(57)【要約】【課題】微小流量から大流量まで適用可能とし、微小流量時にも高精度に流量制御する。【解決手段】供給される液体の圧力を減圧するレギュレータ２０と、該レギュレータ２０の下流側に直列に接続され、流路に設けられた弁の弁開度を調整する流量調整弁２２と、液体の流量を検出する流量センサ１８とを設ける。流量センサ１８の検出値および目標流量値に基づいて、レギュレータ操作量を求めるとともに、流量調整弁２２の弁開度操作量を求めて制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給される液体の圧力を減圧するレギュレータと、
前記レギュレータの下流側に直列に接続され、流路に設けられた弁の弁開度を調整する流量調整弁と、
前記液体の流量を検出する流量センサと、
前記流量センサの検出値および目標流量値に基づいて、レギュレータ操作量を求めて前記レギュレータを制御するとともに、前記流量調整弁の弁開度操作量を求めて前記流量調整弁を制御する制御部とを有することを特徴とする流量制御装置。
【請求項２】
請求項１記載の流量制御装置において、
前記制御部は、前記流量センサの検出値と目標流量値との偏差が０となるように前記レギュレータ操作量を求め、前記レギュレータ操作量が所定の閾値を上回るとき、前記弁開度を増加させることを特徴とする流量制御装置。
【請求項３】
請求項１記載の流量制御装置において、
前記目標流量値が所定の制御切換点に対応した流量より大きいときには、前記レギュレータの設定を略一定としたまま前記弁開度を増減させて流量を制御し、前記目標流量値が前記制御切換点に対応した流量より小さいときには、前記弁開度を略一定としたまま前記レギュレータを操作して流量を制御することを特徴とする流量制御装置。
【請求項４】
請求項１記載の流量制御装置において、
前記流量センサは、前記レギュレータの上流側に設けられていることを特徴とする流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体の流量を制御する流量制御装置に関し、特に、微小流量から大流量まで制御可能な流量制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、液体の流量は弁の弁開度（開口断面積）と、弁の前後における圧力差によって決まる。液体の流量を制御する装置には、弁開度を変えるものと圧力を変えるものとがある。
【０００３】
図９に示す曲線１００は圧力が比較的高い状態で弁開度を変える場合の流量の変化を示し、曲線１０２は圧力が比較的低い状態で弁開度を変える場合の流量の変化を示す。曲線１０４は弁開度が比較的大きい状態で圧力を変える場合の流量の変化を示し、曲線１０６は弁開度が比較的小さい状態で圧力を変える場合の流量の変化を示す。圧力を変えて流量を変化させる場合、流量は圧力の平方根に比例する。
【０００４】
弁開度を変える場合には、曲線１００および１０２のように比較的広範囲の流量に対応可能である。しかしながら、この場合には弁開度の変化がそのまま流量の変化として現れ、微小流量域においては、弁開度の小さい変化による流量の変化が大きく、制御精度が低い。また、圧力変動の外乱による流量変化の影響が大きい。
【０００５】
圧力を変える場合には、流量を安定させるために弁開度を小さく設定し、例えば、曲線１０６に沿うように制御する。この場合、圧力変化に対する流量変動が小さいので流量の安定性が高まる。一方、制御できる流量の範囲が狭く、大流量には適応できない。
【０００６】
液体の流量を制御する流量制御装置としては、温度変化に対して安定した流量制御を行う装置（例えば、特許文献１参照）、上流側圧力の変動による流量変動の影響を低減する装置（例えば、特許文献２参照）、および２以上の液体の流量をそれぞれ制御して混合する装置（例えば、特許文献３参照）が提案されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−１２４４６０号公報（図１）
【特許文献２】
特開平９−３０３６０９号公報（図１）
【特許文献３】
特開平１０−１６１７５１号公報（図１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記の特許文献１〜３で提案されている装置では、基本的に弁開度を変化させることによって流量を制御するものであり、圧力変動等の外乱に対して比較的不安定である。また、微小流量の制御を行うためには、弁開度を極端に小さくするとともに弁開度を極微小量ずつ変化させる必要がある。このため、機械的構造が複雑になるとともに高精度かつ高価なモータを必要とる。
【０００９】
近時、例えば、半導体製造装置等において、使用する薬液の量を節約するために適切な微小流量で供給するという要望があり、この場合、微小流量の状態で高精度で流量制御する必要がある。一方、薬液を希釈・混合する純水は大流量であることからこのような大流量の制御にも適用可能であることが望ましい。
【００１０】
また、薬液と純水の混合時において、薬液および純水のそれぞれの圧力の差によって、流量が不安定になることがある。つまり、薬液を微小流量とするためにその上流側圧力を低く設定すると、大流量の純水と混合する際に背圧の影響によって流量が不安定となることがある。
【００１１】
さらに、液体の供給源であるポンプによる圧力の脈動等も流量制御における外乱要因となっている。
【００１２】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、微小流量から大流量まで適用可能であって、微小流量時にも高精度に流量制御することを可能にする流量制御装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る流量制御装置は、供給される液体の圧力を減圧するレギュレータと、前記レギュレータの下流側に直列に接続され、流路に設けられた弁の弁開度を調整する流量調整弁と、前記液体の流量を検出する流量センサと、前記流量センサの検出値および目標流量値に基づいて、レギュレータ操作量を求めて前記レギュレータを制御するとともに、前記流量調整弁の弁開度操作量を求めて前記流量調整弁を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【００１４】
このようにレギュレータと流量調整弁を直列に接続して制御することにより、微小流量から大流量まで制御可能になり、微小流量時にも高精度に流量制御することができる。
【００１５】
この場合、前記制御部は、前記流量センサの検出値と目標流量値との偏差が０となるように前記レギュレータ操作量を求め、前記レギュレータ操作量が所定の閾値を上回るとき、前記弁開度を増加させるようにしてもよい。
【００１６】
また、前記目標流量値が所定の制御切換点に対応した流量より大きいときには、前記レギュレータの設定を略一定としたまま前記弁開度を増減させて流量を制御し、前記目標流量値が前記制御切換点に対応した流量より小さいときには、前記弁開度を略一定としたまま前記レギュレータを操作して流量を制御すると、簡便な手順で流量制御を行うことができ、しかも微小流量時にも高精度に流量制御することができる。
【００１７】
さらに、前記流量センサは、前記レギュレータの上量側に設けると、レギュレータや流量調整弁によって発生する泡の影響を受けることがなく、流量を正確に計測することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る流量制御装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図１〜図８を参照しながら説明する。
【００１９】
図１および図２に示すように、本実施の形態に係る流量制御装置１０は、コントローラ１２と、該コントローラ１２に接続される入出力装置１４と、制御装置本体１６とを有する。入出力装置１４は表示部としてのモニタ画面１４ａを備える。
【００２０】
制御装置本体１６は、通過する液体の流量を計測する流量センサ１８と、該流量センサ１８を通過した液体の圧力を減圧するレギュレータ２０と、弁の弁開度を変化させてレギュレータ２０から供給される液体の流量を制御する流量調整弁２２とを有する。流量制御装置１０において流量が制御される液体は、図示しないポンプから入口管２４に供給され流量センサ１８、レギュレータ２０および流量調整弁２２を通り出口管２６から導出される。流量制御装置１０に適用される液体は、例えば、薬液や純水である。
【００２１】
流量センサ１８は超音波式のセンサであり、２つの送受信部１８ａ、１８ｂによる双方向の超音波パルス伝搬時間差から流量を検出することができる。流量センサ１８は微小時間毎に連続して流量を検出し、得られた検出値をコントローラ１２へ供給する。流量センサ１８には、パドル式流量センサ、熱式流量センサおよびフロート式流量センサ等を使用してもよい。
【００２２】
レギュレータ２０は、電空レギュレータ３２とエアオペレートバルブ３４とを有する。電空レギュレータ３２はコントローラ１２から供給されるレギュレータ操作量指令値に基づいてパイロット管路３０の空気圧力を調整する。エアオペレートバルブ３４はパイロット管路３０の空気圧力によって液体の接続部３６の圧力を調整する。
【００２３】
電空レギュレータ３２にはコンプレッサ等のエア供給源から比較的高圧の圧縮空気が管路３７を介して供給されており、該圧縮空気をレギュレータ操作量指令値に基づいて減圧してパイロット管路３０に導出する。電空レギュレータ３２にはアンプ機能等を内蔵するインターフェース回路が設けられており、コントローラ１２から供給されるレギュレータ操作量指令値はこのインターフェース回路を介して作用する。エアオペレートバルブ３４には、流量センサ１８を通った液体が供給されており、パイロット管路３０の空気圧力に基づいて減圧して接続部３６に導出する。エアオペレートバルブ３４は、例えば、ダイヤフラム式のバルブを用いるとよい。また、レギュレータ２０は十分に速い応答性を有し接続部３６の圧力を迅速に設定することができる。従って、ポンプの圧力変動（ピストンの脈動等による）が発生した場合においても、接続部３６の圧力値に与える影響は非常に小さい。
【００２４】
レギュレータ２０は、空気圧力パイロット式に限らず、例えば、モータ駆動型、電磁ソレノイド型等を用いてもよい。
【００２５】
流量調整弁２２は、モータ駆動型の絞り弁であり、弁開度を変化させることができる。流量調整弁２２のアクチュエータであるモータ２２ａは、ステッピングモータである。このモータ２２ａは、例えば、ＡＣ型モータ等を用いてもよい。また、モータ２２ａは比較的低精度なもので足りる。
【００２６】
さらに、流量調整弁２２は弁開度を変化できるものであればよく、例えば、ソレノイド駆動型やスプール型の調整弁でもよい。
【００２７】
コントローラ１２は流量センサ１８に接続されており、該流量センサ１８から液体の流量を読み取る。また、コントローラ１２はレギュレータ２０および流量調整弁２２に接続されており、レギュレータ２０にレギュレータ操作量指令値としての電圧信号または電流信号を供給し、流量調整弁２２に指令値としてのパルス信号列を供給する。さらに、コントローラ１２はオルタネート式のスイッチ３８に接続されており、該スイッチ３８を操作することによって流量制御装置１０を作動および停止させることができる。入出力装置１４、流量センサ１８、レギュレータ２０、流量調整弁２２およびスイッチ３８は、それぞれ小型コネクタを介してコントローラ１２に接続されており、該小型コネクタを着脱することによって分解自在である。
【００２８】
次に、このように構成される流量制御装置１０により液体の流量を制御する手順について図３〜図５を参照しながら説明する。
【００２９】
まず、コントローラ１２のプログラムの実行に先立ち、図３に示す制御切換点Ｐを設定する。この制御切換点Ｐは大流量の領域４０と微小流量の領域４２との境界点であり、領域４０は主にレギュレータ２０で制御され、領域４２は主に流量調整弁２２で制御される。制御切換点Ｐはレギュレータ２０の最大操作量よりやや低い箇所に対応した点で、かつ、流量調整弁２２で流量を所定の精度で制御できる略下限の弁開度に対応している。以下の実施の形態では、この制御切換点Ｐに対応するレギュレータ操作量（閾値）は８０％とする。
【００３０】
領域４０において液体の圧力と流量との関係を示す曲線４４は、前記の曲線１００（図９参照）に相当し、領域４２において液体の圧力と流量との関係を示す曲線４６は、前記の曲線１０６（図９参照）に相当する。
【００３１】
このように制御切換点Ｐを設定することにより、領域４０では主として流量調整弁２２により、また、領域４２では主としてレギュレータ２０により高精度に流量を制御することができる。
【００３２】
また、制御切換点Ｐはレギュレータ２０の最大操作量よりやや低い箇所に対応した点に設定されていることから、レギュレータ２０の圧力調整可能な範囲を十分に利用することができるとともに、多少のオーバシュートが許容され、適切な制御が行われる。
【００３３】
この制御切換点Ｐに対応するレギュレータ操作量（最大操作量に対する８０％）と、制御切換点Ｐに対応する流量Ｑ０をコントローラ１２の所定の記録部に記録する。
【００３４】
次に、スイッチ３８の指令に対応する処理について図４を参照しながら説明する。図４および図５に示すフローチャートは、主にコントローラ１２のプログラムで実行される処理であり、所定の微小時間毎に連続的に繰り返し実行される。
【００３５】
まず、ステップＳ１において、スイッチ３８がオンであるかオフであるかを確認する。スイッチ３８がオンであるときにはステップＳ２へ移り、オフであるときにはステップＳ５へ移る。
【００３６】
ステップＳ２においては、スイッチ３８がオフからオンへの遷移直後であるか否かを確認する。つまり、前回の処理時においてスイッチ３８がオフであったときには遷移直後であると判断する。スイッチ３８がオフからオンへの遷移直後であるときにはステップＳ３へ移り、それ以外のときにはステップＳ８へ移る。
【００３７】
ステップＳ３においては、流量制御装置１０の初期設定を行う。つまり、スイッチ３８が最後にオフになったときの各状態変数をロードし、所定のパラメータにセットする。この状態変数は後述するステップＳ６において所定の記憶部に記録されたものである。なお、この初期設定時には、流量調整弁２２の弁開度は全閉となっている。
【００３８】
次に、ステップＳ４において、目標流量値を予め設定された値にセットする。この後、ステップＳ８へ移る。
【００３９】
また、ステップＳ５、つまりスイッチ３８がオフであるときには、スイッチ３８がオンからオフへの遷移直後であるか否かを確認する。つまり、前回の処理時におけるスイッチ３８がオンであったときには遷移直後であると判断する。スイッチ３８がオンからオフへの遷移直後であるときにはステップＳ６へ移り、それ以外のときにはステップＳ２２へ移る。
【００４０】
ステップＳ６においては、その時点における各パラメータの値を状態変数として所定の記録部に記録する。
【００４１】
次に、ステップＳ７において、流量調整弁２２の弁開度を「０」（全閉）に設定するとともにレギュレータ２０をオフとなるように設定し、ステップＳ２１へ移る。レギュレータ２０はオフに設定されることにより、下流側、つまり接続部３６の圧力を０にする。この後ステップＳ２１へ移る。
【００４２】
このように、ステップＳ１〜Ｓ７の処理によって、スイッチ３８の状態に基づいて状態変数を記録またはロードすることにより、パラメータを毎回設定する必要がない。また、スイッチ３８がオフになったときにはレギュレータ２０および流量調整弁２２の双方を停止させ、液体の流れを止めることができる。
【００４３】
次に、レギュレータ２０、流量調整弁２２および入出力装置１４を制御するメイン処理部について図５を参照しながら説明する。
【００４４】
まず、ステップＳ８において、入出力装置１４等の外部機器から目標流量値を入力する。
【００４５】
次に、ステップＳ９において、目標流量値が「０」であるか否かを確認する。目標流量値が「０」である場合には、ステップＳ１０へ移り、目標流量値が「０」でない場合には次のステップＳ１１へ移る。
【００４６】
ステップＳ１０においては、流量調整弁２２の弁開度が「０」となるように弁開度操作量を設定するとともにレギュレータ２０をオフに設定する。また、各状態変数を初期化し、ステップＳ２１へ移る。流量調整弁２２の弁開度が「０」となるように設定することにより、コントローラ１２の図示しないインターフェースは流量調整弁２２に弁を閉じるようにパルス列を送信する。このとき、送信するパルス列の数をやや多く設定し、流量調整弁２２が確実に遮断されるようにする。
【００４７】
ステップＳ１１においては、流量センサ１８から実流量値を入力する。
【００４８】
次に、ステップＳ１２において、目標流量値が制御切換点Ｐに対応した流量Ｑ０（図３参照）以上であるか否かを確認する。目標流量値が流量Ｑ０以上であるときにはステップＳ１３へ移り、流量Ｑ０未満であるときにはステップＳ１５へ移る。
【００４９】
ステップＳ１３においては、目標流量値が変更されたか否かを確認する。つまり、前回処理時と今回の処理時において目標流量値が同じか異なるかを確認し、異なる場合にはステップＳ１４へ移り、同じ場合にはステップＳ１５へ移る。
【００５０】
ステップＳ１４においては、流量調整弁２２の弁開度を目標流量値に対応した開度となるように弁開度操作量を設定する。目標流量値に対応した弁開度操作量は、計算や所定のマップ参照によって求め、この開度となるように流量調整弁２２に出力する。この後ステップＳ１５へ移る。
【００５１】
次に、ステップＳ１５においては、流量センサ１８から供給された実流量値と目標流量値との偏差を求める。以降のステップではこの偏差に基づいて処理を行うこととなり、実流量値はフィードバックとして作用する。また、このステップＳ１５は一般の制御系における減算点として作用する。
【００５２】
次に、ステップＳ１６において、偏差に基づいてレギュレータ操作量を算出する。このレギュレータ操作量は、例えば、ＰＩＤ処理等により算出する。
【００５３】
次に、ステップＳ１７において、レギュレータ操作量を適正なレンジとなるように補正する。つまり、レギュレータ２０の入力レンジに適合するように下限値および上限値で制限し、０〜１００％の値にする。
【００５４】
次に、ステップＳ１８において、レギュレータ操作量が最大操作量の８０％以上であるか否かを確認する。レギュレータ操作量が最大操作量の８０％以上である場合にはステップＳ１９へ移り、レギュレータ操作量が最大操作量の８０％を下回る場合には、ステップＳ２０へ移る。なお、この８０％という閾値は、前述の記録部に記録されたものである。
【００５５】
ステップＳ１９においては、流量調整弁２２の弁開度をその時点の開度よりも所定量増大させるように弁開度操作量を求め、ステップＳ２０へ移る。
【００５６】
次に、ステップＳ２０において、レギュレータ操作量をレギュレータ２０の指令値入力仕様に適合したレギュレータ操作量指令値に変換する。具体的には、１〜５［Ｖ］の電圧に相当する値や、２０〜４０［ｍＡ］に相当する値に変換する。
【００５７】
次に、ステップＳ２１において、レギュレータ操作量指令値を電圧、電流等の信号としてレギュレータ２０に供給する。また、弁開度操作量に基づく指令値を流量調整弁２２にパルス列として出力する。
【００５８】
次に、ステップＳ２２において情報を入出力装置１４に供給する。この情報は、流量センサ１８から得た実流量値、レギュレータ操作量、流量調整弁２２の弁開度操作量および種々のアラーム信号等である。このうち、実流量値は、入出力装置１４のモニタ画面１４ａに常時表示するとよい。レギュレータ操作量、流量調整弁２２の弁開度操作量は、メンテナンス時に必要に応じて表示させるとよく、アラーム信号は、異常時に表示させるとよい。
【００５９】
入出力装置１４に情報を供給した後、今回の処理を終了する。
【００６０】
次に、流量制御装置１０によって制御される流体の流量および圧力の関係について図３および図５を参照しながら説明する。
【００６１】
制御切換点Ｐに対応した流量Ｑ０よりも小さい流量Ｑ１が目標流量値であるとき、初期状態においては、流量調整弁２２が全閉であることから、レギュレータ操作量は瞬間的に１００％となる。このとき、ステップＳ１３およびＳ１４は実行されない。
【００６２】
この後、ステップＳ１８およびＳ１９が実行されることによる作用によって流量調整弁２２の弁開度は次第に大きくなり、制御切換点Ｐに対応した開度になる。また、弁開度が大きくなることにより液体が流れ、ステップＳ１５で求められる偏差がやや小さくなる。これにより、レギュレータ操作量が８０％になり、接続部における液体の圧力および流量の状態は制御切換点Ｐとなる。さらに、目標流量値である流量Ｑ１は流量Ｑ０より小さいので、レギュレータ操作量が低下し、曲線４６に沿って移動して流量Ｑ１の点Ｐ１に達する。曲線４６は緩やかな傾斜であることからレギュレータ操作量の変化に対する流量の変化が小さく、結果として流量を高精度に設定することができる。
【００６３】
次に、制御切換点Ｐに対応した流量Ｑ０よりも大きい流量Ｑ２が目標流量値であるときには、ステップＳ１３およびＳ１４が実行されることによる作用によって流量調整弁２２の弁開度操作量が設定され、レギュレータ操作量は８０％となって、流量Ｑ２に対応した点Ｐ２に達する。この後、ステップＳ１３およびＳ１４が実行されることによる作用によってレギュレータ操作量が変化し微調整が可能である。つまり、レギュレータ２０によって接続部３６の圧力が調整されることによって、小曲線４８に沿って液体の状態が変化し流量が微調整される。
【００６４】
このように、曲線４４に沿って流量Ｑ０〜最大流量Ｑ３まで広範囲の流量設定が可能であり、さらに小曲線４８に沿って微調整することにより高精度の流量制御が可能である。また、微調整はレギュレータ２０で行うことができるので、流量調整弁２２は比較的に低精度で足り、廉価なものを使用することができる。
【００６５】
なお、領域４０で流量の微調整を行う場合において、レギュレータ２０を用いることなく、流量調整弁２２の開度を増減して調整してもよい。例えば、最大流量Ｑ３の近傍では、曲線４４の傾斜は緩やかであることから、流量調整弁２２の開度を変えることによっても流量を比較的高精度に設定することができる。
【００６６】
上記したように、本実施の形態に係る流量制御装置１０によれば、レギュレータ２０と流量調整弁２２を直列に接続して協調的に制御することにより微小流量から大流量まで適用することができ、特に、微小流量時にも高精度に流量制御することができる。
【００６７】
また、流量センサ１８は、レギュレータ２０の上流側に設けられていることから、レギュレータ２０や流量調整弁２２内で発生する泡の影響を受けることがなく、流量を正確に計測することができる。
【００６８】
さらに、レギュレータ２０によって接続部３６の圧力が調整されるので、液体の供給源であるポンプ脈動等の外乱が流量制御に与える影響は極めて小さい。
【００６９】
次に、本実施の形態の変形例である流量制御装置１０ａについて図６〜図８を参照しながら説明する。流量制御装置１０ａは、１台のコントローラ１２により制御装置本体１６ａ、１６ｂおよび１６ｃを制御し、それぞれ個別に流量制御するものである。流量制御装置１０ａにおいて前記の流量制御装置１０と同じ箇所については、同符号を付しその詳細な説明を省略する。
【００７０】
流量制御装置１０ａは、供給される液体の流量をそれぞれ個別に調整する制御装置本体１６ａ、１６ｂ、１６ｃと、これらの制御装置本体１６ａ〜１６ｃを制御するコントローラ１２と、制御装置本体１６ａ〜１６ｃによって流量制御された液体を混合するミキシング装置５０とを有する。制御装置本体１６ａ〜１６ｃは、それぞれ前記の制御装置本体１６と同じ構成である。
【００７１】
制御装置本体１６ａには、例えば、純水が供給され、該純水は制御装置本体１６ａで比較的大流量に調整されてミキシング装置５０に供給される。制御装置本体１６ｂおよび１６ｃには、例えば、第１の薬液および第２の薬液が供給され、制御装置本体１６ｂおよび１６ｃによりそれぞれ微小流量に調整されてミキシング装置５０に供給される。ミキシング装置５０では、供給される純水、第１の薬液および第２の薬液を混合した後、混合液を他の機器へ導出する。
【００７２】
図７に示すように、コントローラ１２の記録部には制御装置本体１６ａを制御するタスク１、制御装置本体１６ｂを制御するタスク２および制御装置本体１６ｃを制御するタスク３が記録されている。各タスク１〜３はそれぞれプログラム、制御変数配列および各パラメータから構成されている。各タスク１〜３は、図４および図５に示すフローチャートと同様の処理を行う。具体的には、図８に示すように、タスク１、タスク２およびタスク３を所定の微小時間内に順に実行し、これを連続的に繰り返すことによって、所謂マルチタスク形式の実行形態となり、制御装置本体１６ａ、１６ｂおよび１６ｃをそれぞれ個別にリアルタイムで制御することができる。
【００７３】
この場合、純水は大流量であることから、図３に示す領域４０の曲線４４に沿うように制御され、第１および第２の薬液は微小流量であることから、図３に示す領域４２の曲線４６に沿うように制御される。
【００７４】
このように、流量制御装置１０ａによれば、１台のコントローラ１２により３台の制御装置本体１６ａ〜１６ｃを通過する液体の流量を個別に制御することができる。また、大流量から微小流量まで設定可能であり、微小流量である場合にも高精度に制御可能である。
【００７５】
さらに、ミキシング装置５０に流入する純水、第１の薬液および第２の薬液の各流量は、各管路抵抗５２ａ、５２ｂおよび５２ｃ（図６参照）による背圧の影響が少ない。すなわち、各制御装置本体１６ａ〜１６ｃでは、流量調整弁２２の上流側においてレギュレータ２０によって圧力を調整しているので、設定された目標流量値が微小流量であっても、大流量の液体に押し負けて流量が不安定になることがない。従って、目標流量値として設定された流量をミキシング装置５０に確実に流入させることができ、純水に対する第１の液薬および第２の液薬の濃度を適切に設定可能である。
【００７６】
なお、流量制御装置１０ａでは３台の制御装置本体５２ａ、５２ｂおよび５２ｃを用いているが、これに限らず、２台または４台以上であってもよいことはもちろんである。
【００７７】
上記の実施の形態および変形例における流量制御装置１０および１０ａでは、曲線４４および４６（図３参照）で表される軌跡に沿って流量制御する例について説明したが、圧力と流量の特性は必ずしもこれらの曲線に沿わせる必要はなく、液体の特性等や供給先の機器特性に応じて適切な軌跡を適宜設定することができる。
【００７８】
本発明に係る流量制御装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【００７９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る流量制御装置によれば、液体の流量を微小流量から大流量まで制御することができる。また、特に、液体を微小流量に制御する際には高精度に制御することができるという効果を達成する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る流量制御装置を示す一部模式側面図である。
【図２】本実施の形態に係る流量制御装置のブロック図である。
【図３】流量制御装置によって状態が制御される液体の圧力流量特性線図である。
【図４】コントローラで実行されるプログラムのフローチャート（その１）である。
【図５】コントローラで実行されるプログラムのフローチャート（その２）である。
【図６】流量制御装置の変形例を示す一部模式側面図である。
【図７】流量制御装置の変形例におけるタスクを示す模式図である。
【図８】流量制御装置の変形例におけるタスク実行手順を示すフローチャートである。
【図９】従来の流量制御装置における液体の圧力流量特性線図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ…流量制御装置      １２…コントローラ
１４…入出力装置
１６、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ…制御装置本体
１８…流量センサ                ２０…レギュレータ
２２…流量調整弁                ２２ａ…モータ
２４…入口管                    ２６…出口管
３６…接続部                    ３８…スイッチ
５０…ミキシング装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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