(57)【要約】      （修正有）【課題】試験効率を二倍にし、且つ微小なチップの試験作業にも適用できる。【解決手段】チップはチップ送入装置から分配してチップ輸送回転円盤の各溝に落下し、チップ輸送回転円盤に従って孔も前へ進み、また、クラスを分けたチップは、チップ排出装置により案内管を経てそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集する。前記チップ輸送回転円盤は、二セットで並列し、且つ一伝達装置と一モータとにより同期に駆動され、なお、前記二チップ輸送回転円盤は、互いに逆方向に回転し、単一のチップ送入装置から順序に送入された試験しようとするチップを受けることができ、且つ前記二チップ輸送回転円盤の複数列のチップを単一の試験装置により同期に試験を実施することができ、また、前記二チップ輸送回転円盤の両側にあるチップ排出装置によりチップのクラスを分けて分類して、チップをそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に集中する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体には、別々にチップ送入装置、チップ輸送回転円盤、試験装置、チップ排出装置、などの機構が設けてあり、チップはチップ送入装置から分配してチップ輸送回転円盤の各溝に落下し、チップ輸送回転円盤の回転に従って孔も前へ進み、なお、チップが試験装置の円弧形板にある上下プローブを通過している際には、上下プローブによりチップが試験され記録された試験数値によってチップのクラスを分け、また、クラスを分けたチップは、チップ排出装置により案内管を経てそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集するチップ試験装置において、
前記チップ輸送回転円盤は、二セットで並列し、且つ一伝達装置と一モータにより同期に駆動され、なお、前記二チップ輸送回転円盤は、互いに逆方向に回転し、そうすると、単一のチップ送入装置から順番に送入された試験しようとするチップを受けることができ、且つ前記二チップ輸送回転円盤の複数列のチップを単一の試験装置により同期に試験を実施することができ、また、前記二チップ輸送回転円盤の両側にあるチップ排出装置によりチップのクラスを分けて分類して、チップをそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集することを特徴とする、チップ試験装置。
【請求項２】
装置本体には、別々にチップ送入装置、チップ輸送回転円盤、試験装置、チップ排出装置、などの機構が設けてあり、チップはチップ送入装置から分配してチップ輸送回転円盤の各溝に落下し、チップ輸送回転円盤の回転に従って孔も前へ進み、なお、チップが試験装置の円弧形板にある上下プローブを通過している際には、上下プローブによりチップが試験され記録された試験数値によってチップのクラスを分け、また、クラスを分けたチップは、チップ排出装置により案内管を経てそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集するチップ試験装置において、
前記チップ輸送回転円盤は、二セットで並列し、且つ一伝達装置と一モータにより同期に駆動され、なお、各チップ輸送回転円盤は、同じのチップ送入装置によりチップを送入し、同じの試験装置により各チップ輸送回転円盤に載っているチップを試験することを特徴とする、チップ試験装置。
【請求項３】
前記二チップ輸送回転円盤の上には、一チップ案内カバーがそれらをカバーすることを特徴とする、請求項１に記載のチップ試験装置。
【請求項４】
前記二チップ輸送回転円盤の上には、一チップ案内カバーがそれらをカバーすることを特徴とする、請求項２に記載のチップ試験装置。
【請求項５】
前記チップ案内カバーには、複数の透明な覗き窓が設けていることを特徴とする請求項３に記載の、チップ試験装置。
【請求項６】
前記チップ案内カバーには、複数の透明な覗き窓が設けていることを特徴とする請求項４に記載の、チップ試験装置。
【請求項７】
前記チップ輸送回転円盤は伝達装置のステッピングモータにより同期に駆動され、且つ第一のチップ輸送回転円盤の回転軸には一プーリーが設けてあり、一タイミングベルトがステッピングモータに付けたプーリーと前記回転軸に付けたプーリーとを連結し、なお、前記回転軸の端末には一平歯車が設けてあり、前記平歯車はそばにある他の平歯車と噛み合い、前記他の平歯車は小回転軸をステッピングモータの回転方向と逆方向に駆動し、前記小回転軸の他端には一プーリーが設けてあり、そして、第二のチップ輸送回転円盤の回転軸の端末にも一プーリーが設けてあり、前記二チップ輸送回転円盤の回転軸に付けたプーリーはもう一タイミングベルトにより連結することを特徴とする、請求項１に記載のチップ試験装置。
【請求項８】
前記チップ輸送回転円盤は伝達装置のステッピングモータにより同期に駆動され、且つ第一のチップ輸送回転円盤の回転軸には一プーリーが設けてあり、一タイミングベルトがステッピングモータに付けたプーリーと前記回転軸に付けたプーリーとを連結し、なお、前記回転軸の端末には一平歯車が設けてあり、前記平歯車はそばにある他の平歯車と噛み合い、前記他の平歯車は小回転軸をステッピングモータの回転方向と逆方向に駆動し、前記小回転軸の他端には一プーリーが設けてあり、そして、第二のチップ輸送回転円盤の回転軸の端末にも一プーリーが設けてあり、前記二チップ輸送回転円盤の回転軸に付けたプーリーはもう一タイミングベルトにより連結することを特徴とする、請求項２に記載のチップ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ試験装置に係り、特に単一のチップ送入装置と単一の試験装置とにより対応に回転している二チップ輸送回転円盤に載っているチップを同期に且つ高効率に輸送し試験するチップ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
目下、各種類のチップに対してインダクタンスと容量と抵抗となどの試験は、既に高効率なチップ試験装置にて実施し、チップ試験装置の自動的な輸送と、試験と、クラス分けと、集中と、などの自動化処理により、チップの試験作業はもっと快速にすることができ、且つチップの品質管理も確保できる。
【０００３】
図１０に示すのは従来のチップ試験装置であり、その装置本体１０は、制御組１０１と、チップ送入装置１０２と、チップ輸送回転円盤１０３と、試験装置１０４と、チップ排出装置１０５と、チップ受けタンク１０６と、から構成され、試験しようとするチップは、チップ送入装置１０２からチップ輸送回転円盤１０３へ投入し、チップ輸送回転円盤１０３の回転によりチップが試験装置１０４の上下プローブ（図示せず）と接触し各性能数値を測定した後、測定した性能数値によってクラスを分けてから、チップ排出装置１０５にてそれぞれのクラスに対応したチップが各チップ受けタンク１０６へ排出される。
【０００４】
また、試験効率を向上するために、チップ輸送回転円盤１０３には複数の溝を設けることによりもっと多くのチップを収納し、なお、試験装置１０４にある上下プローブは、チップが上下プローブを通過している際に適当な接触により各測定値を得るように、チップの寸法によって上下プローブの間の距離を調整する（本発明者は２０００年１月１７日に出願し、台湾特許８９２００７４３号を取った）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のチップ試験装置は所定の使用目的と使用効果を達成できるが、チップが小型化するほど、上記のチップ試験装置には下記の問題が発生した。
【０００６】
（イ）  チップの設計はどんどん小型化するため、チップ輸送回転円盤も薄くなるが、一般的にチップ輸送回転円盤はグラス繊維強化樹脂（ＦＲＰ）で作製されたものなので、チップ輸送回転円盤の寸法が大きくなるほど、変形や捻じれなどの現象が酷くなり、ひいては試験の安定性と効率とにも悪影響を与えた。また、試験効率を向上するためには、チップ輸送回転円盤の上でのチップ受け用溝が多いほど良いが、チップ受け用溝を多くすると肉厚が薄すぎとなるため変形の可能性があるので、チップ受け用溝を増加することは難しい。それに従って、試験効率をもう一歩向上することができない。
【０００７】
（ロ）  生産効率を向上するために前記チップ受け用溝を増加すると、チップ輸送回転円盤は変形し易いので、より小さいチップを試験することができない。だが、より小さいチップを試験すれば、前記チップ受け用溝を削減してチップ輸送回転円盤の寸法を減少しなければならない。実に、両方に同時に配慮を配ることはできない。
【０００８】
本発明の主な目的は、並列した二チップ輸送回転円盤を装置本体に設置し、なお、前記二チップ輸送回転円盤の上では同心の溝が複数に設けてあり、且つ一駆動装置の駆動により二チップ輸送回転円盤が逆方向に回転され、チップ送入装置から分配して送入された多数のチップを前記二チップ輸送回転円盤上の溝で受けてから、単一の試験装置へ輸送して同期に試験し、また、チップ排出装置は試験したデータによってチップをクラスに分類した後、各チップ集めタンクに排出し、それにより、二チップ輸送回転円盤は、単一のチップ送入装置と単一の試験装置とに合わせて二倍の試験効率を達成することができ、装置の機構を簡単化することもできるチップ試験装置を提供する。
【０００９】
本発明の次の目的は、チップ輸送回転円盤を二つにすることにより試験効率を向上するため、チップ輸送回転円盤の上での溝を最適に設計しても、試験効率に悪影響を与えなく、なお、チップ輸送回転円盤の寸法を大幅に削減しない場合にも、所定の試験効率及び産量を維持できるため、チップ輸送回転円盤が変形せず、且つもっと微小なチップでも試験を実施することができるチップ試験装置を提供する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた本願の請求項１は、装置本体には、別々にチップ送入装置と、チップ輸送回転円盤と、試験装置と、チップ排出装置と、などの機構が設けてあり、チップはチップ送入装置から分配してチップ輸送回転円盤の各溝に落下し、チップ輸送回転円盤の回転に従って孔も前へ進み、なお、チップが試験装置の円弧形板にある上下プローブを通過している際には、上下プローブによりチップが試験され記録された試験数値によってチップのクラスを分け、また、クラスを分けたチップは、チップ排出装置により案内管を経てそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集するチップ試験装置において、前記チップ輸送回転円盤は、二セットで並列し、且つ一伝達装置と一モータとにより同期に駆動され、なお、前記二チップ輸送回転円盤は、互いに逆方向に回転し、そうすると、単一のチップ送入装置から順序に送入された試験しようとするチップを受けることができ、且つ前記二チップ輸送回転円盤の複数列のチップを単一の試験装置により同期に試験を実施することができ、また、前記二チップ輸送回転円盤の両側にあるチップ排出装置によりチップのクラスを分けて分類して、チップをそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に集中することを特徴とするチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１１】
本願の請求項２では、装置本体には、別々にチップ送入装置と、チップ輸送回転円盤と、試験装置と、チップ排出装置と、などの機構が設けてあり、チップはチップ送入装置から分配してチップ輸送回転円盤の各溝に落下し、チップ輸送回転円盤の回転に従って孔も前へ進み、なお、チップが試験装置の円弧形板にある上下プローブを通過している際には、上下プローブによりチップが試験され記録された試験数値によってチップのクラスを分け、また、クラスを分けたチップは、チップ排出装置により案内管を経てそれぞれのクラスに対応したチップ集めタンク内に収集するチップ試験装置において、前記チップ輸送回転円盤は、二セットで並列し、且つ一伝達装置と一モータとにより同期に駆動され、なお、各チップ輸送回転円盤は、同じのチップ送入装置によりチップを送入し、同じの試験装置により各チップ輸送回転円盤に載っているチップを試験することを特徴とするチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１２】
本願の請求項３では、前記二チップ輸送回転円盤の上には、一チップ案内カバーがそれらをカバーすることを特徴とする請求項１に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１３】
本願の請求項４では、前記二チップ輸送回転円盤の上には、一チップ案内カバーがそれらをカバーすることを特徴とする請求項２に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１４】
本願の請求項５では、前記チップ案内カバーには、複数の透明な覗き窓が設けていることを特徴とする請求項３に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１５】
本願の請求項６では、前記チップ案内カバーには、複数の透明な覗き窓が設けていることを特徴とする請求項４に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１６】
本願の請求項７では、前記チップ輸送回転円盤は伝達装置のステッピングモータにより同期に駆動され、且つ第一のチップ輸送回転円盤の回転軸には一プーリーが設けてあり、一タイミングベルトがステッピングモータに付けたプーリーと前記回転軸に付けたプーリーとを連結し、なお、前記回転軸の端末には一平歯車が設けており、前記平歯車はそばにある他の平歯車と噛み合い、前記他の平歯車は小回転軸をステッピングモータの回転方向と逆方向に駆動し、前記小回転軸の他端には一プーリーが設けてあり、そして、第二のチップ輸送回転円盤の回転軸の端末にも一プーリーが設けてあり、前記二チップ輸送回転円盤の回転軸に付けたプーリーはもう一タイミングベルトにより連結することを特徴とする請求項１に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１７】
本願の請求項８では、前記チップ輸送回転円盤は伝達装置のステッピングモータにより同期に駆動され、且つ第一のチップ輸送回転円盤の回転軸には一プーリーが設けてあり、一タイミングベルトがステッピングモータに付けたプーリーと前記回転軸に付けたプーリーとを連結し、なお、前記回転軸の端末には一平歯車が設けてあり、前記平歯車はそばにある他の平歯車と噛み合い、前記他の平歯車は小回転軸をステッピングモータの回転方向と逆方向に駆動し、前記小回転軸の他端には一プーリーが設けてあり、そして、第二のチップ輸送回転円盤の回転軸の端末にも一プーリーが設けてあり、前記二チップ輸送回転円盤の回転軸に付けたプーリーはもう一タイミングベルトにより連結することを特徴とする請求項２に記載のチップ試験装置であることを要旨としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
まず、図１から図３を参照する。本発明のチップ試験装置は、装置本体１には、別々にチップ送入装置２と、チップ輸送回転円盤３と、試験装置４と、チップ排出装置５と、などの機構が設けてある。
【００１９】
次に、図１と図４を参照する。前記チップ送入装置２は、装置本体１の上でのチップ輸送回転円盤組３の前に設置された支持枠２１と、台座２２と、ホッパー２３と、振動チップ送入溝２４と、分配ホッパー２５と、一ステッピングモータ２６と、から構成される。前記台座２２の底面には、前記支持枠２１の滑りレール２１１の上で設け自在に前後移動や定位できる一滑り座２２１が設けてある。前記台座２２の上に設けた前記ホッパー２３は、多数の試験しようとするチップを収納し、なお、前記振動チップ送入溝２４の入り口はちょうど前記ホッパー２３の出口の下に位置し、振動器２３１の振動により、前記振動チップ送入溝２４に落下したチップが続けて前進し、なお、分配ホッパー２５は前記振動チップ送入溝２４の出口の下に位置し、前記分配ホッパー２５の後端の底部には、台座２２の先端の滑りレール２５２の上に嵌めて設けた滑り座２５１を有し、前記分配ホッパー２５は、ステッピングモータ２６とタイミングベルト２６１との駆動により、横に往復移動しチップ輸送回転円盤組３の二チップ輸送回転円盤３１，３２の入り口の上方に停止することができる。
【００２０】
図５から図７を参照する。前記チップ輸送回転円盤組３は、装置本体１の前傾斜板１１の上に傾斜して設けられる。また、前記チップ輸送回転円盤組３は、並列した二チップ輸送回転円盤３１，３２と、一案内カバー３３と、一伝達装置３４と、から構成される。前記第一のチップ輸送回転円盤３１と第二のチップ輸送回転円盤３２は同じ構成で左右対称に設置され（図２と図５を参照）、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の上では複数の溝３１１，３２１が設けてあり、且つ各溝３１１，３２１の上では同心に位置し等距離を置いた形態で分布しチップを収納するための孔３１１１，３２１１が設けてあり、なお、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の上には、一案内カバー３３（図７と図８を参照）がそれらをカバーしており、前記案内カバー３３には各溝３１１，３２１でのチップの輸送状況を確認するための複数の透明な覗き窓３３１が設けてある。そして、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の対向したところはそれぞれ入り口３３２，３３４であり、チップ送入装置２の分配ホッパー２５はステッピングモータ２６の駆動により、分配ホッパー２５を横に往復移動し二チップ輸送回転円盤３１，３２の入り口３３２，３３４の上方に停止することができ、そうすると、チップが溝３１１，３２１に落下し収納され、且つ各チップ輸送回転円盤３１，３２の回転によりチップが前進される。
【００２１】
また、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２は、伝達装置３４のステッピングモータ３４１により同期に異なった回転方向へ間欠に回転される。前記第一のチップ輸送回転円盤３１の回転軸３１２には一プーリー３１３が設けてあり（図５から図７を参照）、前記プーリー３１３とステッピングモータ３４１に設けたプーリー３４１１との間に一タイミングベルト３１４が巻き付けられてそれらを連結し、なお、前記回転軸の端末には、そばにあるもう一平歯車３４３と噛み合った一平歯車３４２が設けてあおり、前記平歯車３４３はステッピングモータ３４１の回転を小回転軸３４４まで伝達し前記小回転軸３４４を逆方向に駆動し、前記小回転軸３４４の他端には一伝達プーリー３４５が設けてあり、また、前記第二のチップ輸送回転円盤３２の回転軸３２２にも一プーリー３２３が設けてあり、二プーリー３４５，３２３の間にはもう一タイミングベルト３２４が巻き付られて二チップ輸送回転円盤３１，３２を連結し、そうすると、ステッピングモータ３４１が前記二チップ輸送回転円盤３１，３２を同期に異なった回転方向へ間欠に回転させることができる。
【００２２】
前記試験装置４は、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の間の上方に位置し（図５から図９を参照）、その台座４１は装置本体１に設けており、なお、前記台座４１の底側には一円弧形板４２が軸設しており、且つ前記円弧形板４２は、同時に前記二チップ輸送回転円盤３１，３２をカバーし、前記台座４１に固定しまたは旋回して上げることができ、且つ滑り座４３と滑りレール４４と微調整器との設置により前記二チップ輸送回転円盤３１，３２との間の距離を微調整することができる。そして、前記円弧形板４２には、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の上での溝３１１，３２１と対応した数量及び位置を有する複数セットの上プローブ４２１が設けてあり、なお、前記上プローブ４２１は装置本体１の前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の下に位置する下プローブ４２２と対向する。そうすると、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の溝３１１に載っているチップが上下プローブ４２１，４２２を通過している際に試験を実施することができる。
【００２３】
前記チップ排出装置５は、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の外側に位置され（図６から図９を参照）、そのカバー５１，５２の上では、チップを装置本体１の各チップ集めタンク５３内へ案内するための案内管（図示せず）と接続するための多数の挿入孔５１１，５２１が設けてあり、なお、前記カバー５１，５２を外へ旋回して開けられるように、前記カバー５１，５２の底端は装置本体１に軸設された。また、前記カバー５１，５２は滑りレール５４１に嵌めた一自在板５４の底部に設けてあり、そうすると、前記カバー５１，５２と前記二チップ輸送回転円盤３１，３２との間の距離を調整し又は固定することができ、ひいては試験してクラス分けたチップは案内管からクラスに対応した各チップ集めタンク５３内へ確実に送入することができる。
【００２４】
本発明を使用するときには、試験しようとするチップがチップ送入装置２のホッパー２３から振動チップ送入溝２４内に落下して前進されて分配ホッパー２５内に落下し、なお、分配ホッパー２５がステッピングモータ２６の駆動により往復移動し、第一および第二のチップ輸送回転円盤３１，３２の上での各溝３１１，３２１にチップを平均に分配する。このときには、伝達装置３４とステッピングモータ３４１と歯車となどの部材により、第一および第二のチップ輸送回転円盤３１，３２も同期に反対方向へ間欠回転し、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２に載っているチップを試験装置４へ輸送する。
【００２５】
前記二チップ輸送回転円盤３１，３２に載っているチップが試験装置４に到達し且つ上下プローブ４２１，４２２を通過しているときには、試験装置４がチップを試験して記録し且つクラスを分け、試験されたチップは前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の間欠回転により続けて後ろへ輸送され、試験されたチップはチップ排出装置５に到達する場合には、上記のクラス分けの結果によって、チップが案内管を経てクラスに対応した各チップ集めタンク５３内に送入される。なお、試験しようとするチップは分配ホッパー２５から孔３１１１，３２１１を経て前記二チップ輸送回転円盤３１，３２の上での溝３１１，３２１に引き続いて送入されることができる。そうすると、前記二チップ輸送回転円盤３１，３２は引き続いて同期に反対方向へ間欠回転することにより、それらの上に載っているチップを輸送し試験を実施するため、チップを効率よく試験してクラスに対応した分類収集をすることができる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明には次のような効果がある。
（イ）  一ステッピングモータにより二チップ輸送回転円盤を駆動してチップを輸送し、且つ単一のチップ送入装置によりチップを分配し、単一の試験装置により二チップ輸送回転円盤に載っているチップを同期に試験を実施するため、二倍の試験効率を達成することができ、且つ装置の機構を簡単化することもできる。
【００２７】
（ロ）  チップの微細化の傾向に対応し、チップ輸送回転円盤の寸法を拡大しない条件で回転円盤の上での溝の数量を最適に設計することができ、そうすると、チップ輸送回転円盤は変形せず、且つチップ輸送回転円盤を二つにしたため、試験効率と産能を向上することができる。
【００２８】
（ハ）  チップ輸送回転円盤の寸法を拡大しない条件で試験効率と産能を向上することができ、且つチップ輸送回転円盤は変形しないため、一定の寸法（更には、もっと小さい寸法）の条件でチップ輸送回転円盤を設計することができるので、本発明はもっと微小なチップの試験作業にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチップ試験装置の側面概略図である。
【図２】本発明のチップ試験装置の正面概略図である。
【図３】本発明のチップ試験装置の平面概略図である。
【図４】本発明のチップ試験装置に係るチップ送入装置の配置を模式的に示す平面図である。
【図５】本発明のチップ試験装置に係るチップ輸送回転円盤組を模式的に示す正面図である。
【図６】本発明のチップ試験装置に係るチップ輸送回転円盤組の伝達装置の概略図である。
【図７】本発明のチップ試験装置に係る試験装置などを模式的に示す側面図である。
【図８】本発明のチップ試験装置に係るチップ輸送回転円盤の正面図である。
【図９】本発明のチップ試験装置に係るチップ輸送装置およびその他の装置の配置を示す概略図である。
【図１０】従来のチップ試験装置を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
（従来の部分）
１０        装置本体
１０１      制御組
１０２      チップ送入装置
１０３      チップ輸送回転円盤
１０４      試験装置
１０５      チップ排出装置
１０６      チップ受けタンク
（本発明の部分）
１          装置本体
１１        前傾斜板
２          チップ送入装置
２１        支持枠
２１１      滑りレール
２２        台座
２２１      滑り座
２３        ホッパー
２３１      振動器
２４        振動チップ送入溝
２５        分配ホッパー
２５１      滑り座
２５２      滑りレール
２６        ステッピングモータ
２６１      タイミングベルト
３          チップ輸送回転円盤組
３１        第一のチップ輸送回転円盤
３１１      溝
３１１１    孔
３１２      回転軸
３１３      プーリー
３１４      タイミングベルト
３２１      溝
３２        第二チップ輸送回転円盤
３２２      回転軸
３２１１    溝
３２３      プーリー
３２４      タイミングベルト
３３        案内カバー
３３１      覗き窓
３４        伝達装置
３４１      ステッピングモータ
３４１１    プーリー
３４２      平歯車
３４３      平歯車
３４４      回転軸
３４５      伝達プーリー
４          試験装置
４１        台座
４２        円弧形板
４２１      上プローブ
４２２      下プローブ
４３        滑り座
４４        滑りレール
４５        微調整器
５          チップ排出装置
５１        カバー
５１１      挿入孔
５２        カバー
５２１      挿入孔
５３        チップ集めタンク
５４        自在板
５４１      滑りレール
【図１】
2004361228.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004361228.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004361228.tif 000011
【図１０】
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