(57)【要約】【課題】画像再生時の光学系を簡単なものとした場合でも、明るく高性能な再生画像を得ることができるホログラム光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】所定の波長のレーザー光を射出するレーザー光源１Ｒ、１Ｇ、１Ｒからのレーザー光は、ビームスプリッタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂにより参照光と物体光に分離される。参照光は光量・偏光調整部材群５Ｒ、５Ｇ、５Ｂにより光量調整と偏光調整を受けた後、コリメータレンズ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂにより平行光とされて、プリズム１４の感光面に照射される。物体光は、光量・偏光調整部材群１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂにより光量調整と偏光調整を受け、各波長ごとに最適化された露光レンズ群１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂにより、所望の波面変換を受けた後、非球面波となって、プリズム１４の感光面に照射される。レーザー光は、各波長毎に、異なった光路を通り、別々に調整されるので、最適な露光を行うことができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光してホログラム光学素子を製造する方法であって、前記レーザー光の光源からホログラム感光体までの光路を、各レーザー光毎に別々として露光を行うことを特徴とするホログラム光学素子の製造方法。
【請求項２】
ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光してホログラム光学素子を製造する方法であって、前記ホログラム感光体に照射するレーザー光の波面を、各レーザー光毎に別々に形成し、このレーザー光をホログラム感光体に照射してホログラム光学素子を形成することを特徴とするホログラム光学素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のホログラム光学素子の製造方法であって、ホログラム感光体を塗布した基板を、各レーザー光毎に別々に形成された光路に順次移動して、順次露光することを特徴とするホログラム光学素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載のホログラム光学素子の製造方法であって、前記レーザー光の光量調整と偏光調整を、各レーザー光毎に独立して行い、このレーザー光を用いて露光を行うことを特徴とするホログラム光学素子の製造方法。
【請求項５】
ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光するホログラム露光装置であって、レーザー光の光源からホログラム感光体までの光路が、各レーザー光毎に別々とされていることを特徴とするホログラム露光装置。
【請求項６】
ホログラム感光体に対して、異なる感光作用を持つ波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を順次露光するホログラム露光装置であって、前記ホログラム感光体を照射するレーザー光の波面を形成する光学系を、各レーザー光毎に別々に有することを特徴とするホログラム露光装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載のホログラム露光装置であって、ホログラム感光体を塗布した基板を搭載し、当該基板を前記各レーザー毎に設けられた光路中に順次移動するステージが設けられていること特徴とするホログラム露光装置。
【請求項８】
請求項５から請求項７のうちいずれか１項に記載のホログラム露光装置であって、前記レーザー光の光量調整と偏光調整を行う光学系を、各レーザー光毎に独立して有することを特徴とするホログラム露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホログラム光学素子の製造方法およびホログラム露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、画像表示装置の結像光学系にはホログラム素子（ＨＯＥ：ＨｏｌｏｇｒａｐｈｉｃＯｐｔｉｃａｌ  Ｅｌｅｍｅｎｔ）がコンバイナとして広く用いられている。このようなホログラムの作成は、参照光と物体光を感光フィルム上で干渉させ、その干渉縞を記録することで行う。Ｒ，Ｇ，Ｂの三原色のレーザーを用いてそれぞれ対応するホログラムを作成すれば、再生の際、加法混色によりフルカラー再生するホログラムを作成することが可能である。その光学配置は例えば特開２０００−２１４７４７公報や特開２００２−２５８４８８公報に開示されているような方法で行うことができる。
【０００３】
これらの方法のうち、特開２０００−２１４７４７号公報に記載されているカラー露光システムの概要を図４に示す。このカラー露光システムは、所定の波長のレーザー光を出射するレーザー光源と、レーザー光源からのレーザー光の光軸上に配された可変ビームスプリッタとを備えている。可変ビームスプリッタは、レーザー光源から出射されたレーザー光を、参照光と物体光とに分離するためのものである。ここで、レーザー光源としては、緑色用レーザー光源として波長５３２ｎｍのＹＡＧレーザー４１が用いられる。また、青色用レーザー光源としては波長４７７ｎｍのＡｒレーザ４２が用いられ、赤色用レーザー光源としては波長６４７ｎｍのＫｒレーザー４３が用いられる。
【０００４】
そして、ＹＡＧレーザー４１から出射した緑色レーザーＧは、全反射ミラー４４によって全反射され、可変ビームスプリッタ４５に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ４５によって反射された光が参照光Ｇ１となり、可変ビームスプリッタ４５を透過した光が物体光Ｇ２となる。
【０００５】
また、Ａｒレーザ４２から出射した青色レーザーＢは、全反射ミラー４６によって全反射され、可変ビームスプリッタ４７に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ４７によって反射された光が参照光Ｂ１となり、可変ビームスプリッタ４７を透過した光が物体光Ｂ２となる。
【０００６】
また、Ｋｒレーザ４３から出射した赤色レーザーＲは、全反射ミラー４８によって全反射され、可変ビームスプリッタ４９に入射する。ここで、可変ビームスプリッタ４９を透過した光が参照光Ｒ１となり、可変ビームスプリッタ４９によって反射された光が物体光Ｒ２となる。
【０００７】
可変ビームスプリッタ４５，４７，４９によって分離された各色毎の参照光Ｇ１，Ｂ１，Ｒ１は、ダイクロイックミラー５０，５１によって色合成される。そして色合成された参照光Ｌ１は、参照光用のビーム整形光学系５２を介して、ホログラム基板５３上に配されたホログラム感光フィルム５４に入射する。なお、この参照光の光路中には、当該参照光の進行方向を変えるための全反射ミラー５５，５６，５７が配されている。
【０００８】
一方、可変ビームスプリッタ４５，４７，４９によって分離された各色毎の物体光Ｇ２，Ｂ２，Ｒ２は、ダイクロイックミラー５８，５９によって色合成される。そして色合成された物体光Ｌ２は、物体光用のビーム整形光学系６０を介して、ホログラム感光フィルム５４に入射する。なお、これら物体光の光路中には、当該物体光の進行方向を変えるための全反射ミラー６１、６２が配されている。
【０００９】
ここで、参照光Ｌ１及び物体光Ｌ２は、参照光Ｌ１がホログラム感光フィルム５４の一方の主面に入射し、物体光Ｌ２がホログラム感光フィルム５４の他方の主面に入射するようにする。すなわち、ホログラム感光フィルム５４の一方の主面に、参照光Ｌ１を所定の入射角度にて入射させるとともに、ホログラム感光フィルム５４の他方の主面に物体光Ｌ２を入射させる。これにより、参照光Ｌ１と物体光Ｌ２とがホログラム感光フィルム５４の感光層上において干渉し、参照光Ｌ１と物体光Ｌ２との干渉によって生じる干渉縞が、ホログラム感光フィルム５４の感光層に屈折率の変化として記録される。
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−２１４７４７公報
【特許文献２】特開２００２−２５８４８８公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の方法では、参照光発生手段（参照光用ビーム整形光学系）および物体光発生手段（物体光用ビーム整形光学系）がＲ，Ｇ，Ｂに関して同一の光学系を使用している。
【００１２】
一方、ＨＯＥはＨＵＤ（Ｈｅａｄｕｐ  ｄｉｓｐｌａｙ）やＨＭＤ（Ｈｅａｄ  ｍｏｕｎｔｅｄ  ｄｉｓｐｌａｙ）等のコンバイナとして波長選択反射フィルタの作用の他に、接眼光学系としてレンズ作用をもたせて使用することも可能である。その場合、材質の波長分散や、周辺の補助光学系による残存収差の補正機能をも持たせた光学素子としてＨＯＥを利用すれば、より高性能の映像表示を行うことができる。
【００１３】
しかしながら、そのような高機能のＨＯＥでは、Ｒ，Ｇ，Ｂに対する接眼光学系としての作用が全く同一であることはなく、それぞれ個別に複雑な波面変換作用が必要となる。
【００１４】
また、露光の際のレーザーの波長と、コンバイナとして画像を再生する際の画像の照明光の波長が、Ｒ，Ｇ，Ｂに対してすべて同一ということはまれである。それは、露光時は可干渉性が重要なので一般にレーザー光源を用いるが、コンバイナとして利用するときは、軽量であることが重要であるため、ＬＥＤ等の小型の照明装置を利用するのが一般的であるためである。すなわち、この場合、露光時に使用したレーザー光の波長と、画像再生時に使用するＬＥＤ光の波長は、近接しているものの一般に異なっており、その差もＲ，Ｇ，Ｂで異なっている。
【００１５】
よって、画像再生時の光学系を簡単なものとした場合、従来の方法によってホログラムを形成していたのでは、明るく高性能な再生画像が得られないという問題点があった。
【００１６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、Ｒ，Ｇ，Ｂ光それぞれに対して、個別に複雑な波面変換作用が可能なホログラム素子、画像再生時の光学系を簡単なものとした場合でも、明るく高性能な再生画像を得ることができるホログラム光学素子の製造方法、及びそれに使用するための露光装置を提供することを課題とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための第１の手段は、ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光してホログラム光学素子を製造する方法であって、前記レーザー光の光源からホログラム感光体までの光路を、各レーザー光毎に別々として露光を行うことを特徴とするホログラム光学素子の製造方法（請求項１）である。
【００１８】
本手段においては、複数のレーザー光源からホログラム感光体までの光路を、各レーザー光毎に異ならせているので、各レーザー光に応じて、異なる入射角で物体光と参照光をホログラム感光体に入射させることができる。よって、この入射角の調整により、ホログラム形成時の使用波長ではなく、画像再生時の使用波長に、ＨＯＥ回折効率が最大となる波長を合わせることができる。また、波面形成光学系を各レーザー光毎に別にすることができるので、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ光毎に、個別に複雑な波面変換作用を行うことができ、材質の波長分散や、周辺の補助光学系による残存収差の補正機能をも持たせた、高性能のＨＯＥを製造することができる。
【００１９】
また、各レーザー光毎に光路が別になっているので、一つのレーザー光についての光学系が従来の光学系に比べてシンプルになり、その分ノイズの発生を抑えることができる。
【００２０】
前記課題を解決するための第２の手段は、ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光してホログラム光学素子を製造する方法であって、前記ホログラム感光体に照射するレーザー光の波面を、各レーザー光毎に別々に形成し、このレーザー光をホログラム感光体に照射してホログラム光学素子を形成することを特徴とするホログラム光学素子の製造方法（請求項２）である。
【００２１】
本手段においては、レーザー光の光路は、その一部が複数のレーザー光について同一であり、同一の光学系を使用していてもよいが、ホログラム感光体を照射するレーザー光の波面は、レーザー光毎に別々に形成し、このレーザー光をホログラム感光体に照射してホログラム光学素子を形成する。よって、各レーザー光に応じて、異なる入射角で物体光と参照光をホログラム感光体に入射させることができる。よって、この入射角の調整により、ホログラム形成時の使用波長ではなく、画像再生時の使用波長に対して、ＨＯＥの回折効率が最大となるように合わせることができる。また、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ光毎に、個別に複雑な波面変換作用を行うことができ、材質の波長分散や、周辺の補助光学系による残存収差の補正機能をも持たせた、高性能のＨＯＥを製造することができる。
【００２２】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段又は第２の手段であって、ホログラム感光体を塗布した基板を、各レーザー光毎に別々に形成された光路に順次移動して、順次露光することを特徴とするもの（請求項３）である。
【００２３】
本手段においては、異なるレーザー光毎に異なる光路に、ホログラム感光体を塗布した基板を順次移動して、それぞれのレーザー光に対応する干渉縞を形成する。よって、光学系の方は移動させる必要がないので、調整を頻繁に行う必要が無くなり、かつ露光装置全体の機構も簡単になる。
【００２４】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、前記レーザー光の光量調整と偏光調整を、各レーザー光毎に独立して行い、このレーザー光を用いて露光を行うことを特徴とするもの（請求項４）である。
【００２５】
本手段においては、光路や一部の光学系は、複数のレーザー光で共用してもよいが、レーザー光の光量調整と偏光調整を、各レーザー光毎に独立して行う。よって、これらの量を、各レーザー光毎に最適なものとすることができる。
【００２６】
前記課題を解決するための第５の手段は、ホログラム感光体に対して、異なる波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を露光するホログラム露光装置であって、レーザー光の光源からホログラム感光体までの光路が、各レーザー光毎に別々とされていることを特徴とするホログラム露光装置（請求項５）である。
【００２７】
前記課題を解決するための第６の手段は、ホログラム感光体に対して、異なる感光作用を持つ波長帯域のレーザー光を照射することにより、上記の感光体を順次露光するホログラム露光装置であって、前記ホログラム感光体を照射するレーザー光の波面を形成する光学系を、各レーザー光毎に別々に有することを特徴とするホログラム露光装置（請求項６）である。
【００２８】
前記課題を解決するための第７の手段は、前記第５の手段又は第６の手段であって、ホログラム感光体を塗布した基板を搭載し、当該基板を前記各レーザー毎に設けられた光路中に順次移動するステージが設けられていること特徴とするもの（請求項７）である。
【００２９】
前記課題を解決するための第８の手段は、前記第５の手段から第７の手段のいずれかであって、前記レーザー光の光量調整と偏光調整を行う光学系を、各レーザー光毎に独立して有することを特徴とするもの（請求項８）である。
【００３０】
これら、第５の手段から第８の手段によれば、それぞれ前記第１の手段から第４の手段を実施することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態である露光光学系の構成及びその光線の概略の経路を示す図である。所定の波長のレーザー光を射出するレーザー光源１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、レーザー光源からのレーザー光の光軸上に配されたビームスプリッタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂとを備えている。ビームスプリッタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂはレーザー光源１Ｒ、１Ｇ、１Ｂから射出されたレーザー光を参照光と物体光に分離するためのものである。
【００３２】
ここでレーザー光源としては赤色光源として、レーザー光１Ｒである波長６４７ｎｍのＫｒレーザー、レーザー光１Ｇである緑色光源として、レーザー光１Ｂである波長５３２ｎｍのＹＡＧレーザー、青色光源として波長４７６ｎｍのＡｒレーザーが用いられる。
【００３３】
各レーザー光は、シャッター２Ｒ、２Ｇ、２Ｂで照射タイミングを制御される。シャッター２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを通過したレーザー光は、反射ミラー３Ｒ、３Ｇ、３Ｂで反射され、それぞれのビームスプリッタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂで参照光と物体光に分離される。
【００３４】
参照光は光量・偏光調整部材群５Ｒ、５Ｇ、５Ｂにより光量調整と偏光調整を受けた後、反射ミラー６Ｒ、６Ｇ、６Ｂで反射され、さらに対物レンズとピンホールを組み合わせたスペイシャルフィルタ付対物レンズ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂでノイズ光をカットされ、コリメータレンズ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂにより平行光とされて、プリズム１４の感光面に照射される。
【００３５】
物体光は、反射ミラー９Ｒ、９Ｇ、９Ｂで反射された後、光量・偏光調整部材群１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂにより光量調整と偏光調整を受け、さらに対物レンズとピンホールを組み合わせたスペイシャルフィルタ付対物レンズ１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂでノイズ光をカットされ、コリメータレンズ１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂにより平行光とされる。そして各波長ごとに最適化された露光レンズ群１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂにより、所望の波面変換を受けた後、非球面波となって、プリズム１４の感光面に照射される。
【００３６】
参照光、物体光の両光束はプリズム１４の感光部のホログラム感光材料内の感光層で干渉し、その結果生じる干渉縞が、感光層に屈折率や濃度の変化として記録される。
【００３７】
プリズム１４は、水平面内のスライドステージに搭載されており、矢印で示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂに対する所定の位置に、スムーズに移動することが可能である。移動量はステッピングモータ等で精密に制御される。
【００３８】
この構成において、光量・偏光調整部材群５Ｒ、５Ｇ、５Ｂにより参照光の光量調整と偏光調整が行われ、光量・偏光調整部材群１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂにより物体光の光量調整と偏光調整が行われる。また、露光レンズ群１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂにより、物体光の波面変換が行われる。この実施の形態においては、各レーザー１Ｒ、１Ｇ、１Ｂから出射するレーザー光の光路は異なっており、よって、これら光量・偏光調整部材群、露光レンズ群も各レーザー光毎に別々に設けられている。よって、光量・偏光の調整と、物体光の波面の調整を、各レーザー光毎に別々に行うことができる。
【００３９】
また、感光部を設けたプリズム１４は、スライドステージに搭載されて移動し、それぞれのレーザー光に対応する感光位置で露光を受ける。よって、光学系については、移動させる必要が無く、そのための調整は不要である。
【００４０】
露光の際は、プリズム１４を所定の位置にスライドし、赤色、緑色、青色を順次露光する。露光時間はシャッターによって制御され、適正にバランスされた露光量で感光材料に多重露光される。以上説明した露光装置による露光方法によって、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれ個別に最適化された露光レンズを用い、最適な入射角でＨＯＥを露光することが可能になる。
【００４１】
また、露光レンズの色収差の問題を考慮せずに設計できるので、露光光学系を容易に製造することができ、ＨＯＥのコストダウンにつながる。さらに、反射ミラー３Ｒ、３Ｇ、３Ｂなども、それぞれの波長に最適化された高反射率のものを使用することが可能になる。
【００４２】
図２に、図１に示されたプリズム１４の構成を示す。図２（ａ）がプリズム１４の構成の概要を示す図である。プリズム１４は、プリズム本体１５を、それと同じ材質で形成されたダミープリズム（やとい）１６中に嵌め込んだものである。プリズム本体１５とダミープリズム１６の界面で反射が起こらないように、両者の間にはマッチングオイルが充填されている。プリズム本体１５のダミープリズム６と接しない外面には、ＨＯＥを構成する感光基板１７が設けられている。
【００４３】
露光時において参照光は直接感光基板１７を照射する。物体光は感光基板１７の裏側から、ダミープリズム１６、プリズム本体１５を介して感光基板１７を照射する。プリズム本体１５が直角三角形をしているので、これに直接物体光を照射したのでは、その有効光束内に角部があるために、正しく感光基板１７を感光させることができない。よって、やといとしてダミープリズム１６を設け、物体光の入射面を平面にして、そのまま感光基板１７に達するようにしている。
【００４４】
使用時には、図２（ｂ）に示すように、プリズム本体１５をそれと材質が同じである基板１８に埋め込んで使用する。基板１８中を全反射して伝搬してきた光は、感光基板１７で形成されたＨＯＥによって反射されると共に回折を受け、回折光が基板１８の表面とほぼ直角に出射して、Ｅｙｅ  Ｐｏｉｎｔに入射する。
【００４５】
図３は、本発明の第２の実施の形態である露光光学系の構成及びその光線の概略の経路を示す図である。赤色レーザー２１Ｒ、緑色レーザー２１Ｇ、青色レーザー２１Ｂから出た光は、シャッター２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂを通り、１／２波長板２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ、偏光ビームスプリッタ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ、スペイシャルフィルタ付ビームエキスパンダ２５Ｒ、２５Ｇ、２５Ｂ、１／２波長板２６Ｒ、２６Ｇ、２６Ｂ、１／４波長板２７Ｒ、２７Ｇ、２７Ｂを順に通って、光量と偏光（偏光面と位相）の調整を受け、かつ、ノイズ分がカットされる。
【００４６】
これらの光は、反射ミラー２８Ｂ、ダイクロイックミラー２８Ｇ、２８Ｒで、それぞれ反射・透過され、一つの光束にまとめられる。そして、ハーフミラー２９により、参照光と物体光に分離される。
【００４７】
物体光は、ダイクロイックミラー３０Ｂ、３０Ｇ、及び反射ミラー３０Ｒを通ることにより、再び青、緑、赤の３つの成分の光に分離される。これらの光は、可変ＮＤフィルタ３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂを通り、さらにスペイシャルフィルタ付対物レンズ３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂを通り、コリメータレンズ３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂで平行光とされ、露光レンズ群３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂに入って波面変換を受け、物体光としてプリズム１４に照射される。
【００４８】
参照光は、ダイクロイックミラー３５Ｂ、３５Ｇ、及び反射ミラー３５Ｒを通ることにより、再び青、緑、赤の３つの成分の光に分離されそれぞれ、参照光としてプリズム１４に照射される。なお、プリズム１４がステージに搭載されて各照射位置を移動することは、図１に示した実施の形態と同じである。
【００４９】
この実施の形態においては、各レーザー光の光路に共通の部分が有るが、光量と偏光（偏光面と位相）の調整、及び物体光の波面の形成は、各レーザー毎に別の光学系により行われている。よって、これらの量を別々に調整することができる。また、物体光、参照光とも、別々の光路でプリズム１４を照射するので、Ｒ，Ｇ，Ｂ光毎にこれらの入射角を変えることができる。よって、図１に示した実施の形態と、ほとんど同じ作用効果が得られる。
【００５０】
ホログラム感光材料としては、例えば、フォトポリマー、フォトレジスト、フォトクロミック、フォトダイクロミック、銀塩乳剤、重クロム酸ゼラチン、ダイクロメートゼラチン、プラスチック、強誘電体、磁気光学材料、電気光学材料、非晶質半導体、フォトリフラクチィブ材料等が用いられる。
【００５１】
ここで用いる材料は、先のレーザー光の波長帯全てを含む広帯域の感光剤を含んだ感光層を持つた単層の材料、もしくは各レーザー光の波長帯それぞれに対応する狭帯域の感光剤を含んだ感光層がバリア層をはさんで配置された多層構造の材料等である。
【００５２】
本発明は上述の形態に限定されるものではない。例えば、プリズム１４はスライドステージを使用して移動させる必要はなく、各照射位置に基準面を設け、押え金物にプリズム１４をあてることで位置再現性よくそれぞれ所定の位置に置き直すことも可能である。順次露光の順番は比視感度の弱い方から赤、青、緑の順とすることも可能である。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、Ｒ，Ｇ，Ｂ光それぞれに対して、個別に複雑な波面変換作用が可能なホログラム素子、画像再生時の光学系を簡単なものとした場合でも、明るく高性能な再生画像を得ることができるホログラム光学素子の製造方法、及びそれに使用するための露光装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態である露光光学系の構成及びその光線の概略の経路を示す図である。
【図２】図１に示されたプリズムの構成を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態である露光光学系の構成及びその光線の概略の経路を示す図である。
【図４】従来の露光システムの概要を示す図である
【符号の説明】
１Ｒ、１Ｇ、１Ｒ：レーザー光源、２Ｒ、２Ｇ、２Ｂ：シャッター、３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ：反射ミラー、４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ：ビームスプリッタ、５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ：光量・偏光調整部材群、６Ｒ、６Ｇ、６Ｂ：反射ミラー、７Ｒ、７Ｇ、７Ｂ：スペイシャルフィルタ付対物レンズ、８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ：コリメータレンズ、９Ｒ、９Ｇ、９Ｂ：反射ミラー、１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂ：光量・偏光調整部材群、１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ：スペイシャルフィルタ付対物レンズ、１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂ：コリメータレンズ、１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂ：露光レンズ群、１４：プリズム、１５：プリズム本体、１６：ダミープリズム、１７：感光基板、１８：基板、２１Ｒ：赤色レーザー、２１Ｇ：緑色レーザー、２１Ｂ：青色レーザー、２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ：シャッター、２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ：１／２波長板、２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ：偏光ビームスプリッタ、２５Ｒ、２５Ｇ、２５Ｂ：スペイシャルフィルタ付ビームエキスパンダ、２６Ｒ、２６Ｇ、２６Ｂ：１／２波長板、２７Ｒ、２７Ｇ、２７Ｂ：１／４波長板、２８Ｂ：反射ミラー、２８Ｇ、２８Ｒ：ダイクロイックミラー、２９：ハーフミラー、３０Ｂ、３０Ｇ：ダイクロイックミラー、３０Ｒ：反射ミラー、３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ：可変ＮＤフィルタ、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ：スペイシャルフィルタ付対物レンズ、３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂ：コリメータレンズ、３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂ：露光レンズ群、３５Ｂ、３５Ｇ：ダイクロイックミラー、３５Ｒ：反射ミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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