(57)【要約】【課題】  ガス圧縮室とモータ室とのシール機構を、運転中は常に微小の間隙を維持できるターボ形高速回転機器を提供する。【解決手段】  ガス圧縮室とモータ室との区画壁１Ｓに穿設した貫通孔１Ａを貫通する回転軸４に対して、貫通孔１Ａと回転軸４との間に平板で円盤状の樹脂材８を付設する。この樹脂材８には中央部に回転軸４の外形より若干小径の孔が形成され、ポンプ組立時は樹脂材８の中央部が回転軸４に接して撓む。また、この樹脂材の内方あるは近傍には電熱器が設置される。回転軸４の回転によって摺動し発熱または摩耗によって変形する。その結果回転軸４と樹脂材８との間には微小な間隙が形成される。したがって、ポンプの静止時または作動の開始時は、回転軸４と樹脂材８との間には間隙はないが、運転によってシールに必要な間隙が形成される。また、組立後バランス試験の際には電熱器で加熱され回転軸４と非接触となりバランス修正が良好に行われる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス圧縮を行なうターボ翼と、このターボ翼を高速回転駆動するモータと、この両者を連結する垂直に配設された回転軸と、この回転軸を回転自在に保持する軸受機構と、前記ターボ翼が配設されたガス圧縮室と前記軸受機構およびモータが配設されたモータ室を区画する区画壁を有し、この区画壁に前記回転軸を貫通させる貫通孔を穿設するとともにこの貫通孔と回転軸との間にシール機構が設けられ、前記ターボ翼の高速回転駆動によって吸気口からのガスを圧縮して排気口に排出する高速回転機器において、前記シール機構は、前記貫通孔の全内周面から回転軸に向けて付設された樹脂材で構成され、この樹脂材はポンプ組立時には回転軸全周面に接触し、ポンプ作動時は回転軸との摺接による発熱または摩耗によって回転軸との間にシール機能を有する間隙が形成されるよう変形することを特徴とするターボ形高速回転機器。
【請求項２】
樹脂材は、一定の厚さを有しかつその中段から内方端までが圧縮室側の圧力によって撓むことができる弾性を有することを特徴とする請求項１記載のターボ形高速回転機器。
【請求項３】
樹脂材は、その中段から内方端までが曲折され円錐状をなしていることを特徴とする請求項１記載のターボ形高速回転機器。
【請求項４】
樹脂材の内方または近傍に電熱器を設けたことを特徴とする請求項２または請求項３記載のターボ形高速回転機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば気体レーザ発振器装置におけるガス循環用の電動コンプレッサとしてのブロワ等に適用できるターボ形高速回転機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえばフロー型二酸化炭素ガスレーザ発振器装置の場合、炭酸ガスと他のガスの混合ガスを流しながら圧縮し、レーザ発振器に供給して共振させるようになっており、装置内にガス循環回路が構成されている。その循環回路の構成における一要素のブロワとしてターボ翼を高速で回転させてガスを圧縮し、レーザ発振器に供給するターボ形高速回転機器が使用されている。
【０００３】
この種のターボ形高速回転機器は、ハウジング内の上方にターボ翼が回転可能に配設され、ガスを圧縮して排出する機構を設けるとともに、下方にはこのターボ翼を高速回転駆動させるモータが配設されている。そして、このモータの回転子とターボ翼ならびに回転軸等からなる回転体は、機械的な軸受方式で軸受けされ、オイルによる潤滑手段が併設されている。そのため、オイルミストが発生するが、このオイルミストがガス圧縮とともに排出されないよう真空ポンプで排気する方式が採用されている（特許文献１参照）。
【０００４】
このターボ形高速回転機器の具体的な構成は、図１３に示すとおりで、ハウジング１の内方でその上方にターボ翼７が回転可能に配設され、同じく下方にはこのターボ翼７を高速回転駆動させるモータ２が配設され、両者が回転軸４にて連結されている。このモータ２はハウジング１の側に固設された電極コイル２Ｋと、この電極コイル２Ｋに対応して回転軸４に固設された回転子２Ｍで構成され、電極コイル２Ｋにインバータ３から電気エネルギーが供給される。
【０００５】
回転軸４は上部転がり軸受５と下部転がり軸受６を介してハウジング１に対し、回転可能に保持されているが、この回転軸４の上方に形成された取付軸４Ｓにターボ翼７が固設されている。このモータ２と回転子２Ｍおよび回転軸４からなる回転体が軸受機構を構成する上部転がり軸受５と下部転がり軸受６に保持されている。なお、この上部転がり軸受５と下部転がり軸受６はモータ室Ｍ内に配設されている
ターボ翼７がモータ２によって高速回転駆動されると、ガスは吸気口１Ｋから吸入され、圧縮されて排気口１Ｈより排出される。この吸気口１Ｋから排気口１Ｈまでがガス圧縮室Ｃを形成する。この排気口１Ｈからのガスは上記したようにガス循環回路（図示せず）を経てレーザ発振器（図示せず）に供給される。
【０００６】
ところで、回転軸４には図１３に示すとおり、軸芯上に中空孔４Ｈが形成されているが、この中空孔４Ｈの下方部は内孔が上方拡がりのテーパ状をなし、これらの下方部位が潤滑用のオイルＬ内に浸漬されている。したがって、中空孔４Ｈの下方域に侵入している潤滑用のオイルＬは、回転軸４の回転による遠心力の作用を受けて中空孔４Ｈの内方を上方に移動し、この作用で中空孔４Ｈはポンプ機能を発揮する。こうして潤滑用のオイルＬは順次上方へ送り出され、射出孔４Ｔより外方に放出されてモータ２の冷却や上部転がり軸受５と下部転がり軸受６の潤滑を行なう。潤滑や冷却を終えた潤滑用のオイルＬは再び下方のオイル槽１Ｙに溜められ、再び吸い上げられて循環する。
【０００７】
このように潤滑用のオイルＬは、循環して上部転がり軸受５や下部転がり軸受６の潤滑を行なうが、この潤滑によって特にモータ室Ｍ内には噴霧状のオイルＬ（オイルミスト）が存在し浮遊することになる。モータ室Ｍにおける噴霧状のオイルＬの存在は、上部転がり軸受５と下部転がり軸受６等における潤滑を良好にするが、このオイルミストがガス圧縮室Ｃに流入するとレーザ発振器などに流入し、レーザの発振機能を低下させる。
【０００８】
このことからガス圧縮室Ｃとモータ室Ｍとは、シール部Ｓで遮断される。すなわち、ハウジング１には上部転がり軸受５の上方位置において回転軸４が非接触で貫通できる範囲の最小径の貫通孔１Ａが穿設され、回転軸４と協働してシール部Ｓが形成される。このシール部Ｓはたとえば図示例に示すラビリンスシール等が適用される。このラビリンスシールによるシール部Ｓは、回転軸４と貫通孔１Ａとの間隙は通常数１０ミクロンに設定されている。ラビリンスシール以外にも、シールする摺動部にオイルＬを介在させる気密（接触）シールする方法も採用される。この気密（接触）シールの場合は、周速度が毎秒１０〜１５メートル以下（ゴム系）、５〜１５メートル以下（ポリテトラフルオロエチレン系）で使用する必要がある。
【０００９】
他方、モータ室Ｍは排気パイプＲを介して外設した真空ポンプＶＰにて真空に排気される。これは上記したように、モータ室Ｍが潤滑用のオイルＬのミストが充満しており、シール部Ｓの小さい隙間からガス圧縮室Ｃに漏洩するのを防止すためである。
【特許文献１】特開２０００−２０９８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来におけるシール機構は、つぎのような問題を有している。すなわち、ラビリンスシール方式の場合は、回転軸４の周面と貫通孔１Ａの内周面またはこのいずれかの面に複数段の小さい凹凸を設ける必要があり、加工が困難であるとともにコストが嵩む問題を有している。また、ラビリンスシール方式では間隙が数１０ミクロンであり、この間隙で回転軸４が偏心している場合には回転軸４の振動による接触や融着もしくはシール間隙からの漏れ量が増大する。そのために、ラビリンスシールの加工精度や組立精度を高める必要がある。
【００１１】
他方、オイルＬを介在させる気密（接触）シール方式の場合は、上述したように、周速度が毎秒５〜１５メートル以下で使用することが条件であり、また潤滑油（オイルＬ）が常に摺動部に存在しなければならない。そのために給油に留意する必要がある。上述したように、たとえばブロワの場合、周速度が過大になり、潤滑油（オイルＬ）切れが生じた場合はシール部Ｓの周面が損傷し、この欠陥部からのガス漏れが激しく、多大の内部漏れが発生するという問題を有する。
さらに、このようなターボ形高速回転機器の製造過程においては、特に回転部がきわめて高速で回転駆動されるため少しの不釣合（アンバランス）の存在も許されないことに留意しなければならない。したがって、回転部（回転体全体）のバランスを保障するためにバランス試験が行われる。そして、アンバランスが存在した場合はその除去のための修正が行われる。バランス試験すなわち釣合試験は、回転体全体を高速回転させる試験機にて試験し測定するが、この場合シール部Ｓが回転軸４に接触しているとノイズが発生し、微少アンバランスの検知が不可能になる。このことは完全なバランスが得られない。
本発明はこのような問題を解決するターボ形高速回転機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明が提供するターボ形高速回転機器は、上記課題を解決するために、ガス圧縮室とポンプ室との区画壁における貫通孔と回転軸との間のシール機構をつぎのように構成する。すなわち、貫通孔の全内周面側から回転軸の全周面に向けて樹脂材を付設する。そしてこの樹脂材は、ポンプ組立時には回転軸の全周面に接触し、ポンプ作動時は回転軸との摺接による発熱または摩耗によって変形し、回転軸との間にシール機能を有する間隙が形成される。
【００１３】
さらに本発明は、貫通孔の内周面と回転軸の全周面との間に付設された樹脂材は、圧縮室側の圧力にてその回転軸に近い周辺がモータ室側に撓むことができる弾性を有する。具体的には樹脂材の中段から内方端までが曲折されて形成され、樹脂材にスプリング機能を有するよう構成される。
したがって、回転駆動によって樹脂材は変形し、回転軸の周囲にシール機能に適切な間隙が形成される。また、弾性を有するので、圧力差により樹脂材の中心部側が撓むことができる。
さらに本発明は、シール部材としての樹脂材の内方または近傍に電熱器を設けたものである。この電熱器の設置によって樹脂材が加熱昇温されることにより膨張し拡張することで回転軸から離反し、回転軸に対する非接触状態が得られる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明が提供するターボ形高速回転機器は以上詳述したとおりであるから、つぎの効果を有する。
（１）ポンプの静止時および動作開始時樹脂材と回転軸との接触、摺動が存在するものの運転中は非接触で長寿命のシール機構を提供する。
（２）樹脂材の弾性によるスプリング効果によって芯出しのための手段や作業が不要であり、コストの低減になる。
（３）摩耗量を押えることが可能であり、また発熱による樹脂材の拡張で高速回転時の摺動トルクを押えることができ、したがって摩耗劣化を抑制し且つ間隙を確保できて、摺動なしのシール機構を実現できる。
（４）従来の金属同士の構成によるシール機構では数ミクロンの間隙を実現することは不可能であるが、本発明によれば容易に微小間隙を実現でき、圧力損失の非常に大きい、シール機構を提供し、ガス消費量を削減することができる。
（５）樹脂材を円錐状に曲折する実施例の場合、スプリング効果をより充分に発揮でき、したがって製造におけるばらつきが存在しても初期の摺動トルクをこの円錐の角度変化で適切に緩和できる。
（６）製造工程におけるバランス修正作業においては、電熱器によって樹脂材を回転軸と非接触の状況をつくることができ、完全なバランス修正を行うことができる。
以上の諸特性により経済的でかつ性能の優れたターボ形高速回転機器を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、ガス圧縮を行なうターボ翼と、このターボ翼を高速回転駆動するモータと、この両者を連結する垂直に配設された回転軸と、この回転軸を回転自在に保持する軸受機構と、前記ターボ翼が配設されたガス圧縮室と前記軸受機構およびモータが配設されたモータ室を区画する区画壁を有し、この区画壁に前記回転軸を貫通させる貫通孔を穿設するとともにこの貫通孔と回転軸との間にシール機構が設けられ、前記ターボ翼の高速回転駆動によって吸気口からのガスを圧縮して排気口に排出する高速回転機器において、シール機構の改良に特徴を有している。このシール機構を貫通孔の全内周面から回転軸に向けて付設された樹脂材で構成したものである。この樹脂材はポンプ組立時には回転軸全周面に接触し、ポンプ作動時は回転軸との摺接による発熱または摩耗によって回転軸との間にシール機能を有する間隙が形成されるよう変形する。さらに、この樹脂材はたとえば製作工程の一時期に回転軸全周面との接触を解くように作動するように構成される。そのために樹脂材の内方または近傍たとえば樹脂材の取付具自体を加熱させる電熱器が設けられている。この加熱昇温によって膨張拡張し、回転軸全周面から樹脂材が離反する。電熱器を樹脂材の内方に設置すると構成が簡単となり理想的である。
【実施例１】
【００１６】
以下、図１に示す実施例にしたがって、本発明のターボ形高速回転機器の構成、作動を説明する。なお以下の説明では、ターボ形高速回転機器の説明については図１３に示す構成とその符号をも用いて説明する。図１と図２は、ターボ形高速回転機器において、ハウジング１と回転軸４との間に構成されるシール機構の部分を拡大して示す断面図で、本発明の基本的な構成を説明する図である。区画壁１Ｓに穿設された貫通孔１Ａの全内周面側から回転軸４の全外周面に向けて樹脂材８が付設される。具体的には樹脂材８は円盤状で中央部に孔が形成され、回転軸４が貫通された形とする。
【００１７】
図１は、貫通孔１Ａの全内周面側から回転軸４の全外周面に向けて樹脂材８が付設された状態、すなわち樹脂材８を付設したポンプ組立時の状態を示す要部拡大図であり、図２は樹脂材８がポンプ作動により、変化しているときの状態を示す要部拡大図である。
【００１８】
一定の厚さを有する円盤状態の樹脂材８は、その外周部が区画壁１Ｓの上面に形成された段部１Ｄに載置され、さらに押え具９にて挟持され、貫通孔１Ａの内周面に付設されている。この樹脂材８は、図面に示すように内方の孔の内径は回転軸４の外形より若干小さく設定され、ポンプ組立の時は、回転軸４に近い内方部すなわち中段から内方端は、図に示すように曲折し、且つその内方先端は回転軸４の外周面に接している。樹脂材８は材質が樹脂であるから弾性を有し、図面に示すように曲折可能になっている。なお、１０は押え具９を区画壁１Ｓの上面の段部１Ｄに固定するための固定ねじである。
【００１９】
この樹脂材８は回転軸４との摺接により発熱または摩耗によって変形する性質を有する材質の材料として構成されている。したがって、ポンプ組立後、ポンプを作動させ、樹脂材８が回転軸４と摺接し、その時発生する発熱によりまたは摩耗して、図２に示すように変形する。この変形によって、樹脂材８の内方端は回転軸４の外周面から離脱し、回転軸４の外周面と樹脂材８の内方端との間に間隙ＣＬが形成される。この間隙ＣＬは数ミクロン程度で形成される。したがって、ポンプの作動によって、樹脂材８と回転軸４との間には自動的に適切な間隙ＣＬが形成される。
【００２０】
図３と図４は、一定の厚さを有する円盤について、その中段から内方端までを曲折し円錐状に形成した樹脂材８Ｔを示している。図３は、樹脂材８Ｔを付設したポンプ組立時の状態を示す要部拡大図であり、図４はポンプを作動させて、樹脂材８Ｔを変化させたときの状態を示す要部拡大図である。
【００２１】
図に示すように、樹脂材８Ｔを付設するに際しては、その内方先端部は回転軸４の外周面に接触させる。この場合は、樹脂材８Ｔがスプリング効果を有し、バネ材としての機能が発揮されるように形成されている。したがって、樹脂材８Ｔが回転軸４と摺接し熱負荷が加わるときの応力集中を緩和することができ、回転軸４の外周面から離脱（逃げ）が容易になる。この樹脂材８Ｔは回転軸４と摺接し発熱するので、高温に曝されることから、材質としては、耐熱性の高い材料が使用されるのが望ましい。もちろんこの材質に限定されるものではない。このような構成であれば、例えばガス圧縮室Ｃが高圧となつた場合、その圧力を受け図４に示すように、樹脂材８Ｔの曲折部はさらに曲折してガスのモータ室側への放出を可能にする。図３に示す形状の樹脂材８Ｔの場合、スプリング効果を有しているので、締め代を調整できる。
【００２２】
図５〜図７は、この円錐状に形成した樹脂材８Ｔ組み立てる場合、熱伝達の状況によって、締め代が異なる３つの例を示している。この図５〜図７の図は、開放状態を示す図（Ａ）と組み立てて回転軸４の外周面に接触させた状態を示す図（Ｂ）およびポンプを作動させて樹脂材８Ｔに変化を与えた後の状態を示す図（Ｃ）の３つが組になっている。
まず図５は樹脂材８Ｔの締め代が、区画壁１Ｓからの伝熱によって内径が膨張する量をオーバーしている例（締め代大の例）を示している。摺動による急激な発熱で内径が膨張し、図（Ｂ）に示すように締め代がなくなり、締め代の値が零になった時点で区画壁１Ｓからの伝熱が主になることにより、図（Ｃ）に示すように樹脂材８Ｔの温度が低下して内径が収縮し摺動する。このような動作を繰り返すことによって定常運転では適切な間隙ができにくい例である。
【００２３】
図６は樹脂材８Ｔの締め代が、区画壁１Ｓからの伝熱によって図（Ｂ）に示すように内径が膨張する量より微妙に少ない場合の例（締め代適正の例）を示している。摺動による急激な発熱で内径が膨張した後、区画壁１Ｓからの伝熱によって内径を膨張させ図（Ｃ）に示すように極微小な間隙を形成する。締め代は図２に示すような小さく適正な間隙ＣＬが形成される例である。
図７は樹脂材８Ｔの締め代が、区画壁１Ｓからの伝熱によって内径が膨張する量が少ないかまたは零の場合の例（締め代小の例）を示している。運転開始後の区画壁１Ｓからの伝熱によって摺動による急激な発熱で内径が膨張した後、区画壁１Ｓからの伝熱によって図（Ｃ）に示すように内径を膨張させ間隙が形成される。図８はこれら締め代の異なる３つの例の違いを図解する図である。
【００２４】
すなわち、図８は縦軸に運転時間をとり横軸に初期締め代の大きさを取っている。図から明らかなように、左方域は「運転中締め代小」であり、右方域は「運転中締め代大」そして、中間域は「運転中締め代適正」である。左方域の「運転中締め代小」では運転中、回転軸４と樹脂材８との間にすきまが生じている。他方、右方域の「運転中締め代大」では運転中、回転軸４と樹脂材８（樹脂材８Ｔも含む、以下同じ）とは摺動している。そして、中間域は「運転中締め代適正」では、運転中、回転軸４と樹脂材８との間隔は極微小すきまが生じ適正な運転が行なわれる。
【００２５】
なお、図８において初期締め代上限点は、初期組立て時の締め代過大により、摺動による押さえ付け力が過剰となり、長時間の運転中に損傷に至る地点を示し、初期締め代下限点は、初期組立て時の締め代小により、運転時の間隙が大きくなり、ガス漏れ量が過大になる状態が発生する地点を示している。
したがって、初期締め代の範囲は、この下限点と上限点との間に設定する必要がある。そして、この中間の地点での設定によって、長時間の運転中でも回転軸４と樹脂材８との間隔は極微小すきまが維持され、過度な押さえつけや過大なガス漏れは生じない。
【００２６】
図９〜図１２は、樹脂材８Ｔが一時的に回転軸４との接触を解くことができるよう構成された実施例を示す。図９は、樹脂材８Ｔの取り付けを行うための押え具９の上方に電熱器１１を設置したものである。電熱器１１はリード線１２から電気エネルギーの供給を受けると発熱し、樹脂材８Ｔは図１０に示すように膨張拡張して回転軸４との接触が解かれ非接触状態となる。
図１１は樹脂材８Ｋ自体に電熱線１３を埋設した例を示す。この電熱線１３は樹脂材８Ｋに埋設させる関係で曲折形で示すが、面状の電熱線でもよい。リード線１４からの電気エネルギーの供給を受けることにより電熱線１３は加熱され、樹脂材８Ｋが膨張、拡張する。すると図１２に示すように回転軸４との接触が解かれる。電気エネルギーの供給はスイッチ（図示せず）のＯＮ、ＯＦＦによって行われるが、これらの作動機器はたとえば釣合試験機に設置される。なお、これら図９〜図１２に示される符号で図１〜図４までの符号と同一の符号はこれら図１〜図４と同一のものであり、これらの詳細な説明は省略する。
【００２７】
本発明が提供する高速回転機器は以上詳述したとおりであるが、発明の構成は上記あるいは図示例に示される構成に限定されるものではなく、種々の変形例をも包含する。
まず、樹脂材８や樹脂材８Ｔの形状について、図示例では平板の円盤状の形をした例であるが、平板状に限定されるものではなく、均一な厚さを有しない樹脂体たとえば不均一な塊状の樹脂材を貫通孔１Ａの内周面に付設したものでもよい。また、回転軸４に対して垂直方向に樹脂材８を展設させ、貫通孔１Ａを封じる形とする樹脂材でもよい。そして、ポンプ作動による発熱や摩耗によって貫通孔１Ａを封じた樹脂材８が変形し、回転軸４との間に微小で適正な間隙ＣＬを形成する例も本発明は包含する。ただ、本発明においては、実施例に示すように、板状にしてバネ機能を持たせる例が適切な間隙が形成されやすく有益である。
【００２８】
つぎに、樹脂材８や樹脂材８Ｔを貫通孔１Ａの内周面に付設する方法であるが、図示例のように挟持式に保持する構成には限定されない。貫通孔１Ａの内周面に大きな凹凸を形成して樹脂材８を射出させて付着させることも可能である。或いは溶着させる方法でもよい。また、この樹脂材８の材質についてはゴム系やポリテトラフルオロエチレン系の材料に限定されず、弾性の性質を保有し、スプリング効果を発揮するあらゆる樹脂材８や樹脂材８Ｔが適用可能である。区画壁１Ｓの構成についても必ずしもハウジング１と一体でなくてもよく、ハウジング１に異質の材料を介在させて、ハウジング１とその部材にて区画壁１Ｓを形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の基本的な構成の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図２】本発明の基本的な構成の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図３】本発明の具体的な構成の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図４】本発明の具体的な構成の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図５】本発明の構成を説明するため要部を拡大して示す縦断面図である。
【図６】本発明の構成を説明するため要部を拡大して示す縦断面図である。
【図７】本発明の構成を説明するため要部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】本発明の特性を図解するための図である。
【図９】本発明の要部の構成を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の要部の作動を示す図である。
【図１１】本発明の要部の構成を示す縦断面図である。
【図１２】本発明の要部の作動を示す図である。
【図１３】従来における高速回転機器の構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１  ハウジング
１Ａ  貫通孔
１Ｈ  排気口
１Ｋ  吸気口
１Ｙ  オイル槽
１Ｄ  段部
２  モータ
２Ｋ  電極コイル
２Ｍ  回転子
３  インバータ
４  回転軸
４Ｓ  取付軸
４Ｈ  中空孔
４Ｔ  射出孔
５  上部転がり軸受
６  下部転がり軸受
７  ターボ翼
８  樹脂材
８Ｋ  樹脂材
８Ｔ  樹脂材
９  押え具
１０  固定ねじ
１１  電熱器
１３  電熱線
１２  リード線
１４  リード線
Ｒ  排気パイプ
ＶＰ  真空ポンプ
Ｃ  ガス圧縮室
Ｍ  モータ室
Ｓ  シール部
Ｌ  オイル
１Ｓ  区画壁
ＣＬ  間隙
【図１】
2004263696.tif 000003
【図２】
2004263696.tif 000004
【図３】
2004263696.tif 000005
【図４】
2004263696.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2004263696.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004263696.tif 000011
【図１０】
2004263696.tif 000012
【図１１】
2004263696.tif 000013
【図１２】
2004263696.tif 000014
【図１３】
2004263696.tif 000015