(57)【要約】【課題】被測定ガスをクヌーセン拡散させて低濃度の水素ガスを高精度に検出でき、全体を小型化できると共に、熱衝撃抵抗等を向上できるようにする。【解決手段】水素センサの検出素子２１は、ヒータ部２２の外周側に曲面印刷等の手段を用いて形成された多孔質層２７、内側電極２９，３０、固体電解質層２８、外側電極３１，３２、ガス拡散層３３および緻密層３４からなり、全体として円形のロッド状をなす構造とする。そして、電圧印加装置３７の切換スイッチ４０を低圧の電源３８から高圧の電源３９側に切換えたときに、ガス拡散層３３内を開口端３３Ａ側から矢示Ｂ方向に拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスを、外側電極３２の近傍で酸化反応させ、このときに水素ガスを酸化するために電極３２，３０間を流れるポンプ電流Ｉｐ１を電流検出器４２により検出する。【選択図】      図２
2004177165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
細長いロッド状に形成され、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、
該ヒータ部の外周側に設けられ、内部を大気中の酸素が透過可能となった多孔質層と、
該多孔質層を覆って前記ヒータ部の外周側に設けられ、前記ヒータ部からの熱により活性化される酸素イオン伝導性の固体電解質層と、
該固体電解質層と多孔質層との間に設けられ、該固体電解質層の内周側で互いに離間した第１，第２の電極と、
前記固体電解質層の外周側に互いに離間して設けられ、該第１，第２の電極との間で前記固体電解質層を挟む第３，第４の電極と、
該第３，第４の電極を覆って前記固体電解質層の外周側に設けられ、水素を含んだ被測定ガスを内部にクヌーセン拡散させるガス拡散層と、
前記第１の電極と第３の電極との間に設けられ、該第１の電極と第３の電極との間に予め決められた高，低２段の電圧を選択的に切換えて印加する電圧印加手段と、
前記第２の電極と第４の電極との間に設けられ、該電圧印加手段による印加電圧を低い電圧から高い電圧に切換えたときに前記第２の電極と第４の電極との間に発生する電気信号を水素濃度信号として検出する信号検出手段とにより構成してなる水素センサ。
【請求項２】
細長いロッド状に形成され、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、
該ヒータ部の外周側に設けられ、水素を含んだ被測定ガスを内部にクヌーセン拡散させるガス拡散層と、
該ガス拡散層の外周側に設けられ、前記ヒータ部からの熱により活性化される酸素イオン伝導性の固体電解質層と、
該固体電解質層とガス拡散層との間に設けられ、該固体電解質層の内周側で互いに離間した第１，第２の電極と、
前記固体電解質層の外周側に互いに離間して設けられ、該第１，第２の電極との間で前記固体電解質層を挟む第３，第４の電極と、
前記第１の電極と第３の電極との間に設けられ、該第１の電極と第３の電極との間に予め決められた高，低２段の電圧を選択的に切換えて印加する電圧印加手段と、
前記第２の電極と第４の電極との間に設けられ、該電圧印加手段による印加電圧を低い電圧から高い電圧に切換えたときに前記第２の電極と第４の電極との間に発生する電気信号を水素濃度信号として検出する信号検出手段とにより構成してなる水素センサ。
【請求項３】
前記電圧印加手段は、前記被測定ガス中の可燃性ガスを酸化させるのに十分な酸素分圧に前記ガス拡散層内の酸素分圧を保持するため低い電圧値に設定された低電圧源と、前記被測定ガス中の水蒸気が還元されないような低い酸素分圧に前記ガス拡散層内の酸素分圧を保持するため高い電圧値に設定された高電圧源と、該高電圧源と低電圧源とのいずれか一方を選択的に切換えて前記第１の電極と第３の電極との間に接続する切換スイッチとにより構成してなる請求項１または２に記載の水素センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば被測定ガス中に含まれる水素ガスの濃度を検出するのに好適に用いられる水素センサに関し、特に、微量の水素ガスが大気中に漏洩した場合でも、このときの水素濃度を検出できるようにした水素センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電気自動車やハイブリット車に用いられる蓄電池または燃料電池の分野では、電池室内に可燃性の水素ガスが発生するため、このような水素ガスの濃度を水素センサを用いて検出するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−５８８１号公報
【０００４】
この種の従来技術による水素センサは、被測定ガスが内部に分子拡散してくるガス拡散室と、基準となる大気が導入される酸素基準室と、前記ガス拡散室の酸素分圧を測定する第１の酸素検知セルと、該第１の酸素検知セルの出力に基づき前記ガス拡散室の酸素分圧を制御する第１の酸素ポンプセルとを備えた酸素イオン伝導性の固体電解質からなるプレート型のセンサ素子構造を有している。
【０００５】
そして、従来技術の水素センサは、前記被測定ガスが内部に分子拡散してくるガス拡散室側に、被測定ガス中の可燃性ガスを酸化処理する第２の酸素ポンプセルと第２の酸素検知セルとを設け、第２の酸素ポンプセルを断続駆動させたときに前記第１の酸素ポンプセルから出力されるポンピング電流を水素濃度の検出信号として検出する構成としたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術による水素センサは、被測定ガスがガス拡散室に分子拡散する場合を前提としているので、被測定ガス中の水素濃度を測定する第１の酸素ポンプセル、第１の酸素検知セルと、ガス拡散室の酸素濃度を増減する第２の酸素ポンプセル、第２の酸素検知セルとの間隔を大きくする必要が生じ、プレート型のセンサ素子構造をもった水素センサ全体を小型化して、コンパクトに形成するのが難しいという問題がある。
【０００７】
また、水素センサ全体が大型化するために、固体電解質を活性化するヒータの発熱量を大きくしなければならず、エネルギ効率が悪いばかりでなく、熱衝撃抵抗が小さくなり、水蒸気や水等に接触したときの熱衝撃で素子が損傷、破損され易いという問題がある。
【０００８】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、被測定ガスをクヌーセン拡散させることにより、例えば大気中に漏洩した水素ガスの濃度を高精度に検出することができ、全体を小型化できると共に、熱衝撃抵抗等を向上でき、耐久性、寿命を高めることができるようにした水素センサを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明による水素センサは、細長いロッド状に形成され、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、該ヒータ部の外周側に設けられ、内部を大気中の酸素が透過可能となった多孔質層と、該多孔質層を覆って前記ヒータ部の外周側に設けられ、前記ヒータ部からの熱により活性化される酸素イオン伝導性の固体電解質層と、該固体電解質層と多孔質層との間に設けられ、該固体電解質層の内周側で互いに離間した第１，第２の電極と、前記固体電解質層の外周側に互いに離間して設けられ、該第１，第２の電極との間で前記固体電解質層を挟む第３，第４の電極と、該第３，第４の電極を覆って前記固体電解質層の外周側に設けられ、水素を含んだ被測定ガスを内部にクヌーセン拡散させるガス拡散層と、前記第１の電極と第３の電極との間に設けられ、該第１の電極と第３の電極との間に予め決められた高，低２段の電圧を選択的に切換えて印加する電圧印加手段と、前記第２の電極と第４の電極との間に設けられ、該電圧印加手段による印加電圧を低い電圧から高い電圧に切換えたときに前記第２の電極と第４の電極との間に発生する電気信号を水素濃度信号として検出する信号検出手段とにより構成している。
【００１０】
このように構成することにより、被測定ガスとなる大気中に微量の水素ガスが漏洩したような場合でも、この漏洩した水素ガスの濃度を信号検出手段で電気信号として検出でき、例えば５％以下となる低濃度の水素ガスも高精度に検出することができる。
【００１１】
即ち、電圧印加手段を用いて第１の電極と第３の電極との間に予め決められた低い電圧を印加しているときには、ガス拡散層内の酸素分圧を比較的高い状態に保つことができ、ガス拡散層内にクヌーセン拡散してくる被測定ガス（水素を含んだ大気に近い状態のガス）のうち水素、一酸化炭素等の可燃性ガスを第３の電極周囲で接触分解反応によって酸化することができる。このため、このときの可燃性ガスが第４の電極周囲までクヌーセン拡散してゆく可燃性ガスを大きく減じることができ、第２の電極と第４の電極との間に発生する電気信号を低い値に抑えることができる。
【００１２】
しかし、前記電圧印加手段によって第１の電極と第３の電極との間に高い電圧を印加するときには、ガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス（大気に近い状態のガス）中の酸素は、第３の電極周囲で酸素イオンに分解されて第１の電極側に輸送されるので、ガス拡散層内の酸素分圧は非常に低い状態となり、被測定ガス中の可燃性ガスは、第３の電極周囲で酸化（接触分解反応）されることなく第４の電極周囲に達し、該第４の電極周囲で接触分解反応により酸化される。
【００１３】
そして、ガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる各可燃性ガスはそれぞれ異なる拡散定数を有し、例えば可燃性ガスのうち水素が最初に第４の電極周囲に到達し、その後にほぼ一定の拡散遅れ時間をもって一酸化炭素が第４の電極周囲に達することになる。このため、固体電解質層を挟んだ第２の電極と第４の電極との間に流れるポンプ電流は、第４の電極周囲で水素のみを酸化するときと、その後に一酸化炭素を含めて酸化するときとで異なる特性を有し、このときのポンプ電流の特性または電圧特性から信号検出手段により水素濃度を検出することができる。
【００１４】
特に、この場合のガス拡散層は、被測定ガスを内部でクヌーセン拡散させることにより、従来技術による分子拡散の場合と比較して水素と一酸化炭素との拡散時間差（拡散遅れ時間）を長くすることができ、この拡散遅れ時間を活用して前記信号検出手段は被測定ガス中の水素濃度を安定して高精度に検出することができる。
【００１５】
また、ヒータ部の外周側に形成した多孔質層は、大気中の酸素を固体電解質層の内周側（例えば、第２の電極側）に供給し続けるので、前述の如くガス拡散層内に拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスを、第４の電極周囲で酸化するのに必要な酸素を安定して確保でき、被測定ガス中の酸素濃度が大きく変動するような場合でも、被測定ガス中の水素濃度を高精度に検出することができる。
【００１６】
そして、水素センサの製造時には、細長いロッド形状をなすヒータ部の外周側に曲面印刷等の手段を用いて多孔質層、第１，第２の電極、固体電解質層、第３，第４の電極およびガス拡散層等を形成でき、水素センサ全体を円形のロッド状をなす構造とすることができる。この結果、ヒータ部を小径に形成した場合でも、固体電解質層に対するヒータ部の伝熱面積を大きくでき、該ヒータ部からの熱を固体電解質層等に効率的に伝熱することができる。これにより、センサ全体を小型化できると共に、外部の水蒸気や水等に接触する可能性を減じて熱衝撃抵抗等を向上でき、耐久性、寿命を高めることができる。
【００１７】
一方、請求項２の発明による水素センサは、細長いロッド状に形成され、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、該ヒータ部の外周側に設けられ、水素を含んだ被測定ガスを内部にクヌーセン拡散させるガス拡散層と、該ガス拡散層の外周側に設けられ、前記ヒータ部からの熱により活性化される酸素イオン伝導性の固体電解質層と、該固体電解質層とガス拡散層との間に設けられ、該固体電解質層の内周側で互いに離間した第１，第２の電極と、前記固体電解質層の外周側に互いに離間して設けられ、該第１，第２の電極との間で前記固体電解質層を挟む第３，第４の電極と、前記第１の電極と第３の電極との間に設けられ、該第１の電極と第３の電極との間に予め決められた高，低２段の電圧を選択的に切換えて印加する電圧印加手段と、前記第２の電極と第４の電極との間に設けられ、該電圧印加手段による印加電圧を低い電圧から高い電圧に切換えたときに前記第２の電極と第４の電極との間に発生する電気信号を水素濃度信号として検出する信号検出手段とにより構成している。
【００１８】
これにより、細長いロッド形状をなすヒータ部の外周側に曲面印刷等の手段を用いてガス拡散層、第１，第２の電極、固体電解質層、第３，第４の電極等を形成でき、請求項１の発明とほぼ同様の作用効果を得ることができる。しかし、この場合には、ヒータ部の外周側にガス拡散層を形成しているので、例えばヒータ部側から大気等を導入する必要がなくなり、ヒータ部を含めてセンサ全体の製造工程、構造等を簡素化することができる。
【００１９】
また、この場合には被測定ガス中に含まれる水蒸気を、例えば第４の電極周囲で接触分解反応させて固体電解質層の外側から内側へと酸素イオンを輸送でき、内側のガス拡散層内にクヌーセン拡散してくる被測定ガスに対し、可燃性ガスを酸化するために必要な酸素を供給することができる。そして、この場合にあっても電圧印加手段による印加電圧を高い電圧値に切換えたときに、拡散遅れ時間を利用して信号検出手段により被測定ガス中の水素濃度を高精度に検出することができる。
【００２０】
さらに、請求項３の発明によると、電圧印加手段は、被測定ガス中の可燃性ガスを酸化させるのに十分な酸素分圧にガス拡散層内の酸素分圧を保持するため低い電圧値に設定された低電圧源と、前記被測定ガス中の水蒸気が還元されないような低い酸素分圧に前記ガス拡散層内の酸素分圧を保持するため高い電圧値に設定された高電圧源と、該高電圧源と低電圧源とのいずれか一方を選択的に切換えて第１の電極と第３の電極との間に接続する切換スイッチとにより構成している。
【００２１】
これにより、切換スイッチの操作で第１の電極と第３の電極との間に低電圧源を接続して低い電圧を印加したときには、ガス拡散層内の酸素分圧を比較的高い分圧状態に保持でき、ガス拡散層内にクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスをほぼ完全に酸化することができる。そして、第１の電極と第３の電極との間に高電圧源を接続して高い電圧を印加したときには、ガス拡散層内の酸素分圧を比較的低い分圧状態に保持することができる。そして、この状態でガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる可燃性ガスは、第１または第３の電極周囲で酸化されることなく第２または第４の電極周囲に到達して酸化され、このときに第２の電極と第４の電極との間を流れるポンプ電流または出力電圧を水素濃度信号として選択的に検出することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による水素センサを、水素濃度検出装置に適用した場合を例に挙げ、添付図面の図１ないし図９に従って詳細に説明する。
【００２３】
ここで、図１ないし図６は本発明の第１の実施の形態を示している。図中、１は水素濃度検出装置のケーシングで、該ケーシング１は、軸方向の一側外周に取付部としてのおねじ部２Ａが形成された段付筒状のホルダ２と、該ホルダ２の軸方向他側に一体的に固着された有底筒状のキャップ３と、該キャップ３内に同軸に配設され、後述のシールキャップ１０とホルダ２との間に位置決めされたガイド筒４とにより構成されている。
【００２４】
また、ケーシング１の構成部品であるホルダ２、キャップ３およびガイド筒４は、例えばステンレス鋼等の金属材料を用いて形成されている。そして、ケーシング１は、例えば燃料電池等の水素源から水素ガスが漏洩したか否かを検知するため、ホルダ２のおねじ部２Ａが検知箇所の周壁（図示せず）等に螺着され、この状態で後述の検出素子２１は、当該検知箇所に突出状態で取付けられるものである。
【００２５】
５はケーシング１のホルダ２内に金属製のシールリング６を介して取付けられた絶縁支持体を示し、該絶縁支持体５は、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３  ）等のセラミックス材料により筒状に形成され、その内周側には検出素子２１が無機接着剤等を用いて固着されている。そして、絶縁支持体５は、ケーシング１内に検出素子２１を位置決めすると共に、検出素子２１をケーシング１に対して電気的、熱的に絶縁状態に保持するものである。
【００２６】
７，８はケーシング１のガイド筒４内に設けられた絶縁筒体を示し、該絶縁筒体７，８は、酸化アルミニウム（以下、アルミナという）等のセラミックス材料により筒状に形成され、後述の各コンタクトプレート１３，１４等をケーシング１に対して絶縁状態に保持するものである。
【００２７】
９はケーシング１内に位置して絶縁支持体５と絶縁筒体７との間に設けられた弾性部材としてのスプリングで、該スプリング９は、絶縁支持体５をホルダ２側に向けて常時付勢し、ケーシング１に外部から作用する振動や衝撃等が検出素子２１に直接伝わるのを防止するものである。
【００２８】
１０はキャップ３の軸方向他側を閉塞したシールキャップを示し、該シールキャップ１０は、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の耐熱性を有する樹脂材料によって段付き筒状に形成され、ケーシング１内に絶縁筒体７，８等をスプリング９を介して位置決めしている。
【００２９】
また、シールキャップ１０には、検出用のリード線１１，１１，…と、ヒータ用のリード線１２，１２（一方のみ図示）とが挿通されている。そして、これらの各リード線１１，１２は、絶縁筒体８内でそれぞれ検出用のコンタクトプレート１３，１３，…と、ヒータ用のコンタクトプレート１４，１４とにそれぞれ個別に接続されている。
【００３０】
１５はケーシング１のホルダ２に設けられたプロテクタで、該プロテクタ１５は、例えば耐熱性の高い金属板等を用いて有蓋筒状に形成されている。そして、プロテクタ１５は、後述する検出素子２１の軸方向一側部分を外側から覆うように基端側がホルダ２に取付けられ、先端（蓋部）側がホルダ２から軸方向に突出して設けられている。
【００３１】
また、プロテクタ１５の筒部側には、被測定ガスの流通を許す複数の窓部１５Ａ，１５Ａ，…が形成されている。そして、これらの窓部１５Ａは、前記検知箇所周囲を流れる被測定ガスを検出素子２１の一側（先端側）周囲に向け、例えば図２中の矢示Ｂ方向等に導くものである。
【００３２】
次に、２１は水素濃度検出装置のケーシング１に設けられ、水素センサの主要部を構成する検出素子で、該検出素子２１は、ケーシング１のホルダ２内に絶縁支持体５を介して取付けられ、先端側がホルダ２から軸方向に突出している。そして、検出素子２１は、図２に示す如く後述のヒータ部２２、多孔質層２７、固体電解質層２８、ガス拡散層３３および緻密層３４等によって構成されるものである。
【００３３】
２２は細長いロッド状に形成された心棒部となるヒータ部で、該ヒータ部２２は、図２に示す如く例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３  ）に微量の酸化珪素（Ｓｉ  Ｏ２）、酸化マグネシウム（Ｍｇ  Ｏ）を添加したアルミナ系セラミックス材料により小径の中空ロッド状に形成されたヒータコアとしてのコアパイプ２３と、ヒータパターン２４および絶縁性のヒータ被覆層２５とにより構成されている。
【００３４】
そして、ヒータパターン２４は、図２に示すようにコアパイプ２３の外周面に曲面印刷等の手段を用いて形成され、コアパイプ２３の軸方向の一側（先端側）から軸方向の他側（基端側）に向けて延びる一対のリード線部（図示せず）等を有している。
【００３５】
また、ヒータ被覆層２５は、ヒータパターン２４をリード線部と一緒に径方向外側から保護するために、例えばアルミナに微量の酸化珪素、酸化マグネシウムを添加したセラミックス材料をコアパイプ２３の外周側に厚膜印刷することにより形成されている。
【００３６】
ここで、コアパイプ２３は前記アルミナ系セラミックス材料を射出成形することにより、例えば外形寸法が約３〜３．５ｍｍで、長さ寸法が約４０〜６０ｍｍとなる円筒状ロッドとして形成され、コアパイプ２３の内周側は軸方向に貫通して延びる軸穴２３Ａとなっている。また、コアパイプ２３には複数個の径方向穴２３Ｂが形成され、これらの径方向穴２３Ｂは軸穴２３Ａと連通している。
【００３７】
そして、これらの軸穴２３Ａおよび各径方向穴２３Ｂは、ヒータ被覆層２５に形成した複数の径方向穴２５Ａと共にヒータ部２２の大気導入路を構成し、ケーシング１内の大気を図２中の矢示Ａ方向に後述の多孔質層２７側に向けて流通させるものである。また、軸穴２３Ａ等はコアパイプ２３の容積を減少させることによって、コアパイプ２３の熱容量を小さくする熱容量低減穴としても機能するものである。
【００３８】
一方、ヒータパターン２４は、例えば５重量％のアルミナ（Ａｌ２Ｏ３  ）を混合した白金（Ｐｔ  ）等の発熱性導体材料からなり、その膜厚は焼成後の状態で１０〜１５μｍ程度に形成される。また、ヒータパターン２４は、そのリード線部がコアパイプ２３の基端側で図１に示すようにヒータ用の各コンタクトプレート１４に接続されるものである。
【００３９】
そして、ヒータパターン２４は、後述のヒータ電源４３からヒータ用の各リード線１２、各コンタクトプレート１４等を介して給電されることにより、ヒータ部２２を発熱させ、例えば６００〜８００℃の範囲内でほぼ一定の温度に保持されるものである。
【００４０】
２６はコアパイプ２３に設けられた栓部で、該栓部２６は、コアパイプ２３と同様にアルミナ系のセラミックス材料を用いて形成され、例えば図２に示す如くコアパイプ２３の先端側から軸穴２３Ａに嵌合されて軸穴２３Ａを閉塞するものである。なお、コアパイプ２３の軸穴２３Ａは、後述の多孔質層２７、固体電解質層２８、ガス拡散層３３、緻密層３４等を曲面印刷するときに芯出し穴としても用いられるものである。
【００４１】
このため、栓部２６は、固体電解質層２８、ガス拡散層３３、緻密層３４等の曲面印刷が完了した段階で、これらを焼成する前にコアパイプ２３の軸穴２３Ａ内に軸方向一側（先端側）から嵌合して設けられ、その後にコアパイプ２３等と一緒に焼成されるものである。
【００４２】
２７はヒータ部２２のヒータ被覆層２５外周側に曲面印刷等の手段を用いて形成された多孔質層を示し、この多孔質層２７は、例えばアルミナとジルコニア（Ｚｒ  Ｏ２  ）とからなる複合酸化物の粉体に、空孔形成剤としてのカーボン粉、エチルセルロース等を２０〜５０体積％程度添加してペースト状物を調整し、このペースト状物をヒータ被覆層２５の外周側に厚膜印刷することにより環状に形成されるものである。
【００４３】
この場合、多孔質層２７の素材としてはジルコニアを必ずしも用いる必要はなく、例えばアルミナからなる複合酸化物の粉体にカーボン粉、エチルセルロース等を添加する構成としてもよい。そして、これらのカーボン粉、エチルセルロース等は、検出素子２１全体を焼成するときに空孔形成剤として焼き飛ばされ、これにより多孔質層２７は、内部に連続気泡（連続空孔）を有した多孔質環状体として形成される。
【００４４】
そして、多孔質層２７は、例えば２０〜５０μｍ程度の厚さを有し、ヒータ部２２内の大気導入路となる軸穴２３Ａ、各径方向穴２３Ｂ，２５Ａを通じて図２中の矢示Ａ方向に導かれる大気中の酸素を透過させつつ、この酸素を後述の内側電極２９，３０に向けて供給するものである。
【００４５】
２８は多孔質層２７を外側から覆うようにヒータ部２２の外周側に曲面印刷等の手段を用いて形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層で、該固体電解質層２８は、例えば９２％モルのジルコニア（Ｚｒ  Ｏ２  ）の粉体に対して、８％モルのイットリア（Ｙ２  Ｏ３  ）の粉体を混合して所謂イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）からなるペースト状物を調整した後、このペースト状物を図２に示す如くヒータ被覆層２５の外周側に厚膜印刷することにより環状に形成されている。
【００４６】
この場合、固体電解質層２８の素材となる前記粉体は、例えば平均粒径０．８μｍ以下に形成される。そして、固体電解質層２８は、例えば２５〜５０μｍ程度の厚さを有し、後述の電極２９，３１間、電極３０，３２間で酸素イオンを輸送させるものである。これにより、固体電解質層２８は、後述する水素濃度の検出信号を図３に例示するポンプ電流（ｍＡ）として発生させる。
【００４７】
２９，３０は多孔質層２７と固体電解質層２８との間に位置して固体電解質層２８の内周面に設けられた第１，第２の電極としての内側電極で、該内側電極２９，３０は、例えば白金、パラジウム、ロジウム等の粉体に対し、数重量％のイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）の粉体を混合してペースト状物を調整した後、このペースト状物を図２に示す如く多孔質層２７の外周側に曲面印刷することにより形成され、それぞれのリード線部（図示せず）はヒータ部２２の基端側に向けて伸長するものである。
【００４８】
そして、内側電極２９，３０は、前記白金、パラジウム、ロジウムとイットリア安定化ジルコニアからなる触媒活性の高いサーメットとして形成され、いわゆる三相界面が多く存在することにより、後述の化１，２式等による接触分解反応（電極反応）を小さな抵抗をもって発生させるものである。
【００４９】
ここで、内側電極２９，３０は、固体電解質層２８の長さ方向（ヒータ部２２および検出素子２１の軸方向）で互いに離間し、一方の内側電極２９は他方の内側電極３０よりも大なる電極面積をもって形成されている。そして、内側電極２９は、固定電解質層２８の軸方向一側（後述するガス拡散層３３の開口端３３Ａ側）寄りに配置され、後述する外側電極３１との間で固体電解質層２８を径方向から挟む構成となっている。
【００５０】
また、内側電極３０は、固定電解質層２８の軸方向他側（後述するガス拡散層３３の閉塞端３３Ｂ側）寄りに配置され、後述する外側電極３２との間で固体電解質層２８を径方向から挟んでいる。そして、内側電極３０と外側電極３２とは、固定電解質層２８等と共に後述する第１の酸素ポンプ部３５を構成し、内側電極２９と外側電極３１とは、固定電解質層２８等と共に後述する第２の酸素ポンプ部３６を構成するものである。
【００５１】
３１，３２は固体電解質層２８の外周面に形成された第３，第４の電極となる外側電極で、該外側電極３１，３２は、内側電極２９，３０と同様の材料からなるペースト状物を、所定の印刷パターンで固体電解質層２８の外周面に曲面印刷することによって形成され、そのリード線部（図示せず）はヒータ部２２の基端側に向けて伸長するものである。
【００５２】
ここで、外側電極３１，３２は、固体電解質層２８の軸方向で互いに離間し、一方の外側電極３１は他方の外側電極３２よりも大なる電極面積をもって形成されている。そして、外側電極３１は、固体電解質層２８を内側電極２９との間で径方向両側から挟むように配置され、外側電極３２は、固体電解質層２８を内側電極３０との間で径方向両側から挟むように配置されているものである。
【００５３】
また、外側電極３１，３２は、後述するガス拡散層３３との関係では図２中の矢示Ｂ方向に拡散する被測定ガスに対し、外側電極３１が外側電極３２よりも上流側（開口端３３Ａ側）となる位置に配置され、外側電極３２がより下流側（閉塞端３３Ｂ側）となる位置に配置されているものである。
【００５４】
３３は固体電解質層２８を外側電極３１，３２と共に外側から覆うガス拡散層で、該ガス拡散層３３は、例えばアルミナとジルコニアの粉体（例えば、平均粒径０．３〜０．８μｍ）からなるペースト状物を、図２に示す如く固体電解質層２８（外側電極３１，３２）の外周側に厚膜印刷することにより、例えば１０〜５０μｍ程度の厚さをもって環状に形成されるものである。
【００５５】
この場合に、ガス拡散層３３の素材としてはジルコニアを必ずしも用いる必要はなく、例えばアルミナからなる複合酸化物を用いて形成してよい。そして、ガス拡散層３３は、検出素子２１全体を焼成したときに多孔質構造（気孔率５〜３０％）をなして形成され、その平均細孔径は、例えば１００〜１０００Å（オングストローム）程度に設定される。
【００５６】
また、ガス拡散層３３は、図２に示すように一側が後述の緻密層３４等で覆われることのない開口端３３Ａとなり、他側は緻密層３４の奥所側に位置する閉塞端３３Ｂとなっている。そして、ガス拡散層３３は、開口端３３Ａ側を除いて緻密層３４により外側から覆われ、外部の被測定ガスは、図２中に示す矢示Ｂ方向から開口端３３Ａを介してガス拡散層３３内に流入するものである。
【００５７】
これにより、ガス拡散層３３は、外部の被測定ガスを図２中の矢示Ｂ方向にクヌーセン拡散させつつ、外側電極３１，３２の表面側に供給し、被測定ガス中の可燃性ガス（例えば、水素、一酸化炭素、メタン、ブタン等）を外側電極３１，３２の表面側で後述の如く酸化させるものである。
【００５８】
３４はガス拡散層３３の外周側に設けられた緻密層で、該緻密層３４は、例えばアルミナの粉体に微量の酸化珪素、酸化マグネシウム（マグネシア）の粉体を添加してペースト状物を調整し、このペースト状物をガス拡散層３３、固体電解質層２８の外周側に厚膜印刷することにより図２に示す如く段付筒状に形成され、その膜厚は２０〜５０μｍ程度となっている。
【００５９】
この場合、緻密層３４の素材となる前記粉体は、例えば平均粒径０．３〜０．５μｍ程度に形成される。そして、緻密層３４は、ガス拡散層３３等に比較して緻密な多孔質構造をなすことにより、被測定ガス中に含まれる亜硫酸ガス（ＳＯｘ  ）、シリコンガス（接着剤等から空気中に揮散した有機ガス）等のように分子量の大きいガスが被毒物となってガス拡散層３３、固体電解質層２８内に侵入するのを抑えるものである。
【００６０】
３５は固体電解質層２８と電極３０，３２等とにより構成される第１の酸素ポンプ部で、該第１の酸素ポンプ部３５は、後述の直流電源４１等を含んで構成され、ガス拡散層３３の閉塞端３３Ｂ寄りの位置で固体電解質層２８を挟んだ内側電極３０と外側電極３２との間に流れるポンプ電流Ｉｐ１（図３参照）を、後述の電流検出器４２を用いて水素濃度を測定するための信号として検出させる機能を有するものである。
【００６１】
３６は固体電解質層２８と電極２９，３１等とにより構成される第２の酸素ポンプ部で、該第２の酸素ポンプ部３６は、後述の直流電源３８，３９等を含んで構成され、ガス拡散層３３内の酸素分圧を後述の如く制御する機能を有しているものである。
【００６２】
３７は内側電極２９と外側電極３１との間に設けられた電圧印加手段としての電圧印加装置で、該電圧印加装置３７は、直流電源３８，３９と切換スイッチ４０とにより構成され、これらの直流電源３８，３９と切換スイッチ４０とは、内側電極２９と外側電極３１との間にリード線１１等を介して接続されるものである。
【００６３】
この場合、直流電源３８は図４中に示すように、例えば０．２７Ｖ（２７０ｍＶ）程度の予め決められた低い電圧ＶＬ  を印加する低電圧源を構成し、直流電源３９は、例えば０．５７〜０．７Ｖ（５７０〜７００ｍＶ）程度範囲で予め決められた高い電圧ＶＨ  （ＶＨ  ＞ＶＬ  ）を印加する高電圧源を構成している。
【００６４】
この場合、直流電源３８，３９による電圧ＶＬ  ，ＶＨ  は、検出素子２１の素子温度（または、固体電解質層２８の内部抵抗等）に基づいて可変に設定される。そして、切換スイッチ４０は、直流電源３８，３９からの電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を図３中に示す後述の特性線４４の如く選択的に切換えて印加し、これによるポンプ電流Ｉｐ２は、図２に示すように内側電極２９から外側電極３１に向けて供給されるものである。
【００６５】
即ち、図２に示すガス拡散層３３の開口端３３Ａ寄りの位置で、固体電解質層２８を挟んだ内側電極２９と外側電極３１との間には、直流電源３８，３９を通じてポンプ電流Ｉｐ２（図３参照）が供給されると、ガス拡散層３３内では外側電極３１の周囲で後述の化１式による接触分解反応が行われ、被測定ガス（水素ガスを含むが、大気に近い組成）中の酸素から発生した酸素イオンが固体電解質層２８内を外側電極３１から内側電極２９に向けて輸送される。
【００６６】
また、内側電極２９の周囲では後述の化２式による接触分解反応が行われ、酸素イオンが酸素と電子に分解される。しかし、切換スイッチ４０を図２中に実線で示すように直流電源３８側に切換えて接続し、該直流電源３８から低い電圧ＶＬ  （例えば、２７０ｍＶ程度）を内側電極２９，外側電極３１間に印加するときには、ガス拡散層３３内の酸素分圧が、後述の如く１０−６ａｔｍ（例えば、０．１Ｐａ）程度の高い圧力に制御される。
【００６７】
このため、ガス拡散層３３内（外側電極３１の周囲）には、被測定ガス中の可燃性ガス（例えば、水素、一酸化炭素等）を酸化するのに十分な酸素が残されることになる。これにより、ガス拡散層３３内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスは、第２の酸素ポンプ部３６を構成する外側電極３１の近傍で支配的に酸化され、後述の化３，化４式等による接触分解反応が行われる。
【００６８】
この結果、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍では、ガス拡散層３３の奥所（閉塞端３３Ｂ）側に可燃性ガスがほとんど存在しない状態となり、外側電極３２の周囲では化３，化４式等による接触分解反応が行われることはない。
【００６９】
一方、切換スイッチ４０を図２中に仮想線で示すように直流電源３９側に切換えて、直流電源３９から高い電圧ＶＨ  （例えば、５７０〜７００ｍＶ程度）を内側電極２９，外側電極３１間に印加したときには、ガス拡散層３３内の酸素分圧が、後述の如く１０−１６  〜１０−１２  ａｔｍ（例えば、水蒸気が還元されることない酸素分圧）程度まで下げられて低い圧力に制御される。
【００７０】
このため、ガス拡散層３３内（外側電極３１の周囲）には、被測定ガス中の可燃性ガスを酸化するのに必要な酸素が存在しないことになる。これにより、ガス拡散層３３内を開口端３３Ａ側から矢示Ｂ方向に拡散して行く被測定ガス中の可燃性ガスは、外側電極３１の位置を酸化されることなく通過し、ガス拡散層３３の奥所（閉塞端３３Ｂ）側へと拡散する。
【００７１】
そして、ガス拡散層３３の閉塞端３３Ｂ側に達した可燃性ガスは、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍で、化３，化４式等による接触分解反応が行われ、このときに水素ガスを酸化するために電極３２，３０間を流れるポンプ電流Ｉｐ１が、後述の電流検出器４２を用いて検出されるものである。
【００７２】
４１は内側電極３０と外側電極３２との間に設けられた直流電源、４２は該直流電源４１と共に信号検出手段を構成する電流検出器で、該電流検出器４２は、図２に示す如く直流電源４１と共に内側電極３０と外側電極３２との間にリード線１１等を介して接続されている。
【００７３】
この場合、直流電源４１は、例えば検出素子２１の素子温度、または固体電解質層２８の内部抵抗等に基づいて設定される電圧（例えば、０．２７Ｖ以上の電圧）を常時印加し、第１の酸素ポンプ部３５側においてガス拡散層３３内の酸素分圧を、１０−６ａｔｍ（０．１Ｐａ）以上の圧力に制御する。そして、電流検出器４２は、固体電解質層２８を介して電極３０，３２間に流れるポンプ電流Ｉｐ１を、図３中に示す後述の特性線４６の如く水素濃度の検出信号として選択的に検出するものである。
【００７４】
４３は前記電圧印加装置３７、直流電源４１等と共にケーシング１の外部に設けられるヒータ電源で、該ヒータ電源４３は、図２に示すようにリード線１２等を介してヒータパターン２４に接続されるものである。そして、ヒータ電源４３は、ヒータ部２２のヒータパターン２４に電圧を印加することにより、例えば６００〜８００℃の範囲内で一定の発熱温度にヒータ部２２を維持させるものである。
【００７５】
本実施の形態による水素濃度検出装置は上述の如き構成を有するもので、次に検出素子２１の製造方法について説明する。
【００７６】
まず、ヒータ部２２を製造するときには、アルミナ系のセラミックス材料からコアパイプ２３を中空の円筒状ロッドとして射出成形し、この状態でコアパイプ２３を仮焼成する。この場合、軸穴２３Ａはコアパイプ２３の熱容量を小さくするために可能な限り大きな穴径をもって形成するのがよい。
【００７７】
次に、チャック等の支持軸をコアパイプ２３の両端側に軸穴２３Ａ等を介して係合させ、コアパイプ２３を回転させつつ、白金等の発熱性導体材料からなるヒータパターン２４をコアパイプ２３の外周面に曲面印刷する。そして、その後にヒータパターン２４を径方向外側から覆うようにして、コアパイプ２３の外周側にヒータ被覆層２５を形成する。これによって、コアパイプ２３、ヒータパターン２４およびヒータ被覆層２５からなるヒータ部２２を形成する。
【００７８】
次に、例えばアルミナとカーボン粉等からなるペースト状物を、ヒータ被覆層２５の外周面に塗布するように曲面印刷して多孔質層２７を形成し、ヒータ部２２の径方向穴２５Ａ等を多孔質層２７によって外側から覆うようにする。
【００７９】
そして、多孔質層２７の形成に続いて内側電極２９，３０を曲面印刷等の手段で形成し、これらの多孔質層２７、内側電極２９，３０を外側から覆うように、例えばジルコニアとイットリアからなるペースト状物を、ヒータ被覆層２５および多孔質層２７の外周面に塗布するように曲面印刷して酸素イオン伝導性の固体電解質層２８を形成する。
【００８０】
そして、その後は固体電解質層２８の外周面に外側電極３１，３２を形成し、これらの外側電極３１，３２は、内側電極２９，３０との間で固体電解質層２８を径方向両側から挟むように配置する。
【００８１】
次に、固体電解質層２８の外周側には、外側電極３１，３２を外側から覆うように、例えばアルミナ等の複合酸化物からなるペースト状物を曲面印刷することによりガス拡散層３３を形成する。そして、ガス拡散層３３等の外周側には緻密層３４を形成する。
【００８２】
次に、前述の如く形成したコアパイプ２３、ヒータパターン２４、ヒータ被覆層２５、多孔質層２７、固体電解質層２８、電極２９，３０，３１，３２、ガス拡散層３３および緻密層３４からなる検出素子２１の成形品を、高温度下で焼成してこれらを一体的に焼結させる。なお、図２に示した栓部２６は、焼成工程の前にコアパイプ２３の軸穴２３Ａ内に嵌合して設けられ、その後にコアパイプ２３等と一緒に焼成される。
【００８３】
かくして、このように検出素子２１を製造した後には、該検出素子２１を水素濃度検出装置のケーシング１内に図１に示す如く収納し、各リード線部をそれぞれのコンタクトプレート１３，１４にばね性をもって当接させ、これらを電気的に接続することによって当該水素濃度検出装置（水素センサ）を完成させる。
【００８４】
次に、当該水素センサによる水素濃度の検出動作について説明するに、まず、水素濃度検出装置のケーシング１は、例えば燃料電池等から大気中に漏洩した水素ガスの濃度を検知するため、ホルダ２のおねじ部２Ａを介して前記検知箇所の周壁等に螺着され、検出素子２１の先端側を検知箇所等に突出させた状態で固定される。
【００８５】
そして、燃料電池等から大気中に漏洩した水素を含む被測定ガスが検出素子２１の周囲にプロテクタ１５を介して導入されると、この被測定ガスの一部（例えば、酸素、水素、一酸化炭素等）が、図２中の矢示Ｂ方向でガス拡散層３３内へと取込まれ、該ガス拡散層３３を通じてクヌーセン拡散されつつ、例えば外側電極３１，３２の表面近傍に達する。
【００８６】
また、ケーシング１内の大気は、ヒータ部２２内の大気導入路（軸穴２３Ａ、各径方向穴２３Ｂ，２５Ａ）を通じて図２中の矢示Ａ方向に導かれることにより、多孔質層２７は、この大気中の酸素を一定分圧として透過させつつ、内側電極２９，３０に向けて供給する。
【００８７】
そして、この状態でヒータ電源４３からヒータパターン２４に給電を行ってヒータ部２２により検出素子２１全体を加熱すると、固体電解質層２８が活性化される。そして、外側電極３１，３２等は被測定ガス中の可燃性ガスを酸化可能な温度（例えば、７５０℃程度の温度）に保持される。
【００８８】
また、第１の酸素ポンプ部３５側では、直流電源４１により電極３０，３２間に電圧を印加し、第２の酸素ポンプ部３６側では、直流電源３８，３９から切換スイッチ４０を介して電極２９，３１間に電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を定期的に切換えて印加する。これにより、内側電極２９，３０と外側電極３１，３２との間では、後述の化１〜化４式等に示す接触分解反応が行われる。
【００８９】
即ち、電圧印加装置３７の切換スイッチ４０を直流電源３８側に切換えて、該直流電源３８から低い電圧ＶＬ  （例えば、０．２７Ｖ）を内側電極２９から外側電極３１に向けて印加したときには、カソード側となる外側電極３１において、下記の化１による電気化学的な接触分解反応が行われ、ガス拡散層３３内では被測定ガス中のの酸素に電子が付与されて酸素イオンが発生する。
【００９０】
【化１】
Ｏ２  ＋４ｅ  →  ２Ｏ２−
但し、Ｏ２  ：酸素分子
ｅ  ：電子
Ｏ２−：酸素イオン
【００９１】
そして、このときの酸素イオンは、固体電解質層２８中の酸素欠陥を介して外側電極３１側から内側電極２９に向けて輸送される。また、アノード側となる内側電極２９においては、下記の化２による電気化学的な接触分解反応が行われ、このときの酸素イオンが酸素と電子に分解される。
【００９２】
【化２】
２Ｏ２−  →  Ｏ２  ＋４ｅ
【００９３】
また、ヒータ部２２の大気導入路（軸穴２３Ａ、各径方向穴２３Ｂ，２５Ａ）を通じて図２中の矢示Ａ方向に導かれる大気中の酸素は、多孔質層２７を透過しつつ、例えば内側電極３０に向けて供給される。これにより、第１の酸素ポンプ部３５側では内側電極３０と外側電極３２との間に直流電源４１からの電圧を印加した状態で、カソード側となる内側電極３０において、上記の化１による電気化学的な接触分解反応が行われる。
【００９４】
そして、アノード側となる外側電極３２においては、上記の化２による電気化学的な接触分解反応が行われ、このときの酸素イオンは、ガス拡散層３３（第１の酸素ポンプ部３５）側で酸素と電子に分解される。
【００９５】
しかし、この場合にガス拡散層３３内の酸素分圧は、図３に示す特性線４４，４５の如く第２の酸素ポンプ部３６側での低い電圧ＶＬ  の印加により、内部をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスを酸化するに十分な圧力、例えば１０−６ａｔｍ、即ち０．１Ｐａ（パスカル）程度の圧力に制御されている。
【００９６】
このため、第２の酸素ポンプ部３６側では、外側電極３１の周囲において下記の化３，化４式による電気化学的な接触分解反応が行われ、ガス拡散層３３内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスは、例えば水素（Ｈ２  ）がこのときの酸素イオン（Ｏ２−）と結合して水分子（Ｈ２  Ｏ）と電子（ｅ）とに分解される。また、一酸化炭素（ＣＯ）は、酸素イオンと結合して二酸化炭素（ＣＯ２  ）と電子とに分解される。
【００９７】
【化３】
Ｈ２  ＋Ｏ２−  →  Ｈ２  Ｏ＋２ｅ
【００９８】
【化４】
ＣＯ＋Ｏ２−  →  ＣＯ２  ＋２ｅ
【００９９】
この場合、固体電解質層２８と電極３０，３２等とにより構成される第１の酸素ポンプ部３５は、電極２９，３１側の第２の酸素ポンプ部３６よりもガス拡散層３３の閉塞端３３Ｂ側となる奥所（下流側）に配置され、電極２９，３１の方が電極３０，３２よりも大なる電極面積に形成されている。
【０１００】
このため、第２の酸素ポンプ部３６側で直流電源３８から電極２９，３１間に電圧ＶＬ  を印加し続ける限り（図３中の時間Ｔ１  まで）、被測定ガス中の可燃性ガスは、第２の酸素ポンプ部３６を構成する外側電極３１の近傍において支配的に酸化され、前述した化３，化４式による接触分解反応が行われる。
【０１０１】
そして、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍では、ガス拡散層３３の奥所（閉塞端３３Ｂ）側に可燃性ガスがほとんど存在しないために、化３，化４式等による接触分解反応は実質的に行われず、この間の外側電極３２は、第２の酸素ポンプ部３６側で電圧印加装置３７の切換スイッチ４０を直流電源３８から直流電源３９側に切換えられるのを待機することになる。
【０１０２】
また、第２の酸素ポンプ部３６側で電極２９，３１間を流れるポンプ電流Ｉｐ２は、直流電源３８，３９からの印加電圧（電圧ＶＬ  ，ＶＨ  ）に対し図４に示す特性線４７Ａ，４７Ｂの如く表される。そして、被測定ガス中の酸素濃度が、例えば１０％のときには特性線４７Ａで示す関係となり、被測定ガス中の水素濃度が、例えば２０％のときには特性線４８Ｂで示す関係となる。
【０１０３】
ところで、ガス拡散層３３内を開口端３３Ａから閉塞端３３Ｂ側へとクヌーセン拡散する被測定ガスは、下記の数１式で示すクヌーセン拡散定数Ｄｘｋを有し、例えば水素、一酸化炭素等の可燃性ガスは、このクヌーセン拡散定数Ｄｘｋに対応した速度でガス拡散層３３内を拡散するものである。
【０１０４】
【数１】
Ｄｘｋ＝（２ｄ／３）×｛（２×Ｒ×Ｔ）／（π×Ｍｘ）｝１／２
但し、ｄ：ガス拡散層の平均細孔径
Ｒ：気体定数（８．３１５Ｊ／Ｋ・ｍｏｌ  ）
Ｔ：絶対温度
Ｍｘ：被測定ガスの分子量
【０１０５】
そして、ヒータ部２２の発熱温度を７５０℃とし、ガス拡散層３３の平均細孔径を１０００Åに設定した場合に、被測定ガスのうちの水素（Ｈ２）、水（Ｈ２Ｏ）、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）、メタン（ＣＨ４）、ブタン（Ｃ４Ｈ１０）は、酸素（Ｏ２）に対する拡散定数の比率が図６に示す特性となり、例えば水素（Ｈ２）の比率が４．０２であるのに対し、一酸化炭素（ＣＯ）の比率は、１．０７となる。
【０１０６】
このため、水素および一酸化炭素を含んだ可燃性ガスがガス拡散層３３内をクヌーセン拡散する場合に、後述の拡散遅れ時間Ｔｄ１（例えば、４．６２ｍ秒）をもって一酸化炭素は、水素よりも遅くクヌーセン拡散するものである。
【０１０７】
そして、この拡散遅れ時間Ｔｄ１を活用することにより、被測定ガス中の水素濃度を一酸化炭素に邪魔されることなく、検出することが可能となる。しかし、例えば第２の酸素ポンプ部３６側で直流電源３８から電極２９，３１間に電圧ＶＬ  を印加し続ける限り、拡散遅れ時間Ｔｄ１の基準点を設定することができず、水素濃度の検出が難しくなる。
【０１０８】
そこで、本実施の形態では、第２の酸素ポンプ部３６側に直流電源３８，３９と切換スイッチ４０とからなる電圧印加装置３７を設け、該電圧印加装置３７の切換スイッチ４０を予め決められた時間毎に直流電源３８，３９のいずれかに切換えることにより、直流電源３８，３９からの電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を選択的に電極２９，３１間に印加する構成としている。
【０１０９】
即ち、図３に例示する特性線４４のように時間Ｔ１  までは、切換スイッチ４０を直流電源３８側に切換え、該直流電源３８から低い電圧ＶＬ  （例えば、図４に示すように０．２７Ｖ程度）を内側電極２９から外側電極３１へと印加する。そして、時間Ｔ１  〜Ｔ２  までは切換スイッチ４０を直流電源３８から直流電源３９側に切換え、該直流電源３９から高いの電圧ＶＨ  （例えば、０．５７〜０．７Ｖ程度）を印加する。
【０１１０】
これにより、第２の酸素ポンプ部３６側では、直流電源３９から高いの電圧ＶＨ  が内側電極２９，外側電極３１間に印加されるときに、前記化１，２式による接触分解反応が行われ、ガス拡散層３３内の酸素分圧は、図３に示す特性線４５の如く低い圧力（例えば、１０−１６  〜１０−１２  ａｔｍ程度）まで低下される。
【０１１１】
そして、ガス拡散層３３内の酸素分圧が、例えば１０−１６  〜１０−１２  ａｔｍ（水蒸気が還元されることない酸素分圧）まで低い圧力に制御される間は、ガス拡散層３３内で外側電極３１の周囲には、被測定ガス中の可燃性ガスを酸化するのに必要な酸素が存在しないことになり、ガス拡散層３３内を開口端３３Ａ側から矢示Ｂ方向に拡散して行く被測定ガス中の可燃性ガスは、外側電極３１の位置を酸化されることなく通過し、ガス拡散層３３の奥所（閉塞端３３Ｂ）側まで拡散することになる。
【０１１２】
また、その後に時間Ｔ２  では再び切換スイッチ４０を直流電源３８側に切換えて、直流電源３８からの電圧印加を行う。このように、切換スイッチ４０の切換操作を定期的に繰返すことにより、第２の酸素ポンプ部３６側での印加電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を高，低２段に切換制御する構成としている。
【０１１３】
このため、図３に示す特性線４６の如く、時間Ｔ１  を基準点として第１の酸素ポンプ部３５側でポンプ電流Ｉｐ１を発生することができ、水素の拡散遅れ時間Ｔｄ０から一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１までのポンプ電流Ｉｐ１の特性（図３中に示す時間Ｔｄ０〜Ｔｄ１の特性線部４６Ｂ）を、被測定ガス中の水素濃度に対応した信号として検出できるものである。
【０１１４】
即ち、第２の酸素ポンプ部３６側で切換スイッチ４０を直流電源３８から直流電源３９に切換えて、高い電圧ＶＨ  を内側電極２９と外側電極３１との間に印加したときには、前述の如くガス拡散層３３内の酸素分圧が、例えば１０−１６  〜１０−１２  ａｔｍ程度まで低下される。
【０１１５】
これにより、ガス拡散層３３内の外側電極３１周囲では、被測定ガス中の可燃性ガスを酸化するのに必要な酸素が存在しないことになる。この結果、ガス拡散層３３内を開口端３３Ａ側から矢示Ｂ方向に拡散して行く被測定ガス中の可燃性ガスは、外側電極３１の位置を酸化されることなく通過し、ガス拡散層３３の奥所（閉塞端３３Ｂ）側へと拡散する。
【０１１６】
そして、ガス拡散層３３の奥所側に達した水素、一酸化炭素等の可燃性ガスは、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍で、前記化３，化４式による接触分解反応が行われ、このときに水素、一酸化炭素を酸化するために電極３２，３０間を流れるポンプ電流Ｉｐ１は、図３中の特性線４６に示す如く変化し、これを電流検出器４２により検出することができる。
【０１１７】
この場合、電流検出器４２で検出されるポンプ電流Ｉｐ１は、図３中の特性線４６の如く時間Ｔ１  までは、特性線部４６Ａとして示すように低い電流値に抑えられ、基準点となる時間Ｔ１  から水素の拡散遅れ時間Ｔｄ０を過ぎた時点で、特性線部４６Ｂとして示すように一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１まで増大する。
【０１１８】
そして、一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１を過ぎた後には、特性線部４６Ｃで示すように、水素によるポンプ電流Ｉｐ１（Ｈ２）に一酸化炭素によるポンプ電流Ｉｐ１（ＣＯ）が加算されてポンプ電流Ｉｐ１はさらに増大し続ける。
【０１１９】
次に、その後の時間Ｔ２  において第２の酸素ポンプ部３６側で切換スイッチ４０を再び直流電源３８側に切換えて、直流電源３８から低い電圧ＶＬ  を内側電極２９と外側電極３１との間に印加すると、酸素の拡散遅れ時間Ｔｄ２が経過するまで外側電極３１の周囲において徐々に化３，化４式による接触分解反応（酸化反応）が再開される。
【０１２０】
このため、ガス拡散層３３内をクヌーセン拡散する被測定ガスは、可燃性ガスが第２の酸素ポンプ部３６を構成する外側電極３１の近傍で再び支配的に酸化されることになり、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍には、可燃性ガスが到達しない状態となって前記化３，化４式による酸化反応が急激に失われる。
【０１２１】
これにより、第１の酸素ポンプ部３５側では、電極３２，３０間を流れるポンプ電流Ｉｐ１が、図３中に示す特性線部４６Ｄの如く急激に低下し、第２の酸素ポンプ部３６側で直流電源３９から高い電圧ＶＨ  の印加が、前述した時間Ｔ１  のように再開されるのを待機する。
【０１２２】
かくして、本実施の形態によれば、前述した検出動作を繰返すことにより、第１の酸素ポンプ部３５側で電流検出器４２を用いて、ポンプ電流Ｉｐ１の変化を図３中の特性線４６の如く検出でき、特に、特性線部４６Ｂの電流値から被測定ガス中の水素濃度を、他の可燃性ガスに邪魔されることなく正確に検出することができる。
【０１２３】
そして、図３中に示す特性線部４６Ｂの電流値を拡散遅れ時間Ｔｄ０〜Ｔｄ１にわたって積分した場合でも、被測定ガス中の水素濃度を測定することができる。また、前述の検出動作を複数回にわたって繰返すことにより、例えば特性線部４６Ｂに相当する電流値の平均値（複数回分の平均値）等から水素濃度を算定することもでき、被測定ガス中の水素濃度を安定して検出することができる。
【０１２４】
また、この場合のポンプ電流Ｉｐ１は、直流電源４０からの印加電圧に対し図５に示す特性線４８Ａ，４８Ｂの如く表される。そして、被測定ガス中の水素濃度が０．５％のときには特性線４８Ａで示す関係となり、このときには例えば４５μＡ（マイクロアンペア）程度のポンプ電流Ｉｐ１が、水素濃度に対応した信号として検出される。また、被測定ガス中の水素濃度が１％のときには特性線４８Ｂで示す関係となり、このときには例えば８５μＡ程度のポンプ電流Ｉｐ１が、水素濃度に対応した信号として検出されるものである。
【０１２５】
一方、従来技術のように、ガス拡散層内で被測定ガスを分子拡散させて水素濃度の検出を行う場合には、一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１が、例えば０．６９ｍ秒程度と非常に短くなる。
【０１２６】
これに対し、本実施の形態にあっては、水素および一酸化炭素を含んだ可燃性ガスをガス拡散層３３内でクヌーセン拡散させるため、一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１を、例えば４．６２ｍ秒程度まで長く取ることができ、水素濃度の検出時間を拡大して検出精度等を高めることができる。
【０１２７】
そして、被測定ガスのクヌーセン拡散が支配的となるガス拡散層３３を採用することにより、検出素子２１の体積を小さくでき、検出素子２１の小型化を図ることができる。
【０１２８】
また、本実施の形態によれば、細長いロッド形状をなすヒータ部２２の外周側に曲面印刷等の手段を用いて多孔質層２７、内側電極２９，３０、固体電解質層２８、外側電極３１，３２、ガス拡散層３３および緻密層３４を形成でき、水素濃度の検出素子２１全体を円形のロッド状をなす構造とすることができる。
【０１２９】
このため、ヒータ部２２を小径に形成した場合でも、固体電解質層２８に対するヒータ部２２の伝熱面積を大きくでき、該ヒータ部２２からの熱を固体電解質層２８等に効率的に伝熱することができる。そして、内側電極２９，３０および外側電極３１，３２は、従来技術によるプレート型のセンサに比較して、より小さな体積で電極面積を広くすることができ、これによっても水素濃度の検出精度を向上できる。
【０１３０】
また、水素濃度の検出素子２１全体を小型化できるため、検出素子２１が外部の水蒸気や水等に接触する可能性を減らすことができ、これによって検出素子２１の熱衝撃抵抗等を確実に向上できると共に、耐久性、寿命を高めることができる。
【０１３１】
また、ヒータ部２２の外周側に形成した多孔質層２７は、大気中の酸素を固体電解質層２８の内周側に内側電極３０に向けて供給するため、ガス拡散層３３内に拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスを酸化するのに必要な酸素を、外側電極３２等の周囲に安定して確保でき、被測定ガス中の酸素濃度が大きく変動するような場合でも、被測定ガス中の水素濃度を高精度に検出することができる。
【０１３２】
そして、ガス拡散層３３の外周側には緻密層３４を設けることにより、被測定ガス中に含まれる被毒物（例えば、亜硫酸ガス、シリコンガス）等が、ガス拡散層３３に侵入して目詰まり等を起こすのを抑えることができ、被毒物による検出素子２１の水素センサとしての特性劣化を長期にわたって防ぐことができる。
【０１３３】
従って、本実施の形態によれば、被測定ガス中に一酸化炭素等の可燃性ガスが存在する場合でも、検出素子２１により被測定ガス中の水素のみを選択して検出でき、水素濃度の検出精度を高めることができると共に、水素センサとしての信頼性を確実に向上することができる。
【０１３４】
また、第２の酸素ポンプ部３６側では内側電極２９から外側電極３１に向けて電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を印加する構成であるため、固体電解質層２８の内，外で酸素分圧差が小さい条件、例えば燃料電池から大気中に漏洩した水素ガスを微量でも検出する場合のように、被測定ガスが大気に近い組成（例えば、水素濃度が５％以下となる低濃度の場合）においても、検出素子２１を用いて水素濃度を高精度に検出することができる。
【０１３５】
次に、図７は本発明の第２の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、ヒータ部の外周側にガス拡散層を設け、該ガス拡散層を固体電解質層により径方向外側から覆う構成としたことにある。なお、本実施の形態では前記第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【０１３６】
図中、５１は本実施の形態よる水素センサの検出素子で、該検出素子５１は、後述のヒータ部５２、ガス拡散層５６、固体電解質層５７、内側電極５８，５９および外側電極６０，６１等により構成されるものである。
【０１３７】
５２は細長いロッド状に形成されたヒータ部で、該ヒータ部５２は、第１の実施の形態で述べたヒータ部２２とほぼ同様に構成されている。しかし、この場合のヒータ部５２は、中実のヒータコア５３、ヒータパターン５４およびヒータ被覆層５５により構成され、大気導入路等が廃止されている。
【０１３８】
５６はヒータ部５２の外周側に設けられたガス拡散層を示し、該ガス拡散層５６は、第１の実施の形態で述べたガス拡散層３３とほぼ同様に構成されている。しかし、この場合のガス拡散層５６は、ヒータ被覆層５５の外周側に曲面印刷等の手段を用いて形成されている。
【０１３９】
また、ガス拡散層５６は、長さ方向（軸方向）の一側が後述の固体電解質層５７で覆われることのない開口端５６Ａとなり、他側は固体電解質層５７の奥所側に位置する閉塞端５６Ｂとなっている。そして、ガス拡散層５６は、開口端５６Ａ側を除いて固体電解質層５７により外側から覆われ、外部の被測定ガスは、図７中に示す矢示Ｃ方向から開口端５６Ａを介してガス拡散層５６内に流入するものである。
【０１４０】
これにより、ガス拡散層５６は、外部の被測定ガスを図７中の矢示Ｃ方向にクヌーセン拡散させつつ、後述する内側電極５８，５９の表面側に供給し、被測定ガス中の可燃性ガス（例えば、水素、一酸化炭素、メタン、ブタン等）を内側電極５８，５９の表面側で前述した化３，化４式の如く酸化させるものである。
【０１４１】
５７はガス拡散層５６を外側から覆うようにヒータ部５２の外周側に曲面印刷等の手段を用いて形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層で、該固体電解質層５７は、第１の実施の形態で述べた固体電解質層２８とほぼ同様に構成されている。
【０１４２】
５８，５９はガス拡散層５６と固体電解質層５７との間に位置して固体電解質層５７の内周面に設けられた第１，第２の電極としての内側電極で、該内側電極５８，５９は、第１の実施の形態で述べた内側電極２９，３０とほぼ同様に構成されものである。そして、内側電極５８，５９は、固体電解質層５７の長さ方向（ヒータ部５２および検出素子５１の軸方向）で互いに離間し、一方の内側電極５８は他方の内側電極５９よりも大なる電極面積をもって形成されている。
【０１４３】
また、内側電極５８は、固定電解質層５７の軸方向一側（ガス拡散層５６の開口端５６Ａ側）寄りに配置され、後述する外側電極６０との間で固体電解質層５７を径方向から挟む構成となっている。また、内側電極５９は、固定電解質層５７の軸方向他側（ガス拡散層５６の閉塞端５６Ｂ側）寄りに配置され、後述する外側電極６１との間で固体電解質層５７を径方向から挟んでいる。
【０１４４】
そして、内側電極５９と外側電極６１とは、固定電解質層５７等と共に後述する第１の酸素ポンプ部６２を構成し、内側電極５８と外側電極６０とは、固定電解質層５７等と共に後述する第２の酸素ポンプ部６３を構成するものである。
【０１４５】
６０，６１は固体電解質層５７の外周面に形成された第３，第４の電極となる外側電極で、該外側電極６０，６１は、第１の実施の形態で述べた外側電極３１，３２と同様に構成されている。しかし、この場合の外側電極６０，６１は、その周囲を固体電解質層５７と共に多孔質の保護層（図示せず）によって覆われ、外部のダスト等から保護されるものである。
【０１４６】
また、外側電極６０，６１は、固体電解質層５７の軸方向で互いに離間し、一方の外側電極６０は他方の外側電極６１よりも大なる電極面積をもって形成されている。そして、外側電極６０は、固体電解質層５７を内側電極５８との間で径方向両側から挟むように配置され、外側電極６１は、固体電解質層５７を内側電極５９との間で径方向両側から挟むように配置されているものである。
【０１４７】
ここで、外側電極６０，６１のうち外側電極６１は、外部の被測定ガス（水蒸気を多く含む）が図７中の矢示Ｄ方向から供給されると、下記の化５による電気化学的な接触分解反応を行い、被測定ガス中の水蒸気（水分子）に電子を付与して酸素イオンと水素を発生させる。
【０１４８】
【化５】
Ｈ２  Ｏ＋２ｅ  →  Ｏ２−  ＋Ｈ２
但し、Ｈ２  Ｏ：水分子
ｅ  ：電子
Ｏ２−：酸素イオン
Ｈ２  ：水素分子
【０１４９】
また、被測定ガス中に二酸化炭素が含まれている場合には、外側電極６１の表面側で下記の化６による電気化学的な接触分解反応が行われ、被測定ガス中の二酸化炭素（ＣＯ２）に電子が付与されて酸素イオンと一酸化炭素が発生される。
【０１５０】
【化６】
ＣＯ２  ＋２ｅ  →  Ｏ２−  ＋ＣＯ
【０１５１】
そして、このときの酸素イオンは、固体電解質層５７中の酸素欠陥を介して外側電極６１側から内側電極５９に向けて輸送される。また、このときに内側電極５９においては、前述した化３，４式による電気化学的な接触分解反応が行われ、被測定ガス中の水素、一酸化炭素がそれぞれ酸化されるものである。
【０１５２】
６２は固体電解質層５７と電極５９，６１等とにより構成される第１の酸素ポンプ部で、該第１の酸素ポンプ部６２は、第１の実施の形態で述べた第１の酸素ポンプ部３５とほぼ同様の機能を有し、後述の直流電源６６等を含んで構成されるものである。
【０１５３】
そして、第１の酸素ポンプ部６２は、ガス拡散層５６の閉塞端５６Ｂ寄りの位置で固体電解質層５７を挟んだ内側電極５９と外側電極６１との間に流れるポンプ電流Ｉｐ１を、水素濃度を測定するために後述の電流検出器６９を用いて検出させる機能を有するものである。
【０１５４】
６３は固体電解質層５７と電極５８，６０等とにより構成される第２の酸素ポンプ部で、該第２の酸素ポンプ部６３は、後述の直流電源６５，６６等を含んで構成され、第１の実施の形態で述べた第２の酸素ポンプ部３６とほぼ同様に、ガス拡散層５６内の酸素分圧を制御する機能を有しているものである。
【０１５５】
６４は内側電極５８と外側電極６０との間に設けられた電圧印加手段としての電圧印加装置で、該電圧印加装置６４は、第１の実施の形態で述べた電圧印加装置３７と同様に、直流電源６５，６６と切換スイッチ６７とにより構成され、これらの直流電源６５，６６と切換スイッチ６７とは、内側電極５８と外側電極６０との間にリード線１１等を介して接続されるものである。
【０１５６】
そして、切換スイッチ４０は、直流電源６５，６６からの電圧ＶＬ  ，ＶＨ  を第１の実施の形態と同様に、図３中に例示した特性線４４の如く選択的に切換えて印加し、これによるポンプ電流Ｉｐ２は、図７に示すように外側電極６０から内側電極５８に向けて供給されるものである。
【０１５７】
即ち、ガス拡散層５６の開口端５６Ａ寄りの位置で、固体電解質層５７を挟んだ内側電極５８と外側電極６０との間には、直流電源６５，６６を通じてポンプ電流Ｉｐ２が供給されると、ガス拡散層５６内では内側電極５８の周囲で前述した化１式による接触分解反応が行われ、被測定ガス（水素ガスを含むが、大気に近い組成）中の酸素から発生した酸素イオンが固体電解質層５７内を内側電極５８から外側電極６０に向けて輸送される。
【０１５８】
また、外側電極６０の周囲では前述した化２式による接触分解反応が行われ、酸素イオンが酸素と電子に分解される。しかし、切換スイッチ６７を図７中に実線で示すように直流電源６５側に切換えて接続し、該直流電源６５から低い電圧ＶＬ  （例えば、２７０ｍＶ程度）を電極５８，６０間に印加するときには、ガス拡散層５６内の酸素分圧が、１０−６ａｔｍ程度の高い圧力に制御される。
【０１５９】
このため、ガス拡散層５６内（内側電極５８の周囲）には、被測定ガス中の可燃性ガス（例えば、水素、一酸化炭素等）を酸化するのに十分な酸素が残されることになる。これにより、ガス拡散層５６内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の可燃性ガスは、第２の酸素ポンプ部６３を構成する内側電極５８の近傍で支配的に酸化され、前述した化３，化４式等による接触分解反応が行われる。
【０１６０】
この結果、第１の酸素ポンプ部６２を構成する内側電極５９の近傍では、ガス拡散層５６の奥所（閉塞端５６Ｂ）側に可燃性ガスがほとんど存在しない状態となるため、化３，化４式等による酸化（接触分解）反応が行われることはない。
【０１６１】
一方、切換スイッチ６７を図７中に仮想線で示すように直流電源６５から直流電源６６側に切換えて、該直流電源６６から高い電圧ＶＨ  を印加したときには、内側電極５８，外側電極６０の表面側で前記化１，２式による接触分解反応（ポンプ作用）が強制的に行われるので、ガス拡散層５６内の酸素分圧は、水蒸気が還元されることのない低い圧力（例えば、１０−１６  〜１０−１２  ａｔｍ）程度まで低下される。
【０１６２】
このため、ガス拡散層５６内を開口端５６Ａ側から矢示Ｃ方向に拡散して行く被測定ガス中の可燃性ガスは、内側電極５８の位置を酸化されることなく通過し、ガス拡散層５６の奥所（閉塞端５６Ｂ）側へと拡散する。
【０１６３】
そして、ガス拡散層５６の閉塞端５６Ｂ側に達した可燃性ガスは、第１の酸素ポンプ部６２を構成する内側電極５９の近傍で、化３，化４式等による接触分解反応が行われ、このときに水素ガスを酸化するために電極５９，６１間を流れるポンプ電流Ｉｐ１が、後述の電流検出器６９を用いて検出されるものである。
【０１６４】
６８は内側電極５９と外側電極６１との間に設けられた直流電源、６９は該直流電源６８と共に信号検出手段を構成する電流検出器で、該電流検出器６９は、図７に示す如く直流電源６８と共に内側電極５９と外側電極６１との間にリード線１１等を介して接続されている。
【０１６５】
この場合、直流電源６８は、第１の実施の形態で述べた直流電源４１と同様に電圧を常時印加し、ガス拡散層５６側の酸素分圧を、１０−６ａｔｍ（０．１Ｐａ）以上の圧力に制御する。そして、電流検出器６９は、固体電解質層５７を介して電極５９，６１間に流れるポンプ電流Ｉｐ１を、図３中に例示した特性線４６の如く水素濃度の検出信号として選択的に検出するものである。
【０１６６】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、電圧印加装置６４の切換スイッチ６７を直流電源６５から直流電源６６側に切換えたときに、一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１（図３参照）を利用して電流検出器６９により被測定ガス中の水素濃度を安定して検出することができ、前記第１の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。
【０１６７】
また、本実施の形態では、ヒータ部５２の外周側にガス拡散層５６を形成し、第１の酸素ポンプ部６２側では外側電極６１から内側電極５９に向け、第２の酸素ポンプ部６３側では内側電極５８から外側電極６０に向けて固体電解質層５７内で酸素イオンを輸送させる構成としたので、例えばヒータ部５２側から大気等を導入する必要がなくなり、ヒータ５２部を含めて検出素子５１全体の製造工程、構造等を簡素化することができる。
【０１６８】
そして、検出素子５１の小型化をさらに促進することが可能となり、ヒータ部５２からの熱を固体電解質層５７等に効率的に伝え、熱効率、エネルギ効率等を確実に向上することができる。
【０１６９】
また、この場合には、被測定ガス中に含まれる水蒸気を前述した化５式の如く外側電極６１の周囲で接触分解反応させて固体電解質層５７の径方向外側から内側へと酸素イオンを輸送でき、内側のガス拡散層５６内にクヌーセン拡散してくる被測定ガスに対し、可燃性ガスを酸化するために必要な酸素を供給することができる。
【０１７０】
次に、図８および図９は本発明の第３の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、第２の電極と第４の電極との間に設ける信号検出手段を電圧検出器等を用いて構成したことにある。なお、本実施の形態では前記第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【０１７１】
図中、７１は本実施の形態よる水素センサの検出素子で、該検出素子７１は、第１の実施の形態で述べた検出素子２１と同様に、ヒータ部２２、多孔質層２７、固体電解質層２８、内側電極２９，３０、外側電極３１，３２、ガス拡散層３３および緻密層３４等により構成されている。
【０１７２】
７２は信号検出手段を構成する電圧検出器で、該電圧検出器７２は、第１の実施の形態で述べた直流電源４１、電流検出器４２に替えて用いられ、図８に示す如く内側電極３０と外側電極３２との間にリード線１１等を介して接続され、電極３０，３２間の電圧を検出するものである。
【０１７３】
即ち、第１の酸素ポンプ部３５側では、固体電解質層２８の内側（多孔質層２７）と外側（ガス拡散層５６）との間に酸素濃度差（酸素分圧差）が生じると、これに従って電極３０，３２間に固体電解質層２８を介した起電力が発生する。そして、電圧検出器７２は、このときの起電力である出力電圧Ｖｓ  を、図９中に例示した特性線７３の如く水素濃度の検出信号として選択的に検出する。
【０１７４】
この場合、電圧検出器７２で検出される出力電圧Ｖｓ  は、図９中の特性線７３の如く時間Ｔ１  までは、特性線部７３Ａとして示す如く低い電圧値に抑えられ、基準点となる時間Ｔ１  から水素の拡散遅れ時間Ｔｄ０を過ぎた時点で、特性線部７３Ｂとして示すように一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１まで増大する。
【０１７５】
そして、一酸化炭素の拡散遅れ時間Ｔｄ１を過ぎた後には、特性線部７３Ｃで示すように、水素による出力電圧Ｖｓ  （Ｈ２）に一酸化炭素による出力電圧Ｖｓ  （ＣＯ）が加算されて出力電圧Ｖｓ  はさらに増大し続ける。
【０１７６】
次に、その後の時間Ｔ２  において第２の酸素ポンプ部３６側で切換スイッチ４０を直流電源３９から直流電源３８側に再び切換えて、直流電源３８からの電圧ＶＬ  を内側電極２９と外側電極３１との間に印加すると、酸素の拡散遅れ時間Ｔｄ２が経過する従って第１の実施の形態でも述べた通り外側電極３１の周囲で化３，化４式による接触分解反応（酸化反応）が再開される。
【０１７７】
このため、ガス拡散層５６内をクヌーセン拡散する被測定ガスは、可燃性ガスが第２の酸素ポンプ部３６を構成する外側電極３１の近傍で支配的に酸化されることになり、第１の酸素ポンプ部３５を構成する外側電極３２の近傍には、可燃性ガスが到達しなくなって前記化３，化４式による酸化反応が急激に失われる。
【０１７８】
これにより、第１の酸素ポンプ部３５側では、電極３０，３２間に生じる出力電圧Ｖｓ  が、図９中に示す特性線部７３Ｄの如く急激に低下し、第２の酸素ポンプ部３６側で直流電源３８，３９からの電圧印加が、前述した時間Ｔ１  のように再び中断されるのを待機する。
【０１７９】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第１の実施の形態とほぼ同様に、第１の酸素ポンプ部３５側に設けた電圧検出器７２により、出力電圧Ｖｓ  の変化を図９中の特性線７３の如く検出でき、特に、特性線部７３Ｂの電圧値から被測定ガス中の水素濃度を、他の可燃性ガスに邪魔されることなく正確に検出することができる。
【０１８０】
そして、図９中に示す特性線部７３Ｂの電圧値を拡散遅れ時間Ｔｄ０〜Ｔｄ１にわたって積分した場合でも、被測定ガス中の水素濃度を測定することができる。また、前述の検出動作を複数回にわたって繰返すことにより、例えば特性線部７３Ｂに相当する電圧値の平均値（複数回分の平均値）等から水素濃度を算定することもでき、被測定ガス中の水素濃度を安定して検出することができる。
【０１８１】
なお、前記第２の実施の形態では、直流電源６８と電流検出器６９を用いて信号検出手段を構成するものとして説明した。しかし、本発明はこれに限るものではなく、例えば第３の実施の形態で述べた電圧検出器７２を用いて、図７中に示す電極５９，６１間に固体電解質層５７を介して発生する起電力を、被測定ガス中の水素濃度に対応した出力電圧として検出するようにしてもよい。
【０１８２】
また、第１の実施の形態では、ヒータ部２２内に軸穴２３Ａ、径方向穴２３Ｂ，２５Ａ等からなる大気導入路を形成するものとして説明した。しかし、本発明はこれに限るものではなく、例えば図２に示す多孔質層２７をヒータ部２２の軸方向に長く延ばして形成し、大気中の酸素をヒータ部２２の外周に沿って前記多孔質層内を流通させる構成としてもよい。
【０１８３】
次に、上記各実施の形態から把握し得る請求項以外の技術的思想について、以下にその効果と共に記載する。
【０１８４】
（１）．請求項１に記載の水素センサにおいて、前記ガス拡散層の外周側には緻密層を形成する構成としてなる水素センサ。この場合には、ガス拡散層の外周側に設けた緻密層により、被測定ガス中に含まれる被毒物（例えば、亜硫酸ガス、シリコンガス等）がガス拡散層に侵入して目詰まり等を起こすのを抑えることができ、被毒物によるセンサの特性劣化を長期にわたり防止できる。
【０１８５】
（２）．請求項１，２または３に記載の水素センサにおいて、前記信号検出手段は、第２，第４の電極間に電圧を印加する直流電源と、第２，第４の電極間を流れる電流を水素濃度信号として選択的に検出する電流検出器とにより構成してなる水素センサ。
【０１８６】
これにより、電圧印加手段による第１，第３の電極間への電圧印加を高い電圧に切換えたときにも、直流電源から第２，第４の電極間に電圧を印加して第２，第４の電極周囲での接触分解反応を促進することができる。そして、この状態でガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる可燃性ガスは、第１または第３の電極周囲で酸化されることなく、第２または第４の電極周囲に到達して酸化され、このときに第２，第４の電極間を流れるポンプ電流を電流検出器により水素濃度信号として選択的に検出することができる。
【０１８７】
（３）．請求項１，２または３に記載の水素センサにおいて、前記信号検出手段は、第２，第４の電極間に固体電解質層を介して発生する起電力を検出する電圧検出器により構成してなる水素センサ。
【０１８８】
これにより、固体電解質層の内，外に生じる酸素濃度差（酸素分圧差）に従って第２の電極と第４の電極との間に発生する起電力を、被測定ガス中の水素濃度に対応した信号として検出でき、信号検出手段の構成を簡素化することができる。
【０１８９】
（４）．請求項１，２または３に記載の水素センサにおいて、前記第１，第３の電極は、ガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる被測定ガスの流れに対し前記第２，第４の電極よりも上流側となる位置に配置してなる水素センサ。
【０１９０】
これにより、電圧印加手段で第１の電極と第３の電極との間に低い電圧を印加しているときには、ガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の水素等からなる可燃性ガスを、上流側に位置する第１または第３の電極側で支配的に酸化することができ、下流側となる第２または第４の電極側に到達する可燃性ガスの量を減じることができる。
【０１９１】
（５）．請求項１，２または３に記載の水素センサにおいて、前記第１，第３の電極は、前記第２，第４の電極よりも大なる電極面積をもって形成してなる水素センサ。
【０１９２】
これにより、電圧印加手段で第１の電極と第３の電極との間に低い電圧を印加しているときには、ガス拡散層内をクヌーセン拡散してくる被測定ガス中の水素等からなる可燃性ガスを、電極面積の大きい第１または第３の電極側で支配的に酸化することができ、電極面積が小さい第２または第４の電極側に到達する可燃性ガスの量を減じることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態による水素センサが適用された水素濃度検出装置を示す縦断面図である。
【図２】図１中の検出素子を拡大して示す縦断面図である。
【図３】第１，第２の酸素ポンプ部における印加電圧、酸素濃度およびポンプ電流の特性を示す特性線図である。
【図４】第２の酸素ポンプ部における印加電圧とポンプ電流との関係を示す特性線図である。
【図５】第１の酸素ポンプ部における電極間電圧とポンプ電流との関係を示す特性線図である。
【図６】被測定ガスのクヌーセン拡散定数を酸素の拡散定数に対する比率で示す特性線図である。
【図７】第２の実施の形態による水素濃度の検出素子を示す縦断面図である。
【図８】第３の実施の形態による水素濃度の検出素子を示す縦断面図である。
【図９】図８中の第１，第２の酸素ポンプ部におけるポンプ電流、酸素濃度および出力電圧の特性を示す特性線図である。
【符号の説明】
１  ケーシング
１１，１２  リード線
１３，１４  コンタクトプレート
２１，５１，７１  検出素子（水素センサ）
２２，５２  ヒータ部
２３  コアパイプ
２３Ａ  軸穴（大気導入路）
２３Ｂ，２５Ａ  径方向穴（大気導入路）
２４，５４  ヒータパターン
２５，５５  ヒータ被覆層
２７  多孔質層
２８，５７  固体電解質層
２９，５８  内側電極（第１の電極）
３０，５９  内側電極（第２の電極）
３１，６０  外側電極（第３の電極）
３２，６１  外側電極（第４の電極）
３３，５６  ガス拡散層
３４  緻密層
３５，６２  第１の酸素ポンプ部
３６，６３  第２の酸素ポンプ部
３７，６４  電圧印加装置（電圧印加手段）
３８，６５  直流電源（低電圧源）
３９，６６  直流電源（高電圧源）
４０，６７  切換スイッチ
４１，６８  直流電源（信号検出手段）
４２，６９  電流検出器（信号検出手段）
４３  ヒータ電源
５３  ヒータコア
７２  電圧検出器（信号検出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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