(57)【要約】　　　（修正有）【課題】軸受性能を確保しつつ、安価かつ生産性の高い動圧気体軸受を提供することを課題とする。【解決手段】動圧気体軸受１１５においては、スリーブ１５０の壁面とシャフト１２０の壁面との間に形成された微少間隙１８０と、微少間隙に存在する気体とによって、スリーブとシャフトとの相対回転により動圧を発生させる動圧軸受部１１８が構成される。動圧軸受部は、気体介在部１９１を介して隣接する第１のラジアル動圧軸受部１８１と第２のラジアル動圧軸受部１８６とを有している。さらに、シャフトは、第１のラジアル動圧軸受部と第２のラジアル動圧軸受部とをそれぞれ構成するセラミックス製の第１シャフト１２１と第２シャフト１２２とを有している。またさらに、第１シャフトと第２シャフトは、気体介在部に開口しさらに外部の空気に連通する間隙１９０が両シャフト間に確保されるように、互いに固定されている。【選択図】　　　　図２
2004092848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空円筒状のスリーブと、
前記スリーブ内に相対回転可能に配置されたシャフトとを備え、
前記スリーブの壁面と前記シャフトの壁面との間に形成された微少間隙と、前記微少間隙に存在する気体とによって、前記スリーブと前記シャフトとの相対回転により動圧を発生させる動圧気体軸受部が構成され、
前記動圧気体軸受部は、気体介在部を介して隣接する第１及び第２動圧軸受部を有し、
前記スリーブと前記シャフトの一方は、前記第１及び第２動圧軸受部をそれぞれ構成するセラミックス製の第１及び第２部材を有し、
前記第１部材と前記第２部材は、前記気体介在部に開口しさらに外部の空気に連通する間隙が両部材間に確保されるように、互いに固定されている、
動圧気体軸受。
【請求項２】
前記スリーブ及び前記シャフトの前記一方は、前記第１部材と前記第２部材とを互いに連結するための第３部材をさらに有し、
前記第３部材は、金属製であり、前記間隙と外部との間を連通させる連通路が形成されている、請求項１に記載の動圧気体軸受。
【請求項３】
前記第１及び第２動圧軸受部は、前記スリーブの内周面と前記シャフトの外周面との微少間隙に軸線方向に並んで形成されたラジアル動圧軸受部である、請求項１又は２に記載の動圧気体軸受。
【請求項４】
前記第１及び第２動圧軸受部は、前記気体介在部から相手側とは反対側に向かう流体動圧を誘起する動圧発生用溝を有している、請求項３に記載の動圧気体軸受。
【請求項５】
請求項１〜４までのいずれかに記載の動圧気体軸受を製造する方法であって、
前記第１部材と前記第２部材とを互いに連結する連結工程と、
連結後に前記第１部材と前記第２部材の摺動面を研磨する研磨工程と、
前記スリーブと前記シャフトとを組み付ける組み付け工程と、
を備えた動圧気体軸受。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかに記載の動圧気体軸受と、
前記スリーブ及び前記シャフトの一方に固定されたステータと、
前記ステータに対向するように前記スリーブ及び前記シャフトの他方に固定され、前記ステータとともに磁気回路部を構成するロータマグネットと
を備えたスピンドルモータ。
【請求項７】
ハウジングと、
前記ハウジングに固定された、請求項６に記載のスピンドルモータと、
前記スリーブ及び前記シャフトの一方に固定された、情報を記録できる円板状記録媒体と、
前記記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すための情報アクセス手段と、
を備えた記録ディスク駆動装置。
【請求項８】
ハウジングと、
前記ハウジングに固定された、請求項６に記載のスピンドルモータと、
前記スリーブ及び前記シャフトの一方に固定されたポリゴンミラーと、
を備えたポリゴンスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、動圧気体軸受、特に、複数の動圧軸受部を有する動圧気体軸受に関する。本発明は、さらに、前記動圧気体軸受の製造方法、並びに前記動圧気体軸受が採用されたスピンドルモータ、記録ディスク駆動装置及びポリゴンスキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、記録ディスク駆動装置や光ディスク装置などにおける記録情報へのアクセスの高速化の要求や、デジタル複写機やレーザプリンタなどにおける印字品質の向上及び高速化の要求などが高まっている。これらの要求を満たすために、それぞれの装置において使用されるスピンドルモータの高精度化及び高速回転化が進められている。
【０００３】
スピンドルモータの高精度化及び高速回転化を実現するためには、スピンドルモータの軸受として動圧気体軸受を採用することが提案されている。動圧気体軸受とは、相対的に回転する部材間に形成される微少間隙に保持される気体の動圧により、回転する部材を非接触にて支持するものである。
このような動圧気体軸受においては、軸受の剛性確保のため、複数の動圧気体軸受部を備えるものがある。例えば、特許文献１に開示された動圧気体軸受は、相対回転自在に配置されたシャフトとスリーブとから構成されており、シャフトとスリーブとの微少間隙において、軸線方向に並んだ２つのラジアル動圧軸受部と、その軸線方向両側に配置された２つのスラスト動圧軸受部とを有している。各ラジアル動圧軸受部には動圧発生用溝が形成されており、それらの間には気体介在部が確保されている。気体介在部とは、２つの動圧軸受部の間において動圧発生用溝が形成されていない部分である。さらに、シャフトには、気体介在部と外部とを連通させるための呼吸孔が形成されている。この呼吸孔によって、気体介在部の圧力が外部と同等になっており、軸受性能が安定している。
【０００４】
なお、ラジアル動圧軸受部の機械加工誤差によって軸受を構成する微少間隙に不均一が生じると、各ラジアル動圧軸受部が気体介在部と反対側にすなわちスラスト動圧軸受部側に向いた流体動圧を誘起することがある（ポンプアウト）。その場合であっても、呼吸孔によって、気体介在部が負圧になることがなく、軸受性能が安定している。
【０００５】
さらに、２つのラジアル動圧軸受部においてポンプアウトするように動圧発生用溝が形成されている場合には、外部からの空気を取り入れるために呼吸孔が必須となっている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−５０５６８号公報　（第３図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
一方、動圧気体軸受においては、軸受の摺動特性の面から通常はセラミックス材料が選択される。しかし、前述の呼吸孔をセラミックス材料により製造された部材に加工することは困難度の高い作業であり、コスト及び生産性の点で大きな問題となっている。以上に述べたように、動圧気体軸受において、セラミックス材料を用いることで軸受性能を確保することと、安価かつ生産性の高い軸受を提供することとの両立が困難である。
【０００８】
そこで、本発明では、軸受性能を確保しつつ、安価かつ生産性の高い動圧気体軸受を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の動圧気体軸受は、中空円筒状のスリーブと、スリーブ内に相対回転可能に配置されるシャフトとを備えている。この動圧気体軸受においては、スリーブの壁面とシャフトの壁面との間に形成された微少間隙と、微少間隙に存在する気体とによって、スリーブとシャフトとの相対回転により動圧を発生させる動圧気体軸受部が構成される。また、動圧気体軸受部は、気体介在部を介して隣接する第１及び第２動圧軸受部を有している。さらに、スリーブとシャフトの一方は、第１及び第２動圧軸受部をそれぞれ構成するセラミックス製の第１及び第２部材を有している。またさらに、第１部材と第２部材は、気体介在部に開口しさらに外部の空気に連通する間隙が両部材間に確保されるように、互いに固定されている。
【００１０】
ここで、スリーブとシャフトとの相対的な回転運動は、第１及び第２動圧軸受部に動圧を発生させ、この動圧により動圧気体軸受は軸受荷重を支持する。一方、動圧気体軸受部を構成する微少間隙は、気体介在部及び第１部材と第２部材との間に確保される間隙を介して、外気と連通する。これにより、第１及び第２動圧軸受部における動圧発生時に、気体介在部の圧力を一定に保つことが可能となる。
【００１１】
この動圧気体軸受では、セラミックス製の第１及び第２部材を用いて第１及び第２の動圧軸受部を構成しているため、優れた摺動特性を得ることができる。またさらに、セラミックス製の第１及び第２部材を用いて外気と微少間隙とを連通させる間隙を確保しているため、セラミックス材料に対して外気と微少間隙とを連通させるために複雑な加工を必要としない。この結果、安価で生産性の高い動圧気体軸受を提供することが可能となる。
【００１２】
請求項２に記載の動圧気体軸受は、請求項１に記載の動圧気体軸受であって、スリーブ及びシャフトの一方は、第１部材と第２部材とを互いに連結するための第３部材をさらに有している。また、第３部材は、金属製であり、間隙と外部との間を連通させる連通路が形成されている。
ここで、第３部材は、第１部材と第２部材とを間隙を確保して連結しており、さらに、間隙と外気とを連通させる連通路を有している。これにより、動圧気体軸受部を構成する微少間隙は、気体介在部と間隙と連通路とを介して外気と連通する。この結果、第１及び第２の動圧軸受部における動圧発生時において、気体介在部の圧力を一定に保つことが可能となる。この第３部材は、例えば、セラミックス製の第１部材と第２部材とを外周部から保持する環状の金属部材や、第１部材と第２部材とを結合する軸状の金属部材などである。
【００１３】
この動圧気体軸受では、第３部材は金属製であるため、第３部材に連通路を形成する加工は比較的容易である。以上により、セラミックス材料の優れた摺動特性を備え、かつ連通路の加工が容易な動圧気体軸受を提供することが可能となる。
請求項３に記載の動圧気体軸受は、請求項１又は２に記載の動圧気体軸受であって、第１及び第２動圧軸受部は、スリーブの内周面とシャフトの外周面との微少間隙に軸線方向に並んで形成されたラジアル動圧軸受部である。
【００１４】
この動圧気体軸受では、ラジアル動圧軸受部を複数有することにより、ラジアル方向に高い剛性を確保することが可能となる。また、第１及び第２動圧軸受部は、気体介在部を介して外気と連通しているため、第１及び第２動圧軸受部の発生する動圧を安定させることが可能となる。以上により、高い軸受性能を持った動圧気体軸受を提供することが可能となる。
【００１５】
請求項４に記載の動圧気体軸受は、請求項３に記載の動圧気体軸受であって、第１及び第２動圧軸受部は、気体介在部から相手側とは反対側に向かう流体動圧を誘起する動圧発生用溝を有している。
ここで、気体介在部は、第１及び第２部材の間に確保される間隙を介して外気と連通可能であるため、第１及び第２動圧軸受部が相手側とは反対側に向かう流体動圧を誘起しても、外部から気体介在部に対して気体の供給が行われる。なお、動圧発生用溝の形状は、ヘリングボーン溝、スパイラル溝、テーパ溝、あるいはステップ溝などいずれの形状であってもよい。
【００１６】
請求項５に記載の動圧気体軸受の製造方法は、請求項１〜４までのいずれかに記載の動圧気体軸受を製造する方法であって、以下の工程を備えている。
◎第１部材と第２部材とを互いに連結する連結工程
◎連結後に第１部材と第２部材の摺動面を研磨する研磨工程
◎スリーブとシャフトとを組み付ける組み付け工程
ここで、連結工程において連結された第１部材と第２部材とは、研磨工程において連結された状態で摺動面を研磨される。このため、第１部材及び第２部材の摺動面の円筒度、円筒径などの精度を高精度に一致させる事が可能となる。さらに、連結後に研磨することにより、連結時の加工誤差を修正することも可能となる。
【００１７】
請求項６に記載のスピンドルモータは、請求項１〜４のいずれかに記載の動圧気体軸受と、ステータと、ロータマグネットとを備えている。ステータは、スリーブ及びシャフトの一方に固定される。ロータマグネットは、ステータに対向するようにスリーブ及びシャフトの他方に固定され、ステータとともに磁気回路部を構成する。
【００１８】
このスピンドルモータは、請求項１〜４のいずれかに記載の動圧気体軸受を採用している。このため、高速回転性能が要求される分野において、高精度かつ安価なスピンドルモータを提供することが可能となる。
請求項７に記載の記録ディスク駆動装置は、ハウジングと、請求項６に記載のスピンドルモータと、円板状記録媒体と、情報アクセス手段とを備えている。スピンドルモータは、ハウジングに固定されている。円板状記録媒体は、スリーブ及びシャフトの一方に固定され、情報を記録することができる。情報アクセス手段は、記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すことができる。
【００１９】
この記録ディスク駆動装置は、請求項６に記載のスピンドルモータを備えているため、円盤状記録媒体を高速かつ高精度に回転させることが可能である。この結果、記録情報へのアクセスの高速化などの要求に対応することが可能となる。またさらに、安価な記録ディスク駆動装置を提供することも可能となる。
請求項８に記載のポリゴンスキャナは、ハウジングと、請求項６に記載のスピンドルモータと、ポリゴンミラーとを備えている。スピンドルモータは、ハウジングに固定されている。ポリゴンミラーは、スリーブ及びシャフトの一方に固定されている。
【００２０】
このポリゴンスキャナは、請求項６に記載のスピンドルモータを備えているため、ポリゴンミラーを高速かつ高精度に回転させることが可能である。この結果、このポリゴンスキャナを搭載したデジタル複写機やレーザプリンタなどにおける印字品質の向上及び高速化などの要求に対応することが可能となる。またさらに、安価なポリゴンスキャナを提供することも可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
〈ハードディスク装置１０の構成〉
図１に、本発明の第１実施形態にかかるスピンドルモータ１を備えるハードディスク装置１０の内部構成を模式図として示す。ハウジング１１の内部は塵・埃等が極度に少ないクリーンな空間を形成しており、その内部に情報を記憶する円板状の記録ディスク１６５が装着されたスピンドルモータ１が設置されている。加えてハウジング１１の内部には、記録ディスク１６５に対して情報を読み書きする磁気ヘッド移動機構１７が配置され、この磁気ヘッド移動機構１７は、記録ディスク上の情報を読み書きするヘッド１６、このヘッドを支えるアーム１５、及びヘッド及びアームをディスク上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部１４により構成される。
【００２２】
このようなハードディスク装置１０では、スピンドルモータ１が回転することによって、記録ディスク１６５が所定方向に回転駆動される。アクチュエータ部１４はアーム１５を旋回し、それらに装着されたヘッド１６は対応する記録ディスク１６５の略径方向に移動し、その結果ヘッド１６の作用によって記録すべき記録情報が記録ディスク１６５に磁気的に書き込まれ、又は記録ディスク１６５に記録された記録情報がヘッド１６によって読み取られる。
【００２３】
〈スピンドルモータ１の構成〉
図２は、スピンドルモータ１の概略構成を示す縦断面図である。図２に示すＯ−Ｏがスピンドルモータ１の回転軸線である。なお、本実施形態の説明では、便宜上図２の上下方向にあわせて「上下方向」を規定するが、これはスピンドルモータ１の使用状態における方向を限定するものではない。
【００２４】
スピンドルモータ１は、主に、ハウジング１１の内部に固定される静止部材１１０と、回転部材１４０と、ステータ１３１と、ロータマグネット１６１とから構成される。静止部材１１０と回転部材１４０との間には、回転部材１４０を静止部材１１０に対して相対回転自在に支持するための動圧気体軸受１１５が形成されている。
【００２５】
静止部材１１０は、シャフト１２０と、それを支持するベース１３０とから構成されている。シャフト１２０は、第１シャフト１２１と、第２シャフト１２２と、第１シャフト１２１と第２シャフト１２２との中心部を貫通して両者を固定する軸心１２３とから構成されている。軸心１２３は、その下端がベース１３０の中心部に固定されている。第１シャフト１２１は、軸心１２３の上端に固定され、円柱状の本体部１２７と、本体部１２７の上端から外周側に延びるフランジ部１２５とを有する。第２シャフト１２２は、軸心１２３の下端に固定され、円柱状の本体部１２８と、本体部１２８の下端から外周側延びるフランジ部１２６とを有する。第１シャフト１２１と第２シャフト１２２の軸線方向間、より詳細には、本体部１２７の下端面と本体部１２８の上端面との軸線方向間には、間隙１９０が確保されている。ステータ１３１はベース１３０に固定されている。
【００２６】
回転部材１４０は、スリーブ１５０と、スリーブ１５０の外周部に嵌合されるハブ１６０とから構成されている。スリーブ１５０は、円筒体であり、シャフト１２０の外周側に回転自在に配置されている。より具体的には、スリーブ１５０の内周面は、第１シャフト１２１の本体部１２７の外周面及び第２シャフト１２２の本体部１２８の外周面に第２の微少間隙１８０を介して対向している。また、スリーブ１５０は、その上端面において、第１の微少間隙１７０を介して第１シャフト１２１のフランジ部１２５の下端面と対向している。さらに、スリーブ１５０は、その下端面において、第３の微少間隙１７５を介して第２シャフト１２２のフランジ部１２６の上端面と対向している。
【００２７】
ハブ１６０にはロータマグネット１６１が固定されている。ロータマグネット１６１はステータ１３１に近接して対向しており、両者により磁気回路部を構成している。
回転部材１４０には、ハブ１６０に固定的に保持される記録ディスク１６５と、複数枚の記録ディスク１６５の間隔を確保するスペーサ１６６とが、クランプ１６７によってスラスト方向に固定されている。
【００２８】
〈動圧気体軸受１１５の構成〉
動圧気体軸受１１５の動圧軸受部１１８は、スリーブ１５０の壁面とシャフト１２０の壁面との間に形成された微少間隙と、そこに存在する気体とによって構成されている。動圧軸受部１１８は、第１のスラスト動圧軸受部１７１、第２のスラスト動圧軸受部１７６、第１のラジアル動圧軸受部１８１及び第２のラジアル動圧軸受部１８６を含んでいる。以下、スリーブ１５０及びシャフト１２０の構造に触れつつ、動圧気体軸受１１５を構成する動圧軸受部１１８を説明していく。
【００２９】
第１の微少間隙１７０と、そこに保持される気体とから第１のスラスト動圧軸受部１７１が形成される。さらに、第１シャフト１２１のフランジ部１２５の下端面には、第１のスラスト動圧発生溝１７２が形成されている。第１のスラスト動圧発生溝１７２は、スパイラル形状であり、半径方向内側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００３０】
第３の微少間隙１７５と、そこに保持される気体とから第２のスラスト動圧軸受部１７６が形成される。さらに、第２シャフト１２２のフランジ部１２６の上端面には、第２のスラスト動圧発生溝１７７が形成されている。第２のスラスト動圧発生溝１７７は、スパイラル形状であり、半径方向内側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００３１】
第２の微少間隙１８０の上部（第１シャフト１２１の本体部１２７の外周面とスリーブ１５０の内周面との間隙）と、そこに保持される気体とから第１のラジアル動圧軸受部１８１が形成される。さらに、第１シャフト１２１の本体部１２７の外周面には、第１のラジアル動圧発生溝１８２が形成されている。第１のラジアル動圧発生溝１８２は、スパイラル形状であり、第１シャフト１２１のフランジ部１２５に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００３２】
第２の微少間隙１８０の下部（第２シャフト１２２の本体部１２８の外周面とスリーブ１５０の内周面との間隙）と、そこに保持される気体とから第２のラジアル動圧軸受部１８６が形成される。さらに、第２シャフト１２２の本体部１２８の外周面には、第２のラジアル動圧発生溝１８７が形成されている。第２のラジアル動圧発生溝１８７は、スパイラル形状であり、第２シャフト１２２のフランジ部１２６に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００３３】
第１のラジアル動圧軸受部１８１と第２のラジアル動圧軸受部１８６との間には、気体介在部１９１が確保されている。気体介在部１９１とは、２つの動圧軸受部間において動圧発生用溝が形成されていない部分である。気体介在部１９１は間隙１９０と連続して形成されており、この実施形態では気体介在部１９１は間隙１９０と軸線方向長さが等しく、軸線方向両端が一致している。さらに、軸心１２３には、間隙１９０と外部の空気とを連通させるための連通孔１９５が形成されている。連通孔１９５は、軸線方向に延びる第１部分と、その上端から半径方向に延びる第２部分とから構成されている。連通孔１９５の第１部分の下端はベース１３０に形成された呼吸孔１９６に連続しており、連通孔１９５の第２部分の半径方向外側端は間隙１９０に開口している。ベース１３０の呼吸孔１９６は外気に連通している。このようにして、気体介在部１９１は、間隙１９０、連通孔１９５及び呼吸孔１９６を介して外部に連通している。
【００３４】
〈構成部材の材料〉
シャフト１２０において、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２は、セラミックス材料により形成される。軸心１２３は、アルミニウム合金やステンレス鋼などの金属材料により形成される。
スリーブ１５０では、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２との摺動性を考慮し、少なくとも第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２との摺動面はセラミックス材料により構成される材料を用いることが望ましい。スリーブ１５０は、アルミニウム合金やステンレス鋼などの金属材料により全体を形成してもよいが、その場合、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２との摺動面には、ダイアモンドライクカーボンコーティングなどの加工を施し摺動特性を向上させておくことが望ましい。
【００３５】
〈スピンドルモータ１の作用〉
（１）回転動作
ステータ１３１のコイルへ通電されると、ステータ１３１及びロータマグネット１６１が協働してスリーブ１５０を回転駆動させる。この結果、回転部材１４０が静止部材１１０に対して回転する。この回転運動により、動圧気体軸受１１５が次の作用を奏する。
【００３６】
（２）軸受の作用
動圧気体軸受１１５において、図２のスリーブ１５０上に描かれる矢印の方向に示すように、それぞれの軸受部における圧力が増大するため、回転運動中のスピンドルモータ１においては、第１の微少間隙１７０と第２の微少間隙１８０とが接続する付近（第１のスラスト動圧軸受部１７１の内周部）、及び第３の微少間隙１７５と第２の微少間隙１８０とが接続する付近（第２のスラスト動圧軸受部１７６の内周部）が高圧となる。これら高圧部分が、スラスト方向及びラジアル方向への荷重を支持する。
【００３７】
なお、間隙１９０は連通孔１９５及び呼吸孔１９６を介して外気と連通しているため、気体介在部１９１には気体が供給されている。
〈スピンドルモータ１の製造方法〉
スピンドルモータ１の製造方法について説明する。第１の工程では、シャフト１２０を組み立てる。具体的には、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２とに軸心１２３を貫通させて互いに連結する。第２の工程では、シャフト１２０の摺動面を研磨加工する。具体的には、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２の外周面を研磨加工する。第３の工程では、シャフト１２０に対して、スリーブ１５０などを組み付ける。
【００３８】
〈スピンドルモータ１の効果〉
以上に述べた本発明のスピンドルモータ１の作用効果をまとめると、以下のようになる。
（１）スピンドルモータ１の回転運動中に、第１のスラスト動圧軸受部１７１の内周部及び第２のスラスト動圧軸受部１７６の内周部が高圧となり、軸受荷重を発生する。このとき、第１のラジアル動圧軸受部１８１から第１のスラスト動圧軸受部１７１に向かって気体が移動し、さらに第２のラジアル動圧軸受部１８６から第２のスラスト動圧軸受部１７６に向かって気体が移動するが気体介在部１９１には間隙１９０を介して気体が供給されている。このため、気体介在部１９１が負圧になりにくく、負圧による不具合も発生しにしくい。
【００３９】
さらに、第１のラジアル動圧軸受部１８１および第２のラジアル動圧軸受部１８６が、相手側とは反対側に、それぞれフランジ部１２５およびフランジ部１２６に向かって圧を高めるように機能する。その結果として、第１のラジアル動圧軸受部１８１および第２のラジアル動圧軸受部１８６においては、第１の微少間隙１７０と第２の微少間隙１８０とが接続する付近（第１のスラスト動圧軸受部１７１の内周部）、及び第３の微少間隙１７５と第２の微少間隙１８０とが接続する付近（第２のスラスト動圧軸受部１７６の内周部）が高圧となり、この２つの高圧部のスパンを軸線方向に長くなっている。これにより、ラジアル方向の荷重に対する支持力のモーメントが大きくなり、ラジアル方向の荷重に対する高い剛性を確保することが可能となる。
【００４０】
（２）第２の微少間隙１８０に気体を供給する構造は、セラミックス材料で形成されている第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２とを間隙１９０を確保して固定し、間隙１９０と外気とを連通させることにより作られている。セラミックス材料に対してはコストのかかる困難な加工を行うことを必要としないため、摺動特性に優れるセラミックス材料を用いて、安価かつ生産性の高いスピンドルモータ１を製造することができる。
【００４１】
（３）さらに、製造工程においては、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２を軸心１２３により結合した後に第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２の外周面を研磨加工する。これにより、第１シャフト１２１と第２シャフト１２２との外周面を均一に加工することができる。また、第１シャフト１２１及び第２シャフト１２２とを軸心１２３に結合する際に発生する加工誤差を研磨加工により修正することが可能となる。この結果、スピンドルモータ１の回転精度が向上する。
【００４２】
〈ハードディスク装置１０の効果〉
ハードディスク装置１０は、上記の効果を有するスピンドルモータ１を備えるため、高精度且つ安価な製品となっている。このようにハードディスク装置１０は高精度になっているため、記録ディスク１６５の記録密度を高くし、高容量化することができる。
【００４３】
［第２実施形態］
〈スピンドルモータ２の構成〉
図３は、本発明の第２実施形態にかかるスピンドルモータ２の概略構成を示す縦断面図である。特に、図３は簡略化されており、シャフトを支持するベース部材やスリーブの外周に固定されたハブ等を省略している。図３に示すＯ−Ｏがスピンドルモータ２の回転軸線である。
【００４４】
以下、このスピンドルモータ２は、主に、静止部材としてのシャフト２２０と、回転部材としてのスリーブ２５０とステータ２３１と、ロータマグネット２６１とから構成される。シャフト２２０とスリーブ２５０との間にはスリーブ２５０をシャフト２２０に対して支持するための動圧気体軸受２１５が形成されている。
【００４５】
シャフト２２０は、第１シャフト２２１と、第２シャフト２２２と、第１シャフト２２１を第２シャフト２２２の上方に配置して両者を固定している軸心２２３とから構成される。軸心２２３は、その下端において、図示しないベース部材に固定される。さらに、軸心２２３は、第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２の中心部を貫通している。第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２は、円板形状であり、軸心２２３より外径が大幅に大きい。第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２の軸線方向間、より詳細には、第１シャフト２２１の下端面と第２シャフト２２２の上端面との間には間隙２９０が確保されている。
【００４６】
スリーブ２５０は、上底２５６と、下底２５７と、側部２５８とを有する中空円筒であり、シャフト２２０の外周側に回転自在に配置されている。上底２５６及び下底２５７の中心部には、軸心２２３を挿通するための挿通口２５５が設けられている。スリーブ２５０の上底２５６の下端面は、第１シャフト２２１の上端面と第１の微少間隙２７０を介して配置される。スリーブ２５０の下底２５７の上端面は、第２シャフト２２２の下端面と第３の微少間隙２７５を介して対向している。側部２５８は、上部部材２５８ａと、中部部材２５８ｂと、下部部材２５８ｃとの３つの円筒部材から構成される。上部部材２５８ａの内周面は、第１シャフト２２１の外周面と第２の微少間隙２８０を介して対向している。下部部材２５８ｃの内周面は、第２シャフト２２２の外周面と第２の微少間隙２８０を介して対向している。中部部材２５８ｂは、上部部材２５８ａと下部部材２５８ｃとに挟まれて配置されており、内周面にロータマグネット２６１が固定されている。
【００４７】
ステータ２３１は、間隙２９０において軸心２２３に固定されている。ロータマグネット２６１は、ステータ２３１と対向してスリーブ２５０の側部２５８の内周面に固定されおり、ステータ２３１とともに磁気回路部を構成している。
〈動圧気体軸受２１５の構成〉
動圧気体軸受２１５の動圧軸受部２１８は、スリーブ２５０の壁面とシャフト２２０の壁面との間に形成された微少間隙と、そこに存在する気体とによって構成されている。動圧軸受部２１８は、第１のスラスト動圧軸受部２７１、第２のスラスト動圧軸受部２７６、第１のラジアル動圧軸受部２８１及び第２のラジアル動圧軸受部２８６を含んでいる。以下、スリーブ２５０及びシャフト２２０の構造に触れつつ、動圧気体軸受２１５を構成する動圧軸受部２１８を説明していく。
【００４８】
第１の微少間隙２７０と、そこに保持される気体とから第１のスラスト動圧軸受部２７１が形成される。さらに、第１シャフト２２１の上端面には、第１のスラスト動圧発生溝２７２が形成されている。第１のスラスト動圧発生溝２７２は、スパイラル形状であり、半径方向外側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００４９】
第３の微少間隙２７５と、そこに保持される気体とから第２のスラスト動圧軸受部２７６が形成される。さらに、第２シャフト２２２の下端面には、第２のスラスト動圧発生溝２７７が形成されている。第２のスラスト動圧発生溝２７７は、スパイラル形状であり、半径方向外側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００５０】
第２の微少間隙２８０の上部（第１シャフト２２１の外周面とスリーブ２５０の内周面との間隙）と、そこに保持される気体とから第１のラジアル動圧軸受部２８１が形成される。さらに、第１シャフト２２１の外周面には、第１のラジアル動圧発生溝２８２が形成されている。第１のラジアル動圧発生溝２８２は、スパイラル形状であり、スリーブ２５０の上底２５６に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００５１】
第２の微少間隙２８０の下部（第２シャフト２２２の外周面とスリーブ２５０の内周面との間隙）と、そこに保持される気体とから第２のラジアル動圧軸受部２８６が形成される。さらに、第２シャフト２２２の外周面には、第２のラジアル動圧発生溝２８７が形成されている。第２のラジアル動圧発生溝２８７は、スパイラル形状であり、スリーブ２５０の下底２５７に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００５２】
第１のラジアル動圧軸受部２８１と第２のラジアル動圧軸受部２８６との間には、気体介在部２９１が確保されている。気体介在部２９１とは、２つの動圧軸受部間において動圧発生用溝が形成されていない部分である。気体介在部２９１は間隙２９０と連続しており、この実施形態では気体介在部２９１は間隙２９０と軸線方向長さが等しく、軸線方向両端が一致している。さらに、軸心２２３には、間隙２９０と外気とを連通させるための連通孔２９５が形成されている。連通孔２９５は、軸線方向に延びる第１部分と、その上端から半径方向に延びる第２部分とから構成されている。連通孔２９５の第１部分の下端は図示しないベースに形成された呼吸孔に連続しており、連通孔２９５の第２部分の半径方向外側端は間隙２９０に開口している。このように、気体介在部２９１は、間隙２９０、連通孔２９５を介して外気に連通している。また、この連通孔２９５は、ステータ２３１の配線のためにも使用可能である。
【００５３】
〈構成部材の材料〉
シャフト２２０において、第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２は、セラミックス材料により形成される。軸心２２３は、アルミニウム合金やステンレス鋼などの金属材料により形成される。
スリーブ２５０では、第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２との摺動性を考慮し、少なくとも第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２との摺動面はセラミックス材料により構成される材料を用いることが望ましい。
【００５４】
〈スピンドルモータ２の作用〉
（１）回転動作
ステータ２３１のコイルへ通電されると、ステータ２３１及びロータマグネット２６１が協働してスリーブ２５０を回転駆動させる。この結果、回転部材２４０が静止部材２１０に対して回転する。この回転運動により、動圧気体軸受２１５が次の作用を奏する。
【００５５】
（２）軸受の作用
動圧気体軸受２１５において、図３のスリーブ２５０上に描かれる矢印の方向に示すように、それぞれの軸受部における圧力が増大するため、回転運動中のスピンドルモータ２においては、第１の微少間隙２７０と第２の微少間隙２８０とが接続する付近（第１のスラスト動圧軸受部２７１の外周部）、及び第３の微少間隙２７５と第２の微少間隙２８０とが接続する付近（第２のスラスト動圧軸受部２７６の外周部）が高圧となる。これら高圧部分が、スラスト方向及びラジアル方向への荷重を支持する。
【００５６】
なお、間隙２９０は連通孔２９５を介して外気と連通しているため、気体介在部２９１には外部から気体が供給されている。
〈スピンドルモータ２の製造方法〉
スピンドルモータ２の製造方法について説明する。第１の工程では、シャフト２２０を組み立てる。具体的には、第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２の中心孔に軸心２２３を貫通させて両者を連結する。第２の工程では、シャフト２２０の摺動面を研磨加工する。具体的には、第１シャフト２２１及び第２シャフト２２２の外周面を研磨加工する。第３の工程では、シャフト２２０に対して、スリーブ２５０などを組み付ける。
【００５７】
〈スピンドルモータ２の効果〉
以上に述べた本発明のスピンドルモータ２によって、前記実施形態と同様の作用効果が得られる。
さらに、動圧軸受部２１８の中心と磁気中心が一致しているため、ステータ２３１あるいはマグネット２６１が偏心して、発生する磁力の偏心が大きい場合でも、回転に悪影響が及びにくい。
【００５８】
［第３実施形態］
〈動圧気体軸受３の構成〉
図４は、本発明の第３実施形態にかかる動圧気体軸受３の概略構成を示す縦断面図である。図４に示すＯ−Ｏが動圧気体軸受３の相対的な回転軸線である。
以下、動圧気体軸受３を構成する部材として、静止部材としてのシャフト３２０と、回転部材としてのスリーブ３５０とを説明する。
【００５９】
シャフト３２０は、軸心３２３と、第１スラストプレート３２５と、第２スラストプレート３２６とから構成される。軸心３２３は円柱形状の軸体である。第１スラストプレート３２５は、軸心３２３の上部に固定される円板状部材である。第２スラストプレート３２６は、軸心３２３の下部に固定される円板状部材である。
【００６０】
スリーブ３５０は、第１スリーブ３５１と、第２スリーブ３５２と、リング３５３とから構成される円筒体であり、シャフト３２０の軸心３２３の外周側に相対回転自在に配置されている。第１スリーブ３５１は第２スリーブ３５２の上方に位置しており、両者はリング３５３によって連結されている。リング３５３は、第１スリーブ３５１及び第２スリーブ３５２の軸線方向長さに対応する軸線方向長さを有しており、両部材の外周面に締まりばめされている。第１スリーブ３５１は、軸心３２３の外周面と第２の微少間隙３８０を介して対向する内周面を有している。さらに、第１スリーブ３５１は、その上端面において、第１の微少間隙３７０を介して第１スラストプレート３２５の下端面と対向する。第２スリーブ３５２は、軸心３２３の外周面と第２の微少間隙３８０を介して対向する内周面を有している。さらに、第２スリーブ３５２は、その下端面において、第３の微少間隙３７５を介して第２スラストプレート３２６の上端面と対向する。
【００６１】
第１スリーブ３５１と第２スリーブ３５２との軸線方向間には、間隙３９０が確保されている。間隙３９０の内周部は開口しているが、外周部はリング３５３によって概ね覆われている。しかし、リング３５３には、その内周面から外周面に連通する複数の（３つの）連通孔３９５が形成されており、各連通孔３９５が間隙３９０に対応して形成されているため、間隙３９０は各連通孔３９５を介してリング３５３の外部に連通している。
【００６２】
〈動圧気体軸受３の構成〉
動圧気体軸受３の動圧軸受部３１８は、スリーブ３５０の壁面とシャフト３２０の壁面との間に形成された微少間隙と、そこに存在する気体とによって構成されている。動圧軸受部３１８は、第１のスラスト動圧軸受部３７１、第２のスラスト動圧軸受部３７６、第１のラジアル動圧軸受部３８１及び第２のラジアル動圧軸受部３８６を含んでいる。以下、スリーブ３５０及びシャフト３２０の構造に触れつつ、動圧気体軸受３を構成する動圧軸受部３１８を説明していく。
【００６３】
第１の微少間隙３７０と、そこに保持される気体とから第１のスラスト動圧軸受部３７１が形成される。さらに、第１スラストプレート３２５の下端面には、第１のスラスト動圧発生溝３７２が形成されている。第１のスラスト動圧発生溝３７２は、スパイラル形状であり、半径方向内側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００６４】
第３の微少間隙３７５と、そこ保持される気体とから第２のスラスト動圧軸受部３７６が形成される。さらに、第２スラストプレート３２６の上端面には、第２のスラスト動圧発生溝３７７が形成されている。第２のスラスト動圧発生溝３７７は、スパイラル形状であり、半径方向内側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００６５】
第２の微少間隙３８０と、そこに保持される気体とから第１のラジアル動圧軸受部３８１が形成される。さらに、軸心３２３の外周面において第１スリーブ３５１の内周面と対向する部分には、第１のラジアル動圧発生溝３８２が形成されている。第１のラジアル動圧発生溝３８２は、スパイラル形状であり、第１スラストプレート３２５に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００６６】
第２の微少間隙３８０と、そこに保持される気体とから第２のラジアル動圧軸受部３８６が形成される。さらに、軸心３２３の外周面において第２スリーブ３５２の内周面と対向する部分には、第２のラジアル動圧発生溝３８７が形成されている。第２のラジアル動圧発生溝３８７は、スパイラル形状であり、第２スラストプレート３２６に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００６７】
第１のラジアル動圧軸受部３８１と第２のラジアル動圧軸受部３８６との間には、気体介在部３９１が確保されている。気体介在部３９１とは、２つの動圧軸受部間において動圧発生用溝が形成されていない部分である。気体介在部３９１は間隙３９０と連続して形成されているが、この実施形態では気体介在部３９１は間隙３９０より軸線方向長さが長く、間隙３９０の軸線方向両側からさらに軸線方向外側に延びている。間隙３９０は、リング３５３に設けられた連通孔３９５を介して外気と連通する。このように、気体介在部３９１は、間隙３９０及び連通孔３９５を介して外気に連通している。
【００６８】
〈構成部材の材料〉
スリーブ３５０において、第１スリーブ３５１及び第２スリーブ３５２は、セラミックス材料により形成される。リング３５３は、連通孔３９５の加工を容易にするため、アルミニウム合金やステンレス鋼などの金属材料により形成される。
【００６９】
シャフト３２０では、第１スリーブ３５１及び第２スリーブ３５２との摺動性を考慮し、少なくとも第１スリーブ３５１及び第２スリーブ３５２との摺動面はセラミックス材料により構成される材料を用いることが望ましい。
〈動圧気体軸受３の作用〉
図４のスリーブ３５０上に描かれる矢印の方向に示すように、それぞれの軸受部における圧力が増大するため、回転運動中の動圧気体軸受３においては、第１の微少間隙３７０と第２の微少間隙３８０とが接続する付近（第１のスラスト動圧軸受部３７１の内周部）、及び第３の微少間隙３７５と第２の微少間隙３８０とが接続する付近（第２のスラスト動圧軸受部３７６の内周部）が高圧となる。これらの高圧部分が、スラスト方向及びラジアル方向への荷重を支持する。
【００７０】
なお、間隙３９０は連通孔３９５を介して外気と連通しているため、気体介在部３９１には外部から気体が供給されている。
〈動圧気体軸受３の製造方法〉
動圧気体軸受３の製造方法について説明する。第１の工程では、スリーブ３５０を組み立てる。具体的には、第１スリーブ３５１と第２スリーブ３５２とをリング３５３によって互いに固定する。第２の工程では、スリーブ３５０の摺動面を研磨加工する。具体的には、第１スリーブ３５１及び第２スリーブ３５２の内周面を研磨加工する。第３の工程では、スリーブ３５０にシャフト３２０を組み付ける。
【００７１】
〈動圧気体軸受３の効果〉
以上に述べた本発明の動圧気体軸受３によって、前記実施形態と同様の作用効果が得られる。
［第４実施形態］
〈動圧気体軸受４の構成〉
図６は、本発明の第４実施形態にかかる動圧気体軸受４の概略構成を示す縦断面図である。図６に示すＯ−Ｏが動圧気体軸受４の相対的な回転軸線である。
【００７２】
以下、動圧気体軸受４を構成する部材として、静止部材としてのシャフト４２０と、回転部材としてのスリーブ４５０とを説明する。
シャフト４２０は、軸心４２３と、スラストプレート４２５とから構成される。軸心４２３は円柱形状の軸体である。スラストプレート４２５は、軸心４２３の上端部から外周側に延びる円板状部である。
【００７３】
スリーブ４５０は、第１スリーブ４５１と、第２スリーブ４５２と、結合部材４５３とから構成される円筒体であり、シャフト４２０の軸心４２３の外周側に相対回転自在に配置されている。第１スリーブ４５１は、軸心４２３の外周面と第２の微少間隙４８０を介して対向する内周面を有している。さらに、第１スリーブ４５１は、その上端面において、第１の微少間隙４７０を介してスラストプレート４２５の下端面と対向する。第２スリーブ４５２は、底部４５７と、側部４５８とを有する有底円筒体である。底部４５７と側部４５８とは別部材にて構成されている。第２スリーブ４５２は、側部４５８の内周面において軸心４２３の外周面と対向し、底部４５７の上端面において、軸心４２３の下端面と対向する。また、底部４５７の中心部には外気と連通する呼吸孔４９７が設けられている。
【００７４】
第１スリーブ４５１と第２スリーブ４５２とは、結合部材４５３により互いに固定されている。結合部材４５３は複数の軸部材からなり、各結合部材４５３は、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２に設けられた結合孔に両端が填め込まれている。図７に示すように、結合部材４５３は、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２の内周面の周囲３カ所に設けられているが、必要な結合の強度などに応じてその個数は選択される。さらに、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２の内周面は、軸心４２３の外周面との間に第２の微少間隙４８０を有している。
【００７５】
〈動圧気体軸受４の構成〉
動圧気体軸受４の動圧軸受部４１８は、スリーブ４５０の壁面とシャフト４２０の壁面との間に形成された微少間隙と、そこに存在する気体とによって構成されている。動圧軸受部４１８は、スラスト動圧軸受部４７１、第１のラジアル動圧軸受部４８１及び第２のラジアル動圧軸受部４８６を含んでいる。以下、スリーブ４５０及びシャフト４２０の構造に触れつつ、動圧気体軸受４を構成する動圧軸受部４１８を説明していく。
【００７６】
第１の微少間隙４７０と、そこに保持される気体とからスラスト動圧軸受部４７１が形成される。さらに、スラストプレート４２５の下端面には、スラスト動圧発生溝４７２が形成されている。スラスト動圧発生溝４７２は、半径方向内側に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
第２の微少間隙４８０の上側部分（軸心４２３の外周面上側部分と第１スリーブ４５１の内周面との間）と、そこに保持される気体とから第１のラジアル動圧軸受部４８１が形成される。さらに、軸心４２３の外周面上側部分には、第１のラジアル動圧発生溝４８２が形成されている。第１のラジアル動圧発生溝４８２は、軸線方向に非対称なヘリングボーン溝であり、回転運動中にスラストプレート４２５に向かって増大する圧力を発生させるように形成されている。
【００７７】
第２の微少間隙４８０の下側部分（軸心４２３の外周面下側部分と第２スリーブ４５２の内周面との間）と、そこに保持される気体とから第２のラジアル動圧軸受部４８６が形成される。さらに、軸心４２３の外周面下側部分には、第２のラジアル動圧発生溝４８７が形成されている。第２のラジアル動圧発生溝４８７は、軸線方向に対称なヘリングボーン溝である。
【００７８】
第１のラジアル動圧軸受部４８１と第２のラジアル動圧軸受部４８６との間には、気体介在部４９１が確保されている。気体介在部４９１とは、２つの動圧軸受部間で動圧発生用溝が形成されていない部分である。気体介在部４９１は間隙４９０と連続しており、この実施形態では気体介在部４９１は間隙４９０と軸線方向長さが等しく、軸線方向両端が一致している。このようにして、気体介在部４９１は、間隙４９０を介して外気に連通している。
【００７９】
〈構成部材の材料〉
スリーブ４５０において、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２は、セラミックス材料により形成される。結合部材４５３は、アルミニウム合金やステンレス鋼などの金属材料により形成される。
シャフト４２０では、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２との摺動性を考慮し、少なくとも第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２との摺動面はセラミックス材料により構成される材料を用いることが望ましい。
【００８０】
〈動圧気体軸受４の作用〉
動圧気体軸受４では、図６のスリーブ４５０上に描かれる矢印の方向に示すように、それぞれの軸受部における圧力が増大するため、回転運動中の動圧気体軸受４においては、第１の微少間隙４７０と第２の微少間隙４８０とが接続する付近（スラスト動圧軸受部４７１内周部）及び第２のラジアル動圧軸受部４８６の中心付近が高圧となる。これら高圧部分が、スラスト方向及びラジアル方向への荷重を支持する。
【００８１】
なお、間隙４９０は外気と連通しているため、気体介在部４９１には外部から気体が供給されている。
〈動圧気体軸受４の製造方法〉
動圧気体軸受４の製造方法について説明する。第１の工程では、スリーブ４５０を組み立てる。具体的には、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２とを結合部材４５３を用いて互いに固定する。第２の工程では、スリーブ４５０の摺動面を研磨加工する。具体的には、第１スリーブ４５１及び第２スリーブ４５２の内周面を研磨加工する。第３の工程では、スリーブ４５０にシャフト４２０を組み付ける。
【００８２】
〈動圧気体軸受４の効果〉
以上に述べた本発明の動圧気体軸受４によって、前記実施形態と同様の作用効果が得られる。
〈動圧気体軸受４の変形例〉
動圧気体軸受４の変形例である動圧気体軸受４’について図８を用いて説明する。なお、この変形例においては基本的な構造は前記実施形態と同様であるため、以下異なる部分のみを説明する。
【００８３】
結合部材４５３’は第２スリーブ４５２’を貫通しており、結合部材４５３’の下端は第２スリーブ４５２’の下面から外部に露出している。結合部材４５３’には、間隙４９０と外気とを連通させるための連通孔４５４が形成されている。この連通孔４５４は、軸線方向に延び下端が外部に露出する第１部分と、その上端に形成されて半径方向に延び間隙４９０に開口する第２部分とを有している。
【００８４】
以上の構造によっても気体介在部４９１を外気と連通させることが可能となる。これは、例えば、動圧気体軸受を備えるスピンドルモータにおいて設計上の制約によりスリーブの下端から外気に連通する必要がある場合などに有効である。
［その他の実施形態］
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることはいうまでもない。
【００８５】
（１）第１実施形態においては、スピンドルモータ１への搭載物として記録ディスク１６５を採用したハードディスク装置１０について説明した。
ここで、スピンドルモータ１の搭載物は、スピンドルモータの用途に応じて様々なものをあげることができる。例えば、レーザービームプリンタのポリゴンスキャナ用であれば、ポリゴンミラーであり、プロジェクターに搭載されるカラーホイール駆動装置であれば、カラーホイールである。
【００８６】
ここで、図９にポリゴンスキャナ６の概略構成を示す縦断面図を示す。ポリゴンスキャナ６は、図示しないハウジングと、ハウジングに固定されたスピンドルモータ１’と、ミラー６３０と、ミラー押さえ６３１と、カバー部６４０とを備えている。ポリゴンスキャナ６は、例えば、デジタル複写機等のレーザー書き込み系に用いられ、スピンドルモータ１’によりミラー６３０を高速回転させて、レーザーダイオードから照射された光線を感光体上にスキャンする。
【００８７】
スピンドルモータ１’は、静止部材１１０’と、回転部材１４０’と、ステータ１３１と、ロータマグネット１６１とから構成される。スピンドルモータ１’は、スピンドルモータ１とほぼ同様の構成であり、第１実施形態で説明したスピンドルモータ１の効果と同様の効果を奏する。スピンドルモータ１’とスピンドルモータ１とは、静止部材１１０’の備えるシャフト１２０’の形状や回転部材１４０’の備えるハブ１６０’の形状において相違する。ハブ１６０’は、外周面に顎部１６０ａを有する円筒体である。
【００８８】
ミラー６３０は、側面が多面の鏡で構成される板状の部材であり、スピンドルモータ１’の回転部材１４０’を構成するハブ１６０’に固定的に保持される。
ミラー押さえ６３１は、ハブ１６０’に固定され、さらにミラー６３０をスラスト方向に固定する。これにより、スピンドルモータ１’の回転部材１４０’と、ミラー６３０と、ミラー押さえ６３１とが一体的に回転運動する。また、ミラー押さえ６３１には、空気流通用スリット６３５が設けられ、動圧気体軸受１１５’への空気の流通を確保する。
【００８９】
カバー部６４０は、カバー６４１と、光線透過用スリット６４２と、ガラスカバー６４３とから構成される。カバー６４１は、スピンドルモータ１’の動圧気体軸受１１５’へのダスト侵入を防ぐため、動圧気体軸受１１５’を密閉するよう固定部材１１０’に固定される。光線透過用スリット６４２は、カバー６４１の側面部に設けられたスリットで、ガラスカバー６４３により覆われ、密閉性を確保しつつ光線を透過させる。
【００９０】
このポリゴンスキャナ６は、スピンドルモータ１’を備えており、ポリゴンミラー６３０を高速かつ高精度に回転させることが可能である。この結果、このポリゴンスキャナ６を搭載したデジタル複写機やレーザプリンタなどにおける印字品質の向上及び高速化などの要求に対応することが可能となる。またさらに、安価なポリゴンスキャナを提供することも可能となる。
【００９１】
（２）以上で説明した実施の形態は、本発明の実施形態をこれらに限定するものではない。例えば、動圧発生用溝は、図面においては、動圧気体軸受部を構成する一方の面にのみ描かれているが、動圧気体軸受部を構成する他の一方の面、あるいは両方の面にあってもよい。また、各実施の形態においては、各動圧発生用溝の形状を指定したが、それらは他の形状であっても本発明の効果が失われる訳ではない。
【００９２】
（３）前記実施形態では、いずれのラジアル動圧軸受部においても気体介在部と反対側にすなわちスラスト動圧軸受部側に流対動圧が誘起されるような動圧発生用溝が形成されていたが、それ以外の構造にも本発明を適用できる。
【００９３】
【発明の効果】
請求項１に係る発明では、セラミックス製の第１及び第２部材を用いて第１及び第２の動圧軸受部を構成しているため、優れた摺動特性を得ることができる。さらに、第１及び第２部材を用いて外気と微少間隙とを連通させる間隙を確保しているため、セラミックス材料に対して外気と微少間隙とを連通させるための複雑な加工を必要としない。この結果、安価で生産性の高い動圧気体軸受を提供することが可能となる。
【００９４】
請求項２に係る発明では、第３部材は金属製であるため、第３部材に連通孔を形成する加工は比較的容易である。また、第３部材を用いて連結するためのセラミックス製の第１部材及び第２部材に対する加工は、全く必要でないか、あるいは簡易な加工とすることができる。以上により、セラミックス材料の優れた摺動特性を備え、かつ連通孔の加工が容易な動圧気体軸受を提供することが可能となる。
【００９５】
請求項３に係る発明では、第１及び第２動圧軸受部が軸線方向に並んで形成される。ラジアル動圧軸受部を複数有することにより、ラジアル方向に高い剛性を確保することが可能となる。また、第１及び第２動圧軸受部は、気体介在部を介して外気と連通する。このため、第１及び第２動圧軸受部の発生する動圧を安定させることが可能となる。以上により、高い軸受性能を持った動圧気体軸受を提供することが可能となる。
【００９６】
請求項４に係る発明では、動圧発生用溝により効果的に動圧を発生させることが可能となる。また、第１及び第２動圧軸受部は、気体介在部を介して外気と連通する。このため、第１及び第２動圧軸受部が相手側とは反対側に向かう流体動圧を誘起しても、外部から気体介在部に外気が供給される。
請求項５に係る発明では、高精度の動圧気体軸受を製造することができる。
【００９７】
請求項６に係る発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の動圧気体軸受を採用している。このため、スピンドルモータの高速回転性能が要求される分野においても、高精度かつ安価なスピンドルモータを提供することが可能となる。
請求項７に係る発明では、請求項６に記載のスピンドルモータを備えているため、円盤状記録媒体を高速かつ高精度に回転可能である。この結果、記録情報へのアクセスの高速化などの要求に対応することが可能となる。またさらに、安価な記録ディスク駆動装置を提供することも可能となる。
【００９８】
請求項８に係る発明では、請求項６に記載のスピンドルモータを備えているため、ポリゴンミラーを高速かつ高精度に回転可能である。この結果、このポリゴンスキャナを搭載したデジタル複写機やレーザプリンタなどにおける印字品質の向上及び高速化などの要求に対応することが可能となる。またさらに、安価なポリゴンスキャナを提供することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にとしてのスピンドルモータ１を備えるハードディスク装置の模式図。
【図２】本発明の第１実施形態としてのスピンドルモータ１の縦断面図。
【図３】本発明の第２実施形態としてのスピンドルモータ２の縦断面図。
【図４】本発明の第３実施形態としての動圧気体軸受３の縦断面図。
【図５】動圧気体軸受３の平面Ｐにおける断面図。
【図６】本発明の第４実施形態としての動圧気体軸受４の縦断面図。
【図７】動圧気体軸受４の平面Ｐにおける断面図。
【図８】本発明の第４実施形態の変形例としての動圧気体軸受４’の縦断面図。
【図９】本発明のその他の実施形態としてのポリゴンスキャナ６の縦断面図
【符号の説明】
１　　スピンドルモータ
１０　　ハードディスク装置
１１５　　動圧気体軸受
１１８　　動圧軸受部
１２０　　シャフト
１２１　　第１シャフト（第１部材）
１２２　　第２シャフト（第２部材）
１２３　　軸心
１３１　　ステータ
１５０　　スリーブ
１６１　　ロータマグネット
１６５　　記録ディスク
１８０　　第２の微少間隙
１８１　　第１のラジアル動圧軸受部
１８２　　第１のラジアル動圧発生溝
１８６　　第２のラジアル動圧軸受部
１８７　　第２のラジアル動圧発生溝
１９０　　間隙
１９１　　気体介在部
１９５　　連通孔（連通路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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