(57)【要約】【課題】光ディスク原盤・スタンパの表面に形成される情報トラック溝の深さを不均一にするために、トラックエラー信号の振幅レベルが位置により変化することになるが、これに影響されず、安定なトラッキングサーボ制御を行う光ディスク原盤・スタンパの検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】検査実行前にトラックエラー信号振幅比を求めておき、その比の逆数をテーブルに設定しておくことにより、トラッキングサーボゲインをトラックエラー信号振幅変動と対応させて複数回変化させ、トラッキングサーボ動作を一定幅の誤差に抑える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、タイミングデータ保持手段と、タイミング生成手段を有し、
前記タイミングデータ保持手段は、単一もしくは複数のタイミングデータを保持し、
前記タイミング生成手段は、タイミングデータ保持手段のデータに基づき、タイミング信号を生成し、
前記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、
前記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項２】
前記タイミングデータ保持手段の内容は、任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項３】
検査動作前に、
タイミングデータ保持手段に設定された内容で、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスとトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、
測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする請求項１または２記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項４】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、位置検出手段と、位置データ保持手段と、位置比較手段を有し、
前記位置データ保持手段は、単一もしくは複数の位置データを保持し、
前記位置検出手段は、光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出し、
前記位置比較手段は、位置検出手段の検出光ピックアップ位置と位置データ保持手段のデータ比較に基づきタイミング信号を生成し、
前記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、
前記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項５】
前記位置データ保持手段の内容は、任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項４記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項６】
検査動作前に、
位置データ保持手段の設定位置に光ピックアップをシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、
測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする請求項４または５に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項７】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、プリフォーマットアドレス検出手段と、アドレスデータ保持手段と、アドレス比較手段を有し、
前記アドレスデータ保持手段は、単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持し、
前記プリフォーマットアドレス検出手段は、光ディスク原盤及びスタンパに記録されているプリフォーマットアドレスを検出し、
前記アドレス比較手段は、プリフォーマット検出手段の検出プリフォーマットアドレスとアドレスデータ保持手段のアドレスデータを比較に基づきタイミング信号を生成し、
前記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、
前記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定プリフォーマットアドレスで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項８】
アドレスデータ保持手段の内容を任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項７記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項９】
検査動作前に、
アドレスデータ保持手段の設定プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算する手段と、
光ピックアップを前記換算位置にシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、
測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする請求項７または８に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１０】
全光量で規格化されたトラックエラー信号を、前記信号振幅検出の対象とすることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１１】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、タイミングデータ保持手段と、タイミング生成手段を有し、
前記タイミングデータ保持手段は、単一もしくは複数のタイミングデータを保持し、
前記タイミング生成手段は、タイミングデータ保持手段のデータに基づき、タイミング信号を生成し、
前記信号振幅検出手段は、前記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、
前記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１２】
前記タイミングデータ保持手段の内容は任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項１１記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１３】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、位置検出手段と、位置データ保持手段と、位置比較手段を有し、
前記位置データ保持手段は、単一もしくは複数の位置データを保持し、
前記位置検出手段は、光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出し、
前記位置比較手段は、位置検出手段の検出光ピックアップ位置と位置データ保持手段のデータ比較に基づきタイミング信号を生成し、
前記信号振幅検出手段は、前記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、
前記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１４】
位置データ保持手段の内容は任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項１３記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１５】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、プリフォーマットアドレス検出手段と、アドレスデータ保持手段と、アドレス比較手段を有し、
前記アドレスデータ保持手段は、単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持し、
前記アドレス比較手段は、プリフォーマット検出手段の検出プリフォーマットアドレスとアドレスデータ保持手段のアドレスデータを比較に基づきタイミング信号を生成し、
前記信号振幅検出手段は、前記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、
前記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、
前記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１６】
アドレスデータ保持手段の内容を任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項１５記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１７】
前記ゲイン演算手段は、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅の比の逆数をゲイン設定信号として演算することを特徴とする請求項１１から１６のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１８】
基準振幅を任意に設定変更可能であることを特徴とする請求項１１から１７のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項１９】
情報トラックの半径方向周期的微少変位信号を全光量で規格化して利用することを特徴とする請求項１１から１８のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査装置。
【請求項２０】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
単一もしくは複数のタイミングデータを保持するタイミングデータ保持ステップと、
前記タイミングデータ保持ステップによって保持されたデータに基づき、タイミング信号を生成するタイミング生成ステップと、
単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、
前記タイミング信号に同期して、前記ゲインデータ保持ステップにおけるデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、
前記ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２１】
前記タイミングデータ保持ステップによって保持されたデータは任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項２０記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２２】
検査動作前に、
前記タイミングデータ保持ステップにより設定された内容で、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスとトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、
測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを有することを特徴とする請求項２０または２１に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２３】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
単一もしくは複数の位置データを保持する位置データ保持ステップと、
光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出する位置検出ステップと、
前記位置検出ステップの検出光ピックアップ位置と位置データ保持ステップにより保持されたデータとの比較に基づきタイミング信号を生成する位置比較ステップと、
単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、
タイミング信号に同期して、前記ゲインデータ保持ステップにより保持されたデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、
ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定のタイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２４】
前記位置データ保持ステップにより保持されたデータは、任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項２３記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法
【請求項２５】
検査動作前に、
前記位置データ保持ステップによる設定位置に光ピックアップをシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、
測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを有することを特徴とする請求項２３または２４に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２６】
ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシング及びトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤及びスタンパの検査装置において、
単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持するアドレスデータ保持ステップと、
光ディスク原盤及びスタンプに記録されているプリフォーマットアドレスを検出するプリフォーマットアドレス検出ステップと、
前記プリフォーマット検出ステップにより検出されたプリフォーマットアドレスと前記アドレスデータ保持ステップにより保持されたアドレスデータとの比較に基づきタイミング信号を生成するアドレス比較ステップと、
単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、
前記タイミング信号に同期して、前記ゲインデータ保持ステップにより保持されたデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、
前記ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定のプリフォーマットアドレスで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２７】
前記アドレスデータ保持ステップにより保持されたデータは、任意に変更設定可能であることを特徴とする請求項２６記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２８】
検査動作前に、
前記アドレスデータ保持ステップによる設定プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算するステップと、
光ピックアップを前記換算位置にシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、
測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを更に有することを特徴とする請求項２６または２７に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項２９】
全光量で規格化されたトラックエラー信号を、前記信号振幅検出の対象とすることを特徴とする請求項２０から２８のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査方法。
【請求項３０】
コンピュータに、
測定のタイミングを設定する処理と、
光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、
前記タイミングと同期してトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、
前記測定の結果を保持する処理と、
前記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理と実行させるための光ディスク原盤及びスタンパの検査プログラム。
【請求項３１】
コンピュータに、
測定の位置を設定する処理と、
光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、
前記設定された位置でトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、
前記測定の結果を保持する処理と、
前記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理とを実行させるための光ディスク原盤及びスタンパの検査プログラム。
【請求項３２】
コンピュータに、
プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算する処理と、
光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、
前記換算後の位置でトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、
前記測定の結果を保持する処理と、
前記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理とを実行させるための光ディスク原盤及びスタンパの検査プログラム。
【請求項３３】
前記トラックエラー信号は、全光量で規格化されており、前記信号振幅検出の対象となることを特徴とする請求項３０から３２のいずれか１項に記載の光ディスク原盤及びスタンパの検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク原盤及びスタンパの検査装置、方法及びプログラムに関し、特に光ディスク原盤及びスタンパの信号を再生し、再生信号の検査を行う検査装置、あるいは再生信号の評価解析を行う評価装置のトラッキング制御技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
＜光ディスク及びスタンパ検査技術＞
光ディスクの製作では、まずフォトリソグラフィ技術により原盤を作り、これをメッキ加工することでスタンパを作り、スタンパから成形により光ディスク基板が複製される。光ディスク原盤やスタンパは大量に複製される光ディスクのもとであるため、厳密な検査が行われる。光ディスク原盤及びスタンパの検査装置は、ゴミや傷などによるスタンパ表面の欠陥検査を行う装置である。普通の光ディスク再生及び記録装置と同じように、光ディスク原盤及びスタンパの情報トラックに対し光ピックアップを収束追従させ、再生信号を処理−たとえばスタンパ反射率の変動及び欠落を検出してこれらを欠陥と見なす−する。
【０００３】
光ピックアップスポットを情報トラックに収束追従させる技術は、通常の光ディスク記録再生装置のものと同じである。スポットを収束させる技術がフォーカシングサーボ、追従させる技術がトラッキングサーボであり、これらのサーボを行うために、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号が形成される。
【０００４】
たとえば光ディスク原盤及びスタンパからの反射光を４分割ディテクタで受光し、非点収差法やプッシュプル法による演算処理を実行する事により、フォーカスエラー信号及びトラックエラー信号を生成できる。これらのエラー信号に応じて光ピックアップの対物レンズをアクチュエータを用いて、フォーカス（上下）方向及びラジアル（半径）方向に変位させるサーボ駆動信号を形成している。
【０００５】
＜光ディスク及びスタンパ検査装置例＞
図２に非点収差法及びプッシュプル法による光ディスク原盤及びスタンパ検査装置構成の例を示す。
１は光ディスク原盤またはスタンパ、２はターンテーブルで光ディスク原盤及びスタンパを搭載して回転する。３は光ピックアップで、半導体レーザー３１からの光を対物レンズ３３で集光し、スポットを光ディスク原盤及びスタンパ上の情報トラック（図示せず）に収束追従させる。光ピックアップまたはターンテーブルは図示しない送り手段で移動でき、光ピックアップが光ディスク原盤及びスタンパの所定半径位置へ位置決め・送り駆動される。３５は対物レンズを動かすためのアクチュエータである。
【０００６】
情報トラックからの反射光は、分割プリズム３２を経て４分割フォトディテクタ３４に導かれる。フォトディテクタの出力は、演算生成回路４により、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が演算増幅され再生信号となり、欠陥検査部７で利用される。また演算生成回路５により、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）が演算増幅されて、フォーカスエラー信号となり、フォーカシングサーボ回路８を経てアクチュエータ３５フォーカス方向に駆動制御し、スポットを情報トラックに収束させる。演算生成回路６により、（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）が演算増幅されて、トラックエラー信号となり、トラッキングサーボ回路８を経てアクチュエータ３５をラジアル方向に駆動制御し、スポットを情報トラックに追従させる。
【０００７】
光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響をキャンセルし安定性を向上させるため、フォーカスエラー信号・トラックエラー信号として、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）、（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用する場合もある。
【０００８】
また記録型ＣＤやＤＶＤなどでは、情報トラックがトラック中心に対しほぼ一定周波数の繰り返し微少変位−たとえばＣＤ−Ｒ／ＲＷでは微小振幅の正弦波繰り返しである−を形成して（ウォブルトラックと呼ばれる）おり、トラックエラー信号からウォブルトラック変位成分の帯域だけをウォブル信号（ＷＢＬ）としてバンドパスフィルタで取り出している。ウォブル周波数は情報トラック真円度ずれや偏心の周波数より高域にあるため、トラッキングサーボ動作中でも検出され、ターンテーブルの回転制御はその周波数を利用して行う（図９）。図１０にウォブル信号の様子を示す。
【０００９】
＜文献＞
ここに挙げる特許文献は、ＣＤ、光ディスク及び光磁気ディスクの各スタンパの共通検査装置において、スタンパの種類にかかわらず、光ヘッドを正確にトラック制御する方法に関する。
スタンパ種類が異なるとトラックエラー信号レベルが大きく違うため、特許文献１では、トラック制御部に可変レベル調整回路を設け、特許文献２では、トラックサーボ信号に可変増幅率アンプを設け適切な増幅率に切り換えることでトラックエラー信号を同一レベルに調整してトラッキングサーボ信号とし、サーボを安定化している。
これにより、スタンパ種類別にトラックサーボ制御部を設ける必要がなくなるため、共通検査装置を簡易化できる。
【００１０】
特許文献３は本願発明の出願人によるスタンパ欠陥検査装置の発明であり、欠陥検出時の位置情報としてＩＤデータの他にセクタ内位置情報を得ることができると共に、欠陥部の詳細な位置情報を得られるため、欠陥マップ等の解析を精度良く行うことができるものである。
【００１１】
【特許文献１】
特開平５−２７４７２４号公報
【特許文献２】
特開平７−１４１９９号公報
【特許文献３】
特開平６−１１８００４号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
＜従来の問題点＞
光ディスクスタンパは最終製品である光ディスク基板を成形するための金型であり、光ディスク基板における情報トラック形状の均一性を優先させるために、あえてスタンパにおいて情報トラック溝の形状を不均一に製作する場合がある。そのようなスタンパを得るためには、光ディスク原盤においても情報トラック溝の形状も不均一に製作される。
【００１３】
トラックエラー信号は情報トラック溝の形状に影響を受けやすいので、このような場合、同一光ディスク原盤及びスタンパ内であっても場所によってトラックエラー信号振幅レベルが異なる。たとえば図３のように情報トラック溝深さが内外で異なる場合、溝深さに対応してトラックエラー信号振幅が変化する。このようなトラックエラー信号の情報トラック溝形状依存性は、プッシュプル法などで特に顕著である。そのためトラッキングサーボ制御が不安定になり、最悪トラックはずれを起こすことになり、本来行いたい欠陥検査を精度よく実行できず、悪くすると途中停止することになる。
【００１４】
特許文献１では、共通の検査装置を利用し、ＣＤ・光磁気ディスクなどのトラックエラー信号レベルが異なる光ディスクスタンパに対して安定的にトラッキング制御するための技術が開示されており、検査をはじめる前にレベル調整することで、異なる光ディスクスタンパ間でトラックエラー信号レベルを同一にし、安定的なトラッキング制御を行っている。しかしレベル設定後は調整が行えないため、ここで問題としているように、同一光ディスク原盤及びスタンパ内でトラックエラー信号レベルが異なる場合には、安定的なトラッキング制御を行えない点が問題である。
【００１５】
＜目的＞
上記問題点を解決する為に、請求項１、４及び７記載の発明は、同一光ディスク原盤及びスタンパ内でトラックエラー信号レベルが異なる場合にも、安定的なトラッキング制御が行える光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を提供することを目的とする。
【００１６】
請求項２、５及び８記載の発明は、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うため手段を持った、光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を提供することを目的とする。
【００１７】
請求項３、６及び９記載の発明は、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うための設定を自動的に行うための手段を持った、光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を提供することを目的とする。
【００１８】
請求項１０記載の発明は、上記請求項１から９の目的に加え、光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響を受け難くすることを目的とする。
【００１９】
請求項１１、１３及び１５記載の発明は、特にウォブルトラックを有する光ディスク原盤及びスタンパに対し、同一光ディスク原盤及びスタンパ内でトラックエラー信号レベルが異なる場合にも、安定的なトラッキング制御が行える光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を提供することを目的とする。
【００２０】
請求項１２、１４及び１６記載の発明は、特にウォブルトラックを有する光ディスク原盤及びスタンパに対し、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うため手段を持った、光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を提供することを目的とする。
【００２１】
請求項１７記載の発明は、請求項１１から１６の目的に加え、光ディスク原盤及びスタンパの溝形状に対応したトラッキングサーボゲインを提供することを目的とする。
【００２２】
請求項１８記載の発明は、請求項１１から１７の目的に加え、経年変化等の影響を排除する手段を提供することを目的とする。
【００２３】
請求項１９記載の発明は、請求項１１から１８の目的に加え、光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響を受け難くすることを目的とする。
【００２４】
請求項２０、２３及び２６記載の発明は、同一光ディスク原盤及びスタンパ内でトラックエラー信号レベルが異なる場合にも、安定的なトラッキング制御が行える光ディスク原盤及びスタンパの検査方法を提供することを目的とする。
【００２５】
請求項２１、２４及び２７記載の発明は、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うため手段を持った、光ディスク原盤及びスタンパの検査方法を提供することを目的とする。
【００２６】
請求項２２、２５及び２８記載の発明は、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うための設定を自動的に行うための手段を持った、光ディスク原盤及びスタンパの検査方法を提供することを目的とする。
【００２７】
請求項２９記載の発明は、上記請求項２０から２８の目的に加え、光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響を受け難くすることを目的とする。
【００２８】
請求項３０、３１及び３２記載の発明は、個々の光ディスク原盤及びスタンパに応じて、安定的なトラッキング制御を行うための設定を自動的に行う光ディスク原盤及びスタンパの検査プログラムを提供することを目的とする。
【００２９】
請求項３３記載の発明は、上記請求項３０から３２の目的に加え、光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響を受け難くすることを目的とする。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する為に、請求項１に記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、タイミングデータ保持手段と、タイミング生成手段を有し、上記タイミングデータ保持手段は、単一もしくは複数のタイミングデータを保持し、上記タイミング生成手段は、タイミングデータ保持手段のデータに基づき、タイミング信号を生成し、上記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、上記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００３１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、上記タイミングデータ保持手段の内容は、任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００３２】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、検査動作前に、タイミングデータ保持手段に設定された内容で、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスとトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする。
【００３３】
請求項４記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、位置検出手段と、位置データ保持手段と、位置比較手段を有し、上記位置データ保持手段は、単一もしくは複数の位置データを保持し、上記位置検出手段は、光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出し、上記位置比較手段は、位置検出手段の検出光ピックアップ位置と位置データ保持手段のデータ比較に基づきタイミング信号を生成し、上記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、上記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００３４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、上記位置データ保持手段の内容は、任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００３５】
請求項６記載の発明は、請求項４または５に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、検査動作前に、位置データ保持手段の設定位置に光ピックアップをシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする。
【００３６】
請求項７記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらにゲインデータ保持手段と、ゲイン選択手段と、ゲイン切換手段と、プリフォーマットアドレス検出手段と、アドレスデータ保持手段と、アドレス比較手段を有し、上記アドレスデータ保持手段は、単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持し、上記プリフォーマットアドレス検出手段は、光ディスク原盤およびスタンパに記録されているプリフォーマットアドレスを検出し、上記アドレス比較手段は、プリフォーマット検出手段の検出プリフォーマットアドレスとアドレスデータ保持手段のアドレスデータを比較に基づきタイミング信号を生成し、上記ゲインデータ保持手段は、単一もしくは複数のゲインデータを保持し、上記ゲイン選択手段は、タイミング信号に同期して、ゲインデータ保持手段のデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定プリフォーマットアドレスで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００３７】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、アドレスデータ保持手段の内容を任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００３８】
請求項９記載の発明は、請求項７または８に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、検査動作前に、アドレスデータ保持手段の設定プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算する手段と、光ピックアップを前記換算位置にシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行う手段と、測定トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する手段とを更に有することを特徴とする。
【００３９】
請求項１０記載の発明は、請求項１から９のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、全光量で規格化されたトラックエラー信号を、上記信号振幅検出の対象とすることを特徴とする。
【００４０】
請求項１１記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、タイミングデータ保持手段と、タイミング生成手段を有し、上記タイミングデータ保持手段は、単一もしくは複数のタイミングデータを保持し、上記タイミング生成手段は、タイミングデータ保持手段のデータに基づき、タイミング信号を生成し、上記信号振幅検出手段は、上記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、上記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００４１】
請求項１２記載の発明は、請求項１１記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、上記タイミングデータ保持手段の内容は任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００４２】
請求項１３記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、位置検出手段と、位置データ保持手段と、位置比較手段を有し、上記位置データ保持手段は、単一もしくは複数の位置データを保持し、上記位置検出手段は、光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出し、上記位置比較手段は、位置検出手段の検出光ピックアップ位置と位置データ保持手段のデータ比較に基づきタイミング信号を生成し、上記信号振幅検出手段は、上記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、上記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００４３】
請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、位置データ保持手段の内容は任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００４４】
請求項１５記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査装置は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、半径方向に周期的微少変位を有する情報トラックのトラック中心に対してトラッキングサーボ制御により光ピックアップを追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、さらに信号振幅検出手段と、ゲイン演算手段と、ゲイン切換手段と、プリフォーマットアドレス検出手段と、アドレスデータ保持手段と、アドレス比較手段を有し、前記アドレスデータ保持手段は、単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持し、上記アドレス比較手段は、プリフォーマット検出手段の検出プリフォーマットアドレスとアドレスデータ保持手段のアドレスデータを比較に基づきタイミング信号を生成し、上記信号振幅検出手段は、上記情報トラックの半径方向周期的微少変位信号振幅を検出し、上記ゲイン演算手段は、タイミング信号に同期して、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅を演算して、ゲイン設定信号を生成し、上記ゲイン切換手段は、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うことを特徴とする。
【００４５】
請求項１６記載の発明は、請求項１５記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、アドレスデータ保持手段の内容を任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００４６】
請求項１７記載の発明は、請求項１１から１６のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、上記ゲイン演算手段は、検出した半径方向周期的微少変位信号振幅とあらかじめ設定した基準振幅の比の逆数をゲイン設定信号として演算することを特徴とする。
【００４７】
請求項１８記載の発明は、請求項１１から１７のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、基準振幅を任意に設定変更可能であることを特徴とする。
【００４８】
請求項１９記載の発明は、請求項１１から１８のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査装置であって、情報トラックの半径方向周期的微少変位信号を全光量で規格化して利用することを特徴とする。
【００４９】
請求項２０記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査方法は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、  単一もしくは複数のタイミングデータを保持するタイミングデータ保持ステップと、上記タイミングデータ保持ステップによって保持されたデータに基づき、タイミング信号を生成するタイミング生成ステップと、単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、上記タイミング信号に同期して、前記ゲインデータ保持ステップにおけるデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、上記ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定タイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする。
【００５０】
請求項２１記載の発明は、請求項２０記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、上記タイミングデータ保持ステップによって保持されたデータは任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００５１】
請求項２２記載の発明は、請求項２０または２１に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、検査動作前に、上記タイミングデータ保持ステップにより設定された内容で、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスとトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを有することを特徴とする。
【００５２】
請求項２３記載の発明は、光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、単一もしくは複数の位置データを保持する位置データ保持ステップと、光ピックアップのターンテーブル回転中心に対する相対位置を検出する位置検出ステップと、上記位置検出ステップの検出光ピックアップ位置と位置データ保持ステップにより保持されたデータとの比較に基づきタイミング信号を生成する位置比較ステップと、単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、タイミング信号に同期して、上記ゲインデータ保持ステップにより保持されたデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定のタイミングで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする。
【００５３】
請求項２４記載の発明は、請求項２３記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、上記位置データ保持ステップにより保持されたデータは、任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００５４】
請求項２５記載の発明は、請求項２３または２４に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、検査動作前に、上記位置データ保持ステップによる設定位置に光ピックアップをシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを有することを特徴とする。
【００５５】
請求項２６記載の発明である光ディスク原盤およびスタンパの検査方法は、ターンテーブルと、光ピックアップとそのフォーカシングおよびトラッキング制御部、光ピックアップもしくはターンテーブルの送り機構を備え、トラッキングサーボ制御により光ピックアップを情報トラックに追従させて検査動作を行う光ディスク原盤およびスタンパの検査装置において、単一もしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを保持するアドレスデータ保持ステップと、光ディスク原盤及びスタンプに記録されているプリフォーマットアドレスを検出するプリフォーマットアドレス検出ステップと、上記プリフォーマット検出ステップにより検出されたプリフォーマットアドレスと上記アドレスデータ保持ステップにより保持されたアドレスデータとの比較に基づきタイミング信号を生成するアドレス比較ステップと、単一もしくは複数のゲインデータを保持するゲインデータ保持ステップと、上記タイミング信号に同期して、上記ゲインデータ保持ステップにより保持されたデータを逐次選択して、ゲイン設定信号を生成するゲイン選択ステップと、上記ゲイン設定信号に対応するサーボゲインでトラッキングサーボ制御を行い、光ピックアップのトラッキングサーボ制御を、所定のプリフォーマットアドレスで間欠的にサーボゲインを切り換えつつ行うゲイン切換ステップとを有することを特徴とする。
【００５６】
請求項２７記載の発明は、請求項２６記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、上記アドレスデータ保持ステップにより保持されたデータは、任意に変更設定可能であることを特徴とする。
【００５７】
請求項２８記載の発明は、請求項２６または２７に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、検査動作前に、上記アドレスデータ保持ステップによる設定プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算するステップと、光ピックアップを前記換算位置にシークしてトラックエラー信号の振幅測定を行うステップと、測定したトラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定するステップとを更に有することを特徴とする。
【００５８】
請求項２９記載の発明は、請求項２０から２８のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査方法であって、全光量で規格化されたトラックエラー信号を、上記信号振幅検出の対象とすることを特徴とする。
【００５９】
請求項３０記載の発明は、光ディスク原盤およびスタンパの検査プログラムであって、コンピュータに、測定のタイミングを設定する処理と、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、上記タイミングと同期してトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、上記測定の結果を保持する処理と、上記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理と実行させることを特徴とする。
【００６０】
請求項３１記載の発明は、光ディスク原盤およびスタンパの検査プログラムであって、コンピュータに、測定の位置を設定する処理と、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、上記設定された位置でトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、上記測定の結果を保持する処理と、上記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理とを実行させることを特徴とする。
【００６１】
請求項３２記載の発明は、光ディスク原盤およびスタンパの検査プログラムであって、コンピュータに、プリフォーマットアドレスを光ピックアップ位置に換算する処理と、光ピックアップを用いて検査範囲へのアクセスを行う処理と、上記換算後の位置でトラックエラー信号の振幅測定を行う処理と、上記測定の結果を保持する処理と、上記トラックエラー信号振幅の比の逆数をゲインテーブルに設定する処理とを実行させることを特徴とする。
【００６２】
請求項３３記載の発明は、請求項３０から３２のいずれか１項に記載の光ディスク原盤およびスタンパの検査プログラムであって、上記トラックエラー信号は、全光量で規格化されており、上記信号振幅検出の対象となることを特徴とする。
【００６３】
【発明の実施の形態】
以下、実施例に基づき、考案の構成及び動作を説明する。
＜第１の実施例＞
第１の実施例を図１に基づき説明する。図２との共通部分については説明を省略する。
この実施例は図２に示される従来例に対し、トラッキングサーボのゲイン切換回路１１、ゲインテーブル１２、ゲイン選択回路１３、タイミングテーブル１４、タイミング生成回路１５を追加したものである。
【００６４】
ゲイン切換回路１１は、ゲイン設定信号に基づきトラッキングサーボ回路のサーボゲインを調整する回路である。
ゲインテーブル１２は、ひとつもしくは複数のゲインデータを設定保持するものであり、その内容は外部から任意に変更可能である。
ゲイン選択回路１３は、ゲインテーブルからデータを選択して対応するゲイン設定信号を出力する回路である。選択ゲインデータの更新は、後述するタイミング生成回路から供給されるタイミング信号に同期して行われるので、ゲイン切換回路のゲイン調整もタイミング信号に同期して行われることになる。
タイミングテーブル１４は、ひとつもしくは複数のタイミングデータを設定保持するものであり、その内容は外部から任意に変更可能である。
タイミング生成回路１５は、タイミングテーブルに基づく所定タイミングでタイミング信号を逐次出力する回路である。
【００６５】
入力トラックエラー信号（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）に対するトラッキングサーボ回路のサーボゲインは、ゲインテーブルに設定された値に、タイミングテーブルに設定されたタイミングで逐次切り換えることになる。すなわち、図３に示すように情報トラック形状差により、従来では光ディスク原盤及びスタンパ上でトラックエラー信号振幅が異なり、単一のトラッキングサーボゲインでは残留トラッキング誤差の発生・累積によりトラッキングサーボが不安定・不能になる場合でも、事前にトラックエラー信号振幅比を求めておき、その比の逆数をゲインテーブルに設定しておくことにより、図４に示すようにトラッキングサーボゲインをトラックエラー信号振幅変動と対応させて複数回変化させ、トラッキングサーボ動作を一定幅の残留トラッキング誤差に抑えることが可能となる。
【００６６】
光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状の変動は、比較的ゆるやかに発生するため、ゲイン切り換え回数を調整することにより、残留トラッキング誤差を実用上影響ないレベルまで小さくできる。このように、離散的なゲイン切り換えでも、トラッキングサーボが実用上均一に作用しているようにすることができる。
トラックエラー信号としては、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも可能で、こちらのほうが光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響をキャンセルできる点で有利である。
【００６７】
また図５に示すように、検査装置の動作フローに、検査実行前にトラッキングサーボゲイン切り換えと同一タイミングでトラックエラー信号振幅を測定し、測定振幅比の逆数をゲインテーブルに設定する動作を追加することで、トラッキングサーボ回路のサーボゲイン設定の自動化が可能である。
【００６８】
まずＮポイントのタイミングデータを設定する。次に光ピックアップを検査範囲にアクセスさせフォーカシングサーボし、ターンテーブル・送り機構を動かす。ただしここでは検査処理とトラッキングサーボは行わない。タイミング信号と同期してトラックエラー信号振幅を計測しデータを記憶する。検査範囲のアクセスが終わると、Ｎポイントのトラックエラー信号測定が終わり、記憶したトラックエラー信号振幅の逆数（の定数倍）をゲインデータとしてゲインテーブルに設定する。トラックエラー信号振幅をＴＥｐｐとすると、ゲインテーブルの設定値は、ｋを定数としてｋ／ＴＥｐｐとする。
ゲインテーブルの設定が終わった後、検査動作をスタートさせる。
【００６９】
＜第２の実施例＞
図６に基づき第２の実施例を説明する。図１、図２との共通部分については説明を省略する。
この実施例は実施例１と比較すると、タイミングテーブルが比較位置テーブル２２に置き換わり、タイミング生成回路が位置比較回路２３に置き換わり、光ピックアップ位置検出回路２１が追加された点が異なる。
【００７０】
光ピックアップ位置検出回路２１は、図示しないリニアスケール等によって光ピックアップの送り位置を検出し、光ディスク原盤及びスタンパ上の半径位置に換算出力するものである。
比較位置テーブル２２は、ひとつもしくは複数の光ピックアップ位置データを設定保持するものであり、その内容は外部から任意に変更可能である。
位置比較回路２３は、比較位置テーブルに設定される位置データと、光ピックアップ位置検出回路が出力する光ピックアップ位置を比較し、一致する場合のみ、タイミング信号をゲイン選択回路に出力する。複数の光ピックアップ位置データが設定された場合は、位置比較の基準データは逐次更新される。したがって、トラッキングサーボ回路のサーボゲインが、ゲインテーブルに設定された値に、比較位置テーブルに設定された光ピックアップ位置で逐次切り換わることになる。すなわち、光ピックアップが所定位置に到達した場合に、トラッキングサーボゲインが更新される。
【００７１】
実施例１と同じく、事前にトラックエラー信号振幅比を求めておき、その比の逆数をゲインテーブルに設定しておくことにより、残留トラッキング誤差を図４に示すように一定幅に押さえ込むことができる。
【００７２】
ゲイン切り換えポイントは光ディスク原盤及びスタンパの物理位置と対応しているほうが設定しやすく、光ピックアップ位置（半径位置）で指定できるのは好都合である。
トラックエラー信号として、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも実施例１と同じく可能である。
また図７に示すように（図５との共通部分については説明を省略）、検査装置の動作フローに、検査実行前にゲイン切り換えと同一位置でトラックエラー信号振幅を測定し、測定振幅比の逆数をゲインテーブルに設定する動作を追加することで、トラッキングサーボ回路のサーボゲイン設定の自動化が可能である。実施例１の場合（図５）とは、トラックエラー信号振幅測定時の光ピックアップアクセスが光ピックアップ位置（半径位置）指定となっている点が異なる。位置指定なのでダイレクトな光ピックアップシークが可能で、振幅測定に要する時間を実施例１の場合より大幅に減らすことができる。
【００７３】
＜第３の実施例＞
図８に基づき第３の実施例を説明する。図１、図２との共通部分については説明を省略する。
この実施例は実施例１と比較すると、タイミングテーブルが比較アドレステーブル２５に置き換わり、タイミング生成回路がプリフォーマットアドレス比較回路２６に置き換わり、プリフォーマットアドレス検出回路２７が追加された点が異なる。
【００７４】
プリフォーマットアドレス検出回路２７は、情報トラックに記録されているプリフォーマットアドレスを読み出すものである。
アドレス比較位置テーブル２５は、ひとつもしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを設定保持するものであり、その内容は外部から任意に変更可能である。
アドレス比較回路２６は、アドレス比較テーブルに設定されるプリフォーマットアドレスデータと、プリフォーマットアドレス検出回路が出力するプリフォーマットアドレスを比較し、一致する場合のみ、タイミング信号をゲイン選択回路に出力する。複数のプリフォーマットアドレスデータが設定された場合は、アドレス比較の基準データは逐次更新される。したがって、トラッキングサーボ回路のサーボゲインが、ゲインテーブルに設定された値に、比較アドレステーブルに設定されたアドレスで逐次切り換わることになる。すなわち、光ピックアップが所定プリフォーマットアドレスに到達した場合に、トラッキングサーボゲインが更新される。
【００７５】
実施例１と同じく、事前にトラックエラー信号振幅比を求めておき、その比の逆数をゲインテーブルに設定しておくことにより、残留トラッキング誤差を図４に示すように一定幅に押さえ込むことができる。
【００７６】
ゲイン切り換えポイントは光ディスク原盤及びスタンパの物理位置と対応しているほうが設定しやすく、プリフォーマットアドレス位置で指定できるのは好都合である。
トラックエラー信号として、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも実施例１と同じく可能である。
【００７７】
また図９に示すように（図５との共通部分については説明を省略）、検査装置の動作フローに、検査実行前にゲイン切り換えと同一プリフォーマットアドレスでトラックエラー信号振幅を測定し、測定振幅比の逆数をゲインテーブルに設定する動作を追加することで、トラッキングサーボ回路のサーボゲイン設定の自動設定が可能である。実施例１の場合（図５）とは、トラックエラー信号振幅測定時の光ピックアップアクセスがプリフォーマットアドレスとなっている点が異なる。プリフォーマットアドレスは計算により容易に光ピックアップ位置に変換できるから、実施例２と同様にダイレクトな光ピックアップシークが可能で、振幅測定に要する時間を実施例１の場合より大幅に減らすことができる。
【００７８】
＜第４の実施例＞
図１４に基づき第４の実施例を説明する。図１０との共通部分については説明を省略する。
この実施例は図１０に示される従来例に対し、トラッキングサーボのゲイン切換回路１１、ウォブル振幅検出回路１６、ゲイン演算回路１７、タイミングテーブル１４、タイミング生成回路１５を追加したものである。
【００７９】
ゲイン切換回路１１は、ゲイン設定信号に基づきトラッキングサーボ回路のサーボゲインを調整する回路である。
ウォブル振幅検出回路１６は、トラックエラー信号から生成されるウォブル信号の振幅電圧を出力する回路である。ウォブル振幅検出回路１６は、たとえば従来技術のウォブル信号を抽出するためのバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）と同じ帯域のＢＰＦと振幅検出回路で構成できる。
ゲイン演算回路１７は、ウォブル振幅検出回路１６から入力されるウォブル信号振幅とあらかじめ設定された基準振幅からトラッキングサーボゲインを演算し対応するゲイン設定信号を出力する回路である。ゲインデータの更新は、後述するタイミング生成回路から供給されるタイミング信号に同期して行われるので、ゲイン切換回路のゲイン調整もタイミング信号に同期して行われることになる。
タイミングテーブル１４は、ひとつもしくは複数のタイミングデータを設定保持するものであり、その内容は外部から任意に変更可能である。
タイミング生成回路１５は、タイミングテーブルに基づく所定タイミングでタイミング信号を逐次出力する回路である。したがって、トラッキングサーボ回路のサーボゲインは、ウォブル振幅に応じてゲイン演算回路１７が演算した値に、タイミングテーブルに設定されたタイミングで逐次切り換わることになる。
【００８０】
ウォブル信号振幅はトラックエラー信号振幅に比例するから、図１２に示すように情報トラック形状差により、従来では光ディスク原盤及びスタンパ上でトラックエラー信号振幅が異なり、単一のトラッキングサーボゲインでは残留トラッキング誤差の発生・累積によりトラッキングサーボが不安定・不能になる場合でも、検査動作中にウォブル信号振幅を求め、あらかじめ設定した基準振幅に対する比の逆数をゲインとして演算することにより、図１３に示すようにトラッキングサーボゲインをウォブル信号振幅と対応させて複数回変化させ、トラッキングサーボ動作を一定幅の残留トラッキング誤差に抑えることが可能となる。
【００８１】
基準振幅は電圧あるいはデータどちらの形でも設定できるが、設定値を変えられるようにしておくと、経年変化や観察上の要請などによるトラックエラー信号・ウォブル信号の振幅変化の調整ができて都合がよい。
【００８２】
トラックエラー信号およびウォブル信号としては、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも可能で、こちらのほうが光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響をキャンセルできる点で有利である。
【００８３】
＜第５の実施例＞
図１５に基づき第５の実施例を説明する。図１０、図１４との共通部分については説明を省略する。
この実施例は実施例４と比較すると、タイミングテーブル１４が比較位置テーブル２２に置き換わり、タイミング生成回路１５が位置比較回路２３に置き換わり、光ピックアップ位置検出回路２１が追加された点が異なる。
【００８４】
光ピックアップ位置検出回路２１は、図示しないリニアスケール等によって光ピックアップの送り位置を検出し、光ディスク原盤及びスタンパ上の半径位置に換算出力するものである。
比較位置テーブル２２は、ひとつもしくは複数の光ピックアップ位置データを設定保持するものであり、その内容は外部から設定変更可能である。
位置比較回路２３は、比較位置テーブルに設定される位置データと、光ピックアップ位置検出回路が出力する光ピックアップ位置を比較し、一致する場合のみ、タイミング信号をゲイン演算回路１７に出力する。複数の光ピックアップ位置データが設定された場合は、位置比較の基準データは逐次更新される。したがって、トラッキングサーボ回路のサーボゲインは、ウォブル振幅に応じてゲイン演算回路１７が演算した値に、比較位置テーブルに設定された光ピックアップ位置で逐次切り換わることになる。すなわち、光ピックアップが所定位置に到達した場合に、トラッキングサーボゲインが更新される。
【００８５】
ウォブル信号振幅はトラックエラー信号振幅に比例するから、図１２に示すように情報トラック形状差により、従来では光ディスク原盤及びスタンパ上でトラックエラー信号振幅が異なり、単一のトラッキングサーボゲインでは残留トラッキング誤差の発生・累積によりトラッキングサーボが不安定・不能になる場合でも、検査動作中にウォブル信号振幅を求め、あらかじめ設定した基準振幅に対する比の逆数をゲインとして演算することにより、図１３に示すようにトラッキングサーボゲインをウォブル信号振幅と対応させて複数回変化させ、トラッキングサーボ動作を一定幅の残留トラッキング誤差に抑えることが可能となる。
【００８６】
切り換えポイントは光ディスク原盤及びスタンパの物理位置と対応しているほうが設定しやすく、光ピックアップ位置（半径位置）で指定できるのは好都合である。
基準振幅は電圧あるいはデータどちらの形でも設定できるが、設定値を変えられるようにしておくと、経年変化や観察上の要請などによるトラックエラー信号・ウォブル信号の振幅変化の調整ができて都合がよい。
【００８７】
トラックエラー信号およびウォブル信号としては、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも可能で、こちらのほうが光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響をキャンセルできる点で有利である。
【００８８】
＜第６の実施例＞
図１６に基づき第６の実施例を説明する。図１０、図１４及び図１５との共通部分については説明を省略する。
この実施例は実施例４と比較すると、タイミングテーブル１４が比較アドレステーブル２５に置き換わり、タイミング生成回路１５がプリフォーマットアドレス比較回路２６に置き換わり、プリフォーマットアドレス検出回路２７が追加された点が異なる。
【００８９】
プリフォーマットアドレス検出回路２７は、情報トラックに記録されているアドレスを読み出すものである。
プリフォーマットアドレス比較位置テーブル２５は、ひとつもしくは複数のプリフォーマットアドレスデータを設定保持するものであり、その内容は外部から設定変更可能である。
プリフォーマットアドレス比較回路２６は、プリフォーマットアドレス比較テーブルに設定されるプリフォーマットアドレスデータと、プリフォーマットアドレス検出回路が出力するプリフォーマットアドレスを比較し、一致する場合のみ、タイミング信号をゲイン演算回路１７に出力する。複数のプリフォーマットアドレスデータが設定された場合は、プリフォーマットアドレス比較の基準データは逐次更新される。したがって、トラッキングサーボ回路のサーボゲインは、ウォブル振幅に応じてゲイン演算回路１７が演算した値に、比較アドレステーブルに設定されたアドレスで逐次切り換わることになる。すなわち、光ピックアップが所定プリフォーマットアドレスに到達した場合に、トラッキングサーボゲインが更新される。
【００９０】
ウォブル信号振幅はトラックエラー信号振幅に比例するから、図１２に示すように情報トラック形状差により、従来では光ディスク原盤及びスタンパ上でトラックエラー信号振幅が異なり、単一のトラッキングサーボゲインでは残留トラッキング誤差の発生・累積によりトラッキングサーボが不安定・不能になる場合でも、検査動作中にウォブル信号振幅を求め、あらかじめ設定した基準振幅に対する比の逆数をゲインとして演算することにより、図１３に示すようにトラッキングサーボゲインをウォブル信号振幅と対応させて複数回変化させ、トラッキングサーボ動作を一定幅の残留トラッキング誤差に抑えることが可能となる。
【００９１】
切り換えポイントは光ディスク原盤及びスタンパの物理位置と対応しているほうが設定しやすく、プリフォーマットアドレス位置で指定できるのは好都合である。
基準振幅は電圧あるいはデータどちらの形でも設定できるが、設定値を変えられるようにしておくと、経年変化や観察上の要請などによるトラックエラー信号・ウォブル信号の振幅変化の調整ができて都合がよい。
【００９２】
トラックエラー信号およびウォブル信号としては、全光量で規格化した（（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ））÷（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）を利用することも可能で、こちらのほうが光ピックアップの照射光量変動や光ディスク原盤及びスタンパ反射率変動の影響をキャンセルできる点で有利である。
【００９３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１及び２０記載の発明によれば、あらかじめ設定したタイミングでトラッキングサーボ回路のサーボゲインを切り換えているので、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上で情報トラックの形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御を行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。
【００９４】
請求項２及び２１記載の発明によれば、請求項１及び２０の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換点タイミングの設定を任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたゲイン切換ができる。
【００９５】
請求項３、２２及び３０記載の発明によれば、請求項１、２、２０及び２１の効果に加え、検査動作前に検査動作と同じタイミングでトラックエラー信号振幅測定し、それに基づきトラッキングサーボゲイン設定を行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパに対し必要なトラッキングサーボゲイン設定を自動化できる。
【００９６】
請求項４及び２３記載の発明によれば、あらかじめ設定したゲインでトラッキングサーボ制御を行い、サーボゲイン切換タイミングの設定を、あらかじめ設定した光ピックアップのターンテーブル回転中心からの距離指定で行っているので、トラッキングサーボゲイン切換を光ディスク原盤及びスタンパの半径指定で行え、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上で情報トラックの形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御を行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。
【００９７】
請求項５及び２４記載の発明によれば、請求項４及び２３の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換タイミングの設定を光ディスク原盤及びスタンパの半径指定で任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたトラッキングサーボゲイン切換ができる。
【００９８】
請求項６、２５及び３１記載の発明によれば、請求項４、５、２３及び２４の効果に加え、検査動作前に検査動作におけるトラッキングサーボゲイン切換と同じ位置でトラックエラー信号振幅測定し、それに基づきトラッキングサーボゲイン設定を行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパに対し必要なトラッキングサーボゲイン設定を自動化できる。しかもトラックエラー信号測定位置を直接指定するので、請求項３の効果と比較して所要時間を大幅に抑えられる。
【００９９】
請求項７及び２６記載の発明によれば、あらかじめ設定したゲインでトラッキングサーボ制御を行い、サーボゲイン切換タイミングの設定を、あらかじめ設定したプリフォーマットアドレス指定で行っているので、トラッキングサーボゲイン切換をプリフォーマットアドレス指定で行え、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上で情報トラックの形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御を行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。
【０１００】
請求項８及び２７記載の発明によれば、請求項７及び２６の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換タイミングの設定を情報トラックのプリフォーマットアドレス指定で任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたトラッキングサーボゲイン切換ができる。
【０１０１】
請求項９、２８及び３２記載の発明によれば、請求項７、８、２６及び２７の効果に加え、検査動作前に検査動作におけるトラッキングサーボゲイン切換と同じプリフォーマットアドレスでトラックエラー信号振幅測定し、それに基づきトラッキングサーボゲイン設定を行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパに対し必要なトラッキングサーボゲイン設定を自動化できる。しかもトラックエラー信号測定位置をアドレスから計算して直接指定するので、請求項３の効果と比較して所要時間を大幅に抑えられる。
【０１０２】
請求項１０、２９及び３３記載の発明によれば、請求項１から９、２０から２８及び３０から３２の効果に加え、トラックエラー信号振幅を照射パワー全光量で規格化しているので、照射パワー変動のトラックエラー振幅への寄与をなくすことができる。
【０１０３】
請求項１１記載の発明によれば、欠陥検査中のトラッキングサーボ動作中に、あらかじめ設定したタイミングで、ウォブル信号振幅を検出し基準振幅と演算を行い、トラッキングサーボ回路のサーボゲインをその演算結果に応じて切り換えているので、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御が行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。しかもウォブル信号振幅検出は欠陥検査と同時に行っているので、検査前の事前測定ステップをなくすことができる。
【０１０４】
請求項１２記載の発明によれば、請求項１１の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換点タイミングの設定を任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたゲイン切換ができる。
【０１０５】
請求項１３記載の発明によれば、欠陥検査中のトラッキングサーボ動作中に、あらかじめ設定した光ピックアップのターンテーブル回転中心からの距離に応じて、ウォブル信号振幅を検出し基準振幅と演算を行い、トラッキングサーボ回路のサーボゲインをその演算結果に応じて切り換えているので、トラッキングサーボゲイン切換を光ディスク原盤及びスタンパの半径指定で行え、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御が行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。しかもウォブル信号振幅検出は欠陥検査と同時に行っているので、検査前の事前測定ステップをなくすことができる。
【０１０６】
請求項１４記載の発明によれば、請求項１３の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換タイミングの設定を光ディスク原盤及びスタンパの半径指定で任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたトラッキングサーボゲイン切換ができる。
【０１０７】
請求項１５記載の発明によれば、欠陥検査中のトラッキングサーボ動作中に、あらかじめ設定したプリフォーマットアドレスに応じて、ウォブル信号振幅を検出し基準振幅と演算を行い、トラッキングサーボ回路のサーボゲインをその演算結果に応じて切り換えているので、トラッキングサーボゲイン切換をプリフォーマットアドレス指定で行え、同一の光ディスク原盤及びスタンパ上の情報トラック形状に差違があっても、残留トラッキング誤差を低く抑えることができ、安定したトラッキング制御が行え、トラックはずれなどにより検査動作が途中停止することを防止できる。しかもウォブル信号振幅検出は欠陥検査と同時に行っているので、検査前の事前測定ステップをなくすことができる。
【０１０８】
請求項１６記載の発明によれば、請求項１５の効果に加え、トラッキングサーボゲイン切換タイミングの設定を情報トラックのプリフォーマットアドレス指定で任意に行っているので、個々の光ディスク原盤及びスタンパの情報トラック溝形状分布にあわせたトラッキングサーボゲイン切換ができる。
【０１０９】
請求項１７記載の発明によれば、請求項１１から１６の効果に加え、ウォブル信号振幅と基準振幅との比の逆数をゲインとして演算しているので、光ディスク原盤及びスタンパの溝形状分布とトラッキングサーボゲインを対応させることができる。
【０１１０】
請求項１８記載の発明によれば、請求項１１から１７の効果に加え、基準ウォブル振幅の設定を任意に行えるので、環境や経年変化による影響を抑えることができる。
【０１１１】
請求項１９記載の発明によれば、請求項１１から１７の効果に加え、ウォブル信号を照射パワー全光量で規格化しているので、照射パワー変動の寄与をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】非点収差法・プッシュプル法による光ディスク原盤及びスタンプ検査装置の構成を示す図である。
【図３】光ディスク原盤またはスタンパにおいて、情報トラック溝深さが内外で異なる場合のトラックエラー信号や残留トラッキング誤差の様子を示す図である。
【図４】光ディスク原盤またはスタンパの面全体で一様に残留トラッキング誤差を一定幅に抑える様子を示す図である。
【図５】第１の実施例における検査装置の動作を示すフロー図である。
【図６】第２の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【図７】第２の実施例における検査装置の動作を示すフロー図である。
【図８】第３の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【図９】第３の実施例における検査装置の動作を示すフロー図である。
【図１０】トラックエラー信号からウォブル信号を取り出す機構を有する光ディスク原盤及びスタンパの検査装置を示すブロック図である。
【図１１】ウォブル信号の様子を示す図である。
【図１２】光ディスク原盤またはスタンパにおいて、情報トラック溝深さが内外で異なる場合のウォブル信号振幅や残留トラッキング誤差の様子を示す図である。
【図１３】光ディスク原盤またはスタンパの面全体で一様に残留トラッキング誤差を一定幅に抑える様子を示す図である。
【図１４】第４の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】第５の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１６】第６の実施例における検査装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１  光ディスク原盤・スタンパ
２  ターンテーブル
３  光ピックアップ
４  再生信号生成回路
５  フォーカスエラー信号生成回路
６  トラックエラー信号生成回路
７  欠陥検査部
８  フォーカシングサーボ回路
９  トラッキングサーボ回路
１１  ゲイン切換回路
１２  ゲインテーブル
１３  ゲイン選択回路
１４  タイミングテーブル
１５  タイミング生成回路
１６  ウォブル振幅検出回路
１７  ゲイン演算回路
２１  光ピックアップ位置検出回路
２２  比較位置テーブル
２３  位置比較回路
２５  比較アドレステーブル
２６  プリフォーマットアドレス比較回路
２７  プリフォーマットアドレス検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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