(57)【要約】【課題】これまで以上に正確に記録媒体の表面で突起物を検出することができる突起物検出方法を提供する。【解決手段】関数発生回路３３は記録媒体の回転に同期して正弦波信号および余弦波信号を生成する。乗算回路３４ａ、３４ｂは正弦波信号とアコースティックエミッションセンサ３１の検知信号との積並びに余弦波信号と同検知信号との積を特定する参照信号を出力する。参照信号は記録媒体の規定の回転数にわたって積分される。積分の結果は加算回路３６で足し合わせられる。こうして記録媒体の回転に同期する信号成分は抽出される。こういった信号成分は比較的に高い確率で記録媒体上の突起物に対応する。記録媒体上の突起物は高い精度で検出される。【選択図】　　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準姿勢からの記録媒体の回転角を特定する角位置信号を取得する工程と、記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検知する衝突検知センサから出力される検知信号を取得する工程と、角位置信号および検知信号に基づき記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検出する工程とを備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記衝突検知センサは、浮上スライダに搭載されるアコースティックエミッションセンサであることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記角位置信号の生成にあたって、記録媒体の基準姿勢を特定するインデックス信号を取得する工程と、インデックス信号の周期に基づき正弦波信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【請求項４】
請求項３に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記角位置信号の生成にあたって、記録媒体の基準姿勢を特定するインデックス信号を取得する工程と、インデックス信号の周期に基づき余弦波信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【請求項５】
請求項４に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記正弦波信号および検知信号の積を特定する第１参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第１参照信号の積分値を特定する第１積分値信号を生成する工程と、前記余弦波信号および検知信号の積を特定する第２参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第２参照信号の積分値を特定する第２積分値信号を生成する工程と、第１および第２積分値信号に基づき、積分値同士の和を特定する比較参照信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった磁気記憶装置に組み込まれる記録媒体に関し、特に、記録媒体の表面に存在する突起物を検出する記録媒体の突起物検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば特開平９−６３０５０号公報に記載されるように、磁気ディスク上の突起物を検出する検査装置は広く知られる。この検査装置では、回転する磁気ディスクの表面に向き合わせられる浮上スライダに圧電素子すなわちＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）素子が搭載される。浮上スライダが磁気ディスクの表面で突起物に衝突すると、衝突音（弾性波）が発生する。こうした衝突音はＰＺＴ素子で電気信号に変換される。ＰＺＴ素子から出力される電圧信号の変化が規定の振幅値を越えると、突起物の存在は認識される。
【０００３】
ハードディスク駆動装置では記録密度の向上にあたってヘッドスライダの浮上高さは低減されていく。したがって、これまで以上にヘッドスライダは磁気ディスクに接近していく。磁気ディスクには今まで以上に突起物の高さの低減が求められる。前述の検査装置で規定の振幅値すなわち閾値がさらに低減されていかなければ、突起物の高さが低減されることはできない。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−６３０５０号公報
【特許文献２】
特開２００２−２２７１６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ＰＺＴ素子から出力される電圧信号には様々なノイズが紛れ込む。こういったノイズが規定の振幅値を越えてしまうと、検査装置では誤って突起物の存在が認識されてしまう。前述のように閾値が低減されていくと、こういった誤認識の確立は高まっていくと想像される。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、これまで以上に正確に記録媒体の表面で突起物を検出することができる突起物検出方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、基準姿勢からの記録媒体の回転角を特定する角位置信号を取得する工程と、記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検知する衝突検知センサから出力される検知信号を取得する工程と、角位置信号および検知信号に基づき記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検出する工程とを備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法が提供される。
【０００８】
一般に、記録媒体上の突起物は同一の角位置で浮上スライダに衝突すると考えられる。検知信号では、浮上スライダと突起物との衝突に基づき生成される変化は記録媒体の回転に同期すると考えられる。すなわち、角位置信号すなわち記録媒体の回転に同期する信号成分は比較的に高い確率で記録媒体上の突起物に対応すると考えられる。こういった信号成分が検知信号から抽出されれば、記録媒体上の突起物は高い精度で検出されることができる。
【０００９】
記録媒体の回転にあたって、記録媒体の表面と、記録媒体の表面に向き合わせられる浮上スライダとの間で一定の相対移動速度が維持される。一般に、浮上スライダは、記録媒体の回転に基づき生成される気流の働きで記録媒体の表面から浮上することができる。浮上スライダの浮上高さは浮上スライダと記録媒体の表面との相対移動速度に依存する。したがって、記録媒体の表面と浮上スライダとの間に一定の相対移動速度が維持されれば、浮上スライダは一定の浮上高さで記録媒体の表面から浮上し続けることができる。こうして一定の浮上高さ以上の突起物は検出される。こういった相対移動速度の確立にあたって、記録媒体の回転速度は、浮上スライダが記録媒体の回転中心から遠ざかるにつれて減少すればよい。
【００１０】
衝突検知センサは、記録媒体の表面および浮上スライダの衝突に基づき発生する衝突音を検知すればよい。こういった衝突検知センサには例えばアコースティックエミッション（ＡＥ）センサが挙げられる。ＡＥセンサは例えば浮上スライダに搭載されればよい。こういった構成によれば、ＡＥセンサは浮上スライダと記録媒体の表面との衝突音（弾性波）を確実に拾い上げることができる。このとき、ＡＥセンサはＰＺＴ素子といった圧電素子で構成されればよい。
【００１１】
前述のような突起物検出方法は、角位置信号の生成にあたって、記録媒体の基準姿勢を特定するインデックス信号を取得する工程と、インデックス信号の周期に基づき正弦波信号を生成する工程とをさらに備えればよい。こういった正弦波信号は記録媒体の回転速度に拘わらず正確に記録媒体の角位置を反映することができる。同時に、突起物検出方法は、インデックス信号の周期に基づき余弦波信号を生成する工程をさらに備えればよい。こういった余弦波信号は記録媒体の回転速度に拘わらず正確に記録媒体の角位置を反映することができる。
【００１２】
加えて、突起物検出方法は、正弦波信号および検知信号の積を特定する第１参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第１参照信号の積分値を特定する第１積分値信号を生成する工程と、前記余弦波信号および検知信号の積を特定する第２参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第２参照信号の積分値を特定する第２積分値信号を生成する工程と、第１および第２積分値信号に基づき、積分値同士の和を特定する比較参照信号を生成する工程とをさらに備えればよい。こういった工程によれば、記録媒体の回転に同期する信号成分は確実に検知信号から抽出されることができる。
【００１３】
以上のような突起物検出方法の実現にあたって、例えば、記録媒体の回転に同期する三角関数波信号を生成する関数発生回路と、アコースティックエミッションセンサから出力される検知信号に正弦波信号を掛け合わせ、第１参照信号を出力する第１乗算回路と、記録媒体の規定の回転数にわたって第１参照信号の積分値を算出する第１積分回路と、アコースティックエミッションセンサから出力される検知信号に余弦波信号を掛け合わせ、第２参照信号を出力する第２乗算回路と、記録媒体の規定の回転数にわたって第２参照信号の積分値を算出する第２積分回路と、第１および第２積分回路の出力を足し合わせる加算回路とを備えることを特徴とする記録媒体向け凹凸検査装置は提供される。
【００１４】
この記録媒体向け凹凸検査装置は、回転軸回りで記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、スピンドルモータに装着される記録媒体の表面に向き合わせられて、アコースティックエミッションセンサを支持する浮上スライダと、スピンドルモータの回転軸に対して特定される浮上スライダの相対位置に基づき回転軸の回転速度を制御する制御回路とをさらに備えればよい。前述のように、ＡＥセンサは例えばＰＺＴ素子といった圧電素子であればよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施形態に係る記録媒体向け凹凸検査装置１１の構造を概略的に示す。この凹凸検査装置１１は、鉛直方向に延びる回転軸１２でディスク形の記録媒体すなわち磁気ディスク１３を受け止めるスピンドルモータ１４を備える。磁気ディスク１３の中心は回転軸１２の中心軸上に位置決めされる。スピンドルモータ１４は回転軸１２回りに任意の水平面内で磁気ディスク１３を回転させることができる。
【００１７】
スピンドルモータ１４にはセンサアセンブリ１５が関連付けられる。このセンサアセンブリ１５は、磁気ディスク１３の接線方向に延びる弾性サスペンション１６を備える。この弾性サスペンション１６は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）でヘッドスライダを支持するヘッドサスペンションと同様に構成されればよい。弾性サスペンション１６の先端には浮上スライダ１７が支持される。浮上スライダ１７は磁気ディスク１３の表面に向き合わせられる。浮上スライダ１７は磁気ディスク１３の半径線上に位置決めされる。
【００１８】
浮上スライダ１７には、磁気ディスク１３の表面に向かって弾性サスペンション１６から押し付け力が作用する。磁気ディスク１３の回転に基づき磁気ディスク１３の表面で生成される気流の働きで浮上スライダ１７には浮力が作用する。弾性サスペンション１６の押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１３の回転中に比較的に高い剛性で浮上スライダ１７は磁気ディスク１３の表面から浮上し続けることができる。
【００１９】
センサアセンブリ１５には変位機構１８が連結される。この変位機構１８は、弾性サスペンション１６を片持ち支持する支持部材２１と、支持部材２１の水平移動を案内するガイドレール２２とを備える。支持部材２１の移動は、例えばラックおよびピニオンで構成される駆動機構（図示されず）の働きで生み出されればよい。支持部材２１の移動量は、例えばピニオンに連結される電動モータ（図示されず）の回転量に基づき決定されることができる。ガイドレール２２に沿って支持部材２１が移動すると、回転軸１２の中心軸を通過する１直線に沿って浮上スライダ１７の水平移動は生み出される。磁気ディスク１３が回転軸１２に装着されると、変位機構１８の働きで浮上スライダ１７は磁気ディスク１３の半径線に沿って水平移動することができる。
【００２０】
浮上スライダ１７には位置センサ２３が関連付けられる。この位置センサ２３は、ガイドレール２２に沿って変位する浮上スライダ１７の位置を検出する。すなわち、磁気ディスク１３が回転軸１２に装着されると、位置センサ２３の働きで、磁気ディスク１３の半径方向に沿って浮上スライダ１７の位置は特定されることができる。位置センサ２３は、浮上スライダ１７の半径方向位置を特定する検知信号を出力する。ここで、位置センサ２３は、直接的に浮上スライダ１７の位置を検出してもよく、浮上スライダ１７の変位を生み出す変位機構１８の動きに基づき浮上スライダ１７の位置を検出してもよい。その他、浮上スライダ１７の位置の検出にあたってはいかなる手法が用いられてもよい。
【００２１】
スピンドルモータ１４には制御回路２４が接続される。この制御回路２４は回転軸１２の回転速度を制御する。この制御にあたって制御回路２４は位置センサ２３の検知信号を参照する。すなわち、制御回路２４は浮上スライダ１７の半径方向位置に応じて回転軸１２の回転速度を変化させる。こうした制御回路２４の働きで、磁気ディスク１３の表面と、磁気ディスク１３の表面に向き合わせられる浮上スライダ１７との間には一定の相対移動速度が確立され続ける。制御回路２４は、例えばメモリ内に記憶されるプログラムに基づき動作するＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）やＤＳＰ（デジタル信号処理回路）で構成されればよい。
【００２２】
図２は浮上スライダ１７の一具体例を示す。この浮上スライダ１７は、平たい直方体に形成される例えばＡｌ２　Ｏ３　−ＴｉＣ（アルチック）製のスライダ本体２５を備える。スライダ本体２５には、磁気ディスク１３に向き合わせられる媒体対向面すなわち浮上面２６が規定される。磁気ディスク１３の回転に基づき生成される気流２７は浮上面２６に受け止められる。
【００２３】
浮上面２６には、空気流入端から空気流出端に向かって延びる２筋のレール２８、２８が形成される。各レール２８の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）２９が規定される。ＡＢＳ２９では気流２７の働きに応じて前述の浮力が生成される。生成される浮力の大きさは磁気ディスク１３と浮上スライダ１７との相対移動速度および気流２７の向きに依存する。浮上スライダ１７は、磁気ディスク１３の半径線に対して一定の姿勢（向き）を維持しつつ磁気ディスク１３の半径線上を移動する。しかも、前述のように磁気ディスク１３の特定の表面と浮上スライダ１７との間には一定の相対移動速度が維持される。したがって、浮上スライダ１７は半径方向位置に拘わらず一定の浮上高さで磁気ディスク１３の表面から浮上し続ける。
【００２４】
浮上スライダ１７にはいわゆるアコースティックエミッション（ＡＥ）センサ３１が搭載される。このＡＥセンサ３１は例えばＰＺＴ素子といった圧電素子で構成されればよい。ＡＥセンサ３１は音すなわち弾性波に基づき電気信号を生成する。音の大きさすなわち弾性波の強さに応じて電圧信号の大きさは変化する。
【００２５】
図３に示されるように、検査装置１１には信号処理回路３２が組み込まれる。この信号処理回路３２は関数発生回路３３を備える。関数発生回路３３は、磁気ディスク１３の回転に同期する三角関数波信号を生成する。三角関数波信号の生成にあたって関数発生回路３３はスピンドルモータ１４のインデックス信号を参照する。このインデックス信号は、例えば基準姿勢すなわち基準角位置から磁気ディスク１３が１周するたびに出力される。ここでは、インデックス信号の周期に基づき関数発生回路３３で正弦波信号および余弦波信号は個別に生成される。ただし、正弦波信号や余弦波信号では、磁気ディスク１３の１回転に正弦波や余弦波の１周期は必ずしも対応する必要はなく、磁気ディスク１３の１回転中に複数周期で正弦波や余弦波が変化してもよい。正弦波信号や余弦波信号は、基準姿勢からの磁気ディスク１３の回転角を特定する角位置信号に相当する。
【００２６】
関数発生回路３３には第１および第２乗算回路３４ａ、３４ｂが接続される。第１乗算回路３４ａは、ＡＥセンサ３１から出力される検知信号と正弦波信号との積を算出する。第２乗算回路３４ｂはＡＥセンサ３１から出力される検知信号と余弦波信号との積を算出する。第１および第２乗算回路３４ａ、３４ｂは例えばＶＣＡ（電圧制御増幅回路）から構成されればよい。この場合、第１乗算回路３４ａでは、信号入力端子に正弦波信号が入力され、制御入力端子に検知信号が入力される。同様に、第２乗算回路３４ｂでは、信号入力端子に余弦波信号が入力され、制御入力端子に検知信号が入力される。第１乗算回路３４ａは検知信号と正弦波信号との積に相当する電圧すなわち第１参照信号を出力する。第２乗算回路３４ｂは検知信号と余弦波信号との積に相当する電圧すなわち第２参照信号を出力する。
【００２７】
第１および第２乗算回路３４ａ、３４ｂには個別に第１および第２積分回路３５ａ、３５ｂが接続される。第１および第２積分回路３５ａ、３５ｂは第１および第２参照信号の積分値を算出する。第１および第２参照信号は磁気ディスク１３の規定の回転数にわたって積分されればよい。規定の回転数は少なくとも２回転や３回転程度に設定される。第１積分回路３５ａは第１参照信号の積分値を特定する第１積分値信号を出力する。第２積分回路３５ｂは第２参照信号の積分値を特定する第２積分値信号を出力する。
【００２８】
第１および第２積分回路３５ａ、３５ｂには共通に加算回路３６が接続される。この加算回路３６は第１積分値信号と第２積分値信号とを足し合わせる。こうして積分値同士の和を特定する比較参照信号は生成される。加算回路３６にはさらに判定回路３７が接続される。判定回路３７は規定の閾値と比較参照信号とを比較する。比較参照信号が閾値を越えていれば、磁気ディスク１３の表面で突起物の存在は認識される。
【００２９】
磁気ディスク１３がスピンドルモータ１４の回転軸１２に装着されると、制御回路２４は回転軸１２を回転駆動する。変位機構１８は磁気ディスク１３の半径方向に浮上スライダ１７を移動させていく。浮上スライダ１７の移動に応じて制御回路２４はスピンドルモータ１４の動作を制御する。制御回路２４は、磁気ディスク１３と浮上スライダ１７との間で一定の相対移動速度を維持する。浮上スライダ１７の移動ピッチは、磁気ディスク１３の１周につきＡＢＳ２９の幅の２分の１や３分の１程度に設定される。
【００３０】
磁気ディスク１３の回転中に浮上スライダ１７がＡＢＳ２９で磁気ディスク１３上の突起物に衝突すると、衝突音が発生する。この衝突音はＡＥセンサ３１で電気信号に変換される。その結果、ＡＥセンサ３１の検知信号には電圧値の大きな変化が現れる。浮上スライダ１７は複数の周回にわたって突起物に衝突する。したがって、ＡＥセンサ３１の検知信号には同一の角位置で検知信号に変化が現れる。
【００３１】
このとき、ＡＥセンサ３１には、衝突音以外に様々な音すなわち弾性波が作用する。こういった音はＡＥセンサ３１の検知信号にノイズとして紛れ込む。衝突音以外の音に基づき検知信号には電圧値の変化が現れる。
【００３２】
こうしてＡＥセンサ３１では音すなわち弾性波に基づき検知信号は生成される。検知信号は第１および第２乗算回路３４ａ、３４ｂに送り込まれる。乗算回路３４ａ、３４ｂでは検知信号の電圧値に基づき正弦波信号および余弦波信号が増幅される。その後、増幅で得られた第１および第２参照信号は積分回路３５ａ、３５ｂで積分される。こうした積分の結果、不定期に発生する（磁気ディスク１３の回転に同期しない）ノイズは平準化される。衝突音は磁気ディスク１３の回転に同期することから、衝突音に対応する電圧値の変化は残存する。
【００３３】
こうして加算回路３６から出力される比較参照信号では、磁気ディスク１３に同期する衝突音に相当する変化が特定される。判定回路３７は比較参照信号に基づき突起物の存在を認識する。ノイズで生成される変化の中から同期成分のみが抽出されることから、比較的に高い精度で磁気ディスク１３上の突起物は検出されることができる。
【００３４】
なお、検査装置１１では、ＡＥセンサ３１は必ずしも浮上スライダ１７に搭載される必要はなく弾性サスペンション１６や支持部材２１上に搭載されてもよい。その他、浮上スライダ１７の浮上高さが一定に維持される限り、磁気ディスク１３と浮上スライダ１７との相対移動速度は任意に設定されればよい。
【００３５】
（付記１）　基準姿勢からの記録媒体の回転角を特定する角位置信号を取得する工程と、記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検知する衝突検知センサから出力される検知信号を取得する工程と、角位置信号および検知信号に基づき記録媒体の表面および浮上スライダの衝突を検出する工程とを備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００３６】
（付記２）　付記１に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記記録媒体の回転にあたって、記録媒体の表面と、記録媒体の表面に向き合わせられる浮上スライダとの間で一定の相対移動速度が維持されることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００３７】
（付記３）　付記１または２に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記衝突検知センサは、記録媒体の表面および浮上スライダの衝突に基づき発生する衝突音を検知することを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００３８】
（付記４）　付記３に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記衝突検知センサは、浮上スライダに搭載されるアコースティックエミッションセンサであることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００３９】
（付記５）　付記４に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記衝突検知センサは圧電素子であることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００４０】
（付記６）　付記１〜５のいずれかに記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記角位置信号の生成にあたって、記録媒体の基準姿勢を特定するインデックス信号を取得する工程と、インデックス信号の周期に基づき正弦波信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００４１】
（付記７）　付記６に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記角位置信号の生成にあたって、記録媒体の基準姿勢を特定するインデックス信号を取得する工程と、インデックス信号の周期に基づき余弦波信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００４２】
（付記８）　付記７に記載の記録媒体の突起物検出方法において、前記正弦波信号および検知信号の積を特定する第１参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第１参照信号の積分値を特定する第１積分値信号を生成する工程と、前記余弦波信号および検知信号の積を特定する第２参照信号を生成する工程と、記録媒体の規定の回転数にわたって第２参照信号の積分値を特定する第２積分値信号を生成する工程と、第１および第２積分値信号に基づき、積分値同士の和を特定する比較参照信号を生成する工程とをさらに備えることを特徴とする記録媒体の突起物検出方法。
【００４３】
（付記９）　記録媒体の回転に同期する三角関数波信号を生成する関数発生回路と、アコースティックエミッションセンサから出力される検知信号に正弦波信号を掛け合わせ、第１参照信号を出力する第１乗算回路と、記録媒体の規定の回転数にわたって第１参照信号の積分値を算出する第１積分回路と、アコースティックエミッションセンサから出力される検知信号に余弦波信号を掛け合わせ、第２参照信号を出力する第２乗算回路と、記録媒体の規定の回転数にわたって第２参照信号の積分値を算出する第２積分回路と、第１および第２積分回路の出力を足し合わせる加算回路とを備えることを特徴とする記録媒体向け凹凸検査装置。
【００４４】
（付記１０）　付記９に記載の記録媒体向け凹凸検査装置において、回転軸回りで記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、スピンドルモータに装着される記録媒体の表面に向き合わせられて、アコースティックエミッションセンサを支持する浮上スライダと、スピンドルモータの回転軸に対して特定される浮上スライダの相対位置に基づき回転軸の回転速度を制御する制御回路とを備えることを特徴とする記録媒体向け凹凸検査装置。
【００４５】
（付記１１）　付記９または１０に記載の記録媒体向け凹凸検査装置において、前記アコースティックエミッションセンサは圧電素子であることを特徴とする記録媒体向け凹凸検査装置。
【００４６】
（付記１２）　付記１１に記載の記録媒体向け凹凸検査装置において、前記圧電素子はＰＺＴ素子であることを特徴とする記録媒体向け凹凸検査装置。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、これまで以上に正確に記録媒体の表面で突起物は検出されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る記録媒体向け凹凸検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】浮上スライダの拡大斜視図である。
【図３】信号処理回路の構成を概略的に示すブロック図である。
【符号の説明】
１１　記録媒体向け凹凸検査装置、１２　回転軸、１３　記録媒体（磁気ディスク）、１４　スピンドルモータ、１７　浮上スライダ、２４　制御回路、３１衝突検知センサ（アコースティックエミッションセンサ）、３３　関数発生回路、３４ａ　第１乗算回路、３４ｂ　第２乗算回路、３５ａ　第１積分回路、３５ｂ　第２積分回路、３６　加算回路。
【図１】
2004110998.tif 000003
【図２】
2004110998.tif 000004
【図３】
2004110998.tif 000005