(57)【要約】　　　（修正有）【課題】所望形状に、容易に基板を分離する加工方法を提供する。【解決手段】基板１の一方の面上において、所望形状２上に、マスク６を配置する工程と、砥粒を基板１の一方の面上に、噴射することにより、所望形状２の基板１に分離する工程と、台座４上の両面テープ５から基板１を剥がす工程と、基板１の他方の面上において、所望形状２の少なくとも外周部に、砥粒を噴射する工程から成る。所望形状２の基板１内において、太陽電池装置３が形成され、太陽電池装置３の受光面が、基板１の他方の面であり、砥粒を噴射する工程により、凹凸化される。【選択図】　図３
2004119925.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所望形状に加工する基板加工方法であって、
前記基板の一方の面上において、所望形状上に、マスクを配置する工程と、
砥粒を前記基板の一方の面上に、噴射することにより、前記所望形状の基板に分離する工程と、
前記基板の他方の面上において、前記所望形状の少なくとも外周部に、砥粒を噴射することを特徴とする基板加工方法。
【請求項２】
前記所望形状の基板内において、太陽電池装置が形成されていることを特徴とする請求項１の基板加工方法。
【請求項３】
前記太陽電池装置の受光面が、前記基板の他方の面であり、
前記基板の他方の面上に、砥粒を噴射する工程により、前記基板の他方の面が、凹凸化されることを特徴とする請求項２の基板加工方法。
【請求項４】
前記基板がガラスであることを特徴とする請求項１の基板加工方法。
【請求項５】
前記所望形状が少なくとも曲線部分を有することを特徴とする請求項１の基板加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池装置等が形成されたガラス等の基板の加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来において、太陽電池装置が形成された基板に、貫通孔を開ける方法が、特開２００１−１７７１３６号に開示されている。具体的には、この公報の、特に、段落番号００６３〜００７１、図３に開示されるように、太陽電池装置が形成された金属基板に、基板の所定位置に砥粒をノズルから噴射することにより、貫通孔を開ける方法が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１７７１３６号公報（段落番号００６３〜００７１、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来においては、砥粒をノズルから噴射することにより、基板に貫通孔を開けている。
【０００５】
本発明は、上述のように基板に貫通孔を開けるのに代わって、所望形状に、容易に基板を分離する加工方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の主要な構成は、基板を所望形状に加工する基板加工方法であって、　前記基板の一方の面上において、所望形状上に、マスクを配置する工程と、砥粒を前記基板の一方の面上に、噴射することにより、前記所望形状の基板に分離する工程と、前記基板の他方の面上において、前記所望形状の少なくとも外周部に、砥粒を噴射することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一実施例を、図１〜４を用いて詳細に説明する。
【０００８】
図１に示す工程においては、まず、厚さ約０．７〜１．５ｍｍ程度の大型ガラス基板１上に、外形が略円形である所望形状２の太陽電池装置３を、間隔をおいて形成する。本実施例においては、太陽電池装置３は略円形であるが、これ以外にも、楕円等の外周に曲線部分を含む形状も形成することができる。また、太陽電池装置３の外周は直線部分を含む形状であっても良い。
【０００９】
このような円形の太陽電池装置３は、実開昭６３−１１５２３９号に開示されるようなものが利用できる。ガラス基板１の裏面（図１（ａ）において上面）上より、透明電極層／アモルファスシリコン層／金属電極層からなり、中心角が略９０度の４つの隣接した扇型太陽電池素子を、外周部で電気接続する構造で、太陽電池素子の裏面上は保護膜で覆われた構造である。なお、基板１の表面側が、太陽電池装置３の受光面側となる。このような太陽電池装置３は、時計の文字盤として、時計に組み込まれて利用される。
【００１０】
次に、図２に示す工程においては、板状の台座４上に、両面テープ５を介して、基体１が仮に固着される。ここで、両面テープ５の接着力については、比較的弱く、後述する工程で、太陽電池装置３が容易に剥がせる程度の接着力が望ましい。また、基体１の裏面（図２（ａ）において上面）上において、所望形状２の太陽電池装置３上には、所望形状２と同形のマスキングフィルム６であるマスクが被着される。
【００１１】
次に、図３に示す工程においては、大型ガラス基板１の裏面上に、アルミナ等の砥粒を噴射する（噴射する方向を図３（ａ）に矢印で示す）。このブラスト処理により、所望形状２の基板である太陽電池装置３を、分離させることができる。そして、図３（ｂ）に示すように、紙面の上方向から下方向に噴射される砥粒が、台座４上に衝突する等の理由により、所望形状２の基板１の表面側において、所望形状２の外周部下部の端部に、突出したエッジ３ａが形成される。
【００１２】
本実施例においては、このようなエッジ３ａは、後述するように、後工程で取り除くことになるが、このようなエッジ３ａを残したままで、太陽電池装置３を出荷し、時計等の電子機器に組み込まれるなら、以下のような問題点がある。このようなエッジ３ａは、脆く、輸送中とか組み込み作業中に、これら近傍で欠けが生じて、太陽電池装置３の外観として不良品が発生する。また、このような欠けが、時計に組み込むときに発生するなら、時計内の機密な駆動部に入り込み、悪影響を及ぼすことになる。
【００１３】
また、図３に示す工程においては、太陽電池装置３を分離した後、水を噴射する等の方法で、不要な砥粒、ガラス基板の切削粉等を洗い流す。
【００１４】
次に、図４に示す工程においては、台座４より、各太陽電池装置３を剥がし、太陽電池装置３の裏面上のマスキングフィルム６を剥がす。そして、太陽電池装置３の受光面側である表面側より、アルミナ等の砥粒を噴射する（噴射する方向を図４に矢印で示す）。これにより、太陽電池装置３のエッジ３ａを取り除くことができる。加えて、基板１の表面が凹凸化されることにより、入射光が太陽電池装置３内で乱反射して、出力特性を向上させることができる。このような基板１の表面の凹凸化度合いについて、また、エッジ３ａの取り除かれる部分を大きくすることについては、砥粒を噴射する強度、時間、砥粒の粗さ、量等を調整することにより、適宜、変更することができる。
【００１５】
ここで、太陽電池装置３の受光面が凹凸化されているので、太陽電池装置３を腕時計の文字板に使用するときは、基板１に形成された太陽電池装置３を見えにくくする、つまり、基板１の裏面上に形成された太陽電池素子を受光面側より見えにくくすることがきるので、ファッション性が向上する。
【００１６】
なお、図４に示す工程においては、図２に示す工程のように、太陽電池装置３の裏面側を、両面テープを介して、台座に仮固定する方法を利用することができる。
【００１７】
また、上記の図４の工程においては、太陽電池装置３の表面側全域に、砥粒を噴射しているが、太陽電池装置３の基板１の外周部のエッジ３ａのみ露出するように、所望形状２の基板１表面に、マスク（図示せず）を設置して、外周部のエッジ３ａのみを除去することもできる。
【００１８】
本実施例においては、基板に太陽電池装置が形成されているが、太陽電池装置に代わって、光電変換素子等が形成されている基板であっても、本発明を利用することができる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、基板の一方の面上に砥粒を噴射することにより、所望形状の基板に分離することができる。そして、基板の他方の面上において、所望形状の少なくとも外周部に砥粒を噴射することにより、他方の面側の外周部に形成されたエッジを除去することができる。
【００２０】
また、太陽電池装置が形成された所望形状の基板において、受光面である基板の他方の面上において、砥粒を噴射することにより、他方の面側の外周部に形成されたエッジを除去することができると共に、受光面が凹凸化されることより、太陽電池装置内において入射光を乱反射させることができることより、出力特性が向上する。また、受光面が凹凸化されているので、太陽電池装置を腕時計の文字板に使用するときは、基板に形成された太陽電池装置を見えにくくすることがきるので、ファッション性が向上する。
【００２１】
また、本発明においては、マスクを配置して、所望形状に基板を分離することより、所望形状を、直線以外に円形、楕円等の曲線状として、容易に分離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の第一工程を示す図であり、（ａ）は大型ガラス基板状態の斜視図、（ｂ）は太陽電池装置の拡大平面図である。
【図２】本発明の一実施例の第二工程を示す図であり、（ａ）は斜視図（本工程の初期頃の状態）、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線拡大断面図（本工程の終わり頃の状態）である。
【図３】本発明の一実施例の第二工程を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図４】本発明の一実施例の第三工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１　大型ガラス基板
２　所望形状
３　太陽電池装置
４　台座
５　両面テープ
６　マスキングフィルム（＝マスク）
【図１】
2004119925.tif 000003
【図２】
2004119925.tif 000004
【図３】
2004119925.tif 000005
【図４】
2004119925.tif 000006