(57)【要約】【課題】ダイナミックレンジが広い信号に対して、適切な階調が得られる画像補正を行う。【解決手段】画像補正装置１は、画像のコントラスト及びブライトネスを調整する手段１２，１３と、取得した画像を画像処理する手段１１とを備える。画像処理手段１１は、取得した少なくとも２つの画像を異なる階調特性で階調変換する機能と、階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度が階調範囲内において連続するように、各画像の合成比率を求める機能と、合成比率に基づいて前記階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度を比例配分して合成する機能を備えり、所定のコントラストないしブライトネスで取得した元画像に対して、明るい画像と暗い画像を取得し、明るい画像からその暗い部分を抽出し、暗い画像からその明るい部分を抽出し、抽出した暗い部分の画像と明るい部分の画像を合成することにより、適切な階調が得られる画像補正を行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像のコントラスト及びブライトネスを調整して明るい画像と暗い画像を取得する工程と、
前記明るい画像を階調変換し、当該明るい画像中の暗い部分を抽出する工程と、前記暗い画像を階調変換し、当該暗い画像中の明るい部分を抽出する工程と、
前記各抽出で得られた画像の合成比率を求め、当該合成比率に基づいて画像を合成する工程とを備えることを特徴とする、画像補正方法。
【請求項２】
合成画像における境界部分の同一画素において、明るい画像及び暗い画像の階調変換前の各信号強度を求め、当該信号強度に基づいて合成画像における境界部分の階調を求め、全階調範囲に対する当該階調により前記合成比率を定めることを特徴とする、請求項１に記載の画像補正方法。
【請求項３】
画像のコントラスト及びブライトネスを調整する手段と、
取得した画像を画像処理する手段とを備え、
前記画像処理手段は、
取得した少なくとも２つの画像を異なる階調特性で階調変換する機能と、
前記階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度が階調範囲内において連続するように、各画像の合成比率を求める機能と、
前記階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度を前記合成比率に基づいて比例配分して合成する機能を備えることを特徴とする、画像補正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像補正装置に関し、特に、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを試料上で二次元的に走査して得られる走査画像を適切な階調に補正する画像補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）や電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）等の表面分析装置では、試料上に電子ビームやイオンビームの荷電粒子ビームを照射し、この照射によって試料から発生する二次電子線、反射電子線、特性Ｘ線等を検出することによって装置の表面分析や元素分析を行う。このとき、荷電粒子ビームあるいは試料ステージを二次元的に走査し検出器で検出することによって、試料の表面の凹凸や走査画像を得る。
【０００３】
走査画像をモニター上に表示させて観察するには、表示画像のコントラストやブライトネスが適切に設定されることが望ましい。表示画像において、コントラストは画像の濃淡の差の程度であり、ブライトネスは画像の明るさの程度であり、これらは試料から発生する二次電子や反射電子等の信号強度に依存している。
【０００４】
例えば、二次電子像では、試料の平坦部は信号強度の差が少ないためコントラストが弱くなる。また、エッジ部では非常に多くの二次電子が発生するため、明るい画像となりブライトネスは高くなる。また、反射電子像では、原子番号差の大きい元素が存在する場合には、強いコントラストの画像が得られる。
【０００５】
通常、荷電粒子ビームを用いた装置において、コントラストは検出器の増幅度によって調整し、ブライトネスは検出信号の基準信号強度に対する表示レベルによって調整している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の表面分析装置において、試料から発生した信号量が観察視野内の場所によって大きく異なる場合、信号強度のダイナミックレンジは大きくなり有効な信号レンジを越える場合がある。従来、このような場合、信号強度の全範囲を表現するために、信号強度のレンジが有効信号レンジ内となるようにコントラストを調整している。このようなコントラスト調整では、中間調領域のコントラストが非常に弱くなり、凹凸や元素分布の識別が困難となるという問題がある。また、この中間調領域のコントラストが明瞭となるように調整すると、明るい領域では白トビと呼ばれる現象によりこの領域全体が明るく表示され、また、暗い領域では黒ツブレと呼ばれる現象によりこの領域全体が暗く表示され、観察者にとって見づらくなり、適切な階調の画像を得ることができないという問題がある。
【０００７】
このように信号強度のダイナミックレンジが広い場合には、画像中の比較的明るい部分あるいは比較的暗い部分の何れかを優先してコントラストやブライトネスを調整し、２回に分けて観察する必要がある。
【０００８】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、ダイナミックレンジが広い信号に対して、適切な階調が得られる画像補正を行うことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像補正装置は、所定のコントラストないしブライトネスで取得した元画像に対して、明るい画像と暗い画像を取得し、明るい画像からその暗い部分を抽出し、暗い画像からその明るい部分を抽出し、抽出した暗い部分の画像と明るい部分の画像を合成することにより、適切な階調が得られる画像補正を行う。
【００１０】
なお、元画像はある程度の階調が得られる程度にコントラストないしブライトネスが調整されている。元の画像よりも明るくなるように画像を調整すると、元の画像では黒くつぶれていた部分に階調差が表れる。この画像を黒（最も暗い）からある中間調の明るさまでを強調するような特性で階調変換することにより、元の画像の暗い部分を所定の階調により表すことができる。また、元の画像よりも暗くなるように画像を調整すると、元の画像では白くとんでいた部分に階調差が表れる。この画像をある中間調の明るさから白（最も明るい）までを強調するような特性で階調変換することにより、元の画像の明るい部分を所定の階調により表すことができる。
【００１１】
これら暗い部分の画像と明るい部分の画像を組合せて合成することにより、元画像の黒くつぶれていた部分と白くとんでいた部分を所定の階調で表示し、広いダイナミックレンジに対応することができる。通常の階調表示では、表示する階調数が定められている。各階調変換で得られる階調数は画像調整により異なり、組み合わせてときの全階調数は表示に用いる階調数と一致するとは限らない。そこで、組み合わせる画像の各階調数から合成比率を求め、求めた比率に基づいて各画像の階調数を按分して合成する。これにより、元の画像において白くとんでいた部分及び黒くつぶれていた部分がある階調で表示され、適切な階調の画像が得られる。
【００１２】
合成画像は、元の画像において白くとんでいた部分及び黒くつぶれていた部分から得られる２つの画像を合成して得る他、中間階調部分を含めた３つ以上の画像を合成して得ることもできる。
【００１３】
本発明の画像補正方法は、画像のコントラスト及びブライトネスを調整して明るい画像と暗い画像を取得する工程と、取得した明るい画像を階調変換して明るい画像中の暗い部分を抽出する工程と、取得した暗い画像を階調変換して暗い画像中の明るい部分を抽出する工程と、それぞれ抽出した画像の合成比率を求め、この合成比率に基づいて画像を合成する工程を備える。
【００１４】
画像の合成比率は、合成画像における境界部分の同一画素において、明るい画像と暗い画像について階調変換前の各信号強度を求め、求めた各画像の信号強度に基づいて合成画像における境界部分の階調を求め、求めた階調が全階調範囲に対してどの段階にあるかにより定める。
【００１５】
また、本発明の画像補正装置は、画像のコントラスト及びブライトネスを調整する手段と、取得した画像を画像処理する手段とを備え、画像処理手段は、取得した少なくとも２つの画像を異なる階調特性で階調変換する機能と、階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度が階調範囲内において連続するように、各画像の合成比率を求める機能と、合成比率に基づいて前記階調変換した少なくとも２つの画像の信号強度を比例配分して合成する機能を備える。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。なお、以下では、明るい画像と暗い画像の２つの画像を用いて画像補正を行う例について説明する。
【００１７】
図１は本発明の画像補正装置の構成例の概略ブロック図である。図１に示すように、走査型電子顕微鏡等の表面分析装置において、試料から発生した二次電子信号などの信号は光電子増倍管等の検出器２により検出され、アンプ３により増幅された後、Ａ／Ｄ変換器４によりディジタル信号に変換され画像データとしてフレームメモリ５に記憶される。この画像データは図示していないＬＵＴ（ルックアップテーブル）を経てＤ／Ａ変換器６に送られアナログ画像信号とし、モニター７に表示される。
【００１８】
画像補正装置１は、検出器２の増幅率の制御、アンプ３の増幅レベルの制御を行うことにより画像のコントラスト及びブライトネスを調整し、また、取得した画像データの補正を行う。画像補正装置１は、検出器２の増幅率を制御してコントラスト調整を行うコントラスト調整手段１２、アンプの増幅レベルを制御してブライトネス調整を行うブライトネス調整手段１３、コントラスト調整手段１２及びブライトネス調整手段１３の制御、画像補正の制御及び画像処理を行うコンピュータ１１を備える。画像補正装置１は、上記構成の他に、コンピュータ１１からのディジタル信号をアナログ信号に変換してコントラスト調整手段１２やブライトネス調整手段１３に入力するＤ／Ａ変換器１４，１５、コンピュータ１１への指示を入力するマウスやキーボード等の入力手段１６を備える。コンピュータ１１は、入力手段からの指示に従って、コントラスト調整手段１２及びブライトネス調整手段１３を制御し、検出器２の増幅率及びアンプ３の増幅レベルを制御することによりコントラスト・ブライトネスを調整する。コントラスト・ブライトネスが調整されて取得された画像はフレームメモリ５に記憶される。コンピュータ１１は、このフレームメモリ５に記憶される画像を画像処理して画像補正を行う。
【００１９】
図２は、コンピュータ１１が備える機能を説明するための概略ブロック図である。コンピュータ１１は、コントラスト・ブライトネスを調整するためのコントラスト・ブライトネス調整機能１１ａを備え、画像処理を行うための閾値算出機能１１ｂ，位置記憶機能１１ｃ，階調変換機能１１ｄ，合成比率算出機能１１ｅ，及び画像合成機能１１ｆを備える。なお、ここでは、説明に便宜上から各機能を個別の機能として説明しているが、これら各機能はこの構成に限らず他の構成の組み合わせにより構成することも、あるいは、これら機能を組み合わせることもできる。また、これら各機能は、ソフトウエアで構成する他、ハードで構成してもよい。
【００２０】
コントラスト・ブライトネスの調整において、コントラスト・ブライトネス調整機能１１ａは、明るい画像ＩＭ＋及び暗い画像ＩＭ−を取得するために、ブライトネス及び必要に応じてコントラストの制御を行う。コントラスト制御は、Ｄ／Ａ変換器１４を介してコントラスト調整手段１２にコントラスト調整量を指示し、検出器２の増幅率を調整する。また、ブライトネス制御は、Ｄ／Ａ変換器１５を介してブライトネス調整手段１３に調整量を指示し、アンプ３の増幅レベルを調整する。なお、各調整量は、入力手段１６から入力することも、あるいは、予め定めて記憶しておいた調整量を用いることもできる。
【００２１】
画像補正処理において、閾値算出機能１１ｂはフレームメモリ５に記憶された画像データ（ＩＭ）に基づいて明るい画像と暗い画像を取得するための境界となる明るさの閾値Ｉ0を求め、位置記憶機能１１ｃは画像上においてこの明るさの閾値Ｉ0を有する点の位置Ｐを求めて記憶する。階調変換機能１１ｄは、フレームメモリ５に記憶される明るい画像ＩＭ＋と暗い画像ＩＭ−をそれぞれ異なる階調特性で階調変換し、画像ＩＭ＋′と画像ＩＭ−′とを得る。画像合成機能１１ｆは、この階調変換で得られた画像ＩＭ＋′と画像ＩＭ−′と画像合成する。この画像合成において、合成比率算出機能１１ｅは、明るい画像ＩＭ＋と暗い画像ＩＭ−の同一位置Ｐにおける強度Ｉ1，強度Ｉ2に基づいて、階調変換後の明るい画像ＩＭ＋′と暗い画像ＩＭ−′の合成比率を算出し、画像合成機能１１ｆは、この合成比率に基づいて明るい画像ＩＭ＋′と暗い画像ＩＭ−′とを画像合成する。
【００２２】
以下、図３のフローチャート、図４のヒストグラム、図５のトーンカーブ、図６の信号関係図を用いて本発明の画像補正の一手順例を説明する。なお、以下の画像補正は、明るい画像と暗い画像の２つの画像を用いた例について説明する。また、画像の階調は２５６階調の場合について説明している。
【００２３】
はじめに、補正前の元となる画像ＩＭを取り込む。なお、この元画像ＩＭは、あらかじめコントラスト及びブライトネスの調整を行い、ある程度の階調で表されているものとする。検出した信号のダイナミックレンジが広い場合には、画像の明るい部分の一部は白とびし、画像の暗い部分の一部は黒くつぶれる場合がある。図７（ａ）は元画像の一例を示しており、表示画像には白くとんだ部分と黒くつぶれた部分が含まれている（ステップＳ１）。
【００２４】
この元画像において、画像のヒストグラムを求める。図４はヒストグラムの一例であり、黒（階調０）と白（階調２５５）の信号強度の範囲において、各信号強度を有する画像の個数を示している（ステップＳ２）。
【００２５】
この画像のヒストグラムは、元画像において明るい画像と暗い画像との境界を定めるために用いるものであり、画像ＩＭを適当な信号レベルの閾値Ｉ0を境として暗レベルと明レベルに区別する。図４に示すヒストグラムの場合には、例えば閾値Ｉ0を設定する。この閾値Ｉ0は、例えば、中間調領域においてヒストグラム上で画素数が最小となるような信号強度など、明るい画像と暗い画像との間の任意の信号強度で設定することができる。なお、画像数が少ない信号強度に設定することにより、明るい画像と暗い画像とで明るさのレベルに違いがあったとしても、その境界部分での個数を少なくすることにより見た目上の違いを緩和することができる。この閾値Ｉ0はヒストグラムから自動で設定することも、あるいはヒストグラムを参照して入力手段から任意に設定することもできる。ヒストグラムから自動設定する場合には、前記したような設定条件を予め設定することで行うことができる。この処理は、図２中の閾値算出機能１１ｂに対応している（ステップＳ３）。
【００２６】
ステップＳ３で設定した信号強度Ｉ0（閾値Ｉ0）を有する点を元画像ＩＭから１点探し、その位置Ｐを記憶しておく。これは、元画像ＩＭのコントラスト・ブライトネスを調整して得られる明るい画像ＩＭ＋と暗い画像ＩＭ−を画像合成する際、境界部分の信号強度を合わせるために、信号強度を合わせる位置を定めておくためである。この処理は、図２中の位置記憶機能１１ｃに対応している（ステップＳ４）。
【００２７】
次に、ブライトネス調整手段によりアンプ３を制御してブライトネスを調整し、また、必要に応じてコントラスト調整手段により検出器２の増幅率を制御してコントラストを調整することにより、元画像ＩＭにおいて黒くつぶれた部分が適切な階調で観察されるようにして、明るい画像ＩＭ＋を取り込む。また、同様に、元画像ＩＭにおいて白くとんだ部分が適切な階調で観察されるようにし、暗い画像ＩＭ−を取り込む。図７（ｂ）は明るい画像ＩＭ＋の例であり、図７（ｃ）は暗い画像ＩＭ−の例である。図７（ｂ）の明るい画像ＩＭ＋によれば、図７（ａ）の元画像において黒くつぶれた部分が適切な階調で観察され、また、図７（ｃ）の暗い画像ＩＭ−によれば、図７（ａ）の元画像において白くとんだ部分が適切な階調で観察される。
【００２８】
ここで、コントラスト・ブライトネスを変化させる量は、予め記憶しておいた値を用いて自動制御することも、あるいは、入力手段からオペレータにより手動制御することもできる。この処理は、図２中のコントラスト・ブライトネス調整制御機能１１ａに対応している（ステップＳ５）。
【００２９】
明るい画像ＩＭ＋及び暗い画像ＩＭ−において、ステップＳ４で定めておいた位置Ｐの信号強度Ｉ1及び信号強度Ｉ2を求める。これにより、同一位置における信号強度を求めることができる。この信号強度Ｉ1及び信号強度Ｉ2は、元画像における信号強度がＩ0に対して、コントラスト・ブライトネス調整によって変化した信号強度を表しており、試料から発生した同量の信号を異なる増幅率で増幅した結果である。なお、信号強度Ｉ1及び信号強度Ｉ2は、位置Ｐに対応するピクセルの信号強度をそのまま用いることも、あるいは、そのピクセルの近傍の複数点の信号強度の平均値を用いることできる。（ステップＳ６）。
【００３０】
次に、明るい画像ＩＭ＋及び暗い画像ＩＭ−からそれぞれ画像合成に必要な部分を抽出する。明るい画像ＩＭ＋については、図５（ａ）に示すようなトーンカーブ＃１で表される階調変換特性により階調変換を行い、信号強度Ｉ1以上の部分を白くとばして、元画像ＩＭにおいて信号強度が０（最も暗い階調）〜Ｉ1の暗い部分の階調部分のみを残す。この階調変換後の画像を画像ＩＭ＋′とする（ステップＳ７−１）。
【００３１】
また、暗い画像ＩＭ−については、図５（ｂ）に示すようなトーンカーブ＃２で表される階調変換特性により階調変換を行い、信号強度Ｉ2以下の部分を黒くつぶして、元画像ＩＭにおいて信号強度がＩ2〜２５５（最も明るい階調）の明るい部分の階調部分のみを残す。この階調変換後の画像を画像ＩＭ−′とする（ステップＳ７−２）。上記ステップＳ６，７の処理は、図２中の階調変換機能１１ｄに対応している。
【００３２】
画像ＩＭ＋から取り出した画像ＩＭ＋′の信号強度の範囲は、０〜Ｉ1までの（Ｉ1＋１）段階であり、画像ＩＭ−から取り出した画像ＩＭ−′の信号強度の範囲は、Ｉ2〜２５５までの（２５５−Ｉ2）段階である。そのため、画像ＩＭ＋′と画像ＩＭ−′とを単に境界部分でつなぎ合わせると、画像データが持つ階調は、｛（Ｉ1＋１）＋（２５５−Ｉ2）｝となり、モニター等が表示する階調数（例えば、２５６階調）と一致しない場合がある。そこで、この｛（Ｉ1＋１）＋（２５５−Ｉ2）｝を０〜２５５の２５６階調に合わせる処理を行う。
【００３３】
この処理では、画像ＩＭ＋′の０〜Ｉ1までの範囲の画像データを０〜Ｉ3までの範囲に割り当て、画像ＩＭ−′のＩ2〜２５５までの範囲の画像データをＩ3〜２５５までの範囲に割り当てる。ここで、Ｉ3は、（Ｉ1＋１）×２５６／｛（Ｉ1＋１）＋（２５５−Ｉ2）｝で求められ、画像合成を行う合成比率を表している。この処理は、図２中の合成比率算出機能１１ｅに対応している（ステップＳ８）。
【００３４】
画像合成は、全階調範囲を２５６階調としたとき、画像ＩＭ＋′に対して（Ｉ3／２５６）を乗ずることにより０〜Ｉ3までの範囲に割り当てた画像と、画像ＩＭ−′に対して（２５６−Ｉ3／２５６）を乗ずることによりＩ3〜２５６までの範囲に割り当てた画像とを加算することにより行うことができる。この処理は、図２中の画像合成機能１１ｆに対応している。図７（ｄ）は画像合成した後の画像例を示している（ステップＳ９）。
【００３５】
図６は、上記した本発明による画像処理の概略を説明するための図である。元画像ＩＭの暗い部分をＡとし明るい部分をＢとし、その境界点をＰとする（図６（ａ））。この元画像ＩＭをコントラスト・ブライトネス調整により明るい画像ＩＭ＋とし（図６（ｂ））、この画像ＩＭ＋をトーンカーブ＃１（図６（ｃ））により階調変換して暗い部分Ａのみを抽出する（図６（ｆ））。
【００３６】
一方、元画像ＩＭをコントラスト・ブライトネス調整により暗い画像ＩＭ−とし（図６（ｄ））、この画像ＩＭ−をトーンカーブ＃２（図６（ｅ））により階調変換して明るい部分Ｂのみを抽出する（図６（ｆ））。
【００３７】
抽出した暗い部分Ａと明るい部分Ｂとを境界点Ｐでつなぎ合わせることにより、適切な階調に画像補正された画像を得ることができる。
【００３８】
図６（ｇ）は、図６（ｃ）の階調範囲と図６（ｅ）の階調範囲とを組み合わせて、０〜２５５の２５６階調範囲に合わせた状態を示しており、図６（ｃ）の階調範囲を表すＩ1と図６（ｅ）の階調範囲を表すＩ2に基づいて、暗い部分Ａと明るい部分Ｂの境界に対応するＩ3を求めることにより、合成画像の階調範囲を２５６階調に合わせる。
【００３９】
上記説明では、元画像をコントラスト・ブライトネス調整して得られる明るい画像の暗い部分と暗い画像の明るい部分の２つの画像を組み合わせる例を示しているが、組み合わせる画像は明るい画像の暗い部分と暗い画像の明るい部分の２つの画像に、中間部分の画像を加えて３つ以上の画像に組み合わせとしてもよい。
【００４０】
図８，９は３つ以上の画像に組み合わせを説明するためのヒストグラム例、及びトーンカーブ例である。
【００４１】
図８に示すヒストグラム例では、Ｉa及びＩｂを閾値として、元画像を暗い部分Ａと、明るい部分Ｂと、中間部分Ｃの３つに分ける。暗い部分Ａについては、前記した例と同様にして、コントラスト・ブライトネス調整して明るい画像を求め、図９（ａ）に示すトーンカーブ＃１により暗い部分Ａの階調を抽出する。明るい部分Ｂについては、前記した例と同様にして、コントラスト・ブライトネス調整して暗い画像を求め、図９（ｃ）に示すトーンカーブ＃２により明るい部分Ａの階調を抽出する。また、中間部分Ｃについては、元画像に対して図９（ｂ）に示すトーンカーブ＃３により中間部分Ｃの階調を抽出する。
【００４２】
なお、抽出した暗い部分Ａと明るい部分Ｂと中間部分Ｃとを画像合成する場合には、前記の例と同様に、隣接する部分の境界の信号強度を合わせると共に、組み合わせた合成画像の階調が全階調範囲（例えば、２５６階調）となるように各階調幅を調整する。
【００４３】
また、図８，９の例は１つの中間部分について示しているが、この中間部分をも複数に分けてもよい。
【００４４】
上記説明では、荷電粒子ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を得る場合について示しているが、荷電粒子ビームに対して試料ステージを二次元的に走査する場合についても同様とすることができる。また、上記説明では、１つの検出器により画像を順次取り込んで処理していえるが、複数の検出器がある場合は同時に画像を取り込んで処理することもできる。
【００４５】
また、上記説明では、トーンカーブとして直線特性のものを示しているが、ガンマカーブやＳ字などの曲線形状を持つ変換特性のものであってよい。
【００４６】
本発明の実施態様によれば、検出信号のダイナミックレンジが広い画像に対して、明るい部分用に補正した画像と暗い部分用に補正した画像を取り込み、これらを合成することにより、適切な階調の画像を得ることができる。
【００４７】
本発明の実施態様によれば、最終的な画像取得についてだけでなはく、試料の視野探しなどの場合にもコントラストやブライトネスを調整する頻度が少なくてすむという効果があり、表面分析装置の操作性の高めることができる。
【００４８】
また、本発明の実施態様によれば、複数の画像を合成するため、平均値フィルタと同様に細かいノイズを除去することができるという二次的な効果を奏することもできる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ダイナミックレンジが広い信号に対して、適切な階調が得られる画像補正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の画像補正装置の構成例の概略ブロック図である。
【図２】本発明のコンピュータが備える機能を説明するための概略ブロック図である。
【図３】本発明の画像補正の一手順例を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の画像補正の一手順例を説明するためのヒストグラムである。
【図５】本発明の画像補正の一手順例を説明するためのトーンカーブである。
【図６】本発明の画像補正の一手順例を説明するための信号関係図である。
【図７】本発明による画像例である。
【図８】本発明の３つ以上の画像に組み合わせを説明するためのヒストグラム例である。
【図９】本発明の３つ以上の画像に組み合わせを説明するためのトーンカーブ例である。
【符号の説明】
１…画像補正装置、２…検出器、３…アンプ、４…Ａ／Ｄ変換器、５…フレームメモリ、６…Ｄ／Ａ変換器、７…モニター、１１…コンピュータ、１１ａ…コントラスト・ブライトネス調整制御機能、１１ｂ…閾値算出機能、１１ｃ…位置記憶機能、１１ｄ…階調変換機能、１１ｅ…合成比率算出機能、１１ｆ…画像合成機能、１２…コントラスト調整手段、１３…ブライトネス調整手段、１４，１５…Ｄ／Ａ変換器、１６…入力手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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