(57)【要約】【課題】製品の欠陥検査において不良の発生前に不良発生の兆候を捕らえることで不良発生を防止することを目的とする。【解決手段】複数のしきい値設定を行い、そのランク分けを不良、グレイ、良品の３ランクに分け、グレイ欠陥の発生傾向に着目することで、不良が発生する前にその傾向を予知することができ、不良発生の前に前工程の改善を行うことができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の良否検査を行うに際し、
検出された欠陥候補を良否判定規格に基づく複数のしきい値によって複数のランクにレベル分けし、
前記複数のランクのうちの特定のランクに属する欠陥候補の発生の様子から不良発生の兆候を検出する
欠陥判定方法。
【請求項２】
欠陥候補の判定レベルである前記複数のランクを、不良ランク、不良と良品の中間ランク、良品ランクの少なくとも３つのランクに設定し、前記中間ランクを特定ランクとして不良発生の兆候を検出する
請求項１記載の欠陥判定方法。
【請求項３】
前記特定のランクに属する欠陥候補の発生数が所定の値を超えた場合に、不良発生の兆候を検出したとして、警告を発することで製品の状態の変化を通知する請求項１または請求項２記載の欠陥判定方法。
【請求項４】
前記特定のランクに属する欠陥候補の発生が、連続して規定数の発生を超えた場合に、不良発生の兆候を検出したとして、警告を発することで製品の状態の変化を通知する
請求項１または請求項２記載の欠陥判定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は量産される工業製品の検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
製品の生産工程には、製品の良否を判定するために検査工程が生産の工程の中にあって、作業者による目視検査、もしくは画像処理装置などを利用した自動検査が行われている。
【０００３】
検査の目的は主として
（１）不良を発見して、後工程もしくは市場に流出させない。
（２）不良の発生によって不良の発生原因を解析して、検査工程以前の工程を改善することで不良の発生を防止する
というものである。
【０００４】
図２と図３によって従来の検査方法を説明する。
図２は製品としてのプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称す）のガラスに印刷された電極パターンを表したものである。ＰＤＰはＣＲＴに代わる大型テレビとして今後期待されているディスプレイ装置である。このＰＤＰの電極パターンには製品として寸法の規格があり、この規格を越えた箇所が存在した場合、そのパネルは不良となり、廃棄もしくは不良部分を再生して次工程に流すことになる。
【０００５】
この電極のパターン検査として、例えば図３（ａ）（ｂ）のようなパターンの欠けの幅：Ｂと深さ：Ａが存在したとすると、欠けの程度の小さい（ａ）の電極は良品の規格内なので良品となり、欠けの程度の大きい（ｂ）の電極は良品の規格を越えているので不良とされる。
【０００６】
このような従来技術としては、例えば、特許文献１を挙げることができる。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−１３２６８４号
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これまでの検査では、上述の（１）（２）の目的は達成することができるが、発生した不良のロスコストが発生してしまい、製品の歩留まり率を低下させ、これが製品の単価を上げてしまう原因となる。
【０００９】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、不良が発生する前に不良発生の兆候を検出して、不良によるロスコストの低減に寄与できる欠陥判定方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の欠陥判定方法は、製品の良否検査を行うに際し、検出された欠陥候補を良否判定規格に基づく複数のしきい値によって複数のランクにレベル分けし、前記複数のランクのうちの特定のランクに属する欠陥候補の発生の様子から不良発生の兆候を検出することを特徴とする。
【００１１】
また、欠陥候補の判定レベルである前記複数のランクを、不良ランク、不良と良品の中間ランク、良品ランクの少なくとも３つのランクに設定し、前記中間ランクを特定ランクとして不良発生の兆候を検出することを特徴とする。
【００１２】
また、前記特定のランクに属する欠陥候補の発生数が所定の値を超えた場合に、不良発生の兆候を検出したとして、警告を発することで製品の状態の変化を通知することを特徴とする。
【００１３】
また、前記特定のランクに属する欠陥候補の発生が、連続して規定数の発生を超えた場合に、不良発生の兆候を検出したとして、警告を発することで製品の状態の変化を通知することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の欠陥判定方法をＰＤＰの電極パターン検査に適用した一実施形態で説明する。
【００１５】
図４は本発明の欠陥検出方法を実現するのに使用する欠陥検査装置を示す。
被検査体１は光源２からの光によって透過照明され、ＣＣＤエリアセンサなどからなる撮像素子３にて撮像される。
【００１６】
撮像素子３の中のセンサ画素からの画像データは、画像処理装置４の画像メモリー５に転送される。画像処理装置４の中には、この画像メモリー５の画像データを読みとり、所定の処理を行う処理プログラム６が格納されている。
【００１７】
なお、ここでは与えられる照明は透過照明で説明しているが、被検査体１のパターンを顕在化させる照明であれば、透過に限定しないことは言うまでもない。また、検査方法としては画像処理を利用した方法に限定されず、作業者による目視検査も含むことは言うまでもない。
【００１８】
図５に、欠陥検査方法の処理フローを示す。
先ず、ステップ＃１の画像入力工程では、撮像素子３からの取込画像データが画像処理装置４の画像メモリー５に格納される。
【００１９】
ステップ＃２の欠陥検出工程では、取込画像データから欠陥候補の部分のみを抽出する。この手法としては一般的に隣接画素同士の濃度差分計算を行うことが多い。
【００２０】
ステップ＃３の欠陥判定工程では、ステップ＃２において検出された欠陥候補に対して、しきい値処理を行い、欠陥の座標、面積、寸法を登録する。例では、このしきい値処理の中で、欠陥候補を３ランク（不良ランク、不良と良品の中間（グレイ欠陥）ランク、良品ランク）にクラス分けしている。図１は、上述の内容を図で示したもので、横軸は検査枚数、縦軸は欠陥の面積を表している。欠陥候補マップは、ＰＤＰのガラス基板の面において検出した欠陥候補の位置を表している。
【００２１】
図１では、設定されたしきい値：ｄ１以下が良品ランク、しきい値：ｄ２を超えるものが不良ランク、しきい値：ｄ１を超えてしきい値：ｄ２までが中間ランクである。
【００２２】
ステップ＃４では、しきい値：ｄ１，しきい値：ｄ２を設定して連続Ｎ枚の検査を行って、グレイ欠陥が所定の回数を超えた場合、あるいは連続して所定の回数以上発生した場合、さらにこの実施の形態のパネルにおける検査の場合には、特定の位置に連続して所定の回数以上発生した場合には、これを検出して不良発生の兆候であると判定してステップ＃５で通報する。
【００２３】
このように「グレイ欠陥」の発生の様子を分析することによって、多量の不良が発生する前に、前工程の改善を行うことが可能となる。
なお、上記の実施の形態では、欠陥候補の判定レベルを、不良ランク、中間ランク、良品ランクの３つのランクに設定して、中間ランクに属する欠陥候補の発生の様子から不良発生の兆候を検出したが、このランク分けは３つに限定されるものではなく、４つ以上のランクに設定し、前記の中間ランクの範囲内の特定のランクに属する欠陥候補の発生の様子から不良発生の兆候を同様に検出することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、複数のしきい値設定を行う手法と、そのランク分けを不良、グレイ、良品の３ランクに分ける手法と、グレイ欠陥の発生傾向に着目する手法を備えることで、不良が発生する前にその傾向を予知することができ、不良発生の前に前工程の改善を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の欠陥検査方法の一実施形態を表す概略説明図
【図２】欠陥検査対象の平面図
【図３】欠陥候補の撮影画像の拡大図
【図４】本発明の欠陥検査方法を実現する検査装置の構成図
【図５】同実施の形態の処理フロー図
【符号の説明】
１      被検査体
２      光源
３      撮像素子
４      画像処理装置
５      画像メモリー
ｄ１，ｄ２      しきい値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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