(57)【要約】【課題】Ｘ線カメラの傾動時に、Ｘ線カメラの視野内での当初のビューポイントの位置、および透視拡大率を維持することができ、しかも試料をＸ線カメラの視野内の所望位置に位置決めしたときの傾動前のｘ，ｙ座標を変化させず、傾動後にもそのままその座標を用いることのできるＸ線透視装置を提供する。【解決手段】試料テーブル２をｘ，ｙ軸方向に位置決めするための位置決め用移動機構２１，２２とは別に、これらをＸ線カメラ３の傾動方向に沿った方向（ｙ軸方向）に移動させる補正用移動機構（ｙＴ軸移動機構）２３を設け、Ｘ線カメラ３の傾動時にその補正用位置決め機構２３により試料テーブル２を移動させるとともに、ｚ軸方向にも移動させることによって、傾動前のビューポイントおよび透視拡大率を維持し、位置決め用移動機構２１，２２の傾動前の座標を傾動後にもそのまま使用することを可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線源と、そのＸ線源からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線カメラと、これらのＸ線源とＸ線カメラの間に配置されて試料を搭載するための試料テーブルと、上記Ｘ線カメラを所定の方向に傾動させる傾動機構を備えたＸ線透視装置において、
上記Ｘ線カメラの視野中で試料の位置決めを行うべく上記試料テーブルを当該試料テーブルの表面に沿った平面上で互いに直交する２軸（ｘ，ｙ軸）方向に移動させる位置決め用移動機構と、その位置決め用移動機構を含めて上記試料テーブルを上記ｘ，ｙ軸に直交して上記Ｘ線源に接近／離隔する方向のｚ軸の回りに回転させる回転機構と、その回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記傾動方向に沿って移動させる位置補正用移動機構と、その位置補正用移動機構、回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記ｚ軸方向に移動させるｚ軸移動機構を備えているとともに、
上記傾動機構によりＸ線カメラを傾動させたとき、上記位置決め用移動機構を駆動せずに、傾動角度に応じて上記補正用移動機構およびｚ軸移動機構を駆動することにより、傾動前のビューポイントおよび透視倍率を維持する傾動時追尾手段を備えていることを特徴とするＸ線透視装置。
【請求項２】
Ｘ線源と、そのＸ線源からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線カメラと、これらのＸ線源とＸ線カメラの間に配置されて試料を搭載するための試料テーブルと、上記Ｘ線カメラを所定の方向に傾動させる傾動機構を備えたＸ線透視装置において、
上記Ｘ線カメラの視野中で試料の位置決めを行うべく上記試料テーブルを当該試料テーブルの表面に沿った平面上で互いに直交する２軸（ｘ，ｙ軸）方向に移動させる位置決め用移動機構と、その位置決め用移動機構を含めて上記試料テーブルを上記ｘ，ｙ軸に直交して上記Ｘ線源に接近／離隔する方向のｚ軸の回りに回転させる回転機構と、その回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記傾動方向に沿って移動させる位置補正用移動機構と、その位置補正用移動機構、回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記ｚ軸方向に移動させるｚ軸移動機構を備えているとともに、
上記傾動機構によりＸ線を傾動させた状態で上記テーブルをｚ軸方向に移動させたとき、上記位置決め用移動機構を駆動せずに、ｚ軸方向への移動量に応じて上記補正用移動機構を駆動することにより、ｚ軸方向への移動前のビューポイントを維持する倍率変更時追尾機構を備えていることを特徴とするＸ線透視装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＸ線透視検査装置に関し、更に詳しくは、対象物の透視像をモニタ画面に表示し、あるいは撮影する装置や、その透視像からＣＴ画像を構築するＸ線ＣＴ装置にも適用することのできるＸ線透視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば産業用Ｘ線透視装置をはじめとするＸ線透視装置においては、Ｘ線源に対向してイメージインテンシファイアおよびＣＣＤカメラ等からなるＸ線カメラを配置し、これらの間に置かれた試料等の対象物（以下、試料と称する）の透過Ｘ線像をＸ線カメラで撮影する。
【０００３】
また、通常、Ｘ線源とＸ線カメラとの間には、試料上の所望のビューポイントがＸ線カメラの視野内にくるように試料を位置決めするための試料テーブルが配置される。この試料テーブルは、その表面に沿った平面上で互いに直交する２軸（ｘ，ｙ軸）方向に移動できるとともに、そのｘ，ｙ軸に直交する軸、つまりＸ線源からのＸ線の光軸方向に沿った軸（ｚ軸）の回りに回転できるようになっている。
【０００４】
更に、この種の透視装置においては、透視画像の拡大率を自由に変化させることができるように、Ｘ線カメラおよび試料テーブルをＸ線源からのＸ線の光軸方向（ｚ軸）に移動できる機構を備えている。更にまた、試料を斜めの角度から透視できるように、Ｘ線カメラをＸ線源の光軸に対して所定の方向に傾動させる機構を備えたものもある。
【０００５】
ところで、以上のような傾動機構を備えたＸ線透視装置においては、操作者が試料を試料テーブル上に載せ、Ｘ線カメラを例えばＸ線光軸上に位置させた状態で所望のビューポイントが得られるように試料テーブルを位置決めした後、その試料を斜めの角度から透視すべくＸ線カメラを傾動させると、ビューポイントがＸ線カメラの視野中で移動するか、あるいは視野から外れてしまうという問題が発生する。また、この場合、ビューポイントがＸ線カメラの視野内に入るように、試料テーブルをｘ軸方向やｙ軸方向に移動させてても、傾動前の位置におけるＸ線源と試料との距離（ＳＯＤ）が変化してしまっているため、Ｘ線源とＸ線検出器との距離（ＳＩＤ）が一定であっても、（ＳＩＤ／ＳＯＤ）で表される透視拡大率が傾動前の値から変化してしまっている。
【０００６】
また、試料テーブルを回転させる回転機構を、ｘ，ｙ軸方向への移動機構の上に載せていると、試料を試料テーブルに載せた後、ビューポイントを例えば視野中心にくるように位置決めして回転を与えると、試料テーブルの回転軸がｘ，ｙ軸方向に移動しているが故にＸ線カメラの視野中心から大きくずれることがあり、このような場合、試料テーブルを回転させるとビューポイントは視野内から円弧を描いて外れていく。
【０００７】
以上の問題点を解決するために、従来、Ｘ線カメラの傾動時および試料テーブルの回転時に、Ｘ線カメラの視野内でビューポイントが当初の位置を維持するように、試料テーブルのｘ，ｙ軸方向への補正移動量を逐次計算し、その計算結果に基づいて試料テーブルのｘ，ｙ軸方向への移動機構を駆動する技術が知られている（特許文献１参照）。
【０００８】
この技術によって、Ｘ線カメラを傾動させたり、あるいは試料テーブルを位置決めした後に回転させても、当初のビューポイントが常にＸ線カメラの視野内に収まった状態となって、特に高倍率の試料の透視作業における作業性を大幅に改善することが可能となる。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−２４９０８６号公報（第３頁−第１２頁参照）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の追尾技術によると、操作者が最初に試料を試料テーブル上にセットした位置での当該試料テーブルのｘ，ｙ座標は、傾動や回転動作をさせた後はｘ，ｙ方向への補正分だけ変化してしまうことになる。そのため、操作者は試料の透視視野位置の目安としてのｘ，ｙ座標値を使用することが困難となってしまうという不具合がある。
【００１１】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、Ｘ線カメラの傾動時に、上記した従来の技術と同様にＸ線カメラの視野内での当初のビューポイントの位置並びに透視拡大率を維持することができ、しかも試料をＸ線カメラの視野内の所望位置に位置決めしたときの傾動前のｘ，ｙ座標を変化させず、従ってその座標を傾動後も使用することのできるＸ線透視装置の提供を目的としている。
【００１２】
また、本発明の第２の目的は、Ｘ線カメラを傾動させた状態で、試料テーブルをｚ軸方向に移動させたときにも、Ｘ線カメラに視野内での当初のビューポイントの位置を維持することができ、この場合においても当初のｘ，ｙ座標を変化させずに、移動後もその座標を使用することのできるＸ線透視装置の提供を目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の第１の目的を達成するため、請求項１に係る発明のＸ線透視装置は、Ｘ線源と、そのＸ線源からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線カメラと、これらのＸ線源とＸ線カメラの間に配置されて試料を搭載するための試料テーブルと、上記Ｘ線カメラを所定の方向に傾動させる傾動機構を備えたＸ線透視装置において、上記Ｘ線カメラの視野中で試料の位置決めを行うべく上記試料テーブルを当該試料テーブルの表面に沿った平面上で互いに直交する２軸（ｘ，ｙ軸）方向に移動させる位置決め用移動機構と、その位置決め用移動機構を含めて上記試料テーブルを上記ｘ，ｙ軸に直交して上記Ｘ線源に接近／離隔する方向のｚ軸の回りに回転させる回転機構と、その回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記傾動方向に沿って移動させる位置補正用移動機構と、その位置補正用移動機構、回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記ｚ軸方向に移動させるｚ軸移動機構を備えているとともに、上記傾動機構によりＸ線カメラを傾動させたとき、上記位置決め用移動機構を駆動せずに、傾動角度に応じて上記補正用移動機構およびｚ軸移動機構を駆動することにより、傾動前のビューポイントおよび透視倍率を維持する傾動時追尾手段を備えていることによって特徴づけられる。
【００１４】
また、第２の目的を達成するため、請求項２に係る発明のＸ線透視装置は、同じくＸ線源と、そのＸ線源からのＸ線が入射する位置に配置されたＸ線カメラと、これらのＸ線源とＸ線カメラの間に配置されて試料を搭載するための試料テーブルと、上記Ｘ線カメラを所定の方向に傾動させる傾動機構を備えたＸ線透視装置において、上記Ｘ線カメラの視野中で試料の位置決めを行うべく上記試料テーブルを当該試料テーブルの表面に沿った平面上で互いに直交する２軸（ｘ，ｙ軸）方向に移動させる位置決め用移動機構と、その位置決め用移動機構を含めて上記試料テーブルを上記ｘ，ｙ軸に直交して上記Ｘ線源に接近／離隔する方向のｚ軸の回りに回転させる回転機構と、その回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記傾動方向に沿って移動させる位置補正用移動機構と、その位置補正用移動機構、回転機構および位置決め用移動機構を含めて上記テーブルを上記ｚ軸方向に移動させるｚ軸移動機構を備えているとともに、上記傾動機構によりＸ線を傾動させた状態で上記テーブルをｚ軸方向に移動させたとき、上記位置決め用移動機構を駆動せずに、ｚ軸方向への移動量に応じて上記補正用移動機構を駆動することにより、ｚ軸方向への移動前のビューポイントを維持する倍率変更時追尾機構を備えていることによって特徴づけられる。
【００１５】
本発明は、試料テーブルをｘ，ｙ軸方向に移動させる位置決め用移動機構とは別に、Ｘ線カメラの傾動時、あるいはその傾動状態において試料テーブルをｚ軸方向に移動させたときの試料テーブルの位置を補正するための専用の移動機構を位置決め用移動機構よりもベース側（各機構を上下方向に積む場合には下方、以下、この例に従いベース側を下方、それと反対側を上方と称する）に設けるとともに、試料テーブルの回転機構をｘ，ｙ方向への位置決め用移動機構の下方で、かつ、補正専用の移動機構の上方に設け、これらの全機構をｚ軸方向に移動させるｚ軸移動機構を設けるることによって、所期の目的を達成しようとするものである。
【００１６】
すなわち、請求項１に係る発明においては、傾動機構によるＸ線カメラの傾動時に、試料テーブルをｘ，ｙ軸方向に移動させる位置決め用移動機構を駆動せずに、その下方に設けられてＸ線カメラの傾動方向に試料テーブルを移動させる補正用移動機構を駆動するとともに、ｚ軸移動機構を駆動することによって、傾動前のビューポイントおよび透視倍率を維持する。この構成によると、傾動時に位置決め用移動機構による当初の試料テーブルの座標は固定されたままとなり、ビューポイントおよび透視倍率を維持したまま、当初の座標を引き続いて使用することができる。
【００１７】
一方、請求項２に係る発明においては、傾動機構によりＸ線カメラを傾動させた状態で、試料テーブルをｚ軸方向に移動させたときに、そのｚ軸方向への移動量に応じて補正用移動機構を駆動することにより、ｚ軸方向への移動前のビューポイントを維持する。この場合においても、当初の試料テーブルの座標は変化しないので、そのまま用いることができる。
【００１８】
以上の各請求項に係る発明において、試料テーブルの回転機構を位置決め用移動機構の下方においているので、位置決め用移動機構により試料テーブルを随意にｘ，ｙ軸方向に移動させても、Ｘ線カメラと試料テーブルの回転軸のｘ，ｙ軸方向への位置関係は不変であり、従って、ビューポイントがＸ線カメラの視野から外れていくことを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図と、電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００２０】
Ｘ線管球からなるＸ線源１は、Ｘ線の光軸（照射Ｘ線の中心軸）Ｌが鉛直（ｚ軸方向）上方に向かうように配置され、その上方に、水平面（ｘ，ｙ平面）に沿った表面を有する試料テーブル２が設けられており、更にその試料テーブル２の上方には、所定の空間を開けてＸ線カメラ３が配置されている。
【００２１】
Ｘ線カメラ３は、傾動機構３１によってＸ線源１の焦点を中心として、ｘ軸に沿った軸（ＩＴ軸）の回りに、従ってｚ−ｙ平面上に沿って任意の角度に傾動させることができる。また、このＸ線カメラ３は、カメラ移動機構３２によって、任意の傾動角度においてＸ線源１に対して接近／離隔する方向（Ｉｚ軸）に移動させることができる。
【００２２】
試料テーブル２は、その直下に設けられているｙ軸移動機構２１とｘ軸移動機構２２を操作者が後述する操作盤７を操作することによって、水平面上で互いに直交するｘ，ｙ軸方向に移動し、これらのｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２が、Ｘ線カメラ３の視野中での試料Ｓの位置決め機構を構成している。
【００２３】
これらのｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２の下方には回転機構２３が設けられている。この回転機構２３は、ｚ軸に沿った軸（θ軸）の回りに試料テーブル２を回転させるものであり、この回転機構２３の駆動によって、試料テーブル２はｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２とともにθ軸の回りを回転する。
【００２４】
回転機構２３の下方には、後述する試料テーブル２の位置補正用のｙＴ軸移動機構２４が設けられている。このｙＴ軸移動機構２４の駆動により、カメラ傾動機構３２によるＸ線カメラ３の傾動方向に沿ったｙ軸方向に当該ｙＴ軸移動機構２４の上方に載せられている各部材、つまり試料テーブル２、ｙ軸移動機構２１、ｘ軸移動機構２２、および回転機構２３の全体をｙ軸方向に移動させることができる。
【００２５】
そして、以上の試料テーブル２とその各移動機構の全体を、ｚ軸移動機構２５の駆動によってＸ線源１に対して接近／離隔する方向であるｚ軸方向に移動させることができる。
【００２６】
透視対象物である試料Ｓは試料テーブル２上に載せられた状態で、その下方からＸ線が照射され、試料Ｓを透過したＸ線はＸ線カメラ３に入射する。Ｘ線カメラ３は例えばイメージインテンシファイアとＣＣＤカメラとを組み合わせた公知のものであり、その刻々の出力画像は画像処理装置４に取り込まれ、表示器５に試料ＳのＸ線透過像が表示されるようになっている。
【００２７】
前記したｙ軸移動機構２１、ｘ軸移動機構２２、回転機構２３、ｙＴ軸移動機構２４、ｚ軸移動機構２５、傾動機構３１およびカメラ移動機構３２の駆動源である各モータは、いずれも軸制御装置６からの制御信号によって動作する。軸制御装置６はＣＰＵとその周辺機器を主体とするものであって、操作者が各種指令を与えるための操作盤７が接続されている。この操作盤７の操作により、これらの各機構のうち、ｙＴ軸移動機構２４を除く機構を駆動して、試料テーブル２およびＸ線カメラ３を任意に移動させることができる。
【００２８】
また、この軸制御装置６には、上記した各機構による試料テーブル２ないしはＸ線カメラ３の現在位置を記憶するメモリと、以下に示す視野および倍率維持プログラムがインストールされており、このプログラムによって、Ｘ線カメラ３の傾動時、およびその傾動状態において試料テーブル２をｚ軸方向に移動させたときに自動的に試料テーブルが移動し、当初の視野および倍率が維持される。
まず、Ｘ線カメラ３の傾動時における動作について、図２を参照しつつ説明する。操作盤７の操作により傾動機構３１に駆動指令が与えられたとき、軸制御装置６は傾動機構３１を駆動してＸ線カメラ３を傾動させるとともに、試料テーブル２のｙＴ軸移動機構２４およびｚ軸移動機構２５に対して下記のような動作を行わせて追尾させることにより、傾動前の当初のビューポイントと透視倍率を維持する。
【００２９】
すなわち、傾動指令を付与した時点におけるＸ線源１（焦点、以下同）とＸ線カメラ３間の距離をＳＩＤとし、Ｘ線源１と試料テーブル２のとの距離をＳＯＤとすると、Ｘ線カメラ３の傾動に同期させて試料テーブル２を円弧状に移動させることを想定すると、試料テーブル２の移動速度ｖｔは、Ｘ線カメラ３が速度ｖｉで傾動してその各速度がω（ｖｉ＝ωＳＩＤ）であれば、下記の（１）式によって算出することができる。
ｖｔ＝ω・ＳＯＤ  ・・・・（１）
【００３０】
その円弧状の移動をｙＴ軸移動機構２４とｚ軸移動機構２５の駆動によって実現するために、これらのｙＴ軸移動機構２４とｚ軸移動機構２５の移動速度ｖｙｔおよびｖｚを下記の（２），（３）式から算出する。なお、φｔは刻々の傾動角度である。
ｖｙｔ＝ｖｔ・ｃｏｓ  φｔ  ＝ωｃｏｓ  φｔ・ＳＯＤ  ・・・・（２）
ｖｚ＝ｖｔ・ｓｉｎ  φｔ＝ωｓｉｎ  φｔ・ＳＯＤ  ・・・・（３）
【００３１】
また、ｙ軸方向への移動量ｙｔおよびｚ軸方向への移動量ｚについては、
ｙｔ＝ＳＯＤｓｉｎ  φｔ  ・・・・（４）
ｚ＝ＳＯＤ（１−ｃｏｓ  φｔ）  ・・・・  （５）
となる。
【００３２】
従って、操作者が操作盤７を操作してＸ線カメラ３をφだけ傾動させるべく指令を与えると、その指令に応じて傾動機構３１が動作すると同時に、その角度φおよび角速度ωに応じてｙＴ軸移動機構２４およびｚ軸移動機構２５が自動的に動作して、試料テーブル３がｙ軸方向にｙｔだけ速度ｖｙｔで移動するとともに、ｚ軸方向にｚだけｖｚの速度で移動する。傾動機構３１およびｙＴ軸移動機構２４並びにｚ軸移動機構２５は、軸制御装置６が一括管理して制御しているので、操作者が操作盤７を操作して傾動機構３１を駆動している間にｙＴ軸移動機構２４およびｚ軸移動機構２５が上記の動作を行うことによって、表示器５に表示されている試料ＳのＸ線透視像は、その視野中心と透視拡大率が変化することなく、透視方向だけが逐次変化していくことになる。
【００３３】
そして、以上の試料テーブル２の位置補正には、ｙ軸移動機構２１を全く駆動しないため、操作者が傾動操作前に操作した試料テーブル２のｘｙ座標がそのまま変化することがなく、操作者は傾動後にもその座標値を継続して用いて試料テーブル２の位置決めなどを行うことができる。
【００３４】
ここで、Ｘ線カメラ３の傾動時に当初のビューポイントおよび透視倍率を維持すべく試料テーブル２の位置を自動的に補正するに当たり、以上の計算ではＸ線源１から試料テーブル２までの距離をＳＯＤとして用いたが、より正確にビューポイントおよび透視倍率を維持するためには、上記の計算で用いたＳＯＤに代えて、Ｘ線源１から試料Ｓの注目部位までの距離、言わば真のＳＯＤを用いる。しかしながら、この真のＳＯＤは、試料テーブル２の表面から試料Ｓの注目部位までの距離が正確に判らない。この真のＳＯＤは、以下の手法によって自動的に求めることができる。
【００３５】
すなわち、試料ＳのＸ線透視像を表示器５に表示している状態で、その注目部位を画像上で指定する。その状態で試料テーブルＳをｘ軸方向あるいはｙ軸方向にΔだけ移動させると、試料Ｓ内部の注目部位もΔだけ移動し、画面上の注目部位も移動する。その画面上での注目部位の移動量δのΔに対する比は、注目部位の位置する平面での透視倍率を表す。従って、傾動指令を与えたとき、例えば画像処理技術を用いて、画面上での注目部位がδだけ移動するように試料テーブル２を例えばｘ軸方向に自動的に移動させた後に戻すようにプログラムしておくとともに、そのときの試料テーブル２の移動量Δを検出することによって、注目部位の透視倍率Ｐを正確に算出することができる。
【００３６】
一方、Ｘ線源１からＸ線検出器３までの距離ＳＩＤについては、装置定数並びにカメラ移動機構３２によるＸ線カメラ３のＩｚ軸方向への位置が判明しているので、正確に知ることができる。従って、真のＳＯＤは、下記の（６）式によって正確に算出することができる。
真のＳＯＤ＝ＳＩＤ／Ｐ  ・・・・（６）
【００３７】
このようにして算出した真のＳＯＤを前記した（１）〜（５）式に用いることによって、ビューポイントおよび透視倍率を極めて厳格に維持した状態でＸ線カメラ３を傾動させることが可能となる。
【００３８】
なお、画面上での注目部位の移動量の計算方法としては、画像の移動前後における画素情報の相互相関関数を利用する方法などを採用することができる。
次に、Ｘ線カメラ３をＸ線光軸Ｌに対して所定の角度φで傾動させた状態で、試料テーブル２をｚ軸方向に上下動させたときの動作について、図３を参照しつつ説明する。
【００３９】
Ｘ線カメラ３が傾いた状態で、操作者が操作盤７を操作してｚ軸移動機構２５により試料テーブル２をｚ軸方向に移動させるべく指令を与えた場合、軸制御装置６はその指令に応じてｚ軸移動機構を２５を駆動すると同時に、ｙＴ軸移動機構２４を以下に示すように自動的に駆動して、ビューポインを維持する。
【００４０】
すなわち、ｚ軸移動機構２５による試料テーブル２の移動量をΔｚとすると、図３においてΔｙｔだけ試料テーブル２をｙ軸方向に移動させることによって、ｚ軸方向への移動前のビューポイントを維持することができる。このΔｙｔは、以下の（７），（８）式によって算出することができる。図において、
ΔＳＯＤ＝Δｚ／ｃｏｓ  φ  ・・・・（７）
であるから、
Δｙｔ＝Δｚ（ｓｉｎ  φ／ｃｏｓ  φ）＝Δｚ・ｔａｎ  φ  ・・・・（８）
【００４１】
従って、Ｘ線カメラ３が傾動している状態で操作者が操作盤７を操作して試料テーブル２をｚ軸方向に移動させたとき、その移動量Δｚに応じてｙＴ軸移動機構２４を自動的にΔｙｔだけ駆動することによって、ｚ軸方向への移動前のビューポイントが維持される。この機能により、Ｘ線カメラ３の傾動状態において拡大率を変化させるべくｚ軸方向に試料テーブル２を移動させても、Ｘ線カメラ２の視野中心は変化することなく、透視像の拡大率のみを変化させることが可能となる。
【００４２】
また、以上の実施の形態における試料テーブル２の各移動機構の上下関係によると、回転機構２３がｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２の下方に位置して、これらのｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２とともに試料テーブル２を回転させるので、操作盤７の操作によってｙ軸移動機構２１およびｘ軸移動機構２２を駆動してＸ線カメラ３の視野を定めた後に、回転機構２３を回転させても、Ｘ線カメラ３と回転機構２３の回転軸との位置関係は不変であるため、回転によって視野が変化することがないという利点もある。
【００４３】
なお、以上の実施の形態では、Ｘ線源１のＸ線光軸Ｌを鉛直方向にとって、試料テーブル２の各移動機構や回転機構を上下方向に積み重ねた例をしめしたが、本発明はこれに限定されることなく、Ｘ線源１のＸ線光軸Ｌを水平方向にとって、試料テーブル２の各移動機構および回転機構を横方向（水平方向）に重ねてもよいことは勿論である。
【００４４】
【発明の効果】
以上のように、請求項１に係る発明によれば、Ｘ線カメラの傾動時に、試料テーブルをｘ，ｙ軸方向に移動させる位置決め用の移動機構とは別に設けた専用の移動機構と、ｚ軸移動機構を自動的に駆動することにより、ビューポイントおよび透視拡大率を傾動前の状態に維持するので、操作者はＸ線カメラの傾動時にビューポイントや透視拡大率の調整を何ら行う必要がない。しかも、傾動前にｘ，ｙ軸方向への位置決め用の移動機構を駆動して定めた座標は、傾動後にもそのまま用いることができる。
【００４５】
また、請求項２に係る発明によれば、Ｘ線カメラを任意の角度に傾動させた状態で、試料テーブルをｚ軸方向に移動させたとき、試料テーブルをｘ，ｙ軸方向に移動させる位置決め用移動機構とは別に設けた専用の移動機構を自動的に駆動することにより、ビューポイントをｚ方向への移動前の状態に維持するので、操作者はカメラの傾動状態で透視拡大率を変化させるべく試料テーブルをｚ軸方向に移動させても、ビューポイントの調整を何ら行う必要がない。そして、この発明においても、試料テーブルのｚ軸方向への移動前にｘ，ｙ軸方向への位置決め用の移動機構を駆動して定めた座標は、移動後にもそのまま用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図と、電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態によりＸ線カメラを傾動させる場合の動作の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態によりＸ線カメラの傾動状態で試料テーブルをｚ軸方向に移動させる場合の動作の説明図である。
【符号の説明】
１  Ｘ線源
２  試料テーブル
２１  ｙ軸移動機構
２２  ｘ軸移動機構
２３  回転機構
２４  ｙＴ軸移動機構
２５  ｚ軸移動機構
３  Ｘ線カメラ
３１  傾動機構
３２  カメラ移動機構
４  画像処理装置
５  表示器
６  軸制御装置
７  操作盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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