(57)【要約】【課題】サイクルタイムを短縮することで、生産性を向上させる搬送台車を提供する。【解決手段】搬送台車は、コントローラ部２０を備える。コントローラ部２０は、第１インバータコントローラ部２２及び第２インバータコントローラ部２３を備える。第１インバータコントローラ部２２は、第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を駆動させ、第２インバータコントローラ部２３は、旋回モータ２８を駆動させて移載部を制御する。コントローラ部２０は、荷を搬入すると現在位置から目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１を計算する。そして、Ｔｒ１と移載部の旋回時間Ｔｔの２回分とを比較して、Ｔｒ１≧Ｔｔ×２のときは、走行開始とともに第２インバータコントローラ部２３を制御して移載部を旋回させる。走行中には、目標位置までの時間Ｔｒ２と旋回時間Ｔｔを計算し、Ｔｔ≧Ｔｒ２になると第２インバータコントローラ部２３を制御して移載部の旋回を開始する。【選択図】　図５
2004119704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体内に荷を収容するために設けられた収容室と、荷の移載をするために前記収容室内に設けられた移載部と、前記収容室内にクリーンエアを吹き出すクリーンユニットと、前記移載部による荷の出し入れのために本体に設けられた開口を開閉するよう前記本体に対して旋回可能に設けられた扉体とを備えた搬送台車において、
荷を搬入した現在位置から荷を搬出する目標位置まで荷を搬送するための走行動作と、前記扉体を荷の搬入後に閉じるとともに荷の搬出前に開くための前記移載部の旋回動作とを少なくとも一部重複させるように制御する制御手段を備えたことを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記制御手段は、前記荷の搬入後に旋回を開始した前記扉体の旋回が走行開始後に終わるように制御することで、走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記制御手段は、走行停止前に前記扉体が旋回を始めることで、走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送台車。
【請求項４】
前記制御手段は、走行開始に際して現在位置から目標位置までの走行所要時間が、目標位置への到達とほぼ同時に扉体の開状態への旋回動作が終了するのに必要と設定された所定時間以上あれば、扉体を開状態とする旋回動作を開始することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の搬送台車。
【請求項５】
前記制御手段は、走行開始に際して現在位置から目標位置までの走行所要時間を演算し、前記走行所要時間が前記扉体を開状態から閉状態を経て再び開状態に戻すのに最低必要と設定された所定時間以上あると判断すれば、前記走行動作と前記旋回動作をほぼ同時に開始することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の搬送台車。
【請求項６】
前記制御手段は、前記走行所要時間が前記所定時間未満であると判断すれば、前記目標位置までの走行過程に前記扉体を閉じる旋回動作を実行しないことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の搬送台車。
【請求項７】
前記制御手段は、前記目標位置に到着するとほぼ同時に前記扉体の開動作が終わるように走行停止前の所定のタイミングで前記扉体を開く旋回動作を開始させることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の搬送台車。
【請求項８】
前記制御手段は、前記扉体の旋回速度を高く調節することで前記目標位置に到着すると同時に旋回動作が終了するように制御することを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の搬送台車。
【請求項９】
前記扉体と前記移載部は前記本体に対して一体に旋回可能に設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送台車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体の製造工場等におけるクリーンルーム内では、荷の搬送に搬送台車が使用される。搬送台車は、クリーン度維持のため、荷を収容する収容室の開口部を少なくする必要があり、移載部自体を旋回させることにより、移載部と一体に旋回するシャッタを開閉することで、クリーン度の維持を図っている。そして、移載部により荷を搬入したステーションから次の目標位置に向かうときは、クリーン度維持のため移載部を旋回させてシャッタを閉じてから走行を開始していた。そして、目標位置のステーションに到着してから移載部を旋回させてシャッタを開け、移載部により荷をステーションに搬出していた（例えば、特許文献１。）。
【０００３】
ところで、搬送台車は、サイクルタイムを短縮すればするほど生産性が向上するため、サイクルタイムの短縮のニーズは大変高い。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３０１４７５号公報（第３−８頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記したような搬送台車では、例えば、移載部の開閉に伴う２回分の旋回時間と目標位置までの走行時間との総和が前のステーションで荷を搬入し終わってからから、次のステーションで荷を搬出し始めるまでの搬送時間となっていた。また、移載部が旋回してシャッタを閉じてから走行を開始し、目標位置に到着してから移載部が旋回してシャッタを開け、荷を搬出していたため、サイクルタイムのロスがあった。
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みなされたものであって、その目的は、サイクルタイムを短縮することで、生産性を向上させることができる搬送台車を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、荷の移載をするために収容室内に設けられた移載部と、前記移載部による荷の出し入れのために本体に設けられた開口を開閉するよう前記本体に対して旋回可能に設けられた扉体と、荷を搬入した現在位置から荷を搬出する目標位置まで荷を搬送するための走行動作と、前記扉体を荷の搬入後に閉じるとともに荷の搬出前に開くための前記移載部の旋回動作とを少なくとも一部重複させるように制御する制御手段を備える。
【０００８】
この発明によれば、制御手段により搬送台車の走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させることが可能である。このため、従来のように、扉体の旋回動作終了後に走行開始し、走行停止後に扉体の旋回動作が開始されるのではなく、搬送台車が荷を搬入した現在位置からその荷を搬出すべき次の目標位置まで走行する間に扉体を開閉する旋回動作を一部重複させることが可能である。従って、クリーン度は維持しつつ、サイクルタイムを短縮することが可能である。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送台車において、前記制御手段は、前記荷の搬入後に旋回を開始した前記扉体の旋回が走行開始後に終わるように制御することで、走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させる。この発明によれば、荷の搬入後に旋回を開始して走行開始後にその旋回が終了するため、走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させることができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送台車において、前記制御手段は、走行停止前に前記扉体が旋回を始めることで、走行動作と旋回動作とを少なくとも一部重複させる。この発明によれば、走行停止前に扉体が旋回を始めるため、目標位置に到着するときには扉体を少なくともいくらか開けておくことが可能である。このため、走行停止後、扉体が開き終わるまでの待ち時間を短縮することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の搬送台車において、前記制御手段は、走行開始に際して現在位置から目標位置までの走行所要時間が、目標位置への到達とほぼ同時に扉体の開状態への旋回動作が終了するのに必要と設定された所定時間以上あれば、扉体を開状態とする旋回動作を開始する。
【００１２】
この発明によれば、現在位置から目標位置までの走行所要時間が扉体の開状態への旋回動作が終了するのに必要と設定された所定時間以上であれば旋回動作を開始する。例えば、現在位置において旋回動作のうち４分の１まで旋回をしてから走行を開始するような場合であっても、目標位置に到着するとほぼ同時に扉体を開状態とすることが可能である。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の搬送台車において、前記制御手段は、走行開始に際して現在位置から目標位置までの走行所要時間を演算する。そして、その走行所要時間が前記扉体を開状態から閉状態を経て再び開状態に戻すのに最低必要と設定された所定時間以上あると判断すれば、前記走行動作と前記旋回動作をほぼ同時に開始する。
【００１４】
この発明によれば、走行所要時間と前記扉体を開状態から閉状態を経て再び開状態に戻すのに最低必要と設定された所定時間とを比較する。そして、旋回可能であると判断すると走行開始とともに旋回動作を行い、到着と同時に旋回動作を終了させることもできる。つまり、走行中に旋回動作のすべてを行う。従って、サイクルタイムのロスをなくし、サイクルタイムを短縮することが可能となる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５に記載の搬送台車において、前記制御手段は、前記走行所要時間が前記所定時間未満であると判断すれば、前記目標位置までの走行過程に前記扉体を閉じる旋回動作を実行しない。この発明によれば、例えば、走行所要時間が前記所定時間未満であるようなすぐ隣のステーションに荷を搬送するような場合、扉体を閉じる旋回をしない。このため、クリーン度は維持しつつ旋回動作によるサイクルタイムのロスをなくすことができる。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の搬送台車において、前記制御手段は、前記目標位置に到着するとほぼ同時に前記扉体の開動作が終わるように走行停止前の所定のタイミングで前記扉体を開く旋回動作を開始させる。この発明によれば、目標位置に到着するとほぼ同時に扉体の開動作が終わるように走行停止前から旋回動作を開始する。このため、到着すると、荷の搬出が可能な状態となり、すぐに荷の搬出をすることができる。従って、サイクルタイムを短縮することが可能となる。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の搬送台車において、前記制御手段は、前記扉体の旋回速度を高く調節することで前記目標位置に到着すると同時に旋回動作が終了するように制御する。この発明によれば、通常の旋回速度では到着と同時に旋回が終了しないような場合であっても、速度を高くすることで目標位置に到着すると同時に旋回動作を終了させることができる。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の搬送台車において、前記扉体と前記移載部は前記本体に対して一体に旋回可能に設けられている。この発明によれば、扉体が移載部と一体に本体に対して旋回する。このため、扉体が開状態となると、移載部は搬入・搬出できる姿勢となる。また、扉体と移載部の駆動源を共有することができ、発塵源となる駆動源の数を少なくすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面を参照にして説明する。
本実施形態では、建物内のクリーンルームの清浄度が場所によって異なり、例えば、搬送台車の走行経路のうちプロセスに直接関係しない所では清浄度を低くし、プロセスのための設備のあるところで清浄度を高くしている。ただし、このような工場での使用に限定されるものではない。
【００２０】
図４は搬送台車による荷の搬入・搬出を示す平面図である。同図に示すように、搬送台車１は、ステーションＳＴから移載部１０により荷２を搬入し、次の目標位置のステーションＳＴまで走行してその荷２を搬出する。本実施形態では、搬送台車１の走行経路を挟んだ両側にステーションＳＴが設置され、搬送台車１は左右両側のステーションＳＴに対し、荷２の搬入・搬出が可能となっている。
【００２１】
図１は搬送台車の斜視図、図２は搬送台車の側面図を示す。これらの図に示すように、搬送台車１は、床面に設けられる走行レール３上を走行可能に配設されている。搬送台車１は走行レール３に沿って各ステーションＳＴに移動し、荷２を搬入・搬出を行う。走行レール３は、クリーンルームの床面に支柱４により支持された状態で配設されている。一方の走行レール３の下側には給電線（図示略）が走行レール３に沿って配設されている。搬送台車１は、給電線から必要な電力を受電する。
【００２２】
図３は、搬送台車を上側から見た平面図を示す。図３及び図４に示すように、搬送台車１は、本体６底部に左右２個ずつの走行輪を備え、左右のうち一方が駆動輪７、他方が従動輪８となっている。本実施形態では、図３の左側から見て左側が駆動輪７、右側が従動輪８となっている。搬送台車１は、本体６底部に前後一対の第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７（図５参照）を備え、各駆動輪７をそれぞれ駆動する。従動輪８付近には、前後一対の受電ユニット（図示略）を備え、受電ユニットは給電線と対向する姿勢に保持された状態で配設されている。なお、搬送台車１は給電線を流れる高周波電流との電磁誘導作用によって非接触で電力を得る受電方式により駆動している。なお、給電線から受電する受電方式でなく、例えば、軌道上の所定箇所に設置された充電器から本体内のバッテリを充電する充電方式を採用してもよい。
【００２３】
図１及び図３に示すように、搬送台車１の本体６には、荷２を収容するための収容室９が設けられている。収容室９底面には移載部１０が搭載されている。移載部１０は、荷２の出し入れをするためのものであり、水平面内で回動可能に配備されている。詳しくは、移載部１０はローラーコンベア１１を備え、移載部１０が水平面内で回動し、ローラーコンベア１１のローラが回転することにより荷２の搬入・搬出を行う。また、本体６の左右両側には、荷２を出し入れする際の搬送口となる二つの開口部１２を備えている。搬送台車１は二つの開口部１２をそれぞれ開閉するための二枚の扉体としてのシャッタ１３を備え、シャッタ１３は、移載部１０を挟んで対向した位置に移載部１０と一体回動可能に設けられている。
【００２４】
図３に示すように、シャッタ１３は、閉じた状態において、その外側面（表面）が収容室９の側面と面一に配置されるとともに、開口部１２の前後方向両端部と相対する部位が内側へ屈曲するように形成されている。
【００２５】
二枚のシャッタ１３は、移載部１０に対してその搬送方向と直交する両側に位置しているため、図３に示すように移載部１０が搬送方向を前後方向（同図における左右方向）に一致させる姿勢をとったときに、シャッタ１３が閉じるようになっている。そして、図４に示すように、移載部１０が搬送方向を車幅方向（同図における上下方向）に一致させる姿勢をとったとき、荷２の受け渡しを行うために、シャッタ１３が完全に開くようになっている。すなわち、移載部１０が図３に示す状態からいずれかの方向に９０°回動するごとにシャッタ１３が開閉される。つまり、本実施形態では移載部１０の回動範囲が、図３の状態に対し両方向に９０°ずつの合計１８０°に設定されている。例えば、進行方向に対して、右側の開口部１２から搬入した荷２を左側の開口部１２から搬出するときは、搬入時の移載部１０の姿勢に対して搬出時の移載部１０の姿勢は１８０°回動した状態となる。
【００２６】
図１及び図２に示すように、収容室９の上側にはクリーンユニットとしてのＦＦＵ（Ｆａｎ　Ｆｉｌｔｅｒ　Ｕｎｉｔ　）１４が配設されている。ＦＦＵ１４は、具体的には図示しない外気を吸入するための吸気口と、吸気口を通じて収容室９内にエアを取込むためのファンと、ファンによって取込んだエアを濾過するためのフィルタとを備えている。シャッタ１３が閉じた状態ではファンによって収容室９内へエアを吹き出し、収容室９の圧力をクリーンルームの圧力に対して正圧に保つことで、クリンルームからのエアの侵入を防いでいる。また、ＦＦＵ１４からの清浄度の高い気流を荷２に対して上側から当てることができ、それにより荷２のクリーン度を維持している。つまり、ローラーコンベア１１の下側に旋回モータ２８等の発塵源があるが、上側から気流を当てることによりこの種の発塵源から発生する塵埃に汚染されることが防止される。
【００２７】
次に、搬送台車の電気的な構成について説明する。
図５は、搬送台車の電気的な構成図である。同図に示すように、搬送台車１は、その本体６内に制御手段としてのコントローラ部２０を備える。コントローラ部２０には、通信装置２１、第１インバータコントローラ部２２、第２インバータコントローラ部２３、走行エンコーダ２４及びドグセンサ２５が接続されている。通信装置２１は地上側コントローラ（センター）からの指令を受信し、コントローラ部２０にその指令を入力するものであり、具体的には図示しない、通信モデム等を備える。通信装置２１は、センターから次の目標位置等の指令を受信する。なお、通信装置はセンターからの指令に限らず、手動による入力も可能である。第１インバータコントローラ部２２は、第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を駆動させるためのものであり、コントローラ部２０から出力されるアナログ電圧に基づき第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を制御することで、駆動輪７を走行・停止制御する。一方、第２インバータコントローラ部２３は、移載部１０の旋回を行うための旋回モータ２８を駆動させるためのものである。第２インバータコントローラ部２３もコントローラ部２０から出力されるアナログ電圧に基づき旋回モータ２８を制御することで、移載部１０の旋回制御を行っている。
【００２８】
コントローラ部２０は、具体的には図示しないＣＰＵユニットで構成され、そのＣＰＵユニットには第１インバータコントローラ部２２及び第２インバータコントローラ部２３等の各種制御を行うための制御プログラムが記憶されている。コントローラ部２０は、通信装置２１から次の目標位置の指令が入力されると、その目標位置としてのステーションＳＴまでの経路を自身に記憶されているマップから導き出し、図７にフローチャートで示す制御プログラムを実行する。そして、その制御プログラムに基づきコントローラ部２０は第１インバータコントローラ部２２及び第２インバータコントローラ部２３にアナログ電圧を印加して各種制御を行う。
【００２９】
走行エンコーダ２４とは、従動輪８付近に走行レール３を転動するように設けられた計測輪の回転を検出するもので、走行エンコーダ２４から入力される検出パルスに基づいてコントローラ部２０は搬送台車１の現在の位置及び速度を検出する。
【００３０】
ドグセンサ２５は、同じく従動輪８付近に設けられ、ステーションＳＴの位置を検出する。詳しくは、目標位置のステーションＳＴに対応する走行レール３付近に設けられる被検知側としてのドグ２９（図１参照）を検知することでコントローラ部２０に検知信号を送信し、ステーションＳＴに対する所定位置に達したことを知らせるものである。
【００３１】
コントローラ部２０は走行エンコーダ２４からのパルス信号に基づいて自己の搬送台車１の走行位置及び速度を判断する。詳しくは、コントローラ部２０は、走行エンコーダ２４からのパルス信号のパルス数を順次カウントし、そのカウントしたパルス数に基づいて搬送台車１の走行位置及び単位時間あたりのパルス入力数に基づき速度を判断する。また、コントローラ部２０は、目標位置に対応するドグ２９の検知信号をドグセンサ２５から入力した場合には、第１インバータコントローラ部２２を制御して第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を停止制御して搬送台車１を停止させる。
【００３２】
次に、本実施形態の作用について説明する。
図６は、搬送台車の搬送の様子を示す説明図、図７は、制御プログラムのフローチャートを示す。図６に示すように、コントローラ部２０は第２インバータコントローラ部２３を制御して移載部１０を制御し、荷２をステーションＳＴから搬入すると、通信装置２１から入力されるセンターの指令に基づき次の目標位置に向かう。図６示すＡの状態が、荷２をステーションＳＴ１から搬入して次の目標位置に向かうところである。この際に、コントローラ部２０は図７に示す制御プログラムを実行する。
【００３３】
Ｓ１００では、次の目標位置に向かう走行開始時に、現在位置から目標位置までの距離を計算し、加減速度と定速度から走行に必要な走行所要時間Ｔｒ１を計算してＳ１１０に進む。詳しくは、搬送台車１の加減速度及び定速度は予め決まっており、搬送台車１の現在位置は荷２を搬入したステーションＳＴ１の位置が現在位置である。また、センターからの指令により次の目標位置のステーションＳＴ２が分かっているため、現在位置から目標位置までの距離がコントローラ部２０において記憶されているマップにより算出される。また、コントローラ部２０には図８にグラフで示すような速度パターンが予め設定されている。この速度パターンに基づいてコントローラ部２０は第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を制御する。グラフは、横軸が時間、縦軸が走行速度を示す。コントローラ部２０は、搬送台車１の加減速度及び定速度が分かっており、それとともに、現在位置から目標位置までの距離も分かっている。そのため、その距離が図８に示す台形の面積と等しくなるような台形の底辺が現在位置から目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１となる。つまり、加速時間Ｔａ，減速時間Ｔｂ、走行所要時間Ｔｒ１、定速度Ｖ、目標位置までの距離Ｘとすると、Ｔｒ１＝Ｘ／Ｖ＋（Ｔａ＋Ｔｂ）／２の計算により、現在位置から目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１を求め、Ｓ１１０に進む。
【００３４】
Ｓ１１０では、移載部１０の１回分の旋回時間Ｔｔとすると、その２回分の旋回時間Ｔｔ×２と前記Ｔｒ１とを比較する。ここで、Ｔｒ１とＴｔ×２を比較することは、現在位置から目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１のうちにシャッタ１３を閉じて開く２回分の旋回動作が可能であるか否かを判断することを意味する。また、移載部１０の２回分の旋回時間Ｔｔ×２は、シャッタ１３を開状態から閉状態を経て再び開状態に戻るまでの最短所要時間を指す。そして、Ｔｒ１≧Ｔｔ×２が成立する場合、Ｓ１２０に進む。
【００３５】
Ｓ１２０では、コントローラ部２０は、第１インバータコントローラ部２２を制御して走行を開始するとともに、これとほぼ同時に第２インバータコントローラ部２３を制御して旋回モータ２８を駆動し、移載部１０を旋回させることでシャッタ１３を閉じる。図６に示すＢの状態は、走行開始とともにシャッタ１３を閉じて、旋回が終了した状態を示す。
【００３６】
一方、Ｓ１１０においてＴｒ１＜Ｔｔ×２が成立する場合、Ｓ１３０に進む。Ｓ１３０では、コントローラ部２０は第１インバータコントローラ部２２を制御して第１走行モータ２６及び第２走行モータ２７を駆動させ、走行を開始する。この場合、目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１が旋回時間Ｔｔの２回分よりも小さい距離（例えばすぐ隣のステーションＳＴまでの距離）なので、コントローラ部２０は旋回動作をすることなくシャッタ１３を開けたまま走行する。このため、走行停止後さらにシャッタ１３が開き終わるまで待つ待ち時間が発生しない。
【００３７】
次に、Ｓ１４０において、コントローラ部２０は、走行中に所定時間おきに目標位置までの距離、現在速度及び減速度から走行停止までの時間Ｔｒ２を計算する。そして、Ｓ１５０では、その時間Ｔｒ２と旋回時間Ｔｔを比較する。そして、Ｔｔ≧Ｔｒ２となるとＳ１６０に進む。一方、Ｔｔ≧Ｔｒ２を満たすまでは、Ｓ１５０の判断処理を繰り返し行う。なお、図８に示すグラフによる計算をリアルタイムで行うとＣＰＵ負荷が大きいため、図９に示すように、台形の底辺部分を辺とする長方形の速度パターンとみなして計算し、ＣＰＵの負荷を軽減してもよい。この場合、コントローラ部２０により現在位置から目標位置までの距離が実際の距離よりも大きく判断され、到着して少し遅れて旋回が終了することとなるが、従来に比べサイクルタイムを短縮させることは可能である。また、距離と走行時間の関係を表すマップを記憶し、このマップを参照して距離から走行時間を予測してもよい。
【００３８】
Ｓ１６０では、コントローラ部２０は第２インバータコントローラ部２３を制御することで移載部１０の旋回を開始する。図６に示す、Ｃの状態が、Ｔｔ≧Ｔｒ２となった場合を表し、旋回を開始するところである。そして、図６にＤで示すように、目標位置のステーションＳＴ２に到着すると同時に旋回が終了し、シャッタ１３も開状態となる。このため、到着してすぐに荷２の搬出を行うことが可能である。なお、図６のＣは、Ｔｔ＝Ｔｒ２の場合を示すが、コントローラ部２０はＳ１５０において所定時間おきにＴｔとＴｒ２とを比較しているため、Ｔｔ＞Ｔｒ２となる場合もある。しかし、この所定時間は非常に短い時間（例えば数１０ミリ秒）なので、この場合も到着と同時に旋回が終了する。なお、本実施形態における搬送台車１は、荷２を載せていないときは、シャッタ１３は開けたまま走行する。
【００３９】
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）コントローラ部２０は、移載部１０により荷２を搬入し、次の目標位置のステーションＳＴに向かう際に制御プログラムを実行する。そして、Ｔｒ１≧Ｔｔ×２の場合は第２インバータコントローラ部２３を制御して、走行開始とともに移載部１０を旋回してシャッタ１３を閉じる。このため、従来のように旋回してシャッタ１３を閉じてから走行開始せず、走行中にシャッタ１３を閉じる旋回をすることができる。従って、クリーン度は維持しつつ、搬送台車１のサイクルタイムの短縮が可能となる。よって、生産性を向上させることができる。
【００４０】
（２）コントローラ部２０は走行中もリアルタイムで制御プログラムを実行し、Ｔｔ≧Ｔｒ２となった場合、第２インバータコントローラ部２３を制御して、シャッタ１３を開けるための移載部１０の旋回を開始する。このため、シャッタ１３を開ける移載部１０の旋回が到着と同時に終了する。このため、到着してすぐに荷２の搬出を行うことが可能である。従って、クリーン度を維持しつつ、搬送台車１のサイクルタイムの短縮が可能となり、生産性を向上させることができる。
【００４１】
（３）コントローラ部２０の制御により、目標位置までの走行時間が移載部１０の２回分の旋回時間よりも小さい場合は、旋回動作をせずに搬送した。このため、すぐ隣のステーションＳＴに移動するような場合に、旋回動作をすることがない。よって、走行し終わってもなお、シャッタ１３が開く旋回動作の終了を待つ待ち時間が発生しなくなる。このため、搬送距離の短い場合もクリーン度を維持しつつ、サイクルタイムの短縮が可能となる。よって生産性を向上させることができる。
【００４２】
（第２実施形態）
次に、本発明を具体化した第２実施形態について前記第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００４３】
移載部１０は、旋回速度が可変であり、コントローラ部２０によりその旋回速度は制御される。なお、旋回速度の最高速度は予め決められており、前記第１実施形態における旋回速度よりも速い速度が最高速度として設定されている。
【００４４】
図１０は、制御プログラムのフローチャートを示す。本実施形態は、前記第１実施形態のＳ１１０において、Ｔｒ１＜Ｔｔ×２が成立した後の制御を新たに加えたものであり、その場合にコントローラ部２０は図１０に示す制御プログラムを実行する。
【００４５】
Ｓ２００において、コントローラ部２０は、最高旋回速度までの範囲内で旋回が可能であるか判断する。詳しくは、図１１に示すように、通常の旋回速度では、旋回することができないが、速度を上げることで目標位置までの走行所要時間Ｔｒ１と旋回時間Ｔｔの関係がＴｒ１≧Ｔｔ×２になるか否かを判断する。但し、ここのＴｔは第１実施形態におけるＴｔをＴｔ０とおくと、Ｔｔ０≦Ｔｔ≦Ｔｔｍａｘを満たす値である。そのため、Ｔｔ０≦Ｔｔ≦ＴｔｍａｘかつＴｒ１≧Ｔｔ×２を満たすＴｔのうち最小値が採用される。なお、ここでＴｔｍａｘは最高旋回速度による旋回時間である。そして、これが成立する場合はＳ２１０に進む。
【００４６】
Ｓ２１０では、走行を開始するとともに旋回（閉）を開始する。そして、Ｓ２２０においては、旋回が終了すると次に、旋回（開）を開始する。これにより、例えば、すぐ隣のステーションＳＴに移動するような場合であっても旋回することが可能となる。
【００４７】
一方、最高旋回速度までの範囲内で旋回が可能でない場合は、Ｓ２３０に進み、コントローラ部２０は旋回動作をすることなくシャッタ１３を開けたまま走行を開始する。
【００４８】
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）コントローラ部２０は移載部１０により荷２を受け取り、次の目標位置のステーションＳＴに向かう際に制御プログラムを実行する。そして、Ｔｒ１＜Ｔｔ×２のときに、最高旋回速度までの範囲内で旋回が可能であるか判断し、可能である場合は、走行を開始するとともに旋回（閉）を開始する。旋回が終了すると次に、旋回（開）を開始して到着と同時に旋回動作が終了する。これにより、例えば、すぐ隣のステーションＳＴに移動するような場合であっても旋回することが可能となり、クリーン度を維持することができる。
【００４９】
なお、前記実施形態は以下のように変更してもよい。
○前記各実施形態では、旋回動作と走行動作とをほぼ完全に重複させたが、一部重複するだけでもよい。
【００５０】
○前記各実施形態において、走行開始前にシャッタ１３を閉じる旋回動作を開始し、走行開始後にその旋回動作が終了するようにしてもよい。例えば、シャッタ１３が４分の１又は半分閉まってから走行開始してもよい。
【００５１】
○前記各実施形態において、搬送台車１は、到着とほぼ同時に旋回が終了する構成に限らず、到着して少し遅れてから旋回が終了してもよい。例えば、搬送台車１が目標位置に到着した時点では、シャッタ１３を開ける旋回動作の４分の３又は半分まで終了しているようにしてもよい。また、搬送台車１が到着するよりも早く旋回が終了していてもよい。これらの場合も、到着前から旋回しているため、従来のように到着してから旋回を開始する場合よりもサイクルタイムを短縮することが可能である。
【００５２】
○前記第１実施形態において、搬送台車１の移載部１０は、旋回速度を調整することで目標位置に到着すると同時に旋回が終了するようにしてもよい。例えば、旋回禁止エリアが設定されている等の理由により、現在走行位置から走行停止までの時間Ｔｒ２と旋回時間Ｔｔを比較して、Ｔｔ＞Ｔｒ２となった場合は、到着より少し遅れて旋回動作が終了することとなるため、この時に、コントローラ部２０が旋回速度を調整することで、Ｔｔ＝Ｔｒ２となるように制御する。
【００５３】
○前記各実施形態において、コントローラ部２０が、走行所要時間、旋回時間等に基づき旋回可能か否かを判断したが、地上側コントローラ（センター）がその判断をしてもよい。この場合、通信装置２１を介してコントローラ部２０が地上側コントローラ（センター）からの指令を受信し、それに基づき旋回を行う。
【００５４】
○前記各実施形態において、ＦＦＵ１４は上側に配設されている構成に限らない。本体６の側面や前後側に配設されていてもよい。
○前記各実施形態において、本体６の左右片側のみに開口部１２が設けられ、シャッタ１３が一枚だけの構成であってもよい。また、２つの開口部１２を設ける場合、開口の位置は左右両側に限定されない。前後左右の組み合わせで２つの開口を設けてもよい。
【００５５】
○前記各実施形態において、左右のうち一方を駆動輪７としたが、駆動輪７を前後のどちらか一方にしてもよい。
○前記各実施形態において、クリーンルーム内で使用される搬送台車１に限らない。クリーンルーム以外で使用される搬送台車１に適用することも可能である。
【００５６】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
（１）前記制御手段は、目標位置に到着する前には、前記扉体を開状態とする旋回動作が終わるように制御することを特徴とする請求項１〜請求項４及び請求項９のいずれか一項に記載の搬送台車。この発明によれば、目標位置に到着すると同時に旋回動作は終了せずとも、例えば、目標位置に到着するより若干早く旋回動作を終了させることが可能である。従って、従来に比べサイクルタイムを短縮することが可能となる。
【００５７】
（２）前記制御手段は、目標位置に到着したときに、前記扉体を開状態とする旋回動作のうち半分まで終わるように制御することを特徴とする請求項１〜請求項４及び請求項９のいずれか一項に記載の搬送台車。この発明によれば、到着と同時に旋回動作は終了せずとも、到着前から旋回を開始し、到着時には旋回動作のうちの半分が終了しているため従来に比べてサイクルタイムを短縮することが可能となる。
【００５８】
（３）前記制御手段は、目標位置に到着したときに、前記扉体を開状態とする旋回動作のうち４分の３まで終わるように制御することを特徴とする請求項１〜請求項４及び請求項９のいずれか一項に記載の搬送台車。この発明によれば、到着と同時に旋回動作は終了せずとも、到着前から旋回を開始し、到着時には旋回動作のうちの４分の３が終了しており、ほとんど旋回動作が終了している。従って、従来に比べてサイクルタイムを短縮することが可能となる。
【００５９】
【発明の効果】
本発明によれば、サイクルタイムを短縮することができ、それにより生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送台車の斜視図。
【図２】搬送台車の側面図。
【図３】搬送台車を上側から見た平面図。
【図４】搬送台車による荷の搬入・搬出を示す平面図。
【図５】搬送台車の電気的な構成図。
【図６】搬送台車の搬送の様子を示す説明図。
【図７】第１実施形態における制御プログラムのフローチャート。
【図８】第１実施形態における搬送台車の速度変化を示す速度波形図。
【図９】図８と異なる搬送台車の速度変化を示す速度波形図。
【図１０】第２実施形態における制御プログラムのフローチャート。
【図１１】第２実施形態における搬送台車の速度変化を示す速度波形図。
【符号の説明】
ＳＴ…ステーション、１…搬送台車、２…荷、６…本体、９…収容室、１０…移載部、１２…開口部、１３…扉体としてのシャッタ、１４…クリーンユニットとしてのＦＦＵ、２０…制御手段としてのコントローラ部。
【図１】
2004119704.tif 000003
【図２】
2004119704.tif 000004
【図３】
2004119704.tif 000005
【図４】
2004119704.tif 000006
【図５】
2004119704.tif 000007
【図６】
2004119704.tif 000008
【図７】
2004119704.tif 000009
【図８】
2004119704.tif 000010
【図９】
2004119704.tif 000011
【図１０】
2004119704.tif 000012
【図１１】
2004119704.tif 000013