(57)【要約】【課題】伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚によって人間の足による歩行の原理と類似の方法で可動子を送るようにした装置において、とくに高精度の微小送りを可能にする。【解決手段】送り量がほぼ１μｍ以下の場合には駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３を伸長させて駆動脚２１、２２の先端部を可動子２７に接触させた状態で剪断変形部２４の剪断変形動作のみによって可動子２７を送る。【選択図】  図１６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変形部の伸縮変形と前記剪断変形部の剪断変形とを組合わせ、前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした送り装置において、
前記可動子の送り量が微小な場合には前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて前記剪断変形部の剪断変形動作のみによって前記可動子を送ることを特徴とする送り装置。
【請求項２】
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした装置において、
前記可動子の送り量が所定の値よりも大きいときには前記伸縮変形部の伸縮変形と前記剪断変形部の剪断変形とを組合わせて前記可動子を送り、
前記可動子の送り量が所定の値よりも小さいときには前記伸縮変形部を伸長させて前記剪断変形部の剪断変形動作のみによって前記可動子を送ることを特徴とする送り装置。
【請求項３】
前記可動子の送り量がほぼ１μｍ以下のときに前記剪断変形部の前記剪断変形動作のみによって前記可動子を送ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の送り装置。
【請求項４】
ステージの所定の軸方向のアクチュエータであることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載の送り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は送り装置に係り、とくに伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、このような駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部の変形を利用して可動子を送るようにした送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特公平３−８１１１９号公報には、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置が開示されている。
【０００３】
このような送り装置は、人間の足による歩行の原理と類似の方法によって可動子を送るものであって、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側と接触させて剪断変形を起させると、駆動脚の先端部と可動子または固定側との間に発生する摩擦力によって可動子が送られるものである。従って駆動脚が可動子または固定側との間に所定の摩擦力を発生するように、重力あるいはばねの押圧力によって駆動脚の先端部が可動子または固定側に接触するようにしている。
【０００４】
【先行特許文献】特公平３−８１１１９号公報
【発明が解決しようとする課題】
このように特公平３−８１１１９号公報に開示されている送り装置は、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚の上記伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形の組合わせによって歩行の原理と類似の動作を行なうことによって可動子を送るものであって、従来公知の共振型の超音波モータとは全く別の原理によるものである。そしてこのような送り装置はその送り量の精度が高いという特徴を有している。
【０００５】
ところが極めて微小であって、例えば１μｍ以下の送りを実現しようとする場合に、伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形とを組合わせた場合には、逆に無駄な振動を発生し、しかも複数の駆動脚の交互の送り動作によって送り精度が劣化する。従って微小量の高精度な送りを行なうのに対して限界を生ずる。
【０００６】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚から成る送り装置において、とくに微小な高精度の送りを達成するようにした送り装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願の主要な発明は、
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変形部の伸縮変形と前記剪断変形部の剪断変形とを組合わせ、前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした送り装置において、
前記可動子の送り量が微小な場合には前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて前記剪断変形部の剪断変形動作のみによって前記可動子を送ることを特徴とする送り装置に関するものである。
【０００８】
本願の別の主要な発明は、
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした装置において、
前記可動子の送り量が所定の値よりも大きいときには前記伸縮変形部の伸縮変形と前記剪断変形部の剪断変形とを組合わせて前記可動子を送り、
前記可動子の送り量が所定の値よりも小さいときには前記伸縮変形部を伸長させて前記剪断変形部の剪断変形動作のみによって前記可動子を送ることを特徴とする送り装置に関するものである。
【０００９】
ここで前記可動子の送り量がほぼ１μｍ以下のときに前記剪断変形部の前記剪断変形動作のみによって前記可動子を送るようにすることが好ましい。またステージの所定の軸方向のアクチュエータであることが好適である。
【００１０】
本願に含まれる発明の好ましい態様は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のテーブルを有するステージにおいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のアクチュエータとして伸縮変形部と剪断変形部とを有する複数の駆動脚を有する駆動ユニットを用いるようにし、このような駆動ユニットの上記駆動脚の伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形の組合わせによってＸ軸方向のテーブルの可動子とＹ軸方向のテーブルの可動子とをそれぞれ送るようにしたものである。そしてここでとくに、送り量が微小な場合、例えば１μｍ以下のときには、伸縮変形部を伸長したままの状態にして駆動脚の先端を可動子に圧着し、剪断変形部の剪断変形動作のみによって可動子を送るようにしたものである。
【００１１】
このような構成に係るステージによると、とくに所定の位置まで移動した後に最終的な送り量あるいはストロークの調整が、極めて高精度に行なわれるようになり、高精度な位置決めが可能になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図示の一実施の形態によって説明する。本実施の形態は、精密送りのためのＸ−Ｙステージ装置に関するものである。このステージ装置は図１に示すようにＸ軸ベース８と、Ｘ軸ステージ９と、Ｙ軸ベース１０と、Ｙ軸ステージ１１とから構成されている。Ｘ軸ステージ９はＸ軸ベース８上においてＸ軸方向に移動可能に支持されている。そしてＸ軸ステージ９上にＹ軸ベース１０が固定されている。そしてＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０にＹ軸方向に移動可能に支持されている。このような構成によって、２軸ステージ、すなわちＸ−Ｙステージを可能にしている。
【００１３】
図２〜図５はＸ軸ベース８とＸ軸ステージ９との組合わせ、すなわちＸ軸ベース８上においてＸ軸ステージ９をＸ軸方向に移動するための機構を示している。これに対して図６〜図９はＹ軸ステージ１１をＹ軸ベース１０に対してＹ軸方向に移動可能に支持する機構を示している。これらＸ軸方向の送り機構およびＹ軸方向の送り機構は同様の構造をなしているので、ここでは図６〜図９に示すＹ軸ステージ１１の移動機構について説明する。
【００１４】
Ｙ軸ベース１０上には、その両側に一対のレール１２が設けられている。これに対してＹ軸ステージ１１の下面にはとくに図８および図９に示すように、その両側にレール１３が設けられている。なお図６においてはステージ１１側のレール１３を便宜上ベース１０の上に重ねて示している。ベース１０側のレール１２とステージ１１側のレール１３とはとくに図９に示すように、その側面が互いに対向するように位置し、しかもこれらのレール１２、１３間に転動子１４が介装されるようになっている。そしてレール１２、１３、および転動子１４によっていわゆるクロスローラが構成されるようになっており、このようなクロスローラによってＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０上をレール１２、１３の長さ方向すなわちＹ軸方向に摺動可能に支持される。
【００１５】
ベース１０上には図６および図９に示すように、互いに対向するように一対の駆動ユニット１８が配される。これらの駆動ユニット１８はその両側の部分を押え板１９によってベース１０に固定される。そしてこれら一対の駆動ユニット１８は駆動脚２１、２２を有している。なおこれらの駆動脚２１、２２はそれぞれ図１０に示すように、伸縮変形部２３と剪断変形部２４とを備えている。伸縮変形部２３はその伸縮方向、すなわち長さ方向に分極され、これに対して剪断変形部２４は横方向に分極されている。
【００１６】
両側の駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によって挟着されるように、ステージ１１の下面には図６および図９に示す角柱状をなすセラミック板から成る可動子２７が取付けられている。従ってこのような可動子２７を駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によって送ることにより、可動子２７が取付けられているステージ１１がレール１２、１３に案内されながら可動子２７の長さ方向すなわちＹ軸方向に移動するようになる。
【００１７】
このようなステージ１１あるいは可動子２７の移動を図７〜図９に示すリニアスケール２８で検出するようにしている。リニアスケール２８は上記可動子２７の下面に固着されている。そしてこのようなリニアスケール２８を検出する検出ヘッド２９がベース１０上に取付けられている。すなわち検出ヘッド２９はヘッドベース３０に保持されるとともに、このヘッドベース３０がベース１０の開口３１に臨むように取付けられている。なおリニアスケール２８に代えてレーザ干渉計によって移動量の検出を行なうようにしてもよい。
【００１８】
次にこのようなステージ１１のストロークを検出する検出装置について説明する。ベース１０上には図６に示すように、レール１２に近接する位置にリミットセンサ３５が設けられている。そしてこのリミットセンサ３５は図９に示すように、ステージ１１の下面にブラケット３６を介して取付けられている被検出板３７を光学的に検出するようになっている。
【００１９】
上述の如く図２〜図５に示すＸ軸ステージ９の移動機構もＹ軸ステージ１１の上述の移動機構とほぼ同一の構成になっている。なおここでとくにＸ軸ステージ９上にはＹ軸ベース１０とＹ軸ステーシ１１とが載置されるために送りの際の負荷が増大する。このような負荷の増大に対応して、図２に示すように、可動子２７を駆動するために、その両側にそれぞれ一対ずつの駆動ユニット１８を設けるようにしている。それ以外の構成は上記Ｙ軸ステージ１１の駆動機構と同様である。
【００２０】
次に駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の取付け構造について図１０〜図１３によって説明する。駆動ユニット１８をベース１０上に取付けるための取付け台４６が設けられている。取付け台４６はその左右にそれぞれ２本ずつのボルト挿通孔４７を備え、このようなボルト挿通孔４７を挿通するボルトによってベース１０上に固定されるようになっている。また取付け台４６の前面側には凹部４８が形成されており、この凹部４８の部分に駆動脚２１、２２が配置されるようになっている。
【００２１】
凹部４８の表面であって前面側の部分には、例えば厚さが０．２ｍｍのステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４）４９が張設されている。そしてこのようなステンレス鋼板４９上に支持ブロック５０が固着されており、この支持ブロック５０上に４本の駆動脚２１と同じく４本の駆動脚２２とが２列に配列されて取付けられている（図１０および図１１参照）。
【００２２】
図１２および図１３に示すように支持ブロック５０の背面側であってステンレス鋼板４９が接合される部分には４つの円形の凹部５４が形成され、これらの円形の凹部５４にはそれぞれコイルばねから成る押圧ばね５５が挿入されている。そしてこのような押圧ばね５５は上記ステンレス鋼板４９に形成された円形の開口５６を挿通するようになっている。
【００２３】
押圧ばね５５の背面側の端部はばね受け５７によって受けられるようになっている。ばね受け５７は背面側へ突出するようにボルト５８を備え、このボルト５８が取付け台４６に形成されている雌ねじ孔５９に螺合されている。従って雌ねじ孔５９に螺合するボルト５８のねじ込み量を調整することによって、ばね受け５７の軸線方向の位置が調整されるようになり、押圧ばね５５による支持ブロック５０の押圧力を任意に調整できるようになる。
【００２４】
次に上記駆動ユニット１８の駆動回路の構成を図１４によって説明する。駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２は制御回路４１および対応する駆動回路４２、４３を介して駆動されるようになっている。制御回路４１を介して駆動回路４２、４３により駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４にそれぞれ所定の電圧をパルス状に加えることによって、駆動脚２１、２２が駆動力を発生し、このような駆動力に基いて可動子２７が送り方向に駆動され、この可動子２７が取付けられているステージ１１が送り方向に移動される。そしてこのときの移動量がリニアスケール２８および検出ヘッド２９によって検出され、検出回路７３を通して制御回路４１にフィードバックされる。従って制御回路４１はステージ１１の移動量をフィードバック制御しながら所定の位置へ送るようになる。
【００２５】
次に以上のような構成のステージ装置のＹ軸ベース１０上のＹ軸ステージ１１の送り動作について説明する。図１４および図１５はベース１０上に設けられている駆動ユニット１８によってステージ１１を駆動する機構を原理的に示している。ここで駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４は互いに逆相でかつ交互に作動されるようになっており、これら一対の駆動脚２１、２２の先端部がステージ１１の可動子２７を蹴るようにしてステージ１１をＹ軸方向に送るようにしている。
【００２６】
ここで駆動脚２１の伸縮変形部２３に電圧が加えられると伸長し、この駆動脚２１の先端側の部分が可動子２７に接触する。そしてこの状態において剪断変形部２４を剪断変形させることによって、駆動脚２１の先端部が送り方向に可動子２７に駆動力を与える。なおこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２３が収縮しているために、駆動脚２２はその先端部が可動子２７から離間している。そしてこのように先端部が可動子２７から離間している駆動脚２２の剪断変形部２４は、次の駆動に備えて逆方向に剪断変形を行なっている。
【００２７】
このような動作が２本の駆動脚２１、２２に交互にかつ順次繰返されることによって、可動子２７を有するＹ軸ステージ１１が図１４において矢印で示すＹ軸方向に移動される。なおこのときにレール１２および転動子１４によってステージ１１の案内が行なわれる。
【００２８】
このような駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２による可動子２７の駆動によって、可動子２７が取付けられているＹ軸ステージ１１が図６〜図８において横方向、すなわちＹ軸方向に移動される。そしてこのようなステージ１１の移動は、可動子２７の底部に取付けられているリニアスケール２８の目盛をベース１０の開口３１の部分にヘッドベース３０を介して取付けている検出ヘッド２９によって読取られるようになる。
【００２９】
従ってこのことから、駆動ユニット１８によって移動されるステージ１１の位置がリニアスケール２８および検出ヘッド２９によって検出される。またこのときのステージ１１の最大ストロークは、ベース１０側に設けられている一対のリミットセンサ３５によって検出される位置で規制される。Ｙ軸方向にステージ１１が大きく移動すると、被検出板３７がリミットセンサ３５によって検出され、その位置でステージ１１の駆動が停止する。従ってこれにより、クロスローラを構成する一対のレール１２、１３間に配されている転動子１４が脱落することがない。
【００３０】
以上の動作はＹ軸ステージ１１の駆動動作であるが、図２〜図５に示すＸ軸ステージ９も同様に駆動される。すなわちベース８上に設けられている左右一対ずつであって合計４個の駆動脚１８（図２参照）によってＸ軸ステージ９をＸ軸方向に駆動することによって、Ｘ軸ステージ９がＸ軸方向に駆動されるようになる。従ってこのようなＸ軸ステージ９のＸ軸方向の駆動とＹ軸ステージ１１のＹ軸方向の駆動とによって、Ｘ−Ｙステージが構成され、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の任意の位置決めが行なわれる。
【００３１】
このようにしてステージ１１の可動子２７を送る駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２は図１０〜図１３に示す支持装置によってベース１０側に取付けられている。ここでとくに駆動脚２１、２２が支持ブロック５０の前面側に固着されるとともに、支持ブロック５０が取付け台４６上に張設されたステンレス鋼板４９に取付けられており、しかも背面側から押圧ばね５５によって支持ブロック５０が前面側に押圧されるようになっている。
【００３２】
従ってこのような支持構造を有する駆動ユニット１８によれば、とくにステンレス鋼板４９の厚さ方向の微小な変形によって、駆動脚２１、２２と可動子２７との間のギャップを任意に調整することが可能になり、駆動脚２１、２２が常に正しく可動子２７の表面に接触することになる。従って駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３が伸長した状態で剪断変形部２４が剪断変形を行なったときに、駆動脚２１、２２の先端部と可動子２７との間の摩擦力によって可動子２７を確実に送り方向に正しく送ることが可能になる。
【００３３】
またこのように駆動脚２１、２２の剪断変形部２４が剪断変形を起したときに駆動脚２１、２２が受ける反力は支持ブロック５０を介してステンレス鋼板４９で受けられる。ステンレス鋼板４９は取付け台４６の凹部４８の前面側に張設されており、所定の張力をもって取付け台４６上に取付けられている。従って駆動脚２１、２２に剪断変形部２４の変形に伴う反力が発生しても、このような反力がステンレス鋼板４９によって拘束される。
【００３４】
従って押圧ばね５５による押圧力とは直角方向の慣性モーメントをステンレス鋼板４９の剛性によって受けることが可能になり、このために押圧ばね５５の押圧方向と直角方向のブレを抑制し、これによって不要な振動の発生を抑えることが可能になる。従って駆動ユニット１８によって可動子２７を介してステージ１１を円滑に送ることが可能になり、円滑でかつ正確な送り動作が達成されるステージ装置が提供される。
【００３５】
このように本実施の形態のステージ９、１１のＸ軸方向およびＹ軸方向の駆動ユニット１８はともに図１５に示すような駆動脚２１、２２を備え、これらの駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３の伸縮変形と剪断変形部２４の剪断変形とを組合わせて、人間の足による歩行の原理と類似の方法によって可動子２７を送るようにしている。なお伸縮変形部２３と剪断変形部２４の運動は図１４に示す制御回路４１内のとくにＣＰＵの制御によって達成される。
【００３６】
しかも本実施の形態においては、各駆動ユニット１８は微小送りを行なう場合に、図１６に示すような微小送りモードに切換えられる。すなわち図１５に示す通常の送りモードの他に、図１６に示すような微小送りモードへの切換えを可能にしている。
【００３７】
図１６に示す微小送りモードの特徴は、伸縮変形部２３が常に伸縮した状態にあり、剪断変形部２４の剪断変形のみによって可動子２７を送ることを特徴とする。すなわち剪断変形部２４の最大剪断変形量よりも少ない送り量の場合には、図１５に示すような歩行動作を行なうことは必要でないばかりかむしろ精度を劣化させる原因になる。そこで剪断変形部２４の最大変形量よりも少ない微小送りの場合には、図１６に示すように伸縮変形部２３を伸長させて剪断変形部２４の先端部であって駆動脚２１、２２の先端部を可動子２７に接触させた状態で、剪断変形部２４の剪断変形のみによって可動子２７を送る。従って運動が極めて単純であってしかも高精度な微小送りが可能になる。なお送り量は制御回路４１のＣＰＵによって制御され、制御回路４１が駆動回路４３を介して剪断変形部２４に加える電圧を制御することによって達成される。
【００３８】
図１７は制御回路４１内のＣＰＵによる通常の送りモードと微小送りモードの切換えの制御動作を示している。制御装置４１は検出回路７３から送り量の読込みを行なうとともに、必要とする送り量が１μｍ以上かどうかの判断を行なう。そして送り量が１μｍ以上の場合には通常の非共振送りモードで送る。このときの駆動脚２１、２２の動作は図１５に示される。これに対して送り量が１μｍ以下の場合には図１６に示す微小送りモードとする。従って伸縮変形部２３が伸長したままで剪断変形部２４の剪断変形のみで微小送りが達成され、無駄な動きや振動がなくなるとともに、高精度の微小送りが達成される。従ってとくにステージ９、１１の最終位置決めに図１６に示す微小送りモードを使うのが好ましい。
【００３９】
本実施の形態に係るＸ−Ｙステージによれば、Ｘ軸ベース８およびＹ軸ベース１０にそれぞれ設けられている駆動ユニット１８から成るアクチュエータによって粗動と微動とを行なうことが可能になり、ステージ９、１１を所定の位置の近傍まで送った後に最終的な位置決めを微小送りモードで行なうことによって高精度な位置決めが達成される。しかも微小送りモードにおいては剪断変形部２４の剪断変形のみによって位置決めが行なわれるために、位置決めの微動時のエネルギロスが少なくなる。また微小送りモードにおいて伸縮変形部２３は伸長したままに状態に維持されるために駆動脚２１、２２の発熱が少なくなる。また微小送りモードにおいては剪断変形部２４が可動子２７に圧着した状態で剪断変形を行なうだけであるから駆動脚２１、２２の先端部あるいは可動子２７の摩耗が低減される。
【００４０】
以上本願発明を図示の実施の形態によって説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の範囲内で各種の変更が可能である。例えば上記実施の形態は、ステージの送り装置に関するものであるが、本願発明はその他各種の送り装置に広く適用可能である。また上記実施の形態においては取付け台４６の支持ブロック５０に駆動脚２１、２２が取付けられ、その先端側であって剪断変形部２４の先端部が可動子２７を送るようにしているが、可動子２７側に駆動脚２１、２２を設け、その先端部が平坦な台の上を歩行するように変形しながら送るようにしてもよい。また移動量の検出のためにリニアスケール２８に代えて、レーザ干渉計等の他の検出手段を用いてもよい。
【００４１】
【発明の効果】
本願の主要な発明は、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形とを組合わせ、駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした送り装置において、可動子の送り量が微小な場合には伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて剪断変形部の剪断変形動作のみによって可動子を送るようにしたものである。
【００４２】
従ってこのような送り装置によれば、可動子の送り量が微小な場合には伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて剪断変形部の剪断変形動作のみによって可動子が送られるようになり、伸縮変形部が変形しないために無駄な動きや振動がなくなるとともに、剪断変形部の剪断変形量によって高精度な微小送りが達成される。
【００４３】
本願の別の主要な発明は、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させて該可動子を所定の方向に送るようにした装置において、可動子の送り量が所定の値よりも大きいときには伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形とを組合わせて可動子を送り、可動子の送り量が所定の値よりも小さいときには伸縮変形部を伸長させて剪断変形部の剪断変形動作のみによって可動子を送るようにしたものである。
【００４４】
従って可動子の送り量が所定の値よりも大きい場合には伸縮変形部の伸縮変形と剪断変形部の剪断変形とを組合わせて可動子を比較的高速でしかも任意のストローク送ることが可能になる。これに対して可動子の送り量が所定の値よりも小さい場合には、伸縮変形部を伸長させて剪断変形部の剪断変形動作のみによって可動子を送ることになり、このために無駄な動きがなくなるとともに高精度の微小送りが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｘ−Ｙステージの分解斜視図である
【図２】Ｘ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図３】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】Ｘ軸ステージの底面図である。
【図５】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】Ｙ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図７】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】Ｙ軸ステージの底面図である。
【図９】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１０】駆動ユニットの外観斜視図である。
【図１１】同駆動ユニットの正面図である。
【図１２】図１１におけるＥ〜Ｅ線断面図である。
【図１３】図１１におけるＦ〜Ｆ線断面図である。
【図１４】駆動回路の構成を示すブロック図である。
【図１５】駆動脚による通常の送り動作の原理を示す正面図である。
【図１６】微小送りモードにおける駆動脚による送り動作の原理を示す正面図である。
【図１７】微小送りモードの制御動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
８  ベース（Ｘ軸）
９  ステージ（Ｘ軸）
１０  ベース（Ｙ軸）
１１  ステージ（Ｙ軸）
１２  レール（ベース側）
１３  レール（ステージ側）
１４  転動子
１８  駆動ユニット
１９  押え板
２１、２２  駆動脚
２３  伸縮変形部
２４  剪断変形部
２７  可動子（セラミック板）
２８  リニアスケール
２９  検出ヘッド
３０  ヘッドベース
３１  開口
３５  リミットセンサ（ストローク検出器）
３６  ブラケット
３７  被検出板
４１  制御回路
４２、４３  駆動回路
４６  取付け台
４７  ボルト挿通孔
４８  凹部
４９  ステンレス鋼板
５０  支持ブロック
５４  円形の凹部
５５  押圧ばね
５６  開口
５７  ばね受け
５８  ボルト
５９  雌ねじ孔
７３  検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004187389.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004187389.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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