(57)【要約】【課題】隔壁成形型の製作における加工の困難性を無くし低価格化を実現するとともに、微細な隔壁を歩留まりよく形成できる隔壁形成方法を提供する。【解決手段】隔壁を形成する成形型にグリーンシートを充填し、このグリーンシートを背面基板に転写して隔壁を形成するプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法において、基台８上に離形シート９、グリーンシート７、平板型１０の順に重ねて設置する工程と、平板型１０の上に背面基板２を重ね、背面基板２の上からプレス荷重を加えて平板型１０を押し下げ、平板型１０に設けられた貫通穴にグリーンシート７を充填する工程と、充填したグリーンシート７が背面基板２と密着した時点でプレスを停止し、背面基板２を持ち上げて平板型１０に充填されたグリーンシート７を引き剥がし、背面基板１０にグリーンシート７を転写する工程を含む隔壁形成方法。【選択図】　　　図１
2004119302.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁を形成する成形型にグリーンシートを充填し、このグリーンシートを背面基板に転写して隔壁を形成するプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法において、基台上に離形シート、グリーンシート、平板型の順に重ねて設置する工程と、平板型の上に背面基板を重ね、背面基板の上からプレス荷重を加えて平板型を押し下げ、平板型に設けられた貫通穴にグリーンシートを充填する工程と、充填したグリーンシートが背面基板と密着した時点でプレスを停止し、背面基板を持ち上げて平板型に充填されたグリーンシートを引き剥がし、背面基板にグリーンシートを転写する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【請求項２】
前記平板型には１枚の板に複数の貫通した長穴が開けられ、この長穴にグリーンシートを充填して隔壁を形成することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【請求項３】
前記背面基板を持ち上げて平板型に充填されたグリーンシートを引き剥がす際、グリーンシートの背面基板への密着力が平板型との密着力よりも大きくなるように、あらかじめ平板型に離型表面処理を施しておくことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【請求項４】
前記背面基板を持ち上げて平板型に充填されたグリーンシートを引き剥がす際、グリーンシートの背面基板への密着力と平板型への密着力との差により平板型から引き出し、背面基板に転写されることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【請求項５】
前記グリーンシートの厚さを平板型の厚さよりも厚く形成し、プレスによりグリーンシートが背面基板と密着しても平板型は離形シートから離間していることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【請求項６】
前記平板型とプレスにより背面基板にグリーンシートを密着させ、グリーンシートを背面基板に転写することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造工程において、基板上に表示セルの微細な隔壁を形成するためのプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネルの基本的な構成は、図２の斜視図においてその一例を示すように、前面基板１と背面基板２とを、両基板にそれぞれ形成された帯状電極３、４が互いに直角に対向するように重ねあわせ、その交点において背面基板２に形成されたストライプ状または格子状の隔壁５内で放電を起こすことにより発光する。この隔壁５は非常に微細な構造が要求され、例えば、ストライプ状のものにおいては、高さが１００〜１５０μｍ、幅が数十μｍのものが、対角寸法４０〜６０インチの大画面プラズマディスプレイ用背面基板の全面にわたって形成されることが要求されている。
【０００３】
この隔壁形成方法については、種々な方法が実施されている。例えば、隔壁となる誘電体ペーストを所定の高さになるまで繰り返しスクリーン印刷し、焼成することによって形成するスクリーン印刷方法や、所定の厚さに誘電体ペーストを塗布し乾燥した後、表面を感光性レジストによってパターン化し、サンドブラストにより不要部分を除去して形成するサンドブラスト方法や、感光性レジストに溝パターンを形成し、溝の中に誘電体ペーストを埋め込み乾燥した後、感光性レジストを除去するフォト埋め込み方法などが実用化されている。
【０００４】
しかしながらスクリーン印刷方法においては、多数回のスクリーン印刷を繰り返さなければならないため、スクリーンに変形を生じたり、また毎回の位置合わせを必要としたりすることから、大画面プラズマディスプレイパネルに対し微細化した隔壁を低コストかつ高精度で形成することは困難である。また、サンドブラスト方法においては、隔壁のパターン化はフォトリソグラフィ技術によって行なわれるため、高精度に形成することができる。しかし、工程数が多い上に材料の約２／３が消費されて無駄が多く、材料の再利用も困難であることから高コストとなる。また、フォト埋め込み方法も同様に工程数が多く、さらに狭隙間の溝内に誘電体ペーストを埋め込むことが難しく、微細化した隔壁形成に対応することは困難である。
【０００５】
そこで、これらの製造コスト及び工程数を低減するために、加圧成形方法と呼ばれる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この方法は、一例として、図３（ａ）の断面図に示すように、隔壁の形状に合致した凹部を有する成形型６を用意し、この成形型６の凹部に、隔壁を形成する材質としてセラミックス又はガラス粉末と溶媒及び有機性添加物のバインダーとの混合物（以下、グリーンシート７と称する）を充填する。一方、セラミックス又はガラスからなる背面基板２を別に用意し、この背面基板２に上記グリーンシート７の成形体を接合一体化して隔壁を形成する方法である。
【０００６】
具体的には、成形型６に充填したグリーンシート７の表面に背面基板２を押し当てて加圧接着し、グリーンシート７を乾燥して固化させる。その後、図３（ｂ）の断面図に示すように、上下を逆にして成形型６を離型させることによって、背面基板２上に、グリーンシート７の成形体からなる隔壁５を転写形成するものである。
【０００７】
【特許文献１】
特開平０９−１３４６７６号公報（図２）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の加圧成形方法には、次のような問題点がある。まず、セラミックスやガラスからなる背面基板は４０インチ以上と言った大面積であり、うねりや凹凸という基板変形が存在し易い。そのため、成形型に均一に押し当てることが困難となり、成形型に充填したグリーンシートを完全に転写することが出来ないため成形後の隔壁に欠陥が発生するという問題がある。
【０００９】
また、このように基板変形に対する成形型の追従性に難があることから、背面基板と成形型との間の隙間にグリーンシートが侵入し、オーバーコート部の膜厚が零にならないと言う問題がある。
【００１０】
また、微細な隔壁を加圧成形するための成形型は、深さ１００〜１５０μｍ、幅数十μｍ程度の溝を多数加工しなければならず、背面基板の大面積化に対応した成形型を機械加工により高精度に製作することは容易ではなく、高価格になるという問題がある。
【００１１】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、成形型の製作における加工の困難性を無くし低価格化を実現するとともに、微細な隔壁を大面積プラズマディスプレイパネルに歩留まりよく形成できる隔壁形成方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、隔壁を形成する成形型にグリーンシートを充填し、このグリーンシートを背面基板に転写して隔壁を形成するプラズマディスプレイパネル用隔壁形成方法において、基台上に離形シート、グリーンシート、平板型の順に重ねて設置する工程と、平板型の上に背面基板を重ね、背面基板の上からプレス荷重を加えて平板型を押し下げ、平板型に設けられた貫通穴にグリーンシートを充填する工程と、充填したグリーンシートが背面基板と密着した時点でプレスを停止し、背面基板を持ち上げて平板型に充填されたグリーンシートを引き剥がし、背面基板にグリーンシートを転写する工程を含む隔壁形成方法である。
【００１３】
本発明において、前記平板型には１枚の板に複数の貫通した長穴が開けられ、この長穴にグリーンシートを充填して隔壁を形成するようにした隔壁形成方法であり、また、本発明は、前記背面基板を持ち上げて平板型に充填されたグリーンシートを引き剥がす際、グリーンシートの背面基板への密着力が平板型との密着力よりも大きくなるように、あらかじめ平板型に離型表面処理を施しておくようにした隔壁形成方法であり、また、グリーンシートの背面基板への密着力と平板型への密着力との差によりグリーンシートを平板型から引き出し、背面基板に転写されるようにした隔壁形成方法である。
【００１４】
また、本発明は、前記グリーンシートの厚さを平板型の厚さよりも厚く形成し、プレスによりグリーンシートが背面基板と密着しても平板型は離形シートから離間しているようにした隔壁形成方法であり、また、本発明は、前記平板型とプレスにより背面基板にグリーンシートを密着させ、グリーンシートを背面基板に転写するようにした隔壁形成方法である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明における隔壁形成方法の一実施の形態を（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の工程順に説明する図である。
【００１６】
まず、図（ａ）に示すように、強固で平滑な表面を有する基台８を水平に設置する。この基台８の上に離形シート９を載せる。この離形シート９は一般に離型材として用いられているものでよい。次いで、その上に隔壁材料となるグリーンシート７を載せる。グリーンシート７は、セラミックス又はガラス粉末と溶媒及び有機性添加物のバインダーとの混合物を板状に加工したものである。このグリーンシート７の厚さは、その上に載せる平板型１０の厚さよりも多少厚めに形成しておく。次いで、グリーンシート７の上に隔壁成形型となる平板型１０を載せる。この平板型１０は、厚さ１００〜１５０μｍ程度の１枚の金属板に、幅数十μｍ程度の微細な長穴１１を多数形成したもので、従来の成形型における溝加工と比較して、貫通孔を設ければよいため加工が容易となっている。
【００１７】
次に、図（ｂ）に示すように、平板型１０の上に背面基板２を載置する。そして、基台８上に離形シート９、グリーンシート７、平板型１０、背面基板２を重ねた状態で、その上から全面に均等に圧力がかかるように徐々にプレス荷重を加える。
【００１８】
次に、図（ｃ）に示すように、プレス荷重が加わるに従って平板型１０はグリーンシート７に沈み込み始め、平板型１０の長穴１１にグリーンシート７が充填されてくる。そして、長穴１１全体がグリーンシート７で充填された時点でプレスを完了する。この際、グリーンシート７の厚さの方が平板型１０の厚さよりも厚いため、平板型１０はグリーンシート７を突き抜けてその下の離形シート９に達することはない。
【００１９】
次に、図（ｄ）に示すように、プレス完了後、背面基板２を持ち上げる。この時、グリーンシートに対する密着力は、背面基板＞＞平板型内壁又は離形シートの関係にあり、背面基板との密着力が最も強い。この密着力の差は、背面基板と平板型との表面粗さの違いや、あるいは平板型に離型剤を施したり内壁面をテーパー構造にしたりすることによって得られたもので、あらかじめ平板型に離型表面処理を施しグリーンシートとの間の密着力に相対的な差を設けることによって実現している。その結果、背面基板２を持ち上げると同時にグリーンシート７は平板型１０から引き剥がされ、グリーンシート７により形成された隔壁５が背面基板２に転写される。なお、グリーンシート７の下には離形シート９があるためグリーンシート７との密着力はきわめて弱く、背面基板２を持ち上げたときに容易に剥離できる。次いで、グリーンシート７が転写されて隔壁５が形成された背面基板２を焼成し、ストライプ状の隔壁形成を完了する。
【００２０】
【発明の効果】
以上述べてきたように、本発明によれば、背面基板をグリーンシート及び平板型の上に重ねて載置し、プレス圧力を加えるだけのシンプルな手法で隔壁形成ができるようになったので、少ない工数で高い生産性が得られる。
【００２１】
また、背面基板に変形によるうねりや凹凸があっても、平板型が薄い１枚板であることから基板変形に対する追従性が向上し、背面基板へのグリーンシートの転写が完全に行われるようになり、隔壁の欠陥発生を防ぐことができる。
【００２２】
また、微細な隔壁を加圧成形するための成形型を１枚板である平板型としたことによって、従来、深さ１００〜１５０μｍ、幅数十μｍ程度の溝を多数加工しなければならなかったのに比べ、長穴を抜き穴加工すれば済むことから機械加工が容易になり、低コストで製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における一実施の形態を説明する工程図である。
【図２】プラズマディスプレイパネル構造の一例を示す斜視図である。
【図３】従来の隔壁形成方法を説明する断面図である。
【符号の説明】
１　　前面基板
２　　背面基板
３、４　　帯状電極
５　　隔壁
６　　成形型
７　　グリーンシート
８　　基台
９　　離形シート
１０　　平板型
１１　　長穴
【図１】
2004119302.tif 000003
【図２】
2004119302.tif 000004
【図３】
2004119302.tif 000005