(57)【要約】【課題】第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することのできるチップ移載搬送装置を提案すること。【解決手段】チップ移載搬送装置１において、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でチップを受け渡す際、第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａは連通状態にあり、その上下は、第１のフランジ板１２、第１のプレート４１、搬送カバー３１、第２のフランジ板２２によって塞がれている。このため、第２の空気口２１ｂからの真空吸引によって、第１のチップ保持用凹部１１ａ内のチップＴを直接、第２のチップ保持用凹部２１ａに移載することができる。【選択図】　　　図２
2004115272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
間欠回転する円盤状の第１のインデックステーブルと、間欠回転する円盤状の第２のインデックステーブルと、前記第１のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第１のチップ保持用凹部から前記第２のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第２のチップ保持用凹部にチップを移載する移載手段とを有するチップ移載搬送装置において、
前記移載手段は、前記第１のチップ保持用凹部の内面で開口して当該第１のチップ保持用凹部内のチップを吸引保持するとともに、チップの移載時にはチップの移動方向に一致する方向に圧縮空気を噴射する第１の空気口を有することを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、前記移載手段は、さらに、前記第１のインデックステーブルと前記第２のインデックステーブルとのチップ受け渡し位置に到来した前記第１のチップ保持用凹部内、前記第２のチップ保持用凹部内、および前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部との間を外部と遮断する遮断手段と、前記第２のチップ保持用凹部の内面で開口して、チップの移載時およびチップ保持期間中、真空吸引を行う第２の空気口とを有することを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項３】
間欠回転する円盤状の第１のインデックステーブルと、間欠回転する円盤状の第２のインデックステーブルと、前記第１のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第１のチップ保持用凹部から前記第２のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第２のチップ保持用凹部にチップを移載する移載手段とを有するチップ移載搬送装置において、
前記第１のインデックステーブルと、前記第２のインデックステーブルとは近接配置されて、前記第１のインデックステーブルと前記第２のインデックステーブルとのチップ受け渡し位置では前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部が連通した状態となり、
前記移載手段は、前記チップ受け渡し位置に到来した前記第１のチップ保持用凹部および前記第２のチップ保持用凹部の上面および下面を覆う遮断手段と、前記第１のチップ保持用凹部内のチップに対する真空吸引あるいは圧縮空気の噴射により当該チップを前記第２のチップ保持用凹部側に移動させる推進力付与手段とを有することを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項４】
請求項３において、前記推進力付与手段は、前記第２のチップ保持用凹部の内面で開口して、チップの移載時およびチップ保持期間中、チップの真空吸引を行う空気口を備えていることを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項５】
請求項３または４において、前記第１のインデックステーブルの上面および下面のうちの一方には、少なくとも前記第１のチップ保持用凹部を覆う第１の補助板が一体に形成されている一方、前記第２のインデックステーブルの上面および下面のうちの他方には、少なくとも前記第２のチップ保持用凹部を覆う第２の補助板が一体に形成され、
前記第１の補助板および前記第２の補助板のうちの少なくとも一方は、前記遮断手段の一部として、他方側のインデックステーブルに形成された前記チップ保持用凹部を覆っていることを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項６】
請求項３または４において、前記第１のインデックステーブルの上面および下面のうちの一方には、少なくとも前記第１のチップ保持用凹部を覆う第１の補助板が一体に形成されている一方、前記第２のインデックステーブルの上面および下面のうちの他方には、少なくとも前記第２のチップ保持用凹部を覆う第２の補助板が一体に形成され、
前記第１の補助板および前記第２の補助板は、いずれも前記遮断手段として他方側のインデックステーブルに形成された前記チップ保持用凹部を覆っていることを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記第１のチップ保持用凹部から前記第２のチップ保持用凹部へのチップの移動を検出するセンサを有することを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかにおいて、前記チップ受け渡し位置では、前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部は、同じ高さ位置にあることを特徴とするチップ移載搬送装置。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれかにおいて、チップを同一姿勢を維持したまま、前記第１のチップ保持用凹部から前記第２のチップ保持用凹部へ移載することを特徴とするチップ移載搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ型の電子部品を２つのインデックステーブル間で移載するチップ移載搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
２つのインデックステーブル間で電子部品を受け渡しする機構については、従来、電子部品に対する検査装置などに用いられている（例えば、特許文献１参照）。但し、この文献に記載のものは、比較的大きな電子部品であるため、インデックステーブル間で直接、受け渡しすることができる。
【０００３】
従って、チップ型の電子部品（以下、チップという）を取り扱う場合には、図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、チップＴを円軌道で搬送する第１のインデックステーブル６１と、第１のインデックステーブル６１によって搬送されてきたチップＴを受け取り、円軌道で搬送する第２のインデックステーブル７１と、第１のインデックステーブル６１と第２のインデックステーブル７１との間でチップを受け渡す中間搬送部８１とを設けるのが一般的であり、中間搬送部８１は中間搬送部カバー８２で覆われている。ここで、第１のインデックステーブル６１は、プレート９１上に配置された円盤状の部材であり、外周面にチップＴを保持するための第１のチップ保持用凹部６１ａが形成されている。また、第２のインデックステーブル７１も、プレート９１上に配置された円盤状の部材であり、外周面にチップＴを保持するための第２のチップ保持用凹部７１ａが形成されている。また、第１のインデックステーブル６１は、その外周部分の一部および上面がサイドガイド６３およびカバー６２で覆われ、第２のインデックステーブル７１も、その外周部分の一部および上面がサイドガイド７３およびカバー７２で覆われている。
【０００４】
このように構成したチップ移載搬送装置１００において、第１のインデックステーブル６１の側では、チップ受け渡し位置において圧縮空気噴出孔９２が斜め上方に向けて開口し、第２のインデックステーブル７１の側では、チップ受け渡し位置において吸気孔９３が斜め上方に向けて開口している。
【０００５】
従って、圧縮空気噴出孔９２から圧縮空気を噴出する一方、吸気孔９３で吸気すれば、第１のチップ保持用凹部６１ａ内のチップＴが吹き上げられて中間搬送部８１を経由して第２のチップ保持用凹部７１ａに移動する。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−１３６４６３号公報（第３−５頁、図１−１０）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のチップ移載搬送装置１００は、以下の理由から、第１のインデックステーブル６１から第２のインデックステーブル７１へのチップＴの移載精度が低いという問題点がある。
【０００８】
まず、従来のチップ移載搬送装置１００では、圧縮空気噴出孔９２からの圧縮空気によってチップＴが斜め上方に吹き上げられるため、チップＴがカバー６２に貼り付いてしまうという問題点がある。また、圧縮空気噴出孔９２がインデックステーブル６１の半径方向内側にあると、圧縮空気噴出孔９２がインデックステーブル６１で覆われてしまい、そこから噴出した圧縮空気がインデックステーブル６１を吹き上げる状態になって、チップＴの推力が不足するという問題点がある。かといって、圧縮空気噴出孔９２を半径方向外側に配置すると、搬送中のチップＴが圧縮空気噴出孔９２に引っ掛かって、チップＴの電極部が剥がれたり、ボディに傷が付くなど、歩留まりを低下させるという問題が発生する。また、圧縮空気噴出孔９２から噴射された空気流の乱れにより、チップＴが第２のチップ保持用凹部７１ａ内で所定の姿勢で移載されないという問題点もある。
【０００９】
また、従来のように、中間搬送部８１を設けると、移動時間がかかるとともに、移動距離が長い分、チップＴに大きな推進力を加える必要があり、第２のインデックステーブル７１に強く突き当たったチップＴが跳ね返ってしまうという問題点がある。
【００１０】
さらに、プレート９１にチップＴが擦れ、そのときの摩擦により、チップＴが擦傷する、あるいはチップ稜線がダレて電気メッキが剥がれるという不具合が発生するという問題点がある。
【００１１】
さらにまた、チップ保持用凹部６１ａ、７１ａ内のチップＴの姿勢を安定する手段を有していないため、検査を行った際、検査結果にばらつきが発生しやすいという問題点もある。
【００１２】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することのできるチップ移載搬送装置を提案することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態では、間欠回転する円盤状の第１のインデックステーブルと、間欠回転する円盤状の第２のインデックステーブルと、前記第１のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第１のチップ保持用凹部から前記第２のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第２のチップ保持用凹部にチップを移載する移載手段とを有するチップ移載搬送装置において、前記移載手段は、前記第１のチップ保持用凹部の内面で開口して当該第１のチップ保持用凹部内のチップを吸引保持するとともに、チップの移載時にはチップの移動方向に一致する方向に圧縮空気を噴射する第１の空気口を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明では、チップの移載時、第１のチップ保持用凹部の内面で開口する第１の空気口がチップの移動方向に一致する方向に圧縮空気を噴射するため、チップは斜め上方に吹き上げられることなく、スムーズに第２のチップ保持用凹部に移動する。また、第１の空気口は、第１のチップ保持用凹部の内面で開口し、底面などで開口していないので、インデックステーブルで覆われることもない。従って、チップに十分な推力を付与することができる。それ故、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。また、搬送中のチップが空気口に引っ掛かってチップに傷が付くなどの問題も回避できる。さらに、第１のチップ保持用凹部内のチップは、第１の空気口による吸引保持により姿勢が保たれるので、第１のインデックステーブル側で検査を行った際、検査結果にばらつきが発生せず、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００１５】
本発明において、前記移載手段は、さらに、前記第１のインデックステーブルと前記第２のインデックステーブルとのチップ受け渡し位置に到来した前記第１のチップ保持用凹部内、前記第２のチップ保持用凹部内、および前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部との間を外部と遮断する遮断手段と、前記第２のチップ保持用凹部の内面で開口して、チップの移載時およびチップ保持期間中、真空吸引を行う第２の空気口とを有することが好ましい。このように構成すると、噴射された圧縮空気は、第２の空気口による吸引で排気されるので、空気流が乱れない。それ故、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。また、第２のチップ保持用凹部内のチップは、第２の空気口による吸引保持により姿勢が保たれるので、第２のインデックステーブル側で検査を行った際、検査結果にばらつきが発生せず、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００１６】
本発明の第２の形態では、間欠回転する円盤状の第１のインデックステーブルと、間欠回転する円盤状の第２のインデックステーブルと、前記第１のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第１のチップ保持用凹部から前記第２のインデックステーブルの外周縁に等角度間隔に複数、形成された第２のチップ保持用凹部にチップを移載する移載手段とを有するチップ移載搬送装置において、前記第１のインデックステーブルと、前記第２のインデックステーブルとは近接配置されて、前記第１のインデックステーブルと前記第２のインデックステーブルとのチップ受け渡し位置では前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部が連通した状態となり、前記移載手段は、前記チップ受け渡し位置に到来した前記第１のチップ保持用凹部および前記第２のチップ保持用凹部の上面および下面を覆う遮断手段と、前記第１のチップ保持用凹部内のチップに対する真空吸引あるいは圧縮空気の噴射により当該チップを前記第２のチップ保持用凹部側に移動させる推進力付与手段とを有することを特徴とする。
【００１７】
本発明では、第１のチップ保持用凹部と第２のチップ保持用凹部が連通した状態となるので、第１のチップ保持用凹部から第２のチップ保持用凹部にチップを直接、移載することができる。従って、チップに大きな推進力を加える必要がないので、第２のインデックステーブルにチップが強く突き当たって跳ね返ってしまうことがない。それ故、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。
【００１８】
本発明において、前記推進力付与手段は、前記第２のチップ保持用凹部の内面で開口して、チップの移載時およびチップ保持期間中、チップの真空吸引を行う空気口を利用することができる。このように構成すると、第２のチップ保持用凹部内のチップは、空気口による吸引保持により姿勢が保たれるので、第２のインデックステーブル側で検査を行った際、検査結果にばらつきが発生せず、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００１９】
本発明において、前記第１のインデックステーブルの上面および下面のうちの一方には、少なくとも前記第１のチップ保持用凹部を覆う第１の補助板が一体に形成されている一方、前記第２のインデックステーブルの上面および下面のうちの他方には、少なくとも前記第２のチップ保持用凹部を覆う第２の補助板が一体に形成され、前記第１の補助板および前記第２の補助板のうちの少なくとも一方は、前記遮断手段の一部として、他方側のインデックステーブルに形成された前記チップ保持用凹部を覆っていることが好ましい。このように構成すると、チップは、第１のチップ保持用凹部内において第１のチップ保持用凹部の内面および第１の補強板の内面に沿うように安定した姿勢で保持され、かつ、この状態から第２のインデックステーブルに安定した姿勢で移載されるので、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。
【００２０】
さらに本発明では、前記第１のインデックステーブルの上面および下面のうちの一方には、少なくとも前記第１のチップ保持用凹部を覆う第１の補助板が一体に形成されている一方、前記第２のインデックステーブルの上面および下面のうちの他方には、少なくとも前記第２のチップ保持用凹部を覆う第２の補助板が一体に形成され、前記第１の補助板および前記第２の補助板は、いずれも前記遮断手段として他方側のインデックステーブルに形成された前記チップ保持用凹部を覆っていることが好ましい。このように構成すると、第１の補助板および第２の補助板のみで遮断手段を構成できる。
【００２１】
本発明において、前記第１のチップ保持用凹部から前記第２のチップ保持用凹部へのチップの移動を検出するセンサを有することが好ましい。
【００２２】
本発明において、前記チップ受け渡し位置では、前記第１のチップ保持用凹部と前記第２のチップ保持用凹部は、同じ高さ位置にあることが好ましい。
【００２３】
本発明において、チップを同一姿勢を維持したまま、前記第１のチップ保持用凹部から前記第２のチップ保持用凹部へ移載することが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
［実施の形態１］
図１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の実施の形態１に係るチップ移載搬送装置を示す平面図、斜視図および断面図である。
【００２６】
図１に示すように、本形態のチップ移載搬送装置１は、チップＴを円軌道で搬送する第１のインデックステーブル１１と、この第１のインデックステーブル１１によってチップ受け渡し位置Ｔ２に搬送されてきたチップＴを、受け渡し位置Ｔ３で第１のインデックステーブル１１から受け取り、円軌道で搬送する第２のインデックステーブル２１と、第１のインデックステーブルと第２のインデックステーブルの間でチップを受け渡す中間搬送部５１とを備えている。チップＴの各種の接触検査あるいは非接触検査は、第１および第２のインデックステーブル１１、２１により搬送される間に行われる。
【００２７】
第１のインデックステーブル１１は、円盤状の部材であり、外周面にチップＴを保持するためのチップ保持用凹部１１ａが形成されている。また、第２のインデックステーブル２１は、円盤状の部材であり、外周面にチップＴを保持するためのチップ保持用凹部２１ａが形成されている。
【００２８】
第１のインデックステーブル１１および第２のインデックステーブル２１は、互いのチップ保持用凹部１１ａ、２１ａのうちの一つが向かい合いように、装置プレート４３の表面に水平に配置されている。
【００２９】
第１および第２のインデックステーブル１１、２１は、それぞれの中心軸をモータ等を利用した間欠駆動機構に連結され、互いに同期して回転する。この回転方向は、例えば、第１のインデックテーブル１１を反時計回り方向（矢印ＣＣＷの方向）とし、第２のインデックステーブル２１を時計回り方向（矢印ＣＷの方向）にして互いに逆回転となっている。なお、回転方向は、第１および第２のインデックステーブル１１、２１とも同一方向であってもよい。
【００３０】
第１のインデックステーブル１１には、チップ保持用凹部１１ａから半径方向に伸びる第１の通気口１１ｂが形成されている。この通気口１１ｂの先端は、第１のインデックステーブル１１の下面に第１のチップ保持用凹部１１ａと同一の角度間隔で形成された接続口１１ｃに連通している。各接続口１１ｃには、装置プレート４３に取付けられた不図示の電磁弁を切換えることにより、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧が供給されるようになっている。
【００３１】
第２のインデックステーブル２１には、チップ保持用凹部２１ａから半径方向に伸びる第２の通気口２１ｂが形成されている。この通気口２１ｂの先端は、第２のインデックステーブル２１の下面に、第２のチップ保持用凹部２１ａと同一の角度間隔で形成された接続口２１ｃに連通している。各接続口２１ｃには、装置プレート４３に取付けられた不図示の電磁弁を切換えることにより、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧が供給されるようになっている。
【００３２】
次に、中間搬送部５１は、装置プレート４３に取付けられたカバー５２によって通路部分５３が構成されている。この通路部分５３は、向い合う第１のチップ保持用凹部１１ａと第２のチップ保持用凹部２１ａにおける外周側開口と、等しい断面の角形筒状の通路となって、気密性が高い状態にある。
【００３３】
また、第１のインデックステーブル１１および第２のインデックステーブル２１には、中間搬送部５１を挟んで、それぞれ、第１のチップ保持用凹部１１ａと第２のチップ保持用凹部２１ａの上面開口を塞ぐ第１の搬送カバー３１１および第２の搬送カバー３１２が取付られている。また、中間搬送部５１を挟む第１のチップ保持用凹部１１ａおよび第２のチップ保持用凹部２１ａの下側開口は、装置プレート４３によって塞がれている。
【００３４】
このようにして、第１のチップ保持用凹部１１ａ、第２のチップ保持用凹部２１ａ、および第１のチップ保持用凹部１１ａと第２のチップ保持用凹部２１ａとの間は、カバー５２、第１の搬送カバー３１１、第２の搬送カバー３１２、および装置プレート４３からなる遮断手段によって外部から遮断されている。
【００３５】
また、装置プレート４３には、第２のチップ保持用凹部２１ａより回転中心側に、第２のチップ保持用凹部２１ａ内の吸引、排気を行うための通気路４４が形成されている。
【００３６】
第２の搬送カバー３１２の上方には、第２のチップ保持用凹部２１ａに移動したチップＴの移動を確認するための光センサからなる確認センサ３２が配置され、第２の搬送カバー３１２には、光透過窓２２ａが形成されている。
【００３７】
このように形成されたチップ移載搬送装置１では、前記の遮断手段、第１の通気口１１ｂ、第２の通気口２１ｂ、および通気路４４によって移載手段が構成され、この移載手段によって、第１のインデックステーブル１１から第２のインデックステーブル２１にチップＴを移載する。
【００３８】
それには、まず、不図示の部品フィーダから供給されたチップＴが第１のインデックステーブル１１の第１のチップ保持用凹部１１ａ、例えば、図１（Ａ）に示す投入位置Ｔ１に保持される。このチップＴには、第１のチップ保持用凹部１１ａの通気口１１ｂを介して真空吸引力が作用する。このため、チップＴは、チップ保持用凹部１１ａの回転中心側の面に吸着、保持される。この状態で第１のインデックステーブル１１の回転によって、第２インデックステーブル２１とのチップ受け渡し位置Ｔ２に向けて搬送される。
【００３９】
チップＴがチップ受け渡し位置Ｔ２に到着した時点で、第１の通気口１１ｂに接続された電磁弁を真空吸引力から圧縮空気圧に切換える。その結果、第１の通気口１１ｂからの圧縮空気の噴出作用により、チップＴは、中間搬送部５１に移動する。
【００４０】
ここで、第１の通気口１１ｂは、第１のチップ保持用凹部１１ａの半径方向内側の内面で水平方向に開口しており、圧縮空気の噴出方向とチップＴの搬送方向が合致している。このため、チップＴには水平方向の推力が付与される。さらに、受け渡し位置Ｔ２では、第１のチップ保持用凹部１１ａの上側開口および下側開口が第１の搬送カバー３１１および装置プレート４３によって塞がれて気密性が高いので、チップＴに圧縮空気による十分な推力が作用する。
【００４１】
第１のインデックステーブル１１から押し出されたチップＴは、高気密の中間搬送部５１を通過し、第２のインデックステーブル２１側の第２のチップ保持用凹部２１ａに向かう。また、装置プレート４３には、第２のチップ保持用凹部２１ａより回転中心側に、チップ保持用凹部２１ａ内の排気を行うための通気路４４が形成されているので、第１のインデックステーブル１１から噴射された圧縮空気の排気を行って、空気滞留による暴れを押さえた状態でチップＴを同一姿勢のままチップ保持用凹部２１ａに到達させることができる。従って、チップＴは、第１のインデックステーブル１１から第２のインデックステーブル２１へ、短手方向に回転することなく同一姿勢で移載される。
【００４２】
そして、受け取り位置Ｔ３に到達したチップＴには、第２のチップ保持用凹部２１ａに第２の通気口２１ｂを介して真空吸引力が作用して保持される。
【００４３】
しかる後に、第２のチップ保持用凹部２１ａに保持されたチップＴは、第２のインデックステーブル２１の回転により排出位置Ｔ４に向けて搬送される。その間に各種の接触検査あるいは非接触検査が行われる。
【００４４】
このように、本形態のチップ移載搬送装置１では、第１および第２のインデックステーブル１１、２１を離して配置し、その間に筒状の中間搬送部５１を配置している。中間搬送部５１は、角形筒状に形成され、気密性が高いので、第１のチップ保持用凹部１１ａから圧縮空気により押し出されたチップＴを第２のチップ保持用凹部２１ａに確実に移動させることができる。
【００４５】
また、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でのチップＴを受け渡す部分で、第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａにおける上側開口および下側開口、すなわち、チップＴの高さ方向の開口を第１の搬送カバー３１１、第２の搬送カバー３１２、装置プレート４３によって塞いでいる。このため、これらの第１の搬送カバー３１１、第２の搬送カバー３１２、装置プレート４３をガイドにして、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間で、チップＴの保持高さを一定にすることができる。また、チップＴを受け渡す部分の気密性が高いので、第１のチップ保持用凹部１１ａから中間搬送部５１を介してチップＴを同一姿勢のまま第２のチップ保持用凹部２１ａに確実に移動させることができる。
【００４６】
さらに、第１の通気口１１ｂは、第１のチップ保持用凹部１１ａの半径方向内側の内面で水平方向に開口しており、圧縮空気の噴出方向とチップＴの搬送方向が合致している。このため、チップＴには水平方向の推力が付与されるので、チップＴは、吹き上げられることなく、第２のチップ保持用凹部２１ａに向けて直進する。
【００４７】
しかも、チップＴが到達する側の第２のインデックステーブル２１には、第２のチップ保持用凹部２１ａ内の排気を行うための通気路４４が形成されているので、第１のインデックステーブル１１側から噴出された圧縮空気は、第２のチップ保持用凹部２１ａ内で乱流となることがないので、チップＴを確実に移載することができる。また、チップＴの移動を妨げるようなことがない。
【００４８】
この通気路４４は、第２のチップ保持用凹部２１ａより、第２のインデックステーブル２１の回転軸側に形成されている。このため、第２のチップ保持用凹部２１ａで保持されたチップＴが搬送される際に通る装置プレート４３の部分に、通気路４４の通気口などチップＴが嵌まって破損するような個所が形成されないので、チップＴをスムーズに搬送できる。
【００４９】
［実施の形態２］
図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明を適用したチップ移載搬送装置を示す平面図、斜視図および断面図である。なお、以下に説明する形態はいずれも、基本的な構成が実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの説明を省略する。
【００５０】
図２に示すように、本形態のチップ移載搬送装置１も、不図示の部品フィーダから供給されるチップＴを円軌道で搬送する第１のインデックステーブル１１と、この第１のインデックステーブル１１によって運ばれたチップＴを受け取り、円軌道で搬送する第２のインデックステーブル２１を備えている。チップＴには、これら第１および第２のインデックステーブル１１、２１により搬送される間に、各種の接触検査あるいは非接触検査が行われる。
【００５１】
第１のインデックステーブル１１は、円盤状の部材であり、外周面を等間隔に凹ませてチップＴを保持するための第１のチップ保持用凹部１１ａが複数、形成され、下面側を第１のプレート４１によって回転可能に支持されている。
【００５２】
第１のインデックステーブル１１の上面には、第１のインデックステーブル１１より大径の第１のフランジ板１２が同軸状に取付けられ、第１のチップ保持用凹部１１ａの上側開口を塞いでいる。また、第１のチップ保持用凹部１１ａの下側開口は、第１のプレート４１の表面によって塞がれている。
【００５３】
第２のインデックステーブル２１は、円盤状の部材であり、外周面を等間隔に凹ませることによりチップＴを保持するために複数の第２のチップ保持用凹部２１ａが形成され、下面側を第２のプレート４２によって回転可能に支持されている。
【００５４】
第２のインデックステーブル２１の下面には、第２のインデックステーブル２１より大径の第２のフランジ板２２が同軸状に取付けられて、第２のチップ保持用凹部２１ａの下側開口を塞いでいる。また、第２のインデックステーブル２１の上面のうち、第１のインデックステーブル１１の第１のチップ保持用凹部１１ａに向い合う第２のチップ保持用凹部２１ａの上側開口の部分は、第２のプレート４２に取付けられた搬送カバー３１で覆われている。また、この搬送カバー３１には、第２のチップ保持用凹部２１ａの上方に配置され、チップの移動を確認するための確認センサ３２の光透過窓３１ａが形成されている。
【００５５】
このようにして、本形態では、第１のフランジ板１２、第２のフランジ板２２、第１のプレート４１、および搬送カバー３１によって、チップ受け渡し位置に到来した第１のチップ保持用凹部１１ａ、および第２のチップ保持用凹部１２ａの上面および下面を覆う遮断手段が構成されている。
【００５６】
本形態において、第１のインデックステーブル１１および第２のインデックステーブル２１は、同一平面上で隣り合って回転している。第１および第２のインデックステーブル１１、２１は、それぞれの中心軸をモータ等を利用した間欠駆動機構に連結され、複数の第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａのうちの一つが向い合って、互いに同期して回転する。第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａは、向かい合った状態で連通し、チップＴの受け渡しが行われる。
【００５７】
第１のインデックステーブル１１の上面には、第１のチップ保持用凹部１１ａから半径方向に伸びる溝が掘り込まれ、第１のフランジ板１２を取付けることにより第１の通気口１１ｂが形成される。第１の通気口１１ｂの先端は、第１のインデックステーブル１１の下面に第１のチップ保持用凹部１１ａと同一の角度間隔で形成された接続口１１ｃに連通している。各接続口１１ｃには、第１のプレート４１に取付けられた不図示の電磁弁を切換えることにより、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧力が供給される。このため、第１の通気口１１ｂを介して、第１のチップ保持用凹部１１ａに、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧力が供給されて、チップＴが保持されたり、保持を解除される。
【００５８】
また、第２のインデックステーブル２１の下面には、第２のチップ保持用凹部２１ａから半径方向に伸びる溝が掘り込まれ、第２のフランジ板２２を取付けることにより第２の通気口２１ｂが形成される。第２の通気口２１ｂの先端は、第２のフランジ板２２の下面に、チップ保持用凹部２１ａと同一の角度間隔で形成された接続口２２ａに連通している。各接続口２２ａには、第２のプレート４２に取付けられた不図示の電磁弁を切換えることにより、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧が供給される。このため、第２の通気口２１ｂを介して、第２のチップ保持用凹部２１ａには、真空吸引力、大気圧力、圧縮空気圧力が供給されて、チップＴが保持されたり、保持を解除される。
【００５９】
このように形成されたチップ移載搬送装置１では、前記の遮断手段と、第２の通気口２１ｂからなる推進力付与手段とから移載手段が構成され、この移載手段によって、第１のインデックステーブル１１から第２のインデックステーブル２１へのチップＴの移載が行われる。
【００６０】
それには、まず、不図示の部品フィーダから供給されたチップＴが第１のインデックステーブル１１の第１のチップ保持用凹部１１ａ、例えば、図２（Ａ）に示す投入位置Ｔ１に保持される。このチップＴには、第１のチップ保持用凹部１１ａに第１の通気口１１ｂを介して真空吸引力が作用する。ここで、第１の通気口１１ｂは、チップ保持用凹部１１ａの上側開口を塞ぐ第１のフランジ板１２との間に形成されている。このため、チップＴは、チップ保持用凹部１１ａの回転中心側の面と第１のフランジ板１２の底面に対向する上面を接触させて、第１のインデックステーブル１１側に保持されて、第２のインデックステーブル２１の受け渡し位置Ｔ２に向けて搬送される。従って、チップＴは、投入位置Ｔ１から受け渡し位置Ｔ２に至る間に、第１のプレート４１の表面に接触することなく、搬送され、各種の接触検査あるいは非接触検査が行われる。
【００６１】
次に、受け渡し位置Ｔ２にチップＴが到着すると、第１の通気口１１ｂには、電磁弁を切換えて真空吸引力から大気圧力が供給される。これにより、チップＴに対する第１のチップ保持用凹部１１ａの保持が解除される。大気圧力の代わりに、圧縮空気を供給して、残真空破壊をしてチップＴの保持を解除してもよい。このようにして、真空吸引力が遮断されたチップＴには、第２のインデックテーブル２１側から第２の通気口２１ｂを介して真空吸引力が作用する。ここで、受け渡し位置Ｔ２に対向する第２のインデックステーブル２１側の第２のチップ保持用凹部２１ａは、上面開口が搬送カバー３１によって覆われて気密性が高い状態であるので、第１のインデックステーブル１１の受け渡し位置Ｔ２から第２のインデックステーブル２１の受け取り位置Ｔ３に確実にチップを吸引することができる。従って、チップＴは、第１のインデックステーブル１１から第２のインデックステーブル２１へ、短手方向に回転することなく同一姿勢で移載される。
【００６２】
そして、受け取り位置Ｔ３に吸引されたチップＴには、第２のチップ保持用凹部２１ａに第２の通気口２１ｂを介して真空吸引力が作用する。ここで、第２の通気口２１ｂは、チップ保持用凹部２１ａの下側開口を塞ぐフランジ２２との間に形成されている。このため、チップＴは、チップ保持用凹部２１ａの回転中心側の面と第２のフランジ２２の上面に対向する底面が接触して、第２のインデックステーブル２１側に保持されて、第２のインデックステーブル２１の排出位置Ｔ４に向けて搬送される。従って、チップＴは、受け取り位置Ｔ２から排出位置Ｔ４に至る間に、上面等が搬送カバー３１に接触することなく搬送され、その間に、各種の接触検査あるいは非接触検査が行われる。
【００６３】
このように、本形態のチップ移載搬送装置１では、第１のチップ保持用凹部１１ａと第２のチップ保持用凹部２１ａが連通した状態となるので、第１のチップ保持用凹部１１ａから第２のチップ保持用凹部２１ａにチップＴを直接、移載することができる。従って、チップＴに大きな推進力を加える必要がないので、第２のインデックステーブル２１にチップＴが強く突き当たって跳ね返ってしまうことがない。それ故、第１のインデックステーブル１１から第２のインデックステーブル２１にチップＴを精度よく移載することができる。
【００６４】
また、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でのチップＴを受け渡す部分で、第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａにおける上側開口および下側開口、すなわち、チップＴの高さ方向の開口が第１のプレート４１、第１のフランジ板１２、搬送カバー３１、第２のフランジ板２２によって塞がれている。このため、これらの第１のプレート４１、第１のフランジ板１２、搬送カバー３１、第２のフランジ板２２をガイドにして、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でチップＴを受け渡す際に、チップＴの保持高さを一定にすることができる。また、チップＴを受け渡す部分の気密性が高いので、第１のチップ保持用凹部１１ａのチップＴを第２のチップ保持用凹部２１ａに確実に吸引することができる。
【００６５】
また、チップＴの保持高さを揃えることができるので、第１および第２のインデックステーブル１１、２１に保持されているチップＴが、装置の固定部分に当たったり、摩擦により破損することを防止することができる。
【００６６】
［実施の形態３］
図３は、本例のチップ移載搬送装置を示す断面図である。なお、本形態、および後述する形態４、５、６の基本的な構成は、実施の形態２と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの説明を省略する。
【００６７】
図３に示すように、本形態のチップ移載搬送装置１は、チップＴを円軌道で搬送する第１のインデックステーブル１１と、この第１のインデックステーブル１１によって運ばれたチップＴを受け取り、円軌道で搬送する第２のインデックステーブル２１を備えている。これら第１および第２のインデックステーブル１１、２１により搬送される間に、チップＴの各種の接触検査あるいは非接触検査が行われる。
【００６８】
本形態においては、第２のインデックステーブル２１の下面に取付られる第２のフランジ板２２が第１のインデックステーブル１１に届くほど大径のものであり、第１のプレート４１が省略されている。このため、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でのチップＴを受け渡す部分で、第１のチップ保持用凹部１１ａにおける下側開口を第１のプレート４１の代わりに、第２のフランジ板２２によって塞いでいる。
【００６９】
このように構成されたチップ移載搬送装置１でも、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でのチップＴを受け渡す部分で、第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａにおける上側開口および下側開口、すなわち、チップＴの高さ方向の開口を第１のフランジ板１２、第２のフランジ板２２、搬送カバー３１によって塞いでいる。このため、これらの第１のフランジ板１２、第２のフランジ板２２、搬送カバー３１をガイドにして、第１および第２のインデックステーブル１１、２１の間でチップＴを受け渡す際に、チップＴの保持高さを一定にすることができる。また、チップＴを受け渡す部分の気密性が高まるので、第１のチップ保持用凹部１１ａのチップＴを第２のチップ保持用凹部２１ａに確実に吸引することができるなど、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００７０】
また、第２のインデックステーブル２１のフランジを大きく制作することにより、第１のプレート４１を小型にすること、あるいは省略することができる。
【００７１】
［実施の形態４］
同様に、図４に示すように、第１のインデックステーブル１１の側のフランジ１２を第２のインデックステーブル２１の側に向けて大きく制作することにより、搬送カバー３１を省略することができる。
【００７２】
［実施の形態５］
さらに、図５に示すように、第１のインデックステーブル１１の側のフランジ１２と、第２のインデックステーブル２１側のフランジとの双方を大きく制作するようにしてもよい。
【００７３】
［実施の形態６］
また、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１のインデックステーブル１１の上面に取付けた第１のフランジ板１２の下面に掘り込まれた溝と、第１のチップ保持用凹部１１ａの接続部分を面取りした斜面１３によって第１の通気口１１ｂを形成し、また、第２の下面に取付けた第２のフランジ板２２の上面に掘り込まれた溝と、第２のチップ保持用凹部の接続部分を面取りした斜面２３によって第２の通気口２１ｂを形成することもできる。
【００７４】
なお、上記の実施の形態１ないし６の移載搬送装置では、第１および第２のチップ保持用凹部１１ａ、２１ａを角形の凹形状に形成しているが、チップを同一姿勢で移載できる形状であれば、角形以外の形状にしてもよい。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の形態１では、チップの移載時、第１のチップ保持用凹部の内面で開口する第１の空気口がチップの移動方向に一致する方向に圧縮空気を噴射するため、チップは斜め上方に吹き上げられることなく、スムーズに第２のチップ保持用凹部に移動する。また、第１の空気口は、第１のチップ保持用凹部の内面で開口し、底面などで開口していないので、インデックステーブルで覆われることもない。従って、チップの十分な推力を付与することができる。それ故、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。また、搬送中のチップが空気口に引っ掛かってチップに傷が付くなどの問題も回避できる。さらに、第１のチップ保持用凹部内のチップは、第１の空気口による吸引保持により姿勢が保たれるので、第１のインデックステーブル側で検査を行った際、検査結果にばらつきが発生せず、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００７６】
また、本発明の形態２では、第１のチップ保持用凹部と第２のチップ保持用凹部が連通した状態となるので、第１のチップ保持用凹部から第２のチップ保持用凹部にチップを直接、移載することができる。従って、チップに大きな推進力を加える必要がないので、第２のインデックステーブルにチップが強く突き当たって跳ね返ってしまうことがない。それ故、第１のインデックステーブルから第２のインデックステーブルにチップを精度よく移載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の実施の形態１に係るチップ移載搬送装置を示す平面図、斜視図および断面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の実施の形態２に係るチップ移載搬送装置を示す平面図、斜視図および断面図である。
【図３】本発明の実施の形態３に係るチップ移載搬送装置を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態４に係るチップ移載搬送装置を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態５に係るチップ移載搬送装置を示す断面図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態６に係るチップ移載搬送装置を示す断面図、および拡大断面図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、従来のチップ移載搬送装置を示す平面図、斜視図および断面図である。
【符号の説明】
１　　　チップ移載搬送装置
１１　　第１のインデックステーブル
１１ａ　第１のチップ保持用凹部
１１ｂ　第１の通気口
１２　　第１のフランジ板
２１　　第２のインデックステーブル
２１ａ　第２のチップ保持用凹部
２１ｂ　第２の通気口
２２　　第２のフランジ板
３１　　搬送カバー
３２　　確認センサ
４１　　第１のプレート
４２　　第２のプレート
４３　　装置プレート
４４　　通気路
５１　　中間搬送部
５２　　カバー
３１１　第１の搬送カバー
３１２　第２の搬送カバー
Ｔ　　　チップ
【図１】
2004115272.tif 000003
【図２】
2004115272.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004115272.tif 000006
【図５】
2004115272.tif 000007
【図６】
2004115272.tif 000008
【図７】
2004115272.tif 000009