(57)【要約】【課題】ノズル先端に対する清掃能力が低下することがなく、確実に清掃を行うことが可能で、しかも、吸収材の洗浄や交換が不要なノズル清掃方法及び装置を提供する。【解決手段】本発明のノズル清掃方法は、帯状に構成した可撓性の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂを露出した清掃領域１２０を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルの先端を清掃するノズル清掃方法において、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とするノズル清掃方法。
【請求項２】
前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設された平坦架設部を設けることを特徴とする請求項１に記載のノズル清掃方法。
【請求項３】
前記清掃領域では、一対の前記払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、前記一対の払拭材により前記ノズルの先端を挟持した状態で、前記一対の清掃部材を前記ノズルの先端方向に移動させることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズル清掃方法。
【請求項４】
ノズルの先端を清掃するノズル清掃装置において、帯状に構成された可撓性の払拭材と、該払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設する架設手段と、前記払拭材を架設方向に移動させる駆動手段とを有することを特徴とするノズル清掃装置。
【請求項５】
前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設されている平坦架設部が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のノズル清掃装置。
【請求項６】
前記清掃領域では、一対の前記払拭材が相互に離間した位置から近接して対向する対向配置部に至るように架設されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のノズル清掃装置。
【請求項７】
前記一対の払拭材を前記清掃領域の先で相互に重ねられた状態で回収する回収手段が設けられていることを特徴とする請求項６に記載のノズル清掃装置。
【請求項８】
前記対向配置部における前記一対の払拭材の相互間隔を増減するための間隔変更手段が設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載のノズル清掃装置。
【請求項９】
前記対向配置部の導入部位に前記一対の払拭材を架設する架設ローラを有し、該一対の架設ローラの外周には、前記ノズルの先端を挿入可能とし、該先端に対応する断面形状を有する溝が設けられていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。
【請求項１０】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のノズル清掃方法を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項４〜９のいずれか１項に記載のノズル清掃装置を含むことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はノズル清掃方法及びノズル清掃装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置に係り、特に、ペースト状物質を塗布するためのディスペンサのノズル先端を清掃する場合に好適な方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ペースト状物質を種々の物体に塗布するための塗布装置（ディスペンサ）が種々の分野にて使用されている。たとえば、液晶パネルを製造する場合には、基板上にシール材を塗布してもう一方の基板と貼り合わせることによって液晶パネルを構成している。このような塗布装置は、通常、ペースト状物質を収容するシリンジの先端にノズルを設け、シリンジ内に機械的に若しくは流体を介して圧力を加えることにより、ペースト状物質をノズル先端から吐出させるように構成されている。
【０００３】
ところで、上記の塗布装置を用いると、ノズル先端にペースト状物質が付着することがあり、この付着したペースト状物質が次回の塗布の際にペースト状物質の塗布状態に影響を与える場合がある。たとえば、図７（ａ）に示すようにノズル１０の先端からペースト状物質１１を吐出させて塗布した後、図７（ｂ）のように塗布作業が終了したときにはノズル１０の先端の開口部にはペースト状物質があふれ出していないが、その後、図７（ｃ）に示すように時間の経過とともに開口部からゆっくりとペースト状物質１１ａがあふれ出す場合がある。また、このあふれ出したペースト状物質１１ａが多くなると、塗布作業を繰り返していくうちにノズル１０の先端部の外面１０ａにペースト状物質１１ｂが付着する場合もある。
【０００４】
上記のように、塗布作業の開始前にノズル先端の開口部から余分なペースト状物質１１ａがあふれ出した状態となっていることにより、塗布開始点にペースト状物質の過剰な部分（塊）が形成されてしまったり、或いは、ノズル先端の外面上にペースト状物質１１ｂが付着していることによって所要のパターンでペースト状物質を描画していくときに、意図しない部分にペースト状物質が付着してしまったりするといった問題点がある。
【０００５】
そこで従来においては、ノズル先端を清掃するための吸収材を装置の所定位置に固定しておき、ペースト状物質による描画前に、ノズル先端を上記の吸収材に接触させることによって、ノズル先端の開口部から余分にあふれ出しているペースト状物質１１ａを拭うようにしていた。
【０００６】
また、ノズル先端に付着したペースト状物質を除去する装置としては、吸収材が回転するように構成し、この回転する吸収材にノズル先端を押し付けるようにして清掃する方法が知られている（たとえば、以下の特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−１１４３１４号公報（特に、図３及び図４を参照。）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のノズルの清掃方法及び装置においては、吸収材を回転させることによってノズル先端に吸収材をこすり付けることが可能になり、これによりノズル先端を清掃するようにしている。しかしながら、上記の吸収材を使用し続けていくとペースト状物質の付着量が徐々に増大してくるため、ノズル先端に対する清掃能力が低下し、これに伴ってノズルの塗布精度が低下したり、ノズルの目詰まりを生じたりするという問題点がある。したがって、このような事態が生ずる前に吸収材を洗浄したり交換したりする必要があり、メンテナンスに手間がかかるという問題点もある。
【０００９】
また、ペースト状物質の粘度が高くなるとスポンジやフェルトなどで構成された吸収材に吸収されにくくなるため、ノズル先端に付着したペースト状物質を吸収材で除去することが困難になり、充分な清掃効果を得ることができなくなるという問題点がある。
【００１０】
さらに、ノズル先端においては、図７（ｃ）に示すように、開口部からあふれ出したペースト状物質１１ａだけでなく、ノズル先端の外面１０ａに付着したペースト状物質１１ｂも存在する場合があるが、このようにノズル先端の外面１０ａ上に付着したペースト状物質１１ｂを従来の清掃装置で除去することは困難であり、そのため、ノズルを洗浄したり交換したりしなければならないという問題点もある。
【００１１】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ノズル先端に対する清掃能力が低下することがなく、確実に清掃を行うことのできるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、吸収材の洗浄や交換が不要なノズル清掃装置を提供することにある。さらに、高粘度のペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、ノズル先端の外面に付着しているペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のノズル清掃方法は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃方法において、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設して、この払拭材を架設方向に移動させることによって、常に新しい部分を清掃領域に移動させることができるため、払拭材の清掃能力を常に維持することができることから、清掃能力の低下を生ずることがない。また、払拭材のメンテナンス作業も容易になる。さらに、ノズルの清掃中に払拭材を架設方向に移動させることによって、ノズルを動かさずに清掃を行うことも可能になる。
【００１４】
本発明において、前記払拭材としては、スポンジなどの多孔質材やフェルトなどの不織布、粘着性表面を有するシートなど、結果としてノズル先端に付着したペースト状物質を除去できるものであればよい。
【００１５】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設された平坦架設部を設けることが好ましい。清掃領域に払拭材が平坦に架設された平坦架設部が設けられていることにより、ノズル先端の開口部を平坦に架設された払拭材の部分で清掃することができるので、清掃を容易に行うことができるとともに、開口部をより完全に清掃できる。
【００１６】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、前記一対の払拭材により前記ノズルの先端を挟持した状態で、前記一対の清掃部材を前記ノズルの先端方向に移動させることが好ましい。これによれば、一対の払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、その対向配置された部分にノズル先端を挿入することにより、ノズル先端の外面を一対の払拭材により清掃することができる。特に、この状態で一対の払拭材をノズルの先端側に移動させることによって、ノズル先端の外面をより確実かつ容易に清掃することができる。
【００１７】
本発明のノズル清掃装置は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃装置において、帯状に構成された可撓性の払拭材と、該払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設する架設手段と、前記払拭材を架設方向に移動させる駆動手段とを有することを特徴とする。
【００１８】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設されている平坦架設部が設けられていることが好ましい。
【００１９】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材が相互に離間した位置から近接して対向する対向配置部に至るように架設されていることが好ましい。特に、一対の払拭材がそれぞれ平坦架設部を経て上記対向配置部に至るように架設されていることが望ましい。より具体的には、一対の払拭材が相互に反対側から接近し、それぞれの平坦架設部を経て相互に近接した位置にてそれぞれ屈折して相互に対向配置される対向配置部を構成する。
【００２０】
本発明において、前記一対の払拭材を前記清掃領域の先で相互に重ねられた状態で回収する回収手段が設けられていることが好ましい。これによって、使用済みの払拭材の部分を簡易な構成で効率的に回収することができる。特に、払拭材の表面が粘着性を有する場合には、一対の払拭材をその粘着性により相互に接着させた状態で回収することができる。上記回収手段としては、払拭材を巻き取る回収リールが挙げられる。このとき、上記対向配置部の先で一対の払拭材をその対向姿勢のまま重ねて回収することにより、払拭材に付着したペースト状物質が重ね合わせ面上に位置するので、外部に触れることがなくなる。このため、周囲をペースト状物質で汚損することがなくなり、回収後の払拭材の取り扱いが容易になる。
【００２１】
本発明において、前記対向配置部における前記一対の払拭材の相互間隔を増減するための間隔変更手段が設けられていることが好ましい。間隔変更手段によって対向配置部における一対の払拭材の相互間隔を変更できるため、挿入されるノズル先端の外径が種々異なる場合でも簡単に対応することができるとともに、挿入されたノズル先端を一対の払拭材により挟持することができるため、より確実にノズル先端を清掃することができる。また、ノズルが先細形状に形成されている場合には、ノズル先端を対向配置部から引き抜くように移動させる過程で少しずつ一対の払拭材の相互間隔を小さくしていくことによって、先細形状のノズル外面を確実に清掃できる。
【００２２】
本発明において、前記対向配置部へのノズル導入位置に前記一対の払拭材を架設する架設ローラを有し、該一対の架設ローラの外周には、前記ノズルの先端を挿入可能とし、該先端に対応する断面形状を有する溝が設けられていることが好ましい。これによれば、架設ローラに溝が形成されていることによって、ノズル先端をこの溝に合わせて挿入することにより、払拭材がノズル先端の外面と架設ローラの環状溝の内面とに合わせて変形した状態で清掃を行うことができるので、より確実にノズル先端の外面を清掃できる。特に、溝の断面形状をノズル先端の断面形状に対応させることによりノズル先端の外面をほぼ全周に亘って清掃することができる。この場合には、上記架設ローラは回転自在に構成され、上記溝はノズルの先端形状に対応する断面形状を有する環状溝であることが望ましい。
【００２３】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明に記載のノズル清掃方法を用いることを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学装置の製造装置は、本発明に記載のノズル清掃装置を含むことを特徴とする。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係るノズルの清掃方法及び清掃装置の実施形態について詳細に説明する。図１は、本実施形態のノズル清掃装置１００の主要部の構成を模式的に示す概略構成図、図２は、同装置１００の主要部の構成を模式的に示す概略平面図である。このノズル清掃装置１００においては、帯状に構成された可撓性の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが架設手段によって所定の架設経路に沿って架設されている。払拭材１０１Ａ，１０１Ｂとしては、スポンジなどの多孔質材、フェルトなどの不織布などを用いることができる。上記架設手段は、架設ローラ１０３Ａ，１０３Ｂ、１０４Ａ，１０４Ｂ，１０５Ａ，１０５Ｂ，１０６Ａ，１０６Ｂ，１０７Ａ，１０７Ｂによって構成される。この架設手段には、払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが、払拭材供給手段である、払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが巻回された供給リール１０２Ａ，１０２Ｂによって供給される。また、架設手段によって架設された払拭材１０１Ａ，１０１Ｂは相互に重ねられた状態で駆動ローラ１０８，１０９によって架設方向に牽引され、回収手段を構成する、回収ローラ１１０、１１１、テンションローラ１１２及び回収リール（巻上リール）１１３によって回収される。
【００２６】
上記の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂの架設経路には、案内ローラ１０４Ａ〜１０７Ａによって払拭材１０１Ａが平坦に架設されてなる平坦架設部１２０Ａ、及び、案内ローラ１０４Ｂ〜１０７Ａによって払拭材１０１Ｂが平坦に架設されてなる平坦架設部１２０Ｂが設けられている。また、これらの平坦架設部１１０Ａ，１１０Ｂに沿って一対の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂは相互に接近し、やがて案内ローラ１０７Ａ，１０７Ｂ上において一対の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが相互に近接した位置にて屈折し、それらの表面が相互に対向配置される対向配置部１２０Ｃが設けられている。上記平坦架設部１２０Ａ，１２０Ｂ及び対向配置部１２０Ｃは清掃領域１２０を構成する。
【００２７】
図２に示すように、上記平坦架設部１２０Ａを構成する案内ローラ１０４Ａ〜１０７Ａは、スライド部材１２１Ａにそれぞれ軸支されている。また、上記平坦架設部１２０Ｂを構成する案内ローラ１０４Ｂ〜１０７Ｂは、スライド部材１２１Ｂにそれぞれ軸支されている。これらのスライド部材１２１Ａ，１２１Ｂは、ガイド部材１２２Ａ，１２２Ｂにそれぞれ案内され、平坦架設部１２０Ａ，１２０Ｂにおける払拭材の架設方向へ移動可能に構成されている。スライド部材１２１Ａ，１２１Ｂは、それぞれ駆動手段１２３Ａ，１２３Ｂによって駆動される。
【００２８】
上記平坦架設部１２０Ａ，１０２Ｂのそれぞれ外側には、平坦架設部１２０Ａ，１２０Ｂの架設平面に沿って配置された開口部を有する容器１３１Ａ，１３１Ｂが配置されている。この容器１３１Ａ，１３１Ｂは、ノズル先端から吐出されるペースト状物質を収容するためのものである。なお、供給リール１０２Ａ，１０２Ｂはトルクリミッタ付きの制動器１０２ａ，１０２ｂに接続されている。また、回収リール１１３は巻上器１１３ａに接続されている。
【００２９】
上記のノズル清掃装置１００は、図３に示すノズル１０，２０の先端部を清掃するための装置である。ここで、ノズル１０の先端は先細形状に構成され、先端外面は円錐面状に構成されている。また、ノズル２０は同径管状に構成されている。いずれのノズル１０，２０においても、図示しないシリンジ内に収容されたペースト状物質（液晶パネルにおいて基板同士を貼り合わせるためのシール材など）をその先端開口部から吐出させるように構成されたものである。
【００３０】
本実施形態では、図３に示すように、払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが平坦に架設されてなる平坦架設部１２０Ａ，１２０Ｂにおいて、ノズル１０，２０の先端を接触させることによって先端開口部に付着したペースト状物質１１ａ，２１ａを払拭することができる。この場合、ノズル１０，２０の先端を払拭材１０１Ａ，１０１Ｂに接触させたまま図示左右に移動させることによって払拭材１０１Ａ，１０１Ｂによってノズル先端をこすることができ、より確実にペースト状物質１１ａを除去できる。また、ノズル１０，２０の先端を払拭材１０１Ａ，１０１Ｂに接触させた状態で、図１に示す駆動ローラ１０８，１０９によって払拭材１０１Ａ，１０１Ｂを架設方向に移動させることによっても同様にノズル先端をこすることができ、ペースト状物質１１ａをより容易に払拭できる。
【００３１】
また、図４に示すように、払拭材１０１Ａと１０１Ｂとが配向配置される対向配置部１２０Ｃの中にノズル１０，２０の先端を挿入することによって、ノズル１０，２０の外面１０ａ，２０ａに付着したペースト状物質１１ｂ、２１ｂを払拭することができる。この場合、対向配置部１２０Ｃにおける払拭材１０１Ａと１０１Ｂとの相互間隔は、図２に示すスライド部材１２１Ａ，１２１Ｂを移動させることにより変更することができる。したがって、上記相互間隔を変更することによってノズル１０，２０の先端部の外径に合わせることによって、より確実かつ容易に払拭できる。なお、この場合に、駆動ローラ１０８，１０９によって払拭材１０１Ａ，１０１Ｂを移動させることによってより容易にノズル先端の外面１０ａを清掃できる。
【００３２】
図５は、図４に示す対向配置部１２０Ｃによるノズルの清掃態様の一例を示す工程説明図である。この方法では、図５（ａ）に示すように、最初にノズル１０の先端を対向配置部１２０Ｃ内に挿入し、払拭材１０１Ａと１０１Ｂとによってノズル先端が挟持された状態とする。次に、払拭材１０１Ａ、１０１Ｂを架設方向に移動させて、ノズル外面１０ａをこするようにする。そして、図５（ｂ）に示すように、上記機構によって払拭材１０１Ａと１０１Ｂの相互間隔を狭めながら、ノズル１０を対抗配置部１２０Ｃから少しずつ抜き出すように移動させていく。そして、最終的に、図５（ｃ）に示すように、ノズル１０の先端まで払拭材１０１０Ａと１０１Ｂとによって挟持した状態で払拭する。このようにすることによって、ノズル先端の外面形状が図示のように先細形状となっていても、外面１０ａ全体をきれいに払拭することができる。
【００３３】
なお、上記の払拭方法は一例にすぎず、対向配置部１２０Ｃの構成と、この対向配置部１２０Ｃにおける一対の払拭材１０１Ａ，１０１Ｂの相互間隔を変更する手段とによって、上記方法とは異なる様々な払拭方法を用いることができる。
【００３４】
図６は、上記清掃領域１２０のより詳細な平面図である。ここで、上記対向配置部１２０Ｃの入り口に配置された架設ローラ１０７Ａ，１０７Ｂには、ノズル１０の先端の横断面形状に対応する断面形状を有する溝１０７ａ，１０７ｂが設けられている。図示例ではノズル１０の先端の横断面形状は円形であり、これに対応する溝１０７ａ，１０７ｂの断面形状は半円形となっている。これらの溝１０７ａ，１０７ｂは、それぞれの架設ローラにおいて他方の架設ローラに対面する側に設けられていればよい。ただし、本実施形態では、図示のように、架設ローラ１０７Ａ，１０７Ｂは回転自在に軸支されており、常に対面側に同じ断面形状を有するように、溝１０７ａ，１０７ｂは環状溝となっている。
【００３５】
本実施形態において、対向配置部１２０Ｃに対してノズル１０の先端を上記溝１０７ａ，１０７ｂが形成された部位に挿入することによって、可撓性を有する払拭材１０１Ａ，１０１Ｂが溝１０７ａ，１０７ｂに沿って変形し、ノズル１０の先端の外面１０ａの形状にほぼ沿った形状になる。したがって、ノズル１０の先端の外面１０ａをより確実に払拭することができるようになる。
【００３６】
この場合に、図３に示すような平坦架設部１２０Ａ，１２０Ｂを用いて払拭を行う場合には、払拭材１０１Ａ，１０１Ｂの全幅のうち、上記溝１０７ａ，１０７ｂ上を通過しない幅部分（図示例では、中央部分を除いた左右いずれかの部位）にて払拭を行うことが好ましい。これによって、上記溝１０７ａ，１０７ｂに対応する部位、すなわち、対向配置部１２０Ｃにて用いられる部分（図示例では幅方向中央部）にペースト状物質１１ａ，２１ａを付着させることがなくなるので、対向配置部１０２Ｃにおいて清掃を行う際にノズル先端を汚染することがなくなる。
【００３７】
なお、上記実施形態におけるノズル清掃装置によって清掃されるノズルは、例えば液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などの電気光学装置の製造装置に含まれるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略構成図。
【図２】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略平面図。
【図３】ノズル先端を平坦架設部において清掃する方法を示す説明図。
【図４】ノズル先端を対向配置部において清掃する方法を示す説明図。
【図５】対向配置部におけるノズル清掃方法の一例を示す工程図（ａ）〜（ｃ）。
【図６】実施形態のノズル清掃装置の清掃領域の拡大平面図。
【図７】ノズルによる塗布中及び塗布後の様子を示す説明図（ａ）〜（ｃ）。
【符号の説明】
１０，２０…ノズル、１０ａ，２０ａ…外面、１１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ…ペースト状物質、１００…ノズル清掃装置、１０１Ａ，１０１Ｂ…払拭材、１０２Ａ，１０２Ｂ…供給リール、１０３Ａ〜１０７Ａ，１０３Ｂ〜１０７Ｂ…架設ローラ、１０８，１０９…駆動ローラ、１１０，１１１…回収ローラ、１１２…テンションローラ、１１３…回収リール、１２０…清掃領域、１２０Ａ，１２０Ｂ…平坦架設部、１２０Ｃ…対向配置部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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