(57)【要約】【課題】本発明は、画像に対する基準位置（トンボ）が存在しなくても画像の比較を可能にし、かつ安定した再現性を得るための技術である。【解決手段】上記の問題点を解決するために下記のような手段を採用した。（１）検査対象画像及びレファレンス画像に対して膨張処理を行なう。（２）膨張処理した検査対象画像及びレファレンス画像に対して画像を縮小する。（３）検査対象画像を少し傾けて、検査対象画像及びレファレンス画像のＸ座標幅及びＹ座標幅が同じくなるように変倍処理を行なう。（４）上記の（３）を所定角度範囲の所定ステップで繰り返し行なう。（５）上記（３）及び（４）の各ステップにおいて、検査対象画像及びレファレンス画像の一致率を求める。（６）一致率の一番大きい角度を、傾き補正値として選択する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの画像を比較検査する装置において、
該２つの画像の傾き量及びサイズを自動的に一致させる手段として、
画像の膨張処理を行なった後一方を所定量回転及びサイズ補正して、
その後該２つの画像に対する一致量を算出して正しい傾き量を判断する事を特徴とする画像比較検査装置。
【請求項２】
前記１において、該膨張画像を縮小し、以下の該回転、サイズ補正、
一致量算出を行なう事を特徴とする画像比較検査装置。
【発明の詳細な説明】
【発明が属する技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの画像を比較して両者の差異を検出する装置にあって、
一方が他方に比べて傾いている時及び、両者の拡大率が異なるときに、
自動的に傾き量及び拡大率を補正する方法に関する。
【従来の技術】
従来、２つの画像を比較する場合は、
位置基準（いわゆるトンボ）を見つけ出し、
それを頼りに画像の傾きやサイズの補正を行なっていた。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし検査対象の画像に、位置基準（トンボ）がない場合が多々あった。
そう言う場合には、自動的に比較出来ないため、または精度がないため、
人間が目で比較するか、人間が手操作で傾きやサイズの補正を行なっていた。
そのため生産性が低い、検査精度にバラツキがある及び検出確度が不充分であるという問題があった。
【０００３】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するために下記のような手段を提案する。
【０００４】
（１）画像の細かいところは除き全体の特徴を表すための手段として、
検査対象画像及びレファレンス画像に対して膨張処理を行なう。
【０００５】
（２）画像の、傾き及びサイズの比較を高速に行なうために
上記（１）の膨張処理した検査対象画像及びレファレンス画像に対して画像を縮小する。
【０００６】
（３）検査対象画像を少し傾けて、検査対象画像及びレファレンス画像の
Ｘ座標幅及びＹ座標幅が同じくなるように変倍処理を行なう。
【０００７】
（４）上記の（３）を所定角度範囲の所定ステップで繰り返し行なう。
【０００８】
（５）上記（３）及び（４）の各ステップにおいて、
検査対象画像及びレファレンス画像の一致率を求める。
一致率とは、２値画像の場合は、両者が白と白または黒と黒の場合に
その画素が一致していると判断する。
【０００９】
（６）一致率の一番大きい角度を、傾き補正値として選択する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明では、上記の手段を使う事で高速にして高精度な自動傾き及びサイズ補正を実現する事が可能になった。
【００１１】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を説明する。
実施例ではレファレンス画像に対して、検査画像が時計方向に３度程傾いている。
この検査画像の傾き量を検出して補正する方法を以下に説明する。
【００１２】
図１では実施例のレファレンス画像〔１００１〕、検査画像〔１００２〕を図１に示す。レファレンス画像は殆ど傾きが無いが、検査画像は時計方向に３度程傾いている。
本発明は、レファレンス画像の傾きに検査画像を合わせることを目的とする。
その為、レファレンス画像が傾いていても何の問題も無い。
【００１３】
図２では画像の細かい所は除き全体の特徴を示す為に、膨張処理を行う。
図２に膨張処理を行ったレファレンス画像〔２００１〕、膨張処理を行った検査画像〔２００２〕を示す。
膨張処理とは、画像を太らせる事であり、具体的な方法としては元画像を前後、左右に移動してそれらのＯＲをとる事で実現できる。
膨張処理を行なった画像は、図２の様につぶれているが全体の形は保持している。
【００１４】
図３では膨張処理を行ったレファレンス画像〔２００１〕、
膨張処理を行った検査画像〔２００２〕を処理の高速化の為に縮小処理をする。
図３に縮小したレファレンス画像〔３００１〕、縮小した検査画像〔３００２〕を示す。
【００１５】
図４では縮小した検査画像〔３００２〕を少しずつ傾ける。
図４に少しずつ傾けた検査画像を〔４００１〕〔４００２〕〔４００３〕に示す。
〔４００１〕は、反時計方向に１度傾けている。
〔４００２〕は、反時計方向に２度傾けている。
〔４００３〕は、反時計方向に３度傾けている。
【００１６】
図５では縮小したレファレンス画像〔３００１〕の有効領域のサイズに合わせて、
少しずつ傾けた検査画像〔４００１〕に変倍処理を行う事を説明している。
図５では〔４００１〕を例に取り変倍処理の手順を示す。
〔５００１〕は、縮小したレファレンス画像の有効画像領域のＸ方向幅〔５−Ａ２〕、
Ｙ方向幅〔５−Ａ１〕を計数している。
具体的は、Ｙ方向幅〔５−Ａ１〕を求めるには、
ラスター毎に画像がある画素のヒストグラムを算出してグラフ化する。
ヒストグラムの開始点から終了点までの画素数が〔５−Ａ１〕になる。
ここでは、レファレンス画像がターゲットであるので１００とおいている。
同様に〔４００１〕に対するＸ方向幅が９６〔５−Ｂ２〕、Ｙ方向幅が９８〔５−Ｂ１〕と算出された。
ここでレファレンス画像〔３００１〕の有効領域のサイズに合わせてＸ、Ｙ方向を独立に変倍する。
具体的には、Ｘ方向は１００／９６倍、Ｙ方向は１００／９８倍となる。結果画像が〔５００３〕となる。
【００１７】
図６では図４と図５の処理を所定の角度範囲で、所定回数繰り返し行う。
図６に一致率の算出の手順を示す。図６では説明を明確化する為、
縮小したレファレンス画像〔６００１〕を濃く表記し、
回転変倍処理後の検査画像〔６００２〕をうすく表記している。
縮小したレファレンス画像〔６００１〕と所定回数の回転変倍処理後の検査画像〔６００２〕を、
縮小したレファレンス画像〔６００１〕を基準として、
回転変倍処理後の検査画像〔６００２〕を上下左右に少しずつずらしながら、
一致率の一番高い位置を求める。この処理により所定回数の一致率が求められる。
一致率については、両者が白と白または黒と黒の場合その画素が一致していると判断する。
【００１８】
６では５で算出した一致率の、所定回数中で一番高い一致率の傾きを検査画像の傾きと判断する。
【００１９】
【図面の簡単な説明】
【図１】レファレンス画像・検査画像
【図２】膨張処理
【図３】縮小処理
【図４】検査画像の回転
【図５】検査画像の変倍処理
【図６】レファレンス画像と検査画像の一致率の算出
【符号の説明】
１００１    レファレンス画像
１００２    検査画像
２００１    膨張処理を行ったレファレンス画像
２００２    膨張処理を行った検査画像
３００１    縮小したレファレンス画像
３００２    縮小した検査画像
４００１    −１度回転させた検査画像
４００２    −２度回転させた検査画像
４００３    −３度回転させた検査画像
５００１    縮小したレファレンス画像の有効範囲
５００２    −１度回転した検査画像の有効範囲
５００３    −１度回転した検査画像の変倍処理
６００１    縮小したレファレンス画像
６００２    回転、変倍処理後の検査画像
６００３    レファレンス画像と検査画像を重ね合わせた図
６００４    比較結果の不一致箇所を表示
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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