(57)【要約】【課題】効率の高い圧電トランスを提供する。【解決手段】圧電トランス１は、入力側圧電素子２と出力側圧電素子３とが絶縁板４を介して厚み方向に積み重ねられた構造を有する。出力側圧電素子３に設けられた出力電極１４ａと入力側圧電素子２に設けられた入力電極１２との間に絶縁板４が挟まれることによって形成される寄生容量を、出力側圧電素子３の出力容量の６０％以下とした。【選択図】　図１
2004127991.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力側圧電素子と出力側圧電素子とが絶縁板を介して厚み方向に積み重ねられた圧電トランスであって、
前記出力側圧電素子に設けられた出力電極と前記入力側圧電素子に設けられた入力電極との間に前記絶縁板が挟まれることによって形成される寄生容量が、前記出力側圧電素子の出力容量の６０％以下であることを特徴とする圧電トランス。
【請求項２】
入力側圧電素子と出力側圧電素子とが絶縁板を介して厚み方向に積み重ねられた圧電トランスであって、
前記絶縁板の比誘電率が１００以下であることを特徴とする圧電トランス。
【請求項３】
前記入力側圧電素子は、圧電セラミックス薄板と電極膜が交互に積み重ねられ、前記電極膜が一層おきに接続された構成を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電トランス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蛍光灯点灯用の高圧電源等に用いられる圧電トランスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶表示装置のバックライト点灯用電源部品等として、圧電トランスが広く用いられている。例えば、特開平１１−２０４８５２号公報には、図８に示すように、常誘電セラミックス層９１を第１圧電セラミックス層９２ａおよび第２圧電セラミックス層９２ｂで挟み込んだ３層構造の圧電トランス９０が開示されている。第１圧電セラミックス層９２ａの表裏面には一対の入力電極９３が形成され、第２圧電セラミックス層９２ｂの長手方向端面には一対の出力電極９４が形成されている。第１圧電セラミックス層９２ａは厚み方向に分極され、第２圧電セラミックス層９２ｂは長手方向に分極されている。
【０００３】
このような圧電トランス９０においては、第１圧電セラミックス層９２ａに圧電横効果を利用した振動を生じさせて圧電トランス９０全体を長さ方向に励振し、第２セラミックス層９２ｂの圧電縦効果を利用して電力を取り出す。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−２０４８５２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
圧電トランス９０においては、入力電極９３のうち常誘電セラミックス層９１側に設けられたものと、出力電極９４との間に大きな電位差が生ずる。このために、常誘電セラミックス層９１の電気的性質が圧電トランス９０の効率に大きな影響を与えるものと考えられる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、効率の高い圧電トランスを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、入力側圧電素子と出力側圧電素子とが絶縁板を介して厚み方向に積み重ねられた圧電トランスであって、
前記出力側圧電素子に設けられた出力電極と前記入力側圧電素子に設けられた入力電極との間に前記絶縁板が挟まれることによって形成される寄生容量が、前記出力側圧電素子の出力容量の６０％以下であることを特徴とする圧電トランス、が提供される。
【０００７】
また、本発明によれば、入力側圧電素子と出力側圧電素子とが絶縁板を介して厚み方向に積み重ねられた圧電トランスであって、
前記絶縁板の比誘電率が１００以下であることを特徴とする圧電トランス、が提供される。
【０００８】
これらの圧電トランスによれば、入力電極と出力電極との間の寄生容量が小さいために圧電トランス内での電力消費が抑制され、これによって高い昇圧比および効率を得ることができる。また、圧電トランスをグリーンシートを用いた一体焼成法により製造した場合においては、出力側圧電素子の分極処理時に出力電極と入力電極との間で絶縁破壊が発生することを防止することができる。さらに、圧電トランスの駆動時に、出力電極と入力電極との間にかかる高電圧によって圧電トランスが絶縁破壊することが防止される。
【０００９】
本発明に係る圧電トランスにおいては、入力側圧電素子を、圧電セラミックス薄板と電極膜が交互に積み重ねられ、この電極膜が一層おきに接続された積層構造とすることが好ましい。これにより低電圧駆動が可能となり、しかも高い昇圧比を得ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の圧電トランスの一実施形態を示す斜視図であり、図２はその概略断面図である。圧電トランス１は、入力側圧電素子２と出力側圧電素子３とが絶縁板４を介して厚み方向に積み重ねられた構成を有する。
【００１１】
入力側圧電素子２は、厚み方向に分極された複数枚の圧電セラミックス薄板１１と薄膜状の入力電極１２とが交互に積み重ねられた構造を有している。入力電極１２は一層おきに電気的に接続されている。入力側圧電素子２をこのような積層構造とすることによって、駆動電圧を下げて昇圧比を大きくすることができる。図１では正面側で下から２番目と４番目の入力電極１２が外部電極１６によって接続された状態が示されており、背面側では、図示しないが、下から１番目、３番目、５番目の入力電極１２が接続されている。外部電極１６にはリード線を取り付けることができる。なお、図２では複数の入力電極１２の接続形態は模式的に示してある。
【００１２】
なお、例えば、圧電トランス１をλ／２モードで駆動すると圧電トランス１の長手方向中央が振動の節となって殆ど振動しなくなる。このために、図１に示すように、外部電極１６を圧電トランス１の長手方向中央部に設けることにより、圧電トランス１を駆動した際の振動によって、外部電極１６に接続されるリード線が剥離脱落することを抑制することができる。
【００１３】
出力側圧電素子３は、圧電セラミックス板１３の長手方向の中央部と両端に一対の出力電極１４ａ・１４ｂが設けられた構成を有している。圧電セラミックス板１３の両端に設けられた２つの出力電極１４ｂは接地されて同電位とされている。また、圧電セラミックス板１３の長手方向の中央部に設けられた出力電極１４ａは、帯状電極１５が厚み方向にほぼ一定間隔で圧電セラミックス板１３の内部に埋設され（図２）、これらの帯状電極１５が圧電セラミックス板１３の側面において短絡された構成となっている。圧電セラミックス板１３において出力電極１４ａと２箇所に設けられた出力電極１４ｂに挟まれた２つの部分は、出力電極１４ａを挟んで対称な向きとなるように圧電セラミックス板１３の長手方向に分極処理されている。
【００１４】
このような構成を有する圧電トランス１においては、入力電極１２に所定周波数の駆動電圧を印加すると、圧電セラミックス薄板１１が圧電横効果によって振動し、これにより圧電トランス１０全体を例えばλ／２モード等の振動モードで振動させることができる。このとき、出力側圧電素子３においては、圧電セラミックス板１３の圧電縦効果によって高い電圧が発生し、出力電極１４ａ・１４ｂから電力が取り出される。
【００１５】
圧電トランス１は、例えば、次に記す工程にしたがって製造することができる。まず、ドクターブレード法や押出成形法等の種々のシート成形技術を用いて、チタン酸ジルコン酸鉛系等の圧電セラミックス粉末をシート状に成形する。得られた帯状のグリーンシートから打ち抜き金型によるパンチングや切り抜き等の方法によって、所定枚数の同形状の長方形シートを作製する。
【００１６】
複数の所定枚数の長方形シートの表裏面に、銀／パラジウムペーストや白金ペースト等の電極ペーストを所定のパターンで印刷する（以下、この長方形シートを「第１シート」と記す）。図３（ａ）は、電極ペーストが印刷された第１シート１８の一例を示す平面図であり、電極ペーストの塗布領域が斜線で示されている。この第１シート１８に印刷された電極は焼成後に入力電極１２となる。なお、図３（ａ）において、略長方形の塗布領域間に設けられた電極ペーストが塗布されていない細い隙間は、後の切断により削除される部分であり、半円形の無印刷領域は、後に外部電極１６を形成した際に、一層おきに入力電極１２を接続させるために設けられている。
【００１７】
第１シート１８とは別に、長方形シートの対向する短辺の中央を結ぶように、複数の所定枚数の長方形シートの表面に、銀／パラジウムペースト等の電極ペーストを所定幅で帯状に印刷する（以下、この長方形シートを「第２シート」と記す）。図３（ｂ）はこの第２シート１９の平面図であり、電極ペーストの塗布領域が斜線で示されている。なお、第２シート１９に印刷された帯状の電極は焼成後に圧電セラミックス板１３に埋設された帯状電極１５となる。
【００１８】
入力側圧電素子２を形成するために、複数の所定枚数の第１シート１８を、無印刷領域の向きが１層おきに反対向きになるように１８０度回転させて積み重ね、その上に、絶縁板４を形成するために、電極ペーストが印刷されていない長方形シートを所定枚数積み重ね、さらにその上に、出力側圧電素子３を形成するために、第２シート１９を所定枚数積み重ねる。次いで、このシート積層体を熱プレス処理することによって一体化（熱圧着）し、得られた熱圧着体を所定温度で焼成する。こうして焼成板が得られる。
【００１９】
得られた焼成板の周縁部（第１シート１８において電極ペーストが印刷されていなかった周縁部分）を切断して切り落とす。次いで、第１シート１８に設けられた略長方形の塗布領域どうしの間の細い隙間に相当する部分を、第１シート１８に印刷された電極ペーストが焼成されて形成された入力電極１２が切断面に現れるように、焼成板の短辺に平行に一定幅で切断する。こうして複数の矩形体が得られる。各矩形体の側面に現れた入力電極１２には、一層おきに無印刷領域が現れる。また、各矩形体の側面には、第２シート１９に印刷された電極ペーストが焼成されて形成された帯状電極１５が露出する。
【００２０】
矩形体において、第１シートから形成された部分の平面（裏面）に銀ペーストを印刷し、かつ、入力電極１２が一層おきに接続されるように第１シートから形成された部分の長手方向の中央部に銀ペーストを塗布する。また、出力電極１４ｂを形成するために、第２シートから形成された部分の長手方向の端面に銀ペーストを塗布する。さらに、出力電極１４ａを形成するために、第２シートから形成された部分の長手方向の中央部（側面および平面（上面））に帯状電極１５が導通するように銀ペーストを塗布する。このように所定位置に銀ペーストが塗布された矩形体を所定の温度で焼成して、銀ペーストを焼き付ける。
【００２１】
一層おきに接続された入力電極１２に所定の分極電圧を印加することによって、入力電極１２の間の圧電セラミックス薄板１１を分極処理する。また、出力電極１４ａ・１４ｂ間に所定の分極電圧を印加することによって、出力電極１４ａ・１４ｂ間の圧電セラミックス部を分極処理する。
【００２２】
図４は、このようにして製造された圧電トランス１の効率と絶縁板４の厚みとの関係を示すグラフである。なお、圧電トランス１の長さは２１ｍｍ、圧電トランス１の幅は７．６ｍｍ、入力側圧電素子２の厚みは１．５ｍｍ、出力側圧電素子３の厚みは２．４ｍｍ、絶縁板４（分極処理せず）の比誘電率は２０００、出力電極１４ａの幅は１．５ｍｍ、である。
【００２３】
図４から、絶縁板４の厚みが薄いと圧電トランス１の効率は低く、高い効率を得るためには絶縁板４を厚くしなければならないことがわかる。これは、出力電極１４ａと入力電極１２（最も絶縁板４に近い位置にある入力電極）との間に絶縁板４が挟まれることによって形成される容量、つまり、絶縁板４に起因する容量（以下「寄生容量」という）が、絶縁板４の厚みが薄い場合に大きくなるために、本来出力されるべき電流がこの寄生容量に流れ込んで出力されなくなり、圧電トランス１の内部で消費されてしまうことによるものと考えられる。
【００２４】
絶縁板４に起因する寄生容量の大きさは、絶縁板４の厚みや幅、材質および入力電極１２と出力電極１４ａの電極面積等によって変化する。しかしここで、出力側圧電素子３の出力容量に対して絶縁板４に起因する寄生容量が大きければ効率は低下し、逆に、出力側圧電素子３の出力容量に対して絶縁板４に起因する寄生容量が小さければ効率は高くなることに着目すると、圧電トランス１の効率を、絶縁板４に起因する寄生容量と出力側圧電素子３の出力容量の比で規定することによって、圧電トランス１の大きさや絶縁板４の厚み等の因子を排除した状態で、高い効率を得るために必要な寄生容量の許容範囲を知ることができる。
【００２５】
図５は、出力側圧電素子３の出力容量に対する絶縁板４に起因する寄生容量の大きさの割合と効率との関係を示すグラフである。図５より、９０％以上の効率を得るためには、出力側圧電素子３の出力容量に対する絶縁板４に起因する寄生容量の割合が、６０％以下でなければならないことがわかる。
【００２６】
なお、図４から、絶縁板４の厚みを３ｍｍとしても効率は８０％に留まっていることがわかる。これは、絶縁板４が厚くなってその機械的強度が増すと、圧電トランス１自体が振動し難くなり、これによって出力側圧電素子３に十分な応力が発生しなくなるためと考えられる。したがって、出力側圧電素子３の出力容量に対する絶縁板４に起因する寄生容量の割合が６０％以下であっても、絶縁板４の厚みは圧電トランス１全体の振動が抑制されない範囲に設定することが好ましい。
【００２７】
次に、圧電トランス１の別の製造方法について説明する。先に説明した圧電トランス１の製造方法に準じて、複数の第１シートおよび第２シートを製造する。所定枚数の第１シートを、電極ペーストの無印刷領域の向きが１層おきに反対向きとなるように、１８０度回転させて積み重ねて熱プレス処理する。これにより第１シートどうしが熱圧着されて一体化された第１の板材が得られ、この第１の板材を所定温度で焼成することによって第１の圧電板が得られる。また、所定枚数の第２シートを積層して熱プレス処理することによって、第２シートどうしが熱圧着され、第２の板材が得られる。この第２の板材を所定温度で焼成することによって第２の圧電板が得られる。
【００２８】
第１の圧電板の表裏面の所定位置に、後に一層おきに入力電極１２を接続できるように、所定のパターンで銀ペーストを印刷して焼成する。続いて、銀ペーストが焼き付けられた第１の圧電板の周縁部を切り落とし、さらに、第１シート１８に設けられた略長方形の塗布領域どうしの間の細い隙間に相当する部分を、第１シート１８に印刷された電極ペーストが焼成されて形成された入力電極１２が切断面に現れるように、焼成板の短辺に平行に一定幅で切断する。これにより第１の矩形体が得られる。
【００２９】
また、第２の圧電板を、第１の圧電板と同様に切断することによって、第１の矩形体と同じ幅および長さを有する第２の矩形体を作製する。
【００３０】
入力電極１２が一層おきに接続されるように、第１の矩形体の側面中央部に銀ペーストを塗布する。また、出力電極１４ｂを形成するために、第２の矩形体の長手方向の端面に銀ペーストを塗布する。さらに、第２の矩形体の長手方向の中央部の側面および表裏面に帯状電極１５が導通するように銀ペーストを塗布する。こうして、所定位置に銀ペーストが塗布された第１および第２の矩形体を所定の温度で焼成して、銀ペーストを焼き付ける。
【００３１】
絶縁板４は、このような第１の矩形板と第２の矩形板の製造工程から電極を形成する工程を除いた製造工程、つまり、グリーンシートの製造、長方形シートの打ち抜き、長方形シートの積層、熱圧着、焼成、切断という一連の工程によって製造することができる。なお、製造するグリーンシートの厚みとパンチング等によって打ち抜く大きさを所望する絶縁板４の形状に適合させれば、グリーンシートを積層して熱圧着する工程と、焼成後の切断工程を省略することができる。絶縁板４は圧電セラミックスである必要はない。
【００３２】
第１の矩形体を分極処理することによって入力側圧電素子２が得られ、第２の矩形体を分極処理することによって出力側圧電素子３が得られる。入力側圧電素子２と出力側圧電素子３との間に絶縁板４が挟まれるようにして、これらを接着剤で接着する。こうして圧電トランス１が作製される。
【００３３】
図６は、比誘電率の異なる種々の材料から製造した絶縁板４を用い、上述した製造方法にしたがって製造された圧電トランス１の効率と絶縁板４の比誘電率との関係を示すグラフである。ここで、圧電トランス１の長さは２１ｍｍ、圧電トランス１の幅は７．６ｍｍ、入力側圧電素子２の厚みは１．５ｍｍ、出力側圧電素子３の厚みは２．４ｍｍ、絶縁板４の厚みは０．３ｍｍ、である。
【００３４】
図６から、同じ厚みの絶縁板４を備えた圧電トランス１では、絶縁板４の比誘電率が小さいほど効率が高くなることがわかる。これは、比誘電率の小さい絶縁板４を用いると絶縁板４に起因する寄生容量が小さくなるために、圧電トランス１の内部で消費される電流が少なくなることによる。図６からは、比誘電率が１００以下の絶縁板４を用いれば、９０％以上の効率が得られることがわかる。
【００３５】
しかし、絶縁板４の比誘電率が１００以下と小さい場合であっても、絶縁板４の厚みが薄くなると絶縁板４に起因する寄生容量は増大する。したがって、先に説明したように、絶縁板４の比誘電率が１００以下と小さい場合であっても、出力側圧電素子３の出力容量に対する絶縁板４に起因する寄生容量の割合が６０％以下となるように圧電トランス１の構成を調整することが好ましい。
【００３６】
絶縁板４が一定の厚みを有する場合において、絶縁板４の比誘電率が小さければ、絶縁抵抗が大きくなる。圧電トランス１の駆動時には、絶縁板４側の入力電極１２と出力電極１４ａとの間に高電圧がかかることになるが、絶縁板４の絶縁抵抗が大きいと、この入力電極１２と出力電極１４ａとの間での放電の発生による絶縁破壊が防止される。逆に、絶縁板４の比誘電率が小さい場合には、所定の絶縁抵抗が確保される範囲で絶縁板４の厚みを薄くすることができるため、圧電トランス１を薄型化することができる。また、絶縁板４を薄型化すると、圧電トランス１全体を効率的に振動させることができるため、効率が高められる。
【００３７】
絶縁板４として用いることができる比誘電率の小さい材料としては、種々の絶縁性セラミックス、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、ムライト（３Ａｌ２Ｏ３−２ＳｉＯ２）等を挙げることができる。また、絶縁板４として絶縁性ガラスを用いることもできる。絶縁板４としてガラス材料を用いる際には、例えば、一定の大きさの薄板ガラスから所望する矩形のガラス板を切り出せばよい。
【００３８】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記形態に限定されるものではない。例えば、グリーンシートを積層して圧電トランス１を一体的に形成する製造方法（一体焼成法）を用いる場合においては、絶縁板４を形成するためのグリーンシートとして、入力側圧電素子２や出力側圧電素子３を形成するための圧電セラミックスのグリーンシートと同時焼成が可能な、絶縁セラミックスのグリーンシートや圧電セラミックスと絶縁性セラミックスとの混合材料のグリーンシート等、を用いることもできる。これにより、一体焼成法によっても、比誘電率の小さい絶縁板を具備する圧電トランス１を製造することができる。また、圧電セラミックスと絶縁性セラミックスの混合比の異なる種々のグリーンシートを製造すれば、表裏面は圧電セラミックスに近い組成であるが、厚み方向の中央部が絶縁セラミックスとなっているような組成傾斜機能型の絶縁板４を形成することも可能である。
【００３９】
上記説明においては、圧電トランス１の製造方法として、複数の圧電トランス１を１枚の焼成体から切り出す方法を示したが、帯状のグリーンシートから圧電トランス１の１個分の大きさの矩形シートを打ち抜いて、その後に、電極ペースト印刷、積層、熱圧着、焼成、（側面研削）、電極ペースト塗布、電極焼き付けという工程にしたがって、圧電トランス１を製造することができることはいうまでもない。また、入力側圧電素子２における外部電極１６の形成位置は、圧電トランス１の長手方向中央部に限定されるものではない。
【００４０】
本発明に係る圧電トランスの構造は、図１および図２に示したものに限定されない。例えば、図１および図２に示した圧電トランス１は、積層構造を有する入力側圧電素子２を備えているが、入力側圧電素子は、１枚の圧電セラミックス板の表裏面に一対の入力電極が形成された単板型の圧電素子であっても構わない。また、出力側圧電素子３の形態として、矩形の圧電セラミックス板の長手方向の中央部と両端面にそれぞれ出力電極１４ａ・１４ｂが設けられた形態を示したが、出力側圧電素子は、長手方向の両端部に一対の出力電極を有する圧電素子であっても構わない。このような場合においても、出力電極と入力電極との間に挟まれた絶縁板に起因する寄生容量が、圧電トランスの効率に影響を与えることに変わりはない。
【００４１】
本発明に係る圧電トランスの形状は矩形に限定されない。例えば、図７は円盤形の圧電トランス５の構造を示す説明図である。圧電トランス５は、円盤状の入力側圧電素子６と出力側圧電素子７との間に絶縁板８が挟まれ、互いに接着剤で貼り合わされた構造を有する。なお、この接着層は図７に図示していない。
【００４２】
入力側圧電素子６は、圧電セラミックス円板２１の表裏面に入力電極２２ａ・２２ｂが形成された構造を有している。また、出力側圧電素子７は、圧電セラミックス円板２３の中央部と端面に一対の出力電極２４ａ・２４ｂが形成された構造を有している。出力電極２４ａは、圧電セラミックス円板２３の中心部において厚み方向に一定間隔で埋設され、かつ、スルーホール電極２６によって互いに導通している複数の円形電極２５から構成されている。このような出力側圧電素子７は圧電トランス１の出力側圧電素子３と同様に、グリーンシートを用いた一体焼成法を用いて容易に製造することができる。
【００４３】
圧電トランス５においては、円形電極２５と入力電極２２ａの間に挟まれた絶縁板８に起因する寄生容量の大きさが効率に影響を与える。したがって、圧電トランス５の外径が一定の場合には、円形電極２５の面積を調整することによって、絶縁板８に起因する寄生容量と出力側圧電素子７の出力容量とのバランスを調整することができる。なお、圧電トランス５においては、出力側圧電素子７として、内周面と外周面にそれぞれ電極が形成された円環形状の圧電セラミックス素子を用いてもよい。
【００４４】
【発明の効果】
上述の通り、本発明の圧電トランスによれば、入力側圧電素子と出力側圧電素子に挟まれた絶縁板に起因する寄生容量が小さいために、圧電トランス内部での電力消費が抑制され、これによって高い昇圧比および効率が得られる。また、圧電トランスをグリーンシートを用いた一体焼成法により製造した場合においては、出力側圧電素子の分極処理時に出力電極と入力電極との間で絶縁破壊が発生することを防止することができるため、歩留まりを高めることができる。さらに、圧電トランスの駆動時に、出力電極と入力電極との間にかかる高電圧によって圧電トランスが絶縁破壊することが防止されるため、信頼性が高められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電トランスの一実施形態を示す斜視図。
【図２】図１に示す圧電トランスの断面図。
【図３】電極ペーストが印刷された長方形グリーンシートの一実施形態を示す平面図。
【図４】圧電トランスの効率と絶縁板の厚みとの関係を示す説明図。
【図５】圧電トランスの効率と出力容量に対する寄生容量比との関係を示す説明図。
【図６】圧電トランスの効率と絶縁板の比誘電率との関係を示す説明図。
【図７】本発明の圧電トランスの別の実施形態を示す説明図。
【図８】圧電トランスの断面図。
【符号の説明】
１；圧電トランス、２；入力側圧電素子、３；出力側圧電素子、４；絶縁板、５；圧電トランス、６；入力側圧電素子、７；出力側圧電素子、８；絶縁板、１１；圧電セラミックス薄板、１２；入力電極、１３；圧電セラミックス板、１４ａ・１４ｂ；出力電極、１５；帯状電極、１６；外部電極、１８；第１シート、１９；第２シート、２１；圧電セラミックス円板、２２ａ・２２ｂ；入力電極、２３；圧電セラミックス円板、２４ａ・２４ｂ；出力電極、２５；円形電極、２６；スルーホール電極、９０；圧電トランス、９１；常誘電セラミックス層、９２ａ；第１圧電セラミックス層、９２ｂ；第２圧電セラミックス層、９３；入力電極、９４；出力電極
【図１】
2004127991.tif 000003
【図２】
2004127991.tif 000004
【図３】
2004127991.tif 000005
【図４】
2004127991.tif 000006
【図５】
2004127991.tif 000007
【図６】
2004127991.tif 000008
【図７】
2004127991.tif 000009
【図８】
2004127991.tif 000010