(57)【要約】【課    題】使用済み硫酸を工業的有利に再資源化し、付加価値の高い再資源化硫酸として利用できる使用済み硫酸の再資源化装置の提供。【解決手段】排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、（イ）混合機、（ロ）混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は（ハ）混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、（イ）混合機、（ロ）混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は（ハ）混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項２】
受け入れタンクが、同一の又は異なる受け入れ口から（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容するタンクであり、（Ａ）前記バージン硫酸と（Ｂ）前記使用済み硫酸との混合のための循環パイプをさらに具備することを特徴とする請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項３】
循環パイプがさらに冷却器を具備することを特徴とする請求項２記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項４】
使用済み硫酸の濃度が５０〜９０質量％であり、バージン硫酸の濃度が７０質量％以上であることを特徴とする請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項５】
排出元Ａが、半導体製造工場又は事業所であることを特徴とする請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項６】
搬送体Ｂが、車両又は船舶であることを特徴とする請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項７】
利用先Ｃが、電気・電子製品製造工場又は事業所であることを特徴とする請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項８】
さらに（ｉ）バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、（ｉｉ）過酸化水素水又は／及び水とを混合する混合槽とを設置した請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置。
【請求項９】
請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置を用いて使用済み硫酸を再利用することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化方法。
【請求項１０】
請求項１記載の使用済み硫酸の再資源化装置で再資源化された硫酸であることを特徴とする再資源化硫酸。
【請求項１１】
請求項１０記載の再資源化硫酸の工業製品製造のための使用。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、使用済み硫酸の再資源化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
硫酸は種々の産業でその目的に応じたグレード（純度及び濃度）で大量に利用されている。これら硫酸が使用済みとなった場合は、通常、下記に示すような処理が行われる。
（１）発生工場内での排水処理（中和処理）。
（２）専門処理業者による引き取り、及び排水（中和）処理。
（３）工場内での中和剤としての再利用。
（４）工場内での若しくは再生処理専門業者による再生処理（蒸留精製）。
（５）専門業者による引き取り、及び硫酸バンド（硫酸アルミニウム）の原料としての再利用処理。
【０００３】
上記（１）のケースが最も多いが、この場合、多量のアルカリ剤（消石灰）や各種排水処理剤（例えば無機凝集剤、高分子凝集剤又は過酸化水素分解促進剤等）が必要とされ、これに伴い、多量の汚泥と排水とが発生するため、環境面及び資源面で好ましくない。上記（２）については、使用済み硫酸を工場外で処理する以外は上記（１）のケースと同様であり、多量の汚泥と排水とが発生するため、環境面及び資源面で好ましくない。上記（３）の場合、工場内の中和剤としての需要が少なく、結局余剰分に対しては、上記（１）や上記（２）のケースと同じ処理が必要となり、必ずしも満足のいくものではない。また、上記（４）の場合、使用済み硫酸の再生には大掛かりなプラントやエネルギーが必要となるため、例えばエネルギー、コスト、敷地面積、安全性又はハンドリング等の実用面での問題が多く、一般には殆ど普及していない。上記（５）の場合も、使用済み硫酸は殆ど有価物としての取り扱いを受けず、通常は有償で引き渡すか、もしくは、非常に低価格（〜数円／Ｋｇ）で売却されることとなり、さらに、この場合における使用済み硫酸の使用率は、通常、使用済み硫酸の１０質量％以下であり、さらなる改善が求められていた。
【０００４】
上記した使用済み硫酸の処理方法では使用済み硫酸の付加価値が低いため、従来の使用済み硫酸の処理は、自社工場で行うか、もしくは、外部に有償で引き渡しているかのどちらかが一般的であった。例えば、半導体事業所で排出された使用済み硫酸中には、通常、過酸化水素水が０．数％〜数％程度含まれており、このため、工場内で（中和）排水処理するか、もしくは、中和剤として利用するのが一般的で、硫酸バンドの原料として工場外で利用されるケースも一部存在した。いずれにせよ、たとえ、再利用したとしても付加価値が大幅に低下するカスケード利用（単に工業硫酸の代替物）にとどまっていた。そこで、使用済み硫酸を他の製造工場又は事業所で付加価値の高い材料として有効利用できる方法及びその装置が待ち望まれていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、使用済み硫酸を工業的有利に再資源化し、付加価値の高い再資源化硫酸として利用できる使用済み硫酸の再資源化装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、（イ）混合機、（ロ）混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は（ハ）混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置の創製に成功した。成功するとともに、上記再資源化装置が工業的有利に使用済み硫酸の有効利用に使用できること、かかる装置によって再資源化された硫酸の付加価値が高いこと、中和剤のような下流排出側で利用するのではなく、種々工業製品の製造用原料として再利用することができること、及び環境負荷を低減できること等を知見し、上記した伝統的課題を一挙に解決できることを見出した。
本発明者らは、かかる種々の知見を得た後、さらに検討を重ね、本発明を完成させた。
【０００７】
すなわち、本発明は、
（１）  排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、（イ）混合機、（ロ）混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は（ハ）混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置、
（２）  受け入れタンクが、同一の又は異なる受け入れ口から（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容するタンクであり、（Ａ）前記バージン硫酸と（Ｂ）前記使用済み硫酸との混合のための循環パイプをさらに具備することを特徴とする（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
（３）  循環パイプがさらに冷却器を具備することを特徴とする（２）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
に関する。
【０００８】
また、本発明は、
（４）  使用済み硫酸の濃度が５０〜９０質量％であり、バージン硫酸の濃度が７０質量％以上であることを特徴とする（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
（５）  排出元Ａが、半導体製造工場又は事業所であることを特徴とする（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
（６）  搬送体Ｂが、車両又は船舶であることを特徴とする（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
（７）  利用先Ｃが、電気・電子製品製造工場又は事業所であることを特徴とする（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
に関する。
【０００９】
また、本発明は、
（８）  さらに（ｉ）バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、（ｉｉ）過酸化水素水又は／及び水とを混合する混合槽とを設置した（１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置、
（９）  （１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置を用いて使用済み硫酸を再利用することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化方法、
（１０）  （１）記載の使用済み硫酸の再資源化装置で再資源化された硫酸であることを特徴とする再資源化硫酸、
（１１）  （１０）記載の再資源化硫酸の工業製品製造のための使用、
に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明は、排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置であって、（Ａ）バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の使用済み硫酸とを収容する受け入れタンクを具備し、（イ）混合機、（ロ）混合機及び濃度測定機若しくは冷却器、又は（ハ）混合機、濃度測定機及び冷却器を具備することを特徴とする使用済み硫酸の再資源化装置である。
【００１１】
本発明の装置は、排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを搬送体Ｂにて運搬し、これを利用先Ｃにて再利用するシステムにおいて使用されることを特長とする。上記排出元Ａは、上記使用済み硫酸が排出される所であればどのような所でもよい。例えば、各種工業の工場又は事業所等が挙げられる。前記各種工業としては、例えば、半導体を含む電気・電子、鉄鋼、薬品（例えば無機薬品、有機薬品又は医薬品等）、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池又は中和石膏等の各種工業が挙げられる。本発明においては、上記排出元Ａが、使用済み硫酸の排出量が多い工場又は事業所であることが好ましく、電気・電子工業、又は無機薬品、有機薬品又は医薬品等の化学工業における製品製造工場又は事業所であることがより好ましく、半導体製造工場又は事業所であることが最も好ましい。
【００１２】
上記使用済み硫酸は、Ｈ２ＳＯ４で表される化合物を含むものであればどのようなものでもよい。不純物が混ざっている硫酸であってもよいし、不純物が全く混ざっていない硫酸であってもよい。本発明においては、上記使用済み硫酸が、不純物の少ない硫酸であることが好ましく、含有重金属の含有量約１ｐｐｍ以下であって、含有塩化物の含有量約１０ｐｐｍ以下である硫酸であることがより好ましく、含有重金属の含有量約１００ｐｐｂ以下であって、含有塩化物の含有量約１ｐｐｍ以下である硫酸であることが最も好ましい。上記使用済み硫酸の濃度は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。０を超え１００質量％の範囲内であってよい。本発明においては、使用済み硫酸の濃度が、高いことが好ましく、約５０〜９０質量％であることがより好ましく、約６０〜９０質量％であることが最も好ましい。
【００１３】
上記搬送体Ｂは、上記使用済み硫酸を運搬できるものであればどのようなものでもよい。例えば、パイプライン、車両、船舶又は航空機等が挙げられる。上記車両は、陸上を走行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、列車（例えば貨物列車等）、電車（例えば新幹線等）又は自動車（例えばタンクローリー、トラック又は薬品コンテナ搬送車等）などが挙げられる。上記船舶は、水上を航行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、タンカー、フェリー又はボート等が挙げられる。上記航空機は、飛行できるものであればどのようなものでもよい。例えば、ジャンボジェット機、貨物機、軽飛行機、水上飛行機又は気球等が挙げられる。本発明においては、上記搬送体Ｂが、運搬手段として適用範囲の広いものであることが好ましく、車両又は船舶であることがより好ましく、タンクローリー、トラック又は薬品コンテナ搬送車であることが最も好ましい。
【００１４】
本発明で用いられるバージン硫酸は、精製された硫酸であればどのようなものでもよい。濃硫酸であってもよいし、希硫酸であってもよい。例えば、電子工業グレード、医薬グレード、試薬グレード、工業グレード又は精製硫酸グレード等が挙げられる。本発明においては、上記バージン硫酸が、上記使用済み硫酸との併用性があり、低コストであり、均一／一定の品質であることが好ましく、電子工業グレード、試薬グレード又は精製硫酸グレードであることがより好ましく、電子工業グレード又は試薬グレードであることが最も好ましい。上記グレードは、例えば各種工業によって使用された使用済み硫酸を公知の方法に従って精製した精製硫酸をいう。本発明においては、上記バージン硫酸の濃度が、約７０質量％以上であることが好ましく、約７５〜９８質量％であることがより好ましく、約８０〜９８質量％であることが最も好ましい。本発明においては、上記バージン硫酸として市販品を用いることができる。かかる市販品としては、東京都中央区にある住友化学工業株式会社から硫酸の商品名で入手可能である。
【００１５】
本発明で用いられる受け入れタンクは、（Ａ）上記バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の上記使用済み硫酸とを収容できさえすればどのようなものでもよい。上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを同一の又は異なる受け入れ口から収容するタンクであってよい。例えば、タンク、コンテナ、ケース、缶又は瓶等が挙げられる。本発明においては、上記受け入れタンクが、液体を入れても変形しないものであることが好ましく、さらに酸により上記受け入れタンクの材質が変化しないものであることがより好ましく、硫酸により材質が劣化しない又は容易に劣化しないものであることが最も好ましい。また、本発明においては、上記受け入れタンクを複数用いることができる。
【００１６】
本発明で用いられる混合機は、上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを混合できさえすればどのようなものでもよい。公知のものであってよい。例えば、容器回転型、機械攪拌型、流動攪拌型又は無攪拌型等の混合機が挙げられる。上記容器回転型の混合機としては、例えば容器自体が回転又は／及び振動して混合する手段を用いる混合機等が挙げられる。上記機械攪拌型の混合機としては、例えば、攪拌羽根によって攪拌し、混合する手段を用いる混合機又は循環ポンプを用いる混合機等が挙げられる。機械攪拌型混合機にはラインミクサーを含む。上記流動攪拌型としては、例えば空気又はガスにより攪拌して混合する手段を用いる混合機等が挙げられる。上記無攪拌型の混合機としては、例えば、合流を利用する混合機、重力流動と分岐板又は管によって流露分割して混合する混合機等が挙げられる。本発明においては、循環パイプによる混合であることが好ましい。
【００１７】
本発明で用いられる濃度測定機は、硫酸の濃度が測定できさえすればどのようなものでもよい。公知のものであってもよい。例えば、屈折率測定、中和滴定、水分測定（例えばカールフィッシャー法又は蒸発残さ法等）、超音波（音速）測定、吸光度測定、比重（密度）測定、粘度測定、ｐＨ測定及び電位差滴定等から選ばれる１種以上の測定手段を用いる濃度計等が挙げられる。本発明においては、上記濃度測定機が、測定の速さと精度、測定機の価格及び大きさ、又はハンドリング性の点から、超音波（音速）、密度（振動型）、屈折率、比重、ｐＨ及び吸光度から選ばれる少なくとも１種以上の測定手段を用いる濃度計であることが好ましい。また、上記濃度測定機が、ポータブル型の濃度計であってもよい。本発明においては、上記濃度測定機を複数用いてもよく、上記濃度測定機を複数用いる場合、それぞれ複数箇所で用いてもよい。使用済み硫酸が排出される工場又は事業所（排出元Ａ）で上記濃度測定機を用いてもよいし、使用済み硫酸を運搬する搬送体Ｂで上記濃度測定機を用いてもよい。使用済み硫酸を排出する工場又は事業所であればどこでも上記濃度測定機を用いてよい。また、上記濃度測定機により上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合時の濃度変化を調べることができる。
【００１８】
本発明で用いられる冷却器は、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合物を冷却できさえすればどのようなものでもよい。公知の冷却手段を用いる冷却器であってもよい。例えば、クーラー等が挙げられる。上記公知の冷却手段としては、例えば、水、氷水或いは液体窒素等の液状冷却材、又は氷或いはドライアイス等の固形冷却材などを用いる冷却手段又は放冷（例えば循環空冷を含む。）等が挙げられる。本発明においては、上記冷却器が、液状冷却材を用いる冷却器であることが好ましく、水を用いる冷却器であることがより好ましい。冷却器は、循環パイプとタンクや混合槽のいずれに具備されても良いが、循環パイプに具備されることが最も好ましい。上記冷却器によって、濃度が異なる硫酸の混合による水和熱等の発熱を抑え得る。
【００１９】
本発明においては、上記再資源化装置が、さらに、ポンプ、パイプ、バルブ及び混合槽から選ばれる１種以上を具備するものであることが好ましい。上記ポンプは、圧力の作用で、液体や気体を吸い上げたり送ったりする機械であればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、往復ポンプ、回転ポンプ、渦巻きポンプ、軸流ポンプ又はジェットポンプ等が挙げられる。上記パイプは、管状のものであればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、金属管、プラスチック管、ゴム管又は土管等が挙げられる。上記バルブは、例えばパイプなどを流れる気体又は液体の出入り又は流れの方向を調節できる装置であればどのようなものであってもよく、公知のものであってもよい。上記混合槽は、（ｉ）バージン硫酸と使用済み硫酸との混合硫酸と、（ｉｉ）過酸化水素水又は／及び水とを混合できるものであればどのようなものでもよい。公知のものであってもよく、例えば、タンク、コンテナ、ケース、缶又は瓶等が挙げられる。本発明においては、上記混合槽にて、上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸との混合硫酸の硫酸濃度を利用先Ｃの要求に応じて調整することが好ましく、かかる濃度の調整に過酸化水素水又は／及び水を希釈剤として用いることがより好ましく、かかる濃度の調整に過酸化水素水又は水を希釈剤として用いることが最も好ましい。
【００２０】
本発明では、上記使用済み硫酸の再資源化装置を、（Ａ）上記バージン硫酸と、（Ｂ）そのバージン硫酸の濃度と異なる濃度の上記使用済み硫酸とを収容する上記受け入れタンクを設置し、タンクに（イ）上記混合機、（ロ）上記混合機及び上記濃度測定機若しくは上記冷却器、又は（ハ）上記混合機、上記濃度測定機及び上記冷却器を具備させることで、上記排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを上記搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するシステムに好適な使用済み硫酸の再資源化装置を製造することができる。
【００２１】
かかる装置は、上記排出元Ａ、搬送体Ｂ又は利用先Ｃのいずれに設置されてもよいが、好ましくは利用先Ｃに設置される。
【００２２】
以下、図面を用いて本発明の好ましい態様を説明する。
【００２３】
図１は、受け入れタンク３、ポンプ２ａ、２ｂ、バルブ５ａ、５ｂ、濃度計７、冷却器６及び槽８を具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを同一の受け入れタンクに収容することを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図１の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度が、約８０〜１００質量％であることが好ましく、約８５〜９９．９９９９質量％であることがより好ましく、約９５〜９９質量％であることが最も好ましい。また、図１の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度が、約０〜９９質量％であることが好ましく、約４０〜９９質量％であることがより好ましく、約６０〜９９質量％であることが最も好ましい。
【００２４】
図１では、ポンプ２ａ及び受け入れタンク３が設置されていて、上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ２ａを用いて搬送体１により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク３に収容でき、また、上記バージン硫酸もポンプ２ａにより受け入れタンク３に収容できる。受け入れタンク３には、温度計４が設置されている。上記パイプでもって、受け入れタンク３、ポンプ２ｂ、バルブ５ａ、５ｂ及び槽８が連結されており、これら連結体は、循環パイプを構成している。ポンプ２ｂを作動させ、バルブ５ａを開き、５ｂを閉めることにより、受け入れタンク３に収容された上記使用済み硫酸及び上記バージン硫酸を循環させ、この循環パイプによって上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを循環せしめて均一混合し得る。バルブ５ａから受け入れタンク３に至るまでの上記パイプに冷却器６及び濃度計７が設置されており、混合過程で冷却及び濃度測定を行うことができる。温度計４で測定された温度が設定温度より高くなると、冷却器６による冷却を行うことができる。本発明においては、温度計４と冷却器６とをＣＰＵ等によって自動制御してもよい。上記設定温度は、上記受け入れタンクの種類等によって適宜設定される温度であってよい。
【００２５】
濃度計７で測定された硫酸の濃度が所定の濃度になるとバルブ５ｂを開き、バルブ５ａを閉めることにより、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との混合液がバルブ５ｂを通過し、バルブ５ｂを通過した前記混合液を槽８に収容できる。上記所定の濃度は、上記使用済み硫酸の再利用用途等によって適宜設定されるものであってよい。また、本発明においては、濃度計７で測定した測定結果を他の薬品又は水等で混合する際の薬品供給量算出の参考として用いることが好ましい。上記循環パイプでの混合後、所望により、槽８で硫酸濃度の調整が行われる。かかる硫酸濃度の調整は、硫酸濃度があらかじめ設定された濃度より高ければ過酸化水素水又は／及び水を混合して硫酸が希釈される。希釈に用いられる過酸化水素水又は／及び水の添加量は、上記循環ポンプに設置されている濃度計からのデータを基に算出される量であることが好ましい。上記希釈剤を添加する際、上記混合液と上記過酸化水素水又は／及び水との混合を行うことが好ましい。上記説明から明らかなように槽８は貯蔵槽であると同時に混合槽である。また、本発明においては、槽８が、上記パイプ等によって製造ラインに連結されていることが好ましい。
【００２６】
図２は、受け入れタンク３、ポンプ２ｃ、２ｄ、攪拌機９、冷却器６、濃度計７及びバルブ５ｃを具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを収容する受け入れタンク３に、濃度計７、攪拌機９及び冷却器６が設置されていることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図２の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度は、上記図１の場合と同様である。また、図２の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度は、通常、約８０質量％以下である。
【００２７】
図２では、ポンプ２ｃと受け入れタンク３とが上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ２ｃを用いて搬送体１により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク３に収容でき、上記バージン硫酸もポンプ２ｃを用いて受け入れタンク３に収容できる。受け入れタンク３には、冷却器６、濃度計７及び攪拌機９が設置されている。そのため、受け入れタンク内で、攪拌機９による混合を行うことができ、冷却器６による冷却を行うことができ、濃度計７による濃度測定を行うことができる。また、受け入れタンク３は、上記パイプでもってバルブ５ｃと連結されており、濃度計７により測定された硫酸濃度が所定の濃度になると、ポンプ２ｄを作動させ、バルブ５ｃを開くことにより、再資源化された使用済み硫酸がバルブ５ｃを通過して再利用される。上記所定の濃度は、上記図１と同様である。本発明においては、バルブ５ｃから上記パイプ等を用いて利用先Ｃの製造ライン等に連結することが好ましい。
【００２８】
図３は、受け入れタンク３、ポンプ２ｅ、２ｄ、２ｆ、２ｇ、パイプ、バルブ５ｄ、５ｅ、槽８、冷却器６及び濃度計７を具備する上記再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とが別々の受け入れタンク３に収容されることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図３の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸及びバージン硫酸の硫酸濃度は、上記図１の場合と同様である。また、図３の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記使用済み硫酸の硫酸濃度は、上記図２の場合と同様である。
【００２９】
図３では、ポンプ２ｅ、２ｄ、受け入れタンク３、バルブ５ｄ及び槽８が上記パイプでもって連結されている。また、ポンプ２ｆ、２ｇ、受け入れタンク３、バルブ５ｅ及び槽８が上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ２ｅを作動させて搬送体１により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク３に収容でき、バルブ５ｄを開いて、ポンプ２ｄを作動させることにより上記使用済み硫酸を槽８に収容することができる。また、ポンプ２ｆを作動させて上記バージン硫酸を受け入れタンク３に収容でき、バルブ５ｅを開いて、ポンプ２ｇを作動させることにより上記バージン硫酸を槽８に収容できる。本発明においては、槽８で、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸との合流を利用して混合が行われることが好ましい。槽８には、冷却器６及び濃度計７が設置されており、温度が高くなると冷却器６による冷却を行うことができ、濃度計７の濃度測定により所定の濃度であるかどうか確認でき、所定の濃度であれば再資源化された硫酸が再利用され得る。上記所定の濃度は、上記図１と同様である。本発明においては、槽８から上記パイプ等を用いて製造ライン等に連結することが好ましい。槽８は混合槽であると共に貯蔵槽でもある。
【００３０】
図４は、受け入れタンク３、ポンプ２ｈ、２ｉ、パイプ、バルブ５ｆ、５ｇ、５ｈ、５ｉ、５ｊ、濃度計７及び冷却器６を具備する上記使用済み硫酸の再資源化装置であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを循環パイプを用いて混合し、受け入れタンク３に冷却器６を設置していることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置を示す。図４の使用済み硫酸の再資源化装置に用いられる上記バージン硫酸の硫酸濃度及び上記使用済み硫酸は、上記図１の場合と同様である。
【００３１】
図４では、ポンプ２ｈ、バルブ５ｆ、５ｇ、５ｈ及び受け入れタンク３が上記パイプでもって連結されている。そのため、ポンプ２ｈを作動させ、バルブ５ｆ、５ｇ、５ｈを開いて、搬送体１により運搬された上記使用済み硫酸を受け入れタンク３に収容できる。上記使用済み硫酸が搬送体１によって個別専用コンテナで運ばれる場合であって、前記コンテナと受け入れタンクとの距離が長い場合でも、バルブ５ｆ、５ｇ、５ｈ、ポンプ２ｈ及び受け入れタンク３を上記パイプでもって連結することができる。そのため、ポンプ２ｈを作動させ、バルブ５ｆ、５ｇ、５ｈを開いて、上記バージン硫酸を受け入れタンク３に収容できる。上記パイプでもって、受け入れタンク３、ポンプ２ｉ、バルブ５ｉ、５ｊが連結されており、これら連結体は、循環パイプを構成している。ポンプ２ｉを作動させ、バルブ５ｉを開き、バルブ５ｊを閉めることにより、受け入れタンク３に収容された上記使用済み硫酸及び上記バージン硫酸を循環させ、この循環パイプによって上記バージン硫酸と上記使用済み硫酸とを混流せしめて混合し得る。また、受け入れタンク３には、冷却器６及び濃度計７が設置されており、受け入れタンク３内で、冷却器６による冷却が行われ、濃度計７による濃度測定が行われる。濃度計７による測定で所定の濃度と確認されると、バルブ５ｉを閉め、バルブ５ｊを開くことにより、再資源化された硫酸が再利用され得る。上記所定の濃度は、上記図１と同様である。本発明においては、バルブ５ｊから上記パイプ等を用いて利用先Ｃの製造ライン等に連結することが好ましい。
【００３２】
上記使用済み硫酸の再資源化装置は、上記排出元Ａで排出された使用済み硫酸を回収し、これを上記搬送体Ｂにて運搬し、利用先Ｃにて使用するために、使用済み硫酸を再資源化する装置として用いられる。
【００３３】
上記利用先Ｃは、上記使用済み硫酸を再資源化した硫酸を使用することができる所であればどのような所でもよい。例えば、電気・電子（ブラウン管、基板事業所含む。）、鉄鋼、無機薬品、有機薬品、医薬品、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池若しくは中和石膏等の各種分野の製造工場又は事業所等を挙げることが出来る。本発明においては、上記利用先Ｃが、電気・電子、鉄鋼、無機薬品、有機薬品の各種工業の工場又は事業所であることが好ましく、電気・電子製品製造工場又は事業所であることがより好ましく、半導体製造工場または事業所であることが最も好ましい。より具体的には、上記利用先Ｃが、基板製造工場（銅箔のエッチング液）、ブラウン管製造工場（フォトレジストマスク用剥離液）、又はメッキ工場であることが好ましく、硫酸と過酸化水素水の混合液を洗浄液や剥離液として使用している基板製造工場であることがより好ましい。本発明においては、上記利用先Ｃで、上記使用済み硫酸によって再資源化された上記使用済み硫酸を、金属分除去、レジスト剥離、基板のエッチング又は表面処理剤として利用することが好ましく、過酸化水素水及び所望により水を混合して洗浄液又は剥離液として利用することがより好ましく、さらに廃液の供給量に変化があるため安定供給を考慮して、上記バージン硫酸と併用することが最も好ましい。
【００３４】
【発明の効果】
本発明により、使用済み硫酸を処理するための排水処理剤の削減と、排水処理の際に発生する汚泥と排水の低減が図れ、使用済み硫酸を工業的有利に再資源化し、付加価値の高い再資源化硫酸として利用できる使用済み硫酸の再資源化装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを同一の受け入れタンクに収容することを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図２】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを収容する受け入れタンク３に攪拌機が設置されていることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図３】上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とが別々の受け入れタンク３に収容されることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【図４】使用済み硫酸を収容している個別専用コンテナと受け入れタンクとの距離が長い場合であって、上記使用済み硫酸と上記バージン硫酸とを循環パイプを用いて混合し、受け入れタンク３に冷却器６を設置していることを特徴とする上記使用済み硫酸の再資源化装置の好ましい態様を示す。
【符号の説明】
１    搬送体
２（ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｄ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ）    ポンプ
３    受け入れタンク
４    温度計
５（ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｄ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ）    バルブ
６    冷却器
７    濃度計
８    槽
９    攪拌機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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