(57)【要約】【課題】熱処理による反り及び画像ムラを低減することのできる放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。【解決手段】放射線画像変換パネルは、支持体１１と、該支持体１１上に気相堆積法により形成された蛍光体層１２とを備えている。支持体１１は、炭素繊維１７a、１７bが一方向に配されて耐熱性樹脂が含侵されてなる炭素繊維強化樹脂シート１６a、１６bが、該炭素繊維強化樹脂シート１６a、１６b中の炭素繊維１７a、１７bが複数の方向を向くように複数積層されてなるものである。そして、全ての炭素繊維強化樹脂シート１６a、１６b中の炭素繊維１７a、１７bのうちの、６０％以上の炭素繊維１７a、１７bが同じ方向を向くように積層する。【選択図】図４
2004219416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、該支持体上に気相堆積法により形成された輝尽性蛍光体層とを備えた放射線画像変換パネルであって、
前記支持体は、炭素繊維が一方向に配されて耐熱性樹脂が含侵されてなる炭素繊維強化樹脂シートが、該炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が複数の方向を向くように複数積層されてなり、
全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向くことを特徴とする放射線画像変換パネル。
【請求項２】
請求項１に記載の放射線画像変換パネルにおいて、
前記支持体は、前記炭素繊維が異なる二方向を向くように前記炭素繊維強化樹脂シートが複数積層されてなり、
前記６０％以上の炭素繊維は、前記異なる二方向のうちの一方向を向くことを特徴とする放射線画像変換パネル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の放射線画像変換パネルにおいて、
前記輝尽性蛍光体層の少なくとも一層が下記一般式（１）で表されるハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を含有することを特徴とする放射線画像変換パネル。
一般式（１）
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ'2・ｂＭ3Ｘ"3：ｅＡ
［式中、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子であり、Ｍ2はＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉの各原子から選ばれる少なくとも１種の二価金属原子であり、Ｍ3はＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎの各原子から選ばれる少なくとも１種の三価金属原子であり、Ｘ、Ｘ'、Ｘ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子であり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であり、また、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦ｂ＜０．５、０＜ｅ≦０．２の範囲の数値を表す。］
【請求項４】
真空容器と、該真空容器内に設けられて、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、前記支持体を支持するとともに前記蒸発源に対して水平方向に移動させることによって該蒸発源からの輝尽性蛍光体を蒸着させる支持体搬送機構と、前記蒸発源と前記支持体との間に設けられて、前記支持体の搬送方向に対して直交するようにスリットが形成された防着板とを備えた蒸着装置を使用して、請求項１〜３のいずれか一項に記載の放射線画像変換パネルを製造する放射線画像変換パネルの製造方法であって、
前記６０％以上の炭素繊維の向きが、前記搬送方向と直交するように、前記支持体を前記支持体搬送機構により支持させるとともに移動させることによって、前記蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記スリットを介して前記支持体上に蒸着させて、輝尽性蛍光体層を形成することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蒸発源は、抵抗加熱法により加熱されるものであることを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体と、該支持体上に気相堆積法により形成された輝尽性蛍光体層とを備えた放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、放射線画像を得るために銀塩を使用した、いわゆる放射線写真法が利用されているが、銀塩を使用しないで放射線像を画像化する方法が開発されている。すなわち、被写体を透過した放射線を輝尽性蛍光体に吸収させ、その後、この輝尽性蛍光体をある種のエネルギーで励起してこの輝尽性蛍光体が蓄積している放射線エネルギーを輝尽性蛍光体として放射させ、この蛍光を検出して画像化する方法が開示されている。
具体的な方法としては、支持体上に輝尽性蛍光体層を設けたパネルを用い、励起エネルギーとして可視光線及び赤外線の一方又は両方を用いる放射線画像変換方法が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、近年、高輝度、高感度、高鮮鋭性の輝尽性蛍光体を用いた放射像変換方法として、ＣｓＢｒなどのハロゲン化アルカリを母体にＥｕを賦活した輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルが提案されている。特にＥｕを賦活剤とすることで、従来不可能であったＸ線変換効率の向上が可能になるとされている。
【０００４】
一方、このような輝尽性蛍光体層が形成される支持体の材質としては、例えば特許文献２に開示されているように高分子樹脂、セラミック、ガラス、金属等が使用されている。高分子樹脂は、一般に加工性が良く、放射線吸収性が低く透過率が高いので好ましいが、反面、機械的強度が弱く、耐熱性にも優れない。セラミックやガラス、金属は、耐熱性については十分であるが、放射線吸収性が高く透過率が低いので、パネルとして使用した場合に感度が低下するという問題があった。特に、上述した輝尽性蛍光体層は、支持体上に蒸着法等の気相堆積法により形成するので、支持体としてガラスを使用すると、非常に高い温度条件下でないと輝尽性蛍光体を蒸着させることができず、生産効率が低下するという問題があった。
そこで、本発明者等は、耐熱性樹脂を炭素繊維に含侵させた炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）を支持体として使用することが、上述した問題点を解決するのに有利であると見いだした。
【特許文献１】米国特許第３，８５９，５２７号明細書
【特許文献２】特許第２８９９８１２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記支持体は、炭素繊維が一方向に配されてなり、エポキシ樹脂等の耐熱性樹脂が含侵された炭素繊維強化樹脂シートが複数積層され、これら複数の炭素繊維強化樹脂シートを加熱、加圧することによって硬化させたものであり、また、複数の炭素繊維強化樹脂シートは、前記炭素繊維の向きが一方向に揃うように積層されている。
したがって、このような支持体上に、蒸着法により輝尽性蛍光体を蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成した場合、ＣｓＢｒ等からなる輝尽性蛍光体層は熱膨張係数が大きく、しかも、炭素繊維強化樹脂シートからなる支持体には蒸着時における残留応力が残存することから、支持体上に輝尽性蛍光体層を形成したパネルは、支持体中の炭素繊維の向きに沿って反るという問題が生じ、また、これが原因で画像ムラとなることがあった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、熱処理による反り及び画像ムラを低減することのできる放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、支持体と、該支持体上に気相堆積法により形成された輝尽性蛍光体層とを備えた放射線画像変換パネルであって、
前記支持体は、炭素繊維が一方向に配されて耐熱性樹脂が含侵されてなる炭素繊維強化樹脂シートが、該炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が複数の方向を向くように複数積層されてなり、
全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向くことを特徴とする。
【０００８】
請求項１の発明によれば、全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向くように積層されているので、気相堆積法により支持体上に輝尽性蛍光体層を形成する際の熱等の影響により、支持体は、前記６０％以上の炭素繊維が向く方向に反りやすくなる。したがって、支持体が反る方向と直交する方向に支持体を搬送させながら、支持体上に輝尽性蛍光体を蒸着させることによって、蒸着時に残存する残留応力と、反り方向とを直交させることで、これら応力を互いに相殺することができる。これにより、支持体と輝尽性蛍光体層とを備えたパネルの反りを低減することができる。また、これに伴って画像ムラも低減することができる。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載の放射線画像変換パネルにおいて、
前記支持体は、前記炭素繊維が異なる二方向を向くように前記炭素繊維強化樹脂シートが複数積層されてなり、
前記６０％以上の炭素繊維は、前記異なる二方向のうちの一方向を向くことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明によれば、支持体は、炭素繊維が異なる二方向を向くように炭素繊維強化樹脂シートが複数積層されてなるので、簡単な構造とすることができ製造面において優れる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の放射線画像変換パネルにおいて、
前記輝尽性蛍光体層の少なくとも一層が下記一般式（１）で表されるハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を含有することを特徴とする。
一般式（１）
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ'2・ｂＭ3Ｘ"3：ｅＡ
［式中、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子であり、Ｍ2はＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉの各原子から選ばれる少なくとも１種の二価金属原子であり、Ｍ3はＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎの各原子から選ばれる少なくとも１種の三価金属原子であり、Ｘ、Ｘ'、Ｘ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子であり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であり、また、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦ｂ＜０．５、０＜ｅ≦０．２の範囲の数値を表す。］
【００１２】
請求項４の発明は、真空容器と、該真空容器内に設けられて、支持体に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源と、前記支持体を支持するとともに前記蒸発源に対して水平方向に移動させることによって該蒸発源からの輝尽性蛍光体を蒸着させる支持体搬送機構と、前記蒸発源と前記支持体との間に設けられて、前記支持体の搬送方向に対して直交するようにスリットが形成された防着板とを備えた蒸着装置を使用して、請求項１〜３のいずれか一項に記載の放射線画像変換パネルを製造する放射線画像変換パネルの製造方法であって、
前記６０％以上の炭素繊維の向きが、前記搬送方向と直交するように、前記支持体を前記支持体搬送機構により支持させるとともに移動させることによって、前記蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体を前記スリットを介して前記支持体上に蒸着させて、輝尽性蛍光体層を形成することを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明によれば、前記６０％以上の炭素繊維の向きが搬送方向と直交するように、支持体を移動させることによって、蒸発源から蒸発する輝尽性蛍光体をスリットを介して支持体上に蒸着させて輝尽性蛍光体層を形成するので、支持体の搬送方向において均一に輝尽性蛍光体層が形成されることとなる。
また、支持体上に輝尽性蛍光体層が蒸着する際の熱等の影響により、支持体は前記６０％以上の炭素繊維の向く方向に反りやすくなるが、本発明では前記各炭素繊維の向きが搬送方向と直交するように支持体を移動させて輝尽性蛍光体を蒸着させるので、蒸着時に残存する残留応力が前記支持体の反る方向と直交することになる。したがって、これらの応力が互いに相殺され、支持体と輝尽性蛍光体層とを備えたパネルの反りを低減することができる。さらに、これに伴って画像ムラも低減することができる。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項４に記載の放射線画像変換パネルの製造方法において、
前記蒸発源は、抵抗加熱法により加熱されるものであることを特徴とする。
【００１５】
請求項５の発明によれば、蒸発源は、抵抗加熱法により加熱されるものであるので、その他の電子ビーム加熱法、高周波誘導による加熱法等に比して装置全体の構成が比較的簡単で取り扱いが容易、かつ、安価であり、非常に多くの物質に適用可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法によれば、蒸着時に残存する残留応力と、支持体の反る方向とが直交することとなるので、これらの応力が互いに相殺されて、支持体と輝尽性蛍光体層とを備えたパネルの反りを低減でき、さらには画像ムラも低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の放射線画像変換パネルは、図１に示すように、支持体１１と、該支持体１１上に気相堆積法により形成されて輝尽性蛍光体を含有する輝尽性蛍光体層１２とを備えている。また、必要に応じて輝尽性蛍光体層１２を保護する保護層（図示しない）が設けられている。なお、輝尽性蛍光体層１２において、輝尽性蛍光体の柱状結晶１３間には間隙１４が形成されている。また、１１aは後述する樹脂層を示している。
【００１８】
本発明に係る支持体は、炭素繊維が一方向に配されて耐熱性樹脂が含侵されてなる炭素繊維強化樹脂シートが、該炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が複数の方向を向くように複数積層されてなり、全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向いている。これにより、支持体と輝尽性蛍光体層とを備えた本発明の放射線画像変換パネルの反りを低減でき、さらには画像ムラも低減することが可能となる。
【００１９】
炭素繊維強化樹脂シートは、多数本の炭素繊維が一方向に配されてなるシートに未硬化の耐熱性樹脂（熱硬化性樹脂）が含侵されたもの、いわゆる一方向プリプレグである。具体的には市販されている炭素繊維（東邦レーヨン（株）製♯１３２、エポキシ樹脂含侵）が挙げられる。炭素繊維に含侵する樹脂としては、耐熱性樹脂であれば良く、例えば、エポキシ樹脂、ビニルエステル樹脂、ナイロン、ポリカーボネート、フェノール樹脂、ポリイミド等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂やポリイミドは、耐放射線性に優れている点から本発明に好適に用いることができる。
【００２０】
そして、本発明の支持体は、上記炭素繊維強化樹脂シートが、該炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が複数の方向を向くように複数積層されてなるものであり、全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向いている。
すなわち、例えば図４の実施例１に示すように、全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの、７０％の炭素繊維強化樹脂シート１６aが、該シート１６a中の炭素繊維１７aが０°方向を向くように、３０％の炭素繊維強化樹脂シート１６bが、該シート１６b中の炭素繊維１７bが９０°方向を向くように積層されている。
なお、ここでは、炭素繊維強化樹脂シートは全て同様の規格のシートを使用しているので、７０％の炭素繊維強化樹脂シートとは、全ての炭素繊維強化樹脂シートの枚数における７０％の枚数の炭素繊維強化樹脂シートのことを指す。
また、炭素繊維強化樹脂シート１枚の厚さは５０μｍ〜８００μｍが好ましく、さらに好ましくは１００μｍ〜４００μｍである。積層枚数は、４〜４０層が好ましく、さらに好ましくは１０〜３０層である。さらに、炭素繊維の向きとは、後述する蒸着装置における搬送方向と直交する方向（スリットの方向）を０°としている。
【００２１】
支持体の製造方法としては、炭素繊維が一方向に配されて、未硬化の熱硬化性樹脂が含侵された炭素繊維強化樹脂シートを、該炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が所定の向きを向くように複数積層した後、加熱装置に導入して加熱し、ロールを用いて加圧する。これによって、含侵された耐熱性樹脂（熱硬化性樹脂）が硬化して支持体が製造される。
なお、一例として述べた実施例１では、炭素繊維が異なる二方向を向くように積層されていたが、これに限らず、炭素繊維が三方向以上を向くように積層しても良い。また、炭素繊維強化樹脂シートを積層していく順番は、特に限定されないが、各方向を向く炭素繊維を含む炭素繊維強化樹脂シートが、それぞれ等間隔で積層されるように規則的に積層していくことが、平滑な面を有する支持体となるので好ましい。
【００２２】
支持体には、その表面を平滑な面とするために樹脂層を有することが好ましい。
樹脂層は、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、パラフィン、グラファイト等の化合物を含有することが好ましく、その膜厚は、約５μｍ〜５０μｍであることが好ましい。この樹脂層は、支持体の表面に設けても裏面に設けても良いが、本発明のパネルの反りを低減させる点では両面に設けることが好ましい。
また、支持体上に樹脂層を設ける手段としては、貼合法、塗設法等の手段が挙げられる。
貼合は加熱、加圧ローラを用いて行い、加熱条件としては約８０〜１５０℃が好ましく、加圧条件としては４．９０×１０〜２．９４×１０2Ｎ／ｃｍ、搬送速度は０．１〜２．０ｍ／秒が好ましい。
【００２３】
本発明に係る輝尽性蛍光体層は、下記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体を含有することが好ましい。
一般式（１）
Ｍ1Ｘ・ａＭ2Ｘ'2・ｂＭ3Ｘ"3：ｅＡ［式中、Ｍ1はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子であり、Ｍ2はＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉの各原子から選ばれる少なくとも１種の二価金属原子であり、Ｍ3はＳｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎの各原子から選ばれる少なくとも１種の三価金属原子であり、Ｘ、Ｘ'、Ｘ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子であり、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であり、また、ａ、ｂ、ｅはそれぞれ０≦ａ＜０．５、０≦ｂ＜０．５、０＜ｅ≦０．２の範囲の数値を表す。］
【００２４】
上記一般式（１）で表される輝尽性蛍光体において、Ｍ1は、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ及びＣｓ等の各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ金属原子を表し、中でもＲｂ及びＣｓの各原子から選ばれる少なくとも１種のアルカリ土類金属原子が好ましく、さらに好ましくはＣｓ原子である。
【００２５】
Ｍ2は、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｃｕ及びＮｉ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の二価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのは、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａ等の各原子から選ばれる二価の金属原子である。
【００２６】
Ｍ3は、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる少なくとも１種の三価の金属原子を表すが、中でも好ましく用いられるのはＹ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ａｌ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｇａ及びＩｎ等の各原子から選ばれる三価の金属原子である。
【００２７】
Ａは、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇの各原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子である。
【００２８】
輝尽性蛍光体の輝尽発光輝度向上の観点から、Ｘ、Ｘ'及びＸ"はＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子を表すが、Ｆ、Ｃｌ及びＢｒから選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が好ましく、Ｂｒ及びＩの各原子から選ばれる少なくとも１種のハロゲン原子が更に好ましい。
【００２９】
また、一般式（１）において、ｂ値は０≦ｂ＜０．５であるが、好ましくは、０≦ｂ＜１０-2である。
【００３０】
本発明の一般式（１）で表される輝尽性蛍光体は、例えば以下に述べる方法により製造される。
蛍光体原料としては、
（ａ）ＮａＦ、ＮａＣｌ、ＮａＢｒ、ＮａＩ、ＫＦ、ＫＣｌ、ＫＢｒ、ＫＩ、ＲｂＦ、ＲｂＣｌ、ＲｂＢｒ、ＲｂＩ、ＣｓＦ、ＣｓＣｌ、ＣｓＢｒ及びＣｓＩから選ばれる少なくとも１種もしくは２種以上の化合物が用いられる。
【００３１】
（ｂ）ＭｇＦ2、ＭｇＣｌ2、ＭｇＢｒ2、ＭｇＩ2、ＣａＦ2、ＣａＣｌ2、ＣａＢｒ2、ＣａＩ2、ＳｒＦ2、ＳｒＣｌ2、ＳｒＢｒ2、ＳｒＩ2、ＢａＦ2、ＢａＣＩ2、ＢａＢｒ2、ＢａＢｒ2・２Ｈ2Ｏ、ＢａＩ2、ＺｎＦ2、ＺｎＣｌ2、ＺｎＢｒ2、ＺｎＩ2、ＣｄＦ2、ＣｄＣｌ2、ＣｄＢｒ2、ＣｄＩ2、ＣｕＦ2、ＣｕＣｌ2、ＣｕＢｒ2、ＣｕＩ、ＮｉＦ2、ＮｉＣｌ2、ＮｉＢｒ2及びＮｉＩ2の化合物から選ばれる少なくとも１種又は２種以上の化合物が用いられる。
【００３２】
（ｃ）前記一般式（１）において、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｉｎ、Ｃｓ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｇｄ、Ｌｕ、Ｓｍ、Ｙ、Ｔｌ、Ｎａ、Ａｇ、Ｃｕ及びＭｇ等の各原子から選ばれる金属原子を有する化合物が用いられる。
【００３３】
上記の数値範囲の混合組成になるように前記（ａ）〜（ｃ）の蛍光体原料を秤量し、純水にて溶解する。
この際、乳鉢、ボールミル、ミキサーミル等を用いて充分に混合しても良い。
次に、得られた水溶液のｐＨ値Ｃを０＜Ｃ＜７に調整するように所定の酸を加えた後、水分を蒸発気化させる。
次に、得られた原料混合物を石英ルツボあるいはアルミナルツボ等の耐熱性容器に充填して電気炉中で焼成を行う。焼成温度は５００〜１０００℃が好ましい。焼成時間は原料混合物の充填量、焼成温度等によって異なるが、０．５〜６時間が好ましい。
焼成雰囲気としては少量の水素ガスを含む窒素ガス雰囲気、少量の一酸化炭素を含む炭酸ガス雰囲気等の弱還元性雰囲気、窒素ガス雰囲気、アルゴンガス雰囲気等の中性雰囲気あるいは少量の酸素ガスを含む弱酸化性雰囲気が好ましい。
【００３４】
なお、前記の焼成条件で一度焼成した後、焼成物を電気炉から取り出して粉砕し、しかる後、焼成物粉末を再び耐熱性容器に充填して電気炉に入れ、前記と同じ焼成条件で再焼成を行えば輝尽性蛍光体の発光輝度を更に高めることができ、また、焼成物を焼成温度より室温に冷却する際、焼成物を電気炉から取り出して空気中で放冷することによっても所望の輝尽性蛍光体を得ることができるが、焼成時と同じ、弱還元性雰囲気もしくは中性雰囲気のままで冷却しても良い。
【００３５】
また、焼成物を電気炉内で加熱部より冷却部へ移動させて、弱還元性雰囲気、中性雰囲気もしくは弱酸化性雰囲気で急冷することにより、得られた輝尽性蛍光体の輝尽による発光輝度をより一層高めることができ好ましい。
【００３６】
また、本発明の輝尽性蛍光体層は気相堆積法によって形成される。
輝尽性蛍光体の気相堆積法としては、蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、イオンプレーティング法、その他を用いることができるが、本発明では特に蒸着法が好ましい。
【００３７】
以下、本発明に好適な蒸着法について説明する。なお、ここでは図３に示す蒸着装置を使用して支持体に輝尽性蛍光体を蒸着するので、蒸着装置の説明とともに説明する。
図３に示すように、蒸着装置１は、真空容器２と、該真空容器２内に設けられて支持体１１に蒸気を蒸着させる蒸発源３と、支持体１１を保持する支持体ホルダ４と、該支持体ホルダ４を蒸発源３に対して水平方向に往復移動させることによって該蒸発源３からの蒸気を蒸着させる支持体搬送機構５と、支持体１１と蒸発源３との間に設けられて蒸発源３から支持体１１に至る空間を遮断するようにスリット６が形成された防着板７と、真空容器２内の排気及び大気の導入を行う真空ポンプ８等を備えている。なお、スリット６は、支持体１１の搬送方向Ａと直交する方向に形成されている。
【００３８】
蒸発源３は、輝尽性蛍光体を収容して抵抗加熱法で加熱するため、ヒータを巻いたアルミナ製のるつぼから構成しても良いし、ボートや、高融点金属からなるヒータから構成しても良い。また、輝尽性蛍光体を加熱する方法は、抵抗加熱法以外に電子ビームによる加熱や、高周波誘導による加熱等の方法でも良いが、本発明では、比較的簡単な構成で取り扱いが容易、安価、かつ、非常に多くの物質に適用可能である点から抵抗加熱法が好ましい。また、蒸発源３は分子源エピタキシャル法による分子線源でも良い。
支持体搬送機構５は、例えば、支持体ホルダ４を水平方向に搬送する搬送用ワイヤ５aとガイドレール５b、駆動源であるモータ（図示しない）等から構成されている。
また、支持体ホルダ４には、支持体１１を加熱する加熱ヒータ４aを備えることが好ましい。支持体１１を加熱することによって、支持体１１表面の吸着物を離脱・除去し、支持体１１表面と輝尽性蛍光体との間に不純物層の発生を防いだり、密着性の強化や輝尽性蛍光体層の膜質調整を行うことができる。
【００３９】
このように構成された蒸着装置１を使用して、支持体１１に輝尽性蛍光体層を形成するには、まず、支持体ホルダ４に支持体１１を取り付ける。この際に、支持体１１を構成する複数の炭素繊維強化樹脂シートのうち、上述した６０％以上の炭素繊維強化樹脂シートの炭素繊維の向きが、支持体１１を搬送する搬送方向Ａと直交するように該支持体１１を支持体ホルダ４に取り付ける。すなわち、前記炭素繊維の向きが、スリット６の向きと一致するように配置する。
次いで、真空容器２内を真空排気する。その後、支持体搬送機構５により支持体ホルダ４を水平方向に往復移動させ、蒸着可能な真空度に真空容器２が達したら、加熱された蒸発源３から輝尽性蛍光体を蒸発させて、防着板７のスリット６を介して支持体１１表面に輝尽性蛍光体を所望の厚さに成長させる。
【００４０】
図２は、支持体１１上に輝尽性蛍光体層１２が蒸着により形成される様子を示す図である。支持体ホルダ４に固定された支持体１１面の法線方向（Ｒ）に対する輝尽性蛍光体の蒸気流１５の入射角度をθ2（図では６０°）とし、形成される柱状結晶１３の支持体面の法線方向（Ｒ）に対する角度をθ1（図では３０°）とすると、経験的にはθ1はθ2の約半分となり、この角度で柱状結晶１３が形成される。なお、本発明では、図３の蒸着装置１を使用しているので蒸気流１５の入射角度θ2が０°となる。
ここでは、結着剤を含有しない輝尽性蛍光体層１２が形成されるが、柱状結晶１３の間に形成された間隙１４に結着剤等の充填物を充填しても良く、輝尽性蛍光体層１２の補強となるほか、高光吸収の物質、高光反射の物質を充填しても良い。これにより補強効果をもたせるほか、輝尽性蛍光体層１２に入射した輝尽励起光の横方向への光拡散の低減に有効である。
【００４１】
また、前記蒸着工程では複数回に分けて輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。さらに、前記蒸着工程では複数の抵抗加熱器あるいはエレクトロンビームを用いて共蒸着し、支持体上で目的とする輝尽性蛍光体を合成すると同時に輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。
【００４２】
また、蒸着法においては、蒸着時、必要に応じて、被蒸着体（支持体、保護層又は中間層）を冷却あるいは加熱しても良い。
さらに、蒸着終了後、輝尽性蛍光体層を加熱処理しても良い。また、蒸着法においては必要に応じてＯ2、Ｈ2等のガスを導入して蒸着する反応性蒸着を行っても良い。
【００４３】
形成する輝尽性蛍光体層の膜厚は、放射線画像変換パネルの使用目的によって、また輝尽性蛍光体の種類により異なるが、本発明の効果を得る観点から５０μｍ〜２０００μｍであり、好ましくは５０μｍ〜１０００μｍであり、さらに好ましくは１００μｍ〜８００μｍである。
上記の気相堆積法による輝尽性蛍光体層の形成にあたり、輝尽性蛍光体層が形成される支持体の温度は、室温（ｒｔ）〜３００℃に設定することが好ましく、さらに好ましくは５０〜２００℃である。
【００４４】
以上のようにして輝尽性蛍光体層を形成した後、必要に応じて輝尽性蛍光体層の支持体とは反対の側に保護層を設けることにより本発明の放射線画像変換パネルを製造する。保護層は、保護層用の塗布液を輝尽性蛍光体層の表面に直接塗布して形成もよいし、また、予め別途形成した保護層を輝尽性蛍光体層に接着してもよい。
【００４５】
保護層の材料としては、酢酸セルロース、ニトロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、ポリ四フッ化エチレン、ポリ三フッ化−塩化エチレン、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、塩化ビニリデン−塩化ビニル共重合体、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体などの通常の保護層用材料が用いられる。他に透明なガラス基板を保護層として用いることもできる。
【００４６】
また、この保護層は蒸着法、スパッタリング法等により、ＳｉＣ、ＳｉＯ2、ＳｉＮ、Ａｌ2Ｏ3等の無機物質を積層して形成してもよい。これらの保護層の層厚は０．１μｍ〜２０００μｍが好ましい。
【実施例】
【００４７】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の実施態様はこれらに限定されるものではない。
（支持体の作成）
まず、以下に示す実施例１〜７、比較例１〜４の支持体を作成した。なお、以下に言う炭素繊維の向きは、上述した蒸着装置において支持体を搬送する搬送方向に直交する方向（すなわち、スリットの向き）を０°としている。
［実施例１］
膜厚２００μｍの炭素繊維強化樹脂シートを複数積層して、１３０℃で加熱し、１００Ｎ／ｃｍ2の圧力をかけて支持体を得た。ここで、全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの７０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°となるように、３０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°となるように積層した（図４参照）。
【００４８】
［実施例２］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの３０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、７０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００４９】
［実施例３］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの４０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、６０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが４５°となるように積層した（図４参照）以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５０】
［実施例４］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの６０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、４０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが４５°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５１】
［実施例５］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの６５％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、２５％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°、１０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが４５°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５２】
［実施例６］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの７０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、１０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°、１０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが４５°、１０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが３０°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５３】
［実施例７］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの８０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、２０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５４】
［比較例１］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの５０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、５０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°となるように積層した（図４参照）以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５５】
［比較例２］
全ての炭素繊維強化樹脂シートのうちの４５％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°、３５％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°、２０％の炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが４５°となるように積層した（図４参照）以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５６】
［比較例３］
全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが０°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５７】
［比較例４］
全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維の向きが９０°となるように積層した以外は、実施例１と同様の方法で支持体を製造した。
【００５８】
（放射線画像変換パネルの作製）
以上のようにして製造した支持体の片面に輝尽性蛍光体（ＣｓＢｒ：０．０００１Ｅｕ）を、図３に示す蒸着装置１を使用して蒸着させ輝尽性蛍光体層を形成した。
まず、上記蛍光体原料を蒸着材料として抵抗加熱ルツボに充填し、また支持体ホルダ４に支持体１１を設置した。このとき、スリット６の向きと、炭素繊維強化樹脂シートの０°を向く炭素繊維の向きとが一致するように支持体１１を配置した。また、スリット６はアルミニウム製のものを使用し、支持体１１と蒸発源２３との距離を６０ｃｍとした。
続いて蒸着装置１内を一旦排気し、Ｎ２ガスを導入して０．１Ｐａに真空度を調整した後、蒸発源３に対して水平方向に支持体１１を搬送しながら支持体１１の温度を２００℃に保持した。
次いで、抵抗加熱ルツボを加熱して輝尽性蛍光体を蒸着し、輝尽性蛍光体層の膜厚が５００μｍとなったところで蒸着を終了させた。
次いで、乾燥空気内で輝尽性蛍光体層上にホウケイ酸ガラスを有する保護層を重ね、支持体１１および保護層周縁部を接着剤で封入して、輝尽性蛍光体層が密封された構造の放射線画像変換パネルを得た。
得られた放射線画像変換パネルについて下記のような評価を行った。
【００５９】
《パネルの反り》
放射線画像変換パネルの反り量は、放射線画像変換パネルを真直度の良いステンレス板に５°の角度でたてかけたときの上側２角、及び１８０°回転させて残りの２角の隙間を隙間ゲージで測定し、その最大値を反り量（ｍｍ）とし、表１に示した。
【００６０】
《画像ムラ（輝度ムラ）》
放射線画像変換パネル（４５０ｍｍ×４５０ｍｍ）に管電圧８０ｋＶｐのＸ線を輝尽性蛍光体層とは逆の支持体側から均一に照射した後、該パネルをＨｅ−Ｎｅレーザー光（６３３ｎｍ）で走査して励起し、放射線画像変換パネル上に等間隔に並んだ３６の測定点において、輝尽性蛍光体層から放射される輝尽発光を受光器（分光感度Ｓ−５の光電子像倍管）で受光してその強度を測定し、各測定点間の強度のバラツキから輝度ムラを評価した。輝度ムラは、各パネルの各測定点における輝度の最大値と最小値の幅を２５点の測定点の強度の平均値で割り、これを％で表したものである。
【００６１】
【表１】
2004219416.tif 000003
以上、表１の結果から明らかなように、炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維が複数の方向を向くように積層され、全ての炭素繊維強化樹脂シート中の炭素繊維のうちの、６０％以上の炭素繊維が同じ方向を向くように積層された支持体を備えた放射線画像変換パネル（実施例１〜７）において、パネルの反り量はいずれも０．７ｍｍ以下と小さく、画像ムラも１０％以下であり、比較例１〜４に比してパネルの反りを極端に低減することができ、さらに画像品質も向上させることができると言える。
また、特に、実施例１、実施例４、実施例６及び実施例７に示すように、６０％以上の炭素繊維の向きが０°となるよう（支持体の搬送方向と直交する方向）に積層した支持体を有する放射線画像変換パネルは、パネルの反り及び画像ムラが著しく低減されたことがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】支持体上に形成した柱状結晶を有する輝尽性蛍光体層の一例を示す概略断面図である。
【図２】支持体上に輝尽性蛍光体層が蒸着法により形成される様子を示す図である。
【図３】蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図４】実施例１、実施例３、比較例１及び比較例２の炭素繊維強化樹脂シートの積層状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  蒸着装置
２  真空容器
３  蒸発源
５  支持体搬送機構
６  スリット
７  防着板
１１  支持体
１２  輝尽性蛍光体層
１６a、１６b  炭素繊維強化樹脂シート
１７a、１７b  炭素繊維
Ａ  搬送方向
【図１】
2004219416.tif 000004
【図２】
2004219416.tif 000005
【図３】
2004219416.tif 000006
【図４】
2004219416.tif 000007