(57)【要約】【課題】ホルダの押圧面間への塵埃の侵入を極力防止する。【解決手段】一対のホルダ５、６の押圧面５ｂ、６ｂ間に、マスター担体３、４とスレーブ媒体２とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体３、４からスレーブ媒体２へ磁気転写を行う磁気転写装置において、マスター担体３、４をホルダ５、６の押圧面に真空吸引により吸着保持する真空系統１１〜１３、及び、マスター担体３、４とスレーブ媒体２とを真空吸引により密着させる真空系統１４に塵埃捕集用のフィルタ１０１〜１０４を設けた。【選択図】      図１
2004206794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ前記転写情報を磁気転写する磁気転写装置において、
前記マスター担体をホルダの押圧面に真空吸引により吸着保持する真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記スレーブ媒体をホルダの押圧面に真空吸引により吸着保持する真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記マスター担体とスレーブ媒体とを真空吸引により密着させる真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項４】
前記ホルダが固定ハウジングに対して回転可能に設けられ、前記真空吸引経路を構成するホルダ内の通路と固定ハウジング内の通路とが、前記固定ハウジングとホルダとの間の相対回転面間に確保されたシール空間を通して連通されており、前記フィルタが、前記シール空間よりもホルダの押圧面に近いホルダ内の通路の途中に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報を担持したマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気転写とは、マスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁気パターンの転写を行うものである。磁気転写を開示した先行技術としては、次のようなものが挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６３−１８３６２３号公報
【特許文献２】
特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献３】
特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献４】
特開２００１−３５１２３５号公報
【特許文献５】
特開２００１−３５１２３６号公報
【０００４】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合は、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片面または両面に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００５】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体をいかに均一に密着させるかが重要となる。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないと、スレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合、トラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するおそれがあるからである。
【０００６】
そこで一般には、エアシリンダやサーボモータ等の機械的駆動手段によりホルダを介してマスター担体とスレーブ媒体とを外部から加圧密着させる以外に、真空吸引力を用いて、マスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させることが行われている。
【０００７】
真空吸引手段を用いる場合は、例えば、マスター担体やスレーブ媒体をホルダの押圧面に真空吸引により吸着保持し、マスター担体とスレーブ媒体とを真空吸引により密着させた状態で磁気転写を行い、磁気転写工程後に、真空吸引経路を通しての減圧操作（真空解除装置）により密着を解除すると共に、マスター担体やスレーブ媒体の保持を解除するようにしているのが一般的である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した磁気転写装置では、稼働中にホルダの内部空間に塵埃が侵入して、マスター担体が塵埃の付着により汚染されることがあった。例えば、マスター担体に付着する塵埃のうちで無視できないものとして、吸着解除や密着解除の際の減圧操作（真空解除操作）に伴って侵入する塵埃が挙げられる。
【０００９】
このような塵埃がマスター担体に付着した状態で磁気転写を行うと、塵埃付着部を中心として周辺に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の完全な密着が確保できなくなり、所定信号レベルのパターン転写ができずに磁気転写品質が低下する。記録した信号がサーボ信号の場合には、トラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題があった。
【００１０】
また、上記付着塵埃はマスター担体とスレーブ媒体の密着が繰り返されることで、マスター担体表面への付着力が助長され、以降の磁気転写したスレーブ媒体のすべてに同様またはそれ以上のパターン転写不良が生じ、多数の不良品の発生原因となる。さらに、これら付着物により、マスター担体表面を変形させ、正常な機能を損なうという問題がある。
【００１１】
本発明は、上記事情を考慮し、ホルダの押圧面間への塵埃の侵入を極力防止することで、塵埃の侵入に起因するマスター担体とスレーブ媒体との密着不良による転写品質の劣化を防止することのできる磁気転写装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置において、前記マスター担体をホルダの押圧面に真空吸引により吸着保持する真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２の発明は、互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置において、前記スレーブ媒体をホルダの押圧面に真空吸引により吸着保持する真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項３の発明は、互いに接離移動する一対のホルダの押圧面間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容保持して互いに密着させ、その状態で転写用磁界を印加してマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置において、前記マスター担体とスレーブ媒体とを真空吸引により密着させる真空吸引経路の途中に塵埃捕集用のフィルタを設けたことを特徴とする。
【００１５】
請求項１〜３の発明では、各真空吸引通路の途中にフィルタを設けたので、特に減圧操作の際に真空吸引経路を通して侵入する塵埃を有効に除去することができる。従って、マスター担体に付着する塵埃の量を低減することができ、転写品質の向上が図れる。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記ホルダが固定ハウジングに対して回転可能に設けられ、前記真空吸引経路を構成するホルダ内の通路と固定ハウジング内の通路とが、前記固定ハウジングとホルダとの間の相対回転面間に確保されたシール空間を通して連通されており、前記フィルタが、前記シール空間よりもホルダの押圧面に近いホルダ内の通路の途中に配置されていることを特徴とする。
【００１７】
回転するホルダに真空吸引通路をつなぐ場合、相対回転部分に確保したシール空間を介して固定側と回転側の通路を連通する必要があり、このシール空間を確保するために通常は、固定側と回転側との間にＯリング等のシール機構を配置している。このようなＯリング等のシール機構は、摺動カス等の塵埃発生の元になる可能性がある。そこで、請求項４の発明では、フィルタを、シール空間よりもホルダの押圧面に近いホルダ内の通路の途中に配置している。こうすることで、Ｏリング等のシール機構から発生する塵埃を、確実にフィルタで捕集することができるようになる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は実施形態の磁気転写装置のホルダ装置の開状態の概略断面図である。この図は模式図であり、各部の寸法は便宜上実際とは異なる比率で示してある。
【００１９】
この磁気転写装置は、両面同時磁気転写を行うものであり、ホルダ装置１は、接離移動可能な左側の第１ホルダ５と右側の第２ホルダ６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、マスター担体３、４を配置して中心位置を合わせた状態で、スレーブ媒体２とマスター担体３、４とを対峙密着させる。
【００２０】
第１のホルダ５及び第２のホルダ６は背面中心部にそれぞれ支持軸５ａ、６ａを備えており、両支持軸５ａ、６ａがそれぞれ固定ハウジング８、９に回転可能に支承されている。固定ハウジング８、９には軸受８ａ、９ａが配置されると共に、それぞれＯリングによる３つのシール材８ｂ、９ｂが間隔をもって配置されている。
【００２１】
第１のホルダ５は、一方のマスター担体３とスレーブ媒体２とを保持すると共に押圧する押圧面５ｂを備えており、この押圧面５ｂは第１の弾性材１０によって構成されている。また、第２のホルダ６は、他方のマスター担体４を保持すると共に押圧する押圧面６ｂを備えており、この押圧面６ｂは第２の弾性材２０によって構成されている。
【００２２】
第１の弾性材１０及び第２の弾性材２０は、後述の押圧密着時に、第１のホルダ５の押圧面５ｂの圧縮変形量が第２のホルダ６の押圧面６ｂの圧縮変形量より大きくなるように形成されている。例えば、第１の弾性材１０の弾性率が第２の弾性材２０の弾性率より小さくなるようにそれぞれの材質を選定するか、第１の弾性材１０の厚さが第２の弾性材２０の厚さより大きくなるように形成するかすることにより、上記の圧縮変形量の関係が達成されている。また、両者の組み合わせにより、圧縮変形量が上記の関係となるように調整してもよい。
【００２３】
第１のホルダ５は、スレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着保持する第１の真空系統（真空吸引経路）１１と、スレーブ媒体２の内周部を吸着保持する第２の真空系統（真空吸引経路）１２とを備えている。また、第２のホルダ６は、スレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着保持する第３の真空系統（真空吸引経路）１３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統（真空吸引経路）１４とを備えている。
【００２４】
第１〜第４の真空系統１１〜１４は、それぞれの支持軸５ａ、６ａを通して、第１のホルダ５及び第２のホルダ６の外部に導出されている。つまり、第１のホルダ５は円盤状で、マスター担体３の大きさに相当する内面部位に前記第１の弾性材１０が設置され、この第１の弾性材１０の押圧面５ｂ及び第１のホルダ５に第１の真空系統１１の吸引孔１１ａが開口され、この吸引孔１１ａに連通する第１エア通路１１ｂが、第１のホルダ５の円盤部分から支持軸５ａ内の外周側部分に設置され、第１の弾性材１０より外周部位においては、押圧面５ｂに相当する高さに環状に形成されている。また、マスター担体３の内径より内周側のホルダ面に第２の真空系統１２の吸引孔１２ａが開口され、この吸引孔１２ａに連通する第２エア通路１２ｂが、第１のホルダ５の円盤部分から支持軸５ａ内の中心部分に設置されている。
【００２５】
第１エア通路１１ｂ及び第２通路１２ｂは、支持軸５ａの周面上の軸方向に互いに離れた位置に開口しており、開口部分を分離するように固定ハウジング８には３つのシール材８ｂが設置され、隣接するシール材８ｂの間にシール空間１１ｅ、１２ｅが確保されている。これらシール空間１１ｅ、１２ｅには、固定ハウジング８側に穿設した連通孔１１ｃ、１２ｃが臨んでおり、シール空間１１ｅ、１２ｅを介して、固定ハウジング８側の連通孔（通路）１１ｃ、１２ｃと、ホルダ５側のエア通路１１ｂ、１２ｂとがそれぞれ連通している。各連通孔１１ｃ、１２ｃには、それぞれフィルタ１０１、１０２を介して、エアパイプ１１ｄ、１２ｄが接続され、これにより、第１及び第２の真空系統１１、１２がホルダ装置１の外部に導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続されている。そして、吸引圧の導入により、マスター担体３の裏面及びスレーブ媒体２の内周部を吸着により保持できるようになっている。
【００２６】
一方、第２のホルダ６も円盤状で、マスター担体４の大きさに相当する内面部位に前記第２の弾性材２０が設置され、この第２の弾性材２０の押圧面６ｂ及び第２のホルダ６に第３の真空系統１３の吸引孔１３ａが開口され、この吸引孔１３ａに連通する第３エア通路１３ｂが第２のホルダ６の円盤部分から支持軸６ａの内部に形成されている。
【００２７】
また、マスター担体４の内径より内周側のホルダ面には凹部が形成され、この凹部の中心に第４の真空系統１４の吸引孔１４ａが開口され、この吸引孔１４ａに連通する第４エア通路１４ｂが第２のホルダ６の円盤部分から支持軸６ａの内部に形成されている。
【００２８】
第３エア通路１３ｂ及び第４通路１４ｂは、支持軸６ａの周面上の軸方向に互いに離れた位置に開口しており、開口部分を分離するように固定ハウジング９には３つのシール材９ｂが設置され、隣接するシール材９ｂの間にシール空間１３ｅ、１４ｅが確保されている。これらシール空間１３ｅ、１４ｅには、固定ハウジング９側に穿設した連通孔１３ｃ、１４ｃが臨んでおり、シール空間１３ｅ、１４ｅを介して、固定ハウジング９側の連通孔（通路）１３ｃ、１４ｃと、ホルダ６側のエア通路１３ｂ、１４ｂとがそれぞれ連通している。各連通孔１３ｃ、１４ｃには、それぞれフィルタ１０３、１０４を介して、エアパイプ１３ｄ、１４ｄが接続され、これにより、第３及び第４の真空系統１３、１４がホルダ装置１の外部に導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続されている。そして、吸引圧の導入により、マスター担体４の裏面を真空吸着により保持すると共に、内部空間Ａを減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるようになっている。
【００２９】
ここで、フィルタ１０１〜１０４は、外部から内部空間Ａに流入するエアに含まれるゴミや粉塵等の塵埃を吸着除去し、内部空間への塵埃の流入を防止するものである。具体的にフィルタとしては、燒結金属フィルタ、ＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylen）フィルタ等を用いることができ、塵埃除去能としては粒径が数μｍ以上の粒子を１００％除去できるものが良く、さらに０．０１μｍ以上の粒子を１００％除去できるものであることが好ましい。
【００３０】
前記固定ハウジング８、９に設置するシール材８ｂ、９ｂとしては、固定ハウジング８、９の内周または支持軸５ａ、６ａの外周に装着するＯリング、磁性流体シール、Ｏリングと磁性流体シールを併用した構成などを採用することができる。磁性流体シールは、摺動において発塵性がなく、シール部分からの発塵が抑えられるので、より好ましい。
【００３１】
また、第２のホルダ６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、第２のホルダ６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、第１のホルダ５の押圧面５ｂに圧接して内部空間Ａの開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、第２のホルダ６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００３２】
また、第１のホルダ５及び第２のホルダ６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ、６ａを中心に一体に回転駆動される。また、図示していないが、磁気転写装置は、ホルダ５、６を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備えている。
【００３３】
また、前記第１のホルダ５及び第２のホルダ６の少なくとも一方は、軸方向（図では左右方向）に移動可能に支持されており、両ホルダ５、６が互いに接離移動可能となっている。そして、図示の分離状態からの接近移動に伴い、まず、シール部７の端面シール材７ｂが、第１のホルダ５の外周部端面に圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを第４の真空系統１４により減圧すると共に、第２のホルダ６を閉方向へ移動させる。これに伴い、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３、４を所定の加圧力で密着させるようになっている。
【００３４】
なお、上記密着力の印加のために、第４の真空系統１４に加えて、ホルダ５、６を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えている。この押圧手段としては、例えば加圧シリンダで構成し、その押圧ロッドの先端で、第１のホルダ５の支持軸５ａまたは第２のホルダ６の支持軸６ａに所定の押圧荷重を印加できるようにすればよい。
【００３５】
また、前記スレーブ媒体２としては、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３６】
また、マスター担体３、４は、円盤状ディスクとして形成されている。このマスター担体３、４は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。そして、これと反対側の面が両ホルダ５、６に吸着保持される面となる。マスター担体３、４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。また、凹凸パターンの形成は、スタンパ法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティンング法等の真空成膜手段やメッキ法などによる成膜によって行われれる。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３、４が使用される。
【００３７】
転写用磁界及び必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダ装置１の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダ１を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３、４の前面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置は、回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダ１の両側に配置し、垂直方向に停車用磁界を発生させて印加する。部分的に時間を印加するものでは、ホルダ１を移動させるか磁界を移動させて前面の磁気転写を行う。
【００３８】
次に磁気転写工程を説明する。
上記の磁気転写装置では、同じマスター担体３、４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行う。磁気転写を実行するに際しては、まず、第１のホルダ５に第１の真空系統１１によってマスター担体３を、第２のホルダ６に第３に真空系統１３によってマスター担体４を、それぞれ位置を合わせた状態で真空吸引作用により吸着保持させておく。
【００３９】
この第２のホルダ６と第１のホルダ５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットし、そのスレーブ媒体２を第２の真空系統１２による真空吸引によって吸着保持した後、第２のホルダ６を第１のホルダ５に接近移動させる。
【００４０】
そして、両ホルダ５、６間の内部空間Ａを閉じた後、第４の真空系統１４により内部空間Ａのエア排出を行って減圧し、所定の真空度にすると共に、さらに第２のホルダ６を接近移動させる。やがて、スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力及び印加圧力で、第１のホルダ５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３とに第１の弾性材１０及び第２の弾性材２０を介して均一且つ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００４１】
その後、ホルダ装置１の両側に磁界印加装置を接近させ、第１、第２のホルダ５、６を回転させつつ、磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３、４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４２】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３、４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化が反転しない結果、スレーブ媒体２には、マスター担体３、４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４３】
磁気転写後に、スレーブ媒体２を取り出すために、ホルダ１を開作動する。その際、第４の真空系統１４の真空吸引を停止し、外部からのエア（圧空の場合もある）の供給により、内部空間Ａの圧力を上昇させると共に、第２のホルダ６を第１のホルダ５より離れる方向へ移動させる。ここで、スレーブ媒体２に対するマスター担体３、４の密着度は、第１のホルダ５側のマスター担体３の方が、第２のホルダ６側のマスター担体４よりも高いため、第２のホルダ６のマスター担体４がスレーブ媒体２から剥離し、スレーブ媒体２は常に第１のホルダ５に吸着保持されたまま、ホルダ装置１の開作動が行われる。
【００４４】
その後、不図示の取り出し機構によって磁気転写後のスレーブ媒体２がホルダ装置１から取り出されて外部へ搬出され、次の新しいスレーブ媒体２がホルダ装置１に供給され、以下同様の磁気転写が繰り返し行われる。なお、スレーブ媒体２の取り出しの際には、第２の真空系統１２の真空吸引を停止し、外部からのエア（圧空の場合もある）の供給により吸着保持を解除する。
【００４５】
また、何回かの使用によりマスター担体３、４を交換する場合にも、各ホルダ５、６からのマスター担体３、４の取り外しの際には、第１、第３の真空系統１１、１３の真空吸引を停止し、外部からのエア（圧空の場合もある）の供給により吸着保持を解除する。
【００４６】
上記のような繰り返しの磁気転写作業の際に、真空経路（第１〜第４の真空系統１１〜１４）を通して外部からエアがホルダ装置１の内部空間Ａに導入されることになるが、そのエアは必ずフィルタ１０１〜１０４を通過してから両ホルダ５、６の内部空間Ａに導入されるので、もし外部からのエアの中に塵埃が混入していても、それらの塵埃はフィルタ１０１〜１０４で除去され、きれいなエアのみが内部空間Ａに導入される。従って、内部空間Ａに侵入する塵埃量を低減することができ、塵埃付着に起因するマスター担体とスレーブ媒体との密着不良による転写品質の劣化を防止することができる。また、定期的に行うクリーニングの間隔を延ばすことができ、稼働率向上に貢献することができる。さらに、マスター担体への塵埃の付着を低減できることから、マスター担体の寿命を延ばすことができ、コストダウンが図れる。
【００４７】
図２は本発明の他の実施形態の磁気転写装置のホルダ装置の断面図である。
このホルダ装置１Ｂでは、第２の真空系統１２と第３の真空系統に介在させるフィルタ１０２、１０４を、各ホルダ５、６の支持軸５ａ、６ａの軸中心に配した第２エア通路１２ｂと第４エア通路１４ｂに設置している。即ち、固定ハウジング８、９と支持軸５ａ、６ａの相対回転面間に確保されたシール空間１２ｅ、１４ｅよりも、ホルダ５、６の押圧面５ｂ、６ｂに近い真空経路途中にフィルタ１０２、１０４を設置している。その他の構成は図１の実施形態と全く同様である。
【００４８】
このような構成を採用することにより、Ｏリング等のシール部材８ｂ、９ｂから発生する可能性のある塵埃を、確実にフィルタ１０２、１０４で捕集することができるようになるため、ホルダ５、６間の内部空間Ａへの塵埃の侵入防止効果を一層高めることができる。
【００４９】
なお、第１、第３の真空系統１１、１３に介在させるフィルタ１０１、１０３についても、設計上可能であれば、ホルダ５、６内に内蔵するのがよい。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１〜３の発明によれば、マスター担体やスレーブ媒体の吸着保持あるいはマスター担体とスレーブ媒体の密着のための真空吸引経路の途中にフィルタを設けているので、減圧操作の際に真空吸引経路を通して侵入する塵埃を有効に除去することができ、塵埃付着に起因するマスター担体とスレーブ媒体との密着不良による転写品質の劣化を防止することができる。また、定期的に行う必要のあるクリーニングの間隔を延ばすことができるため、稼働率向上に貢献することができる。また、マスター担体への塵埃の付着を低減することができるため、マスター担体の寿命を延ばすことができて、コストダウンが図れる。また、請求項４の発明によれば、フィルタをホルダ内の通路に配置しているので、Ｏリング等のシール機構から発生する塵埃を確実にフィルタで捕集することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の磁気転写装置のホルダ装置の断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態の磁気転写装置のホルダ装置の断面図である。
【符号の説明】
２  スレーブ媒体
３，４  マスター担体
５，６  ホルダ
５ｂ，６ｂ  押圧面
１１〜１４  真空系統（真空吸引経路）
１１ｂ〜１４ｂ  エア通路
１１ｃ〜１４ｃ  連通孔（通路）
１１ｅ〜１４ｅ  シール空間
１０１〜１０４  フィルタ
【図１】
2004206794.tif 000003
【図２】
2004206794.tif 000004