(57)【要約】【課題】本発明は、従来の光通信モジュールが有していた光軸調整が困難で組立精度が高められないという問題点を解決し、組み立ての簡単な光通信モジュールを提供する。【解決手段】光通信の光路上に、少なくとも第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材がこの順に配置されている光通信モジュールにおいて、第一の光学部材をもって位置合わせの基準とする。第三の光学部材は、第二の光学部材に対して接合されるのではなく、基準とした該第一の光学部材に直接接合することによって位置決めされる。簡単に、位置決め、光軸合わせが可能となり、また、位置ずれが積算される事が無く、モジュール全体での光軸ずれを少なくすることができる。【選択図】        図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光通信モジュールであって、光通信の光路上に、少なくとも第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材がこの順に配置されており、第三の光学部材が、第一の光学部材に接合していることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光通信モジュールであって、上記接合している面の一部又は全部がテーパー面であることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項３】
請求項１に記載の光通信モジュールであって、上記接合している面の一部又は全部が段差を有することを特徴とする光通信モジュール。
【請求項４】
請求項１から３いずれか記載の光通信モジュールであって、第一の光学部材が第１のコリメートレンズであり、第二の光学部材が光学フィルターであり、第三の光学部材が第二のコリメートレンズであることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項５】
シリコンベンチ上に、少なくとも第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材が設置されている光通信モジュールであって、光通信の光路上に、第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材がこの順に配置されており、第三の光学部材が、第一の光学部材に接合していることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項６】
請求項５に記載の光通信モジュールであって、上記シリコンベンチ上には、上記光学部材が設置される凹部が設けてあることを特徴とする光通信モジュール。
【請求項７】
請求項６に記載の光通信モジュールであって、上記凹部の内部には凸部が形成されており、前記凸部と前記第一の光学部材は当接していることを特徴とする光通信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に用いる光通信部品、光通信モジュール、およびその製造方法に関する。
【０００２】
光ファイバーを用いたデータ通信では大量の情報を高速に送受信する必要がある。
【０００３】
近年、光多重通信という新しい技術が登場してさらなる高速化と大容量化が可能となっている。このような状況の中、光通信部品の需要はますます増加傾向にあり、そのコスト低減と信頼性向上が部品供給メーカーの課題となっている。
【０００４】
【従来の技術】
これまで光通信部品搭載モジュールにおいては各光学部品を組み合わせて組み立てる際、各光学部品の光軸をひとつひとつ調整・整合して、樹脂や金属等で固定されてきた。しかし、この方法ではその調整に時間がかかり、製造効率上の問題があり、廉価な製品を供給できない要因となっていた。これは特に光ファイバーとそれに接続されるレンズなどの光学部品の位置合わせに高い精度を必要とされるためである。たとえば波長多重伝送方式において、ある特定の波長の信号のみを選択的に取り出す、いわゆるＷＤＭ用薄膜フィルターモジュールは入射光、透過光、反射光の３つの端子をもつ構造をしている。このモジュールは代表的な例として、図１に示すように入射光用の光ファイバー１６ａ、反射光用の光ファイバー１６ｂ、デュアルキャピラリー１４、第１コリメートレンズ１１、薄膜フィルター素子１３、第２コリメートレンズ１２、シングルキャピラリー１５、透過光用の光ファイバー１６ｃの各光学部品で構成される。これらの部品の各々の光軸を調整・整合した状態で接着剤などで固定し、金属管内などに封止した構造をとっている。このような構造の場合、キャピラリー内部に挿入される光ファイバーのコアの中心と、コリメートレンズの焦点の位置を整合させる精度として典型値としては少なくとも±５ミクロン以内を必要とする上に、光軸の平行度も必要であり、そのため非常に高度な位置と光軸の調整の工程が必要であった。
【０００５】
以上のような光軸調整の問題を解決する手段として、下記特許文献１が知られている。特許文献１には、複数のレンズを鏡筒内に位置決めする方法が開示されている。
【０００６】
第一のレンズを鏡筒の受け面に当接して光軸方向に位置決めした状態で、次段の第二のレンズを第一のレンズに当接することによって、光軸方向の位置決めをしている。
【０００７】
さらに、文献１の図２においては、第三のレンズを第二のレンズに当接することにより、第三のレンズの位置決めを行っている。特許文献１には、この繰り返しにより、複数のレンズの位置調整を容易に行えることが記載されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−２８６９８７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１の方法では、例えば文献１の図２において、レンズ１とレンズ２の当接面、レンズ２とレンズ３の当接面で、それぞれ光軸のずれが生じ、モジュール全体では、それらが積算され、レンズの数が増加するに従い、そのずれは大きくなることが予想される。上述のように、光通信用モジュールにおいては、光軸合わせには高精度が要求され、特許文献１の方法では、その精度を得る事は難しい。
【００１０】
また、特許文献１に開示されている光軸上に並ぶ光学部品は、レンズのみである。レンズとは異なり、薄膜フィルターなどは、その加工精度（フィルターを切り出す）により生じる厚みムラを有している場合がある。よって、２枚のレンズ間に薄膜フィルターを挟んだＷＤＭ３端子フィルターモジュールなどでは、特許文献１の方法を用いて、要求される光軸合わせの精度を得るのは不可能である。
【００１１】
上述のような従来技術の問題点は、各光学部品がその配列される順序のとおりに並べられて接合されるため、各光学部品間の接着剤の厚みムラや、該光学部品自身の加工精度によるサイズムラが積算されてしまい、特にモジュールの両端部にある光学部品同士など、距離の離れた光学部品間の位置・光軸のずれが大きくなってしまう点にある。ＷＤＭ３端子フィルターモジュールの例においては、各光学部品を組み立てる際、第１のコリメートレンズ、薄膜フィルター、第２のコリメートレンズをこの順に相互に接着すると、接着箇所が２箇所になり、その接着剤の厚みムラが加算され、また、該薄膜フィルターの加工精度による厚みムラが加算される分、該２つのコリメートレンズの光軸の平行度や垂直方向の位置合わせにずれが生じやすく調整が容易にできなかった。
【００１２】
本発明は、以上の点により従来の光通信モジュールが有していた光軸調整が困難で組立精度が高められないという問題点を解決し、組み立ての簡単な光通信モジュールを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光通信モジュールであって、光通信の光路上に、少なくとも第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材がこの順に配置されており、第三の光学部材が第一の光学部材に接合していることを特徴とする
光通信モジュールに関するものである。
【００１４】
本発明においては、第一の光学部材をもって位置合わせの基準とする。第三の光学部材は、第二の光学部材に対して接合されるのではなく、基準とした該第一の光学部材に直接接合することによって位置決めされる。
【００１５】
ＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの例で説明する。このモジュールでは本発明の適用として、第１のコリメートレンズを位置合わせの基準となる「第１の光学部材」とし、第２のコリメートレンズを「第３の光学部材」とする。第１のコリメートレンズと第２のコリメートレンズは図２に例示するように、接合部２１ａを有する。そして該接合部２１ａの当接面２１ｃ同士を向かい合わせて、これらのコリメートレンズを直接接合させる。これにより該２つのレンズの位置決めを行う。少なくとも第２のコリメートレンズは薄膜フィルタ−に対して直接接合させない。このような構成にすると、第１のコリメートレンズと第２のコリメートレンズは、この２者の加工精度のみで相互の光軸の位置・平行度の調整が可能となる。
【００１６】
モジュールとしての組み立ての手順としては、まずこれら第１のコリメートレンズと第２のコリメートレンズをそれぞれの当接部を接合させて組み合わせる。該接合部の当接面はそれぞれのレンズの光軸に対して高精度で垂直な平面を有するよう、金型成形ないし加工してある。そしてそれぞれの光軸が一致するようにレンズ位置を調整する。次にこれら２者のレンズの間に薄膜フィルターを配置して、光軸に対する該フィルター面の平行度などを制御して所定の特性を得られるよう調整し、接着剤などで固定する。このような工程にすることにより、簡単な組立工程を実現できる。
【００１７】
このように本発明により、第三の光学部材を第一の光学部材に当接させるだけで、簡単に、位置決め、光軸合わせが可能となる。また、位置合わせの基準となる光学部材を「第一の光学部材」唯一にしておくことにより、位置ずれが積算される事が無く、モジュール全体での光軸ずれを少なくすることができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
第１の実施例として本発明をＷＤＭ用３端子フィルターモジュールに適用した例を図１を用いて説明する。
【００１９】
ＷＤＭ用３端子フィルターモジュールは、入射光用光ファイバー１６ａ、透過光用光ファイバー１６ｃ、反射光用光ファイバー１６ｂ、第１のコリメートレンズ１１、第２のコリメートレンズ１２、薄膜フィルター１３、デュアルキャピラリー１４、シングルキャピラリー１５の各部品で構成されている。
【００２０】
入射光用光ファイバー１６ａには波長の異なる複数の光線が多重化されて伝送されてくる。この入射光用光ファイバー１６ａから出射した光は第１コリメートレンズ１１に入る。該第１のコリメートレンズ１１は、入射光用光ファイバー１６ａから出射した光を平行光に変換する働きをもつ。この平行光は薄膜フィルター１３に入射する。このフィルターで所定の波長の光（λｍ）のみ透過して、その光は第２のコリメートレンズ１２に入射する。他の光は反射されて第１のコリメートレンズ１１に戻る。該第２のコリメートレンズ１２を透過した光（λｍ）は透過光用ファイバー１６ｃの端面に集光されて該ファイバー内に導かれる。薄膜フィルター１３で反射されたほうの光は、第１のコリメートレンズ１１によって反射光用光ファイバー１６ｂの端面に集光されて該ファイバー内に導入される。
【００２１】
デュアルキャピラリー１４は入射光用光ファイバー１６ａと反射光用光ファイバー１６ｂの２本の光ファイバーを保持する部品である。シングルキャピラリー１５は透過光用光ファイバー１６ｃを保持する部品である。各キャピラリーはジルコニアや石英など、公知の部材にて構成されたものを用いる。
【００２２】
そしてこれらの部品を装填するために本実施例では図３に示すような形状のスリーブ３１を用いた。このスリーブ３１はステンレス金属製の管状体から加工し、後述の組み立て方法が可能な構造とした。またこのスリーブ３１には後述の調整アームを通過させるためのスリット３１ａを設けた。また、接着剤を充填するための孔部３１ｂおよび薄膜フィルター装填用の孔部３１ｃを設けた。
【００２３】
第１のコリメートレンズおよび第２のコリメートレンズの典型的な形状を図２に示す。
【００２４】
第１のコリメートレンズおよび第２のコリメートレンズには、本発明を適用した接合部２１ａをレンズの外縁部に設けた。この形態のレンズを接合部一体型レンズ２１と呼ぶことにする。この接合部分により、第１の光学部品である第１のコリメートレンズは、第２の光学部品である薄膜フィルターを介さずに、第３の光学部品である第２のコリメートレンズに直接接合することができる。この接合部２１ａは位置決め手段になっており、その略先端部の当接面２１ｃを相互に接合することにより、組立及び軸調整の一部工程が完了する。上述のレンズは、光学ガラスを加熱し金型でプレスして成形し、レンズ本体と接合部とはそれぞれ一体的に成形した。
【００２５】
該接合部の当接面２１ｃはそれぞれ、コリメートレンズの光軸に対して、高い精度で垂直な平面を形成可能なように、金型を設計し作製した。典型値としては光軸に対して９０±  ０．５度以内の範囲で作製することが好適である。
【００２６】
また、これら各接合部２１ａの長さにより、第１のコリメートレンズと、対向する第２のコリメートレンズの中心距離を規定することができる。
【００２７】
次に上記本発明の各光学部品を組み立てて、ＷＤＭ３端子フィルターモジュールを構成する工程について説明する。
【００２８】
第１段階として、入射光用光ファイバー  ―  第１のコリメートレンズ  ―  第２のコリメートレンズ  ―  透過光用光ファイバー  の４者が低損失で結合するように位置決め・光軸調整・固定を行なう。
【００２９】
まず、図４に示すように、入射光用光ファイバー１６ａと反射光用光ファイバー１６ｂをデュアルキャピラリー１４に挿入して接着剤等で固定し、ファイバー端面をキャピラリーの端面４４ごと研磨する。その表面に同じくキャピラリー端面ごと反射防止膜４５を真空製膜する。この反射防止膜は公知の構成の薄膜を用いてよい。また、透過光用光ファイバーをシングルキャピラリーに挿入して接着剤等で固定し、同様に端面研磨と反射防止膜の製膜を行なう。
【００３０】
次に、上記の光ファイバー接続加工を施したデュアルキャピラリーとシングルキャピラリー、ならびに第１のコリメートレンズ、第２のコリメートレンズに各々、図５のように調整アーム５２を取り付ける。この調整アームをゴニオメーターなどで保持して、各光学部品を外部から位置や角度の調整をする。
そしてデュアルキャピラリー１４と第１のコリメートレンズ１１の２者の調整を行なう。
【００３１】
それぞれの光学部品に取り付けた調整アーム５２ａ、５２ｂをゴニオメーター（図示しない）により保持し、両光学部品を対向させる。そして第１のコリメートレンズ１１の側から所定の波長のテスト用平行光を入射する。そして第１のコリメートレンズ１１により集光された光線がデュアルキャピラリー１４の入射光用のファイバー端面に集光してファイバー内に導入されるよう、ゴニオメーターで調整する。入射光用ファイバーを逆行した光線をモニターして、該テスト用平行光に対してもっとも低損失で伝播するよう位置・光軸を調整する。（第１の調整ステージ）
【００３２】
また、透過光用ファイバーが接続されたシングルキャピラリーと第２のコリメートレンズも同様に位置・光軸の調整を行なう。（第２の調整ステージ）
【００３３】
上述の第１の調整ステージと第２の調整ステージはそれぞれ独立の調整が完了した状態で、各調整ステージをゴニオメーターごと移動可能な構造にしておく。そして図６に示すように、該２組の光学部品（［デュアルキャピラリー＋第１のコリメートレンズ］と［第２のコリメートレンズとシングルキャピラリー］）をスリーブの両端から、それぞれ調整された状態のままスリーブ内部へ挿入する。このとき各光学部品に取り付けられ
た調整アームは、スリーブ内部からスリットを通じて外部に伸びた形態となる。
【００３４】
そしてスリーブの内部で、第１の調整ステージ上の第１のコリメートレンズの接合部と、第２の調整ステージ上の第２のコリメートレンズの接合部の当接面が相互に接合するように、第１および第２の調整ステージを移動して位置合わせをする。
【００３５】
この接合部を接合するだけで第１のコリメートレンズと第２のコリメートレンズの光軸の平行度は確保される。この状態で入射光用ファイバーからテスト光を入射し、透過光用のファイバーから出射する光をモニターする。そしてテスト光に対してもっとも低損失となるように、第１調整ステージに対する、第２調整ステージの位置を図６に示すＸ−Ｙ平面内で調整する。このとき薄膜フィルターの設置される位置に、該フィルターの基板と同じ屈折率を有する、擬似基板を配置するとより正確に調整ができる。
【００３６】
以上のようにして調整した後、スリーブに加工した接着剤注入孔からエポキシ接着剤等を充填し、硬化させる。必要に応じて加熱しながら硬化させることも可能である。
その間もテスト光をモニターし、低損失状態を追従しつづけるとより効果的である。
【００３７】
以上の工程により、入射光用ファイバー  ―  第１のコリメートレンズ  ―  第２のコリメートレンズ  ―  透過光用ファイバー  の４者が低損失で結合するような調整・組み立てが完了する。
【００３８】
次に薄膜フィルターを装填する。図６に示すように、該薄膜フィルターにも調整用アームを取り付けておく。そしてスリーブの薄膜フィルター装填用の孔部を通して該薄膜フィルターを装填する。その状態でテスト光を入射用フィルターから導入し、透過光および反射光をモニターして各特性（中心波長、挿入損失、透過帯域リップル、パスバンド幅、ストップバンド幅など）が仕様をみたすような角度、位置を調整する。反射角も変化するので、反射光用光ファイバーからの反射光損失も、併せてもっとも低くなるように調整する。
【００３９】
調整が完了した状態で、スリーブに加工した接着剤注入孔からエポキシ接着剤等を充填し、必要に応じて加熱しながら硬化させ薄膜フィルターを固定する。その間もテスト光をモニターし、低損失状態を追従しつづけるとより効果的である。
【００４０】
接着剤が完全に硬化したら、各光学部品に取り付けた調整用アームは取り外すかまたは切断する。
【００４１】
以上のような工程により、本発明の光学部品を適用したＷＤＭ３端子フィルターモジュールの調整・組み立てが完了する。組み立てが完了した本発明によるＷＤＭ３端子フィルターモジュールの断面図を図７に示す。これは図６に示すＸ−Ｚ面で該モジュール中心部を切った状態を模式的に表している。
【００４２】
以上の構成を採ることにより、接合部一体型レンズを対向して接合するだけで、位置決め・光軸調整作業が簡素化できた。
【００４３】
スリーブ形状は、モジュールとしての完成形態にあわせて任意に構成することが可能であるが、本実施例では円柱状の光学部品に対して円筒型のスリーブを用いる構成とした。そして該スリーブの内径を各光学部品の直径と略同じサイズのものを用いる構成とした。この構造をとることにより、コリメートレンズなど各光学部品の光軸は、該光学部品の外径とスリーブの内径の設計により、しかるべき精度をもって装填時にある程度、位置決めされるようにした。
【００４４】
なお、上述の各実施例ではほぼ円筒形のレンズ、キャピラリー、及び円筒形のスリーブ等、を使用したモジュールを示したが、同様の機能を奏でるものであれば、これらの形状に何等限定されるものではないのは言うまでもない。
【００４５】
また、本実施例では金属のスリーブを例示したが、たとえば石英ガラスなどの透明部材を用いて構成し、接着剤として紫外線硬化型の樹脂を用いることにより、上記接着工程において接着剤の充填後、対応波長の紫外線を照射して硬化させる方法も有効である。
【００４６】
本実施例では、レンズの曲面が周辺部と中心部とで曲率が異なるいわゆる非球面レンズを用いた。しかし本発明はこれに限られるものではなく、任意の形状のレンズに適用することが可能である。また、レンズの構成材料としては光学ガラス（例えば、石英ガラス、材料記号ＢＫ―７のホウケイ酸ガラス等）を用いたが、透明樹脂（例えば、エポキシ等）なども金型成形する上で適している。
【００４７】
薄膜フィルターはガラス基板の上に誘電体の薄膜を真空蒸着等のプロセスで多層に積層したいわゆる薄膜フィルター素子を用いた。その製造方法は「光学薄膜」（Ｈ．Ａ．Ｍａｃｌｅｏｄ著、小倉繁太郎等訳、日刊工業新聞社発行）に記載されている全誘電体ファブリーペローエタロン（光学路長がλ／４の高屈折率層８と低屈折率層９を対としたミラー層を複数層重ね、その上に光学路長がλ／２の整数倍のスペーサー層１０を設け、その上に先のミラー層を逆転させて積層した基本構造を有する）を、結合層を介して複数積み重ねたものからなり、上記文献などに記載されている公知の技術を用いて作製した。
【００４８】
接合部の形状は、位置決め・光軸調整が簡単となるように、種種の形態をとることが可能である。
【００４９】
（実施例２）
本発明の第２の実施例として、図８に示すように当接面に段差を有している構造の光通信モジュールについて説明する。
【００５０】
構成部品としては、第１実施例と同様に、入射用の光ファイバー、反射用の光ファイバー、該２本の光ファイバーを保持する部材であるデュアルキャピラリー、本発明を適用して接合部を設けた第１のコリメートレンズ、ＷＤＭ用薄膜フィルター、透過光を収束させるためのレンズであって、本発明の適用して接合部を設けた第２のコリメートレンズ、透過用の光ファイバーからなる。
【００５１】
第１の実施例との違いは、接合部の当接面に段差を施した点である。第１のコリメートレンズの接合部に凸状の段差８１を設けた。また、第２のコリメートレンズの接合部には、それを受ける形状の段差８２を設けた。当接面の角度は実施例１と同様に、それぞれのコリメートレンズの光軸に対して９０±０．５度以内と高い精度で作製した。
【００５２】
これら２者を組み合わせて接合させる。この構成にすると、実施例１の構造で得られた、２つのレンズの光軸の平行度を簡便に保持できることに加えて、該光軸に垂直な方向の位置合わせ、（上述のＸ−Ｙ方向の調整）が完了ないし簡便になり、第１実施例よりさらに簡便に組立を行なうことが可能となる。
【００５３】
また、第２実施例の構造においては、凹凸状の段差に限られない。たとえば該光学部品の接合面にテーパー面を有している構造を採ることにより、第２実施例と同様の効果を売ることが可能である。その構成例を図９に示す。接合面は、テーパー面９１である。
【００５４】
（実施例３）
第３の実施例として、第１なし第２の実施例のＷＤＭ３端子フィルターモジュールを、シリコンベンチ上に構成した例について説明する。
【００５５】
シリコン単結晶にフォトレジストを塗布して所定のマスクをかけて感光させたあと、ＫＯＨ溶液を用いて異方性エッチングを行いＶ溝（光ファイバなどを実装するための溝）や台形型溝（レンズなどの光学部品を実装するための溝）など、光学部品の位置決めが可能となる凹部を形成した。これをシリコンベンチと呼ぶ。
【００５６】
本実施例は図１０の（ａ）および（ｂ）に示すように、シリコンベンチ１０１の上に入射光用の光ファイバー、反射光用の光ファイバー、本発明を適用して接合部を設けた第１のコリメートレンズ、薄膜フィルター、本発明の適用して接合部を設けた第２のコリメートレンズ、透過光用の光ファイバーを配置装着して、ＷＤＭ３端子フィルターモジュールを構成した例である。接合部一体型レンズの形態としては実施例１と同様のものを用いた。
【００５７】
まず、実施例１と同様に、入射光用ファイバー  ―  第１のコリメートレンズ―  第２のコリメートレンズ  ―  透過光用ファイバー  の４者が低損失で結合するような調整・組み立てを行なうが、シリコンベンチは上述のようなリソグラフィーと異方性エッチングにより、各光学部品が配置されるＶ溝や台形溝を高精度で加工することが可能である。そのため、各光ファイバーはＶ溝１０２に装着すれば位置決めが完了する。第１および第２のコリメートレンズにおいては、本発明により接合部の当接面を相互に直接接合させて、台形溝１０３上に装着する。この構造をとると、まず、該接合部の構造により、第１のコリメートレンズと第２のコリメートレンズの光軸の平行度が保持されるとともに、各レンズの中心距離が決定される。そして台形溝１０３に装着することにより、各レンズの光軸の、Ｘ−Ｙ平面内での位置が決定される。すなわち各ファイバーおよび各レンズを装着した段階で残った調整要素は  「接合部を相互に接合したコリメートレンズの組」のＺ軸方向の位置のみとなり、位置決め・光軸調整のほとんどが完了する。
【００５８】
これを入射光用フィルターからテスト光を入射して透過光をモニターし、損失がもっとも低くなるように、該「コリメートレンズの組」のＺ軸方向の位置を調整して、各光学部品をエポキシ接着剤などで固定する。その後に薄膜フィルターを装填して、特性の調整を行なう。
以上の構成をとることにより、より簡便な位置決め・光軸調整が可能であり組立工程の簡略化が図れる。
【００５９】
さらに、図１０の（ｂ）に示すような、光ファイバ端部とレンズとの距離を一定に保つ位置決め手段である凸部１０４を、シリコンベンチ上のレンズが装着される台形溝１０３内に設けると、該第１コリメートレンズの外縁部を該凸部に当接させて装着することにより、該「コリメートレンズの組」のＺ軸方向の位置をも調整が完了する。すなわち各光学部品の位置決め・光軸調整工程はそれらの装填段階ですべて完了する構成とすることが可能である。
【００６０】
【本発明の効果】
光通信モジュールにおいて、光通信の光路上に、少なくとも第一の光学部材、第二の光学部材、第三の光学部材がこの順に配置されており、第三の光学部材が、第一の光学部材に直接接合することにより、各光学部品の光軸の平行度や位置を容易に調整することができ、モジュール組み立て工程の簡素化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの構成模式図である。
【図２】本発明の実施例による、接合部一体型レンズである。
【図３】本発明の実施例によるスリーブである。
【図４】本発明の実施例によるデュアルキャピラリー部の組立図である。
【図５】本発明の実施例によるデュアルキャピラリーと第１コリメートレンズの組立図である。
【図６】本発明の実施例によるＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの組立図である。
【図７】本発明の実施例によるＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの断面図である。
【図８】本発明の実施例によるＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの断面図である。
【図９】本発明の実施例によるＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの断面図である。
【図１０】本発明の第２実施例によるＷＤＭ３端子薄膜フィルターモジュールの断面図である。
【符号の説明】
１１  第１のコリメートレンズ
１２  第２のコリメートレンズ
１３  薄膜フィルター
１４  デュアルキャピラリー
１５  シングルキャピラリー
１６ａ  入射光用光ファイバー、
１６ｂ  反射光用光ファイバー
１６ｃ  透過光用光ファイバー、
２１  接合部一体型レンズ
２１ａ  接合部
２１ｃ  当接面
３１  スリーブ
３１ａ  スリット
３１ｂ  接着剤を充填するための孔部３１ｂ
３１ｃ  薄膜フィルター装填用の孔部３１ｃ
４４  ファイバー端面をキャピラリーの端面
４５  反射防止膜
５２ａ  調整アーム
５２ｂ  調整アーム
８１  第１のコリメートレンズの接合部に凸状の段差
８２  第２のコリメートレンズの接合部の段差
９１  テーパー面
１０１  シリコンベンチ
１０２  Ｖ溝
１０３  台形溝
１０４  位置決め手段である凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004219766.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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