(57)【要約】【課題】薄板状対象物の処理すべき最大処理領域の面積が大きい場合でも、歪みや撓みを十分に抑制した上で、高精細で均一な画像を入力できるようにする。【解決手段】所定の加工領域を有する薄板状の対象物Ｗをテーブル上に載置し、該テーブルの上方に配されたセンサ部３２が有するラインセンサカメラにより該対象物を撮像して画像を入力する際、前記対象物Ｗの一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、且つ前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板１６により、前記撮像範囲以上の対象物の上面を押え付けた状態で、走査用移動機構８０によりセンサ部３２を移動させながら該対象物Ｗを撮像する。【選択図】      図４
2004220443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の加工領域を有する薄板状の対象物をステージ上に載置し、該ステージの上方に配されたラインセンサカメラにより該対象物を撮像して画像を入力する画像入力方法であって、
前記対象物の一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、且つ前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板により、前記撮像範囲以上の対象物の上面を押え付けた状態で、前記ラインセンサカメラを、素子列に直交する方向に移動させて前記撮像範囲に亘って走査し、該対象物を撮像することを特徴とする画像入力方法。
【請求項２】
所定の加工領域を有する薄板状の対象物をステージ上に載置し、該ステージの上方に配されたラインセンサカメラにより該対象物を撮像して画像を入力する画像入力装置であって、
前記対象物の一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板と、撮像時に該上面矯正板を前記撮像範囲以上の対象物の上面に押え付ける押圧手段とを有する上面矯正手段を備え、且つ、前記ラインセンサカメラを、素子列に直交する方向に移動させて前記撮像範囲に亘って走査可能な走査用移動手段を備えたことを特徴とする画像入力装置。
【請求項３】
前記押圧手段が、前記撮像手段に対して上面矯正板を進退動させる機能を有していることを特徴とする請求項２に記載の画像入力装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、画像入力方法及び装置、特に金属やプラスチック等を加工して作成される薄板状の製品を測定や検査のために画像入力する際に適用して好適な、画像入力方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属やプラスチック等を加工して製造される薄板状製品（対象物）Ｗとしては、図８の斜視図にイメージを示すような加工が施された加工領域Ｗａと、その周囲の非加工領域Ｗｂからなるものがある。このような製品では、加工領域Ｗａにおける加工形状や表面状態について測定あるいは検査を行い、所定の精度を満たしていることを保証する必要がある。又、この対象物Ｗでは、図９の平面図で示すように、処理する対象となる範囲として、最大処理領域Ｗｃと最小処理領域Ｗｄが設定される。最大処理領域Ｗｃは、測定や検査（以下、検査等ともいう）を行う上で必要となる範囲を全て含んだ領域で、通常加工領域Ｗａ＋αの大きさ（面積）に設定される。最小処理領域Ｗｄは、検査等を行う上で必要となる最小面積の領域で、リードフレームであればＩＣ等のチップ（電子部品）１個分に対応する範囲に当たる。
【０００３】
このような製品を製造する際の加工の主な形態には、数字、アルファベット、ある種の模様（アライメントマーク等）を形成するための表面研削と、電子部品の電気的接続に使用するリードフレームを製造する場合のように、薄板の貫通加工の２種類がある。
【０００４】
検査等をしなければならない主な項目には、加工形状のズレ（加工箇所の位置や寸法に誤りがある状態）、表面の凹凸（表面に傷が付き、仕様外の凹凸が生じている状態）、貫通の有無（貫通していなければならない部分がしていない、あるいは貫通してはいけない部分が貫通している状態）の３種類がある。
【０００５】
以上のような対象物を画像処理により検査する場合には、図１０に模式的に示すように、対象物Ｗの上方に配された検査装置を用いて、その照明部により該対象物Ｗを照明しながらセンサ部により所定範囲を撮像し、その画像データを入力することが行われている。なお、この装置では、上記センサ部は、位置制御部が有する上下移動機構により所定高さに位置決めすることができるようになっている。
【０００６】
この検査装置を使って対象物Ｗを撮像する際に該対象物Ｗを保持する方法には、上面矯正無し方式がある。これは図１１（Ａ）に断面の、同図（Ｂ）に平面のイメージをそれぞれ示したように、位置決めテーブル１００上に取り付けられた矯正板保持枠１０２に保持された下面矯正板１０４の上に対象物Ｗを載置し、該対象物Ｗの上面が解放された状態に保持する方法である。
【０００７】
対象物Ｗには、図１１（Ａ）の断面に対応する図１２（Ａ）において丸で囲んだ範囲を、同図（Ｂ）に拡大して示すように、歪みや撓み（変形）により下面矯正板１０４から浮き上がり（矢印Ｒの位置）が生じていることがある。
【０００８】
このような対象物Ｗに対して上記上面矯正無し方式を採用して撮像する場合、得られる画像データにおける対象物Ｗの形状、即ちカメラ方向の視点から対象物Ｗを眺めた際の見掛け上の形状は、歪みや撓みの有無及びその程度に応じて変形することになる。例えば、図１３（Ａ）に断面を拡大したイメージを示すように、対象物Ｗに見掛け上の形状に歪みがある場合、それを撮像した同図（Ｂ）に示した画像に対して測定のための計測処理を適用する場合、結果として得られた値（図中測定箇所間の寸法）には歪みや撓みに対応した誤差が含まれ、実際の寸法より短い値を算出してしまうことになる。
【０００９】
このような誤差を含んだ測定結果を基に良否判定の検査を行うと、本来正常である筈の対象物を不良としてしまうことが起こる。特に、リードフレーム等のように同一の形状が繰り返し配置されている対象物については、隣接する形状同士の画像データを比較するという方法で検査を行う場合があるが、比較する一方が歪みや撓みのある箇所に該当していると、その誤差によって不良としてしまう不都合が生じる。
【００１０】
又、上記のような歪みや撓みのある対象物Ｗを、反射照明（同軸落射照明、明視野照明あるいは暗視野照明）を用いて撮像する場合、対象物、カメラ及び照明が予め決められた正しい位置関係にあることが、良好な画像を得るために重要となるが、歪みや撓みがある箇所においては、対象物、カメラ及び照明の位置関係が崩れるため、図１４（Ａ）に断面を、同図（Ｂ）に平面のイメージを示すように、入力画像において本来明るくなるべき箇所が暗くなったり、あるいはその逆の現象が発生したりして、輝度に濃淡が生じるために検査ができなくなってしまう。
【００１１】
以上のような不都合を防止するために、図１５（Ａ）、（Ｂ）に前記図１１（Ａ）、（Ｂ）に相当する断面と平面のイメージをそれぞれ示すように、対象物Ｗの上面に更にガラス等の透明板からなる上面矯正板１０６を保持枠１０８で保持した状態で載置し、部分的に押付けながら撮像する上面矯正有り方式も採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
この方式は、対象物の最大処理領域と同じかあるいはそれより大きい上面矯正板１０６を対象物Ｗの上に載せ、その重量によって該対象物Ｗの歪みや撓みを抑える効果を狙ったものであり、その歪みや撓みを抑えるのに十分な重さが得られる程度に、該上面矯正板１０６の厚さを予め実験的に決めておく。又、位置決めテーブル１００に対象物をロード／アンロードする場合には、その作業の前後に対象物の上面を覆っている上面矯正板１０６を退避／復帰させている。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００２−５６３８号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記上面矯正有り方式を採用する場合には、前記上面矯正無し方式と比較すれば、上面矯正板１０６によって対象物Ｗを抑えているので歪みや撓みを抑制する効果を期待できるものの、最大処理領域の面積が大きくなると、それに合わせて上面矯正板の面積も増大させる必要があることから、矯正板自体の平面度、反り及び歪みの影響が加わることになるので、対象物Ｗの上面と上面矯正板１０６との接触面における密着性が低下することになる。その結果、図１６（Ａ）、（Ｂ）に示すように上面矯正板１０６による歪みや撓みを抑制する効果が低下し、これに相当する前記図１２（Ａ）、（Ｂ）に示した上面矯正無し方式と比較して、程度こそ低いものの、歪みや撓みの影響が生じる場合があるという問題がある。
【００１５】
又、対象物Ｗをロード／アンロードする際に、上面矯正板１０６を人手で退避／復帰させる場合には、重量上の制約が生じるため、十分な厚さにできないことから、歪みや撓みの影響を十分に抑制することができない場合があるという別な問題があり、特にこの制約は最大処理領域の面積が大きくなるに従って厳しくなる。又、この退避／復帰を自動で行う場合には、最大処理領域の面積が大きくなるに従って上面矯正板１０６を動かす機構が大掛かりになるという問題が発生する。
【００１６】
そこで、本出願人は、所定の加工領域を有する薄板状の対象物を載置するステージ上に載置し、該ステージの上方に配された撮像手段により該対象物を撮像して画像を入力する際、前記対象物の一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、且つ前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板により、前記撮像範囲以上の対象物の上面を押え付けた状態で、該対象物を撮像することにより、薄板状の対象物における処理すべき最大処理領域の面積が大きい場合でも、生じている歪みや撓みを十分に抑制した状態で画像入力することができる技術を、特願２００１−２２０４４３号により、既に提案している。
【００１７】
しかしながら、提案済の発明では、前記撮像手段が、１回の動作で画像入力できる撮像範囲とセンサとの位置関係が固定されているエリアセンサにより構成されているため、以下の新たな問題点が発生する。
【００１８】
（１）測定・検査時間の増大
エリアセンサの場合、測定・検査（検査等）の精度を上げるための１つの方法として、撮像範囲を小さくし、対象物を細かく分けて撮像するという方法を用いることができる。
【００１９】
しかし、撮像範囲が小さくなると、最大処理領域（検査等のために画像処理の対象となる全領域）全体を画像入力するために必要な「撮像」動作の繰返し回数が多くなると共に、入力される画像の枚数も多くなることから、必然的に画像処理等の所要時間が増大するという問題がある。
【００２０】
（２）測定・検査精度の低下
（１）の問題点は、撮像範囲を大きくすることで回避することができる。
【００２１】
しかし、撮像範囲を大きくすることは、対象物を粗く撮像することになり、検査等の精度が低下するという相反する問題が生じる。そこで、素子数が多いエリアセンサを使用することにより、撮像範囲をできるだけ大きく保ちつつ対象物を細かく撮像することも考えられるが、何処まで大きくできるかは事実上使用可能なセンサの性能に依存するため、自ずと限界がある。
【００２２】
（３）照明の均一性の低下
仮に、撮像範囲を大きくできたとしても、精度の高い検査等を行なうためには、その撮像範囲内で照明を均一にして対象物を撮像する必要がある。
【００２３】
しかし、撮像範囲が大きくなるに従って、一般的に照明を均一にすることが難しくなるという問題がある。
【００２４】
本発明は、前記提供済み発明が有する新たな問題点を解決するべくなされたもので、特に枚数を増やすことなく、高精細な画像を均一な照明下で確実に撮像して入力することができる画像入力方法及び装置を提供することを課題とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、所定の加工領域を有する薄板状の対象物をステージ上に載置し、該ステージの上方に配されたラインセンサカメラにより該対象物を撮像して画像を入力する画像入力方法であって、前記対象物の一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、且つ前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板により、前記撮像範囲以上の対象物の上面を押え付けた状態で、前記ラインセンサカメラを、素子列に直交する方向に移動させて前記撮像範囲に亘って走査し、該対象物を撮像することにより、前記課題を解決したものである。
【００２６】
本発明は、又、所定の加工領域を有する薄板状の対象物をステージ上に載置し、該ステージの上方に配されたラインセンサカメラにより該対象物を撮像して画像を入力する画像入力装置であって、前記対象物の一部を撮像範囲とすると共に、該撮像範囲以上の大きさで、前記加工領域以上の最大処理領域より小さい上面矯正板と、撮像時に該上面矯正板を前記撮像範囲以上の対象物の上面に押え付ける押圧手段とを有する上面矯正手段を備え、且つ、前記ラインセンサカメラを、素子列に直交する方向に移動させて前記撮像範囲に亘って走査可能な走査用移動手段を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【００２７】
即ち、本発明においては、前記図１５に相当する図１に、便宜上同一の符号を付してイメージを示すように、前記最大処理領域より小さいが、検査等の最小単位となる最小処理領域を含む撮像範囲以上の大きさの上面矯正板１０６により対象物を押え付けながら、該範囲をラインセンサカメラ１２を走査して撮像し、画像入力するようにしたので、小さい領域範囲を単位に画像入力することが可能になることから、最大処理領域が大きい場合でも、撮像範囲以内の対象物に歪み等があっても、それを十分に矯正することが可能となり、しかも検査等に要する枚数を増やすことなく、均一で高精細な画像を入力することが可能となる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２９】
図２は、本発明に係る一実施形態の検査装置の要部を示す概略斜視図である。
【００３０】
本実施形態の検査装置は、リードフレームの単位が複数個連設されている多連リードフレーム（対象物）Ｗを載置し、位置決めする位置決めテーブル（ステージ）１０と、後述する走査用移動機構により走査して該対象物Ｗを撮像するラインセンサからなるＣＣＤカメラ（ラインセンサカメラ）１２とを備えている。又、上記位置決めテーブル１０上には、下面矯正板１４を介して上記リードフレームＷが載置され、その上に更に上面矯正板１６が載置されている。そして、装置全体は、装置各部の動作全体を管理し、制御する機能を有する装置制御部２０、対象物Ｗを撮像し、画像データを取得する機能を有するデータ入力部３０、取得した画像データから、画像処理により対象物Ｗの測定や検査を行う機能を有するデータ処理部４０、人間（オペレータ）に装置を操作するためのインターフェイスを提供するヒューマンインターフェイス部５０、対象物のハンドリング及び外部機器との情報交換を行うための機能を有するマシンインターフェイス６０の５つのサブシステムから構成されている。各サブシステムについては以下に詳述する。
【００３１】
本実施形態の検査装置は、その全体の概要を図３に示すように、大別すると前記５つのサブシステム２０〜６０により構成されている。その１つである前記装置制御部２０は、他の各サブシステム３０〜６０に含まれる各機能部の動作全体を制御するようになっている。そして、上記データ入力部３０は、機能部としてセンサ部３２、照明部３４、位置固定部３６及び位置制御部３８を含み、同様にデータ処理部４０は、上記データ入力部３０のセンサ部３２により入力された画像データを処理する画像処理部４２と、処理データを管理するデータ管理部４４とを、ヒューマンインターフェイス部５０は、上記データ処理部４０により処理された結果等を表示する情報表示部５２と、オペレータとの間で情報のやり取りを行なう対人操作部５４とを、マシンインターフェイス部６０は、対象物を搬送するベルトコンベア（図示せず）等の外部機械との間で情報のやり取りを行なう機械連動部６２と、対象物の受け渡しを行う自動給排部６４とを、それぞれ含んでいる。
【００３２】
前記サブシステム及びその各機能部について詳述すると、装置制御部２０としては、専用装置、汎用シーケンサ、パーソナルコンピュータ等が利用できる。
【００３３】
又、データ入力部３０に含まれるセンサ部３２は、対象物を撮像して画像データに変換するイメージセンサからなり、その１つが前記ＣＣＤラインセンサカメラ１２である。又、イメージセンサとしては、これ以外にＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）ラインセンサカメラ等を利用することもできる。なお、このセンサ部３２には、カメラのシャッタースピード等の電気的な制御を行うカメラ制御装置（図示せず）も含まれている。
【００３４】
照明部３４は、撮像時に対象物を照明するもので、同軸落射照明、明視野照明、暗視野照明及び透過照明等が利用できるようになっている。各照明の光源としては、蛍光灯、ハロゲンランプ、ストロボ光源及びＬＥＤ光源等を利用でき、これらは光源制御装置（図示せず）により制御されるようになっている。
【００３５】
位置固定部３６は、対象物を位置決めテーブル１０上の所定の位置に正確に保持する機能を有し、テーブルとしては石定盤や鉄定盤が利用できる。位置制御部３８は、前記センサ部３２及び照明部３４を、対象物の所定の位置へ移動させるリニアガイド等からなる水平移動機構（ステージ）及び上下移動機構と、後述する走査用移動機構と共に、これのコントローラ（図示せず）により構成されている。
【００３６】
又、データ処理部４０に含まれる画像処理部４２は撮像した画像データを画像処理して寸法測定や外観検査を行うもので、専用画像処理装置やパーソナルコンピュータ等が利用できる。又、データ管理部４４は、測定や検査した結果のデータや画像データを保管するもので、オペレータからの求めに応じて、保管してあるデータを検索し、開示する機能を有しており、長期保管には、例えばハードディスクドライブ、ＤＶＤドライブ、ＭＯドライブ等の補助記録装置を利用できる。
【００３７】
又、ヒューマンインターフェイス部５０に含まれる情報表示部５２は、オペレータに対して情報を提供するもので、検査進行状況、検査結果、集計結果、過去の検査結果の履歴等を提示したり、撮像した画像や処理途中の画像あるいは処理後の画像を表示する機能を有し、これにはＣＲＴモニタ、液晶モニタ、ＬＥＤアレイ等が利用できる。
【００３８】
又、対人操作部５４は、装置稼動に不可欠な情報について、オペレータからの入力操作を受け付ける。入力される情報としては、例えば対象物の特徴（サイズ、測定や検査を行う領域の座標値等）、画像入力における設定値（ラインセンサカメラのスキャンレート、走査範囲、走査スピード、照明の明るさ等）、測定や検査における画像処理の設定値（２値化の閾値等）を挙げることができる。これら情報の入力には、機械式ボタン、タッチパネル、キーボード、マウス等が利用できる。
【００３９】
又、マシンインターフェイス部６０に含まれる機械連動部６２は、自動運転時に外部の装置から情報を入手する機能と、外部の装置へ情報を出力する機能とを有する。入力する情報としては、例えば対象物の特徴（通し番号、測定や検査をする／しない）、自動運転時における外部機器との連動命令（画像入力部への検査対象の供給終了タイミング等）を、又、出力する情報としては、例えば測定や検査結果の出力、装置の稼動実績、自動運転時における測定や検査結果に基づいた物流装置への命令（対象物の選別振り分け指示、装置への供給停止等）を挙げることができる。各機器間の情報交換には、ＬＡＮ（イーサーネット）、ＲＳ−２３２Ｃ、ＲＳ−４２２、ＧＰＩＢ（Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｐｕｒｐｏｓｅ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｂｕｓ：ＩＥＥＥ４８８）、ＩＥＥＥ１３９４、パラレルＩ／Ｏ、リレー等が利用できる。
【００４０】
又、自動供給排出部６４は、外部装置から、データ入力部３０に含まれる位置固定部３６に対する対象物の受け渡しを行う働きをする。外部装置としては、前・後工程にある加工機や対象物専用のストッカがあり、具体的な供給排出機構としては磁気吸着ハンドや真空吸着ハンド等を利用できる。
【００４１】
本実施形態の検査装置について図４を参照して詳述すると、ＣＣＤラインセンサカメラ１２を含むセンサ部３２の下方には、上面矯正板１６がその保持枠１８により保持されており、該保持枠１８は位置制御部３８が有する支持体７０に取り付けられている垂直移動機構（押圧手段）７２を構成する昇降軸の下端に固定され、上面矯正板１６及び垂直移動機構７２等により、対象物Ｗの上面を矯正する上面矯正機構（上面矯正手段）７４が構成されている。
【００４２】
又、上記検査装置では、センサ部３２がカメラ制御装置へ連結されていると共に、前記位置制御部３８が有する上下移動機構７６により所定高さに位置決めされ、しかも前記支持体７０に連結されている水平移動機構（図示せず）により、水平方向の任意位置に移動することができるようになっている。
【００４３】
更に、上記検査装置では、センサ部３２に含まれるイメージセンサはラインセンサカメラ１２であるため、便宜上図４（Ａ）に撮像箇所として矢印で示すように、１回の撮像動作により紙面に垂直な素子列方向に走査して１ラインずつ画像データを入力するようになっている。そのため、前記位置制御部３８には、走査用移動機構（手段）８０が前記支持体７０を介して一体的に設置され、該移動機構８０によりセンサ部３２を紙面に沿って移動させ、ラインセンサカメラ１２を、その素子（画素）列に直交する方向に移動させ、走査することにより、図５（Ａ）に示す撮像開始位置から同図（Ｂ）に示す撮像終了位置までの撮像範囲に亘って画像入力が可能になっている。
【００４４】
又、前記上面矯正板１６は、センサ部３２が有するラインセンサカメラ１２の走査範囲に当たる図中撮像範囲に等しいか、これを超える大きさで形成され、この撮像範囲は画像処理により検査する際の処理単位である電子部品１チップ分のリードフレーム（最小処理領域）あるいはその複数倍である複数チップ分のリードフレーム（いずれも図示せず）も含むように設定される。又、前述したように対象物Ｗは多連リードフレームであり、その加工領域Ｗａには、単位となる１チップ分のリードフレームが複数個連続して形成されている。
【００４５】
本実施形態の検査装置では、前記垂直移動機構７２によって上面矯正板１６を下降させたり上昇させることによって、対象物Ｗを該上面矯正板１６で押え付けたり、離したりすることができる。前記図４（Ａ）には、垂直移動機構７２により上面矯正板１６が上昇され、該矯正板１６と対象物Ｗとの間に隙間がある非矯正時の状態が、同図（Ｂ）には下降されて隙間がない矯正時の状態がそれぞれ示してある。
【００４６】
又、対象物Ｗの最大処理領域において任意の箇所を撮像するために、前記水平移動機構によりセンサ部３２、照明部３４及び上面矯正機構７４を一体的に処理領域の所定の位置へ水平移動することができる。そして、検査を行う箇所毎に、上面矯正板１６により対象物Ｗの歪み及び撓みを抑えた上で、前記走査用移動機構８０によりセンサ部３２を移動させながら撮像する動作を繰り返す。このようにすることにより、対象物Ｗを「撮像する時刻」及び「撮像する視野内」において、該対象物Ｗに生じている歪みや撓みが抑制されるようにすることにより、検査へ影響が出ることを防止できる。従って、対象物Ｗを部分的に抑えられるこの方式は極めて有効である。
【００４７】
次に、本実施形態の作用を図６に示すフローチャートに従って説明する。
【００４８】
まず、検査装置を初期化することにより、画像処理等の処理の実行に必要な各種パラメータの設定を行い（ステップ１）、その後対象物Ｗを該装置に供給し、位置決めテーブル１０に取り付けるロードを行う（ステップ２）。次いで、対象物Ｗを撮像し、検査のための画像を入力し（ステップ３）、その入力画像を画像処理して、測定や検査を行う（ステップ４）。
【００４９】
所定の検査等が終了した後、対象物Ｗを位置決めテーブルから取り除き、装置から排出する対象物のアンロードを行い（ステップ５）、測定や検査の結果を出力する（ステップ６）。
【００５０】
上記ステップ３の撮像処理について詳述すると、本実施形態では図７のフローチャートに示すように、前記水平移動機構によりセンサ部３２、照明部３４等を移動させることにより、対象物Ｗの表面に平行に該センサ部３２を動かして、所定の撮像位置へ移動し（ステップ１１）、該位置で上下移動機構７６によりセンサ部３２の上下方向の位置決めを終了した後、垂直移動機構７２により上面矯正板１６を下降させる表面矯正を開始し（ステップ１２）、対象物Ｗの表面に上面矯正板１６の下側表面を接触させ、押え付ける。このように対象物Ｗの表面を押え付けた状態で、前記図５に示したように、所定の撮像範囲に亘ってセンサ部３２を移動させ、ラインセンサカメラ１２を走査して該対象物Ｗを撮像する（ステップ１３）。その際、精度が求められる場合には、撮像条件の微調整を、例えばオートフォーカスやオートアイリスにより行う。撮像が終了した後、カメラを別の撮像位置に移動させるために、上面矯正板を上昇させることにより、表面矯正を終了する（ステップ１４）。
【００５１】
以上詳述した本実施形態によれば、上面矯正板１６の面積、即ち対象物Ｗを押える表面積を小さくしたため、以下に示す（１）〜（４）の利点があり、その結果として対象物の歪みや撓みを精度良く抑えることができるので、従来と比べて信頼性の高い検査を行うことが可能となると共に、走査用移動機構８０によりラインセンサカメラ１２を走査して撮像するようにしたことにより、更に（５）〜（７）の効果が得られる。
【００５２】
（１）確実に対象物を抑え付けることができる。即ち、抑え付ける面積が小さいため、上面矯正板１６自体の歪みや撓みが発生し難い。又、上面矯正板１６の表面を研磨して平面性を高めることが容易であり、コスト的にも有利にできる。
【００５３】
（２）機構が単純になる。即ち、上面矯正板１６の面積が最大処理領域の大きさではなく、最小処理領域の大きさに略比例するので、対象物Ｗが大きくなっても、上面矯正板１６の面積が小さくて済むことから、機構が大掛かりにならない（対象物が大きくなっても最小処理領域はあまり大きくならない場合が多い。例えば、リードフレームの場合であれば、材料の金属の面積が大きくなっても、そこに繰り返し形成されているパターンの個数が多くなるだけで、その１つ１つの大きさはさほどはならない）。又、対象物をロード／アンロードする際に、上面矯正板１６を退避させる必要があるが、退避の際の稼動範囲を小さくできるため、退避用の空間が小さくて済むことから、装置を小型にできる。又、稼動範囲が小さければ、退避／復帰も短時間で完了できる。
【００５４】
（３）保守性が高い。即ち、対象物と上面矯正板の接触面に異物やゴミが付着した場合には、対象物へダメージを与える可能性があるため避けなければならない。又、上面矯正板の表面積が小さいので、異物やゴミや付着する可能性が低く、目視によりチェックする場合、小さい面積を集中して監視すればよいので、負担が軽くて済む。又、定期的に清掃する場合、上面矯正板の表面積が小さいので短時間で完了することができる。
【００５５】
（４）耐故障性が高い。即ち、上面矯正板１６は、傷等で交換する必要が生じた場合、小さな部品なので短時間で交換ができ、しかも小さいため予備品として購入／保管しておくことも容易である。
【００５６】
（５）測定・検査の時間を短縮できる。一般に、エリアセンサの一辺の画素数よりラインセンサの画素数の方を多くすることが容易である。従って、対象物を撮像する細かさが同じであれば、撮像範囲を大きくすることが可能になるので、「撮像」動作の繰返し回数を少なくすることができ、最大処理領域全体を処理する時間を短くすることができる。
【００５７】
（６）測定・検査の精度を向上できる。エリアセンサの一辺の画素数よりラインセンサの画素数の方を多くすることが容易なので、ラインセンサの画素数を多くすることによって、撮像範囲を小さくせずに対象物を細かく撮像することができる。
【００５８】
（７）照明の均一性の低下を防止できる。ラインセンサの場合、１回の走査で撮像される領域は線状になる。一般的に、面状の撮像領域に比べて線状の撮像領域は照明を均一にすることが容易である。
【００５９】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００６０】
例えば、前記実施形態では、表面矯正時に上面矯正板が垂直移動機構７２により上下動させる場合を示したが、これに限定されず、センサ部３２の対象物Ｗに対する光学的な位置関係が決まったら、垂直移動機構７２の動きを固定し、センサ部３２と上面矯正板１６を一体的に上下移動機構７６により上下動するようにしても良い。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、薄板状の対象物における処理範囲となる最大処理領域の面積が大きい場合でも、生じている歪みや撓みを十分に抑制した上で、枚数を増やすことなく、高精細で均一な画像を確実に入力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の特徴を模式的に示す断面図と平面図
【図２】本発明に係る一実施形態の検査装置の要部を示すブロック図を含む概略斜視図
【図３】上記検査装置全体の概要を示すブロック図
【図４】非矯正時と矯正時の検査装置の要部を示す概略側面図
【図５】走査時の検査装置の要部を示す概略側面図
【図６】本実施形態の作用を示すフローチャート
【図７】本実施形態の作用を示す他のフローチャート
【図８】対象物のイメージを示す概略斜視図
【図９】対象物の特徴を示す概略平面図
【図１０】従来の検査装置の要部と対象物の関係を示す概略側面図
【図１１】上面矯正無し方式のイメージを示す断面図と平面図
【図１２】対象物に生じている変形のイメージを示す断面図
【図１３】対象物に生じている変形と測定寸法との関係を示す説明図
【図１４】対象物に生じている変形と照明条件との関係を示す説明図
【図１５】従来の上面矯正有り方式のイメージを示す断面図と平面図
【図１６】従来の上面矯正有り方式の問題点を示す断面図
【符号の説明】
１０…位置決めテーブル
１２…ＣＣＤカメラ
１４…下面矯正板
１６…上面矯正板
１８…保持部
７２…垂直移動機構
７４…上面矯正機構
７６…上下移動機構
８０…走査用移動機構
【図１】
2004220443.tif 000003
【図２】
2004220443.tif 000004
【図３】
2004220443.tif 000005
【図４】
2004220443.tif 000006
【図５】
2004220443.tif 000007
【図６】
2004220443.tif 000008
【図７】
2004220443.tif 000009
【図８】
2004220443.tif 000010
【図９】
2004220443.tif 000011
【図１０】
2004220443.tif 000012
【図１１】
2004220443.tif 000013
【図１２】
2004220443.tif 000014
【図１３】
2004220443.tif 000015
【図１４】
2004220443.tif 000016
【図１５】
2004220443.tif 000017
【図１６】
2004220443.tif 000018