(57)【要約】【課題】液滴供給手段を用いて液状材料を対象物に被着させて成膜する方法において、液状材料の供給量の均一化では解決できない成膜ムラをも低減する。【解決手段】対象物１に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成する成膜方法であって、駆動周期Ｔｄで液滴４ａを供給して対象物１に液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段２を用い、対象物に形成すべき平面周期構造の周期性に応じて駆動周期の各周期毎に液滴供給手段による液滴の供給の有無を制御し、液滴供給手段を対象物に対して走査方向Ｘに走査速度Ｖｘで走査しつつ液滴供給手段により液滴を供給する。このとき、駆動周期Ｔｄと走査速度Ｖｘとの積の自然数倍が、平面周期構造の走査方向Ｘの構造周期となるように設定して行う。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成する成膜方法であって、
所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、前記対象物に形成すべき前記平面周期構造の周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給する成膜方法であり、
前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が、前記対象物に形成すべき前記平面周期構造の前記走査方向の構造周期となるように設定して行うことを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことを特徴とする請求項１に記載の成膜方法。
【請求項３】
前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が形成すべき前記平面周期構造の前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することを特徴とする請求項１又は２に記載の成膜方法。
【請求項４】
前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性の間の位相差と、
前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して行うことを特徴とする請求項３に記載の成膜方法。
【請求項５】
前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、
前記所定位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性、及び、前記別の位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して行うことを特徴とする請求項３に記載の成膜方法。
【請求項６】
対象物に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成可能な成膜装置であって、
所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段と、
前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御可能な制御手段と、
前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に相対的に走査する走査手段と、
前記駆動周期を調整して設定可能な駆動周期設定手段と、
を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
前記走査手段は、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことを特徴とする請求項６に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記液滴供給手段は、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を有するとともに、前記ノズル列のノズルの配列方向と前記走査方向との交差角度を調整可能に構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の成膜装置。
【請求項９】
前記液滴供給手段は、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置に対応する所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置に対応する別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設定可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載の成膜装置。
【請求項１０】
基板上に液状材料を供給して複数のフィルタエレメントを所定の周期性を備えた平面周期パターンにて成膜する成膜工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記成膜工程では、
所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、
前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、
前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給し、
前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が、形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向の構造周期となるように設定して成膜を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１１】
前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前期液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１２】
前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１３】
前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性の間の位相差と、
前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することを特徴とする請求項１２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１４】
前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、
前記所定位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性、及び、前記別の位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することを特徴とする請求項１２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１５】
前記平面周期パターンは複数色の前記フィルタエレメントを前記平面周期パターンで配列させたものであり、前記フィルタエレメントの複数色種のうちの少なくとも一種色に対して前記成膜工程を実施することを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１６】
前記フィルタエレメントのうち、青色の前記フィルタエレメントに対して前記成膜工程を実施することを特徴とする請求項１５に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１７】
基板上に液状材料を供給して複数の画素領域を所定の周期性を備えた平面周期パターンにて成膜する成膜工程を有するエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法であって、
前記成膜工程では、
所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、
前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、
前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給し、
前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が、前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向の構造周期となるように設定して成膜を行うことを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項１８】
前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことを特徴とする請求項１７に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項１９】
前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することを特徴とする請求項１７又は１８に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項２０】
前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンにおける前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記走査方向の周期性の間の位相差と、
前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することを特徴とする請求項１９に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項２１】
前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、
前記所定位置における前記走査方向に見た前記平面周期パターンの周期性、及び、前記別の位置における前記走査方向に見た前記平面周期パターンの周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、
０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することを特徴とする請求項１９に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項２２】
前記平面周期パターンは複数色の前記画素領域を所定の配列パターンで配列させたものであり、前記画素領域の複数色種のうちの少なくとも一種色に対して前記成膜工程を実施することを特徴とする請求項１７乃至２１のいずれか一項に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項２３】
前記画素領域のうち、青色の前記画素領域に対して前記成膜工程を実施することを特徴とする請求項２２に記載のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法。
【請求項２４】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の成膜方法を用いて前記平面構造周期で配列された複数の画素を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２５】
請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載の製造方法を用いてカラーフィルタ基板を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２６】
請求項１７乃至２３のいずれか一項に記載の製造方法を用いてエレクトロルミネッセンス装置用基板を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２７】
請求項２４乃至２６に記載の製造方法を用いて形成されたことを特徴とする表示装置。
【請求項２８】
請求項２７に記載の表示装置と、当該表示装置を制御する制御手段とを有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は成膜方法、成膜装置、カラーフィルタ基板の製造方法および製造装置、エレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法および製造装置、表示装置の製造方法、表示装置、並びに、電子機器に係り、特に、液状材料を液滴の状態で供給することにより成膜する製造技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス装置（以下、単に「ＥＬ装置」という。）などといった電気光学装置を表示手段として用いた各種の表示装置、或いは、これらの表示装置を備えた携帯電話機や携帯型情報端末等の電子機器が知られている。このような表示装置においては、近年、カラー表示が一般的になりつつあるため、ガラスやプラスチックなどによって構成された基板の表面に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のドット状のフィルタエレメントをストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンにて配列させてなるカラーフィルタを用いる場合がある。
【０００３】
また、カラー表示可能に構成されたＥＬ装置においては、ガラスやプラスチック等で構成された基板の表面に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のドット状のＥＬ発光層をストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンにて配列させ、これらのＥＬ発光層を一対の電極で挟持した表示ドットを形成する。そして、これらの電極に印加する電圧を表示ドット毎に制御することにより、各表示ドットを所定の色及び階調で発光させる。
【０００４】
上記のような各種の表示装置を製造する場合には、上記カラーフィルタの各色のフィルタエレメントやＥＬ装置の各色の発光層を、フォトリソグラフィ法を用いることによってパターニングする方法が一般的である。しかしながら、このフォトリソグラフィ法を用いるパターニング工程は、材料の塗布・露光・現像などといった複雑で時間のかかる処理が必要になるとともに、各色材料やレジスト等を多量に消費するので、コストが高くなるなどといった問題がある。
【０００５】
この問題を解決するために、インクジェット法によってフィルタエレメント材料やＥＬ発光材料を、溶媒等を加えた液状材料の液滴として吐出し、基板表面に着弾させることによって、ドット状に配列されたフィルタエレメントや発光層を配列形成する方法が提案されている。ここで、このインクジェット法によって、図２９（ａ）に示すように、ガラスやプラスチックなどによって構成された大面積の基板、いわゆるマザー基板３０１の表面に設定される複数の単位領域３０２の内部に、図２９（ｂ）に示すようなドット状に配列されたフィルタエレメント３０３を形成する場合について説明する。
【０００６】
この場合には、例えば、図２９（ｃ）に示すように、複数のノズル３０４を配列してなるノズル列３０５を有する液滴供給ヘッド３０６を、図２９（ｂ）の矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示すように、１個の単位領域３０２に関して複数回（図２９（ｂ）では２回）直線状に走査させながら、各走査期間において複数のノズル３０４から選択的にインクすなわちフィルタ材料を吐出することによって希望位置にフィルタエレメント３０３を形成する。
【０００７】
このフィルタエレメント３０３は、上述したように、Ｒ・Ｇ・Ｂなどの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった適宜の配列パターンで配列させることによって形成される。このため、通常、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色の液滴供給ヘッド３０６を色毎に用意し、各色の液滴供給ヘッド３０６を順次用いることにより、一つのマザー基板３０１上に所定の色配列のカラーフィルタを形成するようにしている。
【０００８】
ところで、液滴供給ヘッド３０６については、一般に、ノズル列３０５を構成する複数のノズル３０４間のインク吐出量にばらつきがあるため、図２９（ｂ）に示すようにして、液滴供給ヘッド３０６によりフィルタエレメント３０３を形成したとき、各フィルタエレメント３０３におけるインク量にばらつきが生じ、これによって縞状の色ムラが形成されて、カラーフィルタの平面的な光透過特性が不均一になるという問題点がある。このため、各フィルタエレメントを複数の液滴の吐出によって形成するようにし、上記液滴供給ヘッド３０６の位置を送り方向（図２９の左右方向）に少しずつずらしながら順次に走査を行うようにする方法が知られている（たとえば、以下の特許文献１を参照）。
【０００９】
しかしながら、上記のように走査すると走査回数が飛躍的に増加して製造時間が増大し、生産効率が低下するという問題点がある。そこで、この問題点を解消するために、姿勢を調整可能に構成した複数のヘッドを共通のキャリッジに搭載し、一回の走査で処理を行う範囲を広げることによって効率的に製造を行うことの可能な装置が提案されている（たとえば、以下の特許文献２を参照。）
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−２２１６１６号公報
【特許文献２】
特開２００２−２７３８６８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者は、上記従来の装置によりカラーフィルタなどを製造する場合において、上記のように各フィルタエレメント間のインク量のばらつきを十分に低減してもなお、縞状の色むらが解消されない場合があることを発見した。そして、鋭意実験を行った結果、この場合の縞状の色むらは、インク量のばらつきに起因するものではなく、各フィルタエレメント内におけるインクの充填態様に基づくものであることが判明した。すなわち、各フィルタエレメント内におけるインクの偏り状態が異なることによって、光の透過状態に場所によるばらつきが発生し、これが縞状のムラとなって視認されるのである。
【００１２】
図３４には、上記従来の方法で製造したカラーフィルタの光学特性を示す。ここで、図３４（Ａ）は、その縦軸に、カラーフィルタの透過光のＹ値（ＣＩＥ１９３１ＸＹＺ表色系、或いは、ＹＵＶカラーベースにおける輝度Ｙ）を採り、その横軸に、図２９（ｂ）に示す走査方向（図示上下方向）の画素配列をとったときの、走査方向に見た輝度Ｙの周期的変動特性を示すものである。また、図３４（Ｂ）は、上記と同様に、輝度Ｙの、図２９（ｂ）に示す送り方向（図示左右方向）に見た周期的変動特性を示すものである。このような輝度Ｙの変動は、ヘッドの吐出特性に起因するインク量のばらつきによるものではなく、単一のノズルを用いてカラーフィルタを形成した場合でも現れる。
【００１３】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、液滴供給ヘッドのような液滴供給手段を用いて液状材料を対象物に被着させて成膜する方法の実施に際して、液状材料の供給量の均一化によっては解決できない成膜ムラをも低減することのできる技術を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、種々検討を重ねた結果、液滴の供給位置（着弾位置）のばらつきによって、液滴に含まれる液状材料の量が均一であっても、液状材料を配置すべき領域内における液状材料の偏りによって縞状の成膜ムラが形成されることを見いだした。
【００１５】
たとえば、特定の領域Ｐ内に複数の液滴Ｑを供給して液状材料Ｕを被着させる場合、図３０に示すように、最初の液滴Ｑ１が領域Ｐのほぼ中心に供給され、領域Ｐのほぼ中心部に液状材料Ｕ１が配置される場合（Ａ−１）と、最初の液滴Ｑ１′が領域Ｐの周縁部に供給され、領域Ｐの周縁部に液状材料Ｕ１′が配置される場合（Ｂ−１）とで比較してみる。
【００１６】
上記の（Ａ−１）の場合には、最初の液状材料Ｕ１が領域Ｐの中心部に配置されていることから、次に液滴Ｑ２が中心部から外れた位置に供給されても、この液滴Ｑ２は既に中心部に配置された液状材料Ｕ１と一体化されることによって、（Ａ−２）に示すように２つの液滴Ｑ１，Ｑ２に相当する液状材料Ｕ２もまた領域Ｐのほぼ中心部に配置される。この場合には、その後、（Ａ−３）及び（Ａ−４）に示すように、さらに液滴Ｑ３，Ｑ４が次々と供給されても、液状材料Ｕ３，Ｕ４は領域Ｐに均等に配置されやすくなる。領域Ｐ内に液状材料が均等に配置されると、最終的に液状材料Ｕ４を乾燥させることによって（Ａ−４）に一点鎖線で示すようにほぼ均等な成膜状態が得られる。
【００１７】
これに対して、上記の（Ｂ−１）の場合には、最初の液状材料Ｕ１′が領域Ｐの周縁部に配置されていることから、次に液滴Ｑ２′が供給されても、この液滴Ｑ２′は既に周縁部に配置された液状材料Ｕ１と一体化されることによって、（Ｂ−２）に示すように２つの液滴Ｑ１′，Ｑ２′に相当する液状材料Ｕ２′もまた領域Ｐの周縁部に配置される。この場合には、その後、（Ｂ−３），（Ｂ−４）に示すように、さらに液滴Ｑ３′，Ｑ４′が次々と供給されても、液状材料Ｕ３′，Ｕ４′は領域Ｐの周縁部に偏った状態のままとなり、極端な場合には、領域Ｐから部分的に液状材料がはみ出し、隣接する別の領域に配置される液状材料Ｕ３″，Ｕ４″が生じてしまう場合がある。そして、このように配置された液状材料Ｕ４′を乾燥させることによって（Ｂ−４）に一点鎖線で示すように偏った成膜状態が生ずる。
【００１８】
上記のように、最初に液滴が供給された位置によって、最終的な成膜状態は大きく異なるため、これが縞状の成膜ムラとなるのである。このことは、図３０に示すように一つの領域Ｐに複数の液滴を供給する場合に限らず、一つの領域Ｐに一つの液滴のみを供給する場合でも同じであり、図３０に示すものと同じ量の液状材料を一つの液滴で供給しようとすれば、その液滴の供給位置によって図３０の（Ａ−４）と（Ｂ−４）に示す状態と同様の成膜状態の相違が生ずる。いずれの場合でも、液滴の供給位置によって最終的な成膜状態が大きく変わるため、液滴に含まれる液状材料の量を均一化しても、縞状の成膜ムラ（表示装置の場合には色ムラや輝度ムラ）はなくならないのである。なお、図３０の（Ｂ−３）及び（Ｂ−４）に示すように領域Ｐからはみ出した液状材料Ｕ３″及びＵ４″は、たとえばカラーフィルタやＥＬ装置を形成する場合には、混色の原因となり、色ムラを増大させる。
【００１９】
また、図３１に示すように、領域Ｐを隔壁、土手、或いは、バンク（以下、単に「隔壁」という。）Ｂによって区画し、この隔壁Ｂによって囲まれた領域Ｐ内に液滴を供給する場合がある。この隔壁Ｂは、たとえば、基板上にフォトリソグラフィ法などを適用してパターニングされた合成樹脂などによって構成される。この場合には、隔壁Ｂの存在によって液滴Ｑの供給位置によっては液状材料Ｕの外観が変わってくる。たとえば、図３１（ａ）や（ｂ）に示すように、液滴Ｑａ，Ｑｂが領域Ｐの中心部や比較的中心寄りの場所、或いは、隔壁Ｂからある程度離れた位置に供給される場合には、領域Ｐ内に配置された液状材料Ｕａ，Ｕｂの形状は、隔壁Ｂの存在に影響されない。しかし、図３１（ｃ）に示すように、液滴Ｑｃが領域Ｐの周縁部である隔壁Ｂに近い位置に供給されると、液状材料Ｕｃは、着弾時において広がった際に隔壁Ｂに接触し、それによって隔壁Ｂに吸い寄せられるように移動し、図示のように隔壁Ｂの壁面に沿った形状になる場合がある。このようになると、その後にさらに液滴を供給しても、領域Ｐ内における液状材料の偏りは解消しにくくなる。
【００２０】
次に、本発明者は、従来の液滴の供給状態について検討した。液滴供給ヘッドなどの液滴供給手段は、通常、所定の駆動周期Ｔｄ（駆動信号の駆動周波数Ｆｄ＝１／Ｔｄ）にて駆動されている。この駆動周期Ｔｄを小さくすれば、走査速度Ｖｘで走査すると、液滴の供給位置の分解能Ｒｘ＝Ｔｄ×Ｖｘは小さくなり、液滴の供給位置をより正確に設定することができる。たとえば、図３２には、複数の領域Ｐが周期的に配列された対象物に対して、一定の走査速度Ｖｘで液滴供給手段を対象物に対して走査しつつ、所定の駆動周期Ｔｄで液滴を供給する場合について示してある。ここで、（ａ）〜（ｃ）には、分解能Ｒ１＜Ｒ２＜Ｒ３の３つの分解能でそれぞれ液滴を供給する場合を対比して示してある。上記の駆動周期Ｔｄが大きい場合には、（ｃ）に示すように、各領域Ｐ内の液滴の供給位置を精密に制御することができず、それだけ、走査方向に配列された複数の領域Ｐ間における液滴の供給位置のばらつきが大きくなる。逆に、駆動周期Ｔｄを小さくすれば、（ａ）に示すように、それだけ領域Ｐ内の液滴の供給位置を正確に設定できるとともに、領域Ｐ間の液滴の供給位置のばらつきも低減することができるため、上記のように、液滴を領域内の適切な位置に供給することができ、縞状の成膜ムラの発生を抑制することができる。
【００２１】
ところが実際には、上記のように液滴供給手段の駆動周期Ｔｄを小さくしていくと、液滴供給手段に対する液状材料の供給が追いつかず、結局、一回の液滴に含まれる液状材料の量が減少してしまうとともに、液滴供給手段に導入された液状材料が安定せず、飛行曲がりやサテライトといった液滴の吐出態様の不良が発生しやすくなる。したがって、液滴供給手段の駆動周波数を高めることには限界がある。
【００２２】
したがって、駆動周期Ｔｄを小さくすると領域Ｐ間における液滴の供給位置のばらつきを低減して成膜ムラを抑制できるが、生産性が低下するとともに、成膜不良も増大するというジレンマがある。すなわち、図３３に示すように、走査方向Ｘに走査を行う場合、走査方向Ｘに見た領域Ｐの構造周期をＤｘ、上記駆動周期Ｔｄと走査速度Ｖｘの積である分解能をＲｘとすると、分解能Ｒｘを大きくすると走査方向Ｘに配列された各領域Ｐ間における液滴の供給位置が大きくばらつき、成膜ムラが発生する。逆に、分解能Ｒｘを小さくすると、走査方向Ｘに見た各領域Ｐ間における液滴の供給位置のばらつきは低減されるが、その分、液滴による液状材料の供給量は低下し、製造効率が低下し、不良も発生しやすくなる。
【００２３】
そこで、本発明者は、上記状況に基づいて鋭意検討を重ねた結果、以下に示す発明にたどり着いた。すなわち、本発明の成膜方法は、対象物に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成する成膜方法であって、所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、前記対象物に形成すべき前記平面周期構造の周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給する成膜方法であり、前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が前記対象物に形成すべき前記平面周期構造の前記走査方向の構造周期となるように設定して行うことを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、液滴供給手段における駆動周期Ｔｄと、液滴供給手段と対象物の走査速度Ｖｘとの積、すなわち、液滴供給の分解能Ｒｘの自然数倍が、対象物に形成すべき平面周期構造の走査方向の構造周期Ｄｘとなるように設定して成膜を行うことにより、上記の平面周期構造の構造周期Ｄｘ内の一定の位相点に液滴を供給することが可能になるため、構造周期Ｄｘ内の液滴の供給位置のばらつきに起因する成膜ムラの発生を低減することができる。また、上記のように構造周期Ｄｘ内の所定の位相点に液滴を供給できるため、図３１（ｃ）に示すような、隔壁の近傍に液滴を供給して液状材料の偏りを引き起こすといったことも回避できるため、成膜不良を低減できるという利点もある。さらに、この方法では、いたずらに液滴供給手段の駆動周期Ｔｄを小さくする必要がなくなるため、一つの液滴に含まれる液状材料の量の低下を抑制することができ、生産性を向上させることができるとともに、飛行曲がりやサテライトといった液滴の供給不良に起因する成膜不良を低減することも可能になる。
【００２５】
本発明において、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことが好ましい。これによれば、走査ステップを送り動作を挟んで複数回繰り返すことによって、平面的な広がりを持った範囲内に対して成膜を行うことが可能になる。
【００２６】
本発明において、前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が、形成すべき前記平面周期構造の前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することが好ましい。これによれば、液晶供給手段に複数のノズルを含むノズル列を設けることにより、一度の走査ステップにおいて平面周期構造の複数列に亘って液滴を供給することができるため、生産性を向上させることができる。ここで、既定のノズル間隔を有するノズル列を有する液滴供給手段において、形成すべき平面周期構造における走査方向と直交する方向に見た構造周期にノズル間隔を合わせる際には、ノズル列の配列方向と、走査方向と直交する方向との間の傾斜角度θを調整すればよい。
【００２７】
本発明において、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して行うことが好ましい。一般に、ノズル列の配列方向と、走査方向と直交する方向との間の傾斜角度θが０でない場合には、複数のノズル間において走査方向に見たノズル位置が相互に異なることとなるため、走査方向に見たノズル位置のずれ量によって、走査方向と直交する方向に見た異なる２つの位置において液滴の供給位置にずれが生ずる。また、上記傾斜角度θの値の如何に拘わらず、形成すべき平面周期構造における走査方向と直交する方向に見た異なる２つの位置においては、走査方向の周期性に位相差が存在する場合がある。したがって、一般に、形成すべき平面周期構造における走査方向と直交する方向に見た異なる２つの位置における走査方向の周期性の位相差と、液滴供給手段のノズル位置のずれとの差に応じた分だけ、形成すべき平面周期構造に対する液滴の供給位置にずれが生ずる。したがって、上記の差を０に設定するか、或いは、上記の差を駆動周期と走査速度の積の自然数倍に設定することによって、走査方向と直交する方向に見た異なる２点における液滴の供給位置のずれを解消することが可能になる。
【００２８】
本発明において、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、前記所定位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性、及び、前記別の位置における前記平面周期構造の前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して行うことが好ましい。一般に、ノズル列の配列方向と、走査方向と直交する方向との間の傾斜角度θが０でない場合には、複数のノズル間において走査方向に見たノズル位置が相互に異なることとなるため、走査方向に見たノズル位置のずれ量によって、走査方向と直交する方向に見た異なる２つの位置において液滴の供給位置にずれが生ずる。また、上記と同様に、形成すべき平面周期構造にも、走査方向と直交する方向に見た異なる２つの位置において走査方向の周期性に位相差が存在する場合がある。このため、この位相差と、液滴供給手段のノズル位置のずれとの差に応じた分だけ、形成すべき平面周期構造に対する液滴の供給位置にずれが生ずる。このとき、走査方向と直交する方向に見た異なる２点に対応するノズル間における液滴の供給タイミングに時間差を設け、この時間差を調整することにより、上記位相差と、当該時間差及び走査速度の積との差を０に設定するか、或いは、当該差を駆動周期と走査速度の積の自然数倍に設定することによって、走査方向と直交する方向に見た異なる２点における液滴の供給位置のずれを解消することができる。
【００２９】
次に、本発明の成膜装置は、対象物に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成可能な成膜装置であって、所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段と、前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御可能な制御手段と、前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に相対的に走査する走査手段と、前記駆動周期を調整して設定可能な駆動周期設定手段と、を有することを特徴とする。
【００３０】
この発明によれば、液滴供給手段の駆動周期を駆動周期設定手段によって適宜に設定可能に構成されていることにより、走査手段による走査速度を低下させなくても、駆動周期を小さくすることによって液滴供給位置の分解能を高めることができる。したがって、生産効率を低下させずに液滴供給位置の分解能を高め、液滴供給位置の精度を向上できる。また、上記分解能の自然数倍が、形成すべき平面周期構造の走査方向の構造周期となるように設定することによって、常に構造周期における一定の位相位置に液滴を供給することが可能になるため、液滴の供給位置のばらつきを低減し、成膜ムラを低減できる。
【００３１】
本発明において、前記走査手段は、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことが好ましい。
【００３２】
本発明において、前記液滴供給手段は、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を有するとともに、前記ノズル列のノズルの配列方向と前記走査方向との交差角度を調整可能に構成されていることが好ましい。
【００３３】
本発明において、前記液滴供給手段は、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置に対応する所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置に対応する別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設定可能に構成されていることが好ましい。
【００３４】
次に、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、基板上に液状材料を供給して複数のフィルタエレメントを所定の周期性を備えた平面周期パターンにて成膜する成膜工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記成膜工程では、所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給し、前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が、形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向の構造周期となるように設定して成膜を行うことを特徴とする。
【００３５】
本発明において、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことが好ましい。
【００３６】
本発明において、前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することが好ましい。
【００３７】
本発明において、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することが好ましい。
【００３８】
本発明において、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、
【００３９】
前記所定位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性、及び、前記別の位置における前記平面周期パターンの前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することが好ましい。
【００４０】
本発明において、前記平面周期パターンは複数色の前記フィルタエレメントを前記平面周期パターンで配列させたものであり、前記フィルタエレメントの複数色種のうちの少なくとも一種色に対して前記成膜工程を実施することが好ましい。平面周期パターン内に複数色のフィルタエレメントが配列される場合においては、そのうちの少なくとも一種の色に対して本発明の成膜方法を適用することによって、大きな効果を得ることができる。
【００４１】
本発明において、前記フィルタエレメントのうち、青色の前記フィルタエレメントに対して前記成膜工程を実施することが好ましい。特に、青色のフィルタエレメントにおいては、最もフィルタエレメントの濃淡（光学濃度）が目立ちやすいため、青色のフィルタエレメントの成膜に際して本発明を適用することによって色ムラを最も効果的に低減することができる。
【００４２】
次に、本発明のエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法は、基板上に液状材料を供給して複数の画素領域を所定の周期性を備えた平面周期パターンにて成膜する成膜工程を有するエレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法であって、前記成膜工程では、所定の駆動周期で液滴を供給して前記対象物に前記液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段を用い、前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの周期性に応じて前記駆動周期の各周期毎に前記液滴供給手段による前記液滴の供給の有無を制御し、前記液滴供給手段を前記対象物に対して所定の走査方向に所定の走査速度で相対的に走査しつつ前記液滴供給手段の制御により前記液滴を供給し、前記駆動周期と前記走査速度との積の自然数倍が、前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向の構造周期となるように設定して成膜を行うことを特徴とする。
【００４３】
本発明において、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査する走査ステップを、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向と交差する送り方向に送る送り動作を間に挟んで、複数回行うことが好ましい。
【００４４】
本発明において、前記液滴供給手段には、前記液滴を供給するための複数のノズルを含むノズル列を設け、前記走査方向と直交する方向に見た前記ノズル列のノズルの配列周期が形成すべき前記平面周期パターンの前記走査方向と直交する方向に見た構造周期に対応するように設定した姿勢で、前記液滴供給手段を前記対象物に対して前記走査方向に相対的に走査することが好ましい。
【００４５】
本発明において、前記対象物に形成すべき前記平面周期パターンにおける前記走査方向と直交する方向に見た所定位置における前記走査方向の周期性、及び、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置における前記走査方向の周期性の間の位相差と、前記所定位置に相当する所定のノズル、及び、前記別の位置に対応する別のノズルの間の前記走査方向に見た位置ずれ量との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することが好ましい。
【００４６】
本発明において、前記走査方向と直交する方向に見た所定位置にある所定のノズルにおける前記液滴の供給タイミングと、前記走査方向と直交する方向に見た前記所定位置とは異なる別の位置にある別のノズルにおける前記液滴の供給タイミングとの間に時間差を設け、前記所定位置における前記走査方向に見た前記平面周期パターンの周期性、及び、前記別の位置における前記走査方向に見た前記平面周期パターンの周期性の間の位相差と、前記時間差及び前記走査速度の積との差を、０に設定し、若しくは、前記駆動周期と前記走査速度の積の自然数倍に設定して成膜することが好ましい。
【００４７】
本発明において、前記平面周期パターンは複数色の前記画素領域を所定の配列パターンで配列させたものであり、前記画素領域の複数色種のうちの少なくとも一種色に対して前記成膜工程を実施することが好ましい。平面周期パターン内に複数色の画素領域が配列される場合においては、そのうちの少なくとも一種の色に対して本発明の成膜方法を適用することによって、大きな効果を得ることができる。
【００４８】
本発明において、前記画素領域のうち、青色の前記画素領域に対して前記成膜工程を実施することが好ましい。特に、青色の画素領域においては、最も画素領域の輝度の強弱が目立ちやすいため、青色の画素領域の成膜に際して本発明を適用することによって色ムラを最も効果的に低減することができる。
【００４９】
また、本発明の表示装置の製造方法は、上記のいずれかに記載の成膜方法を用いて前記平面構造周期で配列された複数の画素を形成することを特徴とする。
【００５０】
さらに、本発明の表示装置の製造方法は、上記のいずれかに記載の製造方法を用いてカラーフィルタ基板を形成することを特徴とする。
【００５１】
また、本発明の異なる表示装置の製造方法は、上記のいずれかに記載の製造方法を用いてエレクトロルミネッセンス装置用基板を形成することを特徴とする。
【００５２】
次に、本発明の表示装置は、上記の表示装置の製造方法を用いて形成されたことを特徴とする。これによれば、成膜工程に起因する成膜ムラが低減されることによって、表示品位の高い表示装置を構成できる。特に、上記の走査方向に配列された画素列において、画素間の成膜構造のばらつきが従来に比して大幅に向上し、その結果、色ムラや輝度ムラが低減し、光学的な均一性が従来に比して大幅に向上した表示装置を得ることができる。
【００５３】
次に、本発明の電子機器は、上記の表示装置と、当該表示装置を制御する制御手段とを有することを特徴とする。本発明の電子機器としては、特に限定されるものではないが、例えば、携帯電話機などの携帯型情報端末、携帯型コンピュータ、電子腕時計などの携帯型電子機器であることが好ましい。
【００５４】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る成膜方法、成膜装置、カラーフィルタ基板の製造方法および製造装置、エレクトロルミネッセンス装置用基板の製造方法および製造装置、表示装置の製造方法、表示装置、並びに、電子機器の実施形態について詳細に説明する。
【００５５】
［成膜方法及び成膜装置の基本構成］
まず、本発明に係る成膜方法及び成膜装置の実施形態の基本構成について説明する。この実施形態の成膜装置（液滴吐出装置）１６は、図１５に示すように、プリンタなどで用いられる液滴供給ヘッドなどの液滴供給ヘッド（液滴吐出ヘッド）２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴供給ヘッド２２の位置、すなわちヘッド位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、対象物（たとえばマザー基板１２）の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴供給ヘッド２２を対象物（マザー基板１２）に対して走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置１９と、液滴供給ヘッド２２を対象物（マザー基板１２）に対して走査方向と交差（直交）する送り方向Ｙに送る送り駆動装置２１と、対象物（マザー基板１２）を成膜装置１６内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、この成膜装置１６の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有する。
【００５６】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００５７】
液滴供給ヘッド２２は、例えば、図１７に示すように、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する。ノズル２７の数は例えば１８０であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッチｔは例えば１４１μｍである。図１７に示す基準方向Ｓは液滴供給ヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。
【００５８】
液滴供給ヘッド２２は、例えば、図１９（ａ）及び（ｂ）に示すように、ステンレス等で構成されるノズルプレート２９と、これに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成される。これらの材料室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００５９】
振動板３１の適所には材料供給孔３６が形成されている。この材料供給孔３６には材料供給装置３７が接続される。材料供給装置３７は、たとえば、カラーフィルタを形成する場合にはＲ，Ｇ，Ｂのうちの一色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料で構成される、液状材料Ｍを材料供給孔３６へ供給する。このように供給された液状材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って材料室３３に充満する。
【００６０】
ノズルプレート２９には、材料室３３から液状材料Ｍをジェット状に噴出するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の材料室３３に臨む面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１９（ｂ）に示すように、圧電素子４１並びにこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。
【００６１】
その後、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に戻り、これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある液状材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から液状材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液層４３が設けられる。
【００６２】
次に、図１６を参照して、上記の液滴供給ヘッド２２の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、その他の手段について説明する。ヘッド位置制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられた液滴供給ヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ４４と、液滴供給ヘッド２２を送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴供給ヘッド２２を走査方向Ｘと平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、液滴供給ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
【００６３】
また、基板位置制御装置１８は、対象物（マザー基板１２）を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイドレール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。
【００６４】
さらに、送り駆動装置１９は、送り方向Ｙへ伸びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【００６５】
Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持された液滴供給ヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、液滴供給ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法によって実現することができる。
【００６６】
上記テーブル４９には、対象物（マザー基板１２）の平面位置を規制するピンなどで構成される位置決め手段５０が設けられている。対象物（マザー基板１２）は、後述する基板供給装置２３によって位置決め手段５０に走査方向Ｘ側及び送り方向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持される。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持された対象物（マザー基板１２）を固定するための、例えば空気吸引（真空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望ましい。
【００６７】
再び図１５に戻って説明を続ける。図１５に示す基板供給装置２３は、対象物（マザー基板１２）を収容する基板収容部５７と、対象物（マザー基板１２）を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによって対象物（マザー基板１２）を吸着保持することができるように構成されている。
【００６８】
また、図１５に示すように、上記液滴供給ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６は液滴供給ヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図１７参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、液滴供給ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴供給ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される液滴８の重量をノズル毎に測定する装置である。さらに、液滴供給ヘッド２２の近傍には、液滴供給ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
【００６９】
図１５に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有する。コンピュータ本体部６６には、図２０に示すＣＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶するメモリである情報記録媒体７１とを備えている。
【００７０】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、液滴供給ヘッド２２内の圧電素子４１（図１９（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、図２０に示すように、入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピング装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【００７１】
情報記録媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読み取り装置、ディスク型記録媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、成膜装置１６の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、液滴供給ヘッド２２による液滴の対象物（マザー基板１２）に対する供給位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図１６に示す送り方向Ｙへの対象物（マザー基板１２）の送り移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
【００７２】
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、対象物（マザー基板１２）の表面の所定位置に、液滴を供給（吐出）するための制御を行うものである。具体的な機能実現部としては、図２０に示すように、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤７８を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、及び、液滴吐出によって液状材料を対象物（マザー基板１２）の表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための描画演算部６９０を有する。
【００７３】
上記描画演算部６９０には、液滴供給ヘッド２２を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部、液滴供給ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部、対象物（マザー基板１２）を送り方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部、液滴供給ヘッド２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させてインクを吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部などといった各種の機能演算部を有する。
【００７４】
なお、上記実施形態では、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現しているが、上述の各機能を、ＣＰＵを用いない電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いても構わない。
【００７５】
次に、上記構成からなる成膜装置１６の動作を、図２１に示すフローチャートに基づいて説明する。オペレータによる電源投入によって成膜装置１６が作動すると、最初にステップＳ１において初期設定が実現される。具体的には、ヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決められた初期状態にセットされる。
【００７６】
次に、重量測定タイミングが到来（ステップＳ２）すると、図１６に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によって図１５に示す電子天秤７８の所まで移動させる（ステップＳ３）。そして、ノズル２７から吐出されるインクの量を、電子天秤７８を用いて測定する（ステップＳ４）。さらに、このように測定されたノズル２７の材料吐出特性に合わせて、各ノズル２７の圧電素子４１に印加する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【００７７】
この後、クリーニングタイミングが到来（ステップＳ６）すれば、ヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動させ（ステップＳ７）、そのクリーニング装置７７によって液滴供給ヘッド２２をクリーニングする（ステップＳ８）。
【００７８】
重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニングが終了した場合には、ステップ９において図１５に示す基板供給装置２３を作動させて対象物（マザー基板１２）をテーブル４９へ供給する。具体的には、基板収容部５７内の対象物（マザー基板１２）を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させて対象物（マザー基板１２）をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決め手段５０（図１６参照）に押し付ける。なお、テーブル４９上における対象物（マザー基板１２）の位置ずれを防止するため、空気吸引（真空吸着）などの手段によって対象物（マザー基板１２）をテーブル４９に固定することが望ましい。
【００７９】
次に、θモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル４９を平面（水平面）内にて回転させ、対象物（マザー基板１２）を位置決めする（ステップＳ１０）。この後、図１５に示すヘッド用カメラ８１によって対象物（マザー基板１２）を観察しながら、液滴供給ヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定する（ステップＳ１１）。そして、走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１を適宜に作動させて、液滴供給ヘッド２２を描画開始位置へ移動させる（ステップＳ１２）。
【００８０】
このとき、液滴供給ヘッド２２は、図１７に示す基準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにしてもよく、或いは、図２９（ｂ）に示すように、基準方向Ｓが走査方向Ｘに対して所定の傾斜角度で傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この傾斜角度は、ノズル２７のピッチと、対象物（マザー基板１２）の表面上においてインクを着弾させるべき位置のピッチとが異なる場合が多く、液滴供給ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるときに、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り方向Ｙの寸法成分が対象物（マザー基板１２）の送り方向Ｙの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【００８１】
図２１に示すステップＳ１２で液滴供給ヘッド２２が描画開始位置に置かれると、ステップＳ１３において液滴供給ヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴供給ヘッド２２のノズル２７から液滴が対象物（マザー基板１２）の表面上へ連続的に吐出される。
【００８２】
なお、このときの液滴の吐出量は、一度の走査によって液滴供給ヘッド２２がカバーすることのできる吐出範囲において全量が吐出されるように設定されていてもよいが、例えば、後述するように、一度の走査によって本来吐出されるべき量の数分の一（例えば４分の一）の液状材料を吐出するように構成し、液滴供給ヘッド２２を複数回走査する場合に、その走査範囲が送り方向Ｙに相互に部分的に重なるように設定し、全ての領域において数回（例えば４回）液状材料の吐出が行われるように構成してもよい。
【００８３】
液滴供給ヘッド２２は、対象物（マザー基板１２）に対する１ライン分の走査が終了（ステップＳ１４）すると、反転移動して初期位置へと復帰し（ステップＳ１５）、送り方向Ｙに所定量（設定された送り移動量だけ）移動する（ステップＳ１６）。その度、ステップＳ１３で再び走査され、液状材料が吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに所定量移動し、反転して、逆向きに走査するというように、交互に向きを反転させて走査するようにしてもよい。
【００８４】
ここで、後述するように、マザー基板１２内に複数のカラーフィルタが形成される場合について説明すると、マザー基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について全てフィルタエレメント材料の吐出が完了する（ステップＳ１７）と、液滴供給ヘッド２２は所定量送り方向Ｙに移動し、再び上記と同様にステップＳ１３乃至Ｓ１６の動作を繰り返す。そして、最終的にマザー基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対してフィルタエレメント材料の吐出が終了する（ステップＳ１８）と、ステップＳ２０において基板供給装置２３又は別の搬出機構によって、処理後のマザー基板１２が外部へ排出される。その後、オペレータから作業終了の指示がない限り、上記のようにマザー基板１２の供給と、液滴の吐出作業を繰り返し行う。
【００８５】
オペレータから作業終了の指示がある（ステップＳ２１）と、ＣＰＵ６９は液滴供給ヘッド２２を図１５に示すキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャッピング装置７６によって液滴供給ヘッド２２に対してキャッピング処理を施す（ステップＳ２２）。
【００８６】
以上のように構成された成膜装置１６においては、液滴供給ヘッド２２を走査方向Ｘに走査しながらインクの液滴を連続して吐出させ、この走査を送り方向Ｙへの移動（送り動作）を介して繰り返し行うことにより、対象物（マザー基板１２）の表面の所定領域上に平面的に液状材料を着弾させ、成膜することができるようになっている。
【００８７】
ところで、一般に、液滴供給ヘッド２２のノズル列２８を構成する複数のノズル２７の吐出量は、相互に必ずしも同一ではなく、特に、ノズル列２８の両端部に存在する数個（例えば１０個ずつ）のノズル２７について特に吐出量が多くなる傾向がある。このように、吐出量が他のノズル２７に較べて多いノズル２７を使用することは、インク吐出によって形成される膜厚を均一にするために好ましくない。したがって、例えば、ノズル列２８を形成する複数のノズル２７のうち、ノズル列２８の両端部Ｅに存在する数個、例えば１０個程度、は予めインクを吐出しないものと設定しておき、残りの部分に存在するノズル２７のみを用いることが好ましい。
【００８８】
また、液滴供給ヘッド２２の吐出する液滴の一滴で所定領域に成膜を行うのではなく、複数の液滴によって成膜を行うようにすることによって、形成された膜の厚さのばらつきを低減できる。すなわち、複数の領域毎に成膜を行う場合、個々の液滴の量に或る程度のばらつきが存在しても、複数の液滴によって一つの領域の成膜を行うことによって、各領域に形成される膜の厚さのばらつきが低減される。
【００８９】
液滴供給ヘッド２２の構造としては、上記のものに限らず、種々の構造のものを用いることができる。例えば、図１８に示す液滴供給ヘッド２２Ａは、基準方向Ｓに配置された２列のノズル列２８，２８を備えている。これらのいずれのノズル列２８にも、上記と同様に複数のノズル２７が含まれる。また、図２２に示す液滴供給ヘッド２２Ｂは、基準方向Ｓに配列された３列のノズル列２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂを備えている。これらのいずれの液滴供給ヘッド２２Ａ，２２Ｂでも、各ノズル列２８のノズル２７から吐出される液滴の材料を同じものとすることもでき、相互に異なるものとすることもできる。例えば、図１８に示す液滴供給ヘッド２２Ａは２つのノズル列２８のいずれの列のノズル２７からも同じ液状材料が吐出されるように構成されており、図２２に示す液滴供給ヘッド２２Ｂでは、各ノズル列２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂのノズル２７から吐出される液状材料が相互に異なるものであり、例えば、後述するフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂとなるように用いられる。
【００９０】
［成膜方法及び成膜装置の詳細構成］
次に、上記のように構成された成膜装置を用いて行う成膜方法において、本発明に係る成膜方法及び成膜装置の特徴点に関して詳細に説明する。なお、以下の説明においては、上記成膜方法及び成膜装置のより具体的な構成には直接対応しない、一般的な構成に対応可能な表現で記述する。したがって、本実施形態の構成としては、一般的な構成としても把握することができ、また、上記の図１５乃至２２に示した具体的な成膜方法及び成膜装置にも適用することのできる構成としても把握できる。
【００９１】
図１は、本実施形態の成膜方法及び成膜装置の原理を説明するための説明図である。まず、基板等の対象物１が配置され、この対象物１の表面に対して液滴４ａを供給する液滴供給手段２（上記の液滴供給ヘッド２２に対応する。）が対向配置される。対象物１に対して液滴供給手段２は走査方向Ｘに相対的に走査できるように構成される。ここで、図示例では対象物１を走査方向Ｘに走査速度Ｖｘで移動させるようにしているが、逆に、液滴供給手段２を移動させてもよく、さらに、対象物１と液滴供給手段２の双方を移動させても構わない。また、図示例では、走査方向Ｘの正の向きを対象物１の移動の向きに設定しているが、液滴供給手段２の相対的な移動の向きに設定しても構わない。いずれにしても、下記の各種パラメータ（δｘ、δｄ）の符号をどちらかの向きにすべて統一してあればよい。
【００９２】
また、液滴供給手段２は、駆動手段３から出力される駆動信号３ａによって駆動される。駆動手段３は、たとえば、駆動信号３ａを出力する適宜の駆動回路によって構成される。駆動手段３の出力する駆動信号３ａは、駆動周期Ｔｄ（駆動周波数Ｆｄの逆数）を備えた周期信号である。ただし、この駆動信号３ａは、一つの駆動周期Ｔｄの駆動波形によって液滴供給手段２のノズル２ａから一つの液滴４ａを吐出させ、対象物１の表面上に液状材料２ｂを供給するようになっているため、連続して液滴４ａを吐出させる場合には駆動周期Ｔｄで所定の駆動波形が繰り返し現れるが、ある期間において液滴４ａを吐出させる必要がない場合には、その期間に相当する駆動信号３ａの所定の駆動周期Ｔｄには駆動波形が現れないことになる。すなわち、駆動手段３は、駆動信号の駆動周期Ｔｄの一つ一つにおいて駆動波形を形成して液滴供給手段２を駆動するか否かを制御できるように構成されている。
【００９３】
上記の駆動信号３ａによって、液滴供給手段２は、上記の駆動周期Ｔｄ毎に液滴４ａを吐出することができる。したがって、対象物１と液滴供給手段２とが相対的に走査速度Ｖｘで走査されたときには、対象物１の表面上における液滴供給位置の分解能Ｒｘは、駆動周期Ｔｄと走査速度Ｖｘとの積になる。すなわち、Ｒｘ＝Ｔｄ×Ｖｘである。この分解能Ｒｘは、液滴供給手段２によって走査方向Ｘに連続的に液滴４ａを吐出していく場合の液滴供給位置の最小間隔である。
【００９４】
図２は、対象物１の表面に配列される平面周期構造１Ｐと、この平面周期構造１Ｐに合わせて供給される液状材料４ｂとの関係を示す平面図である。平面周期構造１Ｐは、液滴供給手段２によって供給される液滴４ａが着弾して配置される液状材料４ｂによって成膜されるべき構造であり、たとえば、図２に示す例では、対象物１の表面上に縦横にそれぞれ間隔を隔てて配置される領域Ｐを有する周期構造である。この構造においては、領域Ｐが図示縦方向である走査方向Ｘと、図示横方向である送り方向Ｙのいずれにもほぼ等間隔に配列された例が示されている。ここで、この平面周期構造１Ｐの走査方向Ｘの構造周期をＤｘとし、送り方向Ｙの構造周期をＤｙとする。なお、図示例では走査方向Ｘと送り方向Ｙとは相互に直交しているが、走査方向Ｘと送り方向Ｙとは必ずしも直交する必要はなく、相互に交差する方向となっていればよい。また、この平面周期構造１Ｐは、走査方向Ｘと直交する方向である送り方向Ｙに見た異なる２つの位置にある２つの領域Ｐの列Ｙ１〜Ｙ５間において、相互に走査方向Ｘの周期性に位相差が存在しないパターンとなっている。
【００９５】
上記のような平面周期構造１Ｐを構成しようとするときには、対象物１の表面上に仮想的に設定された領域Ｐに向けてそれぞれ液滴４ａを吐出し、当該領域Ｐ内に液状材料４ｂを配置していく。このとき、本実施形態では、分解能Ｒｘ（＝Ｔｄ×Ｖｘ）の自然数倍が、形成すべき平面周期構造１Ｐにおける走査方向Ｘの構造周期Ｄｘとなるように設定する。すなわち、Ｄｘ＝ｎ×Ｒｘ（ｎは自然数）である。このようにすると、図１に示すように、対象物１に対して液滴供給手段２を相対的に走査方向Ｘに走査しながら液滴４ａを吐出させていく際に、図２に示すように、領域Ｐ内における液状材料４ｂの配置を、走査方向Ｘに配列されている複数の領域Ｐ間において相互に対応した位置に設定することができる。たとえば、図示例のように、ある領域Ｐにおいて領域Ｐのほぼ中心部に液状材料４ｂが配置されたとすれば、他の領域Ｐにおいてもそのほぼ中心部に液状材料４ｂが配置されるようにすることができる。したがって、走査方向Ｘに配列された複数の領域Ｐ間において液状材料４ｂの配置のばらつきを低減することができ、それによって成膜ムラを低減することができる。
【００９６】
このとき、図示一点鎖線で示すように液滴供給手段２が単一のノズル２ａのみを有しているとすれば、たとえば、図２に示す領域Ｐの列Ｙ２を走査方向Ｘに向けて走査しながら液滴４ａを吐出して液状材料４ｂを配置した後に、図示の送り方向Ｙに液滴供給手段２を構造周期Ｄｙ分だけ送る送り動作を行い、その後、異なる領域Ｐの列Ｙ３に、上記と同様の走査を行いつつ液滴４ａを吐出し、液状材料４ｂを配置していく。そして、同様の動作を繰り返して、走査方向Ｘに配列された列Ｙ４，Ｙ５についても順次液滴を配置していく。このようにすると、縦横に周期性を有する平面周期構造１Ｐを形成することができる。
【００９７】
ただし、液滴供給手段２としては、単一のノズル２ａのみを有する構成とする必要はなく、複数のノズル２ａを有していてもよいことはもちろんである。たとえば、図示の液滴供給手段２′では、複数のノズル２ａが配列方向２ｂに沿って配列されている。この場合、ノズル２ａの配列周期が走査方向Ｘと交差する方向に見た平面周期構造１Ｐの構造周期と一致すれば、複数のノズル２ａによって一度に複数の列Ｙ１〜Ｙ５に対して液状材料を配置していくことができる。図示例では、走査方向Ｘと直交する送り方向Ｙと、液滴供給手段２′におけるノズル２ａの配列方向２ｂとを一致させた状態で、送り方向Ｙに見た平面周期構造１Ｐの構造周期Ｄｙと、ノズル２ａの配列周期とが一致するように構成された例を示してある。この場合には、液状供給手段２′による液滴２ａの吐出によって、走査方向Ｘに配列された領域Ｐ間だけでなく、送り方向Ｙに配列された領域Ｐ間についても、液状材料４ｂの配置のばらつきをほとんど消失させることが可能になる。なお、このように複数のノズルを有する液滴供給手段２′を用いる場合でも、上記の液滴供給手段２と同様に、送り方向Ｙへの送り動作を間に挟みながら複数回の走査ステップを実施することができる。また、各領域Ｐ内に複数の液滴を供給して平面周期構造１Ｐを形成する場合には、複数のノズルを有する液滴供給手段２′を、送り方向にノズルの数よりも少ない列（例えば１列）だけ送る送り動作を挟んで、順次走査ステップを繰り返し行うこともできる。このようにすると、複数のノズル間における液状材料の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを低減できる。
【００９８】
図３は、上記とは異なる液滴供給手段２″を用いた場合の、対象物１に形成されるべき平面周期構造１Ｐとの関係を示す平面図である。ここで、液滴供給手段２″には、複数のノズル２ａが配列方向２ｂに配列されている。ここで、これらのノズル２ａの間隔をＮｐとする。また、平面周期構造１Ｐの走査方向Ｘの構造周期をＤｘ、送り方向Ｙの構造周期をＤｙとする。この例では、走査方向Ｘに直交する送り方向Ｙに見た構造周期Ｄｙと、液滴供給手段２″のノズル間隔Ｎｐとが異なる。このため、液滴供給手段２″のノズル２ａの配列方向２ｂを送り方向Ｙに対して傾斜角度θで傾斜させることによって、ノズル２ａの送り方向Ｙに見た間隔（Ｎｐ・ｃｏｓθ）が構造周期Ｄｙに一致するようにしている。
【００９９】
上記の姿勢で液滴供給手段２″を走査方向Ｘに走査しながら液滴を吐出していった場合、液滴の供給位置は、送り方向Ｙには平面周期構造１Ｐの周期性に合致したものとなる。しかし、ノズル２ａの配列方向２ｂを送り方向Ｙに対して傾斜させたことによって、隣接するノズル２ａ間には、走査方向Ｘの位置ずれ量δｘ、
δｘ＝Ｎｐ・ｓｉｎθ＝Ｄｙ・ｔａｎθ
が生ずる。この位置ずれ量δｘは、液滴供給手段２″のノズル間隔を送り方向Ｙの構造周期Ｄｙに合致させるために設定される上記傾斜角度θに依存するため、一般に、上記分解能Ｒｘ（図１参照）の自然数倍に一致するとは限らない。したがって、液滴供給手段２″の複数のノズル２ａにおいて同時に液滴が吐出されるように構成されている場合（例えば、共通の駆動信号によって全てのノズルが動作するように構成されている場合）には、たとえば、図示の走査方向Ｘに配列された領域Ｐの列Ｙ３において液状材料４ｂが中心部に配置されるように液滴を吐出させると、この列Ｙ３以外の列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ４，Ｙ５においては、図示点線で示すように、領域Ｐの中心部から外れた位置に液状材料が配置されることになる。より具体的には、列Ｙ３に隣接する列Ｙ２及びＹ４では、液滴の位置は領域Ｐの中心部から走査方向Ｘにδｘだけずれることになり、これらの列のさらに反対側の列Ｙ１、Ｙ５では、液滴の位置は領域Ｐの中心部から走査方向Ｘに２δｘだけずれることになる。すなわち、ノズル２ａが等間隔で配列されている場合には、各ノズル間の走査方向Ｘの位置ずれ量はｉδｘ（ｉは自然数）となる。例えば、図示例の場合、本来、符号２ａ（４）′の位置にノズルがあれば問題は生じないが、実際にはノズル２ａ（４）はノズル２ａ（３）に対して走査方向Ｘにδｘだけずれている。したがって、ノズル２ａ（３）と２ａ（４）とから同時に液滴を吐出させた場合には、液滴の供給位置もまたδｘだけ走査方向Ｘにずれることになる。
【０１００】
実際には、図１に示す駆動手段３によって、列Ｙ３に対応するノズル２ａ（３）において液滴供給が行われる駆動周期と、その他の列に対応するノズル２ａにおいて液滴供給が行われる駆動周期とを、その位置ずれ量δｘ、２δｘに応じて異ならしめることによって、液状材料の走査方向Ｘの位置ずれ量をδｘよりも小さくすることはできる。しかしながら、上記のようにδｘが分解能Ｒｘの自然数倍でない限り、送り方向Ｙに配列される領域Ｐ間における液状材料４ｂの配置の走査方向Ｘへの位置ずれは完全には解消されない。したがって、この場合には、送り方向Ｙに周期的な液状材料の偏りが生じるため、送り方向Ｙに縞状の成膜ムラ（カラーフィルタや発光体の場合には色ムラや輝度ムラなど）が発生する。
【０１０１】
そこで、上記の位置ずれ量δｘ、２δｘを補償するように、ノズル２ａの位置を走査方向Ｘにずらすことが考えられる。たとえば、図４に示すように、列Ｙ１に対応するノズル２ａ（１）と、列Ｙ２に対応するノズル２ａ（２）と、列Ｙ３に対応するノズル２ａ（３）とを考えると、ノズル２ａ（１）とノズル２ａ（２）との間には走査方向Ｘにδｘのずれがあり、ノズル２ａ（１）とノズル２ａ（３）との間には走査方向Ｘに２δｘの位置ずれがある。このとき、ノズル２ａ（２）及びノズル２ａ（３）の位置を、上記位置ずれに相当する量だけ逆に走査方向Ｘ（図示上下方向）に修正することによって、ノズル位置のずれに起因する液滴の供給位置のずれも解消する。
【０１０２】
しかしながら、上記の液滴供給手段２のノズル位置の修正量は、傾斜角度θに対応する距離δｘ＝Ｎｐ・ｓｉｎθであり、多数のノズルが設けられている場合には、相互に離隔された位置にあるノズルの修正量はきわめて大幅なものになるが、このような大幅な修正量を支障なく受け入れることのできるような上記材料室を構成することは一般に困難である。そこで、この修正量を低減するために、ノズル２ａの位置修正量を、上記のδｘではなく、このδｘを分解能Ｒｘで除算したときの自然数の商ｍを出したときの剰余、或いは、分解能Ｒｘから左記剰余を減算した値（以下、単に「剰余値」という。）Ｓｘ＝δｘ−ｍ・Ｒｘ（ｍは自然数）、或いは、２δｘ−ｍ・Ｒｘとする方法が考えられる。この場合、自然数ｍは、（ｍ−１）・Ｒｘ＜δｘ＜ｍ・Ｒｘ、若しくは、ｍ・Ｒｘ＜δｘ＜（ｍ＋１）・Ｒｘ（或いは、（ｍ−１）・Ｒｘ＜２δｘ＜ｍ・Ｒｘ、若しくは、ｍ・Ｒｘ＜２δｘ＜（ｍ＋１）・Ｒｘ）が成立する自然数である。このようにすると、ノズル２ａの位置修正量を大幅に低減できる。
【０１０３】
上記のように構成したときには、液滴供給手段２″の複数のノズル２ａを相互に独立に制御する必要がある。たとえば、図５に示すように、液滴供給手段２″に、各ノズル２ａをそれぞれ有する独立した複数の液滴供給構造２Ａを設けることが考えられる。この独立した液滴供給構造２Ａは、駆動手段３からの駆動信号３ａをそれぞれ受けて、相互に独立した駆動波形によって液滴を吐出することができる。複数の液滴供給構造２Ａに対応する複数の駆動信号３ａは、相互に同期した共通の駆動周期にて送られる駆動波形を有するものとなっているが、それらの駆動波形は、複数の駆動信号３ａ毎に異なるものとすることができるように構成されている。したがって、複数のノズル２ａ毎に独立に、いずれの駆動周期において液滴を吐出し、いずれの駆動周期において液滴を吐出しないかを選択することができる。
【０１０４】
また、ノズル２ａの位置を修正する態様としては、図６（ａ）に示す液滴供給手段２Ｐのように、或るノズル２ａ（０）に対して、その両側にあるノズル２ａ（＋１）及び２ａ（−１）を、本来のノズル位置に対してノズルの配列方向２ｂと直交する方向に位置をずらすように修正し、最終的に、上述の最適位置になるように構成することが考えられる。また、図６（ｂ）に示す液滴供給手段２Ｑのように、本来のノズル位置に対して予め平面周期パターン１Ｐに対応する傾斜角度θを求めておき、配列方向２ｂとの交差角が傾斜角度θとなる方向にノズル位置をずらすように修正する方法も考えられる。
【０１０５】
さらに、上記のようにノズル２ａの位置を修正する代わりに、図４に示すノズル２ａ（１）の液滴の供給タイミングに対して、ノズル２ａ（２）やノズル２ａ（３）の液滴の供給タイミングをδｔ＝δｘ／Ｖｘ、２δｔ＝２δｘ／Ｖｘだけ遅らせることが考えられる。この場合でも、各ノズルにおける液滴の吐出制御を相互に独立して行う必要がある。この場合の液滴供給手段２″の構成としては、図５に示す構成を採用できる。ここで、上記の剰余値Ｓｘを用いて、ノズル２ａ間の供給タイミングの差を、上記のδｔ、２δｔではなく、δｔｓ＝Ｓｘ／Ｖｘ＝（δｘ−ｍ・Ｒｘ）／Ｖｘ（或いは、＝（２δｔ−ｍ・Ｒｘ）／Ｖｘ）としてもよい。この場合、自然数ｍは、（ｍ−１）・Ｒｘ＜δｘ＜ｍ・Ｒｘ、若しくは、ｍ・Ｒｘ＜δｘ＜（ｍ＋１）・Ｒｘ（或いは、（ｍ−１）・Ｒｘ＜２δｘ＜ｍ・Ｒｘ、若しくは、ｍ・Ｒｘ＜２δｘ＜（ｍ＋１）・Ｒｘ）が成立する自然数である。このようにすると、複数のノズル間における液滴の供給タイミングの時間差を小さくすることができる。
【０１０６】
図８は、上記の描画演算部６９０を異なる構成によって表した構成ブロック図である。この描画演算部６９０の機能実現手段としては、液滴の吐出制御全体を制御するための液滴供給制御手段６９１と、この液滴供給制御手段６９１により制御されて所定の駆動周波数Ｆｄ（駆動周期Ｔｄ）を有する駆動信号を発生する駆動信号発生手段６９２と、この駆動信号発生手段６９２の駆動周波数Ｆｄ或いは駆動周期Ｔｄを設定するための駆動周波数設定手段６９３と、駆動信号発生手段から出力される駆動信号の駆動波形を選択するための駆動波形選択手段６９４とを有する。この駆動波形選択手段６９４によって図９（ａ）に示す所定の駆動信号３ａが出力される。
【０１０７】
上記の駆動周波数設定手段６９３は、駆動信号発生手段６９２の駆動周波数Ｆｄ（或いは駆動周期Ｔｄ）を設定することができる。そして、この駆動周波数Ｆｄの設定によって、分解能Ｒｘ＝Ｔｄ×Ｖｘを適宜の値に調整することができる。したがって、走査速度Ｖｘを変更しなくても分解能Ｒｘを変更、調整することができるので、製造効率を犠牲にすることなく、上記のように走査方向Ｘの液滴の供給位置を均一化することができ、成膜品位を向上させることができる。
【０１０８】
また、上記液滴供給制御手段６９１によって制御される位置制御手段６９６を有し、この位置制御手段６９６は、液滴供給手段２（上記の液滴供給ヘッド２２に相当する。）や対象物１を動作する駆動機構５（上記のヘッド位置制御装置１７，基板位置制御装置１８，走査駆動装置１９，送り駆動装置２１，ヘッド駆動回路７２に相当する。）を制御駆動する。
【０１０９】
本実施形態においては、図５に示す複数のノズル毎にそれぞれ異なる駆動信号３ａを供給するために、駆動信号調整手段６９５が設けられている。この駆動信号調整手段６９５は、駆動波形選択手段６９４から出力された駆動波形（図９（ａ））を元に、複数のノズル毎にそれぞれ必要な駆動周期にのみ駆動波形を有する個別の駆動信号を形成する。これらの個別の駆動信号は、たとえば、図９（ｂ）に示すように、ノズル毎に、そのいずれの駆動周期Ｔｄに駆動波形を形成し、いずれの駆動周期Ｔｄに駆動波形を形成しないかを調整したものである。なお、単一の駆動信号のみが必要とされる場合には、上記の駆動信号調整手段６９５は不要である。
【０１１０】
上記駆動信号としては、図９（ｃ）又は（ｄ）に示すように、基準となるノズルに対応する駆動信号（ａ）或いは（ｂ）に対して、上記の供給タイミングの時間差δｔｓだけ、位相差を設けることができる。そして、この時間差δｔｓに応じてノズル間の液滴の供給タイミングをずらすことができるので、駆動周期に上記の時間差を有する複数の駆動信号を複数のノズル２ａのそれぞれに設けられた液滴供給構造２Ａに印加することによって、上述の原理に従って送り方向Ｙの領域Ｐ間の液滴供給位置のばらつきを抑制できる。
【０１１１】
（実施例）  次に、上記の説明に対応するより具体的な実施例について説明する。図７は、いわゆるデルタ配列と呼ばれる平面周期パターン（カラーパターン）１Ｐ′を示すものである。この平面周期パターン１Ｐ′の具体例としては、たとえば、後述するカラーフィルタのフィルタエレメントの配列パターンやＥＬ装置などにける発光領域の配列パターンなどが挙げられる。この平面周期パターン１Ｐ′内に配列された複数の領域Ｐには、複数種類の色要素Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかが形成されている。ここで、平面周期パターン１Ｐ′における走査方向Ｘに見た構造周期としては、全ての色要素Ｒ，Ｇ，Ｂの領域Ｐを同一の構造単位と見た場合の構造小周期ｄｘと、色要素Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれを別々の構造単位と見た場合の構造大周期Ｄｘとが存在する。また、これと同様に、平面周期パターン１Ｐ′における送り方向Ｙに見た構造周期としては、全ての色要素Ｒ，Ｇ，Ｂの領域Ｐを同一の構造単位と見た場合の構造小周期ｄｙと、色要素Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの領域Ｐを別々の構造単位と見た場合の構造大周期Ｄｙとが存在する。
【０１１２】
本実施形態では、上記のデルタ配列を有する平面周期パターン１Ｐ′において、色要素Ｒ，Ｇ，Ｂ毎に別々の液滴供給手段２Ｒ，２Ｇ，２Ｂを用いて形成していくようにしている。そして、色要素Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれか一つのみ（たとえばＲ）に注目すると、平面周期パターン１Ｐ′を、構造周期Ｄｘ，Ｄｙを備えた一種の色要素（たとえばＲ）の領域Ｐのみが配列された平面周期構造であるものとみなして、上記と同様の成膜方法を実施することができる。
【０１１３】
なお、このデルタ配列の平面周期パターン１Ｐ′においては、走査方向Ｘに配列された領域Ｐの列Ｙ１〜Ｙ６の相互の位置関係が図１乃至図３に示す平面周期構造の場合と異なる。すなわち、この平面周期パターン１Ｐ′では、走査方向Ｘと直交する方向、すなわち送り方向Ｙに見た異なる２つの位置にある、例えば隣接する列Ｙ１と列Ｙ２との間において、走査方向Ｘの周期性に半周期、すなわち構造周期Ｄｘの半分（π［ｒａｄ］（１８０度））の位相差が存在する。これは、色要素Ｒの領域Ｐのみに注目しても全く同様である。したがって、列間の液滴供給位置の関係としては、図１乃至図３に示すように、全ての列Ｙ１〜Ｙ５において走査方向Ｘの周期性が同位相となっている場合に対して、ノズル位置を走査方向Ｘに半周期ずらすか、液滴を吐出する駆動周期を構造周期Ｄｘの位相差（半周期）に相当する分だけ変えるか、或いは、液滴の供給タイミングを上記位相差分だけ変えるかすることによって、上記の説明と同様に成膜できる。
【０１１４】
すなわち、上記平面周期構造１Ｐにおいて説明した場合には、隣接する列間における走査方向の周期性に位相差が存在しなかったため、単にノズル位置のずれδｘのみを考慮すればよかったのであるが、この平面周期パターン１Ｐ′の場合には、隣接する列間における走査方向の周期性に位相差δｄ（＝０．５Ｄｘ）が存在するので、上記のノズル位置のずれδｘと、この位相差δｄとの差δｐ（＝δｄ−δｘ）を求める。そして、このδｐが０になるか、或いは、分解能Ｒｘの自然数倍になるように、上記と同様に、ノズル位置を修正するか、或いは、ノズル間における液滴の供給タイミングをずらすことによって、列間の液滴の供給位置の変動をなくすことができる。
【０１１５】
次に、上記図７に示す平面周期パターン１Ｐ′に対して、実際に、上記成膜装置１６を用いて成膜を行った。ここで、色要素Ｒ，Ｇ，Ｂに対してそれぞれ上記の成膜方法を適用することも可能である。しかしながら、上記の色要素のいずれか一つ或いは二つに対してのみ上記の成膜方法を適用してもよい。色要素のいずれか一つのみに上記の成膜方法を適用する場合には、特に、色要素Ｂ（青）のみに対して上記の成膜方法を用いることが好ましい。なぜならば、色要素Ｂ（青）は、他の色要素Ｒ（赤）やＧ（緑）に較べて成膜ムラに起因する色ムラや輝度ムラが最も目立ちやすいからである。
【０１１６】
ここで、上記のデルタ配列の平面周期パターン１Ｐ′の走査方向Ｘの構造小周期ｄｘを１１４μｍ、送り方向Ｙの構造小周期ｄｙを１１６μｍ、隣接する領域Ｐ間の走査方向Ｘに見た間隙を１６μｍ、送り方向Ｙに見た間隙を２７μｍと設定した。ノズル列のノズル数は１８０、ノズルピッチは１４１．１１μｍ、傾斜角度θは３４．７度、各領域Ｐ内には、図１０に示すように、一回の走査で４ドットの液滴を注入し、４回走査を行うことによって、合計１６ドットの液滴を注入した。ただし、一般には、一回の走査で注入する液滴の数をｊ、走査回数（パス回数）をｋとし、合計Ｌ＝ｊ×ｋ個の液滴を注入することができる。
【０１１７】
液滴に含まれる液状材料の量は、８〜１０［ｎｇ］であり、走査速度Ｖｘを８０［ｍｍ／秒］とした。そして、本実施形態の液滴供給手段２の駆動周波数Ｆｄを１３．３［ｋＨｚ］（すなわち、駆動周期Ｔｄを７５．１８８［μ秒］）とし、これによって分解能Ｒｘを６［μｍ］とした。このとき、走査方向Ｘの構造周期Ｄｘは３４２［μｍ］であり、これを分解能６［μｍ］で除算すると、商は自然数５７で割り切れる。この条件で行う成膜方法を実施例とした。
【０１１８】
また、分解能Ｒｘを４［μｍ］にし、他の条件は上記と同様にしたとき、上記と同様に、走査方向Ｘの構造周期Ｄｘを分解能Ｒｘで除算すると、商は自然数にならず、割り切れない。この条件で行う成膜方法を比較例１とした。
【０１１９】
さらに、分解能Ｒｘを８［μｍ］とし、他の条件は上記と同様にしたときにも、走査方向Ｘの構造周期Ｄｘを分解能Ｒｘで除算しても割り切れない。この条件で行う成膜方法を比較例２とした。
【０１２０】
なお、上記実施例、比較例１及び比較例２は、いずれも、送り方向Ｙに配列される領域間における液滴の供給位置のずれを補償しない方法で行った。
【０１２１】
図１１には、上記比較例２と実施例における色要素Ｂ（青）の領域Ｐについて上記成膜方法を実施したときの当該色要素Ｂの領域Ｐ（Ｂ）の内部の輝度分布を測定した結果を示す。図１１（ａ）は、領域Ｐ（Ｂ）の内部をほぼ２０μｍ間隔で設定した測定点１４箇所を示してある。また、図１１（ｂ）は、上記測定点における比較例２の領域Ｐ（Ｂ）の輝度Ｙの分布を、図１１（ｃ）は、上記測定点における実施例の領域Ｐ（Ｂ）の輝度Ｙの分布を示す。ここで、番号１〜５は走査方向に見た五つの測定位置をそれぞれ示し、これらの走査方向に見た測定位置１〜５に対して、それぞれ、レフト（Ｌ）、センター（Ｃ）、ライト（Ｒ）の３つ或いは２つの測定点がある。
【０１２２】
上記のグラフに示すように、実施例の領域Ｐにおいては、各測定点の輝度Ｙのばらつきが比較例２に較べて大幅に小さくなっている。これによって、実施例では、比較例２よりもより均一で平坦な成膜状態が得られていることがわかる。
【０１２３】
次に、上記比較例１における液滴の供給位置のずれ量を試算した結果を図１２に示し、上記実施例における液滴の供給位置のずれ量を試算した結果を図１３に示し、上記比較例２における液滴の供給位置のずれ量を試算した結果を図１４に示す。これらのデータは、最初の１回の走査時において、図１０に示す４つの液滴の供給位置▲１▼〜▲４▼のうち、走査方向Ｘ側の供給位置▲４▼に向けて吐出される液滴の走査方向Ｘの位置を示すものである。各図の（Ａ）は、上記の位置ずれ量の平面パターンを示すものであり、図示上下方向を上記の走査方向Ｘとし、図示左右方向を送り方向Ｙとして、位置ずれ量の大きいところ（１０〜２０μｍ）を黒く、位置ずれ量の小さいところ（１０μｍ未満）を白く表してある。また、各図の（Ｂ）は走査方向に配列された領域Ｐについて上記の位置の変動パターンをプロットしたもの、各図の（Ｃ）は送り方向に配列された領域Ｐについて上記の位置の変動パターンをプロットしたものである。
【０１２４】
これらを見ると、いずれの成膜方法でも送り方向Ｙの液滴の位置ずれを補償していないので、いずれも送り方向Ｙの周期性（成膜ムラ）は発生しているが、実施例では走査方向の液滴供給位置のばらつきは全く発生していない。一方、比較例１では、走査方向の液滴供給位置の位置は、変動幅は小さいものの周期的に変動していることがわかる。さらに、比較例２では、走査方向の液滴供給位置の変動幅は１４μｍあり、大きく変動している。これによって、実施例では、走査方向に関しては成膜ムラがほとんど発生しないのに対して、比較例１，２では走査方向Ｘに大きな成膜ムラが発生することがわかる。
【０１２５】
本実施形態の成膜方法及び成膜装置を用いて形成された平面周期構造（平面周期パターン）１Ｐ、１Ｐ′においては、少なくとも所定の方向（走査方向Ｘ）に見たときの各領域Ｐ間における成膜状態（厚さ分布や濃度分布など）が均一となり、従来のような周期的な成膜状態の変動が消失する。したがって、数μｍ〜数十μｍ程度の微細な領域が配列されてなる平面周期構造であっても、視野を拡大して観察することによって、成膜状態の高品位化が達成されていることを容易に確認することができる。
【０１２６】
［カラーフィルタ及びその製造方法］
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の実施形態について説明する。この実施形態では、上記成膜装置１６を用いてカラーフィルタ基板を製造する例について説明するが、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、製造に用いる装置構造によって限定されるものではない。図２７はカラーフィルタ基板２の製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｄ）である。このカラーフィルタ基板は、基板１２上にカラーフィルタが形成されたものである。なお、基板１２としては、図２９（ａ）に示すマザー基板３０１と同様に、複数のカラーフィルタ１を縦横に配列させた状態で含む大面積のマザー基板であることが好ましい。
【０１２７】
本実施形態のカラーフィルタ基板１０は、図２７（ｄ）に示すように、ガラスやプラスチックなどによって形成された例えば方形状の基板（基材）１２の表面に、複数のフィルタエレメント９をドットパターン状（ドットマトリクス状）に配置したものである。さらに、カラーフィルタ基板１０には、上記フィルタエレメント９の表面上に保護膜１１が積層されている。
【０１２８】
カラーフィルタ基板１０は、基板１２の表面上に、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁６が形成され、この隔壁６により例えば方形状の領域７が区画されていて、この領域７を色材で埋めることによってフィルタエレメント９が形成される。これらのフィルタエレメント９は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色の色材によって形成され、それらの各色のフィルタエレメント９Ｒ，９Ｇ，９Ｂが所定の配列に並べられている。この配列としては、例えば、図７に示すデルタ配列（フィルタエレメントの配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメントがＲ，Ｇ，Ｂとなる配列）の他に、図３７（ａ）に示すストライプ配列（マトリクスの縦に並ぶ列のフィルタエレメントが全て同色になる配列）、図３７（ｃ）に示すモザイク配列（縦横の直線状に並んだ任意の３つのフィルタエレメントがＲ，Ｇ，Ｂの３色となる配列）などが挙げられる。なお、本発明における「隔壁」は、「バンク」の意味をも含む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側面に限らず、或る程度の傾斜角を持った側面を有するものを含み、基板から見て凸になる部分を指す。
【０１２９】
なお、カラーフィルタ基板１０において、１個のフィルタエレメント９の大きさは、例えば３０μｍ×１００μｍである。そして、隣接するフィルタエレメント９の間隔、すなわちエレメント間ピッチは、例えば７５μｍである。
【０１３０】
本実施形態のカラーフィルタ基板１０をカラー表示（フルカラー表示）のための光学要素として用いる場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂ３個のフィルタエレメント９を１つのユニットとして画素が構成され、１画素内のＲ，Ｇ，Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に透過させることにより、カラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁６はブラックマスクとして作用するように構成できる。
【０１３１】
上記のカラーフィルタが上記の大面積のマザー基板において複数形成される場合には、このマザー基板を切断することによって相互に分離され、個々のカラーフィルた基板１０が形成される。具体的には、まず、マザー基板内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域（単位領域）のそれぞれの表面にカラーフィルタの１個分のパターンを形成する。そして、それらのカラーフィルタ形成領域の周りに分断用の溝を形成し、これらの溝に沿って応力を加えるなどの方法でマザー基板を分断（破断）させることにより、個々のカラーフィルタ基板１０が形成される。
【０１３２】
次に、上述のカラーフィルタ基板１０の製造方法についてより具体的に説明する。図２７（ａ）に示すように、まず、基板１２の表面に透光性のない樹脂材料によって隔壁６を矢印Ｂ方向から見たときに格子状のパターンになるように形成する。格子状パターンの格子穴の部分は、フィルタエレメント９が形成される領域７、すなわちフィルタエレメント形成領域である。この隔壁６によって画成される個々の領域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば３０μｍ×１００μｍ程度に形成される。
【０１３３】
隔壁６は、領域７に供給される液状材料であるフィルタエレメント材料１３の流動を阻止する機能と、領域７間を遮光するブラックマスクの機能とを併せて有する。また、隔壁６は任意のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。
【０１３４】
隔壁６の形成後、図２７（ｂ）に示すように、フィルタエレメント材料１３の液滴８を各領域７に供給することにより、各領域７をフィルタエレメント材料１３で埋める。これは、例えば、上述の成膜装置１６の液滴供給ヘッド２２からフィルタエレメント材料１３の液滴８を吐出させ、領域７内に着弾させることによって行われる。図２７（ｂ）において、符号１３ＲはＲ（赤）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１３ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１３ＢはＢ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示す。
【０１３５】
各領域７に所定量のフィルタエレメント材料１３が充填されると、ヒータによって例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料１３の溶媒を蒸発させる。この蒸発により、図２７（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１３の体積が減少し、平坦化する。体積の減少が著しい場合には、カラーフィルタとして充分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返し実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料１３の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色のフィルタエレメント９が完全に成膜される。
【０１３６】
上記のようにフィルタエレメント９が形成された後に、各フィルタエレメント９を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート法、ディピング法、又は、インクジェット法などといった適宜の手法を用いて保護膜１１を形成する。この保護膜１１は、フィルタエレメント９などの保護及びカラーフィルタ基板１０の表面の平坦化のために形成されるものである。なお、本実施形態では、隔壁６の樹脂を非透光性のものとしていて、遮光機能を有するもの（ブラックマトリクス）として構成しているが、隔壁６を構成する樹脂に透光性のものを用いる代りに、当該樹脂の下層に当該樹脂よりも一回り広いサイズのＣｒなどの金属などからなる遮光層を形成してもよい。
【０１３７】
本実施形態においては、図２７（ｂ）に示すようにフィルタエレメント材料１３をインクとして、上記成膜装置１６によって各領域７にそのインクの液滴８を着弾させることにより、フィルタエレメント３を形成するようにしている。この場合、３色のフィルタエレメント９（９Ｒ，９Ｇ，９Ｂ）を形成するための３種のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを、全て基板１２（マザー基板）に対する同じ走査方向Ｘに相対的に液滴供給ヘッド２２を走査させながら吐出していく。この走査ステップと、送り方向Ｙへ送る送り動作とを順次に繰り返して行う方法は、上記成膜装置１６について説明したとおりであり、その際に用いる液滴の供給位置に関する制御方法は上記成膜方法について説明したとおりである。
【０１３８】
［カラーフィルタを備えた表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
図２３は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）の製造方法の一例としての、液晶装置の製造方法の実施形態を示している。また、図２４は、当該製造方法によって製造される表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置１０１の実施形態を示している。さらに、図２５は、図２４のＩＸ−ＩＸ線に沿った液晶装置１０１の断面構造を示している。最初に、この液晶装置１０１の構造について図２４及び図２５を参照して説明する。なお、この液晶装置１０１は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置である。
【０１３９】
図２４に示すように、液晶装置１０１は、液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものである。液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６をバックライトとして設けることによって構成されている。
【０１４０】
液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わせることによって形成される。シール材１０８は、例えば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状（周回状）に付着することによって形成される。また、シール材１０８の内部には図２５に示すように導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が分散状態で含まれる。
【０１４１】
図２５に示すように、第１基板１０７ａは透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内側表面（図２５の上側表面）には反射膜１１２が形成されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図２４参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａの外側表面（図２５の下側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着される。
【０１４２】
図２４においては、第１電極１１４ａの配列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１ａ上に形成されている。
【０１４３】
図２５に示すように、第２基板１０７ｂは透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内側表面（図２５の下側表面）にはカラーフィルタ１１８が形成され、その上に第２電極１１４ｂが上記第１電極１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状（図２４参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの外側表面（図２５の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などによって装着されている。
【０１４４】
図２４おいては、第２電極１１４ｂの配列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第２電極１１４ｂの本数よりも実際には多数の第２電極１１４ｂが基材１１１ｂ上に形成されている。
【０１４５】
図２５に示すように、第１基板１０７ａ、第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる液晶封入領域の基板間隙、いわゆるセルギャップの内部には液晶Ｌ、例えばＳＴＮ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されている。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これらのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することにより、そのセルギャップが均一に維持されるようになっている。
【０１４６】
第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは互いに直交する方向に伸びるように配設されている。それらが平面的に交差する部分は、図２５の矢印Ｄ方向から見てドットマトリクス状に配列されている。そして、そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドットを構成する。カラーフィルタ１１８は、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の各色要素（フィルタエレメント）を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配列させることによって構成されている。上記の一つの表示ドットはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれ一つずつに対応している。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の表示ドットにより一つの画素（ピクセル）が構成されるようになっている。
【０１４７】
マトリクス状に配列される表示ドットを選択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効表示領域である。この有効表示領域は、図２４及び図２５において符号Ｖによって示されている。
【０１４８】
図２５に示すように、反射膜１１２はＡＰＣ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によって形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドットに対応する位置に開口１２１が形成されている。したがって、開口１２１は図２５の矢印Ｄから見て表示ドットと同様にマトリクス状に配列されている。
【０１４９】
第１電極１１４ａおよび第２電極１１４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ，１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜１１６ａ，１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。
【０１５０】
図２４に示すように、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材１０９（図２５参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用ＩＣ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成されている。
【０１５１】
このとき、第１電極１１４ａから伸びる引出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴＯによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ，１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例えば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ％の組成を有する合金である。
【０１５２】
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂは、ＡＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４ｅ，１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ，１１４ｄとが導電接続される。
【０１５３】
図２４において、ＦＰＣ１０４は、可撓性の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有する。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付けその他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ，Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０７ａのうち金属配線１１４ｅ，１１４ｆが形成された部分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属配線１１４ｅ，１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２７とが導通する。
【０１５４】
ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々に制御される。
【０１５５】
図２４に示す照明装置１０６は、図２５に示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有する。
【０１５６】
ＬＥＤ１３６はＬＥＤ基板１３７に支持され、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するための緩衝部材を示している。
【０１５７】
ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート１３３を通して外部へ平面光として出射される。
【０１５８】
以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図２５において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これを挟持する電極１１４ａ，１１４ｂによってＲ，Ｇ，Ｂの表示ドット毎に配向制御される。したがって、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調され、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行われる。
【０１５９】
他方、外部光の光量が充分に得られない場合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表示が行われる。
【０１６０】
上記構成の液晶装置１０１は、例えば、図２３に示す製造方法によって製造される。この製造方法においては、工程Ｐ１〜Ｐ６の一連の工程が第１基板１０７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４の一連の工程が第２基板１０７ｂを形成する工程である。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、それぞれが独自に行われる。
【０１６１】
まず、第１基板形成工程では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基板の表面に、フォトリソグラフィ法などを用いて液晶パネル１０２の複数個分の反射膜１１２を形成する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を用いて成形する（工程Ｐ１）。次に、フォトリソグラフィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４ｃ，１１４ｄおよび金属配線１１４ｅ，１１４ｆを形成する（工程Ｐ２）。
【０１６２】
この後、第１電極１１４ａの上に塗布、印刷などによって配向膜１１６ａを形成し（工程Ｐ３）、さらにその配向膜１１６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次に、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のスペーサ１１９を分散させる（工程Ｐ６）。以上の工程により、液晶パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
【０１６３】
この第１基板形成工程とは別に、第２基板形成工程（図２３の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１１８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタ１１８の形成工程は図２７に示した製造方法を用いて行われ、その製造方法中のＲ、Ｇ、Ｂの各色フィルタエレメントの形成は図１５に示す成膜装置１６を用いて実行される。これらカラーフィルタの製造方法および液滴供給ヘッド２２の制御方法は既に説明した内容と同じであるので、それらの説明は省略する。
【０１６４】
図２７（ｄ）に示すようにマザー基板１２すなわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ１すなわちカラーフィルタ１１８が形成されると、次に、フォトリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂが形成される（工程Ｐ１２）。さらに、塗布、印刷などによって配向膜１１６ｂが形成される（工程Ｐ１３）。次に、その配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
【０１６５】
以上により、大面積のマザー第１基板およびマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板同士を、シール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせし、互いに貼り合わせる（工程Ｐ２１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいるが未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。
【０１６６】
次に、完成した空のパネル構造体の所定の位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板をブレイク（破断）させることによって分断する（工程Ｐ２２）。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１０（図２４参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。
【０１６７】
その後、露出した液晶注入用開口１１０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入することによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通してパネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理を受ける。
【０１６８】
その後、液晶注入および洗浄が終わった後の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶パネル１０２が個々に切り出される（工程Ｐ２５）。こうして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図２４に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標とする液晶装置１０１が完成する（工程Ｐ２６）。
【０１６９】
以上に説明した液晶装置及びその製造方法は、特にカラーフィルタを製造する段階において、上述の成膜方法のいずれかによって実施される。したがって、フィルタエレメント材料の液滴の走査方向に沿って配列された複数の領域間の液滴供給位置のばらつきが解消され、さらに、付加的な構成によって送り方向に沿って配列された複数の領域間の液滴供給位置のばらつきをも低減させることができる。したがって、上記と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラが低減されるため、液晶装置の表示品位が向上する。
【０１７０】
また、本実施形態においては、走査方向Ｘの液滴供給位置の分解能Ｒｘの自然数倍が構造周期Ｄｘとなるように構成することによって、走査速度Ｖｘをいたずらに低下させたり、また、駆動周波数Ｆｄをいたずらに高めたりすることなく、成膜ムラを低減することができ、製造効率を低下させるおそれも少ない。
【０１７１】
なお、上記実施形態では、表示装置として液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記と同様のカラーフィルタ（基板）を備えた表示装置として、液晶装置以外の他の電気光学装置、例えば、ＥＬ素子、プラズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けたものに適用することも可能である。すなわち、例えばＥＬ素子の場合、ＥＬ発光機能を有する複数の表示ドットに対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタを平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０１７２】
［ＥＬ素子を用いた表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
図２６は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）及びその製造方法の一例としてのＥＬ装置（ＥＬ装置用基板）及びその製造方法の実施形態を示している。また、図２８はその製造方法の主要工程および最終的に得られるＥＬ装置の主要断面構造を示している。図２８（ｄ）に示すように、ＥＬ装置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成し、各画素電極２０２間にバンク２０５を矢印Ｇ方向から見て格子状になるように形成する。それらの格子状凹部の中には、正孔注入層２２０が形成され、矢印Ｇ方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３ＧおよびＢ色発光層２０３Ｂを各格子状凹部の中に形成されている。さらに、それらの上には対向電極２１３が形成される。
【０１７３】
上記画素電極２０２をＴＦＤ（薄膜ダイオード）素子などといった２端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極２０２をＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などといった３端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は単一な面電極として形成される。
【０１７４】
各画素電極２０２と各対向電極２１３とによって挟まれる領域が１つの表示ドットとなり、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の表示ドットが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。各表示ドットを流れる電流を制御することにより、複数の表示ドットのうちの希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に光を出射させ、希望するフルカラー像を表示することができる。
【０１７５】
上記ＥＬ装置２０１は、例えば、図２６に示す製造方法によって製造される。すなわち、工程Ｐ５１および図２８（ａ）に示すように、透明基板２０４の表面にＴＦＤ素子やＴＦＴ素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、例えばフォトリソグラフィ法、真空状着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素電極２０２の材料としてはＩＴＯ、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
【０１７６】
次に、工程Ｐ５２および図２８（ａ）に示すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターンニング手法、例えばフォトリソグラフィ法を用いて形成し、このバンク２０５によって各透明な画素電極２０２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。バンク２０５の材料としては、ＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できるものであることが好ましく、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が挙げられる。
【０１７７】
次に、機能性液状材料としての正孔注入層用液状材料を塗布する直前に、透明基板２０４に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う（工程Ｐ５３）。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
【０１７８】
次に、工程Ｐ５４および図２８（ａ）に示すように、正孔注入層用液状材料を図１５に示す成膜装置１６の液滴供給ヘッド２２から吐出し、各画素電極２０２の上にパターニング塗布を行う。具体的な液滴供給ヘッド２２の制御方法は、上述の方法のいずれかの方法が用いられる。その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５５）。この後、大気中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用液状材料と相溶しない正孔注入層２２０を形成する（工程Ｐ５６）。上記条件では、膜厚は４０ｎｍであった。
【０１７９】
次に、工程Ｐ５７および図２８（ｂ）に示すように、各正孔注入層２２０の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用液状材料及び機能性液状材料であるＥＬ発光材料としてのＧ発光層用液状材料を塗布する。ここでも、各発光層用液状材料は、図１５に示す成膜装置１６の液滴供給ヘッド２２から吐出させる。液滴供給ヘッド２２の制御方法は、上記方法のいずれかにおいて、上記カラーフィルタの各色相の代りにＥＬ発光材料の発光色を適用させた方法が用いられる。このようなインクジェット（液滴供給）方式によれば、微細なパターニングを簡便にかつ短時間に行うことができる。また、液状材料の固形分濃度および吐出量を変えることにより膜厚を変えることが可能である。
【０１８０】
発光層用液状材料の塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５８）。続けて、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇを形成する（工程Ｐ５９）。上記条件による形成で膜厚は５０ｎｍとなった。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。
【０１８１】
なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機ＥＬ装置を提供できる。
【０１８２】
次に、工程Ｐ６０および図２８（ｃ）に示すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを各表示ドット内のＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇおよび正孔注入層２２０の上に重ねて形成した。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができるという効果が得られる。また、Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｒ色発光層２０３Ｒ又はＧ色発光層２０３Ｇに積層されたＢ色発光層２０３Ｂが電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しないように構成できる。
【０１８３】
以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様のインクジェット法を採用することもできる。
【０１８４】
その後、工程Ｐ６１および図２８（ｄ）に示すように、対向電極２１３を形成することにより、目標とするＥＬ装置２０１が製造される。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィ法などといったパターニング手法を用いて形成できる。
【０１８５】
以上説明したＥＬ装置２０１及びその製造方法によれば、液滴供給ヘッドの制御方法として上記のいずれかの方法を採用することにより、上述と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラを低減でき、また、ＥＬ装置２０１の発光面の発光分布特性を平面的に均一にすることができる。
【０１８６】
また、本実施形態のＥＬ装置及びその製造方法では、図１５に示す成膜装置１６を用いることにより、液滴供給ヘッド２２を用いたインク吐出によってＲ、Ｇ、Ｂの各表示ドットを形成するので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要もなく、また材料を浪費することもない。
【０１８７】
［電子機器］
最後に、図３５及び図３６を参照して、本発明に係る電子機器の実施形態について説明する。この実施形態では、電気光学装置である液晶装置１０１を表示手段として備えた電子機器について説明する。図３５は、本実施形態の電子機器における液晶装置１０１に対する制御系（表示制御系）の全体構成を示す概略構成図である。ここに示す電子機器は、表示情報出力源２９１と、表示情報処理回路２９２と、電源回路２９３と、タイミングジェネレータ２９４とを含む表示制御回路２９０を有する。また、上記と同様の液晶装置１０１には、上記表示領域を駆動する駆動回路１０１Ｇが設けられている。この駆動回路１０１Ｇは、上記の液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂや回路１２６などによって構成される。この駆動回路１０１Ｇは、パネル表面上に形成された半導体ＩＣや回路パターン、液晶パネルに導電接続された回路基板に実装された半導体ＩＣチップ若しくは回路パターン、或いは、電子機器の内部に構成された各種回路などによって任意に構成することができる。
【０１８８】
表示情報出力源２９１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等からなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスク等からなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備え、タイミングジェネレータ２９４によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等の形で表示情報を表示情報処理回路２９２に供給するように構成されている。
【０１８９】
表示情報処理回路２９２は、シリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１０１Ｇへ供給する。駆動回路１０１Ｇは、走査線駆動回路、信号線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路２９３は、上述の各構成要素にそれぞれ所定の電圧を供給する。
【０１９０】
図３６は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話を示す。この携帯電話１０００は、操作部１００１と、表示部１００２とを有する。操作部１００１の前面には複数の操作ボタンが配列され、送話部の内部にマイクが内蔵されている。また、表示部１００２の受話部の内部にはスピーカが配置されている。
【０１９１】
上記の表示部１００２においては、ケース体の内部に回路基板１１００が配置され、この回路基板１１００に対して上述の液晶装置１０１が実装されている。ケース体内に設置された液晶装置１０１は、表示窓１０１Ａを通して表示面を視認することができるように構成されている。
【０１９２】
［その他の実施の形態］
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【０１９３】
例えば、図１５および図１６に示した成膜装置（カラーフィルタ基板の製造装置、ＥＬ装置用基板の製造装置）では、液滴供給ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させて基板１２を走査し、基板１２を送り駆動装置２１によって移動させることにより、液滴供給ヘッド２２の基板１２に対する送り動作を実現しているが、これとは逆に、基板１２の移動によって走査を実行し、液滴供給ヘッド２２の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、液滴供給ヘッド２２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、液滴供給ヘッド２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動するいずれの構成とすることができる。
【０１９４】
また、上記実施の形態では、圧電素子の撓み変形を利用して液状材料を吐出する構造の液滴供給ヘッド４２１を用いたが、他の任意の構造の液滴供給ヘッド、例えば加熱により発生するバブルにより液状材料を吐出する方式の液滴供給ヘッドなどを用いることもできる。
【０１９５】
そして、成膜装置１６が製造に使用されるのは、カラーフィルタ基板や液晶装置１０１、ＥＬ装置２０１などに限定されるものではなく、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ：フィールドエミッションディスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ：プラズマディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状材料を各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ：陰極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）に用いることができる。
【０１９６】
本発明の成膜装置や成膜方法は、カラーフィルタや表示装置（電気光学装置）を含む、基板（基材）を有するデバイスであって、その基板（基材）に液滴８を吐出する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程において用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料、金属含有塗料などをインクジェット方式にて吐出して金属配線などをする構成、基材上に形成される微細なマイクロレンズをインクジェット方式による吐出にて光学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布するようにインクジェット方式にて吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどをインクジェット方式にて吐出形成して光散乱板を形成する構成、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：リボ核酸）をインクジェット方式にて吐出させて蛍光標識プローブを作製してＤＮＡチップ上でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）などをインクジェット方式にて吐出させてバイオチップを形成する構成などにも利用できる。
【０１９７】
また、液晶装置１０１としても、ＴＦＴなどのトランジスタやＴＦＤのアクティブ素子を画素に備えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を取り囲む隔壁６を形成し、この隔壁６にて形成される凹部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフィルタ１を形成するような構成のもの、画素電極上にインクとして色材および導電材を混合したものをインクジェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラーフィルタ１を導電性カラーフィルタとして形成する構成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒をインクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装置１０１の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用可能である。
【０１９８】
さらに、カラーフィルタ１に限られず、ＥＬ装置２０１など、他のいずれの電気光学装置に適用でき、ＥＬ装置２０１としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応するＥＬが帯状に形成されるストライプ型や、上述したように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成でもできる。
【０１９９】
そして、上記各実施形態の電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、例えば図３６に示すような携帯電話１０００に限らず、ＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｈａｎｄｙ  ｐｈｏｎｅ  Ｓｙｓｔｅｍ）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Ｐｏｉｎｔ  Ｏｆ  Ｓａｌｅｓ）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、パーソナルコンピュータ、エンジニアリング・ワークステーション（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  Ｗｏｒｋ  Ｓｔａｔｉｏｎ：ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る成膜方法の実施形態の説明図。
【図２】同成膜方法を示すための平面図。
【図３】同成膜方法の変形例を示すための平面図。
【図４】図３に示す成膜方法の概念を説明するための説明図。
【図５】図４に示す成膜方法を実施するための液滴供給手段の構成図。
【図６】成膜方法を実施するためのノズル配置を示す説明図（ａ）及び（ｂ）。
【図７】デルタ配列の平面周期パターンを示す平面図。
【図８】描画制御部の構成を示す構成ブロック図。
【図９】液滴供給手段の駆動信号を示すタイミングチャート（ａ）〜（ｄ）。
【図１０】領域への液滴の供給位置を示す説明図。
【図１１】領域の測定点を示す図（ａ）、測定点の輝度グラフ（ｂ）及び（ｃ）。
【図１２】比較例１における液滴供給位置のずれパターンを示す図（ａ）、走査方向の位置ずれを示すグラフ（ｂ）及び送り方向の位置ずれを示すグラフ（ｃ）。
【図１３】実施例における液滴供給位置のずれパターンを示す図（ａ）、走査方向の位置ずれを示すグラフ（ｂ）及び送り方向の位置ずれを示すグラフ（ｃ）。
【図１４】比較例２における液滴供給位置のずれパターンを示す図（ａ）、走査方向の位置ずれを示すグラフ（ｂ）及び送り方向の位置ずれを示すグラフ（ｃ）。
【図１５】成膜装置の全体構成を示す概略斜視図。
【図１６】成膜装置の主要部を示す部分斜視図。
【図１７】液滴供給ヘッドの構造を示す説明図。
【図１８】異なる液滴供給ヘッドの構造を示す説明図。
【図１９】液滴供給ヘッドの内部構造を示す斜視図（ａ）及び部分縦断面図（ｂ）。
【図２０】成膜装置の制御系の全体構成を示す構成ブロック図。
【図２１】成膜装置の動作を示す概略フローチャート。
【図２２】別の液滴供給ヘッドの構造を示す説明図。
【図２３】液晶装置の製造工程を示す工程フローチャート。
【図２４】液晶装置の分解斜視図。
【図２５】図２４のＩＸ−ＩＸ線で切断した状態を示す液晶装置の縦断面図。
【図２６】ＥＬ装置（ＥＬ装置用基板）の製造工程を示す工程フローチャート。
【図２７】カラーフィルタ基板の製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｄ）。
【図２８】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｄ）。
【図２９】マザー基板上のカラーフィルタ配列を示す部分平面図（ａ）、マザー基板に対する成膜方法を示す説明図（ｂ）及び液滴供給手段のノズル配列を示す説明図（ｃ）。
【図３０】領域に対する液滴の配置状態を示す工程断面図（Ａ−１）〜（Ａ−４）及び（Ｂ−１）〜（Ｂ−４）。
【図３１】液滴供給による領域内における液状材料の配置平面図（ａ）〜（ｃ）。
【図３２】液滴供給時における分解能Ｒ１〜Ｒ３の相違による液状材料の配置態様を示す説明図（ａ）〜（ｃ）。
【図３３】液滴供給の分解能と領域における液状材料の配置との関係を示す説明図。
【図３４】走査方向の輝度Ｙの変動を示すグラフ（ａ）及び送り方向の輝度Ｙの変動を示すグラフ（ｂ）。
【図３５】液晶装置１０１を備えた電子機器における表示制御系の構成を示す構成ブロック図。
【図３６】電子機器の一例としての携帯電話の外観図。
【図３７】カラーフィルタの配列パターンの例を示す平面図（ａ）及び（ｂ）。
【符号の説明】
１…対象物、１Ｐ，１Ｐ′…平面周期構造（平面周期パターン）、２…液滴供給手段、２ａ…ノズル、２ｂ…配列方向、３…駆動手段、４ａ…液滴、４ｂ…液状材料、５…駆動機構、Ｘ…走査方向、Ｙ…送り方向、Ｐ…領域、Ｄｘ、Ｄｙ…構造周期、Ｔｄ…駆動周期、Ｆｄ…駆動周波数、Ｒｘ…分解能、Ｖｘ…走査速度、６…隔壁（バンク）、７…領域、８…液滴、９…フィルタエレメント、１０…カラーフィルタ基板、１２…基板（マザー基板）、１３…フィルタエレメント材料、１６…成膜装置（製造装置）、２２…液滴供給ヘッド、２７…ノズル、２８…ノズル列、１０１…液晶装置、２０１…ＥＬ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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