(57)【要約】【課題】ワーク搬送手段の割り出し精度を向上することができる。【解決手段】駆動軸１３が回転すると、旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム作用により、駆動軸１３の回転力がタレット軸１８を介して従動軸２６に伝達され、搬送テーブル３７は所定の割り出し角度でもって間欠的に回転する。旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム係合部は、従動軸２６が最も軸振れしにくい位置に配置されているため、旋回用ローラギアカム１７に対する旋回用カムフォロア２０の係合位置決め性が高められる。【選択図】  図１
2004182400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸と、
前記駆動軸が回転することにより駆動される第１カム機構と、
前記駆動軸が回転することにより駆動される第２カム機構と、
前記第１及び第２カム機構にそれぞれ駆動連結され、第１カム機構の駆動により所定の割り出し角度で間欠的に回動するとともに、第２カム機構の駆動により所定の方向に往復動する従動軸と、
前記従動軸の端部に設けられ、ワークを搬送するワーク搬送手段と
を備えた搬送装置において、
前記第１カム機構を、前記駆動軸に固定される第１確動カムと、前記第１確動カムの回転に伴い同第１確動カムに順次係脱可能な複数の第１カムフォロアと、前記第１確動カムと第１カムフォロアとのカム作用により生じる回転力を前記従動軸に伝達するタレット軸とから構成し、
前記従動軸をその軸線方向に沿って離間配置される一対の回転軸受によって支持し、前記第１カム機構に設けられる第１確動カムと第１カムフォロアとのカム係合部を、従動軸の軸線方向において前記両回転軸受の間に位置させたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記従動軸は第１及び第２カム機構が収容されるハウジング内から突出され、前記従動軸がハウジング内に収容されている箇所で前記回転軸受による支持がなされていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２カム機構は、前記駆動軸に固定された第２確動カムと、その第２確動カムに係合される第２カムフォロアと、前記ハウジングに回転可能に支持され、前記駆動軸及び従動軸とは互いに直交する方向に沿って延びるレバー作動軸と、前記レバー作動軸に設けられ、前記第２確動カムと第２カムフォロアとのカム作用により揺動する揺動レバーとから構成され、
前記揺動レバーの先端部に設けられた転動体は前記従動軸上に設けられた係合部材に係合され、その係合部分は前記従動軸の軸線方向から見て従動軸と駆動軸との間の領域に位置していることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記従動軸にはその軸線方向に往復動するのを支持しかつ従動軸の軸線周りに回動不能な直動軸受が外挿され、この直動軸受と前記タレット軸とが一体的に連結され、前記直動軸受は前記両回転軸受のうち一方の回転軸受によって回転可能に支持され、前記タレット軸は他方の回転軸受によって回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記タレット軸は、前記第１カムフォロアが固定される大径部と、その大径部よりも径が小さい小径部とから構成され、この小径部には前記他方の回転軸受が外嵌されるとともに、同小径部の近傍には、前記第２カム機構を構成する揺動レバーの先端部に設けられた転動体と前記従動軸上に設けられた係合部材との係合部分が位置していることを特徴とする請求項３又は４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体関連機器用部品等のワークを所定の位置に搬送するための搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体、電子部品との組立、検査ライン等に用いられるカム式の搬送装置が用いられている。この種の搬送装置の利点は、高精度で滑らかな搬送を行うことができることにある。そこで、従来のカム式の搬送装置の一例を図８に示す。
【０００３】
図８に示すように、従来の搬送位置（特許文献１参照）７１は、モータ等の外部動力によって回転駆動される駆動軸７２を備えており、その駆動軸７２の回転に基づいて駆動される従動軸７３とを備えている。従動軸７３は、それと一体的に回転する直動軸受７４によって上下方向へ移動可能に支持されている。直動軸受７４は、軸カバー７５に設けられた上下両回転軸受７７，７８を介して回転可能に支持されている。直動軸受７４の下端部にはタレット軸７９が一体的に設けられ、このタレット軸７９に設けられた旋回用カムフォロア８０と、前記駆動軸７２に設けられた旋回用ローラギアカム８１とが係合されている。そして、駆動軸７２が回転すると、その回転力が旋回用ローラギアカム８１と旋回用カムフォロア８０とのカム作用によってタレット軸７９を介して従動軸７３に伝達され、従動軸７３は所定の割り出し角度で間欠的に回転するようになっている。
【０００４】
又、駆動軸７２の下方にはレバー作動軸８２が回転可能に設けられ、レバー作動軸８２には前記従動軸７３の内端部に駆動連結される揺動レバー８３が一体的に設けられている。この揺動レバー８３に設けられたリフト用カムフォロア８４と、前記駆動軸７２に設けられたリフト用ローラギアカム（図示しない）とが係合されている。そして、駆動軸７２が回転すると、その回転力がリフト用ローラギアカムとリフト用カムフォロア８４とのカム作用によってレバー作動軸８２及び揺動レバー８３を介して従動軸７３に伝達され、従動軸７３は間欠的に上下動するようになっている。
【０００５】
旋回用ローラギアカム８１とリフト用ローラギアカムとの外周面形状により、従動軸７３の回転方向及び軸方向への種々の複合運動パターンが得られる。そして、この従動軸７３の先端に設けられた搬送テーブル８５は、従動軸７３の複合運動パターンに従って移動され、搬送テーブル８５に載置されている図示しないワークが所定位置から異なる位置へと繰り返し搬送される。
【０００６】
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては次のようなものがある。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２１３５６５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の搬送装置７１において、高速で回転する従動軸７３は、両回転軸受７７，７８間に対応する部分に比べて、上部回転軸受７７より上側部分及び下部回転軸受７８より下側部分の方が軸振れしやすい。この軸振れしやすい位置に旋回用カムフォロア８０と旋回用ローラギアカム８１との係合部分が位置しているため、従動軸７３が間欠的に回転する毎に、旋回用ローラギアカム８１に対する旋回用カムフォロア８０の係合位置が変わりやすくなる。この結果、従動軸７３の割り出し精度が低下するという不具合がある。
【０００９】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、ワーク搬送手段の割り出し精度を向上することが可能な搬送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
（請求項１の発明）
請求項１に記載の発明では、駆動軸と、前記駆動軸が回転することにより駆動される第１カム機構と、前記駆動軸が回転することにより駆動される第２カム機構と、前記第１及び第２カム機構にそれぞれ駆動連結され、第１カム機構の駆動により所定の割り出し角度で間欠的に回動するとともに、第２カム機構の駆動により所定の方向に往復動する従動軸と、前記従動軸の端部に設けられ、ワークを搬送するワーク搬送手段とを備えた搬送装置において、前記第１カム機構を、前記駆動軸に固定される第１確動カムと、前記第１確動カムの回転に伴い同第１確動カムに順次係脱可能な複数の第１カムフォロアと、前記第１確動カムと第１カムフォロアとのカム作用により生じる回転力を従動軸に伝達するタレット軸とから構成し、前記従動軸をその軸線方向に沿って離間配置される複数の回転軸受によって支持し、前記第１カム機構に設けられる第１確動カムと第１カムフォロアとのカム係合部を、従動軸の軸線方向において前記両回転軸受の間に位置させたことを要旨とする。
【００１１】
この発明によれば、駆動軸が回転すると、第１確動カムと第１カムフォロアとのカム作用により、駆動軸の回転力がタレット軸を介して従動軸に伝達され、ワーク搬送手段は所定の割り出し角度でもって間欠的に回転する。第１確動カムと第１カムフォロアとのカム係合部は、従動軸が最も軸振れしにくい位置に配置されているため、第１確動カムに対する第１カムフォロアの係合位置決め性が高められる。この結果、高精度な割り出し角度でもってワーク搬送手段を回転させることができ、ワーク搬送手段の割り出し精度の向上を図ることが可能になる。
【００１２】
（請求項２の発明）
請求項２に記載の発明では、前記従動軸は第１及び第２カム機構が収容されるハウジング内から突出され、前記従動軸がハウジング内に収容されている箇所で前記回転軸受による支持がなされていることを要旨とする。
【００１３】
この構成によれば、ハウジング内に回転軸受が配置されているため、回転軸受がハウジング外に配置されている場合に比べて、ハウジングから突出されている従動軸付近のスペースを広くとることが可能になる。このスペースが広くなった分だけ回転軸受の径を大きく設定することができ、従動軸が高速で回転することに十分な剛性を得ることができる。
【００１４】
（請求項３の発明）
請求項３に記載の発明では、前記第２カム機構は、前記駆動軸に固定された第２確動カムと、その第２確動カムに係合される第２カムフォロアと、前記ハウジングに回転可能に支持され、前記駆動軸及び従動軸とは互いに直交する方向に沿って延びるレバー作動軸と、前記レバー作動軸に設けられ、前記第２確動カムと第２カムフォロアとのカム作用により揺動する揺動レバーとから構成され、前記揺動レバーの先端部に設けられた転動体は前記従動軸上に設けられた係合部材に係合され、その係合部分は前記従動軸の軸線方向から見て従動軸と駆動軸との間の領域に位置していることを要旨とする。
【００１５】
この発明によれば、揺動レバーに設けられた転動体と従動軸に設けられた係合部材との係合部分は、第２確動カムと第２カムフォロアとの係合部分に近い位置にあるため、レバー作動軸が回転するときに生じる捩れ量を小さくすることができる。
【００１６】
（請求項４の発明）
請求項４に記載の発明では、前記従動軸にはその軸線方向に往復動するのを支持しかつ従動軸の軸線周りに回動不能な直動軸受が外挿され、この直動軸受と前記タレット軸とが一体的に連結され、前記直動軸受は前記両回転軸受のうち一方の回転軸受によって回転可能に支持され、前記タレット軸は他方の回転軸受によって回転可能に支持されていることを要旨とする。
【００１７】
この発明によれば、タレット軸と直動軸受とはそれぞれの回転軸受によって別々に支持されている。そのため、回転軸受間の距離を長くすることができ、タレット軸と直動軸受とを安定した状態で回動させることが可能になる。
【００１８】
（請求項５の発明）
請求項５に記載の発明では、前記タレット軸は、前記第１カムフォロアが固定される大径部と、その大径部よりも径が小さい小径部とから構成され、この小径部には前記他方の回転軸受が外嵌されるとともに、同小径部の近傍には、前記第２カム機構を構成する揺動レバーの先端部に設けられた転動体と前記従動軸上に設けられた係合部材との係合部分が位置していることを要旨とする。
【００１９】
この発明によれば、タレット軸における小径部付近のスペースが広くなることから、第２カム機構を構成する揺動レバーを配置するのに必要なスペースを確保することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送装置をインデックステーブル用の搬送装置に具体化した一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２１】
図１，図２に示すように、搬送装置１１は、中空箱状に形成されたハウジング１２を備えており、そのハウジング１２内には、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち、Ｙ軸方向（水平方向）に沿って延びる駆動軸１３が設けられている。この駆動軸１３の両端部はハウジング１２の相対向する前後両壁に軸受１４を介して回転可能に支持され、ハウジング１２の相対向する前後両側壁から突出されている。駆動軸１３においていずれか一方の突出部分には図示しないモータ等の駆動源が連結されている。そして、駆動源が駆動されると駆動軸１３が一方向に回転するようになっている。
【００２２】
ハウジング１２において駆動軸１３には、それと一体的に回転する第１確動カムとしての旋回用ローラギアカム１７が設けられている。旋回用ローラギアカム１７の近傍においてハウジング１２の内壁面に突設された支持部１２ａには、タレット軸（フォロアホイール）１８が他方の回転軸受としての下部回転軸受１９を介してＺ軸線周りに回転可能に支持されている。タレット軸１８は、その中央部よりも上方に形成された大径部１８ａと、中央部よりも下方に形成された小径部１８ｂとを有しており、小径部１８ｂには前記下部回転軸受１９が外嵌されている。下部回転軸受１９はタレット軸１８の大径部１８ａよりも径が小さいため、タレット軸１８をＺ軸方向（上下方向）から投影して見ると、そのタレット軸の大径部１８ａから下部回転軸受１９の外周縁が張り出していない。
【００２３】
タレット軸１８の大径部１８ａの外周面には、第１カムフォロアである複数（本実施形態では１６個）の旋回用カムフォロア２０が、同一円周上に等間隔をおいて設けられている。各旋回用カムフォロア２０は、旋回用ローラギアカム１７の外周面に形成されたテーパリブ１７ａに順次係脱可能となっている。旋回用カムフォロア２０が旋回用ローラギアカム１７のテーパリブ１７ａに係合されているとき、旋回用カムフォロア２０はテーパリブ１７ａのカム面から離れないように拘束されることから、旋回用ローラギアカム１７は確動カムとなっている。
【００２４】
そして、駆動軸１３が回転することにより、その回転力が旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム作用によってタレット軸１８に伝達され、タレット軸１８は所定の割り出し角度で間欠的に回転する。本実施形態では、旋回用ローラギアカム１７と、タレット軸１８と、旋回用カムフォロア２０とから第１カム機構が構成されている。
【００２５】
なお、タレット軸１８の割り出し角度は、１６個の旋回用カムフォロア２０が同一円周上に等間隔に配置されていることから、３６０°／１６＝２２．５°に設定されている。この旋回用カムフォロア２０の数や、旋回用ローラギアカム１７のテーパリブ１７ａの形状等を変更することにより、タレット軸１８が間欠的に回転する割り出し角度を任意に変更することが可能である。
【００２６】
タレット軸１８にはボールスプライン２５が連結されている。ボールスプライン２５は、Ｚ軸方向に沿って延びている従動軸２６と、その従動軸２６の直線的移動を支持する直動軸受２７とから構成されている。直動軸受２７は、従動軸２６に外挿されかつ一端部がタレット軸１８に挿入された外筒２８と、その外筒と従動軸２６との間には複数のボール２９が介在されている。そして、直動軸受２７に対して従動軸２６はＺ軸方向に移動可能である一方、Ｚ軸線周りには相対回転不能となっている。
【００２７】
直動軸受２７の外筒２８は、その外周面に突設されたフランジ部２７ａに挿通されるネジ３０によりタレット軸１８に対して固定されている。これにより、タレット軸１８がＺ軸周りに回転すると、その回転力が直動軸受２７を介して従動軸２６に伝達されるようになっている。つまり、従動軸２６は、タレット軸１８と一体的に回転する。
【００２８】
ハウジング１２の上面にはベアリングケース３２を介して一方の回転軸受である上部回転軸受３３が設けられ、この上部回転軸受３３によって直動軸受２７が回転自在に支持されている。前記ベアリングケース３２の上部には軸カバー３５が設けられ、軸カバー３５によって、前記ハウジング１２から突出している直動軸受２７と、ハウジング１２から突出している従動軸２６の一部分が覆われている。
【００２９】
上部回転軸受３３と前記タレット軸１８を回転支持する下部回転軸受１９とは、いずれもハウジング１２内に収容され、Ｚ軸方向に間隔をおいて配置されている。そして、Ｚ軸方向において両回転軸受１９，３３の間に位置する箇所には、前記旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とによるカム係合部３４が位置されている。本実施形態においては、カム係合部３４が両回転軸受１９，３３の中間位置よりもやや下側に位置している。このような位置にカム係合部３４を設定したのは、両回転軸受１９，３３の間では従動軸２６の軸振れが極めて小さいことから、旋回用ローラギアカム１７に対する旋回用カムフォロア２０の係合位置決め性を高めるためである。すなわち、旋回用カムフォロア２０の係合位置決め性を高めることで、従動軸２６の割り出し角度の精度向上を図っている。
【００３０】
図１〜図３に示すように、ハウジング１２内において駆動軸１３よりも下側に位置する箇所には、水平方向であるＸ軸方向（水平方向）に沿って延びるレバー作動軸４１が設けられている。レバー作動軸４１の両端部は、ハウジング１２の相対向する両側壁に軸受４２を介して回転可能に支持されている。
【００３１】
レバー作動軸４１には揺動レバー４３が設けられ、この揺動レバー４３の基端部は、前記駆動軸１３において旋回用ローラギアカム１７と隣接する箇所に設けられた第２確動カムとしてのリフト用ローラギアカム４４の近傍に配置されている。揺動レバー４３の基端部に設けられた第２カムフォロアとしてのリフト用カムフォロア４５は、リフト用ローラギアカム４４の外周面に形成されたテーパリブ４４ａに係合されている。リフト用カムフォロア４５がリフト用ローラギアカム４４のテーパリブ４４ａに係合されているとき、リフト用カムフォロア４５はテーパリブ４４ａのカム面から離れないように拘束されることから、リフト用ローラギアカム４４についても前記旋回用ローラギアカム１７と同様に確動カムとなっている。なお、本実施形態において、前記レバー作動軸４１と揺動レバー４３とは一体的に形成されている。
【００３２】
そして、駆動軸１３が回転すると、その回転力がリフト用ローラギアカム４４とリフト用カムフォロア４５とのカム作用によって揺動レバー４３に伝達され、揺動レバー４３はレバー作動軸４１を中心に間欠的に揺動する。リフト用ローラギアカム４４のテーパリブ４４ａの形状等を変更することにより、揺動レバー４３の揺動ストロークを任意に変更することが可能となっている。本実施形態では、レバー作動軸４１、揺動レバー４３、リフト用ローラギアカム４４及びリフト用カムフォロア４５から第２カム機構が構成されている。
【００３３】
揺動レバー４３は、駆動軸１３に設けられた筒状の基部４７と、その基部４７の一端部から駆動軸１３と平行をなすように延びるレバー部４８とから構成されている。揺動レバー４３の基部４７はリフト用カムフォロア４５の真下に配置されている一方、レバー部４８は従動軸２６の軸線方向（Ｚ軸方向）から見て前記駆動軸１３と従動軸２６との間の領域４９に配置されている。
【００３４】
揺動レバー４３の先端部は、前記タレット軸１８から突出されている従動軸２６の内端部付近に延びている。従動軸２６の内端部には、係合部材としての２つの係合リング５１ａ，５１ｂがそれらの間にスペーサ５３を介して挿通されており、係合リング５１ａ，５１ｂはナット５４を締め付けることで固定されている。係合リング５１ａ，５１ｂの間のスペースには、前記揺動レバー４３の先端部に設けられた転動体としてのローラ５５が係合されており、この係合部分５２は従動軸２６のＺ軸方向から見て前記駆動軸１３と従動軸２６との間の領域４９に位置している。そして、揺動レバー４３が揺動すると、その揺動運動が従動軸２６の直線運動に変換され、従動軸２６は所定のストロークでもって間欠的に昇降する。
【００３５】
本実施形態において、従動軸２６は、図５に示されるような昇降運動と回転運動とを組み合わせた複合運動をするようになっている。すなわち、従動軸２６は、昇降した後、その昇降した状態で所定の割り出し角度で回転し、回転した後の位置で下降するという複合運動パターンに設定されている。この複合運動パターンは、旋回用ローラギアカム１７におけるテーパリブ１７ａの形状や、リフト用ローラギアカム４４におけるテーパリブ４４ａの形状等によって決定される。従動軸２６は高速で複合運動するようになっており、従動軸２６が昇降を開始してから下降を完了するまでの一連のサイクルタイムを最高０．１秒にすることが可能である。
【００３６】
図１，図３，図４に示すように、従動軸２６の外端部には、上面にワーク５６が載置される搬送テーブル３７が設けられている。搬送テーブル３７は、上述した従動軸２６の複合運動パターンに従って駆動するようになっている。
【００３７】
上述したように構成された搬送装置１１においては、駆動軸１３の回転に伴いリフト用ローラギアカム４４が回転し、リフト用ローラギアカム４４とリフト用カムフォロア４５とのカム作用で揺動レバー４３が上側に回動する。すると、従動軸２６が押し上げられ、搬送テーブル３７は上昇する。
【００３８】
続いて、駆動軸１３の回転に伴い旋回用ローラギアカム１７が回転し、旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム作用によって、タレット軸１８及び直動軸受２７が一体的に回転する。すると、従動軸２６が回転され、搬送テーブル３７は上昇した位置で所定の割り出し角度でもって回転する。
【００３９】
その後、更に駆動軸１３が回転すると、リフト用ローラギアカム４４とリフト用カムフォロア４５とのカム作用によって、揺動レバー４３が下側に回動する。これにより、従動軸２６が引き下げられ、搬送テーブル３７は割り出された位置で下降する。上述したように、搬送テーブル３７は、上昇した後、所定の割り出し角度で回転し、その後下降する。そして、このような複合運動が、搬送テーブル３７が一回転する間に１６回繰り返される。
【００４０】
従って、本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とによるカム係合部３４が、Ｚ軸方向において両回転軸受１９，３３の間に位置する箇所に位置されている。すなわち、カム係合部３４は、従動軸２６が最も軸振れしにくい位置にあることから、旋回用ローラギアカム１７に対する旋回用カムフォロア２０の係合位置決め性を高めることができる。そのため、本実施形態の搬送装置１１のように旋回用ローラギアカム１７が高速で回転する場合であっても、従動軸２６を高精度な割り出し角度でもって間欠的に回転させることができる。従って、搬送テーブル３７の割り出し精度を向上することができる。ちなみに、本実施形態の搬送装置１１では、割り出し精度を従来技術で示した搬送位置７１に比較して２倍程度向上させることができる。
【００４１】
（２）タレット軸１８及び直動軸受２７を介して従動軸２６を回転可能に支持する両回転軸受１９，３３は、ハウジング１２の内部に収容されている。つまり、上部回転軸受３３が軸カバー３５内に収容されていないため、従動軸２６と軸カバー３５との間のスペースが広くなり、スペースに余裕が生じた分だけ、従動軸２６の径や直動軸受２７におけるボール２９の径を大きくすることができる。この結果、従動軸２６の捩れ剛性を向上することができ、搬送テーブル３７を高速で回転させることができる。ちなみに、本実施形態の搬送装置１１では、従動軸２６のねじれ剛性を従来技術で示した搬送位置７１に比較して２倍程度向上させることができる。
【００４２】
（３）前記揺動レバーの先端部に設けられたローラ５５は、従動軸２６の内端部に設けられた係合リング５１ａ，５１ｂの間に係合され、それらの係合部分５２は従動軸２６の軸線方向から見て駆動軸１３と従動軸２６との間の領域４９に位置している。つまり、従動軸２６の軸線方向から見て係合部分５２はハウジング１２のほぼ中央部付近に位置されている。そのため、例えば揺動レバー４３のレバー部４８を、レバー作動軸４１の一端部（図１の左側）に配置する場合に比較して、ハウジング１２のコンパクト化を図ることができる。従って、搬送装置１１全体の小型化を実現することができる。
【００４３】
（４）揺動レバー４３のレバー部４８は、リフト用ローラギアカム４４とリフト用カムフォロア４５との係合部分に近い位置に配置されているため、レバー作動軸４１の一端部（図１の左側）に位置している場合と比較して、レバー作動軸４１が回転するときに生じる捩れ量を小さくすることができる。従って、搬送テーブル３７をよりいっそう高速で回転させることができる。
【００４４】
（５）タレット軸１８には下部回転軸受１９が外嵌され、直動軸受２７には上部回転軸受３３が外嵌されている。つまり、旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム作用によって一体的に回転するタレット軸１８と直動軸受２７とは、それぞれの回転軸受１９，３３によって別々に支持されている。タレット軸１８及び直動軸受２７のうちいずれか一方に、両回転軸受１９，３３を集中的に配置した場合に比べて、従動軸２６の軸振れを防止することができる。従って、搬送テーブル３７の割り出し精度をよりいっそう向上することができる。
【００４５】
（６）タレット軸１８の大径部１８ａから下部回転軸受１９の外周縁が張り出していないため、タレット軸１８の小径部１８ｂ付近におけるスペースを広くすることができる。従って、タレット軸１８の小径部１８ｂ付近において揺動レバー４３のレバー部４８を設置するのに必要なスペースを確保することができ、ハウジング１２の小型化を図ることができる。
【００４６】
（別の実施形態）
本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
・図６に示すように、前記実施形態ではインデックス動作する搬送装置１１に具体化したが、例えばオシレート動作する搬送装置６１に具体化してもよい。オシレート動作する搬送装置６１は、ワーク５６を吸着可能なアーム６２を備えており、このアーム６２の動作は図７に示されている。すなわち、アーム６２の動作としては、下降位置から上昇位置に移動した後、上昇位置で所定の割り出し角度で回転し、回転後の位置で下降位置に移動し、一定時間停留した後上述した動作と反対の動作で元の位置に戻るという複合運動パターンに設定されている。このような複合運動パターンは、旋回用ローラギアカム１７のテーパリブ１７ａの形状と、リフト用ローラギアカム４４のテーパリブ４４ａの形状によって決定される。搬送装置６１を用いれば、ワーク搬送コンベア６３によって搬送されるワーク５６を、搬送テーブル３７が上下運動せず旋回運動のみを行うインデックス装置６４に搬送したり、インデックス装置６４にあるワーク５６を別のワーク搬送コンベア６３に搬送したりすることが可能になる。
【００４７】
・前記実施形態では、旋回用ローラギアカム１７と旋回用カムフォロア２０とのカム係合部３４は、Ｚ軸方向において両回転軸受１９，３３の間に位置する箇所であれば任意の位置に変更することが可能である。例えば、カム係合部３４の位置を、両回転軸受１９，３３の中間位置や、それよりも上側に変更することが可能である。
【００４８】
・前記実施形態では、回転軸受１９，３３としては、例えばコロ軸受、玉軸受、或いは滑り軸受等、任意の構造に変更してもよい。
・直動軸受２７の外筒２８と、タレット軸１８とはネジ３０によって連結したが、例えば、接着剤で結合したり、タレット軸１８に外筒２８を圧入したり、ピンによって固定したりしてもよい。又、それらの方法を組み合わせて直動軸受２７の外筒２８とを連結してもよい。
【００４９】
・ボールスプライン２５は、従動軸２６を軸方向のみに往復動可能な軸受構造をなしているものであれば、任意の構成に変更してもよい。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、ワーク搬送手段の割り出し精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における搬送装置の正断面図。
【図２】同じく、図１の２−２断面図。
【図３】同じく、図２の３−３断面図。
【図４】搬送装置の平面図。
【図５】搬送テーブル及び従動軸の複合運動パターンを示す説明図。
【図６】別の実施形態における搬送装置の平面図。
【図７】図６でアームを備えた搬送装置の複合運動パターンを示す説明図。
【図８】従来の技術における搬送装置の断面図。
【符号の説明】
１１，６１…搬送装置、１２…ハウジング、１３…駆動軸、１７…旋回用ローラギアカム（第１確動カム）、１８…タレット軸、１８ａ…大径部、１８ｂ…小径部、１９…下部回転軸受（他方の回転軸受）、２０…旋回用カムフォロア（第１カムフォロア）、２６…従動軸、２７…直動軸受、３３…上部回転軸受（一方の回転軸受）、３４…カム係合部、３７…搬送テーブル（ワーク搬送手段）、４１…レバー作動軸、４３…揺動レバー、４４…リフト用ローラギアカム（第２確動カム）、４５…リフト用カムフォロア（第２カムフォロア）、４９…領域、５１ａ，５１ｂ…係合リング（係合部材）、５２…係合部分、５５…ローラ（転動体）、５６…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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