(57)【要約】【目的】振動板に接着層を形成した後に、不要接着剤を除去する工程の低コスト化、作業効率の向上を目的とする。【構成】ラミネート転写によって振動板２２のインク供給孔２２Ａの中に侵入し、保護シート４４に転写された接着層２６を、保護シート４４を振動板２２から剥離する際にインク供給孔２２Ａから除去する。これによって、不要接着剤を除去するための特別な装置が不要となりコストダウンとなる。また、作業効率が向上する。【選択図】  図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル、インク室及びインク流路が形成されたプレートと前記インク流路にインクを供給するインク供給孔が形成された振動板が接着層によって接合され、前記振動板を変形手段によって変形させることで前記インク室のインクを加圧して前記ノズルからインク滴を噴射させるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
薄板状の基材の上に接着剤が固形化した薄膜状の前記接着層を形成する形成工程と、
前記基材とシート材で前記振動板を挟み、前記接着層をラミネート工法によって前記振動板の一面に転写する転写工程と、
前記シート材を前記振動板から剥離して前記インク供給孔に侵入し前記シート材に転写された前記接着層を前記インク供給孔から除去する除去工程と、
前記基材を前記振動板から剥離する剥離工程と、
前記振動板を前記接着層の接着力で前記プレートに接合する接合工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記形成工程は、
前記接着剤を前記基材の上に薄膜状に塗布する塗布工程と、
前記塗布工程に次いで、前記接着剤を加熱して固形化させる固形化工程と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記接着剤をポリイミド前駆体とし、前記剥離工程に次いで、前記接着層を加熱して前記ポリイミド前駆体をイミド化し、前記接着層の接着力を高める熱処理工程を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記シート材の前記振動板と接する面は前記接着層との密着性を高くするための表面処理が行われていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記振動板の板厚が１０〜２０μｍとされていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記基材は前記振動板よりも表面が平滑であることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のインクジェット記録ヘッドは、フィルムにノズルがレーザー加工によって形成されたノズルプレート、ＳＵＳやシリコン等の薄板圧延材にエッチング工法によりインク室やインク流路が形成された複数の流路プレート、及び同様にインク流路にインクを供給するためのインク供給孔が形成された振動板を接合して積層したものが一般的となっている。
【０００３】
このような形式のインクジェット記録ヘッドでは、ノズルプレート、流路プレート、及び振動板を接合する際に接着剤でノズル、インク室、インク流路、及びインク供給孔を塞いでしまわないように、接着剤を流路プレート、及び振動板にパターニングする必要がある。そのパターニング工法として、接着剤の均一塗布とパターン精度の安定化を目的とした、接着剤を塗布した後に不要な接着剤を除去するという工法が特許文献１〜３等に開示されている。
【０００４】
しかしながら、感光性樹脂を光パターニングする工法（特許文献１参照）、ポリイミドをホトリソグラフィ工程でパターン化する工法（特許文献２参照）、及びエキシマレーザーで不要な接着剤を除去し、パターニングする工法（特許文献３参照）は、何れも大掛かりな専用の設備が必要となり高コストになる。特に、振動板は、インク供給孔が振動板全体に占める割合が低く、不要な接着剤の量が流路プレートと比較して格段に少ないことを考慮すると、非常に高コストである。また、少量の不要接着剤を除去するだけの工程を設けるとなると作業効率も悪くなるという問題があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開平３−２５８５５１号公報
【特許文献２】
特開平１１−５８７３６号公報
【特許文献３】
特開２０００−２４６９０５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮してなされたものであり、振動板に接着剤を塗布した後に不要な接着剤を除去することによって接着剤をパターニングする工法の低コスト化、作業効率の向上を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ノズル、インク室及びインク流路が形成されたプレートと前記インク流路にインクを供給するインク供給孔が形成された振動板が接着層によって接合され、前記振動板を変形手段によって変形させることで前記インク室のインクを加圧して前記ノズルからインク滴を噴射させるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、薄板状の基材の上に接着剤が固形化した薄膜状の前記接着層を形成する形成工程と、前記基材とシート材で前記振動板を挟み、前記接着層をラミネート工法によって前記振動板の一面に転写する転写工程と、前記シート材を前記振動板から剥離して前記インク供給孔に侵入し前記シート材に転写された前記接着層を前記インク供給孔から除去する除去工程と、前記基材を前記振動板から剥離する剥離工程と、前記振動板を前記接着層の接着力で前記プレートに接合する接合工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、形成工程において、薄板状の基材の上に接着剤が固形化した薄膜状の接着層を形成し、転写工程において、基材とシート材で振動板を挟み、接着層をラミネート工法によって振動板の一面に転写する。ここで、振動板は変形手段によって変形させることができるような薄板とされている。このため、接着層をラミネート工法によって振動板の一面に転写したとき、薄板状の基材がインク供給孔へ入り込み、接着層の一部はインク供給孔に侵入し、シート材に転写される。
【０００９】
このため、除去工程において、シート材を振動板から剥離すると、インク供給孔に侵入しシート材に転写された接着層はインク供給孔から除去される。従って、不要な接着剤を除去するための専用の設備が不要となる。また、振動板を保護するためのシート材をラミネート工程後に取り除くという一連不可欠な作業と同時に不要な接着剤を除去できるので、作業効率も格段に向上する。
【００１０】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記形成工程は、  前記接着剤を前記基材の上に薄膜状に塗布する塗布工程と、前記塗布工程に次いで、前記接着剤を加熱して固形化させる固形化工程と、を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、塗布工程において、接着剤を基材の上に薄膜状に塗布し、固形化工程において、接着剤を加熱して固形化させる。これによって、振動板に接着層を形成する際、接着剤が流れ出すことがない。また、塗布工程において、スピンコート装置や接着剤を充填させたローラ等により接着剤を基材の上に塗布することで、接着剤を振動板に均一な厚さで形成できる。
【００１２】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記接着剤をポリイミド前駆体とし、前記剥離工程に次いで、前記接着層を加熱して前記ポリイミド前駆体をイミド化し、前記接着層の接着力を高める熱処理工程を有することを特徴とする。
【００１３】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、接着剤がポリイミド前駆体とされている。ここで、接着層は溶剤が除去され固形化したポリイミド前駆体であり、基材との密着力が低く、基材を容易に剥離できるため、ラミネート工法による接着層の形成に適している。
【００１４】
また、剥離工程に次いで熱処理工程において、接着層を加熱してポリイミド前駆体をイミド化し、接着層の接着力を高めることによって、接合工程において、振動板をプレートに接合できる。
【００１５】
ここで、ポリイミド前駆体がイミド化されたポリイミドは、熱可塑性であり、加熱時の粘度低下がエポキシ等の熱硬化性接着剤と比較して低いという特性を有するので、振動板をプレートに加圧加熱して接合する際に接着剤が流れ出すことを防止できる。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記シート材の前記振動板と接する面は前記接着層との密着性を高くするための表面処理が行われていることを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、シート材の振動板と接する面は表面処理が行われており、接着層との密着性が高くなっている。このため、ラミネート工程において、インク供給孔に侵入した接着層はシート材に密着し、剥離工程においてシート材を振動板から剥離すると、インク供給孔に侵入した接着層は、振動板に密着した接着層から分離されインク供給孔から除去される。
【００１８】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記振動板の板厚が１０〜２０μｍとされていることを特徴とする。
【００１９】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、振動板の板厚が１０〜２０μｍとされている。この板厚の振動板にラミネート工法によって接着層を転写する場合に、インク供給孔に侵入した接着層をシート材に接着されるまで押し込むことができることが実験で確認されている。
【００２０】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基材が前記振動板よりも表面が平滑であることを特徴とする。
【００２１】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法では、基材が振動板よりも表面が平滑であり、基材と接着層との密着性が振動板と接着層との密着性よりも低いので、容易に基材を接着層から剥離できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら第１の実施形態について説明する。
【００２３】
図１に示すように、第１の実施形態のインクジェット記録ヘッド１０は、インクジェット式記録装置１に搭載されている。このインクジェット式記録装置１では、インクジェット記録ヘッド１０を主走査方向（図中矢印Ａ方向）に走査しながら、記録用紙２を副走査方向（図中矢印Ｂ方向）に搬送して、インクジェット記録ヘッド１０から記録用紙２へインク滴を吐出させる。これによって、記録用紙２の全面に画像が記録される。
【００２４】
図２に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、複数のノズル１２Ａがマトリックス状に形成されたノズルプレート１２、複数のインク室、インク流路が形成された複数（本実施形態では４枚）の流路プレート１４、１６、１８、２０、及びインク流路にインクを供給するインク供給孔２２Ａが形成された振動板２２が接合されて構成されている。
【００２５】
ノズルプレート１２はポリイミドフィルムで、接着剤塗布後のレーザー加工によってノズル１２Ａが形成されている。また、流路プレート１４、１６、１８、２０はＳＵＳの薄板圧延材で、エッチング工法によってそれぞれインク流路１４Ａ、１６Ａ、１８Ａ、２０Ａ、及びインク室１４Ｂ、１６Ｂ、１８Ｂ、２０Ｂが形成されている。そして、振動板２２にはエッチング工法によってインク供給孔２２Ａが形成されている。
【００２６】
また、振動板２２の上面には、複数の圧電素子２４が、各インク室２０Ｂに面してマトリックス状に配置されており、圧電素子２４に電圧を印加して振動板２２のインク室２０Ｂに面する部分を変形させることによって、インク室１４Ｂ、１６Ｂ、１８Ｂ、２０Ｂのインクを加圧してノズル１２Ａからインク滴を噴射させる。
【００２７】
以下、ノズルプレート１２、流路プレート１４、１６、１８、２０、及び振動板２２の接合方法について図３、図１０に示す製造フローを参照して説明する。なお、圧電素子２４は、各プレートが接合された後に振動板２２に接合される。
【００２８】
なお、ノズルプレート１２と流路プレート１４はノズルプレート１２に塗布された接着層３３によって接合するので、流路プレート１４には接着層３４をパターニングしない。また、流路プレート１６、１８、２０への接着層３４のパターニング方法については、流路プレート１６を例に取って説明するが、流路プレート１８、２０も同様の方法によってパターニングを行う。
【００２９】
まず、ステップ２０１では、図４（ａ）に示すように、薄板状のＰＥＴ基材２８をスピンコート装置３０にセットされたガラスプレート３２に装着してポリイミド前駆体（ポリイミドワニス）をスピンコートする。なお、ガラスプレート３２を介さずにＰＥＴ基材２８をスピンコート装置３０に直接装着しても良い。また、スピンコートに限らず、塗布ロールによる塗布等、他の塗布方法も適用可能である。
【００３０】
そして、ステップ２０２では、ポリイミド前駆体がスピンコートされたＰＥＴ基材２８をガラスプレート３２から外して加熱炉（図示省略）で溶剤沸点以下の温度で加熱し、ポリイミド前駆体の溶剤を除去する。これによって、ポリイミド前駆体が乾燥され、図４（ｂ）に示すように、ポリイミド前駆体が固形化した接着層３４とＰＥＴ基材２８で構成される接着剤ドライフィルム（以下ＤＦ接着剤）３６が作成される。
【００３１】
ここで、乾燥後の接着層３４の厚さは１〜１０μｍとされているが、この接着層３４の厚さによる効果については後述する。なお、ステップ２０２での加熱ではポリイミド前駆体はイミド化されず、ポリイミド前駆体のままである。
【００３２】
ステップ２０３では、図５に示すように、ベースプレート３８の上に接着層３４を上向きにしてＤＦ接着剤３６を載置し、ＤＦ接着剤３６の上に流路プレート１６を重ね合わせる。そして、流路プレート１６の上にＰＥＴフィルム等の保護シート４０を被せ、保護シート４０、流路プレート１６、ＤＦ接着剤３６、及びベースプレート３８をラミネートローラ４２の間を通過させ加圧加熱する。これによって、接着層３４が流路プレート１６に転写される。
【００３３】
このように、固形化されたポリイミド前駆体を流路プレート１６に転写するようにしたので、接着層３４を流路プレート１６に形成する際に、接着剤が流れ出すことはない。また、スピンコートされたポリイミド前駆体を転写するようにしたので、均一な厚さの接着層３４を形成できる。
【００３４】
次に、ステップ２０４に進み、図６に示すように、保護シート４０を取り除き、ＰＥＴ基材２８を接着層３４から剥離する。ここで、接着層３４は、溶剤が除去され固形化したポリイミド前駆体であるため、ＰＥＴ基材２８との密着力が低い。このため、ＰＥＴ基材２８を容易に接着層３４から剥離できる。
【００３５】
また、ＰＥＴ基材２８の表面は、流路プレート１６（ＳＵＳ薄板圧延材）の表面よりも平滑で、ＰＥＴ基材２８と接着層３４との密着性が流路プレート１６と接着層３４との密着性よりも低いので、接着層３４は流路プレート１６に接着され、ＰＥＴ基材２８には残らない。このため、接着層３４の厚さの均一性が害されることはない。
【００３６】
このようにして、接着層３４がＰＥＴ基材２８から流路プレート１６に転写されるが、インク流路１６Ａ、インク室１６Ｂは接着層３４によって覆われているので、ステップ２０５でこの接着層３４の不要な部分を除去する。
【００３７】
ステップ２０５では、図７に示すように、流路プレート１６の接着層３４が形成された面にスプレー管４１から純水を０．２〜０．５ＭＰａの圧力で噴射する。ここで、接着層３４のインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂを覆う部分には、噴射される純水を受ける受けがなく、また、上述したように接着層３４の層厚も１〜１０μｍと非常に薄い。このため、図８に示すように、接着層３４のインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂを覆う部分は純水の噴射圧によって貫通される。
【００３８】
なお、純水の噴射圧０．２〜０．５ＭＰａ、インク流路１６Ａ等の開口の内径１００μｍ、及び接着層３４の層厚１〜１０μｍで接着層３４のインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂを覆う部分を除去できることが実験で確認されている。
【００３９】
そして、ステップ２０６に進む。ステップ２０６では、接着層３４を加熱処理してポリイミド前駆体をイミド化させる。ここで、図９（Ａ）に示すように、接着層３４は、純水の噴射圧によって貫通されてインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂのエッジ部にバリが張出した状態となっている。
【００４０】
そこで、ポリイミド前駆体等の接着剤は急激に加熱されると凝集するという特性を利用して、接着層３４が形成された流路プレート１６を接着剤のキュア温度に維持されている加熱炉（図示省略）の中に入れて急激に加熱する。これによって、図９（Ｂ）に示すように、接着層３４のインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂのエッジ部から張出したバリは、インク流路１６Ａ、インク室１６Ｂの外側に向かって凝集して最終的には接着層３４側へ隆起し、突状部３４Ａに変化される。従って、接着層３４がインク流路１６Ａ、インク室１６Ｂを塞ぐことを確実に防止できる。
【００４１】
また、接合時に突状部３４Ａが局所的シーリング効果を果たすため、インクがリークすることが防止される。なお、突状部３４Ａの高さは、２μｍ以下とされており、後で流路プレート１６が流路プレート１４と接合される際には圧縮されるので、流路プレート１４と流路プレート１６との間に隙間ができることはない。
【００４２】
次に、図１０の製造フローを参照して振動板２２への接着層２６のパターニング方法について説明する。なお、流路プレート１６、１８、２０の接着層３４のパターニングで使用される物と同じ物については同一の符号を付している。
【００４３】
まず、ステップ３０１では、図１１に示すように、ポリイミド前駆体が固形化した接着層２６とＰＥＴ基材２８で構成される接着剤ドライフィルム（以下ＤＦ接着剤）４６を、流路プレート１６、１８、２０の接着層３４のパターニングで使用されるＤＦ接着剤３６と同様の方法で作成する。
【００４４】
そして、ステップ３０２では、図１２に示すように、ベースプレート３８の上に、ＰＥＴフィルム等の保護シート４４を載置し、保護シート４４の上に振動板２２を載置する。そして、振動板２２の上にＤＦ接着剤４６を接着層２６を下向きにして重ね合わせ、ベースプレート３８、保護シート４４、振動板２２、及びＤＦ接着剤４６をラミネートローラ４２の間を通過させ加圧加熱する。これによって、接着層２６が流路プレート１４に転写される。
【００４５】
ここで、振動板２２は、圧電素子２４の作用によって変形できるうように板厚が１０〜２０μｍと非常に薄く、また、ラミネートローラ４２はゴムで形成されている。このため、ラミネートローラ４２は、ＤＦ接着剤４６のインク供給孔２２Ａを覆う部分を、弾性変形しながらインク供給孔２２Ａの中に基材２８と共に接着層２６を押し込んで侵入させ、保護シート４４のインク供給孔２２Ａに面する部分に接着させる。
【００４６】
次に、ステップ３０３に進み、図１３に示すように、保護シート４４を振動板２２から剥離する。ここで、保護シート４４の振動板２２と接する表面４４Ａは、ＵＶによる表面処理が行われている。このため、表面４４Ａは、接着剤が密着し易くなっている。
【００４７】
これによって、保護シート４４を振動板２２から剥離する時、接着層２６のインク供給孔２２Ａに侵入し、保護シート４４の表面４４Ａに接着された部分（不要接着剤）２６Ａは、接着層２６の振動板２２に密着した部分から引き裂かれ、インク供給孔２２Ａから除去される。
【００４８】
従って、不要接着剤２６Ａを除去するためのホトレジストやエキシマレーザー等の専用の大掛かりな設備が不要となり、振動板２２への接着層２６のパターニング工程に要するコストを低減できる。
【００４９】
また、ラミネート転写後に、保護シート４４を振動板２２から剥がすという一連不可欠な作業と同時に不要接着剤２６Ａを除去できるので、作業効率が格段に向上する。
【００５０】
そして、ステップ３０４に進み、図１４に示すように、ＰＥＴ基材２８を振動板２２から剥離する。ここで、接着層２６は、溶剤が除去され固形化したポリイミド前駆体であるため、ＰＥＴ基材２８との密着力が低い。このため、ＰＥＴ基材２８を容易に振動板２２から剥離できる。
【００５１】
また、ＰＥＴ基材２８の表面は、振動板２２（ＳＵＳ薄板圧延材）の表面よりも平滑で、ＰＥＴ基材２８と接着層２６との密着性が振動板２２と接着層２６との密着性よりも低いので、接着層２６は振動板２２に接着され、ＰＥＴ基材２８には残らない。このため、接着層２６の厚さの均一性が害されることはない。
【００５２】
そして、ステップ３０４に進み、接着層２６がパターニングされた振動板２２を加熱炉（図示せず）の中に入れて接着剤のキュア温度で加熱する。これによって、接着層２６は、イミド化されてポリイミド前駆体からポリイミドとなる。
【００５３】
そして、図３に示す製造フローのステップ２０７に進み、図１５に示すように、接着層３３が塗布されたノズルプレート１２、流路プレート１４、接着層３４がパターニングされた流路プレート１６、１８、２０、及び接着層２６がパターニングされた振動板２２を積層して接着剤のガラス転移温度以上で加熱すると共に、９．８×１０５Ｐａ以上で加圧して接合する。ここで、ポリイミドは熱可塑性であり、接合温度では粘度の低下が少ないので、接着剤が接合時に流れ出すことはない。
【００５４】
以上、振動板２２の不要接着剤２６Ａの除去を保護シート４４を剥離するという一連不可欠な作業と同時に行うようにしたので、作業効率が向上する。また、不要接着剤２６Ａを除去するための特別な設備が不要となるので、接着層２６のパターニング工程にかかるコストを低減できる。
【００５５】
また、ポリイミド前駆体をＰＥＴ基材２８の上にコート塗布して乾燥させ固形化した後、振動板２２にラミネート転写するようにしたので、均一な厚さの接着層２６を形成でき、また、接着剤を各プレートに塗布する際、接着剤が流れ出すことがない。
【００５６】
なお、積層型の流路プレートを例に取って説明したが、これに限らず、単層型の流路プレートにインク室、インク流路をエキシマレーザー等で加工したものも適用可能である。また、ノズルプレート１２をポリイミドフィルム、流路プレート１４、１６、１８、２０、及び振動板２２をＳＵＳ薄板圧延材としたが、ノズルプレート１２もＳＵＳ薄板圧延材で形成する等、他の材料も適用可能である。
【００５７】
【発明の効果】
本発明は上記構成にしたので、振動板に接着剤を塗布した後に不要な接着剤を除去することによって接着剤をパターニングする工法の低コスト化、作業効率の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図４】（ａ）本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの各プレートを接合する接着剤をＰＥＴ基材にスピンコートする工程を示す概略側面図である。
（ｂ）本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの各プレートを接合するためのＤＦ接着剤を示す断面図である。
【図５】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートに接着層をラミネート転写する工程を示す概略断面図である。
【図６】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートから保護シートを取り外し、ＰＥＴ基材を剥離する工程を示す概略断面図である。
【図７】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートから不要な接着剤を除去する工程を示す概略断面図である。
【図８】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートから不要な接着剤が除去された状態を示す断面図である。
【図９】（Ａ）本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートから不要な接着剤が除去された状態を示す斜視図である。
（Ｂ）本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの流路プレートの接着層に加熱処理を行った状態を示す斜視図である。
【図１０】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの振動板に接着層をパターニングする方法を示すフローチャートである。
【図１１】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの振動板を接合するためのＤＦ接着剤を示す断面図である。
【図１２】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの振動板に接着層をラミネート転写する工程を示す概略断面図である。
【図１３】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの振動板から保護シートを剥離する工程を示す概略断面図である。
【図１４】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの振動板からＰＥＴ基材を剥離する工程を示す概略断面図である。
【図１５】本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの各プレートが接合された状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０    インクジェット記録ヘッド
１２    ノズルプレート（プレート）
１２Ａ  ノズル
１４    流路プレート（プレート）
１４Ａ  インク流路
１４Ｂ  インク室
１６    流路プレート（プレート）
１６Ａ  インク流路
１６Ｂ  インク室
１８    流路プレート（プレート）
１８Ａ  インク流路
１８Ｂ  インク室
２０    流路プレート（プレート）
２０Ａ  インク流路
２０Ｂ  インク室
２２    振動板
２２Ａ  インク供給孔
２４    圧電素子（変形手段）
２６    接着層
２６Ａ  不要接着剤（接着層）
２８    ＰＥＴ基材（基材）
４４    保護シート（シート材）
４４Ａ  表面（面）
【図１】
2004284286.tif 000003
【図２】
2004284286.tif 000004
【図３】
2004284286.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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