(57)【要約】【課題】グルーブを形成する場合に、側面が細かい波状であってもウォブル情報の安定した再生を可能とする。【解決手段】レーザカッティング装置１０では、９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量でグルーブの幅を広げることができ、８４．６７２ｋＨｚのウォブル信号の光学偏向を施し、フォトレジスト１２の表面に集光され、レーザ光が高周波数９．０９１ＭＨｚで多重露光することでグルーブの幅を広げることができ、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブが形成される。記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしてもウォブル再生信号振幅が０となるため、低周波（８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。【選択図】　図３
2004039011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
請求項１において、
上記カットオフ周波数以上の高周波は、クロックの周波数（周期１Ｔ）またはクロックの周波数の半分の周波数（周期２Ｔ）であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
【請求項５】
請求項４において、
上記カットオフ周波数以上の高周波は、クロックの周波数（周期１Ｔ）またはクロックの周波数の半分の周波数（周期２Ｔ）であることを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
【請求項６】
トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
【請求項７】
光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、
上記光記録媒体は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されており、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生装置。
【請求項８】
光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、
上記光記録媒体は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成され、上記ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生装置。
【請求項９】
光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生方法であって、
上記光記録媒体は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されており、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生方法。
【請求項１０】
光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生方法であって、
上記光記録媒体は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光　記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成され、上記ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにそのような光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光記録媒体は、光学的に記録および／または再生が行われる記録媒体であり、例えば、コンパクトディスクやレーザディスク等のように、データに対応したエンボスピットがディスク基板に予め形成されてなる再生専用光ディスクや、ミニディスク（Ｍｉｎｉ　Ｄｉｓｃ；ＭＤ）等のように、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気ディスクや、ＤＶＤ等のように、記録膜の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光ディスクなどがある。
【０００３】
光磁気ディスクや相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光記録媒体には、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディスク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。
【０００４】
そして、グルーブが形成されてなる光記録媒体では、通常、プッシュプル信号を用いることでトラッキングサーボがなされる。なお、プッシュプル信号は、光記録媒体に光ビームを照射し、当該光ビームが光記録媒体によって反射された光を、トラック中心に対して対称に配置された２つの光検出器により検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとることにより得られる。
【０００５】
先に提案されている特許第２９６００１８号においては、ＭＤのデータ記録部であるウォブルワイドグルーブの形成方法が提案されている。ウォブルワイドグルーブの形成は、２２．０５ｋＨｚと５ＭＨｚの重畳信号によりレーザ光のスポットをウォブルすることで行われる。２２．０５ｋＨｚのＦＭ変調信号は、アドレスのウォブル情報を記録するもので、５ＭＨｚの信号はその振幅量によってグルーブの幅を広げることができる。ウォブルワイドグルーブは、グルーブの両方の側面がウォブルしている。上記特許に記載の方法を用いたＭＤディスクは、ウォブルワイドグルーブを用いているため、安定にＡＤＩＰ（Ａｄｄｒｅｓｓ　Ｉｎ　Ｐｒｅ−ｇｒｏｏｖｅ）　のウォブル信号を再生でき、また、ＭＯ信号を安定に記録再生ができる。
【０００６】
ＭＤのフォーマットの記録の場合、記録ビームの半径（Ｄ／２）以下の短い周期で多重露光するように、ウォブル（偏向）周波数の空間周波数を選定することでグルーブの幅を広げることができる。例えばＭＤでは、５ＭＨｚの偏向周波数で多重露光することで、幅広のグルーブが形成される。このようにしてグルーブの側面が細かい波状に多重露光することのないウォブルグルーブを形成することができる。すなわち、細かい波状を生じないために、線速度ｖ、偏向周波数ｆおよび記録ビーム径Ｄの関係が次の式（１）の関係を満足するようになされている。
【０００７】
ｖ・１／ｆ　≦　Ｄ／２　　　（１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
最近では、記録密度の高密度化にともない、記録ビーム径Ｄを小さくして微小なピットや、幅が狭いグルーブを形成するようになっている。また、高転送レート化にともない、線速度ｖが高速度化する。しかしながら、現状では、ウォブル（偏向）周波数は９ＭＨｚ程度が限界である。
【０００９】
例えばＣＤ−ＲＯＭに匹敵するような大容量化を目的として、データ専用のＭＤＤａｔａ２が提案されている。ＭＤＤａｔａ２は、ＭＤの４倍の密度とされている。ＭＤＤａｔａ２の場合、記録ビーム径Ｄが４００ｎｍ程度、線速度ｖが２．０ｍ／ｓであり、ウォブル周波数が９ＭＨｚの場合では、（１）式が下記の示されるものとなる。
【００１０】
ｖ・１／ｆ＝（２．０ｍ／ｓ）／９ＭＨｚ＝２２２ｎｍ＞２００ｎｍ（Ｄ／２）
【００１１】
このように、９ＭＨｚでは、式（１）の条件を満足することができなくなり、ウォブル周波数も９ＭＨｚ程度以上高くすることが困難であり、グルーブの側面が細かい波状になる問題があった。
【００１２】
この発明は、以上のような点を考慮して案出されたものであり、記録密度を高密度化にした場合でも、安定したウォブル信号の再生が可能で、また、安定した記録再生特性が可能な光記録媒体を提供することを目的としている。また、この発明は、そのような光記録媒体を製造することが可能な光記録媒体製造用原盤を提供することも目的としている。また、この発明は、そのような光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法を提供することも目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体である。
【００１４】
請求項３の発明は、ラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体である。
【００１５】
請求項４の発明は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されていることを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１６】
請求項６の発明は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成されることを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１７】
請求項７の発明は、光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、光記録媒体は、記録トラックに沿って低周波でウォブルしたグルーブが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしたグルーブが重畳されており、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生装置である。請求項９の発明は、低周波でウォブルしたグルーブのウォブル情報を再生すると共にグルーブにデータを記録再生することを特徴とする記録再生方法である。
【００１８】
請求項８の発明は、光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置であって、光記録媒体は、トラックに沿ってピットが形成されてなると共に、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでピット側面が細かい波状にウォブルしたピットが形成され、ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生装置である。請求項１０の発明は、ピット側面が細かい波状にウォブルしたピットを再生することを特徴とする記録再生方法である。
【００１９】
この発明に係る光記録媒体は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなると共に、多重露光するウォブルによりグルーブの側面が細かい波状になっても、光記録再生装置のカットオフ周波数以上の高周波の多重露光ウォブル周波数を用いることにより、グルーブ内の記録特性およびウォブルグルーブのウォブル信号再生特性を充分に得ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、この発明を適用した光磁気ディスクを例に挙げ、図面を参照しながら詳細に説明する。この発明を適用した光磁気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図１に示す。図１において、参照符号１が光磁気ディスクを示す。一例として、光磁気ディスクは、ＭＤＤａｔａ２の仕様のものである。
【００２１】
光磁気ディスク１は、円盤状に形成されてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が行われる。そして、この光磁気ディスク１は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）等からなるディスク基板２の上に、光磁気記録がなされる記録層３と、当該記録層３を保護する保護層４とが形成されてなる。ここで、記録層３は、例えば、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ａと、ＴｅＦｅＣｏ合金等からなる垂直磁気記録膜３ｂと、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ｃと、Ａｌ等からなる反射膜３ｄとが積層されたものである。また、保護層４は、例えば、記録層３の上に紫外線硬化樹脂がスピンコートされることで形成されている。なお、この発明において、記録層３や保護層４の構成は任意であり、本例に限定されるものではない。
【００２２】
この光磁気ディスク１（ＭＤＤａｔａ２）は、記録領域の一部を拡大した図１に示すように、光ピックアップ５によりピット部６が再生領域、ウォブルグルーブ７が光磁気記録によるデータの書き込みが可能な領域となっている。
【００２３】
また、この光磁気ディスク１において、トラックピッチＴＰｉｔｃｈは０．９５μｍとされ、同様に、書き込み可能領域ウォブルグルーブの幅は、０．６０μｍ程度とされている。現行のＭＤＤａｔａ２は、グルーブの幅０．６０μｍ程度、ランド幅０．６５μｍ程度であり、ランドが書き込み可能領域とされているが、この実施の形態では、０．６０μｍ程度の幅広のウォブルグルーブが書き込み可能領域とされる。さらに、ウォブルグルーブと同心円状のウォブルしていないグルーブとが交互に形成されたダブルスパイラルの構造とされている。
【００２４】
上述した光磁気ディスク１を製造する際には、光磁気ディスク１の原盤となる光記録媒体製造用原盤の作製にレーザカッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例について、図２を参照して詳細に説明する。
【００２５】
図２に示したレーザカッティング装置１０は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光して、当該フォトレジスト１２に潜像を形成するためのものである。このレーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによって平行移動される。
【００２６】
このレーザカッティング装置１０は、レーザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯＭ：Ｅ１ｅｃｔｒｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）１４と、電気光学変調器１４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検光子１５と、検光子１５を透過してきたレーザ光を反射光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタＢＳ１および第２のビームスプリッタＢＳ２と、第２のビームスプリッタＢＳ２を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）１６と、電気光学変調器１４に対して信号電界を印加して電気光学変調器１４から出射されるレーザ光強度を調整する光出力制御部（ＡＰＣ：Ａｕｔｏ　Ｐｏｗｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）１７とを備えている。
【００２７】
光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、ＡＰＣ１７から印加される信号電界によって駆動される電気光学変調器１４によって所定の光強度とされた上で検光子１５に入射される。ここで、検光子１５は、Ｓ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子１５を透過してきたレーザ光は、Ｓ偏光となる。
【００２８】
なお、光源１３には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源１３として好適である。
【００２９】
ビームスプリッタＢＳ１およびＢＳ２を透過したレーザ光は、フォトディテクタ１６によって、その光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテクタ１６からＡＰＣ１７に送られる。そして、ＡＰＣ１７は、フォトディテクタ１６によって検出される光強度が所定のレベルにて一定となるように、電気光学変調器１４に対して印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるように、フィードバック制御がなされ、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
【００３０】
光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ１およびミラーＭ１で反射され、移動光学テーブル１８上に水平に導かれ、偏向光学系（図２においてＯＤと示す）１８によって光学偏向が施された上でミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００３１】
偏向光学系１８は、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、偏向光学系１８に入射したレーザ光は、ウェッジプリズム１９を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：ＡｃｏｕｓｔｏＯｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）２０に入射し、この音響光学偏向器２０によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器２０に使用される音響光学素子としては、例えぱ、酸化テルル（ＴｅＯ２　）からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器２０によって光学偏向が施された第２のレーザ光は、ウエッジプリズム２１を介して偏向光学系１８から出射される。
【００３２】
なお、ウェッジプリズム１９、２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにすると共に、音響光学偏向器２０によってレーザ光に対して光学偏向を施したとしてもビーム水平高さが変わらないようにするためのものである。換言すれば、ウエッジプリズム１９、音響光学偏向器２０およびウエッジプリズム２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面がレーザ光に対してブラッグ条件を満たし、且つ偏向光学系１８から出射されるレーザ光のビーム水平高さが変わらないように配置される。
【００３３】
ここで、音響光学偏向器２０には、音響光学偏向器２０を駆動するための駆動用ドライバ２２が接続されている。駆動用ドライバ２２には、直流電圧と、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）２３からの高周波信号がアドレス情報を含む制御信号によりＦＭ変調された信号とが供給される。そして、ガラス基板１１上のフォトレジスト１２の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号が電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に入力され、当該信号に応じて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【００３４】
具体的には、例えば、周波数８４．６７２ｋＨｚにてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブにアドレス情報が付加される。この場合では、例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数を８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調した信号と９．０９１ＭＨｚを重畳した制御信号を、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給する。
【００３５】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、その結果、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置は、周波数８４．６７２ｋＨｚ＋９．０９１ＭＨｚ、振幅±２０ｎｍにて、ガラス基板１１の半径方向に振動される。９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量の変化でグルーブの幅を広げることができる。
【００３６】
そして、このような偏向光学系１８によって、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように光学偏向が施されたレーザ光は、ミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。レーザ光は、偏光ビームスプリッタＰＢＳによって反射されて、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラーＭ４によって反射されて対物レンズ２４へと導かれ、対物レンズ２４によってフォトレジスト膜１２上に集光される。
【００３７】
なお、レーザ光をフォトレジスト１２の上に集光するための対物レンズ２４は、より微細なルーブパターンを形成できるようにするために、開口数ＮＡが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適である。
【００３８】
さらに、光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ２およびミラーＭ２で反射され、ＨＷＰを介して偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。このレーザ光は、ウォブルグルーブを形成するためのレーザ光と半径方向で一定の間隔でフォトレジスト膜１２上に照射される。このレーザ光は、偏向されず、ウォブルしない同心円状のグルーブを形成するためのものである。ウォブルグルーブとウォブルしないグルーブとを形成するように、フォトレジスト膜１２の表面に対物レンズ２４がレーザ光を集光する。
【００３９】
フォトレジスト膜１２が露光され、フォトレジスト膜１２に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト膜１２が塗布されているガラス基板１１は、フォトレジスト膜１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、図示しない回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト膜１２の全面にわたって形成されることとなる。
【００４０】
前述の式（１）において、線速度ｖ＝２．００ｍ／ｓ、記録ビーム径Ｄ＝４００ｎｍとすると、偏向周波数ｆを１０ＭＨｚ以上にしないと、多重露光で形成されるグルーブの側面が細かい波状となる。一実施形態では、ｆ＝９．０９１ＭＨｚとしているので、細かい波状が生じる。この偏向周波数は、例えばクロックの周波数に等しいものであり、空間周波数は２２０ｎｍ（１Ｔ）になる。
【００４１】
以上のようなレーザカッティング装置１０では、９．０９１ＭＨｚのウォブル振幅量でグルーブの幅を広げることができ、８４．６７２ｋＨｚのウォブル信号で光学偏向（ウォブル）を施し、フォトレジスト１２の表面に集光され、レーザ光が高周波数９．０９１ＭＨｚで多重露光することでグルーブの幅を広げることができ、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブが形成される。
【００４２】
図３Ａは、この発明の一実施形態におけるウォブルグルーブの露光方法と偏向で多重露光する方法を模式的に示す。また、図３Ｂは、現像処理により形成される両側面が細かい波状のウォブルグルーブを示す。偏向を生じさせる制御信号は、ＦＭ変調したウォブルアドレス信号（８４．６７２ｋＨｚ）とグルーブの幅を広げる信号（９．０９１ＭＨｚ）の正弦波の重畳信号である。
【００４３】
次に、図１に示した光磁気ディスク１の製造方法について、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。光磁気ディスク１を作製する際は、先ず、原盤工程として、幅広かつ両側面のウォブル振幅量の異なるグルーブに対応した凹凸パターンを有する光記録媒体製造用原盤を、上述したレーザカッティング装置１０を用いて作製する。
【００４４】
この原盤工程においては、先ず、表面を研磨した円盤状のガラス基板１１を洗浄し乾燥させ、その後、このガラス基板１１上に感光材料であるフォトレジスト１２を塗布する。次に、このフォトレジスト１２をレーザカッティング装置１０によって露光し、両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００４５】
なお、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際、レーザカッティング装置１０の光源１３には、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザを使用し、レーザ光をフォトレジスト１２上に集光するための対物レンズ２４には、開口数ＮＡが０．９のものを使用した。また、拡大レンズＬ３には焦点距離が５０ｍｍのレンズを使用した。
【００４６】
レーザ光に対して、偏向光学系１８により光学偏向を施し、幅広かつ両側面のウォブル振幅量の異なるグルーブに対応した潜像がフォトレジスト１２に形成される。具体的には、電圧制御発振器２３から高周波信号を制御信号にて変調して駆動用ドライバ２２に供給し、この信号に基づいて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動して、当該音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これにより、レーザ光に対して光学偏向を施す。
【００４７】
なお、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際は、中心周波数２２４ＭＨｚの高周波信号を８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号と９．０９１ＭＨｚの重畳制御信号にて変調して、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給した。そして、この信号に基づいて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これにより、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置が、９．０９１ＭＨｚのウォブル周期で多重露光されグルーブ幅が広げられ、８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号に応じて両側面がウォブルするように光学偏向される。
【００４８】
そして、このように光学偏向を施したレーザ光を、対物レンズ２４によってフォトレジスト１２上に集光することにより、フォトレジスト１２を露光し、幅広で且つ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００４９】
具体的には、後述する評価用光磁気ディスクを作製する際、ガラス基板１１の回転速度は、レーザ光による光スポットとフォトレジスト１２との相対的な移動速度が線速２．００ｍ／ｓｅｃとなるようにした。そして、ガラス基板１１を１回転毎に０．９５μｍ（すなわちトラックピッチの分）だけ、移動光学テーブルによってガラス基板１１の半径方向に平行移動させた。
【００５０】
以上のようにしてフォトレジスト１２に潜像を形成した後、フォトレジスト１２が塗布されている面が上面となるように、ガラス基板１１を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス基板１１を回転させながら、フォトレジスト１２上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガラス基板１１上に幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンを形成する。
【００５１】
次に、凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス基板１１を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に３００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキをアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された面に残存しているフォトレジスト１２を除去する。
【００５２】
以上の工程により、ガラス基板１１上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記録媒体製造用原盤、すなわち、幅広で且つ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤（いわゆるスタンパ）が完成する。
【００５３】
次に、転写工程として、Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ法（２Ｐ法：光硬化法（光硬化樹脂を紫外線で硬化させる））を用いて、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。
【００５４】
具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポリメチルメタクリレート（屈折率１．４９）からなるベースプレートを使用する。
【００５５】
その後、紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離することにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２を作製する。
【００５６】
なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板２に転写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作製する例を挙げたが、ディスク基板２を量産するような場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板２を作製するようにしても良いことは言うまでもない。
【００５７】
次に、成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２上に記録層３および保護層４を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板２の凹凸パターンが形成された面上に、ＳｉＮ等からなる第１の誘電体膜３ａと、ＴｂＦｅＣｏ合金等からなる垂直磁気記録膜３ｂと、ＳｉＮ等からなる第２の誘電体膜３ｃとをスパッタリングによって順次成膜し、更に、第２の誘電体膜３ｃ上にＡｌ等からなる光反射膜３ｄを蒸着によって成膜する。その結果、第１の誘電体膜３ａ、垂直磁気記録膜３ｂ、第２の誘電体膜３ｃおよび光反射膜３ｄからなる記録層３が形成される。その後、記録層３上に紫外線硬化樹脂がスピンコート法により塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層４が形成される。以上の工程により、光磁気ディスク１が完成する。
【００５８】
つぎに、上述のような製造方法にて評価用光磁気ディスクを複数作製し、それらの評価を行った結果について説明する。
【００５９】
評価用光磁気ディスクの評価を行うにあたっては、先ず、両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した凹凸パターンの複数の光記録媒体製造用原盤を作製した。
【００６０】
そして、幅広かつ両側面が９．０９１ＭＨｚで細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した潜像を形成するため、レーザ光のパワーを１．２ｍＷ、１．５ｍＷ、１．９５ｍＷの範囲で変化させ、複数の光記録媒体製造用原盤のウォブルグルーブ幅を電子顕微鏡で測定した。グルーブ幅はそれぞれ、５７２ｎｍ、５９４ｎｍ、６１５ｎｍであった。
【００６１】
８４．６７２ｋＨｚのＦＭ変調アドレス信号の振幅量は±２０ｎｍ、９．０９１ＭＨｚで多重露光ウォブルの振幅量は±１００ｎｍでウォブルするように形成した。
【００６２】
そして、以上のようにして作製した複数の光記録媒体製造用原盤を用いて、上述したような２Ｐ法により、評価用光磁気ディスクＡを作製した。
【００６３】
また、多重露光の偏向の周波数をクロックの周波数９．０９１ＭＨｚの半分（４．５４５ＭＨｚ、空間周波数；４４０ｎｍ（２Ｔ））で多重露光した細かい波状にウォブルしたグルーブに対応した評価用光磁気ディスクＢを作製した。レーザ光のパワーを１．２ｍＷ、１．５ｍＷ、１．９５ｍＷの範囲で変化させ、複数の光記録媒体製造用原盤のグルーブ幅を電子顕微鏡で測定した。グルーブ幅はそれぞれ、５６１ｎｍ、５８３ｎｍ、６０６ｎｍであった。
【００６４】
そして、以上のように作製した各評価用光磁気ディスクＡ，Ｂについて、ウォブルアドレス信号の再生特性、光磁気記録膜の記録再生特性の測定した。なお、測定には、レーザ光の波長λが６５０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．５２の光ピックアップを用いた。
【００６５】
各評価用光磁気ディスクＡ，Ｂについて、すべてのグルーブ幅において、安定したウォブルアドレス信号の再生が可能であった。
【００６６】
また、一方の側面の振幅量±２０ｎｍ、磁気記録膜の記録再生特性（ジッター）は以下に示すように、充分に安定した記録再生特性を得た。
【００６７】
2004039011.tif 000003
【００６８】
2004039011.tif 000004
【００６９】
このように、空間周波数２２０ｎｍ（１Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしかつ８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブの評価用光磁気ディスクＡおよび空間周波数４４０ｎｍ（２Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしかつ８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブの評価用光磁気ディスクＢは、安定したウォブルアドレス信号の再生が可能であった。また、充分に安定した記録再生特性を得た。
【００７０】
空間周波数２２０ｎｍ（１Ｔ）や空間周波数４４０ｎｍ（２Ｔ）でグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であった。空間周波数２２０ｎｍや空間周波数４４０ｎｍのウォブルは、カットオフ周波数以上の高周波のウォブルである。カットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、８４．６７２ｋＨｚでウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。
【００７１】
カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０となる空間周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、２ＮＡ／λで表される。ＭＤＤａｔａ２の場合、ＮＡ＝０．５２、λ＝６５０ｎｍであるから、カットオフ周波数（２ＮＡ／λ）は１６００本／ｍｍであり、そのピッチは０．６２５μｍである。つまり、０．６２５μｍの周期より短い周期の微細なパターンを読み取ることができない。
【００７２】
換言すると、クロックの周波数９．０９１ＭＨｚ（１Ｔ；空間周波数２２０ｎｍ＝０．２２０μｍ）やクロックの周波数の半分の周波数４．５４５ＭＨｚ（２Ｔ；空間周波数４４０ｎｍ＝０．４４０μｍ）のカットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしてもウォブル再生信号振幅が０となるため、低周波（８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能である。
【００７３】
図４は、上述した光磁気ディスクを使用する記録再生装置の構成例を示す。図４において、参照符号３１が上述したように、側面が細かい波状にウォブルしているウォブルグルーブが形成された光磁気ディスクである。入力端子３２には、記録するデータが供給される。データ変調器３３は、入力データに対してディジタル変調を施す。例えばＲＬＬ（１，７）によって入力データが変調される。ＲＬＬ（１，７）では、最短マーク長が２Ｔで最長マーク長が８Ｔである。
【００７４】
データ変調器３３の出力データが記録ヘッド駆動部３４に供給される。記録ヘッド駆動部３４は、記録／再生部３５に含まれる記録ヘッドに変調データを供給する。記録／再生部３４には、光ピックアップが含まれている。記録時では、記録用のレーザ光を光ピックアップが光磁気ディスク３１に対して照射する。
【００７５】
また、光ピックアップは、光磁気ディスク３１からの反射光からトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号およびアドレス情報を含むウォブル信号を生成する。記録／再生部３５からのトラッキングエラー信号およびフォーカスエラー信号は、サーボ部３６に対して出力される。サーボ部３６は、記録／再生部３５内の光ピックアップのトラッキングおよびフォーカスを制御する制御信号、光磁気ディスク３１の回転を制御する制御信号、並びに光ピックアップのディスク径方向の移動を制御する制御信号を生成する。
【００７６】
ウォブル信号は、ウォブル信号検出部３７に出力される。ウォブル信号検出部３７は、現在記録または再生を行っているトラックが奇数番目か偶数番目かを判別し、トラック判別結果をアドレスデコーダ３８に対して出力すると共に、ウォブル信号からアドレス情報を復調し、アドレス情報をアドレスデコーダ３８に対して出力する。さらに、ウォブル信号検出部３７は、ウォブル信号から正弦波のキャリア信号を抽出し、サーボ部３６に対して抽出したキャリア信号を供給する。
【００７７】
アドレスデコーダ３８は、ウォブル信号検出部３７から供給されるアドレス情報信号およびトラック判別信号からアドレスを算出し、そのアドレスをシステムコントローラ３９に対して出力する。システムコントローラ３９は、アドレスデコーダ３８から供給されるアドレス情報にしたがって、所定の制御信号をサーボ部３６に出力すると共に、入力装置４０から所定の操作に対応する信号が供給されると、その操作に応じた制御信号をサーボ部３６に出力し、記録／再生部３５を制御するようになされている。
【００７８】
光磁気ディスク３１の光ピックアップによって読み出され、記録／再生部３５における処理によって得られた再生データがデータ復調器４１に供給される。データ復調器４１では、記録時に施されたディジタル変調例えばＲＬＬ（１，７）の復調処理がなされる。データ復調器４１の出力端子４２に対して再生データが取り出される。
【００７９】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能であり、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はできないような光記録媒体のいずれでもよい。
【００８０】
また、データの記録方法も特に限定されるものではなく、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、予めデータが書き込まれている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光記録媒体などのいずれでもよい。
【００８１】
また、この発明は、記録領域の少なくとも一部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグルーブが形成されていてもよいし、或いは、光磁気ディスクＡ，Ｂのように、グルーブが形成されることなくエンボスピットによってデータが記録されているような領域が記録領域内に存在していてもよい。
【００８２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明によれば、カットオフ周波数以上の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、低周波（例えば８４．６７２ｋＨｚ）でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であり、充分に安定した記録再生動作が可能である。また、クロックの周波数９．０９１ＭＨｚ（周期１Ｔ）やクロックの周波数の半分の周波数４．５４５ＭＨｚ（周期２Ｔ）の高周波のウォブルでグルーブ側面が細かい波状にウォブルしても、低周波でウォブルしたグルーブのウォブルアドレス信号の再生が可能であり、充分に安定した記録再生動作が可能である。
【００８３】
この発明によれば、多重露光するウォブルによりグルーブの側面が細かい波状であっても、安定したウォブル信号の再生が可能な光記録媒体を提供できる。また、この発明は、そのような光記録媒体を製造することが可能な光記録媒体製造用原盤を提供できる。また、この発明は、そのような光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法を提供することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を適用した光磁気ディスクの一例について、その要部を拡大して示す断面図である。
【図２】この発明を適用した光磁気ディスクの記録領域の一部を拡大して示す図である。
【図３】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す図である。
【図４】この発明を適用した光磁気ディスクに対して記録再生を行う記録再生装置の一例のブロック図である。
【符号の説明】
１・・・光磁気ディスク、２・・・ディスク基板、３・・・記録層、４・・・保護層、１０・・・レーザカッティング装置、１１・・・ガラス基板、・・・１２　フォトレジスト、１３・・・光源、１８・・・偏向光学系、２０・・・音響光学偏向器（ＡＯＤ）、１９，２１・・・ウェッジプリズム、２２・・・ドライバ、２３・・・電圧制御発振器（ＶＣＯ）、２４・・・対物レンズ
【図１】
2004039011.tif 000005
【図２】
2004039011.tif 000006
【図３】
2004039011.tif 000007
【図４】
2004039011.tif 000008