(57)【要約】【課題】薄膜シートに歪みがあっても、薄膜シートを精度良く加工できるように、薄膜シートの外周に枠体を接着する、薄膜シートの枠付け装置及び枠付け方法を提供する。【解決手段】薄膜シート２の外周部を囲む枠体３を用い、薄膜シート２の外周部を枠体３で囲むように、薄膜シート２を枠体３と共に加工台４の上面に載置し、次いで、ガスを吸引するガス吸引装置５を用い、吸引管１１、１２によって加工台４の上面に薄膜シート２及び枠体３を吸着し、次いで、加圧機６を用い、薄膜シート２の上面に沿って薄膜シート２の厚み方向にローラ２０で加圧し、薄膜シート２の歪みを矯正して平坦にし、次いで、テープ貼り付け装置７を用い、薄膜シート２の外周に沿って、薄膜シート２と枠体３とを粘着テープ３３、３４で貼リ付けし、薄膜シート２の外周に枠体３を接着する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜シートの外周部に沿って枠体を付ける薄膜シートの枠付け装置であって、
前記薄膜シートの外周部を囲む枠体と、
前記枠体に囲まれた前記薄膜シートを該枠体と共に載置する加工台と、
前記加工台の上面に前記薄膜シートの全面を吸着する吸着機と、
前記薄膜シートの上面に沿って該薄膜シートの厚み方向に加圧し、該薄膜シートの歪みを矯正し平坦にする加圧機と、
前記薄膜シートの外周部に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着する接着機と、
を備えることを特徴とする薄膜シートの枠付け装置。
【請求項２】
前記吸着機は、ガスを吸引するガス吸引装置であって、
前記加工台の前記薄膜シートが重なる範囲に、上面から下面に通気する複数の通気孔が形成され、
前記ガス吸引装置によって、前記通気孔を介してガスを吸引し、前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着することを特徴とする、
請求項１に記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項３】
前記加工台は、前記薄膜シートが重なる範囲を多孔質体で形成され、該多孔質体の微細孔が前記通気孔であることを特徴とする、
請求項２に記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項４】
前記吸着機は前記加工台の上面と前記薄膜シートとの間に正と負の電荷を発生させる静電チャックであって、該加工台表面に該薄膜シートを静電吸着することを特徴とする、請求項１に記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項５】
前記加圧機は、ローラを備え、該ローラを前記薄膜シートの上面に沿って回動することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項６】
前記加圧機は、スキージを備え、該スキージを前記薄膜シート上面に沿って摺動することを特徴とする、
請求項１乃至請求項４の何れか記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項７】
前記接着機は、粘着テープを貼り付けるテープ貼り付け装置であって、前記枠体の上面と前記薄膜シートの外周の上面に沿って前記粘着テープを貼り付けることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか記載の薄膜シートの枠付け装置。
【請求項８】
薄膜シートの外周部に沿って枠体を付ける薄膜シートの枠付け方法であって、
前記薄膜シートの外周部を囲む枠体を用い、該薄膜シートの外周部を該枠体で囲むように、該薄膜シートを該枠体と共に加工台に載置し、
次いで、吸着機を用い、前記加工台の上面に前記薄膜シートの全面を吸着し、
次いで、加圧機を用い、前記薄膜シートの上面に沿って該薄膜シートの厚み方向に加圧し、該薄膜シートの歪みを矯正して平坦にし、
次いで、接着機を用い、前記薄膜シートの外周部に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着する、
ことを特徴とする薄膜シートの枠付け方法。
【請求項９】
前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着するために、該加工台の該薄膜シートが重なる範囲に上面から下面に通気する複数の通気孔を形成し、
前記吸着機としてガスを吸引するガス吸引装置を用い、前記通気孔を介してガスを吸引し、前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着することを特徴とする、
請求項８に記載の薄膜シートの枠付方法。
【請求項１０】
前記加工台は、前記薄膜シートと重なる範囲を多孔質体で形成され、該多孔質体の微細孔を前記通気孔として用いることを特徴とする請求項９に記載の薄膜シートの枠付け方法。
【請求項１１】
前記薄膜シートの全面を前記加工台の上面に吸着するために、前記吸着機として、該加工台の上面と該薄膜シートとの間に正と負の電荷を発生させる静電チャックを用い、該加工台表面に該薄膜シートを静電吸着することを特徴とする、
請求項８に記載の薄膜シートの枠付け方法。
【請求項１２】
前記薄膜シートの歪みを矯正し平坦状にするために、ローラ備えた前記加圧機を用い、前記加工台に載置した該薄膜シートの上面に沿って、前記ローラを回動することを特徴とする請求項８乃至請求項１１の何れか記載の薄膜シートの枠付方法。
【請求項１３】
前記薄膜シートの歪みを矯正し平坦状にするために、スキージを備えた前記加圧機を用い、前記加工台に載置した該薄膜シートの上面に沿って、前記スキージを摺動することを特徴とする請求項８乃至請求項１１の何れか記載の薄膜シートの枠付け方法。
【請求項１４】
前記薄膜シートの外周に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着するために、前記接着機として粘着テープを貼り付けるテープ貼り付け装置を用い、前記枠体の上面と前記薄膜シートの外周の上面に沿って前記粘着テープを貼り付けることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか記載の薄膜シートの枠付け方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜シートの外周部を枠体に固定するための、薄膜シートの枠付け装置及び枠付け方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミックグリーンシートなどの薄膜シートを加工台に載置して孔空けや印刷等の加工を行う際に、セラミックグリーンシートの加工精度を向上させるために、セラミックグリーンシートと加工台との位置決めを行う。
【０００３】
そして、例えば、セラミックグリーンシートと加工台との位置決めを行うために、セラミックグリーンシートを固定する板状の固定台と、セラミックグリーンシート及び固定台を載置する加工台とを備え、セラミックグリーンシートの外周部近傍を固定台に両面テープや接着剤などを用いて固定し、セラミックグリーンシートを固定した固定台を加工台の上面に位置決め冶具を用いて載置し、セラミックグリーンシートに所定の機械加工を行うものがある。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
【特許文献１】
特開平０４−２０１５１２号公報（第１−２頁、第１−２図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示されたセラミックグリーンシートの加工方法によれば、セラミックグリーンシートに反りやシワなどの歪みがあると、セラミックグリーンシートの外周部近傍を板状の固定台に両面テープや接着剤などを用いて固定しても、このセラミックグリーンシートの内方の面は、固定台と密着せず間隙が生じる。そして、この間隙が生じた状態でセラミックグリーンシートに孔空けや印刷等の加工をすると、孔形状や印刷形状の加工精度を損ない易いという問題があった。
【０００６】
本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、セラミックグリーンシートから成る薄膜シートに反りやシワなどの歪みがあっても、加工台上で薄膜シートを精度良く加工できるように薄膜シートの外周部に枠体を接着する、薄膜シートの枠付け装置及び枠付け方法を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、薄膜シートの外周部に沿って枠体を付ける薄膜シートの枠付け装置であって、前記薄膜シートの外周部を囲む枠体と、前記枠体内に挿入された前記薄膜シートを該枠体と共に載置する加工台と、前記加工台の上面に前記薄膜シートの全面を吸着する吸着機と、前記薄膜シートの上面に沿って該薄膜シートの厚み方向に加圧し、該薄膜シートの歪みを矯正し平坦にする加圧機と、前記薄膜シートの外周部に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着する接着機とを備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の薄膜シートの枠付装置によれば、薄膜シートの全面を加工台に吸着するとともに薄膜シートを加圧することによって、薄膜シートの反りやシワなどの歪みを矯正し、薄膜シートを枠体に平坦な状態で精度良く接着することができる。そして、枠体に接着された薄膜シートに孔空けや印刷などの加工を行えば、薄膜シートの反りやシワなどの歪みによって加工精度を損なうことがなく、精度良く加工を行うことができる。
【０００９】
次に、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄膜シートの枠付け装置において、前記吸着機は、ガスを吸引するガス吸引装置であって、前記加工台の前記薄膜シートが重なる範囲に、上面から下面に通気する複数の通気孔が形成され、前記ガス吸引装置によって、前記通気孔を介してガスを吸引し、前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着することを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の薄膜シートの枠付け装置によれば、加工台に形成した通気孔を介しガスを吸引することによって、薄膜シートに接触することなく薄膜シートを加工台の上面に密着させることができ、作業性を良好にできる。
次に、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の薄膜シートの枠付け装置において、前記加工台は、前記セラミックグリーンシートが重なる範囲を多孔質体で形成され、該多孔質体の微細孔が前記通気孔であることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の薄膜シートの枠付装置によれば、加工台を多孔質体で形成することによって、微細な通気孔が加工台の上面に構成され、薄膜シートの全面を偏りなく、均一に加工台の上面に吸着できる。
次に、請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の薄膜シートの枠付け装置において、前記吸着機は前記加工台の上面と前記薄膜シートとの間に正と負の電荷を発生させる静電チャックであって、該加工台表面に該薄膜シートを静電吸着することを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の薄膜シートの枠付け装置によれば、静電チャックによって、薄膜シートに接触することなく薄膜シートを加工台の上面に密着させることができ、作業性を良好にできる。また、静電チャックに印加する電圧値を切り換えて静電吸着力を容易に制御できるので、作業性を良好にできる。
【００１３】
次に、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４の何れか記載の薄膜シートの枠付け装置において、前記加圧機は、ローラを備え、該ローラを前記薄膜シートの上面に沿って回動することを特徴とする。
請求項５に記載の薄膜シートの枠付け装置によれば、薄膜シート上面に沿ってローラを回動することによって、薄膜シートに局部的な歪みがあっても、確実に薄膜シートを加工台の上面に密着させ、薄膜シートを平坦にすることができる。また、薄膜シートの上面においてローラが回動することによって、薄膜シートの表面に擦り傷が発生することなく、外観品質が良好な薄膜シートを得ることができる。
【００１４】
次に、請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項４の何れか記載の薄膜シートの枠付け装置において、前記加圧機は、スキージを備え、該スキージを前記薄膜シートの上面に沿って摺動することを特徴とする。
請求項６に記載の薄膜シートの枠付装置によれば、スキージを薄膜シートの上面に沿って摺動することによって、薄膜シートを加工台の上面に押し付けて、確実に薄膜シートを加工台の載置面に密着させ、薄膜シートを平坦にすることができる。また、薄膜シートの上面に沿ってスキージを摺動することによって、薄膜シートの表面に異物や突起があっても、これらの異物や突起を除去し、外観品質が良好な薄膜シートを得ることができる。
【００１５】
次に、請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の何れか記載の薄膜シートの枠付装置において、前記接着機は、粘着テープを貼り付けるテープ貼り付け装置であって、前記枠体の上面と前記薄膜シートの外周の上面に沿って前記粘着テープを貼り付けることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に記載の薄膜シートの枠付装置によれば、薄膜シートの外周に沿って、薄膜シートと枠体とを粘着テープを貼り付けて接着することによって、薄膜シートの平坦度を維持し、薄膜シートと枠体とを固定できる。そして、枠体に固定された薄膜シートに孔空けや印刷などの加工を行った後に、この粘着テープを薄膜シート及び枠体から剥離し、薄膜シートを枠体から容易に分離することができる。
【００１７】
次に、請求項８に記載の発明は、薄膜シートの外周部に沿って枠体を付ける薄膜シートの枠付け方法であって、前記薄膜シートの外周部を囲む枠体を用い、該枠体内に前記薄膜シートを挿入し、前記薄膜シートを該枠体と共に加工台に載置し、次いで、吸着機を用い、前記加工台の上面に前記薄膜シートの全面を吸着し、次いで、加圧機を用い、前記薄膜シートの上面に沿って該薄膜シートの厚み方向に加圧し、該薄膜シートの歪みを矯正して平坦にし、次いで、接着機を用い、前記薄膜シートの外周部に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着することを特徴とする。
【００１８】
請求項８に記載の薄膜シートの枠付方法によれば、薄膜シートの全面を加工台に吸着するとともに薄膜シートを加圧することによって、薄膜シートに反りやシワなどの歪みを矯正し、薄膜シートを枠体に平坦な状態で精度良く接着することができる。そして、枠体に接着された薄膜シートに孔空けや印刷などの加工を行えば、薄膜シートの反りやシワなどの歪みによって加工精度を損なうことがなく、精度良く加工を行うことができる。
【００１９】
次に、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着するために、前記加工台の前記薄膜シートが重なる範囲に上面から下面に通気する複数の通気孔を形成し、前記吸着機としてガスを吸引するガス吸引装置を用い、前記通気孔を介してガスを吸引し、前記薄膜シートを前記加工台の上面に吸着することを特徴とする。
【００２０】
請求項９に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、加工台に形成した通気孔の空気を吸引することによって、薄膜シートに接触することなく薄膜シートを加工台の上面に密着させることができ、作業性を良好にできる。
次に、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記加工台は、薄膜シートと重なる範囲を多孔質体で形成され、該多孔質体の微細孔を前記通気孔として用いることを特徴とする。
【００２１】
請求項１０に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、加工台を多孔質体で形成することによって、微細な通気孔が加工台の上面に構成され、薄膜シートの全面を偏りなく、均一に加工台の上面に吸着できる。
次に、請求項１１に記載の発明は、請求項８に記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記薄膜シート全面を前記加工台の上面に吸着するために、前記吸着機として、前記加工台の上面と前記薄膜シートとの間に正と負の電荷を発生させる静電チャックを用い、該加工台表面に該薄膜シートを静電吸着することを特徴とする。
【００２２】
請求項１１に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、静電チャックによって、薄膜シートに接触することなく薄膜シートを加工台の上面に密着させることができ、作業性を良好にできる。また、静電チャックに印加する電圧値を切り換えて静電吸着力を容易に制御できるので、作業性を良好にできる。
【００２３】
次に、請求項１２に記載の発明は、請求項８乃至請求項１１の何れか記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記薄膜シートの歪みを矯正し平坦状にするために、ローラ備えた前記加圧機を用い、前記加工台に載置した該薄膜シートの上面に沿って、前記ローラを回動することを特徴とする。
【００２４】
請求項１２に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、薄膜シート上面に沿ってローラを回動することによって、薄膜シートに局部的な歪みがあっても、確実に薄膜シートを加工台の上面に密着させ、薄膜シートを平坦にすることができる。また、薄膜シートの上面においてローラが回動することによって、薄膜シートの表面に擦り傷が発生することなくを、外観品質が良好な薄膜シートを得ることができる。
【００２５】
次に、請求項１３に記載の発明は、請求項８乃至請求項１１の何れか記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記薄膜シートの歪みを矯正し平坦状にするために、スキージを備えた前記加圧機を用い、前記加工台に載置した該薄膜シートの上面に沿って、前記スキージを摺動することを特徴とする。
【００２６】
請求項１３に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、スキージを薄膜シート上面に沿って摺動することによって、薄膜シートを加工台の載置面に押し付けて、確実に薄膜シートを加工台の載置面に密着させ、薄膜シートを平坦にすることができる。また、薄膜シートの上面に沿ってスキージを摺動することによって、薄膜シートの表面に異物や突起があっても、これらの異物や突起を除去し、外観品質が良好な薄膜シートを得ることができる。
【００２７】
次に、請求項１４に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の何れか記載の薄膜シートの枠付け方法において、前記薄膜シートの外周に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを接着するために、前記接着機として粘着テープを貼り付けるテープ貼り付け装置を用い、前記枠体の上面と前記薄膜シートの外周の上面に沿って前記粘着テープを貼り付けることを特徴とする。
【００２８】
請求項１４に記載の薄膜シートの枠付け方法によれば、薄膜シートの外周に沿って、該薄膜シートと前記枠体とを粘着テープを貼り付けて接着することによって、薄膜シートの平坦度を維持し、該薄膜シートと前記枠体とを固定できる。そして、枠体に固定された薄膜シートに孔空けや印刷などの加工を行った後に、この粘着テープを薄膜シート及び枠体から剥離し、薄膜シートを枠体から容易に分離することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面と共に説明する。
図１は本発明が適用された実施形態における薄膜シートの枠付け装置の構成を表す正面図、図２は同実施形態における枠付け装置の構成を表す平面図、図３は同実施形態における枠付装置のテープ貼り付け装置の構成を表す図、図４は同実施形態における枠付け装置の加工台の構成を表す図、図５は同実施形態における枠付装置のテープ貼り付け装置の動作を表す工程図である。
【００３０】
図１〜図３はセラミックグリーンシートから成る薄膜シート２の外周に沿って枠体３を付ける薄膜シートの枠付け装置１（以下、枠付け装置１と記載する）を表した図である。
枠体３は、薄膜シート２の外周部を囲むように、薄膜シート２の外形に沿って形成され、薄膜シート２の厚みと略同等の厚みで形成され、剛性の優れた金属で形成されている。
【００３１】
枠付装置１は、枠体３に囲まれた薄膜シート２を枠体３と共に上面に載置する加工台４と、加工台４の上面に薄膜シート２の全面を吸着する吸着機５と、薄膜シート２の上面に沿って薄膜シート２の厚み方向に加圧し、薄膜シート２の歪みを矯正し平坦にする加圧機６と、薄膜シート２の外周に沿って、薄膜シート２と枠体３とを接着する接着機７と、加工台４、吸着機５、加圧機６、接着機７を固定する本体部８とによって構成されている。
【００３２】
加工台４は、図４に示すように、薄膜シート２が重なる範囲を多孔質体１０で形成され、枠体２と重なる範囲に通気孔９が形成され、多孔質体１０の近傍に吸着機５の吸引管１１の先端部が接続され、枠体３と重なる通気孔９に吸着機５の吸引管１２の先端部が接続されている。
【００３３】
また、加工台４は、図１に示すように、回転動作するシリンダ１３上に固定され、このシリンダ１３の回転動作によって図２の矢印Ｑ方向に回転できるように構成されている。
また、加工台４は、図３に示すように、ボールナット１４を介して搬送軸１５として備えたボールネジに接続され、搬送軸１５の両端が一対のベアリング１６、１７に回転可能な状態で支持されるとともに搬送軸１５の一端がサーボモータ１８にカップリング１９を介して接続され、サーボモータ１８を駆動することによって搬送軸１５が回転し、搬送軸１５に沿ってＹ方向に移動できるように構成されている。
【００３４】
次に、吸着機５は、図１に示すように、吸引管１１、１２の先端から外部のガスを吸引するガス吸引機であって、吸引管１１の先端部が加工台４の多孔質体１０（図４中の符号１０）の近傍に接続され、吸引管１２の先端部が加工台４の枠体３と重なる通気孔９（図４中の符号９）に接続されている。
【００３５】
そして、吸着機５は、吸着機５を作動させると、吸引管１１によって加工台４の多孔質体１０の微細孔を介してガスを吸引し、加工台４の上面に薄膜シート２を密着させ、吸引管１２によって枠体３の通気孔９を介してガスを吸引し、加工台４の上面に枠体３を密着させる。
【００３６】
次に、加圧機６は、図１に示すように、ローラ軸３１、３２が付設されたローラ２０と、ローラ軸３１、３２をベアリング２１、２２を介して保持するローラ保持具２３とを備え、ローラ２０が回転自在に支持されている。
また、加圧機６は、Ｚ方向に摺動するシリンダ軸２５を介してローラ保持具２３に接続されたシリンダ２４と、ローラ保持具２３の両端部に固定され、梁７２に埋設された軸受け２７、２８に滑動自在に挿入されたガイド軸２９、３０とを備え、シリンダ２４の駆動力によって、シリンダ軸２５がＺ方向にスライドすると、ガイド軸２９、３０がＺ方向にスライドし、ローラ保持具２３及びローラ２０がＺ方向に移動できるように構成されている。
【００３７】
そして、加圧機６は、シリンダ２４の駆動力によって、ローラ保持具２３を加工台４に向かって移動させ、ローラ２０によって薄膜シート２の上面に所定の加圧力を加えることができ、次いで、図３に示すように、サーボモータ１８の駆動力によって、加工台４が搬送軸１５に沿ってロー移動し、加工台４の移動とともに薄膜シート２の上面に沿ってローラ２０が回動し、薄膜シート２の厚み方向に加圧し、薄膜シート２の歪みを矯正し平坦にすることができる。
【００３８】
次に、接着機８は、図２に示すように、粘着テープ３３、３４を薄膜シート２及び枠体３に貼り付けるテープ貼り付け装置であって、粘着テープ３３、３４が巻き付けられた一対のボビン３５、３６と、一対のボビン３５、３６と対向するように配設されたドラム３７、３８と、粘着テープ３３、３４を所定の位置で切断する一対の切断部３９、４０と、一対のボビン３５、３６及び一対のドラム３７、３８をＸ方向に移動させ、一対のボビン３５、３６の間隔（図中Ｍ）及び一対のドラム３７、３８の間隔（図中Ｍ）を可変する粘着テープ間隔可変部４１と、ドラム３７、３８を回転し、粘着テーブ３３、３４をボビン３５、３６からドラム３７、３８へ送り出す粘着テープ搬送部４２とを備えている。
【００３９】
ボビン３５、３６は、テープ保持具５４、５５に軸受け７３、７４を介して回転自在に支持されている。
また、ボビン３５、３６は、図３に示すように、外径部に粘着テープ３３、３４が巻きつけられ、粘着テープ３３、３４の先端がドラム３７、３８の外径部に導かれている。
【００４０】
粘着テープ３３、３４は、片面に粘着剤が塗布されており、ボビン３５、３６の内側に粘着剤が塗布された面があるようにボビン３５、３６に巻きつけられ、粘着テープ３３、３４の先端がドラム３７、３８に導かれて反転し、ドラム３７、３８の外側に粘着剤が塗布された面があるようにドラム３７、３８に巻きつけられている。
【００４１】
ドラム３７、３８は、図２に示すように、回転軸６４の回転と共に回転し、回転軸６４の軸方向に対して摺動できるように、回転軸６４と係合している。
また、ドラム３７、３８は、図２に示すように、両面に粘着テープ３３、３４の幅方向を挟む一対のガイド板４３、４４と、図３に示すように、粘着テープ３３、３４をドラム３７、３８の外径部に保持するための、真空ポンプ（図示せず）に接続された真空ポケット４５（図３中の符号４５）と、粘着テープ３３、３４を薄膜シート２及び枠体３に押し付けるためのゴム部４６と、粘着テープ３３、３４を切断する切断歯４７、４８のガイド口４９とを備えている。
【００４２】
切断部４７、４８は、図２に示すように、粘着テープ３３、３４を切断するために、回転軸６４の軸方向に摺動できるように回転軸６４に係合したシリンダ５２、５３と、このシリンダ５２、５３によってＹ方向にスライド動作するシリンダ軸７５、７６と、シリンダ軸５０、５１の先端に固定された切断歯４７、４８とを備え、シリンダ５２、５３の駆動力によって、シリンダ軸５０、５１がＹ１方向にスライドすると、切断歯４７、４８がドラム３７、３８のガイド口４９（図３中の符号４９）に入出する往復移動ができるように構成されている。そして、切断歯４７、４８がガイド口４９に入ることによって、ドラム３７、３８に巻き付けられた粘着テープ３３、３４を切断できるように構成されている。
【００４３】
粘着テープ間隔可変部４１は、テープ保持具５４、５５を搬送軸５６、５７に沿って移動させるために、搬送軸５６、５７としてボールネジを備え、搬送軸５６、５７の両端を一対のベアリング５８、５９に回転可能な状態で支持するとともに搬送軸５７の一端をステッピングモータ６０にカップリング７７を介して接続することにより搬送軸５７を回転し、搬送軸５６、５７とをカップリング７８を介して接続することにより搬送軸５６を回転し、搬送軸５６、５７とテープ保持具５４、５５とをボールナット６２、６３を介して接続することにより搬送軸５６、５７の回転動作をテープ保持具５４、５５が搬送軸５６、５７に沿って移動する動作に変換している。
【００４４】
また、粘着テープ間隔可変部４１は、中央部に備えたカップリング７８を介してボールナット６２に係合する搬送軸５６とボールナット６３に係合する搬送軸５７とはボールネジの巻き方向が反転するように形成されており、ステッピングモータ６０が回転すると、テープ保持具５４とテープ保持具５５は、搬送軸５６、５７に沿って互いに逆方向に移動し、テープ保持具５４とテープ保持具５５との間隔を可変している。
【００４５】
粘着テープ搬送部４２は、図２に示すように、ドラム３７、３８回転させるために、回転軸６４とドラム３７、３８とが共に回転できるように係合し、回転軸６４の両端を一対のベアリング６５、６６に回転可能な状態で支持するとともに回転軸６４の一端をステッピングモータ６７にカップリング６８を介して接続することにより回転軸６４を回転し、回転軸６４が回転することによりドラム３７、３８が回転するように構成されている。そして、図３に示すように、粘着テープ３３、３４の先端をドラム３７、３８の外周に真空ポケット４５によって吸着しておけば、ドラム３７、３８が回転することによって、粘着テーブ３３、３４がボビン３５、３６から順次送りだされる。
【００４６】
また、接着機７は、加工台４とドラム３７、３８及び粘着テープ３３、３４を巻き付けたボビン３５、３６とのＺ方向の間隔を可変できるように、シリンダ（図示せず）を介して本体部８に接続されている。
そして、接着機７は、図５の（ａ）〜（ｇ）に表した工程によって、粘着テープ３３、３４を薄膜シート２及び枠体３に貼り付ける。
【００４７】
尚、図５の（ａ）〜（ｇ）に表した工程は、薄膜シート２を枠体３と共に加工台４の上面に載置し、吸着機５によって薄膜シート２の全面及び枠体３を加工台４の上面に吸着し、加圧機６によって薄膜シート２の上面に沿って薄膜シート２の厚み方向に加圧し、その後に行われる。
【００４８】
まず、（ａ）に示すように、ボビン３５、３６に巻き付けられた粘着テープ３３、３４の先端がドラム３７、３８の外径部に導かれ、真空ポケット４５（図３中の符号４５）で粘着テープ３３、３４がドラム３７、３８の外径部に保持され、粘着テープ３３、３４の先端部がドラム３７、３８のゴム部４６（図３中の符号４６）に導かれている。そして、加工台４の上面に載置した薄膜シート２及び枠体３の接着開始位置がゴム部４６と対向する位置になるように、サーボモータ１８を駆動して加工台４を搬送軸１５に沿って移動し、加工台４を所定の位置で停止している。
【００４９】
また、図２に示すように、ステッピングモータ６７を作動してテープ保持具５４、５５を搬送軸５６、５７に沿って移動し、一対のボビンの間隔Ｍ（ピッチ）が薄膜シートと枠体とのＸ方向の境目に位置するように調整されている。
次いで、（ｂ）に示すように、シリンダ（図示せず）を作動してボビン３５、３６及びドラム３７、３８を加工台４の上面に載置した薄膜シート２及び枠体３に当接するように移動し、ドラム３７、３８のゴム部４６を、粘着テープ３３、３４を介して薄膜シート２及び枠体３に所定の加圧力で加圧させる。
【００５０】
次いで、（ｃ）に示すように、サーボモータ１８を作動して加工台４を搬送軸１５に沿ってＹ１方向に移動させる。このとき粘着テープ３３、３４がゴム部４６によって薄膜シート２及び枠体３に押し付けられ接着し、加工台４が移動すると、ドラム３７、３８がＳ方向に回転すると共にボビン３５がＴ方向に回転し、粘着テープ３３、３４がドラム３７、３８から送り出され、粘着テープ３３、３４が薄膜シート２の外周に沿って薄膜シート２と枠体３との上面に徐々に貼り付けされる。
【００５１】
そして、Ｙ２方向の、ゴム部４６から接着範囲の端部までの距離が、図３に示すドラム３７、３８のガイド口４９の位置からゴム部４６まで円周長さと略等しい位置で、サーボモータ１８の駆動を一旦停止させる。
そして、切断部３９、４０のシリンダ５２、５３を作動し、ドラム３７、３８のガイド口４９に切断歯４７、４８を入れ、その後、切断歯４７、４８をガイド口４９から抜き出す。
【００５２】
これにより、粘着テープ３３、３４が切断歯４７、４８により切断され、ゴム部４６から接着範囲の端部までの長さ分の粘着テープ３３、３４が、薄膜シート２及び枠体４の上面に未接着の状態で残る。
次いで、（ｄ）に示すように、再びサーボモータ１８を作動し、加工台４をＹ１方向に移動させる。これにより、（Ｃ）の工程で薄膜シート２及び枠体３の上面に未接着の状態で残った粘着テープ３３、３４が、薄膜シート２及び枠体３の上面において枠体３端部７８まで貼り付けされる。
【００５３】
次いで、（ｅ）に示すように、シリンダ（図示せず）を作動してボビン３５、３６及びドラム３７、３８を加工台４から遠ざけるようにＺ１方向に移動する。また、粘着テープ３３、３４をドラム３７、３８の外形部に保持するための真空ポケット４５の吸着を一旦停止し、粘着テープ３３、３４がドラム３７、３８の外径部に自在に摺動できるようにする。
【００５４】
次いで、（ｆ）に示すように、その後、再びステッピングモータ６７を作動し、ドラム３７、３８をＳ方向に回転させ、ドラム３７、３８のゴム部４６の外面に粘着テープ３３、３４の先端が覆った位置でステッピングモータ６７を停止し、ドラム３７、３８の回転を停止させる。その後、粘着テープ３３、３４を真空ポケット部４５でドラム７７、３８の外径部に保持するために、再び、真空ポケット４５の吸着を作動させる。
【００５５】
次いで、（ｇ）に示すように、再びステッピングモータ６７を作動し、ドラム３７、３８をＳ方向に回転させ、ドラム３７、３８のゴム部４６が加工台４と対向する位置で停止させる。
前述の（ａ）〜（ｇ）の工程によって、薄膜シート２及び枠体３の相対向する両辺において、粘着テープ３３，３４が上面に貼り付けされたので、次に、加工台４をシリンダ１３によって９０°回転させ、粘着テープ３３、３４が貼り付けされていない他の両辺に前述の（ａ）〜（ｇ）の工程を繰り返すことによって、薄膜シート２の全外周部に沿って、薄膜シート２と枠体３とを粘着テープ３３、３４を貼り付けして接着することができる。
【００５６】
以下に、本発明の実施の形態による作用効果を記載する。
本発明の実施の形態によれば、吸着機７のより薄膜シート２全面を加工台４に吸着し、加圧機６により薄膜シート２全面を加圧することによって、薄膜シート２の反りやシワなどの歪みを矯正し、接着機７により薄膜シート２の外周に沿って薄膜シート２と枠体３との上面を粘着テープ３３、３４を貼り付けし、薄膜シート２を平坦な状態で精度良く枠体３に接着することができる。そして、枠体３に接着された薄膜シート２に孔空けや印刷などの加工を行えば、薄膜シート２の反りやシワなどの歪みによって加工精度を損なうことがなく、精度良く加工を行うことができる。
【００５７】
また、本発明の実施の形態によれば、加工台４の薄膜シート２と重なる範囲を多孔質体１０で形成することによって、微細な通気孔が加工台４の上面に構成され、吸着機５を用い薄膜シート２の全面を偏りなく均一に加工台４の上面に吸着できる。
【００５８】
また、本発明の実施の形態によれば、加圧機６にローラ２０を備え、ローラ２０を薄膜シート２の上面に沿って回動し、薄膜シート２を加圧することによって、薄膜シートに局部的な歪みがあっても、確実に薄膜シート２を加工台４の上面に密着させ、薄膜シート２を平坦にすることができる。また、薄膜シート２の上面においてローラ２０を回動させることによって、薄膜シート２の表面に擦り傷が発生することなく、外観品質が良好な薄膜シート２を得ることができる。
【００５９】
また、本発明の実施の形態によれば、薄膜シート２と枠体３とを粘着テープ３３、３４を貼り付けることによって、薄膜シート２と枠体３とを接着しているので、枠体３に接着された薄膜シート２に孔空けや印刷などの加工を行った後に、この粘着テープ３３、３４を薄膜シート２及び枠体３から剥離し、薄膜シート２を枠体３から容易に分離することができる。
【００６０】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の態様をとることができる。
例えば、本実施の形態の枠付装置によれば、図６に示すように、加圧機６９に、スキージ７０、シリンダ軸７２を有するシリンダ７１等を備え、シリンダ７１によってスキージ７０を薄膜シート２及び枠体４に加圧し、スキージ７０を薄膜シート２の上面及び枠体４の上面に沿って摺動するように構成しても良い。これにより、薄膜シート２及び枠体３を加工台４の上面に押し付けて、薄膜シート２の歪みを矯正し平坦にすることができ、薄膜シート２の表面に異物や突起があっても、これらの異物や突起を除去し、外観品質が良好な薄膜シート２を得ることができる。
【００６１】
また、本実施の形態の枠付装置によれば、薄膜シート２及び枠体３を加工台４の上面に吸着させるために、吸着機５としてガスを吸引するガス吸引装置を用いたが、吸着機７はガス吸引装置に代えて、加工台の上面と薄膜シート２との間に正と負の電荷を発生させる静電チャックを用い、加工台の上面に薄膜シート２を静電吸着しても良い。これにより、薄膜シート２に直接接触することなく薄膜シート２を加工台の上面に密着させることができ、静電チャックに印加する電圧値を切り換えて静電吸着力を容易に制御できるので、作業性を良好にできる。
【００６２】
また、本発明の実施の形態によれば、枠体３として、薄膜シート２の外形部の全周囲を囲むものを用いたが、枠体３の内方孔は薄膜シート２の外形より小さく形成し、枠体３の上面に薄膜シート２を載置しても良い。その際には、多孔質体１０を加工台４の上面から枠体３の厚み分だけ突き出して枠体３の内方孔内に嵌合させ、多孔質体１０と枠体３の上面が平坦となるように構成し、枠体３及び多孔質体１０の上面に薄膜シート２を載置すれば良い。
【００６３】
また、本発明の実施の形態によれば、枠体３として、薄膜シート２の外形部の全周囲を囲むものを用いたが、薄膜シート２を枠体３に精度良く接着できるなら、枠体３の一部が薄膜シート２の外周に沿ったものでなくても良い。
また、本発明の実施の形態によれば、薄膜シート２と枠体３との外形部の全周囲を粘着テープ３３、３４で貼り付けをしたが、薄膜シート２を枠体３に精度良く固定できるなら、薄膜シート２及び枠体３の外周の一部に粘着テープ３３、３４によって接着されない範囲があっても良い。
【００６４】
また、本発明の実施の形態によれば、薄膜シート２と枠体３４との接着に粘着テープを３３、３４使用したが、この粘着テープ３３、３４に塗布されている粘着剤として、加熱することによって発泡し粘着力を容易に低下させることができるものを用いれば、粘着テープ３３、３４を加熱すると容易に薄膜シート２を枠体３から分離することができるので、一層、作業性を向上できる
また、本発明の実施の形態によれば、加圧機６によって薄膜シート２を加圧し次いで、接着機７によって薄膜シート２及び枠体３に粘着テープ３３、３４を貼り付けるものとしたが、先ず、接着機７によって薄膜シート２及び枠体の一辺を粘着テープで接着し、次いで、加圧機６によって薄膜シート２を加圧し、次いで、接着機７によって薄膜シート２及び枠体３の他の周辺を粘着テープ３３、３４で枠体３とで接着しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用された実施の形態における、薄膜シートの枠付け装置の構成を表す正面図である。
【図２】同実施形態における、枠付け装置の構成を表す平面図である。
【図３】同実施形態における、枠付け装置のテープ貼り付け装置の構成を表す図である。
【図４】同実施形態における、枠付け装置の加工台の構成を表す図である。
【図５】同実施形態における、枠付け装置のテープ貼り付け装置の動作を表す工程図である。
【図６】薄膜シートを平坦にする加圧機の変形例を表す構成図である。
【符号の説明】
１…薄膜シートの枠付け装置、２…薄膜シート、３…枠体、４…加工台、５…吸着機（ガス吸引装置）、６…加圧機、７…接着機（テープ貼り付け装置）、８…本体部、９…通気孔、１０…多孔質体、１１，１２…吸引管、１３，２４，５２，５３，７１…シリンダ、１４，６２，６３…ボールナット、１５，５６，５７…搬送軸（ボールネジ）、１６，１７，６５，６６、５８，５９，２１，２２…ベアリング、１８…サーボモータ、１９，６８，７７，７８…カップリング、２０…ローラ、２３…ローラ保持具、２４，５２，５３，２５，５０，５１，７２…シリンダ軸、２７，２８…軸受け、２９，３０…ガイド軸、３１，３２…ローラ軸、３３，３４…粘着テープ、３５，３６…ボビン、３７，３８…ドラム、３９，４０…切断部、４１…粘着テープ間隔可変部、４２…粘着テープ搬送部、４３，４４…ガイド板、４５…真空ポケット、４６…ゴム部、４７，４８…切断歯、４９…ガイド口、５４，５５…テープ保持具、６０…ステッピングモータ、６１，７７…カップリング、６４…回転軸、６７…ステッピングモータ、６９…加圧機、７０…スキージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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