(57)【要約】【課題】放電加工において、加工速度や加工面あらさなどの放電加工特性を改善する。【解決手段】放電加工装置に、被加工物及び電極の極間電圧を検出する放電状態検出部と、この極間電圧検出部により検出された上記極間電圧に基づいて、上記被加工物及び電極間の距離を制御すべく上記電極の軸送りを制御する電極位置制御部と、この電極位置制御部において、上記電極の軸送り速度を制御する際に、上記放電応対検出部で検出された電圧が、所定の電圧感帯内である場合に予め定められた放電サーボ速度に比例した軸送り制御を行い、所定の電圧感帯を外れた場合に軸送り速度に制限をかける放電サーボ制限部と、を備えた。【選択図】        図１
2004188550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物及び電極の極間電圧を検出する放電状態検出部と、この極間電圧検出部により検出された上記極間電圧に基づいて、上記被加工物及び電極間の距離を制御すべく上記電極の軸送りを制御する電極位置制御部と、この電極位置制御部において、上記電極の軸送り速度を制御する際に、上記放電応対検出部で検出された電圧が、所定の電圧感帯内である場合に予め定められた放電サーボ速度に比例した軸送り制御を行い、所定の電圧感帯を外れた場合に軸送り速度に制限をかける放電サーボ制限部と、
を備えたことを特徴とする放電加工装置。
【請求項２】
放電サーボ制限部による軸送り制御は、予め定められた放電安定領域以外の領域で、放電サーボ速度が増加しないように設定することを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項３】
放電サーボ制御部による軸送り制御は、被加工物及び電極の極間電圧が放電サーボ制御における基準電圧より低い領域で多くの軸送り制御を制限することを特徴とする請求項１または２に記載の放電加工装置。
【請求項４】
電圧感帯をＶＴminとＶＴmaxで設定する電圧範囲とし、電圧感帯における最小値ＶＴminは、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して１０〜４０％程度となるように設定することを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項５】
電圧感帯をＶＴminとＶＴmaxで設定する電圧範囲とし、電圧感帯における最大値ＶＴmaxは、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して６０〜９０％程度となるように設定することを特徴とする請求項１または４に記載の放電加工装置。
【請求項６】
被加工物及び電極の極間電圧を検出する放電状態検出部と、この極間電圧検出部により検出された上記極間電圧に基づいて、上記被加工物及び電極間の距離を制御すべく上記電極の軸送りを制御する電極位置制御部と、を備えた放電加工装置において、
上記放電応対検出部で検出された電圧が、所定の電圧感帯内である場合に予め定められた放電サーボ速度に比例した軸送り制御を行い、所定の電圧感帯を外れた場合に軸送り速度に制限をかけることを特徴とする放電加工方法。
【請求項７】
この軸送り制御に対する電極逃げ時の制御は、電圧感帯における最小値ＶＴminとして、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して１０〜４０％程度となるように設定することを特徴とする請求項６に記載の放電加工方法。
【請求項８】
この軸送り制御に対する電極送り時の制御は、電圧感帯における最大値ＶＴmaxとして、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して６０〜９０％程度となるように設定することを特徴とする請求項６または７に記載の放電加工方法。
【請求項９】
１０〜３０μＨのインピーダンスと、１０〜３０Ωの抵抗を持つＬＲ回路を基本構成とする直流電源回路を用い、電極を陰極、被加工物を陽極として加工を行うことを特徴とする請求項６乃至８何れかに記載の放電加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工具電極と被加工物間の放電電圧を検出し、軸制御を行う放電加工装置及び放電加工方法に関し、特に仕上加工回路に適したものである。
【０００２】
【従来の技術】
本願明細書で説明する放電加工とは、加工液中に設けられた工具電極と被加工物間（以下、加工間隙と称す）に放電を生じさせて被加工物を加工液中で溶融除去するものである。
この放電加工においては、加工間隙を適正な距離に保ち、放電を効率良く維持するために、例えば、特開平９−１１０４２号公報に示される如く、加工間隙の放電電圧を検出してその時々刻々の放電電圧の変化に対して軸制御（以下、放電サーボ制御と称す）を行い、加工中の放電の安定性を維持している。
つまり、放電電圧の最大値と最小値の平均を基準電圧として予め設定し、時々刻々変化する実加工時の加工間隙に発生する放電電圧と比較することにより、放電電圧が基準電圧より低い場合には加工電極が逃げる（加工間隙が広がる）ような動作を行い、放電電圧が基準電圧より高い場合には逆に加工電極を押し込む（加工間隙を狭める）ような、検出した放電電圧の変動に比例させたサーボ速度で軸制御動作を行い、基準電圧での加工を維持するように制御を行っている。
なお、一般的に行われる放電サーボ制御では、制御に用いる放電電圧として認識する放電電圧の最大値は、設定放電電圧値（放電電圧波形のＶmax、或いは無負荷電圧、印加電圧と呼ばれる）であり、最小値は０Ｖである。
【０００３】
また、場合によっては加工に用いるパルス供給の電源方式（例えばトランジスタ方式、コンデンサ方式など）によっては、放電サーボ制御に用いる放電電圧として認識する放電電圧の最大値と最小値を別途設定して、例えば最大値を設定放電電圧より小さく、最小値を０Ｖよりも大きくすることがある。
一例としては、放電加工における例えば荒加工時であれば、放電電圧の平均値に対して、比例制御させる範囲を低め（基準電圧を低め）に設定して工具電極を押し込むような制御を行い、仕上加工時であれば、放電パルス幅が短くなり放電発生の周期が大きくなることから加工内容や状態によって放電電圧の変動が激しいため、比例制御させる範囲を高め（基準電圧を高め）に設定して工具電極が逃げるように制御する。
なお、工具電極を逃がすように設定することで、放電は安定して行われるようになるが、逃がし過ぎると加工時間が遅くなる。
このように、従来の放電サーボ制御では、放電電圧が０Ｖから基準電圧より低い領域では、極間間隙が狭い加工状態とみなし、基準電圧より高く、設定放電電圧値以下では極間間隙放が広い加工状態とみなし、基準電圧の状態で加工しているときの極間間隙を基準となるように、放電電圧が基準電圧から離れれば離れる（低いまたは高い）ほど速い放電サーボ速度となるように制御し、放電電圧が基準電圧に近づくように制御している。
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１１０４２号公報（第３頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
放電加工において、加工中の電極と被加工物の極間間隙の距離を主軸動作で制御するには、放電電圧を検出し、軸制御の信号に変換して行われることが知られている。
間隙は放電エネルギに依存し、荒加工のように、大きなエネルギの加工では間隙が大きく、仕上加工のように弱いエネルギの加工では、間隙自体が小さい。
そのため、基準電圧時の放電間隙と、放電電圧が低い時の放電間隙との差は、僅か（場合によっては、1ないしは数μm程度）であり、０Ｖから平均電圧に放電サーボが復帰しようとする場合や、放電電圧が高いために送り動作を行う場合には放電間隙の狭い領域で短い周期で速い加工軸の動作が行われると、加工機本体は放電電圧の信号に対する転送時間に対する動作遅れも相まって、サーボ動作が送りと戻りを繰り返す、所謂ハンチング現象が起こり、短絡や集中放電といった異常放電が発生し、加工面の品質を低下させてしまうといった問題がある。
そこで、従来では、放電サーボ速度Ｓを小さく設定し、ハンチングが起こらないようにしているが、作業者などの判断で設定を小さくしすぎてしまうと、加工全体のサーボ速度が小さくなり、加工速度の低下にもつながってしまうことから、該数値の設定には十分な経験や知識を必要とする。
【０００６】
本発明は、上述の如き問題点に着目してなされたものであり、難しい条件設定操作を加工者に強いることなく、放電サーボ制御を最適化し、加工効率の向上、加工の安定化を図ることができる放電加工装置を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る放電加工装置は、被加工物及び電極の極間電圧を検出する放電状態検出部と、この極間電圧検出部により検出された上記極間電圧に基づいて、上記被加工物及び電極間の距離を制御すべく上記電極の軸送りを制御する電極位置制御部と、この電極位置制御部において、上記電極の軸送り速度を制御する際に、上記放電応対検出部で検出された電圧が、所定の電圧感帯内である場合に予め定められた放電サーボ速度に比例した軸送り制御を行い、所定の電圧感帯を外れた場合に軸送り速度に制限をかける放電サーボ制限部と、を備えたものである。
【０００８】
また、放電サーボ制限部による軸送り制御は、予め定められた放電安定領域以外の領域で、放電サーボ速度が増加しないように設定するものである。
【０００９】
また、放電サーボ制御部による軸送り制御は、被加工物及び電極の極間電圧が放電サーボ制御における基準電圧より低い領域で多くの軸送り制御を制限するものである。
【００１０】
また、電圧感帯をＶＴminとＶＴmaxで設定する電圧範囲とし、電圧感帯における最小値ＶＴminは、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して１０〜４０％程度となるように設定するものである。
【００１１】
また、電圧感帯をＶＴminとＶＴmaxで設定する電圧範囲とし、電圧感帯における最大値ＶＴmaxは、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して６０〜９０％程度となるように設定するものである。
【００１２】
また、この発明に係る放電加工方法は、被加工物及び電極の極間電圧を検出する放電状態検出部と、この極間電圧検出部により検出された上記極間電圧に基づいて、上記被加工物及び電極間の距離を制御すべく上記電極の軸送りを制御する電極位置制御部と、を備えた放電加工装置において、上記放電応対検出部で検出された電圧が、所定の電圧感帯内である場合に予め定められた放電サーボ速度に比例した軸送り制御を行い、所定の電圧感帯を外れた場合に軸送り速度に制限をかけるものである。
【００１３】
また、この軸送り制御に対する電極逃げ時の制御は、電圧感帯における最小値ＶＴminとして、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して１０〜４０％程度となるように設定するものである。
【００１４】
また、この軸送り制御に対する電極送り時の制御は、電圧感帯における最大値ＶＴmaxとして、放電電圧の最大値Ｖmaxに対して６０〜９０％程度となるように設定するものである。
【００１５】
また、１０〜３０μＨのインピーダンスと、１０〜３０Ωの抵抗を持つＬＲ回路を基本構成とする直流電源回路を用い、電極を陰極、被加工物を陽極として加工を行うものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下に添付の図を参照して、本発明に係る放電加工装置の実施の形態を説明する。
図１は、この発明による放電加工装置の構成を示した図であり、図２は、本構成における信号の流れを示した図である。
図に示される如く、放電加工装置は、Ｚ軸モータ１によりＺ軸方向に駆動される主軸４と、Ｘ軸モータ２によりＸ軸方向に駆動されるワークテーブル５と、Ｙ軸モータ３によりＹ軸方向に駆動されるワークテーブル６と、ワークテーブル５、６上に設置された加工槽７とを有しており、主軸４には工具電極８が取り付けられている。
また、加工槽７内には加工液が注入されると共に、被加工物Ｗが配置され、工具電極８と被加工物Ｗとが、加工液中で加工間隙をもって相対向し、工具電極８と被加工物Ｗの間に、電源装置９より電力が供給されることで被加工物Ｗの溶融除去が行われる。
なお、Ｚ軸モータ１、Ｘ軸モータ２、Ｙ軸モータ３は、主軸制御手段１３及び揺動条件を軸制御に変換して揺動機能を制御する揺動機能制御手段１４を有した電極位置制御装置１１によって駆動制御される。
【００１７】
工具電極８と被加工物Ｗの間には、放電状態検出装置１０が接続されており、単位時間当りの放電頻度または極間短絡頻度或いは不良放電頻度と、そのときの電極位置、そのときの放電状態を放電電圧として認識して記憶している。
加工条件設定部１２は、パルス幅や休止時間といった放電加工条件の他に、加工液の噴出及び吸引、加工開始時の食付き制御（加工開始時には弱い放電エネルギを設定し、加工の進行に合わせて徐々に本来設定した放電エネルギに上げていく制御動作）、電極及び被加工物の材質等の加工内容について条件を設定するものである。また、加工条件設定部１２は、放電状態検出装置１０と接続され、単位時間当りの放電頻度または極間短絡頻度或いは不良放電頻度と、そのときの電極位置を検出記録した結果から、時々刻々の加工状態の変化に合わせて自動的に加工休止時間などの加工条件の調整を行う、いわゆる、適応制御機能を有する。
【００１８】
感度制御手段１５は、加工条件設定部１２で電圧を検出する範囲を設定し、加工条件設定部１２で設定されている軸送り速度及び基準電圧と、電圧信号変換器１７を介して読み取った放電電圧を示す信号をもとに、放電サーボ制御を行っており、放電サーボ制御部に相当する。
パルスカウンタ１６は、工具電極８と被加工物Ｗの間隙で放電が発生するたびにその信号をカウントアップし、パルスカウンタのサンプリングタイム毎に得られた放電回数を放電状態検出装置１０に転送する。
電圧信号変換器１７は、図３に示すように、工具電極８と被加工物Ｗの間隙の放電電圧Ｖmax（例えば、１００Ｖ程度）を、放電状態検出装置１０で制御できる範囲の信号レベルＳＶ（例えば、５Ｖ程度）に変換する機能を持ち、放電状態を放電電圧で認識できるまで減衰させている。
【００１９】
このように構成された放電加工装置において、加工が行われると、所定の放電状態を転送するサンプリングタイム毎に、電圧信号変換器１７において放電電圧が制御信号レベルに変換された変換信号（図３）が放電状態検出装置１０に放電状態として転送され、記録される。
これら検出記録された放電状態は、電極位置制御装置１１に伝達され、このときの放電状態に合わせて、感度制御手段１５に基づく主軸制御手段１３によるＺ方向主軸４の「送り」や「逃げ」の放電サーボ制御動作、揺動機能制御手段１４に基づくワークテーブル５，６の揺動機能が制御され、所望の加工結果を得るべく加工が継続される。
【００２０】
まず、図４を用いて放電サーボ制御について説明する。
図４においては、設定された放電電圧の最大値と０Ｖとを放電電圧の制御範囲とし、基準電圧をＶmax／２として放電サーボ制御を行っている。
なお、加工状態が基準電圧付近（加工内容や加工条件によってその範囲は異なる）で行われているときには安定加工として定義し、加工状態が基準電圧よりも高いという信号が電圧信号変換器１７から送られた場合には、平均電圧に近づけるように加工軸の送り込み動作を行い、加工状態が平均電圧よりも低いという信号が電圧信号変換器１７から送られた場合には、平均電圧に近づけるように加工軸の逃がし動作を行う。
放電サーボ制御の加工軸の動作速度を放電サーボ速度とし、基準電圧のときには０mm／minとし、基準電圧と時々刻々の放電電圧の差を比較し、その差に対して放電サーボ速度が与えられる。
放電サーボ速度の最大値は予め決められているか、作業者が加工条件設定部１２によって設定することが可能であり、この速度をＳとしたとき、図４に示すように、ある時刻の電圧信号変換器１７からの放電電圧をＶfとすると、そのときの放電サーボ速度Ｓfは、式１で与えられる。
【００２１】
Ｓf ＝ Ｓ×（Ｖf−（Ｖmax／２））／（Ｖmax／２） ・・式１
【００２２】
また、放電サーボが行われているときの放電状態は、図５と図６のような状態となる。
図５では、ある加工条件での安定した加工状態、つまり基準電圧のときの放電間隙をＧ0とすると、放電電圧が高いときは放電間隙が広いことを示し、低いときには放電間隙が狭いことを示す。
このことを利用して、放電サーボ制御でも基準電圧を常にＶmax／２で決める以外に、放電電圧がＶ2のように高いところにするか、Ｖ1のように低いところにするかなどを決めて、加工内容に合わせて基準電圧自体を調整することも可能である。
一般的に、図６の如く、不安定な放電状態になりやすいが、放電エネルギ自体が安定している荒加工の場合はＶ1のように平均電圧を低くして送り込み主体の放電サーボ制御にし、放電エネルギが小さく不安定になりやすい（放電が継続しにくい）仕上加工ではＶ2のごとく平均電圧を高くして狭い加工間隙間で逃がし主体の加工設定にする。
【００２３】
さて、本発明における放電サーボの制御方法では、図４に示すような放電電圧に対して軸送りを制御する方式において、図７のように実際の放電電圧に対して制御範囲を制限してしまおうとするものである。
つまり、図４では放電電圧が０[Ｖ]から設定された最大の放電電圧Ｖmax[Ｖ]に対して、Ｖmax／２を平均値として得られた放電電圧を比例させてサーボの「逃げ」や「送り」の速度を決定するものであったが、図７では、それとは別に制御する範囲の最小値をＶＴmin[Ｖ]、最大値をＶＴmax[Ｖ]と設定して制御範囲を制限するものであり、ＶＴmin[Ｖ]以下の電圧はＶＴmin[Ｖ]に相当するサーボ速度で制御され、ＶＴman[Ｖ]以上の電圧はＶＴmax[Ｖ]に相当するサーボ速度で制御されるのである。
これら、ＶＴmin、ＶＴmaxに設定される値としては、ＶＴminは０Ｖ以上でＶmax／２未満、ＶＴmaxはＶmax／２以上でＶmax未満とし、好ましくは、ＶＴminをＶmaxの１０〜４０％程度に、ＶＴmaxＶmaxの１０〜４０％程度に設定する。
例えば、如く加工が不安定になりやすい場合には、基準電圧よりも低い加工状態が多くなることが図６から考えられるため、この不安定な放電状態での放電サーボ制御を遅くするためにＶＴminを基準電圧に近いようにＶmaxの１０〜４０％程度に設定する。
なお、本実施の形態では、平均電圧計を用いて放電波形の電圧変動を求める手法の方が容易であるため、速度変動を見るより電圧変動で設定を行っているが、速度のリミットＳＶＴ１、ＳＶＴ２を直接設定することや、放電サーボ速度の設定方法を１０Ｖや２０Ｖ毎に何mm／minにするとかにして、比例させる制限を何Ｖまでとすることや、ＳＶＴ1とＳＶＴ2とそれに対応する電圧ＶＴminとＶＴmaxの4つを設定できるようにしても良い。
【００２４】
なお、図７に示すＶＴmin、ＶＴmaxに基づく放電サーボ制御は、加工に用いるトランジスタ方式／コンデンサ方式等のパルス供給の電源方式とその電源方式を用いて行う加工内容に応じて、図４或いは図７の何れかとなるように予め放電加工装置の制御装置内部に設定しておいても良く、また、作業者自身で図４或いは図７に示す方法のいずれかを選択設定させても良いものである。
加工条件設定部１２に新たにＶＴminとＶＴmaxを設定する部分を設けて、加工の目的に合わせて作業者が設定することもできるが、作業者自身が放電状態等の知識が不十分な場合も想定されるので、予め制御装置内部にさまざまな板材、電源方式、放電電圧、仕上げ加工・荒加工等の要求加工、等の加工条件ごとに最適なＶＴmin、ＶＴmaxをパラメータとして蓄積し、作業者の所定の加工条件の入力に伴い制御装置側で設定するシステムのほうがよい。
なお、設定例としては、電極の剛性が小さいものでは軸送りによって電極自体が振動してしまうため、基準となる放電サーボ速度自体を小さくしがちではあるが、そうなると基準電圧付近での放電サーボ速度も低下してしまい、基準電圧付近での極間間隙制御が遅くなり、加工速度の低下につながる。
荒加工では不安定が継続するとアークや異常放電に移行しやすいため、ＶＴminは０Ｖのままの設定で、ＶＴmaxをやや低めにしておくことで、極間間隙が狭いところでは軸制御を早くし、極間間隙が広いところではやや遅くすることができる。
【００２５】
続いて、図７を用いてＶＴmin、ＶＴmaxを設定した場合の動作について説明する。
先ず、加工条件設定部１２において、従来のサーボ方式か本発明でのサーボ方式かが選択され、図７に示す電圧感帯２の方式が選択された場合は、放電状態検出装置１０は放電電圧の取込みに関して、図７に示したサーボ方式で用いる電圧取得幅である電圧感帯１と、図７に示した第二の電圧取得幅である電圧感帯２を設定する。
ここでは、Ｖmax等の設定以外に、上述したように、ＶＴminは０Ｖ以上でＶmax／２未満、ＶＴmaxはＶmax／２以上でＶmax未満と設定し、放電サーボの制御領域を制限する。
従来の方式であれば、放電サーボ速度Ｓ自体を下げてしまうため、ＶＴminを設定した場合と比較して、基準電圧からＶＴminまでの速度も下がってしまい、加工が安定しているときでも放電サーボ制御が遅くなってしまう。
【００２６】
作業者が選択するか、予め内部で設定された加工条件自体が加工条件設定部１２において設定されて、本発明による放電サーボ方式を使用することが決まり、放電サーボ速度ＳとＶＴminとＶＴmaxが設定されると、加工条件設定部１２では電圧感帯１と電圧感帯２とそれに対応する放電サーボ速度が決定される。
電圧感帯１に対する最大の放電サーボ速度はＳであり、電圧感帯２の逃げの制限速度は式１におけるＶfにＶＴminを代入した放電サーボ速度ＳＶＴ1となり、送りの制限速度は式１におけるＶfにＶＴmaxを代入した放電サーボ速度ＳＶＴ2となる。
この結果、放電電圧とそれに対する放電サーボ速度は、図８で示されるような関係になり、ＶＴminとＶＴmaxで放電サーボ速度に制限が設けられたことになる。ＶＴminからＶＴmaxまでの放電サーボ速度は、放電サーボ速度Ｓで与えられた速度での比例分で式１で与えられた速度のままになる。
このように平均電圧付近のＶＴminからＶＴmaxまでのサーボ速度は、電圧感帯１のサーボ速度を用いることで、安定加工時の放電加工速度を変化させることなく、不安定な加工や放電電圧が高く放電がほとんど発生しないオープン状態のときの放電サーボ速度のみを調整する（遅くする）ことが可能になる。
つまり、放電サーボ制御の速度を制限することにより、ハンチング減少を防止する事ができ、仮にハンチング現象が発生した場合にも加工軸の速度を抑制することが可能になり、ハンチング現象を早い段階で終了させることも可能になる。
【００２７】
電極材質に銅と被加工物に鋼材を使用した加工での放電加工の荒加工では、送り動作を主体にして加工速度を向上させるべく上述のように基準電圧自体を４０Ｖ程度に設定することが多い。
このとき、Ｖmaxは６０Ｖから２００Ｖ程度までを加工内容に合わせて設定することが多く、このような荒加工ではＶＴminを０ＶにしてＶＴmaxを平均電圧に近い値、６０Ｖないしは８０Ｖ程度にすれば、不安定なときのみ高速な逃げ動作を行いつつ放電サーボは送り込みの設定にすることが可能になり、不安定回避効率が高くなり極間の安定性を維持し、加工速度をはやくする効果がある。
また、仕上加工のように逃げ動作を主体にして安定性を維持しつつもサーボ速度は抑えたいというときには、平均電圧を６０〜１００Ｖに設定にして、仕上加工時の放電サーボ速度は５〜１０mm／min程度の遅めの軸送り速度にすることが多い。
このような設定では放電サーボ自体の速度が落ちることで加工時間も遅くなりがちであるが、本発明のサーボ方式であれば、ＶＴmin未満の放電電圧のときには遅い軸送り速度にしたままで、平均電圧付近で放電電圧が推移する安定な加工状態での放電加工速度を落とすことがないので、加工速度を遅くすること無く、仕上げ面質を向上させることが可能となる。
【００２８】
次に、放電加工の仕上加工を想定し、０、１０、３０μHのインピーダンスと２０Ωの抵抗を持つＬＲ回路を用いて得られた結果を図９に示す。
本加工では１０ｍｍ×１０ｍｍの銅電極を陰極側として用いて１０分間の面付け加工を行ったものである。
加工１は従来技術におけるサーボ方式での加工データである。
加工２は本発明におけるサーボ方式でＶＴmaxを８０Ｖにしたときの加工データである。
加工３は本発明におけるサーボ方式でＶＴminを５０Ｖにしたときの加工データである。
加工４は従来技術におけるサーボ方式で平均電圧を１２０Ｖとしたときの加工データである。
加工５は従来技術におけるサーボ方式で放電サーボ速度を１／３にしたときの加工データである。
加工６は従来技術におけるサーボ方式でのＬＲ回路を用いた加工データである。
加工７は本発明におけるサーボ方式でＶＴminを５０ＶにしてＬＲ回路を用いた加工データである。
加工８は本発明におけるサーボ方式でＶＴminを５０ＶにしてＬＲ回路を用いた加工データである。
加工９は従来技術におけるサーボ方式で平均電圧を１２０ＶとしてＬＲ回路を用いた加工データである。
加工１０は従来技術におけるサーボ方式で放電サーボ速度を１／３にしてＬＲ回路を用いた加工データである。
【００２９】
加工１、加工４、加工５と加工３を比較すると、従来サーボ方式で加工条件設定として基準電圧や放電サーボ速度を調整したものよりも、本実施の形態におけるサーボ方式の方が良好な加工面を得ることができた。
特に、加工４と加工５では所定の時間では１０mm×１０mmの面を均一に放電することができていなかった。
このことから、本発明におけるサーボ方式を用いることで加工速度を低下させることなく、安定した仕上加工を得ることができた。
また、加工６から加工１０のようにＬＲ回路を用いた加工では、Ｒを２０ΩとしてLを大きくしていくと面質と面あらさがともに良好になることが分かったが、このときも本発明におけるサーボ方式を用いると非常に良好な加工面を得ることができた。
加工４と加工９を見ると従来サーボ方式でも加工時間をかけると良好な加工面を得ることができそうではあるが、仕上加工での加工速度が遅いという結果になっている。
また、従来サーボ方式で放電加工速度を落としたものに関しては、面質が悪く良好な加工面を得ることができなかった。
このことから、放電サーボ速度は適度に大きくしておく必要があることが分かる。
この結果からも本発明におけるサーボ方式では加工速度を落とすことなく安定した放電サーボが得られているとおいうことが分かる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、安定な加工をしている時の放電サーボ速度を変えることなく、不安定なときや放電電圧が高い状態が継続したときには放電サーボ速度が速くなることを抑えることができ、加工速度を遅くすること無く、仕上げ面質を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態における放電加工装置の構成の概略図である。
【図２】本実施の形態における信号の流れを示した図である。
【図３】放電電圧を電圧信号に変換したときの概略図である。
【図４】放電サーボ制御の動作を示した図である。
【図５】放電サーボ制御と放電間隙の関係を示した図である。
【図６】放電サーボ制御と放電状態の関係を示した図である。
【図７】本実施の形態における放電サーボ制御の設定例を示した図である。
【図８】本実施の形態における放電サーボ制御の動作を示した図である。
【図９】□10銅電極とSTAＶAXのLR回路を用いた加工結果を示した図である。
【符号の説明】
１  Ｚ軸モータ、４  Ｚ方向主軸、８  工具電極、９  電源装置、１０  放電状態検出装置、１１  電極位置制御装置、１２  加工条件設定部、１３  主軸制御手段、１５  感度制御手段、１６  パルスカウンタ、１７  電圧信号変換器、Ｗ  被加工物。
【図１】
2004188550.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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