(57)【要約】【課題】人体および衣服あるいは製品の移動及び位置に関係なく、除塵効率の高いエアシャワー装置を提供する。【解決手段】人体及び衣服あるいは製品５に吹付けて塵埃を吹飛ばすエア４をフィルタを介して吹出す吹出部を有する送風機２を備えたエアシャワ装置１において、人体及び衣服あるいは製品５の所定の移動位置を検知する複数のセンサ３を備えるとともに、センサ３による移動位置検出に応じて吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段１３を有する。【選択図】        図２
2004286405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
人体及び衣服あるいは製品に吹付けて塵埃を吹飛ばすエアをフィルタを介して吹出す吹出部を有する送風機を備えたエアシャワ装置において、
前記人体及び衣服あるいは製品の所定の移動位置を検知する複数のセンサを備えるとともに、センサによる移動位置検出に応じて吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段を有することを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項２】
請求項１記載のエアシャワ装置において、
上記複数のセンサの少なくとも１つは、ドアの開閉動作を検出するセンサであることを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のエアシャワ装置において、
上記送風機の吹出部と該吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段とを複数セット有することを特徴とするエアシャワ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアシャワ装置であり、特に人体および衣服あるいは製品に高速で吹き付け、塵埃を吹飛ばすエアシャワ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、エアシャワは、クリーンルーム出入口に設置され、作業者あるいは製品が通る際に、エアノズルからフィルタにより清浄されたエアが高速で吹出し、作業者の人体及び衣類あるいは製品などに付着した塵埃を吹飛ばし除去していた。しかしながら、吹出されたエアが作業者の立つ位置や移動により人体及び衣服あるいは製品の全てに行き渡らず、完全に除去できない欠点があった。これを解決しようと、エアシャワ室内で作業者が衣類を叩いたり、回転したりする動作が必要で、背中などに手が届かないことや動作の煩わしいことなどから塵埃の付着の問題を解決するには、十分な方法ではなかった。
【０００３】
この欠点を解決する方法として、従来の装置において、エアシャワの吹出ノズルをエア吹出し側に、該吹出し方向と略平行な軸を中心として回転自在に設け、その回転軌跡の一部において前記エア吹出しノズルから吹出されるエア流を横断する気流制限板を備え、該気流制限板は、回転方向に対して部分的または全面的に傾斜角を有するものとし、エア吹出しノズルからの吹出しエア流により回転可能としたことを特徴とするパルスエアージェット生成装置（例えば特許文献１参照）であり、エアの吹出を断続的にし、衣服に手で叩いた時のような衝撃を与え除塵効率を高めている。
【０００４】
また、関連する従来技術として、エアを吹出すノズルを駆動源によってスイング運動をさせ、風向を変更するようにしたもの（例えば特許文献２及び文献３参照）がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−５２６５４号公報
【特許文献２】
実開昭６２−７６８４８号公報
【特許文献３】
実開昭６３−１６５４３７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体装置の高集積化に伴いクリーンルームの清浄度がより高く、要求されるようになった。また、食品工場などでは、製品内への異物混入を防ぐため、衣類に付着した塵埃を効率良く除去する必要がある。また、エアシャワのランニングコスト及び作業者の作業性向上としてエアシャワ室内の滞在時間の短縮が要求されるようになってきた。しかしながら、従来のエアシャワ装置では、吹出風速がエアシャワ装置室内における人体および衣服あるいは製品の位置及び移動に関係なく吹出していることから、除塵範囲に制限があるといった点で除塵効果を高めるには改良の余地があった。
【０００７】
上述した特許文献１のパルスエアージェット生成装置では、エア吹出部の気流制御板が回転することから断続的な気流を生成し、除塵効率の向上を図っているが、エアシャワ装置室内に設けた各々のノズルの吹出方向が常に同じ方向であり、作業者の立ち位置によっては、満足な除塵効果が得られないといった点で改良の予定があった。また、作業者が誤って手を入れるなど安全面からみて考慮されていなかった。また、特許文献２に関連する従来技術は、吹出方向を変化させ、広範囲での除塵効果を得ることが可能と考えられるが、エアシャワ装置室内における作業者の位置及び移動に関係なく吹出方向が変化することから人体への吹付時間が短くなる可能性があるといった欠点を有している。
【０００８】
従って、本発明は、上記の欠点を解消し、人体および衣服あるいは製品の移動及び位置に関係なく、除塵効率の高いエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、人体及び衣服あるいは製品に吹付けて塵埃を吹飛ばすエアをフィルタを介して吹出す吹出部を有する送風機を備えたエアシャワ装置において、前記人体及び衣服あるいは製品の所定の移動位置を検知する複数のセンサを備えるとともに、センサによる移動位置検出に応じて吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段を有するエアシャワ装置である。
【００１０】
また、本発明は、上記複数のセンサの少なくとも１つは、ドアの開閉動作を検出するセンサであるエアシャワ装置である。
【００１１】
そして、本発明は、上記送風機の吹出部と該吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段とを複数セット有するエアシャワ装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を説明する。
以下、本発明の実施例について、図１〜５を用いて説明する。図１は、実施例１のエアシャワー装置の上面、側面及び正面の概略説明図である。図２は、実施例１のエアシャワ装置の説明図である。図３は、実施例２のエアシャワ装置の説明図である。図４は、実施例３のエアシャワ装置の説明図である。図５は、実施例４のエアシャワ装置の説明図である。
【００１３】
実施例１を説明する。本実地例のエアシャワ装置１について、図１（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。エアシャワ装置１において、送風機１１で作り出されたエアがフィルタ１２を通過して吹出ノズル２からエアシャワ室内に吹出される。また、吹出ノズル２は、エアシャワ装置内に設けられた制御モータ１３により吹出気流４の吹出方向を変更する制御ができるよう構成されている。さらに、エアシャワ室内の室内面には、進行方向に複数のセンサ３を設置しており、人体及び衣服あるいは衣服の移動及び位置を感知できるようセンサ部が構成されている。センサ３は、例えば発光素子又は受光素子であって、受光素子は、発光素子からの光の遮断により、人等の移動位置を検知する。吹出ノズル２は、センサ３の単独又は複数からエアシャワ室内での人の移動及び位置データの信号を受けて、所定の移動位置への人等の動きを把握し、人等の動きに合わせて、吹出ノズル２の吹出方向が人等の動きを追尾するように制御モータ６により制御されている。これにより、吹出ノズル２の前を人等が通り過ぎてしまった後も吹出ノズルが人等を追尾し続けるため、人等がいない場所への吹出が無くなり、エアシャワ室内に無駄なく吹付けることができる。また、人等が前方を向いたままの状態でも、背面にエアを当てることが可能となる。したがって、エアシャワ室内で回転する等の余計な動作を解消しエアシャワ室内の全てのノズルから噴き出される清浄なエアを無駄無く効率的に人等に当てることができ、除塵効率の向上を図ることができる。
【００１４】
さらに従来のエアシャワ装置ではエアシャワ装置を複数連結した場合や奥行き寸法が大きくなると奥行きが小さい装置に比べてノズル数が増加させる必要もあった。このような場合、ノズル数の多いエアシャワ装置に本発明を適用することにより、吹出ノズルが作業者の移動を追尾するため、人等がいない場所への吹出が無くなり、エアシャワ室内に無駄なく吹付けることができることから、ノズル数を多く設置した場合でも従来のエアシャワ装置より除塵効率の高いエアシャワ装置を作り出す事が可能となる。また、本発明により吹出ノズルが人等の移動を追尾するため、人等がいない場所への吹出が無くなり、エアシャワ室内に無駄なく吹付けることができることからノズル数の最適化を図ることが出ノズル数を減少させることが可能となる。
【００１５】
実施例１のエアシャワ装置において、エアシャワ室内に入った時のノズルの動きとセンサとの関係を図２を用いて説明する。図２は、エアシャワ室内に進行方向に対し複数のセンサ３ａ〜３ｄを設けており、各々のセンサ３は、複数のノズル２の間または、一定間隔に設けられている。さらに進行方向に対し、入口側のセンサ３ａは、最初のノズル２ａより入口側に設けられている。このように設置した場合、作業者５がエアシャワ室内に入り、入口に一番近いセンサ３ａを遮ることにより、図２（ａ）に示すように、入口側のノズル２ａが入口側を向くと共にエアシャワ室内のエアジェットが作動する。以下、センサ３ｂからセンサ３ｄへと順々に作業者５の所定の移動位置を検知する。そして、センサ３ａ〜３ｄの検知に応じてノズル２ａからノズル２ｃが順々にエア４を吹出す。例えば、図２（ｂ）に示すように、センサ３ｂと３ｃが作業者５を検知すると、ノズル２ａ〜２ｃが使用者５の後面、側面及び前面にエアを吹付ける。最後にエアが止まり、エアシャワ室内からクリーン側に退室する時に出口部に設置したセンサ３ｄを遮ることによってエアシャワ室内の全ノズルが再び正面を向き、待機状態に入る。このようにして、吹出ノズル２の前を使用者５が通り過ぎてしまった後も吹出ノズル２が使用者５を追尾し続けるため、作業者５がいない場所への吹出が無くなり、エアシャワ室内に無駄なく吹付けることができる。また、作業者５が前方を向いたままの状態でも、背面にエアを当てることが可能となり、全てのノズル２から噴き出される清浄なエアを無駄無く効率的に作業者５に当てることができ、除塵効率の向上を図ることができる。
【００１６】
実施例２を説明する。本実施例は、実施例１のエアシャワ装置における複数のセンサの２つとして、ドア６１、６２の開閉動作を検出するセンサ３１、３２を使用する。従来のエアシャワ装置は、入口ドア部に設けたドアスイッチと室内に設置したセンサ等を組み合わせることによって、吹出気流の発生源である送風機の０Ｎ、ＯＦＦやインタロック装置の制御をする方式もあった。このような方式の中、従来のエアシャワ装置では、入口と出口にそれぞれドアスイッチが付いており、基本的にはその二つのドアスイッチが押された（ＯＦＦになっている）状態でエアシャワ室内中央のセンサを遮ることによりエアジェットが作動する。しかし、奥行きの小さいエアシャワ装置では、入口側のドアスイッチが押される前に中央部に設けられたセンサを遮ってしまうことがあり、入室してからエアが吹かないという可能性があり、動作順序において改善の余地があった。そこで、従来のエアシャワ装置では、ドアを開け入口ドアスイッチがＯＮになった時にエアジェットを吹かすようにし改善する方式が考えられてきた。
【００１７】
図３は、実施例２におけるドアに設けられたセンサとの組合せによる動作を示す。図３は、エアシャワ装置の入口のドア６１にセンサ３１を設置しており、エアシャワ室内の進行方向に対し複数のセンサ３ａ〜３ｄを設けている、各々のセンサ３は、複数のノズル２の間または、一定間隔に設けられており、出口側のドア６２にもセンサ３２が設けられている。このように設置した場合、作業者５がエアシャワ室内に入る際に、ドア６１を開けると同時にドア６１のセンサ３１が働き、入口側のノズル２ａが入口側を向きエアジェットが作動し、入室者に向かって気流を吹きつける。次に、入口側でノズルとノズルの間に設置したセンサ３ｂを遮ることによりノズル２ａがエアシャワ室内中央に移動した作業者５を追尾し、背面にエアを浴びせる。次に、さらに進行方向側のセンサ３ｃを遮ることによりノズル２ａが背面にエアを浴びせ、ノズル２ｃが前面にエアを吹き付ける。最後にエアが止まり、エアシャワ室内からクリーン側に退室する時に出口側のドア６２に設けられたセンサ３２が動作することによってエアシャワ室内の全ノズル２が再び正面を向き、待機状態に入る。これにより、入口ドアを開けた瞬間にエアジェットが作業者に向かって吹きつけられ、作業者にエアジェットを吹付ける開始時間が早くなり、エアシャワ室内の出入り動作の短縮を図ることが出来る。また、吹出ノズルの前を使用者が通り過ぎてしまった後も吹出ノズルが使用者を追尾し続けるため、作業者がいない場所への吹出が無くなり、エアシャワ室内に無駄なく吹付けることができる。また、使用者が前方を向いたままの状態でも、背面にエアを当てることが可能となり、全てのノズルから噴き出される清浄なエアを無駄無く効率的に使用者に当てることができ、除塵効率の向上を図ることができる。なお、ドアを開けた際に気流が入室方向と逆に室内側から吹出すため食品分野における防虫対策において、飛んでくる虫の侵入を防ぐことが可能となる。
【００１８】
実施例３を説明する。本実施例は、実施例１と比較して、エアシャワ装置の奥行き寸法が大きい場合であり、エアシャワ室内での作業者の立ち位置によっては、入口側に設けた吹出ノズルの吹出方向を極力作業者の位置に向けたとしても気流が当たらないといった可能性がある。本実施例では、これを解決するものであり、図４を用いて説明する。図４は、奥行き寸法の大きなエアシャワ装置１であり、エアシャワ室内に進行方向に対し複数のセンサ３ａ〜３ｅを設けており、各々のセンサ３は、複数のノズル２の間または、一定間隔に設けられている。さらに入口側の吹出ノズル２ａは、作業者５がエアシャワ装置内の出口付近に達したとき、作業者への吹出気流の吹付けができない位置に設けている。このように設置した場合、入口側に設けた吹出ノズル２ａの吹出方向は、作業者５がエアシャワ室内に入ったところから作業者５への吹出気流の吹付けができない位置までの間作業者を追尾する。その後、正面を向き待機状態になる。
【００１９】
実施例４を説明する。本実施例は、吹出部及び該吹出部の吹出気流方向を変化させる吹出方向変更手段を複数セット有するエアシャワ装置１である。本実施例について、図５を用いて説明する。図５は、奥行き寸法の大きくエアシャワ装置可動時に複数の作業者５ａ、５ｂが連続して通過するエアシャワ装置である。また、エアシャワ室内には、進行方向に対し複数のセンサ３を設けており、各々のセンサ３は、ノズル２とノズルの間または、一定間隔に設けられている。さらに、各々のノズル２の吹出方向可変範囲は、両隣に設けたセンサ間を追尾する範囲としている。このように設置した場合、吹出ノズル２の吹出方向は、作業者５がエアシャワ室内に入り、進行方向に対して出口側に移動する場合、センサ２の一定区間での追尾を行う。これにより複数の作業者５が次々とエアシャワ室内に入室した時でも効率良くエアジェットを当てることが可能となる。
【００２０】
【発明の効果】
上記に説明したように、本発明によれば、人体および衣服あるいは製品の移動及び位置に関係なく、除塵効率の高いエアシャワー装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１のエアシャワー装置の上面、側面及び正面の概略説明図。
【図２】実施例１のエアシャワ装置の説明図。
【図３】実施例２のエアシャワ装置の説明図。
【図４】実施例３のエアシャワ装置の説明図。
【図５】実施例４のエアシャワ装置の説明図。
【符号の説明】
１  エアシャワー装置
１１  送風機
１２  フィルタ
１３  制御モータ
２吹出ノズル
３、３ａ〜３ｄ、３１、３２  センサ
４吹出気流
５  作業者
６１  入口側ドア
６２  出口側ドア
【図１】
2004286405.tif 000003
【図２】
2004286405.tif 000004
【図３】
2004286405.tif 000005
【図４】
2004286405.tif 000006
【図５】
2004286405.tif 000007