(57)【要約】【課題】半導体ウェーハに形成されたチップの形状が同一であることを利用して２つのチップの画像を比較し、差がある場合を欠陥候補として検出する半導体ウェーハの欠陥検査装置における画像処理装置において、検査対象有効範囲の確保と、複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすこと。【解決手段】画像の取得から画像処理までをチャンネル分割による並列処理を行う場合に、取得画像をｎチャンネルで取得し（ｎは整数）、画像処理をｎ−１チャンネルで行うとともに、１つの処理チャンネルに対し取得画像の２チャンネル分を転送し、１つの処理チャンネルにおいて取得画像の２チャンネル分の中から画像処理すべき１チャンネル分の画像を切出して画像処理する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハに形成されたチップの形状が同一であることを利用して２つのチップの画像を比較し、差がある場合を欠陥候補として検出する半導体ウェーハの欠陥検査装置における画像処理装置において、前記画像の取得から画像処理までをチャンネル分割による並列処理を行う場合に、取得画像をｎチャンネルで取得し（ｎは整数）、前記画像処理をｎ−１チャンネルで行うとともに、１つの処理チャンネルに対し取得画像の２チャンネル分を転送し、前記１つの処理チャンネルにおいて取得画像の２チャンネル分の中から画像処理すべき１チャンネル分の画像を切出して画像処理することを特徴とした画像処理装置。
【請求項２】
請求項１において、前記１つの処理チャンネルに画像を転送する前に、画像の重ね合わせ分割処理のときのオーバラップ処理を除外することを特徴とした画像処理装置。
【請求項３】
請求項１において、前記１つの処理チャンネル内にチャンネル単位画像切出し機能を設けることを特徴とした画像処理装置。
【請求項４】
請求項１において、前記１つの処理チャンネル内に位置ずれ検出機能を有し、該位置ずれ検出機能の検出範囲に従って前記取得画像を最大で２チャンネル分まで大きくして切出すことを特徴とした画像処理装置。
【請求項５】
請求項１において、前記１つの処理チャンネル内に位置ずれ検出機能，位置合わせ機能を有し、先に取得した前記チップの画像を参照画像、新しく取得した画像を検出画像とし、該検出画像に対し該参照画像を移動させて位置合せを行う場合に、前記取得画像の２チャンネル分の中から前記位置ずれ検出機能で得た位置ずれ量の分だけずらして画像を切出すことによって位置合わせを行うことを特徴とした画像処理装置。
【請求項６】
請求項５において、前記検出画像に対し前記参照画像を移動させて位置合せを行う場合、前記取得画像の２チャンネル分の中心から１チャンネル分の画像を切出すことを特徴とした画像処理装置。
【請求項７】
請求項５において、前記処理チャンネル内に位置ずれ検出機能，位置合わせ機能，欠陥情報抽出機能，欠陥画像抽出機能を有し、該欠陥情報抽出機能で検出した欠陥情報に対し、前記位置ずれ検出機能で検出した位置ずれ情報を付加して欠陥情報とすることにより、前記検出画像における欠陥候補部位の画像の切出しと、前記位置合わせ前の前記参照画像における欠陥候補部位の画像を切出すことを特徴とした画像処理装置。
【請求項８】
請求項７において、前記欠陥情報抽出機能で抽出した欠陥座標が処理チャンネルｎのずれ方向の端面近辺であって、前記欠陥画像切出し機能において前記欠陥座標を中心にチャンネル幅分の画像を切出す場合、処理チャンネルｍ（ｍは整数）に入力されている前記取得画像に隣接した処理チャンネルｍ−１、または、隣接した処理チャンネルｍ＋１に欠陥座標を送る機能を付加することにより、該処理チャンネルｍ−１に入力されている取得画像ｍ−１，取得画像ｍ、または、前記処理チャンネルｍ＋１に入力されている取得画像ｍ＋１，取得画像ｍ＋２を用いることで、欠陥座標を中心にチャンネル幅分の画像を切出すことを特徴とした画像処理装置。
【請求項９】
請求項１において、前記欠陥画像の切出し履歴機能を付加することを特徴とした画像処理装置。
【請求項１０】
請求項１において、操作端末上に表示された前記位置ずれ検出範囲の設定メニューにおいて、画像１チャンネル分の画素幅で位置ずれ検出範囲が設定されることを特徴とした画像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ上にチップを形成する製造工程で用いられる半導体ウェーハ欠陥検査画像処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハ上に形成されたチップの外観検査で各々チップの形状が同一であることを利用して、前回取得したチップの画像を参照画像、今回取得した画像を検出画像とし、２つのチップの画像を比較し、差がある場合を欠陥候補として欠陥情報と欠陥画像を出力する半導体ウェーハ欠陥検査装置の画像処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図２は従来の構成を示す画像データの流れを示す構成図であり、オーバラップ処理８０，処理チャンネル（１）５０，処理チャンネル（２）６０，処理チャンネル（ｎ−１）７０から構成されており、処理チャンネル内は画像遅延機能５１，欠陥検出機能５２から構成される。処理チャンネル（１）５０，処理チャンネル（２）６０，処理チャンネル（ｎ−１）７０は同一の処理を行う。検出元画像１０はチャンネル分割しており、画像（１）１１，画像（２）１２，画像（ｎ）１３からなる。検出元画像１０はオーバラップ処理８０に入力し、オーバラップ処理を行った後、検出画像８１，８２，８３となりチャンネル分割している各処理チャンネルへ入力する。処理チャンネル（１）５０では画像遅延５１が前回の検出画像８１を１チップ分の画像を蓄積し参照画像２０とする。検出画像８１と参照画像２０を欠陥検出機能５２へ入力し、欠陥情報３０と欠陥画像４０を得る。
【０００４】
図４は画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、オーバラップ処理を説明するものである。検出元画像（１）〜検出元画像（ｎ）からオーバラップ処理部において必要とする幅の画像を確保し、画像（１）〜画像（ｎ）の画像を切出して処理チャンネル１〜処理チャンネル（ｎ）に画像を転送する。図４における画像（１）〜画像（ｎ）のそれぞれの斜線部は隣接画像と同一の画像を持つことを示す。この隣接画像と同一の画像を持たせる処理をオーバラップ処理と呼ぶ。
【０００５】
図１５は図４と同じく画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、オーバラップ処理がない場合の検査を示すものであり、チャンネル分割数を３とした場合である。処理チャンネル（１），処理チャンネル（２），処理チャンネル（３）において参照画像と検出画像の間に位置ずれがあると、参照画像と検出画像で比較検査を行った場合、検査可部と検査不可部がそれぞれの処理チャンネルで発生する。検査ができない部分が発生してしまうことが問題となる。このため次に示すオーバラップ処理が必要になる。
【０００６】
図１６は図４と同じく画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、オーバラップ処理を追加した場合の検査を示したものであり、チャンネル分割数が３の場合である。オーバラップ処理部において元画像（１）〜元画像（３）から画像（１）〜画像（３）を作り出す。画像（１）〜画像（３）における斜線部は隣接画像と同一の画像を持つ部分である。処理チャンネル（１），処理チャンネル（２），処理チャンネル（３）において参照画像と検出画像の間に位置ずれがあると、参照画像と検出画像で比較検査を行った場合、検査可部と検査不可部がそれぞれの処理チャンネルで発生するが、処理チャンネル（１）と処理チャンネル（２），処理チャンネル（２）と処理チャンネル（３）で同一画像部分があるため検査ができない部分をなくすことができる。検査不可部は処理チャンネル（３）の部分のみとすることができる。
【０００７】
半導体ウェーハ上に形成される回路の微細化が進むと、半導体ウェーハ欠陥検査画像処理装置においても１画素寸法を小さくすることで対応するが、ウェーハ自体の寸法やウェーハを乗せるステージの寸法が小さくなるわけではないので、半導体ウェーハ上に形成される回路の微細化が進むと半導体ウェーハ欠陥検査画像処理装置における位置ずれ量は相対的に大きくなる。
【０００８】
従来の技術において、参照画像と検出画像の位置ずれの範囲が小さかった場合は問題ないが、参照画像と検出画像の位置ずれの範囲が大きくなると、検査対象有効範囲の減少，オーバラップ処理の複雑化の問題が発生する。
【０００９】
【表１】
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【００１０】
表１は単位画像幅１２８画素，チャンネル分割数３２で、総画像幅４０９６画素の画像処理装置において、参照画像と検出画像の位置ずれ検出範囲と検査対象有効範囲の関係を示したものである。位置ずれ検出範囲が０の場合、総オーバラップ量は０画素であり、検査対象有効範囲は総画像幅と同じ４０９６画素になる。位置ずれ検出範囲が±４の場合、総オーバラップ量は２５６画素で、検査対象有効範囲は３８４０画素となり、検出元画像１と検出元画像３２は全く使用しない状態になる。位置ずれ検出範囲が±８の場合、総オーバラップ量は５１２画素で、検査対象有効範囲は３５８４画素となり、検出元画像１と検出元画像２と検出元画像３１と検出元画像３２は全く使用しない状態になる。このように検査対象有効範囲が狭くなるということは、検査の回数を増やさなければならないと言うことであり、検査のスループットを下げてしまうという問題がある。
【００１１】
図５は図４と同じく画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、オーバラップ処理におけるオーバラップ回路への画像供給を示したものである。表１における位置ずれ検出範囲の０から±８を選択できる回路を実現するには、それぞれのオーバラップ回路（１）からオーバラップ回路（３１）に対して複数の画像を供給する必要がある。オーバラップ回路（１）に対しては画像（１），画像（２），画像（３）を供給する必要がある。微細化の進み相対的に位置ずれ量が大きくなるために位置ずれ検出範囲を大きくすると、この方式ではオーバラップ回路に供給する画像を増やす必要がある。オーバラップ回路に供給する画像を増やすとオーバラップ回路は複雑にならざるをえない。
【００１２】
【特許文献１】
特開平０７−０６３６９１号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、検査対象有効範囲の確保と、複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすことである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述の問題点を解決するために、本発明の実施例では、従来技術におけるオーバラップ処理をやめ、一つの処理チャンネルに対して二つの画像を入力し、処理チャンネル内に画像切出し回路を設ける。より詳細には、画像の取得から画像処理までをチャンネル分割による並列処理を行う場合に、取得画像をｎチャンネルで取得し（ｎは整数）、画像処理をｎ−１チャンネルで行うとともに、１つの処理チャンネルに対し取得画像の２チャンネル分を転送し、１つの処理チャンネルにおいて取得画像の２チャンネル分の中から画像処理すべき１チャンネル分の画像を切出して画像処理する。
【００１５】
例えば、総画像幅４０９６画素の画像に対し、従来は画像を１２８画素幅の画像３２個に分割し、処理チャンネルも３２個で処理していた。本発明では総画像幅４０９６画素の画像に対し、画像を１２８画素幅の画像３２個に分割し、処理チャンネルは３１個用意し、一つの処理チャンネルに対して二つの画像を入力して処理チャンネル内の画像切出し回路により、処理すべき１２８画素幅の画像を切出し処理を行う。
【００１６】
この場合、参照画像と検出画像に位置ずれがあっても、２５６画素幅の画像の中から１２８画素幅の画像を切出すため±６４画素の位置ずれに対応できる。本構成では処理チャンネルに対して二つの画像を入力しているのに対し、従来技術のオーバラップ処理では±８の位置ずれ検出範囲の場合オーバラップ回路に対して三つの画像を供給する必要があるため、本構成のほうが従来技術のオーバラップ処理に比べ回路は簡単になる。検査対象有効画素についても、本構成では３９６８画素であり、従来技術のオーバラップ処理で±８の位置ずれ検出範囲の場合の検査対象有効範囲３５８４画素に比べ有利である。位置ずれ検出範囲は±８よりさらに大きい場合を考えた場合、本構成のほうがさらに有利である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に本発明について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施例で画像データの流れを示す構成図であり、検出画像９０，画像（１）９１，画像（２）９２，画像（３）９３，画像（ｎ−１）９４，画像（ｎ）９５，処理チャンネル（１）５０，処理チャンネル（２）６０，処理チャンネル（ｎ−１）７０，画像遅延機能５１，参照画像２０，欠陥検出機能５２，画像切出し機能５３，画像切出し機能５４，欠陥情報３０，欠陥画像４０により構成される。
【００１９】
図３は画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、図１における処理チャンネル（１）５０，処理チャンネル（２）６０，処理チャンネル（ｎ−１）７０に対する画像（１）９１，画像（２）９２，画像（３）９３，画像（ｎ−１）９４，画像（ｎ）９５の入力について説明した構成図であり、処理チャンネル（１）５０に対しては画像（１）９１，画像（２）９２を入力し、処理チャンネル（２）６０に対しては画像（２）９２，画像（３）９３を入力し、処理チャンネル（ｎ−１）７０に対しては画像（ｎ−１）９４，画像（ｎ）９５を入力し、処理チャンネル（３）から処理チャンネル（ｎ−２）についても同様に画像を入力する。
【００２０】
図１７は画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図であって、処理チャンネルに対し入力した２つの画像を用いることにより、処理チャンネル内の検出画像の全面において欠陥検査が可能であることを示すものである。図１とともに説明する。画像（１）９１，画像（２）９２，画像（３）９３の画素幅が１２８画素であると仮定すると、処理チャンネル（１）５０に対しては画像（１）９１，画像（２）９２のあわせて２５６画素の画像が入力されることになる。画像切出し機能５３により処理チャンネル（１）５０に入力された２５６画素の画像から中心１２８画素を切出し図１７の検出画像とする。画像遅延機能５１の出力は前回取得したチップの検出画像であり、画像遅延機能５１で１チップ分遅延させることにより欠陥検査する際の参照画像とすることができる。
【００２１】
参照画像２０は画像切出し機能５４により検出画像とのずれ分をずらして画像を切出し、図１７の参照画像とする。これにより検出画像と参照画像を比較して相違部分を欠陥とする欠陥検出処理ができ、検出画像の１２８画素幅全面において欠陥検査が可能となる。
【００２２】
よって、従来技術のような複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすことが可能となる。
【００２３】
図３においてｎ＝３２とした場合、画像（１）から画像（３２）まであり、画素幅が１２８画素とすると総画素幅は４０９６画素になる。処理チャンネルは処理チャンネル（１）から処理チャンネル（３１）となり、処理できる総画素幅
３９６８画素となり、位置ずれ検出範囲が０〜±６４まで一定である。位置ずれ検出範囲が大きくなると検査対象有効範囲が狭くなる従来技術のオーバラップ処理に比べて有利である。
【００２４】
したがって、本発明により、半導体ウェーハ上に形成される回路の微細化が進み半導体ウェーハ欠陥検査画像処理装置における位置ずれ量が相対的に大きくなっても、検査対象有効範囲の確保と、複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすことが実現可能となる。
【００２５】
図６は図１の欠陥検出機能５２の内部構成を示した構成図である。画像切出し機能５３，画像切出し機能５４，位置ずれ検出機能５５，位置ずれ情報５５１，画像切出し機能５６，画像切出し機能５７，欠陥抽出機能５８，欠陥画像切出し機能５９，欠陥情報３０，欠陥画像４０により構成される。
【００２６】
画像切出し機能５３は画像（１）９１，画像（２）９２から画像を切出し位置ずれ検出機能５５で必要とする検出画像とする。画像切出し機能５４は画像遅延機能５１から出力された参照画像２０から画像を切出し、位置ずれ検出機能５５で必要とする参照画像とする。位置ずれ検出機能５５は画像切出し機能５３，画像切出し機能５４から出力された検出画像，参照画像より、検出画像と参照画像の位置ずれ量を検出し、位置ずれ情報５５１を出力する。
【００２７】
画像切出し機能５６は画像（１）９１，画像（２）９２から画像を切出し欠陥抽出機能５８で必要とする検出画像とする。画像切出し機能５７は位置ずれ情報５５１を利用し、画像遅延機能５１から出力された参照画像２０から位置ずれ量分ずらした画像を切出し、欠陥抽出機能５８で必要とする参照画像とする。欠陥抽出機能５８は画像切出し機能５６，画像切出し機能５７から出力された検出画像，参照画像より、検出画像と参照画像の差を欠陥とし欠陥情報３０を出力する。欠陥画像切出し機能５９は欠陥情報３０を用い、画像（１）９１，画像（２）９２，画像遅延機能５１から出力された参照画像２０から欠陥画像４０を出力する。以上により半導体ウェーハ欠陥検査装置用の画像処理装置から、欠陥情報３０と欠陥画像４０とが出力される。
【００２８】
図９は図６における画像切出し機能５３，画像切出し機能５６の画像切出しの一例を示した画像データの構成図である。画像（１），画像（２）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２）を時間的処理単位で分割したものである。フレームｎに着目した場合、切出すべき処理画像は画像（１），画像（２）をあわせた２５６画素幅の中心１２８画素を切出す。全ての処理チャンネルで同様に画像を切出すことで検出画像のチャンネル分割方向の連続性を保つことができる。
【００２９】
図７は図６における画像切出し機能５４の画像切出しの一例を示した画像データの構成図である。画像（１），画像（２）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２）を時間的処理単位で分割したものである。フレームｎに着目した場合、切出すべき処理画像に対し位置ずれ検出範囲を考慮し切出し範囲を拡大して画像を切出すことができる。フレームｎ−１，フレームｎ＋１の画像も利用することで横方向の位置ずれと、縦方向の位置ずれに対応することが可能となる。
【００３０】
図８は図６における画像切出し機能５７の画像切出しの一例を示した画像データの構成図である。画像（１），画像（２）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２）を時間的処理単位で分割したものである。フレームｎに着目した場合、画像（１），画像（２）をあわせた中心から位置ずれ情報による横方向のずれ量Δｘ，縦方向のずれ量Δｙ分ずらした画像を切出すことができる。フレームｎ−１，フレームｎ＋１の画像を利用することで縦方向の位置ずれ量Δｙに対応することが可能となる。
【００３１】
図１０は図６と同じく欠陥検出機能５２の内部構成を示した構成図であり、位置ずれ情報５５１を欠陥抽出機能５８にも入力し、欠陥抽出機能５８の出力を欠陥情報＋位置ずれ情報３１とし、欠陥画像切出し機能５９の出力に欠陥情報＋位置ずれ情報５９１を追加し、欠陥情報＋位置ずれ情報５９１を処理チャンネル（２）６０に入力させた図である。
【００３２】
前述の図６における動作説明に加え、欠陥抽出機能５８は入力された位置ずれ情報５５１を抽出した欠陥情報に追加し欠陥情報＋位置ずれ情報３１として出力する。欠陥画像切出し機能５９は入力された欠陥情報＋位置ずれ情報３１を利用し、位置ずれを考慮した画像切出しが可能となる。欠陥画像切出し機能５９が欠陥情報＋位置ずれ情報５９１を処理チャンネル（２）６０に入力させることにより、位置ずれを考慮した画像切出しを行う際に処理チャンネル（１）５０内では指定された範囲の画像切出しができない場合、処理チャンネル（２）６０において指定された範囲の画像切出しが可能となる。
【００３３】
図１１，図１２は画像データの構成図であり、図１０に示した欠陥画像切出し機能５９における欠陥情報＋位置ずれ情報３１を利用した欠陥画像切出しについて説明する。図１１では画像（１），画像（２）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２）を時間的処理単位で分割したものである。欠陥検出座標が○部であり、Δｘ，Δｙの位置ずれがあった場合、○部を中心に画像を切出しても欠陥部の画像を切出したことにはならない。○部よりΔｘ，Δｙずらした●部に欠陥が存在する。図１２は検出画像と参照画像について欠陥部の画像の切出しを示したものである。検出画像，参照画像の双方において点線四画部が欠陥抽出機能５８で比較され、欠陥情報として○部が示されたとする。検出画像については欠陥情報により○部を中心に画像を切出す。参照画像については欠陥情報＋位置ずれ情報３１を利用し、○部からΔｘ，Δｙずらした●部を中心に画像を切出す。これにより、検出画像，参照画像の双方において欠陥部の画像を抽出することが可能となる。
【００３４】
図１３は画像データの構成図であって、図１０の欠陥画像切出し機能５９における欠陥情報＋位置ずれ情報３１，欠陥情報＋位置ずれ情報５９１、および、隣接チャンネルを利用した欠陥画像切出しについて説明したものである。画像（１），画像（２）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２）を時間的処理単位で分割したものである。処理チャンネル（１）５０において欠陥情報＋位置ずれ情報３１により切出すべき欠陥座標が○部からΔｘ１，Δｙ２ずれた●部とわかる。指定された切出し範囲で画像切出しを行う際、図に示すように画像（２）の範囲を超えてしまう場合、処理チャンネル（１）５０の画像（２）と処理チャンネル（２）６０の画像（２）は同一の画像であるため、欠陥情報＋位置ずれ情報５９１を利用することで処理チャンネル（２）６０において●部を中心とした指定された切出し範囲で画像を切出すことが可能となる。
【００３５】
図１４は画像データの構成図であって、図１０の欠陥情報＋位置ずれ情報３１を利用した二重欠陥検出の抑止について説明した図である。画像（１），画像（２），画像（３）が１２８画素の幅を持ち、フレームｎ−１，フレームｎ，フレームｎ＋１は画像（１），画像（２），画像（３）を時間的処理単位で分割したものである。処理チャンネル（１）５０と処理チャンネル（２）６０では検出された位置ずれ量が異なっている場合、処理チャンネル（１）５０では検出された欠陥座標○部に対して位置ずれ量Δｘ１，Δｙ１ずれた●部になる。処理チャンネル（２）６０では検出された欠陥座標○部に対して位置ずれ量Δｘ２，Δｙ２ずれた●部になる。●部の座標が処理チャンネル（１）５０と処理チャンネル（２）６０で同じであり、両方とも画像（２）におけるものである場合、これは一つの欠陥により、処理チャンネル（１）５０と処理チャンネル（２）６０で二重に検出されたことになる。欠陥情報＋位置ずれ情報３１を利用することにより、二重欠陥検出を抑止することが可能となる。
【００３６】
以上述べたように、本発明の実施例によれば、半導体ウェーハ上に形成される回路の微細化が進み半導体ウェーハ欠陥検査画像処理装置における位置ずれ量が相対的に大きくなった場合においても、処理チャンネルに対し入力した２つの画像を用いることにより、従来技術のような複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすことが可能となり、検査対象有効範囲においても位置ずれ検出範囲が大きくなると検査対象有効範囲が狭くなる従来技術のオーバラップ処理に比べて有利であり、検査対象有効範囲の確保が可能となる。
【００３７】
また、処理チャンネルに対し入力した２つの画像を用いることにより、２つの画像を合わせた画素幅の中心から処理すべき画像の画素幅分を切出すことにより、全ての処理チャンネルで同様に画像を切出すことでチャンネル分割方向の連続性を保つことが可能となり、また、切出すべき処理画像に対し位置ずれ検出範囲を考慮し切出し範囲を拡大して画像を切出すことが可能となる。
【００３８】
また、処理チャンネルに対し入力した２つの画像と、位置ずれ情報を用いることにより、２つの画像を合わせた画素幅の中心から位置ずれ情報による横方向のずれ量，縦方向のずれ量分ずらした画像を切出すことが可能となる。
【００３９】
また、処理チャンネルに対し２つの画像を入力し、位置ずれ情報と欠陥情報を利用することにより、検出画像，参照画像の双方において欠陥部の画像を抽出することが可能となる。
【００４０】
また、指定された切出し範囲で画像を切出すことが不可能な場合においても、隣接チャンネルを利用することで指定された切出し範囲で画像を切出すことが可能となる。
【００４１】
また、位置ずれ情報を欠陥情報の一部とすることにより、位置ずれ量が異なる処理チャンネル間で検出した欠陥が同一欠陥かどうかの判定を行うことが可能となる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、検査対象有効範囲の確保と、複雑なオーバラップ処理なしに参照画像と検出画像の位置ずれによる検査不可部をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】画像データの流れを示す構成図。
【図２】従来の画像データの流れを示す構成図。
【図３】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【図４】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【図５】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【図６】図１の欠陥検出機能の内部構成を示した構成図。
【図７】図６における画像切出し機能の画像切出しの一例を示した画像データの構成図。
【図８】図６における画像切出し機能の画像切出しの一例を示した画像データの構成図。
【図９】図６における画像切出し機能の画像切出しの一例を示した画像データの構成図。
【図１０】欠陥検出機能の内部構成を示した構成図。
【図１１】画像データの構成図。
【図１２】画像データの構成図。
【図１３】画像データの構成図。
【図１４】画像データの構成図。
【図１５】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【図１６】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【図１７】画像データ列と処理チャンネル列との関係を示す構成図。
【符号の説明】
１０…検出元画像、１１，８１，９１…画像（１）、１２，８２，９２…画像（２）、１３，９５…画像（ｎ）、２０…参照画像、３０…欠陥情報、３１，５９１…欠陥情報＋位置ずれ情報、４０…欠陥画像、５０…処理チャンネル（１）、５１…画像遅延機能、５２…欠陥検出機能、５３，５４，５６，５７…画像切出し機能、５５…位置ずれ検出機能、５８…欠陥抽出機能、５９…欠陥画像切出し機能、６０…処理チャンネル（２）、７０…処理チャンネル（ｎ−１）、８０…オーバラップ処理、８３，９３…画像（３）、９０…検出画像、９４…画像（ｎ−１）、５５１…位置ずれ情報。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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