(57)【要約】【課題】検査対象物を一つずつ確実に移動させることができ、検査精度の信頼性を確保することのできる多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置を提供すること。【解決手段】チップコンデンサー等からなるチップＷを検査対象物として供給する供給手段１１と、この供給手段１１に併設された移動手段１２と、多面体検査用フィーダー１３とを備えている。多面体検査用フィーダー１３は、チップＷが移動する過程で当該チップＷを略１８０度回転させる溝５０を備えた回転フィード部４１を含む。移動手段１２はベルトＢにより構成され、当該ベルトＢの面内に形成された打ち抜き穴３８内にチップＷを一つずつ受容して移動することで、各チップＷを一つずつ移動させるようになっている。多面体検査用フィーダー１３の領域内では、四つのカメラ１４〜１７がチップＷの検査面を撮像して面精度を検出する。【選択図】　　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の通路を形成する溝を備えた通路形成部材と、前記溝に沿って移動可能に設けられるとともに、前記検査対象物の検査面を前記溝の外側に露出させた状態で当該検査対象物に係合する移動手段とを含み、
前記通路形成部材は、検査対象物が移動する過程で当該検査対象物を所定角度回転させる回転フィード部を含み、
前記移動手段は、前記検査対象物の前記回転を許容する状態で検査対象物に一つずつ係合する係合領域を所定間隔毎に備えていることを特徴とする多面体検査用フィーダー。
【請求項２】
前記移動手段は、一対のプーリ間に巻装されたベルトにより構成され、当該ベルトの面内に前記検査対象物を受容する打ち抜き部を設けて前記係合領域が形成されていることを特徴とする請求項１記載の多面体検査用フィーダー。
【請求項３】
前記ベルトは、当該ベルトの面が略鉛直向きとされた状態で前記通路形成部材の溝内を通過することを特徴とする請求項２記載の多面体検査用フィーダー。
【請求項４】
検査対象物の通路を形成する溝を備えた通路形成部材と、前記溝に沿って移動可能に設けられるとともに、前記検査対象物の検査面を前記溝の外側に露出させた状態で当該検査対象物に係合する移動手段とを含む多面体検査装置において、
前記通路形成部材の上流側で前記移動手段に併設された検査対象物の供給手段を含み、当該供給手段は、前記移動手段の移動方向複数箇所で検査対象物を供給する複数の供給路を備えていることを特徴とする多面体検査装置。
【請求項５】
前記移動手段に係合する検査対象物が適正な係合姿勢にないときに、当該検査対象物を除去する排除手段を含むことを特徴とする請求項４記載の多面体検査装置。
【請求項６】
前記検査対象物が所定の検査位置に達したときに、前記検査面を一定位置に保つ姿勢維持手段を備えていることを特徴とする請求項４又は５記載の多面体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に係り、特に、電子部品をなすチップ等の検査対象物の面精度を検査することに適した多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、検査対象物として、チップ状をなす電子部品の仕上げ面精度を検査する場合には、ルーペなどを用い、人手により各面を検査することが行われている。しかしながら、このような検査では、チップを一つずつ手に取って目視による検査となり、微細な傷や変形などの瑕疵を見落とす場合が多く、結果的に製品に不良品を混在させる原因となる。しかも、検査する人が疲労を伴って作業負担が重くなり、また、熟練度いかんによって検査精度に大きなばらつきも生ずるという不都合がある。
【０００３】
そこで、本発明者は、前述した検査対象物を所定方向に移動させる過程で当該検査対象物の仕上げ面精度を自動的に検査することに適合する多面体検査用フィーダーを提案した（特願２０００−１２７２４８号）。同フィーダーは、検査対象物を受容した状態で一定の振動を付与することで、当該検査対象物を所定方向に移動させることのできる溝を備えた通路形成部材を含んで構成されている。この通路形成部材の溝は、左右の傾斜角度が検査対象物の移動方向に沿って変化した回転フィード部を含み、この回転フィード部によって、多面体をなす検査対象物が螺旋の軌跡に沿うような形態で回転しながら移動可能となり、仕上げ面を検査用のカメラで撮像することで一定精度の検査が行えるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記既提案の多面体検査用フィーダーは、所定の供給手段から一つずつ検査対象物が供給されるものの、移動方向に沿う各検査対象物の相互離間距離を一定に保つ信頼性が十分に保証されたものとはなっていない。従って、例えば、移動方向前方に位置する検査対象物の後端面に、次の検査対象物の前端面が接した状態で二つ以上の検査対象物が連続して移動した場合には、検査用のカメラが二つ目以後の検査対象物の位置を認識できなくなって検査漏れを生じ、不良品の排出を確実に行うことができなくなる不都合をもたらす。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、検査対象物を一つずつ確実に移動させることができ、検査精度の信頼性を確保することのできる多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置を提供することにある。
【０００６】
また、本発明の他の目的は、多面体を移動させる際の姿勢が適正でない場合に、当該多面体を排除して誤判定を回避することのできる多面体検査用フィーダー及び多面体検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明に係る多面体検査用フィーダーは、検査対象物の通路を形成する溝を備えた通路形成部材と、前記溝に沿って移動可能に設けられるとともに前記検査対象物の検査面を前記溝の外側に露出させた状態で当該検査対象物に係合して前記溝内で搬送させる移動手段とを含み、
前記通路形成部材は、検査対象物が移動する過程で当該検査対象物を所定角度回転させる回転フィード部を含み、
前記移動手段は、前記検査対象物の前記回転を許容する状態で検査対象物に一つずつ係合する係合領域を所定間隔毎に備える、という構成を採っている。このような構成とすれば、係合領域の相互間隔に対応して各係合領域に係合する検査対象物が相互に一定の間隔をおいた状態となり、複数の検査対象物が連続してしまう虞を確実に防止することができ、個々の検査対象物における検査精度の信頼性を確保することができる。
【０００８】
本発明において、前記移動手段は、一対のプーリ間に巻装されたベルトにより構成され、当該ベルトの面内に前記検査対象物を受容する打ち抜き部を設けて前記係合領域が形成される、という構成を採っている。このような構成により、検査対象物が、溝の内面形状に倣ってスムースに回転できるようになる他、検査対象物の検査面を隠蔽することなく当該検査対象物を溝に沿って移動させることができる。しかも、カメラによって検査を行う場合に、画像取り込み映像の背景すなわち溝による照明の乱反射を防止できるため、誤検査による良品排出を無くすことが可能となる。
【０００９】
前記ベルトは、当該ベルトの面が略鉛直向きとされた状態で前記通路形成部材の溝内を通過するように設けることが好ましい。このように構成すれば、検査対象物が直方体等である場合に、ベルトの各面側に検査面を対称的に表出させることができ、検査を効率的に行うことが可能となる。
【００１０】
また、本発明は、検査対象物の通路を形成する溝を備えた通路形成部材と、前記溝に沿って移動可能に設けられるとともに、前記検査対象物の検査面を前記溝の外側に露出させた状態で当該検査対象物に係合する移動手段とを含む多面体検査装置において、
前記通路形成部材の上流側で前記移動手段に併設された検査対象物の供給手段を含み、当該供給手段は、前記移動手段の移動方向複数箇所で検査対象物を供給する複数の供給路を備える、という構成を採っている。このような構成では、移動手段の係合領域に、検査対象物が供給されない状態を極力低減することが可能となり、検査効率の低下を抑制することが可能となる。
【００１１】
更に、前記移動手段に係合する検査対象物が適正な係合姿勢にないときに、当該検査対象物を除去する排除手段を設けることが好ましい。これにより、常に一定の姿勢に保たれた検査対象物のみが通路形成部材側に送り出されるようになり、この点からも、検査効率の低下を抑制することができる。
【００１２】
また、前記検査対象物が所定の検査位置に達したときに、前記検査面を一定位置に保つ姿勢維持手段を備える、という構成を採るとよい。このような構成により、検査面がぐらつくような虞を回避して検査を高精度に行うことができる。
【００１３】
本発明における回転フィード部は、断面形状において、略Ｖ字型、略Ｕ字型及びこれら両型間で相互に次第に変化して一連につながる中間の形状を備えた溝により構成されている。また、検査対象物としては、直方体若しくは立方体が好ましい対象物となるが、その他の立体も対象とすることを妨げない。
【００１４】
なお、本明細書における方向若しくは位置を示す用語は、特に明記しない限り、図１を基準として用いるものとする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係る多面体検査装置の正面図が示され、図２には、その平面図が示されている。これらの図において、多面体検査装置１０は、フレームＦの上部に配置された供給手段１１と、この供給手段１１に併設された移動手段１２と、当該移動手段１２と相互に作用して検査対象物、本実施形態では、略直方体形状を備えたセラミックチップコンデンサ（以下チップＷという）を移動させる多面体検査用フィーダー１３と、この多面体検査用フィーダー１３に沿って配置された検査手段を構成する第１ないし第４のカメラ１４，１５，１６，１７と、検査の結果すなわち良品か不良品かに応じてチップＷを区分して回収する回収手段１８とを備えて構成されている。
【００１７】
前記供給手段１１は、チップＷを収容するホッパー２０と、このホッパー２０の上端開放部に連なって供給路形成ブロック２１側にチップＷを滑り落とすシューター２２とを備えて構成されている。ホッパー２０はボウルフィーダーで内側は上方に向かうに従って外側寄りとなる螺旋通路２０Ａを備えており、当該ホッパー２０に収容された多数のチップＷに図示しないバイブレーターによる振動を付与することで、上方よりチップＷが順次排出可能とされている。
【００１８】
前記供給路形成ブロック２１は、図３ないし図８に示されるように、複数の部材を用いて形成されている。すなわち、前記シューター２２の直下に位置するとともに、前述したバイブレーターによって振動が付与される後部ブロック２４と、この後部ブロック２４の反対側、すなわち手前側に位置する前部ブロック２５と、これらブロック２４，２５間に設けられた中間ブロック２６とにより構成されている。後部ブロック２４において、外枠２７の内側に位置する上面は上流側が上方位置となるように傾斜面２８に形成されており、当該後部ブロック２４に付与される振動によってチップＷが傾斜面２８を順次駆け上るようになっている。中間ブロック２６は、図５に示されるように、上流側が下流側よりも微少に上方位置となる傾斜面２９とされ、その長手方向三箇所にチップＷの供給溝（供給路）３１が緩やかなカーブを描く軌跡に沿って形成されている。これらの供給路３１の一端（後端）は後部ブロック２４の傾斜面２８側に位置する一方、他端（前端）は、前部ブロック２５側に位置するようになっている。この中間ブロック２６は、図示しないバイブレータの振動により、後部ブロック２４におけるチップＷの移動方向とは反対側、すなわち、上流側から下流側（図４参照）にチップＷが移動するようになっており、前記傾斜面２８から落下したチップＷが供給溝３１に落ち込んだときに、当該チップＷが供給溝３１に沿って前部ブロック２５側に移動することとなる。この一方、供給路３１から移動手段１２に供給されないチップＷは、下流側の領域から後部ブロック２４に乗り移って再び後部ブロック２４の傾斜面２８を駆け上がるサイクルを繰り返すようになっている。また、図７に示されるように、前部ブロック２５と中間ブロック２６との上部間には、上端に略Ｖ字状となる支持面３３，３４に連なるスロット３５が形成されており、このスロット３５に前記移動手段１２を構成するベルトＢの略下半部領域を受容して当該ベルトＢが図７中紙面直交方向に沿って走行するように設けられている。
【００１９】
前記ベルトＢは、図１に示されるように、下流端側上部に配置されたモータＭの出力軸に連結されて略水平面内で回転する駆動プーリ３６と、上流端側に位置して前記駆動プーリ３６と略同一平面内で回転する従動プーリ３７との間に巻装されている。従って、ベルトＢは、その面が略鉛直面内に沿う姿勢で移動することととなる。このベルトＢの面内には、図４ないし図６に示されるように、等大等間隔を隔てて係合領域としての打ち抜き穴３８がエンドレスで形成されている。打ち抜き穴３８は、ベルトＢの移動方向に沿う長さが、チップＷの長寸側寸法よりも若干長く設けられる一方、二つのチップＷが横長の状態で一個の打ち抜き穴３８に同時に入ることはできない長さに設定されている。また、打ち抜き穴３８の上下方向幅は、図７に示される状態で、チップＷの回転を許容する幅に設定されている。従って、ベルトＢがスロット３５を通過している間に、三個の供給路３１の何れかを滑ってチップＷが打ち抜き穴３８内に入り込むことが可能となる。この際、打ち抜き穴３８に対して、チップＷの長寸側が左右方向に沿う向きとなった姿勢（図７に示される姿勢）を適正なものとし、当該チップＷの上部側二つの面が、スロット３５の上端側に形成された支持面３３，３４に支えられて下流側に送り出されることとなる。この一方、図８に示されるように、チップＷは、その長寸側の向きが打ち抜き穴３８を横切る姿勢となったときは、不適正な姿勢とみなしてこれを除去する排除手段３９が前部ブロック２５上に設けられている。
【００２０】
前記排除手段３９は、図示しないエアポンプを介してエアを常に吹き付けるノズル３９Ａを含んで構成されている。ノズル３９Ａは、前記打ち抜き穴３８より大きく突出したチップＷの部分に上方からエアを吹き付けるようになっており、このエア圧によってチップＷを打ち抜き穴３８から中間ブロック２６側に落とし込みできるようになっている。なお、中間ブロック２６の左側には突出部２６Ａが形成され、この突出部２６Ａにおける前記ノズル３９Ａの直下には、前記落とし込みを容易とするための切欠部２６Ｂ形成されている。
【００２１】
前記多面体検査用フィーダー１３は、前記供給手段１１の下流側に連結されている。この多面体検査用フィーダー１３は、図１及び図２に示されるように、上流側通路形成部材４０と、この上流側通路形成部材４０の下流側に連なる回転フィード部４１と、当該回転フィード部４１の下流側に連なる下流側通路形成部材４２とを備えて構成されている。上流側通路形成部材４０と下流側通路形成部材４２は同一形状に設けられている。従って、上流側通路形成部材４０について説明すると、図９及び図１０に示されるように、上流側通路形成部材４０は、一対のブロック４５，４５を組み合わせることによって構成されている。すなわち、各ブロック４５は、ベースブロック４６と、当該ベースブロック４６の一端側から上方に向けられた起立ブロック４７とからなり、横断面形状が略Ｌ字に近似した形状に設けられている。起立ブロック４７の上端部には、外側傾斜面４７Ａと内側傾斜面４７Ｂが形成されている。従って、上流側通路形成部材４０は、それぞれ二つのブロック４５，４５の前記起立ブロック４７，４７を背中合わせするように配置することで、上端側に略Ｖ字となる溝４８を形成することができ、これにより、溝４８に沿ってチップＷの通路が形成されることとなる。この際、各ブロック４５，４５は、それらの起立ブロック４７，４７間に、前述したベルトＢの厚みよりも僅かに大きい寸法となる隙間Ｓが形成されるように配置されて当該隙間Ｓ内でベルトＢの移動を許容することとなる。また、上流側及び下流側通路形成部材４０において、前記起立ブロック４７には、第１及び第４のカメラ１４〜１７のレンズ部に対応する領域に、前記打ち抜き穴３８の下部領域内に開通する姿勢維持手段を構成するバキューム穴４９が形成され、これにより、バキューム穴４９を通じて溝４８内を減圧することでチップＷの移動を妨げない程度に当該チップＷを吸着して検査面の位置が一定に保たれるようになっている。
【００２２】
前記回転フィード部４１は、図１０ないし図１２に示されるように、チップＷがベルトＢの打ち抜き穴３８に係合して送り出される過程で、当該チップＷを回転させることのできる溝５０を備えて構成されている。この回転フィード部４１は、溝５０の形状が前記上流側通路形成部材４０と下流側通路形成部材４２の溝４８と相違するだけで、その他の部分については、同一となっている。従って、回転フィード部４１を形成するブロックについても上流側通路形成部材４０について付した同一符号を用いて説明を省略する。
【００２３】
前記回転フィード部４１の溝５０を形成するように相対する傾斜面５０Ａ，５０Ａは、実質的には、先に提案した特願２０００−１２７２４８号と同じような内側面形状に設けられている。従って、ここでは断面形状についての詳細な説明を省略するが、概して言えば、溝５０は、横断面形状が、チップＷの移動方向に沿って、略Ｖ字型と略Ｕ字型の内側面形状が交互に連続するように設けられ、略Ｖ字及び略Ｕ字の内側面に至る中間内側面を緩やかな曲面形状に設けることにより、溝５０を通過するチップＷが螺旋の軌跡に沿うように滑らかに回転しながら直進するように設けられている。本実施例において、回転フィード部４１は、チップＷが通過したときに、初期の位置（図１２中「０°」位置参照）から略１８０度回転させるように傾斜面５０Ａ，５０Ａが漸次変化する形態で一連に繋がるように設けられている。なお、溝５０の内側面形状は、チップＷの回転を可能とする限りにおいて、図示構成例に制限されるものではない。
【００２４】
前記第１ないし第４のカメラ１４，１５，１６，１７は、図示しないスタンドを介して前記上流側及び下流側通路形成部材４０，４２上にそれぞれ支持されている。第１及び第２のカメラ１４，１５は、図１及び図２に示されるように、上流側通路形成部材４０上に位置するとともに、それらのレンズ部が相互にチップＷの検査面に対して対向するように配置されている。すなわち、第１のカメラ１４は、チップＷの検査面Ｓ１（図１２参照）を検査する一方、第２のカメラ１５は、チップＷの検査面Ｓ２を検査するようになっている。また、第３及び第４のカメラ１６，１７は下流側通路形成部材４２上に位置し、略１８０度回転した後のチップＷに対して検査を行うようになっている。すなわち、第３のカメラ１６のレンズ部がチップＷの検査面Ｓ３に向けられて当該検査面Ｓ３を検査する一方、第４のカメラ１７のレンズ部がチップＷの検査面Ｓ４に向けられて当該検査面Ｓ４を検査する。これらのカメラ１４〜１７は、画像処理装置により所定の画像処理検査に付されて良否が判定される。
【００２５】
前記回収手段１８は、図１、図１３及び図１４に示されるように、上流側通路形成部材４０の領域内で前記第２のカメラ１５の直近下流側に設けられた第１の吸引パイプと５０と、下流側通路形成部材４２の領域内で第４のカメラ１７の直近下流側に設けられた第２の吸引パイプ５１と、当該第２の吸引パイプ５１の下流側に設けられた第３の回収装置５３とにより構成されている。第１及び第２の吸引パイプ５０，５１は不良品を回収するためのものであり、第３の回収装置５３は良品を回収するものとして構成されている。図１３に示されるように、第１及び第２の吸引パイプ５０，５１の先端開口位置に対応する反対側のブロック４５には、溝４８内に開通する送気孔５５が形成されており、当該送気孔５５からエアが吹き付けられて溝４８内のチップＷが吸引パイプ５０，５１側に吹き飛ばされ、当該吸引パイプ５０，５１によって不良品と判定されたチップＷが回収箱５６，５７にそれぞれ回収されるようになっている。この際、第１及び第２の吸引パイプ５０，５１は、常時吸引する状態に保たれる一方、前記送気孔５５は、不良品が判定されたことを条件としてエアの吹き付けを行うようになっている。従って、送気孔５５からチップＷにエアの吹き付けが行われない状態では、チップＷは、第１及び第２の吸引パイプ５０，５１の吸引力では吸引されずに溝４８内で移動できる程度に保たれることとなる。
【００２６】
第３の回収装置５３は、図１４に示されるように、ベルトＢが通過する線上に略位置しており、当該ベルトＢの下方位置に開口部６０Ａを備えた筒状部材６０を備えて構成されている。この筒状部材６０の上方からはエアが吹き付けられるようになっており、このエアの吹き付け力を受けて、ベルトＢの打ち抜き穴３８内に位置する良品としてのチップＷは、下流側通路形成部材４２による支持を失って筒状部材６０内に落下し、回収箱６２に回収されるようになっている。なお、図１４中符号６３はカウンターを示し、当該カウンター６３により良品数が順次計数可能とされている。
【００２７】
次に、本実施形態における多面体検査装置１０の全体的動作について説明する。
【００２８】
所定の電源投入により、移動手段１２を構成するベルトＢが図２中反時計方向に回転すると同時に、供給手段１１のホッパー２０からチップＷがシューター２２を経て後部ブロック２４上に供給される。この後部ブロック２４上のチップＷは、傾斜面２８を駆け上がって中間ブロック２６の供給溝３１上に次々と落ちることとなる。この時、供給溝３１の前端側にはベルトＢが移動している状態にあり、供給溝３１を通過したチップＷはベルトＢの打ち抜き穴３８内に次々と入り込んでこれに係合することとなる。この際、供給溝３１は、複数、本実施形態では、３列設けられているため、打ち抜き穴３８内へのチップ空送りは殆ど生ずることがない。
【００２９】
打ち抜き穴３８内のチップＷが適正姿勢にない場合、すなわち、図８に示されるように打ち抜き穴３８を横切るような姿勢でチップＷが入り込んでいる場合には、その突出した領域に対して排除手段３９のノズル３９Ａからエアが吹き付けられることとなり、チップＷは打ち抜き穴３８から下方へ脱落することとなる。従って、排除手段３９の位置を経た後のチップＷは、いずれも適正な姿勢に保たれた状態で下流側に接続された多面体検査用フィーダー１３に移動することとなる。
【００３０】
多面体検査用フィーダー１３において、上流側通路形成部材４０の領域では、図１２に示されるように、二つの検査面Ｓ１，Ｓ２が溝４８の上方に表出した状態となり、この状態で、第１及び第２のカメラ１４，１５が撮像を行い、画像処理装置にて所定の検査が行われることとなる。ここで、何れか一方の検査面Ｓ１，Ｓ２が不良品であると判定されたときには、前記送気孔５５より溝４８内にエア吹き付けが行われてチップＷが溝４８外に吹き飛ばされ、常に吸引状態にある吸引パイプ５０にて吸引されて回収箱５６に回収されることとなる。
【００３１】
上流側通路形成部材４０にて不良品とされないチップＷは、回転フィード部４１を通過することで、略１８０度回転することとなる（図１２参照）。そして、検査面Ｓ３，Ｓ４を表出させた状態で、下流側通路形成部材４２の溝４８内にチップＷが移動することとなる。ここで、上流側通路形成部材４０の領域にて行われたのと同様の検査が第３及び第４のカメラ１５，１６にて行われ、同様に不良品として判定されたチップＷは、吸引パイプ５１を経て回収箱５７に回収される一方、吸引パイプ５１で吸引されない良品たるチップＷは、カウンター６３で順次カウントされた後に第３の回収装置５３にて回収される。
【００３２】
従って、このような実施形態によれば、ベルトＢを用いてチップＷを一つずつ移動させる構成を採用したから、複数のチップＷが相互に接するように繋がった状態で移動することが完全に排除でき、各チップＷの面精度を効率良く且つ高精度に検査することが可能となる。
【００３３】
なお、前記実施例では、打ち抜き穴３８を形成することでチップＷを係合させて移動可能としたが、ベルトＢの上端側を凹状に形成した切欠部としてもよい。また、移動手段１２はチップＷを一つずつ一定間隔で移動させることができれば足り、ベルトＢに限定されるものではない。また、供給手段１１における供給溝３１は、三列に限らず、三列以下又は三列以上であってもよい。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の多面体検査用フィーダーによれば、移動手段に設けられた係合領域の相互間隔に対応して、各係合領域に受け入れられて係合する検査対象物が相互に一定の間隔をおいた状態となる。従って、従来のように、振動を付与することで検査対象物を送る構成に比べて、複数の検査対象物が連続してしまう虞を確実に防止することができ、これにより、個々の検査対象物における検査精度の信頼性を確保することが可能となる。
【００３５】
また、請求項２記載の多面体検査用フィーダーによれば、検査対象物が、溝の内面形状に倣ってスムースに回転できるようになる他、検査対象物の検査面を隠蔽することなく当該検査対象物を溝に沿って移動させることができる。
【００３６】
更に、請求項３記載の多面体検査用フィーダーによれば、検査対象物が直方体等である場合に、ベルトの各面側に検査面を対称的に表出させることができ、検査を効率的に行うことが可能となる。
【００３７】
また、請求項４記載の多面体検査装置によれば、移動動手段の係合領域に、検査対象物が供給されない状態を極力低減することが可能となり、検査効率の低下を抑制することが可能となる。
【００３８】
また、請求項５記載の多面体検査装置によれば、常に一定の姿勢に保たれた検査対象物のみが通路形成部材側に送り出されるようになり、この点からも、検査効率の低下を抑制することができる。
【００３９】
更に、請求項６記載の多面体検査装置によれば、検査対象物の検査面の位置を一定に保って検査を高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る多面体検査装置の全体構成を示す概略正面図。
【図２】前記多面体検査装置の概略平面図。
【図３】供給手段の概略平面図。
【図４】供給手段の要部概略斜視図。
【図５】前部ブロックを省略した供給手段の概略斜視図。
【図６】前部ブロックの内面側を示す概略斜視図。
【図７】チップが適正な姿勢で供給される状態を示す断面図。
【図８】チップが不適正な姿勢で供給される状態を示す断面図。
【図９】通路形成部材でチップが移動す状態を示す断面図。
【図１０】通路形成部材の回転フィード部を示す概略斜視図。
【図１１】回転フィード部の分解斜視図。
【図１２】回転フィード部におけるチップの回転動作説明図。
【図１３】不良品と判定されたチップの回収手段を示す要部断面図。
【図１４】良品と判定されたチップの回収手段を示す概略構成図。
【符号の説明】
１０　多面体検査装置
１１　供給手段
１２　移動手段
１３　多面体検査用フィーダー
３１　供給溝（供給路）
３８　打ち抜き穴（係合領域）
３６　駆動プーリ
３７　従動プーリ
３８　打ち抜き部（係合領域）
３９　排除手段
３９Ａ　ノズル
４０　上流側通路形成部材
４１　回転フィード部
４２　下流側通路形成部材
４８　溝
４９　バキューム穴（姿勢維持手段）
５０　溝
Ｂ　ベルト（移動手段）
Ｗ　チップ（検査対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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