(57)【要約】【課題】１度の分析操作で、測定試料中の原子番号が離れた複数の微量元素を分析可能とする蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】１次フィルタ７は、原子番号が互いに異なる第１元素および第２元素をフィルタ成分として含み、第１元素は１次Ｘ線３における第１エネルギ帯域３１を主に吸収する。一方、第２元素は１次Ｘ線の連続Ｘ線における第１エネルギ帯域３１よりもエネルギの大きい帯域で、かつ、第１エネルギ帯域３１に隣接しない第２エネルギ帯域３２を主に吸収する。吸収後の１次Ｘ線３には、第２エネルギ帯域３２の両側の第３および第４エネルギ帯域３３、３４が第１および第２励起成分として含まれる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線源から１次フィルタを介して、測定試料に１次Ｘ線を照射し、該１次Ｘ線を受けた測定試料からの蛍光Ｘ線を検出器で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光Ｘ線分析装置において、
前記１次フィルタは、原子番号が互いに異なる第１元素および第２元素をフィルタ成分として含み、
前記第１元素は前記１次Ｘ線における第１エネルギ帯域を主に吸収し、
前記第２元素は前記１次Ｘ線の連続Ｘ線における前記第１エネルギ帯域よりもエネルギの大きい帯域で、かつ、前記第１エネルギ帯域に隣接しない第２エネルギ帯域を主に吸収し、
前記吸収後の１次Ｘ線には、前記第２エネルギ帯域の両側の第３および第４エネルギ帯域が第１および第２励起成分として含まれ、
前記第１および／または第２励起成分が連続Ｘ線の一部を含むことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記吸収後の１次Ｘ線には、前記第１エネルギ帯域よりもエネルギが高く、かつ、前記第２エネルギ帯域よりもエネルギの低い第３エネルギ帯域の成分が第１励起成分の１つとして含まれ、
前記吸収後の１次Ｘ線には、前記第２エネルギ帯域よりもエネルギの高い第４エネルギ帯域の成分が第２励起成分の１つとして含まれ、
かつ、前記第１および第２励起成分がそれぞれ連続Ｘ線の一部を含む蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
請求項１、２において、
前記１次フィルタは、原子番号が６番以上２９番以下の第１元素を軽元素フィルタ成分として含み、
前記１次フィルタは、原子番号が２４番以上７４番以下で、かつ、前記第１元素の原子番号とは少なくとも１０番以上離れている原子番号の第２元素を重元素フィルタ成分として含む、蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
請求項１、２、３において、
前記１次フィルタは、前記第１元素を含む第１薄膜ないし薄板と、前記第２元素を含む第２薄膜ないし薄板とを重ね合わせて形成されている蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
請求項１、２、３もしくは４において、
前記１次フィルタが複数種類設けられ、
前記各１次フィルタ同士は、前記第１元素および第２元素の少なくとも一方が互いに異なるように形成されており、
前記複数種類の１次フィルタのうち、１つの１次フィルタを選択的に前記１次Ｘ線の光路に挿入し、他の１次フィルタを退避させるフィルタ交換機を備えた蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
請求項１、２、３、４もしくは５において、
前記Ｘ線源から前記検出器に至る光路を含む照射室内には、原子番号が互いに異なる軽元素および重元素を含む標準試料が複数個内蔵され、
前記標準試料は、前記測定試料を載置する試料台の照射室側の面に近接、かつ、前記試料台を挟んで前記測定試料と対向する校正位置に挿入可能に設けられ、
前記複数個の標準試料のうち、１つの標準試料を選択的に前記校正位置に挿入する挿入機と、
前記標準試料を前記校正位置に前記挿入機により順次挿入、退避させて当該標準試料からの蛍光Ｘ線を分析させる制御手段と、
前記標準試料と前記測定試料との位置の相違、ならびに、前記１次Ｘ線の照射角度の相違に基づく分析値のズレを補正する補正手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蛍光Ｘ線分析の特に１次フィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光Ｘ線分析においては、バックグラウンドを減少させるため、１次フィルタを用いることがある。しかし、試料中の原子番号が離れた元素（たとえば、軽元素や重元素）を検出しようとすると、元素の種類ごとにフィルタを交換する必要があった（たとえば、特許文献１参照。）。そのため、１つの測定試料に対して複数回の測定が必要となるので、分析時間が長くなる。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−２４０８０８号公報  （第２−３頁、第１図）
【０００４】
【発明の背景】
ところで、近年、土壌や廃棄物に含まれる有害物質が問題となっている。その対策として欧州では、「電気電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限（ＲｏＨＳ）」の指令案が採択され、この指令が発行されるとＥＵ全域においてカドミウム、鉛、臭素系難燃剤などの特定有害物質の使用が厳しく制限される。また、日本国内においても、２００３年１月から土壌汚染対策法が施行される予定で、工場跡地などの有害重金属の調査が必須とされる。このような情勢から、様々な有害元素を簡便に測定できる装置が求められている。
【０００５】
これらの要求に応えるため、たとえば、分光結晶を用いたＸ線分析装置で元素分析を行うこともできる。しかし、分光結晶でＸ線を分光すると、極く一部のＸ線のみが励起Ｘ線として分光されるので、Ｘ線の総量が著しく小さくなる。そのため、大型のＸ線管を使用しなければならない。したがって、コストアップの原因となる。また、分光結晶や人工格子は、高価である上、結晶交換機が必要なので、この点においてもコストが高くなる。
【０００６】
本発明は前記従来の問題を解決するためになされたもので、その目的は、１度の分析操作で、測定試料中の原子番号が離れた複数の元素を分析可能とする比較的安価な蛍光Ｘ線分析装置を提供することである。
【０００７】
【発明の原理】
まず、図１および図２を用いて本発明の原理について説明する。
図２（ａ）は、１次Ｘ線３のスペクトル、ならびに、第１〜第４エネルギ帯域３１〜３４の分布を示す図表である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のスペクトル図に関連して、Ｃｒ、Ｈｇ、Ａｓ、Ｓｅ、Ｐｂ、Ｂｒ、Ｃｄ、Ｓｎの固有Ｘ線（分析線）のスペクトルを示す図表である。
【０００８】
図１に示す１次フィルタ７は第１および第２元素をフィルタ成分として含む。該１次フィルタ７の第１元素は、図２（ａ）に示す１次Ｘ線３における第１エネルギ帯域３１を主に吸収する。一方、前記１次フィルタ７の第２元素は、前記１次Ｘ線３における第２エネルギ帯域３２を主に吸収する。前記第２エネルギ帯域３２は、前記第１エネルギ帯域３１よりもエネルギの高い帯域で、かつ、前記第１エネルギ帯域３１とは互いに離間したエネルギ帯域である。前記第１エネルギ帯域３１は、図２（ｂ）に示すＣｒ、Ｈｇ、Ａｓ、Ｓｅ、Ｐｂ、Ｂｒ（臭素）などの金属から発生する固有Ｘ線５（たとえば、Ａｓ−Ｋα線などのＫ線や、Ｐｂ−Ｌα線などのＬ線）に対してバックグラウンドとなる比較的エネルギの低い帯域である。一方、前記第２エネルギ帯域３２は、ＣｄやＳｎなどの金属から発生する固有Ｘ線５（たとえば、Ｃｄ−Ｋα線などのＫ線）に対してバックグラウンドとなる比較的エネルギの高い帯域である。
なお、第１エネルギ帯域３１は、Ｃｒ−Ｋα（５．４１１ＫｅＶ）  〜Ｂｒ−Ｌα（１１．９０７ＫｅＶ）  の範囲を含むエネルギ帯域である。一方、第２エネルギ帯域３２は、Ｃｄ−Ｋα（２３．１０６ＫｅＶ）〜Ｓｎ−Ｋα（２５．１９１ＫｅＶ）の範囲を含むエネルギ帯域である。
【０００９】
前記吸収後の１次Ｘ線３には、主として、前記第１エネルギ帯域３１よりもエネルギが高く、かつ、前記第２エネルギ帯域３２よりもエネルギの低い第３エネルギ帯域３３と、前記第２エネルギ帯域３２よりもエネルギの高い第４エネルギ帯域３４とが含まれている。前記第３エネルギ帯域３３のＸ線は、Ｃｒなどの軽元素を励起する第１励起成分の１つとして作用する。一方、前記第４エネルギ帯域３４のＸ線は、Ｃｄなどの重元素を励起する第２励起成分の１つとして作用する。
【００１０】
このように、前記１次フィルタの第１元素および第２元素により、第１および第２エネルギ帯域のＸ線が殆ど吸収されるので、バックグラウンドが低減され、一方、励起成分となる第３および第４エネルギ帯域のＸ線の割合が著しく高くなる。そのため、原子番号の互いに異なる複数の元素を精度良く同時に分析可能となる。
【００１１】
本発明の１次フィルタに含まれる第１元素としては、原子番号が６番以上２９番以下の元素を用いるのが好ましく、更に好ましくは、Ｍｇ（１２番）、Ａｌ（１３番）、Ｓｉ（１４番）、Ｃｕ（２９番）の単体やその酸化物（ＭｇＯ  、ＳｉＯ２など）を用いる。
一方、第２元素としては、原子番号が２４番以上７４番以下の元素を用いるのが好ましく、更に好ましくは、Ｃｕ（２９番）、ジルコニウムＺｒ（４０番）やモリブデンＭｏ（４２番）の単体を用いる。
一般に、第２元素は、第１元素よりも原子番号が１０番以上離れた元素を用いるのが好ましい。
【００１２】
本発明において、１次フィルタ７中の「軽元素（フィルタ成分）」および「重元素（フィルタ成分）」の定義は、２つの元素の相対的な関係で定義される。つまり、原子番号が離れた第１元素および第２元素に対して、原子番号の小さい方の元素を軽元素、大きい方の元素を重元素とする。
したがって、ある１次フィルタ７で軽元素フィルタ成分として用いられている元素を、他の１次フィルタ７において重元素フィルタ成分として用いてもよい。また逆に、ある１次フィルタ７で重元素フィルタ成分として用いられている元素を、他の１次フィルタ７において軽元素フィルタ成分として用いてもよい。
【００１３】
本発明において、フィルタ成分とは一般に、第１元素および第２元素を除いたフィルタの全原子量に対し、少なくとも１０モル％以上、好ましくは５モル％以上の第１元素または第２元素を含むものを意味する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
本実施形態では、土壌や電子材料中に含まれる人体に有害な重金属（たとえば、Ｃｒ、Ｈｇ、Ａｓ、Ｓｅ、Ｐｂ、Ｂｒ、Ｃｄ、Ｓｎ）を分析して、その含有量が所定の基準値以下か否かの合否判定を行う検査機を例にとって説明する。
【００１５】
図１（ａ）において、本検査機は測定試料１が載置される試料台２と、測定試料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管等のＸ線源４と、測定試料１から発生した蛍光Ｘ線５を検出する検出器６を備えている。前記１次Ｘ線３の光路には１次フィルタ７が設けられている。前記１次Ｘ線３は、前記１次フィルタ７を介して、前記試料台２に設けられた窓部２１を通り、前記測定試料１に照射される。前記１次フィルタ７により、後述するように、分析線のバックグラウンドとなる成分が低減ないし除去される。
なお、前記試料台２は、試料室２０と照射室２２とを区画しており、前記Ｘ線源４、検出器６および１次フィルタ７は前記照射室２２内に収容されている。
【００１６】
前記１次フィルタ７は、前記測定試料１から検出器６に向かう蛍光Ｘ線５を吸収しない位置に設けられている。したがって、前記１次フィルタ７は、前記１次Ｘ線３だけを吸収・透過し、前記蛍光Ｘ線５は吸収しない。
なお、分析精度を向上させるため、２次フィルタを前記前記蛍光Ｘ線５の光路に設けてもよい。該２次フィルタは、測定試料１で散乱されるＸ線などに起因するバックグラウンドを低減または除去する。
【００１７】
本検査機で有害重金属元素の検査を行う場合には、バックグラウンドの低減、特に妨害線の除去という観点から、前記Ｘ線源４に用いるＸ線管のターゲットとしては、Ｗ  （タングステン）またはＭｏ（モリブデン）を用いるのが一般に好ましい。
【００１８】
検出器６としては、たとえば、シリコンドリフト検出器（ＳＤＤ）のように、エネルギ分解能に優れ、液体窒素によらずペルチェ素子による冷却を行うものを採用するのが好ましい。
【００１９】
前記１次フィルタ７は、図１（ｂ）に示すように、第１元素をフィルタ成分として含む第１薄膜８と、第２元素をフィルタ成分として含む第２薄膜９とが重ね合わされて形成されている。前記１次フィルタ７は、平板状のフレーム２７の長手方向１７に若干離間して並ぶように複数種類設けられている。該フレーム２７は、前記長手方向１７（図１（ａ））に沿って移動可能に設けられている。
なお、前記第１および第２薄膜８、９は、薄板に形成してもよい。また、いずれか一方を薄膜、他方を薄板としてもよい。更に、薄膜は、一方の薄板や薄膜に蒸着などにより一体に形成してもよい。
【００２０】
ここで、説明の便宜上、前記複数種類の１次フィルタ７を７ｉ  （ｉ＝１からｎの自然数）として示し、各々を区別する。同様に、各１次フィルタ７に対応する第１薄膜８および第２薄膜９もそれぞれ、８ｉ  、９ｉ  として示す。
前記複数種類の１次フィルタ７ｉ  のうち、第１および第２の１次フィルタ７１  、７２  の第１薄膜８１  、８２  は、同じ第１元素（たとえば、Ｃｕ）の単体を軽元素フィルタ成分としている。一方、第２薄膜９１  、９２  は、各々、異なる第２元素（たとえば、ＺｒとＭｏ）の単体をそれぞれ重元素フィルタ成分としている。
また、第３の１次フィルタ７３  では、第１薄膜８３  の軽元素フィルタ成分は、たとえばＭｇＯ  であり、第２薄膜９３  の重元素フィルタ成分は、Ｃｕの単体である。このように、各１次フィルタ７１  〜７ｎ  同士は、前記第１元素および第２元素の少なくとも一方が互いに異なるように形成されている。
【００２１】
制御構成：
本検査機は、図３（ｂ）に示すように、制御手段１０を備えている。制御手段１０には、前記Ｘ線源４、検出器６、フィルタ交換機３７、挿入機３５、出力手段３６および入力手段３８が図示しないインターフェイスを介して接続されている。  前記フィルタ交換機３７は、図１（ｂ）の前記フレーム２７を前記長手方向１７（図１（ａ）の紙面に直交する方向）に移動させる。これにより、前記フィルタ交換機３７は、前記複数種類の１次フィルタ７１  〜７ｎ  のうち、１つの１次フィルタ７ｉを前記１次Ｘ線３の光路に選択的に挿入し、他の１次フィルタを退避させる。
【００２２】
前記挿入機３５は、後述する複数個の標準試料２５を前記長手方向１７に移動させて、１つの標準試料２５を選択的に後述の校正位置３０に挿入する。
【００２３】
前記制御手段１０は、ＣＰＵ（補正手段）１１およびメモリ１２を備えている。
メモリ１２には、基準値データおよび補正プログラムが予め記憶されている。前記基準値データは、図３（ｃ）に示すように、所定の測定試料１に対応して、各元素ごとに、合否の判定の基準となる基準値が各々関連付けられて記憶されている。一方、前記補正プログラムは、後述する補正を行うための周知のプログラムである。
前記ＣＰＵ１１は、前記検出器６からの検出値と前記基準値データとを比較することによって、各元素ごとにその含有量が基準値以下か否かの合否判定を行い、その判定結果を前記出力手段３６に出力する。また、前記ＣＰＵ１１は、前記メモリ１２に記憶されている前記補正プログラムを実行することにより、後述する補正を行う補正手段としての機能を果たす。
【００２４】
前記制御手段１０は、該制御手段１０に接続された機器の動作を制御して、前記測定試料１の元素分析を行わせると共に、本検査機の校正作業を行わせる。この校正作業としては、たとえば、Ｘ線のエネルギ校正や検量線の標準化などがある。前記校正作業を行う場合は標準試料２５を用いるが、本検査機は複数個の標準試料２５を内蔵している。該標準試料２５は、分析対象となる重金属元素を１種または複数種類含んでいる。各標準試料２５同士は、各々が含む複数種類の元素の少なくとも１種類以上が互いに異なる。図３（ａ）に示すように、前記標準試料２５は前記Ｘ線源４から前記検出器６に至る１次Ｘ線３の光路を含む照射室内２２に設けられている。
【００２５】
前記標準試料２５は、前記試料台２の照射室２２側の面２ａに近接、かつ、前記試料台２を挟んで前記測定試料１と対向する校正位置３０に挿入可能に設けられている。前記制御手段１０は、前記挿入機３５を制御して、前記校正位置３０に前記各標準試料２５を順次挿入、退避させる。当該標準試料２５からの蛍光Ｘ線５は、検出器６により検出される。
【００２６】
前記校正位置３０に挿入された標準試料２５と前記測定試料１の載置面２ｂとは、間隔ｄだけ離れている。また、前記測定試料１に対しては、１次Ｘ線３が照射角度θ１（図１（ａ））で照射される。一方、前記標準試料２５に対しては、前記１次Ｘ線３が前記照射角度θ１とは若干異なる照射角度θ２で照射される。そのため、前記標準試料２５と前記測定試料１との位置の相違、ならびに、１次Ｘ線３の照射角度の相違に基づいて、前記標準試料２５の分析値と前記測定試料１の分析値とにはズレが生じる。この分析値のズレは前記ＣＰＵ１１により補正される。前記ＣＰＵ１１は、前記補正プログラムをメモリ１２から読み出して、当該補正プログラムを実行することにより、前記分析値のズレを補正する。
【００２７】
前記校正作業を行う際には、前記入力手段３８で所定の操作を行って校正モードに設定する。該校正モードでは、前記制御手段１０およびＣＰＵ１１が下記の動作を行う。
まず、図３（ａ）に示すように、測定試料１が試料台２に載置されていない状態において、前記制御手段１０が前記挿入機３５を駆動させ、１つの標準試料２５を前記校正位置３０に挿入する。当該標準試料２５には、前記Ｘ線源４から１次Ｘ線３が照射される。前記標準試料２５は、前記１次Ｘ線３により励起されて、蛍光Ｘ線５を発生させる。当該蛍光Ｘ線５は前記検出器６により検出される。前記検出器６は、検出値をＣＰＵ１１に出力する。
前記ＣＰＵ１１は、前記検出値を分析して校正係数を算出すると共に、標準試料２５の各元素に対する検量線を作成・標準化する。前記校正係数は、測定試料１の分析値に対して前記ＣＰＵ１１が実行する前記補正プログラムのパラメータとして用いられる。前記検量線は、測定試料１の定量分析を行う際に比較対象として用いられる。
【００２８】
１つの標準試料２５を用いた校正作業が完了すると、必要に応じて、別の標準試料２５を用いた校正作業を同様に行う。このようにして、検査を行うのに必要な校正作業を完了させる。
【００２９】
なお、前記制御手段１０が前記校正作業を所定の頻度で自動的に行うように設定してもよい。そうすれば、校正作業に人手を必要としないから、人件費を含む本検査機のランニングコストを著しく低減することができる。しかも、手間のかかる（熟練を要する）校正作業が自動で行われるから、誰でも簡単に本検査機を使用することができる。
【００３０】
つぎに、本検査機の用い方について説明する。
まず、検査開始前に、必要に応じて前記校正作業を行う。続いて、オペレータが前記入力手段３８を操作して、図３（ｃ）の基準値データの測定試料１（たとえば、電子材料イ）を選択する。これにより、合否判定の比較対象となる基準値データを変更設定する。
【００３１】
検査が開始されると、図１（ａ）のＸ線源４から１次Ｘ線３が測定試料１に向って出射される。該１次Ｘ線３は、前記１次フィルタ７の第１元素および第２元素によって、前記第１および第２エネルギ帯域３１、３２が吸収される。吸収後に残った第３エネルギ帯域３３および第４エネルギ帯域３４のＸ線は、前記窓部２１を通って前記測定試料１に照射される。前記第３および第４エネルギ帯域３３、３４のＸ線には、連続Ｘ線の一部が含まれている。したがって、前記測定試料１には、互いに離れた２つのエネルギ帯域３３、３４に含まれている連続Ｘ線が入射する。エネルギの低い第３エネルギ帯域３３の連続Ｘ線が第１励起成分として作用し、測定試料１を励起する。一方、エネルギの高い第４エネルギ帯域３４の連続Ｘ線が第２励起成分として作用し、測定試料１を励起する。したがって、測定試料１に含まれる微量な軽元素および微量な重元素の双方を精度良く分析することができる。
【００３２】
前記測定試料１からの蛍光Ｘ線５は、検出器６により検出される。前記検出器６は、検出値をＣＰＵ１１に出力する。前記ＣＰＵ１１は、前記検出値と前記基準値データとを比較して、前述した所定の合否判定を行う。該合否判定の結果は、前記出力手段３６に出力される。前記出力手段３６は、たとえば、モニタやランプなどで前記判定結果を表示（出力）して、オペレータに合否を認識させる。
【００３３】
なお、前記ＣＰＵ１１からの出力を、図示しない他の機器に出力するようにしてもよい。たとえば、前記ＣＰＵ１１が振り分け装置に合否信号を出力して、ＮＧ品をラインアウトさせるような構成としてもよい。
また、本検査機は、分析機として用いることもできる。かかる場合には、前記出力手段３６により、測定試料１の詳細なスペクトル分析結果を表示するようにすれば、各元素の定量分析結果を容易に確認することができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、１次フィルタによりバックグラウンドを低減しつつ、互いに離れた２つのエネルギ帯域を励起成分として持つ１次Ｘ線を得ることができる。そのため、１次フィルタを交換することなく、一度の分析操作で、原子番号の互いに異なる複数の元素の分析を精度良く行うことができるから、分析時間を大幅に短縮できる。
また、分光結晶を用いる場合に比べ、低出力のＸ線管を用いることができるから、ローコスト化を実現できる。しかも、出力の高い連続Ｘ線を励起成分として用いることができるから、複数の元素を効率よく励起することができる。
【００３５】
また、軽元素と重元素の双方を含む１次フィルタを用いることにより、１次Ｘ線における、互いに離間したエネルギの低い帯域およびエネルギの高い帯域の双方を吸収できるから、同時に分析可能な元素の範囲が広がる。
【００３６】
また、第１元素および第２元素を互いに分離して形成した薄膜ないし薄板を重ね合わせて１次フィルタを形成すれば、１次フィルタの形成が容易になり、コストも安くなる。
【００３７】
また、複数種類の１次フィルタを交換するフィルタ交換機を設ければ、元素分析の際に、個々の測定試料に応じた最適な条件の１次フィルタを選択して用いることができるから、汎用性が高くなる。
【００３８】
また、複数個の標準試料を照射室内に内蔵し、これら複数個の標準試料を用いた校正作業を行う制御手段と、分析値のズレを補正する補正手段を設ければ、熟練したオペレータ以外の人でも本検査機を簡単に使用することができるから、Ｘ線検査機として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態にかかる蛍光Ｘ線検査機を示す模式図、（ｂ）は同検査機のフィルタを示す平面図および断面図である。
【図２】１次フィルタで吸収・透過されるエネルギ帯域の関係を示す図表である。
【図３】（ａ）は校正作業時の蛍光Ｘ線検査機を示す模式図、（ｂ）は同検査機の制御構成を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１：測定試料
２：試料台
３：１次Ｘ線
４：Ｘ線源
５：測定試料から発生した蛍光Ｘ線
６：検出器
７：１次フィルタ
８：第１薄膜
９：第２薄膜
１０：制御手段
１１：ＣＰＵ（補正手段）
２５：標準試料
３１、３２：１次フィルタによって吸収される１次Ｘ線のエネルギ帯域
３３、３４：１次フィルタによる吸収後に残る１次Ｘ線のエネルギ帯域
【図１】
2004150990.tif 000003
【図２】
2004150990.tif 000004
【図３】
2004150990.tif 000005