(57)【要約】【課題】熱媒体の流路がマイクロチャネル化された熱輸送装置において、熱媒体の圧力損失を低減させ、さらに製作コストを低減する。【解決手段】流体が流れる流路１０３〜１８３を備え、前記流体を介して熱源２００の熱を高温側から低温側に輸送する熱輸送装置において、流路１０３〜１８３内における熱源の近傍に、流路１０３〜１８３の大きさを他の部位より小さくしたマイクロチャネルを形成する。複数の貫通孔が平行して形成されたチューブ形状のアルミニウム部材を用いた場合には、貫通孔が流路１０３〜１８３を構成し、熱源の近傍に外力を加えることにより圧縮してマイクロチャネルを形成する。あるいは、流路１０３〜１８３内における熱源の近傍に、１以上の管状部材もしくは１以上の棒状部材、または空隙を有する金属を配置してマイクロチャネルを形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路（１０３〜１８３）を備え、前記流体を介して熱源（２００）の熱を高温側から低温側に輸送する熱輸送装置であって、
前記流路内における前記熱源の近傍には、前記流路の大きさを他の部位より小さくしたマイクロチャネルが形成されていることを特徴とする熱輸送装置。
【請求項２】
複数の貫通孔が平行して形成されたチューブ形状のアルミニウム部材からなり、前記貫通孔が前記流路の少なくとも一部を構成していることを特徴とする請求項１に記載の熱輸送装置。
【請求項３】
前記マイクロチャネルは、前記流路における前記熱源の近傍に外力を加えることにより圧縮して形成することを特徴とする請求項１または２に記載の熱輸送装置。
【請求項４】
前記マイクロチャネルは、前記流路内における前記熱源の近傍に、１以上の管状部材あるいは１以上の棒状部材を配置して形成することを特徴とする請求項１または２に記載の熱輸送装置。
【請求項５】
前記マイクロチャネルは、前記流路内における前記熱源の近傍に、前記流体の流れ方向において一端から他端まで連通した空隙を有する金属を配置して形成することを特徴とする請求項１または２に記載の熱輸送装置。
【請求項６】
前記空隙を有する金属は、発泡金属、焼結金属あるいは溶射して形成した金属のいずれかであることを特徴とする請求項５に記載の熱輸送装置。
【請求項７】
前記流体の流れは、所定の周期と所定の振幅を有する往復流であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の熱輸送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱媒体の流路がマイクロチャネル化された熱輸送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高熱流束の発熱体から効果的に放熱するためには、熱媒体（水、空気等）との熱伝達率を向上させることが重要である。熱伝達率を向上させるためには、熱媒体の流路をマイクロチャネル化（微細化）することで可能となる。現在、マイクロチャネルの研究は多くの研究機関等で行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マイクロチャネルは熱伝達率が高い半面、流路面積が小さいため圧力損失が大きい。このため、熱媒体を流路に循環させるために高出力のポンプが必要となるという問題がある。
【０００４】
また、マイクロチャネルの製作は通常、切削もしくはエッチングにより行われるが、これらの方法ではマイクロチャネルの製作コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑み、熱媒体の流路がマイクロチャネル化された熱輸送装置において、熱媒体の圧力損失を低減することを目的とする。さらに、マイクロチャネルを備える熱輸送装置の製作コストを低減することを他の目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、流体が流れる流路（１０３〜１８３）を備え、流体を介して熱源（２００）の熱を高温側から低温側に輸送する熱輸送装置であって、流路内における熱源の近傍には、流路の大きさを他の部位より小さくしたマイクロチャネルが形成されていることを特徴としている。
【０００７】
このように、熱輸送装置における流路の一部のみをマイクロチャネル化することで、熱輸送装置の製作コストを抑えることができる。また、流路の一部をマイクロチャネル化する際に、熱流束が高い熱源近傍の流路をマイクロチャネル化することで、熱源から効果的に放熱することができる。また、流路の一部のみをマイクロチャネル化しているので、圧力損失の増大を抑えることができ、流体の駆動手段の省動力化を図ることができる。なお、流路をマイクロチャネル化する「熱源の近傍」とは、熱輸送装置において熱源に対応する位置及び大きさの箇所を意味するが、熱源より若干大きい場合や若干小さい場合を含む。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明では、複数の貫通孔が平行して形成されたチューブ形状のアルミニウム部材からなり、貫通孔が流路を構成していることを特徴としている。このような安価なアルミニウム部材を用いることで、低コストで熱輸送部材を製作することができる。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明では、マイクロチャネルは、流路における熱源の近傍に外力を加えることにより圧縮して形成することを特徴としている。これにより、切削等によりマイクロチャネルを形成する場合に比較して低コストでマイクロチャネルを形成できる。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明のように、マイクロチャネルは、流路内における熱源の近傍に、１以上の管状部材あるいは１以上の棒状部材を配置して形成することができる。さらに、請求項５に記載の発明のように、マイクロチャネルは、流路内における熱源の近傍に、流体の流れ方向において一端から他端まで連通した空隙を有する金属を配置して形成することができる。これらによっても、切削等によりマイクロチャネルを形成する場合に比較して低コストでマイクロチャネルを形成できる。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明ように、空隙を有する金属は、発泡金属、焼結金属あるいは溶射して形成した金属のいずれかとすることができる。
【００１２】
また、請求項７に記載の発明では、流体の流れは、所定の周期と所定の振幅を有する往復流であることを特徴としている。このように振動流を用いた場合には、流体の周波数や振幅を制御することで、熱輸送性能の調整を容易に広範囲で行うことができる。
【００１３】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図１〜図４を用いて説明する。本実施形態は、本発明の熱輸送装置を電子部品の冷却装置に適用したものである。
【００１５】
図１は本第１実施形態の熱輸送装置１００を備える熱輸送システム１の全体構成を示す概念図であり、図２は図１において熱輸送装置１００を発熱体（熱源）２００の搭載面方向からみた断面構成を示している。
【００１６】
図１に示すように、熱輸送システム１は、高熱流束の発熱体２００から放熱する熱輸送装置１００と、熱輸送装置１００に流体（熱媒体）を循環させる循環ポンプ３００とを備えている。発熱体２００としては、通信基地局のアンプやＩＧＢＴ等のパワー素子、ＣＰＵ等といった作動時に高温を発生する電子部品を好適に用いることができる。
【００１７】
なお、本第１実施形態では、熱輸送装置１００の材質として、熱伝導性の高い金属であるアルミニウムや銅を好適に用いることができ、本第１実施形態ではアルミダイカストを用いている。また、熱輸送装置１００の材質として樹脂材料を用いることもでき、この場合には熱輸送装置１００をフレキシブルな形状にできるので、複雑な形状の部位への組み付け性が向上する。
【００１８】
熱輸送装置１００は、発熱体２００と接触している部位が受熱部１０１として構成されている。また、本第１実施形態の熱輸送装置１００では、発熱体２００の搭載面の反対側の全面に放熱部（放熱フィン）１０２が形成されている。熱輸送装置１００は、受熱部１０１にて高温の発熱体２００から熱を受け取り、受熱部１０１で受け取った熱を放熱部１０２にて外部に放出する。受熱部１０１から放熱部１０２への熱の移動は流体（熱媒体）を介して行われる。流体としては、水やＬＬＣ（不凍液）を用いることができる。
【００１９】
発熱体２００の熱を流体に伝える受熱部１０１は、熱輸送装置１００の発熱体２００に対応する位置において、発熱体２００と同じ大きさに設定されている。受熱部１０１は、発熱体２００より若干大きくても若干小さくてもよいが、熱伝達をよくするためには発熱体２００より大きい方が望ましい。
【００２０】
図２に示すように、熱輸送装置１００の内部には複数の流路１０３が平行して形成されている。本第１実施形態では、流路１０３の長さは２００ｍｍ程度であり、発熱体２００の全長は３０ｍｍ程度である。熱輸送装置１００の流路１０３は、幅（流体流れ方向に直交する長さ）が数ｍｍ程度（本例では１〜２ｍｍ）に形成されている。本第１実施形態の循環ポンプ（流体駆動手段）３００は流体を一方向に循環させるように構成されており、熱輸送装置１００のすべての流路１０３で流体が同じ方向（図２中の右→左）に流れる。
【００２１】
図３は熱輸送装置１００の断面構成を示しており、図３（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、図３（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図である。図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、受熱部１０１の各流路１０３には複数のマイクロチャネル形成部１０４が流体流れ方向に平行して設けられている。本第１実施形態のマイクロチャネル形成部１０４は薄板状に形成されている。受熱部１０１では、マイクロチャネル形成部１０４により流路１０３が微細化され、マイクロチャネルが形成される。なお、本明細書中において「マイクロチャネル」とは、幅が１ｍｍ以下に微細化された流路をいうものとする。
【００２２】
流路面積を微細化するほど伝熱面積が拡大するとともに、水力直径（代表直径）が小さくなるため、熱伝達率が大きくなるが、微細化しすぎると圧力損失が大きくなる。このため、マイクロチャネルの幅は０．１〜０．５ｍｍの範囲内にすることが望ましい。本第１実施形態では、受熱部１０１に０．３ｍｍ幅のマイクロチャネルを形成している。
【００２３】
図４は、熱輸送装置１００におけるマイクロチャネルの形成工程を示している。図４（ａ）、図４（ｂ）ともに図３（ａ）と同様の断面図である。
【００２４】
図４（ａ）に示すように、熱輸送装置１００は、蓋部１０５とベース部１０６とを備えている。蓋部１０５における受熱部１０１に対応する部位には、マイクロチャネル形成部１０４が一体的に形成されている。本第１実施形態のマイクロチャネル形成部１０４は、薄板状に形成されている。ベース部１０６は、流路１０３を構成する溝部１０７が形成されたアルミダイカストである。
【００２５】
図４（ｂ）に示すように、蓋部１０５のマイクロチャネル形成部１０４がベース部１０６の溝部１０７にはまり込むように、ベース部１０６に蓋部１０４を装着する。蓋部１０４と溝部１０７とが接触する部位は、ロウ付け、溶接、接着等により接合される。これにより、受熱部１０１に対応する流路１０３はマイクロチャネル形成部１０４により微細化され、マイクロチャネルが形成される。
【００２６】
上記構成の熱輸送システムにおける熱の移動は、次の通りである。まず、発熱体２００で発生した熱は、熱輸送装置１００における受熱部１０１に伝わる。受熱部１０１では、マイクロチャネル形成部１０４から流体に熱が伝わる。流体は流路１０３内を移動して放熱部１０２に熱を伝え、放熱部１０２では熱を外部に放出する。
【００２７】
以上のように、熱輸送装置１００における流路１０３の一部のみをマイクロチャネル化することで、製作コストを抑えることができる。流路１０３の一部をマイクロチャネル化する際に、熱流束が高い発熱体２００近傍の流路１０３をマイクロチャネル化することで、発熱体２００から効果的に放熱することができる。また、流路１０３の一部のみがマイクロチャネル化されているので、圧力損失の増大を抑えることができ、ポンプ３００の省動力化を図ることができる。
【００２８】
また、ベース部１０６に溝部１０７が形成されたアルミダイカストを用いることで、切削により溝を形成する場合に比較して製作コストを低減できる。
【００２９】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を図５を用いて説明する。本第２実施形態は、上記第１実施形態に比較して、熱輸送装置の流路構成が異なるものである。以下、上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００３０】
図５は、本第２実施形態の熱輸送システム２の全体構成を示しており、上記第１実施形態における図２に対応している。図５に示すように、本第２実施形態の熱輸送装置１１０は、流体が内部でＵターンして流れるように構成されている。すなわち、図５において熱輸送装置１１０の右端から流入した流体は、右側から左側に流れた後、左端で折り返し、右端から流出する。
【００３１】
このような構成においても、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３２】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態を図６、図７を用いて説明する。本第３実施形態は、上記第１実施形態に比較して、熱輸送装置の流路構成とポンプの構成が異なるものである。以下、上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００３３】
図６は本第３実施形態の熱輸送装置１２０を備える熱輸送システム３の全体構成を示す概念図であり、図７は図６において熱輸送装置１２０を発熱体２００の搭載面方向からみた断面構成を示している。図６は図１に対応し、図７は図２に対応している。
【００３４】
図６、図７に示すように、本第３実施形態では、熱輸送装置１２０内部で流体を移動させるポンプとして振動ポンプ３１０を用いている。振動ポンプ３１０は、例えば電磁力等により往復運動するピストンを内部に有しており、熱輸送装置１２０の流路１２３内の流体に振動流を発生させるものである。本第３実施形態の振動ポンプ３１０は、流体を振動させる際の周期および振幅を任意に設定できる。流体の振幅は熱輸送性能の点から発熱体２００の全長の３倍以上程度が望ましく、本第３実施形態では、発熱体２００の全長が３０ｍｍ程度に対して、流体の振幅を１００ｍｍ程度に設定している。
【００３５】
図７に示すように、本第３実施形態の熱輸送装置１２０では、流路１２３が蛇行するように形成されている。具体的には、複数の流路１２３が平行して形成され、隣り合う流路１２３は一端で連通している。隣り合う流路１２３では流体の流れ方向が逆になっている。
【００３６】
このような振動流を利用した熱輸送装置では、流体は振動により、受熱部１２１にて発熱体２００から熱を受け取る第１の点から放熱部１２２に熱を伝える第２の点まで移動する。これにより発熱体２００の熱は、第１の点から第２の点まで「蛙飛び」のように移動することとなる。こうした熱の移動は、振動によって付加的に起こるものである。流体の振動数が多くなれば単位時間当たりに起こる「蛙飛び」回数が増え、振幅が大きくなると「蛙飛び」距離が増える。このため、振動による熱の付加的移動は、流体の振幅や周期の増加とともに増える。
【００３７】
したがって、流体の振動流の周期を速くすると熱輸送性能を高くすることができ、周期を遅くすると熱輸送性能を低くすることができる。同様に、流体の振動流の振幅を大きくすると熱輸送性能を高くすることができ、振幅を小さくすると熱輸送性能を低くすることができる。このように、振動流を用いた熱輸送装置１２０では、流体の周波数や振幅を制御することで、熱輸送性能の調整を容易に広範囲で行うことができる。
【００３８】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態を図８を用いて説明する。本第４実施形態は、上記第３実施形態に比較して、熱輸送装置の構成が異なるものである。以下、上記第３実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００３９】
図８は本第４実施形態の熱輸送装置１３０を備える熱輸送システム４の全体構成を示す概念図であり、上記第３実施形態の図６に対応している。図８に示すように、本第４実施形態の熱輸送装置１３０は、受熱部１３１と放熱部１３２とが分離して形成されている。具体的には、発熱体２００から熱を受け取る受熱部１３１は熱輸送装置１３０の一端側（図８中の左端）に形成され、放熱部１３２は熱輸送装置１３０の他端側（図８中の右端）に形成されている。放熱部１３２は、熱輸送装置１３０における発熱体２００の搭載面の反対側のみならず、発熱体２００の搭載面側にも形成されている。
【００４０】
このような構成においても、上記第３実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４１】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態を図９、図１０を用いて説明する。本第５実施形態は、上記第１実施形態に比較してマイクロチャネルの形成方法が異なるものである。以下、上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００４２】
図９、図１０は、熱輸送装置１４０、１５０の断面構成を示しており、上記第１実施形態の図４（ｂ）に対応している。図９、図１０に示すように、本第５実施形態では、発熱体２００に接する側にベース部１４６、１５６が配置され、発熱体２００の反対側に蓋部１４４、１５４が配置されている。蓋部１４４、１５４に放熱部１４２、１５２が形成されている。
【００４３】
図９、図１０に示すように、本第５実施形態のマイクロチャネル形成部１４５、１５５は、蓋部１４４、１５４と別体に構成された棒状部材（細棒）を用いている。図９は流路１４３に１本の棒状部材１４５を挿入した例を示し、図１０は流路１５３に２本の棒状部材１５５を挿入した例を示している。棒状部材１４５、１５５は長手方向が流体流れ方向に沿って挿入される。
【００４４】
このように、流路１４３、１５３に棒状部材１４５、１５５を挿入することで、容易に流路１４３、１５３を微細化してマイクロチャネルを形成することができる。なお、蓋部１４４、１５４をベース部１４６、１５６に固定する際、棒状部材１４５、１５５が少しつぶれる程度に圧縮して固定することが望ましい。これにより、棒状部材１４５、１５５をベース部１４６、１５６に対して熱接触させて固定することができ、熱伝達率を向上させることができる。また、棒状部材１４５、１５５に代えて、中空の管状部材（細管）を用いても同様の効果を得ることができる。
【００４５】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態を図１１を用いて説明する。本第６実施形態は、上記第１実施形態に比較して、熱輸送装置の構成が異なるものである。上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００４６】
図１１は本第６実施形態の熱輸送装置１６０の構成を示しており、図１１（ａ）は熱輸送装置１６０の平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図１１（ｃ）は図１１（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。なお、図１１では放熱部の図示を省略している。
【００４７】
本第６実施形態の熱輸送装置１６０は、アルミ押し出しチューブ（アルミ多穴管）を用いている。アルミ押し出しチューブは、アルミニウムを目の字断面形状に押し出し成型して得られるもので、安価に製造可能な材料である。アルミ押し出しチューブ１６０には複数の貫通穴が平行して形成されており、これらが流体の流路１６３を構成している。貫通穴は幅１ｍｍ程度に形成されている。
【００４８】
本第６実施形態では、熱輸送装置１６０の受熱部１６１を横方向（図１１（ａ）における紙面上下方向）から圧縮することで、受熱部１６１の流路１６３を微細化してマイクロチャネル化している。
【００４９】
このように、熱輸送装置１６０として安価なアルミ押し出しチューブを用い、一部を圧縮して流路１６３をマイクロチャネル化することで、低コストで流路１６３がマイクロチャネル化した熱輸送装置１６０を得ることができる。
【００５０】
（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態を図１２、図１３を用いて説明する。本第７実施形態は、上記第６実施形態に比較して、熱輸送装置の構成が異なるものである。上記第６実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００５１】
図１２は本第７実施形態の熱輸送装置１７０の構成を示しており、図１２（ａ）は熱輸送装置１７０の平面図、図１２（ｂ）は熱輸送装置１７０の側面図、図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＤ−Ｄ断面図、図１２（ｄ）は図１２（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。なお、図１２では放熱部の図示を省略している。
【００５２】
本第７実施形態では、熱輸送装置（アルミ押し出しチューブ）１７０の受熱部１７１を縦方向（図１２（ｂ）における紙面上下方向）から圧縮することで、受熱部１７１の流路１７３を微細化してマイクロチャネル化している。
【００５３】
また、アルミ押し出しチューブの断面構成を図１３に示す例のように変更してもよい。図１３は受熱部１７１の断面構成を示し、図１３（ａ）は圧縮前、図１３（ｂ）は圧縮後を示している。図１３（ａ）に示すように、隣り合う流路１７３を仕切る仕切部が「く」の字型に屈曲したアルミ押し出しチューブを用意し、これを縦方向（図１３（ａ）における紙面上下方向）から圧縮することで、図１３（ｂ）に示すように圧縮後の形状を安定したものとすることができる。
【００５４】
このような構成においても、上記第６実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５５】
（第８実施形態）
次に、本発明の第８実施形態を図１４、図１５を用いて説明する。本第８実施形態は、上記第６実施形態に比較して、熱輸送装置の構成が異なるものである。上記第６実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００５６】
図１４は本第８実施形態の熱輸送装置１８０の構成を示しており、図１４（ａ）は熱輸送装置１８０の平面図、図１４（ｂ）は熱輸送装置１８０の側面図、図１４（ｃ）は図１４（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。なお、図１４では放熱部の図示を省略している。
【００５７】
図１４に示す例では、熱輸送装置（アルミ押し出しチューブ）１８０の受熱部１８１における流路１８３内に管状部材（細管）を挿入した後、縦方向（図１４（ｂ）における紙面上下方向）から圧縮することで、受熱部１８１の流路１８３を微細化してマイクロチャネル化している。管状部材を挿入後圧縮することで、管状部材を熱輸送装置１８０に対して熱接触させて固定することができ、熱伝達率を向上させることができる。
【００５８】
図１５は図１４（ｃ）の流路部１８３の拡大図であり、図１５（ａ）は流路部１８３に１本の管状部材を挿入した例を示し、図１５（ｂ）は流路部１８３に４本の管状部材を挿入した例を示している。なお、管状部材に代えて、棒状部材を用いてもよい。
【００５９】
このような構成においても、上記第６実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
（他の実施形態）
なお、上記第５、第８実施形態では、熱輸送装置の流路に管状部材や棒状部材を挿入することで流路をマイクロチャネル化したが、管状部材や棒状部材に代えて空隙金属を挿入してもよい。空隙金属は内部に空隙を有し、この空隙が一端から他端まで連通している金属である。空隙金属としては、例えば発泡金属、燒結金属、もしくは溶射した金属を用いることができる。
【００６１】
発泡金属は、例えば溶融した金属中にガスを吹き込んだり、発泡剤を混入することで得られる。燒結金属は金属粉末を焼結して形成されるが、例えば鉄の粉末中に鉄より融点の低い銅の棒状部材を挿入し、焼結時に銅を溶かすことで連通した空隙を容易に形成することができる。溶射した金属は、溶かした金属を噴射して形成されるもので、噴射の際に空隙が形成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図である。
【図２】第１実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図であり、図１において熱輸送装置を発熱体の搭載面方向からみた断面構成を示している。
【図３】熱輸送装置の断面図である。
【図４】熱輸送装置におけるマイクロチャネルの形成工程を示す工程図である。
【図５】第２実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図である。
【図６】第３実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図である。
【図７】第３実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図であり、図６において熱輸送装置を発熱体の搭載面方向からみた断面構成を示している。
【図８】第４実施形態の熱輸送システムの全体構成を示す概念図である。
【図９】熱輸送装置の断面図である。
【図１０】熱輸送装置の断面図である。
【図１１】第６実施形態の熱輸送装置の構成を示す概念図である。
【図１２】第７実施形態の熱輸送装置の構成を示す概念図であり、（ａ）は熱輸送装置の平面図、（ｂ）は熱輸送装置の側面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図、（ｄ）は（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。
【図１３】第７実施形態の変形例における受熱部の断面構成を示し、（ａ）は圧縮前、（ｂ）は圧縮後を示している。
【図１４】第８実施形態の熱輸送装置の構成を示し、（ａ）は熱輸送装置の平面図、（ｂ）は熱輸送装置の側面図、（ｃ）は（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図１５】図１４（ｃ）の流路部の拡大図である。
【符号の説明】
１００〜１８０…熱輸送装置、１０１〜１８１…受熱部、２００…発熱体、３００…循環ポンプ、３１０…振動ポンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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