(57)【要約】【課題】透明基板上に一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜を積層するときに発生するずれによる歩留まりの低下を防止する。【解決手段】製品として使用される透明基板よりもサイズが大きい透明基板構成部材２に、一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜３を積層し、ダイクロイックミラー構成部材１を形成する。このダイクロイックミラー構成部材１に、製品として使用されるダイクロイックミラー４と同じ角度で入射する光を光射出部５５より入射させ、ダイクロイックミラー構成部材１を移動させながら、所望の分光透過特性が得られる基準位置１Ｃを検出する。この基準位置１Ｃから、膜厚が漸増する方向に一定の距離だけ離れた切断面１Ａおよび１Ｂを切断部材５７により切断し、製品として使用されるダイクロイックミラー４を切り出す。【選択図】  図２
2004325593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品として形成し、収束または拡散する光を入射させたときに、前記光学部品への入射角の差に基づく光学特性の変化を抑制するようにして透明基板の表面に成膜を行う方法であって、
前記光学部品のサイズよりも大きいサイズの透明基板構成部材の表面の一側から、一定の角度で膜厚が漸増する被膜を積層することにより光学部品構成部材を得る第１の工程と、
前記光学部品の中で、所定の光学特性を持つ基準位置を検出する第２の工程と、
前記基準位置から、前記被膜の膜厚が漸増する前後方向に一定の距離だけ離れた切断位置を切断する第３の工程と、を有する光学部品の製造方法。
【請求項２】
製品としてのダイクロイックミラーを構成する方形状の透明基板よりもサイズが大きい透明基板構成部材に、一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜を積層してダイクロイックミラー構成部材を形成する第１の工程と、
前記ダイクロイックミラー構成部材の中で、所定の分光透過特性を持つ基準位置を検出する第２の工程と、
前記基準位置から、前記ダイクロイック膜の膜厚が漸増する前後方向に一定の距離だけ離れた切断位置を切断する第３の工程と、を有する光学部品の製造方法。
【請求項３】
前記第２の工程において、
前記所定の分光透過特性とは、前記ダイクロイックミラーが実際に機器に組み込まれたときに、入射する光の光軸中心における前記ダイクロイックミラーの分光透過特性であることを特徴とする請求項２記載の光学部品の製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程において、
前記所定の分光透過特性は、前記ダイクロイックミラーが実際に機器に組み込まれたときに、前記透明基板に光が入射する角度と同じ角度で光を入射させて基準位置を検出することを特徴とする請求項２または３記載の光学部品の製造方法。
【請求項５】
製品としてのダイクロイックミラーを構成する方形状の透明基板よりもサイズが大きい透明基板構成部材に、一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜が積層されたダイクロイックミラー構成部材に対して、前記ダイクロイックミラーが製品として使用されるときに入射される光と同じ角度で、前記ダイクロイックミラー構成部材に入射する光を射出する光射出部と、
前記光射出部から射出された光のうち、前記ダイクロイックミラー構成部材を透過した光を受光し、前記ダイクロイックミラー構成部材に入射された光の検出位置における前記ダイクロイックミラー構成部材の分光透過特性を検出する受光部と、
前記ダイクロイックミラー構成部材の、前記ダイクロイック膜が漸増する方向と直交する面を切断する切断部材と、
前記検出位置が所定の分光透過特性であるか否かを判断し、前記切断部材の位置を制御する制御装置と、を有する光学部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばガラスなどの透明基板の表面に、ウェッジコートなどによりコートされた光学部品の製造方法および製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プレゼンテーションや家庭用シアターなどに大型のスクリーンに投射される液晶プロジェクタなどの液晶を用いた投射型表示装置が普及している。このような液晶プロジェクタでは、光源から射出された白色光はダイクロイックミラーなどの色分解光学系などにより３色の光に分解される。例えば、光源から射出された白色光は、１枚目のダイクロイックミラーで青色および緑色の光を透過して、赤色の光を反射し、２枚目のダイクロイックミラーで青色の光を透過して緑色の光を反射させることにより、白色光を赤色光、緑色光および青色光の３色の光に分解することができる。３色の光に分解された赤色光、緑色光および青色光は、外部から電気的に制御される液晶パネルにより光変調された後に、クロスプリズムなどによって合成され映像光が生成される。この生成された映像光は、投射レンズなどを用いてスクリーン上に拡大表示される。
【０００３】
ところで、上述したダイクロイックミラーは透明基板上にダイクロイック膜を積層することにより、入射される光を分解している。例えば、１枚目のダイクロイックミラーが青色光および緑色光を透過し、赤色光を反射する場合、このダイクロイックミラーには、例えば、概略５５０ｎｍ以下の波長を持つ光を透過し、それ以上の波長を持つ光を反射する分光透過特性を持つダイクロイック膜を積層する。このようなダイクロイック膜を積層することにより、波長域が概略５５０ｎｍ以下の青色光および緑色光は透過するが、波長域が概略５５０ｎｍ以上の赤色光は反射する。
【０００４】
上述したように、ダイクロイックミラーは透明基板上にダイクロイック膜が積層されることにより形成されるが、一般にダイクロイック膜は透明基板に対して均一な膜厚となるように平行に積層される。このようなダイクロイックミラーにコリメータレンズなどを介した平行光束が入射する場合は、光束のうち全ての光がダイクロイックミラーに対して一定の角度で入射するため、どの位置においても所定の分光透過特性が得られる。一方、凸レンズなどを介して収束光がダイクロイックミラーに入射する場合は、光軸中心における光と周辺部における光とでは入射角度が異なる。また、凹レンズなどを介して発散光がダイクロイックミラーに入射する場合においても、光軸中心の光と周辺部における光とでは入射角度が異なる。このように、ダイクロイックミラーに対して入射する光の入射角度が入射位置によって異なると、入射位置によって分光透過特性も異なる。例えば、収束光がダイクロイックミラーに入射する場合、光軸中心においては所定の分光透過特性が得られる。しかしながら、光軸中心よりも入射角が大きい点においては、分光透過特性が短波長にシフトする。また、光軸中心よりも入射角が小さい点においては、分光透過特性が長波長にシフトする。従って、発散光または分散光がダイクロイックミラーに入射する場合、入射角によって分光透過特性が異なるため、光軸中心以外においては所定の分光透過特性を得ることができない。特に、入射光束の周縁部においては、大きく波長がシフトしてしまうことがあり、所定の分光透過特性を得ることができない。これにより、投射される映像の左右で色の差が発生し、色むらが発生する。
【０００５】
このような問題点を解決するために、膜厚が平行ではなく漸増する、すなわち膜厚が連続的に増加するように膜付けされるウェッジコートと呼ばれる方法が一般的に知られている。ウェッジコートとは、図７のように、透明基板１０１上に一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜１０２を積層する方法である。ここで、漸増とは連続的に膜厚が増加することを言う。このように、ダイクロイック膜１０２の膜厚が一定の角度で漸増することにより、入射角依存をキャンセルさせることができ、所定の分光透過特性を持つダイクロイックミラーを得ることができる。
【０００６】
上述したように透明基板上に膜厚が一定の角度で漸増する膜を積層するための方法として、回転ドームに固着される透明基板を任意の角度に傾けて蒸着する方法または遮蔽部材などを設けることにより蒸着分布を制御して蒸着する方法などが知られている（たとえば、特許文献１参照。）。この特許文献１記載の発明においては、回転ドームに固着される透明基板を、蒸着源に対して任意の角度傾けて固定するため、蒸着源からの距離に反比例して膜厚が形成される。すなわち、蒸着源から近い基板面部分ほど膜厚が厚くなり、遠いほど膜厚が薄くなる。さらに、この特許文献１記載の発明では、透明基板の下方に遮蔽部材を設けることによっても、膜厚の制御を行っている。すなわち、透明基板が回転中に遮蔽部材により遮蔽を受ける部分は膜厚が薄くなり、遮蔽を受けない部分は膜厚が厚くなる。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−７１９４４号公報（第４−７頁、第２−５図、第１１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した方法においては、透明基板は回転ドームにおいて所定の角度に傾けられて固定されるが、機械公差、組付け誤差などに起因して、回転ドームに固定される全ての透明基板が必ずしも正確な角度をなして傾けられるとは限らない。また、透明基板上に一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜を積層するために遮蔽部材は正確な位置に固定されてなくはならないが、回転ドームが回転しているときに、回転軸がぶれてしまうこともある。
【０００９】
ウェッジコートは、透明基板の端面からの距離に応じて膜厚が漸増するようにダイクロイック膜が積層されるが、上記のような要因により、ダイクロイック膜を積層する起点が膜厚の漸増する方向の前後方向にずれてしまうことがある。例えば、図８（ａ）において、ダイクロイック膜１０２の膜厚が漸増する起点１０２Ｓが透明基板から所定の距離だけ離れた位置である場合は、ウェッジコートは正確に積層されるため、所定の分光透過特性を持ったダイクロイックミラーを得ることができる。しかしながら、図８（ｂ）のように、起点１０２ＳがＡの方向にずれた場合、または図８（ｃ）のように、起点１０２ＳがＢの方向にずれた場合、正確にウェッジコートを形成することができないため、所定の分光透過特性を持ったダイクロイックミラーを得ることができない。すなわち、図９に示されているように、起点１０２Ｓが透明基板から所定の位置だけ離れた位置である場合は、図中のＷａのような所定の分光透過特性を得ることができるが、起点１０２ＳがＡの方向にずれた場合、図中のＷｂのように、分光透過特性が長波長側にシフトする。また、起点１０２ＳがＢの方向にずれた場合、図９のＷｃのように、分光透過特性が短波長側にシフトする。
【００１０】
以上のような理由により、所定の分光透過特性を持ったダイクロイックミラーを得ることができないことがある。このため、製品としての品質にはばらつきが生じ、歩留まりが悪くなるという問題が発生することがある。特に、近年の光学部品は精度が高い製品が要求され、品質の一定化のために、回転ドームで蒸着される全ての光学部品について正確に膜付けがされたか否かの検査が行われるようになってきている。
【００１１】
そこで、本発明は、実際に使用される光学部品よりも大きいサイズを有する透明基板に一定の角度で膜厚が漸増する被膜を形成し、そのうち所定の基準位置を基準として、実際に使用される光学部品を切り出すことにより、所定の分光透過特性を持った光学部品を得ることができる光学部品の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
以上のような目的を達成するために、本発明の光学部品の製造方法および製造装置は、光学部品として形成し、収束または拡散する光を入射させたときに、前記光学部品への入射角の差に基づく光学特性の変化を抑制するようにして透明基板の表面に成膜を行う方法であって、前記光学部品のサイズよりも大きいサイズの透明基板構成部材の表面の一側から、一定の角度で膜厚が漸増する被膜を積層することにより光学部品構成部材を得る第１の工程と、前記光学部品の中で、所定の光学特性を持つ基準位置を検出する第２の工程と、前記基準位置から、前記被膜の膜厚が漸増する前後方向に一定の距離だけ離れた切断位置を切断する第３の工程と、を有する。
【００１３】
本発明は、以上のようにして光学部品を製造するため、被膜を積層するときに、被膜の膜厚が漸増する方向にずれた場合でも、所定の光学特性を持つ光学部品を得ることができ、歩留まりの低下を防止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１５】
図１は、本実施形態において透明基板構成部材２にダイクロイック膜を積層する真空蒸着槽１０の概略構成図である。図１において、本実施形態の真空蒸着槽１０は、回転ドーム１１と、回転軸１２と、蒸着源１４とから構成される。回転ドーム１１は、回転軸１２に回転可能に支持され、複数の透明基板構成部材２を固定保持する。各透明基板構成部材２は、基板支持治具１３により、蒸着源１４に対して傾斜した状態で固定保持されている。蒸着源１４からは透明基板構成部材２に対して蒸着物質を射出する。このように複数の透明基板構成部材２が固定保持された状態で回転ドーム１１が回転すると、各透明基板構成部材２の蒸着源１４に近い部分は常に蒸着源１４から近い位置にあるので、膜厚が厚く積層される。一方、各透明基板構成部材２の蒸着源１４に遠い部分は常に蒸着源１４から遠い位置にあるので、膜厚が薄く積層される。このように、各透明基板構成部材２上に積層されるダイクロイック膜３は、蒸着源１４からの距離に応じて膜厚が変化するように積層される。以上のようにして、透明基板構成部材２上にウェッジコートが形成されたダイクロイックミラー構成部材１が製造される。
【００１６】
次に、上述した真空蒸着槽１０において積層されたダイクロイックミラー構成部材１について説明する。図２はダイクロイックミラー構成部材１の斜視図である。図２に示されているように、ダイクロイックミラー構成部材１は、透明基板構成部材２上に膜厚が一定の角度で漸増するようなダイクロイック膜３が積層されて形成される。このとき、図２に示されているように、方形状の透明基板構成部材２は、１辺において実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４と同じであるが、もう１辺においては実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４よりも寸法が大きく形成される。すなわち、図２におけるＰの幅においては、実際に使用されるダイクロイックミラー４と同じ寸法であるが、Ｒの幅においては、実際に使用されるダイクロイックミラー４よりも寸法が大きく形成される。このように、本実施形態における透明基板構成部材２は、実際に使用されるダイクロイックミラー４と比較して、ダイクロイック膜３の膜厚が漸増する方向において、予めその寸法に余裕を持って形成される。
【００１７】
本実施形態では、以上のようなダイクロイックミラー構成部材１から実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４の切り出しが行われる。具体的には、ダイクロイックミラー４が実際に機器に組み込まれたときに光の光軸中心における分光透過特性が所定の値になる位置を基準位置１Ｃとして、ダイクロイック膜３の膜厚が漸増する方向の前後方向にそれぞれ一定の距離だけ離れた切断面１Ａおよび１Ｂを切断する。この基準位置１Ｃは、特定の波長光を入射したときに１００％透過しない位置であり、且つ１００％反射しない位置のことである。例えば、ダイクロイックミラー４の所定の分光透過特性が図３のＷのような場合、基準位置１Ｃは、透過率が０％〜１００％の間にある移行部Ｔの範囲内に設けられる。特に、移行部Ｔの中間点Ｈ、すなわち入射する光が概略５０％透過する位置を基準位置１Ｃとして設けられることが好ましい。
【００１８】
ここで、切断面１Ａから１Ｂまでの距離は、実際に使用されるダイクロイックミラー４の膜厚が漸増する方向における寸法と同じであり、基準位置１Ｃから切断面１Ａまでの距離、および基準位置１Ｃから切断面１Ｂまでの距離は予め決められている。以上のように、本実施形態のダイクロイックミラー構成部材１は、実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４に切断代を持たせて形成され、ダイクロイックミラー構成部材１の両端における切断代の部分を切断することにより、実際に使用されるダイクロイックミラー４とする。
【００１９】
次に、上述したダイクロイックミラー４の切り出しを行う切断治具５について図４および図５を用いて説明する。図４は切断治具５の平面図であり、図５（ａ）は切断治具５のＹ−Ｙ断面図であり、図５（ｂ）は切断治具５のＸ−Ｘ断面図である。これら図４、図５（ａ）および図５（ｂ）において、切断治具５は、ホルダ５１、ガイドレール５２、スライド部材５３、位置決めピン５４、光射出部５５、受光部５６および切断部材５７を有して構成される。この切断治具５において、ガイドレール５２はホルダ５１に固定され、ガイドレール５２上には、スライド部材５３が移動可能に設けられる。また、図４に示されているように、スライド部材５３上には位置決めピン５４が設けられる。さらに、図５（ｂ）に示されているように、ダイクロイックミラー構成部材１の上部には光射出部５５が設けられ、下部には受光部５６が設けられる。この光射出部５５は、切断治具５に載置されているダイクロイックミラー構成部材１に対して、実際に機器に組み込まれたときのダイクロイックミラー４に対して光が入射する角度と同じ角度で入射するように特定の波長の光を射出する。また、受光部５６は、光射出部５５から射出された光を受光し、光射出部５５と受光部５６とを結ぶ線上にあるダイクロイックミラー構成部材１における検出位置４Ｓの分光透過特性を検出し、電気信号に変換して、図示しない制御装置に送る。
【００２０】
次に、図６を用いて、ダイクロイックミラー４の製造工程について説明する。
【００２１】
最初に、回転ドーム１１に複数の透明基板構成部材２を蒸着源１４に対して傾斜した状態で固定保持し、固定保持された各透明基板構成部材２に対してダイクロイック膜３が積層される（ステップＳ１）。これにより、透明基板構成部材２に膜厚が一定の角度で漸増するダイクロイック膜３が積層されたダイクロイックミラー構成部材１が形成される。次に、膜厚が一定の角度で漸増するダイクロイック膜３が積層されたダイクロイックミラー構成部材１を回転ドーム１１から取り出し（ステップＳ２）、切断治具５上に載置する（ステップＳ３）。このとき、ダイクロイックミラー構成部材１は２本のスライド部材５３に載るように置かれ、２本の位置決めピン５４に当接するように位置が固定される。これにより、ダイクロイックミラー構成部材１は、スライド部材５３と直交する方向に動くことはなく、スライド部材５３と同じ方向にのみ移動可能になる。次に、図４のＤの方向またはＥの方向に、ダイクロイックミラー構成部材１を移動させる（ステップＳ４）。このとき、光射出部５５から射出された光は、ダイクロイックミラー構成部材１の検出位置４Ｓにおいて分光し、そのうち透過した光が受光部５６に入射する。これにより、検出位置４Ｓの位置におけるダイクロイックミラー構成部材１の分光透過特性を検出する（ステップＳ５）。このようにして、検出位置４Ｓの位置におけるダイクロイックミラー構成部材１の分光透過特性が、実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４に入射される光の光軸中心の基準位置１Ｃにおける所定の分光透過特性と一致するか否かを判定し（ステップＳ６）、一致しないときは、さらにダイクロイックミラー構成部材１の移動を行い（ステップＳ４）、検出位置４Ｓにおける分光透過特性の検出を行う（ステップＳ５）。このとき、検出位置４Ｓの分光透過特性と実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４に入射される光の光軸中心の基準位置１Ｃにおける所定の分光透過特性とが一致するか否かの判定は、検出位置４Ｓの透過率が概略０％から１００％に、または概略１００％から０％に移行する移行部Ｔの範囲内に入ったか否かで行われる。特に、検出位置４Ｓにおける透過率が概略５０％になった時点で一致したと判定されることが好ましい。
【００２２】
一方、ステップＳ５において受光部５６が検出した検出位置４Ｓにおける光の分光透過特性が、実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４に入射する光の光軸中心の基準位置１Ｃにおける分光透過特性と一致した場合は、ダイクロイックミラー構成部材１の移動を止め、ダイクロイックミラー構成部材１の切断を行う。このとき、図示しない制御装置は、中心位置１Ｃから予め決められた距離だけ膜厚が漸増する方向の前後方向に離れた切断面１Ａおよび１Ｂの上部に切断部材５７を移動し、この切断部材５７により切断面１Ａおよび１Ｂを切断する（ステップＳ７）。
【００２３】
以上のようにして、方形状の透明基板構成部材２の１辺において膜厚が一定の角度で漸増するダイクロイックミラー４を得ることができる。すなわち、本実施形態においては、実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４の透明基板と比較して膜厚が漸増する前後方向において大きい寸法を有する透明基板構成部材２に、一定の角度で膜厚が漸増するダイクロイック膜３を積層してダイクロイックミラー構成部材１を形成する。そして、このダイクロイックミラー構成部材１の中で、実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４と同じ分光透過特性を持つ基準位置１Ｃを光射出部５５および受光部５６により検出し、基準位置１Ｃを基準として切断面１Ａおよび１Ｂを切断することにより、製品として使用されるダイクロイックミラー４を得ることができる。これにより、透明基板構成部材１にダイクロイック膜３を積層するときに、膜厚が漸増する方向の前後方向にずれて積層された場合でも、所定の分光透過特性を持つウェッジコートを形成することができる。従って、製品の歩留まりが向上すると共に品質の安定化が図られる。
【００２４】
なお、本実施形態では、図４および図５に示されたような切断治具５を用いたが、これに限られず、切断治具５は、中心位置１Ｃを検出して、その中心位置１Ｃから決まった大きさのダイクロイックミラー４を切り出すことができるものであればよい。
【００２５】
また、ダイクロイックミラー構成部材１を切断治具５に取り付けて、その基準位置を検出し、その後直ちに切断するようにしているが、基準位置１Ｃを検出する工程では、基準位置１Ｃにマーキングのみを行い、後の工程で切断するようにしても良い。
【００２６】
また、中心位置１Ｃから切断面１Ａまでの距離と中心位置１Ｃから切断面１Ｂまでの距離とは等しくても等しくなくてもよい。
【００２７】
また、本実施形態では、回転ドーム１１に固定される透明基板構成部材２を蒸着源１４の出射面に対して傾けることにより傾斜したダイクロイック膜を透明基板構成部材２に形成したが、これに限られず、例えば、遮蔽部材を用いてダイクロイック膜を形成してもよいし、これらを組み合わせてもよい。
【００２８】
また、本発明で製造される光学部品は、液晶プロジェクタなどに用いられるダイクロイックミラーに限られず、光通信に用いられる光バンドパスフィルタなどに用いてもよい。
【００２９】
また、本発明においては、ガラスを透明基板として用いたが、これに限られず、水晶、サファイア、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂などを用いてもよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、実際に機器に組み込まれる光学部品を構成する透明基板よりも、膜厚が漸増する前後方向に寸法が大きいものに一定の角度で膜厚が漸増するように膜付けして、実際に使用される光学部品となるように切り出すことにより、膜厚が漸増する方向の前後方向にずれて積層されて膜付けされた場合でも、所定の光学特性を持つウェッジコートを形成することができ、光学部品としての品質の向上および安定化が図られ、かつ歩留まりが向上するなどの効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における回転ドームを含む蒸着槽の全体構成図である。
【図２】本発明におけるダイクロイックミラー構成部材の斜視図である。
【図３】本発明におけるダイクロイックミラーの分光透過特性を表すグラフである。
【図４】本発明における切断治具の平面図である。
【図５】本発明における切断治具のＸ−Ｘ断面図およびＹ−Ｙ断面図である。
【図６】本発明における光学部品の製造工程を示すフローチャートである。
【図７】従来のウェッジコートが形成されたダイクロイックミラーの断面図である。
【図８】従来のウェッジコートの形成時の断面図である。
【図９】入射角依存によって波長がシフトするグラフである。
【符号の説明】
１  ダイクロイックミラー構成部材
２  透明基板構成部材
３  ダイクロイック膜
４  ダイクロイックミラー
５  切断治具
５３  スライド部材
５４  位置決めピン
５５  光射出部
５６  受光部
５７  切断部材
１Ａ  切断面
１Ｂ  切断面
１Ｃ  中心位置
４Ｓ  基準位置
【図１】
2004325593.tif 000003
【図２】
2004325593.tif 000004
【図３】
2004325593.tif 000005
【図４】
2004325593.tif 000006
【図５】
2004325593.tif 000007
【図６】
2004325593.tif 000008
【図７】
2004325593.tif 000009
【図８】
2004325593.tif 000010
【図９】
2004325593.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成15年5月8日(2003.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
次に、上述した真空蒸着槽１０において積層されたダイクロイックミラー構成部材１について説明する。図２はダイクロイックミラー構成部材１の斜視図である。図２に示されているように、ダイクロイックミラー構成部材１は、透明基板構成部材２上に膜厚が一定の角度で漸増するようなダイクロイック膜３が積層されて形成される。このとき、図２に示されているように、方形状の透明基板構成部材２は、１辺において実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４と同じであるが、もう１辺においては実際に機器に組み込まれるダイクロイックミラー４よりも寸法が大きく形成される。すなわち、図２におけるＲの幅においては、実際に使用されるダイクロイックミラー４と同じ寸法であるが、Ｐの幅においては、実際に使用されるダイクロイックミラー４よりも寸法が大きく形成される。このように、本実施形態における透明基板構成部材２は、実際に使用されるダイクロイックミラー４と比較して、ダイクロイック膜３の膜厚が漸増する方向において、予めその寸法に余裕を持って形成される。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、透明基板としては、ガラスが一般的であるが、ガラス以外にも水晶、サファイア、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂などを用いることができる。