(57)【要約】【課題】第１に、剥離液と感光性レジストとが、確実に分離，回収され、剥離液を問題なく再使用でき、第２に、もって剥離液の交換頻度等が低くなると共に、清掃作業も簡単容易化され、第３に、フィルター交換の問題も解消される、レジスト回収装置を提案する。【解決手段】このレジスト回収装置１０の前段分離機構１４は、ネット板１７を備えており、剥離装置１１から供給された使用後の剥離液Ｂと除去された感光性レジストＡとの混合物Ｄは、まずネット板１７上を流れることにより、剥離液Ｂが、分離されて落下回収される。後段分離機構１５は、スクリューコンベヤ２６を備えており、前段分離機構１４から供給された混合物Ｄは、スクリューコンベヤ２６にて圧縮搬送されることにより、残留していた剥離液Ｂが、分離されて落下回収されると共に、感光性レジストＡが、下流側から導出回収される。【選択図】        図１
2004325502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路用基板の製造工程で使用され、剥離装置に付設されるレジスト回収装置であって、前段分離機構と後段分離機構を有してなり、
該前段分離機構は、ネット板を備えており、該剥離装置から供給された使用後のアルカリ性の剥離液と除去された感光性レジストとの混合物は、まず該ネット板上を流れることにより、該剥離液が、分離されて落下回収され、
該後段分離機構は、スクリューコンベヤを備えており、該前段分離機構のネット板上から供給された該混合物は、該スクリューコンベヤにて圧縮搬送されることにより、残留していた該剥離液が、途中で分離されて落下回収されると共に、該感光性レジストが、該スクリューコンベヤの下流側から導出回収されること、を特徴とするレジスト回収装置。
【請求項２】
請求項１に記載したレジスト回収装置において、該前段分離機構は、若干下降傾斜して配設された該ネット板と、複数枚の流れ規制板と、を備えており、
各該流れ規制板は、該ネット板上に上下間隔を存しつつ各々縦に配設され、相互間にそれぞれ左右間隔が存しており、該混合物は、該ネット板の傾斜に沿って流れると共に、該流れ規制板にて規制され流れが全体的にほぼ均一化されること、を特徴とするレジスト回収装置。
【請求項３】
請求項１に記載したレジスト回収装置において、該前段分離機構は、若干下降傾斜して配設された該ネット板と、傾斜板と、複数枚のプレートと、を備えており、
該傾斜板は、該ネット板下に上下間隔を存して配設され、回収孔が形成されており、各該プレートは、該ネット板と該傾斜板との上下間隔間に、垂直より傾斜して配設されると共に、相互間にそれぞれ左右間隔が存しており、
該ネット板の傾斜に沿って流れる該混合物中から該ネット板を介して分離された該剥離液は、各該プレート間の左右間隔そして該傾斜板の回収孔を介して、落下回収されると共に、一部が、途中で各該プレートに当たって泡立ち、もって泡の力にて、該ネット板が上下に揺すられて該混合物を篩いにかけて流し、該剥離液の分離を促進させると共に、該ネット板への該感光性レジストの付着を阻止すること、を特徴とするレジスト回収装置。
【請求項４】
請求項１に記載したレジスト回収装置において、該後段分離機構は、外筒に回収孔が形成された該スクリューコンベヤと、該スクリューコンベヤの下流側に連設され、横軸の円錐台状をなす等、下流側が径小となった形状の筒ネットと、を備えており、
該混合物は、該筒ネットにて絞り込まれることにより、該スクリューコンベヤにおいて確実に圧縮搬送され、残留していた該剥離液が、途中で絞り出され脱水分離されて、該スクリューコンベヤの外筒の回収孔や該筒ネットから落下回収されると共に、最後に残った該感光性レジストが、該スクリューコンベヤの下流側から該筒ネットを経て、導出回収されること、を特徴とするレジスト回収装置。
【請求項５】
請求項２，３又は４に記載したレジスト回収装置において、回収槽を備えており、該回収槽は、落下回収された該剥離液を流下，貯留すると共に、貯留された該剥離液を、ポンプや配管を介し該剥離装置へと、再使用のため循環供給すること、を特徴とするレジスト回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レジスト回収装置に関する。すなわち、回路用基板の製造工程において、剥離装置に付設されて使用され、剥離液と感光性レジストとを分離して回収する、レジスト回収装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
《技術的背景》
プリント配線基板等の基板の製造工程では、銅張り積層板たる基板材の外表面に感光性レジストを膜状に塗布又は張り付けてから、→回路用のネガフィルムを当てて、露光した後、→回路部分以外の感光性レジストを、現象により溶解除去し、→回路部分以外の銅箔を、エッチングにより溶解除去してから、→回路部分の感光性レジストを、剥膜除去することにより、→外表面に銅箔にて回路が形成され、もって回路用の基板が製造されている。
そして、上述した剥膜工程では、例えば図３の正断面説明図に示したように、剥離装置１が用いられており、硬化して残っていた回路形成部分の感光性レジストＡが、アルカリ性の剥離液Ｂを噴射することにより、基板材Ｃの外表面から剥膜除去される。そして、このように剥離装置１にて使用された剥離液Ｂと、剥膜除去された感光性レジストＡとは、混じり合った混合物Ｄとなって流下する。
そこで、このような混合物Ｄを、剥離装置１から付帯装置たるレジスト回収装置２に供給して、剥離液Ｂと感光性レジストＡとに分離し、剥離液Ｂは、剥離装置１に循環供給されて再使用され、感光性レジストＡは廃棄されている。
【０００３】
《従来技術について》
そして、この種のレジスト回収装置２としては、図３中に示したフィルター３式やドラム式のものが、代表的に使用されていた。
この種従来例のレジスト回収装置２では、混合物Ｄを、剥離装置１の剥離室４下部の液槽５から、→ポンプ６や配管７を介して、フィルター３や網目ドラムに供給し、→もって、フィルター３や網目ドラムを通過することにより、分離，回収された剥離液Ｂを、→配管７を介して、スプレーノズル８に供給して、再使用し、→フィルター３や網目ドラムを通過しなかった感光性レジストＡを、捕集，回収，廃棄していた。
図中９は、剥離装置１において基板材Ｃを搬送するローラーコンベヤである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来のレジスト回収装置２にあっては、次の問題が指摘されていた。
《第１の問題点について》
第１に、感光性レジストＡと剥離液Ｂとの分離，回収が不確実であり、剥離液Ｂを再使用できなくなることがある、という問題が指摘されていた。
特に、回路用の基板は最近、高精度化，ファイン化，極薄化が進み、形成される回路の高密度化，微細化が著しい。回路幅は、３０μｍ〜２０μｍ程度のものも多くなっている。そこで、このように微細化された回路上から剥離，除去された感光性レジストＡも、微細化傾向が著しい。
このような状況に鑑み、従来のレジスト回収装置２では、混合物Ｄ中から感光性レジストＡを、剥離液Ｂと分離して捕集，回収することが、最近ますます容易でなく、不確実化する傾向にある。
【０００５】
すなわち、網目ドラム式のレジスト回収装置２にて、感光性レジストＡを分離，捕集，回収することは、困難度が極めて高くなってきている。
又、フィルター３式のレジスト回収装置２においても、ポンプ６にて供給された混合物Ｄをフィルター３に通すと、感光性レジストＡ特に前述により微細化した感光性レジストＡは、ポンプ圧にてフィルター３を容易に通過してしまう、という指摘があった。
このように、レジスト回収装置２を経て回収された剥離液Ｂ中に、多量の感光性レジストＡが混入しやすい状況にあり、このような剥離液Ｂを剥離装置１に供給して再使用すると、剥離液Ｂの本来機能たる基板材Ｃからの感光性レジストＡの剥膜，除去性能が低下してしまうことになる。
【０００６】
《第２の問題点について》
第２に、更にこのように感光性レジストＡの分離，回収が不確実であることに伴い、剥離液Ｂの補充，交換頻度が高く、又、液槽５の清掃作業も大変である、という問題が指摘されていた。
すなわち、前述したように回収され再使用される剥離液Ｂ中に感光性レジストＡが混入し易いので、剥離液Ｂとしての本来機能を全うさせるためには、新鮮な剥離液Ｂの補充頻度、そして新たな剥離液Ｂへの交換頻度が高くなり、コスト負担が大きい、という問題が生じていた。
又、感光性レジストＡが混入した剥離液Ｂを、循環して繰り返し再使用していると、最初は、剥離液Ｂ上部に浮遊していた感光性レジストＡが白濁化・エマルジョン化し、クリーム状化・のり状化して、液槽５内壁に沈殿，付着してしまい、レジスト回収装置２から剥離装置１にかけて、目詰まり発生の危険もある。
そこで、その除去作業が必要となるが、この除去作業は、容易でなく非常に面倒であり手間と時間を要する、という問題が指摘されていた。
【０００７】
《第３の問題点について》
第３に、従来多用されているフィルター３式のレジスト回収装置２については、フィルター３が目詰まりし易く、フィルター３の交換頻度が高く、交換コストがかさむ、という問題が指摘されていた。
特に、前述した感光性レジストＡ混入問題への対応策として、その分離，捕集，回収性を高めるためには、目がより密なフィルター３を採用することが必要となる。これに対し、分離，捕集対象の感光性レジストＡは、前述したように、最近ますます微細化傾向が著しい。
そこで、このフィルター３式のレジスト回収装置２はフィルター３に感光性レジストＡが捕集，蓄積されて詰まり易く、目詰まり頻度が高くなる傾向にあり、フィルター３の交換コストが悩みの種となっていた。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものである。
そして、このレジスト回収装置は所定のネット板，流れ規制板，傾斜板，プレート等を備えた前段分離機構と、所定のスクリューコンベヤ，筒ネットを備えた後段分離機構とを、採用したこと、を特徴とする。
もって本発明は、第１に、剥離液と感光性レジストとが、確実に分離，回収され、剥離液を問題なく再使用でき、第２に、もって剥離液の交換頻度等が低くなると共に、清掃作業も簡単容易化され、第３に、フィルター交換の問題も解消される、レジスト回収装置を提案することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１については次のとおり。
請求項１のレジスト回収装置は、回路用基板の製造工程で使用され、剥離装置に付設される。そして、次の前段分離機構と後段分離機構を有している。
該前段分離機構は、ネット板を備えている。そして、該剥離装置から供給された使用後のアルカリ性の剥離液と除去された感光性レジストとの混合物は、まず該ネット板上を流れることにより、該剥離液が、分離されて落下回収される。
該後段分離機構は、スクリューコンベヤを備えている。そして、該前段分離機構のネット板上から供給された該混合物は、該スクリューコンベヤにて圧縮搬送されることにより、残留していた該剥離液が、途中で分離されて落下回収されると共に、該感光性レジストが、該スクリューコンベヤの下流側から導出回収されること、を特徴とする。
【００１０】
請求項２については次のとおり。請求項２のレジスト回収装置は、請求項１において、該前段分離機構は、若干下降傾斜して配設された該ネット板と、複数枚の流れ規制板と、を備えている。
各該流れ規制板は、該ネット板上に上下間隔を存しつつ各々縦に配設され、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。そして該混合物は、該ネット板の傾斜に沿って流れると共に、該流れ規制板にて規制され流れが全体的にほぼ均一化されること、を特徴とする。
請求項３については次のとおり。請求項３のレジスト回収装置は、請求項１において、該前段分離機構は、若干下降傾斜して配設された該ネット板と、傾斜板と、複数枚のプレートと、を備えている。
該傾斜板は、該ネット板下に上下間隔を存して配設され、回収孔が形成されている。各該プレートは、該ネット板と該傾斜板との上下間隔間に、垂直より傾斜して配設されると共に、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。
そして、該ネット板の傾斜に沿って流れる該混合物中から該ネット板を介して分離された該剥離液は、各該プレート間の左右間隔そして該傾斜板の回収孔を介して、落下回収される。これと共に、一部が、途中で各該プレートに当たって泡立ち、もって泡の力にて、該ネット板が上下に揺すられて該混合物を篩いにかけて流し、該剥離液の分離を促進させると共に、該ネット板への該感光性レジストの付着を阻止すること、を特徴とするレジスト回収装置。
【００１１】
請求項４については次のとおり。請求項４のレジスト回収装置は、請求項１において、該後段分離機構は、外筒に回収孔が形成された該スクリューコンベヤと、該スクリューコンベヤの下流側に連設され、横軸の円錐台状をなす等、下流側が径小となった形状の筒ネットと、を備えている。そして該混合物は、該筒ネットにて絞り込まれることにより、該スクリューコンベヤにおいて確実に圧縮搬送される。
もって、残留していた該剥離液が、途中で絞り出され脱水分離されて、該スクリューコンベヤの外筒の回収孔や該筒ネットから落下回収される。これと共に、最後に残った該感光性レジストが、該スクリューコンベヤの下流側から該筒ネットを経て、導出回収されること、を特徴とするレジスト回収装置。
請求項５については次のとおり。請求項５のレジスト回収装置は、請求項２，３又は４において、回収槽を備えており、該回収槽は、落下回収された該剥離液を流下，貯留すると共に、貯留された該剥離液を、ポンプや配管を介し該剥離装置へと、再使用のため循環供給すること、を特徴とする。
【００１２】
《作用について》
本発明は、このようになっているので、次のようになる。
▲１▼剥離装置で使用された剥離液と剥膜除去された感光性レジストとが、混合物となって、レジスト回収装置に供給される。
▲２▼この混合物は、上部側に感光性レジストが多く浮遊しているが、レジスト回収装置の前段分離機構のネット板上を流れることにより、下部側から剥離液が分離されて、落下回収される。
▲３▼ところで前段分離機構は、ネット板上に複数枚の流れ規制板が配設されており、混合物は、流れ規制板にて規制されることにより、ネット板上に均一に拡げられ、平均的に流れるようになる。
▲４▼更に前段分離機構は、ネット板と、ネット板下に配設された傾斜板との間に、複数枚のプレートが傾斜して配設されている。
そこで、前述により分離された剥離液は、各プレート間の左右間隔そして傾斜板の回収孔を介して、落下回収されるが、その一部が、各プレートに当たって泡立って、ネット板を揺すり、混合物を篩いにかけるので、剥離液の分離が促進されると共に、感光性レジストをネット板上から離反させる。
【００１３】
▲５▼それから混合物は、前段分離機構のネット板上から、後段分離機構のスクリューコンベヤに流下供給されて、圧縮搬送された後、筒ネットに供給されて絞り込まれるので、上流側の圧縮搬送が確実に実施される。
▲６▼そして混合物は、圧縮搬送により、残留していた剥離液が絞り出されて、落下回収される。
▲７▼そして最後に、残った感光性レジストが、筒ネットを経て捕集，導出回収される。
▲８▼このように、このレジスト回収装置では、まず、感光性レジストの少ない下部側から、剥離液を分離，落下回収してから、残った剥離液を、圧縮搬送により分離，落下回収させ、最後に、感光性レジストを捕集回収する。もって、剥離液と感光性レジストが、自然に確実に分離，回収される。
▲９▼回収された剥離液は、感光性レジストが殆ど混入していないので、回収槽に流下，貯留された後、剥離装置へと循環供給されて、問題なく再使用される。又、その補充頻度や交換頻度も減少する。
更に、感光性レジストがエマルジョン化，クリーム状化して沈殿，付着することもなく、清掃作業が軽減される。又、フィルターを使用しないので、部材の交換頻度も低い。
【００１４】
【発明の実施の形態】
《図面について》
以下、本発明に係るレジスト回収装置を、図面に示す発明の実施の形態に基づいて、詳細に説明する。図１，図２は、本発明の実施の形態の説明に供する。
そして図１は、剥離装置と共に示した正断面説明図である。図２は、側断面説明図である。なお図４は、基板（材）の模式化した平面説明図である。
【００１５】
《基板Ｅについて》
このレジスト回収装置１０は、回路Ｆ用の基板Ｅの製造工程で、使用される。そこでまず、図４を参照しつつ、基板Ｅの概略を説明しておく。
回路Ｆ用の基板Ｅは、各種電子機器用に広く用いられており、片面基板，両面基板，多層基板（含、最近のビルドアップ法のもの）等、各種のものがある。そして、このような基板Ｅの一環として、ＩＣ，ＬＳＩ素子，受動部品，駆動部品，コンデンサー等々の半導体部品が、回路Ｆと一体的に組み込まれたモジュール基板（半導体一体型のパッケージ基板）や、ガラスベースに回路Ｆと共に半導体部品が埋め込まれたガラス基板、つまりプラズマディスプレイＰＤＰ用のガラス基板や、液晶ＬＣＤ用のガラス基板や、ＣＳＰ，ＰＢＧＡ等も出現している。勿論、本明細書において基板Ｅとは、従来よりのプリント配線基板の外、広くこのようなものも包含する。
そして、このような回路Ｆ用の基板Ｅは、電子機器の高性能化，高機能化，小型軽量化に伴い、高精度化，ファイン化，極薄化，多層化等が進み、外表面つまり上面・表面や下面・裏面の一方又は双方に形成される回路Ｆ、更には内部に形成される回路Ｆの高密度化，微細化が著しい。
基板Ｅ例えばプリント配線基板は、縦横が、例えば５００ｍｍ×５００ｍｍ程度よりなり、肉厚は、絶縁層部分が１．０ｍｍ〜６０μｍ程度、更に昨今では２０μｍ前後、回路Ｆ部分（銅箔部分）が７５μｍ〜３５μｍ、昨今では１６μｍ〜１０μｍ前後まで、極薄化されている。多層基板の場合でも、全体の肉厚が１．０ｍｍ〜０．４ｍｍ程度まで、極薄化されつつある。回路Ｆ幅や回路Ｆ間スペースも、３５μｍ〜２５μｍ程度、更に昨今では１０μｍ前後と、微細化傾向にある。
基板Ｆは、概略このようになっている。
【００１６】
《基板Ｅの製造方法の例について》
次に、このレジスト回収装置１０が使用される基板Ｅの製造方法について、図１や図４を参照しつつ説明する。まず、第１例の製造方法について述べる。第１例の製造方法において、基板Ｅ例えばプリント配線基板は、次のステップを辿って製造される。
まず、樹脂，樹脂繊維，ガラスクロス又はセラミックス製の絶縁層（コア材）の外表面に、銅箔が熱プレス等により張り付けられた、銅張り積層板たる基板材Ｃが準備される。そして、スルホール用の孔あけ加工が、レーザ等を使用して実施される。
スルホールは、基板材Ｃ（基板Ｅ）の両外表面間の貫通孔よりなり、１枚について、極小径のものが数百個以上形成され、その径は、０．５ｍｍ〜０．２ｍｍ程度以下のものが多くなっている。そして、両外表面や多層基板の回路Ｆ（銅箔）間の層間導通接続用や、回路Ｆに実装される部品の取り付け用として使用される。
なお最近は、孔あけ加工を要するスルホールに代えて、小突起状，略円錐台状の接点たるバンプを形成し、もって多層基板等について、このバンプにより、スルホールと同様の機能を実現する技術も開発されている。そしてバンプは、回路Ｆに準じ、現像工程，エッチング工程，剥離工程等を辿って製造される。
【００１７】
さてしかる後、研磨された基板材Ｃの銅箔の外表面（上面・表面，下面・裏面の一方又は双方）に、感光性レジストＡが膜状に塗布又は張り付けられる。感光性レジストＡのドライフィルムが、圧着されることも多い。
それから、回路Ｆのネガフィルムである回路写真を当てて、露光することにより、外表面の感光性レジストＡは、保護膜として機能する露光されて硬化した回路Ｆ形成部分を残し、その他の不要部分が、処理液たる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、このような基板材Ｃの銅箔は、（感光性レジストＡが硬化し保護膜として機能して被覆された）回路Ｆ形成部分を残し、（現像により感光性レジストＡが溶解除去されて露出した）不要部分が、処理液たるエッチング液（塩化第二銅，塩化第二鉄，その他の腐食液）の噴射により、溶解除去・エッチングされる。
それから、残っていた回路Ｆ形成部分の感光性レジストＡが、処理液たる剥離液Ｂの噴射により剥膜除去され、残った回路Ｆ形成部分の銅箔にて、基板材Ｃの外表面（上面・表面，下面・裏面の一方又は双方）に、所定の回路Ｆが形成され、もって、基板Ｅつまりプリント配線基板が製造される。
なお、上述した現像工程，エッチング工程，剥膜工程には、それぞれの後処理用に、又は剥膜工程の後にまとめての後処理用に、水洗液，中和液，その他の洗浄液を噴射する洗浄工程が付設されており、もって、基板材Ｃの外表面に付着していた現像液，エッチング液，剥離液Ｂ等の処理液が、洗浄，除去される。第１例の製造方法は、このようなウェットプロセス法よりなる。
第１例の製造方法は、このようになっている。
【００１８】
次に、第２例の製造方法について述べる。基板Ｅ例えばプリント配線基板の製造方法としては、上述した第１例のウェットプロセス法が代表的であるが、第２例のセミアディティブ法も多用されつつある。
このセミアディティブ法では、まず、予めスルホールが形成された基板材Ｃの外表面（上面・表面，下面・裏面の一方又は双方）に、無電解銅メッキが施される。→それから、この無電解銅メッキに、感光性レジストＡを膜状に塗布又は張り付けた後、→回路Ｆフィルムである回路写真を当て、露光する。→そして感光性レジストＡは、露光されて硬化した部分を残し、他の部分つまり回路Ｆ形成部分が、処理液たる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、→回路Ｆ成部分、つまり現像により感光性レジストＡが溶解除去されたメッキパターン部分、つまり無電解銅メッキが露出した部分に対し、電解銅メッキが施されて、→回路Ｆが形成される。
なお、残っていた硬化した回路Ｆ形成部分以外の感光性レジストＡは、処理液たる剥離液Ｂの噴射により剥膜除去され、→もって露出した無電解銅メッキが、処理液たるエッチング液の噴射により、クイックエッチングされて融解除去される。→なお、各工程の後処理用として、前述した所に準じ、洗浄工程が付設されている。
第２例のセミアディティブ法では、このようにして、電解銅メッキにて回路Ｆが形成され、もって、基板Ｅつまりプリント配線基板が製造される。第２例の製造方法は、このようになっている。
ところで、プリント配線基板の製造方法、その他の回路Ｆ用の基板Ｅの製造方法は、最近ますます多様化しつつあり、上述した第１例，第２例以外にも、各種方法が開発，使用されている。本発明は勿論、このような各種の基板Ｅの製造方法にも、適用される。
基板Ｅの製造方法は、このようになっている。
【００１９】
《レジスト回収装置１０の概要について》
以下、本発明のレジスト回収装置１０について、図１，図２を参照して、詳細に説明する。
前述したように、回路Ｆ用の基板Ｅの製造工程中、剥膜工程では、搬送される基板材Ｃに対し剥離液Ｂが噴射されて、その外表面から感光性レジストＡが剥膜除去される。
すなわち、剥膜工程の剥離装置１１の剥離室１２内では、ローラーコンベヤ９等のコンベヤにて水平に搬送される基板材Ｃに対し、対向配設された各スプレーノズル８から、アルカリ性で苛性ソーダ等を含有した薬液よりなる剥離液Ｂが噴射され、もって基板材Ｃの外表面の感光性レジストＡ、つまり硬化して残っていた回路Ｆ形成部分の感光性レジストＡが、剥膜除去される。
【００２０】
レジスト回収装置１０は、基板Ｅの製造工程において、このような剥離工程の付帯工程として剥離装置１１に付設される。
そして、剥離装置１１から、使用後の剥離液Ｂと除去された感光性レジストＡとの混合物Ｄが供給され、もって供給された混合物Ｄを、剥離液Ｂと感光性レジストＡに分離，回収する。
そして、このレジスト回収装置１０は、回収室１３内に、前段分離機構１４と、後段分離機構１５と回収槽１６とを、有している。
レジスト回収装置１０は、概略このようになっている。以下、その詳細について述べる。
【００２１】
《前段分離機構１４について》
まず、レジスト回収装置１０の前段分離機構１４について述べる。前段分離機構１４は、図１に示したように、ネット板１７，流れ規制板１８，傾斜板１９，プレート板２０等を備えており、これらは、回路室１３の上部に配設される。
まず、前段分離機構１３のネット板１７は、剥離装置１１から供給された混合物Ｄ、つまり使用後のアルカリ性の剥離液Ｂと除去された感光性レジストＡとの混合物Ｄが、その上に流され、もって剥離液Ｂが、分離されて落下回収される。
【００２２】
すなわち混合物Ｄは、剥離装置１１の剥離室１２の若干傾斜した仕切り床板２１上に落下した後、その傾斜に沿って流れて、剥離装置１１の排出口２２から排出される。そして排出された混合物Ｄは、若干下降傾斜して配設，固定された供給管２３を介し、レジスト回収装置１０の回収管１３の受入口２４へと流し込まれる。勿論、排出口２２は、受入口２４よりやや高い位置にある。
そしてネット板１７は、微細なネット孔つまり通気孔が密に形成され、長板状をなしており、ネット孔の径は、微細化した感光性レジストＡでも通過不能な寸法に設定されており、例えば数１０μｍ〜数μｍ程度に設定されている。そして、このようなネット板１７が、長手方向に若干下降傾斜して配設，固定されており、このネット板１７の傾斜は、前述した仕切り床板２１や供給管２３の傾斜と揃えられ、同一傾斜角度となっている。
混合物Ｄは、このようなネット板１７上を、受入口２４下の上流側から下流側へと、その傾斜に沿って流れて行き、混合物Ｄ中に混入されていた剥離液Ｂの大部分が、ネット板１７のネット孔にて分離されて、下位のプレート２０間の左右間隔や傾斜板１９を介し、下方の回収槽１６に向けて落下して行く。
【００２３】
次に、前段分離機構１４の流れ規制板１８は、複数枚がネット板１７上に上下間隔を存しつつ、各々縦に配設されており、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。
すなわち、図示例の各流れ規制板１８は、板面を混合物Ｄの流れ方向に対し直角に向け、各々垂直の縦に配設，固定されている。又、下位の下降傾斜したネット板１７に対し、上下間隔が存すると共に、それぞれの下端が傾斜して揃えられている。つまり、各流れ規制板１８の下端は、徐々に下位に位置せしめられており、下端間を連続させた仮想線が、傾斜したネット板１７と平行となっている。そこで混合物Ｄは、下部側が、ネット板１７の傾斜に沿って流れると共に、上部側の流れが、必要な流れ規制板１８にて規制され、もって流れが、全体的にほぼ均一化される。
つまり混合物Ｄは、各流れ規制板１８のうち必要なものにて、上部側が塞き止められ，規制されることにより、上位の流れ規制板１８と下位のネット板１７との間で、一度に多量に流れたり少量の流れになったりすることなく、均一化されて流れて行くようになる。混合物Ｄの流れは、前後，左右，上下にわたり、過不足なく全体的に同程度に均一化される。
【００２４】
次に、前段分離機構１４の傾斜板１９は、ネット板１７下に上下間隔を存しつつ、並んで横設，配設され、回収孔２５が多数形成されている。プレート２０は、複数枚がネット板１７と傾斜板１９との間に、垂直より傾斜して配設されると共に、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。
すなわち、まず傾斜板１９は、多数の小さな回収孔２５を備えると共に、上位のネット板１７と見合った大きさの長板状をなし、上位のネット板１７との間に上下間隔を存しつつ、ネット板１７と同一の傾斜角度で、ネット板１７下に平行に配設，固定されている。このような傾斜板１９としては、例えばパンチングプレートが使用される。
そしてプレート２０は、ネット板１７と傾斜板１９との間に、複数枚配設されており、相互間に十分な左右間隔を存すると共に、それぞれ垂直から例えば３０度程度傾斜して固定されている。傾斜方向は、上流側ほど高く下流側ほど低くなるように、設定されている。
プレート２０間の左右間隔は、例えば、ネット板１７から落下した剥離液Ｂの一部が、プレート２０に当たらずに傾斜板１９に至ることが可能な程度に広く設定されている。
【００２５】
そこで、ネット板１７の傾斜に沿って流れる混合物Ｄ中から、前述によりネット板１７を介して分離された剥離液Ｂは、下位の各プレート２０間の左右間隔そして傾斜板１９の回収孔２５を介した後、下方の回収槽１６に向けて落下して行く。なお、プレート２０間の左右間隔を通過する際、かなりの剥離液Ｂは、各プレート２０に当たって、各プレート２０に沿って流下した後、傾斜板１９の回収孔２５から回収槽１６へと落下して行く。
そしてその際、剥離液Ｂは、一部が、途中で各プレート２０に当たって泡立ち、もって泡Ｐの力にて、ネット板１７を上下に揺すって混合物Ｄを篩いにかけて流し、もって混合物Ｄについて、感光性レジストＡからの剥離液Ｂの分離を促進させると共に、ネット板１７への感光性レジストＡの付着を阻止する。
すなわち剥離液Ｂは、３％程度の苛性ソーダその他のアルカリ性の薬液よりなり、その温度は５０℃程度となっており、ネット板１７からの落下途中でプレート２０に当たると、泡立つ。
そして、発生した泡Ｐの力にて、上位のネット板１７を揺らすようになる。そこで、ネット板１７上を流れる混合物Ｄを篩いにかけ、もって、剥離液Ｂと感光性レジストＡとの分離を促進させると共に、ネット板１７に沈殿，付着しようとした感光性レジストＡを、上方の流れへと押し戻すようになる。図１中Ｇは、前段分離機構１４内における混合物Ｄの流れ方向を示す。
前段分離機構１４は、このようになっている。
【００２６】
《後段分離機能１５について》
次に、レジスト回収装置１０の後段分離機構１５について述べる。図２に示したように、後段分離機構１５は、スクリューコンベヤ２６と筒ネット２７を、備えており、これらは回収室１３の上部に、前述した前段分離機構１４に直角に連設して、横設されている。
まずスクリューコンベヤ２６は、多数の回収孔２８が形成され横軸にて配設，固定された外筒２９と、外筒２９内に同軸に配設された回転軸３０と、回転軸３０に付設されたスクリュー３１と、回転軸３０に連結されると共に、回収室１３外に設けられた駆動部３２と、を備えている。
外筒２９は、上流側が閉鎖され、下流側が開放されている。外筒２９の回収孔２８の径は、前述したネット板１７のネット孔の径に準じ、微細に設定されている。図示例の回収孔２８は、外筒２９に多数の小開口を形成して、その各小開口に、それぞれネットを貼り付けることにより構成されており、このネット部分に、前述したネット板１７に準じたものが使用されている。
【００２７】
又、スクリューコンベヤ２６の上流側上部には、つまりその外筒２９の上流側上部には、開口部３３が形成されており、混合物Ｄは、前段分離機構１４のネット板１７下流側から、この開口部３３を介し、スクリューコンベヤ２６内に流下供給される（図１も参照）。
他方、スクリューコンベヤ２６の下流側には、筒ネット２７が連設して、配設，固定されている。この筒ネット２７は、横軸の円錐台状をなす等、下流側が径小となった形状をなし、スクリューコンベヤ２６と同軸に横設されている。筒ネット２７のネット孔の径は、前述したネット板１７のネット孔の径に準じ、微細に設定されている。
筒ネット２７の開放された径大な上流側は、スクリューコンベヤ２６の外筒２９の下流側と連通され、径小の下流側は、導管３４を介し外部の回収ボックス３５に接続されている。
【００２８】
そこで、前段分離機構１４のネット板１７上から流下供給された混合物Ｄは、まず、後段分離機構１５のスクリュー３１が回転駆動されるスクリューコンベヤ２６にて、圧縮搬送されることにより、混合物Ｄ中に残留していた剥離液Ｂが、途中で分離されて回収槽１６へと落下すると共に、殆んど感光性レジストＡのみとなった混合物Ｄが、スクリューコンベヤ２６の下流側から導出される。
そして混合物Ｄは、徐々に径小となった下流側の筒ネット２７にて絞り込まれることにより、上流側のスクリューコンベヤ２６内に強力な圧縮力が作用するようになり、スクリューコンベヤ２６内において確実に圧縮搬送される。もって、前段分離機構１４から供給された混合物Ｄ中に残留していた剥離液Ｂは、スクリューコンベヤ２６内や筒ネット２７内において絞り出され脱水分離されて、スクリューコンベヤ２６の外筒２９の回収孔２８や筒ネット２７から、回収槽１６へと落下して行く。
そして、最後に残った感光性レジストＡは、スクリューコンベヤ２６の下流側から、筒ネット２７を経て導出された後、導管３４を介し、回収室１３外に付設された回収ボックス３５に投入，回収された後、廃棄される。図中Ｈは、後段分離機構１５内における混合物Ｄの搬送方向を示す。
後段分離機構１５は、このようになっている。
【００２９】
《回収槽１６等について》
次に、回収槽１６等について述べる。図１，図２中に示したように、回収槽１６は、落下回収された剥離液Ｂを流下，貯留すると共に、貯留された剥離液Ｂを、ポンプ３６や配管３７を介し剥離装置１１へと、再使用のため循環供給する。すなわち回収槽１６は、回収室１３内の下部に配設され、上位の前段分離機構１４や後段分離機構１５と、上下間隔を存して配設されている。そして、前段分離機構１４や後段分離機構１５において、分離された剥離液Ｂが、落下，回収，貯留される。
図１中３８は、回収槽１６に設けられたヒーター３８であり、このヒーター３８は、回収槽１６に貯留された剥離液Ｂを、例えば５５℃程度に加温して再使用に備える。
そして、配管３７の一端が回収槽１６に接続されており、ポンプ３６を経由した配管３７の他端は、剥離装置１１の各スプレーノズル８に接続されている。
回収槽１６等は、このようになっている。
【００３０】
《作用等》
本発明のレジスト回収装置１０は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
▲１▼回路用の基板Ｅの製造工程において、剥離工程の剥離装置１１では、基板材Ｃにアルカリ性の剥離液Ｂがスプレーされ、→基板材Ｃの外表面から感光性レジストＡが、剥膜除去される。
それから、→使用後の剥離液Ｂと剥膜除去された感光性レジストＡとは、混じり合って流動的な混合物Ｄとなり、→剥離装置１１から、付設されたレジスト回収装置１０に供給される（図１を参照）。
▲２▼レジスト回収装置１０に供給された混合物Ｄは、→上部側に、比重が軽い感光性レジストＡが多く浮遊しており、逆に下部側は、感光性レジストＡが少ない状態となっている。
そこで混合物Ｄは、→まず、レジスト回収装置１０の前段分離機構１４の若干下降傾斜したネット板１７上を、流れ方向Ｇに流れることにより、→感光性レジストＡが少ない下部側から、剥離液Ｂのみが容易に分離されて、→回収層６に落下回収される（図１を参照）。
【００３１】
▲３▼ところで前段分離機構１４は、更に、ネット板１７上に複数枚の流れ規制板１８を備えている。→この各流れ規制板１８は、ネット板１７上に上下間隔を存しつつ、各々縦に配設されており、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。
そこで混合物Ｄは、→下部側が、ネット板１７の傾斜に沿って流れ方向Ｇに流れると共に、特に上部側が、必要な流れ規制板１８の下端部にて塞き止められて、その流れが規制される。→例えば図示のように、多大・過剰な量の混合物Ｄが流れて来た場合は、上流側の流れ規制板１８を通過する毎に流れの流量が削減され、中流から下流側においては、適切な量の流れに変化して流れて行くようになる。
つまり、混合物Ｄの流れは、必要な規制板１８により（多くの場合は上流側の規制板１８により）、前後（流れ方向Ｇ），左右（流れ方向Ｇと直角な幅方向），上下（深さ）にわたり、それぞれ同程度に分散され均一化される。
→このようにして、混合物Ｄは、ネット板１７全面にわたりほぼ均一に拡げられ、ネット板１７上を全体に平均的に流れるようになり、→混合物Ｄの流れが、全体的にほぼ均一化されスムーズ化される（図１を参照）。
【００３２】
▲４▼そして前段分離機構１４は、更にネット板１７下に、横設された傾斜板１９と、傾斜設された複数枚のプレート２０と、を備えている。→傾斜板１９は、ネット板１７下に上下間隔を存しつつネット板１７と並んで配設され、回収孔２５が形成されている。→各プレート２０は、ネット板１７と傾斜板１９との間に、垂直より傾斜して配設されると共に、相互間にそれぞれ左右間隔が存している。
そこで、→ネット板１７上をその傾斜に沿って流れ方向Ｇに流れる混合物Ｄ中から、ネット板１７を介して分離された剥離液Ｂは、→各プレート２０間の左右間隔そして傾斜板１９の回収孔２５を介して、→回収槽１６に落下回収される。
これと共に、→その途中で、剥離液Ｂの一部が、各プレート２０に当たることにより、→泡立ち（剥離液Ｂは、アルカリ性で苛性ソーダ等を含有した薬液よりなると逆に、加温されている）、→もって、下からの泡Ｐの力にて、ネット板１７が上下に揺すられて波立ち、→ネット板１７上の混合物Ｄを、篩いにかけて流す。→そこで、剥離液Ｂの感光性レジストＡからの分離が、促進されると共に、ネット板１７上に付着しようとした感光性レジストＡを、ネット板１７から離反させる（図１を参照）。
【００３３】
▲５▼さて次に、このレジスト回収装置１０において、混合物Ｄは、このような前段分離機構１４から、後段分離機構１５に供給される。
すなわち、かなりの剥離液Ｂがまず分離，回収された混合物Ｄは、前段分離機構１４のネット板１７上から、→後段分離機構１５のスクリューコンベヤ２６に流下供給されて、搬送方向Ｈに圧送され圧縮搬送された後、→スクリューコンベヤ２６の下流側から、筒ネット２７に供給される。
→筒ネット２７は、下流側が径小な横の円錐台状等をなしており、供給された混合物Ｄを絞り込む。→混合物Ｄは、筒ネット２７で絞り込まれることにより、上述した上流側の圧縮搬送が、確実に実施されるようになる（図２を参照）。
▲６▼さて、このような後段分離機構１５において、→混合物Ｄは、スクリューコンベヤ２６にて、搬送方向Ｈに圧送され圧縮搬送されることにより、→混合物Ｄ中に残留していた剥離液Ｂ、つまり前段分離機構１４にて分離，回収されることなく混合物Ｄ中に残留していた剥離液Ｂが、途中で、絞り出され脱水分離されて、→スクリューコンベヤ２６の外筒２９の回収孔２８や筒ネット２７から、回収槽１６に落下回収される（図２を参照）。
▲７▼そして混合物Ｄは、→最後に残った感光性レジストＡが、殆んど剥離液Ｂを含まない状態となって、スクリューコンベヤ２６の下流側から、→筒ネット２７を経て、回収ボックス３５に捕集，導出回収される（図２を参照）。
【００３４】
▲８▼このように、このレジスト回収装置１０にあっては、混合物Ｄについて、まず前段分離機構１４により、感光性レジストＡの少ない下部側から、剥離液Ｂのみを、容易かつ確実に分離，落下回収する。
→それから次に、上部側にて浮遊する感光性レジストＡを中心とした混合物Ｄを、網すくい状態で捕集して、後段分離機構１５に流下させて、圧縮搬送することにより、→更に残っていた剥離液Ｂを分離，落下回収させ、→最後に、残った感光性レジストＡを、捕集回収する。
→このようにして、剥離液Ｂと感光性レジストＡとが、限りなく分別されると共に、自然な形でスムーズかつ確実に、分離，回収される。もって、最近の微細化された感光性レジストＡ、つまり回路Ｆ用の保護膜として使用された微細な感光性レジストＡであっても、確実に分離可能となる。
【００３５】
▲９▼そして、このレジスト回収装置１０は、回収槽１６を備えている。→そこで、上述により分離，回収された剥離液Ｂは、感光性レジストＡの混入が殆ど防止されているので、回収槽１６に流下，貯留された後、→ポンプ３６や配管３７を介し剥離装置１１へと、何ら問題なく、再使用のため循環供給される。
又、このレジスト回収装置１０では、分離，回収された剥離液Ｂは、感光性レジストＡが殆ど混入していないので、→性能低下が少なく、新鮮な剥離液Ｂの補充頻度や新たな剥離液Ｂへの交換頻度も、減少する。
更に、混入した感光性レジストＡが白濁化・エマルジョン化，クリーム状化・のり状化して、沈殿，付着する問題も発生せず、→清掃作業の手間と時間が軽減される。
又、このレジスト回収装置１０は、フィルター３（この種従来例の図３を参照）を使用せず、上述したように自然な形で、感光性レジストＡを分離，捕集するので、→構成部材の交換頻度も低い。
【００３６】
【発明の効果】
《本発明の特徴》
本発明に係るレジスト回収装置は、以上説明したように、所定のネット板，流れ規制板，傾斜板，プレート板等を備えた前段分離機構と、所定のスクリューコンベヤ，筒ネットを備えた後段分離機構とを、採用したことを特徴とする。
そこで、本発明のレジスト回収装置は、次の効果を発揮する。
【００３７】
《第１の効果》
第１に、剥離液と感光性レジストとが、確実に分離，回収され、剥離液を問題なく再使用することができる。
すなわち、本発明のレジスト回収装置では、混合物について、まず前段分離機構にて、感光性レジストが多く浮遊している上部側を除き、感光性レジストの少ない下部側から剥離液を分離，回収してから、次に、後段分離機構に流下させて、圧縮搬送により、更に残っていた剥離液を分離，回収した後、最後に、感光性レジストを捕集，回収する。
このようにして、剥離液と感光性レジストが、自然な形でスムーズかつ確実に分離，回収される。もって、最近の回路の微細化に伴い微細化された感光性レジストの場合でも、剥離液のみを確実に分離，回収できるようになる。
そこで、フィルター式や網目ドラム式の前述したこの種従来例のレジスト回収装置のように、回収された剥離液中に、多量の感光性レジストが混入してしまうことは、防止される。分離，回収された剥離液は、剥離装置に供給して、問題なく再使用，循環利用可能である。
【００３８】
《第２の効果》
第２に、もって剥離液の交換頻度等が低くなると共に、清掃作業も簡単容易化される。
すなわち、本発明のレジスト回収装置では、上述したように、剥離液と感光性レジストとが、確実に分離，回収される。そこで、回収された剥離液は、性能低下も少なく、フィルター式や網目ドラム式の前述したこの種従来例のレジスト回収装置に比し、剥離液の補充頻度や交換頻度が、大幅に減少する。
更に、前述したこの種従来例のように、循環して再使用される剥離液中に混入していた感光性レジストが、沈殿，付着する問題も発生しなくなる。
もって、沈殿，付着した感光性レジストを除去する、面倒で手間と時間を要する清掃作業の頻度も大幅に少なくなり、実施される清掃作業自体も、大幅に簡単容易化される。
【００３９】
《第３の効果》
第３に、フィルター交換の問題も解消される。すなわち、本発明のレジスト回収装置は、前述したフィルター式のこの種従来例のように、フィルターを用いて感光性レジストを分離，捕集する方式によらないので、フィルターの目詰まり問題は発生せず、フィルター交換コストの問題も解消される。
つまり、フィルターによる濾過方式ではなく、より自然な形で機構的に感光性レジストを分離，捕集する方式を採用したので、構成部材の交換頻度が大幅に減少し、維持コスト面にも優れている。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るレジスト回収装置について、発明の実施の形態の説明に供し、剥離装置と共に示した正断面説明図である。
【図２】同発明の実施の形態の説明に供し、側断面説明図である。
【図３】この種従来例の説明に供する、正断面説明図である。
【図４】基板（材）の模式化した平面説明図である。
【符号の説明】
１  剥離装置（従来例のもの）
２  レジスト回収装置（従来例のもの）
３  フィルター
４  剥離室（従来例のもの）
５  液槽
６  ポンプ
７  配管
８  スプレーノズル
９  ローラーコンベヤ
１０  レジスト回収装置（本発明のもの）
１１  剥離装置（本発明のもの）
１２  剥離室（本発明のもの）
１３  回収室
１４  前段分離機構
１５  後段分離機構
１６  回収槽
１７  ネット板
１８  流れ規制板
１９  傾斜板
２０  プレート
２１  仕切り床板
２２  排出口
２３  供給管
２４  受入口
２５  回収孔
２６  スクリューコンベヤ
２７  筒ネット
２８  回収孔
２９  外筒
３０  回転軸
３１  スクリュー
３２  駆動部
３３  開口部
３４  導管
３５  回収ボックス
３６  ポンプ
３７  配管
３８  ヒーター
Ａ  感光性レジスト
Ｂ  剥離液
Ｃ  基板材
Ｄ  混合物
Ｅ  基板
Ｆ  回路
Ｇ  流れ方向
Ｈ  搬送方向
Ｐ  泡
【図１】
2004325502.tif 000003
【図２】
2004325502.tif 000004
【図３】
2004325502.tif 000005
【図４】
2004325502.tif 000006