(57)【要約】【課題】  検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、従って、良好な電気的接続状態を安定に維持することができるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用を提供すること。【解決手段】  本発明のシート状プローブは、それぞれ接続すべき電極に対応するパターンに従って配置された、表面に露出する表面電極部および裏面に露出する裏面電極部を有する複数の電極構造体が、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜に保持されてなる接点膜と、この接点膜を支持するフレーム板とを具えてなる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ接続すべき電極に対応するパターンに従って配置された、表面に露出する表面電極部および裏面に露出する裏面電極部を有する複数の電極構造体が、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜に保持されてなる接点膜と、
この接点膜を支持するフレーム板と
を具えてなることを特徴とするシート状プローブ。
【請求項２】
回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、金属よりなるフレーム板と、このフレーム板の各貫通孔の周辺部に支持された複数の接点膜とを具えてなり、
前記接点膜の各々は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記電極領域における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部を有する電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とするシート状プローブ。
【請求項３】
回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板上に配置されて支持された接点膜とを具えてなり、
前記接点膜は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部を有する電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とするシート状プローブ。
【請求項４】
互いに独立した複数の接点膜が、フレーム板の表面に沿って並ぶよう配置されていることを特徴とする請求項３に記載のシート状プローブ。
【請求項５】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項６】
電極構造体のピッチが４０〜２５０μｍであり、電極構造体の総数が５０００個以上であることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項７】
電極構造体における表面電極部は、絶縁膜の表面から突出する突起状のものであることを特徴とする請求項２乃至請求項６のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項８】
電極構造体における表面電極部の径に対する突出高さの比が０．２〜３であることを特徴とする請求項７に記載のシート状プローブ。
【請求項９】
電極構造体は、表面電極部および裏面電極部が絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１０】
電極構造体における裏面電極部は、フレーム板を構成する金属と同一の金属よりなる部分を有することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１１】
電極構造体における裏面電極部には、高導電性金属よりなる被覆膜が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１２】
フレーム板の線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のシート状プローブ。
【請求項１３】
請求項９に記載のシート状プローブを製造する方法であって、
フレーム板形成用金属板と、このフレーム板形成用金属板上に一体的に積層された絶縁膜形成用シートとを有する積層体を用意し、
この積層体における絶縁膜形成用樹脂シートに、形成すべき電極構造体のパターンに対応するパターンに従って貫通孔を形成し、当該積層体に対してメッキ処理を施すことにより、当該絶縁膜形成用樹脂シートの貫通孔内に形成され、前記フレーム板形成用金属板に連結された短絡部および当該短絡部に連結された表面電極部を形成し、
その後、前記フレーム板形成用金属板をエックング処理することにより、貫通孔が形成されたフレーム板を形成する工程を有することを特徴とするシート状プローブの製造方法。
【請求項１４】
フレーム板形成用金属板をエッチング処理することにより、貫通孔が形成されたフレーム板を形成すると共に、当該フレーム板形成用金属板の一部によって、短絡部に連結された裏面電極部を形成することを特徴とする請求項１３に記載のシート状プローブの製造方法。
【請求項１５】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のシート状プローブを具えてなることを特徴とするプローブカード。
【請求項１６】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブカードであって、
検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面上に配置された異方導電性コネクターと、この異方導電性コネクター上に配置された、請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のシート状プローブとを具えてなることを特徴とするプローブカード。
【請求項１７】
請求項１５に記載のプローブカードを具えてなることを特徴とする回路装置の検査装置。
【請求項１８】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置であって、
請求項１６に記載のプローブカードを具えてなることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項１９】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々を、請求項１６に記載のプローブカードを介してテスターに電気的に接続し、当該ウエハに形成された集積回路の電気的検査を実行することを特徴とするウエハ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用に関し、更に詳しくは例えばウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、多数の集積回路が形成されたウエハや、半導体素子等の電子部品などの回路装置の電気的検査においては、被検査回路装置の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査用電極を有するプローブ装置が用いられている。かかるプローブ装置としては、従来、ピンまたはブレードよりなる検査用電極（検査プローブ）が配列されてなるものが使用されている。
然るに、被検査回路装置が多数の集積回路が形成されたウエハである場合において、当該ウエハ検査用のプローブ装置を作製するためには、非常に多数の検査プローブを配列することが必要となるので、当該プローブ装置は極めて高価なものとなり、また、被検査電極のピッチが小さい場合には、プローブ装置を作製すること自体が困難となる。更に、ウエハには、一般に反りが生じており、その反りの状態も製品（ウエハ）毎に異なるため、当該ウエハにおける多数の被検査電極に対して、プローブ装置の検査プローブの各々を安定にかつ確実に接触させることは実際上困難である。
【０００３】
以上のような理由から、最近においては、一面に被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の検査用電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の一面上に配置された異方導電性シートと、この異方導電性シート上に配置された、絶縁性シートにその厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体が配列されてなるシート状プローブとを具えてなるプローブカードが提案されている（例えば特許文献１および特許文献２参照）。
【０００４】
かかるプローブカードにおけるシート状プローブについて具体的に説明すると、図４２に示すように、このシート状プローブ９０は、例えばポリイミドなどの樹脂よりなる柔軟な円形の絶縁性シート９１を有し、この絶縁性シート９１には、その厚み方向に伸びる複数の電極構造体９５が被検査回路装置の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この電極構造体９５の各々は、絶縁性シート９１の表面に露出する突起状の表面電極部９６と、絶縁性シート９１の裏面に露出する板状の裏面電極部９７とが、絶縁性シート９１をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部９８を介して一体に連結されて構成されている。また、絶縁性シート９１の周縁部には、例えばセラミックスよりなるリング状の保持部材９２が設けられている。この保持部材９２は、絶縁性シート９１の面方向における熱膨張を制御するためのものであって、これにより、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体９５と被検査電極との位置ずれが防止される。
【０００５】
しかしながら、このようなシート状プローブにおいては、以下のような問題がある。
例えば直径が８インチ以上のウエハにおいては、５０００個または１００００個以上の被検査電極が形成されており、当該被検査電極のピッチは１６０μｍ以下である。このようなウエハの検査を行うためのシート状プローブとしては、当該ウエハに対応した大面積のものであって、５０００個または１００００個以上の電極構造体が１６０μｍ以下のピッチで配置されてなるものを用いることが必要となる。
而して、ウエハを構成する材料例えばシリコンの線熱膨張係数は３．３×１０-6／Ｋ程度であり、一方、シート状プローブにおける絶縁性シートを構成する材料例えばポリイミドの線熱膨張係数は４．５×１０-5／Ｋ程度である。従って、例えば２５℃において、それぞれ直径が３０ｃｍのウエハおよびシート状プローブの各々を、２０℃から１２０℃までに加熱した場合には、理論上、ウエハの直径の変化は９９μｍにすぎないが、シート状プローブにおける絶縁性シートの直径の変化は１３５０μｍに達し、両者の熱膨張の差は、１２５１μｍとなる。
このように、ウエハとシート状プローブにおける絶縁性シートとの間で、面方向における熱膨張の絶対量に大きな差が生じると、絶縁性シートの周縁部をウエハの線熱膨張係数と同等の線熱膨張係数を有する保持部材によって固定しても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止することは困難であるため、良好な電気的接続状態を安定に維持することができない。
また、検査対象が小型の回路装置であっても、その被検査電極のピッチが５０μｍ以下のものである場合には、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止することは困難であるため、良好な電気的接続状態を安定に維持することができない。
【０００６】
このような問題点に対して、特許文献１には、絶縁性シートに張力を作用させた状態で保持部材に固定することにより、当該絶縁性シートの熱膨張を緩和する手段が提案されている。
然るに、このような手段においては、絶縁性シートに対してその面方向における全ての方向について均一に張力を作用させることは極めて困難であり、また、電極構造体を形成することによって絶縁性シートに作用する張力のバランスが変化し、その結果、当該絶縁性シートは熱膨張について異方性を有するものとなるため、面方向における−方向の熱膨張を抑制することが可能であっても、当該一方向と交差する他の方向の熱膨張を抑制することができず、結局、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを防止することができない。
また、絶縁性シートをこれに張力を作用させた状態で保持部材に固定するためには、加熱下において絶縁性シートを保持部材に接着する、という煩雑な工程が必要となるため、製造コストの増大を招く、という問題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１５５６５号公報
【特許文献２】特開２００２−１８４８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、従って、良好な電気的接続状態を安定に維持することができるシート状プローブを提供することにある。
本発明の第２の目的は、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、従って、良好な電気的接続状態が安定に維持されるシート状プローブを製造することができる方法を提供することにある。
本発明の第３の目的は、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、良好な電気的接続状態を安定に維持することができるプローブカードを提供することにある。
本発明の第４の目的は、上記のプローブカードを具えた回路装置の検査装置を提供することにある。
本発明の第５の目的は、上記のプローブカードを具えたウエハ検査装置を提供することにある。
本発明の第６の目的は、上記のプローブカードを使用したウエハ検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のシート状プローブは、それぞれ接続すべき電極に対応するパターンに従って配置された、表面に露出する表面電極部および裏面に露出する裏面電極部を有する複数の電極構造体が、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜に保持されてなる接点膜と、
この接点膜を支持するフレーム板と
を具えてなることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のシート状プローブは、回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成された、金属よりなるフレーム板と、このフレーム板の各貫通孔の周辺部に支持された複数の接点膜とを具えてなり、
前記接点膜の各々は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記電極領域における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部を有する電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とする。
【００１１】
このようなシート状プローブによれば、フレーム板には、検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の貫通孔が形成されており、これらの貫通孔の各々に配置される接点膜は面積の小さいものでよく、面積の小さい接点膜は、その絶縁膜の面方向における熱膨張の絶対量が小さいため、絶縁膜の熱膨張をフレーム板によって確実に規制することが可能となる。従って、検査対象が例えば直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、その結果、良好な電気的接続状態が安定に維持される。
【００１２】
また、本発明のシート状プローブは、回路装置の電気的検査に用いられるシート状プローブであって、
検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板上に配置されて支持された接点膜とを具えてなり、
前記接点膜は、柔軟な樹脂よりなる絶縁膜と、この絶縁膜をその厚み方向に貫通して伸び、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、当該接点膜の表面に露出する表面電極部および当該接点膜の裏面に露出する裏面電極部を有する電極構造体とよりなり、当該電極構造体の各々が、前記フレーム板の各貫通孔内に位置するよう配置されていることを特徴とする。
【００１３】
このようなシート状プローブによれば、フレーム板には、検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の貫通孔が形成され、このフレーム板上には、電極構造体の各々がフレーム板の各貫通孔内に位置するよう接点膜が配置されることにより、この接点膜は、その全面にわたってフレーム板に支持されるため、当該接点膜が大面積のものであっても、その絶縁膜の面方向における熱膨張が当該フレーム板によって確実に規制される。従って、検査対象が例えば直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、その結果、良好な電気的接続状態が安定に維持される。
【００１４】
このようなシート状プローブにおいては、互いに独立した複数の接点膜が、前記フレーム板の表面に沿って並ぶよう配置されていてもよい。
【００１５】
本発明のシート状プローブは、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために好適に用いることができる。
【００１６】
本発明のシート状プローブにおいては、電極構造体のピッチが４０〜２５０μｍであり、電極構造体の総数が５０００個以上である場合に極めて有効である。
【００１７】
本発明のシート状プローブにおいては、電極構造体における表面電極部は、絶縁膜の表面から突出する突起状のものであることが好ましい。
また、電極構造体における表面電極部の径に対する突出高さの比が０．２〜３であることが好ましい。
また、電極構造体は、表面電極部および裏面電極部が絶縁膜を貫通して伸びる短絡部によって互いに連結されてなることが好ましい。
また、電極構造体における裏面電極部は、フレーム板を構成する金属と同一の金属よりなる部分を有するものであってもよい。
また、電極構造体における裏面電極部には、高導電性金属よりなる被覆膜が形成されていてもよい。
また、フレーム板の線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下であることが好ましい。
【００１８】
本発明のシート状プローブの製造方法は、フレーム板形成用金属板と、このフレーム板形成用金属板上に一体的に積層された絶縁膜形成用シートとを有する積層体を用意し、
この積層体における絶縁膜形成用樹脂シートに、形成すべき電極構造体のパターンに対応するパターンに従って貫通孔を形成し、当該積層体に対してメッキ処理を施すことにより、当該絶縁膜形成用樹脂シートの貫通孔内に形成され、前記フレーム板形成用金属板に連結された短絡部および当該短絡部に連結された表面電極部を形成し、
その後、前記フレーム板形成用金属板をエックング処理することにより、貫通孔が形成されたフレーム板を形成する工程を有することを特徴とする。
【００１９】
本発明のシート状プローブの製造方法においては、フレーム板形成用金属板をエッチング処理することにより、貫通孔が形成されたフレーム板を形成すると共に、当該フレーム板形成用金属板の一部によって、短絡部に連結された裏面電極部を形成することが好ましい。
【００２０】
本発明のプローブカードは、上記のシート状プローブを具えてなることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明のプローブカードは、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブカードであって、
検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面上に配置された異方導電性コネクターと、この異方導電性コネクター上に配置された、上記のシート状プローブとを具えてなることを特徴とする。
【００２２】
本発明の回路装置の検査装置は、上記のプローブカードを具えてなることを特徴とする。
【００２３】
本発明のウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置であって、
上記のプローブカードを具えてなることを特徴とする。
【００２４】
本発明のウエハ検査方法は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々を、上記のプローブカードを介してテスターに電気的に接続し、当該ウエハに形成された集積回路の電気的検査を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係るシート状プローブによれば、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、従って、良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
本発明に係るシート状プローブの製造方法によれば、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、従って、良好な電気的接続状態が安定に維持されるシート状プローブを製造することができる。
本発明に係るプローブカードによれば、検査対象が、直径が８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
このようなプローブカードは、直径が８インチ以上の大面積のウエハの電気的検査を行うためのウエハ検査装置や、被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置の電気的検査を行うための検査装置に用いられるプローブカードとして極めて好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈シート状プローブ〉
図１は、本発明に係るシート状プローブの第１の例を示す平面図であり、図２は、第１の例のシート状プローブにおける接点膜を拡大して示す平面図、図３は、第１の例のシート状プローブにおける接点膜を拡大して示す説明用断面図である。
この第１の例のシート状プローブ１０は、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、図４にも示すように、それぞれ厚み方向に貫通して伸びる貫通孔１２が形成された金属よりなるフレーム板１１を有する。このフレーム板１１の貫通孔１２は、検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極が形成された電極領域のパターンに対応して形成されている。また、この例におけるフレーム板１１には、後述する異方導電性コネクターおよび検査用回路基板との位置決めを行うための位置決め孔１３が形成されている。
【００２７】
フレーム板１１を構成する金属としては、鉄、銅、ニッケル、チタン、またはこれらの合金若しくは合金鋼を用いることができるが、後述する製造方法において、エッチング処理によって容易に貫通孔１２を形成することができる点で、４２合金、インバー、コバールなどの鉄−ニッケル合金鋼が好ましい。
また、フレーム板１１としては、その線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは−１×１０-7〜１×１０-5／Ｋ、特に好ましくは−１×１０-6〜８×１０-6／Ｋである。
このようなフレーム板１１を構成する材料の具体例としては、インバーなどのインバー型合金、エリンバーなどのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、４２合金などの合金または合金鋼が挙げられる。
【００２８】
また、フレーム板１１の厚みは、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍである。
この厚みが過小である場合には、接点膜１５を支持するフレーム板として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、後述する製造方法において、エッチング処理によって貫通孔１２を高い寸法精度で形成することが困難となることがある。
【００２９】
フレーム板１１の各貫通孔１２内には、接点膜１５が、当該フレーム板１１の貫通孔１２の周辺部に支持された状態で、かつ、隣接する貫通孔１２に配置された接点膜１５と互いに独立した状態で配置されている。
接点膜１５の各々は、図３に示すように、柔軟な絶縁膜１６を有し、この絶縁膜１６には、当該絶縁膜１６の厚み方向に伸びる金属よりなる複数の電極構造体１７が、検査対象であるウエハの電極領域における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、当該絶縁膜１６の面方向に互いに離間して配置されており、当該接点膜１５は、電極構造体１７の各々が、フレーム板１１の貫通孔１２内に位置するよう配置されている。
電極構造体１７の各々は、絶縁膜１６の表面に露出する突起状の表面電極部１８ａと、絶縁膜１６の裏面に露出する板状の裏面電極部１８ｂとが、絶縁膜１６の厚み方向に貫通して伸びる短絡部１８ｃによって互いに一体に連結されて構成されている。また、この例においては、裏面電極部１８ｂには、高導電性金属よりなる被覆膜１９が形成されている。
【００３０】
絶縁膜１６を構成する材料としては、絶縁性を有する柔軟なものであれば特に限定されるものではなく、ポリイミド、液晶ポリマーなどの樹脂材料やこれらの複合材料を用いることができるが、後述する製造方法において、電極構造体用の貫通孔をエッチングによって容易に形成することができる点で、ポリイミドを用いることが好ましい。
絶縁膜１６を構成するその他の材料としては、メッシュ若しくは不織布、またはこれらに樹脂若しくは弾性高分子物質が含浸されてなるものを用いることができる。かかるメッシュまたは不織布を形成する繊維としては、アラミド繊維、ポリエチレン繊維、ポリアリレート繊維、ナイロン繊維、テフロン（登録商標）繊維等のフッ素樹脂繊維、ポリエステル繊維などの有機繊維を用いることができる。このような材料を絶縁膜１６を構成する材料として用いることにより、電極構造体１７が小さいピッチで配置されても、接点膜１５全体の柔軟性が大きく低下することがないため、電極構造体１７の突出高さや被検査電極の突出高さにバラツキがあっても、接点膜１５の有する柔軟性により十分に吸収されるので、被検査電極の各々に対して安定した電気的接続を確実に達成することができる。
また、絶縁膜１６の厚みは、当該絶縁膜１６の柔軟性が損なわれなければ特に限定されないが、５〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは７〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。
【００３１】
電極構造体１７を構成する材料としては、ニッケル、鉄、銅、金、銀、パラジウム、鉄、コバルト、タングステン、ロジウム、またはこれらの合金若しくは合金鋼等を用いることができ、電極構造体１７としては、全体が単一の金属よりなるものであっても、２種以上の金属の合金または合金屍よりなるものまたは２種以上の金属が積層されてなるものであってもよい。
【００３２】
また、表面に酸化膜が形成された被検査電極について電気的検査を行う場合には、シート状プローブの電極構造体１７と被検査電極を接触させ、電極構造体１７の表面電極部１８ａにより被検査電極の表面の酸化膜を破壊して、当該電極構造体１７と被検査電極との電気的接続を達成することが必要である。そのため、電極構造体１７の表面電極部１８ａは、酸化膜を容易に破壊することかできる程度の硬度を有するものであることが好ましい。このような表面電極部１８ａを得るために、表面電極部１８ａを構成する金属中に、硬度の高い粉末物質を含有させることができる。
このような粉末物質としては、ダイヤモンド粉末、窒化シリコン、炭化シリコン、セラミックス、ガラスなどを用いることができ、これらの非導電性の粉末物質の適量を含有させることにより、電極構造体１７の導電性を損なうことなしに、電極構造体１７の表面電極部１８ａによって、被検査電極の表面に形成された酸化膜を破壊することができる。
また、被検査電極の表面の酸化膜を容易に破壊するために、電極構造体１７における表面電極部１８ａの形状を鋭利な突起状のものとしたり、表面電極部１８ａの表面に微細な凹凸を形成したりすることができる。
【００３３】
また、電極構造体１７における裏面電極部１８ｂは、後述する製造方法により、当該裏面電極部１８ｂを容易に形成することができる点で、その一部または全部がフレーム板１１を構成する金属と同一の金属よりなることが好ましい。
【００３４】
接点膜１５における電極構造体１７のピッチｐは、検査対象であるウエハの被検査電極のピッチに応じて設定され、例えば４０〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは４０〜１５０μｍである。
ここで、「電極構造体のピッチ」とは、隣接する電極構造体の間の中心間距離であって最も短いものをいう。
【００３５】
電極構造体１７において、表面電極部１８ａにおける径Ｒに対する突出高さの比は、０．２〜３であることが好ましく、より好ましくは０．２５〜２．５である。このような条件を満足することにより、被検査電極がピッチが小さくて微小なものであっても、当該被検査電極のパターンに対応するパターンの電極構造体１７を容易に形成することができ、当該ウエハに対して安定な電気的接続状態が確実に得られる。
また、表面電極部１８ａの径Ｒは、短絡部１８ｃの径ｒの１〜３倍であることが好ましく、より好ましくは１〜２倍である。
また、表面電極部１８ａの径Ｒは、当該電極構造体１７のピッチｐの３０〜７５％であることが好ましく、より好ましくは４０〜６０％である。
【００３６】
また、裏面電極部１８ｂの外径Ｌは、短絡部１８ｃの径より大きく、かつ、電極構造体１７のピッチｐより小さいものであればよいが、可能な限り大きいものであることが好ましく、これにより、例えば異方導電性シートに対しても安定な電気的接続を確実に達成することができる。
また、短絡部１８ｃの径ｒは、当該電極構造体１７のピッチｐの１５〜７５％であることが好ましく、より好ましくは２０〜６５％である。
【００３７】
電極構造体１７の具体的な寸法について説明すると、表面電極部１８ａの突出高さは、被検査電極に対して安定な電気的接続を達成することができる点で、１５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜３０μｍである。
表面電極部１８ａの径Ｒは、上記の条件や被検査電極の直径などを勘案して設定されるが、例えば３０〜２００μｍであり、好ましくは３５〜１５０μｍである。
短絡部１８ｃの径ｒは、十分に高い強度が得られる点で、１０〜１２０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
裏面電極部１８ｂの厚みは、強度が十分に高くて優れた繰り返し耐久性が得られる点で、１５〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは２０〜１００μｍである。
【００３８】
電極構造体１７における裏面電極部１８ｂに形成される被覆膜１９は、化学的に安定な高導電性金属よりなるものであることが好ましく、その具体例としては、金、銀、パラジウム、ロジウムなどが挙げられる。
また、被覆膜は、電極構造体１７における表面電極部１８ａにも形成することができ、例えは被検査電極が半田材料により構成されている場合には、当該半田材料が拡散することを防止する観点から、被覆膜を構成する金属として、銀、パラジウム、ロジウムなど耐拡散性金属を用いることが好ましい。
【００３９】
この第１の例のシート状プローブ１０は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図５に示すように、円形のフレーム板形成用金属板１１Ａと、このフレーム板形成用金属板１１Ａ上に一体的に積層された、フレーム板形成用金属板１１Ａの径より小さい径の円形の絶縁膜形成用シート１６Ａとを有する積層体２０を作製する。図示の例の積層体２０においては、絶縁膜形成用シート１６Ａの表面全面に、金属マスク形成用の金属層２１が一体的に設けられ、また、フレーム板形成用金属板１１Ａの表面には、その周縁部に沿って保護テープ２２が設けられている。
ここで、金属層２１の厚みは、２〜１５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この厚みが２μｍ未満である場合には、後述する絶縁膜形成用シートに対するレーザー加工において、用いられるレーザー光に耐え得るために必要な強度が得られず、電極構造体１７を確実に形成することが困難となることがある。一方、この厚みが１５μｍを超える場合には、エッチング処理によって後述する金属マスクの開口を高い寸法精度で形成することが困難となることがある。
また、金属層２１を構成する材料としては、銅、ニッケルなどを用いることができる。  また、絶縁膜形成用シート１６Ａ上に金属層２１を形成する方法としては、スパッター法、無電解メッキ法、接着法などを挙げることができる。
【００４０】
次いで、図６に示すように、この積層体２０の両面すなわちフレーム板形成用金属板１１Ａおよび金属層２１の各々の表面に、フォトレジストよりなるレジスト膜２３，２４を形成し、図７に示すように、金属層２１上に形成されたレジスト膜２３に、形成すべき電極構造体１７のパターンに対応するパターンに従って複数のパターン孔２３Ｈを形成し、その後、このパターン孔２３Ｈを介して金属層２１をエッチング処理することにより、図８に示すように、形成すべき電極構造体１７のパターンに対応するパターンに従って複数の開口２１Ｈが形成された金属マスク２１Ｍが形成される。
ここで、レジスト膜２３，２４を形成するフォトレジストとしては、メッキ用のフォトレジストとして使用されている種々のもの、感光性ドライフィルムなどを用いることができる。
また、レジスト膜２３に形成されるパターン孔２３Ｈおよび金属マスク２１Ｍの開口２１Ｈの各々の径は、形成すべき電極構造体１７における短絡部１８ｃの径に対応する径である。
そして、図９に示すように、金属マスク２１Ｍの表面からレジスト膜を除去し、その後、絶縁膜形成用シート１６Ａに対して、金属マスク２１Ｍの開口２１Ｈを介してレーザー加工を施すことにより、図１０に示すように、絶縁膜形成用シート１６Ａに、それぞれ形成すべき電極構造体１７における短絡部１８ｃの径に適合する径を有する複数の貫通孔１７Ｈが、当該電極構造体１７のパターンに対応するパターンに従って形成される。
【００４１】
次いで、図１１に示すように、エッチング処理によって絶縁膜形成用シート１６Ａの表面から金属マスクを除去し、積層体２０に対してメッキ処理を施すことにより、図１２に示すように、絶縁膜形成用樹脂シート１６Ａの貫通孔１７Ｈ内に、フレーム板形成用金属板１１Ａに一体に連結された短絡部１８ｃが形成されると共に、当該絶縁膜形成用樹脂シート１６Ａの表面に、短絡部１８ｃに一体に連結された突起状（半球状）の表面電極部１８ａが形成される。その後、図１３に示すように、絶縁膜形成用樹脂シート１６Ａおよび表面電極部１８ａの各々を覆うよう、フォトレジストよりなるレジスト膜２５を形成し、更に、フレーム板形成用金属板１１Ａ上に形成されたレジスト膜２４に対して、形成すべきフレーム板１１に対応する部分および形成すべき電極構造体１７における裏面電極部１８ｂに対応する部分を残すようパターニングすることにより、図１４に示すように、レジスト膜２４に、形成すべきフレーム板１１の貫通孔１２に対応するパターン孔２４Ｈが形成されると共に、このパターン孔２４Ｈ内に形成すべき裏面電極部１８ｂに対応するレジストパターン２４Ａが形成される。
【００４２】
そして、フレーム板形成用金属板１１Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１５に示すように、貫通孔１５および位置決め孔（図示省略）が形成されたフレーム板１１が形成されると共に、フレーム板形成用金属板の一部によって、短絡部１８ｃに連結された裏面電極部１８ｂが形成される。
次いで、図１６に示すように、フレーム板１１および裏面電極部１８ｂの各々からレジスト膜を除去し、その後、図１７に示すように、フレーム板１１、絶縁膜形成用シート１６Ａおよび裏面電極部１８ｂの各々を覆うよう、フォトレジストよりなるレジスト膜２６を形成し、更に、図１８に示すように、このレジスト膜２６における裏面電極部１８ｂが位置する部分にパターン孔２６Ｈを形成する。そして、図１９に示すように、裏面電極部１８ｂに高導電金属のメッキ処理を施すことにより、当該裏面電極部１８ｂに被覆膜１９を形成し、以て電極構造体１７が形成される。その後、図２０に示すように、必要に応じて、被覆膜１９を覆うようレジスト膜２７を形成する。
【００４３】
次いで、レジスト膜２５に対して、形成すべき接点膜１５に対応する部分を残すようパターニングすることにより、図２１に示すように、レジスト膜２６にパターン溝２５Ｈを形成し、絶縁膜形成用シート１６Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図２２に示すように、互いに独立した複数の絶縁膜１６が形成され、これにより、それぞれ絶縁膜１６にその厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体１７が配置されてなる複数の接点膜１５が形成される。
そして、フレーム板１１および接点膜１５からレジスト膜２５，２６，２７を除去すると共に、フレーム板１１から保護テープ２２（図５参照）を除去することにより、図１〜図３に示す第１の例のシート状プローブが得られる。
【００４４】
このようなシート状プローブ１０によれば、フレーム板１１には，検査対象であるウエハにおける被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の貫通孔１２が形成されており、これらの貫通孔１２の各々に配置される接点膜１５は面積の小さいものでよく、面積の小さい接点膜１５は、その絶縁膜１６の面方向における熱膨張の絶対量が小さいため、絶縁膜１６の熱膨張をフレーム板１１によって確実に規制することが可能となる。従って、検査対象であるウエハが直径が８インチ以上の大面積で被検査電極のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体１７と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、その結果、ウエハに対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
【００４５】
図２３は、本発明に係るシート状プローブの第２の例を示す平面図であり、図２４は、第２の例のシート状プローブにおける接点膜の要部を拡大して示す平面図、図２５は、第２の例のシート状プローブの要部を拡大して示す説明用断面図である。
この第２の例のシート状プローブ１０は、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、第１の例のシート状プローブ１０と同様の構成のフレーム板１１（図４参照）を有する。
このフレーム板１１の一面上には、当該フレーム板１１の径より小さい径の円形の単一の接点膜１５が当該フレーム板１１に一体的に設けられて支持されている。
この接点膜１５は、柔軟な絶縁膜１６を有し、この絶縁膜１６には、当該絶縁膜１６の厚み方向に伸びる複数の電極構造体１７が、検査対象であるウエハにおける被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、当該絶縁膜１６の面方向に互いに離間して配置されており、当該接点膜１５は、電極構造体１７の各々が、フレーム板１１の各貫通孔１２内に位置するよう配置されている。
電極構造体１７の各々は、絶縁膜１６の表面に露出する突起状の表面電極部１８ａと、絶縁膜１６の裏面に露出する板状の裏面電極部１８ｂとが、絶縁膜１６の厚み方向に貫通して伸びる短絡部１８ｃによって互いに一体に連結されて構成されている。また、この例においては、裏面電極部１８ｂには、高導電性金属よりなる被覆膜１９が形成されている。
【００４６】
この第２の例のシート状プローブ１０において、絶縁膜１６の材質、電極構造体１７の材質および寸法などは、第１の例のシート状プローブと同様である。
また、この第２の例のシート状プローブ１０は、前述の第１の例のシート状プローブ１０の製造方法において、絶縁膜形成用シート１６Ａのエッチング処理を行わずに当該絶縁膜形成用シート１６Ａをそのまま絶縁膜１６として用いること以外は、第１の例のシート状コネクター１０と同様にして製造することができる。
【００４７】
このような第２の例のシート状プローブ１０によれば、フレーム板１１には，検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の貫通孔１２が形成され、このフレーム板１１上には、電極構造体１７の各々がフレーム板１１の各貫通孔１２内に位置するよう接点膜１５が配置されることにより、この接点膜１５は、その全面にわたってフレーム板１１に支持されるため、当該接点膜１５が大面積のものであっても、その絶縁膜１６の面方向における熱膨張をフレーム板１１によって確実に規制することができる。従って、検査対象であるウエハが例えば直径が８インチ以上の大面積で被検査電極のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体１７と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、その結果、ウエハに対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
【００４８】
図２６は、本発明に係るシート状プローブの第３の例を示す平面図であり、図２７は、第３の例のシート状プローブにおける接点膜の要部を拡大して示す平面図、図２８は、第３の例のシート状プローブの要部を拡大して示す説明用断面図である。
この第３の例のシート状プローブ１０は、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、第１の例のシート状プローブ１０と同様の構成のフレーム板１１（図４参照）を有する。
このフレーム板１１の一面上には、その表面に沿って並ぶよう互いに独立した状態で配置された複数（図示の例では９つ）の接点膜１５が、当該フレーム板１１に一体的に設けられて支持されている。
この接点膜１５の各々は、柔軟な絶縁膜１６を有し、この絶縁膜１６には、当該絶縁膜１６の厚み方向に伸びる複数の電極構造体１７が、検査対象であるウエハにおける被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、当該絶縁膜１６の面方向に互いに離間して配置されており、当該接点膜１５は、電極構造体１７の各々が、フレーム板１１の各貫通孔１２内に位置するよう配置されている。
電極構造体１７の各々は、絶縁膜１６の表面に露出する突起状の表面電極部１８ａと、絶縁膜１６の裏面に露出する板状の裏面電極部１８ｂとが、絶縁膜１６の厚み方向に貫通して伸びる短絡部１８ｃによって互いに一体に連結されて構成されている。また、この例においては、裏面電極部１８ｂには、高導電性金属よりなる被覆膜１９が形成されている。
【００４９】
この第３の例のシート状プローブ１０において、絶縁膜１６の材質、電極構造体１７の材質および寸法などは、第１の例のシート状プローブと同様である。
また、この第３の例のシート状プローブ１０は、前述の第１の例のシート状プローブ１０と同様にして製造することができる。
【００５０】
このような第３の例のシート状プローブ１０によれば、フレーム板１１には，検査対象である回路装置の被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の貫通孔１２が形成され、このフレーム板１１上には、互いに独立した複数の接点膜１５が、電極構造体１７の各々がフレーム板１１の各貫通孔１２内に位置するよう配置されることにより、接点膜１５の各々は、その全面にわたってフレーム板１１に支持されるため、当該接点膜１５が大面積のものであっても、その絶縁膜１６の面方向における熱膨張をフレーム板１１によって確実に規制することができる。従って、検査対象であるウエハが例えば直径が８インチ以上の大面積で被検査電極のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体１７と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができ、その結果、ウエハに対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
【００５１】
〈プローブカード〉
図２９は、本発明に係るプローブカードの第１の例における構成を示す説明用断面図であり、図３０は、第１の例のプローブカードの要部の構成を示す説明用断面図である。
この第１の例のプローブカード３０は、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、検査用回路基板３１と、この検査用回路基板３１の一面上に設けられた異方導電性コネクター４０と、この異方導電性コネクター４０上に設けられた第１の例のシート状プローブ１０とにより構成されている。
【００５２】
検査用回路基板３１は、異方導電性コネクター４０およびシート状プローブ１０を位置決めするためのガイドピン３３を有し、当該検査用回路基板３１の一面には、検査対象であるウエハに形成された全ての集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の検査用電極３２が形成されている。
検査用回路基板３１を構成する基板材料としては、従来公知の種々の基板材料を用いることができ、その具体例としては、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型フェノール樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂等の複合樹脂基板材料、ガラス、二酸化珪素、アルミナ等のセラミックス基板材料、金属板をコア材としてエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂等の樹脂を積層した積層基板材料などが挙げられる。
また、バーンイン試験に用いるためのプローブカードを構成する場合には、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-7〜１×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。
このような基板材料の具体例としては、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、アルミナ、ベリリア、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等よりなる無機系基板材料、４２合金、コバール、インバー等の鉄−ニッケル合金鋼よりなる金属板をコア材としてエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂等の樹脂を積層した積層基板材料など挙げられる。
【００５３】
異方導電性コネクター４０は、図３１に示すように、それぞれ厚み方向に貫通して伸びる複数の異方導電膜配置用孔４２が形成された円板状のフレーム板４１を有する。このフレーム板４１の異方導電膜配置用孔４２は、検査対象であるウエハに形成された全ての集積回路における被検査電極が形成された電極領域のパターンに対応して形成されている。フレーム板４１の各異方導電膜配置用孔４２内には、厚み方向に導電性を有する弾性異方導電膜５０が、当該フレーム板４１の当該異方導電膜配置用孔４２の周辺部に支持された状態で、かつ、隣接する弾性異方導電膜５０と互いに独立した状態で配置されている。また、この例におけるフレーム板４１には、シート状プローブ１０および検査用回路基板３１との位置決めを行うための位置決め孔（図示省略）が形成されている。
【００５４】
弾性異方導電膜５０は、その基材が弾性高分子物質よりなり、厚み方向に伸びる複数の接続用導電部５２と、この接続用導電部５２の各々の周囲に形成され、当該接続用導電部５２の各々を相互に絶縁する絶縁部５３とよりなる機能部５１を有し、当該機能部５１は、フレーム板４１の異方導電膜配置用孔４２に位置するよう配置されている。この機能部５１における接続用導電部５２は、検査対象であるウエハに形成された集積回路における電極領域の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。
機能部５１の周縁には、フレーム板４１における異方導電膜配置用孔４２の周辺部に固定支持された被支持部５５が、当該機能部５１に一体に連続して形成されている。具体的には、この例における被支持部５５は、二股状に形成されており、フレーム板４１における異方導電膜配置用孔４２の周辺部を把持するよう密着した状態で固定支持されている。  弾性異方導電膜５０の機能部５１における接続用導電部５２には、磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されている。これに対して、絶縁部５３は、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど含有されていないものである。
また、図示の例では、弾性異方導電膜５０における機能部５１の両面には、接続用導電部５２およびその周辺部分が位置する個所に、それ以外の表面から突出する突出部５４が形成されている。
【００５５】
フレーム板４１の厚みは、その材質によって異なるが、２０〜６００μｍであることが好ましく、より好ましくは４０〜４００μｍである。
この厚みが２０μｍ未満である場合には、異方導電性コネクター４０を使用する際に必要な強度が得られず、耐久性が低いものとなりやすく、また、当該フレーム板４１の形状が維持される程度の剛性が得られず、異方導電性コネクター４０の取扱い性が低いものとなる。一方、厚みが６００μｍを超える場合には、異方導電膜配置用孔４２に形成される弾性異方導電膜５０は、その厚みが過大なものとなって、接続用導電部５２における良好な導電性および隣接する接続用導電部５２間における絶縁性を得ることが困難となることがある。
フレーム板４１の異方導電膜配置用孔４２における面方向の形状および寸法は、検査対象であるウエハの被検査電極の寸法、ピッチおよびパターンに応じて設計される。
【００５６】
フレーム板４１を構成する材料としては、当該フレーム板４１が容易に変形せず、その形状が安定に維持される程度の剛性を有するものであれば特に限定されず、例えば、金属材料、セラミックス材料、樹脂材料などの種々の材料を用いることができ、フレーム板４１を例えば金属材料により構成する場合には、当該フレーム板４１の表面に絶縁性被膜が形成されていてもよい。
フレーム板４１を構成する金属材料の具体例としては、鉄、銅、ニッケル、チタン、アルミニウムなどの金属またはこれらを２種以上組み合わせた合金若しくは合金鋼などが挙げられる。
【００５７】
また、プローブカード３０をバーンイン試験に用いる場合には、フレーム板４１を構成する材料としては、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは−１×１０-7〜１×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜８×１０-6／Ｋである。
このような材料の具体例としては、インバーなどのインバー型合金、エリンバーなどのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、４２合金などの磁性金属の合金または合金鋼などが挙げられる。
【００５８】
弾性異方導電膜５０の全厚（図示の例では接続用導電部５２における厚み）は、５０〜３０００μｍであることが好ましく、より好ましくは７０〜２５００μｍ、特に好ましくは１００〜２０００μｍである。この厚みが５０μｍ以上であれば、十分な強度を有する弾性異方導電膜５０が確実に得られる。一方、この厚みが３０００μｍ以下であれば、所要の導電性特性を有する接続用導電部５２が確実に得られる。
突出部５４の突出高さは、その合計が当該突出部５４における厚みの１０％以上であることが好ましく、より好ましくは２０％以上である。このような突出高さを有する突出部５４を形成することにより、小さい加圧力で接続用導電部５２が十分に圧縮されるため、良好な導電性が確実に得られる。
また、突出部５４の突出高さは、当該突出部５４の最短幅または直径の１００％以下であることが好ましく、より好ましくは７０％以下である。このような突出高さを有する突出部５４を形成することにより、当該突出部５４が加圧されたときに座屈することがないため、所期の導電性が確実に得られる。
また、被支持部５５の厚み（図示の例では二股部分の一方の厚み）は、５〜６００μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜５００μｍ、特に好ましくは２０〜４００μｍである。
また、被支持部５５は二股状に形成されることは必須のことではなく、フレーム板４１の一面のみに固定されていてもよい。
【００５９】
弾性異方導電膜５０を構成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する耐熱性の高分子物質が好ましい。かかる架橋高分子物質を得るために用いることができる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、シリコーンゴム、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴム、軟質液状エポキシゴムなどが挙げられる。
これらの中では、シリコーンゴムが、成形加工性および電気特性の点で好ましい。
【００６０】
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
【００６１】
これらの中で、ビニル基を含有する液状シリコーンゴム（ビニル基含有ポリジメチルシロキサン）は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジアルコキシシランを、ジメチルビニルクロロシランまたはジメチルビニルアルコキシシランの存在下において、加水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−沈殿の繰り返しによる分別を行うことにより得られる。
また、ビニル基を両末端に含有する液状シリコーンゴムは、オクタメチルシクロテトラシロキサンのような環状シロキサンを触媒の存在下においてアニオン重合し、重合停止剤として例えばジメチルジビニルシロキサンを用い、その他の反応条件（例えば、環状シロキサンの量および重合停止剤の量）を適宜選択することにより得られる。ここで、アニオン重合の触媒としては、水酸化テトラメチルアンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどのアルカリまたはこれらのシラノレート溶液などを用いることができ、反応温度は、例えば８０〜１３０℃である。
このようなビニル基含有ポリジメチルシロキサンは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１００００〜４００００のものであることが好ましい。また、得られる弾性異方導電膜５０の耐熱性の観点から、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。
【００６２】
一方、ヒドロキシル基を含有する液状シリコーンゴム（ヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサン）は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジアルコキシシランを、ジメチルヒドロクロロシランまたはジメチルヒドロアルコキシシランの存在下において、加水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−沈殿の繰り返しによる分別を行うことにより得られる。
また、環状シロキサンを触媒の存在下においてアニオン重合し、重合停止剤として、例えばジメチルヒドロクロロシラン、メチルジヒドロクロロシランまたはジメチルヒドロアルコキシシランなどを用い、その他の反応条件（例えば、環状シロキサンの量および重合停止剤の量）を適宜選択することによっても得られる。ここで、アニオン重合の触媒としては、水酸化テトラメチルアンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどのアルカリまたはこれらのシラノレート溶液などを用いることができ、反応温度は、例えば８０〜１３０℃である。
【００６３】
このようなヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサンは、その分子量Ｍｗが１００００〜４００００のものであることが好ましい。また、得られる弾性異方導電膜５０の耐熱性の観点から、分子量分布指数が２以下のものが好ましい。
本発明においては、上記のビニル基含有ポリジメチルシロキサンおよびヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサンのいずれか一方を用いることもでき、両者を併用することもできる。
【００６４】
高分子物質形成材料中には、当該高分子物質形成材料を硬化させるための硬化触媒を含有させることができる。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂肪酸アゾ化合物、ヒドロシリル化触媒などを用いることができる。
硬化触媒として用いられる有機過酸化物の具体例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベンゾイル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチルなどが挙げられる。
硬化触媒として用いられる脂肪酸アゾ化合物の具体例としては、アゾビスイソブチロニトリルなどが挙げられる。
ヒドロシリル化反応の触媒として使用し得るものの具体例としては、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレックス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコンプレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファイトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなどの公知のものが挙げられる。
硬化触媒の使用量は、高分子物質形成材料の種類、硬化触媒の種類、その他の硬化処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、高分子物質形成材料１００重量部に対して３〜１５重量部である。
【００６５】
弾性異方導電膜５０における接続用導電部５２に含有される導電性粒子Ｐとしては、当該弾性異方導電膜５０の形成において、当該弾性異方導電膜５０を形成するための成形材料中において当該導電性粒子Ｐを容易に移動させることができる観点から、磁性を示すものを用いることが好ましい。このような磁性を示す導電性粒子Ｐの具体例としては、鉄、ニッケル、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したもの、あるいは芯粒子に、導電性磁性体および導電性の良好な金属の両方を被覆したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性の良好な金属のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば無電解メッキにより行うことができる。
【００６６】
導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られる観点から、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の２．５〜５０重量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４５重量％、さらに好ましくは３．５〜４０重量％、特に好ましくは５〜３０重量％である。
【００６７】
また、導電性粒子Ｐの粒子径は、１〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは２〜４００μｍ、さらに好ましくは５〜３００μｍ、特に好ましくは１０〜１５０μｍである。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１〜７、さらに好ましくは１〜５、特に好ましくは１〜４である。
このような条件を満足する導電性粒子Ｐを用いることにより、得られる弾性異方導電膜５０は、加圧変形が容易なものとなり、また、当該弾性異方導電膜５０における接続用導電部５２において導電性粒子Ｐ間に十分な電気的接触が得られる。
このような平均粒子径を有する導電性粒子Ｐは、空気分級装置、音波ふるい装置などの分級装置によって、導電性粒子および／または当該導電性粒子を形成する芯粒子を分級処理することによって調製することができる。分級処理の具体的な条件は、目的とする導電性粒子の平均粒子径および粒子径分布、並びに分級装置の種類などに応じて適宜設定される。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子による塊状のものであることが好ましい。
【００６８】
また、導電性粒子Ｐの含水率は、５％以下であることが好ましく、より好ましくは３％以下、さらに好ましくは２％以下、特に好ましくは１％以下である。このような条件を満足する導電性粒子Ｐを用いることにより、成形材料層を硬化処理する際に、当該成形材料層内に気泡が生ずることが防止または抑制される。
【００６９】
また、導電性粒子Ｐの表面がシランカップリング剤などのカップリング剤で処理されたものを適宜用いることができる。導電性粒子Ｐの表面がカップリング剤で処理されることにより、当該導電性粒子Ｐと弾性高分子物質との接着性が高くなり、その結果、得られる弾性異方導電膜５０は、繰り返しの使用における耐久性が高いものとなる。
カップリング剤の使用量は、導電性粒子Ｐの導電性に影響を与えない範囲で適宜選択されるが、導電性粒子Ｐの表面におけるカップリング剤の被覆率（導電性芯粒子の表面積に対するカップリング剤の被覆面積の割合）が５％以上となる量であることが好ましく、より好ましくは上記被覆率が７〜１００％、さらに好ましくは１０〜１００％、特に好ましくは２０〜１００％となる量である。
【００７０】
機能部５１の接続用導電部５２における導電性粒子Ｐの含有割合は、体積分率で１０〜６０％、好ましくは１５〜５０％となる割合で用いられることが好ましい。この割合が１０％未満の場合には、十分に電気抵抗値の小さい接続用導電部５２が得られないことがある。一方、この割合が６０％を超える場合には、得られる接続用導電部５２は脆弱なものとなりやすく、接続用導電部５２として必要な弾性が得られないことがある。
【００７１】
高分子物質形成材料中には、必要に応じて、通常のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシリカ、アルミナなどの無機充填材を含有させることができる。このような無機充填材を含有させることにより、得られる成形材料のチクソトロピー性が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性粒子Ｐの分散安定性が向上すると共に、硬化処理されて得られる弾性異方導電膜５０の強度が高くなる。
このような無機充填材の使用量は、特に限定されるものではないが、あまり多量に使用すると、後述する製造方法において、磁場による導電性粒子Ｐの移動が大きく阻害されるため、好ましくない。
【００７２】
このような異方導電性コネクター４０は、例えば特開２００２−３３４７３２号公報に記載されている方法によって製造することができる。
【００７３】
そして、第１の例のプローブカード３０においては、異方導電性コネクター４０におけるフレーム板４１の位置決め孔（図示省略）およびシート状プローブ１０におけるフレーム板１１の位置決め孔（図示省略）の各々に、検査用回路基板３１のガイドピン３３が挿通されることにより、異方導電性コネクター４０が、各弾性異方導電膜５０における接続用導電部５２の各々が検査用回路基板３１の検査用電極３２の各々に対接するよう配置されると共に、この異方導電性コネクター４０の表面に、シート状コネクター１０が、その電極構造体１７の各々が異方導電性コネクター４０の弾性異方導電膜５０における接続用導電部５２の各々に対接するよう配置され、この状態で、三者が固定されている。
【００７４】
このような第１の例のプローブカード３０によれば、前述の第１の例のシート状プローブを有するため、温度変化による電極構造体１７と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができる。
また、異方導電性コネクター４０におけるフレーム板４１の異方導電膜配置用孔４２の各々は、検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極が形成された電極領域に対応して形成されており、当該異方導電膜配置用孔４２の各々に配置される弾性異方導電膜５０は面積が小さいものでよく、面積の小さい弾性異方導電膜５０は、その面方向における熱膨張の絶対量が少ないため、弾性異方導電膜５０の面方向における熱膨張がフレーム板４１によって確実に規制される結果、温度変化による接続用導電部５２と電極構造体１７および検査用電極３２との位置ずれを確実に防止することができる。
従って、検査対象であるウエハが直径が８インチ以上の大面積で被検査電極のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、ウエハに対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
【００７５】
図３２は、本発明に係るプローブカードの第２の例における構成を示す説明用断面図であり、図３３は、第２の例のプローブカードの要部の構成を示す説明用断面図である。
この第２の例のプローブカード３０は、第１の例のシート状コネクター１０の代わりに第２の例のシート状コネクター１０を用いたこと以外は、第１の例のプローブカード３０と同様の構成である。
このようなプローブカード３０によれば、第２の例のシート状プローブを有するため、温度変化による電極構造体１７と被検査電極との位置ずれを確実に防止することができると共に、第１の例のプローブカード３０と同様の構成の異方導電性コネクター４０を有するため、温度変化による接続用導電部５２と電極構造体１７および検査用電極３２との位置ずれを確実に防止することができ、従って、検査対象であるウエハが直径が８インチ以上の大面積で被検査電極のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、ウエハに対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。
【００７６】
〔ウエハ検査装置〕
図３４は、本発明に係るウエハ検査装置の第１の例における構成の概略を示す説明用断面図であり、このウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うためのものである。
この第１の例のウエハ検査装置においては、検査対象であるウエハ１の被検査電極２の各々とテスターとの電気的接続を行うために、第１の例のプローブカード３０を有し、このプローブカード３０における検査用回路基板３１の裏面には、当該プローブカード３０を下方に加圧する加圧板３５が設けられ、プローブカード３０の下方には、検査対象であるウエハ１が載置されるウエハ載置台３６が設けられており、加圧板３５およびウエハ載置台３６の各々には、加熱器３７が接続されている。
【００７７】
このようなウエハ検査装置においては、ウエハ載置台３６上に検査対象であるウエハ１が載置され、次いで、加圧板３５によってプローブカード３０が下方に加圧されることにより、そのシート状プローブ１０の電極構造体１７における表面電極部１８ａの各々が、ウエハ１の被検査電極２の各々に接触し、更に、当該表面電極部１８ａの各々によって、ウエハ１の被検査電極２の各々が加圧される。この状態においては、異方導電性コネクター４０の弾性異方導電膜５０における接続用導電部５２の各々は、検査用回路基板３１の検査用電極３２とシート状プローブ１０の電極構造体１７の表面電極部１８ａとによって挟圧されて厚み方向に圧縮されており、これにより、当該接続用導電部５２にはその厚み方向に導電路が形成され、その結果、ウエハ１の被検査電極２と検査用回路基板３１の検査用電極３２との電気的接続が達成される。その後、加熱器３７によって、ウエハ載置台３６および加圧板３５を介してウエハ１が所定の温度に加熱され、この状態で、当該ウエハ１における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査が実行される。
【００７８】
このような第１の例のウエハ検査装置によれば、第１の例のプローブカード３０を介して、検査対象であるウエハ１の被検査電極２に対する電気的接続が達成されるため、ウエハ１が、直径が８インチ以上の大面積で被検査電極２のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、ウエハ１に対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができ、ウエハ１における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査を確実に実行することができる。
【００７９】
図３５は、本発明に係るウエハ検査装置の第２の例における構成の概略を示す説明用断面図であり、このウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うためのものである。
この第２の例のウエハ検査装置は、第１の例のプローブカード３０の代わりに第２の例のプローブカード３０を用いたこと以外は、第１の例のウエハ検査装置と同様の構成である。
このような第２の例のウエハ検査装置によれば、第２の例のプローブカード３０を介して、検査対象であるウエハ１の被検査電極２に対する電気的接続が達成されるため、ウエハ１が、直径が８インチ以上の大面積で被検査電極２のピッチが極めて小さいものであっても、バーンイン試験において、ウエハ１に対する良好な電気的接続状態を安定に維持することができ、ウエハ１における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査を確実に実行することができる。
【００８０】
本発明のシート状プローブおよびプローブカードの用途は、ウエハ検査装置に限定されず、ＢＧＡ、ＣＳＰなどのパッケージＩＣ、ＭＣＭなどの回路装置の検査装置に適用することも可能である。
【００８１】
本発明の回路装置の検査装置は、上記の例のウエハ検査装置に限定されず、以下のように、種々の変更を加えることが可能である。
（１）図２９および図３２に示すプローブカード３０は、ウエハに形成された全ての集積回路の被検査電極に対して一括して電気的接続を達成するものであるが、ウエハに形成された全ての集積回路の中から選択された複数の集積回路の被検査電極に電気的に接続されるものであってもよい。選択される集積回路の数は、ウエハのサイズ、ウエハに形成された集積回路の数、各集積回路における被検査電極の数などを考慮して適宜選択され、例えば１６個、３２個、６４個、１２８個である。
このようなプローブカード３０を有する検査装置においては、ウエハに形成された全ての集積回路の中から選択された複数の集積回路の被検査電極に、プローブカード３０を電気的に接続して検査を行い、その後、他の集積回路の中から選択された複数の集積回路の被検査電極に、プローブカード３０を電気的に接続して検査を行う工程を繰り返すことにより、ウエハに形成された全ての集積回路の電気的検査を行うことができる。
そして、このような検査装置によれば、直径が８インチまたは１２インチのウエハに高い集積度で形成された集積回路について電気的検査を行う場合において、全ての集積回路について一括して検査を行う方法と比較して、用いられる検査用回路基板の検査用電極数や配線数を少なくすることができ、これにより、検査装置の製造コストの低減化を図ることができる。
【００８２】
（２）シート状プローブ１０においては、図３６に示すように、フレーム板１１の周縁部にリング状の保持部材１４が設けられていてもよい。
このような保持部材１４を構成する材料としては、インバー、スーパーインバーなどのインバー型合金、エリンバーなどのエリンバー型合金、コバール、４２アロイなどの低熱膨張金属材料、またはアルミナ、炭化珪素、窒化珪素などのセラミックス材料などを用いることができる。
【００８３】
（３）異方導電性コネクター４０における弾性異方導電膜５０には、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された接続用導電部５２の他に、被検査電極に電気的に接続されない非接続用の導電部が形成されていてもよい。
（４）本発明において、プローブカードは、ウエハ検査用のものに限定されるものではなく、半導体チップや、ＢＧＡ、ＣＳＰなどのパッケージＬＳＩ、ＭＣＭなどの半導体集積回路装置などに形成された回路を検査するためのプローブカードとして構成することができ、また、このようなプローブカードを具えた回路装置の検査装置を構成することができる。
【実施例】
【００８４】
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００８５】
〔試験用ウエハの作製〕
図３７に示すように、直径が８インチのシリコン（線熱膨張係数３．３×１０-6／Ｋ）製のウエハ１上に、それぞれ寸法が８ｍｍ×８ｍｍの正方形の集積回路Ｌを合計で３９３個形成した。ウエハ１に形成された集積回路Ｌの各々は、図３８に示すように、その中央に被検査電極領域Ａを有し、この被検査電極領域Ａには、図３９に示すように、それぞれ縦方向（図３９において上下方向）の寸法が２００μｍで横方向（図３９において左右方向）の寸法が５０μｍの矩形の６０個の被検査電極２が１００μｍのピッチで横方向に一列に配列されている。また、このウエハ１全体の被検査電極２の総数は２３５８０個であり、全ての被検査電極２は互いに電気的に絶縁されている。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ１」という。
また、全ての被検査電極（２）を互いに電気的に絶縁することに代えて、集積回路（Ｌ）における６０個の被検査電極（２）のうち最も外側の被検査電極（２）から数えて１個おきに２個ずつを互いに電気的に接続したこと以外は、上記試験用ウエハＷ１と同様の構成の３９３個の集積回路（Ｌ）をウエハ（１）上に形成した。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ２」という。
【００８６】
〈実施例１〉
直径が２０ｃｍで厚みが１２．５μｍのポリイミドシートの片面に直径が２０ｃｍで厚みが５μｍの銅層が積層された積層ポリイミドシートと、直径２２ｃｍで厚みが２５μｍの４２アロイよりなる金属板の表面上に、直径が２０ｃｍで厚みが２．５μｍの熱可塑性ポリイミドよりなる樹脂層が積層された積層板とを用意した。次いで、積層板における樹脂層の表面上に、積層ポリイミドシートをそのポリイミドシートが樹脂層の表面に対接するよう配置すると共に、積層板の金属板における周縁部の表面に、内径が２０．４ｃｍ、外径が２２ｃｍで厚みが２５μｍのポリエチレンフタレートよりなる保護テープを配置し、これらを熱圧着処理することにより、図５に示す構成の積層体（２０）を作製した。
得られた積層体（２０）は、直径が２２ｃｍで厚みが２５μｍの４２アロイよりなるフレーム板形成用金属板（１１Ａ）の表面に、直径が２０ｃｍで厚みが１５μｍのポリイミドよりなる絶縁膜形成用シート（１６Ａ）が一体的に積層され、この絶縁膜形成用シート（１６Ａ）の表面に厚みが５μｍの銅よりなる金属層（２１）が一体的に積層され、更に、フレーム板形成用金属板（１１Ａ）の表面における周縁部に沿って、内径が２０．４ｃｍ、外径が２２ｃｍで厚みが２５μｍの保護テープ（２２）が設けられてなるものである。
【００８７】
上記の積層体（２０）における金属層（２１）の表面全面およびフレーム板形成用金属板（１１Ａ）の裏面全面に、厚みが２５μｍのドライフィルムレジスト（日立化成製、品名：Ｈ−Ｋ３５０）によってレジスト膜（２３，２４）を形成し、当該金属層（２１）の表面に形成されたレジスト膜（２３）に、試験用ウエハＷ１に形成された被検査電極のパターンに対応するパターンに従って直径が３０μｍの円形の２３５８０個のパターン孔（２３Ｈ）を形成した。（図６および図７参照）。ここで、パターン孔（２３Ｈ）の形成において、露光処理は、高圧水銀灯によって８０ｍＪの紫外線を照射することにより行い、現像処理は、１％水酸化ナトリウム水溶液よりなる現像剤に４０秒間浸漬する操作を２回繰り返すことによって行った。
【００８８】
次いで、金属層（２１）に対し、塩化第二鉄系エッチング液を用い、５０℃、３０秒間の条件でエッチング処理を施すことにより、金属層（２１）に、それぞれレジスト膜（２３）のパターン孔２３Ｈに連通する２３５８０個の開口（２１Ｈ）が形成された金属マスク２１Ｍを形成した（図８参照）。その後、積層体（２０）におけるフレーム板形成用金属板（１１Ａ）に形成されたレジスト膜（２４）の表面に厚みが２５μｍのポリエチレンテレフタレートよりなる保護シールを配置し、この積層体（２０）を４５℃の水酸化ナトリウム溶液に２分間浸漬させることにより、当該積層体（２０）からレジスト膜（２３）を除去した（図９参照）。
【００８９】
そして、積層体（２０）における絶縁膜形成用シート（１６Ａ）に対して、金属マスク（２１Ｍ）の開口（２１Ｈ）を介してレーザー加工を施すことにより、当該絶縁膜形成用シート（１６Ａ）に、試験用ウエハＷ１に形成された被検査電極のパターンに対応するパターンに従って直径が３０μｍの円形の２３５８０個の貫通孔（１７Ｈ）を形成した（図１０参照）。ここで、レーザー加工は、レーザー種がエキシマレーザーで、周波数（１秒あたりのパルス数）が５０Ｈｚ、ビーム幅が５ｍｍ×５ｍｍ、走査速度（レーザー加工機におけるステージの移動速度）が２５ｍｍ／ｓｅｃ、エネルギー密度（単位面積当たりのレーザー照射エネルギー）が０．８Ｊ／ｃｍ2 、スキャン回数が１００回の条件で行った。その後、積層体（２０）に対して、塩化第二鉄系エッチング液を用い、５０℃、３０秒間の条件でエッチング処理を施すことにより、金属マスク（２１Ｍ）を除去した。
【００９０】
次いで、積層体（２０）をスルファミン酸ニッケルを含有するメッキ浴中に浸漬し、当該積層体（２０）に対し、フレーム板形成用金属板（１１Ａ）を電極として、電解メッキ処理を施すことにより、絶縁膜形成用シート（１６Ａ）の貫通孔（１７Ｈ）内に金属を充填して短絡部（１８ｃ）を形成すると共に、絶縁膜形成用シート（１６Ａ）の表面に、短絡部（１８ｃ）に一体に連結された、直径が約７５μｍで突出高さが約２５μｍの半球状の表面電極部（１８ａ）を形成した（図１２参照）。ここで、電解メッキ処理は、メッキ浴の温度が５０℃で、電流密度が５Ａ／ｄｍで、メッキ処理時間が６０分間の条件で行った。
その後、液状レジスト（ＪＳＲ製、品名：ＴＨＢ−１５０Ｎ）によって、積層体（２０）における絶縁膜形成用シート（１６Ａ）および表面電極部（１８ａ）の全面を覆うよう、レジスト膜（２５）を形成し、更に、このレジスト膜（２５）の表面に厚みが２５μｍのポリエチレンテレフタレートよりなる保護シールを配置した（図１３参照）。
【００９１】
次いで、フレーム板形成用金属板（１１Ａ）に形成されたレジスト膜（２４）の表面に配置された保護シールを除去し、露出したレジスト膜（２４）に対して露光処理および現像処理を施すことにより、それぞれ横方向の寸法が６４００μｍで縦方向の寸法が３２０μｍの３９３個のパターン孔（２４Ｈ）を形成すると共に、各パターン孔（２４Ｈ）内に試験用ウエハＷ１に形成された被検査電極のパターンに対応するパターンに従って横方向に１００μｍのピッチで並ぶよう配置された、それぞれ縦方向の寸法が２００μｍで横方向の寸法が４０μｍの矩形の２３５８０（６０×３９３）個のレジストパターン（２４Ａ）を形成した（図１４参照）。ここで、露光処理は、高圧水銀灯によって８０ｍＪの紫外線を照射することにより行い、現像処理は、１％水酸化ナトリウム水溶液よりなる現像剤に４０秒間浸漬する操作を２回繰り返すことによって行った。
そして、積層体（２０）におけるフレーム板形成用金属板（１１Ａ）対し、塩化第二鉄系エッチング液を用い、５０℃、３０秒間の条件でエッチング処理を施すことにより、それぞれ横方向の寸法が６４００μｍで縦方向の寸法が３２０μｍの３９３個の貫通孔（１２）が形成されたフレーム板（１１）と、このフレーム板（１１）の各貫通孔（１２）内に横方向に１００μｍのピッチで並ぶよう配置された、それぞれ縦方向の寸法が２００μｍで横方向の寸法が４０μｍの矩形の２３５８０（６０×３９３）個の裏面電極部（１８ｂ）を形成した（図１５参照）。
【００９２】
次いで、４５℃の水酸化ナトリウム溶液に２分間浸漬させることにより、フレーム板（１１）および裏面電極部（１８ｂ）の各々からレジスト膜（２４）を除去した（図１６参照）。その後、液状レジスト（ＪＳＲ製、品名：ＴＨＢ−１５０Ｎ）によって、フレーム板（１１）の裏面、絶縁膜形成用シート（１６Ａ）の裏面および裏面電極部（１８ｂ）の各々を覆うよう、厚みが２５μｍのレジスト膜（２６）を形成し、このレジスト膜（２６）おける裏面電極部（１８ｂ）が位置する個所に、縦方向の寸法が２００μｍで横方向の寸法が４０μｍの矩形の２３５８０個のパターン孔（２６Ｈ）を、裏面電極部（１８ｂ）が露出するよう形成した（図１７および図１８参照）。ここで、パターン孔（２６Ｈ）の形成において、露光処理は、高圧水銀灯によって１２００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射して行い、現像処理は、現像液（ＪＳＲ製：ＰＤ５２３）に室温で１８０秒間浸漬することによって行った。
そして、金メッキ液（田中貴金属（株），品名：レクトロレス）を用い、裏面電極部（１８ｂ）に対して金メッキ処理を施すことにより、当該裏面電極部（１８ｂ）の表面に、厚み０．２μｍの金よりなる被覆膜（１９）を形成し、以て電極構造体（１７）を形成した（図１９参照）。その後、裏面電極部（１８ｂ）の表面に形成された被腹膜（１９）の表面に、液状レジスト（ＪＳＲ製、品名：ＴＨＢ−１５０Ｎ）によって、レジスト膜（２７）を形成した（図２０参照）。
【００９３】
次いで、レジスト膜（２５）の表面に配置した保護シールを除去し、レジスト膜（２５）に露光処理および現像処理を施すことにより、縦方向および横方向に伸び、電極構造体（１７）を６０個ずつ区画する、幅が１ｍｍのパターン溝（２５Ｈ）を形成した（図２１参照）。ここで、露光処理は、高圧水銀灯によって１２００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線を照射して行い、現像処理は、現像液（ＪＳＲ製：ＰＤ５２３）に室温で１８０秒間浸漬することによって行った。
その後、絶縁膜形成用シート（１６Ａ）に対し、アミン系ポリイミドエッチング液（東レエンジニアリング株式会社製、「ＴＰＥ−３０００」）を用い、８０℃、１０分間の条件でエッチング処理を施すことにより、それぞれ寸法が７．５ｍｍ×７．５ｍｍの互いに独立した３９３個の絶縁膜（１５）を形成し、以て３９３個の接点膜（１２）を形成した（図２２参照）。
そして、フレーム（１１）および接点膜（１２）からレジスト膜（２５，２６，２７）を除去すると共に、フレーム板（１１）から保護テープ（２２）を除去した。その後、フレーム板（１１）における周縁部の表面に、シリコーン系熱硬化性接着剤（信越化学製：品名１３００Ｔ）を塗布し、１５０℃に保持した状態で、シリコーン系熱硬化性接着剤が塗布された部分に、外径が２２０ｍｍ、内径が２０５ｍｍで厚み２ｍｍの窒化シリコンよりなるリング状の保持部材（１４）を配置し、更に、フレーム板（１１）と保持部材（１４）とを加圧しながら、１８０℃で２時間保持することにより、本発明に係るシート状プローブ（１０）を製造した。
【００９４】
得られたシート状プローブ（１０）の仕様は、以下の通りである。
フレーム板（１１）は、直径が２２ｃｍで厚みが２５μｍの円板状で、その材質が４２アロイである。フレーム板（１１）の貫通孔（１２）の数は３９３個で、それぞれの横方向の寸法が６４００μｍで縦方向の寸法が３２０μｍである。３９３個の接点膜（１２）の各々における絶縁膜（１３）は、材質がポリイミドで、その寸法は、横方向が７０００μｍ、縦方向が７００μｍ、厚みが１５μｍである。接点膜（１２）の各々における電極構造体（１８）は、その数が６０個（合計２３８５０個）で、横方向に１００μｍのピッチで一列に並ぶよう配置されている。電極構造体（１８）の各々における表面電極部（１８ａ）は、直径が約７５μｍで突出高さ約２５μｍの半球状であり、短絡部（１８ｃ）の直径３０μｍであり、裏面電極部（１８ｂ）は、４０μｍ×２００μｍの矩形の平板状で、被覆膜（１９）を含む裏面電極部（１８ｂ）の厚みは２５．２μｍである。
このようにして、合計で４枚のシート状プローブを製造した。これらのシート状プローブを「シート状プローブＭ１」〜「シート状プローブＭ４」とする。
【００９５】
〈比較例１〉
フレーム板形成用金属板のエッチング処理において、裏面電極部となる部分以外の部分を除去することにより、フレーム板を形成しなかったこと、および、保持部材を絶縁膜の周縁部の表面に設けたこと以外は、実施例１と同様にして合計で４枚のシート状プローブを作製した。これらのシート状プローブを「シート状プローブＮ１」〜「シート状プローブＮ４」とする。
【００９６】
〈異方導電性コネクターの作製〉
（１）磁性芯粒子の調製：
市販のニッケル粒子（Ｗｅｓｔａｉｍ社製，「ＦＣ１０００」）を用い、以下のようにして磁性芯粒子を調製した。
日清エンジニアリング株式会社製の空気分級機「ターボクラシファイア  ＴＣ−１５Ｎ」によって、ニッケル粒子２ｋｇを、比重が８．９、風量が２．５ｍ3 ／ｍｉｎ、ローター回転数が２，２５０ｒｐｍ、分級点が１５μｍ、ニッケル粒子の供給速度が６０ｇ／ｍｉｎの条件で分級処理し、粒子径が１５μｍ以下のニッケル粒子０．８ｋｇを捕集し、更に、このニッケル粒子０．８ｋｇを、比重が８．９、風量が２．５ｍ3 ／ｍｉｎ、ローター回転数が２，９３０ｒｐｍ、分級点が１０μｍ、ニッケル粒子の供給速度が３０ｇ／ｍｉｎの条件で分級処理し、ニッケル粒子０．５ｋｇを捕集した。
得られたニッケル粒子は、数平均粒子径が７．４μｍ、粒子径の変動係数が２７％、ＢＥＴ比表面積が０．４６×１０3 ｍ2 ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ2 であった。
このニッケル粒子を「磁性芯粒子［Ａ］」とする。
【００９７】
（２）導電性粒子の調製：
粉末メッキ装置の処理槽内に、磁性芯粒子［Ａ］１００ｇを投入し、更に、０．３２Ｎの塩酸水溶液２Ｌを加えて攪拌し、磁性芯粒子［Ａ］を含有するスラリーを得た。このスラリーを常温で３０分間攪拌することにより、磁性芯粒子［Ａ］の酸処理を行い、その後、１分間静置して磁性芯粒子［Ａ］を沈殿させ、上澄み液を除去した。
次いで、酸処理が施された磁性芯粒子［Ａ］に純水２Ｌを加え、常温で２分間攪拌し、その後、１分間静置して磁性芯粒子［Ａ］を沈殿させ、上澄み液を除去した。この操作を更に２回繰り返すことにより、磁性芯粒子［Ａ］の洗浄処理を行った。
そして、酸処理および洗浄処理が施された磁性芯粒子［Ａ］に、金の含有割合が２０ｇ／Ｌの金メッキ液２Ｌを加え、処理層内の温度を９０℃に昇温して攪拌することにより、スラリーを調製した。この状態で、スラリーを攪拌しながら、磁性芯粒子［Ａ］に対して金の置換メッキを行った。その後、スラリーを放冷しながら静置して粒子を沈殿させ、上澄み液を除去することにより、導電性粒子を調製した。
このようにして得られた導電性粒子に純水２Ｌを加え、常温で２分間攪拌し、その後、１分間静置して導電性粒子を沈殿させ、上澄み液を除去した。この操作を更に２回繰り返し、その後、９０℃に加熱した純水２Ｌを加えて攪拌し、得られたスラリーを濾紙によって濾過して導電性粒子を回収した。そして、この導電性粒子を、９０℃に設定された乾燥機によって乾燥処理した。
得られた導電性粒子は、数平均粒子径が７．３μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．３８×１０3 ｍ2 ／ｋｇ、（被覆層を形成する金の質量）／（磁性芯粒子［Ａ］の質量）の値が０．３であった。
この導電性粒子を「導電性粒子（ａ）」とする。
【００９８】
（３）フレーム板の作製：
図４０および図４１に示す構成に従い、下記の条件により、上記の試験用ウエハＷ１における各被検査電極領域に対応して形成された３９３個の異方導電膜配置用孔（４２）を有する直径が８インチのフレーム板（４１）を作製した。
このフレーム板（４１）の材質はコバール（線熱膨張係数５×１０-6／Ｋ）で、その厚みは、６０μｍである。
異方導電膜配置用孔（４２）の各々は、その横方向（図４０および図４１において左右方向）の寸法が６４００μｍで縦方向（図４０および図４１において上下方向）の寸法が３２０μｍである。
縦方向に隣接する異方導電膜配置用孔（４２）の間の中央位置には、円形の空気流入孔（４４）が形成されており、その直径は１０００μｍである。
【００９９】
（４）成形材料の調製：
付加型液状シリコーンゴム１００重量部に、導電性粒子［ａ］３０重量部を添加して混合し、その後、減圧による脱泡処理を施すことにより、成形材料を調製した。
以上において、使用した付加型液状シリコーンゴムは、それぞれ粘度が２５０Ｐａ・ｓであるＡ液およびＢ液よりなる二液型のものであって、その硬化物の圧縮永久歪みが５％、デュロメーターＡ硬度が３２、引裂強度が２５ｋＮ／ｍのものである。
ここで、付加型液状シリコーンゴムおよびその硬化物の特性は、以下のようにして測定されたものである。
（ｉ）付加型液状シリコーンゴムの粘度は、Ｂ型粘度計により、２３±２℃における値を測定した。
（ii）シリコーンゴム硬化物の圧縮永久歪みは、次のようにして測定した。
二液型の付加型液状シリコーンゴムにおけるＡ液とＢ液とを等量となる割合で攪拌混合した。次いで、この混合物を金型に流し込み、当該混合物に対して減圧による脱泡処理を行った後、１２０℃、３０分間の条件で硬化処理を行うことにより、厚みが１２．７ｍｍ、直径が２９ｍｍのシリコーンゴム硬化物よりなる円柱体を作製し、この円柱体に対して、２００℃、４時間の条件でポストキュアを行った。このようにして得られた円柱体を試験片として用い、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９に準拠して１５０±２℃における圧縮永久歪みを測定した。
（iii)シリコーンゴム硬化物の引裂強度は、次のようにして測定した。
上記（ii）と同様の条件で付加型液状シリコーンゴムの硬化処理およびポストキュアを行うことにより、厚みが２．５ｍｍのシートを作製した。このシートから打ち抜きによってクレセント形の試験片を作製し、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９に準拠して２３±２℃における引裂強度を測定した。
（iv）デュロメーターＡ硬度は、上記（iii)と同様にして作製されたシートを５枚重ね合わせ、得られた積重体を試験片として用い、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９に準拠して２３±２℃における値を測定した。
【０１００】
（５）異方導電性コネクターの作製：
上記（１）で作製したフレーム板（４１）および上記（４）で調製した成形材料を用い、特開２００２−３２４６００号公報に記載された方法に従って、フレーム板（４１）に、それぞれの異方導電膜配置用孔（４２）内に配置され、当該異方導電膜配置用孔（４２）の周辺部に固定されて支持された、図３０に示す構成の３９３個の弾性異方導電膜（５０）を形成することにより、異方導電性コネクター（４０）を製造した。ここで、成形材料層の硬化処理は、電磁石によって厚み方向に２Ｔの磁場を作用させながら、１００℃、１時間の条件で行った。
得られた弾性異方導電膜（５０）について具体的に説明すると、弾性異方導電膜の各々は、横方向の寸法が７０００μｍ、縦方向の寸法が１２００μｍであり、その機能部（５１）には、６０個の接続用導電部（５２）が絶縁部（５３）によって互いに絶縁された状態で１００μｍのピッチで横方向に一列に配列されており、接続用導電部（５２）の各々は、横方向の寸法が４０μｍ、縦方向の寸法が２００μｍ、厚みが１５０μｍ、突出部（５４）の突出高さが２５μｍ、絶縁部（５３）の厚みが１００μｍである。また、横方向において最も外側に位置する接続用導電部（５２）とフレーム板（４１）との間には、非接続用の導電部が配置されている。非接続用の導電部の各々は、横方向の寸法が６０μｍ、縦方向の寸法が２００μｍ、厚みが１５０μｍである。また、弾性異方導電膜（５０）の各々における被支持部（５５）の厚み（二股部分の一方の厚み）は２０μｍである。
また、各弾性異方導電膜（５０）における接続用導電部（５２）中の導電性粒子の含有割合を調べたところ、全ての接続用導電部（５２）について体積分率で約２５％であった。
このようにして、合計で８枚の異方導電性コネクターを製造した。これらの異方導電性コネクターを「異方導電性コネクターＣ１」〜「異方導電性コネクターＣ８」とする。
【０１０１】
〈検査用回路基板の作製〉
基板材料としてアルミナセラミックス（線熱膨張係数４．８×１０-6／Ｋ）を用い、試験用ウエハＷ１における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査用電極（３１）が形成された検査用回路基板（３０）を作製した。この検査用回路基板（３０）は、全体の寸法が３０ｃｍ×３０ｃｍの矩形であり、その検査用電極は、横方向の寸法が６０μｍで縦方向の寸法が２００μｍである。得られた検査用回路基板を「検査用回路基板Ｔ１」とする。
【０１０２】
〈シート状フローブの評価〉
（１）試験１（隣接する電極構造体間の絶縁性）：
シート状プローブＭ１、シート状プローブＭ２、シート状プローブＮ１およびシート状プローブＮ２の各々について、以下のようにして隣接する電極構造体間の絶縁性の評価を行った。
室温（２５℃）下において、試験用ウエハＷ１を試験台に配置し、この試験用ウエハＷ２の表面上に、シート状プローブをその表面電極部の各々が当該試験用ウエハＷ１の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、このシート状プローブ上に、異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該シート状プローブの裏面電極部上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電性コネクター上に、検査用回路基板Ｔ１をその検査用電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に検査用回路基板Ｔ１を下方に１１８ｋｇの荷重（電極構造体１個当たりに加わる荷重が平均で約５ｇ）で加圧した。ここで、異方導電性コネクターとしては下記表１に示すものを使用した。
そして、検査用回路基板Ｔ１における２３５８０個の検査用電極の各々に順次電圧を印加すると共に、電圧が印加された検査用電極と他の検査用電極との間の間の電気抵抗をシート状プローブにおける電極構造体間の電気抵抗（以下、「絶縁抵抗」という。）として測定し、全測定点における絶縁抵抗が１０ＭΩ以下である測定点の割合（以下、「絶縁不良割合」という。）を求めた。
ここで、絶縁抵抗が１０ＭΩ以下である場合には、実際上、ウエハに形成された集積回路の電気的検査に使用することが困難である。
以上の結果を下記結果を表１に示す。
【０１０３】
【表１】
2004361395.tif 000003
【０１０４】
（２）試験２（電極構造体の接続安定性）：
シート状プローブＭ３、シート状プローブＭ４、シート状プローブＮ３およびシート状プローブＮ４の各々について、以下のようにして被検査電極に対する電極構造体の接続安定性の評価を行った。
室温（２５℃）下において、試験用ウエハＷ２を、電熱ヒーターを具えた試験台に配置し、この試験用ウエハＷ２の表面上に、シート状プローブをその表面電極部の各々が当該試験用ウエハＷ２の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、このシート状プローブ上に、異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該シート状プローブの裏面電極部上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電性コネクター上に、検査用回路基板Ｔ１をその検査用電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に検査用回路基板Ｔ１を下方に１１８ｋｇの荷重（電極構造体１個当たりに加わる荷重が平均で約５ｇ）で加圧した。ここで、異方導電性コネクターとしては下記表２に示すものを使用した。
そして、検査用回路基板Ｔ１における２３５８０個の検査用電極について、シート状プローブ、異方導電性コネクターおよび試験用ウエハＷ２を介して互いに電気的に接続された２個の検査用電極の間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値の２分の１の値を、検査用回路基板Ｔ１の検査用電極と試験用ウエハＷ２の被検査電極との間の電気抵抗（以下、「導通抵抗」という。）として記録し、全測定点における導通抵抗が１Ω以上である測定点の割合（以下、「接続不良割合」という。）を求めた。この操作を「操作（１）」とする。
次いで、検査用回路基板Ｔ１に対する加圧を解除し、その後、試験台を１５０℃に昇温してその温度が安定するまで放置し、その後、検査用回路基板Ｔ１を下方に１１８ｋｇの荷重（電極構造体１個当たりに加わる荷重が平均で約５ｇ）で加圧し、上記操作（１）と同様にして接続不良割合を求めた。この操作を「操作（２）」とする。
次いで、検査用回路基板Ｔ１に対する加圧を解除し、その後、試験台を室温（２５℃）まで冷却した。この操作を「操作（３）」とする。
そして、上記の操作（１）、操作（２）および操作（３）を１サイクルとして合計で５００サイクル連続して行った。
ここで、導通抵抗が１Ω以上である場合には、実際上、ウエハに形成された集積回路の電気的検査に使用することが困難である。
以上の結果を下記結果を表２に示す。
【０１０５】
【表２】
2004361395.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明に係るシート状プローブの第１の例を示す平面図である。
【図２】第１の例のシート状プローブの接点膜を拡大して示す平面図である。
【図３】第１の例のシート状プローブの接点膜の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図４】第１の例のシート状プローブにおけるフレーム板を示す平面図である。
【図５】シート状プローブを製造するための積層体の構成を示す説明用断面図である。
【図６】図５に示す積層体の両面にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図７】金属層上に形成されたレジスト膜にパターン孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図８】金属層に開口が形成されて金属マスクが形成された状態を示す説明用断面図である。
【図９】金属マスクからレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。
【図１０】絶縁膜形成用シートから金属マスクが除去された状態を示す説明用断面図である。
【図１１】絶縁膜形成用シートに、電極構造体形成用の貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１２】絶縁膜形成用シートに短絡部および表面電極部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１３】絶縁膜形成用シートおよひ表面電極部を覆うようレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１４】フレーム板形成用金属板上に形成されたレジスト膜にパターン孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１５】フレーム板形成用金属板がエンチング処理されてフレーム板および裏面電極部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１６】フレーム板からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。
【図１７】フレーム板、絶縁膜形成用シートおよび裏面電極部の表面を覆うようレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１８】図１７において形成されたレジスト膜にパターン孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１９】裏面電極部上に被覆膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２０】被覆膜上にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２１】絶縁膜形成用シートおよび表面電極部の表面に形成されたレジスト膜にパターン溝が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２２】絶縁膜形成用シートがエッチング処理されて複数の絶縁膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２３】本発明に係るシート状プローブの第２の例を示す平面図である。
【図２４】第２の例のシート状プローブにおける接点膜の要部を拡大して示す平面図である。
【図２５】第２の例のシート状プローブの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図２６】本発明に係るシート状プローブの第３の例を示す平面図である。
【図２７】第３の例のシート状プローブにおける接点膜の要部を拡大して示す平面図である。
【図２８】第３の例のシート状プローブの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図２９】本発明に係るプローブカードの第１の例の構成を示す説明用断面図である。
【図３０】第１の例のプローブカードの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図３１】第１の例のプローブカードにおける異方導電性コネクターを示す平面図である。
【図３２】本発明に係るプローブカードの第２の例の構成を示す説明用断面図である。
【図３３】第２の例のプローブカードの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。
【図３４】本発明に係るウエハ検査装置の第１の例の構成を示す説明用断面図である。
【図３５】本発明に係るウエハ検査装置の第２の例の構成を示す説明用断面図である。
【図３６】本発明に係るシート状プローブの他の例を示す平面図である。
【図３７】実施例で作製した試験用ウエハを示す平面図である。
【図３８】図３７に示す試験用ウエハに形成された集積回路の電極領域の位置を示す説明図である。
【図３９】図３７に示す試験用ウエハに形成された集積回路の被検査電極の配置パターンを示す説明図である。
【図４０】実施例で作製した異方導電性コネクターにおけるフレーム板を示す平面図である。
【図４１】図４０に示すフレーム板の一部を拡大して示す説明図である。
【図４２】従来のシート状プローブの構成を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１  ウエハ
２  被検査電極
１０  シート状プローブ
１１  フレーム板
１１Ａ  フレーム板形成用金属板
１２  貫通孔
１３  位置決め孔
１４  保持部材
１５  接点膜
１６  絶縁膜
１６Ａ  絶縁膜形成用シート
１７  電極構造体
１７Ｈ  貫通孔
１８ａ  表面電極部
１８ｂ  裏面電極部
１８ｃ  短絡部
１９  被覆膜
２０  積層体
２１  金属層
２１Ｍ  金属マスク
２１Ｈ  開口
２２  保護テープ
２３，２４，２５，２６，２７  レジスト膜
２４Ａ  レジストパターン
２３Ｈ，２４Ｈ，２６Ｈ  パターン孔
２５Ｈ  パターン溝
３０  プローブカード
３１  検査用回路基板
３２  検査用電極
３３  ガイドピン
３５  加圧板
３６  ウエハ載置台
３７  加熱器
４０  異方導電性コネクター
４１  フレーム板
４２  異方導電膜配置用孔
４４  空気流入孔
５０  弾性異方導電膜
５１  機能部
５２  接続用導電部
５３  絶縁部
５４  突出部
５５  被支持部
９０  シート状プローブ
９１  絶縁性シート
９２  保持部材
９５  電極構造体
９６  表面電極部
９７  裏面電極部
９８  短絡部
Ｐ  導電性粒子
【図１】
2004361395.tif 000005
【図２】
2004361395.tif 000006
【図３】
2004361395.tif 000007
【図４】
2004361395.tif 000008
【図５】
2004361395.tif 000009
【図６】
2004361395.tif 000010
【図７】
2004361395.tif 000011
【図８】
2004361395.tif 000012
【図９】
2004361395.tif 000013
【図１０】
2004361395.tif 000014
【図１１】
2004361395.tif 000015
【図１２】
2004361395.tif 000016
【図１３】
2004361395.tif 000017
【図１４】
2004361395.tif 000018
【図１５】
2004361395.tif 000019
【図１６】
2004361395.tif 000020
【図１７】
2004361395.tif 000021
【図１８】
2004361395.tif 000022
【図１９】
2004361395.tif 000023
【図２０】
2004361395.tif 000024
【図２１】
2004361395.tif 000025
【図２２】
2004361395.tif 000026
【図２３】
2004361395.tif 000027
【図２４】
2004361395.tif 000028
【図２５】
2004361395.tif 000029
【図２６】
2004361395.tif 000030
【図２７】
2004361395.tif 000031
【図２８】
2004361395.tif 000032
【図２９】
2004361395.tif 000033
【図３０】
2004361395.tif 000034
【図３１】
2004361395.tif 000035
【図３２】
2004361395.tif 000036
【図３３】
2004361395.tif 000037
【図３４】
2004361395.tif 000038
【図３５】
2004361395.tif 000039
【図３６】
2004361395.tif 000040
【図３７】
2004361395.tif 000041
【図３８】
2004361395.tif 000042
【図３９】
2004361395.tif 000043
【図４０】
2004361395.tif 000044
【図４１】
2004361395.tif 000045
【図４２】
2004361395.tif 000046