(57)【要約】【課題】極めて薄い搬送物の搬送に対する技術的な問題を解決した経済的な搬送装置を提供すること。【解決手段】上下に貫通する空隙１を略均等に備え、空隙１を形成する枠部２により基板等の薄板３を支持するフレーム４と、該フレーム４の空隙１に下から挿入され、前記薄板３をフレーム４から持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材５と、該支持部材５により支持された薄板３を横方向に移動させるとともに所定の位置で停止させる横移動装置６とを備える。【選択図】　図１
2004115137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下に貫通する空隙を略均等に備え、空隙を形成する枠部により基板等の薄板を支持するフレームと、該フレームの空隙に下から挿入され、前記薄板をフレームから持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えたことを特徴とする薄板搬送装置。
【請求項２】
支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するローラを設けたことを特徴とする請求項１記載の薄板搬送装置。
【請求項３】
横移動装置を、駆動する支持部材のローラにより構成したことを特徴とする請求項２記載の薄板搬送装置。
【請求項４】
支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けたことを特徴とする請求項１記載の薄板搬送装置。
【請求項５】
横移動装置を、薄板の端部等に当接して該薄板を移動させる送り装置により構成したことを特徴とする請求項４記載の薄板搬送装置。
【請求項６】
フレームの枠部に、薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の薄板搬送装置。
【請求項７】
フレームを微小に傾斜して設け、エア噴出口のエアにより浮上した薄板を、自重により位置決め端部まで移動させるようにしたことを特徴とする請求項６記載の薄板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板搬送装置、特に、液晶用ガラス基板等の極めて薄いガラス状の薄板を搬送する際に用いられる薄板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図５（ａ）に示すように、コンベア１０で運ばれた枚葉基板等の薄板３は、同図（ｂ）に示すようなフォーク状のフィンガー２０で掬い上げられ、同図（ｃ）に示すようなカセット２１と呼ばれる搬送容器や、特殊形状のトレー（図示省略）に移載し、搬送や一時保管あるいは特別な加工が施される。
このフィンガー２０は、通常はロボットの先端に取り付けることにより、様々な条件に対応して使用することができ、例えば、薄板３が位置ずれを生じている場合は、ロボットの先端に取り付けたセンサにより薄板３の位置を検出してロボットの動作を調整し、正確な位置で受け渡しを行うことができる。
しかし、フィンガー２０のフォークは、カセット２１やトレーに共通に使用されるため、２本以上にすることは困難であり、薄板３の中央部しか支持することができないことから、保持される薄板３の撓みが大きくなり、薄板３の寸法を大きくすることが困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、シートのような薄いワークは、上記の如く通常はコンベアで運搬されるが、コンベアによる連続搬送においては、装置の一時停止や生産ロット変更の手続き上で一時的に保管が必要になることがある。
また、製造設備の処理能力の関係で、異なる台数の装置の間を運搬する必要があるような場合、搬送装置の能力の限界から、これらのシート状の薄板は容器に入れて運搬されるが、極めて薄い板の場合は板の強度の限界や撓みの制限から搬送が難しく、製造できる薄板の大きさには限界があった。
このような状況の中でも、より大きい薄板に多数の製品を同時に加工し、最後に切り離すことにより生産性をあげ、コストダウンを行うことが望ましい場合があるが、板厚が幅方向の１／２０００以下のように非常に薄い場合は、従来はよい搬送手段がなかった。
【０００４】
本発明は、上記従来の薄板搬送装置が有する問題点に鑑み、極めて薄い搬送物の搬送に対する技術的な問題を解決した経済的な搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の薄板搬送装置は、上下に貫通する空隙を略均等に備え、空隙を形成する枠部により基板等の薄板を支持するフレームと、該フレームの空隙に下から挿入され、前記薄板をフレームから持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
この薄板搬送装置は、上下に貫通する空隙を略均等に備え、空隙を形成する枠部により基板等の薄板を支持するフレームと、該フレームの空隙に下から挿入され、前記薄板をフレームから持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えることから、フレームと支持部材における薄板の支点を多数設けられるとともに、薄板を持ち上げることなく横方向に移動させながら移載することができ、これにより、極めて薄く大きく加工した基板のような薄板でも撓みを生じさせることなく容易に搬送すること可能となる。
また、この薄板搬送装置は、従来のようなフォーク状のフィンガーは使用しないことから、ロボットが不要となるとともに、出し入れの途中で生じる旋回動作もなくなり、設置面積を大幅に減少させて工場面積を大幅に低減させるなど、工場の建設費も大幅に低減することができる。
さらに、薄板の撓みをなくすことができるため、挿入ピッチを小さくして、カセットの高さを１／２〜１／３に低くすることができ、これにより、カセットのストッカ容量を飛躍的に増大させ、ストッカのコスト大幅な低減や設置面積の大幅な低減を図ることができる。
【０００７】
この場合において、支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するローラを設けることができる。
【０００８】
これにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【０００９】
また、横移動装置を、駆動する支持部材のローラにより構成することができる。
【００１０】
これにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００１１】
また、支持部材の上部に、噴出するエアにより薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けることができる。
【００１２】
これにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００１３】
また、横移動装置を、薄板の端部等に当接して該薄板を移動させる送り装置により構成することができる。
【００１４】
これにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００１５】
また、フレームの枠部に、噴出するエアにより薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けることができる。
【００１６】
これにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００１７】
また、フレームを微小に傾斜して設け、エア噴出口のエアにより浮上した薄板を、自重により位置決め端部まで移動させるようにすることができる。
【００１８】
これにより、フレーム上での薄板の位置決めを容易に行うとともに、横移動装置を省略することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の薄板搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１〜図３に、本発明の薄板搬送装置の一実施例を示す。
この薄板搬送装置は、上下に貫通する空隙１を略均等に備え、空隙１を形成する枠部２により基板等の薄板３を支持するフレーム４と、該フレーム４の空隙１に下から挿入され、前記薄板３をフレーム４から持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材５と、該支持部材５により支持された薄板３を横方向に移動させるとともに所定の位置で停止させる横移動装置６とを備えている。
【００２１】
支持部材５は、本実施例では、図２（ａ）に示すように、フレーム４の枠部２と干渉しない位置でベース上に立設された櫛歯状のものからなる。
この支持部材５の上部には、薄板３を横方向に移動可能に支持する多数のローラ７が設けられており、これらのローラ７は一部がモータ等により駆動して横移動装置６を構成している。
また、図では省略しているが、支持部材５の上部に、噴出するエアにより薄板３を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けることも可能である。
この場合、横移動装置６は、薄板３の端部等に当接して該薄板３を移動させる送り装置（図示省略）により構成することができる。
【００２２】
一方、フレーム４は、例えば、図１（ｂ）に示すように、枠部２を桟状に形成したり、図２（ｂ）に示すように、格子状に形成したりして、支持部材５が下から挿入される貫通した空隙１を略均等に形成することができる。
また、このフレーム４は、支持部材５が横方向に挿入される間隔を存して、複数のフレーム４が縦方向に積み重ねられることにより、図１（ａ）に示すように、複数の薄板３を収容するカセット８を形成している。
そして、各フレーム４の枠部２には、図２（ｃ）に示すように、噴出するエアにより薄板３を横方向に移動可能に支持するエア噴出口９が設けられている。
エア噴出口９は、フレーム４の内部にエアの導通管を設け、その一端はフレーム４の外部と着脱が可能な構造とされている。
【００２３】
横移動装置６は、前記したように支持部材５の一部のローラ７により構成したり、図３に示すように、薄板３の端部を僅かな力で押す装置により構成することができる。
この横移動装置６は、薄板３を横方向に移動させるとともに、ストッパ１２に当接させることにより薄板３をフレーム４上の所定の位置に停止させることができる。
また、横移動装置６は薄板３に過大な荷重をかかないよう、ばねを介して力を伝達することができる。
【００２４】
また、本実施例の薄板搬送装置では、薄板３をカセット８の挿入位置に合わせたり、図５（ａ）に示すようなコンベア１０との受け渡しをするため、カセット８又は支持部材５を昇降させる昇降装置１１が設けられている。この昇降装置１１は一般のものでよく、特別な構造である必要はない。
【００２５】
一度カセット８に挿入された薄板３は強度や剛性が少なく、位置がずれていると、位置修正が困難である。カセット８の枠部２のエア噴出孔９を介し、外部の圧縮空気を噴出させることにより薄板３を浮上させると、薄板３と枠部２の摩擦抵抗がなくなり容易に移動が可能となる。
エアを供給する外部のエア供給装置１３は、カセット８を昇降させることにより１段ごとに外部と連結可能となり、それぞれの薄板３を単独に位置合わせができるようになる。ジョイントは横方向に移動でき、カセット８の昇降に支障がないようにする。
薄板３の横移動装置６は、シリンダ１４などにより左右に移動して薄板３を移動させる。薄板３に過度の力が加わらないように、例えば、図３に示すように、板ばね１５などを利用して位置ずれ寸法にも対処することができる。
停止位置は、同様に、エア供給装置１３に連動して、カセット８と正確な相対位置に停止させる。カセット８は複数の格子状又は桟状のフレーム４を重ね、各フレーム４の上に薄板３を挿入して保持可能とし、その数は任意に設定することができる。
したがって、製造ラインの状況により、段数を変えたり、カセット８の横移動装置を配置すれば、収納量を増やしたり、仕分け機能を追加することができる。
【００２６】
かくして、本実施例の薄板搬送装置は、上下に貫通する空隙１を略均等に備え、空隙１を形成する枠部２により基板等の薄板３を支持するフレーム４と、該フレーム４の空隙１に下から挿入され、前記薄板３をフレーム４から持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材５と、該支持部材５により支持された薄板３を横方向に移動させる横移動装置６とを備えることから、フレーム４と支持部材５における薄板３の支点を多数設けられるとともに、薄板３を持ち上げることなく横方向に移動させながら移載することができ、これにより、極めて薄く大きく加工した基板のような薄板３でも撓みを生じさせることなく容易に搬送すること可能となる。
また、この薄板搬送装置は、従来のようなフォーク状のフィンガーは使用しないことから、ロボットが不要となるとともに、出し入れの途中で生じる旋回動作もなくなり、設置面積を大幅に減少させて工場面積を大幅に低減させるなど、工場の建設費も大幅に低減することができる。
さらに、薄板３の撓みをなくすことができるため、挿入ピッチを小さくして、カセット８の高さを１／２〜１／３に低くすることができ、これにより、カセット８のストッカ容量を飛躍的に増大させ、ストッカのコスト大幅な低減や設置面積の大幅な低減を図ることができる。
【００２７】
ちなみに、従来の技術で搬送物をより大型化し薄肉化を行うと、カセット８やロボットの大型化や搬送物の破損、更には、設備費の上昇、設置面積の増加による建屋の巨大化などをきたす。現実には、搬送物の大型化の必要性があり、ロボットを使用とせず、高さの低いカセット８の使用が可能な搬送装置がもとめられている。
この搬送物の大型化又は薄肉化に対する主な問題点を次に列挙する。
▲１▼　搬送宕器内の薄板３の撓みおよび挿入するフォークの撓みが大きくなるため、保管する薄板３の間隔を大きくする必要があり、カセット８全体の高さが大きくなり、容積、重量の増加、搬送装置の大型化、保管庫の大型化、ひいては建屋の増大をきたす。
▲２▼　薄板３の保管時の撓みが大きいため、薄板３の乗せ下ろし時に薄板３と支点の間に滑りが生じ、これが原因で位置ずれや、搬送物への静電気の発生、搬送物の汚れを生ずる。
▲３▼　薄板３は剛性が少ないため、横から力をかけても変形して動かない。一度位置ずれを生ずると、従来の位置決め装置で横から押すと、破損することがあるので、修復が難しい。
▲４▼　特別な位置決め装置に薄板３を移動させることは、スペースが必要で、所要時間もかかることから、経済性、技術面の両方から、薄板３の大きさ、薄さの限界がある。
【００２８】
次に、図４を参照して、本発明の薄板搬送装置の第２実施例を説明する。
この薄板搬送装置は、上下に貫通する空隙１を略均等に備え、空隙１を形成する枠部２により基板等の薄板３を支持するフレーム４と、該フレーム４の空隙１に下から挿入され、前記薄板３をフレーム４から持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材５と、該支持部材５により支持された薄板３を横方向に移動させるとともに所定の位置で停止させる横移動装置６とを備えている。
そして、この薄板搬送装置は、図４に示すように、フレーム４を微小に傾斜して設け、エア噴出口９のエアにより浮上した薄板３を、自重により位置決め端部まで移動させるようにしている。
【００２９】
傾斜はカセット８、昇降装置１１、支持部材５を含めて全てを傾斜させて配置したものと、支持部材５は水平として、その他を傾斜させたものとがある。
前者はカセット８の薄板３間隔を最小にすることができ、カセット８の高さも小さくすることができる。
また、後者は短距離の場合は、あらかじめ傾斜をつけた支持部材５に薄板３を搭載し、長距離の場合は搬送途中で水平から傾斜をさせる。
いずれの場合も傾斜が僅か千分の一程度であるため、実用上の問題はない。
端部のストッパ１２はカセット８に具備させることも可能であるが、支持部材５との関係でカセット８と薄板３の間に一定の隙問を必要とする場合は、図４に示すように、ストッパ１２をカセット８の外部に設け、エアを停止させ薄板３の位置決めが終了した後、ストッパ１２を後退させることにより、カセット８と薄板３の間に間隙を設けることもできる。
【００３０】
この搬送装置では、支持部材５の搬送はその搬送途中で幅方向に若干のずれを生ずる場合がある。
極めて薄い板状の搬送物の位置修正は前述のように困難であるので、その修正装置の機構は複雑になる。
特に薄板３の場合は剛性が非常に少ないので、搬送の途中で支持部材５に傾斜をつけたり、あらかじめ傾斜をつけた支持部材５に搭載することは容易である。
また、エアで浮上させた薄板３はほとんど抵抗なく移動が容易で、自重の千分の一以下の推力で移動させることができるので、搬送容器に僅かな傾斜を与えることにより容易に薄板３を移動させることができる。
さらに、カセット８の端部にストッパ１２を設けることにより、常に一定の位置に正確に薄板３を停止させることができる。エアの供給を停止させると薄板３はカセット８上の定位置に保持される。
【００３１】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明の構成は、この実施例の記載に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜に変更することが可能である。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の薄板搬送装置によれば、上下に貫通する空隙を略均等に備え、空隙を形成する枠部により基板等の薄板を支持するフレームと、該フレームの空隙に下から挿入され、前記薄板をフレームから持ち上げて横方向に移動可能に支持する複数の支持部材と、該支持部材により支持された薄板を横方向に移動させる横移動装置とを備えることから、フレームと支持部材における薄板の支点を多数設けられるとともに、薄板を持ち上げることなく横方向に移動させながら移載することができ、これにより、極めて薄く大きく加工した基板のような薄板でも撓みを生じさせることなく容易に搬送すること可能となる。
特に、液晶等のディスプレー関係の製造においては、薄さは幅の１／３０００にも達し、極めて薄いガラス状の薄板の搬送が必要となってきているが、本発明の薄板搬送装置では、今後の材料費の低減やディスプレーの軽量化に大きく寄与することができ、また、同一生産ラインで各種の材料を扱うことが可能となり、特に多種少量生産の工場では設備費の大幅な低減を行うことができる。
また、この薄板搬送装置は、従来のようなフォーク状のフィンガーは使用しないことから、ロボットが不要となるとともに、出し入れの途中で生じる旋回動作もなくなり、設置面積を大幅に減少させて工場面積を大幅に低減させるなど、工場の建設費も大幅に低減することができる。
さらに、薄板の撓みをなくすことができるため、挿入ピッチを小さくして、カセットの高さを１／２〜１／３に低くすることができ、これにより、カセットのストッカ容量を飛躍的に増大させ、ストッカのコスト大幅な低減や設置面積の大幅な低減を図ることができる。
【００３３】
この場合、支持部材の上部に、薄板を横方向に移動可能に支持するローラを設けることにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００３４】
また、横移動装置を、駆動する支持部材のローラにより構成することにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００３５】
また、支持部材の上部に、噴出するエアにより薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けることにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００３６】
また、横移動装置を、薄板の端部等に当接して該薄板を移動させる送り装置により構成することにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００３７】
また、フレームの枠部に、噴出するエアにより薄板を横方向に移動可能に支持するエア噴出口を設けることにより、簡易な構成をもって薄板を横方向に移動させることができる。
【００３８】
また、フレームを微小に傾斜して設け、エア噴出口のエアにより浮上した薄板を、自重により位置決め端部まで移動させることにより、フレーム上での薄板の位置決めを容易に行うとともに、横移動装置を省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄板搬送装置の一実施例を示し、（ａ）はカセットと薄板を示す斜視図、（ｂ）は支持部材を挿入したフレームの例を示す平面図である。
【図２】同実施例の薄板搬送装置を示し、（ａ）は支持部材を示す正面図、（ｂ）は支持部材を挿入したフレームの他の例を示す平面図である。
【図３】薄板のフレーム上での位置決め操作を示す説明図である。
【図４】本発明の薄板搬送装置の第２実施例を示す正面図である。
【図５】従来の薄板搬送装置を示し、（ａ）は通常のコンベアによる薄板の搬送を示す斜視図、（ｂ）はフォーク状フィンガーを示す斜視図、（ｃ）はストッカを示す正面図である。
【符号の説明】
１　　空隙
２　　枠部
３　　薄板
４　　フレーム
５　　支持部材
６　　横移動装置
７　　ローラ
８　　カセット
９　　エア噴出口
１０　コンベア
１１　昇降装置
１２　ストッパ
１３　エア供給装置
１４　シリンダ
１５　板ばね
【図１】
2004115137.tif 000003
【図２】
2004115137.tif 000004
【図３】
2004115137.tif 000005
【図４】
2004115137.tif 000006
【図５】
2004115137.tif 000007