(57)【要約】【課題】小型でかつ、可動部の環境温度変化、並びに自己発熱によるミラー回動角度の安定性、定常性悪化を回避する。【解決手段】演算ＩＣ１６は、Ａ／Ｄコンバータ１７、位相補償演算部１８、ゲイン補正演算部１９、温度補正演算部２５、Ｄ／Ａコンバータ２０を有して構成され、センサーミラー１０の位置検出信号をＡ／Ｄコンバータ１７でデジタル値に変換した直後に、外部制御機２１から入力される偏向ミラー８のミラー角度指示量を加算することで偏向ミラー８を所望の回動角度にサーボ制御している。【選択図】  図１
2004258385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光の方向を偏向すべく所定の偏向面を有する光偏向素子と、
前記光偏向素子を回動自在に駆動するための駆動部と、
前記光偏向素子の偏向角度を検出する検出部と
前記検出部の出力信号に基づいて前記駆動部に駆動信号を印加する駆動回路と、
前記駆動部の周囲温度を検出する少なくとも１つの温度検出器と
を備え、
前記駆動回路は前記駆動信号を前記温度検出器の前記検出温度出力信号に基づき補正する
ことを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】
前記駆動回路は、定電圧駆動方式である
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項３】
前記駆動回路は、定電圧駆動方式の演算アンプである
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項４】
前記演算アンプのゲインが、周囲温度の一次関数である
ことを特徴とする請求項３に記載の光偏向装置。
【請求項５】
前記駆動回路は、前記光偏向素子の角度指示量を、前記光偏向素子の偏向角度位置検出信号に加算させる
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項６】
前記駆動回路は、前記駆動部のコイル温度変化によって生ずるゲイン変動を打ち消すようにゲイン補正演算を実施する
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項７】
前記駆動回路は、前記駆動部のコイル温度変化を検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項８】
前記温度検出器による補正は、前記駆動部のコイル抵抗値である
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項９】
前記駆動回路は、外部制御機、演算ＩＣ、メモリ、光偏向素子駆動回路で構成される
ことを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項１０】
前記演算ＩＣは、Ａ／Ｄコンバータ、位相補償演算部、ゲイン補正演算部、温度補正演算部、Ｄ／Ａコンバータを含む
ことを特徴とする請求項９に記載の光偏向装置。
【請求項１１】
所定の演算定数を予め格納しているメモリを備え、
前記ゲイン補正演算は、前記駆動部のコイル温度と前記メモリに予め格納されている前記演算定数とによって実施される
ことを特徴とする請求項６に記載の光偏向装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザプリンタ、光通信等に用いられる光偏向装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、レーザプリンタ、光通信等においては光路切換え素子を有する光偏向装置が利用されている。光偏向装置は入力された入射光を、所望の方向に選択的に出力する。
【０００３】
光偏向装置においては、例えば特開２００１−２６４６６３号公報明細書に示されるようなミラー角度制御手段を有する光路切り換え素子が開示されている。
【０００４】
図７はミラー角度を検出する手段、図８は検出したミラー角度検出信号に応じて駆動電流をコイルに印可しミラーを駆動する手段を示している。
【０００５】
図７では、Ｘ軸の中心の両側に配置される図８に示したコイル１５５ａと磁石１５１ａの電磁力作用によって、Ｘ軸を中心にミラー１５０が回動される構成（可動部）が示されている。また、前記ミラー１５０の裏面側反射面１５０ｂには、ＬＤ１５８のレーザ光が入射した後反射され、光位置検出器１６２に入射され前記ミラー１５０の回動角度を検出している。
【０００６】
この結果は図８で示した駆動電流として増幅器１６７に入力し、可動部にフィードバックすることでミラー角度を一定に保持する制御を行っている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−２６４６６３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図７、図８に示される構成のミラー駆動回路、即ちミラー角度に比例して駆動電流を制御する駆動回路においては、コイルの温度変化によるコイル抵抗値の変動が問題となる。
【０００９】
図７、図８では、前記ミラー１５０の回動角度に比例してコイルに駆動電流を印加している。また、回動角度は駆動電流に比例して発生するため、角度を一定に保つ制御系全体のゲイン特性は常に一定に保たれる。
【００１０】
しかし、図８の増幅器１６７がもしも出力段の負荷、つまりコイルの抵抗値に応じて、そのゲイン特性が変動する構成の場合、駆動電流の印加によりコイル温度が変化することでコイル自身の抵抗値が変動し、系全体のゲイン特性は一定に保たれなくなる。また、装置が設置されている環境温度の変化によってもコイル抵抗値の変動は発生するため、同様にゲイン特性は一定に保たれなくなる。
【００１１】
系全体のゲイン特性が一定に保たれなくなると、例えばゲインが低下した場合、ミラー部分に生じる振動を抑圧する力が低下し、目論見の角度制御ができなくなり定常特性が悪くなる。また、系全体の伝達特性のゲイン余裕、位相余裕が最適で無くなり、安定性が悪くなることにも繋がる。一方、ゲインが上昇する場合も同様に安定性が悪くなることに繋がる。
【００１２】
そこで、図９に示すような駆動回路方式が考えられる。図９の方式は一般に定電流駆動方式と呼ばれ、前記駆動アンプ入力部へのフィードバック制御により負荷変動（コイル抵抗値変動）の影響は回避される。
【００１３】
しかし、コイル周辺の回路規模が大きくなり装置の小型化が困難なこと、また前記駆動アンプ入力部へのフィードバックループの形成は、周波数帯域が低下するという問題がある。
【００１４】
一方、図１０に示すように小型化を優先し、前記の定電流駆動に必要な回路を使用しない、コイル両端の電圧を制御する方式もあり一般的に、定電圧駆動方式と呼ばれる。
【００１５】
図１０の場合、図９の電流検出抵抗、電流検出アンプ、エラーアンプが不要となり回路の構成が簡単となる。そのため、装置の小型化が容易であり、周波数帯域も向上する。
【００１６】
しかし、前述したようにコイル抵抗の変動の影響を受けるため、前記ミラー回動角度サーボ系全体のゲイン変動が発生し安定性、定常特性が悪化する問題がある。
【００１７】
図１１は図１０のコイル抵抗値の特性を説明する等価回路であって、前記コイルの温度Ｔは、コイル自身の電流消費による発熱と、駆動系によるコイル周辺環境温度Ｔａにより定まり、以下の式（１）〜（４）の基本式の関係があり、最終的に関係式（５）で前記コイルの抵抗値が算出される。
【００１８】
【数１】
Ｒ＝Ｒ０＋ｋ（Ｔ−Ｔ０）    ‥‥（１）
【数２】
αＰ＝Ｔ−Ｔ０              ‥‥（２）
【数３】
Ｐ＝ＩＶ      ‥‥（３）
【数４】
Ｉ＝Ｖ／Ｒ    ‥‥（４）
【数５】
2004258385.tif 000003
例えば、図１２は関係式（５）から装置が設置されている環境温度が−１０°Ｃ、＋２５°Ｃ、＋６５°Ｃと変化し、また、前記コイル両端の電圧Ｖが０〜０．２［Ｖ］と変化した場合のコイル抵抗値の変化を示している。
【００１９】
Ｖ＝０．２［ｖ］は駆動系モデルによる駆動特性の一例で、ミラー角度の最大振れ角約１０［ｄｅｇ］である。また、それ以外の係数は下記を固定量として算出している。  Ｒ０＝３０Ω
Ｔ０＝２５°Ｃ
ｋ＝０．０３９Ω／°Ｃ
α＝１００００°Ｃ／Ｗ
ここで、Ｔ０は基準温度、Ｒ０はコイル温度Ｔ＝Ｔ０ときのコイル抵抗、ｋはコイルの温度変化時の抵抗変化率、αはコイルの消費電力変化時の抵抗変化率である。
【００２０】
図１２の場合では、コイル抵抗値ＲはＴａ（周囲温度）＝２５°Ｃ、Ｖ＝０［ｖ］の時は理想的な値３０Ωとなるが、例えばＴａ＝６５°Ｃ、Ｖ＝０．２［ｖ］の時では約３２Ωとなり、最大誤差が約７％程度発生することが判る。
【００２１】
つまり、この駆動系をミラー角度サーボ系に使用した場合ループゲインが７％低下し、ゲインの抑圧度、安定性の低下に繋がる。
【００２２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、小型でかつ、可動部の環境温度変化、並びに自己発熱によるミラー回動角度の安定性、定常性悪化を回避することのできる光偏向装置を提供することを目的としている。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光偏向装置は、光の方向を偏向すべく所定の偏向面を有する光偏向素子と、前記光偏向素子を回動自在に駆動するための駆動部と、前記光偏向素子の偏向角度を検出する検出部と前記検出部の出力信号に基づいて前記駆動部に駆動信号を印加する駆動回路と、前記駆動部の周囲温度を検出する少なくとも１つの温度検出器とを備え、前記駆動回路は前記駆動信号を前記温度検出器の前記検出温度出力信号に基づき補正するように構成される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べる。
【００２５】
図１〜図５は本発明の第１の実施の形態に係わり、図１は光偏向装置の構成を示す構成図、図２は図１の光偏向装置の構成を簡略化したブロック図、図３は図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がない場合のコイル抵抗値の特性を示す図、図４は図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がある場合のゲイン補正量の特性を示す図、図５は図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がある場合のコイル抵抗値の特性を示す図である。
【００２６】
図１に示すように、本実施の形態の光偏向装置１では、光路を切換える光路切換え素子２と、光路切換え素子２を一定の回動角度に制御するサーボ系の駆動回路を構成する演算ＩＣ１６とを有して構成される。
【００２７】
光路切換え素子２は、マグネット６ａ、６ｂの間に配置された可動部２４と、可動部２４の可動ホルダ９に互いに対向するように配置された偏向ミラー８及びセンサーミラー１０と、該二つのミラーの両側に配置されたコイル７ａ、７ｂとを有する。
【００２８】
平行に配置された偏向ミラー８、センサーミラー１０は両ミラーの中心を軸に回動する構成を成しており、センサーミラー１０は、偏向ミラー８の角度検出に使用される。
【００２９】
具体的には発光素子駆動回路１４を使って、発光素子１１からレーザー光をセンサーミラー１０に照射し、その反射光を分割ＰＤ１２で受光し、該分割ＰＤ１２の受光量に応じた検出電流を得る。その検出電流は後段のＩ／Ｖアンプ１３で電圧信号に変換され、前記偏向ミラー８の位置検出信号として使用する。
【００３０】
一方、偏向ミラー８、センサーミラー１０を回動させるためのトルクは、前記コイル７ａ、７ｂにミラー駆動回路２３から供給される駆動電流、および前記マグネット６ａ、６ｂとで発生する磁界とにより電磁力が作用させることで発生させる。コイル７ａ、７ｂの駆動電流の電流方向に応じて、前記偏向ミラー８の回動方向は切り換えられる。
【００３１】
演算ＩＣ１６は、Ａ／Ｄコンバータ１７、位相補償演算部１８、ゲイン補正演算部１９、温度補正演算部２５、Ｄ／Ａコンバータ２０を有して構成され、前記センサーミラー１０の位置検出信号を前記Ａ／Ｄコンバータ１７でデジタル値に変換した直後に、外部制御機２１から入力される前記偏向ミラー８のミラー角度指示量を加算することで前記偏向ミラー８を所望の回動角度にサーボ制御している。
【００３２】
前記センサーミラー１０の検出信号は、前記Ａ／Ｄコンバータ１７に取り込まれる。取り込まれた結果に対しては、前記偏向ミラー８のミラー角度制御系全体の安定性、定常特性、速応性を改善するため位相補償演算部１８で位相補償演算が実施される。
【００３３】
位相補償演算部１８の結果は、ゲイン補正演算部１９で前記コイル７ａ、７ｂの温度変化により生じた抵抗値変化によるゲイン変動を打ち消すようにゲイン補正演算を実施した後、Ｄ／Ａコンバータ２０を介して電圧信号をミラー駆動回路２３に入力させる。
【００３４】
また、前記ゲイン補正演算部１９には、光路切換え素子２近傍に設けられている温度検出器１５を用いて検出した温度検出信号に温度補正演算部２５で補正演算を行った結果、およびメモリ２２に予め格納されているゲイン補正演算に必要な定数が入力される。
【００３５】
なお、温度検出器１５は前記コイル７ａ、７ｂ自身の発熱の影響を受けないようにし、且つ、前記コイル７ａ、７ｂに作用する装置内の周囲温度を検出できる位置に配置する。
【００３６】
また、温度検出器１５の該検出温度出力信号は、周辺環境温度Ｔａに対する電圧信号であり、温度補正部２５は前記電圧信号を基に補正演算した後、ゲイン補正部１９の演算部へ入力するものとする。
【００３７】
ミラー駆動回路２３は、入力された電圧に比例した電圧を前記コイル７ａ、７ｂの両端に印可する定電圧駆動方式の駆動回路である。従って、前述したようにコイル７ａ、７ｂの抵抗の変化により駆動電流は変化するものである。
【００３８】
次に、ゲイン補正部１９で実際に補正演算を行う方法について説明する。図１の構成を更に簡単なブロック図に置き換えると図２のフィードバック系で表すことができる。説明を簡略化するため、Ａ／Ｄコンバータ１７、Ｄ／Ａコンバータ２０での変換は考慮せずに、演算ＩＣ１６の内部も電圧信号で演算されるように定義している。また、温度検出器１５の特性も温度補正演算部２５で補正されるため省略する。
【００３９】
図２の構成で考えた場合、コイル抵抗Ｒ及びコイルに印加する電圧Ｖは以下の式（６）及び（７）によって表すことができる。なお、途中の演算については省略する。
【００４０】
【数６】
2004258385.tif 000004
ここで、Ｔａは周辺環境温度、Ｔ０は基準温度、Ｒ０はコイル温度Ｔ＝Ｔ０ときのコイル抵抗、ｋはコイルの温度変化時の抵抗変化率、αはコイルの消費電力変化時の抵抗変化率である。
【００４１】
【数７】
2004258385.tif 000005
ここで、Ｇｐは位相補償演算部１８のＤＣゲイン、Ｇｔはゲイン補正部１９のＤＣゲイン、Ｇｒｖはミラー駆動回路２３のＤＣゲイン、Ｖｏｆはミラー角度指示電圧、Ｇａはコイル７ａ、７ｂ、マグネット６ａ、６ｂ、偏向ミラー８、センサーミラー１０等から形成される駆動系のＤＣ駆動感度、Ｇｓは発光素子１１、センサーミラー１０、分割ＰＤ１２、Ｉ／Ｖアンプ１３等から形成される検出系のＤＣ検出感度である。
【００４２】
式（６）はコイル自身の電流消費による発熱と、コイル周辺環境温度によるコイルの温度からコイル抵抗値が求まることを意味している。
【００４３】
また、ゲイン補正量Ｇｔは前記コイル抵抗値Ｒの変化をうち消すような値としたいため式（８）の関係が成立する。
【００４４】
【数８】
2004258385.tif 000006
つまり、コイル抵抗値Ｒが常に一定の値Ｒ０に成るように制御する。
【００４５】
以上の関係を整理すると、最終的にゲイン補正量Ｇｔは式（９）により定まる。
【００４６】
【数９】
2004258385.tif 000007
なお、式（９）においては、式を簡単にするために下記の置き換えをしている。
【００４７】
Ｇ１＝Ｇｐ  Ｇｒｖ  Ｇａ  Ｇｓ、Ｇ２＝Ｇｐ  Ｇｒｖ、β＝Ｒ０＋ｋ（Ｔａ  −  Ｔ０）。
【００４８】
式（９）を定める上で必要な諸パラメータのうち、Ｖｏｆ、Ｔａ以外のパラメータは固定植であり予めメモリ２２に格納しておき、演算に使用される。  Ｖｏｆ、Ｔａは逐次変化するが何れも判明値であり、その時々の値を使って演算を実施する。
【００４９】
また、この時、あるゲイン補正量Ｇｔの時のコイル抵抗値Ｒは式（１０）の関係式により求まる。
【００５０】
【数１０】
2004258385.tif 000008
参考にゲイン補正演算がない場合のコイル抵抗値を図３、ゲイン補正演算がある場合のゲイン補正量、コイル抵抗値を計算した結果を図４、図５に示す。計算に際しては、実際の使用環境を考慮して周囲温度Ｔａは−１０°Ｃ〜＋６５°Ｃの範囲で、ミラー角度指示量Ｖｏｆは角度量０〜１０ｄｅｇに相当する０〜１．９Ｖの範囲で変化する量とし、それ以外のパラメータは下記の固定量としている。
【００５１】
Ｒ０＝３０Ω
Ｔ０＝２５°Ｃ
ｋ＝０．０３９Ω／°Ｃ
α＝１００００°Ｃ／Ｗ
Ｇｐ＝２００Ｖ／Ｖ
Ｇｒｖ＝４Ｖ／Ｖ
Ｇａ＝１５００ｄｅｇ／Ａ
Ｇｓ＝０．１９Ｖ／ｄｅｇ
図３の結果により、ゲイン補正を行わない場合、コイル抵抗値ＲはＴａ＝２５°Ｃ、Ｖｏｆ＝０の時は理想的な抵抗値３０Ωとなるが、例えばＴａ＝６５°Ｃ、Ｖｏｆ＝１．９Ｖの時に約３２Ωとなり最大誤差は約７％程度発生することが判る。また、計算に用いるパラメータを本実施の形態とは別の値にした場合には、誤差が更に大きくなる場合もあり得る。
【００５２】
一方、ゲイン補正を行う場合のゲイン補正量、コイル抵抗値は図４、図５の結果となる。コイル抵抗値はゲイン補正を行わない図３の場合と同様に変化するが、図５からも判るようにＧｔの値がＴａ、Ｖｏｆに応じて変化する。
【００５３】
図２の関係からも判るように、ミラー角度サーボ系の中ではＧｔ／Ｒとして系のゲインに寄与する。つまり抵抗値として考えた場合には、Ｒ／Ｇｔとして寄与する。前述したゲイン補正がない場合と同じ条件でのＲ／Ｇｔを求めてみると、３０Ωとなっていることが判る。
【００５４】
以上のことから、ゲイン補正演算を行うことでコイル抵抗値Ｒが温度により変化しても、ミラー角度サーボ系全体のゲインを一定に保つことができることが判る。
【００５５】
また、前記コイル自身の電流消費による発熱と、コイル周辺環境温度により、コイル抵抗値が求まることを説明したが、一方、ＶｏｆとＴａが定まるとＧｔ、Ｒ、Ｖなどの変化量が一意に定まるので、結果として式（１）もしくは式（２）の関係からコイル温度Ｔが求められることも示している。
【００５６】
また、例えば、本実施の形態の光偏向装置１を多数使用する多チャンネルの光スイッチのような場合においては、駆動回路構成を定電圧方式にしたことで回路構成を大幅に削減できる。特に、ミラー駆動回路２３とコイル７ａ、７ｂは近傍に配置されることが多いため、ミラー周辺部分の集積度を上げることにも繋がる。
【００５７】
以上より、本実施の形態の光偏向装置１は、可動部のコイルの温度変化の影響を受けることなく安定したミラー角度制御を実現し、且つ装置小型化が可能となる。
【００５８】
図６は本発明の第２の実施の形態に係る光偏向装置の構成を示す構成図である。
第２の実施の形態は、第１の実施の形態とほとんど同じであるので、異なる点のみ説明し、同一の構成には同じ符号をつけ説明は省略する。
【００５９】
図６を用いて本発明の第２の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態が前記演算ＩＣ１６を用いて実施したのに対し、本実施の形態ではこれら構成をディスクリートの簡単なアナログ回路で実現している。
【００６０】
すなわち、図６に示すように、Ｉ／Ｖアンプ１３から出力されるミラー角度検出信号を演算アンプ２６に入力する。演算アンプ２６は図に示すように、外部制御機２１の出力を角度指示量として加算する機能と、コンデンサ、抵抗の時定数からゲイン、位相の周波数特性を調整する位相補償機能と、温度検出器１５で検出した温度検出電圧の値に応じてＤＣゲインを変える機能を有している。
【００６１】
演算アンプ２６の出力はミラー駆動回路２３に入力し、第１の実施の形態と同様に偏向ミラー８の駆動を可能とする。
【００６２】
次に、温度変化に応じて発生するコイル７ａ、７ｂの抵抗値変化を演算アンプ２６で補正する方法について説明する。
【００６３】
コイル７ａ、７ｂの抵抗値は、前記式（６）により求まり、図５に示したように変化する。図５においては、角度指示電圧Ｖｏｆに対する抵抗値変化量よりも、環境温度Ｔａに対する抵抗値変化量の方が大きい。
【００６４】
そこで角度が変化した時の自己発熱によるコイル抵抗値の変化は無いものとして考える。この場合、式（６）でＶ＝０（∵Ｖｏｆ＝０）と定義することで、下記の関係式（１１）によりコイル抵抗値Ｒが求まる。
【００６５】
【数１１】
2004258385.tif 000009
この抵抗値Ｒの変化を演算アンプ２６でゲイン補正を行う場合の補正量は、式（８）より求まる。
【００６６】
【数１２】
2004258385.tif 000010
つまり、環境温度Ｔａを変数とした一次関数とすれば良い。
【００６７】
一方、演算アンプ２６のＤＣゲインは下記の関係がある。
【００６８】
【数１３】
2004258385.tif 000011
可変抵抗１９の抵抗値Ｒｔはその入力電圧Ｖｔに対して、温度検出器１５の出力Ｖｔは環境温度Ｔａに対して、いずれも線形の変化をするものを用いる。この時、式（１３）よりＤＣゲインＧは環境温度Ｔａを変数とした一次関数となる。
【００６９】
ｍ、ｎ、Ｒｉ、Ｒｔ０、Ｒ１、Ｖｔ０などの各定数を式（１２）を満たすように定めれば、目論見のゲイン補正が可能となる。
【００７０】
第２の実施の形態では、前述した第１の実施の形態が環境温度並びに、自己発熱によるコイル抵抗値の変化について補正したのに対し、自己発熱によるコイル抵抗値の変化は考慮していないため、第１の実施の形態よりも補正する精度は劣るものの、回路構成を簡略化することで装置サイズを小さく、且つ安価にしてコイル抵抗値の変化の支配的要因となっている環境温度の影響を排除することが可能となる。
【００７１】
また、第２の実施の形態は、ミラー角度制御の位置決めに限らず、光記録装置等で使用される対物レンズの位置決めサーボ系等にも応用可能である。
【００７２】
なお、第１及び第２の本実施の形態は共に、前記可動部にコイルを配置した系において説明しているが、可動部にマグネットを配置し、固定部にコイルを配置した系においても実施可能である。
【００７３】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、小型でかつ、可動部の環境温度変化、並びに自己発熱によるミラー回動角度の安定性、定常性悪化を回避することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光偏向装置の構成を示す構成図
【図２】図１の光偏向装置の構成を簡略化したブロック図
【図３】図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がない場合のコイル抵抗値の特性を示す図
【図４】図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がある場合のゲイン補正量の特性を示す図
【図５】図１の光偏向装置によるゲイン補正演算がある場合のコイル抵抗値の特性を示す図
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る光偏向装置の構成を示す構成図
【図７】従来の光偏向装置のミラー角度を検出する検出部の構成を示す図
【図８】従来の光偏向装置における、検出したミラー角度検出信号に応じて駆動電流をコイルに印可しミラーを駆動する駆動部の構成を示す図
【図９】従来の光偏向装置における定電流駆動方式の駆動回路の構成を示す図
【図１０】従来の光偏向装置における定電圧駆動方式の駆動回路の構成を示す図
【図１１】図１０のコイル抵抗値の特性を説明する等価回路
【図１２】従来の光偏向装置のコイル抵抗値の特性を示す図
【符号の説明】
１…光偏向装置
２…光路切換え素子
６ａ、６ｂ…マグネット
７ａ、７ｂ…コイル
８…偏向ミラー
９…可動ホルダ
１０…センサーミラー
１１…発光素子
１２…分割ＰＤ
１３…Ｉ／Ｖアンプ
１４…発光素子駆動回路
１５…温度検出器
１６…演算ＩＣ
１７…Ａ／Ｄコンバータ
１８…位相補償演算部
１９…ゲイン補正演算部
２０…Ｄ／Ａコンバータ
２１…外部制御機
２２…メモリ
２３…ミラー駆動回路
２４…可動部
２５…温度補正演算部
【図１】
2004258385.tif 000012
【図２】
2004258385.tif 000013
【図３】
2004258385.tif 000014
【図４】
2004258385.tif 000015
【図５】
2004258385.tif 000016
【図６】
2004258385.tif 000017
【図７】
2004258385.tif 000018
【図８】
2004258385.tif 000019
【図９】
2004258385.tif 000020
【図１０】
2004258385.tif 000021
【図１１】
2004258385.tif 000022
【図１２】
2004258385.tif 000023