(57)【要約】【課題】短時間のうちに非破壊で良否を判定することのできる電気光学装置用パネルの検査方法、電気光学装置の製造方法、この方法で製造した電気光学装置並びに電子機器を提供すること。【解決手段】電気光学装置を製造する際、パネルを検査装置５００の耐圧容器２５０において、二酸化炭素を超臨界にした検査用流体中に保持する。パネルのシール材や封止材に欠陥があると、そこからシール材の内部、封止材の内部、さらにはパネル内に二酸化炭素が侵入するので、常圧に戻したとき気泡が発生し、不具合があることを検査することができる。【選択図】　　　図７
2004109821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シール材によって所定の間隔を介して貼り合わされた一対の基板間に電気光学物質が保持されてなる電気光学装置用パネルの検査方法において、
前記電気光学装置用パネルを超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に保持した後、当該電気光学装置用パネルの変化を確認して電気光学装置用パネルの良否を検査することを特徴とする電気光学装置用パネルの検査方法。
【請求項２】
請求項１において、前記電気光学装置用パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記電気光学装置用パネルの変化として、前記シール材の様子を確認することを特徴とする電気光学装置用パネルの検査方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記電気光学装置用パネルを製造する際には、前記一対の基板の少なくとも一方に対して一部に途切れ部分を有するように前記シール材を塗布した後、当該シール材を介して前記一対の基板を貼り合わせ、次に前記シール材の途切れ部分から当該シール材で区画された領域内に前記電気光学物質を充填した後、前記途切れ部分を封止材で塞ぐことを特徴とする電気光学装置用パネルの検査方法。
【請求項４】
請求項３において、前記電気光学装置用パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記電気光学装置用パネルの変化として、前記封止材の様子を確認することを特徴とする電気光学装置用パネルの検査方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記電気光学物質は、液晶であることを特徴とする電気光学装置用パネルの検査方法。
【請求項６】
シール材によって所定の間隔を介して貼り合わされた一対の基板間に電気光学物質が保持されているパネルを備えた電気光学装置の製造方法において、
前記パネルの検査工程では、製造ロット中の一部あるいは全数のパネルを超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に保持した後、当該パネルの変化を確認して当該パネルおよび当該製造ロットの良否を検査することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６において、前記パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記パネルの変化として、前記シール材の様子を確認することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７において、前記パネルを製造する際には、前記一対の基板の少なくとも一方に対して一部に途切れ部分を有するように前記シール材を塗布した後、当該シール材を介して前記一対の基板を貼り合わせ、次に前記シール材の途切れ部分から当該シール材で区画された領域内に前記電気光学物質を充填した後、前記途切れ部分を封止材で塞ぐことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項８において、前記パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記パネルの変化として、前記封止材の様子を確認することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６ないし９のいずれかにおいて、前記電気光学物質は、液晶であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項６ないし１０のいずれかに規定する製造方法で製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に規定する電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置用パネルの検査方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。さらに詳しくは、電気光学装置に用いたパネルに対する検査技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯型コンピュータ、ビデオカメラ等といった電子機器の表示部として、液晶装置などの電気光学装置が広く用いられている。この液晶装置を製造するにあたっては、例えば、ガラス基板などといった一対の大型基板の各々に半導体プロセスを利用して電極パターンなどを形成した後、当該一対の大型基板を貼り合せて空の大型パネル構造体とする。次に、この大型パネル構造体を短冊状のパネル構造体に切断して注入口を開口させ、この注入口から電気光学物質としての液晶を注入した後、注入口に封止材を塗布して封止する。次に、短冊状のパネル構造体を単品の液晶装置サイズに切断する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようにして製造した電気光学装置用のパネルにおいて、シール材および封止材は、液晶を外気と完全に遮断して経時的な変化を防止するという重要な機能を担っている。そこで、シール材および封止材の信頼性を評価する場合、従来は、パネルを所定湿度雰囲気内の保持する耐湿試験、あるいはヒートショック試験などの加速試験を行っている。このような加速試験によれば、例えば、数年に相当する信頼性を１０００時間程度で評価できる。
【０００４】
一方、液晶装置用のパネルの処理に超臨界の二酸化炭素を用いる技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１８２１８０号公報（第５頁―第６頁、図１）
【特許文献２】
特開２００１−２３５７１８号公報（第４頁―第５頁、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、パネルの信頼性を評価するのに１０００時間もの時間を要しているのでは、材料などの開発を行うための評価としては時間がかかり過ぎるという問題点がある。また、従来の加速試験はいずれも、時間がかかるとともに、破壊試験に近いものであるため、電気光学装置の製造工程においてパネルの検査工程や工程管理として実施できるものではない。
【０００７】
一方、特許文献２に開示の技術は、あくまでパネルをリサイクルするものであるが、本願発明者は、超臨界の二酸化炭素を用いる技術を液晶パネルの検査に適用することを提案する。
【０００８】
すなわち、本発明の課題は、短時間のうちに非破壊で良否を判定することのできる電気光学装置用パネルの検査方法、電気光学装置の製造方法、この方法で製造した電気光学装置並びに電子機器を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、シール材によって所定の間隔を介して貼り合わされた一対の基板間に電気光学物質が保持されている電気光学装置用パネルの検査方法において、前記電気光学装置用パネルを超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に保持した後、当該電気光学装置用パネルの変化を確認して電気光学装置用パネルの良否を検査することを特徴とする。
【００１０】
本発明において、前記電気光学装置用パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記電気光学装置用パネルの変化として、例えば、前記シール材の様子を確認する。
【００１１】
超臨界流体、あるいは亜臨界流体は、液体に近い密度であるため、物質をよく溶かすとともに、気体に近い性質も有しているため、狭い隙間まで入り込む。また、温度や圧力で密度を制御できるので、隙間などへの侵入のしやすさも任意に設定することができる。このため、超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に電気光学装置用のパネルを保持した際、シール材の材料あるいは硬化条件などに不具合があってシール材に欠陥があると、この欠陥部分からシール材中、さらにはパネル内に二酸化炭素が入り込むため、常圧に戻したときのパネル内に気泡が発生する。あるいは、シール材の内部で気泡が発生する。それ故、パネルを検査雰囲気中に保持した後、このような気泡があれば、パネルにおいてシール材に不具合があったことを確認でき、従来の加速試験と比較して、本発明に係る検査は、短い時間で加速試験を行うことができる。また、二酸化炭素の超臨界流体、あるいは亜臨界流体は、常圧に戻すと気体になるので、不具合のないパネルは、検査後、もとの状態のままである。それ故、本発明に係る検査方法は、良品に対しては非破壊試験であるため、パネルの検査や工程管理として用いることができる。
【００１２】
すなわち、電気光学装置の製造方法において、パネルの検査工程として、製造ロット中の一部あるいは全数のパネルを超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に保持した後、パネルの変化を確認してパネルあるいは製造ロットの良否を検査すればよい。さらに、二酸化炭素は、毒性および引火性がないので、安全であり、かつ、低コストである。
【００１３】
本発明において、前記電気光学装置用パネルを製造する際には、前記一対の基板の少なくとも一方に対して一部に途切れ部分を有するように前記シール材を塗布した後、当該シール材を介して前記一対の基板を貼り合わせ、次に前記シール材の途切れ部分から当該シール材で区画された領域内に前記電気光学物質を充填した後、前記途切れ部分を封止材で塞ぐ。
【００１４】
この場合、前記電気光学装置用パネルを前記検査雰囲気中に保持したことによる前記電気光学装置用パネルの変化として、前記封止材の様子を確認してもよい。
【００１５】
本発明において、前記電気光学物質は、例えば、液晶である。
【００１６】
本発明に係る方法で製造した電気光学装置は、携帯電話機、モバイルコンピュータなどといった電子機器に用いられる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下に実施形態を説明するにあたっては、各種の電気光学装置のうち、パッシブマトリクス方式の液晶装置の製造工程に本発明を適用した例に説明する。
【００１８】
（電気光学装置の構成）
図１および図２はそれぞれ、本発明を適用した電気光学装置としての液晶装置の斜視図、および分解斜視図である。図３（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した液晶装置を図１のＩ−Ｉ′線で切断したときのＩ′側の端部の断面図、および封止材を通る部分で切断したときの断面図である。なお、図１および図２には、電極パターンおよび端子などを模式的に示してあるだけであり、実際の液晶装置では、より多数の電極パターンや端子が形成されている。
【００１９】
図１および図２において、本形態の電気光学装置１は、携帯電話などの電子機器に搭載されているパッシブマトリクスタイプの液晶表示装置である。この電気光学装置１に用いたパネル１′において、所定の間隙を介してエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂からなるシール材３０によって貼り合わされた矩形の無アルカリガラス、耐熱ガラス、石英ガラスなどのガラス基板からなる一対の基板１０、２０間には、シール材３０によって液晶封入領域３５が区画されているとともに、この液晶封入領域３５内に電気光学物質としての液晶３６が封入されている。
【００２０】
ここで、シール材３０は、基板間に液晶３６を注入するための注入口３１として一部が途切れているが、この注入口３１は、基板間に液晶３６を注入した後、塗布、光硬化されたアクリル樹脂などからなる封止材３２で塞がれている。
【００２１】
従って、図３（Ａ）、（Ｂ）から分かるように、パネル１′において、第１の器基板１０と第２の基板２０との間ではシール材３０が露出し、かつ、パネル１′の側面では封止材３２が露出した状態にある。
【００２２】
ここに示す電気光学装置１は透過型の例であり、図１および図２に示すように、第２の基板２０の外側表面に偏光板６１が貼られ、第１の基板１０の外側表面にも偏光板６２が貼られている。また、第２の基板２０の外側にはバックライト装置９が配置されている。
【００２３】
第１の基板１０には、図３（Ａ）に示すように、第１の電極パターン４０と第２の電極パターン５０との交点に相当する領域に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂが形成され、これらのカラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂの表面側に絶縁性の平坦化膜１３、第１の電極パターン４０および配向膜１２がこの順に形成されている。また、各カラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂの境界部分には、各カラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂの下層側に遮光膜１６が形成されている。これに対して、第２の基板２０には、第２の電極パターン５０、オーバーコート膜２９、および配向膜２２がこの順に形成されている。
【００２４】
本形態の電気光学装置１において、第１の電極パターン４０および第２の電極パターン５０はいずれも、ＩＴＯ膜（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）に代表される透明導電膜によって形成されている。なお、第２の電極パターン５０の下に絶縁膜を介してパターニングされたアルミニウム等の膜を薄く形成すれば、半透過・半反射型の液晶装置を構成できる。さらに、偏向板６１に半透過反射板をラミネートすることでも半透過・半反射型の電気光学装置１を構成できる。さらにまた、第２の電極パターン５０の下に反射性の膜を配置すれば、反射型の液晶装置を構成でき、この場合には、第２の基板２０の裏面側からバックライト装置９を省略すればよい。
【００２５】
（電極パターンおよび端子の構成）
再び図１および図２において、本形態の電気光学装置１では、外部からの信号入力および基板間の導通のいずれを行うにも、第１の基板１０および第２の基板２０の同一方向に位置する各基板辺１０１、２０１付近に形成されている第１の端子形成領域１１および第２の端子形成領域２１が用いられる。従って、第２の基板２０としては、第１の基板１０よりも大きな基板が用いられ、第１の基板１０と第２の基板２０とを貼り合わせたときに第１の基板１０の基板辺１０１から第２の基板２０が張り出す部分２５を利用して、駆動用ＩＣ７００をＣＯＦ実装したフレキシブル基板９０の接続などが行われる。
【００２６】
第１の基板１０において、第１の端子形成領域１１は第１の基板１０の基板辺１０１の中央部分に沿って形成され、この第１の端子形成領域１１では、基板辺１０１に沿って複数の第１の基板間導通用端子６０が所定の間隔をもって並んでいる。また、第１の基板１０では、第１の基板間導通用端子６０から対向する基板辺１０２に向かって複数列の液晶駆動用の第１の電極パターン４０が両側に斜めに延びた後、液晶封入領域３５内で基板辺１０１、１０２に直交する方向に延びている。
【００２７】
第２の基板２０において、第２の端子形成領域２１も基板辺２０１に沿って形成され、第２の端子形成領域２１には、その中央領域で基板辺２０１に沿って所定の間隔をもって並ぶ複数の第１の外部入力用端子８１、およびこれらの第１の外部入力用端子８１が形成されている領域の両側２箇所で基板辺２０１に沿って所定の間隔をもって並ぶ複数の第２の外部入力用端子８２が形成されている。ここで、第１の外部入力用端子８１からは、第１の基板１０と第２の基板２０とを貼り合わせたときに第１の基板間導通用端子６０と重なる複数の第２の基板間導通用端子７０が基板辺２０２に向かって直線的に延びている。これに対して、第２の外部入力用端子８２からは、第１の基板１０と第２の基板２０とを貼り合わせたときに第１の電極パターン４０の形成領域の両側に相当する領域を回り込むように複数列の液晶駆動用の第２の電極パターン５０が形成され、これらの第２の電極パターン５０は、液晶封入領域３５内において第１の電極パターン４０と交差するように延びている。
【００２８】
従って、第１の基板１０と第２の基板２０とをシール材３０を介して貼り合わせる際に、シール材３０にギャップ材および導通材を配合しておくとともに、シール材３０を第１の基板間導通用端子６０および第２の基板間導通用端子７０が重なる領域にも形成しておくと、導電材は、第１の基板１０と第２の基板２０との間で押し潰された状態で第１の基板間導通用端子６０と第２の基板間導通用端子７０とを導通させる。また、この状態で、第１の電極パターン４０と第２の電極パターン５０との交差部分によって画素がマトリクス状に形成されるため、第２の基板２０の第２の端子形成領域２１の基板辺２０１側の端部に対してフレキシブル基板９０を異方性導電材などを用いて実装した後、このフレキシブル基板９０を介して第２の基板２０の第１の外部入力用端子８１および第２の外部入力用端子８２に信号入力すると、第２の基板２０に形成されている第２の電極パターン５０には第２の外部入力用端子８２を介して走査信号を直接、印加することができ、かつ、第１の基板１０に形成されている第１の電極パターン４０には、第１の外部入力用端子８１、第２の基板間導通用端子７０、導通材および第１の基板間導通用端子６０を介して画像データを信号入力することができる。よって、これらの画像データおよび走査信号によって、各画素５において第１の電極パターン４０と第２の電極パターン５０との間に位置する液晶の配向状態を制御することができるので、所定の画像を表示することができる。
【００２９】
（電気光学装置１の製造方法）
図４、および図５（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ、電気光学装置１の製造方法を示す工程図、およびこれらの各工程への仕掛途中品の様子を示す説明図である。
【００３０】
図４、および図５（Ａ）、（Ｂ）において、本形態の電気光学装置１を製造するにあたって、第１の基板１０および第２の基板２０はいずれも、これらの基板１０、２０を各々、多数枚取りできる大型基板１００、２００の状態で、半導体プロセスを利用して電極パターン４０、５０などの形成工程が行われる。すなわち、第１の基板１０を多数枚取りできる大型基板１００の状態で、遮光膜１６の形成工程ＳＴ１１、カラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂの形成工程ＳＴ２、平坦化膜１３の形成工程ＳＴ１３、電極パターン４０の形成工程ＳＴ１４、配向膜１２の形成・ラビング工程、シール材３０の塗布工程が行われる。
【００３１】
また、第２の基板２０を多数枚取りできる大型基板２００の状態で、電極パターン５０の形成工程ＳＴ２１、オーバコート膜２９の形成工程ＳＴ２２、配向膜２２の形成・ラビング工程ＳＴ２３、ギャップ材の散布工程ＳＴ２４が行われる。
【００３２】
そして、貼合せ工程ＳＴ３１において、図５（Ｃ）に示すように、大型基板１００、２００同士をシール材３０によって貼り合せて、大型のパネル構造体３００を形成した後、１次ブレイク工程ＳＴ３２において、大型のパネル構造体３００を、図５（Ｄ）に示す短冊状のパネル構造体４００に切断して注入口３１を開口させる。
【００３３】
次に、液晶封入・封止工程ＳＴ３３において、短冊状のパネル構造体４００の内部に液晶３６を注入した後、注入口３１を封止材３２で封止し、次に、１次ブレイク工程ＳＴ３４において、短冊状のパネル構造体４００を、図１に示すように、単品のパネル１′に切断し、しかる後、実装工程ＳＴ３５で、単品のパネル１′に対してフレキシブル基板９０を実装する。
【００３４】
（検査方法および検査装置）
このような製造方法において、シール材３０や封止材３２に不具合があると、電気光学装置１の信頼性が低下してしまう。そこで、本形態の電気光学装置１の製造工程では、例えば、図４および図５に示す２次ブレイク工程ＳＴ３４の後の単品のパネル１′について、製造ロット中の一部あるいは全数のパネル１′を、以下にの方法で検査する。
【００３５】
図６は、二酸化炭素の相平衡図であり、図７は、本形態で使用する検査装置の構成を模式的に示す説明図である。
【００３６】
図６において、二酸化炭素は、臨界温度が３１．１℃、臨界圧力が７．４ＭＰａであり、それを越えた斜線領域で示す条件下では、超臨界流体となる。また、圧力−温度状態図において臨界点付近では、亜臨界流体となる。
【００３７】
本形態では、二酸化炭素を所定の温度および圧力にして超臨界または亜臨界の二酸化炭素を検査用流体によって検査雰囲気を形成し、この検査雰囲気中にパネル１′を保持してパネル１′の検査を行う。
【００３８】
このような検査を行うために、図７に示す検査装置５００には、二酸化炭素が充填されたボンベ５１０と、このボンベ５１０から供給されてくる二酸化炭素を２、３℃にまで冷却するための冷却器５２０と、冷却された二酸化炭素を加圧する加圧器５３０と、加圧された二酸化炭素を所定の温度、例えば、４０℃〜５０℃にまで加熱して二酸化炭素を超臨界流体とする加熱器５４０と、この加熱器５４０による加熱によって超臨界流体とされた二酸化炭素が、４０℃〜５０℃の温度で１５ＭＰａ〜２０ＭＰａの圧力の検査用流体として供給されてくる耐圧容器５５０とが設けられており、この耐圧容器５５０においては、ヒータ（図示せず）によって検査用流体が４０℃〜５０℃に保持されるようになっている。
【００３９】
また、本形態の検査装置５００では、耐圧容器５５０からの排出管に減圧器５６０が接続されており、耐圧容器５５０から排出される検査用流体は、この減圧器５６０で徐々に減圧された後、分離器５７０に供給される。検査用流体として用いた超臨界の二酸化炭素は、パネル１′に付着している液晶などを溶解可能な洗浄剤としての性質を有しているため、検査の際にパネル１′から検査用流体に溶け込んだ液晶などは、分離器５７０で検査用流体と分離、回収される。
【００４０】
このように構成した検査装置５００を用いてパネル１′を検査するには、パネル１′を耐圧容器５５０で検査用流体に所定時間、浸漬する。ここで、超臨界流体は、液体に近い密度であるため、物質をよく溶かすことができるとともに、気体に近い性質も有しているため、狭い隙間まで入り込む。しかも、温度や圧力で密度を制御できるので、隙間などへの侵入のしやすさも任意に設定することができる。
【００４１】
このため、超臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中にパネル１′を保持した際、シール材３０あるいは封止材３２の材料あるいは硬化条件などに不具合があってシール材３０や封止材３２に欠陥があると、この欠陥部分からシール材３０や封止材３２の内部、さらにはパネル１′内に二酸化炭素が入り込む。このため、常圧に戻したとき、パネル１′の内部、あるいはシール材３０や封止材３２の内部で気泡が発生する。
【００４２】
さらに、このような不具合があってパネル１′内に大きな圧力変化があったとき、カラーフィルタ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂを構成する樹脂に未硬化成分があれば、このような成分も気泡を形成する。
【００４３】
それ故、パネル１′を検査雰囲気中に保持して常圧に戻した際、このような気泡があれば、パネル１′においてシール材３０や封止材３２およびカラーフィルタを構成する樹脂に不具合があったことを確認でき、従来の加速試験と比較して、本発明に係る検査方法は、短い時間で加速試験を行うことができる。また、二酸化炭素の超臨界流体、あるいは亜臨界流体は、常圧に戻すと気体になるので、不具合のないパネル１′は、検査後、もとの状態のままである。それ故、本発明に係る検査方法は、良品に対しては非破壊試験であるため、パネル１′の検査や工程管理として用いるのに適している。
【００４４】
しかも、二酸化炭素は、毒性および引火性がないので、安全であり、かつ、低コストである。それ故、電気光学装置１の製造工程において、パネル１′の検査に用いるのに適している。
【００４５】
［その他の実施の形態］
上記形態では、超臨界の二酸化炭素を検査用流体として用いたが、図６に示す圧力−温度状態図において、二酸化炭素を臨界点付近に条件設定した亜臨界流体を検査用流体として用いてもよい。
【００４６】
さらに上記の実施形態では、パッシブマトリクス型の電気光学装置１の製造に本発明を適用した例を説明したが、能動素子としてＴＦＤ素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置、あるいは能動素子として薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置等々、各種の電気光学装置の製造に本発明を適用してもよい。
【００４７】
［電子機器の実施形態］
図８は、本発明に係る電気光学装置（電気光学装置１）を各種の電子機器の表示装置として用いる場合の一実施形態を示している。ここに示す電子機器は、表示情報出力源７０、表示情報処理回路７１、電源回路７２、タイミングジェネレータ７３、そして液晶装置７４を有する。また、液晶装置７４は、液晶表示パネル７５および駆動回路７６を有する。液晶装置７４および液晶パネル７５としては、前述した電気光学装置１、および単品のパネル１′を用いることができる。
【００４８】
表示情報出力源７０は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）等といったメモリ、各種ディスク等といったストレージユニット、デジタル画像信号を同調出力する同調回路等を備え、タイミングジェネレータ７３によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等といった表示情報を表示情報処理回路７１に供給する。
【００４９】
表示情報処理回路７１は、シリアル−パラレル変換回路や、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等といった周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像信号をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路７６へ供給する。電源回路７２は、各構成要素に所定の電圧を供給する。
【００５０】
図９（Ａ）は、本発明に係る電子機器の一実施形態であるモバイル型のパーソナルコンピュータを示している。ここに示すパーソナルコンピュータ８０は、キーボード８６を備えた本体部８７と、液晶表示ユニット８８とを有する。液晶表示ユニット８８は、前述した電気光学装置１を含んで構成される。
【００５１】
図９（Ｂ）は、本発明に係る電子機器の他の実施形態である携帯電話機を示している。ここに示す携帯電話機９０は、複数の操作ボタン９１と電気光学装置１を有している。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明において、超臨界または亜臨界の二酸化炭素からなる検査雰囲気中に電気光学装置用のパネルを保持した際、シール材の材料あるいは硬化条件などに不具合があってシール材に欠陥があると、この欠陥部分からシール材中、さらにはパネル内に二酸化炭素が入り込むため、常圧に戻したときのパネルやシール材の内部で気泡が発生する。従って、パネルにおいてシール材に不具合があったことを確認でき、従来の加速試験と比較して、本発明に係る検査は、短い時間で加速試験を行うことができる。また、二酸化炭素の超臨界流体、あるいは亜臨界流体は、常圧に戻すと気体になるので、不具合のないパネルは、検査後、もとの状態のままである。それ故、本発明に係る検査方法は、良品に対しては非破壊試験であるため、パネルの検査や工程管理として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用される液晶装置の斜視図である。
【図２】図１に示す液晶装置の分解斜視図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図１に示す液晶装置を図１のＩ−Ｉ′線で切断したときのＩ′側の端部の断面図、および封止材の塗布位置を通る位置で切断したときの断面図である。
【図４】図１に示す液晶装置の製造方法を示す工程図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ、図１に示す電気光学装置の製造工程での仕掛途中品の様子を示す説明図である。
【図６】二酸化炭素の相平衡図である。
【図７】本発明を適用した検査装置の構成図である。
【図８】本発明に係る液晶装置を用いた各種電子機器の構成を示すブロック図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明に係る液晶装置を用いた電子機器の一実施形態としてのモバイル型のパーソナルコンピュータを示す説明図、および携帯電話機の説明図である。
【符号の説明】
１　電気光学装置
１′　単品のパネル
１０　第１の基板
２０　第２の基板
３０　シール材
３１　注入口
３２　封止材
３５　液晶封入領域
３６　　液晶（電気光学物質）
４０　第１の電極パターン
５０　第２の電極パターン
１００、２００　大型基板
４００　パネル構造体（パネル）
５００　検査装置
５１０　ボンベ
５２０　冷却器
５３０　加圧器
５４０　加熱器
５５０　耐圧容器
５６０　減圧器
５７０　分離器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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