成し、その上に有機複屈折膜を載置して接着することで層厚を均一化することができる。また、請求項５の発明によれば、接着剤層を回転による遠心力で形成することで効率よく均一な層厚を形成することができる。
【００６７】
ｄ）請求項６に記載の発明によれば、請求項１または２記載の偏光回折素子を用いたことにより、生産性の良い光ピックアップ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る偏光回折素子の作製方法の一例を示す図である。
【図２】本発明の偏光回折素子に用いる有機複屈折膜を説明するための図である。
【図３】本発明に係る回折光学素子を説明するための図である。
【図４】本発明に係る偏光回折素子を用いた光ピックアップ装置の一実施形態を示す図である。
【図５】従来の偏光回折素子の構造例を説明するための図である（その１）。
【図６】従来の偏光回折素子の構造例を説明するための図である（その２）。
【図７】ダイシング後に発生するバリを説明するための図である。
【符号の説明】
１，１’，１０１：透明基板、
２，１０２：接着層、
３，３’，１０３：（有機）複屈折膜、
４，１０４：オーバーコート材、
５，５’，１０５：（対向）透明基板、
６：金属マスクパターン、
２１：有機複屈折膜、
３１：（半導体）レーザ光源、
３２：偏光回折素子（回折光学素子）、
３３：１／４波長板（λ／４板）、
３４：対物レンズ、
３５：光記録媒体（光ディスク）、
３６：光検出部３６、
１００，１００’：偏光回折素子、
１１０：バリ、
Ａ：複屈折膜部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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