(57)【要約】 【課題】  ダイヤフラム変位状態を維持することができ、かつ構造を簡略化することができ、しかも流量調節時における損傷を防ぐことができるマイクロ流体素子および流量調節方法を提供する。【解決手段】  毛細管状の流路５と流路５に対して変位可能なダイヤフラム７とを有するマイクロ流体素子本体１１と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構１２を備え、押圧機構１２が、素子本体１１から離れる方向に膨出する膨出部１６を有する板状の可動押圧部材１４を備え、可動押圧部材１４は、膨出部１６が、素子本体１１に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラム７を押圧することができ、かつダイヤフラム７を押圧した位置で停止するように構成されている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１２）を備え、
該押圧機構（１２）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向に膨出する膨出部（１６）を有する板状の可動押圧部材（１４）を備え、
該可動押圧部材（１４）は、前記膨出部（１６）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラム（７）を押圧することができ、かつ前記ダイヤフラム（７）を押圧した位置で停止するように構成されていることを特徴とするマイクロ流体素子。
【請求項２】
前記可動押圧部材（１４）と前記ダイヤフラム（７）との間に仲介部材（２５）が設けられ、前記可動押圧部材（１４）が、この仲介部材（２５）を介して前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されている請求項１に記載のマイクロ流体素子。
【請求項３】
前記仲介部材（２５）が前記ダイヤフラム（７）に固定されている請求項２に記載のマイクロ流体素子。
【請求項４】
前記可動押圧部材（２４）は、押圧により変形可能な緩衝部材（２８）を介して前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されている請求項１〜３のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項５】
前記膨出部（２６）に、取手部（３５）が形成され、
この取手部（３５）は、前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向の力を加えることにより前記膨出部（２６）をこの方向に変位させる離間方向変位手段（３７）が接続可能に構成されている請求項１〜４のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項６】
前記押圧機構がマイクロ流体素子本体に対し着脱自在とされている請求項１〜５のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項７】
毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）の、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（６２）であって、
前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向に膨出する膨出部（１６）を有する板状の可動押圧部材（６４）を備え、
該可動押圧部材（６４）は、前記膨出部（１６）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラム（７）を押圧することができ、かつ前記ダイヤフラム（７）を押圧した位置で停止するように構成されていることを特徴とする押圧機構。
【請求項８】
請求項１〜６のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子の流路（５）内の流体流量を調節する方法であって、膨出部（１６）を前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向と、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向かう方向のいずれかに膨出させることによって、流量調節を行うことを特徴とする流量調節方法。
【請求項９】
請求項７に記載の押圧機構を用いてマイクロ流体素子本体の流路内の流体流量を調節する方法であって、膨出部を前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向と、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向かう方向のいずれかに膨出させることによって、流量調節を行うことを特徴とする流量調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体が流れる流路の開閉や流体の流量調節を行うことができるマイクロ流体素子、流量調節の駆動機構である押圧機構、及びこのマイクロ流体素子の流量調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ流体素子は、微小な流路が形成された微小ケミカルデバイスとして、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構などに接続されて使用される。
このマイクロ流体素子は、内部に毛細管状の流路を有し、化学、生化学などの微小反応デバイス（マイクロ・リアクター）、集積型ＤＮＡ分析デバイス、微小電気泳動デバイス、微小クロマトグラフィーデバイスなどの微小分析デバイス、質量スペクトルや液体クロマトグラフィーなどの分析試料調製用微小デバイス、抽出、膜分離、透析などの物理化学的処理デバイス、マイクロアレイ製造用スポッタなどとして使用できる。
なお、マイクロ流体素子は、マイクロ流体デバイス、マイクロフルイディックデバイス、マイクロファブリケイテッドデバイス、ラブオンチップ、マイクロトータルアナリティカルシステム（μ−ＴＡＳ）とも呼ばれるものであり、内部に微小な毛細管状の流路が形成された素子をいう。
【０００３】
本出願人によって出願された特許文献１ないし特許文献３には、溝を有する部材の上に柔軟なフィルム状部材を設けて溝を毛細管状の流路とし、このフィルム状部材（ダイヤフラム）を、重錘、ピンチ、アクチュエーター、ネジなどのダイヤフラム圧迫機構で圧迫して変位させることができるマイクロ流体デバイスが開示されている。これらのマイクロ流体素子では、フィルム状部材（ダイヤフラム）の位置調整によって、流路内の流体の流量を調節することができる。
上記マイクロ流体素子では、ダイヤフラム圧迫機構として、マイクロ流体デバイスと一体化されていないバネ式クランプ等の各種アクチュエータや、マイクロ流体デバイスと一体化されたネジ式圧迫機構が採用されている。
さらに、特許文献１ないし特許文献３には、柔軟なフィルム状部材に、ダイヤフラム押圧部となる凸状構造を設けた圧迫補助部材を、フィルム状部材の周辺部でマイクロ流体素子本体に固定した圧迫機構が開示されている。この圧迫機構によれば、押圧位置がダイヤフラム相当位置からずれた場合でも、精度よくダイヤフラムを圧迫することができる。
また本出願人によって出願された特許文献４には、流量調節用の流体によりダイヤフラムを変位させる機構が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−７０７８４号公報
【特許文献２】国際公開第０２／２４３２０Ａ１号パンフレット
【特許文献３】特開２００２−２１９６９７号公報
【特許文献４】特開２００２−２３９３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記マイクロ流体素子においては、ダイヤフラムが変位した状態を維持するには、上記圧迫機構に、ダイヤフラム変位状態を維持するための機構が必要となり、装置構成が複雑化するという問題があった。
また、ネジ式の圧迫機構を用いる場合には、ダイヤフラム変位状態を維持する機構は不要となるが、ダイヤフラムを圧迫する際に、ダイヤフラムに対してネジ回転方向の力が働くため、ダイヤフラム等を損傷しやすく、特に、小型のマイクロ流体素子にこの機構を採用することは困難であった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、ダイヤフラム変位状態を維持することができ、かつ構造を簡略化することができ、しかも流量調節時における損傷を防ぐことができるマイクロ流体素子および流量調節方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、押圧機構が、マイクロ流体素子本体から離れる方向に膨出する膨出部を有する板状の可動押圧部材を備え、この可動押圧部材が、前記膨出部が、前記マイクロ流体素子本体に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラムを押圧することができ、かつ前記ダイヤフラムを押圧した位置で停止するようにされたマイクロ流体素子によって、上記課題を解決することができることを見出した。
【０００７】
すなわち、本発明は、毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１２）を備え、該押圧機構（１２）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向に膨出する膨出部（１６）を有する板状の可動押圧部材（１４）を備え、該可動押圧部材（１４）は、前記膨出部（１６）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラム（７）を押圧することができ、かつ前記ダイヤフラム（７）を押圧した位置で停止するように構成されているマイクロ流体素子を提供する。
【０００８】
本発明は、毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）の、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（６２）であって、前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向に膨出する膨出部（１６）を有する板状の可動押圧部材（６４）を備え、 該可動押圧部材（６４）は、前記膨出部（１６）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラム（７）を押圧することができ、かつ前記ダイヤフラム（７）を押圧した位置で停止するように構成されている押圧機構を提供する。
【０００９】
本発明は、毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１２）を備え、該押圧機構（１２）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向に膨出する膨出部（１６）を有する板状の可動押圧部材（１４）を備え、該可動押圧部材（１４）は、前記膨出部（１６）が、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラム（７）を押圧することができ、かつ前記ダイヤフラム（７）を押圧した位置で停止するように構成されているマイクロ流体素子の流路（５）内の流体流量を調節する方法であって、膨出部（１６）を前記マイクロ流体素子本体（１１）から離れる方向と、前記マイクロ流体素子本体（１１）に向かう方向のいずれかに膨出させることによって流量調節を行う流量調節方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、膨出部が、素子本体に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラムを押圧可能であり、かつダイヤフラム押圧位置で停止するように構成されているので、簡単な構造の押圧機構によって、ダイヤフラムが変位した状態を維持することができる。
押圧機構の構造を簡略とすることができるため、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
また、膨出部の変形によりダイヤフラムを押圧することができるため、ネジ式の圧迫機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラムに無理な力が加えられることがなく、ダイヤフラムが損傷をうけるのを防ぐことができる。
従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
また、可動押圧部材を指などにより下方に押圧することによってダイヤフラムを押圧することができるので、重錘、ピンチ、アクチュエーターなどを用いたダイヤフラム圧迫機構を採用した従来品に比べ、容易な操作で流量調節が可能である。従って、操作性の点で有利である。
また、押圧機構がマイクロ流体素子本体に対し着脱自在である構成を採用することによって、押圧機構を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のマイクロ流体素子は、毛細管状の流路と該流路に対して変位可能なダイヤフラムとを有するマイクロ流体素子本体（以下、単に「素子本体」ということがある。）と、前記ダイヤフラムを押圧して変位させる押圧機構を備え、該押圧機構が、前記素子本体から離れる方向に膨出する膨出部を有する板状の可動押圧部材を備え、該可動押圧部材が、前記膨出部が前記素子本体に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラムを押圧することができ、かつ前記ダイヤフラムを押圧した位置で停止するように構成されていることを特徴とする。
可動押圧部材は、スチール、銅、アルミニウムなどの金属などからなる板状物とすることができる。
膨出部の形状は、素子本体に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラムを押圧することができ、該押圧位置で安定に停止することができる形状であれば特に限定されない。
具体的には、断面略円弧状、断面略楕円弧状、略円錐台状、略半球状、略円錐状などとすることができる。例えば、球面の一部をなす形状とすることができる。
膨出部は、素子本体に対し接近および離間する方向に変位することができるように構成することができる。
【００１２】
本発明のマイクロ流体素子は、膨出部が、素子本体から離れる方向に膨出した第一の安定状態（初期状態）から、素子本体に向けて膨出する第二の安定状態（押圧状態）に変形すると共にダイヤフラムを押圧することによって、ダイヤフラムを変位させることができ、かつダイヤフラム押圧位置でエネルギー的に安定に停止するように構成されている。
このため、簡単な構造の押圧機構によって、ダイヤフラムが変位した状態を維持することができる。
本発明のマイクロ流体素子は押圧機構の構造を簡略とすることができるため、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能である。
また、本発明のマイクロ流体素子は膨出部の変形によりダイヤフラムを押圧することができるため、ネジ式の圧迫機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラムに無理な力が加えられることがなく、ダイヤフラムが損傷をうけるのを防ぐことができる。従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
また、可動押圧部材を指などにより下方に押圧することによってダイヤフラムを押圧することができるので、重錘、ピンチ、アクチュエーターなどを用いたダイヤフラム圧迫機構を採用した従来品に比べ、容易な操作で流量調節が可能である。従って、操作性の点で有利である。
なお、本発明において、ダイヤフラムの変位とは、流路断面積を変化させて流路内の流体流量を変化させるためのダイヤフラムの移動をいう。また、ダイヤフラムは、押圧を停止すると完全に未変位状態に復元できることが望ましいが、これに限定されず、復元が不完全となってもよい。
上記ダイヤフラムを押圧する位置とは、ダイヤフラムによって流路が完全に閉塞する位置でもよいし、流路が閉塞していない位置でもよい。
【００１３】
本発明では、前記可動押圧部材と前記ダイヤフラムとの間に仲介部材が設けられ、前記可動押圧部材が、この仲介部材を介して前記ダイヤフラムを押圧することができる構成を採用することができる。
この構成によって、ダイヤフラムに対する可動押圧部材の相対位置が変動した場合でも、ダイヤフラムが押圧される位置が常に一定となる。従って、流路内の流体の流量を、精度よく調節することが可能である。
仲介部材は、球状、半球状、筒状、柱状、円錐台状、角錐台状の凸状体であることが好ましい。その材質としては、鋼などの金属、ガラス、合成樹脂などを採用できる。
仲介部材は、前記ダイヤフラムに固定されている構成とすることができる。
仲介部材は、ダイヤフラムに固定された構成に限定されず、例えば、マイクロ流体素子本体に対し位置決めされたガイド内に、可動押圧部材にもダイヤフラムにも固定されない状態で設けることもできる。また、フィルム状部材などに固定されて、ダイヤフラムの変位方向には可動であるが、ダイヤフラムに平行な方向には不動である構成とすることもできる。
【００１４】
前記可動押圧部材は、押圧により変形可能な緩衝部材を介して前記ダイヤフラムを押圧することができるように構成することができる。該緩衝部材は、押圧により変形する特性を有する部材であれば特に限定されない。例えば、コイルバネなどのバネ；ゴム、エラストマーなどの弾性体；発泡ポリエチレンや発泡ポリウレタンなどの多孔質体；綿などの繊維；スライドカムと弾性体の組み合わせ構造などを挙げることができる。該緩衝部材を用いることによって、押圧機構の寸法に誤差が生じた場合でも、精度の高い流量調節が可能となる。
【００１５】
本発明では、前記膨出部に、取手部が形成され、この取手部が、前記マイクロ流体素子本体から離れる方向（離間方向）の力を加えることにより前記膨出部をこの方向に変位させる離間方向変位手段が接続可能である構成を採用することができる。
この構成によれば、離間方向変位手段によって取手部に離間方向の力を加えることによって、膨出部を強制的に第一の安定状態（初期状態）に復元させることができる。
従って、流路の開閉操作を確実に行うことができ、精度の高い流量調節が可能となる。
【００１６】
本発明において、前記押圧機構は、前記マイクロ流体素子本体と一体化してもよいし、マイクロ流体素子本体に対し着脱自在に構成してもよい。
押圧機構をマイクロ流体素子本体に対し着脱自在とする場合、押圧機構はマイクロ流体素子本体から独立した部材とされ、押圧機構をマイクロ流体素子本体の所定位置に装着することによってマイクロ流体素子を得ることができる。
押圧機構は、前記可動押圧部材を備えており、マイクロ流体素子本体の所定位置に装着したときに、前記可動押圧部材によって前記ダイヤフラムを押圧することができるものであればその形状は任意である。
押圧機構は、前記マイクロ流体素子本体の、ダイヤフラムが形成された面に密着できる面を有するものが好ましい。押圧機構としては、例えばこの密着面が平面であるものを挙げることができ、この密着面を構成する板状部を有することが好ましい。
押圧機構が板状部を有する場合には、可動押圧部材は、板状部に設けられた欠損部（孔部や切欠）を通して前記ダイヤフラムを押圧することができる。前記板状部の素材は特に限定されないが、剛性の高い素材が好ましい。
前記押圧機構をマイクロ流体素子本体に装着するには、例えば次に示す機構を使用することができる。マイクロ流体素子を利用する装置、例えば分析装置や合成装置に設けられた蓋部に押圧機構を固定しておき、この蓋部を開閉のため回動させたときにダイヤフラムが可動押圧部材により押圧される位置にマイクロ流体素子本体を固定する位置決めピンなどを設けることができる。
前記押圧機構を、マイクロ流体素子本体に対し着脱自在とすることによって、比較的高価な押圧機構を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【００１７】
本発明の押圧機構は、毛細管状の流路と該流路に対して変位可能なダイヤフラムとを有するマイクロ流体素子本体の、前記ダイヤフラムを押圧して変位させる押圧機構であって、前記マイクロ流体素子本体から離れる方向に膨出する膨出部を有する板状の可動押圧部材を備え、該可動押圧部材が、前記膨出部が、前記マイクロ流体素子本体に向けて膨出するように変形することにより前記ダイヤフラムを押圧することができ、かつ前記ダイヤフラムを押圧した位置で停止するように構成されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明の流量調節方法は、上記マイクロ流体素子の流路内の流体流量を調節する方法であって、膨出部の変形量を調整することによって流量調節を行う。なお、本発明において、流量調節とは流量をゼロとすることも含む。
本発明では、膨出部を前記マイクロ流体素子本体から離れる方向と、前記マイクロ流体素子本体に向かう方向のいずれかに膨出させることによって、流量調節を行うことができる。
膨出部を上記の各方向に膨出させたときの流量は、可動押圧部材の取り付け位置、可動押圧部材の厚み、膨出部の変形量などによって設定することができる。
本発明では、容易な操作で流量調節を行うことができる。
膨出部が、素子本体に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラムを押圧可能であり、かつダイヤフラム押圧位置でエネルギー的に安定に停止するように構成されているので、簡単な構造の押圧機構によって、ダイヤフラムが変位した状態を維持することができる。このように押圧機構の構造を簡略とすることができるため、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
また、膨出部の変形によりダイヤフラムを押圧することができるため、ネジ式の圧迫機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラムに無理な力が加えられることがなく、ダイヤフラムが損傷をうけるのを防ぐことができる。従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
また、可動押圧部材を指などにより下方に押圧することによってダイヤフラムを押圧することができるので、重錘、ピンチ、アクチュエーターなどを用いたダイヤフラム圧迫機構を採用した従来品に比べ、容易な操作で流量調節が可能である。従って、操作性の点で有利である。
【００１９】
＜実施例１＞
図１ないし図３は、本発明のマイクロ流体素子の第１の実施例を示すものである。図１は、実施例１のマイクロ流体素子を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。図２は、このマイクロ流体素子の要部を示す分解斜視図である。図３は、このマイクロ流体素子の要部を示す断面図であり、（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示す断面図であり、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す断面図である。
ここに示すマイクロ流体素子は、毛細管状の流路５と流路５に対して変位可能なダイヤフラム７とを有するマイクロ流体素子本体１１（以下、単に「素子本体１１」という。）と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構１２を備えている。
【００２０】
素子本体１１は、基材１上に、第一樹脂層２、第二樹脂層３、および第三樹脂層４が順次積層されて構成されている。樹脂層２、３、４は、エネルギー線硬化性組成物で構成することができる。第三樹脂層４には、押圧により弾性変形可能となる材料が使用される。
第二樹脂層３には、流路５が形成されている。流路５の延在方向の途中部分は、拡幅された広幅部６となっている。広幅部６の形状は円形とすることができる。
【００２１】
広幅部６に対向する部分の第三樹脂層４は、ダイヤフラム７となっている。ダイヤフラム７は、押圧機構１２によって下方に向けて弾性的に変位し、流路５の開度を調整できるようになっている。
流路５の両端部に相当する位置の第三樹脂層４には、それぞれ流入口８および流出口９が形成されており、流体を流入口８から流路５に導入し、流出口９から導出することができるようになっている。
流入口８および流出口９に相当する位置の第三樹脂層４には、それぞれルアーフィッティング１０ａ、１０ｂが設けられている。
【００２２】
押圧機構１２は、素子本体１１に固定された環状の固定部材１３と、固定部材１３に取り付けられた可動押圧部材１４とを備えている。
可動押圧部材１４は、金属などからなる平面視矩形の板状物であり、上方（素子本体１１から離れる方向）に膨出する膨出部１６を有する。
膨出部１６の形状は、球面の一部をなす形状（断面円弧状）とされている。
図２に示すように、膨出部１６のほぼ中央には、下方（素子本体１１方向）に突出する断面略円弧状の押圧部１９が形成されている。押圧部１９は、ダイヤフラム７を押圧できる位置（好ましくはダイヤフラム７の中心に相当する位置）に形成されている。
可動押圧部材１４は、その角部近傍に形成された孔部１５に挿通する固定具２０によって固定部材１３に取り付けられている。
固定具２０は、可動押圧部材１４上に位置するヘッド部２０ａと、孔部１５に挿通するネジ部２０ｂとからなり、ネジ部２０ｂが固定部材１３の孔部１３ａに固定されている。
【００２３】
図３（ａ）に示すように、膨出部１６が上方に膨出した状態の可動押圧部材１４は、エネルギー的に安定となる第一の安定状態（初期状態）にある。
図３（ｂ）に示すように、可動押圧部材１４は、膨出部１６が、素子本体１１に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラム７を押圧することができるように構成されている。さらに、可動押圧部材１４は、ダイヤフラム７を押圧する位置で停止することができるようになっている。
すなわち、膨出部１６は、下方（素子本体１１方向）に膨出するように反転変形させ、その変形量が所定の値を越えると、反転した状態で、自身の剛性により姿勢が安定し、停止するようになっている。
膨出部１６が下方に膨出した状態の可動押圧部材１４は、エネルギー的に安定となる第二の安定状態（押圧状態）にある。
なお、上記ダイヤフラム７を押圧する位置（ダイヤフラム押圧位置）とは、ダイヤフラム７によって流路５が完全に閉塞する位置でもよいし、流路５が閉塞していない位置でもよい。
【００２４】
図３（ｂ）に示すように、下方に変形し反転状態となった膨出部１６は、その状態でエネルギー的に安定に停止するが、膨出部１６に力を作用させ、この力の位置、方向、強さなどを適切に調節することによって、初期状態に復元させることができる。
例えば、膨出部１６に上方への引張力を加えると、膨出部１６は初期状態に復元する。
【００２５】
可動押圧部材１４は、その形状などを適宜設計することによって、初期状態と押圧状態における膨出部１６のエネルギー的な安定度が異なるようにすることができる。
例えば、初期状態から押圧状態に変形させるのに要する力より、押圧状態から初期状態に復帰させるに要する力を小さくすることができる。
初期状態と押圧状態における膨出部１６の安定度が異なるようにするには、例えば、可動押圧部材１４を、角部を含む平坦な周辺部と、周辺部より中央側に形成された膨出部とを有する形状に近似した形状とすればよい。
また、可動押圧部材１４を、固定具２０を用いて固定部材１３に対し固定する際に、固定具２０のヘッド部２０ａと固定部材１３との間隔を極力小さくすることによって、押圧状態における可動押圧部材１４の変形を若干不完全にすることができる。これによって、押圧状態の可動押圧部材１４をエネルギー的に不安定化することができる。
押圧状態における膨出部１６のエネルギー的な安定度を初期状態に比べ低くすることによって、膨出部１６を初期状態に復元する操作を容易にすることができる。
【００２６】
〔基材１、第一及び第二樹脂層２、３の作製〕
幅２．５ｃｍ×長さ７．５ｃｍ×厚さ３ｍｍの大日本インキ化学工業株式会社製ポリスチレン「ディックスチレンＸＣ５１０」（以下［ｐ１］と称する）製の基材１上に、バーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を塗布し、エネルギー線として紫外線を３秒間照射して、非流動性かつ不完全硬化の状態の第一樹脂層２（厚み９８μｍ）を形成した。
第一樹脂層２の上に、バーコーターを用いてさらにエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を塗布し、流路５及び広幅部６となる部分以外の部分にエネルギー線として紫外線を３秒間照射し、照射部の組成物を非流動性かつ不完全硬化状態とした。非照射部の未硬化のエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を流水によって除去して、断面略矩形の溝状の流路５及び広幅部６を有する第二樹脂層３（厚み９８μｍ）を形成した。
このようにして、第二樹脂層３に、幅１５０μｍ、深さ９８μｍ、長さ５０ｍｍの溝状の流路５を形成するとともに、この流路５の途上に直径３００μｍの円筒形の広幅部６を形成して、基材１、第１樹脂層２及び第２樹脂層３の積層体である部材［Ａ１］を作製した。
流路５および広幅部６は、略矩形でありかつ角部が円弧状に湾曲した横断面形状となるように形成した。
【００２７】
〔第三樹脂層４の作製〕
二村化学工業株式会社製ポリプロピレン二軸延伸フィルム「ＦＯＲ」（厚さ３０μｍ、図示せず）のコロナ処理面に、バーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物［ｅ２］を塗布し、これにエネルギー線として紫外線を１秒間照射して、非流動性かつ不完全硬化の状態の塗膜とし、この塗膜を第二樹脂層３上に積層した。
前記ポリプロピレン二軸延伸フィルム側から上記紫外線をさらに３０秒間照射し、上記不完全硬化状態の塗膜を完全硬化させることによって、エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の硬化物からなる第三樹脂層４（厚さ９８μｍ ）を形成すると同時に、第二樹脂層３の表面に固着させた。またこの時、第一樹脂層２、第二樹脂層３も同時に硬化した。
前記ポリプロピレン二軸延伸フィルムを剥離することによって、広幅部６に相対する第三樹脂層４の部分がダイヤフラム７となった素子本体１１を作製した。
【００２８】
〔押圧機構の作製〕
正方形の燐青銅板（長さ１０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ）をプレス加工することによって、上方に膨出する断面円弧状の膨出部１６（高さ１ｍｍ）を備えた可動押圧部材１４を作製した。この際、膨出部１６の中央には、下方に突出する半球状の押圧部１９（半径約０．３ｍｍ）を形成した。可動押圧部材１４の角部近傍には、孔部１５を形成した。
一方、大日本インキ化学工業株式会社製ポリスチレン「ディックスチレンＳＲ−５００−１」（ハイインパクトポリスチレン）（以下［ｐ２］と称する）を用いて固定部材１３（外径１４ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ１ｍｍ）を作製し、上記孔部１５に相当する位置に孔部１３ａを形成した。
可動押圧部材１４を、４つの固定具２０を用いて固定部材１３に取り付けた。
固定部材１３を第三樹脂層４の表面にエポキシ系接着剤にて接着した。
【００２９】
〔その他の構造の形成〕
素子本体１１の流路５の両端部に相当する位置の第三樹脂層４に流入口８と流出口９（いずれも直径０．５ｍｍ）を形成した。
流入口８および流出口９に相当する位置の第三樹脂層４に、それぞれルアーフィッティング１０ａ、１０ｂをエポキシ樹脂で接着した。
以上のようにして、マイクロ流体素子を得た。
【００３０】
実施例１で使用したエネルギー線硬化性組成物の調製方法を以下に示す。
〔エネルギー線硬化性組成物［ｅ１］の調製〕
大日本インキ化学工業株式会社製の３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ４２６３」（平均分子量２０００）６０部、第一工業製薬株式会社製の１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、第一工業製薬株式会社製のノニルフェノキシポリエチレングリコール（ｎ＝１７）アクリレート「Ｎ−１７７Ｅ」２０部、光重合開始剤としてチバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製の１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュアー１８４」５部、及び重合遅延剤として関東化学株式会社製の２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．５部、を均一に混合してエネルギー線硬化性組成物[ｅ１]を調製した。
エネルギー線硬化性組成物[ｅ１]の紫外線硬化物の引張弾性率及び破断伸び率を表１に示した。また、水との接触角は１３度であった。なお、特にことわりがない限り、「部」は「質量部」を意味する。
【００３１】
【表１】
2004278785.tif 000003
【００３２】
〔エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の調製〕
上記「ユニディックＶ−４２６３」４０部、ω−テトラデカンジオールジアクリレートとω−ペンタデカンジオールジアクリレートを主成分とする、ソマール株式会社製のアクリレート混合物「サートマーＣ２０００」６０部、上記「Ｎ−１７７Ｅ」２０部、光重合開始剤として上記「イルガキュアー１８４」５部、及び重合遅延剤として上記２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．１部を混合して、エネルギー線硬化性組成物[ｅ２]を調製した。
【００３３】
〔エネルギー線照射〕
エネルギー線として、５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線（ウシオ電機株式会社製のマルチライト２００型光源ユニットを使用）を用いた。エネルギー線の照射は、窒素雰囲気中で行った。
【００３４】
〔流路の開閉試験〕
ルアーフィッティング１０ａに接続された軟質塩化ビニル製チューブ（図示せず）を通して、マイクロシリンジ（図示せず）から、メチレンブルー（和光純薬株式会社製）にて着色した水（流体）を流路５に注入し、流出口９から流出させ、ルアーフィッティング１０ｂに接続された軟質塩化ビニル製チューブ（図示せず）を通して系外に導出した。
図３（ａ）に示すように、可動押圧部材１４に下方への力が加えられていない初期状態（ダイヤフラム非押圧位置）では、可動押圧部材１４が変形していないため、ダイヤフラム７は押圧されない。このため、ダイヤフラム７は変位せず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
【００３５】
図３（ｂ）に示すように、可動押圧部材１４を指でダイヤフラム７方向（図中下方）に押圧し、膨出部１６を、下方（素子本体１１方向）に向けて膨出するように変形させた。すなわち、膨出部１６を反転させ押圧状態とした。
この膨出部１６の変位によって、押圧部１９がダイヤフラム７を下方に押圧し、流路５が完全に塞がれる位置（ダイヤフラム押圧位置）までダイヤフラム７が変位し、流路５における着色水の流れが遮断された。
上述のとおり、膨出部１６は、ダイヤフラム７を押圧した状態で安定に停止することができるようになっているため、可動押圧部材１４への押圧を停止しても着色水の流れが遮断された状態が維持された。
【００３６】
先端面に両面テープを貼付けた棒状体（図示略）（直径５ｍｍ）の先端面を膨出部１６上面に当接させ、上方に移動させることによって、上方への引張力を膨出部１６に加えた。
図３（ａ）に示すように、これによって、膨出部１６が初期状態に復元し、これに伴ってダイヤフラム７が上方に変位し、着色水が再び流路５を流れることが確認された。
このように、このマイクロ流体素子では、膨出部１６の変形量を調整することによって、流路５での流体流量を調節できる。
【００３７】
本実施例のマイクロ流体素子では、次の効果を得ることができる。
（１）膨出部１６が、素子本体１１に向けて膨出するように変形することによりダイヤフラム７を押圧可能であり、かつダイヤフラム押圧位置で停止するように構成されているので、簡単な構造の押圧機構１２によって、ダイヤフラム７が変位した状態を維持することができる。
押圧機構１２の構造を簡略とすることができるため、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
（２）膨出部１６の変形により、下方に変位する押圧部１９によってダイヤフラム７を押圧することができる。このため、ネジ式の圧迫機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラム７に無理な力が加えられることがなく、ダイヤフラム７が損傷をうけるのを防ぐことができる。
従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
（３）可動押圧部材１４を指などにより下方に押圧することによってダイヤフラム７を押圧することができるので、重錘、ピンチ、アクチュエーターなどを用いたダイヤフラム圧迫機構を採用した従来品に比べ、容易な操作で流量調節が可能である。従って、操作性の点で有利である。
【００３８】
＜実施例２＞
図４は、本発明のマイクロ流体素子の第２の実施例を示すものである。図４において、（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示す断面図であり、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す断面図である。本実施例は、仲介部材を用いたマイクロ流体素子の例である。
以下の説明において、実施例１との共通部分については、同一の符号を用いて説明を省略する場合がある。
本実施例のマイクロ流体素子において、押圧機構２２は、可動押圧部材２４と固定部材１３とを備えている。
可動押圧部材２４は、金属などからなる板状の押圧部材本体２４ａと、この押圧部材本体２４ａの下面に取り付けられた円筒形の押圧部２３とを備えている。
押圧部材本体２４ａは、上方（素子本体１１から離れる方向）に膨出する膨出部２６を有する。
押圧部２３は、ポリスチレン（ｐ２）製であり、円筒形（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とされ、ゴム系接着剤により膨出部２６の下面側に固定されている。押圧部２３の下面は平坦に形成されている。
可動押圧部材２４は、固定具２０を用いて固定部材１３（外径１４ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ３ｍｍ）に取り付けられている。
ダイヤフラム７の上面（広幅部６と反対の側）には、仲介部材として、凸状部材である鋼球２５（直径０．５ｍｍ）が固定されている。鋼球２５は、ダイヤフラム７のほぼ中心に相当する位置に設けるのが好ましい。鋼球２５は、エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の硬化物によってダイヤフラム７に固定されている。
【００３９】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
図４（ａ）に示すように、膨出部２６を押圧していない状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図４（ｂ）に示すように、膨出部２６を下方に押圧し、下方に向けて膨出するように変形させると、押圧部２３が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が鋼球２５により下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
この際、膨出部２６の姿勢が安定となり、膨出部２６への押圧を停止しても着色水の流れが遮断された状態が維持されることを確認した。
図４（ａ）に示すように、実施例１と同様にして膨出部２６に上方への引張力を加えたところ、膨出部２６が初期状態に復元し、これに伴ってダイヤフラム７が上方に変位し、流路５内の着色水の流れが回復した。
【００４０】
本実施例のマイクロ流体素子では、ダイヤフラム７を押圧する鋼球２５がダイヤフラム７に設けられているため、ダイヤフラム７に対する可動押圧部材２４の相対位置が変動した場合でも、ダイヤフラム７が押圧される位置が常に一定となる。従って、流路５内の流体の流量を、精度よく調節することが可能である。
また、各部材の寸法精度が低い場合でも正確な流量調節が可能となるため、マイクロ流体素子の製造が容易となり、製造コストを抑えることができる。
また、可動押圧部材２４の位置が変化した場合でも、下方以外の方向の力（例えば水平方向の力）がダイヤフラム７に伝わりにくいため、ダイヤフラム７の損傷を防止できる。
【００４１】
＜実施例３＞
図５は、本発明のマイクロ流体素子の第３の実施例を示すものである。図５において、（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示す断面図であり、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す断面図である。本実施例は、緩衝部材を用いたマイクロ流体素子の例である。
本実施例のマイクロ流体素子では、円筒形の押圧部２３（直径３ｍｍ、高さ１ｍｍ）の下面側に、円筒形の緩衝部材２８（直径３ｍｍ、厚さ１ｍｍ）が設けられている。
緩衝部材２８は、押圧により変形可能な材料であるポリウレタン（日本エラストラン社製のポリウレタン「エラストラン５６４」、以下［ｐ３］と称する。）製であり、ゴム系接着剤で押圧部２３に接着されている。
この緩衝部材２８を設けた可動押圧部材２４は、固定部材１３（外径１４ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ３ｍｍ）に取り付けられている。
【００４２】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
図５（ａ）に示すように、膨出部２６を押圧していない状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図５（ｂ）に示すように、膨出部２６を下方に押圧し、下方に向けて膨出するように変形させると、緩衝部材２８が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が鋼球２５により下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
この際、膨出部２６の姿勢が安定となり、膨出部２６への押圧を停止しても、着色水の流れが遮断された状態が維持されることを確認した。
この状態では、緩衝部材２８は、鋼球２５に接する部分が薄くなる方向に変形した。
図５（ａ）に示すように、実施例１と同様にして膨出部２６に上方への引張力を加えたところ、膨出部２６が初期状態に復元し、これに伴ってダイヤフラム７が上方に変位し、流路５内の着色水の流れが回復した。
【００４３】
＜実施例４＞
固定部材１３の高さを２．２ｍｍとすること以外は実施例３と同様にしてマイクロ流体素子を作製した。
【００４４】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
実施例３と同様に、膨出部２６を下方に向けて膨出するように変形させると、押圧部２３、緩衝部材２８、および鋼球２５を介してダイヤフラム７が下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。この際、緩衝部材２８は、鋼球２５に接する部分が薄くなる方向に変形した。
また、膨出部２６を初期状態に復元させると、着色水の流れを回復させることができた。
【００４５】
実施例３および実施例４より、固定部材１３の高さ（素子本体１１に対する可動押圧部材２４の高さ）が変化しても、問題なく流路５を開閉することができたことがわかる。
この結果より、押圧により変形可能な緩衝部材２８を用いることによって、押圧機構２２の寸法に誤差が生じた場合でも、精度の高い流量調節が可能となることがわかる。
【００４６】
＜実施例５＞
図６および図７は、本発明のマイクロ流体素子の第５の実施例を示すものである。
押圧機構３２は、可動押圧部材３４と固定部材１３とを備えている。
可動押圧部材３４は、膨出部２６を有する押圧部材本体２４ａと、押圧部材本体２４ａの上面側に設けられた取手部３５と、押圧部材本体２４ａの下面に取り付けられた押圧部２３とを備えている。
取手部３５は、略円弧状に湾曲したアーチ状に形成され、両端が膨出部２６に接続されている。取手部３５は、押圧部材本体２４ａの中央部に略平行な２つの切り込みを形成し、これらの間の部分を上方に向けて膨出するように変形させることによって形成することができる。その他の構成は実施例２と同様とした。
【００４７】
図中符号３７は、変形した状態の膨出部２６に上方（素子本体１１から離れる方向）（離間方向）への引張力を加え、膨出部２６を上方に変位させ初期状態に復元させるのに用いられるタブ（離間方向変位手段）である。
タブ３７は、ポリスチレン（ｐ２）からなるタブ本体３８と、その先端に設けられたフック３９とを有する。
タブ本体３８は、円板状の操作部３８ａと、操作部３８ａに対し垂直に延びるアーム部３８ｂとからなる。フック３９は略円弧状に湾曲した板状に形成され、一端がアーム部３８ｂの先端面に固定されている。
【００４８】
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
実施例２と同様に、膨出部２６を下方に向けて膨出するように変形させると、押圧部２３および鋼球２５を介してダイヤフラム７が下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
この際、膨出部２６の姿勢が安定となり、膨出部２６への押圧を停止しても着色水の流れが遮断された状態が維持されることを確認した。
【００４９】
次に、タブ３７のフック３９を取手部３５に引っ掛けて接続した後、タブ３７を上方に移動させた。これによって、膨出部２６に上方への引張力を加え、膨出部２６を初期状態に復元させ、着色水の流れを回復させることができた。
【００５０】
本実施例のマイクロ流体素子では、膨出部２６に、タブ３７のフック３９が接続可能な取手部３５が設けられているので、タブ３７によって取手部３５に離間方向の引張力を加えることによって、膨出部２６を強制的に初期状態に復元させることができる。
従って、流路５の開閉操作を確実に行うことができ、精度の高い流量調節が可能となる。
【００５１】
＜実施例６＞
図８及び図９は、本発明のマイクロ流体素子の第６の実施例を示すものである。図９において、（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示す断面図であり、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す断面図である。
本実施例では、押圧部材本体５５の両側部から側方に突出する板状の操作部５６を設けたこと以外は実施例１と同様の構成とした。すなわち、本実施例において、押圧機構５２は、可動押圧部材５４と固定部材１３とを備えている。可動押圧部材５４は、上方に膨出する断面円弧状の膨出部１６を有する平面視矩形板状の押圧部材本体５５と、押圧部材本体５５の両側部から側方に突出する板状の操作部５６とを備えている。
操作部５６は、可動押圧部材５４を押圧状態から初期状態に復元させるためのもので、操作部５６の先端部５６ａは、固定部材１３よりも外方に位置している。操作部５６は、押圧部材本体５５と一体に成形することができる。
【００５２】
本実施例では、可動押圧部材５４の操作部５６を操作することによって、可動押圧部材５４を押圧状態から初期状態に復元させることができる。
図９（ｂ）に矢印で示すように、操作部５６を下方に押圧すると、固定部材１３を支点として押圧部材本体５５に上方への力が加えられ、これに伴って膨出部１６が初期状態に復元する（図９（ａ））。
【００５３】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
図９（ａ）に示すように、可動押圧部材５４は、膨出部１６が上方に膨出した状態ではエネルギー的に安定となる（初期状態）。
図９（ｂ）に示すように、膨出部１６を指により下方に向けて膨出するように変形させると、押圧部１９によってダイヤフラム７が下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された（押圧状態）。この際、指による押圧を解除しても膨出部（１６）は押圧状態の位置にとどまり、着色水の遮断が維持されることを確認した。
図中矢印で示すように、操作部５６を下方に押圧すると、膨出部１６が初期状態に復元し、着色水の流れを回復させることができた。
【００５４】
本実施例のマイクロ流体素子では、可動押圧部材５４が、側方に突出する操作部５６を有するので、操作部５６に上下方向の力を加えることによって、下方に膨出した状態の膨出部１６を初期状態に復元させる操作が容易となる。
【００５５】
＜実施例７＞
図１０は、本発明のマイクロ流体素子の第７の実施例を示すものである。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１１と押圧機構６２とを備えている。
素子本体１１のダイヤフラム７の上面には鋼球２５（仲介部材）が接着されている。
押圧機構６２は、底板部６６（板状部）と、底板部６６上に設けられた固定部材１３と、固定部材１３に取り付けられた可動押圧部材６４とを備えている。
可動押圧部材６４は、膨出部１６を有する平面視矩形板状の押圧部材本体６５と、その両側方に突出する操作部５６と、押圧部材本体６５の下面に取り付けられた押圧部２３と、押圧部２３の下面に取り付けられた緩衝部材２８とを備えている。可動押圧部材６４は、操作部５６を操作することによって、押圧状態から初期状態に復元させることができるようになっている。
底板部６６は、平坦な板状とされ、長さおよび幅が素子本体１１とほぼ同じとされている。
底板部６６には、押圧部２３に相当する位置に孔部６７（直径４ｍｍ）が形成されており、孔部６７を通して押圧部２３および緩衝部材２８が鋼球２５を介してダイヤフラム７を押圧できるようになっている。
底板部６６には、ルアーフィッティング１０ａ、１０ｂに相当する位置に、切欠６８が設けられている。
押圧機構６２は、底板部６６の下面を樹脂層４の上面に密着させることによって、素子本体１１に装着できるようになっている。
押圧機構６２は、素子本体１１に対して着脱自在とされている。
【００５６】
〔流路の開閉試験〕
素子本体１１を、位置決めピン（図示略）を用いてステージ（図示略）上に固定し、押圧機構６２を、孔部６７とダイヤフラム７の位置が一致するように素子本体１１上に重ね合わせた。
実施例６と同様にして、流路の開閉試験を行った。押圧機構６２によりダイヤフラム７を変位させると着色水の流通が遮断された。この際、膨出部１６の姿勢が安定となったことを確認した。操作部５６を下方に押圧すると、膨出部１６が初期状態に復元し、着色水の流れを回復させることができた。
【００５７】
本実施例では、押圧機構６２が素子本体１１に対し着脱自在であるので、比較的高価な部品である押圧機構６２を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【００５８】
＜実施例８＞
図１１および図１２は、本発明のマイクロ流体素子に使用できる素子本体の他の例を示すものである。
ここに示す素子本体４１は、基材１上に、第一樹脂層４２、第二樹脂層４３、第三樹脂層４４、および第四樹脂層４５が順次積層されて構成されている。
第一樹脂層４２は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、流路４６となる直線状の欠損部（幅１５０μｍ）を有する。
第三樹脂層４４は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、流路４７となる直線状の欠損部（幅１５０μｍ）を有する。この欠損部の一端には直径６００μｍの円形の広幅部６が形成されている。
第二樹脂層４３は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、前記流路４６と流路４７を連通させる連絡流路４８となる直径２００μｍの円形の貫通孔を有する。
第四樹脂層４５は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ２］硬化物で形成されており、第三樹脂層４４の広幅部６に対応する部分がダイヤフラム７となる。
流路４６の端部に相当する位置の樹脂層４３、４４、４５に流入口８（直径０．５ｍｍ）を形成し、流路４７の端部に相当する位置の第四樹脂層４５に流出口９（直径０．５ｍｍ）を形成した。
【００５９】
素子本体４１を、素子本体１１に代えて用いること以外は実施例１〜６と同様にして、マイクロ流体素子を作製した。
【００６０】
〔流路の開閉試験〕
実施例１〜６と同様にして、流路５の開閉試験を行ったところ、押圧機構１２、２２、３２、５２により膨出部１６、２６を変形させ、ダイヤフラム７を変位させると、ダイヤフラム７は連絡流路４８の周縁部に当接して連絡流路４８が塞がれ、着色水の流通が遮断された。
この際、膨出部１６、２６の姿勢が安定となり、膨出部１６、２６への押圧を停止しても着色水の流れが遮断された状態が維持されることを確認した。
膨出部１６、２６に上方への引張力を加え、膨出部１６、２６を上方に変位させ、初期状態に復元させたところ、着色水の流れを回復させることができたことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】第１の実施例に記載された本発明のマイクロ流体素子の平面図（ａ）、及び側面図（ｂ）である。
【図２】第１の実施例に記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す分解斜視図である。
【図３】第１の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図４】第２の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図５】第３の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図６】第５の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の断面図である。
【図７】第５の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す分解斜視図である。
【図８】第６の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す分解斜視図である。
【図９】第６の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１０】第７の実施例として記載された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す分解斜視図である。
【図１１】本発明のマイクロ流体素子に使用可能なマイクロ流体素子本体の他の例を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１２】図１１に示すマイクロ流体素子本体を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００６２】
１・・・基材
２、４２・・・第一樹脂層
３、４３・・・第二樹脂層
４、４４・・・第三樹脂層
５、４６、４７、４８・・・流路
６・・・幅広部
７・・・ダイヤフラム
８・・・流入口
９・・・流出口
１０ａ、１０ｂ・・・ルアーフィッティング
１１、４１・・・マイクロ流体素子本体
１２、２２、３２、５２、６２・・・押圧機構
１３・・・固定部材
１４、２４、３４、５４、６４・・・可動押圧部材
１５・・・孔部
１６、２６・・・膨出部
１９、２３・・・押圧部
２０・・・固定具
２０ａ・・・ヘッド部
２０ｂ・・・ネジ部
２４ａ、５５、６５・・・押圧部材本体
２５・・・鋼球（仲介部材）
２８・・・緩衝部材
３５・・・取手部
３７・・・タブ
３８・・・タブ本体
３８ａ・・・操作部
３８ｂ・・・アーム部
３９・・・フック
４５・・・第四樹脂層
５６・・・操作部
５６ａ・・・先端部
【図１】
2004278785.tif 000004
【図２】
2004278785.tif 000005
【図３】
2004278785.tif 000006
【図４】
2004278785.tif 000007
【図５】
2004278785.tif 000008
【図６】
2004278785.tif 000009
【図７】
2004278785.tif 000010
【図８】
2004278785.tif 000011
【図９】
2004278785.tif 000012
【図１０】
2004278785.tif 000013
【図１１】
2004278785.tif 000014
【図１２】
2004278785.tif 000015