(57)【要約】【課題】圧力流体の調圧動作を安定して遂行することができるとともに、耐久性が高く、しかも、汎用性に優れる減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置を提供することを目的とする。【解決手段】減圧機構１０６は、第２ボディ部１２２の内部に収容されるとともにその一端側が係着されたばね部材１４６と、ばね部材１４６の他端側およびダイヤフラム１５０に係着された排気弁１５６と、第１ボディ部１２０とダイヤフラム１５０とによって形成されるとともに圧力流体が導入される室１３０と、第１ボディ部１２０に形成されて室１３０と外部とを連通する排気通路１３８とを有する。前記減圧機構１０６は、第１ボディ部１２０および第２ボディ部１２２の所定部位にねじ孔１６０が形成されて、ボルト等によってねじ孔１６０を介して第２ブロック体２０ｂの側部に着脱自在に取り付けられる。【選択図】図２
2004206427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする減圧機構。
【請求項２】
流体圧力供給源に接続される供給ポートと、流体圧作動機器に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内部に変位自在に設けられ、着座部に着座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体とを有し、前記流体圧力供給源から供給された圧力流体を減圧調整して前記流体圧作動機器に供給する流体圧力調整装置において、
前記ハウジングに着脱自在に減圧機構を装着し、前記ハウジングは前記減圧機構に圧力流体を導入する入力通路と、該減圧機構により減圧された圧力流体を前記制御機構に導出する出力通路とを有し、
前記減圧機構は、ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする減圧機構を有する流体圧力調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力流体を減圧する減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、流体圧作動機器の用途、種類に対応して高い流体圧力（正圧）が必要とされる場合があり、流体圧力供給源から供給された高い流体圧力（正圧）を所定の流体圧力に減圧して流体圧作動機器側に導出する流体圧力調整装置が提案されている。
【０００３】
本出願人も、特許文献１に示すような流体圧力調整装置を既に提案している。この本出願人の提案に係る流体圧力調整装置は、供給ポートから供給された圧力流体の圧力を所定の圧力に減圧する減圧機構を本体内部に組み込んでいる。すなわち、この流体圧力調整装置によれば、供給ポートに高い圧力流体（正圧）が供給された場合であっても、前記減圧機構によって圧力流体の圧力が減圧されるため、パイロット圧を制御する給気用電磁弁および排気用電磁弁には、通常の圧力からなる圧力流体を導入することができる。従って、給気用電磁弁および排気用電磁弁として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用いる必要がなく、通常の電磁弁を使用することができるという利点がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−０６２９３８号公報（［特許請求の範囲］、［図１］）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、特許文献１に関連してなされたものであり、圧力流体の調圧動作を安定して遂行することができるとともに、耐久性が高く、しかも、汎用性に優れる減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする（請求項１記載の発明）。
【０００７】
本発明によれば、例えば、ピストン等の摺動部品が不要となるので、減圧機構の動作を安定させることができるとともに、その耐久性を向上させることができる。
【０００８】
また、本発明は、流体圧力供給源に接続される供給ポートと、流体圧作動機器に接続される調圧ポートとを有するハウジングと、制御機構によって制御されたパイロット圧の作用下に、前記ハウジングの内部に変位自在に設けられ、着座部に着座することにより、前記供給ポートと前記調圧ポートとの連通を遮断する弁体とを有し、前記流体圧力供給源から供給された圧力流体を減圧調整して前記流体圧作動機器に供給する流体圧力調整装置において、
前記ハウジングに着脱自在に減圧機構を装着し、前記ハウジングは前記減圧機構に圧力流体を導入する入力通路と、該減圧機構により減圧された圧力流体を前記制御機構に導出する出力通路とを有し、
前記減圧機構は、ボディと、
前記ボディに形成される室の内部に装着されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの一面側を押圧するばね部材と、
前記ばね部材の押圧力を調整する調圧部材と、
前記ダイヤフラムの他面側に設けられて該ダイヤフラムの変位作用下に排気通路を開閉する弁体と、
を有し、前記ダイヤフラムの他面側の室に連通して入力通路と出力通路とが形成され、前記入力通路への流体圧力が前記ばね部材の設定押圧力よりも大なるとき、前記ダイヤフラムにより前記弁体を変位させて前記排気通路を開成することを特徴とする（請求項２記載の発明）。
【０００９】
本発明によれば、減圧機構をハウジングに対して別体に構成するので、前記減圧機構を前記ハウジングのサイズに影響されることなく任意のサイズに設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラムの面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けにくい安定した圧力を制御機構に対して導出することができる。結果として、供給された高い流体圧力を所定の流体圧力に安定して減圧することが可能となる。
【００１０】
また、本発明は、前記減圧機構を前記ハウジングに対して着脱自在に構成するので、例えば、前記減圧機構に代えて、前記制御機構の圧力に対応した圧力流体を導出する流体圧力供給源を前記制御機構に直接接続することも可能である。すなわち、流体圧力調整装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、流体圧力調整装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係る減圧機構についてそれを組み込む流体圧力調整装置との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１２】
図１において、参照数字１０は、本発明の実施の形態に係る流体圧力調整装置を示す。
【００１３】
この流体圧力調整装置１０は、基本的には、略直方体形状を呈するボディ部１２と、前記ボディ部１２の上部に一体的に連結されるボンネット１４とから構成される。前記ボンネット１４の上部には、リード線１６を介して、図示しない上位シーケンサ等の制御機器に接続されるコネクタ１８が設けられる。前記上位シーケンサは、流体圧力調整装置１０に対して動作用の電力を供給するとともに、開始信号、設定圧力等の制御信号を送信する。なお、前記ボディ部１２およびボンネット１４は、ハウジングとして機能するものである。
【００１４】
ボディ部１２は、例えば、アルミニウム等の金属製材料からなり、一体的に積層された第１ブロック体２０ａおよび第２ブロック体２０ｂを有する。
【００１５】
第１ブロック体２０ａの中央両端部には、流体圧力供給源２２に接続されて一次側圧力が導入される供給ポート２４と高い流体圧力を必要とする流体圧作動機器２６に接続されて前記流体圧作動機器２６に対して二次側圧力が導出される調圧ポート２８とが所定間隔離間して同軸状に形成されている。供給ポート２４と調圧ポート２８との間には、該供給ポート２４と調圧ポート２８とを連通させる連通路３０が形成される。
【００１６】
前記第１ブロック体２０ａの底面部には、孔部４０が形成され、該孔部４０には該孔部４０を閉塞する閉塞部材４２が螺入される。前記閉塞部材４２の中央上部には、供給用弁体４４（弁体）を収容する凹部４６が形成されている。該凹部４６の内周面の略中央部には、前記供給用弁体４４の摺動部位を気密に保持するＯリング４７が装着されるとともに、前記凹部４６の底部には、圧縮コイルスプリングからなるばね部材４８の一端部が着座する。
【００１７】
前記供給用弁体４４には、該凹部４６を形成する内周面と摺設する摺設部５０が形成される。摺設部５０の内側には、前記ばね部材４８の上端部を保持する保持溝５２が形成される。また、供給用弁体４４の中央部には、図１において上方向に突出するステム５６が配設され、このステム５６には細孔５４が形成されている。
【００１８】
供給用弁体４４の上面側には、ゴム等の弾性材料からなり前記第１ブロック体２０ａに形成された着座部５８に着座するシール部材６０が装着されている。
【００１９】
第１ブロック体２０ａの上部に形成された室７０には、ピストン７２が摺動自在に収容される。ピストン７２は、図１から諒解されるように、上部側７２ａと、上部側７２ａよりも小さい直径を有する下部側７２ｂとから構成される。すなわち、ピストン７２は、圧力を受ける面積（受圧面積）が上部側７２ａと下部側７２ｂとで異なる。前記ピストン７２の下部中央部分には軸方向に指向して開口部７４が形成される。前記開口部７４の直径は、前記ステム５６の直径よりも小さく設定され、且つ下端部は若干拡径してステム５６の先端部が臨む。従って、ステム５６が開口部７４に臨入した場合、前記開口部７４は、該ステム５６の球状の先端部によって閉塞される。
【００２０】
前記開口部７４の奥端側は、略等間隔に配設された複数の連通路７６に連通し、該連通路７６は室７０の図において上方に設けられた室７８と連通している。さらに、前記室７８は図示しない排気ポートと連通して大気開放されている。
【００２１】
一方、ピストン７２によって区分される室７０の下部は、調圧ポート２８に連通している。なお、図１中、参照符号８０はピストン７２の側周面に圧接してシールするＯリングを示す。
【００２２】
以上の構成から前記供給用弁体４４は、ばね部材４８のばね力の作用下に着座部５８に着座して供給ポート２４と調圧ポート２８との連通が遮断された弁閉状態となるように、常時、付勢されていることが容易に諒解されよう。一方、ピストン７２がばね部材４８のばね力およびピストン７２の下面に作用する二次側圧力による押圧力に抗して供給用弁体４４を図において下方側に押圧することにより、シール部材６０が着座部５８から離間し、供給ポート２４と調圧ポート２８とが連通路３０を介して連通する弁開状態となる。
【００２３】
第１ブロック体２０ａと第２ブロック体２０ｂとの間には、これらによって外周縁部が挟持されたダイヤフラム８２が介装される。前記ダイヤフラム８２の上方には、該ダイヤフラム８２と第２ブロック体２０ｂの下部に形成された凹部とによってパイロット室８６が形成される。なお、前記ダイヤフラム８２の中央部は、ディスク部材８８とピストン７２の上面によって挟持されている。
【００２４】
従って、パイロット室８６に供給される圧力流体の作用下に、ダイヤフラム８２、ディスク部材８８およびピストン７２が上下方向に沿って一体的に変位する。
【００２５】
第２ブロック体２０ｂの前記パイロット室８６の反対側には室８４が形成され、この室８４に配設された固定板９０には圧力センサ９４が配設される。前記圧力センサ９４の入力側は、第１ブロック体２０ａおよび第２ブロック体２０ｂに形成されたフィードバック通路９２を介して調圧ポート２８に連通する。前記圧力センサ９４は、流体圧作動機器２６側に供給される圧力流体の圧力信号を検出し、この圧力信号は、ボンネット１４の内部に配設された制御部９６に導出される。前記制御部９６は、前記上位シーケンサから受信した設定圧力と、前記圧力センサ９４によって検出された流体圧力とを比較し、その偏差０となるようにフィードバック制御を行う。なお、前記圧力センサ９４として、高圧対応の半導体圧力センサ等を採用すると好適である。
【００２６】
そこで、第２ブロック体２０ｂには、第１ブロック体２０ａを介して供給ポート２４に連通する第１連通路１００と、後述する給気用電磁弁１０２に連通する第２連通路１０４とが設けられ、しかも、前記第２ブロック体２０ｂには後述する減圧機構１０６が外付けされる。前記第１連通路１００および第２連通路１０４は、前記減圧機構１０６の後述する入口側と出口側の通路とに連通接続される。
【００２７】
ボンネット１４の内部には、第２ブロック体２０ｂに連結される樹脂製の連結プレート１１０を介して前記給気用電磁弁１０２と前記排気用電磁弁１１２とが所定間隔離間して配設されている。給気用電磁弁１０２は、パイロット室８６に供給されるパイロット圧を制御する給気弁として機能し、一方、排気用電磁弁１１２は、前記給気用電磁弁１０２に供給された圧力流体を外部に排気する排気弁として機能する。なお、制御機構として機能する前記給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２は、図示しない電磁コイルに対して電流を供給・遮断してオン／オフ制御する。
【００２８】
すなわち、前記制御部９６から出力される制御信号によって給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２が付勢・滅勢されることにより、第３連通路１１４を介してパイロット室８６に供給されるパイロット圧が制御される。
【００２９】
ここで、減圧機構１０６の構成について説明する。減圧機構１０６は、図２に示すように、一体的に連結された第１ボディ部１２０と第２ボディ部１２２とを有する。第１ボディ部１２０には、図３に示すように、第１連通路１００と接続される入力ポート１２４が形成される。入力ポート１２４の内周部には、前記第２ブロック体２０ｂと第１ボディ部１２０との取付部位を気密に保持するＯリング１２５が装着される。前記入力ポート１２４の下流側には、固定絞り部１２６、入力通路１２８が順々に形成され、入力通路１２８は第１ボディ部１２０に形成された室１３０に連通する。
【００３０】
また、第１ボディ部１２０には、図３に示すように、第２連通路１０４と接続される出力ポート１３４が形成される。出力ポート１３４の内周部には、前記第２ブロック体２０ｂと第１ボディ部１２０との取付部位を気密に保持するＯリング１３５が装着される。前記出力ポート１３４は、出力通路１３６を介して前記室１３０に連通する。なお、前記第１ボディ部１２０には、前記室１３０と外部とを連通する排気通路１３８が形成され、この排気通路１３８の室１３０側の周縁部には、周囲よりわずかに盛り上がった着座部１３９が形成される。
【００３１】
第２ボディ部１２２には、室１４０が該室１３０と同軸に設けられる。前記室１４０の図２において左方向端部はねじ孔１４２として加工され、該ねじ孔１４２には調圧ねじ１４４（調圧部材）が螺入する。調圧ねじ１４４の右端側には、ばね部材１４６の一端側を保持する第１段部１４８が形成される。
【００３２】
第１ボディ部１２０と第２ボディ部１２２との間には、これらによって外周縁部が挟持されたダイヤフラム１５０が介装される。ダイヤフラム１５０の中央部は、一組の保持部材１５２ａ、１５２ｂによって挟持される。前記保持部材１５２ａの周縁部には、前記第１段部１４８に対応してフランジ状の第２段部１５４が形成され、前記第２段部１５４は、前記ばね部材１４６の他端部を保持する。一方、前記保持部材１５２ｂの図２において右方向端部には、前記着座部１３９に着座する排気弁１５６（弁体）が固着される。
【００３３】
前記第１ボディ部１２０および第２ボディ部１２２の所定部位には、ねじ孔１６０が形成される。すなわち、減圧機構１０６は、ボルト等によってねじ孔１６０を介して第２ブロック体２０ｂの側部に着脱自在に取り付けられる。
【００３４】
本発明の実施の形態に係る減圧機構１０６およびそれを組み込む流体圧力調整装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００３５】
まず、チューブ等を介して供給ポート２４に流体圧力供給源２２を接続し、一方、調圧ポート２８に、高い流体圧力が必要とされる流体圧作動機器２６を接続する。さらに、図３に示すように、減圧機構１０６の入力ポート１２４と第１連通路１００とを接続するとともに、減圧機構１０６の出力ポート１３４と第２連通路１０４とを接続する。また、調圧ねじ１４４を調整してばね部材１４６の押圧力を所定の値に設定する。
【００３６】
ここで、図１に示すように、供給用弁体４４が着座部５８に着座して弁閉状態となっている状態を初期位置として、以下説明する。
【００３７】
本実施の形態では、流体圧力供給源２２から供給ポート２４に、例えば、２．０〜３．０ＭＰａの流体圧力を有するアシストガスが供給されるように設定されている。なお、アシストガスとしては、例えば、酸素、窒素ガス、エアー等が用いられる。
【００３８】
図１に示されるような初期位置において、流体圧力供給源２２の付勢作用下に高圧の圧力流体を供給ポート２４に供給する。前記供給ポート２４に供給された高圧流体は、第１連通路１００を介して減圧機構１０６の入力ポート１２４に導入され、次いで、固定絞り部１２６、入力通路１２８を介して室１３０に流入する。前記室１３０の圧力は、ダイヤフラム１５０に作用し、ばね部材１４６のばね力と対抗する。室１３０の圧力が上昇しすぎると、ダイヤフラム１５０が図２において左方向に移動し、それに伴って排気弁１５６が着座部１３９から離間して弁開状態となり、排気通路１３８から外部に排気される。
【００３９】
すなわち、第１連通路１００を介して減圧機構１０６に導入された２．０〜３．０ＭＰａの高圧流体は、ばね部材１４６のばね力と均衡するまで減圧される。前記ばね部材１４６のばね力と圧力流体の圧力とが均衡すると、排気弁１５６が弁閉状態となり、第１連通路１００が閉塞され、最終的に、例えば、０．８ＭＰａの圧力に減圧される。
【００４０】
減圧された圧力流体は、出力通路１３６、出力ポート１３４、第２連通路１０４を介して給気用電磁弁１０２に導入され、前記制御部９６から出力される制御信号（オン／オフ信号）によって給気用電磁弁１０２および／または排気用電磁弁１１２をそれぞれオン／オフ制御することにより、パイロット圧が所定の圧力に制御される。
【００４１】
前記給気用電磁弁１０２および／または排気用電磁弁１１２によって制御されたパイロット圧は、第３連通路１１４を介してダイヤフラム８２の上部側に設けられたパイロット室８６に供給される。前記パイロット圧の作用下に、ダイヤフラム８２、ディスク部材８８およびピストン７２が一体的に下降する。ピストン７２の下降に伴ってステム５６は、供給用弁体４４を下方に押圧する。従って、供給用弁体４４は、ばね部材４８のばね力およびピストン７２の下面に作用する二次側圧力による押圧力に抗して下方側に向かって変位し、結果として、シール部材６０が着座部５８から離間することにより弁開状態となる（図４参照）。
【００４２】
従って、供給ポート２４に供給された圧力流体は、供給用弁体４４のシール部材６０と着座部５８との間に形成されたクリアランスを介して所定の圧力流体に減圧された後、調圧ポート２８から流体圧作動機器２６側に圧力流体が供給される。
【００４３】
ところで、ピストン７２の上部側７２ａと下部側７２ｂとで受圧面積が異なるのは前述したとおりであるが、この場合、二次側圧力とピストン７２の下部側７２ｂの受圧面積とによって作用する力（二次側圧力による押圧力）が、パイロット室８６の圧力とピストン７２の上部側７２ａの受圧面積とによって作用する力（パイロット圧による押圧力）を上回った場合、二次側圧力による押圧力作用下にダイヤフラム８２、ディスク部材８８およびピストン７２が一体的に上昇する。この場合、ステム５６を含む供給用弁体４４は、ピストン７２とは別体で構成されているので、それらの上昇動作に追随しない。さらに、供給用弁体４４は、ばね部材４８によって軸方向に押圧され、シール部材６０が着座部５８と当接するため、供給用弁体４４のそれ以上の軸方向への移動が規制される。すなわち、ステム５６の球状の先端部とピストン７２の開口部７４との閉塞状態が解除され、従って、調圧ポート２８側の圧力流体は、ピストン７２によって区分される室７０の下部、開口部７４、連通路７６および室７８を介して、最終的には図示しない排気ポートから外部に排気される。
【００４４】
このように、パイロット室８６に供給される圧力流体の圧力によってダイヤフラム８２およびピストン７２を上下方向に沿って変位させることにより、供給用弁体４４の開閉作用によって減圧効果が営まれる。
【００４５】
すなわち、パイロット室８６に導入されたパイロット圧の作用下に、ダイヤフラム８２、ディスク部材８８およびピストン７２には一体的に下方側に向かって押圧する力が付与され、この力と、ばね部材４８のばね力およびピストン７２の下面に作用する二次側圧力による押圧力が平衡することにより、供給用弁体４４が着座部５８に着座して弁閉状態となり、予め設定された所望の流体圧力が調圧ポート２８を介して流体圧作動機器２６に供給される。
【００４６】
以上説明したように、本実施の形態の減圧機構１０６はピストン等の摺動部材を含まないので、その動作が安定するとともに耐久性が向上する。
【００４７】
さらに、前記減圧機構１０６をボディ部１２に対して別体構成で取着しているので、減圧機構１０６のサイズをボディ部１２のサイズに拘わらずに任意に設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラム１５０の面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けない安定した導出圧力を給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２に対して導出することができる。
【００４８】
もちろん、本実施の形態の減圧機構１０６を組み込んだ流体圧力調整装置１０は、供給ポート２４に高い圧力流体（正圧）が供給された場合であっても、減圧機構１０６によって圧力流体の圧力が減圧されるため、パイロット圧を制御する給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２には、通常の圧力からなる圧力流体を導入することができる。従って、給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２として、高圧用の特別仕様の電磁弁を用いる必要がなく、通常の電磁弁を使用することができ、しかも、大きな設計変更等を行うことなく既存の構造のものをそのまま利用することができるという利点がある。
【００４９】
図５は、他の実施の形態に係る流体圧力調整装置１０ａの軸線方向に沿った縦断面図である。図１に示す流体圧力調整装置１０が給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２に供給する圧力流体を、供給ポート２４に供給された２．０〜３．０ＭＰａの高圧流体を減圧機構１０６によって、例えば、０．８ＭＰａに減圧された圧力流体としているのに対して、図５に示す流体圧力調整装置１０ａは、減圧機構１０６を用いずに、給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２に供給する圧力流体を供給ポート２４に接続された流体圧力供給源２２とは別異の流体圧力供給源から直接供給する点で異なる。なお、図１に示す流体圧力調整装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５０】
具体的には、図５に示すように、給気用電磁弁１０２に連通する第２連通路１０４には、管路１７０を介して流体圧力供給源１７２が接続される。この場合、前記流体圧力供給源１７２は、給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２の耐圧に対応した、例えば、０．８ＭＰａの圧力流体を出力する。また、減圧機構１０６を取り外したことにより開放状態となっている第１連通路１００の第２ブロック体２０ｂにおける開口部分を閉塞部材１７４で閉塞する。
【００５１】
なお、この流体圧力調整装置１０ａの動作は、前述したように、給気用電磁弁１０２および排気用電磁弁１１２に供給する圧力流体を減圧機構１０６を用いて減圧したものを用いるのではなく、流体圧力供給源１７２から直接供給する点で異なるのみであって、それ以外の動作は、前述した図１に示す流体圧力調整装置１０と同様であるため、その説明は省略する。
【００５２】
すなわち、本実施の形態の減圧機構１０６は、ボディ部１２に対して着脱自在に装着されるので、装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明に係る減圧機構および該減圧機構を有する流体圧力調整装置によれば、以下の効果が得られる。
【００５４】
すなわち、前記減圧機構は、ピストン等の摺動部材を含まないので動作が安定するとともに耐久性も向上する。
【００５５】
また、前記減圧機構をハウジングに対して着脱自在に構成するので、減圧機構のサイズをハウジングのサイズに拘わらずに任意に設定することができる。例えば、減圧機構を構成するダイヤフラムの面積を大きくした場合、供給圧力の変動の影響を受けない安定した導出圧力を制御機構に対して導出することができる。
【００５６】
さらに、本発明は、前記減圧機構に代えて、前記制御機構に所定の圧力の圧力流体を導出する第２流体圧力供給源を備えることもできる等、流体圧力調整装置の構成を様々な形態に構築することができ、従って、流体圧力調整装置の汎用性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る減圧機構およびそれを組み込む流体圧力調整装置の軸線方向に沿った縦断面図である。
【図２】図１に示す減圧機構の拡大縦断面図である。
【図３】図２に示す減圧機構の正面図である。
【図４】供給用弁体が図１に示す弁閉状態から弁開状態に変化した動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施の形態に係る流体圧力調整装置の軸線方向に沿った縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ…流体圧力調整装置        １２…ボディ部
１４…ボンネット                      ２０ａ…第１ブロック体
２０ｂ…第２ブロック体                ２２、１７２…流体圧力供給源
２４…供給ポート                      ２６…流体圧作動機器
２８…調圧ポート                      ４２、１７４…閉塞部材
４４…供給用弁体                      ４８、１４６…ばね部材
５６…ステム                          ７２…ピストン
８２、１５０…ダイヤフラム            ８６…パイロット室
９４…圧力センサ                      １００…第１連通路
１０２…給気用電磁弁                  １０４…第２連通路
１０６…減圧機構                      １１２…排気用電磁弁
１２０…第１ボディ部                  １２２…第２ボディ部
１２４…入力ポート                    １３４…出力ポート
１３８…排気通路                      １５６…排気弁
【図１】
2004206427.tif 000003
【図２】
2004206427.tif 000004
【図３】
2004206427.tif 000005
【図４】
2004206427.tif 000006
【図５】
2004206427.tif 000007