(57)【要約】【課題】低損失で照射角度およびオフセット角度を固定することができるレーザ速度計の照射ヘッド、及び、小型集積化を図り、高精度の速度計測を行うことができるレーザ速度計を提供する。【解決手段】レーザ速度計の照射ヘッドは、速度測定対象物２０に対し、一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度Δθを予め定められた角度に設定して照射する。レーザ光をそれぞれ出射する２本の光導波路１２１ｃの出射端１２１ｃ′に、２本の出射レーザ光がともに入射されるようにレーザ光の光軸に直交する軸をもつ１個の円柱レンズ１２３を設けた。【選択図】　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
速度測定対象物に対し、一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度を予め定められた角度に設定して照射するレーザ速度計の照射ヘッドにおいて、
前記レーザ光をそれぞれ出射する２本の光導波路の出射端に、２本の出射レーザ光がともに入射されるようにレーザ光の光軸に直交する軸をもつ１個の円柱レンズを設けた
ことを特徴とするレーザ速度計の照射ヘッド。
【請求項２】
前記２本の光導波路が、基板に支持されたＹ分岐光導波路の一部によって形成され、前記円柱レンズの軸が基板面に垂直な方向となっている
ことを特徴とする請求項１記載のレーザ速度計の照射ヘッド。
【請求項３】
前記Ｙ分岐光導波路が、１入力２出力あるいは２入力２出力端を有する光ファイバから構成された
ことを特徴とする請求項２記載のレーザ速度計の照射ヘッド。
【請求項４】
前記円柱レンズとして光ファイバを用いた
ことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のレーザ速度計の照射ヘッド。
【請求項５】
レーザ光を発光する発光部と、該発光部から照射されるレーザ光を２分割するとともに一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度を予め定められた角度に設定するレーザ光分割部と、該レーザ光分割部で分割された各レーザ光が測定対象物で反射した反射光を前記レーザ光分割部を介して受光する受光部と、該受光部から出力されるビート波形を周波数分析する周波数分析部と、該周波数分析部によって分析された２つのドップラ周波数の値と、前記発光部から照射されるレーザ光のレーザ波長と、前記レーザ光分割部によって分割されたレーザ光の予め定められたオフセット角度とに基づいて測定対象物の速度を算出する速度算出部とを備えるレーザ速度計において、
前記レーザ光分割部が、請求項１〜４の何れかに記載の照射ヘッドを有する
ことを特徴とするレーザ速度計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ速度計の照射ヘッド及び該照射ヘッドを用いたレーザ速度計に係り、より詳細には、光計測法の一つであるレーザドップラ法を用いた、特に２ビーム自己混合型半導体レーザ速度計に好ましく適用されるレーザ速度計の照射ヘッド及び該照射ヘッドを用いたレーザ速度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザドップラ速度計（ＬＤＶ：　Ｌａｓｅｒ　Ｄｏｐｐｌｅｒ　Ｖｅｌｏｃｉｍｅｔｅｒ）はその開発以来数十年が経ち、すでに多くの分野で実用化されており、例えば、回転・往復運動している物体や、ガスや液体の流れの速度計に応用されている。
【０００３】
ＬＤＶの原理は、レーザダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄ）から出射されたレーザ光を、移動している測定対象物に照射することによって、散乱光が生じ、この散乱光をフォトダイオード（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ　Ｄｉｏｄｅ）で受光し、電気スペクトラムアナライザにて検出すると、ドップラシフト周波数が観測され、このドップラシフト周波数と照射角度から速度を求めるというものである。
【０００４】
具体的には、図９に示すように、測定対象物の移動速度をν、照射レーザ光の角波数ベクトルをＫｉ、散乱光の角波数ベクトルをＫｓとすると、そのドップラシフト周波数ｆｄは下式（１）で表すことができる。なお、式（１）中のＫの絶対値は各角波数ベクトルの大きさである。なお、ドップラシフト周波数ｆｄをスカラー表示すると、下式（２）のようになる。
【０００５】
【数１】
2004109083.tif 000003
【０００６】
ここで、λは真空中での光波長である。式（２）には速度νが含まれているので、式（２）より、レーザビーム、物体の移動方向、観測方向の相対角度αとβがわかれば、速度が求められることになる。
【０００７】
しかし、従来のＬＤＶの基本構成としては、光源となるＬＤと測定対象物からの散乱光を受光するＰＤとを別の位置にする必要があった。また、音響工学素子を必要とするなど、センサとしての光学系が複雑になる欠点があった。さらにレーザ光の波長と光学系の幾何学的条件をあらかじめ決定して、ドップラシフト周波数から速度を求めるという原理のため、物体の移動方向と測定系の光軸がなす角度情報があらかじめ必要であった。よって、その相対角度が時間的に変化するといった場合には、速度計測が困難になる。
【０００８】
これらの問題に対して、半導体レーザの自己混合効果を利用する方法が提案されている。この方法は、レーザ光の自己混合効果によって観測されるドップラシフト周波数から速度を求めるというものである。
【０００９】
具体的には、ＬＤから出射されたレーザ光を測定対象に照射する。物体からの散乱光は同じ光路を逆に進み、再び元のＬＤに戻ることによって、元のレーザ光と散乱光とが自己混合し、ビート周波数が発生する。ＬＤ後方に設置されたＰＤで出力光を受光し、その後プリアンプによる増幅や電気スペクトラムアナライザという電気的処理によって、ドップラシフト周波数を観測し、速度を求める。ドップラシフト周波数と速度の関係は式（２）の通りであるが、自己混合型においては戻ってくる散乱光を考えるので、αはπとなる。従って、ドップラシフト周波数は次式（３）のように表すことができる。
【００１０】
【数２】
2004109083.tif 000004
【００１１】
自己混合型の採用によって、受光器としてのＰＤと光源としてのＬＤを一体化することができ、光学系が簡単になる。さらに、ＬＤの自己混合効果を用いることによって、散乱光の受光感度が向上する。しかし、速度を得るには、常に照射角度情報が必要であるあるため、従来の自己混合型は、この点で簡易性が失われ、応用分野も限定されるという問題があった。さらに、正確な照射角度を入力しないと、精密な速度計測を行うことができず、常に一定角度を保つ測定対象物に限定するか、精密な角度計測を行う角度計測装置を新たに付加しなければならず、また、ドップラシフト周波数の算出上、対象物に対してビームを垂直に照射することができないという不都合があった（例えば、非特許文献１参照）。
【００１２】
この問題を解決するため、ＬＤからのレーザ光を２分割し、それぞれのビームを測定対象物の１点に照射させる２ビームを用いた自己混合型ＬＤＶが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１３】
以下に、図１０に示す原理図を参照し、２ビーム法によるドップラシフト周波数を用いた速度算出原理を説明する。
【００１４】
いま、測定対象物の速度ν、レーザ光の波長をλ、２つのビームの照射角度をθ１、θ２とすると、それぞれのビームによるドップラシフト周波数ｆ１、ｆ２は式（４）及び（５）のようになる。ここで、オフセット角度Δθは下式（６）のようになる。
【００１５】
【数３】
2004109083.tif 000005
【００１６】
上式（４）及び（５）からドップラシフト周波数の差Δｆを求めると、下式（７）のようになる。また、式（７）において、未知数は速度νのみであるので、これを求めると下式（８）のようになる。
【００１７】
【数４】
2004109083.tif 000006
【００１８】
上式（８）には、レーザ光の波長λ、２つのドップラシフト周波数ｆ１、ｆ２、オフセット角度Δθのみが含まれている。すなわち、それぞれのビームの照射角度θ１、θ２の情報は不要となり、簡易性でかつ応用が効く速度計の構成が可能である。ただし、ｆ１とｆ２はスペクトラムアナライザ上では常に正として出力されるので、予めθ１とθ２の大まかな照射角度は必要となってくる。以下に３通り示す。
【００１９】
【数５】
2004109083.tif 000007
【００２０】
１）及び３）の場合には式（８）をそのまま使い、２）の場合には式（７）において−２ｆ１ｆ２ｃｏｓΔθを＋２ｆ１ｆ２ｃｏｓΔθと置き換えて計算する必要がある。また、どの場合においてもｆ１とｆ２の識別を行わなくてよい。
【００２１】
【特許文献１】
特開平１０−２６０２５４号公報
【非特許文献１】
光学　３０巻１１号２００１年、ｐｐ．７４８−７５３
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
この２ビーム自己混合型ＬＤＶの原理を元に２ビーム集積型ＬＤＶの照射構成として、導波路を用いた２ビーム集積型ＬＤＶを検討し、図１１に示す構成を考えた。上述した通り、ＬＤＶはビームと測定対象物の照射角度情報を必要とするため、導波路は、照射角度及び分岐させたビームのオフセット角度を固定するためにＹ分岐導波路を使用した。このＹ分岐導波路は、測定対象物に斜め照射させるために、分岐部を通過後、曲線状の導波路形状となっている。
【００２３】
しかし、この照射方法では、導波路の損失が大きかった。原因として、測定対象物に斜め照射するための曲線形状によるものである。導波路が曲線状であるため、導波路長が大きくなってしまい、測定精度の低下および集積化の障害となってしまう。
【００２４】
以上、集積型ＬＤＶにおいて、低損失で照射角度およびオフセット角度を固定することができる照射ヘッドの設計が問題点となっている。
【００２５】
よって、本発明は、上述した現状に鑑みなされたもので、低損失で照射角度およびオフセット角度を固定することができるレーザ速度計の照射ヘッドを提供することを課題としている。
【００２６】
本発明はまた、低損失で照射角度およびオフセット角度を固定することができ、とくに小型集積化が可能なレーザ速度計の照射ヘッドを提供することを課題としている。
【００２７】
本発明はさらに、小型集積化を図り、高精度の速度計測を行うことができるレーザ速度計を提供することを課題としている。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するためなされた請求項１記載の本発明は、速度測定対象物に対し、一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度を予め定められた角度に設定して照射するレーザ速度計の照射ヘッドにおいて、前記レーザ光をそれぞれ出射する２本の光導波路の出射端に、２本の出射レーザ光がともに入射されるようにレーザ光の光軸に直交する軸をもつ１個の円柱レンズを設けたことを特徴とするレーザ速度計の照射ヘッドに存する。
【００２９】
請求項１記載の発明によれば、レーザ光をそれぞれ出射する２本の光導波路の出射端に、２本の出射レーザ光がともに入射されるようにレーザ光の光軸に直交する軸をもつ１個の円柱レンズを設けているので、レーザ光をそれぞれ出射する出射端に至る２本の光導波路が直線としてもビームは屈折されて、その結果、２つのビームのオフセット角が発生することができ、そのため、損失が小さくできる。
【００３０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のレーザ速度計の照射ヘッドにおいて、前記２本の光導波路が、基板に支持されたＹ分岐光導波路の一部によって形成され、前記円柱レンズの軸が基板面に垂直な方向となっていることを特徴とするレーザ速度計の照射ヘッドに存する。
【００３１】
請求項２記載の発明によれば、２本の光導波路が、基板に支持されたＹ分岐光導波路の一部によって形成され、円柱レンズの軸が基板面に垂直な方向となっているので、小型集積化に繋がり、また、オフセット角度が固定できるので、測定精度を向上することができる。
【００３２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のレーザ速度計の照射ヘッドにおいて、前記Ｙ分岐光導波路が、１入力２出力あるいは２入力２出力端を有する光ファイバから構成されたことを特徴とするレーザ速度計の照射ヘッドに存する。
【００３３】
請求項３記載の発明によれば、Ｙ分岐光導波路の構成に光ファイバをし使用しているので、この点からも小型集積化に繋がる。
【００３４】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れかに記載のレーザ速度計の照射ヘッドにおいて、前記円柱レンズとして光ファイバを用いたことを特徴とするレーザ速度計の照射ヘッドに存する。
【００３５】
請求項４記載の発明によれば、円柱レンズとして光ファイバを用いているので、ファイバレンズの特長として、微小なレンズであること、また、市販されている光ファイバを利用することから、安価で加工が容易となる。
【００３６】
請求項５記載の発明は、レーザ光を発光する発光部と、該発光部から照射されるレーザ光を２分割するとともに一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度を予め定められた角度に設定するレーザ光分割部と、該レーザ光分割部で分割された各レーザ光が測定対象物で反射した反射光を前記レーザ光分割部を介して受光する受光部と、該受光部から出力されるビート波形を周波数分析する周波数分析部と、該周波数分析部によって分析された２つのドップラ周波数の値と、前記発光部から照射されるレーザ光のレーザ波長と、前記レーザ光分割部によって分割されたレーザ光の予め定められたオフセット角度とに基づいて測定対象物の速度を算出する速度算出部とを備えるレーザ速度計において、前記レーザ光分割部が、請求項１〜４の何れかに記載の照射ヘッドを有することを特徴とするレーザ速度計に存する。
【００３７】
請求項５記載の発明によれば、レーザ光分割部が、請求項１〜４の何れかに記載の照射ヘッドを有するので、請求項１〜４記載の照射ヘッドの特長により、レーザ速度計の速度測定精度を向上することができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、自己混合型レーザ速度計の一般的な構成を示すブロック図である。自己混合形レーザ速度計は、レーザ光を発光する発光部１１と、この発光部１１から照射されるレーザ光を２分割するとともに一方のレーザ光に平行する直線と他方のレーザ光とが成すオフセット角度Δθを予め定められた角度に設定するレーザ光分割部１２と、このレーザ光分割部１２で分割された各レーザ光が測定対象物２０で反射した反射光をレーザ光分割部１２を介して受光する受光部１３と、この受光部１３から出力されるビート波形を周波数分析するスペクトラムアナライザからなる周波数分析部１４とを備えている。
【００３９】
速度計は、周波数分析部１４によって分析された２つのドップラ周波数ｆ１、ｆ２の値と、発光部１１から照射されるレーザ光のレーザ波長λと、レーザ光分割部１２によって分割されたレーザ光の予め定められたオフセット角度Δθとに基づいて測定対象物２０の速度を算出する速度算出部１５を備える。
【００４０】
レーザ光分割部１２は、発光部１１から照射するレーザ光を二分割し、さらに測定対象物２０から反射したレーザ光を同じルートを介して発光部１１及び受光部１３に反射させるものであればよい。
【００４１】
図２及び図３は、本発明により成されたレーザ光分割部１２の構成をそれぞれ示す斜視図及び平面図である。これらの図において、レーザ光を発光するレーザダイオード（ＬＤ）１１またはその他の発光素子から出射された光は、Ｙ分岐導波路１２１またはその他の光分波器の１本の光導波路１２１ａの入射端１２１ａ′に入力され、光は分岐部１２１ｂを通過し、２本の光導波路１２１ｃの出射端１２１ｃ′から２つのビームとして出力される。Ｙ分岐導波路１２１は分岐後の２本の光導波路１２１ｃの形状を直線としている。Ｙ分岐導波路１２１またはその他の光分波器は、基板１２２によって図示の形状を保つように支持する構造とすることによって、２ビーム集積型ＬＤＶ照射ヘッドが構成されている。
【００４２】
この構造、すなわち、２本の光導波路１２１ｃの直線形状のため、この２本の光導波路１２１ｃが曲線形状となっている場合に比べて、が損失が小さくなっている。Ｙ分岐導波路１２１またはその他の光分波器の出射端、すなわち、２本の光導波路１２１ｃの出射端１２１ｃ′には、円柱レンズ１２３が設けられている。この円柱レンズ１２３としては、光ファイバを利用したファイバレンズでもよい。
【００４３】
通常、Ｙ分岐導波路１２１またはその他の光分波器から出射した２つのビームは測定対象物２０に垂直に照射してしまい、受光部１３（図１）でドップラ周波数を得ることができないが、本発明では、ファイバレンズまたはその他の光学素子によりビームは屈折されて、その結果、２つのビームのオフセット角度Δθ（図３）が発生する。しかも、導波路の出射端１２１ｃ′にファイバレンズ１２３の設置位置を可変することができるので、オフセット角度Δθを自由に設計することができる。このオフセット角度Δθをあらかじめ設定することによって、ビームと測定対象物２０との照射角度情報を必要とせずに、ドップラシフト周波数とオフセット角度より、速度計測を行う。
【００４４】
また、円柱レンズあるいはファイバレンズの設置によって、Ｙ分岐導波路の出射端１２１ｃ′の面に並行して移動する測定対象物２０の速度測定が可能となり、小型集積化に繋がる。また、オフセット角度Δθが固定できるので、測定精度の向上にも繋がる。
【００４５】
次に、ファイバレンズの設置によるビームの屈折効果について説明する。１ビームの屈折効果を光線行列により計算を行うための、光線行列のモデル図を図４に示す。光線行列を以下に示す。
【００４６】
【数６】
2004109083.tif 000008
【００４７】
図４において、光線の光軸Ｘからの距離をｒ、光軸Ｘに対する傾きをｒ′として、ファイバレンズ１２３に入射する直前のｒとｒ′をｒ１、ｒ１′、出射直後ではｒ２、ｒ２′とする。なお、Ｙはビーム入射軸を示す。ｎは屈折率で、ここでは、ｎ１を空気中の屈折率ｎ１、ｎ２をファイバレンズ１２３の屈折率１．５６として計算した。Ｒはファイバレンズ１２３の半径である。上記の光線行列より、ファイバレンズ１２３を透過後の光軸Ｘに対する光の傾きを求めて測定対象物に照射する光の角度を求め、その結果を図５に示した。
【００４８】
図５において、横軸はビームの入射位置を示しており、零となる点において、ビームがファイバレンズの中心部を透過することを意味している。次に、上記の角度測定の実験を行い、その測定結果を同じく図５にプロットした。理論値と測定値の誤差が少ないことを確認した。
【００４９】
続いて、ファイバレンズ１２３を設置によるビームのオフセット角度Δθを求めた。図６に示す構成において、上記で求めたビーム入射位置による照射角度より、オフセット角度Δθを求めた。ここで、ビーム間の距離を１．３［ｍｍ］とした。
【００５０】
計算結果を図７に示す。図７において、横軸はビームの入射位置を示しており、零となる点において、ビーム間の中点とファイバレンズ１２３の中心が光軸上で一致していることを意味している。計算結果からは、ファイバレンズ１２３をビーム間の中心に設置すると、オフセット角度は最大となり、ビーム入射の位置をファイバレンズ１２３の中心よりずらしていくことによってオフセット角度Δθが小さくなっていくことがわかった。
【００５１】
最後に、実際に上記の方法を用いて、ファイバレンズ１２３を用いた２ビーム照射の実験を行い、ドップラシフト周波数の解析を行った。実験を行った際の構成は、図４と同様である。
【００５２】
光源は波長１５５０［ｎｍ］、最大出力８［ｍＷ］、フォトダイオード（ＰＤ）内蔵の分布帰還形レーザ（ＤＦＢ−ＬＤ：Ｄｉｓｔｒｂｕｔｅｄ　ＦｅｅｄＢａｃｋ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄｅ）を使用した。レーザダイオード（ＬＤ）からの光は３ｄＢカップラを使用して１つの光を分岐させている。Ｙ分岐導波路を模して近接させた２本の光ファイバに対し、垂直に１本のファイバレンズを設置した。２本の光ファイバの間の距離は１．３［ｍｍ］、ファイバレンズの直径は５［ｍｍ］である。測定対象物はファンを使用し、測定対象物の速度は４．９［ｍ／ｓ］とした。２本の光ファイバの出射端と測定対象物は並行に設置した。ビーム入射位置をＹ軸方向に連続的にスライドさせ、ＰＤで受光したドップラシフト周波数の変化を電気スペクトラムアナライザにより観測した。
【００５３】
その結果を図８に示す。２つのドップラシフト周波数ｆ１、ｆ２はビーム入射位置に変えることによって、変化している。ドップラシフト周波数が零になる点は、ビームがファンに対して垂直に照射しているため、つまり、ビームがファイバレンズの中心を透過していることを意味している。また、ビーム入射位置が零の点では、ビーム間の中点とファイバレンズの中心が光軸上で一致していることを意味しており、２本の光ファイバの出射端と測定対象物が並行に設置しているにもかかわらず、同値のドップラシフト周波数が得られた。これは、ファイバレンズの設置により、ビームが屈折されて、オフセット角度を形成し、ファンの中心に対称な同速度の回転部に照射されたことを意味している。
【００５４】
本発明の中で提案しているファイバレンズの特長として、レンズ径１２５［μｍ］と微小なレンズであること、また、市販されている光ファイバを利用することから、安価で加工が容易であることが挙げられる。
【００５５】
図２では、オフセット角度を固定することで、測定精度を上げることができるように、照射角度の固定のために光を導光する導光路を固定する構造として、Ｙ分岐光導波路を用いた集積形のＬＤＶモジュール構造を採用している。これはＬＤと導波路を一体化し、Ｙ分岐部から角度を固定して測定対象物に照射するというモジュールとなっている。このことによって、２ビーム照射によるＬＤＶの測定精度の向上とともに、小型集積化も可能となっている。なお、光導波路は高分子材料を用いて製作することが可能である。
【００５６】
なお、本発明においては光分波器として、Ｙ分岐導波路を提案したが、カップラを用いた光ファイバ、ビームスプリッタやミラーを用いた空間ビーム照射を用いた場合でも同様の効果が得られる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の本発明によれば、低損失で照射角度およびオフセット角度を固定することができるレーザ速度計の照射ヘッドを提供することができる。
【００５８】
また、請求項２〜３記載の発明によれば、構成の簡易さを失わずかつ小型集積化が可能にし、高精度の速度計測を実現するレーザ速度計の照射ヘッドを提供することができる。
【００５９】
更に、請求項５記載の発明によれば、請求項１〜４記載の照射ヘッドの使用によって、小型集積化を図り、高精度の速度計測を行うことができるレーザ速度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による自己混合型レーザ速度計の基本構成を示すブロック図である。
【図２】本発明によるレーザ速度計の照射ヘッドの一実施形態を示す斜視図である。
【図３】図２に示した照射ヘッドの平面図である。
【図４】光線行列によるファイバレンズ設置における照射角度を計算するためのモデルを示す説明図である。
【図５】ビーム入射位置による照射角度の変化を示すグラフである。
【図６】円柱レンズを用いた２ビーム照射によるオフセット角を計算するためのモデルを示す説明図である。
【図７】ビーム入射位置によるオフセット角度の変化を示すグラフである。
【図８】ビーム入射位置によるドップラシフト周波数の変化を示すグラフである。
【図９】自己混合型レーザ速度計（ＬＤＶ）の基本原理を説明するための説明図である。
【図１０】２ビーム法を用いた自己混合型ＬＤＶの原理を説明するための説明図である。
【図１１】従来の集積型ＬＤＶ照射ヘッドを示す斜視図である。
【符号の説明】
１１　　　　発光部、レーザダイオード
１２　　　　レーザ光分割部
１２１　　　Ｙ分岐導波路
１２１ａ　　１本の光導波路
１２１ｂ　　分岐部
１２１ｃ　　２本の光導波路
１２１ｃ′　出射端
１２２　　　基板
１２３　　　円柱レンズ、ファイバレンズ
１３　　　　受光部
１４　　　　周波数分析部
１５　　　　速度算出部
Δθ　　　　オフセット角度
２０　　　　測定対象物
【図１】
2004109083.tif 000009
【図２】
2004109083.tif 000010
【図３】
2004109083.tif 000011
【図４】
2004109083.tif 000012
【図５】
2004109083.tif 000013
【図６】
2004109083.tif 000014
【図７】
2004109083.tif 000015
【図８】
2004109083.tif 000016
【図９】
2004109083.tif 000017
【図１０】
2004109083.tif 000018
【図１１】
2004109083.tif 000019