(57)【要約】【課題】電力機器の劣化の原因は、電力機器を構成する材料自体に発生するマイグレーション、クラック、ピンホールが原因と予測されているが、実際に使用電力機器でこれらの欠陥を直接観察したり、その成長過程や進行状況を把握することが困難であり、寿命予測も難しいものとなっていた。【解決手段】電力機器用Ｘ線断層像検査装置は、穴部を有する基体上に移動自在に配置され、垂直軸の回りに回転すると共に、上記垂直軸に対して、ほぼ水平に配設された電力機器を搭載する載置台と、Ｘ線を発生すると共に、上記Ｘ線の光軸が上記垂直軸に対して傾斜するように配置されたＸ線発生部と、上記載置台に載置された電力機器を透過したＸ線像を光学像に変換する手段と、上記光学像を回転する手段と、上記回転された光学像を電気信号に変換する手段と、上記電気信号を処理してＸ線断層像を得る制御装置からなり、上記制御装置は、上記載置台の動きを制御すると共に、上記Ｘ線発生部のＸ線の発生を上記電力機器のＸ線断層像に適するように制御するように構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴部を有する基体上に移動自在に配置され、垂直軸の回りに回転すると共に、上記垂直軸に対して、ほぼ水平に配設され、ＸＹテーブルと回転テーブルとからなる電力機器を搭載する載置台と、Ｘ線を発生すると共に、上記Ｘ線の光軸が上記垂直軸に対して傾斜するように配置されたＸ線発生部と、上記載置台に載置された電力機器を透過したＸ線像を光学像に変換する手段と、上記光学像を回転する手段と、上記回転された光学像を電気信号に変換する手段と、上記電気信号を処理してＸ線断層像を得る制御装置からなり、かつ上記Ｘ線像を光学像に変換する手段、上記垂直軸と平行な回転軸を有し、上記光学像を上記回転テーブルと同期して回転する手段および上記回転された光学像を電気信号に変換する手段は、上記基体に設けられた穴部に設置され、上記制御装置は、上記載置台の動きを制御すると共に、上記Ｘ線発生部のＸ線の発生を上記電力機器のＸ線断層像に適するように制御することを特徴とする電力機器用Ｘ線断層像検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の電力機器用Ｘ線断層像検査装置において、上記制御装置は、上記Ｘ線発生部が軟Ｘ線を発生するように、上記Ｘ線発生部の電圧および電流を制御することを特徴とする電力機器用Ｘ線断層像検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の電力機器用Ｘ線断層像検査装置において、上記制御装置は、上記Ｘ線発生部に印加される電圧は、所定の一定電圧とし、上記Ｘ線発生部に印加される電流を適宜可変することを特徴とする電力機器用Ｘ線断層像検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の電力機器用Ｘ線断層像検査装置において、更に、少なくとも上記基体と、上記基体上に載置された電力機器を搭載する載置台と、上記Ｘ線発生部と、上記Ｘ線像を光学像に変換する手段と、上記光学像を回転する手段および上記回転された光学像を電気信号に変換する手段とを収納した部屋を設け、上記部屋は、Ｘ線遮蔽部材で構成されると共に、上記収納した部屋と上記制御装置をＸ線断層像検査装置搭載車両に搭載し、移動可能としたことを特徴とする電力機器用Ｘ線断層像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電力機器用Ｘ線断層像検査装置に関し、特に、電力機器等の高電圧機器及び重量のある電力機器を非破壊により検査するＸ線断層像検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
各家庭、公共事業体、工場等へ供給される電力は、人里離れた発電所で発電され、昇圧され、市街地の近くの変電設備に送られ、ここで降圧され、更に、柱上変圧器で降圧され配電される。このような配電設備は、公共性が高く、このような配電設備に使用されている電力機器、例えば変圧器、碍子、避雷針部品等が万一故障すると、故障時の被害が極めて大きいことは言うまでもない。従って、故障を未然に防ぐためには、使用電力機器の寿命を、安全性を見込んで事前に設定し、それら電力機器が実際に劣化しているかどうかに関係無く交換を行っているのが現状である。例えば、高電圧トランスの場合、製造メーカの交換寿命は、５年と指定され、５年で交換を余儀なくされていた。また、このように使用電力機器の寿命を、安全性を見込んで事前に設定したとしても、これら電力機器の劣化の進行が予想したよりも早く、設定した寿命前に故障に到ることもあり、広範囲な停電事故を引き起こす原因にもなっていた。
【０００３】
このような電力機器の劣化の原因は、製造メーカや電力会社等で日夜究明の努力がなされているが、未だ明らかにはなっていない。また、原因究明のため、使用電力機器を直接検査することも考えられるが、例えば、使用電圧が３，０００Ｖの高圧で使用され、また、総重量も２００Ｋｇ以上もの重さがあり、簡単に検査を行うこともできないという問題もある。従って、従来、製造メーカの指定する期間で交換する以外に方法がなく、使用電力機器の交換コストも高いものとなっていた。
【０００４】
また、半導体等の欠陥を検査するＸ線断層像撮影装置は、従来から知られている（例えば、特許文献１参照）。しかし、従来の半導体等の欠陥を検査するＸ線断層像撮影装置は、検査対象物が極めて小さく、かつ、微細な内部構造の欠陥を検査する装置であって、大型で、重量の重い電力機器のような対象物を検査する装置は皆無であった。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−３１２７３５号公報（第３−５頁、図１−５）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らの研究によれば、このような電力機器の劣化の原因は、電力機器を構成する材料自体の劣化に起因することを見出した。この材料自体の劣化要因としては、変圧器を構成する巻き線の銅部材が絶縁樹脂の中に菌糸状に成長するマイグレーションや絶縁樹脂の中に発生するクラック、ピンホールが原因と予測されているが、実際に使用電力機器のマイグレーション、クラックあるいはピンホールを直接観察したり、その成長過程や進行状況を把握することが困難であり、寿命予測も難しいものとなっていた。
【０００７】
本発明の目的は、電力機器の劣化を直接観察することのできる電力機器用Ｘ線断層像検査装置を提供することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、非破壊で電力機器の劣化を観察することのできる電力機器用Ｘ線断層像検査装置を提供することである。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、移動可能な電力機器用Ｘ線断層像検査装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のＸ線断層像検査装置は、穴部を有する基体上に移動自在に配置され、垂直軸の回りに回転すると共に、上記垂直軸に対して、ほぼ水平に配設され、ＸＹテーブルと回転テーブルとからなる電力機器を搭載する載置台と、Ｘ線を発生すると共に、上記Ｘ線の光軸が上記垂直軸に対して傾斜するように配置されたＸ線発生部と、上記載置台に載置された電力機器を透過したＸ線像を光学像に変換する手段と、上記光学像を回転する手段と、上記回転された光学像を電気信号に変換する手段と、上記電気信号を処理してＸ線断層像を得る制御装置からなり、かつ上記Ｘ線像を光学像に変換する手段、上記垂直軸と平行な回転軸を有し、上記光学像を上記回転テーブルと同期して回転する手段および上記回転された光学像を電気信号に変換する手段は、上記基体に設けられた穴部に設置され、上記制御装置は、上記載置台の動きを制御すると共に、上記Ｘ線発生部のＸ線の発生を上記電力機器のＸ線断層像に適するように制御するように構成される。
【００１１】
また、本発明の電力機器用Ｘ線断層像検査装置において、上記制御装置は、上記Ｘ線発生部が軟Ｘ線を発生するように、上記Ｘ線発生部の電圧および電流を制御するように構成される。
【００１２】
また、本発明の電力機器用Ｘ線断層像検査装置において、上記制御装置は、上記Ｘ線発生部に印加する電圧は、所定の一定電圧とし、上記Ｘ線発生部に印加される電流を適宜可変するように制御するように構成される。
【００１３】
更に、本発明の電力機器用Ｘ線断層像検査装置においては、更に、少なくとも上記基体と、上記基体上に載置された電力機器を搭載する載置台と、上記Ｘ線発生部と、上記Ｘ線像を光学像に変換する手段と、上記光学像を回転する手段および上記回転された光学像を電気信号に変換する手段とを収納した部屋を設け、上記部屋は、Ｘ線遮蔽部材で構成されると共に、上記収納した部屋と上記制御装置をＸ線断層像検査装置搭載車両に搭載し、移動可能とするように構成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明を説明する前に、本発明に使用されるラミノグラフィ方式のＸ線断層撮影の原理を図２に従って説明する。図２において、固定されたＸ線源２１から放射状にＸ線２２が発生する。撮影対象となる対象物２３は、光軸２４に対して傾斜した回転軸２５の回りに回転する。検出器２６は、回転軸２５と平行な回転軸２７の回りに対象物２３と同期して回転する。光軸２４と回転軸２５の交点を含み、かつ、回転軸２５に垂直な平面（以下焦点面と称する）２８の投影像は、検出器２６により静止した像として検出されるが、焦点面２８以外の投影像は、回転している像として検出されるため、ぼやけて検出器２６に検出される。このため、焦点面２８以外、即ち、焦点面２８から離れた構造体の撮影像は、ぼけて検出され、焦点面２８上のＸ線断層像のみが鮮明に検出される。
【００１５】
次に、上記Ｘ線断層像撮影の原理を用いた本発明によるＸ線断層像検査装置の原理的構成を図３を用いて説明する。図３において、３１は、Ｘ線を発生するＸ線管、３２は、Ｘ線を発生するＸ線発生点、３３は、Ｘ線管３１から発生されたＸ線で、円錐状に照射されることを模擬的に示している。３４は、撮像面３５の中心位置とＸ線発生点３２とを結ぶＸ線３３の光軸を示す。３６は、Ｘ軸、Ｙ軸方向の移動機構で、Ｘ線の光軸３４に撮影したい対象物（試料）の部位の位置ぎめを調節するためのＸＹテーブルである。３７は、試料台であり、回転軸３８を回転軸として回転する回転テーブルである。この回転軸３８は、図２に示す回転軸２５に対応する。なお、ＸＹテーブル３６および回転テーブル３７には、断層面を変えるための回転面に垂直な方向の移動機構（図示せず）および幾何学的拡大を行う移動機構（図示せず）が設けられている。
【００１６】
３９は、撮影したい対象物であって、回転テーブル３７の上に固定されている。４０は、撮影したい対象物３９の断層面を示し、Ｘ線の光軸３４と回転テーブル３７の回転軸３８の交点を含む撮像面３５に平行な平面である。なお、この断層面４０は、上述した垂直な方向の移動機構により対象物３９の断層像を撮影したい部位に移動することができ、また、ＸＹテーブル３６により対象物のＸ方向、Ｙ方向の対象物の断層像を撮影したい部位に移動することができるように構成されている。
【００１７】
４１は、蛍光倍増管である。撮像面３５は、Ｘ線蛍光物質で形成されており、Ｘ線のエネルギーの強弱を可視光に変換する機能を有るが、この撮像面３５で変換される可視光は、微弱なため、蛍光倍増管４１で光の強さを増幅する機能を有する。また、撮像面３５は、電力機器のような大型の対象物、例えば、高圧トランスを対象とするような場合には、視野範囲のできるだけ大きいものが望まれる。現状では、蛍光面サイズが３００ｍｍφのものが市販されているので、これを使用できる。なお、このようなＸ線に感度を持つ撮像面３５を含む蛍光倍増管４１は、Ｘ線イメージインテンシファイアと呼ばれる。
【００１８】
４２は、像回転プリズムであり、像回転プリズムの回転軸４３を回転軸として像回転プリズム４２は回転する。なお、回転軸４３は、図２に示す回転軸２７に対応するが、回転速度と方向は、回転軸３８に対して等速逆方向に回転している。従って、像回転プリズム４２は、試料台である回転テーブル３７と等速逆方向に回転し、かつ回転テーブル３７の回転軸３８と像回転プリズム４２の回転軸４３は、平行に保たれるように構成されている。
【００１９】
４４は、映像蓄積型の撮像装置、例えば、テレビカメラで、撮像面３５に投射された対象物３９の断層像が蛍光倍増管４１で増幅され、像回転プリズム４２で像回転され、対象物３９の断層像がテレビカメラに撮影される。テレビカメラ４４で撮影された断層像は、映像信号に変換され、伝送路４５を経由して制御装置４６、例えば、制御用計算機に入力される。制御装置４６では、テレビカメラ４４で撮影された断層像が映像信号として制御装置４６の内部の記録装置（図示せず）に記録されると共に、必要により表示装置４７に対象物の断層像が表示される。また、制御装置４６は、対象物３９の位置決めや断層像を撮影する対象物の部位を調節するために、ＸＹテーブル３６、回転テーブル３７、断層面を変えるための回転面に垂直な方向の移動機構（図示せず）および幾何学的拡大を行う移動機構（図示せず）等を制御する機能を有している。更に、制御装置４６は、後述するようにＸ線管３１から対象物３９に照射されるＸ線の強度、波長を制御するために管電圧、管電流が調整できるように構成されている。
【００２０】
而して、図３に示す構成において、対象物の断層像が撮影できる理由を以下に説明する。図２で説明したように、Ｘ線管３１のＸ線発生点３２から放射状にＸ線３３が放射され、撮影対象となる対象物３９を照射する。Ｘ線３３の光軸３４と回転テーブル３７の回転軸３８の交点を含む対象物３９の断層面４０（焦点面）の断層像が撮像面３５に投影される。撮像面３５に投影された断層像は、蛍光倍増管４１で増幅され、上記回転テーブル３７と等速逆方向に回転する像回転プリズム４２で断層像を逆回転させテレビカメラ４４に入射される。ここで回転軸３８に対してＸ線３３の光軸３４は、傾斜しているため、撮像面３５への断層面４０の投影像は、テレビカメラ４４により撮影される断層像は、静止した像として撮影されるが、断層面４０以外の投影像は、回転している像として検出されるため、ぼやけて断層像として検出される。
【００２１】
次に、本発明の実施例を説明する前に、上述した電力用機器に本発明のＸ線断層像検査装置が極めて適していることについて説明する。Ｘ線は、加速された電子ビームが金属のターゲットに衝突する際に発生する電磁波で、その波長は、０．０００１Å〜１０Å（１Å＝１×１０−１０ｍ）の範囲にある。従って、Ｘ線は、可視光線や紫外線よりも非常に短い波長を持っているため、Ｘ線投影法による非破壊検査に極めて適している。しかし、従来、Ｘ線断層像撮影法による非破壊検査が使用される分野は、半導体の欠陥検査や配線パターンの検査というような微細な部品の検査であった。
【００２２】
それに対して、本発明の適用する電力用機器は、上述したように、変圧器、碍子、避雷針部品等の極めて大きく、また、重量のあるもので、このようなものにＸ線断層像撮影法による非破壊検査装置が使用できるかどうかの知見は、皆無であった。本発明者らは、実験を繰り返し、以下のような知見を得た。即ち、Ｘ線の線質には、物質の透過しやすさを表現する度合いがあり、軟Ｘ線は、物質を透過しにくく減衰が大きいＸ線で、波長は長い。硬いＸ線は、物質を透過しやすく減衰が小さいＸ線であるが、波長は短い。この関係は、表１の通りである。
【００２３】
【表１】
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上記の特性からＸ線による投影を行なう際には、次のように考えられる。投影する対象物が薄かったり、質量の軽い対象物の場合、硬いＸ線を用いると減衰が少なく、対象物の厚さの差が出にくいコントラストのない撮影像となる。逆に、対象物が厚く、質量の重い物質の場合に軟Ｘ線を用いるとＸ線が透過しない。従って、Ｘ線による断層像撮影を行なう場合、対象となる電力機器によってＸ線を発生させる管電圧を適切に選定する必要があることが見出され、電力機器である変圧器に使用されている絶縁樹脂の内部の状態、即ち、マイグレーション、クラックあるいはピンホール等を観察するには、軟Ｘ線領域を用いるのが効果的であることをつきとめた。
【００２４】
実験によると、Ｘ線を発生するＸ線管の管電流と管電圧に対するＸ線の強度との関係は、図４、図５に示す通りである。図４は、管電流が一定の場合のＸ線の強さ（Ｉ）と波長λとの関係を示す図、図５は、管電圧が一定の場合のＸ線の強さ（Ｉ）と波長λとの関係を示す図である。図４から明らかなように、管電圧を高くすると波長の短い硬いＸ線が多くなり（図４の斜線で示す部分）、対象物を透過した時に減衰が少なくコントラストの弱い透過画像になり、断層像としては不適である。従って、図５に示すように透過する対象物の種類により管電圧を設定したら管電流を調節してＸ線強度を変え、観察しやすい透過象の明るさを調節する必要があることを示している。従って、本発明者らは、この知見にしたがい、図３に示す制御装置４６によりＸ線管の管電圧および管電流を制御して、軟Ｘ線を発生する管電圧（図５に示す）に設定し、管電流を調整することによりＸ線強度を変え、観察しやすい断層像を得るように調節した。
【００２５】
次に、本発明の一実施例を図１を用いて説明する。１は、Ｘ線２を放射状に発生するＸ線管で、変圧器を構成する樹脂絶縁部材のマイグレーション、クラックあるいはピンホール等を観察するために軟Ｘ線を発生するＸ線管である。３は、撮像ユニットで、詳細は、省略してあるが、図３に示す撮像面３５、蛍光倍増管４１、像回転プリズム４２および映像蓄積カ型の撮像装置４４から構成されている。４は、ＸＹテーブルでこの上に高圧トランスのような検査対象物が設置され、対象物体をＸ方向、Ｙ方向に移動するのに用いられる。６は、回転軸受け機構部でＸＹテーブル４およびＸＹテーブルに載せられた検査対象物を回転軸７（図２の回転軸２５に相当する）を中心にして回転させるものである。なお、駆動部分等は省略されて示してある。８は、床のような土台であり、２００Ｋｇ以上もある高圧変圧器の非破壊検査のためのＸ線断層像検査装置を設置するに十分な強度を持つよう構成されている。９は、土台８に設けられた穴部で、撮像ユニット３を配置するためのものである。１０は、床面を示す。特に、回転軸受け機構部６でＸＹテーブル４およびＸＹテーブルに載せられた電力機器のような重量物を回転軸７を中心にして回転させるものであるため、極めて安定に回転させられるように回転軸受け機構部６、ＸＹテーブル４は、床面１０と共に、ほぼ水平に配置される。
【００２６】
而して、本発明のＸ線断層像検査装置は、Ｘ線管１を土台８の上方に配置し、撮像ユニット３は、土台８に設けられた穴部９内部に配置される。検査対象物を載置する試料台（ＸＹテーブル４に相当する）は、この間に配置するが、本装置の場合、極めて重量の大きい変圧器等を載置するため、試料台が床面またはそれと同等な強度を持つ架台の上に設置するものとする。
【００２７】
また、試料台の回転軸受け機構６は、床面に埋め込まれる構造とし、ＸＹテーブル４は、床面上を移動する機構とする。これは、重量物を測定対象とするために工夫された構造であり、重量物の取付、重量を支える試料台、即ち、ＸＹテーブル４、回転軸受け機構６の作成を容易にするためである。撮像ユニット３は、床面１０より下に配置され、撮像ユニット３の像回転プリズム（図３の像回転プリズム４２に対応する）と試料台の回転軸７を一致させるためのＸＹ方向の調整機構（図示せず）を持つ。
【００２８】
以上のように本発明のＸ線断層像検査装置は、上述したように構成されているので、変圧器のような重量物の内部を非破壊で容易に検査できるＸ線断層像検査装置を実現することができ、従来非破壊で検査が不可能であった変圧器の内部の絶縁物の欠陥、例えば、マイグレーション、クラックあるいはピンホール等を容易に検査できるようになった。
【００２９】
次に、本発明のＸ線断層像検査装置を用いて非破壊で高圧トランスの内部を検査した検査結果について説明する。図６は、高圧変圧器として使用されるエポキシモールド変圧器の一部分の断面形状を示す。図６において、６１は、エポキシモールド変圧器の一部分の断面形状を示し、６２は、ブロック分割された銅線のコイルブロック、６３は、コイル部分を絶縁するためにモールドされたエポキシ樹脂層である。６４は、エポキシモールド変圧器の一部分６１の円形部分の拡大図を示すもので、６５は、銅線、６６は、エポキシ樹脂層である。このエポキシモールド変圧器を図１に示すＸ線断層像検査装置の試料台、即ち、ＸＹテーブル４に載置し、透視したときの断層像写真を図７および図８に示す。なお、本検査においては、図３で説明したと同様に、Ｘ線管１の管電圧、管電流は、制御装置（図１では図示せず。図３の制御装置４６に対応する）で調整される。
【００３０】
図７は、Ｘ線管１の管電圧７０ＫＶ、管電流８０μＡで透視した場合のエポキシモールド変圧器の一部分の断層像写真である。図７において、７１は、銅線、７２は、エポキシ樹脂層で、２層に見える部分は、樹脂の種類が異なるためである。この写真からも分かるように、エポキシ樹脂層７２の部分に樹脂が流れたような形跡が認められる。これはモールド形成時に、エポキシ樹脂を注入したときにできたものと考えられる。
【００３１】
図８は、図７と同様に、Ｘ線管の管電圧７０ＫＶ、管電流８０μＡで透視した場合のエポキシモールド変圧器の一部分の別の場所の断層像写真である。図８において、８１は、銅線、８２は、エポキシ樹脂層で、２層に見える部分は、樹脂の種類が異なるためである。この写真からも分かるように、矢印で示す部分にクラックのようなものが発生していることが認められる。これは、変圧器の欠陥であって、これが認められると、変圧器を交換しないと事故を引き起こすことが考えられる。
【００３２】
以上説明したように、本発明のＸ線断層像検査装置は、図７、図８で示すように、高圧トランスを非破壊で内部の状況を観察できるため、電力機器のような重量物の検査を非破壊で行なうことができることが分かる。
【００３３】
次に、本発明の他の一実施例を図９を用いて説明する。図９は、図１に示すＸ線断層像検査装置を自動車等の移動可能な車両に搭載した場合を示している。電力機器等の高圧変電機器は、前述したように変電所や柱上に固定され、容易には移動できない。しかも、検査の為に取り外し、検査場所まで運搬し、検査した後、再設置するなどの作業には、多大な時間と労力が必要になる。このような場合、移動可能なＸ線断層像検査装置であれば、極めて利用価値が高い。本実施例は、これを実現する極めて有用な装置である。
【００３４】
図９において、図１に示すＸ線断層像検査装置と同じものには同じ符号が付されている。９１は、Ｘ線断層像検査装置を搭載するためのＸ線断層像検査装置搭載車両である。９２は、搭載されたＸ線断層像検査装置の制御部を設置するための制御室ある。９３は、制御室９２内に設置されたＸ線断層像検査装置の制御部である。９４は、鉛で構成されたＸ線遮蔽壁であり、Ｘ線断層像検査装置から発生するＸ線を外部に漏れないようにするためのもので、四方がこの遮蔽壁で構成されている。従って、制御室９２は、Ｘ線遮蔽室９４の外側にある。また、Ｘ線遮蔽壁の外部にＸ線が漏洩しないように、Ｘ線管理区域がＸ線遮蔽室内のみとなるように設計され、各扉にはＸ線照射にたいしてインターロックが設けられている。このＸ線断層像検査装置搭載車両９１は、検査対象物の変圧器等が設置してあるところまで移動し、そこでＸＹステージ４の上に測定すべき変圧器等を載置し、Ｘ線管１からＸ線を照射し、その断層映像を撮像ユニット３で撮影し、制御部９３の蓄積装置に蓄積する。
【００３５】
なお、Ｘ線断層像検査装置の制御部９３は、撮像ユニット３で撮像されたＸ線透過画像を蓄積装置に蓄積する機能の他に、必要に応じて、電子データとして解析し、高圧変電機器の材料劣化を解析する機能や、解析結果を保存あるいは管理する機能も有していることは言うまでもない。また、Ｘ線透過画像の電子データは、公衆回線（例えば、ＡＤＳＬ）により電力会社の基地局に送ることも可能である。
【００３６】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載されたＸ線断層像検査装置あるいは、Ｘ線断層像検査装置搭載車両の実施例に限定されるものではなく、上記以外に、非破壊により電力機器等の内部を検査する装置に広く適応することが出来ることは、言うまでも無い。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、従来、電力機器等の高電圧機器、重量物の内部の劣化を直接検査する方法がなく、また、電力機器の劣化の原因が絶縁樹脂のマイグレーション、クラックあるいはピンホール等によるものと考えられていたが、これを直接検査する方法が今まで実現されていなかった。本発明は、電力機器の劣化を非破壊で直接観察することのできる電力機器用Ｘ線断層像検査装置を実現し、更に、移動可能な電力機器用Ｘ線断層像検査装置を実現したことにより、定期的に電力機器の検査が可能となり、使用電力機器の交換コストも安く、しかも大事故を未然に防ぐことができる等極めて有用なＸ線断層像検査装置を実現した。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】本発明の原理を説明するための図である。
【図３】本発明の原理的構成を示す図である。
【図４】本発明の動作を説明するための管電流一定の場合のＸ線強度を示す図である。
【図５】本発明の動作を説明するための管電圧一定の場合のＸ線強度を示す図である。
【図６】本発明の検査に使用された高圧トランスの一部の断面図を示す図である。
【図７】本発明の検査結果の断層像の一例を示す図である。
【図８】本発明の検査結果の他の断層像の一例を示す図である。
【図９】本発明の他の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
１：Ｘ線管、２、３３：Ｘ線、３：撮像ユニット、４：ＸＹステージ、６：回転軸受け機構、７：回転軸、８：土台、９：土台にあけられた穴部、１０：床面、３１：Ｘ線管、３２：Ｘ線発生点、３４：光軸、３５：撮像面、３６：ＸＹ移動機構、３７：回転テーブル、３８：回転テーブルの回転軸、３９：対象物、４０：断層面、４１：蛍光倍増管、４２：像回転プリズム、４３：像回転プリズムの回転軸、４４：映像蓄積型の撮像装置、４６：制御装置、４７：表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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