(57)【要約】【課題】隔壁を利用し画面のコントラストを向上させ、全ての赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）画素に対して排気効率が優れており、製造工程が単純で、原価節減に有利なプラズマディスプレイパネル及び前記隔壁の製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるプラズマディスプレイパネルは、第１、２基板と、第１基板の対向面上にラインパターンで形成されたアドレス電極と、アドレス電極を覆いながら第１基板前面に形成された誘電層と、誘電層上に格子型に形成されて放電セルを区画する隔壁と、第２基板の対向面にアドレス電極と垂直にラインパターンで一対ずつ対をなして形成された放電維持電極と、放電維持電極を覆いながら第２基板の内面全体に形成された透明誘電層及び保護層とを含む。前記隔壁はアドレス電極と平行な方向の第１隔壁部材と、放電維持電極と平行な方向の第２隔壁部材とを含み、第１、２隔壁部材のうちの少なくとも一つは不透明体からなる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔をおいて対向配置された第１、２基板と、
前記第１基板の対向面上に複数個が互いに平行にラインパターンで形成されたアドレス電極と、
前記アドレス電極を覆いながら第１基板に形成された誘電層と、
前記誘電層上に形成されて放電セルを区画する隔壁と、
前記第１基板に対向する第２基板の対向面に複数個が前記アドレス電極と垂直にラインパターンで一対ずつ対をなして形成された放電維持電極と、
前記放電維持電極を覆いながら第２基板の内面全体に形成された透明誘電層及び保護層と、を含み、
前記隔壁はアドレス電極と平行な方向の第１隔壁部材と、放電維持電極と平行な方向の第２隔壁部材とを含み、第１、２隔壁部材のうちの少なくとも一つは不透明体からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記不透明体は、クロム酸化物、銅酸化物、ＰｂＯ及びＡｌ２Ｏ３からなる群より選択された黒色顔料を含んで黒色を帯びていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記第１隔壁部材及び第２隔壁部材は互いに異なる高さで形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１隔壁部材の高さは第２隔壁部材の高さよりもさらに高く形成されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記第１隔壁部材の高さは第２隔壁部材の高さよりもさらに低く形成されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記第１隔壁部材は各々のアドレス電極の間でアドレス電極と平行に配列され、前記第２隔壁部材は各々の放電維持電極の間で放電維持電極と平行に配列されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
所定の間隔をおいて対向配置された第１、２基板と、
前記第１基板の対向面上に複数個が互いに平行にラインパターンで形成されたアドレス電極と、
前記アドレス電極を覆いながら第１基板に形成された誘電層と、
前記誘電層上に形成されて放電セルを区画する隔壁と、
前記第１基板に対向する第２基板の対向面に複数個が前記アドレス電極と垂直にラインパターンで一対ずつ対をなして形成された放電維持電極と、
前記放電維持電極を覆いながら第２基板の内面全体に形成された透明誘電層及び保護層と、を含み、
前記隔壁はアドレス電極と垂直方向に沿ってストライプ状に複数個が形成された第１隔壁部材と、前記隣接する第１隔壁部材の間の空間に複数個が形成されて複数個の放電セルを区画しこれら放電セルが前記アドレス電極方向に沿ってジグザグに配列されるようにする第２隔壁と、を含み、
前記第１隔壁部材及び第２隔壁部材のうちの少なくとも一つは不透明体からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記第１隔壁部材の高さは前記第２隔壁部材の高さよりも高く形成されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイ。
【請求項９】
アドレス電極及び誘電層が形成された第１基板を用意し、誘電層前面に第１絶縁ペーストを印刷してＨの高さを有する下部隔壁材を形成する段階と、
前記下部隔壁材上に第２絶縁ペーストをラインパターンで印刷して誘電層表面からＨ′の高さを有する上部隔壁材を形成する段階と、
前記下部隔壁材及び上部隔壁材を全て覆いながら第１基板前面にドライフィルムレジストをコーティングする段階と、
前記ドライフィルムレジスト前面に格子模様の透光部を有するフォトマスクを配置し、この透光部を通じて露光して上部隔壁材全体と下部隔壁材の一部とを覆うようにドライフィルムレジストをパターニングする段階と、
前記第１基板前面に砂を高速に噴射して表面が露出している下部隔壁材の一部を除去し、残ったドライフィルムレジストを剥離する段階と、を含み、
前記第１、２絶縁ペーストのうちの少なくともある一つの絶縁ペーストは不透明体からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用隔壁製造方法。
【請求項１０】
前記不透明体は、銅酸化物、クロム酸化物、ＰｂＯ及びＡｌ２Ｏ３からなる群より選択された黒色顔料とガラスペーストとの混合物からなることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネルに関し、より詳しくは赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）画素が横隔壁及び縦隔壁によって完全に囲まれて構成されたプラズマディスプレイパネル及び前記隔壁の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般にプラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ、以下、便宜上「ＰＤＰ」という）は気体放電による真空紫外線で蛍光体を励起させて所定の映像を実現する表示装置であって、高解像度の大画面構成が可能であって次世代薄形表示装置として脚光を浴びている。
【０００３】
初期に提案されたＰＤＰは図１３に示したように後面基板１に図面のＹ軸方向に沿ってアドレス電極３が形成され、アドレス電極３を覆いながら後面基板１の前面に誘電層５が形成され、誘電層５上に各々のアドレス電極３の間にラインパターンの隔壁７が形成され、各々の隔壁７の間に緑、青、赤の蛍光膜９が形成されている。
【０００４】
そして、後面基板１に対向する前面基板１１の一面には図面のＸ軸方向に沿って一対の透明電極１３とバス電極１５とからなる放電維持電極１７が形成され、放電維持電極１７を覆いながら前面基板１１全体に透明誘電層１９及びＭｇＯ保護膜２１が形成され、アドレス電極３と放電維持電極１７との交差地点で画面の画素が構成される。
【０００５】
したがって、特定画素に対応するアドレス電極３とある一つの放電維持電極１７との間にアドレス電圧（Ｖａ）を印加してアドレス放電を行った後、この画素に対応する２つの放電維持電極１７の間に維持電圧（Ｖｓ）を印加すれば、維持放電時に発生する真空紫外線が該当画素の蛍光膜９を励起して可視光が放出される。
【０００６】
しかし、ラインパターンの隔壁７を備えるＰＤＰ構造では隔壁７が置かれた方向（つまり、図１３に示されたＰＤＰでＹ軸方向）に沿って画素の放電セルが互いに連結されているので、画素の間に誤放電が起こる可能性があり、これを防止するために隣接した画素の放電維持電極１７間の距離を一定水準以上に確保しなければならないので、ＰＤＰの切開率が高くならない短所がある。
【０００７】
したがって、隣接画素間の誤放電を予防するために、全てのＲ、Ｇ、Ｂ画素が横隔壁及び縦隔壁からなる四角隔壁によって完全に囲まれて各々が分離された放電セルを有するようにする構造が提案された。
【０００８】
つまり、図１３に示したラインパターンの隔壁７を縦隔壁とする時、縦隔壁に沿って位置する複数の画素の間に縦隔壁と垂直な横隔壁を形成して全てのＲ、Ｇ、Ｂ画素を横隔壁と縦隔壁とで囲む構造が提案され、これと関連した先行特許としては特許文献１がある。
【０００９】
そして、全てのＲ、Ｇ、Ｂ画素を横隔壁及び縦隔壁で囲むのと同時に、一つのセットのＲ、Ｇ、Ｂ画素を三角形状に配列する、いわゆるデルタ型画素配列を有するＰＤＰ構造が提案されており、これと関連した先行特許としては特許文献２がある。
【００１０】
しかし、このように横隔壁及び縦隔壁を備えた今までのＰＤＰは画素の放電セルを分離するのに隔壁を利用するだけであり、隔壁を利用して画面の対比度、つまり、コントラストを高めることについては充分な考慮が行われていなかった。
【００１１】
また、上述したＰＤＰ構造では全てのＲ、Ｇ、Ｂ画素が横隔壁及び縦隔壁によって完全に囲まれているので、排気が効率的に行われず、パネルの品位を低下させる。したがって、排気効率を考慮した隔壁構造と、工程上の長所を考慮した隔壁の製造方法とが要求される。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１０−１４９７７１号公報
【特許文献２】
米国特許第５，１８２，４８９号明細書
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、隔壁を利用し画面のコントラストを向上させ、全ての赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）画素に対して排気効率が優れており、製造工程が単純で、原価節減に有利なプラズマディスプレイパネル及び前記隔壁の製造方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明によるプラズマディスプレイパネルは、所定の間隔をおいて対向配置された第１基板及び第２基板と、第１基板の対向面上に複数個が互いに平行にラインパターンで形成されたアドレス電極と、アドレス電極を覆いながら第１基板前面に形成された誘電層と、誘電層上に格子型に形成されて放電セルを区画する隔壁と、第２基板の対向面に複数個がアドレス電極と垂直にラインパターンで一対ずつ対をなして形成された放電維持電極と、を含む。この時、前記隔壁はアドレス電極と平行な方向の第１隔壁部材と、放電維持電極と平行な方向の第２隔壁部材と、を含み、第１、２隔壁部材のうちの少なくとも一つの隔壁部材は不透明体からなる。
【００１５】
前記不透明体はクロム酸化物、銅酸化物、ＰｂＯ及びＡｌ２Ｏ３からなる群より選択されたある一つの黒色顔料を用いることができる。
【００１６】
前記第１隔壁部材及び第２隔壁部材は互いに異なる高さで形成されて低い隔壁部材の上段に形成された空間を通じて画素の放電セルを連結することができる。
【００１７】
本発明によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法は、アドレス電極及び誘電層が形成された第１基板を用意し、誘電層前面に第１絶縁ペーストを印刷してＨの高さを有する下部隔壁材を形成する段階と、前記下部隔壁材上に第２絶縁ペーストをラインパターンで印刷して誘電層表面からＨ′の高さを有する上部隔壁材を形成する段階と、前記下部隔壁材及び上部隔壁材を全て覆いながら第１基板前面にドライフィルムレジストをコーティングする段階と、前記ドライフィルムレジスト前面に格子模様の透光部を有するフォトマスクを配置し、この透光部を通じて露光して上部隔壁材全体と下部隔壁材の一部とを覆うようにドライフィルムレジストをパターニングする段階と、前記第１基板前面に砂を高速に噴射して表面が露出している下部隔壁材の一部を除去し、残ったドライフィルムレジストを剥離する段階と、を含む。
【００１８】
この時、前記第１、２絶縁ペーストのうちの少なくとも一つの絶縁ペーストは不透明体からなるのが好ましい。
【００１９】
このように本発明によると、隔壁を黒体で構成することによって画面のコントラストを向上させ、画素の横隔壁及び縦隔壁の高さを異なるように構成し排気を円滑にする。また、隔壁の製造方法においては１度のドライフィルムレジスト印刷、露光、及びサンドブラスト工程で隔壁材を容易にパターニングすることができるので、製造工程が単純になり、原価節減に有利な長所を有する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施例をより詳細に説明する。
【００２１】
図１は本発明の第１実施例によるプラズマディスプレイパネル（以下、便宜上「ＰＤＰ」という）の部分分解斜視図であり、図２は結合状態でのＰＤＰを図１のＸ軸方向に切開して示した断面図である。
【００２２】
図示したように、本実施例は隔壁２が複数のＲ、Ｇ、Ｂ画素を四角形態に囲んで放電セルを区画し、各画素に対応して第１基板（以下、便宜上「後面基板４」という）にアドレス電極６が、そして第２基板（以下、便宜上「前面基板８」という）に放電維持電極１０が備えられて各画素の発光有無及び発光強さを独立的に制御する。
【００２３】
より具体的には、前記後面基板４には図面のＹ軸方向に沿って複数のアドレス電極６がラインパターンで形成され、アドレス電極６を覆いながら後面基板４前面に誘電層１２が形成され、第１隔壁部材２Ａ及び第２隔壁部材２Ｂからなる隔壁２が前記誘電層１２上で所定の高さに形成される。
【００２４】
そして、後面基板４に対向する前面基板８の一面には一対の透明電極１４及びバス電極１６からなる放電維持電極１０が図面のＸ軸方向に沿ってラインパターンで形成されアドレス電極６との交差領域が画素を構成するようにし、放電維持電極１０を覆いながら前面基板８の内面全体に透明誘電層１８及びＭｇＯ保護膜２０が形成される。
【００２５】
前記第１隔壁部材２Ａは各々のアドレス電極６の間でアドレス電極６と平行に形成されて画素の縦隔壁を構成し、第２隔壁部材２Ｂは各々の放電維持電極１０の間で放電維持電極１０と平行に形成されて画素の横隔壁を構成する。そして、第１、２隔壁部材２Ａ、２Ｂによって囲まれた各々の画素領域にＲ、Ｇ、Ｂ蛍光膜２２が位置する。
【００２６】
したがって、特定画素に対応するアドレス電極６とある一つの放電維持電極１０との間にアドレス電圧（Ｖａ）を印加してアドレス放電を行った後、この画素に対応する二つの放電維持電極１０の間に維持電圧（Ｖｓ）を印加すれば、維持放電時に発生する真空紫外線が該当画素の蛍光膜２２を励起し可視光を放出する。
【００２７】
ここで、本実施例によるＰＤＰは第１隔壁部材２Ａ及び第２隔壁部材２Ｂのうちの少なくとも一つの隔壁部材を不透明体、つまり、黒体で構成して画面のコントラストを向上させ、第１隔壁部材２Ａと第２隔壁部材２Ｂとを互いに異なる高さに形成して低い高さの隔壁部材を通じて画素の放電セルを連結することにより、ＰＤＰ製作時に排気効率を向上させる。
【００２８】
つまり、本実施例で前記隔壁２は図３に示したように第１隔壁部材２Ａを不透明体で構成して図面のＸ軸方向に沿って位置する画素の間のコントラストを向上させ、他の実施例として図４に示したように第２隔壁部材２Ｂを不透明体で構成して図面のＹ軸方向に沿って位置する画素の間のコントラストを向上させる。
【００２９】
また、他の実施例として前記隔壁２は図５に示したように、第１隔壁部材２Ａ及び第２隔壁部材２Ｂの全てを不透明体で構成して全ての画素の間のコントラストを向上させる。
【００３０】
この時、図３に示した第１隔壁部材２Ａ、図４に示した第２隔壁部材２Ｂ、及び図５に示した第１、２隔壁部材２Ａ、２Ｂは、好ましくはクロム酸化物、銅酸化物、ＰｂＯまたはＡｌ２Ｏ３などの金属酸化物からなる黒色顔料を含有して黒色を帯び、ガラスペーストと共に誘電体１２上にコーティングされて隔壁２を構成する。
【００３１】
図６は図１に示した後面基板のうちの隔壁の部分拡大図であって、第１隔壁部材２Ａと第２隔壁部材２Ｂとは互いに異なる高さで形成され、一例として第１隔壁部材２ＡがＨ１の高さで形成される時、第２隔壁部材２ＢはＨ１よりも低いＨ２の高さで形成されて、前後面基板４、８が組立てられた後、第２隔壁部材２Ｂ上部に空間を提供する。
【００３２】
したがって、第２隔壁部材２Ｂ上部の空間が図面のＹ軸方向に沿って位置する隣接画素間の放電セルを連結し、排気過程で各画素の排気を円滑にする。この時、図１及び図６に示した他に第１隔壁部材２Ａが第２隔壁部材２Ｂよりも低い高さで形成されて第１隔壁部材２Ａ上部に空間を提供する構成も可能である。第２隔壁部材２Ｂの高さＨ２が第１隔壁部材２Ａの高さＨ１よりも高い場合、第１隔壁部材２Ａの上部空間がＸ軸方向に沿って隣接する画素の放電セルを連結する。
【００３３】
このように本実施例で前記隔壁２は各々の画素を四角形状に囲んで隣接画素間の誤放電を防止し、第１、２隔壁部材２Ａ、２Ｂのうちの少なくともある一つの隔壁部材を黒体で構成して画面のコントラストを向上させ、第１、２隔壁部材２Ａ、２Ｂの高さを異なるように形成してＰＤＰの排気を円滑にする。
【００３４】
図７は本発明の第２実施例によるＰＤＰの部分分解斜視図であって、本実施例で隔壁２′は誘電層１２上で図面のＸ軸方向に沿ってアドレス電極６と垂直なストライプ状に形成する第１隔壁部材２Ａ′と、隣接する第１隔壁部材２Ａ′の間の空間に複数個が形成され複数の放電セルを区画する第２隔壁部材２Ｂ′とからなる。この時、前記放電セルはアドレス電極６方向に沿ってジグザグに配列されるようにする。つまり、第２隔壁部材２Ｂ′は図面のＹ軸方向に沿って隣接する他の第２隔壁部材２Ｂ′と互いにずれるように配置されて一つのセットのＲ、Ｇ、Ｂ画素を三角形態に配列する。
【００３５】
ここで、本実施例によるＰＤＰは第１隔壁部材２Ａ′または第２隔壁部材２Ｂ′を不透明体で構成したり、第１隔壁部材２Ａ′及び第２隔壁部材２Ｂ′の全てを不透明体で構成したりして画面のコントラストを向上させ、第１隔壁部材２Ａ′の高さよりも第２隔壁部材２Ｂ′の高さを低くして前後面基板４、８の組立後、第２隔壁部材２Ｂ′上に空間を提供する。
【００３６】
したがって、第２隔壁部材２Ｂ′上部の空間が図面のＸ軸方向に沿って位置する隣接画素間の放電セルを連結して排気を円滑にする。この時、第２隔壁部材２Ｂ′の高さよりも第１隔壁部材２Ａ′の高さを低くして第１隔壁部材２Ａ′上部に空間を提供する構成も可能である。
【００３７】
また、前記隔壁２′が一つのセットのＲ、Ｇ、Ｂ画素を三角形態に配列する場合、前面基板８に形成される放電維持電極１０′は第１隔壁部材２Ａ′に対応するラインパターンでバス電極１６′を形成し、隣接した二つのバス電極１６′から各画素の内部に向かって透明電極１４′を延長形成するのが好ましい。
【００３８】
一方、上述した実施例の隔壁２は図８〜図１２を参照して次に説明する製造方法によって容易に製作することができる。ここでは一例として第１隔壁部材２Ａが不透明体で構成され（図３参照）、第１隔壁部材２Ａが第２隔壁部材２Ｂよりも高い高さで形成される構成（図６参照）に基づいてその製造方法を説明する。
【００３９】
まず、図８に示したようにアドレス電極（図示せず）及び誘電層１２が形成された後面基板４を用意し、誘電層１２の前面に白色の絶縁ペーストを印刷した後、焼成してＨ２の高さを有する下部隔壁材２４を形成する。
【００４０】
そして、図９に示したように、下部隔壁材２４上に各々のアドレス電極の間に黒色の絶縁ペーストをラインパターンで印刷した後、焼成して誘電層１２表面からＨ１の高さを有する上部隔壁材２６を形成する。
【００４１】
この時、前記白色の絶縁ペーストは黒色顔料が含まれない通常の隔壁材料、つまり、ガラスペーストからなり、黒色の絶縁ペーストはガラスペースト及び黒色顔料の混合物であって、黒色顔料としては銅酸化物、クロム酸化物、ＰｂＯ及びＡｌ２Ｏ３などを用いることができる。
【００４２】
次に、図１０に示したように、上部隔壁材２６及び下部隔壁材２４を覆いながら誘電層１２前面にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ　Ｆｉｌｍ　Ｒｅｓｉｓｔ）２８をコーティングし、図１１に示したように格子模様の透光部３０を有するフォトマスク３２を後面基板４上に配置した後、露光する。
【００４３】
したがって、後面基板４には図１２に示したようにフォトマスク３２の透光部３０形状によって上部隔壁材２６の表面にドライフィルムレジスト２８が残留し、上部隔壁材２６と垂直方向に沿って下部隔壁材２４上にドライフィルムレジスト２８が残留する。
【００４４】
次に、後面基板４をサンドブラスト（図示せず）に装着し、ノズル３４を通じて後面基板４前面に砂を高速に噴射して表面が露出している下部隔壁材２４の一部を除去する。この時、前記ドライフィルムレジスト２８は噴射される砂から上部隔壁材２６の全体とこの後第２隔壁部材になる下部隔壁材２４の一部とを保護する役割を果たす。
【００４５】
最後に、後面基板４に残っているドライフィルムレジスト２８を除去すれば、図６に示したように誘電層１２上には図面のＹ軸方向に沿って黒色の第１隔壁部材２ＡがＨ１の高さで形成され、図面のＸ軸方向に沿って白色の第２隔壁部材２Ｂが第１隔壁部材２Ａよりも低いＨ２の高さで形成される。
【００４６】
【発明の効果】
このように本実施例による隔壁２の製造方法は高価な感光性隔壁材料を使用しないので原価節減に有利であり、ドライフィルムレジスト２８印刷と露光作業とが各々１度ずつ行われ、１度のサンドブラスト工程で上下部隔壁材２４、２６を容易にパターニングすることができるので、製造工程が単純にできる長所を有する。
【００４７】
前記では本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例によるプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。
【図２】結合状態でのプラズマディスプレイパネルを図１のＸ軸方向に切開して示した断面図である。
【図３】隔壁の多様な構成例を説明するための概略図である。
【図４】隔壁の多様な構成例を説明するための概略図である。
【図５】隔壁の多様な構成例を説明するための概略図である。
【図６】図１に示した後面基板のうち隔壁の部分拡大図である。
【図７】本発明の第２実施例によるプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。
【図８】本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法を説明するための各段階での概略図である。
【図９】本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法を説明するための各段階での概略図である。
【図１０】本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法を説明するための各段階での概略図である。
【図１１】本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法を説明するための各段階での概略図である。
【図１２】本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法を説明するための各段階での概略図である。
【図１３】従来技術によるプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。
【符号の説明】
２　　　隔壁
２Ａ、２Ａ′　　　第１隔壁部材
２Ｂ、２Ｂ′　　　第２隔壁部材
４　　　後面基板
６　　　アドレス電極
８　　　前面基板
１０　　　維持電極
１２　　　誘電層
１４　　　透明電極
１６　　　バス電極
１８　　　透明誘電層
２０　　　ＭｇＯ保護膜
２２　　　Ｒ、Ｇ、Ｂ蛍光膜
２４　　　下部隔壁材
２６　　　上部隔壁材
２８　　　ドライフィルムレジスト
３０　　　透光部
３２　　　フォトマスク
Ｖａ　　　アドレス電圧
Ｖｓ　　　維持電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004039629.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004039629.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2004039629.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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