(57)【要約】【課題】有機ＥＬ素子における有効な封止手段と開口率、コントラストの向上を目的とする。【解決手段】下部電極２０、上部電極４０の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層３０を備えた有機ＥＬ素子において、支持基板１０上の前記有機ＥＬ素子を透過性のある封止膜５０にて封止し、前記封止膜５０上に色フィルタ６０を設けることを特徴とし、前記有機ＥＬ素子を薄く形成することができる。また、前記支持基板１０と前記有機発光機能層３０との間にＴＦＴ１６を設けたアクティブ駆動型の有機ＥＬ素子の場合では、開口率とコントラストの向上、色フィルタ６０を有機ＥＬ素子の封止の後で設置することができるので、ＴＦＴ１６製造時の高温プロセスによる色フィルタ６０の劣化を回避できる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備え、透明性を有する封止膜にて封止された有機ＥＬ素子において、前記封止膜上に色フィルタを設けたことを特徴とする有機ＥＬ素子
【請求項２】
支持基板上に下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備え、透明性を有する封止膜にて封止された有機ＥＬ素子において、前記封止膜上に色フィルタを設け支持基板と反対側から光を取り出すことを特徴とする有機ＥＬ素子
【請求項３】
前記色フィルタは、封止層上に積層形成されたことを特徴とする請求項１から２に記載の有機ＥＬ素子
【請求項４】
前記色フィルタは、フィルム状で形成され封止層上に被覆形成されたことを特徴とする請求項１から２に記載の有機ＥＬ素子
【請求項５】
前記封止膜は、複数の封止層を積層したことを特徴とする請求項１から４に記載の有機ＥＬ素子
【請求項６】
前記封止膜は、フィルム状に形成されたことを特徴とする請求項１から４に記載の有機ＥＬ素子
【請求項７】
前記支持基板上に形成された薄膜フィルムトランジスタ上に前記有機発光機能層が設けられたことを特徴とする請求項１から６に記載の有機ＥＬ素子
【請求項８】
下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備えた有機ＥＬ素子の製造方法において、前記有機ＥＬ素子を透明性のある封止膜にて封止する工程、前記封止膜上に色フィルタを設ける工程、を順次行うことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項９】
支持基板上に下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備え、透明性を有する封止膜にて封止された有機ＥＬ素子において、前記有機ＥＬ素子を透明性のある封止膜にて封止する工程、前記封止膜上に色フィルタを設ける工程、を順次行うことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項１０】
前記色フィルタは、封止層上に積層形成されたことを特徴とする請求項８から９に記載の有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項１１】
前記色フィルタは、フィルム状で形成され封止層上に被覆形成されたことを特徴とする請求項８から９に記載の有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項１２】
前記封止膜は、複数の封止層を積層したことを特徴とする請求項８から１１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項１３】
前記封止膜は、フィルム状に形成されたことを特徴とする請求項８から１１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法
【請求項１４】
前記支持基板上に形成された薄膜フィルムトランジスタ上に前記有機発光機能層が設けられたことを特徴とする請求項８から１３に記載の有機ＥＬ素子の製造方法
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、表示手段に用いられる有機ＥＬ表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、有機ＥＬ素子が盛んに研究されている。この有機ＥＬ素子を用いた表示装置で、フルカラーディスプレイを実現しようとする場合、ＲＧＢ各色を発光する有機発光機能層を塗り分けにより製造する方式（塗り分け法）、白色発光の単色発光の有機発光機能層とカラーフィルタを組み合わせた方式（カラーフィルタ法）、青色発光若しくは白色発光等の単色発光の有機発光機能層と色変換層とを組み合わせた方式（色変換法）、単色の有機発光機能層の発光エリアに電磁波を照射する等して複数発光を実現する方式（フォトブリーチング方式）、等が一般的である。
【０００３】
上記フルカラー実現の方法なかで、カラーフィルタ法と色変換法は単一の有機発光機能層により構成できるため、製造方法が単純で安価であるばかりか、カラーフィルタまたは蛍光体を含む色変換層をパターン形成することによりフルカラー化できるという優れた点を有する。また、基板１００と有機発光機能層１２０の間のカラーフィルタ層や色変換層（以下、有機発光機能層からの発光色の波長を長波長側へシフトさせる機能や発光色の波長を選別する機能により発光色を変化させるものを総称して色フィルタ１５０という）を設ける必要がない点や、透明な支持基板を使用しなくとも良い点または、透明な支持基板による取出効率を低下させる問題がないことから、支持基板１００と反対側から有機発光機能層１２０からの発光を取り出すことがなされている（下記特許文献１参照）。
【０００４】
特に、パッシブ駆動方法ではなく、薄膜トランジスタと有機発光機能層を組み合わせたアクティブ駆動方法を使用した有機ＥＬ素子の場合、有機発光機能層の下部の薄膜フィルムトランジスタ（以下ＴＦＴ２０１という）が、有機発光機能層からの発光を遮断しない程度にＴＦＴ２０１を極力小さくしなければならないなどの制約があった。また、カラーフィルタ上にＴＦＴ２０１形成すると、ＴＦＴ２０１製造の高温プロセスにより、カラーフィルタが損傷を受けることから、アクティブ駆動方法を用いた有機ＥＬ素子の場合の支持基板２００と反対側から発光を取り出すことがなされている（下記特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１９５６７０
【０００６】
【特許文献２】特開平１１−３３９９６８
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載の発明には、支持基板１００上に順次下部電極１１０、有機発光機能層１２０、上部電極１３０、色フィルタ１５０を設けることと、色フィルタ１５０を構成する化合物が有機発光機能層１２０への侵入を防止する透明な侵入防止層１４０を形成しているが、有機発光機能層への劣化因子としては、他に有機ＥＬ素子の外部からの水分や酸素等が考えられる。したがって、特許文献１の構成では有機ＥＬ素子を封止する手段を別途設けなければならない不都合がある（図１参照）。
【０００８】
また、特許文献２のような支持基板２００上にＴＦＴ２０１を設けたアクティブ駆動方式の有機ＥＬ素子において、ＴＦＴ上に順次下部電極２１０、有機発光機能層２２０、上部電極２３０を設け、該有機ＥＬ素子を色フィルタ２５０付きの封止基板２４０により封止を行う場合、有機発光機能層２２０と色フィルタ２５０との空間により距離が開いてしまうことが原因で有機ＥＬ素子全体が厚くなってしまうこと、有機ＥＬ素子からの発光がぼやけてしまうコントラストの低下等の問題が生じる（図２参照）。
【０００９】
そこで、本発明では有効な封止手段とコントラストの向上さらには、薄い有機ＥＬ素子を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明請求項１に記載の有機ＥＬ素子は、下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備え、透明性を有する封止膜にて封止された有機ＥＬ素子において、前記封止膜上に色フィルタを設けたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法は、下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備えた有機ＥＬ素子において、支持基板上の前記有機ＥＬ素子を透過性のある封止膜にて封止し、前記封止膜上に色フィルタを設け支持基板と反対側から光を取り出すことを特徴としている。
【００１２】
また、請求項８に記載の有機ＥＬ素子の製造方法は、下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備えた有機ＥＬ素子の製造方法において、前記有機ＥＬ素子を透明性のある封止膜にて封止する工程、前記封止膜上に色フィルタを設ける工程、を順次行うことを特徴としている。
【００１３】
請求項９に記載の有機ＥＬ素子の製造方法は、下部電極、上部電極の２つの電極の間に少なくとも発光層を含む有機発光機能層を備えた有機ＥＬ素子の製造方法において、前記支持基板上の前記有機ＥＬ素子を透明性のある封止膜にて封止する工程、前記封止膜上に色フィルタを設ける工程、を順次行うことを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
下記のような有機ＥＬ素子の構造、使用する材料、製造方法を記載するが、特にこれに限ったものではなく、有機ＥＬ素子の用途等に応じて適宜設計変更できるものであり、本発明ではこれら全てを用いることができる。
【００１５】
（第１実施形態）本発明の実施形態について、図３に基づいて説明する。支持基板１上に順次、下部電極２、有機発光機能層３、上部電極４を積層した後、透明な封止膜５により封止を行う。封止工程の後に色フィルタ６を封止膜５上に設けることにより、薄い有機ＥＬ素子を作成することができる。
【００１６】
支持基板１としては、平板状、フィルム状、球面状等、形状は特にこだわらず、材質としてはガラス、プラスチック、石英、金属等、特に、前記支持基板１と反対側より光を取り出す有機ＥＬ素子の場合、透明性を有するか否かは問わない。また、透明性を有するものとしては、ガラス、透明プラスチックが好ましい。
【００１７】
前記下部電極２、前記上部電極４については、どちらを陰極、陽極に設定しても構わないが、少なくとも前記上部電極４は透過性を有する材料で構成することが好ましい。陽極は陰極より仕事関数の高い材料で構成され、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）等の金属膜や酸化インジウム（ＩｎＩ２Ｏ３）、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明導電膜が用いられる。逆に陰極は陽極より仕事関数の低い材料で構成され、アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）等の金属膜、ドープされたポリアニリンやドープされたポリフェニレンビニレン等の非晶質半導体、Ｃｒ２Ｏ３、ＮｉＯ、Ｍｎ２Ｏ５等の酸化物を使用できる。また、下部電極２、上部電極４ともに透明な材料により構成し、光の放出側と反対の電極側に反射膜を設けた構成とする。好ましくは、支持基板１と下部電極２との間に反射膜を設け上面発光素子の構成としても良い。
【００１８】
支持基板１上に下部電極２を蒸着、スパッタリング等の方法で薄膜として形成し、フォトリソグラフィ等によって所望の形状にパターニングする。前記有機発光機能層３は下部電極２と上部電極４の一対の電極で挟んだ構成となっており、数本ストライプ状に形成した下部電極２に直交するように上部電極４を数本形成し、下部電極２と上部電極４とでマトリックスを形成するようにする。前記上部電極４は蒸着やスパッタリング等の方法で薄膜を形成する。
【００１９】
有機発光機能層３は、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を組合わせたものが一般的であるが、発光層、正孔輸送層、電子輸送層はそれぞれ１層だけでなく複数層積層して設けても良く、正孔輸送層、電子輸送層についてはどちらかの層を省略しても、両方の層を省略しても構わない。また、正孔注入層、電子注入層等の有機機能層を用途に応じて挿入することも可能である。
【００２０】
前記正孔輸送層は、正孔移動度が高い機能を有していれば良く、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができる。具体例としては、銅フタロシアニン等のポリフィリン化合物、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］−ビフェニル（ＮＰＢ）等の芳香族第三級アミン、４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）−４’−［４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）スチリル］スチルベンゼン等のスチルベン化合物や、トリアゾール誘導体、スチリルアミン化合物等の有機材料が用いられる。また、ポリカーボネート等の高分子中に低分子の正孔輸送用の有機材料を分散させた、高分子分散系の材料も使用できる。
【００２１】
前記発光層は、公知の発光材料が使用可能であり、具体例としては、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）−ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等の芳香族ジメチリディン化合物、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン等のスチリルベンゼン化合物、３−（４−ビフェニル）−４−フェニル−５−ｔ−ブチルフェニル−１，２，４−トリアゾール（ＴＡＺ）等のトリアゾール誘導体、アントラキノン誘導体、フルオノレン誘導体等の蛍光性有機材料、（８−ヒドロキシキノリナト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等の蛍光性有機金属化合物、ポリパラフィニレンビニレン（ＰＰＶ）系、ポリフルオレン系、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）系等の高分子材料、白金錯体やイリジウム錯体等の三重項励起子からのりん光を発光に利用できる有機材料を使用できる。上述したような発光材料のみから構成されても良いし、正孔輸送材料、電子輸送材料、添加剤（ドナー、アクセプター等）または発光性ドーパント等が含有されても良いし、これらが高分子材料又は無機材料中に分散されても良い。
【００２２】
前記電子輸送層は、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していれば良く、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができる。具体例としては、ニトロ置換フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体等の有機材料、８−キノリノール誘導体の金属錯体、メタルフタロシアニン等が使用できる。
【００２３】
前記正孔輸送層、前記発光層、前記電子輸送層は、上述の材料に限ったものではなく、適宜選択可能であり、スピンコーティング法、ディッピング法等の塗布法、インクジェット法、スクリーン印刷法等の印刷法等のウェットプロセス、又は、蒸着法、レーザ転写法等のドライプロセスで形成することができる。
【００２４】
前記封止膜５は透明性を有しているものであれば、単層または複数の層を積層形成したものやフィルム状のもので被覆形成したものでも良い。膜厚は０．１μｍ〜１００μｍが好ましく、更に好ましくは０．５μｍ〜１０μｍが良い。前記有機発光機能層３と前記色フィルター６との距離が離れると色ボケなどのコントラスト低下になること、また、前記封止膜５の十分な厚さが保たれなければ、封止能力も低下するからである。
【００２５】
また、前記封止膜５の材質としては、無機物、有機物等のどちらでもよい。無機物としては、ＳｉＮ、ＡｌＮ、ＧａＮ等の窒化物、ＳｉＯ、Ａｌ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＺｎＯ、ＧｅＯ等の酸化物、ＳｉＯＮ等の酸化窒化物、ＳｉＣＮ等の炭化窒化物、金属フッ素化合物、金属膜、等があげられる。有機物としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリパラキシレン、フッ素系工分子（パーフルオロオレフィン、パーフルオロエーテル、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、ジクロロジフルオロエチレン等）、金属アルコキシド（ＣＨ３ＯＭ、Ｃ２Ｈ５ＯＭ等）、ポリイミド前駆体、ペリレン系化合物、等があげられる。
【００２６】
前記封止膜５をシリコン窒化酸化物を含む２種類以上の物質からなる積層構造、無機保護膜、シランカップリング層、樹脂封止膜からなる積層構造、無機材料からなるバリア層、有機材料からなるカバー層からなる積層構造、Ｓｉ−ＣＸＨＹ等の金属または半導体と有機物との化合物、無機物からなる積層構造、無機膜と有機膜を交互に積層した構造、Ｓｉ層上にＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４を積層した構造等の積層構造としたものでも良い。
【００２７】
前記封止膜５を成膜する手段として、物理気相成膜法、化学気相成膜法がある。物理気相成膜法の具体例としては、抵抗加熱真空蒸着法、電子ビーム加熱真空蒸着法、高周波誘導加熱真空蒸着法、蒸着重合法、プラズマ蒸着法、分子エピタキシ法、クライスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、スパッタリング法等がある。化学気相成膜法としては、プラズマＣＶＤ法、レーザＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、ガスソースＣＶＤ法がある。前記封止膜の材質等を考慮して上記成膜法を選択することができる。
【００２８】
前記色フィルタ６は図４（ａ）〜（ｃ）のように、前記封止膜５上にカラーフィルタ層７または色変換層８を単層で形成、若しくは色変換層８とカラーフィルタ層７の積層として形成される。図４（ａ）、（ｂ）のように、前記カラーフィルタ層７と色変換層８を保護膜５上に形成することにより、外光の反射を防止することができる。さらに、図４（ｃ）のように、色変換層８に色変換層８のＲ、Ｇ、Ｂ等に合わせてカラーフィルタ層７を設けた構成としてもよい。このようにすることにより、ディスプレイのコントラスト低下の原因の一つとして考えられる色変換層８が外光により励起され蛍光が生じるといった問題を防ぐことができる。
【００２９】
前記カラーフィルタ層７は、ゼラチン、グリュー、ポリビニルアルコール等に重クロム酸処理を施し光感光性を持たせた染色基材をエッチングまたはカラーレジストにより形成する染色法、ポリイミド樹脂等の樹脂に顔料を分散させた着色樹脂をエッチングまたは顔料をアクリル・エポキシ系や光架橋タイプのポリビニルアルコール等の紫外線硬化樹脂（ネガレジスト）に分散した着色樹脂をカラーレジストにより形成する顔料分散法、電解質溶媒中にポリエステル樹脂やメラニン樹脂等のアニオン型樹脂を溶解し、顔料を分散させ、電気化学的に析出（電着）させ形成する電着法、顔料、オレイン酸やステアリン酸、フェノール、アルコール、添加剤（乾燥促進や粘性調整のため）が調合させているＲ、Ｇ、Ｂ等のインキを印刷する印刷法により堆積形成される。
【００３０】
前記色変換層８は、前記有機発光機能層３からの近紫外光発光、青色発光、青緑色発光もしくは白色発光の発光を吸収し、青色もしくは青緑色から赤色までの可視光を蛍光発光する機能を有している。また、使用する蛍光材料として一例を示すが、上記機能を有しているものであれば、特に制限は設けない。前記有機発光機能層１２からの近紫外光を受けて青色発光する蛍光材料として、Ｂｉｓ−ＭＳＢ（１，４−ビス（２−メチルスチリン）ベンゼン）、ＤＰＳ（トランス−４，４′−ジフェニルスチルベンゼン）、クマリン４（７−ヒドロキシ−４−メチルクマリン）等があり、青色発光を受けて緑色発光する蛍光材料として、クマリン１５３（２，３，５，６−１Ｈ，４Ｈ−テトラヒドロ−８−トリフロルメチルキノリジノ（９，９ａ，１−ｇｈ）クマリン）、クマリン６（３−（２’−ベンゾチアゾリル）−７−ジエチルアミノクマリン）、クマリン７（３−（２’−ベンズイミダゾリル）−７−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノクマリン）等があり、青緑色発光を受けて赤色発光する蛍光材料として、ＤＣＭ（４−ジシアノメチレン−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチルリン）−４Ｈ−ピラン）、ピリジン１（１−エチル−２−（４−（ｐ−ジメチルアミノフェニル）−１，３−ブタジエニル）−ピリジウム−パーコラレイト）、ローダミン系色素等が上げられる。例示したような蛍光材料もしくは樹脂等、好ましくは透明なフォトレジスト（感光性樹脂）に蛍光材料を含有させたものを蒸着、スパッタリング、または前記カラーフィルタ層１６の形成と同様にフォトリソグラフィー法等で前記封止膜５上に堆積し、色変換層１７を形成する。
【００３１】
なお、本実施の形態例ではＲ、Ｇ、Ｂの三原色によるフルカラー有機ＥＬ素子の説明を行ったが、これに限らず２色もしくは４色等の複数色による表示を行っても構わない。さらに、Ｒ、Ｇ、Ｂ等の画素毎の表示面積、表示形状は特に限定するものではなく、適宜設計変更可能である。
【００３２】
また、前記色フィルタ６をフィルム状で形成し、前記封止膜５上に被覆形成しても構わない。このようにすることで、前記色フィルタ６の厚みが１００μｍ以下とすることができるため、更に薄いパネルを製造することができ、フィルム状のために前記封止膜５の上に被せるだけで製造が容易になる。
【００３３】
具体的には、図５（ａ）に示すように前記色フィルタ６の位置合わせ９を前記上部電極４上にマーキングし、その後、図５（ｂ）のように前記封止膜５を成膜後、前記色フィルタ６に設けたアライメントＡを前記位置合わせ９と組み合わせて前記色フィルタ６を重ねあわせる。図５（ｃ）（ｄ）には、前記位置合わせ９と前記アライメントＡの好ましい重ね合わせの状態（ｃ）と好ましくない状態（ｄ）を示している。図５（ｅ）、（ｆ）には前記位置合わせ９と前記アライメントＡの形状のその他の状態を示しているが、これに限らず位置決めが可能であればその他の形状でもよい。また、前記位置合わせ９を前記上部電極４上にマーキングした例を示したがこれに限らず前記基板１上または前記下部電極２にマーキングしても構わない。
【００３４】
本第１実施形態例では、前記封止膜５により前記有機発光機能層３を封止していることから、封止基板２４０を使用する特許文献２または特許文献１と比較して薄い有機ＥＬ素子を提供できること、更に薄い前記封止膜５上に色フィルタ６を設けているので、前記有機発光機能層３と前記色フィルタ６との距離を短く設定可能で、特許文献２に比較してコントラストを高めることができる。
【００３５】
（第２実施形態）本発明の第２実施形態について、図６に基づいて説明する。ゲート絶縁膜１１、ゲート電極１２、ドレイン電極１３、ソース電極１４、層間絶縁層１５により形成されたＴＦＴ１６が支持基板１０上に設置されており、前記ＴＦＴ１６の凹凸を平坦化する平坦化層１７により覆われている。前記平坦化層１７を介して前記ドレイン電極１３と下部電極（画素電極）２０とがコンタクトホール１８を通して電気的に接続されている。前記下部電極２０上に有機発光機能層３０、上部電極４０が積層され、前記下部電極２０、前記有機発光機能層３０、前記上部電極４０が封止膜５０により覆われて封止され、前記封止膜５０上には、発光する画素部分に対応する位置に色フィルタ６０が設けられている。以下簡単に本件発明の有機ＥＬ素子の製造方法を述べるが、本発明は以下の方法に限ったものではなく、上記構成を実現できれば特に製造方法にはこだわらない。
【００３６】
前記支持基板１０上にレーザアニールによりｐ−Ｓｉ膜を得て、これを紫外光のエキシマレーザでパターニング後、窒化シリコン等をＣＶＤ法によりゲート絶縁膜１１を成膜する。次いで、ＣＶＤ法により成膜したポリシリコン膜と、スパッタ法やＣＶＤ法により成膜した金属シリサイド膜とを積層してなるポリサイド構造の材料膜を、リソグラフィー法によって形成したレジストパターンをマスクしたエッチングによってパターニングすることによりゲート電極１２を形成する。
【００３７】
前記ゲート電極１２を形成した後、イオンドーピング法により不純物を注入し、ドレイン電極１３、ソース電極１４を形成する。次に前記ゲート電極１２、前記ドレイン電極１３、前記ソース電極１４を覆う状態で支持基板１０の上方に層間絶縁層１５を酸化シリコン等の酸化シリコン系材料を用いて形成する。
【００３８】
次いで、前記ＴＦＴ１６の凹凸を埋めるためスピンコート法により感光性ポリイミドを塗布し、平坦化層１７を形成する。更に、前記平坦化層１７をパターン露光を行い、露光部分を現像液に対して可溶にする。前記平坦化層１７に対して回転式スプレー現像装置を用いで現像処理を行い、露光部を現像液に溶解させて除去し、コンタクトホール１８を形成する。
【００３９】
以上のようにして、前記平坦化層１７と前記コンタクトホール１８を形成した後、下部電極２０をスパッタリング等でパターニングし、ドレイン電極１３と下部電極２０を電気的に接続する。前記下部電極２０上に第１実施形態例と同様の方法を用いて有機ＥＬ素子が形成される。
【００４０】
本第２実施形態例では、前記第１実施形態例の効果に加え、支持基板１０とは反対側より発光する構成となっているため前記ＴＦＴ１６の設計が自由に行える、前記有機発光機能層３０からの光を効率的に外部に射出でき、開口率の向上等の効果を有する。
【００４１】
（第３実施形態）本発明の第３の実施の形態例を図７を用いて説明する。封止膜７１に挟まれる形で下部電極７２、有機発光機能層７３、上部電極７４により有機ＥＬ素子が構成され、第１実施形態例と同様の位置合わせにより色フィルタ７５を設置する。このとき、前記下部電極７２、前記有機発光機能層７３、前記上部電極７４、前記色フィルタ７５は第１実施例と同様の材料、製造方法にて形成できる。また、本件第３実施形態例の場合、前記下部電極７２と前記上部電極７４は逆の構成に読み替えても構わない。
【００４２】
前記封止膜７１は、透明性を有したプラスチックフィルム等で形成される。具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、ポリカーボネート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素樹脂、ポリプロピレン等のフィルムが適用可能である。前記プラスチックフィルムは厚さ１〜１０００μｍが好ましく、更に好ましくは１〜５０μｍがよい。前記有機発光機能層７３と前記色フィルタ７５との距離が離れると色ボケなどのコントラスト低下になること、また、前記封止膜７１の十分な厚さが保たれなければ、封止能力も低下するからである。
【００４３】
また、前記プラスチックフィルムの表面にＳｉＯ等のけい素酸化物、金属フッ化物などの無機物等を真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等の真空薄膜形成方法により成膜して、ガスバリヤー性、水蒸気バリヤー性を高めても良い。
【００４４】
図７では前記封止膜７１が同じ材料で形成されているが、異なる材料により形成された材料で形成されていても構わない。少なくとも前記色フィルタ７５を形成する側が透明性を有していれば良い。また、図示しないが、前記有機ＥＬを挟む前記封止膜７１は、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、エポキシアミン系接着剤等の接着剤で接着されても良いが、前記封止膜７１の少なくとも一方をポリエチレン、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリプロピレン等の熱融解性プラスチックで形成し、前記封止膜７１同士を張り合わせる構成としてもよい。
【００４５】
本第３実施形態例では、前記第１実施形態例、前記第２実施形態例の効果に加え、一対の前記封止膜７１により有機ＥＬ素子が挟まれた構成になっているので、フレキシブルで、薄い有機ＥＬ素子を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の有機ＥＬ素子の説明図（特許文献１）
【図２】従来の有機ＥＬ素子の説明図（特許文献２）
【図３】第１実施形態例の説明図
【図４】第１実施形態例の色フィルタに関する説明図
【図５】第１実施形態例の色フィルタの位置合わせに関する説明図
【図６】第２実施形態例の説明図
【図７】第３実施形態例の説明図
【符号の説明】
１，１０，１００，２００    支持基板
２，２０，７２，１１０，２１０    下部電極
３，３０，７３，１２０，２２０    有機発光機能層
４，４０，７４，１３０，２３０    上部電極
５，５０，７１    封止膜
６，６０，７５，１５０，２５０    色フィルタ
１６    ＴＦＴ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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