(57)【要約】【課題】経費及び労力を増加させることなく、バネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせる。【解決手段】積層体４とバネ部品６との一方が他方に突起部と孔部により位置決めし、はり合わせて磁気ヘッドサスペンション５を製造する。このような構成によれば、高価な装置を使用することなく、積層体４と、バネ部品６とを位置合わせ精度良くはり合わせることができ、磁気ヘッドサスペンションの製造に要する経費及び労力を削減することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転動作する磁気ディスクに磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションであって、
電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と金属材料からなるバネ部品とを備え、
前記バネ部品と、前記積層体とは少なくとも一部分に一方の突起部と他方の孔部を対になるようにそれぞれ有し、
前記一方の突起部が前記他方の孔部に挿入されはり合わされていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記積層体に孔部を設け、前記バネ部品に突起部を設けたことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記突起部を前記孔部に挿入しやすいように、前記突起部、前記孔部の両方又は片方にテーパを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
位置精度を向上させるため、前記孔部とこれに挿入される前記突起部とを２箇所以上設けて位置決めして、はり合わされること特徴とする請求項１、２又は３記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
回転動作する磁気ディスクに磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と、金属材料からなるバネ部品とをはり合わせる接合工程を含み、
前記接合工程においては、前記バネ部品と、前記積層体との少なくとも一部分に形成された一方の孔部に他方の突起部を挿入しはり合わせることを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項６】
前記突起部を作成するために、この突起部を除いた領域にハーフエッチングを行う工程を含むことを特徴とする請求項５記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に係り、さらに詳細には磁気ディスク装置等の回転式データ記憶装置に適応して、好適な、磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、磁気ディスク装置においては、回転動作する所望のトラック上に磁気ヘッドを正確に位置決めするために、磁気ヘッドサスペンションが利用されており、この磁気ヘッドサスペンションは、通常、電気絶縁性基板に電気回路となる導電材を積層して形成された積層体上に金属材から成るバネ部品を接着剤で貼り合わせることにより製造される。
【０００３】
また、特許文献１参照。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２９６５３６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のように、従来までの磁気ヘッドサスペンションは、バネ部品と積層体とを接着剤で貼り合わせることにより製造される構成となっているために、平面度と直線性を確保しつつ、且つ、再現性及び設置正確度を向上させて製造することが難しい。
【０００６】
このような背景から、例えば引張り装置等の装置を利用した磁気ヘッドサスペンションの製造方法も考えられているが、一般にこのような装置は構成が複雑で非常に高価であるために、磁気ヘッドサスペンションの製造に要する経費が増加してしまう。また、このような装置を利用して磁気ヘッドサスペンションを製造する場合には、バネ部品と積層体の位置合わせ精度を向上させることが難しく、さらに厳密な条件に基づいて装置及び製造工程を制御しなければならないために磁気ヘッドサスペンションの製造には多くの労力が必要となる。
【０００７】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、経費及び労力を増加させることなく、バネ部品と積層体とを位置合わせ精度よく貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造することが可能な、磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、請求項１に係る発明は、回転動作する磁気ディスクに磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションであって、電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と金属材料からなるバネ部品とを備え、前記バネ部品と、前記積層体とは少なくとも一部分に一方の突起部と他方の孔部を対になるようにそれぞれ有し、前記一方の突起部が前記他方の孔部に挿入されはり合わされている磁気ヘッドサスペンションである。これにより、容易に積層体と、バネ部品との位置決めを行うことができる。
【０００９】
請求項２に係る発明は、前記積層体に孔部を設け、前記バネ部品に突起部を設けた上記磁気ヘッドサスペンションである。これにより、突起部に強度を持たせることができる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、前記突起部を前記孔部に挿入しやすいように、前記突起部、前記孔部の両方又は片方にテーパを設けた上記磁気ヘッドサスペンションである。これにより、積層体とバネ部品のはり合わせ作業が容易になり、また、突起部の強度も強くなる。
【００１１】
請求項４に係る発明は、位置精度を向上させるため、前記孔部とこれに挿入される前記突起部とを２箇所以上設けて位置決めして、はり合わされる上記磁気ヘッドサスペンションである。これにより、位置精度が向上する。
【００１２】
請求項５に係る発明は、回転動作する磁気ディスクに磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と、金属材料からなるバネ部品とをはり合わせる接合工程を含み、
前記接合工程においては、前記バネ部品と、前記積層体との少なくとも一部分に形成された一方の孔部に他方の突起部を挿入しはり合わせる磁気ヘッドサスペンションの製造方法である。
【００１３】
請求項６に係る発明は、前記突起部を作成するために、この突起部を除いた領域にハーフエッチングを行う工程を含む上記磁気ヘッドサスペンションの製造方法である。これにより、バネ部品の任意の箇所に種種の形状の突起部を容易に形成することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１５】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンション５は、例えば図１に示すような磁気ヘッドサスペンションアセンブリ１に適用することができる。
【００１６】
図１に示す磁気ヘッドサスペンションアッセンブリ１は、開口部２において磁気ヘッド３が接続される積層体４と、積層体４とはり合わされて磁気ヘッドサスペンション５を形成するバネ部品６と、バネ部品６と接続する金属板７とを備える。そして、この磁気ヘッドサスペンションアセンブリ１は、金属板７と接続するアーム部により回転動作することにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク上に正確に位置決めする。
【００１７】
上記積層体４は表面部分に電気回路８を備え、この電気回路８は開口部２に設けられた磁気ヘッド３と接続する。このような構造の積層体４を製造する際は、始めに、図２（ａ）に示すような、２５μｍ程度の膜厚を有する電気絶縁層１６上に１８μｍ程度の膜厚を有する銅層１７が積層された基板を用意する。なお、上記電気絶縁層１６の材質としては例えばポリイミドを用いるとよい。また、上記銅層１７は電気絶縁層１６上に形成した金属シード層に電解めっき処理を施すことにより形成するとよい。
【００１８】
次に、図２（ｂ）に示すように銅層１７表面に感光性レジスト層１８を形成（配線形状に形成する）した後、露光処理及びエッチング処理を施すことにより、図２（ｃ）に示すように、電気絶縁層１６上に銅層１７から成る電気回路１９を形成する。そして、銅層１７から成る電気回路１９の形成が完了すると、図２（ｄ）に示すように、銅層１７から成る電気回路１９上に回路保護のためのエポキシ系樹脂２０を形成、硬化させ電気回路２１（図１では電気回路８と同一の積層構造である）を形成する。
【００１９】
次に、露光処理及びエッチング処理を施すことにより、図２（ｅ）に示すように、電気絶縁層１６上の電気回路２１が形成されていない箇所に孔部（バネ部品に備えられた突起部が挿入される位置決め用の孔部）２２等を形成する。なお、開口部１５ａ（図１参照）を形成するための電気絶縁層１６のエッチング処理は、例えば強アルカリ性水溶液やプラズマエッチング装置を利用して行うとよい。
【００２０】
最後に、基板洗浄後、エポキシ樹脂が形成されていない電気回路２１に金めっき処理を施すことにより（図示せず）、積層体４の製造処理は終了する。
【００２１】
上記バネ部品６は、図１及び図３に示すように、上記積層体４の開口部１５ａと対応する位置に形成された開口部１５ｂと、所定の箇所に形成された突起部（位置決め用の突起部。以下同じ）１２と、突起部１３と、突起部１４とを備える。
【００２２】
上記突起部１２、１３、１４は、積層体４とはり合わされて磁気ヘッドサスペンション５を形成する際、積層体４の孔部（前記突起部１２が挿入される孔）９、孔部（前記突起部１３が挿入される孔）１０、及び孔部（前記突起部１４が挿入される孔）１１に挿入され位置決めされる。
【００２３】
すなわち、より詳しく説明すると、突起部１２、１３、１４がそれぞれ挿入される上記孔部９、１０、１１は、上記積層体４の電気絶縁層１６の少なくとも一部（この実施形態の場合、図１に示す上記磁気ヘッド３を支持する部分Ｄを除くＥの範囲の部分）に備えている。これは、図１に示す磁気ヘッド３を支持する部分Ｄは、バネ部品６に対して固定されないフリーな浮いた状態となっている必要があるためである。
【００２４】
次に、別途金属材を用意し、バネ部品６となるように化学エッチング法による成形を説明する。
【００２５】
図３を参照する。まず、図３（ａ）に示すように、金属部材３１の一方の面３１ｂのバネ部品６として必要な部分を感光性レジスト３２により覆う。同時に、他方の面３２ａに突起部のみを形成するためのレジスト３２を形成する。レジスト３２を形成後、第二塩化鉄により金属部材３１のエッチングを行う。
【００２６】
図３（ｂ）を参照する。前記金属材料３１にエッチングが行われ突起部３４が作成される（図１の突起部１２、１３、１４の作成方法である）。そして、孔部３５も同じ工程で作成され金属部材（バネ部品）３３が完成する。ここで、金属部材３１のエッチングは、片面から金属部材３１の厚さの１／２〜３／４がエッチングされるような時間で調整を行う（ハーフエッチング）。これにより、突起と孔とが同一の工程で作成されるため製造工数が低減される。
【００２７】
このように、レジストを形成、金属部材３１のエッジングを行うことにより、この金属部材３１は、位置合わせ用突起部３４を有する磁気ヘッドサスペンション５のバネ部品６として利用することができる。また、この突起部３４は、バネ部品６となる金属部材３１の厚さよりも厚く形成され、電気絶縁層４に形成した孔部内に挿入することが可能になる。また、上記の方法によれば、突起部にはテーパがつきやすく、そのテーパにより容易に孔部への挿入が可能となる。さらに、このテーパにより突起部の強度も向上する。
【００２８】
図３（ｃ）を参照する。表面に印刷法またはキャスト法により接着剤３６を塗布する。この接着剤３６は金属部材（バネ部品）３３に塗布せず、電気絶縁層１６の電気絶縁体表面に塗布することも可能である。
【００２９】
図３（ｄ）を参照する。最後に、電気回路２１を有する電気絶縁層１６と前記金属部材（バネ部品）３３とを接着剤３６によりはり合わせる。このとき、電気絶縁層１６に備えられた孔部２２に金属部材（バネ部品）３３に備えられた突起部３４を挿入することにより位置決めを行う。
【００３０】
図４は、図１において断面Ａ−Ａ’と断面Ｂ−Ｂ’で見たときの磁気ヘッドサスペンション５の側面図である（図１では積層体４とバネ部品６とは分解された状態であるが以下の説明では組み立てた場合を想定している）。
【００３１】
図４（ａ）を参照する。図１において断面Ａ−Ａ’で見た磁気ヘッドサスペンション５の側面図である。すなわち、バネ部品６が有する突起部１３と突起部１４とが積層体４が有する孔部１０と孔部１１とにそれぞれ挿入されている。
【００３２】
図４（ｂ）を参照する。図１において断面Ｂ−Ｂ’で見た磁気ヘッドサスペンション５の断面図である。すなわち、バネ部品６が有する突起部１２が積層体４が有する孔部９に挿入されている。このように、磁気ヘッドサスペンション（バネ部品６、積層体４）５の任意の位置に位置決め用の突起部を設けることができる。これにより、例えば、バネ部品６上の配置のスペースが狭い場合にも数本配置すれば位置決めが確実にできる。
【００３３】
図５は上述した突起部と孔部の形状の種類を示している。なお突起部の形状と孔部の形状は同一的である。
【００３４】
図５（ａ）を参照する。バネ部品４１に突起部４２、突起部４３、及び突起部４４とが配置されている。この配置は前記バネ部品４１の任意の位置（但し、電気回路等とに干渉しない位置）に１又は複数配置する。また、前記突起部４２、４３、４４は円柱形状である。例えば、突起部４２の断面形状４６は円形状であり側面形状４５は円柱曲面より構成されている。
【００３５】
図５（ｂ）を参照する。バネ部品４７に突起部４８、突起部４９、及び突起部５０とが配置されている。この配置は前記バネ部品４１の任意の位置（但し、電気回路等とに干渉しない位置）に１又は複数配置する。また、前記突起部４８、４９、５０はテーパを備えている。例えば、突起部４８の断面形状５２は円形状であり側面形状５１は円錐曲面より構成されている。これにより、容易にはり合わせることができる。なお、このときの、孔部の形状はテーパが付加されている場合と、テーパが付加されていない場合が想定される。また、孔部のみにテーパを付加しても良い。
【００３６】
図５（ｃ）を参照する。バネ部品５３に突起部５４が配置されている。この配置は前記バネ部品５３の任意の位置（但し、電気回路等とに干渉しない位置）に１又は複数配置（通常は一箇所で位置決めできる）する。
【００３７】
前記突起部５４は半円の円柱形状である。すなわち、断面形状５７は半円形状であり側面形状５５は円柱曲面である。側面形状５６は平面形状である。これにより、突起部５４を一箇所配置するのみで位置決めを行うことができる。また、この突起部にテーパをつけることにより重ね合わせをより容易に行うことができる。
【００３８】
なお、本発明は、上述した実施の態様の例に限定されることなく、適宜の変更を加えることにより、その他の態様で実施できるものである。例えば、バネ部品に孔部を有し、積層体に突起部を有する構成にしても良い。
【００３９】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、例えば、経費及び労力を増加させることなくバネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造することができる。
【００４０】
また、突起部等にテーパを付けることにより、積層体と、バネ部品を容易に重ねることができるという効果がある。そして、突起部と、孔部とを複数配置させることにより積層体とバネ部品との間でより正確な位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドサスペンションが適用される磁気ヘッドサスペンションアセンブリの構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す積層体の製造方法を説明するための断面工程図である。
【図３】図１に示すバネ部品の製造方法を説明するための断面工程図である。
【図４】位置決めされたバネ部品と積層体の重なりを説明する説明図である。
【図５】位置決めピンの形状の種類を説明する説明図である。
【符号の説明】
１  磁気ヘッドサスペンションアッセンブリ
２  開口部
３  磁気ヘッド
４  積層体
５  磁気ヘッドサスペンション
６  バネ部品
７  金属板
８  電気回路
９  突起部
１２  孔部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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