(57)【要約】【課題】アルマイト皮膜から流体室へと放出されるガスの量を低滅することにより、真空性能を良好とするスクロール形流体機械の提供。【解決手段】スクロール形流体機械１は、アルミニウム合金鋳物である固定スクロール２０と旋回スクロール３０とを有する。旋回スクロール３０は固定スクロール２０に対して偏心回転するように構成され、固定スクロール２０と旋回スクロール３０とにより密閉された流体室２０ａが画成される。流体室２０ａを画成する固定スクロール２０、旋回スクロール３０の面には微細なポーラス３２ａの形成されたアルマイト皮膜３２Ｃが設けられており、アルマイト皮膜３２Ｃを構成する複数の柱状組織３２Ｄの各々の太さは０．１μｍ以上である。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械本体と、
該機械本体に対して移動不能に設けられ、渦巻状の固定スクロール板を有する固定スクロールと、
該固定スクロール板の略全面に沿って対向する渦巻状の旋回スクロール板を有し、該旋回スクロール板は該固定スクロール板に対して偏心回転するように該機械本体に支持された旋回スクロールとを備え、
該固定スクロール及び該旋回スクロールにおいて、該固定スクロール板と該旋回スクロール板との間で密閉された流体室が画成され、
該固定スクロール及び該旋回スクロールはアルミニウム合金製鋳物であり、該流体室を画成する該固定スクロール及び該旋回スクロールの面には、アルマイト処理によって微細なポーラスの形成されたアルマイト皮膜が設けられるスクロール形流体機械において、
該アルマイト皮膜を構成する複数の柱状組織の各々の太さが０．１μｍ以上であることを特徴とするスクロール形流体機械。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスクロール形流体機械に関し、特に、固定スクロールと旋回スクロールとを備え、固定スクロールに対して旋回スクロールが偏心回転することによって、固定スクロール及び旋回スクロールにおいて画成される流体室の体積が変化して、真空又は高圧の状態を作り出すスクロール形流体機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空の状態又は高圧の状態を作り出す装置としては、互いに噛合うように配置された固定スクロールと旋回スクロールとを備えるスクロール形流体機械が知られている。スクロール形流体機械には、サクションアダプタとエキゾーストアダプタとが設けられており、所望の容器内を真空にしたい場合には、サクションアダプタに当該容器が接続され、所望の容器内を高圧にしたい場合には、エキゾーストアダプタに当該容器が接続される。真空にする用途で用いられることがあるため、スクロール形流体機械は、スクロール形真空ポンプと呼ばれることがある。このタイプの流体機械は、理化学分析機器、電子顕微鏡、半導体製造装置等の分野で利用されている。
【０００３】
具体的には、スクロール形流体機械の固定スクロールは、スクロール形流体機械の外枠等を構成する機械本体に対して移動不能に設けられており、渦巻状の固定スクロール板を有している。また、旋回スクロールは、固定スクロール板の略全面に沿って対向する渦巻状の旋回スクロール板を有しており、旋回スクロール板は固定スクロール板に対して偏心回転するように機械本体に支持されている。固定スクロールの一部と旋回スクロールの一部とは互いに当接し合い、この当接により、固定スクロール及び旋回スクロールにおいて密閉された流体室が画成されている。互いに当接する部分は、旋回スクロールが偏心回転しているときに互いに摺動する摺動面をなすとともに流体室を画成する面をなす。旋回スクロールが偏心回転することにより、一時的に密閉の状態が解除された流体室へサクションアダプタを介して流体が流入し、再び流体室が密閉の状態となり、流体室内の体積が小さくなり流体室内の流体を圧縮し、エキゾーストアダプタを介して流体機械外部へ流体が排出されるように構成されている。
【０００４】
固定スクロール及び旋回スクロールは、旋回スクロールの高速回転化及び流体機械の軽量化を図るために、アルミニウム合金製鋳物とされている。流体室を画成する固定スクロール及び旋回スクロールの摺動面には、アルマイト処理を施すことによりアルマイト皮膜を設けて摺動面の硬度を高めて、焼付き、かじり、摩耗等の発生を防止している。
【０００５】
アルマイト皮膜は、固定スクロール及び旋回スクロールを構成する母材の表面から離間する方向へ延出する無数の柱状組織により構成されており、それぞれの柱状組織の略軸心の位置には、母材から離間する方向へ延出するポーラスが１つずつ形成されている。各柱状組織の太さはそれぞれ０．０７μｍ程度である。
【０００６】
このような柱状組織により構成されるアルマイト皮膜は、公知の硫酸浴中で固定スクロール及び旋回スクロールを構成する母材が陽極酸化処理されることにより生成される。
【０００７】
陽極酸化処理において印加される電流密度は、１×１０２〜２×１０２Ａ／ｍ２程度である。電流密度の値を高くすると所望の厚さのアルマイト皮膜を短時間で生成できるのであるが、陽極酸化処理を行う装置の電源容量が問題となり、一度に処理できる数量が制限される。また、処理装置自体が大きくなる。また、皮膜の厚さの製品内、製品間でのばらつきが多くなる。そこで、電流密度は１×１０２〜２×１０２Ａ／ｍ２程度とされている。例えば、特開２００２−１３０１６０号公報には、陽極酸化処理において印加される電流密度が２×１０２Ａ／ｍ２である旨が記載されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１３０１６０号公報（４頁段落番号００４１、図３）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のスクロール形流体機械では、アルマイト皮膜を構成する無数の柱状組織には、それぞれポーラスが１つずつ形成されており、アルマイト皮膜が多孔質皮膜となっているため、アルマイト皮膜の施されていないアルミニウム無垢品の場合と比較して実表面積が増大する。アルマイト皮膜中やアルミニウム合金中にはガスが存在しているが、アルマイト皮膜の実表面積が大きいため、アルマイト皮膜から流体室内へのガス放出面積が大きくなり、スクロール形流体機械の動作時には各ポーラスにガス、水分が吸着し、固定スクロール、旋回スクロールから流体室内へ多量のガスが放出され、スクロール形流体機械の真空性能の悪化を招いていた。
【００１０】
そこで本発明は、アルマイト皮膜から流体室へと放出されるガスの量を低滅することにより、真空性能を良好とするスクロール形流体機械を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、機械本体と、該機械本体に対して移動不能に設けられ、渦巻状の固定スクロール板を有する固定スクロールと、該固定スクロール板の略全面に沿って対向する渦巻状の旋回スクロール板を有し、該旋回スクロール板は該固定スクロール板に対して偏心回転するように該機械本体に支持された旋回スクロールとを備え、該固定スクロール及び該旋回スクロールにおいて、該固定スクロール板と該旋回スクロール板との間で密閉された流体室が画成され、該固定スクロール及び該旋回スクロールはアルミニウム合金製鋳物であり、該流体室を画成する該固定スクロール及び該旋回スクロールの面には、アルマイト処理によって微細なポーラスの形成されたアルマイト皮膜が設けられるスクロール形流体機械において、該アルマイト皮膜を構成する複数の柱状組織の各々の太さが０．１μｍ以上であるスクロール形流体機械を提供している。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態によるスクロール形流体機械１について図１乃至図４に基づき説明する。スクロール形流体機械１は、外枠を構成する機械本体１０を有しており、機械本体１０には、サクションアダプタ１１とエキゾーストアダプタ１２とがそれぞれ設けられている。サクションアダプタ１１、エキゾーストアダプタ１２は、それぞれ貫通孔１１ａ、１２ａが形成されており、後述の固定スクロールケース２１内部に連通している。所望の図示せぬ容器内を真空状態としたい場合には、当該容器をサクションアダプタ１１に接続してスクロール形流体機械１を動作させることにより、当該容器内を真空状態にすることができるように構成されている。
【００１３】
スクロール形流体機械１の動作中には、当該容器内の流体たるエアはスクロール形流体機械１を介して抜取られ、エキゾーストアダプタ１２から排出される。逆に、所望の容器内を高圧状態としたい場合には、当該容器をエキゾーストアダプタ１２に接続してスクロール形流体機械１を動作させることにより、当該容器内を高圧状態にすることができるように構成されている。また、機械本体１０内部には、固定スクロール２０と、旋回スクロール３０とが設けられている。機械本体１０外部には、内部に図示せぬモータを備えたモータケース４０が接続されている。
【００１４】
固定スクロール２０は固定スクロールケース２１を有しており、固定スクロールケース２１は、２つの略同一円形状をした端面２１Ａ、２１Ｂと、これらを接続する周面２１Ｃとによって構成されている。端面２１Ａ、２１Ｂは平行の位置関係にあり、固定スクロールケース２１は、機械本体１０に対して移動不能に固定されている。
【００１５】
固定スクロールケース２１内部には、旋回スクロール３０を構成する旋回スクロール円盤３１が設けられている。旋回スクロール円盤３１は、端面２１Ａ、２１Ｂよりも半径の若干小さい円形状をなし、端面２１Ａ、２１Ｂからそれぞれ等しい距離で離間して、端面２１Ａ、２１Ｂに平行の位置関係で配置されている。旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａは一方の端面２１Ａに対向し、旋回スクロール円盤３１の他方の面３１Ｂは他方の端面２１Ｂに対向する。
【００１６】
旋回スクロール円盤３１の中心から偏心した位置には貫通孔３０ａが形成されており、貫通孔３０ａには、クランクシャフト５０が貫通している。旋回スクロール円盤３１は、ベアリング５１を介してクランクシャフト５０に支持されており、クランクシャフト５０に対して回転可能である。クランクシャフト５０は、ベアリング５２を介して機械本体１０に支持されており、機械本体１０に対して回転可能である。従って、旋回スクロール３０は機械本体１０に間接的に支持された状態となっている。
【００１７】
クランクシャフト５０はモータケース４０内の図示せぬモータに駆動連結されており、モータが駆動するとクランクシャフト５０が回転するように構成されている。貫通孔３０ａ内に位置するクランクシャフト５０の部分においては、クランクシャフト５０の回転軸は当該部分の半径方向の中心に位置しておらず偏心した位置にある。また、上述のように、貫通孔３０ａは旋回スクロール円盤３１の中心から偏心した位置に形成されている。このため、クランクシャフト５０が回転することにより旋回スクロール円盤３１は、固定スクロールケース２１に対して偏心回転するように構成されている。
【００１８】
旋回スクロール円盤３１上には、板状をした旋回スクロール板３２が設けられている。より具体的には、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａ上に、一方の旋回スクロール板３２Ａが設けられており、旋回スクロール円盤３１の他方の面３１Ｂ上に、他方の旋回スクロール板３２Ｂが設けられている。旋回スクロール板３２Ａ、３２Ｂは、図２に示されるように、帯状の板が渦巻状に丸められた形状をなし、それぞれの一方の側縁が一方の面３１Ａ、他方の面３１Ｂにそれぞれ固着された状態になっている。
【００１９】
図１に示される断面図で見た場合には、旋回スクロール板３２Ａは、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａから固定スクロールケース２１の一方の端面２１Ａに至るまで突出したひれ状をなしており、同様に旋回スクロール板３２Ｂは、旋回スクロール円盤３１の他方の面３１Ｂから固定スクロールケース２１の他方の端面２１Ｂに至るまで突出したひれ状をなしている。旋回スクロール板３２は、旋回スクロール円盤３１とともに旋回スクロール３０を構成する。
【００２０】
固定スクロールケース２１内周面であって端面２１Ａ、２１Ｂの部分には、板状をした固定スクロール板２２が設けられている。より具体的には、端面２１Ａ上に固定スクロール板２２Ａが設けられており、端面２１Ｂ上に固定スクロール板２２Ｂが設けられている。図２に示されるように、固定スクロール板２２Ａ、２２Ｂは、旋回スクロール板３２Ａ、３２Ｂと同様に帯状の板が渦巻状に丸められた形状をなし、それぞれの一方の側縁が端面２１Ａ、２１Ｂに固着された状態になっている。図１に示される断面図で見た場合には、固定スクロール板２２Ａは、固定スクロールケース２１の一方の端面２１Ａから旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａに至るまで突出したひれ状をなしており、同様に固定スクロール板２２Ｂは、固定スクロールケース２１の他方の端面２１Ｂから旋回スクロール円盤３１の他方の面３１Ｂに至まで突出したひれ状をなしている。
【００２１】
図２に示されるように、固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２とは互いに噛合ったような状態となっており、固定スクロール板２２の全面は、旋回スクロール板３２の略全面に沿って対向して配置された状態となっている。固定スクロール板２２は、固定スクロールケース２１とともに固定スクロール２０を構成する。
【００２２】
固定スクロール板２２の面と旋回スクロール板３２の面とは、同時に２箇所以上で当接可能に構成されている。また、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａ、他方の面３１Ｂは、それぞれ鏡板面になっており、固定スクロール板２２Ａ、２２Ｂの突出方向における先端部とそれぞれ常時互いに当接している。同様に、固定スクロールケース２１の内周面であって端面２１Ａ、２１Ｂの部分は鏡板面になっており、旋回スクロール板３２Ａ、３２Ｂの突出方向における先端部とそれぞれ常時互いに当接している。
【００２３】
より詳細には、図３に示されるように、一方の端面２１Ａに対向する渦巻状の旋回スクロール板３２Ａの先端部に沿って、自己潤滑性樹脂からなるチップシール３３が設けられている。同様に、旋回スクロール円盤３１Ａに対向する渦巻状の固定スクロール板２２Ａの先端部に沿って、自己潤滑性樹脂からなるチップシール２３が設けられている。チップシール２３、３３を介して、旋回スクロール板３２は固定スクロールケース２１に当接し、固定スクロール板２２は旋回スクロール円盤３１に当接している。
【００２４】
チップシール２３、３３によって、固定スクロールケース２１の一方の端面２１Ａと旋回スクロール板３２Ａとの間のシール性が高められ、また、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａと固定スクロール板２２Ａとのシール性が高められている。なお、説明の都合上、図３には一方の固定スクロール板２２Ａ、旋回スクロール板３２Ａ等について示したが、他方の固定スクロール板２２Ｂ、旋回スクロール板３２Ｂ等についても同様である。
【００２５】
これら固定スクロール２０、旋回スクロール３０を構成する各部の当接により、固定スクロール２０と旋回スクロール３０との間において、旋回スクロール板３２と固定スクロール板２２と旋回スクロール円盤３１と固定スクロールケース２１とにより囲まれる密閉された流体室２０ａが画成される。流体室２０ａを画成している面は、旋回スクロール３０が偏心回転しているときに互いに摺動する摺動面をなす。旋回スクロール板３２が偏心回転すると、固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２とが互いに摺動し、固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２との当接位置が変化する。この当接位置の変化により流体室２０ａの体積が減少するように構成されている。
【００２６】
固定スクロール２０及び旋回スクロール３０は、ＪＩＳ  ＡＣ４相当のアルミニウム合金製鋳物である。このアルミニウム合金製鋳物は、Ｓｉを４．０〜１０％含み、Ｃｕを４．０％以下の量で含む。Ｓｉを４．０〜１０％、Ｃｕを４．０％以下としたのは、合金元素、特に、鋳造時に共晶となって網目状に生じるＳｉ、Ｃｕを少なくするためである。このことによって、後述のアルマイト処理を行うときに、共晶物が脱落して生じる表面の凹凸の低滅を図ることができ、また、後述のアルマイト皮膜３２Ｃの厚さのバラツキを抑えることができる。
【００２７】
流体室２０ａを画成する固定スクロール２０、旋回スクロール３０の面、即ち、固定スクロール板２２、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａ及び他方の面３１Ｂ、固定スクロールケース２１の一方の端面２１Ａ及び他方の端面２１Ｂ、旋回スクロール円盤３１の面にはアルマイト処理が施されており、図４に示されるように、このアルマイト処理によるアルマイト皮膜３２Ｃが設けられている。なお、説明の都合上、図４では、旋回スクロール板３２の表面についてのみを示しているが、固定スクロールケース２１の一方の端面２１Ａ及び他方の端面２１Ｂ、固定スクロール板２２、旋回スクロール円盤３１の一方の面３１Ａ及び他方の面３１Ｂの、それぞれの表面についても同様である。アルマイト皮膜３２Ｃが設けられていることにより、流体室２０ａを画成する固定スクロール２０、旋回スクロール３０の面が硬化されている。
【００２８】
より詳細にはアルマイト皮膜３２Ｃは、図４に示されるように、旋回スクロール板３２を構成する母材の表面から離間する方向へ延出する無数の柱状組織３２Ｄにより構成されており、それぞれの柱状組織３２Ｄの略軸心の位置には、母材から離間する方向へ延出する略円柱形状をしたポーラス３２ａが１つずつ形成されている。柱状組織３２Ｄの軸心に垂直な面で切った断面の外形は、それぞれ略六角形をなす。
【００２９】
柱状組織３２Ｄの太さはそれぞれ０．１μｍ以上である。ここで、柱状組織３２Ｄの太さとは、図４の矢印Ａで示されるように、略六角形の最も長い対角線を意味する。また、柱状組織３２Ｄの軸心方向の長さは約３０μｍであり、そのうちの約半分の１５μｍが、アルマイト皮膜３２Ｃ生成前の母材表面位置から延出した状態となっており、残りの半分が、アルマイト皮膜３２Ｃ生成前の母材表面位置よりも母材内方に浸食した状態になっている。
【００３０】
ポーラス３２ａの直径は、柱状組織３２Ｄの太さの値が大きい場合であっても、小さい場合であっても、ほとんど変化しない。そこで、従来では柱状組織３２Ｄの太さはそれぞれ０．０７μｍ程度であったが、０．１μｍ以上とすることにより、アルマイト皮膜３２Ｃの単位面積当たりのポーラス３２ａの数を低減することができ、実表面積を減少させることができる。このため、アルマイト皮膜３２Ｃから放出されるガスの量を大幅に低減させることができる。０．１μｍ以上の値としたのは、０．１μｍ以下では、放出されるガスの量を低減させる効果がそれほど得られないためである。
【００３１】
このような柱状組織により構成されるアルマイト皮膜は、公知の硫酸浴中で固定スクロール及び旋回スクロールを構成する母材が陽極酸化処理されることにより生成される。陽極酸化処理において印加される電流密度は、８×１０２Ａ／ｍ２程度である。電流密度がこのように従来の値よりも高いため、皮膜の生成速度が従来よりも上がる。より具体的には、例えばアルマイト皮膜を２０μｍの厚さで生成する場合には、従来では４０分〜８０分程度かかっていたが、本実施の形態では約５分程度である。そこで、陽極酸化処理を行う時間を秒単位で細やかに管理することによって、電流密度の値を従来よりも高くしても皮膜の厚さにばらつきが生じないようにする。
【００３２】
以上の構成のスクロール形流体機械１のサクションアダプタ１１に図示せぬ容器が接続され、図示せぬモータが駆動されると、固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２との当接位置が、旋回スクロール板３２の偏心回転により変化して、流体室２０ａの体積が減少する。体積が減少しながら流体室２０ａの位置は、渦巻状の旋回スクロール板３２及び固定スクロール板２２の周面方向に移動してゆき、且つ、固定スクロール板２２、旋回スクロール位置３２からなる渦巻の外周の位置から渦巻の内方へ向かって移動する。
【００３３】
より詳細には、渦巻の最外周位置にある流体室２０ａは、旋回スクロール板３２が偏心回転しているときに、一時的に固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２との当接が解除され、サクションアダプタ１１の貫通孔に連通する。このとき、貫通孔に連通する図示せぬ容器内の流体たるエアが流体室２０ａ内に流入する。そして、すぐに固定スクロール板２２と旋回スクロール板３２とが当接して流体室２０ａは密閉の状態となる。その後、流体室２０ａの体積が減少し続け、流体室２０ａは渦巻きの周面に沿って渦巻の内方へ移動するとともに流体室２０ａ内のエアを圧縮し続ける。渦巻の中心は、エキゾーストアダプタ１２の貫通孔１２ａに連通しており、流体室２０ａが渦巻の中心位置に至ると、流体室２０ａ内のエアは、エキゾーストアダプタ１２の貫通孔１２ａからスクロール形流体機械１の外部へと排出される。
【００３４】
次に、本実施の形態によるスクロール形流体機械１の流体室２０ａを画成する本発明に基づく材料（本発明品）の、ガス放出量を試す実験を行った。本発明品とは、本実施の形態によるスクロール形流体機械の固定スクロール２０、旋回スクロール３０を構成しＳｉを７．０％、Ｃｕを０．０８％含むＪＩＳ  ＡＣ４相当のアルミニウム合金の金属片に、アルマイト処理を施してその表面全体にアルマイト皮膜を生成した。アルマイト皮膜を構成する柱状組織の太さは０．１μｍ以上である。太さをこのような値とするために、陽極酸化処理における電流密度を８×１０２Ａ／ｍ２とした。また、本発明品は直方体形状をしており、縦、横それぞれ１０ｍｍ、高さが１ｍｍである。
【００３５】
比較の対象としては、従来のスクロール形流体機械の流体室を画成する面の部分からなる従来品を用いた。従来品は、アルマイト皮膜を構成する柱状組織の太さがそれぞれ約０．０７μｍである点のみが本発明品とは異なる。太さをこのような値とするために、陽極酸化処理における電流密度を１×１０２〜２×１０２Ａ／ｍ２とした。本発明品の柱状組織の太さと従来品の太さとを異なる値とするためには、陽極酸化処理における電流密度のみを変え、アルマイト皮膜生成のための他の条件は同一とした。
【００３６】
試験は、昇温脱離ガス分析法（ＴＤＳ）による実験装置のチャンバー内に本発明品、従来品をそれぞれ別々に入れ、６０℃／ｍｉｎで昇温してゆき、チャンバー内の圧力変化を測定することにより行った。
【００３７】
図５に示されるように実験結果においては、ガス放出量は、何れの温度においても本発明品の方が従来品よりも少ない。例えば、約１２５℃の時点では、本発明品ではチャンバー内の圧力は約１×１０−６Ｐａと真空度が高くなっており、ガス放出量が低いことが分かる。これに対して、従来品では、２×１０−６Ｐａと真空度が低くなっており、ガス放出量が多いことか分かる。
【００３８】
次に、本実施の形態によるスクロール形流体機械１の実機である本発明品の真空性能の実験を行った。本発明品のアルマイト皮膜を構成する柱状組織の太さは０．１μｍ以上である。比較の対象としては、従来のスクロール形流体機械の実機である従来品を用いた。従来品は、アルマイト皮膜を構成する柱状組織の太さがそれぞれ約０．０７μｍである点のみが本発明品とは異なる。本発明品の柱状組織の太さと従来品の太さとを異なる値とするためには、陽極酸化処理における電流密度のみを変え、アルマイト皮膜生成のための他の条件は同一とした。
【００３９】
実験では、スクロール形流体機械１のサクションアダプタ１１に蓋をして図示せぬモータを駆動させ、蓋の内側の気圧の変化を測定して評価を行った。なお、この実機による試験では、アルマイト皮膜３２Ｃ及びアルミニウム合金からのガス放出量と、チップシール２３、３３のシール性との２つ要因に基づく真空性能の総合的な評価を行うことができる。
【００４０】
図６に示されるように実験結果においては、何れの時点においても本発明品の方が従来品よりも真空性能が高い。例えば、本発明品では、気圧が２Ｐａになるまでにかかる時間は約１５分である。これに対して従来品では、気圧が２Ｐａになるまでにかかる時間は約７５分である。この時間の差から、本発明品の方がアルマイト皮膜３２Ｃからのガス放出量が少なく、チップシール２３、３３によるシールド性が向上し、真空性能が大幅に向上していることが分かる。このため、早く所望の真空状態にすることができることが理解できる。
【００４１】
【発明の効果】
請求項１記載のスクロール形流体機械によれば、流体室を画成する固定スクロール及び旋回スクロールの面には、アルマイト処理によって微細なポーラスの形成されたアルマイト皮膜が設けられており、アルマイト皮膜を構成する複数の柱状組織の各々の太さが０．１μｍ以上であるため、アルマイト皮膜の単位面積当たりのポーラスの数を低減することができ、実表面積を減少させることができる。このため、アルマイト皮膜から放出されるガスの量を大幅に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるスクロール形流体機械を示す断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図。
【図３】本発明の実施の形態によるスクロール形流体機械の、固定スクロール及び旋回スクロールを示す要部断面図。
【図４】本発明の実施の形態によるスクロール形流体機械の、旋回スクロールの摺動面の表面を示す拡大模式図。
【図５】本発明品と従来品とについて、昇温脱離ガス分析法（ＴＤＳ）によりガス放出特性についての実験を行った結果を示すグラフ。
【図６】本実施の形態によるスクロール形流体機械と従来のスクロール形流体機械とについて、それぞれ実機を用いて真空特性についての実験を行った結果を示すグラフ。
【符号の説明】
１・・・スクロール形流体機械、１０・・・機械本体、２０・・・固定スクロール、２０ａ・・・流体室、２２・・・固定スクロール板、３０・・・旋回スクロール、３２・・・旋回スクロール板、３２Ｃ・・・アルマイト皮膜、３２Ｄ・・・柱状組織、３２ａ・・・ポーラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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