(57)【要約】【課題】ある障害が基本要因となって複数のアラームが発生しても、真の障害を迅速に把握できるようにする。【解決手段】予め一の障害が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数のアラームの組合わせを、基本要因となる障害と関連づけて、登録障害発生パターンとしてデータベース１２に登録する。装置１に起きた障害が基本要因となって複数のアラームが発生すると、その情報はパターン形成手段１１によりパターン化されて検出障害発生パターンとなる。このパターンはデータベース１２からの登録障害発生パターンと比較手段１３によって比較され、一致が得られると、絞込み手段１４により一致が得られた登録障害発生パターンから、複数のアラームの基本要因となる障害が絞り込まれる。絞り込みにより、複数のアラームの中から基本要因に対応したアラームのみを管理コントローラ４に通知する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置に障害等の動作が起ったとき、その動作が基本要因となって同時又は特定の時間内に複数の動作状況に係る情報を発生する半導体製造装置において、
予め前記動作が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数の動作状況に係る情報のパターンを、前記基本要因となる動作と関連づけて、登録動作状況パターンとして登録する登録手段と、
実際に発生した同時又は特定の時間内に発生した複数の動作状況に係る情報をパターン化して検出動作状況パターンを形成するパターン形成手段と、
パターン形成手段から出力された検出動作状況パターンを前記登録手段から読み出した登録動作状況パターンと比較する比較手段と、
比較手段で比較一致が得られた登録動作状況パターンから、実際に発生した複数の動作状況に係る情報を、前記登録動作状況パターンと関連づけた基本要因となる動作の動作状況に係る情報に絞り込む手段と
を備えて、前記絞込み手段により絞り込んだ動作状況に係る情報を通知するようにしたことを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置に係り、特に半導体製造装置における処理動作の進行状況や障害発生状況等の動作状況を監視するための装置に関する。
【従来の技術】
半導体製造装置は、装置を監視する制御コントローラを備え、制御コントローラは装置の故障や異常を検知した場合、障害発生をアラームとしてホストコンピュータなどの管理コントローラに対して通知する。この通知を受け取った管理コントローラは、その通知に基づいて制御コントローラに指令を出し、半導体製造装置の処理実行を停止させるようになっている。
【０００２】
この際、半導体製造装置の稼働率や生産性の向上の観点から、ウェーハなどの基板の生産に重大な障害が発生した場合、その復旧時間を低減させることが大きな課題となっている。つまり、早急にその障害発生を検知し、原因を解析し、その対策を実施して、装置故障時間を低減させなければならない。
【０００３】
そこで、従来は、装置エンジニアが半導体製造装置の障害発生状況を迅速に把握するために、管理コントローラを利用して、障害発生と同時に電子メールやページャ等の通信媒体によって、その障害発生を装置エンジニアへ自動通知する手法が取られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年、半導体製造装置は半導体ウェーハの大口径化、微細化に伴い、高性能化、複雑化している。高性能化、複雑化する半導体製造装置では、ある一つの故障や異常などの障害発生によって様々なセンサが同時に複数の障害を検出し、それを監視する制御コントローラはそれらを一つ一つ障害情報として認識してしまう。これらの認識された複数の障害情報は、全てホストコンピュータなどから構成される管理コントローラに送信され、その障害発生が管理コントローラから自動的に装置エンジニアへ通知される。このため装置エンジニアへの通知数が増大し、受信した障害情報の中から重要な障害情報を発見して真の障害原因を検知することが困難となり、迅速な障害対策ができなかった。
【０００５】
この問題は、障害発生状況に係る情報に限定されない。処理動作の進行状況など広く動作状況に係る情報にも共通する。例えば、処理動作の進行状況についていえば、これが錯綜すると、真の進行状況を迅速に把握できなくなる場合があるからである。
【０００６】
本発明では、上述した従来技術の問題点を解消して、ある動作が基本要因となって複数の動作状況に係る情報が発生しても、動作状況の迅速な把握を可能とする半導体製造装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、装置に障害等の動作が起ったとき、その動作が基本要因となって同時又は特定の時間内に複数の動作状況に係る情報を発生する半導体製造装置において、予め前記動作が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数の動作状況に係る情報のパターンを、前記基本要因となる動作と関連づけて、登録動作状況パターンとして登録する登録手段と、実際に発生した同時又は特定の時間内に発生した複数の動作状況に係る情報をパターン化して検出動作状況パターンを形成するパターン形成手段と、パターン形成手段から出力された検出動作状況パターンを前記登録手段から読み出した登録動作状況パターンと比較する比較手段と、比較手段で比較一致が得られた登録動作状況パターンから、実際に発生した複数の動作状況に係る情報を、前記登録動作状況パターンと関連づけた基本要因となる動作の動作状況に係る情報に絞り込む手段とを備えて、前記絞込み手段により絞り込んだ動作状況に係る情報を通知するようにしたことを特徴とする半導体製造装置である。
【０００８】
登録手段に、予め、ある動作が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数の動作状況に係る情報のパターンを、基本要因となる動作と関連づけて登録動作状況パターンとして登録しておく。実際に、装置に障害等の動作が起き、その動作が基本要因となって実際に同時又は特定の時間内に複数の動作状況に係る情報が発生すると、その複数の動作状況に係る情報はパターン形成手段によりパターン化されて、パターン形成手段から検出動作状況パターンとして出力される。この検出動作状況パターンは、比較手段によって登録手段から読み出した登録動作状況パターンと比較される。比較手段で比較一致が得られると、絞込み手段により比較一致が得られた登録動作状況パターンから、検出動作状況パターンの基本要因となる動作が絞り込まれる。これにより、半導体製造装置は、複数の動作状況に係る情報の中から基本要因に対応した動作状況に係る情報を絞り込むことが可能となる。したがって、障害等の動作が起った場合、その動作が基本要因となって複数の動作状況に係る情報が発せられたときでも、その複数の動作状況に係る情報の中から、それらの動作を惹起している真の動作要因を迅速に見い出すことができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、前記半導体製造装置を管理する管理コントローラを備え、前記管理コントローラは前記絞り込んだ動作状況に係る情報を前記半導体製造装置から通知され、前記半導体製造装置のリモートメンテナンス時などの管理時に、前記通知に基づいて管理データを前記半導体製造装置に送信するようにした半導体製造装置システムである。管理コントローラに通知された動作状況に係る情報に基づいて管理コントローラは、半導体製造装置に対して、リモートメンテナンスなどの管理を行なうが、その際、管理コントローラから半導体製造装置に送信する管理データは、絞り込まれた動作状況に係る情報に基づいて作成されるので、絞り込まれていない場合と比較して管理データ量を減らすことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明する。ここでは、動作状況が処理動作の進行状況ではなく、障害発生状況である場合について説明する。
【００１１】
図３は、実施の形態の半導体製造装置システムの構成図である。半導体製造装置システムは、複数の半導体製造装置を管理コントローラによって管理するシステムであり、複数の半導体製造装置１、各半導体製造装置１に設けられた制御コントローラ２、各制御コントローラ２、管理コントローラ４とから構成される。
【００１２】
［半導体製造装置］
半導体製造装置１は、例えばバッチ式の縦型処理装置で構成される。処理装置は、処理炉、ボートの他に、基板搬送ロボット、ボートエレベータなどの機構部を備える。基板搬送ロボットによって多数枚の基板をボートに積載し、ボートエレベータにより、ボートを処理炉内に搬入する。搬入後、レシピに基づいた温度制御やガス流量制御、圧力制御などのプロセス制御によって、所定の温度、圧力条件の下で処理ガスが導入されて、成膜などの処理が行われる。なお、複数の半導体製造装置１間は、専用の装置間ネットワークで接続されている。
【００１３】
［制御コントローラ］
制御コントローラ２は、温度制御やガス流量制御などのプロセス制御や、基板搬送ロボットやボートエレベータなどの機構部を監視し、各機構部へ動作指示を行うために半導体製造装置１内に設置され、半導体製造装置１外の管理コントローラ４とＬＡＮ、ＷＡＮ、インターネットなどで構成されるネットワーク３で接続される。
【００１４】
半導体製造装置１内には、プロセス制御や機構部の動作状態を監視し異常を検知するための各種のセンサ（図示せず）が設置されている。そのセンサ情報を制御コントローラ２で取り込み、予め制御コントローラ２において設定しておいた正常値の範囲を超える値をセンサ情報から検出した場合、制御コントローラ２は動作異常と判断し、アラームを発生する。ここでアラームにはアラーム情報も含まれる。
【００１５】
動作異常の判断対象となる障害は、基本的に制御装置コントローラ２で検出される全ての障害とする。障害には、例えば、処理炉の温度や圧力が所定値を超えて上昇したとき、基板の搬送中で基板が落下してしまったとき、閉っているべきゲートバルブが開いているにも拘らずプロセスが実行されてしまったとき、基板搬送中のロボットが異常停止したとき、ラジエータ部からの漏水によりヒータ電源が遮断したときなどがある。これらの障害が発生すると、制御装置コントローラ２はアラームを発生し、アラーム発生と同時にネットワーク３を介して管理コントローラ４にアラームの通知を行う。ここで、アラーム情報とは、少なくとも、アラームの発生する装置の名称、アラームを特定するアラームＩＤ、アラーム名を含んだ情報であり、さらにこれらの情報にアラームが生じたときに実行していたレシピ名、アラームが生じたときのステップ名などが加わる場合もある。
【００１６】
［管理コントローラ］
管理コントローラ４は、複数の半導体製造装置１群の監視、管理を行うために半導体製造装置の外部に設置され、ネットワーク３によって複数の制御コントローラ２と接続される。管理コントローラ４とネットワーク３との間は、例えばイーサネット（登録商標）やＩＳＤＮなどによって接続される。管理コントローラ４は、制御コントローラ２で収集される各種モニタデータや制御コントローラ２から通知されたアラームなどの情報を、記録媒体５に収集して管理を行う。また、管理コントローラ４は、ＬＡＮやインターネットを介して専用の装置間ネットワーク以外のネットワーク機器と接続される。このネットワーク機器はウェブサーバ機能を備えており、ウェブ、ブラウザを利用して半導体製造装置情報の閲覧や半導体製造装置１への命令の実行を行う機能を備えている。また、管理コントローラ４は制御コントローラ２からアラームが通知されると、予め設定してある電子メールアドレスやページャ番号に対して自動で障害発生を通知する機能を備えている。
【００１７】
［障害分析通知装置］
前述した制御コントローラ２内に障害分析通知装置６が設けられる。障害分析通知装置６は、複数の障害を分析して単一の障害として通知する機能を有する。前述したように制御コントローラ２は、半導体製造装置１に、ある一つの障害が起ったときでも、その障害が基本要因となって複数のアラームを発生してしまう場合がある。このアラームの輻湊を解消するために、制御コントローラ２内に障害分析通知装置６を設ける。図１に示すように、障害分析通知装置６は、障害発生状況を判定する判定手段１０、検出障害発生パターンを形成するパターン形成手段１１、登録手段としてのデータベース１２、比較手段１３、及び絞込み手段１４から構成される。
【００１８】
判定手段１０は、制御コントローラ２が半導体製造装置群の障害発生状況を監視してアラームを発生したとき、このアラームが同時又は特定の時間内に発生した複数のアラームであるか否かを判定し、同時又は特定の時間内に発生した複数のアラームであると判定したとき、パターン形成手段１１に複数のアラームのアラーム情報を送る。ここで、複数のアラームの発生状況を同時発生と、特定の時間内発生とに限定したのは、ある一つの故障や異常などの障害によって複数のアラームが発生する場合には同時発生する場合が多く、また複数のアラームが発生する時間が特定の時間を越えると、一つの障害ではなく、むしろ複数の障害に起因していると考えられるからである。
【００１９】
パターン形成手段１１は、同時又は特定の時間内に発生した複数のアラーム情報をパターン化（分析）して、検出障害発生パターンを形成する。ここでパターン化とは、例えば検出された各アラーム情報から、装置名称、アラームＩＤ、アラーム名を抽出し、さらに対象装置、対象レシピ名、対象ステップ名を抽出する操作である。また、検出障害発生パターンとは、上記操作によって抽出された複数のアラーム情報の各要素を組み合わせたものである。また、複数のアラーム情報をパターン化して検出障害発生パターンを形成するのは、検出障害発生パターンを、予め登録されている登録障害発生パターンと照合して、これを属すべきカテゴリ（単一の障害）に対応づけるためである。
【００２０】
データベース１２は、予め、一の障害が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数のアラーム情報のパターンを、基本要因となる障害と関連づけ、登録障害発生パターンとして登録する記録媒体である。すなわち、データベース１２には、障害要因毎にカテゴリ化された障害発生パターンが複数登録されている。ここで、登録障害発生パターンとは、基本的には検出障害発生パターンと同じであり、異なる点は、予め登録されるものであって、かつ基本要因毎にカテゴリ化されている点である。基本要因となる障害は１つであることが好ましいが、実際に発生した複数のアラームの数が絞り込めるのであれば、２つ以上であってもよい。
【００２１】
比較手段１３は、パターン形成手段１１から出力される検出障害発生パターンと、データベース１２から読み出される登録障害発生パターンとを比較照合して、比較一致が得られたとき、一致出力を出すように構成される。
【００２２】
絞込み手段１４は、比較手段１３から比較一致出力が得られたとき、そのときの登録障害発生パターンと関連づけられた障害に基づいて、複数のアラームから基本要因となるアラームを絞り込み、その絞り込んだアラームをアラーム情報とともに管理コントローラ４に通知する。
【００２３】
上記のような半導体製造装置システムの構成における作用を説明する。上記したような構成において、予めデータベース１２に、一の障害が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数のアラーム情報のパターンを、基本要因となる障害と関連づけて登録障害発生パターンとして複数登録しておく。
【００２４】
半導体製造装置が稼働すると、図２に示すように、制御装置コントローラ２がアラームの発生を監視する（ステップ１０１）。障害が発生してセンサが異常を検知するとアラームが発生する。アラームが検知されると、その障害が同時又は特定の時間内に発生した所定の複数アラームか否かが、障害分析通知装置６の判定手段１０で判定される（ステップ１０３）。所定の複数アラームではないと判定されると、検出したアラームはそのまま管理コントローラ４に通知（通常の通知）される（ステップ１１３）。
【００２５】
複数のアラームが同時又は特定の時間内に発生したものであると判定されると、その複数のアラーム情報はパターン形成手段１１に入力され、パターン形成手段１１によって検出障害発生パターンが形成される（ステップ１０５）。この検出障害発生パターンは、比較手段１３によってデータベース１２から読み出した登録障害発生パターンと比較され、比較一致が得られるか否かが判定される（ステップ１０７）。比較手段１３で比較一致が得られない場合は、単一の障害でない、又は登録されたパターン中に含まれないパターンであるとして、検出したアラームはそのまま管理コントローラ４に通知される（ステップ１１３）。
【００２６】
比較手段１３で比較一致が得られると、絞込み手段１４により比較一致が得られた登録障害発生パターンから、検出障害発生パターンの基本要因となる障害が絞り込まれる（ステップ１０９）。これにより障害分析通知装置６は、複数のアラームの中から基本要因となるアラームを特定し、単一の真の障害要因としてのアラームを管理コントローラ４に通知する（ステップ１１１）。
【００２７】
上述したように実施の形態によれば、半導体製造装置１の障害要因毎にカテゴリ化された障害発生パターンをデータベース１２で管理し、監視対象装置から同時に複数のアラームが制御コントローラ２で検出された際には、これをパターン化し、登録されている障害発生パターンと照合し、一致した場合には複数のアラームの要因を認知し、単一のアラームとして通知を行うように構成されている。したがって、複数のアラームが発せられたときでも、制御コントローラ２から装置エンジニアへの障害発生通知数が単一になるか或は低減するから、その中から重要な情報を取り出して真の障害要因を迅速に見い出すことができ、迅速な障害対策ができる。
【００２８】
また、ある一つの故障によって様々なセンサやサブ制御コントローラから同時に複数のアラームが発生しても、それを制御する制御コントローラがそれらを一つ一つ検出してしまうことを回避できる。更に、障害発生通知に障害原因の予測や、チェックする項目を付加することによって、障害発生状況の把握、障害原因の解析をより迅速に行うことも可能である。
【００２９】
また、半導体製造装置システムでは、管理コントローラ４は、絞り込んだアラームを半導体製造装置１からの通知に基づいて、半導体製造装置１のリモートメンテナンス時などの管理時に、管理データを半導体製造装置１に送信して、リモートメンテナンスなどの管理を行なう。その際、管理コントローラ４から半導体製造装置１に送信する管理データは、絞り込まれたアラーム情報に基づいて作成されるので、絞り込まれていない複数のアラーム情報に基づいて作成される場合に比して、管理データ量を大幅に減らすことができる。したがって、管理コントローラ４の記録媒体５のリソースを低減できる。
【００３０】
なお、実施の形態では、動作状況が障害発生状況である場合について説明したが、本発明は処理動作の進行状況を把握する場合についても適用できる。処理動作の進行状況である場合には、異常を検知するためのセンサに代えて、搬送処理などの進行状況を検出するためのセンサを設置する。また、異常検知及び進行状況検出の両方のセンサを設置して、障害発生状況と進行状況の両方を把握するようにしてもよい。
【００３１】
また、実施の形態では、ウェブブラウザを使って登録障害発生パターンを登録する際、直接データベース１２に登録しているが、管理コントローラ４内の記録媒体５に一旦登録してから、制御コントローラ２内のデータベース１２に転送してもよい。また、判定手段１０は、パターン形成手段１１とは別に構成しているが、判定手段１０をパターン形成手段１１に含ませてもよい。
【００３２】
【実施例】
つぎに上述したデータベースへの障害発生パターン登録手順の実施例を説明する。
【００３３】
［障害パターン登録手順］
データベース１２で管理する登録障害発生パターンの登録方式には次の３つの方法がある。
Ａ．制御コントローラ２に登録されている全てのアラーム情報から手動で登録する。
Ｂ．制御コントローラ２で実際に検出されたアラーム情報から手動で登録する。
Ｃ．制御コントローラ２で実際に検出されたアラーム情報から自動で登録する。
【００３４】
以下にそれぞれについて説明する。
Ａ．制御コントローラ２に登録されているすべてのアラーム情報から手動で登録する方式
この方式は、過去、現在と全くアラームが発生していない状態で新規に登録する場合である。管理コントローラ４のウェブ・ブラウザ上で、各制御コントローラ２にあらかじめ登録されているアラームを一覧表示させ、そのなかからユーザが選択して登録する。選択登録は、予め、特定の障害が基本要因となって同時又は特定の時間内に発生する複数のアラーム情報のパターンを、基本要因となる動作と関連づけたデータに基づいて行われる。図４に障害発生パターン新規登録画面２０を示す。この画面にユーザインタフェースとしての複数の入力画面及び選択画面が示され、項目を選択して入力すれば、パターン情報、選択されたデータはデータベース１２へ送られ、登録障害発生パターンとして記録される。
【００３５】
データベース１２に登録される登録障害発生パターンは、固有の発生パターン名で管理され、インタフェースは装置名称、複数のアラーム、その発生間隔から構成され、オプションとしてさらに対象装置、対象レシピ名、対象ステップ名を加えて構成することができる。登録障害発生パターンは発生パターン名と関連付けられている。登録障害発生パターンは、次に説明する一連の操作（１）〜（５）により登録される。
【００３６】
（１）発生パターン名入力欄２１に発生パターン名を入力する。入力される発生パターン名が、固有のパターン名称となる。固有のパターン名称は、複数の障害（処理炉の温度上昇、処理炉の圧力上昇、基板落下、ゲートバルブ故障、ロボットの異常停止、ラジエータ部漏水等）が発生したときに、その名称から、複数の障害の基本要因が直ちに理解できるようにネーミングすることが好ましい。例えば、複数の障害の単一の真の障害要因がラジエータ部からの漏水であれば、発生パターン名は「ラジエータ部漏水」になるという具合である。
【００３７】
装置名称欄２２には半導体製造装置の名称が表示される。例えば、機種を特定する型番などである。
【００３８】
（２）登録アラーム一覧表示欄２３では、装置に発生する全てのアラーム（ＡＬＡＲＭ００１〜ＡＬＡＲＭ９９９（アラーム名））から、複数のアラームを選択し、選択されたアラームの組合わせを発生パターンとして設定する。表示欄２３横のスクロールバー２４を操作することで全てのアラームを表示できる。図示例では、３つのアラーム名をもつアラーム（ＡＬＡＲＭ００１、ＡＬＡＲＭ００２、ＡＬＡＲＭ００４）が選択され、選択されたアラームのＩＤ（数字００１〜９９９）の前に付されている○印が●印に変換されて、これらが選択状態にあることを示している。
【００３９】
ここで上述したように３つのアラームを選択することの意味について説明する。例えば、「ラジエータ部からの漏水」が基本要因となって次のような３つのアラームが連鎖的に発生することが、経験則から分っているとする。
（ａ）ヒータ電源ＢＯＸ　ＡＣ２００Ｖ停電（ＡＬＡＲＭ００１）
（ｂ）ラジエータ部からの漏水（ＡＬＡＲＭ００２）
（ｃ）処理炉の昇温不良（ＡＬＡＲＭ００４）
この場合、発生パターン名「ラジエータ部漏水」と関連付ける発生パターンとして（ａ）〜（ｃ）の３つのアラームの組合わせを選択する。
【００４０】
（３）発生間隔入力欄２５には、アラームを受信してからパターン照合するまでの時間を発生間隔として設定する。設定した発生間隔内で、実際に複数のアラームが発生したとき、その複数のアラームに係るパターンが比較対象となる。
【００４１】
（４）監視対象となる対象装置はラジオボタン２６にて選択する。ここでは、装置間ネットワークに接続されているすべての装置「すべて」、又は同一型名で同一の膜種の装置「同一装置」、障害発生パターン新規登録画面Ｌに表示中の装置（装置名称欄に表示された装置）のみ「この装置のみ」のなかから選択する。ここでは「すべて」が選択されている。
【００４２】
（５）対象レシピ名入力欄２７では、パターン照合するレシピ名を設定する。対象レシピ名入力欄２７が未設定の場合は、全てのレシピでパターン照合するようになっている。対象ステップ名入力２８欄では、パターン照合するステップ名を設定することができる。対象ステップ名入力２８欄が未設定の場合は、全てのステップでパターン照合するようになっている。対象レシピ名、及び対象ステップ名が設定されている場合は、登録時にそのレシピ名及びステップ名が対象装置に存在するかをチェックするようになっている。
【００４３】
（６）障害発生パターン新規登録画面２０において、全ての設定が終了したら、ＯＫボタン２９を押してデータベース１２への登録障害発生パターンの登録を完了する。登録完了により、発生パターン名によって特定される障害が基本要因となって、同時又は特定の時間内に発生する複数のアラーム情報のパターンが、その基本要因となる障害と関連づけられて、登録障害発生パターンとしてデータベース１２に登録される。
【００４４】
上記（１）〜（６）操作を繰り返し行うことによって、予めデータベース１２にパターン照合可能な複数の登録障害発生パターンを登録する。
【００４５】
Ｂ．制御コントローラで実際に検出されたアラーム情報から手動で登録する方式
この方式は過去に発生したアラームからオペレータが登録を行う場合である。
ウェブ・プラウザ上で半導体製造装置１で発生したアラームを一覧表示し、ユーザがそれを選択し登録する。図５に障害発生パターン履歴登録画面３０を示す。
【００４６】
履歴アラーム一覧表示欄３３では、装置アラーム情報が日時順で一覧表示され、それらの中から、複数のアラームを選択することによって、発生パターン名に対応する登録障害発生パターンの登録を行う。
【００４７】
障害発生パターン履歴登録画面３０の他のインタフェースである発生パターン名入力欄３１、装置名称欄３２、発生間隔入力欄３５、及び対象装置のラジオボタン３６は、上記Ａの方式とほぼ同じであるが、対象レシピ及び対象ステップの選択はラジオボタン３７、３８でそれぞれ選択することができる。障害発生履歴登録画面３０において、全ての設定が終了したら、ＯＫボタン３９を押して登録障害発生パターンの登録を完了する。この一連の登録作業を繰り返して複数の登録を行う。
【００４８】
Ｃ．制御コントローラで実際に検出されたアラーム情報から自動で登録する方式
ユーザが予めパターン登録に関する条件を設定しておき、その条件に合致する場合に自動的に登録障害発生パターンと認識して登録する方式である。自動登録は、装置から障害の全ての要因が取り除かれた後、オペレータが装置を稼働（アクティベート）した後、上記条件に合致したアラームが生じたとき、それを登録障害発生パターンとして認識する（重複アラームＩＤ、レシピ、ステップ等）。ただし、オペレータは発生パターン名は入力する必要がある。パターンはデータベース１２上でアラームと同様にＩＤで認識されており、発生パターン名が入力されていない状態では、例えばパターン００１として認識される。パターン認識のための条件としては、例えばつぎのようなものが挙げられる。
【００４９】
▲１▼［対象装置１］［レシピＡ］［ステップα］において［３つの連続したアラーム］が発生するケースが［３回］認識される。
▲２▼［５つの連続したアラーム］か発生するケースが［４回］認識される。
上述した▲１▼の場合は、特定の装置の、特定のレシピの、特定のステップにおいて、限定しない連続した３つアラーム発生をパターンと認識するには、３回その状態が再現される、というものである。▲２▼の場合は、装置やレシピ、ステップは特定せず、５つのアラーム発生をパターンとし、そのパターンか４回再現された場合にパターン登録を行うというものである。
【００５０】
［障害パターン認識方法］
次に、実際に発生したアラームに基づいて形成された検出障害発生パターンがどのように認識されるかについて説明する。
【００５１】
図６に、検出障害発生パターン認識例を示す。検出障害発生パターンの照合方法は、検出障害発生パターンのアラームが、データベース１２に登録されている登録障害発生パターンのアラーム順に連続して発生している場合であってもいいし、登録されているアラームとは順不同で発生している場合であってもいい。図示例では、データベース１２に登録されている登録障害発生パターンは、便宜上、発生パターンＡと、発生パターンＢとの２つだけとしてある。実際に発生した検出障害発生パターンはＡである。発生パターンＡの登録内容はアラームＩＤ００１、００２、００４が発生間隔１０秒以内で同時に発生し、発生パターンＢの登録内容は、００１、００２、００３が発生間隔１０秒以内で同時に発生するというものである。したがって、実際に発生した検出障害発生パターンをデータベース１２に登録された登録障害発生パターンＡまたはＢと比較すると、検出障害発生パターンＡは登録障害発生パターンＡと一致する。一致した登録障害発生パターンＡに関連づけられた、固有の「発生パターン名」で、真の障害発生要因が速やかに分り、障害通知メッセージを統一化できる。なお、統一する障害通知メッセージには障害発生パターンから予測される原因、チェックする項目などの解析を支援するために必要な情報、例えば個々のアラームの内容やそのときのレシピ実行データ等を付加することができる。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、ある動作が基本要因となって複数の動作状況に係る情報が発生しても、真の動作状況を迅速に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態による半導体製造装置システムの制御系（障害分析通知装置）を説明するブロック図である。
【図２】実施の形態による障害分析通知装置のフローチャートである。
【図３】実施の形態による半導体製造装置システムの構成図である。
【図４】実施の形態による障害発生パターン新規登録画面を示す説明図である。
【図５】実施の形態による障害発生パターン履歴登録画面を示す説明図である。
【図６】実施の形態による発生パターン照合例を示す説明図である。
【符号の説明】
１　　半導体製造装置
２　　制御コントローラ
４　　管理コントローラ
６　　障害分析通知装置
１０　　判定手段
１１　　パターン形成手段
１２　　データベース（登録手段）
１３　　比較手段
１４　　絞込み手段
【図１】
2004127989.tif 000003
【図２】
2004127989.tif 000004
【図３】
2004127989.tif 000005
【図４】
2004127989.tif 000006
【図５】
2004127989.tif 000007
【図６】
2004127989.tif 000008