(57)【要約】【課題】射出成形性に優れ、高い機械的強度ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、シリコンウェーファー表面に付着する有機物の量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物の提供。【解決手段】芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）と、特定のポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）とからなる樹脂組成物であって、シリコンウェーファー表面付着有機物の量が２０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであるシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位とからなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物であって、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであるシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物。
【請求項２】
芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）がポリブチレンテレフタレート樹脂である請求項１に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項３】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位で構成される請求項１または２に記載の樹脂組成物。
【請求項４】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位からなるポリエステル共重合体で構成される請求項１または２に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項５】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の低融点重合体セグメント（ｂ）がポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、ポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加重合体、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体から選ばれる１種以上と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体から得られる単位とで構成される請求項１〜４のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項６】
６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で１０００ｐｇ／ｃｍ2以下である請求項１〜５のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項７】
６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で２００ｐｇ／ｃｍ2以下である請求項１〜６のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項８】
６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下である請求項１〜７のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項９】
６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で１０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、かつ６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下である請求項１〜８のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物。
【請求項１０】
シリコンウェーファー表面付着有機物の極めて少ないポリエステル樹脂組成物の製造方法において、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下になるように、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールとから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールとから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物を溶融混合する際に、押出機シリンダー部のベント口から真空脱気処理を行う、請求項１〜９のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物の製造方法。
【請求項１１】
シリコンウェーファー表面付着有機物の極めて少ないポリエステル樹脂組成物の製造方法において、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下になるように、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物を、１００℃〜１４０℃の実質的に固相重合が起こらない温度で脱気処理を行う、請求項１〜９のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物の製造方法。
【請求項１２】
請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のポリエステル樹脂組成物からなるシリコンウェーファー搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、射出成形性に優れ、高い機械的強度ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、シリコンウェーファー表面に付着する有機物の量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物、その製造方法、およびそれを使用したシリコンウェーファー搬送治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェーファー搬送用容器およびそれに付随した治具に代表される用途においては、容器内に格納されるシリコンウェーファーを汚染しない低汚染性熱可塑性樹脂が求められているが、近年、この汚染性レベルのより低いものが求められるようになってきている。これは、シリコンウェーファーの大口径化やシリコンウェーファー上に形成される回路の細径化に伴い、シリコンウェーファーの汚染により歩留まりが大きく低下するためである。また、特に、シリコンウェーファー搬送用容器の治具には、低汚染性でありながら、高い機械的強度と耐衝撃性ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有する素材が要求される。
【０００３】
シリコンウェーファー搬送容器に用いる素材としては、ポリブチレンテレフタレートに代表されるポリエステル樹脂を、液相重縮合した後に、１８０℃〜２２５℃で固相重縮合し、その後、１４０℃〜１７０℃で加熱乾燥した、揮発性ガス発生量の少ないポリエステル樹脂が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、チタンとスズとリンの特定量を含有させたポリブチレンテレフタレート樹脂組成物は、加熱時の発生ガスや昇華物が少ないことも知られている（例えば、特許文献２参照）。さらに、ポリブチレンテレフタレート系ポリエーテルエステルにスズ化合物とアミド基含有安定剤を配合した着色が少なく耐酸化分解性に優れた樹脂組成物も知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
また、ポリブチレンテレフタレート樹脂とポリエーテルエステルのようなポリエステルエラストマを混合して得られる樹脂組成物が、衝撃強さ、耐屈曲疲労性、耐落下衝撃性に優れることが知られており（例えば、特許文献４、５、６参照）、特に特に特許文献６には、このような樹脂組成物が家電ハウジング用に適していることも開示されている。
【０００５】
さらに、特定の芳香族ポリエステル樹脂組成物と、特定のポリエーテルエステルブロック共重合体からなる揮発性ガス発生量の低く抑制されたシリコンウェーファー搬送用容器に適したハウジング用ポリエステル樹脂組成物も知られている（例えば、特許文献７参照）。また、熱可塑性芳香族ポリエステル樹脂に、炭素系充填剤と、ポリエーテルエステルなどの帯電防止剤および非金属系安定剤を配合した、揮発性ガスの少ないポリエステル樹脂組成物も知られている（例えば、特許文献８参照）。
【０００６】
しかるに、上記特許文献１および特許文献２に開示された組成物は、確かに揮発性ガスの発生量が少ないが、いずれもポリブチレンテレフタレートを主体とするポリエステル樹脂であり、例示されている少量共重合が可能なグリコール類も分子量の小さいものであるため、曲げ弾性率が高すぎて適度な硬さと適度なクッション性を有しておらず、特に、シリコンウェーファーのバネ押さえなどの治具に使用すると、シリコンウェーファーの保持性に劣り、がたつきが生じたり、大きく変形させた場合、変形が元にもどらなかったり、甚だしい場合には折損してしまう不都合があった。さらに、揮発ガス発生量が低く抑えられていても、シリコンウェーファー表面付着有機物の量は必ずしも少ないとは限らず、揮発ガス発生量が低いポリエステル樹脂でも、シリコンウェーファー表面付着有機物量の多いものがある。
【０００７】
また、上記特許文献３に開示された組成物は、着色が少なく耐酸化分解性に優れているが、ソフトセグメントの共重合量が多いので曲げ弾性率が低すぎて変形しやすいうえ、耐摩耗性が悪く、シリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物としては適さないし、シリコンウェーファー表面付着有機物量が多いという問題があった。
【０００８】
さらに、上記特許文献４、５、６に開示された樹脂組成物は、確かに、衝撃強さ、耐屈曲疲労性などに優れているが、シリコンウェーファー表面付着有機物量が多という問題があったい。
【０００９】
さらにまた、上記特許文献７および８に開示された樹脂組成物は、揮発性ガスの発生量は少ないが、先にも述べたように、揮発ガス発生量が低く抑えられていても、シリコンウェーファー表面付着有機物の量は必ずしも少ないとは限らないため、揮発ガス発生量が低いポリエステル樹脂組成物やポリエステル樹脂であっても、シリコンウェーファー表面付着有機物量の多いものがあった。
【特許文献１】特開平９−１９４５７８号公報
【特許文献２】特開平８−２９５７８８号公報
【特許文献３】特開昭５７−１３３１４８号公報
【特許文献４】特開昭６０−３５０５０号公報
【特許文献５】特開平９−３３０７号公報
【特許文献６】特開平９−３３０９号公報
【特許文献７】特開２０００−７２９５９号公報
【特許文献８】特開平１１−２６９３６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題とするものであり、その目的とするところは、シリコンウェーファー表面付着有機物の量が極めて少なく、しかも、高い機械的強度と耐衝撃性ならびに適度な硬さと適度なクッション性を兼ね備えたシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物、その製造方法、およびそれを使用したシリコンウェーファー搬送治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、芳香族ポリエステル樹脂と、ポリエーテルエステルブロック共重合体とからなる樹脂組成物であって、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａである、ポリエステル樹脂組成物により、上記の目的が効果的に達成されることを見いだし、本発明に到達した。
【００１２】
すなわち、上記目的を達成するために本発明によれば、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物であって、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであるシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物が提供される。
【００１３】
なお、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物においては、  前記芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）がポリブチレンテレフタレート樹脂であること、
前記ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位で構成されること、
前記ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位からなるポリエステル共重合体で構成されること、
前記ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の低融点重合体セグメント（ｂ）がポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、ポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加重合体、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体から選ばれる１種以上と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体とから得られる単位で構成されること、
前記６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で１０００ｐｇ／ｃｍ2以下であること、
前記６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で２００ｐｇ／ｃｍ2以下であること、
前記６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下であること、
前記６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で１０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、かつ６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下であること、
が、いずれも好ましい条件であり、これらの条件を適用することにより、一層優れた効果の取得を期待することができる。
【００１４】
また、本発明の上記シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物の製造方法は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下になるように、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物を溶融混合する際に、押出機シリンダー部のベント口から真空脱気処理を行うことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の上記シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物の製造方法は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下になるように、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％とを主たる構成成分とするポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部とからなる樹脂組成物を、１００℃〜１４０℃の実質的に固相重合が起こらない温度で脱気処理を行うことをも特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明のシリコンウェーファー搬送治具は、上記シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、射出成形性に優れ、高い機械的強度、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、シリコンウェーファー表面に付着する有機物の量が低く抑えられており、それを利用したシリコンウェーファー搬送治具は、シリコンウェーファーの汚染が極めて少ないという優れた特性を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明について詳述する。
【００１９】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を形成する芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）とは、テレフタル酸やナフタレンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、またはそのエステル形成性誘導体と、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオールなどの脂肪族ジオールまたはそのエステル形成性誘導体とを主成分とし、重縮合反応によって得られる重合体である。これらの中でもポリブチレンテレフタレート樹脂が好ましく用いられる。
【００２０】
本発明に用いる芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）の好ましい製造方法としては、例えば、ジカルボン酸の低級アルコールジエステル、過剰量の低分子量グリコールを、チタン化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル交換反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法、あるいはジカルボン酸と過剰量のグリコールを、チタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル化反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法などが挙げられる。
【００２１】
本発明に用いる芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）は、液相重縮合反応を行ってペレット化した後に、その融点よりも低い温度で固相重縮合反応を行ってもよい。
【００２２】
本発明のシリコンウェーファー表面付着有機物の極めて少ないポリエステル樹脂組成物を形成するポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから形成されるポリエステルであり、好ましくはテレフタル酸およびまたはジメチルテレフタレートと１，４−ブタンジオールから誘導されるポリブチレンテレフタレートであるが、この他に、芳香族ジカルボン酸としては、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレン−２，６−ジカルボン酸、ナフタレン−２，７−ジカルボン酸、ジフェニル−４，４’−ジカルボン酸、ジフェノキシエタンジカルボン酸、５−スルホイソフタル酸、あるいはこれらのエステル形成性誘導体などを単独で、あるいはテレフタル酸と共に用いることができる。特に、ポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位とから構成されるポリエステル共重合体が好ましい。また、全ジオール成分のうち１０モル％以下の少量であれば、エチレングリコール、トリメチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、およびデカメチレングリコールなどの分子量が３００以下の脂肪族ジオールを、１，４−ブタンジオールと共に用いることができる。また、３官能以上の多官能カルボン酸成分、多官能オキシ酸成分および多官能ヒドロキシ成分などを５モル％以下の範囲で共重合することも可能である。
【００２３】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を形成するポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の低融点重合体セグメント（ｂ）は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる。このようなポリアルキレングリコールとしては、ポリ（エチレンオキシド）グリコール、ポリ（プロピレンオキシド）グリコール、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、ポリ（ヘキサメチレンオキシド）グリコール、エチレンオキシドとプロピレンオキシドの共重合体、ポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加重合体、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体などが挙げられる。これらのポリアルキレングリコールのなかで、得られるポリエーテルエステルブロック共重合体の弾性特性からポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、ポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加物、およびエチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体などが好ましい。
【００２４】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を形成するポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）は、高融点重合体セグメント（ａ）２０〜９５重量％、好ましくは３０〜９０重量％、さらに好ましくは４０〜８５重量％と、低融点重合体セグメント（ｂ）８０〜５重量％、好ましくは７０〜１０重量％、さらに好ましくは６０〜１５重量％を主たる構成成分とする。高融点重合体セグメント（ａ）の共重合量が２０重量％未満の場合は、芳香族ポリエステル樹脂組成物（Ａ）と配合してなる樹脂組成物の曲げ弾性率が低すぎてシリコンウェーファー搬送治具に適切ではない。一方、高融点重合体セグメント（ａ）の共重合量が９５重量％を越えると、芳香族ポリエステル樹脂組成物（Ａ）と配合してなる樹脂組成物の曲げ弾性率が高すぎて適度な硬さと適度なクッション性が失われる。
【００２５】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を形成するポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の好ましい製造方法としては、例えば、ジカルボン酸の低級アルコールジエステル、過剰量の低分子量グリコール、および低融点重合体セグメント成分を、チタン化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル交換反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法、ジカルボン酸と過剰量のグリコールおよび低融点重合体セグメント成分を、チタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル化反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法、およびあらかじめチタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下に高融点結晶性セグメントを作っておき、これに低融点セグメント成分を添加してエステル交換反応によりランダム化せしめる方法などが挙げられる。
【００２６】
本発明に用いるポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）は、液相重縮合反応を行ってペレット化した後に、その融点よりも低い温度で固相重縮合反応を行ってもよい。
【００２７】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）４０〜９５重量部、好ましくは４５〜９２重量部、さらに好ましくは５０〜９０重量部と、ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）６０〜５重量部、好ましくは５５〜８重量部、さらに好ましくは５０〜１０重量部とからなる。芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）の配合量が４０重量部に満たない場合は、ポリエステル樹脂組成物の曲げ弾性率が低すぎてシリコンウェーファー搬送治具用途に用いた際のバネ押さえ力が低く、また耐摩耗性が不十分となる。一方、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）の配合量が９５量部％を越えると、樹脂組成物の曲げ弾性率が高すぎて適度な硬さと適度なクッション性が失われてしまう。
【００２８】
本発明の樹脂組成物の製造方法は特に限定されるものではないが、例えば、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）とポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）を配合した原料をスクリュー型押出機に供給し溶融混練する方法、またスクリュー型押出機に、まず芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）を供給して溶融し、さらに他の供給口よりポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）を供給して混練する方法などを適宜採用することができる。
【００２９】
本発明のポリエステル樹脂組成物は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で２０００ｐｇ／ｃｍ2以下、さらに好ましくは１０００ｐｇ／ｃｍ2以下である。
【００３０】
シリコンウェーファー表面付着有機物の量は、以下のように測定した値である。
【００３１】
（１）前処理
シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を、射出成形により縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工する。一方、事前に４インチシリコンウェーファーを、ウェーファーアナライザーのチャンバー内で室温〜４００℃まで約２５℃／分の速度で昇温した後、４００℃で１５分間保持し、その後、室温まで冷却しておく。予めバックグラウンドを測定した４Ｌガラス容器に、クラス１００のケミカル対応クリーンブース内で、試料としてこの角板４枚（試料重量として８０〜９０ｇ）と、上記のように事前に処理した４インチシリコンウェーファーを入れて密封し、６０℃で２時間加温する。室温で３０分放置した後、ウェーファーを取り出し、ウェーファーアナライザーにセットする。ウェハーアナライザーの条件は以下のとおり。
【００３２】
・チャンバー温度と時間：室温〜４００℃（約２５℃／分）
４００℃で１５分保持。合計３０分捕集。
・パージガス          ：ヘリウム
・捕集剤              ：Ｔｅｎａｘ−ＴＡ（１００ｍｇ）
【００３３】
（２）測定
捕集剤Ｔｅｎａｘ−ＴＡ（１００ｍｇ）を次の条件で処理し、ＧＣ／ＭＳ分析する。
・熱脱離装置      ：ＴＤＳＡ＋ＣＩＳ４＋ＣＴＳ（Ｇｅｒｓｔｅｌ）
・脱着温度×時間  ：２８５℃×１５分
・トラップ温度    ：−１５０℃
・ＧＣ／ＭＳ      ：ＧＣ６８９０＋ＭＳＤ５９７３Ｎ（Ａｇｉｌｅｎｔ）
・カラム          ：ＤＢ−５
（３０ｍ×０．２５ｍｍＩＤ，０．２５μｍＦｉｌｍ）
・昇温            ：４０℃（８分）〜３００℃（１０℃／分）。
１０分保持（トータル４４分）。
【００３４】
（３）定量
ノルマル−ヘキサデカン換算。定量は、各成分と、トータル有機物量（ＴＯＣ）を求める。
【００３５】
本発明のポリエステル樹脂組成物は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で２００ｐｇ／ｃｍ2以下であることも好ましい。
【００３６】
また、本発明のポリエステル樹脂組成物は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下であることも好ましい。
【００３７】
さらに、本発明のポリエステル樹脂組成物は、６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の量が、ノルマル−ヘキサデカン換算で１０００ｐｇ／ｃｍ2以下であり、かつ６０℃で２時間加熱した時のシリコンウェーファー表面付着有機物の内、３，５−ビス−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシトルエン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−４−ヒドロキシ−４−メチル−２，５−シクロヘキサジエン−１−オン、２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−１，４−ジオン、および２，６−ジ−ターシャリーブチル−２，５−シクロヘキサジエン−４−メチレン−１−オンの合計量が、ｎ−ヘキサデカン換算で１００ｐｇ／ｃｍ2以下であることも好ましい。
【００３８】
本発明では、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）とポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）を溶融混合する際に、押出機シリンダー部のベント口から真空脱気処理を行うことによって、さらに、シリコンウェーファー付着有機物の量を低減させることができる。
【００３９】
本発明では、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ）とポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）を溶融配合してペレット化した後に、１００℃〜１４０℃の実質的に固相重合が起こらない温度で脱気処理を行うことによって、さらに、シリコンウェーファー付着有機物の量を低減させることができる。
【００４０】
本発明のポリエステル樹脂組成物は、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａである。これをはずれると、シリコンウェーファー搬送治具としての特性が不十分となる。
【００４１】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、射出成形性に優れ、シリコンウェーファー搬送治具に適した高い機械的強度と耐衝撃性ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、しかもシリコンウェーファー表面付着有機物の量が低く抑えられているため、シリコンウェーファー搬送治具用途に極めて有用である。
【実施例】
【００４２】
以下に実施例によって本発明の効果を説明する。なお、実施例中の％および部とは、ことわりのない場合すべて重量基準である。また、実施例中に示される物性は次のように測定した。
【００４３】
［相対粘度］
ｏ−クロロフェノールを溶媒とした０．５％のポリマ溶液を温度２５℃で測定した。
【００４４】
［融点］
差動走査熱量計（Du Pont社製DSC-910型）を使用して、窒素ガス雰囲気下で、１０℃／分の昇温速度で加熱した時の融解ピークの頂上温度を測定した。
【００４５】
［溶融粘度指数（ＭＦＲ）］
ＡＳＴＭ  Ｄ−１２３８にしたがって温度２２０℃、荷重２１６０ｇで測定した。
【００４６】
［硬度（デュロメーターＤ）］
ＪＩＳ  Ｋ７２１５に従って測定した。
【００４７】
［曲げ弾性率］
ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した。
【００４８】
［曲げ強さ］
ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した。
【００４９】
［シリコンウェーファー表面付着有機物の定量］
（１）前処理
シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物を、射出成形により縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工する。一方、事前に４インチシリコンウェーファーを、ウェーファーアナライザーのチャンバー内で室温〜４００℃まで約２５℃／分の速度で昇温した後、４００℃で１５分間保持し、その後、室温まで冷却しておく。予めバックグラウンドを測定した４Ｌガラス容器に、クラス１００のケミカル対応クリーンブース内で、試料としてこの角板４枚（試料重量として８０〜９０ｇ）と、上記のように事前に処理した４インチシリコンウェーファーを入れて密封し、６０℃で２時間加温する。室温で３０分放置した後、ウェーファーを取り出し、ウェーファーアナライザーにセットする。ウェハーアナライザーの条件は以下のとおり。
・チャンバー温度と時間：室温〜４００℃（約２５℃／分）
４００℃で１５分保持。合計３０分捕集。
・パージガス          ：ヘリウム
・捕集剤              ：Ｔｅｎａｘ−ＴＡ（１００ｍｇ）
【００５０】
（２）測定
捕集剤Ｔｅｎａｘ−ＴＡ（１００ｍｇ）を次の条件で処理し、ＧＣ／ＭＳ分析する。
・熱脱離装置      ：ＴＤＳＡ＋ＣＩＳ４＋ＣＴＳ（Ｇｅｒｓｔｅｌ）
・脱着温度×時間  ：２８５℃×１５分
・トラップ温度    ：−１５０℃
・ＧＣ／ＭＳ      ：ＧＣ６８９０＋ＭＳＤ５９７３Ｎ（Ａｇｉｌｅｎｔ）
・カラム          ：ＤＢ−５
（３０ｍ×０．２５ｍｍＩＤ，０．２５μｍＦｉｌｍ）
・昇温            ：４０℃（８分）〜３００℃（１０℃／分）。
１０分保持（トータル４４分）。
【００５１】
（３）定量
ノルマル−ヘキサデカン換算。定量は、各成分と、トータル有機物量（ＴＯＣ）を求める。
【００５２】
[参考例１]
テレフタル酸３５７部、１，４−ブタンジオール３４７部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２部、およびモノ−ｎ−ブチル−モノヒドロキシスズオキサイド０．２５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物にテトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２部と”イルガノックス”１０１０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量１１７７．７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、表１に示す芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−１）を得た。次いで、この（Ａ−１）のペレットを回転可能な反応容器に仕込み、系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、１７０〜１８０℃で４８時間回転しながら固相重合を行い芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−２）を得た。
【００５３】
[参考例２]
ジメチルテレフタレート４１７部、１，４−ブタンジオール３４７部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２８部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応で生成するメタノールを系外に留出しながらエステル交換反応を行なった。反応混合物にテトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２部と”イルガノックス”１０１０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量１１７７．７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、表１に示す芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−３）を得た。次いで、この（Ａ−３）のペレットをタワードライヤーを用いて、１８０〜１９０℃、常圧、窒素雰囲気下で固相重合を行い、芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−４）を得た。
【００５４】
[参考例３]
テレフタル酸２２１部、イソフタル酸９５部、１，４−ブタンジオール３０８部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２５部、およびモノ−ｎ−ブチル−モノヒドロキシスズオキサイド０．０５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物に数平均分子量約１０００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール８９部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．９部、および”イルガノックス”１０９８（チバガイギー社製アミド基含有ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量６３７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化して、ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−１）を得た。
【００５５】
[参考例４]
テレフタル酸３１６部、１，４−ブタンジオール３０９部および数平均分子量約１０００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール８９部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２５部、およびモノ−ｎ−ブチル−モノヒドロキシスズオキサイド０．０５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物にテトラ−ｎ−ブチルチタネート０．９部と”イルガノックス”１０９８（チバガイギー社製アミド系ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量６３７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化して、ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−２）を得た。次いで、この（Ｂ−２）のペレットを回転可能な反応容器に仕込み、系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、１７０〜１８０℃で４８時間回転しながら固相重合を行いポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−３）を得た。
【００５６】
[参考例５]
ジメチルテレフタレート２９０部、１，４−ブタンジオール２４２部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応で生成するメタノールを系外に留出しながらエステル交換反応を行なった。反応混合物に数平均分子量約１４００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール１８３部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．５部と”イルガノックス”１３３０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量７７５．２）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−４）を得た。次いで、この（Ｂ−４）のペレットを回転可能な反応容器に仕込み、系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、１７０〜１８０℃で４８時間回転しながら固相重合を行いポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−５）を得た。
【００５７】
表１に、Ａ−１、Ａ−２、Ａ−３、Ａ−４、Ｂ−１、Ｂ−２、Ｂ−３、Ｂ−４、Ｂ−５の物性を示す。
【００５８】
【表１】
2004217898.tif 000002
【００５９】
[実施例１]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−１）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−１）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有し、シリンダーの中央部分と、吐出口に近い部分の二箇所に真空脱気処理が可能なベント口を有する二軸押出機を用いて、二箇所のベント口から真空脱気処理を施しながら、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを棚段式熱風乾燥機に仕込み、１３０℃で３時間の乾燥を施して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−１）を得た。次いで、射出成形機を用いて、シリンダー温度２５０℃、金型温度６０℃で、縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工した。この試験片を使用して、シリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６０】
[実施例２]
１４０℃で３時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−２）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−１）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有し、シリンダーの中央部分と、吐出口に近い部分の二箇所に真空脱気処理が可能なベント口を有する二軸押出機を用いて、二箇所のベント口から真空脱気処理を施しながら、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを棚段式熱風乾燥機に仕込み、１３０℃で３時間の乾燥を施して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−２）を得た。これを実施例１と同様に射出成形してシリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６１】
[実施例３]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−１）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−１）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する単軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットをホッパードライヤーに仕込み、１３０℃の熱風をホッパードライヤー下部から吹き込み、上部から抜き出す方式で、１０時間の乾燥を施し、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−３）を得た。次いで、射出成形機を用いて、シリンダー温度２５０℃、金型温度６０℃で、縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工した。この試験片を使用して、シリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６２】
[実施例４]
１４０℃で３時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−２）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−１）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する単軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを、実施例３と同様に乾燥して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−４）を得た。これを実施例１と同様に射出成形してシリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６３】
[実施例５]
１２０℃で８時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−１）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−３）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する単軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを金網状の金属製パレットに、ペレット層の厚みが５ｃｍ以下となるように仕込み、１３０℃の棚段式熱風乾燥機に仕込み、１５時間の乾燥を施し、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−５）を得た。次いで、射出成形機を用いて、シリンダー温度２５０℃、金型温度６０℃で、縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工した。この試験片を使用して、シリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６４】
[実施例６]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−２）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−２）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する単軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを実施例５と同様に乾燥して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−６）を得た。実施例５と同様に射出成形してシリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６５】
[実施例７]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−３）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−５）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する二軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットをホッパードライヤーに仕込み、１２０℃の熱風をホッパードライヤー下部から吹き込み、上部から抜き出す方式で、２０時間の乾燥を施し、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−７）を得た。次いで、射出成形機を用いて、シリンダー温度２５０℃、金型温度６０℃で、縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工した。この試験片を使用して、シリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６６】
[実施例８]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−４）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−４）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する二軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを実施例７と同様に乾燥して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−８）を得た。実施例７と同様に射出成形してシリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６７】
[実施例９]
１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ａ−４）と、８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ−５）とを、表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する二軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練したのちペレット化した。得られたペレットを実施例７と同様に乾燥して、シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−９）を得た。実施例７と同様に射出成形してシリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６８】
[比較例１〜３]
“ハイトレル”ＨＴＣ２５７１、“ハイトレル”ＨＴＣ２７５１、“ハイトレル”８２３８を、各々、射出成形機を用いて、シリンダー温度２５０℃、金型温度６０℃で、縦１２７ｍｍ、横７６ｍｍ、厚さ２ｍｍの角板試験片に加工した。この試験片を使用して、シリコンウェーファー表面付着有機物の定量を実施した。結果を物性とともに表３に示す。
【００６９】
【表２】
2004217898.tif 000003
【００７０】
【表３】
2004217898.tif 000004
【００７１】
[実施例１０〜１８]
シリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物（Ｘ−１）、（Ｘ−２）、（Ｘ−３）、（Ｘ−４）、（Ｘ−５）、（Ｘ−６）、（Ｘ−７）、（Ｘ−８）、（Ｘ−９）を使用して、射出成形により、８インチサイズのシリコンウェーファー搬送用容器のバネ押さえを得た。このバネ押さえを組み込んだシリコンウェーファー搬送用容器に、クリーンルーム中で８インチサイズのシリコンウェーファー２５枚を収納した。容器を激しく動かしてもシリコンウェーファーは、がたつくことなく、ぴったりと固定された状態で収納できた。８インチサイズのシリコンウェーファー２５枚を収納し、バネ押さえを組み込んだこれらのシリコンウェーファー搬送用容器を、６０℃の雰囲気下に２時間静置したのち、室温に３０分静置した。クリーンルーム内でシリコンウェーファーを取り出し、表面にレーザー光を照射してシリコンウェーファー表面の曇りの有無を調べた。いずれの容器中のシリコンウェーファー表面にも曇りは発生しておらず、バネ押さえが低汚染性であることが確認できた。
【００７２】
[比較例４〜６]
“ハイトレル”ＨＴＣ２５７１、“ハイトレル”ＨＴＣ２７５１、“ハイトレル”８２３８を使用して、射出成形により、８インチサイズのシリコンウェーファー搬送用容器のバネ押さえを得た。このバネ押さえを組み込んだシリコンウェーファー搬送用容器に、クリーンルーム中で８インチサイズのシリコンウェーファー２５枚を収納した。これらのシリコンウェーファー搬送用容器を、６０℃の雰囲気下に２時間静置したのち、室温に３０分静置した。クリーンルーム内でシリコンウェーファーを取り出し、表面にレーザー光を照射してシリコンウェーファー表面の曇りの有無を調べた。いずれの容器中のシリコンウェーファー表面にも曇りが発生していて、バネ押さえによるシリコンウェーファー汚染が生じていることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、射出成形性に優れ、高い機械的強度、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、シリコンウェーファー表面に付着する有機物の量が低く抑えられていることから、シリコンウェーファー搬送治具用途に極めて有用である。また、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物からなるシリコンウェーファー搬送治具は、シリコンウェーファーの汚染が極めて少ないという優れた特性を発揮する。