(57)【要約】【課題】形状を適切に制御できる光学部材の製造方法ならびに光学部材の製造装置を提供する。【解決手段】本発明の光学部材１０の製造方法は、（Ａ）基体上に光学部材前駆体１０ｂを設置し、（Ｂ）前駆体１０ｂ近傍の圧力よりも、前駆体１０ｂ遠方の圧力のほうが小さい状態で前駆体１０ｂを硬化させることにより、光学部材１０を形成すること、を含む。あるいは、（Ｂ）のかわりに、（Ｃ）前駆体１０ｂ表面の極性と反対の極性を有する電荷が、前駆体１０ｂ近傍に存在する状態で前駆体１０ｂを硬化させることにより、光学部材１０を形成すること、を含む。【選択図】　　　　図１
2004117661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）基体上に光学部材前駆体を設置し、
（ｂ）前記前駆体近傍の圧力よりも、該前駆体遠方の圧力のほうが小さい状態で該前駆体を硬化させることにより、光学部材を形成すること、
を含む、光学部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記（ｂ）において、さらに、（ｃ）前記基体の裏面側から、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させること、を含む、光学部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記（ｂ）において、前記前駆体近傍の圧力および／または該前駆体遠方の圧力を調整することにより、前記光学部材の形状を制御すること、を含む、光学部材の製造方法。
【請求項４】
（ａ）基体上に光学部材前駆体を設置し、
（ｂ）前記前駆体の極性と反対の極性を有する電荷が、該前駆体近傍に存在する状態で該前駆体を硬化させることにより、光学部材を形成すること、
を含む、光学部材の製造方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記（ｂ）において、前記電荷は、一対の電極の間に前記前駆体を設置し、該電極間に所定の電圧を印加することにより形成される、光学部材の製造方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記（ｂ）において、前記電圧値を制御することにより、前記光学部材の形状を制御する、光学部材の製造方法。
【請求項７】
請求項５または６において、
前記（ｂ）において、前記電極間の距離を制御することにより、前記光学部材の形状を制御する、光学部材の製造方法。
【請求項８】
請求項４ないし７のいずれかにおいて、
前記（ｂ）より前に、さらに、（ｃ）イオナイザを用いて前記前駆体を所定の極性に帯電させること、を含む、光学部材の製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかにおいて、
前記前駆体は、エネルギーを付加することにより硬化可能な材料からなる、光学部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項９において、
前記前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、
前記（ｂ）において、前記前駆体に紫外線を照射することによって該前駆体を硬化させる、光学部材の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記前駆体は、紫外線に対して透明な材料からなり、
前記（ｂ）において、前記前駆体を通過した紫外線を検知することによって該前駆体の形状を検知する、光学部材の製造方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかにおいて、
前記（ａ）において、前記基体に対して、インクジェット法またはディスペンサ法にて液滴を吐出することにより、前記前駆体を該基体上に設置する、光学部材の製造方法。
【請求項１３】
光学部材前駆体が形成された基体を設置するための第１反応室と、
前記第１反応室と隣り合い、該第１反応室との間でガスが移動可能であり、かつ該第１反応室内よりも圧力が大きくなるように調整された第２反応室と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、
を含む、光学部材の製造装置。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記第１反応室と前記第２反応室との間は、メッシュ状の隔壁で仕切られている、光学部材の製造装置。
【請求項１５】
請求項１３または１４において、
前記第１および第２反応室はそれぞれ、室内の圧力を調整する圧力調整機構を含む、光学部材の製造装置。
【請求項１６】
請求項１５において、
前記第１反応室の圧力調整機構は、前記第１反応室へとガスを導入するガス導入部を含み、
前記第２反応室の圧力調整機構は、前記第２反応室からガスを排出するガス排出部を含む、光学部材の製造装置。
【請求項１７】
請求項１６において、
前記ガス導入部は、前記基体の裏面に対向するように設置され、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させる、光学部材の製造装置。
【請求項１８】
光学部材前駆体が形成された基体を設置するための反応室と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、
を含み、
前記反応室には、前記前駆体近傍の圧力よりも、該前駆体遠方の圧力を小さくする差圧発生手段が設置されている、光学部材の製造装置。
【請求項１９】
請求項１８において、
前記差圧発生手段は、第１ガス導入部とガス排出部とを含み、
前記第１ガス導入部は、前記反応室の一壁部に設置され、
前記ガス排出部は、前記反応室の別の一壁部に、前記第１ガス導入部に対向するように設置された、光学部材の製造装置。
【請求項２０】
請求項１８において、
前記差圧発生手段は、ガス排出部を含み、
前記ガス排出部は、前記反応室の一壁部に設置され、ガスが高速で流れる高速ガス流動管へと接続された、光学部材の製造装置。
【請求項２１】
請求項１８ないし２０のいずれかにおいて、
前記反応室はさらに、第２ガス導入部を含み、
前記第２ガス導入部は、前記基体の裏面に対向するように設置され、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させる、光学部材の製造装置。
【請求項２２】
光学部材前駆体を挟むように設置され、所定の電圧が印加される一対の電極と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、
を含む、光学部材の製造装置。
【請求項２３】
請求項２２において、
前記一対の電極の間には絶縁体が設けられ、
前記前駆体は、前記絶縁体の上に設置される、光学部材の製造装置。
【請求項２４】
請求項２２または２３において、
前記一対の電極間の距離は変更可能である、光学部材の製造装置。
【請求項２５】
請求項２２ないし２４のいずれかにおいて、
前記一対の電極に印加される電圧の値は変更可能である、光学部材の製造装置。
【請求項２６】
請求項１３ないし２５のいずれかにおいて、
前記前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、
前記硬化手段は、紫外線ランプである、光学部材の製造装置。
【請求項２７】
請求項２６において、
さらに、前記前駆体を通過した紫外線を検知する紫外線検知手段を含む、光学部材の製造装置。
【請求項２８】
請求項１３ないし２５のいずれかにおいて、
前記前駆体は、熱硬化型樹脂からなり、
前記硬化手段は、ヒータである、光学部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、形状を適切に制御できる光学部材の製造方法ならびに光学部材の製造装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
入射光または出射光の結合効率を向上することを目的として、例えば発光素子の出射面または受光素子の入射面の上に、レンズ等の光学部材が形成されることがある。この場合、入射光または出射光に所望の光学特性をもたせるためには、前記光学部材の形状は厳密に制御されたものであることが重要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、形状を適切に制御できる光学部材の製造方法ならびに光学部材の製造装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
１．第１の光学部材の製造方法
本発明の第１の光学部材の製造方法は、
（ａ）基体上に光学部材前駆体を設置し、
（ｂ）前記前駆体近傍の圧力よりも、該前駆体遠方の圧力のほうが小さい状態で該前駆体を硬化させることにより、光学部材を形成すること、を含む。
【０００５】
本願において、「前駆体遠方」とは、「前駆体近傍」よりも、前記基体の該前駆体設置面からの距離が大きい領域をいう。また、「基体」とは、前記光学部材が設置される部材をいい、該光学部材を設置できる構造を有している限り、その種類や構造は限定されない。
【０００６】
本発明の第１の光学部材の製造方法によれば、前記前駆体近傍と該前駆体遠方との圧力の差によって、該前駆体の形状が、該前駆体近傍から該前駆体遠方の方向へと延びる。これにより、光学部材の曲率および高さを大きくするための表面処理等を必要とすることなく、光学部材の曲率および高さを簡易な方法にて大きくすることができる。
【０００７】
この場合、前記（ｂ）において、さらに、（ｃ）前記基体の裏面側から、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させること、を含むことができる。これにより、前記前駆体近傍と該前駆体遠方との圧力の差に加えて、前記基体の裏面から前記前駆体設置面への方向に流入するガスの風圧によって、該前駆体の形状が、該前駆体近傍から該前駆体遠方の方向へとさらに大きく延びる。この状態で前記前駆体を硬化させることにより、曲率および高さがより大きく形成された光学部材が得られる。
【０００８】
また、この場合、前記（ｂ）において、前記前駆体近傍の圧力および／または該前駆体遠方の圧力を調整することにより、前記光学部材の形状を制御すること、を含むことができる。このため、形状がより制御された光学部材を得ることができる。
２．第２の光学部材の製造方法
本発明の第２の光学部材の製造方法は、
（ａ）基体上に光学部材前駆体を設置し、
（ｂ）前記前駆体の極性と反対の極性を有する電荷が、該前駆体近傍に存在する状態で該前駆体を硬化させることにより、光学部材を形成すること、を含む。
【０００９】
本発明の第２の光学部材の製造方法によれば、前記前駆体の極性と反対の極性を有する電荷が該前駆体近傍に存在する状態で、該前駆体を硬化させることにより、前記前駆体の形状が、前記反対の極性を有する電荷の方向に大きく延びる。この状態で前記前駆体を硬化させることにより、曲率および高さがより大きく形成された光学部材が得られる。
【００１０】
この場合、前記（ｂ）において、前記電荷は、一対の電極の間に前記前駆体を設置し、該電極間に所定の電圧を印加することにより形成できる。
【００１１】
また、この場合、前記（ｂ）において、前記電圧値を制御することにより、前記光学部材の形状を制御することができる。あるいは、この場合、前記（ｂ）において、前記電極間の距離を制御することにより、前記光学部材の形状を制御することができる。これにより、形状がより制御された光学部材を得ることができる。
【００１２】
さらに、この場合、前記（ｂ）より前に、さらに、（ｃ）イオナイザを用いて前記前駆体を所定の極性に帯電させることができる。この方法によれば、所望の極性を有する電荷を前記前駆体に所望量導入することができる。これにより、前駆体に導入する電荷の導入量を調整することができるため、該前駆体の形状を制御することができる。その結果、形状がより制御された光学部材を得ることができる。
３．前記第１および第２の光学部材の製造方法は、以下の（１）および（２）の態様をとることができる。
【００１３】
（１）前記前駆体は、エネルギーを付加することにより硬化可能な材料からなることができる。
【００１４】
この場合、前記前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、前記（ｂ）において、前記前駆体に紫外線を照射することによって該前駆体を硬化させることができる。紫外線硬化型樹脂は、短時間の紫外線照射によって硬化する。このため、熱工程などのダメージを与えやすい工程を経ずに該前駆体を硬化させることができる。特に、光学部材を素子上に形成する場合には、前記前駆体が紫外線硬化型樹脂からなることにより、素子へ与える影響を少なくすることができる。
【００１５】
また、この場合、前記前駆体は、紫外線に対して透明な材料からなり、
前記（ｂ）において、前記前駆体を通過した紫外線を検知することによって該前駆体の形状を検知することができる。これにより、前記前駆体の形状の最適化を図ることができる。
【００１６】
（２）前記（ａ）において、前記基体に対して、インクジェット法またはディスペンサ法にて液滴を吐出することにより、前記前駆体を該基体上に設置することができる。
４．第１の光学部材の製造装置
本発明の第１の光学部材の製造装置は、
光学部材前駆体が形成された基体を設置するための第１反応室と、
前記第１反応室と隣り合い、該第１反応室との間でガスが移動可能であり、かつ該第１反応室内よりも圧力が大きくなるように調整された第２反応室と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、を含む。
【００１７】
本発明の第１の光学部材の製造装置によれば、前記第１反応室内の圧力が、前記第２反応室内の圧力よりも大きくなるように設定されている。これにより、前記前駆体は、圧力がより小さい方向へと延びる。すなわち、前記前駆体は、前記第１反応室から前記第２反応室の方向へと引っ張られる。この状態で前記硬化手段によって前記前駆体を硬化させることにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００１８】
この場合、前記第１反応室と前記第２反応室との間を、メッシュ状の隔壁で仕切ることができる。
【００１９】
また、この場合、前記第１および第２反応室はそれぞれ、室内の圧力を調整する圧力調整機構を含むことができる。前記圧力調整機構によって、該第１および第２反応室内の圧力を調整することにより、前記前駆体の形状を制御することができる。このため、形状が制御された光学部材を得ることができる。
【００２０】
ここで、前記第１反応室の圧力調整機構は、前記第１反応室へとガスを導入するガス導入部を含み、前記第２反応室の圧力調整機構は、前記第２反応室からガスを排出するガス排出部を含むことができる。
【００２１】
さらに、前記ガス導入部は、前記基体の裏面に対向するように設置され、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させることができる。このガス導入部によって、前記基体の裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させることにより、前記第１反応室から前記第２反応室の方向へ流入するガスの風圧によって、該前駆体を前記第１反応室から前記第２反応室の方向へと変形させることができる。これにより、曲率および高さがより大きく形成された光学部材が得られる。
５．第２の光学部材の製造装置
本発明の第２の光学部材の製造装置は、
光学部材前駆体が形成された基体を設置するための反応室と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、
を含み、
前記反応室には、前記前駆体近傍の圧力よりも、該前駆体遠方の圧力を小さくする差圧発生手段が設置されている。
【００２２】
本発明の第２の光学部材の製造装置によれば、前記反応室に前記差圧発生手段が設置されていることにより、前述した第１の光学部材の製造方法と同様の作用効果を奏することができる。
【００２３】
この場合、前記差圧発生手段は、第１ガス導入部とガス排出部とを含み、前記第１ガス導入部は、前記反応室の一壁部に設置され、前記ガス排出部は、前記反応室の別の一壁部に、前記第１ガス導入部に対向するように設置できる。
【００２４】
また、この場合、前記差圧発生手段は、ガス排出部を含み、前記ガス排出部は、前記反応室の一壁部に設置され、ガスが高速で流れる高速ガス流動管へと接続できる。
【００２５】
さらに、この場合、前記反応室はさらに、第２ガス導入部を含み、前記第２ガス導入部は、前記基体の裏面に対向するように設置され、該裏面から前記前駆体設置面への方向にガスを流入させることができる。
６．第３の光学部材の製造装置
本発明の第３の光学部材の製造装置は、
光学部材前駆体を挟むように設置され、所定の電圧が印加される一対の電極と、
前記前駆体を硬化させて光学部材を形成するための硬化手段と、を含む。
【００２６】
本発明の第３の光学部材の製造装置によれば、前記一対の電極間に所定の電圧が印加されることにより、前記電極の表面には電荷が発生する。ここで、前記前駆体には、前記一対の電極のうち該前駆体と対向する電極に発生する電荷と反対の極性を有する電荷を帯電させておく。これにより、前記前駆体内の電荷と、該前駆体に対向する電極表面の電荷とが引き合い、該前駆体は該電極に近づく方向に延びる。この状態で、前記前駆体に対して前記硬化手段を用いることにより、該前駆体を硬化させる。これにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００２７】
この場合、前記一対の電極の間には絶縁体が設けられ、前記前駆体は、前記絶縁体の上に設置できる。これにより、前記一対の電極の表面に発生する電荷量を増加させることができる。
【００２８】
また、この場合、前記一対の電極間の距離は変更可能にできる。あるいは、この場合、前記一対の電極に印加される電圧の値は変更可能であることができる。このように、前記一対の電極に印加される電圧の値や、前記一対の電極間の距離を調整することによって、前記一対の電極表面に発生する電荷量を制御することができる。これにより、前記前駆体の形状を制御することができるため、形状が制御された光学部材を得ることができる。
７．前記第１〜第３の光学部材の製造装置は、以下の（１）および（２）の態様をとることができる。
【００２９】
（１）前記前駆体は、紫外線硬化型樹脂からなり、前記硬化手段は、紫外線ランプであることができる。
【００３０】
この場合、さらに、前記前駆体を通過した紫外線を検知する紫外線検知手段を含むことができる。
【００３１】
（２）前記前駆体は、熱硬化型樹脂からなり、前記硬化手段は、ヒータであることができる。
【００３２】
前記（１）および（２）によれば、前述した３．の欄で説明した作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３４】
［第１の実施の形態］
（光学部材の製造方法）
図１（ａ）〜図１（ｄ）はそれぞれ、本発明を適用した第１の実施の形態に係る光学部材１０の製造方法を模式的に示す断面図である。
【００３５】
本実施の形態において、光学部材１０は、例えばレンズである。また、図１（ｄ）に示すように、この光学部材１０は基体２２の設置面２０上に設置されている。ここで、基体２２は、光学部材１０が設置される部材をいい、光学部材１０を設置できる構造を有している限り、その種類や構造は限定されない。例えば、光学部材１０がマイクロレンズ基板に用いるレンズである場合、基体２２はガラス基板である。あるいは、例えば光学部材１０が発光素子（例えば面発光型半導体レーザや半導体発光ダイオード）の出射面上に形成されるレンズである場合、基体２２は発光素子である。
【００３６】
（１）まず、基体２２の上に、光学部材前駆体（以下、「前駆体」ともいう）１０ｂを形成する（図１（ａ）および図１（ｂ）参照）。
【００３７】
具体的には、図１（ａ）に示すように、基体２２の表面（光学部材設置面２０）に対して、液滴吐出口１２から液滴１０ａを吐出する。これにより、図１（ｂ）に示すように、前駆体１０ｂが形成される。この工程において、液滴１０ａの吐出量を調節することにより、前駆体１０ｂの大きさを制御することができる。
【００３８】
液滴１０ａを吐出する方法としては、ディスペンサ法またはインクジェット法が例示できる。液滴１０ａの粘度および吐出量等を考慮して、吐出方法を選択するのが望ましい。例えば、インクジェット法を用いる場合、液滴１０ａの粘度は約２０ｃｐｓ以下で用いるのが望ましい。一方、ディスペンサ法を用いる場合、液滴１０ａの粘度はこれより高くてもよい。ディスペンサ法は、液滴の吐出量が多くすることが可能であるため、比較的大きなレンズを形成する場合に有用な方法である。また、インクジェット法は、液滴の吐出量および吐出位置を厳密に制御できるため、微細なレンズを形成する場合に有用な方法である。
【００３９】
また、前駆体１０ｂは、後の硬化工程によって光学部材１０（図１（ｄ）参照）へと変換される。前駆体１０ｂ（液滴１０ａ）は、例えば熱または光等のエネルギーを付与することによって硬化可能な液体材料（例えば紫外線硬化型樹脂または熱硬化型樹脂）からなる。これにより、形状が制御された光学部材１０を得ることができる。紫外線硬化型樹脂としては、例えば紫外線硬化型のアクリル系樹脂およびエポキシ系樹脂が挙げられる。また、熱硬化型樹脂としては、熱硬化型のポリイミド系樹脂の前駆体等が例示できる。
【００４０】
紫外線硬化型樹脂は、短時間の紫外線照射によって硬化する。このため、熱工程などのダメージを与えやすい工程を経ずに硬化させることができる。したがって、特に、光学部材１０を素子上に形成する場合には、前駆体１０ｂ（液滴１０ａ）に紫外線硬化型樹脂を用いて光学部材１０を形成することにより、素子へ与える影響を少なくすることができる。
【００４１】
また、紫外線硬化型樹脂は一般に、光の透過率が高いものが多い。このため、光の損失が少ないことから、長い光路長が有するレンズを形成する場合に特に有効である。
【００４２】
紫外線硬化型樹脂は一般に、プレポリマー、オリゴマー、およびモノマーのうち少なくとも１種と光重合開始剤とを含む。紫外線硬化型樹脂のうち、粘度の選択性の広さを考慮すると、アクリル系樹脂を用いるのが好ましい。紫外線硬化型アクリル系樹脂の具体例としては、エポキシアクリレート類、ウレタンアクリレート類、ポリエステルアクリレート類、ポリエートアクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類等のアクリレート類、エポキシメタクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類、ポリエステルメタクリレート類、ポリエーテルメタクリレート類等のメタクリレート類等が利用できる。
【００４３】
紫外線硬化型樹脂を硬化させるためには、例えば紫外線照射ランプを、熱硬化型樹脂を硬化させるためには、例えばヒータまたはホットプレートを用いることができる。
【００４４】
（２）次いで、前駆体１０ｂを変形させた状態で、前駆体１０ｂを硬化させる。これにより、基体２２の上に光学部材１０を形成する（図１（ｃ）および図１（ｄ）参照）。
【００４５】
具体的には、前駆体１０ｂに対して所定の力を加えることにより、図１（ｃ）にて白抜き矢印で示す方向（光学部材設置面２０と垂直方向）へと前駆体１０ｂを変形させる。この状態で前駆体１０ｂにエネルギー線１３を付与することにより、前駆体１０ｂを硬化させる。この工程により、光学部材１０が得られる。ここで得られた光学部材１０の曲率および高さは、前駆体１０ｂに対して所定の力を加えなかった場合における曲率および高さよりも大きくなる。
【００４６】
上記工程において、前駆体１０ｂを硬化する際前駆体１０ｂを変形させるために、前駆体１０ｂに対して所定の力を加える方法としては、例えば以下に示すものが挙げられる。図２および図３はそれぞれ、図１（ｃ）に示す硬化工程において、所定の力を加える方法の一例について模式的に示す断面図である。
【００４７】
（Ａ）差圧を用いる方法
図２では、前駆体１０ｂを変形させる方法として、差圧を用いる場合について示している。
【００４８】
具体的には、図２において、前駆体１０ｂ近傍の圧力をＰａとし、前駆体１０ｂ遠方の圧力をＰｂとする。この場合において、ＰｂのほうがＰａよりも小さい状態にする。これにより、前駆体１０ｂ近傍と前駆体１０ｂ遠方との圧力に差が生じる。ここで、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向（前駆体１０ｂ近傍から前駆体１０ｂ遠方の方向）へと引っ張られる結果、図２に示す白抜き矢印の方向へと前駆体１０ｂが変形する。この状態で前駆体１０ｂに対してエネルギー線１３（図１（ｃ）参照）を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材１０が得られる。
【００４９】
なお、ＰａとＰｂとの界面は、できる限り前駆体１０ｂに近いほうが好ましい。これにより、前駆体１０ｂをより容易に変形させることができる。また、ＰａとＰｂとを調整することにより、前駆体１０ｂの形状を調整することができる。その結果、最終的に得られる光学部材１０の形状を制御することができる。
【００５０】
（Ｂ）静電力を用いる方法
図３では、前駆体１０ｂを変形させる方法として、静電力を用いる場合について示している。
【００５１】
具体的には、図３に示すように、前駆体１０ｂを帯電させた状態で、前駆体１０ｂに存在する電荷と反対の極性を有する電荷を前駆体１０ｂに近づける。これにより、前駆体１０ｂ内に存在する電荷と、前記反対の極性を有する電荷とが引き合う。その結果、前駆体１０ｂが前記反対の極性を有する電荷のほうへと延びる。これにより、前駆体１０が図３に示す白抜き矢印の方向へと変形する。この状態で前駆体１０ｂに対してエネルギー線１３（図１（ｃ）参照）を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材１０が得られる。
【００５２】
なお、図３においては、前駆体１０ｂに存在する電荷を負電荷とし、反対の極性を有する電荷を正電荷としたが、電荷の極性はこれに限定されるわけではなく、それぞれの電荷の極性が反対であってもよい。前駆体１０ｂに存在する電荷は、原則として前駆体１０ｂの材料に応じて決定される。一方、前駆体１０ｂが帯電しにくい材料からなる場合、イオナイザを用いて所定の極性を有する電荷を前駆体１０ｂに導入することにより、前駆体１０ｂを帯電させることができる。この方法によれば、所望の極性を有する電荷を前駆体１０ｂに所望量導入することができる。このように、前駆体１０ｂに導入する電荷の導入量を調整することにより、前駆体１０ｂの形状を制御することができる。その結果、形状が制御された光学部材１０を得ることができる。
【００５３】
以上の工程により、図１（ｄ）に示すように、基体２２の上に光学部材１０が形成される。
【００５４】
本実施の形態の光学部材の製造方法によれば、上述したように、差圧または静電力を利用して前駆体１０ｂを変形させた状態で硬化させることにより、光学部材１０を形成する。これにより、光学部材の曲率および高さを大きくするための表面処理等を必要とすることなく、光学部材の曲率および高さを簡易な方法にて大きくすることができる。
【００５５】
また、光学部材１０の形状は、差圧または静電容量を調整することによって制御できる。このため、形状が制御された光学部材を得ることができる。
【００５６】
［第２の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図４は、本発明を適用した第２の実施の形態に係る光学部材の製造装置１００を模式的に示す断面図である。
【００５７】
図４に示す光学部材の製造装置１００は、第１の実施の形態の欄で説明した（Ａ）差圧を用いて光学部材前駆体１０ｂを変形させる方法を適用したものである。なお、図４では、基体１２２上に複数設置された前駆体１０ｂを硬化させて、光学部材アレイを形成する場合について示している。この光学部材アレイは、例えばマイクロレンズアレイとして用いることができる。
【００５８】
また、本実施の形態では、前駆体１０ｂが紫外線硬化型樹脂からなり、紫外線を照射することによって前駆体１０ｂを硬化させる場合について説明する。
【００５９】
本実施の形態の光学部材の製造装置１００は、図４に示すように、第１反応室３０と、第２反応室４０と、前駆体１０ｂを硬化させて光学部材１０を形成するための硬化手段（紫外線照射ランプ３８）とを含む。第１反応室３０には試料台３２が設置され、この試料台３２の上に、前駆体１０ｂが形成された基体１２２が設置されている。第２反応室４０は、第１反応室３０と隣り合うように設置されている。第１反応室３０と第２反応室４０との間は、メッシュ状の隔壁１４によって仕切られている。このため、第１反応室３０と第２反応室４０との間でガスが移動できるようになっている。これにより、第１反応室３０と第２反応室４０との間に差圧を生じさせることが可能となる。
【００６０】
また、図４に示す製造装置１００においては、硬化手段である紫外線照射ランプ３８が第２反応室４０の上に形成されており、隔壁１４は紫外線を透過可能な材料からなる。この構成によれば、紫外線照射ランプ３８から照射される紫外線は隔壁１４を通過することができるため、該紫外線を前駆体１０ｂに照射させることができる。
【００６１】
第１および第２反応室３０，４０にはそれぞれ、室内の圧力を調整する圧力調整機構が設置されている。
【００６２】
第１反応室３０の圧力調整機構は、ガス導入部２３と、圧力センサ３４と、バルブ３６とを含む。ガス導入部２３は、例えば第１反応室３０の一壁部に設置され、第１反応室３０へとガスを導入するために設けられている。圧力センサ３４は、第１反応室３０内の圧力を測定する。バルブ３６は、圧力センサ３４からの信号（第１反応室３０内の圧力に関する情報）３１に応じて、ガス導入部２３から第１反応室３０へと導入されるガスの量を調整する。
【００６３】
第１反応室３０へと導入されるガスは、用いる前駆体１０ｂの種類に応じて適宜決定される。例えば、用いる前駆体１０ｂが窒素雰囲気下で硬化可能な材料からなる場合、ガス導入部２３から窒素ガスを導入する。あるいは、例えば、前駆体１０ｂが大気中でも硬化可能な材料からなる場合、ガス導入部２３から空気を導入することができる。
【００６４】
第２反応室４０の圧力調整機構は、ガス排出部４３と、圧力センサ４４と、バルブ４６とを含む。ガス排出部４３は、例えば第２反応室４０の一壁部に設置され、第２反応室４０からガスを排出するために設けられている。圧力センサ４４は、第２反応室４０内の圧力を測定する。バルブ４６は、圧力センサ４４からの信号（第２反応室４０内の圧力に関する情報）４１に応じて、第２反応室４０からガス排出部４３へと排出されるガスの量を調整する。
【００６５】
本実施の形態の光学部材の製造装置１００によれば、第１反応室３０内の圧力が、第２反応室４０内の圧力よりも大きくなるように設定されている。これにより、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向（前駆体１０ｂ近傍から前駆体１０ｂ遠方の方向；具体的には第１反応室３０から第２反応室４０の方向）へと引っ張られる結果、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向へと延びる。この状態で前駆体１０ｂに対して紫外線１１３を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００６６】
また、前駆体１０ｂの形状は、第１および第２反応室３０，４０内の圧力を調整することによって制御できる。このため、形状が制御された光学部材１０を得ることができる。
【００６７】
［第３の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図５は、本発明を適用した第３の実施の形態に係る光学部材の製造装置２００を模式的に示す断面図である。
【００６８】
本実施形態の光学部材の製造装置２００は、ガス導入部の設置位置に関して、第２の実施形態の光学部材の製造装置１００と異なる構成を有する。具体的には、この製造装置２００では、第１反応室３０に設置されたガス導入部３３が、基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置され、裏面１２２ｂから前駆体１０ｂの設置面１２２ａの方向にガスを第１反応室３０内に流入させる。この他の構成要素については、製造装置１００とほぼ同様である。このため、この製造装置２００において、製造装置１００に含まれる構成要素と同じ構成要素には原則として同じ番号を付して、詳しい説明を省略する。
【００６９】
第１および第２反応室３０，４０にはそれぞれ、第１反応室３０，４０内の圧力を調整する圧力調整機構が設置されている。
【００７０】
第１反応室３０に設置されている圧力調整機構は、ガス導入部３３と、圧力センサ３４と、バルブ３６とを含む。ガス導入部３３は、第２の実施形態で示したガス導入部２３と同様に、第１反応室３０へとガスを導入するために設けられている。
【００７１】
ガス導入部３３は、基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置されている。これにより、ガス導入部３３から導入されたガスは、裏面１２２ｂから前駆体１０ｂの設置面１２２ｂの方向（前駆体１０ｂ近傍から前駆体１０ｂ遠方の方向；具体的には第１反応室３０から第２反応室４０の方向）へと流入する。
【００７２】
本実施の形態の光学部材の製造装置２００によれば、第１反応室３０内の圧力が、第２反応室４０内の圧力よりも大きくなるように設定されている。さらに、ガス導入部３３から導入されたガスが、第１反応室３０から第２反応室４０の方向へと流入する。すなわち、前駆体１０ｂは、第１反応室３０と第２反応室４０との差圧に加えて、第１反応室３０から第２反応室４０の方向へ流入するガスの風圧によって、第１反応室３０から第２反応室４０の方向とより強く引っ張られる。その結果、前駆体１０ｂは、第１反応室３０から第２反応室４０の方向へと延びるように大きく変形する。この状態で前駆体１０ｂに対して紫外線１１３を照射することにより、曲率および高さがより大きく形成された光学部材が得られる。
【００７３】
また、前駆体１０ｂの形状は、前述したように、第１反応室３０と第２反応室４０との差圧と、ガス導入部３３から導入されるガスの風圧とによって制御できる。このため、より形状が制御された光学部材１０を得ることができる。
【００７４】
［第４の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図６は、本発明を適用した第４の実施の形態に係る光学部材の製造装置３００を模式的に示す断面図である。
【００７５】
本実施形態の光学部材の製造装置３００は、反応室３０に差圧発生手段が設置されている点で、第１および第２の実施形態に係る光学部材の製造装置１００，２００と異なる構成を有する。一方、この製造装置３００は、第１反応室３０に設置されたガス導入部（第２ガス導入部）３３が、基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置され、裏面１２２ｂから前駆体１０ｂの設置面１２２ａの方向にガスを流入させる点で、製造装置２００と同様の構成を有する。この製造装置３００については、製造装置１００，２００に含まれる構成要素と同じ構成要素には原則として同じ番号を付して、詳しい説明を省略する。
【００７６】
本実施の形態に係る光学部材の製造装置３００は、図６に示すように、反応室３０と、前駆体１０ｂを硬化させて光学部材１０を形成するための硬化手段（紫外線照射ランプ３８）と、差圧発生手段とを含む。
【００７７】
差圧発生手段は、ガス導入部（第１ガス導入部）４７と、ガス排出部４３と、圧力センサ４４と、バルブ４６とを含む。ガス導入部４７は、例えば反応室３０の一壁部に設置され、反応室３０へとガスを導入するために設けられている。このガス導入部４７には高速度でガスが導入される。ガス排出部４３は、反応室３０からガスを排出するために設けられている。このガス排出部４３は、例えば反応室３０の壁部のうちガス導入部４７に対向する位置に設置されている。これにより、ガス導入部４７から高速度で流入したガスは、ガス排出部４３から速やかに排出される。圧力センサ４４は、反応室３０内の圧力を測定する。バルブ４６は、圧力センサ４４からの信号（反応室３０内の圧力に関する情報）５１に応じて、ガス導入部４７から反応室３０へと導入されるガスの量を調整するために設けられている。なお、反応室３０の上部と下部とは、必要に応じて、メッシュ状の隔壁１４によって仕切ってもよい。
【００７８】
この差圧発生手段は、前駆体１０ｂ近傍の圧力よりも、前駆体１０ｂ遠方の圧力を小さくするために設置されている。この製造装置３００では、この差圧発生手段のうちガス導入部４７とガス排出部４３とは反応室３０の上部に設置されている。ガス導入部４７から反応室３０へと高速度で導入されたガスが、ガス排出部４３から排出されることにより、コリオリの法則に従い、反応室３０の上部は反応室３０の下部に比べて圧力が小さくなる。すなわち、反応室３０の上部と下部とでは差圧が生じる。
【００７９】
本実施の形態の光学部材の製造装置３００によれば、反応室３０の下部の圧力が、反応室３０の上部の圧力よりも大きくなるように設定されている。これにより、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向（反応室３０の下部から上部への方向）へと引っ張られる結果、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向へと延びる。この状態で前駆体１０ｂに対して紫外線１１３を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００８０】
また、前駆体１０ｂの形状は、反応室３０内の圧力を調整することによって制御できる。このため、形状が制御された光学部材１０を得ることができる。
【００８１】
さらに、本実施の形態の光学部材の製造装置３００によれば、前述した第２の実施形態の製造装置２００と同様に、ガス導入部３３が基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置され、裏面１２２ｂから前駆体１０ｂの設置面１２２ａの方向にガスが流入している。このため、製造装置２００と同様の作用効果を奏することができる。
【００８２】
［第５の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図７は、本発明を適用した第５の実施の形態に係る光学部材の製造装置４００を模式的に示す断面図である。
【００８３】
本実施形態の光学部材の製造装置４００は、反応室３０に差圧発生手段が設置されている点で、第４の実施形態に係る光学部材の製造装置３００と同様の構成を有する。一方、この製造装置４００に含まれる前記差圧発生手段は、製造装置３００に含まれる差圧発生手段と異なる構成を有する。この製造装置４００において、製造装置３００に含まれる構成要素と同じ構成要素には原則として同じ番号を付して、詳しい説明を省略する。
【００８４】
本実施の形態に係る光学部材の製造装置４００は、図７に示すように、反応室３０と、前駆体１０ｂを硬化させて光学部材１０を形成するための硬化手段（紫外線照射ランプ３８）と、差圧発生手段とを含む。紫外線照射ランプ３８は、少なくとも前駆体１０ｂに紫外線を照射できる位置に形成される。例えば、図７に示すように、紫外線照射ランプ３８は、支持体４５によって支えることができる。この構成によれば、反応室３０内に紫外線照射ランプ３８を設置することができる。この支持体４５は、反応室３０内のガスが自由に通過できるように、例えばメッシュ状に形成されている。
【００８５】
差圧発生手段は、ガス排出部４３と、バルブ４６と、高速ガス流動管５３と、圧力センサ４４とを含む。ガス排出部４３は、例えば反応室３０の壁部（例えば上壁）に設置され、反応室３０からガスを排出する。バルブ４６は、圧力センサ４４からの信号５１に応じて、ガス排出部４３から排出されるガスの量を調整する。バルブ４６は、ガス排出部４３と高速ガス流動管５３との間に設けられている。高速ガス流動管５３には高速でガスが流れている。なお、反応室３０の上部と下部とは、必要に応じて、図７に示すように、メッシュ状の隔壁１４によって仕切られていてもよい。
【００８６】
また、ガス導入部３３が基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置されている。これにより、ガス導入部３３から反応室３０へとガスが流入する。
【００８７】
この差圧発生手段は、前駆体１０ｂ近傍の圧力よりも、前駆体１０ｂ遠方の圧力を小さくするために設置されている。この製造装置４００では、反応室３０の上部に設置されたガス排出部４３が高速ガス流動管５３と連結している。すなわち、ガス導入部３３から反応室３０へと導入されたガスは、コリオリの法則に従い、高速でガスが流れている高速ガス流動管５３へと吸い込まれるように、ガス排出部４３から排出される。この結果、反応室３０の上部は反応室３０の下部に比べて圧力が小さくなる。すなわち、反応室３０の上部と下部とでは差圧が生じる。これにより、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向（反応室３０の下部から上部への方向）へと引っ張られる結果、前駆体１０ｂは圧力がより小さい方向へと延びる。この状態で前駆体１０ｂに対して紫外線１１３を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００８８】
本実施の形態の光学部材の製造装置４００によれば、反応室３０に前記差圧発生手段が設けられていることにより、製造装置３００と同様に、反応室３０の下部の圧力を、反応室３０の上部の圧力よりも大きくすることができる。また、この製造装置４００によれば、製造装置３００と同様に、ガス導入部３３が基体１２２の裏面１２２ｂに対向するように設置され、裏面１２２ｂから前駆体１０ｂの設置面１２２ａの方向にガスが流入している。以上により、第３の実施の形態の光学部材の製造装置３００と同様の作用効果を有する。
【００８９】
［第６の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図８は、本発明を適用した第６の実施の形態に係る光学部材の製造装置５００を模式的に示す断面図である。
【００９０】
本実施形態に係る光学部材の製造装置５００は、第１の実施の形態の欄で説明した（Ｂ）静電力を用いて光学部材前駆体１０ｂを変形させる方法を適用したものである。なお、第２の実施の形態に係る光学部材の製造装置１００の構成要素と同じ構成要素には原則として同じ番号を付して、詳しい説明を省略する。
【００９１】
本実施形態の光学部材の製造装置５００は、一対の電極７２，７４と、前駆体１０ｂを硬化させて光学部材を形成するための硬化手段（紫外線照射ランプ３８）とを含む。一対の電極７２，７４は、前駆体１０ｂが形成された基体１２２を挟むように設置される。この電極７２，７４はコンデンサとして機能する。すなわち、この電極７２，７４間に所定の電圧が印加されることにより、電極７２，７４の表面には電荷が発生する。ここで発生した電荷を用いて、前駆体１０ｂを変形させる。この電極７２，７４間の距離は適宜変更可能である。
【００９２】
また、少なくとも電極７２は、紫外線を透過可能な材料からなる。これにより、紫外線照射ランプ３８から放出された紫外線１１３を遮断せずに、前駆体１０ｂへと照射させることができる。
【００９３】
前駆体１０ｂは、電極７２の表面に発生する電荷と反対の極性の電荷によって帯電している。第１の実施の形態の欄で説明したように、必要に応じてイオナイザで前駆体１０ｂに電荷を導入することができる。
【００９４】
また、電極７２，７４の間には絶縁体７６を設置することができる。図８に示す製造装置５００では、電極７４の上に絶縁体７６が形成され、この絶縁体７６の上に基体１２２が設置されている。これにより、電極７２，７４の表面に発生する電荷量を増加させることができ、コンデンサとしての機能をより高めることができる。
【００９５】
さらに、この製造装置５００においては、ガス導入口７７とガス排出口７３とを反応室７０に設けることができる。例えば、前駆体１０ｂが窒素ガス雰囲気下でのみ硬化可能な材料からなる場合、ガス導入口７７から窒素ガスを導入することによって、反応室７０内を窒素ガスで満たすことができる。
【００９６】
次に、製造装置５００の動作ならびに作用効果について説明する。まず、図８に示すように、電極７２，７４間に所定の電圧を印加する。これにより、電極７２の表面には正電荷が発生する。一方、前駆体１０ｂには負電荷を帯電させておく。これにより、電極７２の表面の正電荷と、前駆体１０ｂ内の負電荷とが引き合い、前駆体１０ｂは電極７２に近づく方向に延びる。この状態で前駆体１０ｂに対して紫外線１１３を照射することにより、曲率および高さが大きく形成された光学部材が得られる。
【００９７】
また、電極７２，７４間に印加する電圧の値や、電極７２，７４間の距離を調整することによって、電極７２，７４の表面に発生する電荷量を制御することができる。あるいは、イオナイザによって電荷を前駆体１０ｂに導入することにより、前駆体１０ｂに含まれる電荷量を調整することができる。このように、電極７２，７４の表面に発生する電荷量や、前駆体１０ｂに含まれる電荷量を調整することにより、前駆体１０ｂの形状を制御することができる。このため、形状が制御された光学部材を得ることができる。
【００９８】
なお、図８において、電荷７２の表面および前駆体１０ｂそれぞれに存在する電荷は一例であり、それぞれ逆の極性を有する電荷によって帯電させることもできる。
【００９９】
［第７の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図９は、本発明を適用した第７の実施の形態に係る光学部材の製造装置６００を模式的に示す断面図である。
【０１００】
本実施形態の光学部材の製造装置６００はさらに、前駆体１０ｂを通過した紫外線１１３ａを検知する紫外線検知手段（例えばフォトダイオード）９５を含む点で、第６の実施形態の光学部材の製造装置５００と異なる構成を有する。この製造装置６００では、製造装置５００に含まれる構成要素と同じ構成要素には原則として同じ番号を付して、詳しい説明を省略する。
【０１０１】
本実施形態の光学部材の製造装置６００では、電極７２，７４は紫外線を透過可能な材質からなる。これにより、電極７２によって紫外線１１３が遮断されずに前駆体１０ｂへと紫外線１１３を照射させることができる。さらに、前駆体１０ｂを透過した紫外線１１３ａが電極７４を透過することができる。
【０１０２】
本実施形態の光学部材の製造装置６００によれば、前述した第６の実施形態の光学部材の製造装置５００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、この製造装置６００によれば、前駆体１０ｂを通過した紫外線１１３ａを検知する紫外線検知手段（例えばフォトダイオード）９５が設置されている。これにより、前駆体１０ｂを透過した紫外線１１３ａの量を紫外線検知手段９５によって検知することができる。これにより、紫外線検知手段９５の位置と、該紫外線検知手段９５によって検知された紫外線１１３ａの量とから、前駆体１０ｂの形状を把握することができる。この結果を基にして、電極７２，７４間に印加される電圧の値と、電極７２，７４間の距離とを調整することにより、前駆体１０ｂの形状を最適化することができる。これにより、所望の形状に制御された光学部材を得ることができる。
【０１０３】
［第８の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図１０は、第８の実施の形態に係る光学部材の製造装置７００を模式的に示す断面図である。
【０１０４】
本実施形態の光学部材の製造装置７００は、第２の実施形態の光学部材の製造装置１００に、紫外線検知手段（例えばフォトダイオード）１９５が設置されている。この紫外線検知手段１９５は、試料台３２上に設けられており、かつ、基体１２２の下部に設置させることができる。この紫外線検知手段１９５は、第７の実施の形態の光学部材の製造装置６００に設置されている紫外線検知手段９５と同様のものを用いることができる。
【０１０５】
本実施形態の光学部材の製造装置７００によれば、第２の実施の形態の光学部材の製造装置１００と同様の作用効果を有する。さらに、紫外線検知手段１９５が設置されていることにより、前駆体１０ｂを透過した紫外線の量を紫外線検知手段１９５によって検知することができる。これにより、紫外線検知手段１９５の位置と、該紫外線検知手段１９５によって検知された紫外線の量とから、前駆体１０ｂの形状を把握することができる。この結果を基にして、第１および第２反応室３０，４０の圧力を調整することにより、前駆体１０ｂの形状を最適化することができる。これにより、所望の形状に制御された光学部材を得ることができる。
【０１０６】
［第９の実施の形態］
（光学部材の製造装置ならびに光学部材の製造方法）
図１１は、第９の実施の形態に係る光学部材の製造装置８００を模式的に示す断面図である。
【０１０７】
本実施形態の光学部材の製造装置８００は、素子アレイ１０００が試料台３２の上に設置されている点以外は、第２の実施形態の光学部材の製造装置１００と同様の構成を有する。この素子アレイ１０００は複数の素子（図示せず）から構成されている。この製造装置８００においては、素子の光出射面または光入射面の上に前駆体１０ｂを直接形成して硬化させることにより、光学部材を形成する。前駆体１０ｂの硬化方法は、第２の実施の形態の光学部材の製造装置１００と同様であるため、詳しい説明は省略する。
【０１０８】
本実施形態の光学部材の製造装置８００によれば、第２の実施の形態の光学部材の製造装置１００と同様の作用効果を有する。さらに、この製造装置８００によれば、素子の上に直接光学部材を形成することができる。
【０１０９】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係る光学部材の製造方法を示す断面図である。
【図２】図１（ｃ）に示す硬化工程の一例を説明する断面図である。
【図３】図１（ｃ）に示す硬化工程の一例を説明する断面図である。
【図４】第２の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図５】第３の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図６】第４の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図７】第５の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図８】第６の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図９】第７の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図１０】第８の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【図１１】第９の実施形態に係る光学部材の製造装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１０　光学部材、　１０ａ　液滴、　１０ｂ　光学部材前駆体、　１２　液滴吐出口、　１３　エネルギー線、　１４　隔壁、　１６　負電荷、　１８　正電荷、　２０　光学部材設置面、　２２　基体、　２３，３３，４７　ガス導入部、３０　反応室（第１反応室）、　３１，４１，５１　信号、　３２　試料台、３２ａ　メッシュ状板、　３４，４４　圧力センサ、　３６，４６　バルブ、３８　紫外線ランプ、　４０　反応室（第２反応室）、　４３　ガス排出部、４５　支持板、　５３　高速ガス流動管、　７０　反応室、　７２，７４，９２，９４　電極、　７３　ガス排出部、　７６，９６　絶縁体、　７７　ガス導入部、　９５，１９５　紫外線検知手段、　１００，２００，３００，４００，５００，６００，７００，８００　光学部材の製造装置、　１１３，１１３ａ　紫外線、　１２２　基体、　１０００　光学部材アレイ
【図１】
2004117661.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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