(57)【要約】【課題】  噴射器へのガス供給圧力の変更に伴うキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整を不要にするとともに、小径ドリル等の最少量潤滑（ＭＱＬ）加工を可能にする。【解決手段】  ガス供給源２０からのガスと容器１内の液体の供給を受けてミストを生成し容器１内に噴射する噴射器１１と、容器１内のミストを容器１から導出する導管９と、導管９に連通するキャリアガス噴出口８とを備えたミスト生成装置において、ガス供給源２０から噴射器１１へガスを供給するガス供給路５内に設置された第１の圧力制御手段２２と、ガス供給源２０からキャリアガス噴出口８へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路６内に設置され、二次側圧力を第１の圧力制御手段２２の二次側圧力を一定の比率で減圧した圧力に制御する第２の圧力制御手段２８とを備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、
前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第１の圧力制御手段と、
前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を一定の比率で減圧した圧力に制御する第２の圧力制御手段とを備えたことを特徴とするミスト生成装置。
【請求項２】
ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、
前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第１の圧力制御手段と、
前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を一定の差圧で減圧した圧力に制御する第２の圧力制御手段とを備えたことを特徴とするミスト生成装置。
【請求項３】
前記第１の圧力制御手段は、減圧弁からなることを特徴とする請求項１または２に記載のミスト生成装置。
【請求項４】
前記第１の圧力制御手段は、それぞれ異なった圧力に設定して並列に配置される複数の減圧弁と該減圧弁の下流側にそれぞれ設置される複数の電磁弁とを有することを特徴とする請求項１または２に記載のミスト生成装置。
【請求項５】
前記第１の圧力制御手段は、比例圧力制御弁からなることを特徴とする請求項１または２に記載のミスト生成装置。
【請求項６】
前記キャリアガス供給路は、前記第１の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第２の圧力制御手段は、定比減圧弁からなることを特徴とする請求項１に記載のミスト生成装置。
【請求項７】
前記キャリアガス供給路は、前記第１の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第２の圧力制御手段は、定差減圧弁からなることを特徴とする請求項２に記載のミスト生成装置。
【請求項８】
前記第２の圧力制御手段は、前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を検知する圧力センサからの信号で制御される比例圧力制御弁からなることを特徴とする請求項１または２に記載のミスト生成装置。
【請求項９】
ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、を備えたミスト生成装置において、
前記容器内の圧力を減圧する内圧減圧手段を有することを特徴とするミスト生成装置。
【請求項１０】
前記内圧減圧手段は、絞り機構を介して前記容器内の前記ミストをフィルタに導く減圧流路と、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスを放出する排気口と、前記フィルタにより前記ミストから分離された液体を前記容器内に戻す戻り流路とを有することを特徴とする請求項９に記載のミスト生成装置。
【請求項１１】
前記排気口に、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスの放出を制御する開閉弁を接続したことを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１２】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であることを特徴とする請求項１１に記載のミスト生成装置。
【請求項１３】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であることを特徴とする請求項１１に記載のミスト生成装置。
【請求項１４】
前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁を設けたことを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１５】
前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧で作動する定差リリーフ弁を設けたことを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１６】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１７】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１８】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力との差圧を検知する差圧スイッチからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有することを特徴とする請求項１０に記載のミスト生成装置。
【請求項１９】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であることを特徴とする請求項１１に記載のミスト発生装置。
【請求項２０】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であることを特徴とする請求項１１に記載のミスト発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスと液体を供給して容器内でミストを生成し、この生成したミストを、搬送流路を介して搬送し目的物に向けて噴霧するミスト生成装置に関し、特にマシニングセンタ、旋盤等の工作機械の工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するのに使用されるミスト生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ミスト（ガス中に含まれる液体微粒子）は、例えば医学の分野における吸入器、日常生活の分野における加湿器、洗浄または塗装剤への適用等、種々の技術の分野において広く用いられている。ミストはまた、工作機械の工具や被加工物の冷却や潤滑のためにも用いられている。
例えば、機械加工にあっては、加工の間、工具と被加工物との間に高い摩擦力が作用し、この摩擦力によって多量の熱が発生する。従って、これらの部材間の摩擦を冷却潤滑媒体（冷却潤滑剤）を用いて減少させる必要があり、これによって、これらの部材は同時に冷却される。
【０００３】
従来、この種の潤滑および冷却は、主の比較的多量の冷却潤滑剤を加工点に向けて噴射する方法を用いるのが一般的であった。しかしながら、この場合、一方では、過剰に供給された冷却潤滑剤が周囲に飛散し作業環境を悪化させる上に、冷却潤滑剤が多量に消費されるので、冷却および潤滑装置の稼動のコストが非常に高価なものとなり、他方では、環境上の理由から、使用済みの冷却潤滑剤を、複雑でコストのかかる方法で処分する必要があった。
【０００４】
このような問題に対処するため、近年、いわゆる最少量潤滑（ＭＱＬ）加工が実用化されており、工具や被加工物を冷却および潤滑するためのミストを生成するようにしたミスト生成装置が開発されている。
この種のミスト生成装置は、一般に、ガスと液体（冷却潤滑剤）の供給を受けて容器内でミストを生成する噴射器と、前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通されるとともに、キャリアガスを供給することによって前記ミストを前記導管の導出方向に向かって加速するキャリアガス噴出口とから構成され、前記ミストを前記導管に接続された搬送流路を介してノズルもしくは工具のオイルホールから加工点に噴霧するようになっている。
【０００５】
図１２は、上述のミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記した、いわゆるシステムカーブであり、ミスト生成装置が適正な運転条件で運転されている場合の一例を示す。
図１２において、実線の曲線は、噴射器へのガス供給圧力をＰ１、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力をＰ２とした場合における、ミスト生成装置の吐出し風量と容器内圧力（吐出し圧力）の関係を示すミスト生成装置の特性曲線Ａ１を示す。また、破線の曲線は、搬送流路の風量と圧力損失の関係を示すもので、流路とノズルまたは工具のオイルホールの抵抗を合成した抵抗曲線Ｒ１を示す。
【０００６】
ミスト生成装置の運転点は、特性曲線Ａ１と抵抗曲線Ｒ１のバランスポイントである交点（運転点Ｃ１）となり、ミスト生成装置の容器内圧力はＰ３、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量はＱ１となる。また、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、想像線の曲線（キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が０の場合の特性曲線）と容器内圧力Ｐ３の交点の風量であるＱ２となる。ここで、風量差Ｑ１−Ｑ２は、キャリアガス噴出口へのキャリアガスの供給によるミストの加速風量であり、この加速風量により、ノズルや工具のオイルホールからのミストの噴射速度を高めて、ミストの加工点への付着性を向上させるとともに、切粉等の排除能力を増加させることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のミスト生成装置を使用した実際の加工現場では、最少量潤滑（ＭＱＬ）加工の理念に基づき、噴射器へのガス供給圧力を加工内容に応じて、その都度、最適な圧力に設定して加工を行うことが要求され、この時、噴射器へのガス供給圧力を変える度に、これに対応して、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力を適正な圧力に設定し直す必要があって、作業者を煩わせるだけでなく、度々誤設定による加工不良の原因となるといった問題があった。
【０００８】
図１３は、例えば噴射器へのガス供給圧力とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力とが不適当な状態でミスト生成装置を運転した場合の一例を示す。この例は、噴射器へのガス供給圧力Ｐ１に対して、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Ｐ３が高すぎ（Ｐ３のＰ１に対する比率Ｐ３／Ｐ１が大き過ぎ）、特性曲線Ａ２が相対的に上昇した場合を示す。噴射器へのガス供給圧力Ｐ１および搬送流路の抵抗（抵抗曲線Ｒ１）は、図１２の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Ｃ２で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はＰ４、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量はＱ３、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量はＱ４となる。図１２と図１３を比較参照して判るように、この場合、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Ｑ４が少なくなってしまう。それによって、噴射器で生成されるミストも濃度の薄い不十分なものしか生成されない。従って、ミスト生成装置からのミスト（液体微粒子）吐出し量（噴射器から容器内に噴射されるミスト風量と濃度の積）が非常に少なくなってしまい、冷却能力や潤滑能力が極端に低下するという問題が発生する。
【０００９】
また、例えば小径ドリル等の搬送流路の抵抗が大きくなるような工具等を使用した最少量潤滑（ＭＱＬ）加工にも適用できるように、適用範囲を拡げようとすると、搬送流路の抵抗が大きくなるにつれて、十分なミスト吐出し量が得られなくなって、このため、適用範囲を拡げるにも一定の限度があるのが現状であった。
【００１０】
図１４は、搬送流路の抵抗（抵抗曲線Ｒ２）が大きすぎる場合を示す。噴射器へのガス供給圧力Ｐ１およびキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Ｐ２は、図１２の場合と同一である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Ｃ３で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はＰ５、ミスト生成装置から吐出されるミスト風量および噴射器から容器内に噴射されるミスト風量は、同じくＱ５となる。図１２と図１４を比較参照して判るように、この場合もまた、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Ｑ５が少なくなってしまう。それによって、噴射器で生成されるミストも濃度の薄い不十分なものしか生成されない。従って、ミスト生成装置からのミスト（液体微粒子）吐出し量（噴射器から容器内に噴射されるミスト風量と濃度の積）が非常に少なくなってしまい、冷却能力や潤滑能力が極端に低下するという問題が発生する。
【００１１】
このような場合、例えば、ノズルの吐出口径または工具のオイルホール径を大きくして搬送流路の抵抗を減少させることができれば問題はないが、小径ドリル等の外径の細い工具の場合は、寸法の制約があるためオイルホール径を大きくすることが困難である。そのため、小径ドリル等に対しては、最少量潤滑（ＭＱＬ）加工が適用できない場合が多かった。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みて為されたもので、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴うキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整を不要にするとともに、小径ドリル等の最少量潤滑（ＭＱＬ）加工を可能にしたミスト生成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第１の圧力制御手段と、前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を一定の比率で減圧した圧力に制御する第２の圧力制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
ミスト生成装置を上記のように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力（ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力）になるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
なお、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力（第２の圧力制御手段の二次側圧力）の噴射器へのガス供給圧力（第１の圧力制御手段の二次側圧力）に対する比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、０.５〜０.７程度に設定することが好ましい。
【００１５】
本発明の他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、前記導管に連通するキャリアガス噴出口とを備えたミスト生成装置において、前記ガス供給源から前記噴射器へガスを供給するガス供給路内に設置された第１の圧力制御手段と、前記ガス供給源から前記キャリアガス噴出口へキャリアガスを供給するキャリアガス供給路内に設置され、二次側圧力を前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を一定の差圧で減圧した圧力に制御する第２の圧力制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
ミスト生成装置を上記のように構成することにより、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力（ガス供給圧力から一定の差圧を減圧した圧力）になるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
なお、噴射器へのガス供給圧力（第１の圧力制御手段の二次側圧力）とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力（第２の圧力制御手段の二次側圧力）の差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、０．１５〜０.２５ＭＰａ程度に設定することが好ましい。
【００１７】
前記第１の圧力制御手段は、減圧弁からなるようにしてもよい。このように、第１の圧力制御手段を減圧弁で構成することにより、構成の簡素化と装置の低廉化を図ることができる。
【００１８】
前記第１の圧力制御手段は、それぞれ異なった圧力に設定して並列に配置される複数の減圧弁と該減圧弁の下流側にそれぞれ設置される複数の電磁弁とを有するようにしても良い。これにより、電磁弁を選択操作することによって、遠隔操作により段階的に圧力を制御できるようにすることができる。このようなミスト生成装置によれば、工作機械の自動工具交換（ＡＴＣ）等に伴う噴射器へのガス供給圧力の設定変更を自動で行うことができ、連続加工が可能となり生産性を向上させることができる。
【００１９】
前記第１の圧力制御手段は、比例圧力制御弁であってもよい。このように、第１の圧力制御弁を比例圧力制御弁で構成することにより、噴射器へのガス供給圧力を連続的（任意の値）に精度良く制御することができるので、工作機械の自動工具交換（ＡＴＣ）等に伴う噴射器へのガス供給圧力の設定変更を自動で高精度に行うことができ、連続加工が可能となり生産性を向上させるとともに省エネルギー化を図ることができる。
【００２０】
前記キャリアガス供給路は、前記第１の圧力制御手段の二次側で前記ガス供給路から分岐して形成され、前記第２の圧力制御手段は、定比減圧弁または定差減圧弁からなるようにしてよい。これにより、構成の簡素化と装置の低廉化を図ることができる。
【００２１】
前記第２の圧力制御手段は、前記第１の圧力制御手段の二次側圧力を検知する圧力センサからの信号で制御される比例圧力制御弁からなるようにしてもよい。これにより、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力を精度良く制御して、省エネルギー化を図ることができる。
【００２２】
本発明の更に他のミスト生成装置は、ガス供給源からのガスと容器内の液体の供給を受けてミストを生成し容器内に噴射する噴射器と、前記容器内の前記ミストを前記容器から導出する導管と、を備えたミスト生成装置において、前記容器内の圧力を減圧する内圧減圧手段を有することを特徴とする。
【００２３】
図２は、図１４に示す場合と同様に、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合に、上記の内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧した時のミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す。噴射器へのガス供給圧力Ｐ１、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力Ｐ２および搬送流路の抵抗（抵抗曲線Ｒ２）は、図１４に示す場合と同一である。また、図中の抵抗曲線Ｒ３は、前記内圧減圧手段の抵抗と搬送流路の抵抗（抵抗曲線Ｒ２）を合成した合成抵抗曲線である。このとき、ミスト生成装置は、運転点Ｃ４で運転され、ミスト生成装置の容器内圧力はＰ６、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量はＱ６である。また、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量は、ミスト生成装置の容器内圧力Ｐ６と抵抗曲線Ｒ２との交点の風量Ｑ７となる。ここで、風量差Ｑ６−Ｑ７は、前記内圧減圧手段から容器外に放出されるガスの風量である。図２と図１４を比較参照すると、図２の場合、ミスト生成装置から搬送流路を通って小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量Ｑ７は、図１４の場合より若干減少するが、噴射器から容器内に噴射されるミスト風量Ｑ６は大きくなり、噴射器から濃度の濃い有効なミストが生成される。その結果、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト（液体微粒子）吐出し量（ミスト生成装置から搬送流路を通って小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト風量と濃度の積）は増加する。これによって、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量が得られる。
【００２４】
このようなミスト生成装置によれば、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合でも、内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧することで、濃度の濃い有効なミストが生成されるので、小径ドリル等の最少量潤滑（ＭＱＬ）加工を良好に行うことができる。
【００２５】
前記内圧減圧手段は、例えば、絞り機構を介して前記空間の前記ミストをフィルタに導く減圧流路と、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスを放出する排気口と、前記フィルタにより前記ミストから分離された液体を前記容器内に戻す戻り流路とを有する。これにより、減圧流路を介してフィルタに導かれたミストをガスと液体に分離し、ガスのみを放出して液体は容器内に戻るようにすることで、ミストの損失を無くすとともに、作業環境の汚染を防止することができる。
【００２６】
前記排気口に、前記フィルタにより前記ミストから分離されたガスの放出を制御する開閉弁を接続してもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合は開閉弁を開き、その他の場合は開閉弁を閉じて内圧減圧手段を選択的に機能させることにより、搬送流路の抵抗に応じてミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。
【００２７】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であってもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、パイロット切換弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇しないので、パイロット切換弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。なお、容器内圧の噴射器へのガス供給圧力に対する比率は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、０．８〜０．９程度に設定することが好ましい。
【００２８】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにしたパイロット切換弁であってもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、パイロット切換弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇しないので、パイロット切換弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。なお、噴射器へのガス供給圧力と容器内圧の差圧は、ミスト生成装置の特性により多少異なるが、０．０５〜０．１ＭＰａ程度に設定することが好ましい。
【００２９】
前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁を設けるようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、定比リリーフ弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇しないので定比リリーフ弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。
【００３０】
前記減圧流路に、前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧で作動する定差リリーフ弁を設けるようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、定差リリーフ弁が機械的に開いて内圧減圧手段が機能し、その他の場合は、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇しないので定差リリーフ弁が開かず内圧減圧手段が機能しないようにすることができ、これによって、簡単な構成で安価に、搬送流路の抵抗に応じて自動的にミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。
【００３１】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇する場合は、電磁弁が開いて内圧減圧手段が機能し、容器内圧が下降すると電磁弁が閉じて容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力となるように制御されるので、搬送流路の抵抗に応じて自動的に精度良くミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。
【００３２】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力を検知する圧力センサと前記容器内の圧力を検知する圧力センサからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。これにより、搬送流路の抵抗が大きすぎて、容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力まで上昇する場合は、電磁弁が開いて内圧減圧手段が機能し、容器内圧が下降すると電磁弁が閉じて容器内圧が噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有するように制御されるので、搬送流路の抵抗に応じて自動的に精度良くミスト生成装置を適正な運転点で運転することができる。
【００３３】
前記内圧減圧手段は、前記排気口または前記減圧流路に設置され、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力との差圧を検知する差圧スイッチからの信号で、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される電磁弁を有するようにしてもよい。
【００３４】
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の比率の圧力まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であってもよい。
前記開閉弁は、前記噴射器へのガス供給圧力と前記容器内の圧力をパイロット圧力として、前記容器内の圧力が前記噴射器へのガス供給圧力に対して一定の差圧まで上昇すると開くようにパイロット切換弁を介して作動するエアオペレート弁であってもよい。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、噴射器へのガス供給圧力の変更に伴ってキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力となるので、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
また、容器の内圧を適正な圧力に制御できるようにした内圧減圧手段を備えることで、例えば流路抵抗が過大な小径ドリル等の外径の細いオイルホール付工具に対応して、小径ドリル等への最少量潤滑（ＭＱＬ）加工の適用範囲を拡げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。このミスト生成装置は、例えばオイルのような液体冷却潤滑剤を供給する液体供給源（オイル源）２をその下部に収容する容器１を有している。この容器１は、カバー３によって覆われた圧力容器として構成されている。オイル源２の上方に形成された容器１の空間４には、噴射器１１がカバー３に固設して設けられており、加圧空気（ガス）とオイル（液体）の供給を受けて噴射器１１から噴射されたミストが滞留するようになっている。噴射器１１への加圧空気（ガス）の供給は、ガス供給路５を介して行われる。加圧空気が、噴射器１１内に設けられた絞り部１２を通過したとき、断面積が拡大する結果として吸引力が発生し、この吸引力によってオイルが液体供給路７を介してオイル源２から噴射器１１に吸引される。
【００３７】
噴射器１１は、その出口１３において、加圧空気とオイルを混合しミストとして噴射する。噴射器１１の出口１３の下方には、円錐形状の偏向体１４が配置されており、この偏向体１４の表面は、複数の連続する段差を有する段差構造に形成されている。この偏向体１４は、円錐形状の頂部が噴射器１１の出口１３に対向して設けられており、ロッド１５、取付け板１６を介して、吊下げロッド１７によりカバー３から吊り下げ保持されている。カバー３には、空間４内のミストを容器１から導出するための導管９と、導管９に連通されるキャリアガス噴出口８が設けられている。キャリアガス噴出口８への加圧空気（キャリアガス）の供給は、キャリアガス供給路６を介して行われ、キャリアガス噴出口８から噴出された加圧空気は、空間４のミストを導管９の導出方向に向かって加速する。なお、導管９およびキャリアガス噴出口８は、複数設けてもよい。
【００３８】
オイル源２から噴射器１１へ延びる液体供給路７には流量計１０が設けられており、この流量計１０には、流量指示部１０ａと逆流防止機構１０ｂが備えられている。また、噴射器１１には、液体供給路７から供給されたオイルの流量を調整するための可変絞り弁１８が設けられている。このように、流量計１０に逆流防止機構１０ｂを備えることで、ミスト生成装置の停止時に液体供給路７中のオイルがオイル源２に戻ることを防止して、液体供給路７内を常にオイルで満たすことができる。更に、噴射器１１に可変絞り弁１８を設けることで、ミスト生成装置の運転開始時に、この始動後瞬時にミストを発生させることができる。なお、噴射器１１への液体供給手段は、上記流量計１０および可変絞り弁１８の代わりに流量制御可能な定量ポンプとして構成してもよい。
【００３９】
噴射器１１へのガス（加圧空気）の供給は、ガス供給源（加圧空気供給源）２０から延び、内部にフィルタ２１、減圧弁２２、圧力計２３、２ポート電磁弁２４およびチェック弁２５を設置したガス供給路５を通して行われる。なお、２ポート電磁弁２４は、ミスト生成装置の運転および停止を操作するためのものであり、用途に応じて２ポート手動弁としてもよい。キャリアガス噴出口８へのキャリアガス（加圧空気）の供給は、２ポート電磁弁２４とチェック弁２５との間でガス供給路５から分岐し、内部に定比減圧弁２８およびチェック弁２９を設置したキャリアガス供給路６を通して行われる。
【００４０】
ここで、前記減圧弁２２は、ガス供給源２０から噴射器１１へ供給するガス（加圧空気）の二次側圧力を制御する第１の圧力制御手段としての役割を果たし、前記定比減圧弁２８は、ガス供給源２０からキャリアガス噴出口８に供給するキャリアガス（加圧空気）の二次側圧力を制御する第２の圧力制御手段としての役割を果たす。そして、この定比減圧弁（第２の圧力制御手段）２８は、減圧弁（第１の圧力制御手段）２２の二次側圧力を一定の比率、例えば０.５〜０.７程度に減圧した圧力に二次側圧力を制御するように構成されている。
【００４１】
これにより、噴射器１１へのガス供給圧力の変更に伴ってキャリアガス噴出口８へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力（ガス供給圧力を一定の比率で減圧した圧力）となるので、キャリアガス噴出口８へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。また、これによって、キャリアガス噴出口８へのキャリアガス供給圧力の誤設定による加工不良をなくすことができる。
【００４２】
カバー３の上側には、容器１内の圧力を減圧する内圧減圧手段３０、圧力計４１および給油用止め弁４２が設置されている。内圧減圧手段３０は、フィルタ３１と、空間４内のミストを可変絞り弁３２を介してフィルタ３１に導く減圧流路３３と、フィルタ３１によりミストから分離された空気を放出する排気口３１ａと、フィルタ３１によりミストから分離されたオイルを一時貯留する貯留部３１ｂと、ミスト生成装置の停止時に貯留部３１ｂ内のオイルを容器１内に戻すチェック弁３４を備えた戻り流路３５とから構成されている。フィルタ３１の排気口３１ａには２ポート電磁弁３６およびサイレンサ３７が接続されている。なお、減圧流路３３の可変絞り弁３２は固定絞りとしてもよい。また、フィルタ３１の排気口３１ａに接続された２ポート電磁弁３６は、用途に応じて２ポート手動弁としてもよい。
【００４３】
このように、容器１内の圧力を減圧する内圧減圧手段３０を備え、搬送流路の抵抗が大きすぎる場合に、内圧減圧手段３０により容器１内の圧力を減圧するこことで、下記のように、ミスト生成装置から搬送流路を通って、例えば小径ドリル等の工具のオイルホールより噴射されるミスト吐出し量を増加させて、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量を得るようにすることができ、これによって、小径ドリル等の最少量潤滑（ＭＱＬ）加工を良好に行うことができる。
【００４４】
このような構成のミスト生成装置を工作機械の工具や被加工物の冷却や潤滑のために使用する際には、導管９に搬送流路５０を接続して、この搬送流路５０を介してノズルもしくは工具のオイルホールからミストを噴射させる。この図１に示す例では、作用を理解し易くするために、さらに、搬送流路５０を３つの分岐流路５２ａ，５２ｂ，５２ｃに分岐し、それぞれの分岐流路５２ａ，５２ｂ，５２ｃに設けた２ポート切換弁５１ａ，５１ｂ，５１ｃによって、用途に応じて分岐流路５２ａ，５２ｂ，５２ｃを選択使用できるようにした例を示している。このことは、以下の各例においても同様である。
【００４５】
つまり、分岐流路５２ａの他端は、ノズル５３に接続されており、工作機械の主軸５５ａに取り付けられた、例えば、フライスカッター５４ａの加工点に向けてノズル５３の先端５３ａからミスト５８ａを噴射できるようになっている。また、分岐流路５２ｂの他端は、ロータリジョイント５６ｂに接続されており、工作機械の中空主軸５５ｂを介して、例えば、外径１０〜５０ｍｍ程度のドリル５４ｂ（オイルホールの流路抵抗が適正範囲のもの）のオイルホール５７ｂからミスト５８ｂを加工点に噴射できるようになっている。更に、分岐流路５２ｃの他端は、ロータリジョイント５６ｃに接続されており、工作機械の中空主軸５５ｃを介して、例えば、外径１０ｍｍ以下のような小径ドリル５４ｃ（オイルホールの流路抵抗が過大なもの）のオイルホール５７ｃからミスト５８ｃを加工点に噴射できるようになっている。
【００４６】
次に、上記構成のミスト生成装置において、最初に、ドリル５４ｂを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｂを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂから噴射できるようにしておく。オイルホール５７ｂの流路抵抗が適正範囲の、例えば外径１０〜５０ｍｍ程度のドリル５４ｂでは、噴射器１１への加圧空気の供給圧力（ガス供給圧力）は、経験的に０．５〜０．７ＭＰa程度が適当であり、例えば、減圧弁（第１の圧力制御手段）２２の二次側圧力が０．６ＭＰaになるように減圧弁２２を設定しておき、定比減圧弁（第２の圧力制御手段）２８は、この二次側圧力が一次側圧力の０．５〜０．７倍程度に減圧されるように設定しておく。なお、ドリル５４ｂは、オイルホール５７ｂの流路抵抗が適正範囲のものとして例示しているので、２ポート電磁弁３６は閉じたまま内圧減圧手段３０は使用しない。
【００４７】
ここで、２ポート電磁弁２４を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁２２で設定した圧力の加圧空気（ガス）がガス供給路５を介して噴射器１１に流入するとともに、定比減圧弁２８によって減圧弁２２の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気（キャリアガス）がキャリアガス供給路６を介してキャリアガス噴出口８に供給される。噴射器１１に流入した加圧空気が絞り部１２を通過したとき、断面積の拡大によって吸引力が発生し、この吸引力によってオイルが液体供給路７を介してオイル源２から噴射器１１に吸引される。噴射器１１は、その出口１３において加圧空気とオイルを混合してミストとして噴射する。噴射されたミストのうち微細な粒子径のミストは、空間４内に浮遊し、比較的粒径の大きなものは、偏向体１４の段差構造を有する表面に衝突して付着する。噴射器１１から噴射されたミストの流れは、段差構造を有する偏向体１４の表面の上を高速で流れるので、偏向体１４の表面に付着したオイルミストを細かく分断して霧化し微細な粒子径のミストを生成する。したがって、粒子径分布が非常に小さい径に高い密度で集中しているミストが生成される。生成されるミスト（液体微粒子）の量は、流量計１０の指示値を見ながら可変絞り弁１８を調整して噴射器１１に流入するオイルの流量を制御することによって変更することができ、加工に必要な最少量で使用される。導管９から吐出されたミストの移送は、容器１の内圧を介して行われ、キャリアガス噴出口８から噴出された加圧空気は、空間４のミストを導管９の導出方向に向かって加速する。
【００４８】
この場合のシステムカーブは、図１２に示すようになり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂからミスト５８ｂが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、２ポート電磁弁２４を閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ｂを閉じて分岐流路５２ｂを遮断する。
【００４９】
続いて、ノズル５３を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ａを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａから噴射できるようにしておく。ノズル５３を使用した外部噴霧では、噴射器１１への加圧空気（ガス）の供給圧力は、経験的に０．２〜０．４ＭＰa程度が適当であり、例えば、減圧弁２２の二次側圧力が０．３ＭＰaになるように減圧弁２２の設定を変更する。なお、ノズル５３は、流路抵抗が適正なものが選定されているので、この場合も２ポート電磁弁３６は閉じたまま内圧減圧手段３０は使用しない。
【００５０】
ここで、２ポート電磁弁２４を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁２２で設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、定比減圧弁２８によって自動的に減圧弁２２の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、減圧弁２２の設定変更に伴うキャリアガス噴出口８への加圧空気供給圧力の煩雑な調整が不要であり、誤設定による加工不良もなくなる。この場合のシステムカーブも図１２に示すようになり、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａからミスト５８ａがフライスカッター５４ａの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、２ポート電磁弁２４を閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ａを閉じて分岐流路５２ａを遮断する。
【００５１】
最後に、小径ドリル５４ｃを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｃを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射できるようにしておく。小径ドリル５４ｃのような外径約１０ｍｍ以下のドリルでは、噴射器１１への加圧空気の供給圧力は、経験的に０．６〜０．９ＭＰa程度が適当であり、例えば、減圧弁２２の二次側圧力が０．８ＭＰaになるように減圧弁２２の設定を変更する。なお、小径ドリル５４ｃは、オイルホール５７ｃの流路抵抗が過大であるので、２ポート電磁弁３６を開いて内圧減圧手段３０を機能させる。
【００５２】
ここで、２ポート電磁弁２４を開いてミスト生成装置を運転すると、減圧弁２２で設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。噴射器１１から空間４に噴射されたミストの一部は、内圧減圧手段３０の減圧流路３３を通って可変絞り弁３２に至り、大気圧近くまで減圧されてフィルタ３１に導かれる。ミストは、フィルタ３１で空気とオイルに分離され、分離された空気は、排気口３１ａ、２ポート電磁弁３６を通ってサイレンサ３７から放出される。また、フィルタ３１で分離されたオイルは、ミスト生成装置の運転中は、フィルタ３１の貯留部３１ｂに貯留される。噴射器１１から空間４内に噴射された残りのミストは、導管９から吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射される。
【００５３】
この場合のシステムカーブは、図２に示すようになる。図２中のＰ１は、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力、Ｐ２は、キャリアガス噴出口８への加圧空気（キャリアガス）供給圧力、抵抗曲線Ｒ２は、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃの抵抗を含む搬送流路全体の抵抗曲線、抵抗曲線Ｒ３は、内圧減圧手段３０の流路抵抗と抵抗曲線Ｒ２を合成した合成抵抗曲線である。このとき、ミスト生成装置は、実線の曲線で示されたミスト生成装置の特性曲線Ａ３と抵抗曲線Ｒ３の交点（運転点Ｃ４）で運転される。Ｐ６は、容器１の内圧であり、内圧減圧手段３０の可変絞り弁３２によって噴射器１１への加圧空気供給圧力に対して、例えば０．８〜０．９程度の所定の比率の圧力に減圧されるか、または０．０５〜０．１ＭＰａ程度の差圧を有するよう調整される。噴射器１１から空間４に噴射されるミスト風量はＱ６となる。また、導管９から搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射されるミスト風量は、容器１の内圧Ｐ６と抵抗曲線Ｒ２との交点の風量Ｑ７となる。ここで、風量差Ｑ６−Ｑ７は内圧減圧手段３０から放出される空気の風量である。このように、流路抵抗が過大な小径ドリル５４ｃの場合でも、内圧減圧手段３０で適正な内圧にすることによって、噴射器１１から空間４に噴射されるミスト風量Ｑ６を大きくすることができ、濃度の濃い有効なミストが生成される。その結果、導管９から搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射されるミスト（液体微粒子）吐出し量（導管９から搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射されるミスト風量と濃度の積）は増加する。これによって、小径ドリル等の加工に対して十分なミスト吐出し量が得られる。
【００５４】
なお、定比減圧弁（第２の圧力制御手段）２８の二次側圧力は、減圧弁（第１の圧力制御手段）２２の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧されるが、容器１の内圧は、定比減圧弁２８の二次側圧力より高く設定されているので、始動直後の過渡時の後は、チェック弁２９が閉じた状態となり、キャリアガス噴出口８に加圧空気は供給されない。すなわち、始動時は急速に立ち上がり、その後は、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃの径が非常に小さいので、少量のミスト風量で十分なミスト噴射速度が得られキャリアガス噴出口８からの加速風量を必要としない状態となる。
【００５５】
加工終了後、２ポート電磁弁２４を閉じてミスト生成装置を停止させると、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃやサイレンサ３７から容器１内の圧力が抜け、内圧減圧手段３０のチェック弁３４が開いてフィルタ３１の貯留部３１ｂ内のオイルがチェック弁３４、戻り流路３５を通って容器１内に流入し、滴下してオイル源２に戻される。
【００５６】
この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、通常はドリル５４ｂを使用して加工を行っており、時々、ノズル５３や小径ドリル５４ｃを使用して加工を行うことがある場合のような使用状況のときに好適である。なお、この実施の形態では、説明の便宜上、ドリル５４ｂと小径ドリル５４ｃの加工を別々の工作機械を使用して行うようにした例で説明したが、実際の加工現場では、一つの工作機械で工具交換して種々の加工を行うことも多い。
【００５７】
図３は、本発明の第２の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図３において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、オイル源２から噴射器１１へ延びる液体供給路７に比例流量制御弁１９を備えており、遠隔操作によりオイルの流量を制御できるようになっている。
【００５８】
噴射器１１への加圧空気（ガス）の供給は、加圧空気供給源（ガス供給源）２０から延び、内部にフィルタ２１、複数列（図示では３列）の減圧流路４３ａ，４３ｂ，４３ｃから成る圧力制御流路４３およびチェック弁２５を設置したガス供給路５を通して行われる。このガス供給路５の圧力制御流路４３の下流側には圧力計２３が設けられている。圧力制御流路４３は、ガス供給源２０から噴射器１１へ供給するガス（加圧空気）の二次側圧力を制御する第１の圧力制御手段としての役割を果たすもので、この各減圧流路４３ａ，４３ｂ，４３ｃには、減圧弁２２ａ，２２ｂ，２２ｃおよび２ポート電磁弁２４ａ，２４ｂ，２４ｃがそれぞれ備えられている。減圧弁２２ａ，２２ｂ，２２ｃは、それぞれ異なった加工に対応する適正圧力に予め設定されており、２ポート電磁弁２４ａ，２４ｂ，２４ｃを選択操作することによって、遠隔操作により段階的に供給圧力を制御できるようになっている。キャリアガス噴出口８への加圧空気（キャリアガス）の供給は、第１の実施の形態と同様に、圧力計２３とチェック弁２５との間で分岐し、内部に定比減圧弁（第２の圧力制御手段）２８およびチェック弁２９を設置したキャリアガス供給路６を通して行われる。
【００５９】
内圧減圧手段３０の排気口３１ａには、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と容器１の内圧をパイロット圧として、容器１の内圧が噴射器１１への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば０．８〜０．９程度の圧力まで上昇すると開くようなパイロット切換弁３８が接続されており、これにより、搬送流路の抵抗が過大な場合は、自動的に容器１の内圧を適正な圧力に減圧するようになっている。
【００６０】
この実施の形態のミスト生成装置において、最初に、ドリル５４ｂを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｂを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂから噴射できるようにしておく。なお、減圧弁２２ａの二次側圧力は、ノズル５３用として、例えば０．３ＭＰaに、減圧弁２２ｂの二次側圧力は、ドリル５４ｂ用として、例えば０．６ＭＰaに、減圧弁２２ｃの二次側圧力は、小径ドリル５４ｃ用として、例えば０．８ＭＰaに予め設定されているものとする。
【００６１】
ここで、２ポート電磁弁２４ｂを開いてミスト生成装置を運転すると、ドリル５４ｂ用に減圧弁２２ｂで設定されている圧力、例えば０．６ＭＰaの加圧空気（ガス）がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、定比減圧弁２８によって自動的に減圧弁２２ｂの二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂからミスト５８ｂが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、２ポート電磁弁２４ｂを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ｂを閉じて分岐流路５２ｂを遮断する。
【００６２】
続いて、ノズル５３を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ａを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａから噴射できるようにしておく。
【００６３】
ここで、２ポート電磁弁２４ａを開いてミスト生成装置を運転すると、ノズル５３用に減圧弁２２ａで設定されている圧力、例えば０．３ＭＰaの加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、定比減圧弁２８によって自動的に減圧弁２２ａの二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａからミスト５８ａがフライスカッター５４ａの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、２ポート電磁弁２４ａを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ａを閉じて分岐流路５２ａを遮断する。
【００６４】
最後に、小径ドリル５４ｃを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｃを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射できるようにしておく。
【００６５】
ここで、２ポート電磁弁２４ｃを開いてミスト生成装置を運転すると、小径ドリル５４ｃ用に減圧弁２２ｃで設定されている圧力、例えば０．８ＭＰaの加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、定比減圧弁２８によって自動的に減圧弁２２ｃの二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口８に供給されるので、容器１の内圧がその圧力まで急速に上昇する。その後、容器１の内圧が更に上昇し、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して所定の比率、例えば０．８〜０．９倍程度の圧力に到達すると、自動的にパイロット切換弁３８が開いて内圧減圧手段３０が機能し、容器１の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から小径ドリルに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃからミスト５８ｃが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、２ポート電磁弁２４ｃを閉じてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ｃを閉じて分岐流路５２ｃを遮断する。
【００６６】
このとき、サイレンサ３７から容器１内の圧力が抜け、内圧減圧手段３０のチェック弁３４が開いてフィルタ３１の貯留部３１ｂのオイルが、チェック弁３４、戻り流路３５を通って容器１内に流入し、滴下してオイル源２に戻される。
この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、ノズル５３、ドリル５４ｂおよび小径ドリル５４ｃを頻繁に交換しながら、遠隔装置により連続して加工を行う時に使用するのに好適である。
【００６７】
図４は、本発明の第３の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図４において、図３と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図３に示す第２の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁３８の代わりに、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して所定の比率の圧力で作動する定比リリーフ弁３９を減圧流路３３に設けたものである。この第３の実施の形態のミスト生成装置は、図３に示す第２の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図３に示す第２の実施の形態とほぼ同様である。
【００６８】
図５は、本発明の第４の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。図５において、図１と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、オイル源２から噴射器１１へ延びる液体供給路７に比例流量制御弁１９を備えており、遠隔操作によりオイルの流量を制御できるようになっている。
【００６９】
噴射器１１への加圧空気（ガス）の供給は、加圧空気供給源（ガス供給源）２０から延び、内部にフィルタ２１、比例圧力制御弁４４およびチェック弁２５を設置したガス供給路５を通して行われる。このガス供給路５の比例圧力制御弁４４の下流側には、圧力センサ４６および圧力計２３が備えられている。キャリアガス噴出口８への加圧空気（キャリアガス）の供給は、フィルタ２１と比例圧力制御弁４４との間でガス供給路５から分岐し、内部に比例圧力制御弁４５およびチェック弁２９を設置したキャリアガス供給路６を通して行われる。
【００７０】
ここで、前記比例圧力制御弁４４は、ガス供給源２０から噴射器１１へ供給するガス（加圧空気）の二次側圧力を制御する第１の圧力制御手段としての役割を果たし、前記比例圧力制御弁４５は、ガス供給源２０からキャリアガス噴出口８に供給するキャリアガス（加圧空気）の二次側圧力を制御する第２の圧力制御手段としての役割を果たす。つまり、圧力センサ４６により検知された圧力は、電気信号として別途設けられた制御盤（図示しない）に伝達され演算処理される。そして、前記制御盤は、比例圧力制御弁（第２の圧力制御手段）４５の二次側圧力が比例圧力制御弁（第１の圧力制御手段）４４の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるように比例圧力制御弁４５を制御する。
【００７１】
内圧減圧手段３０の排気口３１ａには、２ポート電磁弁３６が接続されており、カバー３の上側には、容器１の内圧を検知する圧力センサ４７が備えられている。別途設けられた制御盤（図示しない）は、圧力センサ４６，４７からの信号を演算処理することによって、容器１の内圧が噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して所定の比率、例えば０．８〜０．９程度の圧力を越えると開き、それ以下の圧力では閉じているように２ポート電磁弁３６を制御して、搬送流路の抵抗が過大な場合は自動的に容器１の内圧を適正な圧力に減圧するようになっている。
【００７２】
この実施の形態のミスト生成装置において、最初に、ドリル５４ｂを使用して加工を行う場合について説明する。先ず、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｂを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂから噴射できるようにしておく。
【００７３】
ここで、制御盤（図示しない）から比例圧力制御弁４４にドリル５４ｂ用の設定圧力、例えば、０．６ＭＰaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁（第１の圧力制御手段）４４が作動して、比例圧力制御弁４４にドリル５４ｂ用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、制御盤（図示しない）により比例圧力制御弁（第２の圧力制御手段）４５が制御されて、自動的に比例圧力制御弁４４の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂからミスト５８ｂが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁４４への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ｂを閉じて分岐流路５２ｂを遮断する。
【００７４】
続いて、ノズル５３を使用した外部噴霧により加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ａを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａから噴射できるようにしておく。
【００７５】
ここで、制御盤（図示しない）から比例圧力制御弁４４にノズル５３用の設定圧力、例えば、０．３ＭＰaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁４４が作動して、比例圧力制御弁４４にノズル５３用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、制御盤（図示しない）により比例圧力制御弁４５が制御されて、自動的に比例圧力制御弁４４の二次側圧力に対して所定の比率に減圧された圧力となるので、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ａ、分岐流路５２ａを経由して、ノズル５３の先端５３ａからミスト５８ａがフライスカッター５４ａの加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁４４への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ａを閉じて分岐流路５２ａを遮断する。
【００７６】
最後に、小径ドリル５４ｃを使用して加工を行う場合について説明する。この場合は、ミスト生成装置の運転に先立って、２ポート切換弁５１ｃを開き、導管９から吐出されたミストが、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃから噴射できるようにしておく。
【００７７】
ここで、制御盤（図示しない）から比例圧力制御弁４４に小径ドリル５４ｃ用の設定圧力、例えば、０．８ＭＰaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁４４が作動して、比例圧力制御弁４４に小径ドリル５４ｃ用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、制御盤（図示しない）により比例圧力制御弁４５が制御されて、自動的に比例圧力制御弁４４の二次側圧力に対して所定の比率の圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口８に供給されるので、容器１の内圧がその圧力まで急速に上昇する。
【００７８】
その後、容器１の内圧が更に上昇し噴射器１１への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば０．８〜０．９程度の圧力に到達すると、制御盤（図示しない）からの指令によって２ポート電磁弁３６が自動的に開いて内圧減圧手段３０が機能し、容器１の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から小径ドリル５４ｃに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃからミスト５８ｃが加工点に噴射され良好な加工が行える。
加工終了後、比例圧力制御弁４４への信号出力をオフにしてミスト生成装置を停止させ、その後、２ポート切換弁５１ｃを閉じて分岐流路５２ｃを遮断する。
【００７９】
このとき、サイレンサ３７から容器１内の圧力が抜け、内圧減圧手段３０のチェック弁３４が開いてフィルタ３１の貯留部３１ｂのオイルが、チェック弁３４、戻り流路３５を通って容器１内に流入し、滴下してオイル源２に戻される。
この実施の形態のミスト生成装置は、例えば、ノズル５３、ドリル５４ｂおよび小径ドリル５４ｃを頻繁に交換しながら、遠隔装置により連続して加工を行う時に使用するのに好適である。
【００８０】
図６は、本発明の第５の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図１に示す第１の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、図１に示すミスト生成装置における定比減圧弁２８の代わりに定差減圧弁１２８を使用し、この定差減圧弁（第２の圧力制御手段）１２８を介して、定差減圧弁１２８の二次側圧力が、減圧弁（第１の圧力制御手段）２２の二次側圧力から一定の差圧、例えば０．１５〜０．２５ＭＰａ程度の差圧を減圧した圧力となるようにした点にある。その他の構成は、図１に示すものと同様である。
【００８１】
この例によれば、噴射器１１へのガス供給圧力の変更に伴って、キャリアガス噴出口８へのキャリアガス供給圧力が自動的に適正な圧力、すなわちガス供給圧力から一定の差圧、例えば０．１５〜０．２５ＭＰａを減圧した圧力となり、これによって、キャリアガス噴出口８へのキャリアガス供給圧力の煩雑な調整が不要となり、ミスト生成装置の使い勝手を向上させることができる。
【００８２】
図７は、本発明の第６の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図３に示す第２の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、前述の図６に示す場合と同様に、図３に示すミスト生成装置における定比減圧弁２８の代わりに定差減圧弁１２８を使用し、更に、内圧減圧手段３０の排気口３１ａに接続されるパイロット切換弁１３８として、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と容器１の内圧をパイロット圧として、容器１内の圧力が噴射器１１へのガス供給圧力に対して一定の差圧、例えば０．０５〜０．１ＭＰａ程度の差圧を有する圧力で開くようにしたものを使用し、容器１内の圧力が噴射器１１へのガス供給圧力に対して、一定の差圧を有する圧力まで上昇するとパイロット切換弁１３８が開くようにした点にある。その他の構成は、図３に示すものと同様である。
【００８３】
この例によれば、前述と同様に、小径ドリル５４ｃを使用した加工に際し、２ポート電磁弁２４ｃを開いてミスト生成装置を運転すると、小径ドリル５４ｃ用に減圧弁２２ｃで設定されている圧力、例えば０．８ＭＰａの加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、定差減圧弁１２８によって自動的に減圧弁２２ｃの二次側圧力に対して所定の差圧、例えば０．１５〜０．２５ＭＰａ程度の差圧を有する圧力に減圧された加圧空気がキャリアガス噴出口８に供給されるので、容器１の内圧がその圧力まで急速に上昇する。その後、容器１の内圧がさらに上昇し噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して所定の差圧、例えば０．０５〜０．１ＭＰａ程度の差圧を有する圧力に到達すると、自動的にパイロット切換弁１３８が開いて内圧減圧手段３０が機能し、容器１の内圧を適正な圧力に維持する。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から小径ドリル５４ｃに対して十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｃ、分岐流路５２ｃ、ロータリジョイント５６ｃ、中空主軸５５ｃを経由して、小径ドリル５４ｃのオイルホール５７ｃからミスト５８ｃが加工点に噴射され良好な加工が行える。
【００８４】
図８は、本発明の第７の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図４に示す第３の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、前述と同様に、図４に示すミスト生成装置における定比減圧弁２８の代わりに定差減圧弁１２８を使用し、更に、内圧減圧手段３０の減圧流路３３内に設置される定比リリーフ弁３９の代わりに、容器１内の圧力が噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と一定の差圧、例えば０．０５〜０．１ＭＰａ程度を有する圧力まで上昇すると作動する定差リリーフ弁１３９を設置した点にある。その他の構成は、図４に示すものと同様である。
【００８５】
図９は、本発明の第８の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。この実施の形態のミスト生成装置の図５に示す第４の実施の形態のミスト生成装置と異なる点は、キャリアガス供給路６内に設置される比例圧力制御弁１４５として、この比例圧力制御弁（第２の圧力制御手段）１４５の二次側圧力が比例圧力制御弁（第１の圧力制御手段）４４の二次側圧力に対して所定の差圧、例えば０．１５〜０．２５ＭＰａ程度の差圧を有する圧力となるように制御するようにしたものを使用している。更に、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と容器１の内圧の差圧を検知する差圧スイッチ１４７が備えられ、内圧減圧手段３０の２ポート電磁弁３６は、この差圧スイッチ１４７からの信号で、容器１内の圧力が噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される。その他の構成は、図５に示すものと同様である。
【００８６】
この例によれば、前述と同様に、ドリル５４ｂにより加工を行う際、制御盤（図示しない）から比例圧力制御弁４４にドリル５４ｂ用の設定圧力、例えば、０．６ＭＰaに対応する電気信号を出力すると、比例圧力制御弁（第１の圧力制御手段）４４が作動して、比例圧力制御弁４４にドリル５４ｂ用に設定した圧力の加圧空気がガス供給路５を介して噴射器１１に流入しミストが生成される。このとき、キャリアガス噴出口８に供給される加圧空気は、制御盤（図示しない）により比例圧力制御弁（第２の圧力制御手段）１４５が制御されて、自動的に比例圧力制御弁４４の二次側圧力に対して所定の差圧、例えば０．１５〜０．２５ＭＰａ程度の差圧を有する圧力に減圧された圧力となる。しかも、差圧スイッチ１４７からの信号で、容器１内の圧力が噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力に対して一定の差圧を有する圧力となるように制御される。これにより、ミスト生成装置は、適正な運転点で運転され、導管９から十分な風量と濃度のミストが吐出され、搬送流路５０、２ポート切換弁５１ｂ、分岐流路５２ｂ、ロータリジョイント５６ｂ、中空主軸５５ｂを経由して、ドリル５４ｂのオイルホール５７ｂからミスト５８ｂが加工点に噴射され良好な加工が行える。
【００８７】
図１０は、本発明の第９の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図１０において、図３と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図３に示す第２の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁３８の代わりに、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と容器１の内圧をパイロット圧として、容器１の内圧が噴射器１１への加圧空気供給圧力に対して所定の比率、例えば０．８〜０．９程度の圧力まで上昇すると開くようなパイロット切換弁２３８を介して作動するエアオペレート弁４８を排気口３１ａに接続したものである。この第９の実施の形態のミスト生成装置は、図３に示す第２の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図３に示す第２の実施の形態と同様である。
【００８８】
図１１は、本発明の第１０の実施の形態のミスト生成装置の概要構成を示す図である。図１１において、図７と同一符号を付した部分は同一または相当部分を示す。この実施の形態のミスト生成装置は、図７に示す第６の実施の形態のミスト生成装置におけるパイロット切換弁１３８の代わりに、噴射器１１への加圧空気（ガス）供給圧力と容器１の内圧をパイロット圧として、容器１内の圧力が噴射器１１へのガス供給圧力に対して一定の差圧、例えば０．０５〜０．１ＭＰａ程度の差圧を有する圧力で開くようにしたパイロット切換弁３３８を介して作動するエアオペレート弁１４８を排気口３１ａに接続したものである。この第１０の実施の形態のミスト生成装置は、図７に示す第６の実施の形態のミスト生成装置の代替例であり、その作用は、図７に示す第６の実施の形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の第１の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示すミスト生成装置の内圧減圧手段により容器内の圧力を減圧した時の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図８】本発明の第７の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図９】本発明の第８の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図１０】本発明の第９の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図１１】本発明の第１０の実施の形態のミスト生成装置の概略構成を示す図である。
【図１２】ミスト生成装置が適正な運転条件で運転されている場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。
【図１３】噴射器へのガス供給圧力とキャリアガス噴出口へのキャリアガス供給圧力とが不適当な状態でミスト生成装置を運転した場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。
【図１４】搬送流路の抵抗が大きすぎる状態でミスト生成装置を運転した場合におけるミスト生成装置の特性曲線と搬送流路の抵抗曲線を併記したシステムカーブを示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
１  容器
２  オイル源（液体供給源）
４  空間
５  ガス供給路
６  キャリアガス供給路
７  液体供給路
８  キャリアガス噴出口
９  導管
１０  流量計
１１  噴射器
１４  偏向体
１８  可変絞り弁
１９  比例流量制御弁
２０  ガス供給源（加圧空気供給源）
２２  減圧弁（第１の圧力制御手段）
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ  減圧弁
２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，３６  ポート電磁弁
２５，２９，３４  チェック弁
２８  定比減圧弁（第２の圧力制御手段）
３０  内圧減圧手段
３１ａ  排気口
３１ｂ  貯留部
３２  可変絞り弁
３３  減圧流路
３７  サイレンサ
３８，１３８，２３８，３３８  パイロット切換弁
３９  定比リリーフ弁
４３  圧力制御流路（第１の圧力制御手段）
４３ａ，４３ｂ，４３ｃ  減圧流路
４４  比例圧力制御弁（第１の圧力制御手段）
４５，１４５  比例圧力制御弁（第２の圧力制御手段）
４６，４７  圧力センサ
４８，１４８  エアオペレート弁
５０  搬送流路
５１ａ，５１ｂ，５１ｃ  ポート切換弁
５２ａ，５２ｂ，５２ｃ  分岐流路
５３  ノズル
５４ｂ  ドリル
５４ａ  フライスカッター
５４ｃ  小径ドリル
５５ａ  主軸
５５ｂ，５５ｃ  中空主軸
５６ｂ，５６ｃ  ロータリジョイント
５７ｂ，５７ｃ  オイルホール
５８ａ，５８ｂ，５８ｃ  ミスト
１２８  定差減圧弁（第２の圧力制御手段）
１３９  定差リリーフ弁
１４５  比例圧力制御弁
１４７  差圧スイッチ
【図１】
2004276230.tif 000003
【図２】
2004276230.tif 000004
【図３】
2004276230.tif 000005
【図４】
2004276230.tif 000006
【図５】
2004276230.tif 000007
【図６】
2004276230.tif 000008
【図７】
2004276230.tif 000009
【図８】
2004276230.tif 000010
【図９】
2004276230.tif 000011
【図１０】
2004276230.tif 000012
【図１１】
2004276230.tif 000013
【図１２】
2004276230.tif 000014
【図１３】
2004276230.tif 000015
【図１４】
2004276230.tif 000016