(57)【要約】【課題】半導体ウェーハやガラス基板等を収納して保管、搬送、或いは加工装置に連結して基板を供給したりする基板収納容器の蓋体を、蓋体開閉装置によって、基板収納容器から取り除く際に、基板収納容器内に外部からパーティクルが侵入するのを抑制することができる基板収納容器を提供する。【解決手段】一端に開口部を有し一又は複数枚の基板を収納する容器本体２と、開口部を閉鎖する蓋体３とからなる基板収納容器１であり、蓋体３は弾性部材２０が設けられ、弾性部材２０は蓋体開閉装置と基板収納容器１と接触して押圧されて圧縮し、蓋体開閉装置が押圧を中止して蓋体３を取り除く際、反発方向に変位して元に戻るようにしたものである。【選択図】　　図１
2004119427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口部を有し一又は複数枚の基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器において、
前記蓋体には弾性部材が取り付けられ、蓋体開閉装置が前記蓋体に接触して押圧されて前記弾性部材が圧縮し、前記蓋体を前記開口部から取り除いて前記容器本体を開口する際、前記弾性部材が反発方向に変位して略元の状態に戻った後、前記蓋体が前記容器本体から取り除かれることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記蓋体が筐体と前記筐体の開口を閉鎖する蓋体表面プレートとからなり、前記弾性部材が前記蓋体表面プレート又は前記蓋体表面プレートと前記筐体との間に設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記弾性部材が前記蓋体表面プレートから表側に突出していることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記弾性部材が前記蓋体に一又は複数個設けられ、ゴム材料又は熱可塑性エラストマー材料からなることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記弾性部材が前記蓋体の内部に設けられたスプリング部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板等の基板を内部に収納して搬送、保管、或いは基板の加工装置に連結して基板を供給するのに使用する基板収納容器に関し、特に基板収納容器から蓋体開閉装置を介して蓋体を取り除く際に、外部の微粒子が基板収納容器内に侵入して基板を汚染するのを抑制することができる基板収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板収納容器としては、例えば特開２０００−５８６３３号公報に開示されたものが知られており、基板収納容器は、加工装置に設けた蓋体開閉装置と係合し、基板収納容器内の基板を加工装置へ供給したり、受け入れたりするのに使用される。従来の基板収納容器は、基板を内部に収納する容器本体と、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体とからなり、蓋体の内部には容器本体に係止するためのラッチ機構が内包している。ラッチ機構は、複数のカム溝を有する回転可能な回転プレートと、一端が回転プレートのカム溝に連結した板状連結部材と、板状連結部材の他端に設けられ、容器本体開口部内縁に設けられる凹部に出没可能にした係止部材とからなり、操作孔に操作キーを外部から挿通して回転プレートを操作することで、ラッチ機構の施錠と開錠とが行われ、蓋体の開閉が行われる。例えば、容器本体の開口部が蓋体で閉鎖されている時、蓋体開閉装置により蓋体のラッチ機構が操作され、蓋体から突出している係止部材が容器本体から蓋体内部へと没入して、蓋体と容器本体との係止が解除されて、蓋体が容器本体から取り除かれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の蓋体開閉装置は、図１１に示したように、蓋体開閉装置３０内に加工装置３１が設けられ、基板収納容器１′は容器本体２とガスケット部材６を設けた蓋体３′とからなる（図１１（ａ））。蓋体開閉装置３０に基板収納容器１′が搭載され、蓋体３′のラッチ機構を解除し、蓋体３′を容器本体２から取り除くときに、蓋体開閉装置３０による蓋体３′を開ける動作速度が早いために、基板収納容器１′の内部が急激に負圧となり、図１１（ｂ）で矢印で示したように、基板収納容器１′と正面壁２６との隙間から、外部３２の微粒子（以下、パーティクルと称する）がエアーとともに基板収納容器内部に侵入するといった問題があった。
【０００４】
このような問題点を解消するため、従来、蓋体開閉装置３０の加工装置３１側の圧力Ｐ０　は蓋体開閉装置３０の外部３２の圧力Ｐ１　よりも高く設定して、クリーン度１レベルの高度にクリーンなエアーが天井部から基板収納容器１の搭載部にダウンフローされている。通常、加工装置３１の外部は、クリーン度が１００〜１０００レベルで管理されているが、基板収納容器１′に収納された基板へのパーティクル汚染を考慮すると、このレベルのクリーン度では不十分であった。そのため基板収納容器１′から蓋体３′を取り除く際に、加圧された高度にクリーンなエアーが送り込まれている。しかし、クリーンなエアーが行き渡る前に、基板収納容器１′の蓋体３′が取り除かれるので、外部からのエアーが収納容器内に巻き込まれて基板のパーティクル汚染が発生していた。
【０００５】
このようなパーティクル汚染を防止できる蓋体開閉装置としては、特開２００１−４４２５６号公報等に開示されたものがある。この従来例では、蓋体開閉装置側で蓋体を開ける最大速度を半導体製造装置の内外の圧力差で除した値を一定の値以下に制御することで、パーティクルの巻き込みを低減するものである。しかしながら、この従来例は蓋体開閉装置の制御が複雑であって、装置自体が高価となる問題があった。その制御方法は、確かに蓋体開閉装置の動作の初速を遅くしても中間速度を上げることによって、最終的には蓋体開閉のサイクルダウンすることなく、パーティクルの巻き込みを低減できるという効果が期待される。しかし、蓋体の開閉動作にエアーシリンダが使用されており、このような手段では蓋体の開閉における微妙な制御が難しかった。また、エアーシリンダでは、初速がある程度大きくないと装置が動作しないという問題もあった。
【０００６】
さらに、一つの半導体製造工程で使用されている蓋体開閉装置は、５００〜１０００台が使われている。しかも、これらの装置は、複数のメーカーによって製造されており、その種類は約５０種類にも及んでおり、これら全の蓋体開閉装置を上記のように改造したり、仕様を変更したりして、基板のパーティクル汚染を防止する対策を行うことは困難であった。
【０００７】
本発明は、上記のような課題に鑑みなされたものであり、半導体ウェーハやガラス基板等を収納して保管、搬送、或いは加工装置に連結して基板を供給したりする基板収納容器の蓋体を、蓋体開閉装置によって、基板収納容器から取り除く際に、基板収納容器内に外部からパーティクルが侵入するのを抑制することができる基板収納容器を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するためになされ、請求項１の発明は、一端に開口部を有し一又は複数枚の基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器において、
前記蓋体には弾性部材が取り付けられ、蓋体開閉装置が前記蓋体に接触して押圧されて前記弾性部材が圧縮し、前記蓋体を前記開口部から取り除いて前記容器本体を開口する際、前記弾性部材が反発方向に変位して略元の状態に戻った後、前記蓋体が前記容器本体から取り除かれることを特徴とする基板収納容器である。
【０００９】
請求項１の発明では、基板収納容器の蓋体に弾性部材を備えたものであり、弾性部材を備えることによって、蓋体が蓋体開閉装置と接触して押圧されたとき、弾性部材が圧縮し、蓋体開閉装置が押圧を解除して前記蓋体を取り除いて前記容器本体を開口するとき、弾性部材は反発方向に変位して元に戻るように作用する。このような作用を利用して、蓋体開閉装置による基板収納容器の蓋体を取り除く際、蓋体の開動作が僅かに遅延し、完全に開口される前に加圧されたエアーが基板収納容器に供給され、蓋体開閉装置に開口部周囲の壁面に密着した容器本体の蓋体が取り除かれて容器本体が開口するので、容器本体内へのパーティクルの侵入が抑制され、基板のパーティクル汚染を回避できる作用を有する。
【００１０】
また、請求項２の発明は、前記蓋体が筐体と前記筐体の開口を閉鎖する蓋体表面プレートとからなり、前記弾性部材が前記蓋体表面プレート又は前記蓋体表面プレートと前記筐体との間に設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器である。
【００１１】
請求項２の発明では、蓋体が筐体と筐体の開口を閉鎖する蓋体表面プレートとからなり、弾性部材が蓋体表面プレート又は蓋体表面プレートと筐体との間に設けられており、蓋体開閉装置によって、蓋体が押圧された際に、弾性部材のみが圧縮し、押圧を解除して弾性部材の反発力によって元に戻った後、蓋体が容器本体から取り除かれるか、又は蓋体開閉装置によって、蓋体表面プレートが弾性部材の圧縮により、押圧方向に僅かに移動し、基板収納容器から蓋体が取り除く際に、蓋体表面プレートが僅かに蓋体開閉装置側に移動した後、蓋体が容器本体から取り除かれるので、基板収納容器の開口が僅かに遅延する間に、加圧されたエアーが基板収納容器に供給されて、容器本体内へのパーティクルの侵入が抑制され、基板のパーティクル汚染を回避できる作用を有する。
【００１２】
また、請求項３の発明は、前記弾性部材が前記蓋体表面プレートから表側に突出していることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器である。
【００１３】
請求項３の発明では、弾性部材が蓋体表面プレートから突出するように設けられており、蓋体開閉装置により基板収納容器を押圧した際に、弾性部材が押圧されて圧縮し、蓋体開閉装置による押圧を解除して蓋体を取り除く際、弾性部材が反発方向に変位して略元に戻った後に、蓋体が移動して収納容器本体が開口されるので、収納容器本体内へのパーティクルの侵入が抑制され、収納容器本体内の基板のパーティクル汚染を回避できる作用を有する。
【００１４】
また、請求項４の発明は、前記弾性部材が前記蓋体に一又は複数個設けられ、ゴム材料又は熱可塑性エラストマー材料からなることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の基板収納容器である。
【００１５】
請求項４の発明では、弾性部材が蓋体に一又は複数個設けられ、ゴム材料又は熱可塑性エラストマー材料であるので、その弾性部材の弾性係数を任意に設定することができ、蓋体開閉装置の動作特性に応じて弾性係数を調整することで、蓋体が容器本体から取り除かれるタイミングを僅かに遅延させることができる作用を有する。
【００１６】
また、請求項５の発明は、前記弾性部材が前記蓋体の内部に設けられたスプリング部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器である。
【００１７】
請求項５の発明では、蓋体の内部に弾性部材としてスプリング部材で構成したので、ゴム材料等の弾性部材では対応できない弾性係数を任意に設定することができ、種々の動作特性を有する蓋体開閉装置に対応できる基板収納容器とすることができる作用を有する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板収納容器の実施形態について、図面を参照して説明する。先ず、本発明の一実施形態について、図１〜図７を参照して説明する。なお、図１は本発明の一実施形態の斜視図である。図２（ａ）は本実施形態の基板収納容器の蓋体を示す要部側面図、図２（ｂ）は本実施形態と蓋体開閉装置とを示す概略図である。図３（ａ）は本実施形態に係る弾性部材の部分拡大図、図３（ｂ）はそのＩ−Ｉ断面拡大図である。図４（ａ）は容器本体に蓋体を係止する一対のラッチ機構を概要を示す正面図、図４（ｂ）はそのＩＩ−ＩＩ断面図である。図５（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の基板収納容器が蓋体開閉装置による蓋体を取り除く際の動作を説明する概略図である。図６（ａ）は本実施形態の基板収納容器が蓋体開閉装置に押圧された状態を示す要部断面図、図６（ｂ）は基板収納容器が蓋体と蓋体開閉装置の開口時の動作を示す要部断面図である。図７は蓋体を取り除く際の蓋体の開動作を説明するための図である。
【００１９】
図１，図２を参照して本実施形態を説明すると、基板収納容器１は一端に開口部を有し内部に基板Ａを一定間隔で水平に収納する容器本体２と、この開口部を閉鎖する蓋体３とからなる。容器本体２は、その底面に位置決め部材４（図２（ｂ）参照）が設けられ、位置決め部材４が蓋体開閉装置３０の搭載部２１の位置決めピン２２に嵌合するように構成されている。容器本体２の外側壁と天面には、基板収納容器１を搬送するためのハンドル部材２ａが設けられている。容器本体２の開口部内周縁には、蓋体３を係止するための係止凹部１７が複数形成されている。
【００２０】
蓋体３の内面には、蓋体３が容器本体２に係止された際に基板Ａを保持する短冊状に分離した収納溝を有する押さえ部材５が設けられ、蓋体３の側壁周縁には容器本体２内を密封するシール用のガスケット部材６が取り付けられている。蓋体３の表面には、複数の弾性部材２０が蓋体表面から僅かに突出するように左右及び上下均等に配置されている。弾性部材２０は、図２（ａ）に示したように、突出量ｔの平坦面であるが、弾性部材２０が蓋体開閉装置３０に接触して圧縮されると、蓋体表面プレート３ａの表面と同一平面となるように構成される。
【００２１】
基板収納容器１の蓋体３は、図３（ａ），（ｂ）に示したように、筐体３ｂと蓋体３の表面に閉鎖する蓋体表面プレート３ａとから構成されており、弾性部材２０はドーナツ状の有底円筒部材であり、固定ビス１８を利用して、弾性部材２０の底面部に設けられた貫通穴に固定ボルト１８を挿入して筐体３ｂの突出部１３に固定されている。蓋体３の表面の蓋体表面プレート３ａには、このような弾性部材２０を収納するための円形凹部１９が複数設けられ、これら円形凹部１９に弾性部材２０が収納されて蓋体表面プレート３ａが蓋体３に固定されている。弾性部材２０の蓋体表面プレート３ａの表面からの突出量ｔは、０．２〜０．６ｍｍ程度である。また、弾性部材２０が蓋体開閉装置３０と接触して押圧され、弾性部材２０の突出分が圧縮変形して横方向に広がり、円形凹部１９はその変形分を逃がす逃がし孔となっている。なお、弾性部材２０の形状は円筒形に限らず、半円形やＬ字状等の何れの形状であってもよい。
【００２２】
一方、蓋体３の内部には、蓋体３を容器本体２に係止する一対のラッチ機構７が収納されている。図４（ａ）、図４（ｂ）を参照して説明すると、このラッチ機構７は、回転プレート８と連結プレート９と係止部材１０とから構成されている。回転プレート８は、円形に形成され外表面の中央に蓋体開閉装置３０の操作キーが挿入される操作孔１１が形成されて、円周方向に沿ってカム溝８ａが形成されている。連結プレート９の一端には係合突起９ａが設けられ、係合突起９ａがカム溝８ａに係合し、回転プレート８の動きに合わせて、連結プレート９が略直進方向に駆動するように構成されている。連結プレート９の他端には断面Ｔ字状の係止部材１０が軸支されている。係止部材１０は蓋体３にも軸支されており、連結プレート９の動きに合わせて係止部材１０の自由端が円軌道を描いて、蓋体３の側壁の貫通穴１６から出没自在に設けられている。蓋体３は係止部材１０の出没により容器本体２の開口部を開閉し得るように構成されている。基板収納容器１が蓋体開閉装置３０の搭載部２１に載置されると、操作キーが蓋体３の操作孔１１に挿入され、基板収納容器１の蓋体３の開閉操作が行われる。
【００２３】
続いて、本実施形態の基板収納容器１の開閉動作について、図５（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。図５（ａ）は基板収納容器１と蓋体開閉装置３０とが示され、図５（ｂ）は基板収納容器１が蓋体開閉装置３０に搭載された図であり、図５（ｃ）は基板収納容器の蓋体３が取り除かれた状態を示す図である。蓋体開閉装置３０の搭載部２１には、図５（ａ）に示したように、位置決めピン２２が突出し、略Ｖ字状に配置されている。基板収納容器１の底面には、位置決めピン２２に対応するように、Ｖ字状に配置された位置決め溝４が設けられ、位置決め溝４が位置決めピン２２に係合して搭載される。蓋体開閉装置３０の開口部２４にはクロージャー２３が設けられており、クロージャー２３の水平方向の移動と降下によって、開口部２４が開閉し得るように構成されている。蓋体開閉装置３０に位置決めされた基板収納容器１は、開口部２４の周縁の正面壁２６に接触するように移動して、ＳＥＭＩ規格で設定された一定の押圧力で基板収納容器１の蓋体３面がクロージャー２３に押圧される（図５（ｂ））。その後、クロージャー２３への押圧が解除されて、蓋体３はクロージャー２３とともに、容器本体２から取り除かれる。
【００２４】
なお、本実施形態のラッチ機構７の開錠は、蓋体３とクロージャー２３とが連結された際（図５（ｂ））、クロージャー２３の表面に設けられた操作キーが蓋体３の操作孔１１に挿入され、操作キーにより蓋体３のラッチ機構７の回転プレート８（図４参照）を９０度回転させて、係止部部材１０による蓋体３と容器本体２との係止が解除される。
【００２５】
ラッチ機構が開錠された後、蓋体３を保持したクロージャー２３は、開口部２４から遠ざかるように略水平方向に後退し、引き続いて垂直方向（通常は下方向）に移動することで収納容器本体２の開口部と蓋体開閉装置３０の開口部２４とが同時に開口される。続いて、蓋体開閉装置３０の正面壁２６には開口部２４が開口し、基板収納容器１内の基板は開口部２４を通して加工装置３１内へとローディングしたり、アンローディングしたりすることができる（図５（ｃ））。
【００２６】
なお、本実施形態は、蓋体表面に弾性部材２０が突出するように設けられ、クロージャー２３により弾性部材２０が押圧されて圧縮された際、蓋体外表面とクロージャー２３壁面とが面一に接触する。しかし、弾性部材２０の突出量が大きい場合、弾性部材２０が完全に圧縮されずに蓋体表面に凸部が生じ、クロージャー２３と蓋体３との間に弾性部材２０による僅かな隙間が空いて、このような僅かな隙間が容器本体２の外側に生じると、容器本体２内部や加工装置３１内部に比べて汚染したエアーが容器本体２の内部に侵入して基板のパーティクル汚染が生じるおそれがある。従って、弾性部材２０の突出量ｔは０．６ｍｍ以下が好ましいが、突出量ｔが極端に少ないと、弾性部材２０の反発方向の変位による蓋体３の開動作の遅延が低減するので、突出量ｔは０．２ｍｍ以上とする。
【００２７】
本実施形態は、蓋体開閉装置３０のクロージャー２３が開動作を行って、基板収納容器１の蓋体３を開口する際に、クロージャー２３が移動を開始するタイミングに対して、蓋体３が収納容器本体２から取り外されるタイミングが僅かに遅れるようにしたものである。クロージャー２３の押圧力が解除されて開動作を始めた瞬間に、圧縮された弾性部材２０が反発して元の状態に復元して、弾性部材２０による蓋体３とクロージャー２３との間に距離（突出量に略相当）が形成されるだけで、直ちには蓋体３がクロージャー２３に追従して開かれないので、急激に蓋体３が開口されて、収納容器本体内に外部３２のエアーが巻き込まれないようにして、パーティクル汚染を防止したものである。
【００２８】
本実施形態による基板のパーティクル汚染防止は、図６及び図７を参照して説明すると、蓋体開閉装置３０の加工装置３１側の圧力Ｐ０　は蓋体開閉装置３０の外部３２の圧力Ｐ１　よりも高く設定され、図６（ａ）に示したように、クロージャー２３に蓋体３が押圧された後、押圧を解除して、クロージャー２３を開動作を開始すると、図６（ｂ）に示したように、弾性部材２０の反発力によって、概ね弾性部材２０の突出量だけクロージャー２３が先に動き、蓋体開閉装置３０の開口部がほんの僅か先に開口し、加工装置３１側から開口部２４から矢印で示したように、外部３２より加圧されたクリーンエアーが収納容器本体２側に流れ込み、収納容器本体２の開口部が加圧されたエアーで覆われる。その後、蓋体３がクロージャー２３とともに取り除かれるので、容器本体外部３２からエアーが収納容器本体２内に巻き込まれて侵入することがなく、基板や加工装置内部をパーティクルで汚染することがない。
【００２９】
すなわち、図７に蓋体３の開動作の速度モデルが模式的に示したように、蓋体３は蓋体開閉装置３０が動き始めても弾性部材２０の反発によって最初は動かず、蓋体３は蓋体開閉装置３０の動きに対して時間ｔ０　遅れ、理論曲線で示したように、僅かに遅延して動き始める。このようない従来技術の曲線で示したように、蓋体３の開動作が急激に立ち上がるのを効果的に防止することができる。このように蓋体３を開動作させることによって、蓋体３の動作は波線で示した理想曲線に近づく。
【００３０】
なお、本実施形態の弾性部材２０の材質は、例えば、ＮＢＲ（ニトリルゴム）、ＩＲ（イソプレンゴム）、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレンゴム）、ＳＢＲ（スチレンブタジェンゴム）、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどの各種ゴムや熱可塑性ポリエステル系エラストマー、或いは熱可塑性ポリオレフィン系エラストマーなどの各種の熱可塑性エラストマーが使用することができ、揮発性ガス成分が少なく、圧縮永久歪みの値が小さいものが好ましい。また、弾性部材２０をこのような合成樹脂とすることにより任意の弾性係数に調整できる。
【００３１】
また、本実施形態では、弾性部材２０としてゴム部材や樹脂製を例示したが、金属からなるスプリング部材を蓋体表面に設けることもできる。スプリングの突出量は圧縮量と等しくなるように、０．２〜０．６ｍｍ程度に調整する。弾性部材２０が金属製のスプリング部材である場合であっても、蓋体３がクロージャー２３にやや遅れて開口し、外部のパーティクルの巻き込みが防止できるという同様の効果が得られる。さらに、スプリング部材の変わりに、板バネやさらばね状の部材を使用することができる。
【００３２】
次に、図８を参照して、本発明に係る基板収納容器の他の実施形態について説明する。図８（ａ）は蓋体の部分断面図であり、図８（ｂ）は弾性部材が圧縮された状態を示す要部断面図である。蓋体３は、一方に開口を有する筐体３ｂと筐体３ｂの開口を閉鎖する蓋体表面プレート３ａとから構成され、弾性部材２０が蓋体３表面から突出しないように、蓋体表面プレート３ａと筐体３ｂとの中間に配置され、固定ボルト２５を蓋体表面プレート３ａに設けた円形凹部１９と弾性部材２０の貫通穴に挿通して、筐体３ｂに設けた突出部１３に固定ボルト８の先端を螺合して取り付けて、蓋体表面プレート３ａが固定ボルト２５で筐体３ｂに支持されている。
【００３３】
蓋体表面プレート３ａは弾性部材２０を介して筐体３ｂに固定されており、蓋体開閉装置と基板収納容器とが接触し押圧されると、クロージャーに蓋体表面プレート３ａが押圧され、弾性部材２０が圧縮される。従って、弾性部材２０に支持された蓋体表面プレート３ａは筐体３ｂ側へ移動し（図８（ｂ）参照）、蓋体３が蓋体開閉装置の開口部に当接して、蓋体開閉装置による基板収納容器のラッチ機構が解除されてクロージャーの押圧が解除されると、クロージャーが開動作を開始すると、圧縮された弾性部材２０は反発して元の位置に復帰しようとするので、上記で説明した同じ原理で、蓋体３が取り除かれる動作が、蓋体開閉装置の開動作に比べて僅かに遅延するので、加工装置側のクリーンなエアーが容器本体側に流れて、容器本体開口部からの外部のエアーの巻き込みを防止することができる。なお、弾性部材２０の圧縮量が、０．２〜０．５ｍｍ程度になるように設定することが好ましい。また、このように弾性部材が圧縮されて反発するときに、固定ネジ２５の頭部下面と凹部１９の底面とが接触し、弾性部材の反発のストッパーとして機能する。
【００３４】
また、図９を参照して、本発明の他の実施形態について説明する。図９（ａ），（ｂ）に示した実施形態は、弾性部材４０がスプリング部材であり、蓋体３の内部に設けられている。蓋体３は、図８の実施形態と同様に一方に開口を有する筐体３ｂと、筐体３ｂの開口を閉鎖する蓋体表面プレート３ａとから構成され、蓋体表面プレート３ａは弾性部材４０であるスプリング部材を介して筐体３ｂに支持されている。蓋体開閉装置が基板収納容器に接触し押圧されると、蓋体表面プレート３ａは弾性部材４０が圧縮されて筐体３ｂ側へ移動する（図９（ｂ）参照）。圧縮量は、先の実施形態と同様に、０．２〜０．５ｍｍ程度に調整可能とするとよい。移動量の調整はバネの圧縮量や別途設けるストッパーなどにより調整可能である。また、蓋体表面プレート３ａは、全体が移動するので、これを平行にスライドさせるためのガイドピン２９を設けるとよい。この実施形態の場合も前記した実施形態と同様に蓋体を取り除くときの動きが蓋体開閉装置の開動作よりも遅延させることができるので、同様の効果が得られる。
【００３５】
また、本発明の他の実施形態としては、蓋体開閉装置によって、蓋体表面プレートを押圧して変位させる他の実施形態として上記した以外に、図１０に示したように、蓋体表面プレート３ａが筐体３ｂの開口部周縁部に弾性部材２０を設けても蓋体表面プレート３ａを支持するようにしてもよい。弾性部材２０は、上記実施形態のような合成ゴムや蛇腹やヒンジ構造とした柔軟変形性、又は板バネ状の弾性部材であればよい。
【００３６】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、蓋体に弾性部材を有しているので、蓋体開閉装置と接触するときに弾性部材が圧縮されて密着し、蓋体を取り除くときに、蓋体が蓋体開閉装置のクロージャーよりも後に開口するので、加工装置の加圧エアーが基板収納容器側に流入することによって、外部からのパーティクルを加工装置や基板収納容器の内部に巻き込むことがなく、パーティクルが付着して汚染されることがない利点がある。無論、本発明の基板収納容器を使用したとしてもスループットが低下することはなく、高価な装置を設置したり、また付設する必要がなく、製造工程における基板のパーティクル汚染を解消することができる効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を説明するための斜視図である。
【図２】（ａ）は本実施形態の蓋体の要部を示す側面図、（ｂ）は本実施形態と蓋体開閉装置を示す概略図である。
【図３】（ａ）は本実施形態の弾性部材の部分拡大図であり、（ｂ）はそのＩ−Ｉ断面拡大図である。
【図４】（ａ）は容器本体に蓋体を係止する一対のラッチ機構を概要を示す正面、（ｂ）はそのＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の基板収納容器が蓋体開閉装置による蓋体を取り除く動作を説明する概略図である。
【図６】（ａ）は本実施形態の基板収納容器が蓋体開閉装置に押圧された状態を示す要部断面図、（ｂ）は基板収納容器が蓋体と蓋体開閉装置の開口時の動作を示す要部断面図である。
【図７】本発明の基板収納容から蓋体を取り除く際の蓋体開閉装置による蓋体の開動作を説明するための図である。
【図８】本発明の他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図９】本発明の他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１１】従来の基板収納容器の蓋体開閉装置による蓋体の開閉を説明する概略断面図である。
【符号の説明】
１　基板収納容器
２　収納容器本体
３　蓋体
３ａ　蓋体表面プレート
３ｂ　筐体
４　位置決め部材
５　押さえ部材
６　ガスケット部材
７　ラッチ機構
８　回転プレート
９　連結プレート
９ａ　係合突起
１０　係止部材
１１　操作孔
１２　カム溝
１３　突出部
１４，１５　軸部
１６　貫通穴
１７　係止凹部
１８　固定ネジ
１９　円形凹部
２０　弾性部材
２１　搭載部
２２　位置決めピン
２３　クロージャー
２４　開口部
２５　固定ネジ
２６　正面壁
２９　ガイドピン
３０　蓋体開閉装置
３１　加圧装置
４０　スプリング部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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