(57)【要約】【課題】安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を提供する。【解決手段】第１の中点を中心に点対称でＳ字形状の第１振動チューブと、第１の振動チューブが含まれる面に平行する面に含まれ第１振動チューブに平行して設けられ第１振動チューブと同一形状を有する第２振動チューブと、第１と第２振動チューブとに固定され第１振動チューブの両端を結ぶ直線を第１基準軸として第１基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動駆動し第２振動チューブの両端を結ぶ直線を第２基準軸として第２基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動駆動し且つ第１，第２振動チューブがそれぞれ含まれる平行な２平面から等距離にある基準平面に対して第１，第２振動チューブが面対称の位置に有るように振動駆動する励振器と、第１と第２振動チューブとに固定され第１と第２振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを具備したコリオリ質量流量計である。【選択図】　　　　図１
2004117087.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動チューブ内に測定流体が流れ、この測定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオリ力により、この振動チューブを変形振動させるコリオリ質量流量計において、
測定流体が分岐する分岐部と、測定流体が合流する合流部と、前記分岐部の一方の流路への第１の上流側固定端部と前記合流部の一方の流路への第１の下流側固定端部との第１の中点を中心に点対称で３個の変曲点を有する曲線形状を有する第１の振動チューブと、前記分岐部の他方の流路に一端が接続され他端が前記合流部の他方の流路へ接続され前記第１の振動チューブと同様な曲線形状を有し前記第１の振動チューブが含まれる面に平行する面に含まれ前記第１の振動チューブと互いに平行をなす第２の振動チューブと、前記第１の振動チューブとこの第２の振動チューブとに固定され第１の振動チューブを前記第１の上流側固定端部と第１の下流側固定端部とを結ぶ直線を第１の基準軸としてこの第１の基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動駆動し第２の振動チューブを前記第２の上流側固定端部と第２の下流側固定端部とを結ぶ直線を第２の基準軸としてこの第２の基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動駆動し且つ第１，第２の振動チューブがそれぞれ含まれる平行な２平面から等距離にある基準平面に対して、第１，第２の振動チューブが面対称の位置に有るように振動駆動する励振器と、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブとに固定され前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
前記励振器あるいは前記振動検出センサからのリードを前記中点あるいは上流側固定端部あるいは下流側固定端部を介して外部に取出すようにしたことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記第１の振動チューブとこの第１の振動チューブに取り付けられた前記励振器あるいは前記振動検出センサの部分の重心位置が前記第１の振動チューブの中点になるように前記第１の振動チューブに設けられた第１のバランサーと、前記第２の振動チューブとこの第２の振動チューブに取り付けられた前記励振器あるいは前記振動検出センサの部分の重心位置が前記第２の振動チューブの中点になるように前記第２の振動チューブに設けられた第２のバランサーとを具備した事を特徴とする請求項１又は請求項２記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量計内部の振動チューブの振動を外に漏らさないようにすると共に、外部からの振動ノイズや応力の影響を受けにくくすることによって、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開昭６１−１８９４１７号に示されている（例えば、特許文献１参照）。
図７は平面図、図８は図７の側面図、図９，図１０は図７の動作説明図である。
【０００３】
図において、振動チューブ１８と、振動チューブ１９は、平行に設置され、支持プレート４１と４２で両端をそれぞれ固定されている。
２本の振動チューブ１８，１９の間には、２つの振動検出センサ２３，２４と、励振器２１が設置され、振動チューブ１８，１９の共振周波数で、定常的に励振されている。
【０００４】
多くの場合、図９に示すような低次の共振モードで励振振動を行い、２つの振動チューブ１８，１９は、Ａ→Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→　　　Ａ’→Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→　　のように互いに対称な方向に単振動を続ける。
【０００５】
また、図１０のように高次の共振モードで励振振動を行う場合も考えられる。
２つの振動チューブ１８，１９は、　Ａ→Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→　　　Ａ’→Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→　　のように互いに対称な方向に単振動を続ける。
但し、この場合は、図７，図８と異なり、励振装置を２つにする等の工夫が必要である。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６１−１８９４１７号（第３頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、図７従来例のように、振動チューブ１８，１９が直管で、両端を固定された場合、振動チューブ１８，１９が本来の位置Ａ，Ａ’からずれて位置Ｂ，Ｂ’のように変形された場合、振動チューブ１８，１９の全長が変わることで、管軸方向に大きな力が発生する。
【０００８】
図９、図１０に示したような振動チューブ１８，１９の変形が生じたときには、固定端では中心に引っ張られるような軸方向力Ｆ１が生じる。
このような本来不要な力が固定端に働くことで、振動チューブ１８，１９の振動が外に漏れ、振動絶縁性が悪化する。
【０００９】
振動絶縁性が悪い、すなわちＱ値が低いと、以下のような問題点がある。
（１）　励振振動に大電流が必要になる。消費電流が増える。
（２）　環境変化や外的要因で振動の漏れ具合が大きく変化する。
安定した定常励振ができなくなり、内部の振動の状況も不安定になりがちで、ゼロ点やスパン等の出力誤差になる。
【００１０】
（３）　自ら起こした外部に逃げた振動が、外部からの振動ノイズとなって戻ってくる。
同じ周波数の振動ノイズになるので、僅かなノイズでも受ける影響が大きく、出力誤差になる。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、流量計内部の振動チューブの振動を外に漏らさないようにすると共に、外部からの振動ノイズや応力の影響を受けにくくすることによって、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１のコリオリ質量流量計においては、
振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオリ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ質量流量計において、
測定流体が分岐する分岐部と、測定流体が合流する合流部と、前記分岐部の一方の流路への第１の上流側固定端部と前記合流部の一方の流路への第１の下流側固定端部との第１の中点を中心に点対称で３個の変曲点を有する曲線形状を有する第１の振動チューブと、前記分岐部の他方の流路に一端が接続され他端が前記合流部の他方の流路へ接続され前記第１の振動チューブと同様な曲線形状を有し前記第１の振動チューブが含まれる面に平行する面に含まれ前記第１の振動チューブと互いに平行をなす第２の振動チューブと、前記第１の振動チューブとこの第２の振動チューブとに固定され第１の振動チューブを前記第１の上流側固定端部と第１の下流側固定端部とを結ぶ直線を第１の基準軸としてこの第１の基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動駆動し第２の振動チューブを前記第２の上流側固定端部と第２の下流側固定端部とを結ぶ直線を第２の基準軸としてこの第２の基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動駆動し且つ第１，第２の振動チューブがそれぞれ含まれる平行な２平面から等距離にある基準平面に対して、第１，第２の振動チューブが面対称の位置に有るように振動駆動する励振器と、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブとに固定され前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項２においては、請求項１記載のコリオリ質量流量計において、
前記励振器あるいは前記振動検出センサからのリードを前記中点あるいは上流側固定端部あるいは下流側固定端部を介して外部に取出すようにしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項３においては、請求項１又は請求項２記載のコリオリ質量流量計において、
前記第１の振動チューブとこの第１の振動チューブに取り付けられた前記励振器あるいは前記振動検出センサの部分の重心位置が前記第１の振動チューブの中点になるように前記第１の振動チューブに設けられた第１のバランサーと、前記第２の振動チューブとこの第２の振動チューブに取り付けられた前記励振器あるいは前記振動検出センサの部分の重心位置が前記第２の振動チューブの中点になるように前記第２の振動チューブに設けられた第２のバランサーとを具備した事を特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で平面図、図２は図１の正面図、図３，図４は図１の動作説明図である。
【００１６】
図において、図７と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図７と相違部分のみ説明する。
【００１７】
装置の入り口で流路は、振動チューブ１８と、振動チューブ１９の２つに分岐部１２０で分岐し、出口付近で再び合流部１３０で合流する。
１８振動チューブ１８と１９振動チューブ１９は、基本的に同じ構造で、流量計の中心面（図のＸＺ平面）に対して対称な関係にある。
【００１８】
振動チューブ１８は、図３のように、上流側固定端部１２１と下流側固定端部１３１の中点２６を中心に点対称で、変曲点を３箇所有するＳ字形の形状であり、振動チューブ１８は両端近傍では、基準軸１４上に存在する。
【００１９】
振動チューブ１９は、図３のように、上流側固定端部１２２と下流側固定端部１３２の中点２７を中心に点対称で、変曲点を３箇所有するＳ字形の形状であり、振動チューブ１９は両端近傍では、基準軸１５上に存在する。
【００２０】
２１，２２は振動チューブを励振させる励振器であり、振動チューブ１８，１９を図のＹ方向に力を加えられる構造になっており、励振器２１と２２では、大きさと方向が等しく、逆位相の力を加えるようになっている。
【００２１】
２３，２４は振動を検出する振動検出センサで、図のＹ方向の振動速度あるいは変形を測定する。
４１，４２は振動チューブに固定されている支持プレートである。
【００２２】
以上の構成において、図３に示す如く、振動チューブ１８は、Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→Ａ→　のように、振動チューブ１９は、Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→Ａ’→のように位置を変えて円周振動を続ける。
【００２３】
振動チューブ１８，１９の振動振幅（並進成分の位置変化）は、振動チューブ１８，１９全長Ｌのおよそ１／４Ｌ，３／４Ｌ付近が大きく、両側の支持プレート４１，４２上と中点（１／２Ｌ）上　は振動の節となり、位置は変化しない。
支持プレート４１，４２近傍の振動チューブ１８，１９には、図３に示したようなＲｏｔＸの力が大きく加わる。
【００２４】
但し、２本の振動チューブ１８，１９に加わる力は、大きさが等しく逆回転方向なので、支持プレート４１，４２上で互いに打ち消し会い、並進成分も回転成分も働かない音叉の節のような状態が実現される。
【００２５】
図４は、図２のａａ、ｂｂ、ｃｃ断面図を示す。
振動チューブ１８は、Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→Ａ→　のように、振動チューブ１９は、Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→Ａ’→のように、そして、２つの振動チューブは、ＸＺ平面に対して、常に対称な位置関係を保ち続けながら、振動を行う。
【００２６】
両側端部から等距離にあるｂｂ断面では、振動チューブ１８，１９は、その位置を変わらずに、基準軸１４、１５の周りの回転振動のみを行う。
図４に示したように、振動チューブ１８，１９は常に基準軸から所定距離の円周上あるいはその近傍に位置する。ａａでは基準軸１４，１５から距離Ｒ（ａ）離れた円周上、ｃｃでは基準軸１４，１５から距離Ｒ（ｃ）離れた円周上で振動を行う。
【００２７】
固定端の中心面であるｂｂでは、Ｒ（ｂ）＝０となり、位置を変えずに回転振動のみを行うことになる。
振動チューブ１８，１９の全長は、円周上を移動しても変化はないので、両端固定端に管軸方向力（Ｆｘ）は働かない。
【００２８】
理想的な円周上振動では、両端固定端には、他の並進方向力Ｆｙ，Ｆｚも加わらず、管軸回りのねじれ成分力（ＦｒｏｔＸ）のみが働く。
また、なお分かりやすくするために、図では、振動の振幅を大きくして表示しているが、大抵のコリオリ質量流量計では、振動振幅はごくわずかである。
【００２９】
振幅が小さい場合、円周上の振動は、図のＹ方向成分のみの単振動に近似できる。
励振器２１，２２や振動検出器２３，２４は、本来ならば、Ｙ方向だけでなく、Ｚ方向成分、あるいは、回転成分にも対応する必要があるが、上記の理由により、通常は、Ｙ方向成分のみの対応品を使用して差し支えない。
【００３０】
両側が固定されている実際の振動チューブ１８，１９では、理想的な円周上振動からは若干ずれが生じ、並進成分の振動絶縁性も完全ではないが、直管に較べると振動絶縁性は優れており、その優位性は揺るがない。
【００３１】
この結果、
振動チューブ１８，１９は円周上を（現実には完全な円周振動は不可能で、円周上近傍を）単振動するので、振動チューブ１８，１９の全長の変化は少ない。
振動チューブ１８，１９チューブの固定端では、基準軸１４，１５回りの回転振動成分が中心になり、固定端では並進成分の力の発生は大幅に抑えられる。
【００３２】
また、２本の振動チューブ１８，１９が対称な方向に振動するので、回転振動成分も支持プレート４１，４２上で打ち消し合い、振動の節を実現でき、外部に振動が漏れるのを防ぐことができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００３３】
具体的に、固定端部に加わる力の６方向成分について考えると以下の通りである。
並進方向力　Ｘ　　円周振動により軸方向力は、ほぼゼロ。
並進方向力　Ｙ　　円周振動で少ない＋２本チューブで打ち消しあう　→ほぼゼロ。
並進方向力　Ｚ　　微小変形では当初から非常に小さい。
【００３４】
回転方向力　ＲｏｔＸ　２本チューブでうち消し合う　→ほぼゼロ。
回転方向力　ＲｏｔＹ　微小変形では当初から非常に小さい。
回転方向力　ＲｏｔＺ　円周振動で少ない＋２本チューブでうち消し合う　→ほぼゼロ。
このように、全ての方向の力をほぼゼロにすることが可能で、振動絶縁性能が高いコリオリ質量流量計が得られる。
【００３５】
更に、点対称なチューブ形状と振動モードを採用することで、振動チューブ１８，１９の重心が、常に、中点２６，２７の中点２５に位置し、重心が移動することが無くなる。
【００３６】
振動系の重心の移動が無くなるので、固定端１２１，１２２，１３１，１３２を通じて、振動が外に漏れ出すのを防ぎ、より一層振動絶縁性を高めることができる。
これらのことから、更に、振動絶縁性を高めることが可能になった。
振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ流量計が得られる。
【００３７】
次に、２本の振動チューブ１８，１９間に、励振器２１，２２と振動検出センサ２３，２４とが固定されることで、ノイズキャンセル効果も期待でき、耐ノイズ性が向上されたコリオリ流量計が得られる。
【００３８】
即ち、振動チューブ１８，１９のそれぞれ上下流のセンサ位置の振動は以下のように表すことができる。
振動チューブ１８においては、
上流側では、Ａｓｉｎωｔ＋Ｃｃｏｓωｔ＋▲１▼
下流側では、−Ａｓｉｎωｔ＋Ｃｃｏｓωｔ＋▲３▼
【００３９】
振動チューブ１９においては、
上流側では、−Ａｓｉｎωｔ−Ｃｃｏｓωｔ＋▲２▼
下流側では、Ａｓｉｎωｔ−Ｃｃｏｓωｔ＋▲４▼
【００４０】
センサ出力においては、
2004117087.tif 000003
【００４１】
上流側２点▲１▼▲２▼に同じノイズＮがのったとき　▲１▼−▲２▼＝０　ノイズはキャンセルされる
下流側２点▲３▼▲４▼に同じノイズＭがのったとき　▲３▼−▲４▼＝０　ノイズはキャンセルされる。
【００４２】
振動チューブ１８と１９は、同じ形状ですぐ隣合わせの位置にあるので、▲１▼と▲２▼、▲３▼と▲４▼のノイズは同等の大きさになることが多く、外部配管等から加わったノイズは効果的にキャンセルされる。
【００４３】
次に、温度変化により振動チューブ１８，１９は熱膨張、圧縮するが、直管と違い、緩やかに曲がっているので、熱による伸縮を吸収しやすい。過度の熱応力が加わることもないので、使用温度範囲を広くすることが可能なコリオリ質量流量計が得られる。
【００４４】
図５は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、励振器２１，２２、あるいは、振動検出センサ２３，２４からのリード線を、中点２６，２７あるいは上流側固定端部１２１，１２２、あるいは、下流側固定端部１３１，１３２を介して外部に取出すようにした実施例である。
【００４５】
即ち、本実施例では、励振器２１，２２、振動検出センサ２３，２４ともに、コイルとマグネットから成る場合を示しており、コイルからは２本のリード線（ケーブル）５１，５２が出ており、それらケーブルは、装置本体外の変換器にまでつながっている。
【００４６】
コイルから出たケーブルは振動チューブ１８，１９に接着剤等で固定される。
ケーブル５１，５２は振動チューブ１８，１９上を、振動チューブ１８，１９の上流端部あるいは下流端部まで這わせ、その箇所で振動チューブ１８，１９から取り出され、ハウジング等の不動構造物に固定される。
【００４７】
別のパターンとしては、ケーブル５３のように、振動チューブ１８，１９の中央付近まで這わせ、その箇所で振動チューブ１８，１９から取り出され、ハウジング等の不動構造物に固定される。
【００４８】
この結果、振動チューブ１８，１９に固定されたケーブルは、振動チューブ１８，１９の振動に伴い一緒に振動する。
振動振幅の大きい場所で、振動チューブ１８，１９を離れ、ハウジング等の不動構造物に接続された場合、ケーブルを伝わって、振動チューブ１８，１９からハウジング等に振動が漏れてしまい、振動絶縁性が悪化する。
【００４９】
振動の節である振動チューブ１８，１９の両側の，上，下流固定端部１２１，１２２，１３１，１３２と、振動チューブ１８，１９の中央付近は、振動の節になっているので、振動振幅がほぼゼロである。
【００５０】
このような場所からケーブルをハウジング等の不動構造物に接続させても、もともとの振動がないので、ケーブルを伝わって、外に振動が漏れることがなくなり、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５１】
特に、上，下流固定端部１２１，１２２，１３１，１３２付近では、並進方向の振動成分だけでなく、振動チューブ１８，１９のねじれ成分も小さいので、より一層、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５２】
図６は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、５５は、第１の振動チューブ１８と、この第１の振動チューブに取り付けられた励振器２１，２２、あるいは、振動検出センサ２３，２４の振動チューブ１８側に取り付けられた部分の重心位置が、第１の振動チューブの中点２６になるように第１の振動チューブに設けられた第１のバランサーである。
【００５３】
５６は第２の振動チューブ１９とこの第２の振動チューブ１９に取り付けられた励振器２１，２２、あるいは、振動検出センサ２３，２４の振動チューブ１９側に取り付けられた部分の重心位置が、第２の振動チューブの中点２７になるように、第２の振動チューブに設けられた第２のバランサーである。
【００５４】
即ち、図１実施例では、振動チューブ１８から見れば、励振器２１，２２や振動検出器２３，２４は振動チューブ１８の片側に集中して固定されていた。
２本の振動チューブ全体で考えれば、重心は全体の中点２５で不動であるが、個々の振動系では重心位置が中央になく、不安定な構造になってしまう。
【００５５】
本実施例においては、振動チューブ１８と、振動チューブ１９を別々に扱い、それぞれの振動系の中で、重心の位置とバランスに着目する。
最初に、振動チューブ１８の支持端４３から支持端４４に至る、チューブ１８とその付属構造物までの振動系Ａについて考える。
【００５６】
図６に示す如く、励振器２１，２２や振動検出センサ２３，２４を構成するコイルやマグネットと同等な質量、モーメントをもつバランサー５５を基準軸１４をはさんで反対側に設置することで、振動チューブ１８とその付属構造物の重心は、常に中点２６上に存在するようにすることができる。
【００５７】
次に、振動チューブ１９の支持端４５から、支持端４６に至る、振動チューブ１９とその付属構造物の振動系Ｂについても同様に、バランサー５６を配置することで、その振動系Ｂの重心を中点２７上に存在するようにすることができる。
【００５８】
この結果、２本の振動チューブ１８，１９全体で振動バランスがとれていれば、それなりに高い振動絶縁性が得られが、個々の振動チューブの振動系のバランスがとれていた方が、より高い振動絶縁性が期待できるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５９】
そして、製造上の問題や、一部異なる部品の使用（片側チューブにはコイル、反対側にはマグネット）によって、２本の振動チューブ１８，１９の振動系を完全に対称で同じものにするのは難しい。
【００６０】
個々の振動系でバランスがとれていれば、その個々の振動系から漏れ出す振動成分を最小限にすることができるので、例え、２つの振動系にアンバランスがあっても、全体での振動の漏れを少なくすることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００６１】
振動バランスを良くして、振動漏れを少なくすることで、更に、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００６２】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
（１）振動チューブは円周上を単振動するので、振動チューブの全長の変化は少ない。
振動チューブチューブの固定端では、基準軸りの回転振動成分が中心になり、固定端では並進成分の力の発生は大幅に抑えられる。
【００６４】
また、２本の振動チューブが対称な方向に振動するので、回転振動成分も支持プレート上で打ち消し合い、振動の節を実現でき、外部に振動が漏れるのを防ぐことができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００６５】
（２）点対称なチューブ形状と振動モードを採用することで、振動チューブの重心が、常に、中点に位置し、重心が移動することが無くなる。
振動系の重心の移動が無くなるので、固定端を通じて、振動が外に漏れ出すのを防ぎ、より一層振動絶縁性を高めることができる。
【００６６】
振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ流量計が得られる。
【００６７】
（３）２本の振動チューブ間に、励振器と振動検出センサとが固定されることで、ノイズキャンセル効果も期待でき、耐ノイズ性が向上されたコリオリ流量計が得られる。
【００６８】
（４）温度変化により振動チューブは熱膨張、圧縮するが、直管と違い、緩やかに曲がっているので、熱による伸縮を吸収しやすい。過度の熱応力が加わることもないので、使用温度範囲を広くすることが可能なコリオリ質量流量計が得られる。
【００６９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
振動の節である振動チューブの両側の，上，下流固定端部と、振動チューブの中央付近は、振動の節になっているので、振動振幅がほぼゼロである。
【００７０】
このような場所からケーブルをハウジング等の不動構造物に接続させても、もともとの振動がないので、ケーブルを伝わって、外に振動が漏れることがなくなり、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００７１】
特に、上，下流固定端部付近では、並進方向の振動成分だけでなく、振動チューブのねじれ成分も小さいので、より一層、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００７２】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
２本の振動チューブ全体で振動バランスがとれていれば、それなりに高い振動絶縁性が得られが、個々の振動チューブの振動系のバランスがとれていた方が、より高い振動絶縁性が期待できるコリオリ質量流量計が得られる。
【００７３】
従って、本発明によれば、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図８】図７の側面図である。
【図９】図７の動作説明図である。
【図１０】図７の動作説明図である。
【符号の説明】
２　　　　フランジ
３　　　　励振器
４　　　　振動検出センサ
５　　　　振動検出センサ
６　　　　ハウジング
１１　　　振動チューブ
１２０　　分岐部
１２１　　上流側固定端部
１２２　　上流側固定端部
１３０　　合流部
１３１　　下流側固定端部
１３２　　下流側固定端部
１４　　　基準軸
１５　　　基準軸
１８　　　振動チューブ
１９　　　振動チューブ
２１　　　励振器
２２　　　励振器
２３　　　振動検出センサ
２４　　　振動検出センサ
２５　　　中点
２６　　　中点
２７　　　中点
４１　　　支持プレート
４２　　　支持プレート
４３　　　支持端
４４　　　支持端
４５　　　支持端
４６　　　支持端
５１　　　リード線
５２　　　リード線
５３　　　リード線
５５　　　バランサー
５６　　　バランサー
Ｆ１　　　軸方向力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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