(57)【要約】【課題】コアの過度の温度上昇を防ぎつつ、コア等の電力カプラの電力損失を軽減した無電極放電灯、無電極放電灯を点灯させる無電極放電灯点灯装置及び無電極放電灯と無電極放電灯点灯装置を備えた照明装置を提供する。【解決手段】少なくとも水銀及び希ガスを含む放電ガスが内部に封入されており断面凹形状の空洞部２を有する略球形状のバルブ１と、空洞部２内に配設され放電ガスに高周波電磁界を供給する誘導コイル３と、誘導コイル３が巻回される磁気性材料で円筒状のコア４と、コア４の内側であってコア４と接触する熱伝導性材料の部材５と、を備えた無電極放電灯であって、断面視にてコア４の上端が部材５の上端よりも突出している。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも水銀及び希ガスを含む放電ガスが内部に封入されており断面凹形状の空洞部を有する略球形状のバルブと、空洞部内に配設され放電ガスに高周波電磁界を供給する誘導コイルと、誘導コイルが巻回される磁気性材料で円筒状のコアと、コアの内側であってコアと接触する熱伝導性材料の部材と、を備えた無電極放電灯であって、断面視にてコアの上端が部材の上端よりも突出したことを特徴とする無電極放電灯。
【請求項２】
断面視にて部材の上端が誘導コイルの上端よりも突出したことを特徴とする請求項１記載の無電極放電灯。
【請求項３】
空洞部とコアとの間に、空洞部及びコアと接触する弾性体を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の無電極放電灯。
【請求項４】
誘導コイルとコアとを熱伝導性材料の樹脂で保持したことを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の無電極放電灯。
【請求項５】
樹脂で誘導コイルを覆設したことを特徴とする請求項４記載の無電極放電灯。
【請求項６】
コアは断面略コ字状であって、コ字状コアの窪み部に誘導コイルを巻回したことを特徴とする請求項１記載の無電極放電灯。
【請求項７】
部材は断面略凸状であって、凸状部材の凸部にコアを接触したことを特徴とする請求項１から６までのいずれかに記載の無電極放電灯。
【請求項８】
誘導コイルに高周波電流を供給する高周波電源を備え、請求項１から７までのいずれかに記載の無電極放電灯を点灯させることを特徴とする無電極放電灯点灯装置。
【請求項９】
請求項８記載の無電極放電灯点灯装置を備え、無電極放電灯を点灯させることを特徴とする照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は内部に放電ガスを封入したバルブに高周波電磁界を印加して発光させる無電極放電灯、無電極放電灯を点灯させる無電極放電灯点灯装置、及び無電極放電灯と無電極放電灯点灯装置を備えた照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
無電極放電灯が点灯しているときにコアの温度が上昇してしまうと、コアの比透磁率が低下してしまい、コアでの電力損失が増加してしまう。そこで、無電極放電灯が点灯しているときのコアの過度の温度上昇を防ぐために、無電極放電灯に温度上昇防止手段を備えたものとして、たとえば、米国特許第５００６７５２号に記載のものが挙げられる。このものは伝熱素子として、液体を含む中空パイプを有している。液体はコアに位置するパイプの領域で蒸発し、蒸気は放電灯容器の外側の領域で凝縮される。そして、凝縮熱はフランジによって周囲に伝えられる。コア領域への液体の流れ、コアの領域がフランジの上方にある場合には重力に抗しても、液体の流れを可能とするために、液体を上向きに吸い上げる毛細管構造を与えるようにパイプ内にガーゼを備えている。液体及びガーゼを有する管は非常に高い熱伝達能力を有するので、無電極放電灯が比較的高い効率で比較的大きな電力を消費することができる。
【０００３】
しかしながらこの無電極放電灯の欠点は、パイプが高価であることである。
【０００４】
この無電極放電灯のコストアップに対処したものとして、たとえば、特開平６−１９６００６号公報のものが挙げられる。このものは、図１２に示すように、管（２５）のフレア部分（２６）に融着されたバルブ（１）を有する。電力カプラ（２０）は、無電極放電灯容器に取外し可能に取付けられ、コイル（２２）で取囲まれた軟磁性体コア（２１）とこのコア内の伝熱素子（２３）とを有する。この伝熱素子は中実のロッドで、コイル（２２）は管（２５）のフレア部分（２６）に隣接した領域（２８）にあり、弾性材料がロッド（２３）をコア（２１）に側方に結合している。
【０００５】
このように構成することにより、コストアップを抑えつつ、無電極放電灯が点灯しているときのコア（２１）の過度の温度上昇を防いだ無電極放電灯を提供することができる。
【０００６】
【特許文献１】
米国特許第５００６７５２号
【０００７】
【特許文献２】
特開平６−１９６００６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところがこの従来例においては、コア（２１）の上端と伝熱素子（２３）の上端とが略同一となっているため、コア（２１）の上端近傍から出た磁力線が伝熱素子（２３）内等を通過してしまい再びコア（２１）に戻ってこないので、コア（２１）での電力損失が増大してしまう。すなわち、コア（２１）の過度の温度上昇を防いでいる割には、コア（２１）での電力損失を抑えることができない場合があった。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなしたものであり、その目的とするところは、コアの過度の温度上昇を防ぎつつ、コア等の電力カプラの電力損失を軽減した無電極放電灯、無電極放電灯を点灯させる無電極放電灯点灯装置及び無電極放電灯と無電極放電灯点灯装置とを備えた照明装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の無電極放電灯は、少なくとも水銀及び希ガスを含む放電ガスが内部に封入されており断面凹形状の空洞部を有する略球形状のバルブと、空洞部内に配設され放電ガスに高周波電磁界を供給する誘導コイルと、誘導コイルが巻回される磁気性材料で円筒状のコアと、コアの内側であってコアと接触する熱伝導性材料の部材と、を備えた無電極放電灯であって、断面視にてコアの上端が部材の上端よりも突出したことを特徴とするものである。
【００１１】
このような無電極放電灯においては、コアの上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくする。
【００１２】
請求項２記載の無電極放電灯は、請求項１記載の無電極放電灯において、断面視にて部材の上端が誘導コイルの上端よりも突出したことを特徴とするものである。
【００１３】
このような無電極放電灯においては、コアから出入りする磁力線の表面積を大きくする。
【００１４】
請求項３記載の無電極放電灯は、請求項１又は２記載の無電極放電灯において、空洞部とコアとの間に、空洞部及びコアと接触する弾性体を設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
このような無電極放電灯においては、弾性体によりコアの揺れを防止する。
【００１６】
請求項４記載の無電極放電灯は、請求項１から３までのいずれかに記載の無電極放電灯において、誘導コイルとコアとを熱伝導性材料の樹脂で保持したことを特徴とするものである。
【００１７】
このような無電極放電灯においては、熱伝導性材料の樹脂により誘導コイルの温度上昇を防止する。
【００１８】
請求項５記載の無電極放電灯は、請求項４記載の無電極放電灯において、樹脂で誘導コイルを覆設したことを特徴とするものである。
【００１９】
このような無電極放電灯においては、熱伝導性材料の樹脂により誘導コイルの温度上昇を防止する。
【００２０】
請求項６記載の無電極放電灯は、請求項１記載の無電極放電灯において、コアは断面略コ字状であって、コ字状コアの窪み部に誘導コイルを巻回したことを特徴とするものである。
【００２１】
このような無電極放電灯においては、コアから出入りする磁力線の表面積を大きくする。
【００２２】
請求項７記載の無電極放電灯は、請求項１から６までのいずれかに記載の無電極放電灯において、部材は断面略凸状であって、凸状部材の凸部にコアを接触したことを特徴とするものである。
【００２３】
このような無電極放電灯においては、コアから出入りする磁力線の表面積を大きくする。
【００２４】
請求項８記載の無電極放電灯点灯装置は、誘導コイルに高周波電流を供給する高周波電源を備え、請求項１から７までのいずれかに記載の無電極放電灯を点灯させることを特徴とするものである。
【００２５】
請求項９記載の照明装置は、請求項８記載の無電極放電灯点灯装置を備え、無電極放電灯を点灯させることを特徴とするものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
以下、本発明の第１の実施の形態を図１から図５までを参照して説明する。図１は本実施の形態の断面図を示しており、図２は本実施の形態において距離ｂと誘導コイル３のＱ値との関係を示している。また、図３は本実施の形態の要部の断面図を示しており、図４は高周波電源１２の回路図を示している。さらに、図５は無電極放電灯と無電極放電灯点灯装置とを備えた照明装置の断面図を示している。
【００２７】
以下、各部の構成を詳述する。
【００２８】
バルブ１は、略球形状であってその内部に少なくとも水銀及び希ガスを含む放電ガスを封入しておくものであり、バルブ１の下端側には後述する有底状であって断面凹形状の空洞部２が設けられている。バルブ１の材料は石英ガラス等の透光性材料であり、放電ガスは水銀、希ガス及び金属ハロゲン化物である。一例として、略３００Ｔｏｒｒのキセノンガスと略１０ｍｇのナトリウム沃化物、タリウム沃化物及びインジウム沃化物の混合ガスとが用いられる。もちろん、封入する放電ガスは他の気体や金属を用いてもよい。また、バルブ１の内側は蛍光体１０及び保護膜１１が塗布されている。蛍光体１０は水銀からの放射された紫外線を可視光に変換するものであり、蛍光体１０の材料としてはハロ燐酸カルシウム、赤色蛍光体である（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、緑色蛍光体であるＣａＰＯ４、青色蛍光体であるＢａＭｇＡｌｌ４Ｏ２３：Ｅｕが用いられる。保護膜１１は水銀とバルブ１の材料である石英ガラスとの反応を抑えることにより、バルブ１の光束維持率を向上させるものである。保護膜１１の材料としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）、チタニア（ＴｉＯ２）、セリア（ＣｅＯ２）、イットリア（Ｙ２Ｏ３）、マグネシア（ＭｇＯ）等の微粒子が用いられる。保護膜１１は、通常のバルブ１では透過率が高い方が望ましいため、蛍光体１０に比べ薄くバルブ１内面に形成される。また、バルブ１の形状は略球形状でなくてもよく、たとえば円筒形のような他の形状であっても構わない。
【００２９】
誘導コイル３は、バルブ１内部の放電ガスに１３．５６ＭＨｚで発振する高周波電磁界を供給するものであり、一方は後述するコア４に巻回されており、他方は後述する高周波電源１２に接続されている。ここで、誘導コイル３は銅又は銅合金による条材を所定回数巻回して形成している。そして、誘導コイル３には高周波電源１２が動作すると高周波電流が流れ、誘導コイル３の周りに高周波電磁界が発生するように構成されている。つぎに、発生した高周波電磁界によりバルブ１内部の電子が加速され、放電ガスの原子に衝突して放電ガスを電離させ、新たな電子を発生させる。このようにして発生した電子は、誘導コイル３の周りに発生した高周波電磁界によりエネルギ−を受け取り、放電ガス原子に衝突しエネルギ−を与える。放電プラズマ内の原子は、電離したり励起したりする。励起された原子は、基底状態に戻るときに発光する。この発光を光エネルギ−として利用するのである。
【００３０】
コア４は、空洞部２の内部にコア４の一端がバルブ１の中心に向かうようにコア４の他端が後述する基台９に固定され立設おり、略円筒状であって後述する略円筒状の部材５の凸部５ａの外面と接触するように設けられている。そして、コア４の一端である上端は、凸部５ａの上端よりも高く設定されている。本実施の形態ではこのコア４の材料として、透磁率が略１５０である軟磁性体のニッケル亜鉛（ＮｉＺｎ）フィライトを用いている。もちろん、マンガン亜鉛（Ｍｎ−Ｚｎ）フェライト、軟磁性金属を含むものであればどのようなものでも構わない。また、軟磁性金属単体でもよい。ここで、軟磁性体とはバルク状態での保磁力Ｈｃが１０Ｏｅ程度以下のものである。
【００３１】
部材５は、断面略凸状であって、この凸部５ａの外側にコア４が接触するように設けられている。そして、部材５の上端は断面視にてコア４の上端よりも低く設定されている。ここで、図２にコア４の上端と部材５の上端との距離（ｍｍ）をｂとしたときの距離ｂと誘導コイル３のＱ値（Ｑ値は、誘導コイル３の抵抗をＲ、インダクタスをＬ、角周波数をω（＝２πｆ（ｆ：周波数））とすると、Ｑ＝ωＬ／Ｒで表される。）との関係を示す。Ｑ値が大きいということは、誘導コイル３の抵抗が小さい、すなわち、誘導コイル３での電力損失が小さいことを意味する。この図２からわかるように、距離ｂは０＜ｂ＜１０の範囲、特にｂ＝５程度が望ましいといえる。Ｑ値が大きいと誘導コイル３での電力損失が小さくなり、無電極放電灯の始動性を向上させることもできる。
【００３２】
また、図３は図１に示す無電極放電灯の要部を示している。ここで、本実施の形態では、断面視にて部材５の上端が誘導コイル３の上端よりも突出しており、このように構成するとコア４の上端近傍から出入りする磁力線の表面積をより大きくすることができ、誘導コイル３での電力損失をより軽減することができる。もちろん、断面視にて部材５の上端と誘導コイル３の上端とを略等しくしても構わない。
【００３３】
この誘導コイル３、コア４及び部材５によりバルブ１に高周波電力を供給する電力カプラを構成している。
【００３４】
基台９は、アルミダイカストにて形成された上面開口の有底状の略円筒体で、その内部には高周波電源１２を備えている。そして、この基台９の底面には、上述した誘導コイル３がバルブ１の中心に向かうように立設固定されている。さらに、底部には蓋体（図示しない）が設けられている。
【００３５】
高周波電源１２は、誘導コイル３に高周波電流を供給するものであり、本実施の形態では特開平６―１８８４３４号公報に示したものを用いている。その回路図を図４に示す。図４において高周波電源１２は、チョッパ回路３１、発振回路３２、プリアンプ３３、フィルタ回路３４、メインアンプ３５、整合回路３６から構成されている。３２は水晶振動子Ｘを用いた発振回路３２であり、インダクタンス素子Ｌ６とキャパシタンス素子Ｃ１５とにより低Ｑの同調回路を構成し、無調整の発振器としている。発振回路３２の発振出力を増幅するプリアンプ３３はスイッチング素子Ｑ４によりＣ級増幅を行っており、インダクタンス素子Ｌ５とキャパシタンス素子Ｃ１７とにより発振周波数に同調するように構成している。抵抗Ｒ８〜Ｒ１０からなる回路は減衰器を構成しており、抵抗Ｒ１１はインダクタンス素子Ｌ５のＱを下げるために挿入されている。フィルタ回路３４は、インダクタンス素子Ｌ３とキャパシタンス素子Ｃ４とから構成され、高周波がいわゆるチョッパ回路３１に帰還することを防いでいる。プリアンプ３３の出力をさらに高周波電力を増幅するメインアンプ３５は、パワーＭＯＳＦＥＴ（以下、スイッチング素子と呼ぶ。）Ｑ５による増幅器となっている。インダクタンス素子Ｌ７はスイッチング素子Ｑ５の入力キャパシタンスを打ち消すために挿入してあり、抵抗Ｒ１２はスイッチング素子Ｑ５の入力キャパシタンスをプリアンプ３３の出力と整合させるために接続してある。整合回路３６は、キャパシタンス素子Ｃ１８〜Ｃ２０などで構成され、メインアンプ３５の出力とバルブ１及び誘導コイル３とのインピーダンス整合を行っている。ここで、高周波電源１２としては、バルブ１内部の放電ガスに１３．５６ＭＨｚで発振する高周波電磁界を供給するものであれば、このものに限られない。
【００３６】
この高周波電源１２と無電極放電灯とから無電極放電灯点灯装置が構成されており、この無電極放電灯点灯装置を備え無電極放電灯を点灯させる照明装置として、たとえば、図５に示すものが挙げられる。このものはバルブ１の上方をシールドケース１３が覆っており、基台９の下方には高周波電源１２に電力を供給する電源回路等１４が備えられている。もちろん、無電極放電灯を点灯させる照明装置としては、このものに限られない。
【００３７】
以上、本実施の構成によれば、断面視にてコア４の上端が部材５の上端よりも突出しているので、コア４の上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくことができ、電力カプラの電力損失を軽減することができる。さらに、断面視にて部材５の上端が誘導コイル３の上端よりも突出しているので、コアの上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくすることができ、電力カプラの電力損失をより軽減することができる。
（実施例２）
以下、本発明の第２の実施の形態を図６及び図７を参照して説明する。図６は本実施の形態の断面図を示しており、図７は本実施の形態の他の断面図を示している。ここで、第１の実施の形態と同一構成には同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００３８】
図６に示す無電極放電灯と図１に示す無電極放電灯との相違点は、図６に示す無電極放電灯では、空洞部２とコア４との間に、空洞部２及びコア４と接触する弾性体６を設け、無電極放電灯が揺れた場合に、緩衝材の役割を果たし、コア４の揺れを防止している点である。
【００３９】
この弾性体６はさらに、コア４が空洞部２からずれることも防止する。さらにまた、ずれ防止のみならず、コア４と空洞部２との位置関係を固定し、電力カプラでの電力損失を軽減することもできる。本実施の形態ではこの弾性体６の材料として、熱可塑性のフッ素系樹脂を用いている。このような熱可塑性の材料は耐熱性があり、バルブ１が点灯し温度が上昇しても形状が変形しにくい。また、フッ素系樹脂は伸縮する性質があるので、コア４及び空洞部２の形状がばらついた場合においても、そのばらつき形状に応じて樹脂の長さが伸縮しコア４と空洞部２との位置関係を固定することができる。ここで弾性体６としてその他の熱可塑性、たとえば、シリコン系樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）等を用いてもよい。さらに弾性体６は光透過率がよく、かつバルブ１の光出力量への影響が少ないものを用いてもよい。その他シリコンゴムでもよい。
【００４０】
ここで弾性体６としては、図７に示すように誘導コイル３を完全に覆設するものであってもよい。このように誘導コイル３を完全に覆設すると、たとえば、無電極放電灯が振動した場合においても、誘導コイル３のずれを防止し、固定することができる。
【００４１】
なお、上記説明で特に言及していない作用、効果等は第１の実施の形態と同様である。
【００４２】
（実施例３）
以下、本発明の第３の実施の形態を図８を参照して説明する。図８は本実施の形態の断面図を示している。ここで、第１の実施の形態と同一構成には同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００４３】
図８に示す無電極放電灯と図１に示す無電極放電灯との相違点は、図８に示す無電極放電灯では、誘導コイル３とコア４とを熱伝導性材料の放熱用樹脂７で保持し、誘導コイル３の温度上昇を防止している点である。
【００４４】
樹脂７は誘導コイル３とコア４とを接着し、誘導コイル３で発生した熱をコア４に伝えるものである。樹脂７の材料としては、セメントやシリコン系接着剤が用いられる。
【００４５】
このように誘導コイル３とコア４との間に放熱用樹脂７を染み込ませると、誘導コイル３の過度の温度上昇を防ぐことができ、誘導コイル３の寿命を延ばしたり、さらには、誘導コイル３の線種として細いものを使用することができる。もちろん、誘導コイル３とコア４とを固定することもできる。
【００４６】
なお、上記説明で特に言及していない作用、効果等は第１の実施の形態と同様である。
【００４７】
（実施例４）
以下、本発明の第４の実施の形態を図９を参照して説明する。図９は本実施の形態の断面図を示している。ここで、第１の実施の形態と同一構成には同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００４８】
図９に示す無電極放電灯と図１に示す無電極放電灯との相違点は、図９に示す無電極放電灯では、コア４は断面略コ字状であって、コ字状コア４の窪み部８に誘導コイル３を巻回し、誘導コイル３をコア４に固定している点である。
【００４９】
このように誘導コイル３コ字状コア４の窪み部８に巻回すると、コア４から出た磁力線がコア４に戻ってくる表面積が大きくなり、コア４等の電力カプラでの電力損失を軽減することができる。
【００５０】
なお、上記説明で特に言及していない作用、効果等は第１の実施の形態と同様である。
（実施例５）
以下、本発明の第４の実施の形態を図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は本実施の形態の断面図を示しており、図１１は距離ａと誘導コイル３のＱ値との関係を示している。ここで、第１の実施の形態と同一構成には同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００５１】
図１０に示す無電極放電灯と図１に示す無電極放電灯との相違点は、図１０に示す無電極放電灯では、部材５が断面略凸状であって、凸状部材５の凸部５ａにコア４を接触している点である。
【００５２】
このように部材５を断面略凸状とすることによって、部材５が外気と接触する接触面積を大きくすることができ、電力カプラ全体の過度の温度上昇を防止することができる。
【００５３】
ここで、図１１にコア４の下端と部材５ａの下端との距離（ｍｍ）をａとしたときの距離ａと誘導コイル３のＱ値との関係を示す。この図１１からわかるように、距離ａは、１０＜ａの範囲が望ましいといえる。Ｑ値が大きいと誘導コイル３での電力損失が小さくなり、第１の実施の形態と同様に無電極放電灯の始動性を向上させることもできる。
【００５４】
なお、上記説明で特に言及していない作用、効果等は第１の実施の形態と同様である。
【００５５】
【発明の効果】
請求項１記載の無電極放電灯は、断面視にてコアの上端が部材の上端よりも突出しているので、コアの上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくすることができ、電力カプラの電力損失を軽減することができる。
【００５６】
請求項２記載の無電極放電灯は、請求項１記載の無電極放電灯において、断面視にて部材の上端が誘導コイルの上端よりも突出しているので、請求項１記載の無電極放電灯よりもさらに、コアの上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくすることができ、電力カプラの電力損失を軽減することができる。
【００５７】
請求項３記載の無電極放電灯は、請求項１又は２記載の無電極放電灯において、空洞部とコアとの間に、空洞部及びコアと接触する弾性体を設けているので、弾性体によりコアの揺れを防止することができる。
【００５８】
請求項４記載の無電極放電灯は、請求項１から３までのいずれかに記載の無電極放電灯において、誘導コイルとコアとを熱伝導性材料の樹脂で保持しているので、熱伝導性材料の樹脂により誘導コイルの温度上昇を防止することができる。
【００５９】
請求項５記載の無電極放電灯は、請求項４記載の無電極放電灯において、樹脂で誘導コイルを覆設しているので、誘導コイルの温度上昇を防止することができる。
【００６０】
請求項６記載の無電極放電灯は、請求項１記載の無電極放電灯において、コアは断面略コ字状であって、コ字状コアの窪み部に誘導コイルを巻回しているので、請求項１記載の無電極放電灯よりもさらに、コアの上端近傍から出入りする磁力線の表面積を大きくすることができ、電力カプラの電力損失を軽減することができる。
【００６１】
請求項７記載の無電極放電灯は、請求項１から６までのいずれかに記載の無電極放電灯において、部材は断面略凸状であって、凸状部材の凸部にコアを接触しているので、請求項１から６までのいずれかに記載の無電極放電灯よりもさらに、コアから出入りする磁力線の表面積を大きくすることができ、電力カプラの電力損失を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態を示す断面図である。
【図２】第１の実施の形態において距離ｂと誘導コイル３のＱ値との関係を示す図である。
【図３】第１の実施の形態の要部を示す断面図である。
【図４】高周波電源を示す回路図である。
【図５】無電極放電灯と無電極放電灯点灯装置とを備えた照明装置の断面図である。
【図６】第２の実施の形態を示す断面図である。
【図７】第２の実施の形態を示す他の断面図である。
【図８】第３の実施の形態を示す断面図である。
【図９】第４の実施の形態を示す断面図である。
【図１０】第５の実施の形態を示す断面図である。
【図１１】第５の実施の形態において距離ａと誘導コイル３のＱ値との関係を示す図である。
【図１２】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
１　　　　バルブ
２　　　　空洞部
３　　　　誘導コイル
４　　　　コア
５　　　　部材
５ａ　　　凸部
６　　　　弾性体
７　　　　樹脂
８　　　　窪み部
１０　　　高周波電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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