(57)【要約】【課題】分離流体の分離効率が高く、かつ一回の成形で作製が可能な流体分離フィルタを提供する。【解決手段】セラミック多孔質体からなる支持体２の内部に、一方の端面から対向する他方の端面に貫通するように、複数の主流体流路３ａと複数の分離流体流路３ｂとが設けられ、且つ側面に設けられた開口部４が前記分離流体流路３ｂに接続することを具備することを特徴とし、前記主流体流路３ａと前記分離流体流路３ｂとが交互に配置するように形成されていること、また、前記主流体流路３ａ及び前記分離流体流路３ｂの断面形状が略四角形で、お互いに略平行に配置していることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック多孔質体からなる支持体の内部に、一方の端面から対向する他方の端面に貫通するように、複数の主流体流路と複数の分離流体流路とが設けられ、且つ側面に設けられた開口部が前記分離流体流路に接続することを具備することを特徴とする流体分離フィルタ。
【請求項２】
前記主流体流路と前記分離流体流路とが交互に配置していることを特徴とする請求項１記載の流体分離フィルタ。
【請求項３】
前記主流体流路及び前記分離流体流路の断面形状が略四角形で、お互いに略平行に配置していることを特徴とする請求項１又は２記載の流体分離フィルタ。
【請求項４】
前記主流体流路の断面形状が円であることを特徴とする請求項１又は２記載の流体分離フィルタ。
【請求項５】
前記主流体流路と前記分離流体流路との距離が０．２〜２０ｍｍであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の流体分離フィルタ。
【請求項６】
前記主流体流路の壁面に、分離膜が設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の流体分離フィルタ。
【請求項７】
前記分離膜の平均細孔径が０．２〜１ｎｍであることを特徴とする請求項６記載の流体分離フィルタ。
【請求項８】
前記支持体の平均細孔径が０．０６〜１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の流体分離フィルタ。
【請求項９】
前記支持体が円筒形状で、直径に対する長さの比が１〜１０００であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の流体分離フィルタ。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の流体分離フィルタと、該流体分離フィルタを保持するための容器と、該流体分離フィルタに混合流体を供給するための流体導入口と、前記流体分離フィルタを通過して外部に排出するための排出口と、前記混合流体から分離された分離流体を回収するための分離流体取出口と、前記混合流体と前記分離流体とが混合しないように前記流体分離フィルタの端面に設けられた分離体とを具備することを特徴とする流体分離モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、天然ガスからのＣＯ２回収などに代表される特定のガスを濃縮するプラント、混合溶剤からの特定物質の濃縮するプラント、アルコールからの脱水を行うプラント、水の純度を高める水処理プラントや淡水化プラント、工場排ガスや発電所から酸素や二酸化炭素等の特定ガスの分離を行う装置、食品関係又は医療関係の分離装置、水素ガスと酸素ガスを燃料として発電する燃料電池の酸素分離膜や水素分離膜として好適に使用できる流体分離フィルタ及び流体分離モジュールに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来から、各種の流体が混合された混合流体から特定流体だけを濾過分離するフィルタを始め、触媒担持体や電解隔壁等として多孔質体が用いられているが、安全かつ簡便なことからその適用範囲が拡がり、多孔質体を用いた特定の流体の分離濃縮技術は各種燃焼機関をはじめ、濃縮プラント、水処理プラント、食品工業や医療用機器の流体分離、燃料電池、更には廃棄物処理等の様々な分野において注目されている。
【０００３】
このような多孔質体として、従来は高分子膜が使用されてきたが、近年は耐熱性、耐薬品性に優れたセラミック分離膜が注目されている。特に、最近はオンサイトでガス処理を行うため、小型のセラミック分離モジュールが求められている。
【０００４】
このようなセラミック分離モジュールとして２種類の構造が提案された。第一が有機高分子膜などにおいて一般的に使われている中空糸を多数束ねた中空糸構造であり、第二が板状の支持体に膜を担持させた平板状支持体構造である。
【０００５】
第一の中空糸構造では、例えば、耐食性、耐熱性を有する分離膜を表面に形成したチューブ状のセラミック支持体を複数束ねてフィルタとすることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
第二の平板状支持体構造は、平板状の気体分離膜セルが積層され、気体分離膜セル間にスペーサが設けられて流体の流路が形成され、気体分離膜セルの気体分離膜を透過した流体は、各段毎に取出口部材に集められ、通気孔から回収される（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
しかし、中空糸構造は、単位体積当たりの膜面積を向上させようとすると、チューブ状のセラミック支持体の径を小さくする必要があり、それにより強度が低くなりハンドリング時に破壊されやすいと共に、高圧領域での使用が困難となった。
【０００８】
また、平板状支持体構造も、単位体積当たりの膜面積を向上させるために平板面積を大きくすると反りが発生し、強度低下を招いていた。
【０００９】
そのような背景から、強度を保持したまま膜面積を増大させることを目的として、ハニカム構造（例えば、特許文献３参照）や、ブラウンミラーライト構造の酸化物からなるハニカム緻密体構造（例えば、特許文献４参照）が提案されている。
【００１０】
〔特許文献１〕
特開平１１−１５６１６７号公報
〔特許文献２〕
特開平２−１９８６１１号公報
〔特許文献３〕
特開平１１−１１４３５８号公報
〔特許文献４〕
特開２００１−１０４７４１号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献３のハニカム構造では、成形体の一端が封止されているため、供給された混合流体は、その一部が分離膜を透過し、残留した成分が分離膜付近に滞留するため、分離効率が低下するという問題があった。
【００１２】
また特許文献４のハニカム緻密体構造は、ハニカム構造自体が緻密体であり、酸素イオン分離には高い分離性能を示すが、ガス分離として他のガス分離を行うことは困難である。
【００１３】
さらに、特許文献３においてはプレス成形などにより一回の成形で製品が作られるものの、押し出し成形と比べて製造コストが高くなるという問題があり、特許文献４も、分離流体や供給流体の出入り口に用いられるスリットがハニカム長手方向の一部に設けられているため、押し出し成形で複雑な形状を一度の成形で作製することは困難であり、スリットを作製するためには一端押し出し成形した後、後加工を必要とするため、製造コストが高いという問題があった。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、分離流体の分離効率が高く、かつ一回の押出成形で作製が可能な流体分離フィルタ及び流体分離モジュールを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、多数の流路を支持体内部に形成し、供給する混合流体を一端から多端へ連続的に供給、流通させることで、流体の滞留が発生することなくフィルタ内を流れ、それにより分離効率が高く、また、分離流体をセラミック側面から回収することによって、分離流体の回収効率を高め、かつ一回の押出成形で支持体が作製でき、製造コストを低減可能な流体分離フィルタ及び流体分離モジュールを実現できるという新規な知見に基づく。
【００１６】
即ち、セラミック多孔質体からなる支持体の内部に、一方の端面から対向する他方の端面に貫通するように、複数の主流体流路と複数の分離流体流路とが設けられ、且つ側面に設けられた開口部が前記分離流体流路に接続することを具備することを特徴とするものである。
【００１７】
特に、前記主流体流路と前記分離流体流路とが交互に配置していることが好ましい。これにより支持体内を透過する分離流体の透過抵抗を低減でき、圧力損失による透過流量の低減を抑制できる。
【００１８】
また、前記主流体流路及び前記分離流体流路の断面形状が略四角形で、お互いに略平行に配置していることが好ましい。
【００１９】
さらに、前記主流体流路の断面形状が円であることが、分離膜面積増加、分離効率の向上、機械的強度の増加のために好ましい。
【００２０】
前記主流体流路と前記分離流体流路との距離が０．２〜２０ｍｍであることが好ましい。これにより分離流体の透過抵抗を抑制でき、かつ充分な強度が得られる。
【００２１】
また、前記主流体流路の壁面に、分離膜が設けられていることが、分離膜付近に残留成分が滞留するのを抑制し、分離性能をさらに向上する点で好ましい。
【００２２】
前記分離膜の平均細孔径が０．２〜１ｎｍであることが好ましい。これによりガスを分離する際に、高い分離性能を得ることがえきる。
【００２３】
前記支持体の平均細孔径が０．０６〜１０μｍであることが、分離膜の成膜性及び強度の点で好ましい。
【００２４】
さらに、前記支持体が円筒形状で、直径に対する長さの比が１〜１０００であることが好ましい。これにより、供給流体の分離膜への充分な接触時間を確保でき、分離性能を十分に発揮させることができる。
【００２５】
本発明の流体分離モジュールは、上記の流体分離フィルタと、該流体分離フィルタを保持するための容器と、該流体分離フィルタに混合流体を供給するための流体導入口と、前記流体分離フィルタを通過して外部に排出するための排出口と、前記混合流体から分離された分離流体を回収するための分離流体取出口と、前記混合流体と前記分離流体とが混合しないように前記流体分離フィルタの端面に設けられた分離体とを具備することを特徴とするもので、一回の押出成形で作製が可能な流体分離フィルタを搭載し、分離流体の分離効率が高めることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明を、図を用いて説明する。
【００２７】
本発明の流体分離フィルタ１は、その一例を図１（ａ）に示したように、セラミック多孔質体からなる支持体２と、その内部に設けられた複数の流体流路３とで構成される。そして、流体流路３は、混合流体を流すための主流体流路３ａと分離流体流路３ｂとが複数設けられてなる。
【００２８】
流体分離フィルタ１は、図１（ｂ）に示すように、側面には開口部４が設けられ、分離流体流路３ｂと連結している。
【００２９】
主流体流路３ａと分離流体流路３ｂは、それぞれ複数からなり、交互に配置されていることが好ましい。主流体流路３ａの表面に設けられた分離膜を通過した分離流体流路３ｂを効率良く回収し、外部へ分離流体として取り出すことができる。
【００３０】
また、主流体流路３ａ及び分離流体流路３ｂは、一方の端面７ａから他方の端面７ｂへ貫通するように設けられていることが重要である。このように構造が単純なため、押出成形法等の成形方法を用いて一体成形を行い、低コスト化を容易に達成することができる。
【００３１】
主流体流路３ａの断面形状は、図１（ａ）に示したように、略四角形、即ち略平板形状で、且つお互いに略平行に配置していることが好ましい。また、図１（ａ）には一対の分離流体流路３ｂ間に一つの主流体流路３ａが示されているが、図４に示したように、一対の分離流体流路３ｂ間に複数の三角形、四角形、円形、五角形、六角形等が、並列に設けても良い。これらの形状により、分離特性、製造の容易さに大きな差はなく、使用される環境によって使い分ければ良い。
【００３２】
流体は支持体２の内部を通って、主流体流路３ａから分離流体流路３ｂへ移動するが、その際に特定の流体を分離する手段を備えることが好ましい。即ち、主流体流路３ａの壁面に分離膜６が設けられていることが好ましい。これは、主流体流路３ａの壁面で流体分離が行われるので、壁面との接触面付近には、透過しない流体が残留して濃縮され、薄い濃縮層が形成されるが、流体自身の流れによって濃縮層を除去して境界層の影響を低減し、分離流体の流量低下を抑制することができる。
【００３３】
主流体流路３ａの壁面に形成された分離膜６がピンホールなどの欠陥やクラックがあると、分離特性低下の原因となる。また、流体によっては分離膜６自体が複数の成分を分離するため、つまり特性の成分を効率良く透過させるため、分離膜６の平均細孔径と細孔径分布を制御するのが良い。
【００３４】
具体的には、分離膜６の平均細孔径は、分離される成分とされない成分との組合せにもよるが、気体を分離する場合、０．２〜１ｎｍ、０．２５〜０．９ｎｍ、更には０．３〜０．８ｎｍであることが好ましい。より分子サイズに近い細孔径を有することでさらに分離性能を向上することができる。
【００３５】
分離膜６は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＡｌの少なくとも１種を含むことが好ましい。これらは、酸化物として分離膜６を形成する。これらのうち、１ｎｍ以下の細孔径の作製が容易である観点でＳｉが更に良い。
【００３６】
分離流体流路３ｂは、図２に示したように、一方の端面から対向する他方の端面に貫通するように形成されることが重要である。このように構造が単純なため、押出成形法等の成形方法を用いて一体成形を行い、低コスト化を容易に達成することができる。
【００３７】
分離流体流路３ｂは、支持体２の側面に設けられた開口部４と接続されていることが重要であり、これによって、透過した流体を随時支持体２内部から回収することができる。なお、図２には、端面にシール材を用いて形成した分離体８も図示してある。なお、開口部４が支持体２の側面に、長手方向のほぼ全面に渡って設けられていることが、分離流体の回収速度を高める上で好ましい。
【００３８】
主流体流路３ａと分離流体流路３ｂとの距離ｔが０．２〜２０ｍｍ、特に０．３〜１０ｍｍ、更には０．４〜５ｍｍであることが好ましい。これは、分離流体の透過抵抗を抑制でき、圧力損失をより低減し、また機械的強度を改善するためである。
【００３９】
また、図１に示す分離流体が拡散する主流体流路３ａと分離流体流路３ｂとの距離ｄが分離効率に非常に重要になってくる。距離ｄが短いと機械的強度が弱くなり、高厚領域での使用に適さなくなる。また厚すぎると、体積密度が低下し、多孔質内を拡散する分離流体の透過量低下を招き、分離効率低下の原因となる。そのため面間距離は０．１ｍｍ〜５ｍｍ、特に０．２ｍｍ〜２ｍｍであることが好ましい。
【００４０】
支持体２の形状は、特に限定されるものではないが、流体分離モジュールとして、容器の内部に装填し、接合やパッキンによる漏れ防止のためのシールを容易に行うため、円又は楕円が好ましい。
【００４１】
前記支持体２が円筒形状の場合、直径ｄに対する長さ（全長）Ｌの比Ｌ／ｄが１〜１０００であることが好ましい。断面形状が多角形である場合、対角線の最大長さに対する長さ（全長）の比が１〜１０００であることが好ましい。
【００４２】
混合流体が主流体流路３ａを流れていくうちに、分離膜６を透過する成分がしだいに少なくなって分離能力が低下することを防ぎ、分離膜６の能力を十分に発揮することができる。
【００４３】
支持体２の平均細孔径が０．０６〜１０μｍであることが好ましい。これによって、分離膜６の支持体２上への成膜性が向上する。また、強度も改善することが可能である。
【００４４】
なお、支持体２の表面部の平均細孔径は、例えば水素ガスを他のガスから分離するためには０．２５〜０．６ｎｍ、ＣＯ２とＣＨ４とを分離するためには０．３〜０．８ｎｍ、Ｎ２ガスとＣＦ４ガスとを分離するためには０．３５〜１．０ｎｍの細孔径を有する分離膜６が必要とされるため、それらの細孔径を有する分離膜６が被覆可能な細孔、具体的には０．０６μｍ〜１０．０μｍ、特に０．１μｍ〜２．０μｍ、更には０．１〜１．０μｍに設定することが好ましい。
【００４５】
支持体２の気孔率は、少なくとも１５％以上、特に２０％以上、更には２５％以上であることが好ましい。これにより分離流体の多孔質内での抵抗は低く抑えられ、透過した流体の移動がスムーズとなり分離効率がさらに向上する。
【００４６】
支持体２の材料としては、α−アルミナや安定化ジルコニアを主成分とするセラミックスやシリカ系ガラス（分相ガラス）、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣ等を用いることができるものの、耐熱性が高いこと、容易に作製できること、及び低コストの点でα−アルミナを主成分とするセラミックスが良い。
【００４７】
また、分離膜６を透過した分離流体は支持体２の内部を流れるため、透過速度を高めるため、支持体２内部における気孔率が分離膜６における気孔率よりも大きいことが好ましい。即ち、支持体２の気孔率は、支持体２としての機械強度を保ちつつ大きな透過係数を実現するため、６０％以下、特に５５％以下、さらには５０％以下であることが好ましい。
【００４８】
ここで流体の流れを図３によって説明する。複数の成分からなる混合流体は主流体流路３ａを通り、そのうちの特定成分だけが分離膜６を透過し、支持体２内を拡散して分離流体流路３ｂへ移動する。透過した分離流体は流体分離フィルタ１の側面に設けられた開口部４から出ていく。
【００４９】
混合流体は、主流体流路３ａの表面に設けられた分離膜６と接していれば良く、その流れる方向、流量、或いは流速には特に制限がない。しかし、特定の成分を効率良く透過させるため、混合流体が流動していることが好ましい。
【００５０】
また、混合流体の圧力は、透過速度を高めるため、加圧状態であることが好ましい。具体的には、気体の場合、１．５気圧以上、特に２気圧以上、さらには３気圧以上であることが好ましい。
【００５１】
次に、流体分離フィルタの製造方法について説明する。
【００５２】
まず、支持体を作製するため、所望の原料粉末を混合し、成形する。成形方法としては、プレス成形、押出成形、射出成形、冷間静水圧成形等の公知の成形手段を使用できるが、コストを考慮すると押出成形で作製することが望ましい。このようにして得られた成形体を所望の温度において焼成し、焼結体を得る。なお、所望により、中間層や分離膜の成膜性を向上させる目的で、主流体流路の表面を研磨し、表面を平滑化することもできる。
【００５３】
次に、分離膜を作製する。分離膜は、ゾルゲル法、ＣＶＤ法、スパッタ法などによって作製できるが、製造の容易さでゾルゲル法が好ましい。以下に、ゾルゲル法を用いた場合、特にＳｉを含む分離膜の製造方法を取り上げて説明する。
【００５４】
分離膜の原料としては、トラメトキシシラン、テトラエトキシシラン及びテトラプロポキシシラン等のシリコンアルコキシドを用意する。
【００５５】
この原料を用いて、まず、前駆体ゾルを作製する。即ち、シリコンアルコキシドをアルコール等の溶媒に溶解させ、水を加えて加水分解する。
【００５６】
得られた前駆体ゾルを支持体の主流体流路の表面に塗布し、その後、焼成して分離膜を形成することができる。塗布方法としては、前駆体ゾル流体を流路に流通させる方法、ＣＶＤ法による成膜を用いることが出来る。
【００５７】
焼成温度及び焼成時間に関しては、分離膜の平均細孔径の大きさによって異なるが、ガス分離の場合には、平均細孔径が０．２〜１．０ｎｍ、特に０．３〜０．８ｎｍ、さらには０．４〜０．６ｎｍとなるように上記の焼成条件を調整することが好ましく、これによって分離特性の高い膜の作製ができる。
【００５８】
なお、０．２〜１．０ｎｍの細孔径は、複数のガスからなる混合流体及びガスと流体との混合流体からガスを分離には好適であるが、複数の液体からなる混合流体から特定の液体を分離する場合には、１ｎｍ以上の細孔を有する分離膜を用いるのが良い。
【００５９】
また、焼成においては、分離膜が、支持体表面との界面に反応生成物を生じることがないように焼成条件を制御することが好ましい。
【００６０】
なお、分離膜の厚みが０．０１〜５μｍ、特に０．１〜４μｍ、さらには０．５〜３μｍとなるようにゾルの粒径を調整しておくのが良い。
【００６１】
また、支持体と分離膜との間に中間層を設け、分離膜の密着性を高めることができる。中間層にはチタニア、ジルコニア、アルミナ等を用いることができ、原料としてはこれらのアルコキシドを準備すれば良い。
【００６２】
次に、本発明の流体分離モジュールを、一実施例を用いて説明する。図５に示したように、上記の流体分離フィルタ１０１の端面部に分離体１０２を形成した後、容器１０３の内部に装着し、流体の漏れを防止するために設けられたＯリングからなるパッキン１０４を介してフランジ１０５によって両端を固定した。
【００６３】
一端のフランジ１０５には、流体を供給するための流体導入口１０６と、他端のフランジ１０６には流体分離フィルタ１０１を通過した流体を外部に排出するための排出口１０７とが設けられ、容器１０３には、流体分離フィルタ１０１で分離された分離流体を回収するための分離流体取出口１０８とを備えている。
【００６４】
複数の成分を含む混合流体が、流体導入口１０６から供給され、混合流体が流体分離フィルタ１０１に設けられた複数の主流体流路を流れる際に、混合流体の一部が主流体流路の壁面に形成された分離膜を透過し、支持体の内部を移動して分離流体流路に達し、その後開口部を経由して分離流体取出口１０８から取り出すことができる。
【００６５】
例えば、二酸化炭素（ＣＯ２）とメタン（ＣＨ４）を含む混合ガスを流体導入口１０６から供給し、流体分離フィルタ１０１の主流体流路に導入すると、二酸化炭素が分離膜を選択的に透過し、二酸化炭素を主成分とする分離流体を分離流体取出口１０８から取り出すことができ、また、二酸化炭素の割合が少なくなり、残りの成分の割合が増えた混合ガスが排出口から排出される。
【００６６】
なお、分離流体取出口１０８から得られる分離流体は、特定の成分が高度に濃縮され、実質的に他の成分と分離される。ただし、混合流体の成分と分離する流体の組合せによっては、一度の分離では濃縮率が十分でない場合があるが、その場合には、分離流体をさらに流体分離フィルタを通して分離することによって濃縮率を高めることができる。
【００６７】
ここで、分離膜を透過した分離流体は、分離流体として容器側面に設けられた分離流体取出口１０８から取り出すことが重要である。即ち、流体導入口１０６から導入された混合流体と、流体分離フィルタ１０１で分離された分離流体が混合せずに、分離流体取出口１０８から取り出せるようにシールを注意深く行うことが必要である。
【００６８】
そのため、流体分離フィルタ１０１の端面から分離流体が漏れ出てこないように、分離体１０２を設けるが、その形態及び製造方法は特に制限されるものではないが、作製方法が簡単であるため、シール材を分離体１０２に塗布してこれを固化し、分離流体が分離流体取出口１０８へ流れるようにするのが良い。
【００６９】
シール材は供給流体と分離流体が混合しなければ、所望の形状や材質を使用でき、混合流体の種類、圧力、温度などの環境に応じて、バイトンなどの有機系樹脂、フッ素（Ｆ）を含む有機系の樹脂、Ｓｉゴムの少なくとも１種をシール材として選定すればよい。
【００７０】
また、シール材を用いる代わりに、分離体１０２としてゴム等のパッキンを用い、流体分離フィルタ１０１の端面に一定の圧力を加えてシールしても良い。
【００７１】
さらに、支持体と熱膨張の近いセラミックや金属を支持板として選び、この支持板を接着剤で流体分離フィルタ１０１の端面に固定し、両端面から分離流体が漏れ出ないようにしても良い。
【００７２】
このように混合流体と分離流体との混合を防止することで、透過した流体の取り出し効率が向上し、透過した流体が滞留しにくいため、分離効率を向上することができる。
【００７３】
主流体流路と分離流体流路との距離ｔは小さいため、機械的損傷を防止するため、図２に示したように、分離流体流路３ｂの端面付近にシール材８を充填するのが好ましい。混合流体の圧力が高い場合、分離流体流路３ｂの空間を潰す方向に応力が加わるが、シール材８が分離流体流３ｂ路の一部に充填され補強することで、空間を保持し、クラックや破壊を抑制することができる。
【００７４】
本発明の流体分離モジュールは、高い耐圧性も示すため、高圧で用いられる天然ガスからのＣＯ２分離や石油コンビナート等の石油化学プロセスにも好適に用いることができる。
【００７５】
【実施例】
純度９９．９％、平均粒径０．１μｍのアルミナ粉末に対し、所定量の有機バインダ、潤滑剤、可塑剤及び水を添加、混合し、押し出し成形した後、大気中で１３００℃にて焼成して、表１に示す形状で、気孔率３９％を有するα−アルミナ質焼結体からなる円筒状支持体を作製した。この支持体の外表面を表面粗さＲａが０．３μｍ以下となるように研磨した。
【００７６】
次に、分離膜を作製した。即ち、金属アルコキシドの金属がＴｉ、Ｚｒ及びＡｌの試料は、金属アルコキシド１モルに対して、水１モル及びＨＣｌを含むエタノール溶液を添加、混合した。
【００７７】
また、金属がＳｉの場合には、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）１モルに対して、水１モルおよびＨＣｌを含むエタノール溶液を添加、混合して部分加水分解ゾルを作製し、金属アルコキシドのエタノール溶液を金属アルコキシドが１モルとなるように添加し、窒素気流下で攪拌し、複合アルコキシドを作製した。
【００７８】
次に、得られた溶液に対し、水９．３モルとエタノールの混合溶液を添加し加水分解して、攪拌し、前駆体ゾルを作製した。成膜方法は中間層の形成と同様の方法で、分離膜を表面に形成し流体分離フィルタを得た。作製された分離膜の膜厚、平均細孔径を中間層と同様の手法で測定した。その結果膜厚は０．２μｍで、平均細孔径は、０．４ｎｍであった。
【００７９】
得られた流体分離フィルタの端面の主流体流路以外の部位をガラスシールで目張りし、分離流体が漏れ出ないようにした。その際に、ガラスシールの一部が分離流体流路の内部に３〜１０ｍｍ程度入り込ませて補強した。
【００８０】
次いで、支持板を両端面に取り付け、容器内に装填して図５に示した流体分離モジュールを作製した。なお、流体分離フィルタの外形及び長さ、その比、主流体流路の形状を表１に示したが、主流体流路の平板とは、図１（ａ）の端面に示されたように、分離流体流路間に一つの主流体流路が設けられ、その断面形状が略平板形状（略四角形）であるものを言う。また、円、正方形、長方形、六角形、八角形、楕円は、図４に示した形状で、分離流体流路間に複数の主流体流路が設けられ、各形状が表に示されたものを言う。
【００８１】
また、主流体流路と分離流体流路との距離ｔを端面において測定し、支持体及び分離膜の平均細孔径は、焼成を終了したときの酸化物膜の平均細孔径をアルゴン吸着法により求めた。
【００８２】
この流体分離モジュールを用いて、二酸化炭素とメタン混合ガスの分離実験を行った。流体分離フィルタに５０ｍｏｌ％の二酸化炭素を含む二酸化炭素／メタン混合ガスを圧力２００ｋＰａ（２．０気圧）にて表１に示す流速で流し、透過ガス排出口で回収されるガスについて、透過流量を測定し、その濃度をガスクロマトグラフ（島津製作所製：ＧＣ−８Ａ）、カラム充填材（ＧＬサイエンス社製：Ａｃｔｉｖｅ  Ｃａｒｂｏｎ）にて供給側、透過側の濃度分析を行い、二酸化炭素ガス、メタンガスの透過量／（膜面積×差圧×時間）で表される透過率及び透過率比を算出した。結果を表１に示した。
【００８３】
【表１】
2004290838.tif 000003
【００８４】
本発明の試料Ｎｏ．１〜２４は、透過率比が１９．５以上と高かった。
【００８５】
【発明の効果】
本発明は、多数の主流体流路を支持体内部に形成し、混合流体を主流体として一端から多端へ連続的に流れるように供給することで、主流体の一部が分離膜を透過して分離流体流路、開口部から外部に分離され、且つ主流体の残部が主流体流路の内部で滞留することなく流れるため、分離効率が高く、また、分離流体をセラミック側面から容易に回収でき、その回収効率を高め、また、一回の押出成形で支持体が作製できる構造を有するため、製造コストを低減することが可能な流体分離フィルタ及び流体分離モジュールを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流体分離フィルタの構造を示すもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）は側面図である。
【図２】本発明の流体分離フィルタで、図１（ａ）におけるＡ−Ａ’方向の概略断面図である。
【図３】本発明の流体分離フィルタの部分拡大図で、流体の流れを示したものである。
【図４】本発明の他の流体分離フィルタを示すもので、端面における側面図であり、主流体流路が（ａ）は三角形、四角形及び六角形、（ｂ）は円である。
【図５】本発明の流体分離フィルタの構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
２・・・支持体
３・・・流体流路
３ａ・・・主流体流路
３ｂ・・・分離流体流路
４・・・開口部
６・・・分離膜
１０１・・・流体分離フィルタ
１０２・・・分離体
１０３・・・容器
１０４・・・パッキン
１０５・・・フランジ
１０６・・・流体導入口
１０７・・・排出口
１０８・・・分離流体取出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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