(57)【要約】【課題】焼入れすべき位置に凹凸があっても焼入れを均一且つ効率的に行うことができるレーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法を提供する。【解決手段】凹凸のある被焼入れ部３を有した素材が載置される作業台４と、被焼入れ部３にレーザー光８を照射するレーザー光照射手段５と、レーザー光照射手段５と作業台４とをレーザー光８の光軸の直交方向に相対移動させる駆動手段とを備えるレーザー焼入れ装置であって、レーザー光照射手段５から照射されるレーザー光８を、レーザー光８の光軸方向における被焼入れ部３の凹凸深さＲ以上の焦点深度ＤＯＦを有するものとすることにより、上記課題を解決した。このとき、レーザー光照射手段５が長焦点レンズおよびダイオードレーザーを備えることが好ましい。【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸のある被焼入れ部を有した素材が載置される作業台と、当該被焼入れ部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該レーザー光照射手段と当該作業台とをレーザー光の光軸の直交方向に相対移動させる駆動手段と、を備えるレーザー焼入れ装置であって、
前記レーザー光照射手段から照射されるレーザー光が、レーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有することを特徴とするレーザー焼入れ装置。
【請求項２】
前記レーザー光照射手段が、長焦点レンズを備えることを特徴とする請求項１に記載のレーザー焼入れ装置。
【請求項３】
前記レーザー光照射手段が、レーザーダイオードを備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザー焼入れ装置。
【請求項４】
凹凸のある被焼入れ部を有した素材にレーザー光を照射しながら、当該レーザー光を当該被焼入れ部の長手方向に相対的に移動させて、当該被焼入れ部を焼入れするレーザー焼入れ方法であって、
前記レーザー光がレーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有し、当該焦点深度内で前記被焼入れ部をレーザー焼入れすることを特徴とするレーザー焼入れ方法。
【請求項５】
前記焦点深度におけるビームウエストの直径を、被焼入れ部の幅と同一または略同一とすることを特徴とする請求項４に記載のレーザー焼入れ方法。
【請求項６】
前記レーザー光が、レーザーダイオードから発せられることを特徴とする請求項４または請求項５に記載のレーザー焼入れ方法。
【請求項７】
前記素材は、移動部材が相対的に移動する運動案内装置用の軌道部材であり、前記被焼入れ部は、移動部材と軌道部材との間に介在された転動体が転走する転動体転走面であることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載のレーザー焼入れ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法に関し、さらに詳しくは、焼入れすべき位置に凹凸があっても焼入れを均一且つ効率的に行うことができるレーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザー焼入れは、高エネルギー密度の熱源であるレーザー光を素材の表面に照射して焼入れを行う方法である。その原理は、レーザー光の照射により表面層が局部的に且つごく短時間に熱処理温度に到達し、レーザー光の照射を中断すると熱が素材内部に速やかに伝導して表面層が急速に冷却され、焼入れされるというものである。レーザー焼入れには、素材の必要な箇所のみを局部的に焼入れできること、冷却のための冷却媒体（油や水など）が不要であること、焼入れ後の残留歪みが小さいこと等の利点がある。
【０００３】
こうしたレーザー焼入れを案内レール等に応用した従来例として、例えば下記特許文献１、２が挙げられる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−４３９４０号公報（段落番号０００３〜００１０）
【特許文献２】
特開平７−９０３５８号公報（段落番号０００８〜００１０）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した各特許文献に記載されているようなレーザー焼入れにおいては、焦点深度の浅いレンズが用いられているのが一般的である。そのため、その焦点深度の範囲内でレーザー照射を行うとエネルギー密度が高すぎるので、レーザー焼入れを光軸方向にずらした位置（デフォーカス位置という。）で焼入れを行うのが一般的である。
【０００６】
しかしながら、デフォーカス位置ではレーザー光の光軸方向におけるエネルギー密度の変化の度合いが大きいので、被焼入れ部に凹凸がある場合や、レンズから被焼入れ部までの距離（ワークディスタンス：Ｓ１という。）の精度が悪い場合には、被焼入れ部の焼入れが不均一になるという問題があった。特に、運動案内装置を構成する軌道部材の軌道面はＲ溝形状となっているので、上記のデフォーカス位置でレーザー焼入れを行うと、溝の上部と底部に照射されるレーザーのエネルギー密度が異なってしまう。そのため、溝の上部では加熱過剰で溶融し易く、溝の底部では加熱不足で焼入れが不十分になり易いという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決すべくなされたものであって、その目的は、焼入れすべき位置に凹凸があっても焼入れを均一且つ効率的に行うことができるレーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１のレーザー焼入れ装置は、凹凸のある被焼入れ部を有した素材が載置される作業台と、当該被焼入れ部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該レーザー光照射手段と当該作業台とをレーザー光の光軸の直交方向に相対移動させる駆動手段とを備えるレーザー焼入れ装置であって、前記レーザー光照射手段から照射されるレーザー光が、レーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有することを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、レーザー光の焦点深度が被焼入れ部の凹凸深さ以上となるレーザー光照射手段を備えるので、エネルギー密度の変化が小さい焦点深度内に凹凸のある被焼入れ部を配置することにより、被焼入れ部を均一に焼入れすることができる。そのため、被焼入れ部に凹凸がある場合やワークディスタンスの精度が悪い場合であっても、被焼入れ部の焼入れを均一に行うことが可能となる。また、ワークディスタンスが一定になるような機械制御や低出力・低速度での焼入れも不要となるので、焼入れ装置の構成を簡略化できると共に、高出力・高速度での効率的で品質に優れた均一な焼入れが実現できる。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載のレーザー焼入れ装置において、前記レーザー光照射手段が、長焦点レンズを備えることを特徴とする。
【００１１】
レーザー光の焦点深度を被焼入れ部の凹凸深さ以上とするためには、レーザー光照射手段が長焦点レンズを備えていることが好ましい。長焦点レンズを適用することにより、エネルギー密度変化の小さい焦点深度を大きくすることができると共に、焦点深度内のビームウエストの直径をビーム径に近い大きさに拡大できるので、レーザー光照射手段に所定の長焦点レンズを装着して、所定の凹凸深さを有する被焼入れ部の焼入れ幅に適合させることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のレーザー焼入れ装置において、前記レーザー光照射手段が、ダイオードレーザーを備えることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、吸収率と発振効率が高く、小型軽量でメンテナンスフリーなダイオードレーザーを用いるので、比較的小さい領域を精度よく焼入れすることができる。
【００１４】
上記課題を解決するための請求項４のレーザー焼入れ方法は、凹凸のある被焼入れ部を有した素材にレーザー光を照射しながら、当該レーザー光を当該被焼入れ部の長手方向に相対的に移動させて、当該被焼入れ部を焼入れするレーザー焼入れ方法であって、前記レーザー光がレーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有し、当該焦点深度内で前記被焼入れ部をレーザー焼入することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、レーザー光がその光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有し、その焦点深度内で被焼入れ部をレーザー焼入れするので、被焼入れ部を均一に焼入れすることができる。そのため、被焼入れ部に凹凸がある場合やワークディスタンスの精度が悪い場合であっても、被焼入れ部の焼入れを均一に行うことが可能となる。また、ワークディスタンスが一定になるような機械制御や低出力・低速度での焼入れも不要となるので、焼入れ装置の構成を簡略化できると共に、高出力・高速度での効率的で品質に優れた均一な焼入れが実現できる。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項４に記載のレーザー焼入れ方法において、前記焦点深度におけるビームウエストの直径を、被焼入れ部の幅と同一または略同一とすることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、焦点深度におけるビームウエストの直径を被焼入れ部の幅と同一または略同一とするので、被焼入れ部の凹凸および焼入れ幅に適合させることができる。
【００１８】
請求項６の発明は、請求項４または請求項５に記載のレーザー焼入れ方法において、前記レーザー光が、レーザーダイオードから発せられることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、吸収率と発振効率が高く、小型軽量でメンテナンスフリーなダイオードレーザーを用いるので、比較的小さい領域を精度よく焼入れすることができる。
【００２０】
請求項７の発明は、請求項４〜６のいずれか１項に記載のレーザー焼入れ方法において、前記素材は、移動部材が相対的に移動する運動案内装置用の軌道部材であり、前記被焼入れ部は、移動部材と軌道部材との間に介在された転動体が転走する転動体転走面であることを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、Ｒ溝形状を持つ運動案内装置用軌道部材の転動体転走面の焼入れを均一且つ効率的に行うことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のレーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法について図面を参照しつつ説明する。
【００２３】
本発明のレーザー焼入れ装置は、例えば、直線案内装置、ボールスプライン、ボールねじ等の運動案内装置が備える軌道部材の被焼入れ部を焼入れ加工するのに好ましく適用され、凹凸のある被焼入れ部を有した素材が載置される作業台と、その被焼入れ部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、レーザー光照射手段と作業台とをレーザー光の光軸の直交方向に相対移動させる駆動手段とを備えた構成からなる。
【００２４】
図１は、運動案内装置の一例である直線案内装置を示す斜視図である。直線案内装置１１は、細長く伸びる軌道部材１と、軌道部材１に対して相対的に直線運動する移動部材２とを備えている。軌道部材１には、軌道部材１の長手方向に細長く伸びる複数条の転動体転走面としての複数条のボール転走面３（３ａ，３ｂ）が形成されている。一方、移動部材２には、軌道部材１のボール転走面３に対向する負荷ボール転走面を含むボール循環路が形成されている。また、ボール循環路には複数のボールが配列・収納され、複数のボールは転がり運動し、軌道部材１のボール転走面３と移動部材２の負荷ボール転走面との間で荷重を受ける。
【００２５】
軌道部材１は、その断面形状が左右対称となるように形成されている。複数条のボール転走面３も、軌道部材１の断面に対して左右対称に形成され、具体的には、軌道部材１の断面の左側に２条、右側に２条ずつ合計４条形成されている。このボール転走面３が、レーザー光を利用して焼入れされる被焼入れ部となる。左側の２条のボール転走面３および右側の２条のボール転走面３は、それぞれ突条９を挟んで背中合わせに配置されている。この突条９は、肉厚が比較的薄く、熱容量が小さい。
【００２６】
図２は、本発明のレーザー焼入れ装置の一例を示す構成図である。この焼入れ装置は、軌道部材１が載置される作業台４と、軌道部材１の複数条のボール転走面３（３ａ，３ｂ）に複数のレーザー光を照射するレーザー光照射手段としての一対のレーザー発生装置５および分光系１４と、複数条のボール転走面３に照射された複数のレーザー光をボール転走面３の長手方向に相対的に移動させる駆動手段としての駆動機構（図示せず）とを備える。
【００２７】
レーザー発生装置５および分光系１４は、軌道部材１の左右に一つずつ配置される。それぞれのレーザー発生装置５および分光系１４は、２条のボール転走面３に同時に２つのレーザー光を照射するように機能する。また、左右一対のレーザー発生装置５および分光系１４は、左右対称の合計４条のボール転走面３に同時に４つのレーザー光を照射するように機能する。
【００２８】
この実施形態においては、レーザー発生装置５としてレーザーダイオードを使用することが好ましい。レーザーダイオードを使用すると、レーザーの素材への吸収率が高く且つ発振効率が高くなるので、低エネルギで焼入れを行うことができるという利点がある。また、この他、設置面積が小さくなったり、メンテナンスが容易になる等の利点がある。レーザーの種類としては、この他、炭酸ガス（ＣＯ２）レーザー、ＹＡＧレーザー等を用いてもよい。
【００２９】
分光系１４は、レーザー発生装置５から発せられるレーザー光８を２つに分光する分光ミラー１２と、レーザー光が２条のボール転走面３それぞれを照射するように分光されたレーザー光を反射する一対の反射ミラー１３とを備える。
【００３０】
分光ミラー１２は、稜線１２ａを境界にして二つの反射面１２ｂを有している。二つの反射面１２ｂのなす角度は約９０°であり、レーザー発生装置５から水平方向に発せられるレーザー光を上下方向に２分割する。もちろん、分光ミラー１２の反射面１２ｂのなす角度、反射ミラー１３の反射面１３ａの角度等は焼入れする軌道部材１の形状によって変化する。
【００３１】
反射ミラー１３は、レーザー光８を軌道部材１のボール転走面３に照射することができるように、その反射面１３ａの角度を調整できるようになっている。また、ボール転走面３の焼入れ幅を広げることができるように、反射ミラー１３を振動させ、ボール転走面３に照射されたレーザー光をボール転走面３の幅方向に所定の振動数および振幅で振動させてもよい。
【００３２】
これらレーザー発生装置５および分光系１４は、支持台（図示しない）に支持される。レーザー発生装置５および分光系１４を装備した支持台は、軌道部材１が載置された作業台４対して相対的に移動し、その相対的な移動は、駆動モータ、ボールねじ機構またはリニアモータ等の駆動機構により、軌道部材１のボール転走面３の長手方向に行われる。
【００３３】
図３は、ボール転走面３の焼入れ層１５を示す断面図である。レーザー発生装置５および分光系１４を装備した支持台を、軌道部材１が載置された作業台４対して相対的に移動させることにより、ボール転走面３の輸郭に沿った表面層に焼入れが行なわれる。焼入れ層１５の深さは、レーザー発生装置５の出力と駆動機構の送り速度によって決められる。
【００３４】
ボール転走面３は凹凸形状をしているので、図３に示すように、レーザー発生装置５のレンズ７からボール転走面３の表面（被焼入れ部またはワークともいう）までの距離（ワークディスタンス：Ｓ１ともいう）は、その表面領域内において異なることになる。上述したように、従来からの一般的なレーザー焼入れにおいては、レーザー光のエネルギ密度が各部で異なってしまうので、ワークディスタンスＳ１の相違は被焼入れ部の焼入れ状態のばらつきを生じさせる原因となっている。
【００３５】
本発明のレーザー焼入れ装置は、図３に示すように、レーザー発生装置５から照射されるレーザー光８が、レーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ（Ｒで表される）以上の焦点深度（ＤＯＦ：ｄｅｐｔｈ  ｏｆ  ｆｏｃｕｓ、で表される）を有することに特徴があり、上述した焼入れ状態のばらつきを生じさせる原因を解消している。
【００３６】
焦点深度ＤＯＦとは、図４に示すように、光学系においていわゆるピントが合っている範囲のことであり、本発明に適用されるレーザー光において、焦点深度ＤＯＦは以下の式１で定義される。式１において、ＤＯＦは焦点深度であり、λはレーザー光の波長であり、Ｓ２は焦点距離であり、Ｄはレンズ上でのレーザー光の直径である。
【００３７】
【数１】
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【００３８】
式１からわかるように、焦点深度は焦点距離の２乗に比例し、その焦点深度をコントロールするパラメータとしては、▲１▼任意の波長からなるレーザー光の種類、▲２▼レンズ上でのレーザー光の直径を規制する絞り、▲３▼任意の焦点距離を実現するレンズの種類、等が挙げられる。本発明においては、こうしたパラメータを調整してレーザー発生装置５を構成することにより、レーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上となるように焦点深度が設定される。
【００３９】
例えば、レーザー光の種類としては、波長０．８０５μｍのダイオードレーザーや各種の混合波長のダイオードレーザー等を例示することができる。また、レーザー光８の直径Ｄを規制する絞りについては、焦点距離Ｓ２や被焼入れ部の幅に基づいて決定される。例えば所定の焦点距離を有する長焦点レンズを用いた場合には、ビームウエストの直径Ｗ０が被焼入れ部の幅と同一または略同一となるように絞りを設定することも可能となり、その設計自由度が拡大する。
【００４０】
本発明においては、長焦点レンズ７を用いることが好ましい。長焦点レンズ７を装着したレーザー発生装置５は、焦点距離Ｓ２が長くなり、焦点深度ＤＯＦの深さを拡大することができる。
【００４１】
次に、本発明のレーザー焼入れ方法について説明する。図５は、本発明のレーザー焼入れ方法（ａ）と従来のレーザー焼入れ方法（ｂ）を示す説明図である。
【００４２】
本発明のレーザー焼入れ方法は、図５（ａ）に示すように、長焦点レンズを用いて焦点深度をより深くしたレーザー発生装置５を用いて行うレーザー焼入れ方法であり、その焦点深度内で被焼入れ部をレーザー焼入れすることに特徴がある。すなわち、本発明は、レーザー光がレーザー光の光軸方向における被焼入れ部の凹凸深さ以上の焦点深度を有し、その焦点深度内で被焼入れ部をレーザー焼入れするものである。こうした本発明の焼入れ方法は、図５（ａ）に示すように、ビームウエストの直径Ｗ０が大きく、被焼入れ部の幅と略同じ大きさにすることも可能となり、その設計自由度を拡大することができる。さらに、レーザー発生装置５と被焼入れ部（ワークともいう）とのワークディスタンスＳ１が焦点深度ＤＯＦの略中央にあり、その被焼入れ部の凹凸深さがエネルギー密度の略等しい焦点深度内となるので、例えば図６に示すように、レーザー発生装置５を固定して軌道部材１を移動させることにより、所定の幅と凹凸深さＲをもつ軌道部材１の被焼入れ部を、エネルギー密度の略等しい焦点深度ＤＯＦの領域内で焼入れすることができる。
【００４３】
一方、従来のレーザー焼入れ方法は、図５（ｂ）に示すように、長焦点レンズではないレンズを用いているので、焦点位置におけるビームウエストの直径Ｗ０が小さく、被焼入れ部の幅と略同じ大きさにすることができない。そのため、レーザー発生装置５と被焼入れ部（ワークともいう）とのワークディスタンスＳ１を焦点深度から外れた位置としなければならないので、光軸方向にわずかにずれてもレーザー光のエネルギー密度が変化する。そのため、被焼入れ部の凹凸深さの各部に照射されるレーザー光のエネルギー密度が変化し易いので、焼入れにムラが生じることがある。
【００４４】
図７は、運動案内装置の軌道部材として、ボールスプラインのスプライン軸２１に対して本発明のレーザー焼入れを適用した例を示している。スプライン軸２１には周方向に均等間隔を開けて軸線方向に伸びる３つの突条２２が形成され、突条２２それぞれには背中合わせに一対のボール転走面２２ａ，２２ｂが形成されている。スプライン軸２１は、左右対称な断面形状を有し、６条のボール転走面２２ａ、２２ｂは、スプライン軸２１の断面に左右対称に形成されている。レーザー発生装置および分光系は、突条に合わせて３組設けられ、各レーザー発生装置および分光系が同時に一対のボール転走面２２ａ、２２ｂを照射するように構成される。また、３組のレーザー発生装置および分光系は、同時に６条のボール転走面２２ａ，２２ｂを照射するように構成される。レーザー発生装置および分光系の構成は、上記の実施形態と略同様なので同じ符号を附してその説明を省略する。この例でも、ボール転走面２２ａ，２２ｂに照射されたレーザー光は、ボール転走面２２ａ，２２ｂの長手方向に相対的に移動する。
【００４５】
図８は、運動案内装置の軌道部材として、ボールねじのねじ軸２５に対して本発明のレーザー焼入れを適用した例を示している。ねじ軸２５には螺旋状のボール転走面２６が形成されている。１／４円弧のボール転走面２６ａ，２６ｂは螺旋状のねじ山２７（突条）に背中合わせに形成されている。レーザー発生装置および分光系は、ねじ山２７の両側に位置する１対の１／４円弧のボール転走面２６ａ，２６ｂに同時にレーザー光を照射するように構成される。この例でも、ボール転走面２６ａ，２６ｂに照射されたレーザー光はボール転走溝２６ａ，２６ｂの長手方向、すなわち螺旋に沿って相対的に移動する。具体的には、ねじ軸２５を回転させながら軸線方向に移動させることでレーザー光を螺旋に沿って相対的に移動させることができる。また、レーザー光の光軸に対して直交する断面において、ボール転走面２６ａ，２６ｂの長手方向におけるレーザー光の照射形状の長さが、長手方向と直交する方向の長さよりも長く設定される。ところで、多条ねじのねじ軸に焼入れする場合は、ねじ軸の条数に合わせて複数のレーザー発生装置および分光系が設けられる。ねじ軸の曲がりを防止するためには、複数のレーザー発生装置および分光系はねじ軸の周方向に均等問隔を開けて配置されるのが望ましい。
【００４６】
なお、本発明は上記実施形態に限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更可能である。例えば、運動案内装置の軌道部材に限られることはなく、運動案内装置の転動体転走面はボールが転走するボール転走面に限られることはなくローラが転走するローラ転走面であってもよいし、すべりによる運動案内装置におけるすべり面であってもよい。さらに、レーザー光を軌道部材に対して移動させるのに限られず、軌道部材をレーザー光に対して移動させてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のレーザー焼入れ装置およびレーザー焼入れ方法によれば、エネルギー密度の変化が小さい焦点深度内に凹凸のある被焼入れ部を配置して焼入れできるので、被焼入れ部を均一に焼入れすることができる。そのため、被焼入れ部に凹凸がある場合やワークディスタンスの精度が悪い場合であっても、被焼入れ部の焼入れを均一に行うことが可能となると共に、ワークディスタンスが一定になるような機械制御や低出力・低速度での焼入れも不要となるので、焼入れ装置の構成を簡略化でき、高出力・高速度での効率的で品質に優れた均一な焼入れが実現できる。
【００４８】
また、長焦点レンズを適用することにより、エネルギー密度変化の小さい焦点深度を拡大することができると共に、焦点深度内のビームウエストの直径をビーム径に近い大きさに拡大できるので、レーザー光照射手段に所定の長焦点レンズを装着して、所定の凹凸深さを有する被焼入れ部の焼入れ幅に適合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】運動案内装置の軌道部材の一例である直線案内装置を示す斜視図である。
【図２】本発明のレーザー焼入れ装置の一例を示す構成図である。
【図３】ボール転走面の焼入れ層を示す断面図である。
【図４】焦点深度についての説明図である。
【図５】本発明のレーザー焼入れ方法と従来のレーザー焼入れ方法を示す説明図である。
【図６】本発明のレーザー焼入れ方法の一例である。
【図７】ボールスプラインのスプライン軸に対して本発明のレーザー焼入れを適用した例である。
【図８】ボールねじのねじ軸に対して本発明のレーザー焼入れを適用した例である。
【符号の説明】
１  軌道部材
２  移動部材
３、３ａ、３ｂ  ボール転走面（被焼入れ部）
４  作業台
５  レーザー発生装置
６  レーザー発生源
７  レンズ
８  レーザー
９  突条
１１  運動案内装置
１２  分光ミラー
１２ａ  稜線
１２ｂ  反射面
１３  反射ミラー
１３ａ  反射面
１４  分光系
１５  焼入れ層
２１  ボールスプラインのスプライン軸
２２  突条
２２ａ、２２ｂ、２６、２６ａ、２６ｂ  ボール転走面
２５  ボールねじのねじ軸
２７  ねじ山
ＤＯＦ  焦点深度
Ｒ  凹凸深さ
λ  レーザー光の波長
Ｓ１  ワークディスタンス
Ｓ２  焦点距離
Ｄ  レンズ上でのレーザー光の直径
Ｗ０  ビームウエストの直径
Ｗ１、Ｗ２  焦点深度内のビームの直径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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