(57)【要約】      （修正有）【課題】不適合パーツの使用を防止することができるパーツ管理システム及び方法、並びにプログラム及び記憶媒体を提供する。【解決手段】メーカ側のコンピュータをインターネットを介してユーザ側のコンピュータに接続し、第１のデータベースの管理データから所定のパーツの製造番号を取得して、取得した所定のパーツの製造番号が、第２のデータベース内に存在しないときは、パーツを不適合パーツと判定し、更に、所定のパーツの製造番号が、第２のデータベース内に存在し、過去に同一の製造番号の入力がある場合であって、第２のデータベース内において過去に破棄済みのパーツの製造番号と同一であるか、又は過去に破棄済みのパーツの製造番号と同一ではなく、この製造番号のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、パーツを不適合パーツと判定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含むデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータを備え、前記第２のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記ユーザ側のコンピュータから通信網を介して取得する取得手段と、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較手段とを備えることを特徴とするパーツ管理システム。
【請求項２】
前記第２のコンピュータのデータベースは、前記管理データとして、少なくとも前記ユーザへ納品したパーツに関するパーツの納品履歴を含むことを特徴とする請求項１記載のパーツ管理システム。
【請求項３】
前記第１のコンピュータには、前記データベースのものと対応する前記装置用パーツの管理データに関する他のデータベースが構築されており、前記取得手段は、前記他のデータベースの管理データを通信網を介して取得することを特徴とする請求項１又は２記載のパーツ管理システム。
【請求項４】
前記他のデータベースは、前記パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の他の管理データの欄を有する一覧表を含むことを特徴とする請求項３記載のパーツ管理システム。
【請求項５】
前記他のデータベースの管理データは、前記パーツ番号、前記パーツ名、前記パーツの取付け日時、及び前記パーツが破棄されたか否かを示すデータのうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする請求項４記載のパーツ管理システム。
【請求項６】
前記データベースの管理データは、前記パーツ名、前記パーツの製造年月日、前記パーツの納品日、前記パーツの納品先、前記パーツの耐用時間、及び前記パーツの耐用回数のうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする請求項１記載のパーツ管理システム。
【請求項７】
前記第２のコンピュータ及び前記第１のコンピュータの各々は、前記パーツの管理データを入力する入力手段を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパーツ管理システム。
【請求項８】
前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別手段を有し、前記第１の判別手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在しないときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載のパーツ管理システム。
【請求項９】
前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別手段と、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が過去に入力されたＩＤ番号と同一か否かを判別する第２の判別手段と、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるか否かを判別する第３の判別手段とを有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に入力されたＩＤ番号と同一であり、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載のパーツ管理システム。
【請求項１０】
前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する第４の判別手段を有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項９記載のパーツ管理システム。
【請求項１１】
前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツが使用される、動作系を有する装置と前記通信網を介して接続され、前記パーツを使用している前記装置の動作系の動作回数を取得する第２の取得手段を有し、前記比較手段は、前記動作回数が前記データベースに存在する前記パーツの耐用回数以上であるか否かを判別する第５の判別手段を有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく、さらに、前記他のデータベースから取得した前記パーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項１０記載のパーツ管理システム。
【請求項１２】
前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記パーツに取付けられたＩＣ又はバーコードから取得することを特徴とする請求項１記載のパーツ管理システム。
【請求項１３】
前記装置は基板処理装置から成ることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のパーツ管理システム。
【請求項１４】
前記基板処理装置は、プラズマ処理装置、熱処理装置、成膜装置、プラズマエッチング装置、インライン型半導体処理装置、又はマルチチャンバ型半導体処理装置であることを特徴とする請求項１３記載のパーツ管理システム。
【請求項１５】
前記通信網を介して前記第２のコンピュータに接続され、既にユーザに納品された前記装置用パーツを収納する収納装置を備え、前記収納装置は、前記収納装置から前記装置用パーツが取り出されたことを検知する検知手段と、前記検知手段が前記装置用パーツが取り出されたことを検知したときに前記装置用パーツのＩＤ番号を前記第２のコンピュータに送信する送信手段とを備えることを特徴とする請求項１１記載のパーツ管理システム。
【請求項１６】
ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含むデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータを用いてパーツの管理を行うパーツの管理方法であって、前記装置用パーツの管理データを前記第１のコンピュータから通信網を介して取得する取得ステップと、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較ステップとを備えることを特徴とするパーツ管理方法。
【請求項１７】
前記第２のコンピュータのデータベースは、前記管理データとして、少なくとも前記ユーザへ納品したパーツに関するパーツの納品履歴を含むことを特徴とする請求項１６記載のパーツ管理方法。
【請求項１８】
前記第１のコンピュータには、前記データベースのものと対応する前記装置用パーツの管理データに関する他のデータベースが構築されており、前記取得ステップは、前記他のデータベースの管理データを通信網を介して取得することを特徴とする請求項１６又は１７記載のパーツ管理方法。
【請求項１９】
前記他のデータベースは、前記パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の他の管理データの欄を有する一覧表を含むことを特徴とする請求項１８記載のパーツ管理方法。
【請求項２０】
前記他のデータベースの管理データは、前記パーツ番号、前記パーツ名、前記パーツの取付け日時、及び前記パーツが破棄されたか否かを示すデータのうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする請求項１９記載のパーツ管理方法。
【請求項２１】
前記データベースの管理データは、前記パーツ名、前記パーツの製造年月日、前記パーツの納品日、前記パーツの納品先、前記パーツの耐用時間、及び前記パーツの耐用回数のうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする請求項１６記載のパーツ管理方法。
【請求項２２】
前記第１のコンピュータ及び前記第２のコンピュータの各々は、前記パーツの管理データを入力する入力ステップを有することを特徴とする請求項１６乃至２１のいずれか１項に記載のパーツ管理方法。
【請求項２３】
前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在しないときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項１８乃至２２のいずれか１項に記載のパーツ管理方法。
【請求項２４】
前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別ステップと、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が過去に入力されたＩＤ番号と同一か否かを判別する第２の判別ステップと、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるか否かを判別する第３の判別ステップとを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に入力されたＩＤ番号と同一であり、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項１８乃至２３のいずれか１項に記載のパーツ管理方法。
【請求項２５】
前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する第４の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記第４の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項２４記載のパーツ管理方法。
【請求項２６】
前記第１のコンピュータは前記装置と通信網を介して接続され、前記パーツを使用している前記装置の動作系の動作回数を取得する第２の取得ステップを有し、前記比較ステップは、前記動作回数が前記データベースに存在する前記パーツの耐用回数以上であるか否かを判別する第５の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記第４の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく、さらに、前記第５の判別ステップにおいて、前記第２の取得ステップで前記他のデータベースから取得した前記パーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする請求項２５記載のパーツ管理方法。
【請求項２７】
前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記パーツに取付けられたＩＣ又はバーコードから取得することを特徴とする請求項１６記載のパーツ管理方法。
【請求項２８】
前記装置は基板処理装置から成ることを特徴とする請求項１６乃至２７のいずれか１項に記載のパーツ管理方法。
【請求項２９】
前記基板処理装置は、プラズマ処理装置、熱処理装置、成膜装置、プラズマエッチング装置、インライン型半導体処理装置、又はマルチチャンバ型半導体処理装置であることを特徴とする請求項２８記載のパーツ管理方法。
【請求項３０】
前記通信網を介して前記第２のコンピュータに接続された収納装置に、既にユーザに納品された前記装置用パーツを収納する収納ステップを更に備え、前記収納ステップは、前記収納装置から前記装置用パーツが取り出されたことを検知する検知ステップと、前記検知ステップが前記装置用パーツが取り出されたことを検知したときに前記装置用パーツのＩＤ番号を前記第２のコンピュータに送信する送信ステップとを備えることを特徴とする請求項２６記載のパーツ管理方法。
【請求項３１】
ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含むデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータに、前記装置用パーツの管理データを前記第２のコンピュータから通信網を介して取得する取得ステップと、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較ステップとを実行させることを特徴とするパーツ管理プログラム。
【請求項３２】
前記請求項３１のパーツ管理プログラムを記憶したコンピュータ読取り可能な記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーツ管理システム及び方法、並びにプログラム及び記憶媒体に関し、特に、半導体製造装置のパーツを管理するパーツ管理システム及び方法、並びにプログラム及び記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置、例えばプラズマ処理装置は、メーカで製造された後、ユーザに納品されてそこで使用される。基板処理装置としてのプラズマ処理装置内には、様々なパーツが用いられており、これらのパーツはプラズマの攻撃を受けて消耗するので、ユーザは、プラズマ処理装置のクリーニング等のメンテナンスに合わせて消耗したパーツを交換する。
【０００３】
プラズマ処理装置のパーツを管理する従来のパーツ管理システムは、ＣＰＵ、メモリ、及びハードディスクを有するコンピュータ本体、並びにこのコンピュータ本体に接続されたキーボード及びディスプレイを備え、コンピュータ本体には、プラズマ処理装置のパーツの管理に関するデータベースが構築されている。
【０００４】
ユーザは、パーツの管理データとして、例えばパーツの製造番号等をキーボードを用いて入力し、これらのパーツの管理データをデータベースに格納する。パーツ管理システムが、適宜にデータベースに基づいてパーツの交換時期等をディスプレイに表示することによりパーツの管理が行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、他のパーツ管理システムは、例えば、半導体処理装置とＬＡＮ等の内部ネットワークで接続されているメーカ側のコンピュータを、インターネット等の外部ネットワークを介してユーザ側のコンピュータと接続し、各パーツごとにパーツの実際動作量を通常動作を行った場合に得られるべき動作量の許容限界値と比較してパーツの動作量を判定し、その判定結果に基づいてパーツの発注やメンテナンスを行うことにより、パーツの管理を行っている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１１−２７２３２３号公報
【特許文献２】米国特許出願第０９／８９３,６２８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のパーツ管理システムでは、数多くのパーツについて管理データの入力がユーザによってなされなければならず、煩わしい手間の故にその運用が確実になされていないのが現状である。また、プラズマ処理装置に交換パーツ等として不適合パーツ、例えば使用限度を超えたものや模倣品パーツ等が取付けられると、交換時期等を適正に判定することが困難である他、装置そのものに対して悪影響を及ぼす可能性がある。
【０００７】
更に、プラズマ処理装置のチャンバ内に用いられる消耗品等は、プラズマに曝露されたり、ＲＦ電力印加されるとパーティクル発生等によってプロセス処理に影響を及ぼす可能性があるので、このような交換パーツの適合性を正確に判別することが極めて困難である。
【０００８】
また、熱処理装置、成膜装置のチャンバ内に用いられる消耗品等は、少なくとも２００〜１１００℃の熱による影響を受ける可能性があるので、この理由によっても、交換パーツの適合性を正確に判別することが極めて困難である。
【０００９】
さらに、ユーザが不適合パーツの製造番号として架空の製造番号を入力したときは、装置は不適合パーツの使用を正規のパーツの使用と誤認してしまうので、不適合パーツの使用を防止することができない。
【００１０】
本発明の目的は、不適合パーツの使用を防止することができるパーツ管理システム及び方法、並びにプログラム及び記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、請求項１記載のパーツ管理システムは、ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含むデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータを備え、前記第２のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記ユーザ側のコンピュータから通信網を介して取得する取得手段と、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載のパーツ管理システムは、請求項１記載のパーツ管理システムにおいて、前記第２のコンピュータのデータベースは、前記管理データとして、少なくとも前記ユーザへ納品したパーツに関するパーツの納品履歴を含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載のパーツ管理システムは、請求項１又は２記載のパーツ管理システムにおいて、前記第１のコンピュータには、前記データベースのものと比較する前記装置用パーツの管理データに関する他のデータベースが構築されており、前記取得手段は、前記他のデータベースを通信網を介して取得することを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載のパーツ管理システムは、請求項３記載のパーツ管理システムにおいて、前記他のデータベースは、前記パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の他の管理データの欄を有する一覧表を含むことを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載のパーツ管理システムは、請求項４記載のパーツ管理システムにおいて、前記他のデータベースの管理データは、前記パーツ番号、前記パーツ名、前記パーツの取付け日時、及び前記パーツが破棄されたか否かを示すデータのうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする。
【００１６】
請求項６記載のパーツ管理システムは、請求項１記載のパーツ管理システムにおいて、前記データベースの管理データは、前記パーツ名、前記パーツの製造年月日、前記パーツの納品日、前記パーツの納品先、前記パーツの耐用時間、及び前記パーツの耐用回数のうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする。
【００１７】
請求項７記載のパーツ管理システムは、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパーツ管理システムにおいて、前記第２のコンピュータ及び前記第１のコンピュータの各々は、前記パーツの管理データを入力する入力手段を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項８記載のパーツ管理システムは、請求項３乃至７のいずれか１項に記載のパーツ管理システムにおいて、前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別手段を有し、前記第１の判別手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在しないときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００１９】
請求項９記載のパーツ管理システムは、請求項３乃至７のいずれか１項に記載のパーツ管理システムにおいて、前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別手段と、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が過去に入力されたＩＤ番号と同一か否かを判別する第２の判別手段と、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるか否かを判別する第３の判別手段とを有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に入力されたＩＤ番号と同一であり、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００２０】
請求項１０記載のパーツ管理システムは、請求項９記載のパーツ管理システムにおいて、前記比較手段は、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する第４の判別手段を有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００２１】
請求項１１記載のパーツ管理システムは、請求項１０記載のパーツ管理システムにおいて、前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツが使用される、動作系を有する装置と前記通信網を介して接続され、前記パーツを使用している前記装置の動作系の動作回数を取得する第２の取得手段を有し、前記比較手段は、前記動作回数が前記データベースに存在する前記パーツの耐用回数以上であるか否かを判別する第５の判別手段を有し、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく、さらに、前記他のデータベースから取得した前記パーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００２２】
請求項１２記載のパーツ管理システムは、請求項１記載のパーツ管理システムにおいて、前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記パーツに取付けられたＩＣ又はバーコードから取得することを特徴とする。
【００２３】
請求項１３記載のパーツ管理システムは、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のパーツ管理システムにおいて、前記装置は半導体製造装置から成ることを特徴とする。
【００２４】
請求項１４記載のパーツ管理システムは、請求項１３記載のパーツ管理システムにおいて、前記基板処理装置は、プラズマ処理装置、熱処理装置、成膜装置、プラズマエッチング装置、インライン型半導体処理装置、又はマルチチャンバ型半導体処理装置であることを特徴とする。
【００２５】
請求項１５記載のパーツ管理システムは、請求項１１記載のパーツ管理システムにおいて、前記通信網を介して前記第２のコンピュータに接続され、既にユーザに納品された前記装置用パーツを収納する収納装置を備え、前記収納装置は、前記収納装置から前記装置用パーツが取り出されたことを検知する検知手段と、前記検知手段が前記装置用パーツが取り出されたことを検知したときに前記装置用パーツのＩＤ番号を前記第２のコンピュータに送信する送信手段とを備えることを特徴とする。
【００２６】
上述の目的を達成するために、請求項１６記載のパーツ管理方法は、ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含むデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータを用いてパーツの管理を行うパーツの管理方法であって、前記装置用パーツの管理データを前記第１のコンピュータから通信網を介して取得する取得ステップと、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較ステップとを備えることを特徴とする。
【００２７】
請求項１７記載のパーツ管理方法は、請求項１６記載のパーツ管理方法において、前記第２のコンピュータのデータベースは、前記管理データとして、少なくとも前記ユーザへ納品したパーツに関するパーツの納品履歴を含むことを特徴とする。
【００２８】
請求項１８記載のパーツ管理方法は、請求項１６又は１７記載のパーツ管理方法において、前記第１のコンピュータには、前記データベースのものと比較する前記装置用パーツの管理データに関する他のデータベースが構築されており、前記取得ステップは、前記他のデータベースを通信網を介して取得することを特徴とする。
【００２９】
請求項１９記載のパーツ管理方法は、請求項１８記載のパーツ管理方法において、前記他のデータベースは、前記パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の他の管理データの欄を有する一覧表を含むことを特徴とする。
【００３０】
請求項２０記載のパーツ管理方法は、請求項１９記載のパーツ管理方法において、前記他のデータベースの管理データは、前記パーツ番号、前記パーツ名、前記パーツの取付け日時、及び前記パーツが破棄されたか否かを示すデータのうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする。
【００３１】
請求項２１記載のパーツ管理方法は、請求項１６記載のパーツ管理方法において、前記データベースの管理データは、前記パーツ名、前記パーツの製造年月日、前記パーツの納品日、前記パーツの納品先、前記パーツの耐用時間、及び前記パーツの耐用回数のうち少なくとも１つのデータを含むことを特徴とする。
【００３２】
請求項２２記載のパーツ管理方法は、請求項１６乃至２１のいずれか１項に記載のパーツ管理方法において、前記第１のコンピュータ及び前記第２のコンピュータの各々は、前記パーツの管理データを入力する入力ステップを有することを特徴とする。
【００３３】
請求項２３記載のパーツ管理方法は、請求項１８乃至２２のいずれか１項に記載のパーツ管理方法において、前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在しないときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００３４】
請求項２４記載のパーツ管理方法は、請求項１８乃至２２のいずれか１項に記載のパーツ管理方法において、前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベースに存在するか否かを判別する第１の判別ステップと、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が過去に入力されたＩＤ番号と同一か否かを判別する第２の判別ステップと、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるか否かを判別する第３の判別ステップとを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に入力されたＩＤ番号と同一であり、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００３５】
請求項２５記載のパーツ管理方法は、請求項２４記載のパーツ管理システムにおいて、前記比較ステップは、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する第４の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記第４の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００３６】
請求項２６記載のパーツ管理方法は、請求項２５記載のパーツ管理方法において、前記第１のコンピュータは前記装置と通信網を介して接続され、前記パーツを使用している前記装置の動作系の動作回数を取得する第２の取得ステップを有し、前記比較ステップは、前記動作回数が前記データベースに存在する前記パーツの耐用回数以上であるか否かを判別する第５の判別ステップを有し、前記第１の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツのＩＤ番号が、前記データベースに存在し、前記第２の判別ステップにおいて、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一ではなく、前記第３の判別ステップにおいて、前記データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ前記第４の判別ステップにおいて、前記他のデータベースから取得した前記パーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく、さらに、前記第５の判別ステップにおいて、前記第２の取得ステップで前記他のデータベースから取得した前記パーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、前記パーツが不適合パーツであると判定することを特徴とする。
【００３７】
請求項２７記載のパーツ管理方法は、請求項１６記載のパーツ管理方法において、前記第１のコンピュータは、前記装置用パーツの管理データを前記パーツに取付けられたＩＣ又はバーコードから取得することを特徴とする。
【００３８】
請求項２８記載のパーツ管理方法は、請求項１６乃至２７のいずれか１項に記載のパーツ管理方法において、前記装置は基板処理装置から成ることを特徴とする。
【００３９】
請求項２９記載のパーツ管理方法は、請求項２８記載のパーツ管理方法において、前記基板処理装置は、プラズマ処理装置、熱処理装置、成膜装置、プラズマエッチング装置、インライン型半導体処理装置、又はマルチチャンバ型半導体処理装置であることを特徴とする。
【００４０】
請求項３０記載のパーツ管理方法は、請求項２６記載のパーツ管理方法において、前記通信網を介して前記第２のコンピュータに接続された収納装置に、既にユーザに納品された前記装置用パーツを収納する収納ステップ更に備え、前記収納ステップは、前記収納装置から前記装置用パーツが取り出されたことを検知する検知ステップと、前記検知ステップが前記装置用パーツが取り出されたことを検知したときに前記装置用パーツのＩＤ番号を前記第２のコンピュータに送信する送信ステップとを備えることを特徴とする。
【００４１】
上述の目的を達成するために、請求項３１記載のパーツ管理プログラムは、ユーザに納品された装置用パーツの管理データを有するユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続され、前記装置用パーツのＩＤ番号毎に、前記パーツの複数種の管理データの欄を有する一覧表を含む管理データに関するデータベースが構築されたメーカ用の第２のコンピュータに、前記装置用パーツの管理データを前記第２のコンピュータから通信網を介して取得する取得ステップと、前記取得した管理データを前記データベースの管理データと比較する比較ステップとを実行させることを特徴とする。
【００４２】
上述の目的を達成するために、請求項３２記載の記憶媒体は、前記請求項３１のパーツ管理プログラムを記憶したコンピュータ読取り可能な記憶媒体であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
請求項１記載のパーツ管理システムによれば、ユーザ用の第１のコンピュータと通信網を介して接続し、メーカ用の第２のコンピュータは、取得した管理データをデータベースの管理データと比較するので、メーカ側でパーツの管理を確実に行うことができ、もって不適合パーツの使用を防止することができる。
【００４４】
請求項８記載のパーツ管理システムによれば、第２のコンピュータは、他のデータベースから取得したパーツのＩＤ番号がデータベースに存在しないときは、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ側は、ユーザ側で不適合パーツが使用されていることを確認することができる。
【００４５】
請求項９記載のパーツ管理システムによれば、第２のコンピュータは、他のデータベースから取得したパーツのＩＤ番号が、データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり、データベース内において過去に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ側は、ユーザ側で不適合パーツが使用されていることを確実に確認することができる。
【００４６】
請求項１０記載のパーツ管理システムによれば、第２のコンピュータは、他のデータベースから取得したパーツのＩＤ番号が、データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり、データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ他のデータベースから取得したパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ側は、ユーザ側で不適合パーツが使用されていることを更に確実に確認することができる。
【００４７】
請求項１１記載のパーツ管理システムによれば、第２のコンピュータは、他のデータベースから取得したパーツのＩＤ番号が、データベースに存在し、過去に他のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり、データベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく、且つ他のデータベースから取得したパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく、さらに、他のデータベースから取得したパーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ側は、ユーザ側で不適合パーツが使用されていることを更に確実に確認することができる。
【００４８】
請求項１５記載のパーツ管理システムによれば、検知手段が収納装置から装置用パーツが取り出されたことを検知し、検知手段が収納装置から装置用パーツが取り出されたことを検知したときに、送信手段が装置用パーツのＩＤ番号を通信網を介して第２のコンピュータに送信するので、ユーザは交換が必要とされる装置用パーツを収納装置から直ぐに入手することができ、もってパーツを使用している装置の停止によって生じる生産ロスを減少することができ、また、メーカは収納装置から送信されたＩＤ番号により装置用パーツの管理データを取得できるので、データベースを構築する煩雑な作業を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００５０】
図１は、本発明の実施の形態に係るパーツ管理システムの概略構成を示す図である。
【００５１】
図１において、ユーザ１は、複数の基板処理装置１１，１２，１３，１４，…と、これらの基板処理装置のパーツの管理を行う１台のコンピュータ３０（第１のコンピュータ）とを備える。図１では、基板処理装置の一例として１台のプラズマ処理装置１１のみを具体的に示す。実際には、ユーザ１側に他機種の基板処理装置１２，１３，１４等が複数配されている。以下では、プラズマ処理装置１１のみを対象として説明を行うが、下記パーツ管理システムが基板処理装置１２，１３，１４・・・に適用されるのは言うまでもない。
【００５２】
一方、基板処理装置のメーカ２は、インターネットを介してコンピュータ３０に接続されたコンピュータ４０（第２のコンピュータ）を備える。インターネットを介して互いに接続されたコンピュータ３０，４０は、基板処理装置のパーツ管理システムを構成し、プラズマ処理装置１１のパーツの管理を行う。
【００５３】
ユーザ１側のコンピュータ３０は、図示しないＣＰＵ、メモリ、及びハードディスクを有するコンピュータ本体３１、並びにこのコンピュータ本体３１に接続されたキーボード３２及びディスプレイ３３を備え、コンピュータ本体３１には、プラズマ処理装置１１のパーツの管理に関する第１のデータベースが構築されている。
【００５４】
メーカ側のコンピュータ４０は、図示しないＣＰＵ、メモリ、及びハードディスクを有すると共にユーザ側のコンピュータ本体３１とインターネットを介して接続されているコンピュータ本体４１、並びにこのコンピュータ本体４１に接続されたキーボード４２及びディスプレイ４３を備え、コンピュータ本体４１には、プラズマ処理装置１１のパーツの管理に関する第２のデータベースが構築されている。
【００５５】
プラズマ処理装置１１は、アルミニウム等の導電性材料から成り、内部が被処理体としての半導体ウエハＷのエッチング処理を行うべく高真空に保持される処理室５２と、処理室５２内の下部に配設され且つ半導体ウエハＷを載置する載置台を兼ねる下部電極５３と、処理室５２内において下部電極５３の上方に配設され、エッチングガスとキャリアガスを混合したプロセスガスを処理室５２内に供給するシャワーヘッドを兼ねる上部電極５４とを備える。下部電極５３の頂部の周縁には、処理室５２内で発生するプラズマＰを半導体ウエハＷに集束してプラズマ処理の効率を向上させるためのフォーカスリング５３ａが配設され、フォーカスリング５３ａの内側には半導体ウエハＷを静電吸着する図示しない静電チャックを有する。また、処理室５２は、その内部圧力を検出する圧力センサ５２ａを有する。さらに、下部電極５３には、高周波電源５６から整合器５５及び電気測定器５７を介して電力が供給され、上部電極５４には、高周波電源５９から整合器５８及び電気測定器６０を介して電力が供給される。
【００５６】
上記プラズマ処理装置１１内で用いられる各パーツに対して、メーカ２側のパーツ管理システムは、後述する図３のパーツ管理処理を実行する。
【００５７】
図２は、図１のパーツ管理システムのデータベースを説明する図である。
【００５８】
図２において、図１のパーツ管理システムは、ユーザ１側のコンピュータ３０内にユーザ１が製品（プラズマ処理装置１１）のパーツの管理データに関する第１のデータベースを構築し、ユーザ１のディスプレイ３３上には、パーツの管理データに関するパーツ管理データ一覧表が表示される。構築されたユーザ１側のパーツ管理データ一覧表は、装置に取付けられたパーツの製造番号（ＩＤ番号）毎に、パーツ番号、パーツ名、パーツの取付け日時、及び使用状況（管理データ）の欄を有し、これらの欄には、ユーザ１により所定のデータがキーボード３２を用いて入力される。使用状況の欄には、「使用中」又は「破棄」が入力される。ここで、「使用中」は、そのパーツが破棄されていない場合を意味し、パーツが装置に装着されている場合はもとより、クリーニング等のために取外されている場合も含む。例えば、ユーザ側のパーツ管理データ一覧表中、パーツ番号「２」のフォーカスリングはクリーニング等のために装置から取外され、クリーニング終了後にパーツ番号「５」のフォーカスリングとして再度装置に装着されている。「破棄」は、そのパーツが既に使用済であって破棄したことを意味する。
【００５９】
ユーザ１が個々のパーツに対して上記入力を行うことにより、ユーザ１側のコンピュータ本体３１内にはパーツ管理データ一覧表による第１のデータベースが構築される。
【００６０】
一方、図１のパーツ管理システムは、メーカ２側のコンピュータ４０内にメーカ２が製造された製品（プラズマ処理装置１１）の管理データに関する第２のデータベースを構築し、メーカ２のディスプレイ４３上には、製品の管理データに関するパーツ管理データ一覧表が表示される。構築されたメーカ２側のパーツ管理データ一覧表は、ユーザに納品されたパーツの製造番号（ＩＤ番号）毎に、パーツ名、パーツの製造年月日、パーツの納品日、パーツの納品先等のパーツの管理データの欄を有し、これらの欄には、メーカ１により所定のデータがキーボード４２を用いて入力される。メーカ２が個々のパーツに対して上記入力を行うことにより、メーカ２側のコンピュータ本体４１内には、パーツ管理データ一覧表による第２のデータベースが構築される。
【００６１】
また、図１のパーツ管理システムは、プラズマ処理装置１１に取付けられたパーツの累積使用時間を計測するよう構成されている。この累積使用時間は、当該パーツが実際に装置に装着されている時間を意味し、クリーニング等のために取外されていた時間は除かれる。
【００６２】
次に、メーカ２側のパーツ管理システムは、後述する図３のパーツ管理処理を実行して、メーカ２側のコンピュータ４０をインターネットを介してユーザ１側のコンピュータ３０に接続し、ユーザ１側のコンピュータ本体３１に構築された第１のデータベースの管理データを取得し、ユーザ１の第１のデータベースの管理データを、メーカ２の第２のデータベースの管理データと比較する。
【００６３】
図３は、図１のメーカ２側のパーツ管理システムによって実行されるパーツ管理処理を示すフローチャートである。
【００６４】
図３において、メーカ２は、メーカ２側のコンピュータ４０をインターネットを介してユーザ１側のコンピュータ３０に接続する（ステップＳ３１）。これにより、メーカ２側でパーツの管理を確実に行うことができる。次いで、ユーザ１側のコンピュータ本体３１内に構築された第１のデータベースの管理データから所定のパーツの製造番号を取得して（取得手段）、取得した製造番号をディスプレイ４３の判定表（図４）に表示する（ステップＳ３２）。このディスプレイ４３への製造番号の表示は、図４の判定表中の製造番号欄になされる。
【００６５】
次いで、取得された所定のパーツの製造番号が、メーカ２側のコンピュータ本体４１内に構築された第２のデータベースのパーツの製造番号列に存在するか否かを判別し（ステップＳ３３）（第１の判別手段）、この製造番号が存在しないときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図４の判定表中の判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示し（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進む。ステップＳ３４の処理により、メーカ２は、ユーザ１で海賊版等の不適合パーツが使用されていることを確認することができる。
【００６６】
ステップＳ３３の判別の結果、所定のパーツの製造番号が存在するときは、ユーザ１側のコンピュータ本体３１に構築された第１のデータベースの管理データにおいて、この所定のパーツが破棄済みのパーツか否かを判別し（ステップＳ３５）、既に破棄済みであるときは、メーカ２側のコンピュータ本体４１内に構築された第２のデータベース内の管理データのうち、この製造番号のパーツの使用状況欄を「使用中」から「破棄」に更新してステップＳ４４へ進む。
【００６７】
ステップＳ３５の判別の結果、破棄済みでないときは、ユーザ１側のコンピュータ本体３１に構築された第１のデータベースの管理データから取付け日時を取得し（ステップＳ３７）、さらにこの取付け日時から所定のパーツの累積使用時間を算出する（ステップＳ３８）。これにより、メーカ２は、ユーザ１で使用されるパーツの残りの耐用時間を推測することができ、もってメーカ２側でパーツの管理をより確実に行うことができる。
【００６８】
次に、例えば、一度プラズマ処理装置１１に取付けられたパーツであって、所定時間使用した後にクリーニングされ、再度プラズマ処理装置１１に取付けられるパーツと、初めてプラズマ処理装置１１に取付けられるパーツとの判別を行う。即ち、ユーザ１側のコンピュータ本体３１に構築された第１のデータベース内の管理データにおいて、過去に同一の製造番号の入力がある否かを判別し（ステップＳ３９）（第２の判別手段）、過去に同一の製造番号の入力があるときは、さらに、当該製造番号が過去に破棄されたパーツと同一の製造番号であるか否かを判別する（ステップＳ４０）（第３の判別手段）。即ち、所定のパーツの製造番号を、メーカ２側のコンピュータ本体４１内に構築された第２のデータベース内の破棄済みのパーツの製造番号と比較する。
【００６９】
ステップＳ４０の判別の結果、同一の製造番号が存在するときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図４の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示して（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進む。
【００７０】
ステップＳ４０の判別の結果、同一の製造番号が存在しないときは、さらに、ステップＳ３８において算出した所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する（ステップＳ４１）（第４の判別手段）。
【００７１】
ステップＳ４１の判別の結果、所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図４の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示して（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進む。
【００７２】
ステップＳ４１の判別の結果、所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でないときは、当該パーツの交換がクリーニングのための交換であると判定し、図４の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「適合パーツ」の文字を表示し（ステップＳ４２）、ステップＳ４３に進む。
【００７３】
ステップＳ３９の判別の結果、過去に同一の製造番号の入力がないときは、当該パーツを適合パーツと判定し、図４の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「適合パーツ」の文字を表示し（ステップＳ４２）、ステップＳ４３に進む。
【００７４】
ステップＳ４３において、ステップＳ３８において算出した累積使用時間の算出結果を図４の判定表中の所定のパーツの累積使用時間欄に表示した後、ステップＳ４４に進む。
【００７５】
ステップＳ４４では、前記所定のパーツが、ユーザ１側のコンピュータ本体３１に構築された第１のデータベースの管理データのうち、最後のパーツであるか否かを判別し、最後のパーツでないときは、続いて入力されているパーツの管理処理を行うべくステップＳ３２に戻り、最後のパーツであるときは、本処理を終了する。
【００７６】
本実施の形態によれば、ユーザ１側のコンピュータ３０とインターネットを介して接続されたメーカ２側のコンピュータ４０は、ユーザ１側のコンピュータ３０に構築された第１のデータベースから取得した管理データ（ステップＳ３２）を第２のデータベースの管理データと比較する（ステップＳ３３）ので、メーカ２側でパーツの管理を確実に行うことができ、もって不適合パーツの使用を防止することができる。
【００７７】
本実施の形態によれば、メーカ２側のコンピュータ４０は、第１のデータベースから取得した所定のパーツのＩＤ番号が第２のデータベースに存在しないときは（ステップＳ３３でＮＯ）、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ２側は、ユーザ１側で不適合パーツが使用されていることを確認することができる。
【００７８】
本実施の形態によれば、メーカ２側のコンピュータは、第１のデータベースから取得した所定のパーツのＩＤ番号が、第２のデータベースに存在し（ステップＳ３３でＹＥＳ）、過去に第１のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり（ステップＳ３９でＹＥＳ）、第２のデータベース内において過去に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一であるときは（ステップＳ４０でＹＥＳ）、当該パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ２側は、ユーザ１側で不適合パーツが使用されていることを確実に確認することができる。
【００７９】
本実施の形態によれば、メーカ２側のコンピュータは、第１のデータベースから取得した所定のパーツのＩＤ番号が、第２のデータベースに存在し（ステップＳ３３でＹＥＳ）、過去に第１のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり（ステップＳ３９でＹＥＳ）、第２のデータベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく（ステップＳ４０でＮＯ）、且つ第１のデータベースから取得したパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは（ステップＳ４１でＹＥＳ）、パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ２側は、ユーザ１側で不適合パーツが使用されていることを更に確実に確認することができる。
【００８０】
図１のパーツ管理システムは、具体的には以下のように運用される。
【００８１】
図５は、図１のパーツ管理システムによる運用を説明するための図である。
【００８２】
図５において、先ず、メーカ２は、ユーザ１が生産中である状態でのメーカアクションとして、ユーザ１に納品されるパーツのパーツ管理データを予め取得し、コンピュータ本体４１内に第２のデータベースを構築する（Ｔ１）。メーカ２のディスプレイ４３は、パーツの管理データに関するパーツ管理データ一覧表を表示する。
【００８３】
その後、ユーザ１にメーカ２からパーツが納品されると（Ｔ２）、ユーザ１は、ユーザアクションとして、キーボード３２を用いてパーツ管理データとしての該パーツのデータを入力することにより、コンピュータ本体３１内に第１のデータベースを構築する（Ｔ３）。ユーザ１のディスプレイ３３は、パーツの管理データに関するパーツ管理データ一覧表を表示する。
【００８４】
次に、何らかの原因でプラズマ処理装置１１にトラブルが発生したことにより生産が停止したときは（Ｔ４）、ユーザ１からメーカ２への連絡により（Ｔ５）、メーカ２は、第２のデータベースに構築されたパーツ管理データと第１のデータベースに構築されたパーツ管理データとを比較するべく、インターネットを介してコンピュータ４０をユーザ１側のコンピュータ３０と接続し、図３のパーツ管理処理を実行する（Ｔ６）。
【００８５】
このパーツ管理処理が終了した後、メーカ２は図４の判定表に表示された判定結果をユーザ１に連絡する（Ｔ７）。「不適合パーツ」と判定されたパーツが存在するときは、メーカ２はユーザ１に該パーツの交換を促す。ユーザ１は該パーツを新たなパーツ、又は洗浄済みのパーツに交換する（Ｔ８）ことにより生産を再開する。
【００８６】
図６は、図１のパーツ管理システムの変形例の概略構成を示す図である。
【００８７】
図６において、図１のパーツ管理システムと同様の構成要素については、同一の番号を付して、その説明を省略する。また、以下の説明中の「第１のデータベース」及び「第２のデータベース」は図１の管理システムのものと同じである。
【００８８】
図６において、ユーザ１は、複数の基板処理装置（プラズマ処理装置）１１，１２，…と、これら基板処理装置のパーツの管理を行う１台のコンピュータ３０と、基板処理処理装置１１，１２，・・・のパーツの管理に関する第１のデータベースが構築されているサーバ７０とを備え、これらはローカルエリアネットワーク等の内部ネットワーク７１を介して相互に接続されている。ユーザ１は、さらに、内部ネットワーク７１に接続され、特定の通信プロトコルに従う信号のみを通すファイアウォール７２を有するルータ７３を備え、このルータ７３は、図示しないプロバイダ等を介してインターネット等の外部ネットワーク９０に接続される。
【００８９】
一方、基板処理装置のメーカ２は、複数の基板処理装置１１，１２，…のパーツに関する第２のデータベースが構築されているコンピュータ４０と、特定の通信プロトコルに従う信号のみを通すファイアウォール８２を有するルータ８３とを備え、これらはローカルエリアネットワーク等の内部ネットワーク８０を介して接続されている。ルータ８３は、図示しないプロバイダ等を介してインターネット等の外部ネットワーク９０に接続される。
【００９０】
外部ネットワーク９０を介して互いに接続されたコンピュータ３０、サーバ７０、ルータ７３、ルータ８３、及びコンピュータ４０は、基板処理装置１１，１２，・・・のパーツ管理システムを構成し、複数の基板処理装置１１，１２，・・・のパーツの管理を行う。
【００９１】
ここでいうパーツには、例えば、バッフル板、デポシールド（内壁ライナー：chamber wall/in-chamber liner/deposition shield）、フォーカスリング、上部電極用シールドリング、電極用ガス噴出板、静電チャック、ガス供給管、載置台（下部電極）、o-ring、スパイラルリング、ガスケット、上部電極アッセンブリ、ＲＦ印加用電極板、レジスト液から不純物を取り除くためのレジストフィルタ、カーボンヒータ、石英ヒータ、加熱用ランプ、エアフィルタ、温度センサ、熱電対、クランプリング、石英マニホールド、終点検出器、バッテリ、排ガスバルブ、アイソレーションバルブ、ＩＣＰ用誘電体からなる天板窓、ベローズ、リフタピン、温水循環器用フィルタ等が該当する。
【００９２】
上記変形例において、メーカ２は、さらに、ローカルエリアネットワーク等の内部ネットワーク８０を介してルータ８３及びコンピュータ４０に接続されたサーバを有してもよい。この場合、第２のデータベースは、コンピュータ４０に代えて該サーバに構築される。
【００９３】
この変形例では、例えば、ユーザ１のコンピュータ３０は、該パーツを使用している複数の基板処理装置１１，１２，・・・の動作系の動作回数を取得する取得手段（第２の取得手段）を有することにより、この動作回数を用いたパーツ管理処理を行うことができる。
【００９４】
上記取得手段は、具体的には、基板処理装置１１，１２，・・・の運転時間カウンタ、駆動時間カウンタ、ガス使用量カウンタ、放電時間カウンタ等のカウント値又はカウント値に基づく時間や回数等の値を用いて基板処理装置１１，１２，・・・の動作系の動作回数を取得する。
【００９５】
図７は、図６のパーツ管理システムによって実行されるパーツ管理処理を示すフローチャートである。
【００９６】
図７において、図３のフローチャートと同じ処理については、同一のステップ番号を付して説明を省略する。
【００９７】
図７のステップＳ４０の判別の結果、同一の製造番号が存在するときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図８の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示して（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進み、同一の製造番号が存在しないときは、さらに、ステップＳ３８で算出した所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるか否かを判別する（ステップＳ４１）。
【００９８】
ステップＳ４１の判別の結果、所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上であるときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図８の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示して（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進み、所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でないときは、ステップＳ８２に進む。
【００９９】
ユーザ１側のコンピュータ３０により、内部ネットワーク７１を介して該パーツを使用しているプラズマ処理装置１１の動作系の動作回数が取得されると（ステップＳ８２）、第１のデータベースから取得した所定のパーツの動作回数が当該パーツの耐用時間に相当する耐用回数以上であるか否かを判別する（ステップＳ８３）（第５の判別手段）。この動作回数は、例えば、ステップＳ３７で取得した取付け日時から起算された回数である。
【０１００】
ステップＳ８３の判別の結果、所定のパーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは、当該パーツを不適合パーツと判定し、図８の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「不適合パーツ」の文字を表示して（ステップＳ３４）、ステップＳ４３に進み、所定のパーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上でないときは、当該パーツの交換がクリーニングのための交換であると判定し、図８の判定表中の所定のパーツの判定結果欄に「適合パーツ」の文字を表示し（ステップＳ４２）、ステップＳ４３に進む。
【０１０１】
本処理によれば、ユーザ１側のサーバ７０に構築された第１のデータベースから取得した所定のパーツのＩＤ番号が第２のデータベースに存在し（ステップＳ３３でＹＥＳ）、過去に第１のデータベース内に入力されたＩＤ番号と同一であり（ステップＳ３９でＹＥＳ）、第２のデータベース内において既に破棄されているパーツのＩＤ番号と同一ではなく（ステップＳ４０でＮＯ）、且つ第１のデータベースから取得した所定のパーツの累積使用時間が当該パーツの耐用時間以上でなく（ステップＳ４１でＮＯ）、さらに、第１のデータベースから取得した所定のパーツの動作回数が当該パーツの耐用回数以上であるときは（ステップＳ８３でＹＥＳ）、前記パーツが不適合パーツであると判定するので、メーカ側は、ユーザ側で不適合パーツが使用されていることを更に確実に確認することができる。
【０１０２】
メーカ２のコンピュータ４０は、１台に限るものではなく、例えばメーカ２の各部門や各事業所等に配置されている複数のコンピュータであって、これらのコンピュータが他の外部ネットワーク及び他の内部ネットワークにより接続されているものであってもよい。
【０１０３】
外部ネットワーク９０は、ユーザ１のサーバ７０やメーカ２のコンピュータ４０等を双方向通信可能にするものであればよく、例えば、ＷＡＮ、ＬＡＮ、ＩＰ−ＶＰＮ等の閉鎖回線網であってもよい。さらに、接続媒体としては、ＦＤＤＩ規格等による光ファイバーケーブル、Ethernet（登録商標）規格による同軸ケーブル、ツイストペアケーブル等の他の有線であってもよく、ＩＥＥＥ８０２．１１ｂ、衛星ネットワーク等の無線であってもよい。
【０１０４】
なお、上記実施の形態において、パーツ本体に製造番号等のＩＤ番号を記憶する記憶手段を取付け、この記憶手段とユーザ１側のコンピュータ３０とを接続し、該パーツ本体からＩＤ番号を取得してもよい。
【０１０５】
また、パーツ本体に取付けられる記憶手段には、製造番号等のＩＤ番号を簡略化した暗号が記憶されていてもよい。製造番号等のＩＤ番号や暗号を記憶する記憶手段としては、例えば、ＩＣやバーコード等が用いられる。これにより、ユーザは容易にＩＤ番号や暗号を取得することができる。
【０１０６】
該ＩＣはＣＯ（Voltage Controlled Oscillator）、ＰＬＬ（Phase Locked Loop）、ＰＡ（Power Amplifier）等の集積化された高周波部を有しており、非接触でデータを送受信可能なものであってもよい。また、ＩＣ若しくはＩＤ番号や暗号が刻印等により直接パーツ本体に付されていてもよい。
【０１０７】
さらに、該ＩＣが非接触でＩＤ番号や暗号を送受信するのにＩＣの夫々が相互にネットワーク接続されて、内部ネットワーク７１若しくはＰＤＡ等の携帯用端末に接続されてもよい。高周波部を有するＩＣが非接触でデータ伝送する際は、送受信、送信のみ、又は受信のみのうちいずれか１つの方法が適宜選択され、また、高周波部の機能が適宜選択される。
【０１０８】
加えて、該ＩＣは、外部から受信した電波を動作電力として作動するので、動作電力を直接供給できない箇所、例えばパーツ本体内部、載置台内部、上部電極アッセンブリ内部等にも適応が可能である。このようなＩＣのパッケージは実装面積が約４．０ｍｍ×４．０ｍｍ程度であるが、今後の技術発展によりこの実装面積が微小化されることは当業者にとって容易に想到しうる。
【０１０９】
ＩＣ用の送信周波数帯域としては、プラズマ処理で用いるＲＦ印加の周波数とは異なる帯域が選択される。これにより、ＩＣ用の送信周波数とＲＦ印加の周波数との干渉が発生しない。また、ＩＣ用の受信周波数帯域としてＲＦ印加の周波数が選択されることにより、電波を動作電力とし作動するＩＣをＲＦ印加時のみ作動させることも可能である。
【０１１０】
さらに、ＩＤ番号や暗号が刻印等により直接パーツ本体に付されていてもよい。これにより、ＩＣやバーコード等を付すことができないパーツの管理を行うことができる。
【０１１１】
また、パーツ本体が、基板処理装置を介して上記のような様々な接続媒体でコンピュータ３０と接続されてもよく、さらに、ＩＤ番号（暗号）取得手段を有するＰＤＡ等の携帯用端末を用いて、パーツ本体に取付けられた上記記憶手段から製造番号等のＩＤ番号や暗号を取得し、この取得したＩＤ番号や暗号をコンピュータ３０に送信することにより各パーツ本体のＩＤ番号を取得できるものであってもよい。
【０１１２】
また、他の変形例として、図６のパーツ管理システムは、さらに、外部ネットワーク（通信網）を介してメーカ２のコンピュータ４０に接続され、既にユーザ１に納品されたパーツを収納する収納装置を備えてもよい。
【０１１３】
この収納装置は、収納装置からパーツが取り出されたことを検知する検知手段と、検知手段がパーツが取り出されたことを検知したときにパーツのＩＤ番号をメーカ２のコンピュータ４０に送信する送信手段とを備える。
【０１１４】
これにより、パーツ管理システムは、検知手段が該収納装置からパーツが取り出されたことを検知し、検知手段がパーツが取り出されたことを検知したときに、送信手段がパーツのＩＤ番号をメーカ２のコンピュータ４０に送信するので、ユーザ１は交換が必要とされるパーツを収納装置から直ぐに入手することができ、もってパーツを使用している基板処理装置の停止によって生じる生産ロスを減少させることができ、また、メーカ２は収納装置から送信されたＩＤ番号によりパーツの管理データを取得できるので、データベースを構築する煩雑な作業を軽減することができる。
【０１１５】
また、この収納装置は、ユーザ１に納品される予定であるパーツの配送状況を示すデータを受信する受信装置と、該パーツの配送状況を示すデータを表示するＬＣＤ等の表示器とを有していてもよい。この構成によれば、受信装置によりパーツを配送する配送業者から送信された配送状況を示すデータを外部ネットワークを介して受信し、この配送状況を示すデータを表示器で表示することができるので、ユーザ１は該パーツの配送状況を直ぐに確認することができる。
【０１１６】
本実施の形態では、パーツのＩＤ番号は製造番号であるが、図９に示すように、装置毎に規則的に与えられた文字列や数字列又はそれらの組み合わせであってもよい。これにより、該パーツの識別を容易に行うことができる。また、パーツのＩＤ番号は、例えば図面番号と装置の製造番号との組合わせによる番号を用いてもよく、ユーザによりパーツ毎に任意に付与される番号であって一義的に定義することができる番号であってもよい。
【０１１７】
また、図１０に示すように、ユーザ１のディスプレイ上に表示されるパーツ管理データ一覧表及びメーカ２のディスプレイ上に表示されるパーツ管理データ一覧表は、複数の基板処理装置１１，１２，１３，１４，・・・についての管理データが同時に表示されてもよい。これにより、複数の基板処理装置１１，１２，１３，１４，・・・が同一機種である場合に、複数の基板処理装置１１,１２,１３,１４,・・・間の同一種パーツを比較することにより、他のものと異なる特異な一のパーツを識別することができ、これにより、不適合パーツの判定の助けとすることができる。
【０１１８】
また、本実施の形態では、メーカ側のコンピュータがユーザ側のパーツの管理データを取得すると共に、ユーザ側の装置の管理データとメーカ側の管理データとを比較して適合パーツか否かの判別を行っているが、これに限定されず、例えば、ユーザ側のコンピュータが取得手段、比較手段、判別手段等を有し、メーカ側のコンピュータからパーツの管理データを取得して比較、判定するようにしてもよい。
【０１１９】
さらに、本実施の形態では、第１のデータベース内の管理データとして、パーツの製造番号（ＩＤ番号）、パーツ番号、パーツ名、パーツの取付け日時、及び使用状況を用いており、第２のデータベース内の管理データとして、パーツの製造番号（ＩＤ番号）毎に、パーツ名、パーツの製造年月日、パーツの納品日、パーツの納品先を用いているが、これに限るものではなく、該パーツのバージョン番号等のデータを管理データとして用いてもよい。
【０１２０】
更に、パーツが不適合パーツと判定された場合に、メーカ２は必要に応じてユーザ１に対してその旨を通知してパーツの交換を促すことが可能であり、さらに、パーツを使用している装置の動作を停止させるか、又は、該装置を駆動させないようにすることも可能である。
【０１２１】
複数の基板処理装置１１，１２，１３，１４，…は、プラズマ処理装置に限るものではなく、例えば、熱処理装置、成膜装置、プラズマエッチング装置、インライン型半導体処理装置、マルチチャンバ型半導体処理装置等であってもよい。また、複数の基板処理装置１１，１２，１３，１４，…は、基板洗浄装置、塗布現像装置、ＥＢ（電子線）描画装置、露光装置、アッシング装置、半導体封止装置、バーンイン装置、テストシステム、ダイシング装置、裏面研磨装置、ＣＭＰ装置、イオン注入装置等であってもよい。
【０１２２】
また、被処理体としての基板はシリコンウェハでもよく、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板、ＬＣＤ基板等であってもよい。
【０１２３】
本発明は、上述した実施の形態又は変形例の機能を実現するソフトウェアのプログラム（図３のフローチャート又は図７のフローチャート）をコンピュータ４０又はＣＰＵに供給し、そのコンピュータ４０又はＣＰＵが該供給されたプログラムを読出して実行することによって、達成することができる。
【０１２４】
この場合、上記プログラムは、該プログラムを記録した記憶媒体から直接供給されるか、又はインターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることにより供給される。
【０１２５】
上記プログラムの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳ（オペレーティングシステム）に供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【０１２６】
また、本発明は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムを記憶した記憶媒体をコンピュータ又はＣＰＵに供給し、そのコンピュータ又はＣＰＵが記憶媒体に記憶されたプログラムを読出して実行することによっても、達成することができる。
【０１２７】
この場合、記憶媒体から読出されたプログラムコード自体が上述した各実施の形態の機能又は変形例を実現すると共に、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成する。
【０１２８】
プログラムコードを記憶する記憶媒体としては、例えば、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光ディスク（登録商標）、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード等がある。または、プログラムコードをネットワークを介してダウンロードしてもよい。
【０１２９】
上述した実施の形態の機能は、コンピュータから読出されたプログラムコードを実行することによるばかりでなく、コンピュータ上で稼動するＯＳ等がプログラムコードの指示に基づいて実際の処理の一部又は全部を行うことによっても実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】本発明の実施の形態に係るパーツ管理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１のパーツ管理システムのデータベースを説明する図である。
【図３】図１のメーカ側のパーツ管理システムによって実行されるパーツ管理処理を示すフローチャートである。
【図４】図３のパーツ管理処理のステップＳ３２でメーカのディスプレイに表示される判定表を示す図である。
【図５】図１のパーツ管理システムによる運用を説明するための図である。
【図６】図１のパーツ管理システムの変形例の概略構成を示す図である。
【図７】図６のパーツ管理システムによって実行されるパーツ管理処理を示すフローチャートである。
【図８】図７のパーツ管理処理のステップＳ３２でメーカのディスプレイに表示される判定表を示す図である。
【図９】図６のパーツ管理システムによって用いられるＩＤ番号の変形例を示す図である。
【図１０】図２のユーザのディスプレイ上に表示されるパーツ管理データ一覧表及びメーカのディスプレイ上に表示されるパーツ管理データ一覧表の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【０１３１】
１  ユーザ
２  メーカ
１１  プラズマ処理装置
１２，１３，１４  基板処理装置
５２  処理室
５３  下部電極
５４  上部電極
５５，５８  整合器
５６，５９  高周波電源
５７，６０  電気測定器
３０  コンピュータ
３１  コンピュータ本体
３２  キーボード
３３  ディスプレイ
４０  コンピュータ
４１  コンピュータ本体
４２  キーボード
４３  ディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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