(57)【要約】【課題】残留異物量の計測精度向上が図れる燃料通路部品の検査方法を提供する。【解決手段】二つの収容容器２内を洗浄し予め清浄な液を注入するサンプリング準備工程１００と、製造過程でワーク９を少なくとも一つ抽出し、二つの収容容器２ａ、２ｂのうち一方２ａにワーク９ａ、９ｂ、９ｃを入れるサンプリング工程２００と、二つの収容容器２を超音波洗浄する残留異物除去工程３００と、二つの収容容器２ａ、２ｂ内の洗浄した液をそれぞれフィルタ２０ａｆ、２０ｂｆで濾過する濾過工程３００と、これら濾過したフィルタ２０ａｆ、２０ｂｆから残留異物を計測する計測工程４００と、一方の収容容器２ａ側の濾過したフィルタ２０ａｆにある残留異物のワーク側計測値Ｐａから、他方の収容容器２ｂ側の濾過したフィルタ２０ｂｆにある残留異物の基準側計測値Ｐｂを差し引く残留異物量演算工程６００とを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークとしての燃料通路部品を収容して保持可能な収容容器を二つ用意し、前記二つの収容容器内を洗浄し予め清浄な液を注入するサンプリング準備工程と、
前記燃料通路部品を加工あるいは機能検査する製造過程で、前記ワークを少なくとも一つ抽出し、前記二つの収容容器のうち一方にこれらワークを入れるサンプリング工程と、
前記二つの収容容器を超音波洗浄する残留異物除去工程と、
前記二つの収容容器内の洗浄した液をそれぞれフィルタで濾過する濾過工程と、
これら濾過したフィルタから残留異物を計測する計測工程と、
前記濾過した二つのフィルタのうち、前記一方の収容容器の液を濾過したフィルタにある残留異物を計測したワーク側計測値から、他方の収容容器の液を濾過したフィルタにある残留異物を計測した基準側計測値を差し引く残留異物量演算工程とを備えることを特徴とする燃料通路部品の検査方法。
【請求項２】
前記サンプリング工程では、前記二つの収容容器は略同じ周囲環境で覆われるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の燃料通路部品の検査方法。
【請求項３】
前記濾過工程では、前記一方の収容容器内の洗浄した液と前記他方の収容容器内の洗浄した液とを略同じタイミングで濾過することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の燃料通路部品の検査方法。
【請求項４】
前記計測工程では、一つの微粒子測定器を用いて前記二つの濾過したフィルタを連続作業で計測することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の燃料通路部品の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃料通路部品の検査方法に関し、特に燃料通路部品の残留異物量を計測する検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
燃料通路部品の検査方法としては、例えば製造工程中のワークとしての燃料通路部品の清浄度を評価するため、工程からワークをサンプリングした後、このワークを洗浄し、ワークに付着する異物を除去した洗浄液を濾過したものを、微粒子測定器を用いて残留異物量として計量を行なっている。
【０００３】
なお、工程内では、ワークに切削、研磨加工等の機械加工、あるいはテスト油を用いて燃料通路部品の性能検査等を行なっているため、サンプリングしたワークの残留異物量を計測する場所としては、その工程内ではなく、工程から離れた隔離された測定室内にて行なうことが考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際には工程内でワークをサンプリングするために使用する容器等の器具自体の清浄度が、その工程内の周囲環境に左右され、本来ワークが付着等により保持していた異物に対して外乱要因となる。その結果、例えば測定室内にて微粒子測定器を用いて計量した残量異物量の計測結果に誤差を生じさせている。
【０００５】
近年、燃料通路部品、例えば燃料の供給により駆動される内燃機関等の駆動源に搭載される燃料ポンプ、燃料圧力制御弁、あるいは燃料噴射弁等の燃料供給部品では、異物管理レベルの向上が要求されており、真値に近い計測方法が望まれている。
【０００６】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、燃料通路部品に付着する残留異物量を計測する計測精度の向上が図れる燃料通路部品の検査方法を提供することにある。
【０００７】
また、別の目的は、ワークを製造する工程内の清浄度に係る設備、装置等の変更をすることなく、燃料通路部品に付着する残留異物量を計測する計測精度の向上が図れる燃料通路部品の検査方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１によると、ワークとしての燃料通路部品を収容して保持可能な収容容器を二つ用意し、二つの収容容器内を洗浄し予め清浄な液を注入するサンプリング準備工程と、燃料通路部品を加工あるいは機能検査する製造過程で、ワークを少なくとも一つ抽出し、二つの収容容器のうち一方にこれらワークを入れるサンプリング工程と、二つの収容容器を超音波洗浄する残留異物除去工程と、二つの収容容器内の洗浄した液をそれぞれフィルタで濾過する濾過工程と、これら濾過したフィルタから残留異物を計測する計測工程と、濾過した二つのフィルタのうち、前記一方の収容容器の液を濾過したフィルタにある残留異物を計測したワーク側計測値から、他方の収容容器の液を濾過したフィルタにある残留異物を計測した基準側計測値を差し引く残留異物量演算工程とを備える。
【０００９】
サンプリング工程において、ワークを製造する製造過程における周囲環境によって収容容器自体の清浄度に影響を与える場合がある。例えばワークに機械加工を行なう工程では切削加工による切り粉、研磨加工による研磨粉等がワークサンプリングのための収容容器の清浄度に影響するおそれがある。
【００１０】
これに対して、二つの収容容器を用意するサンプリング準備工程と、一方の収容容器にはワークを入れるとともに他方の収容容器にはワークを入れないようにするサンプリング工程を備えるので、他方の収容容器には周囲環境に影響された収容容器自体の清浄度分の外乱残留異物量を、一方の収容容器にはその外乱異物量とワーク自身に付着するワークの残留異物量とを見込める。なお、これら異物量の測定は、残留異物除去工程、濾過工程を経て計測工程で行なわれる。
【００１１】
したがって、残留異物演算工程にて、一方の収容容器による外乱残留異物量とワークの残留異物量の和から、他方の収容容器による外乱残留異物量を差し引くことで、真のワーク残量異物量が求められる。
【００１２】
なお、周囲環境つまり製造する工程内の清浄度状態をある程度許容することが可能であるので、製造工程内の清浄度に係る設備、装置等を変更することなく、ワークつまり燃料通路部品に付着する残留異物を計測する計測精度の向上が図れる。
【００１３】
なお、残量異物の検査対象となる製造工程におけるワークは、燃料通路部品の最終完成状態であっても、あるいは燃料通路部品を構成する、複数の部材あるいは一体物等のいずれの形態であってもよい。
【００１４】
本発明の請求項２によると、サンプリング工程では、二つの収容容器は略同じ周囲環境で覆われるように配置されることが好ましい。その結果、サンプリング工程で、周囲環境から二つの収容容器が保持した外乱異物間のばらつきを小さくすることができる。
【００１５】
本発明の請求項３によると、濾過工程では、一方の収容容器内の洗浄した液と他方の収容容器内の洗浄した液とを略同じタイミングで濾過することが好ましい。
【００１６】
これにより、両収容容器に入れられた液をほぼ同時に濾過処理するため、濾過時間等の濾過状態、あるいは濾過後のフィルタの乾燥状態にばらつきを生じない。その結果、サンプリング時に二つの収容容器に付着した外乱異物をフィルタで濾過する量をほぼ同じにするできる。
【００１７】
本発明の請求項４によると、計測工程では、一つの微粒子測定器を用いて二つの濾過したフィルタを連続作業で計測する。
【００１８】
これにより、計測段階での残留異物の測定精度の安定化が図れる。例えば微粒子測定器として、粒度分布処理装置を用いて画像処理によって残留異物の重量等を測定する場合、粒度分布処理装置ごとに生じる計測誤差が同じ装置を使用することで取り除かれる。さらにその装置の使用時の状態によって生じる誤差要因を排除できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の燃料通路部品の検査方法を、具体化した実施形態を図面に従って説明する。図１は、本実施形態の燃料通路部品の検査方法を示す工程図である。図２は、図１中のサンプリング準備工程で用意する二つの収容容器の状態を示す斜視図である。図３は、図１中のサンプリング工程において、製造過程から抽出したワークと二つの収容容器との関係を説明するための模式的斜視図である。図４は、図１中の残留異物除去工程で用いる超音波洗浄器を示す外観図である。図５は、図１中の濾過工程で用いる濾過装置を示す模式的断面図である。図６は、図１中の計測工程で用いる微粒子測定器を示す外観図である。
【００２０】
図１に示すように、燃料通路部品の検査方法は、製造工程中のワークとしての燃料通路部品９の清浄度を評価するため、ワーク９に付着する残留異物量を計測する方法であって、主要な検査工程で表すと、製造工程中の被検査体であるワーク９を収容し清浄度状態を確保するための収容容器を準備するサンプリング準備工程１００と、サンプリング工程２００と、残留異物除去工程３００と、濾過工程４００と、計測工程５００と、残留異物量演算工程６００とを含んで構成されている。
【００２１】
なお、残存異物量の検査対象となる製造工程におけるワークは、燃料通路部品９の最終完成状態のものであっても、燃料通路部品９のうち、燃料通路部品９を構成する複数の部材を組合せたものもしくは一体物、燃料通路部品９を構成する部材単品等のいずれの形態であってもよい。また、燃料通路部品９としては、例えば燃料の供給により駆動される内燃機関等の駆動源に搭載される燃料供給部品、内燃機関等へ供給する燃料中に浸漬されるもの、あるいは内部もしくは外周に燃料の流れを形成する燃料経路を有することが可能なもの等であれば、部品、製品、あるいは装置のいずれの形態であってもよい。例えば燃料供給部品としては、燃料ポンプ、燃料圧力制御弁、あるいは燃料噴射弁のいずれであってもよい。
【００２２】
なお、本実施形態で説明するワークとしての燃料通路部品９としては、複数（本実施例では、図３に示すように３個）の部材９ａ、９ｂ、９ｃから組合せられるものとして説明する。
【００２３】
サンプリング準備工程１００では、製造工程から抽出したワーク９を内部に収容可能な収容容器２（図２参照）を二つ用意する。ここで、図２に示すように、これら収容容器２ａ、２ｂは、有底の略円筒状体に形成されている。収容容器２ａ、２ｂの内部は、それぞれ、少なくとも燃料通路部品９を構成する３個のワーク９ａ、９ｂ、９ｃを収容可能な容積を有する。収容容器２ａ、２ｂの内部容積としては、液体を注入しワーク９ａ、９ｂ、９ｃが液内に入った状態となっても、液が外部へ漏れ出ない程度の大きさであることが好ましい。なお、収容容器２ａ、２ｂは、液体を注入しワーク９ａ、９ｂ、９ｃが液内に入った状態で、液が外部へ漏れ出ないようなものであれば、有底の略円筒状、コップ状等いずれの形状であってもよい。収容容器２ａ、２ｂは図２に示すように同じ形状であることが好ましい。
【００２４】
さらに、サンプリング準備工程１００では、用意した二つの収容容器２ａ、２ｂ内を洗浄し、予め清浄な液を所定量だけ注入する。この清浄な液の所定量は、サンプリング工程２００でワーク９ａ、９ｂ、９ｃを清浄な液中に入れたとき、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃが液内に没する程度の液量であればよい。
【００２５】
なお、サンプリング準備工程１００での上記一連の作業は、製造工程内で行なっても、製造工程内から離れ隔離されているような測定室等のクリーンルーム（以下、測定室と呼ぶ）で行なってもいずれでもよい。なお、製造工程内から隔離されている測定室で行なうことが好ましい。
【００２６】
サンプリング工程２００では、まず、被検査体のワーク９ａ、９ｂ、９ｃを製造する製造工程へ、サンプリング準備工程１００で清浄な液を入れた二つの収容容器２ａ、２ｂを搬送する。次に、製造工程内で製造されたワーク９ａ、９ｂ、９ｃ群から、それぞれ１つ抽出する。そして、用意した二つの収容容器２ａ、２ｂのうち一方（本実施例の図３では、収容容器２ａ）にだけ、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを入れる。従って他方の収容容器２ｂにはワーク９ａ、９ｂ、９ｃは入れられていない。
【００２７】
なお、このサンプリング工程２００においてワーク９ａ、９ｂ、９ｃを抽出する製造工程内では、これらワーク９ａ、９ｂ、９ｃ群を切削、研磨加工等の機械加工により製造する、あるいは燃料相当のテスト油を用いてワーク９ａ、９ｂ、９ｃの機能検査等を行なう製造過程であるため、例えば切削加工による切り粉、研磨加工による研磨粉、あるいは機能検査に伴うテスト油に付着する塵芥等の異物が、製造工程の雰囲気に滞留する可能性がある。また、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを抽出する同じ製造工程内でも、これら切り粉、研磨粉、塵芥等の異物は、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを加工する加工設備、装置、あるいはワーク９ａ、９ｂ、９ｃを機能検査する検査設備、装置の周りで特に滞留する可能性がある。従って、サンプリング工程２００において、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを製造工程のワーク群から抽出し、二つの収容容器２ａ、２ｂのいずれか一方に入れるときに、二つの収容容器２ａ、２ｂは、略周囲環境で覆われるように配置されることが好ましい。
【００２８】
なお、サンプリング工程２００において、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを一方の収容容器２ａに入れた後は、両収容容器２ａ、２ｂを製造工程内にある程度置いた後に両収容容器２ａ、２ｂを測定室に搬送する場合であっても、直ちに両収容容器２ａ、２ｂを測定室に搬送する場合であってもいずれでもよい。なお、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを一方の収容容器２ａに入れた後は、直ちに両収容容器２ａ、２ｂを測定室に搬送することが好ましい。
【００２９】
なお、ここで、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃと、液と、一方の収容容器２ａとからなる組合せをワーク側収容容器３と呼び、液と、他方の収容容器２ｂとからなる組合せを基準側収容容器４と呼ぶ。ワーク側収容容器３、基準側収容容器４は、それぞれ、収容容器２ａ、収容容器２ｂを用いる場合であっても、逆に、収容容器２ｂ、収容容器２ａを用いる場合であってもいずれでもよい。
【００３０】
残留異物除去工程３００では、サンプリング工程２００が完了したワーク側収容容器３および基準側収容容器４を超音波洗浄器１０（図４参照）を用いて超音波洗浄する。図４に示す超音波洗浄器１０の上に載せられ、断面表示されている収容容器のうち、二点鎖線はワーク側収容容器３を示し、実線は基準側収容容器４を示す。ワーク側収容容器３と基準側収容容器４とは、超音波洗浄を行なれるのであれば、図４に示すようにそれぞれ別々に超音波洗浄器１０の上に載せ超音波洗浄処理を行なう場合でも、超音波洗浄器１０の上に横並びさせて同時に超音波洗浄処理を行なう場合であってもいずれでもよい。
【００３１】
この様に基準側収容容器４を超音波洗浄することで、基準側収容容器４を構成する収容容器２ｂ内の液に接している内周表面部分２ｂｓに付着している異物（以下、外乱異物と呼ぶ）を、内周表面部分２ｂｓから液側へ除去する。その結果、基準側収容容器４には、外乱異物が内周表面部分２ｂｓから分離され、洗浄した液に含まれる。
【００３２】
一方、ワーク側収容容器３を超音波洗浄することで、ワーク側収容容器３を構成する収容容器２ａ内の液に接している内周表面部分２ｂｓに付着している外乱異物を、内周表面部分２ｂｓから液側へ除去する。さらに、ワーク側収容容器３を構成するワーク９ａ、９ｂ、９ｃの表面に付着している異物（ワークの残留異物と呼ぶ）も、収容容器２ａ内の液側へ除去される。その結果、ワーク側収容容器３には、外乱異物とワークの残留異物が、それぞれ内周表面部分２ｂｓ、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃ外周から分離され、洗浄した液に含まれる。
【００３３】
濾過工程４００では、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４のそれぞれの洗浄した液を、濾過装置２０を用いて、濾過する（図５参照）。なお、濾過装置２０は二つ（２０ａ、２０ｂ）用意し、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４のそれぞれの洗浄した液を略同じタイミングで濾過することが好ましい。濾過装置２０ａ、２０ｂは、注入容器２０ａ１、２０ｂ１と、濾過器２０ａ２、２０ｂ２と、ホルダ２０ａ３、２０ｂ３と、フィルタ２０ａｆ、２０ｂｆとを含んで構成されている。
【００３４】
フィルタ２０ａｆ、２０ｂｆは、図５に示すように、注入容器２０ａ１、２０ｂ１と濾過器２０ａ２、２０ｂ２との間に挟まれ、注入容器２０ａ１、２０ｂ１と濾過器２０ａ２、２０ｂ２との間を挟持するホルダ２０ａ３、２０ｂ３によって取り外し自在に保持されている。また、フィルタ２０ａｆ、２０ｂｆは、所定の大きさ（本実施例では、例えば１μｍ）の微粒子を捕獲できる構造になっている。濾過器２０ａ２、２０ｂ２内は、図５に示すように、真空ポンプ等の減圧源によって減圧されている。
【００３５】
注入容器２０ａ１、２０ｂ１には、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４のそれぞれの洗浄した液が入れられる。なお、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４のそれぞれの洗浄した液は、図５に示すようにサンプル容器２０ａ４、２０ｂ４に移した後に注入容器２０ａ１、２０ｂ１に入れてもよいし、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４からそれぞれの洗浄した液を注入容器２０ａ１、２０ｂ１に入れてもよい。
【００３６】
なお、ここで、ワーク側収容容器３側の洗浄した液を濾過したフィルタ２０ａｆを、ワーク側濾過フィルタと呼び、基準側収容容器４側の洗浄した液を濾過したフィルタ２０ｂｆを、基準側濾過フィルタ２０ａｆと呼ぶ。
【００３７】
計測工程５００では、濾過工程４００で濾過した、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆと、基準側濾過フィルタ２０ｂｆに捕捉された異物を、微粒子測定手段としての微粒子測定器（図６参照）３０を用いて計測する。図６に示すように、微粒子測定器３０は、周知の構造の粒度分布処理装置であって、顕微鏡ユニットとＣＣＤカメラ等の画像カメラユニットが一体となった画像取り込み手段３０ａと、フィルタ２０ａｆ、２０ｂｆの下部を支持するインデックステーブル部３０ｂと、画像処理装置部３０ｃとを含んで構成されている。微粒子測定器３０は、画像取り込み手段３０ａを通じて取り込んだフィルタ２０ａｆ、２０ｂｆ上にある異物を、異物の大きさごとにカウントすることで、フィルタに捕捉された残量異物量を計測する。
【００３８】
なお、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆと、基準側濾過フィルタ２０ｂｆとは、微粒子測定器３０によって連続的に計測されることが好ましい。
【００３９】
残量異物量演算工程６００では、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆに捕捉された異物を計測した残留異物量としてのワーク側計測値Ｐａから、基準側濾過フィルタ２０ｂｆに捕捉された異物を計測した基準側計測値Ｐｂを差し引く（Ｐａ−Ｐｂ＝Ｐａｂ）。
【００４０】
以上説明した工程１００から６００からなる検査方法は、以下のように、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃの残量異物量の真値を求めることが可能である。まず、サンプリング準備工程１００にて二つの収容容器２ａ、２ｂを用意し、清浄な液をそれぞれの収容容器２ａ、２ｂに入れた後、サンプリング工程２００にて、製造工程から抽出したワーク９ａ、９ｂ、９ｃを、二つの収容容器２ａ、２ｂのいずれか一方に入れ、他方には入れないようする。これにより、一方には、収容容器２ａとワーク９ａ、９ｂ、９ｃと清浄な液との組合せのワーク側収容容器３を形成し、他方には、収容容器２ｂと清浄な液との組合せの基準側収容容器４を形成する。その結果、基準側収容容器４には、周囲環境に影響され外乱異物が収容容器２ａ自体に付着する。一方、ワーク側収容容器３には、基準側収容容器４と同様に、外乱異物が収容容器２ａ自体に付着するとともに、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃの外周にワークの残留異物が付着している。
【００４１】
次に、残留異物除去工程３００にて、ワーク側収容容器３および基準側収容容器４をそれぞれ超音波洗浄することで、ワーク側収容容器３内の液側へワークの残留異物と外乱異物を分離し、基準側収容容器４３内の液側へ外乱異物を分離する。そして、濾過工程４００では、濾過装置２０ａを用いて、残留異物除去工程３００で形成されたワーク側収容容器３内の洗浄した液から、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆによってワークの残留異物と外乱異物とが捕捉される。同様に、基準側収容容器４３内の洗浄した液から、基準側濾過フィルタ２０ｂｆによって外乱異物が捕捉される。これら異物は、計測工程５００にて、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆ、基準側濾過フィルタ２０ｂｆを微粒子測定器３０によって計測処理することで残留異物としてカウントされる。その結果、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆに捕捉された異物を計測した残留異物量は、ワークの残留異物と外乱異物がカウントされ、ワーク側計測値Ｐａとなる。一方、基準側濾過フィルタ２０ｂｆに捕捉された異物を計測した残留異物量は、外乱異物がカウントされ、基準側計測値Ｐｂとなる。
【００４２】
さらに、残量異物演算工程６００では、ワーク側計測値Ｐａから、基準側計測値Ｐｂを差し引く（Ｐａ−Ｐｂ＝Ｐａｂ）ので、ワーク側計測値Ｐａ、基準側計測値Ｐｂそれぞれ含まれる外乱異物がカウントされた残量異物量が相殺される。その結果、その差Ｐａｂから、ワークの残留異物のみをカウントした残量異物量が求められる。したがって、したがって、収容容器２ａ、２ｂの置かれた周囲環境による外乱異物の影響の大小に係らず、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃの残留異物の真値を計測することが可能である。したがって、従来の検査方法に比べて、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃつまり燃料通路部品９の残留異物量を計測する計測精度の向上が図れる。
【００４３】
さらに、この様なことから、収容容器２ａ、２ｂの置かれた周囲環境による外乱異物の大小つまり製造工程内の清浄度状態をある程度許容することが可能であるので、製造工程内の清浄度に係る設備、装置等を変更することなく、燃料通路部品９に付着する残留異物を計測する計測精度の向上が図れる。
【００４４】
さらになお、以上説明した本実施形態によれば、サンプリング工程２００において、ワーク９ａ、９ｂ、９ｃを製造工程のワーク群から抽出し、二つの収容容器２ａ、２ｂのいずれか一方に入れるときに、二つの収容容器２ａ、２ｂは、略周囲環境で覆われるように配置することが可能である。その結果、サンプリング工程２００で、周囲環境から二つの収容容器２ａ、２ｂが保持した外乱異物間のばらつきを小さくすることができる。
【００４５】
さらになお、以上説明した本実施形態によれば、濾過工程４００において、濾過装置２０は二つ（２０ａ、２０ｂ）用意し、ワーク側収容容器３、基準側収容容器４のそれぞれの洗浄した液を略同じタイミングで濾過することが可能である。これにより、両収容容器３、４のぞれぞれの洗浄した液をほぼ同時に濾過処理するため、濾過装置２０ａ、２０ｂの使用による濾過時間等の濾過状態、あるいは濾過後のフィルタの乾燥状態にばらつきを生じない。その結果、サンプリング時に二つの収容容器２ａ、２ｂに付着した外乱異物をフィルタ２０ａｆ、２０で濾過する量をほぼ同じにすることができる。
【００４６】
さらになお、以上説明した本実施形態によれば、計測工程５００において、ワーク側濾過フィルタ２０ａｆと、基準側濾過フィルタ２０ｂｆとは、微粒子測定器３０によって連続的に計測することが可能である。微粒子測定器として、粒度分布処理装置を用いて画像処理によって残留異物の重量等を測定する場合、これにより、計測段階での残留異物の測定精度の安定化が図れる。微粒子測定器として粒度分布処理装置３０を用い、画像処理によって残留異物の重量等を測定する場合において、粒度分布処理装置３０ごとに生じる計測誤差が同じ装置を使用することで取り除かれる。さらにその装置の使用時の状態によって生じる誤差要因を排除できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の燃料通路部品の検査方法を示す工程図である。
【図２】図１中のサンプリング準備工程で用意する二つの収容容器の状態を示す斜視図である。
【図３】図１中のサンプリング工程において、製造過程から抽出したワークと二つの収容容器との関係を説明するための模式的斜視図である。
【図４】図１中の残留異物除去工程で用いる超音波洗浄器を示す外観図である。
【図５】図１中の濾過工程で用いる濾過装置を示す模式的断面図である。
【図６】図１中の計測工程で用いる微粒子測定器を示す外観図である。
【符号の説明】
２（２ａ、２ｂ）  収容容器
２ａｓ、２ｂｓ  内周表面部分
３  ワーク側収容容器（収容容器２ａとワーク９ａ、９ｂ、９ｃと液とで構成）
４  基準側収容容器（収容容器２ａと液とで構成）
９（９ａ、９ｂ、９ｃ）  ワーク（燃料通路部品）
１０  超音波洗浄器
２０（２０ａ、２０ｂ）  濾過装置
２０ａｆ、２０ｂｆ  ワーク側フィルタ（フィルタ）、基準側フィルタ（フィルタ）
３０  微粒子測定器
１００  サンプリング準備工程
２００  サンプリング工程
３００  残留異物除去工程
４００  濾過工程
５００  計測工程
６００  残留異物演算工程
【図１】
2004286596.tif 000003
【図２】
2004286596.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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