(57)【要約】【課題】セラミックグリーン成形体の第１の端面を位置決め基準ブロックに当接させた状態で、切断工程と移動工程とを繰り返すことによって、セラミックグリーン成形体を、第２の端面側から、順次、複数の切断線に沿って切断した状態とする、切断方法において、切断位置に関わらず、斜め切断状態とならないようにする。【解決手段】カット刃２８の切断進行方向３４における前面側および後面側に、それぞれ、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６を配置し、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６の各々による押圧力を、セラミックグリーン成形体２５に生じる応力が、カット刃２８の前面側と後面側とにおいて釣り合うように制御する。【選択図】        図２
2004276140.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する主面を有するセラミックグリーン成形体をテーブル上に置くとともに、前記テーブルの一方端部から立ち上がる位置決め基準ブロックに前記セラミックグリーン成形体の第１の端面を当接させることによって、前記セラミックグリーン成形体を位置決めする、位置決め工程と、
前記セラミックグリーン成形体の主面に向かってカット刃を下降させることによって、前記セラミックグリーン成形体を押し切りにより切断する、切断工程と、
前記切断工程と交互に複数回繰り返し実施されるものであって、前記切断工程の後に、前記テーブルと前記カット刃とを相対的に移動させることによって、前記セラミックグリーン成形体を、前記第１の端面と対向する第２の端面側から、順次、切断した状態とする、移動工程とを備える、セラミックグリーン成形体の切断方法であって、
前記切断工程は、前記カット刃の切断進行方向における前面側および後面側にそれぞれ配置される前面側押圧体および後面側押圧体による各押圧力を、前記セラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしながら実施され、
前記前面側押圧体による押圧力と前記後面側押圧体による押圧力とは、前記切断工程において前記セラミックグリーン成形体に生じる応力が、前記カット刃の前面側と後面側とにおいて釣り合うように制御されることを特徴とする、セラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項２】
前記切断工程によって形成される切断線が前記位置決め基準ブロックにより近づくに従って、前記後面側押圧体による押圧力が前記前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御される、請求項１に記載のセラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項３】
予め決定されたプログラムに基づいて、前記後面側押圧体による押圧力が前記前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御される、請求項２に記載のセラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項４】
前記切断工程によって形成される切断線の状態をセンシングしながら、次の前記切断工程での前記切断線の状態が適正になるように、前記前面側押圧体による押圧力と前記後面側押圧体による押圧力とが制御される、請求項１に記載のセラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項５】
前記切断工程を終えた後、前記カット刃を上昇させる過程において、前記前面側押圧体および前記後面側押圧体による各押圧力を前記セラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしている状態が維持される、請求項１ないし４のいずれかに記載のセラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項６】
前記前面側押圧体および前記後面側押圧体は、それぞれ、前記カット刃の前面および後面に接触するように配置される、請求項１ないし５のいずれかに記載のセラミックグリーン成形体の切断方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のセラミックグリーン成形体の切断方法に用いられる切断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、セラミックグリーン成形体の切断方法および切断装置に関するもので、特に、カット刃による押し切りによってセラミックグリーン成形体をその一方端側から順次切断する工程を備える、セラミックグリーン成形体の切断方法および切断装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、積層セラミックコンデンサのようなセラミック電子部品を能率的に量産するため、複数のセラミック電子部品を取り出すべきマザー状態のセラミックグリーン成形体がまず作製され、ここから複数のセラミック電子部品を取り出すため、セラミックグリーン成形体を切断することが行なわれている。セラミックグリーン成形体は、たとえば、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造しようとする場合には、特定の界面に沿って内部導体膜が形成された複数のセラミックグリーンシートの積層体をもって構成される。
【０００３】
上述したセラミックグリーン成形体の切断工程は、通常、以下のように実施される。
【０００４】
図６は、セラミックグリーン成形体１を切断する工程を実施している状態を示す正面図である（たとえば、特許文献１参照）。
【０００５】
相対向する主面２および３を有するセラミックグリーン成形体１は、テーブル４上に置かれるとともに、テーブル４の一方端部から立ち上がる位置決め基準ブロック５に第１の端面６を当接させることによって、位置決めされる。なお、テーブル４には、図示しないが、通常、セラミックグリーン成形体１に対して負圧を及ぼす多数の吸引口が設けられていて、この負圧が、セラミックグリーンシート１に及ぼされることにより、上述の位置決めがより確実に行なわれるようにされる。
【０００６】
次に、セラミックグリーン成形体１の主面２に向かってカット刃７を下降させることによって、セラミックグリーン成形体１は押し切りにより切断される。
【０００７】
また、テーブル４とカット刃７とは、セラミックグリーン成形体１の主面２および３の面方向へ相対的に移動可能なように構成されている。そして、上述したように、切断工程を終える毎に、テーブル４とカット刃７とが相対的に移動され、これら切断工程と移動工程とが複数回繰り返されることによって、セラミックグリーン成形体１は、上述の第１の端面６と対向する第２の端面８側から、順次、複数の切断線９によって切断された状態とされる。
【０００８】
また、上述のような切断工程および移動工程の繰り返しによって、矢印で示した切断進行方向１０の切断が終了したとき、通常、テーブル４とカット刃７とが相対的に９０度回転され、次いで、同様の切断工程および移動工程が繰り返される。
【０００９】
他方、セラミックグリーン成形体１の厚みがより厚くされる場合、あるいは、カット刃７による切断動作がより高速にされる場合、切断工程中においてカット刃７が受ける抵抗が大きくなり、セラミックグリーン成形体１の主面２と直交する方向に安定して切断を行なうことが困難になることがある。極端な場合には、カット刃７が切断の途中で曲がり、そのために、図７に示すように、切断線９が傾斜することもある。
【００１０】
これらの問題を解決するため、図６において破線で示すように、カット刃７の切断進行方向１０における前面側および後面側に、それぞれ、ガイド１１および１２を配置し、それによって、カット刃７の進入動作を常に適正な方向に向けるように規制することも提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１１−９０８９４号公報
【特許文献２】
特開２００１−１０２２４１号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、セラミックグリーン成形体１の第１の端面６を位置決め基準ブロック５に当接させることによって、セラミックグリーン成形体１に対して切断工程を実施しようとするとき、次のような問題に遭遇することがある。
【００１３】
切断工程では、カット刃７の下降に従って、カット刃７の後面側および前面側には、カット刃７の下降方向に直交する方向の応力Ｆ１およびＦ２が作用する。これら応力Ｆ１およびＦ２は、カット刃７がセラミックグリーン成形体１を主面２および３の面方向へ弾性または塑性変形させるときの反力である。
【００１４】
そして、切断工程と移動工程とが進行するに従って、カット刃７が位置決め基準ブロック５により近づいたとき、すなわちセラミックグリーン成形体１の未切断部分がより少なくなったときには、位置決め基準ブロック５からの反力Ｆ３がより大きくなり、この反力Ｆ３の影響により、カット刃７は、矢印１３で示すように、位置決め基準ブロック５とは反対方向に変形することがある。すなわち、カット刃７は、高精度の切断を可能にするため、その厚みが比較的薄くされるのが通常であり、そのため、上述のような変形が生じやすいのである。
【００１５】
その結果、切断線９が傾斜し、図７に示すような斜め切断状態となってしまうことがある。セラミックグリーン成形体１が、特定の界面に沿って内部導体膜を形成した複数のセラミックグリーンシートの積層体である場合、上述の斜め切断状態は、内部導体膜の不所望な変形や位置ずれをもたらしたり、内部導体膜が不所望な箇所で露出したり、露出の必要な箇所で内部導体膜が露出しなかったりするといった不都合を招くことがある。
【００１６】
他方、図６において破線で示すようなガイド１１および１２を配置し、これらガイド１１および１２をセラミックグリーン成形体１の主面２に接触させかつセラミックグリーン成形体１の主面２に向かって押圧力を及ぼしながら、カット刃７による切断工程を実施したとしても、位置決め基準ブロック５からの反力Ｆ３の変化には必ずしも対応することができない。その結果、カット刃７の後面側および前面側の各々における応力の間で差が生じ、やはり、カット刃７が矢印１３で示すように変形してしまうことは避けられない。
【００１７】
なお、反力Ｆ３の変化を無視できる程度に、ガイド１１および１２からの押圧力を大きくすることも考えられるが、この場合には、カット刃７がセラミックグリーン成形体１に入りにくくなったり、切断工程の後、セラミックグリーン成形体１がガイド１１および１２に強く粘着し、以後の工程を進める上での障害となったりするといった問題を招いてしまう。
【００１８】
そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、セラミックグリーン成形体の切断方法を提供しようとすることである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、相対向する主面を有するセラミックグリーン成形体をテーブル上に置くとともに、テーブルの一方端部から立ち上がる位置決め基準ブロックにセラミックグリーン成形体の第１の端面を当接させることによって、セラミックグリーン成形体を位置決めする、位置決め工程と、セラミックグリーン成形体の主面に向かってカット刃を下降させることによって、セラミックグリーン成形体を押し切りにより切断する、切断工程と、切断工程と交互に複数回繰り返し実施されるものであって、切断工程の後に、テーブルとカット刃とを相対的に移動させることによって、セラミックグリーン成形体を、第１の端面と対向する第２の端面側から、順次、切断した状態とする、移動工程とを備える、セラミックグリーン成形体の切断方法およびそれに用いられる切断装置に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００２０】
すなわち、切断工程は、カット刃の進行方向における前面側および後面側にそれぞれ配置される前面側押圧体および後面側押圧体による各押圧力を、セラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしながら実施される。そして、前面側押圧体による押圧力と後面側押圧体による押圧力とは、切断工程においてセラミックグリーン成形体に生じる応力が、カット刃の前面側と後面側とにおいて釣り合うように制御されることを特徴としている。
【００２１】
この発明において、典型的には、切断工程によって形成される切断線が位置決め基準ブロックにより近づくに従って、後面側押圧体による押圧力が前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御される。
【００２２】
上述の場合、予め決定されたプログラムに基づいて、後面側押圧体による押圧力が前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御されることが好ましい。
【００２３】
また、切断工程によって形成される切断線の状態をセンシングしながら、次の切断工程での切断線の状態が適正になるように、前面側押圧体による押圧力と後面側押圧体による押圧力とが制御されるようにしてもよい。
【００２４】
この発明において、切断工程を終えた後、カット刃を上昇させる過程において、前面側押圧体および後面側押圧体による各押圧力をセラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしている状態が維持されることが好ましい。
【００２５】
また、前面側押圧体および後面側押圧体は、それぞれ、カット刃の前面および後面に接触するように配置されることが好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態による切断方法を実施するために用いられる切断装置２１の主要部を示す正面図である。
【００２７】
切断装置２１は、テーブル２２を備えている。このテーブル２２上には、相対向する主面２３および２４を有するセラミックグリーン成形体２５が置かれる。また、テーブル２２の一方端部から立ち上がるように位置決め基準ブロック２６が設けられている。セラミックグリーン成形体２５の第１の端面２７は、位置決め基準ブロック２６に当接する。このようにして、テーブル２２上において、セラミックグリーン成形体２５が位置決めされる。
【００２８】
なお、テーブル２２には、図示しないが、紙や樹脂などからなる通気性の下敷きシートを介してセラミックグリーン成形体２５に対して負圧を及ぼす多数の吸引口が設けられ、これら吸引口を通しての負圧によって、セラミックグリーン成形体２５がテーブル２２に対してより確実に位置決めされるように構成されてもよい。
【００２９】
テーブル２２に対して、セラミックグリーン成形体２５を介して対向するように、カット刃２８が配置されている。カット刃２８は、ホルダ２９によって保持され、ホルダ２９は、ベース部材３０に取り付けられている。ベース部材３０は、図示しない駆動源により、上下方向へ移動するように構成され、それによって、カット刃２８は、両方向矢印３１で示すように、下降および上昇の各方向への動作が可能なように構成される。カット刃２８がセラミックグリーン成形体２５の主面２３に向かって下降したとき、図２に示すように、セラミックグリーン成形体２５は押し切りによって切断され、そこに切断線３２が形成される。
【００３０】
テーブル２２とカット刃２８とは、図示しない駆動源により、両方向矢印３３で示す方向に相対的に移動可能なように構成される。この場合、カット刃２８の位置が固定され、テーブル２２の位置が移動可能に構成されることが多いが、これに代えて、テーブル２２の位置が固定され、カット刃２８の位置が移動可能に構成されても、あるいは、テーブル２２およびカット刃２８の双方の位置が移動可能に構成されてもよい。なお、テーブル２２が移動可能に構成される場合、位置決め基準ブロック２６もテーブル２２とともに移動するように構成される。
【００３１】
上述の相対的移動によって、カット刃２８による切断は、図２において矢印で示した切断進行方向３４に向かって進行する。カット刃２８の切断進行方向３４における前面側および後面側には、それぞれ、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６が配置されている。
【００３２】
前面側押圧体３５および後面側押圧体３６は、それぞれ、ベース部材３０に固定されたシリンダ３７および３８のピストンロッド３９および４０の端部に取り付けられる。したがって、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６は、カット刃２８とは独立して、両方向矢印３１で示した方向に移動可能であり、また、前面側押圧体３５と後面側押圧体３６とは、互いに独立して移動可能である。前面側押圧体３５および後面側押圧体３６は、それぞれ、シリンダ３７および３８の駆動によって、セラミックグリーン成形体２５の主面２３に向かって所望の押圧力を及ぼすように作用する。
【００３３】
図２には、切断装置２１が切断工程および移動工程を実施している状態が示されている。
【００３４】
まず、テーブル２２上に、前述したように、セラミックグリーン成形体２５が位置決めされる。
【００３５】
次に、セラミックグリーン成形体２５の主面２３に向かってカット刃２８を下降させることによって、セラミックグリーン成形体２５を押し切りにより切断する切断工程と、この切断工程の後に、テーブル２２とカット刃２８とを相対的に移動させることによって、セラミックグリーン成形体２５を、第１の端面２７と対向する第２の端面４１側から、順次、複数の切断線３２に沿って切断した状態とする移動工程とが交互に複数回繰り返される。
【００３６】
上述のように切断工程と移動工程とを交互に実施するため、テーブル２２とカット刃２８との相対的移動は、カット刃２８の下降および上昇の各方向への往復動作と関連付けて生じるように構成されている。すなわち、カット刃２８の下降および上昇の各動作を１回終えた後、テーブル２２とカット刃２８とが所定のピッチをもって相対的に移動されるように構成されている。
【００３７】
また、切断工程において、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６は、セラミックグリーン成形体２５の主面２３に接触し、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６による各押圧力が、セラミックグリーン成形体２５の主面２３に向かって及ぼされた状態とされる。
【００３８】
この場合、カット刃２８の下降および上昇動作は、ベース部材３０の上下動によって与えられるが、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６がセラミックグリーン成形体２５の主面２３に接触した状態で、カット刃２８が下降し得るように、シリンダ３７および３８が駆動される。言い換えると、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６が主面２３に当接した後においても、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６がその状態を維持しながら、カット刃２８がさらに下降し得るように、シリンダ３７および３８の動作が制御される。
【００３９】
また、前面側押圧体３５による押圧力と後面側押圧体３６による押圧力とは、切断工程においてセラミックグリーン成形体２５に生じる応力が、カット刃２８の前面側と後面側とにおいて釣り合うように制御される。前述した図６を参照して説明すれば、カット刃７の進入により、セラミックグリーン成形体１を弾性または塑性変形させるときの反力としての応力Ｆ１およびＦ２ならびに位置決め基準ブロック５からの反力Ｆ３に関して、Ｆ１＝Ｆ２＋Ｆ３となるように、前面側押圧体３５による押圧力と後面側押圧体３６による押圧力とが制御される。
【００４０】
より具体的には、切断工程によって形成される切断線３２が位置決め基準ブロック２６により近づくに従って、後面側押圧体３６による押圧力が前面側押圧体３５による押圧力より大きくなるように制御される。
【００４１】
これら押圧力の制御態様の一例が図３に示されている。図３において、縦軸は押圧力を示し、横軸は切断位置を示している。横軸に示した切断位置に関して、「切断開始」はセラミックグリーン成形体２５の第２の端面４１に最も近い切断位置を示し、「切断終了」は、セラミックグリーン成形体２５の第１の端面２７に最も近い切断位置を示している。また、押圧力を示す曲線において、「前」を付したものは、前面側押圧体３５による押圧力を示し、「後」を付したものは、後面側押圧体３６による押圧力を示している。
【００４２】
図３に示すように、切断を開始して、切断位置がセラミックグリーン成形体３５の切断進行方向３４における寸法の１／３程度に達するまでは、前面側押圧体３５による押圧力と後面側押圧力３６による押圧力とが互いに等しくされる。次に、切断位置が、セラミックグリーン成形体２５の切断進行方向３４における寸法の１／３を超えたあたりから、後面側押圧体３６による押圧力が前面側押圧体３５による押圧力より大きくなるように制御され、これら押圧力の差が、切断終了に至るまで、徐々に大きくなるように制御される。
【００４３】
上述のような後面側押圧体３６による押圧力の増加は、カット刃２８の後面側に生じる応力Ｆ１（図６参照）の増大をもたらす。したがって、セラミックグリーン成形体２５の未切断部分がより少なくなって、位置決め基準ブロック２６からの反力Ｆ３（図６参照）がより大きくなっても、セラミックグリーン成形体２５に生じる応力を、カット刃２８の前面側と後面側とにおいて釣り合うようにすることができる。そのため、図７に示したような斜め切断状態を実質的に生じないようにすることができる。
【００４４】
なお、図３に示すような押圧力の制御態様は、切断されるべきセラミックグリーン成形体２５の設計に応じて決まるものであるが、同じ設計のセラミックグリーン成形体２５を切断工程に付す場合には、予め決定されたプログラムに基づいて、押圧力を制御することが量産性の点で好ましい。
【００４５】
また、図３に示した押圧力の制御態様は一例にすぎない。たとえば、前面側押圧体３５による押圧力を一定としながら、後面側押圧体３６による押圧力のみをより大きくなるように制御しても、切断の開始時点から、後面側押圧体３６による押圧力を、前面側押圧体３５による押圧力より大きくしてもよい。また、押圧力を増大させ、または減少させる時点（切断位置）についても、種々に変更することができる。
【００４６】
以上のようにして、セラミックグリーン成形体２５の全域にわたって切断が実施され、セラミックグリーン成形体２５が短冊状に切断された後、通常、テーブル２２とカット刃２８とが相対的に９０度回転され、短冊状に切断されたセラミックグリーン成形体２５の一方端側から、前述したのと同様の切断工程および移動工程が実施される。
【００４７】
このようにして、切断を終えたとき、セラミックグリーン成形体２５は、複数のチップ形状を有する成形体に分割される。これらチップ状成形体は、次いで焼成された後、外部電極が焼き付けられることにより、たとえば積層セラミックコンデンサのようなセラミック電子部品が製造される。積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品の場合には、セラミックグリーン成形体２５は、特定の界面に沿って内部導体膜が形成された複数のセラミックグリーンシートの積層体をもって構成されるが、セラミックグリーン成形体２５は必ずしも積層体でなくてもよい。
【００４８】
前面側押圧体３５および後面側押圧体３６は、図示したように、それぞれ、カット刃２８の前面および後面に接触するように配置されることが好ましい。これによって、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６による、カット刃２８の動作方向を規制する作用を高めることができ、斜め切断状態をより生じさせにくくすることができる。
【００４９】
切断工程を終えた後、移動工程に入る前に、カット刃２８を上昇させる工程が実施されるが、このカット刃２８を上昇させる過程において、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６による各押圧力をセラミックグリーン成形体２５の主面２３に向かって及ぼしている状態が維持されることが好ましい。また、このときに及ぼす圧力は、切断時の圧力と同じでなくてもよい。このような動作は、シリンダ３７および３８の駆動を制御することによって実現される。
【００５０】
上述した好ましい実施態様によれば、カット刃２８の上昇に伴ってセラミックグリーン成形体２５がテーブル２２から持ち上がることを確実に防止することができる。そのため、カット刃２８の上昇速度を高め、切断工程から移動工程への切り替え時間の短縮を図れ、結果として、セラミックグリーン成形体２５の切断をより高速でかつ安定に行なうことができるようになる。
【００５１】
以上説明した実施態様では、予め決定されたプログラムに基づいて、後面側押圧体３６による押圧力が前面側押圧体３５による押圧力より大きくなるように制御されたが、以下に、図４および図５を参照して説明するように、切断工程と移動工程とを繰り返すことによって形成される切断線３２の状態をセンシングしながら、次の切断工程での切断線３２の状態が適正になるように、前面側押圧体３５による押圧力と後面側押圧体３６による押圧力とが制御されてもよい。
【００５２】
図４は、上述した制御を行なうためのフィードバック制御装置４２の構成を示すブロック図である。図５は、図４に示した斜め切断量計測装置４３の構成を示すブロック図である。
【００５３】
まず、図５を参照して、斜め切断量計測装置４３は、図７に示した斜め切断量Ａを計測するためのもので、切断線３２の状態をセンシングするためのカメラ４４を備えている。カメラ４４によって撮像された画像は、画像処理装置４５において処理される。また、切断タイミング検出装置４６は、たとえばカット刃２８の上昇を終えた直後に計測タイミング信号４７を出力し、この計測タイミング信号４７が入力されたタイミングをもって、画像処理装置４５が、斜め切断量Ａに対応するフィードバック信号４８を出力する。フィードバック信号４８は、図４において、斜め切断量計測装置４３の出力信号として図示されている。
【００５４】
図４を参照して、フィードバック制御装置３２に備える加算点４９では、上述のフィードバック信号４８と、目標値である斜め切断量Ａ＝０であることを示す基準入力信号５０とが比較され、この比較に基づいて、誤差信号５１が導出される。誤差信号５１は、シーケンサ５２に入力され、シーケンサ５２において、次の切断工程での前面側押圧体３５による押圧力と後面側押圧体３６による押圧力を補正するための演算処理が行なわれる。そして、この演算処理結果に基づく圧力制御信号５３が、シーケンサ５２から出力される。圧力制御信号５３は、押圧力制御装置５４に入力され、それによって、シリンダ３７および３８の各々の駆動の態様が制御される。その結果、斜め切断量Ａが制御量として取り出され、この斜め切断量Ａが、再び、斜め切断量計測装置４３によって計測される。
【００５５】
このように、実際の切断線３２の状態をセンシングしながら、次の切断工程での切断線３２の状態が適正になるように、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６の各々による押圧力を制御するようにすれば、より正確な制御が可能となるとともに、取り扱われるべきセラミックグリーン成形体２５の設計変更に迅速に対応することができ、また、カット刃２８の加圧精度の変動にも適正に対応することができる。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係るセラミックグリーン成形体の切断方法および切断装置によれば、カット刃の切断進行方向における前面側および後面側にそれぞれ配置される前面側押圧体および後面側押圧体による各押圧力をセラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしながら、切断工程が実施され、しかも、前面側押圧体による押圧力と後面側押圧体による押圧力とを、切断工程においてセラミックグリーン成形体に生じる応力がカット刃の前面側と後面側とにおいて釣り合うように制御するようにしている。そのため、セラミックグリーン成形体の第１の端面を位置決め基準ブロックに当接させた状態で切断工程と移動工程とを繰り返し、セラミックグリーン成形体を、第２の端面側から、順次、切断した状態とする切断方法を実施しても、切断位置に関わらず、斜め切断状態となることを防止しながら、安定した切断を行なうことができる。
【００５７】
したがって、セラミックグリーン成形体が、特定の界面に沿って内部導体膜を形成した複数のセラミックグリーンシートの積層体である場合には、内部導体膜の位置ずれや不所望な変形を防止し、また、不所望な箇所で内部導体膜が露出する不都合や、露出の必要な箇所で内部導体膜が露出しない不都合を生じさせないようにすることができる。
【００５８】
この発明において、切断工程によって形成される切断線が位置決め基準ブロックにより近づくに従って、後面側押圧体による押圧力が前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御すれば、簡単な制御によって、上述のように、カット刃の前面側と後面側とにおいて応力が釣り合うように制御することが可能になる。
【００５９】
上述の場合において、予め決定されたプログラムに基づいて、後面側押圧体による押圧力が前面側押圧体による押圧力より大きくなるように制御されると、同じ設計のセラミックグリーン成形体を、優れた量産性をもって、切断工程に付すことができる。
【００６０】
この発明において、切断工程によって形成される切断線の状態をセンシングしながら、次の切断工程での切断線の状態が適正になるように、前面側押圧体による押圧力と後面側押圧体による押圧力とが制御されると、より正確な制御が可能になるとともに、取り扱われるべきセラミックグリーン成形体の設計の変更に迅速に対応することができ、また、カット刃の加圧精度の変動にも適正に対応することができる。
【００６１】
切断工程を終えた後、カット刃を上昇させる過程において、前面側押圧体および後面側押圧体による各押圧力をセラミックグリーン成形体の主面に向かって及ぼしている状態が維持されると、カット刃の上昇速度が高められても、カット刃の上昇に伴ってセラミックグリーン成形体がテーブルから浮き上がることを確実に防止できる。したがって、切断工程から移動工程に至る切り替え時間を短縮でき、切断をより高速でかつ安定に行なうことができる。
【００６２】
前面側押圧体および後面側押圧体が、それぞれ、カット刃の前面および後面に接触するように配置されると、前面側押圧体および後面側押圧体によるカット刃の動作方向を規制する作用が高められ、斜め切断状態をより確実に防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による切断方法を実施するために用いられる切断装置２１の主要部を示す正面図である。
【図２】図１に示した切断装置２１によって切断工程および移動工程を実施している状態を示す正面図である。
【図３】図２に示した前面側押圧体３５および後面側押圧体３６の各々が及ぼす押圧力と切断位置との関係の好ましい例を示す図である。
【図４】この発明の他の実施形態を説明するためのものであって、前面側押圧体３５および後面側押圧体３６が及ぼす押圧力の制御を行なうためのフィードバック制御装置４２の構成を示すブロック図である。
【図５】図４に示した斜め切断量計測装置４３の構成を示すブロック図である。
【図６】この発明にとって興味ある従来技術を説明するためのもので、セラミックグリーン成形体１を切断する工程を実施している状態を示す正面図である。
【図７】この発明が解決しようとする課題を説明するためのもので、斜め切断状態となったセラミックグリーン成形体１を示す正面図である。
【符号の説明】
２１  切断装置
２２  テーブル
２３，２４  主面
２５  セラミックグリーン成形体
２６  位置決め基準ブロック
２７  第１の端面
２８  カット刃
３４  切断進行方向
３５  前面側押圧体
３６  後面側押圧体
３７，３８  シリンダ
４１  第２の端面
４２  フィードバック制御装置
４３  斜め切断量計測装置
４４  カメラ
４５  画像処理装置
４８  フィードバック信号
５２  シーケンサ
５３  圧力制御信号
５４  押圧力制御装置
Ｆ１，Ｆ２  カット刃進入による応力
Ｆ３  位置決め基準ブロックからの反力
Ａ  斜め切断量
【図１】
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【図２】
2004276140.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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