(57)【要約】【課題】重量部品等の部品点数を少なくして小形化と安い製作費で実現でき，かつ極性高速反転する出力特性を有するメッキ用電源装置を提供する。【解決手段】リップル電圧吸収用コンデンサを平滑用とスナバ回路コンデンサの機能を兼用させた。整流回路の出力側に接続していた平滑リアクトルの替わりに，二つのスイッチングアームの出力端間に対して磁芯を共有した二つのコイルを直列接続し，この二つのコイルの中間に二つのダイードを直列接続し，スイッチング素子への直列接続リアクトルの機能を持たせるとともに，極性切換時の電流立ち上がりを急峻化させるように，蓄積エネルギーをオンしようとするスイッチング素子に正方向に加算電圧として印加する誘導結合手段を具備したメッキ用制御電源装置とした。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
整流回路の出力端に並列に，平滑コンデンサと，それぞれスイッチング素子を有する第１のスイッチングアーム，第２のスイッチングアーム，第３のスイッチングアームとの両端を入力端として接続され，各スイッチングアームは上アームと下アームの直列接続体であって，上下アームの各接続点を出力端とし，高周波でオン，オフして形成された所定の電圧波形を極性切換え自在に負荷に供給するメッキ制御電源装置において，前記第１のスイッチングアーム及び前記第２のスイッチングアームの出力端に接続され，前記第１のスイッチングアームから前記第２のスイッチングアームへのエネルギー転流時に前記第２のスイッチングアームがオンとなる時点で，又は前記第２のスイッチングアームから前記第１のスイッチングアームへのエネルギー転流時に前記第１のスイッチングアームがオンとなる時点で，急峻な立ち上がりの電流移転が出来る誘導結合手段を備えたことを特徴とするメッキ用制御電源装置。
【請求項２】
前記誘導結合手段が，磁芯を共通とした１次コイルと２次コイル及び第１，第２の環流ダイオードからなり，１次コイルの巻終わり部位に直列に第１の環流ダイオードが正方向に接続され，更に直列に第２の環流ダイオードのアノードに接続されており該ダイオードのカソードが前記２次コイルの巻き始め部位に接続されていて該２次コイルの巻終わり部位が第２のスイッチングアームの出力端に接続されて前記１次コイルの巻始め部位が第１のスイッチングアームの出力端に接続されており，第２のスイッチングアームがオンになる瞬間に該出力端から前記二つの還流ダイオードを経て第１のスイッチングアームの出力端に戻る１次コイルの巻線エネルギーの環流ループが形成されて，第１のスイッチングアームがオフになる瞬間の巻線エネルギー放出が１次コイルから２次コイルへ加算されて第２のスイッチングアームのスイッチング動作を助長する誘導結合手段である請求項１記載のメッキ用制御電源装置。
【請求項３】
前記誘導結合手段が，磁芯を共通とした１次コイルと２次コイル及び第１，第２の環流ダイオードからなり，１次コイルの巻終わり部位に直列に第１の環流ダイオードが正方向に接続されおり更に直列に第２の環流ダイオードのアノードに接続されて該ダイオードのカソードが前記２次コイルの巻き始め部位に接続されており該２次コイルの巻終わり部位が第２のスイッチングアームの出力端に接続されて前記１次コイルの巻始め部位が第１のスイッチングアームの出力端に接続されており，第１のスイッチングアームがオンになる瞬間に２次コイルの巻線エネルギーの環流ループが形成されて，第２のスイッチングアームがオフになる瞬間の２次コイルの巻線エネルギー放出が２次コイルから１次コイルへ加算されて第１のスイッチングアームのスイッチング動作を助長する誘導結合手段である請求項１記載のメッキ用制御電源装置。
【請求項４】
前記整流回路と，前記整流回路の出力端に接続される前記第１乃至第３スイッチングアームと，前記誘導結合手段とにより構成される第１のＤＣ／ＤＣコンバータと，この第１ＤＣ／ＤＣコンバータと同一回路の第２のＤＣ／ＤＣコンバータが，直流入力端で並列接続され，高周波でオン，オフし形成された所定の出力電圧波形が前記第１のＤＣ／ＤＣコンバータと前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータとが同期して形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３記載のメッキ用制御電源装置。
【請求項５】
前記第１のＤＣ／ＤＣコンバータの前記第３スイッチングアームの出力端を介して第１のメッキ電極に接続され，前記第１のスイッチングアームの出力と第２のスイッチングアームの出力とを極性切換え自在にして被メッキ物の一方の面に接続されて前記被メッキ物の一方の面をメッキするように通電されており，前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの前記第３スイッチングアームの出力端を介して第２のメッキ電極に接続され，前記第１のスイッチングアームの出力と前記第２のスイッチングアームの出力とを極性切換え自在にして被メッキ物の他方の面に接続されて被メッキ物の他方の面をメッキするように通電されることを特徴とする請求項４記載のメッキ用制御電源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，ＤＣ／ＤＣ変換器で電圧波形を高速で極性反転して負荷に供給する事が出来るメッキ用制御電源装置に関し、磁芯をもつ巻線部品やスナバ回路の部品点数を減らし小型化と製作の簡易化で安価に提供できる様にする。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開平１０−４２５６３号公報によれば，中間タップを有する高周波変圧器の２次側に高周波整流器のアノード側を接続し，この高周波整流器のカソード側と−の端子間に半導体スイッチを接続し，一方，高周波変圧器の２次側に高周波整流器のカソード側を接続し，この高周波整流器のアノード側と−の端子間に半導体スイッチを接続し，高周波整流器のカソード側に接続された半導体スイッチと高周波整流器のアノード側に接続した半導体スイッチをゲート信号により相互に切り換える極性変換回路が示されている。
【０００３】
ところが，この極性変換回路を実際の大電流のメッキに使用された場合，例えば，高周波整流器のカソード側に接続された半導体スイッチを高周波でスイッチングすると，この半導体スイッチのオフ時に電流が遮断するので，リアクトルを接続し，電流を継続して流す必要がある。
【０００４】
図５は上記特開平１０−４２５６３号公報の回路にリアクトルを追加して考えられる回路図を示し，メッキ方法の説明に図４を示す。交流入力端子１，２からトランスＴ１，Ｔ２を経てダイオードＤ１〜Ｄ４及びＤ５〜Ｄ８で構成される各整流回路に接続されて整流され，平滑コンデンサＣ１，Ｃ２及びリアクトルＬ１，Ｌ２で構成されるリップルフィルタで平滑される。整流平滑された直流をスイッチング素子Ｓ１，Ｓ２及びＳ３，Ｓ４でパルス波形に変換して，図４に示す各負荷に対し，第１の負荷端子５から第１のメッキ電極３１へ，第２の負荷端子６，６０から被メッキ物３３の各面へ，第３の負荷端子５０から第２のメッキ電極へ，それぞれ接続されていた。メッキ電流波形は図６に示すように時間幅の長い正方向のパルス電流と時間幅の短いの逆方向のパルス電流とに繰り返し極性を切り替えて通電している。極性の反転は後で説明するように被メッキ物がプリント配線板の両面およびこれを導電体で結ぶスルーホールであり，これをメッキするために実行される。
【０００５】
ここで第３の負荷端子に接続される負荷の理解を容易にするため，メッキの考え方を説明しておく。図４に示した多層用プリント配線板メッキの電気接続図において，第１電源Ｅ１から被メッキ物３３のプリント配線板の表側メッキがされる。第２電源Ｅ２から被メッキ物３３のプリント配線板の裏側メッキがされる。電源Ｅ１，Ｅ２はメッキ電極に正の極性を，被メッキ物には負の極性を印加して，長時間パルス電流を通電してメッキする。次に電源Ｅ１，Ｅ２の極性を瞬時切換て，短時間大電流の逆方向パルスを通電して被メッキ物からメッキを溶かす方向に作用させる。パルスの長時間と短時間の一例は１０ミリ秒の正パルス２５０アンペアと１ミリ秒の負パルス７５０アンペアとを繰り返して通電している。このような正，負の通電時間は被メッキ物の精密なメッキ品質を得るために最適の値に設定される。
【０００６】
ところで図５において，負荷の電流方向を高速で切換えるスイッチング素子Ｓ１，Ｓ２に直列に接続された平滑用のリアクトルＬ１に蓄積されるエネルギーが，該スイッチング素子のスイッチングオフの都度，急峻な電圧でエネルギーを放出し該スイッチング素子の耐電圧を超えるサージ電圧を発生する。スイッチング素子Ｓ３，Ｓ４についても同様である。このため，各スイッチング素子Ｓ１〜Ｓ４には並列にコンデンサと抵抗の直列回路からなるサージ電圧吸収回路（スナバ回路と称する）を設けていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ＤＣ／ＤＣ変換器で電圧波形を高速で極性反転して負荷に供給する事が出来る制御電源装置において，スナバ回路の部品点数を減らし小型化し，トランスやリアクトルの様な重量部品は減らして軽量化し，製作の簡易化で安価に提供できるようにする。同時にメッキ品質向上の面から要求される極性切換時の電圧波形を急峻な立ち上がり，立ち下がり特性にする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
スナバ回路におけるコンデンサは，スイッチング素子毎に接続していたが，複数の半導体素子を１個のケースに埋め込んでＤＣ／ＤＣコンバータ機能を持つ半導体モジュール化するとき，スナバコンデンサの数が多くてコンパクトな半導体モジュールとするときの障壁となっていたが、平滑コンデンサにサージ電圧吸収機能を兼ねさせる事に着目して検討され好結果が見出された。平滑リアクトルも従来の物を廃除し，次のような誘導結合手段が平滑作用を兼用できる事を見出した。誘導結合手段は磁芯を共通とした１次コイルと２次コイル，１次コイルの巻終わり部位に直列に第１の環流ダイオードを正方向に接続し，２次コイルの巻始め部位に直列に第２の環流ダイオードを逆方向に接続したものである。
【０００９】
請求項１に関しては，整流回路の出力端に並列に，第１のスイッチングアーム，第２のスイッチングアーム，第３のスイッチングアームの両端を入力端として接続され，さらに，平滑コンデンサが該入力端に接続されている。各スイッチングアームは上アームと下アームの直列接続体であって，該接続点を出力端とし高周波でオン，オフして形成された所定の電圧波形を極性切換え自在に負荷に供給する。さらに，前記第１のスイッチングアーム及び前記第２のスイッチングアームの出力端に接続され，前記第１のスイッチングアームから前記第２のスイッチングアームへのエネルギー転流時に前記第２のスイッチングアームがオンとなる時点で，又は前記第２のスイッチングアームから前記第１のスイッチングアームへのエネルギー転流時に前記第１のスイッチングアームがオンとなる時点で，誘導結合手段の２次コイルに誘起する電圧を加えることにより急峻な立ち上がりの電流の移転が出来ることを確認した。
【００１０】
請求項２に関しては前記誘導結合手段が磁芯を共通とした１次コイルと２次コイルからなり，１次コイルの巻終わり部位に直列に第１の環流ダイオードが正方向に接続され，そのカソードが第１負荷端子に接続され，該カソードに対して第２の環流ダイオードのアノードが接続されて，該アノードが前記２次コイルの巻き始め部位に接続されて，該２次コイルの巻終わり部位が第２のスイッチングアームの出力端に接続され，前記１次コイルの巻始め部位が第１のスイッチングアームの出力端に接続され，以上の接続回路と第１スイッチングアームの下アームと第２のスイッチングアームの下アームとのループ回路でエネルギー環流ループが形成されるようにした。この環流ループ出来たので，第１のスイッチングアームがオフになる瞬間の巻線エネルギー放出が１次コイルから２次コイルへ加算されて第２のスイッチングアームのスイッチング動作を助長する誘導結合手段となった。
【００１１】
請求項３に関しては前記誘導結合手段が磁芯を共通とした１次コイルと２次コイルからなり，１次コイルの巻終わり部位に直列に第１の環流ダイオードが正方向に接続され，そのカソードが第１負荷端子に接続され，該カソードに対して第２の環流ダイオードのアノードが接続されて，該アノードが前記２次コイルの巻き始め部位に接続されて，該２次コイルの巻終わり部位が第２のスイッチングアームの出力端に接続され，前記１次コイルの巻始め部位が第１のスイッチングアームの出力端に接続され，以上の接続回路と第１スイッチングアームの下アームと第２のスイッチングアームの下アームとのループ回路でエネルギー環流ループが形成されるようにした。この環流ループ出来たので，第２のスイッチングアームがオフになる瞬間の巻線エネルギー放出が２次コイルから１次コイルへ加算されて第１のスイッチングアームのスイッチング動作を助長する誘導結合手段となった。
【００１２】
請求項４に関しては前記整流回路と，この整流回路の出力端に接続される前記第１乃至第３スイッチングアームと，前記誘導結合手段とにより構成される第１のＤＣ／ＤＣコンバータと，この第１ＤＣ／ＤＣコンバータと同一回路の第２のＤＣ／ＤＣコンバータとが，直流入力端で並列接続される。高周波でオン，オフし形成された所定の出力電圧波形が第１のＤＣ／ＤＣコンバータと第２のＤＣ／ＤＣコンバータとが同期して形成され，メッキ物の両方の面に向けて同期した電流波形で通電される制御電源装置とした。
【００１３】
請求項５に関しては，　前記第１のＤＣ／ＤＣコンバータの前記第３スイッチングアームの出力端を介して第１のメッキ電極に接続され，前記第１のスイッチングアームの出力と第２のスイッチングアームの出力とを極性切換え自在にして被メッキ物の一方の面に接続され，前記被メッキ物の一方の面をメッキするように通電される。また，前記第２のＤＣ／ＤＣコンバータの第３スイッチングアームの出力端と，第１の負荷端子を介して第２のメッキ電極に接続され，前記第１のスイッチングアームの出力と第２のスイッチングアームの出力とを極性切換え自在にして被メッキ物の他方の面に接続され，被メッキ物の他方の面をメッキするように通電される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に，本発明による実施の形態を説明する。図１は，本発明の実施形態における電源装置の要部回路図であり，図２は本発明の実施形態における電源装置全体の主回路図である。図１，図２において第１アーム，第２アーム，第３アームの三つのスイッチングアームで第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０を形成しており，同様に第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０を形成している。第１アームは上側アームＡ１の第１スイッチング素子Ｑ１と下側アームＢ１の第１ダイオードＤ１との直列接続体であり，その接続点Ｘ１は第１アームの出力端Ｘ１である。
【００１５】
第２アームは上側アームＡ２の第２ダイオードＤ２と下側アームＢ２の第２スイッチング素子Ｑ２との直列接続体であり，その接続点Ｘ２は第２アームの出力端Ｘ２である。第３アームは上側アームＡ３の第３スイッチング素子Ｑ３と下側アームＢ３の第４スイッチング素子Ｑ４との直列接続体であり，その接続点Ｘ３は第３アームの出力端Ｘ３である。
【００１６】
前記第１，第２，第３の三つのアームと，平滑コンデンサ４が，整流回路３の出力端Ｐ，Ｎに並列接続されている。第１，第２のアームの各スイッチング素子Ｑ１，Ｑ２が高周波でオン，オフし，第３のアームの各スイッチング素子Ｑ３，Ｑ４が低周波数でオン，オフして形成された所定の電圧波形を，極性自在に負荷に供給する。第１アームの出力端Ｘ１から，１次コイル８及びこれに正方向に直列接続された第１の環流ダイオードＤＰを経て第２の負荷端子６に出力される。
【００１７】
第２アームの出力端Ｘ２から，２次コイル９及びこれに逆方向に直列接続された第２の環流ダイオードＤＳを経て第２の負荷端子６に前記出力と時分割で出力される。第３アームの出力端Ｘ３は，第３のスイッチング素子Ｑ３がオンのとき第１の負荷端子５から正を出力し，第４のスイッチング素子Ｑ４がオンのとき第１スイッチング素子Ｑ１がオンの帰路として第１の負荷端子５に負を出力する。
【００１８】
第１の環流ダイオードＤＰと第２の環流ダイオードＤＳ及び，共通の磁芯を持つ前記１次コイル８と２次コイル９とによって誘導結合手段７を形成している。該誘導結合手段によって，第１アームと第２アームとの間で，急峻な立ち上がりの電流移転が出来るように１次コイル８の蓄積エネルギーが環流され利用される。第２アームと第１アームとの間で急峻な立ち上がりの電流移転が出来るように，１次コイルから２次コイル９に蓄積エネルギーが誘導結合されて利用される。
【００１９】
誘導結合手段７に関して説明する。１次コイル８と２次コイル９とが同一の磁芯に互いに逆極性に接続されており，図１の誘導結合手段７に示すドット側を巻き初めとして巻回されている。該誘導結合手段の作用は，第１スイッチング素子Ｑ１がオン，第４スイッチング素子Ｑ４がオンであって第２スイッチング素子Ｑ２がオフ，第３スイッチング素子Ｑ３がオフである時間帯において１次コイル８はインダクタとして作用する。第１スイッチング素子Ｑ１がオフに，第４スイッチング素子Ｑ４がオフになる瞬間に１次コイル８に蓄積しているエネルギーの放出が起こり，第２スイッチング素子Ｑ２がオン，第３スイッチング素子Ｑ３がオンとなる信号をスイッチング素子の制御極に与えると，２次コイル９に１次コイル８のエネルギーを瞬時移送させ，スイッチング素子Ｑ２に導通方向に電圧を加算して印加，Ｑ２の急峻な電流立ち上がりが得られるようにしている。
【００２０】
これにより，図５に示すように従来の電源装置では，第１スイッチング素子Ｑ１がオフに，第４スイッチング素子Ｑ４がオフになる瞬間に，急峻なサージ電圧となってＱ１，Ｑ４に印加され破壊の恐れがあったため，サージ吸収用のコンデンサＣと抵抗Ｒの直列回路が各スイッチング素子Ｑ１，Ｑ２に並列接続したスナバ回路が不可欠であったが，図１に示す電源装置ではリアクトルＬ１のコイルに誘起する電圧を急峻な立ち上がりに利用され，スナバ回路は不要となる。
【００２１】
第２スイッチング素子Ｑ２がオン，第３スイッチング素子Ｑ３がオンであって第１スイッチング素子Ｑ１がオフ，第４スイッチング素子Ｑ４がオフである時間帯においては，２次コイル９はリアクトルとして作用する。第２スイッチング素子Ｑ２がオフし，第３スイッチング素子Ｑ３がオフになる瞬間に２次コイル９に蓄積しているエネルギーの放出が起こる。このとき第１スイッチング素子Ｑ１をオン，第４スイッチング素子Ｑ４をオンさせると，コイル９のエネギーがコイル８に移送され，スイッチング素子Ｑ１に導通方向に電圧を加算して印加，スイッチング素子Ｑ４の急峻な電流立ち上がりが得られるようにした。
【００２２】
出力電流の波形は図３に示すようにパルス幅の（正の）長時間と（負の）短時間の繰り返しであり，一例は１０ミリ秒の正パルス２５０アンペアと１ミリ秒の負パルス７５０アンペアとを繰り返して通電している。このような正，負の通電時間は被メッキ物の精密なメッキ品質を得るために最適の値に設定される。パルス幅の長時間と短時間の一例の電流波形を更に詳しく言うと，第１，第２スイッチング素子Ｑ１，Ｑ２が１００ｋＨｚの高周波でスイッチングされ上記パルス幅を充たした波形となる。この第１スイッチング素子Ｑ１と第２スイッチング素子Ｑ２とはＦＥＴで構成され，低周波でスイッチングする第３スイッチング素子Ｑ３と第４スイッチング素子Ｑ４にはＩＧＢＴで構成され，制御極にそれぞれ駆動信号が与えられて上記パルス波形が出力される。
【００２３】
前記整流回路３の出力端に並列接続された，第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０は図４の第１電源Ｅ１に相当し，第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０は第２電源Ｅ２に相当する。該二つのコンバータ１０，２０が互いに直流入力端で並列接続されており，それぞれの電源から出力端子５，５０を介して２つのメッキ電極３１，３２に通電される。
【００２４】
高周波でオン，オフし形成された所定の出力波形が第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０の出力波形と第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０の出力波形は同期して形成される。第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０の第１負荷端子５と，前記第１負荷端子から第１電極３１を介して電流の帰路としての第２の負荷端子６に極性自在に出力される。また，第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０の第１負荷端子５０と，前記第１負荷端子５０から第２電極３２を介して電流の帰路としての第２の負荷端子６０に極性自在に出力される。
【００２５】
第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０と第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０とは，それぞれ対応しているスイッチングアームのスイッチング素子に対して同期した駆動信号が，図示しない駆動信号生成手段から供給されて，上記各ＤＣ／ＤＣコンバータ出力波形は同期したパルス波形であり，前記被メッキ物の２つの面に対して時間軸が同じ電流波形で通電されるから２つのメッキ電極間３１と３２との間に通電されるような不都合が発生しないようになった。
【００２６】
従来のような２つの絶縁トランスＴ１，Ｔ２で２つの電源の直流出力を絶縁していたところを，一つのトランスＴで所定の電圧に変圧して一つの整流回路３から二つのコンバータに分岐して第１のＤＣ／ＤＣコンバータ１０の出力波形と第２のＤＣ／ＤＣコンバータ２０の出力波形は同期して形成されるようにしたので如何なる瞬間をも，第１電源と第２電源の間に循環電流が流れるような不都合が生じることなく，トランスやリアクトルのような重量部品の点数が削減できた。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば各スイッチング素子に対して並列に接続していたスナバコンデンサを廃止して，整流回路の出力端にリップル吸収（平滑）とサージ電圧を吸収させて従来３個のコンデンサを用いていたところ１個のコンデンサで機能を達成できたのでモジュール化に有利な構造となった。平滑リアクトルの機能と電流高速立ち上がりの作用を兼用させる誘導結合手段を創出したので構造が単純化され製作が容易となり，トランスやリアクトルの様な磁芯とコイルから構成される重量物が大幅に削減され省資源にも寄与できたので工業的価値が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施形態を示す主要部の回路図。
【図２】本発明による実施形態を示す主回路全体図。
【図３】本発明による実施形態の出力波形図。
【図４】極性切換えメッキ方法の説明図。
【図５】従来の極性切換えメッキ用制御電源装置の構成を示す回路図。
【図６】従来の極性切換えメッキ用制御電源装置の出力波形図。
【符号の説明】
１，２　　　交流入力端子
３　　　　　整流回路
４　　　　　平滑コンデンサ
５，５０　　第１の負荷端子
６，６０　　第２の負荷端子
７　　　　　誘導結合手段
８　　　　　１次コイル
９　　　　　２次コイル
１０　　　　第１のＤＣ／ＤＣコンバータ
２０　　　　第２のＤＣ／ＤＣコンバータ
３１　　　　第１メッキ電極
３２　　　　第２メッキ電極
３３　　　　被メッキ物
Ａ１，Ａ２，Ａ３　上アーム
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３　下アーム
Ｃ１，Ｃ２　　平滑コンデンサ
Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６　スナバコンデンサ
Ｄ　　　　　ダイオード
Ｄ１　　　　第１ダイオード
Ｄ２　　　　第２ダイオード
ＤＰ　　　　第１の環流ダイオード
ＤＳ　　　　第２の環流ダイオード
Ｅ１　　　　第１電源
Ｅ２　　　　第２電源
Ｎ　　　　　整流回路の負側出力端
Ｐ　　　　　整流回路の正側出力端
Ｑ１　　　　第１スイッチング素子
Ｑ２　　　　第２スイッチング素子
Ｑ３　　　　第３スイッチング素子
Ｑ４　　　　第４スイッチング素
Ｒ　　　　　抵抗器
Ｔ　　　　　トランス
Ｔ１，Ｔ２　トランス
Ｘ１　　　　第１アームの出力端
Ｘ２　　　　第２アームの出力端
Ｘ３　　　　第３アームの出力端
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004135404.tif 000005
【図４】
2004135404.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004135404.tif 000008