(57)【要約】【課題】不純物の含有量等が制御された不純物含有窒化ガリウム粉体、その粉体を実用的な速度で大量生産可能な製造方法、および不純物含有窒化ガリウム蛍光体を提供する。【解決手段】結晶核上に成長した不純物含有窒化ガリウム結晶からなる不純物含有窒化ガリウム粉体、および粒子成長領域において、結晶核粒子上でハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して、結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる工程を含む不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法、ならびに不純物含有窒化ガリウム蛍光体。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶核と、当該結晶核上に成長した不純物含有窒化ガリウム結晶とから構成される不純物含有窒化ガリウム粉体。
【請求項２】
前記不純物が、亜鉛、テルビウム、マグネシウム、ユーロピウム、ツリウム、サマリウム、ケイ素、インジウムおよびアルミニウムから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体。
【請求項３】
粒子成長領域に結晶核粒子を供給し、ハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記結晶核粒子上で前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して、前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程を含むことを特徴とする不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項４】
結晶核生成領域で窒化ガリウム結晶核粒子を生成させる結晶核生成工程と、
生成した窒化ガリウム結晶核粒子を粒子成長領域に供給し、かつハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記窒化ガリウム結晶核粒子上でハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程と、を含むことを特徴とする不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項５】
前記窒化ガリウム結晶核粒子は、結晶核生成領域でガリウム蒸気とアンモニアガスとを反応させて生成させることを特徴とする請求項４に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項６】
前記ハロゲン化ガリウムは、反応管内に載置されたガリウムにハロゲン化水素を供給し化学的に反応させて生成させたものであることを特徴とする、請求項３ないし請求項５のいずれか１項に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項７】
前記不純物原料ガスは、前記不純物原料を不活性ガス中で加熱蒸発させて生成させた後、前記粒子成長領域に供給することを特徴とする請求項３ないし請求項６のいずれか１項に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項８】
前記不純物原料ガスは、前記不純物原料をハロゲン化水素ガス中で加熱して揮発性物質に転化させて生成させた後、前記粒子成長領域に供給することを特徴とする請求項３ないし請求項６のいずれか１項に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項９】
前記不純物原料ガスは、前記粒子成長領域を構成する粒子成長炉の外部から供給することを特徴とする請求項３ないし請求項８のいずれか１項に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法。
【請求項１０】
結晶核と、当該結晶核上に成長された不純物含有窒化ガリウム結晶とから構成される不純物含有窒化ガリウム粉体からなることを特徴とする不純物含有窒化ガリウム蛍光体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、不純物含有窒化ガリウム粉体およびその製造方法、ならびに窒化ガリウム蛍光体に関し、特に光学ディスプレイ等に用いられる蛍光体に好適な不純物含有窒化ガリウム粉体およびその製造方法、ならびに不純物含有蛍光体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
窒化ガリウムは、高い発光効率を有する、物理的・化学的に安定である、導電性および熱伝導率が比較的大きい、有害物質を含まない等の優れた特徴を有するため、種々の応用が検討されている。そこで、本出願人は、窒化ガリウム粉体を２段階気相合成法により実用的な速度で大量生産できる方法に関する発明を想到し、先に特許出願した（特許文献１参照）。
【０００３】
一方、近年、開発・研究が進んでいる電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ：ｆｉｅｌｄ    ｅｍｉｓｓｉｏｎ    ｄｉｓｐｌａｙ）、蛍光表示デバイス（ＶＦＤ：ｖａｃｕｕｍ  ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ    ｄｉｓｐｌａｙ）等の次世代ディスプレイに用いられる蛍光体は、消費電力等の面から下記の諸特性が要求されている。
（１）低電圧加速電子によって効率良く発光するために充分な発光中心が存在する。
（２）発光効率が高い。
（３）電子線の照射を受けても損傷を受けない。
（４）たとえ損傷により分解したとしても、電子線源の特性を劣化させる酸素や硫黄などのガスを放出しない。
（５）発光特性が安定である。
（６）低抵抗である。
（７）励起源として光を用いる場合、励起光波長に適した禁制帯幅を持つ。
【０００４】
これらの電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）等に用いられる蛍光体として、発光中心となる不純物を含有した窒化ガリウム粉体は、窒化ガリウム自体が有する前記の優れた特徴とともに、発光中心を形成する不純物が含有されていることによって、より発光効率が向上することが期待される。また、同一母材（窒化ガリウム）でのＲＧＢ発光が可能となるため、より有用性の高い蛍光体を得ることができる、という利点もある。
【０００５】
ところで、粉体中に不純物を含有させる方法として最も一般的なものは熱拡散法である。しかし、窒化ガリウムに不純物を含有するために熱拡散法を適用すると、窒化ガリウムは不純物拡散が充分に起こる１０００℃以上の高温で熱分解を起こしてしまう問題がある。そこで、窒化ガリウム粉体の合成中に、不純物元素を含む物質を原料として添加して不純物を含有した窒化ガリウム粉体を製造する方法が提案されている（非特許文献１ないし３参照）。
【０００６】
しかし、これらの方法はバッチプロセスであることから、大量生産には適さない。さらに、利用されている化学反応の速度が遅く、また準備工程が複雑であることなどから、不純物を含有する窒化ガリウム粉体の製造は、数時間から数日の反応時間を要する。また、作製条件を大きく変化させることが難しいため、得られる不純物含有窒化ガリウム粉体の特性を制御できる範囲が限られている、などの問題がある。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００３−６３８１０号公報
【非特許文献１】
”ＧａＮ  ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ  ｆｏｒ  ｆｉｅｌｄ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｄｉｓｐｌａｙｓ”  Ｈ．Ｋａｎｉｅ，  Ｔ．Ｋａｗａｎｏ  ａｎｄ  Ｈ．Ｋｏａｍｉ：  Ｐｒｏｃ．２ｎｄ  Ｉｎｔ．  Ｓｙｍｐ．Ｂｌｕｅ  Ｌａｓｅｒ  ａｎｄ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅｓ，  Ｃｈｉｂａ，  １９９８，ｐ．５５２．
【非特許文献２】
”Ｂｌｕｅ  ｐｈｏｓｐｈｏｒ  ＧａＮ：Ｚｎ  ｆｏｒ  ＶＦＤｓ  ａｎｄ  ＦＥＤｓ”  Ｆ．Ｋａｔａｏｋａ，  Ｙ．Ｓａｔｏｈ，  Ｊ．Ｓｕｄａ，  Ｋ．Ｈｏｎｄａ  ａｎｄ  Ｈ．Ｔｏｋｉ：  Ｐｒｏｃ．８ｔｈ  Ｉｎｔ．  Ｓｙｍｐ．  Ｐｈｙｓｉｃｓ  ａｎｄ  ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ｏｆ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｍｔｅｒｉａｌｓ，  Ｈｏｎｏｌｕｌｕ，  １９９９，ｐ．１７．
【非特許文献３】
”Ａ  ｎｅｗ  ｃｏｍｂｕｓｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ＧａＮ：Ｅｕ３＋  ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  ｐｏｗｄｅｒｓ”  Ｇ．Ａ．Ｈｉｒａｔａ，  Ｆ．Ｒａｍｏｓ，  Ｒ．Ｇａｒｃｉｓ，  Ｅ．Ｊ．Ｂｏｓｚｅ，  Ｊ．ＭｃＫｉｔｔｒｉｃｋ，  Ｏ．Ｃｏｎｔｒｅｒａｓ  ａｎｄ  Ｆ．Ａ．Ｐｏｎｃｅ：  Ｐｈｙｓ．  Ｓｔａｔ．  Ｓｏｌ．  （ａ）１１８（２００１）１７９−１８２．
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の第１の目的は、不純物の含有量、粒径分布、化学量論組成、電導度、禁制帯幅等が制御され、蛍光体等の各種用途に適した光学特性および電気的特性を示す不純物含有窒化ガリウム粉体を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の第２の目的は、不純物の含有量が高度に制御された不純物含有窒化ガリウム粉体を、実用的な速度で大量生産可能な製造方法を提供することにある。
【００１０】
さらに、本発明の第３の目的は、不純物の含有量、粒径分布、化学量論組成、電導度、禁制帯幅等が充分に制御され、各種のデバイスに求められる光学特性および電気的特性を有する不純物含有窒化ガリウム蛍光体を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、結晶核と、当該結晶核上に成長した不純物含有窒化ガリウム結晶とから構成される不純物含有窒化ガリウム粉体を発明の構成とする。
【００１２】
この不純物含有窒化ガリウム粉体は、結晶核上に成長した窒化ガリウム結晶に含有された不純物が発光中心を形成する。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の不純物含有窒化ガリウム粉体において、前記不純物が、亜鉛、テルビウム、マグネシウム、ユーロピウム、ツリウム、サマリウム、ケイ素、インジウムおよびアルミニウムから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする。
【００１４】
この不純物含有窒化ガリウム粉体において、不純物として含有する亜鉛、テルビウム、マグネシウム、ユーロピウム、ツリウムおよびサマリウムは、発光中心を形成し、また、ケイ素は電導度を向上させることができる。さらに、インジウムおよびアルミニウムは、不純物含有窒化ガリウム結晶の禁制帯幅を制御して、同時に含有させる発光中心不純物による発光波長を変化させることができる。
【００１５】
また、請求項３に記載の発明は、粒子成長領域に結晶核粒子を供給し、ハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記結晶核粒子上で前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して、前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程を含むことを特徴とする不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法を発明の構成とする。
【００１６】
この製造方法では、粒子成長領域に不純物原料ガスを供給することにより、不純物原料ガス、ハロゲン化ガリウムおよびアンモニアガスが反応して結晶核上に成長する窒化ガリウム結晶中に不純物が含有される。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明は、結晶核生成領域で窒化ガリウム結晶核粒子を生成させる結晶核生成工程と、生成した窒化ガリウム結晶核粒子を粒子成長領域に供給し、かつハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記窒化ガリウム結晶核粒子上でハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程と、を含むことを特徴とする不純物含有窒化ガリウム粉体の製造方法を発明の構成とする。
【００１８】
この製造方法では、粒子成長領域に不純物原料ガスを供給することにより、ハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとが反応して窒化ガリウム結晶核粒子上に成長する窒化ガリウム結晶中に不純物が含有される。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、前記請求項４に記載の製造方法において、前記窒化ガリウム結晶核粒子は、結晶核生成領域でガリウム蒸気とアンモニアガスとを反応させて生成させることを特徴とする。
【００２０】
この製造方法では、結晶核生成領域でガリウムとアンモニアガスとを反応させることにより、窒化ガリウム結晶核粒子が生成され、粒子成長領域に供給される。
【００２１】
また、請求項６に記載の発明は、前記請求項３ないし請求項５のいずれか１項に記載の製造方法において、前記ハロゲン化ガリウムは、反応管内に載置されたガリウムにハロゲン化水素を供給し化学的に反応させて生成させたものであることを特徴とする。
【００２２】
この製造方法では、反応管内に載置されたガリウムにハロゲン化水素を供給し化学的に反応させることにより生成するハロゲン化ガリウムが、粒子成長領域に供給されてアンモニアガスと反応する。
【００２３】
また、請求項７に記載の発明は、前記請求項３ないし請求項６のいずれか１項に記載の製造方法において、前記不純物原料ガスは、前記不純物原料を不活性ガス中で加熱蒸発させて生成させた後、前記粒子成長領域に供給することを特徴とする。
【００２４】
この製造方法では、不純物原料を不活性ガス中で加熱蒸発させることにより、不純物原料ガスが生成し、粒子成長領域に供給される。
【００２５】
また、請求項８に記載の発明は、前記請求項３ないし請求項６のいずれか１項に記載の製造方法において、前記不純物原料ガスは、前記不純物原料をハロゲン化水素ガス中で加熱して揮発性物質に転化させて生成させた後、前記粒子成長領域に供給することを特徴とする。
【００２６】
この製造方法では、不純物原料をハロゲン化水素ガス中で加熱して揮発性物質に転化させることにより、不純物原料ガスが生成し、粒子成長領域に供給される。
【００２７】
また、請求項９に記載の発明は、前記請求項３ないし請求項８のいずれか１項に記載の製造方法において、前記不純物原料ガスは、前記粒子成長領域を構成する粒子成長炉の外部から供給することを特徴とする。
【００２８】
この製造方法では、粒子成長領域を構成する粒子成長炉の外部から不純物原料ガスが供給されることによって、結晶核上に不純物含有窒化ガリウム結晶が成長する。
【００２９】
また、請求項１０に記載の発明は、結晶核と、当該結晶核上に成長された不純物含有窒化ガリウム結晶とから構成される不純物含有窒化ガリウム粉体からなることを特徴とする不純物含有窒化ガリウム蛍光体を発明の構成とする。
【００３０】
この不純物含有蛍光体では、不純物含有窒化ガリウム粉体の結晶核上に成長した窒化ガリウム結晶に含有される不純物が発光中心を形成する。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の不純物含有窒化ガリウム粉体（以下、「本発明のＧａＮ粉体」という）およびその製造方法、ならびに不純物含有窒化ガリウム蛍光体（以下、「本発明のＧａＮ蛍光体」という）について詳細に説明する。
【００３２】
本発明のＧａＮ粉体は、結晶核と、その結晶核上に成長された不純物含有窒化ガリウム結晶とから構成される。結晶核は、特に制限されず、その結晶核上に窒化ガリウム結晶が成長して粉体粒子を形成できるものであれば、いずれの元素からなるものでもよい。この結晶核として、窒化ガリウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ボロン、炭化ケイ素等からなる微小粒子が挙げられる。特に、結晶核が窒化ガリウム結晶粒子である場合には、結晶核粒子上に成長する不純物含有窒化ガリウム結晶に歪みが生じない点で、好ましい。
【００３３】
本発明の粉体を構成する結晶核の粒径は、通常、１００ｎｍ〜１μｍ程度であり、１００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲が、高い収率を達成できることから好ましい。
【００３４】
また、本発明のＧａＮ粉体において、不純物含有窒化ガリウム結晶に含有される不純物は、本発明のＧａＮ粉体を用いた蛍光体に求められる発光波長等の光学的特性、および電気的特性等に応じて選択されるが、その具体例として、亜鉛、テルビウム、マグネシウム、ユーロピウム、ツリウム、サマリウム、ケイ素、インジウムおよびアルミニウムから選ばれる少なくとも１種が挙げられる。不純物として含有する亜鉛、テルビウム、マグネシウム、ユーロピウム、ツリウムおよびサマリウムは、発光中心を形成する。例えば、不純物としてテルビウムを含む本発明のＧａＮ粉体は、青色〜緑色の波長領域の蛍光を示し、また、不純物として亜鉛を含む本発明のＧａＮ粉体は、青色〜青緑色の波長領域の蛍光を示す。さらに、マグネシウムを含む本発明のＧａＮ粉体は青紫色の蛍光を示す。また、ケイ素は電導度を向上させるために有効である。さらに、インジウムおよびアルミニウムは、不純物含有窒化ガリウム結晶の禁制帯幅を制御して、同時に含有させる発光中心不純物による発光波長（色）を変化させることができる。例えば、亜鉛含有（Ｇａ，Ｉｎ）Ｎ混晶は、青〜赤色の波長領域の蛍光を示す。
【００３５】
結晶核上に成長される不純物含有窒化ガリウム結晶は、次のいずれの形態であってもよい。
（１）窒化ガリウム結晶中に不純物が含有されている。
（２）不純物が窒化ガリウムと混晶を形成している。例えば、不純物としてアルミニウム（Ａｌ）、インジウム（Ｉｎ）が含有され、（Ａｌ，Ｇａ）Ｎ、（Ｇａ，Ｉｎ）Ｎ等の混晶を形成している。
（３）窒化ガリウム結晶中に不純物が含有されているとともに、一部が窒化ガリウムと混晶を形成している。例えば、亜鉛含有（Ｇａ，Ｉｎ）Ｎ混晶、テルビウム含有（Ａｌ，Ｇａ）Ｎ混晶を形成している。
【００３６】
不純物の含有量は、本発明のＧａＮ粉体の用途、不純物の元素種、発光波長等に応じて適宜選択されるが、通常、１〜５００×１０１９ｃｍ−３の範囲である。特に、亜鉛の場合には、５〜５０×１０１９ｃｍ−３程度、テルビウムの場合には、５０〜５００×１０１９ｃｍ−３程度、マグネシウムの場合には、５〜５０×１０１９ｃｍ−３程度である。
【００３７】
本発明のＧａＮ粉体は、結晶核上に不純物含有窒化ガリウム結晶を形成できる方法であれば、いずれの方法にしたがって製造してもよい。特に、本発明のＧａＮ粉体の製造方法として、粒子成長領域に結晶核粒子を供給し、ハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記結晶核粒子上で前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して、前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程を含む方法が、連続的にしかも比較的高速で、本発明のＧａＮ粉体を製造できることから、好適である。
【００３８】
この方法において、予め準備された結晶核となる微小粒子が粒子成長領域に供給されるようにしてもよいし、あるいは結晶核生成領域で結晶核粒子を生成し、生成された結晶核粒子が粒子成長領域に供給されるようにしてもよい。例えば、予め用意した酸化アルミニウム微小粒子が粒子成長領域に直接的に供給されるようにしてもよい。また、結晶核生成領域で窒化ガリウム結晶核粒子を生成させ、生成した窒化ガリウム結晶核粒子が、結晶核生成領域に連絡された粒子成長領域に流通させて供給されるようにしてもよい。特に、結晶核生成領域で窒化ガリウム結晶核粒子を生成させる結晶核生成工程と、生成した窒化ガリウム結晶核粒子を粒子成長領域に供給し、かつハロゲン化ガリウム含有ガスとアンモニア含有ガスを供給して、前記窒化ガリウム結晶核粒子上でハロゲン化ガリウムとアンモニアとを反応させるとともに、不純物原料ガスを供給して前記結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を成長させる粒子成長工程と、を含む方法（２段階気相合成法）は、本発明の粉体を連続的かつ比較的高速で製造できるため、実用的な大量生産方法として好適である。
【００３９】
この２段階気相合成法において、結晶核生成領域における窒化ガリウム結晶核の生成および粒子成長領域における粒子成長は、それぞれ下記の化学反応にしたがって行われる。
結晶核生成（上流部）：Ｇａ＋ＮＨ３→ＧａＮ＋３／２Ｈ２
粒子成長（下流部）：ＧａＸ＋ＮＨ３→ＧａＮ＋ＨＸ＋Ｈ２（Ｘ：ハロゲン元素）
【００４０】
この２段階気相合成法において、結晶核生成領域における窒化ガリウム結晶核の生成は、金属ガリウムを加熱して生成されるガリウム蒸気とアンモニアガスとの反応により行われる。このとき、結晶核生成領域の温度は、１０５０〜１１００℃の温度範囲に設定して行うことが好ましい。これによって、生成する窒化ガリウム結晶核が、よい結晶性を有するものとなる。
【００４１】
粒子成長領域に供給されるアンモニア含有ガスは、アンモニアのみからなるものでもよいし、アンモニアガスと窒素等の不活性キャリアガスとの混合ガスでもよい。
【００４２】
また、粒子成長領域に供給されるハロゲン化ガリウム含有ガスは、ハロゲン化ガリウムとして、塩化ガリウム、臭化ガリウム等が挙げられ、これらのハロゲン化ガリウムは、加熱した金属ガリウムを、ハロゲン化水素と反応させて生成させることができる。ハロゲン化ガリウムとして塩化ガリウムを生成させる場合には、加熱温度は８００〜９００℃の範囲が好ましい。これにより、塩化ガリウムの生成量は、加熱温度に依らず、供給する塩化水素の量に比例する。
そして、生成したハロゲン化ガリウムは、粒子成長領域に導入され、アンモニアガスと反応させることができる。
【００４３】
粒子成長領域に不純物原料ガスを供給する方法としては、用いる不純物原料の蒸気圧に応じて、次の３通りの方法がある。
蒸気圧の低い物質を原料に用いる場合
１．粒子成長炉内に置き、不活性キャリアガス中で加熱蒸発させて粒子成長領域へ供給する方法
２．粒子成長炉内に置き、ハロゲン化水素ガス中で加熱し、揮発性物質に転化した後、粒子成長領域へ供給する方法
蒸気圧の高い物質を原料に用いる場合
３．１００％のガス、またはキャリアガス中に希釈した状態で粒子成長炉の外部から供給する方法
この３の方法において、導入する不純物原料ガスとしては、不純物として含有させる元素を含む有機金属化合物（例えば、ジメチル亜鉛、トリメチルアルミニウム）や水素化物（例えば、シラン）などを用いることができる。これらの不純物原料のみからなる１００％のガス、または希釈ガスの流量は、質量流量制御器などを用いて広範囲かつ正確に制御することができる。そのため、この方法は、（１）および（２）の方法よりも不純物原料の供給量を広範囲に制御可能である。
【００４４】
（２）の方法で用いるハロゲン化水素としては、塩化水素および臭化水素などが挙げられ、特に高い反応性を示すとともに、入手が容易であることから塩化水素が好ましい。
【００４５】
また、粒子成長領域における反応は、加熱源を適宜に制御することによって、９００〜１１００℃の温度に加熱して行うことが好ましい。これによって、最終的に得る窒化ガリウム粉体の結晶性をより向上させることができる。このとき、（３）の方法において、粒子成長炉に導入する１００％のガスまたは希釈ガスが、粒子成長炉内の温度で分解する場合には、不純物原料を粒子成長炉内に導入するための導入管の内壁を水冷すると、望ましい。
【００４６】
また、本発明の方法によって製造されたＧａＮ粉体は、アニール処理することにより、発光中心として含有する不純物による蛍光発光を増加させることができる。例えば、不純物として亜鉛を含む本発明のＧａＮ粉体は、アンモニアガス中、１０００℃〜１１００℃でアニール処理することにより、蛍光発光を増加させることができる。
【００４７】
以下、図１に示す製造装置によるＧａＮ粉体の製造方法について詳細に説明するとともに、本発明のＧａＮ粉体の製造方法について説明する。
図１は、本発明の粉体の製造に好適な製造装置の構成を示す図である。
【００４８】
図１に示す製造装置は、結晶核生成部１と、粒子成長部２とから構成される。
【００４９】
結晶核生成部１は、反応管３と、この反応管３の外周に周設された管状電気炉４、５を備える。反応管１の下部には、窒化ホウ素等の耐熱性素材で形成されたルツボ６が配置され、ルツボ６の外周には加熱用コイル（図示せず）が周設されている。ルツボ６は、加熱反応管７内に収容され、加熱反応管７は、下側部にガス導入口８を備え、上部に開口９を有する。また、反応管３は、下側部にガス導入口１０が設けられ、上部にガス流出口１１が設けられている。
【００５０】
粒子成長部２は、反応管１２と、この反応管１２の外周に周設された管状電気炉１３、１４、１５、１６を備える。また、反応管１２の上部には、結晶核導入管２０が配置され、この結晶核導入管２０は前記結晶核生成部１のガス流出口１１と結晶核輸送管１８を介して連通し、下方に開口部１９を有する。この結晶核導入管２０の内側には予備反応管１７が収容されている。予備反応管１７内には、窒化ホウ素等で形成されたルツボ２１が配置され、ルツボ２１の下部には、不純物原料容器２２が配置される。不純物原料容器２２は、不純物原料を充填し、図示しない加熱用コイルによって加熱するものである。また、予備反応管１７の上部には、ガス導入口２３が設けられ、下部には前記結晶核導入管２０の内側に開口するガス排出口２４が設けられている。
【００５１】
さらに、反応管１２の上部には、ガス導入口２５が設けられ、反応管１２の下部には粉体捕集部２６が配置されている。粉体捕集部２６は、頂部に配置されたフィルタ２７と、そのフィルタ２７の下部に連絡するガス排出管２８とを備える。
【００５２】
次に、この図１に示す製造装置による本発明のＧａＮ粉体の製造について説明する。
まず、結晶核生成部１において、ルツボ６に金属ガリウムＡを入れ、加熱用コイルで、例えば１４００℃に加熱してガリウム蒸気が生成される。生成されたガリウム蒸気は、ガス導入口８より導入される窒素等のキャリアガスによって、開口９を通って、反応管３の結晶核生成領域Ｂに導入され、ガス導入口１０より導入されるアンモニアガスと反応して窒化ガリウム結晶核粒子が生成される。
【００５３】
このとき、前記ガリウム蒸気と前記アンモニアガスとの反応は、特には限定されないが、管状電気炉４、５を制御することによって１０５０〜１１００℃の温度範囲に設定して行うことが好ましい。これによって、窒化ガリウム結晶核の結晶性をより向上させることができる。
【００５４】
なお、この「ガリウム蒸気」とは完全に気化した状態のもののみならず、微少な液滴から構成されているものをも含む。
【００５５】
次に、前記結晶核生成部１で生成した窒化ガリウム結晶核粒子は、残余のアンモニアガスおよびキャリアガスと共に、ガス流出口１１より結晶核輸送管１８および結晶核導入管２０を通って、開口部１９より反応管１２内の粒子成長領域Ｃに輸送される。
【００５６】
一方、粒子成長部２においては、予備反応管１７内のルツボ２１に充填された金属ガリウムＤが管状電気炉１３によって加熱溶融される。溶融したガリウムは、ガス導入口２３よりキャリアガスとともに予備反応管１７内に導入されるハロゲン化水素ガスと反応し、ハロゲン化ガリウムが生成される。
【００５７】
また、予備反応管１７に配置された不純物原料容器２２には不純物原料Ｅが充填され、この不純物原料Ｅは、管状電気炉１３によって加熱されるとともに、予備反応管１７内に導入されるハロゲン化水素ガスと反応して不純物原料ガスを生成する。ハロゲン化ガリウムとして塩化ガリウムを生成させる場合には、管状電気炉１３の加熱温度は８００〜９００℃の範囲が好ましい。供給する塩化水素の量に対する塩化ガリウムの生成量の割合は、加熱温度に依らず、約６０％とほぼ一定となる。
また、不純物原料ガスの供給量は、管状電気炉１３の温度により制御が可能である。実際に、酸化ユーロピウム（Ｅｕ２Ｏ３）を原料に用いるユーロピウム含有窒化ガリウム結晶粉体の製造では、８００℃で２×１０１９ｃｍ−３程度、９００℃で９×１０１９ｃｍ−３程度である。
【００５８】
生成したハロゲン化ガリウムと、不純物原料ガスとは、予備反応管１７内に導入されるキャリアガスなどと共に、ガス排出口２４より反応管１２の粒子成長領域Ｃに導入される。
【００５９】
反応管１２の粒子成長領域Ｃにおいては、結晶核生成部１より輸送された窒化ガリウム結晶核粒子およびアンモニアガスと、予備反応管１７より導入されるハロゲン化ガリウムと不純物原料ガスとが合流する。そして、窒化ガリウム結晶核粒子上において、前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとが反応して、前記窒化ガリウム結晶核上に不純物含有窒化ガリウム結晶が成長し、不純物含有窒化ガリウム粉体が生成される。この不純物含有窒化ガリウム結晶の成長は、管状電気炉１４、１５を制御することによって、粒子成長領域Ｃの温度を９００〜１１００℃に加熱して行うことが好ましい。
【００６０】
生成された窒化ガリウム粉体は、ガス導入口２５より導入されるキャリアガスなどとともに、反応管１２の下方に輸送され、粉体捕集部２６のフィルタ２７で捕集される。反応せずに残留したアンモニアガスおよび塩化水素ガス、並びにこれらのガスの反応によって生成される塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）ガスなどは、ガス排気口２８を通って、反応管１２外へ排出される。
【００６１】
なお、管状電気炉１６は、主として上述したＮＨ４Ｃｌガスなどの副生成物がフィルタ２７に付着するのを防止するため、その副生成物を加熱し気体状態に維持しておくために設けられる。通常、管状電気炉１６によってフィルタ２７近傍が約５００℃程度に加熱される。
【００６２】
この図１に示す製造装置においては、不純物原料容器２２に充填した不純物原料Ｅをハロゲン化水素中で加熱し、揮発性物質に転化させて不純物原料ガスが生成される。そのため、図１に示す製造装置は、蒸気圧が低い不純物原料を用いる場合にも、不純物原料ガスを生成させることが出来る点で、有利である。
【００６３】
次に、図２に示す製造装置によって、本発明の粉体を製造する方法について説明する。
図２は、本発明の粉体の製造に好適な他の製造装置の構成を示す図である。この図２に示す製造装置は、粒子成長部２が２つの予備反応管２９、３０が収容された原料混合管３１を備えること以外は、前記図１に示す製造装置と同一の構成を備えるものである。したがって、図１に示す製造装置と同様の部分には、同一の符号を付して説明を省略する。
【００６４】
図２に示す製造装置は、反応管１２の上部に配置された結晶核導入管２０の内側に、予備反応管２９、３０が収容された原料混合管３１を備えるものである。予備反応管２９内には、窒化ホウ素等で形成されたルツボ２１が配置される。また、予備反応管２９の上部には、ガス導入口３２が設けられ、下部にはガス排出口３３が設けられている。ガス排出口３３は、前記原料混合管３１の内側に開口している。さらに、予備反応管３０内には、管状電気炉１３によって加熱される不純物原料容器２２が配置される。この不純物原料容器２２には、不純物Ｅが充填される。予備反応管３０の上部には、ガス導入口３４が設けられ、下部にはガス排出口３５が設けられている。ガス排出口３５は、前記ガス排出口３３と並んで前記原料混合管３１の内側に開口している。原料混合管３１の上部には、ガス導入口３６が設けられ、原料混合管３１の下部には、混合ガス排出口３７が設けられている。
【００６５】
図２に示す製造装置においては、図１に示す製造装置について説明した方法と同様にして、結晶核生成部１の結晶核生成領域Ｂにおいて、窒化ガリウム結晶核粒子が生成する。生成した窒化ガリウム結晶核粒子は、残余のアンモニアガスおよびキャリアガスと共に、ガス流出口１１より結晶核輸送管１８を通って結晶核導入管２０内に輸送される。
【００６６】
一方、粒子成長部２の予備反応管２９においては、ルツボ２１内に充填された金属ガリウムＤが、管状電気炉１３によって加熱溶融される。溶融したガリウムは、ガス導入口３１よりキャリアガスと共に導入されるハロゲン化水素ガスと反応し、ハロゲン化ガリウムが生成する。
【００６７】
また、予備反応管３０内においては、不純物原料容器２２内に充填された不純物原料Ｅが、管状電気炉１３によって加熱されることによって、ガス導入口３４より導入される不活性キャリアガス中で蒸発し、不純物原料ガスが生成する。
【００６８】
予備反応管２９内で生成したハロゲン化ガリウムは、ガス排出口３３より原料混合管３１内に導入される。また、予備反応管３０内で生成した不純物原料ガスは、ガス排出口３５より原料混合管３１内に導入される。原料混合管３１内に導入されたハロゲン化ガリウムと不純物原料ガスとは、充分に混合される。この混合ガスは、ガス導入口３６より導入されるキャリアガスと共に、混合ガス排出口３７より粒子成長領域Ｃに導入される。
一方、結晶核生成部１から輸送されてきた窒化ガリウム結晶核粒子、残余のアンモニアガスおよびキャリアガスは、結晶核導入管２０の開口部１９より粒子成長領域Ｃに導入される。
【００６９】
反応管１２の粒子成長領域Ｃにおいては、窒化ガリウム結晶核粒子上で前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとが反応して窒化ガリウム結晶が成長するとともに、不純物原料ガスによって成長する窒化ガリウム結晶中に不純物が導入される。そして、前記窒化ガリウム結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶が成長し、不純物含有窒化ガリウム粉体が生成する。この不純物含有窒化ガリウム結晶の成長は、管状電気炉１３、１４、１５を制御することによって、粒子成長領域Ｃの温度を９００〜１１００℃に加熱して行うことが好ましい。
【００７０】
生成された窒化ガリウム粉体は、ガス導入口２５より導入されるキャリアガスなどとともに、反応管１２の下方に輸送され、粉体捕集部２６のフィルタ２７で捕集される。反応せずに残留したアンモニアガスおよび塩化水素ガス、並びにこれらのガスの反応によって生成される塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）ガスなどは、ガス排気口２８を通って、反応管１２外へ排出される。
【００７１】
この図２に示す製造装置においては、不純物原料容器２２に充填した不純物原料Ｅをハロゲン化水素中で加熱し、揮発性物質に転化させて不純物原料ガスが生成される。そのため、図２に示す製造装置は、蒸気圧が低い不純物原料を用いる場合にも、不純物原料ガスを生成させることが出来る点で、有利である。また、図２に示す製造装置においては、ハロゲン化ガリウムの生成と、不純物原料ガスの生成とが、独立した予備反応管２９、３０で行われる。そのため、図２に示す製造装置は、ハロゲン化ガリウムの生成と、不純物原料ガスの生成とをそれぞれ別個に制御可能である。また、図２に示す製造装置は、得られる不純物含有窒化ガリウム粉体中の不純物の含有量、窒化ガリウム結晶核上での結晶成長速度等等を制御する上で有利である。
【００７２】
不純物原料ガスの供給量は、ガス導入口３４より導入する不活性ガス、もしくはハロゲン化水素の流量および不純物原料容器２２の温度によって制御することができる。
また、不純物原料容器２２の温度は、反応管１２内の温度分布を利用して、不純物原料容器２２を上下に移動させることによって制御することができる。このとき、粒子成長領域Ｃの温度が１１００℃の場合、約５００〜１１００℃の範囲で制御が可能である。
これによって、図２に示す製造装置は、図１に示す製造装置に比べて不純物原料の供給量をより広範囲に制御することができる。
【００７３】
次に、図３に示す製造装置によって、本発明の粉体を製造する方法について説明する。
図３は、本発明の粉体の製造に好適な他の製造装置の構成を示す図である。この図３に示す製造装置は、粒子成長部２が予備反応管１７と不純物原料導入管３８を収容する原料混合管３９を備えること以外は、前記図１に示す製造装置と同一の構成を備えるものである。したがって、図１に示す製造装置と同様の部分には、同一の符号を付して説明を省略する。
【００７４】
この図３に示す製造装置は、予備反応管１７と不純物原料導入管３８を収容した原料混合管３９を備えるものである。予備反応管１７の上部には、ガス導入口２３が設けられ、下部にはガス排出口２４が設けられている。また、予備反応管１７内には、金属ガリウムが充填されたルツボ２１のみが配置されている。さらに、不純物原料導入管３８の上部には、ガス導入口４０が設けられ、下部には、ガス導出口４１が開口されている。原料混合管３９の上部には、ガス導入口４２が設けられ、原料混合管３９の下部には、混合ガス排出口４３が設けられている。ガス排出口２４とガス導出口４１は、原料混合管３９の内側に開口している。
【００７５】
図３に示す製造装置においては、図１に示す製造装置について説明した方法と同様にして、結晶核生成部１の結晶核生成領域Ｂにおいて、窒化ガリウム結晶核粒子が生成する。生成した窒化ガリウム結晶核粒子は、残余のアンモニアガスおよびキャリアガスと共に、ガス流出口１１より結晶核輸送管１８を通って結晶核導入管２０内に輸送される。
【００７６】
一方、予備反応管１７においては、ルツボ２１内に充填された金属ガリウムＤが、管状電気炉１３によって加熱溶融される。溶融したガリウムは、ガス導入口２３よりキャリアガスと共に導入されるハロゲン化水素ガスと反応し、ハロゲン化ガリウムが生成する。
【００７７】
また、不純物原料導入管３８内には、ガス導入口４０より不純物原料ガスが導入され、ガス導出口４１より原料混合管３９内に導入される。このとき、導入される１００％のガスまたは希釈ガスが、管状電気炉１３の温度（８００〜９００℃）で分解する場合には、不純物原料を粒子成長炉内に導入するための導入管の内壁を水冷すると、望ましい。
【００７８】
さらに、予備反応管１７で生成したハロゲン化ガリウムは、ガス排出口２４より原料混合管３９内に導入される。原料混合管３９内に導入されたハロゲン化ガリウムと不純物原料ガスとは、充分に混合される。この混合ガスは、ガス導入口４２より導入されるキャリアガスと共に、混合ガス排出口４３より粒子成長領域Ｃに導入される。
【００７９】
一方、結晶核生成部１から輸送されてきた窒化ガリウム結晶核粒子、残余のアンモニアガスおよびキャリアガスは、結晶核導入管２０の開口部１９より粒子成長領域Ｃに導入される。
【００８０】
反応管１２の粒子成長領域Ｃにおいては、窒化ガリウム結晶核粒子上で前記ハロゲン化ガリウムとアンモニアガスとが反応して窒化ガリウム結晶が成長するとともに、不純物原料ガスによって成長する窒化ガリウム結晶中に不純物が導入される。そして、前記窒化ガリウム結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶が成長し、不純物含有窒化ガリウム粉体が生成する。この不純物含有窒化ガリウム結晶の成長は、管状電気炉１３、１４、１５を制御することによって、粒子成長領域Ｃの温度を９００〜１１００℃に加熱して行うことが好ましい。
【００８１】
生成された窒化ガリウム粉体は、ガス導入口２５より導入されるキャリアガスなどとともに、反応管１２の下方に輸送され、粉体捕集部２６のフィルタ２７で捕集される。反応せずに残留したアンモニアガスおよび塩化水素ガス、並びにこれらのガスの反応によって生成される塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）ガスなどは、ガス排気口２８を通って、反応管１２外へ排出される。
【００８２】
この図３に示す製造装置においては、蒸気圧が高い不純物原料を用いて、不純物原料の蒸気のみからなるガス、または不純物原料の蒸気をキャリアガスで希釈した状態で粒子成長領域Ｃに導入し、不純物含有窒化ガリウム粉体を製造する場合に有効である。また、図３に示す製造装置においては、ハロゲン化ガリウムの生成と、不純物原料ガスの供給とが、それぞれ別個に行われる。そのため、図３に示す製造装置は、ハロゲン化ガリウムの生成と、不純物原料ガスの供給とをそれぞれ別個に制御可能である。
【００８３】
導入する不純物原料ガスとしては、不純物として含有させる元素を含む有機金属化合物（例えば、ジメチル亜鉛、トリメチルアルミニウム）や水素化物（例えば、シラン）などを用いることができる。これらの不純物原料のみからなるガス、または希釈ガスの流量は、質量流量制御器などを用いて広範囲かつ正確に制御することができる。そのため、図３に示す製造装置は、図１に示す製造装置よりも不純物原料の供給量を広範囲に制御可能である。
【００８４】
以上に説明した図１、図２および図３に示す製造装置は、本発明の粉体の製造を行う装置の例である。したがって、基本的に、ガリウム蒸気とアンモニアガスとの反応によって窒化ガリウム結晶核粒子を生成する結晶核生成部と、ハロゲン化ガリウム、アンモニアガスおよび不純物原料ガスを導入して、窒化ガリウム結晶核粒子上に不純物含有窒化ガリウム結晶を生成させる粒子成長部とを有する装置であれば、これらの装置以外の装置によっても、本発明の粉体を製造可能であることは勿論である。
【００８５】
【実施例】
以下、本発明の実施例によって本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００８６】
（実施例１）
本例は、図１に構成を示す製造装置を用いて、不純物としてテルビウムを含有する窒化ガリウム粉体を製造した例である。
この例では、反応管３、加熱反応管７、反応管１２、予備反応管１７および結晶核導入管２０は、石英製のものを用いた。また、結晶核生成部１における反応温度は１１００℃とし、粒子成長部２における反応温度は、管状電気炉１３、１４、１５によって、それぞれ９００℃、１０００℃、および１０００℃とした。さらに、管状電気炉１６による加熱温度は、６００℃とした。
【００８７】
結晶核生成部１のガス導入口１０からのアンモニアガスの導入量は５００ｓｃｃｍとし、ガス導入口８からの窒素キャリアガスの導入量は１０００ｓｃｃｍとした。さらに、粒子成長部２において、ガス導入口２５からの窒素キャリアガスの導入量は３８００ｓｃｃｍとした。また、ガス導入口２３において、塩化水素ガスの導入量は１５ｓｃｃｍ、窒素キャリアガスの導入量は８５ｓｃｃｍとした。
【００８８】
ルツボ６内に充填した金属ガリウムは、最大で１３００℃に加熱してガリウム蒸気を生成させた。また、本例では、不純物原料Ｅとして金属テルビウムを用いた。
【００８９】
以上のようにして得られたテルビウム含有窒化ガリウム粉体（以下、「ＧａＮ−Ｔｂ粉体」という）は、Ｘ線マイクロ分析によりテルビウム濃度を測定したところ、テルビウム濃度が６×１０１９ｃｍ−３であった。
また、収率は２９％であり、Ｇａ−Ｔｂ粉体の製造速度は、０．６５ｇ／ｈであった。
【００９０】
（実施例２）
本例は、不純物として、金属テルビウムの代わりに硫化亜鉛を用いた以外は、実施例１と同様にして、不純物として亜鉛を含有する窒化ガリウム粉体を製造した例である。
【００９１】
得られた亜鉛含有窒化ガリウ粉体（以下、「ＧａＮ−Ｚｎ粉体」という）の亜鉛濃度は、１．５×１０２０ｃｍ−３であった。また、収率は２０％であり、Ｇａ−Ｚｎ粉体の製造速度は、０．４６ｇ／ｈであった。
【００９２】
次に、得られたＧａＮ−Ｔｂ粉体およびＧａＮ−Ｚｎ粉体、ならびに比較のために不純物を用いずに製造した不純物を含有しない窒化ガリウム粉体について、それぞれフォトルミネッセンス測定を行った。フォトルミネッセンス測定は、励起光としてＨｅ−Ｃｄレーザの３２５ｎｍ線を用い、試料温度を２０Ｋとして行った。その結果、図４に示すように、ＧａＮ−Ｔｂ粉体およびＧａＮ−Ｚｎ粉体からは、それぞれＴｂを発光中心とするフォトルミネッセンススペクトル（ｂ）およびＺｎを発光中心とするフォトルミネッセンススペクトル（ｃ）が得られた。
【００９３】
フォトルミネッセンス（ｂ）は、ＧａＮ母体からの発光の他に、１．９〜２．６ｅＶの緑色域を中心に４本の発光を示し、３価のテルビウムイオンを発光中心とする発光である。また、フォトルミネッセンススペクトル（ｃ）は、２．８ｅＶにピークをもつブロードな発光帯からなり、Ｚｎを発光中心とする特徴的な発光である。
【００９４】
これらのスペクトル（ｂ）、（ｃ）に対して、不純物を含有しない窒化ガリウム粉体は、フォトルミネッセンススペクトル（ａ）を示した。これにより、ＧａＮ−Ｔｂ粉体およびＧａＮ−Ｚｎ粉体は、蛍光体として用い得ることが分った。
【００９５】
（実施例３）
本例は、不純物として、金属テルビウムの代わりに硫化マグネシウムを用いた以外は、実施例１と同様にして、不純物としてマグネシウムを含有する窒化ガリウム粉体を製造した例である。
【００９６】
得られたマグネシウム含有窒化ガリウ粉体のマグネシウム濃度は、１．６×１０２０ｃｍ−３であった。また、収率は１０％であり、マグネシウム含有窒化ガリウム粉体の製造速度は、０．２５ｇ／ｈであった。
【００９７】
（実施例４）
実施例１において、結晶核粒子生成領域Ｂから粒子成長領域Ｃに供給される窒化ガリウム結晶核粒子の平均粒径を１．２μｍにするとともに、ガス導入口２３より供給する塩化水素ガスの供給量を変化させて、得られるＧａＮ−Ｚｎ粉体の平均粒径を測定した。その結果、塩化水素流量が１５ｓｃｃｍで約１．８μｍ、また、塩化水素流量が３０ｓｃｃｍで約２．５μｍのＧａＮ−Ｚｎ粉体が得られた。この平均粒径は蛍光体として実用的な範囲である。
【００９８】
（実施例５）
図２に示す構成の製造装置を用いて、不純物としてテルビウムを含有する窒化ガリウム粉体を製造した例である。
この例では、反応管３、加熱反応管７、反応管１２、予備反応管１７および結晶核導入管２０は、石英製のものを用いた。また、結晶核生成部１における反応温度は１１００℃とし、粒子成長部２における反応温度は、管状電気炉１３、１４、１５によって、それぞれ９００℃、１０００℃、および１０００℃とした。さらに、管状電気炉１６による加熱温度は、６００℃とした。
【００９９】
結晶核生成部１のガス導入口１０からのアンモニアガスの導入量は５００ｓｃｃｍとし、ガス導入口８からの窒素キャリアガスの導入量は１０００ｓｃｃｍとした。さらに、粒子成長部２において、ガス導入口２５からの窒素キャリアガスの導入量は３８００ｓｃｃｍとした。また、ガス導入口３２において、塩化水素ガスの導入量は１５ｓｃｃｍ、窒素キャリアガスの導入量は８５ｓｃｃｍとした。
【０１００】
ルツボ６内に充填した金属ガリウムは、最大で１３００℃に加熱してガリウム蒸気を生成させた。また、本例では、不純物原料Ｅとして金属テルビウムを用いた。
このとき、ガス導入口３４からの塩化水素ガスの導入量を、６ｓｃｃｍおよび１５ｓｃｃｍとする２つの条件で、テルビウム含有窒化ガリウム粉体を製造した。
【０１０１】
以上のようにして得られたテルビウム含有窒化ガリウム粉体について、Ｘ線マイクロ分析によりテルビウム濃度を測定したところ、前記塩化水素ガスの導入量を６ｓｃｃｍとして製造したものは、テルビウム濃度が約６×１０１９ｃｍ−３、塩化水素ガスの導入量を１５ｓｃｃｍとして製造したものは、テルビウム濃度が約１５×１０１９ｃｍ−３であった。
さらに、不純物原料容器２２の温度をさらに高くすることによって、５０〜５００×１０１９ｃｍ−３程度のテルビウム濃度のテルビウム含有窒化ガリウム粉体が得られることが予想される。
【０１０２】
（実施例６）
本例は、不純物として、金属テルビウムの代わりに硫化亜鉛を用いた以外は、実施例５と同様にして、不純物として亜鉛を含有する窒化ガリウム粉体を製造した例である。
このとき、ガス導入口３４からの塩化水素ガスの導入量を、２ｓｃｃｍおよび１０ｓｃｃｍとする２つの条件で、亜鉛含有窒化ガリウム粉体を製造した。
【０１０３】
以上のようにして得られた亜鉛含有窒化ガリウム粉体について、Ｘ線マイクロ分析によりテルビウム濃度を測定したところ、前記塩化水素ガスの導入量を２ｓｃｃｍとして製造したものは、亜鉛濃度が約５×１０１９ｃｍ−３、塩化水素ガスの導入量を１０ｓｃｃｍとして製造したものは、亜鉛濃度が約２５×１０１９ｃｍ−３であった。
【０１０４】
【発明の効果】
請求項１および請求項２に記載の発明に係る不純物含有窒化ガリウム粉体は、不純物の含有量、粒径分布、化学量論組成、電導度、禁制帯幅等が制御され、蛍光体等の各種用途に適した光学および電気的特性を示すものである。
【０１０５】
また、請求項３ないし請求項９に記載の発明に係る製造方法によれば、
（１）不純物を含有した窒化ガリウム粉体の実用的な速度で連続的な大量生産が可能になる。
（２）ガス状の原料物質を供給するため、これらの流量を制御するという容易な手法で、不純物濃度の制御が可能になった。
【０１０６】
また、請求項７および請求項８に記載の発明に係る製造方法は、特に、蒸気圧が低い不純物原料を用いる場合にも、不純物原料ガスを生成させることが出来る点で、有利である。
【０１０７】
さらに、請求項９に記載の発明に係る製造方法は、蒸気圧が高い不純物原料を用いて、不純物原料の蒸気のみからなるガス、または不純物原料の蒸気をキャリアガスで希釈した状態で粒子成長領域Ｃに導入し、不純物含有窒化ガリウム粉体を製造する場合に有効である。
【０１０８】
さらにまた、請求項１０に記載の発明に係る不純物含有窒化ガリウム蛍光体は、不純物の含有量、粒径分布、化学量論組成、電導度、禁制帯幅等が充分に制御され、各種のデバイスに求められる光学および電気的な特性を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造に好適に用いることができる製造装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】本発明の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造に用いる製造装置の他の構成を概略的に示す図である。
【図３】本発明の不純物含有窒化ガリウム粉体の製造に用いる製造装置の他の構成を概略的に示す図である。
【図４】本発明の実施例１、２で製造されたＧａＮ−Ｔｂ粉体およびＧａＮ−Ｚｎ粉体、ならびに不純物を含有しない窒化ガリウム粉体のフォトルミネッセンススペクトルを示す図である。
【符号の説明】
１        結晶核生成部
２        粒子成長部
３、１２      反応管
４、５、１３、１４、１５、１６    管状電気炉
６、２１      ルツボ
７        加熱反応管
８、１０、２３、２５、３２、３４、３６、４０、４２      ガス導入口
１１      ガス流出口
１７、２９，３０      予備反応管
１８      結晶核輸送管
２０      結晶核導入管
２２      不純物原料容器
２４、３３、３５      ガス排出口
２６      粉体捕集部
２７      フィルタ
２８      ガス排出管
３１      原料混合管
３７、４３      混合ガス排出口
３８      不純物原料導入管
３９      原料混合管
４１      ガス導出口
Ａ、Ｄ        金属ガリウム
Ｂ        結晶核生成領域
Ｃ        粒子成長領域
【図１】
2004284876.tif 000003
【図２】
2004284876.tif 000004
【図３】
2004284876.tif 000005
【図４】
2004284876.tif 000006