(57)【要約】【課題】ＰｂＯの蒸発を回避できる比較的低い温度での焼成によって製造することができ、製造コストを低減でき、且つ高い電気機械結合係数Ｋｐ及び高い機械的品質係数Ｑｍを有する圧電セラミックスを提供すること。【解決手段】（ａ）ペロブスカイト型複合酸化物ＰｂＺｒＯ３  −ＰｂＴｉＯ３  −Ｐｂ（Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）Ｏ３  、（ｂ）マンガン酸化物、（ｃ）銅酸化物、及び（ｄ）ニオブ酸化物を含む圧電セラミックス。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ペロブスカイト型複合酸化物ＰｂＺｒＯ３  −ＰｂＴｉＯ３  −Ｐｂ（Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）Ｏ３  、
（ｂ）マンガン酸化物、
（ｃ）銅酸化物、及び
（ｄ）ニオブ酸化物
を含むことを特徴とする圧電セラミックス。
【請求項２】
（ａ）成分の各々の相対量が、一般式
Ｐｂ［（Ｚｒｙ  Ｔｉ（１−ｙ）  ）ｘ  （Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）（１−ｘ）  ］Ｏ３  
で表して、０．９２≦ｘ＜１、且つ０．５０≦ｙ≦０．５５の条件を満足する量であり、（ｂ）成分の量がＭｎＯ２  換算量で０．１〜３質量％であり、（ｃ）成分の量がＣｕＯ換算量で０．１〜３質量％であり、（ｄ）成分の量がＮｂ２  Ｏ５  換算量で０．１〜３質量％であることを特徴とする請求項１記載の圧電セラミックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電セラミックスに関し、より詳しくは、比較的低い温度での焼成によって製造することができ、且つ高い電気機械結合係数Ｋｐ及び高い機械的品質係数Ｑｍを有する圧電セラミックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電材料は、圧電トランスや、超音波振動子、発音体、アクチュエーター等に使用されている。これらの用途においては、圧電材料の特性を改善して装置の小型化や、エネルギー変換効率の改善を図るために、機械的品質係数Ｑｍを上げてエネルギー損失や昇圧比を上げる一方、電気機械結合係数Ｋｐを上げて昇圧比を上げることが求められている。
【０００３】
従来、圧電材料としてＰｂＴｉＯ３  及びＰｂＺｒＯ３  を主成分として含む圧電セラミックス（以下、ＰＺＴ系圧電セラミックスと称する）が汎用的に用いられている。一般的に、この種の圧電セラミックスでは、その製造に要する焼成温度は上記の二成分系では約１２６０℃である。また、圧電セラミックスの特性を改善するために複合ペロブスカイト型化合物を第三成分、第四成分として固溶させた多成分ＰＺＴ系圧電セラミックス、例えばＰｂＺｒＯ３  ・ＰｂＴｉＯ３  ・Ｐｂ（Ｓｂ１／２  Ｎｂ１／２  ）Ｏ３  系複合ペロブスカイト型化合物や、ＰｂＺｒＯ３  ・ＰｂＴｉＯ３  ・Ｐｂ（Ｓｂ１／２  Ｎｂ１／２  ）Ｏ３  ・ＭｎＯ系複合ペロブスカイト型化合物では、その製造に要する焼成温度は多少低下して１２００℃付近となっている（例えば、特許文献１、２及び３参照。）。
【０００４】
ところで、ＰＺＴ系圧電セラミックスを製造する際の焼成過程において、ＰｂＯの蒸発が１０００℃付近から急激に増加することが知られている。従って、上記の焼成温度では多量のＰｂＯの蒸発が起こるという問題がある。ＰｂＯが蒸発すると、得られる焼結体に組成ずれを引き起こし、電気機械結合係数Ｋｐや機械的品質係数Ｑｍ等の特性のばらつきや劣化を招く上、蒸発したＰｂ成分は環境汚染の原因となる。
【０００５】
上記したＰＺＴ系圧電セラミックスや多成分ＰＺＴ系圧電セラミックスを製造する場合には、焼成温度は一般的に１２００℃以上であるため、ＰｂＯの蒸発を抑制（防止）したり、あるいは製造コストを低減させたりすることが極めて困難である。
【０００６】
【特許文献１】
特開平７−２６７７３３号公報
【特許文献２】
特開平９−３０１７６９号公報
【特許文献３】
特開２０００−２３９０６４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
それで、ＰＺＴ系圧電セラミックスの製造において、ＰｂＯの蒸発を抑制（防止）することは非常に重要になっており、このためには焼成温度を１０００℃以下に低下させること、即ち、１０００℃以下の焼成温度で製造できる圧電セラミックスを見いだすことが必要である。焼成温度の低下は省エネルギーの点でも有益である上に、例えば一体焼成で製造される積層型圧電素子の場合には、焼成温度を低下させることができれば、内部電極の構成においてパラジウムや白金等の高価な貴金属の比率を低下させ、銀や銀合金等の比率を増大させることが可能であり、製造コスト面で有利になると期待される。このように、ＰＺＴ系圧電セラミックスを製造する際の焼成温度を低下させることは、得られるＰＺＴ系圧電セラミックスの特性、環境汚染の防止の面で効果を奏するほか、省エネルギーを具現化する点でも有益である。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解決すべくなされたものであり、その技術的課題は、ＰｂＯの蒸発を回避できる比較的低い温度（１０００℃以下）での焼成によって製造することができ、製造コストを低減でき、且つ高い電気機械結合係数Ｋｐ及び高い機械的品質係数Ｑｍを有する圧電セラミックスを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、ＰｂＺｒＯ３  −ＰｂＴｉＯ３  −Ｐｂ（Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）Ｏ３  −マンガン酸化物系のセラミック組成物に、更に、銅酸化物及びニオブ酸化物を含有させることにより、上記のセラミック組成物の焼成が促進されて、Ｋｐ、Ｑｍの低下が少ない圧電セラミックが比較的低い焼成温度で製造できることを見出し、本発明を完成した。
【００１０】
即ち、本発明の圧電セラミックスは、
（ａ）ペロブスカイト型複合酸化物ＰｂＺｒＯ３  −ＰｂＴｉＯ３  −Ｐｂ（Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）Ｏ３  、
（ｂ）マンガン酸化物、
（ｃ）銅酸化物、及び
（ｄ）ニオブ酸化物
を含むことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の圧電セラミックスについて更に詳細に説明する。
本発明の圧電セラミックスにおいては、その製造の際に焼成を促進させ且つ焼成温度を低下させるために用いた（ｃ）成分の銅酸化物及び（ｄ）成分のニオブ酸化物並びに（ｂ）成分のマンガン酸化物は焼成後の圧電セラミックス中にそのまま残る。
【００１２】
本発明の圧電セラミックスを製造する際に、焼成前の組成物中の（ｃ）成分及び（ｄ）成分の相対量が少ないと焼成の促進及び焼成温度の低下が不十分となる傾向がある。従って、焼成前の組成物中に（ｃ）成分及び（ｄ）成分をそれぞれ好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．２質量％以上存在させる。その結果として、圧電セラミックス中の（ｃ）成分及び（ｄ）成分の量はそれぞれ好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．２質量％以上になる。しかし、圧電セラミックス中の（ｃ）成分及び（ｄ）成分の相対量が多いと、圧電セラミックスの特性に悪影響を及ぼす傾向があるので、圧電セラミックス中の（ｃ）成分及び（ｄ）成分の量は好ましくは３質量％以下、より好ましくは２質量％以下である。
【００１３】
本発明の圧電セラミックスにおいては、（ａ）成分の各々の相対量は、一般式
Ｐｂ［（Ｚｒｙ  Ｔｉ（１−ｙ）  ）ｘ  （Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）（１−ｘ）  ］Ｏ３  
で表して、ｘが好ましくは０．９２≦ｘ＜１、より好ましくは０．９３≦ｘ≦０．９８であり、一方、ｙが好ましくは０．５０≦ｙ≦０．５５、より好ましくは０．５１≦ｙ≦０．５４である条件を満足する量である。
【００１４】
（ｂ）成分のマンガン酸化物は圧電セラミックスの機械的品質係数Ｑｍを改善する。この改善のためには、圧電セラミックス中の（ｄ）成分の量はＭｎＯ２  換算量で好ましくは０．１質量％以上であり、より好ましくは０．２質量％以上である。しかし、圧電セラミックス中の（ｄ）成分の量が多いと、圧電セラミックスの特性に悪影響を及ぼす傾向があるので、圧電セラミックス中の（ｄ）成分の量はＭｎＯ２  換算量で好ましくは３質量％以下であり、より好ましくは２質量％以下である。
【００１５】
本発明の圧電セラミックスは種々の方法で製造することができ、例えば次のような方法によって製造することができる。
最初に、出発原料のＺｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分及びＳｂ成分をそれぞれ必要量秤量し、それらの原料粉をボールミル等の粉砕装置中で粉砕・混合する。この粉砕・混合は、均一な粉砕・混合を容易にするために、水を配合して湿式で実施することが好適である。この場合の水の配合量は全質量の５０〜７５％、好ましくは６０〜７０％となる量にする。この粉砕・混合時間は十分に均一な粉砕・混合が達成出来る時間であれば、特に限定されるものではない。例えば５〜３０時間、好ましくは１０〜２５時間粉砕・混合する。この混合粉を乾燥させた後、一般的には７００〜１０００℃、好ましくは８００〜９００℃の大気等の酸化性雰囲気中で、一般的には１〜７時間、好ましくは１〜４時間仮焼する。
【００１６】
上記のＺｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分及びＳｂ成分は、ペロブスカイト型複合酸化物ＡＢＯ３  のＢサイトを構成するものである。
上記の製造方法で用いることのできるＺｒ成分としては、焼成によりジルコニウム酸化物を形成することの出来るＺｒ成分であれば特には制限が無く、各種のＺｒ成分を使用することができる。そのようなＺｒ成分としては、好ましくは二酸化ジルコニウム等のジルコニウム酸化物、更には、水酸化ジルコニウム等を挙げることができる。
【００１７】
上記の製造方法で用いることのできるＴｉ成分としては、焼成によりチタン酸化物を形成することの出来るＴｉ成分であれば特には制限が無く、各種のＴｉ成分を使用することができる。そのようなＴｉ成分としては、好ましくは二酸化チタン等のチタン酸化物、更には、水酸化チタン等を挙げることができる。
【００１８】
上記の製造方法で用いることのできるＮｂ成分としては、焼成によりニオブ酸化物を形成することの出来るＮｂ成分であれば特には制限が無く、各種のＮｂ成分を使用することができる。そのようなＮｂ成分としては、好ましくは五酸化二ニオブ等のニオブ酸化物等を挙げることができる。
【００１９】
上記の製造方法で用いることのできるＳｂ成分としては、焼成によりアンチモン酸化物を形成することの出来るＳｂ成分であれば特には制限が無く、各種のＳｂ成分を使用することができる。そのようなＳｂ成分としては、好ましくは三酸化二アンチモンや五酸化二アンチモン等のアンチモン酸化物等を挙げることができる。
【００２０】
これらの金属成分の相対的な配合量については、Ｚｒ成分：Ｔｉ成分：Ｎｂ成分：Ｓｂ成分の金属原子比として、一般式
Ｐｂ［（Ｚｒｙ  Ｔｉ（１−ｙ）  ）ｘ  （Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）（１−ｘ）  ］Ｏ３  
で表して、ｘが好ましくは０．９２≦ｘ＜１．００、より好ましくは０．９３≦ｘ≦０．９８であり、一方ｙが好ましくは０．５０≦ｙ≦０．５５、より好ましくは０．５１≦ｙ≦０．５４である条件を満足する配合量であることが好ましい。
【００２１】
上記のようにして得られた仮焼物をボールミル等の粉砕装置中で、通常０．１〜２．０μｍ、好ましくは０．１〜１．０μｍの平均粒径の混合粉体が形成されるように粉砕する。この粉砕は、均一な粉砕を容易にするために、水を配合して湿式で実施することが好適である。この場合の水の配合量は全質量の５０〜７５％、好ましくは６０〜７０％となる量にする。この粉砕時間は十分に均一な粉砕が達成出来る時間であれば、特に限定されるものではない。例えば５〜３０時間、好ましくは１０〜２５時間粉砕する。その後乾燥させる。
【００２２】
次いで、上記のようにして得た仮焼粉体をＰｂ成分、Ｍｎ成分、Ｃｕ成分及びＮｂ成分と共にボールミル等の粉砕装置中で粉砕・混合する。この粉砕・混合は、均一な粉砕・混合を容易にするために、水を配合して湿式で実施することが好適である。この場合の水の配合量は全質量の５０〜７５％、好ましくは６０〜７０％となる量にする。この粉砕・混合時間は十分に均一な粉砕・混合が達成出来る時間であれば、特に限定されるものではない。例えば５〜３０時間、好ましくは１０〜２５時間粉砕・混合する。この混合粉を乾燥させた後、一般的には７００〜１０００℃、好ましくは８００〜９００℃の大気等の酸化性雰囲気中で、一般的には１〜７時間、好ましくは１〜４時間仮焼する。
【００２３】
上記の製造方法で用いることのできるＰｂ成分としては、焼成により鉛酸化物を形成することの出来るＰｂ成分であれば特には制限が無く、各種のＰｂ成分を使用することができる。そのようなＰｂ成分として、例えば、Ｐｂ３  Ｏ４  （鉛丹）やＰｂＯ等の酸化物を挙げることができる。
Ｐｂ成分は、上記のＺｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分及びＳｂ成分の仮焼粉体の質量に基づいて、ＰｂＯ換算量で、通常、２０９〜２２０質量％、好ましくは２１０〜２１９質量％、更に好ましくは２１１〜２１７質量％の量で配合する。
【００２４】
上記の製造方法で用いることのできるＭｎ成分としては、焼成によりマンガン酸化物を形成することの出来るＭｎ成分であれば特には制限が無く、各種のマンガン成分を使用することができる。そのようなＭｎ成分としては、例えばマンガン酸化物又はマンガン複合酸化物を挙げることができ、更に炭酸マンガンや硝酸マンガンを挙げることができる。マンガン酸化物としては、ＭｎＯ２  を好ましいものとして挙げることができる。
マンガン成分を添加することによって、圧電セラミックスの機械的品質係数Ｑｍを改善することができる。
【００２５】
これらのＭｎ成分は、ＭｎＯ２  換算量で、圧電セラミックス中に好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは０．２質量％以上の量で存在するが、好ましくは３質量％以下、より好ましくは２質量％以下の量で存在するように配合する。また、鉛成分（ＰｂＯとして）及びマンガン成分（ＭｎＯ２  として）はその合計量で、仮焼粉体の重量に基づいて、通常２０９〜２２３重量％、好ましくは２１０〜２２１重量％の量で使用する。
【００２６】
上記の製造方法で用いることのできるＣｕ成分としては、焼成によりＣｕ酸化物を形成することの出来るＣｕ成分であれば特には制限がなく、各種のＣｕ成分を使用することができる。このようなＣｕ成分としては、例えばＣｕ酸化物又はＣｕ複合酸化物が挙げられる。Ｃｕ酸化物としては、ＣｕＯを好ましいものとして挙げることができる。Ｃｕ成分としては更に、例えば炭酸銅や硝酸銅を挙げることができる。Ｃｕ成分を添加することによって、焼結温度を低下させることができる。
Ｎｂ成分としては、上記したＮｂ成分と同様のものを用いることができる。Ｎｂ成分を添加することによって、焼結温度を低下させることができる。
【００２７】
上記したよう、Ｚｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分及びＳｂ成分からの仮焼粉体をＰｂ成分、Ｍｎ成分、Ｃｕ成分及びＮｂ成分と共にボールミル等の粉砕装置中で粉砕・混合することにより、（ａ）ペロブスカイト型複合酸化物ＰｂＺｒＯ３  −ＰｂＴｉＯ３  −Ｐｂ（Ｎｂ１／２  Ｓｂ１／２  ）Ｏ３  、（ｂ）マンガン酸化物、（ｃ）銅酸化物、及び（ｄ）ニオブ酸化物を含む仮焼物が得られる。
【００２８】
上記のようにして得られた仮焼物をボールミル等の粉砕装置中で、通常０．１〜２．０μｍ、好ましくは０．１〜１．０μｍの平均粒径の混合粉体が形成されるように粉砕する。この粉砕は、均一な粉砕を容易にするために、水を配合して湿式で実施することが好適である。この場合の水の配合量は全質量の５０〜７５％、好ましくは６０〜７０％となる量にする。この粉砕時間は十分に均一な粉砕が達成出来る時間であれば、特に限定されるものではない。例えば５〜３０時間、好ましくは１０〜２５時間粉砕する。
【００２９】
以上においては、最初に、出発原料のＺｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分及びＳｂ成分を用いて仮焼粉体を生成させ、次いでその仮焼粉体をＰｂ成分、Ｍｎ成分、Ｃｕ成分及びＮｂ成分と共に粉砕・混合し、仮焼し、粉砕する諸工程を含む製造方法について説明したが、本発明の圧電セラミックスはＺｒ成分、Ｔｉ成分、Ｎｂ成分、Ｓｂ成分、Ｐｂ成分、Ｍｎ成分、Ｃｕ成分及びＮｂ成分を同時に粉砕・混合し、仮焼し、粉砕する諸工程を含む製造方法によっても得ることができる。この場合に用いる各成分、各工程は前記で説明した通りである。
【００３０】
上記のようにして得られた粉砕物に、例えば、バインダーとしてポリビニルアルコール等の樹脂を添加し、混合した後、加圧成形することによって、バルク体や、シート体等の形態に成形し、次いで焼成することによって本発明の圧電セラミックスを製造することが出来る。またシート体に成形したものを積層し、層間に電極を付け、焼成して積層型圧電セラミックスを製造することもできる。
【００３１】
【実施例】
以下に、実施例及び比較例により本発明を更に詳細に説明する。
実施例１（一括混合）
ＰｂＯ：６７．１９質量部、ＴｉＯ２  ：１１．３１質量部、ＺｒＯ２  ：１８．１５質量部、Ｓｂ２  Ｏ３  ：０．８８質量部、Ｎｂ２  Ｏ５  ：１．４０質量部、ＭｎＯ２  ：０．６９質量部及びＣｕＯ：０．３６質量部を秤量し、それらの原料粉をボールミル中に入れ、更に水を全質量の６５％となる量で配合し、２０時間湿式混合した。この混合物を乾燥させた後、焼成鉢中で８５０℃で仮焼した。更に、この仮焼粉をボールミル中で２０時間湿式粉砕し、次いで乾燥させた。
【００３２】
得られた粉砕粉にバインダー（ポリビニルアルコール）を添加し、混合し、次いでプレス機で１００ＭＰａで加圧成形した。これらの成形体を９７５℃で２時間焼成し焼結体を作製した。
【００３３】
この焼結体の密度ρを測定した。焼結体密度ρの値は第１表に示す通りであった。また、この焼結体に電極を焼き付け、４ｋＶ／ｍｍで分極処理を実施した。このようにして得られた圧電セラミックスの径方向電気機械結合係数Ｋｐ及び機械的品質係数Ｑｍを測定した。それらの値は第１表に示す通りであった。
【００３４】
実施例２（一括混合）
ＰｂＯ：６６．５６質量部、ＴｉＯ２  ：１１．２１質量部、ＺｒＯ２  ：１７．９９質量部、Ｓｂ２  Ｏ３  ：０．８７質量部、Ｎｂ２  Ｏ５  ：１．９８質量部、ＭｎＯ２  ：０．６９質量部及びＣｕＯ：０．７１質量部を秤量し、それらの原料粉をボールミル中に入れ、更に水を全質量の６５％となる量で配合し、２０時間湿式混合した。この混合物を乾燥させた後、焼成鉢中で８５０℃で仮焼した。更に、この仮焼粉をボールミル中で２０時間湿式粉砕し、次いで乾燥させた。
【００３５】
得られた粉砕粉にバインダー（ポリビニルアルコール）を添加し、混合し、次いでプレス機で１００ＭＰａで加圧成形した。これらの成形体を９７５℃で２時間焼成し焼結体を作製した。
【００３６】
この焼結体の密度ρを測定した。焼結体密度ρの値は第１表に示す通りであった。また、この焼結体に電極を焼き付け、４ｋＶ／ｍｍで分極処理を実施した。このようにして得られた圧電セラミックスの径方向電気機械結合係数Ｋｐ及び機械的品質係数Ｑｍを測定した。それらの値は第１表に示す通りであった。
【００３７】
比較例１
ＰｂＯ：６６．６０質量部、ＴｉＯ２  ：１１．３８質量部、ＺｒＯ２  ：１８．２７質量部、Ｓｂ２  Ｏ３  ：０．８８質量部、Ｎｂ２  Ｏ５  ：０．８１質量部、ＭｎＯ２  ：０．７０質量部及びＣｕＯ：０．３６質量部を秤量し、それらの原料粉をボールミル中に入れ、更に水を全質量の６５％となる量で配合し、２０時間湿式混合した。この混合物を乾燥させた後、焼成鉢中で８５０℃で仮焼した。更に、この仮焼粉をボールミル中で２０時間湿式粉砕し、次いで乾燥させた。
【００３８】
得られた粉砕粉にバインダー（ポリビニルアルコール）を添加し、混合し、次いでプレス機で１００ＭＰａで加圧成形した。これらの成形体を９７５℃で２時間焼成し焼結体を作製した。
【００３９】
この焼結体の密度ρを測定した。焼結体密度ρの値は第１表に示す通りであった。また、この焼結体に電極を焼き付け、４ｋＶ／ｍｍで分極処理を実施した。このようにして得られた圧電セラミックスの径方向電気機械結合係数Ｋｐ及び機械的品質係数Ｑｍを測定した。それらの値は第１表に示す通りであった。
【００４０】
比較例２
ＰｂＯ：６７．４４質量部、ＴｉＯ２  ：１１．３６質量部、ＺｒＯ２  ：１８．２３質量部、Ｓｂ２  Ｏ３  ：０．８８質量部、Ｎｂ２  Ｏ５  ：１．４１質量部及びＭｎＯ２  ０．６９質量部を秤量し、それらの原料粉をボールミル中に入れ、更に水を全質量の６５％となる量で配合し、２０時間湿式混合した。この混合物を乾燥させた後、焼成鉢中で８５０℃で仮焼した。更に、この仮焼粉をボールミル中で２０時間湿式粉砕し、次いで乾燥させた。
【００４１】
得られた粉砕粉にバインダー（ポリビニルアルコール）を添加し、混合し、次いでプレス機で１００ＭＰａで加圧成形した。これらの成形体を９７５℃で２時間焼成し焼結体を作製した。
【００４２】
この焼結体の密度ρを測定した。焼結体密度ρの値は第１表に示す通りであった。また、この焼結体に電極を焼き付け、４ｋＶ／ｍｍで分極処理を実施した。このようにして得られた圧電セラミックスの径方向電気機械結合係数Ｋｐ及び機械的品質係数Ｑｍを測定した。それらの値は第１表に示す通りであった。
【００４３】
【表１】
第  １  表
2004284926.tif 000002
【００４４】
第１表に示すデータからも明らかなように、Ｎｂ成分がペロブスカイト型複合酸化物中に存在するがニオブ酸化物として単独には存在していない比較例１においてはＱｍが小さくなっており、また、Ｃｕ成分を添加していない比較例２においては、１０００℃以下では焼結が不十分であり、分極時に破損したためＫｐ及びＱｍの測定はできなかった。
【００４５】
【発明の効果】
本発明の圧電セラミックスは、その組成に起因して、１０００℃以下の比較的低温で１〜８時間、好ましくは２〜５時間の焼成処理で製造することができる。このように比較的低温で焼成出来るため、ＰｂＯの蒸発が殆ど無いので組成の均一な焼結体が得られ、特性のバラツキや劣化が少なく、且つＰｂＯの蒸発による環境汚染も無くなる。また、焼成温度の低下は、省エネルギーの点でも有益である上に、一体焼成で製造される積層型圧電素子の場合には、内部電極の構成においてパラジウムや白金等の高価な貴金属の比率を減らし、銀や銀合金等の比率を増大させることが可能となる。また、安価な電極を使うことで製造コスト面が有利となる。