(57)【要約】【課題】蛍光面を一様に点灯させることができる冷陰極発光素子およびそれを用いた画像表示装置を提供する。【解決手段】前面パネル１に対向して配置された背面パネル２上には、冷陰極電子源であるＣＮＴ陰極５が形成されている。ＣＮＴ陰極５から引き出された電子は、ゲート電極６のゲートメッシュ開口部７および第２電極８の第２メッシュ開口部９を通過した後に蛍光体４に到達し発光させる。第２メッシュ開口部９には、孔径０．１〜０．４ｍｍの電子透過孔と、幅０．１ｍｍ程度のブリッジとが、メッシュ状に形成されており、ゲート電圧の１／２０〜１／５倍の電圧が印加される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面パネルと背面パネルとをスペーサを介して封止した容器を備え、
前記前面パネルは、前記容器の内面に蛍光体陽極を有し、
前記背面パネルは、前記容器の内面に配列された、前記蛍光体陽極を発光させる電子源となる複数の冷陰極電子源、並びに、前記冷陰極電子源の上方に設置され、第１電子透過孔がメッシュ状に形成されたゲートメッシュ開口部を含み、前記冷陰極電子源から電子を引き出すための所定のゲート電圧が印加されるゲート電極、並びに、前記蛍光体陽極と前記ゲート電極との間に設置され、第２電子透過孔がメッシュ状に形成された第２メッシュ開口部を含み、０ボルト以上かつ前記ゲート電圧未満の第２電圧が印加される第２電極を有する
冷陰極発光素子。
【請求項２】
請求項１に記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２電圧が、前記ゲート電圧の１／２０〜１／５倍である
冷陰極発光素子。
【請求項３】
請求項２に記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２電子透過孔の孔径が０．１〜０．４ｍｍであり、
前記第２電子透過孔間のブリッジの幅が０．１ｍｍ以下である
冷陰極発光素子。
【請求項４】
請求項３に記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２電極が、４２６合金もしくは５０−５０合金もしくはＳＵＳを含んで厚みが０．１〜０．４ｍｍである板から形成される
冷陰極発光素子。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２電極と前記ゲート電極との距離が０．５〜５ｍｍである
冷陰極発光素子。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２メッシュ開口部の外径が、前記ゲートメッシュ開口部の外径とほぼ同じである
冷陰極発光素子。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の冷陰極発光素子であって、
前記第２メッシュ開口部の外径が、前記ゲート電極上面のほぼ全領域に拡がる冷陰極発光素子。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の冷陰極発光素子であって、
前記冷陰極電子源が、カーボンナノチューブを含む炭素系粒子を有する
冷陰極発光素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の冷陰極発光素子を有する画面を備える画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板型画像表示装置（フラットパネルディスプレイ）に関するものであり、特に、冷陰極を電子源とする発光素子を画面に用いる電界放出型画像表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ディスプレイ装置に用いられる電子源としては熱電子を用いたＣＲＴ用の電子源などがよく知られているが、近年、フラットパネルディスプレイの開発が盛んになるにつれ、ヒータを必要としない冷陰極（Ｃｏｌｄ  Ｃａｔｈｏｄｅ）の電子源の開発が進んでいる。とりわけ、平面上に配置された電界放出型陰極、即ち冷陰極からなる電子源を備えた電界放出型画像表示装置（ＦＥＤ：Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）は、高輝度および広視野角、高速応答、低消費電力の実現が可能な大画面の自発光型画像表示装置として注目されている。その中でも特に注目されているのが、半導体プロセスを必要とせず印刷やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）で作成可能なＣＮＴ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏ−Ｔｕｂｅ）を用いた電子源であり、学会や研究会で盛んに発表されている。
【０００３】
例えば本願発明者による先願に係る特許文献１に開示された、従来のＦＥＤ表示装置に用いられる冷陰極電子源を用いた発光素子（冷陰極発光素子）について説明する。冷陰極発光素子において、ガラス製の前面パネルと、ガラス製の背面パネルとの間には、矩形枠状のガラス製のスペーサであるスペーサガラスが介在する。これら前面パネル、背面パネルおよびスペーサガラスが低融点ガラス（フリットガラス）により気密に封止されることで真空容器を形成している。また、一般的に、前面パネルおよび背面パネルの厚さは共に２〜４ｍｍ程度である。
【０００４】
前面パネルの内面には、赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂ等の蛍光体が略正方形に塗布されて、蛍光面を形成している。その蛍光面全体には、発光効率を高めると共に蛍光面を電子加速用の陽極、即ち蛍光体陽極として機能させることを目的としたアルミバックが施されている。それにより、前面パネル内面の蛍光体は１０ｋＶ程度の陽極電位に保つことができるようになっている。即ち、蛍光体は陽極として機能する。
【０００５】
前面パネルから約１０数ｍｍ程度隔てて対向配置された背面パネルの表面には、ＣＮＴを含む炭素系粒子を有する冷陰極電子源であるＣＮＴ陰極が、所定の形状（四角等）で形成されている。ゲート電極は、ＣＮＴ陰極の上方に対向して配置される。ゲート電極は、０．１ｍｍ程度の厚さの金属板をハーフエッチングすることにより空隙部を形成している。ゲート電極はＣＮＴ陰極の上方に対向して配置され、この空隙部がＣＮＴ陰極を覆っている。この空隙部の深さは、ゲート電極とＣＮＴ陰極との間隔（ギャップ）が、約５０μｍ程度になるように形成されている。ゲート電極はＣＮＴ陰極よりも幾分高い電圧を印加することでＣＮＴ陰極から電子を引き出す作用を有している。さらに、ゲート電極には、ＣＮＴ陰極から引き出された電子が通過するためのゲートメッシュ開口部が形成されている。ＣＮＴ陰極は、給電のための陰極配線層を介して所定の個数ずつ接続され、それぞれ冷陰極電子源列であるＣＮＴ陰極列を構成している。
【０００６】
このような構成の発光素子が縦横にマトリクス状に所定個ずつ配列されることで、ＦＥＤ表示装置の大画面が構成される。このとき、隣接する発光素子間の境界における間隔が大きいと、画面表示全体を見たときにその境界部分（継目、シーム）が目立つことが問題となる。従って、隣接する発光素子間の間隔はできるだけ小さいことが望ましい。そのため、スペーサガラスをできるだけ薄くしたり、外部電極や排気管を背面パネル側に設けることにより、隣接する発光素子間の間隔を小さくしている。
【０００７】
また特許文献２にも、ゲート電極（特許文献２中ではこのゲート電極はシールド電極と呼ばれている）を備える冷陰極発光素子が記載されている。また特許文献３には、ゲート電極と第２電極（特許文献３中ではこの第２電極はシールド電極と呼ばれている）とを備える冷陰極発光素子が記載されている。
【０００８】
以上の構成によれば、ＣＮＴ陰極とゲート電極との間に適当な電圧を印加することにより、ＣＮＴ陰極より電子が電界放出（フィールドエミッション）され、ゲートメッシュ開口部を介してエミッション電流が取り出される。一般に、このときゲート電極には点灯位置を制御するためのパルス電圧が印加される。その電圧値は、パルス電圧を発生する駆動用ＩＣとして市販の安価なものを使用するためにも１００Ｖ〜２００Ｖ以下程度であることが望ましい。
【０００９】
ゲート電圧を低くするためには、ゲート電極とＣＮＴ陰極との間隔（ギャップ）を小さくすることが重要であるが、あまり小さい場合にはゲート電極とＣＮＴ陰極とで短絡（ショート）が発生しやすくなるため、通常は３０〜５０μｍ程度である。
【００１０】
またゲート電圧を低くするためには、メッシュ開口部の電子透過孔の孔径と、電子透過孔に挟まれた部分であるブリッジの幅とを、小さくすることも重要である。例えば、孔径を０．１ｍｍと小さくすることでＣＮＴ陰極にかかる電界を大きくし、同一電圧値でより多くのエミッション電流をＣＮＴ陰極から取り出すことができる。
【００１１】
このようにしてゲート電極から取り出されたエミッション電流の電子は陽極である蛍光体に印加された約１０ｋＶ程度の高電圧により加速され、蛍光体を励起して発光させる。それにより、個々の発光素子は所定の色を発光する。その結果、ＦＥＤ表示装置の画面全体にカラー画像が表示されることとなる。またこのとき、個々の発光素子においてエミッション電流の電子が蛍光体に当たったときにガスが発生するが、このガスはゲッタにより吸着されることで冷陰極発光素子の内部は高真空に保たれる。それによりエミッション電流の低下を防止できるため、画質の劣化を抑えることができる。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００２−２１６６７９号公報（第３−４頁、第１−２図）
【特許文献２】
特開２０００−２５１７８３号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献３】
特開２０００−３４８６４８号公報（第３−４頁、第２図）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の冷陰極発光素子は、以上のように構成されていた。そのため、印刷ＣＮＴのように配向性のない材料を用いた場合には、陽極の蛍光体に到達する電子の密度が蛍光体毎に異なり、蛍光面が一様に点灯できないという問題があった。
【００１４】
また、電子源とゲート電極との間に第２電極を配置すると、点灯の状態は向上するが、第２電極の仕様や動作条件によっては、やはり一様には点灯できないという問題があった。
【００１５】
本発明は以上の問題点を解決するためになされたものであり、蛍光面を一様に点灯させることができる冷陰極発光素子およびそれを用いた画像表示装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明に係る冷陰極発光素子は、前面パネルと背面パネルとをスペーサを介して封止した容器を備え、前記前面パネルは、前記容器の内面に蛍光体陽極を有し、前記背面パネルは、前記容器の内面に配列された、前記蛍光体陽極を発光させる電子源となる複数の冷陰極電子源、並びに、前記冷陰極電子源の上方に設置され、第１電子透過孔がメッシュ状に形成されたゲートメッシュ開口部を含み、前記冷陰極電子源から電子を引き出すための所定のゲート電圧が印加されるゲート電極、並びに、前記蛍光体陽極と前記ゲート電極との間に設置され、第２電子透過孔がメッシュ状に形成された第２メッシュ開口部を含み、０ボルト以上かつ前記ゲート電圧未満の第２の電圧が印加される第２電極を有する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係るＦＥＤ表示装置に用いられる冷陰極電子源を用いた発光素子（冷陰極発光素子）の概略断面図である。この図において、ガラス製の前面パネル１とガラス製の背面パネル２との間には、矩形枠状のガラス製のスペーサであるスペーサガラス３が介在する。これら前面パネル１、背面パネル２およびスペーサガラス３が不図示の低融点ガラス（フリットガラス）により気密に封止されることで真空容器を形成している。前面パネル１および背面パネル２の厚さは共に２〜４ｍｍ程度である。
【００１８】
前面パネル１の内面には、赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂ等の蛍光体４が略正方形に塗布されて、蛍光面を形成している。その蛍光面全体には、発光効率を高めると共に蛍光面を電子加速用の陽極、即ち蛍光体陽極として機能させることを目的としたアルミバックが施されている。それにより、前面パネル内面の蛍光体４は１０ｋＶ程度の陽極電位に保つことができるようになっている。即ち、蛍光体４は陽極として機能する。
【００１９】
前面パネルから約１０数ｍｍ程度隔てて対向配置された背面パネル２の表面には、ＣＮＴを含む炭素系粒子を有する冷陰極電子源であるＣＮＴ陰極５が、所定の形状（図１では四角：図２参照）で形成されている。ゲート電極６は、ＣＮＴ陰極５の上方に対向して配置される。ゲート電極６は、０．１ｍｍ程度の厚さの金属板をハーフエッチングすることにより空隙部を形成している。ゲート電極６はＣＮＴ陰極５の上方に対向して配置され、この空隙部がＣＮＴ陰極５を覆っている。この空隙部の深さは、ゲート電極６とＣＮＴ陰極５との間隔（ギャップ）が、約５０μｍ程度になるように形成されている。ゲート電極６はＣＮＴ陰極５よりも幾分高い電圧を印加することでＣＮＴ陰極５から電子を引き出す作用を有している。さらに、ゲート電極６には、ＣＮＴ陰極５から引き出された電子が通過するためのゲートメッシュ開口部７が形成されている。また、ゲート電極６から約１．０ｍｍ離れた上方には、第２電極８が設置されている。第２電極８には、ゲートメッシュ開口部７を通過した電子をさらに通過させるための第２メッシュ開口部９が形成されている。
【００２０】
図２は、図１に示された冷陰極発光素子の背面パネル２の上面図である。この図において、図１と同一の要素には同一符号を付しており、ここでの詳細な説明は省略する。図２は、背面パネル２におけるＣＮＴ陰極５の配置を示しており、簡単のためゲート電極６および第２電極８は省略している。ＣＮＴ陰極５は、給電のための陰極配線層１０を介して所定の個数ずつ接続され、それぞれ冷陰極電子源列であるＣＮＴ陰極列１１を構成している。
【００２１】
また、実際の冷陰極発光素子には、容器の内部を真空に引くための穴や排気管、外部へ信号を取り出すための電極などが背面パネル２に設けられ、さらに、内部ガスを吸着するためのゲッタがスペーサガラス３等に設けられているが、本発明との関連が薄いので、説明の簡単のため図示は省略している。
【００２２】
このような構成の発光素子が縦横にマトリクス状に所定個ずつ配列されることで、ＦＥＤ表示装置の大画面が構成される。このとき、隣接する発光素子間の境界における間隔が大きいと、画面表示全体を見たときにその境界部分（継目、シーム）が目立つことが問題となる。従って、隣接する発光素子間の間隔はできるだけ小さいことが望ましい。そのため、スペーサガラス３をできるだけ薄くしたり、不図示の外部電極や排気管を背面パネル側に設けることにより、隣接する発光素子間の間隔を小さくしている。
【００２３】
図３にはゲートメッシュ開口部７の仕様の詳細の一例が示されている。ゲートメッシュ開口部７においては、外径は２．５ｍｍ角、電子透過孔（第１電子透過孔）は、孔ピッチが０．２ｍｍ、ブリッジの幅が０．１ｍｍ、孔径０．１ｍｍの丸孔である。
【００２４】
また図４には第２メッシュ開口部９の仕様の詳細の一例が示されている。第２メッシュ開口部９は、外径が２．４ｍｍ角で、ゲートメッシュ開口部７の外径とほぼ同じ大きさである。第２メッシュ開口部９の電子透過孔（第２電子透過孔）は、形状が六角形（亀孔）であり、孔ピッチが０．４ｍｍで、ブリッジの幅が０．１ｍｍである。従って、孔径は、０．３ｍｍ程度である。また第２電極８の厚みは０．２ｍｍで、材質は４２６合金（４２％Ｎｉ−６％Ｃｒ−５２％Ｆｅ）である。
【００２５】
ここで、ゲート電極６に約１００〜２００Ｖのゲート電圧を印加し、第２電極８にはゲート電圧の１／１０である約１０〜２０Ｖの電圧（第２電圧）を印加すると、蛍光体４の点灯の状態は、図５に示すようにほぼ一様な点灯となる。第２電極８を設置しない場合の蛍光体４の点灯の状態を示す図６と比較すると、点灯の状態が大幅に改善され、それぞれの蛍光体４が一様に点灯していることが分かる。考えられる理由を、以下で説明する。
【００２６】
例えば、冷陰極発光素子の動作条件が、陽極電圧が１０ｋＶ、陽極電流が５００μＡ、ゲート電圧が約１００〜２００Ｖであるとする（この条件での動作を、以下では定格動作と呼ぶ）。第２電極８を設置しない状態で定格動作を行った場合には、ＣＮＴ陰極５から電界放出された電子（エミッション電流）のうちの約７０〜８０％がゲート電極６に衝突するため、蛍光体４に到達するのは約２０〜３０％である。このときの点灯の状態が図６である。
【００２７】
一方、上述の仕様の第２電極８を設置して定格動作を行うと、第２電極８に印加される電圧をゲート電圧と同程度（即ち約１００〜２００Ｖ）にした場合には、第２電極８での電子透過率の減衰はなく、ゲートメッシュ開口部７を通過した電子ビームは全て蛍光体４に到達する。即ち、ＣＮＴ陰極５から電界放出された電子のうちの約２０〜３０％が蛍光体４に到達する。ところが、この場合の蛍光体４の点灯の状態は、図７に示すとおり、第２メッシュ開口部９の亀孔の模様が見えてしまい、図６と同じくらい悪くなってしまう。
【００２８】
そこで、第２電極８に印加される電圧を上述のとおり約１０〜２０Ｖにまで下げると、図５に示すとおり一様な点灯となる。但し、このときには、第２電極８での電子透過率の減衰はないが、ゲート電極６での電子透過率が半減してしまう。即ち、陽極電流が半減してしまうことになる。これは、第２電極８の電位がゲート電極６の電位の１／１０と極めて低いことから、ゲートメッシュ開口部７を通過した電子ビームの半分が第２電極８からゲート電極６へと押し戻されることにより陽極電流が減ってしまうためである。しかしこのとき、ゲート電極６から第２電極８へ向かう電子ビームと、第２電極８からゲート電極６へ押し戻される電子ビームとが混じり合うことにより、点灯の一様性が向上しているものと考えられる。また半減した陽極電流の値は、ゲート電圧を約１０％程度増やすことにより、定格動作における陽極電流の値に戻すことができる。従って、ゲート電圧を大幅に増やすことなしに、蛍光体４を一様に点灯させることができる。
【００２９】
この第２電極８の望ましい仕様について、以下で詳細に説明する。
【００３０】
第２電極８への印加電圧としては、ゲート電圧の１／１０に限らず、ゲート電圧の大略１／５〜１／２０であってよい。第２電圧８への印加電圧がこの範囲内にあれば、ゲート電極６から第２電極８へ向かう電子ビームと、第２電極８からゲート電極６へ押し戻される電子ビームとが干渉しあい、蛍光体４を一様に点灯させることが可能となる。
【００３１】
第２電極８の電子透過孔としては、前述のとおり、形状が六角形（亀孔）で、孔ピッチが０．４ｍｍでブリッジの幅が０．１ｍｍ、即ち孔径が０．３ｍｍ程度のものを作成した。ここで、孔ピッチは０．４ｍｍに限らず、０．２〜０．５ｍｍの範囲であればよい。孔ピッチが０．５ｍｍ以上の場合、即ち孔径が０．４ｍｍ以上の場合には、図７で示した場合と同様に、蛍光体４の点灯の状態が一様でなくなってしまう。また孔ピッチが０．２ｍｍ以下の場合、ブリッジの幅の０．１ｍｍを差し引くと、孔径は０．１ｍｍ以下になる。小さな孔を開けるためには板は薄くなければならないが、径が０．１ｍｍ以下の孔を開けるためには、第２電極８の材料となる板の厚みは０．１ｍｍ以下である必要がある。しかし板の厚みが０．１ｍｍ以下になると、板の強度が足りず成形できなくなってしまう。従って孔ピッチが０．２〜０．５ｍｍ即ち孔径が０．１〜０．４ｍｍが適当である。
【００３２】
またブリッジの幅については、小さい方が望ましい。しかし、第２電極８の材料として４２６合金等を用いた場合には、ブリッジの幅が０．１ｍｍ以下になると強度が足りなくなってしまうため、０．１ｍｍ程度が適当である。
【００３３】
また電子透過孔の形状は、前述の六角形に限らず、開けやすい形状であればよく、例えば丸であってもよい。この場合にも前述の理由により、孔径は０．１〜０．４ｍｍが適当である。
【００３４】
第２電極８の材料の板の厚みとしては、０．２ｍｍに限らず、０．１〜０．４ｍｍの範囲にあればよい。薄い方が電子透過孔を精度よく開けることができるが、前述のとおり、０．１ｍｍ以下になると、板の強度が足りず成形できなくなってしまう。また０．４ｍｍ以上になると、成形は容易になるが、厚すぎるために孔径０．４ｍｍ以下の電子透過孔をエッチングで開けるのが難しくなってしまう。
【００３５】
第２電極８の材料としては、４２６合金に限らず、５０−５０合金（５０％Ｆｅ−５０％Ｎｉ）であってもよい。これらの材料は、熱膨張率がガラスと同じであるため、例えば、ガラス製の背面パネル２とスペーサガラス３とで第２電極８を挟んで固定するような形状の冷陰極発光素子においても問題なく用いることができる。背面パネル２とスペーサガラス３とで第２電極８を挟んで固定しないような形状の冷陰極発光素子においては、例えばＳＵＳ（ステンレス鋼）等の、排出するガスが少ない金属を用いてもよい。
【００３６】
第２電極８の設置位置としては、ゲート電極６から約１．０ｍｍの上方に限らず、ゲート電極６から０．５ｍｍ〜５ｍｍの上方であってよい。距離が０．５ｍｍより小さくなると、第２電極８とゲート電極６とが短絡（ショート）していまう可能性が高くなる。また、距離が５ｍｍより大きくなると、第２電極８が陽極の蛍光体４に近くなりすぎ、絶縁破壊が起きてしまう可能性が高くなる。
【００３７】
このように、本実施の形態に係る冷陰極素子においては、第２電極の仕様および動作条件を適切に設定することにより、蛍光体４を一様に点灯させることができる。従って、蛍光体４の局部的な劣化を防ぐことができるので、これを用いた画像表示装置の輝度寿命を延ばすことができる。
【００３８】
＜実施の形態２＞
実施の形態１に係る冷陰極発光素子においては、図１に示すように、第２電極８の第２メッシュ開口部９の外径が、ゲート電極６のゲートメッシュ開口部７の外径とほぼ同じ大きさであった。しかし、図８に示すように、第２メッシュ開口部９の外径を拡げて、第２電極８の上面のほとんど全ての領域を、第２メッシュ開口部９にしてもよい。この場合、第２メッシュ開口部９の外径が、ゲートメッシュ開口部７の外径とほぼ同じ大きさである場合に比べて、第２電極８を設置する際の位置合わせ作業を不要とすることができる。
【００３９】
このように、本実施の形態に係る冷陰極素子においては、第２電極８の上面のほとんど全ての領域が第２メッシュ開口部９であるので、実施の形態１の効果に加えて、冷陰極素子の製造時における作業時間を短縮させることができるという効果を有する。
【００４０】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１に記載の発明に係る冷陰極発光素子は、前面パネルと背面パネルとをスペーサを介して封止した容器を備え、前記前面パネルは、前記容器の内面に蛍光体陽極を有し、前記背面パネルは、前記容器の内面に配列された、前記蛍光体陽極を発光させる電子源となる複数の冷陰極電子源、並びに、前記冷陰極電子源の上方に設置され、第１電子透過孔がメッシュ状に形成されたゲートメッシュ開口部を含み、前記冷陰極電子源から電子を引き出すための所定のゲート電圧が印加されるゲート電極、並びに、前記蛍光体陽極と前記ゲート電極との間に設置され、第２電子透過孔がメッシュ状に形成された第２メッシュ開口部を含み、０ボルト以上かつ前記ゲート電圧未満の第２の電圧が印加される第２電極を有するので、蛍光体陽極を一様に発光させることができる。従って、蛍光体陽極の局部的な劣化を防ぐことができるので、これを用いた画像表示装置の輝度寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る冷陰極発光素子の側断面図である。
【図２】実施の形態１に係る冷陰極発光素子の背面パネルの上面図である。
【図３】実施の形態１に係る冷陰極発光素子のゲート電極の上面図である。
【図４】実施の形態１に係る冷陰極発光素子の第２電極の上面図である。
【図５】実施の形態１に係る冷陰極発光素子の点灯の状態を示す図である。
【図６】第２電極を設置しない冷陰極発光素子の点灯の状態を示す図である。
【図７】第２の電圧がゲート電圧と同程度である冷陰極発光素子の点灯の状態を示す図である。
【図８】実施の形態２に係る冷陰極発光素子の側断面図である。
【符号の説明】
１  前面パネル、２  背面パネル、３  スペーサガラス、４  蛍光体、５  ＣＮＴ陰極、６  ゲート電極、７  ゲートメッシュ開口部、８  第２電極、９  第２メッシュ開口部、１０  陰極配線層、１１  ＣＮＴ陰極列。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004178841.tif 000007
【図６】
2004178841.tif 000008
【図７】
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【図８】
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