(57)【要約】【課題】エア循環方式のクリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置されるＦＦＵの設置状態（稼働時を含む）において、制御ボックスを目視可能で操作可能に露出させ、メンテナンスの作業性を改善する。【解決手段】ＦＦＵ５ごとにファン３の吸引側に取り付けられるケミカルフィルタＸであって、下向きに概略凸形の断面形状を有するフレーム１を有し、該フレーム１の幅広断面部１１に乾式の有害化学物質除去フィルタ２を内蔵し、狭小断面部１２を空洞としてダクト形成し、該ダクト側のフレーム１下面をファン３の吸引口３１に対向載置する。また、その設置構造であって、狭小断面部１２により生じた設置自由空間Ｓに臨ませてＦＦＵ５の制御ボックス５１を露出させる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置され、ケミカルフィルタ、ファン、及び高性能エアフィルタを積層してなるファンフィルタユニットにおいて、
前記ファンフィルタユニットごとにファンの吸引側に取り付けられるケミカルフィルタであって、
下向きに概略凸形の断面形状を有するフレームを有し、該フレームの幅広断面部に乾式の有害化学物質除去フィルタを内蔵し、狭小断面部を空洞としてダクト形成し、該ダクト側のフレーム下面をファンの吸引口に対向載置してなることを特徴とするファンフィルタユニット取付用ケミカルフィルタ。
【請求項２】
クリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置され、ケミカルフィルタ、ファン、及び高性能エアフィルタを積層してなるファンフィルタユニットにおいて、
前記ファンフィルタユニットごとにファンの吸引側に取り付けられるケミカルフィルタの設置構造であって、
概略凸形の断面形状を有するフレームの幅広断面部に乾式の有害化学物質除去フィルタを内蔵し、かつ、狭小断面部を空洞としてダクト形成してて逆立させ、該ダクト側のフレーム下面をファンの吸引口に対向載置し、狭小断面部により生じた設置自由空間に臨ませて前記ファンフィルタユニットの制御ボックスを露出させてなることを特徴とするファンフィルタユニット取付用ケミカルフィルタの設置構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置され、ケミカルフィルタ、ファン、及び高性能エアフィルタを積層してなるファンフィルタユニットに係り、詳しくは、ファンフィルタユニットごとにファンの吸引側に取り付けられるファンフィルタユニット取付用ケミカルフィルタ及びその設置構造に関する。
【０００２】
なお、ダウンフローは垂直層流、ゾーニングはプロセス域や作業域で吹出条件を変更する帯域清浄の意である。
【０００３】
【従来の技術】
従来より、クリーンルームその他の高い清浄度を要求する建物内では、その環境条件を維持するためにファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ。）を設置し、清浄エアを循環するようにしている。
【０００４】
こうしたクリーンルームの通気構造（例えば、エア循環方式。）やフィルタユニットの構成には種々の提案がある。（例えば、特許文献１、２、及び３を参照。）
【０００５】
【特許文献１】
特開平４−３３４５１９号公報（全頁、全図）
【特許文献２】
特開平４−１１３１４１号公報（全頁、全図）
【特許文献３】
特開平１−２８１３５０号公報（全頁、全図）
【０００６】
しかしながら、図３に示すように、ケミカルフィルタ（Ｘ）、ファン（３）、及び高性能エアフィルタ（４）からなる従来型のＦＦＵ（５）では、ファン（３）の吸引側全面にケミカルフィルタ（Ｘ）を載置しており、ＦＦＵ（５）の制御ボックス（５１）〔具体的には、電源ボックスとエマージェンシーランプ。〕がケミカルフィルタ（Ｘ）により隠蔽されているので、稼働状態の目視確認やメンテナンス時の作業（操作）が困難であった。図中、本発明と共通の構成要素には同一符号を付している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、具体的には以下に示すような問題点があった。
【０００８】
（１）ケミカルフィルタを外さなければ目視確認できない。
【０００９】
（２）ＦＦＵ稼働中はメンテナンスができない。
【００１０】
（３）ＦＦＵの制御ボックス用の配線を通すための切欠きを塞ぐ封止処理が必要である。
【００１１】
（４）ケミカルフィルタ交換時に、フィルタを外してから電源停止をするので、この間に当該ＦＦＵからクリーンルームのケミカル汚染が発生してしまう。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、上記課題を解消し、ＦＦＵの設置状態（稼働時を含む）において、制御ボックスを目視可能で操作可能にに露出させたＦＦＵ取付用ケミカルフィルタ及びその設置構造を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
課題を解決するために本発明は、クリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置され、ケミカルフィルタ、ファン、及び高性能エアフィルタを積層してなるＦＦＵにおいて、前記ＦＦＵごとにファンの吸引側に取り付けられるＦＦＵ取付用ケミカルフィルタの改善であって、
下向きに概略凸形の断面形状を有するフレームを有し、該フレームの幅広断面部に乾式の有害化学物質除去フィルタを内蔵し、狭小断面部を空洞としてダクト形成し、該ダクト側のフレーム下面をファンの吸引口に対向載置してなることを特徴とするものである。
【００１４】
その設置構造であって、概略凸形の断面形状を有するフレームの幅広断面部に乾式の有害化学物質除去フィルタを内蔵し、かつ、狭小断面部を空洞としてダクト形成して逆立させ、該ダクト側のフレーム下面をファンの吸引口に対向載置し、狭小断面部により生じた設置自由空間に臨ませて上記ＦＦＵの制御ボックスを露出させてなることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を添付図面を参照して以下説明する。
【００１６】
図１は、本発明のケミカルフィルタの（ａ）正面視部分断面説明図及び（ｂ）平面視説明図である。
【００１７】
図２は、ファンの（ａ）正面視説明図及び（ｂ）平面視説明図である。
【００１８】
図示するように、実施形態のケミカルフィルタ（Ｘ）は、クリーンルームの天井側に、室の天井面である同一平面から清浄エアをダウンフローする吹出面をゾーニング可能に分割形成するために複数配置され、ケミカルフィルタ（Ｘ）、ファン（３）、及び高性能エアフィルタ（４）を積層してなるＦＦＵ（５）に内蔵され、該ＦＦＵ（５）ごとにファン（３）の吸引側に取り付けられるものである。
【００１９】
特徴的構造は、下向きに概略凸形の断面形状を有するフレーム（１）を有し、該フレーム（１）の幅広断面部（１１）に乾式の有害化学物質除去フィルタ（２）を内蔵し、狭小断面部（１２）を空洞としてダクト形成し、該ダクト側のフレーム下面をファン（３）の吸引口（３１）に対向載置するものである。
【００２０】
その設置構造は、フレーム（１）の断面減少（狭小断面部１２）により生じた設置自由空間（Ｓ）、すなわちファン（３）の上面とケミカルフィルタ（Ｘ）の幅広断面部（１１）のフレーム（１）下面との自由空間（Ｓ）に臨ませてＦＦＵ（５）の制御ボックス（５１）  を露出させるものとしている。
【００２１】
したがって、従来型のケミカルフィルタよりダクト形成部分（１２）の高さだけ嵩高にすることにより設置自由空間（Ｓ）を形成するものである。〔図３を参照〕
【００２２】
【発明の効果】
本発明は以上の構成よりなるものであり、これによればケミカルフィルタ部の全表面積（処理面積）に循環空気を接触濾過させながら、ファンの上面に設置される制御ボックスを露出させることができる。したがって、制御ボックスはＦＦＵ稼働時でも目視可能で操作可能である。全体として、クリーンルーム等への適用においてメンテナンス上の改善効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のケミカルフィルタの（ａ）正面視部分断面説明図及び（ｂ）平面視説明図である。
【図２】ファンの（ａ）正面視説明図及び（ｂ）平面視説明図である。
【図３】従来型のケミカルフィルタの（ａ）正面視部分断面説明図及び（ｂ）平面視説明図である。
【符号の説明】
１  フレーム
１１  幅広断面部
１２  狭小断面部（ダクト形成部分）
２  有害化学物質除去フィルタ
３  ファン
３１  吸引口
４  高性能フィルタ
５  ＦＦＵ
５１  制御ボックス
Ｓ  設置自由空間
Ｘ  ケミカルフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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