(57)【要約】【課題】耐酸化性、表面粗さ、層靭性、耐摩耗性等の特性を向上させた切削工具インサートを提供する。【解決手段】基体と、下記Ｘ線回折パターンを有する少なくとも１層の皮膜とから成る切削工具インサートであって、上記Ｘ線回折パターンは、結晶構造の存在を示す最高ピーク高さＰの狭いピークと、非晶質構造の存在を示す最高ピーク高さＨの広いピークとを含み、バックグラウンド強度Ｂに対してＨ＞３Ｂ、Ｐ＞５Ｂであり、０．７５＜Ｐ／Ｈ＜３の関係があることを特徴とする切削工具インサート。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、下記Ｘ線回折パターンを有する少なくとも１層の皮膜とから成る切削工具インサートであって、
上記Ｘ線回折パターンは、結晶構造の存在を示す最高ピーク高さＰの狭いピークと、非晶質構造の存在を示す最高ピーク高さＨの広いピークとを含み、バックグラウンド強度Ｂに対してＨ＞３Ｂ、Ｐ＞５Ｂであり、０．７５＜Ｐ／Ｈ＜３の関係があることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項２】
請求項１において、上記結晶構造が立方晶であることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項３】
請求項２において、上記立方晶がオスボーナイトであることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項において、上記１層が（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）
【請求項５】
請求項４において、上記（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）の組成が、（ＴｉｘＡｌ１−ｘ）（Ｏｙ、Ｎ１−ｙ）、０．２０＜ｘ＜０．７０、０．１５＜ｙ＜０．３５であることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項において、上記１層が上記皮膜の最外層であることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか１項において、上記基体が、超硬合金、サーメット、セラミックスまたは立方晶窒化硼素であることを特徴とする切削工具インサート。
【請求項８】
金属機械加工用であって、少なくとも１層が（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）である皮膜を備えた切削工具インサートの製造方法であって、
上記（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層をＮ２、Ｏ２およびＡｒから成る反応性雰囲気中で、ＴｉＡｌターゲットを用いたアーク蒸着法により製膜し、該雰囲気は、全圧Ｐが１．０Ｐａ＜Ｐ＜１０Ｐａであり、Ｏ２／（Ｎ２＋Ｏ２）の比Ｒが０．０５＜Ｒ＜０．１５であることを特徴とする切削工具インサートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素、または高速度鋼から成る基体と、硬質耐摩耗性耐熱皮膜とを備えた、切り屑排除（ｃｈｉｐ　ｒｅｍｏｖａｌ）を行なう機械加工用の切削工具およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１（アメリカ合衆国特許第４，４７４，８４９号）に開示された靭性および耐摩耗性の優れた皮膜付き硬質合金は、硬質合金に少なくとも１層の皮膜を付与してあり、皮膜の少なくとも１層が非晶質アルミナである。
【０００３】
特許文献２（アメリカ合衆国特許第５，３３０，８５３号）に開示された表面皮膜は三元系の第１層、第２層が交互積層されて成り、ＴｉＡｌＮｘ第１層は窒素濃度が高く、ＴｉＡｌＮｙ第２層より遥かに薄い。これら各層はＴｉＡｌターゲットを用いたスパッタリングにより製膜する。
【０００４】
特許文献３（アメリカ合衆国特許第５，５４９，９７５号）に開示された皮膜付き工具は、サーメットから成る基体に耐摩耗層として（Ｔｉ、Ｍｅ）Ｎを被覆してある。ここでＭｅは、７００℃より高温で安定な酸化物を生成する金属の少なくとも１種である。製膜は蒸着とスパッタリングを組み合わせて行なう。
【０００５】
特許文献４（アメリカ合衆国特許第５，５０３，９１２号）に開示された皮膜を構成する極薄層は、周期律表のＩＶａ族、Ｖａ族、ＶＩａ族の元素、Ａｌ、Ｂから成る群から選択した少なくとも１種の元素の窒化物および炭窒化物の少なくとも一方を含む。
【０００６】
常温常圧で平衡状態において立方晶構造を１層だけが持ち、他の層は別の結晶構造を持つとしても、化合物全体としては立方晶のＸ線回折パターンを持つ。この皮膜は実際には、厚さ０．２〜５０ｎｍのＴｉＮ層とＴｉＡｌ層を積層したものである。
【０００７】
特許文献５（アメリカ合衆国特許第５，８７９，８２３号）に開示された皮膜付き切削工具は、最内層がＩＶＢ族金属とアルミニウムとの合金であり、第２層がＰＶＤ製膜したアルミナ層である。
【０００８】
特許文献６（ア特許メリカ合衆国特許第６，２５４，９８４号）に開示された多層皮膜は、第１種層の個々が周期律表４ａ族、５ａ族、６ａ族の元素とＡｌとから成る群の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種であり、第２種層の個々が周期律表４ａ族、５ａ族、６ａ族の元素とＡｌとから成る群の元素の酸化物、炭化物、窒化物、炭窒化物の少なくとも１種が交互に積層された２層以上から成る。第１種層は隣接する第２種層と結晶方位が連続している。非晶質の外層を設けて耐酸化性を高めることも記載されている。
【０００９】
特許文献７（アメリカ合衆国特許第６，０７１，５６０号）に開示された耐摩耗性皮膜は少なくとも１層のＭｅＸ層を含んでおり、ＭｅはチタンおよびアルミニウムでありＸは窒素または炭素である。このＭｅ層はＸ線回折によるテクスチャーが（２００）テクスチャーであることが望ましい。
【００１０】
非特許文献１（Ｒ．　Ｌｕｔｈｉｅｒ　ａｎｄ　Ｆ．　Ｌｅｖｙ，　Ｊ．　Ｖａｃ．　Ｓｃｉ．　Ｔｅｃｈｎｏｌ．，　Ａ９（１）（１９９１）１０２）には、ＴｉＮ−Ａｌ２Ｏ３から成るセラミックスターゲットを用いたＲＦマグネトロンスパッタリングによりＴｉＡｌＯＮを成長させたことが記載されている。得られた構造は、（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎｘと非晶質（Ｔｉ、Ａｌ）Ｏ２の混合構造であった。Ｘ線回折パターンには、結晶相による鋭いピークと非晶質相によるなだらかな丘が含まれていた。
【００１１】
非特許文献２（Ｋ．　Ｋａｗａｔａ，　Ｈ．　Ｓｕｇｉｍｕｒａ，　ａｎｄ　Ｏ．　Ｔａｋａｉ，　Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ　３９０（２００１）６４）には、プラズマエンハンスト化学蒸着（ＰＡＣＶＤ）を用いて種々のＴｉ―Ａｌ―Ｏ―Ｃ―Ｎ層を成長させたことが記載されている。
【００１２】
幾つかの文献には、酸化後の処理中や高温での使用中に、（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎの表面に結晶質または非晶質の層が自然発生的に形成されたことが記載されている。一例として、非特許文献３（Ｍｕｅｎｚ　ｅｔ　ａｌ，　Ｊ．　Ｖａｃ．　Ｓｃｉ．　Ｔｅｃｈｎｏｌ．　４（６）（１９８６）２７１７−２７２７を参照。
【００１３】
【特許文献１】
アメリカ合衆国特許第４，４７４，８４９号
【特許文献２】
アメリカ合衆国特許第５，３３０，８５３号
【特許文献３】
アメリカ合衆国特許第５，５４９，９７５号
【特許文献４】
アメリカ合衆国特許第５，５０３，９１２号
【特許文献５】
アメリカ合衆国特許第５，８７９，８２３号
【特許文献６】
ア特許メリカ合衆国特許第６，２５４，９８４号
【特許文献７】
アメリカ合衆国特許第６，０７１，５６０号
【非特許文献１】
Ｒ．　Ｌｕｔｈｉｅｒ　ａｎｄ　Ｆ．　Ｌｅｖｙ，　Ｊ．　Ｖａｃ．　Ｓｃｉ．　Ｔｅｃｈｎｏｌ．，　Ａ９（１）（１９９１）１０２）
【非特許文献２】
Ｋ．　Ｋａｗａｔａ，　Ｈ．　Ｓｕｇｉｍｕｒａ，　ａｎｄ　Ｏ．　Ｔａｋａｉ，　Ｔｈｉｎ　Ｓｏｌｉｄ　Ｆｉｌｍｓ　３９０（２００１）６４
【非特許文献３】
Ｍｕｅｎｚ　ｅｔ　ａｌ，　Ｊ．　Ｖａｃ．　Ｓｃｉ．　Ｔｅｃｈｎｏｌ．　４（６）（１９８６）２７１７−２７２７
【非特許文献４】
Ｂｒｕｋｅｒ　ＡＸＳ（２０００），　Ｔｏｐａｓ　Ｖ２．０，　Ｇｅｎｅｒａｌ　ｐｒｏｆｉｌｅ　ａｎｄ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ｓｏｆｔｗａｒｅ　ｆｏｒ　ｐｏｗｄｅｒ　ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ　ｄａｔａ．−Ｕｓｅｒ　Ｍａｎｕａｌ，　Ｂｒｕｋｅｒｓ　ＡＸＳ，　Ｋａｒｌｓｒｕｈｅ，　Ｇｅｒｍａｎｙ．
【非特許文献５】
Ｃｈｅａｒｙ，　Ｒ．Ｗ．，　Ｃｏｅｌｈｏ，　Ａ．Ａ．　（１９９２），　Ａ　ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌ　ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ　ａｐｐｒｏａｃｈ　ｔｏ　Ｘ−ｒａｙ　ｌｉｎｅ　ｐｒｏｆｉｌｅ　ｆｉｔｔｉｎｇ．　−Ｊ．　Ａｐｐｌ．　Ｃｒｙｓｔ．，　２５，　１０９−１２１．
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、耐酸化性、表面粗さ、層靭性、耐摩耗性等の特性を向上させた切削工具インサートおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、１層または数層から成る皮膜を備えた皮膜付き切削工具であって、上記層のうちの少なくとも１層は結晶構造と非晶質構造とが組み合わさっており、それにより耐摩耗性および靭性が従来の皮膜付き切削工具に比べて向上している。
【００１６】
すなわち、本発明によれば、基体と、下記Ｘ線回折パターンを有する少なくとも１層の皮膜とから成る切削工具インサートであって、
上記Ｘ線回折パターンは、結晶構造の存在を示す最高ピーク高さＰの狭いピークと、非晶質構造の存在を示す最高ピーク高さＨの広いピークとを含み、バックグラウンド強度Ｂに対してＨ＞３Ｂ、Ｐ＞５Ｂであり、０．７５＜Ｐ／Ｈ＜３の関係があることを特徴とする切削工具インサートが提供される。
【００１７】
また、金属機械加工用であって、少なくとも１層が（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）である皮膜を備えた切削工具インサートの製造方法であって、
上記（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層をＮ２、Ｏ２およびＡｒから成る反応性雰囲気中で、ＴｉＡｌターゲットを用いたアーク蒸着法により製膜し、該雰囲気は、全圧Ｐが１．０Ｐａ＜Ｐ＜１０Ｐａであり、Ｏ２／（Ｎ２＋Ｏ２）の比Ｒが０．０５＜Ｒ＜０．１５であることを特徴とする切削工具インサートの製造方法も提供される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の切削工具は皮膜と基体とから成る。基体は、超硬合金、サーメット、高速度鋼または立方晶窒化硼素から成る。皮膜は、１層または複数層から成り、その内の少なくとも１層が結晶構造と非晶質構造との組合せから成る。この層は厚さ０．３〜２０μｍ、望ましくは０．３〜１０μｍである。皮膜の総厚さは０．５〜２０μｍである。皮膜の構造は、ＣｕＫα線（λ＝１．５４Å）を用いて、バックグラウンドレベルＢ、非晶質ピーク高さＨ、および結晶質構造の最高ピーク高さＰで定量化する（図３を参照）。ＳＰＩＩ曲線当てはめアルゴリズム〔非特許文献４、５〕を用いて、非晶質ピークと結晶質ピークに関するデータを抽出した。
【００１９】
Ｃｈｅｂｙｃｈｅｖバックグラウンド回折強度〔非特許文献４、５〕（＝Ｂ）を２０°＜２θ＜６０°の範囲で算出した。
【００２０】
本発明においては、Ｈ＞３ＢかつＰ＞５Ｂ、０．７５＜Ｐ／Ｈ＜３である。
【００２１】
望ましくは、上記の層は結晶質（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎオスボーナイト（ＮａＣｌ）構造の（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層と非晶質構造との組合せである。
【００２２】
非晶質構造は、４°＜ＦＷＨＭ＜７°で２０°＜２θ＜４８°の区間にある幅広のピークで同定される（ＦＷＨＭ：ｆｕｌｌ　ｗｉｄｔｈ　ｈａｌｆ　ｍａｘｉｍｕｍ＝半値幅）。非晶質構造はブラッグ回折角が３０°＜２θ＜４０°、望ましくは３２°＜２θ＜３８°であり、これは原子間距離１．９Å〜４．４Åに対応し、ピーク値Ｈが中央値の２．５Åに対応する。
【００２３】
（Ｔｉ、Ａｌ）ＮのＮａＣｌ型結晶構造は、ＣｕＫα線を用いたθ―２θ走査において、（１１１）面、（２００）面、（２２０）面からの回折に対応する２θ＝３７．５°、４３．５°、６３．５°で同定される。
【００２４】
本発明による層は、従来公知のようにして、基体に直接製膜するか、１層または２層以上の中間層上に製膜する。本発明の層上に更に層を製膜しても良い。
【００２５】
（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層が単層である場合の特徴は、小さい液滴が少量のみある滑らかな表面であり、触針法による測定長２．５ｍｍの測定で表面粗さＲａ＜０．２μｍである。
【００２６】
（ＴｉｘＡｌ１−ｘ）（Ｏｙ、Ｎ１−ｙ）層の組成は、０．２０＜ｘ＜０．７０、０．１５＜ｙ＜０．３５、望ましくは０．２５＜ｘ＜０．５５、０．２０＜ｙ＜０．３０である。この測定は、定量ＥＤＸ測定法を用い、ＺＡＦ補正を行い、１０ｋＶにて、作動距離２５ｍｍで行なう。
【００２７】
この層は金属ＴｉＡｌターゲットを用いたアーク蒸着により製膜する。製膜条件は、ＲＭｅ＝Ｔｉａｔ％／（Ｔｉａｔ％＋Ａｌａｔ％）として０．２０＜ＲＭｅ＜０．７０の範囲で、蒸着器電流ＩＥＶＡＰ＝６×１００Ａ、Ｎ２、Ｏ２、Ａｒから成る反応性雰囲気を用い、Ｒ＝Ｏ２／（Ｎ２＋Ｏ２）として０．０５＜Ｒ＜０．１５の範囲で、全圧Ｐを１．０Ｐａ＜Ｐ＜１０Ｐａとして行なう。印加バイアス電圧ＵＢＩＡＳは３０Ｖ＜ＵＢＩＡＳ＜−６００Ｖである。
【００２８】
実際の製膜条件ファクターは個々の装置に依存する。必要な構造がどのようにして得られるか、そして本発明による製膜条件にどのような変更を加えるかは、当業者であれば容易に分かる範囲の事項である。
【００２９】
本発明の皮膜付き切削工具は、鋼、硬化鋼、ステンレス鋼に特に有用であり、望ましくはステンレス鋼のフライス加工に用いる。
【００３０】
【実施例】
〔実施例１〕
（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層を市販の薄膜用アーク蒸着製膜装置で製膜した。
【００３１】
超硬合金（組成：６ｗｔ％Ｃｏ、９４ｗｔ％ＷＣ）の基体を鏡面研磨して用いた。切削試験に用いるインサートは全て同一バッチで被覆した。
【００３２】
製膜前に、基体をアルカリ溶液の超音波浴中、脱イオン水中、およびアルコール中で洗浄した。基体を回転ホルダーに取り付けた。カソードと基体との最小間隔は約１００ｍｍであった。
【００３３】
実際に製膜を開始する前に、基体を赤外線ヒータで２０分加熱した。
【００３４】
次いで、（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）の製膜を行なった。ＲＧＡＳ＝Ｏ２／（Ｎ２＋Ｏ２）としてＲＧＡＳ＝、０、０．０２６、０．０７９、０．１８、０．２４に変えた種々の混合ガスを用いた。蒸着器電流は６×１００Ａとし、基体バイアスを―１２０Ｖ、全圧２．０Ｐａとした。製膜中の温度は５２０℃とし、２基の赤外線パイロメータで測温した。
【００３５】
生成した皮膜厚さは４．０μｍであった。
【００３６】
基体電流密度は１．２ｍＡ／ｃｍ２であった。
【００３７】
Ｘ線回折の結果、全ての皮膜に立方晶オスボーナイト構造が認められた。製膜中の酸素レベルを低くした皮膜には、非晶質構造の広いピークも認められた。非晶質構造が最も顕著に認められたのは、φＯ２／（φＮ２＋φＯ２）の比が０．０７９と０．１８の場合であり、これらそれぞれ実測酸素濃度１０ａｔ％と２２ａｔ％に対応していた。これらの測定はＥＤＸ測定法で行なった。
【００３８】
破壊横断面を走査電子顕微鏡観察した結果、酸素レベルが低いφＯ２／（φＮ２＋φＯ２）＝０および０．０２６で製膜した層は柱状構造になっており、それおぞれ皮膜中の酸素レベルは２ａｔ％および１０ａｔ％であった。この柱状構造は酸素レベルが高くなると消失する（図２参照）。非晶質ピーク強度Ｈ／Ｂを下記の表に示す。
【００３９】
硬さおよびヤング率を微小圧子法（ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ）により測定した。結果を下記の表に示す。硬さおよびヤング率は酸素レベルの増加に伴い低下しており、これに対応して製膜時の酸素添加により靭性が上昇する。
【００４０】
密着性および靭性をＲＥＶＥ試験により測定した。ダイアモンド触針を用い、荷重１０〜１００Ｎの範囲で行なった。全ての層は良好な密着性（＞６０Ｎ）を示し、高酸素レベルの層は低酸素レベルの層より脆化傾向が少なかった。このＲＥＶＥ試験により、本発明の層は酸素を用いないで製膜した層に比べて靭性が大幅に向上していることが分かった。
【００４１】
Ｐｅｒｔｈｏｍｅｔｅｒ装置を用い、触針式プロファイルメータにより表面粗さＲａを測定した。ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）を用いて測定すると、皮膜無しの基体の表面粗さはＲａ＜５ｎｍであり、層の粗さ測定には影響ない。表１から明らかなように、酸素含有量が増加すると表面粗さが減少する。酸素を用いた場合と用いない場合とを比較すると表面粗さの差が歴然としている。
【００４２】
【表１】
2004050403.tif 000003
【００４３】
〔実施例２〕
実施例１で用いたものと同じタイプのインサートを被覆した。皮膜は、柱状構造を持つ２元系の（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ層と、その上の非晶質および結晶質が混合した（Ｔｉ、Ａｌ）（Ｏ、Ｎ）層とから成る。
【００４４】
皮膜形成前の前処理を実施例１と同様に行った。製膜プロセスは、Ｎ２雰囲気、２．０Ｐａで、６個のカソードを用いてＴｉＡｌを蒸着することにより行なった。基体のバイアスは−１２０Ｖ、蒸着器電流は６×１００Ａであった。製膜温度は５２０℃であった。この層の厚さは２．０μｍであった。
【００４５】
皮膜の第２層は実施例１のサンプル１ｃと同一であった。
【００４６】
皮膜の総厚さは４．０μｍであった。
【００４７】
Ｘ線回折パターンにより単層皮膜と二層皮膜とを識別することは可能である。この解析のためのパラメータ諸値の設定は当業者が容易にできる範囲内である。
【００４８】
ここで得られた皮膜を２ａと呼ぶ。
【００４９】
〔実施例３〕
超硬合金切削工具インサート（組成：６ｗｔ％Ｃｏ、０．５ｗｔ％ＴａＣ、９３．５ｗｔ％ＷＣ）で種々の皮膜厚さのものを用いて鋼（ＳＳ１６７２、ＡＩＳＩ−１０４２、ＤＩＮ−Ｃｋ４５）の旋削加工を行なった。
【００５０】
＜皮膜＞
実施例１、実施例２の各皮膜と、従来公知の２種類の皮膜すなわちＴｉＮ皮膜と（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ皮膜とを比較した。
【００５１】
＜切削条件＞
インサート形状：ＳＮＵＮ１２０４０８
切削速度　　　：２５０ｍ／分
切り込み深さ　：１．５ｍｍ
送り　　　　　：０．３５ｍｍ
＜切削結果：工具寿命＞
１ａ　　　　　　　２０分　　　　　本発明範囲外
１ｂ　　　　　　　２８分　　　　　本発明範囲外
１ｃ　　　　　　　３２分　　　　　本発明
１ｄ　　　　　　　１６分　　　　　本発明範囲外
１ｅ　　　　　　　１０分　　　　　本発明範囲外
２ａ　　　　　　　２２分　　　　　本発明
ＴｉＮ　　　　　　１２分　　　　　従来例
（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ　１８分　　　　　従来例
〔実施例４〕
超硬合金切削工具インサート（組成：１３ｗｔ％Ｃｏ、８７ｗｔ％ＷＣ）で実施例１、実施例２で説明した種々の皮膜のものを用いて、ステンレス鋼（ＳＳ２３４３、ＡＩＳＩ−３１６、ＤＩＮ−Ｘ５　ＣｒＮｉＭｏ　１７　１３　３）の角型端面フライス加工（ｓｑｕａｒｅ　ｓｈｏｕｌｄｅｒ　ｍｉｌｌｉｎｇ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）を行なった。
【００５２】
＜切削条件＞
インサート形状：ＸＯＭＸ０９０３０８ＴＲ−ＭＥ０６
切削速度　　　：２６０ｍｍ／分
切り込み深さ　：３．０ｍｍ
送り　　　　　：０．２３ｍｍ
切削幅　　　　：５ｍｍ
構成刃先に起因するチッピング（欠け）による刃先の破損を工具寿命の判断基準とした。切削試験の結果、同一の基体について、実施例２で説明した二層皮膜を被覆したものは他の皮膜を被覆したものに比べて長寿命であることが分かった。
【００５３】
＜切削結果：工具寿命＞
１ａ　　　　　　　１４分　　　　　本発明範囲外
１ｂ　　　　　　　１２分　　　　　本発明範囲外
１ｃ　　　　　　　１２分　　　　　本発明
１ｄ　　　　　　　　８分　　　　　本発明範囲外
１ｅ　　　　　　　　６分　　　　　本発明範囲外
２ａ　　　　　　　１６分　　　　　本発明
ＴｉＮ　　　　　　　８分　　　　　従来例
（Ｔｉ、Ａｌ）Ｎ　１４分　　　　　従来例
〔実施例５〕
超硬合金ドリル（組成：１０ｗｔ％Ｃｏ、９０ｗｔ％ＷＣ）で実施例１、実施例２で説明した種々の皮膜のものを用いて、鋼（ＳＳ１６７２、ＡＩＳＩ−１０４２、ＤＩＮ−Ｃｋ　４５）の貫通穴ドリル加工を行なった。
【００５４】
＜切削条件＞
ドリルタイプ：ＳＤ２５−６、０−３２−６Ｒ５
切削速度　　：８０ｍ／分
切り込み深さ：２４ｍｍ
送り　　　　：０．１６ｍｍ
＜切削結果：工具寿命（穴あけ個数）＞
１ａ　　　　　　１０００　　　　　本発明範囲外
１ｂ　　　　　　１２００　　　　　本発明範囲外
１ｃ　　　　　　１６００　　　　　本発明
１ｄ　　　　　　　６００　　　　　本発明範囲外
１ｅ　　　　　　　２００　　　　　本発明範囲外
２ａ　　　　　　１０００　　　　　本発明
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、耐酸化性、表面粗さ、層靭性、耐摩耗性等の特性を向上させた切削工具インサートが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明による層のＸ線回折パターンであり、Ａは　　　　に順じた曲線、Ｈは非晶質のピーク高さ、Ｐは皮膜中の結晶質の最高ピーク、Ｂはバックグラウンドレベルである。
【図２】図２は、本発明によるサンプルの破壊断面の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図３】図３は、酸素濃度の異なる層についての２０°＜２θ＜９０°の区間の０〜２θのＸ線回折パターンである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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