(57)【要約】【課題】分注ヘッドの先端開口部の詰まりを防止するために洗浄機能を強化した液体分注装置を提供する。【解決手段】微量液体の吸引および吐出を行う液体分注装置は、一端に液体を吸引および吐出するための開口５４を有し、他端に液体を排出するための開口４６ａを有するとともに、内部に液体を保持する分注ヘッド２と、分注ヘッド２の内部を洗浄するための洗浄液を保持する洗浄槽７，８と、洗浄槽７，８に分注ヘッド２の一端を浸漬した状態で開口５４から洗浄液を吸引することにより分注ヘッド２の内部を洗浄するとともに、吸引した洗浄液を開口４６ａより排出する分注ヘッド内部洗浄手段（例えば減圧タンク２２および真空ポンプ２５）とを備える。【選択図】        図１
2004325117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微量液体の吸引および吐出を行う液体分注装置であって、
一端に液体を吸引および吐出するための第１の開口を有し、他端に液体を排出するための第２の開口を有するとともに、内部に液体を保持する分注ヘッドと、
前記分注ヘッドの内部を洗浄するための洗浄液を保持する洗浄槽と、
前記洗浄槽に前記分注ヘッドの一端を浸漬した状態で前記第１の開口から洗浄液を吸引することにより前記分注ヘッドの内部を洗浄するとともに、吸引した洗浄液を前記第２の開口より排出する分注ヘッド内部洗浄手段と、
を備えることを特徴とする液体分注装置。
【請求項２】
前記分注ヘッド内部洗浄手段は、前記分注ヘッドの第２の開口に順次接続される減圧タンクおよび真空ポンプから成ることを特徴とする請求項１記載の液体分注装置。
【請求項３】
前記分注ヘッド内部洗浄手段は、前記分注ヘッドの第２の開口に接続されるシリンジピストンポンプから成ることを特徴とする請求項１記載の液体分注装置。
【請求項４】
前記洗浄槽には超音波振動発生手段を設け、該超音波振動発生手段により発生させた超音波振動を前記洗浄液を介して前記分注ヘッドに付加するようにしたことを特徴とする請求項１記載の液体分注装置。
【請求項５】
前記洗浄槽には前記分注ヘッドの端部を挿入し得るとともに開閉可能に構成された挿入口を有するカバーを設けたことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の液体分注装置。
【請求項６】
微量液体の分注を行う分注ヘッドの洗浄方法であって、
前記分注ヘッドに設けられた液体の吸引および吐出のための第１の開口を洗浄液に浸漬し、前記第１の開口から洗浄液を吸引することにより前記分注ヘッドの内部を洗浄する吸引洗浄工程と、
吸引した洗浄液を前記分注ヘッドの第２の開口から排出する排出工程と、
から成ることを特徴とする分注ヘッドの洗浄方法。
【請求項７】
前記吸引洗浄工程において、洗浄液に超音波振動を付加することを特徴とする請求項６記載の分注ヘッドの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微量液体の吸引および吐出を行う液体分注装置、特に、分注ヘッドの洗浄機能を強化した液体分注装置、および、分注ヘッドの洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
血液分析機や遺伝子検査、創薬検査等の検査装置において、ランニングコスト削減やスループット向上のために、これらの装置に搭載される液体吐出装置の最小吐出量を微量化することが検討されている。一例として、１ナノリットル未満の液滴を吐出することができる微量流体処理装置（例えば、特許文献１参照）が提案されている。
【０００３】
この微量流体処理装置１６０は、図６に示すように、ガラス毛細管に取り付けられた圧電変換器を使用するマイクロディスペンサ１６１と、マイクロディスペンサ１６１に移送流体を充填したり、マイクロディスペンサ１６１から移送流体を吸引したり、システム流体の圧力を制御したり、移送と移送との間にマイクロディスペンサ１６１を洗浄したりする容積式ポンプ１６２と、システム流体の圧力を測定するとともに対応する電気信号を発する圧力センサ１６３とを具備して成る。
【０００４】
上記マイクロディスペンサ１６１は、図７に示すように、ガラス毛細管１６４と、ガラス毛細管１６４に結合された圧電セラミクス管１６５とから成る。上記圧電セラミクス管１６５は、圧電セラミクス管１６５を収縮させるためのアナログ電圧パルスを受け取るための内側電極１６６および外側電極１６７を備えている。この微量流体処理装置１６０を用いて液体を吐出する際には、圧電セラミクス管１６５にアナログ電圧パルスを送って圧電セラミクス管１６５の収縮を生じさせ、この収縮によってガラス毛細管１６４を変形させる。このガラス毛細管１６４の変形によって、移送流体の中を進行してマイクロディスペンサのノズル１６８に到達する圧力波が形成されるので、ノズル１６８において、その先端の開口部より移送流体の１つの液滴が極めて高い加速度で射出される。この従来技術の上記特許文献１には、例えば５ピコリットルの液滴の吐出が可能である旨が記載されている。なお、ノズル先端の開口部の好適な例として、内径７５ミクロンという別の例が挙げられている。
【０００５】
上記微量流体処理装置１６０において試料として吸引する移送流体は、図８に断面を示すようなマイクロタイタープレートと呼ばれる汎用的な試料容器１７０に分注して供給されており、上記従来技術では、マイクロディスペンサ１６１におけるガラス毛細管１６４のノズル部分を試料に浸入させた状態で吸引を行うようにしている。なお、試料の種類を多種に変えながら連続的に分注を行う場合には、次の試料を吸引する前に、ノズルを洗浄する必要があるので、上記従来技術では、容積式ポンプ１６２によりシステム流体を圧送し、ノズル先端から残留する試料と共に排出するようにしている。このとき、マイクロディスペンサ１６１に超音波振動を付与するようにして、移送流体中の物質の付着による詰まりを防止しようとしている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−１１４３９４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
血液分析、遺伝子検査、創薬検査の分野においては、吐出する試料として高粘度もしくは高吸着性の液体、粉体や細胞等の粒子が分散したものを用いることがある。一方、上述した従来技術の微量流体処理装置は、マイクロディスペンサ、容積式ポンプおよびこれらを接続する流路に異物が混入したり、流体の滞留個所にカビ等の微生物が発生したりする場合がある。したがって、上記従来技術において、容積式ポンプでシステム流体を圧送して、ノズル先端の開口部よりシステム流体を排出する際に、開口部の内径によっては、上述した異物や微生物が開口部を詰まらせるおそれがある。また、吐出する試料が粒子を含有する試料である場合には、圧送することおよび開口部の内径が連続的に小さくなっていることにより急激な密度増加が生じるので、開口部を詰まらせるおそれがある。さらに、吐出する試料が高粘度もしくは高吸着性の液体の場合には、上述した異物や微生物、粒子と相互に作用して、開口部を詰まらせるおそれがある。
【０００８】
本発明は、分注ヘッドの先端開口部の詰まりを防止するために洗浄機能を強化した液体分注装置を提供することを第１の目的とする。
本発明は、分注ヘッドの先端開口部の詰まりを防止する分注ヘッドの洗浄方法を提供することを第２の目的とする。
【０００９】
上記第１の目的を達成するため、請求項１に記載の第１発明は、微量液体の吸引および吐出を行う液体分注装置であって、一端に液体を吸引および吐出するための第１の開口を有し、他端に液体を排出するための第２の開口を有するとともに、内部に液体を保持する分注ヘッドと、前記分注ヘッドの内部を洗浄するための洗浄液を保持する洗浄槽と、前記洗浄槽に前記分注ヘッドの一端を浸漬した状態で前記第１の開口から洗浄液を吸引することにより前記分注ヘッドの内部を洗浄するとともに、吸引した洗浄液を前記第２の開口より排出する分注ヘッド内部洗浄手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
第１発明では、第１の開口が設けられた分注ヘッドの一端を洗浄槽に保持されている洗浄液に浸漬した状態で、分注ヘッド内部洗浄手段を作動させることによって、第１の開口から洗浄液を吸引して分注ヘッドの内部を洗浄するとともに、吸引した洗浄液を分注ヘッドの他端に設けられた第２の開口から排出する。
第１発明によれば、分注ヘッドの内部に異物および微生物が存在する場合、それら異物および微生物は、分注ヘッド内部洗浄手段により第１の開口から分注ヘッド内部に吸引した洗浄液によって第２の開口から排出され、分注ヘッドの内部が洗浄される。その際、第１の開口を通過する液体は洗浄液だけであるので、分注ヘッドの汚染および詰まりを生じることなく分注ヘッド内部を洗浄することが可能になり、分注ヘッドの先端開口部の詰まりを防止するために洗浄機能を強化した液体分注装置を提供することができる。
【００１１】
請求項２に記載の第２発明は、前記分注ヘッド内部洗浄手段は、前記分注ヘッドの第２の開口に順次接続される減圧タンクおよび真空ポンプから成ることを特徴とする。
【００１２】
第２発明では、分注ヘッド内部洗浄手段の構成要素である真空ポンプを駆動して、分注ヘッド内部洗浄手段の構成要素である減圧タンクを介して分注ヘッドの第２の開口から分注ヘッド内部を減圧することにより、洗浄槽内の洗浄液が第１の開口から分注ヘッド内部に吸引され、分注ヘッド内を所定速度で流れるので、分注ヘッドの内部に付着している試料、汚れおよび異物が除去される。その際、分注ヘッド内に吸入された洗浄液は分注ヘッド内を通過して減圧タンクに保持され、その後、外部に廃棄される。
第２発明によれば、真空ポンプを用いたことにより減圧レベルを強化して分注ヘッド内の流速を高めることが可能になり、所望に応じて洗浄力を強化することができる。また、洗浄液として界面活性剤を用いた場合は、連続的な発泡が生じるので、泡の移動による流路内の攪拌効果によって洗浄効果が促進されることになる。
【００１３】
請求項３に記載の第３発明は、前記分注ヘッド内部洗浄手段は、前記分注ヘッドの第２の開口に接続されるシリンジピストンポンプから成ることを特徴とする。
【００１４】
第３発明では、分注ヘッド内部洗浄手段の構成要素であるシリンジピストンポンプを駆動して、シリンジを介して分注ヘッド内部を減圧することにより、洗浄槽内の洗浄液が第１の開口から分注ヘッド内部に吸引され、分注ヘッド内を所定速度で流れるので、分注ヘッドの内部に付着している試料、汚れおよび異物が除去される。その際、分注ヘッド内に吸入された洗浄液は分注ヘッド内を通過した後にシリンジ内に保持されるが、流路を切り換えた後にシリンジピストンポンプを駆動してシリンジ内を加圧することにより、シリンジ内に保持された洗浄液は外部に移送されて排出される。
第３発明によれば、シリンジピストンポンプのピストンの移動量および移動速度を調節することにより、分注ヘッド内部に所望の減圧状態を形成して、洗浄効果を促進することができる。また、試料の吸引吐出動作を行うシリンジピストンポンプに洗浄水の吸引動作を兼用させることが可能であるので、液体分注装置の構成を簡略化することができる。
【００１５】
請求項４に記載の第４発明は、前記洗浄槽には超音波振動発生手段を設け、該超音波振動発生手段により発生させた超音波振動を前記洗浄液を介して前記分注ヘッドに付加するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
第４発明では、洗浄槽には超音波振動発生手段が設けられており、この超音波振動発生手段により発生させた超音波振動は洗浄液を介して分注ヘッドに付加されるように構成されている。
第４発明によれば、分注ヘッドに超音波振動を付加することにより分注ヘッドの洗浄効果が促進されるとともに、分注ヘッド内部に連続的に洗浄液を吸引する際に分注ヘッド内のキャビテーションによる発泡効果が増大するので、超音波振動を付加しない場合に比べて分注ヘッド内面の洗浄効果がさらに促進されることになる。
【００１７】
請求項５に記載の第５発明は、前記洗浄槽には前記分注ヘッドの端部を挿入し得るとともに開閉可能に構成された挿入口を有するカバーを設けたことを特徴とする。
【００１８】
第５発明では、洗浄槽はカバーで覆われており、このカバーには分注ヘッドの端部を挿入し得るとともに開閉可能に構成された挿入口が形成されているので、この挿入口を洗浄時以外は閉じておくことにより、槽外からの異物の混入が防止もしくは抑制される。
第５発明によれば、洗浄槽に清浄な洗浄液を供給することにより、洗浄液を吸引する際に洗浄液は清浄性を損うことなく分注ヘッド内部に吸引されるので、異物が分注ヘッドの一端に設けられた第１の開口を通過することが防止される。その結果、洗浄液を分注ヘッドに移送する流路の清浄性を管理する手間を軽減するとともに、分注ヘッドの汚染および詰まりが生じないように分注ヘッド内部を洗浄することができる。
【００１９】
上記第２の目的を達成するため、請求項６に記載の第６発明は、微量液体の分注を行う分注ヘッドの洗浄方法であって、前記分注ヘッドに設けられた液体の吸引および吐出のための第１の開口を洗浄液に浸漬し、前記第１の開口から洗浄液を吸引することにより前記分注ヘッドの内部を洗浄する吸引洗浄工程と、吸引した洗浄液を前記分注ヘッドの第２の開口から排出する排出工程と、から成ることを特徴とする。
【００２０】
第６発明では、吸引洗浄工程において分注ヘッドに設けられた液体の吸引および吐出のための第１の開口を洗浄液に浸漬してその第１の開口から洗浄液を吸引することにより洗浄液を移動させて分注ヘッドの内部を洗浄する。そして、排出工程において分注ヘッド内の洗浄液を分注ヘッドの第２の開口から排出する。
第６発明によれば、分注ヘッド内の試料、異物および微生物は洗浄液と共に第２の開口へ移送されて外部に排出されるため、洗浄液以外のものが第１の開口を通過することはなく、分注ヘッドの汚染および詰まりを生じることなく内面を洗浄することができる。したがって、分注ヘッドの先端開口部の詰まりを防止する分注ヘッドの洗浄洗浄方法を提供することができる。
【００２１】
請求項７に記載の第７発明は、前記吸引洗浄工程において、洗浄液に超音波振動を付加することを特徴とする。
【００２２】
第７発明では、吸引洗浄工程において、分注ヘッドを浸漬した洗浄液に超音波振動を付加するようになっている。
第７発明によれば、分注ヘッドに超音波振動を付加することにより、洗浄液への浸漬のみの場合と比べて分注ヘッドの洗浄効果が促進されるとともに、分注ヘッド内部に連続的に洗浄液を吸引することにより、分注ヘッド内のキャビテーションによる発泡効果が増大するので、超音波振動を付加しない場合に比べて分注ヘッド内面の洗浄効果がさらに促進されることになる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は本発明の第１実施形態の液体分注装置の全体構成を概略的に示す図であり、図２は第１実施形態の液体分注装置の分注ヘッドの構成を示す断面図である。
【００２４】
本実施形態の液体分注装置は、図１に示すように、ノズル１を含む分注ヘッド（以下、ヘッドという）２を１本または複数本保持し得るヘッド台３が図示しない可動搬送部材に支持されている。このヘッド台３は、試料容器４、反応容器５、１次洗浄槽７、２次洗浄槽８、消毒槽９およびシステム流体槽１０の各々の上方に順次移動配置されるように構成されている。上記可動搬送部材は、例えば精密ボールねじおよびパルスモータから成る駆動源を有しており、所望の位置決め精度を確保できるように、０．００１ｍｍ／ｐｌｓ（パルス）以下の分解能を有している。
【００２５】
ヘッド台３の内部に形成されている流路１１は、可撓性を有し、かつ、容積変化の小さい中継管１２によって、シリンジ１３に接続されている。シリンジ１３は、精密ボールねじ１４およびパルスモータ１５から成る電動アクチュエータ１６の可動部１７に連結されたピストン１８と組み合わせられており、シール部材１９を介してのピストン１８の移動により体積変化を生じるシリンジピストンポンプ２０を構成している。電動アクチュエータ１６の分解能は、ピストン１８の移動の精度を確保できるように、例えば０．０００１ｍｍ／ｐｌｓに設定されている。
【００２６】
シリンジ１３のシリンジ流路２１には、一端が減圧タンク２２に連通する廃液管２３の他端が接続されており、廃液管２３の途中には流路開閉バルブ２４が設けられている。減圧タンク２２は、内部に廃液を保持可能な構成となっており、下流側に真空ポンプ２５が接続されているため、内部を十分な負圧に減圧可能に構成されている。減圧タンク２２の底面付近には、廃液タンク２６への廃液口２７が設けられており、開閉可能な廃液開放バルブ２８を開放することにより減圧タンク２２と廃液タンク２６とが連通する。減圧タンク２２の上面近傍には大気に通じるタンク開放バルブ２９が設けられており、タンク開放バルブ２９を開くことにより、減圧タンク２２の内部の圧力が大気圧に開放されるようになっている。
【００２７】
１次洗浄槽７、２次洗浄槽８、消毒槽９およびシステム流体槽１０は、図１には便宜上垂直方向に配列して記載しているが、実際には２次洗浄槽８、消毒槽９およびシステム流体槽１０は１次洗浄槽７が配置された平面と同一平面上に配置されている。図示しない可動搬送部材により、ヘッド台３を１次洗浄槽７、２次洗浄槽８、消毒槽９およびシステム流体槽１０の各槽の上方に平行移動した後、垂直方向に移動させることにより、ヘッド２のノズル１を各槽の所定深さの位置まで順次浸漬することができるように構成されている。
【００２８】
１次洗浄槽７および２次洗浄槽８はほぼ同一構造になっており、１次洗浄槽７および２次洗浄槽８のそれぞれは、外枠３０および内枠３１を有している。内枠３１は外枠３０より背が低くなっており、その上縁の一部には切欠３２が設けられている。１次洗浄槽７および２次洗浄槽８には、外部からの供給管３３が外枠３０を貫通して内枠３１に接続されており、この供給管３３によって洗浄液を内枠３１内に供給することができる。さらに、１次洗浄槽７および２次洗浄槽８には、外部へ至る排出管３４が外枠３０に接続されているため、この排出管３４によって洗浄液を排出することができる。以上により、供給管３３から供給される洗浄液は内枠３１の内部を満たした後、切欠３２からオーバーフローして、外枠３０および内枠３１の間に溜まってから排出管３４により排出されるので、内枠３１内の洗浄液は水位は一定に保たれることになる。また、これら１次洗浄槽７および２次洗浄槽８は、その底面の裏側に超音波振動子３５が装着されているため、図示しない駆動回路によって洗浄効果を有する周波数（例えば２０ｋＨｚ〜３ＭＨｚ、本実施形態では４０ｋＨｚ）の超音波振動を１次洗浄槽７および２次洗浄槽８に付加し得るようになっている。
【００２９】
なお、供給管３３への送液および排出管３４からの排液は図示しない送液ポンプによって行われるようになっており、洗浄液としては品質管理された洗浄効果のある清浄な液体を用いるものとする。例えば、１次洗浄槽７には、界面活性剤水溶液やアルカリ性もしくは酸性溶液を用い、２次洗浄槽８には、超純水を用いる。また、供給管３３には、異物除去のために図示しない交換可能なろ過フィルタを設置するものとする。また、１次洗浄槽７の上部は、防塵のために、ノズル挿入穴３８を有するカバー３６で蓋をされており、同様に、２次洗浄槽８の上部は、防塵のために、ノズル挿入穴９４を有するカバー９３で蓋をされている。これらノズル挿入穴３８，９４は、ロータリーアクチュエータ８２がアーム８１を介してシャッタ８０を旋回駆動することにより開閉可能に構成されており、閉状態のときはシール部材８３により密閉されるようになっている。
【００３０】
消毒槽９は、耐溶剤性を有するものであり、防塵のために、その上部は、ノズル挿入穴３９を有するカバー３７で蓋をされている。消毒槽９は、１次洗浄槽７および２次洗浄槽８のノズル挿入穴と同様にノズル挿入穴３９を開閉可能に構成された容器であり、滅菌、殺菌等の消毒効果を有する有機溶剤（例えば７０％イソプロパノール）を供給されて所定水位を保持している。システム流体槽１０も同様に、防塵のために、その上部は、ノズル挿入穴９１を有するカバー９２で蓋をされた容器であり、脱気された安定な液体（例えば超純水）を外部から供給されて所定水位を保持している。なお、１次洗浄槽７のカバー３６および２次洗浄槽８のカバー９３は、超音波振動子による超音波振動の付加効率を阻害しないように、各洗浄槽に接触せずに全体を覆う形状になっており、消毒槽９のカバー３７およびシステム流体槽１０のカバー９２は蓋状の形状になっている。また、ノズル挿入穴３８，９４、３９、９１をそれぞれ、ノズル１を浸漬する所定のタイミングでのみ開くように、ノズル１を浸漬する動作と同期して各ノズル挿入穴を開放する制御を行うものとする。
【００３１】
ヘッド２は、ヘッド台３に着脱可能に構成されており、図２に示すように、ノズル１と、ノズル１を吐出方向（図示上下方向）に駆動するために軸方向（吐出方向と同一である）に変形可能な圧電素子４０等から構成されている。圧電素子４０の軸方向の一方の端部（図示上端部）４１は、ヘッド台３に形成された取付穴に嵌合可能な固定端継手４３に固着されており、他方の端部（図示下端部）４２は、内周にネジ部４９を有する自由端継手４５の上端に固着されている。
【００３２】
また、ノズル１は、液体を保持し得る中空円筒状のノズル管４６と、ノズル管４６と概略一致する内径を有し先端がテーパ状になったノズル先４７と、ノズル管４６およびノズル先４７を内面で連続的に連結する流路継手４８とから構成されており、ノズル管４６およびノズル先４７の内部には流路が形成されている。自由端継手４５と流路継手４８とは、ネジ部４９にて簡易的に結合・分離が可能であり、ヘッド２は、両者を結合した状態で各部材の同軸度が得られるように組み立てられている。なお、ノズル管４６の図示上端部には、ヘッド台３に設けられたヘッド台流路１１に連通する開口（以下、第２の開口という）４６ａが形成されている。
【００３３】
また、固定端継手４３の、ヘッド台３に形成された取付穴との嵌合部の外周にはＶ溝４４が形成されており、ヘッド２をヘッド台３に装着する際には、ヘッド２を嵌合させた状態で、先端が球状になった抜け止めネジ５８（図１参照）をＶ溝４４の上方の斜面９５に締め込むことにより、簡便にヘッド２をヘッド台３に簡便かつ十分な圧力で固定することが可能である。さらに、固定端継手４３の図示上端面には、所定の内径および深さを有する凹部５０が形成されている。本実施形態では、ノズル管４６の図示上端部の外周に嵌合する１個（もしくは複数個）のＯリング５１を、凹部５０内でヘッド２の固定圧力を利用して軸方向に圧縮変形させることにより、ヘッド台３からノズル１に連通するシールされた流路を確保するようにしている。なお、凹部５０の内径は、Ｏリング５１が変形する際に、拡張される外径を規制しないように、十分大きく確保されている。
【００３４】
ノズル先４７は、先端側に位置するテーパ部５２と、ノズル管４６と概略一致する内径を有するのストレート部５３とから成り、先端（図示下端）に設けられた開口（第１の開口）５４において外部大気に連通するようになっている。ストレート部５３の概略寸法は、内径０．５ｍｍ〜３ｍｍ、外径１．５ｍｍ〜６ｍｍ、長さ３ｍｍ〜６０ｍｍであり、テーパ部５２は、内側５〜２０°、外側２５〜４５°に形成されている。開口５４の寸法は、開口径２０μｍ〜１００μｍであり、この径でテーパ部の内側に通じる長さ５０〜１２０μｍの開口ストレート部５５を有している。圧電素子４０とノズル１との間の継手および結合部は剛体として形成されているので、ノズル１は圧電素子４０の変形により図中上下方向に変位可能になっている。圧電素子４０には図示しない駆動回路からリード線またはフレキシブル基板を介して所望の波形の電圧を印加するようになっている。また、ヘッド２が帯電して開口５４付近に空気中の塵が付着するのを防止するために、必要に応じてブロワーでヘッド２にイオン化エアーを吹きかけ、静電気を除去しておくものとする。
【００３５】
図１に示す試料容器４としては、例えば、８×１２列＝９６穴、１６×２４列＝３８４穴、３２×４８列＝１５３６穴等、マトリックス状に配列される多数の凹部５６を有する樹脂成形品の試料容器を用いるものとする。この試料容器４は、試料容器台５７に水平設置して凹部５６の内部に試料を保持できるようにしておくものとする。この試料容器４には、単一種類もしくは複数種類の試料液体、例えばＤＮＡやタンパク質の溶液、細胞培養液、機能性粒子や細胞が分散する液体等を一定量ずつ予め分注しておくものする。なお、試料容器４は、本実施形態の液体分注装置に設置した状態でヘッド台３を移動することにより、ノズル先４７を所望の凹部５６に挿入することが可能である。また、ノズル先４７と凹部５６との間の相対位置制御を行う際には、上述したヘッド台３の移動に限定されるものではなく、試料容器台４を図示しない別の可動搬送部材で移動させることによって位置決めするようにしてもよい。
【００３６】
試料容器４の上面には、試料容器４に保持されている試料の乾燥による濃度変化および試料内への異物の混入等を抑制するため、電動アクチュエータ９０により移動可能なシャッタ８５を設けてシャッタ機構を構成している。このシャッタ機構は、パルスモータ８９によって精密ボールねじ８８を回転駆動することにより、可動部８７に連結されたシャッタ８５が水平方向に直線移動するように構成したものであり、試料容器台５７の上面に取り付けられた移動しないシール部材８６と、シャッタ８５の下面に取り付けられシャッタ８５と共に移動するシール部材８４とにより、シャッタ８５が覆う領域を密閉するようになっている。なお、試料容器４の設置雰囲気の温度および湿度を適切に保つために、空調機構を備えるようにしてもよい。
【００３７】
反応容器５としては、例えば、光学観察可能なガラスプレート、反応のための前処理を施したプレート状部材、予め試料の分配用のウェルを設けたプレート状部材や成形部材等を用いることができ、反応容器台６の所定位置に単独もしくは複数設置するものとする。また、ヘッド台３によって試料を反応容器５の所定の部位に分配するために、ヘッド台３を反応容器５上の所定位置に順次位置決め可能に構成されている。この位置決めのために両者の相対位置を制御する際には、ヘッド台３を移動させることに限定されず、反応容器台６を図示しない可動搬送部材により移動して位置決めするようにしてもよい。
【００３８】
次に、本実施形態の液体分注装置の各種動作を説明する。
［１次洗浄槽７内でのノズルの洗浄動作］
ノズル１の先端外周部を洗浄する外周部洗浄工程を、以下のようにして行う。
まず、ヘッド台３を１次洗浄槽７の上方まで移動させた後、下降させる。その際、カバー３６のシャッタ８０を開状態にしておき、ノズル１をカバー３６に接触させることなくノズル挿入穴３８から１次洗浄槽７内に挿入し、内枠３１内に一定水位で保持されている洗浄液に所定深さまで浸漬する。その後、図示しない駆動回路により超音波振動子３５を所定の周波数で振動させ、図示しない送液ポンプにより供給管３３から新しい洗浄液を供給すると同時に、排出管３４から槽内を循環後の洗浄液を吸引して廃棄する。これにより、浸漬されているノズル１の外面には、洗浄液成分による洗浄効果と超音波振動による洗浄効果とが生じ、付着した試料、汚れおよび異物が除去されることになる。その際、除去された物質は洗浄液とともに１次洗浄槽７から排出され、同時に新しい洗浄液が流入することにより、ノズル１の表面への再付着が抑制されるので、ノズル１の外周部の洗浄が促進されることになる。
【００３９】
上述した１次洗浄槽７内でのノズル外周部の洗浄と並行して、ノズルの内部洗浄工程を、以下のように行う。まず、流路開閉バルブ２４は開に、タンク開放バルブ２９および廃液開放バルブ２８は閉にしておき、その状態で真空ポンプ２５を作動させる。このとき、減圧タンク２２内は大気圧から減圧されるので、廃液管２３、シリンジ流路２１、中継管１２、ヘッド台３の流路１１を介してノズル１の内部が減圧されることになる。この減圧により、洗浄液がノズル１の開口５４から内部に吸引されてノズル１内を所定速度（例えば所定の高速）で流れるので、ノズル１の内面に付着した試料、汚れおよび異物が除去される。なお、１次洗浄槽７には、ろ過フィルタを経由した清浄な洗浄液を供給し、カバー３６およびシャッタ８０により槽外からの異物の混入を防止するようにしているので、洗浄液の吸引時に開口５４から異物が吸引されることが防止されるようになっている。
【００４０】
上記洗浄動作時には、真空ポンプ２５によって減圧レベルを強化することにより、ノズル１内の流速が高速化されるばかりでなく、洗浄液として界面活性剤を用いた場合等においてキャビテーションによる連続的な発泡が生じるので、泡の移動による流路内の攪拌効果により、洗浄が促進されることになる。さらに、超音波振動の付加と同時に吸引を行うことにより発泡作用は一層増大するので、吸引のみを行う場合と比べて、洗浄効果が促進されることになる。
【００４１】
［２次洗浄槽８内でのノズルの洗浄動作］
１次洗浄槽７で上記洗浄動作を所定時間行った後、ヘッド台３を上昇させてノズル１を１次洗浄槽７内から退避させる。その後、ヘッド台３を２次洗浄槽８の上方まで移動させてから、下降させる。その際、カバー９３のシャッタ８０を開状態にしておき、ノズル１をカバー９３に接触させることなくノズル挿入穴９４から２次洗浄槽８内に挿入し、内枠３１内に一定水位で保持されている超純水に所定深さまで浸漬する。その後、上記と同様にして、循環する超純水でノズル外周部および内部を洗浄する。それにより、１次洗浄槽７による洗浄時に残留した界面活性剤等の洗浄液が濯がれ、除去されることになる。
【００４２】
［システム流体の吸引動作］
上記２次洗浄槽８での洗浄動作を行った後、ヘッド台３を上昇させてノズル１を２次洗浄槽８内から退避させる。その後、ヘッド台３をシステム流体槽１０の上方まで移動させてから下降させ、シャッタ８０を開状態にしたカバー９２のノズル挿入穴９１からノズル１をシステム流体槽１０内に挿入して、システム流体に浸漬する。この状態で、上記と同様に流路開閉バルブ２４は開に、タンク開放バルブ２９および廃液開放バルブ２８は閉にした状態で真空ポンプ２５を作動させることにより、ノズル１の開口５４からシステム流体を吸引し、ノズル１の開口５４から流路開閉バルブ２４までの部分をシステム流体で満たした状態にしてから、流路開閉バルブ２４を閉じて吸引を停止する。このとき、シリンジピストンポンプ２０において、ピストン１８を最もシリンジ１３内に挿入した状態にしておくものとする。
【００４３】
なお、試料の吸引量および吐出量を厳密に安定させる必要がある場合には、流路内の気泡の膨張によって試料の吸引量および吐出量がばらつく可能性があるため、２次洗浄槽８あるいはシステム流体槽１０における吸引時に、発生した気泡を低レベルの減圧を行うことによって流路開閉バルブ２４を通過する位置まで移送しておき、影響が予想される流路から十分に除去するようにすることが望ましい。
【００４４】
［試料の吸引動作］
ノズル１の開口５４から流路開閉バルブ２４までの部分をシステム流体で満たした状態で、ヘッド台３を上昇させることにより、ノズル１をシステム流体槽１０内から退避させる。その後、シリンジピストンポンプ２０においてピストン１８を抜き方向に低速で所定量移動させることにより、ノズル開口５４から空気をノズル１内に吸引する。その際、ピストン１８の移動量および移動速度を精密に制御することにより、流路中に気泡を生じることなくシステム流体層および空気層の界面を形成し、所定時間だけ静止させることにより両層の圧力を安定させる。なお、要求される条件によっては、システム流体の吸引を行わず、空気の吸引は真空ポンプ２５の作動および各バルブの開閉によって行う場合もある。
【００４５】
ノズル１の先端側（開口５４側）を空気で満たした状態のままヘッド台３を試料容器４の上方まで移動させる。その後、ヘッド台３および試料容器４の相対位置制御を行うことにより、所定の凹部５６内に、ノズル１を接触させることなく所定深さまで挿入する。その際、挿入前に電動アクチュエータ９０の動作制御を行っておくことにより、挿入すべき凹部５６の上方を開放するようシャッタ８５を移動させておくものとする。そして、シリンジピストンポンプ２０においてさらにピストン１８を抜き方向に低速で所定量移動させることにより、凹部５６内に保持されている試料をノズル開口５４からノズル１内に吸引する。ここでも、ピストン１８の移動量および移動速度を精密に制御することにより試料層および空気層の界面を形成し、所定時間だけ静止させることにより両層の圧力を安定させる。なお、複数系統のヘッド２を備える構成とした場合には、吸引を必要とする系統のノズル１が同時に試料を吸引するように制御するものとする。また、吸引完了後はノズル１を試料容器４の上方に退避させ、必要に応じて、シャッタ８５を移動させて試料容器４の所定領域を密閉するものとする。
【００４６】
［試料の吐出動作］
上記試料吸引動作の完了後、ノズル１内に試料を保持した状態でヘッド台３を反応容器５の上方に移動させる。その後、ヘッド台３および反応容器５の相対位置制御を行い、反応容器５の所定の位置に試料を分配するように、試料液滴の吐出を行う。
この試料液滴の吐出動作は、ヘッド２の圧電素子４０に図３に示す駆動電圧波形を印加することにより行う。すなわち、圧電素子４０にＥ＝Ｅ０の電圧を印加したときのヘッド２の先端の位置を図４（ａ）に示すＡとすると、図３のｔ１＜ｔ＜ｔ２の間にＥ＝Ｅ０からＥ＝Ｅ１に向かって緩やかに上昇する電圧を圧電素子４０に印加することにより、ノズル１は印加電圧の緩やかな上昇に応じて図４（ｂ）のように図中下方向に緩やかに変位する。
【００４７】
図３のｔ＝ｔ２直前のときは、圧電素子４０には図４（ｃ）に示すような電圧Ｅ＝Ｅ１に対応する変形が生じるので、ノズル１の先端は図示Ｂの位置まで下降する。その後、図３のｔ＝ｔ２直後に、圧電素子４０に印加する電圧がＥ＝Ｅ１からＥ＝Ｅ０まで瞬時に減少するので、この電圧の急減に伴い、ノズル１は図４（ｄ）に示すように急激に図中上方向に変位する。このとき、ノズル１内の試料に慣性力が作用するので、ノズル１内の試料は一斉に、かつ、瞬間的に、図中下方向へ移動する。この試料の移動によりノズル１内のテーパ部５２の先端の圧力が上昇し、それにより開口５４における表面張力を打ち破って、図４（ｅ）に示すように図３のｔ＞ｔ２以後に、試料の一部が液滴として外部へ吐出される。
【００４８】
その際の液体の吐出量は、ノズル１内のテーパ部５２のテーパ角度や開口５４の口径や駆動電圧波形等によって決定され、その範囲はおよそ０．０１ｎｌ〜０．３μＬである。なお、１つの液滴の体積を単位吐出量として、繰り返し吐出した場合の液滴の吐出数を調整することにより、総吐出量を設定することも可能である。また、試料の吸引量と圧電素子４０の駆動電圧波形との関係は、安定して良好な吐出品質を確保し得るように最適化しておくものとする。
【００４９】
なお、複数系統のヘッド２を用いるシステム構成を用いる場合には、各ヘッド台３および反応容器５の相対位置移動に合わせて各系統のヘッド２を交互に吐出させることにより移動距離を最短にすることによって、吐出効率を確保するようにする。また、同一ヘッドを用いて反応容器５の所定位置に連続的に試料液滴を吐出させるとともに、順次ヘッドを切り替えることにより、吐出品質の安定性を確保するようにする。
【００５０】
以上の反応容器５への試料液滴の吐出動作の終了後には、別の試料液滴の吐出動作に移行するために、上述した１次洗浄槽７での洗浄動作からシステム流体の吸引動作までの一連の動作を繰り返すことになる。以後、吐出する試料の種類に応じて必要なサイクル分を繰り返し実行して、所望の通りの試料の分配を完了させるものとする。
【００５１】
なお、上述した試料吐出動作の各サイクルでは、１次洗浄槽７、２次洗浄槽８、システム流体槽１０および試料容器４から吸引した液体が減圧タンク２２まで移送され、減圧タンク２２内に滞留することになる。このような減圧タンク２２内に滞留した液体の廃棄工程では、真空ポンプ２５を停止させた状態でタンク開放バルブ２９および廃液バルブ２８を開放して、滞留している不要な液体を廃液口２７から廃液タンク２６へ排出して、廃棄する。
また、消毒を行う必要が生じた場合には、所定のタイミングでヘッド２を消毒槽９の上方まで移動させてから下降させ、カバー３７のノズル挿入穴３９からノズル１を挿入して消毒層９内に浸漬し、その後、流路開閉バルブ２４を開くとともにタンク開放バルブ２９および廃液バルブ２８を閉じた状態で真空ポンプ２５を作動させることにより、ノズル１の開口５４からノズル１内に滅菌、殺菌等の消毒効果のある有機溶剤等を吸引する。この消毒効果を有する有機溶剤等の吸引により、ノズル１の流路内に微生物が存在している場合にはその微生物の繁殖が防止されることになる。
【００５２】
本実施形態の液体分注装置によれば、ノズル１の先端外周部を洗浄する外周部洗浄工程においてノズル外周部に付着した試料、異物、微生物等の物質が除去され、ノズル１の内周部を洗浄する内周部洗浄工程において開口５４からヘッド２内部に吸引した洗浄液によってノズル内部の流路等に残存する試料、異物、微生物等の物質がヘッド２のノズル管４６の開口４６ａおよびヘッド台３のヘッド台流路１１を経てヘッド２の外部に排出され、分注ヘッドの内部が洗浄される。その際、開口５４を通過する液体は洗浄液だけであり、異物や微生物等は開口５４を通過せずに外部に排出されるので、ノズル１に設けられた極めて微小な径の開口５４が詰まることが防止される。したがって、分注ヘッドの開口５４の詰まりを防止するために洗浄機能を強化した液体分注装置を提供することができる。
【００５３】
また、従来は流路上における一切の異物混入および微生物の発生を継続的に防止するために、液体分注装置に供給する、洗浄液、システム流体、有機溶剤等の液体を清浄な状態でノズル先端まで移送するように、流路全体のクリーン度を維持管理する作業が必須であったが、本実施形態の液体分注装置では、上記各液体を対応する槽からノズル内部に直接吸引するようにしたため、ノズルまでの移送のための流路が不要になり、各槽に対してノズルの挿入口を有するカバーを設けてその挿入口をノズル挿入時以外は閉じておいて異物混入を防止するだけで、煩雑なクリーン度の管理作業（流路としての配管や継手等の各部材およびこれらの組立環境のクリーン度の確保、流路内のカビ等の発生を防止するための常時連続稼動、薬液の循環による定期的な流路の滅菌および復帰作業等）の手間を軽減することができる。
【００５４】
また、上記内周部洗浄に用いる洗浄液の吸引駆動源として真空ポンプを用いたため、減圧レベルを強化してヘッド内の流速を高めることが可能になり、所望に応じて洗浄力を強化することができる。また、洗浄液として界面活性剤を用いた場合は、連続的な発泡が生じるので、泡の移動による流路内の攪拌効果によって洗浄効果を促進することができる。
【００５５】
また、１次洗浄槽７および２次洗浄槽８のそれぞれに超音波振動子３５を設けたため、この超音波振動子３５により発生させた超音波振動を洗浄液を介してヘッド２に付加することにより、ヘッドの洗浄効果が促進されるとともに、ヘッド内部に連続的に洗浄液を吸引する際にヘッド内のキャビテーションによる発泡効果が増大するので、超音波振動を付加しない場合に比べてヘッド内面の洗浄効果をさらに促進することができる。
【００５６】
なお、上記第１実施形態では、ヘッド２としてノズル１を吐出方向に往復移動させて慣性力で液体を吐出するものを用いたが、代わりに円筒形状の圧電セラミクスを径方向に収縮させて、ノズルの容積を変化させることによって液体を吐出するものを用いてもよい。また、上記第１実施形態では、ヘッド２として液滴を形成して吐出するものを用いたが、代わりにノズル内の圧力を高めることにより連続的に液体を吐出するものを用いてもよい。さらに、上記第１実施形態では、ノズルとして開口部（開口５４）のみが最も小径となるものを用いたが、代わりに小径部分が軸方向に所定長さ連続するニードル状のものを用いてもよい。
【００５７】
図５は本発明の第２実施形態の液体分注装置の要部の構成を示す図である。本実施形態の液体分注装置は、第１実施形態の液体分注装置に対しノズル内部洗浄に用いる洗浄液の吸引駆動系の構成を変更したものであり、上記第１実施形態と同一の部分には同一符号を付けて説明を省略する。なお、図５においては、１次洗浄槽８等の各槽、試料容器４および反応容器５の記載を省略している。
【００５８】
本実施形態の液体分注装置では、ヘッド７６は第１実施形態と同様に構成されており、ヘッド７６の上部に連結されるヘッド台７０内のヘッド台流路７９の図示上端部に中継管７２の一端が接続され、中継管７２の他端は三方弁７５に接続されている。上記中継管７２としては、可撓性を有し、かつ、容積変化の小さいもの（言い換えれば屈曲するが内部圧力により膨らむことのないもの）を用いるものとし、この中継管７２と、廃液タンク７３内に通じる廃液管７４とは、三方弁７５を介してシリンジピストンポンプ２０のシリンジ７１の上端部に接続されている。三方弁７５は、内部に流路を形成したロータを回転させることによってシリンジ７１内と中継管７２との間、シリンジ７１内と廃液管７４との間を交互に切り替えて接続するものであり、駆動源としては、図示しない回転アクチュエータを用いている。回転アクチュエータとしては、例えばロータリーソレノイドがトルク伝達部材を介してロータに連結されるように構成されたものを用いる。なお、廃液管７４の流路上には、バルブは設けられていない。
【００５９】
上記ヘッド７６は、ヘッド台７０と、ヘッド台７０に着脱可能で先端の開口が極めて小径のニードル状のノズル７７とから成る。ヘッド台７０へのノズル７７の着脱部はＯリング７８等のシール部材で充填されており、ヘッド台流路７９との気密性が確保されるように構成されている。
【００６０】
次に、本実施形態の液体分注装置の各種動作を説明する。
まず、シリンジピストンポンプ２０を駆動してピストン１８をシリンジ７１内に出来る限り深く挿入した状態としてから、三方弁７５を駆動して中継管７２とシリンジ７１とを連通させておく。この状態でヘッド台７０を１次洗浄槽７の上方に移動した後、上記第１実施形態と同様なノズル７７の外周部洗浄工程に移行する。
【００６１】
上記ノズル７７の外周部の洗浄を開始した後に、ノズル７７の内部洗浄工程を並行して実施するためにシリンジピストンポンプ２０を駆動し、１次洗浄槽７内の洗浄液を所定の速度で吸引する。この吸引により、ノズル７７の先端の開口から内部に吸引された洗浄液がノズル７７内の流路を所定速度（例えば所定の高速）で流れることにより、ノズル７７の内面に付着した試料、汚れ、異物、微生物等の物質がヘッド７６の外部に排出されて除去される。このとき、ピストン１８の移動量および移動速度を調節することにより、ノズル７７の内径に応じた減圧状態を形成して洗浄効果を促進することができる。
【００６２】
なお、ノズル７７内から吸引した洗浄液は、三方弁７５を駆動してロータを図５の反時計回りに９０度回転させることにより廃液管７４とシリンジ７１とを連通させた後に、シリンジピストンポンプ２０を駆動して初期位置付近（シリンジ７１内に出来る限り深く挿入した状態）までピストン１８を移動させることにより、廃液管７４を通過して廃液タンク７３に移送され、そこから外部に排出される。このような吸引動作および排出動作を所定回数繰り返す。
【００６３】
その後、第１実施形態と同様にして、２次洗浄槽８における洗浄（濯ぎ）動作、システム流体槽１０におけるシステム流体の吸引動作および空気の吸引動作ならびに試料の吸引動作を行うが、上記各動作の駆動源としてシリンジピストンポンプ２０を用いる点が上記第１実施形態と相違する。なお、条件によっては、システム流体あるいは空気の吸引を行わない場合もある。
【００６４】
その後、ノズル７７内に試料を保持した状態でヘッド台７０を反応容器５の上方まで移動してから、反応容器５との相対位置制御を行ってヘッド台７０を位置決めし、その後、シリンジピストンポンプ２０を駆動して反応容器５の所定の位置に所定量の試料を吐出して分配する。この吐出動作では、ピストン１８の移動量および移動速度を制御することにより、適切な形態で試料が反応容器５内へ到達するように調整する。
【００６５】
以上の反応容器５への試料の吐出動作の終了後には、別の試料の吐出動作に移行するために、上述した１次洗浄槽７での洗浄動作からシステム流体の吸引動作までの一連の動作を繰り返すことになる。以後、吐出する試料の種類に応じて必要なサイクル分を繰り返し実行して、所望の通りの試料の分配を完了させるものとする。
【００６６】
なお、消毒を行う必要が生じた場合には、所定のタイミングでヘッド７６を消毒槽９の上方まで移動させてから下降させ、カバー３７のノズル挿入穴３９からノズル７７を挿入して消毒層９内に浸漬し、その後、シリンジピストンポンプ２０を駆動することにより、ノズル７７の開口から滅菌、殺菌等の消毒効果のある有機溶剤等をノズル内部に吸引する。この消毒効果を有する有機溶剤等の吸引により、ノズル７７の流路内に微生物が存在している場合にはその微生物の繁殖が防止されることになる。
【００６７】
本実施形態の液体分注装置によれば、上記第１実施形態と同様の効果が得られる上に、洗浄動作、試料の吸引動作および吐出動作をシリンジピストンポンプ２０および三方弁７５のみによって行うように構成して、試料の吸引吐出動作を行うシリンジピストンポンプ２０に洗浄水の吸引動作を兼用させるようにしたため、液体分注装置の構成を簡略化することができる。また、シリンジピストンポンプ２０のピストン１８の移動量および移動速度を調節することにより、ヘッド７６の内部に所望の減圧状態を形成して、洗浄効果を促進することができる。
【００６８】
なお、上記第２実施形態では、ヘッド７６としてニードル状のノズル７７を有するものを用いたが、代わりに上記従来技術および上記第１実施形態と同様に圧電セラミクスの形状変化等によって液体を吐出するものを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の液体分注装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】第１実施形態の液体分注装置の分注ヘッドの構成を示す断面図である。
【図３】第１実施形態の液体分注装置の分注ヘッドの圧電素子に印加する駆動電圧波形を例示する図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は第１実施形態の液体分注装置の分注ヘッドによる試料液滴の吐出原理を説明するための図である。
【図５】本発明の第２実施形態の液体分注装置の要部の構成を示す図である。
【図６】従来技術である微量流体処理装置の構成を示す図である。
【図７】図６の微量流体処理装置のマイクロディスペンサの詳細図である。
【図８】図６の微量流体処理装置で用いる試料容器を示す図である。
【符号の説明】
１  ノズル
２  分注ヘッド
３  ヘッド台
４  試料容器
５  反応容器
７  １次洗浄槽
８  ２次洗浄槽
９  消毒槽
１０  システム流体槽
１１  流路
１２  中継管
１３  シリンジ
１４  精密ボールねじ
１５  パルスモータ
１６  電動アクチュエータ
１７  可動部
１８  ピストン
１９  シール部材
２０  シリンジピストンポンプ
２１  シリンジ流路
２２  減圧タンク
２３  廃液管
２４  流路開閉バルブ
２５  真空ポンプ
２６  廃液タンク
２７  廃液口
２８  廃液開放バルブ
２９  タンク開放バルブ
３０  外枠
３１  内枠
３２  切欠
３３  供給管
３４  排出管
３５  超音波振動子
３６，３７  カバー
３８，３９  ノズル挿入穴
４０  圧電素子
４１  一方の端部
４２  他方の端部
４３  固定端継手
４４  Ｖ溝
４５  自由端継手
４６  ノズル管
４６ａ  開口（第２の開口）
４７  ノズル先
４８  流路継手
４９  ネジ部
５０  凹部
５１  Ｏリング
５２  テーパ部
５３  ストレート部
５４  開口（第１の開口）
５５  開口ストレート部
５７  試料容器台
５８  抜け止めネジ
８０  シャッタ
８１  アーム
８２  ロータリーアクチュエータ
８３  シール部材
８４  シール部材
８５  シャッタ
８６  シール部材
８７  可動部
８８  精密ボールねじ
８９  パルスモータ
９０  電動アクチュエータ
９１  ノズル挿入穴
９２，９３  カバー
９４  ノズル挿入穴
９５  斜面
【図１】
2004325117.tif 000003
【図２】
2004325117.tif 000004
【図３】
2004325117.tif 000005
【図４】
2004325117.tif 000006
【図５】
2004325117.tif 000007
【図６】
2004325117.tif 000008
【図７】
2004325117.tif 000009
【図８】
2004325117.tif 000010