(57)【要約】【課題】カラーフィルタ用の感光性樹脂組成物について、内部硬化性を改善することで、現像工程に対するパターン形状安定性を高め歩留まりの向上に寄与し、表面硬化性を改善することで、液晶表示素子の表示品位の向上を図ることを課題とする。【解決手段】カラーフィルタの着色画素形成用感光性樹脂組成物について、少なくともバインダー樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、および着色剤（Ｄ）とからなり、該組成物を透過膜とした場合に、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある特定の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２〜０．５であるものとする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともバインダー樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、および着色剤（Ｄ）とからなる組成物であって、該組成物を透過膜とした場合に、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある特定の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２〜０．５であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記特定の波長が３６５ｎｍと４０５ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
基板上に請求項１または２記載の感光性樹脂組成物及び染料又は顔料によって着色画素を設けたことを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にカラーフィルタ等の着色画素形成に利用される感光性樹脂組成物に及びそれを用いたカラーフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示素子や固体撮像素子をカラー化する際には、一般に、微細加工された着色画素で構成されたカラーフィルタが用いられる。このようなカラーフィルタの製造には、高精細な画像を表示するために様々な形に細かくパターニングされた着色画素が形成されている。カラーフィルタでは高精細な画素パターンを得るために、例えば、架橋性のモノマーと光重合開始剤をバインダーとなる有機共重合体に混合し、得られたカラーレジストをガラス等の透光性を有する基板に塗布した後、形成したいパターンを介して露光、硬化、現像工程を行うことで、レリーフパターンを得るという、いわゆるフォトリソグラフィ技術が広く用いられている。
【０００３】
カラーフィルタには少なくとも３原色の着色画素のパターンが必要であり、フォトリソグラフィーを繰り返すことによって形成されるため、カラーフィルタの生産性はフォトリソグラフィーの効率に大きく影響される。このため、感光性材料であるレジストには高感度化が強く求められ、従来より、光重合開始剤系について多くの研究が行われている。
【０００４】
光ラジカル重合タイプのカラーレジストは高感度化しやすいメリットはあるものの、空気中の酸素による重合禁止作用を強く受けるため、空気と接触するレジスト表面だけは硬化せず、その後の現像工程によりレジスト表面が荒れるという問題点を有している。このレジスト表面は、微細な荒れであっても液晶配向には大きく影響し、液晶表示素子の表示品質を低下させる。
【０００５】
この問題を解決するため、酸素による重合阻害に対して抑制効果のある成分を添加したり、開始剤の量を増やしたりする方法がある。また、開始剤の種類や組成を工夫して効率よく表面を硬化させようとする発明が特許文献１や特許文献２で開示されている。しかし、開始剤の添加量が多すぎたり、レジスト表面での重合効率が大きいと、表面硬化性は改善されるが、逆に表面での光吸収が大きくなることから内部への光の透過量が減少して内部硬化性が悪くなるため、現像に対するパターン形状の安定性に問題が生じていた。表面の平坦性は、カラーフィルタパターン上部にもう一層の平坦化層を設けるか、あるいは、カラーフィルタパターンを研磨するなどの方法により達成されるが、別工程、あるいは別の層がさらに必要となり、コストアップの一因となる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−１５３８５９号公報
【特許文献２】
特開平１１−２０２４８７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、レジスト表面の平滑性を得るため、新たな層、または新たな工程を設けることなく、内部硬化性と表面平坦性の両方に優れた、高感度な感光性樹脂組成物を提供することにある。また内部硬化性を改善することで、現像工程に対するパターン形状安定性を高め歩留まりの向上に寄与し、表面硬化性の改善は、液晶表示素子の表示品位の向上に寄与すること、さらに、感度をあげることは露光スピードの向上につながり、生産性をあげることが可能な感光性樹脂組成物を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため鋭意検討した結果、少なくともバインダー樹脂（Ａ）、光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、着色剤（Ｄ）を含む組成物を透過膜とした場合に、特定の光の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２〜０．５となるように（Ａ）から（Ｄ）の各成分を配合した感光性樹脂組成物が、高感度を維持しながらも、内部硬化性と表面硬化性の両方を同時に満足し得るものであることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
請求項１に係る第１の発明は、少なくともバインダー樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、および着色剤（Ｄ）とからなる組成物であって、該組成物を透過膜とした場合に、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある特定の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２〜０．５であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。
【００１０】
請求項２に係る第２の発明は、前記特定の波長が３６５ｎｍと４０５ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物である。
【００１１】
請求項３に係る第３の発明は、基板上に請求項１または２記載の感光性樹脂組成物及び染料又は顔料によって着色画素を設けたことを特徴とするカラーフィルタである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、少なくともバインダー樹脂（Ａ）、光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、着色剤（Ｄ）を含むものであり、これを透過膜とした場合に、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある、特定の光の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２〜０．５となるように（Ａ）から（Ｄ）の各成分を配合したものである。また、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある、特定の光の波長における吸光度とは、この範囲の光の波長のうちある２点について吸光度の平均を取った値であり、特に４０５ｎｍと３６５ｎｍの２波長は超高圧水銀灯の特に強い輝線の波長（ｈ線、ｉ線）にあたり感光性樹脂組成物の感光・硬化反応に用いられる波長であるため、この波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）は感光性樹脂組成物の性能を決定する重要な要素である。
【００１３】
本発明の組成物に使用されるバインダー樹脂（Ａ）、光重合開始剤の作用により硬化するモノマー又はオリゴマー（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）は一般にこの種の成分を含むレジストに使用される広い範囲から選ぶことができる。
本発明によるカラーフィルタとは、上述の感光性樹脂組成物をガラス等透光性を有する基板上に積層することで感光層とし、該感光層に、ネガフィルタを介して露光、硬化、現像工程を行うことで、基板上に所望の着色画素パターンを形成したものである。
【００１４】
本発明の感光性樹脂組成物に用いるバインダー樹脂（Ａ）（以下、Ａ成分とする）としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、感光性樹脂などがあり、これらを単独または２種以上混合して用いることができる。
【００１５】
熱可塑性樹脂としては、例えばブチラール樹脂、スチレン−マレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム、セルロース類、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂などが挙げられる。
また、熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂などが挙げられる。
【００１６】
感光性樹脂とは、水酸基、カルボキシル基、アミノ基などの反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基を介入して、（メタ）アクリル化合物、ケイ皮酸などの光架橋性基を導入した樹脂である。また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物などの酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートなどの水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化した重合物も用いられる。
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル」とは「アクリル又はメタクリル」を示す。「（メタ）アクリレート」についても同様である。
【００１７】
本発明の感光性樹脂組成物に用いる光重合性モノマー及び／又はオリゴマー（Ｂ）（以下、Ｂ成分とする）としては、ラジカル重合性を有する化合物で前記バインダー樹脂（Ａ）と相溶性のあるものであればよい。このような化合物としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレートなどの各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル、ウレタンアクリレート、ウレタン基ポリエステルを有する多官能（メタ）アクリレート等を挙げることができるが、この限りではない。これらの成分は単独で、あるいは２種以上混合して用いることができる。
【００１８】
Ｂ成分の量は、前記Ａ成分１００重量部に対して２０〜１００重量部の範囲をとることが可能であり、好ましくは３０〜８０重量部である。２０重量部以下であると感度が低下し、１００重量部以上であると現像ができなくなる。
【００１９】
本発明の感光性樹脂組成物に用いる光重合開始剤（Ｃ）（以下、Ｃ成分とする）としては、活性光線の照射によりラジカルを放出してエチレン性不飽和二重結合を重合させる化合物であれば特に限定されない。例えば、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンなどのアセトフェノン系光開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系光開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイドなどのベンゾフェノン系光開始剤、ジメチルフェナシルスルホニウムブチルトリフェニルボレート、ジメチル−ｐ−クロロフェナシルスルホニウムブチルトリフェニルボレート等のアリルアシルスルホニウムボレート系光開始剤、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジンなどのトリアジン系光開始剤およびカルバゾール系光開始剤、イミダゾール系光開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光開始剤等の化合物が用いられる。上記の開始剤は、単独あるいは２種以上混合して用いることができる。
【００２０】
また、Ｃ成分には増感剤も含まれる。増感剤として、例えばα−アシルオキシムエステル、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナントレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、３−メルカプトプロピオン酸、トリメチロールプロパントリスチオグリコレートなどの化合物も併用することが出来る。ただし、増感剤の添加量が多いと表面硬化性があがりすぎて、パターン形状の現像に対する安定性が低下する。
【００２１】
上記の範囲内で超高圧水銀灯の輝線における吸光度が最適化されるように開始剤や増感剤の種類と量を検討しながら混合することで、各々の開始剤の効率を最大限発揮させ、内部硬化性と表面平坦性に優れた高感度な樹脂組成物とすることが可能となる。
【００２２】
Ｃ成分の量は、前記Ａ成分１００重量部に対して５〜６０重量部の範囲をとることが可能であり、好ましくは１０〜４０重量部である。５重量部以下では十分な感度が得られず、６０重量部以上であると溶解性が悪くなりＣ成分が析出してくる可能性がある。
【００２３】
本発明の感光性樹脂組成物に用いる着色剤（Ｄ）（以下、Ｄ成分とする）としては、一般にカラーフィルタの着色画素部の着色に用いられる種々の染料や顔料を挙げることができるが、耐熱性、耐光性の面から顔料が望ましい。
顔料としては、赤色顔料として、Ｃ．Ｉ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、１７７、１８０、１９２、２１５、２５４など、緑色顔料としてＣ．Ｉ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、３６、青色顔料としてＣ．Ｉ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、２２、６０、６４など、黄色顔料としてＣ．Ｉ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２０、２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１３９、１５３など、紫色顔料としては、Ｃ．Ｉ  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９、２３、２９、３０、４０、５０などが挙げられる。
【００２４】
以上述べた本発明のＡ〜Ｄ成分からなる感光性樹脂組成物は、これを透過膜とした場合に、波長が３６０〜４１０ｎｍの範囲にある特定の波長における（Ｃ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｉｎｉ）と（Ｄ）成分の単位膜厚当たりの吸光度の平均値（Ａｐｉｇ）の比（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）である吸光度比が０．２〜０．５である。（Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ）が０．２以下では、開始剤が吸収する光が少なすぎるために十分な感度が得られず、０．５以上の場合には、レジスト表面での開始剤自身の光の吸収が大きすぎるために内部硬化性が低下してしまう。
【００２５】
吸光度の測定は、まず対象となる感光性樹脂組成物を石英ガラス上に塗布した後、乾燥して、膜厚数μｍの薄膜（この厚みをｔとする）を形成し、この膜の吸光度を紫外−可視分光装置（Ｕ−４０００、（株）日立製作所製）にて測定し、膜厚ｔで割ったものを単位膜厚あたりの吸光度ａ１とした。次に、上記感光性樹脂組成物のうちのＤ成分を同じ重量部のＡ成分に置換した溶液を調製し、同様にして単位膜厚あたりの吸光度を求め、これをａ２とした。さらに、上記感光性樹脂組成物のうちのＣ成分とＤ成分を同じ重量部のＡ成分に置換した溶液を調製し、同様にして求めてこれをａ３とした。ＡｉｎｉとＡｐｉｇはそれぞれＡｉｎｉ＝ａ１−ａ２、Ａｐｉｇ＝ａ２−ａ３により求めた。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物には、均一な塗布膜厚を可能とし、保存安定性の獲得を目的として、しばしば溶剤等が添加される。溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎ−アミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油溶剤などが挙げられる。これらの溶剤は単独もしくは混合して用いられる。溶剤の添加量は固形分濃度が５〜５０ｗｔ％の範囲となるように加えるのが好ましい。固形分濃度が５ｗｔ％以下であると十分な膜厚を得ることが難しく、ピンホール等の塗布欠陥が発生しやすくなる。また、５０ｗｔ％を超えると粘度上昇により、各色で厚みにばらつきが生じたり、色の間の部分で平滑性が失われ、液晶の配向を乱し、画像品質を低下させる恐れがある。
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物には前記Ａ成分からＤ成分以外に、必要に応じてバインダー樹脂（Ａ）に相溶性のある分散剤等の添加物を、本発明の目的を損なわない範囲で添加することができる。
上記分散剤としては、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中間体、高分子分散剤などの広範囲のものを適用できる。
【００２８】
本発明に係る感光性樹脂組成物を調製する方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、上記した成分及び材料を、ディゾルバー型攪拌機、ターボ型攪拌機、二軸式攪拌機等の攪拌機を用いて混和する、あるいは二本ロールミル、三本ロールミル、サンドミル、ペイントシェーカー等の分散機を用いて混練することにより行われる。
【００２９】
このようにして得られた感光性樹脂組成物をバーコーター、アプリケーター、ドクターブレード、ロールコーター、スピンコーター、ダイコーター、コンマコーター等の公知の塗工手段を用いて、ガラス、ポリエステルに代表されるプラスチックフィルム等透光性を有する基板上に塗布し、感光層を形成する。乾燥が必要な場合は、その後、例えば６０〜１５０℃の温度にて加熱しても良い。
【００３０】
上記の方法により基板上に形成された感光層を、所定の画素パターンを有するフォトマスクを介して、例えば超高圧水銀灯、高圧水銀灯、中圧水銀灯、低圧水銀灯、キセノンランプ、ハロゲンランプ等からの活性光線照射により露光し、光照射部分を重合または架橋させた後、アルカリ現像液にて現像することにより、マスクパターンに忠実な画像を得ることができる。さらに必要ならば、熱処理すなわちポストベークを施し硬膜化をさらに進行させ、耐熱性、密着性を向上させることができる。熱処理は、熱風炉あるいは遠赤外線炉等で感光層中の熱硬化成分が十分反応する温度、時間で行えばよい。
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明は下述する実施例に限定されるものではない。
【００３２】
【実施例】
＜実施例１〜５、および比較例１〜５＞
〔感光性樹脂組成物の調製〕
下記表１に示す化合物及び溶剤を窒素気流中で攪拌しながら８０℃で５時間加熱反応させ粘調な液体を得た。これをバインダー樹脂（Ａ）溶液として用いた。上述のように調製したバインダー樹脂（Ａ）溶液を含むＢ成分、Ｃ成分、Ｄ成分、分散媒、溶剤として表２に示す化合物・添加物を用いて、表３に示す配合比に従い、十分に混合溶解して緑色の感光性樹脂組成物を調製した。表３中の数値は重量部を表す。
【００３３】
【表１】
2004258286.tif 000002
【００３４】
【表２】
2004258286.tif 000003
【００３５】
【表３】
2004258286.tif 000004
【００３６】
ここで表３中の評価及び表記は以下によるものとする。
＜Ａｉｎｉ／Ａｐｉｇ［−］＞
吸光度比を示す。３６５ｎｍと４０５ｎｍにおける１μｍあたりの吸光度の平均値による。
＜感度［ｍＪ／ｃｍ２］＞
残膜率が９０％以上となるのに必要な最小露光量で表す。
＜表面平坦性＞
感光硬化後の樹脂組成物皮膜の表面平坦性を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し、評価した。
◎…非常に良好（硬化後の樹脂組成物皮膜の断面上部が平坦であり、斜め上から見た表面にざらつきのないもの）
○…良好
△…悪い
＜パターン形状＞
過現像時のパターン現像をＳＥＭによる断面形状の観察により評価した。
◎…非常に良好（内部まで硬化しており、順テーパーであるもの）
○…良好
△…悪い（逆テーパーであったもの）
【００３７】
〔カラーフィルタの作製〕
ガラス基板上に、上記緑色の感光性樹脂組成物をスピンコーターで乾燥膜厚２．０μｍになるように全面塗布して感光層を形成した。その後８０℃でプレベイクを行ない、アライナーにより超高圧水銀灯で所定のマスクを通してパターン露光した。露光後、０．５ｗｔ％の水酸化ナトリウム水溶液により現像し、パターンを形成した後、ポストベークを２３０℃、１時間行った。
【００３８】
表３に示されるように、吸光度比を本発明の範囲に調整したもの（実施例１〜５）は、感度を維持したまま、表面の平坦性も良く、過現像の条件でもパターン形状は良好なままであった。特に、Ｃ成分を３元系にした実施例５は、上記実施例の中で最も良好な結果となった。一方、吸光度比が本発明の範囲内でないもの（比較例１〜５）は、感度が低い、内部硬化性が悪いため過現像によりオーバーハングしてしまいパターン形状が悪い、レジスト表面の平坦性が悪い等の問題が少なくとも一つはあり、レジストとして十分な特性を有するものはなかった。
【００３９】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、高感度を維持しつつ、表面の平坦性およびパターン形状に優れた感光性樹脂組成物を提供できる。内部硬化性が改善されることにより、現像工程に対するパターン形状安定性を高め歩留まりの向上に寄与し、表面硬化性の改善は、液晶表示素子の表示品位の向上に寄与する。さらに、感度があがることにより露光スピードが向上し、生産性をあげることができる。