(57)【要約】【課題】薄膜磁気記録ヘッドの製造工程は従来と同じにしたまま、すなわち、幅狭なものの上に幅広なものを成膜するという製造工程上の問題を生じないまま、いわゆる記録磁界フリンジングによるサイドイレースを減少させ、これにより、磁気記録の高密度化を図ることを課題とする。【解決手段】薄膜磁気記録ヘッド２１が、基板３１と、該基板上に成膜された第１の磁気コア２４と、前端面３０ａが上記第１の磁気コアの前端面２９ａと所定の磁気ギャップＧを有した状態で成膜された第２の磁気コア２５と、各磁気コアの前端面間において磁界を発生させるコイル２６を有し、上記第２の磁気コアの前端面の幅を上記第１の磁気コアの前端面の幅に対して小さく形成し、上記第２の磁気コアをテープ状記録媒体５に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させる。【選択図】　　　　　図４
2004039090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッド装置であって、
上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔（以下、「磁気ギャップ」という。）を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、
上記第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、
上記第２の磁気コアを磁気記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させた
ことを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
上記磁気記録ヘッドの磁気記録媒体に対する走行方向における先頭側及び／又は後尾側に補助部材を接着した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項６】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項７】
テープ状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段を備えた磁気テープドライブ装置において、
上記磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、
上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔（以下、「磁気ギャップ」という。）を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、
第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、
上記第２の磁気コアをテープ状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させた
ことを特徴とする磁気テープドライブ装置。
【請求項８】
上記磁気記録ヘッドの磁気記録媒体に対する走行方向における先頭側及び／又は後尾側に補助部材を接着した
ことを特徴とする請求項７に記載の磁気テープドライブ装置。
【請求項９】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項７に記載の磁気テープドライブ装置。
【請求項１０】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項８に記載の磁気テープドライブ装置。
【請求項１１】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項７に記載の磁気テープドライブ装置。
【請求項１２】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項８に記載の磁気テープドライブ装置。
【請求項１３】
ディスク状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気ヘッド装置と、上記ディスク状記録媒体を回転させる回転駆動機構を備えたディスクドライブ装置において、
上記磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、
上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔（以下、「磁気ギャップ」という。）を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、
第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、
上記第２の磁気コアをディスク状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させた
ことを特徴とする磁気ディスクドライブ装置。
【請求項１４】
上記磁気記録ヘッドの磁気記録媒体に対する走行方向における先頭側及び／又は後尾側に補助部材を接着した
ことを特徴とする請求項１３に記載の磁気ディスクドライブ装置。
【請求項１５】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１３に記載の磁気ディスクドライブ装置。
【請求項１６】
上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１４に記載の磁気ディスクドライブ装置。
【請求項１７】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１３に記載の磁気ディスクドライブ装置。
【請求項１８】
上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくした
ことを特徴とする請求項１４に記載の磁気ディスクドライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッド装置並びにこれを用いた磁気テープドライブ装置及びディスクドライブ装置に関する。詳しくは、薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドにおいて、記録磁界フリンジングによるサイドイレース領域を減少させて、記録密度の高密度化を図る技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録ヘッドは、磁性材料から成る第１の磁気コアと第２の磁気コアとこれら２つの磁気コアに記録磁界を誘導するコイルとを有し、該コイルにより上記２つの磁気コアの先端間に漏れ磁界を発生させる。
【０００３】
そして、２つの磁気コアの先端に接触した状態又は近接した状態で記録媒体を走行させ、上記コイルに記録信号を印加することにより、記録媒体に磁気信号が記録される。
【０００４】
ところで、近年の記録密度の高密度化に伴い、記録媒体に形成する記録トラックの幅方向の寸法を小さくすることが求められている。これを実現するため、磁気記録ヘッドの磁気記録コアのヘッド幅方向の幅寸法を小さくする必要があり、薄膜製造プロセスによる磁気記録ヘッドの製造技術が開発されている。そして、このような薄膜製造プロセスに製造された磁気記録ヘッドがハードディスクドライブ装置において実用化されている。
【０００５】
図１９及び図２０はハードディスクドライブ装置における磁気記録ヘッドａを示すものである。磁気記録ヘッドａは、ディスク状記録媒体ｂの走行時に磁気記録ヘッドａを浮上させるためのスライダーｃを基板として、該スライダーｃに第１の磁気コアｄを成膜し、該第１の磁気コアｄの上に非磁性膜ｅを介して第２の磁気コアｆを成膜して形成される（図１９参照）。
【０００６】
このような磁気記録ヘッドａは、スライダーｃの後端縁下部に設けられる。ここで、スライダーｃの後端とはディスク状記録媒体ｂに対する相対的な走行方向における後側に位置する端部のことである。
【０００７】
したがって、ディスク状記録媒体ｂに対する磁気信号の記録時において第１の磁気コアｄが第２の磁気コアｆに対して先行する側、すなわち、リーディング側となり、また、第２の磁気コアｆがトレーリング側となる（図１９、図２０参照）。
【０００８】
そして、ディスク状記録媒体ｂの走行により発生する空気流を受けて、ハードディスクドライブ装置の磁気記録ヘッドａのスライダーｃがディスク状記録媒体ｂから浮上した状態となるため、磁気記録ヘッドａがディスク状記録媒体ｂに近接した状態（ディスク状記録媒体ｂに非接触）となる（図２０参照）。
【０００９】
ところで、上記磁気記録ヘッドａにおいては、第１の磁気コアｄの幅を第２の磁気コアｆの幅よりも大きく形成するのが一般的である（図１９参照）。
【００１０】
以下の説明において、積層するもの同士の幅を比較して相対的な意味で、幅の広い方を「幅広なもの」とし、幅の狭い方を「幅狭なもの」として説明する。
【００１１】
図２１に示すように、薄膜製造プロセスにおいて、土台となるもの（幅広なものｇ）の上に土台となるものよりも狭い幅のもの（幅狭なものｈ）を成膜することは容易であるが（図２１参照）、幅狭なものｈの上に幅広なものｇを成膜すると、幅広なものｇの幅方向の両端部が幅狭なものｈの両端部に覆い被さるため丸みを帯びてしまうため、所望の形状、例えば、横長な矩形状に成膜することが難しい（図２２参照）。
【００１２】
そこで、先に成膜したもの（幅狭なものｈ）の上にそれより幅の広いもの（幅広なものｇ）を成膜するには、例えば、幅狭なものｈの左右両端に隣接して同じ膜厚の別のものｉ、ｉを成膜した後に、幅狭なものｈ及び別のものｉ、ｉの上に幅広なものｇを成膜するといった特殊な工程が必要となる（図２３参照）。
【００１３】
しかし、このような工程を採用しても、幅狭なものｈと左右両端に成膜する別のものｉ、ｉの膜厚を同一にすることは容易でないため、その上に成膜する幅広なものｇの形状は所望の形状になりにくい。例えば、図２４には幅狭なものｈの左右両端に隣接して成膜した別のものｉ、ｉが幅狭なものｈよりも薄肉な場合を示す。なお、図２４とは逆に、上記別のものｉ、ｉが幅狭なものｈよりも厚肉に形成された場合には、幅狭なものｈの上に成膜した幅広なものｇの左右両端が上方へ折れ曲がるように湾曲してしまい、幅広なものｇを所望の形状に形成することができない。
【００１４】
また、幅狭なものｈと両端部に成膜した別のものｉ、ｉとの間に間隙が生じてしまうこともあり、その上に幅広なものｇを成膜しても、その形状は所望の形状になりにくい（図２５参照）。
【００１５】
そのため、上述したように、薄膜製造プロセスにより磁気記録ヘッドａを製造する場合、第１の磁気コアｄの幅が第２の磁気コアｆの幅よりも大きく形成するのが一般的である。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述したように、磁気記録ヘッドａにあっては、リーディング側の第１の磁気コアｄの幅がトレーリング側の第２の磁気コアｆの幅よりも大きいため、いわゆる記録磁界フリンジングによるサイドイレース領域が、大きくなってしまい、Ｓ／Ｎ比（Ｓｉｇｎａｌ−Ｎｏｉｓｅ　ｒａｔｉｏ）の点から無視できなくなってしまうという問題がある。
【００１７】
すなわち、記録される磁気信号は、リーディング側となる第１の磁気コアｄとトレーリング側となる第２の磁気コアｆとの間で生じる漏洩磁界によるものであるが、その漏洩磁界には、第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊとの間で生じるものα及び第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両端ｋ、ｋとの間で生じるものβがある（図２６参照）。
【００１８】
ここで、第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊとの間で生じる漏洩磁界αは、第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊに対して、ディスク状記録媒体ｂの走行方向と平行の向きとなっており、その大きさは、磁気ギャップ内で最も大きく、第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊからトレーリング側に向かうに従って急激に小さくなる。従って、第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊとの間で生じる漏洩磁界αによって記録される記録パターンは、図２７に示したγのように、ほぼ、第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊに沿った形状となる。
【００１９】
これに比べて、第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両側ｋ、ｋとの間で生じる漏洩磁界βは、第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両側ｋ、ｋに対して、ディスク状記録媒体ｂの走行方向とは垂直か或いは垂直に近い角度をもった向きとなっており、なおかつ、その大きさは、第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両端ｋ、ｋに沿って、磁気ギャップ側の縁部ｊとの結合部分からトレーリング側に向かうに従って、徐々に小さくなっていく。従って、第１の磁気コアｄと第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両側ｋ、ｋとの間で生じる漏洩磁界βによって記録される記録パターンは、図２７に示したｍのように、第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊとの結合部分よりもトレーリング側にずっと伸びた形状となる。
【００２０】
その結果、磁気信号を記録するとき、第２の磁気コアｆの磁気ギャップ側の縁部ｊに対する漏洩磁界αと、第２の磁気コアｆのヘッド幅方向における両側ｋ、ｋに対する漏洩磁界βの向きの違いと、ディスク状記録媒体ｂの走行方向に対する、それぞれの漏洩磁界の大きさが減少する割合いの違いによって、１つのビットの記録パターンｌに、上記漏洩磁界αによる部分γと、その両サイドが尾を引くような後方へ伸びる部分ｍ、ｍが生じてしまう（図２７参照）。図２７は１つのビットの記録パターンｌを示す概念図であり、記録パターンｌがそのトラック幅方向における両サイド部分ｍ、ｍにおいて帯状になって後方へ流れている様子が分かる。
【００２１】
これはリーディング側の第１の磁気コアｄ（幅の大きな磁気コア）の両端部にディスク状記録媒体ｂの走行方向において対向する部分がトレーリング側の第２の磁気コアｆ（幅の小さな磁気コア）にないためであると考えられる。
【００２２】
そして、１つのビットの記録パターンｌの上記帯状部分ｍ、ｍ（裾引き部分と称する場合もある。）が、既に記録された前のビットの記録パターンｌ上を上書きしてしまい、いわゆる、サイドイレースが生じてしまい、実質上の記録トラックの幅が狭くなってしまう。その結果としてＳ／Ｎ比を劣化させてしまうという問題がある。
【００２３】
具体的には、１つのビットの記録パターンを、例えば、記録パターンの幅（第１の磁気コアｄの幅とほぼ同じ）を１．９６μｍに、記録トラック方向の長さを１μｍに形成すると、トラック幅方向の両端部において後方に流れるように形成される帯状部分ｍ、ｍの基端側の幅がそれぞれ０．２１μｍ、長さが０．４μｍとなってしまう（図２７参照）。
【００２４】
そして、このような形状の記録パターンｌが複数ビット分形成されると、記録パターンｌ２の帯状部分ｍ、ｍが既に１つ前に形成されたビットの記録パターンｌ１上に上書き（オーバーライトとも言う。）されてしまい、ビットの有効な記録パターンｌ１の幅が
１．９６−０．２１×２＝１．５４μｍ
になってしまう（図２７参照）。
【００２５】
そのため、上述したように、幅寸法が１．９６μｍの磁気コア（第１の磁気コア）ｄで記録トラックを形成したにもかかわらず、その有効な記録トラックの幅が１．５４μｍになってしまい、Ｓ／Ｎ比が悪化するという問題がある。
【００２６】
このような記録磁界フリンジングを防止するために、例えば、特開平７−９３７１１号公報や特開平１１−３０６５１３号公報などに記載されたものがある。
【００２７】
図２９は、特開平７−９３７１１号公報に記載された磁気ヘッドｎを示す概略図であり、この磁気ヘッドｎはいわゆるマージ型磁気ヘッドで、磁気再生ヘッドｏと磁気記録ヘッドｐを有する。そして、磁気再生ヘッドｏの一方の磁気シールドと磁気記録ヘッドｐの一方の磁気コアとを共有したもので、この共有したものを中間磁気コアと呼ぶ。
【００２８】
そして、磁気再生ヘッドｏは、スライダー（基板）ｑに成膜された磁気シールドｒと該磁気シールドｒにＭＲ素子ｓを介して中間磁気コアｔが成膜されて形成される。なお、磁気シールドｒとＭＲ素子ｓとの間及びＭＲ素子ｓと中間磁気コアｔとの間には非磁性体がそれぞれ成膜されている。
【００２９】
磁気記録ヘッドｐは、上記中間磁気コアｔと該中間磁気コアｔの上に非磁性体を介して、上記中間磁気コアｔの幅より広い幅の磁気コアｕが成膜されて形成される。なお、中間磁気コアｔと磁気コアｕとの間に介在された非磁性体は磁気記録ヘッドｐにおける磁気ギャップとして機能する。
【００３０】
これにより、上記磁気記録ヘッドｐによれば、リーディング側の中間磁気コアｔ（幅の小さな磁気コア）の両端部にディスク状記録媒体ｂの走行方向において対向する部分がトレーリング側の磁気コアｕ（幅の大きな磁気コア）にあり、リーディング側の中間磁気コアｔ（幅の小さな磁気コア）の両端部で発生した漏洩磁界による記録パターンは、再度、トレーリング側の磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部で発生する漏洩磁界によって記録され直すことになるが、この場合、トレーリング側の磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部で発生する漏洩磁界は、その向きがディスク状記録媒体ｂの走行方向に全て一致し、なおかつ、漏洩磁界の大きさは、磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部からトレーリング側に向かうに従って急激に小さくなるため、記録パターンは、ほぼ磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部に沿った形状となり、記録パターンｌ上に発生してしまっていた上記帯状部分ｍ、ｍがほとんど生せず、したがって、いわゆるサイドイレースの問題は解消される。
【００３１】
しかし、特開平７−９３７１１号公報に記載された磁気記録ヘッドｐにあっては、上記中間磁気コアｔの上にこれよりも幅広な磁気コアｕを成膜しなければならず、上述した幅狭なものｈの上に幅広なものｇを成膜するという製造工程上の問題が残ってしまう（図２２、図２４、図２５参照）。
【００３２】
図３０は、特開平１１−３０６５１３号公報に記載された磁気ヘッドｖを示す概略図であり、この磁気ヘッドｖもいわゆるマージ型磁気ヘッドで、磁気再生ヘッドｗと磁気記録ヘッドｘを有する。そして、この磁気ヘッドｖと上記特開平７−９３７１１号の公報に記載された磁気ヘッドｎとの相違するところは、中間磁気コアの形状のみなので、他の部分については磁気ヘッドｎにおける同様な部分に付した符号と同じ符号を付すことによりその説明を省略する。
【００３３】
この磁気ヘッドｖの中間磁気コアｙはその幅が磁気再生ヘッドｗの磁気シールドｒとほぼ同じで、磁気記録ヘッドｘの磁気コアｕに対向する部分に該磁気コアｕの幅より狭い幅の凸部ｚが形成されている。
【００３４】
これにより、上記磁気記録ヘッドｘによれば、リーディング側の中間磁気コアｙの凸部ｚ（幅の小さな磁気コアとして機能する。）の両端縁から出た漏洩磁界による記録パターンは、再度、トレーリング側の磁気コアｕ（幅の大きな磁気コア）の磁気ギャップ側の縁部で発生する漏洩磁界によって記録され直すことになるが、この場合、トレーリング側の磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部で発生する漏洩磁界は、その向きがディスク状記録媒体ｂの走行方向に全て一致し、なおかつ、漏洩磁界の大きさは、磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部からトレーリング側に向かうに従って急激に小さくなるため、記録パターンは、ほぼ磁気コアｕの磁気ギャップ側の縁部に沿った形状となり、記録パターンｌ上に発生してしまっていた上記帯状部分ｍ、ｍがほとんど生せず、したがって、いわゆるサイドイレースの問題は解消される。
【００３５】
しかし、特開平１１−３０６５１３号公報に記載された磁気記録ヘッドｘにあっては、中間磁気コアｙの幅が磁気コアｕの幅より大きいが、磁気コアｕが成膜されるのは上記凸部ｚの上であり、結局は幅狭なものｚの上に幅広なものｕを成膜することになってしまい、上記図２２〜図２５で説明した幅狭なものｈの上に幅広なものｇを成膜するという製造工程上の問題が残ってしまう。
【００３６】
そこで、本発明は、薄膜磁気記録ヘッドの製造工程は従来と同じにしたまま、すなわち、幅狭なものの上に幅広なものを成膜するという製造工程上の問題を生じないまま、いわゆる記録磁界フリンジングによるサイドイレースを減少させ、これにより、磁気記録の高密度化を図ることを課題とする。
【００３７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明磁気ヘッド装置は、薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッド装置であって、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の磁気ギャップを有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、上記第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアを磁気記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたものである。
【００３８】
また、本発明磁気テープドライブ装置は、磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の磁気ギャップを有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアをテープ状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたものである。
【００３９】
さらに、本発明ディスクドライブ装置は、磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の磁気ギャップを有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアをディスク状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたものである。
【００４０】
したがって、本発明によれば、薄膜製造プロセスで製造した第１の磁気コアをトレーリング側とし、該第１の磁気コアの前端部の幅と同じか又は小さい幅の前端部を有した第２の磁気コアをリーディング側としたので、第２の磁気コアの幅方向の両端で発生した漏洩磁界によって記録された記録パターンを、第１の磁気コアの磁気ギャップ側の縁部で発生した漏洩磁界によって再記録する。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明磁気ヘッド装置並びにこれを用いた磁気テープドライブ装置及び磁気ディスクドライブ装置の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００４２】
図１乃至図１５は本発明磁気ヘッド装置並びに及びこれを用いた磁気テープドライブ装置の第１の実施の形態を示すものであり、この第１の実施の形態は本発明を磁気テープドライブ装置に適用したものである。
【００４３】
先ず、磁気テープドライブ装置の概要を図１によって説明する。
【００４４】
磁気テープドライブ装置１はシャーシ２を備え、該シャーシ２に支持された回転ドラム装置３と、テープカセット４からテープ状記録媒体５を引き出すとともに、引き出したテープ状記録媒体５を上記回転ドラム装置３に巻き付けて所定のテープパスを形成するガイドピン６、６、・・・と、テープカセット４のリール７、７を支持するリール台８、８と、ピンチローラ９と協動してテープ状記録媒体５を走行させるキャプスタン軸１０等が配置されて、磁気テープドライブ装置１の主要部が構成される（図１参照）。
【００４５】
回転ドラム装置３は上記シャーシ２に対して回転軸の軸心がやや斜めに傾斜した状態で配置される。
【００４６】
磁気テープドライブ装置１にテープカセット４が装着されると、テープ状記録媒体５がテープカセット４からガイドピン６、６、・・・によって回転ドラム装置３側に引き出され、回転ドラム装置３に巻き付けられるとともに、テープ状記録媒体５がピンチローラ９とキャプスタン軸１０とに狭持されてテープパスが形成される（図１参照）。
【００４７】
図１はテープカセット４が磁気テープドライブ装置１に装着されてテープパスが形成された状態を概略的に示すものである。
【００４８】
磁気テープドライブ装置１に対して記録動作の指示が出されると、テープパスが形成され、回転ドラム装置３の後述する回転ドラムが回転されると共にキャプスタン軸１０が回転されて、テープ状記録媒体５が上記回転ドラム装置３の周面を摺接しながら一定速度で走行し、後述する磁気ヘッド装置によりテープ状記録媒体５に磁気信号が記録される。
【００４９】
尚、上記した「ガイドピン６、ピンチローラ９、キャプスタン軸１０」などが、特許請求の範囲に記載した「テープ状記録媒体を所定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段」に相当する。
【００５０】
上記回転ドラム装置３は、シャーシ２に立設された固定軸１１と、該固定軸１１に対してベアリング（図示は省略する。）を介して回転自在に支持された回転ドラム１２と、該回転ドラム１２の下側に配置され上記シャーシ２に固定された固定ドラム１３を備え、上記固定ドラム１３と回転ドラム１２とが所定の間隙を挟んで対向されており、回転ドラム１２の下端縁に、全周で１箇所の切欠１４（図３参照）が形成され、該切欠１４内に後述する磁気ヘッド装置２０が配置される。
【００５１】
磁気ヘッド装置２０は、薄膜磁気記録ヘッド２１と該薄膜磁気記録ヘッド２１の両側（先頭側及び後尾側）に接着された２つの補助部材２２ａ、２２ｂとから成る。なお、特許請求の範囲に記載した「先頭側及び／又は後尾側」とは、先頭側及び後尾側の両方、先頭側又は後尾側のいずれか一方を含むものとして使用する。
【００５２】
薄膜磁気記録ヘッド２１は、正面形状で矩形をなす非磁性部材２３と、該非磁性部材２３の中に埋設状に位置された２つの磁気コア２４、２５と、該２つの磁気コア２４、２５の前端間に磁界を発生させるためのコイル２６を有する（図４、図６参照）。
【００５３】
２つの磁気コア２４、２５はその正面形状が共に縦長な矩形をなし、その一方（以下、「第１の磁気コア」という。）２４の正面形状における長さ（以下、磁気コアについての「幅」という。）が他方（以下、「第２の磁気コア」という。
）２５の正面形状における長さ（以下、磁気コアについての「幅」という。）に比べてやや長く形成されている。
【００５４】
第１の磁気コア２４及び第２の磁気コア２５は、側面形状で見てほぼ同じ形状をなし、ほぼ五角形をしたコア本体部２７、２８と該コア本体部２７、２８から前方へ突出した舌片部２９、３０とから成り（図５参照）、舌片部２９、３０の前端面２９ａ、３０ａが上記薄膜磁気記録ヘッド２１の正面に露出している（図４参照）。
【００５５】
第１の磁気コア２４は平板状に形成されている（図７参照）。
【００５６】
第２の磁気コア２５のコア本体部２８の前端部は第１の磁気コア２４側に屈曲され、該屈曲した先端部から上記舌片部３０が前方へ向かって突出されている。また、コア本体部２８の後端部２８ａは第１の磁気コア２４側に屈曲され該屈曲された先端縁から後方へ向かって接続片２８ｂが伸びるように形成されている（図６、図７参照）。
【００５７】
そして、第２の磁気コア２５の舌片部３０は第１の磁気コア２４の舌片部２９に近接した状態で配置される。また、第２の磁気コア２５の接続片２８ｂは第１の磁気コア２４のコア本体部２７の後端部２７ａに接続される（図６、図７参照）。
【００５８】
これにより、第１の磁気コア２４のコア本体部２７と第２の磁気コア２５のコア本体部２８との間には後端部２７ａ、２８ａを除いた部分に間隙が形成され、該間隙に上記コイル２６が挿通される（図６、図７参照）。
【００５９】
そして、第１の磁気コア２４の舌片部２９の前端面２９ａの幅は第２の磁気コア２５の舌片部３０の前端面３０ａの幅より僅かに大きく形成されている（図７参照）。具体的な寸法としては、例えば、第１の磁気コア２４の前端面２９ａの幅寸法が１．９６μｍに、第２の磁気コア２５の前端面３０ａの幅寸法が１．５４μｍに形成されている。
【００６０】
また、第１の磁気コア２４の舌片部２９の前端面２９ａと第２の磁気コア２５の舌片部３０の前端面３０ａとは上記非磁性部材２３を介して所定の間隔（以下、「磁気ギャップ」という。）Ｇを有した状態で位置される（図４参照）。
【００６１】
第１の磁気コア２４のコア本体部２７の後端部２７ａと上記第２の磁気コア２５のコア本体部２８の接続片２８ｂとは上記非磁性部材２３内において接続され、第１の磁気コア２４のコア本体部２７と第２の磁気コア２５のコア本体部２８との間の間隙を通って、これらの後端部２７ａ、２８ａを巻回するようにコイル２６が形成される（図６、図７参照）。
【００６２】
このような薄膜磁気記録ヘッド２１は、以下のようにして製造される。なお、以下に示す製造工程の説明は、各磁気コア２４、２５の前端面２９ａ、３０ａが正面形状で見て横長になる向きを基準の向きとして行う（図８乃至図１１）。
【００６３】
先ず、非磁性体から成る基板３１の上に高磁性材料から成る第１の磁気コア２４を成膜する。正面形状において、第１の磁気コア２４の前端面２９ａの幅は上記基板３１の前端面の幅よりも短く形成される（図８参照）。なお、上記基板３１は上述した非磁性部材２３の一部をなす。
【００６４】
次に、第１の磁気コア２４の上及び左右両端に隣接した部分に非磁性膜３２を成膜する（図９参照）。なお、上記非磁性膜３２は上述した非磁性部材２３の一部をなす。なお図示は省略したが、上記非磁性膜３２の成膜は２つの工程に分けられ、その２つの工程の間に、上記コイル２６が成膜により形成される。すなわち、第１の磁気コア２４を成膜した後、非磁性膜３２を所定の膜厚まで成膜する。次に、非磁性膜３２の上にコイル２６を成膜して、再び、非磁性膜３２をコイル２６を覆うように成膜する。このとき、第１の磁気コア２４の後端部２７ａ上には非磁性膜３２が成膜されないようにしておく。
【００６５】
そして、上記非磁性膜３２の上であって上記第１の磁気コア２４に対向する部分に高磁性材料から成る第２の磁気コア２５を成膜する（図１０参照）。このとき、第１の磁気コア２４の後端部２７ａの上には非磁性膜３２が成膜されていないため、第２の磁気コア２５の接続片２８ｂは第１の磁気コア２４の後端部２７ａと接触する（図６参照）。
【００６６】
第２の磁気コア２５の前端面３０ａの幅は上述したように第１の磁気コア２４の前端面２９ａの幅よりも僅かに小さく形成されている。
【００６７】
そして、第２の磁気コア２５の前端面３０ａと上記第１の磁気コア２４の前端面２９ａとの間に磁気ギャップＧが形成される。
【００６８】
最後に、第２の磁気コア２５の上及び左右両端に隣接した部分に非磁性膜３３を成膜する（図１１参照）。なお、上記非磁性膜３３は上述した非磁性部材２３の一部をなす。
【００６９】
基板３１及び非磁性膜３２、３３の材料としては、たとえば、アルチック（ＡｌＴｉｃ）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）が好適である。
【００７０】
基板３１及び非磁性膜３２、３３は同一の材料で成膜され、これにより、これらが成膜された状態においては、一体化されてこれらの間の境界が存在しない状態になって（図４参照）、上記非磁性部材２３が形成される。
【００７１】
上記第１の磁気コア２４及び第２の磁気コア２５の材料としては、たとえば、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）、センダスト（Ｓｉ−Ａｌ−Ｆｅ）、アモルファス鉄心材料（高透磁率薄帯）などが好適である。
【００７２】
そして、第１の磁気コア２４の前端面２９ａの幅は第２の磁気コア２５の前端面３０ａの幅よりも大きく形成されている。このように、第１の磁気コア２４を土台としてその上に第１の磁気コア２４の前端面２９ａよりも幅の狭い前端面３０ａを有する第２の磁気コア２５を成膜するようにしたので、第２の磁気コア２５の前端面３０ａの形状を所望の形状、すなわち、横長な矩形状に形成することが容易である。
【００７３】
このように形成された薄膜磁気記録ヘッド２１の基板３１、第１の磁気コア２４、非磁性膜３２、第２の磁気コア２５、非磁性膜３３の積層方向における両側面、すなわち、一方は基板３１に、他方は非磁性膜３３にそれぞれ補助部材２２ａ、２２ｂが接着されて、磁気ヘッド装置２０が形成される。
【００７４】
補助部材２２ａ、２２ｂは非磁性体からなり、たとえば、アルチック（ＡｌＴｉｃ）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などが好適である。
【００７５】
補助部材２２ａ、２２ｂはこれらの前端面が上記薄膜磁気記録ヘッド２１の前端面と同一な面内に位置するようにされ、かつ、これら３つの部材の前端面により構成される面は、薄膜磁気記録ヘッド２１が前方に僅かに突出する凸曲面とされている（図４参照）。
【００７６】
このように形成された磁気ヘッド装置２０は、第２の磁気コア２５（幅が狭い磁気コア）がリーディング側になる向きでテープ状記録媒体５に対して配置される（図３、図４参照）。
【００７７】
なお、磁気テープドライブ装置１にあっては、通常、回転ドラム１２が回転すると共に、その回転方向と同じ方向にテープ状記録媒体５が走行するようになっているが、回転ドラム１２の回転速度の方がテープ状記録媒体５の走行速度よりも遙かに速いため、説明の都合上、回転ドラム１２の回転方向、すなわち、磁気ヘッド装置２０の走行方向のみを矢印で示す（図３、図４参照）。
【００７８】
上記したように、磁気ヘッド装置２０の第２の磁気コア２５がリーディング側になる向きにテープ状記録媒体５に対して配置されると、テープ状記録媒体５は幅の狭い第２の磁気コア２５に接触した後、第１の磁気コア２４に接触することになり、上述した記録磁界フリンジングの問題は生じない。
【００７９】
すなわち、リーディング側の磁気コア（第２の磁気コア２５）の幅がトレーリング側の磁気コア（第１の磁気コア２４）の幅より小さいため、第２の磁気コア２５の幅方向における両端部から出た漏洩磁界により記録された記録パターンを、トレーリング側の磁気コア（第１の磁気コア２４）の磁気ギャップＧ側の縁部で発生する漏洩磁界によって記録し直すことができ、よって、従来、記録パターンｌ上に生じていた上記帯状部分ｍ、ｍ（図２７参照）がほとんど生せず、したがって、既に記録した記録パターンの両サイド部分が次の記録パターンの一部によって上書きされてしまう、いわゆるサイドイレースの問題は解消される。
【００８０】
図１２は第１の実施の形態にかかる薄膜磁気記録ヘッド２１によりテープ状記録媒体５に記録した１つのビットの記録パターン４０を示す概念図であり、記録パターン４０がそのトラック幅方向における両サイド部分４１、４１において従来の技術の欄で説明した帯状部分ｍ、ｍがほとんど形成されていない様子が分かる。
【００８１】
これにより、このような形状の記録パターン４０が複数ビット分形成されても、例えば、既に形成されたビットの記録パターン４０１の両サイドの一部が次の記録パターン４０２によって上書きされてしまうことはほとんどなく、いわゆるサイドイレースの問題は生じない（図１３参照）。
【００８２】
また、上記磁気ヘッド装置２０がテープ状記録媒体５に接触するとき、テープ状記録媒体５は、先ず磁気ヘッド装置２０の先頭側に位置する補助部材２２ａに接触する（図３、図４参照）。これにより、薄膜磁気記録ヘッド２１に対するテープ状記録媒体５の当たりを良くすることができる。
【００８３】
すなわち、テープ状記録媒体５は回転ドラム装置３に対して僅かに浮上した状態でドラム面を走行するが、上記切欠１４に差し掛かった部分においては空気流が乱れるため、テープ状記録媒体５はばたついてしまう。そして、ばたついたままのテープ状記録媒体５が薄膜磁気記録ヘッド２１に接触すると、薄膜磁気記録ヘッド２１を構成している各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）に衝撃を与える。
【００８４】
しかし、上記第１の実施の形態におけるように、テープ状記録媒体５が薄膜磁気記録ヘッド２１に接触する前に先頭側の補助部材２２ａに接触すると、該補助部材２２ａとの接触によりテープ状記録媒体５のばたつきが抑制され、薄膜磁気記録ヘッド２１に安定した状態となったテープ状記録媒体５を接触させることができる。
【００８５】
このように、薄膜磁気記録ヘッド２１より先にテープ状記録媒体５に接触する補助部材２２ａはテープ状記録媒体５のガイドとして機能する。
【００８６】
また、上記第１の実施の形態におけるように、薄膜磁気記録ヘッド２１の後尾側に補助部材２２ｂを設けることにより、上記各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）の剥離の問題を解決することができる。
【００８７】
すなわち、薄膜製造プロセスにより成膜された各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）の膜間における結合力は比較的脆弱であり、各膜を剥がす方向への力が働いたときに容易に剥離してしまう虞がある。
【００８８】
そこで、薄膜磁気記録ヘッド２１の後尾側に設けた補助部材２２ｂは各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）が剥離する方向への力が働いたときに、その力を受け止めることになり、よって、上記剥離を防止することができる。
【００８９】
なお、上記した従来の技術の欄で例示したハードディスクドライブ装置のように、ディスク状記録媒体ｂが薄膜磁気記録ヘッドａに対して非接触の状態で走行するものにあっては、両者が接触することがほとんどないため、薄膜磁気記録ヘッドａを構成している各膜の剥離の問題はないが、上記第１の実施の形態にかかる磁気テープドライブ装置１のように、テープ状記録媒体５が薄膜磁気記録ヘッド２１に接触した状態で走行するものにあっては、薄膜磁気記録ヘッド２１を構成している各膜の剥離の問題が生じるが、上記第１の実施の形態にかかる磁気テープドライブ装置１はこのような各膜の剥離の問題を解決することができる。
【００９０】
また、上述した先頭側の補助部材２２ａによってテープ状記録媒体５のばたつきを抑制することができるため、各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）が剥がれにくくなる。
【００９１】
すなわち、先頭側の補助部材２２ａは、テープ状記録媒体５のばたつきを抑制し、安定した状態で薄膜磁気記録ヘッド２１に接触させることができるため、テープ状記録媒体５が薄膜磁気記録ヘッド２１に接触したときに発生する各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）を剥離させる方向への力を緩和させることができる。
【００９２】
図１４は上記磁気ヘッド装置２０の変形例を示すものであり、この変形例にかかる磁気ヘッド装置２０Ａと上記磁気ヘッド装置２０とが相違する点は、補助部材が１つであること及びこれを薄膜磁気記録ヘッドの前後のどちら側に接着したかという点である。
【００９３】
すなわち、磁気ヘッド装置２０Ａは薄膜磁気記録ヘッド２１の先頭側にのみ補助部材５０を接着したものである。
【００９４】
この変形例にかかる磁気ヘッド装置２０Ａにあっても、薄膜磁気記録ヘッド２１の先頭側に補助部材５０を接着したので、上記したように、テープ状記録媒体５を安定した状態で薄膜磁気記録ヘッド２１に接触させることができ、補助部材５０はガイドとしての機能を有する。
【００９５】
また、薄膜磁気記録ヘッド２１の先頭側に接着した補助部材５０はテープ状記録媒体５のばたつきを防止することができるため、薄膜磁気記録ヘッド２１を構成している各膜（基板３１、第１の磁気コア２４、第２の磁気コア２５等）を剥離する方向への力を緩和することができる。
【００９６】
図１５は上記磁気ヘッド装置２０の別の変形例を示すものであり、この別の変形例にかかる磁気ヘッド装置２０Ｂと上記変形例にかかる磁気ヘッド装置２０Ａとを比較すると、磁気ヘッド装置の走行方向における片側に補助部材を設けた点では同じであるが、補助部材を薄膜磁気記録ヘッドの後尾側に設けた点で相違する。
【００９７】
すなわち、磁気ヘッド装置２０Ｂは薄膜磁気記録ヘッド２１の後尾側にのみ補助部材５１を接着したものである。
【００９８】
この別の変形例にかかる磁気ヘッド装置２０Ｂにあっても、テープ状記録媒体５との摺接で生じた力により、薄膜磁気記録ヘッド２１にこれを構成している各膜が剥離する方向への力が働くことになるが、薄膜磁気記録ヘッド２１の後尾側に補助部材５１を接着したので、上記各膜が剥離する方向への力を補助部材５１が受け止めることになり、よって、各膜の剥離を防止することができる。
【００９９】
図１６は本発明磁気ヘッド装置の第２の実施の形態を示すものであり、この第２の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置６０が、上記第１の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置２０と相違する点は、２つの磁気コアの材料を異ならせた点である。
【０１００】
この第２の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置６０の第１の磁気コア６１は第２の磁気コア６２の材料よりも飽和磁束密度の大きい材料で形成されている。
【０１０１】
具体的には、例えば、第１の磁気コア６１の材料がＦｅ組成を増したＮｉ−Ｆｅ合金、ＣｏＴａＺｒやＣｏＮｂＺｒなどのアモルファス材料であり、第２の磁気コア６２の材料がパーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）、センダスト（Ｓｉ−Ａｌ−Ｆｅ）、アモルファス鉄心材料などである。
【０１０２】
このように構成された磁気ヘッド装置６０にあっては、第２の磁気コア６２から出た磁束を、第２の磁気コア６２の材料よりも飽和磁束密度の大きな材料で形成した第１の磁気コア６１でより強く吸収することができ、その結果、第１の磁気コア６１の磁気ギャップＧ側の縁部における漏洩磁界は、トラック幅方向における両サイド部の漏洩磁界の向きのばらつきが改善され、したがって、上記記録パターン４０のトラック幅方向における両サイド部分４１、４１の後方へ伸びる部分がさらに減少し、よって、Ｓ／Ｎ比の劣化を防止することができる。
【０１０３】
図１７は本発明磁気ヘッド装置の第３の実施の形態を示すものであり、この第３の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置７０が、上記第１の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置２０と相違する点は、第１の磁気コアを２つの材料で形成した点である。
【０１０４】
この第３の実施の形態にかかる磁気ヘッド装置７０の第１の磁気コア７１は２つの異なった材料で形成された層膜７１ａと７１ｂとで構成される。
【０１０５】
すなわち、第１の磁気コア７１を構成する２つの層膜のうち、磁気ギャップＧ側の層膜７１ａは他方の層膜７１ｂ及び第２の磁気コア７２の材料よりも飽和磁束密度が大きい材料で形成されている。
【０１０６】
具体的には、例えば、第１の磁気コア７１の磁気ギャップＧ側の層膜７１ａの材料がＦｅ組成を増加したＮｉ−Ｆｅ合金、ＣｏＴａＺｒやＣｏＮｂＺｒなどのアモルファス材料であり、他方の層膜７１ｂ及び第２の磁気コア７２の材料がパーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）、センダスト（Ｓｉ−Ａｌ−Ｆｅ）、アモルファス鉄心材料などである。
【０１０７】
このように構成された磁気ヘッド装置７０にあっては、第２の磁気コア７２から出た磁束を、第２の磁気コア７２及び他方の層膜７１ｂの材料よりも飽和磁束密度の大きな材料で形成した磁気ギャップＧ側の層膜７１ａでより強く吸収することができ、その結果、第１の磁気コア７１の磁気ギャップＧ側の層膜７１ａの磁気ギャップＧ側の縁部における漏洩磁界は、トラック幅方向における両サイド部の漏洩磁界の向きのばらつきが改善され、したがって、上記記録パターン４０においてそのトラック幅方向における両サイド部分４１、４１の後方へ伸びる部分がさらに減少し、よって、Ｓ／Ｎ比の劣化を防止することができる。
【０１０８】
また、上記した第１の磁気コア７１の磁気ギャップＧ側の層膜７１ａにコバルト（Ｃｏ）などの高価な材料を用いたが、第１の磁気コア７１の全体をその高価な材料で構成する必要がないので、製造コストを高くしなくても、第２の実施の形態と同様にＳ／Ｎ比の劣化を防止することができる。
【０１０９】
図１８は、上述した磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０を用いたディスクドライブ装置の概要を示す平面図である。
【０１１０】
ディスクドライブ装置８０は、ディスク状記録媒体８１を回転させる回転駆動機構８２と、上記磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０をディスク状記録媒体８１の半径方向に移動させるためのヘッド移送機構８３を備え、ヘッド移送機構８３は、磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０を支持したヘッドスライダー８４と、該ヘッドスライダー８４をディスク状記録媒体８１に弾接させるためのサスペンション８５と、該サスペンション８５を支えると共に上記ヘッド移送機構８３に連結されたサスペンションアーム８６を有する（図１８参照）。なお、図１８にディスク状記録媒体８１の回転方向を矢印で示す。
【０１１１】
上記磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０はヘッドスライダー８４に対して接着され、また、各磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０における第２の磁気コア２５、６２又は７２は第１の磁気コア２４、６１又は７１に先行した位置、すなわち、ヘッドスライダー８４側に位置するように配置される。
【０１１２】
そして、上記回転駆動機構８２の駆動により、ディスク状記録媒体８１が回転している状態で、上記ヘッドスライダー８４に支持された磁気ヘッド装置２０、２０Ａ、２０Ｂ、６０又は７０によってディスク状記録媒体８１に対して信号の記録が為される。
【０１１３】
しかして、このようなディスクドライブ装置８０にあっては、ディスク状記録媒体８１に対する信号の記録を行う際、幅狭な第２の磁気コア２５、６２又は７２を第１の磁気コア２４、６１又は７１よりも先行させてディスク状記録媒体８１に接触させることができ、よって、上述した記録磁界フリンジングによるサイドイレースを減少させ、これにより、磁気記録の高密度化を図ることができる。
【０１１４】
なお、上記第１の実施の形態では、本発明を回転ドラムを用いたいわゆるヘリカルスキャンテープシステムを採用した磁気テープドライブ装置に適用したものを示したが、これに限らず、リニアスキャンテープシステムを採用した磁気テープドライブ装置等にも本発明を適用することができることは勿論である。
【０１１５】
この他、上記各実施の形態において示した各部の具体的な形状乃至構造は、何れも本発明を実施するに当たって行う具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【０１１６】
【発明の効果】
以上に記載したところから明らかなように、本発明磁気ヘッド装置は、薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッド装置であって、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、上記第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアを磁気記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたことを特徴とする。
【０１１７】
また、本発明磁気テープドライブ装置は、テープ状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気ヘッド装置と、上記テープ状記録媒体を所定の走行経路に沿って走行させるテープ走行手段を備えた磁気テープドライブ装置において、上記磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアをテープ状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたことを特徴とする。
【０１１８】
さらに、本発明磁気ディスクドライブ装置は、ディスク状記録媒体に対して信号の記録を行う磁気ヘッド装置と、上記ディスク状記録媒体を回転させる回転駆動機構を備えたディスクドライブ装置において、上記磁気ヘッド装置が薄膜製造プロセスにより製造される磁気記録ヘッドを備え、上記磁気記録ヘッドが、基板と、該基板上に成膜された第１の磁気コアと、前端部が上記第１の磁気コアの前端部と所定の間隔を有した状態で成膜され、後端部において上記第１の磁気コアに接続された第２の磁気コアと、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間に位置され各磁気コアの前端部間において磁界を発生させるコイルを有し、第２の磁気コアの前端部の幅を上記第１の磁気コアの前端部の幅に対して同じか又は小さく形成し、上記第２の磁気コアをディスク状記録媒体に対する走行方向において上記第１の磁気コアよりも先行する側に位置させたことを特徴とする。
【０１１９】
したがって、本発明によれば、幅広なものの上に幅狭なものを成膜するという従来の薄膜製造プロセスにより製造した磁気記録ヘッドを用いたまま、記録磁界フリンジングによるサイドイレースを減少させ、これにより、磁気記録の高密度化を図ることができる。
【０１２０】
請求項２、請求項８及び請求項１４に記載した発明にあっては、上記磁気記録ヘッドの磁気記録媒体に対する走行方向における先頭側及び／又は後尾側に補助部材を接着したので、先頭側に補助部材を設けたものにあっては、テープ状記録媒体のばたつきが抑制され、磁気記録ヘッドに安定した状態となったテープ状記録媒体を接触させることができ、テープ状記録媒体が磁気記録ヘッドに接触したときに発生する各膜を剥離させる方向への力を緩和させることができる。
【０１２１】
また、後尾側に補助部材を設けたものにあっては、上記各膜を剥離させる方向への力を補助部材が受け止めることができ、よって、各膜と膜との間の剥離を防止することができる。
【０１２２】
請求項３、請求項４、請求項９、請求項１０、請求項１５及び請求項１６に記載した発明にあっては、上記第１の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくしたので、第２の磁気コアから出た磁束を第１の磁気コアにおいて十分に吸収することができ、記録磁界フリンジングをさらに減少させることができる。
【０１２３】
請求項５、請求項６、請求項１１、請求項１２、請求項１７及び請求項１８に記載した発明にあっては、上記第１の磁気コアを２種類以上の積層膜で構成し、該積層膜のうち少なくとも磁気ギャップに最も近い側の層の材料の飽和磁束密度を上記第２の磁気コアを形成する材料の飽和磁束密度より大きくしたので、第２の磁気コアから出た磁束を第１の磁気コアにおいて十分に吸収することができ、記録磁界フリンジングをさらに減少させることができる。
【０１２４】
また、飽和磁束密度の大きな材料は比較的高価であるが、その高価な材料の使用量を少なくしても、十分な記録磁界フリンジングを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２乃至図１５と共に本発明の第１の実施の形態を示すものであり、本図は磁気テープドライブ装置の概要を示す平面図である。
【図２】回転ドラムの概略平面図である。
【図３】磁気記録ヘッドとテープ状記録媒体との関係を概略的に示す正面図である。
【図４】磁気ヘッド装置を拡大して示す概略斜視図である。
【図５】磁気記録ヘッドを一部を切り欠いて概略的に示す拡大側面図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿う拡大断面図である。
【図７】磁気記録ヘッドを一部を切り欠いて概略的に示す拡大斜視図である。
【図８】図９乃至図１１と共に磁気記録ヘッドの製造工程を示すものであり、本図は基板に第１の磁気コアを成膜した状態を示す拡大正面図である。
【図９】図８に続いて、第１の磁気コアの上及び左右両端に隣接した部分に非磁性膜を成膜した状態を示す拡大正面図である。
【図１０】図９に続いて、非磁性膜の上に第２の磁気コアを成膜した状態を示す拡大正面図である。
【図１１】図１０に続いて、第２の磁気コアの上及び左右両端に隣接した部分に非磁性膜を成膜した状態を示す拡大正面図である。
【図１２】１つのビットの記録パターンを拡大して示す概念図である。
【図１３】複数のビットが形成された状態における記録パターンを拡大して示す概念図である。
【図１４】磁気ヘッド装置の変形例を示すものであり、拡大して示す概略斜視図である。
【図１５】磁気ヘッド装置の別の変形例を示すものであり、拡大して示す概略斜視図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態を示すものであり、磁気記録ヘッドを示す拡大正面図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態を示すものであり、磁気記録ヘッドを示す拡大正面図である。
【図１８】ディスクドライブ装置の概要を示す平面図である。
【図１９】図２０と共に従来のハードディスクドライブ装置における磁気記録ヘッドを示すものであり、本図は拡大平面図である。
【図２０】拡大側面図である。
【図２１】薄膜製造プロセスにおいて、土台となるものの上に土台となるものよりも狭い幅のものを成膜した状態を示す概略図である。
【図２２】薄膜製造プロセスにおいて、土台となるものの上に土台となるものよりも広い幅のものを成膜した状態を示す概略図である。
【図２３】図２２に示した薄膜製造プロセスにおける問題を解決するための方法を説明するための概略図である。
【図２４】図２３に示した薄膜製造プロセスにおいて新たに発生する問題を説明するための概略図である。
【図２５】図２３に示した薄膜製造プロセスにおいて新たに発生する別の問題を説明するための概略図である。
【図２６】第１の磁気コアと第２の磁気コアとの間で発生した磁束を示す概略図である。
【図２７】従来の磁気ヘッド装置で記録した１つのビットの記録パターンを拡大して示す概念図である。
【図２８】従来の磁気ヘッド装置で記録した複数のビットが形成された状態における記録パターンを拡大して示す概念図である。
【図２９】記録磁界フリンジングを防止した従来の磁気ヘッド装置を示す概略図である。
【図３０】記録磁界フリンジングを防止した別の従来の磁気ヘッド装置を示す概略図である。
【符号の説明】
１…磁気テープドライブ装置、５…テープ状記録媒体、６、９、１０…テープ走行手段、２０…磁気ヘッド装置、２１…薄膜磁気記録ヘッド（磁気記録ヘッド）、２２ａ…補助部材、２２ｂ…補助部材、２４…第１の磁気コア、２５…第２の磁気コア、２６…コイル、２７ａ…後端部、２８ａ…後端部、２９ａ…前端面、３０ａ…前端面、３１…基板、Ｇ…磁気ギャップ、２０Ａ…磁気ヘッド装置、５０…補助部材、２０Ｂ…磁気ヘッド装置、５１…補助部材、６０…磁気ヘッド装置、６１…第１の磁気コア、６２…第２の磁気コア、７０…磁気ヘッド装置、７１…第１の磁気コア、７１ａ、７１ｂ…層膜（２種類以上の積層膜）、７２…第２の磁気コア、８０…ディスクドライブ装置、８１…ディスク状記録媒体、８２…回転駆動機構
【図１】
2004039090.tif 000003
【図２】
2004039090.tif 000004
【図３】
2004039090.tif 000005
【図４】
2004039090.tif 000006
【図５】
2004039090.tif 000007
【図６】
2004039090.tif 000008
【図７】
2004039090.tif 000009
【図８】
2004039090.tif 000010
【図９】
2004039090.tif 000011
【図１０】
2004039090.tif 000012
【図１１】
2004039090.tif 000013
【図１２】
2004039090.tif 000014
【図１３】
2004039090.tif 000015
【図１４】
2004039090.tif 000016
【図１５】
2004039090.tif 000017
【図１６】
2004039090.tif 000018
【図１７】
2004039090.tif 000019
【図１８】
2004039090.tif 000020
【図１９】
2004039090.tif 000021
【図２０】
2004039090.tif 000022
【図２１】
2004039090.tif 000023
【図２２】
2004039090.tif 000024
【図２３】
2004039090.tif 000025
【図２４】
2004039090.tif 000026
【図２５】
2004039090.tif 000027
【図２６】
2004039090.tif 000028
【図２７】
2004039090.tif 000029
【図２８】
2004039090.tif 000030
【図２９】
2004039090.tif 000031
【図３０】
2004039090.tif 000032