(57)【要約】【課題】輸送中のマスター担体の表面への塵埃付着を防止するようにして転写品質の高い磁気転写が行えるようにする。【解決手段】情報を担持したマスター担体３と、転写を受けるスレーブ媒体２とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う際に、スレーブ媒体２と密着させる以前の輸送工程ではマスター担体３の転写パターンＰの表面に保護膜５を設け、転写パターンＰに直接塵埃が付着しないようにし、磁気転写前の剥離工程で保護膜５を除去した後にスレーブ媒体２と密着させて磁気転写を行う。保護膜５の除去は、化学的または物理的に除去する剥離工程で行う。【選択図】　　　　　図２
2004110905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
磁気転写工程以前の輸送工程では前記マスター担体の表面に保護膜を設け、剥離工程で該保護膜を除去した後に前記スレーブ媒体と密着させて磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記剥離工程は、磁気転写工程前に、化学的または物理的に保護膜を除去することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体とスレーブ媒体とを密着させ磁気転写する磁気転写方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
ところで、上記磁気転写方法に用いるマスター担体は、磁気転写工程とは別の工程で作製され、このマスター担体が磁気転写装置に搬送され、使用される。そして、このマスター担体は表面に異物が付着していると、そのままスレーブ媒体と密着させて磁気転写を行った際に、付着部を中心として周辺に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の密着が確保できず、所定信号レベルのパターン転写ができずに転写品質が低下する。記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題があった。
【０００４】
上記付着物はマスター担体とスレーブ媒体の密着を繰り返すことにより、そのマスター担体表面への付着力が助長され、以降の磁気転写したスレーブ媒体のすべてに同様またはそれ以上のパターン転写不良が生じ、多数の不良品の発生原因となる。さらに、これら付着物により、マスター担体表面を変形させ、正常な機能を損なう問題がある。
【０００５】
上記点から、磁気転写を行う前に磁気転写用マスター担体をクリーニングすることが提案されている。そのクリーニングは、クリーナーパッドを取り付けたクリーナーディスクを回転させつつ、回転状態にあるマスター担体の表面に接触させて付着物の除去を行うものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−２８５６３７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように磁気転写時にスレーブ媒体と密着させるマスター担体に塵埃が付着していないようにクリーニングが行われているが、マスター担体が作製された後の輸送時における塵埃付着防止が不十分で、この輸送時に周囲雰囲気中の塵埃が付着し、クリーニングを施しても完全には除去できずに、それが原因となって転写不良を招く問題があった。
【０００８】
つまり、マスター担体の転写パターンは微細凹凸形状で構成されたものがあり、輸送時に付着した塵埃をクリーニングより凹部に押し込める場合や、異物によりマスター担体の表面に擦れ傷を付ける場合もあり、微粒子状付着物については除去不能なものもあり、クリーニングが不十分で転写不良が解消できない恐れがある。また、塵埃が転写パターンの凹凸形状の凹部内に入り込んで挟まっていると、クリーニングを行ってもその除去が困難である。マスター担体は高価であり、極力塵埃の付着を防止することが重要である。
【０００９】
輸送時のマスター担体への塵埃付着防止策としては、例えば、輸送中のマスター担体を移動式のクリーンブースに収容して搬送することが考えられるが、これでは多大な費用および管理が必要である。また、簡易な塵埃付着防止策としては、マスター担体をケースに保管して輸送することも考えられるが、ケースのみによる保管では完全な密閉状態の確保は困難で、ケース隙間からの塵埃侵入があるとともに、このケースを開閉する際のケースの摺動部分からの発塵があり、これらによる塵埃付着は避けられない問題がある。
【００１０】
本発明は上記点に鑑みなされたもので、輸送中のマスター担体の表面への塵埃付着を防止するようにして転写品質の高い磁気転写が行えるようにした磁気転写方法を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写方法は、情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
磁気転写工程以前の輸送工程では前記マスター担体の表面に保護膜を設け、剥離工程で該保護膜を除去した後に前記スレーブ媒体と密着させて磁気転写を行うことを特徴とするものである。
【００１２】
また、前記剥離工程は、磁気転写工程前に、化学的または物理的に保護膜を除去することが好適である。
【００１３】
さらに、前記輸送工程では、保護膜の形成だけでなく、保護膜を設けたマスター担体をケースに保管し、パックに詰めることで保護膜そのものへの塵埃付着を極力避けるようにすることが望ましい。
【００１４】
前記保護膜としては、樹脂を溶剤に溶解した樹脂液をマスター担体表面に塗布し、乾燥させてなるものが好適である。この樹脂としては、塩化ビニル共重合体を用いることができ、特に、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体が好適に使用できる。溶剤としては、トルエン、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）の１種以上が用いられる。保護膜除去としては、化学的に溶剤で溶解除去する方法、物理的に引き剥がす方法などが好適に採用できる。
【００１５】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、磁気転写工程以前の輸送工程でのマスター担体の表面に保護膜を設け、該保護膜を除去した後にスレーブ媒体と密着させて磁気転写するようにしたことにより、輸送時の塵埃付着防止が容易に行え、この保護膜の除去により、表面は完全に塵埃が除去された状態となり、品質の安定した磁気転写が実施でき信頼性が向上し、マスター担体の高寿命化が図れるとともに、綿密なクリーニングが不要となり、クリーニング時間の省略が可能となり、生産性向上、コストの低減が可能である。
【００１６】
また、輸送時の雰囲気がクリーン条件である必要はなく、周囲の塵埃管理にかける費用が大幅に軽減できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施形態の磁気転写方法における工程図である。図２は本発明の一つの実施の形態にかかるマスター担体の輸送時の状態を示す断面図、図３は図２のマスター担体による磁気転写時の断面図である。
【００１８】
図１は本実施形態に係る磁気転写方法を処理工程順に示している。磁気転写を受けるスレーブ媒体２は、まず、製造ラインＬにおいて前段クリーニング装置１０でクリーニング処理が施されて表面に付着した塵埃、または表面の微小突起が除去され、その後、初期磁化装置１１によってスレーブ媒体２の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体２を初期磁化する。次に、クリーニング装置１２によりクリーニング処理を施し、続いて、検査装置１３によって表面検査を行って塵埃が付着している不良品は排除する。
【００１９】
一方、マスター担体３は、製作後に保護膜形成工程２０で表面に保護膜５（図２参照）が被覆され、この状態で輸送工程２１によって磁気転写装置１４に向けて輸送され、磁気転写を行う前工程の保護膜剥離工程２２で上記保護膜５が剥離され、組付工程２３において、ホルダー６に組み付けられる。このホルダー６を、転写装置１４に装着し、該ホルダー６内へ前記スレーブ媒体２をセットし、マスター担体３と密着させ（図３参照）、前記初期磁化の直流磁界方向と略反対方向に転写用磁界を印加し、磁気転写を行うものである。この磁気転写の後に、信号が転写記録されたスレーブ媒体２の品質異常をスレーブ検査装置１５によって検査するスレーブ検査工程が設置されてなる。
【００２０】
前記マスター担体３はディスク状に形成され、図２に示すように、基板３１と磁性層３２とで構成され、磁性層３２の表面には、転写情報（サーボ信号）に対応して微細凹凸形状に形成された転写パターンＰを有し、この転写パターンＰが図３に示すように磁気転写時にスレーブ媒体２と密着される。
【００２１】
マスター担体３の基板３１としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。転写パターンＰの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性層３２の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００２２】
そして、図２は輸送時を示し、マスター担体３の磁性層３２の表面には、転写パターンＰの上に除去可能な保護膜５が形成され、この保護膜５は転写パターンＰの凹部も覆って連続的に被覆されてなる。
【００２３】
前記保護膜５としては、樹脂を溶剤に溶解した樹脂液をマスター担体３の表面に塗布し、乾燥させてなるものが好適である。樹脂としては、塩化ビニル共重合体を用いることができ、特に、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体が好適に使用できる。溶剤としては、トルエン、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）の１種以上が用いられる。
【００２４】
なお、上記輸送時には、保護膜５の形成だけでなく、保護膜５を設けたマスター担体３を不図示の専用ケースに保管し、このケースをさらにパックに詰めることで保護膜５そのものへの塵埃付着を極力避けるようにすることが望ましい。
【００２５】
そして、剥離工程２２における保護膜５の除去方法としては、化学的に溶剤で溶解除去する方法、物理的に引き剥がす方法などが、保護膜５の組成に応じて好適に採用できる。この保護膜５の除去に伴い、それまでの輸送時に付着した付着物も除去される。これにより、転写パターンＰには塵埃が付着していない状態となり、図３に示すように、この転写パターンＰの表面とスレーブ媒体２との良好な密着性が確保できる。
【００２６】
前記転写装置１４は、スレーブ媒体２、マスター担体３を収容し密着させたホルダー６を回転させつつ、このホルダー６の上下に配設した磁界印加装置（電磁石装置）によって、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写するものである。
【００２７】
磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー６の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダー６を回転させて、スレーブ媒体２の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー６の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー６を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００２８】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３の転写パターンＰに応じた磁化パターンが両面同時に転写記録される。
【００２９】
上記ホルダー６では、同じマスター担体３により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行う。また、ホルダー６を複数用意し、交換使用することが処理効率を高める点で有効である。
【００３０】
前述の前段クリーニング装置１０は、スレーブ媒体２の表面の微小突起をそぎ落とし平滑にするバーニッシュなどを施すものであり、このバーニッシュは、研磨テープを用いたテープバーニッシュ、バーニッシュヘッド（グライドヘッド）を用いたヘッドバーニッシュなどがあり、その後不織布等によりスレーブ媒体２表面の汚れや余分な潤滑剤を除去する。また、スレーブ媒体２表面の塵埃、油分等の付着物を洗浄除去するクリーニング装置であってもよい。
【００３１】
初期磁化装置１１は、スレーブ媒体２に対して、初期直流磁界を印加する磁界印加装置（電磁石または永久磁石装置）を備える。面内記録の場合には、スレーブ媒体２の片側または両側でトラック方向と平行に発生させた初期直流磁界を印加し、垂直記録の場合には、スレーブ面と垂直方向に発生させた初期直流磁界を印加し、スレーブ媒体２の回転によって全面を初期磁化（直流消磁）する。また、上記初期磁化は、ＤＣイレーズヘッドによりスレーブ媒体２を走査して直流磁界を印加し、初期磁化を行ってもよい。
【００３２】
初期磁化後のクリーニング装置１２は、スレーブ媒体２の全面の除塵を行うものであり、スレーブ媒体２の表面を洗浄、エアーブロー等で、付着している塵埃その他の汚れを除去する。なお、このクリーニング装置１２は、設備環境のクリーン度が高い場合には設置しなくてもよい。
【００３３】
検査装置１３は、上記クリーニング処理の後に、付着塵埃がないことを表面検査（光学表面観察）により確認するものであり、その後にホルダー６にセットする。この表面検査は、マスター担体３へ塵埃が付着することを極力避けるためのものであり、高価なマスター担体３の塵埃付着による劣化を抑制する。この検査装置１３についても、上記クリーニング装置１２と同様に設置しなくてもよい場合がある。
【００３４】
また、磁気転写後のスレーブ検査装置１５は、スレーブ媒体２に転写記録されたサーボ信号等の検査を行うベリファイ検査を実施するものであり、スレーブ媒体２をドライブに装填し、磁気ヘッドをアクセスしてスレーブ媒体２に記録されたサーボ信号等を読み取ってエラーの発生状況等から信号品質を検査する。なお、表面の傷等を同時に検査するようにしてもよい。
【００３５】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。また、面内記録方式もしくは垂直記録方式に応じた磁気異方性を有する磁性層が構成される。
【００３６】
上記のような実施形態によれば、磁気転写工程以前の輸送工程でのマスター担体３には、転写パターンＰの表面に除去可能な保護膜５を形成しておき、転写パターンＰの表面には直接塵埃が付着しないようにし、磁気転写工程の直前で保護膜５を剥離し、塵埃が付着していない状態でスレーブ媒体２と密着させることができ、スレーブ媒体２のクリーニングとともに、転写品質の優れた磁気転写が継続できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態の磁気転写方法における工程図
【図２】本発明の一つの実施の形態にかかるマスター担体の輸送時の状態を示す断面図
【図３】図２のマスター担体による磁気転写時の断面図
【符号の説明】
２　　スレーブ媒体
３　　マスター担体
５　　保護膜
６　　ホルダー
１１　　初期磁化装置
１４　　転写装置
２０　　保護膜形成工程
２１　　輸送工程
２２　　保護膜剥離工程
２３　　組付工程
３１　　基板
３２　　磁性層
【図１】
2004110905.tif 000003
【図２】
2004110905.tif 000004
【図３】
2004110905.tif 000005