(57)【要約】【課題】陰極線管用ガラスパネルのフェース部内表面に形成される蛍光膜の厚みを均一にすることを可能にし、陰極線管の高輝度、高解像度、長寿命化を可能とするガラスパネルとその成形方法を提供する。【解決手段】画像表示部であるフェース部の内表面に蛍光膜が形成される陰極線管用ガラスパネル２１であって、ガラスパネル２１のフェース部１２の内表面が、うねりのない、実質的に平滑な面２３に、ほぼ一様に設けられた略多角形状の突起２４、または網目状突起を有する成形面であることを特徴とする陰極線管用ガラスパネルと、そのパネルの成形方法及び表面に横断面が略多角形または網目状のほぼ規則的な窪みを付与したパネル成形用のプランジャを含む成形装置を提供する。【選択図】　　　　図１
2004134254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示部であるフェース部の蛍光膜が形成される内表面が、実質的に平滑な面に微小突起がほぼ一様に設けられた成形面である陰極線管用ガラスパネルにおいて、
前記微小突起の横断面が略多角形または網目状であることを特徴とする陰極線管用ガラスパネル。
【請求項２】
成形型に溶融ガラス塊を供給し、次いで、プランジャを下降して、溶融ガラス塊を成形型とプランジャの間に押延させて前記ガラスパネルをプレス成形する方法であって、
前記ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する表面に、横断面が略多角形または網目状である微小な窪みを付与したプランジャの表面を転写することによって、該ガラスパネルのフェース部の内表面を、実質的に平滑な面に横断面が略多角形または網目状である微小な突起がほぼ一様に設けられた成形面にすることを特徴とする陰極線管用ガラスパネルの成形方法。
【請求項３】
成形型に溶融ガラス塊を供給し、次いで、プランジャを下降して、溶融ガラス塊を成形型とプランジャの間に押延させて前記ガラスパネルをプレス成形する陰極線管用ガラスパネル成型装置であって、
ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する前記プランジャの表面に、横断面が略多角形または網目状であるほぼ一様に設けられた微小な窪みを付与してなることを特徴とする陰極線管用ガラスパネル成型装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、陰極線管用ガラスパネルのフェース部の内表面に蛍光体や非発光黒色物質（ブラックマトリックス）等を均一に塗布するのに適した面を有するガラスパネルとそのパネルの成形方法及びその成形装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
陰極線管の構造を図８の断面図により説明する。この図中で、１０は陰極線管、１１は画像表示部であるフェース部１２を有するガラスパネル、１３はガラスパネル１１とともに陰極線管の外囲器を構成するファンネル、１４はフェース部１２の内表面に赤、緑、青の蛍光体、及び輝度向上を目的とする非発光黒色物質（ブラックマトリックス）が規則的に配列されている蛍光膜、１５は電子銃、１６は電子銃１５より照射される電子ビーム、１７は電子ビーム１６を蛍光膜の全面にわたって電磁的に走査するための偏向ヨーク、１８は電子ビーム１６を選択的に通過させる色選別機構（シャドウマスク）をそれぞれ表している。
【０００３】
また、図９はガラスパネル１１のフェース部１２の内表面に形成された蛍光膜１４の断面図を表している。蛍光膜１４を構成する規則的に配列された非発光黒色物質をＣ、赤、緑、青の各蛍光体をそれぞれＲ、Ｇ、Ｂとして示す。フェース部１２の内表面には、一般にフォトレジスト法を用いてレジスト層を形成した後、遠心沈降法により、非発光黒色物質や蛍光体が塗布され蛍光膜１４が形成される。
【０００４】
ガラスパネル１１のフェース部１２の内表面に前記蛍光膜１４の密着性良好な塗布を可能とするために、フェース部１２の内表面を梨地面を形成にする加工が施される。
【０００５】
一般にフェース部１２の内表面に梨地面を形成する工程は、次のようなものになる。まず、陰極線管１０用のガラスパネル１１は、図１０示すように、所定重量の溶融ガラス塊を成形型１９の中央部に入れ、次いでガラスパネル１１の内面形状と等しい外面形状を有するプランジャ２０がその上から下降し、溶融ガラス塊を成形型１９とプランジャ２０の間の空間に押延させることによって所望の形状のガラスパネル１１にプレス成形される。
【０００６】
このプランジャ２０には、予め溶融ガラス塊と接触する表面をサンドブラスト法と呼ばれる加工方法によって、微小な凹凸を有する粗面となる処理が施されている。このサンドブラスト法では、アルミナ、シリカ等のセラミックス粉末やガラスビーズ等のガラス成形体、または破砕体を研磨剤として高圧空気、高圧水によってプランジャ２０の表面に噴射させ、プランジャ２０の表面を不規則に削り落とすことで、微細な粗面を形成することを可能にしているものである。
【０００７】
図１１は、プランジャ表面が溶融ガラス塊を押延する際の双方の表面の断面部を局所的に拡大したものである。図１１に示すように、プランジャ２０の表面にサンドブラスト法で形成された凹凸粗面を、パネルガラス１１に転写することによって、ガラスパネル１１の画像表示面であるフェース部１２の内表面に梨地面を形成することができる。プランジャ２０の凹凸粗面がガラスパネル１１に転写される比率である転写率は通常２０〜４０％程度であり、成形後のガラスパネル１１の内表面は、比較的波長の長い成分が良く転写され、細かな凹凸はあまり転写されない。こうして成形されたガラスパネル１１のフェース部１２の内表面は、図１２に示すように、スティップルと呼ばれる点刻１２ａを有する梨地面となる。
【０００８】
しかし、このサンドブラスト法によって形成されたプランジャ２０の表面には、所定粒度を有する研磨剤がランダムに噴射されることによって、一定のうねりが形成され、このためにパネルガラス１２内表面に塗布された蛍光膜１４の厚みが一定とならない問題があった。具体的には成形されたガラスパネル１２の内表面は、図９のように、プランジャ２０の凹凸粗面を転写して波長Ｗのうねりを持つ梨地面を有し、その梨地面に同色蛍光体の相互間隔が約２００〜３００μｍのピッチＰを有する蛍光膜１４を形成すると、各蛍光体や非発光黒色物質の層にうねりの振幅分だけ厚みのばらつきを生じるので、均一な厚みの蛍光膜１４を得ることができない。すなわち、通常このサンドブラスト法により形成されたパネルガラス１２では、うねりは数百μｍ程度の波長Ｗを有し、最大振幅は凹凸粗面の粗さの程度にもよるが、約１μｍ程度となる。
【０００９】
また、蛍光膜１４の厚みの変動は、陰極線管１０の輝度や解像度、さらには陰極線管１０の寿命にも大きく寄与するものである。このような問題を改善するために、サンドブラスト以外の加工方法として、特許文献１では、レーザーダル加工をプランジャ表面に施すことによって、うねりのない実質的に平滑な表面に、ほぼ規則的に配列された微小な突起を有する状態を実現し、このうねりの問題についての解決を図っている。
【００１０】
また、特許文献２には、蛍光膜１４の厚みを調整することにより、電子ビームを蛍光膜１４の下層まで侵入させて蛍光体を発光させることにより、表示画像の輝度や解像度が低下しないようにすることが開示されている。これは、前述のうねりによる輝度、解像度の改善に対しての寄与が考えられるものである。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−３４５０５９（第２頁−第３頁、第１図）
【特許文献２】
特開平８−８３５７４（第２頁−第４頁、第１図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、サンドブラスト法の欠点を補うべく開発されたレーザーダル加工によるプランジャ２０表面の精細加工については、確かに問題となっていた表面うねりが改善されることについては、検証がおこなわれ、実現できる方法として種々の検討がおこなわれたものの、結局、量産工程に採用するには、次のような問題点のあることが判明した。
【００１３】
すなわち、このレーザーダル加工が、それなりに高価な加工費を必要とするものであるにもかかわらず、その加工によって出来上がったプランジャ２０の経時的な耐久性が、投資額に見合わないことである。すなわち、プランジャ２０の加工費が高価になればなるだけ、成形されたパネルガラス１１の価格が高騰し、実用上受け入れがたい高価な製品価格となってしまう。また、この加工方法は、微細な表面加工を実現しようとすれば、非常に長時間を必要とする。このため、製品の需要、供給に見合った高速な成型システムの実現を構築する際の大きな障壁となってしまうことも、本発明が最終的な量産工程で採用されがたい理由の一つである。
【００１４】
また、電子ビームを蛍光膜の下層まで侵入させて蛍光体を発光させることにより、表示画像の輝度や解像度が低下しないようにするという改善法については、電子ビームがガラスパネル１１に直接到達して照射される可能性が高くなり、そのため照射によって経時的にガラスが着色するブラウニング現象が発生しやすくなる結果、短時間でパネルの品質が劣化するという問題がある。
【００１５】
このように、特許文献１で開示されたプランジャ表面のうねりを解決する効果的かつ安価な方法は、未だ見いだされているとは言えない。よって、本発明者らはこのような状況に鑑み、陰極線管のガラスパネル部内の内表面に形成される蛍光膜の厚みを均一にすることができ、陰極線管の高輝度、高解像度、長寿命化を可能とするガラスパネルとその成形方法及びその成形装置を提供するため、ここに本発明を提示するものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明の陰極線管用パネルは、画像表示部であるフェース部の蛍光膜が形成される内表面が、実質的に平滑な面に微小突起がほぼ一様に設けられた成形面である陰極線管用ガラスパネルにおいて、前記微小突起の横断面が略多角形または網目状であることを特徴とするものである。
【００１７】
ここで、微小突起の横断面が略多角形または網目状であることとは、フェース内表面にほぼ一様に設けられた微小な突起の外形をフェース面に対して垂直方向から観察した場合に、その輪郭の形状が略多角形であるか、あるいは網目状であることを意味している。そして略多角形であるとは、略三角形以上の角によって輪郭が形成されており、角部の形状が不鮮明であっても全体的な外形として多角形と認められる形状であるならば支障はない。
【００１８】
最も採用し易い形状は略四角形であるが、この場合にはフェース内表面にほぼ一様に設けられた微小な突起の外形をフェース面に対して垂直方向から観察した場合に、その輪郭の形状が四辺により囲まれた略四角形となるということを表している。ここで四辺のなす角度は、パネル中央では、９０°であるが、パネルの外周部に近い箇所では、９０°からわずかにはずれた角度で交差する場合もある。しかしながら、その角度は、７０°から１１０°の範囲に収まっている。これは、パネルの湾曲の度合いによって決まるものであって、パネルの表面の湾曲が小さくなるほど、角を形成する四辺の角度は９０°に近いものとなる。そして四辺の交差によってなす角部は、鋭利なものではなく、Ｒ面状となっている。この角部は、鋭利であるよりもＲ面状である方が、パネル内面からのガラス粉ダストの発生防止にも寄与するため好ましいものである。この際のＲ面の大きさについては、特に限定するものではなく、辺の長さはＲ面が大きいために、突起部の輪郭外形の最大長さの１割程度の大きさであっても支障はない。要は、四つの辺が存在しているならば、Ｒ面が大きいために円形と見紛うようであっても支障はない。
【００１９】
また、該微小な突起表面の輪郭が網目状であることとは、前述の突起部に相当する略多角形の部位が、突起しているのではなく、それとは逆に窪んでいることによって、相対的に網目の輪郭を有する部位が突起していることを意味している。そして、この網目の線の太さや間隔については、実使用上問題のないレベルであればよい。この網目状突起部の線幅は、１μｍから５００μｍまで可能であり、より好ましくは１０μｍから１００μｍである。そして網目の目開きについては、１μｍから３００μｍまで変更でき、より望ましくは１０μｍから１００μｍである。サンドブラスト加工で施されていた表面粗さからすると、本法で採用する網目の線幅、目開きはなるべく細かいものにする方が、好ましい。ただし、細かくなりすぎると、それに比例して転写率が低下するため、転写率を１０％以上に維持できる限りは、さらに細かい網目を採用してもよい。また突起の高さは０．１μｍから８０μｍ程度までの範囲で採用することができるものである。
【００２０】
また、本発明の陰極線管用パネルの成形方法は、成形型に溶融ガラス塊を供給し、次いで、プランジャを下降して、溶融ガラス塊を成形型とプランジャの間に押延させて前記ガラスパネルをプレス成形する方法であって、前記ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する表面に横断面が略多角形または網目状である微小な窪みを付与したプランジャの表面を転写することによって、該ガラスパネルのフェース部の内表面を、実質的に平滑な面に、ほぼ一様に設けられた横断面が略多角形または網目状である微小な突起を有する成形面にすることを特徴とする。
【００２１】
ここで、ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する表面に横断面が略四辺形または網目状である微小な窪みを付与したプランジャの表面を転写するとは、予めプランジャ表面に横断面が略四辺形または網目状である微小な窪みを施すことを意味している。そしてその窪みの大きさは、０．１μｍから１００μｍ程度の深さを有しているものである。また、この略多角形または網目状である微小な窪みについては、複数の面積を有する略多角形がほぼ一様に設けていてもよく、また網目の太さが可変であってもほぼ一様なパターンが実現されていれば支障はない。
【００２２】
そして、該ガラスパネルのフェース部の内表面を、実質的に平滑な面に、ほぼ一様に設けられた横断面が略多角形または網目状である微小な突起を有する成形面にするとは、前記のプランジャ表面で溶融軟化状態にあるガラス表面を押延することによって、プランジャ形状とは相反する凹凸形状状態の表面が生成することを表している。
【００２３】
また、本発明の陰極線パネルの成形装置は、成形型に溶融ガラス塊を供給し、次いで、プランジャを下降して、溶融ガラス塊を成形型とプランジャの間に押延させて前記ガラスパネルをプレス成形する陰極線管用ガラスパネル成型装置であって、ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する前記プランジャの表面に、横断面が略多角形または網目状であるほぼ一様に設けられた微小な窪みを付与してなることを特徴とする。
【００２４】
ここで、ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形するプランジャの表面に、横断面が略多角形または網目状であるほぼ一様に設けられた微小な窪みを付与してなることとは、プランジャ表面に横断面が略多角形または網目状である微小な窪みを予め形成したものを使用するということである。
【００２５】
このプランジャの表面形状の製造方法としては種々の方法が採用できるものであるが、結果としてプランジャ表面に略多角形または網目状である微小な窪みが施されるようになるものであれば、特に限定されるものではない。方法としては、プランジャ表面のエッチング処理、マスクを施した状態でのバレル加工、マスクを施した状態での切削加工等が採用可能である。
【００２６】
例えば、エッチングを採用する場合には、エッチング処理の方法としては、種々のものが考えられるが、プランジャ材質を効率よく化学的に浸食することで、プランジャ表面に微小な窪みが形成できる方法であるならば、特に限定されるものではない。ただし、化学的な薬剤を使用する方法であるため、化学的に反応生成したプランジャ表面の材質が、プランジャ表面から容易に除去可能な方法を採用することが重要である。このため、最も容易な方法としては、液体系溶媒に腐食性薬剤を溶解した侵食液中に一定時間、プランジャ表面を浸漬した後に、反応生成物をその浸食液溶媒中に溶解させることによって、除去することである。また、浸食溶媒中への溶解が困難である場合には、反応生成物を容易に溶解する他の薬剤中に浸漬することによって、プランジャ表面の生成物を速やかに除去することができるならば、多段階の工程によってエッチングを施すことも可能である。
【００２７】
また、エッチングを効率的に行うため、反応を促進する他の補助的な手段を採用することもできる。例えば、温度を意図的に上昇させる、あるいは均一なエッチング処理が可能となるように、プランジャを浸漬した槽に撹拌、揺動等の物理的な力を加えることによって、腐食性溶媒を滞りなくプランジャ表面に接触させることによって目的を達成することが可能となる。さらに、超音波や電磁波等を作用させることで、反応を促進させることもできるものである。
【００２８】
また、プランジャ表面のエッチングを行うには、その前に半導体のリソグラフィ工程を応用したレジスト膜の成形工程が必要である。すなわち、最初にプランジャ表面に塗布機（コータ）を使用してフォトレジスト（感光性樹脂）を塗布する。このフォトレジストには、光が照射された部分のパターンを現像処理で除去するポジ型のフォトレジストとそれとは逆に光が照射された部分が残るネガ型のフォトレジストがあるが、本件の発明ではどちらのタイプのフォトレジストを使用してもよい。ポジ型のフォトレジストを使用する場合には、引き続き行うエッチング工程によって、プランジャ表面には、多角形状の窪みを形成することができ、そのプランジャを使用して成形した陰極線管用パネルのフェースの裏面には、多角形状の突起が形成される。一方、ネガ型のフォトレジストを使用する場合には、次のエッチング工程によって、プランジャ表面には網目状の輪郭を有する窪みが形成され、そのプランジャを使用して形成した陰極線管用パネルのフェースの裏面には、網目状の突起が形成されるようになる。
【００２９】
また、プランジャの材質についても、所望の耐熱性を有し、離型性、高温強度等の一連の特性を満足するものであるならば、採用することができる。例えばステンレス製の金型表面にニッケルまたはコバルト、クロム、タングステンなどを主成分とする合金被膜をメッキ法、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法等の各種の成形方法で被覆形成する場合等についても、採用することが可能である。また、必要に応じて複数の被膜を積層することによって、その効果を高めることも可能である。
【００３０】
【作用】
本発明陰極線管用ガラスパネルは、ガラスパネルのフェース部の内表面を、うねりのない実質的に平滑な表面に微小な多角形または網目状の突起がほぼ一様に設けられた成形面としたので、蛍光体や非発光黒色物質を塗布して形成した蛍光膜に、厚みのばらつきを生ずることがなく、均一な厚みの蛍光膜を密着性よく形成することができる。
【００３１】
その結果、電子ビームが蛍光膜の下層まで均一に照射するよう容易に制御することができ、上層の発光を下層で吸収したり、乱反射させる虞がなくなる。また、電子ビームが蛍光膜に侵入する深さも一定に制御できるため、蛍光膜を通過して直接ガラスパネルに到達する電子ビームが、ガラスパネルの焼け（ブラウニング）を生じさせることもない。
【００３２】
また、本発明の陰極線管用ガラスパネルの成形方法は、横断面が略多角形または網目状である微小な窪みを付与したプランジャの表面を転写することによって、該ガラスパネルのフェース部の内表面を、実質的に平滑な面に横断面が略多角形または網目状である微小な突起がほぼ一様に設けられた成形面にする成形方法であるので、塗布された蛍光体や非発光黒色物質を均等な厚みとし、ガラスパネルのフェース部の内表面に実質的にうねりのないほぼ一様なパターンを形成することを可能とするものである。
【００３３】
本発明の陰極線管用ガラスパネル成型装置は、ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する前記プランジャの表面に、横断面が略多角形または網目状であるほぼ一様に設けられた微小な窪みを付与してなるので、溶融ガラスを成形型とプランジャの間に押延する際に、フェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する際、ガラス表面に横断面が略多角形または網目状である微小な突起を転写によって確実に形成することを可能とするものである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態に基づいて本発明にかかる陰極線管用ガラスパネル及びその成形方法と成型装置について説明する。
【００３５】
図１に本発明の陰極線管用パネル２１の部分的な表面の斜視図を示す。この図からも判るように、本発明では画像表示部であるフェース部２２の裏側に蛍光膜が形成される陰極線管用ガラスパネル２１のフェース部２２に、そのうねりのない内表面にほぼ一様に一辺１０μｍ、高さ５μｍの四角形の突起部２３が約５μｍ間隔を介して設けられているという特徴を呈している。
【００３６】
また、本実施例では、図２〜６に示すように、プランジャ２５の粗面加工にエッチング加工を用いた。エッチング加工は従来のブラスト法とは異なり、制御された一様な所定の窪み３５をプランジャ２５表面に付与することができるものである。
【００３７】
エッチング加工の手順を以下に順を追って説明する。まず図２に示すように、プランジャ２５の表面にレジスト膜３０を塗布した後に乾燥する。ここで、レジスト膜の塗布は、スピンコーターを使用して予め濃度を調整したポジ型フォトレジストを使用する。次に塗布されたレジスト膜３０の乾燥については、温度調整機能をもつバッチ式の大型電気乾燥炉を使用して行う。
【００３８】
次にプランジャ２５表面と同じ曲率を持つような碁盤の目状フォトマスク３１（一つの開口部が１０μｍ×１０μｍでマスク部の線幅が５μｍである）を使用しプランジャ２５表面に密着させて、紫外線３２を照射する。その後、レジスト膜３０を弱アルカリ現像液により処理すると、図４に示されるような一様な四辺形の窪みがのパターン３３がプランジャ２５表面上に形成される。
【００３９】
その後、パターン処理されたレジスト膜を有するプランジャ２５表面上にエッチング液３４を降りかけることによって、パターン３３に保護されていないプランジャ２５を構成する金属表面がエッチングされて、四辺形の微細な窪み３５がプランジャ２５表面に形成される。このエッチング処理では、前述したように窪み３５の大きさや間隔をフォトマスク３１のパターンの種類を変えることによって変更でき、さらにエッチング液３４の種類や濃度、さらに温度や浸漬時間等の諸条件を調整することによって、窪み３５の深さを変更することができる。
【００４０】
次に、エッチング加工を終えたプランジャ２５を使用して、前述の図１０に示すようなプレス成形によってガラスパネルの成形をおこなうと、エッチング加工により付与されたプランジャ２５表面の規則的な窪み３５がガラスパネル２１内表面に転写され、前出の図１に示すようにフェース部２２の内表面が、うねりのない実質的に平滑な面に、ほぼ一様に設けられた微小な四辺形の突起を有する成形面が得られるようになる。
【００４１】
このようにして成形されたガラスパネル２１のフェース部２２の内表面に蛍光体や非発光黒色物質を塗布することにより、図７に示すように、うねりによる影響の無い、均一な厚みの蛍光膜１４を形成することができる。
【００４２】
こうして得られた陰極線管を使用して組み立てられた表示デバイスは、設計に見合う高性能な解像度と色調再現性を実現する高い品位を具備するものとなり、長期間使用しても支障の生じることのない耐久性を実現することが可能な優れた製品となるものである。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の陰極線管用パネルによれば、画像表示部であるフェース部の内表面を、うねりのない実質的に平滑な表面に微小な多角形または網目状の突起がほぼ一様に設けられた成形面としたので、蛍光体や非発光黒色物質を塗布して形成した蛍光膜に、厚みのばらつきを生ずることがなく、均一な厚みの蛍光膜を密着性よく形成するものであるため、ガラス製陰極線管を高輝度、高解像度、長寿命化とすることが可能となる。
【００４４】
また、本発明の陰極線管用パネルの成形方法によれば、塗布された蛍光体や非発光黒色物質を均等な厚みとし、ガラスパネルのフェース部の内表面を、実質的にうねりのない平滑な面に横断面が略多角形または網目状である微小な突起をほぼ一様なパターンに形成することを可能とするので、市場の要望に見合うガラスパネルを供給することによって、高性能な陰極線管を実現して産業の発達に寄与するものである。
【００４５】
本発明の陰極線管用ガラスパネルの成型装置は、ガラスパネルのフェース部の蛍光膜が形成される内表面を成形する前記プランジャの表面に、横断面が略多角形または網目状であるほぼ一様に設けられた微小な窪みを付与してなるので、成形型とプランジャの間で溶融ガラス塊を押延する際に、フェース部の蛍光膜が形成される内表面に横断面が略多角形または網目状である微小な突起を転写によって確実に形成することを可能とするものであるため、成形されたガラスパネルのフェース部は、設計上目標とされた所望の機能を経済的に安価な装置を使用することによって実現することができる優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラスパネル内表面の成形面を説明する要部斜視図。
【図２】レジスト塗布後のプランジャ断面図。
【図３】紫外線照射時のプランジャ断面図。
【図４】現像後のプランジャ断面図。
【図５】エッチング時のプランジャ断面図。
【図６】エッチング処理終了後のプランジャ断面図。
【図７】本発明のガラスパネルのフェース部内表面に形成された蛍光膜を示す要部断面説明図。
【図８】陰極線管の構造を示す断面図。
【図９】従来のガラスパネルのフェース部内表面に形成された蛍光膜を示す要部断面説明図。
【図１０】ガラスパネルの成形金型を示す一部断面説明図。
【図１１】プランジャの凹凸粗面がガラスパネル内表面に転写される状況を示す要部断面説明図。
【図１２】従来のガラスパネル内表面の梨地面を示す要部断面説明図。
【符号の説明】
１０　陰極線管
１１、２１　ガラスパネル
１２、２２　フェース部
１３　ファンネル
１４　蛍光膜
１５　電子銃
１６　電子ビーム
１７　偏向ヨーク
１８　色選別機構（シャドウマスク）
１９　成形型
２０、２５　プランジャ
２３　平滑面
２４　突起
３０　レジスト膜
３１　フォトマスク
３２　紫外線
３３　レジスト膜のパターン
３４　エッチング液
３５　エッチングによる微細穴
ｐ　同色蛍光体のピッチ
ｗ　うねりの波長
【図１】
2004134254.tif 000003
【図２】
2004134254.tif 000004
【図３】
2004134254.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004134254.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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