(57)【要約】【課題】断熱材の施工の容易化を図るとともに製造コストの低減を図り、省スペース化した冷却液循環装置を得る。【解決手段】低温タンク４から循環ポンプ２に吸込まれた冷却液を、循環ポンプ２によって被冷却物及び冷凍機に供給し、被冷却物を冷却した冷却液及び冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンク４に戻すようにした冷却液循環装置において、循環ポンプ１の吐出口にリリーフ弁６を接続し、冷凍機戻り配管１７に流量調整弁３を接続し、循環ポンプ１の吸込み口にフィルタ５を接続するとともに、循環ポンプ１と流量調整弁３とフィルタ５とリリーフ弁６のうちいずれか一つあるいは任意の複数を低温タンク４内に設けた。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、前記被冷却物を冷却した冷却液及び前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻すようにした冷却液循環装置であって、前記循環ポンプを前記低温タンクの内部に設けたことを特徴とする冷却液循環装置。
【請求項２】
冷却液の流路に１つの弁又は２つ以上の弁を設け、該１つの弁又は２つ以上の弁のうちいずれか１つの弁あるいは任意の複数の弁を前記低温タンクの内部に設けたことを特徴とする請求項１の冷却液循環装置。
【請求項３】
低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、前記被冷却物を冷却した冷却液及び前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻すようにした冷却液循環装置であって、冷却液の流路に１つの弁又は２つ以上の弁を設け、該１つの弁又は２つ以上の弁のうちいずれか１つの弁あるいは任意の複数の弁を前記低温タンクの内部に設けたことを特徴とする冷却液循環装置。
【請求項４】
前記冷却液の流路に設けられる１つの弁又は２つ以上の弁が、流量調整弁及びリリーフ弁のうちいずれか一方の弁あるいはその両方の弁であることを特徴とする請求項２ないし３のいずれかの冷却液循環装置。
【請求項５】
冷却液の流路にフィルタを設けるとともに、該フィルタを前記低温タンクの内部に設けたことを特徴とする請求項１ないし４いずれかの冷却液循環装置。
【請求項６】
低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、前記被冷却物を冷却した冷却液及び前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻すようにした冷却液循環装置であって、冷却液の流路にフィルタを設けるとともに、該フィルタを前記低温タンクの内部に設けたことを特徴とする冷却液循環装置。
【請求項７】
低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、前記被冷却物を冷却した冷却液及び前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻すようにした冷却液循環装置であって、前記循環ポンプの吐出口にリリーフ弁を接続し、前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻す流路に流量調整弁を接続し、循環ポンプの吸込み口にフィルタを接続するとともに、前記循環ポンプと流量調整弁とフィルタとリリーフ弁を前記低温タンク内に設けたことを特徴とする冷却液循環装置。
【請求項８】
冷却液を冷却するための冷凍機と、前記冷却液を被冷却物へ循環させる冷却液循環装置と、前記被冷却物における結露を防止するための乾燥空気発生装置と、電気制御装置とを冷却ユニット筐体に配置した冷却ユニットにおいて、前記冷却液循環装置として請求項１ないし７に記載の冷却液循環装置を採用し、前記冷凍機の後方に前記冷却液循環装置と前記乾燥空気発生装置を冷却ユニットの幅方向に並べて配置したことを特徴とする冷却ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被冷却物である、例えば、半導体素子の電気試験（機能試験）に用いられるウエハープローバのウエハーチャックを冷却するための冷却液循環装置及び該冷却液循環装置を用いた冷却ユニットに関し、特に冷却液循環装置に設けた低温タンクの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣなど、ほとんどの半導体素子はシリコンウエハー上に作られている。１つの機能を持った半導体素子は、シリコンウエハーから切り出される前に、最終的な電気試験（機能試験）が行われ、その特性が計られ、良否の判定が行われる。試験ではウエハープローバ（ウエハーの移動と加熱または冷却の温度調節を行う装置）と呼ばれる装置が使われている。ウエハープローバ内部には平面内に精密に移動可能なテーブル（Ｘ−Ｙテーブルと呼ばれる）があり、テストするウエハーを乗せるウエハーチャックは、このテーブルに取り付けられている。低温における半導体素子の特性測定では、ウエハーチャックを低温（例えば、一５５℃程度）に冷やす。
【０００３】
ウエハーチャック冷却用冷却ユニットは、冷却液（冷媒）を冷やすための冷凍機と、冷却液をウエハーチャックヘ循環させる冷却液循環装置と、ウエハープローバ内部でウエハーチャックの結露を防止するための乾燥空気発生装置（エアドライヤー）と、冷却ユニット全体の制御をする電気制御装置とから構成されている。
【０００４】
図５に従来のウエハーチャック冷却用冷却ユニット（以下、「冷却ユニット」という）及びその冷却液循環装置Ｂ’を示す。該冷却液循環装置Ｂ’は、循環ポンプ１０２、フィルタ１０５、流量調整弁１０３、リリーフ弁１０６、予備タンク１０４、冷却液出口接続口１０７、冷却液入口接続口１０８、冷凍機入口接続口１０９、冷凍機出口接続口１１０とそれらの各機器を接続する配管（循環ポンプ吸込み側配管１１１、循環ポンプ吐出側配管１１２、リリーフ配管１１３、冷却液往き配管１１４、冷却液戻り配管１１５、冷凍機往き配管１１６、冷凍機戻り配管１１７、冷却液補給配管１１９等。）で構成されている。これら冷却液循環装置Ｂ’を構成する各機器は、図５に示すように、冷却ユニット筐体１０１に個別に設けられている。フィルタ１０５は循環ポンプ吸引側配管１１１に設けられ、流量調整弁１０３は冷凍機往き配管１１６に設けられ、リリーフ弁１０６はリリーフ配管１１３に設けられている。予備クンク１０５は、冷却液が常温時と低温時で比重が変わる為、冷却液の液が不足するのを防止するために設置されている。
【０００５】
循環ポンプ１０２から吐出された冷却液（不凍液からなる冷媒）は、ポンプ吐出配管１１２、冷凍機往き配管１１６、冷凍機入口接続口１０８、冷凍機側接続配管（図示せず）を順次通って冷凍機Ａ’に供給される。冷凍機Ａ’に供給された冷却液は、冷凍機Ａ’を通過し、熱交換器（図示せず）によって冷却される。冷却された冷却液は、冷凍機Ａ’の中を通り、次いで冷凍機側接続配管（図示せず）、冷凍機出口接続口１１０を順次通り、さらに冷凍機戻り配管１１７、流量調整弁１０３を順次通って、フィルタ１０５へ戻される。このフィルタ１０５へ戻った冷却液は循環ポンプ１０２の吸込み口に戻り、吐出側からさらに吐出される。この循環により冷却液は冷却される。また、循環ポンプ１０２から吐出された冷却液は、ポンプ吐出配管１１２、冷却液往き配管１１４、冷却液出口接続口１０７、ウエハープローバ側接続ホース（図示せず）を順次通ってウエハーチャック（図示せず）に供給される。ウエハーチャックに供給されてウエハーチャックを冷却した冷却液は、ウエハープローバ側接続ホース（図示せず）、冷却液入口接続口１０８、冷却液戻り配管１１５を順次通ってフィルタ１０５戻される。なお、図５に示した矢印は冷却液の流れ方向を示す。
【０００６】
なお、図５において、符号１０２ａは循環ポンプ本体、符号１０２ｂは循環ポンプ駆動モータ、符号１０３ａは流量調整弁本体、符号１０３ｂは流量調整弁駆動部、符号１０４ａは予備タンクの冷却液補給口、符号１０４ｂは予備タンクのレベル表示器、符号１０４ｃは予備タンクのレベル計、符号１１８はオイルパン、符号１１８ａはオイルパンに設けたドレン弁、１２０は冷却液接続口支持金具である。
【０００７】
循環ポンプ本体１０２ａ、流量調整弁本体１０３ａ、リリーフ弁１０６、冷却液出口接続口１０７、冷却液入口接続口１０８、冷凍機入口接続口１０９、冷凍機出口接続口１１０等の各機器及びこれら各機器を結ぶ配管は低温になるので、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために断熱材で覆われている。なお、図５に示す二点鎖線は断熱材で覆われる部分を模式的に示す。
【０００８】
このように構成された冷却液循環装置Ｂ’を用いたウエハーチャック冷却用冷却ユニットの配置を図６に示す。該ウエハーチャック冷却用冷却ユニットは、冷凍機Ａ’と、冷却液循環装置Ｂ’と、乾燥空気発生装置Ｃ’と、電気制御装置Ｄ’とから構成され、キャスター１０１ａ付きの冷却ユニット筐体１０１に組み込まれている。冷却液循環装置Ｂ’と乾燥空気発生装置Ｃ’は、冷却ユニット筐体１０１の前後方向（図６における左右方向）において、冷凍機Ａ’を挟んでそれぞれ配置されている。電気制御装置Ｄ’は、図１に示すように、冷却液循環装置Ｂ’の上方に配置されている。
このような冷却ユニットに関連する先行技術文献としては、後述する特許文献１がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開平２００２−１３０９１６号公報（第３頁３欄２６行〜第３頁４欄２１行、図１）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
冷却液循環装置は、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために冷却液循環装置を構成する機器及び各機器を接続する配管を断熱材で覆う必要があるが、従来の冷却液循環装置は、各機器が別個に配置され、また、各機器を接続する配管の全長も長くなるため、多量の断熱材を必要としていた。また、各機器が別個に配置され、その間に断熱材が存在するため、各機器を離れて配置せざるを得なかった。そのため、従来の冷却液循環装置は、図５に示すように、膨大な構成スペースを必要とするという問題があった。また、多量の断熱材及び配管を必要とするため、断熱材の施工が容易でなく、コスト的にも問題があった。
【００１１】
さらに、従来の冷却液循環装置を冷却ユニットに組み込んだ場合、該冷却ユニットの前後方向に、乾燥空気発生装置と冷凍機と冷却液循環装置とを並べて配置する必要があり、冷却ユニット全体のフットプリント（設置スペース）が大きくなるという問題もあった。
【００１２】
本発明の目的は、冷却液循環装置を構成する各機器をコンパクトに配置するとともに各機器を接続する配管の全長を短くし、かつ断熱材の使用量を少なくして、省スペース化した冷却液循環装置を得ることにある。また、本発明の目的は、断熱材の施工の容易化を図るとともに製造コストの低減を図ることにある。さらに、本発明の目的は、冷却液循環装置が組み込まれる冷却ユニット全体のフットプリント（設置スペース）を小さくすることにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、被冷却物を冷却した冷却液及び冷凍機によって冷却された冷却液を低温タンクに戻すようにした冷却液の流路を有する冷却液循環装置において、循環ポンプを低温タンクの内部に設けたものである。
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記冷却液の流路に１つの弁又は２つ以上の弁を設け、該１つの弁又は２つ以上の弁のうちいずれか１つの弁あるいは任意の複数の弁を低温タンクの内部に設けたものである。
【００１４】
請求項３の発明は、前記冷却液の流路に１つの弁又は２つ以上の弁を設け、該１つの弁又は２つ以上の弁のうちいずれか１つの弁あるいは任意の複数の弁を低温タンクの内部に設けたものである。
請求項４の発明は、請求項２、３の発明において、冷却液の流路に設けられる１つの弁又は２つ以上の弁として、流量調整弁及びリリーフ弁のいずれか１つあるいはその両者を採用したものである。
請求項５の発明は、請求項１ないし４の発明において、前記冷却液の流路にフィルタを設け、該フィルタをさらに低温タンクの内部に設けたものである。
【００１５】
請求項６の発明は、前記冷却液の流路にフィルタを設け、該フィルタを低温タンクの内部に設けたものである。
請求項７の発明は、前記循環ポンプの吐出口にリリーフ弁を接続し、前記冷凍機によって冷却された冷却液を前記低温タンクに戻す流路に流量調整弁を接続し、循環ポンプの吸込み口にフィルタを接続するとともに、前記循環ポンプと流量調整弁とフィルタとリリーフ弁を前記低温タンク内に設けたものである。
【００１６】
請求項８の発明は、冷却液を冷却するための冷凍機と、冷却液を被冷却物へ循環させる冷却液循環装置と、前記被冷却物における結露を防止するための乾燥空気発生装置と、電気制御装置とを１つのフレーム内に配置した冷却ユニットにおいて、冷却液循環装置として請求項１ないし７の発明の冷却液循環装置を採用し、前記冷凍機の後方に前記冷却液循環装置と前記乾燥空気発生装置を冷却ユニットの幅方向に並べて配置したものである。
【００１７】
【発明の効果】
請求項１、４乃至７の発明は、低温タンクから循環ポンプに吸込まれた冷却液を、循環ポンプによって被冷却物及び冷凍機に供給し、被冷却物を冷却した冷却液及び冷凍機によって冷却された冷却液を低温タンクに戻すような冷却液循環回路を採用するとともに、冷却液循環装置の機器を構成する循環ポンプ、流量調整弁、フィルタ及びリリーフ弁のうち、いずれか一つの機器あるいは任意の複数の機器を低温タンク５内に配置したため、冷却液循環装置を構成する各機器及びこれらを接続する各配管を、低温タンク４内部も含め低温タンク４まわりにコンパクトに纏めて配置することができる。そのため、各機器及び配管に施される断熱材及び配管の量を、従来の冷却液循環装置に較べ、大幅に低減することができ、断熱材の施工を容易にするとともに製造コストを低減でき、かつ、冷却液循環装置を省スペース化することができた。
【００１８】
特に，請求項７の発明では、循環ポンプの吐出口にリリーフ弁を接続し、循環ポンプの吸込み口にフィルタを接続したため、配管をより簡単にすることができる。また請求項２、３の発明のように、冷却液循環装置に採用される弁として、流量調整弁及びリリーフ弁に限らず適当な弁を採用しても、請求項１、４乃至７の発明と同様の効果を奏する。
【００１９】
請求項８の発明は、冷却ユニット組み込まれる冷却液循環装置として請求項１乃至７の冷却液循環装置を採用し、冷却ユニットの長さ方向における冷凍機Ａの後方に、冷却液循環装置と乾燥空気発生装置とを冷却ユニットの幅方向に並べて配置するようにしたため、乾燥空気発生装置と冷凍機と冷却液循環装置を前後方向に順次配置した従来の冷却ユニットに較べ、乾燥空気発生装置の前後方向の長さの分だけ冷却ユニットの前後方向の長さを短くすることができ、冷却ユニット全体のフットプリント（設置スペース）を大幅に減少することができた。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１乃至３を参照して、本発明による冷却液循環装置の一実施の形態について説明する。冷却液循環装置Ｂは、冷凍機Ａで冷却された冷却液（冷却液）を循環させて、ウエハープローバのウエハーチャック（被冷却物。図示せず）を冷却するものであり、キャスター１ａ付きの冷却ユニット筐体１に組込まれている。
【００２１】
冷却液循環装置Ｂは、ポンプ本体２ａ及びポンプ駆動モータ２ｂとから構成された循環ポンプ２と、流量調整弁本体３ａ及び弁駆動部３ｂとから構成された流量調整弁３と、冷却液を収容する低温タンク４と、循環ポンプ２の吸込み側に設けられたフィルタ５と、循環ポンプの吐出側に設けられたリリーフ弁６と、冷却液をウエハーチャックに供給するウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液出口接続口７と、ウエハーチャックを冷却した冷却液を冷却液循環装置Ｂに戻すウエハープローバ側接続ホース（図示せず）が接続される冷却液入口接続口８と、冷却液を冷凍機Ａに供給する冷凍機側接続配管が接続される冷凍機入口接続口９と、冷凍機Ａで冷却された冷却液を冷却液循環装置Ｂに戻す冷凍機側接続配管が接続される冷凍機出口接続口１０を備えている。
【００２２】
循環ポンプ２、流量調整弁３、低温タンク４、フィルタ５、リリーフ弁６、冷却液出口接続口７、冷却液入口接続口８、冷凍機入口接続口９、冷凍機出口接続口１０は、冷却液循環装置Ｂの各機器を構成している。なお、循環ポンプ２として歯車ポンプが図示されているが、冷却液を循環させることができるものであればどのような形式のポンプであってもよい。
【００２３】
冷却液循環装置Ｂの各機器を構成する機器のうち、循環ポンプ２のポンプ本体２ａと、流量調整弁３の弁本体３ａと、フィルタ５と、リリーフ弁６は、図２に示すように、冷却ユニット筐体１のリアカバー１ｂに近接して配置された低温タンク４の内部に設けられている。これら低温タンク４内に設けられる機器は、低温タンク４の設置スペース、後述する配管等を考慮して配置される。図３に示す低温タンク４内の配置では、フィルタ５が、循環ポンプ２のポンプ本体２ａの横（図３における左右方向）に並べて配置されている。リリーフ弁６は、循環ポンプ２のポンプ本体２ａの前方に（図３における前後方向）に配置されている。フィルタ５とリリーフ弁６は循環ポンプ２のポンプ本体２ａに近接して配置されている。また、流量調整弁３の弁本体３ａは、フィルタ５の斜め前方に近接して配置されている。このように配置することによって、低温タンク４の設置スペースをコンパクトにすることできる。
【００２４】
冷却液出口接続口７と冷却液入口接続口８は、冷却ユニット筐体１のリヤカバー１ｂに取り付けられた冷却液接続口取付部材２１に、冷却液出口接続口７の軸心と循環ポンプ２の吐出口１２の軸心が一致するように設けられている。冷凍機入口接続口９と冷凍機出口接続口１０は、低温タンク４より上方に設けられている。
【００２５】
なお、図１乃至３において、符号４ａは低温タンク４の冷却液補給口、符号４ｂは低温タンク４の液面を表示するレベル表示器、符号４ｂ１はレベル表示器４ｂの接続配管、４ｂ２は、レベル表示器接続口、符号１８は冷却液循環装置Ｂから漏れた液体を回収するオイルパン、符号１９はポンプ取付部材、符号２０は低温タンク取付部材、２０ａは低温タンク取付部材１８の取付ボルト・ナットである。なお、図示していないが、低温タンク４には、従来の冷却液循環装置Ｂ’と同様、低温タンク４の液面を計測するレベル計が設けられ、オイルパン１８には、ドレン弁が設けられている。
【００２６】
このように構成された冷却液循環装置Ｂの各機器は、各配管により接続されている。循環ポンプ２の吸込み口１１には、フィルタ５が接続されている。循環ポンプ２の吐出口１２には、リリーフ弁６が接続されるとともにポンプ吐出配管１３が接続されている。ポンプ吐出配管１３には、継手１３ａを介して、冷却液出口接続口７に接続される冷却液往き配管１４と、冷凍機入口接続口９に接続される冷凍機往き配管１６が接続されている。冷却液入口接続口８は、冷却液戻り配管１５を介して低温タンク４に接続され、冷凍機出口接続口１０は、冷凍機戻り配管１７を介して低温タンクに接続されている。流量調整弁３は冷凍機戻り配管１７に接続されている。ポンプ吐出配管１３と冷却液往き配管１４と冷却液戻り配管１５は、冷却液出口接続口７及び冷却液入口接続口８が循環ポンプ２に近接して設けられているため、非常に短い配管となっている。
【００２７】
また、冷却液循環装置Ｂの機器及び配管は低温になるため、結露及び外部からの熱侵入を防ぐために断熱材で覆われている。図１乃至３の二点鎖線は、本実施の形態において断熱材が施される部分を模式的に示したものである。断熱材は、低温タンク４の外表面と、冷却液出口接続口７と、冷却液入口接続口８と、ポンプ吐出配管１３と、冷却液往き配管１４と、冷却液戻り配管１５と、冷凍機往き配管１６と、冷凍機戻り配管１７のうち低温タンク４の外にある部分と、レベル表示器４ｂの接続配管４ｂ１等に施されている。
【００２８】
冷却液循環装置Ｂを構成する各機器及びこれらを接続する各配管は、冷却液循環装置Ｂをコンパクト、かつ小さな構成スペースとするため、低温タンク４内部を含め低温タンク４まわりに纏めて配置されている。
【００２９】
このように構成された冷却液循環装置Ｂの冷却液は次のように流れる。なお、図１、３に図示した矢印は冷却液の流れ方向を示す。低温タンク４内に内蔵された冷却液はフィルタ５を介して循環ポンプ２に吸い込まれ、循環ポンプ２によって吐出される。吐出された冷却液は、ポンプ吐出配管１３、冷凍機往き配管１６、冷凍機入口接続口９、冷凍機側接続配管を順次通って冷凍機Ａに供給される。冷凍機Ａに供給された冷却液は、冷凍機Ａを通過し、熱交換器（図示せず）によって冷却される。冷却された冷却液は、冷凍機の中を通り、次いで冷凍機側接続配管、冷凍機出口接続口１０を順次通り、さらに冷凍機戻り配管１７、流量調整弁３を順次通って、低温タンクに４内へ戻される。また、循環ポンプ２から吐出された冷却液は、ポンプ吐出配管１３、冷却液往き配管１４、冷却液出口接続口７、ウエハープローバ側接続ホースを順次通ってウエハーチャックに供給される。ウエハーチャックに供給されてウエハーチャックを冷却した冷却液は、ウエハープローバ側接続ホース、冷却液入口接続口８、冷却液戻り配管１５を順次通って低温タンク４内に戻される。
【００３０】
流量調整弁３は、冷凍機Ａに供給される冷却液の流量を調節することによって、ウエハーチャックに供給される冷却液の流量を制御するとともに、ウエハーチャックに供給される冷却液の温度を制御する。リリーフ弁６は、循環ポンプ２によって吐出される冷却液の圧力を一定に保つように機能する。
【００３１】
このように構成された本発明の実施の形態の冷却液循環装置Ｂでは、冷却液を内蔵するタンクを従来のような予備タンクの構成としないで、冷却液の循環回路中に設けた低温タンク４の構成とし、低温タンク４から循環ポンプ２に吸込まれた冷却液を、循環ポンプ２によってウエハーチャック及び冷凍機Ａに供給し、ウエハーチャックを冷却した冷却液及び冷凍機Ａによって冷却された冷却液を低温タンク４に戻すような冷却液循環回路を構成し、この低温タンク４内に循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６を配置したことによって、低温タンク４内の配管が簡素になるとともに、低温タンク４の外表面に断熱材の施工を行えば、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５、リリーフ弁６に断熱材を施す必要がない。さらに、冷却液出口接続口７及び冷却液入口接続口８を循環ポンプ２の吐出口１２の近傍に設けることが可能となり、冷却液往き配管１４及び冷却液戻り配管１５の長さを可及的に短くすることができる。このため、断熱材を施す機器及び配管が少なくなり、断熱材の施工を容易にし、製造コストを低減することができる。
【００３２】
また、本発明の実施の形態の冷却液循環装置Ｂは、冷却液循環装置Ｂを構成する各機器及びこれらを接続する各配管が、低温タンク４内部も含め低温タンク４まわりに纏めて配置されており、しかも、断熱材を施す機器及び配管が少ないため、断熱材によって占められるスペースを小さくすることができるので、冷却液循環装置Ｂ全体の省スペース化が可能となり、従来の冷却液循環装置のように広い構成スペースを必要としない。そのため、後述するように、冷却液循環装置Ｂが組み込まれる冷却ユニット全体のフットプリント（設置スぺース）を小さくすることができる。
【００３３】
なお、前記実施の形態では、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６を低温タンク５に内蔵したものを示したが、本発明はこれに限定されない。低温タンク４の大きさを考慮して、循環ポンプ２、流量調整弁３、フィルタ５及びリリーフ弁６の各機器のうち、一つの機器あるいは任意の複数の機器を内蔵するようにしてもよい。その組み合わせは自由であるが、少なくとも構成スペースの大きな循環ポンプ２を内蔵する形態が好ましい。なお、フィルタ５は必ずしも設ける必要はない。また、流量調整弁３あるいはリリーフ弁６に換えて他の適宜の弁を設けるようにし、これらを低温タンク４内に内蔵させるものであってもよい。
【００３４】
次に、図１、２、４に基づいて、本発明の冷却液循環装置Ｂを組み込んだウエハーチャック冷却用冷却ユニット（以下、「冷却ユニット」という）の発明の実施の形態について説明する。なお、図１はリヤカバー１ｂをとり外した冷却ユニットの背面図、図２は冷却ユニットの片側側断面図、図４は配置図である。冷却ユニットは、冷却液を冷却する冷凍機Ａと、冷却液を循環させる冷却液循環装置Ｂと、ウエハーチャックにおける結露を防止するための乾燥空気発生装置Ｃと、冷却ユニット全体を制御する電気制御装置Ｄから構成されている。これら冷凍機Ａ、冷却液循環装置Ｂ、乾燥空気発生装置Ｃ、電気制御装置Ｄは、キャスター１０１ａ付きの冷却ユニット筐体１に組み込まれている。なお、冷却ユニット筐体１の幅方向（図１における左右方向）の長さは、冷凍機Ａの幅方向の長さによって規定されている。
【００３５】
冷却液循環装置Ｂは、冷却ユニット筐体１の前後方向（図２、４における左右方向）において冷凍機Ａの後方に配置され、冷却ユニット筐体１の幅方向（図１における左右方向）おいてその一端側（図１における左側）に配置されている。本発明の冷却液循環装置Ｂは、前記したように省スペース化され、広い構成スペースを必要としないため、冷却液循環装置Ｂの幅は、冷凍機Ａの幅に較べ大幅に小さくなっている。その結果、冷却液循環装置Ｂを冷却ユニット筐体１の幅方向の一端側に配置した場合、冷却ユニット筐体１には、冷却液循環装置Ｂの側方（図１における右側）に大きなスペース１ｃが生じる。本発明は、冷却液循環装置Ｂの側方に生じるこのスペース１ｃに乾燥空気発生装置Ｃを組み込んでいる。すなわち、冷却液循環装置Ｂと乾燥空気発生装置Ｃは、図１に示すように、冷却ユニットの幅方向に並べて配置された構成とされている。電気制御装置Ｄは、冷凍機Ａ、冷却液循環装置Ｂ及び乾燥空気発生装置Ｃの上方位置で、冷却ユニット筐体１に組み込まれている。
【００３６】
このように構成された冷却ユニットは、冷却ユニットの長さ方向における冷凍機Ａの後方に、冷却液循環装置Ｂと乾燥空気発生装置Ｃとを冷却ユニットの幅方向に並べて配置することができるため、乾燥空気発生装置と冷凍機と冷却液循環装置を前後方向に順次配置した従来の冷却ユニットに較べ、乾燥空気発生装置の前後方向の長さの分だけ冷却ユニットの前後方向の長さを短くすることができ、冷却ユニットのフットプリント（設置スペース）を大幅に減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の冷却液循環装置を備えた冷却ユニットの背面図。
【図２】図１の片側側断面図
【図３】本発明の低温タンクの平断面図。
【図４】本発明の冷却ユニットの配置図
【図５】従来の冷却液循環装置及び冷却ユニットの背面図
【図６】従来の冷却ユニットの配置図
【符号の説明】
Ａ・・冷凍機    Ｂ・・冷却液循環装置    Ｃ・・乾燥空気発生装置    Ｄ・・電気制御装置    １・・冷却ユニット筐体    ２・・循環ポンプ    ２ａ・・ポンプ本体    ２ｂ・・ポンプ駆動モータ    ３・・流量調整弁    ３ａ・・弁本体    ３ｂ・・弁駆動部    ４・・低温タンク    ５・・フィルタ    ６・・リリーフ弁    ７・・冷却液出口接続口    ８・・冷却液入口接続口    ９・・冷凍機入口接続口  １０・・冷却器出口接続口    １１・・ポンプ吸引口    １２・・ポンプ吐出口    １３・・ポンプ吐出配管    １４・・冷却液往き配管    １５・・冷却液戻り配管    １６・・冷凍機往き配管    １７・・冷凍機戻し配管    １８・・オイルパン    １９・・ポンプ取付部材    ２０・・低温タンク取付部材
２１・・冷却液接続口取付部材
【図１】
2004286404.tif 000003
【図２】
2004286404.tif 000004
【図３】
2004286404.tif 000005
【図４】
2004286404.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004286404.tif 000008