(57)【要約】【課題】ゆがみが少なく、低電力化を実現でき、圧電素子の効率を高められる構造の波面収差補正ミラーおよび光ピックアップを提供する。【解決手段】ミラー基板（６）に薄膜細線（１６）が形成され、この薄膜細線（１６）に導電性突起（１５）が電気的に接続されている。圧電素子（２）は、接着剤（１８）によりミラー基板（６）に接着されているが、このとき、圧電素子電極（４ａ）は導電性突起（１５）と電気的に接続されている。【選択図】　　　図６
2004109278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、導電性突起は、薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項２】
圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、複数の導電性突起は、中央部分を除いて薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項３】
圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏面には、応力の影響を与えないようにパターニングされた薄膜細線が施され、圧電素子は、一方の圧電素子電極上に形成された複数の導電性突起を有しており、薄膜細線と導電性突起とは、電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、複数の導電性突起の少なくとも１つは、圧電素子電極と電気的に接続されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子は、異方性導電接着剤により接着されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子は、粘度４０００ｃｐ以下の絶縁性接着剤により接着されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項７】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、メッキで作製されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項８】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、導電性ペーストのスクリーン印刷により作製されていることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項９】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、面積が１×１０−４ｃｍ２以下であり、アスペクト比が１以下であることを特徴とする波面収差補正ミラー。
【請求項１０】
レーザー光の光軸上にレーザー光の収差を補正する収差補正手段を有し、該収差補正手段として、請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーが用いられていることを特徴とする光ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波面収差補正ミラーおよび光ピックアップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光ディスクを用いた情報記憶装置として、ＣＤやＤＶＤなどがある。ＤＶＤなどは、ＣＤに比べて記録密度が高いため、情報を読み書きするときの条件が厳しくなっている。
【０００３】
例えば、光ピックアップの光軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際にはディスクが樹脂製のため、かなりうねりを持っていて、これを回転させると、光ピックアップの光軸とディスク面は常に垂直ではなくなる（これを以降、チルトと表現する）。また、ディスクは、図１（ａ），（ｂ）に示すように、記録層（１０８）が樹脂層（１０２）を介しているため、ディスク面が垂直でなくなると光路が曲げられディスク上に正しくスポットを絞れなくなり、コマ収差（１０３）が発生する。この収差が許容される量よりも大きくなると、正しく読み書きが出来なくなるという不具合が生じる。なお、図１（ａ），（ｂ）はディスクがそれぞれＣＤ，ＤＶＤの場合である。
【０００４】
チルトの影響を少なくする手段としては、対物レンズと記録層との間の樹脂層を薄くすることがある。実際に、ＤＶＤ（図１（ｂ））が、ＣＤ（図１（ａ））に比較して、対物レンズ（１０１）と記録層（１０８）との間の樹脂層（１０２）の厚さを半分にしたのは、この効果を狙ったものである。しかし、この方法の場合、ＤＶＤよりも高密度記録をしようとした場合には樹脂層をもっと薄くしてさらにチルトの影響を少なくすることになるが、今度はディスク上にごみや傷がついた場合に、信号が正しく読み書きできなくなるという不具合が生じる。このため、アクチュエータによって光軸を傾けて（チルト）対応しているのが現状である。
【０００５】
チルトを光学的に補正するため、液晶を用いたり（例えば、特許文献１参照。）、透明圧電素子を用いたり（例えば、特許文献２参照。）、可変ミラーを用いたりする（例えば、特許文献３参照。）ことが提案されている。
【０００６】
具体的に、特許文献１では、液晶板を用いて位相制御することによりコマ収差を補正している。しかし、この方法では、レーザーが液晶板を通過するために光量が減衰し、書き込みに必要なエネルギーを得ることが困難であり、また液晶の特性から、特にタンジェンシャルチルト制御に要求される高周波動作に使用するのは困難であると思われる。
【０００７】
また、特許文献２では、実際に透明圧電素子単体で必要な変位量を得るためには高電圧が必要となり、光ピックアップなどに用いるには現実的ではない。
【０００８】
また、特許文献３は、ミラー自体を積層型圧電素子で変形させ位相制御するようにしている。しかし、光ピックアップなどの小さい部品に用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑になりかつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの問題が解決できたとしても、積層型圧電素子をかなり小さくしなければならなくなるため、技術的にもコスト的にもなかなか困難である。
【０００９】
このように情報を読み書きするときに不具合を生じさせるチルトの影響を、圧電素子を使用したユニモルフまたはバイモルフ形状の波面収差補正ミラーで波面収差を補正する方法が、低電圧で小型化にも有利であると考えられる。
【００１０】
図２は波面収差補正ミラーの一例を示す図である。図２の波面収差補正ミラーは、ユニモルフ形状のものであって、ミラー基板（６）の裏側に配線電極（４ｂ）が形成され、圧電素子（２）が接着されており、ミラー基板（６）は、符号３の部分でベース基板（８）に固定されている。
【００１１】
このような構成の波面収差補正ミラーでは、圧電素子（２）に電位を加えることで、変位を発生させ、ミラー基板（６）の表面を変位させることができる。このとき、圧電素子電極（５ａ）は中心から左右に分割しているため、極性や電圧を変えることで、別々の変位を発生させることができる。
【００１２】
また、図３（ａ），（ｂ）は波面収差補正ミラーの他の例を示す図である。なお、図３（ａ）は断面図、図３（ｂ）は平面図である。図３（ａ），（ｂ）の波面収差補正ミラーは、基板をエッチングしてミラー部を薄く形成し、圧電素子を使用した波面収差補正ミラーであり、このタイプの波面収差補正ミラーを以後、Ｍｅｍｂｒａｎｅ構造という。このタイプの波面収差補正ミラーは、ミラーを取り囲む厚い部分，すなわち梁の部分１４で、ベース基板（８）に取り付けられる。このタイプの波面収差補正ミラーは、ミラー部分が薄く形成されているので、少ない電圧で駆動することができる。ミラー基板（６）の裏側がエッチングにより薄く形成され、配線電極（４ｂ，５ｂ）がそれぞれ形成されており、圧電素子（２）がミラー基板（６）の裏面に接着されている。この波面収差補正ミラーでは、圧電素子（２）に電位を加えることで、変位を発生させ、ミラー基板（６）の表面を変位させることができる。このとき、圧電素子電極（５ａ）は、中心から左右に分割されているので、極性や電圧を変えることで、別々の変位を発生できる。
【００１３】
このような構造で、配線電極（４ｂ）を接地し（ＧＮＤとし）、圧電素子（２）の個別電極（５ａ）の一方にプラス、他方にマイナスの電圧を印加したとすると、ミラー面は、例えば図４（ｄ）に示すような断面形状になる。個別電極（５ａ）に逆電圧を印加した場合には、その逆の形状になる。
【００１４】
つまり、ミラー基板（６）は電圧がかかっても伸び縮みしないが、圧電素子（２）は電圧がかかれば伸び縮みするため、個別電極（５ａ）にプラスの電圧を加えた場合にその部分の圧電素子（２）が縮むとすると、個別電極（５ａ）にマイナスの電圧を加えた場合にはその部分の圧電素子（２）は伸びることになる。従って、個別電極（５ａ）にプラスの電圧を加えた場合にはミラー基板（６）の面，すなわち反射膜（１）の面は凸になり、個別電極（５ａ）にマイナスの電圧を加えた場合にはミラー基板（６）の面，すなわち反射膜（１）の面は凹になる。これは波面を面として見た場合、図５に示すような等高線で表したようになっている。このような波面を打ち消すような変形形状にしようとする場合に、ミラー基板（６）のミラー面は凹凸が逆になるため、チルト補正が可能になる。
【００１５】
光ディスクがレーザ光の光軸に対し垂直な位置から傾くと、光ディスクから反射して戻ってきたレーザ光の波面は乱れ、例えば図４（ａ）に示すような波面収差（コマ収差）が発生する。ここで、図４（ａ）の横軸は図３（ｂ）で示した波面収差補正ミラーのＡ−Ａ’断面と同一断面であり、縦軸は波面収差である。ディスクがチルトしたときに波面収差補正ミラーのミラー基板のミラー面は平らであり、そこで反射した反射光は波面収差をもっている。ちなみに、光ディスクがレーザ光の光軸に対し垂直であれば、波面は、図４（ａ）で示したような収差は発生せず、横軸と同じでまっすぐになる。
【００１６】
図４（ｂ）は図３（ａ），（ｂ）に示した波面収差補正ミラーを故意に収差を発生させるよう動作させ、その反射光の波面収差を表した例である。ここで、横軸は図３（ｂ）で示した波面収差補正ミラー表面のＡ−Ａ’断面と同一断面であり、縦軸は波面収差である。
【００１７】
いま仮に、光ディスクが傾き、ディスクからの反射光の波面が図４（ａ）のようなものであったとする。ディスクが傾いていない時の反射光の理想的な波面が図４（ｂ）のようになるよう波面収差補正ミラーを制御すれば、波面収差補正ミラーから反射した反射光の波面は図４（ｃ）のようになり、図４（ａ）にくらべ波面収差を低減させることが可能となる。
【００１８】
このとき、ミラー基板（６）は変位しやすいように薄いものが求められるが、ミラー基板（６）を薄くすることにより、ミラー基板（６）の裏面に形成された配線電極（４ｂ）の応力により、ミラー基板（６）の表面（ミラー表面）がたわんでしまうという不具合が発生する。多少のたわみはオフセット電圧でキャンセルできるが、大きなたわみでは、オフセット電圧が高くなり、低電力化を実現できない。
【００１９】
また、在来の波面収差補正ミラーでは、ミラー裏面電極（４ｂ）に圧電素子（２）を接着する際に絶縁性接着剤を用いており、ミラー裏面電極（４ｂ）と圧電素子電極（４ａ）とは電気的に接続されておらず、空間電位によって動作していたため、効率が悪かった。
【００２０】
【特許文献１】
特開平１０−７９１３５号公報
【００２１】
【特許文献２】
特開平５−１４４０５６号公報
【００２２】
【特許文献３】
特開平５−３３３２７４号公報
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ゆがみが少なく、低電力化を実現でき、圧電素子の効率を高められる構造の波面収差補正ミラーおよび光ピックアップを提供することを目的としている。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、導電性突起は、薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００２５】
また、請求項２記載の発明は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、複数の導電性突起は、中央部分を除いて薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００２６】
また、請求項３記載の発明は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏面には、応力の影響を与えないようにパターニングされた薄膜細線が施され、圧電素子は、一方の圧電素子電極上に形成された複数の導電性突起を有しており、薄膜細線と導電性突起とは、電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００２７】
また、請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、複数の導電性突起の少なくとも１つは、圧電素子電極と電気的に接続されていることを特徴としている。
【００２８】
また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子は、異方性導電接着剤により接着されていることを特徴としている。
【００２９】
また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子は、粘度４０００ｃｐ以下の絶縁性接着剤により接着されていることを特徴としている。
【００３０】
また、請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、メッキで作製されていることを特徴としている。
【００３１】
また、請求項８記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、導電性ペーストのスクリーン印刷により作製されていることを特徴としている。
【００３２】
また、請求項９記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、面積が１×１０−４ｃｍ２以下であり、アスペクト比が１以下であることを特徴としている。
【００３３】
また、請求項１０記載の発明は、レーザー光の光軸上にレーザー光の収差を補正する収差補正手段を有し、該収差補正手段として、請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーが用いられていることを特徴とする光ピックアップである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３５】
（第１の実施形態）
図６（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。なお、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は断面図である。
【００３６】
この構成例では、図６（ａ）に示すように、ミラー基板（６）の裏側には導電性突起（１５）が形成されており、導電性突起（１５）と配線用のパッド（１７）とが、薄膜細線（１６）により電気的に接続されている。なお、図中の点線部分は、このミラー基板（６）に圧電素子（２）が接着されるエリアを表し、また、このミラー基板（６）はベース基板とは（３）の部分で接続される。また、この例では、導電性突起（１５）と薄膜細線（１６）と配線用パッド（１７）とが、配線電極としての機能を有している。
【００３７】
図６（ｂ）は断面を表したもので、ミラー基板（６）に薄膜細線（１６）が形成され、この薄膜細線（１６）に導電性突起（１５）が電気的に接続されている。圧電素子（２）は、接着剤（１８）によりミラー基板（６）に接着されているが、このとき、圧電素子電極（４ａ）は導電性突起（１５）と電気的に接続されている。また、圧電素子電極（５ａ）は中央で分離され、左右別々に駆動できるようになっている。
【００３８】
図６（ａ），（ｂ）の構成例の波面収差補正ミラーは、例えば以下のように作製される。すなわち、ミラー基板（６）を１０ｍｍ×５ｍｍ×１５０μｍのＳｉ基板とし、Ａｌをスパッタ法によって膜厚が０．５μｍとなるよう成膜し、フォトリソグラフィー法により配線用パッド（１７）と薄膜細線（１６）とにパターニングする。そして、導電性突起（１５）を、レジストマスクにより突起部分の穴あけを行い、Ｎｉの無電界メッキにより５μｍ形成した後、リフトオフにより作製する。
【００３９】
次いで、接着剤（１８）を塗布し、しかる後、荷重８００ｇ／ｃｍ２の条件で圧電素子（２）の接着を行う。このとき、導電性突起（１５）は、加圧により若干つぶれ、圧電素子電極（４ａ）と密着して電気的に接続される。
【００４０】
この作製例では、導電性突起（１５）を直径５０μｍ、ピッチ４００μｍで作製し、また、薄膜細線（１６）を幅１０μｍとして導電性突起（１５）間の配線を行った。また、図６（ａ）に示すように、配線パターンをマトリクスあるいは一方向に偏らないようなパターンを用いることで、Ａｌ応力を取り除くことができる。
【００４１】
さらに、導電性突起（１５）と圧電素子電極（４ａ）とが電気的に接続されているので、低電圧でもミラー変位量を確保することができる。
【００４２】
このように、この第１の実施形態は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、導電性突起は、薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されており、ミラー基板の裏面に形成された導電性突起と薄膜細線とを配線電極として機能させることにより、配線電極の応力がミラー基板のミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極が電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高くすることができる。
【００４３】
（第２の実施形態）
図７（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。なお、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は断面図である。
【００４４】
第１の実施形態（図６（ａ））との違いは、第２の実施形態（図７（ａ），（ｂ））では、導電性突起（１５）と電気的に接続する薄膜細線（１６）は、圧電素子エリアの外周部にのみ配置され、圧電素子エリアの中央部の導電性突起（１５’）は、薄膜細線（１６）と電気的に接続されていない。
【００４５】
この第２の実施形態では、ミラー基板の反射エリア内の薄膜細線（１６）が取り除かれていることで、さらにＡｌ膜応力の影響を取り除くことが可能となる。外周の導電性突起（１５）を接続する薄膜細線（１６）は、ミラー基板の外周部であるためＡｌ応力の影響はほとんどない。
【００４６】
また、圧電素子エリアの中央部の導電性突起（１５’），すなわち薄膜細線（１６）と電気的に接続されない導電性突起（１５’）は、接着時のスペーサーとなり、接着層の厚みを一定に保つことに寄与しており、電気的な接続は外周部の導電性突起（１５）により行われる。圧電素子電極（４ａ）と導電性突起（１５）が電気的に接続されていれば、図３（ａ）の配線電極（４ｂ）は全面に形成する必要がないためである。
【００４７】
このような構造では、ミラー基板の裏面にはＡｌ膜が存在しないので、Ａｌの膜応力の影響がなく、ミラー基板のミラー面の歪みが発生しない。
【００４８】
このように、この第２の実施形態は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、複数の導電性突起は、中央部分を除いて薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されており、ミラー基板の裏面の一部に形成された薄膜細線と導電性突起とを配線電極として機能させることにより、配線電極の応力がミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極が電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高くすることができる。
【００４９】
（第３の実施形態）
図８（ａ），（ｂ）は本発明の第３の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。なお、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は断面図である。この第３の実施形態では、ミラー基板の裏面には、応力の影響を与えないようパターニングされた配線が施され（例えば図８（ａ）のように、ミラー基板の裏面には、Ａｌ膜を極力形成しないようにする）、圧電素子（２）の一方の電極（４ａ）上には、複数の島状の導電性突起（１５）が形成されている。
【００５０】
図８（ａ），（ｂ）の構成例の波面収差補正ミラーは、例えば以下のように作製される。すなわち、ミラー基板（６）を１０ｍｍ×５ｍｍ×１５０μｍのＳｉ基板とし、Ａｌをスパッタ法によって膜厚が０．５μｍとなるよう成膜し、フォトリソグラフィー法により図８（ａ）に示すように配線用パッド（１７）をミラー基板（６）に形成する。このようなＡｌ電極パターンとすることで、ミラー基板（６）の裏面はＡｌ膜応力の影響を受けない。
【００５１】
また、圧電素子電極（４ａ）に形成される導電性突起（１５）は、レジストマスクにより突起部分の穴あけを行い、Ｎｉの無電界メッキにより５μｍ形成した後、リフトオフにより作製することができる。
【００５２】
次いで、接着剤を塗布し、荷重８００ｇ／ｃｍ２の条件で圧電素子（２）の接着を行う。このとき導電性突起（１５）は加圧により若干つぶれ、圧電素子電極（４ａ）と密着し電気的に接続される。
【００５３】
図８（ａ）の点線部分は圧電素子（２）が接着されるエリアを表しており、このエリア内に入っている電極部分で圧電素子電極（４ａ）に形成された導電性突起（１５）が電気的に接続されることになる。ミラー中央部に位置する突起（１５’）はスペーサーとして接着層の厚さを一定に保つ役割を果たす。
【００５４】
このように、この第３の実施形態は、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏面には、応力の影響を与えないようにパターニングされた薄膜細線が施され、圧電素子は、一方の圧電素子電極上に形成された複数の導電性突起を有しており、薄膜細線と導電性突起とは、電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されており、圧電素子に形成された導電性突起とミラー基板の裏面に形成された薄膜細線により、薄膜細線（配線電極）の応力がミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極とが電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高めることができる。
【００５５】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態は、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、複数の導電性突起の少なくとも１つが圧電素子電極と電気的に接続されていることを特徴としている。
【００５６】
すなわち、第４の実施形態では、全ての導電性突起（１５）が圧電素子電極（４ａ）と電気的に接続されなくても良く、図７（ａ），（ｂ），図８（ａ），（ｂ）に示したように、選択された部分、或いは、最悪でも１個以上、電気的な接続がなされれば良いことになる。
【００５７】
図９は、第４の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図であり、図９の例では、導電性突起（１５）に接続されるＡｌ電極（４ｂ）を最小限に作り込むことで、Ａｌ膜の応力を最小限に留めることが可能となる。なお、図９の導電性突起（１５’）はスペーサーとして用いている。
【００５８】
このように、第４の実施形態の波面収差補正ミラーは、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、複数の導電性突起の少なくとも１つが圧電素子電極と電気的に接続されており、導電性突起を最小１個で構成できるため、薄膜細線（配線電極）の応力がミラー平面度に影響を与えないようにすることができる。
【００５９】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態は、第１〜第４のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板（６）と圧電素子（２）が、異方性導電接着剤で接着されることを特徴としている。
【００６０】
ここで、異方性導電接着剤とは、樹脂に導電性フィラーを混入したもので、圧力を加えた部分のフィラーが接触し導電性となるもので、圧力が加わらない部分は絶縁性を示すものである。
【００６１】
一般的に、圧電素子の接着には絶縁性接着剤が用いられているので、圧電素子容量と接着剤の容量による電圧の分離があり、効率が悪かった。絶縁性接着剤を使用する理由は、導電性接着剤を使った場合、図１０（ａ）に示すように圧電素子の端面で導電性接着剤（１８）のはみ出しにより上下間電極（４ａ，５ａ）がショートするためである。
【００６２】
図１０（ｂ）は本発明の第５の実施形態を説明するための模式図であり、図１０（ａ）の（１９）の部分を拡大したものである。
【００６３】
図１０（ｂ）を参照すると、ミラー基板（６）の裏面には、Ａｌ電極（４ｂ）が成膜され、その上には導電性突起（１５）が形成されている。
【００６４】
また、圧電素子（２）には、電極（４ａ，５ａ）がそれぞれ形成されており、圧電素子（２）は、ミラー基板（６）と異方性導電接着剤（１８）で接着されている。異方性導電接着剤（１８）は、導電性のフィラー（２０）を含んでおり、導電性突起（１５）の部分で圧力を加えられると導電性フィラー（２０）同士が接触するため、この部分でのみ電気的な接続がなされるが、はみ出した接着剤（１８）の部分では、電気的な接続がなされないので、圧電素子電極（４ａ，５ａ）がショートすることはない。
【００６５】
なお、異方性導電接着剤は突起の高さが１０μｍ以上でないと異方性を示さないので、導電性突起（１５）は、この高さよりも高く形成される必要がある。
【００６６】
このように、第５の実施形態によれば、ミラー基板電極（４ｂ）と圧電素子電極（４ａ）とを異方性導電接着剤（１８）によって電気的に接続することができるため、圧電素子（２）の効率を高めることが可能となる。
【００６７】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態は、第１乃至第４のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子とが、粘度４０００ｃｐ以下の絶縁性接着剤により接着されていることを特徴としている。
【００６８】
接着剤の粘度が高い場合には流動性が小さいので、接着時の荷重を重くしないと、導電性突起（１５）と圧電素子電極（４ａ）とが接触しなくなる。また、荷重を重くしても導電性突起（１５）上に接着剤が残って、電気的な接続が出来なくなるという不具合が発生する。
【００６９】
本願の発明者は、実験結果から、接着剤の粘度が４０００ｃｐ以下であれば、２ｋｇ／ｃｍ２以下の荷重で導電性突起（１５）と圧電素子電極（４ａ）とが電気的に接続することを確認した。荷重を２ｋｇ／ｃｍ２以下と規定したのは、圧電素子（２）は燒結体であるため非常にもろく、圧力をかけすぎると破損する心配があるためである。
【００７０】
また、塗布方法も４０００ｃｐ以下であれば、適量を滴下し、圧電素子を貼り合わせ、荷重をかけることで、接着剤が広がり、良好な接着が行われる。粘度が高い場合は、スキージ法等で接着剤を一定に塗布することが必要で、工程が複雑になる。
【００７１】
このように、第６の実施形態では、第１乃至第４のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子とを、粘度４０００ｃｐ以下の絶縁性接着剤により接着することで、作業性が良く、工程の簡略化を図ることができる。
【００７２】
（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態は、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、メッキで作製されていることを特徴としている。
【００７３】
このような導電性突起は、例えば以下のように作製される。すなわち、導電性突起を形成したい面にフォトリソグラフィー法によりレジストマスクを形成する。このとき、導電性突起の高さ以上のレジスト厚を確保する必要があり、レジストの粘度やスピナーの回転数により調整する。この作製例では、レジスト厚を１０μｍ、開口径を直径５０μｍとした。また、裏面にもレジストによりカバーする。
【００７４】
次に、Ｎｉの無電界メッキを行い、膜厚が５μｍとなるようメッキする。次に、レジスト剥離液を用いてリフトオフを行い、レジストと不用部分のＮｉを取り除くことで、導電性突起が完成する。
【００７５】
この作製方法では、フォトリソグラフィー法を用いるため、高精度で導電性突起を作製することが可能となる。また、Ｎｉメッキは、比較的簡単に厚膜が得られるため、本発明の導電性突起を作製するのに適している。
【００７６】
このように、第７の実施形態では、導電性突起をメッキで作製することで、導電性突起を高精度で作製することができる。
【００７７】
（第８の実施形態）
本発明の第８の実施形態は、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、導電性ペーストのスクリーン印刷により作製されていることを特徴としている。
【００７８】
スクリーン印刷では、フォトリソ工程やレジスト剥離が必要ないため、作業タクトが短くなり、量産性に向いている。また、高さのある突起（１０μｍ以上）も簡単に作製することができるので、第５の実施形態の異方性導電接着剤を使った接着にも応用できる。
【００７９】
このような導電性突起は、例えば以下のように作製される。すなわち、スクリーンマスクは穴径５０μｍ，ピッチ５００μｍで作製し、突起高さが１５μｍとなる条件で導電性ペーストを印刷する。導電性ペーストはＡｇフィラーを接着剤に分散させたもので、室温硬化するものと熱硬化するものとがあるが、この例では熱硬化のものを使用した。印刷後は１５０℃で約５分間熱硬化させ、そのときの高さバラツキは数％に留まる。
【００８０】
このように、第８の実施形態では、導電性突起を導電性ペーストを用いてスクリーン印刷により作製することで、作業タクトが短く量産性に向くと共に、高さの高い突起を作製することができるため、異方性導電接着剤による接着にも適用できる。
【００８１】
（第９の実施形態）
本発明の第９の実施形態は、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、面積が１×１０−４ｃｍ２以下であり、アスペクト比が１以下であることを特徴としている。
【００８２】
導電性突起の面積が１×１０−４ｃｍ２以上であると、導電性突起と圧電素子電極との間に接着剤が残留して電気的な接続が満足に行えないという不具合が発生する（歩留まりが悪くなる）。これは、面積が大きくなると、荷重をかけたときに導電性突起と圧電素子電極との間の接着剤が排出されにくくなるために発生する問題であり、この問題は、導電性突起の面積を１×１０−４ｃｍ２以下にすることで解決できる。
【００８３】
また、アスペクト比を１以上にすると、接着時の横ずれ等による導電性突起の変形が発生し、正常な接続ができなくなるという問題がある。この問題もアスペクト比を１以下にすることで解決でき、多少の横ずれに対しても問題なく接続できる。
【００８４】
このように、第９の実施形態では、第１乃至第３のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーにおいて、導電性突起は、面積が１×１０−４ｃｍ２以下であり、アスペクト比が１以下であることで、導電性突起と圧電素子電極との電気的な接続を確実に行なうことができる。
【００８５】
従来の波面収差補正ミラーでは、前述のように、ミラー基板（６）裏面に配線電極（４ｂ）を成膜すると、配線電極（４ｂ）の応力によりミラー面が凸状となる。これを回避するために、本発明では、配線電極を、多数の導電性突起を薄膜細線で電気的に接続したものにする。この場合、薄膜細線は、ミラー基板（６）の裏面全面に成膜されているわけではないので、膜応力として考えた場合ミラー基板には大きな影響を与えない。
【００８６】
また、導電性突起と圧電素子電極（４ａ）は少なくとも１箇所電気的に接続されれば良く、ミラー基板の全面にわたって薄膜細線を配置する必要がない。
【００８７】
さらに、導電性突起によって電気的に圧電素子と接続されているため、今までの空間電位による動作とは違って効率が高くなる。
【００８８】
（第１０の実施形態）
本発明の第１０の実施形態は、レーザー光の光軸上にレーザー光の収差を補正する収差補正手段を有し、該収差補正手段として、第１乃至第９のいずれかの実施形態の波面収差補正ミラーを用いることを特徴とする光ピックアップ（ＣＤ装置やＤＶＤ装置）である。
【００８９】
本発明の波面収差補正ミラーは、ミラー基板の裏面の電極による応力の影響がないため、平面度が良く、オフセット電圧による補正が少なくて済む。また、導電性突起により圧電素子電極と電気的な接続がとれているため、圧電効率が高く省電力化が可能となる。
【００９０】
このような波面収差補正ミラーを光ピックアップ（例えばＣＤ装置やＤＶＤ装置）に用いることで、装置の省電力化が実現できると共に安価な装置を提供することが可能となる。
【００９１】
【発明の効果】
以上に説明したように、請求項１記載の発明によれば、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、導電性突起は、薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されているので、ミラー基板の裏面に形成された導電性突起と薄膜細線とを配線電極として機能させることにより、配線電極の応力がミラー基板の面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極が電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高くすることができる。
【００９２】
また、請求項２記載の発明によれば、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏側には複数の導電性突起が形成され、複数の導電性突起は、中央部分を除いて薄膜細線に電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されているので、ミラー基板の裏面の一部に形成された薄膜細線と導電性突起とを配線電極として機能させることにより、配線電極の応力がミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極が電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高くすることができる。
【００９３】
また、請求項３記載の発明によれば、圧電素子によってミラー基板のミラー面を変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板の裏面には、応力の影響を与えないようにパターニングされた薄膜細線が施され、圧電素子は、一方の圧電素子電極上に形成された複数の導電性突起を有しており、薄膜細線と導電性突起とは、電気的に接続され、また、導電性突起は、圧電素子電極に電気的に接続されているので、圧電素子に形成された導電性突起とミラー基板の裏面に形成された薄膜細線により、薄膜細線（配線電極）の応力がミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、導電性突起と圧電素子電極とが電気的に接続されているので、圧電素子の効率を高めることができる。
【００９４】
また、請求項４記載の発明によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、複数の導電性突起の少なくとも１つが圧電素子電極と電気的に接続されており、導電性突起を最小１個で構成できるため、薄膜細線（配線電極）の応力がミラー平面度に影響を与えないようにすることができる。
【００９５】
また、請求項５記載の発明によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の波面収差補正ミラーにおいて、ミラー基板と圧電素子は、異方性導電接着剤により接着されており、導電性突起と異方性導電接着剤の組み合わせにより、配線電極の応力がミラー面の平面度に影響を与えないようにすることができる。また、異方性導電接着剤により導電性突起と配線電極を電気的に接続するため、圧電素子の効率を高めることができる。
【００９６】
また、請求項６記載の発明によれば、導電性突起を有したものを接着する際の接着剤の粘度を２０００ｃｐ以下とすることで、作業性が良く、工程の簡略化を図ることができる。
【００９７】
また、請求項７記載の発明によれば、導電性突起をメッキで作製することで、導電性突起を高精度で作製することができる。
【００９８】
また、請求項８記載の発明によれば、導電性突起をスクリーン印刷で作製することで、容易に厚膜化でき製造タクトを短くすることができる。
【００９９】
また、請求項９記載の発明によれば、導電性突起の面積を１×１０−４ｃｍ２以下にし、アスペクト比を１以下にすることで、導電性突起と圧電素子電極との電気的な接続を確実に行なうことができる。
【０１００】
また、請求項１０記載の発明によれば、本発明の波面収差補正ミラーを光ピックアップ（例えばＣＤ装置やＤＶＤ装置）に用いることで、省電力化を実現できると共に安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＣＤ，ＤＶＤのディスクを示す図である。
【図２】波面収差補正ミラーの一例を示す図である。
【図３】波面収差補正ミラーの他の例を示す図である。
【図４】波面収差を説明するための図である。
【図５】反射膜の面を等高線で表した図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。
【図８】本発明の第３の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。
【図９】第４の実施形態の波面収差補正ミラーの構成例を示す図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態を説明するための模式図である。
【符号の説明】
２　　　　　圧電素子
４ａ　　　　圧電素子電極
４ｂ　　　　配線電極
５ａ　　　　圧電素子電極
６　　　　　ミラー基板
１５　　　　導電性突起
１６　　　　薄膜細線
１７　　　　配線用パッド
１８　　　　接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004109278.tif 000008
【図７】
2004109278.tif 000009
【図８】
2004109278.tif 000010
【図９】
2004109278.tif 000011
【図１０】
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