(57)【要約】      （修正有）【課題】振動板のクラックの有無を容易に且つ確実に検査する方法の提供。【解決手段】圧電素子保持部の密封状態が良好なマスターワーク１１１と、検体１１０とを同一の容積を有する密封空間１３１及び１３０に配置し、密封空間１３０及び１３１を同一の圧力で加圧して密封空間１３０及び１３１内の圧力を測定し、測定した密封空間１３０及び１３１の圧力を比較して振動板のクラック及び圧電素子保持部３１の封止状態を検査する第１の検査工程と、第１の検査工程で合格した検体１１０を配置した密封空間１３０を真空にした後で、密封空間１３０に検査ガスを加圧充填し、その後、密封空間１３０内の雰囲気ガスを窒素に置換し、密封空間１３０内の全てのガスを真空排気して検査ガスの有無を検出することにより、振動板の微小クラック及び前記圧電素子保持部３１の封止状態を検査する第２の検査工程とにより検査する。【選択図】        図４
2004284256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されて当該圧電素子に対向する領域に空間を確保した状態で当該空間を密封した圧電素子保持部を有する接合基板とを具備する液体噴射ヘッドの検査方法であって、
前記圧電素子保持部の密封状態が良好な液体噴射ヘッドからなるマスターワークと、検体となる液体噴射ヘッドとを同一の容積を有する密封空間にそれぞれ配置すると共に、それぞれの密封空間を同一の圧力で加圧して当該密封空間内の圧力を測定し、測定したそれぞれの前記密封空間の圧力を比較して前記振動板のクラック及び前記圧電素子保持部の封止状態を検査する第１の検査工程と、前記第１の検査工程で合格した前記検体を配置した前記密封空間を真空にした後で、該密封空間に検査ガスを加圧充填し、その後、前記密封空間内の雰囲気ガスを窒素に置換し、前記密封空間内の全てのガスを真空排気して前記検査ガスの有無を検出することにより、前記振動板の微小クラック及び前記圧電素子保持部の封止状態を検査する第２の検査工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項２】
請求項１において、前記検体を密封空間に配置する工程の前に、前記圧電素子の駆動試験を行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記検査ガスが、ヘリウム又はアルゴンからなることを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記第１の検査工程では、それぞれの前記密封空間の圧力の比較を差圧計により行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体を噴射するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に圧電素子を形成して、圧電素子の変位により液体を噴射させる液体噴射ヘッドの検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液体噴射装置としては、例えば、圧電素子や発熱素子によりインク滴吐出のための圧力を発生させる複数の圧力発生室と、各圧力発生室にインクを供給する共通のリザーバと、各圧力発生室に連通するノズル開口とを備えたインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置があり、このインクジェット式記録装置では、印字信号に対応するノズル開口と連通した圧力発生室のインクに吐出エネルギを印加してノズル開口からインク滴を吐出させる。
【０００３】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００４】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００５】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００６】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成することで高密度配列を実現したものがある。
【０００７】
また、圧力発生室が形成される流路形成基板の圧電素子側の一方面には、この圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する封止基板が接合されることで、圧電素子の外部環境に起因する破壊が防止されている。この流路形成基板に接合された封止基板の圧電素子保持部を封止する方法としては、封止基板に圧電素子保持部と外部とを連通する封止孔を設け、流路形成基板に封止基板を接合後、封止孔に樹脂等からなる封止部材を充填することで封止孔を密封し圧電素子保持部を密封している（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１６０３６６号公報（第６−７頁、第１−３図）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のインクジェット式記録ヘッドでは、製造上の取り扱いや圧電素子内の微小欠陥により振動板にクラックが発生したり、圧電素子を駆動した際に圧電素子内の微小欠陥が起因して振動板にクラックが発生したりする。このような振動板のクラックによって、圧力発生室内のインクがクラックを介して圧電素子保持部内に流入し、圧電素子が破壊されてしまうという問題がある。このため、インクジェット式記録ヘッドの製造時の流路形成基板とノズルプレートとを接合する前に、圧電素子の駆動試験を行い、その後、振動板のクラックの有無を外観検査により検査していた。
【００１０】
しかしながら、外観検査による振動板のクラックの有無の検査は、検査時間がかかると共に煩雑であるという問題がある。また、外観検査は、流路形成基板とノズルプレートとを接合する前に行わなくてはならず、外観検査を行う際や圧電素子の駆動試験を行う際などの取り扱いが煩雑であるという問題がある。さらに、外観検査では、同時に複数のインクジェット式記録ヘッドの検査を行うことができず、検査時間がかかってしまい検査コストがかかるという問題がある。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドの検査時においても、同様に存在する。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、振動板のクラックの有無を容易に且つ確実に検査することができると共に、各種検査時の取り扱いを容易にして検査コストを低減した液体噴射ヘッドの検査方法を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されて当該圧電素子に対向する領域に空間を確保した状態で当該空間を密封した圧電素子保持部を有する接合基板とを具備する液体噴射ヘッドの検査方法であって、前記圧電素子保持部の密封状態が良好な液体噴射ヘッドからなるマスターワークと、検体となる液体噴射ヘッドとを同一の容積を有する密封空間にそれぞれ配置すると共に、それぞれの密封空間を同一の圧力で加圧して当該密封空間内の圧力を測定し、測定したそれぞれの前記密封空間の圧力を比較して前記振動板のクラック及び前記圧電素子保持部の封止状態を検査する第１の検査工程と、前記第１の検査工程で合格した前記検体を配置した前記密封空間を真空にした後で、該密封空間に検査ガスを加圧充填し、その後、前記密封空間内の雰囲気ガスを窒素に置換し、前記密封空間内の全てのガスを真空排気して前記検査ガスの有無を検出することにより、前記振動板の微小クラック及び前記圧電素子保持部の封止状態を検査する第２の検査工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法にある。
【００１３】
かかる第１の態様では、液体噴射ヘッドを第１の検査工程と第２の検査工程とで検査することにより、振動板のクラック及び微少クラックの有無を容易に且つ確実に検査することができると共に、圧電素子保持部の封止状態も検査することができる。また、第１及び第２の検査工程では、複数の液体噴射ヘッドを同時に検査することができ、検査時間を短縮して検査コストを低減することができる。さらに、第１及び第２の検査工程では、液体噴射ヘッドを組み立てた状態で検査することができるため、液体噴射ヘッドの取り扱いが容易となる。
【００１４】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記検体を密封空間に配置する工程の前に、前記圧電素子の駆動試験を行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法にある。
【００１５】
かかる第２の態様では、第１及び第２の検査工程では、液体噴射ヘッドを組み立てた状態で検査することができるため、圧電素子の駆動試験時にも液体噴射ヘッドの取り扱いが容易となる。
【００１６】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記検査ガスが、ヘリウム又はアルゴンからなることを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法にある。
【００１７】
かかる第３の態様では、分子サイズの小さな検査ガスを用いることで、振動板の微少クラックから圧電素子保持部内に検査ガスを侵入させることができ、振動板の微少クラックの有無を確実に検査することができる。
【００１８】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記第１の検査工程では、それぞれの前記密封空間の圧力の比較を差圧計により行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法にある。
【００１９】
かかる第４の態様では、マスターワークの配置された密封空間と、検体の配置された密封空間との圧力の比較を差圧計により容易に且つ正確に行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る検査方法の対象となるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなり、その両面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０、及び後述する圧力発生室を形成する際にマスクとして用いられるマスクパターン５１が設けられている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２が幅方向に並設され、その長手方向外側には、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成され、この連通部１３は各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれインク供給路１４を介して連通されている。また、各圧力発生室１２の一端に連通する各インク供給路１４の断面積は、圧力発生室１２のそれより小さく形成されており、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２１】
また、流路形成基板１０の開口面側には、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着されている。このノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。このノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、流路形成基板１０であるシリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たす。また、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０と熱膨張係数が略同一の材料で形成するようにしてもよい。この場合には、流路形成基板１０とノズルプレート２０との熱による変形が略同一となるため、熱硬化性の接着剤等を用いて容易に接合することができる。
【００２２】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、弾性膜５０と、弾性膜５０上に絶縁層５５を介して下電極膜６０と、この下電極膜６０上に圧電体層７０と、圧電体層７０上に上電極膜８０とが積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０、及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用する。また、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、一端がインク供給路１４に対向する領域まで延設されるリード電極９０が接続されている。
【００２３】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部３１が設けられた封止基板３０が接着剤を介して接合され、圧電素子３００はこの圧電素子保持部３１内に封止されている。このように圧電素子３０を圧電素子保持部３１内に封止することで、圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を防止することができる。なお、圧電素子保持部３１内には、例えば、不活性ガス等の乾燥流体を充填するようにしてもよい。
【００２４】
また、この封止基板３０には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が、各圧力発生室１２の長手方向外側に設けられている。これらのリザーバ部３２は、本実施形態では、封止基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、弾性膜５０に設けられた貫通部を介して流路形成基板１０の連通部１３と連通され、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００をそれぞれ構成している。また、封止基板３０の圧電素子保持部３１とリザーバ部３２との間の領域には、封止基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０は、その端部近傍が貫通孔３３内で露出されている。このような封止基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２５】
また、封止基板３０のリザーバ部３２に対応する領域には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２６】
以上説明した本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、図示しないインク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ（図示なし）からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に駆動電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁膜５５及び圧電素子３００を変位させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２７】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドを対象とした振動板の検査方法について説明する。図３は、インクジェット式記録ヘッドの検査工程を示す概略斜視図及び断面図であり、図４及び図５は、インクジェット式記録ヘッドの検査工程を示す概略断面図である。まず、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、検査対象となるインクジェット式記録ヘッドからなる検体１１０の圧電素子３００の駆動試験を行う。詳しくは、一対のプローブピン１２０及び１２１を有する検査装置によって、一方のプローブピン１２０の先端をリード電極９０に接触させ、他方のプローブピン１２１の先端を露出した下電極膜６０に接触させ、一対のプローブピン１２０及び１２１の間に所定の駆動電圧を印加することで圧電素子３００を駆動させる。このとき、圧電素子３００の内部に微小欠陥があると、弾性膜５０、絶縁膜５５及び下電極膜６０からなる振動板に大きなクラックや微少クラックが生じる。
【００２８】
次に、検体１１０の振動板に大きなクラックが発生したか否かを検査するため、圧電素子保持部３１の密封状態が良好なインクジェット式記録ヘッドからなるマスターワーク１１１を用意する。なお、マスターワーク１１１としては、例えば、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接合する前に、上述した圧電素子３００の駆動試験を行い、流路形成基板１０の圧電素子３００とは反対側の開口面側から弾性膜５０を外観検査により検査して、弾性膜５０にクラックのないインクジェット式記録ヘッドを用いることができる。
【００２９】
ここで、検体１１０の振動板の大きなクラックの有無の検査は、まず、図４（ａ）に示すように、上述した圧電素子３００の駆動試験を行った検体１１０と、マスターワーク１１１とをそれぞれ同一の容積を有する密封空間１３０及び１３１にそれぞれ配置し、それぞれの密封空間１３０及び１３１を同一の圧力で加圧する。本実施形態では、密封空間１３０及び１３１の加圧を、密封空間１３０及び１３１の容積を同じだけ減少させることで行った。なお、密封空間１３０及び１３１の加圧は、特にこれに限定されるものではなく、例えば、密封空間１３０及び１３１のそれぞれに同一の気体を充填するようにしてもよい。
【００３０】
次に、密封空間１３０及び１３１を同一の圧力で加圧して当該密封空間１３０及び１３１内の圧力を測定して比較する。本実施形態では、密封空間１３０及び１３１内の圧力を測定して比較する手段として、差圧計１５０を用いて各密封空間１３０及び１３１内の圧力差を測定するようにした。詳しくは、図４（ｂ）に示すように、検体１１０の配置された密封空間１３０内の圧力Ｐ１と、マスターワーク１１１の配置された密封空間１３１内の圧力Ｐ２とを差圧計１５０を用いて比較して検体１１０の振動板に大きなクラックが発生しているか否を検証する。例えば、検体１１０の振動板に大きなクラックが無い場合には、検体１１０の配置された密封空間１３０の圧力Ｐ１と、マスターワーク１１１の配置された密封空間１３１の圧力Ｐ２とが同等となる。検体１１０の振動板に大きなクラックがある場合には、検体１１０の配置された密封空間１３０では、大きなクラックを介して圧電素子保持部３１内も加圧されるため、密封空間１３０の加圧される容積は、密封空間１３１の容積に比べて大きくなる。このため、検体１１０の配置された密封空間１３０の圧力Ｐ１は、マスターワーク１１１の配置された密封空間１３１の圧力Ｐ２に比べて小さくなる。このように、密封空間１３０及び１３１を同じ圧力で加圧して、各密封空間１３０及び１３１内の圧力Ｐ１及びＰ２を差圧計１５０を用いて比較するだけで検体１１０の振動板に大きなクラックが発生しているか否かを検査することができる。
【００３１】
なお、このような検査では、検体１１０の振動板の大きなクラックの発生の有無を確実に検査するために、密封空間１３０及び１３１の圧力Ｐ１及びＰ２が、例えば、０．１５〜０．２ＭＰａとなるように加圧するのが好ましい。例えば、密封空間１３１の圧力Ｐ２を０．１５ＭＰａとなるように加圧すると、検体１１０の振動板に大きなクラックがある場合の密封空間１３０の圧力Ｐ１は、７．４Ｐａとなり、圧力Ｐ１はマスターワーク１１１の配置された密封空間１３１の圧力Ｐ２よりも低くなることが判明し、検体１１０の振動板に大きなクラックがあることが容易に分かる。
【００３２】
このようなマスターワーク１１１を用いた検査では、検体１１０の検査毎にマスターワーク１１１の配置された密封空間１３１及び検体１１０の配置された密封空間１３０を同時に加圧して、密封空間１３０及び１３１内のそれぞれの圧力を測定し、圧力差を読みとる差圧計１５０を用いれば精度の高い測定を容易に行うことができる。なお、本実施形態では、それぞれの密封空間１３０及び１３１を同一の圧力で加圧して当該密封空間１３０及び１３１内の圧力を測定する手段として差圧計１５０を用いたが、特にこれに限定されず、例えば、差圧計１５０を用いずに、密封空間１３０及び１３１のそれぞれに圧力を測定する圧力計を設け、この圧力計の数値から密封空間１３０及び１３１のそれぞれの圧力を比較するようにしてもよい。この場合、複数の検体の検査毎にマスターワーク１１１の配置された密封空間１３１を加圧して圧力Ｐ２を取得する必要はなく、最初に取得した密封空間１３１を加圧した際の密封空間１３１の圧力Ｐ２を基準として、検体１１０が配置されて加圧された密封空間１３０の圧力Ｐ１のみを圧力計により取得するようにすればよい。
【００３３】
また、このような検査に合格した検体１１０であっても、例えば、振動板に微小クラックがある場合、上述した検査では、密封空間１３０を加圧しただけでは、浸透性の低い空気が微少クラックを介して圧電素子保持部３１内に侵入せず、圧電素子保持部３１内を加圧することができない。すなわち、上述の検査では、振動板の微小クラックを検出することができない。このため、上述した検査に合格した検体１１０についてさらに検査ガスを用いたボンビング法による検査を行う。
【００３４】
詳しくは、まず、図５（ａ）に示すように、検体１１０の配置された密封空間１３０を真空にした状態で、密封空間１３０に検査ガス１４０を加圧充填する。この検査ガス１４０の加圧充填は、検体１１０の振動板に微小クラックがある場合に、圧電素子保持部３１内にも検査ガス１４０が微少クラックを介して侵入する条件で充填する必要がある。例えば、本実施形態では、検査ガス１４０の充填により密封空間１３０内の圧力が０．５ＭＰａとなるようにし、一定時間以上（ここでは２時間以上）放置した。なお、検査ガス１４０としては、振動板の微小クラックを発見するため浸透性が高く分子サイズの小さな気体であれば特に限定されず、例えば、ヘリウム、アルゴン等を挙げることができる。本実施形態では、検査ガス１４０としてヘリウムを用いた。
【００３５】
次に、図５（ｂ）に示すように、密封空間１３０内の雰囲気ガスを窒素ガス１４１に置換する。この雰囲気ガスの窒素ガス１４１への置換は、検体１１０の外部の雰囲気ガスは完全に置換できるが、振動板の微少クラックを介して圧電素子保持部３１内に侵入した検査ガス１４０が微少クラックを介して置換されないような条件で行う。このような窒素ガス１４１への置換としては、例えば、密封空間１３０内の圧力が０．０１〜０．０３ＭＰａとなる減圧状態で雰囲気ガスの排気を行いながら、窒素ガス１４１を密封空間１３０内に送るようにすればよい。
【００３６】
次に、図５（ｃ）に示すように、密封空間１３０内の全てのガスを真空排気すると共に、この排気ガス１４２に検査ガス１４０が存在するか否かを検査する。このときの真空排気は、検体１１０の振動板の微少クラックを介して圧電素子保持部３１内に侵入した検査ガス１４０も微少クラックを介して吸引されるような条件で行う。例えば、本実施形態では、真空排気を行った際に密封空間１３０内が１Ｐａ以下の減圧状態となるようにした。
【００３７】
このように、検査を行い排気ガス１４２から検査ガス１４０が検出されれば、圧電素子保持部３１内に微少クラックを介して検査ガス１４０が侵入した、すなわち、振動板に微小クラックがあることが分かる。また、排気ガス１４２から検査ガス１４０が検出されなければ、圧電素子保持部３１内に検査ガス１４０が侵入せず、振動板に微小クラックがないことが分かる。なお、検査ガス１４０の検出は、例えば、ヘリウム検出装置などの検出手段１６０により行うことができる。
【００３８】
また、このようなボンビング法だけでは、検体１１０の振動板に大きなクラックがある場合には、密封空間１３０の雰囲気ガスを窒素ガス１４１に置換した際に、圧電素子保持部３１内に大きなクラックを介して侵入した検査ガス１４０も大きなクラックを介して窒素ガス１４１に置換されてしまうため、排気ガス１４２から検査ガス１４０を検出することができない。このため、上述の加圧による検査と、ボンビング法による検査とを組み合わせることで、検体１１０の振動板の大きなクラック及び微少クラックの両方を容易に且つ確実に検出することができる。
【００３９】
また、加圧による振動板の大きなクラックの検査と、ボンビング法による微小クラックの検査とは、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接合を行った後に実施できるため、検査時の検体１１０の取り扱いが容易となる。また、圧電素子３００の駆動試験も流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着した状態で行うことができるため、圧電素子３００の駆動試験でも検体１１０の取り扱いが容易となる。これにより、各種検査を簡略化することができる。
【００４０】
さらに、本発明のインクジェット式記録ヘッドの検査方法によれば、検体１１０の振動板の大きなクラック及び微少クラックの検出だけでなく、圧電素子保持部３１の封止状態の検査も行うことができる。このため、圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を確実に防止することができる。また、本発明のインクジェット式記録ヘッドの検査方法では、同時に複数の検体１１０を検査することができるため、検査時間を省略して検査コストを低減することができる。なお、同時に複数の検体１１０を検査する場合には、マスターワーク１１１を用いた検査では、検体１１０の数と同数のマスターワーク１１１が必要となる。
【００４１】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明の検査方法を採用することができる。さらに、上述の実施形態１では、たわみ振動型のインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、勿論これに限定されず、例えば、縦振動型のインクジェット式記録ヘッド、あるいは圧力発生室内に抵抗線を設けた電気熱変換式のインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドに適用することができる。
【００４２】
なお、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを本発明の検査方法の対象として例示したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドの検査方法を対象としたものである。本発明の検査方法の対象となる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る検査工程を示す斜視図及び断面図である。
【図４】実施形態１に係る検査工程を示す断面図である。
【図５】実施形態１に係る検査工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  流路形成基板、１２  圧力発生室、２０  ノズルプレート、２１  ノズル開口、５０  弾性膜、５５  絶縁膜、６０  下電極膜、７０  圧電体層、８０  上電極膜、９０  リード電極、１００  リザーバ、１１０  検体、１１１  マスターワーク、１２０，１２１  プローブピン、１３０，１３１  密封空間、１４０  検査ガス、１４１  窒素ガス、１４２  排気ガス、１５０  差圧計、１６０検出手段、３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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