(57)【要約】【課題】光通信用部品に洗浄ムラがなく地球環境及び信頼性の高い洗浄方法を提供する。【解決手段】軸方向に貫通孔を有する筒状体からなる光通信用部品の洗浄方法において、前記貫通孔の内周面及び筒状体の外周面とを同時に蒸気によって洗浄する。【選択図】図１
2004109963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に貫通孔を有する筒状体からなる光通信用部品の洗浄方法において、前記貫通孔の内周面及び筒状体の外周面とを同時に蒸気によって洗浄することを特徴とする光通信用部品の洗浄方法。
【請求項２】
前記蒸気の圧力が０．２ＭＰａ以上であることを特徴とする請求項１に記載の光通信用部品の洗浄方法。
【請求項３】
前記蒸気が水蒸気であることを特徴とする請求項１または２に記載の光通信用部品の洗浄方法。
【請求項４】
前記蒸気洗浄後、気体を吹き付けて乾燥することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の光通信用部品の洗浄方法。
【請求項５】
前記気体の圧力が０．２ＭＰａ以上であることを特徴とする請求項４に記載の光通信用部品の洗浄方法。
【請求項６】
前記気体が含有水分−７０〜−２０Ｐ．Ｄ．Ｐ、残油量０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３であることを特徴とする請求項４または５に記載の光通信用部品の洗浄方法。
【請求項７】
請求項４乃至６の何れかに記載の光通信用部品の洗浄方法に用いる洗浄装置であって、複数の穴溝に貫通孔が垂直になるように光通信用部品を固定した固定用治具を、蒸気供給用、気体供給用の２本のノズルを備えた洗浄槽内に載置し、所定時間蒸気を供給した後に蒸気供給用ノズルが遮断され、気体供給用ノズルから所定時間気体を供給する自動切換え方式により洗浄から乾燥までを行うことを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、円筒体を有する光通信用部品の洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光コネクタ、レセプタクル等には、光ファイバを挿通保持するためのフェルールが使用されている。このフェルールは、例えば直径が１〜２ｍｍ、長さが６ｍｍ程度であり、軸方向に貫通孔を有している。
【０００３】
例えば、光コネクタではフェルールに保持された光ファイバ同士を接続するため、軸心の一致は重要となり、フェルール端面は極めて清潔にしておけなければならない。このため、フェルールに付着した極めて小さなゴミ、ホコリ、脂肪等の洗浄が行われる。また、フェルールの貫通孔加工時に付着する加工屑、研磨剤等を取り除き、極めて清潔にしなければならない。
【０００４】
この洗浄方法として、図４（ａ）に示すように、アルカリ性領域（８ｐＨ〜１２ｐＨ）の洗浄液２５が入っている浴槽２６にフェルール２１を整列させずにランダムに浸水させ、超音波２４により振動させてフェルール２１の外周面を洗浄している。
【０００５】
また、図４（ｂ）に示すように、無数のフェルール２１を固定できるよう小径の穴溝を有する固定治具２３にフェルール２１を固定し、超音波２４により振動させてフェルール２１の貫通孔２２の内周面に洗浄を施している。このときフェルール２１が軸方向に固定治具２３にセッティングしているため、洗浄液２５の表面張力と超音波２４の振動により、フェルール２１の貫通孔２２まで洗浄液２５が入り込んで洗浄を行う（特許文献１参照）。
【０００６】
次にフェルール２１が挿入してある固定治具２３を乾燥機内に移動させた後、５０〜８０℃の温度にて３０〜６０分間の高温乾燥、もしくはフェルール２１を常温で２４時間放置する自然乾燥で行っている。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−１５４４５３
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４に示すような洗浄方法において、フェルール２１の外周面洗浄と貫通孔２２の内周面洗浄を別で行うため、大変手間がかかり効率が悪い。
【０００８】
また、外周面洗浄する際、浴槽２６にフェルール２１を浸水させて洗浄を施すため、洗浄ムラが発生しやすいという欠点を有していた。
【０００９】
さらに、浴槽２６内でフェルール２１同士が、超音波２４の振動によりぶつかり合い、表面に傷がつきやすく、特に光ファイバ同士を接続するために使用されるフェルール２１においては、その端面部分に傷がついてしまうと光学特性に大きな影響を及ぼすという欠点を有していた。
【００１０】
またさらに、洗浄液２５として用いられるアルカリ性領域（８ｐＨ〜１２ｐＨ）の洗浄液２５は、地球環境に影響を及ぼすという欠点を有していた。
【００１１】
フェルール２１を洗浄後の乾燥工程においては、高温に曝す高温乾燥を用いた場合、洗浄染みが発生しやすく、フェルール２１の外観が劣る。また、自然乾燥を行なった場合、洗浄染みは発生することはないが２４時間程度の長時間かかるという欠点を有していた。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光通信用部品の洗浄方法は、軸方向に貫通孔を有する筒状体からなる光通信用部品の洗浄方法において、前記貫通孔の内周面及び筒状体の外周面とを同時に蒸気によって洗浄することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記蒸気の圧力が０．２ＭＰａ以上であることを特徴とするものである。
【００１４】
さらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記蒸気が水蒸気であることを特徴とするものである。
【００１５】
またさらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記蒸気洗浄後、気体を吹き付けて乾燥することを特徴とするものである。
【００１６】
さらにまた、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体の圧力が０．２ＭＰａ以上であることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体が含有水分−７０〜＋１０Ｐ．Ｄ．Ｐ、残油量０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３であることを特徴とするものである。
【００１８】
さらに、本発明の光通信用部品の洗浄装置は、蒸気洗浄及び乾燥工程を自動切換え方式により行う装置であることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、貫通孔の内周面及び筒状体の外周面とを同時に蒸気によって洗浄することから、光通信用部品に傷を付けることはなく、高効率の洗浄を施し、汚れ等の付着物を除去することができる。
【００２０】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、前記蒸気の圧力を０．２ＭＰａ以上とすることから、光通信用部品の貫通孔にも蒸気が十分に入り込んで十分な洗浄を施すことができる。
【００２１】
さらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、前記蒸気が水蒸気であることから、地球環境に影響を及ぼすことはなく、コストを削減することができる。
【００２２】
またさらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記蒸気洗浄後、気体を吹き付けて乾燥することから、瞬時に貫通孔内部まで乾燥を行なうことができる。
【００２３】
さらにまた、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体の圧力が０．２ＭＰａ以上であることから、貫通孔の内部にまで気体が吹きつけられ残水や、染みがなく綺麗な光通信用部品を得ることができる。
【００２４】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体が含有水分−７０〜＋１０Ｐ．Ｄ．Ｐ、残油量０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３であることから、光通信用部品に汚れを発生させることなく、水分量が−７０〜１０Ｐ．Ｄ．Ｐと非常に少ないため瞬時に乾燥ができる。
【００２５】
さらにまた、本発明の光通信用部品の洗浄装置によれば、蒸気洗浄及び乾燥を自動切換え方式により洗浄から乾燥まで一体的な装置であることから、作業の効率化が図られ、洗浄及び乾燥が容易に短時間で行なうことができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態を図に基いて説明する。
【００２７】
図１は、本発明の光通信用部品の洗浄方法の一実施形態を示す断面図であり、軸方向に貫通孔を有する筒状体からなる光通信用部品に用いられ、例えば、フェルール１を洗浄する場合、図１（ａ）に示すようにフェルール１を多数の小径の穴溝４が開いている固定治具３に嵌め合い固定する。このとき、穴溝４は直径が２〜３ｍｍの大きさとなっており、フェルール１の直径よりも１ｍｍ程度大きいため、蒸気が貫通孔２の内周面を洗浄するとともに、余波の蒸気がフェルール１の外周面を洗浄できるよう固定されている。
【００２８】
そして、図１（ｂ）に示すように、固定治具３を受け台６にのせ、上蓋８によって受け台６と密閉状態として、蒸気供給源７の噴出し口から圧力の高い蒸気５が固定治具３に固定されたフェルール１に吹き付けられる。噴出し口から発生した蒸気５は、フェルール１の貫通孔２に入り込み、貫通孔２の汚れ等の付着物を取り除くとともに、外周面の付着物も取り除くものである。
【００２９】
一般的に、フェルール１の貫通孔２は、図１（ａ）に示すように一方端側にテーパ部２ａが形成されており、このテーパ部２ａが下方にくるよう固定治具３の穴溝４に固定することが好ましい。これは、蒸気５を分散させて貫通孔２だけでなく、分散された蒸気５がフェルール１の外周面まで洗浄してくれるからである。
フェルール１の端面を高圧の状態な蒸気５が吹き付けているので、吹き付けた蒸気５は、強烈な洗浄力が発生し、フェルール１の貫通孔２が小穴でも容易に入り込み、さらに、貫通孔２以外にも余波として蒸気５が発生し、フェルール１の外周面にも蒸気９が吹き付けられることにより、フェルール１の貫通孔２の内周面洗浄及び外周面洗浄ができ、効率良く洗浄を行うことができる。
【００３０】
また、フェルール１の端面と穴溝４は水平になるよう固定することによって、直径の小さなフェルール１に蒸気圧力による負荷応力を防ぐことができ、蒸気が貫通孔２に有効に入り込み、十分な洗浄を行うことができる。
【００３１】
一般に、フェルール１の貫通孔２は直径が０．１２ｍｍであり、蒸気５の粒子の大きさは、例えば水蒸気の場合では０．０５〜０．１ｍｍであるため貫通孔２に十分に入り込んで高効率な洗浄を行うことができる。つまり、貫通孔２を洗浄するには、蒸気５を形成する洗浄液に表面張力の小さいアルコール系のような表面張力の小さいものを使用することによって蒸気５の粒子を小さくすることが好ましく、これによって貫通孔２まで浸水させることができる。
【００３２】
また、前記蒸気５の蒸気供給源７の圧力は０．２ＭＰａ以上とすることが好ましい。蒸気５の圧力が０．２ＭＰａ未満となると、フェルール１等の貫通孔２に付着している付着物を除去することができず、より好ましくは０．２〜１ＭＰａとすることによって蒸気温度が１３０℃〜１４０℃となり、フェルール１を形成するジルコニア系のセラミックスの結晶構造を崩すことなく付着物を十分に洗浄することができる。フェルール１がジルコニアセラミックスから成る場合、結晶構造は正方晶（テトラ）、立方晶（キュービック）、単斜晶（モノクリス）の構造があり、構造が崩れると前記単斜晶（モノクリス）の割合が多くなり、製品自体に結晶損傷を起こしてしまい、フェルール１の機械的強度が低下し、形状が変化しやすくなるため、特に光接続に用いる際には接続効率に大きな影響を及ぼすこととなる。つまり、ジルコニアセラミックスから成るフェルール１については、圧力が０．２〜１ＭＰａ、より好ましくは０．２〜０．２５ＭＰａとすることによって、蒸気５の温度を高温にし過ぎることはなく、フェルール１の強度を保持したまま高い洗浄効率を発揮することができる。
【００３３】
さらに、前記蒸気５は、水、アルカリ性洗浄水溶液、酸性水溶液、エタノール系等の蒸気を用いることができるが、地球環境及びコストから水蒸気が好ましい。洗浄液に水蒸気を用いた場合、圧力をかけることにより水の粒子を小さくして、容易にフェルール１の貫通孔２まで浸水させることができる。通常、水の表面張力は、７２×１０−３Ｎ／ｍ、アルコール系は２６×１０−３Ｎ／ｍであり、水の表面張力はアルコール径の約３倍程度大きいが、水の粒子は圧力を０．２ＭＰａ以上かけることにより、約１／４小さくなり、０．０５〜０．１ｍｍ程度となり、直径０．１２ｍｍの貫通孔２にも十分に浸水でき付着物を洗浄することができる。
【００３４】
洗浄後、固定治具３から付着物と一緒に蒸気５、排水１０がダクト９から強制的に吸い上げられ、廃棄口からそれぞれ排気及び排水される。
【００３５】
なお、前記受け台６、上蓋８、ダクト９の材質は、ステンレス、ニッケルメッキを施した黄銅等の金属もしくは、セラミックス等を用いることができる。
【００３６】
このように、フェルール１の貫通孔２の内周面洗浄と外周洗浄が同時にでき、効率化が図られ大幅な時間削減ができる。また、フェルール１を固定治具３に固定して洗浄を行うため、均等な洗浄を施せるので洗浄ムラが発生しない。
【００３７】
さらに、固定治具３に固定して洗浄を施しているので、フェルール１自体に損傷が生じることはなく、信頼性の高い製品を提供することができる。
【００３８】
次いで、図１（ｃ）に示すようにフェルール１の貫通孔２の内周面及び外周面を蒸気５にて洗浄した後に、空気等の気体２８を吹き付けて乾燥することが好ましい。従来のように高温乾燥や自然乾燥の場合には、３０分〜２４時間と長時間を要し、また蒸気５がフェルール１の貫通孔２の内周面及び外周面の残水したり、染みがついてしまい外観が悪くなるが、前記気体２８を吹き付ける方法では、先の蒸気洗浄の工程の直後に一体的な装置で行う。そのため、蒸気５の温度が１３０℃〜１４０℃と高温でフェルール１自体に熱を持っており、気体２８を５〜１５秒吹き付けるだけで熱風乾燥状態となり、水分を完全に脱水することができる。
【００３９】
また、気体２８がフェルール１の貫通孔２の内周面まで届き、５秒〜１５秒で瞬時に乾燥することができることから、フェルール１に染みが残ることもない。
【００４０】
さらに、気体供給源２７から吹き出す気体２８の圧力は、０．２ＭＰａ以上とすることが好ましく、フェルール１の貫通孔２の内周面まで気体２８が十分に入り込むため、短時間で十分な乾燥を行うことができる。気体２８の圧力が０．２ＭＰａ未満となると、気体２８が入りきれず内径部までの乾燥を施すことができない。
【００４１】
さらに、気体２８は、含有水分−７０〜−２０Ｐ．Ｄ．Ｐ、残油量０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３とすることが好ましい。
【００４２】
この気体は、ＪＩＳＢ−８３９２−１で規定されたものであり、含有水分−７０〜−２０Ｐ．Ｄ．Ｐは、露点が−７０〜−２０℃の意味であり、この気体２８は−７０〜−２０℃で露点しはじめるので、常温以上で使用するため、乾燥領域広いことがわかる。
【００４３】
また、残油量が０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３と少ないため、フェルール１に吹き付けても汚れを発生させることがなく、且つ含有水分が−７０〜１０Ｐ．Ｄ．Ｐと非常に少ないため、乾燥が簡単にできる。
【００４４】
このような、洗浄から乾燥の工程を有する洗浄装置は、図１（ｄ）に示す断面図を用いて説明する。
【００４５】
例えば、フェルール１を洗浄する場合、上述のように図１（ａ）に示すようにフェルール１を穴溝４に嵌め合い固定した固定治具３にセットする。
【００４６】
この固定治具３には、直径２〜３ｍｍの穴溝４を１００〜１０００個程度備えている。
【００４７】
そして、図１（ｄ）に示すようにフェルール１を固定した固定治具３をＩＮ側の上下に可動する固定治具収納ケース３１に収納する。固定治具収納ケース３１には生産数に応じて複数の固定治具３が収納できるようになっている。
【００４８】
次いで、固定治具収納ケース３１から搬送部３２に１枚づつ固定治具３を受け台６まで自動搬送する。なお、洗浄槽３３の上蓋８は固定治具３が近づくと自動的に垂直方向に上がり、固定治具３が所定場所に収まった時に自動的に垂直におり遮断する。
【００４９】
上蓋８によって遮断されると、蒸気供給源７から蒸気５が蒸気供給用ノズル２９より固定治具３に保持したフェルール１全てに蒸気５が均等に吹き付けられる。所定時間蒸気５が供給された後、気体供給源２７から気体２８が気体供給用ノズル３０よりフェルール１全てに均等に吹き付けられる。なお、蒸気供給ノズル２９と気体供給のノズル２７については、各所定時間供給すると自動的に各ノズルの出口部が遮断されるシステムとなっている。
【００５０】
そして、所定時間気体２８が吹き付けられた後に、上蓋８が垂直方向に上がり、固定治具３が固定治具搬送部３２を通ってＯＵＴ側の上下に可動する固定治具収納ケース３１に収納すると同時に次の固定治具３がＩＮ側から搬送され、同様な動作を繰返す。
【００５１】
このように、蒸気洗浄及び乾燥を自動切換え方式により洗浄から乾燥まで一体的な物とし、自動供給装置にすることにより作業の効率化が図られ且つ洗浄及び乾燥が簡単にできる。さらに、従来は人の手により、超音波洗浄、強制乾燥もしくは自然乾燥と手間と膨大な時間がかかっていたが、固定治具３が自動搬送、自動収納、蒸気洗浄、乾燥が全て自動にすることにより、手間がかからなく且つ時間の短縮化も図れることができる。
【００５２】
なお、前記フェルール１は、ＳＭフェルール、マルチフェルール、減衰器等円筒体であれば、どれにでも洗浄が可能である。
【００５３】
次に、本発明の他の実施形態を図２に基いて説明する。
【００５４】
図２は、光通信用部品としてスリーブ１１を洗浄する場合の一実施形態を示す説明図であって、図１のフェルール１の洗浄と同様に直径が４〜６ｍｍ、貫通孔１２の直径が２〜５ｍｍ程度のスリーブ１１を無数の小径の穴溝１４が開いている固定治具１３に嵌合して固定する。前記穴溝１４は、直径が５〜７ｍｍの大きさであり、スリーブ１１の直径よりも１ｍｍ程度大きくしてあり、蒸気１５が貫通孔１２を洗浄し、さらに余波の蒸気１５がスリーブ１１の外周も十分に洗浄できる。
【００５５】
また、スリーブ１１のような貫通孔１２が比較的大きく、かつ肉厚が薄い筒状体の製品に関しては、固定治具１３の上面よりスリーブ１１の端面が数ミリ程度突出するように固定する。なぜなら、肉厚が薄いと端面の表面積が小さくなるため、蒸気１５が貫通孔１２にのみ入り込み、外周面に蒸気１５が接触することなく付着物を十分に除去することができない。そのため固定治具１３の上面よりスリーブ１１の端面が突出するように固定してある。
【００５６】
次いで、図２（ｂ）に示すように、前記固定治具１３を受け台１６に載置し、上蓋１８によって受け台１６と密閉状態を形成した後、蒸気供給源１７の噴出口から圧力の高い蒸気１５が固定治具１３に固定されたスリーブ１５に吹き付けられる。
【００５７】
噴出口から発生した蒸気１５は、スリーブ１１の貫通孔１２に入り込み、貫通孔１２の付着物を取り除き、同時にスリーブ１１の外周面にも均等な蒸気圧力がかかり洗浄することができる。
【００５８】
前記スリーブ１１の貫通孔１２の直径は、０．１６ｍｍ以上あり、蒸気１５の粒子の大きさが０．０５〜０．１ｍｍであるため容易に入り込んで効率的な洗浄を行うことができる。
【００５９】
そして、上述と同様な乾燥工程を経る。
【００６０】
このように、本発明の洗浄方法においては、固定治具、上蓋のサイズを変えるだけで、筒状体の光通信用部品を高効率に洗浄できる。
【００６１】
なお、本発明に使用されているフェルール１及びスリーブ１５のように、製品限界温度が２００℃まで信頼性上問題なく、本発明における水蒸気温度が１３０〜１４０℃までにおいても、なんら問題ないことから、同様な円筒体をもつ製品においても、製品限界温度が２００℃まで信頼性上問題なければ、本発明と同等な効果がえられることができる。
【００６２】
【実施例】
以下本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
本発明の図１（ａ）に示すように、外径２．５５ｍｍ、直径０．１２６８ｍｍの貫通孔を有するＳＭフェルールを固定治具の穴溝に挿入固定する。
【００６３】
次に、図１（ｂ）に示すように、ＳＭフェルールを固定した固定治具を受け台に載置し、上蓋と受け台とで密閉状態を形成した後、蒸気供給源の噴出口から圧力の高い水蒸気をフェルールに吹き付ける。
【００６４】
このとき、水蒸気圧力を表１に示す如く種々変化させ、各圧力でフェルールを２０個づつ洗浄した。
【００６５】
また、従来例として図５（ａ）に示すように、外径２．５５ｍｍ、直径０．１２６８ｍｍの貫通孔を有するＳＭフェルールをアルカリ性（ｐＨ１２）の洗浄液が入っている浴槽に浸水させて、超音波により振動させてフェルールの外周面に洗浄を施した後、図５（ｂ）に示すように、固定治具の中に外周面を洗浄した後のフェルールを挿入固定しアルカリ性（ｐＨ１２）の洗浄液が入っている浴槽に固定治具ごと載置して超音波の振動にて貫通孔の内周面を洗浄した。
【００６６】
各２０個のフェルール１をφ０．１２６６ｍｍゲージ１９にて通り検査測定を行い、貫通孔の付着物の洗浄度合いの確認を行い、外周面の付着物に関しては顕微鏡を１０倍にて付着物の有無を確認した。
【００６７】
なお、通り検査測定とは、図５に示すようにφ０．１２６８ｍｍゲージ１９をフェルールの端面の貫通孔に通し、テーパ部からφ０．１２６８ｍｍゲージ１９が通過したものを合格、通過できないものを不合格とし、内周面に汚れ等の付着物が洗浄できていないことを示すものである。
【００６８】
また、各フェルールの抗折強度をＪＩＳ　Ｒ　１６０１に準拠して測定した。抗折強度の測定方法として、フェルールの両端部を固定治具にて固定し、フェルールの中心部にロードセルをあてて荷重をかけ３点曲げ試験を行い、そのとき、フェルールが破断した時の強度を抗折強度とする。
【００６９】
結果を表１に示す。
【００７０】
【表１】
2004109963.tif 000003
【００７１】
表１の結果より、本発明の蒸気洗浄を行った試料は、貫通孔２の内周面洗浄については不合格の個数が５個以下、フェルール１の外周面洗浄については０個と効率よく付着物が除去されていることがわかる。
【００７２】
特に、水蒸気の圧力が０．２〜１ＭＰａでは、貫通孔２の内周面、フェルール１の外周面ともに付着物が残留しているものはなく、また、抗折強度は７１５ＭＰａ以上と洗浄後もフェルール１は高強度で形状の変化等もないことが判る。
【００７３】
（実施例２）
次いで、上述の実施例１と同様なフェルールをそれぞれ２０個づつ用意し、蒸気圧力０．２５ＭＰａの水蒸気をフェルールに吹き付けた後、自動切換え方式により気体供給用ノズルから表２に示す如く圧力で吹き付けた。
【００７４】
また、従来例として、６０℃で３０分間、乾燥機内で高温乾燥したもの、常温で２４時間、自然乾燥したものを準備した。
【００７５】
そして、各試料の残水、染みを顕微鏡（×１０）にて確認した。
【００７６】
結果を表２に示す。
【００７７】
【表２】
2004109963.tif 000004
【００７８】
表２より明らかなように、蒸気洗浄後、気体を吹き付けて乾燥した試料は、気体の圧力が０．２ＭＰａ未満のものにおいて２０個中３個に残水が見られたが、染みは生じなかった。
【００７９】
気体の圧力が０．２ＭＰａ以上においては、残水及び外観上の染みの発生もなく、効率よく乾燥されていることがわかる。
【００８０】
これに対し、従来の乾燥方法である高温乾燥及び自然乾燥においては、残水については問題ないが染みが２０個中それぞれ５、７個発生している。
【００８１】
【発明の効果】
本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、貫通孔の内周面及び筒状体の外周面とを同時に蒸気によって洗浄することから、光通信用部品に傷を付けることはなく、高効率の洗浄を施し、汚れ等の付着物を除去することができる。
【００８２】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、前記蒸気の圧力を０．２ＭＰａ以上とすることから、光通信用部品の貫通孔にも蒸気が十分に入り込んで十分な洗浄を施すことができる。
【００８３】
さらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法によれば、前記蒸気が水蒸気であることから、地球環境に影響を及ぼすことはなく、コストを削減することができる。
【００８４】
またさらに、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記蒸気洗浄後、気体を吹き付けて乾燥することから、瞬時に貫通孔内部まで乾燥を行なうことができる。
【００８５】
さらにまた、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体の圧力が０．２ＭＰａ以上であることから、貫通孔の内部にまで気体が吹きつけられ残水や、染みがなく綺麗な光通信用部品を得ることができる。
【００８６】
また、本発明の光通信用部品の洗浄方法は、前記気体が含有水分−７０〜＋１０Ｐ．Ｄ．Ｐ、残油量０．０１〜２５ｍｍｇ／ｍ３であることから、光通信用部品に汚れを発生させることなく、水分量が−７０〜１０Ｐ．Ｄ．Ｐと非常に少ないため瞬時に乾燥ができる。
【００８７】
さらにまた、本発明の光通信用部品の洗浄装置によれば、蒸気洗浄及び乾燥を自動切換え方式により洗浄から乾燥まで一体的な装置であることから、作業の効率化が図られ、洗浄及び乾燥が容易に短時間で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の洗浄方法の一実施形態を示す説明図であり、（ｄ）は本発明の洗浄装置の一実施形態を示す説明図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の洗浄方法の他の実施形態を示す説明図である。
【図３】本発明の実施例の検査方法を示す断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、従来の洗浄方法を示す説明図である。
【符号の説明】
１：フェルール
２：貫通孔
３：固定治具
４：穴溝
５：蒸気
６：受け台
７：蒸気供給源
８：上蓋
９：ダクト
１０：排水
１１：スリーブ
１２：貫通孔
１３：固定治具
１４：穴溝
１５：蒸気
１６：受け台
１７：蒸気供給源
１８：上蓋
１９：ゲージ
２１：フェルール
２２：貫通孔
２３：固定治具
２４：超音波
２５：洗浄液
２６：浴槽
２７：気体供給源
２８：気体
２９：蒸気供給ノズル
３０：気体供給ノズル
３１：固定治具収納ケース
３２：固定治具搬送部
【図１】
2004109963.tif 000005
【図２】
2004109963.tif 000006
【図３】
2004109963.tif 000007
【図４】
2004109963.tif 000008