(57)【要約】【課題】搬送システムを効率よく運用する。【解決手段】搬送システムは、複数のフロア間の搬送を行なう複数のリフトと、各フロアに設けられフロア内の搬送を行なう複数のＯＨＳと、各フロアに設けられリフトへの移載／荷下ろしのための複数の中継ストッカとを含む。ホストコンピュータは、製造工程における搬送対象物の量を算出するステップ（Ｓ１００）と、算出された搬送負荷に応じて、複数のリフトの中で使用するリフトを決定するステップ（Ｓ１０４、Ｓ１０８、Ｓ１１２）とを含む。【選択図】　　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフロアに分散した製造工程における搬送システムを制御する搬送制御装置であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行なう複数のリフトと、各フロアに設けられ前記フロア内の搬送を行なう複数の搬送車と、各フロアに設けられ前記リフトへの積載／荷下ろしのための複数の中継ストッカとを含み、前記搬送制御装置は、
前記製造工程における搬送対象物の量を算出するための算出手段と、
前記算出された搬送対象物の量に応じて、前記複数のリフトの中で使用するリフトを決定するための決定手段とを含む、搬送制御装置。
【請求項２】
前記決定手段は、前記算出された搬送対象物の量の増減比率に対応させて、前記使用するリフトを決定するための手段を含む、請求項１に記載の搬送制御装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記算出された搬送対象物の量が予め定められた量を下回ると、前記使用するリフトの数が少なくなるように、前記使用するリフトを決定するための手段を含む、請求項１に記載の搬送制御装置。
【請求項４】
前記搬送制御装置は、予め定められた条件が満足されると、使用を停止していたリフトを再稼働するように決定するための手段をさらに含む、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送制御装置。
【請求項５】
前記搬送制御装置は、
前記決定手段により使用すると決定されたリフトのみを用いた場合の搬送距離を算出するための手段と、
前記算出された搬送距離が予め定められた条件を満足すると、使用を停止すると決定されたリフトを使用するように、かつ前記使用を停止すると決定されたリフトとは別のリフトの使用を停止するように決定するための手段とをさらに含む、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送制御装置。
【請求項６】
複数のフロアに分散した製造工程における搬送システムを制御する搬送制御装置であって、前記搬送システムは、前記複数のフロア間の搬送を行なう複数のリフトと、各フロアに設けられ前記フロア内の搬送を行なう複数の搬送車と、各フロアに設けられ前記リフトへの積載／荷下ろしのための複数の中継ストッカとを含み、前記搬送制御装置は、
前記製造工程における搬送対象物の量を算出するための算出手段と、
前記算出された搬送対象物の量に応じて、前記複数の中継ストッカの中で使用する中継ストッカを決定するための決定手段とを含む、搬送制御装置。
【請求項７】
前記決定手段は、前記算出された搬送対象物の量の増減比率に対応させて、前記使用する中継ストッカを決定するための手段を含む、請求項６に記載の搬送制御装置。
【請求項８】
前記決定手段は、前記算出された搬送対象物の量が予め定められた量を下回ると、前記使用する中継ストッカの数が少なくなるように、前記使用する中継ストッカを決定するための手段を含む、請求項６に記載の搬送制御装置。
【請求項９】
前記搬送制御装置は、予め定められた条件が満足されると、使用を停止していた中継ストッカを再稼働するように決定するための手段をさらに含む、請求項６〜８のいずれかに記載の搬送制御装置。
【請求項１０】
前記算出手段は、前記製造工程への投入数、前記製造工程の仕掛り数、前記搬送車の稼働台数、前記リフトの稼働台数および前記中継ストッカの稼働台数の少なくともいずれかに基づいて、前記製造工程における搬送対象物の量を算出するための手段を含む、請求項１〜９のいずれかに記載の搬送制御装置。
【請求項１１】
前記算出手段は、前記製造工程への投入数および前記製造工程における平均仕掛り日数に基づいて、前記製造工程における搬送対象物の量を算出するための手段を含む、請求項１〜９のいずれかに記載の搬送制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造ラインが複数のフロアにまたがって構成されている製造工場において、半製品のフロア内／フロア間の搬送を行なう搬送システム関し、特に、フロア間の搬送を行なうリフト、フロア内の搬送を行なう搬送車およびリフトへの積載／荷下ろしのための中継ストッカを備えた搬送システムの制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造ラインや電子回路プリント板製造ライン内において、半製造品である半導体ウェハやプリント板を搬送する様々なシステムがある。このような製造ラインは、複数のフロアにまたがって構成される場合もある。そのような場合、垂直方向であるフロア間の搬送と、水平方向であるフロア内の搬送とが混在する。
【０００３】
特開平１１−６７８７０公報（特許文献１）は、バッファストッカとループ式搬送ラインとリフトと移載機とを含む半導体ウェハ搬送装置を開示する。この特許文献１に開示された半導体ウェハ搬送装置は、半導体製造装置が設置されるクリーンルームと、半導体製造装置にユーティリティを供給するためのクリーンルーム床下に設置され半導体ウェハを一時保管するストッカと、クリーンルーム天井部に設置されストッカ間で半導体ウェハを搬送するループ式搬送ラインと、ループ式搬送ライン間で半導体ウェハを移載するための移載装置と、フロア間に設置したストッカ間で半導体ウェハを搬送するリフトと、半導体処理工程毎に半導体製造装置の処理能力から定まる最小単位の半導体ウェハを保管するミニストッカとから構成される。このミニストッカは、全半導体処理工程に要する生産期間と日々の半導体生産ラインへの投入数より決定される生産仕掛り数からミニストッカの全保管数を減算した半導体ウェハ数を保管する。
【０００４】
この特許文献１に開示された半導体ウェハ搬送装置によると、半導体処理工程に必要な半導体ウェハ数をクリーンルーム床下に設置されたバッファストッカからループ式搬送ラインと移載装置とリフトとを用いてクリーンルーム内の半導体処理工程毎に設置されたミニストッカへ供給する。半導体処理が完了した半導体ウェハは、供給時と逆の手順で、ミニストッカからバッファストッカへ格納される。これにより、クリーンルーム内に設置されるストッカの設置面積を最小として半導体製造装置台数を増加させることにより、半導体生産ラインの生産性の向上を図ることができる。
【０００５】
特開平７−３０９４０７公報（特許文献２）は、複数枚の電子回路プリント板を蓄積するマガジンストッカーを開示する。この特許文献２に開示されたマガジンストッカーは、複数の電子回路プリント板を内部に保持するマガジンと、マガジンを直線状に移動するコンベアを上下に持ち、その両端部にマガジンをコンベアの一方から他方に昇降する昇降部を持った循環式マガジンストッカーと、コンベアの途中に設けられ、コンベアによるマガジンの移動方向と直交する方向にマガジンを分岐させる分岐移載部と、コンベアの分岐移載部からマガジンを受け取り、コンベアによるマガジンの移動方向に対して直角に移動させる前後移載部と、コンベアによるマガジンの移動方向に対して平行に移動させる載置移載部とから成るテーブルと、テーブルを上下に移動させるエレベータと、エレベータを台座に立設させた昇降移載部と、昇降移載部の台座に乗り、テーブルの移動範囲に面して配置され、マガジンをテーブルの載置移載機により移載され、収納するラック棚部を備える。
【０００６】
特許文献２に開示されたマガジンストッカーによると、マガジンを一直線状に蓄積するコンベアに分岐移載部を設け、マガジンを乗せたテーブルを前後左右に移動させる前後移載部、載置移載部と、上下に移動させるエレベータからなる昇降移載部と、マガジンを収納するラック棚部を設けることにより、コンベアに直交する方向にマガジンを滞留させ、マガジンストッカーのマガジン滞留量を多くすることができる。すなわち、マガジンの流れをコンベアの一方向上から分岐させ、コンベアに直交かつ高さ方向にマガジンを滞留させることで、マガジンストッカーのマガジン滞留量を多くすることができる。これにより、各工程間の能力の差を縮めることができる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−６７８７０公報
【０００８】
【特許文献２】
特開平７−３０９４０７公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特許文献１に開示された半導体ウェハ搬送装置によると、クリーンルーム内に設置されるストッカの設置面積を最小として半導体製造装置の台数を増加させるものであり、製造工程内の搬送負荷に対応させて、ストッカ、ループ式搬送ライン、移載装置、リフト、ミニストッカなどの搬送装置を構成する各装置を効率的に動作させるものではない。上述した特許文献２に開示されたマガジンストッカーによると、省スペースで多額の設備費用を必要としないものであり、製造工程内の搬送負荷に対応させて、マガジンストッカーを効率的に動作させるものではない。
【００１０】
すなわち、上述した特許文献１および特許文献２は、複数のフロアにまたがって構成された製造ラインに、垂直方向であるフロア間の搬送と、水平方向であるフロア内の搬送とが混在した場合の効率的な設備の運用を実現するものではない。
【００１１】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであって、複数のフロア間の搬送を行なうリフトと、各フロアに設けられフロア内の搬送を行なう搬送車と、各フロアに設けられリフトへの積載／荷下ろしのための中継ストッカを含む搬送システムを効率良く運用する制御装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る搬送制御装置は、複数のフロアに分散した製造工程における搬送システムを制御する。この搬送システムは、複数のフロア間の搬送を行なう複数のリフトと、各フロアに設けられフロア内の搬送を行なう複数の搬送車と、各フロアに設けられリフトへの積載／荷下ろしのための複数の中継ストッカとを含む。搬送制御装置は、製造工程における搬送対象物の量を算出するための算出手段と、算出された搬送対象物の量に応じて、複数のリフトの中で使用するリフトを決定するための決定手段とを含む。
【００１３】
さらに、この発明に係る搬送制御装置は、製造工程における搬送対象物の量を算出するための算出手段と、算出された搬送対象物の量に応じて、複数の中継ストッカの中で使用する中継ストッカを決定するための決定手段とを含むものでもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがってそれらについての詳細な説明は繰返さない。
【００１５】
＜第１の実施の形態＞
図１および図２を参照して、本実施の形態に係る搬送制御装置が制御する搬送システムの全体構成について説明する。この搬送システムは、半導体製品の製造工場において、用いられる。半導体製品の製造工場においては、クリーンルーム内にいくつかの小部屋（以下、ベイという）が設けられる。各ベイにそれぞれ複数台のプロセス装置が配置される。ベイ間の搬送を行なうために、ＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅａｄ　Ｓｈｕｔｔｌｅ）が備えられている。また、各フロア間のクリーンルームを接続し、フロア間搬送を行なうためにリフトと中継ストッカとが備えられる。
【００１６】
図１および図２に示すように、以下の説明では３階層に跨って構成された半導体製造工程について説明する。図１および図２に示すように、各階にはＯＨＳの搬送レール１００、１０２、２００、２０２、３００、３０２が設けられる。また１階と２階とのフロア間搬送を行なうリフト１０００と、１階と２階と３階との間の搬送を行なうリフト２０００、３０００、４０００が設けられる。
【００１７】
リフト１０００の近傍には、１階に中継ストッカ１３０が、２階に中継ストッカ２３０が設けられる。リフト２０００の近傍には、１階に中継ストッカ１３２が、２階に中継ストッカ２３２が、３階に中継ストッカ３３０が設けられる。リフト３０００の近傍には、１階に中継ストッカ１３４が、２階に中継ストッカ２３４が、３階に中継ストッカ３３２が設けられる。リフト４０００の近傍には、１階に中継ストッカ１３６が、２階に中継ストッカ２３６が、３階に中継ストッカ３３４が設けられる。それぞれの中継ストッカは、それぞれのリフトとＯＨＳとの移載のために設けられる。
【００１８】
ＯＨＳの走行レール１００、１０２、２００、２０２、３００、３０２は、それぞれのベイに設けられた各々のストッカ１１０〜１２４、２１０〜２２４、３１０〜３２２から中継ストッカ１３０〜１３６、２３０〜２３６、３３０〜３３４に接続されている。半導体ウェハは、複数枚が１つのカセットに収納され、ベイに設けられたプロセス装置で前工程の処理が完了すると、そのベイに設けられたストッカに収納される。収納されたカセットは、ストッカからＯＨＳレール上の台車によってストッカから中継ストッカに搬送される。中継ストッカからフロア間搬送用リフトを介して、同じリフトの別の階の中継ストッカに搬送される。中継ストッカからクリーンルーム内に設けられた各ベイのストッカへＯＨＳ台車により搬送される。この繰返しにより、各フロアのベイから他のフロアのベイへと、カセットに収納された半導体ウェハが搬送される。
【００１９】
実際の動作例を示すと、１階のクリーンルーム内のストッカ１１６から３階のクリーンルーム内のストッカ３１２にカセットを搬送する場合、１階のＯＨＳ搬送レール１００に設けられたＯＨＳ台車によりカセットをストッカ１１６から中継ストッカ１３６へ搬送する。中継ストッカ１３６からフロア間搬送リフト４０００により、３階のクリーンルーム内のリフト４０００の中継ストッカ３３４まで搬送する。３階の中継ストッカ３３４から搬送先のベイに設けられたストッカ３１２まで３階のＯＨＳ台車で搬送する。
【００２０】
このようにして、１階と２階、２階と３階、１階と３階との間の搬送も、同様にして各々のフロア内のＯＨＳ台車と中継ストッカおよびフロア間搬送リフトにより半導体ウェハの搬送が実行される。
【００２１】
図３を参照して、本実施の形態に係る搬送システムの制御装置の全体構成図について説明する。図３に示すホストコンピュータ５０００が、本実施の形態に係る搬送制御装置である。ホストコンピュータ５０００は、各階毎のＯＨＳコントローラ５１００およびリフトコントローラ５２００、中継ストッカコントローラ５３００およびストッカコントローラ５４００に接続される。
【００２２】
ＯＨＳコントローラ５１００は、各階毎にＯＨＳ台車５１１０を制御する。リフトコントローラ５２００は、リフト１０００、２０００、３０００、４０００をそれぞれ制御する。なお、ここではそれらのリフトをまとめてリフト５２１０と記す。
【００２３】
中継ストッカコントローラ５３００は、中継ストッカ１３０〜１３６、２３０〜２３６、３３０〜３３４を制御する。なお、ここでは、中継ストッカを中継ストッカ５３１０と記す。
【００２４】
ストッカコントローラ５４００は、それぞれのベイに設けられたストッカ１１０〜１２４、２１０〜２２４、３１０〜３２２を制御する。なお、ここではストッカをストッカ５４１０と記す。
【００２５】
図３に示すようにホストコンピュータ５０００はＯＨＳコントローラ５１００、リフトコントローラ５２００、中継ストッカコントローラ５３００およびストッカコントローラ５４００に接続され、ＯＨＳ台車５１１０による搬送実績、リフト５２１０による搬送実績、中継ストッカ５３１０の稼働率、ストッカ５４１０の稼働率を収集することができる。また、ホストコンピュータ５０００には、この半導体製造工程における半導体ウェハの投入量や仕掛り量が入力される。
【００２６】
図４を参照して、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００で実行されるプログラムの制御構造について説明する。
【００２７】
ステップ（以下、ステップをＳと略す。）１００にて、ホストコンピュータ５０００は、製造工程内の搬送負荷を算出する。このとき、ホストコンピュータ５０００は、製造工程内における半導体ウェハの仕掛り量、半導体ウェハの投入数に平均仕掛り日数を乗算した数、ＯＨＳ台車５１１０の搬送実績数、リフト５２１０の搬送実績数、中継ストッカ５３１０の稼働率、ＯＨＳ台車５４１０の稼働台数、リフト５２１０の稼働台数および中継ストッカ５３１０の稼働台数などに基づいて、搬送対象物の量との関連性が深い製造工程内における搬送負荷を算出する。
【００２８】
Ｓ１０２にて、ホストコンピュータ５０００は、算出した搬送負荷が負荷しきい値（１）よりも小さいか否かを判断する。搬送負荷が負荷しきい値（１）よりも小さい場合には（Ｓ１０２にてＹＥＳ）、処理はＳ１０４へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０２にてＮＯ）、この処理は終了する。
【００２９】
Ｓ１０４にて、ホストコンピュータ５０００は、算出した搬送負荷が負荷しきい値（２）よりも大きいか否かを判断する。搬送負荷が負荷しきい値（２）よりも大きい場合には（Ｓ１０４にてＹＥＳ）、処理はＳ１０６へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０４にてＮＯ）、処理はＳ１０８へ移される。なお、負荷しきい値（１）よりも負荷しきい値（２）の方が小さい。
【００３０】
Ｓ１０６にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト１台および中継ストッカ１台を停止させる。その後処理は終了する。
【００３１】
Ｓ１０８にて、ホストコンピュータ５０００は、搬送負荷が負荷しきい値（３）よりも大きいか否かを判断する。搬送負荷が負荷しきい値（３）よりも大きい場合には（１０８にてＹＥＳ）、処理はＳ１１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０８にてＮＯ）、処理はＳ１１２へ移される。なお、負荷しきい値（２）よりも負荷しきい値（３）の方が小さい。
【００３２】
Ｓ１１０にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト２台および中継ストッカ２台を停止させる。その後処理は終了する。
【００３３】
Ｓ１１２にて、ホストコンピュータ５０００は、搬送負荷が負荷しきい値（４）よりも大きいか否かを判断する。搬送負荷が負荷しきい値（４）よりも大きい場合には（Ｓ１１２にてＹＥＳ）、処理はＳ１１４へ移される。もしそうでないと（Ｓ１１２にてＮＯ）、処理はＳ１１６へ移される。なお、負荷しきい値（３）よりも負荷しきい値（４）の方が小さい。
【００３４】
Ｓ１１４にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト３台および中継ストッカ３台を停止させる。
【００３５】
Ｓ１１６にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト４台および中継ストッカ４台を停止させる。
【００３６】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００の動作について説明する。
【００３７】
ホストコンピュータ５０００は、ＯＨＳコントローラ５１００から稼働しているＯＨＳの台数やＯＨＳ台車５１１０の搬送実績を取得する。ホストコンピュータ５０００はリフトコントローラ５２００から稼働しているリフト５２１０の台数およびリフト５２１０による搬送実績を取得する。ホストコンピュータ５０００は中継ストッカコントローラ５３００から稼働している中継ストッカ５３１０の台数および中継ストッカ５３１０の稼働率を取得する。ホストコンピュータ５０００はこの半導体製造工程への投入数および仕掛り量を取得する。
【００３８】
ホストコンピュータ５０００は、取得した各種情報に基づいて製造工程内の搬送負荷を算出する（Ｓ１００）。搬送負荷が負荷しきい値（１）よりも小さい場合には（Ｓ１０２にてＹＥＳ）、搬送負荷が負荷しきい値（２）よりも大きいか否かが判断される。搬送負荷が負荷しきい値（１）よりも小さく負荷しきい値（２）よりも大きい場合には（Ｓ１０４にてＹＥＳ）、リフト１台および中継ストッカ１台が停止される（Ｓ１０６）。
【００３９】
搬送負荷が負荷しきい値（２）以下で負荷しきい値（３）よりも大きい場合（Ｓ１０８にてＹＥＳ）、リフト２台および中継ストッカ２台が停止される（Ｓ１１０）。搬送負荷が負荷しきい値（３）以下で負荷しきい値（４）よりも大きい場合（Ｓ１１２にてＹＥＳ）、リフト３台および中継ストッカ３台が停止される（Ｓ１１４）。搬送負荷が負荷しきい値（４）以下の場合には（Ｓ１１２にてＮＯ）、リフト４台および中継ストッカ４台が停止される（Ｓ１１６）。
【００４０】
以上のようにして、本実施の形態に係るホストコンピュータによると、ＯＨＳコントローラ、リフトコントローラおよび中継ストッカコントローラなどから取得した情報および製造工程内の仕掛り量や投入量などに基づいて、製造工程内の搬送負荷を算出し、その搬送負荷に基づいて、リフトおよび中継ストッカの停止台数を決定することができる。搬送負荷に応じてリフトや中継ストッカの台数を可変とするため、リフトや中継ストッカの消費電力を低減させることができる。
【００４１】
＜第２の実施の形態＞
以下、本発明の第２の実施の形態に係る搬送制御装置について説明する。なお、本実施の形態に係る搬送システムは、前述の第１の実施の形態の搬送システムと同じである。したがって、それらについての詳細な説明はここでは繰返さない。
【００４２】
図５を参照して、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００で実行されるプログラムの制御構造について説明する。
【００４３】
Ｓ２００にて、ホストコンピュータ５０００は、製造工程内の搬送負荷を算出する。このＳ２００における処理は、前述のＳ１００における処理と同じであるため、ここでの詳細な説明は繰返さない。Ｓ２０２にて、ホストコンピュータ５０００は、製造工程内の搬送負荷の、搬送能力に対する比率を算出する。
【００４４】
Ｓ２０４にて、ホストコンピュータ５０００は、算出された比率が８０％未満であるか否かを判断する。比率が８０％未満であると（Ｓ２０４にてＹＥＳ）、処理はＳ２０６へ移される。もしそうでないと（Ｓ２０４にてＮＯ）、この処理は終了する。
【００４５】
Ｓ２０６にて、ホストコンピュータ５０００は、比率が６０％よりも大きいか否かを判断する。比率が６０％よりも大きいと（Ｓ２０６にてＹＥＳ）、処理はＳ２０８へ移される。もしそうでないと（Ｓ２０６にてＮＯ）、この処理はＳ２１０へ移される。
【００４６】
Ｓ２０８にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト１台および中継ストッカ１台を停止させる。その後処理は終了する。
【００４７】
Ｓ２１０にて、ホストコンピュータ５０００は、比率が４０％よりも大きいか否かを判断する。比率が４０％よりも大きいと（Ｓ２１０にてＹＥＳ）、処理はＳ２１２へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１０にてＮＯ）、この処理はＳ２１４へ移される。
【００４８】
Ｓ２１２にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト２台および中継ストッカ２台を停止させる。その後処理を終了する。
【００４９】
Ｓ２１４にて、ホストコンピュータ５０００は、比率が２０％よりも大きいか否かを判断する。比率が２０％よりも大きいと（Ｓ２１４にてＹＥＳ）、処理はＳ２１６へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１４にてＮＯ）、この処理はＳ２１８へ移される。
【００５０】
Ｓ２１６にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト３台および中継ストッカ３台を停止させる。
【００５１】
Ｓ２１８にて、ホストコンピュータ５０００は、リフト４台および中継ストッカ４台を停止させる。
【００５２】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００の動作について説明する。
【００５３】
製造工程内の搬送負荷が算出され（Ｓ２００）、製造工程内の搬送負荷について、搬送能力に対する負荷の比率が算出される（Ｓ２０２）。
【００５４】
その比率が、６０％よりも大きく８０％以下である場合には（Ｓ２０４にてＹＥＳ、Ｓ２０６にてＹＥＳ）、リフト１台および中継ストッカ１台が停止される（Ｓ２０８）。その比率が、４０％よりも大きく６０％以下である場合には（Ｓ２０６にてＮＯ、Ｓ２１０にてＹＥＳ）、リフト２台および中継ストッカ２台が停止される（Ｓ２１２）。その比率が、４０％以下であって２０％よりも大きい場合には（Ｓ２１０にてＮＯ、Ｓ２１４にてＹＥＳ）、リフト３台および中継ストッカ３台が停止される（Ｓ２１６）。その比率が、２０％以下である場合には（Ｓ２１４にてＮＯ）、リフト４台および中継ストッカ４台が停止される（Ｓ２１８）。
【００５５】
以上のようにして、本実施の形態に係るホストコンピュータ５０００によると、製造工程内の搬送負荷を算出し、その搬送能力に対する搬送負荷の比率に基づいて、停止するリフトの台数、中継ストッカの台数を決定することができる。
【００５６】
＜第３の実施の形態＞
以下、本発明の第３の実施の形態に係る搬送制御装置について説明する。なお、本実施の形態に係る搬送システムは、前述の第１の実施の形態の搬送システムと同じである。したがって、それらについての詳細な説明はここでは繰返さない。
【００５７】
図６を参照して、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００で実行されるプログラムの制御構造について説明する。
【００５８】
Ｓ３００にて、ホストコンピュータ５０００は、全リフトの稼働率を算出する。このとき、ホストコンピュータ５０００は、ホストコンピュータ５０００に接続されたリフトコントローラ５２００から受信した情報に基づいて、全リフトの稼働率を算出する。
【００５９】
Ｓ３０２にて、稼働率が５０％未満のリフトがあるか否かを判断する。稼働率が５０％未満のリフトがある場合には（Ｓ３０２にてＹＥＳ）、処理はＳ３０４へ移される。もしそうでないと（Ｓ３０２にてＮＯ）。処理はＳ３００へ戻される。
【００６０】
Ｓ３０４にて、ホストコンピュータ５０００は、そのリフトを停止させる。Ｓ３０６にて、ホストコンピュータ５０００は、他のリフトの稼働率を算出する。このとき、Ｓ３０４にてリフトの停止処理が実行された後の稼働率が算出される。
【００６１】
Ｓ３０８にて、ホストコンピュータ５０００は、他のリフトの中で稼働率が７０％以上のリフトがあるか否かを判断する。他のリフトの中で稼働率が７０％以上のリフトがあると（Ｓ３０８にてＹＥＳ）、処理はＳ３１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ３０８にてＮＯ）、処理はＳ３００へ戻される。
【００６２】
Ｓ３１０にて、ホストコンピュータ５０００は、停止していたリフトを再稼働させる。その後処理はＳ３００へ戻される。
【００６３】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００の動作について説明する。
【００６４】
ホストコンピュータ５０００は、リフトコントローラ５２００から受信した情報に基づいて、全リフトの稼働率を算出する（Ｓ３００）。稼働率が５０％未満のリフトがあると（Ｓ３０２にてＹＥＳ）、そのリフトを停止させる（Ｓ３０４）。そのリフトを停止させた状態で他のリフトの稼働率が算出され（Ｓ３０６）、他のリフトの中で稼働率が７０％以上のリフトがないと（Ｓ３０８にてＮＯ）、Ｓ３０４にて停止させたリフトはそのまま停止状態となる。一方、他のリフトの中で稼働率が７０％以上のリフトがあると（Ｓ３０８にてＹＥＳ）、停止していたリフトを再稼働させる（Ｓ３１０）。
【００６５】
以上のようにして、本実施の形態に係るホストコンピュータ５０００によると、すべてのリフトの稼働率を算出して稼働率が５０％未満のリフトを停止させる。そのリフトを停止させた状態で他のリフトの稼働率を算出し、他のリフトの中で稼働率が７０％のリフトが出現すると、停止していたリフトを再稼働させる。これにより、あるリフトが停止している状態で他のリフトの稼働率がたとえば７０％以上になると停止しているリフトを再稼働させて搬送能力を上昇させることができる。特に、再稼働の条件を７０％から８０％程度と低く設定しておくことにより、早めにリフトの再稼働をさせることができて、遅れ時間の影響を少なくすることができる。
【００６６】
＜第４の実施の形態＞
以下、本発明の第４の実施の形態に係る搬送制御装置について説明する。なお、本実施の形態に係る搬送システムは、前述の第１の実施の形態の搬送システムと同じである。したがって、それらについての詳細な説明はここでは繰返さない。
【００６７】
図７を参照して、本実施の形態に係る搬送制御装置であるホストコンピュータ５０００で実行されるプログラムの制御構造について説明する。
【００６８】
Ｓ４００にて、ホストコンピュータ５０００は、全リフトの稼働率を算出する。
【００６９】
Ｓ４０２にて、ホストコンピュータ５０００は、稼働率が５０％のリフトがあるか否かを判断する。稼働率が５０％未満のリフトがあると（Ｓ４０２にてＹＥＳ）、処理はＳ４０４へ移される。もしそうでないと（Ｓ４０２にてＮＯ）、この処理は終了する。
【００７０】
Ｓ４０４にて、ホストコンピュータ５０００は、そのリフトを停止させる。Ｓ４０６にて、ホストコンピュータ５０００は、Ｓ４０４における処理にてリフトを停止させた状態で搬送経路を計算する。Ｓ４０８にて、ホストコンピュータ５０００は、搬送経路が予め定められた距離を超過しているか否かを判断する。搬送経路が予め定められた距離を超過していると（Ｓ４０８にてＹＥＳ）、処理はＳ４１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ４０８にてＮＯ）、この処理は終了する。
【００７１】
Ｓ４１０にて、ホストコンピュータ５０００は、停止していたリフトを再稼働させて他のリフトを停止させる。その後処理はＳ４０６へ戻され、再度搬送経路が計算され、搬送経路が予め定められた距離を超過しなくなるまで繰返し演算が実行される。
【００７２】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、本実施の形態に係るホストコンピュータ５０００の動作について説明する。
【００７３】
ホストコンピュータ５０００は、ホストコンピュータ５０００に接続されたリフトコントローラ５２００から収集した情報に基づいて全リフトの稼働率を算出する（Ｓ４００）。稼働率が５０％のリフトがあると（Ｓ４０２にてＹＥＳ）、そのリフトを停止させる（Ｓ４０４）。そのリフトが停止した状態で搬送経路が計算され（Ｓ４０６）、搬送経路が予め定められた距離を超過していると（Ｓ４０８にてＹＥＳ）、停止していたリフトを再稼働させて他のリフトを停止させる（Ｓ４１０）。
【００７４】
以上のようにして、本実施の形態に係るホストコンピュータ５０００によると、リフトを一旦停止させて、その状態における搬送経路を計算する。その搬送経路が予め定められた距離を超過していると、すなわちそのリフトを停止させることにより搬送経路が非常に長くなると、停止していたリフトを再稼働させて他のリフトを停止させる。このような搬送経路の計算を繰返し行ない、搬送経路が予め定められた距離を超過しないようにリフトを停止することができる。
【００７５】
【発明の効果】
この発明に係る搬送制御装置によると、算出手段により算出された搬送対象物の量に応じて、複数のリフトの中で使用するリフトが決定される。このため、搬送対象物が少なくなると、稼働している複数のリフトの中で、搬送対象物が少なくなったことに対応する台数のリフトを停止させる。これにより、搬送対象物の変動に応じて、リフトの稼働と停止とを制御できる。その結果、搬送対象物の量が少ないときにリフトの稼働を停止させて省エネルギーを図ることができる。
【００７６】
さらに、この発明に係る搬送制御装置によると、算出手段により算出された搬送対象物の量に応じて、複数の中継ストッカの中で使用する中継ストッカが決定される。このため、搬送対象物が少なくなると、稼働している複数の中継ストッカの中で、搬送対象物が少なくなったことに対応する台数の中継ストッカを停止させる。これにより、搬送対象物の変動に応じて、中継ストッカの稼働と停止とを制御できる。その結果、搬送対象物の量が少ないときに中継ストッカの稼働を停止させて省エネルギーを図ることができる。
【００７７】
なお、上述した実施の形態においては、リフトと中継ストッカとを別体として説明したが、本発明はこれに限定されない。リフトと中継ストッカとが一定に構成されたものでもよい。
【００７８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送制御装置が制御する搬送システムの平面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る搬送制御装置が制御する搬送システムの側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る搬送制御装置の全体構成図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る搬送制御装置で実行されるプログラムのフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る搬送制御装置で実行されるプログラムのフローチャートである。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る搬送制御装置で実行されるプログラムのフローチャートである。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係る搬送制御装置で実行されるプログラムのフローチャートである。
【符号の説明】
１００、１０２、２００、２０２、３００、３０２　ＯＨＳ搬送レール、１１０〜１２４、２１０〜２２４、３１０〜３２２　ストッカ、１３０〜１３６、２３０〜２３６、３３０〜３３４　中継ストッカ、１０００、２０００、３０００、４０００　リフト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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