(57)【要約】      （修正有）【課題】受光素子との結合効率がよい、先端斜めファイバを提供する。【解決手段】光ファイバ１１先端部に、該光ファイバと同一外径のコアレスファイバ１２が接続され、コアレスファイバ１２の先端部に光軸に対して傾斜した曲面１４を形成して先端斜めファイバ１２４とする。コアレスファイバ１２の先端部の曲面と外周側面の境界部１５がＲ面であることを特徴とする。また、コアレスファイバ１２の先端部を除く先端斜めファイバ１２４の外周側面にメタライズ加工により金属薄膜を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバの先端部にコアレスファイバが接続され、該コアレスファイバの先端部に光軸に対して傾斜した曲面を有することを特徴とする先端斜めファイバ。
【請求項２】
前記コアレスファイバと前記光ファイバが同一外径であることを特徴とする請求項１記載の先端斜めファイバ。
【請求項３】
前記コアレスファイバの先端部の曲面と外周側面との境界部がＲ面であることを特徴とする請求項１記載の先端斜めファイバ。
【請求項４】
前記コアレスファイバの先端部を除く外周側面に金属薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の先端斜めファイバ。
【請求項５】
前記コアレスファイバの曲面の曲率半径が１００μｍ〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１記載の先端斜めファイバ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に使用する光ファイバ、特に発光源、受光源との光結合に用いる光部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信用の受光源としては、フォトダイオード（以下ＰＤという）が用いられており、光ファイバとこれらの受光素子を効率良く結合させるために、ＰＤモジュールにおいて、従来は図６に示すように、レンズ６１を用いてＰＤ基板６３の受光素子６２に光ファイバ１１の出射ビーム６６を入射させていた。光通信の発達にともない、光受信機、光送信機等の光通信システムの高速化、高密度化が要求されており、図６の構成では、受光素子６２のＰＤ基板６３が、電気回路基板６５に対して垂直に配置されており、小型化が困難であった。また、受光素子６２から基板６５への電気配線６４が長くなるために、静電容量が大きくなり高速化が困難であった。
【０００３】
図７に示すように光ファイバ１１の斜め研磨面７１を形成する構成では、光ファイバ１１とＰＤ基板１６の受光素子１７が基板２２に平行に設置することができるために、図６の構成に比較してＰＤモジュールのサイズを小さくすることが可能である。また、図８に示すように光ファイバ１１の斜め研磨面７１を受光素子１７に保持し、光ファイバ１１のコア１９と同等の屈折率を持った屈折率調合接着剤８１により位置固定する方法も提案されている。（特許文献１参照）
図１０に示すように光ファイバ１１の先端部に集光レンズ１０１を用いて、プリズム１０２の反射面１０３に反射させてから、受光素子１７に光を入射させる方法も提案されている。（特許文献２参照）本方法では、集光レンズ１０１を組み合わせることで、受光素子１７に効率良く光を入射させることが可能である。
（特許文献３参照）
［特許文献１］特開２０００−９９６８号公報
［特許文献２］特開平５−２７３４４４号公報
［特許文献３］特開平８−１４６２５０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示された、図７の構成においても、斜めに研磨した斜め研磨面７１からの出射ビーム７３は、集光性を持たないために、受光素子１７に近づくに従って、広がっていくためスポットが大きくなる。ファイバの軸と垂直な面方向に対しては、光ファイバ１１のクラッド２３から出射されるとき、光ファイバ外周部と空気の境界面においてレンズ効果があるので広がりが小さくなるが、ファイバ軸方向に対しては、広がっていくため、軸方向に長軸を有する楕円スポットとなる。
【０００５】
今後、光通信システムの中で必要とされる高速なＰＤモジュールにおいては、高速化のためには、受光素子１７の容量を小さくする必要がある。この場合、受光素子１７の直径を１０μｍ以下と極めて小さくする必要があり、従来の先端斜めファイバを用いた場合は、受光素子１７の大きさが出射ビーム７３より小さいために、結合効率が劣化するという問題があった。
【０００６】
また、光ファイバ１１の境界部７２が非常に鋭利であるために、組み立て時のハンドリング等で、境界部７２が破壊されるという問題があった。光ファイバ１１の材質はガラス材であり、このガラス材は脆性物質であるため、非常に小さなキズや、カケが基点となって小さな力でも簡単に破壊される。斜め研磨面７１は、ダイヤ等のラッピングフィルム等で、精密に加工されているが、光ファイバ１１の境界部７２には、大きさ、数μｍの小さいカケが多数存在するため、それが基点となり境界部７２が破壊される。
【０００７】
特許文献１に開示された、図８の構成においても、光ファイバ１１のコア１９と同等の屈折率に調合された屈折率調合接着剤８１を使用することにより、受光素子１７からの反射を防ぐ事ができるため、上記の記載の図７の構造に比較して受光強度が増加するが、出射ビーム８２の楕円のスポットであることは、変わりないために、結合効率が低いという問題があった。
【０００８】
また、本構成においては、屈折率調合接着剤８１を使用しているために、長期間駆動時に、屈折率調合接着剤８１と受光素子１７とのハガレが発生し、特性が劣化したり、接着剤硬化時に屈折率調合接着剤８１が収縮し、その結果、受光素子１７に応力が発生するために、受光素子１７の特性が劣化するという問題があった。さらに、本構成を組み立て時には、光ファイバ１１をＰＤ基板１６に近づけて屈折率調合接着剤８１で固める必要があるが、屈折率調合接着剤８１の表面張力により、光ファイバの境界部７２だけでなく、斜め研磨面７１の全てが接着剤８１に覆われてしまい、組み立て効率が悪いという問題があった。
【０００９】
図９に示すように、斜め研磨面７１が全て屈折率調合接着剤９１に覆われた場合、屈折率調合接着剤９１と空気の間で全反射を発生させる方法も考えられるが、本方法では、表面張力により屈折率調合接着剤９１の厚みにバラツキが生じるために、出射ビーム８２の位置が定まらずに、良好な結合効率を得ることができないという問題があった。
【００１０】
図１１の特許文献３に記載されたような集光レンズ１０１が使用される場合は、集光レンズ端面１１１からの出射ビーム１１２を光ファイバ１１の光軸方向に出射して受光素子１７に集光させる特性があるが、光ファイバ１１の光軸と平行に置かれた受光素子に対して、光を集光させることは不可能なため、図１０の特許文献２に開示されているように光の進行方向を折り曲げるためにプリズム１０２が使用される。この場合には、集光レンズ１０１付きの光ファイバ１１およびプリズム１０２を調心固定する必要があり、その調心に非常に時間を要するという問題があった。調心とは、光ファイバ１１から出射した光が効率良く受光素子１７に入るように、光ファイバ１１、及びプリズム１０２を微少量動かして、調整することである。光ファイバ１１及びプリズム１０２を調心するためには、両方の素子を動かしていく必要があり、光ファイバ１１だけ動かす場合に比較して非常に時間がかかる。
【００１１】
また、プリズム１０２をパッケージに固定するために接着剤等を使用する必要があるが、固定用の接着剤から発生するアウトガスによって、受光素子１７が劣化するという問題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の先端斜めファイバは、光ファイバの先端部にコアレスファイバが接続され、該コアレスファイバの先端部に光軸に対して傾斜した曲面を有することを特徴とする。
【００１３】
また、前記コアレスファイバと前記光ファイバが同一外径で有ることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明の先端斜めファイバは、前記コアレスファイバの先端部の曲面と外周側面の境界部がＲ面であることを特徴とする。
【００１５】
又、本発明前の先端斜めファイバは、前記コアレスファイバの先端部を除く外周側面に金属薄膜が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
更に、前記コアレスファイバの曲面の曲率半径が１００μｍ〜１０００μｍで有ることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１（ａ）は本発明による先端斜めファイバ１２４の測面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ方向からの上面図を示し、図１（ｃ）は、図１（ａ）と同様に側面図である。
【００１８】
光ファイバ１１は、その先端の接続面１３にてコアレスファイバ１２が融着接続されており、融着接続された前記コアレスファイバ１２の先端部２１にコアレスファイバの光軸方向Ａに斜めに角度ｃ傾いた曲面１４が形成されている。
【００１９】
これにより、少ない実装空間と部品で容易に光ファイバ先端部に高い結合効率の先端斜めファイバを提供することができる。
【００２０】
光ファイバ１１は、シングルモード、およびマルチモードの石英系ファイバのどちらを使用してもよいが、高速ＰＤモジュールでは、マルチモードファイバを使用した場合は、波長分散により、波形のなまり（鈍化）が発生するために、シングルモードファイバが望ましい。
【００２１】
コアレスファイバ１２は、ガラス材が使用される。光ファイバ１１は、光が伝搬するコア１９とその外周のクラッド２３にて構成される。光ファイバ１１では、コア１９、クラッド２３の屈折率が異なっており、そのために光の閉じこめを実現している。コアレスファイバ１２は、コア１９、クラッド２３が形成されておらず、単一の屈折率を持つガラス材にて構成されているため、光が閉じこめらない。使用するコアレスファイバ１２は、光ファイバ１１のコア１９と同程度の屈折率を持っていることが望ましい。これは、光ファイバ１１とコアレスファイバ１２の接続面１３からの反射を防止するためである。
【００２２】
コアレスファイバ１２の外径Ｄ２は、光ファイバ１１の外径Ｄ１と同じである必要はないが、外径１２５μｍの光ファイバ１１を使用する場合には、コアレスファイバ１２の外径Ｄ２は、８０μｍから２５０μｍまでに制限される。これは、この範囲を超えた場合には、光ファイバ１１とコアレスファイバ１２の融着接続が難しくなる。
【００２３】
コアレスファイバ１２と光ファイバ１１は、融着により接続される。融着接続を用いた理由としては、コアレスファイバ１２と光ファイバ１１の接続損失が、０．１ｄＢ以下が実現できること、および、接着剤等用いないため、それらの樹脂材料からのアウトガスの発生がないためである。コアレスファイバ１２の先端部分には曲面１４が形成されている。この曲面１４にて光が反射されて、ビームが折り曲げられて、ＰＤの受光素子１７に到達する。
【００２４】
曲面１４の曲率半径Ｒ１、およびコアレスファイバ長Ｌは、コアレスファイバ１２から受光面１７の距離に従って、最適な値となるように調整される。曲面１４は、Ｙ−ｙ方向とＸ−ｙ方向で、同一の曲率半径でもよいが、望ましくは、異なった曲率半径Ｒ１にした方がよい。これは、折り曲げられた光が光ファイバ１１に垂直な方向に対しては、コアレスファイバ１２と空気との境界面を通過するとき、コアレスファイバ１２の外周面がφ１２５μｍ曲率半径を持っているので、その影響を受けるためである。これを防ぐためにＸ−ｘ方向は、Ｙ−ｙ方向に比較して大きい曲率半径Ｒ１となるように、調整すればよい。
【００２５】
曲面１４の曲率半径Ｒ１は、１００μｍ以上が望ましい。これは、曲率半径Ｒ１が１００μｍより小さいと、集光されるスポット径が、光ファイバ側面の内側に入ってしまい、受光素子でのスポット径が大きくなるためである。逆に曲率半径１０００μｍより大きいと、加工再現性が難しくなる。
【００２６】
コアレスファイバ長Ｌは、１００μｍ以上必要である。１００μｍ以下の場合では、ビーム１８のスポット位置が、コアレスファイバ１２の中に生じてしまうため結合効率が悪くなってしまう。逆にコアレスファイバ長Ｌの最大値は、コアレスファイバ１２の外径Ｄ２、および使用する光ファイバ１１の出射パターンに依存する。光ファイバ１１からの出射ビーム１８は、コアレスファイバ１２に、光の閉じこめ効果が無いために、コアレスファイバ１２の中を伝搬しながら広がり、ビーム１８がコアレスファイバ１２の曲面１４より広がる場合は、損失が発生するため、これを防ぐために、ビーム１８の径が曲面１４より小さくなるようにしなければならず、コアレスファイバ長Ｌが制限される。コア１９の径１０μｍ、クラッド２３の径１２５μｍ、コアレスファイバ１２中での広がり角度が７度のシングルファイバを用い、コアレスファイバ１２の直径も１２５μｍで有った場合は、コアレスファイバ長Ｌの最大値は８００μｍとなる。
【００２７】
図２に示すように本発明の先端斜めファイバ１２４の外周側面２５に、メタライズ加工２４を施してもよい。これにより、光パッケージと半田固定することができ、高気密性を実現することができる。光パッケージの内部は長期稼働中に空中の酸素や湿度により内部の部品が酸化しそれによる通信不良等の不具合を発生させないように、内部空間には金属と反応しない窒素を封入し、酸素や湿度が流入しないように開口部を気密封止している。メタライズ加工２６は、無電解メッキ、電解メッキ、蒸着、スパッタ、イオンプレーティングによって作製される。メタライズ長Ｍはモジュールの構成によって、任意の長さにて加工して良いが、曲面１４付近のコアレスファイバ１２の外周部には、メタライズ加工２６を実施してはならない。
【００２８】
これは、ビーム１８が曲面１４に反射した際、コアレスファイバ１２の外周部を通過可能な構成とせねばならないからである。
【００２９】
先端斜めファイバ１２４にメタライズ加工２６を実施する場合は、光ファイバ１１の外径Ｄ１とコアレスファイバ１２の外径Ｄ２が同じであることが望ましい。この理由としては、外径Ｄ１と外径Ｄ２が大きく異なる場合には、光ファイバ１１とコアレスファイバ１２の接続面１３において、メタライズ加工２６ができなくなるためである。
【００３０】
曲面１４の表面には、Ａｕ、Ｃｒ、Ａｌ等の金属膜を形成して使用してもよい。
【００３１】
コアレスファイバ１２と空気とに屈折率差があるために、曲面１４の表面において、反射するが、その反射率は、曲面１４のＹ−ｙ方向、Ｘ−ｘ方向の曲率半径Ｒ１、および角度Ｃの条件に依存し、条件によっては全反射条件より外れることがあるため、前記の金属膜を形成することにより、このような場合でも全反射を実現することが出来る。金属膜の形成方法としては、無電解メッキ、電解メッキ、蒸着、スパッタ、イオンプレーティングによって作製される。
【００３２】
コアレスファイバ１２の傾斜面角度Ｃは、３８〜４７°の範囲が用いられる。傾斜面角度Ｃが３８°より小さくなると、受光素子１７に入射する光が、軸方向に伸びるため望ましくない。逆に４７°より大きいと曲面１４の金属コートされていない場合は、曲面１４で反射される光の割合が小さくなる。
【００３３】
次に本発明の先端斜めファイバ１２４の作製方法について説明する。まず、光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２が、へき開を利用して、切断される。切断された光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２は、融着接続され、さらに、コアレスファイバ１２の端面をへき開を利用して切断する。ここでへき開を利用した切断とは、光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２は、ガラス材で構成されているため、脆性材料であり、キズが成長して破壊に至る性質を持っているが、この性質を利用して、光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２に表面に小さなキズをつけて、このキズを成長させる切断方法であり、光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２の端面に簡便に軸方向に垂直な切断面を作製することができる。
【００３４】
前述した融着接続された光ファイバ１１とコアレスファイバ１２は、図３の研磨治具３１にセットされる。研磨治具３１に挟み込まれたファイバ１１は、研磨装置のステージ３２にセットされる。研磨装置のターンテーブル３４上には、研磨シート３５が置かれており、一定の回転数にて回転している。使用する研磨シート３５は、０．５〜３μｍの粒径を持つ、ダイヤモンド、アルミナ等のシートを使用する。ステージ３２は、治具取り付け角度θ方向、光ファイバ軸中心回転方向φ、治具高さＺ方向に移動出来るようになっている。
【００３５】
以下の工程を数回繰り返して図４に示す形状を作製する。セットされた光ファイバ先端３６は、治具高さＺ方向のステージが降下することにより、研磨シート３５に接触する。研磨シート３５が光ファイバ先端３６に接触している間、光ファイバ軸中心回転方向φに揺動させることにより、研磨シート３５にて切削されて、傾斜面短軸方向Ｘ−ｘに対して、曲率半径Ｒ１を持つ研磨面４２が形成される。次に治具高さＺ方向のステージを下げると、光ファイバ１１がたわんで研磨角度が変化する。研磨角度を変更するためには、治具高さＺ方向を変化させずに治具取り付け角度θ方向の角度を変化させて研磨してもよい。所定の時間、光ファイバ軸中心回転方向φに揺動させながら研磨させた後、研磨面４１が形成される。さらに治具高さＺ方向を上にあげると同様に光ファイバ１１，１２のたわみがゆるんで、研磨角度が変化する。更に光ファイバ中心回転方向φのステージを揺動させて研磨して、研磨面４３が形成される。この工程を数回繰り返して図４に示す形状を作製する。
【００３６】
以上の説明において、研磨面４１、研磨面４２、研磨面４３の３面を形成する場合を述べたが、本発明では、３面に限るものではなく、２面以上あればよい。１１面以上の場合は、研磨工程が複雑になるため、１０面未満が望ましいが、後に述べる放電加工工程において、Ｒ面形状は決定するため、研磨のしやすさを考えるとより望ましくは、３面での加工となる。
【００３７】
以上の説明において、ステージ３２を動かして光ファイバ１１のＲ面を作製する方法を述べたが、これ以外にも、ステージを動かさずにバフ研磨を利用して、Ｒ面を仕上げてもよい。バフ研磨では、ダイヤモンド、アルミナ等の研磨材をつけた研磨布が、研磨シート３５として使用される。光ファイバ１１を研磨治具３１にセットして、ステージ３２に設置する。セットされた光ファイバ先端３６は、Ｚステージが降下することにより、研磨シート３５に接触する。バフ研磨では、光ファイバの１１角部が重点的に研磨されるため、Ｒ面が作製される。Ｒ面の大きさは、研磨布の材質により調整する。
【００３８】
前述した両方の研磨方法において、最後は、図５に示すように放電加工を実施して、曲面１４を仕上げる。放電加工は、電極５１と電極５２の間に光ファイバ先端部５３を入れて、放電加工する。先端部分５３が熱により溶けて、研磨後の表面に見られたような凹凸は消失して表面張力により曲面１４を形成する。放電強度は、必要な曲率半径Ｒ１となるように調整する。前述したように傾斜面長軸方向Ｙ−ｙには、平面の組み合わせとなっているため、放電加工によりなめらかな面となる。傾斜面短軸方向Ｘ−ｘには、研磨工程にて、光ファイバ軸中心回転方向φにて曲面加工されているが、放電加工にて曲率半径Ｒ１が変化するため、研磨では、放電加工で曲率半径Ｒ１の大きさが変化することを考慮して加工する必要がある。Ｘ−ｘ方向の曲率半径Ｒ１、研磨加工にて光ファイバ軸中心回転方向φを動かさず研磨して、放電加工にて曲率半径Ｒ１をつけるようにしてもよい。
【００３９】
脆性物質であるガラス材からなる光ファイバ１１において、境界部１５が尖っている場合は、外部からの衝撃に弱く損傷を受けやすい。例えば、図８でＬＤ、ＰＤなどと組み立てる際のハンドリング時に光ファイバ１１の境界部７２を他の部材に接触させただけで、境界部７２が折れてしまうなどの問題があったが、本放電加工を実施した後には、境界部４４が溶けて丸くなるために、これらの破損を防止することができる。
【００４０】
境界部１５の曲率半径Ｒ２の大きさは、１μｍ以上あればよく、より効果を上げるためには、５μｍ程度が望ましいが、１０μｍを越えると曲率半径Ｒ１の特性に干渉するので好ましくない。Ｒの大きさは、放電加工の強度を調整することにより、変化させることができる。
【００４１】
本発明の先端斜めファイバ１２４は、光ファイバ１１の軸方向２４に対して下面にビーム１８を折り曲げる機能および、集光するレンズ機能の両方を持っているため、本先端斜めファイバ１２４を使用する事により、モジュールの大きさを従来のモジュールに比べて非常に小さくすることができ、高速化にも対応することが可能である。
【００４２】
また、本発明の先端斜めファイバ１２４は、光ファイバ１１と一体型の構造であるため、従来のモジュールで必要であった複雑な調心作業を簡素化できるため、組み立て作業を大幅に短くすることができる。
【００４３】
さらに、本発明の先端斜めファイバ１２４では、光ファイバ１１およびコアレスファイバ１２の外周部２５にメタライズ加工２４が可能であり、樹脂を使用せずにモジュールを構成することができるため、長期稼働中に空中の酸素や湿度により内部の部品が酸化しそれによる通信不良等の不具合を発生させない高気密性が実現でき、信頼性の高いモジュールを構成できる。
【００４４】
【実施例】
本発明の先端斜めファイバ１２４において、コアレスファイバ長Ｌを０．３ｍｍとし、傾斜面長軸方向Ｙ−ｙに対して曲率半径Ｒ１が２００μｍの曲面の先端斜めファイバ１２４を１０本作製した。また、曲率半径Ｒ１が８０μｍ、さらに１２００μｍの曲面の先端斜めファイバ１２４の作製を試みた。いずれの場合においても、傾斜面短軸方向Ｘ−ｘに対して曲率半径Ｒ１は５００μｍとした。比較例として、図８に示す従来の先端斜めファイバを同様に１０本作製した。
【００４５】
次に、それぞれを受光素子１７と組み立て、その結合効率を測定した。受光素子１７は、縦、横が１０μｍの正方形の受光素子１７を使用した。本発明の先端斜めファイバ１２４は、図１に示すように組み立てを実施した。従来の先端斜めファイバは、屈折率が１．４５の紫外線硬化の屈折率調合接着剤８１を用いて、図８に示す構成にて組み立てを実施した。組み立てた後、それぞれの結合効率を求めた。結合効率は、図１２に示す測定系にて評価した。１．５５μｍの波長のＬＤ光源１２１からの出射光は、光ファイバ１２２を通り、融着点１２３を通過して、先端斜めファイバに入射して、先端斜め部分１２６から、受光素子１２５に入射する。あらかじめ、融着点１２３での光の強度をパワーメーターで測定しておき、その後に、先端斜めファイバを融着接続した。本発明、および従来の先端斜めファイバを同様の方法にて測定し、それぞれの結合効率を求めた。融着点１２３での光のパワーをＰ０、受光素子での光のパワーをＰ１とすると、結合効率は、Ｐ１／Ｐ０×１００で表される。その結果を表１に示す。
【００４６】
【表１】
2004258387.tif 000003
【００４７】
従来の先端斜めファイバにおいて、×印を記載しているものは、組み立て中に屈折率調合接着剤８１が、斜め研磨面７１につき、組み立てが失敗したものである。また、本発明の先端斜めファイバ１２４において、×印が記載されているものは、所定の曲率半径Ｒ１を作製出来なかったものである。
【００４８】
また、本発明の先端斜めファイバ１２４において、曲率半径Ｒ１が８０μｍおよび曲率半径Ｒ１が１２００μｍでは、加工が難しいことが認められる。
【００４９】
さらに、従来の先端斜めファイバが、平均結合効率が７１．３％であるのに対して、曲率半径２００μｍの本発明の先端斜めファイバ１２４の平均結合効率が８９．５％であり、本発明の先端斜めファイバの結合効率の方が、従来の先端斜めファイバ１２４の結合効率に対して１８．２％良いことがわかった。この結果から、本発明の先端斜めファイバは、従来の先端斜めファイバに比較して、結合効率が良いことが認められる。
【００５０】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の先端斜めファイバは、光ファイバ先端部にコアレスファイバが接続され、前記コアレスファイバの先端部に光軸に対して傾斜した曲面を形成し、斜め部分を除く外周部にメタライズ加工を実施することにより、高い結合効率の先端斜めファイバを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の先端斜めファイバの側面図であり、（ｂ）は本発明の先端斜めファイバのＢ方向からの上面図であり、（ｃ）は本発明の先端斜めファイバの側面図である。
【図２】本発明の先端斜めファイバの側面図である。
【図３】本発明の先端斜めファイバを製造するための研磨機の概略図である。
【図４】本発明の先端斜めファイバの製造途中の状態を示す側面図である。
【図５】本発明の先端斜めファイバの製造途中の状態を示す側面図である。
【図６】従来の光ファイバ結合系の側面図である。
【図７】従来の先端斜めファイバの側面図である。
【図８】従来の先端斜めファイバの側面図である。
【図９】従来の先端斜めファイバの側面図である。
【図１０】従来の光ファイバ結合系の側面図である。
【図１１】従来の先球ファイバの斜視図である。
【図１２】評価測定系の正面図である。
【符号の説明】
１１  光ファイバ
１２  コアレスファイバ
１３  接続面
１４  曲面
１５  境界部
１６  ＰＤ基板
１７  受光素子
１８  ビーム
１９  コア
２０  端面
２１  先端部
２２  基板
２３  クラッド
２４  メタライズ部分
２５  外周部
３１  研磨治具
３２  ステージ
３３  回転方向
３４  ターンテーブル
３５  研磨シート
３６  光ファイバ先端
４１  研磨面
４２  研磨面
４３  研磨面
４４  境界部
５１  電極
５２  電極
５３  光ファイバ先端部
６１  レンズ
６２  受光素子
６３  ＰＤ基板
６４  電気配線
６５  基板
６６  出射ビーム
７１  斜め研磨面
７２  境界部
７３  出射ビーム
８１  屈折率調合接着剤
８２  出射ビーム
９１  屈折率調合接着剤
１０１  集光レンズ
１０２  プリズム
１０３  反射面
１１１  集光レンズ端面
１１２  出射ビーム
１２１  ＬＤ光源
１２２  光ファイバ
１２３  融着点
１２４  先端斜めファイバ
１２５  受光素子
１２６  先端斜め部分
Ａ  光軸方向
Ｂ  上面方向
Ｃ  傾斜面角度
Ｄ１  外径
Ｄ２  外径
Ｌ  コアレスファイバ長
Ｙ−ｙ  傾斜面長軸方向
Ｘ−ｘ  傾斜面短軸方向
Ｍ  メタライズ長
θ  治具取り付け角度
Ｚ  治具高さ
φ  光ファイバ軸中心回転方向角度
Ｒ１  曲率半径
Ｒ２  曲率半径
【図１】
2004258387.tif 000004
【図２】
2004258387.tif 000005
【図３】
2004258387.tif 000006
【図４】
2004258387.tif 000007
【図５】
2004258387.tif 000008
【図６】
2004258387.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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