(57)【要約】【課題】２つのアウトポート間の配管中に空気を排気することなく留めておける４ポジション電磁弁装置であって、従来よりも小型化、製造容易、動作の安定性の向上を図る。【解決手段】両電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオフのときは、インポートＰからの供給圧がパイロット圧となって両スプール弁４ａ・４ｂの外側ピストン部４ｄと両排気弁２ａ・２ｂに作用し、両スプール弁４ａ・４ｂが排気側に切り替わるとともに、両排気弁２ａ・２ｂが閉じて、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間、及びインポートＰと第２のアウトポートＢとの間が、両スプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃにて遮断されるとともに、両アウトポートＡ・Ｂの間が、両スプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃと中間ピストン４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ａ・７ｂ及び排気弁間通路３を介して連通する。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１個のインポートＰと、第１及び第２の一対のアウトポートＡ・Ｂと、第１及び第２の一対の排気ポートＲ・Ｓとを有する弁本体１に、これら排気ポートＲ・Ｓをそれぞれ開閉する第１及び第２の一対の排気弁２ａ・２ｂと、これら排気弁２ａ・２ｂ間を連通させる排気弁間通路３と、それぞれ出力側と排気側とに切り替わる第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂと、第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ開閉する第１及び第２の一対の電磁パイロット弁５ａ・５ｂとを備え、
第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂは、内側ピストン部４ｃと、該内側ピストン部４ｃよりも大径の外側ピストン部４ｄと、これらの中間の中間ピストン部４ｅとをそれぞれ有し、互いの内側ピストン部４ｃが、インポートＰからの供給圧をそのまま流入する共通受圧室６で対向するとともに、それぞれの外側ピストン部４ｄが第１及び第２のそれぞれの電磁パイロット弁５ａ・５ｂからのパイロット圧を受圧し、
（１）第１の電磁パイロット弁５ａがオフで第２の電磁パイロット弁５ｂがオンのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが第１のパイロット通路を開き、第２の電磁パイロット弁５ｂが第２のパイロット通路を閉じて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第１のスプール弁４ａの外側ピストン部４ｄ及び第２の排気弁２ｂに作用し、第１のスプール弁４ａが排気側、第２のスプール弁４ｂが出力側に切り替わり、第２の排気弁２ａが閉じて、第１の排気弁２ａが開くことにより、インポートＰと第２のアウトポートＢとの間が共通受圧室６を通じて連通するとともに、第１のアウトポートＡと第１の排気ポートＲとの間が、第１のスプール弁４ａの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ａを経て連通し、
（２）第１の電磁パイロット弁５ａがオンで第２の電磁パイロット弁５ｂがオフのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが第１のパイロット通路を閉じ、第２の電磁パイロット弁５ｂが第２のパイロット通路を開いて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第２のスプール弁４ｂの外側ピストン部４ｄ及び第１の排気弁２ａに作用し、第２のスプール弁４ｂが排気側、第１のスプール弁４ａが出力側に切り替わり、第１の排気弁２ａが閉じて、第２の排気弁２ｂが開くことにより、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間が共通受圧室６を通じて連通するとともに、第２のアウトポートＢと第２の排気ポートＳとの間が、第２のスプール弁４ｂの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ｂを経て連通し、
（３）第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオフのときは、これらが第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ開いて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂの外側ピストン部４ｄと第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂに作用し、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂがいずれも排気側に切り替わるとともに、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂがいずれも閉じて、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間、及びインポートＰと第２のアウトポートＢとの間が、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃにて遮断されるとともに、第１のアウトポートＡと第２のアウトポートＢとの間が、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃと中間ピストン４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ａ・７ｂ及び前記排気弁間通路３を介して連通し、
（４）第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオンのときは、これらが第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ閉じて、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂが内側ピストン部４ｃに作用する供給圧によりいずれも出力側に切り替わるとともに、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂがいずれも開いて、インポートＰと第１及び第２のアウトポートＡ・Ｂの間が連通するとともに、第１及び第２の排気ポートＲ・Ｓの間が排気弁間通路３を介して連通する、
ことを特徴とする４ポジション電磁弁装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複動型エアーシリンダ等を切替作動するための４ポジション電磁弁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、この種の４ポジション電磁弁装置として、特開２００１−２３５０５３号公報に開示されているように、空気消費量の低減が図れるようにするため、２つのアウトポート間の配管中に空気を排気することなく留めておける構造として、その空気をアクチュエータの次の作動に利用できるようにしたものを既に提供している。
【０００３】
この従来のものでは、第１及び第２の主弁が、ポペット型とスプール型とを混合させた構造であったため、これら主弁の構造が複雑になるとともに、どうしても大きくなり、またパッキンを主弁側と弁本体側の両方に設けなければならず、製造も面倒であった。
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これの改良で、従来よりも小型化できるとともに、製造が容易であり、更に動作の安定性も高い４ポジション電磁弁装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の４ポジション電磁弁装置は、１個のインポートＰと、第１及び第２の一対のアウトポートＡ・Ｂと、第１及び第２の一対の排気ポートＲ・Ｓとを有する弁本体１に、これら排気ポートＲ・Ｓをそれぞれ開閉する第１及び第２の一対の排気弁２ａ・２ｂと、これら排気弁２ａ・２ｂ間を連通させる排気弁間通路３と、それぞれ出力側と排気側とに切り替わる第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂと、第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ開閉する第１及び第２の一対の電磁パイロット弁５ａ・５ｂとを備え、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂは、内側ピストン部４ｃと、該内側ピストン部４ｃよりも大径の外側ピストン部４ｄと、これらの中間の中間ピストン部４ｅとをそれぞれ有し、互いの内側ピストン部４ｃが、インポートＰからの供給圧をそのまま流入する共通受圧室６で対向するとともに、それぞれの外側ピストン部４ｄが第１及び第２のそれぞれの電磁パイロット弁５ａ・５ｂからのパイロット圧を受圧する構造で、一対の電磁パイロット弁５ａ・５ｂのオン・オフを切り替えることにより次の（１）、（２）、（３）、（４）のような４つの態様となる。
【０００５】
（１）図１に示すように、第１の電磁パイロット弁５ａがオフで第２の電磁パイロット弁５ｂがオンのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが第１のパイロット通路を開き、第２の電磁パイロット弁５ｂが第２のパイロット通路を閉じて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第１のスプール弁４ａの外側ピストン部４ｄ及び第２の排気弁２ｂに作用し、第１のスプール弁４ａが排気側、第２のスプール弁４ｂが出力側に切り替わり、第２の排気弁２ａが閉じて、第１の排気弁２ａが開くことにより、インポートＰと第２のアウトポートＢとの間が共通受圧室６を通じて連通するとともに、第１のアウトポートＡと第１の排気ポートＲとの間が、第１のスプール弁４ａの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ａを経て連通する。
【０００６】
（２）図２に示すように、第１の電磁パイロット弁５ａがオンで第２の電磁パイロット弁５ｂがオフのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが第１のパイロット通路を閉じ、第２の電磁パイロット弁５ｂが第２のパイロット通路を開いて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第２のスプール弁４ｂの外側ピストン部４ｄ及び第１の排気弁２ａに作用し、第２のスプール弁４ｂが排気側、第１のスプール弁４ａが出力側に切り替わり、第１の排気弁２ａが閉じて、第２の排気弁２ｂが開くことにより、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間が共通受圧室６を通じて連通するとともに、第２のアウトポートＢと第２の排気ポートＳとの間が、第２のスプール弁４ｂの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ｂを経て連通する。
【０００７】
（３）図３に示すように、第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオフのときは、これらが第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ開いて、共通受圧室６に流入するインポートＰからの供給圧がパイロット圧となって第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂの外側ピストン部４ｄと第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂに作用し、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂがいずれも排気側に切り替わるとともに、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂがいずれも閉じて、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間、及びインポートＰと第２のアウトポートＢとの間が、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃにて遮断されるとともに、第１のアウトポートＡと第２のアウトポートＢとの間が、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれの内側ピストン４ｃと中間ピストン４ｅとの間に形成されるピストン間通路７ａ・７ｂ及び排気弁間通路３を介して連通する。
【０００８】
この図３の状態のとき、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂがいずれも排気ポートＲ・Ｓを閉じた状態で、第１のアウトポートＡと第２のアウトポートＢとが、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれのピストン間通路７ａ・７ｂ及び排気弁間通路３を介して互いに連通するため、これら両アウトポートＡ・Ｂ間の配管中に空気を排気することなく留めておいて、アクチュエータの次の作動に利用できる。
【０００９】
（４）図４に示すように、第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオンのときは、これらが第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ閉じて、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂが内側ピストン部４ｃに作用する供給圧によりいずれも出力側に切り替わるとともに、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂがいずれも開いて、インポートＰと第１及び第２のアウトポートＡ・Ｂの間が連通するとともに、第１及び第２の排気ポートＲ・Ｓの間が排気弁間通路３を介して連通する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
先ず、本例の４ポジション電磁弁装置の構造について図１を参照して説明する。
この４ポジション電磁弁装置の弁本体１は下部本体１ａと上部本体１ｂとからなる。下部本体１ａは、１個のインポートＰと、第１及び第２の一対のアウトポートＡ・Ｂと、第１及び第２の一対の排気ポートＲ・Ｓとを有する。この下部本体１ａの内部には、第１及び第２の排気ポートＲ・Ｓをそれぞれ開閉する第１及び第２の一対の排気弁（ポペット弁）２ａ・２ｂが内蔵され、またこれら排気弁２ａ・２ｂ間を直接連通させる排気弁間通路３が設けられている。
【００１２】
上部本体１ｂの内部には、インポートＰからの供給圧をそのまま流入する共通受圧室６を挟んで互いに逆向きに対向する第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂと、これらの外側にそれぞれ配置された第１及び第２の一対の電磁パイロット弁５ａ・５ｂとが内蔵されている。
【００１３】
第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂは、内側ピストン部４ｃと、内側ピストン部４ｃよりも大径の外側ピストン部４ｄと、内側ピストン部４ｃと同径の中間ピストン部４ｅとをそれぞれ有し、それぞれの内側ピストン部４ｃ、外側ピストン部４ｄ及び中間ピストン部４ｅの外周にはパッキンが付設されているが、上部本体１ｂ側にはパッキンは無い。これらスプール弁４ａ・４ｂは、互いの内側ピストン部４ｃが共通受圧室６で対向して、いずれもインポートＰからの供給圧を内側ピストン部４ｃで受けるが、第１のスプール４ａの外側ピストン部４ｄは、第１の電磁パイロット弁５ａからのパイロット圧をパイロット圧通路９ａを通じて受け、また第２のスプール弁４ｂの外側ピストン部４ｄは、第２の電磁パイロット弁５ｂからのパイロット圧をパイロット圧通路９ｂを通じて受けて、それぞれ切替摺動するようになっている。
【００１４】
この切替摺動により第１のスプール弁４ａは、インポートＰから共通受圧室６を経て第１のアウトポートＡへ至る通路を遮断し、第１のアウトポートＡから内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ａ及び排気通路８ａを経て排気弁間通路３へ通ずる通路を開く排気側切替状態と、前者の通路を開き、後者の通路を遮断する出力側切替状態とに切り替わる。また、第２のスプール弁４ｂは、インポートＰから共通受圧室６を経て第２のアウトポートＢへ至る通路を遮断し、第２のアウトポートＢから内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ｂ及び排気通路８ｂを経て排気弁間通路３へ通ずる通路を開く排気側切替状態と、前者の通路を開き、後者の通路を遮断する出力側切替状態とに切り替わる。
【００１５】
第１及び第２のそれぞれの電磁パイロット弁５ａ・５ｂは、ソレノイド１６に通電してオンにすると、プランジャ弁体１７がスプリング１８に抗してパイロット弁口１９を閉じ、インポートＰから共通受圧室６及びこれより分岐する通路１０ａ又は１０ｂを通じて供給される供給圧を遮断するとともに、供給されたパイロット圧を排気口２３から排気する。
【００１６】
第１及び第２のそれぞれの排気弁２ａ・２ｂは、ポペット弁体２０により排気弁口２１を開閉する。第１の排気弁２ａは、第２の電磁パイロット弁５ｂがオフになってそのパイロット弁口１９を開いたとき、ポペット弁体２０が、第２の電磁パイロット弁５ｂからのパイロット圧をパイロット圧通路２２ａを通じて受けて排気弁口２１を閉じ、第１の排気ポートＲとの間を遮断するのに対し、第２の排気弁２ｂは、第１の電磁パイロット弁５ａがオフになってそのパイロット弁口１９を開いたとき、ポペット弁体２０が、第１の電磁パイロット弁５ａからのパイロット圧をパイロット圧通路２２ｂを通じて受けて排気弁口２１を閉じ、第２の排気ポートＳとの間を遮断する。
【００１７】
このような構成において、図１に示すように、第１の電磁パイロット弁５ａがオフ（非通電）で第２の電磁パイロット弁５ｂがオン（通電）のときは、第１の電磁パイロット弁５ａがインポートＰから第１のスプール弁４ａへ通ずるパイロット圧通路９ａを開く一方、第２の電磁パイロット弁５ｂがインポートＰから第２のスプール弁４ｂへ通ずるパイロット圧通路９ｂを閉じて排気口２３から排気する。これにより第１のスプール弁４ａは、その外側ピストン部４で第１の電磁パイロット弁５ａからのパイロット圧を受けて排気側に切り替わるので、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間が内側ピストン部４ｃにて遮断されるのに対し、第１のアウトポートＡから排気弁間通路３へ通ずる通路は、内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ａ及び排気通路８ａを経て連通する。
【００１８】
一方、第２のスプール弁４ｂは、インポートＰからの供給圧を内側ピストン部４ｃに受けて出力側へ切り替わるので、インポートＰと第２のアウトポートＢとの間が共通受圧室６を経て連通し、供給圧が第２のアウトポートＢから出力されるのに対し、第２のアウトポートＢと第２の排気通路８ｂとの間は、第２のスプール弁４ｂの内側ピストン部４ｃにて遮断される。このとき、第１の排気弁２ａは、そのポペット弁体２０が排気弁口２１を開くので、第１のアウトポートＡから第１の排気ポートＲへと排気される。また、第２の排気弁２ｂのポペット弁体２０は、第１の電磁パイロット弁５ａからのパイロット圧により排気弁口２１を閉じて、第２の排気ポートＳからの排気を遮断する。
【００１９】
次に、図２に示すように、第１の電磁パイロット弁５ａがオンで第２の電磁パイロット弁５ｂがオフのときは、第２の電磁パイロット弁５ｂが、インポートＰから第２のスプール弁４ｂへ通ずるパロット圧通路９ｂを開く一方、第１の電磁パイロット弁５ａが、インポートＰから第１のスプール弁４ａへ通ずるパイロット圧通路９ａを閉じて排気口２３から排気する。これにより第２のスプール弁４ｂは、その外側ピストン部４で第２の電磁パイロット弁５ｂからのパイロット圧を受けて排気側に切り替わるので、インポートＰと第２のアウトポートＢとの間が内側ピストン部４ｃにて遮断されるのに対し、第２のアウトポートＢから排気弁間通路３へ通ずる通路は、内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ｂ及び排気通路８ｂを経て連通する。
【００２０】
一方、第１のスプール弁４ａは、インポートＰからの供給圧を内側ピストン部４ｃに受けて出力側へ切り替わるので、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間が共通受圧室６を経て連通し、供給圧が第１のアウトポートＡから出力されるのに対し、第１のアウトポートＡと第１の排気通路８ａとの間は、第１のスプール弁４ａの内側ピストン部４ｃにて遮断される。このとき、第２の排気弁２ｂは、そのポペット弁体２０が排気弁口２１を開くので、第２のアウトポートＢから第２の排気ポートＳへと排気される。また、第１の排気弁２ａのポペット弁体２０は、第２の電磁パイロット弁５ｂからのパイロット圧により排気弁口２１を閉じて、第１の排気ポートＲからの排気を遮断する。
【００２１】
図３に示すように、第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオフのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが、インポートＰから第１のスプール弁４ａへ通ずるパイロット圧通路９ａを開くとともに、第２の電磁パイロット弁５ｂも、インポートＰから第２のスプール弁４ｂへ通ずるパロット圧通路９ｂを開く。これにより、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂは、いずれも外側ピストン部４でパイロット圧を受けて排気側に切り替わるので、インポートＰと第１のアウトポートＡとの間及びインポートＰと第２のアウトポートＢとの間が、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂの内側ピストン部４ｃにてそれぞれ遮断されるのに対し、第１のアウトポートＡから排気弁間通路３へ通ずる通路は、第１のスプール弁４ａの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ａ及び排気通路８ａを経て連通するとともに、第２のアウトポートＢから排気弁間通路３へ通ずる通路も、第２のスプール弁４ｂの内側ピストン部４ｃと中間ピストン部４ｅとの間のピストン間通路７ｂ及び排気通路８ｂを経て連通する。
【００２２】
このとき、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂは、パイロット圧により排気弁口２１を閉じて、第１の排気ポートＲからの排気及び第２の排気ポートＳからの排気をそれぞれ遮断する。
【００２３】
従って、第１のアウトポートＡと第２のアウトポートＢとが、第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂのそれぞれのピストン間通路７ａ・７ｂ及び排気弁間通路３を介して互いに連通するため、これら両アウトポートＡ・Ｂ間の配管中に空気を排気することなく留めておいて、アクチュエータの次の作動に利用できる。
【００２４】
図４に示すように、第１及び第２の電磁パイロット弁５ａ・５ｂがいずれもオンのときは、第１の電磁パイロット弁５ａが、インポートＰから第１のスプール弁４ａへ通ずるパイロット圧通路９ａを閉じて排気口２３から排気するとともに、第２の電磁パイロット弁５ｂも、インポートＰから第２のスプール弁４ｂへ通ずるパイロット圧通路９ｂを閉じて排気口２３から排気する。これにより第１及び第２のスプール弁４ａ・４ｂは、いずれもインポートＰからの供給圧を内側ピストン部４ｃに受けて出力側へ切り替わるので、インポートＰと第１及び第２のアウトポートＡ・Ｂとの間が共通受圧室６を経て連通し、供給圧が第１及び第２のアウトポートＡ・Ｂの両方から出力されるのに対し、第１のアウトポートＡと第１の排気通路８ａとの間は、第１のスプール弁４ａの内側ピストン部４ｃにて遮断され、また第２のアウトポートＢと第２の排気通路８ｂとの間は、第２のスプール弁４ｂの内側ピストン部４ｃにて遮断される。
【００２５】
このとき、第１及び第２の排気弁２ａ・２ｂは、それぞれ排気弁口２１を開くので、第１のスプール弁４ａのピストン間通路７ａ及び排気通路８ａと、第２のスプール弁４ｂのピストン間通路７ｂ及び排気通路８ｂは排気ポートＲ・Ｓから排気される。
【００２６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明は、第１及び第２の主弁として、内側ピストン部とこれよりも大径の外側ピストン部と中間の中間ピストン部とを有するスプール弁を用い、これら第１と第２のスプール弁を、インポートからの供給圧をそのまま流入する共通受圧室を挟んで対向させ、第１及び第２の電磁パイロット弁がいずれもオフのときは、これらが第１及び第２のパイロット通路をそれぞれ開いて、共通受圧室に流入するインポートからの供給圧がパイロット圧となって第１及び第２のスプール弁の外側ピストン部と第１及び第２の排気弁に作用し、第１及び第２のスプール弁がいずれも排気側に切り替わるとともに、第１及び第２の排気弁がいずれも閉じて、インポートと第１のアウトポートとの間、及びインポートと第２のアウトポートとの間が、第１及び第２のスプール弁のそれぞれの内側ピストンにて遮断されるとともに、第１のアウトポートと第２のアウトポートとの間が、第１及び第２のスプール弁のそれぞれの内側ピストンと中間ピストンとの間に形成されるピストン間通路及び排気弁間通路を介して連通する構成にしたので、従来よりも小型化できるとともに、製造が容易であり、更に動作の安定性も高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す構成図で、第１の電磁パイロット弁がオフで第２の電磁パイロット弁がオンのときの状態である。
【図２】同じく第１の電磁パイロット弁がオンで第２の電磁パイロット弁がオフのときの状態である。
【図３】第１及び第２の電磁パイロット弁がいずれもオフのときの状態である。
【図４】第１及び第２の電磁パイロット弁がいずれもオンのときの状態である。
【符号の説明】
Ｐ　インポート
Ａ・Ｂ　アウトポート
Ｒ・Ｓ　排気ポート
１　弁本体
１ａ　下部本体
１ｂ　上部本体
２ａ・２ｂ　排気弁
３　排気弁間通路
４ａ・４ｂ　スプール弁
４ｃ　内側ピストン部
４ｄ　外側ピストン部
４ｅ　中間ピストン部
５ａ・５ｂ　電磁パイロット弁
６　共通受圧室
７ａ・７ｂ　ピストン間通路
８ａ・８ｂ　排気通路
９ａ・９ｂ　パイロット圧通路
１０ａ・１０ｂ　通路
１６　ソレノイド
１７　プランジャ弁体
１８　スプリング
１９　パイロット弁口
２０　ポペット弁体
２１　排気弁口
２２ａ・２２ｂ　パイロット圧通路
２３　排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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