(57)【要約】【課題】夾雑物を含むフィルムの検査精度を向上させる補正用フィルムを用いて外観検査機を補正し、外観検査済みフィルムを提供できるようにすること。【解決手段】予め特定された複数の位置に、予め特定された面積を有する夾雑物見本ＰをフィルムＦの面内に設けて外観検査機補正用フィルムが設けられている。このフィルムＦを外観検査機１０で検査したときの夾雑物見本Ｐの面積は、本来の面積と比較され、誤差が生じているときに検査手段１３を補正する。精度補正が行われた後の検査手段１３を用いて製品フィルムＦａの夾雑物の有無が検査され、当該夾雑物が存在しているときに、その位置と面積をデータとして出力して外観検査済みフィルムＦＰと関連付けられる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
夾雑物を検査する外観検査機の精度を補正するためのフィルムであって、
予め特定された複数の位置に、予め特定された面積を有する夾雑物見本が設けられていることを特徴とする外観検査機補正用フィルム。
【請求項２】
前記フィルムは帯状に延び、その長手方向に沿って前記夾雑物見本が一定のピッチで設けられ、且つ、当該夾雑物見本の面積が大小複数とされていることを特徴とする請求項１記載の外観検査機補正用フィルム。
【請求項３】
予め特定された複数の位置に、予め特定された面積を有する夾雑物見本からなる第１の比較対象を備えた補正用フィルムを用いて外観検査機の精度を補正する方法において、
前記補正用フィルムを所定の検査手段で検査して前記夾雑物見本の面積を第２の比較対象として求め、
前記第１の比較対象の面積と第２の比較対象の面積とを比較し、
前記第１の比較対象と第２の比較対象における面積の誤差が生じたときに、当該誤差を解消するように前記検査手段の精度補正を行うことを特徴とする外観検査機補正方法。
【請求項４】
前記第１の比較対象の面積を予め特定して記憶する機能を備えた制御装置を含み、この制御装置は、前記第２の比較対象の面積データが前記検査手段から与えられたときに、第１の比較対象と第２の比較対象とを比較することを特徴とする請求項３記載の外観検査機補正方法。
【請求項５】
請求項３又は４記載の外観検査機補正方法によって補正された外観検査機を用いて製品用フィルムの夾雑物を検査することを特徴とするフィルム検査方法。
【請求項６】
請求項３又は４記載の外観検査機補正方法によって補正された外観検査機で製品用フィルムの夾雑物を検査し、当該検査結果に基づく夾雑物の有無、位置及び面積をデータとして出力された情報が関連付けられていることを特徴とする外観検査済みフィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は外観検査機補正用フィルム、外観検査機補正方法及び製品用フィルム検査方法並びに外観検査済みフィルムに係り、特に、半導体ウエハ等の各種電子部品や、ガラス等に貼付されるフィルムの夾雑物を検査する外観検査機用補正用フィルム、外観検査機補正方法及び製品用フィルム検査方法並びに外観検査済みフィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品をなす半導体ウエハ等においては、ウエハ面に保護用のフィルムを貼付することが行われている。周知のように、半導体ウエハは極薄化が益々要求される等、非常に繊細な部品としての取扱性が要求される。従って、フィルム面に微細な夾雑物が存在していると、これがフィルムの貼付精度を大幅に低下させる原因となり、場合によっては半導体ウエハに割れ等の損傷を与えるという不都合を招来する。
【０００３】
そこで、従来では、ＣＣＤカメラ等からなる検査手段を用いてフィルムの面を検査することが行われている。この検査は、製品としてのフィルムを所定方向に搬送する過程で、当該搬送路上に配置されたＣＣＤカメラでフィルム面を検査し、夾雑物を検査したときに、当該夾雑物の面積をデータとして出力するようになっている。そして、検査を経たフィルムには、当該フィルムに対応した検査結果であるデータが一体に関連付けられてユーザーに納入される販売形式が採用されている。従って、ユーザーでは、出力されたデータを参照しながら、夾雑物が存在するフィルム領域を除外して半導体ウエハに貼付することが可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述した夾雑物は、非常に微細なレベルのものを対象としたものであり、その検査に際しては、検査手段の検査精度が高精度若しくは高分解能に要求されるものとなる。しかしながら、現状では、その精度が必ずしも十分に担保されていない、という不都合がある。例えば、フィルム面内に夾雑物の存在が検出された場合において、実際には許容範囲にあるにもかかわらず、これを許容範囲外と判別してしまう場合がある。この場合には、当該夾雑物が存在するフィルム領域を貼付に用い得ないものとして除去する必要があるため、結果としてフィルムを無駄に消費することとなる。この一方、夾雑物の大きさが許容範囲外であるにもかかわらず、許容範囲内であると判別してしまう場合もある。この場合には、半導体ウエハに貼付されたときに、貼付不良やウエハの割れという重大な欠陥を招来する。このような不都合は、検査手段の検査精度が、周辺環境等の外乱要素によって変化し得ることに起因すると考えられる。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、検査手段の検査精度を予め補正することにより、製品として供給されるフィルムを検査する際の誤差を極力低減することのできる外観検査機補正用フィルム、外観検査機補正方法及びフィルム検査方法並びに外観検査済みフィルムを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、夾雑物を検査する外観検査機の精度を補正するためのフィルムであって、
予め特定された複数の位置に、予め特定された面積を有する夾雑物見本が設けられる、という構成を採っている。このような外観検査機補正用フィルムは、夾雑物見本の面積を予め特定しておくことで、当該夾雑物見本を外観検査機で検査して得られる面積と比較するための基準として利用することができる。従って、外観検査機が本来検出しなければならない面積の値に誤差が生じている場合に、当該誤差に基づいて外観検査機の精度補正を行うことができる。また、フィルムは、予め特定された面積の夾雑物見本を設けるだけの構成であるから、極めて簡単な手法によって安価に提供することができる。
【０００７】
本発明において、前記フィルムは帯状に延び、その長手方向に沿って前記夾雑物見本が一定のピッチで設けられ、且つ、当該夾雑物見本の面積が大小複数とされる、という構成を採ることが好ましい。これにより、検査すべき夾雑物見本の数が多くなり、また、面積も種々異なるものを検査することになるため、サンプリング数を増加させて検査精度の信頼性を高めることが可能となる。
【０００８】
また、本発明は、予め特定された複数の位置に、予め特定された面積を有する夾雑物見本からなる第１の比較対象を備えた補正用フィルムを用いて外観検査機の精度を補正する方法において、
前記補正用フィルムを所定の検査手段で検査して前記夾雑物見本の面積を第２の比較対象として求め、
前記第１の比較対象の面積と第２の比較対象の面積とを比較し、
前記第１の比較対象と第２の比較対象における面積の誤差が生じたときに、当該誤差を解消するように前記検査手段の精度補正を行う、という手法を採っている。検査手段の精度補正は、例えば、ＣＣＤカメラを検査手段として用いたときに、その解像度を調整することによって行うことができる。また、解像度を変えることなく、前記誤差に対応した面積の値を偏差値を加えることで第２の比較対象の面積補正を行うことが例示できる。
【０００９】
前記外観検査機補正方法において、前記第１の比較対象の面積を予め特定して記憶する機能を備えた制御装置を含み、この制御装置は、前記第２の比較対象の面積データが前記検査手段から与えられたときに、第１の比較対象と第２の比較対象とを比較する手法を採ることができる。
【００１０】
また、本発明は、前記外観検査機補正方法によって補正された外観検査機を用いて製品用フィルムの夾雑物を検査する、とう手法を採っている。このような方法を採用することで、得られた製品用フィルムにおける夾雑物の大きさを精度良く検査することができ、当該製品用フィルムを電子部品等に貼付する際の夾雑物混入を未然に防止することができる。
【００１１】
更に、本発明に係る外観検査済みフィルムは、前記外観検査機補正方法によって補正された外観検査機で製品用フィルムの夾雑物を検査し、当該検査結果に基づく夾雑物の有無、位置及び面積をデータとして出力された情報を関連付けた状態で提供することができる。これにより、製品用フィルムを利用するユーザーは、前記データを参照して夾雑物の位置と面積を把握することができる。従って、製品用フィルムの用途毎に許容される夾雑物の大きさが異なる場合であっても、個々のユーザー毎にこれを判別することが可能となる汎用性を付与することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態に係るフィルムの外観検査機の全体構成図が示されている。この図において、外観検査機１０は、補正用のフィルムＦの面を中間に挟んで対向配置されたＣＣＤカメラ１１及び発光素子１２を含む検査手段１３と、この検査手段１３を所定制御するとともに、当該検査手段１３からの出力を入力として所定処理する制御装置１４と、当該制御装置１４に接続されたプリンタ１５、ディスプレイ１６及びキーボード等からなる入力装置１７とを備えて構成されている。
【００１４】
前記フィルムＦは、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の透光性を有する帯状素材により構成されている。このフィルムＦは、原反ロール２１から繰り出されて巻取ロール２２に巻取可能に配置されている。このフィルムＦは、前記検査手段１３の検査精度を補正するためのものであり、図２に示されるように、繰出し方向側の先端、すなわち、リード端ＦＦから終端ＦＥまでの領域において、夾雑物に擬制したドット状の多数の夾雑物見本Ｐが第１の比較対象として予め印刷されている。これらの夾雑物見本Ｐは、それぞれ面積が異なって設けられており、フィルムＦの繰出し方向に沿って一定のピッチ、例えば、１ミリないし数ミリピッチ毎に設けられ、且つ、フィルムＦの幅方向に沿って数カ所に分散して配置されている。本実施形態における夾雑物見本Ｐの面積は、０．１ｍｍ２〜５．０ｍｍ２程度の範囲で大小複数種のものが採用されるが、この面積や、夾雑物見本Ｐの数、夾雑物見本Ｐ間ピッチは本発明を限定するものではない。なお、各夾雑物見本Ｐの位置すなわちアドレスは、例えば、フィルムＦの幅方向をＸ軸とする一方、長手方向をＹ軸として特定することができる。この際、特に限定されるものではないが、Ｘ軸の原点Ｏ１はフィルムＦの幅方向中心とする一方、Ｙ軸の原点Ｏ２は前記リード端ＦＦから一定距離後方となる位置に設定することが例示できる。なお、原点Ｏ２からの各夾雑物見本Ｐまでの距離（各夾雑物見本ＰのＹ方向位置）は、巻取ローラ２２の巻取速度に応じて求められる。すなわち、フィルムＦの巻き取りが開始された後、夾雑物見本Ｐを検出手段１３が検出するまでの時間とフィルム巻取速度との相関関係に基づいて夾雑物見本ＰのＹ方向位置を特定することができる。また、Ｘ方向における夾雑物見本Ｐの位置は、ＣＣＤカメラ１１をフィルムＦの幅方向に複数配置しておき、各カメラ１１のＸ方向における検出範囲を予め調整しておくことで特定することができる。
【００１５】
前記検査手段１３を構成するＣＣＤカメラ１１及び発光素子１２は、本実施形態では、フィルムＦの幅方向に沿って相互に等間隔を隔ててそれぞれ四箇所に配置されており、これにより、フィルムＦの幅方向全域における夾雑物見本Ｐを設けた場合の全ての夾雑物見本Ｐを検査できるようになっている。これらＣＣＤカメラ１１及び発光素子１２の数は、フィルムＦの幅に応じて増加、減少させてもよい。
【００１６】
前記制御装置１４は、前記各夾雑物見本Ｐの面積を第１の比較対象として予め記憶する機能と、前記ＣＣＤカメラ１１で撮像されたデータから得られた夾雑物見本Ｐの面積を第２の比較対象として取り込んで前記第１の比較対象と比較する比較機能とを備えて構成されている。この制御装置１４による比較結果は記憶部に格納される他、プリンタ１５及びディスプレイ１６を介して外部装置に表示できるようになっている。
【００１７】
次に、本実施形態における外観検査機補正方法について説明し、また、補正後の外観検査機を用いて検査済みフィルムを製造する方法について図３を参照しながら説明する。
【００１８】
まず、図１に示されるように、各夾雑物見本Ｐの位置及び面積が予め特定されているフィルムＦを原反ローラ２１及び巻取ローラ２２間に巻装する。この際、各夾雑物見本ＰのＸ、Ｙ軸におけるアドレスデータ（位置）が制御装置１４の記憶部に予め記憶されているとともに、各夾雑物見本Ｐの面積も同時に記憶されている。
【００１９】
ここで、ローラ２１，２２間に巻き掛けたフィルムＦの原点Ｏ１，Ｏ２を予め設定された位置に合わせて初期設定を行う。そして、所定の速度でフィルムＦを巻取ローラ２２で巻き取ると順次夾雑物見本ＰがＣＣＤカメラ１１で検査され、その撮像データが第２の比較対象として制御装置１４に出力される。そして、制御装置１４は、各アドレス毎の夾雑物見本Ｐの面積である第１の比較対象を記憶部から読み出して第２の比較対象と比較し、それらのずれ量を各夾雑物見本Ｐ毎に求めて記憶するとともに、その結果をプリンタ１５及びディスプレイ１６に表示させることとなる。
【００２０】
従って、ＣＣＤカメラ１１で撮像されたデータに基づいて得られた各夾雑物見本Ｐの面積が、予め特定されて制御装置１４に記憶された正確な面積と比較されるため、当該ＣＣＤカメラ１１の検査精度に生じる誤差を比較結果に基づいて解像度調整或いは偏差値等の付与によって補正することができる。
【００２１】
図３には、補正された検査手段１３を用いて製品用フィルムＦａと剥離フィルムＦｂの貼合せ品における夾雑物の有無、面積を検査し、外観検査済みフィルムＦＰを製造する概略構成が示されている。同図に示されるように、製品用フィルムＦａがローラ３０に巻装されている一方、当該ローラ３０の下方位置に、製品用フィルムＦａの粘着面側（図中下面側）に貼付される剥離フィルムＦｂがローラ３１に巻装されている。これらの各ローラ３０，３１から引き出された各フィルムＦａ，Ｆｂの先端側は、貼合ローラ３２，３２間にピンチされた状態で巻取ローラ３５に固定されている。なお、ここでは図示省略しているが、製品用フィルムＦａ又は剥離フィルムＦｂは、先端から所定距離下流側となる面内の所定箇所に、夾雑物の位置を設定するための原点Ｏ１，Ｏ２を示す適当なマークが付されている。
【００２２】
原点Ｏ１，Ｏ２が初期位置にセットされた状態で、製品用フィルムＦａ及び剥離フィルムＦｂが、ＣＣＤカメラ１１及び発光素子１２の中間を位置するように配置され、所定速度でフィルムＦａ，Ｆｂを巻き取りながら夾雑物の有無が検出される。ここで、夾雑物が特定のＣＣＤカメラ１１により検出されると、その撮像データが制御装置１４に出力され、データ入力時のタイミングによって、当該夾雑物のＸ、Ｙ方向における位置と、大きさが判定され、位置情報及び面積情報をデータとして記憶部に保存し、以後同様にしてフィルムＦａ、Ｆｂの面を検査することとなる。そして、フィルムＦａ，Ｆｂの検査を全て終了した段階で、当該外観検査済みフィルムＦＰ毎に個性化された検出結果をデータとして出力することとなる。
【００２３】
このような外観検査済みフィルムＦＰと、当該フィルムＦＰに対応した夾雑物の関連情報を含むデータとが一体化された状態で、これらをユーザーに提供することで、当該ユーザーは、データを参照しながら排除すべきフィルム領域を特定してこれを利用することが可能となる。
【００２４】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、面積、位置、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、位置、面積などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないことを理解されたい。
【００２５】
例えば、前記実施形態では、外観検査機補正用フィルムＦが帯状に延びる部材により構成されている場合を示したが、一枚の方形のシート状フィルムに所定の夾雑物見本を設けたものであってもよい。また、予め特定された夾雑物見本の面積と実際に検出された夾雑物見本の面積とにずれがあった際の補正方法も、前記実施形態に限定されるものではなく、検査精度が補正できれば他の補正方法も採用することができる。また、フィルムは不透明な場合でも反射式の検出手段を用いることで適用可能である。更に、本実施形態では夾雑物見本は印刷によりフィリムに設けたが、それに限らず、貼付、内包等によって設けてもよく、また、夾雑物見本の形状は、前記実施形態で示したドット状の他、線形、三角形や四角形等の多角形を含む種々の形状のものが含まれる。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る補正用のフィルムによれば、外観検査機の精度補正を簡易な手段で行うことが可能な補正用フィルムを提供することができる。また、補正用のフィルムは、夾雑物見本を設けるだけの構成であるから、極めて簡単な手法によって安価に提供することができる。
【００２７】
更に、帯状をなす補正用フィルムの長手方向に沿って大小面積の異なる複数の夾雑物見本が一定のピッチで多数設けられた構成によれば、検査のサンプリング数を増加させて検査精度の信頼性を得ることができる。
【００２８】
また、本発明は、前記外観検査機補正方法によって補正された外観検査機を用いて製品用フィルムの夾雑物を検査する手法であるため、得られた製品用フィルムにおける夾雑物の大きさを精度良く検査することができ、当該製品用フィルムを電子部品等に貼付した際の被着物の破損を未然に防止することができる。
【００２９】
更に、本発明に係る外観検査済みフィルムは、夾雑物の有無、位置及び面積をデータとして出力された情報を関連付けた状態で提供できるため、個々のユーザー毎の用途に対応した利用形態に資する検査済みフィルムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係るシステムの全体構成図。
【図２】外観検査機補正用フィルムの概略平面図。
【図３】製品用フィルムの検査状態を示す概略斜視図。
【符号の説明】
１０  外観検査機
１１  ＣＣＤカメラ
１２  発光素子
１３  検査手段
Ｐ  夾雑物見本
Ｆ  補正用フィルム
Ｆａ  製品用フィルム
ＦＰ  外観検査済みフィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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