(57)【要約】【課題】インクジェットプリンタヘッド用のインク流路が形成されたキャビティユニットの各プレートを積層接着する場合の余分な接着剤を逃がすための逃がし溝の伸びる方向を工夫して、キャビティユニットの曲げモーメントに対する剛性が低下しないようにする。【解決手段】所定のパターンのインクの流路１６、１７、１８が少なくとも片面に形成された複数枚のプレート１１、１２、１３、１４を、接着剤を介して積層接着したキャビティユニット９において、前記各プレートの少なくとも片面には、前記液体の流路より外周位置の接着剤を逃がすための複数本の逃がし溝として、当該プレートの長辺方向に沿って長い逃がし溝３５と、その逃がし溝３５と接続し、且つその溝３５に対して傾斜する方向に伸びる逃がし溝３４とを凹み形成する。【選択図】　図４
2004050818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、
前記薄板状部品の少なくとも片面には、前記液体流路より外周位置の接着剤を逃がすための逃がし溝を、当該薄板状部品の長辺方向に対して直交しない方向に伸びるように凹み形成したことを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項２】
前記逃がし溝を、前記長辺に沿う溝と、その溝と接続しその溝に対して傾斜する方向に伸びる溝とで構成したことを特徴とする請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項３】
前記逃がし溝を、平面視で蛇行状に形成したことを特徴とする請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項４】
前記逃がし溝に対向する各薄板状部品の面には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項５】
所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、
前記薄板状部品の厚さ方向に貫通するアンカー孔を複数穿設したことを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項６】
前記アンカー孔をプレートの平面視において千鳥配置させたことを特徴とする請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項７】
前記薄板状部品の隣接積層部分において前記アンカー孔の一部が積層方向に連通するように配置されていることを特徴とする請求項５または６に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項８】
前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流通路であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドや電子部品等に使用される複数枚の薄板状部品を積層状にて接着固定する構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、特開昭６２−１１１７５８号公報や特開平１０−１１９２６３号公報、特開平２００２−９６４７８号公報等に記載されているように、積層された状態で接着剤を介して一体に保持された複数枚の動作プレートからなるキャビティユニットの背面に、複数の圧力室箇所にそれぞれ対応させて駆動用の圧電素子等の噴射圧力発生部材を固着したインクジェットプリンタヘッドが開示されている。
【０００３】
そして、前記キャビティユニットにおける各動作プレートは、複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記圧力室に接続するインクチャンバ（マニホールド）を有するマニホールドプレートとから構成されており、それぞれのプレートは、厚さ２００μｍ程度もしくはそれ以下の薄い金属板である。
【０００４】
特開２００２−９６４７８号公報においては、前記キャビティユニットにおけるベースプレート、スペーサプレート、マニホールドプレートの広幅面に夫々接着剤を塗布して互いに重ね接合するに際して、前記各プレートの広幅面には、インクマニホールド等のインク流通路より外周位置の接着面に塗布した接着剤の逃がし溝を形成すると共に、この逃がし溝に対向する各プレートにはその板厚方向に空気を逃がすための空気逃がし孔を貫通させることが開示されている。
【０００５】
そして、前記公報では、図１５に示すごとく、プレート（図示プレートはスペーサプレートを示す）２０１の短辺の略中央部には、圧力室からノズル方向へのインク流通路２０２が長辺方向に沿って列状に穿設され、また、プレート２１０の短辺の左右両側部位には、マニホールド室から圧力室方向へのインク流通路２０３が同じく長辺方向に沿って列状に穿設されている。そして、これらインク流通路２０２、２０３の外側を囲むように、プレート２１０の長辺方向と平行状に複数本の逃がし溝２０４を形成すると共に、各プレート２０１の短辺と平行状にも多数本の逃がし溝２０５を形成することで、接着剤の逃がし効果を高め、インク流通路２０２，２０３への接着剤の流れ込みを防ぐようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記各プレートを重ねた積層体（キャビティユニット）は、その背面側に接合したアクチュエータからの圧力を受け、各圧力室ごとにキャビティユニット（プレート２０１）の長辺方向の軸線が板厚さ方向に湾曲するような曲げモーメントを受け易い。従って、前記プレート２０１の短辺方向と平行な逃がし溝２０５が多数本形成されると、この逃がし溝１２０５の個所のプレート２０１の短辺と平行な個所の断面が小さくなる。特に特に板厚さが薄くなるので、前記の方向の曲げモーメントに対する曲げ剛性が小さくなり、前記アクチュエータの作動の繰り返しにて、前記短辺と平行な溝の個所での繰り返し応力による応力集中にて疲労現象で長期間の使用中にプレート１２０１にクラックが入ったり、各プレート間の接着剤面が剥がれてインクの漏出が発生し易いという問題があった。
【０００７】
このような問題は、パターンが小さい電子部品の組み立ての際にも起こり得るものであった。
【０００８】
本発明は、このような問題を解消した薄板状部品の積層接着（固定）した構造を得ることを技術的課題とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記薄板状部品の少なくとも片面には、前記液体流路より外周位置の接着剤を逃がすための逃がし溝を、当該薄板状部品の長辺方向に対して直交しない方向に伸びるように凹み形成したものである。
【００１０】
そして、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝を、前記長辺に沿う溝と、その溝と接続しその溝に対して傾斜する方向に伸びる溝とで構成したものである。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝を、平面視で蛇行状に形成したものである。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝に対向する各薄板状部品の面には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設したものである。
【００１３】
請求項５に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記薄板状部品の厚さ方向に貫通するアンカー孔を複数穿設したものである。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記アンカー孔をプレートの平面視において千鳥配置させたものである。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品の隣接積層部分において前記アンカー孔の一部が積層方向に連通するように配置されているものである。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流通路としたものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１〜図７は、本発明の第１の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。図１において、金属板製のキャビティユニット９に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、キャビティユニット９の最下層の下面側に開口されたノズル１５から下向きにインクが噴射するものとする。
【００１８】
前記キャビティユニット９は、図２〜図６に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１０、二枚のマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１０を除き、各プレート１２、１３、１４は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート１０には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク噴射用のノズル１５が、当該ノズルプレート１０における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート１０の前記第１の方向に延びる２つの平行状の基準線１０ａ、１０ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１１、１２には、外部のインク供給源からのインクを溜めた後、後述する各圧力室１６にインクを供給するための液体通路としてのマニホールド１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート１０に対面する下側のマニホールドプレート１１におけるマニホールド１２ｂは、当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成されている（図３及び図４参照）。このマニホールド１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。なお、図４は、ノズルプレート１０、マニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の各々における図３の右端部に相当する箇所の裏面（下面）を上向きにした状態の一部切欠き斜視図である。
【００１９】
また、前記ベースプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記右側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記左側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端流路１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【００２０】
この各圧力室１６の先端流路１６ａは、前記ノズルプレート１０における前記千鳥状配列のノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１１、１２に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路（液体通路）としての微小径の連通孔１７、１７、１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端は、断面積の小さいインク流路としての細長い絞り部１６ｄを介して直径が大きい他端流路１６ｂに接続されており、他端流路１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された液体通路としての貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１１、１２におけるマニホールド１２ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端流路１６ｂ及び細長の絞り部１６ｄは、図３及び図４に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものであり、前記他端流路１６ｂの直径は前記貫通孔１８の直径とほぼ等しく形成する。絞り部１６ｄは圧電アクチュエータ２０が駆動されたときに、圧力室１６からマニホールド１２ａ，１２ｂへ向かうインクの流れを制限するため、圧力室１６よりも断面が小さくなっている。
【００２１】
さらに、各圧力室１６の長手方向に中途部には、ベースプレート１４の板厚の半分程度の連設部１６ｃを設けることにより、多数並設された圧力室１６の側壁の剛性の低下を防止する。
【００２２】
また、スペーサプレート１３の一端に穿設された供給孔１９ｂは、前記マニホールド１２ａに連通すると共に、最上層のベースプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａにも連通している。そして、この供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。
【００２３】
これらのプレート１１、１２、１３、１４を積層する場合、図４及び図５に示すように、各プレートの少なくとも片面（広幅面）には、前記液体流路としての圧力室１６、連通路１７、貫通孔１８、供給孔１９ａ，１９ｂの外周より外側部位に、接着剤を３９を逃がすための複数本の逃がし溝３４が、当該プレートの長辺方向に対して直交しない方向に伸びるように凹み形成されている。また、もう一方の逃がし溝３５は、前記長辺に沿うように形成され、これら両逃がし溝３４、３５はその接続部において連通し、且つ、逃がし溝３４と逃がし溝３５とは、互いに傾斜する方向に伸びるように形成されている。
【００２４】
次に、キャビティユニット９を組み立てる方法について説明する。図８に示すように、４枚のリードフレーム１００ａ〜１００ｄを積層して接着固定するものであり、各リードフレーム１００ａ〜１００ｄには、所定のパターンが形成された薄板状の部品としてのマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３、ベースプレート１４が一定間隔にて連設配置されるものとする。即ち、最下層となるリードフレーム１００ｄには、前記実施形態におけるベースプレート１４を一定間隔にて配置するように形成されている。なお、左右の細長いフレーム枠１０２、１０２の間は適宜間隔でタイバー１０４に連結されている。同様に、下から第２層のリードフレーム１００ｃにはスペーサプレート１３が前記と同じ間隔で形成されている。下から第３層のリードフレーム１００ｂには、マニホールドプレート１２が前記と同じ間隔で形成されている。また、最上層のリードフレーム１００ａには他方のマニホールドプレート１１が前記と同じ間隔で形成されている。また、前記各リードフレーム１００ａ〜１００ｄにおけるフレーム枠１０２には適宜一定の間隔にて送り用の孔１０３ａ，１０３ｂと位置決め孔１０５とが形成されている。なお、各プレート１１、１２、１３、１４はフレーム枠１０２に対して微小幅の連設片１０６で連結されている。
【００２５】
これらのリードフレームを積層する場合、図４に示すように、キャビティユニット９の使用状態（下面側にインクのノズルが開口される状態）とは上下が逆になるように、リードフレームを積層する。このときは、図４に示すごとく、最下層のベースプレート１４、下から第２層のスペーサプレート１３及びマニホールドプレート１２の各々の片面に形成された接着剤用の逃がし溝３４、３５が上向きになるように配置されるものとする。なお、図５はスペーサプレート１３に形成された逃がし溝３４、３５を配置を示す平面図であり、供給孔１９ｂの外周に、平面視円環状の接着剤逃がし溝３７が凹み形成された例である。
【００２６】
また、前記逃がし溝３４、３５及びそれに対向する各プレートの平坦面における上下の同じ位置には、該逃がし溝３４、３５と連通し、且つ各プレート１３、１２、１１の板厚を貫通して互いに上下方向に連通するように空気逃がし孔３６，３６，３６を穿設すると共に最上層のマニホールドプレート１１または最下層のベースプレート１４に形成される空気逃がし孔３６の少なくとも一方は、外部に開口されている。なお、好ましくは、最下層のベースプレート１４に形成される空気逃がし孔３６は板厚さの半分程度で下面側には連通しない凹みとする（図７（ａ）及び図７（ｂ）参照）。
【００２７】
そして、リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面に予め接着剤３９を塗布する。この接着剤３９の塗布方法の一つとしては、図示しない治具の平坦面に予め接着剤３９を薄く塗布しておき、この塗布面に前記リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面を合わせることにより、例えば、ベースプレート１４における逃がし溝３４、３５、圧力室１６、他端流路１６ｂ、絞り部１６ｄ、空気逃がし孔３６等の凹所以外の平坦な凸面に接着剤３９を転写することができる。接着剤３９を塗布したローラ面に前記プレートの積層面を押し当てて転写するようにしても良い。
【００２８】
次いで、位置決め孔１０５にピンを差し込み、最下層のリードフレーム１００ｄと最上層のリードフレーム１００ａとに挟持力または押圧力を作用させて接着固定するものである。
【００２９】
このようにして接着剤３９を転写した複数枚のリードフレームを押圧して、各プレート１１、１２、１３、１４の広幅面を接着固定するとき、余分の接着剤３９は前記逃がし溝３４、３５に流れ込み、次いで、さらに余分の接着剤３９は、図７（ｂ）に示すように、空気逃がし孔３６を充満させる。このとき、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）や接着剤３９中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記横方向の逃がし溝３４、３５及び縦方向の空気逃がし孔３６中の接着剤３９と共に移動して、プレートの外に排出される。その結果、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）に気泡を含まない層状に形成された接着剤３９によって安定した接着兼シール層を形成することができる。
【００３０】
以上のようにして接着固定されたリードフレーム１００ａ〜１００ｄから連設片１０６が切断されて、一体化されたキャビティユニット９が取り外される。そのキャビティユニット９では、前記前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記マニホールド１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、このマニホールド１２ａから前記各貫通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記連通孔１７、１７、１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００３１】
一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図１及び図５に示すように、複数枚の圧電シート２１を積層した構造で、特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シート２１のうち最下段の圧電シートとそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット９における各圧力室１６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極（図示せず）が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極（図示せず）が形成されており、最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極３０と、前記各コモン電極に対して電気的に接続される表面電極３１とが、設けられている（図１参照）。
【００３２】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット９に対して、当該圧電アクチュエータ２０が、その各個別電極を前記キャビティユニット９における各圧力室１６の各々に対応させて接着・固定される（図６参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。
【００３３】
この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極のうち任意の個別電極と、コモン電極との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１のうち前記電圧を印加した個別電極の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる（図６参照）。
【００３４】
そして、前記キャビティユニット９の各プレート１１〜１４における接着剤の逃がし溝３４及び３５は、各プレートの長辺に対して直交しない方向に伸びているから、前記アクチュエータ２０からの押圧力にて、キャビティユニット９に対して、その長辺方向と直交し、且つ各プレートを板厚方向に曲げようとする方向の曲げモーメントが作用しても、各プレートにおける短辺と平行な断面で見た場合、前記逃がし溝３４、３５の個所（板厚さが小さい個所）は各プレートにおける短辺の一部にしか現れないから、前記曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強いキャビティユニット９を得ることができる。
【００３５】
図９は第２実施形態の逃がし溝４２の平面視形状を示す。この実施形態では、各逃がし溝４２は各プレート１１〜１４の片面に平面視蛇行状にてハーフエッチングにより形成したものであり、図９はスペーサプレート１３の片面にその長辺に沿って長く複数本の蛇行状の逃がし溝４２を施した場合を示す。なお、逃がし溝４２の適宜箇所には当該スペーサプレート１３の板厚さ方向に貫通した空気逃がし孔４３が設けられている。スペーサプレート１３における他の構成は第１実施形態と同じであるので、同じ構成は同じ符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００３６】
この第２実施形態の逃がし溝４２は各プレートの長辺方向及び短辺方向と平行状になる部分が少ないから、複数枚のプレート１１〜１４を積層したキャビティユニット９を例えば長辺方向の中途部が大きく撓むように曲げモーメントが作用しても、前記曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強いキャビティユニット９を得ることができる。
【００３７】
図１０及び図１１は第３実施形態の逃がし溝４４の平面視形状を示し、各逃がし溝４４は各プレート１１〜１４の片面に平面視で各プレートの長辺方向及び短辺方向に対して傾斜方向（直交しない方向）に伸びるように形成し、ハーフエッチングにより形成したものである。図１０はスペーサプレート１３の片面に、逃がし溝４４の傾斜方向がプレートの長手方向に交互に逆になる、すなわち、平面視「ハ」字状に複数本の逃がし溝４４を施した場合を示す。図示しないが各逃がし溝４４の適宜箇所にプレートの板厚さ方向に貫通した空気逃がし孔を設けても良い。また、図１１に示すように複数のプレートを積層した場合に、積層した隣接のプレートに形成された逃がし孔４４どうしが平面視で完全に重ならないようにずらした位置に、逃がし孔４４を形成することが望ましい。スペーサプレート１３における他の構成は第１実施形態と同じであるので、同じ構成は同じ符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００３８】
この第３実施形態の逃がし溝４４の伸びる方向は各プレートの長辺方向及び短辺方向と平行状になる部分がなく、また、逃がし溝４４も全体として１つの方向にのみ平行状にないから、複数枚のプレート１１〜１４を積層したキャビティユニット９を例えば長辺方向の中途部が大きく撓むように曲げモーメントが作用しても、前記曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強いキャビティユニット９を得ることができる。
【００３９】
図１２及び図１３（ａ）〜図１３（ｃ）に示すのは、各プレートの板厚さ方向に貫通するアンカー孔４５を複数穿設した実施形態（第４実施形態）であって、各アンカー孔４５の平面視形状は丸孔状である。図１２はスペーサプレート１３に、多数のアンカー孔４５を平面視で千鳥配列（ジグザグ状）に配置したものを示す。また、図１３（ｃ）に示すように複数のプレートを積層した場合に、積層した隣接のプレートに形成されたアンカー孔４５どうしが平面視で完全に重ならないようにずらした位置に、アンカー孔４５を形成することが望ましい。
【００４０】
スペーサプレート１３における他の構成は第１実施形態と同じであるので、同じ構成は同じ符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００４１】
この第４実施形態のものでは、図１３（ａ）に示すように各プレート１１〜１２の片面に接着剤４６を予め塗布し、次いで、上下に積層する複数のプレート１１〜１３の位置をあわて加圧することにより、図１３（ｂ）に示すごとく接着剤４６を介して積層接合すると、各アンカー孔４５内に余分の接着剤４６が入り込み、当該接着剤４６がアンカー孔４５の周面の少なくとも一部４５ａに接着して両プレートをつなぎ止めする力が作用する（アンカー効果という）から、プレートが対向する積層面の面積だけの接着剤による接合力以上の大きな接合作用を果たすことができる。また、アンカー孔４５は各プレートの板厚さ方向に貫通しているから、各プレートを接着剤４６にて接合するときに、積層面及びアンカー孔４５に溜まった空気をアンカー孔４５を介して外部に逃がすことができるという空気逃がしの機能も合わせ持つものである。そして、前記プレートの隣接積層部分において前記アンカー孔４５の一部が積層方向に連通するように配置されている場合には、空気逃がしの作用が容易になるという効果を奏する。
【００４２】
前記多数のアンカー孔４５を１つのプレートに対して穿設する場合に、平面視でジグザグ状に配置することで、プレートの長辺方向及び短辺方向で直線的にアンカー孔４５を同じ数だけ配置する場合に比べて、互いに隣接するアンカー孔４５の間隔を大きく採ることができ、キャビティユニット９の曲げに対する剛性の減少（低下）を小さくできる。しかも、１つのプレートにおける相隣接するアンカー孔４５どうしがプレートの平面方向に繋がっていないから、曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強いキャビティユニット９を得ることができる。
【００４３】
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は前記アンカー孔４５の変形例であり、例えばプレート１１〜１２を積層して接合する場合、アンカー孔４５の直径をそのプレートの片面側で大径部分４５ｂとし、他方の片面で小径部分４５ｃとするように形成しても良い。大径部分４５ｂに接着剤４６が入り込むことで接合面積を一層大きくすることができて、アンカー効果が大きくなる。また、図１４（ｃ）に示すようにアンカー孔４７がプレートＰの片面で開口する位置と他方の面に開口する位置とがずれるように穿設しても良い。さらに、アンカー孔４５、４７の平面視形状は、丸孔だけでなく、楕円状、小判型等の長円状、矩形状等の任意の形状とすることができる。前記各アンカー孔４５、４７は、金属製のプレートにエッチングにより穿設することが好ましい。
【００４４】
さらに、多数の丸孔状のアンカー孔４５を穿設する場合、アンカー孔４５の直径Ｄに対して隣接するアンカー孔４５までの距離Ｌを大きく（Ｄ＜Ｌ）したり、前記距離ＬをプレートＰの板厚さＴより大きくする（Ｔ＜Ｌ）ことにより、キャビティユニット９の曲げ剛性の減少（低下）をなるべく少なくできる。
【００４５】
前記各実施形態では、インクジェットヘッドの組み立てに適用したが、電子部品の組み立てに際しても複数枚のリードフレーム等の薄板状部品であって、液体流路が所定パターンで少なくとも片面に形成された薄板状部品が少なくとも一枚あるときの複数枚の薄板状部品の積層固定の構造に対して最適なものである。
【００４６】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項１に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記薄板状部品の少なくとも片面には、前記液体流路より外周位置の接着剤を逃がすための逃がし溝を、当該薄板状部品の長辺方向に対して直交しない方向に伸びるように凹み形成したことを特徴とするものである。
【００４７】
このように構成することにより、薄板状部品の積層接着構造物に対して、その長辺方向と直交し、且つ各プレートを板厚方向に曲げようとする方向の曲げモーメントが作用しても、各プレートにおける短辺と平行な断面で見た場合、前記逃がし溝の個所（板厚さが小さい個所）は各プレートにおける短辺の一部にしか現れないから、前記曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強い積層接着構造物を得ることができるという効果を奏する。
【００４８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝を、前記長辺に沿う溝と、その溝と接続しその溝に対して傾斜する方向に伸びる溝とで構成したものであるから、薄板状部品の表面に塗着した接着剤の余分なものは、前記両逃がし溝に沿って逃がすことができる一方、前記曲げモーメントに対する剛性も極端に減少（低下）しないという効果を奏する。
【００４９】
他方、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝を、平面視で蛇行状に形成したものであるから、この場合も、薄板状部品の表面に塗着した接着剤の余分なものは、蛇行状の逃がし溝に沿って逃がすことができる一方、蛇行状の逃がし溝は各プレートの長辺方向及び短辺方向と平行状になる部分が少ないから、複数枚のプレートを積層したものを例えば長辺方向の中途部が大きく撓むように曲げモーメントが作用しても、前記曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強い薄板状部品の積層接着構造を得ることができるという効果を奏する。
【００５０】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝に対向する各薄板状部品の面には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設したものであるから、薄板状部品の合わせ面（広幅面）や接着剤中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記合わせ面や横方向の逃がし溝及び縦方向の空気逃がし孔中の接着剤と共に移動して、薄板状部品の外に排出させることができる。
【００５１】
その結果、前記隣接する薄板状部品の合わせ面（広幅面）に層状に形成された接着剤の層によって、安定した接着兼シール層を形成することができる。また、空気逃がし孔が従来のように、各薄板状部品の端部で開口しないから、その箇所から液漏出しやすいということがない。したがって、各薄板状部品における液体流路から外部への液漏出が確実に防止できるという効果を奏する。
【００５２】
請求項５に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記薄板状部品の厚さ方向に貫通するアンカー孔を複数穿設したものである。従って、１つのプレートにおける相隣接するアンカー孔どうしがプレートの平面方向に繋がっていないから、曲げモーメントに対する剛性が局部的に大きく減少（低下）せず、薄い厚さでありながら、強度の強い薄板状部品の積層接着構造を得ることができる。しかも、積層したプレートの間の接着剤の一部がアンカー孔内に入り込み、接着剤がアンカー孔の周面の少なくとも一部に接着して両プレートをつなぎ止めする力が作用する（アンカー効果という）から、プレートが対向する積層面の面積だけの接着剤による接合力以上の大きな接合作用を果たすことができる。
【００５３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記アンカー孔をプレートの平面視において千鳥配置させたものである。従って、この場合も、プレートの長辺方向及び短辺方向で直線的にアンカー孔を同じ数だけ配置する場合に比べて、互いに隣接するアンカー孔の間隔を大きく採ることができ、薄板状部品の曲げに対する剛性の減少（低下）を小さくできる。
【００５４】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品の隣接積層部分において前記アンカー孔の一部が積層方向に連通するように配置されているものである。この場合には、請求項５または６に記載の発明による効果に加えて、空気逃がしの作用が容易になるという効果を奏する。
【００５５】
また、請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流路としたものである。従って、インクジェットプリンタヘッド用のプレートに形成されたインク流路からインクが外に漏出するという事故を確実に防止して、インクジェットプリンタヘッドの必要な性能を確保できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの部分的拡大分解斜視図である。
【図４】ノズル側を上にして配置した第１実施形態のキャビティユニットの部分的拡大分解斜視図である。
【図５】スペーサプレートの平面図である。
【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線矢視で示す圧電式インクジェットプリンタヘッドの拡大断面図である。
【図７】（ａ）は第１実施形態における積層に先立つ接着剤塗布状態を示す逃がし溝、空気逃がし孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図である。
【図８】本案のリードフレームの積層を示す斜視図である。
【図９】第２実施形態の逃がし溝を示す平面図である。
【図１０】第３実施形態の逃がし溝を示す平面図である。
【図１１】第３実施形態の逃がし溝の積層状態を示す要部平面図である。
【図１２】第４実施形態のアンカー孔を示す要部平面図である。
【図１３】（ａ）は第４実施形態における積層に先立つ接着剤塗布状態を示すアンカー孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図、（ｃ）は積層状態におけるアンカー孔の配置を示す要部平面図である。
【図１４】アンカー孔の変形例を示し、（ａ）は積層に先立つ接着剤塗布状態を示すアンカー孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図、（ｃ）はアンカー孔の他の変形例の断面図である。
【図１５】従来例の接着剤の逃がし溝の状態を示す平面図である。
【符号の説明】
９　　　　　キャビティユニット
１０　　　　　ノズルプレート
１１、１２　　　　　　　　マニホールドプレート
１３　　　　　スペーサプレート
１４　　　　　ベースプレート
１５　　　　　ノズル
１６　　　　　圧力室
１７　　　　　連通孔
１８　　　　　貫通孔
２０　　　　　圧電アクチュエータ
３４、３５、３７、４２、４４　　　逃がし溝
３６、４３　　　　　空気逃がし孔
３９、４６　　　　　接着剤
４５、４７　　アンカー孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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