(57)【要約】【課題】高記録密度の光学記録再生媒体において、記録再生特性を良好にするためにグルーブの段差高を小さくする場合においてもプッシュプル信号振幅を十分に大として安定したトラッキングサーボを可能として、実用的な高記録密度の光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置を提供することを目的とする。【解決手段】成形された基板１上に少なくともグルーブ３が形成され、このグルーブ３上に少なくとも記録層６及び保護層１９が形成されて成る光学記録再生媒体１０であって、グルーブ３の凹凸を埋め込んで、基板１及び保護層１９の屈折率に比して高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層８を設ける構成とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形された基板上に少なくともグルーブが形成され、上記グルーブ上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成る光学記録再生媒体であって、
上記グルーブの凹凸を埋め込んで、上記基板及び上記保護層の屈折率に比して高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層が設けられて成ることを特徴とする光学記録再生媒体。
【請求項２】
上記高屈折率充填層の屈折率が、２．  ０以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項３】
上記グルーブのトラックピッチが、上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対応するカットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２未満とされて成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項４】
上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．  ８５±０．０５とされることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項５】
上記グルーブの深さが、１２ｎｍ以上２０ｎｍ以下とされて成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項６】
上記グルーブの少なくとも一部がウォブリンググルーブとされて成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項７】
上記基板上に、上記グルーブと混在してピットが形成されて成ることを特徴とする請求項１に記載の光学記録再生媒体。
【請求項８】
成形された基板上に少なくともグルーブが形成され、上記グルーブ上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成る光学記録再生媒体を用いる光学記録再生装置であって、
上記光学記録再生媒体は、上記グルーブの凹凸を埋め込んで、上記基板及び上記保護層の屈折率に比して高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層が設けられて成ることを特徴とする光学記録再生装置。
【請求項９】
上記光学記録再生媒体の上記高屈折率充填層の屈折率が、２．  ０以上であることを特徴とする請求項８に記載の光学記録再生装置。
【請求項１０】
上記光学記録再生媒体の上記グルーブのトラックピッチが、上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対応するカットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２未満とされて成ることを特徴とする請求項８に記載の光学記録再生装置。
【請求項１１】
上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．  ８５±０．０５とされることを特徴とする請求項８に記載の光学記録再生装置。
【請求項１２】
上記光学記録再生媒体の上記グルーブの深さが、１２ｎｍ以上２０ｎｍ以下とされて成ることを特徴とする請求項８に記載の光学記録再生装置。
【請求項１３】
上記光学記録再生媒体の上記グルーブの少なくとも一部がウォブリンググルーブとされて成ることを特徴とする請求項８
に記載の光学記録再生装置。
【請求項１４】
上記光学記録再生媒体の上記基板上に、上記グルーブと混在してピットが形成されて成る請求項８に記載の光学記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形された基板上に少なくともグルーブが形成され、グルーブ上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成る光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
光学記録再生媒体として、円盤状に形成されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光ディスクが各種実用化されている。このような光ディスクには、データに対応したエンボスピットがディスク基板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスクや、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変化型光ディスクなどがある。
【０００３】
これら光ディスクのうち、光磁気ディスクや相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディスクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディスク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成されるいわゆる案内溝であり、グルーブとグルーブの開口端間をランドと称す。
【０００４】
そしてグルーブが形成されて成る光ディスクでは、通常、グルーブで反射回折された光から得られるプッシュプル信号に基づくトラッキングエラー信号によって、トラッキングサーボがなされる。ここで、プッシュプル信号は、グルーブで反射回折された光を、トラック中心に対して対称に配置された２つの光検出器により検出し、それら２つの光検出器からの出力の差をとることにより得られる。
【０００５】
ところで、従来、これらの光ディスクでは、再生装置に搭載される光ピックアップの再生分解能を向上させることで、高記録密度化を達成してきた。そして、光ピックアップの再生分解能の向上は、主に、データの再生に使用するレーザ光の波長λを短くしたり、光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数ＮＡを大きくしたりすることにより、光学的に実現させてきた。
【０００６】
従来、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）の追記型のいわゆるＣＤ−Ｒや光磁気ディスクの書換え型のＭＤ（Ｍｉｎｉ  Ｄｉｓｃ  ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）の追記型のＤＶＤ−ＲやＤＶＤ＋Ｒ、又はＤＶＤの書換え可能型のいわゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶＤ−ＲＷ（いずれも光ディスクの登録商標）の各フォーマットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが提案されている。ＩＳＯ系の光磁気ディスクの各フォーマットでは、ランドに記録するランド記録フォーマットが提案されている。
【０００７】
一方ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等においては、光ディスクの高密度化を実現する一つの方法として、グルーブとランドとの両方に記録することにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化をはかる、いわゆるランドグルーブ記録方式が提案されている。
【０００８】
また、近年次世代光ディスクとして開発が進められているＤＶＲ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）またはＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃや、ＭＤが小型化されたμ−Ｄｉｓｃ等の高密度光ディスクにおいても、ランドグルーブ記録方式が検討されており、これにより高記録密度化がはかられている。
【０００９】
しかしながら、ＤＶＤ−ＲＡＭ等においてランドグルーブ記録を行う場合、ランド上の記録とグルーブ上の記録において、記録再生時にフォーカス点をそれぞれ調節しないと最適な記録再生特性が得られないことから、光学系の複雑化を招くという欠点があった。
【００１０】
また、”ＩＳＯＭ  ２０００  Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ  Ｏｆ  Ｈｅａｔ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ  Ａｎｄ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｏｎ  Ｌａｎｄ／Ｇｒｏｏｖｅ  Ｄｉｓｃ”において、ランド上の記録とグルーブ上の記録とにおいて、記録ビーム形状が異なる報告があることからも明らかなように、ランド記録再生特性とグルーブ記録再生特性とを均一化することは困難であり、同一の光学記録再生媒体において、記録再生特性の異なる領域が存在するという問題がある。
【００１１】
更にまた、ＤＶＲ等の高密度光ディスクにおいて、読み取り面に近い方、即ちＤＶＲの場合は、光照射側に近いランド上の記録再生特性は良好であるが、読み取り面から遠い方、即ちＤＶＲの場合光照射側から遠いグルーブでの記録再生特性を良好に保持することは困難な結果を得ている。
【００１２】
ＤＶＲ−ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ディスク等において、このようなランドグルーブ記録方式のフォーマットで信号を直接記録することは現状では可能であるが、ランド上の記録とグルーブ上の記録とで記録再生特性を良好で且つ均一にすることが望まれている。
【００１３】
上述したように、ＤＶＲ等の高密度光ディスクにおいて、グルーブ部は読み取り面に遠い方であり、このグルーブ部での記録再生特性を良好にすることは困難である。
【００１４】
一方、光学記録再生媒体の製造工程において、基板に形成する凹凸パターンを反転して製造する方法が考えられる。すなわち、通常の光学記録再生媒体の製造過程においては、フォトリソグラフィ等によってガラス原盤上の感光層に微細な凹凸パターンを形成した後、メッキ等によって例えばＮｉより成るマスタースタンパを形成する。
【００１５】
そしてこのマスタースタンパを金型等に載置して樹脂を射出する射出成形法、または、基板上に、例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂層にこのスタンパを押圧して、目的とする凹凸パターンを形成する、いわゆる２Ｐ（Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法によって、表面に所定の微細な凹凸パターンが形成された光学記録再生媒体の基板を形成することができる。
【００１６】
従って、上述したように、グルーブ部が読み取り光から遠い側に設けられて記録再生特性が良好に保持できない場合は、上述のマスタースタンパの複製スタンパ、即ちいわゆるマザースタンパを、電気メッキ法等によって転写形成することにより、凹凸パターンを逆にして、基板上のグルーブパターンを、読み取り光に近い側に設ける構成として、記録再生特性の向上をはかることができる。
【００１７】
しかしながら、グルーブ記録又はランド記録フォーマットを採る場合は、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合と同様の高記録密度を達成しようとすると、ランドグルーブ記録フォーマットを採る場合の２倍のトラック密度にすること、即ちトラックピッチを半分とする必要があり、プッシュプル信号等のトラッキングサーボ信号の振幅量が小さくなり、安定にトラッキングすることや、ウォブル信号の再生が難しくなる。
【００１８】
例えば、ランドグルーブ記録フォーマットは、トラックピッチが０．６０μｍ、即ちランド幅が０．３０μｍ、グルーブ幅が０．３０μｍとされており、プッシュプル信号振幅は９０％程度である。
【００１９】
しかし、グルーブ記録フォーマットで同様の記録密度を達成する場合は、トラックピッチを０．３２μｍとすると、プッシュプル信号振幅は１８％程度である。
【００２０】
従来の光ディスクにおいて、トラックピッチは、再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数のトラックピッチの２倍〜３／２程度とされている。ここで、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０となる周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ光の波長をλとし、光ディスク上にレーザ光を集光する対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、２ＮＡ／λで表される。
【００２１】
上述のＤＶＲの場合、開口数ＮＡ＝０．８５、再生光の波長λ＝４０６ｎｍであるから、カットオフ周波数（２ＮＡ／λ）は、４１８７本／ｍｍであり、この場合のトラックピッチは０．２３９μｍである。
ＤＶＲのトラックピッチを０．３２μｍとすると、カットオフ周波数に対応するトラックピッチ（０．２３９μｍ）の４／３（０．３２／０．２３９＝１．３３９）程度となる。
【００２２】
通常トラックピッチがカットオフ周波数に対応するトラックピッチの２倍〜３／２程度とされるのは、安定したトラッキングサーボや安定したウォブル信号の再生を実現するために、トラッキングサーボ信号振幅を充分なレベルにて得られるようにする必要があるからである。
【００２３】
近年の高密度光ディスクでは、トラッキングエラー信号としてプッシュプル信号が用いられているが、トラッキングサーボを安定に行うには、プッシュプル信号振幅比が０．１４程度以上である必要がある。更に、ウォブル信号の再生を安定に行うようにすることが望まれている。
【００２４】
一方、上述のＤＶＲ等の記録層が相変化材料よりなる光学記録再生媒体において、グルーブの深さが浅い方が、ジッター等の記録再生特性が良好なデータが得られており、グルーブの深さが２５ｎｍ以下とすることが検討されている。
【００２５】
プッシュプル信号振幅が最大であるグルーブの深さは、再生用光の波長λの１／８ｎ（ｎは再生用光の入射面からグルーブに至る媒質の屈折率）程度である。ここで、屈折率ｎとしては、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）で１．４９、ＰＣ（ポリカーボネート）で１．５８、またＵＶレジンで１．４９、接着剤のＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ａｄｈｅｓｉｏｎ）  で１．４８程度である。
【００２６】
上述のＤＶＲの場合、再生用光の波長λは４０５ｎｍ±１０ｎｍの例えば４０６ｎｍ程度とされ、保護層側から再生用光を入射する。この場合、プッシュプル信号振幅が最大となる深さλ／８ｎは、４０６（ｎｍ）／（８×１．４９）＝３４（ｎｍ）である。
プッシュプル信号振幅は、λ／１１ｎ以下程度となると充分得られないが、前述したように、相変化材料より成る記録層において再生特性が良好となるようにグルーブ深さを２５ｎｍ以下とすると、λ／１１ｎ程度以下となってしまい、十分なプッシュプル信号振幅が得られず、安定なトラッキングサーボを行えなくなるという問題がある。
【００２７】
尚、色素材料よりなる記録層を有する光ディスクにおいて、屈折率の比較的高い高屈折率層を記録層上に設ける構成とし、この高屈折率層の厚さと記録層の厚さとを適切に選定することによって、記録層における反射率を低下させて記録層全体の光吸収量を高め、高感度化、高変調度化をはかった光学記録媒体が提案されている（例えば特許文献１参照。）。
しかしながら、上述したような高記録密度化をはかる目的をもって、トラックピッチをカットオフ周波数の４／３程度以下とする場合に、記録再生特性を良好にするためにグルーブ深さを２５ｎｍ程度以下と浅くし、かつトラッキングサーボの安定化をはかる技術は報告されていない。
【００２８】
【特許文献１】
特公平７−６２９１７  号公報
【００２９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような問題を解決し、高記録密度の光学記録再生媒体において、記録再生特性を良好にするためにグルーブの深さを小さくする場合においてもプッシュプル信号振幅を十分に大として安定したトラッキングサーボを可能として、実用的な高記録密度の光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置を提供することを目的とする。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、成形された基板上に少なくともグルーブが形成され、このグルーブ上に少なくとも記録層及び保護層が形成されて成る光学記録再生媒体であって、グルーブの凹凸を埋め込んで、基板及び保護層の屈折率に比して高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層を設ける構成とする。
【００３１】
また本発明は、上述の構成において、高屈折率充填層の屈折率を、２．  ０以上とする。
更に本発明は、上述の構成において、グルーブのトラックピッチを、光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λ及び対物レンズの開口数ＮＡに対応するカットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２未満として構成する。
【００３２】
また更に本発明は、上述の構成において、光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λを４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．  ８５±０．０５として構成する。
更に本発明は、上述の構成において、グルーブの深さを、１２ｎｍ以上２０ｎｍ以下として構成する。
【００３３】
また本発明は、上述の構成において、グルーブの少なくとも一部をウォブリンググルーブとする構成とする。
更に本発明は、上述の構成において、基板上に、グルーブと混在してピットが形成される構成とする。
【００３４】
上述したように、本発明においては、少なくともグルーブを有する光学記録再生媒体において、グルーブの凹凸を埋め込んで、基板及び保護層の屈折率より高い屈折率材料の高屈折率充填層を設けるものであり、このような構成とすることによって、グルーブの深さが記録再生特性を良好にするために比較的浅くされる場合においても、屈折率の高い高屈折率充填層を介して再生用光をグルーブに入射させることによって、光学的に光路差を補償することができて、再生用光の波長λと媒質の屈折率をｎとしたときに、λ／８ｎ程度にその深さを近づけることができ、安定なトラッキングサーボを可能とすることができる
【００３５】
特に、高屈折率充填層を、屈折率が２．０以上の材料より構成することによって、後段の実施例において詳細に説明するように、プッシュプル信号振幅を十分大として、良好な記録再生特性を得ることができた。
【００３６】
また、グルーブのトラックピッチがカットオフ周波数の４／３以上３／２未満とされる場合、または再生用光の波長λを４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．  ８５±０．０５とする場合において、上述のＤＶＲ型光ディスクにおけるように、グルーブの深さを２５ｎｍ程度以下としても、本発明によれば、高屈折率充填層を設けることによって光路差を最適化し、十分なプッシュプル信号振幅が得られるようにすることができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【００３７】
更に、グルーブの少なくとも一部をウォブリンググルーブとする場合においても、本発明構成とすることによって、安定にトラッキングサーボを行って、ウォブル信号を安定に再生することができる。
また、グルーブと混在してピットが形成される場合においても、同様にグルーブと同程度に浅く形成されるピットの読み取りにあたって、高屈折率充填層を設けることによって光路差を補償することによって、その再生特性の向上をはかることができる。
【００３８】
したがって、本発明によれば、高密度化と共に記録再生特性の向上を図り、且つ安定なトラッキングサーボ特性が得られる光学記録再生媒体を得ることができて、高記録密度で記録再生特性に優れた光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置を提供することができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明するが、以下の例においては、上述のＤＶＲまたはＢｌｕ  −ｒａｙ  Ｄｉｓｃに適用する場合を説明するが、本発明は以下の例に限定されることなく、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の構成を採り得ることはいうまでもない。
【００４０】
図１は、本発明による光学記録再生媒体の一例の要部の略線的拡大断面図である。図１において１はＰＣ、ＰＭＭＡ等よりなるピット２及びグルーブ３が所定の深さｄをもって成形された基板を示す。この基板１上に、例えばＡｌ合金等よりなる光反射層４、ＺｎＳ−ＳｉＯ２  等よりなる第１の誘電体層５、ＧｅＳｂＴｅ合金等の相変化材料よりなる記録層６、ＺｎＳ−ＳｉＯ２  等よりなる第２の誘電体層７が順次積層され、この上に、基板１及び後述の保護層９よりも高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層８が、グルーブ３の凹凸を埋め込むように形成される。そして、高屈折率充填層８の上に、例えばシート状のＰＳＡ等よりなる接着層９及び保護層１９が被着されて、光学記録再生媒体１０が構成される。５４は光ピックアップの例えば対物レンズ、Ｌはレーザなどの再生用光を示す。
【００４１】
なお、この例においては、ピット２及びグルーブ３は、基板１上に突出する凸部として形成されるが、凹部状のいわゆる溝状に形成することも可能である。図示の例においてはグルーブの深さｄは、凸部の高さとなる。
【００４２】
そしてこの場合は、保護層１９、接着層９及び高屈折率充填層８が上述の光入射面からピットに至る媒質となるが、特にグルーブ３などの凹凸を埋め込んで光路差を生じさせる領域の媒質は高屈折率充填層８となる。
【００４３】
なお、高屈折率充填層８の埋め込み方法としては、第１の誘電体層５、記録層６、第２の誘電体層７に続いてスパッタリング等により被着した後、高屈折率充填層８の上部の段差をなくすように比較的長いエッチング、例えばプラズマエッチングを施すことによって、上面を平坦面として形成することができる。
【００４４】
次に、このような光学記録再生媒体の製造工程の一例を図２Ａ〜Ｃの製造工程図を参照して説明する。
【００４５】
図２Ａにおいて、１１はガラス等より成る原盤用基板を示す。この原盤用基板１１の表面に、フォトレジスト等より成る感光層１２が被着形成され、後述する光学記録装置によって所定のパターン露光及び現像によって、記録情報に対応するパターンのピットパターン１３及びグルーブパターン１４が、例えば原盤用基板１１の表面を露出するように、即ち感光層１２が除去されたいわば凹状パターンとして形成される。
【００４６】
その後、図示しないが、このパターニングされた感光層１２上を覆って、全面的に無電界メッキ法等により、ニッケル被膜等より成る導電化膜を被着した後、導電化膜が被着された原盤用基板１１を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜層上に例えば３００±５μｍ程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。
【００４７】
続いて、ニッケルメッキ層が厚く被着された原盤用基板１１から、ニッケルメッキ層をカッター等で剥離し、凹凸パターンが形成された感光層を、アセトン等を用いて洗浄して、図２Ｂに示すように、原盤１１上でのピットパターン１３が反転したパターンの反転ピットパターン１３ｎ及びグルーブパターン１４が反転したパターンの反転グルーブパターン１４ｎが形成されたスタンパ１５、即ちいわゆるマスタースタンパが形成される。
【００４８】
その後、このスタンパ１５の凹凸パターンが形成された面上に例えば離型剤を塗布した後、例えば電気メッキ法により、図２Ｃに示すように、スタンパ１５の凹凸パターンを転写したマザースタンパ１６を形成する。
【００４９】
このマザースタンパ１６は、図２Ａにおいて説明した原盤用基板１１上の感光層１２のパターンと同様に、所定のピットパターン１３及びグルーブパターン１４が凹状に形成されて成る。従って、このマザースタンパ１６から射出成形等によって形成した基板上のグルーブは、基板から突出したパターンとされ、そのグルーブ面は、再生用光の入射側に近い側とすることができる。
【００５０】
次に、上述の図２Ａにおいて説明した、原盤１１の上の感光層１２に対する具体的な露光工程を、光学記録装置の構成例と共に詳細に説明する。
【００５１】
先ず、この光学記録装置の構成について説明する。
上述のパターン露光工程においては、レーザビームを対物レンズで集光し、原盤用基板の上のフォトレジストを露光する方法が一般的に採られている。このような光学記録装置の一例を図３示す。
【００５２】
図３において、２５は気体レーザ等の光源を示す。光源としては、特に限定されるものではなく、適宜選択して用いることができるが、この例においては、Ｋｒレーザ（波長λ＝３５１ｎｍ）の記録用レーザ光を発振するレーザ源を用いた。
【００５３】
光源２０から出射されたレーザ光ＬＢ０  は、ビームスプリッタＢＳ２及びビームスプリッタＢＳ１によって一部反射される。なお、図示しないがビームスプリッタＢＳ２の後段に、フォトディテクタ及び電気変調器などを設けることによって、レーザ光出力を検出し、フィードバックをかけることによって、より安定した出力のレーザ光を得ることができる。
【００５４】
ビームスプリッタＢＳ１、ＢＳ２で反射されたレーザ光ＬＢ１  及びＬＢ２  は、第１及び第２の変調光学系３０及び４０に導かれる。第１の変調光学系３０において、レーザ光をレンズＬ１１で集光し、その焦点面上に音響光学変調器（ＡＯＭ（Ａｃｏｕｓｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ  ）１）３２を配置する。
【００５５】
この音響光学変調器３２には、記録信号に対応する超音波がドライバ３１から入力され、この超音波に基づいてレーザ光の強度が強度変調される。レーザ光は、音響光学変調器３２の回折格子により回折され、その回折光のうち１次回折光のみがスリットを透過するようになされる。
【００５６】
強度変調を受けた１次回折光は、レンズＬ１２によって集光された後、ミラーＭ１により反射されて進行方向が９０°曲げられた上で、λ／２波長板ＨＷＰを介して移動光学テーブル４５に水平に且つ光軸に沿って導入され、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）に入射する。
【００５７】
同様に、第２の変調光学系４０において、レーザ光はレンズＬ２１で集光され、その焦点面上に配置された音響光学変調器（ＡＯＭ２）４２に入射され、ドライバ３１から入力される記録信号に対応する超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。発散したレーザ光は同様にレンズＬ２２によって集光された後、ミラーＭ２によって反射されて進行方向が９０°曲げられて、移動光学テーブル４５に水平に且つ光軸に沿って導入され、偏向光学系ＯＤに導入される。
【００５８】
レーザ光ＬＢ２  によってグルーブを形成し、かつこのグルーブをウォブルグルーブとする場合は、移動光学テーブル４５上の偏向光学系ＯＤにおいて光学偏向が施された上で、ミラーＭ４によって反射されて再び進行方向が９０°曲げられて、偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００５９】
そして、偏光ビームスプリッタＰＢＳを透過したレーザ光ＬＢ１  及び偏光ビームスプリッタＰＢＳによって再度９０°進行方向が曲げられたレーザ光ＬＢ２  は、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラーＭ５によって反射されて対物レンズ５４へと導かれ、この対物レンズ５４によって、原盤用基板１１の上の感光層１２に集光される。原盤用基板１１は、図示しないが回転駆動手段により矢印ａで示すように回転される。一点鎖線ｃは、基板１１の中心軸を示す。
【００６０】
記録用のレーザ光ＬＢ１  及びＬＢ２  は、移動光学テーブル４５によって平行移動される。これにより、レーザ光の照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応する潜像が、感光層１２の全面にわたって形成されることとなる。
【００６１】
ここで、偏向光学系ＯＤは、ウェッジプリズム４７、音響光学偏向器（ＡＯＤ：Ａｃｏｕｓｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）４８、ウェッジプリズム４９により構成される。レーザ光ＬＢ２  は、ウェッジプリズム４７を介して音響光学偏向器４８に入射し、この音響光学偏向器４８によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。
【００６２】
この音響光学偏向器４８に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ２  ）から成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏向器４８によって光学偏向が施されたレーザ光ＬＢ２  は、ウェッジプリズム４９を介して偏向光学系ＯＤから出射される。
【００６３】
尚、ウェッジプリズム４７、４９は、音響光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光ＬＢ２  が入射すると共に、音響光学偏向器４８によってレーザ光ＬＢ２  に対して光学偏向を施しても、ビームの水平高さが変わらないようにする機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプリズム４７、４９と音響光学偏向器４８は、音響光学偏向器４８の音響光学素子の格子面がレーザ光ＬＢ２  に対してブラッグ条件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出射されたときのレーザ光の水平高さが変わらないように配置される。
【００６４】
また、音響光学偏向器４８には、この音響光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０が取り付けられており、この駆動用ドライバ５０には、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）５１からの高周波信号が、正弦波で変調され供給される。そして、感光層の露光の際には、所望する露光パターンに応じた信号が電圧制御発振器５１から駆動用ドライバ５０に入力され、この信号に応じて駆動用ドライバ５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これにより、レーザ光ＬＢ２  に対して所望のウォブリングに対応した光学偏向が施される。
【００６５】
具体的には、例えば、周波数９５６．５ｋＨｚにてグルーブをウォブリングさせることにより、グルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数９５６．５ｋＨｚの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振器５１から駆動用ドライバ５０に供給する。
【００６６】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し、この音響光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、これにより、周波数９５６．５ｋＨｚのウォブリングに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施す。これにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポット位置が、周波数９５６．５ｋＨｚ、振幅±１０ｎｍにて、原盤用基板１１の半径方向に振動するように光学偏向を行った。
【００６７】
ここで、偏光ビームスプリッタＰＢＳは、Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされ、光学偏向されたレーザ光ＬＢ２  はＳ偏光であり、ＰＢＳにおいて反射するようになされる。
【００６８】
また、第１の変調光学系３０から出射されたレーザ光ＬＢ１  は、λ／２波長板ＨＷＰを通過することにより偏光方向が９０°回転させられているのでＰ偏光となっており、ＰＢＳを透過する。
【００６９】
後述する実施例においては、対物レンズ５４の開口数ＮＡを０．９とした。第１及び第２の変調光学系３０及び４０の音響光学変調器３２及び４２としては、酸化テルル（ＴｅＯ２  ）を用いた。入力端子からドライバ４１を介して供給される信号は、ピットを形成する場合は、例えば１−７変調信号とし、グルーブを形成する場合は一定レベルのＤＣ（直流）信号である。
【００７０】
また、後述の実施例では、変調光学系３０及び４０の光学レンズとしては、集光レンズＬ１１及びＬ２１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ１２及びＬ２２の焦点距離を１００ｍｍとし、また移動光学テーブル４０の拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとした。
【００７１】
更に後述の実施例における光学記録装置の露光条件は、ウォブルグルーブに対しレーザパワー０．４ｍＪ／ｍとし、第２の変調光学系４０によってＤＣ変調によりトラックピッチを０．３２μｍとして、原盤用基板１１上の感光層１２にスパイラル状にパターン露光を行った。
【００７２】
そして、上述のパターン露光を行った後、原盤用基板１１を感光層１２が上部になるように現像機のターンテーブルに載置して、この原盤用基板１１の表面が水平面となるようにして回転させる。この状態で、感光層１２上に現像液を滴下して、感光層１２の現像処理を行い、信号形成領域に、記録信号に基づく凹凸パターンが形成され、上述の図４Ａにおいて説明した光学記録再生媒体製造用の原盤を形成する。
【００７３】
そしてこの後、上述の図２Ｂ〜Ｃにおいて説明した製造工程によって、上述の光学記録装置によるパターン露光と現像工程によって作製した凹凸パターンとは反転する凹凸パターンが形成された光学記録再生媒体製造用スタンパ、この場合いわゆるマザースタンパを形成し、更にこのマザースタンパから射出成形法又は２Ｐ法等によって、後述の実施例においては射出成形によりポリカーボネート等の光透過性樹脂より成る光学記録再生媒体用の基板を成形する。
【００７４】
そして、成形した基板の厚さを１．１ｍｍとし、その信号形成面に、図１において説明したように、Ａｌ合金等から成る光反射層４、ＺｎＳ−ＳｉＯ２  等より成る第１の誘電体層５、ＧｅＳｂＴｅ合金等より成る相変化材料より成る記録層６、ＺｎＳ−ＳｉＯ２  等より成る第２の誘電体層７、基板材料及び後述の保護層の材料に比して高い屈折率材料よりなる高屈折率充填層８を順次スパッタリング等によって成膜し、高屈折率充填層８の上面が平坦化するまでプラズマエッチング等のエッチングを施す。その後、高屈折率充填層８上に、ＰＳＡ等よりなる接着層９を介して熱可塑性樹脂シート等よりなる保護層１９を被着する。
【００７５】
このような製造工程を経て、図１において説明した、本発明構成による例えばＤＶＲフォーマットの光学記録再生媒体が形成される。
【００７６】
このようにして形成した光学記録再生媒体の凹凸パターンの再生特性の評価を、波長λ＝４０６ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．８５の光学系を備えた光学記録再生装置を用いて行う。この装置の模式的な構成を図４に示す。
【００７７】
図４において、６１は例えば波長λ＝４０６ｎｍの半導体レーザ等の光源を示し、ここから出射されたレーザビームは、コリメートレンズ６２で平行光とされ、グレーティング６３によって、０次光（主ビーム）及び±１次光（副ビーム）の３つのビームに分けられる。これらの３つのビーム（Ｐ偏光）は、偏光ビームスプリッタ６４、１／４波長板６５を円偏光として透過して、前述の図１において説明したように、開口数ＮＡ＝０．８５の対物レンズよりなる光ピックアップ６６によって、光学記録再生媒体１０の所定の記録トラック上に集光される。主ビームの中央のスポットは記録情報の記録再生に用いられ、副ビームの光スポットはトラッキングエラーの検出用に用いられる。６８は光学記録再生媒体１０を矢印ｂで示すように回転させる回転手段を示す。実線ｄは、光学記録再生媒体１０の回転軸を示す。
【００７８】
そして、光学記録再生媒体１０からの反射光は、光ピックアップ６６、１／４波長板６５を再び経由して円偏光はＳ偏光になり偏光ビームスプリッタ６４に反射され、組み合わせレンズ７１に入射させる。
【００７９】
組み合わせレンズ７１に入射されたレーザ光は、レーザビームに非点収差を与えるレンズを介してフォトダイオード７２に入射され、ビームの強度に応じた電気信号に変換され、サーボ信号（フォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号）として、サーボ回路に出力される。フォトダイオード７２は分割されたディテクタ７３（Ａ〜Ｈ）を有する。主ビームの戻り光はディテクタ７３の中央部に位置する４分割ディテクタのＡ〜Ｄに入射し、副ビームの戻り光はディテクタ７３の両側部に位置するＥ〜Ｈに入射する。
【００８０】
ディテクタ７３のＡ〜Ｈにより出力される信号Ａ〜Ｈが、図示しないが所定の回路系において、以下のように加算減算処理されて所定の信号が出力される。この例においては、所定の間隔に配置して照射した上記３本のレーザ光を利用した差動プッシュプル（ＤＰＰ：Ｄｉｆｆｅｒｎｔｉａｌ  Ｐｕｓｈ−Ｐｕｌｌ）方式によりトラッキングサーボ信号を得た。即ち、
光学記録再生媒体の再生信号＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）
ピット再生信号（例えばＥＦＭ信号）＝（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）
プッシュプル信号＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ）
差動プッシュプル（トラッキングサーボ）信号＝（Ｂ＋Ｃ）−（Ａ＋Ｄ）−ｋ（（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ））
（ｋは所定の定数）
とする。
このような構成による光学記録再生装置により、以下の実施例において、上述の本発明構成による光学記録再生媒体の評価を行った。
【００８１】
【実施例】
以下の例においては、高屈折率充填層８の材料を変えたタイプ１からタイプ５の構成において、グルーブの深さを上述の感光層１２の厚さを変化させることによって、１２ｎｍから３４ｎｍまで変化させた。以下の例では、１２ｎｍとする光学記録再生媒体Ａ、１６ｎｍとする光学記録再生媒体Ｂ、２０ｎｍとする光学記録再生媒体Ｃ、２４ｎｍとする光学記録再生媒体Ｄ、２９ｎｍとする光学記録再生媒体Ｅ、３４ｎｍとする光学記録再生媒体Ｆをそれぞれ形成した。
タイプ１から４における高屈折率充填層の材料及び屈折率ｎは以下の通りである。タイプ５は高屈折率充填層を設けない構成とした。
【００８２】
タイプ１：酸化チタン（ＴｉＯ２  ）、ｎ＝２．６
タイプ２：硫化亜鉛（ＺｎＳ）、ｎ＝２．３
タイプ３：酸化ネオジム（Ｎｄ２  Ｏ３  ）、ｎ＝２．０
タイプ４：シアニン系色素で反応性の低い色素、ｎ＝２．４
【００８３】
なお、タイプ１〜３の高屈折率充填層は、高周波スパッタ装置により、真空度を１０−３Ｐａ程度とした後、１〜３Ｐａ程度のＡｒガス雰囲気中で各材料をターゲットとし、出力１〜３ＫＷとしてその成膜を行った。各列共に、成膜時間を調整してその膜厚を調整し、各深さのグルーブを埋め込むよう第２の誘電体層上に被着形成した。
【００８４】
また、タイプ４のシアニン系色素としては、下記の化１に示す材料を用いた。またその膜厚は、フッ素アルコールを溶媒として用いて粘度を調整し、スピンコートの回転数を調整してグルーブを埋め込むよう第２の誘電体層上に被着形成した。
【００８５】
【化１】
2004178651.tif 000003
【００８６】
なお、上記化１において、Ｒ１  及びＲ２  は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜３のアルキル基を表わし、Ｒ３  は炭素原子数１〜４のアルキル基、炭素原子数２〜４のアルコキシアルキル基又は炭素原子数１〜４のフッ化アルキル基を表わし、Ｘ１  −  はアニオンを表わす。上記のタイプ４においては、以下に示す材料とした。
【００８７】
Ｒ１  ：ＣＨ３  
Ｒ２  ：ＣＨ３  
Ｒ３  ：ｎ−Ｃ４  Ｈ９  
Ｘ１  −  ：Ｃｌ４  −  
上述のタイプ４においては、このシアニン色素とクエンチャーを溶質として、フッ素アルコールを溶媒として、液濃度２％〜５％程度に調節してシアニン色素溶液を作成した。
【００８８】
塗布方法は以下の通りである。
先ずスピンコーターの載置台に基板を固定する。
その後載置台を回転させる。この時の回転数は３００ｓ−１（回／秒）から５００ｓ−１の間に維持する。
次に、上述のシアニン色素溶液を基板に滴下する。
そして回転数を１０００ｓ−１とした後、更に回転数を２０００ｓ−１とする。
【００８９】
最後に回転数を４０００ｓ−１から５０００ｓ−１にして、１秒〜２秒程度保持する。停止後、基板を取り出し、乾燥後、接着層及び保護層を被着する。
上述の例においては、載置台の回転数を調節して膜厚の調整を行った。
【００９０】
このような構成における光学記録再生媒体の各例を、上述の図４において説明した光学記録再生装置においてプッシュプル信号振幅を測定した。なお、トラックピッチは上述したように０．３２μｍ、グルーブ幅は１２５ｎｍ程度であった。
各例におけるプッシュプル信号振幅量を、位相深さの指標となるλ／（ｄ×ｎ）（λ：再生用光の波長、ｄ：グルーブ深さ、ｎ：グルーブの凹凸を埋め込む媒質の屈折率）とともに、以下の表１に示す。
【００９１】
【表１】
2004178651.tif 000004
【００９２】
上記表１においてプッシュプル信号振幅が０．１３以下の場合は安定なトラッキングサーボを行うことができなかった。すなわち、タイプ１の光学記録再生媒体Ｆ、タイプ３の光学記録再生媒体Ａ、タイプ５の光学記録再生媒体Ａ及びＢである。その他の光学記録再生媒体の構成例では、プッシュプル信号振幅が十分であり、安定したトラッキングサーボを行うことができた。更にこれらの光学記録再生媒体、ウォブルグルーブのアドレス情報を安定に再生することができた。
【００９３】
この結果から明らかなように、高屈折率充填層を設けない従来構成の光学記録再生媒体においては、グルーブの深さが２０ｎｍより小さくなると十分なプッシュプル信号振幅が得られず、安定したトラッキングサーボが行えないが、高屈折率充填層を設ける本発明構成によれば、グルーブ深さが２０ｎｍ以下となり、すなわちλ／１３ｎ以下の段差になっても十分なプッシュプル信号振幅が得られ、安定したトラッキングサーボを行うことができることがわかる。特に高屈折率充填層の材料を屈折率２．０以上とすることによって、良好なトラッキングサーボを行うことができることがわかる。
【００９４】
なお、タイプ３の光学記録再生媒体Ａにおいては、十分なプッシュプル信号振幅が得られていないが、このようにグルーブの深さを１２ｎｍと浅くする場合は、屈折率が２．３以上の材料の高屈折率充填層を設ける場合に、十分なプッシュプル信号振幅が得られることがわかる。
また、深さが２４ｎｍ以上の場合においては、高屈折率充填層を設けない従来構成のタイプ５においても、十分なプッシュプル信号振幅が得られることがわかる。
したがって、本発明においては、グルーブの深さが１２ｎｍ以上２０ｎｍ以下とするときに、有意な効果を得ることができることがわかる。
【００９５】
次に、上述の各例において、トラッキングサーボ及びウォブルグルーブのアドレス情報を安定に再生できる領域、すなわち上記表１においてプッシュプル信号振幅が０．１４以上得られた領域のグルーブ上に、１−７変調で記録再生を行い、ジッターを測定した。この結果を以下の表２に示す。
【００９６】
【表２】
2004178651.tif 000005
［イメージ］
【００９７】
上記表２において、「−」は十分なプッシュプル信号が得られず、ジッターを測定できないことを示す。
【００９８】
この結果からわかるように、ＤＶＲ型構成の光学記録再生媒体において、グルーブの深さが小さいほうが、ジッター等の記録再生特性が良好となることが明らかである。このことから、ＤＶＲ、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ等の高密度光学記録再生媒体においては、グルーブの深さを２５ｎｍ以下とすることが望ましいことがわかる。
【００９９】
すなわち、上記表２の結果から、光学記録再生媒体Ｅ、Ｆの測定を行うことができた領域では、ジッターが１０％以上であり、良好な記録再生特性を実現することは難しいことがわかる。
これに対し、光学記録再生媒体Ａ〜Ｄの安定なトラッキングサーボを得ることができたタイプにおいて、ジッターが９％程度以下であり、良好な記録再生特性を実現できた。
また、タイプ５の従来構成において、光学記録再生媒体Ｃ及びＤのみが良好な記録再生特性を実現することができたが、本発明構成の高屈折率充填層を有するタイプ１，２，３及び４は更に光学記録再生媒体Ａ及びＢにおいても、安定なトラッキングサーボを得た領域で７％  台の比較的低いジッターを実現することができた。つまり、グルーブの深さが２０ｎｍより小さい光学記録再生媒体においても、更に良好な記録再生特性を実現可能であることがわかる。
【０１００】
前述したように、ＤＶＲのトラックピッチ０．３２μｍは、カットオフ周波数のトラックピッチ（０２３９μｍ）の４／３程度しかなく、従来必要とされた３／２未満（０．３２／０．２３９＝１．３３９）であり、充分なトラッキングサーボ信号振幅（プッシュプル信号振幅）が得られなかったが、本発明構成とすることによって、安定なトラッキングサーボを実現することができた。
【０１０１】
更に、グルーブ深さを２０ｎｍ程度以下とする光学記録再生媒体においても、２．０以上の屈折率材料の高屈折率充填層を設けることによって、安定したトラッキングサーボを行うことができ、良好な記録再生特性を実現できた。
【０１０２】
なお、上述の例においては、グルーブについて再生特性を測定したものであるが、本発明を、図５に示すように、ピット２をグルーブ３に混在して設ける構成とする場合においても、同様の効果を得ることができるのはいうまでもない。
【０１０３】
尚、トラックピッチをカットオフ周波数に対応するトラックピッチの３／２倍以上とするときは、グルーブの深さを２０ｎｍ程度以下とする必要がなく、充分なプッシュプル信号が得られることから、カットオフ周波数のトラックピッチの４／３以上３／２未満のトラックピッチとするときに、本発明による有意な効果が得られることがわかる。
【０１０４】
上述したように、本発明においては、ランドグルーブ記録方式を採る場合と同様に、トラック密度を従来の２倍に高密度化をはかり、グルーブの良好な再生特性を実現できた。読み取り面に近い側にグルーブをピットと混在して形成し、フォーカス点を変えることなく良好なピット信号の再生特性とグルーブの記録再生特性を両立できる光学記録再生媒体を提供することができる。
【０１０５】
以上本発明の実施の形態と実施例の各例を説明したが、本発明は上述の実施例に限定されることなく、相変化材料による記録層等の各層の材料構成を変更するなど、本発明構成を逸脱しない範囲で種々の変形変更が可能であることはいうまでもない。
【０１０６】
また、情報としては記録情報に限定されることなく、信号の記録再生や或いは情報及び信号の記録再生両方の機能を有する光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置にも適用することができる。
【０１０７】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、少なくともグルーブを有する光学記録再生媒体において、グルーブの凹凸を埋め込んで、基板及び保護層の屈折率より高い屈折率材料の高屈折率充填層を設けることによって、グルーブの深さが記録再生特性を良好にするために比較的浅くされる場合においても、屈折率の高い高屈折率充填層を介して再生用光をグルーブに入射させることによって、光学的に光路差を補償することができて、再生用光の波長λと媒質の屈折率をｎとしたときに、λ／８ｎ程度にその深さを近づけることができ、安定なトラッキングサーボを可能とすることができる
【０１０８】
特に、高屈折率充填層を、屈折率が２．０以上の材料より構成することによって、プッシュプル信号振幅を十分大として、良好な記録再生特性を得ることができた。
【０１０９】
また、グルーブのトラックピッチがカットオフ周波数の４／３以上３／２未満とされる場合、または再生用光の波長λを４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．  ８５±０．０５とする場合において、ＤＶＲやＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ型の光学記録再生媒体におけるように、グルーブの深さを２５ｎｍ程度以下としても、本発明によれば、高屈折率充填層を設けることによって光路差を最適化し、十分なプッシュプル信号振幅が得られるようにすることができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【０１１０】
更に、グルーブの少なくとも一部をウォブリンググルーブとする場合においても、本発明構成とすることによって、安定にトラッキングサーボを行って、ウォブル信号を安定に再生することができる。
また、グルーブと混在してピットが形成される場合においても、同様にグルーブと同程度に浅く形成されるピットの読み取りにあたって、高屈折率充填層を設けることによって光路差を補償することによって、その再生特性の向上をはかることができる。
【０１１１】
したがって、本発明によれば、高密度化と共に安定なトラッキングサーボ特性が得られ、良好な記録再生特性の光学記録再生媒体を得ることができて、高記録密度で記録再生特性に優れた光学記録再生媒体及びこれを用いた光学記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光学記録再生媒体の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図２】Ａは光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｂは光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｃは光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
【図３】光学記録装置の一例の構成図である。
【図４】光学記録再生装置の一例の構成図である。
【図５】光学記録再生媒体の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【符号の説明】
１  基板、２  ピット、３  グルーブ、４  光反射層、５  第１の誘電体層、６記録層、７  第２の誘電体層、８  高屈折率充填層、９  接着層、１０  光学記録再生媒体、１１  原盤用基板、１２  感光層、１３  ピットパターン、１３ｎ  反転ピットパターン、１４  グルーブパターン、１４ｎ  反転グルーブパターン、１５  スタンパ、１６  マザースタンパ、１９  保護層、２５  光源、３０  第１の変調光学系、３１  駆動用ドライバ、３２  音響光学変調器、４０  第２の変調光学系、４１  駆動用ドライバ、４２  音響光学変調器、４５  移動光学テブル、４７  ウェッジプリズム、４８  音響光学偏向器、４９  ウェッジプリズム、５０  駆動用ドライバ、５１  電圧制御発振器、５２  対物レンズ、５４  光ピックアップ  ６１  光源、６２  コリメートレンズ、６３  グレーティング、６４  偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、６５  １／４波長板、６６  光ピックアップ、６７  磁気ヘッド、６８  回転手段、７０  偏光ビームスプリッタ、７１  組み合わせレンズ、７２  フォトダイオード、７３  ディテクタ
【図１】
2004178651.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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