(57)【要約】【課題】処理部を高精度に位置調整するとともに、高精度処理を可能とすることを目的とする。【解決手段】撮像装置１に、光電変換処理を行うＣＣＤラインセンサ２、ＣＣＤラインセンサ２の架台となるアッパプレート３、位置調整の基準となるベース４、および複数の支持部材５を設ける。支持部材５の軸部材は軸方向に伸縮自在であり、軸部材の両端には軸部材といわゆる玉継ぎ手構造により接続される取付部材を設ける。ＣＣＤラインセンサ２が固定されたアッパプレート３を垂下支持しつつ位置調整を行う治具を用いて、ベース４に対するアッパプレート３の位置調整を行った後、各支持部材５を取り付けることによってアッパプレート３とベース４とを結合する。さらに、接着剤で各支持部材５の可動部を固着させ、アッパプレート３をベース４に所定の位置関係で固定する。【選択図】        図１
2004187136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材に対して架台部材を所定の位置関係で固定する架台固定方法であって、
前記架台部材を治具によって支持しつつ、前記ベース部材に対する前記架台部材の位置を調整する位置調整工程と、
前記位置調整工程により前記所定の位置関係に調整された前記架台部材を前記ベース部材に対して固定する固定工程と、
を有することを特徴とする架台固定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の架台固定方法であって、
前記位置調整工程が、
互いに略垂直な３軸方向について前記架台部材の位置をそれぞれ独立して調整する第１調整工程と、
前記３軸に略平行な３つの中心軸周りについて前記架台部材の回転位置をそれぞれ独立して調整する第２調整工程と、
を有することを特徴とする架台固定方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の架台固定方法であって、
前記固定工程が、
所定の方向に伸縮自在な軸部材と、前記軸部材の両端に配置され、前記軸部材に対して回転自在な取付部材とからなる支持部材を、前記架台部材および前記ベース部材にそれぞれ取り付ける取付工程と、
前記取付工程により取り付けられた前記支持部材の伸縮および回転を固定する位置固定工程と、
を有することを特徴とする架台固定方法。
【請求項４】
請求項３に記載の架台固定方法であって、
前記取付工程が、
少なくとも３以上の支持部材により、前記架台部材と前記ベース部材とが結合される工程であることを特徴とする架台固定方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載の架台固定方法であって、
前記位置固定工程が、
接着剤によって前記支持部材の伸縮および回転を固定する工程であることを特徴とする架台固定方法。
【請求項６】
請求項３または４に記載の架台固定方法であって、
前記位置固定工程が、
ネジによって前記支持部材の伸縮および回転を固定する工程であることを特徴とする架台固定方法。
【請求項７】
所定の位置に固定された処理部を備える処理装置であって、
前記処理部が固定される架台部材と、
前記処理部の位置を決定するための基準となるベース部材と、
前記架台部材と前記ベース部材とを結合する支持部材と、
をさらに備え、
前記支持部材が、
所定の方向に伸縮自在な軸部材と、
前記軸部材の両端に配置され、前記軸部材に対して回転自在な取付部材と、
前記軸部材と前記取付部材とを所定の位置関係で固定する固定部材と、
を有することを特徴とする処理装置。
【請求項８】
請求項７に記載の処理装置であって、
少なくとも３以上の前記支持部材によって前記架台部材と前記ベース部材とが結合されていることを特徴とする処理装置。
【請求項９】
請求項７または８に記載の処理装置であって、
前記固定部材が、接着剤であることを特徴とする処理装置。
【請求項１０】
請求項７または８に記載の処理装置であって、
前記固定部材が、ネジであることを特徴とする処理装置。
【請求項１１】
請求項７ないし１１のいずれかに記載の処理装置であって、
前記処理部が、被写体からの反射光を電気信号に変換処理するＣＣＤ受光素子であることを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理装置の三次元位置を高精度に決定して、高精度な処理を実現する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、画像データを用いて高精度測定を行う装置などでは、ＣＣＤラインセンサなどの処理部を所定の位置に位置決めして用いる処理装置が提案されている。図１２は、このような従来の処理装置１００の構成を示す概略図である。処理装置１００は、ＣＣＤ受光素子（図示せず）が固設されるアッパプレート１０１、ロアプレート１０２、およびベース１０３とから構成され、ベース１０３に対するアッパプレート１０１の位置決めを行うことにより、ＣＣＤ受光素子の位置決めを行う。
【０００３】
アッパプレート１０１は、所定の位置にＣＣＤ受光素子が固設され、ＣＣＤ受光素子の架台としての機能を有する。アッパプレート１０１とロアプレート１０２との間隔は、各押しネジ１０４を締めることにより離間し、各引きネジ１０５を締めることにより接近する。したがって、各ネジについて締める程度を調整することによって、アッパプレート１０１が、ロアプレート１０２に対してＺ，α，β方向に移動および回転し、調整・位置決めされる。
【０００４】
また、ロアプレート１０２は、各ネジ１０６によりベース１０３に固定されるが、ロアプレート１０２に設けられたネジ穴が各ネジ１０６の軸部よりも大きめになっており（いわゆるバカ穴構造）、各ネジ１０６が緩められている状態では、ベース１０３に対してＸ，Ｙ，θ方向に移動および回転が可能とされている。すなわち、ロアプレート１０２は、Ｘ，Ｙ，θ方向の調整が行われた後に、各ネジ１０６を締めることによって、位置が固定される。したがって、処理装置１００では、各ネジ１０４ないし１０６によって、ＣＣＤ受光素子がベース１０３に対してＸ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向に位置決めされる。このようにネジを用いて位置決めされた処理部を有する処理装置が、例えば、特許文献１に記載されている。
【０００５】
【特許文献１】
実開昭６１−１６０４１３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記処理装置１００のように、ネジの締め具合によって処理部の位置調整を行う場合、Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向の調整を独立して行うことができず、例えば、Ｚ方向の調整を行うために、ネジ１０４，１０５を調整しようとすると、すべてのネジ１０４，１０５を同程度調整しなければ、α，β方向の位置も変更されてしまう。したがって、このような構成による位置調整は、オペレータの経験に左右されるため、処理部を高精度に位置調整することが難しいという問題があった。
【０００７】
また、このようなネジによる調整では、図１２に示すように引きネジ１０５がバネによってアッパプレート１０１を付勢する構造となっている。そのため、アッパプレート１０１には常に応力が生じており、当該応力によってアッパプレート１０１に経時変化が生じ、処理部の位置が狂って精度が低下するという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、処理部を高精度に位置調整するとともに、処理部による高精度処理を可能とすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、ベース部材に対して架台部材を所定の位置関係で固定する架台固定方法であって、前記架台部材を治具によって支持しつつ、前記ベース部材に対する前記架台部材の位置を調整する位置調整工程と、前記位置調整工程により前記所定の位置関係に調整された前記架台部材を前記ベース部材に対して固定する固定工程とを有する。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る架台固定方法であって、前記位置調整工程が、互いに略垂直な３軸方向について前記架台部材の位置をそれぞれ独立して調整する第１調整工程と、前記３軸に略平行な３つの中心軸周りについて前記架台部材の回転位置をそれぞれ独立して調整する第２調整工程とを有する。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項１または２の発明に係る架台固定方法であって、前記固定工程が、所定の方向に伸縮自在な軸部材と、前記軸部材の両端に配置され、前記軸部材に対して回転自在な取付部材とからなる支持部材を、前記架台部材および前記ベース部材にそれぞれ取り付ける取付工程と、前記取付工程により取り付けられた前記支持部材の伸縮および回転を固定する位置固定工程とを有する。
【００１２】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る架台固定方法であって、前記取付工程が、少なくとも３以上の支持部材により、前記架台部材と前記ベース部材とが結合される工程である。
【００１３】
また、請求項５の発明は、請求項３または４の発明に係る架台固定方法であって、前記位置固定工程が、接着剤によって前記支持部材の伸縮および回転を固定する工程である。
【００１４】
また、請求項６の発明は、請求項３または４の発明に係る架台固定方法であって、前記位置固定工程が、ネジによって前記支持部材の伸縮および回転を固定する工程である。
【００１５】
また、請求項７の発明は、所定の位置に固定された処理部を備える処理装置であって、前記処理部が固定される架台部材と、前記処理部の位置を決定するための基準となるベース部材と、前記架台部材と前記ベース部材とを結合する支持部材と、をさらに備え、前記支持部材が、所定の方向に伸縮自在な軸部材と、前記軸部材の両端に配置され、前記軸部材に対して回転自在な取付部材と、前記軸部材と前記取付部材とを所定の位置関係で固定する固定部材とを有する。
【００１６】
また、請求項８の発明は、請求項７の発明に係る処理装置であって、少なくとも３以上の前記支持部材によって前記架台部材と前記ベース部材とが結合されている。
【００１７】
また、請求項９の発明は、請求項７または８の発明に係る処理装置であって、前記固定部材が、接着剤である。
【００１８】
また、請求項１０の発明は、請求項７または８の発明に係る処理装置であって、前記固定部材が、ネジである。
【００１９】
また、請求項１１の発明は、請求項７ないし１１のいずれかの発明に係る処理装置であって、前記処理部が、被写体からの反射光を電気信号に変換処理するＣＣＤ受光素子である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２１】
＜１．  第１の実施の形態＞
図１は、本発明に係る処理装置である撮像装置１を示す図である。なお、互いに垂直なＸ，Ｙ，Ｚ軸、Ｚ軸に平行な軸を中心とした回転方向θ、Ｙ軸に平行な軸を中心とした回転方向α、およびＸ軸に平行な軸を中心とした回転方向βをそれぞれ図１に示すように定義する。
【００２２】
撮像装置１は、ＣＣＤラインセンサ２、アッパプレート３、ベース４、および６つの支持部材５を備えており、ベース４の下方に置かれる被写体（図示せず）からの反射光を、位置決めされたＣＣＤラインセンサ２で光電変換処理し、被写体の位置などを読み取るための画像データとして撮像する機能を有している。なお、本実施の形態においては、処理部としてＣＣＤラインセンサ２を備える撮像装置１を例に説明するが、本発明はこのような装置に限られるものではなく、例えば、レーザ光を発する半導体レーザ素子を用いた処理部によって高精度な描画を行う描画装置などについても応用利用することができる。特に、撮像装置や描画装置などのような光学的装置のほか、精密な位置決めを必要とする精密装置一般がこの発明の好適な適用例となる。
【００２３】
ＣＣＤラインセンサ２は、一般的なＣＣＤ受光素子をＸ軸方向に線状に並べた構造を有しており、受光した光に応じて各ＣＣＤ受光素子が図示しない制御部に信号を出力する。前記制御部では、各ＣＣＤ受光素子からの信号に基づいて画像データが作成される。
【００２４】
アッパプレート３は、中央部に被写体からの反射光を透過するための穴３ａが設けられた板状の部材であり、側面の所定の位置に６つのネジ穴を有しており、それぞれに支持部材５が取付可能とされている。また、中央部にはＣＣＤラインセンサ２が固定され、穴３ａを透過した光を受光できるように配置されている。すなわち、アッパプレート３は、ＣＣＤラインセンサ２の架台部材としての機能を有しており、アッパプレート３の位置調整を行うことは、ＣＣＤラインセンサ２の位置調整を行うことに相当する。
【００２５】
ベース４は、中央部に反射光の光路となる穴（図示せず）が設けられた板状の部材であり、側面の所定の位置に支持部材５を取り付けるための６つのネジ穴が設けられている。ベース４は、後述するように、ＣＣＤラインセンサ２の位置調整の際の基準となる。
【００２６】
図２は、支持部材５を示す図である。支持部材５は、図２の矢印で示す方向に伸縮自在の軸部材５０と、軸部材５０の両端に配置され、軸部材５０に対して回転自在な取付部材５１とから構成される。支持部材５は、図１に示すように、その両端部の取付部材５１がアッパプレート３およびベース４の所定の位置に取り付けられることによって、アッパプレート３とベース４とを結合する。
【００２７】
図３ないし図５は、軸部材５０が取付部材５１に対して回転する際の様子を示した概略図である。図４に示すように、取付部材５１はアッパプレート３およびベース４に設けられたネジ穴に螺入される軸部５２と、軸部材５０がはめ込まれる球体部５３とを有している。軸部材５０は、両端部に取付部材５１をはめ込むための孔が設けられている。当該孔の側面は取付部材５１の球体部５３の球面に沿う形状とされている。これによって軸部材５０は球体部５３の中心Ｐを中心として回転可能ではあるが、分離することのないようにされている。
【００２８】
具体的には、図３に示すようにθ方向（Ｚ軸に平行な軸を中心とした回転方向）の回転が可能とされ、図４に示すようにα方向（Ｙ軸に平行な軸を中心とした回転方向）の回転が可能とされ、図５に示すようにβ方向（Ｘ軸に平行な軸を中心とした回転方向）の回転が可能とされる。すなわち、軸部材５０と取付部材５１とは、いわゆる玉継ぎ手構造となっている。
【００２９】
したがって、後述する手法により、ベース４を基準としてアッパプレート３の位置を決定した際に、アッパプレート３のネジ穴とベース４のネジ穴との位置関係に関わらず、それぞれの支持部材５をアッパプレート３とベース４とに取り付けることができる。そして、接着剤（本発明における固定部材に相当する）によって、支持部材５の伸縮および回転を固定することにより、アッパプレート３が支持部材５によって、ベース４を基準として所定の位置関係で支持されることとなる。
【００３０】
このように、軸方向の伸縮が自在で、かつ、α，β，θ方向の回転が自由な支持部材５によって、アッパプレート３とベース４とを結合することにより、アッパプレート３およびベース４に応力がかかることがないため、アッパプレート３の経時変化を抑制することができる。したがって、撮像装置１では、ＣＣＤラインセンサ２とベース４との位置関係を長期間維持することができ、ＣＣＤラインセンサ２の精度が低下することを抑制することができる。
【００３１】
また、従来の装置ではバネによる付勢力が働くことから、アッパプレートやベースなどにある程度の強度が要求されるが、撮像装置１ではこのような付勢力が働かないことから、強度に対する要求を比較的低くすることができ、装置を安価に構成することができる。
【００３２】
また、従来の装置では、バネの縮み代やバカ穴構造の制限によって位置調整する際の調整可能範囲が数ｍｍ程度と比較的小さいが、本実施の形態における撮像装置１では、支持部材５の伸縮範囲を大きくすることで調整可能範囲を大きくすることができる。
【００３３】
なお、本実施の形態における撮像装置１では、６つの支持部材５を用いてアッパプレート３とベース４とを結合しているが、支持部材５の数はこれに限られるものではなく、アッパプレート３の形状や装置の重量などに応じて適した数の支持部材５を用いることができる。ただし、アッパプレート３を安定的に支持するためには、少なくとも３つ以上の支持部材５を用いて結合することが好ましい。
【００３４】
以上が、本実施の形態における撮像装置１の構成の説明である。次に、撮像装置１のＣＣＤラインセンサ２（アッパプレート３）の位置調整を行う際に使用する調整装置について説明する。図６は、撮像装置１のＣＣＤラインセンサ２の位置調整を行う調整装置１０を示した概略図である。調整装置１０は、筐体１１、治具１２、固定部材１５、固定台１６、および支持柱１８を備える。なお、図６では、簡略のため天板１７（図９）などの一部構成を省略している。
【００３５】
支持柱１１ｂにより固定台１６に立設された筐体１１は、固定ハンドル１１ａを有しており、固定ハンドル１１ａを締めることにより、治具１２の取付軸１２ａを固定して、治具１２を筐体１１内に固定する。また、固定台１６には、撮像装置１のベース４を固定載置する。
【００３６】
治具１２は、取付軸１２ａ、直線方向治具１３、回転方向治具１４、および固定部材１５を備え、固定部材１５によって下方部に撮像装置１のアッパプレート３を保持する。直線方向治具１３は、Ｘ軸方向の位置を調整するＸ調整用つまみ１３ａ、Ｙ軸方向の位置を調整するＹ調整用つまみ１３ｂ、およびＺ軸方向の位置を調整するＺ調整用つまみ１３ｃを備えており、これらを回すことによって、固定部材１５に保持されたアッパプレート３のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置をそれぞれ独立して変更することが可能とされている。
【００３７】
図７は、回転方向治具１４を示す概略図である。回転方向治具１４は、図６に示すように、円形の上部プレート１４ｄと下部プレート１４ｅとを備え、θ調整用つまみ１４ａを回すことによって、下部プレート１４ｅに対して上部プレート１４ｄが中心点Ｑを中心としてθ方向に回転する。また、α調整用つまみ１４ｃを中心点Ｓを中心に回すことによって、中心点Ｓの位置に配置された調整部材（図示せず）がＺ軸方向に進退し、上部プレート１４ｄをα方向に回転させる。さらに、β調整用つまみ１４ｂを中心点Ｒを中心に回すことによって、中心点Ｒの位置に配置された調整部材（図示せず）がＺ軸方向に進退し、上部プレート１４ｄをβ方向に回転させる。
【００３８】
上部プレート１４ｄは、取付具１４ｆにより天板１７に取り付けられ、同じく取付具１８ａによって天板１７に取り付けられた支持柱１８と、支持柱１８の下端に取り付けられた固定部材１５とを介してアッパプレート３に固定されている。上部プレート１４ｄがα，β，θ方向に回転することによって、アッパプレート３の位置がα，β，θ方向にそれぞれ独立して回転する。なお、アッパプレート３の位置調整において、Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向の位置の変化量は、治具１２のそれぞれのつまみの回転量によって調整可能となっている。
【００３９】
筐体１１の下部に配置されている固定台１６は、撮像装置１のベース４を固定する機能を有する。
【００４０】
以上が、ベース４に対してアッパプレート３の位置調整を行う際に用いる調整装置１０についての説明である。次に、調整装置１０を用いて、撮像装置１のアッパプレート３の位置調整を行い、ベース４に対してアッパプレート３を所定の位置関係で固定する手法について説明する。
【００４１】
図８は、前述のアッパプレート３の固定方法を示す流れ図である。図９は、調整装置１０の主要部、アッパプレート３、およびベース４の位置関係を示す概念図である。なお、アッパプレート３の固定作業に先立って、固定台１６は、図示しない調整機構により予め所定の位置に調整され、かつ固定台１６にはベース４が取り付けられているものとする。また、調整装置１０の所定の位置には、調整用資料９０が固定されている。
【００４２】
アッパプレート３の位置調整に用いられる調整用資料９０の表面状態は既知であり、アッパプレート３に固定されたＣＣＤラインセンサ２が調整用資料９０からの反射光（図９に太矢印で示す）を受光した場合に、どのような画像データが得られるか（調整用資料９０の所定の位置がどの画素に撮像されるか）は既知である。
【００４３】
したがって、調整用資料９０を撮像したＣＣＤラインセンサ２の出力をオシロスコープなどで確認することにより、ＣＣＤラインセンサ２が本来固定されるべき位置からの位置ずれを検出することができる。そして、当該位置ずれが検出されなくなるように治具１２（直線方向治具１３および回転方向治具１４）を操作して、アッパプレート３の位置調整を行う。
【００４４】
なお、本実施の形態では、調整用資料９０として、例えば、図１０に示すようにＸ軸に平行な直線（以下、「撮像対象直線ＬＸ」と称す）とＹ軸に平行な複数の直線とが交差する模様が表面に設けられた資料を使用する。なお、交点ＴはＣＣＤラインセンサ２の中心位置となるべき位置を示している。また、ＣＣＤラインセンサ２のＣＣＤ受光素子がそれらを撮像した場合には、その出力信号によりこれらの区別がつくようにされている。
【００４５】
アッパプレート３の位置を調整するためには、まず、Ｘ調整用つまみ１３ａおよびＹ調整用つまみ１３ｂを回して、ＣＣＤラインセンサ２の中央のＣＣＤ受光素子（以下、「ＣＣＤ受光素子Ｏ」と称す）に交点Ｔが撮像されるように、アッパプレート３をＸ，Ｙ軸方向にそれぞれ移動させつつ、ＣＣＤラインセンサ２のＸ，Ｙ軸方向の位置を決定する（ステップＳ１，２）。
【００４６】
次に、Ｚ調整用つまみ１３ｃを回して、ＣＣＤ受光素子Ｏの出力が最大（ピントが合った状態に相当する）となるように、アッパプレート３をＺ軸方向に移動させつつ、ＣＣＤラインセンサ２のＺ軸方向の位置を決定する（ステップＳ３）。
【００４７】
以上、ステップＳ１ないしＳ３がＣＣＤラインセンサ２のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置をそれぞれ独立して調整する工程であり、主に本発明における第１調整工程に相当する。第１調整工程が終了して、ＣＣＤラインセンサ２の３軸方向の位置が決定されると、続いて回転方向の位置調整が行われる。
【００４８】
まず、回転方向治具１４のθ調整用つまみ１４ａを回して、撮像対象直線ＬＸが、ＣＣＤラインセンサ２の各ＣＣＤ受光素子に撮像されるように、アッパプレート３をθ方向に回転させて、ＣＣＤラインセンサ２のθ方向の位置を決定する（ステップＳ４）。
【００４９】
次に、α調整用つまみ１４ｃを回して、ＣＣＤラインセンサ２の両端において同じ出力値が得られるように、アッパプレート３をα方向に回転させて、ＣＣＤラインセンサ２のα方向の位置を決定する（ステップＳ５）。さらに、β調整用つまみ１４ｂを回して、アッパプレート３をβ方向に回転させて、ＣＣＤラインセンサ２のβ方向の位置を決定する（ステップＳ６）。
【００５０】
以上、ステップＳ４ないしＳ６がＣＣＤラインセンサ２のα，β，θ軸方向の位置をそれぞれ独立して調整する工程であり、主に本発明における第２調整工程に相当する。そして、第１調整工程と第２調整工程とが、アッパプレート３を治具１２（調整装置１０）によって支持しつつ、ベース４に対するアッパプレート３の位置を調整する工程であり、主に本発明における位置調整工程に相当する。
【００５１】
このように、治具１２を使用してアッパプレート３の位置調整を行うことにより、オペレータの経験などに左右されずに高精度な位置調整が可能となるため、処理部の精度の向上を図ることができる。
【００５２】
また、アッパプレート３のＸ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向成分のいずれか１つの成分の位置調整を行う際に、他の成分の位置ずれが生じないことから、位置調整を容易に行うことができる。
【００５３】
また、図１２に示す装置のように、ロアプレート１０２とベース１０３とを滑らせることによってＸ，Ｙ，θ方向の位置を調整する場合には、ロアプレート１０２およびベース１０３の接する面について平滑度と平面度が要求されるが、本実施の形態における撮像装置１は、図９に示すように、アッパプレート３がベース４に対して浮いた状態で位置調整が行われるため、そのような問題は生じず、加工精度による影響を抑制することができる。
【００５４】
位置調整工程が終了すると、アッパプレート３およびベース４の所定の位置に支持部材５を取り付ける（ステップＳ７）。なお、支持部材５の取り付けは、各支持部材５の取付部材５１をアッパプレート３およびベース４のネジ穴に螺入することにより行う。また、各支持部材５の軸部材５０の伸縮量および取付部材５１の回転位置は、自在に可変した状態で取り付けられる。これにより、支持部材５を取り付ける際には、アッパプレート３とベース４との位置関係を変更させるような付勢力はほとんど働くことはない。
【００５５】
その後、接着剤を用いて支持部材５の軸部材５０および取付部材５１の伸縮と回転を固定する（ステップＳ８）。
【００５６】
このようにして、アッパプレート３とベース４とを固定することにより、位置調整工程において決定された位置を移動させることなく、アッパプレート３をベース４に固定することができる。
【００５７】
十分に時間が経過して接着剤が固化した後、調整装置１０の固定台１６からベース４を取り外し、また治具１２の固定部材１５を取り外すことにより、調整装置１０から撮像装置１を取り外す。
【００５８】
以上のように、本発明における固定方法では、アッパプレート３の位置調整工程（ステップＳ１ないしＳ６）と、固定工程（ステップＳ７，８）とを別々に実行し、さらに、位置調整工程において、治具１２を用いて位置調整を行うことにより、オペレータの経験などによらず高精度の調整を行うことができる。したがって、撮像装置１の精度を向上させることができる。
【００５９】
また、位置調整工程において、アッパプレート３のＸ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向成分の位置調整をそれぞれ独立して行うことにより、各成分のうちの１つの位置調整を行う際に、すでに調整された他の成分を変更してしまうことがないため、位置調整を容易に行うことができる。
【００６０】
また、固定工程において支持部材５および接着剤を用いることにより、アッパプレート３とベース４との位置関係を変更してしまうことなく、アッパプレート３をベース４に固定することができる。
【００６１】
また、本発明における撮像装置１では、アッパプレート３に付勢力を働かせることなくベース４に固定していることにより、アッパプレート３に経時変化が生じることを抑制することができる。したがって、高精度な処理を行うことができる。
【００６２】
また、従来の装置ではバネによる付勢力が働くことから、アッパプレート３やベース４などにある程度の強度が要求されるが、撮像装置１ではこのような付勢力が働かないことから、強度に対する要求を比較的低くすることができ、装置を安価に構成することができる。
【００６３】
また、従来の装置では、バネの縮み代やバカ穴構造の制限によって位置を調整する際の調整可能範囲が数ｍｍ程度と比較的小さいが、撮像装置１では、支持部材５の伸縮範囲を大きくすることで調整可能範囲を大きくすることができる。
【００６４】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態における撮像装置１では、各支持部材５の伸縮と回転とが接着剤により固定されていた。しかし、支持部材５を固定する手法は、これに限られるものではなく、ネジによって固定することも可能である。
【００６５】
図１１は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における支持部材５ａを示した図である。支持部材５ａは、軸部材５０の伸縮を固定するための固定ネジ５４と、軸部材５０と取付部材５１との回転を固定するための固定ネジ５５を有している点が第１の実施の形態における支持部材５と異なっている。すなわち、本実施の形態における撮像装置１では、図８に示したステップＳ８において、固定ネジ５４，５５を締めることによって支持部材５の伸縮と回転とを固定し、アッパプレート３とベース４とを位置調整工程において決定した所定の位置関係で固定する。
【００６６】
以上により、第２の実施の形態における撮像装置１についても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、支持部材５の固定ネジ５４，５５を締めることによってアッパプレート３とベース４とを固定することにより、メンテナンスの際に、容易に取り外すことができる。
【００６７】
また、第２の実施の形態におけるアッパプレート３の固定方法についても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
＜３．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【００６９】
例えば、Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β，θ方向成分を調整する順番は、上記実施の形態に示した順番に限らず、各成分が独立して調整されるのであれば、いずれの成分から順に調整が行われてもよい。また、予め支持部材５がアッパプレート３とベース４との間に取り付けられた状態でアッパプレート３の位置調整が行われてもよい。
【００７０】
また、支持部材５の固定方法は、接着剤やネジによるものに限られるものではなく、例えば、割締めなどの手法が用いられてもよい。すなわち、アッパプレート３とベース４との位置関係を変更することなく、固定することができる手法であれば、どのような周知の手法が用いられてもよい。
【００７１】
【発明の効果】
請求項１ないし６に記載の発明では、架台部材を治具によって支持しつつ、ベース部材に対する架台部材の位置を調整することにより、オペレータの経験などにかかわらず、高精度に位置調整を行うことができる。
【００７２】
請求項２に記載の発明では、互いに略垂直な３軸方向について架台部材の位置をそれぞれ独立して調整するとともに、３軸に略平行な３つの中心軸周りについて架台部材の回転位置をそれぞれ独立して調整することにより、１つの成分について架台部材の位置を調整する場合に、すでに調整された他の成分の位置を変更してしまうことがないため、位置調整を容易に行うことができる。
【００７３】
請求項３に記載の発明では、所定の方向に伸縮自在な軸部材と、軸部材の両端に配置され、軸部材に対して回転自在な取付部材とからなる支持部材を、架台部材およびベース部材にそれぞれ取り付けることにより、位置調整工程により調整された架台部材の位置をずらしてしまうことなく、架台を固定することができる。
【００７４】
請求項４に記載の発明では、少なくとも３以上の支持部材により、架台部材とベース部材とが結合されることにより、架台部材をベース部材に安定して固定することができる。
【００７５】
請求項５に記載の発明では、接着剤によって支持部材の伸縮および回転を固定することにより、架台部材を正確かつ容易に固定することができる。
【００７６】
請求項６に記載の発明では、ネジによって支持部材の伸縮および回転を固定することにより、メンテナンス時に容易に取り外すことができる。
【００７７】
請求項７ないし１１に記載の発明では、所定の方向に伸縮自在な軸部材と、軸部材の両端に配置され、軸部材に対して回転自在な取付部材とを有する支持部材によって架台部材と前記ベース部材とを結合することにより、ベース部材および架台部材に固定する際の応力がかからないため、架台部材の経時変化を抑制することができる。したがって、処理部とベース部材の位置関係を長期間維持することができ、処理部の精度が低下することを抑制することができる。
【００７８】
請求項８に記載の発明では、少なくとも３以上の支持部材によって架台部材とベース部材とが結合されていることにより、架台部材を安定してベース部材に固定することができる。
【００７９】
請求項９に記載の発明では、固定部材が、接着剤であることにより、架台部材を正確かつ容易に固定することができる。
【００８０】
請求項１０に記載の発明では、固定部材が、ネジであることにより、メンテナンス時に容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態における撮像装置を示す図である。
【図２】支持部材を示す図である。
【図３】軸部材がθ方向（Ｚ軸に平行な軸を中心とした回転方向）に回転する様子を示す概略図である。
【図４】軸部材がα方向（Ｙ軸に平行な軸を中心とした回転方向）に回転する様子を示す概略図である。
【図５】軸部材がβ方向（Ｘ軸に平行な軸を中心とした回転方向）に回転する様子を示す概略図である。
【図６】撮像装置のＣＣＤラインセンサの位置決めを行う調整装置を示す一部省略図である。
【図７】回転方向治具を示す概略図である。
【図８】アッパプレートの固定方法を示す流れ図である。
【図９】調整装置の主要部、アッパプレート、およびベースの位置関係を示す概念図である。
【図１０】調整用資料を例示する図である。
【図１１】第２の実施の形態における支持部材を示す図である。
【図１２】従来の処理装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
１  撮像装置（処理装置）
１０  調整装置
１２  治具
１３  直線方向治具
１３ａ  Ｘ調整用つまみ
１３ｂ  Ｙ調整用つまみ
１３ｃ  Ｚ調整用つまみ
１４  回転方向治具
１４ａ  θ調整用つまみ
１４ｂ  β調整用つまみ
１４ｃ  α調整用つまみ
２  ＣＣＤラインセンサ（処理部）
３  アッパプレート
４  ベース
５，５ａ  支持部材
５０  軸部材
５１  取付部材
５４  固定ネジ
５５  固定ネジ
９０  調整用資料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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