(57)【要約】【課題】減圧環境下において、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力の分布を均一化して光入射面の寸法精度を向上する。【解決手段】光ディスク製造装置では、ディスク基板１２の記録面上に重ね合わされたカバーシート２４に加圧ローラ１０２を圧接させつつ、この加圧ローラ１０２をカバーシート２４の表面部における一端部から他端部へ転動させ、粘着膜２８を介してカバーシート２４をディスク基板１２の記録面１４に貼り合せる加圧貼合工程を、１０〜２０Ｐａまで減圧された真空槽６８内にて行う。これにより、カバーシート２４に張力を付与しつつ、このカバーシート２４をディスク基板１２に隙間無く貼り合わすことができるので、光ディスクにおける光入射面の平面性を向上できる。【選択図】　図６
2004134011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造方法であって、
前記記録面上に重ね合わされた前記カバーシートに加圧部材を圧接させつつ、該加圧部材を前記カバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動させ、前記粘着膜を介してカバーシートを記録面に貼り合せる加圧貼合工程を、大気圧に対して減圧された減圧環境下にて行うことを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記加圧貼合工程が行われる減圧環境の真空度を、１０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲内に設定することを特徴とする請求項１記載の光ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記加圧貼合工程では、前記記録面上に貼り合わされる前記カバーシートに０．２Ｎ〜３．０Ｎの範囲内の張力を付与しつつ、該カバーシートに前記加圧部材を圧接させることを特徴とする請求項１又は２記載の光ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記加圧部材として、前記記録面上に重ね合わされた前記カバーシートに圧接しつつ、該カバーシートを転動する加圧ローラを用いたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の光ディスクの製造方法。
【請求項５】
前記加圧部材は、１００ｍｍ〜５００ｍｍの範囲内から任意に選択された曲率半径を有する加圧面を有し、該加圧面により吸着保持した前記カバーシートを一端部から他端部へ向って前記記録面上に加圧しつつ、該カバーシートを一端部から他端部へ向って前記加圧面上から離脱させて前記記録面上へ貼り合せることを特徴とする請求項１又は２記載の光ディスクの製造方法。
【請求項６】
少なくとも片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造装置であって、
前記ディスク基板の上方に前記カバーシートを保持しつつ、該カバーシートを、その一端部から他端部へ向かって前記記録面上に重ね合わせて行くシート保持部材と、
前記記録面上に重ね合わされた前記カバーシートに圧接しつつ、前記カバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動して、前記粘着膜を介してカバーシートを記録面に貼り合せる加圧部材と、
前記シート保持部材により前記記録面上に重ね合わされると共に、前記加圧部材により前記記録面に貼り合わされる前記カバーシート及び、該カバーシートが貼り合わされる前記ディスク基板を、大気圧に対して減圧された減圧環境下に保持する減圧手段と、
を有することを特徴とする光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク基板の記録面上に薄膜状のカバーシートを貼り合わせて光ディスクを製造する光ディスクの製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、例えば、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ−ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌｖｅｒｓａｔｉｌｅ　ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ−Ｒ（ｄｉｇｉｔａｌ　ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　ｄｉｓｃ−ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等が既に普及しているが、近年、光ディスクに対しては、映像情報等の情報を更に大量に格納したいという要望があり、高密度化の検討が進んでいる。このような光ディスクに対する記録密度は、おおむねディスク上の光ビームのスポットサイズで決まり、このスポットサイズは、レーザ波長をλ、対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例する。このため、光ディスクに対する記録密度を高めるためには、レーザ光の短波長化と対物レンズの高ＮＡ化が必要となる。しかし、光ディスクの傾きにより発生するコマ収差はＮＡの３乗に比例して大きくなるため、高ＮＡ化によってディスクの傾きに対するマージンが極めて小さくなり、わずかな傾きでもビームスポットがぼやけ、高密度での記録及び再生が実現できなくなる。従って、高密度化に適した従来の光ディスクでは、レーザ光の透過層であるカバー層を十分薄いもの（例えば、０．１ｍｍ程度のもの）とし、高ＮＡに伴うディスクの傾きによるコマ収差の増加を抑制する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−３１３３７号公報（第９−１０頁、図４）
【０００４】
上記のような光ディスクの製造ラインでは、例えば、情報記録層が形成されたディスク基板の記録面上に樹脂フィルムを基材とする薄膜状のカバーシートを貼り合せ、このカバーシートによりディスク基板上に透明なカバー層を形成して光ディスクを製造する。ここで、カバーシートは、樹脂フィルム及びこの樹脂フィルムの片側の面に形成された粘着膜から構成されている。このカバーシートをディスク基板に貼り合わせる際には、例えば、粘着膜を介してカバーシートをディスク基板上に重ね合せてディスク積層体を構成する。この状態では、粘着膜全体がディスク基板の記録面に均一に密着しておらず、カバーシートがディスク基板へ十分な接合力で接合されていない。このため、光ディスクの製造ラインでは、貼合装置によりディスク積層体におけるカバーシートをディスク基板側へ加圧して、カバーシート全体をディスク基板の記録面に均一に密着させる。これにより、ディスク積層体におけるカバーシートがディスク基板へ十分な接合力で貼り合わされて、製品素材として光ディスクが製造される。
【０００５】
上記のような貼合装置としては、例えば、粘着膜を上方へ向けた状態で支持テーブル上に載置されたカバーシート上にディスク基板を重ね合わせ、これらのディスク基板及びカバーシートを格納する減圧槽内から空気を排出して所定の真空度まで減圧した後に、この減圧槽内でディスク基板を支持テーブル上のカバーシート側へ加圧してカバーシートをディスク基板に貼り合わせるものがある。このようにカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せる加圧貼合工程を、十分に高い真空度まで減圧された減圧環境下で行うことにより、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートと記録面との間にエアーが残留することを防止し、カバーシートとディスク基板の記録面との密着性が低下することを防止できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような貼合装置では、カバーシートを支持テーブル上に載置する際に、カバーシートに僅かに皺、弛み等が生じて、カバーシートの一部が支持テーブルに密着しなくなることがある。このようにカバーシートの一部が支持テーブルに密着していないまま、このカバーシート上にディスク基板を重ね合わせ、カバーシートをディスク基板に貼り合わせた場合には、皺、弛み等が生じていたカバーシートの一部に残留する応力が他の部分に残留する応力よりも大きくなる現象が生じる。このように光ディスクにおけるカバーシートに残留する応力分布が不均一になることは、光ディスクにおける光入射面の寸法精度を低下させる原因となる。
【０００７】
本発明の目的は、上記事実を考慮し、減圧環境下において、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力の分布を均一化して光入射面の寸法精度を向上できる光ディスクの製造方法及び製造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光ディスクの製造方法は、少なくとも片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造方法であって、前記記録面上に重ね合わされた前記カバーシートに加圧部材を圧接させつつ、該加圧部材を前記カバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動させ、前記粘着膜を介してカバーシートを記録面に貼り合せる加圧貼合工程を、大気圧に対して減圧された減圧環境下にて行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る光ディスクの製造方法によれば、ディスク基板の記録面上に重ね合わされたカバーシートに加圧部材を圧接させつつ、この加圧部材をカバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動させ、粘着膜を介してカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せる加圧貼合工程を、大気圧に対して減圧された減圧環境下にて行うことにより、加圧貼合工程が行われる減圧環境を十分に高い高真空度まで減圧した後、加圧部材を作動させてカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せるようにすれば、ディスク基板の記録面との間に殆どエアーが介在しない状態でカバーシートを記録面上へ加圧できるので、ディスク基板の記録面に貼り合わされたカバーシートと記録面との間にエアーが残留することを防止し、この残留エアーの影響によりカバーシートとディスク基板の記録面との密着性が低下することを効果的に防止できる。
【００１０】
さらに、上記のような減圧環境下でのカバーシートのディスク基板への貼合時には、加圧部材によりディスク基板の記録面に貼り合わされるカバーシートに圧縮荷重及び引張り力が作用することから、ディスク基板の貼り合わされるカバーシートに、加圧部材により生じる引張り力に対応する張力を付与しつつ、このカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合わすことができるので、減圧環境下にてディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力の分布を均一化できる。
【００１１】
この結果、ディスク基板の記録面に貼り合わされたカバーシートを確実に記録面に密着させることができ、かつカバーシートに残留する応力の分布の十分に均一化できるので、光ディスクにおける光入射面の寸法精度を向上できる。
【００１２】
また、本願発明に係る光ディスクの製造装置は、少なくとも片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造装置であって、前記ディスク基板の上方に前記カバーシートを保持しつつ、該カバーシートを、その一端部から他端部へ向かって前記記録面上に重ね合わせて行くシート保持部材と、前記記録面上に重ね合わされた前記カバーシートに圧接しつつ、前記カバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動して、前記粘着膜を介してカバーシートを記録面に貼り合せる加圧部材と、前記シート保持部材により前記記録面上に重ね合わされると共に、前記加圧部材により前記記録面に貼り合わされる前記カバーシート及び、該カバーシートが貼り合わされる前記ディスク基板を、大気圧に対して減圧された減圧環境下に保持する減圧手段と、を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る光ディスクの製造装置によれば、加圧部材が、ディスク基板の記録面上に重ね合わされたカバーシートに圧接しつつ、カバーシートの表面部における一端部から他端部へ移動し、粘着膜を介してカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せると共に、減圧手段が、カバーシート及びディスク基板を大気圧に対して減圧された減圧環境下に保持することにより、上記した光ディスクの製造方法と同様に、減圧手段により減圧環境を十分に高い高真空度まで減圧した後、加圧部材によりカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せるようにすれば、ディスク基板の記録面に貼り合わされたカバーシートと記録面との間にエアーが残留することを防止し、この残留エアーの影響によりカバーシートとディスク基板の記録面との密着性が低下することを効果的に防止でき、さらに減圧環境下にてディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力の分布を均一化できるので、ディスク基板の記録面に貼り合わされたカバーシートを確実に記録面に密着させ、かつカバーシートに残留する応力の分布の十分に均一化でき、光ディスクにおける光入射面の寸法精度を向上できる。
【００１４】
以上説明した本願発明に係る光ディスクの製造方法及び製造装置は、本出願の発明者等が行った実験及びシミュレーションにより得られた知見に基づいて案出されたものであり、具体的には、発明者等が行った実験及びシミュレーションによれば、減圧環境下にてカバーシートをディスク基板に貼り合わせる場合には、ディスク基板上に重ね合わされるカバーシートに一定の張力を付与しつつ、このカバーシートをディスク基板側へ加圧することで、張力を付与することなくカバーシートをディスク基板に貼り合わす場合と比較し、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力を均一化できることが明らかになった。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法及び製造装置について図面を参照して説明する。
【００１６】
（実施形態の構成）
先ず、本発明の実施形態に係る光ディスクの構成について説明する。図１には、本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法により製造された光ディスクが示されている。この光ディスク１０は、従来のＤＶＤ−Ｒ等の光ディスクに対して高密度の情報記録が可能とされたものであり、例えば、従来の光ディスクと比較して、記録再生用のレーザ光として短波長の青紫レーザ光を用いると共に、ディスク駆動装置の対物レンズの開口数ＮＡを０．８５程度まで増大することで、１２ｃｍ径の光ディスク１０に対する片面記録容量が２５Ｇバイト以上に高められている。
【００１７】
光ディスク１０には、円板状に形成されたディスク基板１２が設けられており、このディスク基板１２の片側の面は情報の記録面１４とされている。このディスク基板１２の記録面１４側には、光反射層１８及び光吸収層２０が順に積層されており、これらの光反射層１８及び光吸収層２０により情報記録層（以下、単に「記録層」という。）１６が構成されている。また光ディスク１０には、記録層１６を覆うようにディスク基板１２上に透明なカバー層２２が設けられている。このカバー層２２は、透明樹脂を素材とするカバーシート２４により構成され、その厚さが１００μｍ程度とされている。
【００１８】
ディスク基板１２は、ＰＣ（ポリカーボネイト）等の樹脂を素材としてモールド成形されている。またカバー層２２を構成するカバーシート２４は、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の透明な樹脂フィルム２６及び、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８からなる。粘着膜２８は、公知のアクリル系、ゴム系、シリコン系等の粘着剤により形成されるが、透明性及び耐久性の観点からは、アクリル系粘着剤が望ましい。またカバーシート２４における樹脂フィルム２６及び粘着膜２８のそれぞれの厚さは、カバー層２２の設定値に応じて決められるが、例えば、カバー層２２の厚さの設定値が１００μｍの場合には、樹脂フィルム２６の厚さが８０μｍに設定され、粘着膜２８の厚さが２０μｍに設定される。
【００１９】
ディスク基板１２の中心部には、光ディスク１０の回転中心となる軸心ＳＤに沿って円形のセンターホール２９が穿設されている。またカバー層２２の中心部にも、軸心ＳＤを中心としてセンターホール２９と略同一内径を有する円形の開口部３０が形成されている。但し、カバー層２２については、その内周端がディスク基板１２の記録層１６よりも内周側に位置していれば良いことから、この位置関係を満たす範囲で、開口部３０の内径をセンターホール２９の内径よりも大くしても良い。
【００２０】
図２には、光ディスクの製造ラインにおける本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置が示されている。この光ディスク製造装置４０は、モールド成形等により成形されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせて光ディスク１０を製造するためのものであり、光ディスク製造装置４０には、光ディスクの製造ラインにてそれぞれ独立した工程を経て製造されたディスク基板１２及びカバーシート２４が供給される。
【００２１】
光ディスク製造装置４０には、制御ユニット（図示省略）等を内蔵した本体ケーシング４２が設けられており、この本体ケーシング４２の上面部には、その中央付近に円板状の第１ターンテーブル４４が軸心Ｓ１を中心として回転可能に設置されている。この第１ターンテーブル４４上には、その軸心Ｓ１を中心とする周方向に沿って下部ケーシング４５が配置されると共に、この下部ケーシング４５内にディスク基板１２が載置可能とされた６個のディスク支持台４６が設けられている。
【００２２】
ここで、図３に示されるように、下部ケーシング４５は上方へ向って開口した容器状に形成されており、後述する上部ケーシング１１０又は上部ケーシング１１４と共に外部から密閉された真空槽６８又は加圧槽７０を構成する。またディスク支持台４６には、その中心部にそれぞれディスク基板１２のセンターホール２９に対応するセンターピン４８が設けられている。センターピン４８は、ディスク支持台４６の上面部からの突出長が調整可能とされており、ディスク支持台４６上にディスク基板１２が載置されると、ディスク支持台４６から突出してディスク基板１２のセンターホール２９内へ嵌挿し、ディスク基板１２をディスク支持台４６上の中心位置に位置決めする。
【００２３】
ディスク支持台４６の上面部には多数の吸引穴（図示省略）が開口しており、これらの吸引穴はそれぞれ真空ポンプ等の真空発生装置に接続されている。この真空発生装置は、ディスク支持台４６上にディスク基板１２が載置されると、ディスク支持台４６の各吸引穴へ負圧を供給する。これにより、ディスク基板１２が吸引穴内における負圧の作用によりディスク支持台４６の上面部に吸着される。
【００２４】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、第１ターンテーブル４４の外周側に、ディスク供給ユニット５２、第１ターンテーブル４４よりも小径の第２ターンテーブル５６及び、ディスク搬出ユニット５８が設置されている。なお、図２では、ディスク供給ユニット５２によりディスク基板１２の供給を受ける位置にあるディスク支持台４６を起点とし、第１ターンテーブル４４の回転方向（反時計方向）に沿って６個のディスク支持台４６がそれぞれ保持される位置（周回位置）をＰ１〜Ｐ６として示している。
【００２５】
ディスク供給ユニット５２は周回位置Ｐ１の外周付近に配置されており、このディスク供給ユニット５２には、複数枚のディスク基板１２が積載可能とされたディスク台６０及び、このディスク台６０上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、この１枚のディスク基板１２を周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６上へ搬送する搬送アーム６２が設けられている。
【００２６】
光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ３に保持されたディスク支持台４６の上方に気密構造を有する真空槽６８の上部ケーシング１１０（図３参照）が配置されている。この上部ケーシング１１０は、図３に示されるように、下方に向った開いた容器状に形成されており、その下端面には全周に亘って弾性を有するシール部材１１２が取り付けられている。上部ケーシング１１０は、昇降機構（図示省略）により下部ケーシング４５の上方へ離間する開放位置（図３参照）と下部ケーシング４５に密着して外部から密閉された真空槽６８を構成する閉止位置（図５参照）との間で昇降可能とされている。
【００２７】
ここで、上部ケーシング１１０が閉止位置に下降した際には、上部ケーシング１１０の下端面と下部ケーシング４５の上端面とがシール部材１１２を介して圧接することにより、ケーシング４５，１１０間の継目がシール部材１１２により気密状態にシールされる。また真空槽６８には、真空ポンプ等の真空発生装置（図示省略）が配管等を通して接続されており、この真空発生装置は、ケーシング４５，１１０により真空槽６８が構成されると、真空槽６８内の空気を吸入して真空槽６８内を所定の真空度まで減圧する。
【００２８】
図３〜図６に示されるように、光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ３に保持されたディスク支持台４６の上方に貼合ユニット５４が設けられている。この貼合ユニット５４は、ディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせるためのものであり、この貼合ユニット５４には、カバーシート２４を保持するためのシート搬送台６６が設けられている。また光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ３に保持されたディスク支持台４６のの外周側にシート供給ユニット６４が配置されている。
【００２９】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ４に保持されたディスク支持台４６の上方に下部ケーシング４５と共に加圧槽７０を構成する上部ケーシング１１４が配置されている。この上部ケーシング１１４は、真空槽６８の上部ケーシング１１０と同様に、下方に向った開いた容器状に形成されており、その下端面には全周に亘って弾性を有するシール部材（図示省略）が取り付けられている。
【００３０】
加圧槽７０の上部ケーシング１１４も、真空槽６８の上部ケーシング１１０と同様に、昇降機構（図示省略）により下部ケーシング４５の上方へ離間する開放位置と下部ケーシング４５に密着して外部から密閉された加圧槽７０を構成する閉止位置との間で昇降可能とされている。また加圧槽７０には、コンプレッサ等の空気圧縮装置（図示省略）が配管等を通して接続されており、この空気圧縮装置は、ケーシング４５，１１４により加圧槽７０が構成されると、加圧槽７０内に加圧された空気を供給して加圧槽７０内を所定の気圧まで加圧する。
【００３１】
第２ターンテーブル５６は、第１ターンテーブル４４上で製造された光ディスク１０を一時保管するためのものであり、周回位置Ｐ６の外周付近に配置されている。この第２ターンテーブル５６上には、その軸心Ｓ２を中心とする周方向に沿ってディスク基板１２が載置可能とされた４個のディスク支持台７２が設けられている。なお、図２では、周回位置Ｐ６に保持されたディスク支持台４６と最も近接してディスク支持台４６の位置を起点とし、第２ターンテーブル５６の回転方向（反時計方向）に沿って４個のディスク支持台７２がそれぞれ保持される位置（周回位置）をＲ１〜Ｒ４として示している。
【００３２】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には第２ターンテーブル５６に隣接してディスク搬出ユニット５８が設置されており、このディスク搬出ユニット５８には、複数枚のディスク基板１２がそれぞれ積載可能とされたＮＧディスク台７４及び良品ディスク台７６が設けられると共に、周回位置Ｐ６に保持されたディスク支持台４６、周回位置Ｒ１に保持されたディスク支持台７２、ＮＧディスク台７４及び良品ディスク台７６の間で光ディスク１０を搬送する搬送アーム７８が設けられている。
【００３３】
光ディスク製造装置４０には、第２ターンテーブル５６における周回位置Ｒ２に保持されたディスク支持台７２の上方に光ディスク１０の表面（光入射面）から保護シート（図３参照）を剥離、回収する剥離ユニット８０が設置されると共に、周回位置Ｒ３に保持されたディスク支持台７２の上方に光ディスク１０の光入射面の平面性、軸心ＳＤを基準とする傾き量等を検査するための面状検査ユニット８２が設置されている。
【００３４】
なお、ディスク基板１２に貼り合わされるカバーシート２４（図３参照）は、長尺帯状の樹脂フィルム２６、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８、この粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート８８及び、樹脂フィルム２６の粘着膜２８とは反対側の面に貼り付けられた保護シート９０からなる４層構造の積層シート材を加工素材として製造される。具体的には、環状の打抜刃により積層シート材における保護シート、樹脂フィルム２６及び粘着膜２８を円板状に打抜くことでカバーシート２４を成形する。このとき、カバーシート２４の粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート８８は、打抜刃により打抜かれることなく長尺帯状のまま残される。この長尺帯状の剥離シート８８は、図３に示されるように、積層シート材から打抜かれたカバーシート２４を搬送するためのキャリアベースとして用いられる。
【００３５】
次に、上記のような光ディスク製造装置４０におけるシート供給ユニット６４及び貼合ユニット５４について詳細に説明する。図３に示されるように、シート供給ユニット６４には、長尺帯状の剥離シート８８からカバーシート２４を剥離しつつ、このカバーシート２４を貼合ユニット５４のシート搬送台６６へ供給するための略クサビ状の剥離ガイド部材８４が設けられている。剥離ガイド部材８４は、支持部材１１６を介して上部ケーシング１１０の外周側に配置された剥離ガイド駆動機構（図示省略）に連結されている。剥離ガイド駆動機構は、剥離ガイド部材８４を、上下方向（矢印Ｈ方向）及び軸心Ｓ１を中心とする第１ターンテーブル４４の径方向（矢印Ｄ方向）に沿って移動可能に支持しており、剥離ガイド部材８４を図３に示されるシート供給位置と上部ケーシング１１０の外周側に退避させる退避位置との間で移動させる。
【００３６】
図３に示されるように、貼合ユニット５４のシート搬送台６６は内部が中空とされた肉厚板状とされており、このシート搬送台６６には、その上面中央部にＬ字状に屈曲した長尺棒状のスライド部材１１８の先端部が連結されている。一方、上部ケーシング１１０には、側壁部の外周側に径方向に沿ってスライド穴１２０が貫通しており、このスライド穴１２０内には、スライド部材１１８が径方向に沿って摺動可能に嵌挿されている。スライド穴１２０の内周面には、一対のシールリング１２２，１２４が配置されており、これらのシールリング１２２，１２４はそれぞれスライド部材１１８の外周面に圧接して、スライド部材１１８とスライド穴１２０との間を気密状態にシールしている。
【００３７】
シート搬送台６６は、スライド部材１１８を介して上部ケーシング１１０の外周側に配置された搬送台駆動機構（図示省略）に連結されており、この搬送台駆動機構は、シート搬送台６６を第１ターンテーブル４４の径方向に沿って所定の貼合開始位置（図５参照）と貼合完了位置との間で移動させる。ここで、シート搬送台６６は上下方向（図３の矢印Ｈ方向）へは上部ケーシング１１０と一体となって昇降し、上部ケーシング１１０が開放位置へ移動すると、ディスク支持台４６の上方へ離間した待機位置（図３参照）に移動し、上部ケーシング１１０が閉止位置へ移動すると、後述する加圧ローラ１０２をディスク支持台４６上のディスク基板１２に圧接させる圧接位置（図５参照）に移動する。
【００３８】
図３及び図４に示されるように、シート搬送台６６には、その下面部に平面状のシート吸着面９２が設けられており、このシート吸着面９２は、内周側から外周側へ向って所定の角度で上方へ傾斜している。シート搬送台６６内には、シート吸着面９２に対向して負圧室９６が設けられると共に、この負圧室９６からシート吸着面９２へ貫通する複数の吸引穴９８が穿設されている。ここで、負圧室９６は、スライド部材１１８内に配置された吸気配管１２６を通して真空ポンプ等の真空発生装置（図示省略）に接続されており、この真空発生装置は、シート供給ユニット６４によりシート吸着面９２にカバーシート２４が供給されると、負圧室９６内に負圧を供給する。これにより、カバーシート２４が吸引穴９８からの負圧の作用によりシート吸着面９２上に吸着される。
【００３９】
シート搬送台６６には、内周側の端部に揺動アーム１２８を介して円柱状の加圧ローラ１０２が回転可能に取り付けられている。加圧ローラ１０２は、その軸心がスライド部材１１８の第１ターンテーブル４４の径方向と直交するように配置されると共に、揺動アーム１２８によりシート搬送台６６の厚さ方向（図３の矢印Ｔ方向）に沿って揺動可能に支持されている。またシート搬送台６６には、揺動アーム１２８を介して加圧ローラ１０２を常に下方へ付勢するローラ付勢機構１３０が設けられており、このローラ付勢機構１３０はコイルスプリング１３２の復元力により揺動アーム１２８を常に下方へ付勢している。
【００４０】
加圧ローラ１０２は、そのローラ面１０４の表層部がシリコンゴム、ウレタンゴム、バイトン等の弾性材料により形成されると共に、このローラ面１０４の軸方向に沿った寸法がカバーシート２４の直径よりも長くされている。また加圧ローラ１０２は、揺動アーム１２８によりシート搬送台６６のシート吸着面９２に対して内周側であって、そのローラ面１０４の下端がシート吸着面９２よりも僅かに下側となるように支持されている。
【００４１】
シート供給ユニット６４には、カバーシート２４が貼り付けられた長尺帯状の剥離シート８８を剥離ガイド部材８４の上面部及び下面部に圧接させつつ、この剥離シート８８を所定の剥離方向（矢印Ｅ方向）へスライドさせるテンション機構（図示省略）が設けられている。このテンション機構が剥離シート８８を剥離方向へスライドさせることにより、シート供給ユニット６４では、剥離シート８８を介してカバーシート２４が剥離ガイド部材８４の上面部に一定の圧接力で圧接しつつ、剥離ガイド部材８４の基端側から先端側へ向って移動する。このとき、剥離ガイド部材８４の先端部８５付近では、カバーシート２４が剥離シート８８から剥離する。また剥離ガイド部材８４の先端側に形成されたスロープ状の傾斜面８６はシート搬送台６６のシート吸着面９２と平行とされており、図３に示されるように、剥離ガイド部材８４がシート供給位置にあり、かつシート搬送台６６が貼合開始位置にあるときには、剥離ガイド部材８４の傾斜面８６はカバーシート２４を介してシート吸着面９２に密着する。
【００４２】
従って、図３に示されるように、剥離ガイド部材８４がシート供給位置にある状態から、テンション機構により剥離シート８８を剥離方向へスライドさせつつ、剥離ガイド機構により剥離ガイド部材８４をシート吸着面９２と平行な方向に沿って外周側へ移動させることにより、剥離ガイド部材８４の先端部８５付近でカバーシート２４を剥離シート８８から剥離させつつシート吸着面９２上へ密着させたままで転移できる。このとき、シート搬送台６６の負圧室９６へ負圧を供給しておくことにより、図４に示されるように、剥離シート８８から剥離されたカバーシート２４がシート吸着面９２上に吸着される。また剥離ガイド部材８４は、カバーシート２４をその内周側の一端部が加圧ローラ１０２のローラ面１０４に正対するように位置調整した後、このカバーシート２４をシート吸着面９２へ転移させる。
【００４３】
シート供給ユニット６４は、カバーシート２４がシート吸着面９２上に吸着されると、剥離ガイド駆動機構により剥離ガイド部材８４を退避位置へ移動させる。この後、昇降機構は、上部ケーシング１１０を開放位置から閉止位置へ下降させることにより、図５に示されるように、ケーシング４５，１１０により真空槽６８を構成すると共に、貼合開始位置にあるシート搬送台６６を待機位置から圧接位置へ下降させる。これにより、シート搬送台６６の加圧ローラ１０２が、カバーシート２４の内周側の一端部を介してディスク支持台４６上のディスク基板１２に圧接する。
【００４４】
上部ケーシング１１０が閉止位置に移動して真空槽６８が構成されると、真空発生装置が作動して真空槽６８内を所定の真空度まで減圧する。このとき、真空槽６８内は、１０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲内から選択された設定値になるように真空発生装置により減圧される。なお、このような真空度まで減圧された真空槽６８内で、カバーシート２４をシート搬送台６６のシート吸着面９２上に吸着しておくために、シート搬送台６６の負圧室９６内は、常に真空槽６８内の真空度よりも高い真空度（低圧）に保つ必要がある。
【００４５】
真空槽６８内が所定の真空度まで減圧されると、貼合ユニット５４では、搬送台駆動機構により貼合開始位置にあるシート搬送台６６を第１ターンテーブル４４の径方向に沿って外周側へ移動させる。このとき、加圧ローラ１０２は、ローラ付勢機構１３０のコイルスプリング１３２により設定される所定の荷重値Ｌでカバーシート２４に圧接しつつ、カバーシート２４上を貼合開始位置から貼合完了位置側へ転動する。これにより、カバーシート２４がシート搬送台６６のシート吸着面９２上から相対的に内周側へスライドし、カバーシート２４のシート吸着面９２上から内周側へ延出した部分が加圧ローラ１０２によりディスク基板１２上へ荷重値Ｌに対応する加圧力で加圧されて行く。このとき、カバーシート２４はシート吸着面９２からの吸着力に抗してシート吸着面９２上を相対的に内周側へスライドする。
【００４６】
加圧ローラ１０２は、シート搬送台６６が貼合開始位置から貼合完了位置側へ移動すると、このシート搬送台６６と共に外周側へ移動しつつカバーシート２４上を転動する。これにより、図５に示されるように、加圧ローラ１０２からの加圧力によりカバーシート２４が、その一端部から他端部側へ向ってディスク基板１２に貼り合わされて行き、加圧ローラ１０２がディスク基板１２の外周側へ離脱すると略同時に、カバーシート２４のディスク基板１２への貼り合わせが完了する。このカバーシート２４の貼り合せの開始から完了までの間、カバーシート２４には、加圧ローラ１０２とシート吸着面９２との間に張り渡される部分にシート吸着面９２による吸引力により対応する張力が付与される。従って、カバーシート２４は、シート吸着面９２による吸着力に対応する張力が付与されつつ、加圧ローラ１０２からの加圧力によりディスク基板１２に貼り合わされる。
【００４７】
ここで、カバーシート２４に付与される張力の大きさは、シート搬送台６６の負圧室９６内における真空度を調整することにより調整可能であり、本実施形態では、このカバーシート２４に付与される張力が０．２Ｎ〜３．０Ｎの範囲内から選択された設定値になるように負圧室９６内の真空度の大きさが予め設定される。
【００４８】
但し、シート吸着面９２によるカバーシート２４に対する吸着力だけではカバーシート２４に付与される張力を十分に大きくできない場合には、例えば、カバーシート２４に貼り付けられた保護シートとして磁力により吸引が可能なものを用いて、シート搬送台６６に設置した電磁石により保護シートを介してカバーシート２４を吸着することや、保護シートとして帯電可能なものを用いて、シート搬送台６６に保護シートと逆極性の電圧を印加することで保護シートに静電的な吸引力を作用させ、カバーシート２４をシート吸着面９２へ吸着することで、カバーシート２４に付与される張力を十分に大きなものにすることが可能になる。
【００４９】
光ディスク製造装置４０では、貼合ユニット５４によるカバーシート２４のディスク基板１２への貼り合わせが完了すると、真空発生装置が真空槽６８内を開放して大気圧に戻した後、昇降機構が上部ケーシング１１０を閉止位置から開放位置へ復帰させる。これにより、第１ターンテーブル４４が回転回転可能になり、周回位置Ｐ２にあってディスク基板１２の載置されているディスク支持台４６が周回位置Ｐ３へ移動可能になる。
【００５０】
（実施形態の作用）
次に、上記のように構成された光ディスク製造装置４０を用いて光ディスク１０を製造する製造工程の全体について説明する。
【００５１】
光ディスク製造装置４０では、先ず、ディスク供給ユニット５２の搬送アーム６２によりディスク台６０上から１枚のディスク基板１２が把持され、このディスク基板１２が第１ターンテーブル４４における周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６上に載置される。これに同期し、周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６では、センターピン４８が上方へ突出してセンターホール２９内へ嵌挿することで、ディスク基板１２がディスク支持台４６上における中心位置に位置決めされる。
【００５２】
第１ターンテーブル４４は、ディスク供給ユニット５２によりディスク基板１２がディスク支持台４６上に載置されると、軸心Ｓ１を中心として反時計方向へ回転し、ディスク基板１２が載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｐ３まで移動させる。この時、シート搬送台６６のシート吸着面９２上には、既に１枚のカバーシート２４が吸着されている。このカバーシート２４は、前述したように、真空槽６８内における所定の真空度まで減圧された減圧環境下に保持され、貼合ユニット５４により周回位置Ｐ３にあるディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされる。
【００５３】
第１ターンテーブル４４は、カバーシート２４のディスク基板１２への貼り合わせが完了し、閉止位置にあった真空槽６８の上部ケーシング１１０が開放位置に復帰すると、反時計方向へ回転してディスク基板１２及び、これに貼り合わされたカバーシート２４が載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｐ５まで移動させる。これに同期し、光ディスク製造装置４０は、昇降機構により上部ケーシング１１４を開放位置から閉止位置へ下降させて加圧槽７０を構成した後、空気圧縮装置により加圧槽７０内に加圧空気を供給して加圧槽７０内の気圧を、５０ｋＰａ〜２００ｋＰａの範囲内から選択された設定値まで上昇させ、この加圧環境下にディスク基板１２及びこのディスク基板１２に貼り合わされたカバーシート２４を所定の時間に亘って保持する。このように加圧環境下にディスク基板１２及び、これに貼り合わされたカバーシート２４を所定時間に亘って保持することで、カバーシート２４がディスク基板１２へ均一な接合力で貼り合わされて光ディスク１０の製造が完了する。
【００５４】
ここで、上記のようにディスク基板１２及び、これに貼り合わされたカバーシート２４を加圧環境下に所定時間に亘って保持することにより、カバーシート２４全体に加圧空気の静圧が均一に作用し、加圧ローラ１０２からカバーシート２４へ加えられた加圧力の分布にムラがあった場合でも、カバーシート２４とディスク基板１２との接合力を均一化できると共に、カバーシート２４のディスク基板１２への密着性を向上できる。但し、例えば、加圧ローラ１０２の剛性を十分に高いものにしたり、又は加圧ローラ１０２を複数回それぞれ異なる方向に沿ってカバーシート２４上を転動させることにより、加圧ローラ１０２によりカバーシート２４へ加えられた加圧力の分布を均一化できるならば、必ずしもディスク基板１２及びカバーシート２４を加圧槽７０内で加圧する必要は無い。
【００５５】
光ディスク製造装置４０では、ディスク基板１２及びカバーシート２４が加圧槽７０内の加圧環境下に所定の時間に亘り保持されると、空気圧縮装置を停止させると共に、昇降機構により上部ケーシング１１４を閉止位置から開放位置へ復帰させる。この後、第１ターンテーブル４４は、反時計方向へ回転して光ディスク１０が載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｐ６まで移動させる。これに同期し、光ディスク製造装置４０は、ディスク搬出ユニット５８の搬送アーム７８により周回位置Ｐ６にあるディスク支持台４６上に載置された光ディスク１０を把持し、この光ディスク１０を第２ターンテーブル５６における周回位置Ｒ１にあるディスク支持台７２上に載置する。
【００５６】
第２ターンテーブル５６は、周回位置Ｒ１にあるディスク支持台７２上に光ディスク１０が載置されると、反時計方向へ間欠的に回転し、光ディスク１０が載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｒ２及び周回位置Ｒ３にそれぞれ一旦停止させた後、周回位置Ｒ４まで移動させる。このとき、剥離ユニット８０は、周回位置Ｒ２に一旦停止しているディスク支持台７２上に載置された光ディスク１０から保護シートを剥離し、この保護シートを回収する。
【００５７】
また面状検査ユニット８２は、周回位置Ｒ３に一旦停止しているディスク支持台７２上に載置された光ディスク１０の上面（光入射面）の平面性、傾き量等の面状を検査する。この面状検査ユニット８２による検査結果は、光ディスク製造装置４０の制御ユニット（図示省略）へ送信される。制御ユニットは、面状検査ユニット８２による検査結果に基づいて、第２ターンテーブル５６により周回位置Ｒ３まで搬送されてきた光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品か、品質基準を満たしている良品かを判断する。
【００５８】
面状検査ユニット８２による検査完了後に、第２ターンテーブル５６により光ディスク１０が周回位置Ｐ４まで搬送されてくると、光ディスク製造装置４０の制御ユニットは、周回位置Ｐ４にある光ディスク１０がＮＧ品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム７８により把持させ、ディスク支持台７２上からＮＧディスク台７４上に搬送してＮＧディスク台７４上に積載し、また周回位置Ｐ４にある光ディスク１０が良品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム７８により把持させ、ディスク支持台７２上から良品ディスク台７６上に搬送して良品ディスク台７６上に積載する。これらのディスク台７４，７６上に積載されたＮＧ品及び良品としての光ディスク１０は、それぞれ所定のロット枚数まで貯まると、ディスク台７４，７６上から再検査工程、塗装工程等の他の工程が行われる装置等へ搬出される。
【００５９】
以上説明した本実施形態に係る光ディスク製造装置４０により実施される光ディスク１０の製造方法によれば、ディスク基板１２の記録面１４上に重ね合わされたカバーシート２４に加圧ローラ１０２を圧接させつつ、この加圧ローラ１０２をカバーシート２４の表面部における一端部から他端部へ移動させ、粘着膜２８を介してカバーシート２４をディスク基板１２の記録面１４に貼り合せる加圧貼合工程を、１０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲内から選択された設定値まで減圧された減圧環境下にて行うことにより、ディスク基板１２の記録面１４との間に殆どエアーが介在しない状態でカバーシート２４を記録面１４上へ加圧できるので、ディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされたカバーシート２４と記録面１４との間にエアーが残留することを防止し、この残留エアーの影響によりカバーシート２４とディスク基板１２の記録面１４との密着性が低下することを効果的に防止できる。
【００６０】
さらに、上記のような減圧環境下でのカバーシート２４のディスク基板１２への貼合時には、加圧ローラ１０２によりディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされるカバーシート２４に荷重値Ｌの圧縮荷重及び引張り力が作用することから、ディスク基板１２の貼り合わされるカバーシート２４に、加圧ローラ１０２及びシート搬送台６６により生じる引張り力に対応する張力を付与しつつ、このカバーシート２４をディスク基板１２の記録面１４に貼り合わすことができるので、減圧環境下にてディスク基板１２に貼り合わされたカバーシート２４に残留する応力の分布を均一化できる。
【００６１】
この結果、ディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされたカバーシート２４を確実に記録面に密着させることができ、かつカバーシート２４に残留する応力の分布の十分に均一化できるので、光ディスク１０における光入射面の寸法精度を向上できる。
【００６２】
（実施形態の変形例）
図７〜図９には、本実施形態に係る光ディスク製造装置４０における貼合ユニット１５０の変形例が示されている。この貼合ユニット１５０には、シート供給ユニット６４により供給されたカバーシート２４を保持するためのシート搬送台１５２が設けられている。図７に示されるように、シート搬送台１５２は内部が中空とされた肉厚板状とされており、このシート搬送台１５２には、その上面中央部に長尺棒状のスライド部材１５４の下端部が連結されている。一方、上部ケーシング１１０には、頂板中央部に上下方向に沿ってスライド穴１５６が貫通しており、このスライド穴１５６内には、スライド部材１５４が摺動可能に嵌挿されている。スライド穴１５６の内周面には、一対のシールリング１５８，１６０が配置されており、これらのシールリング１５８，１６０はそれぞれスライド部材１５４の外周面に圧接して、スライド部材１５４とスライド穴１５６との間を気密状態にシールしている。
【００６３】
シート搬送台１５２は上下方向（図３の矢印Ｈ方向）へは上部ケーシング１１０と一体となって昇降し、上部ケーシング１１０が開放位置へ移動すると、ディスク支持台４６の上方へ離間した待機位置（図３参照）に移動し、上部ケーシング１１０が閉止位置へ移動すると、シート吸着面１６２上に吸着したカバーシート２４の一端部をディスク支持台４６上のディスク基板１２に圧接させる貼合開始位置（図７参照）に移動する。またシート搬送台１５２には、ヒンジ部１６４を介してスライド部材１５４が連結されており、このスライド部材１５４を介して、シート搬送台１５２は上部ケーシング１１０の上方に配置された搬送台駆動機構（図示省略）に連結されている。この搬送台駆動機構は、カバーシート２４をディスク基板１２へ貼り合せる際に、真空槽６８内で貼合開始位置にあるシート搬送台１５２を下方へ加圧する。
【００６４】
図７に示されるように、シート搬送台１５２には、その下面部に曲面状のシート吸着面１６２が設けられている。このシート吸着面９２は、下方へ向って凸状とされた曲率半径が一定の湾曲面とされている。ここで、シート吸着面１６２は、その曲率中心が第１ターンテーブル４４の径方向と直交する接線方向ヘ直線的に延在し、曲率半径が１００ｍｍ〜５００ｍｍの範囲内から任意に選択された値とされている。シート搬送台６６は、ヒンジ部１６４によりスライド部材１５４に揺動可能に連結されており、このヒンジ部１６４は、その中心軸がシート吸着面１６２の曲率中心と平行となるように配置されている。
【００６５】
シート搬送台１５２内には、シート吸着面１６２に対向して負圧室１６６が設けられると共に、この負圧室１６６からシート吸着面１６２へ貫通する複数の吸引穴１６８が穿設されている。ここで、負圧室１６６は、スライド部材１１８内に配置された吸気配管１７２を通して真空ポンプ等の真空発生装置（図示省略）に接続されており、この真空発生装置は、シート供給ユニット６４によりシート吸着面９２上にカバーシート２４が供給されると、負圧室１６６内に負圧を供給する。これにより、カバーシート２４が吸引穴１６８からの負圧の作用によりシート吸着面１６２上に吸着される。
【００６６】
シート搬送台１５２は、ヒンジ部１６４を中心として、図８に示される貼合開始位置と図９に示される貼合完了位置との間で揺動可能とされている。またシート搬送台１５２は、外周側の端部がコイルスプリング１７０によりスライド部材１５４に連結されており、このコイルスプリング１７０の復元力により常に貼合開始位置に付勢されている。またシート搬送台１５２のシート吸着面１６２は、その表層部がシリコンゴム、ウレタンゴム、バイトン等の弾性材料により形成されると共に、ヒンジ部１６４の軸方向に沿った寸法がカバーシート２４の直径よりも十分に長くされている。
【００６７】
シート供給ユニット６４は、図７に示されるように、上部ケーシング１１０及びシート搬送台１５２が開放位置及び待機位置にあるときに、カバーシート２４を介して剥離ガイド部材８４をシート吸着面１６２に圧接させつつ、シート搬送台６６の場合と同様な方法で、カバーシート２４を剥離シート８８からシート吸着面１６２上へ転移させる。このとき、シート搬送台１５２の負圧室１６６へ負圧を供給しておくことにより、図７に示されるように、剥離シート８８から剥離されたカバーシート２４がシート吸着面１６２上に吸着される。
【００６８】
シート供給ユニット６４は、カバーシート２４がシート吸着面１６２上に吸着されると、剥離ガイド駆動機構により剥離ガイド部材８４を退避位置へ移動させる。この後、昇降機構は、図８に示されるように、上部ケーシング１１０を開放位置から閉止位置へ下降させてケーシング４５，１１０により真空槽６８を構成すると共に、シート搬送台１５２を貼合開始位置に保持する。これにより、シート吸着面１６２がカバーシート２４の一端部を介してディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２の一端部に圧接する。
【００６９】
上部ケーシング１１０が閉止位置に移動して真空槽６８が構成されると、真空発生装置が作動して真空槽６８内を所定の真空度まで減圧する。このとき、真空槽６８内は、１０Ｐａ〜２０Ｐａの範囲内から選択された設定値になるように真空発生装置により減圧される。なお、このような真空度まで減圧された真空槽６８内で、カバーシート２４をシート搬送台１５２のシート吸着面１６２上に吸着しておくために、シート搬送台１５２の負圧室１６６内は、常に真空槽６８内の真空度よりも高い真空度（低圧）に保つ必要がある。
【００７０】
真空槽６８内が所定の真空度まで減圧されると、貼合ユニット１５０では、搬送台駆動機構により貼合開始位置にあるシート搬送台１５２を下方へ加圧する。これにより、シート搬送台１５２は、コイルスプリング１７０の付勢力に抗し、ヒンジ部１６４を中心として貼合開始位置から貼合完了位置側へ揺動する。このシート搬送台１５２の貼合開始位置から貼合完了位置側への揺動に伴って、シート吸着面１６２上に吸着されているカバーシート２４は、その一端部から他端部へ向ってシート吸着面９２から剥離しつつ、シート吸着面９２からの加圧力により一端部から他端部側へ向ってディスク基板１２に貼り合わされて行き、シート搬送台１５２が貼合完了位置まで揺動すると同時に、全体がディスク基板１２に貼り合わされる。
【００７１】
光ディスク製造装置４０では、貼合ユニット１５０によるカバーシート２４のディスク基板１２への貼り合わせが完了すると、真空発生装置が真空槽６８内を開放して大気圧に戻した後、昇降機構が上部ケーシング１１０を閉止位置から開放位置へ復帰させる。これにより、第１ターンテーブル４４が回転回転可能になり、周回位置Ｐ２にあってディスク基板１２の載置されているディスク支持台４６が周回位置Ｐ３へ移動可能になる。
【００７２】
上記のように構成された貼合ユニット１５０を用いた場合でも、ディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされたカバーシート２４と記録面１４との間にエアーが残留することを防止し、この残留エアーの影響によりカバーシート２４とディスク基板１２の記録面１４との密着性が低下することを効果的に防止できる。この貼合ユニット１５０は、貼合ユニット５４と比較して、カバーシート２４をディスク基板１２に貼り合わせる際には、カバーシート２４に張力を付与できないが、搬送台駆動機構により貼合開始位置にあるシート搬送台１５２を加圧するだけで貼合完了位置へ移動でき、かつカバーシート２４をディスク基板１２に貼り合わすことができるので、搬送台駆動機構及びシート搬送台１５２の構造を簡単なものにできる。
【００７３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る光ディスクの製造方法及び製造装置によれば、減圧環境下において、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートに残留する応力の分布を均一化して光入射面の寸法精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る光ディスクの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法が実施される光ディスク製造装置の構成を示す平面図である。
【図３】図２に示される光ディスク製造装置におけるシート供給ユニット及び貼合ユニットの構成を示す側面断面図であり、シート供給ユニットによりカバーシートを貼合ユニットに供給している状態を示している。
【図４】図３に示されるシート供給ユニット及び貼合ユニットの構成を示す側面断面図であり、シート供給ユニットによりカバーシートを貼合ユニットに供給完了した状態を示している。
【図５】図２に示されるシート供給ユニット及び貼合ユニットの構成を示す側面断面図であり、貼合ユニットによるカバーシートのディスク基板への貼合開始時の状態を示している。
【図６】図２に示されるシート供給ユニット及び貼合ユニットの構成を示す側面断面図であり、貼合ユニットによりカバーシートをディスク基板に貼り合わせている状態を示している。
【図７】本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置における貼合ユニットの変形例の側面断面図であり、シート供給ユニットによりカバーシートを貼合ユニットに供給している状態を示している。
【図８】図７に示される貼合ユニットの側面断面図であり、貼合ユニットによるカバーシートのディスク基板への貼合開始時の状態を示している。
【図９】図７に示される貼合ユニットの側面断面図であり、貼合ユニットによるカバーシートのディスク基板への貼合完了時の状態を示している。
【符号の説明】
１０　　　光ディスク
１２　　　ディスク基板
１４　　　記録面（情報記録面）
２４　　　カバーシート
２６　　　樹脂フィルム
２８　　　粘着膜
４０　　　光ディスク製造装置
６６　　　シート搬送台（シート保持手段）
６８　　　真空槽（減圧手段）
１０２　　加圧ローラ（加圧手段）
１２６　　吸気配管（減圧手段）
１５２　　　シート搬送台（シート保持手段、加圧手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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