(57)【要約】【課題】迅速かつ高精度で筒状被検査物の内面の検査（特に、「巣」などの微細な穴の有無検査）を行うことができるような内面検査装置を提供する。【解決手段】筒状被検査物（例えば、エンジンシリンダ２）の内周面３に対応する外周面９を有すると共に、内部にエアー通路１６又は２０を有し、さらに、エアー通路１６又は２０に連通しかつ外周面９の周方向の全周に亘って延びるスリット状エアーノズル１７又は２１を有するプラグゲージ６と、このスリット状エアーノズル１７又は２１から筒状被検査物２の内周面３に向けて噴出するエアーの流量又は流速の変化を検出する検出手段（例えば、差動増幅器３１）とをそれぞれ備える。【選択図】　　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状被検査物の内周面に対応する外周面を有すると共に、内部にエアー通路を有し、さらに、前記エアー通路に連通しかつ前記外周面の周方向の全周に亘って延びるスリット状エアーノズルを有するプラグゲージと、
前記スリット状エアーノズルから前記筒状被検査物の内周面に向けて噴出するエアーの流量又は流速の変化を検出する検出手段と、
をそれぞれ備えることを特徴とする内面検査装置。
【請求項２】
互いに対向させた状態で重ね合わせた一対の盤状部材にて前記プラグゲージを構成すると共に、前記一対の盤状部材の間において環状に延在する隙間にて前記エアー通路並びに前記スリット状エアーノズルを形成したことを特徴とする請求項１に記載の内面検査装置。
【請求項３】
前記プラグゲージを複数個、前記プラグゲージの軸方向に沿って所定間隔を隔てて複数段に設置することにより、複数の前記スリット状エアーノズルを所定間隔を置いて配置し、前記複数のスリット状エアーノズル間における流量又は流速の変化を検出する手段を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の内面検査装置。
【請求項４】
前記複数のスリット状エアーノズルの配置間隔を、前記円筒状被検査物を加工する工作刃具によって形成される溝の加工ピッチの正の整数倍に設定したことを特徴とする請求項２又は３に記載の内面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、筒状被検査物の内面を検査する内面検査装置に関し、例えばエンジンシリンダなどの円筒状被検査物の内周面を検査する内面検査装置に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
筒状被検査物（筒状品）の内面を検査するために各種のゲージを備えた内面検査装置が従来より用いられている。例えば、エンジンシリンダなどの円筒状部品の内周面の内径寸法，平均内径，真円度などを計測する際には、測定ヘッドをシリンダ内面に接触させて計測を行う接触式シリンダゲージ、或いは、エアーをシリンダ内面に噴出させて計測を行う非接触式エアーマイクロゲージ（特許文献１及び特許文献２参照）を利用した内面検査装置や、シリンダ内面を画像処理にて検査するようにした内面検査装置などが使用されている。また、シリンダ内面（内周表面）における穴（例えば「巣」）や傷などの有無を検査するに際しては、例えば画像処理装置や蛍光磁気探傷装置などが使用されている。一方、内面検査装置を用いることなく、検査員の目視による検査も行われている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１−１４２４０８号
【特許文献２】
特開平８−１６６２２７号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来の内面検査装置では、それぞれ次のような問題点がある。すなわち、接触式シリンダゲージを備えた内面検査装置にあっては、ポイント測定に際してゲージの接触圧力や移動速度の影響を受け易いことに加え、「巣」などの微小な穴を計測することはできない。
【０００５】
また、非接触式エアーマイクロゲージを備えた内面検査装置にあっては、シリンダの中心軸の位置を調整した後にポイント測定を行うが、既述の接触式シリンダゲージと同様に、「巣」などの微小な穴を計測（検査）することはできない。さらに、シリンダの内周面の全領域をスキャンする場合（非接触式エアーマイクロゲージをシリンダの中心軸に沿って移動させながら計測を行う場合）には、応答性が遅く、従って検査時間が長くなるという不具合がある。
【０００６】
また、画像処理装置を用いる場合には、塵や汚れにより検査に大きな影響を受ける上に、穴や傷などの認識（識別）に当たっての特徴出しが難しい。しかも、画像モニタでの目視に限界があり、「巣」などの微細な穴などを認識することが不可能な場合がある。一方、検査員による直接的な目視検査では、「巣」などの微細な穴などを認識することができない場合が多いのが実状である。
【０００７】
また、蛍光磁気探傷装置では、蛍光体の入った浸透液を使用する必要がある上に、磁気の影響処理を行う必要であり、しかも目視検査の限界もある。一方、超音波，渦電流，漏洩磁束，レーザなどを利用して「巣」などの微細な穴の有無を検査することが考えられるが、これらの用途はそのような検査のための用途とは違っており、しかも検査精度も正確には分からないので、「巣」検査用の内面検査装置に利用することには不向きである。
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであって、その目的は、迅速かつ高精度で筒状被検査物の内面の検査（特に、「巣」などの微細な穴の有無検査）を行うことができるような内面検査装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明では、筒状被検査物の内周面に対応する外周面を有すると共に、内部にエアー通路を有し、さらに、前記エアー通路に連通しかつ前記外周面の周方向の全周に亘って延びるスリット状エアーノズルを有するプラグゲージと、前記スリット状エアーノズルから前記筒状被検査物の内周面に向けて噴出するエアーの流量又は流速の変化を検出する検出手段とをそれぞれ備えるようにしている。
また、本発明では、互いに対向させた状態で重ね合わせた一対の盤状部材にて前記プラグゲージを構成すると共に、前記一対の盤状部材の間において環状に延在する隙間にて前記エアー通路並びに前記スリット状エアーノズルを形成するようにしている。
また、本発明では、前記プラグゲージを複数個、前記プラグゲージの軸方向に沿って所定間隔を隔てて複数段に設置することにより、複数の前記スリット状エアーノズルを所定間隔を置いて配置し、前記複数のスリット状エアーノズル間における流量又は流速の変化を検出する手段を設けるようにしている。
また、本発明では、前記複数のスリット状エアーノズルの配置間隔を、前記円筒状被検査物を加工する工作刃具によって形成される溝の加工ピッチの正の整数倍に設定するようにしている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図１〜図１０を参照して説明する。
【００１１】
図１及び図２は本発明の第１実施形態に係る内面検査装置１を示すものであって、この内面検査装置１は、円筒状エンジンシリンダ２の内周面（断面円形状の内面）３に「巣」などの微細な穴（欠陥）４の有無を検査するための装置である。図１及び図２に示すように、本実施形態の内面検査装置１は、測定用エアーを供給する測定用エアー源５と、単一のプラグゲージ（測定ヘッド）６と、測定用エアー源５からプラグゲージ６に供給されるエアーの流量を計測する流量計７と、この流量計７によって計測された流量値に基づいて「巣」などの穴４の有無を判定する判定部８とを具備している。
【００１２】
本実施形態において用いられるプラグゲージ６は、１つの組立体（アッセンブリ）であり、検査時には図２に示す如くエンジンシリンダ２のボア２ａの内部に挿入されてその外周面９がボア２ａの内周面３に僅かなクリアランス（隙間）を隔てて対向配置され、そしてこの状態の下でプラグゲージ６がエンジンシリンダ２のボア２ａ内を軸線方向に沿って相対的に移動されるようになっている。
【００１３】
一方、測定ヘッドとしてのプラグゲージ６は、図３（Ａ）又は（Ｂ）に示すように上側部材１０と下側部材１１とを互いに対向させて一体に結合して成るものであり、エンジンシリンダ２の内周面３に対応する外周面９を有している。さらに具体的に述べると、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示すプラグゲージ６は、測定用エアー導入孔１２を中央箇所に有する１つの円形の盤状部材１３から成る上側部材１０と、１つの円形の盤状部材１４から成る下側部材１１との間に、複数の支柱１５を介在させたものである。かくして、円周方向に沿って間隔を隔てた複数箇所において上側部材１０と下側部材１１との間に支柱１５がそれぞれ介在され、これにより上側部材１０と下側部材１１との間に複数の支柱１５が挟持されてこれらの間が所定間隔に保持された状態の下で、互いに平行状に対向配置されている。従って、上側部材１０と下側部材１１との間に所定間隔の狭い隙間が形成されると共に、この隙間と測定用エアー導入孔１２とが互いに連通されて一連のエアー通路１６が形成されている。なお、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示すプラグゲージ６にあっては、前記隙間が段差を有するように形成されているが、段差が無いように前記隙間を形成するようにしてもよい。そして、上述のエアー通路１６の終端、すなわち、上側部材１０及び下側部材１１の盤状部材１３，１４の外周面の間の箇所（ひいては、プラグゲージ６の外周面９）に、円周方向の全周に亘って延びるギャップを有するスリット状エアーノズル１７が形成されている。かくして、測定用エアー源５からのエアーが測定用エアー導入孔１２に供給され、エアー通路１６を通ってスリット状エアーノズル１７からプラグゲージ６の外周面９において放射方向に均一に噴出されるように構成されている。
【００１４】
また、図２（Ｂ）及び図３（Ｂ）に示すプラグゲージ６にあっては、上側部材１０及び下側部材１１が円環の盤状部材にてそれぞれ構成されており、それらの中央突起部分１０ａ，１１ａが互いに一体に接合されている。そして、中央突起部分１０ａ，１１ａより外径側の領域であってかつ上側部材１０及び下側部材１１の間において円環状に延在する隙間にてエアー通路２０が設けられ、このエアー通路２０の端部（すなわち、プラグゲージ６の外周面９）の全周に亘って延びるスリット状エアーノズル２１が上側部材１０の外周フランジ部２３と下側部材２１の外周縁部２４（図３（Ｂ）参照）との間に形成されている。さらに、上側部材１０には、前記エアー通路２０に連通する測定用エアー導入孔２２が形成されている。かくして、測定用エアー源５からのエアーが上側部材１０の測定用エアー導入孔２２に供給されてエアー通路２０に導入され、次いでスリット状エアーノズル２１からプラグゲージ６の外周面９において放射方向に均一に噴出されるように構成されている。なお、図中における矢印は、エアーの流れを示している（以下においても同様である）。
【００１５】
上述の内面検査装置１を用いてエンジンシリンダ２の内面検査を行うに当たっては、測定用エアー源５から所定圧力の測定用のエアーを流量計７を介してプラグゲージ６の測定用エアー導入孔１２又は２２に継続的に供給すると共に、プラグゲージ６をエンジンシリンダ２のボア２ａ内に挿入配置する。この際、測定用エアーがプラグゲージ６のエアー通路１６又は２０を通ってプラグゲージ６のスリット状エアーノズル１７又は２１からエンジンシリンダ２の内周面３の全周部分にほぼ直角にかつ均一に噴出されるため、これに応じてプラグゲージ６はエンジンシリンダ２のボア２ａ内の中心位置に同軸に配置されることとなる。これにより、プラグゲージ６の外周面９ひいてはスリット状エアーノズル１７又は２１とエンジンシリンダ２の内周面３との間のクリアランスは全周領域において均一に設定される（すなわち、エンジンシリンダ２とプラグゲージ６とが互いに同軸状に配置される）。
【００１６】
このような状態の下で、プラグゲージ６をエンジンシリンダ２のボア２ａの軸線に沿って例えば上方から下方に移動させ（プラグゲージ６を逆方向へ移動させるようにしてもよい）、その際に流量計７に流れるエアーの量を継続的に計測する。かくして、計測されたエアー量に関する計測信号が判定部８に情報信号として送られてこの判定部８において欠陥（「巣」などの穴６）の有無が判定される。具体的には、流量計７にて計測された実際の流量値と、判定部８に予め保存されている基準の流量値とが互いに比較され、その比較値（差分）が所定の許容範囲以上である場合には検査対象のエンジンシリンダ２を欠陥品（「巣」がある製品）として判定する。
【００１７】
このような構成の内面検査装置１によれば、プラグゲージ６をエンジンシリンダ２の内周面３に接触させることなく、非接触状態の下で検査を行うようにしているので、前記内周面３に擦り傷などの損傷を生じるおそれがなくしかも迅速かつ円滑に検査作業を行うことができる。また、エンジンシリンダ２の内周面３にプラグゲージ６のスリット状エアーノズル１７又は２１から前記内周面３の円周方向の全周領域にエアーを吹き付けて計測を行うようにしているので、前記内周面３に対してプラグゲージ６を同軸となるように軸位置の調整を行わなくてもプラグゲージ６は前記内周面３の中心位置に自動的に配置されることなり、前記内周面３の直径の平均値測定（円周の平均値を測定単位とする計測）を軸位置調整することなく簡単に測定することができる。さらに、筒状被検査物であるエンジンシリンダ３の内周面３はエアーパージされることとなるので、前記内周面３に塵や埃などが付着していてもこれらを吹き払うことができ、従って塵や埃などの影響を受けずに済む。また、目視による検査作業も必要でない。
【００１８】
図４は、本発明の第２実施形態に係る内面検査装置３０を示しており、この内面検査装置３０は、図２（Ａ）及び図３（Ａ）に示すプラグゲージ６を２段重ね（２段設置）にして用いるようにしたものである。この場合は、図５に示す如く、１段目（上段）のプラグゲージ６ａと２段目（下段）のプラグゲージ６ｂとが互いに１８０度逆転した状態でかつ同軸状に一体結合されている。従って、本実施形態では、１段目のプラグゲージ６ａのスリット状エアーノズル２１と、２段目のプラグゲージ６ｂのスリット状エアーノズル２１がプラグゲージ６ａ，６ｂの軸線方向に沿って僅かな所定間隔を隔てた位置において互いに平行状に配置されている。
【００１９】
一方、本実施形態にあっては、図４に示すように、上下段のプラグゲージ６ａ，６ｂには、単一の測定用エアー源５から流量計７をそれぞれ介して測定用エアーが供給されるように構成されると共に、これらの流量計７にて計測された流量に対応した情報信号が差動増幅器３１に供給され、この差動増幅器３１からの出力信号が判定部３２に送られるように構成されている。
【００２０】
図６は、本発明の第３実施形態に係る内面検査装置４０を示しており、この内面検査装置４０は、図７及び図８に示す如く、図３（Ｂ）のプラグゲージ６を２段重ね（２段設置）にして用いるようにしたものである。また、本実施形態では、判定部３２は、差動増幅器３１からの差分出力が入力されるアナログコンパレータ４１と、このアナログコンパレータ４１からの比較出力に基づいて「巣」の有無を判定してその判定結果を表示する「巣」検出表示部４２とから構成されている。なお、その他の構成は、上述の第２実施形態の場合と同様である。
【００２１】
また、本実施形態においては、エンジンシリンダ２の内周面３に存在する工作刃具（内周面切削工具）による加工溝４３（図８参照）を「巣」などの穴４として検出しない（差動増幅器３１の出力が変動しない）ように、上下段のプラグゲージ６ａ，６ｂのスリット状エアーノズル２１，２１間の配置間隔を、円筒状被検査物であるエンジンシリンダ２のボア２ａを加工する工作刃具によって形成される溝４４の加工ピッチＰ（図８参照）の正の整数倍に設定されている。因みに、本実施形態においては、エンジンシリンダ２の直径Φは６７ｍｍ、加工ピッチＰは０．２ｍｍ、溝４３の深さＤは０．２５ｍｍ、測定用エアー導入孔　の直径φは４．２ｍｍ、スリット状エアーノズル　の隙間（ギャップ）Ｇは０．０１ｍｍ、プラグゲージ６の外周面　とエンジンシリンダ２の内周面３との間のクリアランスＣは０．２ｍｍである。また、検査対象として想定する「巣」のサイズは、例えば、縦方向１ｍｍ、横方向１ｍｍ、円周方向１ｍｍの穴（体積１ｍｍ３　）である。
【００２２】
内面検査装置３０，４０を使用するに当たっては、２段重ね構造のプラグゲージ６ａ，６ｂをエンジンシリンダ２のボア２ａ内に挿入配置して例えば上方から下方へ移動させながら、２つの流用計７でエアー流量を計測する。この際、エンジンシリンダ２の内周面３に「巣」がある場合には、まず下段側のプラグゲージ６ｂの流量計７に変化が表れ、その変化に応じて差動増幅器３１から第１の差動増幅信号が出力される。そして、次のタイミングで、上段側のプラグゲージ６ａの流量計７に変化が表れ、これに応じて差動増幅器３１から第２の差動増幅信号が出力される。なお、この際に差動増幅器３１から出力される第２の差動増幅信号の極性は、前のタイミングで差動増幅器３１から出力される前記第１の差動増幅信号とは反対の極性となる。かくして、上述の第１及び第２の差動増幅信号をアナログコンパレータ４１にて比較してその比較値が所定の基準値よりも大きい場合には「巣」検出表示部４２において「巣」検出若しくは欠陥検出の表示が行われる。
【００２３】
このような構成の内面検査装置３０，４０によれば、既述の内面検査装置１と同様の作用効果を奏することができる上に、次のような作用効果を得ることができる。すなわち、２段重ね構造のプラグゲージ６ａ，６ｂを用いる場合には、差動増幅器３１を使って２つのスリット状エアーノズル２１，２１間における流量の変化を検出することにより、微小な変化量の差で高精度の検査を行うことが可能となる。また、１箇所のポイントをプラグゲージ６ａ，６ｂにて２回にわたり検出することとなり、しかもその検出信号の極性が互いに反対であるため、「巣」などの穴４の検出結果の検証（検出結果が正しいか或いは誤っているかの確認）を行うことができ、従って検査の信頼性の向上を図ることができる。また、流量計７から得られるデータは、エンジンシリンダ２の内周面２ａの内径の平均値に相関のある連続データであるため、上段及び下段のプラグゲージ６ａ，６ｂどちらか一方を基準固定して、前記内周面３の平均値の管理をすることが可能である。
【００２４】
また、図９は、本発明の第４実施形態に係る内面検査装置５０を示しており、この内面検査装置５０は、図３（Ｂ）に示すプラグゲージ６を３段若しくは３段以上の多段重ね（多段設置）にして用いるようにしたものである。なお、図３（Ａ）に示すプラグゲージ６を３段若しくは３段以上の多段重ね（例えば、１段目〜３段目のプラグゲージ６ａ，６ｂ，６ｃ）にして用いるようにしてもよい。一方、本実施形態においては、図９に示すように、測定用エアー源５からの測定用エアーは流速計（流速センサ）５１をそれぞれ介して多段のプラグゲージ６ａ〜６ｎに供給されるように構成されている。そして、各々の流速計７からの計測信号はアナログマルチプレクサ５２を介してメモリ部５３に入力され、このメモリ部５３から判定部５４に流量情報信号が供給されるように構成されている。また、互いに隣り合うスリット状エアーノズル２１間の配置間隔は、円筒状被検査物であるエンジンシリンダ２のボア２ａを加工する工作刃具によって形成される溝４４の加工ピッチＰ（図８参照）の正の整数倍にそれぞれ設定されている。なお、その他の構成は既述の内面検査装置３０，４０と同様である。
【００２５】
このような構成の内面検査装置５０によれば、多段でそれぞれ流量情報に基づいて検査を行うことができるので、高精度の測定・検査が可能となる。さらに、多段に構成することにより、例えば３段重ねのプラグゲージ６ａ，６ｂ，６ｃから成るアセンブリをエンジンシリンダ２の内周面３の軸線方向の沿って僅かな距離だけ移動させるだけで前記内周面３の全域の検査を済ませることができ、検査時間の短縮を図ることが可能となる。なお、プラグゲージ６を３段以上の多段にした場合であっても、流速計からの流速情報信号を例えばアナログマルチプレクサ５１を用いて多数の入力信号を電気的に１つずつスキャン（若しくは切換）するような構成を採用することにより、アナログマルチプレクサ５１の如き信号処理器を１つだけ用いれば済むため、コストを低く抑えることが可能である。
【００２６】
以上、本発明の一実施形態について述べたが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、既述の第１〜第３実施形態において流量計７を流速計５１に代替可能であり、第４実施形態において流速計５１を流量計７に代替可能である。また、エンジンシリンダ２に限らず各種の筒状品の内面検査も行うことが可能である。さらに、本発明は、エンジンシリンダ２の断面円形の内周面３に限らず、例えば角筒の断面矩形の内面（円周面以外の内周面）などを検査する装置にも適用可能である。
【００２７】
【発明の効果】
請求項１に記載の本発明は、筒状被検査物の内周面に対応する外周面を有すると共に、内部にエアー通路を有し、さらに、エアー通路に連通しかつ外周面の周方向の全周に亘って延びるスリット状エアーノズルを有するプラグゲージと、このスリット状エアーノズルから筒状被検査物の内周面に向けて噴出するエアーの流量又は流速の変化を検出する検出手段とをそれぞれ備えるようにしたものであるから、非接触式測定により迅速かつ円滑に筒状被検査物の内面検査（例えば、「巣」などの欠陥の有無検査）を行うことができると共に、プラグゲージの円周の全域から放射状に噴出するエアーによってプラグゲージが筒状被検査物に対して同軸の位置に自動的に設置されるため、筒状被検査物に対するプラグゲージの軸位置調整をする必要がなく、従って簡単に検査を行うことができる。また、筒状被検査物の内面に塵や埃が付着していてもこれらは検査時にエアパージされることとなるので、塵や埃により検査に悪影響を受けないで済む。
【００２８】
また、請求項２に記載の本発明は、互いに対向させた状態で重ね合わせた一対の盤状部材にてプラグゲージを構成すると共に、一対の盤状部材の間において環状に延在する隙間にてエアー通路並びにスリット状エアーノズルを形成するようにしたものであるから、エアー通路、並びに、外周面の周方向の全周に亘って延びるスリット状エアーノズルを有するプラグゲージを極めて簡単にかつ安価に製作することが可能である。
【００２９】
また、請求項３に記載の本発明は、プラグゲージを複数個、プラグゲージの軸方向に沿って所定間隔を隔てて複数段に設置することにより、複数のスリット状エアーノズルを所定間隔を置いて配置し、複数のスリット状エアーノズル間における流量又は流速の変化を検出する手段を設けるようにしたものであるから、多段構造を採用して差動検出を行うことにより、高精度の検査を行うことが可能となる。さらに、プラグゲージを多段にすることにより、プラグゲージの移動距離が短くて済み、検査に要する時間を短縮することが可能となる。
【００３０】
また、請求項４に記載の本発明は、複数のスリット状エアーノズルの配置間隔を、円筒状被検査物を加工する工作刃具によって形成される溝の加工ピッチの正の整数倍に設定するようにしたものであるから、工作刃具によって形成される溝を「巣」などの欠陥として検出するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る内面検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】単一のプラグゲージを使用してエンジンシリンダの内周面を検査している状態を示す断面図であって、図２（Ａ）は一例のプラグゲージを用いた場合の断面図、図２（ｂ）は別例のプラグゲージを用いた場合の断面図である。
【図３】プラグゲージの構成を示す図であって、図３（Ａ）は一例のプラグゲージの斜視図、図３（Ｂ）は別例のプラグゲージの分解斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る内面検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る内面検査装置の断面図であって、２段重ねのプラグゲージを使用してエンジンシリンダの内周面を検査している状態を示す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る内面検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る内面検査装置の断面図であって、２段重ねのプラグゲージを使用してエンジンシリンダの内周面を検査している状態を示す断面図である。
【図８】図７の要部を拡大して示す断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る内面検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る内面検査装置の断面図であって、多段重ねのプラグゲージを使用してエンジンシリンダの内周面を検査している状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１，３０，４０，５０　内面検査装置
２　エンジンシリンダ（筒状被検査物）
２ａ　ボア
３　内周面
４　「巣」などの穴（欠陥）
５　　測定用エアー源
６，６ａ〜６ｃ，６ｎ　プラグゲージ
７　流量計
８，３２，５３　判定部
９　外周面
１２，２２　測定用エアー導入孔
１３，１４　盤状部材
１５　支柱
１６，２０　エアー通路
１７，２１　スリット状エアーノズル
３１　差動増幅器
４１　アナログコンパレータ
５２　アナログマルチプレクサ
【図１】
2004117075.tif 000003
【図２】
2004117075.tif 000004
【図３】
2004117075.tif 000005
【図４】
2004117075.tif 000006
【図５】
2004117075.tif 000007
【図６】
2004117075.tif 000008
【図７】
2004117075.tif 000009
【図８】
2004117075.tif 000010
【図９】
2004117075.tif 000011
【図１０】
2004117075.tif 000012