(57)【要約】【課題】分岐や合流を有し、複数の溶液の混合や反応速度を早くする立体構造の流路を有するマイクロ流体素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、前記複数の樹脂層に立体流体回路を形成したマイクロ流体素子。および、（ａ）基板上に樹脂層を形成し、該樹脂層をレーザ加工により除去して、流体の流路となる所定のパターンの溝を形成し、（ｂ）加工後の樹脂層の表面全体を樹脂コートして次ぎの樹脂層を形成し、該次ぎの樹脂層にレーザ加工で溝、及び／又は、該樹脂コートされたの樹脂層に形成された溝との貫通穴を形成し、加工後の次ぎの樹脂層の表面全体を樹脂コートし、（ｃ）前記（ｂ）工程を繰り返し、（ｄ）最後に樹脂コートし立体の流体回路を形成する工程とからなるマイクロ流体素子の製造方法。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、該複数の樹脂層に立体流体回路を形成したことを特徴とするマイクロ流体素子。
【請求項２】
（ａ）基板上に樹脂層を形成し、該樹脂層をレーザ加工により除去して、流体の流路となる所定のパターンの溝を形成する工程と、
（ｂ）加工後の樹脂層の表面全体を樹脂コートして次ぎの樹脂層を形成し、該次ぎの樹脂層にレーザ加工で溝、及び／又は、樹脂コートされた樹脂層に形成された溝との貫通穴を形成する工程と、
（ｃ）前記（ｂ）の工程を繰り返す工程と、
（ｄ）最後に樹脂コートし、出口及び入口を設け、立体流体回路を形成する工程とからなることを特徴とするマイクロ流体素子の製造方法。
【請求項３】
樹脂層の形成方法がラミネート法である請求項２記載のマイクロ流体素子の製造方法。
【請求項４】
樹脂層の形成方法がスピンコート法である請求項２記載のマイクロ流体素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、いわゆるμ−ＴＡＳ（マイクロ化学分析システム）を実現するマイクロ流体素子と、その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、様々な分野において、流体の成分分析は特定施設で行なわれければならず、分析には長時間が必要とされてきた。そこで、小型で高感度の微量流体デバイスの必要性が高まっており、分離器、混合器、検出部、分析部をカードサイズに小型・集積化したマイクロ化学分析システム（μ−ＴＡＳ）の開発が進められてきている。流体の成分分析のμ−ＴＡＳには、マイクロ流体素子が用いられる。
従来のμ−ＴＡＳの典型的な構造は、基板上に微小な流路、サンプリング部、フィルター、カラム、検出器などを小型・集積化したものである。μ−ＴＡＳによる分析において、省スペース化、省電力化、時間短縮、試料・試薬の低減等が図られるものである。
【０００３】
近年、遺伝子研究や犯罪捜査などを中心に様々な分野において、ＤＮＡや毒物などの微量流体に対する成分分析を目的としたデバイスの小型化と高感度である検出法の開発の必要性が高まっている。少ないサンプル量での高精度の分析では、現在、最も広く用いられている蛍光分析などの分光分析方法では不備な点が多く、小型化しても検出感度の点での利点は報告されていない。しかし、μ−ＴＡＳではサンプルや試薬の量が少量で計測が行えることが予想できる。
【０００４】
また、医療分野においても、現在、赤血球や白血球の数のカウントをはじめとして、各種のタンパク質、ホルモンや抗原抗体等のさまざまなパラメータを測定するのに、最終的には非常に高価かつ大がかりな生化学分析装置が使われているが、μ−ＴＡＳを応用し、このような分析、測定を安価、迅速、高感度に行うことが検討されている。さらにμ−ＴＡＳを使うことにより、部品の取り替えなどが簡易化でき、血液分析では感染の心配がなくなり、医療分野での衛生面の発展にも寄与することが期待される。
その他にも、米国を中心に最も盛んに研究されている、遺伝子情報（ＤＮＡ）分析の分野でも活躍が予想される。人のＤＮＡをすべて解読し、難病の原因を遺伝子レベルで突き止め、個人に合った治療を行うことを最終目標の一つとして実験され、個人レベルの遺伝子解読を迅速、正確に行うという観点からも、μ−ＴＡＳの技術は期待されている。
システム自体においてもμ−ＴＡＳは小型化、低コスト化、無効体積の減少などを可能にすることができる。また、計測に必要なサンプルや試薬の量を大幅に低減でき、分析で生じる廃液の量も低減出来る。このように、利点の多さから、さまざまな分野において応用、さらなる発展が期待されている。
【０００５】
このようなμ−ＴＡＳにおいては、従来、微細化した、流路と分析、検出部などを組合せこれを基板と固定して設けたものが提案されている。
このような従来のμ−ＴＡＳは、これを１回使用する毎に系全体を洗浄したりしなければならず、特に医療分野や遺伝子情報の分析においては、使い捨てにしてしまわなければならない。しかし、このようなμ−ＴＡＳはそれ自体高価な微細システムであり、全てを使い捨てにしなくてよいシステム、装置の開発が望まれる。
【０００６】
一方、微小構造物を作成する方法として、レーザによる樹脂加工が注目されている。レーザを利用することによって、微小流体素子のチャネルパターンを一筆書き、及び、高速で加工することができる。また、レーザ走査に加速度を持たせることにより段差や傾斜を持つマイクロチャネルの作成などが可能である。そして紫外線レーザを利用することでアブレーションによる熱影響の少ない微細加工が期待できる（例えば、非特許文献１参照）。
そこで測定分析ごとの汚染したものについて使い捨てにしないで再生、再使用できμ−ＴＡＳの構成要素である流路（溝）などを、レーザを用いて加工した基板と基板上の樹脂層と樹脂層を覆った樹脂コートを有し、前記樹脂層中に流体回路を形成し、再生、再使用できるμ−ＴＡＳを可能にするマイクロ流体素子も開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【非特許文献１】
吉田善一著「マイクロ加工の物理と応用」裳華房、１９９８年３月２５日
【特許文献１】
特開２００２−２８３２９３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来のマイクロ流体素子においては、液体を混合するためには、典型的には図８に示すように、別々の流体導入口５１，５２から流体を平面混合流路に導入し（図８（ａ）参照）、流路が合流した後、くし歯型電極５３の作用により、それぞれの流体に含まれる物質粒子５５が矢印のように泳動して混合され（図８（ｂ）参照）、混合液が排出口５４から排出されるものであった。
しかしながら、このような混合方法では電気エネルギーを必要とする。また、混合される物質は電気泳動が起こる物質に限られるものであった。
そこで本発明は、複数の溶液の混合や反応速度を早くする、分岐や合流を有する立体構造の流路を有するマイクロ流体素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記の課題は次の手段によって達成された。
すなわち本発明は、
（１）基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、該複数の樹脂層に立体流体回路を形成したことを特徴とするマイクロ流体素子、
（２）（ａ）基板上に樹脂層を形成し、該樹脂層をレーザ加工により除去して、流体の流路となる所定のパターンの溝を形成する工程と、
（ｂ）加工後の樹脂層の表面全体を樹脂コートして次ぎの樹脂層を形成し、該次ぎの樹脂層にレーザ加工で溝、及び／又は、樹脂コートされた樹脂層に形成された溝との貫通穴を形成する工程と、
（ｃ）前記（ｂ）工程を繰り返す工程と、
（ｄ）最後に樹脂コートし、入口及び出口を設け、立体流体回路を形成する工程とからなることを特徴とするマイクロ流体素子の製造方法、
（３）樹脂層の形成方法がラミネート法である（２）項記載のマイクロ流体素子の製造方法、及び、
（４）樹脂層の形成方法がスピンコート法である（２）項記載のマイクロ流体素子の製造方法
を提供するものである。
本発明におけるマイクロ流体素子は前記のμ−ＴＡＳに用いられるものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明のマイクロ流体素子のまず製造方法を図面に従って説明する。
図１は本発明のマイクロ流体素子の一例の製造工程を示すものである。マイクロ流体素子を構成する立体流体回路（以下、マイクロチャネルという）内では流体の輸送、混合、攪拌、分離などが行われる。ソーダガラス上に熱硬化性ラミネートフィルムを多層化し、その層毎にチャネルの一部分をレーザで作成し、３次元的な合流チャネルの作成が出来る。
図１（ａ）はソーダガラスなどの基板１に、後述する１層目の樹脂層２をラミネートした状態を示す斜視図である。図１（ｂ）はレーザ加工工程で、前記の１層目の樹脂層２をレーザ光により加工して溝３を形成した状態を示す。レーザ光により流路を形成する方法は、特に限定するものではなく、レーザ光の光源を目的とする形成しようとする回路のパターン（溝の幅、深さ、回路の形）に合わせて走査露光させる方法、レーザ光源を固定して基板１を目的とする回路に合わせたパターンが形成されるようにレーザ光に対して移動させる方法などがある。
【００１１】
次に、図１（ｃ）に示すように、溝３からなる流路を有する樹脂層の上に、ラミネートを施し、構成要素全体を覆って、２層目の樹脂層４を製作し、１層目と同様にレーザ加工して貫通穴５を形成する。次いで、図（ｄ）に示すように３層目の樹脂層６を同様にラミネート加工した後、レーザ加工を施し、溝７及び貫通穴８を形成する。さらに、図（ｅ）に示すように、４層目の樹脂層９を同様にラミネート加工した後、レーザ加工を施し貫通穴１０を形成する。以上の加工工程によって図２の斜視図に示す、入口Ａ１１、入口Ｂ１２及び出口１３を有するマイクロチャネルが形成される。
【００１２】
本発明において基板として、ソーダガラス、シリコン、石英ガラス、セラミックス、金属などの無機材料のほか、テフロン（商品名、ポリテトラフルオロエチレン）その他のプラスチックスなども用いられる。のマイクロ流体素子の回路形成面と反対側（下面）から光照射して、分析等を行う場合は、基板としては石英のような光透過性材料を用いるのが好ましい。基板の厚さは特に制限するものではないが、好ましくは、０．１〜５ｍｍ、より好ましくは０．４〜１ｍｍの範囲である。
【００１３】
基板上に塗布する各樹脂層の厚さも特に制限はないが、好ましくは１０〜１０００μｍ、より好ましくは２０〜５０μｍである。この樹脂層の厚さは、測定する種類、それに必要な試料の量などとの関係で定められる。この厚さがあまりに厚すぎるとレーザ加工が困難であり、また薄すぎるとサンプル液などの流体が流れなくなる。使用する樹脂としては、基板上にスピンコート法、ラミネート法などにより塗布しやすく、分析サンプルと反応したりそれに溶出することのないものであれば、どのようなものでも良く、低価格化、洗浄や交換の簡易化を図るために、使用したのち容易に洗い落とすことができるような樹脂が好ましい。このような樹脂を用いることにより、すべてを捨てずに済み、衛生的で、シリコン基板を再利用することが出来る。
【００１４】
樹脂としては、上記の条件を満たすものであればどのようなものでもよいが、例えば、ポリイミドのような熱硬化性樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂（ＢＣＢ）、テフロン（商品名、ポリテトラフルオロエチレン）のようなフッ素樹脂などがあげられる。樹脂層２の厚さと流路の溝３の深さは通常同じとする。しかし、流路回路のある部分の機能によっては部分的に樹脂を残すようにしてもよい。また、光計測を行う場合は、計測光の波長以下であれば樹脂が部分的に残っていても問題無い。
【００１５】
樹脂層に流路を形成する加工はレーザ加工で行うのが好ましい。レーザとしては紫外レーザが好ましい。
紫外線による加工により、熱的影響の少ない加工ができる。機械加工等は、熱による歪や損傷によって精密な加工が困難であるが、紫外線レーザを用いた加工により、発生する熱が少なく、被加工物の熱による精度の低下を抑制できる。さらにレーザの集光性は波長に大きく依存し、波長が短いほど集光性が良い。よって高精度が要求される精密加工や微細加工への利用が可能である。また熱が発生しにくいことは、熱に弱い樹脂などの材料への加工も可能にする。
このような紫外レーザ光の中で、好ましい紫外レーザ光は、波長３５０ｎｍ以下であり、より好ましくは１５０〜３００ｎｍの範囲である。
【００１６】
本発明において紫外レーザ光で加工した場合、レーザアブレーション現象により溝形成が行われると考えられる。この機構は次のように考えられる。紫外レーザを高分子材料に照射すると、分子の結合が切れて蒸発する。（ａ）最初に波長が２５０ｎｍなどの紫外線レーザを数十ｎｓで高分子材料に照射すると、（ｂ）高分子材料表面に励起分子や種々の活性種が高密度に生成する。（ｃ）分子がレーザから受け取ったエネルギがその分子を構成する化学結合よりも大きい場合（材料固有の値である加工しきい値を上回っている場合）には、その化学結合が切断され、分子レベルあるいは原子レベルにまで分解される。そのため、急激な体積膨張を生じる。（ｄ）このとき過剰に与えられたエネルギが分子の運動エネルギとなり、分子は被加工物上方の開放された空間へ噴出し除去が行われる。
【００１７】
樹脂層をラミネート法による樹脂コートで形成する場合、ラミネート法自体は幾つかの種類があり、いずれの方法を用いて行ってもよい。その具体例としては、樹脂フィルムのラミネートの場合、エキストルージョンラミネート、ドライラミネート、ウェットラミネートが代表的である。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミドにエポキシ系接着層を設けたラミネートフィルムなどが挙げられる。
【００１８】
本発明では、基板上にラミネートした樹脂フィルムにレーザで溝を形成し、その上にまた樹脂フィルムをラミネートすることが好ましい。この場合、その樹脂フィルムにも溝や穴を形成する。また、さらに、樹脂フィルムをラミネートし、そこにも溝や穴を形成する。これを繰り返すことで樹脂フィルムの積層構造の内部に立体の流路を作製し、最後に樹脂フィルムでラミネートすることによりカバーを作製し、出入り口を作りマイクロ流体素子を作ることが好ましい。
ラミネートした次ぎの樹脂層を紫外レーザにより加工する場合、波長、パルスエネルギー、パルス幅、繰り返し数などの加工条件を適宜選択することで、樹脂層の界面までの加工を行なうことができ、当該樹脂層中に溝、又は、ラミネートされた樹脂層に形成された溝に貫通する貫通穴を形成することができる。
【００１９】
樹脂層の形成方法は、上記ようなのラミネート法に代えて、従来行なわれているスピンコート法のいずれかを用いて行なうことができる。
【００２０】
上記の製造方法により、基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、前記複数の樹脂層に一体となった立体流体回路を形成したマイクロ流体素子が製造される。
本発明における立体流路回路は、好ましくは、立体混合流路である。立体混合流路を有するマイクロ流体素子の別々の入口から、微小量送液ポンプなどで微少量の流体Ａ４１及び流体Ｂ４２を導入し、図７に示すように、合流部の立体的形状の流路を利用して矢印方向に送液することにより、それぞれの流体Ａ及びＢに含まれる物質を均一に混合できるものである。このように、これまで均一の混合が困難であった微小量の溶液において、分岐や合流部を設けることにより、混合を素早く行なうことができる。この方法では、図８に示す電気的方法のように混合において電気エネルギーを必要としない。
本発明で混合される物質はその物質間で反応を起こすものであってもよく、従来の電気的混合方法に比べ、反応速度を早くすることができる。
立体混合流路で混合される流体は、特に限定されるものではないが、例えば、血液サンプルや分析用試薬溶液などが挙げられる。
【００２１】
本発明においては、カードサイズのμ−ＴＡＳを実現するため、微小流路を樹脂部に深さ２０〜３０μｍ、幅２０〜１００μｍの大きさで作成することが好ましい。微小流路を樹脂レーザアブレーション法により作成することにより、１．樹脂の加工が容易、２．３次元的な構造の作成が可能、３．マスクを利用しパターンの除去ができるという利点がある。
【００２２】
本発明のマイクロ流体素子は、前記の従来の技術の項で述べたような公知の種々のμ−ＴＡＳに応用することができる。その中で用いる検出法のいくつかの例について述べる。
１）電気化学検出法
化学システムを１枚の基板上に集積化するという観点からは、検出も基板上に集積化しているので本発明に好適である。マイクロ電極はマイクロマシニング技術を用いれば、容易に基板上に作製することが可能であり、光源も要さず、ミクロ化学システムには理想的な検出法の一つとなりえる。
２）化学発光法
化学発光を利用する検出法は、反応系自体が発光するので、レーザのような外部光源や顕微鏡のような複雑な光学系が必要なく、高感度な光検出器があればよい。従って、マイクロ電極と同様に集積化するのに理想的な検出法の一つである。
３）電気化学発光法
電気化学発光法は、電極に電圧を印加することで化学発光を制御することができるため、簡便で信頼性の高い結果が得られる。
【００２３】
本発明のマイクロ流体素子は、樹脂層を溶剤で洗浄することにより再びもとのシリコン基板に戻すことができる。
【００２４】
【実施例】
次に本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明する。
実施例１
加工基板はソーダガラス（厚さ１．３ｍｍ）に熱硬化性ラミネートフィルム（ニッカン工業株式会社製、ニカフレックス（商品名））をラミネートしたものを用いた。このラミネートフィルムは厚さ２５μｍのポリイミド層と、厚さ２０μｍのエポキシ接着材層を貼り合わせたものである。
加工機はパルスＮｄ：ＹＡＧレーザ（クアンテル社製、ブリリアント（商品名））を用いた。加工条件は波長２６６ｎｍ、パルスエネルギー３．１ｍＪ、パルス幅４．３ｎｓ、繰り返し数１０Ｈｚである。レーザビームは固定し、加工基板は位置決め精度５μｍのＸＹステージで移動させた。加工材料移動速度は８１μｍ／ｓｅｃ、集光形状はφ３５μｍの円形であった。
【００２５】
ＹＡＧレーザの第４高調波（２６６ｎｍ）を用いて樹脂部に微量流体素子の幅２０〜１００μｍ、深さ２０〜３０μｍのチャネル（流路）を加工し、図３（ａ）に示すマイクロチャネルを有するマイクロ流体素子を作成した。また、図３（ａ）で２１は入口Ａ、２２は入口Ｂ、２３は合流部、２４は出口である。入口から導入された流体は矢印方向に進むものである。また、図３（ｂ）は、合流部２３の断面図である。２５は基板、２６は１層目の樹脂層、２７は２層目の樹脂層、２８は４層目の樹脂層である。入口Ｂ２２から圧力を与えられて導入された流体は、１層目に形成されたチャネルを流れ、合流部で２層目に形成された貫通穴を通じて、３層目に形成されたチャネル入口Ａ２１からの流体と混合し、矢印方向に流れ、出口２４にから排出される。
【００２６】
このマイクロチャネルの形成過程を図４に示す。はじめにガラス上のフィルムに図４（ａ）で黒塗りで示した１層目の溝をレーザで作成する。次に、２層目のフィルムをラミネートし、図４（ｂ）、（ｃ）で黒塗りで示した１層目の溝に貫通する２層目の貫通穴をレーザで作成する。次ぎに、３層目のフィルムをラミネートし、図４（ｄ）で黒塗りで示した３層目の溝及び２層目の穴に貫通する貫通穴をレーザで作成する。最後に、４層目のフィルムをラミネートし、図４（ｅ）で黒塗りで示した４層目の入口及び出口をレーザで作成しマイクロチャネルを作成した。
【００２７】
実施例２
実施例１とレーザで作成するパターンを変更した以外は実施例１と同様に図５（ａ）に示すマイクロチャネルを有するマイクロ流体素子を作成した。図５（ａ）で３１は入口Ａ、３２は入口Ｂ、３３は合流部入口である。合流部から出口までチャネルで繋がっている（図示せず）。図５（ｂ）は合流部入口３３の断面図である。３４、３５は入口Ａに繋がるチャネル、３６、３７入口Ｂに繋がるチャネル、３８は樹脂層である。
【００２８】
このマイクロチャネルの形成過程を図６に示す。はじめにガラス上のフィルムに図６（ａ）で黒塗りで示した１層目の溝をレーザで作成する。次に、２層目のフィルムをラミネートし、図６（ｂ）で黒塗りで示した１層目の溝に貫通する２層目の貫通穴をレーザで作成する。次ぎに、３層目のフィルムをラミネートし、図６（ｃ）で黒塗りで示した３層目の溝及び２層目の穴に貫通する貫通穴をレーザで作成する。最後に、４層目のフィルムをラミネートし、図４（ｄ）で黒塗りで示した４層目の入口をレーザで作成しマイクロチャネルを作成した。
【００２９】
２層目のフィルムに作成した合流部での２本のチャネルを光学顕微鏡写真で観察したところ、チャネルの中心間距離は１５０μｍであった。チャネルに挟まれた部分はフィルムが剥離しており、この剥離部分を利用し、幅の広いチャネルとした。また、別の溝加工部においても幅１４０μｍの剥離が生じていた。これらの剥離は次の層のフィルムのラミネート加工にて、剥離が解消し、幅広いチャネルとすることができた。
【００３０】
（送液実験）
次に実施例１及び２で作成したチャネルに純水の送液実験を行った。送液には微少量マイクロポンプ（マイクロ−テックサイエンティフィック社、ウルトラ−プラスＩＩ（商品名））を用いた。いずれの場合も顕微鏡下の観察で、入口から流量５μｌ／ｍｉｎで導入された純水は合流部を通り、出口から排出されることが確認された。このとき、チャネルに剥離などの損傷はなかった。
また、実施例１のマイクロチャネルにおいて、入口Ａ２１からインクを、入口Ｂ２２から純水を導入すると合流部２３で混合され、導入されたインクより色の薄い均一な混合液が出口から排出された。
また、実施例２のマイクロチャネルにおいても、入口Ａからインクを、入口Ｂから純水を導入すると合流部で均一に混合されることが観察された。
【００３１】
以上の実施例により、本発明の製造方法は、フィルムを積層化させて、立体流路回路を形成でき、形成された立体流路回路では溶液の良好な混合をすることができることが示された。
また、溝加工によって生じたフィルムの剥離は、再ラミネートにより解消でき、フィルムの剥離を利用して、最大溝幅１８０μｍの流路を形成できることが示された。
さらに、本実施例のマイクロ流体素子は、純水を用いた流量５μｌ／ｍｉｎの送液実験において、積層化したフィルムに剥がれは生じなかった。
【００３２】
【発明の効果】
本発明により、マイクロ流体素子の分岐や合流を有する立体構造の流路を作製でき、複数の溶液の混合や反応速度を早くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマイクロ流体素子の製造工程の１例を示す説明図である。
【図２】マイクロ流体素子を構成するマイクロチャネルの一例の説明図である。
【図３】実施例１のマイクロ流体素子を構成するマイクロチャネルの斜視図（ａ）、及び合流部の断面図（ｂ）である。
【図４】実施例１におけるマイクロチャネルの形成過程の説明図である。
【図５】実施例２のマイクロ流体素子を構成するマイクロチャネルの斜視図（ａ）、及び合流部入口の断面図（ｂ）である。
【図６】実施例２におけるマイクロチャネルの形成過程の説明図である。
【図７】マイクロ流体素子における形状を利用する液体の混合方法の説明図である。
【図８】マイクロ流体素子における液体の電気的混合方法の説明図である。
【符号の説明】
１  基板
２  １層目の樹脂層
３  溝
４  ２層目の樹脂層
５  貫通穴
６  ３層目の樹脂層
７  溝
８  貫通穴
９  ４層目の樹脂層
１０  貫通穴
１１  入口Ａ
１２  入口Ｂ
１３  出口
２１  入口Ａ
２２  入口Ｂ
２３  合流部入口
２４  出口
２５  基板
２６  １層目の樹脂層
２７  ２層目の樹脂層
２８  ４層目の樹脂層
３１  入口Ａ
３２  入口Ｂ
３３  合流部
３４，３５  入口Ａに繋がるチャネル
３６，３７  入口Ｂに繋がるチャネル
３８  樹脂層
４１  流体Ａ
４２  流体Ｂ
５１，５２  流体導入口
５３  くし歯型電極
５４  排出口
５５  物質粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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