(57)【要約】【課題】メタルマスクとメッシュとが貼り合わされてなる構造のメタルマスクスクリーン版であって、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられ、寸法精度の良好なメタルマスクスクリーン版、およびかかる高精度のメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供すること。【解決手段】メッシュ１２と像様の孔が設けられたメタルマスク１２とが、樹脂製接着性材料１６を介して貼り合わされてなることを特徴とするメタルマスクスクリーン版およびその製造方法である。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュと像様の孔が設けられたメタルマスクとが、樹脂製接着性材料を介して貼り合わされてなることを特徴とするメタルマスクスクリーン版。
【請求項２】
前記メタルマスクが、前記メッシュの縁端から所定の領域を残して貼り合わされ、かつ、前記メッシュの縁端が版枠に接着固定されてなることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項３】
メッシュと像様の孔が設けられたメタルマスクとを貼り合わせてなるメタルマスクスクリーン版の製造方法であって、
平板状支持体の表面に、前記メタルマスクを形成する画像形成工程と、
前記メッシュ、および／または、前記メタルマスクの表面に、樹脂製接着性材料を塗布する塗布工程と、
前記メッシュと、前記平板状支持体の前記メタルマスク側の表面とを重ね合わせ、その後前記樹脂製接着性材料を硬化させる接着工程と、
前記メタルマスクが貼り合わされた前記メッシュを前記平板状支持体から剥離する剥離工程と、
からなることを特徴とするメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項４】
接着工程において、前記メタルマスク側を上に向けた状態で、前記平板状支持体を平台に載置し、その上から前記メッシュを重ね合わせることを特徴とする請求項３に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項５】
前記樹脂製接着性材料が電着塗料であり、塗布工程が前記電着塗料を電着する工程であることを特徴とする請求項３または４に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項６】
前記電着塗料が、カチオン電着塗料であることを特徴とする請求項５に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項７】
前記平板状支持体が、ステンレス製の板であることを特徴とする請求項３〜６のいずれか１に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項８】
前記画像形成工程が、平板状支持体の表面に像様にレジストを付着させ、これに金属メッキを施し前記レジストが付着していない部分のみに金属メッキ層を形成し、さらに前記レジストを除去することで前記メタルマスクを形成する工程であることを特徴とする請求項３〜７のいずれか１に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項９】
さらに、前記メッシュの縁端を、版枠に接着固定する紗張り工程が含まれることを特徴とする請求項３〜８のいずれか１に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷用の版材であるメタルマスクスクリーン版およびその製造方法に関し、詳しくは、メタルマスクとメッシュとが貼り合わされてなる構造のメタルマスクスクリーン版およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開昭５６−１４０３５３号公報
【特許文献２】
特開昭６３−２０３７８７号公報
【特許文献３】
特開平１１−７８２０３号公報
【特許文献４】
特開平１１−１５７０４２号公報
【０００３】
従来より、例えば各種の電子部品等の実装のためにプリント配線基板にハンダペースト、導体ペースト等を塗布形成するに際し、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷が採用されている。特に高精度なパターン印刷が望まれる場合には、スクリーン印刷用の版材として、メタルマスクスクリーン版が用いられる（例えば、特許文献３および特許文献４参照）。
【０００４】
メタルマスクスクリーン版を用いたスクリーン印刷は、被印刷体面から僅かに離れて位置するメタルマスクスクリーン版の一方の面から他方の面に、ドクターやローラー等で被印刷体面に押し付けながら、印刷インキその他の付着材料を押し出すことで、被印刷体表面に印刷が行われる。この印刷方法は、被印刷体が硬質で平板状である場合に好適である。
【０００５】
メタルマスクスクリーン版には、伸縮性のあるメッシュ（紗）と、貫通画像孔を有するメタルマスク（画像成形層）とを貼り合わせたもの（一般に、「サスペンドメタルマスク版」あるいは「サスペンドメタルマスクスクリーン版」等と称される。）、および、メッシュ孔がないメタルマスクそのものからなり、貫通画像孔を通してインキがストレートに押し出されるもの（一般に、「ソリッドメタルマスク版」あるいは「ソリッドメタルマスクスクリーン版」等と称される。）とがある。後者は、画像中に孔に囲まれた島が存在する場合には採用することが困難であるか、あるいは複数回に分けて印刷作業を行う必要があるため、かかる画像においても１度の印刷作業で高精細な画像を形成することが可能な、前者の方が一般的には有利である。
【０００６】
このようなメタルマスクスクリーン版を製造するには、メタルマスクとメッシュとを貼り合わせる必要があるが、従来からこれらの貼り合わせには、メッキ法が採用されている（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。すなわち、メタルマスクとメッシュとを重ね合わせた状態で、メッシュの側からニッケルメッキ等のメッキを施すことにより、両者を接着固定している。このときメッシュの孔を塞いでしまうことの無いよう、比較的薄膜のメッキ層が形成可能な電気メッキが採用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
かかる電気メッキは、メタルマスクとメッシュとを重ね合わせた状態を保持しつつ、メッキ浴中に垂直に浸漬させて施される。しかし、メタルマスクやメッシュは薄膜状で可撓性があるため、部分的に密着しないことがあり、その場合には当該箇所の接着・固定が不十分となってメッシュの浮きが生じてしまい、最悪の場合には使用に耐えられないものとなってしまう。
【０００８】
メタルマスクに平板状支持体を貼り付け、該平板状支持体と反対側の面から前記メタルマスクにメッシュを重ね合わせた状態で、電気メッキに供される場合もある。前記平板状支持体としてある程度硬質のものを採用すれば、前記メタルマスク側の可撓性は抑えられるが、この場合にもメッシュ側は可撓性を有したままであり、前記問題の解消には繋がらない。
【０００９】
また、このように両者の固定が不安定な状態でメッキが施されるため、両者の精密な位置合わせが困難であり、寸法精度が悪くなりやすい。さらに、両者の貼り合わせがメッキ浴内で行われるため、作業性が悪く、目で確認することができないことから、仮に位置がずれていてもそのままの状態で貼り合わせが為されてしまい、生産性の低下にも繋がりやすい。
【００１０】
したがって、本発明は、メタルマスクとメッシュとが貼り合わされてなる構造のメタルマスクスクリーン版であって、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられ、寸法精度の良好なメタルマスクスクリーン版、およびかかる高精度のメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、以下の本発明により達成される。すなわち本発明のメタルマスクスクリーン版は、メッシュと像様の孔が設けられたメタルマスクとが、樹脂製接着性材料を介して貼り合わされてなることを特徴とする。
【００１２】
樹脂製接着性材料は、前記メッシュ、および／または、前記メタルマスクの表面に塗布して、その後両者を貼り合せることができるものである。すなわち、本発明のメタルマスクスクリーン版は、製造時の貼り合わせに際して、浴中で行うことが要求されず、例えば平らな作業台（平台）の上で作業を行うことができる。したがって、このように浴中で貼り合わせ作業を行わずに製造された本発明のメタルマスクスクリーン版は、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられ、寸法精度の良好なものとなる。
本発明のメタルマスクスクリーン版は、通常、前記メタルマスクが、前記メッシュの縁端から所定の領域を残して貼り合わされ、かつ、前記メッシュの縁端が版枠に接着固定されてなる状態でスクリーン印刷に供される。
【００１３】
一方、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法は、メッシュと像様の孔が設けられたメタルマスクとを貼り合わせてなるメタルマスクスクリーン版の製造方法であって、
平板状支持体の表面に、前記メタルマスクを形成する画像形成工程と、
前記メッシュ、および／または、前記メタルマスクの表面に、樹脂製接着性材料を塗布する塗布工程と、
前記メッシュと、前記平板状支持体の前記メタルマスク側の表面とを重ね合わせ、その後前記樹脂製接着性材料を硬化させる接着工程と、
前記メタルマスクが貼り合わされた前記メッシュを前記平板状支持体から剥離する剥離工程と、
からなることを特徴とする。
【００１４】
このように、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法は、塗布工程の操作が浴中で行われるか否かにかかわらず、接着工程の操作を浴の外で行うことができ、両者の精密な位置合わせが容易であり、寸法精度の良好なものとなり、また、作業性が良好で、目で確認することができるため位置ずれが生じ難く、生産性も高い。さらに、両者の重ね合わせを垂直に保った状態で行う必要が無く、しかも浴中のように支持に制限が無いため、位置合わせが容易である他、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられる。
【００１５】
特に、接着工程において、前記メタルマスク側を上に向けた状態で、前記平板状支持体を平台に載置し、その上から前記メッシュを重ね合わせることとすれば、前記メタルマスクの平面状態が容易に保たれ、かつ、しっかりと固定されるため、作業性が極めて良好で、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生をより高い次元で抑制することができる。
【００１６】
本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法においては、前記樹脂製接着性材料が電着塗料であり、塗布工程が前記電着塗料を電着する工程であることが好ましい。
電着塗装によれば、前記メタルマスクと前記メッシュとの貼り合わせに必要十分な量の前記樹脂製接着性材料による薄膜で均一な塗膜を容易に形成することができ、前記メッシュの孔を封止してしまったり、かかる孔や前記メタルマスクの孔の開口面積を大きく変えてしまう量の塗膜を形成してしまう不具合を防止することができる。特に微細な網目状のメッシュに均一な塗膜を形成するのに、電着塗装を採用することは有利である。
このとき、用いる前記電着塗料としては、カチオン電着塗料であることが望ましい。カチオン電着塗料は、アニオン電着塗料に比して、膜厚を薄く塗布することができ、また、塗布被膜の硬度も高いものが得られる。
【００１７】
本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法においては、前記平板状支持体が、ステンレス製の板であることが好ましい。ステンレス製の板を用いることで、剥離工程における前記メタルマスクとの間の剥離が容易に為される。
【００１８】
前記画像形成工程としては、平板状支持体の表面に像様にレジストを付着させ、これに金属メッキを施し前記レジストが付着していない部分のみに金属メッキ層を形成することで前記メタルマスクを形成し、さらに前記レジストを除去する工程であることが一般的である。
【００１９】
また、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法においては、さらに、前記メッシュの縁端を、版枠に接着固定する紗張り工程が含まれることが一般的である。当該紗張り工程により、一般的なスクリーン印刷装置に装着可能なメタルマスクスクリーン版とすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に則して詳細に説明する。
＜本発明のメタルマスクスクリーン版＞
図１は、本発明の例示的一態様である実施形態のメタルマスクスクリーン版の平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図１および図２に示すように、本実施形態のメタルマスクスクリーン版は、主として、版枠１４と、これに紗張りされたメッシュ（紗）１２と、メッシュ１２の中央部に貼り付けられたメタルマスク（画像形成層）１０とから構成される。メタルマスク１０には、画像形成層としての像様の孔が設けられている。
【００２１】
図３に、本実施形態のメタルマスクスクリーン版のメッシュ１２とメタルマスク１０とが貼り合わされた部分の拡大断面図を示す。図３に示すように、メッシュ１２とメタルマスク１０とは、メッシュ１２全体に塗布された樹脂製接着性材料１６を介して貼り合わされている。
【００２２】
なお、図４に、本実施形態の変形例としてのメタルマスクスクリーン版のメッシュ１２’とメタルマスク１０’とが貼り合わされた部分の拡大断面図を示す。本変形例では、図４に示すように、メッシュ１２’とメタルマスク１０’とは、メタルマスク１０’全体に塗布された樹脂製接着性材料１６’を介して貼り合わされている。
本発明では、このように樹脂製接着性材料の塗布対象面は、メッシュおよびメタルマスクのいずれでもよく、さらに双方とも樹脂製接着性材料が塗布されていてもよい。
【００２３】
また、本実施形態や上記変形例では、樹脂製接着性材料がメッシュまたはメタルマスクの全体を覆う状態で塗布されているが、メタルマスクとメッシュとが貼り合わされる部位にのみ樹脂製接着性材料が塗布されれば足りる。樹脂製接着性材料を、後述の電着塗装により塗布する場合や、その他浸漬塗布法により塗布する場合には、一般に樹脂製接着性材料がメッシュまたはメタルマスクの全体を覆う状態で塗布される。
【００２４】
いずれにしてもメタルマスクとメッシュとが、樹脂製接着性材料を介して貼り合わされていれば、本発明の範疇に含まれる。また、メタルマスクとメッシュとの間には、必ずしも樹脂製接着性材料が介在していなければならないわけではなく、メタルマスクとメッシュとが直接接触し、その周りから樹脂製接着性材料により接着・固定されていても構わず、かかる状態についても本発明における「樹脂製接着性材料を介して」の概念に含めることとする。
【００２５】
以上のような構成のメタルマスクスクリーン版を用いてスクリーン印刷するには、メタルマスク１０が貼り付けられた側を下方にして（すなわち、図２に示される）、平面状の印刷対象物の上方に僅かに離間させて固定し、ドクターやローラー等のスキージ部材により上方から押圧しつつ摺動させて、前記印刷対象物表面にメタルマスク１０を当接させつつ、メタルマスク１０に設けられた孔からインキ等の付着部材を押し出し、像様に該付着部材を付着させる。このようにして、所望の像が描かれた印刷物を得ることができる。
【００２６】
次に、本発明のメタルマスクスクリーン版を構成する各材料について説明する。
（メタルマスク）
本発明においてメタルマスクの材料としては、特に制限はなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメタルマスクの材料として用いられてきた各種金属を問題なく使用することができる。具体的には例えば、ニッケル、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金が挙げられる。加工性や経済性の観点から、これらの中でもニッケルおよびその合金が好ましい。
【００２７】
本発明においてメタルマスクの厚みとしては、特に制限はないが、印刷時のある程度の柔軟性と耐久性とを確保するためには、５μｍ〜２０μｍの範囲から選択することが好ましく、１０μｍ〜１５μｍの範囲から選択することがより好ましい。
【００２８】
本発明においてメタルマスクの大きさとしては、印刷しようとする面の面積に依存し、特に制限はないが、一般的には一辺が２００ｍｍ〜６５０ｍｍの範囲内の矩形状のものが選択される。勿論、メタルマスクの形状としては、矩形に制限されるものではない。
【００２９】
メタルマスクに像様の孔を設ける方法については、後述する＜本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法＞における（画像形成工程）の項の中で説明する。
その他、メタルマスクの物性、特性、形態等の各種態様は、特に制限されるものではなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメタルマスクに使用されてきた範囲の物であれば、問題なく本発明において使用することができる。
【００３０】
（メッシュ）
本発明においてメッシュの材料としては、特に制限はなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメッシュ（紗）の材料として用いられてきたものを問題なく使用することができる。具体的には例えば、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金等の金属メッシュや、ポリエステル（例えばテトロン（登録商標））等の樹脂製メッシュが挙げられる。また、これら樹脂製メッシュの表面を前記金属あるいは合金で被覆した物でも構わない。
【００３１】
本発明において、メッシュを構成する繊維の太さとしては、メタルマスクスクリーン版としての機能を損なわない程度に細く、また、印刷時のある程度の柔軟性と耐久性とを確保するために、２５ｍ〜８０μｍの範囲から選択することが好ましく、２８μｍ〜３５μｍの範囲から選択することがより好ましい。
【００３２】
本発明において、メッシュを構成する繊維の密度（いわゆる「メッシュ」）としては、高精細な画像を形成するためには大きい（目が細かい）方が好ましいが、あまり大きすぎる（目が細かすぎる）とインキ等の付着部材の成分を十分に透過させることができなくなる場合がある。したがって、１ｍｍ当たり３９〜１７７本（１００〜４５０メッシュ）とすることが好ましく、７８〜３５０本（２００〜３５０メッシュ）とすることがより好ましい。
【００３３】
本発明においてメッシュの大きさとしては、前記メタルマスクの面積に依存し、特に制限はないが、一般的にはメタルマスクよりも一辺が４００ｍｍ〜４５０ｍｍの範囲内で大きい矩形状のものが選択される。勿論、メタルマスクの形状に応じて矩形以外の形状を選択しても構わないが、メタルマスクの形状にかかわらず矩形のメッシュを選択したり、他の形状を選択しても構わない。
その他、メッシュの物性、特性、形態等の各種態様は、特に制限されるものではなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメッシュに使用されてきた範囲の物であれば、問題なく本発明において使用することができる。
【００３４】
（樹脂製接着性材料）
本発明において樹脂製接着性材料としては、前記メタルマスクと前記メッシュとを接着・固定できる物であれば、如何なる樹脂材料をも用いることができる。樹脂材料は、その性質により、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、常温硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、硬化剤硬化性樹脂等があり、それら各性質を勘案し、目的に応じて選択すればよい。また、特に接着剤として用いられる樹脂材料も本発明において使用することができる。さらに、一般的に塗料として用いられる樹脂材料も本発明において好適に使用することができる。
【００３５】
本発明において使用可能な樹脂製接着性材料としては、具体的には、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、メラミン−アルキッド樹脂等を挙げることができる。
【００３６】
樹脂製接着性材料により形成される塗膜の厚み（乾燥・硬化状態）としては、印刷精度、および、前記メタルマスクと前記メッシュとの接着強度が十分に保たれる程度の範囲とすればよく、用いる樹脂製接着性材料やメッシュあるいはメタルマスク、さらには要求印刷精度等により変動するため一概には言えないが、大略２〜１０μｍの範囲とすることが好ましく、５〜７μｍの範囲とすることがより好ましい。ただし、メタルマスクに樹脂製接着性材料を塗布する場合、メタルマスクに設ける孔の大きさを、予め樹脂製接着性材料の塗膜厚分考慮に入れて大きめに設計しておいたり、当該孔の縁に塗膜が回り込まないように塗布したりすることで、上記塗膜の厚みの上限は緩和される。
【００３７】
（版枠）
本発明において版枠としては、特に制限はなく、従来からメタルマスクスクリーン版における版枠として用いられてきたものを問題なく使用することができる。紗張りした際、メッシュに十分なテンションがかけられ、スクリーン印刷に供する際、十分な形状保持性を有するものであれば、その形状、構造、大きさ、材料に如何なる制限も課されない。具体的な材料としては、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、等の金属材料のほか、各種プラスチック材料でも構わない。
【００３８】
なお、本発明において、当該版枠は必須の構成要素ではないが、通常のスクリーン印刷においては、版枠に紗張りした状態で用いられる。ただし、印刷装置に直接取り付ける態様のもの等版枠を有しない状態のまま、スクリーン印刷に供しうる場合も想定され、かかる場合においても本発明のメタルマスクスクリーン版は好適に使用することができる。
【００３９】
＜本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法＞
本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法（以下、単に「本発明の製造方法」という場合がある。）は、画像形成工程と、塗布工程と、接着工程と、剥離工程と、を必須の工程とし、版枠に紗張りして用いる場合には、さらに紗張り工程が含まれる。この紗張り工程は、上記いずれの工程の後に行われても構わず、また、例えば接着工程の途中で行われても構わない。以下、本発明の製造方法を、各工程ごとに分けて説明する。
【００４０】
（画像形成工程）
本発明の製造方法において「画像形成工程」とは、平板状支持体の表面に、像様の孔が設けられたメタルマスク（画像形成層）を形成する工程を言う。
ここで用いる平板状支持体としては、形成されるメタルマスクを平面状に保持し得るものであれば、特に制限はなく、具体的にはステンレス、アルミニウム、銅、鉄、亜鉛、鉛、等の金属材料あるいはこれらを含む合金を挙げることができる。これらの中でも、後述の剥離工程における剥離性が良好である材料が好ましく、具体的には、ステンレス、アルミニウム、銅が好ましく、ステンレスが特に好ましい。
【００４１】
該平板状支持体の表面にメタルマスクを形成する方法は、従来からメタルマスクスクリーン版の製造に採用されてきた公知の方法が問題なくできる。かかる方法として、具体的には、後述するレジスト法、平板状支持体に金属層を設け、像様に孔の設けられたマスクを設けた上で金属層のみを化学的に除去するエッチング法、当該金属層のみを像様に直接剥離するレーザー法、メッキによるレジスト電着法等が挙げられ、いずれも本発明に好適に適用することができる。
これらの中で最も一般的なレジスト法を例に挙げて、以下説明する。
【００４２】
図５は、レジスト法により画像形成工程を行い、その後の工程を経てメタルマスクスクリーン版を製造する、本発明の製造方法の一例を断面図で示す工程説明図である。図５において（ａ）〜（ｃ）間が、レジスト法による画像形成工程の流れを示すものである。
【００４３】
まず、図５（ａ）に示すように、平板状支持体１８の表面に、像様にレジスト２２を付着させる。レジスト２２は、例えば、商品名：ＮＥＦ１５０，１２５（日合モートン（株）製）等の材料を用いることにより形成することができる。レジスト２２の付着は、従来公知のあらゆる方法を採用することができ、また、各種条件もメタルマスクスクリーン版の製造において常用されているものをそのまま採用することができるため、ここでは詳細な説明は割愛する。
【００４４】
次に、図５（ａ）に示すように像様にレジスト２２が形成された表面に金属メッキを施し、図５（ｂ）に示すように、レジスト２２が付着していない部分のみに金属メッキ層２０を形成する。金属メッキについても、用いる金属材料に応じて、常法にて行う。
【００４５】
そして、レジスト２２を常法により除去する。レジスト２２の除去は、レジストとして用いる材料により異なるが、これについても従来公知の方法に行えば問題ないため、詳細な説明は割愛する。レジスト２２が除去されると、図５（ｃ）に示すように、平板状支持体１８の表面には金属メッキ層２０のみが残る。当該金属メッキ層２０が、メタルマスク（画像形成層）１０を構成する。なお、当該図５において、メタルマスク１０は、図１〜４に比してやや厚みを誇張して描かれている。
【００４６】
上記例においては、レジスト法を採用して説明したが、本発明においてはこれに限定されず、いずれの方法により画像形成工程を行っても最終的に図５（ｃ）に示すように、平板状支持体１８の表面にメタルマスク１０が形成されていれば構わない。ただし、レジスト法によれば、他の方法に比して、寸法精度が高く、開口部の形状が良好である。
【００４７】
（塗布工程）
本発明の製造方法において「塗布工程」とは、前記メッシュ、および／または、前記メタルマスクの表面に、樹脂製接着性材料を塗布する工程を言う。
塗布工程による樹脂製接着性材料の塗布は、用いる樹脂製接着性材料に応じて各種方法を採用することができる。具体的には、浸漬塗布法、スプレー塗布法、ローラー塗布法、刷毛塗り法等が挙げられる。例えば、用いる樹脂製接着性材料が一般的な接着剤である場合には、ローラー塗布法および刷毛塗り法が好適である。一方樹脂製接着性材料が、樹脂材料を適当な溶剤に溶解した、いわゆる塗料の状態である場合には、例示の全ての塗布方法を採用することができ、中でも均一な塗布膜を形成することが容易な浸漬塗布法が好ましい。
【００４８】
本発明の製造方法のように、精密な膜厚制御が望まれるメタルマスクやメッシュの塗装に対しては、電着塗装を施すことが望ましい。特に、メッシュに対して塗装をする場合に、電着塗装以外の方法により塗装を施すと、塗膜の均一性を保つのが困難なため、目詰まりを生じやすいため、特に電着塗装によることが好ましい。
【００４９】
電着塗装は、前記樹脂製接着性材料として電着塗料を用い、該電着塗料に塗布対象物たるメタルマスクあるいはメッシュを浸漬させ、同時に対向電極も浸漬させ、塗布対象物と対向電極との間に直流電圧を印加することで行われる。このとき、電圧、通電時間および温度を制御するか、またはクーロン制御することで、所望の膜厚の電着塗膜を形成することができる。
【００５０】
また、電着塗装においては、塗膜を積極的に付けたい部分に対向させて前記対向電極を配置することで、当該部分の膜厚を他の箇所よりも厚くすることができる。したがって、本発明の製造方法では、塗布工程に電着塗装を採用する場合、メタルマスクおよびメッシュのいずれを塗装する場合にも、両者が貼り合わされる側の面に対向して、前記対向電極を配置することが好ましい。
【００５１】
用いる電着塗料に制限はなく、塗布しようとする樹脂製接着性材料に応じて電着塗料を採用すれば、あるいは、電着塗料を調製すれば構わない。したがって、アニオン電着塗料でもカチオン電着塗料でもどちらでも構わないが、塗料の付き回り性、硬化後の接着性および耐久性、樹脂皮膜硬度等を勘案すると、カチオン電着塗料の方が好ましい。また、その場合、樹脂成分としては、エポキシ樹脂が最も好ましい。
【００５２】
なお、電着塗装に限らず全ての塗装において、塗膜を形成しなくても構わない面、すなわち、メタルマスクおよびメッシュのいずれを塗装する場合にも、両者が貼り合わされる側の面とは反対側の面をマスクして、当該塗布工程の操作を行えば、両者が貼り合わされる側の面にのみ塗膜を形成することができ、塗料の使用量の低減化を図ることができるとともに、得られるメタルマスクスクリーン版の寸法精度を高めることができる。
【００５３】
塗布の条件（例えば、溶剤を含む塗料の場合には加熱残分（ＮＶ）、粘度、塗布環境温度、塗布液温度等）は、特に制限はなく、所望とする塗膜形成状態に応じて設定すればよく、従来から塗装やプラスチック成形の分野で行われてきた知見により適宜選択すればよい。特に、電着塗装による場合には、塗料の条件も多岐に渡るが（上記条件に加えて、例えば、酸濃度、灰分、電圧、通電時間、クーロン量等）、これらも従来公知の知見により適宜選択すればよい。例えばエポキシ樹脂系（アミノ変性）のカチオン電着塗料による電着塗装の場合には、使用温度２０〜３０℃（より好ましくは２５〜２８℃）、電圧３０〜２００Ｖ、通電時間１〜２０分の範囲から、それぞれ選択することが望ましい。
【００５４】
前記樹脂製接着性材料を塗布するのは、前記メッシュおよび前記メタルマスクのいずれの表面でも構わない。少なくともいずれかの表面に塗布することで、次工程の接着を行うことができる。勿論、双方に塗布することも可能である。
樹脂製接着性材料を電着塗装や、その他浸漬塗布法等、塗布液中で塗布する場合には、通常被塗物の表裏面に塗膜が形成されるため、前記メタルマスクに塗布しようとすると、それを支持している前記平板状支持体のメタルマスクが形成された側と反対側や、メタルマスクの孔から表出する表面にも塗膜が形成されてしまい、経済的でない。したがって、この場合は、既述の如くマスクを施すか、電極配置を工夫するか等の対応を取ることが好ましいが、作業の簡素化のためには、前記メッシュのみに塗布することが好ましい。メッシュは、それ自体塗布対象となる面積が小さいので、有利である。
【００５５】
本発明の製造方法では、塗布工程においては、塗膜の形成は行うが、塗膜の硬化はさせない。後述の接着工程における、前記メタルマスクと前記メッシュとの貼り合わせに、塗膜の硬化を利用するからである。したがって、溶剤を含む塗料を塗布した場合にも、塗膜がＷＥＴ状態のまま、塗布工程の操作を終了させても構わないが、塗膜があまりに乾いていないと、次工程である接着工程での取り扱い性が悪くなるため、塗膜を乾燥させておくことが好ましい。特に、電着塗装による場合には、被塗物を電着塗料に浸漬して通電し、引き上げた後水洗して塗布作業が終わるが、その状態では表面に水分が多量に残っているため、乾燥することが好ましい。勿論、溶剤を含まない樹脂材料を加熱溶融させて塗布したり、いわゆる接着剤を塗布したりした場合には、乾燥は不要である。
【００５６】
乾燥させる場合、その程度としては、指触乾燥程度あるいはそれよりも若干乾燥させた程度まで、行えばよい。勿論、あまり乾燥させると、接着力がなくなってしまうので、そうならない範囲で乾燥を行う。そのような乾燥条件（温度、時間）は、溶剤量・種類、樹脂材料の種類、塗膜厚等により大幅に異なるため、一概に言えないが、例えばエポキシ樹脂系（アミノ変性）のカチオン電着塗料による電着塗装の場合には、５０〜８０℃で２０〜６０分の範囲から選択することが望ましい。
【００５７】
（接着工程）
本発明の製造方法において「接着工程」とは、前記メッシュと、前記平板状支持体の前記メタルマスク側の表面とを重ね合わせ、その後前記樹脂製接着性材料を硬化させる工程を言う。すなわち、当該接着工程は、さらに「重ね合わせ」と「硬化」との２つの工程に細分化することができる。
【００５８】
「重ね合わせ」の操作は、前記メッシュと、前記メタルマスクが形成された前記平板状支持体とのいずれか一方を固定し、他方を作業者の手で、あるいは機械的に保持して、双方を正確に重ね合わせることにより行われる。双方とも機械的に保持して、機械的に重ね合わせの操作を行っても構わない。このとき、前記メタルマスクが前記メッシュの中央に配置されるように制御する。
【００５９】
このように、塗布工程の操作が浴中で行われるか否かにかかわらず、「重ね合わせ」の操作を浴の外で行うことができ、両者の精密な位置合わせが容易であり、寸法精度の良好なものとなり、また、作業性が良好で、目で確認することができるため位置ずれが生じ難く、生産性も高い。さらに、両者の重ね合わせを垂直に保った状態で行う必要が無く、しかも浴中のように支持に制限が無いため、位置合わせが容易である他、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられる。
【００６０】
このとき、前記メタルマスク側を上に向けた状態で、前記平板状支持体を平台に載置し、その上から前記メッシュを重ね合わせることが特に好ましい。このようにすることで、前記メタルマスクの平面状態が容易に保たれ、かつ、しっかりと固定されるため、作業性が極めて良好で、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生をより高い次元で抑制することができる。
【００６１】
このように「重ね合わせ」の操作が行われた後に、「硬化」の操作が行われ、前記メッシュと前記メタルマスクとが接着・固定される。「硬化」の操作は、塗布工程で塗布した樹脂製接着性材料の種類に応じて選択する。熱可塑性樹脂をそのまま加熱溶融して塗布した場合には、常温になるまで放置しておけばよい。熱硬化性樹脂を含む塗料を塗布した場合には、加熱焼成して硬化させる。紫外線硬化性樹脂を含む塗料を塗布したり、加熱溶融して塗布した場合には、紫外線を照射して硬化させる。常温硬化性樹脂を含む塗料やいわゆる接着剤を塗布した場合には、そのまま常温で放置しておけばよい。硬化剤硬化性樹脂を含む塗料を塗布する場合には、勿論、塗布の段階で硬化剤を添加しておき、硬化するまでの間に手早く、接着工程の操作を完了させる必要がある。
【００６２】
硬化の条件も勿論、硬化の操作や塗布工程で塗布した樹脂製接着性材料の種類に応じて決まるものであり、一概に言えないが、例えばエポキシ樹脂系（アミノ変性）のカチオン電着塗料による電着塗装の場合には、焼成温度および時間として、好ましくは１００〜２００℃（より好ましくは１３０〜１５０℃）で２０〜６０分の範囲から選択する。
【００６３】
図５（ｄ）に、接着工程終了後の状態を示す。図５（ｄ）に示すように、接着工程を経ることで、平板状支持体１８の表面に形成されたメタルマスク１０（金属メッキ層２０）とメッシュ１２とが接着・固定される。
【００６４】
（剥離工程）
本発明の製造方法において「剥離工程」とは、前記メタルマスクが貼り合わされた前記メッシュを前記平板状支持体から剥離する工程を言う。
前記平板状支持体と前記メッシュと前記メタルマスクが挟み込まれた状態で当該工程に供されるが、当該工程により前記メッシュを前記平板状支持体から引き剥がすことで、それに連れて前記メタルマスクも引き剥がされ前記メッシュと前記メタルマスクとが、樹脂製接着性材料を介して貼り合わされた状態の本発明のメタルマスクスクリーン版が製造される。前記平板状支持体としては、既述の如く、当該剥離時の剥離性の良好な材料が好ましい。また、引き剥がす際には、メッシュ１２やメタルマスク１０を損傷させないように、注意して作業を行うことが望まれる。
【００６５】
図５（ｅ）に、剥離工程終了後の状態を示す。図５（ｅ）に示すように、剥離工程を経ることで、平板状支持体１８の表面に形成されたメタルマスク１０（金属メッキ層２０）がメッシュ１２とともに引き剥がされ、メッシュ１２とメタルマスク１０とが貼り合わされた本発明のメタルマスクスクリーン版が製造される。
【００６６】
（紗張り工程）
本発明の製造方法において付随的工程である「紗張り工程」とは、前記メッシュの縁端を、版枠に接着固定する工程を言う。
紗張り工程は、既述の通り、上記いずれの工程の後に行われても構わず、また、例えば接着工程の途中で行われても構わない。より具体的には、本発明の製造方法に供するメッシュを当該工程により予め紗張りしておいたり、接着工程で、前記メッシュと、前記平板状支持体の前記メタルマスク側の表面とを重ね合わせた段階で紗張り工程による紗張りをして、その後前記樹脂製接着性材料を硬化させたり等、画像形成工程〜剥離工程の間のいずれの段階で、当該紗張り工程が行われても構わない。勿論、剥離工程まで行った上で当該紗張り工程を行うこととしても問題ない。
【００６７】
紗張り工程は、より具体的には、前記メッシュにテンションをかけつつ、この縁端を、既述の版枠に接着固定する操作であるが、これについても従来公知のあらゆる方法を採用することができる。例えば、接着固定方法の例を挙げれば、溶接による方法、接着剤による方法、メッキによる方法、超音波溶着による方法、ビス止めや押さえ具により加圧しての取り付け等機械的取付方法、等が挙げられ、いずれの方法で行っても全く問題ない。
【００６８】
図５（ｆ）に、剥離工程終了後に紗張り工程を行った状態を示す。図５（ｆ）に示すように、剥離工程を経ることで、メタルマスク１０（金属メッキ層２０）が貼り合わされたメッシュ１２が、さらにその縁端で版枠１４に紗張りされた本発明のメタルマスクスクリーン版が製造される。
【００６９】
以上、本発明のメタルマスクスクリーン版およびその製造方法について、具体例を挙げて詳細に説明してきたが、本発明は、以上の例に限定されるものではなく、当業者は公知の知見により本発明の構成に変更・改良を加えることができる。
【００７０】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、メタルマスクとメッシュとが貼り合わされてなる構造のメタルマスクスクリーン版であって、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられ、寸法精度の良好なメタルマスクスクリーン版、およびかかる高精度のメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の例示的一態様である実施形態のメタルマスクスクリーン版の平面図である。
【図２】図１のメタルマスクスクリーン版のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のメタルマスクスクリーン版のメッシュとメタルマスクとが貼り合わされた部分の拡大断面図である。
【図４】変形例としてのメタルマスクスクリーン版のメッシュとメタルマスクとが貼り合わされた部分の拡大断面図である。
【図５】レジスト法により画像形成工程を行い、その後の工程を経てメタルマスクスクリーン版を製造する、本発明の製造方法の一例を断面図で示す工程説明図であり、（ａ）は画像形成工程において平板状支持体の表面に、像様にレジストが付着した状態、（ｂ）は画像形成工程においてレジストが付着していない部分のみに金属メッキ層が形成された状態、（ｃ）は画像形成工程においてレジストが除去され、当該工程が終了した状態、（ｄ）は接着工程終了後の状態、（ｅ）は剥離工程終了後の状態、（ｆ）は剥離工程終了後に紗張り工程を行った状態を、それぞれ示すものである。
【符号の説明】
１０、１０’  メタルマスク
１２、１２’  メッシュ
１４  版枠
１６、１６’  樹脂製接着性材料
１８  平板状支持体
２０  金属メッキ層
２２  レジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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