(57)【要約】【課題】圧力吸収体による共通液室の圧力減衰効果と、圧力吸収体自身の共振による副作用を抑えて、高品質な画像を高速で印字できるようにする。【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、図示しない加圧液室が連通部を介して接続された共通液室９と、各加圧液室内部の圧力を変化させる図示しない圧力変換手段とを備え、各加圧液室に設けられた複数のノズルからインク滴を吐出する。複数の加圧液室４が配列された方向をＸ方向としたときに、共通液室９を構成するＸ方向に延びた壁面に、他の壁面よりも剛性が低く、振動によって圧力を吸収する圧力吸収体２０によるダンパ面が形成されている。ダンパ面は、共通液室９のＸ方向全長に渡っては形成されずに、部分的にダンパ面の存在しない領域がある。これにより、共通液室９の形状に依存せずに圧力吸収体２０の剛性を調整でき、噴射特性を安定化させ、高速駆動でも良好な画質を得ることができる。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインク加圧液室が配置された加圧液室基板と、各前記加圧液室が連通部を介して接続された共通液室と、各前記インク加圧液室内部の圧力を変化させる圧力変換手段とを備え、各前記インク加圧液室にそれぞれ連通した複数のノズルからインク滴を吐出することによって、被記録媒体に画像情報を記録するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク加圧液室が配列された方向をＸ方向としたときに、前記共通液室を構成する壁面のうち、前記Ｘ方向に延びた壁面の少なくとも一部の面には、他の壁面よりも剛性が低く、振動によって圧力を吸収するダンパ面が構成され、該ダンパ面は、前記共通液室のＸ方向全長に渡っては形成されずに、該Ｘ方向において部分的に前記ダンパ面の存在しない領域が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ダンパ面は、複数の領域に分割されずに、一続きの領域で構成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記共通液室の前記Ｘ方向に伸びる壁面のうち、前記ダンパ面の存在しない領域は、該壁面のＸ方向両端部に設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記加圧液室は、該加圧液室を形成する壁面の一部が他の壁面よりも剛性の低い振動板として構成され、前記圧力変換手段は、該振動板と、振動を発生させる駆動源とによって構成され、前記ダンパ面は、前記振動板と同一の層によって一体形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記前記振動板と同一の層は、前記共通液室を構成するＸ方向に伸びる壁面のうち、ダンパ面を形成する面の該Ｘ方向全長に渡って形成され、さらにダンパ面を形成する面において、該振動板と同一の層の上に部分的に別の層が形成され、該別の層の存在によって、前記振動板層の同一の層の前記別の層が存在しない領域が、前記ダンパ面として機能することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ダンパ面は、前記共通液室を形成する他の壁面よりも弾性率の低い部材で構成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記共通液室のＸ方向の長さをＬｘ（ｍ）、前記ダンパ面のＸ方向の長さをＬｄｘ（ｍ）、前記ダンパ面のＸ方向に垂直な方向の長さをＬｄｙ（ｍ）、前記ダンパ面を構成する部材の厚さをＴｄ（ｍ）、及び前記ダンパ面を構成する部材の弾性率をＧｄ（Ｐａ）としたときに、
１．０×１０−１３＜Ｌｘ−１×Ｌｄｘ×Ｌｄｙ×Ｔｄ−０．３×Ｇｄ−１＜２．０×１０−１３
であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１に記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のノズルからインク滴を吐出することによって、被記録媒体に画像情報を記録するインクジェット記録ヘッド、及びそのインクジェット記録ヘッドを搭載したプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドの画像品質の向上を目的として、圧力吸収体を設置することにより、特に共通液室内の圧力を低減する技術として、以下のようなものが開示されている。
例えば、特許文献１には、個別液室内の圧力発生源（ヒーター）と、共通液室の間の領域に、圧力ダンパーを設けたインクジェット記録ヘッドが開示されている。
また、特許文献２には、共通液室に圧力変動吸収用の複数のダンパを設け、特に、インク透過性フィルタを用いてダンパ室が２分割されているインクジェット記録ヘッドが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−１９１０３０号公報
【特許文献２】
特開２０００−１５８６６８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
オンデマンド型のインクジェット（ＩＪ）記録技術には、インクを充填した個別液室の壁の一部に振動板を設け、圧電アクチュエータ等の圧力変換手段により振動板を変位させ、液室内の体積を変化させて圧力を高めてインクを吐出する方式や、液室内に通電によって発熱する発熱体を設けて、発熱体の発熱により生じる気泡によって液室内の圧力を高め、インクを吐出する方式が広く知られている。近年ではインクジェットプリンタの低価格化、高画質化、及び一般家庭へのパソコンの普及などによりインクジェットプリンタが様々な用途で数多く使用されている。
【０００５】
上記のように、インクジェット型記録ヘッドにてインク滴を飛ばす場合には、個別液室の圧力を上昇させる必要がある。ここで発生する圧力は、インク滴を飛ばすと同時に、共通液室へと伝播する。この圧力が再び加圧液室側へ伝わると、加圧液室の圧力を予期しない値に変動させる要因となり、インク滴を所望の質量及び速度で飛ばすことができなくなり、噴射不良を引き起こす。特に、同時に複数の加圧液室を作用させてインクを吐出させる場合、個別の加圧液室から共通液室に伝えられる圧力は非常に大きなものとなり、特に噴射不良が発生しやすく、即ち、相互干渉が発生するようになる。
【０００６】
上記のような問題の発生を防ぐためには、共通液室における圧力減衰効率を高める必要がある。その手段としては、一般に共通液室の体積を大きく取る、あるいは共通液室の壁面に振動板のような圧力吸収体を設ける、といった手法がとられる。特に、圧力吸収体を用いる手法は、共通液室寸法を大きくすることなく圧力を吸収でき、また適切な吸収体を用いれば、圧力減衰効果が非常に高いため、特に広く用いられている。圧力吸収体は、共通液室の壁面の一部を剛性の低い部材もしくは構造とし、壁面そのものの振動によって圧力を減衰させる方式、及び共通液室壁面にゴムのように弾性の低い部材をコーティングすることによって、その部材の表面の変形によって圧力を減衰させる方式等によって実現される。これらのうち、共通液室の壁面そのものの振動によって圧力を減衰させる方式は、製造の容易さ（コスト面及び工法的難易度）と減衰効率の良さから、特に優れた方式である。
【０００７】
しかし、共通液室の壁面の剛性を下げて振動が容易に生じる構成にすると、壁面そのものの共振による共通液室の圧力変動の発生が問題となってくる。図１１及び図１２は、共通液室の壁面の剛性を下げて圧力吸収体として作用させた場合と、剛性を下げなかった場合との、観測可能な最も低次（低周波数）の壁面の振動モードの比較を説明するための図で、共通液室の剛性を下げた場合の壁面の振動モードを図１１に示し、剛性を下げていない場合の壁面の振動モードを図１２に示すものである。
【０００８】
上記の２つのケースは、共通の壁面の寸法（面積）は同じであるが、壁面の厚さを変えることにより互いに異なる剛性を有するようにしたものである。これら両者は同じモードの振動であるが、発生周波数が大きく異なり、剛性を下げて圧力吸収体とした場合（図１１）には、共振周波数がかなり低いところに移っている。
【０００９】
このため、インク滴を吐出させる周期が短くなる、即ちヘッドの駆動周波数が高くなると、上記の壁面の共振周波数と重なる場合が発生する。通常、インクジェット記録ヘッドの駆動周波数は、数ｋ〜十数ｋＨｚの範囲で使われることが多く、壁面の共振周波数よりは低くなっているが、剛性を下げた壁面では、共振周波数が駆動周波数の範囲内まで下がる場合が生じてくる。
【００１０】
上記の共通液室の壁面の共振点では、壁面の振動のため、共通液室の圧力自体も大きく変動する。図１３は、共通液室壁面の剛性を下げて圧力吸収体として作用させた場合（図１１に該当）の共通液室の圧力変化の周波数依存を示す図である。図１３の結果から、図１１に示すごとくの振動に対応する周波数で、大きく圧力変動が生じることがわかる。このため、本来共通液室の圧力を減衰させるために設けた圧力吸収体が、それ自身の存在によりかえって圧力を増大させる結果となる。これを避けるためには、この共振点を避けてヘッドを駆動させる必要が生じ、駆動条件設定に制約が生じてしまう。
【００１１】
また、近年のインクジェットプリンタの高速化のため、ヘッドのノズル数は増大する傾向にある。ノズル数が増大する、即ち個別の加圧液室数が増えると、それに伴って共通液室長も長くなる。その場合、圧力吸収体も長くなり、剛性が下がることによって、更に共振点が低周波側にシフトするようになる。このため、今後ノズル数の増加に伴って、更に駆動条件の設定が厳しくなるという問題が生じる。
【００１２】
以上述べたとおり、圧力吸収体を用いて共通液室の圧力を低減する手法は大きな問題を抱えているが、この点に加え、上記特許文献１においては、個別液室単位で圧力を吸収するための圧力ダンパを設けているため、ダンパの剛性を十分に下げることが難しく、効果的な圧力ダンパを設計することは困難である。また、上記特許文献２においては、ダンパ室を複数に分けているため、工法が複雑になるという問題がある。
【００１３】
本発明は、以上の問題点に鑑み、圧力吸収体を用いて効率的な共通液室の圧力減衰効果を得ると同時に、圧力吸収体自身の共振による副作用を抑えることで、高品質な画像を高速で印字できるようにしたインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを用いたプリンタを提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、複数のインク加圧液室が配置された加圧液室基板と、各前記加圧液室が連通部を介して接続された共通液室と、各前記インク加圧液室内部の圧力を変化させる圧力変換手段とを備え、各前記インク加圧液室にそれぞれ連通した複数のノズルからインク滴を吐出することによって、被記録媒体に画像情報を記録するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク加圧液室が配列された方向をＸ方向としたときに、前記共通液室を構成する壁面のうち、前記Ｘ方向に延びた壁面の少なくとも一部の面には、他の壁面よりも剛性が低く、振動によって圧力を吸収するダンパ面が構成され、該ダンパ面は、前記共通液室のＸ方向全長に渡っては形成されずに、該Ｘ方向において部分的に前記ダンパ面の存在しない領域が形成されていることを特徴としたものである。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ダンパ面は、複数の領域に分割されずに、一続きの領域で構成されていることを特徴としたものである。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明において、前記共通液室の前記Ｘ方向に伸びる壁面のうち、前記ダンパ面の存在しない領域は、該壁面のＸ方向両端部に設けられていることを特徴としたものである。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれか１の発明において、前記加圧液室は、該加圧液室を形成する壁面の一部が他の壁面よりも剛性の低い振動板として構成され、前記圧力変換手段は、該振動板と、振動を発生させる駆動源とによって構成され、前記ダンパ面は、前記振動板と同一の層によって一体形成されていることを特徴としたものである。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、前記前記振動板と同一の層は、前記共通液室を構成するＸ方向に伸びる壁面のうち、ダンパ面を形成する面の該Ｘ方向全長に渡って形成され、さらにダンパ面を形成する面において、該振動板と同一の層の上に部分的に別の層が形成され、該別の層の存在によって、前記振動板層の同一の層の前記別の層が存在しない領域が、前記ダンパ面として機能することを特徴としたものである。
【００１９】
請求項６の発明は、請求項１ないし３のいずれか１の発明において、前記ダンパ面は、前記共通液室を形成する他の壁面よりも弾性率の低い部材で構成されていることを特徴としたものである。
【００２０】
請求項７の発明は、請求項１ないし６のいずれか１の発明において、前記共通液室のＸ方向の長さをＬｘ（ｍ）、前記ダンパ面のＸ方向の長さをＬｄｘ（ｍ）、前記ダンパ面のＸ方向に垂直な方向の長さをＬｄｙ（ｍ）、前記ダンパ面を構成する部材の厚さをＴｄ（ｍ）、及び前記ダンパ面を構成する部材の弾性率をＧｄ（Ｐａ）としたときに、１．０×１０−１３＜Ｌｘ−１×Ｌｄｘ×Ｌｄｙ×Ｔｄ−０．３×Ｇｄ−１＜２．０×１０−１３であることを特徴としたものである。
【００２１】
請求項８の発明は、請求項１ないし７のいずれか１に記載のインクジェット記録ヘッドを搭載したプリンタである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に関わるインクジェット記録ヘッドの液室の構成例を説明するための概略図で、インクジェット液室要部のノズル配列方向の直交方向の断面概略図を図１（Ａ）に、ノズル配列方向の断面概略図を図１（Ｂ）に示すものである。
また図２は、図１の液室部を備えるインクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示す図である。なお、以下に説明する図１ないし図４において、本発明の特徴である圧力吸収体の図示は省略し、本発明が適用されるインクジェット記録ヘッドの構成例を説明する。上記圧力吸収体については、図５以降を参照して後述する。
【００２３】
図２に示すように、インクジェット記録ヘッドにおいては、複数の加圧液室（インク加圧液室）４を形成した加圧液室基板１と、ノズルプレート８と、振動板６とが積層され、ノズルプレート８には、加圧液室４に対応して連通したノズル３が設けられている。振動板６には、圧力変換器である圧電素子７が接合され、圧電素子７には、ドライバＩＣ１６を接合したＦＰＣケーブル１５が電気的な接続を伴って接合されている。圧電素子７は、対応する加圧液室４に対応して振動板６を変位させるように形成されており、ここでは棒状の圧電素子がダイヤモンドカッターでダイシングされ、個々の加圧液室４に対応するように分離されている。
また、図２の個々の加圧液室４は、図１（Ｂ）に示すごとく区分されている。なお、図１（Ｂ）の支持部材１１は、必要に応じて設ければよい。
【００２４】
上記のごとくのインクジェット記録ヘッドにおいては、図示しない画像形成信号に基づいて、駆動信号がドライバＩＣ１６からＦＰＣケーブル１５を通って圧電素子７に供給され、この駆動信号に応じて圧電素子７が伸縮し、その伸縮によって生じる変位が振動板６に伝えられ、それぞれ必要とする加圧液室４の内部圧力を適切に制御することで、ノズル３からインク滴１２を吐出する。
【００２５】
圧電素子７は、ベース基板２と接合されており、ベース基板２は、さらにフレーム１３（図１）に接合されている。インクジェットプリンタ本体は、図示しないキャリッジにフレームを取り付けることでインクジェット記録ヘッドを搭載し、図示しない電気回路にＦＰＣケーブル１５を接続し、さらにインクカートリッジなどのインク供給源１４（図１）から加圧液室４にインクを供給する。
【００２６】
図３は、インクジェット記録ヘッドの加圧液室長手方向（ノズル配列方向の直交方向）の断面要部を示す図で、ノズル部分を含む断面図を示すものである。ノズル列は２列設けられており、これらは対称である。図３には、一方のノズル列を省略してヘッドの片側半分を示している。
【００２７】
図３に示すように、ベース基板２と同様に、加圧液室基板１もフレーム１３に接合されている。また封止剤１７は、接着剤としての役割も兼ねる。なお、図３の構造は、厳密には図１や図２の構成とは異なっているが、その構成要素は図１及び図２の構成と同様であって、図３において図１及び図２と同様の機能を有する部分には同じ符号を付してある。
なお説明の都合上、上記の構成を例として説明するが、本発明はこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。
【００２８】
図１ないし図３では、インクジェット記録ヘッドのノズル３からのインクの噴射方向が上向きとなるように示されているが、画像を形成する部材、例えば紙などに向けてインクを噴射する場合は、ノズル３からのインクの噴射方向は、鉛直下向きである場合が多い。本発明の好適な実施の形態においても、画像形成時（＝インク噴射時）には、水平に搬送される紙などの画像形成部材に対して鉛直方向上からインクが飛翔する。
【００２９】
図４は、図３のＡ−Ａ断面の概略構成図である。ただし、図３の上下を反転して、ノズル３から鉛直下向きにインク滴１２が飛翔するように表現している。インクは、インク供給源１４（詳細な構成は図示せず）から連結管１８を通って共通液室９へと進み、連通部１０を介して連接している加圧液室４を通って各ノズル３へと至る。なお、これらノズル３のうち、共通液室９の長手方向の端部のノズル、あるいは両端部のノズルに対応する加圧液室４は、画像形成には用いずに、気泡排出の吸引用として設けたダミーとしてもよい。
【００３０】
図５及び図６は、本発明に関わる圧力吸収体について説明するために、図４に示すごとくのインクジェット記録ヘッドから、共通液室９と連通管１８を含む要部を抜粋して示す図で、本発明に関わるインクジェット記録ヘッド要部の構成図を図５に、比較例として従来技術によるインクジェット記録ヘッドの要部の構成図を図６に示すものである。図５において、紙面左から右への方向（共通液室の長手方向かつ加圧液室の配列方向）をＸ方向とし、共通液室９を形成する壁面のうち、Ｘ方向に延びる壁面の少なくとも一面に、圧力吸収体２０を設ける。この圧力吸収体２０によって振動により圧力を吸収するダンパ面が形成される。
【００３１】
このとき、図５に示すように、Ｘ方向において圧力吸収体２０が設けられていない領域である、圧力吸収体の非存在領域２１を形成する。なお、図５では共通液室９のＸ方向の両端部２箇所に上記圧力吸収体の非存在領域２１が形成されているが、これら非存在領域２１の配置数及び配置位置は、上記のように共通液室９の両端部２カ所に限定されることなく、他の構成としてもよい。
【００３２】
上記のように、共通液室９の壁面の長手方向全域に圧力吸収体２０を設けない構成とすることにより、圧力吸収体２０の長手方向長は短くなり、振動板としての剛性が高くなって、共振周波数が高周波側にシフトする。これにより、より低周波側に存在する駆動周波数帯と共振周波数とを離すことができ、共振による圧力変動に起因する噴射異常を防ぐことができる。一方、図６に示すような構成では、圧力吸収体２０が長くなって剛性が低下し、共振点が低周波側にシフトするという問題が生じる。
【００３３】
図７は、本発明のインクジェット記録ヘッドにおける共通液室圧力変化の周波数特性を評価した結果の一例を示す図で、図５に示す共通液室９のＸ方向の長さのうち、その両端２５％を圧力吸収体の非存在領域２１としたインクジェット記録ヘッドの特性評価結果を示すものである。図７に示すように、本発明に関わるインクジェット記録ヘッドでは、図１３に示した従来のインクジェット記録ヘッド（図６の構成に該当）の特性に比し、圧力共振の発生周波数を大きく引き上げられることがわかる。従って、本発明の構成を備えることによって、より高速にヘッドを駆動することができ、プリンタの印字速度を引き上げることができる。
【００３４】
図５に示すように、圧力吸収体２０によるダンパ面は、複数に分割されることなく一続きの領域を形成するように構成されることが望ましい。圧力吸収体２０を複数領域に分割して構成した場合、個々の領域の圧力吸収体２０の剛性が非常に高くなり、圧力吸収効果が低下する。これを抑えるために圧力吸収体２０の厚さを薄くする等の措置を施す場合、その工法が難しくなり、歩留まりが低下する。すなわち、上記のように圧力吸収体２０が一続きの領域を形成するように構成することで、最も効率よく圧力吸収を行うことができる。
【００３５】
また、図５に示すように、圧力吸収体の非存在領域２１は、共通液室９のＸ方向両端部に配されるようにすることが望ましい。Ｘ方向の両端部以外に、例えばＸ方向の中央部に非存在領域２１を配置すると、圧力吸収体２０を分割することになり、上記の例と同様に分割された個々の領域の圧力吸収体２０の剛性が非常に高くなり、圧力吸収効果が低下するために望ましくない。また、圧力吸収体の非存在領域２１を共通液室９のＸ方向の片側のみに配置すると、該非存在領域２１が配置されている側の端部にて、圧力吸収効果が不十分になる場合が生じる。このため、部分的に噴射異常を引き起こす可能性がある。従って、圧力吸収体の非存在領域２１は、共通液室９のＸ方向両端部に配置することが望ましい。
【００３６】
図８は、圧力吸収体の他の構成例を説明するための要部概略図で、インクジェット記録ヘッドの加圧液室長手方向（ノズル配列方向の直交方向）の断面の要部を示す図である。図８において、圧力吸収体２０は、加圧液室４に配置された振動板６と同一の層によって構成されている。すなわち、加圧液室４で振動板６として機能する層が、共通液室９では圧力吸収体２０として機能するような構成となっている。
【００３７】
上記のような構成であれば、振動板６と圧力吸収体２０とを同時に形成することができ、製造工程を簡略化することができる。通常、振動板６の剛性は、共通液室９の圧力吸収体として使用するには剛性が低すぎ、上述したごとくの共振による問題を引き起こしやすいが、本発明を適用することにより、圧力吸収体２０の共振周波数を、駆動周波数に対して十分高い周波数にシフトさせることができる。
【００３８】
但し、この場合、図５に示したような、圧力吸収体の非存在領域２１に圧力吸収体２０の層が存在しない、という構成にすることはできない。すなわち、図８の構成では、圧力吸収体の非存在領域２１に対応する個別の加圧液室４にも振動板６が形成されており、全体を一体で形成するためには、この振動板６の構成層を共通液室９にも配置する必要があるためである。
【００３９】
図９は、本発明に関わるインクジェット記録ヘッド要部の他の構成例を示す図である。図８の構成において、圧力吸収体の非存在領域２１を形成するためには、図９に示すように、圧力吸収体２０の層を共通液室９の全体に形成し、部分的に固定部材２２によって振動を抑え、圧力吸収体の非存在領域２１として機能させ、非存在領域２１を除く圧力吸収体２０の領域をダンパ面として機能させるようにするのが良い。特に、この固定部材２２を、加圧液室基板１の一部を用いて形成することにより、特に工法を追加する必要もなく圧力吸収体の非存在領域２１を形成することができる。
【００４０】
一方、図８に示すように圧力吸収体２０と振動板６とを同一層で共通化することなく、圧力吸収体２０と振動板６とを独立して個別に形成する場合、共通液室９を形成する壁面と同一素材を用いて、圧力吸収体２０を形成する手段が考えられる。この場合は、圧力吸収体２０として機能させる部分の厚さを薄くすることによって圧力吸収体２０を形成する。しかしながら、このような構成では、十分な圧力吸収（ダンパ）機能を発揮させるためには、共通液室９を構成する素材、即ちフレーム１３の構成素材の厚みを非常に薄くする必要があり、工法的に難しい。そこで、フレーム１３の構成素材に比して弾性率の低い部材、例えばポリイミドのような樹脂材を用いて圧力吸収体２０を形成するのが良い。これにより、効果的な圧力吸収体を、より簡単な工法で実現できるようになる。
【００４１】
以上述べた構成によって、圧力吸収体２０の共振周波数を高めるようにすると、逆に、圧力吸収効果自体は低下してしまう。そのため、吐出特性に問題が出るレベルまで圧力吸収効果を低下させることなく、十分に共振周波数をシフトできる最適形状を取る必要がある。この点について検討するため、圧力吸収体２０及び共通液室９の構造が異なる８種類の印字ヘッドを作成し、噴射試験により、以下のような評価を行った。
【００４２】
評価Ａ：相互干渉評価・・・圧力吸収体が十分に機能しているか。
評価Ｂ：高周波駆動における噴射安定性・・・圧力吸収体の共振点を十分高周波側にシフトできているか。
評価基準は、○＝全てのチャンネルが良好に噴射，△＝１割以下のチャンネルが噴射異常、×＝１割以上のチャンネルが噴射異常、とした。
【００４３】
上記の評価に影響を及ぼすと思われる因子は、圧力吸収体２０の寸法及び弾性率と、共通液室９の全長である。そこで、共通液室９の全長をＬｘ、圧力吸収体２０の長手方向長（ダンパ面のＸ方向長）をＬｄｘ、同短手方向長（ダンパ面のＸ方向の垂直方向）をＬｄｙ、同厚さ（ダンパ面を構成する部材の厚さ）をＴｄ、同弾性率（ダンパ面を構成する部材の弾性率）をＧｄとしたときに、
Ｋ＝Ｌｘａ×Ｌｄｘｂ×Ｌｄｙｃ×Ｔｄｄ×Ｇｄｅ ・・・（１）
とおき、上記（１）式において、ａ〜ｅをフィッティングパラメータと考え、これを最適化することで、Ｋという一つのパラメータで圧力吸収体２０の性能（圧力吸収効果、及び圧力吸収体の共振周波数による副作用）を表すことを考えた。その結果、（１）式において、ａ＝−１、ｂ＝１、ｃ＝１、ｄ＝−０．３、ｅ＝−１とおけば、現象をよく表すことができることがわかった。
【００４４】
図１０は、上述した８種類の構造の印字ヘッドにおける評価結果を示す図である。図１０の結果から、Ｋが大きいと圧力吸収体としての効果は高くなるが、共振による悪影響が大きくなることが判る。これらを両立させるためには、Ｋの値を１．０×１０−１３以上かつ２．０×１０−１３以下とすればよいことが判る。
【００４５】
以上、インクジェット記録ヘッドの実施の形態を説明してきたが、これらインクジェット記録ヘッドを用いることによって、噴射特性が良好で、かつ高速のインクジェットプリンタを実現することができる。
【００４６】
（実施例１）
ＳＵＳ製の支持基板に対して、圧力変換手段としての積層圧電素子を嫌気性接着剤を用いて接合し、ダイシングソーを用いてこの圧電素子に溝加工を行い、各加圧液室に対応するよう分離した。この溝加工した圧電素子の側面に通電部材としてのＦＰＣをはんだを用いて接合し、アクチュエータユニットを形成した。次に電鋳工法で製作したノズル板と振動板、及びエッチング工法で製作したシリコン製の流路板を、高精度に位置決め積層し、それぞれの界面をエポキシ接着剤で接合した。この振動板の裏面に先に製作したアクチュエータユニットの圧電素子上面をエポキシ接着剤で接合した。
【００４７】
そして、長手方向長さ３７ｍｍ、短手方向長さ２ｍｍ、深さ１ｍｍの共通液室が形成され、該共通液室壁面の中央部に設けられた長さ２０ｍｍ、幅１．２ｍｍの開口に厚さ２０μｍのポリイミド膜が圧力吸収体として貼り付けられた樹脂製のフレームを、上記振動板の裏面及び支持基板の端面に嫌気性接着剤を用いて接着し、インクジェットヘッドを作成した。
【００４８】
上記のインクジェットヘッドをプリンタに搭載して印字試験を行ったところ、全ノズルからインクを吐出して印字（以後マルチ印字と称す）した場合でも、不良画質が発生することのない、良好な結果を得た。比較例として、共通液室側面全体（３７ｍｍ×２ｍｍ）に設けた開口にポリイミド膜が貼り付けられた従来技術によるフレームを用いてインクジェットヘッドを作成し、同様にプリンタに搭載して印字試験を行ったところ、不良画質が発生し、本発明により特性が改善されることを確認した。
【００４９】
（実施例２）
ＳＵＳ製の支持基板に対して、圧力変換手段としての積層圧電素子を嫌気性接着剤を用いて接合し、ダイシングソーを用いてこの圧電素子に溝加工を行い、各加圧液室に対応するよう分離した。この溝加工した圧電素子の側面に通電部材としてのＦＰＣをはんだを用いて接合し、アクチュエータユニットを形成した。次に電鋳工法で製作したノズル板と振動板、及びエッチング工法で製作したシリコン製の流路板を、高精度に位置決め積層し、それぞれの界面をエポキシ接着剤で接合した。この振動板の裏面に先に製作したアクチュエータユニットの圧電素子上面をエポキシ接着剤で接合した。
【００５０】
そして、長手方向長さ３７ｍｍ、短手方向長さ２ｍｍ、深さ１ｍｍの共通液室が形成され、該共通液室壁面の中央部に設けられた長さ２５ｍｍ、幅１．２ｍｍの開口を有する樹脂製のフレームを、上記振動板の裏面及び支持基板の端面に嫌気性接着剤を用いて接着し、インクジェットヘッドを作成した。このとき、フレームに空いた開口を振動板で塞ぐようにして接着を行った。
【００５１】」
上記のインクジェットヘッドをプリンタに搭載して印字試験を行ったところ、全ノズルからインクを吐出して印字（以後マルチ印字と称す）した場合でも、不良画質を発生することのない、良好な結果を得た。
【００５２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、インク加圧液室が配列された方向をＸ方向としたときに、共通液室を構成する壁面のうち、Ｘ方向に延びた壁面の少なくとも一部の面に、他の壁面よりも剛性が低く、振動によって圧力を吸収するダンパ面を構成し、そのダンパ面を共通液室のＸ方向全長に渡っては形成せずに、該Ｘ方向において部分的にそのダンパ面の存在しない領域を形成することにより、共通液室の形状に依存することなく、圧力吸収体の剛性を調整することができ、圧力吸収体の共振周波数を制御することができる。これにより、駆動周波数から共振周波数を離すことが可能となり、インクの噴射特性を安定化させ、高速駆動でも良好な画質を得ることができる。
【００５３】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、ダンパ面を複数の領域に分割せずに、一続きの領域で構成することにより、構造的な剛性を最も低くすることができるので、圧力吸収体の圧力吸収効果をより高めることができ、上記の効果をより効果的に得ることができる。
【００５４】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、共通液室のＸ方向に伸びる壁面のうち、ダンパ面の存在しない領域を、該壁面のＸ方向両端部に設けることにより、圧力吸収体としての効果を最も高めることができる構成となり、圧力吸収効果をより高めることができ、上記の効果をより効果的に得ることができる。
【００５５】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、加圧液室を形成する壁面の一部を他の壁面よりも剛性の低い振動板として構成し、圧力変換手段を、振動板と、振動を発生させる駆動源とによって構成し、さらにダンパ面を、振動板と同一の層によって一体形成することにより、各加圧液室の振動板と圧力吸収体とを同時に形成することができるため、製造工程をより簡略化することができる。
【００５６】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、振動板と同一の層を、共通液室を構成するＸ方向に伸びる壁面のうち、ダンパ面を形成する面のＸ方向全長に渡って形成し、さらにダンパ面を形成する面において、振動板と同一の層の上に部分的に別の層を形成し、この別の層の存在によって、振動板層の同一の層において上記別の層が存在しない領域を、ダンパ面として機能させることにより、振動板−圧力吸収体層の構造を工夫することなく、上記の構造を形成することができるため、製造工程を更に簡略化できる。
【００５７】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、共通液室を形成する他の壁面よりも弾性率の低い部材でダンパ面を構成することにより、共通液室の壁面の構成素材とは別に、圧力吸収体として適した素材を用いることができるため、効果的な圧力吸収体を、より容易な製造工程で得ることができる。
【００５８】
さらに本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、共通液室のＸ方向の長さをＬｘ（ｍ）、ダンパ面のＸ方向の長さをＬｄｘ（ｍ）、ダンパ面のＸ方向に垂直な方向の長さをＬｄｙ（ｍ）、ダンパ面の厚さをＴｄ（ｍ）、及びダンパ面を構成する部材の弾性率をＧｄ（Ｐａ）としたときに、１．０×１０−１３＜Ｌｘ−１×Ｌｄｘ×Ｌｄｙ×Ｔｄ−０．３×Ｇｄ−１＜２．０×１０−１３とすることにより、圧力吸収効果と共振点を駆動周波数からずらす効果を両立することができるため、高速駆動と噴射安定性とを両立することができる。
【００５９】
また、本発明によれば、上述した本発明に関わるインクジェット記録ヘッドを使用することにより、高速で駆動してもインクの噴射が安定し、高速かつ高画質なプリンタを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に関わるインクジェット記録ヘッドの液室の構成例を説明するための概略図である。
【図２】図１の液室部を備えるインクジェット記録ヘッドの分解斜視図を示す図である。
【図３】インクジェット記録ヘッドの加圧液室長手方向（ノズル配列方向の直交方向）の断面要部を示す図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面の概略構成図である。
【図５】本発明に関わる圧力吸収体について説明するために、図４に示すごとくのインクジェット記録ヘッドから、共通液室と連通管を含む要部を抜粋して示す図で、本発明に関わるインクジェット記録ヘッド要部の構成図である。
【図６】本発明に関わる圧力吸収体について説明するために、図４に示すごとくのインクジェット記録ヘッドから、共通液室と連通管を含む要部を抜粋して示す図で、従来技術によるインクジェット記録ヘッドの要部の構成図である。
【図７】本発明のインクジェット記録ヘッドにおける共通液室圧力変化の周波数特性を評価した結果の一例を示す図である。
【図８】圧力吸収体の他の構成例を説明するための要部概略図である。
【図９】本発明に関わるインクジェット記録ヘッド要部の他の構成例を示す図である。
【図１０】圧力吸収体及び共通液室の構造が異なる８種類の印字ヘッドにおける評価結果を示す図である。
【図１１】共通液室の壁面の剛性を下げて圧力吸収体として作用させた場合と、剛性を下げなかった場合との、観測可能な最も低次（低周波数）の壁面の振動モードの比較を説明するための図で、共通液室の剛性を下げた場合の壁面の振動モードを示す図である。
【図１２】共通液室の壁面の剛性を下げて圧力吸収体として作用させた場合と、剛性を下げなかった場合との、観測可能な最も低次（低周波数）の壁面の振動モードの比較を説明するための図で、剛性を下げていない場合の壁面の振動モードを示す図である。
【図１３】共通液室壁面の剛性を下げて圧力吸収体として作用させた場合の共通液室の圧力変化の周波数依存を示す図である。
【符号の説明】
１…加圧液室基板、２…ベース基板、３…ノズル、４…加圧液室（インク加圧液室）、６…振動板、７…圧電素子、８…ノズルプレート、９…共通液室、１０…連通部、１１…支持部材、１２…インク滴、１３…フレーム、１４…インク供給源、１５…ＦＰＣケーブル、１６…ドライバＩＣ、１７…封止剤、１８…連結管２０…圧力吸収体、２１…非存在領域、２２…固定部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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