(57)【要約】【課題】光素子との光結合が容易で、大容量高速データ通信を可能にするマルチバス三次元光配線用の三次元光導波路を提供する。【解決手段】本三次元光導波路１０は、マルチモードの三次元光導波路であって、規則的な三次元配列で三次元光導波路１０の長手方向に延在する複数本のコア１２と、コア１２に沿ってコア１２の周りに設けられたクラッド１４とを備え、端面として４５°の傾斜端面１６を有する。【選択図】        図１
2004177730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元配列で延在する複数本のコアと、
コアに沿ってコアの周りに延在する、屈折率がコアより小さいクラッドと
を有する三次元光導波路であって、
三次元光導波路の少なくとも一方の端面が、コアの延在方向に斜めに傾斜する傾斜端面であることを特徴とする三次元光導波路。
【請求項２】
コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に対して鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、三次元光導波路の下方から光を各コアの傾斜端面に照射したとき、下段のコアが上段のコアに投影されないように、コアの延在方向に直交する断面で見て、上段のコアが下段のコアに対して斜め方向の位置に配置される三次元配列で、各コアが配列されていることを特徴とする請求項１に記載の三次元光導波路。
【請求項３】
傾斜端面がコアの延在方向に対して４５°をなしていることを特徴とする請求項１又は２に記載の三次元光導波路。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、
二次元アレイ状に配置された複数個の面発光半導体レーザ素子を有する面発光半導体レーザアレイと
を備え、
コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、三次元光導波路の下方の面発光半導体レーザ素子から各コアの傾斜端面に向け、それぞれ、光を入射させるとき、各コアの傾斜端面での反射光がコアの延在方向に反射するように、面発光半導体レーザアレイを三次元光導波路の傾斜端面の下方に配置したことを特徴とする面発光半導体レーザアレイと三次元光導波路との三次元光結合構造。
【請求項５】
請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、
二次元アレイ状に配置された複数個のフォトダイオードを有するフォトダイオードアレイと
を備え、
コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、各コアを導波する光の傾斜端面での反射光をそれぞれフォトダイオードで受光するように、フォトダイオードアレイを三次元光導波路の傾斜端面の下方に配置したことを特徴とする三次元光導波路とフォトダイオードアレイとの三次元光結合構造。
【請求項６】
請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、
面発光半導体レーザアレイと、
フォトダイオードアレイと
を備え、
面発光半導体レーザアレイは請求項４に記載の三次元光結合構造によって三次元光導波路の一方の端部に光結合され、フォトダイオードアレイは請求項５に記載の三次元光結合構造によって三次元光導波路の一方の端部に光結合されていることを特徴とする光通信システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、三次元光導波路、面発光半導体レーザアレイ又はフォトダイオードアレイと三次元光導波路との光結合構造、及び光通信システムに関し、更に詳細には、面発光半導体レーザアレイ又はフォトダイオードアレイと高い光結合効率で光結合できる三次元光導波路、三次元光導波路と面発光半導体レーザアレイ又はフォトダイオードアレイとを高い光結合効率で結合させる光結合構造、及び三次元光導波路と面発光半導体レーザアレイ及びフォトダイオードアレイとが高い光結合効率で光結合された光通信システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
情報化社会の到来と共に、大容量かつ高速の通信方式が必要とされている。一方、従来から情報伝達手段として用いられている電気配線は、システムの高速化に伴い高周波応答に限界が生じてくる。
そこで、電気配線に代わり、大容量かつ高速の通信方式で用いられる次世代光インターコネクションでは、光信号を伝達する光配線が脚光を浴びている。
【０００３】
光配線は個人の家庭でも普及しはじめているものの、光配線を家庭で普及させる際の最大の課題は、コストである。
従来から光配線に用いられている石英光導波路は性能が高いものの、コストが嵩むという難点があるために、低コストで作製容易なポリマー系光導波路が光配線材として着目されている。
ポリマー系光導波路による光配線を更に低コストにするために、また光配線ではマルチバスが必要とされているという事情を鑑みて、二次元光導波路を積層化し、コアを三次元の格子状に立体配置することによりバスを効率良く複数本化して、データの通信量を効率的に大容量化することが提案されている。
【０００４】
例えば、並列伝送三次元光配線のインターコネクション装置の例として、三次元光導波路が特開平１１−１８３７４７号公報などに開示されている。
前掲公報は、図６に示すように、所定位置に配置された複数本のコア６２と、コア６２のまわりに設けられ、コアより屈折率の小さいクラッド６４とから構成された高分子光導波路フィルム６６を積層し、コア６２の長手方向に直交する端面６８を有するマルチコア型の高分子光導波路アレイ７０を開示している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１８３７４７号公報（図２）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の三次元光導波路７０には、以下のような問題があった。
第１の問題は、半導体レーザ素子或いは受光素子等の光素子と、三次元光導波路７０とを高い光結合効率で光結合させることが難しいということである。
高い光結合効率で光素子と三次元光導波路とを光結合させるには、光を各コア６２に入射又は出射させる際、垂直に切り出した三次元光導波路の端面６８に直交する方向に光を入射させ、また出射させる必要がある。
しかし、三次元光導波路７０の端面に露出する複数本のコア６２のそれぞれに光素子から光を入射させたり、或いは複数本のコアのそれぞれから光素子に光を出射させることは、実際には、極めて難しい。つまり、各コア６２に対向して光素子を狭い端面上に位置決めし、配置することは、物理的にも難しい。また、レンズなどを設けるスペースを考慮すると、光素子及びレンズ等のアライメントのために複雑な機構が要求される。
第２の問題は、作製プロセスが複雑で、コストが嵩み、実用化が難しいということである。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、光素子との光結合が容易で、大容量高速データ通信を可能にするマルチバス三次元光配線用の三次元光導波路、及び三次元光結合構造、並びにマルチバス三次元光配線を適用した光通信システムを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、先ず、三次元光導波路に関連する光源について考えた結果、端面発光型のファブリペロー半導体レーザ素子を三次元光導波路に集積することは上述のように物理的に困難であると結論した。
それに比べて、面発光半導体レーザ素子は、二次元アレイ状に容易に配列でき、基板面に直交する方向にレーザ光を出射するので、三次元光導波路との結合が遊離である。
そこで、本発明者は、発光素子として面発光半導体レーザ素子を採用し、面発光半導体レーザ素子と高い光結合効率で結合できる三次元光導波路を工夫することにより、本発明を発明するに到った。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る三次元光配線は、三次元配列で延在する複数本のコアと、
コアに沿ってコアの周りに延在する、屈折率がコアより小さいクラッドと
を有する三次元光導波路であって、
三次元光導波路の少なくとも一方の端面が、コアの延在方向に斜めに傾斜する傾斜端面であることを特徴としている。
【００１０】
本発明の光導波路は、経済性及び取り付け容易性の観点から好適には高分子光導波路であって、ポリマー系樹脂で形成する。
ポリイミド基板、ガラス基板、石英基板、Ｓｉ基板、又はＧａＡｓ基板などの基板上にポリマー系樹脂層からなるコア及びクラッドを設けて基板上に二次元光導波路を形成し、次いで二次元光導波路を積層化して三次元光導波路を形成した後に、端面を傾斜端面に研磨し、次いで基板を剥離することにより、三次元光導波路を形成することができる。
【００１１】
本発明では、三次元光導波路の端面が傾斜端面になっているので、垂直な端面に比べて、端面の面積がそれだけ広くなり、光素子との三次元光結合が物理的に容易になる。
光配線に用いられる光インターコネクションは、機器内に設けられることが多いので、小型化が要求されている。本発明に係る三次元光配線は、発光素子として面発光半導体レーザ素子を、受光素子としてフォトダイオードを採用することにより、マルチバス大容量光通信を可能とする光配線を低コストで実現することができる。
【００１２】
また、本発明の好適な実施態様では、コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に対して鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、三次元光導波路の下方から光を各コアの傾斜端面に照射したとき、下段のコアが上段のコアに投影されないように、コアの延在方向に直交する断面で見て、上段のコアが下段のコアに対して斜め方向の位置に配置される三次元配列で、各コアが配列されている。
これにより、面発光半導体レーザ素子を二次元アレイ状に配置してなる面発光半導体レーザアレイから各コアの傾斜端面に向けレーザ光を出射したとき、レーザ光の光路が相互に重なるような不都合が生じない。
【００１３】
本発明の更に好適な実施態様では、傾斜端面がコアの延在方向に対して４５°をなしている。これにより、面発光半導体レーザ素子、フォトダイオード等の光素子と三次元光導波路との光結合が容易になる。
【００１４】
本発明に係る三次元光結合構造は、請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、
二次元アレイ状に配置された複数個の面発光半導体レーザ素子を有する面発光半導体レーザアレイと
を備え、
コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、三次元光導波路の下方の面発光半導体レーザ素子から各コアの傾斜端面に向け、それぞれ、光を入射させるとき、各コアの傾斜端面での反射光がコアの延在方向に反射するように、面発光半導体レーザアレイを三次元光導波路の傾斜端面の下方に配置したことを特徴としている。
【００１５】
本発明に係る別の三次元光結合構造は、請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、
二次元アレイ状に配置された複数個のフォトダイオードを有するフォトダイオードアレイと
を備え、
コアの延在方向が水平で、傾斜端面がコアの延在方向に鋭角をなすように三次元光導波路を保持し、各コアを導波する光の傾斜端面での反射光をそれぞれフォトダイオードで受光するように、フォトダイオードアレイを三次元光導波路の傾斜端面の下方に配置したことを特徴としている。
【００１６】
本発明に係る光通信システムは、請求項２又は３に記載の三次元光導波路と、面発光半導体レーザアレイと、
フォトダイオードアレイと
を備え、
面発光半導体レーザアレイは請求項４に記載の三次元光結合構造によって三次元光導波路の一方の端部に光結合され、フォトダイオードアレイは請求項５に記載の三次元光結合構造によって三次元光導波路の一方の端部に光結合されていることを特徴としている。
【００１７】
本発明に係る光通信システムは、三次元光導波路、面発光半導体レーザアレイ及びフォトダイオードアレイを効率良く立体配置したことにより、三次元光配線によるデータ通信を実現している。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、実施形態例を挙げ、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を具体的かつ詳細に説明する。
三次元光導波路の実施形態例１
本実施形態例は本発明に係る三次元光導波路の実施形態の一例であって、図１（ａ）は本実施形態例の三次元光導波路の構成を示す斜視図、図１（ｂ）は三次元光導波路の長手方向（コアの延在方向）の断面図、及び図１（ｃ）は三次元光導波路の長手方向に直交する方向の断面図である。
本実施形態例の三次元光導波路１０は、マルチモードの三次元光導波路であって、図１に示すように、規則的な三次元配列で三次元光導波路１０の長手方向に延在する複数本のコア１２と、コア１２に沿ってコア１２の周りに設けられたクラッド１４とを備え、端面として４５°の傾斜端面１６を有する。
【００１９】
コア１２は、屈折率がクラッド１４の屈折率より０．２％から２．０％程度大きい高分子有機化合物で形成された、断面２０μｍ〜１００μｍ角の柱状体であって、本実施形態例では、三次元光導波路１０の長手方向に直交する横断面で見て、１段当たりの３本のコア１２が縦方向に所定の間隔ＧＬ  で、かつ横方向に所定の間隔ＧＨ  の３段で配置されている。
クラッド１４も屈折率がコア１２の高分子有機化合物より小さい高分子有機化合物で形成されている。
【００２０】
横方向のコア１２とコア１２のと間、及び最外側のコア１２の外側には、コア１２と同じ組成の高分子有機化合物からなるクラッドが設けてある。例えば、高分子有機化合物として、オキセタン樹脂（ソニーケミカル社製）、フッ素化ポリイミド（ＮＴＴ−ＡＴ社製、日立化成社製）がある。
コア１２及びクラッド１４は、同種類の高分子材料である。コア１２は、クラッド１４より屈折率が０．２〜２．０％程大きい。屈折率の大きいコア用高分子材料を塗布後、ネガマスクパターンを介して紫外線を照射する。コアとなる部分にのみ紫外線が照射され、その部分の高分子材料は硬化する。一方、ネガマスクの影の部分である紫外線が照射されなかった部分は、アセトンで除去される。このようにして、コア１２の光導波路が形成される。
その後、クラッドの屈折率の低い高分子材料を塗布し、全面に紫外線を照射すると、上部クラッド１４が形成される。
【００２１】
別法として、紫外線照射により、コア１２とコア１２との間、及び最外側のコア１２の外側に屈折率がコア１２より低い中間クラッドを形成することもできる。
コア１２と同じ高分子有機化合物であって、紫外線照射により屈折率が低くなる高分子有機化合物を塗布して、高分子有機化合物層を成膜する。次いで、マスクを介した紫外線照射により屈折率をコア１２より小さくした中間クラッドをコア１２とコア１２との間、及び最外側のコア１２の外側に形成する。そのような高分子有機化合物として、例えばグラシア（日本ペイント製）がある。
【００２２】
４５°傾斜端面１６は、コア１２の延在方向に対して４５°の角度で傾斜する端面であって、三次元光導波路１０の端部を研磨することにより形成されている。Ｖ型ブレードを有するダイシング装置（ディスコ社製）で、４５°に光導波路の端面を研磨できる。
【００２３】
本実施形態例の三次元光導波路１０を作製する際には、複数本のコア１２（本実施形態例では、３本のコア）を有する二次元光導波路を積層して、三次元光導波路を形成し、次いで三次元光導波路の端部を研磨して４５°傾斜端面１６を形成する。その後、この三次元光導波路を基板から剥離する。
【００２４】
図２を参照して、本実施形態例の三次元光導波路１０の作製方法を説明する。この作製例は、オキセタン樹脂（ソニーケミカル社製）を使った例である。図２（ａ）から（ｃ）は、それぞれ、三次元光導波路を作製する際の主要工程での断面図である。
先ず、図２（ａ）に示すように、基板１８上に屈折率の低いオキセタン樹脂を塗布してスピンコート法で成膜し、紫外線照射して、オキセタン樹脂層を硬化させ、一層目の二次元光導波路を構成するクラッド１４１  を形成する。
次いで、図２（ｂ）に示すように、クラッド１４１  上に、屈折率の高いオキセタン樹脂を塗布して、コア１２の膜厚に等しい膜厚のコア形成層２２をスピンコート法で成膜する。続いて、フォトリソグラフィ処理によりコア１２の開口パターンを有するマスク２４を形成し、マスク２４上から紫外線を照射して、硬化させ、マスク２４の開口パターン下の紫外線照射領域を一層目の二次元光導波路を構成するコア１２１  とする。
次いで、開口パターン外の紫外線非照射領域１５１  のコア形成層２２（非硬化層）をアセトンで除去する。
【００２５】
次に、図２（ｃ）に示すように、コア１２１  を形成後、屈折率の低いオキセタン樹脂を塗布してスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して硬化させ、二層目の二次元光導波路を構成するクラッド１４２  を形成する。これにより、一層目の二次元光導波路１０１  を作製することができる。
【００２６】
以下、一層目の二次元光導波路１０１  上に、同様にして、コア形成層を成膜して、順次、二層目の二次元光導波路、三層目の二次元光導波路、・・を形成する。次いで、端部を研磨して４５°傾斜端面１６（図１参照）を形成し、最後に基板１８を剥離することにより、本実施形態例の三次元光導波路１０を作製することができる。
【００２７】
基板１８として、ポリイミド基板、ガラス基板、石英基板、Ｓｉ基板、又はＧａＡｓ基板などを使用することができる。
【００２８】
本実施形態例の三次元光導波路１０では、４５°傾斜端面１６に対して４５°の角度で入射した光は、４５°傾斜端面１６で反射して光の進む方向を９０°変え、光導波路であるコア１２内を全反射により伝播する。
同様に、光導波路のコア１２内を全反射により伝播した光は、４５°傾斜端面１６で反射して光の進む方向を９０°変えて、出射する。
実施形態例１の三次元光導波路１０を構成するコア１２及びクラッド１４の幅、厚みなどは、伝送損失が小さくなるように設定する。コア１２の断面は正方形に限らず、長方形でも良い。
【００２９】
本実施形態例の三次元光導波路１０は、端面が４５°傾斜端面になっているので、コアの延在方向に直交する端面に比べて、コア１２の各端面面積も広くなり、光素子の配置等の物理的な面で有利である。
【００３０】
三次元光導波路の実施形態例２
本実施形態例は本発明に係る三次元光導波路の実施形態の別の例である。図３（ａ）及（ｂ）は、それぞれ、コアの配列を示す三次元光導波路の長手方向に直交する方向の断面図である。
本実施形態例の三次元光導波路３０は、三次元光導波路３０の長手方向に直交する横断面で見て、図３（ａ）に示すように、１段当たりの３本のコア３２が、３段で縦方向に所定間隔ＧＬ  で、かつ横方向に所定の間隔ＧＨ  で、しかも下段のコア３２が上段のいずれのコア３２にも投影されないように、斜め配列でクラッド３４内に配置されていることを除いて、実施形態例１の三次元光導波路１０と同じ構成を備えている。
また、間隔ＧＨ  を小さくして、図３（ｂ）に示すように、コア３２を配列することもできる。
本実施形態例の三次元光導波路３０は、上述のコア３２の配列により、後述するように、光素子、例えば面発光半導体レーザ素子との光結合が容易になる。
【００３１】
三次元光結合構造の実施形態例
本実施形態例は本発明に係る三次元光結合構造の実施形態の一例である。図４（ａ）及び図４（ｂ）は、それぞれ、本実施形態例の三次元光結合構造の構成を示す斜視図及び光導波路と面発光半導体レーザ素子との光結合を示す光導波路の長手方向に平行な方向の模式的断面図である。
本実施形態例の三次元光結合構造４０は、図４に示すように、実施形態例２の三次元光導波路３０と、三次元光導波路３０の端部で光結合する面発光半導体レーザアレイ４２とから構成されている。
【００３２】
面発光半導体レーザアレイ４２は、ｎ型基板上に、順次、ｎ−ＤＢＲミラー、λ共振器、及びｐ−ＤＢＲミラーを形成した円筒型の面発光半導体レーザ素子を多数個２次元アレイ状に配置したものであって、上部のｐ−ＤＢＲミラー側から基板に直交する方向にレーザ光を出射する。
本実施形態例では、面発光半導体レーザ素子の各ｐ−ＤＢＲミラーが、三次元光導波路３０の対応するコア３２の４５°傾斜端面３６の直下にあって、かつｐ−ＤＢＲミラーから出射されるレーザ光がコア３２の４５°傾斜端面３６に対して４５°の角度で入射するように、面発光半導体レーザアレイ４２が配置されている。
面発光半導体レーザアレイ４２は、各面発光半導体レーザ素子の放射角特性に適合するように、三次元光導波路３０との距離が設定されている。
【００３３】
本実施形態例の光結合構造４０では、面発光半導体レーザアレイ４２の各面発光半導体レーザ素子から上方に出射されたレーザ光は、それぞれ、真上の三次元光導波路３０のコア１２の４５°傾斜端面３６で反射して、コア１２内を全反射して伝播する。
以上の構成により、本実施形態例の三次元光結合構造４０は、面発光半導体レーザアレイ４２と三次元光導波路３０とを高い光結合効率で光結合している。また、同様な光結合原理で、三次元光導波路３０と、二次元アレイ状に配置された複数個のフォトダイオードを有するフォトダイオードアレイとを高い光結合効率で光結合している三次元光結合構造を構成することができる。
【００３４】
光通信システムの実施形態例
本実施形態例は本発明に係る光通信システムの実施形態の一例であって、図５は本実施形態例の光通信システムの構成を示す模式図である。
本実施形態例の光通信システム５０は、図５に示すように、実施形態例２の三次元光導波路３０と同じ構成の三次元光導波路５２と、三次元光導波路５２の一方の端部に設けられた４５°傾斜端面５３Ａを介して三次元光導波路５２と光結合している２次元面発光半導体レーザアレイ５４と、三次元光導波路５２の他方の端部に設けられた４５°傾斜端面５３Ｂを介して三次元光導波路５２と光結合している２次元フォトダイオードアレイ５６とを備えている。
【００３５】
三次元光導波路５２と面発光半導体レーザアレイ５４とは、実施形態例の光結合構造４０と同じように、光結合されている。
フォトダイオードアレイ５６は、基板上に、順次、形成されたｎ型半導体層、ｉ型半導体層、ｐ型半導体層からなる円筒型のｐｉｎ構造を２次元アレイ状に備え、上部のｐ型半導体層を受光面とし、光通信システム５０の受光素子として設けられている。
三次元光導波路５２とフォトダイオードアレイ５６とは、三次元光導波路３０と面発光半導体レーザアレイ４２とを光結合させた実施形態例の光結合構造４０と同じ構成で光結合されている。
【００３６】
本実施形態例の光通信システム５０では、面発光半導体レーザアレイ４２から出射された光は、三次元光導波路５０の一方の端部に入射して４５°傾斜端面５３Ａで反射し、三次元光導波路５０のコアを通り、三次元光導波路５０の他方の端部に伝播する。三次元光導波路５０の他方の端部に到達した光は、４５°傾斜端面５３Ｂで反射してフォトダイオードアレイ５６で受光される。
本光通信システム４０は、三次元光導波路４２を介して二次元面発光半導体レーザアレイ５４と二次元フォトダイオードアレイ５６と間で光伝送する、マルチバス大容量光通信を可能にしている。
【００３７】
【発明の効果】
本発明によれば、三次元光導波路の少なくとも一方の端面が、コアの延在方向に斜めに傾斜する傾斜端面であることにより、垂直な端面に比べて、端面の面積がそれだけ広くなり、光素子との三次元光結合が物理的に容易になる。
また、本発明によれば、三次元光導波路の下方の面発光半導体レーザ素子から各コアの傾斜端面に向け、それぞれ、光を入射させるとき、各コアの傾斜端面での反射光がコアの延在方向に反射するように、面発光半導体レーザアレイを三次元光導波路の傾斜端面の下方に配置することにより、面発光半導体レーザアレイと三次元光導波路との高い光結合効率の三次元光結合構造を実現している。また、同じ結合原理で三次元光導波路とフォトダイオードアレイとの高い光結合効率の三次元光結合構造を実現している。
更には、本発明に係る三次元光結合構造を適用して、三次元光配線による光通信システムを実現している。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は実施形態例１の三次元光導波路の構成を示す斜視図、図１（ｂ）は実施形態例１の三次元光導波路の長手方向（コアの延在方向）の断面図、及び図１（ｃ）は実施形態例１の三次元光導波路の長手方向に直交する方向の断面図である。
【図２】図２（ａ）から（ｃ）は、それぞれ、実施形態例１の三次元光導波路を作製する際の主要工程での断面図である。
【図３】図３（ａ）及（ｂ）は、それぞれ、コアの配列を示す三次元光導波路の長手方向に直交する方向の断面図である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、それぞれ、実施形態例の三次元光結合構造の構成を示す斜視図及び光導波路と面発光半導体レーザ素子との光結合を示す光導波路の長手方向に平行な方向の模式的断面図である。
【図５】実施形態例の光通信システムの構成を示す模式図である。
【図６】従来の三次元光導波路の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０……実施形態例１の三次元光導波路、１２……コア、１４……クラッド、１６……４５°の傾斜端面、１８……基板、２２……コア形成層、２４……マスク、３０……実施形態例２の三次元光導波路、３２……コア、３４……クラッド、３６……傾斜端面、４０……実施形態例の三次元光結合構造、４２……面発光半導体レーザアレイ、５０……実施形態例の光通信システム、５２……三次元光導波路、５４……２次元面発光半導体レーザアレイ、５６……２次元フォトダイオードアレイ、６２……コア、６４……クラッド、６６……二次元光導波路、６８……垂直端面、７０……三次元光導波路。
【図１】
2004177730.tif 000003
【図２】
2004177730.tif 000004
【図３】
2004177730.tif 000005
【図４】
2004177730.tif 000006
【図５】
2004177730.tif 000007
【図６】
2004177730.tif 000008