(57)【要約】　　　（修正有）【課題】簡易な構成かつ軽量であって、その運用が容易であり、安価な基板運搬カートを提供する。【解決手段】気密のカセット収納室２４と、基板１２の受け渡しを行う開口部２６と、開口部開閉手段２７と、開口部２６を囲むようにその一端が接続されている筒状のドッキング部材と、ドッキング部材の他端に設けられているドッキング部気密保持部材とを具え、カセット収納室２４内には、カセット支持板３２と、カセット支持板３２を上下方向に作動させる昇降手段３４とが設けられている第１の箱体２２と、不活性ガス精製循環手段５０を具えていて、第１の箱体２２がその上面に積載されている第２の箱体４２と、カセット収納室２４と不活性ガス精製循環手段５０とを接続する給排気手段６２及び６４とを具えている。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密のカセット収納室と、基板の受け渡しを行う開口部と、該開口部を気密に閉鎖するか、又は開放する開口部開閉手段と、該開口部の外側に、該開口部を囲むように一端が接続されている筒状のドッキング部材と、該ドッキング部材の他端に設けられているドッキング部気密保持部材とを具え、前記カセット収納室内には、カセットを載置するカセット支持板と、該カセット支持板に接続されていて、該カセット支持板を上下方向に作動させる昇降手段とが設けられている第１の箱体と、
不活性ガス精製循環手段を具えていて、前記第１の箱体が上面に積載されている第２の箱体と、
前記カセット収納室と前記不活性ガス精製循環手段とを接続する給排気手段とを具えることを特徴とする基板運搬カート。
【請求項２】
真空装置非搭載型の基板運搬カートを用いて、２つの処理装置間での処理対象の基板の受け取り又は受け渡しを行うことを特徴とする基板の受け取り受け渡し方法。
【請求項３】
請求項２に記載の基板の受け取り受け渡し方法において、
前記基板の受け取り又は受け渡しを行うために、一方の前記処理装置へ前記基板運搬カートを気密に結合させてから、該基板運搬カートを他方の前記処理装置へ結合させて前記基板の受け渡しを終了させるまでの間、前記基板運搬カートにおいて、不活性ガスを精製しながら循環させることを特徴とする基板の受け取り受け渡し方法。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の基板の受け取り受け渡し方法において、
前記基板運搬カートにキャスタを設けておき、該基板運搬カートを、レールを用いずに、手動により自在に移動させて、前記処理装置へ対向させることを特徴とする基板の受け取り受け渡し方法。
【請求項５】
複数の工程間における基板の受け取り受け渡し方法であって、
（１）請求項１に記載の基板運搬カートの第１のドッキング部と、処理装置のドッキング部とを、位置合わせして互いに対向させ、前記第１のドッキング部の気密保持部材と前記処理装置のドッキング部の気密保持部材とを接触させて、前記基板運搬カートと前記処理装置との間を接続する気密のドッキング空間を形成する工程、
（２）前記ドッキング空間に不活性ガスを供給する工程、
（３）基板運搬カートの開口部及び処理装置の開口部を開放して、互いに基板の受け渡しを行う工程、
（４）前記基板運搬カートの開口部及び前記処理装置の開口部を気密に閉鎖する工程、
（５）接触している前記第１のドッキング部の気密保持部材と前記処理装置のドッキング部の気密保持部材とを離間させる工程
を含むことを特徴とする基板の受け取り受け渡し方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板運搬カート及び基板の受け取り受け渡し方法に関し、特に装置間で基板等の処理対象を互いに受け渡すための運搬カート及びこの運搬カートを使用した処理対象の受け取り受け渡し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の製造工程を、互いに離間して設置されている複数の装置においてそれぞれ別途に実施する場合には、処理対象を互いに受け渡すための何らかの手段が必要となる。
【０００３】
例えば、有機ＥＬ表示パネルの製造工程を例にとると、使用される発光材料は酸素及び水分に弱いため、例えば基板への発光材料の蒸着工程又は塗布工程、乾燥剤の導入工程、及びパネルの封止工程等は真空条件下又は不活性ガス存在下で実施される必要がある。これらの工程は、一連の工程として、真空条件下又は不活性ガス存在下とされた単一の空間で連続的に実施することが好ましい。
【０００４】
しかしながら、これらの各工程は、それぞれ離間した設備で、しかも断続的に実施されることが多い。従って、ある工程の実施と、次の工程の実施までに時間差が生じるか、又は所望により意図的に時間を置いて実施する場合も考えられる。従来、このような場合には、例えば格納空間を真空として、この格納空間内に基板を格納して、運搬を行う基板運搬カートが使用されてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した格納空間を真空にする手段である真空ポンプは、非常に嵩張るので、カート全体が大きくなっていた。また、例えば作動電源への接続配線の長さの限界により、カートの移動に制限が生じていた。さらに構造が複雑なため重量が増大してしまうので、運用に多大な労力が必要であった。さらに、真空ポンプ等の従来の構成は高価なものであるので、従来の基板運搬カートは、製造コストや運用コストが極めて高くなっていた。
【０００６】
従って、簡易な構成かつ軽量であって、その運用が容易であり、また安価な基板運搬カートの出現が望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものである。すなわち、この発明にかかる基板運搬カートは、気密のカセット収納室と、基板の受け渡しを行う開口部と、開口部を気密に閉鎖するか、又は開放する開口部開閉手段と、開口部の外側に、開口部を囲むように一端が接続されている筒状のドッキング部材と、ドッキング部材の他端に設けられているドッキング部気密保持部材とを具え、カセット収納室内には、カセットを載置するカセット支持板と、カセット支持板に接続されていて、カセット支持板を上下方向に作動させる昇降手段とが設けられている第１の箱体と、不活性ガス精製循環手段を具えていて、第１の箱体が上面に積載されている第２の箱体と、カセット収納室と不活性ガス精製循環手段とを接続する給排気手段とを具えている。
【０００８】
この発明の基板運搬カートは、簡易な構成かつ軽量であるので、その運用が容易である。また、この発明の基板運搬カートは極めて安価に製造することができる。
【０００９】
この発明にかかる複数の工程間における基板の受け取り受け渡し方法によれば、真空装置非搭載型の基板運搬カートを用いて、２つの処理装置間での処理対象の基板の受け取り又は受け渡しを行うことを特徴とする。
【００１０】
また、基板の受け取り又は受け渡しを行うために、一方の処理装置へ基板運搬カートを気密に結合させてから、基板運搬カートを他方の処理装置へ結合させて前記基板の受け渡しを終了させるまでの間、基板運搬カートにおいて、不活性ガスを精製しながら循環させる。
【００１１】
さらに基板運搬カートにキャスタを設けておき、基板運搬カートを、レールを用いずに、手動により自在に移動させて、処理装置へ対向させるのがよい。
【００１２】
また、この発明にかかる複数の工程間における基板の受け取り受け渡し方法は、主として、以下の工程を含む。
（１）上述の基板運搬カートの第１のドッキング部と、処理装置のドッキング部とを、位置合わせして互いに対向させ、第１のドッキング部の気密保持部材と処理装置のドッキング部の気密保持部材とを接触させて、基板運搬カートと処理装置との間を接続する気密のドッキング空間を形成する工程、
（２）ドッキング空間に不活性ガスを供給する工程、
（３）基板運搬カートの開口部及び処理装置の開口部を開放して、互いに基板の受け渡しを行う工程、
（４）基板運搬カートの開口部及び処理装置の開口部を気密に閉鎖する工程、
（５）接触している第１のドッキング部の気密保持部材と前記処理装置のドッキング部の気密保持部材とを離間させる工程。
【００１３】
この発明の受け取り受け渡し方法によれば、従来行われていた真空状態を得るための工程が存在しないため、複数の製造工程をより効率的に接続して実施することができる。また、従来用いられているレールを用いずに移動させることができるので、カート運用の柔軟性が増す。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照してこの発明の実施の形態につき説明する。なお、各図は発明を理解できる程度に各構成成分の形状、大きさおよび配置関係を概略的に示してあるに過ぎず、したがってこの発明を図示例に限定するものではない。また、各図において、同一の構成要素には同一の番号を付し、その説明を省略する場合もあることを理解されたい。
【００１５】
＜第１の実施の形態＞
第１の実施の形態の基板運搬カートにつき、図１及び図２を参照して説明する。
【００１６】
図１（Ａ）はこの発明の基板運搬カートを内部の構成要素が理解できるように、上面部を切り欠いて示す概略的な上面図であり、図１（Ｂ）はこの発明の基板運搬カートを正面部を除いて示す概略的な正面図である。
【００１７】
図２（Ａ）は、この発明の基板運搬カートを、内部の構成要素が理解できるように、透過的に正面からみた概略的な正面図であり、図２（Ｂ）はこの発明の基板運搬カートを透過的に右側面からみた概略的な側面図であり、図２（Ｃ）はこの発明の基板運搬カートを背面側から透過的にみた概略的な背面図である。
【００１８】
基板運搬カート１０は、第１の箱体２２が第２の箱体４２上に積載されていて、これらを互いに固定して構成してある。
【００１９】
第１の箱体２２を構成する材料は、この発明の目的を損なわない範囲で、気密性と重量の軽量化等を考慮して決定されるが、好ましくは、プラスチックパネルとするのがよい。
【００２０】
基板運搬カート１０は、第１の箱体２２により箱体内部に画成される気密のカセット収納室２４を具えている。
【００２１】
また基板運搬カート１０は、第２の箱体４２に格納される不活性ガス精製循環手段５０を具えている。不活性ガス精製循環手段５０は、カセット収納室２４に供給されている窒素等の不活性ガスを室内から排気させて、例えば吸着剤及び／又は白金触媒、還元銅触媒といった触媒等を用いて、不活性ガスの精製（浄化）を行った後、精製された不活性ガスをカセット収納室２４に再び供給して、循環させる機能を具えている。
【００２２】
この不活性ガス精製循環手段５０は、市販されている装置を使用することができる。例えば美和製作所株式会社製のガス循環精製機が入手可能である。
【００２３】
この不活性ガス精製循環手段５０と第１の箱体２２のカセット収納室２４とは、第１の給排気手段６２及び第２の給排気手段６４により、不活性ガスの循環が可能なように接続されている。この第１の給排気手段６２及び第２の給排気手段６４は、いずれか一方はカセット収納室２４内に不活性ガス精製循環手段５０から不活性ガスを供給する経路として機能し、他方はカセット収納室２４内の不活性ガスを不活性ガス精製循環手段５０に排気する経路として機能する。この第１の給排気手段６２及び第２の給排気手段６４は、例えば第１の箱体底面部２２ａに開口するように設けられている。具体的には、この発明の目的を損なわない範囲で任意好適な材料から形成されている、例えば中空のホース、パイプ等である。
【００２４】
第１の箱体２２には、基板１２の受け渡しを行うための第１の開口部２６と、この第１の開口部２６を気密に閉鎖又は開放自在にすることができる第１の開口部開閉手段２７とが設けられている。
【００２５】
そして、この第１の開口部２６の外側、すなわち第１の箱体２２の第１の開口部２６の存在する側の外側面には、第１の開口部２６を囲むように第１のドッキング部２３が設けられている。この第１のドッキング部２３は筒状の第１のドッキング部材２３ａと第１のドッキング部気密保持部材２３ｂから構成されている。そして第１の開口部２６を囲むように筒状の第１のドッキング部材２３ａの一端が接続されている。この第１のドッキング部材２３ａの他端側に、第１のドッキング部気密保持部材２３ｂが設けられている。
【００２６】
さらに第１の箱体２２には、複数の基板１２を載置して保持するカセット３０の受け渡しを行うための大型の第２の開口部２８と、この第２の開口部２８を気密に閉鎖又は開放自在にすることができる第２の開口部開閉手段２９とを具えている。また、カセット収納室２４内に不活性ガスを供給するための開口部を具えるのがよい（図示されていない）。
【００２７】
第１及び第２の開口部開閉手段２７及び２９は、例えば油圧シリンダ等の作動機構により構成するのがよい。
【００２８】
カセット収納室２４内には、カセット３０を基板運搬カート１０の接地面（地面又は床面等）に対し垂直な方向、すなわち上下方向に作動させる、すなわち図１中矢印Ａ方向に昇降させるカセット昇降手段３４が設けられている。この昇降手段３４は、第１の箱体２２の底面部２２ａに固定されている昇降機構支持部３４ａと、この昇降機構支持部３４ａに接続されている昇降機構３４ｂとを含んでいる。この昇降機構３４ｂには、これに接続されていて、上下方向、すなわち矢印Ａ方向に可動自在とされている、カセット支持板３２が設けられている。
【００２９】
昇降機構３４ｂは、例えば、ボールねじとサーボモータとの組み合わせ等により構成するのがよい。
【００３０】
基板運搬時には、カセット支持板３２上には、複数の棚板３０ａを具えているカセット３０が載置されている。そして、この棚板３０ａ上には基板１２が載置されている。
【００３１】
第２の箱体４２の背面部には、運搬時に使用するための取っ手７０が、設けられている。さらに第２の箱体４２の底面部外側には、その矩形の４つの角隅部近傍にキャスタ８０が設けられている。基板運搬カート１０は、このキャスタ８０により自在に移動可能である。従って、この基板運搬カート１０を処理装置に対向させるために、この基板運搬カート１０を従来使用されているようなレール上ではなく、平坦面上を手動で容易に移動させることができる。
【００３２】
この発明の基板運搬カートの構成によれば、カートに複数の基板が格納された状態で不活性ガスの循環及び精製が行えるので、クリーンな状態で基板の保管及び複数の工程間のスムーズな接続が可能となる。従って複数の工程を、断続的に実施することができるので、製造工程の実施の自由度が増す。また、例えば従来の運搬カートと比較して、軽量であるので、基板を格納した状態でも運用が容易である。また、構成が簡易であるので、安価に製造することができる。
【００３３】
次に、図３を参照して、この発明の基板運搬カート１０による基板１２の受け取り受け渡し方法につき説明する。
【００３４】
この発明の基板の受け取り受け渡し方法によれば、真空装置非搭載型の基板運搬カートを用いて、２つの処理装置間での処理対象の基板の受け取り又は受け渡しを行う。
【００３５】
例えば有機ＥＬパネルの製造工程において、ある第１の工程がある処理装置により、不活性ガス存在下で実施された後に、この発明の基板運搬カート１０を用いて、基板１２を受け取り、運搬して、別の処理装置に受け渡した後、ある第２の工程をこの別の処理装置により、不活性ガス存在下で実施する場合を説明する。これらの処理装置には、基板を受け取り又は受け渡すための開放又は気密に閉鎖可能な開口部が設けられているものとする。また、これらの処理装置内には、基板を保持して移動させるロボットアームが具えられているものとする。さらに処理装置の開口部には、上述の基板運搬カート１０で説明した第１ドッキング部２３と同一形状で同一サイズであり、基板カート１０のドッキング部２３が気密に接続可能なドッキング部が設けられているものとする。
【００３６】
図３は、基板の受け取り受け渡し方法を説明するため、要部（ドッキング部）のみ断面で示し、一部を切り欠いて示した概略的な側面図である。
【００３７】
この発明の基板運搬カート１０（左側）と処理装置１００（右側）がお互いのドッキング部により接続されている状態を示してある。このドッキングのために、基板運搬カート１０を平坦な床面上を手動で移動させて、処理装置１００のドッキング部１２３に対向させた後、接続する。
【００３８】
不活性ガス存在下での第１の工程終了後、まず、基板運搬カート１０の準備を行う。基板運搬カート１０のカセット収納室２４内に窒素等の不活性ガスを導入して、不活性ガス精製循環手段を作動させる。この不活性ガス精製循環手段は電源を具え自立して動作が可能な構成としてある。
【００３９】
次いで、基板運搬カート１０の第１のドッキング部２３と、処理装置１００のドッキング部１２３とを、位置合わせして互いに対向させる。第１のドッキング部２３の気密保持部材２３ｂと処理装置１００のドッキング部気密保持部材１２３ｂとを接触させて、基板運搬カート１０と処理装置１００との間を接続する気密のドッキング空間９０を形成する。
【００４０】
このとき、この接続部を介して、不活性ガス精製循環手段以外の作動部に対して作動電力が供給できるような構成としておくのがよい。
【００４１】
然る後、ドッキング空間９０に、図示されていない不活性ガスを供給して、ドッキング空間９０、カセット収納室２４及び処理装置の内部空間１１０を、不活性ガスが存在する同一の条件となるように調整する。ドッキング空間９０に供給される不活性ガスは、基板運搬カート１０又は処理装置１００側から供給してもよい。
【００４２】
次いで、基板運搬カート１０の第１の開口部２６及び処理装置１００の開口部１２６を第１の開口部開閉手段２７及び処理装置開口部開閉手段１２７により開放する。
【００４３】
次いで、上述の昇降機構３４ｂにより、基板１２を受け取る棚板の高さを調節する。
【００４４】
処理装置内部空間１１０内に設けられている図示されていないロボットアームにより、第１の工程により処理済みの基板１２を保持する。そしてロボットアームを操作して開口部１２６からドッキング空間９０へ基板１２を移動させ、次いで第１の開口部２６から基板運搬カート１０内へ基板を搬入する。
【００４５】
そしてロボットアームにより基板１２を基板運搬カート１０内の選択された棚板に載置し、ロボットアームを処理装置内部空間１１０に回収する。
【００４６】
然る後、基板運搬カート１０の第１の開口部２６及び処理装置１００の開口部１２６をそれぞれの開閉手段により気密に閉鎖する。
【００４７】
さらに、接触している第１のドッキング部２３のドッキング部気密保持部材２３ｂと処理装置１００のドッキング部気密保持部材１２３ｂとを離間させて、基板運搬カート１０と処理装置１００とを切り離す。このようにして基板の受け取り工程が終了する。
【００４８】
次に基板運搬カート１０から他の処理装置１００に基板１２を渡す動作につき説明する。
【００４９】
切り離された基板運搬カート１０を平坦な床面上を手動で移動させて第２の工程が実施される他の処理装置１００まで運搬する。この密閉されたカセット収納室２４内には、精製された不活性ガスが循環されている。
【００５０】
他の処理装置１００の処理装置空間１１０内は、不活性ガス存在下に置かれ、第２の工程の実施を行うことができる状態とされている。
【００５１】
気密のドッキング空間９０の形成及び不活性ガスの導入によるそれぞれの空間の条件の均一化については上述と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
処理装置内部空間１１０内に設けられている図示されていないロボットアームを伸ばして、棚板に載置されている基板１２を保持する。そしてロボットアームを操作して第１の開口部２６からドッキング空間９０へ基板１２を移動させ、次いで処理装置１００の開口部１２６から処理装置内部空間１１０内に基板１２を搬入することで、処理装置１００に基板１２を渡す。
【００５３】
基板運搬カート１０と処理装置１００との切り離しまでは上述と同様なのでその詳細な説明は省略する。このようにして基板運搬カート１０から他の処理装置１００に基板を受け渡す工程が終了する。他方の処理装置への基板の受け渡しが終了した後に、不活性ガスの精製及び循環を停止させる。然る後、第２の工程が実施される。
【００５４】
【発明の効果】
この発明の基板運搬カートは、簡易な構成かつ軽量であるので、その運用が容易である。また、この発明の基板運搬カートは極めて安価に製造することができる。
【００５５】
また、この発明の基板の受け取り受け渡し方法によれば、従来行われていた真空状態を得るための工程が存在しないため、複数の製造工程をより効率的に接続して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は、この発明の基板運搬カートを内部の構成要素が理解できるように、上面部を切り欠いて示す概略的な上面図であり、図１（Ｂ）はこの発明の基板運搬カートを正面部を除いて示す概略的な正面図である。
【図２】図２（Ａ）は、この発明の基板運搬カートを、内部の構成要素が理解できるように、正面から透過的にみた概略的な正面図であり、図２（Ｂ）はこの発明の基板運搬カートを右側面から透過的にみた概略的な側面図であり、図２（Ｃ）はこの発明の基板運搬カートを背面側から透過的にみた概略的な背面図である。
【図３】この発明の基板の受け取り受け渡し方法を説明するために、要部（ドッキング部）のみ断面で示し、一部を切り欠いて示した概略的な側面図である。
【符号の説明】
１０：基板運搬カート
１２：基板
２２：第１の箱体
２２ａ：箱体底面部
２３：第１のドッキング部
２３ａ：第１のドッキング部材
２３ｂ：第１のドッキング部気密保持部材
２４：カセット収納室
２６：第１の開口部
２７：第１の開口部開閉手段
２８：第２の開口部
２９：第２の開口部開閉手段
３０：カセット
３０ａ：棚板
３２：カセット支持板
３４：カセット昇降手段
３４ａ：昇降機構支持部
３４ｂ：昇降機構
４２：第２の箱体
５０：不活性ガス精製循環手段
６２：第１の給排気手段
６４：第２の給排気手段
７０：取っ手
８０：キャスタ
９０：ドッキング空間
１００：処理装置
１１０：内部空間
１２３：処理装置ドッキング部
１２３ａ：処理装置ドッキング部材
１２３ｂ：ドッキング部気密保持部材
１２６：処理装置開口部
１２７：処理装置開口部開閉手段
【図１】
2004039741.tif 000003
【図２】
2004039741.tif 000004
【図３】
2004039741.tif 000005