(57)【要約】【課題】中央部と外周部との熱伝導率が異なる成形用型を単純な工程で、短時間に製造することができる成形用型の製造方法とそれによって得られる光学素子の成形用型を提供すること。【解決手段】成形外枠１７と下パンチ２０とによって形成される容器内に、外周部用粉末材料１６として、粒径０．３μｍ以下の炭化タングステン粉末と粒径０．８μｍ以下の炭化タングステン粉末とを、焼結後の炭素とタングステンとの比率が１：１になるように混合して充填する。電源部１５から直流パルス電源を印加して放電プラズマを発生させて、外周部用粉末材料１６を自己加熱させることによって焼結して、凸部２１ａによって中央部に凹部が形成された光学素子の成形用型の外周部領域にあたる焼結体２４を得る方法とした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形面を有する成形用型の製造方法であって、
前記成形面の中央部を中央部用粉末材料でプレス成形する中央部形成工程と、前記成形面の外周部を外周部用粉末材料でプレス成形する外周部形成工程とを有し、前記中央部用粉末材料と前記外周部用粉末材料とを熱伝導率が異なる材料とすることを特徴とする成形用型の製造方法。
【請求項２】
前記プレス成形を、前記粉末材料を加圧しつつ電圧を印加してプラズマを発生させて焼結する放電プラズマ焼結法によって行うことを特徴とする請求項１記載の成形用型の製造方法。
【請求項３】
前記中央部用粉末材料と前記外周部用粉末材料との中間の熱伝導率を有する中間部用粉末材料によって、前記成形面の中央部と前記成形面の外周部との間に成形面の中間部を形成する中間部形成工程を有することを特徴とする請求項１又は２記載の成形用型の製造方法。
【請求項４】
前記成形面の中間部を、異なる熱伝導率を有する複数の中間部用粉末材料によって前記成形面の中央部から外周部に向けて熱伝導率を段階的に変化させて形成することを特徴とする請求項３記載の成形用型の製造方法。
【請求項５】
前記各工程のプレス成形毎に異なる形状のプレス用型を用いることを特徴とする請求項１から４の何れか記載の成形用型の製造方法。
【請求項６】
前記粉末材料として炭化クロムと炭化タングステンとを使用することを特徴とする請求項１から５の何れか記載の成形用型の製造方法。
【請求項７】
請求項１から６の何れか記載の成形用型の製造方法によって作製されたことを特徴とする光学素子の成形用型。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラスからなるレンズ、プリズム等の光学素子をプレス成形により製造する際に使用する成形用型の製造方法及び成形用型に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、非球面ガラスレンズ等を成形する際に、高精度の非球面形状を有する成形用型を用いて、光学ガラスを加熱軟化させて直接プレス成形する方法がとられるようになってきている。
しかし、このようなプレス成形方法では、高温軟化させたガラスを成形用型によって加圧した後冷却する際、特に非球面ガラスレンズ等のように中央部と外周部との肉厚が異なるものを成形する場合には、中央部と外周部とで熱容量に差を生じるので異なる冷却速度にて冷却される。そのため、中央部の肉厚が大きい凸レンズの成形においては、中央部の冷却速度が遅くなるので中央部にヒケ等の収縮差が生じてしまうという問題があった。
また、凹レンズの成形においては、これとは逆に外周部の肉厚が大きいため、外周部にヒケ等が生じてしまい、面精度が悪化するという問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するため、従来の成形用型の製造方法においては、例えば、成形用型の気孔率分布を径方向に連続的に変化させることによって熱伝導率分布を付加した成形用型を製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この方法によって製造された成形用型は、熱伝導率が中央部と外周部とで異なるので、ガラスプレス成形後の冷却速度が均等になって、ヒケ等が生じないレンズを得ることができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−３０５７４９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の成形用型の製造方法においては、成形用型に熱伝導率分布を形成するために、焼結後のアルカリ溶液等への浸漬工程を要したり、遠心分離成形を要するので、製造工程が多くなるとともに複雑となってしまい、成形用型のコストが高くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、中央部と外周部との熱伝導率が異なる成形用型を単純な工程で短時間に製造することができる成形用型の製造方法と、それによって得られる光学素子の成形用型を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明の成形用型の製造方法は、成形面を有する成形用型の成形用型の製造方法であって、前記成形面の中央部を中央部用粉末材料でプレス成形する中央部形成工程と、前記成形面の外周部を外周部用粉末材料でプレス成形する外周部形成工程とを有し、前記中央部用粉末材料と前記外周部用粉末材料とを熱伝導率が異なる材料とすることを特徴とする。
【０００８】
この成形用型の製造方法によれば、成形面の中央部と外周部とは熱伝導率が異なる別々の粉末材料にてプレス成形するので、従来のような複雑な工程または特殊な成形工程を経ずとも、数回のプレス成形で中央部と外周部とで熱伝導率が異なる成形用型を得ることができる。
また、熱伝導率の異なる成形型の中央部及び外周部の形成の際に、個別のプレス成形を行うので、それぞれの厚さを任意に調整することも可能となる。
【０００９】
本発明は、請求項１記載の成形用型の製造方法であって、前記プレス成形を、前記粉末材料を加圧しつつ電圧を印加してプラズマを発生させて焼結する放電プラズマ焼結法によって行うことを特徴とする。
【００１０】
この成形用型の製造方法によれば、プレス成形を放電プラズマ焼結法によって行うので、成形する際に低温でかつ短時間で焼結が完了して焼結による粒成長が抑制され、短時間で緻密な焼結体からなる成形用型を製造することができる。また、難焼結材料も焼結できるので、熱伝導率の選択の幅が拡がって、成形用型により自由な熱伝導率分布を形成することができる。
【００１１】
本発明は、請求項１又は２記載の成形用型の製造方法であって、前記中央部用粉末材料と前記外周部用粉末材料との中間の熱伝導率を有する中間部用粉末材料によって、前記成形面の中央部と前記成形面の外周部との間に成形面の中間部を形成する中間部形成工程を有することを特徴とする。
【００１２】
この成形用型の製造方法によれば、成形面の中央部と外周部との中間的な熱伝導率の材料で成形面の中間部を形成するので、成形型の熱伝導率分布が、成形面の中間部を介して成形面の中央部と外周部との間で段階的に変化した成形用型を製造することができる。
【００１３】
本発明は、請求項３記載の成形用型の製造方法であって、前記成形面の中間部を、異なる熱伝導率を有する複数の中間部用粉末材料によって前記成形面の中央部から外周部に向けて熱伝導率を段階的に変化させて形成することを特徴とする。
【００１４】
この成形用型の製造方法によれば、成形型の熱伝導率分布を成形面の中間部でさらに段階的に傾斜変化する成形用型を製造することができる。
【００１５】
本発明は、請求項１から４の何れか記載の成形用型の製造方法であって、前記各工程のプレス成形毎に異なる形状のプレス用型を用いることを特徴とする。
【００１６】
この成形用型の製造方法によれば、プレス成形毎に異なる形状のプレス用型を用いるので、異なる熱伝導率分布を有する各領域をプレス用型を変えるだけで所望の厚さに任意に成形することができる。
【００１７】
本発明は、請求項１から５の何れか記載の成形用型の製造方法であって、前記粉末材料として炭化クロムと炭化タングステンとを使用することを特徴とする。
【００１８】
この成形用型の製造方法によれば、粉末材料として熱伝導率の小さい炭化クロムと熱伝導率の大きい炭化タングステンとを使用するので、成形用型の中央部に炭化クロムを、外周部に炭化タングステンをそれぞれ焼結することによって、成形用型の中央部の熱伝導率は小さく、外周部に向かうにつれて大きくなるような成形用型を製造することができる。また、逆に、成形用型の中央部に炭化タングステンを、外周部に炭化クロムをそれぞれ焼結することによって、成形用型の中央部の熱伝導率は大きく、外周部に向かうにつれて小さくなるような成形用型を製造することができる。
さらに、炭化タングステンと炭化クロムとを任意の混合比で混ぜ合わせることによって中間的な熱伝導率を有する部分を成形することができる。
【００１９】
本発明の光学素子の成形用型は、請求項１から６の何れかに記載の成形用型の製造方法によって作製されたことを特徴とする。
【００２０】
この光学素子の成形用型によれば、中央部と外周部とで肉厚差を有する光学素子を加熱・冷却によりプレス成形する場合、光学素子の中央部と外周部とで冷却速度が均一となるように成形できるので、成形後の光学素子にヒケ等の発生を抑制することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の第１の実施形態について、図１から図３を参照して説明する。本実施形態に係る成形用型の製造方法は、図３に示す光学素子の成形用型１を図１に示す放電プラズマ焼結装置１０によって製造する方法である。以下、工程順に説明する。
【００２２】
焼結ユニット１１ａを内部に配設している真空チャンバ１２と、この真空チャンバ１２の上下に設けられ焼結ユニット１１ａを間に挟んで配設された上部パンチ電極１３及び下部パンチ電極１４と、これら電極を介して焼結ユニット１１ａにパルス電力を印加する電源部１５とを備えている。
【００２３】
焼結ユニット１１ａは、外周部用粉末材料１６が内部に充填されてその側面を支持する筒状の成形外枠１７と、外周部用粉末材料１６の上面を加圧機構１８（例えば、油圧プレス機構）に接続されて上部方向から加圧する上パンチ（プレス用型）１９ａと、外周部用粉末材料１６の下面を加圧機構１８に接続されて下部方向から加圧する下パンチ２０とを備えている。
また、上パンチ１９ａは、上部パンチ電極１３と上部で接触して電気的に接続されるとともに、下パンチ２０は、下部パンチ電極１４と下部で接触して電気的に接続される。
上記成形外枠１７、上パンチ１９ａ及び下パンチ２０は、カーボン材によって形成されている。
【００２４】
上パンチ１９ａは、光学素子の成形用型１の外周部領域１ａを焼結する際に使用され、上部パンチ電極１３と接続される一端部が平面状に形成されるとともに、外周部用粉末材料１６と接する他端部には円錐形状の凸部２１ａが形成されている。
この上パンチ１９ａは、光学素子の成形用型１の中央部領域１ｂを焼結する際には、円柱形状の上パンチ１９ｂに交換される。
真空チャンバ１２は、真空ポンプ２２によって内部が真空保持できる構造となっているとともに、不活性ガスを真空チャンバ１２内部に供給する不活性ガス供給部２３と連通されている。
【００２５】
次に、以上の構成からなる本実施形態の光学素子の成形用型の製造方法について説明する。
まず、図１に示す外周部形成工程において、成形外枠１７と下パンチ２０とによって形成される容器内に、外周部用粉末材料１６として、粒径０．３μｍ以下の炭化タングステン粉末と粒径０．８μｍ以下の炭化タングステン粉末とを、焼結後の炭素とタングステンとの比率が１：１になるように混合して充填する。この外周部用粉末材料１６は、焼結によって体積が小さくなるので、予め上パンチ１９ａをハンドプレス等によってプレスしながら材料充填を繰り返すことによってある程度の形状に整えておく。
【００２６】
こうして組みあがった焼結ユニット１１ａを放電プラズマ焼結装置１０の真空チャンバ１２内に配設する。このとき、上パンチ１９ａは上部パンチ電極１３と接続され、下パンチ２０は下部パンチ電極１４と接続される。
【００２７】
続いて、真空ポンプ２２によって真空チャンバ１２内を一旦真空引きした後、不活性ガス供給部２３から不活性ガスを真空チャンバ１２内に供給して、所定の不活性雰囲気とする。
同時に加圧機構１８を駆動して外周部用粉末材料１６を上パンチ１９ａと下パンチ２０とによって上下方向から加圧する。このときの圧力は、焼結材料の物質と所望する成形用型の大きさ等を考慮して決定されるが、緻密な焼結体を得るためには１０００Ｎ／ｃｍ２以上が望ましく、本実施形態では、５０００Ｎ／ｃｍ２とする。
そして、電源部１５から直流パルス電圧を印加して放電プラズマを発生させて、外周部用粉末材料１６を自己加熱させることによって焼結する。
この際、材料の粒成長を抑えるために焼結の時間及び保持時間はできるだけ短い所定の時間行う。
こうして、凸部２１ａによって中央部に凹部が形成された光学素子の成形用型１の外周部領域１ａにあたる焼結体２４を得る。
【００２８】
次に、図２に示す中央部形成工程に移行する。
焼結体２４を得た後、真空チャンバ１２内を大気圧まで戻して焼結ユニット１１ａを取り出す。その後、上パンチ１９ａを上パンチ１９ｂと交換して、上パンチ１９ａによって焼結体２４に形成された上記凹部及びさらにその上部に中央部用粉末材料２５を充填する。
この中央部用粉末材料２５は、成形外枠１７と下パンチ２０とによって形成される容器内に、粒径が０．５μｍ以下の炭化クロムの粉末と粒径が０．１μｍ以下の炭化クロムの粉末とが、焼結後の炭素とクロムとの比率が２：３になるように混合されている。この中央部用粉末材料２５は、焼結によって体積が小さくなるので、予め上パンチ１９ｂをハンドプレス等によってプレスしながら材料充填を繰り返して形状を整える。
【００２９】
組みあがった焼結ユニット１１ｂを上述と同様に放電プラズマ焼結装置１０の真空チャンバ１２内に配設して、所定の不活性ガス雰囲気内で直流パルス電圧を印加して中央部用粉末材料２５を加熱して焼結すると、図３に示す構成を有する光学素子の成形用型１の原型にあたる成形用型材料２６が得られる。
【００３０】
この成形用型材料２６を、焼結された中央部用粉末材料２５側から所定の曲率半径（４０ｍｍ）の凸面形状に加工したのち、さらにその表面をダイヤモンド砥粒等を用いて最大表面粗さが０．０６μｍ以下となるように鏡面研磨加工する。その後、鏡面研磨加工した表面に白金−イリジウム（Ｐｔ−Ｉｒ）合金からなる離型膜を成膜する。
こうして、外周部領域１ａは炭化クロムよりも熱伝導率の高い炭化タングステン（熱伝導率：８０Ｗ／ｍ・Ｋ）によって、また中央部領域１ｂは炭化タングステンよりも熱伝導率の低い炭化クロム（熱伝導率：１０Ｗ／ｍ・Ｋ）によって一体に形成された図３に示す光学素子の成形用型１が製造される。
【００３１】
この光学素子の成形用型１を上型として、また、同様の方法によって近似半径が２００ｍｍの非球面形状に形成されたものを下型として、それらの間に硝材Ｓ−ＢＡＬ４１（株式会社オハラ製）（転移点温度：５４１℃、軟化点温度：６４４℃）のプリフォームを載置して、押圧しながら加熱・冷却して光学素子を成形した。こうして形成された光学素子の面形状は、型の形状に対するずれが０．１μｍ以下であった。比較のため、炭化タングステンのみによって形成された成形用型にて成形したところ、得られた光学素子の面形状は、型の形状に対して０．１７μｍのずれを有していた。
【００３２】
この成形用型製造方法によれば、プレス成形を放電プラズマ焼結法によって行うので、成形する際に低温でかつ短時間で焼結が完了して焼結による粒成長が抑制され、短時間で緻密な焼結体からなる成形用型１を製造することができる。また、難焼結材料である炭化クロムも焼結できるので、熱伝導率の選択の幅が拡がって、成形用型により自由な熱伝導率分布を形成することができる。
さらに、この製法で作製された光学素子の成形用型１は、外周部領域１ａの熱伝導率が高く、中央部領域１ｂの熱伝導率が低いので、成形用型１によって成形される凹状の光学素子の中央部分の冷却が外周部分よりも遅れるために光学素子全体が均等に冷却され、ヒケ等の面形状の劣化を抑制することができる。
【００３３】
次に、本発明に係る第２の実施形態について、図４から図１０を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００３４】
第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、第１の実施形態が、成形用型１の焼結用材料を外周部領域１ａと中央部領域１ｂとの境界で炭化タングステンから炭化クロムに不連続に変化させて成形用型を製造するものであるのに対して、第２の実施形態では、炭化タングステンと炭化クロムとの混合比を、外周部領域から中央部領域に向かって段階的に変化させた混合物を順次焼結して光学素子の成形用型３０を製造するものである点である。
【００３５】
本実施形態で使用する放電プラズマ焼結装置３１は、図４に示す４種類の上パンチ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，及び３２ｄを備える。
上パンチ３２ａは、光学素子の成形用型３０の外周部領域３０ａを形成する際に使用され、上部パンチ電極１３と接続される一端部が平面状に形成されるとともに、外周部用粉末材料３３ａと接する他端部には円錐形状の凸部３４ａが形成されている。
【００３６】
上パンチ３２ｂ，３２ｃは、凸部３４ｂ，３４ｃが上パンチ３２ａの凸部３４ａよりも順に小さい形状とされている。すなわち、これらは、光学素子の成形用型３０の中間部領域３０ｃを形成する際に使用されるので、上パンチ３２ｂの他端部に形成された凸部３４ｂの形状が、凸部３４ａよりも一定の幅及び高さ寸法分小さい円錐形状となっており、上パンチ３２ｃの他端部に形成された凸部３４ｃの形状は、凸部３４ｂよりもさらに一定の幅及び高さ寸法分小さい円錐形状となっている。
上パンチ３２ｄは、光学素子の成形用型３０の中央部領域３０ｂを形成する際に使用されるので、円柱形状に形成されている。
【００３７】
次に、以上の構成からなる本実施形態に係る成形用型の製造方法について説明する。
まず、図５に示す外周部形成工程において、成形外枠１７と下パンチ２０とによって形成される容器内に、外周部用粉末材料３３ａとして平均粒径０．４μｍの炭化クロム粉末を充填する。この外周部用粉末材料３３ａは、焼結によって体積が小さくなるので、予め上パンチ３２ａをハンドプレス等を用いてプレスしながら材料充填が繰り返されて形状が整えられている。こうして焼結ユニット３５ａが組み立てられる。
この焼結ユニット３５ａを放電プラズマ焼結装置３１の真空チャンバ１２内に第１の実施形態と同様に配設して、加圧機構１８を駆動して外周部用粉末材料３３ａに５０００Ｎ／ｃｍ２の加圧力を付加して放電プラズマ焼結法により焼結する。
【００３８】
このように、凸部３４ａによって中央部に凹部３６ａが形成され、外周部領域３０ａにあたる焼結体３７ａを得る。
焼結終了後、焼結ユニット３５ａを取り出して上パンチ３２ａを外す。その後、上パンチ３２ａを上パンチ３２ｂと交換して、図６に示す中間部形成工程において、凹部３６ａ及びさらにその上部の成形外枠１７内に中間部用粉末材料３３ｂを充填して新たな焼結ユニット３５ｂを形成する。
この中間部用粉末材料３３ｂは、炭化クロムと炭化タングステンとの割合が焼結後の状態で２：１となるように混合されて形成されている。
【００３９】
形成された焼結ユニット３５ｂを、上述と同様に放電プラズマ焼結し、凸部３４ｂによって凹部３６ａよりも所定の厚さ分中央部側に小さくなった新たな凹部３６ｂが形成され、焼結体３７ｂを得る。
焼結終了後、焼結ユニット３５ｂを取り出して上パンチ３２ｂを外す。その後、上パンチ３２ｂを上パンチ３２ｃと交換して、図７に示す次の中間部形成工程において、凹部３６ｂ及びさらにその上部の成形外枠１７内に中間部用粉末材料３３ｃを充填して、新たな焼結ユニット３５ｃを形成する。
この中間部用粉末材料３３ｃは、炭化クロムと炭化タングステンとの割合が焼結後の状態で１：１となるように混合されて形成されている。
【００４０】
形成された焼結ユニット３５ｃを、上述と同様に放電プラズマ焼結し、凸部３４ｃによって凹部３６ｂよりも所定の厚さ分中央部側に小さくなった新たな凹部３６ｃが形成され、焼結体３７ｃを得る。
焼結終了後、焼結ユニット３５ｃを取り出して上パンチ３２ｃを外す。その後、上パンチ３２ｃを上パンチ３２ｄと交換して、図８に示す中央部形成工程において、凹部３６ｃ及びさらにその上部の成形外枠１７内に中央部用粉末材料３３ｄを充填して、新たな焼結ユニット３５ｄを形成する。
この中央部用粉末材料３３ｄは、炭化タングステンの粒径０．３μｍ以下の粉末と粒径０．８μｍ以下の粉末とを焼結後の炭素とタングステンとの比率が１：１となるように混合されて形成されている。
【００４１】
形成された焼結ユニット３５ｄを、上述と同様に放電プラズマ焼結すると、凹部３６ｃの内側全体が充填された図９に示す構成を有する成形用型材料３８が得られる。この成形用型材料３８は、中央部から外周部に向かって、炭化クロムが段階的に増加する構成となっているので、熱伝導率が、中央部から外周部に向かって段階的に低くなるように（熱伝導率：１０〜８０Ｗ／ｍ・Ｋ）形成されている。
【００４２】
この成形用型材料３８を、焼結された中央部用粉末材料３３ｄの側から中間部用粉末材料３３ｃ、中間部用粉末材料３３ｂ、外周部用粉末材料３３ａの順に凹面形状に加工したのち、さらにその表面をダイヤモンド砥粒等を用いて最大表面粗さが０．０４μｍ以下となるように鏡面研磨加工する。その後、鏡面研磨加工した表面にＰｔ−Ｉｒ合金からなる離型膜を成膜する。
こうして、外周部領域３０ａから中央部領域３０ｂに向けて熱伝導率の低い炭化クロムが段階的に減少した中間部領域３０ｃを有する図９に示す成形用型３０が製造される。
【００４３】
この光学素子の成形用型３０を下型として、また、同様の方法によって曲率半径が１２０ｍｍの凹形状に形成されたものを上型として、それらの間に、硝材Ｓ−ＬＡＨ５３（株式会社オハラ製）（転移点温度：６１０℃、軟化点温度：６８７℃）のプリフォームを載置して、押圧しながら加熱・冷却して光学素子を成形した。これによって形成された光学素子の面形状は、型の形状に対するずれが０．１μｍ以下であった。比較のため、炭化タングステンのみによって形成された成形用型にて成形したところ、得られた光学素子の面形状は、型の形状に対して０．２０μｍのずれを有していた。
【００４４】
この成形用型の製造方法によれば、光学素子の成形用型３０の外周部領域３０ａの熱伝導率は低く、中央部領域３０ｂの熱伝導率は高く、中間部領域３０ｃの熱伝導率は外周部領域３０ａと中央部領域３０ｂの中間の値を段階的に有するので、成形される凸状光学素子の外周部分、すなわち、薄い部分の冷却が中間部を介して段階的に中央部分よりも遅れるために光学素子全体がより均等に冷却され、ヒケ等の面形状の劣化をさらに抑制することができる。
【００４５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、成形用型に使用する粉末材料やそれらの混合比は、上記の実施形態に使用したものに限定されるものではなく、所望する熱伝導率を得るために最適なものとして自由に設定しても構わない。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明した本発明においては以下の効果を奏する。
本発明の成形用型の製造方法によれば、熱伝導率の異なる粉末材料を別個にプレス成形するので、成形用型の中央部と外周部とで任意の熱伝導率分布を有する成形用型を短時間、高品質、低コストで製造することができる。
【００４７】
本発明の光学素子の成形用型によれば、光学素子の中央部と外周部とで冷却速度が均一となるように成形できるので、ヒケ等の発生が抑制された高品質の光学素子を短時間で得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態における成形用型の外周部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における成形用型の中央部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態において製造された光学素子の成形用型を示す断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に用いる上パンチの要部正面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における成形用型の外周部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図６】本発明の第２の実施形態における成形用型の中間部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図７】本発明の第２の実施形態における成形用型の中間部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における成形用型の中央部領域を焼結させる際の放電プラズマ焼結装置を示す要部断面とした構成図である。
【図９】本発明の第２の実施形態において製造された成形用型材料を示す断面図である。
【図１０】図９に示す成形用型材料を加工して得られた光学素子の成形用型を示す断面図である。
【符号の説明】
１、３０  光学素子の成形用型
１ａ、３０ａ  外周部領域（外周部）
１ｂ、３０ｂ  中央部領域（中央部）
１６、３３ａ  外周部用粉末材料
１９ａ、１９ｂ、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ  上パンチ（プレス用型）
２５、３３ｄ  中央部用粉末材料
３０ｃ  中間部用領域（中間部）
３３ｂ、３３ｃ  中間部用粉末材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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