(57)【要約】【課題】様々な用途に適応し、コストの低減及び円滑な作動が可能なテーブル装置を提供する。【解決手段】リニアガイド装置１０を設置したベース２１と、前記リニアガイド装置１０を介してスライド可能に設けられたテーブル２２とを備えるテーブル装置２０において、前記ベース２１と前記テーブル２２との間に同一のリニアガイド装置１０を複数設け、該複数のリニアガイド装置１０は、該複数のリニアガイド装置１０に形成された複数の転動体転動溝間のうち、少なくとも一列以上の転動体転動溝間を除く、その他の転動体転動溝間に転動体１６が装填されているリニアガイド装置１０２と、全ての転動体転動溝間に転動体１６が装填されているリニアガイド装置１０１とを組み合わせて構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、
前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、
前記ベースと前記テーブルとの間に同一の前記リニアガイド装置を複数設け、該複数のリニアガイド装置は、前記複数の転動体転動溝間のうち、少なくとも一列以上の転動体転動溝間を除く、その他の転動体転動溝間に転動体が装填されているリニアガイド装置と、全ての転動体転動溝間に転動体が装填されているリニアガイド装置とを組み合わせて構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項２】
リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、
前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、
前記ベースと前記テーブルとの間に同一の案内レールに複数の同一のスライダを備えて構成された前記リニアガイド装置を設け、該リニアガイド装置は、前記複数の転動体転動溝間のうち、少なくとも一列以上の転動体転動溝間を除く、その他の転動体転動溝間に転動体が装填されているスライダと、全ての転動体転動溝間に転動体が装填されているスライダとを組み合わせて構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項３】
リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、
前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、
前記ベースと前記テーブルとの間に同一の前記リニアガイド装置を複数設け、該複数のリニアガイド装置はそれぞれ、前記複数の転動体転動溝間のうち、一部の転動体転動溝間のみに、転動体を、予圧を加えない状態で装填したことを特徴とするテーブル装置。
【請求項４】
前記転動体がセラミックスで構成されていることを特徴とする請求項３記載のテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造設備、測定装置、事務用機器などの各種機械に用いられるテーブル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、加工機械などの非案内物を直線的に案内するための装置として、図１０に示すようなリニアガイド装置１０が知られている。このリニアガイド装置１０は、軸方向に延びる上下二列の転動体転動溝１１ａ，１１ｂ（合計四列）を外面に有する案内レール１３と、該案内レール１３に組み付けられているスライダ１４とによって構成されている。
【０００３】
また、該スライダ１４は、スライダ本体１４Ａと、該スライダ本体１４Ａの前後両端に固定されたエンドキャップ１５とによって形成されている。
図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である図１１に示すように、スライダ本体１４Ａには、その両袖部１７の内側面にそれぞれ前記転動体転動溝１１ａ，１１ｂに対向する転動体転動溝１２ａ，１２ｂが形成され、これら対向する両転動体転動溝１１ａ，１２ａ間及び両転動体転動溝１１ｂ，１２ｂ間には多数の転動体１６が転動自在に装填されている。
【０００４】
なお、図１１のリニアガイド装置は、説明のために左側二列の転動体転動溝間に転動体を装填していないが、実際の使用時には、四列全ての転動体転動溝間に、転動体を装填する。
スライダ１４は、転動体１６の転動を介して案内レール１３上を軸方向に沿って相対移動できるようになっている。この移動に伴い、案内レール１３とスライダ１４との間に介在する転動体１６は転動しながらスライダ１４の端部に移動するが、スライダ１４を軸方向に継続して移動させていくためには、これらの転動体１６を無限に循環させる必要がある。
【０００５】
そのため、スライダ本体１４Ａの両袖部１７内に軸方向に貫通する転動体戻り路１８ａ，１８ｂを形成すると共に、スライダ本体１４Ａの前後両端にそれぞれ転動体循環部品としてのエンドキャップ１５を固定する。
このエンドキャップ１５に、前記両転動体転動溝１１ａ，１２ａ間と前記転動体戻り路１８ａとを連通する湾曲路１９ａと、前記両転動体転動溝１１ｂ，１２ｂ間と前記転動体戻り路１８ｂとを連通する湾曲路１９ｂを形成することにより、転動体１６が無限循環するための転動体転動路を構成している。
【０００６】
このような構造のリニアガイド装置１０は、各種製造設備や測定装置、事務用機器などの機械に広く用いられ、通常は複数のリニアガイド装置１０と、テーブル２２とを組み合わせて、図１２のようなテーブル装置２０を構成して用いられる場合が多い。また、それぞれの使用目的に応じて、リニアガイド装置１０に要求される性能は異なる。（例えば、特許文献１参照。）
例えば、半導体製造装置や、事務用電子機器の読取装置、放電加工機などの用途では、高速で円滑な作動が可能であることが要求される。このような用途で使用されるテーブル装置２０においては、従来のリニアガイド装置１０を複数用いてテーブル装置２０を構成した場合、複数の案内レール１３をベース２１に取り付ける際に、前記案内レール１３同士の平行度にスライダ１４の移動に影響を与えるほどの誤差が生じてしまうことが多い。
【０００７】
したがって、該平行度の誤差によりスライダ１４が移動する際に摺動抵抗の変動が生じ、テーブル装置２０のスムーズな作動が阻害されてしまうという問題がある。
また、複数の案内レール１３を、平行度の誤差がほとんど無い状態でベース２１上に設置することができた場合においても、テーブル装置２０を使用する際に、スライダ１４の作動により発生する熱などによって、前記複数の案内レール１３同士の平行度に、スライダ１４の移動に影響を与えるほどの誤差が生じてしまい、テーブル装置２０のスムーズな作動が阻害されてしまうという問題がある。
【０００８】
この問題を解決するため、図１３に示すような、二個のリニアガイド装置１０を用いて構成されるテーブル装置２０がある。このテーブル装置２０は、転動体１６と両転動体転動溝１１１，１２１とを四点で接触させることによって複合荷重を受けるリニアガイド装置１０１と、転動体１６と両転動体転動溝１１２，１２２とを二点で接触させることによって主に上方向からの荷重を支えるリニアガイド装置１０２を備えて構成されている。
【０００９】
案内レール１３１，１３２同士の平行度の誤差は、リニアガイド装置１０２の上段二列の両転動体転動溝１１２，１２２と、両転動体転動溝１１２，１２２間に装填された転動体１６との横方向への微小な変化によって吸収されるため、スライダ１４の移動時に生じる摺動抵抗の変動を抑制することが可能となる。（例えば、特許文献２参照。）
また、工作機械や産業用ロボットなどの用途では、加工台の一部にのみ大きな負荷が連続的に作用する場合がある。このとき、複数のスライダを備えたリニアガイド装置やテーブル装置では、一部のスライダのみに大きな荷重が作用し、磨耗や疲れ破損が生じる可能性が高くなる。しかし、全てのスライダを、最大荷重に合わせた負荷容量の高いものにすると、コストの増加や寸法の増大につながってしまう。
【００１０】
この問題を解決するため、同一の案内レールに複数のスライダを取り付け、それぞれのスライダにおいて、転動体と転動体転動溝との接触角を変更することによって、各スライダごとに異なる負荷容量を与えられるようにしたリニアガイド装置がある。（例えば、特許文献３参照。）
また、搬送装置や電子部品製造装置では、高速な作動への応答性が求められるため、転動体の材料としてセラミックスを用いる。セラミックスは鉄鋼などに比べて軽量なため、スライダの作動時に発生する慣性力が低減され、高速な作動への応答性を高めることができる。（例えば、特許文献４参照。）
【００１１】
【特許文献１】
特開２０００−３２０６４１号公報（第３頁、第２−３図）
【特許文献２】
実用新案登録第２５２７２１９号公報（第２−３頁、第１図）
【特許文献３】
特開２００１−１４０８７８号公報（第２−７頁、第１図）
【特許文献４】
特開平５−１４９３３５号公報（第２−４頁、第１５−１７図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に示した発明においては、テーブル装置を構成する複数のリニアガイド装置が全く別の形状であるために、設計、製造、在庫管理などのプロセスを全て別個に行う必要があり、コストを増加させてしまうという問題がある。
【００１３】
また、特許文献３に示した発明においては、それぞれのスライダ毎に転動体と転動体転動溝との接触角を変更するため、構造の異なるスライダを製造する必要がある。そのため、工程管理や在庫管理に手間がかかり、コストを増加させてしまうという問題がある。
また、特許文献４に示した発明のように、転動体をセラミックスによって製造すると、材料が高価であるために、リニアガイド装置のコストを増加させてしまうという問題がある。
【００１４】
本発明は、このような従来の技術が有する課題に着目してなされたものであって、異なる特性を有するリニアガイド装置を、同一の部品、設備などを用いて構成するとともに、使用する転動体の数を減少させることによって、製造や管理などにかかるコストを低減することが可能であり、且つ、作動の際に発生する摺動抵抗の変動を減少させることにより、円滑な作動が可能となるテーブル装置及びその組立方法を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、前記ベースと前記テーブルとの間に同一の前記リニアガイド装置を複数設け、該複数のリニアガイド装置は、前記複数の転動体転動溝間のうち、少なくとも一列以上の転動体転動溝間を除く、その他の転動体転動溝間に転動体が装填されているリニアガイド装置と、全ての転動体転動溝間に転動体が装填されているリニアガイド装置とを組み合わせて構成されていることを特徴としている。
【００１６】
また、上記目的を達成するために、請求項２記載の発明は、リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、前記ベースと前記テーブルとの間に同一の案内レールに複数の同一のスライダを備えて構成された前記リニアガイド装置を設け、該リニアガイド装置は、前記複数の転動体転動溝間のうち、少なくとも一列以上の転動体転動溝間を除く、その他の転動体転動溝間に転動体が装填されているスライダと、全ての転動体転動溝間に転動体が装填されているスライダとを組み合わせて構成されていることを特徴としている。
【００１７】
また、上記目的を達成するために、請求項３記載の発明は、リニアガイド装置を設置したベースと、前記リニアガイド装置を介してスライド可能に設けられたテーブルと、を備え、前記リニアガイド装置は、複数の転動体転動溝を有して軸方向に延長された案内レールと、該案内レールの前記複数の転動体転動溝に対向する複数の転動体転動溝を有し、これら複数の転動体転動溝間に装填された多数の転動体の転動を介して前記案内レールに案内されて相対移動するスライダと、を備えるテーブル装置において、前記ベースと前記テーブルとの間に同一の前記リニアガイド装置を複数設け、該複数のリニアガイド装置はそれぞれ、前記複数の転動体転動溝間のうち、一部の転動体転動溝間のみに、転動体を、予圧を加えない状態で装填したことを特徴としている。
【００１８】
また、上記目的を達成するために、請求項４記載の発明は、請求項３に記載のテーブル装置において、前記転動体をセラミックスで構成したことを特徴としている。
ここで、上記各発明における「同一のリニアガイド装置」「同一のスライダ」とは、転動体の装填の有無に関してまでの同一を言うものではなく、また、転動体が装填されていない転動体転動溝間に対応する転動体の戻り路を省略することを妨げるものでもない。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、図１０乃至図１３に示したものと同一部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は省略する。
また、リニアガイド装置のスライダの幅方向を水平にして左右方向とし、該スライダの高さ方向を垂直として上下方向とする。
【００２０】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るテーブル装置２０の軸方向断面図であり、図２は左側のリニアガイド装置１０１の、片側二列の転動体転動溝間に装填した転動体１６及びその周辺拡大図、図３は上段二列の転動体転動溝間に装填した転動体１６及びその周辺拡大図である。
このテーブル装置２０は、ベース２１上に設置された二個のリニアガイド装置１０１，１０２と、該リニアガイド装置１０１，１０２に組み合わされたテーブル２２とによって構成されている。
【００２１】
前記リニアガイド装置１０１，１０２は共に、片側二列の転動体転動溝１１ａ，１１ｂが両側面に形成された案内レール１３と、内周面に前記転動体転動溝１１ａ，１１ｂに対向する転動体転動溝１２ａ，１２ｂが形成されているスライダ１４とによって構成されている。
左側のリニアガイド装置１０１は、全四列の転動体転動溝間の全てに転動体１６が装填されており、上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間においては、図２に示すように、転動体１６は転動体転動溝１１ａ，１２ａと点Ｘ，Ｙの二点で接触することにより、双矢印Ｒで示す方向からの荷重を受けている。
【００２２】
また、下段二列の転動体転動溝１１ｂ，１２ｂ間においては、図２に示すように、転動体１６は転動体転動溝１１ｂ，１２ｂと点Ｏ，Ｑの二点で接触することにより、双矢印Ｓ方向に示される荷重を受けている。
このように、左側のリニアガイド装置１０１は、上下段合わせて四列の転動体転動溝間に装填された転動体１６によって、任意方向の複合荷重を受けている。
【００２３】
一方、右側のリニアガイド装置１０２は、上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間のみに転動体１６が装填されており、図３に示すように、前記転動体１６が前記両転動体転動溝１１ａ，１２ａと二点で接触することによって、主に上方向からの荷重を受けている。
このように、本実施の形態では、二つのリニアガイド装置１０１，１０２のうち、左側のリニアガイド装置１０１は全四列の転動体転動溝間に転動体１６を装填しているため、スライダ１４は案内レール１３の左右方向には変位しない。一方、右側のリニアガイド装置１０２のスライダ１４は上段二列の転動体転動溝間のみに転動体１６が装填されているため、案内レール１３の左右方向へ、若干の変位が可能である。
【００２４】
このような構成のテーブル装置２０であれば、左側の案内レール１３と、右側の案内レール１３との間に生じた平行度の誤差を、右側のリニアガイド装置１０２のスライダ１４が左右方向へ変位することによって吸収することが可能となる。そのため、テーブル２２の移動に伴う摺動抵抗の変動が生じにくくなり、作動の円滑なテーブル装置２０を構成することが可能となる。
【００２５】
さらに、本実施の形態では、両リニアガイド装置１０１，１０２の寸法や形状を全く同一とした。つまり、該両リニアガイド装置１０１，１０２として同一のものを適用すればよい。したがって、リニアガイド装置１０全体のコストを低減することが可能となる。
なお、本実施の形態では、主に上方向からの荷重を受ける転動体転動溝間が、両リニアガイド装置１０１，１０２にそれぞれ上段二列づつ存在するために、受ける荷重の大部分が装置の自重によるものである半導体製造装置や、電子部品実装器、事務用電子機器、放電加工機などに適している。また、下方向から磁気吸引力が働くような、リニアモーターで駆動されるテーブル装置２０にも好適である。
【００２６】
また、図４に本実施の形態の変形例を示す。このテーブル装置２０は、右側のリニアガイド装置１０２に形成された全四列の転動体転動溝間のうち、転動体１６が装填される、上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間に対応する転動体戻り路１８ａのみを形成したものである。
このように転動体戻り路の本数を減らすことにより、リニアガイド装置１０の製造コストが低減される。さらに、右側のスライダ１４を右側の案内レール１３に取り付ける際に、転動体１６を装填しない下段二列の転動体転動溝１１ｂ，１２ｂ間に、誤って転動体１６を装填してしまうことが防止される。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施の形態を図５乃至図８を参照して説明する。なお、図１乃至図４に示したものと同一部分には同一の符号を付し、その部分の詳細な説明は省略する。
図５に示したテーブル装置２０は、例えばＮＣ工作機械に用いられるものであり、高い負荷容量及び剛性が求められる。このようなテーブル装置２０は、同一の案内レール１３に、同一の二個のスライダ１４１，１４２を組み合わせたリニアガイド装置１０をベース２１上に設置し、前記二個のスライダ１４１，１４２にテーブル２２を組み合わせて構成されている。
【００２８】
なお、本実施の形態のリニアガイド装置１０は、本出願人による、特開平１０−１４１３６８号公報に記載されているリニアガイド装置１０の構成を基本としている。
すなわち、図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である図６及び図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である図７に示すように、案内レール１３の両側面には三列の転動体転動溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃ（合計六列）が形成され、スライダ１４１，１４２には、それぞれ両袖部１７の内周面に前記転動体転動溝１１ａ，１１ｂ，１１ｃに対向する転動体転動溝１２ａ，１２ｂ，１２ｃが形成されている。
【００２９】
上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間及び下段二列の転動体転動溝１１ｃ，１２ｃ間に装填された転動体１６は、第一の実施の形態において図２に示した転動体１６と同様に、両転動体転動溝１１ａ，１２ａ及び１１ｃ，１２ｃと二点で接触することにより、四列の転動体転動溝間に装填された転動体１６によって多方向からの複合荷重を受けている。
【００３０】
また、中段二列の転動体転動溝１１ｂ，１２ｂ間に装填された転動体１６は、図８に示すように、両転動体転動溝１１ｂ，１２ｂと四点で接触することにより、上方向だけでなく左右方向も含めた、多方向からの複合荷重を受けている。
このような構成のテーブル装置２０では、図５の右方向に加工機器２３の加工点２４があるため、作動時には右側のスライダ１４２に、左側のスライダ１４１よりも大きな荷重がかかる。
【００３１】
したがって、右側のスライダ１４２の負荷容量を高めることが、テーブル装置２０全体の寿命の低下を防ぐ上で重要であり、また、右側のスライダ１４２の剛性を高めることが、加工点２４の変位量を低減し、被加工物の加工精度の低下を防止する上で重要である。
そこで、本実施の形態では、同一の案内レール１３に組み付けられた同一の二個のスライダ１４１，１４２のうち、加工点２４から遠い側のスライダ１４１には、上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間及び下段二列の転動体転動溝１１ｃ，１２ｃ間に転動体１６を装填し、加工点２４に近いスライダ１４２には、全六列の転動体転動溝間に転動体１６を装填する。
【００３２】
このようにすると、スライダ１４２の負荷容量はスライダ１４１の負荷容量より高くなるので、テーブル装置２０の寿命の低下を防ぐことが可能となり、また、スライダ１４２はスライダ１４１より高い剛性を有することとなるため、加工点２４の変位量を低減することが可能となる。
また、スライダ１４１は荷重を受ける転動体１６の数が少ないことにより、テーブル装置２０全体として、作動時に生じる摺動抵抗が低下する。そのため、加工機械の作動効率が良好なものとなり、作動に要するエネルギーが低減される。
【００３３】
なお、前述の第一の実施の形態と同様に、本実施の形態においても二個のスライダ１４１，１４２は全く同一の寸法形状とした。つまり、両スライダ１４１，１４２として同一のものを適用すればよい。したがって、リニアガイド装置１０全体のコストを低減することが可能となる。
また、本実施の形態で使用するリニアガイド装置１０は、全ての転動体転動溝１１，１２と、転動体１６との接触角度が４５度となるように形成する。そのため、あらゆる方向の荷重に対してほぼ同一の負荷容量と剛性を有することとなり、複合した荷重が作用する工作機械に最適である。
【００３４】
なお、特に図示はしないが、第１及び第２の実施の形態で説明したスライダ１４には、記号や文字などを記したり、エンドキャップ１５を通常とは異なる色に着色するなどの加工を行うと、全ての転動体転動溝間に転動体１６が装填されているスライダ１４と、転動体１６が装填されていない転動体転動溝を有するスライダ１４とを、外見から判別することが可能となる。そのため、テーブル装置２０の組立時に、使用するスライダ１４を間違えて案内レール１３に取り付けてしまうことを防止することが可能となる。
【００３５】
次に、本発明の第３の実施の形態を図９を参照して説明する。なお、図１乃至図８に示したものと同一部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は省略する。
図９に示したテーブル装置２０は、例えば半導体製造装置などに用いられるものであり、極めて小さな摺動抵抗が要求されるため、転動体１６には予圧を加えない。そのため、このようなテーブル装置２０に用いられるリニアガイド装置１０には組立隙間が存在する。
【００３６】
本実施の形態におけるテーブル装置２０の構成は、第一の実施の形態で用いたものとほぼ同様であるが、以下の点で構成が異なっている。すなわち、転動体１６をセラミックス製とし、左右のリニアガイド装置１０には、それぞれ、上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間にのみ転動体１６を装填する。
したがって、使用される転動体１６の数が減少し、リニアガイド装置１０の製造コストを低減することが可能となる。
【００３７】
また、このようにセラミックス製の転動体１６を用いて構成されたリニアガイド装置１０は、セラミックス製の転動体１６が鋼製の転動体１６と比較して高い剛性を有しているために、振動などの外乱力による運動精度の悪化を防ぐことが可能となる。
さらに、セラミックス製の転動体１６は鋼製の転動体１６と比較して軽量であるために、スライダ１４を高速で駆動した際に生じる慣性力が低減され、高速な作動への速やかな応答が可能となる。
【００３８】
また、本実施の形態では、主に上方向からの荷重を受けている上段二列の転動体転動溝１１ａ，１２ａ間のみに転動体１６を装填しているため、転動体１６の数が減少し、リニアガイド装置１０が作動する際に転動体１６の振動によって生じる騒音を低減できる。
なお、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテーブル装置及びその組立方法によれば、異なる特性を有するリニアガイド装置を、同一の部品、設備などを用いて構成するとともに、使用する転動体の数を減少させることによって、製造や管理などにかかるコストを低減することが可能であり、且つ、作動の際に発生する摺動抵抗の変動を減少させることにより、円滑な作動が可能となるテーブル装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るテーブル装置の軸方向断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図１の要部拡大図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態の変形例である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るテーブル装置の平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図８】図７の要部拡大図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係るテーブル装置の軸方向断面図である。
【図１０】従来のリニアガイド装置を示す斜視図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】従来のテーブル装置の斜視図である。
【図１３】従来のテーブル装置の軸方向断面図である。
【符号の説明】
１０  リニアガイド装置
１１  転動体転動溝（案内レール側）
１２  転動体転動溝（スライダ側）
１３  案内レール
１４  スライダ
１５  エンドキャップ
１６  転動体
１７  袖部
１８  転動体戻り路
１９  湾曲路
２０  テーブル装置
２１  ベース
２２  テーブル
２３  加工機器
２４  加工点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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