(57)【要約】【課題】スクリーンマスクにより被印刷物に印刷を行なうスクリーン印刷装置およびそのためのスクリーン印刷用スキージにおいて、インクに相当するペースト状物体を嵩高く被印刷物に付着させること。【解決手段】第１のエッジと、第１のエッジが印刷面を進行する方向後部に第１のエッジより印刷面に垂直の方向に後退して位置する第２のエッジとを有し、第１のエッジを構成する部材が第２のエッジを構成する部材と一体に構成されたスキージと、スキージが進行する印刷面を提供するための印刷台と、印刷台から離隔しかつ印刷台に対向してスクリーンマスクを張設可能なスクリーンマスク設置部とを具備する。第１のエッジによってスクリーンマスクの吐出孔にペーストを充填し、第１のエッジが移動してスクリーンマスクが被印刷物からわずかに隔離したときに、第２のエッジが移動してきて吐出孔にペーストを追加供給する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のエッジと、前記第１のエッジが印刷面を進行する方向後部に前記第１のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置する第２のエッジとを有し、前記第１のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する部材と一体に構成されたスキージと、
前記スキージが進行する前記印刷面を提供するための印刷台と、
前記印刷台から離隔しかつ前記印刷台に対向してスクリーンマスクを張設可能なスクリーンマスク設置部と
を具備することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記スキージにおける前記第１のエッジに対する前記第２のエッジの前記後退の寸法は、３０μｍないし１００μｍであることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記スキージにおける前記第１のエッジと前記第２のエッジとの進行方向距離は、１０ｍｍないし３０ｍｍであることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記スキージにおける前記第１のエッジと前記第２のエッジとの間の空間が、前記スキージの長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形となるように前記スキージを窪ませて形成されていることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記スキージは、前記第２のエッジが進行する方向後部に前記第２のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置する第３のエッジをさらに有し、前記第３のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する前記部材と一体に構成されていることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
前記スキージにおける前記第２のエッジと前記第３のエッジとの間の空間が、前記スキージの長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形となるように前記スキージを窪ませて形成されていることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷装置。
【請求項７】
第１のエッジと、
前記第１のエッジが印刷面を進行すべき方向後部に前記第１のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置し得る第２のエッジとを具備し、
前記第１のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する部材と一体に構成されている
ことを特徴とするスクリーン印刷用スキージ。
【請求項８】
前記第１のエッジに対する前記第２のエッジの前記後退の寸法が、３０μｍないし１００μｍになり得ることを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用スキージ。
【請求項９】
前記第１のエッジと前記第２のエッジとの前記進行すべき方向の距離が、１０ｍｍないし３０ｍｍであることを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用スキージ。
【請求項１０】
前記第１のエッジと前記第２のエッジとの間の空間が、長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形となるように窪ませて形成されていることを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用スキージ。
【請求項１１】
前記第２のエッジが進行すべき方向後部に前記第２のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置し得る第３のエッジをさらに具備し、
前記第３のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する前記部材と一体に構成されている
ことを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用スキージ。
【請求項１２】
前記第２のエッジと前記第３のエッジとの間の空間が、長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形に窪ませて形成されていることを特徴とする請求項１１記載のスクリーン印刷用スキージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スクリーンマスク（スクリーン版）により被印刷物に印刷を行なうスクリーン印刷装置およびそのためのスクリーン印刷用スキージに係り、特に、インクに相当するペースト状物体を嵩高く被印刷物に付着させるのに適するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用スキージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
微細な構造物を物体面上に形成するためスクリーン印刷を応用する技術が種々の場面で用いられている。図１０は、スクリーン印刷を用いて、配線板または金属箔上に微細構造物としての導電性バンプを形成する方法を模式的に説明する図である。なお、このような方法で印刷・形成される導電性バンプは、尖りを有するので半硬化状態の絶縁板（プリプレグ）を貫通しやすくその貫通により絶縁板間の層間接続体として使用することができるものである。
【０００３】
図示するように、配線板または金属箔７８に対向しかつ離間してスクリーンマスク７５を配置させる。スクリーンマスク７５は、スクリーンマスク張設部７３、７４に張設されている。また、スクリーンマスク７５は、導電性ペースト７６を配線板または金属箔７８に移動転写し付着させるための吐出孔７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄ、７５ｅ、…を備えている。
【０００４】
スキージ７１は、線状にスクリーンマスク７５を押し下げ、スクリーンマスク７５と配線板または金属箔７８とが当接するようにする。この状態で、スキージ７１は、図上右から左に移動（当接線状と垂直方向に移動）するが、その際にスキージ７１の前方に接してスクリーンマスク７５上に導電性ペースト７６が存在するようにしておく。
【０００５】
このような状態でのスキージ７１の動きにより、導電性ペースト７６は、スキージ７１の直下近くではその一部が吐出孔７５ｂに充填される。吐出孔７５ｂに充填された導電性ペースト７６は、スキージ７１が移動しスクリーンマスク７５が配線板または金属箔７８から隔離し始めると、粘着力または表面張力により一部は配線板または金属箔７８に引っ張られ、一部は吐出孔７５ｂ（７５ｃ）に残留するように引っ張られる。
【０００６】
スクリーンマスク７５と配線板または金属箔７８との距離がさらに離間すると、一部が吐出孔７５ｃ（７５ｄ、７５ｅ）に残り、配線板または金属箔７８に引っ張られた部分は分断されて先が尖った形状で配線板または金属箔７８に付着する。
【０００７】
この先の尖った形状の導電性ペースト（先の尖った形状の導電性ペーストを以下では導電性バンプ７７という）を乾燥させて硬化し、半硬化状態の絶縁板（プリプレグ）を貫通させて層間接続体にすることができる。このようなスクリーン印刷による層間接続体は細かいピッチで形成することができ、配線板として要求される微細パターン化に応えるものとして用いられている。
【０００８】
なお、インク相当のペースト状物体をかき取り残しなく（すなわち十分に）吐出孔に充填するための例には特開平９−１５６０７５号公報記載に開示されたものがある。この技術では、スクリーンマスクの吐出孔にペースト状物体をより隙間なく充填する効果を得ることは可能と考えられるが、そもそも吐出孔に充填できるペースト状物体の量が吐出孔の容積より大きくはならないことをあらかじめ指摘しておく。
【０００９】
【特許文献１】
特開平９−１５６０７５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような導電性バンプ７７の形成は、絶縁板を貫通するためある程度の高さが必要である。また、配線板で必要とされる狭ピッチ化がさらに進むと、高さを維持したままで底面積に対して相対的に高さが高い形状、いわゆる高アスペクト比の形状に形成される必要がある。
【００１１】
このような将来的観点でスクリーン印刷による導電性バンプ形成をみてみると、高アスペクト比化に一定の限界がある。これは、上記のように、導電性バンプ７７の形成高さは、スクリーンマスク７５と配線板または金属箔７８との距離が離間したときに、導電性ペースト７６が配線板または金属箔７８に粘着して引っ張られる量によって決まるからである。
【００１２】
したがって、単純には、吐出孔７５ａ（７５ｂ、７５ｃ、７５ｄ、７５ｅ）の容積を増して吐出孔７５ａ等に充填される導電性ペースト７６の量を増加させればよいので、例えば、スクリーンマスク７５の厚さを厚くすることが考えられる。しかしながら、このようにしても吐出孔７５ａ等に引っ張られ残留する量も多くなり、配線板または金属箔７８に付着する量として単純に増加しない。
【００１３】
本発明は、上記した状況を考慮してなされたもので、スクリーンマスクにより被印刷物に印刷を行なうスクリーン印刷装置およびそのためのスクリーン印刷用スキージにおいて、インクに相当するペースト状物体を嵩高く被印刷物に付着させることが可能なスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用スキージを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係るスクリーン印刷装置は、第１のエッジと、前記第１のエッジが印刷面を進行する方向後部に前記第１のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置する第２のエッジとを有し、前記第１のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する部材と一体に構成されたスキージと、前記スキージが進行する前記印刷面を提供するための印刷台と、前記印刷台から離隔しかつ前記印刷台に対向してスクリーンマスクを張設可能なスクリーンマスク設置部とを具備することを特徴とする。
【００１５】
すなわち、このスクリーン印刷装置のスキージには、一体的な構成により第１のエッジと第２のエッジとが設けられる。第２のエッジは、第１のエッジの進行方向後ろに位置しかつ第１のエッジより印刷面に垂直の方向に後退している。このような配置により、第１のエッジによってスクリーンマスクの吐出孔にペーストを充填し、第１のエッジが移動してスクリーンマスクが被印刷物からわずかに隔離したときに、第２のエッジが移動してきて上記吐出孔にペーストを追加供給することができる。
【００１６】
つまり、スクリーンマスクがわずかに隔離したときには、吐出孔に充填されたペーストは一部が被印刷物に粘着し引っ張られている状態であり、吐出孔には余地空間が存在する。そこで、その余地空間に第２のエッジによってペーストを追加供給する。これにより、第２のエッジが移動してスクリーンマスクがさらに被印刷物から離間したときに、被印刷物の側に粘着し分断されるペースト量が増加する。したがって、インクに相当するペースト状物体を嵩高く被印刷物に付着させることが可能になる。
【００１７】
なお、「印刷面」とは、スクリーンマスク側への第１のエッジの当接端部が移動して描く仮想的な面である。
【００１８】
スキージの材質としては、ウレタン樹脂のような樹脂、金属、金属に樹脂をコーティングしたものなどを利用することができる。また、スキージは、印刷に供用して経時的に摩耗するので装置として交換可能に構成してもよい。
【００１９】
スキージ（第１のエッジ）の印刷面に対する角度は、スクリーンマスクがスキージによって押し下げられ変形した状態で吐出孔にペーストが充填または追加供給され易くなるよう考慮の上、設計することができる。例えば、６０度から８５度程度にすることができる。これは第２のエッジについても同様である。
【００２０】
スキージが印刷面を移動する速度は、ペーストの粘度、表面張力、スクリーンマスクの厚さ、材質、吐出孔の寸法などを考慮の上、スクリーンマスクの吐出孔にペーストが充填または追加供給されやすく、かつスクリーンマスクが被印刷物から離れるときに嵩高く導電性バンプを形成する効果が適切に発揮されるように設計することができる。例えば、０．２ｃｍ／ｓから３０ｃｍ／ｓ程度にすることができる。
【００２１】
また、本発明に係るスクリーン印刷用スキージは、第１のエッジと、前記第１のエッジが印刷面を進行すべき方向後部に前記第１のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置し得る第２のエッジとを具備し、前記第１のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する部材と一体に構成されていることを特徴とする。このスクリーン印刷用スキージは、上記のスクリーン印刷装置の部品として使用可能なものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施態様として、前記スキージにおける前記第１のエッジに対する前記第２のエッジの前記後退の寸法は、３０μｍないし１００μｍである。導電性バンプを形成するためのペーストの粘度、表面張力、スクリーンマスクの厚さ、材質、吐出孔の寸法などを考慮の上、嵩高く導電性バンプを形成する効果が適切に発揮されるように設計した結果である。
【００２３】
また、実施態様として、前記スキージにおける前記第１のエッジと前記第２のエッジとの進行方向距離は、１０ｍｍないし３０ｍｍである。上記の後退寸法や、第２のエッジの前方に十分な量のペーストを留めるための空間を確保することなどを考慮し、設計した結果である。
【００２４】
また、実施態様として、前記スキージにおける前記第１のエッジと前記第２のエッジとの間の空間が、前記スキージの長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形となるように前記スキージを窪ませて形成されている。一体として構成されたスキージに第１のエッジと第２のエッジとを容易に形成するため形状の例である。
【００２５】
また、実施態様として、前記スキージは、前記第２のエッジが進行する方向後部に前記第２のエッジより前記印刷面に垂直の方向に後退して位置する第３のエッジをさらに有し、前記第３のエッジを構成する部材が前記第２のエッジを構成する前記部材と一体に構成されている。第２のエッジが奏する効果を、さらに第２のエッジの後方に位置する第３のエッジにより増進するものである。第３のエッジは、さらに第２のエッジより印刷面に垂直の方向に後退している。
【００２６】
また、実施態様として、前記スキージにおける前記第２のエッジと前記第３のエッジとの間の空間が、前記スキージの長手方向に垂直の断面が円弧、三角形、または矩形となるように前記スキージを窪ませて形成されている。一体として構成されたスキージに第２のエッジと第３のエッジとを容易に形成するため形状の例である。
【００２７】
以上のスクリーン印刷装置としての実施態様は、スクリーン印刷用スキージの実施態様としても同様である。
【００２８】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るスクリーン印刷装置の構成を示し作用を説明するための模式図である。
【００２９】
図１に示すように、このスクリーン装置は、被印刷物たる配線板基材１８主面上に導電性バンプ１７を形成するものである。構成を述べるに、配線板基材１８主面にスクリーンマスク１５の片面がある程度離間（隔離）して対向するように、印刷台１９とスクリーンマスク設置部１３、１４とが配置される。スクリーンマスク１５は、配線板基材１８面から距離をもって配設され互いに対向して位置するスクリーンマスク設置部１３、１４によって端部が保持されて張設される。配線板基材１８とスクリーンマスク１５との配置間隔は、例えば１ｍｍから５ｍｍ程度にする。
【００３０】
スクリーンマスク１５には、ペーストを吐出させるための吐出孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ、１５ｅ、…（直径は例えば５０μｍから５００μｍ程度）が穿設されている。張設されたスクリーンマスク１５は、図示するように垂直方向に対して傾きをもったスキージ１１により配線板基材１８方向に押し下げられて、配線板基材１８に線状に（すなわち紙面に垂直方向の線状に）当接される。
【００３１】
スキージ１１は、その上部がスキージホルダ１２に嵌め込まれており、スキージホルダ１２から取り外すことにより取り換え可能にされている。また、スキージ１１には、スクリーンマスク１５に対するエッジが２つ存在する。一方のエッジ（図右側のもの）は、他方のエッジ（図左側のもの）に比較して、印刷面に垂直の方向にやや後退している。その後退寸法についてはすでに説明したように設定できる。このような２つのエッジを備えるためスキージ１１は一体物で構成される。
【００３２】
２つのエッジを有するスキージ１１は、スクリーンマスク１５を押し下げたまま紙面右から左方向に（すなわち傾いたスキージの上方をスキージの下方が追いかける方向に）スキージ移動系（図示せず）により移動する。スキージ１１の両エッジの相対的位置には、上記の、印刷面に垂直方向の後退寸法のほか、後方のエッジの倒れ角度、両エッジ間の間隔寸法がある。これらの相対的位置についてもすでに説明したように設定できる。上記のように一体物にすることでこれら２つのエッジの微妙な位置関係を経時的に正確に保つことが可能になる。
【００３３】
スキージ１１の図上右から左への進行に際しては、両エッジの進行方向前方のスクリーンマスク１５上に導電性ペースト１６ａ、１６ｂがそれぞれ位置するようにする。導電性ペースト１６ａ、１６ｂには、例えばペースト状樹脂の中に金属粒（銀、金、銅、半田など）を分散させ、加えて揮発性の溶剤を混合させたものを用いる。
【００３４】
次に、作用を述べるに、上記のようなスキージ１１の動きにより、前方のエッジ前の導電性ペースト１６ａは、その直下近くではその一部が吐出孔１５ｂに充填される。吐出孔１５ｂに充填された導電性ペースト１６ａは、前方のエッジが移動しスクリーンマスク１５が配線板基材１８から隔離し始めると、粘着力または表面張力により一部は配線板基材１８に引っ張られ、一部は吐出孔１５ｂに残留するように引っ張られる。これにより、吐出孔１５ｂには図示するように余地空間が現れる。
【００３５】
このように余地空間が現れた状態で、後方のエッジが導電性ペースト１６ｂを伴って移動してくるので、吐出孔１５ｂ（１５ｃ）には導電性ペースト１６ｂが追加供給される。そして、後方のエッジがさらに移動すると、スクリーンマスク１５と配線板基材１８との距離がさらに離間し、一部が吐出孔１５ｃ（１５ｄ、１５ｅ）に残り、配線板基材１８に引っ張られた部分が分断されて先が尖った形状で配線板基材１８に付着する（導電性バンプ１７）。
【００３６】
このように、本実施形態のスクリーン印刷装置では、後方のエッジにより導電性ペースト１６ｂが追加供給される分だけ、導電性バンプ１７を高く形成することができる。また、この追加供給される分についてさらに説明すると、前方のエッジと後方のエッジとの相対位置関係がそれらの移動にかかわらず一定であるため、前方のエッジの当接位置からのスクリーンマスク１５の離間角度が、配線板基材１８の印刷位置によらず一定になる（図２参照：離間角度はθで示されている）。このため、印刷面内で形状均一性のより高いの導電性バンプ１７を形成することができる。
【００３７】
この高アスペクトで均一性の高い導電性バンプ１７が形成された配線板基材１８について例えば百数十℃で乾燥を行ない、導電性バンプ１７を硬化する。硬化された導電性バンプ１７を有する配線板基材１８を、半硬化状態の絶縁板（プリプレグ）と積層プレスして導電性バンプ１７によりプリプレグを貫通させて層間接続体にすることができる。このような層間接続体は高アスペクト化により接続信頼性が向上しており、配線板として要求される微細パターン化に応えるものとして用いることができる。また、用いるプリプレグとして材料の選択肢を広げることもできるので、コストや生産性を改善できる。
【００３８】
なお、当然ながら、導電性バンプ１７をさらに高アスペクトに形成するためは、導電性バンプ１７を乾燥・硬化させ、同一パターンのスクリーンマスクを用いて導電性ペーストを複数回印刷する方法を採ることができる。
【００３９】
次に、スキージ１１自体について図３を参照してさらに説明する。図３は、図１、図２中に示したスキージ１１の構成をさらに説明するための模式図である。図３（ａ）は側面図、図３（ｂ）は斜視図である。すでに述べた構成と同一のものには同一符号を付してある。
【００４０】
図３に示すように、このスキージ１１は前方のエッジ１１ａと後方のエッジ１１ｂとを有し、後方のエッジ１１ｂを形成するためスキージ１１の底側の面を窪ませた形状を有する。この窪みはスキージ１１の長手方向に垂直の断面で、円弧状である。このような窪み形状は単純な幾何学的形状であり、金型を用いて製作する場合でも加工によって製作する場合でもその製作原価の低減を見込める。
【００４１】
なお、すでに述べたように前方のエッジ１１ａに対する後方のエッジ１１ｂの後退寸法ａは、実験の結果として設計値が３０μｍないし１００μｍ程度となるようにするのが好ましい。また、前方のエッジ１１ａと後方のエッジ１１ｂとの進行方向距離Ｌは、実験の結果として設計値が１０ｍｍないし３０ｍｍ程度となるようにするのが好ましい。両エッジ１１ａ、１１ｂ間を結ぶ線が印刷面となす角度θは、θ＝ｔａｎ−１（ａ／Ｌ）の関係から、約０．０５７度ないし約０．５７度である。
【００４２】
また、参考までに上記窪みの深さは１ｃｍないし２ｃｍ程度、後方のエッジ１１ｂ上側の高さは、スキージ１１の全体として十分な剛性を保つように２ｃｍないし５ｃｍ程度にすることができる。
【００４３】
次に、図１に示したスクリーン印刷装置を用いたときに形成される導電性バンプの高さの実験結果について図４を参照して説明する。図４は、図１に示したスクリーン印刷装置を用いて導電性バンプを形成したときの結果を、通常の単一エッジを有するスキージによるスクリーン印刷の場合と比較して示す図である。
【００４４】
実験の条件として、スキージ１１について、前方のエッジ１１ａに対する後方のエッジ１１ｂの後退寸法ａを４０μｍ、前方のエッジ１１ａと後方のエッジ１１ｂとの進行方向距離Ｌを１６．４ｍｍとした。ウレタン樹脂製のものを用いた。また、スクリーンマスク１５として吐出孔の直径を２２０μｍ、厚さを２００μｍとした。アルミニウム製のものを用いた。また、配線板基材１８とスクリーンマスクとの離間距離を２ｍｍに設定した。使用した導電性ペーストは、銀ペーストであり常温（２０℃）で粘度２５００Ｐａ・ｓである。
【００４５】
図４（ａ）は印刷回数１回の場合である。図１に示したスクリーン印刷装置の場合は、形成される導電性バンプの高さが通常のスクリーン印刷の場合に比較して約３３％増である。図４（ｂ）は印刷回数を２回にした場合である。図１に示すスクリーン印刷装置では、形成される導電性バンプの高さが通常のスクリーン印刷の場合に比較して約２６％増である。図４（ｃ）は印刷回数を３回にした場合である。図１に示すスクリーン印刷装置では、形成される導電性バンプの高さが通常のスクリーン印刷の場合に比較して約２０％増である。
【００４６】
導電性バンプを最終的にどの程度の高さに形成するかは、製造されるべき配線板の仕様によるが、図４に示す結果により、各必要高さにおいて印刷回数を低減するという意味で図１に示したスクリーン印刷装置の有用性が示されている。
【００４７】
次に、図１に示したスクリーン印刷装置のスキージ１１に代えて使用することができるスキージの別の例について図５ないし図９を参照して説明する。図５ないし図９は、スキージの別の例を模式的に示す構成図である。これらの図においてすでに説明した構成要素には同一番号を付してある。
【００４８】
図５に示すスキージ１１Ａは、後方のエッジ１１Ａｂを形成するための底面側の窪みが、スキージ１１Ａの長手方向に垂直の断面で、三角形状である。前方のエッジ１１Ａａに対する後方のエッジ１１Ａｂの後退寸法ａや前方のエッジ１１Ａａと後方のエッジ１１Ａｂとの進行方向距離Ｌについては、図１ないし図３に示したスキージ１１と同様の考えで設定することができる。このような三角形の窪み形状はやはり単純な幾何学的形状であり、金型を用いて製作する場合でも加工によって製作する場合でもスキージ１１Ａの製作原価の低減を見込める。なお三角形状は図示するような二等辺三角形でなくてもよい。
【００４９】
図６に示すスキージ１１Ｂは、後方のエッジ１１Ｂｂを形成するための底面側の窪みが、スキージ１１Ｂの長手方向に垂直の断面で、矩形である。前方のエッジ１１Ｂａに対する後方のエッジ１１Ｂｂの後退寸法ａや前方のエッジ１１Ｂａと後方のエッジ１１Ｂｂとの進行方向距離Ｌについては、図１ないし図３に示したスキージ１１と同様の考えで設定することができる。このような矩形の窪み形状はやはり単純な幾何学的形状であり、金型を用いて製作する場合でも加工によって製作する場合でもスキージ１１Ｂの製作原価の低減を見込める。
【００５０】
図７に示すスキージ１１Ｃは、図１ないし図３に示したスキージ１１に比較して、前方のエッジ１１Ｃａ、後方のエッジ１１Ｃｂのほかに、さらに後方のエッジ１１Ｃｃを設けるように構成したものである。このためスキージ１１Ｃの底面の側に窪みが図示するように２つ設けられる。このようにエッジをさらに増やした構成のスキージ１１Ｃによれば、一層高い形状の導電性バンプの印刷を見込める。さらに後方のエッジ１１Ｃｃによる効果が加わるからである。
【００５１】
また、このようなエッジが３つとなる構造でもスキージ１１Ｃとして一体に構成されており、エッジ間の微妙な位置関係を経時的に正確に保つことが可能である利点はエッジが２つの場合と変らない。
【００５２】
前方のエッジ１１Ｃａに対する後方のエッジ１１Ｃｂの後退寸法ａ１、前方のエッジ１１Ｃａと後方のエッジ１１Ｃｂとの進行方向距離Ｌ１、後方のエッジ１１Ｃｂに対するさらに後方のエッジ１１Ｃｃの後退寸法ａ２、後方のエッジ１１Ｃｂとさらに後方のエッジ１１Ｃｃとの進行方向距離Ｌ２のそれぞれについては、図１ないし図３に示したスクリーン印刷装置の場合の結果を参考にして、最適な値を例えば実験により求めることができる。
【００５３】
その結果として、例えば、前方のエッジ１１Ｃａと後方のエッジ１１Ｃｂとを結ぶ線が印刷面となす角度と、後方のエッジ１１Ｃｂとさらに後方のエッジ１１Ｃｃとを結ぶ線が印刷面となす角度とは、図示するように等しくなる場合のみとは限らない。後者の方が大きな角度になることも考えられる。
【００５４】
図８に示すスキージ１１Ｄは、図７に示したスキージ１１Ｃに比較して、後方のエッジ１１Ｄａ、さらに後方のエッジ１１Ｄｃを形成するための底面側の窪みが、スキージ１１Ｄの長手方向に垂直の断面で、三角形状となる違いがある。窪み形状の違いはあるが、エッジをさらに増やしたことにより、一層高い形状の導電性バンプの印刷を見込める。
【００５５】
前方のエッジ１１Ｄａに対する後方のエッジ１１Ｄｂの後退寸法ａ１、前方のエッジ１１Ｄａと後方のエッジ１１Ｄｂとの進行方向距離Ｌ１、後方のエッジ１１Ｄｂに対するさらに後方のエッジ１１Ｄｃの後退寸法ａ２、後方のエッジ１１Ｄｂとさらに後方のエッジ１１Ｄｃとの進行方向距離Ｌ２のそれぞれについては、図７に示した場合と同様に求めることができる。
【００５６】
その結果として、例えば、前方のエッジ１１Ｄａと後方のエッジ１１Ｄｂとを結ぶ線が印刷面となす角度と、後方のエッジ１１Ｄｂとさらに後方のエッジ１１Ｄｃとを結ぶ線が印刷面となす角度とは、図示するように等しくなる場合のみとは限らない。後者の方が大きな角度になることも考えられる。
【００５７】
図９に示すスキージ１１Ｅは、図７、図８に示したスキージ１１Ｃ、１１Ｄに比較して、後方のエッジ１１Ｅａ、さらに後方のエッジ１１Ｅｃを形成するための底面側の窪みが、スキージ１１Ｅの長手方向に垂直の断面で、矩形となる違いがある。窪み形状の違いはあるが、エッジをさらに増やしたことにより、一層高い形状の導電性バンプの印刷を見込める。
【００５８】
前方のエッジ１１Ｅａに対する後方のエッジ１１Ｅｂの後退寸法ａ１、前方のエッジ１１Ｅａと後方のエッジ１１Ｅｂとの進行方向距離Ｌ１、後方のエッジ１１Ｅｂに対するさらに後方のエッジ１１Ｅｃの後退寸法ａ２、後方のエッジ１１Ｅｂとさらに後方のエッジ１１Ｅｃとの進行方向距離Ｌ２のそれぞれについては、図７、図８に示した場合と同様に求めることができる。
【００５９】
その結果として、例えば、前方のエッジ１１Ｅａと後方のエッジ１１Ｅｂとを結ぶ線が印刷面となす角度と、後方のエッジ１１Ｅｂとさらに後方のエッジ１１Ｅｃとを結ぶ線が印刷面となす角度とは、図示するように等しくなる場合のみとは限らない。後者の方が大きな角度になることも考えられる。
【００６０】
なお、図７ないし図９に示したようなスキージ１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅの構成は、さらにエッジを増やす（４以上にする）ことの可能性、有用性を示唆している。また、以上の図７ないし図９における各スキージの説明は、後方のエッジのさらに後方に新たにエッジを増やすという視点からのものであるが、前方のエッジと後方のエッジとの間にエッジを増やすという視点から同様な形状のスキージを生み出すこともできる。この場合には、導電性バンプの形成にかかわる導電性ペーストの量を２つのエッジの場合に比較して増加することにはならないが、スクリーンマスクの吐出孔への導電性ペーストの追加供給をより確実にばらつきなく行なうという効果を期待できる。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、スキージには一体的な構成により第１のエッジと第２のエッジとが設けられる。第２のエッジは、第１のエッジの進行方向後ろに位置しかつ第１のエッジより印刷面に垂直の方向に後退している。このような配置により、第１のエッジによってスクリーンマスクの吐出孔にペーストを充填し、第１のエッジが移動してスクリーンマスクが被印刷物からわずかに隔離したときに、第２のエッジが移動してきて上記吐出孔にペーストを追加供給することができる。したがって、インクに相当するペースト状物体を嵩高く被印刷物に付着させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るスクリーン印刷装置の構成を示し作用を説明するための模式図。
【図２】本発明の一実施形態に係るスクリーン印刷装置の作用の説明図。
【図３】図１、図２中に示したスキージ１１の構成をさらに説明するための模式図。
【図４】図１に示したスクリーン印刷装置を用いて導電性バンプを形成したときの結果を、通常の単一エッジを有するスキージによるスクリーン印刷の場合と比較して示す図。
【図５】図１、図２中に示したスキージ１１に代えて使用することができるスキージの別の例を模式的に示す構成図。
【図６】図１、図２中に示したスキージ１１に代えて使用することができるスキージのさらに別の例を模式的に示す構成図。
【図７】図１、図２中に示したスキージ１１に代えて使用することができるスキージのさらに別の例を模式的に示す構成図。
【図８】図１、図２中に示したスキージ１１に代えて使用することができるスキージのさらに別の例を模式的に示す構成図。
【図９】図１、図２中に示したスキージ１１に代えて使用することができるスキージのさらに別の例を模式的に示す構成図。
【図１０】スクリーン印刷を用いて、配線板または金属箔上に微細構造物としての導電性バンプを形成する方法を模式的に説明する図（従来例）。
【符号の説明】
１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ…スキージ  １１ａ、１１ｂ１１Ａａ、１１Ａｂ、１１Ｂａ、１１Ｂｂ、１１Ｃａ、１１Ｃｂ、１１Ｃｃ、１１Ｄａ、１１Ｄｂ、１１Ｄｃ、１１Ｅａ、１１Ｅｂ、１１Ｅｃ…エッジ  １２…スキージホルダ  １３、１４…スクリーンマスク設置部  １５…スクリーンマスク  １５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ、１５ｅ…吐出孔  １６ａ、１６ｂ…導電性ペースト  １７…導電性バンプ  １８…配線板基材  １９…印刷台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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