(57)【要約】【課題】簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプを提供する。【解決手段】往復動型ポンプ３５を構成するダイアフラム５６は、弁押さえ６８との間に作用室３５１を区画形成している。ポンプハウジング３４内に突出する回転駆動軸３３の突出部には円柱形状のカム部６０が一体形成されている。カム部６０の周面６０１には環状溝５０がカム部６０の周面６０１を一周するように形成されている。ガイド体６１の筒部にはローラ６２がラジアルベアリング６３を介して自転可能に支持されている。可動体としてのローラ６２の端部は、環状溝５０内に入り込んでいる。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作用室を区画して前記作用室の容積を変更するための容積変更体を往復させ、前記容積変更体の往復によって流体を前記作用室に吸入すると共に、前記作用室から流体を吐出するポンプにおいて、
前記容積変更体を駆動するための回転駆動軸と、
前記回転駆動軸の周面に設けられた溝と、
前記溝に入り込んだ状態で前記容積変更体に結合された可動体とを備え、
前記回転駆動軸が回転する状態では、前記溝によって前記可動体を案内して前記回転駆動軸の軸線の方向へ前記可動体を往復させ、前記可動体の往復によって前記容積変更体を前記回転駆動軸の軸線の方向へ往復させるようにした往復動型ポンプ。
【請求項２】
前記溝は、前記回転駆動軸の周面を１周するように前記周面に設けられた環状溝である請求項１に記載の往復動型ポンプ。
【請求項３】
前記可動体は、ローラであり、前記回転駆動軸の回転力は、前記ローラの周面と前記溝の側面との係合を介して前記ローラを往復させる往復駆動力に変換される請求項１及び請求項２のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項４】
前記可動体は、円筒状のガイド体に支持されており、前記ガイド体は、前記容積変更体に結合されていると共に、前記回転駆動軸の周面に沿って前記回転駆動軸の軸線の方向へ前記可動体と一体的に移動可能に前記回転駆動軸に嵌合して支持されている請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項５】
往復動型ポンプは、ダイアフラムを前記容積変更体として備えるダイアフラムポンプである請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項６】
往復動型ポンプは、ダイアフラムを前記容積変更体として備えるダイアフラムポンプとし、前記ガイド体が前記回転駆動軸の軸線の方向へ移動することを許容し、かつ前記ガイド体が前記回転駆動軸を中心として回転することを阻止するための回り止め手段を設けた請求項４に記載の往復動型ポンプ。
【請求項７】
前記回り止め手段は、前記ダイアフラムポンプのポンプハウジング側と前記ガイド体側とのいずれか一方に設けられた溝と、他方に設けられて前記溝に係合する凸部とからなり、前記溝の長さ方向を前記回転駆動軸の軸線と平行にした請求項６に記載の往復動型ポンプ。
【請求項８】
前記ガイド体と前記ダイアフラムとの間で相対回転可能に、かつ前記回転駆動軸の軸線の方向における前記ガイド体の移動を前記ダイアフラムに伝達するように、前記ガイド体と前記ダイアフラムとを結合した請求項６及び請求項７のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項９】
前記ダイアフラムに挟み片を連結し、前記軸線の方向において前記挟み片と前記ダイアフラムとの間で前記ガイド体の一部を相対回転可能に挟んだ請求項８に記載の往復動型ポンプ。
【請求項１０】
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の移送動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
真空ポンプにおける主ポンプの排気空間の下流側に逆流防止手段を設け、前記排気空間から排気を行うための補助ポンプを前記排気空間に接続し、前記補助ポンプの排気容量を前記主ポンプの排気容量よりも小さくし、前記補助ポンプとして請求項１乃至請求項９のいずれか１項の往復動型ポンプを用いた真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、作用室を区画して作用室の容積を変更するための容積変更体を往復させて流体の吸入及び吐出を行う往復動型ポンプ、及びこの往復動型ポンプを利用した真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１に開示されるようなピストン式圧縮機（往復動型ポンプの一種）では、回転する駆動軸の回転駆動力を駆動軸の軸方向の駆動力に変換してピストンを往復させる機構が用いられる。この種の変換機構では斜板が一般的に用いられる。駆動軸と一体的に回転する斜板が１回転すると、ピストンが１往復し、ガスがピストンを収容するシリンダボア内に吸入され、次いでシリンダボア内のガスが吐出される。
【０００３】
特許文献２では、ダイアフラムポンプが開示されている。このダイアフラムポンプでは、出力軸に止着された偏芯軸の回転によってダイアフラムが出力軸の半径方向へ往復変位される。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−２４７０２６号公報
【特許文献２】
特開２００１−３２９９６３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１では、斜板とピストンとの間にはシューが介在され、斜板とシューとは摺接する。シューに対して摺接する斜板の面（斜板面）は、駆動軸の軸線に対して傾いているため、駆動軸と斜板とを一体形成する際の前記斜板面の加工形成は容易ではない。斜板と駆動軸とを別体に形成すれば、前記斜板面の加工形成は容易であるが、駆動軸と斜板とを一体化するのが面倒である。
【０００６】
このように、駆動軸の周面に斜板のような突条を設ける変換機構の製作は容易でない。
本発明は、簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプ、及びこの往復動型ポンプを利用した真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために請求項１乃至請求項５の本発明は、作用室を区画して前記作用室の容積を変更するための容積変更体を往復させ、前記容積変更体の往復によって流体を前記作用室に吸入すると共に、前記作用室から流体を吐出する往復動型ポンプを対象とし、請求項１の発明では、前記容積変更体を駆動するための回転駆動軸と、前記回転駆動軸の周面に設けられた溝と、前記溝に入り込んだ状態で前記容積変更体に結合された可動体とを備えた往復動型ポンプを構成し、前記回転駆動軸が回転する状態では、前記溝によって前記可動体を案内して前記回転駆動軸の軸線の方向へ前記可動体を往復させ、前記可動体の往復によって前記容積変更体を前記回転駆動軸の軸線の方向へ往復させるようにした。
【０００８】
回転駆動軸の周面に溝を形成するのは容易であり、この溝によって可動体を案内して回転駆動軸の軸線の方向へ可動体を往復させる機構は、簡素である。
容積変更体は、回転駆動軸の軸線の方向に往復するので、回転駆動軸の延長線上に配置することができる。そのため、容積変更体のストロークを小さくし、かつ容積変更体の径（回転駆動軸の径の方向の長さ）を大きくすることによって、往復動型ポンプにおける必要な排気容量を確保することができる。つまり、可動体のストロークを小さくすることができるので、回転駆動軸の径が大きくなるのを回避しつつ、可動体と溝との係合における過大な負荷の発生を回避することができる。
【０００９】
本発明の往復動型ポンプでは、特許文献２に記載のような出力軸に対して直角方向へ容積変更体を往復させる機構を有するものと比べて、往復動型ポンプの体格、特に回転駆動軸の軸線の方向の長さをそれほど大きくすることなく、容積変更体の径を大きくすることができる。
【００１０】
請求項２の発明では、請求項１において、前記溝は、前記回転駆動軸の周面を１周するように前記周面に設けられた環状溝とした。
回転駆動軸が１回転すると、可動体が回転駆動軸の軸線の方向へ１往復する。可動体は、回転駆動軸を一方方向へ連続して回転させることによって連続して往復する。回転駆動軸を一方方向へ連続して回転させることによって可動体を往復させる構成は、往復動型ポンプを円滑に作動させる上で有利である。
【００１１】
請求項３の発明では、請求項１及び請求項２のいずれか１項において、前記可動体は、ローラとし、前記回転駆動軸の回転力は、前記ローラの周面と前記溝の側面との係合を介して前記ローラを往復させる往復駆動力に変換されるようにした。
【００１２】
可動体と溝の側面との係合では、可動体が溝の側面を摺接するよりも、可動体が溝の側面を相対的に転動する方がよい。ローラは、溝の側面を相対的に転動させやすい。
【００１３】
請求項４の発明では、請求項１乃至請求項３のいずれか１項において、前記可動体を円筒状のガイド体によって支持し、前記ガイド体を前記容積変更体に結合すると共に、前記回転駆動軸の周面に沿って前記回転駆動軸の軸線の方向へ前記可動体と一体的に移動可能に前記ガイド体を前記回転駆動軸に嵌合して支持した。
【００１４】
回転駆動軸の回転に伴って可動体が回転駆動軸の軸線の方向へ移動し、ガイド体が回転駆動軸によって支持されながら回転駆動軸の軸線の方向へ移動する。回転駆動軸は、ガイド体を回転駆動軸の軸線の方向へ往復させる上で好適な支持部である。
【００１５】
請求項５の発明では、請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、往復動型ポンプは、ダイアフラムを前記容積変更体として備えるダイアフラムポンプとした。
【００１６】
ダイアフラムポンプは、部品点数が少ないので、簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプとして好適である。
請求項６の発明では、請求項４において、往復動型ポンプは、ダイアフラムを前記容積変更体として備えるダイアフラムポンプとし、前記ガイド体が前記回転駆動軸の軸線の方向へ移動することを許容し、かつ前記ガイド体が前記回転駆動軸を中心として回転することを阻止するための回り止め手段を設けた。
【００１７】
ガイド体が回転駆動軸を中心にして回転してしまうと、回転駆動軸の軸線の方向におけるガイド体の移動が円滑に行われない。ガイド体は、回り止め手段によって回転駆動軸を中心とした回転を阻止されながら回転駆動軸の軸線の方向へ移動可能である。
【００１８】
請求項７の発明では、請求項６において、前記ダイアフラムポンプのポンプハウジング側と前記ガイド体側とのいずれか一方に設けられた溝と、他方に設けられて前記溝に係合する凸部とから前記回り止め手段を構成し、前記溝の長さ方向を前記回転駆動軸の軸線と平行にした。
【００１９】
凸部と回転駆動軸の軸線の方向に延びる溝とを係合させる構成は、回り止め手段として簡素な構成である。
請求項８の発明では、請求項６及び請求項７のいずれか１項において、前記ガイド体と前記ダイアフラムとの間で相対回転可能に、かつ前記回転駆動軸の軸線の方向における前記ガイド体の移動を前記ダイアフラムに伝達するように、前記ガイド体と前記ダイアフラムとを結合した。
【００２０】
一般的に、ダイアフラムの周縁部は固定されるので、ガイド体の回転がダイアフラムに伝達されたとすると、ダイアフラムにねじれ力が加わる。これは、ダイアフラムの寿命の低下の一因となる。ガイド体とダイアフラムとの間で相対回転可能とした構成では、ガイド体が回転駆動軸を中心にして回転したとしても、ガイド体の回転がダイアフラムに伝わることはない。
【００２１】
請求項９の発明では、請求項８において、前記ダイアフラムに挟み片を連結し、前記軸線の方向において前記挟み片と前記ダイアフラムとの間で前記ガイド体の一部を相対回転可能に挟んだ。
【００２２】
ガイド体の一部が軸線の方向において挟み片と前記ダイアフラムとの間に挟まれているので、ガイド体の往復動がダイアフラムに伝えられ、ダイアフラムが軸線の方向に往復動する。
【００２３】
請求項１０の発明は、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の移送動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプを対象とし、真空ポンプにおける主ポンプの排気空間の下流側に逆流防止手段を設け、前記排気空間から排気を行うための補助ポンプを前記排気空間に接続し、前記補助ポンプの排気容量を前記主ポンプの排気容量よりも小さくし、前記補助ポンプとして請求項１乃至請求項９のいずれか１項の往復動型ポンプを用いた。
【００２４】
主ポンプの排気容量よりも小さい排気容量の補助ポンプは、排気空間における圧力を低減する。そのため、真空ポンプにおける消費動力が低減する。
回転駆動軸として真空ポンプの回転軸を用いれば、真空ポンプの駆動源が補助ポンプの駆動源となる。補助ポンプ専用の駆動源を用いる場合に比べ、補助ポンプ専用の駆動源を用いない構成は、補助ポンプ専用の駆動源のための占有スペースを不要とし、真空ポンプの大型化の抑制に寄与する。又、補助ポンプ専用の駆動源の付加による真空ポンプのコストアップの問題も解消される。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１〜図７に基づいて説明する。
【００２６】
図１及び図２に示すように、ルーツポンプ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング１３が接合されており、ロータハウジング１２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハウジング１２、フロントハウジング１３及びリヤハウジング１４は、ルーツポンプ１１（真空ポンプ）のハウジングを構成する。
【００２７】
ロータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１６とからなる。フロントハウジング１３と隔壁１６との間の空間、及び隣合う隔壁１６の間の空間は、それぞれポンプ室５１，５２，５３，５４となっている。リヤハウジング１４と隔壁１６との間の空間は、ポンプ室５５となっている。図３及び図４に示すように、シリンダブロック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、隔壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。
【００２８】
図２に示すように、フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには回転軸１９がラジアルベアリング２１，３６を介して回転可能に支持されている。フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには回転軸２０が同様にラジアルベアリング２２，３７を介して回転可能に支持されている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に通されている。
【００２９】
回転軸１９にはガス移送体としての複数のロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みは、この順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚みも同様にこの順に小さくなってゆくようにしてある。
【００３０】
ロータ２３，２８は、僅かの隙間を保って互いに噛合した状態でポンプ室５１に収容されており、ロータ２４，２９も同様に互いに噛合した状態でポンプ室５２に収容されている。以下同様にしてロータ２５，３０はポンプ室５３に、ロータ２６，３１はポンプ室５４に、ロータ２７，３２はポンプ室５５にそれぞれ収容されている。ポンプ室５１〜５５の容積の大きさは、この順に小さくなってゆくようにしてある。ポンプ室５１〜５５及びロータ２３〜３２は、主ポンプ４９を構成する。
【００３１】
図２に示すように、リヤハウジング１４にはギヤハウジング３８が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハウジング１４を貫通してギヤハウジング３８内に突出しており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３９，４０が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング３８には電動モータＭが組み付けられている。電動モータＭの回転駆動軸３３は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１９に連結されている。電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図３〜図５の矢印Ｒ１の方向に回転される。回転軸２０は、歯車３９，４０を介して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は図３〜図５の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。
【００３２】
図４に示すように、隔壁１６内には通路１６３が形成されている。隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出口１６５が形成されている。隣合うポンプ室５１，５２，５３，５４，５５は、隔壁１６の通路１６３を介して連通している。
【００３３】
図１及び図３に示すように、ブロック片１７には吸入口１７１がポンプ室５１に連通するように形成されている。図１及び図５に示すように、ブロック片１８には排気口１８１がポンプ室５５に連通するように形成されている。
【００３４】
吸入口１７１からポンプ室５１に導入された流体としてのガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣のポンプ室５２へ移送される。以下、同様にガスは、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室５２，５３，５４，５５の順に移送される。ポンプ室５５へ移送されたガスは、排気口１８１からロータハウジング１２の外部へ排出される。
【００３５】
図５に示すように、ポンプ室５５の一部は、ロータ２７，３２によって排気口１８１に連通する準排気室５５１に区画される。
図１に示すように、排気口１８１には接続フランジ４１が接続されている。接続フランジ４１にはマフラ４２が接続されており、マフラ４２にはガイド管４３が接続されている。さらにガイド管４３には排出管４４が接続されている。排出管４４は、図示しない排ガス処理装置に接続されている。
【００３６】
ガイド管４３の管内には弁体４５及び復帰ばね４６が収容されている。ガイド管４３にはテーパ形状の弁孔４３１が形成されており、弁体４５は弁孔４３１を開閉する。復帰ばね４６は、弁孔４３１を閉じる位置に向けて弁体４５を付勢する。ガイド管４３、弁体４５及び復帰ばね４６は、逆流防止手段を構成する。準排気室５５１、排気口１８１、接続フランジ４１及びマフラ４２は、主ポンプ４９の排気空間Ｈを構成する。
【００３７】
ギヤハウジング３８には補助ポンプとしての往復動型ポンプ３５が組み付けられている。往復動型ポンプ３５を構成するポンプハウジング３４は、円筒形状の筒部３４１と蓋部３４２とからなる。電動モータＭの回転駆動軸３３は、筒部３４１の筒内に突出している。往復動型ポンプ３５は、筒部３４１と蓋部３４２とに挟まれた円形状のダイアフラム５６と、逆流防止用の吸入弁５７と、逆流防止用の吐出弁５８と、変換機構５９とを備えたダイアフラムポンプである。吸入弁５７及び吐出弁５８は、蓋部３４２に接合された弁押さえ６８と、蓋部３４２の内端面との間に保持されている。ポンプハウジング３４に止着されたダイアフラム５６は、弁押さえ６８との間に作用室３５１を区画形成している。
【００３８】
ポンプハウジング３４内に突出する回転駆動軸３３の突出部には円柱形状のカム部６０が一体形成されている。カム部６０の周面６０１には環状溝５０がカム部６０の周面６０１を一周するように形成されている。環状溝５０は、回転駆動軸３３の軸線３３１の方向の成分を有する。回転駆動軸３３の一部であるカム部６０には筒状の軸受け６１１がスライド可能に嵌合されており、軸受け６１１には筒状のガイド体６１が嵌合されている。軸受け６１１を介してカム部６０に支持されたガイド体６１は、カム部６０の周面６０１に沿って回転駆動軸３３の軸線３３１の方向へスライド可能である。ガイド体６１の筒部にはローラ６２がラジアルベアリング６３を介して自転可能に支持されている。可動体としてのローラ６２の端部は、環状溝５０内に入り込んでいる。ガイド体６１の端壁６１２は、ダイアフラム５６の中心部に止着して結合されている。カム部６０、環状溝５０、ガイド体６１、ローラ６２及びラジアルベアリング６３は、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９を構成する。
【００３９】
ポンプハウジング３４を構成する蓋部３４２の端壁と弁押さえ６８とには吸入通路６４及び吐出通路６５が貫設されている。吸入通路６４は、吸入管６６を介して接続フランジ４１の内部に連通しており、吐出通路６５は、吐出管６７を介してガイド管４３の内部に連通している。
【００４０】
電動モータＭが作動すると回転駆動軸３３が回転し、回転軸１９，２０が回転する。図示しない吸引作用対象領域内のガスは、吸入口１７１を経由して主ポンプ４９のポンプ室５１へ吸入される。ポンプ室５１へ吸入されたガスは、ポンプ室５２〜５５側へ圧縮されながら移行する。ポンプ室５５へ移行したガスは、排気口１８１を介して接続フランジ４１内へ排出される。
【００４１】
回転駆動軸３３の一部であるカム部６０が回転すると、環状溝５０内に入り込んでいるローラ６２が環状溝５０に沿って相対的に案内される。ラジアルベアリング６３によって自転可能に支持されたローラ６２は、環状溝５０の側面５０１又は側面５０２上を相対的に転動する。ローラ６２とガイド体６１とは、環状溝５０の相対的なガイド作用を受けながら軸線３３１の方向へ一体的に移動する。
図６は、ローラ６２及びガイド体６１が弁押さえ６８から最も離れた下死点位置にある状態を示す。この状態では、作用室３５１における容積が最大となる。
【００４２】
図６の状態から回転駆動軸３３が回転すると、ローラ６２及びガイド体６１が弁押さえ６８に向けて移動する。図６の状態から回転駆動軸３３が半回転すると、ローラ６２及びガイド体６１は、図７に示すように弁押さえ６８に最も近づいた上死点位置に移行する。この状態では、作用室３５１における容積が最小となる。図７の状態から回転駆動軸３３が半回転すると、ローラ６２及びガイド体６１は、図６に示す下死点位置へ移行する。つまり、回転駆動軸３３が１回転すると、ローラ６２及びガイド体６１は、軸線３３１の方向へ１往復する。
【００４３】
ガイド体６１が上死点位置から下死点位置へ移行すると、ガイド体６１に止着されたダイアフラム５６の中心部がガイド体と一体的に移動する。そのため、ダイアフラム５６が弁押さえ６８から離れてゆき、作用室３５１における容積が増大してゆく。この容積増大により、排気空間Ｈ内のガスが吸入弁５７を押し退けて作用室３５１内に吸入される。ガイド体６１が下死点位置から上死点位置へ移行すると、ダイアフラム５６が弁押さえ６８に近づいてゆき、作用室３５１における容積が減少してゆく。この容積減少により、作用室３５１内のガスが吐出弁５８を押し退けてガイド管４３内へ吐出される。
【００４４】
往復動型ポンプ３５の排気容量は、主ポンプ４９の排気容量よりも小さくしてある。
第１の実施の形態では以下の効果が得られる。
【００４５】
（１−１）排気空間Ｈにおけるガスは、主ポンプ４９の排気容量よりも小さい排気容量の往復動型ポンプ３５によって排気され、排気空間Ｈにおける圧力は、補助ポンプのないルーツポンプに比べて低減する。排気空間Ｈにおける圧力の低減は、ポンプ室５１〜５５における圧力の低減をもたらす。その結果、ルーツポンプ１１における消費動力は、補助ポンプのないルーツポンプに比べて低減する。
【００４６】
往復動型ポンプ３５は、主ポンプ４９と同様に電動モータＭから駆動力を得ている。即ち、往復動型ポンプ３５の駆動源と主ポンプ４９の駆動源とは、電動モータＭであって同一である。補助ポンプ専用の駆動源を用いない構成は、補助ポンプ専用の駆動源のための占有スペースを不要とし、ルーツポンプ１１の大型化の抑制に寄与する。又、補助ポンプ専用の駆動源の付加によるコストアップの問題も解消される。
【００４７】
真空ポンプであるルーツポンプ１１に対して以上のような効果をもたらす往復動型ポンプ３５は、回転駆動軸３３の回転駆動力を軸線３３１の方向の駆動力に変換してダイアフラム５６を往復させる変換機構５９を備えている。つまり、回転駆動軸３３が回転する状態では、ローラ６２が環状溝５０によって相対的に案内されて回転駆動軸３３の軸線３３１の方向へ往復し、ダイアフラム５６が軸線３３１の方向へ往復する。ダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための環状溝５０を回転駆動軸３３の一部であるカム部６０の周面６０１に形成するのは容易である。このような環状溝５０を備えた変換機構５９は、簡素であって製作容易であり、往復動型ポンプ３５は、簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプである。
【００４８】
（１−２）回転駆動軸３３の径方向（回転駆動軸３３の軸線３３１と直交する方向）へダイアフラムを往復させるためにクランク機構を用いる変換機構の構成も可能である。しかし、クランク機構を用いる構成では、変換機構のための大きなスペースを必要とする欠点がある。環状溝５０を備えた本実施の形態における変換機構では、ローラ６２及びガイド体６１がカム部６０の周面６０１に沿って軸線３３１の方向へ往復動するので、大きな可動スペースを必要としない。つまり、本実施の形態における変換機構では、回転駆動軸の周りに大きな可動スペースを要するクランク機構の場合のような大きな占有スペースを必要としないため、往復動型ポンプ３５は、コンパクト性に優れている。
【００４９】
（１−３）往復動型ポンプ３５の排気容量は、ダイアフラム５６の径と、軸線３３１の方向におけるダイアフラム５６の中心部のストローク量とによって決定される。往復動型ポンプ３５の排気容量を所望の大きさに設定する場合、ダイアフラム５６の径を大きくすればするほど、ダイアフラム５６の前記ストローク量を小さくすることができる。
【００５０】
ダイアフラム５６は、回転駆動軸３３の延長線上に配置されている。つまり、ダイアフラム５６は、回転駆動軸３３の延長線上で軸線３３１を横切るように配置されている。このようなダイアフラム５６の配置構成では、ポンプハウジング３４を構成する筒部３４１の径に合わせてダイアフラム５６の径を大きくすることができる。つまり、ダイアフラム５６の前記ストローク量を小さくすることができるので、ダイアフラム５６の往復に伴うダイアフラム５６の形状変化を小さくすることができる。ダイアフラム５６の往復に伴うダイアフラム５６の形状変化は、ガイド体６１の円板形状の端部の周縁付近に接触するダイアフラム５６の部分の曲げ変化や、ポンプハウジング３４に接触するダイアフラム５６の周縁部付近の曲げ変化のことである。ダイアフラム５６の形状変化が小さければ、ダイアフラム５６の耐久性が向上する。ダイアフラム５６の耐久性の向上は、往復動型ポンプ３５の信頼性を高める。
【００５１】
往復動型ポンプ３５では、特許文献２に記載のような出力軸に対して直角方向へ容積変更体を往復させる機構を有するものと比べて、往復動型ポンプ３５の体格、特に回転駆動軸３３の軸線の方向の長さをそれほど大きくすることなく、ダイアフラム５６の径を大きくすることができる。
【００５２】
（１−４）ダイアフラム５６の前記ストローク量を小さくすることは、軸線３３１の方向におけるローラ６２のストローク量を小さくすることを意味する。ローラ６２のストローク量は、環状溝５０の最大ずれ量σ（図６及び図７に示す）によって決定されるが、カム部６０の径の大きさを変えないで最大ずれ量σを大きくすると、環状溝５０の最大傾角θ（図６及び図７に示す）が大きくなる。そうすると、環状溝５０の側面５０１，５０２からローラ６２に掛かる荷重が大きくなり、回転駆動力を軸線３３１の方向の駆動力に変換するための機構にとっては好ましくない。
【００５３】
ダイアフラム５６の径を大きくしてダイアフラム５６のストローク量を小さくする往復動型ポンプ３５では、カム部６０の径を大きくすることなく環状溝５０の最大傾角θを小さくすることができる。その結果、ルーツポンプ１１の重量増をもたらすカム部６０の増径を図ることなく、環状溝５０の側面５０１，５０２からローラ６２に掛かる荷重を抑制することができる。
【００５４】
（１−５）環状溝５０は、カム部６０の周面６０１を一周しているため、回転駆動軸３３を一方方向へ連続して回転させることによってローラ６２を軸線３３１の方向へ往復させることができる。回転駆動軸３３を一方方向へ連続して回転させることによってローラ６２を軸線３３１の方向へ往復させる構成は、往復動型ポンプ３５を円滑に作動させる上で有利である。
【００５５】
（１−６）ローラ６２が環状溝５０の側面５０１，５０２と摺接すると、ローラ６２と側面５０１，５０２との摺接部が損傷しやすい。ラジアルベアリング６３を介してガイド体６１に回転可能に支持されたローラ６２は、カム部６０の回転に伴って、側面５０１上又は側面５０２上を相対的に転動する。そのため、ローラ６２と側面５０１，５０２との接触部の損傷が生じにくい。
【００５６】
（１−７）筒状のガイド体６１は、回転駆動軸３３の回転に伴って、カム部６０に支持されながら回転駆動軸３３の軸線３３１の方向へ移動する。回転駆動軸３３の一部であるカム部６０によってガイド体６１を支持する構成は、ガイド体６１を軸線３３１の方向へ移動可能に支持するための専用の支持部を不要とする。つまり、カム部６０は、ガイド体６１の支持部として好適である。
【００５７】
（１−８）往復動型ポンプ３５は、吸入弁５７、吐出弁５８及びダイアフラム５６を備えたダイアフラムポンプである。ダイアフラムポンプは、部品点数が少なく、かつガスの逆流をほぼ完璧に阻止するので、簡素な機構であって製作容易な上に小型の往復動型ポンプとして好適である。
【００５８】
（１−９）ラジアルベアリング２１，３６間の回転軸１９の長さ、及びラジアルベアリング２２，３７間の回転軸２０の長さが長いほど、以下のような不具合が生じる。
【００５９】
ルーツポンプ１１を図１に示すように横置きで使用する場合には、ラジアルベアリング２１，３６間の回転軸１９の長さが長いほど、ロータ２３〜２７の重量及び回転軸１９の重量によるラジアルベアリング２１，３６間の回転軸１９の撓みが大きくなる。そうすると、ロータ２３〜２７の端面と、これらの端面に対する対向面（例えば、ロータ２３に関してはフロントハウジング１３の端面及び隔壁１６の端面）との間のクリアランスが大きくなり、ガス移送効率が悪くなる。このような不具合は、回転軸２０側においても同様に生じる。
【００６０】
ロータハウジング１２内の温度は、ガス圧縮のために高くなる。そのため、回転軸１９が熱膨張して伸長する。回転軸１９が熱膨張によって伸長すると、ロータ２３〜２７が回転軸１９の軸線１９１の方向へ位置変位する。ロータ２３〜２７の位置変位が大きい場合には、これらの端面に対する対向面（例えば、ロータ２３に関してはフロントハウジング１３の端面及び隔壁１６の端面）とロータ２３〜２７との干渉をもたらすおそれがある。そこで、ロータ２３〜２７の位置変位が大きい場合には、ロータ２３〜２７の端面と、これらの端面に対する対向面との間のクリアランスを予め大きく設定しておく必要があるが、そうするとガス移送効率が悪くなる。このような不具合は、回転軸２０側においても同様に生じる。
【００６１】
回転駆動軸３３に設けたカム部６０から往復動型ポンプ３５の駆動力を得る構成では、往復動型ポンプ３５の存在を考慮することなく、ラジアルベアリング２１，３６間における回転軸１９の長さ、及びラジアルベアリング２２，３７間における回転軸２０の長さを必要最小限に設定できる。その結果、ロータ２３〜３２の端面と、これらの端面に対する対向面との間のクリアランスを小さく設定しておくことができ、ガス移送効率の低下を回避することができる。
【００６２】
（１−１０）ガイド体６１が回転駆動軸３３の一部であるカム部６０を中心にして回転してしまうと、回転駆動軸３３の軸線３３１の方向におけるガイド体６１の移動が円滑に行われない。ガイド体６１は、ポンプハウジング３４に止着されたダイアフラム５６に止着されているので、ガイド体６１は、カム部６０を中心とした回転を阻止される。そのため、カム部６０の回転運動が環状溝５０とローラ６２との係合を介してガイド体６１の往復運動に円滑に変換され、ガイド体６１が円滑に往復動する。この実施の形態では、ダイアフラム５６自体が回り止め手段を構成する。
【００６３】
次に、図８の第２の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
往復動型ポンプ３５Ａを構成するポンプハウジング３４Ａは、一体形成されている。弁押さえ６８にはシリンダ６８１が一体形成されており、シリンダ６８１内にはガイド体６１Ａがスライド可能かつ回転不能に嵌入されている。この回転不能な構成は、例えば、ガイド体６１Ａの外周を角形状にし、かつシリンダ６８の内周を同じ角形状にすることによって得られる。あるいは軸線３３１に平行であって互いに嵌合する突条と凹条との一方をガイド体６１Ａの外周に設けると共に、他方をシリンダ６８の内周に設けることによって前記の回転不能な構成が得られる。つまり、ガイド体６１Ａとシリンダ６８１とは、回り止め手段を構成する。
【００６４】
ガイド体６１Ａは、軸受け６１１を介してカム部６０に支持されている。ガイド体６１Ａは、第１の実施の形態におけるガイド体６１と同じ役割を果たし、カム部６０が回転すると、ガイド体６１Ａは、軸線３３１の方向へ移動する。ガイド体６１Ａは、シリンダ６８１内に作用室６８２を区画する。つまり、ガイド体６１Ａは、容積変更体としてのピストンである。カム部６０、環状溝５０、ローラ６２、ラジアルベアリング６３及びガイド体６１Ａは、容積変更体としてのガイド体６１Ａを軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ａを構成する。
【００６５】
第２の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）項、（１−２）項、（１−４）〜（１−７）項、（１−９）項及び（１−１０）項と同様の効果が得られる。
【００６６】
次に、図９の第３の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
往復動型ポンプ３５Ｂを構成するローラ６２は、ラジアルベアリング６３を介してガイド体７０に回転可能に支持されている。ローラ６２の先端部にはラジアルベアリング型の回転子７１が取り付けられている。可動体としての回転子７１は、環状溝５０内に入りこんで側面５０１，５０２上を相対的に転動可能である。ポンプハウジング３４の筒部３４１の内周面には支持ブラケット６９が止着されており、支持ブラケット６９にはガイド体７０が軸線３３１の方向へスライド可能に両持ち支持されている。環状溝５０、ローラ６２、ラジアルベアリング６３、支持ブラケット６９及びガイド体７０は、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ｂを構成する。
【００６７】
第３の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）〜（１−６）項、（１−８）項及び（１−９）項と同様の効果が得られる。
次に、図１０の第４の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００６８】
往復動型ポンプ３５Ｃを構成するポンプハウジング３４の筒部３４１の内周面にはブラケット７２が止着されており、ブラケット７２には二叉状のレバー７３が支軸７２１を介して回動可能に支持されている。ガイド体としてのレバー７３の一方のアーム７３１の先端部には回転子７４が回転可能に支持されている。レバー７３の他方のアーム７３２の先端部にはガイドピン７５が取り付けられている。ダイアフラム５６の中心部には伝達体７６が止着されている。伝達体７６にはダイアフラム５６の径方向に長いガイド孔７６１が形成されており、ガイド孔７６１にはガイドピン７５が入り込んでいる。
【００６９】
回転駆動軸３３が回転すると、可動体としての回転子７４が環状溝５０に沿って相対的に案内されながら支軸７２１を中心とした弧を描く。弧を描く回転子７４の移動方向は、軸線３３１の方向に近い方向である。回転子７４の移動は、支軸７２１を中心とするレバー７３の回動をもたらし、ガイドピン７５が支軸７２１を中心とした弧を描く。弧を描くガイドピン７５の移動方向は、軸線３３１の方向に近い方向である。ガイド孔７６１内に入り込んでいるガイドピン７５は、伝達体７６を軸線３３１の方向へ付勢し、伝達体７６が軸線３３１の方向へ移動する。この移動によりダイアフラム５６の中心部が軸線３３１の方向へ移動し、作用室３５１内の容積が増減する。
【００７０】
環状溝５０、回転子７４、レバー７３、ガイドピン７５及び伝達体７６は、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ｃを構成する。
【００７１】
第４の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）項、（１−３）〜（１−６）項、（１−８）項及び（１−９）項と同様の効果が得られる。
次に、図１１の第５の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００７２】
往復動型ポンプ３５Ｄを構成するカム部６０の周面６０１には一対の環状溝５０，５０Ｄが軸線３３１の方向に隣合って形成されている。ガイド体６１には一対のローラ６２，６２Ｄがラジアルベアリング６３，６３Ｄを介して回転可能に支持されている。可動体としてのローラ６２は、環状溝５０内に入り込んでおり、可動体としてのローラ６２Ｄは、環状溝５０Ｄ内に入り込んでいる。環状溝５０と環状溝５０Ｄとの間では１８０°の位相差があり、ローラ６２とローラ６２Ｄとは、互いに軸線３３１を挟んだ反対の位置にある。従って、ローラ６２の周面が環状溝５０の側面５０１上を相対的に転動するときには、ローラ６２Ｄの周面が環状溝５０Ｄの側面５０１上を相対的に転動する。又、ローラ６２の周面が環状溝５０の側面５０２上を相対的に転動するときには、ローラ６２Ｄの周面が環状溝５０Ｄの側面５０２上を相対的に転動する。
【００７３】
カム部６０、環状溝５０，５０Ｄ、ガイド体６１、ローラ６２，６２Ｄ及びラジアルベアリング６３，６３Ｄは、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ｄを構成する。
【００７４】
第５の実施の形態では、第１の実施の形態と同じ効果が得られる。
回転駆動軸３３の回転駆動力が一対の環状溝５０，５０Ｄと一対のローラ６２，６２Ｄとの２カ所での係合を介して軸線３３１の方向への駆動力に変換される。一対の環状溝５０，５０Ｄと一対のローラ６２，６２Ｄとの係合場所は、互いに軸線３３１を挟んだ反対の位置にあるので、ガイド体６１に偏荷重が掛かることはない。その結果、軸線３３１の方向へのガイド体６１の移動は、円滑に行われる。
【００７５】
次に、図１２の第６の実施の形態を説明する。第１及び第２の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
この実施の形態における往復動型ポンプ３５Ｅでは、ダイアフラムの代わりにベローズ７７が用いられている。ベローズ７７内の作用室７７１の容積は、軸線３３１の方向におけるガイド体６１の往復によって増減する。
【００７６】
第６の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）項、（１−２）項、（１−４）〜（１−７）項、（１−９）項及び（１−１０）項と同様の効果が得られる。往復動型ポンプ３５Ｅは、吸入弁５７、吐出弁５８及びダイアフラム５６を備えたベローズポンプである。ベローズポンプは、部品点数が少なく、かつガスの逆流をほぼ完璧に阻止するので、簡素な機構であって製作容易な上に小型のポンプとして好適である。
【００７７】
次に、図１３の第７の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
往復動型ポンプ３５Ｆを構成するガイド体７８は、ラジアルベアリング６３を介してローラ６２を回転可能に支持している。ガイド体７８にはガイドロッド７８１が形成されている。カム部６０にはガイド孔６０２が軸線３３１上に位置するように形成されている。ガイド孔６０２にはガイドロッド７８１がスライド可能に嵌入されている。回転駆動軸３３が回転すると、ローラ６２が軸線３３１の方向へ付勢され、ガイド体７８がガイド孔６０２に案内されながら軸線３３１の方向へ往復する。カム部６０、環状溝５０、ガイド体７８、ローラ６２及びラジアルベアリング６３は、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ｆを構成する。
【００７８】
第７の実施の形態では、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。
次に、図１４の第８の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００７９】
往復動型ポンプ３５Ｇを構成する円筒状のガイド体６１Ｇには支持ねじ７９が螺着されており、支持ねじ７９の先端面には半球状の凹部７９１が形成されている。凹部７９１には可動体としてのボール８０が回転自在に嵌入されている。カム部６０Ｇの周面６０１には環状溝５０Ｇが形成されている。環状溝５０Ｇにはボール８０が回転可能に入り込んでいる。環状溝５０Ｇ及びボール８０は、第１の実施の形態における環状溝５０及びローラ６２と同じような役割を果たし、回転駆動軸３３が回転すると、ガイド体６１Ｇが軸線３３１の方向へ往復する。カム部６０Ｇ、環状溝５０Ｇ、ガイド体６１Ｇ及びボール８０は、容積変更体としてのダイアフラム５６を軸線３３１の方向へ往復させるための変換機構５９Ｇを構成する。
【００８０】
第８の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）〜（１−５）項、及び（１−７）〜（１−１０）項と同様の効果が得られる。
次に、図１５（ａ），（ｂ）の第９の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００８１】
往復動型ポンプ３５Ｈを構成する円筒状のガイド体６１Ｈの端壁６１２には円筒部６１３が軸線３３１に沿って形成されている。円筒部６１３の円筒孔６１４は、端壁６１２を貫通するように形成されており、円筒孔６１４には挟み片８１が嵌入されている。挟み片８１は、端壁６１２の内面に接合可能な大径部８１１と、円筒部６１３の円筒孔６１４に入り込んだ小径部８１２とからなる。大径部８１１の径は、円筒部６１３の内径よりも大きくしてある。
【００８２】
ダイアフラム５６には一対の固定板８２，８３が接合されている。ダイアフラム５６及び固定板８２，８３は、挟み片８１の小径部８１２に螺合されたねじ８４の締め付けによって共締めして挟み片８１に固定されている。ガイド体６１Ｈの一部である円筒部６１３は、軸線３３１の方向において挟み片８１の大径部８１１とダイアフラム５６との間で相対回転可能に挟まれている。つまり、ガイド体６１Ｈが回転したとしても、ガイド体６１Ｈの回転が挟み片８１に伝わることはない。
【００８３】
ポンプハウジング３４を構成する筒部３４１の内周面には回転受承体８５Ｈが止着されている。回転受承体８５Ｈには溝８５１が長さ方向を軸線３３１と平行に形成されている。ガイド体６１Ｈの外周面にはピン８６が立設されている。ピン８６は、溝８５１に入り込んでいる。ピン８６は、溝８５１の長さ方向に移動できるので、ガイド体６１Ｈは、軸線３３１の方向へ移動できる。回転駆動軸３３の一部であるカム部６０を中心としてガイド体６１Ｈを回転させようとする回転力は、ピン８６と溝８５１の側面との係合を介して回転受承体８５Ｈに受け止められる。
【００８４】
ガイド体６１Ｈが軸線３３１の方向へ往動〔図１５（ａ）において左側から右側への移動〕すると、この往動は、円筒部６１３の先端と固定板８２との当接を介してダイアフラム５６に伝えられる。これによりダイアフラム５６は、作用室３５１内のガスを吐出する方向に移動する。ガイド体６１Ｈが軸線３３１の方向へ復動〔図１５（ａ）において右側から左側への移動〕すると、この復動は、端壁６１２の内面と大径部８１１との当接を介してダイアフラム５６に伝えられる。これによりダイアフラム５６は、作用室３５１内へガスを吸入する方向に移動する。
【００８５】
第９の実施の形態では、第１の実施の形態と同じ効果が得られる上に、以下の効果が得られる。
（９−１）回転駆動軸３３は図３〜図５の矢印Ｒ１の方向、すなわち、矢印Ｑ〔図１５（ｂ）に図示〕の方向に回転される。従って、ガイド体６１Ｈが往動動作の途中であって、ダイアフラム５６が上死点側に撓んだ状態（図７記載の状態）にあるときには、ガイド体６１Ｈは、ダイアフラム５６の反力により、軸線３３１を中心として矢印Ｑ〔図１５（ｂ）に図示〕の方向へのモーメントを受ける。ガイド体６１Ｈが復動動作の途中であって、ダイアフラム５６が上死点側に撓んだ状態にあるときには、ガイド体６１Ｈは、ダイアフラム５６の反力により、軸線３３１を中心として矢印Ｑとは逆の方向へのモーメントを受ける。従って、ガイド体６１Ｈが往動動作から復動動作への切り換えの際には、ガイド体６１Ｈに対する軸線３３１を中心としたモーメントは、矢印Ｑの方向から矢印Ｑとは逆の方向へ切り替わる。
【００８６】
ガイド体６１Ｈが復動動作の途中であって、ダイアフラム５６が下死点側に撓んだ状態にあるときには、ガイド体６１Ｈは、ダイアフラム５６の反力により、軸線３３１を中心として矢印Ｑの方向へのモーメントを受ける。ガイド体６１Ｈが往動動作の途中であって、ダイアフラム５６が下死点側に撓んだ状態（図６及び図１５に記載の状態）にあるときには、ガイド体６１Ｈは、ダイアフラム５６の反力により、軸線３３１を中心として矢印Ｑの方向とは逆の方向へのモーメントを受ける。従って、ガイド体６１Ｈが復動動作から往動動作への切り換えの際には、ガイド体６１Ｈに対する軸線３３１を中心としたモーメントは、矢印Ｑの方向から矢印Ｑとは逆の方向へ切り替わる。
【００８７】
又、ガイド体６１Ｈが往動動作の途中であって、ダイアフラム５６が下死点側に撓んだ状態から上死点側に撓んだ状態に移る際には、ガイド体６１Ｈに対する軸線３３１を中心としたモーメントは、矢印Ｑとは逆の方向から矢印Ｑの方向へ切り替わる。ガイド体６１Ｈが復動動作の途中であって、ダイアフラム５６が上死点側に撓んだ状態から下死点側に撓んだ状態に移る際には、ガイド体６１Ｈに対する軸線３３１を中心としたモーメントは、矢印Ｑとは逆の方向から矢印Ｑの方向へ切り替わる。
【００８８】
第１の実施の形態では、前記のモーメントがダイアフラム５６に直接波及し、ダイアフラム５６が軸線３３１を中心としたねじれ力を受ける。このねじれ力は、
ダイアフラム５６の寿命の低下の一因となる。
【００８９】
そして、第１の実施の形態では、前記したモーメントの切り替わりは、ダイアフラム５６に直接波及し、ダイアフラム５６に作用する前記ねじれ力の作用方向が切り替わる。この作用方向の切り替えは、回転駆動軸３３の１回転当たりに４回生じ、単位時間当たりの前記作用方向の切り替え回数は、回転駆動軸３３の単位時間当たりの回転数に比例する。繰り返し行われる前記作用方向の切り替えは、ダイアフラム５６の寿命を低下させる。
【００９０】
第９の実施の形態では、ガイド体６１Ｈがダイアフラム５６に止着された挟み片８１に対して相対回転可能であるので、ダイアフラム５６に対する前記したモーメントの波及はなく、前記した作用方向の切り替えもない。その結果、第９の実施の形態における往復動型ポンプ３５Ｈにおけるダイアフラム５６の耐久性は、第１の実施の形態における往復動型ポンプ３５のダイアフラム５６よりも向上する。
【００９１】
次に、図１６の第１０の実施の形態を説明する。第９の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
この実施の形態の往復動型ポンプ３５Ｊでは、ラジアルベアリング６３を支持している支持筒部６１５が回転受承体８５Ｊの溝８５１に入り込んでおり、溝８５１は、支持筒部６１５を軸線３３１の方向へ案内する。この実施の形態では、溝８５１と支持筒部６１５とが回り止め手段を構成する。
【００９２】
第１０の実施の形態では第９の実施の形態と同じ効果が得られる。
次に、図１７の第１１の実施の形態を説明する。第９の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００９３】
往復動型ポンプ３５Ｋの作用室３５１内にはばね８７が収容されている。ばね８７は、ダイアフラム５６をガイド体６１に向けて付勢しており、ダイアフラム５６は、ばね８７のばね力によってガイド体６１の端壁６１２に押接されている。ガイド体６１が往動すると、ダイアフラム５６がばね８７のばね力に抗して作用室３５１内のガスを吐出する方向に移動する。ガイド体６１が復動すると、ダイアフラム５６がばね８７のばね力によってガイド体６１に追随して作用室３５１内へガスを吸入する方向に移動する。
【００９４】
ダイアフラム５６は、ばね８７のばね力によってガイド体６１に連結されており、ガイド体６１の端壁６１２は、ダイアフラム５６に対して摺動可能に接しているのみである。従って、第９の実施の形態の場合と同様に、ダイアフラム５６に対する前記したモーメントの波及はなく、前記した作用方向の切り替えもない。その結果、第１１の実施の形態における往復動型ポンプ３５Ｋのダイアフラム５６における耐久性は、第１の実施の形態における往復動型ポンプ３５のダイアフラム５６よりも向上する。
【００９５】
本発明では以下のような実施の形態も可能である。
（１）第３の実施の形態において、ラジアルベアリング６３を省略してガイド体７０にローラ６２を直接結合してもよい。
【００９６】
（２）前記した各実施の形態における板形状の吸入弁５７及び吐出弁５８の代わりにボール弁体を用いること。
（３）第１の実施の形態において、第１０の実施の形態のように、作用室３５１側からばね等の付勢手段によってダイアフラム５６をガイド体６１に押接してダイアフラム５６とガイド体６１とを結合するようにしてもよい。
【００９７】
（４）第９の実施の形態において、挟み片８１の小径部８１２と固定板８２とを一体形成し、挟み片８１の大径部８１１を小径部８１２とは別体にしてもよい。この場合、ねじ８４を大径部８１１に螺着すればよい。
【００９８】
（５）第９の実施の形態において、固定板８２を省略してもよい。
（６）第１０の実施の形態において、ローラ６２をラジアルベアリング６３から外方へ突出させ、ローラ６２の突出端部を回転受承体の溝に入り込ませてもよい。この場合、ローラ６２と回転受承体の溝とが回り止め手段を構成し、ローラ６２は、ポンプハウジング３４側の凸部となる。
【００９９】
（７）第１１の実施の形態において、ダイアフラム５６とガイド体６１との間にスラストベアリングを介在してもよい。
（８）第９〜第１１の実施の形態では、ポンプハウジング３４側に止着された回転受承体側に溝を設ける共に、ガイド体側に凸部を設けたが、ポンプハウジング３４側に凸部を設けると共に、ガイド体側に溝を設けて回り止め手段を構成してもよい。
【０１００】
（９）ルーツポンプ以外の真空ポンプ（例えばスクリューポンプ）に本発明の往復動型ポンプを補助ポンプとして用いるようにしてもよい。
【０１０１】
【発明の効果】
本発明では、簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプ、及びこの往復動型ポンプを利用した真空ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態を示す全体側断面図。
【図２】全体平断面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】図２のＣ−Ｃ線断面図。
【図６】要部拡大側断面図。
【図７】要部拡大側断面図。
【図８】第２の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図９】第３の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１０】第４の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１１】第５の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１２】第６の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１３】第７の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１４】第８の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１５】第９の実施の形態を示し、（ａ）は、要部拡大側断面図。（ｂ）は、（ａ）のＤ−Ｄ線断面図。
【図１６】第１０の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１７】第１１の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【符号の説明】
１１…真空ポンプとしてのルーツポンプ。１９，２０…回転軸。１９１，２０１…軸線。２３〜３２…ガス移送体としてのロータ。３３…回転駆動軸。３３１…軸線。３４，３４Ａ…ポンプハウジング。３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ，３５Ｄ，３５Ｅ，３５Ｆ，３５Ｇ，３５Ｈ，３５Ｊ，３５Ｋ…補助ポンプとしての往復動型ポンプ。３５１，６８２，７７１…作用室。４３…逆流防止手段を構成するガイド管。４５…逆流防止手段を構成する弁体。４６…逆流防止手段を構成する復帰ばね。４９…主ポンプ。５０，５０Ｄ，５０Ｇ…環状溝。５０１，５０２…側面。５１〜５５…ポンプ室。５６…容積変更体としてのダイアフラム。６０，６０Ｇ…回転駆動軸の一部であるカム部。６０１…周面。６１，６１Ａ，６１Ｇ，６１Ｈ，７０，７８…ガイド体。６２，６２Ｄ…可動体としてのローラ。７１…可動体としての回転子。７３…ガイド体としてのレバー。７４…可動体としての回転子。８０…可動体としてのボール。８１…挟み片。８５１…回り止め手段を構成する溝。８６…回り止め手段を構成する凸部としてのピン。Ｈ…排気空間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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