(57)【要約】【課題】細密構造を有する目的造形物でも高精度な造形を可能とする積層造形法の提供。【解決手段】積層造形法では、目的造形物の断層構造として得られる造形データに基づいた制御部２１からの制御により造形材料１４の薄層にレーザ光５を走査させながら選択的に照射し、このレーザ光の選択的照射部分で造形材料に結合や硬化を生じさせつつ造形パターンに対応した輪郭形状の結合部分や硬化部分からなる単位造形層１５を形成する操作を順次繰り返し、この繰り返し形成の単位造形層の積層により目的造形物の造形をなす。このような積層造形法について、レーザ光の走査方向に関する幅が所定以下である造形パターン部分に対して、その幅に相関させたレーザ光の照射制御を細密部照射制御手段２２に行なわせるようにしている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
目的造形物を仮想的に多数の層にスライスすることで前記目的造形物の中実部分に対応する造形パターンの前記スライス数に応じた集まりとして得られる造形データに基づいた制御により造形材料の薄層にレーザ光を走査させながら選択的に照射し、このレーザ光の選択的照射部分で前記造形材料に結合や硬化を生じさせつつ前記造形パターンに対応した輪郭形状の結合部分や硬化部分からなる単位造形層を形成する操作を順次繰り返し、この繰り返し形成の単位造形層の積層により前記目的造形物の造形をなす積層造形法において、
前記レーザ光の走査方向に関する造形幅Ｗが所定以下で、かつ前記レーザ光の走査の幅が前記造形幅Ｗとなる前記造形パターン部分に対して、前記造形幅Ｗに相関させてレーザ光の照射条件を制御するようにしたことを特徴とする積層造形法。
【請求項２】
前記レーザ光の照射条件制御として、前記レーザ光の強度を制御するようにした請求項１に記載の積層造形法。
【請求項３】
前記レーザ光の照射条件制御として、隣接する走査間で前記レーザ光のビームに重なりを生じるように前記レーザ光の走査をなすビームラップにおける前記重なりの程度を制御するようにした請求項１に記載の積層造形法。
【請求項４】
目的造形物を仮想的に多数の層にスライスすることで前記目的造形物の中実部分に対応する造形パターンの前記スライス数に応じた集まりとして得られる造形データに基づいた制御により造形材料の薄層にレーザ光を走査させながら選択的に照射し、このレーザ光の選択的照射部分で前記造形材料に結合や硬化を生じさせつつ前記造形パターンに対応した輪郭形状の結合部分や硬化部分からなる単位造形層を形成する操作を順次繰り返し、この繰り返し形成の単位造形層の積層により前記目的造形物の造形をなす積層造形装置において、
前記レーザ光の走査方向に関する造形幅Ｗが所定以下で、かつ前記レーザ光の走査の幅が前記造形幅Ｗとなる前記造形パターン部分に対して、前記造形幅Ｗに相関させてレーザ光の照射条件を制御するための細密部照射制御手段を備えたことを特徴とする積層造形装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄い単位造形層をレーザ照射により順次形成しながら積層させることで目的造形物の造形がなされる積層造形法およびそれに用いる積層造形装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
積層造形法は、薄い単位造形層を多数積層して造形を行なうものであり、どのように複雑な形状でも容易に造形することができるという優れた特徴を持っており、意匠性の高い工業製品について設計形状の適否を検討するためのプロトタイプの作製（ラピッド・プロトタイピングと呼ばれる）への利用から始まって、最近は複雑な形状を有する機械部品の製造などにも好適な手法として用いられている。こうした積層造形法には二つのタイプがある。その一つは、造形材料として、レーザ光の照射で高温になって溶着や焼結を生じることで結合する粉末材料を用いるタイプである。その代表的な例としては、例えば特許文献１に開示される選択的レーザ焼結法（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  Ｌａｓｅｒ  Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ：ＳＬＳ法）がある。ＳＬＳ法の粉末材料としては、例えば合成樹脂材をベースとした粉末材料や金属材をベースとした粉末材料が用いられる。そして金属材ベース粉末材料は、通常は金属の粉末粒子の表面に合成樹脂バインダをコーティングした粉末材料であり、その合成樹脂バインダがレーザ光の照射で溶けて溶着を生じる。
【０００３】
図７に、ＳＬＳ法で用いられる選択的レーザ焼結装置の一構成例を模式化して示す。選択的レーザ焼結装置（積層造形装置）は、焼結台ピストン１、粉末材料供給ピストン２、展延ローラ３、ＣＯ２レーザなどが用いられるレーザ４、レーザ４からのレーザ光のビーム５を収束させるレンズ系６、レーザビーム５の照射操作を行なうミラー（ガルバノミラー）７、および制御部８を備えており、その焼結台ピストン１と粉末材料供給ピストン２が温度制御を可能とされたチャンバー９で覆われている。またその制御部８には、ミラー７の制御用である照射走査制御手段１１、レーザ４の制御用であるレーザ制御手段１２、および焼結台ピストン１と粉末材料供給ピストン２それぞれの動作制御およびチャンバー９内の温度制御などをなす造形条件制御手段１３がコンピュータ・プログラムの形態で設けられている。なお図中の一点鎖線矢印は信号などの伝達関係を示している。
【０００４】
このような選択的レーザ焼結装置による積層造形処理は以下のようになされる。まず粉末材料供給ピストン２を所定高さだけ上昇させることで焼結台ピストン１に供給すべき粉末材料１４の計量がなされ、展延ローラ３がその計量分の粉末材料１４を焼結台ピストン１の上に例えば１００μｍ程度といった薄層で展延させる。それからこの粉末材料の薄層（これはパーツヘッドとも呼ばれる）にレーザ光を照射する。レーザ光の照射は照射走査制御手段１１でミラー７を制御することにより所定のパターンでなされる。その照射パターン制御は、目的の製品つまり目的造形物を仮想的に多数の層にスライスすることで目的造形物の中実部分に対応する造形パターンの前記スライス数に応じた集まりとして得られる造形データに基づいてなされる。そのような造形データは、目的造形物の３次元ＣＡＤデータをコンピュータ処理して得るのが通常で、目的造形物やそのモデルをＸ線ＣＴ装置で断層撮影して得られるビットマップデータを用いることも可能である。
【０００５】
粉末材料の薄層にレーザ光を照射すると、その照射部位において粉末材料が高温状態になり、これによりレーザ光の照射パターン、つまり一つのスライス面における造形パターンに対応する輪郭形状で粉末材料が溶着あるいは焼結して結合することで一つの単位造形層１５が形成される。一つの単位造形層１５の形成を終えたら、その厚み分だけ焼結台ピストン１を下降させ、それに続いて以上と同じ作業を繰り返す。これら一連の作業を数繰り返すことで単位造形層１５、１５、……が順次積層され、その積層数が所定数つまり目的造形物のスライス数に達すれば目的造形物の一次中間体となる積層造形物が得られる。なおＳＬＳ法で造形されたこの積層造形物は、金属粒子のバインダが溶着しているだけであり、あるいは金属粒子が不十分な焼結を生じているだけなので脆い状態にある。そのためＳＬＳ法による積層造形処理に続いて加熱炉での本焼結物処理を施し、必要な場合にはさらに溶浸材を溶浸させて強度を高める溶浸処理を施して最終製品とする。
【０００６】
以上の粉末材料を用いる積層造形法は、機械部品などの実用製品を製造するのにも用いられる。これに対して、設計の適否を検討するためのプロトタイプなどを作製するのに主に用いられるもう一つの積層造形法は光造形法とも呼ばれ、造形材料として液状の光硬化性樹脂を用いる（例えば特許文献２〜５）。この光造形法では、液状の光硬化性樹脂を満たせるようにしたタンク内に上下動可能とした可動テーブルを設けた構造の造形装置を用いて積層造形がなされる。すなわち液状の光硬化性樹脂を満たしたタンク内で可動テーブルのテーブル面上に光硬化性樹脂液の薄層を生成させ、この薄層にレーザ光を上記ＳＬＳ法と同様な手法で照射することにより、その照射パターンに応じたパターンで光硬化性樹脂を硬化させて一つの単位造形層を形成する。一つの単位造形層の形成を終えたら、その厚み分だけ可動テーブルを下降または上昇させ、形成済みの単位造形層の上または下に次の単位造形層のための薄層を生成させて同様にレーザ光の照射をなし、次の単位造形層を形成する。そして以降、可動テーブルの下降または上昇による薄層の生成とそれへのレーザ光の照射による単位造形層の形成を所定回数繰り返して目的の造形物を得る。
【０００７】
【特許文献１】
特表平１１−５０８３２２号公報
【特許文献２】
特開平７−３０４１０４号公報
【特許文献３】
特開平８−１０８４８１号公報
【特許文献４】
特開平８−８５１５５号公報
【特許文献５】
特開２０００−２３８１３７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
積層造形法は、上述のようにラピッド・プロトタイピングへの利用の他に、最近は複雑な形状を有する機械部品の製造などでも多く用いられるようになってきている。特に、金属材を造形材料とすることのできるＳＬＳ法で機械部品などを製造することが多くなってきており、それに伴って従来ではそれほど重視されていなかった造形精度の向上に関心が移ってきている。そのなかで、ＳＬＳ法により細密な構造を有する機械部品の造形を行なった場合に、その細密部分の細かなパターンが太って精度が低下するという現象を生じることが見出されてきた。その原因を追求してみると、パーツヘッドの温度状態が大きく影響していることが判ってきた。このことを説明するにあたって、まずＳＬＳ法におけるレーザ光の走査の概略を説明する。積層造形法ではレーザ光の走査にラスタス走査を用いるのが通常である。図８に示すような造形パターンＰに対して横方向の走査Ｓを縦方向に繰り返して行なうのがラスタス走査である。
【０００９】
またこのラスタス走査においては、レーザ光のビームに重なりを生じるようにするラップ制御がなされる。図９にレーザ光のビームにおけるエネルギーの密度分布パターンを模式化して示し、図１０にレーザ光のビームがラップされる様子を模式化して示す。レーザ光のビームＢは一定の広がり幅Ｂｗ（これは例えば０．３５〜０．４ｍｍ程度である）を有し、また両側端部分に若干の傾斜のある台形に近似したパターンのエネルギー密度分布を有するのが一般的である。図１０に示すように、このビームは、一つの走査ビームＢａに対してそれに続く走査ビームＢｂ、Ｂｃ、Ｂｄがそれぞれの一部を重ならせるように走査させられる。そのラップ率（ラップ程度）は、ビームＢのエネルギー密度分布パターンにもよるが、一つの走査に対してそれに続く三つの走査が重なる程度とするのが一般的である。なお、隣接する走査ビーム間の非重なり部分Ｌｓはラインスペースとも呼ばれている。
【００１０】
このようなラップ走査を行なうのは以下の理由による。すなわちレーザ光の出力は、エネルギー密度分布パターンの中央部分のエネルギー密度を前提に設定されており、その部分よりエネルギー密度の低い側端部分の照射だけを造形材料が受けるとすると、その部分では造形材料の結合や硬化が不十分となり、造形精度が低下する。そこで、造形材料に対して常に中央部分のエネルギー密度での照射をなせるようにラップ走査を行なうのである。
【００１１】
以上のようなレーザ光の走査照射においてレーザ光を照射された部分は、図７におけるチャンバー９内の温度により与えられる造形材料の基礎温度（これは金属ベースの粉末材料の場合であれば摂氏９０〜１００度程度であるのが通常）から瞬時的に上昇して所定の温度（これは金属ベースの粉末材料の場合であれば摂氏２５０〜３００度程度であるのが通常）に達し、それにより造形材料に適切な結合を生じる。この場合に、造形材料の熱伝導率が高いと、レーザ光の照射部位の周辺もかなりの温度に達して基礎温度を大幅に超えた温度状態になる。この状態でレーザ光の照射がなさると造形材料の温度が必要以上に上昇し、その影響でレーザ光照射部位以外の部分にも造形材料の結合を生じてしまう。そしてこの照射周辺部位での造形材料の結合が例えば図８の造形パターンＰの輪郭外に生じると、造形精度を低下させることになる。ただ、造形パターンＰのレーザ光の走査方向に関する造形幅Ｗが広ければ、次の走査までに造形材料が十分に冷却して基礎温度まで戻ることができるので、上記のような照射部位外結合を生じることはない。しかし、造形幅Ｗが一定以下であり、しかもレーザ光の走査の幅が造形幅Ｗになる造形パターン部分においては、次の走査までの時間が造形材料の十分な冷却に不足する状態になり、照射部位外結合、特に造形パターン輪郭外での造形材料の結合を生じる。これが細密部分の細かなパターンを太らせて造形精度を低下させるメカニズムである。このような造形パターン輪郭外結合はラップ走査により助長される。すなわちラップ走査を行なうと、ラップ程度に応じて、同じ部位に照射が何回か繰り返されることになり、照射周辺部位の過剰温度上昇を招き易い状態になる。
【００１２】
本発明は、以上のような知見に基づいてなされたものであり、細密構造を有する目的造形物でも高精度な造形を可能とする積層造形法およびそのための積層造形装置の提供を目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的のために本発明では、目的造形物を仮想的に多数の層にスライスすることで前記目的造形物の中実部分に対応する造形パターンの前記スライス数に応じた集まりとして得られる造形データに基づいた制御により造形材料の薄層にレーザ光を走査させながら選択的に照射し、このレーザ光の選択的照射部分で前記造形材料に結合や硬化を生じさせつつ前記造形パターンに対応した輪郭形状の結合部分や硬化部分からなる単位造形層を形成する操作を順次繰り返し、この繰り返し形成の単位造形層の積層により前記目的造形物の造形をなす積層造形法において、前記レーザ光の走査方向に関する造形幅Ｗが所定以下で、かつ前記レーザ光の走査の幅が前記造形幅Ｗとなる前記造形パターン部分に対して、前記造形幅Ｗに相関させてレーザ光の照射条件を制御するようにしたことを特徴としている。
【００１４】
また本発明では、上記のような積層造形法について、前記レーザ光の照射条件制御として、前記レーザ光の強度を制御するようにしている。
【００１５】
また本発明では、上記のような積層造形法について、隣接する走査間で前記レーザ光のビームに重なりを生じるように前記レーザ光の走査をなすビームラップにおける前記重なりの程度を制御するようにしている。
【００１６】
また本発明では上記目的のために、目的造形物を仮想的に多数の層にスライスすることで前記目的造形物の中実部分に対応する造形パターンの前記スライス数に応じた集まりとして得られる造形データに基づいた制御により造形材料の薄層にレーザ光を走査させながら選択的に照射し、このレーザ光の選択的照射部分で前記造形材料に結合や硬化を生じさせつつ前記造形パターンに対応した輪郭形状の結合部分や硬化部分からなる単位造形層を形成する操作を順次繰り返し、この繰り返し形成の単位造形層の積層により前記目的造形物の造形をなす積層造形装置において、前記レーザ光の走査方向に関する造形幅Ｗが所定以下で、かつ前記レーザ光の走査の幅が前記造形幅Ｗとなる前記造形パターン部分に対して、前記造形幅Ｗに相関させてレーザ光の照射条件を制御するための細密部照射制御手段を備えたことを特徴としている。
【００１７】
【発明実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に関連させて本発明をより具体的に説明する。図１に、本発明の一実施形態で用いる積層造形装置の構成を模式化して示す。この積層造形装置は、その制御部２１に細密部照射制御手段２２が設けられている。その他の構成は上で説明した従来の積層造形装置（レーザ焼結装置）と同様であるので、共通する部分には同一の符号を付してある。
【００１８】
この積層造形装置における積層造形処理の説明をするのに先立って、当該積層造形装置の特性について説明する。その特性とは、レーザ光照射部位における粉末材料の温度変化特性と造形偏差特性である。図２に、レーザパワー（レーザ強度）、レーザ走査速度、ラインスペース幅、レーザビーム幅、パーツヘッドの基礎温度などを通常的な条件に設定して実験的に求めた温度変化特性に関するグラフを示す。その縦軸はパーツヘッドの温度であり、横軸はパーツヘッドに対してレーザ光を照射してからの経過時間である。この図に見られるように、図１の積層造形装置においてパーツヘッドにレーザビーム５を照射するとチャンバー９内の温度により与えられるパーツヘッドの基礎温度（図２では摂氏１００度であり、点線で示してある）から瞬時的に上昇して所定の温度（図２では摂氏２５０度程度）に達する。そしてそこから２００度程度までは急激に下降し、それから徐々に低下して０．２５ｍｓ程度で基礎温度に戻る。つまりレーザ光の照射で昇温した粉末材料が基礎温度まで戻るのに０．２５ｍｓ程度の時間を必要とするということである。図３に、温度変化特性の場合と同様な条件で実験的に求めた造形偏差特性に関するグラフを示す。その縦軸は予定した造形パターンと実際に得られた造形パターンとの偏差δ、つまり実際に得られた造形パターンの太り量であり、横軸は予定した造形パターンにおけるのレーザ光の走査方向に関する幅（造形幅）Ｗである。この図に見られるように、造形幅Ｗが２ｍｍ以下にあっては、２ｍｍからだいたい０．５ｍｍの間で徐々に太り量δが大きくなって最大値に達し、それ以下ではその最大値に固定する。このように造形幅Ｗが２ｍｍ以下において、実際に得られる造形パターンが予定した造形パターンより太るのは、上述したように次の走査までの時間がパーツヘッドの十分な冷却に不足するからである。
【００１９】
本発明ではこのような積層造形装置における特性を前提にしてレーザ光の照射条件を制御しながら積層造形を行なう。以下、その積層造形処理について説明する。処理の基本的なところは上で説明した従来の積層造形装置におけるそれと同様なのでそれを援用し、要点について説明する。図４や図５に示すような造形パターンに対してレーザビーム５の照射を行なうとする。これらの造形パターンは、非細密パターン部分Ｎと細密パターン部分Ｍを含んでいる。ただし、上で説明した造形偏差特性に基づいて、レーザ光の走査Ｓの方向に関する造形幅Ｗが２ｍｍ以下となることを第１の条件とし、さらにレーザ光の走査Ｓの走査幅が造形幅Ｗとなることを第２の条件とし、この両条件を満たす部分を細密パターン部分Ｍとし、造形幅Ｗが２ｍｍより広い部分を非細密パターン部分Ｎとしている。
密パターン部分Ｍとするのに上記のような第２の条件を必要とする理由は以下の通りである。例えば図６に示す造形パターンの場合、第１の条件である造形幅Ｗが２ｍｍ以下を満たすパターン部分ｍがある。しかし、パターン部分ｍは、造形幅Ｗが２ｍｍ以上であるパターン部分Ｎａとパターン的に一体化した状態でレーザ光の走査方向に複数並列している。このようなパターン部分に対しては、レーザ光の走査Ｓが複数のパターン部分ｍを横断してなされる。そのため次の走査までの時間がパーツヘッドの十分な冷却に不足することがない。すなわち実際に得られる造形パターンが予定した造形パターンより太るという現象を生じない。したがってこのようなレーザ光の走査方向に複数並列するパターン部分ｍは「細密パターン部分」から除外することになる。
【００２０】
ここで、図６のパターン部分ｍに対しては複数のパターン部分ｍを横断してレーザ光を走査させ、図４の細密パターン部分Ｍに対しては個別にレーザ光を走査させることには、造形パターンのためのデータ処理が関係している。すなわち、図４の造形パターンのように、非細密パターン部分Ｎから独立している細密パターン部分Ｍに対して横断走査をさせるように造形パターンを作成しようとすると、個別走査で造形パターンを作成する場合に較べて処理するデータ量が格段に多くなる。データ量が多くなると、ＣＡＤデータなどから造形パターンを作成するためのコストが高くなるだけでなく、造形パターンに対するレーザ光の走査制御に際してのデータ処理量が多くなって造形効率を低下させる。このような理由から、図４の細密パターン部分Ｍに対しては個別にレーザ光を走査させるように造形パターンを作成する必要があり、その結果、レーザ光走査幅が造形幅Ｗとなる。
【００２１】
図４や図５のような造形パターンにレーザビーム５の照射を行なう場合、非細密パターン部分Ｎに対しては、レーザ制御手段１２と造形条件制御手段１３による制御の下で、通常の照射条件により照射を行なう。一方、細密パターン部分Ｍに至ると、細密部照射制御手段２２を機能させて照射制御を行なう。以下、これについて説明する。レーザパワーＬｐ（Ｗ）、レーザ照射密度Ｌｐｄ（Ｊ／ｍｍ２）、レーザ走査速度Ｓｓ（ｍｍ／ｓ）、ラインスペースＬｓ（ｍｍ）、レーザビーム幅Ｂｗ（ｍｍ）、パーツヘッドの基礎温度Ｔｈｂ（°Ｃ）、レーザ光照射後のパーツヘッドの温度Ｔｈ（°Ｃ）、造形幅Ｗ（ｍｍ）、レーザ光が照射されてからの経過時間ｔｐ（ｓ）、および造形幅Ｗに対する走査時間ｔｓ（ｓ）については、以下の数１〜数４として示す数式で関係付けることができる。なお各項目の後における括弧内は単位である。
【数１】
2004284025.tif 000003
ただし、Ａは、粉末材料のレーザ光吸収率を含む熱量換算項として与えられる定数である。
【数２】
2004284025.tif 000004
【数３】
2004284025.tif 000005
【数４】
2004284025.tif 000006
【００２２】
細密部照射制御手段２２は、このような関係を前提に、造形幅Ｗに対する走査時間ｔｓとパーツヘッドが基礎温度になるまでの所要時間（経過時間：上記の温度変化特性に基づけば、０．２５ｍｓ程度）ｔｐがｔｓ≧ｔｐとなるようにする制御プログラムが組み込まれている。そしてこれに基づいて細密パターン部分Ｍにおける照射制御を行なうことで、実際に得られた造形パターンの太り現象を有効に防止する。ｔｓ≧ｔｐとする制御は、ｔｐがレーザ光の強度、レーザビームの走査速度、およびラインスペース幅に相関していることから、これらの何れか一つ、あるいはそれらの組み合わせてなすことが可能である。なかでもレーザ光の強度を調整する方法が最も行ない易いという点で好ましく、ラインスペース幅の調整がそれに続いて好ましい。
【００２３】
レーザ光の強度によって制御する場合には、以下のような手順となる。細密部照射制御手段２２は、照射走査制御手段１１からそれが有している造形パターンに関する情報を受ける。その情報に基づいて、造形幅Ｗが所定の臨界幅Ｗｃ、例えば２ｍｍ以下であるか否かを常に判断している。そして、Ｗ≦Ｗｃとなったと判断したら、レーザ４に対する出力の制御を開始する。その制御は、上記のような関係とｔｓ≧ｔｐを前提にして、例えば造形幅Ｗをパラメータとする関数：Ｌｐｄ＝Ｆ（Ｗ）により必要なレーザ照射密度Ｌｐｄを求める形態で行なう。一方、Ｗ＞Ｗｃとなったと判断したらレーザ制御手段１２による通常の制御に移る。
【００２４】
ラインスペース幅による場合には、レーザ光強度による場合と同様に、Ｗ≦Ｗｃとの判断を条件に、やはりレーザ光強度による場合と同様に、造形幅Ｗをパラメータとする関数：Ｌｓｗ＝Ｆ（Ｗ）により適切な必要なラインスペース幅Ｌｓｗを求める形態で行なう。
【００２５】
以上の実施形態は本発明を実施する上での代表的な例であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲でこれらを適宜に変更することができる。例えば以上の実施形態は金属材をベースとした粉末材料を造形材料とする例であったが、その他の造形材料、例えば合成樹脂粉末材料の場合でも「太り現象」を生じる材料であれば本発明を適用できる。また以上の実施形態ではＳＬＳ法に関した例であったが、レーザ光照射がその照射部位外に影響して「太り現象」を生じる場合であれば、ＳＬＳ法に限らず本発明を適用することができる。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、レーザ光の走査方向に関する幅が所定以下である造形パターン部分に対して、その幅に相関させてレーザ光の照射条件を制御するようにしている。このため本発明によれば、細密な造形パターンでも太り現象を生じることなく高精度で造形することができ、積層造形法の有用性をより一層高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態による積層造形装置の構成を模式化して示す図である。
【図２】実験的に求められた粉末材料の温度変化特性に関する図である。
【図３】実験的に求められた造形偏差特性に関する図である。
【図４】細密パターン部分を有する造形パターンの例を模式化して示す図である。
【図５】細密パターン部分を有する造形パターンの他の例を模式化して示す図である。
【図６】細密パターン部分を有しない造形パターンの例を模式化して示す図である。
【図７】従来の積層造形装置の一般的な構成を模式化して示す図である。
【図８】造形パターンの例を模式化して示す図である。
【図９】レーザビームにおけるエネルギーの密度分布パターンを模式化して示す図である。
【図１０】レーザビームがラップされる様子を模式化して示す図である。
【符号の説明】
５  レーザビーム
１４  粉末材料（造形材料）
１５  単位造形層
２２  細密部照射制御手段
Ｐ  造形パターン
Ｗ  レーザ光の走査方向に関する幅
【図１】
2004284025.tif 000007
【図２】
2004284025.tif 000008
【図３】
2004284025.tif 000009
【図４】
2004284025.tif 000010
【図５】
2004284025.tif 000011
【図６】
2004284025.tif 000012
【図７】
2004284025.tif 000013
【図８】
2004284025.tif 000014
【図９】
2004284025.tif 000015
【図１０】
2004284025.tif 000016