(57)【要約】【課題】流体の導電率を正確に測定することができ、水質汚染や漏水の危険性を低減すると共に、流体の流路であるチューブ等を接続するための工程を簡略化することが可能な導電率センサーを提供する。【解決手段】導電率センサー１の各部材を保持し、流体が流れる流路である内部流路が形成されたハウジング２と、ハウジング２に突設され、流体が流れる流路と接続して流体を受け入れるための接続構造を有し中空状の第一の電極として機能する流体受入部５と、第一の電極の内部に配置される第二の電極と、ハウジング２に突設され、第一の電極と第二の電極とによって形成される間隙を流路として流れた流体を流出する流出路と接続するための接続構造を有する流体流出部６とを備え、２つの電極間に流れる流体の導電率及び／又は比抵抗を測定する導電率センサー。【選択図】  図１
2004156940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの電極間に流れる流体の導電率及び／又は比抵抗を測定する導電率及び／又は比抵抗センサーにおいて、
当該導電率及び／又は比抵抗センサーの各部材を保持し、前記流体が流れる流路である内部流路が形成されたハウジングと、
前記ハウジングに突設され、前記流体が流れる流路と接続して当該流体を受け入れるための接続構造を有する中空状の第一の電極と、
前記第一の電極の内部に配置される第二の電極と、
前記ハウジングに突設され、前記第一の電極と前記第二の電極とによって形成される間隙を流路として流れた前記流体を流出する流出路と接続するための接続構造を有する流体流出部とを備えること
を特徴とする導電率及び／又は比抵抗センサー。
【請求項２】
前記第一の電極は、円筒状部分を有し、
前記第二の電極は、少なくとも一部が前記円筒状部分の内部に位置するように配置されていること
を特徴とする請求項１記載の導電率及び／又は比抵抗センサー。
【請求項３】
前記第二の電極は、棒状であり、前記第一の電極と略同心円状に配置されていること
を特徴とする請求項２記載の導電率及び／又は比抵抗センサー。
【請求項４】
前記流体流出部が有する接続構造は、当該流体流出部の少なくとも一部が螺子状に成形されることで構成されていること
を特徴とする請求項１記載の導電率及び／又は比抵抗センサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２つの電極間を流れる流体の導電率及び／又は比抵抗を測定するための導電率及び／又は比抵抗センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、純水の水質検査を行う機器として、純水中に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ：Ｔｏｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃａｒｂｏｎ）量を測定する全有機炭素計（ＴＯＣ計）が知られている。全有機炭素計の種類には、紫外線酸化や過熱酸化により有機物を炭酸ガス化して赤外線分析を行うものや、純水が流れる配管途中で２箇所の電極間において紫外線酸化によって生じる有機酸の導電率を測定するものがある。
【０００３】
上述した導電率を測定する導電率センサーとしては、流体が通過する配管の内部に位置する電極と、流体が通過する配管の一部となる電極とを備え、二つの電極間で流体の導電率を測定して、電気分解により発生した気泡等を除去し、電極間を流れる流体量を増加させることにより測定器の信頼性を高める構造のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、二つのリング状の電極の間にリング状の絶縁物を介在させ、これらの内周面を面一に連続させて円筒形の流体通路を形成することで、電極の表面積を大きくして、二つの電極間で流体の導電率を測定した場合の電極部のセル定数を小さくして導電率を高精度で測定する構造のものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−８８７９８号公報
【特許文献２】
特開平９−３３５８２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の導電率センサーにおいては、導電率センサーと外部との流体の授受を行う流体流路を接続するためには、導電率センサーに外部の流路を接続するためのコネクタを取り付ける工程が必要であるために、導電率センサーを稼動させるために必要な工程が煩雑化するという問題があった。また、外部からの流体流路を導電率センサーに接続する工程において、流体が流れる部位を作業員が触れてしまったり、十分かつ適切な接続を完了せずに流体を流してしまう等の可能性があるため、水質汚染や漏水の危険性が高まってしまう問題があった。
【０００７】
したがって本願発明は、流体の導電率を正確に測定することができ、水質汚染や漏水の危険性を低減すると共に、流体の流路であるチューブ等を接続するための工程を簡略化することが可能な導電率及び／又は比抵抗センサーを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本願発明の導電率及び／又は比抵抗センサーは、２つの電極間に流れる流体の導電率及び／又は比抵抗を測定する導電率及び／又は比抵抗センサーにおいて、当該導電率及び／又は比抵抗センサーの各部材を保持し、前記流体が流れる流路である内部流路が形成されたハウジングと、前記ハウジングに突設され、前記流体が流れる流路と接続して当該流体を受け入れるための接続構造を有する中空状の第一の電極と、前記第一の電極の内部に配置される第二の電極と、前記ハウジングに突設され、前記第一の電極と前記第二の電極とによって形成される間隙を流路として流れた前記流体を流出する流出路と接続するための接続構造を有する流体流出部とを備えることを特徴とする。
【０００９】
中空状の第一の電極が接続構造を有し、流体が流れる流路と接続して流体を受け入れること、及び流体流出部が接続構造を有することにより、外部との流体の授受を行うチューブを導電率センサーに接続する工程を簡略化することが可能となる。また、流体が流れる部位を作業員が触れてしまったり、十分かつ適切な接続を完了せずに流体を流してしまう等の可能性を低減し、水質汚染や漏水の危険性を低下させることが可能となる。
【００１０】
また、前記課題を解決するための本願発明の導電率及び／又は比抵抗センサーは、前記第一の電極は、円筒状部分を有し、前記第二の電極は、少なくとも一部が前記円筒状部分の内部に位置するように配置されていることを特徴とする。
【００１１】
第二の電極の一部が第一の電極が有する円筒状部分の内部に位置することにより、第一電極と第二電極との間の距離を小さくすることができるため、電極間のセル定数を小さくすることが可能であり、導電率センサーの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１２】
また、前記課題を解決するための本願発明の導電率及び／又は比抵抗センサーは、前記第二の電極は、棒状であり、前記第一の電極と略同心円状に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
第二の電極の一部が第一の電極の有する円筒状部分の略同心円状に配置されることにより、第一の電極と第二の電極との距離を一定に保ち、導電率センサーの測定精度を向上させることができる。
【００１４】
また、前記課題を解決するための本願発明の導電率及び／又は比抵抗センサーは、前記流体流出部が有する接続構造は、当該流体流出部の少なくとも一部が螺子状に成形されることで構成されていることを特徴とする。
【００１５】
第一の電極が有する接続構造が螺子状に成形されていることにより、外部と流体の授受を行うためのチューブ側にも接続構造を設けることにより、簡便にチューブの接続を行うことが可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の具体的な実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本実施の形態としての導電率センサーの外観を示した斜視図であり、導電率センサー１に流体の流路であるチューブが取り付けられていない状態を示している。導電率センサー１は、ハウジング２とケーブル３とケーブルカバー４と流体受入部５と流体流出部６とにより構成されている。
【００１７】
本実施の形態の導電率センサー１は、ハウジング２と、ケーブル３と、ケーブルカバー４と、流体受入部５と、流体流出部６とが一体化された状態で提供される。
【００１８】
導電率センサー１は、ハウジング２の上部にケーブルカバー４が固定して取り付けられ、ハウジング２とケーブルカバー４との接合部分からケーブル３が導電率センサー１内部に導入されている。また、ハウジング２の下部に流体受入部５が固定して取り付けられ、ハウジング２の前面に流体流出部６が固定して取り付けられている。ここでは、便宜的にハウジング２においてケーブルカバー４が取り付けられる側を上部、流体受入部５が取り付けられる側を下部、流体流出部６が取り付けられる側を前面と記述したが、必ずしも重力方向で規定される上方や下方である必要はなく、使用時の導電率センサー１の上下方向を規定したものではない。
【００１９】
次に図２を用いて、本実施の形態における導電率センサー１の各部の構造を詳細に説明する。図２は導電率センサー１の外観を示す図であり、チューブを流体受入部５および流体流出部６に接続していない状態を示したものである。図２（ａ）は背面図であり、図２（ｂ）は正面図であり、図２（ｃ）は側面図である。
【００２０】
ハウジング２は絶縁材料により形成された部材であり、導電率センサー１を構成する各部材が取り付けられて各部材の保持を行う。また、内部には後述するように内部流路が形成されて、流体受入部５から流入した流体が流体流出部６から流出するまでの流体の流路としても機能する。ここで、絶縁材料としては耐腐食性を有する樹脂材料が適しており、例としてはポリフッ化ビニリデン（ｐｌｏｙ
ｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ  ｆｌｕｏｒｉｄｅ：ＰＶＤＦ）が挙げられる。
【００２１】
ケーブル３は、電気伝導線７を複数束ねたコード状の部材であり、その一端は外部の電子機器に接続可能な電気コネクタ９となっており、他端は導電率センサー１の内部に設けられた温度測定器と電極端子に電気的に接続されている。電気伝導線７は導電率の高い金属を絶縁被覆したものであり、ケーブル３は複数の電気伝導線７をさらに絶縁被覆で束ねたものであるため、ケーブル３および電気伝導線７は手作業で簡便に折り曲げることが可能な程度の柔軟性をもっている。
【００２２】
ケーブルカバー４は、ハウジング２の上部にネジ１０により固定して取り付けられる部材であり、ケーブル３の電気伝導線がハウジング２内部に導入される領域を覆って保護する。ケーブルカバー４を構成する材質は特に限定しないが、一例としてはポリ塩化ビニル（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＣ）を用いることができる。ここではハウジング２とケーブルカバー４とは、ネジ１０によって固定して取り付けられている例を示したが、ハウジング２とケーブルカバー４とを固定することが可能な手段であれば、他の手段を用いてもよくネジ１０による固定には限定しない。
【００２３】
流体受入部５は、ハウジング２の下部に固定して取り付けられる導電性のある部材であり、円筒状の流体の流路が形成されて、ハウジング２内部に形成された内部流路に流体を流入させる導入管としての機能を有する。また、ケーブル３の電気伝導線７ａがハウジング２内部を通過して引き出され、流体受入部５の外壁にハンダ８ａで電気的に接続されており、内部を流れる流体の導電率を測定するための電極としても機能する。ここで、ハンダ８ａは電気伝導線７ａと流体受入部５の外壁の電気的接続をとるための接続手段であるため、両者間の電気的接続及び機械的接続が保持される手段であればよく、例えばビスによる接続でも問題ない。さらに流体受入部５は、導電率センサー１外部の流体流路であるチューブを簡便に接続することが可能な接続構造１１を有している。接続構造１１は、チューブを接続した際に漏水する危険性が少なく、流体の汚染の可能性が低いものが望ましく、ここでは雄型螺子構造である例を示している。流体受入部５を構成する導電性のある部材としては、良好な導電性を有するという条件のほかに、内部を流れる流体に対する汚染を防止するため耐腐食性を有することが望ましく、例えばステンレス鋼の一種であるＳＵＳ３１６等が用いられる。
【００２４】
流体流出部６は、ハウジング２の前面に固定して取り付けられた部材であり、その内部には流体の流路が形成され、ハウジング２内部に形成された内部流路から流体を流出させる機能を有する。また、流出した流体が流れるチューブを簡便に接続することが可能な接続構造１２を有している。接続構造１２は、チューブを接続した際に漏水する危険性が少なく、流体の汚染の可能性が低いものが望ましく、ここでは雄型螺子構造である例を示している。流体流出部６を構成する部材としては、内部を流れる流体に対する汚染を防止するため耐腐食性を有することが望ましく、例えばフッ素樹脂やステンレス鋼の一種であるＳＵＳ３１６等が用いられる。
【００２５】
次に図３を用いて、導電率センサー１の内部構造について詳細に説明する。図３は導電率センサー１の内部構造を示す側方断面図であり、導電率センサー１に流体の流路であるチューブが取り付けられていない状態を示している。
【００２６】
ハウジング２には、下部から正面にかけてＬ字形状に貫通した空洞である内部流路１３が形成されている。下部および正面付近の内部流路１３内壁には、流体受入部５を取り付けるための螺子構造１４および流体流出部６を取り付けるための螺子構造１５が形成されている。また、ハウジング２の上部から内部流路１３に至るまで、後述する内部電極１６を導入して固定するための螺子構造を有する電極導入孔１７が形成されている。電極導入孔１７の形状は内部電極１６の外形に応じた形状とされており、内部電極１６を電極導入孔１７に挿入して固定した状態では螺子構造により内部流路１３から流体の漏洩が起こらないようになっている。さらに、ハウジング２の内部流路１３よりも後面側にはハウジング２上部から下部に至るまで貫通した伝導線導入孔１８が形成されている。
【００２７】
ケーブルカバー４は、ハウジング２側が開放された空間である収納部１９が形成されていて、ケーブル３および内部電極１６を収納部１９の内部に収納可能となっている。また、ケーブルカバー４の前面のにケーブルカバー４との接合部分には、ケーブル３をハウジング２内部に導入するためのケーブル導入口２０が形成され、ケーブル３の一端が外部からハウジング２およびケーブルカバー４内部に導入されている。ハウジング２とケーブルカバー４にはネジ穴が複数形成されており、ネジ１０によってケーブルカバー４はハウジング２の上部に固定して取り付けられる。
【００２８】
流体受入部５は、内部に流体が流れる空間である受入流路２１が形成され、ハウジング２内部に挿入される領域には螺子構造１４に螺合する螺子構造が形成されている。これにより流体受入部５をハウジング２に回転挿入することで、内部流路１３と受入流路２１とを連結し、ハウジング２の下部に流体受入部５を固定することができる。本実施の形態においては、回転挿入を容易とするために流体受入部５の外形を六角ボルト形状とした例を示している。また、流体受入部５の外壁部分には、電気伝導線７ａがハンダ８ａによって電気的に接続されている。これにより流体受入部５は、受入流路２１を流れる流体と接触した状態で外部電極として機能することになる。
【００２９】
流体流出部６は、内部に流体が流れる空間である流出流路２２が形成され、ハウジング２内部に挿入される領域には螺子構造１５に螺合する螺子構造が形成されている。これにより流体流出部６をハウジング２に回転挿入することで、内部流路１３と流出流路２２とを連結し、ハウジング２の前面に流体流出部６を固定することができる。本実施の形態においては、回転挿入を容易とするために流体流出部６の外形を六角ボルト形状とした例を示している。
【００３０】
内部電極１６は、電極部１６ａと固定部１６ｂと感熱素子１６ｃとからなる部材である。電極部１６ａは、金属表面を有して内部が空洞とされた筒状の部材であり、内部流路１３内部に挿入される側の端部は閉鎖され、ケーブルカバー４内に突出する側は開放され構成されることによって棒状の外形を呈する。電極部１６ａのケーブルカバー４内部に突出している側には、電気伝導線７ｂがハンダ８ｂによって電気的に接続されている。また、電極部１６ａの外径は内部流路１３および受入流路２１の内径よりも小である。ここで、ハンダ８ｂは電気伝導線７ａと流体受入部５の外壁の電気的接続をとるための接続手段であるため、両者間の電気的接続及び機械的接続が保持される手段であればよく、例えばビスによる接続でも問題ない。
【００３１】
固定部１６ｂは、電極部１６ａの開放された一端付近に固定されており、その外形はハウジング２に形成された電極導入孔１７の螺子構造と対応する螺子構造を有している。感熱素子１６ｃは、電極部１６ａの開放された一端から電極部１６ａの内部に挿入されて配置される温度を検出するための部材であり、サーミスタや熱電対などの素子である。感熱素子１６ｃの熱を感知する部位は、電極部１６ａの閉鎖された一端に位置し、電極部１６ａの温度を検出することによって、電極部１６ａの外側を流れる流体の温度を検出する。また感熱素子１６ｃには、電極部１６ａの開放された一端から挿入された電気伝導線７ｃ、７ｄが電気的に接続されており、検出した温度の情報をケーブル３を経由して外部に取り出すことが可能となっている。
【００３２】
内部電極１６をハウジング２に回転挿入することで、電極導入孔１７の螺子構造と固定部１６ｂの螺子構造によって内部電極１６がハウジング２の内部に挿入されて固定され、電極部１６ａが内部流路１３内に配置される。このとき電極部１６ａの先端部分は、流体受入部５の受入流路２１内部にまで到達し、流体受入部５の円筒状の内壁が形成する円筒状部分と略同心円状に位置するものとする。したがって、感熱素子１６ｃの熱を感知する部位も受入流路２１内部にまで到達しており、流体受入部５内壁と電極部１６ａ外壁の間を流れている流体の温度を検出することになる。また、一般に電極間の距離を小さくすることによって電極間のセル定数を小さくし、導電率の測定精度を向上させることができるため、電極部１６ａの先端が受入流路２１内部に位置することにより、測定精度の向上を図ることが可能である。
【００３３】
ケーブル３の電気コネクタ９と反対側の端部は、ケーブルカバー４に設けられたケーブル導入口２０から収納部１９に取り込まれている。ケーブル３が束ねている複数の電気伝導線７のうち、電気伝導線７ａは伝導線導入孔１８を通ってハウジング２の下部まで引き出されてハンダ８ａに接続され、電気伝導線７ｂは収納部１９に突出している電極部１６ａに接続される。電気伝導線７ｃ、７ｄは電極部１６ａ内部に配置されている感熱素子１６ｃに接続される。
【００３４】
図４は、導電率センサー１の流体受入部５および流体流出部６に、外部からの流体の授受を行うための流体流路であるチューブ２３ａ、２１ｂを取り付けた状態を示す外観図で、図４（ａ）は背面図であり、図４（ｂ）は正面図であり、図４（ｃ）は側面図である。
【００３５】
チューブ２３ａ、２１ｂは、それぞれ導電率センサー１に設けられた流体受入部５および流体流出部６と接続されて、導電率センサー１と流体の授受を行う流体流路であり、樹脂材料によって形成された管状の部材である。チューブ２３ａ、２１ｂは、内部を流れる流体の汚染や漏洩を防止することが可能な材質によって形成されることが望ましく、本実施の形態においては、外形４ｍｍ・内径２ｍｍのエチレン・テトラフルオロエチレン（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏ  ｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＥＴＦＥ）を用いた。
【００３６】
また、チューブ２３ａの導電率センサー１と接続される側の端部には、流体受入部５の接続構造１１と対になった接続構造２４が形成されており、簡便にチューブ２３ａを流体受入部５と接続することが可能となっている。同様に、チューブ２３ｂの導電率センサー１と接続される側の端部には、流体流出部６の接続構造１２と対になった接続構造２５が形成されており、簡便にチューブ２３ａを流体流出部６と接続することが可能となっている。本実施の形態においては、接続構造２４および接続構造２５はそれぞれ接続構造１１および接続構造１２の雄型螺子構造に対応した雌型螺子構造を有している。
【００３７】
接続構造１１と接続構造２４、接続構造１２と接続構造２５をそれぞれ接続することにより、チューブ２３ａ、２１ｂが導電率センサー１に取り付けられ、チューブ２３ａの流路と受入流路２１と内部流路１３と流出流路２２とチューブ２３ｂの流路とが連結され、導電率センサー１に外部の流体を取り入れて流体の導電率を測定することが可能となる。
【００３８】
図５は、導電率センサー１にチューブ２３ａ、２１ｂを取り付けて、導電率センサー１内部を流体が流れる状態を示す側方断面図である。図中において斜線を施した領域が流体の流れる領域であり、チューブ２３ａ、２１ｂの導電率センサー１外部と接続されている側は省略して示している。
【００３９】
チューブ２３ａの接続構造１１と流体受入部５の接続構造２４とが接続され、チューブ２３ｂの接続構造１２と流体流出部６の接続構造２５とが接続されていることにより、チューブ２３ａの流路と受入流路２１と内部流路１３と流出流路２２とチューブ２３ｂの流路とが連結され、外部から流体を受け入れて導電率センサー１内部を通過して外部へ流出する経路の流体流路２６（図中斜線領域）が形成されている。
【００４０】
導電率センサー１に流体が流れ込むと、流体流路２６の内部が流体で満たされる。これにより、流体受入部５内壁と内部電極１６外壁との間も流体で満たされ、流体受入部５に接続された電気伝導線７ａと内部電極１６に接続された電気伝導線７ｂとの間の電位差を測定することで導電率を測定することが可能となる。このとき、電気伝導線７ａ、７ｂの一端は電気コネクタ９に引き出されているため、電気コネクタ９を電圧測定器に接続することで流体流路２６での流体の電気伝導度を測定することが出来る。
【００４１】
流体受入部５は、導電性の材料で形成されて流体と接触し、電気伝導線７ａが接続されて導電率センサー１の電極として機能する。これにより、流体の導電率を正確に測定することが可能となる。また、流体受入部５が接続構造１１を有していることで、チューブ２３ａの接続構造１１と流体受入部５が簡便に接続される。また、流体流出部６が接続構造１２を有していることで、チューブ２３ｂの接続構造１２と流体流出部６が簡便に接続される。これにより、外部との流体の授受を行うためのチューブ２３ａ、２３ｂを導電率センサー１に接続するための工程を簡略化することが可能となる。また、チューブ２３ａ、２３ｂを導電率センサー１に接続する工程において、流体が流れる部位を作業員が触れてしまったり、十分かつ適切な接続を完了せずに流体を流してしまう等の可能性を低減することができるため、作業者が流体の流れる部位に水質汚染や漏水の危険性を低下させることが可能となる。
【００４２】
【発明の効果】
中空状の第一の電極が接続構造を有し、流体が流れる流路と接続して流体を受け入れること、及び流体流出部が接続構造を有することにより、外部との流体の授受を行うチューブを導電率センサーに接続する工程を簡略化することが可能となる。また、流体が流れる部位を作業員が触れてしまったり、十分かつ適切な接続を完了せずに流体を流してしまう等の可能性を低減し、水質汚染や漏水の危険性を低下させることが可能となる。
【００４３】
第二の電極の一部が第一の電極が有する円筒状部分の内部に位置することにより、第一電極と第二電極との間の距離を小さくすることができるため、電極間のセル定数を小さくすることが可能であり、導電率センサーの測定精度を向上させることが可能となる。また、第二の電極の一部が第一の電極の有する円筒状部分の略同心円状に配置されることにより、第一の電極と第二の電極との距離を一定に保ち、導電率センサーの測定精度を向上させることができる。
【００４４】
第一の電極が有する接続構造が螺子状に成形されていることにより、外部と流体の授受を行うためのチューブ側にも接続構造を設けることにより、簡便にチューブの接続を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の導電率センサーの構造を示す外観斜視図である。
【図２】本願発明の導電率センサーの構造を示す外観図であり、（ａ）は背面図であり、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）は側面図である。
【図３】本願発明の導電率センサーの内部構造を示す側方断面図である。
【図４】本願発明の導電率センサーに外部との流体の授受を行うチューブを取り付けた状態を示す側面図であり、（ａ）は背面図であり、（ｂ）は正面図であり、（ｃ）は側面図である。
【図５】本願発明の導電率センサーに外部との流体の授受を行うチューブを取り付け、導電率センサーに流体を流した状態での内部の様子を示す側方断面図である。
【符号の説明】
１    導電率センサー
２    ハウジング
３    ケーブル
４    ケーブルカバー
５    流体受入部
６    流体流出部
７ａ〜７ｄ    電気伝導線
８ａ、８ｂ    ハンダ
９    電気コネクタ
１０    ネジ
１１、１２、２４、２５    接続構造
１３    内部流路
１４、１５    螺子構造
１６    内部電極
１６ａ    電極部
１６ｂ    固定部
１６ｃ    感熱素子
１７    電極導入孔
１８    伝導線導入孔
１９    収納部
２０    ケーブル導入口
２１    受入流路
２２    流出流路
２３ａ、２３ｂ    チューブ
２６    流体流路
【図１】
2004156940.tif 000003
【図２】
2004156940.tif 000004
【図３】
2004156940.tif 000005
【図４】
2004156940.tif 000006
【図５】
2004156940.tif 000007