(57)【要約】【課題】製造工程において得られる各種製造条件データおよび検査データを自動又は手入力によって収集し、各装置を製造するメーカーの負担を軽減し、データの収集アプリケーション開発においても開発時間の短縮化をはかり、製造条件の管理、生産工程の管理の要求に応える。【解決手段】データベースサーバ、ファイルサーバ、製造条件データ入力装置、検査結果データ入力装置、製造条件データ収集装置、検査結果データ収集装置、データ参照装置は、ＬＡＮを介して相互に接続されている。製造条件データ入力装置または検査結果データ入力装置から入力されたデータはテキストファイル化されファイルサーバに蓄積される。製造条件データ収集装置と検査結果データ収集装置はファイルサーバを一定時間周期で監視し、ファイルの存在を確認するとテキストファイルの内容をデータベース記憶形式に加工しデータベースサーバに蓄積しデータ参照装置は任意にデータを参照できる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産品の製造条件データを入力する為の第１のデータ入力手段と、生産品の検査結果データを入力する為の第２のデータ入力手段と、生産品の製造条件データを収集するための第１のデータ収集手段と、生産品の検査結果データを収集するための第２のデータ収集手段と、前記第１乃至第２のデータ入力手段と前記第１乃至第２のデータ収集手段とをネットワークで結ぶネットワーク手段と、各ネットワーク手段に接続され、前記各データを蓄積するための蓄積手段と、各蓄積された各データをデータに基づいて所定のフォーマット化を行うフォーマット化手段と、各フォーマット化されたデータに基づいてデータベースに蓄積するための蓄積手段と、各蓄積されたデータを参照・検索する参照・検索手段と、各参照・検索されたデータに基づいて表示出力を行う表示出力手段とを有することを特徴とする生産データ管理システム。
【請求項２】
前記フォーマット化手段、蓄積手段をそれぞれモジュール化し、各モジュールの組み合わせで所望のシステムを構築することを特徴とする請求項１記載の生産データ管理システム。
【請求項３】
前記表示出力手段は、蓄積手段に蓄積された各データから参照・検索されたデータのデータ形式を変換して一時保存する保存手段を有し、各保存されたデータを用いて表示出力を行う事を特徴とする請求項１または２記載の生産データ管理システム。
【請求項４】
前記生産品の製造条件データを変換するための第１のデータ変換手段と、生産品の検査結果データを変換するための第２のデータ変換手段は、任意に設定した時間毎に前記各データを蓄積するための蓄積手段を監視し、新たなデータファイルが存在したときにフォーマット化し、前記データベースに蓄積する事を特徴とする請求項１または２記載の生産データ管理システム。
【請求項５】
生産データ管理システムであって、
第１の生産装置が出力する管理対象データを送信する第１の送信器と、
第２の生産装置が出力する管理対象データを送信する第２の送信器と、
前記第１の送信器及び前記第２の送信器から送信される管理対象データに基づいて構成されたデータベースを記憶する記憶装置と、
前記第１の送信器が送信した管理対象データを前記データベースを更新するためのデータに変換するための演算に用いる第１の変換条件情報と、前記第２の送信器が送信した管理対象データを前記データベースを更新するためのデータに変換するための演算に用いる第２の変換条件情報とを記憶したデータ変換器と、
を有することを特徴とする生産データ管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産ラインの生産データ管理システム、特にネットワークを利用して生産ラインの生産データを管理するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、生産データの管理は、生産ラインの各工程ブロック単位などで、例えば製品１つ１つに各工程での装置条件表や検査結果表などを添付し、次々と後工程に送られ、その製品の履歴を所定の用紙に転記し集計を行い、製造管理結果などを作成するといった方法により行われていた。
【０００３】
また、コンピュータを利用した生産データの自動収集システムにおいて、生産データはコンピュータにより自動的に収集せれるものの、生産データの加工や出力は生産ラインの各工程ブロック毎に行われていた。即ち、生産ラインの各工程毎の専用の帳票出力システムが作成され、利用されていた。
【０００４】
生産ラインの各工程毎の専用の帳票出力システムが作成され、利用するシステムにおいて、その問題点を解決すべく、特開平７−１６０７８０などでも述べられているようにネットワーク手段により結ばれた、前記第１乃至第２のデータ入力手段と各データファイルを蓄積するための蓄積手段等を利用した生産管理システムがあり、システム内の各手段についてはモジュール化し、その組み合わせで様々な状況に対応できるようにされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の前者の生産データの管理方法では、多数の人手に頼って各工程の生産における工程履歴データがまとめられ、さらに、製品の全工程における生産状態履歴などの作成においては、それら各工程の履歴データを集めまとめる作業を必要としていた。
【０００６】
また、後者の生産データの管理法では、生産ラインの各工程毎に専用のシステムを作成するために、システム作成に要する労力、費用、時間等が増大するという問題が生じていた。さらにシステムに含まれる機能として、汎用のものを使用せずに個別に作成するので、その機能の信頼性を保証するための試験等に多くの時間を要し、近年の製品サイクルの短縮化に対応したシステムの早期立ち上げの要求に応えられなくなってきていた。
【０００７】
ネットワーク手段により結ばれたシステムにおいても、様々な生産装置に対応するには、各装置の特徴からすべてをモジュール化して対応するには、システム作成に要する労力、費用、時間等において減らしきれない部分もあり、特に各生産装置を作る上で、そのデータ出力方法についてのプログラミングには時間と労力が多く発生する。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、生産データ管理にかかる人手を減少させ、システム作成に要する労力、費用、時間を減少させて製品のライフサイクルの短縮化に伴うシステムの早期立ち上げの要求に応えることが可能な生産データ管理システムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、生産品の製造条件データを入力する為の第１のデータ入力手段と、生産品の検査結果データを入力する為の第２のデータ入力手段と、生産品の製造条件データを収集するための第１のデータ収集手段と、生産品の検査結果データを収集するための第２のデータ収集手段と、前記第１乃至第２のデータ入力手段と前記第１乃至第２のデータ収集手段とをネットワークで結ぶネットワーク手段と、各ネットワーク手段に接続され、前記各データファイルを蓄積するための蓄積手段と、各蓄積された各データをデータに基づいて所定のフォーマット化を行うフォーマット化手段と、各フォーマット化されたデータに基づいてデータベースに蓄積するための蓄積手段と、各蓄積されたデータを参照・検索する参照・検索手段と、各参照・検索されたデータに基づいて表示出力を行う表示出力手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
特に、生産品の製造条件データを入力する為の第１のデータ入力手段と、生産品の検査結果データを入力する為の第２のデータ入力手段については、データ出力手段をテキストファイルに特化することで、装置メーカーにおけるソフト開発の負担を大きく軽減し、生産品の製造条件データを収集するための第１のデータ収集手段と、生産品の検査結果データを収集するための第２のデータ収集手段においては、各工程用データファイルの形式に合わせた、データ収集処理を安易な設定ファイルで構成できることを特徴とする。
【００１１】
また、好ましくは、フォーマット化手段、データベースへの蓄積手段のそれぞれをモジュール化し各モジュールの組み合わせで所望のシステムを構築することを特徴とし、前記表示出力手段は、蓄積手段に蓄積された各データから参照・検索されたデータのデータ表示出力を行うことを特徴とする。
【００１２】
（作用）
本発明の構成に依れば、各生産装置や検査装置からのデータファイルをテキストファイルに統一することが出来、各生産装置や検査装置を作るメーカー等にかける負担を大幅に縮小できるとともに、ネットワーク手段により結ばれた第１乃至第２のデータ入力手段からデータファイル蓄積手段にデータファイルが蓄積され、第１乃至第２のデータ収集手段でフォーマット化手段によりデータの形式変換が施され、データベース蓄積手段にデータが蓄積され、参照・検索手段によりその蓄積されたデータをデータ参照・検索され、表示出力手段により表示出力されるので、自動的に所望のデータが取得できる。
【００１３】
また、好ましくは、フォーマット化手段、データベース蓄積手段はモジュール化され、各モジュールの組み合わせによりシステムが構築されるので、各モジュールとして既存のものを使用することができる。
【００１４】
さらに、前記表示出力手段は、データベース蓄積手段に蓄積された各テーブルの組み合わせによって参照・検索される、したがってテーブル内の項目の組み合わせによって様々な組み合わせで、データの表示出力手段を実現するための自由度を高めることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施例に係る生産データ管理システムの概略構成を示すブロック図である。
【００１７】
同図において、２はファイルサーバであり、ファイルサーバ２には記憶装置２ａが接続されている。記憶装置２ａには、各生産設備（図示せず）に付帯された製造条件データ入力装置４および、検査結果データ入力装置５を介してそれぞれ収集された製造条件データ、検査結果データ等が格納保存される。ファイルサーバ２と後述の他の要素との間で前記データのやりとりが行われる。ここで、製造条件データとは、例えば、生産設備が対象にしている生産機種を加工する上で設備に設定された、または、設備の設定された値に対する状態の稼動条件データ等のことをいう。
【００１８】
検査結果データ入力装置５は、例えば、自動的に検査結果が入力される場合には、図示しない検査装置に接続されて自動的に検査結果データが入力され、一方、人手による検査の場合には、キーボードにより検査結果データが入力されるように構成されている。なお、本実施例では、検査結果データ入力装置５は１つのみ設置されているが、必要に応じて複数個設置するようにしてもよい。
【００１９】
製造条件データ入力装置４、検査結果データ入力装置５は、前記ファイルサーバ２とＬＡＮ３を介して自動的に通信を行い、ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａにデータファイルを蓄積する。
【００２０】
製造条件データ収集装置６、検査結果データ収集装置７は、ＬＡＮ３介して前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積されたデータファイルの状態を一定周期で監視する。
【００２１】
製造条件データ収集装置６、検査結果データ収集装置７はＬＡＮ３を介して前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに、前記製造条件データ入力装置および検査結果データ入力装置からＬＡＮ３を介してデータファイルが蓄積されたことを確認したとき、フォーマット化手段によってデータの形式変換を開始する。
【００２２】
ここで、フォーマット化とは、図３に示すように、データを排出する製造条件データ入力装置４および検査結果データ入力装置５の種類によって定められた一定の書式のテキストファイルをデータベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積するための形式に変換することを示す。
【００２３】
以下、フォーマット化における制御動作を、図２のフローチャートに基づいて説明する。なお、図２のフローチャートは、データのフォーマット化の例として、露光装置における製造条件データを元に、フォーマット化処理の内容を示している。
【００２４】
図２において、まず設定された周期タイマーの監視を行う（ステップＳ１）、次に設定された周期タイマがタイムアップしたか判別し（ステップＳ２）、タイムアップした場合、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積された処理前データファイルが有るか無いかを、前記ＬＡＮ３を介して判別する（ステップＳ３）、タイムアップしていない場合は、再びタイマーの監視を行う。（ステップＳ３）において、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積された処理前データファイル（図２の２０）が有った場合、データファイルを前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積する形式に、データ形式変換を行う（ステップＳ４）、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積された処理前データファイルが無かった場合は、再び処理開始タイマー監視（ステップＳ１）に進む。
【００２５】
ここで、データ形式変換について、露光装置を例に上げて説明をする。図３が例えば露光装置という前記製造条件データ入力装置４から出力され、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積されたデータファイルである。
【００２６】
図３の例えば露光装置のデータファイルは、工程番号、基板ＩＤ、現在時刻、担当者ＩＤ、マスクＮｏ、ステージ温度、マスクチャックプレート温度、露光ギャップ１、露光ギャップ２、露光ギャップ３、露光ギャップ４、アライメントスパン誤差といったデータが記載されたテキストファイルである。
【００２７】
図３の例えば露光装置のデータファイルを処理する、前記製造条件データ変換装置６では、データファイルを処理するに当たって、所望の設定をされたデータ処理プログラム（図１の２３）が稼動している。
【００２８】
データを処理するに当って、図４のデータ種類別に、例えば露光装置用の処理設定ファイル（図１の２４）を持っている。図４の例えば露光装置用の処理設定ファイルは、図３の例えば露光装置から出力されるデータファイルに合わせて、１行目に、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積されたデータテーブルのテーブル名に合わせてテーブル名が記載される。次にカンマ（，）で区切りをつけ、工程番号のデータの位置、基板ＩＤデータの位置、現在時刻データの位置、担当者ＩＤデータの位置、などの順で行列番号がハイホン（−）区切りで記載される。
【００２９】
２行目に、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積された、例えば露光装置用のデータテーブルに対する詳細の適応したレコード名が記載される。そのとき、各レコードのデータ形式をキャラクタ文字先頭を参考に付加しアンダーバー（＿）を付けて区別するようにしている。
【００３０】
図５に例えば露光装置用の、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積されたデータベーステーブルの詳細を示す。
【００３１】
すなわち、図３の例えば露光装置のデータファイルは、前記製造条件データ収集装置６によって、図４の例えば露光装置用の処理設定ファイルの指示にしたがって、データ形式変換を実施する。
【００３２】
データ形式変換（ステップＳ４）を実施し、その結果によって、データ形式変換が成功した場合、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａ内のテーブルにデータを追加し蓄積する、データ形式変換が成功し、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａ内のテーブルにデータを追加したデータファイルは、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａ内の処理済ファイル格納スペース（図１の３０）に移動され（ステップＳ８）蓄積される（図１の２１）。データ形式変換がデータの不備等の要素によって不成功だった場合は、処理エラーファイル格納スペース（図１の３１）にデータファイルを移動し（ステップＳ６）蓄積される（図１の２２）。
【００３３】
処理終了ボタンの判定（ステップＳ９）によって、フォーマット化手段が中止されない場合、再び次のファイル処理を開始するため、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積された処理前データファイルが有るか無いかを、前記ＬＡＮ３を介して判別する（ステップＳ３）。処理終了ボタンの判定（ステップＳ９）によって、終了が指示された場合、フォーマット化処理を終了する。
【００３４】
図１において、データ参照装置８は、接続された補助記憶装置８ａとプリンタ９およびＣＲＴ１０で構成され、ＬＡＮ３を介してデータベースサーバ１と接続され、各工程毎および各生産装置等の製造条件データや、検査結果データを任意に指定し、データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａから検索参照し、ＣＲＴ１０に表示やプリンタ９から出力させることが可能であり、さらには補助記憶装置８ａに一時保存しておくことが可能である。
【００３５】
図３の検査結果入力装置のデータファイルを処理する場合は、前記検査結果データ変換装置７でデータファイルを処理するに当って、所望の設定をされたデータ処理プログラム（図１の２５）が稼動しておりデータを処理するに当って、処理設定ファイル（図１の２６）を持っている。
【００３６】
また、前記フォーマット化手段や蓄積手段をそれぞれモジュール化し、モジュールの組み合わせにおいて、所望のシステムを構築できるわけであるが、ここで言うモジュール化とは、例えば図４の露光装置出力テキストファイルをデータ変換するための設定ファイルを一つのモジュールととらえ、他の装置のデータ変換設定ファイルとの組み合わせにおいて、他の装置用に作られたデータテーブルとの複合テーブルを作りだし、そこに双方の装置から出力されるデータを書きこみ合うことで、モジュール型データテーブルとして捕らえ様々なスタイルのデータテーブルを展開できるということである。
【００３７】
（実施例２）
次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００３８】
生産データ管理システムの概略構成と一部要素の詳細な構成は、前述の図１の構成と共通するのでそれらの説明を省略する。
【００３９】
本実施例においては、製造条件データ入力装置４および、検査結果データ入力装置５を介してそれぞれ収集された、バイナリ形式で書かれた製造条件データファイルおよび、検査結果データファイルについてのフォーマット化処理について説明する。
【００４０】
ここで、フォーマット化の意味については、実施例１で説明しているので省略する。
【００４１】
また、フォーマット化における制御動作についても、前述の図２の構成と共通するので、それらの説明を省略する。
【００４２】
ここで、バイナリ形式データファイルのデータ形式変換について、例えば調整装置を例に上げて説明をする。図６が例えば調整装置という前記製造条件データ入力装置４から出力され、前記ファイルサーバ２に接続された記憶装置２ａに蓄積されたデータファイルである。
【００４３】
図６の例えば調整装置のデータファイルは、工程番号、基板ＩＤ、現在時刻、担当者ＩＤと言ったデータが、データの前半にへッダーデータとして記載されたテキストデータ部分であり、それ以降がバイナリ形式で記載されるデータ部分である。
【００４４】
図６の例えば調整装置のデータファイルを処理する、前記製造条件データ変換装置６では、データファイルを処理するに当たって、所望の設定をされたデータ処理プログラム（図１の２３）が稼動している。
【００４５】
データを処理するに当って、図７のデータ種類別に、例えば調整装置用の処理設定ファイル（図１の２４）を持っている。図７の例えば調整装置用の処理設定ファイルは、図６の例えば調整装置から出力されるデータファイルに合わせて、１行目に、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積されたデータテーブルのテーブル名に合わせてテーブル名が記載される。次にカンマ（，）で区切りをつけ、工程番号のデータの位置、基板ＩＤデータの位置、現在時刻データの位置、担当者ＩＤデータの位置、などの順で行列番号がハイホン（−）区切りで記載される。
【００４６】
さらに、行列番号を記載する上で先頭にｂ文字を付加することで、バイナリ形式のデータが後半に存在することを示し、例えば図７の例では６行目からバイナリ形式のデータが記載されていることを示している。
【００４７】
２行目に、テキスト形式で記載されたヘッダーデータ部分のデータをデータベースに書きこむための設定が行われ、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積された、例えば調整装置用のデータテーブルに対する詳細の適応したレコード名が記載される。そのとき、各レコードのデータ形式をキャラクタ文字先頭を参考に付加しアンダーバー（＿）を付けて区別するようにしている。
【００４８】
３行目には、バイナリ形式で記載された、データ後半部分のデータの処理について記載され、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積された、例えば調整装置用のデータテーブルに対する詳細の適応したレコード名が記載される。そのとき、バイナリ形式で記載されたデータの区切りをバイト数にて記載し、各レコードのデータ形式をキャラクタ文字先頭を参考に付加することと共にアンダーバー（＿）を付けて区別するようにしている。
【００４９】
図８に例えば調整装置用の、前記データベースサーバ１に接続された記憶装置１ａに蓄積されたデータベーステーブルの詳細を示す。
【００５０】
すなわち、図６の例えば調整装置のデータファイルは、前記製造条件データ変換装置６によって、図７の例えば調整装置用の処理設定ファイルの指示にしたがって、データ形式変換を実施する。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、生産品の製造条件データを入力する為の第１のデータ入力手段と、生産品の検査結果データを入力する為の第２のデータ入力手段と、生産品の製造条件データを収集するための第１のデータ収集手段と、生産品の検査結果データを収集するための第２のデータ収集手段と、前記第１乃至第２のデータ入力手段と前記第１乃至第２のデータ収集手段とをネットワークで結ぶネットワーク手段と、各ネットワーク手段に接続され、前記各データを蓄積するための蓄積手段と、各蓄積された各データをデータに基づいて所定のフォーマット化を行うフォーマット化手段と、各フォーマット化されたデータに基づいてデータベースに蓄積するための蓄積手段と、各蓄積されたデータを参照・検索する参照・検索手段と、各参照・検索されたデータに基づいて表示出力を行う表示出力手段とを有するので、製造条件履歴票にかかる人手を減少させ、その帳票作成にかかる時間を減少させるとともに、帳票作成のために必要であった報告書を使用しないことによる省資源化を図ることが可能となる効果を奏する。
【００５２】
好ましくは、前記フォーマット化手段、蓄積手段をそれぞれモジュール化し、各モジュールの組み合わせで所望のシステムを構築するので、システム作成に要する労力、費用、時間を減少させて製品のライフサイクルの短縮化に伴うシステムの早期立上げの要求に応えることが可能となる。
【００５３】
また、好ましくは、前記表示出力手段は、蓄積手段に蓄積された各データから参照・検索されたデータを一時保存する保存手段を有し、該保存されたデータを用いて表示出力を行うので、表示出力手段を実現する自由度を増加し、その実現をエンドユーザ自身が行うことができるとともに、表示出力手段として汎用的なものを使用することができ、安価で短時間に表示出力手段を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る生産データ管理システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】本実施例のデータのフォーマット化における処理手順を示すフローチャートである。
【図３】本実施例の例えば、露光装置という製造装置から出力されるデータの例である。
【図４】本実施例の例えば、露光装置という製造装置から出力されるデータのフォーマット化を実施する際に、製造条件データ変換装置に設定される設定ファイルの例である。
【図５】本実施例の例えば、露光装置という製造装置から出力されるデータをフォーマット化し、データベースサーバ内の記憶装置にデータを蓄積する際に、記憶装置内に設定されたデータテーブルの仕様である。
【図６】本実施例の例えば、調整装置という製造装置から出力されるデータの例である。
【図７】本実施例の例えば、露光装置という製造装置から出力されるデータのフォーマット化を実施する際に、製造条件データ変換装置に設定される設定ファイルの例である。
【図８】本実施例の例えば、露光装置という製造装置から出力されるデータをフォーマット化し、データベースサーバ内の記憶装置にデータを蓄積する際に、記憶装置内に設定されたデータテーブルの仕様である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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