(57)【要約】　　　（修正有）【課題】成長した人工水晶と制御板との分離が容易で、かつ人工水晶の損傷が少なく品質の良好な人工水晶育成用制御板を提供するとともに、当該制御板を用いた人工水晶の製造方法、及び当該製造方法による人工水晶を提供する。【解決手段】種子水晶６は矩形のＺ板水晶であり、育成炉の鉛直方向に対して直角に位置するよう多数個支持されている。前記水晶育成棚Ｆには一対の支持具Ｆ１，Ｆ１が多数組配置されており、支持具間に種子水晶６が架設状態で支持されている。各支持具には位置決め用の段部Ｆ２，Ｆ２が形成されており、種子水晶の上面側には金網（緩衝板）が前記支持具間に架設されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱対流を用いた水熱合成法により人工水晶を製造するにあたり、種子水晶の主面に密接または近接させて特定の方向の成長を抑制する制御板であって、
　少なくとも当該制御板に密接または近接される前記種子水晶の外周領域に緩衝板を配置したことを特徴とする人工水晶育成用制御板。
【請求項２】
熱対流を用いた水熱合成法により人工水晶を製造するにあたり、種子水晶の主面に密接または近接させて特定の方向の成長を抑制する制御板であって、
　当該制御板と前記種子水晶間に緩衝板を介在させたことを特徴とする人工水晶育成用制御板。
【請求項３】
前記制御板は種子水晶の少なくとも１つの側面の成長を抑制する側壁を有することを特徴とする請求項１または２に記載の人工水晶育成用制御板。
【請求項４】
前記緩衝板が網状または多孔板状または波板状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の人工水晶育成用制御板。
【請求項５】
前記緩衝板が厚さ０．０５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下の金属板であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の人工水晶育成用制御板。
【請求項６】
同種または異種の緩衝板を複数重ねたことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の人工水晶育成用制御板。
【請求項７】
前記緩衝板の表面に水晶被膜を生成させたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の人工水晶育成用制御板。
【請求項８】
所定切断方位の種子水晶の上面に請求項１乃至７記載の制御板を設け、熱対流を用いた水熱合成による人工水晶の製造方法。
【請求項９】
種子水晶がＸ−Ｙ平面水晶板であり、主として一方のＺ軸方向へ水晶を成長させるとともに、＋Ｘ軸側に側壁を形成した制御板を用いることにより、＋Ｘ軸方向への成長を抑制したことを特徴とする請求項８記載の人工水晶の製造方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９のいずれかに記載の人工水晶の製造方法により製造される人工水晶。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、水晶振動子や光学用素子などとして使用される人工水晶の製造方法及びその製造方法により得られる人工水晶に関し、特に特定方位の成長面を選択的に成長させる製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　水熱合成法による人工水晶の育成は、人工水晶育成炉（オートクレーブ）内に、対流制御板を挟んで、下側に育成用原料（原料水晶）を、上側に種子水晶をそれぞれ設置する。また、育成炉内に育成用溶液（アルカリ溶液）を充填し、育成炉を密封し加熱する。そして、育成炉の上側よりも下側が高温となるように温度勾配をつけ、育成用溶液を育成炉内で熱対流させる。これにより、育成炉内の下部で溶解した育成用原料が、育成炉内の上部に達し、その際、冷却されて過飽和状態となって種子水晶上に析出成長する。この動作を所定期間連続して行うことにより、所定の大きさの人工水晶が得られる。
【０００３】
　近年においては人工水晶を水晶振動子用のほかに光学部品として用いたり、弾性表面波素子として用いる用途が増加している。光学部品として用いる場合は結晶内の不純物を極力減少させることが求められ、また弾性表面波素子として用いる場合は、製造効率の観点から、特定の成長領域を大きなウェハで提供することを求められていた。このような要求に対応させるため、特公昭５７−４９５２０号に開示されたように特定の方位を主として成長させる製造方法が発明された。特公昭５７−４９５２０号は、水晶とは異質な材料からなる板（制御板）によって種子水晶の上部基本成長面を遮断し、これにより下部基本成長面に結晶を生成させる製造方法である。その中には制御板本体に対し＋Ｘ軸方向の成長を抑制する垂直な側壁を有するＬ字形制御板が開示されており、これにより２方向の成長を制御し、実用領域を広く確保する製造方法が示されている。
【０００４】
　しかしながら上述のように人工水晶の育成においては、Ｘ軸方向にも成長するため水熱合成により成長した水晶が制御板と強く密着する。図１０は従来における制御板と人工水晶の成長を示す断面図であるが、種子水晶からＸ軸方向へ成長した人工水晶が制御板にまで成長して強く密着する状態を作り出している状態を示している。図１０は制御板をＹ軸方向から見たＸ軸方向の断面図であり、６は種子水晶、６１は成長した人工水晶、７は制御板、７１は側壁である。このような成長状態において育成完了後の高温環境からの自然冷却を行うと、人工水晶と制御板の熱膨張係数の差による歪み応力が生じ、クラックＣの発生することがあった。このようなクラックの発生は人工水晶のからとれる有効な水晶ウェハの枚数を実質的に減少させ、製造歩留まりが低下することがあった。
【特許文献１】特公昭５７−４９５２０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、成長した人工水晶と制御板との分離が容易で、かつ人工水晶の損傷が少なく品質の良好な人工水晶育成用制御板を提供するとともに、当該制御板を用いた人工水晶の製造方法、及び当該製造方法による人工水晶を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
　上記の目的を達成するために、本発明者は、人工水晶の成長を規制する制御板について、育成完了後人工水晶と制御板の分離を容易にする構成並びに方法を検討した結果、制御板と種子水晶間に緩衝板を配置させたり、種子水晶の外周に枠状の緩衝板を配置することにより、成長した人工水晶が制御板に密着することを抑制し、また密着しても人工水晶と制御板の分離が容易になることを見いだしたものであり、次の構成を特徴としている。
【０００７】
すなわち請求項１に示すように、熱対流を用いた水熱合成法により人工水晶を製造するにあたり、種子水晶の主面に密接または近接させて特定の方向の成長を抑制する制御板であって、少なくとも当該制御板に密接または近接される前記種子水晶の外周領域に緩衝板を配置したことを特徴としている。
【０００８】
　請求項１によれば、種子水晶は制御板の配置された方向とは逆の方向に主として成長する。例えばＺ板水晶（Ｘ−Ｙ平面）は主たる成長面が厚み方向（Ｚ軸方向）であるが、一方のＺ成長面側のみを成長させる場合、他方のＺ成長面に制御板を密接させ、この状態で育成を進めることにより、主として一方のＺ成長面側に結晶が成長する。当該水晶は成長比率は異なるがＺ軸方向のみならずＸ軸方向にも成長する。このとき少なくとも制御板に密接される前記種子水晶の外周領域に緩衝板を配置することにより、Ｘ軸方向の成長による制御板との密着を防止する。
【０００９】
　また請求項２に示すように、熱対流を用いた水熱合成法により人工水晶を製造するにあたり、種子水晶の主面に密接または近接させて特定の方向の成長を抑制する制御板であって、当該制御板と前記種子水晶間に緩衝板を介在させた構成としてもよい。介在する緩衝板は種子水晶よりも大きいサイズで有ることが好ましく、制御板に密接取り付けした場合に制御板より小さく、かつ種子水晶より大きいサイズであることが好ましい。このような構成により種子水晶の外周部分に緩衝板が配置されることになり、育成完了時において成長した水晶と制御板との密着を防止する。
【００１０】
　請求項１や２の人工水晶育成用制御板を用いて水晶育成を行うと、基本的には人工水晶と緩衝板とは強固に密着しているが、制御板とは強く密着していない。従って、育成完了後の自然冷却時に生じる熱応力も制御板からの影響を受けにくく、また緩衝板の持つ緩衝機能により人工水晶への熱歪みを小さくできる。このため人工水晶にクラック等が生じにくくなる。
【００１１】
　さらに請求項３に示すように、請求項１または２に示す人工水晶育成用制御板において、種子水晶の少なくとも１つの側面の成長を抑制する側壁を有する構成としてもよい。例えば制御板本体に対し＋Ｘ軸方向の成長を抑制する垂直な側壁を有するＬ字形制御板とすることにより、２方向の成長を制御し、実用領域を広く確保することができる。
【００１２】
　ところで緩衝板の具体例としては、請求項４に示すように、前記緩衝板が網状または多孔板状または波板状のものを例示することができる。網状緩衝板のより具体的な例としては例えば材料が鉄またはステンレスからなる金網をあげることができる。この場合金網のメッシュサイズはある程度小さくすることが必要である。メッシュサイズが大きすぎるとメッシュ間において育成時に人工水晶と制御板が強く密着し、後工程の分離作業に悪影響を与える。また多孔板状緩衝板のより具体的な例としてパンチングメタル板をあげることができる。パンチングメタル板は例えば材料が鉄またはステンレスからなる金属板に多数個の細孔をマトリクス状に形成した構成である。当該細孔サイズについても金網と同様にある程度小さくする必要がある。さらには波板状緩衝板を用いてもよい。波板状にすることにより緩衝機能がより発揮される。なお、緩衝板はその緩衝作用をより得るために、使用環境に耐えうる強度が確保される限りにおいて薄型することが好ましい。
【００１３】
　ところでこれら緩衝板は全体として平坦であることが必要である。すなわち局所的には凹凸があっても人工水晶の成長への影響は比較的少ないが、制御板に設置した際、一つの角部と他の角部の高さに大きな相違が生じるような状態は人工水晶育成の面から好ましくない。このような緩衝板全体としての平坦性を得るために緩衝板に対し平坦化処理を施してもよく、例えば各緩衝板に対し平面プレス加工を行い全体としての平坦性を得るとよい。
【００１４】
　さらに請求項５に示すように、前記緩衝板が厚さ０．０５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下の金属板を用いてもよい。ここで用いる金属板は平板状であり、例えば、鉄あるいはステンレス等の材料の金属板を適用することができる。
【００１５】
緩衝板に金属板を用いた場合、厚さをある程度薄くすることにより、緩衝機能を有効に発揮させることができることができる。例えば鉄やステンレスを用いた場合、厚さが０．３ｍｍ以下のものを用いることにより、育成完了後の高温環境から自然冷却を行った場合でも、緩衝板に充分な緩衝機能が生じ、人工水晶と制御板の熱膨張係数の相違による歪み応力を吸収することができ、人工水晶にクラック等が発生することを抑制することができる。なお、この緩衝板は薄くしすぎると制御板に配置した際に剛性不足により種子水晶に接触することがあり、また取扱い並びに加工によるコスト高を考慮すると厚さが０．０５ｍｍ以上とすることが好ましく、従って、０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍの金属板が好適である。
【００１６】
　また請求項６に示すように、上述の緩衝板を複数重ねて用いてもよい。ここで用いる緩衝板は、請求項４あるいは請求項５に開示したものを用い、同種または異種の緩衝板を複数重ねた構成である。複数化させることにより、より効果的に緩衝機能を生じさせることができる。
【００１７】
　さらに請求項７に示すように、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の人工水晶育成用制御板において、前記緩衝板の表面に水晶被膜を生成させた構成としてもよい。
【００１８】
　請求項７によれば、上記各効果に加えて、緩衝板表面に生成された水晶被膜と育成された人工水晶は強固に固着することがない。従って制御板からの剥離がきわめて容易で、また緩衝板と人工水晶との分離作業も比較的容易になり、育成された人工水晶に破損を生じさせることがなくなる。
【００１９】
　請求項８は、上記各制御板を用いた人工水晶の製造方法に関し、所定切断方位の種子水晶の上面に請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の制御板を設け、熱対流を用いた水熱合成法による人工水晶の製造方法を開示している。
【００２０】
　上記構成によれば、育成する種子水晶の上方（多くの場合熱対流の上流側）に制御板を配置する構成であるので、種子水晶および結晶成長が進んだ人工水晶への不純物の沈着を防止する。従って不純物の少ない人工水晶を得ることができる。また、成長した水晶は種子水晶が端面に位置する構成であるので、当該端部の種子水晶部分を切除することにより、水晶の光学的特性等を阻害しない、良好かつ均一な品質の人工水晶を得ることができる。
【００２１】
　また緩衝板が介在することにより育成完了後の冷却処理において歪み応力が緩和されるので人工水晶にクラックが生じにくくなり、また制御板と人工水晶との分離作業においても人工水晶にクラック発生等の悪影響を与えることがなくなる。
【００２２】
　また請求項９は種子水晶の具体構成を示した場合の人工水晶の製造方法を開示しており、種子水晶としてＸ−Ｙ平面水晶板を用い、主として一方のＺ軸方向へ水晶を成長させるとともに、＋Ｘ軸側に側壁を形成した請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の制御板を用いることにより、＋Ｘ軸方向への成長を抑制したことを特徴としている。
【００２３】
　Ｘ−Ｙ平面水晶（Ｚ板水晶）は主たる成長面が厚み方向（Ｚ軸方向）であるが、一方のＺ成長面側のみを成長させる場合、他方のＺ成長面に制御板を密接させ、この状態で育成を進めることにより、主として一方のＺ成長面側に結晶が成長する。請求項９によれば、請求項８による作用効果に加えて、良好かつ均一な品質のＺ軸方向に伸長した人工水晶を得ることができる。
【００２４】
　また請求項１０は、請求項８または請求項９に記載された製造方法により製造される人工水晶であり、制御板からの剥離がきわめて容易で、剥離作業による育成された人工水晶にクラック等の破損を生じさせることがなく、また切断方位が確定しているきわめて平滑な面を得ることができる。また不純物の含有量もきわめて少なくすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
　本発明による人工水晶育成制御板によれば、少なくとも制御板に密接される前記種子水晶の外周領域に緩衝板を配置することにより、あるいは種子水晶と制御板間に緩衝板を配置することにより、人工水晶と制御板の密着を防止する。よって、 成長した人工水晶と制御板との分離が容易で、かつ人工水晶の損傷が少なく品質の良好な人工水晶を得ることができる。
【００２６】
　また本発明による人工水晶育成制御板を用いた人工水晶の製造方法によれば、成長した人工水晶と制御板との分離が容易で、かつ人工水晶の損傷が少なく品質の良好な人工水晶を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
　以下、本発明による第１の実施の形態について図面に基づいて説明する。
【００２８】
　先ず、本発明に係る人工水晶育成用溶液（以下、単に育成用溶液と呼ぶ）を使用して人工水晶の育成を行うための人工水晶育成炉（以下、単に育成炉と呼ぶ）の構成について説明する。
【００２９】
　図１は、本形態に係る育成炉１の内部構成を示す断面図である。この図１に示すように、育成炉１は、炉本体２の外周囲に図示しない電気炉が配設されており、この電気炉３によって炉本体２が加熱されるようになっている。上記炉本体２は、上部が開放された有底円筒状であり、上端開口２１には、炉本体２の内部空間４を密閉するための蓋体２２が装着されている。この蓋体２２には、炉本体２の内部圧力を計測するための圧力計が取り付けられている。更に、炉本体２の内部空間４の上下方向中間位置には対流制御板２３が配設されている。この対流制御板２３によって、炉本体２の内部空間４は、下側の原料室４１と上側の育成室４２とに仕切られている。
【００３０】
　上記原料室４１には、育成用原料である天然水晶（ラスカ）５が収容されている。一方、育成室４２には、水晶育成棚Ｆに支持された複数枚の種子水晶６，６，…が収容されている。
【００３１】
　また、この炉本体２の内部空間４には、本形態の特徴とする育成用溶液（アルカリ溶液）が充填されている。
【００３２】
　上述の如く天然水晶５及び種子水晶６が収容され、且つ育成用溶液が充填された育成炉１による人工水晶育成動作について以下に説明する。
【００３３】
　この育成動作では、上記電気炉３によって炉本体２を加熱する。この加熱状態としては、育成室４２よりも原料室４１が高温となるように設定し、この温度差によって、育成用溶液を高温高圧の元で原料室４１と育成室４２との間を熱対流させる。本形態では、例えば、育成室４２の温度を３２０℃に設定し、原料室４１の温度を３６０℃に設定している。つまり、両室４１，４２の温度差を４０℃に設定することで熱対流を行わせている。尚、この両室４１，４２の温度及び温度差はこれに限るものではない。
【００３４】
　これにより、原料室４１で溶解した天然水晶５が、育成室４２に達し、その際、冷却されて過飽和状態となって種子水晶６上に析出成長する。この動作を所定期間連続して行うことにより、所定の大きさの人工水晶が得られる。
【００３５】
図２は種子水晶を取り付ける構成を示す分解斜視図である。図中に水晶の結晶軸方位（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を示しており、以降の図面についても同様に示している。また図３は図２において組み立てた状態の短手方向断面図、図４は本実施の形態に用いた緩衝板（金網）の平面図である。
【００３６】
　種子水晶６は矩形のＺ板水晶であり、育成炉の鉛直方向に対して直角に位置するよう多数個支持されている。より詳しくは前記水晶育成棚Ｆには一対の支持具Ｆ１，Ｆ１が多数個所定の間隔を持って立体的に多数組配置されており、当該支持具Ｆ１，Ｆ１間に種子水晶６が架設状態で支持されている。本例においては各支持具には位置決め用の段部Ｆ２，Ｆ２が形成されており、種子水晶の上面側には金網（緩衝板）８１が前記支持具Ｆ１，Ｆ１間に架設されている。
【００３７】
　図４に示すように金網８１は鉄またはステンレスからなり比較的小さなメッシュサイズであり、かつ金網全体がプレス加工により全体として平坦化されている。当該金網の外形サイズは種子水晶６より大きく制御板７より小さなサイズに設定されている。当該金網８１の上部に制御板７が金網と密接して設置され、図示しない係止具等により前記支持具Ｆ１，Ｆ１に固定される。また当該制御板７は制御板本体７０の一端面にＸ軸方向の成長を規制する側壁７１を有しているとともに、 制御板本体７０と側壁７１との角度は直角よりもやや狭角に設定されている。本例においては約８２度の鋭角に設定されている。これにより水熱合成時の人工水晶成長を制御することができ、側壁７１への人工水晶の密着を防止することができる。
【００３８】
　図３は支持具に固定した状態における断面図であり、図示していない支持具に種子水晶６、緩衝板となる金網８１，制御板７の順で取り付けられ、水熱合成法にて水晶育成を進めることにより点線で示すような人工水晶６１を得ることができる。なお、制御板と緩衝板（金網）と種子水晶は相互に接触していてもよいが、それぞれの熱膨張係数の差異による悪影響を排除するために、小間隔をもって配置してもよい。この場合前記支持具に各搭載用の段差を設け、間隔を確保するような構成を採用してもよい。ただし、当該間隔が広くなりすぎると例えば種子水晶と緩衝板間で結晶成長が進むので、育成された人工水晶に対する研削加工時の基準面にズレが生じることがあるので、注意が必要である。
【００３９】
　上記水熱合成を所定期間行った後、育成炉を冷却し人工水晶を育成炉から引き上げる。そして、制御板あるいは緩衝板と人工水晶とを分離する。
【００４０】
　なお、緩衝板は金網８１に代えてパンチングメタル板や厚さ方向に波状成形された波板を用いてもよい。図５はパンチングメタル板８２の例を示す平面図であり、鉄またはステンレスからなる薄板金属板に多数個の細孔８２ａをほぼマトリクス状に配置した構成である。なお、図５において細孔は分かりやすくするための模式的な図示であり実際上はより小さな細孔がほぼマトリクス状に形成されている。
【００４１】
また、これら緩衝板表面に予め水晶被膜を生成させた構成であってもよい。緩衝板に水晶被膜を生成させる方法は、例えば図１に示すような育成炉により短期間の水熱合成により形成する。すなわち育成炉の原料室にはラスカを収納し、育成室には緩衝板を所定の間隔に吊り下げ、数日間水晶育成と同様の環境下におく。これにより緩衝板の表面には薄い結晶化した水晶が析出し、表面に水晶被膜（結晶化した被膜）が形成された緩衝板を得ることができる。このような手法は金網や金属板あるいは他の材料からなる網状、板状体からなる緩衝板にも適用することができる。
【００４２】
　本発明による第２の実施の形態について図６、図７とともに説明する。この実施の形態においては緩衝板構成を異ならせている。図６は緩衝板の他の例を示す平面図、図７は当該緩衝板を用いて制御板に設置した状態の断面図である。
【００４３】
　本実施の形態は種子水晶の外周部分に緩衝板が位置する構成である。すなわち図６に示すように緩衝板８３は中空部８３ａを有する枠状の金網であり、当該中空部すなわち枠内に種子水晶がちょうど収納される。そして図７に示すように、制御板に種子水晶と枠状金網８３とが接する状態で支持される。このような支持構成においても水熱合成法にて水晶育成を進めることにより点線で示すような人工水晶を得ることができる。
【００４４】
　なお、枠状金網に代えて枠状のパンチングメタル板であっても良いし、枠状の波板であってもよい。また上記例において中空部のサイズは種子水晶より大きな構成としたが、種子水晶より小さな構成としてもよい。この場合は種子水晶の上部の一部分に枠状緩衝板が位置する構成となるが、同様の作用効果を得ることができる。
【００４５】
　本発明による第３の実施の形態について図８とともに説明する。図８は制御板の他の例を示す平面図である。この実施の形態においては第１の実施形態に比較して制御板の構成を異ならせている。
【００４６】
　本実施の形態は制御板７が本体の一面からほぼ直角以上に屈曲した側壁を有する構成であり、かつ２重構成を採っている。当該２重構成は鉄からなる外側制御板７ａと鉄からなる内側制御板７ｂとからなっており、いずれも通常の制御板の半分程度の厚さに設定された薄肉構成であり、両者は組み合わされた状態でスポット溶接等により接合されている。種子水晶６は制御板に接触あるいは近接した状態で配置され、水熱合成法にて水晶育成を進めることにより点線で示すような人工水晶６１を得ることができる。
【００４７】
　なお、本実施の形態において、２重構成を実現するにあたり、プレス加工等により一枚の金属板を１８０度折り畳むことによって一枚の制御板を作りだし、さらに折り曲げ加工により側壁を設けてもよい。
【００４８】
本実施の形態においては、制御板が薄肉からなる金属板を２重にした構成であるので、制御板の基体自体が薄肉構成であり、よって緩衝機能が生じやすく、人工水晶に損傷を与えにくくなり、品質のよい人工水晶を得ることができる。
【００４９】
　本発明による第４の実施の形態について図９とともに説明する。図９は制御板の他の例を示す平面図である。この実施の形態においては第１の実施形態に比較して緩衝板の構成を異ならせている。
【００５０】
　本実施の形態は緩衝板８４が薄肉金属板からなる構成であり、より具体的には厚さ０．２ｍｍの平板状の鉄板を用いている。従って制御板７に上記緩衝板８４を近接させ、そして緩衝板８４と種子水晶６とを近接させた状態で支持し、この状態で水熱合成法による水晶育成を行うことにより、人工水晶６１が育成される。緩衝板は前述のとおり、緩衝機能と育成時に必要な剛性及び取扱い、コストを考慮すると０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍの鉄あるいはステンレス等の金属板が好適である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
　水晶振動子、水晶フィルタ等の水晶振動デバイスや光学用素子などとして使用される人工水晶の量産に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】育成炉の内部構成を示す断面図
【図２】第１の実施形態を示す支持具を示す分解斜視図
【図３】図２により育成を行った状態の短手方向断面図
【図４】第１の実施形態を示す緩衝板の例を示す平面図
【図５】第１の実施形態を示す緩衝板の他の例を示す平面図
【図６】第２の実施の形態を示す緩衝板の平面図
【図７】第２の実施の形態を示す短手方向断面図
【図８】第３の実施の形態を示す短手方向断面図
【図９】第４の実施の形態を示す短手方向断面図
【図１０】従来例を示す図
【符号の説明】
【００５３】
　１　　　　人工水晶育成炉
　２　　　　炉本体
　４　　　　内部空間
　５　　　　天然水晶
　６　　　　種子水晶
　６１　　　人工水晶
７　　　　制御板
　７１　　　側壁
　８１，８２，８３、８４　　　緩衝板
Ｆ１　　　支持具
【図１】
2004115364.tif 000003
【図２】
2004115364.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004115364.tif 000006
【図５】
2004115364.tif 000007
【図６】
2004115364.tif 000008
【図７】
2004115364.tif 000009
【図８】
2004115364.tif 000010
【図９】
2004115364.tif 000011
【図１０】
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