(57)【要約】【課題】同一タイプの２つの圧力測定子を用いることで、装置構成を簡易とし、かつ各圧力測定子からのデータの取り込みを簡易化できる２種混合気体の濃度測定装置を提供すること。【解決手段】構成気体が既知で濃度が未知の２種混合気体の濃度測定装置は、第１，第２の圧力測定子（２０，４０）を有する。第１の圧力測定子（２０）は、配管（１０）に供給される混合気体の圧力に応じて変位し、かつ、その混合気体の物性値に敏感な圧力測定子である。第２の圧力測定子（４０）は、ベローズ容器（３０）内に配置される。このベローズ容器（３０）は、物性値が実質的に変動しない既知の気体が内部に収容され、混合気体の圧力に応じて体積変化する。第２の圧力測定子（４０）は、ベローズ容器（３０）内の気体の圧力に応じて変位し、かつその容器（３０）内の気体の物性値に敏感な圧力測定子である。この第１，第２の圧力測定子（２０，４０）の出力に基づいて、混合気体の濃度が測定される。を有する【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
構成気体が既知で濃度が未知の２種混合気体の濃度測定装置において、
前記混合気体の圧力に応じて変位し、かつ、前記混合気体の物性値に敏感な第１の圧力測定子と、
物性値が実質的に変動しない既知の気体が内部に収容され、前記混合気体の圧力に応じて体積変化する容器と、
前記容器内に配置され、前記容器内の気体の圧力に応じて変位し、かつ前記容器内の気体の物性値に敏感な第２の圧力測定子と、
前記第１，第２の圧力測定子の出力に基づいて、前記混合気体の濃度を測定する濃度検出部と、を有することを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１，第２の圧力測定子は、共に音叉型水晶振動子であることを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記濃度検出部は、
前記第１，第２の圧力測定子に接続される発振器と、
前記発振器からの出力である前記第１，第２の圧力測定子の共振抵抗と、前記第１，第２の圧力測定子の固有共振抵抗とに基づいて、前記混合気体の濃度を演算する濃度演算器と、を含むことを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記発振器は、
前記第１の圧力測定子に接続された第１の発振器と、
前記第２の圧力測定子に接続された第２の発振器と、
を含むことを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項５】
請求項２において、
前記発振器は、前記第１，第２の圧力測定子に共用され、
前記第１，第２の圧力測定子からの出力を、前記発振器に択一的に接続するスイッチをさらに有することを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれかにおいて、
前記濃度検出部は、前記発振器からの前記第１，第２の圧力測定子の共振抵抗値と、前記第１，第２の圧力測定子の各固有共振抵抗値との差に基づいて、前記混合気体の濃度を測定することを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記発振器は、前記第１，第２の圧力測定子の各共振周波数を出力し、
前記濃度検出部は、前記第１，第２の圧力測定子の前記各共振周波数に基づいて、前記第１，第２の圧力測定子の温度依存性を有する前記固有共振抵抗値を補正することを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記濃度検出部は、前記第１，第２の圧力測定子間の共振抵抗−圧力のバラツキを、前記混合気体の圧力が異なる少なくとも２点にて校正する校正結果を記憶するメモリをさらに有することを特徴とする２種混合気体の濃度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２種類の気体からなる混合気体の濃度を計測する装置に関する。特に、混合気体の物性値を反映した圧力と、混合気体の物性値を反映しない絶対圧力とを、それぞれ同種の圧力測定子を用いて検出可能とした濃度測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、２種類の気体からなる混合気体の濃度を求める方法として、紫外線吸光度測定法が知られている。この方法では、例えばオゾン酸素混合ガス中のオゾン濃度を計測するとき、紫外線のうちオゾンは吸収するが酸素はほとんど吸収しない特定の波長を、混合ガスに照射する。そして、紫外線の吸収率を測定することにより濃度を求めるようにしていた。
【０００３】
この紫外線吸光度測定法の種々の問題点を解決するために、粘性・熱伝導率・密度・分子量およびそれらの関数としての混合気体の物性値を測定し、純粋気体固有の物性値をもとに気体の濃度を算出する手法が開発された（特許文献１）。
【０００４】
このために、２種類の圧力測定子を用いている。一つは、混合気体の物性値に敏感な圧力測定子であり、他の一つは混合気体の物性値に影響を受けない圧力測定子である。特許文献１では、前者の圧力測定子として水晶摩擦振動子が挙げられ、後者の圧力測定子として隔膜振動子が挙げられている。
【０００５】
さらには、水晶振動子として、温度補償可能なものが提案されている（特許文献２）。
【０００６】
【特許文献１】
特許第３３３６３８４号公報
【特許文献２】
米国特許第５，２２８，３４４号明細書（特公平７−９７０６０）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１の方法は、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、また圧力が変化しても常に正確な濃度を測定することができ、また、熱や光を照射しない手法を採用することができるため、熱や光による刺激によって爆発の起こる混合気体でも安全に測定することができる点で優れている。また、特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、更に気体濃度の変化に対応して即時に濃度を測定することが可能となる点でも優れている。
【０００８】
しかし、特許文献１の方法では、その発明の原理上、２種類の全く異なる原理の圧力測定子を用いることから、装置構成が複雑となり、かつ２種類の圧力測定子からのデータの整合性等、新たな課題が生じた。また、混合気体の物性値に影響を受けない圧力測定子として、隔膜を用いた圧力測定子が好適であるが、測定精度を上げるために隔膜の直径が大きくなり、装置の小型化にも限界があった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、混合気体の物性値の影響を受けた圧力と受けない圧力を測定しながらも、それらを同種の圧力素子でそれぞれ測定でき、もって装置の大型化と複雑化の問題を解消できる２種混合気体の濃度測定装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様は、構成気体が既知で濃度が未知の２種混合気体の濃度測定装置において、
前記混合気体の圧力に応じて変位し、かつ、前記混合気体の物性値に敏感な第１の圧力測定子と、
物性値が実質的に変動しない既知の気体が内部に収容され、前記混合気体の圧力に応じて体積変化する容器と、
前記容器内に配置され、前記容器内の気体の圧力に応じて変位し、かつ前記容器内の気体の物性値に敏感な第２の圧力測定子と、
前記第１，第２の圧力測定子の出力にも基づいて、前記混合気体の濃度を測定する濃度検出部と、を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の一態様によれば、第１の圧力測定子からは混合気体の物性に依存した圧力が求められ、第２の圧力測定子からは混合気体の物性に依存しない絶対圧力が求められる。濃度検出器は、この２種類の圧力値に基づいて、圧力の影響を除外した混合気体の物性を求め、その物性により混合気体の濃度を検出することができる。
【００１２】
しかも、第１，第２の圧力測定子は共に、被測定気体の物性値に敏感な同一タイプの測定子となる。よって、異種タイプの圧力測定子を使用する特許文献１の発明と比較して、装置構成が簡易となり、かつ各圧力測定子からのデータが整合するので、データの取り込みが簡易となる。
【００１３】
前記第１，第２の圧力測定子としては、共に音叉型水晶振動子を好適に用いることができる。
【００１４】
前記濃度検出部は、前記第１，第２の圧力測定子に接続される発振器を有することができる。濃度検出器はさらに、前記発振器からの出力である前記第１，第２の圧力測定子の共振抵抗と、前記第１，第２の圧力測定子の固有共振抵抗とに基づいて、前記混合気体の濃度を演算する濃度演算器を含むことができる。
【００１５】
この場合、前記発振器は、前記第１の圧力測定子に接続された第１の発振器と、
前記第２の圧力測定子に接続された第２の発振器とを含むことができる。あるいは、前記発振器は、前記第１，第２の圧力測定子に共用されてもよい。このとき、前記第１，第２の圧力測定子からの出力を、前記発振器に択一的に接続するスイッチを設ければよい。
【００１６】
前記濃度検出部は、前記発振器からの前記第１，第２の圧力測定子の共振抵抗値と、前記第１，第２の圧力測定子の各固有共振抵抗値との差に基づいて、前記混合気体の濃度を測定することができる。
【００１７】
この場合、前記発振器は、前記第１，第２の圧力測定子の各共振周波数を出力し、前記濃度検出部は、前記第１，第２の圧力測定子の前記各共振周波数に基づいて、前記第１，第２の圧力測定子の温度依存性を有する前記固有共振抵抗値を補正することができる。
【００１８】
さらに、前記濃度演算部は、前記第１，第２の圧力測定子間の共振抵抗−圧力のバラツキを、前記混合気体の圧力が異なる少なくとも２点にて校正する校正結果を記憶するメモリをさらに有することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の濃度検出原理の前提として、特許文献１（特許第３３３６３８４）に記載のように、粘性・熱伝導率・密度・分子量等の物性値に影響を受けた圧力と、その物性値の影響を受けない圧力とに基づいて、混合気体の濃度を算出する手法を採用するものである。本発明の改良点とし、混合気体の濃度に依存して変化する物性値例えば粘性などに敏感な２つの圧力測定子を用いる。一方の圧力測定子を混合気体と接触させて圧力測定を行い、他方は混合気体の圧力によって体積変化する気密容器内に収納して、前記混合気体とは非接触で該混合気体の物性の影響を受けない絶対圧力を測定する。そして、物性値が反映された圧力値と絶対圧力値とに基づいて、演算処理によって圧力の影響を除いて混合気体の例えば粘性等の物性値を算出することで、物性値に応じた混合気体の濃度を求めるものである。
【００２０】
本発明における使用測定子の例としては、混合気体の圧力の変化と共に物理量が変化する圧力計としては、例えば粘性（摩擦）を利用する水晶振動子やスピニングロータゲージ、熱伝導を利用する熱電対真空計やピラニー真空計、そのほかクヌーセン真空計等を用いることができ、また、電離現象を利用する例えば熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射線電離真空計等を使用することができる。これら測定子は、引火性・爆発性といった気体の性質・対象混合気体の濃度・圧力によって使い分けることができる。
【００２１】
＜第１の実施の形態＞
図１に本発明の第１実施形態である濃度測定装置を示す。図１において、配管１０は、混合気体例えばオゾン／酸素の２種混合気体を供給するものである。この配管１０の一端には、ガス供給源が接続される。配管１０の他端には、基板上に例えば酸化膜を形成する半導体製造装置に接続されている。ガス供給源として例えば液化オゾンを収容したボンベを用いた場合、配管１０には気化された高濃度オゾンを供給することができ、成膜スピードを上げることができる。これに限らず、低濃度オゾンと高濃度酸素とを配管１０に供給しても良い。なお、配管１０に供給される混合気体の濃度が変動するため、その濃度測定の必要性がある。
【００２２】
配管１０の途中に連通する測定室１２には、第１の圧力測定子と２０、圧力によって体積変化する気密容器たとえばベローズ容器３０が設けられている。このベローズ容器３０内には、第２の圧力測定子４０が配置されている。測定室１２を別個に設けず、配管１０内を測定室としても良い。
【００２３】
第１，第２の圧力測定子２０，４０は共に、被測定気体の濃度変に応じて変化する物性値を反映した圧力を測定する圧力測定子であり、本実施形態では第１，第２の圧力測定子２０，４０を共に音叉型の水晶振動子を用いている。水晶振動子による圧力検出原理は、被測定気体に接した水晶振動子の受ける気体との摩擦力が、圧力が粘性流の領域では気体の分子量と気体の粘性係数の積の１／２乗に比例することである。この水晶振動子は、常温で動作し、また気体への接触面も金、石英、ステンレスのみであり、オゾンを分解する要因がない。
【００２４】
ベローズ容器３０内には一定濃度の気体、好ましくは不活性ガスであるアルゴンまたは窒素ガスが封入され、混合気体が配管１０に導入される以前は、ベローズ容器３０内の圧力は一定、例えば大気圧に設定されている。
【００２５】
ここで、第１の圧力測定子２０は、被測定対象の混合気体と直接接触するので、その物性例えば粘性や分子密度によって変動する圧力を測定することになる。
一方、第２の圧力測定子４０はベローズ容器３０内に収容され、被測定対象の混合気体とは非接触である。このベローズ容器３０の体積は、混合気体の圧力によって変化する。つまり、混合気体の圧力がベローズ容器３０内の圧力よりも高ければベローズ容器３０の体積は収縮し、その逆であれば拡張する。これにより、ベローズ容器３０内の不活性気体の圧力も変化する。第２の圧力測定子は、この不活性気体の物性によって変化する圧力を測定することになるが。不活性気体の濃度は一定である。結局、ベローズ容器３０内の第２の圧力測定子４０は、混合気体の粘性や分子密度等の物性によって測定値が変化しない絶対圧力を測定することができる絶対圧力測定子として機能する。
【００２６】
図１に示すように、第１の圧力測定子２０には第１の発振器５０が、第２の圧力測定子４０には第２の発振器６０が接続されている。また、第１，第２の発振器２０，４０に共用される周波数カウンタ７０及びＡ／Ｄ変換器８０が設けられている。これら周波数カウンタ７０及びＡ／Ｄ変換器８０は、濃度演算器として機能するＣＰＵ９０に接続されている。ＣＰＵ９０にはさらにメモリ９２が接続され、このメモリ９２には濃度演算に必要な情報が予め記憶されている。
【００２７】
図２は、第１，第２の発振器５０，６０に共用される発振回路の一例を示している。図２では、第１の発振器５０について説明するが、第２の発振器６０も同一の構成を有する。
【００２８】
図２は、米国特許第５，２２８，３４４に開示された発振回路と同じ構成を有している。図２に示す第１の発振器５０は、水晶振動子５０の温度変化に起因した測定誤差を補償するものである。この第１の発振器５０は、電流電圧変換器１００、第１の全波整流器１０２、減衰器１０４、比較器１０６、電圧制御減衰器１０８、第２の全波整流器１１０を有する。
【００２９】
ここで、水晶振動子２０の固有共振抵抗をＺ０とする。水晶振動子２０が混合気体の雰囲気中に配置された時に、水晶振動子２０が第１の発振器５０を介して振動すると、第２の全波整流器１１０からは、測定された共振抵抗Ｚ１の逆数１／Ｚ１が得られる。この固有共振抵抗Ｚ０と測定された共振抵抗Ｚ１との差ΔＺ（Ｚ０−Ｚ１）が、粘性（濃度）に依存した混合気体の圧力に相当する。ただし、固有共振抵抗Ｚ０は、広い温度領域（−２０〜＋６０℃）にて安定であるが、真空下ではその変化が無視できなくなる。
【００３０】
そこで、本実施形態では温度に依存した固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）を求め、この固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）と測定された共振抵抗Ｚとの差ΔＺ（Ｚ０＋Ｚｔ−Ｚ１）を、粘性（濃度）に依存した混合気体の圧力として求めている。
【００３１】
第１の発振器５０は、水晶振動子５０の共振周波数ｆ１を出力するように構成されている。この共振周波数ｆ１は、後述する通り温度Ｔを求めるために測定されている。
【００３２】
第１の発振器５０からの第１の共振周波数ｆ１は、図１に示す周波数カウンタ７０にてカウントされた後に、デジタル値としてＣＰＵ９０に入力される。第１の発振器５０からの共振抵抗Ｚ１の逆数１／Ｚ１（アナログ値）は、図１に示すＡ／Ｄ変換器８０を介してＣＰＵ９０に入力される。
【００３３】
同様にして、第２の発振器６０からの共振周波数ｆ２は、図１に示す周波数カウンタ７０にてカウントされた後に、デジタル値としてＣＰＵ９０に入力される。第２の発振器６０からの共振抵抗Ｚ２の逆数１／Ｚ２（アナログ値）は、図１に示すＡ／Ｄ変換器８０を介してＣＰＵ９０に入力される。
【００３４】
次に、ＣＰＵ９０での濃度演算について説明する。
【００３５】
（温度補正）
まず、第１，第２の発振器５０，６０からのデータｆ１，ｆ２，１／Ｚ１，１／Ｚ２に基づき、それぞれ温度補正された固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）を求める。以下では、第１の水晶発振子２０について求めるが、第２の水晶発振子４０についても同様に求められる。
【００３６】
ここで、第１の水晶発振子２０は、図３に示すように、温度Ｔと共振周波数ｆ１との間で直線ａの特性と、温度Ｔとそれに依存した固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）との間で曲線ｂの特性を有する。
【００３７】
ＣＰＵ９０では、第１の発振器５０にて求められた共振周波数ｆ１から、例えば図３中のＡ点を求め、そのＡ点に対応する温度から図３中のＢ点を求めることで、続いてと、水晶振動子５０の温度に依存した固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）を求めることができる。
【００３８】
第２の水晶振動子４０についても同様にして、温度に依存した固有共振抵抗を求めることができる。
【００３９】
（混合気体の濃度演算）
上述した通り、温度に依存した固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）を求め、この固有共振抵抗（Ｚ０＋Ｚｔ）と測定された共振抵抗Ｚとの差ΔＺ（Ｚ０＋Ｚｔ−Ｚ）が、粘性（濃度）に依存した気体の圧力である。図４は、その差ΔＺを、気体圧力Ｐを変化させて求めた測定図である。図４と同様な手法で、被測定気体として例えば２種類の濃度のオゾン／酸素混合気体と、ベローズ容器３０内の一定濃度の不活性ガスについてそれぞれ、抵抗差ΔＺと気体圧力Ｐとの関係を予め測定しておく。
【００４０】
次に、これら３種類の測定データから、図５に示す検量線が作成される。図５の横軸は、第２の水晶振動子４０側のデータから求められる圧力（絶対圧力）である。図５の縦軸は、第１の水晶振動子２０側のデータから求められる混合気体の粘性に依存した圧力である。図５では、酸素１００％の場合の特性Ｃと、酸素９５％／オゾン５％の混合気体の場合の特性Ｄとについてプロットされている。
この図５に示す検量線データが、図１のメモリ９２に記憶されている。
【００４１】
ここで、濃度が未知の混合気体が配管１０を通過した時、上述した手法により、第１の水晶振動子２０からの情報に基づいて、その混合気体の粘性（濃度）に依存した圧力（図５の縦軸座標位置）が求められる。一方、第２の水晶振動子４０からの情報に基づいて、その混合気体の粘性（濃度）に依存しない絶対圧力（図５の横軸座標位置）が求められる。この縦、横座標位置から、未知の混合気体の図５中の座標位置Ｅが求まる。ＣＰＵ９０は、図５中の座標位置Ｅと、特性Ｃ，Ｄとに基づいて、未知の混合気体中のオゾン濃度を測定することができる。
【００４２】
なお、第１，第２の水晶振動子２０，４０との間に特性、つまり共振抵抗−圧力特性のバラツキが生ずることがある。この特性のバラツキは、異なるの２つの圧力点、例えば大気圧と真空の２点で構成すれば、その間の圧力下での共振抵抗Ｚから十分な精度で圧力を計算可能である。このために、図１に示すメモリ９２に、第１，第２の水晶振動子２０，４０のそれぞれについて、例えば大気圧と真空との２点の校正結果を記憶し、演算時にその校正結果に基づいて圧力値を補正すればよい。
【００４３】
＜比較例＞
図６は、特許第３３３６３８４号に開示された実施形態を示している。なお、図６中において図１と同一機能の部材には同一符号を付している。水晶摩擦真空計１００は、水晶振動子２０、発振器５０、周波数カウンタ７０、Ａ／Ｄ変換器８０及びＣＰＵ１１０を有しており、混合気体の物性（例えば粘性）に依存した圧力を測定する手法は、第１の実施形態と同じである。
【００４４】
図６では、混合気体の物性に依存しない圧力を求めるために、隔膜真空計１２０を用いている。この隔膜真空計１２０は、混合気体の圧力によって変位するダイヤグラム１２１とその周辺検出回路の他、増幅器１２２、位相検出器１２４、Ａ／Ｄ変換器１２６、発振器１２８及びＣＰＵ１３０などを有している。水晶摩擦真空計１００のＣＰＵ１１０と、隔膜真空計１２０のＣＰＵ１３０との各出力が入力されるＣＰＵ１４０は、濃度計算機として機能する。その計算結果等はディスプレイ１５０に表示される。
【００４５】
このように、図６に示す比較例の測定装置は、検出原理が全く異なる２種類の真空計を用いることからデータの取り込みが本実施例よりも複雑であり、しかも検出精度はダイヤグラム１２１の直径に依存するので、隔膜真空計１２０は小型化が困難である。
【００４６】
これに対して、本実施形態では比較的大型な隔膜真空計１２０を用いることなく、ベローズ容器３０内に水晶振動子４０を配置することで、混合気体の物性に依存しない圧力測定を可能としている。そして、本実施形態では同種の例えば水晶振動子を２つ用いるので、データの取り込みが共通化し、図１のように例えば周波数カウンタ７０及びＡ／Ｄ変換器８０は２つの水晶振動子２０，４０に兼用できる。しかも、水晶振動子２０，４０は直径２ｍｍ、長さ１０ｍｍ程度にて構成できるので、隔膜真空計１２０と比較すれば小型化が可能である。
【００４７】
＜第２の実施の形態＞
図７は、本発明の第２の実施形態に係る濃度測定装置を示している。図７に示すように、第１，第２の水晶振動子２０，４０の出力端に２連スイッチ２００を設けることで、図１中の第１，第２の発振器５０，６０を一つの発振器２１０にて構成している。２連スイッチ２００は、高速で切り換え可能な半導体スイッチなどにて構成することができる。
【００４８】
このようにすれば、第１，第２の水晶振動子２０，４０に対して、周波数カウンタ７０及びＡ／Ｄ変換器８０に加えて、発振器２１０を共用させることができ、測測定装置がさらに小型化される。
【００４９】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、第１，第２の圧力測定子として、上記実施形態では水晶振動子を用いたが、これに限定されない。ただし、特に混合気体がオゾン等の活性気体であると、発熱体があると爆発するが、水晶振動子はヒータなど用いないので、爆発の危険性がない点で、他の測定子と比較して優れている。
【００５０】
また、上述の実施形態では水晶振動子の固有共振抵抗を温度補償したが、温度補償が必要でない圧力帯域例えば大気圧付近であれば、その補償動作を不要とすることができる。この場合、共振周波数ｆ１，ｆ２を検出する回路と、それをカウントする周波数カウンタが不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る濃度測定装置の概略説明図である。
【図２】図１中の第１，第２の発振器に共通な回路構成例を示す図である。
【図３】図１中の水晶振動子の共振周波数及び固有共振抵抗の温度異存特性を示す図である。
【図４】図１中の水晶振動子の固有共振抵抗と共振抵抗の差と、被測定対象気体の圧力との関係を示す特性図ある。
【図５】図１中のメモリに記憶される検量線の一例を示す特性図である。
【図６】本発明の比較例である濃度測定装置の概略説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の濃度測定装置の概略説明図である。
【符号の説明】
１０  配管、１２  測定室、２０  第１の圧力測定子（水晶振動子）、３０  ベローズ容器、４０  第２の圧力測定子（水晶振動子）、５０  第１の発振器、６０  第２の発振器、７０  周波数カウンタ、８０  Ａ／Ｄ変換器、９０  ＣＰＵ（濃度計算機）、９２  メモリ、２００  ２連スイッチ、２１０  発振器
【図１】
2004219386.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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