(57)【要約】【課題】ユニット部の移動開始時や急停止時のユニット部の振動を無くして、高速化する。【解決手段】ユニット駆動部１１の一方向のネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４にユニット部１５を螺合すると共に、反力減衰装置部１２の他方向のネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に反力減衰用ウェイト１７を螺合し、前記駆動用ボールネジ１４および反力減衰用ボールネジ１６を直線状に配置して一体的に結合し、駆動源１３によって駆動することによって、ユニット部１５および反力減衰用ウェイト１７を、相互に接近または離隔させ、ユニット部１５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力を、反力減衰用ウェイト１７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向の反力によって相殺する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用ボールネジによって所望の方向に駆動されるユニット部と、ボールネジを駆動する駆動源とを有する駆動装置において、
前記ボールネジのネジ部と逆方向のネジ部を有する反力減衰用ボールネジを設け、前記反力減衰用ボールネジに反力減衰用ウェイトを螺装し、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを前記駆動源によって回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることを特徴とする反力減衰駆動装置。
【請求項２】
前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとが一直線状に配置結合され、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを駆動源で駆動することを特徴とする請求項１に記載の反力減衰駆動装置。
【請求項３】
前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを平行状に配置すると共に、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを動力伝達手段によって結合し、前記駆動源および動力伝達手段によって、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の反力減衰駆動装置。
【請求項４】
前記駆動用ボールネジのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジのピッチをＰ２、前記ユニット部の質量をＷ１、反力減衰用ボールネジに螺装された反力減衰用ウェイトの質量をＷ２とするとき、Ｗ１×Ｐ１＝Ｗ２×Ｐ２に設定したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の反力減衰駆動装置。
【請求項５】
前記駆動用ボールネジのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジのピッチをＰ２、前記ユニット部の質量をＷ１、反力減衰用ボールネジに螺装された反力減衰用ウェイトの質量をＷ２とするとき、Ｐ１＞Ｐ２、Ｗ１＜Ｗ２に設定したことを特徴とする請求項４に記載の反力減衰駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は反力減衰駆動装置に関し、例えば、半導体チップ（ダイ）をリードフレームなどの基板にボンディングするダイボンダにおいて、ボンディングユニット部の移動開始や移動停止に伴う振動を防止して、高精度、かつ、高速でボンデウィング作業が行えるダイボンダなどを実現できる反力減衰駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置においては、半導体チップ（ダイ）の裏面に設けられた電極を、ろう材を介して、リードフレームなどの基板にボンディング（接合）している。例えば、半導体チップを基板に実装する場合は、図４に示すように、裏面に電極４１を形成した半導体チップ４０を、図５に示すように、ダイボンダ４２のコレット４３がピックアップポジションＡにおいて下降し（▲１▼）、コレット４３によって真空吸着してピックアップし（▲２▼）、水平移動してボンディングポジションＢまで移送し（▲３▼）、次いで、ボンディングポジションＢで下降して（▲４▼）半導体チップ４０を基板４４に半田等のろう材４５によりボンディングしている。ボンディングを終了したコレット４３は、上昇し（▲５▼）、水平移動して（▲６▼）、元のピックアップポジションＡに戻る。
【０００３】
上記のコレット４３は、従来、例えば、図６に示す、ユニット駆動機構５０によって駆動されていた。このユニット駆動機構５０は、一方向，例えば、右ネジ５１ａを有する駆動用ボールネジ５１に、コレットを含むボンディングユニット部５２を螺合し、この駆動用ボールネジ５１を駆動用モータ５３によって回転駆動するようにしている。
【０００４】
前記ボンディングユニット部５２は、半導体チップ（ダイ）４０の基板４４へのボンディング時に、半導体チップ（ダイ）４０の水平面内での向きを正規の向きに修正するためのθ方向の回転機構部や、電極４１やろう材４５の表面の酸化膜や汚染物質を除去して電極４１やろう材４５の新生面を露出させたり、半導体チップ（ダイ）４０とろう材４５と基板４４との振動によって接合性を向上したりするために、超音波振動装置を組み込んだり、コレット４３が基板４４からの熱伝導および輻射熱によって過熱されないように、冷却手段を具備したりしている。
【０００５】
そのため、ボンディングユニット部５２の質量はかなり大きくなるので、駆動用のモータに大出力が要求されるのみならず、ボンディングユニット部５２が停止状態から移動開始する際や、移動状態から急停止する際に発生する反力によってボンディングユニット部５２に振動が生じて、ピックアップ時やボンディング時の位置精度が低下することが避けられない。
【０００６】
このボンディングユニッ部５２が停止状態から移動開始する際や、移動状態から急停止する際に、振動が生じないようにして位置精度を確保するためには、ボンディングユニット部５２の移動速度を小さくしなければならないため、ダイボンダ５０の高速化が困難であり、生産性が低かった。
【０００７】
なお、スライダの反力を防止するようにした機械プレス装置（例えば、特許文献１参照。）や、多数の研磨具を有する研磨装置において、複数の研磨具をカムシャフトの偏心カムにより位相差をもって往復運動させることによって反力を防止するようにした研磨治具も提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平７−６０４９９号公報。図１。．
【特許文献２】
特開平７−１５６０５３号公報。図１。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の特許文献１，２のいずれに記載の反力減衰装置も、回転機構を使用した複雑な構造を有し、かつ、大重量なものであり、半導体チップのダイボンダにような、高速動作を行う用途には適用することができない。
【００１０】
また、駆動側と反力減衰側とに別々のアクチュエータ（例えば、駆動モータ）を用いてもよいが、駆動側のアクチュエータの動作に反力減衰側のアクチュエータの動作を完全に同期させることは困難である。
【００１１】
さらに、駆動側の反力を検出して、それを打ち消すように反力減衰側のアクチュエータを動作させることは、ダイボンダなどの高速駆動装置では現象が速すぎて対応が困難である。
【００１２】
そこで、本発明は、半導体チップ（ダイ）を基板にボンディングするダイボンダなどのユニット駆動装置において、ユニット部の移動速度を低減することなく、振動を減衰できる反力減衰駆動装置を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の反力減衰駆動装置は、駆動用ボールネジによって所望の方向に駆動されるユニット部と、ボールネジを駆動する駆動源とを有する駆動装置において、前記ボールネジのネジ部と逆方向のネジ部を有する反力減衰用ボールネジを設け、前記反力減衰用ボールネジに反力減衰用ウェイトを螺装し、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを前記駆動源によって回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることを特徴とするものである（請求項１）。
【００１４】
上記の反力減衰駆動装置によれば、駆動源によって駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることによって、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる反力が、ユニット部と逆方向に移動する反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる逆方向の反力によって減衰されるので、ユニット部の振動を減衰させて、高速化することができる。
【００１５】
また、本発明の反力減衰駆動装置は、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとが一直線状に配置結合され、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを駆動源で駆動することを特徴とするものである（請求項２）。
【００１６】
上記の反力減衰駆動装置によれば、駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとが一直線状に配置結合され、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを駆動源で駆動するので、単一の駆動源で、しかも、動力伝達手段を用いることなく、駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることができ、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる反力が、ユニット部と逆方向に移動する反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる逆方向の反力によって減衰されるので、ユニット部の振動を減衰させて、高速化することができる。
【００１７】
また、本発明の反力減衰駆動装置は、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを平行状に配置すると共に、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを動力伝達手段によって結合し、前記駆動源および動力伝達手段によって、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることを特徴とするものである（請求項３）。
【００１８】
上記の反力減衰駆動装置によれば、駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを平行状に配置すると共に、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを動力伝達手段によって結合し、駆動用ボールネジおよび反力減衰用ボールネジを駆動源によって回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させるので、前記と同様に、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる反力が、ユニット部と逆方向に移動する反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる逆方向の反力によって減衰されるので、ユニット部の振動を減衰させて高速化することができるのみならず、特に、スペース的に駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを一直線状に配置結合することができないような場合に適する。
【００１９】
また、本発明の反力減衰駆動装置は、前記駆動用ボールネジのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジのピッチをＰ２、前記ユニット部の質量をＷ１、反力減衰用ボールネジに螺装された反力減衰用ウェイトの質量をＷ２とするとき、Ｗ１×Ｐ１＝Ｗ２×Ｐ２に設定したことを特徴とするものである（請求項４）。
【００２０】
上記の反力減衰駆動装置によれば、Ｗ１×Ｐ１＝Ｗ２×Ｐ２に設定することによって、ユニット部の移動によって生じる反力と、反力減衰用ウェイトの移動によって生じる反力とを、逆方向で、かつ同一の大きさにできるため、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる反力が、ユニット部と逆方向に移動する反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる逆方向の反力によって相殺されて、ユニット部の振動が無くすことができ、高速化することができる。
【００２１】
また、本発明の反力減衰駆動装置は、前記駆動用ボールネジのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジのピッチをＰ２、前記ユニット部の質量をＷ１、反力減衰用ボールネジに螺装された反力減衰用ウェイトの質量をＷ２とするとき、Ｐ１＞Ｐ２、Ｗ１＜Ｗ２に設定したことを特徴とするものである（請求項５）。
【００２２】
上記の反力減衰駆動装置によれば、ユニット部の移動によって生じる反力と、反力減衰用ウェイトの移動によって生じる反力とを、逆方向で、かつ、同一の大きさにできるため、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる反力が、ユニット部と逆方向に移動する反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に生じる逆方向で、かつ、同一の大きさの反力によって相殺されて、ユニット部の振動が無くすことができ、高速化することができるのみならず、駆動源の慣性力は、数１によって与えられるので、特に、Ｐ１＞Ｐ２、Ｗ１＜Ｗ２に設定することによって、駆動源のデューティーを低減することができる。
【００２３】
【数１】
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【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の反力減衰駆動装置の実施形態について、図面を参照して説明する。まず、図１に示す第１実施形態の反力減衰駆動装置１０は、例えば、半導体チップ（ダイ）をピックアップおよびボンディングするコレットを含むボンディングユニット部を有するダイボンダに適用した場合で、ユニット駆動部１１と、反力減衰装置部１２とを直線状、かつ、一体的に配置して、駆動源、例えば、駆動用モータ１３によって回転駆動するようにしたものである。
【００２５】
前記ユニット駆動部１１は、一方向，例えば、右ネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４に、ボンディングユニット部１５を螺合させたもので、例えば、駆動用ボールネジ１４を右回転すると、ボンディングユニット部１５が図示右方向に移動し、駆動用ボールネジ１４を左回転すると、ボンディングユニット部１５が図示左方向に移動するように構成されている。
【００２６】
前記反力減衰装置部１２は、他方向，例えば、左ネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に、反力減衰用ウェイト１７を螺合させたもので、例えば、反力減衰用ボールネジ１６を右回転すると、反力減衰用ウェイト１７が図示左方向に移動し、反力減衰用ボールネジ１６を左回転すると、反力減衰用ウェイト１７が図示右方向に移動するように構成されている。
【００２７】
前記ユニット駆動部１１における駆動用ボールネジ１４と、前記反力減衰装置部１２における反力減衰用ボールネジ１６は、一直線状に配置され、かつ、溶接などにより一体的に、あるいは適当な結合手段によって結合されている。そして、反力減衰用ボールネジ１６の一端部は、駆動用モータ１３の回転軸に結合されている。
【００２８】
したがって、駆動用モータ１３によって、駆動用ボールネジ１４および反力減衰用ボールネジ１６を、例えば、右方向に回転させると、右ネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４に螺合されたボンディングユニット部１５が図示右方向に移動し、左ネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に螺合された反力減衰用ウェイト１７が図示左方向に移動する。
【００２９】
また、駆動用モータ１３によって、駆動用ボールネジ１４および反力減衰用ボールネジ１６を、例えば、左方向に回転させると、右ネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４に螺合されたボンディングユニット部１５が図示左方向に移動し、左ネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に螺合された反力減衰用ウェイト１７が図示右方向に移動する。
【００３０】
すなわち、駆動用モータ１３によって、駆動用ボールネジ１４および反力減衰用ボールネジ１６を、例えば、右方向に回転させると、右ネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４に螺合されたボンディングユニット部１５と、左ネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に螺合された反力減衰用ウェイト１７とは、同期して相互に離隔するように移動する。また、駆動用モータ１３によって、駆動用ボールネジ１４および反力減衰用ボールネジ１６を、例えば、左方向に回転させると、右ネジ１４ａを有する駆動用ボールネジ１４に螺合されたボンディングユニット部１５と、左ネジ１６ａを有する反力減衰用ボールネジ１６に螺合された反力減衰用ウェイト１７とは、同期して相互に接近するように移動する。
【００３１】
このため、ボンディングユニット部１５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト１７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向の反力によって減衰されることによって、振動が減衰されるので、ボンディングユニット部１５を振動させることなく高速化することができる。
【００３２】
ここで、駆動用ボールネジ１４の右ネジ１４ａのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジ１６の左ネジ１６ａのピッチをＰ２、ボンディングユニット部１５の質量をＷ１、反力減衰用ウェイト１７の質量をＷ２とするとき、Ｐ１×Ｗ１＝Ｐ２×Ｗ２に設定すると、ボンディングユニット部１５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト１７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向で、かつ、同一の大きさの反力によって相殺されることによって、ボンディングユニット部１５の振動が無くなるので、より一層高速化することができる。
【００３３】
また、前述のＰ１×Ｗ１＝Ｐ２×Ｗ２の条件を満たし、かつ、Ｐ１＞Ｐ２、Ｗ１＜Ｗ２に設定すると、前述と同様に、ボンディングユニット部１５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト１７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向で、かつ、同一の大きさの反力によって相殺されることによって、ボンディングユニット部１５の振動が無くなって高速化できるのみならず、Ｐ１＝Ｐ２でＷ１＝Ｗ２に設定した場合に比較して、駆動モータ１３のデューティーを低減することができる。
【００３４】
図２は本発明の第２実施形態における反力減衰駆動装置２０の構成図で、ユニット駆動部２１と、反力減衰装置部２２とを平行状、かつ、別体的に配置して、駆動用モータ２３および動力伝達手段２８によって駆動するようにしたものである。
【００３５】
前記ユニット駆動部２１は、一方向，例えば、右ネジ２４ａを有する駆動用ボールネジ２４に、ボンディングユニット部２５を螺合させて、その一端部を駆動用モータ２３によって回転駆動するようにしたもので、例えば、駆動用ボールネジ２４を右回転すると、ボンディングユニット部２５が図示右方向に移動し、駆動用ボールネジ２４を左回転すると、ボンディングユニット部２５が図示左方向に移動するように構成されている。
【００３６】
前記反力減衰装置部２２は、他方向，例えば、左ネジ２６ａを有する反力減衰用ボールネジ２６に、反力減衰用ウェイト２７を螺合させて、反力減衰用ボールネジ２６を、前記ユニット駆動部２１における駆動用ボールネジ２４に、タイミングベルトなどの動力伝達手段２８によって結合したものである。
【００３７】
したがって、駆動用モータ２３および動力伝達手段２８によって、駆動用ボールネジ２４および反力減衰用ボールネジ２６を、例えば、右方向に回転させると、右ネジ２４ａを有する駆動用ボールネジ２４に螺合されたボンディングユニット部２５が図示右方向に移動し、左ネジ２６ａを有する反力減衰用ボールネジ２６に螺合された反力減衰用ウェイト２７が図示左方向に移動する。
【００３８】
また、駆動用モータ２３および動力伝達手段２８によって、駆動用ボールネジ２４および反力減衰用ボールネジ２６を、例えば、左方向に回転させると、右ネジ２４ａを有する駆動用ボールネジ２４に螺合されたボンディングユニット部２５が図示左方向に移動し、左ネジ２６ａを有する反力減衰用ボールネジ２６に螺合された反力減衰用ウェイト２７が図示右方向に移動する。
【００３９】
すなわち、駆動用モータ２３および動力伝達手段２８によって、駆動用ボールネジ２４および反力減衰用ボールネジ２６を、例えば、右方向に回転させると、右ネジ２４ａを有する駆動用ボールネジ２４に螺合されたボンディングユニット部２５と、左ネジ２６ａを有する反力減衰用ボールネジ２６に螺合された反力減衰用ウェイト２７とは、同期して相互に離隔するように移動する。また、駆動用モータ２３および動力伝達手段２８によって、駆動用ボールネジ２４および反力減衰用ボールネジ２６を、例えば、左方向に回転させると、右ネジ２４ａを有する駆動用ボールネジ２４に螺合されたボンディングユニット部２５と、左ネジ２６ａを有する反力減衰用ボールネジ２６に螺合された反力減衰用ウェイト２７とは、同期して相互に接近するように移動する。
【００４０】
このため、ボンディングユニット部２５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト２７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向の反力によって減衰されることによって、振動が減衰されるので、前記同様に、ユニット部２５を振動無くして高速化することができる。
【００４１】
ここで、駆動用ボールネジ２４の右ネジ２４ａのピッチをＰ１、反力減衰用ボールネジ２６の左ネジ２６ａのピッチをＰ２、ボンディングユニット部２５の質量をＷ１、反力減衰用ウェイト２７の質量をＷ２とするとき、Ｐ１×Ｗ１＝Ｐ２×Ｗ２に設定すると、ボンディングユニット部２５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト２７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向で、かつ、同一の大きさの反力によって相殺されることによって、ボンディングユニット部２５の振動が無くなる。このため、ボンディングユニット部２５をより一層高速化することが可能になる。
【００４２】
また、前述のＰ１×Ｗ１＝Ｐ２×Ｗ２の条件を満たし、かつ、Ｐ１＞Ｐ２、Ｗ１＜Ｗ２に設定すると、前述と同様に、ボンディングユニット部２５の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する反力は、反力減衰用ウェイト２７の停止状態から移動開始時、あるいは、移動状態から急停止時に発生する逆方向で、かつ、同一の大きさの反力によって相殺されることによって、ボンディングユニット部２５の振動が無くなり、高速化できるのみならず、駆動モータ２３のデューティーを低減することができる。
【００４３】
図３は、図１の反力減衰駆動装置１０を組み込んだダイボンダ３０の概略正面図を示す。このダイボンダ３０は、駆動源や制御装置などを収納した基台３１に、立上部３２を設けて、この立上部３２にボンディングヘッド部３３を設け、このボンディングヘッド部３３に、図１の反力減衰駆動装置１０を組み込んだものである。なお、図１と同一部分には同一参照符号を付して、その説明を省略する。
【００４４】
図３のボンディング装置３０は、駆動用ボールネジ１４に螺着しているボンディングユニット部１５にコレット３４を取り付けて、このコレット３４が、多数の半導体ペレットを接着している粘着シート３５と、半導体ペレットをボンディングするリードフレームなどの基板３６との間をＸ方向に往復移動するように構成されている。
【００４５】
図３の実施形態では、ボンディングユニット部１５を螺着している駆動用ボールネジ１４のピッチＰ１と、反力減衰用ウェイト１７を螺着している反力減衰用ボールネジ１６のピッチＰ２が、Ｐ１＞Ｐ２に設定され、かつ、ボンディングユニット部１５の質量Ｗ１と、反力減衰用ウェイト１７の質量Ｗ２が、Ｗ２＞Ｗ１に設定されており、駆動モータ１３のデューティーが低減されている。
【００４６】
なお、図示は省略するが、ボンディングヘッド部３３をＹ方向に往復移動する反力減衰駆動装置や、ボンディングヘッド部３３をＺ方向に往復移動する反力減衰駆動装置が組み込まれている。したがって、これらの反力減衰装置の協働作用によって、ボンディングユニット部１５に取り付けられたコレット３４が、多数の半導体ペレットを接着している粘着シート３５と、半導体ペレットをボンディングするリードフレームなどの基板３６との間をＸ方向，Ｙ方向およびＺ方向に自在に往復移動して、粘着シート３５からピックアップした半導体ペレットを、水平移動後下降して、基板３６にボンディングするように構成されている。
【００４７】
なお、上記実施形態は、本発明を半導体チップ（ダイ）のピックアップおよびボンディングを行うコレットを含むダイボンディングユニットの駆動部に適用した場合について説明したが、本発明はコレットを含むダイボンディングユニット部の駆動装置に限らず、各種の半導体製造装置、例えば、ワイヤ状ろう材を加熱されたリードフレームなどの基板に接触させて供給するろう材供給装置、リードフレームなどの基板の間欠移送装置や、他のコンデンサ、抵抗器その他のチップ部品などの組立装置、その他工作機械などにおける各種のユニット部の駆動装置にも適用することができる。
【００４８】
【発明の効果】
本発明の反力減衰駆動装置は、駆動用ボールネジによって所望の方向に駆動されるユニット部と、ボールネジを駆動する駆動源とを有する駆動装置において、前記ボールネジのネジ部と逆方向のネジ部を有する反力減衰用ボールネジを設け、前記反力減衰用ボールネジに反力減衰用ウェイトを螺装し、前記駆動用ボールネジと反力減衰用ボールネジとを前記駆動源によって回転駆動して、ユニット部と反力減衰用ウェイトとを逆方向に移動させることを特徴とするものであるから、ユニット部の停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に発生する反力を、反力減衰用ウェイトの停止状態から移動開始時、あるいは移動状態から急停止時に発生する逆方向の反力によって減衰させることによって、ユニット部の振動を減衰して、高速化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反力減衰駆動装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る反力減衰駆動装置の概略構成図である。
【図３】図１の反力減衰駆動装置を組み込んだダイボンダの概略正面図である。
【図４】半導体チップの拡大正面図である。
【図５】従来のダイボンダにおけるコレットのダイボンディング動作説明図である。
【図６】従来のコレットを含むユニット駆動装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１０，２０  反力減衰駆動装置
１１，２１  ユニット駆動部
１２，２２  反力減衰装置部
１３，２３  駆動源（駆動用モータ）
１４，２４  駆動用ボールネジ
１４ａ，２４ａ  右ネジ
１５，２５  ユニット部
１６．２６  反力減衰用ボールネジ
１６ａ，２６ａ  左ネジ
１７，２７  反力減衰用ウェイト
２８  動力伝達手段
３０  ダイボンダ
３３  ボンディングヘッド
３４  コレット
３５  粘着シート
３６  基板
【図１】
2004263825.tif 000004
【図２】
2004263825.tif 000005
【図３】
2004263825.tif 000006
【図４】
2004263825.tif 000007
【図５】
2004263825.tif 000008
【図６】
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