(57)【要約】【課題】外部からの衝撃により、内蔵した圧電振動片が損傷しにくく、しかも低背化を実現できる圧電デバイスと、この圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供すること。【解決手段】上端と下端とが開放された枠体５１と、この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片５２と、前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース３１及び下ケース４１とを備えており、前記圧電振動片５２は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部５６を備える基部５３と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕５４，５５とを有し、前記基部に、前記基部の両側面と枠体の枠部に対して一体に接続された支持部６３，６３を設けた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端と下端とが開放された枠体と、
この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、
前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、
前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、
前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた
ことを特徴とする、圧電デバイス。
【請求項２】
前記固定部が、前記基部の幅よりも小さい幅を備えるように形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記支持部の少なくとも一部が、前記基部の厚みよりも小さい厚みを備えるように形成されていることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記支持部が、前記基部の各側面において、複数の細い支持部として形成されていることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項５】
内部に圧電振動片を気密に収容する構成とした圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
上端と下端とが開放された枠体と、
この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、
前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、
前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、
前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、携帯電話装置。
【請求項６】
内部に圧電振動片を気密に収容する構成とした圧電デバイスを利用した電子機器であって、
上端と下端とが開放された枠体と、
この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、
前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、
前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、
前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片を気密に収容した圧電デバイスとその製造方法、ならびに、圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図９は、従来の圧電デバイスの構成例を示す概略断面図である（特許文献１参照）。
図において、圧電デバイス１は、上ケース２及び下ケース３の間に枠体４を挟み込み、固定している。この枠体４は、図１０に示すように、矩形の枠部５の内側に、所謂音叉型の圧電振動片６を一体に形成したものである。
これにより、図９において、上ケース２及び下ケース３の各内側を合わせたことで形成される内部空間Ｓ１内に枠体４と一体になった圧電振動片６を収容している。
【０００３】
【特許文献１】特開昭５３−９８７９３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構造の圧電デバイス１では、この圧電デバイス１を実装した機器が落下する等の外部からの衝撃が加えられると、圧電振動片６が撓むことで、先端部６ａが図９の矢印に示すように変位する。
圧電振動片６の先端部６ａが、上ケース２または下ケース３の内面に衝突すると、先端部６ａが損傷するので、振動性能に悪影響を与える。
【０００５】
このような弊害に対する対策として、例えば、図９の内部空間Ｓ１内において、上ケース２と下ケース３との間隔Ｇ１を比較的大きく確保し、圧電振動片６が撓んでも圧電振動片６の先端部６ａが、上ケース２または下ケース３の内面に衝突しないようにする手法もある。
この場合には、例えば、図１０の圧電振動片６の厚みを１００μｍ程度、全長Ｌ１を２２００μｍとすると、間隔Ｇ１の寸法としては、２５０μｍ程度を必要としていた。
【０００６】
しかしながら、上ケース２と下ケース３との間の間隔Ｇ１にこのような大きな寸法を必要とすることは、なによりも、圧電振動片６を枠部５と一体に設けて、ケース内における圧電振動片のマウント構造を不要にし、薄型を図った効果を生かせないことから、必要とされる圧電デバイス１の低背化の大きな障害となっていた。
【０００７】
本発明は、外部からの衝撃により、内蔵した圧電振動片が損傷しにくく、しかも低背化を実現できる圧電デバイスと、この圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、第１の発明によれば、上端と下端とが開放された枠体と、この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた、圧電デバイスにより達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、圧電振動片が、枠体と一体に設けられているから、ケース内で圧電振動片をマウントする構造を必要とせず、その分圧電デバイス全体の厚さを薄くできるので、低背化をはかることができる。
しかも、枠体と一体に設けた圧電振動片が、その基部の両側面と枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を備えていることから、枠体の枠部と圧電振動片との固定箇所が、従来よりも圧電振動片の先端部よりに設けられることになる。このため、圧電振動片が撓みにくくなり、外部から衝撃が加えられた場合に、圧電振動片の先端部における大きな変位を抑制できる。ケースの厚み方向の大きさを小さくしても、圧電振動片の先端部が、上ケースまたは下ケースの内面に衝突することがなく、このため、ケース内に圧電振動片の先端部の変位を見込んで比較的大きな間隔を形成する必要がないので、低背化を実現できる。
以上により、本発明の効果として、外部からの衝撃により、内蔵した圧電振動片が損傷しにくく、しかも低背化を実現できる圧電デバイスを提供することができる。
尚、この発明で、「上ケース」と表現した場合の「上」は、圧電デバイスを実装基板等に実装した状態で基板側と反対の側を意味し、「下ケース」と表現した場合の「下」は、圧電デバイスを実装基板等に実装した状態の基板側を意味する。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記固定部が、前記基部の幅よりも小さい幅を備えるように形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、圧電振動片を枠体に対して一体に固定するための固定部が、圧電振動片の基部の幅よりも小さい幅を備えることにより、圧電振動片から枠体への振動漏れの流路（振動が伝わる通路）の断面積が小さくなる。これにより、圧電振動片から枠体への振動漏れを抑制することができる。
【００１１】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記支持部の少なくとも一部が、前記基部の厚みよりも小さい厚みを備えるように形成されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、前記支持部の少なくとも一部を基部の厚みよりも小さい厚みを備えるようにしたので、圧電振動片から枠体への振動漏れの流路の断面積をさらに小さくでき、圧電振動片から枠体への振動漏れを有効に抑制することができる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記支持部が、前記基部の各側面において、複数の細い支持部として形成されていることを特徴とする。
第４の発明によれば、前記支持部が細い形状とされているので、圧電振動片からひとつひとつの支持部を介して枠体へ振動が漏れる流路の断面積を小さくすることになる。これにより、圧電振動片全体として枠体への振動漏れを有効に抑制できる。しかも、このような支持部を複数もしくは多数形成することにより、全体として圧電振動片を枠部に対して支持する強度を確保することができ、支持構造を強化することができる。
【００１３】
また、上述の目的は、第５の発明によれば、内部に圧電振動片を気密に収容する構成とした圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、上端と下端とが開放された枠体と、この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により、達成される。
【００１４】
また、上述の目的は、第６の発明によれば、内部に圧電振動片を気密に収容する構成とした圧電デバイスを利用した電子機器であって、上端と下端とが開放された枠体と、この枠体の内側に、前記枠体と一体に設けられ、駆動用の励振電極が形成された圧電振動片と、前記枠体を挟み込むようにして固定される上ケース及び下ケースとを備えており、前記圧電振動片は、前記枠体の一端部の内側に対して一体に固定された固定部を備える基部と、この基部から、前記枠体の他端部に向かって平行に延びる一対の振動腕とを有し、前記基部に、前記基部の両側面と前記枠体の枠部に対して一体に接続された支持部を設けた圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により、達成される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１ないし図３は、本発明の圧電デバイスの実施の形態を示しており、図１はその概略分解斜視図、図２は図１の圧電デバイスの長手方向に沿った断面を示す概略断面図、図３は図１のＡ−Ａ線切断端面図である。
図１において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示している。この圧電デバイス３０は、枠体５１の上下の開口を、それぞれ上ケース３１と下ケース４１とで塞ぐように固定して形成されている。
【００１６】
上ケース３１と下ケース４１は、圧電振動片（後述）を収容するためのケースもしくはパッケージを構成するものである。上ケース３１が蓋側であり、リッドである。下ケース４１がベースとなる。
上ケース３１と下ケース４１は、本実施形態では、同じ寸法及び形状とされており、かつ上ケース３１と下ケース４１の各外形は、枠体５１の外形と一致するように形成されている。この実施形態では、上ケース３１と下ケース４１及び枠体５１の外形は同一形状の矩形であるが、図示以外の幾何学形状または楕円形状等製品に求められる外形形状に適合させて選択することができる。
【００１７】
上ケース３１と下ケース４１は、図２に示されているように、凹部３１ａ，４１ａを有し、これらの上ケース３１と下ケース４１は、互いの凹部３１ａ，４１ａを対向させることで、内側に厚み方向がＧ２の隙間を有する内部空間Ｓ２を形成するようにされている。
上ケース３１と下ケース４１は、後述するように、セラミックスや光透過性の材料、例えばガラスを用いて形成されている。上ケース３１は、光ビームによる周波数調整を考慮して、光透過性の材料で形成することが好ましい。この実施形態では、下ケース４１を後述するセラミックスで、上ケース３１をホウ珪酸ガラス等で形成している。
【００１８】
また、上ケース３１と下ケース４１は、それぞれ凹部３１ａ，４１ａを設けることで、所定の深さの内部空間Ｓ２を形成するようにされているが、内部空間Ｓ２は、厚み方向の隙間Ｇ２ができるだけ小さいことが好ましく、例えば、リッド側である上ケース３１及び／またはベース側である下ケース４１について、凹部を形成せずに、平板な板体で形成してもよい。この場合、必要とする内部空間Ｓ２に所定の厚み方向の隙間Ｇ２を形成するためには、上ケース３１と下ケース４１を枠体５１に接合するための図２に示すロウ材もしくは封止材６１に、所定のフィラー等を混入することでスペーサとして機能させることで実現できる。
あるいは、枠体５１の枠部５９に対して、その内側の圧電振動片５２の厚みを薄く形成することでも実現できる。このためには、製造工程において、枠体５１をエッチングにより形成する際に、枠体５１の外形をエッチングした後で、圧電振動片５２の部分をハーフエッチングすること等により実現できる。
【００１９】
枠体５１は、図１に示されているように、上端と下端とが開放され、周囲を囲む枠部５９を有する矩形形状に形成されている。枠体５１は、開放された上端と下端とに、封止材６１を介在させて、真空雰囲気内で、図２に示されているように上ケース３１と下ケース４１とを固定することで、内部空間Ｓ２が密閉された空間となるようにされている。
この枠体５１は、特に、内部に圧電振動片５２を形成するために、圧電材料が使用されている。使用される圧電材料としては、例えば、本実施形態のように水晶が適しており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。枠体５１は、本実施形態の場合、水晶の薄板をフッ酸液等を用いてエッチングすることにより、内部空間Ｓ２と圧電振動片５２の外形を形成している。
【００２０】
圧電振動片５２は、枠体５１と同じ材料により一体に形成された固定部５６を介して枠部５９と一体に形成されており、本実施形態の場合、圧電振動片５２は、小型に形成して必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片５２は、図１において、枠体５１の一端部の内側と一体とされている基部５３と、この基部５３を基端として、先端に向かって二股に別れて平行に延びる一対の振動腕５４，５５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片とされている。そして、固定部５６は、基部５３の幅Ｗ１よりも細い幅となるようにされている。
【００２１】
さらに、図１に示すように、基部５３の両側面と枠体５１の枠部５９に対して幅方向に一体に延びて接続された支持部６３，６３を設けている。この支持部６３，６３は、例えば、リードフレームのタイバーのような構成であり、枠体５１の材料と同一の材料で一体に形成されている。このような支持部６３，６３は、枠体５１の形成の際に、製造工程において、支持部６３，６３及び上述した固定部５６の部分を残すようにして、フォトリソグラフィーにより、圧電材料をエッチングすることにより形成することができる。
【００２２】
また、好ましくは、図１に示すように、各振動腕５４，５５には、それぞれ長手方向に延びる溝５４ａ，５５ａを設けている。この溝５４ａ，５５ａは、図３に示されているように、各振動腕５４，５５の表面と裏面とのそれぞれ溝５４ａ，５４ａ、溝５５ａ，５５ａとして形成されている。これにより、各５４ａ，５５ａの側壁に図示しない励振電極を形成し、各振動腕５４，５５の側面にも対応した励振電極を形成することで、駆動電圧を印加した際に効率よく電界を形成して、各振動腕５４，５５を振動させることができる。
【００２３】
すなわち、圧電振動片５２の表面には、図示しない励振電極が形成されており、各振動腕５４，５５を構成する材料について、駆動電圧に基づいて適切な電界を形成して振動させるようになっている。これらの励振電極は、ケース内部を引き回されて、下ケース４１の底面に形成した実装電極４２，４３（図２参照）と接続されている。これにより、圧電デバイス３０は、実装基板等に対して、この実装電極４２，４３を利用して半田実装することができるようになっている。
【００２４】
このような構造でなる枠体５１は、図２に示すように、その枠部５９の上面及び下面が、それぞれロウ材もしくは封止材６１，６１を介して、上ケース３１及び下ケース４１と接合されることで、内部空間Ｓ２内に圧電振動片５２が気密に密閉されている。封止材６１としては、上ケース３１及び下ケース４１と、図１の枠体５１に対して、濡れ性のよい封止材を選択することが好ましい。上ケース３１及び下ケース４１として、ガラス材料を使用する場合には、封止材６１は低融点ガラスを用いることが好ましい。低融点ガラスは、３００度ないし７００度程度で溶融・軟化するガラスであり、封止材としての操作を行うために、所定のフィラーを混入したペーストとして使用し、ケース側もしくは枠体側に塗布後、これらを重ねた状態で加熱することで硬化される。
【００２５】
本実施形態は以上のように構成されており、圧電デバイス３０では、次の理由により低背化を実現できる。
つまり、圧電振動片５２が、枠体５１と一体に設けられているから、ケース内で圧電振動片５２をマウントする構造を必要とせず、その分圧電デバイス全体の厚さを薄くできる。
さらに、枠体５１と一体に設けた圧電振動片５２が、その基部５３に支持部６３，６３を備えていることから、枠体５１の枠部５９と圧電振動片５２との固定箇所が、従来よりも圧電振動片５２の先端部５２ａよりに設けられることになる。このため、圧電振動片５２が撓みにくくなり、図２に示すように、外部から衝撃が加えられた場合に、圧電振動片５２の先端部５２ａにおける矢印Ｂ方向の大きな変位を抑制できる。
【００２６】
例えば、図１の圧電振動片５２の厚みを従来と同じ１００μｍ程度とすると、支持部６３から圧電振動片５２の先端部５２ａまでの全長Ｌ２が１６００μｍとなる。これは、圧電振動片５２の支持構造としての片持ち梁の構造において、圧電振動片５２に支持部６３を設けた結果、固定箇所が圧電振動片５２の先端部側に移動したことによる。このため、図２の間隔Ｇ２の寸法としては、１７０μｍ程度としても、従来と同様の外部からの衝撃に対して、圧電振動片５２の損傷はみられなかった。
【００２７】
これにより、図２において、上ケース３１と下ケース４１の対向する内面の間に設けるギャップである内部空間Ｓ２の厚み方向の間隔Ｇ２を小さくして、ケースの厚み方向の大きさを小さくしても、圧電振動片５２の先端部５２ａが、上ケース３１または下ケース４１の内面に衝突することがなく、このため、ケース内に圧電振動片の先端部の変位を見込んで比較的大きな間隔を形成する必要がないので、この点においても圧電デバイス３０の低背化を確実に実現できる。
【００２８】
図４ないし図７は、圧電デバイス３０の圧電振動片を形成した枠体部分の各変形例を示しており、図４は枠体の第１の変形例を示す概略平面図、図５は枠体の第２の変形例を示す概略平面図、図７は枠体の第３の変形例を示す概略平面図である。これらの変形例において、図１ないし図３と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００２９】
図４において、枠体７１の枠部５９と圧電振動片５２を固定している固定部７６は、図１の場合と異なり、基部５３と同じ幅となっている。つまり、枠部５９の内側の一端から、圧電振動片５２の基部５３が一体に延長されている構造となっている。
【００３０】
第１の変形例は、以上のような構成とされており、図１の場合と比較すると、振動腕５４，５５から基部５３側への振動漏れの点ではやや不利であるが、圧電振動片５３を枠部５９に対して固定する固定構造の点では、構造的により強固なものとなる利点がある。
この枠体７１を使用した圧電デバイス３０は、上記の点を除き、図１ないし図３のものと同一の作用効果を発揮することができる。
【００３１】
図５の第２の変形例では、枠体８１の枠部５９と圧電振動片５２を固定している固定部は、図１の場合と異なり、固定部８６，８６として示すように、複数、例えば２つ設けられている。各固定部８６は、基部５３の幅よりもはるかに細く形成されており、図１の固定部５６よりも細い。これにより圧電振動片５２から枠体８１への振動漏れの流路（振動が伝わる通路）の断面積を小さくすることになり、圧電振動片５２から枠体８１への振動漏れがより有効に抑制されるようになっている。
一方、固定部は８６，８６として示すように、複数形成されることで、これらを合わせて、圧電振動片５２を支持固定する構造であるから、固定強度が向上されている。
【００３２】
さらに、図６に示すように、第２の変形例においては、枠体８１の枠部５９に対する支持部８３，８３は、基部５３の厚みよりも小さい厚みを備えるように構成されている。これにより、圧電振動片５２から枠体８１への振動漏れの流路の断面積を小さくすることになり、圧電振動片５２から枠体８１への振動漏れを有効に抑制できる。
この第２の変形例の枠体８１を使用した圧電デバイス３０は、上記の点を除き、図１ないし図３のものと同一の作用効果を発揮することができる。
尚、枠体８１の枠部５９と圧電振動片５２を固定している固定部は、固定部８６，８６のように２つに限るものではなく、より多数の固定部を設けるようにしてもよい。
【００３３】
図７の第３の変形例においては、枠体９１の枠部５９に対して圧電振動片５２を支持する支持部は、図１の場合と異なり、支持部９３，９３，９３，９３として示すように、基部５３の片側の側面に複数、例えば２つ設けられている。これらの支持部９３，９３，９３，９３は複数もしくは多数形成されることで、これらを合わせて、圧電振動片５２を支持固定する構造であるから、固定強度が向上されている。
また、各支持部９３は、図６の支持部８３と同様に、基部５３の厚みよりも小さい厚みを備えるように構成することもできる。これにより、圧電振動片５２から枠体９１への振動漏れの流路の断面積を小さくなり、圧電振動片５２から枠体９１への振動漏れを有効に抑制できる。
この第３の変形例の枠体９１を使用した圧電デバイス３０は、上記の点を除き、図１ないし図３のものと同一の作用効果を発揮することができる。
尚、枠体９１の枠部５９に対して圧電振動片５２を支持する支持部は、支持部９３，９３，９３，９３のように、基部５３の片側の側面に２つ設ける場合に限るものではなく、より多数の支持部を設けるようにしてもよい。
【００３４】
図８は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるコントローラ（ＣＰＵ）３０１を備えている。
コントローラ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ，ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行うようになっている。このため、コントローラ３０１には、圧電デバイス３０が取り付けられて、その出力周波数をコントローラ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このコントローラ３０１に取付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０等単体でなくても、圧電デバイス３０等と、所定の分周回路等とを組み合わせた発振器であってもよい。
【００３５】
このように、制御部を備えた携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電デバイス３０を利用することにより、外部からの衝撃により損傷しにくいため、動作品質を損なうことなく、正確なクロック信号を生成することができ、圧電デバイス３０の低背化により、携帯電話装置３００全体を小型に形成することができる。
【００３６】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内に圧電振動片を収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電デバイスの実施形態を示す概略分解斜視図。
【図２】図１の圧電デバイスの長手方向に沿った断面を示す概略断面図。
【図３】図１のＡ−Ａ線切断端面図。
【図４】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの圧電振動片を形成した枠体部分の第１の変形例を示す概略平面図。
【図５】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの圧電振動片を形成した枠体部分の第２の変形例を示す概略平面図。
【図６】図５のＣ−Ｃ線概略断面図。
【図７】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの圧電振動片を形成した枠体部分の第３の変形例を示す概略平面図。
【図８】本発明の実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図９】従来の圧電デバイスの一例を示す概略断面図。
【図１０】図９の圧電デバイスの圧電振動片（枠体）を示す概略平面図。
【符号の説明】
３０・・・圧電デバイス、３１・・・上ケース、４２，４３・・・実装電極、５１・・・枠体、５２・・・圧電振動片、５９・・・枠部、６３，６３，８３，８３，９３，９３，９３，９３・・・支持部、５６，７６，８６，８６・・・固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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