(57)【要約】【課題】複数本のフィラメントが配置される非走査型電子線照射装置において、各々のフィラメントに供給される電気エネルギーを実質的に均等とすることの可能な構成を有する非走査型電子線照射装置を提供する。【解決手段】本発明の電子線照射装置１０Ａ〜１０Ｆは、電気エネルギーを供給される複数のフィラメント▲１▼〜▲６▼と、電源１５に接続され、前記電源１５から前記各々のフィラメント▲１▼〜▲６▼に供給される電気エネルギーが実質的に均等になるように、前記各々のフィラメント▲１▼〜▲６▼と接続される電極とを具備する。前記電極は、第１電極と第２電極とを含み、前記各々のフィラメント▲１▼〜▲６▼は、前記第１電極と前記第２電極の各々に接続される。ここで、電極は、２２Ａ〜２２Ｅである。前記第１電極は、２２Ａ、２２Ｄ、２２Ｅであり、第２電極は、上記の電極のうち、第１電極を除いたものに相当する。【選択図】　図６
2004109063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気エネルギーを供給される複数のフィラメントと、
電源に接続され、前記電源から前記各々のフィラメントに供給される前記電気エネルギーが実質的に均等になるように、前記各々のフィラメントと接続される電極とを具備し、
前記電極は、第１電極と第２電極とを含み、前記各々のフィラメントは、前記第１電極と前記第２電極の各々に接続される
電子線照射装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１電極は、
前記各々のフィラメントに接続される第１部と、
前記電源と前記第１部とに接続される第２部と、
前記第１部と前記第２部とを接続し、前記電源から前記第２部に供給された前記電気エネルギーが前記各々のフィラメントに対し、実質的に均等に供給されるように、前記電源から前記第２部に供給された前記電気エネルギーを分流して前記第１部に供給する分流部とを具備する
電子線照射装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第２電極は、
前記各々のフィラメントに接続される第３部
を具備し、
前記各々のフィラメントは、前記第１部と前記第３部とに対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々のフィラメントのいずれかは、前記第１部の実質的な一端部と、前記第３部の実質的な一端部とに接続され、前記いずれかのフィラメント以外の他のフィラメントのいずれかは、前記第１部の実質的な他端部と、前記第３部の実質的な他端部とに接続され、前記分流部は、前記第１部の実質的な中心部であり、前記電源から前記第２部に供給された前記電気エネルギーは、前記中心部から第１方向と第２方向とに分流して前記第１部に供給され、前記第１部に供給された前記電気エネルギーは前記各々のフィラメントに対し、実質的に均等に供給される
電子線照射装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記電源からの前記電気エネルギーは、前記第１電極を介して前記各々のフィラメントに供給され、前記供給された電気エネルギーの少なくとも一部は、前記第２電極を介して前記電源に帰着し、前記電気エネルギーが前記各々のフィラメントに対し、実質的に均等に供給されるように、前記第１電極、前記第２電極、前記各々のフィラメントの各々は、前記各々のフィラメント前記電気エネルギーが供給されるときにおける、前記帰着する電気エネルギーの前記第１電極と前記第２電極における流通の経路長が、互いに実質的に同一となるように接続される電子線照射装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記第１電極と前記第２電極の各々は、互いに平行であり、前記各々のフィラメントは、前記第１電極と前記第２電極の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々のフィラメントのいずれかは、前記第１電極の実質的な端部に接続され、前記いずれかのフィラメント以外の他のフィラメントのいずれかは、前記第２電極の実質的な端部に接続され、前記第１電極の実質的な端部に接続されるフィラメントは、前記第２電極と、前記第２電極の実質的な端部以外の部位で接続され、前記第２電極の実質的な端部に接続されるフィラメントは、前記第１電極と、前記第１電極の実質的な端部以外の部位で接続され、前記各々のフィラメントのいずれに前記電気エネルギーが供給されるときにおいても、前記経路長は、互いに実質的に同一である
電子線照射装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記第１電極は、第１部と第２部を含み、前記第１部は、前記各々のフィラメントのいずれかである第１フィラメントと接続され、前記第２部は、前記各々のフィラメントのいずれかである第２フィラメントと接続され、前記第１フィラメントと前記第２フィラメントの各々は、複数であり、
前記第１部と前記第２部とを接続し、前記電源からの前記電気エネルギーが前記複数の第１フィラメントの各々と、前記複数の第２フィラメントの各々とに対し、実質的に均等に供給されるように、前記電源からの前記電気エネルギーを分流する分流部とを具備する
電子線照射装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記各々の第１フィラメントは、前記第１部に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第１フィラメントのいずれかは、前記第１部の実質的な端部に接続され、前記各々の第２フィラメントは、前記第２部に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第２フィラメントのいずれかは、前記第２部の実質的な端部に接続され、前記分流部は、前記電源からの電気エネルギーを第１方向と第２方向とに分流し、前記第１方向に分流された前記電気エネルギーは、前記第１部を介し、前記各々の第１フィラメントに対して実質的に均等に供給され、前記第２方向に分流された前記電気エネルギーは、前記第２部を介し、前記各々の第２フィラメントに対して実質的に均等に供給される
電子線照射装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記第１電極は、電源と接続される第１部、前記第１部と接続される第２部、前記第２部と、前記各々のフィラメントのいずれかである第１フィラメントとに接続される第３部、前記第２部と、前記各々のフィラメントのいずれかである第２フィラメントとに接続される第４部の各々を含み、前記第１フィラメントと前記第２フィラメントの各々は、複数であり、
前記第１部と前記第２部とを接続し、前記電源からの前記電気エネルギーが前記第３部と前記第４部の各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記電源からの前記電気エネルギーを分流する第１分流部と、
前記第１分流部からの前記電気エネルギーが前記複数の第１フィラメントの各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記第１分流部からの前記電気エネルギーを分流する第２分流部と、
前記第１分流部からの前記電気エネルギーが前記複数の第２フィラメントの各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記第１分流部からの前記電気エネルギーを分流する第３分流部とを具備する
電子線照射装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記各々の第１フィラメントは、前記第３部に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第１フィラメントのいずれかは、前記第３部の実質的な一端部と接続され、前記いずれかの第１フィラメント以外の他の第１フィラメントは、前記第３部の実質的な他端部と接続され、前記各々の第２フィラメントは、前記第４部に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第４フィラメントのいずれかは、前記第４部の実質的な一端部と接続され、前記いずれかの第２フィラメント以外の他の第２フィラメントは、前記第４部の実質的な他端部と接続され、前記第１分流部は、前記電源からの前記電気エネルギーを第１方向と第２方向とに分流し、前記第１方向に分流された前記電気エネルギーは、前記第２分流部で分流し、前記分流された前記電気エネルギーは、前記第３部を介して前記各々の第１フィラメントに供給され、前記第２方向に分流された前記電気エネルギーは、前記第３分流部で分流し、前記分流された前記電気エネルギーは、前記第４部を介して前記各々の第２フィラメントに供給され、前記各々の第１フィラメント、前記各々の第２フィラメントの各々に供給される前記電気エネルギーは、実質的に均等である
電子線照射装置。
【請求項１０】
請求項１において、
前記第１電極は、
前記各々のフィラメントと接続される第１部と、
前記電源と前記第１部とに接続される第２部と、
前記第１部と前記第２部とを接続し、前記電源からの前記電気エネルギーが前記各々のフィラメントに均等に供給されるように、前記電源からの前記電気エネルギーを分流して前記第１部に供給する分流部とを含み、
前記第２電極は、
前記各々のフィラメントのうちのいずれかである第１フィラメントと接続される第３部と、前記第１フィラメントは、複数であり、
前記各々のフィラメントのうちのいずれかである第２フィラメントと接続される第４部と、前記第２フィラメントは、複数であり、
前記第３部と前記第４部とを接続する第５部とを具備し、
前記複数の第１フィラメントの各々に供給された前記電気エネルギーの少なくとも一部と、前記複数の第２フィラメントの各々に供給された前記電気エネルギーの少なくとも一部とは、前記第５部を介して前記電源に帰着し、前記電気エネルギーが前記各々の第１フィラメントと前記各々の第２フィラメントの各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記第１部、前記第３部、前記第４部の各々は、前記帰着する電気エネルギーの前記第１部、前記第３部、前記第４部の各々における流通の経路長が、互いに同一となるように接続される
電子線照射装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記第１部と前記第３部は、互いに平行であり、前記各々の第１フィラメントは、前記第１部と前記第３部の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第１フィラメントのいずれかは、前記第１部の実質的な一端部と、前記第３部の実質的な一端部とに接続され、前記いずれかの第１フィラメント以外の他の第１フィラメントは、前記第１部と、前記第３部の実質的な他端部とに接続され、前記第１部と前記第４部は、互いに平行であり、前記各々の第２フィラメントは、前記第１部と前記第４部の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第２フィラメントのいずれかは、前記第１部の実質的な他端部と、前記第４部の実質的な一端部とに接続され、前記いずれかの第２フィラメント以外の他の第２フィラメントは、前記第１部と、前記第４部の実質的な他端部とに接続され、前記分流部は、前記第１部の実質的な中心部であり、前記電源から前記第２部に供給された前記電気エネルギーは、前記中心部から第１方向と第２方向とに分流して前記第１部に供給され、前記各々の第１フィラメントには、前記第１方向に分流した前記電気エネルギーが供給され、前記各々の第２フィラメントには、前記第２方向に分流した前記電気エネルギーが供給され、前記各々の第１フィラメント、前記各々の第２フィラメントの各々に供給される前記電気エネルギーは、実質的に均等である
電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線照射装置に関し、特に、非走査型の電子線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷インクの乾燥処理、高分子樹脂表面硬化処理、建材の表面加工、食品容器表面の殺菌処理等を行うための電子線照射において、種々の電子線照射装置が用いられている。電子線照射装置は、走査型電子線照射装置と非走査型電子線照射装置とに区分される。また、電子線照射装置から照射される電子線に含まれる電子の運動エネルギーによって、（１）高エネルギー型（電子の運動エネルギー＝５ＭｅＶ程度以上）、（２）中エネルギー型（電子の運動エネルギー＝５ＭｅＶ〜３００ｋｅＶ程度）、（３）低エネルギー型（電子の運動エネルギー＝３００ｋｅＶ程度以下）に区分されることもある。一般的に、電子の運動エネルギーが低エネルギーに区分されるときには、非走査型電子線照射装置が用いられることが多い。
【０００３】
非走査型電子線照射装置の例として、例えば特開平１１−７２６００号公報の図１（以下の従来の技術における図２、図５のいずれも特開平１１−７２６００号公報に示される）に示されるものが挙げられる。この公報によれば、非走査型電子線照射装置は、複数の電子線照射対象物を搬送コンベアにより搬送し、その搬送される電子線照射対象物に対し、真空に引かれた加速チャンバ内のフィラメントに電流を流すことでそのフィラメントから照射窓を介して電子線を照射する。フィラメントは複数本で、かつ互いに平行になるように配置され、この複数本のフィラメントは図２のように搬送方向に平行ではなく、図５のように斜めに配置されることが多い。これは、フィラメントを搬送方向に斜めに配置したときの方が、搬送方向に平行に配置したときと比較して、照射対象物における電子線の照射が均一になる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−７２６００号公報（第１−４頁、第１図、第２図、第５図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、複数本のフィラメントが配置される非走査型電子線照射装置において、各々のフィラメントに供給される電気エネルギーを実質的に均等とすることの可能な構成を有する非走査型電子線照射装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以下に、［発明の実施の形態］で使用される番号・符号を括弧付で用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの符号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明の実施の形態］の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００７】
本発明の電子線照射装置（１０Ａ〜１０Ｆ）は、電気エネルギーを供給される複数のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）と、電源（１５）に接続され、前記電源（１５）から前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に供給される電気エネルギーが実質的に均等になるように、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）と接続される電極とを具備する。前記電極は、第１電極と第２電極とを含み、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）は、前記第１電極と前記第２電極の各々に接続される。ここで、電極は、次の（１Ａ）〜（６Ａ）のいずれかが含まれる。それらは、（１Ａ）１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｂ´、１４Ｃ、１４Ｃ´、（２Ａ）２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ、２１Ｅ（以下、「２１Ａ〜２１Ｅ」と記す）、（３Ａ）２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ（以下、「２２Ａ〜２２Ｅ」と記す）である。また、それらは、（４Ａ）２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｄ´、２３Ｅ、２３Ｆ、２３Ｇ、２３Ｇ´（以下、「２３Ａ〜２３Ｇ´」と記す）、（５Ａ）２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ、２４Ｅ、２４Ｆ、２４Ｇ、２４Ｈ、２４Ｉ（以下、「２４Ａ〜２４Ｉ」と記す）、（６Ａ）２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ、２５Ｅ、２５Ｆ、２５Ｇ（以下、「２５Ａ〜２５Ｇ」と記す）である。（１Ａ）、（２Ａ）、（３Ａ）、（４Ａ）、（５Ａ）、（６Ａ）は、各々、実施の形態１、２、３、４、５、６のときに対応する。前記第１電極は、（１Ｂ）〜（６Ｂ）のいずれかである。それらは、（１Ｂ）１４Ａ、１４Ｃ、１４Ｃ´、（２Ｂ）２１Ａ、２１Ｄ、２１Ｅ、（３Ｂ）２２Ａ、２２Ｄ、２２Ｅである。また、（４Ｂ）２３Ａ、２３Ｅ、２３Ｆ、２３Ｇ、２３Ｇ´、（５Ｂ）２４Ａ、２４Ｆ、２４Ｇ、２４Ｈ、２４Ｉ、（６Ｂ）２５Ａ、２５Ｆ、２５Ｇである。（１Ｂ）、（２Ｂ）、（３Ｂ）、（４Ｂ）、（５Ｂ）、（６Ｂ）は、各々、実施の形態１、２、３、４、５、６のときに対応する。第２電極は、各々の電極（（１Ａ）〜（６Ａ））のうち、第１電極（（１Ｂ）〜（６Ｂ））を除いたものに相当する。
【０００８】
本発明の電子線照射装置（１０Ｂ）において、前記第１電極（２１Ａ、２１Ｄ、２１Ｅ）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に接続される第１部（２１Ｅ）と、前記電源（１５）と前記第１部（２１Ｅ）とに接続される第２部（２１Ｄ）と、前記第１部（２１Ｅ）と前記第２部（２１Ｄ）とを接続し、前記電源（１５）から前記第２部（２１Ｄ）に供給された前記電気エネルギーが前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に対し、実質的に均等に供給されるように、前記電源（１５）から前記第２部（２１Ｄ）に供給された前記電気エネルギーを分流して前記第１部（２１Ｅ）に供給する分流部（Ｂ３）とを具備する。尚、前記電源（１５）の高電位側と低電位側とが置き換えられるときには、前記第１部（２１Ｅ）は前記第１部（２１Ｃ）、前記第２部（２１Ｄ）は前記第２部（２１Ｂ）、前記分流部（Ｂ３）は、前記分流部（Ｂ２）に読み替えられる。また、前記電源（１５）が交流電源のときには、前記第１部（２１Ｅ）は前記第１部（２１Ｅ、又は２１Ｃ）、前記第２部（２１Ｄ）は前記第２部（２１Ｄ、又は２１Ｂ）、前記分流部（Ｂ３）は、前記分流部（Ｂ３、又はＢ２）に読み替えられる。
【０００９】
本発明の電子線照射装置（１０Ｂ）において、前記第２電極（２１Ｂ、２１Ｃ）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に接続される第３部（２１Ｃ）を具備している。前記第１部（２１Ｅ）と前記第３部（２１Ｃ）の各々は、互いに平行である。前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）は、前記第１部（２１Ｅ）と前記第３部（２１Ｃ）の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続される。前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれか（▲６▼）は、前記第１部（２１Ｅ）の実質的な一端部（Ｂ７）と、前記第３部（２１Ｃ）の実質的な一端部（Ｂ６）の各々に接続される。前記いずれかのフィラメント（▲６▼）以外の他のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれか（▲１▼）は、前記第１部（２１Ｅ）の実質的な他端部（Ｂ９）と、前記第３部（２１Ｃ）の実質的な他端部（Ｂ８）の各々に接続される。前記分流部（Ｂ３）は、前記第１部（２１Ｅ）の実質的な中心部であり、前記電源（１５）から前記第２部（２１Ｄ）に供給された前記電気エネルギーは、前記中心部から第１方向（Ｙ１）と第２方向（Ｙ２）とに分流して前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に供給される。前記第１部（２１Ｅ）に供給された前記電気エネルギーは前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に対し、実質的に均等に供給される。
【００１０】
本発明の電子線照射装置（１０Ｃ）において、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーは、前記第１電極（２２Ｅ）を介して前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に供給される。前記供給された電気エネルギーの少なくとも一部は、前記第２電極（２２Ｃ）を介して前記電源（１５）に帰着する。前記電気エネルギーが前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に対し、実質的に均等に供給されるように、前記第１電極（２２Ｅ）、前記第２電極（２２Ｃ）、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）の各々は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に前記電気エネルギーが供給されるときにおける、前記帰着する電気エネルギーの前記第１電極（２２Ｅ）と前記第２電極（２２Ｃ）における流通の経路長が、互いに同一となるように接続される。
【００１１】
本発明の電子線照射装置（１０Ｃ）において、前記第１電極（２２Ｅ）と前記第２電極（２２Ｃ）の各々は、互いに平行である。前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）は、前記第１電極（２２Ｅ）と前記第２電極（２２Ｃ）の各々に対し、互いの間隔（ｌ）が均等になるように接続される。前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれか（▲６▼）は、前記第１電極（２２Ｅ）の実質的な端部（Ｃ８）に接続され、前記いずれかのフィラメント（▲６▼）以外の他のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれか（▲１▼）は、前記第２電極（２２Ｃ）の実質的な端部（Ｃ９）に接続される。前記第１電極（２２Ｅ）の実質的な端部（Ｃ８）に接続されるフィラメント（▲６▼）は、前記第２電極（２２Ｃ）と、前記第２電極（２２Ｃ）の実質的な端部（Ｃ９）以外の部位（Ｃ２）で接続され、前記第２電極（２２Ｃ）の実質的な端部（Ｃ９）に接続されるフィラメント（▲１▼）は、前記第１電極（２２Ｅ）と、前記第１電極（２２Ｅ）の実質的な端部（Ｃ８）以外の部位（Ｃ３）で接続される。前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に前記電気エネルギーが供給されるときにおける前記経路長は、互いに実質的に同一である。
【００１２】
本発明の電子線照射装置（１０Ｄ）において、前記第１電極（２３Ａ、２３Ｅ、２３Ｇ、２３Ｆ、２３Ｇ´）は、第１部（２３Ｆ）と第２部（２３Ｇ´）とを含んでいる。前記第１部（２３Ｆ）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれかである第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）と接続され、前記第２部（２３Ｇ´）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれかである第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）と接続され、前記第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）と前記第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々は、複数である。また、本発明の電子線照射装置（１０Ｄ）は、前記第１部（２３Ｆ）と前記第２部（２３Ｇ´）とを接続し、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーが前記複数の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）の各々と、前記複数の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々とに対し、実質的に均等に供給されるように、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーを分流する分流部（Ｄ３）を具備する。尚、前記電源（１５）の高電位側と低電位側とが置き換えられるときには、前記第１部（２３Ｆ）は前記第１部（２３Ｃ）、前記第２部（２３Ｇ´）は前記第２部（２３Ｄ´）、前記分流部（Ｄ３）は、前記分流部（Ｄ２）に読み替えられる。また、前記電源（１５）が交流電源のときには、前記第１部（２３Ｆ）は前記第１部（２３Ｆ、又は２３Ｃ）、前記第２部（２３Ｇ´）は前記第２部（２３Ｇ´、又は２３Ｄ´）、前記分流部（Ｄ３）は、前記分流部（Ｄ３、又はＤ２）に読み替えられる。
【００１３】
本発明の電子線照射装置（１０Ｄ）において、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）は、前記第１部（２３Ｆ）に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）のいずれか（▲３▼）は、前記第１部（２３Ｆ）の実質的な端部（Ｄ１２）に接続される。前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）は、前記第２部（２３Ｇ´）に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）のいずれか（▲６▼）は、前記第２部（２３Ｇ´）の実質的な端部（Ｄ１１）と接続される。前記分流部（Ｄ３）は、前記電源（１５）からの電気エネルギーを第１方向（Ｙ３）と第２方向（Ｙ４）とに分流し、前記第１方向（Ｙ３）に分流された前記電気エネルギーは、前記第１部（２３Ｆ）を介し、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）に対して実質的に供給され、前記第２方向（Ｙ４）に分流された前記電気エネルギーは、前記第２部（２３Ｇ´）を介し、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）に対して実質的に供給される。
【００１４】
本発明の電子線照射装置（１０Ｅ）において、前記第１電極（２４Ａ、２４Ｆ、２４Ｇ、２４Ｈ、２４Ｉ）は、電源（１５）と接続される第１部（２４Ｆ）、前記第１部（２４Ｆ）と接続される第２部（２４Ｇ）、前記第２部（２４Ｇ）と、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれかである第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）とに接続される第３部（２４Ｉ）、前記第２部（２４Ｇ）と、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のいずれかである第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）とに接続される第４部（２４Ｈ）の各々を含んでいる。前記第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）と前記第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々は、複数である。また、本発明の電子線照射装置（１０Ｅ）は、前記第１部（２４Ｆ）と前記第２部（２４Ｇ）とを接続し、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーが前記第３部（２４Ｉ）と前記第４部（２４Ｈ）の各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーを分流する第１分流部（Ｅ３）と、前記第１分流部（Ｅ３）からの前記電気エネルギーが前記複数の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）の各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記第１分流部（Ｅ３）からの前記電気エネルギーを分流する第２分流部（Ｅ１２´）を具備する。更に、本発明の電子線照射装置（１０Ｅ）は、前記第１分流部（Ｅ３）からの前記電気エネルギーが前記複数の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々に対して実質的に均等に供給されるように、前記第１分流部（Ｅ３）からの前記電気エネルギーを分流する第３分流部（Ｅ８´）とを具備する。
【００１５】
本発明の電子線照射装置（１０Ｅ）において、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）は、前記第３部（２４Ｉ）に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）のいずれか（▲１▼）は、前記第３部（２４Ｉ）の実質的な一端部（Ｅ１３）と接続される。前記いずれかの第１フィラメント（▲１▼）以外の他の第１フィラメント（▲３▼）は、前記第３部（２４Ｉ）の実質的な他端部（Ｅ１２）と接続され、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）は、前記第４部（２４Ｈ）に対し、互いの間隔が均等になるように接続され、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）のいずれか（▲４▼）は、前記第４部（２４Ｈ）の実質的な一端部（Ｅ９）と接続され、前記いずれかの第２フィラメント（▲４▼）以外の他の第２フィラメント（▲６▼）は、前記第４部（２４Ｈ）の実質的な他端部（Ｅ８）と接続される。前記第１分流部（Ｅ３）は、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーを第１方向（Ｙ５）と第２方向（Ｙ６）とに分流し、前記第１方向（Ｙ５）に分流された前記電気エネルギーは、前記第２分流部（Ｅ１２´）で分流され、前記分流された前記電気エネルギーは、前記第３部（２４Ｉ）を介して前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）に供給され、前記第２方向（Ｙ６）に分流された前記電気エネルギーは、前記第３分流部（Ｅ８´）で分流され、前記分流された前記電気エネルギーは、前記第４部（２４Ｈ）を介して前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）に供給される。前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）に供給される前記電気エネルギーは、実質的に互いに同一である。
【００１６】
本発明の電子線照射装置（１０Ｆ）において、前記第１電極（２５Ａ、２５Ｆ、２５Ｇ）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）と接続される第１部（２５Ｇ）と、前記電源（１５）と前記第１部（２５Ｇ）とに接続される第２部（２５Ａ、２５Ｆ）と、前記第１部（２５Ｇ）と前記第２部（２５Ａ、２５Ｆ）とを接続し、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーが前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）に対して実質的に均等に供給されるように、前記電源（１５）からの前記電気エネルギーを分流して前記第１部（２５Ｇ）に供給する分流部（Ｆ３）とを含んでいる。前記第２電極（２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ、２５Ｅ）は、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のうちのいずれかである第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）と接続される第３部（２５Ｄ）と、前記各々のフィラメント（▲１▼〜▲６▼）のうちのいずれかである第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）と接続される第４部（２５Ｅ）と、前記第３部（２５Ｄ）と前記第４部（２５Ｅ）とを接続する第５部（２５Ｃ）とを具備している。前記第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）、前記第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々は、複数である。前記複数の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）の各々に供給された前記電気エネルギーの少なくとも一部と、前記複数の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々に供給された前記電気エネルギーの少なくとも一部とは、前記第５部（２５Ｃ）を介して前記電源（１５）に帰着し、前記電気エネルギーが前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）と前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々に対し、実質的に均等に供給されるように、前記第１部（２５Ｇ）、前記第３部（２５Ｄ）、前記第４部（２５Ｅ）の各々は、前記帰着する電気エネルギーの前記第１部（２５Ｇ）、前記第３部（２５Ｄ）、前記第４部（２５Ｅ）における流通の経路長が、互いに同一となるように接続される。
【００１７】
本発明の電子線照射装置（１０Ｆ）において、前記第１部（２５Ｇ）と前記第３部（２５Ｇ）は、互いに平行である。前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）は、前記第１部（２５Ｇ）と前記第３部（２５Ｄ）の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続される。前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）のいずれか（▲１▼）は、前記第１部（２５Ｇ）の実質的な一端部（Ｆ１４）と、前記第３部（２５Ｄ）の実質的な一端部（Ｆ１３）とに接続される。前記いずれかの第１フィラメント（▲１▼）以外の他の第１フィラメント（▲２▼、▲３▼）のいずれか（▲３▼）は、前記第１部（２５Ｇ）と、前記第３部（２５Ｄ）の実質的な他端部（Ｆ１１）とに接続される。前記第１部（２５Ｇ）と前記第４部（２５Ｅ）は、互いに平行である。前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）は、前記第１部（２５Ｇ）と前記第４部（２５Ｅ）の各々に対し、互いの間隔が均等になるように接続される。前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）のいずれか（▲６▼）は、前記第１部（２５Ｇ）の実質的な他端部（Ｆ７）と、前記第４部（２５Ｅ）の実質的な一端部（Ｆ６）とに接続される。前記いずれかの第２フィラメント（▲６▼）以外の他の第２フィラメント（▲４▼、▲５▼）のいずれか（▲４▼）は、前記第１部（２５Ｇ）と、前記第４部（２５Ｅ）の実質的な他端部（Ｆ８）とに接続される。前記分流部（Ｆ３）は、前記第１部（２５Ｇ）の実質的な中心部であり、前記電源（１５）から前記第２部（２５Ａ、２５Ｆ）に供給された前記電気エネルギーは、前記中心部から第１方向（Ｙ８）と第２方向（Ｙ７）とに分流して前記第１部（２５Ｇ）に供給される。前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）には、前記第１方向（Ｙ８）に分流した前記電気エネルギーが供給される。前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）には、前記第２方向（Ｙ７）に分流した前記電気エネルギーが供給され、前記各々の第１フィラメント（▲１▼〜▲３▼）、前記各々の第２フィラメント（▲４▼〜▲６▼）の各々に供給される前記電気エネルギーは、実質的に均等である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
添付図面を参照して、本発明の電子線照射装置の実施の形態について説明する。図１に本発明の実施の形態１に係る電子線照射装置１０Ａの全体の構成を示す。図２に、電子線照射装置１０Ａに含まれる容器１１の断面Ａを示す（但し、電極は省略している）。電子線照射装置１０Ａは、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。容器１１は、柱２１−１、２１−２によって支持されている。
【００１９】
電子線照射装置１０Ａは、電極（例えば、Ｃｕロッドで構成される）を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ａに示される電極は、接続地点（Ａ１〜Ａ８、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ａ）〜（９ａ）のように区分する。それらは、（１ａ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ａ１に至るまでの部分：電極１４Ａ、（２ａ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ａ５（電極１４Ｂ´の端部）に至るまでの部分：電極１４Ｂ、（３ａ）点Ａ１から点Ａ６（電極１４Ｃ´の端部）に至るまでの部分：電極１４Ｃ、（４ａ）点Ａ１からグリッド電源１６の低電位側に至るまでの部分：電極１４Ｄである。また、（５ａ）グリッド電源１６の高電位側から点Ａ３（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極１４Ｅ、（６ａ）点Ａ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極１４Ｆ、（７ａ）電子加速電源１７の高電位側から点Ａ４（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極１４Ｇである。更に、（８ａ）点Ａ５から点Ａ７（電極１４Ｂ´の端部）に至るまでの部分：１４Ｂ´、（９ａ）点Ａ６から点Ａ８（電極１４Ｃ´の端部）に至るまでの部分：１４Ｃ´とする。尚、フィラメント▲１▼〜▲６▼の接続される電極１４Ｂ´、１４Ｃ´は、互いに平行である。
【００２０】
容器１１は、その底部が照射窓１８を介して照射対象物２０と相対するように構成され、また、真空排気装置１１Ａと接続されている。真空排気装置１１Ａは、照射対象物２０に対する電子線２２の照射の開始前に、電子線照射装置１０Ａ（又は、図４の電子線照射装置１０Ｂ、図６の電子線照射装置１０Ｃ、図８の電子線照射装置１０Ｄ、図１０の電子線照射装置１０Ｅ、図１２の電子線照射装置１０Ｆ）の操作者（以下、単に「操作者」と記す）の操作に基づいて容器１１の内部に含まれる空気を排気することで、容器１１の内部が真空になるように制御する。
【００２１】
容器１１にはグリッド１２が設けられており、グリッド１２にはカートリッジ１２Ａが嵌め込まれている。グリッド１２は、電極１４Ｅによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極１４Ｃ´が電極１４Ｃ、１４Ｄを介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子は、電極１４Ｅと電極１４Ｃ´との間の電位差によって加速することが可能である。カートリッジ１２Ａの内部には、電極１４Ｂ´と電極１４Ｃ´とに接続されるフィラメント▲１▼〜▲６▼（▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼、▲５▼、▲６▼）が備えられる（図１、及び後述する図４、図６、図８、図１０、図１２の各々においては６本が備えられるように示されているが、実際には更に多くのフィラメントが電極間に接続される）。
【００２２】
フィラメント▲１▼〜▲６▼は、搬送コンベア１９の搬送方向Ｘと、そのフィラメント▲１▼〜▲６▼のなす角とが鋭角になるように配置されている（即ち、搬送方向Ｘとフィラメント▲１▼〜▲６▼の配置方向とは互いに平行ではない。これについては、従来の技術において上述）。また、フィラメント▲１▼〜▲６▼は、容器１１の内部が真空に引かれた後、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極１４Ｃ´から供給される電力（電気エネルギー）によって加熱され、その結果、電子線２２の元となる熱電子を放出する（電力の供給方向はＹである）。この熱電子はグリッド電圧によってグリッドから引き出された後、電子加速電圧により電子線２２を形成する。窓１８は、チタン（Ｔｉ）膜で構成される数μｍ程度の隔壁であり、真空に引かれた容器１１の内部と外部との圧力差に耐えるために図示しないフレームにより保持されている。また、窓１８は、搬送コンベア１９による照射対象物２０の搬送方向Ｘに対して鉛直方向に設置されており、その照射対象物２０からの高さＬは数ｃｍ程度に設定される（容器１１と搬送コンベア１９とは、柱２１−１、２１−２によって互いに固定して設置されている。また、柱２１−１と搬送コンベア１９、及び柱２１−２と搬送コンベア１９の各々のなす角αは、９０°となるように設置される）。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子線２２は、電極１４Ｅと電極１４Ｂ（又は電極１４Ｃ）との間の電位差によって窓１８に向けて加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極１４Ｇと電極１４Ｃ´との間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００２３】
搬送コンベア１９は、電子線２２の照射の間、照射対象物２０を載せて所定の方向（Ｘ方向）・速度で回動することで、照射対象物２０上に均等に電子線２２が照射されるようにする。
【００２４】
図３に、電子線照射装置１０Ａを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、横軸に示される「ｌ」とは、電極１４Ｂ´と電極１４Ｃ´間におけるフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔であり、均等に配置することからフィラメント▲１▼とフィラメント▲２▼、フィラメント▲２▼とフィラメント▲３▼、フィラメント▲３▼とフィラメント▲４▼、フィラメント▲４▼とフィラメント▲５▼、フィラメント▲５▼とフィラメント▲６▼の各々の間隔は、いずれも「ｌ」であることが示されている。Ａ［ａ．ｕ］は、フィラメント▲１▼から放出される電子線２２の強度に相当し、Ｂ［ａ．ｕ］は、フィラメント▲６▼から放出される電子線２２の強度に相当する。図１と図３とを互いに参照すると、点Ａ５、Ａ６からの距離が近い（熱陰極加熱電源１５からの距離が近い）フィラメント▲１▼程、発生する電子線２２の強度は大きくなっている。これは、各々のフィラメント▲１▼〜▲６▼に電力が供給されるときに、熱陰極加熱電源１５から供給された電力が電極１４Ｂ´、及び電極１４Ｃ´における抵抗によって分布を持つためである。
【００２５】
上記の実施の形態１の説明においては、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々は全て直流電源であるものとし、電力は、各々の電源の高電位側に接続される電極からフィラメント▲１▼〜▲６▼に供給されるものとしている。図１において、各々の電源の高電位側と低電位側とが逆になるように配置する（即ち、熱陰極加熱電源１５を例に挙げると、電極１４Ｂ´が電極１４Ｃ、１４Ａを介して熱陰極加熱電源１５の高電位側に接続され、電極１４Ｂ´が電極１４Ｂを介して熱陰極加熱電源１５の低電位側に接続されるように配置する）と、電力のフィラメント▲１▼〜▲６▼への供給方向は、Ｙとは反対の方向となる。また、上記の形態には限らず、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。このとき、熱陰極加熱電源１５から流れる電流の向きは、熱陰極加熱電源１５によるフィラメント▲１▼〜▲６▼の加熱を開始してからの時間により異なるが、電力の供給方向は常に一定となる（Ｙ、又はＹと反対の方向）。
【００２６】
（実施の形態２）
図４に本発明の実施の形態２に係る電子線照射装置１０Ｂの全体の構成を示す（断面Ａは図２に示す通りである）。電子線照射装置１０Ｂは、電子線照射装置１０Ａと同様に、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。尚、以下の実施の形態２においては実施の形態１との相違点について詳細に説明するが、それ以外については実施の形態１と同様であるので、その説明は省略する。
【００２７】
電子線照射装置１０Ｂは、電極を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ｂに示される電極は、地点（Ｂ１〜Ｂ９、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ｂ）〜（９ｂ）のように区分する。それらは、（１ｂ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ｂ１に至るまでの部分：電極２１Ａ、（２ｂ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ｂ２に至るまでの部分：電極２１Ｂ、（３ｂ）電極２１Ｂを介して熱陰極加熱電源１５の低電位側と接続される部分：電極２１Ｃ（端部Ｂ６から端部Ｂ８に至るまで）である。また、（４ｂ）点Ｂ１から点Ｂ３に至るまでの部分：電極２１Ｄ、（５ｂ）電極２１Ｄ、２１Ａを介して熱陰極加熱電源１５の高電位側と接続される部分：電極２１Ｅ（端部Ｂ７から端部Ｂ９に至るまで）である。更に、（６ｂ）グリッド電源１６の低電位側から点Ｂ１に至るまでの部分：電極２１Ｆ、（７ｂ）グリッド電源１６の高電位側から点Ｂ４（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２１Ｇ、（８ｂ）点Ｂ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極２１Ｈ、（９ｂ）電子加速電源１７の高電位側から点Ｂ５（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２１Ｉである。尚、フィラメント▲１▼〜▲６▼の接続される電極２１Ｃ、２１Ｅは、互いに平行である。
【００２８】
グリッド１２は、電極２１Ｇによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極２１Ｅが電極２１Ｄ、２１Ｆの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子は、電極２１Ｇと電極２１Ｅとの間の電位差によって加速することが可能である。カートリッジ１２Ａの内部には、電極２１Ｃと電極２１Ｅとに接続されるフィラメント▲１▼〜▲６▼の各々が備えられる。
【００２９】
フィラメント▲１▼〜▲６▼は、容器１１の内部が真空に引かれた後、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極２１Ｅから供給される電力によって加熱され、その結果、熱電子を放出する。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された熱電子は、電極２１Ｅと電極２１Ｇとの間の電位差によって窓１８に向けて加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極２１Ｉと電極２１Ｅとの間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００３０】
図５に、電子線照射装置１０Ｂを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、横軸に示される「ｌ」とは、電極２１Ｅと電極２１Ｃ間におけるフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔である。▲３▼´とは、フィラメント▲３▼とフィラメント▲４▼の中心線（電極２１Ｅ上のＢ２と電極２１Ｃ上のＢ３とを結ぶ線）上の点に相当する。点Ｂ２、Ｂ３からの距離が近い（熱陰極加熱電源１５からの距離が近い）フィラメント▲３▼又は▲４▼程、発生する電子線２２の強度は大きくなる。これは、電子線照射装置１０Ａにおけるときと同様に、熱陰極加熱電源１５から供給された電力が、その電極２１Ｅにおける抵抗によって分布を持つためである。しかしながら、図３と比較すると、各フィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度の違いは少ない。この理由は、次のようなものと考えられる。
【００３１】
図４において示されるように、熱陰極加熱電源１５から供給された電力は、電極２１Ａ→２１Ｄ→２１Ｅ→いずれかのフィラメント▲１▼〜▲６▼→２１Ｃ→２１Ｂのように経由して熱陰極加熱電源１５に戻される（Ｂ３からＹ１とＹ２のいずれかの方向に分岐する）。電子線照射装置１０Ｂにおいては、分岐点Ｂ３及びＢ２から最も遠いフィラメント▲１▼及び▲６▼までの距離が、電子線照射装置１０Ａのときに比較して短くなることから、電極２１Ｃ、２１Ｅ部の抵抗による、各フィラメントに供給される電力の分布の幅が小さくなる。
【００３２】
従って、照射対象物２０に対して均等に電子線照射を行うことを目的とする観点からは、電子線照射装置１０Ｂを用いたときの方が、電子線照射装置１０Ａを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。
【００３３】
尚、上記の実施の形態１と同様に、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々の高電位側、低電位側を逆に配置することも可能である。また、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。
【００３４】
（実施の形態３）
図６に本発明の実施の形態３に係る電子線照射装置１０Ｃの全体の構成を示す。電子線照射装置１０Ｃは、電子線照射装置１０Ａ、１０Ｂと同様に、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。尚、以下の実施の形態３においては実施の形態１との相違点について詳細に説明するが、それ以外については実施の形態１と同様であるので、その説明は省略する。
【００３５】
電子線照射装置１０Ｃは、電極を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ｃに示される電極は、地点（Ｃ１〜Ｃ９、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ｃ）〜（９ｃ）のように区分する。それらは、（１ｃ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ｃ１に至るまでの部分：電極２２Ａ、（２ｃ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ｃ２に至るまでの部分：電極２２Ｂ、（３ｃ）電極２２Ｂを介して熱陰極加熱電源１５の低電位側と接続される部分：電極２２Ｃ（端部Ｃ２から端部Ｃ９に至るまでの部分）である。また、（４ｃ）点Ｃ１から点Ｃ３に至るまでの部分：電極２２Ｄ、（５ｃ）電極２２Ｄ、２２Ａを介して熱陰極加熱電源１５の高電位側と接続される部分：電極２２Ｅ（端部Ｃ３から端部Ｃ８に至るまでの部分）である。更に、（６ｃ）グリッド電源１６の低電位側から点Ｃ１に至るまでの部分：電極２２Ｆ、（７ｃ）グリッド電源１６の高電位側から点Ｃ４（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２２Ｇ、（８ｃ）点Ｃ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極２２Ｈ、（９ｃ）電子加速電源１７の高電位側から点Ｃ５（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２２Ｉである。尚、フィラメント▲１▼〜▲６▼の接続される電極２２Ｃ、２２Ｅは、互いに平行である。
【００３６】
グリッド１２は、電極２２Ｇによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極２２Ｅが電極２２Ｄ、電極２２Ｆの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子は、電極２２Ｇと電極２２Ｅとの間の電位差によって加速することが可能である。カートリッジ１２Ａの内部には、電極２２Ｃと電極２２Ｅとに接続されるフィラメント▲１▼〜▲６▼が備えられる。
【００３７】
フィラメント▲１▼〜▲６▼は、容器１１の内部が真空に引かれた後、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極２２Ｅから供給される電力によって加熱され、その結果、熱電子を放出する。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された熱電子は、電極２２Ｅと電極２２Ｇとの間の電位差によって窓１８に向けて加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極２２Ｉと電極２２Ｅとの間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００３８】
図７に、電子線照射装置１０Ｃを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、横軸に示される「ｌ」とは、電極２２Ｅと電極２２Ｃ間におけるフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔である。▲３▼´´とは、フィラメント▲３▼とフィラメント▲４▼の中心線（電極２２Ｅ上のＣ６と電極２２Ｃ上のＣ７とを結ぶ線）に相当する。電子線照射装置１０Ａ、１０Ｂにおけるときと同様に、熱陰極加熱電源１５から供給された電力は、その電極２２Ｅにおける抵抗によって分布を持つ。しかしながら、図３と比較すると、各フィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度の違いは少ない。これは、次の理由によるものと考えられる。
【００３９】
図６において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２２Ａ→２２Ｄ→２２Ｅ→いずれかのフィラメント▲１▼〜▲６▼→２２Ｃ→２２Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。従って、いずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼に対しても、熱陰極加熱電源１５から電力が供給されるときにおける、電流の経路は同様である。
【００４０】
従って、照射対象物２０に対して均等に電子線照射を行うことを目的とする観点からは、電子線照射装置１０Ｃを用いたときの方が、電子線照射装置１０Ａを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。また、いずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼に対しても、電力供給側から見た際の合成抵抗が同一であることから、電子線照射装置１０Ｂを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。
【００４１】
尚、上記の実施の形態１、２と同様に、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々の高電位側、低電位側を逆に配置することも可能である。また、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。
【００４２】
（実施の形態４）
図８に本発明の実施の形態４に係る電子線照射装置１０Ｄの全体の構成を示す。電子線照射装置１０Ｄは、電子線照射装置１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃと同様に、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。尚、以下の実施の形態４においては実施の形態１との相違点について詳細に説明するが、それ以外については実施の形態１と同様であるので、その説明は省略する。
【００４３】
電子線照射装置１０Ｄは、電極を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ｄに示される電極は、地点（Ｄ１〜Ｄ１２、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ｄ）〜（１１ｄ）のように区分する。それらは、（１ｄ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ｄ１に至るまでの部分：電極２３Ａ、（２ｄ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ｄ２に至るまでの部分：電極２３Ｂ、（３ｄ）点Ｄ８から点Ｄ１３に至るまでの部分（フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される部分）：電極２３Ｃである（Ｄ１３は、電極２３Ｃの端部）。また、（４ｄ´）Ｄ７からＤ１０に至るまでの部分（フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される部分）：２３Ｄ´（点Ｄ１０は、電極２３Ｄ´の端部）、（４ｄ）点Ｄ２から点Ｄ７に至るまでの部分：電極２３Ｄ、（５ｄ）点Ｄ１から点Ｄ３に至るまでの部分：電極２３Ｅ、（６ｄ）点Ｄ９から点Ｄ１２に至るまでの部分（フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される部分）：電極２３Ｆである。更に、（７ｄ´）点Ｄ６から点Ｄ１１に至るまでの部分（フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される部分）：電極２３Ｇ´（点Ｄ１１は、電極２３Ｄ´の端部）、（７ｄ）点Ｄ３から点Ｄ６に至るまでの部分：電極２３Ｇ、（８ｄ）グリッド電源１６の低電位側から点Ｄ１に至るまでの部分：電極２３Ｈ、（９ｄ）グリッド電源１６の高電位側から点Ｄ４（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２３Ｉ、（１０ｄ）点Ｄ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極２３Ｊ、（１１ｂ）電子加速電源１７の高電位側から点Ｄ５（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２３Ｋである。尚、フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される電極２３Ｃ、２３Ｆ、フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される電極２３Ｇ´、２３Ｄ´は、互いに平行である。
【００４４】
グリッド１２は、電極２３Ｉによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極２３Ｇ´が電極２３Ｇ、２３Ｅ、２３Ｈの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されており、電極２３Ｆが電極２３Ｅ、２３Ｈの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子は、電極２３Ｇ´と電極２３Ｉ、又は電極２３Ｆと電極２３Ｉとの間の電位差によって加速することが可能である。
【００４５】
容器１１の内部が真空に引かれた後、フィラメント▲１▼〜▲３▼は、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極２３Ｆから供給される電力によって加熱され、また、フィラメント▲４▼〜▲６▼は、電極２３Ｇ´から供給される電力によって加熱される。その結果、フィラメント▲１▼〜▲６▼は熱電子を放出する。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された熱電子の各々は、電極２３Ｇ´と電極２３Ｉ、又は電極２３Ｆと電極２３Ｉとの間の電位差によって窓１８に向けて鉛直方向に加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極２３Ｇ´と電極２３Ｋ、又は電極２３Ｆと電極２３Ｋとの間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００４６】
図９に、電子線照射装置１０Ｄを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、横軸に示される「ｌ」とは、電極２３Ｇと電極２３Ｄ、又は電極２３Ｆと電極２３Ｃとを接続するフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔である。▲４▼´とは、フィラメント▲３▼とフィラメント▲４▼の中心線（電極２３Ｇ上のＤ６と電極２３Ｄ上のＤ７とを結ぶ線）に相当する。熱陰極加熱電源１５から供給された電力は、電極を通過する際に、その抵抗によって分布を持つ。しかしながら、図３と比較すると、各フィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度の違いは少ない。これは、次の理由によるものと考えられる。
【００４７】
図８において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２３Ａ→２３Ｅ→２３Ｆ→いずれかのフィラメント▲１▼〜▲３▼→２３Ｃ→２３Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。又は、図８において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２３Ａ→２３Ｅ→２３Ｇ→２３Ｇ´→いずれかのフィラメント▲４▼〜▲６▼→２３Ｄ´→２３Ｄ→２３Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。電子線２２の照射幅を電子線照射装置１０Ａのときと同一とすると、電子線照射装置１０Ｄでは電子線照射装置１０Ａの電極１４Ｂ´、及び電極１４Ｃ´の長さを１／２としたものを２組配置することに相当し、従って、電子線照射装置１０Ｄの電極２３Ｃ、２３Ｆ、２３Ｄ´、及び電極２３Ｇ´は電子線照射装置１０Ａの電極１４Ｂ´、及び電極１４Ｃ´の半分の長さとなる。図３からは、電極長が長くなるにつれ電子線強度の変化率が大きくなることから、短い電極長に区切って使用することにより、電子線強度分布の幅は縮小する。電子線照射装置１０Ｄのとき、実際には電極２３Ｄ、及び電極２３Ｇの抵抗を考慮する必要があるため、図９のようにフィラメント▲４▼のポイントで段差を持つ分布となる。
【００４８】
また、図９より、フィラメント▲４▼〜▲６▼に供給される電力は、電極２３Ｄ及び電極２３Ｇによる電力損失があることから、フィラメント▲１▼〜▲３▼に供給される電力と比較して全体的に少ないが、いずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度も、Ｂ［ａ．ｕ］と比較して大きい。従って、照射対象物２０に対して均等に電子線照射を行うことを目的とする観点からは、電子線照射装置１０Ｄを用いたときの方が、電子線照射装置１０Ａを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。
【００４９】
尚、上記の実施の形態１、２、３と同様に、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々の高電位側、低電位側を逆に配置することも可能である。また、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。
【００５０】
（実施の形態５）
図１０に本発明の実施の形態５に係る電子線照射装置１０Ｅの全体の構成を示す。電子線照射装置１０Ｅは、電子線照射装置１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄと同様に、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。尚、以下の実施の形態５においては実施の形態１との相違点について詳細に説明するが、それ以外については実施の形態１と同様であるので、その説明は省略する。
【００５１】
電子線照射装置１０Ｅは、電極を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ｅに示される電極は、地点（Ｅ１〜Ｅ１３、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ｅ）〜（１１ｅ）のように区分する。それらは、（１ｅ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ｅ１に至るまでの部分：電極２４Ａ、（２ｅ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ｅ２に至るまでの部分：電極２４Ｂ、（３ｅ）電極２４Ｂを介して熱陰極加熱電源１５と接続され、電極２４Ｄ、電極２４Ｅと接続される部分：電極２４Ｃである。また、（４ｅ）端部Ｅ１０から端部Ｅ１１までの部分（フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される部分）：電極２４Ｄ、（５ｅ）端部Ｅ６から端部Ｅ７までの部分（フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される部分）：電極２４Ｅである。
【００５２】
更に、（６ｅ）点Ｅ１から点Ｅ３に至るまでの部分：電極２４Ｆ、（７ｅ）電極２４Ｆ、２４Ａを介して熱陰極加熱電源１５の高電位側と接続され、電極２４Ｈ、電極２４Ｉと接続される部分：２４Ｇ、（８ｅ）端部Ｅ１２から端部Ｅ１３に至るまでの部分（フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される部分）：電極２４Ｉである。更に、（９ｅ）端部Ｅ７から端部Ｅ８に至るまでの部分（フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される部分）：電極２４Ｈである。（１０ｅ）グリッド電源１６の低電位側から点Ｅ１に至るまでの部分：電極２４Ｊ、（１１ｅ）グリッド電源１６の高電位側から点Ｅ４（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２４Ｋ、（１２ｅ）点Ｅ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極２４Ｌ、（１３ｅ）電子加速電源１７の高電位側から点Ｅ５（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２４Ｍである。尚、フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される電極２４Ｄ、２４Ｉ、フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される電極２４Ｅ、２４Ｈは、互いに平行である。
【００５３】
グリッド１２は、電極２４Ｋによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極２４Ｉが電極２４Ｇ、電極２４Ｆ、電極２４Ｊの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲３▼から放出された電子は、電極２４Ｋと電極２４Ｉとの間の電位差によって加速することが可能である。更に、電極２４Ｈが電極２４Ｇ、電極２４Ｆ、電極２４Ｊの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲４▼〜▲６▼から放出された電子は、電極２４Ｋと電極２４Ｈとの間の電位差によって加速することが可能である。
【００５４】
容器１１の内部が真空に引かれた後、フィラメント▲１▼〜▲３▼は、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極２４Ｉから供給される電力によって加熱され、また、フィラメント▲４▼〜▲６▼は、電極２４Ｈから供給される電力によって加熱される（電極２４Ｉには、点Ｅ３からＹ６の方向に分流した電力が供給され、電極２４Ｈには、点Ｅ３からＹ５の方向に分流した電力が供給される）。その結果、フィラメント▲１▼〜▲６▼は熱電子を放出する。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された熱電子の各々は、電極２４Ｉ、又は電極２４Ｈと電極２４Ｋとの間の電位差によって窓１８に向けて鉛直方向に加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極２４Ｉ、又は電極２４Ｈと電極２４Ｍとの間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００５５】
図１１に、電子線照射装置１０Ｅを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、「ｌ」とは、電極２４Ｈと電極２４Ｅ、又は電極２４Ｉと電極２４Ｄとを接続するフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔である。熱陰極加熱電源１５から供給された電力は、電極を通過する際に、その抵抗によって徐々に減衰されるものと考えられる。しかしながら、図３と比較すると、各フィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度の違いは少ない。これは、次の理由によるものと考えられる。
【００５６】
図１０において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２４Ａ→２４Ｆ→２４Ｇ→２４Ｉ→いずれかのフィラメント▲１▼〜▲３▼→２４Ｄ→２４Ｃ→２４Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。又は、図８において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２４Ａ→２４Ｆ→２４Ｇ→２４Ｈ→いずれかのフィラメント▲４▼〜▲６▼→２４Ｅ→２４Ｃ→２４Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。電子線２２の照射幅を電子線照射装置１０Ｂのときと同一とすると、電子線照射装置１０Ｅでは電子線照射装置１０Ｂの電極２１Ｃ、及び電極２１Ｅの長さを１／２としたものを２組配置することに相当し、従って、電子線照射装置１０Ｅの電極２４Ｄ、２４Ｅ、２４Ｈ、及び電極２４Ｉは、電子線照射装置１０Ｂの電極２１Ｃ、及び電極２１Ｅの半分の長さとなる。図５からは、電極長が長くなるにつれ電子線強度の分布幅が大きくなることから、短い電極長に区切って使用することにより、電子線強度分布の幅は縮小する。更に図１０に示すように、分岐点Ｅ３から電極２４Ｉと電極２４Ｇの接続点までの長さと、分岐点Ｅ３から電極２４Ｈと電極２４Ｇの接続点までの長さと、並びに分岐点Ｅ２から電極２４Ｅと電極２４Ｃの接続点までの長さを同一とすることにより、図１１に示すフィラメント▲２▼及び▲５▼の電子線強度を揃えることが可能となり、全体としての強度分布の幅を電子線照射装置１０Ｂのときと比較して縮小することが可能となる。
【００５７】
従って、図１１より、いずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度も、Ｂ［ａ．ｕ］と比較して大きい。すなわち、照射対象物２０に対して均等に電子線照射を行うことを目的とする観点からは、電子線照射装置１０Ｅを用いたときの方が、電子線照射装置１０Ａを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。
【００５８】
尚、上記の実施の形態１、２、３、４と同様に、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々の高電位側、低電位側を逆に配置することも可能である。また、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。
【００５９】
（実施の形態６）
図１２に本発明の実施の形態６に係る電子線照射装置１０Ｆの全体の構成を示す。電子線照射装置１０Ｆは、電子線照射装置１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅと同様に、容器１１、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７、照射対象物２０をＸ方向に搬送する搬送コンベア１９の各々を具備している。尚、以下の実施の形態６においては実施の形態１との相違点について詳細に説明するが、それ以外については実施の形態１と同様であるので、その説明は省略する。
【００６０】
電子線照射装置１０Ｆは、電極を有している。以下の説明において、電子線照射装置１０Ｆに示される電極は、接続地点（Ｆ１〜Ｆ１４、及び熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々における高電位側、低電位側）によって以下の（１ｆ）〜（１１ｆ）のように区分する。それらは、（１ｆ）熱陰極加熱電源１５の高電位側から点Ｆ１に至るまでの部分：電極２５Ａ、（２ｆ）熱陰極加熱電源１５の低電位側から点Ｆ２に至るまでの部分：電極２５Ｂ、（３ｆ）電極２５Ｂを介して熱陰極加熱電源１５と接続され、電極２５Ｄ、２５Ｅと接続される部分：電極２５Ｃである。また、（４ｆ）端部Ｅ１１から端部Ｅ１３に至るまでの部分（フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される部分）：電極２５Ｄ、（５ｆ）端部Ｅ６から端部Ｅ８に至るまでの部分（フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される部分）：電極２５Ｅである。
【００６１】
更に、（６ｆ）点Ｆ１から点Ｆ３に至るまでの部分：電極２５Ｆ、（７ｆ）端部Ｆ７から端部Ｆ１４に至るまでの部分（フィラメント▲１▼〜▲６▼と接続される部分）：電極２５Ｇ、（８ｆ）グリッド電源１６の低電位側から点Ｆ１に至るまでの部分：電極２５Ｈ、（９ｆ）グリッド電源１６の高電位側から点Ｆ４（グリッド１２の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２５Ｉ、（１０ｆ）点Ｆ１から電子加速電源１７の低電位側に至るまでの部分：電極２５Ｊ、（１１ｆ）電子加速電源１７の高電位側から点Ｆ５（窓１８の壁面と接している）に至るまでの部分：電極２５Ｋである。尚、フィラメント▲１▼〜▲６▼と接続される電極２５Ｇ、フィラメント▲１▼〜▲３▼と接続される電極２５Ｄ、フィラメント▲４▼〜▲６▼と接続される電極２５Ｅは、互いに平行である。
【００６２】
グリッド１２は、電極２５Ｉによってグリッド電源１６の高電位側と接続されている。また、電極２５Ｇが電極２５Ｆ、電極２５Ｈの各々を介してグリッド電源１６の低電位側と接続されていることから、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された電子は、電極２５Ｉと電極２５Ｇとの間の電位差によって加速することが可能である。
【００６３】
容器１１の内部が真空に引かれた後、フィラメント▲１▼〜▲６▼は、熱陰極加熱電源１５の電圧に基づいて電極２５Ｆから供給される電力によって加熱される（フィラメント▲１▼〜▲３▼には、点Ｆ３でＹ８の方向に分流した電力が供給され、フィラメント▲４▼〜▲６▼には、点Ｆ３でＹ７の方向に分流した電力が供給される）。その結果、フィラメント▲１▼〜▲６▼は熱電子を放出する。フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出された熱電子の各々は、電極２５Ｇと電極２５Ｉとの間の電位差によって窓１８に向けて鉛直方向に加速され、カートリッジ１２Ａの孔部１２Ａａを通過して電極２５Ｇと電極２５Ｋとの間の電位差によって加速され、搬送方向Ｘに対する鉛直方向から窓１８に入射する。
【００６４】
図１３に、電子線照射装置１０Ｆを用いて電子線２２の照射を行ったときに、フィラメント▲１▼〜▲６▼から放出される電子線２２の強度［ａ．ｕ］を示す。ここで、「ｌ」とは、電極２５Ｇと、電極２５Ｄ又は電極２５Ｅとを接続するフィラメント▲１▼〜▲６▼間の設置間隔である。熱陰極加熱電源１５から供給された電力は、電極を通過する際に、その抵抗によって徐々に減衰されるものと考えられる。しかしながら、図３と比較すると、各フィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度の違いは少ない。これは、次の理由によるものと考えられる。
【００６５】
図１２において、熱陰極加熱電源１５からの電力は、電極２５Ａ→２５Ｆ→２５Ｇ→いずれかのフィラメント▲１▼〜▲６▼→２５Ｄ、又は２５Ｅ→２５Ｃ→２５Ｂと経由して熱陰極加熱電源１５に戻される。電子線２２の照射幅を電子線照射装置１０Ｃのときと同一とすると、電子線照射装置１０Ｆでは電子線照射装置１０Ｃの電極２２Ｃ、及び電極２２Ｅの長さを１／２としたものを２組配置することに相当し、従って、電子線照射装置１０Ｆの電極２５Ｅ、及び電極２５Ｄは電子線照射装置１０Ｃの電極２２Ｃ、及び電極２２Ｅの半分の長さとなる。図７からは、電極長が長くなるにつれ電子線強度の分布幅が大きくなるなることから、短い電極長に区切って使用することにより、電子線強度分布の幅は縮小する。更に、図１２に示すように、分岐点Ｆ３からＦ７までの長さと、分岐点Ｆ３からＦ１４までの長さを同一とすることにより、図１２に示すフィラメント▲１▼、▲３▼、▲４▼、及び▲６▼の電子線強度を揃えることが可能となり、全体としての強度分布の幅を電子線照射装置１０Ｃのときと比較して縮小することが可能となる。
【００６６】
従って、図１３より、いずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼から発生する電子線２２の強度も、Ｂ［ａ．ｕ］と比較して大きい。すなわち、照射対象物２０に対して均等に電子線照射を行うことを目的とする観点からは、電子線照射装置１０Ｆを用いたときの方が、電子線照射装置１０Ａを用いたときと比較して、より高い効果が期待できるものと考えられる。また、いずれのいずれのフィラメント▲１▼〜▲６▼に対しても、電力が供給されるときの電流の経路は、同一であることから、電子線照射装置１０Ｂ、１０Ｄ、１０Ｅを用いたときと比較して、より高い効果が期待できる。
【００６７】
尚、上記の実施の形態１、２、３、４、５と同様に、熱陰極加熱電源１５、グリッド電源１６、電子加速電源１７の各々の高電位側、低電位側を逆に配置することも可能である。また、熱陰極加熱電源１５を交流電源とすることも可能である。
【００６８】
【発明の効果】
本発明の電子線照射装置（非走査型電子線照射装置）により、複数本のフィラメントの各々に対し、供給される電気エネルギーを実質的に均等とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１、２、３、４、５、６に係る、容器の断面を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態５に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態６に係る電子線照射装置の構成を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態６に係る、各フィラメントから放出される電子線の強度を示す図である。
【符号の説明】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ：電子線照射装置
１１：容器
１１Ａ：真空排気装置
１２：グリッド
１２Ａ：カートリッジ
１２Ａａ：孔部
１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ、１４Ｆ、１４Ｇ：電極
１５：熱陰極加熱電源
１６：グリッド電源
１７：電子加速電源
１８：窓
１９：搬送コンベア
２０：照射対象物
２１−１、２１−２：柱
２１Ａ〜２１Ｉ、２２Ａ〜２２Ｉ、２３Ａ〜２３Ｋ、２４Ａ〜２４Ｍ、２５Ａ〜２５Ｋ：電極
▲１▼〜▲６▼：フィラメント
Ａ１〜Ａ６、Ｂ１〜Ｂ５、Ｃ１〜Ｃ７、Ｄ１〜Ｄ７、Ｅ１〜Ｅ５、Ｆ１〜Ｆ３：点
【図１】
2004109063.tif 000003
【図２】
2004109063.tif 000004
【図３】
2004109063.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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