(57)【要約】【課題】ガラス光学素子の成形時にカン、ワレが生じることを防止でき、かつ、成形後のガラス光学素子にクモリが生じることを抑制できるプレス成形用ガラス素材を提供すること、及びそのようなプレス成形用ガラス素材を用いて、カン、ワレやクモリのないガラス光学素子を提供すること。【解決手段】ガラス素材を収容した反応器に炭化水素を供給し、供給した炭化水素を熱分解させて炭素系膜をガラス素材表面に形成する成膜工程を含む、プレス成形用ガラス素材の製造方法。上記成膜工程は、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップとを含むサイクルを２回以上繰り返す。上記製造方法により得られた表面に炭素系膜を有するガラス素材を加熱軟化し、プレス成形することを含む、ガラス光学素子の製造方法。【選択図】図１
2004231504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス素材を収容した反応器に炭化水素を供給し、供給した炭化水素を熱分解させて炭素系膜をガラス素材表面に形成する成膜工程を含む、プレス成形用ガラス素材の製造方法において、
前記成膜工程は、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップとを含むサイクルを２回以上繰り返すことを特徴とする、前記製造方法。
【請求項２】
炭化水素の供給は、熱分解温度に設定した反応器に、反応器中の炭化水素の分圧が所定の圧力になるまで行うことを特徴とする、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
反応器への炭化水素の供給は、炭化水素分圧が20torr以上、100torr未満の圧となるように行うことを特徴とする、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
反応器中の排気は、反応器中の全圧が0.5Torr以下となるまで行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
成膜工程は、反応器中の温度を250℃〜600℃の範囲内に維持しながら行うことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の製造方法により得られた表面に炭素系膜を有するガラス素材を加熱軟化し、プレス成形することを含む、ガラス光学素子の製造方法。
【請求項７】
プレス成形を、成形面に炭素を含有する膜を有する成形型を用いて行うことを特徴とする、請求項６に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め所定形状に予備形成されたガラス素材に炭素系膜を設けたプレス成形用ガラス素材の製造方法、及びこの製造方法により得られたプレス成形用ガラス素材を加熱軟化し、プレス成形によってガラス光学素子を得る方法に関する。特に、本発明のガラス光学素子の製造方法は、成形後に研削、研磨を必要とせず、所定の面精度と光学性能をもったガラス光学素子が得られる方法である。
【背景技術】
【０００２】
ガラス素材を加熱軟化し、所定の面形状、面精度をもった成形型を用いてプレス成形する際、型の成形面へのガラスの融着を防止する目的で、型又はガラス素材の表面に、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などにより、主成分として炭素を含有する膜（炭素系膜）を設けることが知られている（特許文献１）。しかしながら、上記の炭素系膜は成膜装置が大掛かりである上、例えば、真空蒸着法は成膜時間がかかるという問題があり、また、スパッタ法では指向性があり球状のガラス素材には不向きであるなどの問題があった。
【０００３】
そこで、このような問題を解決する手段として、特許文献２には、アセチレンの熱分解により、簡便な方法で、比較的伸び易く薄い炭素膜をガラス素材の表面に設けることが記載されている。しかしながら、特許文献２に記載の炭素系膜では、成形されたレンズ表面にクモリが発生するという問題があった。
【０００４】
【特許文献１】特開昭62-207726号公報
【特許文献２】特開平8-217468号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
また、発明者らの知見によれば、ガラス硝種（例えばランタン系光学ガラス）によっては、成形時に、ガラスと成形型成形面の間での相互作用のため、レンズの破損（いわゆるカン、ワレ）が極めて起きやすい。これを防止するためにガラス素材表面に比較的厚い炭素系膜を設けることが考えられる。そこで、発明者らは、上記特許文献２の方法によって炭素系膜を成膜する際に、炭化水素ガスの導入時間を増やし、あるいは分圧を上げて、ガラス素材の炭化水素への暴露量を増やす試みをした。しかし、このようにすると、クモリの発生は更に悪化することが分かった。
【０００６】
そこで、本発明は、ガラス光学素子の成形時にカン、ワレが生じることを防止でき、かつ、成形後のガラス光学素子にクモリが生じることを抑制できるプレス成形用ガラス素材を提供すること、及びそのようなプレス成形用ガラス素材を用いて、カン、ワレやクモリのないガラス光学素子を提供することを目的とする。
【０００７】
発明者らは、上記特許文献１に記載の方法で得られるレンズにおいてレンズ表面に生じるクモリの原因について検討した。その結果、プレス成形時にガラス素材中に含まれる反応性の高い水素（以下、水素ラジカルという）が、成形型成形面の離型膜素材などと反応して成形面に荒れを生じ、あるいは微少な融着を起こすことにより発生することが判明した。
さらに本発明者らの検討の結果、ガラス素材中に含まれた水素ラジカルの量が多いほどクモリが発生しやすく、これは、上記方法による成膜時におけるガラス素材の炭化水素への暴露量に依存することがわかった。すなわち、成膜時に反応器中での、炭化水素の分圧と、その暴露時間によって、ガラス素材に取りこまれる水素ラジカルの量が変化し、これがクモリの度合に影響することが見出された。
このような知見に基づいて本発明は完成された。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は以下の通りである。
（１）ガラス素材を収容した反応器に炭化水素を供給し、供給した炭化水素を熱分解させて炭素系膜をガラス素材表面に形成する成膜工程を含む、プレス成形用ガラス素材の製造方法において、
前記成膜工程は、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップとを含むサイクルを２回以上繰り返すことを特徴とする、前記製造方法。
（２）炭化水素の供給は、熱分解温度に設定した反応器に、反応器中の炭化水素の分圧が所定の圧力になるまで行うことを特徴とする、（１）の製造方法。
（３）反応器への炭化水素の供給は、炭化水素分圧が20torr以上、100torr未満の圧となるように行うことを特徴とする、（１）または（２）に記載の製造方法。
（４）反応器中の排気は、反応器中の全圧が0.5Torr以下となるまで行うことを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の製造方法。
（５）成膜工程は、反応器中の温度を250℃〜600℃の範囲内に維持しながら行うことを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載の製造方法。
（６）（１）〜（５）のいずれかに記載の製造方法により得られた表面に炭素系膜を有するガラス素材を加熱軟化し、プレス成形することを含む、ガラス光学素子の製造方法。
（７）プレス成形を、成形面に炭素を含有する膜を有する成形型を用いて行うことを特徴とする、（６）に記載の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ガラス光学素子の成形時にカン、ワレが生じることを防止でき、かつ、成形後のガラス光学素子にクモリが生じることを抑制できるプレス成形用ガラス素材を提供することができる。
さらに本発明によれば、そのようなプレス成形用ガラス素材を用いて、カン、ワレやクモリのないガラス光学素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
［プレス成形用ガラス素材の製造方法］
本発明のプレス成形用ガラス素材の製造方法は、ガラス素材を収容した反応器に炭化水素を供給し、供給した炭化水素を熱分解させて炭素系膜をガラス素材表面に形成する成膜工程を含む。
そして、前記成膜工程は、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップとを含むサイクルを２回以上繰り返すことを特徴とする。
【００１１】
本発明の製造方法においては、成膜工程において、ガラス素材を収容した反応器に炭化水素ガスを導入し、ガラス素材に炭化水素ガスを接触させる。ガラス素材表面近傍で熱分解した炭化水素は、炭素及び水素となり、炭素はガラス素材表面に析出して炭素系膜を形成する。
本発明の製造方法においては、炭化水素を供給し、熱分解させて炭素をガラス素材表面に析出させるステップと熱分解の後に反応器中を排気して反応器中に残存する未分解の炭化水素及び分解生成物である水素を排気するステップとを含むサイクルを繰り返し行う。繰り返しの回数は、少なくとも２回であり、ガラス素材表面に析出させたい炭素系膜の膜厚、及び１回のステップで反応器中に供給される炭化水素の量等を考慮して適宜決定できる。
【００１２】
１回のステップで反応器中に供給される炭化水素の量は、炭化水素の分圧が20torr以上、100torr未満の範囲、好ましくは20〜50torrの範囲となるように行うことが、ガラス素材表面上に適当な分圧で炭化水素を到達させ、熱分解させて成膜効率を上げるという観点から適当である。但し、炭化水素の分圧は、用いるガラス硝種や成形する光学素子の形状などを考慮して上記範囲外からでも選択することはできる。
また、反応器への炭化水素の供給は、炭化水素の分圧が上記範囲内となるまで、一定流量で導入することができる。
【００１３】
また、反応器中の排気は、炭化水素及び水素の分圧を排気により減少させるように行い、反応器中のガス圧が0.5torr以下になるまで排気することが、後述するように、水素ラジカルの発生源を実質的に抑えることができるという観点から好ましい。
【００１４】
尚、反応器中に炭化水素ガスを最初に導入する際には、反応器中を予め充分排気しておくことが好適である。そして排気後、不活性ガス、例えば窒素ガスを導入し、再度排気してから第１回目の熱分解を行うことが好ましい。
【００１５】
成膜工程における反応器の温度は、炭化水素ガスの供給及び熱分解のステップ並びに排気のステップとも、一定以上の温度に維持しながら行うことが、ガラス素材表面上において適当な速度で炭化水素の熱分解が進行するという観点から適当である。
第１回目の炭化水素導入時に、反応器中は既に熱分解温度に昇温されていることが好ましい。
即ち、炭化水素の供給は、熱分解温度に設定してある反応器に、反応器中の炭化水素の分圧が所定の圧力になるまで行うことが、成膜効率を考慮すると好ましい。
【００１６】
反応器中の温度は、炭化水素の種類に応じて、炭化水素の熱分解に適切な温度である、例えば、約250℃〜600℃の範囲とすることが適当である。用いられる炭化水素としては、例えば、アセチレン、エチレン、ブタン、エタン、プロピン、プロパン、ベンゼンなどを挙げることができる。炭化水素がアセチレンの場合、熱分解に適切な温度は、例えば、400〜550℃、好ましくは480℃〜510℃である。アセチレンは、熱分解温度が比較的低いことから好ましい炭化水素の１つである。
【００１７】
炭化水素は、純度が高いことが好ましく、特に99.6％以上の純度であることが、ガラスのヤケ（不純物とガラスとの反応）を防止するという観点から好ましい。例えば、高純度（純度99.999％）の炭化水素を用いると、本発明の効果はより顕著に得られる。しかし、高純度でなくても本発明の効果は得られる。
【００１８】
本発明において、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップを含むサイクルを、少なくとも2回（2サイクル）繰り返し行うが、サイクルの繰り返しは、例えば、2〜20回であることができ、更には、2〜14回とすることが好ましい場合がある。サイクルの数を変化させることにより、ガラス素材表面上に形成される炭素系膜の膜厚を制御することができる。本発明において、ガラス素材表面上に形成される炭素系膜の膜厚は、例えば、0.7〜2nmの範囲であることが好ましい。
【００１９】
例えば、ランタン系光学ガラスの場合、上記サイクルを4回〜20回行うことが好ましい。また、バリウムホウケイ酸ガラスの場合には、2回〜8回が好ましい。
本発明の成膜工程で、熱分解反応（炭化水素を供給し、熱分解させるステップ）時間はサイクル1回あたり10〜200分であり、好ましくは20〜100分であり、更に好ましくは20〜50分である。また、排気のステップ時間は、10分以下とすることが、水素への暴露を抑えるという観点から好ましい。
【００２０】
従来の方法は、排気した反応器内に所定量（所定膜厚の炭素系膜の形成に必要な量）の炭化水素ガスを導入した後、炭化水素ガスの導入を停止し、その状態で炭化水素を熱分解させて成膜を終了するものである。それに対して本発明の方法では、上述のように、炭化水素を供給し、熱分解させるステップと熱分解の後に反応器中を排気するステップとからなるサイクルを最低２回行う。その結果、後述の実施例で詳細に示すとおり、使用する炭化水素量（単位時間当たりの流量×処理時間）を従来の方法と同等にした場合、本発明の方法により成膜を行ったガラス素材は、プレス成形したときに、クモリ防止については従来技術に比較して大幅に向上し、かつ従来技術による方法で得られたガラス素材を用いた場合と同等以上のカン、ワレ防止効果が得られる。
【００２１】
プレス成形に伴うクモリは、主にプレス工程中にガラス中にある水素ラジカルが成形面において離型膜の組成物(例えば、離型膜に炭素を含む場合など)と反応することにより、成形面に発生する融着や表面の荒れが生じることに起因することは、前述の通りである。一方、ガラス中の水素ラジカルは、炭化水素の熱分解処理において生じ、雰囲気中に存在する水素がガラス中に吸収されることにより発生する。ガラス中の水素ラジカル量は、ガラスの水素雰囲気への暴露総量に依存し、この暴露総量は、炭化水素への暴露総量に依存すると考えられる。
【００２２】
炭化水素への暴露総量は、おおよそ図１［(a)は本発明の条件、(b)は従来技術の条件］のように、反応器中の炭化水素の分圧と処理時間との関係における面積として表すことができると考えられる。従って、炭化水素の分圧が増加するに従って、ガラス中にとりこまれる水素ラジカルの量は急速に増加し、これがプレス中に成形面に移動して、成形面での反応を起こすものと本発明者らは推察している。
【００２３】
ガラス中に取りこまれた水素ラジカル量は、Ag+を極微量導入したガラス素材について炭化水素の熱分解による炭素系膜の成膜を行った後、ガラスの色の変化を測定することで、知ることができる。ガラス中に侵入した水素は、Ag+を還元し、ガラスの色を無色から黄色に変色させる。
【００２４】
一方、ガラス素材の表面に形成される炭素系膜の炭素量（表面炭素量）は、ガラス表面における炭化水素の分解反応(アセチレンの場合、C2H2→2C+H2)の進行により増加し、この反応は表面反応であることからガラス表面の状態（特に上記分解反応の基点となる炭素の核の量）に強く依存する。即ち、本発明の方法において前記サイクルを繰り返し行った場合、表面炭素量は炭化水素への暴露総量には依存しない。むしろ、炭化水素分圧が断続的に変化することによって、効率よく増加している。ガラス表面では炭化水素分圧が比較的低い所定範囲で、炭素核の発生が炭素核の成長より優先して生じるため、このようなサイクルによって表面の炭素核が増加し、均一で緻密な膜が形成されるものと考えられる。その結果、本発明の方法で得られたガラス素材は、プレス成形においてカン、ワレをより生じにくくなっているものと推察される。
【００２５】
本発明の製造方法によって炭素系膜を形成するガラス素材は、その組成には、特に限定はないが、例えば、バリウムホウケイ酸塩光学ガラスや、ランタン系光学ガラスなどが、特に有効に用いられる。特に、ワレやすく、クモリの出やすいランタン系光学系ガラスにおいて顕著な効果が得られる。
【００２６】
バリウムホウケイ酸塩光学ガラスとしては、例えば、ガラス成分として、
ＳｉＯ2を３０〜５５ｗｔ％、
Ｂ2Ｏ3を５〜３０ｗｔ％、
但しＳｉＯ2とＢ2Ｏ3との合量が５６〜７０ｗｔ％でＳｉＯ2／Ｂ2Ｏ3の重量比が１．３〜１２．０、
Ｌｉ2Ｏを７〜１２ｗｔ％（但し７ｗｔ％は含まない）、
Ｎａ2Ｏを０〜５ｗｔ％、
Ｋ2Ｏを０〜５ｗｔ％、
但しＬｉ2ＯとＮａ2ＯとＫ2Ｏとの合量が７〜１２ｗｔ％（但し７ｗｔ％は含まない）、
ＢａＯを１０〜３０ｗｔ％、
ＭｇＯを０〜１０ｗｔ％、
ＣａＯを０〜２０ｗｔ％、
ＳｒＯを０〜２０ｗｔ％、
ＺｎＯを０〜２０ｗｔ％、
を含有し、ＢａＯとＭｇＯとＣａＯとＳｒＯとＺｎＯとの合量が１０〜３０ｗｔ％であるガラスであって、前記ガラス成分のうちＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、Ｌｉ2ＯおよびＢａＯの合量が７２ｗｔ％以上であり、ＴｅＯ2を含まないことを特徴とする光学ガラスが好適に用いられる。
【００２７】
また、ランタン系光学ガラスとしては、例えば、
ガラス成分として、重量％で、Ｂ2Ｏ3  ２５〜４２％、Ｌａ2Ｏ3  １４〜３０％、Ｙ2Ｏ3  ２〜１３％、ＳｉＯ2  ２〜２０％、Ｌｉ2Ｏ  ２％より多く９％以下、ＣａＯ  ０．５〜２０％、ＺｎＯ  ２〜２０％、Ｇｄ2Ｏ3  ０〜８％、ＺｒＯ2０〜８％、Ｇｄ2Ｏ3＋ＺｒＯ2  ０．５〜１２％を含有し、かつこれらの成分の合計含有量が９０％以上であり、さらに、場合により、Ｎａ2Ｏ  ０〜５％、Ｋ2Ｏ  ０〜５％、ＭｇＯ  ０〜５％、ＳｒＯ  ０〜５％、ＢａＯ  ０〜１０％、Ｔａ2Ｏ5  ０〜５％、Ａｌ2Ｏ3  ０〜５％、Ｙｂ2Ｏ3  ０〜５％、Ｎｂ2Ｏ5  ０〜５％、Ａｓ2Ｏ3  ０〜２％およびＳｂ2Ｏ3  ０〜２％を含有する光学ガラスが挙げられる。
【００２８】
ガラス素材は、一定重量の溶融ガラスから予備形成されたいわゆるガラスプリフォームであることができ、形状は、球形、扁平球形など、制約はない。
【００２９】
［ガラス光学素子の製造方法］
上記本発明のガラス素材の製造方法により得られた、炭素系膜が形成されたガラス素材を、ガラス素材を加熱軟化し、プレス成形することにより、ガラス光学素子とする本発明の方法について、以下に説明する。
【００３０】
本発明の製造方法において行われるプレス成形は、例えば、加熱軟化したガラス素材を、必要とするレンズ形状、表面状態に加工されたガラス素材に対向する成形面をもつ上型、下型、この上型、下型を必要とする位置に保つための案内型を用いて行われる。具体的には、例えば、案内型中に保たれた下型、上型の間にガラス素材を保ち、ガラス軟化点より高い、必要とする温度に型とガラス素材を保った後、上型を押し込むことにより、上型と下型の距離を必要とする値まで縮めて成形し、成形体と、型を冷却し、しかる後に取り出すことにより必要とする、例えばガラスレンズを得る事ができる。
【００３１】
プレス成形に用いるレンズ素材のプレス成形時の推奨できる温度範囲としては、例えば530〜680℃の範囲を挙げることができ、硝種、レンズ形状などに応じて適宜選択できる。炭素系膜を有するガラス素材をこの温度に加熱して軟化させる。上型、下型、案内型の温度に関しては、型をガラス素材と同じ温度にしてプレスすればよい。あらかじめガラス素材のみを型外で加熱しておく適当な措置が取られていれば、上型、下型、案内型の温度をガラス素材の温度より低くしてプレス成形することも可能である。この場合、ガラス素材の温度は、ガラス素材及び型温度が等しい等温プレス法で用いられる温度より、高くしておくことが望ましく、例えば、ガラス素材の粘度で、105.5〜109ポアズに相当する温度であることが好ましい。それに対する型温度は、たとえば、ガラス素材の粘度で107〜1012ポアズに相当する温度であることが好ましい。
【００３２】
成形型としては、特に限定はないが、例えばCVD法にて作製されたSiCを必要とする形状に加工し、ガラス素材に対向する成形面に離型膜として炭素を含有する膜である炭素薄膜を形成したものが好ましく使用できる。SiCの他、Si3N4、Moなども使用可能である。この炭素薄膜としてはスッパッタリング法にて形成したもの、イオンプレーティング法にて形成したもの、イオンプレーティング法にて形成した炭素薄膜の上にスパッタリング法にて炭素薄膜を形成した2重構造のものを、硝種、レンズ形状に応じて使用することができる。スパッタリング法にて形成した炭素薄膜は成形後のレンズとの離型性がよい利点があり、イオンプレーティング法にて形成した炭素薄膜は、型との付着性がよく、かつ成形型の形状が忠実にガラス素材に転写され易い利点がある。イオンプレーティング法にて形成した炭素膜の上にスパッタリング法にて炭素膜を形成した2重構造の炭素薄膜は型との付着性がよくかつ成形後のレンズとの離型性がよいという利点がある。
【００３３】
プレス成形によって成形する光学素子の形状に特に制約はない。本発明は特に、凹メニスカス形状のレンズ、コバの厚さが1ｍｍ以下のレンズにおいて顕著に効果が得られる。また、成形温度が、600℃以上、更には650℃以上の場合に特に起きやすいワレやクモリが、本発明により有効に抑止される。
【００３４】
ガラス素材表面の炭素系膜は、プレス成形後、ガラス光学素子の用途によっては除去しなくても良いが、除去した方が好ましい場合もある。
ガラス光学素子からの炭素系膜の除去は、例えば、酸化雰囲気(例えば、空気中)で３００℃程度に加熱することにより行うことができる。但し、この方法、条件に限定される意図ではない。
【実施例】
【００３５】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
実施例1
ランタン系光学ガラスM-NbFD13（ＨＯＹＡ（株）製）の扁平球形状のガラスプリフォームを石英製のトレーに載せ、ベルジャー（反応容器）内に配置した。ベルジャー内を真空ポンプにより0.5torr以下に排気した後、加熱し480℃に維持した。ベルジャー内に窒素ガスを導入しながら真空ポンプにより排気を行うことにより、160torrに保ち、30分間パージを行った後、窒素ガスの導入を止めた。
【００３６】
次いで、ベルジャー内を真空ポンプで0.5torr以下に排気した後、アセチレンガスを一定流量にて30分間導入し、ベルジャー内の圧力が30torrとなったところでアセチレンガスの導入を止め、直ちに反応容器内を真空ポンプで排気した。反応容器内が0.5torr以下になったところ（排気時間５分間）で、再度アセチレンガスの導入を開始した。
この操作を4回行った後（サイクル4回）、反応容器を冷却した後、窒素ガスで希釈しながら大気圧に戻し、ガラスプリフォームを取り出した。
【００３７】
得られたガラスプリフォームを用いて、SiCで作製され、ガラス素材に対向する成形面にスパッタリング法にて炭素薄膜を形成した成形型を用い、案内型を伴った上下型の間に650℃（ガラスの粘度が１０7ポアズ相当）に保った後、１００kg／cm2の力で型を押すことにより径18ｍｍの凹メニスカスレンズに成形した。
レンズ成形後、大気中、490℃で2時間アニールし、レンズ表面の炭素膜を除去した。
【００３８】
このプレス成形により、成形面でのガラスの融着等によるカン、ワレ、及びクモリについて評価を行った。結果は、表１に示す。表１に示すとおり、カン、ワレと共に、レンズのクモリを抑制できた。
尚、カン、ワレ及びクモリの評価は以下のように行った。
カンは、立体顕微鏡(倍率10倍)により、カンが認められたサンプルの比率により評価し、ワレ及びクモリは目視により発生が認められたサンプルの比率により評価した。
【００３９】
比較例1
ランタン系光学ガラスM-NbFD13  （ＨＯＹＡ（株）製）のガラスプリフォーム（実施例１と同じガラスプリフォーム）を石英製のトレーに載せ、ベルジャー内のラックに置いた。ベルジャー内を真空ポンプにより0.5torr以下に排気した後、加熱し480℃に保った。ベルジャー内に窒素ガスを導入しながら真空ポンプにより排気を行うことにより、160torrに保ち、30分間パージを行った後、窒素ガスの導入を止めた。
ベルジャー内を真空ポンプで0.5torr以下に排気した後、一定流量でアセチレンガスを120分間で120torr導入し、アセチレンガスの導入を止めた。次いで、反応容器を冷却した後、窒素ガスで希釈しながら大気圧に戻し、ガラスプリフォームを取り出した。
このガラスプリフォームを用いて、実施例１と同様に凹メニスカス形状レンズにプレス成形した。得られたレンズの評価結果を表１に示す。表１に示すように、カン、ワレは防止できたが、クモリの発生率が実施例1の約3倍となり、外観不良となった。
【００４０】
実施例2
光学ガラス（ランタン系）M-LaC130（ＨＯＹＡ（株）製）のガラスプリフォームを石英製のトレーに載せ、ベルジャー内のラックに置いた。ベルジャー内を真空ポンプにより0.5torr以下に排気した後、加熱し480℃に保つ。ベルジャー内に窒素ガスを導入しながら真空ポンプにより排気を行うことにより、160torrに保ち、30分間パージを行った後、窒素ガスの導入を止めた。
ベルジャー内を真空ポンプで0.5torr以下に排気した後、アセチレンガスを30分間でベルジャー内の圧力が30torrとなったところでアセチレンガスの導入を止め、直ちに反応容器内を真空ポンプで排気した。反応容器内が0.5torr以下になったところ（排気時間5分間）で、再度アセチレンガスの導入を開始した。
この操作を14回行った（サイクル14回）後に反応容器を冷却し、次いで、窒素ガスで希釈しながら大気圧に戻し、ガラスプリフォームを取り出した。
このガラスプリフォームを用いて径17ｍｍの凸メニスカス形状レンズにプレス成形した。用いた装置、プレス工程は、実施例１とである。得られたレンズの評価結果を、表２に示す。表２に示すように、カン、ワレを防止しながら、クモリ発生が大幅に抑止されて、外観の良好なレンズが得られた。
【００４１】
比較例2
硝種M-LaC130のガラスプリフォーム（実施例２と同一のガラスプリフォーム）を石英製のトレーに載せ、ベルジャー内のラックに置いた。ベルジャー内を真空ポンプにより0.5torr以下に排気した後、加熱し480℃に保つ。ベルジャー内に窒素ガスを導入しながら真空ポンプにより排気を行うことにより、160torrに保ち、30分間パージを行った後、窒素ガスの導入を止めた。
ベルジャー内を真空ポンプで0.5torr以下に排気した後、アセチレンガスを420分間で420torr導入し、アセチレンガスの導入を止めた。反応容器を冷却した後、窒素ガスで希釈しながら大気圧に戻し、ガラスプリフォームを取り出した。
このガラスプリフォームを用いて実施例２同様に凸メニスカス形状レンズにプレス成形した。その結果、表２に評価結果を示すように、融着等によるカン、ワレは防止できたが、クモリの発生率が実施例2の約5倍であった。
尚、比較例2において、クモリを抑止するために、アセチレンの分圧を210Torrに減少させたところ、カン、ワレが多発してしまった。
以上の実施例と比較例を下記表１及び２に示す。
【００４２】
【表１】
2004231504.tif 000003
【００４３】
【表２】
2004231504.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】反応器中の炭化水素の分圧と処理時間との関係［（ａ）は本発明の条件、（ｂ）は従来技術の条件］である。
【図１】
2004231504.tif 000005