(57)【要約】【課題】ボルト締結等によって生じるレール軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができるリニアガイド装置及びテーブル装置を提供する。【解決手段】レール軌道面１５，１５を有する案内レール１１と、レール軌道面１５，１５に対向配置されたスライダ軌道面１９，１９を有しレール軌道面１５，１５に沿って移動するスライダ１２と、レール軌道面１５，１５とスライダ軌道面１９，１９との間に転動自在に配された転動体１３とを備えたリニアガイド装置１０であって、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとを予め定められた関係に設定した。【選択図】  図１
2004156642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レール軌道面を有する案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、を備えたリニアガイド装置であって、
前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍを１以上の整数として、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐとが、
ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１
に設定されていることを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項２】
レール軌道面を有する案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、を備えたリニアガイド装置であって、
ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、
ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１
に設定されていることを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項３】
レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライド上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、
前記スライダ軌道面が有効長さＬＡ，ＬＢの２個からなり、前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍＡ，ｍＢを１以上の整数として、
前記各スライダ軌道面有効長ＬＡ，ＬＢと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐとが、
ｍＡ−０．  １≦ＬＡ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１で且つ、ｍＢ−０．１≦ＬＢ／Ｐ≦ｍＢ＋０．１
に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項４】
レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、
前記スライダ軌道面が同一の有効長ＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面波打ち波長をＰとし、ｍＴ，ｎを１以上の整数とし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとして、
前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、
ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１または、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６
に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項５】
レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、
前記スライダ軌道面が同一の有効長ＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面波打ち波長をＰとし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとし、ξＴ，ηＴを方程式πηＴｓｉｎπξＴｓｉｎπηＴ＋｛ｓｉｎπξＴ−πξＴｃｏｓπξＴ｝ｃｏｓπηＴ＝０の解として、
前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、
ξＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ξＴ＋０．１で且つ、ηＴ−０．１≦Ｓ／Ｐ≦ηＴ＋０．１
に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項６】
レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、
前記スライダ軌道面が同一の有効長さＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍＴ，ｎを１以上の整数とし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとして、
前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、
ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１で且つ、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６
に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項７】
請求項６に記載のテーブル装置を複数個組み合わせて一つに構成されたことを特徴とするテーブル装置。
【請求項８】
前記レール軌道面波打ち波長Ｐを案内レールの取付けボルトピッチとしたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【請求項９】
前記レール軌道面波打ち波長Ｐを横押し板の取付け間隔としたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【請求項１０】
前記スライダ軌道面の端部に面取り部が形成され、前記スライダ軌道面の全長をＬ１とし、前記面取り部の長さをＣとし、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとして、
Ｌｅ＝Ｌ１−２Ｃ
を用いたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【請求項１１】
前記スライダ軌道面の端部寄りにクラウニング部が形成されるとともに、前記クラウニング部の端部に面取り部が形成され、
前記スライダ軌道面の全長をＬ１とし、前記クラウニング部の長さをＬＣとし、前記面取り部の長さをＣとし、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとして、
Ｌｅ＝Ｌ１−（ＬＣ＋Ｃ）
を用いたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定器等の各種機械に用いられるリニアガイド装置及び、そのリニアガイド装置を複数個用いて構成されるテーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被案内物を直線的に案内するのに用いられるリニアガイド装置としては、軸方向に延びる案内レールと、案内レール上に配されて案内レールの軸方向に移動可能に組み付けられたスライダと、ボールである転動体とを備えているものが知られている。
【０００３】
案内レールの両側面には、転動体を摺動させるためのレール軌道面が形成され、スライダには、転動体を循環させながら保持する転動体循環路に、転動体を摺動させるスライダ軌道面が形成されている。
【０００４】
案内レールのレール面には、上下に貫通した複数個のボルト孔が軸方向に沿って形成されている。案内レールは、ボルト孔を介して複数個のボルトが機台にねじ込まれることによって、加工台に固定される。
【０００５】
スライダは、下面に設けたスライド面が案内レールのレール面上に配され、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定機器等の各種機械の移動体がボルト締結によって固定されるため、移動体が移動する際に、転動体が、案内レールのレール軌道面とスライダのスライダ軌道面との間で転動しながらスライダの転動体循環路内を循環することにより、案内レールの軸方向への移動を円滑に支持する。
【０００６】
リニアガイド装置は、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定機器等の各種機械に用いられるため、リニアガイド装置の運動精度は、これら各種機械の加工精度や測定精度に直接影響を与える。
【０００７】
このようなリニアガイド装置は、単体で用いられる場合もあるが、複数個を組み合わせたテーブル装置として用いられる場合もある。
【０００８】
図３１に示すように、案内レール７１とスライダ７２との組合せによるテーブル装置（リニアガイド装置）７０の運動精度には、並進方向の運動精度と、傾き方向の運動精度とがある。
これらのうち、並進方向の運動精度としては、上下方向と左右方向の運動精度がある。傾き方向の運動精度としては、ピッチング方向ｐとヨーイング方向ｙとローリング方向ｒの運動精度があり、どの方向の運動精度が重要であるかは、リニアガイド装置やテーブル装置が用いられる用途によって異なる。
【０００９】
図３２は、上下方向の運動精度が重要になる、部品の測定装置を構成する場合のテーブル装置８０を示している。テーブル装置８０は、案内レール８１に組み付けられたスライダ８２上にテーブル８３が配されており、テーブル８３上の測定子８４が部品８５に接触する。このようなテーブル装置８０では、テーブル８３の上下方向の変位が、測定子８４と部品８５との相対距離を直接変化させることとなる。従って、上下方向の変位量を、可能な限り小さく抑える必要がある。一方、テーブル８３がピッチング方向に多少変位しても、部品８５（測定対象）と測定子８４との相対距離はほとんど変化しない。それは、測定子８４がテーブル８３の回転中心のほぼ真上に位置するからである。従って、ピッチング方向の運動精度の重要性は低い。
【００１０】
図３３は、ピッチング方向の運動精度が重要になる、部品の測定装置を構成する場合のテーブル装置９０を示している。テーブル装置９０は、案内レール９１に組み付けられたスライダ９２上にテーブル９３が配されており、テーブル９３上の測定子９４が部品９５に接触する。
このようなテーブル装置９０において、測定点はテーブル中心から大きくオーバーハングしており、テーブル９３のピッチング変位がわずかであっても、測定点では大きな上下方向変位として現れる。このようなテーブル装置９０では、テーブル９３の上下方向の運動精度よりも、ピッチング方向の運動精度が重要となる。
【００１１】
以上のように、リニアガイド装置またはテーブル装置の用いられる用途によって、並進方向と傾き方向とのいずれかの運動精度が重要になるかは異なる。もちろん、極めて高い精度を要する用途においては、並進方向と傾き方向との、両方の運動精度が重要になるのは言うまでもない。
【００１２】
図３４に示す通常のリニアガイド装置１００では、案内レール１０１の上方からボルト孔１０１ａにボルト１０２を通すことによって案内レール１０１がボルト締結によって機台に固定される。ボルト締結を行うと、ボルト１０２の底面と案内レール１０１の底面との間がボルト１０２の軸力によって圧縮され、その結果、案内レール１０１が弾性変形する。
この時、案内レール１０１に形成されたレール軌道面も周囲の弾性変形によって沈み込むため、レール軌道面に、ボルトピッチでの波打ちが現れる。このようなレール軌道面の波打ちは、案内レール１０１上を走行するスライダ１０３の運動精度に直接的な影響を及ぼす。
【００１３】
案内レールにおけるレール軌道面の波打ち現象の防止方法として、レール軌道面を加工する際に、案内レールを規定の締結トルクで加工台にボルト締結する方法が知られている。そして、リニアガイド装置の使用時にも、加工時と同一の締結トルクで案内レールをボルト締結する。このように、加工時と使用時の案内レールの弾性変形の率を同じ程度にすれば、使用時のレール軌道面の波打ちを低減することができる。
しかし、実際には、ボルト締結時における軸力のばらつきや、加工時と使用時での取付ベースの寸法・材質の違いがある。そのため、加工時と使用時でレール軌道面の変化量を完全に一致させることは困難である。従って、レール軌道面の波打ちを完全に防ぐことは困難である。
【００１４】
これらの問題に対して、本出願人は、レール面の波打ちを低減できるように、案内レールに設けるボルト孔のざぐり深さを規定した（例えば、特許文献１参照）。これにより、ボルト締結時の軸力に多少のばらつきがあっても、レール軌道面の変形を小さくすることが可能になった。
【００１５】
【特許文献１】
特開平８−３０３４５９号公報（第３頁、第１図）
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、最近では、機械装置の軽量化のために、取付ベースの薄肉化やアルミニウム合金等を用いた軽金属化が進められており、加工時と使用時とでの取付ベースの寸法・材質を常に同一にすることが困難になってきている。従って、加工時と使用時とでのレール軌道面の変形量に差が出やすくなっている。
また、上記ボルト孔のざぐり深さを規定しても、レール軌道面の波打ち現象の低減が不十分になる場合があり得る。
【００１７】
また、加工時にボルト締結を行うことは、相当の時間と労力を要する。生産性の観点からは、マグネットチャックなどの迅速な固定方法が望まれている。
図３５に示すように、案内レール１１１の下面に配された底面１１２に設けられたねじ孔１１３に、ボルトがねじ込まれることによって加工台に固定されるリニアガイド装置１１０においては、加工時の固定を迅速に行うため、マグネットチャックが有効である。
しかしながら、マグネットチャックによる固定方法では、使用状態、すなわちボルト締結後の状態でのレール軌道面の波打ちを防ぐことが困難である。
【００１８】
また、案内レールを加工台に固定せずに、レール軌道面を加工する場合がある。これは、転造による加工を行う場合等である。この場合も、ボルト締結後の状態で、レール軌道面の波打ち現象を防ぐことが困難である。
【００１９】
また、図３６（ａ），（ｂ）に示すように、横押し板１２１とボルト１２２とを用いて、横方向基準面１２３に押し当てることによって案内レール１２４を機台１２５に固定する場合がある。この場合も、横押し板１２１によって、横押し板１２１の取付周期でレール軌道面が左右方向に波打ち現象を生じ、この波打ちを防ぐことが困難である。
【００２０】
以上のように、レール軌道面の波打ちを防ぐことは大変難しい。そのため、レール軌道面の波打ちによるスライダの運動精度の悪化が問題になることが多い。
【００２１】
ここで、例えば図３７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、案内レール１３１のレール軌道面１３２が上下方向に波打っている場合において、精密な用途に用いられるリニアガイド装置では、スライダ１３３のがた防止のため転動体に予圧荷重がかけられていることから、スライダ１３３に外力が作用しない状態では、スライダ内部での予圧荷重が釣り合っている必要がある。
このため、スライダ１３３が位置Ａにあるときに、スライダ１３３は反時計回転方向に傾く。続いて、スライダ１３３が位置Ｂまで移動すると、スライダ１３３は時計回転方向に傾く。このように、レール軌道面１３２に波打ちがあると、スライダ１３３はその移動に伴って姿勢変化する。
スライダ１３３は、このようなピッチング方向の姿勢変動と同様にして、上下方向に対しても姿勢変動を生じる。また、スライダ１３３は、レール軌道面１３２が左右方向に波打っている場合には、ヨーイング方向とともに左右方向にも姿勢変動を生じる。
【００２２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ボルト締結によって生じるレール軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができるリニアガイド装置及びテーブル装置を提供することをその目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る上記課題は、下記（１）〜（１１）により解決することができる。
（１）  レール軌道面を有する案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、を備えたリニアガイド装置であって、前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍを１以上の整数として、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定されていることを特徴とするリニアガイド装置。
【００２４】
（２）  レール軌道面を有する案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、を備えたリニアガイド装置であって、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されていることを特徴とする前記（１）に記載のリニアガイド装置。
【００２５】
（３）  レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライド上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、前記スライダ軌道面が有効長さＬＡ，ＬＢの２個からなり、前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍＡ，ｍＢを１以上の整数として、前記各スライダ軌道面有効長ＬＡ，ＬＢと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍＡ−０．１≦ＬＡ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１で且つ、ｍＢ−０．１≦ＬＢ／Ｐ≦ｍＢ＋０．１に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【００２６】
（４）  レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、前記スライダ軌道面が同一の有効長ＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面波打ち波長をＰとし、ｍＴ，ｎを１以上の整数とし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとして、前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１または、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【００２７】
（５）  レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、前記スライダ軌道面が同一の有効長ＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面波打ち波長をＰとし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとし、ξＴ，ηＴを方程式πηＴｓｉｎπξＴｓｉｎπηＴ＋｛ｓｉ  ｎπξＴ−πξＴｃｏｓπξＴ｝ｃｏｓπηＴ＝０の解として、前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ξＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ξＴ＋０．１で且つ、ηＴ−０．１≦Ｓ／Ｐ≦ηＴ＋０．１に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【００２８】
（６）  レール軌道面を有する単一の案内レールと、前記レール軌道面に対向配置されたスライダ軌道面を有し該レール軌道面に沿って移動するスライダと、前記レール軌道面と前記スライダ軌道面との間に転動自在に配された転動体と、前記スライダ上に配されたテーブルと、を備えたテーブル装置であって、前記スライダ軌道面が同一の有効長さＬＴをもつ２個からなり、前記レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍＴ，ｎを１以上の整数とし、前記２個のスライダ軌道面の中心間距離をＳとして、前記スライダ軌道面有効長ＬＴと、前記レール軌道面波打ち波長Ｐと、前記スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１で且つ、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【００２９】
（７）  前記（６）に記載のテーブル装置を複数個組み合わせて一つに構成されたことを特徴とするテーブル装置。
【００３０】
（８）  前記レール軌道面波打ち波長Ｐを案内レールの取付けボルトピッチとした前記（１）〜（７）のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【００３１】
（９）  前記レール軌道面波打ち波長Ｐを横押し板の取付け間隔とした前記（１）〜（７）のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【００３２】
（１０）前記スライダ軌道面の端部に面取り部が形成され、前記スライダ軌道面の全長をＬ１とし、前記面取り部の長さをＣとし、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとして、Ｌｅ＝Ｌ１−２Ｃを用いたことを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【００３３】
（１１）前記スライダ軌道面の端部寄りにクラウニング部が形成されるとともに、前記クラウニング部の端部に面取り部が形成され、前記スライダ軌道面の全長をＬ１とし、前記クラウニング部の長さをＬＣとし、前記面取り部の長さをＣとし、前記スライダ軌道面有効長Ｌｅとして、Ｌｅ＝Ｌ１−（ＬＣ＋Ｃ）を用いたことを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれかに記載のリニアガイド装置またはテーブル装置。
【００３４】
上記構成のリニアガイド装置によれば、スライダ軌道面有効長Ｌｅが、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定される。
したがって、スライダがどの位置に移動した場合においても、スライダの姿勢変化がほぼゼロになるように、スライダ軌道面の有効長さと波打ち波長との関係が定められる。これによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、スライダの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００３５】
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されても、レール軌道面に波打ちが生じていても、スライダの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
上記構成のテーブル装置によれば、２個のスライダ軌道面有効長ＬＡ，ＬＢと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍＡ−０．１≦ＬＡ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１で且つ、ｍＢ−０．１≦ＬＢ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１に設定される。
したがって、テーブルがどの位置に移動した場合においても、テーブルの姿勢変化がほぼゼロになるように、スライダ軌道面の有効長さと、波打ち波長との関係が定められる。これによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００３６】
また、２個が同一である場合のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１または、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されても良い。そうすることにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００３７】
そして、ξＴ，ηＴを方程式πηＴｓｉｎπξＴｓｉｎπηＴ＋｛ｓｉｎπξＴ−πξＴｃｏｓπξＴ｝ｃｏｓπηＴ＝０の解として、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ξＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ξＴ＋０．１で且つ、ηＴ−０．１≦Ｓ／Ｐ≦ηＴ＋０．１に設定されても良い。そうすることにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００３８】
更に、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１で且つ、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されても良い。そうすることにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００３９】
また更に、複数個のテーブル装置を組み合わせて一つに構成したり、レール軌道面波打ち波長Ｐを案内レールの取付けボルトピッチに置き換えたり、レール軌道面波打ち波長Ｐを横押し板の取付け間隔に置き換えたりしても良く、これらの場合にも、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る第１実施形態のリニアガイド装置の外観斜視図、図２（ａ）は図１に示すリニアガイド装置の断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の（ａ−ａ）線断面図、図３は図１に示すリニアガイド装置におけるスライダの拡大断面図、図４は図１に示すリニアガイド装置におけるスライダの拡大断面図、図５は図１に示すリニアガイド装置におけるレール軌道面の波打ちの説明図、図６は図１に示すリニアガイド装置におけるスライダの上下方向変位の片振幅の特性図、図７は図１に示すリニアガイド装置におけるスライダのピッチング方向変位の片振幅の特性図である。
【００４１】
図８は本発明に係る第１実施形態のテーブル装置の外観斜視図、図９は図８に示すテーブル装置におけるレール軌道面の波打ちの説明図、図１０は図８に示すテーブル装置におけるテーブルのピッチング方向の姿勢変化をゼロにする条件の説明図、図１１は本発明に係る第２実施形態のリニアガイド装置の外観斜視図、図１２は本発明に係る第３実施形態のリニアガイド装置の断面図、図１３は本発明に係る第４実施形態のリニアガイド装置の断面図、図１４はリニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図１５はリニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフ、図１６はリニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図１７はリニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【００４２】
図１８（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、図１８（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、図１８（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図、図１８（ｄ）はテーブル装置の実施例の正面図、図１９はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図２０はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図２１はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図２２はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフ、図２３はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフ、図２４はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフ、図２５はテーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【００４３】
図２６（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２６（ｂ）は図２６（ａ）のスライダの部分断面図、図２７（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２７（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２７（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２８（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２８（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２８（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図、図２９はテーブル装置の実施例の外観斜視図、図３０はテーブル装置の実施例の外観斜視図である。
なお、リニアガイド装置における第２実施形態以下の各実施形態において、既に説明した部材等と同様な構成・作用を有する部材等については、図中に同一符号を付すことにより、説明を簡略化或いは省略する。
【００４４】
図１に示すように、本発明の第１実施形態のリニアガイド装置１０は、案内レール１１と、案内レール１１上に配されて案内レール１１の軸方向に移動可能に組み付けられたスライダ１２と、ボールである複数の転動体１３と、を備えている。
【００４５】
案内レール１１の上面には、レール面１４が形成され、案内レール１１の両側面には、転動体１３を摺動させるためのレール軌道面１５，１５が上下に２条に形成されている。レール面１４には、上下に貫通した複数個のボルト孔１７が軸方向に沿って形成されている。案内レール１１は、ボルト孔１７を介してボルトが加工台にねじ込まれることによって、加工台に固定される。
【００４６】
スライダ１２には、転動体１３を循環させながら保持する転動体循環路１８に、転動体１３を摺動させるためのスライダ軌道面（上溝，下溝）１９，１９が形成されている。
【００４７】
図２（ａ）に示すように、案内レール１１のレール軌道面１５，１５は、レール面１４を介して両側部に一対に配されており、転動体１３は４列に配されている。
【００４８】
図２（ｂ）に示すように、スライダ１２のスライダ軌道面１９の両端部寄りには、緩やかな傾斜面状であって円弧形状や直線状のクラウニング部２０，２０が形成されており、クラウニング部２０，２０の端部には、面取り部２１，２１が形成されている。クラウニング部２０では、スライダ軌道面１９の端部近傍において、転動体１３が荷重を受けなくなる。
【００４９】
図３に示すように、クラウニング部２０が円弧形状である場合、クラウニング部２０の全長Ｌｃのうち、転動体１３が荷重を受ける部分の長さをクラウニング部有効長Ｌｃｅと呼ぶ。
ここで、δ０：転動体１３のオーバーサイズ量、ＲＣ：接触角方向の断面内で見たクラウニング部２０の半径とすると、クラウニング部有効長Ｌｃｅは、
【数１】
2004156642.tif 000003
で計算される。
【００５０】
図４に示すように、クラウニング部２０が、直線状である場合、上記と同様にして、θＣ：接触角方向の断面内で見たクラウニング部の傾きとすると、クラウニング部有効長Ｌｃｅは、
【数２】
2004156642.tif 000004
で計算される。
【００５１】
スライダ軌道面の全長Ｌ１のうち、転動体１３が予圧を受ける部分の長さを、スライダ軌道面の有効長と呼ぶ。スライダ軌道面有効長Ｌｅｓは、次式で計算できる。
【数３】
2004156642.tif 000005
ただし、上式で計算されるＬｅｓが、Ｌｅｓ＞Ｌ１−２Ｃとなる場合、またはクラウニング部が無い場合には、次式でＬｅｓを計算する。ここで、Ｃは面取り部２１の長さである。面取り部が無い場合は、Ｃ＝０を代入する。
【数４】
2004156642.tif 000006
【００５２】
Ｌｃｅは、オーバーサイズ量δ０によって変化するから、［数３］のＬｅｓも、δ０の値によって変化する。通常のリニアガイド装置では、用途毎に転動体１３のオーバーサイズ量を変更して用いている。例えば、工作機械等では、剛性を必要とするため、オーバーサイズ量は大きくなる。
また、高速な駆動が必要な測定器等で、摺動抵抗を小さくしたい場合には、オーバーサイズ量を小さくする。オーバーサイズ量が特定できる場合には、スライダ軌道面１９の有効長として、［数３］のＬｅｓを用いても良い。しかし、通常の場合は、スライダ軌道面の有効長として、上記のＬｅｓの代わりに、オーバーサイズ量に因らずに定められる次式のＬｅを用いるのが良い。
【数５】
2004156642.tif 000007
このＬｅは、オーバーサイズを変化させた場合の、最大のＬｅｓ（＝Ｌ１−２Ｃ）と、最小のＬｅｓ（＝Ｌ１−２ＬＣ）との平均値である。Ｌｅは、広い範囲のオーバーサイズに対する平均的なスライダ軌道面有効長を表す。上記式５は、クラウニング部２０，２０が同一形状である場合に用いる。
【００５３】
クラウニング部２０，２０の形状が異なる場合、Ｌｅは、次式で計算される。
【数６】
2004156642.tif 000008
ここで、Ｌｃ１，Ｌｃ２：左右端部のクラウニング部長さ
Ｃ１，Ｃ２：左右端部の面取り部長さ
である。
【００５４】
次に、以降の計算に際して、以下を仮定する。
レール軌道面１５，１５の波打ちは、正弦波として表す。
転動体１３と軌道面１５，１５，１９，１９との接触部は、スライダ軌道面１９，１９に一様に、連続的に分布する線形ばねとする。
【００５５】
図５に示すように、直動方向にｘ軸をとり、レール軌道面１５，１５の位置ｘにおける上下方向の波打ち量ｙをとると、波打ち量ｙは、次式によって表される。このとき、Ａは定数であり、レール軌道面１５，１５の波打ちの片振幅である。
【数７】
2004156642.tif 000009
【００５６】
そして、ｉ番目のスライダ軌道面が位置ｘにおいて受ける単位長さあたりの荷重Ｆｉは、次式で表される。
【数８】
2004156642.tif 000010
ここで、
ｘＳ：スライダ軌道面の中心座標
Δｚ：スライダの上方向への変位量
Δφ：スライダのピッチング方向への変位量
ｋｉ：ｉ番目のスライダ軌道面の転動体・軌道面接触部の単位長さあたりの上下方向ばね係数（転動体と軌道面の仕様、接触角によって決まる。）
である。
【００５７】
従って、スライダ１２が、４列の転動体列から受ける荷重の和Ｆは、スライド中心のｘ座標をｘＳとし、スライダ軌道面有効長をＬｅとして、次式となる。
【数９】
2004156642.tif 000011
ここで、Ｋ＝ｋ１＋ｋ２＋ｋ３＋ｋ４
である。
【００５８】
スライダ１２に作用する上方向への外力をＦ０とすると、力の釣り合いにより次式が成り立つ。
【数１０】
2004156642.tif 000012
【００５９】
上式［数９］及び［数１０］により、スライダ１２の上下方向変位は次式となる。
【数１１】
2004156642.tif 000013
【００６０】
案内レール１１の波打ちに起因するスライダ１２の上下方向変位の片振幅Δｖは、波打ちの片振幅Ａに対する比として、次式で表される。
【数１２】
2004156642.tif 000014
ここで、ξ＝Ｌｅ／Ｐである。
【００６１】
図６は、ξとΔｖ／Ａの大きさの関係を表す図である。次式が成り立つ時に、Δｖが零（０）になる。
【数１３】
2004156642.tif 000015
【００６２】
上式が厳密に成り立たなくても、ξが次式の範囲であれば、上下振幅Δｖを十分小さくできる。
【数１４】
2004156642.tif 000016
ここで、ｍ：１以上の整数（ｍ＝１，２，３…）である。
【００６３】
一方、スライダ１２が４列の転動体列から受けるピッチング方向のモーメントの和Ｍは、次式により表される。
【数１５】
2004156642.tif 000017
【００６４】
また、スライダ１２に作用するピッチング方向の外部モーメントをＭ０とすると、力の釣り合いから、次式が成り立つ。
【数１６】
2004156642.tif 000018
【００６５】
そして、上式［数１５］及び［数１６］より、スライダ１２のピッチング方向の変位は次式にて表される。
【数１７】
2004156642.tif 000019
【００６６】
波打ちに起因するスライダ１２のピッチング方向の変位における片振幅Δｐは、波打ちの最大傾斜Θに対する比として、次式にて表される。ここで、Θ＝２πＡ／Ｌである。
【数１８】
2004156642.tif 000020
ここで、ξ＝Ｌｅ／Ｐである。
【００６７】
続いて、図７は、ξとΔｐ／Θの大きさ関係を表している。次式が成り立つ時に、Δｐが零（０）になる。
【数１９】
2004156642.tif 000021
【００６８】
上式を満たすξ＝ξＬは、数値計算によって次式のように求められる。
【数２０】
2004156642.tif 000022
【００６９】
上式が厳密に成り立たなくても、ξが次式の範囲にあれば、ピッチング振幅Δｐを十分小さくできる。
【数２１】
2004156642.tif 000023
【００７０】
第１実施形態のリニアガイド装置１０によれば、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定される。したがって、スライダ１２がどの位置に移動した場合においても、スライダ１２の姿勢変化がほぼゼロになるように、スライダ軌道面１９の有効長さと波打ち波長との関係が定められる。これによって、レール軌道面１５に波打ちが生じていても、スライダ１２の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダ１２の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されても、レール軌道面１５に波打ちが生じていても、スライダ１２の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダ１２の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００７１】
次に、本発明に係る第１実施形態のテーブル装置について説明する。
図８に示すように、テーブル装置３０は、単一の案内レール３１と、案内レール３１上に配されて案内レール３１の軸方向に移動可能に組み付けられた２個のスライダ３２，３３と、スライダ３２，３３上に配された単一のテーブル３４と、を備えている。
案内レール３１の両側面に、レール軌道面が形成され、スライダ３２，３３にスライダ軌道面が形成され、レール軌道面とスライダ軌道面との間に転動体が転動自在に配されている。
【００７２】
図９に示すように、直動方向にｘ軸をとる。リニアガイド装置１０の場合と同様にして、以降の計算に際して、以下を仮定する。
レール軌道面のうねりは、［数７］の正弦波として表せることとする。
転動体と軌道面との接触部は、スライダ軌道面に一様に分布する線形ばねとする。
そして、以下の記号を用いる。
ｘＴ：テーブル位置（テーブル３４上のＰのｘ座標）
Ｓ：２個のスライダ３２，３３の中心間距離
ＳＡ：テーブル３４上の点Ｐから、スライダ３２の軌道面の中心までの距離
ＳＢ：テーブル３４上の点Ｐから、スライダ３３の軌道面の中心までの距離
ΔｚＴ：テーブル３４の上方向への変位量
ΔφＴ：ピッチング方向への変位量
ｋＡｉ：スライダ３２のｉ番目軌道面の転動体・軌道面接触部の単位長さあたりのばね係数
ｋＢｉ：スライダ３３のｉ番目軌道面の転動体・軌道面接触部の単位長さあたりのばね係数
ＫＡ：スライダ３２の全ての軌道面についてのｋＡｉの和
ＫＢ：スライダ３３の全ての軌道面についてのｋＢｉの和
ΔｚＡ：スライダ３２の上方向への変位量
ΔφＡ：スライダ３２のピッチング方向への変位量
ΔｚＢ：スライダ３３のテーブル３４の上方向への変位量
ΔφＢ：スライダ３３のピッチング方向への変位量
これらを用い、テーブル３４上のＰ点は、次式のように定める。
【数２２】
2004156642.tif 000024
【００７３】
また、幾何学的な関係から、次式が成り立つ。
【数２３】
2004156642.tif 000025
【数２４】
2004156642.tif 000026
【数２５】
2004156642.tif 000027
【００７４】
そして、リニアガイド装置１０の場合と同様にして、スライダ３２，３３に作用する上下方向荷重ＦＡ，ＦＢは次式となる。
【数２６】
2004156642.tif 000028
【数２７】
2004156642.tif 000029
【００７５】
更に、テーブル３４に作用する上方向への外力をＦＴとすると、力の釣り合いから次式が成り立つ。
【数２８】
2004156642.tif 000030
【００７６】
そして、上式［数２２］〜［数２８］により、テーブル３４の上下方向変位ΔｚＴは、次式となる。
【数２９】
2004156642.tif 000031
【００７７】
そして、上式により、次式が成り立つ時に、テーブル位置ｘＴによらずΔｚＴは常に一定となる。
【数３０】
2004156642.tif 000032
ここで、ｍＡとｍＢは、ともに１以上の整数（ｍＡ＝１，２，３，…；ｍＢ＝１，２，３，…）である。
リニアガイド装置１０の場合と同様に、上式を厳密に満たさなくても、ＬＡ／ＰとＬＢ／Ｐが下式の範囲であれば、ΔｚＴの変化を十分小さくできる。
【数３１】
2004156642.tif 000033
【００７８】
以下、２個のスライダ３２，３３の転動体寸法、スライダ軌道面有効長の全てが同じ場合について考える。この場合、ＫＡ＝ＫＢ＝ＫＴ，ＬＡ＝ＬＢ＝ＬＴ，ＳＡ＝ＳＢ＝Ｓ／２である。従って、［数２９］は次式となる。
【数３２】
2004156642.tif 000034
【００７９】
上式より、次式が成り立つ時に、テーブル位置ｘＴによらずΔｚＴは常に一定となる。
【数３３】
2004156642.tif 000035
ここで、ｍＴとｎとは、ともに１以上の整数（ｍＴ＝１，２，３，…；ｎ＝１，２，３，…）である。
リニアガイド装置１０の場合と同様に、上式を厳密に満たさなくても、下式の範囲であれば、ΔｚＴの変化を十分小さくできる。
【数３４】
2004156642.tif 000036
【００８０】
一方、スライダ３２，３３が受けるピッチング方向モーメントＭＡ，ＭＢは次式となる。
【数３５】
2004156642.tif 000037
【数３６】
2004156642.tif 000038
【００８１】
テーブル３４に外部から作用するピッチングモーメントをＭＴとすると、モーメントの釣り合いから次式が成り立つ。
【数３７】
2004156642.tif 000039
【００８２】
そして、上式［数２２］〜［数２７］と上式［数３５］〜［数３７］より、スライダ３２，３３のピッチング方向変位は次式となる。
【数３８】
2004156642.tif 000040
【００８３】
上式より、次式が成り立つ時に、テーブル位置ｘＴによらずΔφＴは常に一定となる。
【数３９】
2004156642.tif 000041
ここで、ξＴ及びηＴは、次式の方程式の解である。
【数４０】
2004156642.tif 000042
【００８４】
図１０に、上式を満たすξとηとの関係を示す。
線上に位置するξとηとの組であれば、［数４０］が満たされる。例えば、ξ＝１．５に対して、η＝０．８９，１．９５，２．９７，３．９７，４．９８，５．９８…であれば、［数４０］が満たされる。なお、寸法上の制限から、ＬＴ≦Ｓであるから、ξ≦ηの必要がある。
【００８５】
リニアガイド装置１０の場合と同様に、上式を厳密に満たさなくても、下式の範囲であれば、ΔφＴの変化を十分小さくできる。
【数４１】
2004156642.tif 000043
【００８６】
更に、上式［数３３］及び［数３９］が満たされれば、テーブル位置によらず、テーブル３４の上下方向変位とピッチング変位の両方について、変化量を零（０）にすることができる。次式のようにＬＴとＳとを選べば、［数３３］と［数３９］とが、ともに満たされる。
【数４２】
2004156642.tif 000044
ここで、ｍＴとｎとは、ともに１以上の整数（ｍＴ＝１，２，３，…；ｎ＝１，２，３，…）である。
上式を厳密に満たさなくとも、ＬＴ／ＰとＳ／Ｐとが下式の範囲であれば、上下方向の姿勢変化を同時に十分小さくできる。
【数４３】
2004156642.tif 000045
【００８７】
第１実施形態のテーブル装置３０によれば、２個のスライダ軌道面有効長ＬＡ，ＬＢと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍＡ−０．１≦ＬＡ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１で且つ、ｍＢ−０．１≦ＬＢ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１に設定される。
したがって、テーブル３４がどの位置に移動した場合においても、テーブル３４の姿勢変化がほぼゼロになるように、スライダ軌道面の有効長さと、波打ち波長との関係が定められる。これによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブル３４の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００８８】
また、２個が同一である場合のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１または、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されても良い。そうすることにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブル３４の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブル３４の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００８９】
そして、ξＴ，ηＴを方程式πηＴｓｉｎπξＴｓｉｎπηＴ＋｛ｓｉｎπξＴ−πξＴｃｏｓπξＴ｝ｃｏｓπηＴ＝０の解として、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ξＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ξＴ＋０．１で且つ、ηＴ−０．１≦Ｓ／Ｐ≦ηＴ＋０．１に設定されても良い。そうすることにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブル３４の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブル３４の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００９０】
更に、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１で且つ、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されても良い。これにより、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブル３４の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブル３４の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
また更に、複数個のテーブル装置を組み合わせて一つに構成したり、レール軌道面波打ち波長Ｐを案内レールの取付けボルトピッチに置き換えたり、レール軌道面波打ち波長Ｐを横押し板の取付け間隔に置き換えたりしても良い。これらの場合にも、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブル３４の姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブル３４の運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【００９１】
次に、図１１を用いて本発明に係る第２実施形態のリニアガイド装置について説明する。
第２実施形態のリニアガイド装置４０は、案内レール１１の両側面に、ボールである転動体１３を摺動させるための一対のレール軌道面１５がスライダ軌道面１９に対向して形成されており、２列の転動体１３を配している。
そして、第２実施形態のリニアガイド装置４０は、第１実施形態と同様にして、レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍを１以上の整数として、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定されている。
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されている。
【００９２】
次に、図１２を用いて本発明に係る第３実施形態のリニアガイド装置について説明する。
第３実施形態のリニアガイド装置５０は、案内レール１１の両側面に、ボールである転動体１３を摺動させるための三対のレール軌道面（上溝，中溝，下溝）１５，１５，１５がスライダ軌道面１９，１９，１９に対向して形成されており、３列の転動体１３を配している。
そして、第３実施形態のリニアガイド装置５０は、第１実施形態と同様にして、レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍを１以上の整数として、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定されている。
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されている。
【００９３】
続いて、図１３を用いて本発明に係る第４実施形態のリニアガイド装置について説明する。
第４実施形態のリニアガイド装置６０は、案内レール１１の両側面に、円筒ころである転動体１３を摺動させるための二対のレール軌道面（上溝，下溝）１５，１５がスライダ軌道面１９，１９に対向して形成されており、２列の転動体１３を配している。
そして、第４実施形態のリニアガイド装置６０は、第１実施形態と同様にして、レール軌道面の波打ち波長をＰとし、ｍを１以上の整数として、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定されている。
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されている。
【００９４】
【実施例】
上述した各実施形態のリニアガイド装置及びテーブル装置に関して、実施例及び比較例を以下のように行った。
【００９５】
＜実施例１＞
実施例１に用いられるリニアガイド装置は、図１に示したリニアガイド装置１０と同等の構成をもつ。
ここで、実施例１に用いたリニアガイド装置は以下の詳細な数値を有する。
溝数                    ：４溝
転動体接触角            ：α＝５０°
転動体直径              ：Ｄａ＝４．７６２５ｍｍ
軌道面の半径            ：ｒ＝２．４７６５ｍｍ（転動体直径の５２％）
オーバーサイズ量        ：δ０＝０．００２２ｍｍ
クラウニング部          ：形状＝円弧、長さＬｃ＝１１ｍｍ、半径Ｒｃ＝４９８０ｍｍ、クラウニング部有効長Ｌｃｅ＝４．６８ｍｍ
【００９６】
なお、クラウニング部は、加工時は溝底方向に半径Ｒｃ´＝３２００ｍｍで加工、接触方向に換算した半径Ｒｃは、Ｒｃ＝Ｒｃ´／ｃｏｓα＝４９８０ｍｍとなる。
面取り部面取り量        ：Ｃ＝０．２ｍｍ
案内レールのボルトピッチ：Ｐ＝８０ｍｍ
スライダ軌道面有効長は、［数１４］及び［数２１］より、以下が望ましい。
2004156642.tif 000046
［数５］より、Ｌ１＝Ｌｅ−（Ｌｃ＋Ｃ）であるので、スライダ本体長Ｌ１の範囲は以下となる。
2004156642.tif 000047
そして、本発明による実施例１ａ，１ｂと比較例１ｃ，１ｄとして、以下を選択した。
【００９７】
＜実施例１ａ＞  Ｌ１＝１７２ｍｍ  上下変位を低減するための条件式［数１４］を満たす。
【００９８】
＜実施例１ｂ＞  Ｌ１＝１２７ｍｍ  ピッチング変位を低減するための条件式［数２１］を満たす。
【００９９】
＜比較例１ｃ＞  Ｌ１＝１０８ｍｍ
【０１００】
＜比較例１ｄ＞  Ｌ１＝１４７ｍｍ
上記の実施例と比較例について、レール軌道面にボルトピッチの波打ちがある場合の、スライダの運動精度を調べた。案内レールの波打ちは、ほぼ正弦波とみなすことができ、片振幅は、Ａ＝０．０００５ｍｍである。
【０１０１】
図１４に、上下変位を低減する実施例１ａと、比較例１ｃ、１ｄについて、スライダの移動に伴う、上下方向の変位を調べた結果を示す。
実施例１ａは、比較例１ｃ、１ｄに比べて、上下方向の変位が小さいことがわかる。
【０１０２】
図１５に、ピッチング変位を低減する実施例１ｂと、比較例１ｃ、１ｄについて、スライダの移動に伴う、ピッチング方向の変位を調べた結果を示す。
実施例１ｂは、比較例１ｃ、１ｄに比べて、ピッチング方向の変位が小さいことがわかる。
＜実施例１の変形例＞
本変形例に用いられるリニアガイド装置は、図１２に示したリニアガイド装置５０と同等の構成をもつ。
ここで、本変形例に用いたリニアガイド装置は以下の詳細な数値を有する。
2004156642.tif 000048
【０１０３】
なお、クラウニング部は、加工時は溝底方向に半径Ｒｃ´＝３２００ｍｍで加工、接触方向に換算した半径Ｒｃは、Ｒｃ＝Ｒｃ´／ｃｏｓα＝４５３０ｍｍとなる。
面取り部面取り量        ：Ｃ＝０．２ｍｍ
案内レールのボルトピッチ：Ｐ＝４０ｍｍ  実施例１に比べて小さいので、スライダ全長を短くできる。
実施例１と同様にして、スライダ全長は、以下の範囲が望ましい。
2004156642.tif 000049
そして、本発明による実施例１ｅ，１ｆと比較例１ｇとして、以下を選択した。
【０１０４】
＜実施例１ｅ＞  Ｌ１＝１３０ｍｍ  上下変位を低減するための条件式［数１４］を満たす。
【０１０５】
＜実施例１ｆ＞  Ｌ１＝１５０ｍｍ  ピッチング変位を低減するための条件式［数２１］を満たす。
【０１０６】
＜比較例１ｇ＞  Ｌ１＝１４０ｍｍ
上記の実施例と比較例について、レール軌道面にボルトピッチの波打ちがある場合の、スライダの運動精度を調べた。案内レールの波打ちは、ほぼ正弦波とみなすことができ、片振幅は、Ａ＝０．  ０００５ｍｍである。
【０１０７】
図１６に、上下変位を低減する実施例１ｅと、比較例１ｇについて、スライダの移動に伴う、上下方向の変位を調べた結果を示す。
実施例１ｅは、比較例１ｇに比べて、上下方向の変位が小さいことがわかる。
【０１０８】
図１７に、ピッチング変位を低減する実施例１ｆと、比較例１ｇについて、スライダの移動に伴う、ピッチング方向の変位を調べた結果を示す。
実施例１ｆは、比較例１ｇに比べて、ピッチング方向の変位が小さいことがわかる。
上述したように、案内レールの軌道面の波打ちによるスライダの姿勢変化を低減することができる。
【０１０９】
＜実施例２＞
図１８（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に示すように、実施例２に用いられるテーブル装置は、図８に示したリニアガイド装置３０と同等の構成をもつ。
ここで、実施例２に用いたテーブル装置は以下の詳細な数値を有する。
案内レールのボルトピッチ：Ｐ＝８０ｍｍ
オーバーサイズ量        ：δ０＝０．００６８ｍｍ  （両スライダとも同一である）
クラウニング部          ：形状＝円弧、長さＬｃ＝６．４５ｍｍ、半径Ｒｃ＝１７１０ｍｍ  （両スライダとも同一である）
面取り部面取り量        ：Ｃ＝０．２ｍｍ
そして、本発明による実施例と、本発明によらない比較例として、以下を選択した。
【０１１０】
＜実施例２ａ＞  図１８（ａ）に示す。上下変位を低減するための条件式［数３１］を満たす。
スライダ３２      ：軌道面有効長ＬＡ＝１５６．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ａ＝１６３ｍｍ
スライダ３３      ：軌道面有効長ＬＢ＝７６．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｂ＝８３ｍｍ
スライダ中心間距離：Ｓ＝１８０ｍｍ
ここで、ＬＡ／Ｐ＝１．９５，ＬＢ／Ｐ＝０．９５４なので、［数３１］を満たす（ｍＡ＝２，ｍＢ＝１に対して）。
【０１１１】
＜実施例２ｂ＞  図１８（ｂ）に示す。上下変位を低減するための条件式［数３４］を満たす。
スライダ３２，３３：軌道面有効長ＬＴ＝６３．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｔ＝７０ｍｍ  （両スライダとも同一である）
スライダ中心間距離：Ｓ＝１２０ｍｍ
ここで、Ｓ／Ｐ＝１．５なので、［数３４］を満たす（ｎ＝１に対して）。
【０１１２】
＜実施例２ｃ＞  図１８（ｃ）に示す。ピッチング変位を低減するための条件式［数４１］を満たす。
スライダ３２，３３：軌道面有効長ＬＴ＝１４０．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｔ＝１４７ｍｍ  （両スライダとも同一である）
スライダ中心間距離：Ｓ＝２２０ｍｍ
ここで、ＬＴ／Ｐ＝１．７５，Ｓ／Ｐ＝２．７５なので、［数４１］を満たす（ξＴ＝１．８，ηＴ＝２．７５に対して）。
【０１１３】
＜実施例２ｄ＞  図１８（ｄ）に示す。上下変位及びピッチング変位を同時に低減するための条件式［数４３］を満たす。
スライダ３２，３３：軌道面有効長ＬＴ＝１５６．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｔ＝１６３ｍｍ  （両スライダとも同一である）
スライダ中心間距離：Ｓ＝２００ｍｍ
ここで、ＬＴ／Ｐ＝１．９５，Ｓ／Ｐ＝２．５なので、［数４３］を満たす（ｍＴ＝２，ｎ＝２に対して）。
【０１１４】
＜比較例２ｅ＞  本発明によらない。
スライダ          ：軌道面有効長ＬＴ＝６３．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｔ＝７０ｍｍ  （両スライダとも同一である）
スライダ中心間距離：Ｓ＝１６０ｍｍ
【０１１５】
＜比較例２ｆ＞  本発明によらない。
スライダ          ：軌道面有効長ＬＴ＝１４０．３５ｍｍ、全長Ｌ１Ｔ＝１４７ｍｍ  （両スライダとも同一である）
スライダ中心間距離：Ｓ＝２５０ｍｍ
上記各実施例と比較例について、レール軌道面にボルトピッチの波打ちがある場合の、スライダの運動精度を調べた。ここで、案内レールの波打ち片振幅は、Ａ＝０．０００５ｍｍである。
【０１１６】
図１９，２０，２１，２２に、上下変位を低減する実施例２ａ，２ｂ，２ｄと、比較例２ｅ，２ｆについて、スライダの移動に伴う上下方向の変位を調べた結果を示す。
いずれの実施例においても、比較例に比べて上下方向の変位が小さいことがわかる。
【０１１７】
図２３，２４，２５に、ピッチング変位を低減する実施例２ｃ，２ｄと、比較例２ｅ，２ｆについて、スライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べた結果を示す。
いずれの実施例においても、比較例に比べてピッチング方向の変位が小さいことがわかる。
上述したように、案内レールの軌道面の波打ちによるスライダの姿勢変化を低減できる。
【０１１８】
＜実施例３＞
図２６（ａ），（ｂ）に示すように、実施例３に用いられるテーブル装置は、単一のスライダ３２に、２個のスライダ軌道面３２ａ，３２ｂを有し、端部にクラウニング部３２ｃ，３２ｃが形成されている。スライダ軌道面３２ａ，３２ｂの中央部には、転動体が荷重を受けない無負荷部３２ｄが形成されている。
ここで、実施例３に用いたテーブル装置は以下の詳細な数値を有する。
各軌道面の有効長  ：ＬＴ＝７８ｍｍ
軌道面の中心間距離：Ｓ＝１２０ｍｍ
なお、無負荷部３２ｄは、逃げ量＝１９μｍであり、クラウニング部３２ｃ，３２ｃを含む軌道面と同時にＮＣ研削加工によって加工される。このテーブル装置では、スライダ３２が単一であるため、組み立てを簡単に行うことができる。
【０１１９】
＜実施例４＞
図２７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、実施例４に用いられるテーブル装置は、４個のスライダ３２，３２，３２，３２を用いた場合について、上下方向及びピッチング方向の両方の姿勢変化を低減するように構成されている。実施例４では、いずれも、上下変位及びピッチング変位を同時に低減する条件式［数４３］を満たす、単一の案内レール３１と２個のスライダ３２，３２との組合せを２組配置して、１個のテーブル装置を構成した。
【０１２０】
＜実施例４ａ＞  図２７（ａ）に示す。条件式［数４３］を満たす、単一の案内レールと２個のスライダとの組を並べて配置した。
2004156642.tif 000050
【０１２１】
＜実施例４ｂ＞  図２７（ｂ）に示す。条件式［数４３］を満たす、単一の案内レールと２個のスライダとの組を入れ子式に配置した。
2004156642.tif 000051
【０１２２】
＜実施例４ｃ＞  図２７（ｃ）に示す。条件式［数４３］を満たす、単一の案内レールと２個のスライダとの組を交差して配置した。
2004156642.tif 000052
ここで、実施例４ａ〜４ｃと同様にして、６個以上の偶数個のスライダを用いてテーブル装置を構成することもできる。
また、実施例４ａ〜４ｃにおいて、隣接するスライダを一体化してスライダの個数を減らしても、同様の効果を得ることができる。スライダを一体化する方法としては、複数個のスライダを連結部材等で連結しても良いし、初めから一体構造のスライダを作製しても良い。
【０１２３】
＜実施例４ｄ＞  図２８（ａ）に示す。実施例４ａにおいての隣接するスライダ（内側の２個）を隣接させて、単一部材で構成した。
スライダの軌道面有効長：左＝８０ｍｍ、中央＝２４０ｍｍ、右＝１６０ｍｍ
スライダの中心間距離  ：左〜中央＝２００ｍｍ、中央〜右＝２４０ｍｍ
【０１２４】
＜実施例４ｅ＞  図２８（ｂ）に示す。実施例４ｂにおいての隣接するスライダ（左側の２個）を隣接させて、単一部材で構成した。
スライダの軌道面有効長：左＝２４０ｍｍ、中央＝８０ｍｍ、右＝１６０ｍｍ
スライダの中心間距離  ：左〜中央＝２００ｍｍ、中央〜右＝２００ｍｍ
【０１２５】
＜実施例４ｄ＞  図２８（ｃ）に示す。実施例４ｃにおいての隣接するスライダ（内側の２個）を隣接させて、単一部材で構成した。
スライダの軌道面有効長：左＝８０ｍｍ、中央＝１６０ｍｍ、右＝８０ｍｍ
スライダの中心間距離  ：左〜中央＝１６０ｍｍ、中央〜右＝１６０ｍｍ
【０１２６】
実施例４においても、上下方向の変位及びピッチング方向の変位が小さい。そのため、案内レールの軌道面の波打ちによるスライダの姿勢変化を低減することができる。
【０１２７】
＜実施例５＞
図２９，３０に示すように、実施例５に用いられるテーブル装置は、実施例２〜４で述べた単一の案内レールとスライダとの組からなるテーブル装置を平行に配置して、１個のテーブル装置を構成した。ここでは、案内レールのボルトピッチは、案内レール毎に同じであっても、異なっていても良い。
【０１２８】
＜実施例５ａ＞  図２９に示す。実施例２ｄのテーブル装置を２個平行に並べて構成した。
【０１２９】
＜実施例５ｂ＞  図３０に示す。実施例４ａと実施例４ｅのテーブル装置を平行に並べて構成した。
【０１３０】
実施例５においても、上下方向の変位及びピッチング方向の変位が小さい。そのため、案内レールの軌道面の波打ちによるスライダの姿勢変化を低減することができる。
【０１３１】
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜な変形、改良等が可能である。
例えば、ボールや円筒ころである転動体の列は２列、４列、６列に限らず、それ以上の複数対配されたリニアガイド装置及びテーブル装置に本発明を用いても良い。
【０１３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のリニアガイド装置によれば、スライダ軌道面有効長Ｌｅと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ｍ＋０．１に設定される。
したがって、スライダがどの位置に移動した場合においても、スライダの姿勢変化がゼロになるように、スライダ軌道面の有効長さと波打ち波長との関係が定められる。よって、レール軌道面に波打ちが生じていても、スライダの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３３】
また、ξＬを方程式ｓｉｎπξＬ−πξＬｃｏｓπξＬ＝０の解として、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面有効長Ｌｅとが、ξＬ−０．１≦Ｌｅ／Ｐ≦ξＬ＋０．１に設定されることによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、スライダの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結によって生じる軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３４】
また、本発明のテーブル装置によれば、２個のスライダ軌道面有効長ＬＡ，ＬＢと、レール軌道面波打ち波長Ｐとが、ｍＡ−０．１≦ＬＡ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１で且つ、ｍＢ−０．１≦ＬＢ／Ｐ≦ｍＡ＋０．１に設定される。
したがって、テーブルがどの位置に移動した場合においても、テーブルの姿勢変化がほぼゼロになるように、スライダ軌道面の有効長さと、波打ち波長との関係が定められる。よって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３５】
また、２個が同一である場合のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１または、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されることによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３６】
そして、ξＴ，ηＴを方程式πηＴｓｉｎπξＴｓｉｎπηＴ＋｛ｓｉｎπξＴ−πξＴｃｏｓπξＴ｝ｃｏｓπηＴ＝０の解として、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ξＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ξＴ＋０．１で且つ、ηＴ−０．１≦Ｓ／Ｐ≦ηＴ＋０．１に設定されることによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３７】
更に、２個が同一のスライダ軌道面有効長ＬＴと、レール軌道面波打ち波長Ｐと、スライダ軌道面中心間距離Ｓとが、ｍＴ−０．１≦ＬＴ／Ｐ≦ｍＴ＋０．１で且つ、ｎ＋０．４≦Ｓ／Ｐ≦ｎ＋０．６に設定されることによって、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
【０１３８】
また更に、複数個のテーブル装置を組み合わせて一つに構成したり、レール軌道面波打ち波長Ｐを案内レールの取付けボルトピッチに置き換えたり、レール軌道面波打ち波長Ｐを横押し板の取付け間隔に置き換えたりすることによって、これらの場合にも、レール軌道面に波打ちが生じていても、テーブルの姿勢変化を小さく保つことができ、ボルト締結等によって生じる軌道面の周期的な変形がテーブルの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができる。
以上によって、ボルト締結等によって生じるレール軌道面の周期的な変形がスライダの運動精度に及ぼす影響を小さくすることができるリニアガイド装置及びテーブル装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態のリニアガイド装置の外観斜視図である。
【図２】（ａ）は図１に示したリニアガイド装置の断面図、（ｂ）は（ａ）の（ａ−ａ）線断面図である。
【図３】図１に示したリニアガイド装置におけるスライダの拡大断面図である。
【図４】図１に示したリニアガイド装置におけるスライダの拡大断面図である。
【図５】図１に示したリニアガイド装置におけるレール軌道面の波打ちの説明図である。
【図６】図１に示すリニアガイド装置におけるスライダの上下方向変位の片振幅の特性図である。
【図７】図１に示すリニアガイド装置におけるスライダのピッチング方向変位の片振幅の特性図である。
【図８】本発明に係る第１実施形態のテーブル装置の外観斜視図である。
【図９】図８に示すテーブル装置におけるレール軌道面の波打ちの説明図である。
【図１０】図８に示すテーブル装置におけるテーブルのピッチング方向の姿勢変化をゼロにする条件の説明図である。
【図１１】本発明に係る第２実施形態のリニアガイド装置の外観斜視図である。
【図１２】本発明に係る第３実施形態のリニアガイド装置の断面図である。
【図１３】本発明に係る第４実施形態のリニアガイド装置の断面図である。
【図１４】リニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図１５】リニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【図１６】リニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図１７】リニアガイド装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【図１８】（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｄ）はテーブル装置の実施例の正面図である。
【図１９】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図２０】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図２１】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図２２】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴う上下方向の変位を調べたグラフである。
【図２３】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【図２４】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【図２５】テーブル装置の実施例におけるスライダの移動に伴うピッチング方向の変位を調べたグラフである。
【図２６】（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｂ）は（ａ）のスライダの部分断面図である。
【図２７】（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図である。
【図２８】（ａ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｂ）はテーブル装置の実施例の正面図、（ｃ）はテーブル装置の実施例の正面図である。
【図２９】テーブル装置の実施例の外観斜視図である。
【図３０】テーブル装置の実施例の外観斜視図である。
【図３１】従来のテーブル装置の外観斜視図である。
【図３２】従来のテーブル装置を用いた測定装置の正面図である。
【図３３】図３２とは異なる構造の測定装置の正面図である。
【図３４】従来のリニアガイド装置の正面図である。
【図３５】図３４とは異なる構造のリニアガイド装置の正面図である。
【図３６】（ａ），（ｂ）は図３５とは異なる構造のリニアガイド装置の正面図である。
【図３７】（ａ），（ｂ），（ｃ）はリニアガイド装置における波打ちの説明図である。
【符号の説明】
１０，４０，５０，６０  リニアガイド装置
１１                    案内レール
１２                    スライダ
１３                    転動体
１５                    レール軌道面
１９                    スライダ軌道面
２０                    クラウニング部
２１                    面取り部
３０                    テーブル装置
３１                    案内レール
３２，３３              スライダ
３４                    テーブル
１２１                  横押し板
【図１】
2004156642.tif 000053
【図２】
2004156642.tif 000054
【図３】
2004156642.tif 000055
【図４】
2004156642.tif 000056
【図５】
2004156642.tif 000057
【図６】
2004156642.tif 000058
【図７】
2004156642.tif 000059
【図８】
2004156642.tif 000060
【図９】
2004156642.tif 000061
【図１０】
2004156642.tif 000062
【図１１】
2004156642.tif 000063
【図１２】
2004156642.tif 000064
【図１３】
2004156642.tif 000065
【図１４】
2004156642.tif 000066
【図１５】
2004156642.tif 000067
【図１６】
2004156642.tif 000068
【図１７】
2004156642.tif 000069
【図１８】
2004156642.tif 000070
【図１９】
2004156642.tif 000071
【図２０】
2004156642.tif 000072
【図２１】
2004156642.tif 000073
【図２２】
2004156642.tif 000074
【図２３】
2004156642.tif 000075
【図２４】
2004156642.tif 000076
【図２５】
2004156642.tif 000077
【図２６】
2004156642.tif 000078
【図２７】
2004156642.tif 000079
【図２８】
2004156642.tif 000080
【図２９】
2004156642.tif 000081
【図３０】
2004156642.tif 000082
【図３１】
2004156642.tif 000083
【図３２】
2004156642.tif 000084
【図３３】
2004156642.tif 000085
【図３４】
2004156642.tif 000086
【図３５】
2004156642.tif 000087
【図３６】
2004156642.tif 000088
【図３７】
2004156642.tif 000089