(57)【要約】【課題】積み重ねられている複数枚のセラミックグリーンシートから、セラミックグリーンシートを１枚ずつ確実にかつ容易に取出すことを可能とする製造装置を提供する。【解決手段】複数枚の矩形のセラミックグリーンシート１１が積層されているグリーンシート支持体２と、積層されている複数枚のセラミックグリーンシート１１を、上方から順に１枚ずつ取出すグリーンシート取出し装置としての吸引チャック３とを備え、グリーンシート支持体２において、複数枚のセラミックグリーンシート１１が交互に第１の向きと、第１の向きとは異なる第２の向きとなるように積層されている、セラミック電子部品の製造装置。【選択図】      図１
2004235544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の矩形のセラミックグリーンシートが積層された状態で支持されているグリーンシート支持体と、
前記グリーンシート支持体において積層されている複数枚のセラミックグリーンシートを、上から順に１枚ずつ取出すグリーンシート取出し装置とを備え、
前記グリーンシート支持体において、複数枚のセラミックグリーンシートが交互に第１の向き及び第１の向きとは異なる第２の向きとなるように積層されていることを特徴とする、セラミック電子部品の製造装置。
【請求項２】
前記グリーンシート支持体が、第１の向きに配置されたセラミックグリーンシートの４辺の内少なくとも１辺の一部に沿うように配置された第１のガイドと、第２の向きに配置されたセラミックグリーンシートの４辺の内の少なくとも１辺の一部に沿うように配置された第２のガイドとをさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項３】
前記グリーンシート支持体が、上面において複数枚のセラミックグリーンシートが積層されるベース部材を有し、前記第１，第２のガイドが、前記ベース部材上に立設された第１，第２のガイドポストである、請求項１または２に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項４】
前記グリーンシート支持体が、上面に開いた凹部を有する収納マガジンであって、該凹部の内側壁が前記第１，第２のガイドを構成している、請求項１に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項５】
積層されている複数枚のセラミックグリーンシートの内、最上部に位置しているセラミックグリーンシートの直下のセラミックグリーンシートの移動を規制する規制装置をさらに備える、請求項１〜４に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項６】
前記グリーンシート取出し装置がセラミックグリーンシートを吸引保持するように構成されており、かつ最上部のセラミックグリーンシートを吸引保持するのに合わせて、前記規制装置が前記直下のセラミックグリーンシートに当接するととに、
前記グリーンシート取出し装置の上昇に伴い、前記グリーンシート取出し装置と前記規制装置との相対的な位置が変化することを特徴とする、請求項５に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項７】
前記規制装置が、規制されるべきセラミックグリーンシートの上面に対向された係止面を備える押えガイドである、請求項５または６に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項８】
前記規制装置には前記最上部のセラミックグリーンシートと前記直下のセラミックグリーンシートとの間にエアを供給するエア供給手段が設けられていることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項９】
前記規制装置には前記最上部のセラミックグリーンシートと前記直下のセラミックグリーンシートとの分離を確認するセンシング手段が設けられていることを特徴とする請求項５〜８のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項１０】
前記エア供給手段は、前記センシング手段の検出結果に基づき、必要に応じてエアを供給することを特徴とする請求項９に記載のセラミック電子部品の製造装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造装置を用いたセラミック電子部品の製造方法であって、
前記グリーンシート支持体において複数枚のセラミックグリーンシートを、交互に前記第１の向きまたは第２の向きとなるように積層する工程と、
前記グリーンシート支持体において積層されている複数枚のセラミックグリーンシートを、上方から順に前記グリーンシート取出し装置を用いて取出す工程と、
前記グリーンシート取出し装置により取出されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る工程と、
前記積層体を焼結し、セラミック焼結体を得る工程と、
前記セラミック焼結体の外表面に電極を形成する工程とを備えることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック電子部品の製造装置及び製造方法に関し、より詳細には、セラミック積層体を構成するために供給されるセラミックグリーンシートの供給方法を改善する構造を備えたセラミック電子部品の製造装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品の製造に際しては、先ず、長尺状のセラミックグリーンシート上に内部電極パターンが印刷される。しかる後、内部電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートがカード状に打ち抜かれる。また、別途、無地の長尺状のセラミックグリーンシートから同じくカード状のセラミックグリーンシートが打ち抜かれる。
【０００３】
しかる後、内部電極パターンが印刷されたカード状のセラミックグリーンシートと、無地のカード状のセラミックグリーンシートとが積層されて積層体が得られている。
【０００４】
ところで、上記積層に先立って、内部電極パターンが印刷された複数枚のカード状セラミックグリーンシート及び無地のカード状のセラミックグリーンシートはそれぞれが積み重ねられた状態で用意され、これらの積層体から１枚ずつカード状セラミックグリーンシートが取出され、積層体を構成するために供給されていた。
【０００５】
従って、材料供給源としての上記積層体から１枚ずつセラミックグリーンシートを取出さねばならない。しかしながら、重ね置き保管された複数枚のセラミックグリーンシートから、最上層のセラミックグリーンシートのみを例えば吸着ヘッドを用いて取出す場合、最上層のセラミックグリーンシートの直下に位置しているセラミックグリーンシートが重なったまま取出されることがあった。すなわち、２枚のセラミックグリーンシートが取出されてしまうことがあった。これは、上下２枚のセラミックグリーンシート間における静電気や負圧により、両者が密着していることによると考えられる。２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートに付着して取出されると、２枚目のセラミックグリーンシートが別の場所、例えばセラミックグリーンシート積層ステージへの搬送に際して落下したり、積層作業や次回のシート取出し作業の障害となったりすることがあった。
【０００６】
上記のようなシート取出し不良は、シート取出し速度を遅くしたりすることである程度は解決され得る。しかしながら、シート取出し速度を遅くした場合には、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品の生産性が低下することとなる。
【０００７】
このような問題を解決する方法の一例が下記の特許文献１に開示されている。図１３に示すように、特許文献１に記載の方法では、トレー１０１内に複数枚のセラミックグリーンシート１０２が積層された状態で保管されている。最上部のセラミックグリーンシート１０２を取出すために、セラミックグリーンシート１０２の上方に、吸着ヘッド１０３が配置されている。吸着ヘッド１０３は、下面中央に凸部１０３ａを有する。
【０００８】
また、吸着ヘッド１０３の下面においては、周辺部に凹んだ段部１０３ｂが形成されており、段部１０３ｂのコーナ部にさらに凹んだ凹部１０３ｃが形成されている。段部１０３ｂ及び凹部１０３ｃには吸引孔１０３ｄが形成されている。
【０００９】
最上層のセラミックグリーンシート１０２に吸着ヘッド１０３の下面中央の凸部１０３ａが密着され、吸引孔１０３ｄからの吸引により、先ずセラミックグリーンシート１０２の周辺部が段部１０３ｂに吸引・保持される。次に、図１４に示すように、セラミックグリーンシート１０２のコーナ部が凹部１０３ｃに吸引・保持される。従って、最上層のセラミックグリーンシート１０２のコーナ部が、直下のセラミックグリーンシートの上面から確実に分離される。よって、吸着ヘッド１０３を上昇させることにより、重ね置きされた複数枚のセラミックグリーンシートから、最上層のセラミックグリーンシート１０２のみを確実に取出すことができるとされている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平６−１１５７３４号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１に記載の方法では、最上層のセラミックグリーンシート１０２の周辺部が先ず段部１０３ｂに吸引され、次にセラミックグリーンシートのコーナ部が凹部１０３ｃに吸引されて、該コーナ部が２枚目のセラミックグリーンシートから確実に分離される。従って、最上層のセラミックグリーンシート１０２のみを迅速にかつ確実に取出すことができるとされている。
【００１２】
しかしながら、特許文献１に記載の方法においても、２枚目のセラミックグリーンシートの上方への移動が抑えられているわけではない。従って、２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートに付着し、２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートとともに、上方に移動することがあった。
【００１３】
すなわち、コーナ部において２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートと分離されていたとしても、主要部分において静電気や負圧により１枚目のセラミックグリーンシートに付着したままとなり、１枚目のセラミックグリーンシートの取出しに際し、２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートとともに、上方に移動することがあった。また、負圧が大きいために、２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートに強固に密着している場合には、やはり２枚目のセラミックグリーンシートが１枚目のセラミックグリーンシートの下面に付着されたまま搬送されたりすることがあった。
【００１４】
すなわち、上記特許文献１に記載の方法では、上記シート取出し不良を確実に防止することはできなかった。
また、上記特許文献１に記載の方法では、段部１０３ｂや凹部１０３ｃが形成されている複雑な吸着ヘッド１０３を用意しなければならない。他方、吸着ヘッドの下面の形状は、カード状のセラミックグリーンシートの平面形状に応じた形とされている。従って、セラミックグリーンシートの寸法が異なると、それに応じて吸着ヘッドを変更しなければならない。そのため、段部１０３ｂや凹部１０３ｃが形成されている複雑な形状の吸着ヘッド１０３を多種多数用意しなければならず、コストが高くつくという問題があった。
【００１５】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、積み重ねられている複数枚のカード状のセラミックグリーンシートから、１枚のセラミックグリーンシートのみを容易にかつ確実に、さらに安価な装置を用いて取出すことを可能とするセラミック電子部品の製造装置及び製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置は、複数枚の矩形のセラミックグリーンシートが積層された状態で支持されているグリーンシート支持体と、前記グリーンシート支持体において積層されている複数枚のセラミックグリーンシートを、上から順に１枚ずつ取出すグリーンシート取出し装置とを備え、前記グリーンシート支持体において、複数枚のセラミックグリーンシートが交互に第１の向き及び第１の向きとは異なる第２の向きとなるように積層されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明のある特定の局面では、前記グリーンシート支持体が、第１の向きに配置されたセラミックグリーンシートの４辺の内少なくとも１辺の一部に沿うように配置された第１のガイドと、第２の向きに配置されたセラミックグリーンシートの４辺の内の少なくとも１辺の一部に沿うように配置された第２のガイドとがさらに備えられる。
【００１８】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置の他の特定の局面では、前記グリーンシート支持体が上面において複数枚のセラミックグリーンシートが積層されるベース部材を有し、前記第１，第２のガイドが、前記ベース部材上に立設された第１，第２のガイドポストにより構成されている。
【００１９】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに他の特定の局面では、前記グリーンシート支持体が、上面に開いた凹部を有する収納マガジンであって、該凹部の内側壁が前記第１，第２のガイドを構成している。
【００２０】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに別の特定の局面では、積層されている複数枚のセラミックグリーンシートの内、最上部に位置しているセラミックグリーンシートの直下のセラミックグリーンシートの移動を規制する規制装置がさらに備えられる。
【００２１】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに別の特定の局面では、前記グリーンシート取出し装置がセラミックグリーンシートを吸引保持するように構成されており、かつ最上部のセラミックグリーンシートを吸引保持するのに合わせて、前記規制装置が前記直下のセラミックグリーンシートに当接するととに、前記グリーンシート取出し装置の上昇に伴い、前記グリーンシート取出し装置と前記規制装置との相対的な位置が変化するように構成されている。
【００２２】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに他の特定の局面では、前記規制装置が、規制されるべきセラミックグリーンシートの上面に対向された係止面を備える押えガイドにより構成されている。
【００２３】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに別の特定の局面では、前記規制装置には前記最上部のセラミックグリーンシートと前記直下のセラミックグリーンシートとの間にエアを供給するエア供給手段が設けられている。
【００２４】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに他の特定の局面では、前記規制装置には前記最上部のセラミックグリーンシートと前記直下のセラミックグリーンシートとの分離を確認するセンシング手段が設けられている。
【００２５】
本発明に係るセラミック電子部品の製造装置のさらに他の特定の局面では、前記エア供給手段は、前記センシング手段の検出結果に基づき、必要に応じてエアを供給するように構成されている。
【００２６】
本発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、本発明に従って構成されたセラミック電子部品の製造装置を用いた製造方法であり、前記グリーンシート支持体において複数枚のセラミックグリーンシートを、交互に前記第１の向きまたは第２の向きとなるように積層する工程と、前記グリーンシート支持体において積層されている複数枚のセラミックグリーンシートを、上方から順に前記グリーンシート取出し装置を用いて取出す工程と、前記グリーンシート取出し装置により取出されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を得る工程と、前記積層体を焼結し、セラミック焼結体を得る工程と、前記セラミック焼結体の外表面に電極を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２８】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明に係るセラミック電子部品の製造装置の一実施形態を説明するための平面図及び正面図である。図１（ｂ）に示すように、本実施形態に係る製造装置は、グリーンシート支持体１と、グリーンシート取出し装置としての吸着ヘッド２とを有する。なお、図１（ａ）では、吸着ヘッド２を除いた状態の平面図が示されている。
【００２９】
グリーンシート支持体１は、ベース部材としてのベースプレート３を有する。ベースプレート３の上面３ａは平坦面とされている。ベースプレート３は、ステンレスなどの金属、エンジニアプラスチックなどの樹脂、あるいは適宜の材料により構成されている。
【００３０】
ベースプレート３の上面３ａには、第１のガイドとしての第１のガイドポスト４，５と、第２のガイドとしての第２のガイドポスト６，７とが立設されている。ベースプレート３の上面３ａにおいては、平面形状が正方形の複数枚のカード状のセラミックグリーンシート１１が積層されている。説明を容易とするために、重ね置きされている複数枚のセラミックグリーンシート１１の内、最上部に位置するセラミックグリーンシートを第１のセラミックグリーンシート１１Ａ、２番目のセラミックグリーンシートを第２のセラミックグリーンシート１１Ｂとする。
【００３１】
また、図１では省略されているが、図３に示すように、各セラミックグリーンシート１１は、支持フィルム１２に支持された状態で用意されている。
支持フィルム１２としては、適宜の合成樹脂フィルムを用いることができ、このような合成樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレンナフタレートなどが挙げられる。支持フィルムの厚みは、セラミックグリーンシート１１を補強し得る強度を有する限り、特に限定されないが、通常２０〜１００μｍ程度とされている。支持フィルム１２によりセラミックグリーンシート１１を裏打ちすることにより、カード状のセラミックグリーンシート１１の取り扱いに際してのセラミックグリーンシートの伸縮や損傷を防止することができる。
【００３２】
もっとも、本発明においては、重ね置きされている各セラミックグリーンシート１１は、支持フィルム１２により支持されていなくともよい。
図１（ａ）から明らかなように、最上部の第１のセラミックグリーンシート１１Ａに対して、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂは、セラミックグリーンシート１１Ａの中心の周りに４５度回転させた向きに配置されている。すなわち、セラミックグリーンシート１１Ａの向きを第１の向きとした場合、セラミックグリーンシート１１Ｂは、第１の向きに対してセラミックグリーンシート１１Ａの中心の周りに４５度回転させた第２の向きとなるように配置されている。
【００３３】
図１（ｂ）から明らかなように、重ね置きされている複数枚のセラミックグリーンシート１１においては、上記のように上下方向において交互に第１の向きまたは第２の向きとなるように各セラミックグリーンシート１１が配置されている。
【００３４】
従って、セラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部の下方には、直下に位置するセラミックグリーンシート１１Ｂが存在しないことになる。言い換えれば、セラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部の下方には、セラミックグリーンシート１１Ｂの厚み分の隙間を隔てて３枚目のセラミックグリーンシート１１のコーナ部が位置することになる。
【００３５】
他方、第１のガイドポスト４，５は、それぞれ、内側面４ａ，５ａが平坦面とされている。この内側面４ａ，５ａは、第１の向きに配置されたセラミックグリーンシート１１Ａの１つのコーナ部を挟んだ２辺に対向するように配置されている。また、第１のガイドポスト４，５からなるガイドポスト対は、セラミックグリーンシート１１Ａの各コーナ部に配置されている。従って、第１のセラミックグリーンシート１１Ａは、第１のガイドポスト４，５により面方向への移動が規制されている。
【００３６】
他方、第２のガイドポスト６，７は、内側面６ａ，７ａが平坦面により構成されている。平坦面６ａ，７ａは、第２の向きに配置されたセラミックグリーンシート１１Ｂのコーナ部を挟んだ２辺に対向するように配置されている。第２のガイドポスト６，７からなるガイドポスト対は、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの各コーナ部に配置されている。従って、第２のガイドポスト６，７により、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの面方向への移動が規制されている。
【００３７】
なお、本実施形態では、第１のセラミックグリーンシート１１Ａの各コーナ部にそれぞれ第１のガイドポスト４，５が配置されているが、第１のガイドポスト４，５は全てのコーナ部に配置される必要は必ずしもない。例えば、図５に模式的平面図で示すように、第１のガイドポスト４，５は、第１のセラミックグリーンシート１１Ａの対角線を介して対向する一対のコーナ部にのみ配置されてもよい。この場合には、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂにおいても、１つの対角線を挟んで向き合う一対のコーナ部に第２のガイドポスト６，７が配置されている。
【００３８】
また、第１のガイドポスト４，５は、１つのコーナ部を構成している２辺に分散して設けられていたが、図６に模式的平面で示すように、Ｌ字状の横断面を有する第１のガイドポスト４Ａを用いてもよい。第１のガイドポスト４Ａでは、Ｌ字状の横断面を有するため、１つのガイドポスト４Ａで、ガイドポスト４Ａの内側面を第１のセラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部を構成している２辺に接触させることができる。図６では、第２のガイドポスト６Ａも、第１のガイドポスト４Ａと同様に、横断面が略Ｌ字状の形状とされている。
【００３９】
また、図６では、第１，第２のガイドポスト４Ａ，６Ａは、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの全てのコーナ部に配置されていたが、図７に示すように、一部のコーナ部のみに第１，第２のガイドポスト４Ａ，６Ａが配置されていてもよい。図７では、セラミックグリーンシート１１Ａの１つの対角線を挟んで向き合う一対のコーナ部に第１のガイドポスト４Ａ，４Ａが配置されている。第２のセラミックグリーンシート１１Ｂについても、１本の対角線を挟んで向き合う一対のコーナ部に第２ガイドポスト６Ａ，６Ａが構成されている。
【００４０】
上記のように、第１，第２のガイドポストの横断面形状については、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの移動を規制し得る限り、適宜の形状とすることができる。また、第１，第２のガイドポストは、第１，第２のセラミックグリーンシートの少なくとも１辺に沿うように配置されておりさえすればよい。セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの１辺にのみ沿うように第１，第２のガイドポストが配置されている場合には、セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの他の３辺方向への位置ずれが生じるおそれはある。しかしながら、正確な位置決めが次工程で行われる場合には、セラミックグリーンシート取出し工程においては、確実に１枚ずつセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂを取出すことが要求されるだけであるため、特に問題とはならない。
そういう意味ではガイドポストがなくてもセラミックグリーンシートが取出し可能な位置に載置されていればよい。
【００４１】
また、好ましくは、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの２辺に沿うように第１，第２のガイドポストが配置される。この場合には、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂが、残りの２辺の存在する方向へ移動する自由度が残されている。しかしながら、セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの２辺に沿うように第１，第２のガイドポストが配置されているため、１辺にのみ沿うようにガイドポストが配置されている場合に比べて、セラミックグリーンシートの位置ずれの発生を抑制することができる。
【００４２】
上記のように、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの１辺にのみ、あるいは２辺に第１，第２のガイドポストが配置されている場合には、図示の実施例に比べて、ガイドポストとセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの接触部分が少なくなり、セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの損傷を避けることができる。また、第１，第２のセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂを、グリーンシート支持体１内に、横方向から挿入することが可能となる。
【００４３】
他方、第１，第２のガイドポストが、セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの３辺に沿うように配置されている場合には、セラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂは、残りの１辺の存在する方向に移動する自由度が残されているが、より確実にセラミックグリーンシート１１Ａ，１１Ｂの位置決めが果たされる。また、セラミックグリーンシートの位置ずれを抑制することができる。加えて、３辺に沿うように第１，第２のガイドポストが配置されている場合には、残りの１辺方向にはセラミックグリーンシートを移動させることができるため、グリーンシート支持体内に横方向からセラミックグリーンシートを挿入することができる。
【００４４】
第１のガイドポスト４，５及び第２のガイドポスト６，７は、セラミックグリーンシートの位置を規制するために設けられているものであるため、金属やエンジニアプラスチックなどの樹脂などの材料により構成されることが望ましい。
【００４５】
吸着ヘッド２は、下面２ａに開いた複数の吸引孔２ｂを有する。吸着ヘッド２の下面２ａは、正方形の形状を有する。下面２ａは、セラミックグリーンシート１１と同一寸法であってもよく、あるいは異なる寸法を有するものであってもよい。本実施形態では、吸着ヘッド２の下面２ａは、取出されるセラミックグリーンシート１１と同一寸法とされている。
【００４６】
吸引孔２ｂは、図示しない吸引ポンプなどの吸引源に接続されている。吸引源を駆動することにより、下面２ａにセラミックグリーンシート１１を吸引・保持することができる。
【００４７】
次に、本実施形態の製造装置を用いて、セラミック電子部品を製造する工程を説明する。先ず、図１（ａ）及び（ｂ）に示されているように、セラミックグリーンシート支持体１において、複数枚のセラミックグリーンシート１１を上述したように交互に第１，第２の向きとなるように重ね置き保管する。このセラミックグリーンシート１１の上面には、図示しない内部電極パターンが形成されている。
【００４８】
なお、前述したように、各セラミックグリーンシート１１は、支持フィルム１２（図３）により裏打ちされている。
上記セラミックグリーンシート１１をグリーンシート支持体１に重ね置きするにあたっては、第１，第２のガイドポスト４，５，６，７を利用して、セラミックグリーンシート１１を交互に第１の向きまたは第２の向きとなるように、容易に配置することができる。また、第１のガイドポスト４，５及び第２のガイドポスト６，７により、重ね置き保管された複数枚のセラミックグリーンシート１１は、第１の向きまたは第２の向きに正しく位置決めされている。
【００４９】
次に、吸着ヘッド２を降下し、吸引孔２ｂから吸引することにより、下面２ａに最上部に位置している第１のセラミックグリーンシート１１Ａを吸着・保持する。この場合、セラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部の下面には、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが存在しない。
【００５０】
よって、セラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部において第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが付着していないため、吸着ヘッド２が上昇されると、コーナ部から中央に向かって第１のセラミックグリーンシート１１Ａの第２のセラミックグリーンシート１１Ｂに対する密着状態が解かれていく。よって、第１のセラミックグリーンシート１１Ａを第２のセラミックグリーンシート１１Ｂから分離した状態で確実に取出すことができる。すなわち、本実施形態によれば、下面２ａが平坦であり、従来より汎用されている吸着ヘッド２を用いているにも係わらず、図２に示すように、第１のセラミックグリーンシート１１Ａのみを確実に取出すことができる。
【００５１】
次に、吸着ヘッド２に吸着・保持されたセラミックグリーンシート１１Ａを、図示しない積層ステージにおいて積層する。また、第１のセラミックグリーンシート１１Ａを積層した後に、次に、吸着ヘッド２を再度グリーンシート支持体３の上方に移動し、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂを上記と同様にして取出す。この場合においても、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂのコーナ部の下方には、３番目のセラミックグリーンシートのコーナ部が存在しない。従って、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂのみを、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと同様に確実にかつ容易に取出すことができる。
【００５２】
このようにして、複数枚のセラミックグリーンシートを吸着ヘッド２により１枚ずつ取出し、積層ステージにおいて順に積層する。
積層ステージ上において積層されたセラミックグリーンシートを厚み方向に加圧することにより、図４（ａ）に示すマザーのセラミック積層体２１が得られる。
【００５３】
なお、グリーンシート支持体１には、上記のように内部電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシート１１が積層されていたが、無地のセラミックグリーンシートが交互に第１，第２の方向となるように積層されている別のグリーンシート支持体を用意し、別のグリーンシート支持体から同様にして１枚ずつ無地のセラミックグリーンシートを取出し、積層することにより、マザーのセラミック積層体２１の外層部分２１ａ、２１ｂが構成される。
【００５４】
上記のようにして得られたマザーのセラミック積層体２１を厚み方向に切断し、個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体を得る。このようにして得られた積層体を焼成することにより、図４（ｂ）に示すセラミック焼結体２２が得られる。セラミック焼結体２２内には、複数の内部電極２３〜２６がセラミック層を介して重なり合うように配置されている。しかる後、セラミック焼結体２２の両端面を覆うように外部電極２７，２８を形成することにより、積層セラミックコンデンサ２９が得られる。
【００５５】
なお、本実施形態では、平面形状が正方形のカード状のセラミックグリーンシート１１が用いられたが、長方形状のカード状のセラミックグリーンシートを用いてもよい。また、本実施形態では、第１の向きに対して、第２の向きはセラミックグリーンシートの中心の周りに４５度回転された向きであったが、４５度以外の角度であってもよい。すなわち、セラミックグリーンシートの平面形状が正方形の場合には、上方のセラミックグリーンシートと下方のセラミックグリーンシートが完全に重なり合わない角度であればよく、すなわち、９０度、１８０度、２７０度及び３６０度を除く角度であればよい。また、セラミックグリーンシートが長方形である場合には、１８０度及び３６０度を除く角度であればよい。すなわち、第１の向きと第２の向きは異なっていればよい。
【００５６】
もっとも、好ましくは、セラミックグリーンシートの平面形状が正方形の場合には４５度、長方形の場合には９０度とされる。この場合には、第１のセラミックグリーンシートの下方の領域からはみ出ている第２のセラミックグリーンシート部分の面積が最大となるため、セラミックグリーンシートの取出しをより一層容易とすることができる。
【００５７】
なお、グリーンシート支持体１上において、第１の向きのセラミックグリーンシートと、第２の向きのセラミックグリーンシート１１を交互に積層し重ね置き保管する方法については特に限定されない。例えば、上記吸着ヘッド２のようなセラミックグリーンシート搬送装置を、セラミックグリーンシートの中心の周りに回転させ、セラミックグリーンシートが第１の向きまたは第２の向きとなるようにしてグリーンシート支持体３のベースプレート３上に供給してもよい。あるいは、第１の向きのセラミックグリーンシートをベースプレート３上に積層する吸着ヘッドと、第２の向きのセラミックグリーンシート１１を積層する吸着ヘッドとを用いてもよい。あるいはベースプレート３を第１，第２の向きに回転させてもよい。
【００５８】
また、グリーンシート支持体１のセラミックグリーンシートが重ね置き保管される面、すなわち本実施形態ではベースプレート３の上面３ａは平坦面であることが好ましいが、積み重ね枚数に応じて若干凹面あるいは凸面としてもよい。
【００５９】
また、ガイドポスト４〜７は、複数枚のセラミックグリーンシート１１を積み重ね保管するに際してグリーンシート１１の挿入を容易とするために、上方にいくほど内側面４ａ〜７ａが外側に位置するように構成されていてもよい。
【００６０】
なお、上記カード状のセラミックグリーンシート１１を得る方法は、特に限定され得ない。例えば、長尺状のセラミックグリーンシートが供給された後、押し切りカット、シャーリングカット、丸刃引き切りカット、ダイシング、レーザーカット、ウォタージェットなどの様々な方法によりカード状のセラミックグリーンシートを得ることができる。
【００６１】
図８は、本発明の第２の実施形態に係るセラミック電子部品の製造装置の要部を説明するための模式的平面図である。
第２の実施形態では、図８に平面図で示すグリーンシート支持体３１が用いられる。グリーンシート支持体３１は、上面３１ａに開いた凹部３１ｂを有する収納マガジンにより構成されている。凹部３１ｂ内において複数枚のセラミックグリーンシートが積層方向において交互に第１の向きまたは第２の向きとなるように重ねられている。図８では、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと、直下に位置する第２のセラミックグリーンシート１１Ｂのみが図示されている。複数枚のセラミックグリーンシート１１は、第１の実施形態のグリーンシート支持体２を用いた場合と同様に積層されている。
【００６２】
異なるところは、第１の実施形態の第１，第２のガイド４〜７に代えて、凹部３１ｂが用いられていることにある。凹部３１ｂの側壁部３１ｂ１，３１ｂ２が、第１のセラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部近傍において、コーナ部の両側の２辺に対向するように形成されている。また、側壁部３１ｂ３，３１ｂ４が、第２の向きに配置されたセラミックグリーンシート１１Ｂのコーナ部において、コーナ部にまたがる２辺に対向するように配置されている。すなわち、側壁部３１ｂ１，３１ｂ２が第１の実施形態の第１のガイドポスト４，５の内側面４ａ，５ａと同様に作用する。また、側壁部３１ｂ３，３１ｂ４は、第１の実施形態の第２のガイドポスト６，７の内側面６ａ，７ａと同様に作用する。
【００６３】
このように、本発明においては、複数枚のセラミックグリーンシート１１を第１，第２の向きに積み重ね保管するグリーンシート支持体は、凹部３１ｂを有する収納マガジンの形態であってもよい。
【００６４】
図９（ａ）及び（ｂ）は、第３の実施形態に係る製造装置を説明するための模式的平面図及び正面図である。第３の実施形態では、取出されるセラミックグリーンシートの次のセラミックグリーンシートの移動を規制する規制装置としての複数本の押えガイド４１が設けられていることを除いては、第１の実施形態または第２の実施形態と同様に構成される。従って、押えガイド４１についての構成及び作用のみを説明することとする。
【００６５】
第３の実施形態においても、複数枚のセラミックグリーンシート１１が、第１の向きまたは第２の向きとなるように交互に積み重ねられている。そして、第３の実施形態では、第１のセラミックグリーンシート１１Ａを取出すに先立ち、あるいは取出すに際し、複数本の押えガイド４１が第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの上面に当接される。押えガイド４１の下面には吸引孔４１ａが形成されている。押えガイド４１の下面に当接されているセラミックグリーンシート、すなわち移動が規制されるセラミックグリーンシートを押えガイド４１により吸引保持することにより、セラミックグリーンシートの移動が確実に規制される。
【００６６】
押えガイド４１の下面は、本実施形態では、第１のセラミックグリーンシート１１Ａの下方の領域から飛び出している第２のセラミックグリーンシート１１Ｂ部分の形状に応じた形状とされている。すなわち、押えガイド４１は、取出されようとしているセラミックグリーンシート１１Ａの直下に位置するセラミックグリーンシート１１Ｂの取出されようとしているセラミックグリーンシート１１Ａの下方領域から飛び出している部分において、直下のセラミックグリーンシート１１Ｂの移動を規制するように作用する。
【００６７】
吸着ヘッド２と上記押えガイド４１との位置関係をより詳しく説明する。吸着ヘッド２が第１のセラミックグリーンシート１１Ａを吸引保持するのに合わせて、押えガイド４１は第２のセラミックグリーンシート１１Ｂに当接される。吸引保持と該当接のタイミングは同時であっても異なっていてもよいが、先に吸引保持が行われてから当接されることが望ましい。この場合には、押えガイドの第２のセラミックグリーンシート１１Ｂへの当接による第１のセラミックグリーンシート１１Ａの位置ずれが生じ難い。
【００６８】
そして、吸着ヘッド２の上昇の際に、押えガイド４１がそのまま移動せず、位置が固定されていることにより、吸着ヘッド２の下面と押えガイド４１の下面との距離が大きくなる。そのため、第１のセラミックグリーンシート１１Ａに付着していた第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの上昇が規制されることになる。
【００６９】
なお、押えガイド４１は、上記のように位置が固定されていてもよいが、下方に移動され得るように構成されていてもよい。もっとも、押えガイド４１を下方に移動させる場合には、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂを無理に第１のセラミックグリーンシート１１Ａから分離するようにならないことが望ましい。
【００７０】
さらに、吸着ヘッド２と同様に、押えガイド４１を上方に移動させてもよい。押えガイド４１の移動距離を吸着ヘッド２より小さくすることにより、吸着ヘッド２の下面と押えガイド４１との下面との距離を大きくすることができる。従って、上記と同様に、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの移動を規制することができる。この場合には、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが一旦浮き上がることになるため、第１及び第２のガイドポスト４，５，６，７とセラミックグリーンシート１１Ｂとが接触し過ぎないようにすることが望ましい。
【００７１】
上記のように、吸着ヘッド２の下面と吸着ヘッド４１の下面との相対的な位置を変化させることにより、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの移動が規制され、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと第２のセラミックグリーンシート１１Ｂとを分離することができる。
【００７２】
従って、セラミックグリーンシート１１Ａを吸着ヘッド２により吸着・保持し、吸着ヘッド２を上昇させた場合、第１のセラミックグリーンシート１１Ａのコーナ部の下方には第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが存在しないため、該コーナ部が確実に吸着ヘッド２により保持され上方に移動される。加えて、さらに第１のセラミックグリーンシート１１Ａが上方に移動する際に、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが押えガイド４１によりその移動を規制される。よって、１枚のセラミックグリーンシート１１Ａのみをより一層確実に取出すことができる。
【００７３】
なお、図９（ａ）に示されている第１のセラミックグリーンシート１１Ａを吸引チャック２により取出した後には、押えガイド４１は、モータなどからなる移動装置４２により、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂ上から水平方向に移動され、より具体的には、セラミックグリーンシート１１Ｂの中心の周りに４５度回転され、第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの下方において第１の向きに配置されている３枚目のセラミックグリーンシートのコーナ部分近傍に当接される。このようにして、３枚目のセラミックグリーンシートがコーナ部分近傍において押えガイド４１によりその上昇を規制される。従って、その状態で吸引チャック２により第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが確実に取出される。
【００７４】
上記のように、押えガイド４１をセラミックグリーンシートの中心の周りに４５度回転させる工程と、吸引チャック２によりセラミックグリーンシートを取出す工程とを繰り返すことにりより、積み重ねられている複数枚のセラミックグリーンシートを順次１枚ずつ確実に取出すことができる。
【００７５】
また、図１０に示すように、押えガイド４１Ａの下面４１ｂにより第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの上面を押えるだけであってもよい。すなわち、図１０に示す押えガイド４１Ａでは、下面に開いた吸引孔は形成されていないが、押えガイド４１Ａの下面４１ｂにより第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの上昇が規制される。
【００７６】
好ましくは、図１１に示すように、押えガイド４１Ａに、エアノズル４１ｃ及びセンシング手段としてのセンサー４１ｄが配置される。エアノズル４１ｃのエアノズル口が、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと第２のセラミックグリーンシート１１Ｂの分離時（吸引ヘッドが第１のセラミックグリーンシートを吸引保持して上昇する時）に、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートの間にエアを噴き込めるようにエアノズル４１ｃが設置されている。これにより、第１のセラミックグリーンシート１１Ａをより確実に速く分離することができる。上記エアノズル４１ｃは、押えガイドＡを下降することにより、押えガイド４１Ａ内に内蔵されてもよく、あるいは別部品のエアノズル４１ｃが押えガイド４１Ａに取り付けられていてもよい。
【００７７】
他方、センサー４１ｄは、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと第２のセラミックグリーンシート１１Ｂとの分離時（吸引ヘッドが第１のセラミックグリーンシートを吸引保持して上昇する時）に、第１のセラミックグリーンシート１１Ａと第２のセラミックグリーンシート１１Ｂが確実に分離したかをセンシングできるように設置されている。センサー４１ｄはファイバーセンサ、レザーセンサ、エアセンサなどで構成され得る。
【００７８】
より好ましくは、エアノズル４１ｃは、センサの検出結果に基づき、必要に応じてエアを供給するように構成される。すなわち、センサ４１ｄの検出結果に基づいて第１のセラミックグリーンシート１１Ａが分離されているのが確認されればエアは供給されない。一方、センサの検出結果で第１のセラミックグリーンシート１１Ａが分離されていないのが確認されればエアが供給される。
【００７９】
図１２は、上昇規制装置の他の例を説明するための模式的断面図である。図１２に示すように、セラミックグリーンシートの上昇を規制する上昇規制装置としては、逆Ｌ字型のチャック４２を用いてもよい。チャック４２は、積み重ねられているセラミックグリーンシートの側方に配置されており、上端及び内側に延びる内方突出部４２ａを有する。内方突出部４２ａの下面が、上昇を規制されるセラミックグリーンシート１１Ｂの上面に当接される。
【００８０】
押えガイド４２は、図示の矢印Ａで示すように、積み重ねられているセラミックグリーンシートの側方から、内方突出部４２ａが上昇を規制されるべきセラミックグリーンシートの上面に当接するように移動され得るように構成されている。また、押えガイド４２は、矢印Ｂで示されすように、上下方向にも移動可能とされている。
【００８１】
押えガイド４２も、押えガイド４１と同様に、セラミックグリーンシート１１Ｂが取出される際には、３枚目のセラミックグリーンシートのコーナ部分近傍に移動される。
【００８２】
すなわち、内方突出部４２ａの下面が、前述した押えガイド４１Ａと同様に機能するように構成されている。このように、上昇規制装置としては、必ずしも積み重ねられているセラミックグリーンシートの上方から上昇が規制されるセラミックグリーンシートの上面に当接されるように配置されるものに限らず、積み重ねられているセラミックグリーンシートの側方から上昇が規制されるべきセラミックグリーンシート側に移動されるものであってもよい。
【００８３】
【発明の効果】
本発明に係る電子部品の製造装置を用いた場合、グリーンシート支持体において、複数枚のセラミックグリーンシートが交互に第１の向きまたは第２の向きとなるように積み重ねられており、該グリーンシート支持体上に積み重ねられたセラミックグリーンシートが、グリーンシート取出し装置により上方から順に１枚ずつ取出される。この場合、複数枚のセラミックグリーンシートが、交互に第１または第２の向きとなるように積層されている。従って、第１の向きに配置されたセラミックグリーンシートを上方から取出す際には、第１のセラミックグリーンシートのコーナ部分の下方には第２の向きに配置された次のセラミックグリーンシートは存在しないため、第１のセラミックグリーンシートのコーナ部分を確実に吸着ヘッドなどのグリーンシート取出し装置により保持することができ、そのためセラミックグリーンシートを１枚ずつ確実に取出すことが可能となる。
【００８４】
しかも、上記のようにセラミックグリーンシートを第１，第２の向きとなるように配置することにより、１枚ずつセラミックグリーンシートを確実に取出すことを可能としたものであるため、グリーンシート取出し装置として、特殊なものを用意する必要がなく、汎用されている吸着ヘッドなどをそのまま用いることができる。従って、電子部品の生産性を低下させることなく、セラミックグリーンシートを１枚ずつ確実に取出すことが可能となる。
【００８５】
また、本発明に係る製造装置において、上記第１，第２のガイドがさらに備えられている場合には、セラミックグリーンシートが第１の向きまたは第２の向きに確実に配置される。すなわち、セラミックグリーンシートの向きをより確実に規制することができる。
【００８６】
グリーンシート支持体が、ベース部材を有し、ベース部材上に第１，第２のガイドポストが立設されている場合には、第１，第２のガイドポストにより、ベース部材上においてセラミックグリーンシートを第１，第２の向きに容易に配置して積み重ねることができる。また、第１，第２のガイドポストにより積み重ねられているセラミックグリーンシートの位置ずれを確実に抑制することができる。
【００８７】
グリーンシート支持体が、上面に開いた凹部を有する収納マガジンであり、凹部の内側壁が第１，第２のガイドを構成している場合には、上記のような凹部を有する収納マガジンを用意するだけで、グリーンシート支持体を構成することができるため、部品点数の低減を図ることができる。
【００８８】
また、複数枚のセラミックグリーンシートの内、最上部に位置しているセラミックグリーンシートの直下のセラミックグリーンシートの移動を規制する規制装置を備える場合には、直下のセラミックグリーンシートの移動を確実に規制することができる。従って、セラミックグリーンシートをより確実に１枚ずつ取出すことが可能となる。この場合、グリーンシート取出し装置がセラミックグリーンシートを吸引保持するように構成されており、かつ最上部のセラミックグリーンシートを吸引保持するのに合わせて上記規制装置が直下のセラミックグリーンシートに当接すると共に、グリーンシート取出し装置の上昇に伴って、グリーンシート取出し装置と規制装置との相対的な位置が変化するように構成されている場合には、最上部のセラミックグリーンシートを、２枚目のセラミックグリーンシートから確実に分離し、セラミックグリーンシートをより一層確実に取出すことができる。
【００８９】
上昇規制装置が、上昇が規制されるべきセラミックグリーンシートの上面に対向された係止面を備える押えガイドである場合には、簡単な構成で上昇規制装置を構成することができる。
【００９０】
規制装置に、最上部のセラミックグリーンシートと直下のセラミックグリーンシートとの間にエアを供給するエア供給手段が設けられている場合には、エアの供給により、最上部のセラミックグリーンシートを直下のセラミックグリーンシートからより確実に分離することができる。
【００９１】
上記規制装置に、最上部のセラミックグリーンシートと直下のセラミックグリーンシートとの分離を確認するセンシング手段が設けられている場合には、センシング手段により分離状態を確実に把握することができる。特に、エア供給手段は、該センシング手段の検出結果に基づき、必要に応じてエアを供給するように構成されている場合には、最上部のセラミックグリーンシートと直下のセラミックグリーンシートとの隙間の状態に応じて、最上部のセラミックグリーンシートを確実に直下のセラミックグリーンシートから分離することができる。
【００９２】
本発明に係る製造方法では、本発明に係る製造装置を用いて第１または第２の向きとなるように交互に複数枚のセラミックグリーンシートが積層され、積層されている上記複数枚のセラミックグリーンシートが上方から順にグリーンシート取出し装置を用いて取出される。この場合、複数枚のセラミックグリーンシートが交互に第１または第２の向きとなるように積層されているため、また第１，第２のガイドによりセラミックグリーンシートが第１の向きまたは第２の向きとなるようにその位置を確実に規制されているため、セラミックグリーンシートを１枚ずつ確実に取出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態のセラミック電子部品の製造装置を説明するための平面図及び正面図。
【図２】本発明の第１の実施形態において、グリーンシート取出し装置としての吸引チャックに取出されたセラミックグリーンシートが保持されている状態を示す正面図。
【図３】支持フィルムに支持されたセラミックグリーンシートを示す部分切欠正面断面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態において得られたセラミック積層体を示す正面断面図。（ｂ）は、最終的に得られた積層コンデンサを示す正面断面図。
【図５】第１，第２のガイドポストのある変形例を説明するための模式的平面図。
【図６】第１，第２のガイドポストの他の変形例を説明するための模式的平面図。
【図７】第１，第２のガイドポストのさらに他の変形例を説明するための模式的平面図。
【図８】本発明の第２の実施形態で用いられるグリーンシート支持体としてのグリーンシート収納マガジン及び該収納マガジンに収納されたセラミックグリーンシートを示す平面図。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第３の実施形態において、２枚目のセラミックグリーンシートの上昇を規制する上昇規制装置を説明するための平面図及び正面図。
【図１０】図９に示した上昇規制装置の変形例を説明するための正面図。
【図１１】図９に示した上昇規制装置の他の変形例を説明するための部分切欠正面断面図。
【図１２】図９に示した上昇規制装置のさらに他の変形例を説明するための正面図。
【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、従来のセラミックグリーンシート取出し装置を説明するための部分切欠正面断面図及び斜視図。
【図１４】従来のグリーンシート取出し装置の要部を示す部分切欠正面断面図。
【符号の説明】
１…グリーンシート支持体
２…グリーンシート取出し装置としての吸引チャック
３…ベースプレート
４，４Ａ，５…第１のガイドポスト
６，６Ａ，７…第２のガイドポスト
１１…セラミックグリーンシート
１１Ａ…第１のセラミックグリーンシート
１１Ｂ…第２のセラミックグリーンシート
２１…積層体
２２…セラミック焼結体
２３〜２６…内部電極
２７，２８…外部電極
２９…積層セラミックコンデンサ
３１…グリーンシート支持体としての収納マガジン
３１ａ…上面
３１ｂ…凹部
３１ｂ１〜３１ｂ４…側壁
４１，４１Ａ…押えガイド
４１ａ…吸引孔
４１ｂ…下面
４１ｃ…エアノズル
４１ｄ…センサー
４２…押えガイド
４３…押えガイド
【図１】
2004235544.tif 000003
【図２】
2004235544.tif 000004
【図３】
2004235544.tif 000005
【図４】
2004235544.tif 000006
【図５】
2004235544.tif 000007
【図６】
2004235544.tif 000008
【図７】
2004235544.tif 000009
【図８】
2004235544.tif 000010
【図９】
2004235544.tif 000011
【図１０】
2004235544.tif 000012
【図１１】
2004235544.tif 000013
【図１２】
2004235544.tif 000014
【図１３】
2004235544.tif 000015
【図１４】
2004235544.tif 000016