(57)【要約】【課題】長尺基板用めっき装置等の垂直式搬送において、長尺基板が薄型化しても、低張力で長尺基板の上下位置の搬送ラインを維持できる長尺基板の搬送制御装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の長尺基板の搬送制御装置は、ニップローラー２０ａ及び２０ｂと、ニップローラー２０ａの両端支持部の推力荷重を制御するための加圧制御機構３０と、長尺基板１１の上下位置を検出するための位置検出機構４０と、搬送制御機構全体を制御するための制御手段５０とから構成されており、表面をショア硬度５０〜７０度のゴムで覆われたニップローラー２０ａ及び２０ｂにて長尺基板１１をニップ保持し垂直搬送している。ニップローラー２０ａの両端支持部には推力荷重を制御するための加圧制御機構３０を設け、長尺基板１１両端のニップ圧力バランスを制御している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺基板を連続的にめっきするためのめっき装置等で前記長尺基板を垂直状態で搬送する垂直式搬送装置において、少なくとも２個のニップローラーと、前記ニップローラーの両端支持部の推力荷重を制御するための加圧制御機構と、前記長尺基板の上下位置を検出するための位置検出機構と、制御手段とから構成されていることを特徴とする長尺基板の搬送制御装置。
【請求項２】
前記ニップローラー表面はショア硬度５０〜７０度のゴムにて覆われていることを特徴とする請求項１に記載の長尺基板の搬送制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体パッケージ及びプリント配線基板分野等のめっき装置で垂直搬送に使用される長尺基板の搬送制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体パッケージ及びプリント配線基板分野で用いられる長尺基板用めっき装置等の垂直式搬送において、長尺基板の上下位置の搬送ラインを維持するために、高張力にての搬送、もしくはガイド付き搬送ロールによる案内搬送で行われてきた。
しかしながら、最近の半導体パッケージ及びプリント配線基板分野では、高密度、小型化、軽量化の要求が高まり、配線パターンの細密化、そこに用いられる長尺基板の薄型化が促進されおり、高張力にての搬送及びガイドロールによる案内搬送が難しくなっており、長尺基板の高張力による延性、エッジダメージによる長尺基板の品質及び後工程での歩留まり性を悪くするという問題を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、長尺基板用めっき装置等の垂直式搬送において、長尺基板が薄型化しても、低張力で長尺基板の上下位置の搬送ラインを維持できる長尺基板の搬送制御装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず、請求項１においては、長尺基板を連続的にめっきするためのめっき装置等で前記長尺基板を垂直状態で搬送する垂直式搬送装置において、少なくとも２個のニップローラーと、前記ニップローラーの両端支持部の推力荷重を制御するための加圧制御機構と、前記長尺基板の上下位置を検出するための位置検出機構と、制御手段とから構成されていることを特徴とする長尺基板の搬送制御装置としたものである。
【０００５】
また、請求項２においては、前記ニップローラー表面はショア硬度５０〜７０度のゴムにて覆われていることを特徴とする請求項１に記載の長尺基板の搬送制御装置としたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の長尺基板の搬送制御装置の構成概略図を示す。
本発明の長尺基板の搬送制御装置は、ニップローラー２０ａ及び２０ｂと、ニップローラー２０ａの両端支持部の推力荷重を制御するための加圧制御機構３０と、長尺基板１１の上下位置を検出するための位置検出機構４０と、搬送制御装置全体を制御するための制御手段５０とから構成されている。
本発明の長尺基板の搬送制御装置では、表面をショア硬度５０〜７０度のゴムで覆われたニップローラー２０ａ及び２０ｂにて長尺基板１１をニップ保持し垂直搬送している。ニップローラー２０ａの両端支持部には推力荷重を制御するための加圧制御機構３０を設け、長尺基板１１両端のニップ圧力バランスを制御している。
ゴム硬度が低すぎると（ショア硬度５０度以下）、シリンダ推力によるつぶれ量が大きくなってしまい、単位圧力当たりの蛇行調整量が大きく（粗く）なってしまう。ショア硬度５０〜７０度のゴムであると変形量が少なく、微少な蛇行調整が可能となる。
【０００７】
加圧制御機構３０にて、推力荷重を可変する方法としては、空圧もしくは油圧のレギュレータシリンダを用いて、位置検出機構４０にて検出された位置情報に基づいて、制御する。長尺基板１１両端の推力荷重に差を与えることにより、ニップローラー２０ａ及び２０ｂのニップ面はゴムのつぶれ量の差によってテーパー形状となり、螺旋現象を呈しながら長尺基板１１は上下に移動し、搬送方向に対して基板の傾きを変えることができ、結果的に、長尺基板１１の上下位置を変えることができる。この現象を利用し長尺基板の搬送ラインを自由にコントロールすることが可能となる。
また、位置検出機構４０としては、長尺基板１１をレーザー変位計や画像処理装置を含む位置検出センサもしくは光電センサ等を使用することができる。
【０００８】
【実施例】
図２に、本発明の長尺基板の搬送制御装置の一実施例を示す。図３（ａ）及び（ｂ）に、ニップローラー２０ａの軸の両端の推力荷重が異なった場合のニップローラー２０ａ及びニップローラー２０ｂの両端の変形状態を模式的に示す。
長尺基板１１は表面をショア硬度６０度のゴムで覆われたニップローラー２０ａ及び２０ｂによりニップ保持し垂直搬送している。今回、一方のニップローラー２０ａの軸の両端をエアシリンダ３０ａにより他方のニップローラー２０ｂに押し付け、それぞれエアシリンダ３０ａに送られる圧空は個別に電子式空圧レギュレータ３０ｂを介して一定の圧力を保持した状態としている（図３（ａ）参照）。
【０００９】
また、長尺基板１１のエッジ位置検知を行うための光電センサ−４０ａが搬送ライン上に設置される。ここで、例えば、長尺基板１１の搬送ラインが長尺基板１１の自重にて下降し、光電センサー４０ａの遮光が切れると，制御回路を介し電子式空圧レギュレーター３０ｂへ増分された圧力設定値が入力される。結果、図３（ｂ）に示すように、ニップローラー２０ａの軸の両端に推力荷重差が生じ、推力荷重の大きいニップローラー２０ａの一方の端の表面ゴムは潰され垂直方向にテーパー形状を生じる（図３（ｂ）参照）。このテーパー形状により長尺基板１１は螺旋現象にて上向きの推力を得ることとなる。この後、長尺基板１１が再び光電センサー４０ａを遮光するまでこの状態を保持することとなる。
【００１０】
また、上記では、長尺基板１１が自重で搬送ラインの位置より下がった状態の説明をしたが、これとは別に積極的にエアシリンダ３０ａの差圧にて搬送ラインの上げ下げを繰り返して制御する方法なども可能である．
実際には、長尺基板１１用の垂直式搬送めっき装置ではめっき処理時間が多分にかかるため、装置自体の全長が長くなる。したがって、この機構は搬送ラインに一定の間隔であるいは各処理槽との間に配置されることになる。その間の搬送張力は別機構として必要となるが、本発明の長尺基板の搬送制御装置では、ニップ保持されており長尺基板１１の脱落もないことから、搬送張力は充分低い値で設定が可能である．
【００１１】
【発明の効果】
本発明の長尺基板の搬送制御装置は、長尺基板用のめっき装置等での垂直式搬送において、案内ガイドなしで、且つ低張力にて搬送ラインを維持することが可能となり、長尺基板が薄型化した場合にその効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の長尺基板の搬送制御装置の構成概略を示す説明図である。
【図２】本発明の長尺基板の搬送制御装置の一実施例を示す説明図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、ニップローラー２０ａの軸の両端の推力荷重が異なった場合のニップローラー２０ａ及びニップローラー２０ｂの両端の変形状態を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
１１……長尺基板
２０ａ、２０ｂ……ニップローラー
３０……加圧制御機構
３０ａ……エアシリンダ
３０ｂ……電子式空圧レギュレータ
４０……位置検出機構
４０ａ……光電センサー
５０……加圧制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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