(57)【要約】【課題】基板に塗布したシール材を、エネルギーロスや基板への熱的影響が少なく、しかもシール材の良好な硬化特性を得ることができ、且つシール材を介して２枚の基板を貼り合せたときの貼り合せ特性が極めて優れた紫外線によるシール材硬化方法を提供する。【解決手段】基板に紫外線反応性のシール材を塗布し、前記シール材に紫外線を照射して前記シール材を硬化させる装置において、紫外線を含む光をパルス状に照射する照射装置２０と、照射装置２０によりシール材に対して少なくとも１回以上前記光をパルス状に照射するように制御する制御部３０と、を具備する。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に紫外線反応性のシール材を塗布し、前記シール材に紫外線を照射して前記シール材を硬化させる方法において、前記基板のシール材に対して紫外線を含む光を少なくとも１回以上パルス状に照射して前記シール材を硬化させることを特徴とするシール材硬化方法。
【請求項２】
前記基板は、液晶表示装置の表示パネルに用いる表示パネル用ガラス基板であり、前記表示パネルの外側近傍に対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、紫外線を含む光をパルス状に照射する少なくとも１つ以上の照射手段を前記型枠状のシール材の各辺に対応する位置に順次移動させて前記光を照射することを特徴とする請求項１記載のシール材硬化方法。
【請求項３】
シール材が塗布されている位置で前記照射手段を停止させて、少なくとも１回以上パルス状に照射し、前記照射手段もしくは前記表示パネル用ガラス基板が移動している間は照射しないことを特徴とする請求項２記載のシール材硬化方法。
【請求項４】
前記表示パネル用ガラス基板の表示パネルに対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、先ず前記型枠状のシール材の一辺に平行な方向（ｘ軸）において前記光をパルス状に照射し、次いで前記照射手段もしくは前記表示パネル用ガラス基板を９０度回転させて前記方向と直交する方向（Ｙ軸方向）において前記光をパルス状に照射することを特徴とする請求項２又は３記載のシール材硬化方法。
【請求項５】
前記表示パネル用ガラス基板のシール材に対して斜め方向から紫外線を含む光をパルス状に照射することを特徴とする請求項２、３又は４記載のシール材硬化方法。
【請求項６】
前記表示パネル用ガラス基板のシール材に対して、そのシール材の位置や硬化状況に応じて前記照射手段に供給する電力を調整することを特徴とする請求項２、３、４又は５記載のシール材硬化方法。
【請求項７】
前記表示パネル用ガラス基板は一枚の大きなマザーガラス基板の上に前記シール材を介して複数の前記表示パネルに対応する表示板を重ね合せたものであることを特徴とする請求項２、３、４、５又は６記載のシール材硬化方法。
【請求項８】
基板に紫外線反応性のシール材を塗布し、前記シール材に紫外線を照射して前記シール材を硬化させる装置において、紫外線を含む光をパルス状に照射する照射手段と、前記照射手段により前記シール材に対して少なくとも１回以上前記光をパルス状に照射するように制御する制御手段と、を具備することを特徴とするシール材硬化装置。
【請求項９】
前記基板は液晶表示装置の表示パネルに用いる表示パネル用ガラス基板であり、前記制御手段は前記表示パネルの外側近傍に対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、前記照射手段を前記型枠状のシール材の各辺に対応する位置に順次移動させて前記光をパルス状に照射することを特徴とする請求項８記載のシール材硬化装置。
【請求項１０】
前記制御手段はシール材が塗布されている位置で前記照射手段を停止させて、少なくとも１回以上パルス状に前記光を照射し、前記照射手段もしくは前記表示パネル用ガラス基板が移動している間は前記光を照射しないことを特徴とする請求項９記載のシール材硬化装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記表示パネル用ガラス基板の表示パネルに対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、先ず前記型枠状のシール材の一辺に平行な方向（ｘ軸）において前記光をパルス状に照射し、次いで前記照射手段もしくは前記表示パネル用ガラス基板を９０度回転させて前記方向と直交する方向（Ｙ軸方向）において前記光をパルス状に照射することを特徴とする請求項９又は１０記載のシール材硬化装置。
【請求項１２】
前記表示パネル用ガラス基板のシール材に対して斜め方向から紫外線を含む光をパルス状に照射することを特徴とする請求項９、１０又は１１記載のシール材硬化装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、前記表示パネル用ガラス基板のシール材に対して、そのシール材の位置や硬化状況に応じて前記照射手段に供給する電力を調整することを特徴とする請求項９、１０又は１１記載のシール材硬化装置。
【請求項１４】
前記表示パネル用ガラス基板は一枚の大きなマザーガラス基板の上に前記シール材を介して複数の前記表示パネルに対応する表示板を重ね合せたものであることを特徴とする請求項９、１０、１１又は１２記載のシール材硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶表示装置（ＬＣＤ）等の表示パネルを構成する、シール材を介して重ね合わされた２枚のガラス基板に紫外線を照射して、該シール材を硬化させるシール材硬化方法及びシール材硬化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ等の液晶表示装置はカラーフィルタ、透明電極、配向膜等から構成された第１のガラス基板と、薄膜トランジスタ、透明電極、配向膜等から構成された第２のガラス基板との間にスペーサを散布して貼り合わせ、液晶を封入して構成されている。
【０００３】
従来から、２枚のガラス基板を貼り合わせるためのシール材として、熱硬化型樹脂が使用されていた。しかし、最近では、貼り合わせに要する時間を短縮するために少なくとも紫外線反応性を有する（紫外線＋熱等）シール材が使用されるようになっている。
【０００４】
紫外線反応性を有するシール材を使用する場合、ガラス基板の周辺部の紫外線が遮光されない位置にシール材を塗布し、カラーフィルタ等から構成されたガラス基板の上方から被照射面が均一の照度分布になるように紫外線照射装置を配置し、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ等の連続発光の光源から紫外線を照射してシール材を硬化させていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−８７０１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、ＬＣＤ等の液晶表示装置の大型化に伴ってガラス基板における表示部の有効面積が増加し、ガラス基板上にパターン化して配置される表示パネルの周囲まで各種膜や配線が配置されている。
【０００７】
また、紫外線照射側の上面のガラス基板には、カラーフィルタ、透明電極、配向膜等の他に、紫外線を遮断するクロム等で構成される枠状のブラックマトリクスが表示パネルの端まで配置されている。
【０００８】
このため、従来の照射方法では、ガラス基板の上方から均一に紫外線を照射してもブラックマトリクスによって遮光されたシール材には紫外線が殆ど照射されず、ブラックマトリスからはみ出たわずかなシール材のみに照射され、したがって良好な硬化特性を得ることができないという欠点があった。したがってまた、ガラス基板の貼り合わせの信頼性が低いという問題があった。
【０００９】
また、従来の照射方法では、紫外線が液晶に当たらないようにマスク材を用意する必要があった。更に、従来の照射方法では、ガラス基板面積に対してシール材が塗布されている面積は非常に少ない領域であるので、無駄な紫外線照射（電力）が多いという問題があった。
【００１０】
本発明は、前記に鑑みてなされたものであり、基板に塗布したシール材を、エネルギーロスや基板への熱的影響が少なく、しかもシール材の良好な硬化特性を得ることができ、且つシール材を介して２枚の基板を貼り合せたときの貼り合せ特性が極めて優れた、紫外線によるシール材硬化方法及びシール材硬化装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るシール材硬化方法は、基板に紫外線反応性のシール材を塗布し、前記シール材に紫外線を照射して前記シール材を硬化させる方法において、前記基板のシール材に対して紫外線を含む光を少なくとも１回以上パルス状に照射して前記シール材を硬化させることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係るシール材硬化方法は、前記基板は、液晶表示装置の表示パネルに用いる表示パネル用ガラス基板であり、前記表示パネルの外側近傍に対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、紫外線を含む光をパルス状に照射する少なくとも１つ以上の照射手段を前記型枠状のシール材の各辺に対応する位置に順次移動させて前記光を照射することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係るシール材硬化装置は、基板に紫外線反応性のシール材を塗布し、前記シール材に紫外線を照射して前記シール材を硬化させる装置において、紫外線を含む光をパルス状に照射する照射手段と、前記照射手段により前記シール材に対して少なくとも１回以上前記光をパルス状に照射するように制御する制御手段と、を具備することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係るシール材硬化装置は、前記基板が液晶表示装置の表示パネルに用いる表示パネル用ガラス基板であり、前記制御手段は前記表示パネルの外側近傍に対応する位置に塗布された型枠状のシール材に対して、前記照射手段を前記型枠状のシール材の各辺に対応する位置に順次移動させて前記光をパルス状に照射することを特徴とする。
【００１５】
上記発明では、シール材に対して紫外線を含む光を少なくとも１回以上パルス状に照射し、光が照射された位置のシール材を硬化させる。その後、次のシール材の位置まで照射手段もしくは表示パネル用ガラス基板を移動させ、同様にパルス状に照射してシール材を硬化させる。このような動作を順次行っていく。なお照射手段もしくは表示パネル用ガラス基板が移動している間は照射を休止（消灯）する。
【００１６】
次に、表示パネル用ガラス基板もしくはこの照射手段を９０度回転させ、同様に照射と移動を繰り返す。このようにして、表示パネル用ガラス基板上の複数の表示パネルの外周近傍に対応する位置に塗布されたシール材を熱影響が少ない状態で硬化させることができる。
【００１７】
また、表示パネル用ガラス基板に対して斜め上方から照射することにより、更に硬化特性が向上する。
【００１８】
一方、シール材の位置や硬化状況に応じて照射手段に供給する電力を調整することにより、均一な硬化特性が得られる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づき説明する。図１は、本発明の方法により形成される液晶表示装置の表示パネルの構成を模式的に表わした図である。図１に示す液晶表示装置の表示パネル５０は、第１のガラス基板１と、第２のガラス基板６と、第１のガラス基板１と第２のガラス基板６との間に配置されたスペーサ１２、液晶１１及びシール材１３とを備えている。第１のガラス板１は、薄膜トランジスタ７と、配向膜８等を備えて構成されている。また、第２のガラス板６は、カラーフィルタ２と、透明電極３と、配向膜４と、ブラックマトリクス５等を備えて構成されている。シール材１３は、外周近傍に線幅約１ｍｍで型枠状に形成されている。なお、図１の矢印Ａは液晶表示装置の動作時におけるバックライトからの光の方向を示す。
【００２０】
図２は液晶表示装置の表示パネルの製造方法を説明するための図である。最新の製造方法では、一枚の大きなマザーガラス基板を用いて、複数の液晶表示装置の表示パネルを製造している。まず、第１のマザーガラス基板であるＴＦＴ基板１０ａ上にスペーサ１２を散布し、複数の液晶表示装置の表示パネルの外周近傍に対応する位置にシール材１３を型枠状に塗布する。なお、シール材１３にもスペーサを含有させている場合がある。次に、型枠状に塗布されたシール材１３の内側に液晶を滴下し、第２のマザーガラス基板であるカラーフィルタ基板１０ｂを重ね合せる。このようにしてＴＦＴ基板１０ａとカラーフィルタ基板１０ｂがシール材１３を介して貼り合わされ、シール材１３の内側に液晶１１を内蔵した状態で、シール材硬化工程の表示パネル用ガラス基板１０を構成する。
【００２１】
次に、シール材を硬化するために紫外線を照射する。ここで、紫外線をバックライト側（第１のガラス基板側）から照射すると、液晶駆動素子等に紫外線が照射されて液晶駆動素子等の電気的特性が劣化する。このため、通常、紫外線を照射するときには、遮光効果を有するブラックマトリックスが形成された第２のガラス基板の側から照射する。
【００２２】
ところで、シール材はブラックマトリクス５の直下に塗布されるが、位置的にはずれており、ほぼ半分がブラックマトリクス５からはみ出ている。このため、図３に示すように照射装置５１を表示パネル用ガラス基板１０上方に，光軸が垂直になるように（垂線からの傾斜角０度）配置して紫外線を照射する従来の紫外線照射方法では、ブラックマトリクスに遮光されてシール材の約半分には紫外線が届かず、良好な硬化性を得ることはできない。
【００２３】
また、図４に示すように照射装置５１をシール材硬化工程にある表示パネル用ガラス基板１０上方に、光軸Ｌが傾斜角θ（１０〜３０度）となるように配置して紫外線を照射する方法では、良好なシール材の硬化特性を得ることはできるが、表示パネル用ガラス基板１０の面積に対して、シール材が塗布されている面積は非常に小さいので、エネルギーロスが大きく、また液晶に対する熱影響が大きかった。
【００２４】
図５は本実施形態であるシール材硬化装置の構成を示す概略側面図、図６は本実施形態であるシール材硬化装置の概略平面図である。なお、図６のｘ軸はシール材硬化工程にある表示パネル用ガラス基板１０の長手方向（型枠状のシール材の一辺に平行な方向）とし、ｙ軸は紙面と平行で且つｘ軸と直交する方向（型枠状のシール材の他辺に平行な方向）としている。５０ａは型枠状のシール材で囲まれた部分を表わし、最終的に表示パネル５０の母体になる。図５及び図６に示すように、本実施形態のシール材硬化装置は、照射装置２０と制御部３０とを備えている。照射装置２０は、筐体２１と、筐体２１内に配置された、断面形状が放物線状もしくは楕円状等に形成された凹柱面状の反射鏡２２と、反射鏡２２の内側に配置された、紫外線を含む光をパルス状に照射するランプ２３と、石英ガラス板２４とを有する。反射鏡２２としては、アルミニウム製のもの或いは紫外線を選択的に反射する特性を有する膜を形成したものを用いることができる。なお、２５は、表示パネル用ガラス基板の両側に当該基板に沿って平行に配置された、高純度アルミ等の紫外線反射材を用いた補助反射鏡である。この補助反射鏡２５は、照射装置２０の端部方向に発せられる無駄な光を反射してシール材に照射するためのものである。図５においては、補助反射鏡２５は主として紙面に垂直な方向に光を反射する。また、補助反射鏡２５は所定の角度で配置することにより、反射特性をより高めてシール材を効率よく硬化させることができる。
【００２５】
制御部３０は、照射装置２０の移動やランプ２３に供給するパルス状の電圧を制御する。ランプ２３には、例えばキセノンガスを封入した直管状のランプを用いることができる。このランプ２３は１秒間に数回〜数十回の間隔で発光させることができ、１回あたりの発光時間は数十μｓｅｃ〜数ｍｓｅｃである。ランプ２３から放射される光は、ガラスの透過率とシール材の感度に応じた、少なくとも３００ｎｍ以上の紫外線を含む光である。照射装置２０の下面開口部に設けられた石英ガラス板２４は、照射装置２０の内部から塵や埃が表示パネル用ガラス基板１０上に落下するのを防ぐためのものである。なお、この石英ガラス板２４の代わりに、赤外線を吸収する熱線カットフィルタを配置してもよいし、石英ガラス板と熱線カットフィルタの両方を設けるようにしてもよい。
【００２６】
本実施形態のシール材硬化装置の照射装置２０は、シール材硬化工程にある表示パネル用ガラス基板１０の上方もしくは下方、好ましくは斜め上方もしくは斜め下方から紫外線を含む光をパルス状に照射するように構成することが望ましい。また、本実施形態の照射装置２０の傾斜角は、試験の結果、約１５度位が最適であることが分かった。
【００２７】
次に、本実施形態のシール材硬化装置の動作を説明する。本実施形態のシール材硬化装置の下方に、表示パネル用ガラス基板１０が搬送装置（不図示）等を介して前工程から搬入され、本装置により一連のシール材硬化処理を行った後に後工程に搬出される。
【００２８】
図７は、本実施形態のシール材硬化装置の動作を説明するための図である。本実施形態では、まず、型枠状に形成された４辺のシール材のうちｘ軸に直交するシール材を硬化させる。図７（ａ）に示すように、照射装置２０をｘ軸に直交するシール材のうち一番左側に位置するシール材の斜め上方に移動して停止する。次に、制御部３０からパルス状の電圧を供給してランプ２３を発光させ、このシール材に紫外線を含む光をパルス状に照射する。次に、ランプ２３を消灯し、図７（ｂ）に示すように、照射装置２０をｘ軸に沿って図の右側に移動し、照射装置２０をｘ軸に直交するシール材のうち左側から二番目に位置するシール材の斜め上方に移動して停止する。そして、上述したように、制御部３０からパルス状の電圧を供給して、ランプから１秒間に数回〜数十回のパルス状の光を照射する。このようにして、照射装置２０を順次、ｘ軸方向に移動して、ｘ軸に直交するシール材にパルス状の紫外線を照射して、シール材を硬化させる。
【００２９】
次に、型枠状に形成された４辺のシール材のうちｘ軸に平行なシール材を硬化させるために、ｘ軸に直交する全てのシール材に紫外線を照射して硬化させた後、照射装置２０或いは表示パネル用ガラス基板１０を９０度回転する。今、照射装置２０を９０度回転したとすると、まず、図６において表示パネル用ガラス基板１０の右側に位置する領域５０ａの型枠状のシール材のうち、ｘ軸に平行で同図の下側に位置する辺のシール材にパルス状の紫外線を照射して硬化させる。次に、照射装置２０をｙ軸方向に移動して停止し、同じ領域５０ａの型枠状のシール材のうちｘ軸に平行で同図の上側に位置する辺のシール材にパルス状の紫外線を照射して硬化させる。同様にして図６において表示パネル用ガラス基板１０の左側に位置する領域５０ａの型枠状のシール材にパルス状の紫外線を照射して硬化させる。これにより、図６における左右の型枠状のシール材を全て硬化させることができる。なお、照射装置２０の移動中は、ランプ２３を点灯しない。
【００３０】
次に、本実施形態のシール材硬化装置を用いてシール材の硬化試験を行なったときの試験結果の一例について説明する。本実施形態の試験条件は以下のとおりである。
【００３１】
ランプ：パルスドキセノンランプ×１灯（岩崎電気（株）製  ＰＸＬ８０−Ｌ２２）
５ショット／ｓｅｃ、８０Ｊ
照射器（反射鏡）  ：アルミ集光
照射距離：１００ｍｍ（ランプ表面〜表示パネル用ガラス基板の表面まで）
表示用ガラス基板に対する照射角度：１５度
照度計  ：ＵＶＰＸ−Ｇ１（岩崎電気（株）製）
ガラス基板：ＬＣＤ用無アルカリガラス（５０ｍｍ×５０ｍｍ×１ｍｍ）
シール材：ガラス基板貼合わせ用シール材
評価方法：シール材反応率
【００３２】
また、比較対照のために行なった従来方法の試験条件は以下のとおりである。
ランプ  ：メタルハライドランプ×１灯（岩崎電気（株）製  Ｍ０８−Ｌ４１）
照射器（反射鏡）  ：コールドミラー集光
照射距離：４００ｍｍ（ランプ表面〜表示パネル用ガラス基板の表面まで）
基板に対する照射角度：１５度
照度計  ：ＵＶＰＦ−Ａ１／ＰＤ−３６５（岩崎電気（株）製）
ガラス基板：ＬＣＤ用無アルカリガラス（５０ｍｍ×５０ｍｍ×１ｍｍ）
シール材：ガラス基板貼合わせ用シール材
評価方法：シール材反応率
【００３３】
なお、従来の光源はメタルハライドランプを用いて連続放電させていたが、本実施形態ではパルス照射専用に開発されているパルス発光用のパルスドキセノンランプを用いている。原理的にキセノンランプでないとパルス状に発光させることはできない。なお、通常のランプの場合、電力をワット（Ｗ）で表示するが、パルス照射の場合は間欠的な放電になるためにワットで表せないのでランプに投入する電気的エネルギー（ジュールＪ）で表示している。
【００３４】
上記の本試験では、無アルカリガラスにシール材を塗布して重ね合わせ、シール材の一部が遮光されるように遮光テープを貼り、照射時間を変えながらシール材の深さ方向の反応率を観察した。測定結果は下記の表１に示す通りである。
【００３５】
【表１】
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【００３６】
ここで、シール材の深さというのは、シール材の外側を基準としてガラス水平面に沿ってシール材の内側方向に入った距離をいう。表１中の８００μｍはシール材の一番深いところ（内側の端縁）までの距離である。また、反応率とは、シール材の分子構造に存在する二重結合の量を測定して百分率で表示したものである。反応率が１００％近くまで到達していれば硬化したと判断することができる。また、シール材の内側に行くほど光は入りにくいので当然固まりにくくなる。なお、本発明は、上記の試験で用いたランプや条件等に限定されるものではない。
【００３７】
表１から分かるように、上記の本試験によれば、従来方法よりも短時間に、且つ深く硬化させることができることを確認できた。従来、例えば３０秒照射で得られた特性は、本実施形態によると、５秒で達成することができる。また、シール材部分以外の温度は、従来約５０℃（温度上昇２５ｄｅｇ）であったが、本実施形態では、２７℃（同２ｄｅｇ）であった。シール材塗布部でも、本実施形態は、約４５℃（同２０ｄｅｇ）であり、従来方法よりも熱的な影響が非常に少ないことが確認できた。
【００３８】
上記の本実施形態によれば、硬化させるシール材の部分にのみパルス状に紫外線を照射し、他の部分には光を照射しないので、従来の装置で紫外線が液晶に当たらないようにするために設けていたマスク材は不要となり、また、従来の装置に比べて省電力化を図ることができる。更に、照射する光をパルス状とすることにより、連続発光させる従来の装置に比べて高照度の光を照射することができ、更に温度上昇の低減を図ることができる。
【００３９】
また、上記の本実施形態によれば、ランプに供給する電力、例えばパルス電圧の最高値或いは１回の照射時に供給するパルスの数やパルスの幅を調整することにより、シール材の材質、塗布量、硬化状況、位置等に応じて、適量の紫外線を照射してシール材を効率良く確実に硬化させることができる。
【００４０】
また、本実施形態では、型枠状のシール材の各辺に対応する位置で一旦止まって紫外線を照射するので、マザーガラス基板上に配置した表示板の数が多くなると、従来の連続照射方法に比べて、合計処理時間が長くなる場合あるが、この場合でも、複数台の照射装置を使用すれば、一ヶ所毎に停止して照射しても合計処理時間を従来方法と略同様とすることができる。更に、照射装置を停止せずに、移動しながら、所定のタイミングでパルス状に照射することも可能である。この方法によれば、合計処理時間は従来方法と同じとなる。
【００４１】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、大型の表示パネル用ガラス基板のシール材を硬化させるときには、図８に示すように、複数のランプ２３を千鳥状に配置して、パルス状の紫外線を照射するようにしてもよい。なお、図８は、本発明の他の実施形態を示す概略平面図であり、上述した実施形態の図６に対応するものである。したがって、図８において図６と同一の機能を有するものには、同一の符号を付することにより、その詳細な説明を省略する。
【００４２】
また、本発明は、照射装置をシール材の上方に垂直に配置して紫外線を照射し、シール材を先ず仮硬化させた後に本硬化させるようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、必要な場所にのみ光を照射するので、エネルギーロスや熱的影響が非常に少なく、また、光をパルス状に照射するので、非常に高い照度が得られ、シール材の硬化速度が向上し、生産性が向上する。
【００４４】
また、本発明によれば、表示パネル用ガラス基板に対して斜めから照射することにより、更に硬化特性が向上する。
【００４５】
また、本発明によれば、シール材の位置や硬化状況に応じて照射手段に供給する電力調整することにより、均一な硬化特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法により形成される液晶表示装置の表示パネルの構成を模式的に表わした図である。
【図２】液晶表示装置の表示パネルの製造方法を説明するための図である。
【図３】従来の紫外線照射方法を説明するための図である。
【図４】従来の紫外線照射方法を説明するための図である。
【図５】本実施形態であるシール材硬化装置の構成を示す概略側面図である。
【図６】本実施形態であるシール材硬化装置の概略平面図である。
【図７】本実施形態のシール材硬化装置の動作を説明するための図である。
【図８】本発明の他の実施形態を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１０：シール材硬化工程の表示パネル用ガラス基板    １１：液晶
１３：シール材    ２０：照射装置    ２１：筐体    ２２：反射鏡
２３：  ランプ    ２４：石英ガラス板    ２５：補助反射鏡
３０：制御部    ５０：表示パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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