(57)【要約】【課題】  センサ素子が収納されたケースを被取付部材に取り付けてなる圧力センサ装置において、組付性やセンサ特性を損なわずに安価な圧力センサ装置を提供する。【解決手段】  一面側に開口部１１を有するケース１０と、開口部１１内に配設されケース１０の外部圧力を測定するセンサ素子２０と、ケース１０が取り付けられる被取付部材としての回路基板３０とを備えるセンサ装置Ｓ１において、ケース１０は開口部１１側を回路基板３０に対向させた状態で回路基板３０に取り付けられている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面側に開口部（１１）を有するケース（１０）と、
前記開口部内に配設され前記ケースの外部圧力を測定するセンサ素子（２０）と、
前記ケースが取り付けられる被取付部材（３０）としての回路基板とを備える圧力センサ装置において、
前記ケースは前記開口部側を前記被取付部材に対向させた状態で前記被取付部材に取り付けられていることを特徴とする圧力センサ装置。
【請求項２】
前記ケース（１０）には、リード部材（１２）が設けられており、
前記リード部材と前記センサ素子（２０）とは電気的に接続されており、
前記ケースは、前記リード部材によって前記被取付部材（３０）に取り付けられて支持されるとともに、前記被取付部材とは空隙部（５０）を介して対向しており、
前記空隙部から、前記外部圧力が前記ケースへ導入されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ装置。
【請求項３】
一面側に開口部（１１）を有するケース（１０）と、
前記開口部内に配設され前記ケースの外部圧力を測定するセンサ素子（２０）と、
前記ケースが取り付けられる被取付部材（３０）とを備える圧力センサ装置において、
前記ケースは前記開口部側を前記被取付部材に対向させた状態で前記被取付部材に取り付けられており、
互いに対向する前記ケースと前記被取付部材との間の空隙部（５０）から、前記外部圧力が前記ケースへ導入されるようになっていることを特徴とする圧力センサ装置。
【請求項４】
前記ケース（１０）には、リード部材（１２）が設けられており、
前記リード部材と前記センサ素子（２０）とは電気的に接続されており、
前記ケースは、前記リード部材によって前記被取付部材（３０）に取り付けられて支持されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ装置。
【請求項５】
前記リード部材（１２）は、前記空隙部（５０）の一部に介在するように折り曲げられた形状となっており、
前記リード部材のうち前記空隙部に介在する部位を介して、前記ケース（１０）と前記被取付部材（３０）とが接していることを特徴とする請求項２または４に記載の圧力センサ装置。
【請求項６】
前記ケース（１０）のうち前記被取付部材（３０）と対向する部位の全周が、前記被取付部材とは離間して対向しており、この離間している部分の隙間が前記空隙部（５０）として構成されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項７】
前記ケース（１０）のうち前記被取付部材（３０）と対向する部位の一部が、前記被取付部材とは離間するように切り欠かれた切り欠き部（５０）となっており、この切り欠き部が前記空隙部として構成されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項８】
前記ケース（１０）のうち前記被取付部材（３０）と対向する部位の一部が、前記被取付部材とは離間するように切り欠き部（５０）となっており、この切り欠き部が前記空隙部として構成されており、
前記リード部材（１２）は、前記ケースの外周に突出するとともに前記ケースの外周面と対向する部位を有するものであり、
前記切り欠き部は、前記ケースのうち前記リード部材が対向する部位に設けられていることを特徴とする請求項２または４に記載の圧力センサ装置。
【請求項９】
前記空隙部（５０）において、前記ケース（１０）と前記被取付部材（３０）との間には、通気性を有するとともに外部から前記ケース内への異物の混入を防止するフィルタ部材（６０）が介在されていることを特徴とする請求項２ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項１０】
前記ケース（１０）のうち前記被取付部材（３０）と対向する部位には、前記被取付部材へ向かって突出する凸部（１４）が設けられており、
前記被取付部材のうち前記凸部に対向する部位には、前記凸部が挿入可能な穴部（３１）が設けられており、
前記凸部が前記穴部に挿入されることにより、前記ケースと前記被取付部材との位置決めがなされていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の圧力センサ装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の圧力センサ装置を製造する製造方法であって、
前記センサ素子（２０）を前記ケース（１０）の前記開口部（１１）内に配設した後、
前記ケースにおける前記一面とは反対側の他面（１３）を吸着装置（Ｋ１）によって吸着した状態で、前記ケースを前記被取付部材（３０）に対向させ、前記ケースを前記被取付部材に取り付けることを特徴とする圧力センサ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ素子が収納されたケースを被取付部材に取り付けてなる圧力センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の一般的な圧力センサ装置は、一面側に開口部を有するケースの内部に該ケースの外部圧力を測定するセンサ素子を配設してなるセンサユニットを、回路基板等の被取付部材に搭載したものである。
【０００３】
そのようなものとしては、例えば、ケースの開口部内に圧力センサユニットを収納し、ケースに設けられたリードフレームを介して回路基板等の被取付部材に取り付けるようにした半導体圧力センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−９００９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、本発明者らの検討によれば、従来の圧力センサ装置においては、次に述べるような問題が生じることがわかった。図７は、従来の一般的な圧力センサ装置としての半導体圧力センサの概略断面図である。
【０００５】
センサ素子２０は、圧力に応じた電気信号を出力するシリコンチップ２１をガラス等の台座２２に固定したものである。このセンサ素子２０が、ケース１０の開口部１１内に収納され固定されている。
【０００６】
また、ケース１０には、リード部材としてのリードフレーム１２が設けられており、センサ素子２０とリードフレーム１２とはボンディングワイヤ２３によって結線され、電気的に接続されている。
【０００７】
このようなセンサユニット４０は、ケース１０の開口部１１側を被取付部材３０とは反対側に向けた状態で被取付部材３０上に搭載され、リードフレーム１２を介してはんだ付け等によって固定されている。
【０００８】
そして、このような圧力センサ装置においては、ケース１０の開口部１１を覆うように、蓋１００がケース１０に取り付けられている。また、この蓋１００には、センサ素子２０に対して外部の圧力を導入するための穴１０１が設けられている。
【０００９】
このように蓋１００を設けている理由は、次の通りである。一つには、図８（ａ）に示すように、従来の圧力センサ装置の組付工程において、センサユニット４０を被取付部材３０に組み付ける際に、マウント装置Ｋ１による吸着面を確保するためである。
【００１０】
マウント装置Ｋ１は、吸引力を利用して、センサユニット４０を吸着してパレットＫ２から拾い上げ、被取付部材３０上に搭載するものである。このとき、マウント装置Ｋ１に対するセンサユニット４０の吸着面として蓋１００が必要になる。
【００１１】
もう一つの理由は、センサ素子２０が光によって誤動作するのを防止するために、蓋１００を必要とするというものである。
【００１２】
例えば、センサ素子２０がシリコン等の半導体からなる場合、強い外部光が照射されると、半導体の電子が励起される等により、センサ素子の出力変動を招く。そこで、図８（ｂ）に示すように、蓋１００を設けて、光の入射を抑制している。
【００１３】
しかし、このように従来の圧力センサ装置では、蓋１００が必要となるため、蓋１００および蓋１００の組み付けにコストがかかっていた。また、従来では、図８（ｂ）に示すように、蓋１００の穴１０１から外部光が直接入射する可能性もあり、その場合には、やはり誤動作する恐れがある。
【００１４】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、組付性やセンサ特性を損なわずに安価な圧力センサ装置を提供すること、およびそのような圧力センサ装置を適切に製造しうる圧力センサ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、一面側に開口部（１１）を有するケース（１０）と、開口部内に配設されケースの外部圧力を測定するセンサ素子（２０）と、ケースが取り付けられる被取付部材（３０）としての回路基板とを備える圧力センサ装置において、ケースは開口部側を被取付部材に対向させた状態で被取付部材に取り付けられていることを特徴とする。
【００１６】
それによれば、蓋を無くしても、ケースにおける一面とは反対側の面すなわち開口部の底面側の外面（１３）が、マウント装置に対する吸着面として利用することができる。それによって、ケースにセンサ素子を収納してなるセンサユニット（４０）を被取付部材である回路基板に適切にマウントすることができる。
【００１７】
また、蓋を無くしても、ケースの開口部は被取付部材としての回路基板によって実質的に遮蔽された形となるので、ケースの開口部から光が極力センサ素子に当たらない構成を採ることができる。そのため、入射光量の低減が図れ、誤動作の防止が可能となる。
【００１８】
よって、本発明によれば、組付性やセンサ特性を損なわずに安価な圧力センサ装置を提供することができる。
【００１９】
ここで、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）には、リード部材（１２）が設けられており、リード部材とセンサ素子（２０）とは電気的に接続されており、ケースは、リード部材によって被取付部材（３０）に取り付けられて支持されるとともに、被取付部材とは空隙部（５０）を介して対向しており、空隙部から、外部圧力がケースへ導入されるようになっていることを特徴としている。
【００２０】
それによれば、リード部材を介してケースの被取付部材への適切な支持が行えるとともに、互いに対向するケースと被取付部材との間の空隙部から、外部圧力をケースへ導入することができるため、適切な圧力検出が可能となる。
【００２１】
請求項３に記載の発明では、一面側に開口部（１１）を有するケース（１０）と、開口部内に配設されケースの外部圧力を測定するセンサ素子（２０）と、ケースが取り付けられる被取付部材（３０）とを備える圧力センサ装置において、ケースは開口部側を被取付部材に対向させた状態で被取付部材に取り付けられており、互いに対向するケースと被取付部材との間の空隙部（５０）から、外部圧力がケースへ導入されるようになっていることを特徴としている。
【００２２】
それによれば、蓋を無くしても、ケースにおける一面とは反対側の面すなわち開口部の底面側の外面（１３）が、マウント装置に対する吸着面として利用することができる。それによって、ケースにセンサ素子を収納してなるセンサユニット（４０）を被取付部材に適切にマウントすることができる。
【００２３】
また、蓋を無くしても、ケースの開口部は被取付部材によって実質的に遮蔽された形となるので、ケースの開口部から光が極力センサ素子に当たらない構成を採ることができる。そのため、入射光量の低減が図れ、誤動作の防止が可能となる。
【００２４】
また、互いに対向するケースと被取付部材との間の空隙部から、外部圧力をケースへ導入することができるため、適切な圧力検出が可能となる。
【００２５】
よって、本発明によれば、組付性やセンサ特性を損なわずに安価な圧力センサ装置を提供することができる。
【００２６】
また、請求項４に記載の発明では、請求項３に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）には、リード部材（１２）が設けられており、リード部材とセンサ素子（２０）とは電気的に接続されており、ケースは、リード部材によって被取付部材（３０）に取り付けられて支持されていることを特徴としている。
【００２７】
それによれば、リード部材を介してケースの被取付部材への適切な支持を行うことができる。
【００２８】
また、請求項５に記載の発明では、リード部材（１２）によってケース（１０）の支持がなされている請求項２または請求項４に記載の圧力センサ装置において、リード部材（１２）は、空隙部（５０）の一部に介在するように折り曲げられた形状となっており、リード部材のうち空隙部に介在する部位を介して、ケース（１０）と被取付部材（３０）とが接していることを特徴としている。
【００２９】
それによれば、リード部材がケース側へ折り曲げられることで、被取付部材上に実装されるセンサユニット（４０）の実装面積すなわち占有面積を小さくすることができ、好ましい。
【００３０】
さらに、リード部材のうち空隙部に介在する部位を介して、ケース（１０）と被取付部材（３０）とが直接接している形となるので、ケースの支持がより安定したものとなり、振動等の外部応力によるリード部材の劣化等を低減することができる。
【００３１】
また、請求項６に記載の発明では、請求項２〜請求項５に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）のうち被取付部材（３０）と対向する部位の全周が、被取付部材とは離間して対向しており、この離間している部分の隙間が空隙部（５０）として構成されていることを特徴としている。
【００３２】
また、請求項７に記載の発明では、請求項２〜請求項５に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）のうち被取付部材（３０）と対向する部位の一部が、被取付部材とは離間するように切り欠かれた切り欠き部（５０）となっており、この切り欠き部が空隙部として構成されていることを特徴としている。
【００３３】
請求項２〜請求項５に記載の圧力センサ装置における空隙部としては、これら請求項６や請求項７に記載の発明のような形態を採用することができる。
【００３４】
また、請求項８に記載の発明では、請求項２または請求項４に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）のうち被取付部材（３０）と対向する部位の一部が、被取付部材とは離間するように切り欠き部（５０）となっており、この切り欠き部が空隙部として構成されており、リード部材（１２）は、ケースの外周に突出するとともにケースの外周面と対向する部位を有するものであり、切り欠き部は、ケースのうちリード部材が対向する部位に設けられていることを特徴としている。
【００３５】
リード部材（１２）によってケース（１０）の支持がなされており、リード部材が、ケースの外周に突出するとともにケースの外周面と対向する部位を有する場合において、ケースのうち被取付部材（３０）と対向する部位の一部に、空隙部としての切り欠き部を設けるときには、切り欠き部は、ケースのうちリード部材が対向する部位に設けることが好ましい。
【００３６】
これは、空隙部としての切り欠き部の外周にリード部材が存在する形となることから、外部からの異物が切り欠き部からケース内に侵入しようとするときに、リード部材が異物の障壁となって、異物のケース内への侵入が行われにくくなるためである。
【００３７】
また、請求項９に記載の発明では、請求項２〜請求項７に記載の圧力センサ装置において、空隙部（５０）において、ケース（１０）と被取付部材（３０）との間には、通気性を有するとともに外部からケース内への異物の混入を防止するフィルタ部材（６０）が介在されていることを特徴としている。
【００３８】
それによれば、外部からの異物が空隙部からケース内に侵入しようとするときに、フィルタ部材によって、異物のケース内への侵入が防止されるため、好ましい。
【００３９】
また、請求項１０に記載の発明では、請求項１〜請求項９に記載の圧力センサ装置において、ケース（１０）のうち被取付部材（３０）と対向する部位には、被取付部材へ向かって突出する凸部（１４）が設けられており、被取付部材のうち凸部に対向する部位には、凸部が挿入可能な穴部（３１）が設けられており、凸部が穴部に挿入されることにより、ケースと被取付部材との位置決めがなされていることを特徴としている。
【００４０】
それによれば、センサユニット（４０）を被取付部材上へ搭載して取り付けるにあたって、センサユニットと被取付部材との位置決めが容易となり、好ましい。
【００４１】
また、請求項１１に記載の発明では、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサ装置を製造する製造方法であって、センサ素子（２０）をケース（１０）の開口部（１１）内に配設した後、ケースにおける一面とは反対側の他面（１３）を吸着装置（Ｋ１）によって吸着した状態で、ケースを被取付部材（３０）に対向させ、ケースを被取付部材に取り付けることを特徴としている。
【００４２】
本発明の圧力センサ装置の製造方法によれば、請求項１〜請求項１０に記載の圧力センサ装置を適切に製造することができる。
【００４３】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００４５】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサ装置Ｓ１の概略断面構成を示す図である。限定するものではないが、本実施形態では、外部圧力としての大気圧を測定する圧力センサ装置Ｓ１に適用したものとして説明する。
【００４６】
圧力センサ装置Ｓ１は、一面側に開口部１１を有するケース１０と、開口部１１内に配設されケース１０の外部圧力すなわち大気圧を測定するセンサ素子２０と、ケース１０が取り付けられる被取付部材３０とを備え、ケース１０はその一面側すなわち開口部１１側を被取付部材３０に対向させた状態で被取付部材３０に取り付けられている。
【００４７】
ここで、被取付部材３０は、本例では、プリント基板やセラミック基板等からなる回路基板３０であるが、回路基板以外にも、何らかのケースや測定対象物自身等であっても良い。
【００４８】
ケース１０は、樹脂、セラミック等からなるもので、一面側に凹部を形成することによって開口部１１が形成されている。また、ケース１０には、リード部材１２が設けられている。本例では、銅等の導電性材料からなるリード部材としてのリードフレーム１２がインサート成形等により設けられ、固定されている。
【００４９】
センサ素子２０は、圧力に応じた電気信号を出力するシリコンチップ２１をガラス等からなる台座２２に陽極接合や接着等にて固定したものである。シリコンチップ２１は、例えば、圧力の印加に伴い歪むダイアフラムとこのダイアフラムの歪みを検知するゲージ抵抗が形成された半導体ダイアフラム式のものにできる。
【００５０】
このセンサ素子２０は、ケース１０の開口部１１内に収納され、接着剤等を用いてケース１０に固定されている。また、センサ素子２０とリードフレーム１２とは、ＡｕやＡｌ等のボンディングワイヤ２３によって結線され、電気的に接続されている。
【００５１】
こうして、ケース１０、センサ素子２０、リードフレーム１２およびボンディングワイヤ２３からなるセンサユニット４０が構成されている。
【００５２】
このセンサユニット４０は、ケース１０の開口部１１側を回路基板（被取付部材）３０に向けた状態で回路基板３０上に搭載され、リードフレーム１２を介してはんだ付け等によって回路基板３０に固定されている。
【００５３】
つまり、本圧力センサ装置Ｓ１では、センサユニット４０を、回路基板３０への表面実装部品（ＳＭＤ）として構成となっている。
【００５４】
そして、ケース１０は、リード部材としてのリードフレーム１２によって被取付部材としての回路基板３０に取り付けられて支持されている。それとともに、回路基板３０とケース１０とは空隙部５０を介して対向している。
【００５５】
ここで、本実施形態では、ケース１０のうち回路基板３０と対向する部位の全周が、回路基板３０とは離間して対向しており、この離間している部分の隙間が、空隙部５０として構成されている。
【００５６】
このような圧力センサ装置Ｓ１においては、互いに対向するケース１０と回路基板３０との空隙部５０から開口部１１内に大気圧が導入される。つまり、回路基板３０とこれに対向する開口部１１の開口縁部との隙間から、開口部１１内のセンサ素子２０へ大気圧が導入される。
【００５７】
この大気圧に応じた電気信号がセンサ素子２０から出力され、出力された信号はボンディングワイヤ２３、リードフレーム１２を通して回路基板３０へ伝達される。そして、伝達された電気信号を回路基板３０にて増幅や調整することで、大気圧が測定可能となっている。
【００５８】
なお、センサ素子２０にも回路部を一体に設けることにより、この電気信号の増幅や調整を、センサ素子２０側において行うことも可能である。
【００５９】
また、この圧力センサ装置Ｓ１の組付工程において、センサユニット４０を回路基板３０に組み付ける際には、ケース１０における開口部１１の底面側の外面１３がマウント装置に対する吸着面となる。
【００６０】
具体的には、図２に示すように、パレットＫ２に置いてあるセンサユニット４０に対して、マウント装置Ｋ１をケース１０における開口部１１の底面側の外面１３に接触させて吸引することで、センサユニット４０を吸着してパレットＫ２から拾い上げ、回路基板３０上に搭載するものである。なお、この後、はんだリフロー等によりセンサユニット４０を回路基板３０に固定する。
【００６１】
ところで、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１によれば、ケース１０がその開口部１１側を回路基板（被取付部材）３０に対向させた状態で回路基板３０に取り付けられたものとしているため、蓋を無くしても、ケース１０における上記外面１３を吸着面として利用することによって、センサユニット４０を回路基板３０に適切にマウントできる。
【００６２】
また、図１に示すように、蓋を無くしても、ケース１０の開口部１１は回路基板（被取付部材）３０によって遮蔽された形となるので、ケース１０の開口部１１から光が極力センサ素子２０に当たらない構成を採ることができる。そのため、入射光量の低減が図れ、誤動作の防止が可能となる。
【００６３】
また、本実施形態では、互いに対向するケース１０と回路基板（被取付部材）３０との間の空隙部５０から、外部圧力である大気圧をケース１０へ導入することができるため、適切な圧力検出が可能となる。
【００６４】
このように、本実施形態によれば、蓋を廃止した構成を採ることができ、蓋およびその組付コストを削減できるとともに、蓋の持っていた吸着面としての機能や光の遮蔽機能を損なうことがない。よって、組付性やセンサ特性を損なわずに従来よりも安価な圧力センサ装置Ｓ１を提供することができる。
【００６５】
また、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１においては、ケース１０には、リード部材としてのリードフレーム１２が設けられており、ケース１０は、リードフレーム１２によって回路基板（被取付部材）３０に取り付けられて支持されている。そして、それによって、ケース１０と回路基板３０とは空隙部５０を介して対向している。
【００６６】
このようにすることによって、リードフレーム１２を介してケース１０の回路基板３０への適切な支持が行えるとともに、互いに対向するケースと被取付部材との間に適切に空隙部５０を形成することができる。
【００６７】
また、本実施形態によれば、上記図２を参照して述べたように、上記圧力センサ装置Ｓ１を製造する方法であって、センサ素子２０をケース１０の開口部１１内に配設した後、ケース１０における一面とは反対側の他面すなわちケース１０における開口部１１の底面側の外面１３を吸着装置としてのマウント装置Ｋ１によって吸着した状態で、ケース１０を回路基板（被取付部材）３０に対向させ、ケース１０を回路基板３０に取り付けることを特徴する製造方法が提供される。
【００６８】
そして、この製造方法によれば、本実施形態の圧力センサ装置Ｓ１を適切に製造することができる。
【００６９】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサ装置Ｓ２の概略断面構成を示す図である。本実施形態では、主として上記第１実施形態と相違するところについて述べることにする。
【００７０】
図３に示されるように、リード部材としてのリードフレーム１２は、空隙部５０の一部に介在するように折り曲げられた形状となっている。そして、リードフレーム１２のうち空隙部５０に介在する部位を介して、ケース１０と被取付部材としての回路基板３０とが接している。
【００７１】
なお、この場合、空隙部５０のうちリードフレーム１２が介在していない部分が、実際に、大気圧を導入するための空隙部５０として機能することは明らかである。
【００７２】
本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、リードフレーム１２が、上記第１実施形態のようにケース１０の反対側ではなくケース１０側へ折り曲げられることで、回路基板３０上に実装されるセンサユニット４０の実装面積すなわち占有面積を小さくすることができ、好ましい。
【００７３】
さらに、リードフレーム１２のうち空隙部５０に介在する部位を介して、ケース１０と回路基板３０とが直接接している形となるので、ケース１０が回路基板３０から浮いた形となっている上記第１実施形態のものに比べて、ケース１０の支持がより安定したものとなる。
【００７４】
そのため、振動等の外部応力によるリードフレーム１２の劣化等を低減することができる。具体的には、振動等が加わったときに、リードフレーム１２の折り曲げ部分が破損したり、リードフレーム１２と回路基板３０との接合部やリードフレーム１２とボンディングワイヤ２３との接続部が破損したりすることを極力抑制することができる。
【００７５】
（第３実施形態）
図４（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサ装置Ｓ３の概略断面構成を示す図、図４（ｂ）は、本圧力センサ装置Ｓ３の外観斜視図である。本実施形態では、主として上記第１実施形態と相違するところについて述べることにする。
【００７６】
図４に示されるように、ケース１０のうち被取付部材としての回路基板３０と対向する部位の一部が、回路基板３０とは離間するように切り欠かれた切り欠き部５０となっており、この切り欠き部５０が空隙部として構成されている。
【００７７】
上記実施形態では、ケース１０のうち回路基板３０と対向する部位の全周が、回路基板３０とは離間しており、当該離間部分の隙間が空隙部５０として構成されていたが、本実施形態のように、空隙部５０は、ケース１０のうち被取付部材としての回路基板３０と対向する部位の一部に設けられ、他の部分は回路基板３０と接している構成となっていてもよい。
【００７８】
本実施形態によれば、この切り欠き部５０から、外部圧力である大気圧をケース１０へ導入することができ、適切な圧力検出が可能となる。また、本実施形態においても、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏することはもちろんである。
【００７９】
さらに、図４に示される例では、リードフレーム１２は、ケース１０の外周に突出するとともにケース１０の外周面と対向する部位を有するが、ここにおいて、切り欠き部５０は、ケース１０のうちリードフレーム１２が対向する部位に設けられている。
【００８０】
この図４に示される例のように、リードフレーム１２によってケース１０の支持がなされており、リードフレーム１２が、ケース１０の外周に突出するとともにケース１０の外周面と対向する部位を有する場合において、ケース１０に上記切り欠き部５０を設けるときには、この切り欠き部５０は、ケース１０のうちリードフレーム１２が対向する部位に設けることが好ましい。
【００８１】
これは、空隙部としての切り欠き部５０の外周にリードフレーム１２が存在する形となることから、外部からの異物が切り欠き部５０からケース１０内に侵入しようとするときに、リードフレーム１２が異物の障壁となって、異物のケース１０内への侵入が行われにくくなるためである。
【００８２】
なお、本実施形態の構成とは異なるが、上記図４にて切り欠き部５０を設けない構成とした場合には、図４（ｂ）中の破線で示されるようなケース１０の位置に、開口部５０ａを設け、この開口部５０ａを空隙部として構成してもよい。
【００８３】
（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサ装置Ｓ４の概略断面構成を示す図である。本実施形態では、主として上記第１実施形態と相違するところについて述べることにする。
【００８４】
図５に示されるように、空隙部５０において、ケース１０と回路基板（被取付部材）３０との間には、通気性を有するとともに外部からケース１０内への異物の混入を防止するフィルタ部材６０が介在されている。
【００８５】
このフィルタ部材６０は、具体的には、通気性を有する樹脂や繊維質の部材等、いわゆるエアフィルタとして通常用いられる部材からなるものを採用することができる。
【００８６】
本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、外部からの異物が空隙部５０からケース１０内に侵入しようとするときに、フィルタ部材６０によって、異物のケース１０内への侵入が防止されるため、好ましい。
【００８７】
（第５実施形態）
図６（ａ）は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサ装置Ｓ５において、センサユニット４０と回路基板３０との組み付け前の状態を示す概略断面図、図６（ｂ）は、本圧力センサ装置Ｓ５の概略断面図である。本実施形態では、主として上記第１実施形態と相違するところについて述べることにする。
【００８８】
図６に示されるように、ケース１０のうち回路基板（被取付部材）３０と対向する部位には、回路基板３０へ向かって突出する凸部１４が設けられており、回路基板３０のうち凸部１４に対向する部位には、凸部１４が挿入可能な穴部３１が設けられている。
【００８９】
そして、凸部１４が穴部３１に挿入されることにより、ケース１０と回路基板３０との位置決めがなされている。
【００９０】
本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、センサユニット４０を回路基板（被取付部材）３０上へ搭載して取り付けるにあたって、センサユニット４０と回路基板３０との位置決めが容易となり、好ましい。
【００９１】
なお、図６に示される例では、穴部３１は回路基板３０の厚さ方向に貫通する貫通穴であるが、この穴部３１としては、回路基板３０におけるセンサユニット４０と対向する面から凹んだ凹部形状のものであってもよい。
【００９２】
（他の実施形態）
なお、上記した各実施形態は、実施可能な範囲で互いに適宜組み合わせることが可能であることはもちろんである。
【００９３】
また、本発明は、上記した大気圧センサ以外にも、ケースの開口部内にセンサ素子を有し、ケース外部の圧力を測定するようにした圧力センサ装置に対して適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサ装置の概略断面構成を示す図である。
【図２】図１に示す圧力センサ装置の組付工程を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る圧力センサ装置の概略断面構成を示す図である。
【図４】（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサ装置の概略断面構成を示す図、（ｂ）は、（ａ）に示される圧力センサ装置の外観斜視図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る圧力センサ装置の概略断面構成を示す図である。
【図６】（ａ）は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサ装置において、センサユニットと回路基板との組み付け前の状態を示す概略断面図、（ｂ）は、第５実施形態に係る圧力センサ装置の概略断面図である。
【図７】従来の一般的な圧力センサ装置としての半導体圧力センサの概略断面図である。
【図８】（ａ）は従来の圧力センサ装置の組付工程を示す図、（ｂ）は従来の圧力センサ装置における光の入射の様子を示す図である。
【符号の説明】
【００９５】
１０…ケース、１１…開口部、１２…リード部材としてのリードフレーム、
１３…ケースにおける開口部の底面側の外面、１４…凸部、２０…センサ素子、
３０…被取付部材としての回路基板、３１…穴部、４０…センサユニット、
５０…空隙部（切り欠き部）、６０…フィルタ部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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