(57)【要約】【課題】小型で応答性、安定性に優れ、加えて、小型のアクチュエータで作動可能な流体制御システムを提供する。【解決手段】制御バルブ１（制御室）と磁気回路２４とを備え、上記制御バルブ１が、流入口３および排出口４ａ、４ｂを備えた制御部シリンダ２と、上記制御部シリンダ２内部に設けられ、上記流入口３および排出口４ａ、４ｂを分離するための弁体５ａ、５ｂを備えた制御用ピストン７と、上記制御部シリンダ２と連結された出力部シリンダ８と、上記出力部シリンダ８内部を分離する分離壁１０を備えた出力用ピストン１２とを有する流体制御システム２５において、上記制御バルブ１をハウジング２１の内部に設ける。【選択図】  図１
2004263809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１変位部材および第２変位部材を備えた制御室と、
この制御室に流体を供給するために、外部から流入する加圧された流体を、その圧力を調整しつつ保持する圧力調整室とを有し、
上記第１変位部材が圧力調整室から供給される流体の流入状態を制御することで上記流体の圧力を利用し、第２変位部材を変位させる流体制御システムであって、
上記制御室は、上記圧力調整室の内部に設けられていることを特徴とする流体制御システム。
【請求項２】
上記制御室は、
流入口および排出口を備えた制御部シリンダと、
上記制御部シリンダ内部に設けられ、上記流入口および排出口を分離するための弁体を備えた第１変位部材としての制御用ピストンと、
上記制御部シリンダと連結された出力部シリンダと、
上記出力部シリンダ内部を分離する分離壁を備えた第２変位部材としての出力用ピストンとを有することを特徴とする請求項１に記載の流体制御システム。
【請求項３】
上記制御室は、１つの補助制御室を有し、この補助制御室は、
補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、
この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、
上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、
上記第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、
この第２ピストンが上記制御用ピストンを変位させるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体制御システム。
【請求項４】
上記制御室は、複数の補助制御室を有し、この補助制御室は、それぞれ
補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、
この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、
上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、
この第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、
各補助制御室の第２ピストンは、自身よりも第２シリンダの体積の大きな補助制御室の第１ピストンを変位させるように構成され、しかも、第２シリンダの体積の最も大きな補助制御室の第２ピストンが、上記制御用ピストンを変位させるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体制御システム。
【請求項５】
上記第１ピストンに磁性体が備えられ、上記圧力調整室の外部に設けられた磁気回路によって、この第１ピストンを変位させることを特徴とする請求項３または４に記載の流体制御システム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の流体制御システムと外部圧力源とを有し、この外部圧力源から上記圧力調整室へ加圧された流体が供給されていることを特徴とする駆動システム。
【請求項７】
上記外部圧力源は、冷却用にも用いることができることを特徴とする請求項６に記載の駆動システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、光ディスク装置やプロジェクタ等において、物体に変位、速度、あるいは加速度を与える駆動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、小さな力で物体を移動させる構造は数多くあり、最も一般的な構造として、モータとギア減速機構を用いた方式がある（例えば、特許文献１参照）。しかし、上記ギア減速機構は、歯の衝突により、その衝突音が騒音となり、装置の静音化の弊害となる。
【０００３】
これを防ぐために作動流体Ｌと制御バルブを用いた駆動機構がある（例えば、非特許文献１参照）。図６（ａ）および（ｂ）は、このような制御バルブの説明図である。
【０００４】
まず、同図を用いて、制御バルブ３１の構成を説明する。
【０００５】
図６（ａ）に示すように、制御バルブ３１には、制御部シリンダ３２と出力部シリンダ３８とが備えられている。
【０００６】
制御部シリンダ３２は、シリンダ側面に、開口４３ａおよび４３ｂ、排出口３４ａおよび３４ｂ、この２つの排出口の間に流入口３３が設けられ、シリンダ内部に、制御用ピストン３７が備えられている。制御用ピストン３７は、制御軸３６と、この制御軸３６に一定間隔をおいて固定された弁体３５ａおよび３５ｂからなる。ここで、弁体３５ａは、排出口３４ａと流入口３３とを分離し、弁体３５ｂは、排出口３４ｂと流入口３３とを分離している。
【０００７】
また、出力部シリンダ３８には、シリンダ側面に、開口５０ａおよび５０ｂが設けられ、シリンダ内部には出力用ピストン４２が備えられている。出力用ピストン４２は、出力軸４１とこの出力軸４１に固定された分離壁４０からなり、この分離壁４０によって、出力部シリンダ３８内部が圧力室３９ａおよび３９ｂに分離されている。なお、上記した開口５０ａおよび５０ｂは、それぞれ、圧力室３９ａおよび３９ｂに設けられている。
【０００８】
そして、制御部シリンダ３２と出力部シリンダ３８とは、開口４３ａおよび開口５０ａを繋ぐ流管４６ａ、並びに、開口４３ｂおよび開口５０ｂを繋ぐ流管４６ｂによって接続されている。
【０００９】
次に、制御バルブ３１の動作を説明する。
【００１０】
図６（ｂ）は、制御バルブ３１の動作状態を示す図である。
【００１１】
同図（ｂ）において、制御用ピストン３７を矢印Ａ方向に変位させ、開口４３ａおよび４３ｂを開き、排出口３４ｂを閉じる状態にすると、作動流体Ｌが流入口３３から圧力室３９ｂへと流入する。すると、圧力室３９ａに設けられた開口４３ａが開いた状態（フリー）となる一方、圧力室３９ｂには、その内部を満たす作動流体Ｌを介して、外部圧力源（図示せず）の圧力が加わり、圧力室３９ａと圧力室３９ｂにおいて差圧ｄが発生する。
【００１２】
この結果、出力用ピストン４２は、出力部シリンダ３８の断面積をＳとして、作動流体ＬからＳ×ｄなる力を受け、矢印Ｂ方向に移動する。すなわち、制御用ピストン３７を変位させるためのわずかな力（理想的には０）をもって、出力用ピストン４２にＳ×ｄなる大きな力を与えることができる。
【００１３】
このように、制御バルブ３１は、外部圧力源（図示せず）のエネルギーを利用し、制御用ピストン３７に与えられるわずかな仕事をもって、出力用ピストン４２に大きな仕事をさせる機能をもつ。
【００１４】
次に、上記のような制御バルブ１を用いた駆動システム（以下、便宜上、従来の構成と称する）を説明する。図７は、駆動システム６０の構成を模式的に示している。
【００１５】
制御バルブ３１の外部には、制御用ピストン３７を作動させるアクチュエータ（図示せず）と制御バルブ３１に加圧された流体を供給するアキュムレータ４５とが設置され、流体制御システム５５を構成する。
【００１６】
さらに、流体制御システム５５の外部には、アキュムレータ４５および制御バルブ３１と流管で結ばれた外部圧力源４４が設置され、駆動システム６０を構成する。
【００１７】
ここで、アキュムレータ４５は、外部圧力源４４から流入する加圧された流体を保持するとともに、その流体の圧力変化を調整（緩衝）し、一定の圧力の作動流体Ｌを制御バルブ３１に供給するためのものである。
【００１８】
以下に駆動システム６０における作動流体Ｌの流れを説明する。
【００１９】
まず、外部圧力源４４で昇圧された作動流体Ｌは、制御バルブ３１への供給圧力を一定にするため、流管４８を通って、アキュムレータ４５に入る。そして、アキュムレータ４５により一定の圧力に保たれた作動流体Ｌは、制御バルブ３１に設けられた制御用ピストン３７の変位（開口部４３ａ、４３ｂの開閉）に対応し、流管４９を通って流入口３３に流入する。
【００２０】
なお、制御バルブ３１の内部を通過した作動流体Ｌは、制御部シリンダ３２に設けられた排出口３４ａまたは３４ｂから、流管４７ａまたは４７ｂを通って、外部圧力源４４に帰還する。
【００２１】
【特許文献１】
特開２００２−１０９７６８公報  図１（公開日；２００２年４月１２日）
【００２２】
【非特許文献１】
日本機械学会編「機械工学便覧Ｂ３」、１９８６年８月２０日、ｐ．１４１−１４２
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の構成においては、以下のような課題がある。すなわち、
▲１▼加圧された作動流体が満たされたアキュムレータと制御バルブが別体で構成され、アキュムレータと制御バルブを結ぶ流管も必要であることから、流体制御システム自体が大型化してしまう。
【００２４】
▲２▼制御用ピストンの動き（変位）を応答性よく、出力用ピストンに伝達するためには、制御バルブの流入口を大きくし、アキュムレータと制御バルブを結ぶ流管を太くして、作動流体の流量を十分に確保する必要がある。
【００２５】
しかし、アキュムレータと制御バルブを結ぶ流管を太くすると、流体制御システムの外形寸法が増加してしまう。
【００２６】
また、制御バルブへの流入口を大きくすると、排出口や制御部シリンダの開口も大きくなるため、制御用ピストンのストロークが長くなり、また、制御用ピストンを作動（変位）させるのに大きな力（作動力）が必要となる。すなわち、制御用ピストンを作動させるアクチュエータが大型化せざるをえない。
【００２７】
▲３▼特に駆動システムを形成した場合、アキュムレータと制御バルブとを結ぶ流管や外部圧力源とアキュムレータとを結ぶ流管が長くなると、これら流管の弾性変形等によって、出力用ピストンの駆動が不安定になる。
【００２８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、小型で応答性、駆動安定性に優れ、加えて、小型のアクチュエータで作動可能な流体制御システムを提供する点にある。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体制御システムは、上記課題を解決するために、第１変位部材および第２変位部材を備えた制御室と、この制御室に流体を供給するために、外部から流入する加圧された流体を、その圧力を調整しつつ保持する圧力調整室とを有し、上記第１変位部材が圧力調整室から供給される流体の流入状態を制御することで上記流体の圧力を利用し、第２変位部材を変位させる流体制御システムであって、上記制御室は、上記圧力調整室の内部に設けられていることを特徴としている。
【００３０】
まず、圧力調整室は、外部から流入する加圧された流体を保持するとともに、その流体の圧力変化を調整（緩衝）し、一定の圧力の流体を制御室に供給するためのものである。上記圧力変化の調整（緩衝）部材としては、例えば、シール材を介した圧縮バネ等が用いられる。
【００３１】
すなわち、上記圧力調整室は、上記従来の構成におけるアキュムレータの機能を有するものである。
【００３２】
また、制御室は、第１変位部材を変位させて上記加圧された流体の流入状態、すなわち、制御室への流入および流路を制御することで上記流体の圧力を利用し、第１変位部材を変位させる力より大きな力で第２変位部材を変位（駆動）させるものである。すなわち、制御室は、加圧された流体のエネルギーを利用し、第１変位部材を変位させる小さな仕事をもって、第２変位部に大きな仕事をさせることを可能とするものである。
【００３３】
上記構成によれば、制御室（従来の構成の制御バルブに該当する）が、圧力調整室（アキュムレータ）の内部に設けられていることから、制御バルブとアキュムレータとが完全に別体であった従来の流体制御システムに比較して、流体制御システムの小型化あるいは省スペース化を実現することができる。
【００３４】
また、圧力調整室の内部に制御室を設けた上記構成においては、圧力調整室内を満たす一定の圧力を有する流体（加圧された流体）が直接、上記制御室に流入することになるため、従来の構成と異なり、アキュムレータと制御室とを繋ぐ流管が不要となる。これにより、流体制御システムの小型化あるいは省スペース化を実現することができる。
【００３５】
なお、上記制御室は、上記圧力調整室の内部に設けられていればよいから、例えば、制御室が圧力調整室の内部において当該圧力調整室と一体化されているといった構成をとることもできる。
【００３６】
これにより、制御室を圧力調整室に設けるための支持部材等が不要となるため、圧力調整室の一層の省スペース化あるいは小型化が可能となる。また、従来の構成におけるアキュムレータと制御バルブとが一体化された１つのユニットを構成できるため、流体制御システムを構成する上で、組み立て工程の減少化、低コスト化が可能となる。
【００３７】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、流入口および排出口を備えた第１変位部材としての制御部シリンダと、上記制御部シリンダ内部に設けられ、上記流入口および排出口を分離するための弁体を備えた制御用ピストンと、上記制御部シリンダと連結された出力部シリンダと、上記出力部シリンダ内部を分離する分離壁を備えた第２変位部材としての出力用ピストンとを有することが望ましい。
【００３８】
上記構成によれば、上記制御用ピストンを変位させると、この変位に伴って弁体の位置が移動する。すなわち、流入口が開き、排出口は弁体によって閉じられた状態となる。これにより、圧力調整室内に満たされた加圧された流体が流入口から制御部シリンダに流入し、この制御部シリンダを通過して、出力部シリンダへと流入する。
【００３９】
すると、出力部シリンダ内の分離壁を介して、この分離壁を備える出力用ピストンに流体の圧力が加わり、制御用ピストンを変位させる力より大きな駆動力（理想的には、分離壁の両側の圧力差×分離壁の断面積）が出力用ピストンに発生する。
【００４０】
上記構成においては、アキュムレータに該当する圧力調整室の内部に制御室が設けられていることから、省スペース化が可能であり、また、従来の構成とは異なり、アキュムレータと制御バルブ（制御室）を結ぶ流管が不要であるため、流体制御システムの外形寸法を増加させることなく、制御室の流入口を大きくすることができる。
【００４１】
すなわち、制御用ピストンの変位によって、圧力調整室から制御シリンダを介して出力シリンダへ流入する流体の量（流量）を十分に確保でき、したがって、制御用ピストンの変位（流体の制御シリンダへの流入開始）から分離壁を介して出力用ピストンに流体の圧力が伝わるまでの時間を短縮することができる。
【００４２】
これにより、制御用ピストンの動きを応答性よく出力用ピストンに伝達（出力）することができる。
【００４３】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、１つの補助制御室を有し、この補助制御室は、補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、この第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、この第２ピストンが上記制御用ピストンを変位させるように構成されていることが望ましい。
【００４４】
上記構成によれば、上記第１ピストンが変位すると、これに伴って補助弁体の位置が移動する。これにより、補助流入口が開き、補助排出口は補助弁体によって閉じられた状態となり、圧力調整室内に満たされた加圧された流体が、補助流入口から第１シリンダの内部を通過して、第２シリンダへと流入する。すると、第２シリンダ内の補助分離壁を介して、この補助分離壁を備える第２ピストンに流体の圧力が加わり、第２ピストンが変位（駆動）する。
【００４５】
このとき、第２ピストンは、制御室の制御用ピストンを変位させるように構成（例えば、連結）されているため、第２ピストンに伴い、制御用ピストンも変位する。この結果、十分な流量を確保できる大きさをもつ制御部シリンダの流入口が開き、制御部シリンダを通過して、流体が出力部シリンダに流れ込む。すると、出力部シリンダ内の分離壁を介して、この分離壁を備えた出力用ピストンに流体の圧力が加わり、第１ピストンを変位させる力に比較して、より大きな駆動力が出力用ピストンに発生する。
【００４６】
このように、補助制御室を設置することによって、補助制御室の第１ピストンを変位させる小さな力でもって、制御室の制御用ピストンをより大きな力で変位させることができる。
【００４７】
すなわち、上記構成のように、制御室の流入口を大きくした場合には、排出口や制御部シリンダと出力部シリンダの連結部も大きくなるため、制御用ピストンのストロークが長くなり、また、制御用ピストンを変位させるのに必要な力も大きくなるが、そのような場合にも、補助制御室を用いることで、制御室を作動（制御用ピストンを変位）させるのに必要な力は、第１ピストンを変位させる小さな力で足りることになる。
【００４８】
これにより、制御室の流入口を大きくし、制御室内部を流れる流体の量（流量）を大きくした場合にも、小型のアクチュエータでもって流体制御システムを作動させることができる。
【００４９】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、複数の補助制御室を有し、この補助制御室はそれぞれ、補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、この第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、各補助制御室の第２ピストンは、自身よりも第２シリンダの体積の大きな補助制御室の第１ピストンを変位させるように構成され、しかも、第２シリンダの体積の最も大きな補助制御室の第２ピストンが、上記制御用ピストンを変位させるように構成することもできる。
【００５０】
上記構成によれば、制御室を作動（制御用ピストンを変位）させるためには、第２シリンダの体積の最も小さな補助制御室の第１ピストンを変位させれば足りることになる。
【００５１】
したがって、補助制御室が１つの場合に比較して、より小型のアクチュエータでもって流体制御システムを作動させることができる。
【００５２】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記第１ピストンに磁性体が備えられ、上記圧力調整室の外部に設けられた磁気回路によって、この第１ピストンを変位させることが望ましい。ここで、補助室が複数設けられている場合には、第２シリンダの体積が最も小さな補助制御室に設けられた第１ピストンに磁性体を備え、この第１ピストンを上記磁気回路によって変位させることが好ましい。
【００５３】
上記構成によれば、第１ピストンを変位させるアクチュエータを磁気回路によって構成するため、例えば、圧力調整室内の第１ピストンと圧力調整室外のアクチュエータとを機械的に連結したような構成をとるアクチュエータに比較して、アクチュエータの小型化を実現できる。
【００５４】
また、上記磁気回路は圧力調整室の外部に設けられているため、アクチュエータを圧力調整室内部に設けた場合とは異なり、アクチュエータへの配線等が容易であり、また、圧力調整室内部の流体の流れに悪影響を及ぼすことがない。
【００５５】
また、上記磁気回路は圧力調整室外に設けられているが、いわば磁気力による遠隔操作によって第１ピストンを変位させるものである。したがって、上記したような、圧力調整室の壁面に穴を開け、圧力調整室内の第１ピストンと圧力調整室外のアクチュエータとを機械的に連結したような構成とは異なり、圧力調整室からの流体漏れを懸念することもない。
【００５６】
なお、この構成は、補助制御室の第１ピストンに磁性体が備えるものであるが、上記したような、補助制御室を持たない制御室において、この制御室の制御ピストンに磁性体を備え、圧力調整室の外部に設けられた磁気回路によってこの制御ピストンを変位させるような構成も可能である。
【００５７】
本発明の駆動システムは、上記流体制御システムと外部圧力源とを構成し、この外部圧力源によって、上記流体を加圧することを特徴としている。
【００５８】
上記構成は、圧力調整室にアキュムレータと同様の役割を持たせ、その圧力調整室に、従来の構成の制御バルブに該当する制御室を設けるものである。
【００５９】
したがって、従来の構成とは異なり、アキュムレータと制御バルブを結ぶ流管が不要であり、また、外部圧力源と制御室（制御バルブ）を結ぶ流管も短くできることから、駆動させる必要のある部分（出力用ピストン）が装置内の任意の箇所にあっても、細く短い配管で作用素子（流体制御システム）と外部圧力源とをつなげることができる（駆動システムの小型化）。この結果、上記駆動システムを構成する際に設計の自由度が増加する。
【００６０】
また、設計の自由度が増えると外部圧力源と圧力調整室（アキュムレータ）を結ぶ流管も短くなるように設計でき、さらに上記したようにアキュムレータと制御バルブを結ぶ流管が不要となることから、これら流管の弾性変形等によって、出力用ピストンの駆動が不安定になるおそれが減少し、安定的駆動を実現できる。
【００６１】
また、外部圧力源と圧力調整室（アキュムレータ）を結ぶ流管が短くできることから、駆動システムにおける流体の循環が速くなり、制御用ピストンの応答性が向上する。
【００６２】
また、上記外部圧力源は、冷却用にも用いることができることが望ましい。
【００６３】
上記構成のように、上記外部圧力源を、流体循環用外部圧力源および冷却用流外部圧力源として利用することで、駆動システムが用いられる装置全体の小型化と低コスト化を実現することができる。
【００６４】
なお、本発明として上記した各構成は、必要に応じて任意に組み合わせてもよい。
【００６５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態について図１〜図７に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００６６】
図１（ａ）〜（ｃ）に、本実施の形態の駆動システムの概略構成を示す。ここで、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＸ−Ｘ断面を同図中の矢印方向からみた断面図である。
【００６７】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明の駆動システム３０は、外部圧力源１５、流体制御システム２５、流管１８を備えている。
【００６８】
そして、流体制御システム２５は、ハウジング２１（圧力調整室）、磁気回路２４を備えている。
【００６９】
磁気回路２４はハウジング２１の上部に設置されている。また、流管１８は、外部圧力源１５とハウジング２１とを接続しており、その内径断面積は、後述する制御バルブ１の流入口３の断面積に比べて小さくなっている。
【００７０】
ハウジング２１には、内壁２１ａに、制御バルブ１（制御室）、シール材１９、圧縮バネ２０が備えられ、また内部空間２１ｂに、例えば水や油等の作動流体Ｌが満たされている。この内部空間２１ｂを満たす作動流体Ｌは、外部圧力源１５から供給されており、内部空間２１ｂにおいて、所定の圧力をもった（加圧された）状態にある。
【００７１】
これにより、外部圧力源１５の圧力は、作動流体Ｌを介して、内部空間２１ｂに伝えられ、出力用ピストン１２の仕事に利用されることになる。
【００７２】
さらに、この作動流体Ｌには、シール材１９を介して圧縮バネ２０により、予圧がかけられるように構成されている。
【００７３】
これにより、外部圧力源１５の圧力（エネルギー）が変化した場合でも、その変化分は、圧縮バネ２０のポテンシャルエネルギーとして蓄えられ（圧力増加の場合）、あるいは圧縮バネ２０のポテンシャルエネルギーに補われる（圧力減少の場合）ため、内部空間２１ｂ内の作動流体Ｌの圧力は、外部圧力源１５の変化にかかわらず、ほぼ一定に保たれる。
【００７４】
すなわち、本実施の形態のハウジング２１（内部空間２１ｂ）は、圧力調整装置として、従来の構成（図７参照）における、外部圧力源４４から制御バルブ３１へ向かう流路に設けられたアキュムレータ４５の役割をしているといえる。
【００７５】
以下に、制御バルブ１について説明する。
【００７６】
図１（ａ）に示すように、制御バルブ１には、制御部シリンダ２と出力部シリンダ８とが備えられ、出力部シリンダ８を介して、ハウジング内壁２１ａと制御バルブ１とが一体形成（固定）されている。
【００７７】
制御部シリンダ２には、シリンダ側面に流入口３、開口１３ａおよび１３ｂ、シリンダ下面（ハウジング２１の下面）に排出口４ａおよび４ｂが設けられ、シリンダ内部に、制御用ピストン７（第１変位部材）が備えられている。制御用ピストン７は、制御軸６と、この制御軸６に一定間隔をおいて固定され、磁性体を有する弁体５ａおよび５ｂからなる。ここで、弁体５ａは、排出口４ａと流入口３とを分離し、弁体５ｂは、排出口４ｂと流入口３とを分離している。
【００７８】
また、制御部シリンダ２は、開口１３ａおよび開口１４ａを繋ぐ流管１６ａ、並びに、開口１３ｂおよび開口１４ｂを繋ぐ流管１６ｂによって出力部シリンダ８に連結している。
【００７９】
この出力部シリンダ８には、シリンダ側面に開口１４ａおよび１４ｂが設けられ、シリンダ内部に圧力室９ａおよび９ｂを分離するための分離壁１０が備えられている。出力用ピストン１２（第２変位部材）は、この分離壁１０と、この分離壁１０を固定する出力軸１１からなる。なお、上記した開口１４ａおよび１４ｂは、それぞれ、圧力室９ａおよび９ｂに設けられている。
【００８０】
ここで、排出口４ａ、４ｂは、ハウジング２１の下面に配置されており、ハウジング内部空間２１ｂの容積を減らさない構造となっている。
【００８１】
以下に、磁気回路２４について説明する。
【００８２】
磁気回路２４は、上記のように、ハウジング２１の上部に設けられ、ヨーク２３とコイル２２ａおよび２２ｂを備えている。このコイル２２ａおよび２２ｂは、図１（ｂ）に示すように、制御バルブ１の弁体５ａおよび５ｂに磁気影響を与えることができる位置に設置されている。
【００８３】
磁気回路２４は、制御用ピストン７に作動力を与え、これを変位させるアクチュエータの役割をもつ。
【００８４】
図２（ａ）、（ｂ）は、図１の磁気回路２４周辺の拡大図である。図２（ａ）は、制御用ピストン７が中央位置にある状態を示している。
【００８５】
この状態において、コイル２２ａを非通電とし、コイル２２ｂに通電した直後の磁力線が、図２（ａ）の環状矢印である。コイル２２ｂへの通電によって発生した上記磁力線は、磁路の一部にあって磁性体を有する弁体５ｂに磁力（変位力）を及ぼす。これにより、制御用ピストン７は、磁気的に安定な状態になるよう、図２（ｂ）に示す位置に変位することになり、排出口４ｂが閉じられる。
【００８６】
なお、排出口４ａを閉じるため制御用ピストン７を反対に変位させる場合には、コイル２２ａに通電し、コイル２２ｂには通電しないようにする。
【００８７】
次に、本実施の形態に係る駆動システム３０の動作原理を説明する。
【００８８】
図２（ａ）において、上記コイル２２ａを非通電し、コイル２２ｂを通電にすると、制御用ピストン７が有する磁気体が、磁力（変位力）を受け、制御用ピストン７は矢印Ｃ方向に変位する。これにより、図１（ｃ）に示すように、開口１３ａおよび１３ｂは開き、排出口４ｂは閉じた状態になるため、加圧された作動流体Ｌは流入口３から圧力室９ｂへと流入する。
【００８９】
すると、圧力室９ａに設けられた開口１３ａが開いた状態となり、圧力室９ａに存在する作動流体Ｌは排出口４ａから排出される一方、圧力室９ｂには、その内部を満たす作動流体Ｌを介して、外部圧力源（図示せず）からの圧力が加わり、圧力室９ａと圧力室９ｂ（分離壁１０の両端）において差圧ｄが発生する。
【００９０】
この結果、出力用ピストン１２は、出力部シリンダ８の断面積をＳとして、作動流体ＬからＳ×ｄなる力を受け、矢印Ｄ方向に駆動できる。すなわち、制御用ピストン７を変位させるためのわずかな力（磁気回路２４によるわずかな磁力）をもって、出力用ピストン１２にＳ×ｄなる大きな駆動力を与えることができる。
【００９１】
このように、制御バルブ１は、外部圧力源１５のエネルギーを利用し、制御用ピストン７に与えられるわずかな仕事をもって、出力用ピストン１２に大きな仕事をさせる機能をもつ。
【００９２】
以下に、駆動システム３０全体の作動流体Ｌの流れを図１（ａ）を用いて説明する。
【００９３】
まず、外部圧力源１５で昇圧された作動流体Ｌは、流管１８を通って、ハウジング２１の内部２１ｂに流入する。ハウジング内部２１ｂには、シール材１９を介して圧縮バネ２０によって与圧がかけられており、流入した作動流体Ｌの圧力が調整される。
【００９４】
ここで、ハウジング内部２１ｂの作動流体Ｌは、制御バルブ１に設けられた制御用ピストン７の変位（流入口３の開閉）に対応して、直接流入口３から制御部シリンダ２内に流入し、流管１６ａまたは１６ｂを通過して、出力部シリンダ８に入る。
【００９５】
そして、制御バルブ１の内部を通過した作動流体Ｌは、制御部シリンダ２に設けられた排出口４ａまたは４ｂから、外部の流管（図示せず）を通って、外部圧力源１５に帰還する。
【００９６】
このように、本実施の形態においては、ハウジング２１は、アキュムレータ４５（図７参照）と同様の役割をもち、そのハウジング２１の内部に制御部シリンダ２および出力部シリンダ８が、上記ハウジングと一体形成されているため、流体制御システム２５の大幅な小型化、省スペース化が可能である。
【００９７】
また、従来の構成とは異なり、アキュムレータ４５と制御バルブ１を結ぶ流管４９（図７参照）が不要であるため、流体制御システム２５の外形寸法を増加させることなく、制御バルブ１（制御部シリンダ２）への流入口３を大きくすることができる。
【００９８】
したがって、出力シリンダ８への作動流体Ｌの流量を十分に確保でき、したがって、制御用ピストン７の変位（作動流体Ｌの制御シリンダ２への流入開始）から作動流体Ｌが分離壁１０を介して出力用ピストン１２に圧力を加えるまでの時間を短縮することができる。
【００９９】
これにより、制御用ピストン７の動きを応答性よく出力用ピストン１２に伝達することができる。
【０１００】
また、制御用ピストン７を変位させるアクチュエータを磁気回路２４によって構成するため、小型のアクチュエータを実現できる。
【０１０１】
また、上記磁気回路２４はハウジング２１の外部に設けられているため、アクチュエータをハウジング２１内部に設けた場合とは異なり、アクチュエータへの配線等が容易であり、また、ハウジング２１内部の作動流体Ｌの流れに悪影響を及ぼすことがない。
【０１０２】
なお、上記磁気回路２４はハウジング２１外に設けられているが、磁気力によって制御用ピストン７を変位させるものであって、ハウジング２１内の制御用ピストン７とハウジング２１外のアクチュエータとを機械的に連結したような構成ではないことから、アクチュエータの動作によってハウジング２１内の流体が外部に漏れてしまう等のおそれもない。
【０１０３】
本実施の形態は、上記のように、アキュムレータ４５と制御バルブ１を結ぶ流管が不要であり、また、外部圧力源１５と制御バルブ１を結ぶ流管（図示せず）も短くできることから、駆動させる必要のある部分（出力用ピストン１２）が装置内の任意の箇所にあっても、細く短い配管で流体制御システム２５（作用素子）と外部圧力源１５とをつなげることができる（駆動システム３０の小型化）。この結果、設計の自由度が増える。
【０１０４】
また、設計の自由度が増えると、外部圧力源１５と制御バルブ１を結ぶ流管１８も短くなるように設計できる。これにより、これら流管の弾性変形等によって、出力用ピストン１２の駆動が不安定になるおそれを回避できる。
【０１０５】
本実施の形態においては、制御用ピストン７をより大きな力をもって変位させるために、ハウジング２１の内部に補助制御バルブ１０１を設置してもよい。
【０１０６】
ここで、図３（ａ）、（ｂ）に、補助制御バルブ１０１を用いた制御バルブ１を用いた流体制御システム２５の概略構成を示す。また、図４（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）、（ｂ）に示す流体制御システム２５に用いられている制御バルブ１の構成および動作を説明する図である。
【０１０７】
図４（ａ）に示すように、補助制御バルブ１０１は、第１シリンダ１０２と第２シリンダ１０８とを備え、ハウジング内壁２１ａと一体成形された制御バルブ１に固定されている。
【０１０８】
第１シリンダ１０２は、シリンダ側面に流入口１０３（補助流入口）、開口１１３ａおよび１１３ｂ、シリンダ下面（ハウジング２１の下面）に排出口１０４ａおよび１０４ｂ（補助排出口）が設けられ（図３（ｂ）参照）、シリンダ内部に、第１ピストン１０７が備えられている。第１ピストン１０７は、制御軸１０６と、この制御軸１０６に一定間隔をおいて固定され、磁性体を有する弁体１０５ａおよび１０５ｂ（補助弁体）からなる。ここで、弁体１０５ａは、排出口１０４ａと流入口１０３とを分離し、弁体１０５ｂは、排出口１０４ｂと流入口１０３とを分離している。
【０１０９】
また、第２シリンダ１０８は、シリンダ側面に開口１１４ａおよび１１４ｂが設けられ、シリンダ内部に第２ピストン１１２が備えられている。ここで、制御用ピストン７を変位させる力は、出力用ピストン１２の駆動のために必要とされる力と比較して十分小さいことから、第２シリンダ１０８の体積は、制御バルブ１の出力シリンダ８の体積に比べて小さく設計されている。
【０１１０】
第２ピストン１１２は、出力軸１１１およびこの出力軸１１１に固定された分離壁１１０（補助分離壁）からなり、この分離壁１１０によって、第２シリンダ１０８の内部が圧力室１０９ａおよび１０９ｂに分離されている。なお、上記した開口１１４ａおよび１１４ｂは、それぞれ、圧力室１０９ａおよび１０９ｂに設けられている。
【０１１１】
そして、第１シリンダ１０２と第２シリンダ１０８とは、開口１１３ａおよび開口１１４ａを繋ぐ流管１１６ａ、並びに、開口１１３ｂおよび開口１１４ｂを繋ぐ流管１１６ｂによって接続されている。
【０１１２】
さらに、補助制御バルブ１０１の第２ピストン１１２は、制御バルブ１の制御用ピストン７と連結されている。
【０１１３】
なお、ハウジング２１の上部には、図３（ｂ）のように、第１ピストン１０７に設けられた弁体１０５ａ、１０５ｂを変位させるため、磁気回路１２４ａが設置されている。
【０１１４】
この磁気回路１２４ａは、コイル１２２ａ、１２２ｂ、ヨーク１２３からなる。磁気回路１２４によって、第１ピストン１０７を変位させる原理は、図２（ａ）、（ｂ）で示した、磁気回路２４によって、制御用ピストン７を変位させる原理と同様である。
【０１１５】
次に、補助制御バルブ１０１を繋いだ制御バルブ１を用いた上記流体制御システム２５の動作を説明する。
【０１１６】
図４（ａ）においては、制御用ピストン７および第１ピストン１０７がシリンダ中央に位置している。この状態においては、第１シリンダ１０２の開口１１３ａ、１１３ｂおよび制御部シリンダの開口１１３ａ、１１３ｂがともに閉じ、第２ピストン１１２は停止している。
【０１１７】
ここで、図４（ａ）において、コイル１２２ａを通電し、コイル１２２ｂを非通電にすると（図３（ｂ）参照）、第１ピストン１０７が有する磁気体が、磁力（変位力）を受け、第１ピストン１０７は矢印Ｃ方向に変位する。
【０１１８】
ここで、第１ピストン１０７が矢印Ｃ方向にわずかに変位したときの作動流体Ｌの流れと各ピストンの動きを表したものが図４（ｂ）である。
【０１１９】
流入口１０３から流入した作動流体Ｌは第１ピストン１０７の矢印Ｃ方向の変位によって開いた、開口１０３に比べて小さい開口１１３ａから補助制御バルブ１０１の圧力室１０９ａに入り第２ピストン１１２を矢印Ｃとは反対側に動かし、圧力室１０９ｂの作動流体Ｌを排出口１０４ｂから排出する。
【０１２０】
このとき、制御バルブ１の制御用ピストン７は、第２ピストン１１２と連結されており、第２ピストン１１２と共に変位する。この結果、十分な流量を確保できる大きさをもつ流入口３と、開口１３ａ、１３ｂを開き、作動流体Ｌが圧力室９ｂに流れ込む。これによって、出力用ピストン１２は矢印Ｄの方向に変位し、これに伴い、圧力室９ａ内の作動流体Ｌは、排出口４ａから排出されることになる。
【０１２１】
このように、補助制御バルブ１０１を設置することによって、第１ピストン１０７に加える磁気回路１２４の小さな磁気力でもって、制御バルブ１の制御用ピストン７を大きな力で変位させることができる。
【０１２２】
すなわち、本実施の形態のように、制御バルブ１の流入口３を大きくした場合には、制御用ピストン１２のストロークが長くなり、また、制御用ピストン７を変位させるのに必要な力も大きくなるが、そのような場合にも、補助制御バルブ１０１を直列に繋ぐことで、制御バルブ１に与えるべき力は、第１ピストン１０７に加える小さな磁気力で足りることになる。
【０１２３】
これにより、制御バルブ１の流量を大きくした場合にも、小型のアクチュエータ（磁気回路１２４）でもって流体制御システム２５を作動させることができる。
【０１２４】
なお、本実施の形態においては、補助制御バルブ１を一つ用いた場合について説明しているが、これに限定されず、補助制御バルブ１は複数でも良い。
【０１２５】
補助制御バルブ１が複数である場合には、各補助制御バルブ１の第２ピストン１１２は、自身よりも第２シリンダ１０８の体積の大きな補助制御バルブ１０１に備えられた第１ピストン１０７を変位させるように構成され、しかも、第２シリンダ１０８の体積の最も大きな補助制御バルブ１０１の第２ピストン１１２が、上記制御用ピストン７を変位させるように構成すればよい。
【０１２６】
これによって、より小さな力、すなわち、より小さなアクチュエータでもって、流体制御システム２５を作動させることができる。
【０１２７】
次に、駆動システム３０を構成する際の接続例を説明する。
【０１２８】
図５は、本実施の形態の駆動システム３０の外部圧力源１５として、冷却回路で使用している流体循環用の外部圧力源１５を使用している場合を示す説明図である。
【０１２９】
外部圧力源１５から出た冷却用の作動流体Ｌは発熱部２６へ向かう経路Ｅを通り、発熱部２６で熱を受け取り、熱交換器２７で放熱して外部圧力源１５へ戻ってくる。ここで、ハウジング２１を有する流体制御システム２５を、発熱部２６、熱交換器２７に対して並列になるように回路を形成すると、流体制御システム２５の作動流体Ｌを冷却用作動流体として作用させることができる。
【０１３０】
これにより、別途外部圧力源を設ける必要がなく、駆動システム３０が用いられる装置全体の小型化と低コスト化を実現することができる。
【０１３１】
【発明の効果】
本発明の流体制御システムは、以上のように、第１変位部材および第２変位部材を備えた制御室と、この制御室に流体を供給するために、外部から流入する加圧された流体を、その圧力を調整しつつ保持する圧力調整室とを有し、上記第１変位部材が圧力調整室から供給される流体の流入状態を制御することで上記流体の圧力を利用し、第２変位部材を変位させる流体制御システムであって、上記制御室は、上記圧力調整室の内部に設けられていることを特徴としている。
【０１３２】
上記構成によれば、制御室（従来の構成の制御バルブに該当する）が、圧力調整室（アキュムレータ）の内部に設けられていることから、制御バルブとアキュムレータとが完全に別体であった従来の流体制御システムに比較して、流体制御システムの小型化あるいは省スペース化を実現することができる。
【０１３３】
また、圧力調整室の内部に制御室を設けた上記構成においては、圧力調整室内を満たす一定の圧力を有する流体（加圧された流体）が直接、上記制御室に流入することになるため、従来の構成と異なり、アキュムレータと制御室とを繋ぐ流管が不要となる。これにより、流体制御システムの小型化あるいは省スペース化を実現することができる。
【０１３４】
なお、上記制御室は、上記圧力調整室の内部に設けられていればよいから、例えば、制御室が圧力調整室の内部において当該圧力調整室と一体化されているといった構成をとることもできる。
【０１３５】
これにより、制御室を圧力調整室に設けるための支持部材等が不要となるため、圧力調整室の一層の省スペース化あるいは小型化が可能となる。また、従来の構成におけるアキュムレータと制御バルブとが完全に一体になった１つのユニットが構成できるため、流体制御システムを構成する上で、組み立て工程の減少化、低コスト化が可能となる。
【０１３６】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、流入口および排出口を備えた第１変位部材としての制御部シリンダと、上記制御部シリンダ内部に設けられ、上記流入口および排出口を分離するための弁体を備えた制御用ピストンと、上記制御部シリンダと連結された出力部シリンダと、上記出力部シリンダ内部を分離する分離壁を備えた第２変位部材としての出力用ピストンとを有することが望ましい。
【０１３７】
上記構成によれば、アキュムレータに該当する圧力調整室の内部に制御室が設けられていることから、省スペース化が可能であり、また、従来の構成とは異なり、アキュムレータと制御バルブ（制御室）を結ぶ流管が不要であるため、流体制御システムの外形寸法を増加させることなく、制御室の流入口を大きくすることができる。
【０１３８】
それゆえ、制御用ピストンの変位によって、圧力調整室から制御シリンダを介して出力シリンダへ流入する流体の量（流量）を十分に確保でき、したがって、制御用ピストンの変位（流体の制御シリンダへの流入開始）から分離壁を介して出力用ピストンに流体の圧力が伝わるまでの時間を短縮することができる。
【０１３９】
これにより、制御用ピストンの動きを応答性よく出力用ピストンに伝達（出力）することができる。
【０１４０】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、１つの補助制御室を有し、この補助制御室は、補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、この第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、この第２ピストンが上記制御用ピストンを変位させるように構成されていることが望ましい。
【０１４１】
上記構成によれば、補助制御室を設置することによって、補助制御室の第１ピストンを変位させる小さな力でもって、制御室の制御用ピストンをより大きな力で変位させることができる。
【０１４２】
それゆえ、上記構成のように、制御室の流入口を大きくした場合には、排出口や制御部シリンダと出力部シリンダの連結部も大きくなるため、制御用ピストンのストロークが長くなり、また、制御用ピストンを変位させるのに必要な力も大きくなるが、そのような場合にも、補助制御室を用いることで、制御室を作動（制御用ピストンを変位）させるのに必要な力は、第１ピストンを変位させる小さな力で足りることになる。
【０１４３】
これにより、制御室の流入口を大きくし、制御室内部を流れる流体の量（流量）を大きくした場合にも、小型のアクチュエータでもって流体制御システムを作動させることができる。
【０１４４】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記制御室は、複数の補助制御室を有し、この補助制御室はそれぞれ、補助流入口および補助排出口を備えた第１シリンダと、この第１シリンダ内部に設けられ、上記補助流入口と補助排出口とを分離する補助弁体を備えた第１ピストンと、上記第１シリンダに連結され、上記出力部シリンダより体積の小さな第２シリンダと、この第２シリンダ内部を分離する補助分離壁を備えた第２ピストンとを有し、各補助制御室の第２ピストンは、自身よりも第２シリンダの体積の大きな補助制御室の第１ピストンを変位させるように構成され、しかも、第２シリンダの体積の最も大きな補助制御室の第２ピストンが、上記制御用ピストンを変位させるように構成することもできる。
【０１４５】
上記構成によれば、制御室を作動（制御用ピストンを変位）させるためには、第２シリンダの体積の最も小さな補助制御室の第１ピストンを変位させれば足りることになる。
【０１４６】
したがって、補助制御室が１つの場合に比較して、より小型のアクチュエータでもって流体制御システムを作動させることができる。
【０１４７】
また、本発明の流体制御システムにおいては、上記補助制御室の第１ピストンに磁性体が備えられ、上記圧力調整室の外部に設けられた磁気回路によって、この第１ピストンを変位させることが望ましい。ここで、補助室が複数設けられている場合には、第２シリンダの体積が最も小さな補助制御室に設けられた第１ピストンに磁性体を備え、この第１ピストンを上記磁気回路によって変位させることが好ましい。
【０１４８】
上記構成によれば、第１ピストンを変位させるアクチュエータを磁気回路によって構成するため、例えば、圧力調整室内の第１ピストンと圧力調整室外のアクチュエータとを機械的に連結したような構成をとるアクチュエータに比較して、アクチュエータの小型化を実現できる。
【０１４９】
また、上記磁気回路は圧力調整室の外部に設けられているため、アクチュエータを圧力調整室内部に設けた場合とは異なり、アクチュエータへの配線等が容易であり、また、圧力調整室内部の流体の流れに悪影響を及ぼすことがない。
【０１５０】
また、上記磁気回路は圧力調整室外に設けられているが、いわば磁気力による遠隔操作によって第１ピストンを変位させるものである。したがって、上記したような、圧力調整室の壁面に穴を開け、圧力調整室内の第１ピストンと圧力調整室外のアクチュエータとを機械的に連結したような構成とは異なり、圧力調整室内の流体漏れを懸念することもない。
【０１５１】
なお、この構成は、補助制御室の第１ピストンに磁性体が備えるものであるが、上記したような、補助制御室を持たない制御室において、この制御室の制御ピストンに磁性体を備え、圧力調整室の外部に設けられた磁気回路によってこの制御ピストンを変位させるような構成も可能である。
【０１５２】
本発明の駆動システムは、上記流体制御システムと外部圧力源とを構成し、この外部圧力源によって、上記流体を加圧することを特徴としている。
【０１５３】
それゆえ、従来の構成とは異なり、アキュムレータと制御バルブを結ぶ流管が不要であり、また、外部圧力源と制御室（制御バルブ）を結ぶ流管も短くできることから、駆動させる必要のある部分（出力用ピストン）が装置内の任意の箇所にあっても、細く短い配管で作用素子（流体制御システム）と外部圧力源とをつなげることができる（駆動システムの小型化）。この結果、上記駆動システムを構成する際に設計の自由度が増加する。
【０１５４】
また、設計の自由度が増えると外部圧力源と圧力調整室（アキュムレータ）を結ぶ流管も短くなるように設計でき、さらに上記したようにアキュムレータと制御バルブを結ぶ流管が不要となることから、これら流管の弾性変形等によって、出力用ピストンの駆動が不安定になるおそれが減少し、安定的駆動を実現できる。
【０１５５】
また、外部圧力源と圧力調整室（アキュムレータ）を結ぶ流管が短くできることから、駆動システムにおける流体の循環が速くなり、制御用ピストンの応答性が向上する。
【０１５６】
また、上記外部圧力源は、冷却用にも用いることができることが望ましい。
【０１５７】
上記構成のように、上記外部圧力源を、流体循環用外部圧力源および冷却用流外部圧力源として利用することで、駆動システムが用いられる装置全体の小型化と低コスト化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施の一形態に係る駆動システムの概略構成を上面方向から示す図である。図１（ｂ）は、上記駆動システム用いられる流体制御システムの一部を、図１（ａ）のＸ−Ｘ矢視断面として示す図である。図１（ｃ）は、上記流体制御システムに用いられる制御バルブの動作を模式的に説明する図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は上記流体制御システムに用いられる制御用ピストンを駆動するアクチュエータを説明する図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の実施の他の形態に係る流体制御システムの概略構成を示す図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す流体制御システムを図３（ａ）のＹ−Ｙ矢視断面として示す図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）で示す流体制御システムに用いられる制御バルブを模式的に説明する図である。
【図５】図５は、本発明の実施の一形態に係る駆動システムの接続例を示す図である。
【図６】図６は、従来の制御バルブの説明図である。
【図７】図７は、従来の駆動システムの接続例を示す図である。
【符号の説明】
１  制御バルブ（制御室）
２  制御部シリンダ
３  流入口
４ａ、４ｂ  排出口
５ａ、５ｂ  弁体
６  制御軸
７  制御用ピストン（第１変位部材）
８  出力部シリンダ
９ａ、９ｂ  圧力室
１０  分離壁
１１  出力軸
１２  出力用ピストン（第２変位部材）
１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ  開口
１５  外部圧力源
１６ａ、１６ｂ、１８  流管
１９  シール材
２０  圧縮バネ
２１  ハウジング（圧力調整室）
２２  コイル
２３  ヨーク
２４  磁気回路
２５、５５  流体制御システム
２６  発熱部
２７  熱交換器
３０、６０  駆動システム
４４  外部圧力源
４５  アキュムレータ
１０１  補助制御バルブ（補助制御室）
１０２  第１シリンダ
１０３  流入口（補助流入口）
１０４ａ、１０４ｂ  排出口（補助排出口）
１０５ａ、１０５ｂ  弁体（補助弁体）
１０７  第１ピストン
１０８  第２シリンダ
１１０  分離壁（補助分離壁）
１１２  第２ピストン
１２４  磁気回路
Ｌ  作動流体
【図１】
2004263809.tif 000003
【図２】
2004263809.tif 000004
【図３】
2004263809.tif 000005
【図４】
2004263809.tif 000006
【図５】
2004263809.tif 000007
【図６】
2004263809.tif 000008
【図７】
2004263809.tif 000009