(57)【要約】【課題】半導体装置に備えるフェイル圧縮装置から縮小したフェイルデータを取出してフェイル表示制御装置によって縮小表示を行った後、オペレータの指示する箇所の縮小されていないフェイルデータをフェイル半導体試験装置内のフェイルメモリから取出して解析し、詳細なフェイルデータを縮小フェイル表示に重ねて高速に表示することにある。【解決手段】半導体試験装置４の試験結果及び解析結果を表示装置１に表示する半導体メモリフェイル表示制御装置３であって、縮小フェイル格納部３２に格納された縮小フェイルデータを前記表示装置に表示する表示制御手段３１と、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示する指示手段２と、前記指示手段で指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリ４１から検索するフェイル解析手段３３と、前記フェイル解析手段の解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイル情報に重ねて表示するフェイル解析結果表示手段３１とを含む半導体メモリフェイル表示制御装置。【選択図】　　図１
2004117056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置の試験結果及び解析結果を表示装置に表示する半導体メモリフェイル表示制御装置であって、
縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを前記表示装置に表示する表示制御手段と、
前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示する指示手段と、
前記指示手段で指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するフェイル解析手段と、
前記フェイル解析手段の解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイル情報に重ねて表示するフェイル解析結果表示手段と、
を含むことを特徴とする半導体メモリフェイル表示制御装置。
【請求項２】
前記フェイル解析手段での解析は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別がなされることを特徴とする請求項１に記載の半導体メモリフェイル表示制御装置。
【請求項３】
前記フェイル解析結果表示手段は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別して、指示された箇所の近傍に文字列で表示されることを特徴とする請求項１に記載の半導体メモリフェイル表示制御装置。
【請求項４】
表示装置に縮小フェイルデータを表示するステップと、
前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示するステップと、
指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するステップと、
解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータに重ねて表示するステップと、
を含むことを特徴とする半導体メモリフェイル表示制御装置の表示制御方法。
【請求項５】
前記検索するステップでは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別がなされることを特徴とする請求項４に記載の半導体メモリフェイル表示制御方法。
【請求項６】
前記表示するステップは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルを区別して、指示された箇所の近傍に文字列で表示されることを特徴とする請求項５に記載の半導体メモリフェイル表示制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体試験装置の試験結果と解析結果を表示するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より半導体試験装置の試験結果及び解析結果を画面に表示することが行われている。
半導体試験装置の試験結果であるフェイル情報を表示するものとしては、以下のものが知れれている（特許文献１参照）
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３３０６５１号公報
【０００４】
上記公報には、ＩＣテスタにおいてＩＣテスト結果である分類データを解析及び編集し、ＦＡＩＬが発生する傾向や要因をグラフ等により表示することを目的として、
「ＩＣテスタにおいて、テスト制御部はテスタボード部上の被測定デバイスにテストプログラムに基づくＩＣテストを実行し、テスト結果を分類データとしてデータ収集ファイルに格納し、データ収集ファイルに格納された分類データをデータ収集部７３を介して抽出する。
また、テスト制御部は抽出された分類データを不良データ解析部に出力する。
そして、不良データ解析部は、ＧＵＩ部の指示に基づいた分類データの解析を行い、解析結果をＩ／Ｏ部を介して表示部に表示する。」ものが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来より半導体試験装置の試験結果から半導体メモリセル毎のフェイルを画面に表示することが行われていた。
半導体メモリの容量は大きく全体のテスト結果を表示するためには、縮小して表示する必要が有る。
また、個別メモリセルのフェイル情報（フェイルアドレス等）を表示するためには、その部分を拡大する必要があり、半導体メモリ全体を調べるためには、縮小表示と拡大表示を繰り返す必要が有った。
また、個々のメモリセルのフェイルの状態を解析するためには、半導体メモリ全体の情報を解析装置等に与える必要があり、処理にかかる時間が大きかった。
【０００６】
本発明の課題
（目的）は、半導体装置に備えるフェイル圧縮装置から縮小したフェイルデータを取出してフェイル表示制御装置によって縮小表示を行った後、オペレータの指示する箇所の縮小されていないフェイルデータをフェイル半導体試験装置内のフェイルメモリから取出して解析し、詳細なフェイルデータを縮小フェイル表示に重ねて表示することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、半導体試験装置の試験結果及び解析結果を表示装置に表示する半導体メモリフェイル表示制御装置であって、
縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを前記表示装置に表示する表示制御手段（部）と、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示する指示手段（入力装置）と、前記指示手段で指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するフェイル解析手段（部）と、前記フェイル解析手段の解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイル情報に重ねて表示するフェイル解析結果表示手段（表示制御部）とを含む。（請求項１）
【０００８】
また、前記フェイル解析手段での解析は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別がなされる。（請求項２）
また、前記フェイル解析結果表示手段は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルを区別して、指示された箇所の近傍に文字列で表示する。（請求項３）
【０００９】
表示装置に縮小フェイルデータを表示するステップと、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示するステップと、指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するステップと、解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータに重ねて表示するステップとで半導体メモリフェイルの表示を制御する。（請求項４）
【００１０】
また、前記検索するステップでは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別がなされる。（請求項５）
また、前記表示するステップは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルを区別して、指示された箇所の近傍に文字列で表示する。（請求項６）
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図１は、本発明によるフェイル表示制御装置と半導体試験装置との関係を示すブロック図である。
図１において、１は表示装置、２はオペレータによって操作されるマウス等の入力装置、３はフェイル表示制御装置、４は半導体試験装置である。
半導体試験装置４には半導体メモリの全てのメモリセルについての試験結果を格納するフェイルメモリ４１と、フェイルメモリの結果を任意の倍率で縮小することのできるフェイル圧縮部４２が含まれる。
フェイル表示制御装置３には表示制御部３１、縮小フェイル格納部３２及びフェイル解析部３３が含まれる。
縮小フェイル格納部３２には、フェイル表示を行う前にフェイル圧縮部４２によって縮小された縮小フェイルデータを取出して格納する。
【００１２】
ここで、縮小フェイルデータは、いくつかのメモリセルを１ビットのデータに縮小したもので、半導体メモリ全体に対して非常に小さくなっており、取出しに要する時間は短時間で済み、保存しておくための記憶領域も小さくて済む。
表示制御部３１は、オペレータが操作するマウス等の入力装置２によって、縮小フェイル格納部３２から縮小フェイルデータを取出して表示装置１に表示する。
【００１３】
オペレータはマウス等の入力装置２で、図２に示す如く表示装置１に表示されている縮小フェイルデータの任意の部分をカーソルＡ１で指示することができる。
カーソルＡ１が停止したとき、フェイル解析部３３は、直ちにカーソルＡ１が指示した箇所の周辺部分の縮小されていないフェイルデータをフェイルメモリ４１から取出す。
ここで取出すフェイルデータの大きさは、フェイル解析部３３の処理速度に合わせて十分に短時間で処理が実行できるように、任意の大きさに設定することができる。
【００１４】
フェイル解析部３３は、取出したフェイルデータを図３のフローチャートで示す如き手順で解析する。
・カーソル位置周辺のフェイルデータを取出す。（ステップＳ１）
・カーソル位置に最も近いフェイルデータを検索する。（ステップＳ２）
・フェイルデータが見つかったか否かの判断をする。（ステップＳ３）
・ステップＳ３でフェイルデータが見つかった（ＮＯ）の場合には、そのフェイルデータが縦横の線上に並ぶラインフェイルか否かの判断をする。（ステップＳ４）
・ステップＳ４の判断でＹＥＳ（ラインフェイル）の場合には、ライン座標を縮小表示のフェイル箇所に重ねて文字列で表示する。（ステップＳ５）
・ステップＳ４の判断でＮＯ（ラインフェイルではない）の場合には、複数のフェイルが塊になる複数フェイルか否かの判断をする。（ステップＳ６）
・ステップＳ５の判断でＹＥＳ（複数フェイル）の場合には、同様にフェイルの個数を縮小表示のフェイル箇所に重ねて文字列で表示する。（ステップＳ７）
・ステップＳ６の判断でＮＯ（複数フェイルではない）の場合には、図２にＡ”として示す如く、単独のフェイルとしてフェイルアドレスを縮小表示のフェイル箇所に重ねて文字列で表示する。（ステップＳ７）
・オペレータが再度カーソルＡ１を移動させた場合には、重ねて表示した情報Ａ２は消去される。
【００１５】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明では、半導体試験装置の試験結果及び解析結果を表示装置に表示する半導体メモリフェイル表示制御装置であって、
縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを前記表示装置に表示する表示制御手段（部）と、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示する指示手段（入力装置）と、前記指示手段で指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するフェイル解析手段（部）と、前記フェイル解析手段の解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイル情報に重ねて表示するフェイル解析結果表示手段（表示制御部）とを含むことによって、フェイルデータを縮小表示を行った後、オペレータの指示する箇所の縮小されていないフェイルデータをフェイル半導体試験装置内のフェイルメモリから取出して解析し、詳細なフェイルデータを縮小フェイル表示に重ねて高速に表示することができる。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明では、前記フェイル解析手段での解析は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別が可能になる。
また、請求項３に記載の発明では、前記フェイル解析結果表示手段は、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルを区別して、指示された箇所の近傍に文字列で容易に判別できる形態で表示することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、表示装置に縮小フェイルデータを表示するステップと、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータの任意の箇所を指示するステップと、指示された箇所のフェイルデータを、半導体試験装置内のフェイルメモリから検索するステップと、解析結果を、前記表示装置に表示されている縮小フェイルデータに重ねて表示するステップとで半導体メモリフェイルの表示を制御するので、詳細なフェイルデータを縮小フェイル表示に重ねて高速に表示することができる。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明では、前記検索するステップでは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルの区別をつけることができる。
また、前記表示するステップは、ラインフェイル、複数フェイル及び単独フェイルを区別して、指示された箇所の近傍に文字列で表示するので、表示装置上で容易にフェイルの種別を判別できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフェイル表示制御装置と半導体試験装置との関係を示す図である。
【図２】縮小フェイル表示に重ねて詳細フェイルデータを表示した例を示す図である。
【図３】フェイル解析部がオペレータによって指示されたフェイルを解析する手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１　　　　表示装置
２　　　　入力装置
３　　　　　　　　フェイル表示制御装置
３１　　　表示制御部
３２　　　縮小フェイル格納部
３３　　　フェイル解析部
４　　　　半導体試験装置
４１　　　フェイルメモリ
４２　　　フェイル圧縮部
Ａ１　　　カーソル
Ａ２　　　アドレス表示
【図１】
2004117056.tif 000003
【図２】
2004117056.tif 000004
【図３】
2004117056.tif 000005