(57)【要約】      （修正有）【課題】照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストができ、その後の新たなゴミ噛み発生を防止する。【解決手段】照射窓ユニット２０ａを形成する工程と、照射窓ユニットの真空側３０および大気側３２にバルブ４０、５０付きのフランジ４２、５２をそれぞれ取り付ける工程と、バルブ４０を経由した前記照射窓ユニットの真空側の真空排気および真空度の確認工程と、バルブ５０を経由した照射窓ユニットの大気側への検知用ガス５８の導入および照射窓ユニットのリークテストを行う工程と、加圧された不活性ガスを照射窓ユニットの大気側に導入して大気側を陽圧に保つ工程と、バルブ付きのフランジ４２を照射窓ユニットから取り外す工程と、照射窓ユニットを実装して真空排気する工程と、バルブ付きのフランジ５２を照射窓ユニットから取り外す工程とを備える。【選択図】  図２
2004258011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線加速器の真空容器の電子線取り出し部に、当該真空容器内側である真空側と当該真空容器外側である大気側とを分離する照射窓ユニットを取り付ける方法において、
（ａ）窓枠に、電子線を透過させる窓箔およびそれを押さえる押さえ枠を取り付けて前記照射窓ユニットを形成する工程と、
（ｂ）次いで、前記照射窓ユニットの前記真空側に位置する面に、第１のバルブ付きの第１のフランジを取り付け、かつ同照射窓ユニットの前記大気側に位置する面に、第２のバルブ付きの第２のフランジを取り付ける工程と、
（ｃ）次いで、前記第１および第２のバルブを開いた状態で、前記第１のバルブを経由して前記照射窓ユニットの真空側の真空排気を行って真空度を確認する工程と、
（ｄ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に検知用ガスを導入して、前記照射窓ユニットのリークテストを行う工程と、
（ｅ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に、加圧された不活性ガスを導入した後に当該バルブを閉じて、前記照射窓ユニットの大気側を陽圧に保つ工程と、
（ｆ）次いで、前記第１のバルブ付きの第１のフランジを前記照射窓ユニットから取り外す工程と、
（ｇ）次いで、前記照射窓ユニットを前記電子線加速器の真空容器に取り付ける工程と、
（ｈ）次いで、前記電子線加速器の真空容器内を真空排気する工程と、
（ｉ）次いで、前記第２のバルブ付きの第２のフランジを前記照射窓ユニットから取り外す工程とを備えることを特徴とする照射窓ユニットの取り付け方法。
【請求項２】
電子線加速器の真空容器の電子線取り出し部に取り付けられて、当該真空容器内側である真空側と当該真空容器外側である大気側とを分離する照射窓ユニットを、その取り付け前に保管する方法において、
（ａ）窓枠に、電子線を透過させる窓箔およびそれを押さえる押さえ枠を取り付けて前記照射窓ユニットを形成する工程と、
（ｂ）次いで、前記照射窓ユニットの前記真空側に位置する面に、第１のバルブ付きの第１のフランジを取り付け、かつ同照射窓ユニットの前記大気側に位置する面に、第２のバルブ付きの第２のフランジを取り付ける工程と、
（ｃ）次いで、前記第１および第２のバルブを開いた状態で、前記第１のバルブを経由して前記照射窓ユニットの真空側の真空排気を行って真空度を確認する工程と、
（ｄ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に検知用ガスを導入して、前記照射窓ユニットのリークテストを行う工程と、
（ｅ）次いで、前記第１のバルブを閉じて、前記照射窓ユニットの真空側を真空状態に保つ工程と、
（ｆ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に不活性ガスを導入した後に当該バルブを閉じて、前記照射窓ユニットの大気側を不活性ガス雰囲気に保つ工程とを備えることを特徴とする照射窓ユニットの保管方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子線を被照射物に照射して、被照射物の架橋、改質、硬化、殺菌、その他の表面処理に用いる電子線照射装置を構成する電子線加速器の電子線取り出し部に、真空側と大気側とを分離する照射窓ユニットを取り付ける（実装する）方法、および、その取り付け前に当該照射窓ユニットを保管する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子線照射装置の一例を図４に示す。これと同様の電子線照射装置は、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２４３８９９号公報（段落番号０００２〜００１１、図６、図９）
【０００４】
この電子線照射装置は、電子線１６を走査することなく、Ｘ方向に相対的に短く、当該Ｘ方向と直交するＹ方向に相対的に長い平面形状（例えば矩形状）の電子線１６を発生させる電子線加速器２を有しており、非走査型またはエリア型と呼ばれる。但し、この出願で説明している技術は、電子線を走査する走査型にも適用することができる。
【０００５】
電子線加速器２は、前記Ｙ方向に長い筒状の真空容器４を有している。この真空容器４の内部は真空排気される。
【０００６】
真空容器４の内部には、前記Ｙ方向に長くて前記平面形状の電子線１６を発生させる電子線源８が収納されている。この電子線源８は、この例では、前記Ｙ方向に並設された複数本のフィラメント１０と、それから電子線１６を引き出す引出し電極１２と、それらを収納する筒状のシールド電極１４とを有している。
【０００７】
電子線加速器２の真空容器４の電子線取り出し部には、より具体的には当該電子線取り出し部のフランジ６には、真空容器４内側である真空側３０と、真空容器４外側である大気側３２とを分離する照射窓２０が取り付けられている。大気側３２は、文字どおり大気の場合もあるし、大気圧に近い不活性ガス雰囲気の場合もあるが、この明細書では両者を含めて大気側と呼んでいる。大気側３２は、照射雰囲気側と呼ぶこともできる。
【０００８】
照射窓２０は、真空容器４の内外の雰囲気を分離すると共に電子線１６を透過させる窓箔２６と、この窓箔２６を支える窓枠２２と、この窓枠２２に対して窓箔２６の周縁部を押さえる押さえ枠２８とを有している。窓箔２６を境にして、それよりも真空容器４内側が真空側３０であり、真空容器４外側が大気側３２である。窓枠２２と窓箔２６との間は、パッキン（図５のパッキン３６参照）によって真空シールされる。
【０００９】
照射窓２０は、この例では、前記Ｙ方向に長い平面形状をしており、窓枠２２には、図５も参照して、Ｙ方向に並設されていて窓箔２６を支えかつ冷却する複数の桟２４が設けられている。但し、窓箔２６の面積が小さい場合や前記走査型である等の場合には、桟２４を設けない場合もある。
【００１０】
照射窓２０と真空容器４とは互いに同電位（通常は接地電位）であり、これらと電子線源８との間には、電子線源８から引き出された電子線１６を加速する直流の加速電圧が印加される。加速された電子線１６は、照射窓２０を通して大気側３２へ取り出されて、被照射物３４に照射される。これによって、被照射物３４に、架橋、改質、硬化、殺菌等の処理を施すことができる。被照射物３４は、例えば、前記Ｘ方向に沿う方向（図４中の矢印Ａ方向）に搬送される。
【００１１】
ところで、上記窓箔２６は、非常に薄い（例えば厚さが１０〜５０μｍ程度の）金属（例えばチタンまたはアルミニウム等）の箔であり、電子線１６の透過損失による発熱等によって消耗するので、時々（例えば定期的に）交換する必要がある。
【００１２】
従来の窓箔取り付け方法は、上記押さえ枠２８上に窓箔２６を貼り、この窓箔２６を貼った押さえ枠２８を、数十本という多数のボルト（図５のボルト３８参照）を用いて窓枠２２に取り付ける、という方法であった。窓枠２２は、予め真空容器４（より具体的にはそのフランジ６）に取り付けられたままであった。
【００１３】
このような方法では、上記多数のボルトの取り外しおよび再締め付けの作業が必要であるので、窓箔２６の交換に長時間を要するという課題があった。
【００１４】
このような課題を解決する手段として、特許文献２には、照射窓２０をユニット式にする技術が記載されている。
【００１５】
【特許文献２】
特開平１１−３８１９６号公報（段落番号０００８〜００１５、図２）
【００１６】
照射窓２０をユニット式にするというのは、図５も参照して、電子線加速器２の真空容器４とは別個に、上記のような窓枠２２に窓箔２６および押さえ枠２８を取り付けて照射窓ユニット２０ａを形成しておき、窓箔２６単体ではなく、この照射窓ユニット２０ａごとに交換するのである。即ち、照射窓ユニット２０ａを、電子線加速器２の真空容器４（より具体的にはそのフランジ６）に取り付けたり取り外したりするのである。これによれば、照射窓ユニット２０ａの取り付け用のボルト（図３のボルト６０参照）は、押さえ枠２８の取り付け用のボルト３８の本数（例えば数十本）よりも遙かに少ない本数（例えば４〜６本程度）で済むので、交換の作業時間を大幅に短縮することができる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような照射窓ユニット２０ａを採用しても、次のような課題がなお存在する。
【００１８】
（１）照射窓ユニット２０ａを真空容器４に取り付ける前は、照射窓ユニット２０ａの真空側３０および大気側３２共に大気圧状態であり圧力差はないので、窓箔２６は、図５中に二点鎖線で示すように、張力がかからず緩んだ状態になっている。このときに、窓箔２６の周縁部と窓枠２２との間の隙間６２や、窓箔２６と桟２４との間の隙間６４に、ゴミが挟まることがある（これをゴミ噛みと呼ぶ）。
【００１９】
一方、照射窓ユニット２０ａを電子線加速器２の真空容器４に取り付けてその内部を真空排気すると、図５中に実線で示すように、窓箔２６は、真空側３０と大気側３２との間の圧力差（ほぼ大気圧）によって、真空側３０に押し付けられて（換言すれば、引っ張られて。以下同様）膨らんだ状態になる。このとき、上記ゴミ噛みをしていると、窓箔２６は前述したように非常に薄いので、窓箔２６に穴があき、そこで真空リークを惹き起こす可能性がある。桟２４を有している場合の方がゴミ噛みの可能性は高いけれども、桟２４を有していない場合でも、上記隙間６２におけるゴミ噛みの可能性は依然として存在している。
【００２０】
このようなゴミ噛みによるリークのチェックを、照射窓ユニット２０ａの取り付け前に行う必要性およびその方法については、従来は検討されていなかった。前記特許文献２にも、記載も示唆もされていない。
【００２１】
（２）窓箔２６は前述したように金属箔であるので、照射窓ユニット２０ａを形成した後に、当該照射窓ユニット２０ａを大気中に保管しておくと、大気中の酸素や水分等によって、窓箔２６が腐食する恐れがある。この腐食を防止するために、従来は、照射窓ユニット２０ａを専用の容器内に入れて不活性雰囲気中で保管していたが、そのためには専用容器が必要であり、その分コストが嵩むという問題がある。
【００２２】
そこでこの発明は、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができ、しかもリークテスト後に新たなゴミ噛みを生じることがないようにした照射窓ユニットの取り付け方法を提供することを一つの目的としている。
【００２３】
また、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができ、しかもリークテスト後に専用容器を用いることなく窓箔を不活性な雰囲気中に置いて保管することができるようにした照射窓ユニットの保管方法を提供することを他の目的としている。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る照射窓ユニットの取り付け方法は、電子線加速器の真空容器の電子線取り出し部に、当該真空容器内側である真空側と当該真空容器外側である大気側とを分離する照射窓ユニットを取り付ける方法において、（ａ）窓枠に、電子線を透過させる窓箔およびそれを押さえる押さえ枠を取り付けて前記照射窓ユニットを形成する工程と、（ｂ）次いで、前記照射窓ユニットの前記真空側に位置する面に、第１のバルブ付きの第１のフランジを取り付け、かつ同照射窓ユニットの前記大気側に位置する面に、第２のバルブ付きの第２のフランジを取り付ける工程と、（ｃ）次いで、前記第１および第２のバルブを開いた状態で、前記第１のバルブを経由して前記照射窓ユニットの真空側の真空排気を行って真空度を確認する工程と、（ｄ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に検知用ガスを導入して、前記照射窓ユニットのリークテストを行う工程と、（ｅ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に、加圧された不活性ガスを導入した後に当該バルブを閉じて、前記照射窓ユニットの大気側を陽圧に保つ工程と、（ｆ）次いで、前記第１のバルブ付きの第１のフランジを前記照射窓ユニットから取り外す工程と、（ｇ）次いで、前記照射窓ユニットを前記電子線加速器の真空容器に取り付ける工程と、（ｈ）次いで、前記電子線加速器の真空容器内を真空排気する工程と、（ｉ）次いで、前記第２のバルブ付きの第２のフランジを前記照射窓ユニットから取り外す工程とを備えることを特徴としている（請求項１に対応）。
【００２５】
この取り付け方法によれば、上記（ｃ）の工程において、照射窓ユニットの真空側が真空排気されるので、窓箔は真空側と大気側との圧力差によって真空側に押し付けられた状態になる。これは、実装時と同じ状態である。この状態で、上記（ｄ）の工程において、リークテストを行うので、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができる。従って、照射窓ユニットの実装前に、前記ゴミ噛みによるリークのチェックを行うことができる。
【００２６】
しかも、リークテスト後は、上記（ｅ）の工程によって照射窓ユニットの大気側が陽圧に保たれるので、上記（ｆ）の工程において第１のバルブ付きの第１のフランジを取り外して照射窓ユニットの真空側を大気開放しても、上記陽圧によって窓箔は真空側に押し付けられた状態のままである。即ち、上記（ｄ）の工程でリークテストを行った時とほぼ同じ状態であるので、窓箔の張り具合が緩むことはなく、従って新たにゴミ噛みを生じることはない。
【００２７】
また、上記（ｇ）の工程で照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に取り付けた後に、上記（ｈ）の工程で当該真空容器内を真空排気するので、窓箔は真空側と大気側との圧力差によって真空側に押し付けられた状態になる。従ってその後に、上記（ｉ）の工程で第２のバルブ付きの第２のフランジを取り外しても、窓箔の張り具合が緩むことはなく、従ってこの場合も、新たにゴミ噛みを生じることはない。
【００２８】
この発明に係る保管方法は、電子線加速器の真空容器の電子線取り出し部に取り付けられて、当該真空容器内側である真空側と当該真空容器外側である大気側とを分離する照射窓ユニットを、その取り付け前に保管する方法において、（ａ）窓枠に、電子線を透過させる窓箔およびそれを押さえる押さえ枠を取り付けて前記照射窓ユニットを形成する工程と、（ｂ）次いで、前記照射窓ユニットの前記真空側に位置する面に、第１のバルブ付きの第１のフランジを取り付け、かつ同照射窓ユニットの前記大気側に位置する面に、第２のバルブ付きの第２のフランジを取り付ける工程と、（ｃ）次いで、前記第１および第２のバルブを開いた状態で、前記第１のバルブを経由して前記照射窓ユニットの真空側の真空排気を行って真空度を確認する工程と、（ｄ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に検知用ガスを導入して、前記照射窓ユニットのリークテストを行う工程と、（ｅ）次いで、前記第１のバルブを閉じて、前記照射窓ユニットの真空側を真空状態に保つ工程と、（ｆ）次いで、前記第２のバルブを経由して前記照射窓ユニットの大気側に不活性ガスを導入した後に当該バルブを閉じて、前記照射窓ユニットの大気側を不活性ガス雰囲気に保つ工程とを備えることを特徴としている（請求項２に対応）。
【００２９】
この保管方法によれば、上記（ａ）〜（ｄ）の工程は、上記取り付け方法の上記（ａ）〜（ｄ）の工程と同じであるので、前記と同様に、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができる。従って、照射窓ユニットの実装前ないし保管前に、前記ゴミ噛みによるリークのチェックを行うことができる。
【００３０】
しかも、リークテスト後は、上記（ｅ）の工程において第１のバルブを閉じることによって、窓箔の真空側を真空状態に保つことができる。真空状態は、窓箔にとって不活性な雰囲気である。また、上記（ｆ）の工程において、不活性ガスを導入した後に第２のバルブを閉じることによって、窓箔の大気側を不活性ガス雰囲気に保つことができる。以上によって、専用容器を用いることなく、窓箔を不活性な雰囲気中に置いて照射窓ユニットを保管することができる。即ち、専用容器を用いることなく、窓箔の腐食を防止することができると共に、ゴミが入って前記ゴミ噛みが生じるのを防止することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下においては、図４および図５に示した従来例と同一または相当する部分に同一符号を付して、従来例との相違点を主に説明する。
【００３２】
（１）まず、照射窓ユニットの取り付け方法の実施形態を、当該取り付け方法を構成する工程の順に説明する。
【００３３】
（ａ）まず、図１に示すように、前記窓枠２２に、電子線を透過させる前記窓箔２６およびそれを押さえる前記押さえ枠２８を取り付けて、前記照射窓ユニット２０ａを形成する。これを、当該照射窓ユニット２０ａを電子線加速器２の真空容器４に取り付ける（実装する）前に行う。パッキン３６、ボルト３８については、前記のとおりである。窓枠２２の真空側３０の面には、この例では、後述する（図２参照）パッキン４４を収納するパッキン溝３９が設けられている。
【００３４】
（ｂ）次いで、図２に示すように、照射窓ユニット２０ａの前記真空側３０に位置する面に、第１のバルブ４０付きの第１のフランジ４２を取り付け、かつ同照射窓ユニット２０ａの前記大気側３２に位置する面に、第２のバルブ５０付きの第２のフランジ５２を取り付ける。両フランジ４２、５２の取り付けは、この例では、ボルト４６、５６を用いて行う。フランジ４２と窓枠２２との間はパッキン４４によって真空シールされ、フランジ５２と押さえ枠２８との間はパッキン５４によってシールされる。パッキン３６、４４、５４は、例えばＯリングである。なお、上記ボルト３８、４６、５６および後述する（図３参照）ボルト６０は、互いに干渉しない位置に設けられる。
【００３５】
（ｃ）次いで、第１のバルブ４０に適当な真空排気装置および真空計を接続して、第１および第２のバルブ４０、５０を開いた状態で、第１のバルブ４０を経由して、矢印Ｂに示すように、照射窓ユニット２０ａの真空側３０（より具体的には窓箔２６から真空側３０）の真空排気を行って、真空度を確認する。このとき、窓箔２６は、真空側３０と大気側３２との圧力差によって、真空側３０に押し付けられた状態になる（図５参照）。これは、実装時と同じ状態である。
【００３６】
（ｄ）次いで、第２のバルブ５０を経由して照射窓ユニット２０ａの大気側３２（より具体的には窓箔２６の大気側３２）に、ガス５８として検知用ガス（例えば、ヘリウムガス等）を導入して、照射窓ユニット２０ａのリークテストを行う。これによって、リークがないことを確認する。リークテストは、上記検知用ガスの真空側３０への漏れ（リーク）を検知するものであり、この検知には例えば分圧真空計を用いる。このリークテストによって、照射窓ユニット２０ａを電子線加速器２の真空容器４に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができる。従って、照射窓ユニット２０ａの実装前に、前記ゴミ噛みによるリークのチェックを行うことができる。
【００３７】
（ｅ）次いで、第２のバルブ５０を経由して照射窓ユニット２０ａの大気側３２に、ガス５８として加圧された不活性ガス（例えば、窒素ガス、ヘリウムガス等）を導入した後に当該バルブ５０を閉じて、照射窓ユニット２０ａの大気側３２を陽圧に保つ。この陽圧によって、照射窓ユニット２０ａの窓箔２６は、真空側３０に押し付けられた状態になる。
【００３８】
（ｆ）次いで、第１のバルブ４０付きの第１のフランジ４２を照射窓ユニット２０ａから取り外す。これは、照射窓ユニット２０ａを電子線加速器２の真空容器４に取り付ける（図３参照）準備をするためである。このとき、第１のフランジ４２等の取り外しによって照射窓ユニット２０ａの真空側３０は大気開放されるけれども、上記（ｅ）の工程によって照射窓ユニット２０ａの大気側３２は陽圧に保たれているので、窓箔２６は真空側３０に押し付けられた状態のままである。即ち、上記（ｄ）の工程でリークテストを行った時とほぼ同じ状態であるので、窓箔２６の張り具合が緩むことはなく、従って新たにゴミ噛みを生じることはない。
【００３９】
（ｇ）次いで、図３に示すように、照射窓ユニット２０ａを、電子線加速器２の真空容器４（より具体的にはそのフランジ６）に、例えばボルト６０を用いて取り付ける。このボルト６０の本数は、例えば４本または６本である。
【００４０】
（ｈ）次いで、電子線加速器２の真空容器４内を、図示しない真空排気装置によって真空排気する。これによって、照射窓ユニット２０ａの窓箔２６は、真空側３０と大気側３２との圧力差によって真空側３０に押し付けられた状態になるけれども、上記（ｅ）の工程で既に陽圧によって真空側３０に押し付けられているので、窓箔２６の状態に大きな変化は生じない。
【００４１】
（ｉ）次いで、第２のバルブ５０付きの第２のフランジ５２を照射窓ユニット２０ａから取り外す。これらを取り外しても、上記（ｈ）の工程で窓箔２６は真空側３０と大気側３２との圧力差によって真空側３０に押し付けられているので、窓箔２６の張り具合が緩むことはなく、従ってこの場合も、新たにゴミ噛みを生じることはない。この取り外しによって、照射窓ユニット２０ａの取り付け（実装）が完了し、図４に示したのと同じ状態になる。
【００４２】
（２）次に、照射窓ユニットの保管方法の実施形態を説明する。この保管方法は、簡単に言えば、前記リークテストに用いた第１のバルブ４０付きの第１のフランジ４２および第２のバルブ５０付きの第２のフランジ５２を、取り外さずにそのまま取り付けておき、これらを保管用の専用容器の代わりに用いるものである。以下、工程の順に説明する。
【００４３】
まず、上記取り付け方法の（ａ）〜（ｄ）の工程と同じ工程を実施する。その内容および作用効果は上述のとおりである。これによって、照射窓ユニット２０ａのリークテストまでが完了する。
【００４４】
（ｅ）次いで、図２を参照して、第１のバルブ４０を閉じて、照射窓ユニット２０ａの真空側３０を真空状態に保つ。真空状態は、窓箔２６にとって不活性な雰囲気である。
【００４５】
（ｆ）次いで、第２のバルブ５０を経由して照射窓ユニット２０ａの大気側３２に、ガス５８として不活性ガス（例えば、窒素ガス、ヘリウムガス等）を導入した後に当該バルブ５０を閉じて、照射窓ユニット２０ａの大気側３２を不活性ガス雰囲気に保つ。このとき、照射窓ユニット２０ａの大気側３２を不活性ガスによって陽圧に保つことは必要ではないが、陽圧に保っても良い。
【００４６】
以上によって、専用容器を用いることなく、窓箔２６を不活性な雰囲気中に置いて照射窓ユニット２０ａを保管することができる。即ち、専用容器を用いることなく、窓箔２６の腐食を防止することができると共に、ゴミが入って前記ゴミ噛みが生じるのを防止することができる。
【００４７】
なお、この保管後に照射窓ユニット２０ａを電子線加速器２の真空容器４に取り付けるときは、（ア）照射窓ユニット２０ａの大気側３２を陽圧に保っていた場合は、上記取り付け方法の（ｆ）の工程から始めれば良く、（イ）陽圧に保っていない場合は、上記取り付け方法の（ｅ）の工程から始めれば良い。
【００４８】
【発明の効果】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【００４９】
請求項１に記載の発明によれば、窓箔を真空側に押し付けた状態でリークテストを行うので、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができる。従って、照射窓ユニットの実装前に、前記ゴミ噛みによるリークのチェックを行うことができる。
【００５０】
しかも、リークテスト後も、照射窓ユニットの実装が完了するまで、窓箔を真空側に押し付けた状態を保つことができるので、新たにゴミ噛みを生じることはない。
【００５１】
請求項２に記載の発明によれば、窓箔を真空側に押し付けた状態でリークテストを行うので、照射窓ユニットを電子線加速器の真空容器に実装する前に、実装時と同じ状態でリークテストを行うことができる。従って、照射窓ユニットの実装前ないし保管前に、前記ゴミ噛みによるリークのチェックを行うことができる。
【００５２】
しかも、リークテスト後は、第１のバルブを閉じることによって窓箔の真空側を真空状態に保ち、不活性ガスを導入した後に第２のバルブを閉じることによって窓箔の大気側を不活性ガス雰囲気に保つことができるので、専用容器を用いることなく、窓箔を不活性な雰囲気中に置いて照射窓ユニットを保管することができる。即ち、専用容器を用いることなく、窓箔の腐食を防止することができると共に、ゴミが入って前記ゴミ噛みが生じるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】照射窓ユニットの一例を示す断面図である。
【図２】図１の照射窓ユニットに第１および第２のバルブ付きフランジをそれぞれ取り付けた状態を示す断面図である。
【図３】図１の照射窓ユニットを、第２のバルブ付きフランジと共に、電子線加速器の真空容器に取り付けた状態を示す断面図である。
【図４】電子線照射装置の一例を示す断面図である。
【図５】照射窓ユニットのＹ方向の拡大部分断面図である。
【符号の説明】
２  電子線加速器
４  真空容器
２０ａ  照射窓ユニット
２２  窓枠
２６  窓箔
２８  押さえ枠
３０  真空側
３２  大気側
４０  第１のバルブ
４２  第１のフランジ
５０  第２のバルブ
５２  第２のフランジ
５８  ガス
【図１】
2004258011.tif 000003
【図２】
2004258011.tif 000004
【図３】
2004258011.tif 000005
【図４】
2004258011.tif 000006
【図５】
2004258011.tif 000007