(57)【要約】【課題】プリーツ型に構成されたろ材に通常用いられているアルミニウム等のスペーサの代わりに、ガス成分の除去効果を持たせることによって、ガス吸着効果の高いケミカルフィルタを提供する。【解決手段】一次側１ａに向けられた折り目と二次側１ｂに向けられた折り目とを交互に備えるようにシート状ろ材Ｒを折り込んで構成されたプリーツ型の主ろ材１と、エアの通過方向ｚに直交する向きの断面形状が波形状をなすようにシート状ろ材Ｒを成形して構成された副ろ材２とを、主ろ材１におけるエアの通過方向ｚに沿った隣り合うろ材面１ｃ間に、それぞれ、副ろ材２を、この副ろ材２の一面側２ａを主ろ材１における前記隣り合うろ材面１ｃの一方に向け、かつ、この副ろ材２の他面側２ｂを主ろ材１における前記隣り合うろ材面１ｃの他方に向けた状態で、この隣り合うろ材面１ｃ間のスペーサとして入れ込ませて構成されている。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次側に向けられた折り目と二次側に向けられた折り目とを交互に備えるようにシート状ろ材を折り込んで構成されたプリーツ型の主ろ材と、
エアの通過方向に直交する向きの断面形状が波形状をなすようにシート状ろ材を成形して構成された副ろ材とを、
主ろ材におけるエアの通過方向に沿った隣り合うろ材面間に、それぞれ、副ろ材を、この副ろ材の一面側を主ろ材における前記隣り合うろ材面の一方に向け、かつ、この副ろ材の他面側を主ろ材における前記隣り合うろ材面の他方に向けた状態で、この隣り合うろ材面間のスペーサとして入れ込ませて構成されていることを特徴とするケミカルフィルタ用ろ材。
【請求項２】
主ろ材の捕捉対象物質と副ろ材の捕捉対象物質とが同種の物質であることを特徴とする請求項１記載のケミカルフィルタ用ろ材。
【請求項３】
主ろ材の捕捉対象物質と副ろ材の捕捉対象物質とが異種の物質であることを特徴とする請求項１記載のケミカルフィルタ用ろ材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ケミカルフィルタ用のろ材の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ケミカルフィルタ用のろ材として、一次側に向けられた折り目と二次側に向けられた折り目とを交互に備えるようにシート状ろ材を折り込んで構成されているプリーツ型のろ材がある。
【０００３】
このろ材は、折り込まれたシート状ろ材の間にスペーサ（セパレータとも称される。）を交互に挟み込むようにして構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このスペーサは、プリーツ型に構成されたろ材の隣り合う折り目の間に、常時間隔を形成させ、エアを通過させやすくする効果はあるが、このスペーサ自体はケミカルフィルタを通過するエアよりガス成分（すなわち、空気中を漂う微細な化学物質）を捕捉する機能は有していない。
【０００５】
また、通常スペーサとしては、アルミニウムや紙、プラスチックなどが用いられているが、一方で、アルミニウムはナトリウム等のガス、紙では有機酸ガス、プラスチックではトルエン等の有機物を生じさせることから、ケミカルフィルタの機能をより向上させる観点からはかかるスペーサ自体の改良がまた求められるところであった。
【０００６】
そこで、この発明は、この種のプリーツ型のろ材において、スペーサとしてシート状ろ材を成形して構成されたろ材を用いることにより、スペーサにもガス成分の除去効果を持たせるようにすると共に、スペーサを前記アルミニウム等によって構成させた場合の不都合を除去することを主たる目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１記載の発明にあっては、ケミカルフィルタ用ろ材を、一次側に向けられた折り目と二次側に向けられた折り目とを交互に備えるようにシート状ろ材を折り込んで構成されたプリーツ型の主ろ材と、エアの通過方向に直交する向きの断面形状が波形状をなすようにシート状ろ材を成形して構成された副ろ材とを、主ろ材におけるエアの通過方向に沿った隣り合うろ材面間に、それぞれ、副ろ材を、この副ろ材の一面側を主ろ材における前記隣り合うろ材面の一方に向け、かつ、この副ろ材の他面側を主ろ材における前記隣り合うろ材面の他方に向けた状態で、この隣り合うろ材面間のスペーサとして入れ込ませた構成を備えたものとした。
【０００８】
かかる構成によれば、前記主ろ材のみならず、スペーサの役割を果たす副ろ材によってもエア中のガス成分を除去することができ、スペーサにアルミニウム等を使用する場合に比べて、ケミカルフィルタのガス除去効果を著しく高めることができる。
【０００９】
また、請求項２記載の発明にあっては、請求項１記載のケミカルフィルタ用ろ材における、主ろ材の捕捉対象物質と副ろ材の捕捉対象物質とが同種の物質であることを特徴としている。
【００１０】
かかる構成によれば、前記主ろ材のみならず、スペーサの役割を果たす副ろ材によっても主ろ材の捕捉対象物質（ガス成分）と同種のエア中の捕捉対象物質を除去することができることから、このケミカルフィルタによって除去しようとするターゲットガスのガス除去効果を著しく高めることができる。
【００１１】
また、請求項３記載の発明にあっては、請求項１記載のケミカルフィルタ用ろ材における、主ろ材の捕捉対象物質と副ろ材の捕捉対象物質とが異種の物質であることを特徴としている。
【００１２】
かかる構成によれば、スペーサの役割を果たす副ろ材によって前記主ろ材により除去することができるエア中のガス成分と異なる種類のエア中のガス成分を除去することができることから複数のケミカルフィルタを用意することなく、異なるガス成分を除去することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図１ないし図５に基づいて、この発明の典型的な実施の形態について説明する。
【００１４】
この実施の形態にかかるケミカルフィルタ用ろ材Ｒは、典型的には、半導体製造工場におけるクリーンルームの換気設備を構成するケミカルフィルタユニットＦＵや、半導体製造装置の換気装置を構成するケミカルフィルタユニットＦＵや、いわゆるシステム天井を構成するケミカルフィルタユニットＦＵや、博物館の通気ダクト内に配されるケミカルフィルタユニットＦＵなどに組み込まれて、かかるクリーンルームなどに送り込まれるエアからアンモニアガスなどのこれら各設備・施設において除去させるべきガスを除去させるために用いられる。
【００１５】
なお、ここで図１は、この実施の形態にかかるケミカルフィルタ用ろ材Ｒを用いて構成されたケミカルフィルタユニットＦＵの正面図であり、図２は、図１の縦方向の断面図であり、図３は、図１の横方向の断面図であり、図４は、主ろ材１と副ろ材２とを分離した状態を斜視にして表したものであり、図５は、主ろ材１に副ろ材２を入れ込ませた状態を斜視にして表したものである。
【００１６】
この実施の形態にあっては、一次側１ａに向けられた折り目と二次側１ｂに向けられた折り目とを交互に備えるようにシート状ろ材Ｒを折り込んでプリーツ型の主ろ材１を構成させている。
【００１７】
具体的には、図示の例にあっては、シート状ろ材Ｒを順次に折り返し、断面が波形をなすように成形させたシート状ろ材Ｒを、折り返されて隣り合う当該シート状ろ材Ｒの面間に所定の間隔が形成されるようにしてプリーツタイプの主ろ材１を構成させている。
【００１８】
そして、主ろ材１におけるエアの通過方向ｚに沿った隣り合うろ材面１ｃ間に、それぞれ、副ろ材２を、この副ろ材２の一面側２ａを主ろ材１における前記隣り合うろ材面１ｃの一方に向け、かつ、この副ろ材２の他面側２ｂを主ろ材１における前記隣り合うろ材面１ｃの他方に向けた状態で、この隣り合うろ材面１ｃ間のスペーサとして入れ込ませて構成されている。
【００１９】
副ろ材２は、いずれも、エアの通過方向ｚに直交する向きの断面形状が波形状をなすように成形されている。
【００２０】
そして、このように波形に成形された各副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒを、前記主ろ材１の隣り合うろ材面１ｃ間にそれぞれ入れ込ませることにより、この副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒの溝によって、エアの流路となる隙間（セル）が形成されるようになっている。
【００２１】
なお、前記主ろ材１、副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒは、捕捉対象物質を有機物とする場合には、典型的には不織布に活性炭粒子を含ませることにより構成される。
【００２２】
また、前記主ろ材１、副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒは、捕捉対象物質をアルカリ性のガス成分とする場合には、典型的には不織布からなるシート状ろ材Ｒをリン酸水溶液に漬け込み、乾燥させることにより得ることができる。
【００２３】
あるいはまた、前記主ろ材１、副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒは、捕捉対象物質をアルカリ性のガス成分とする場合には、シート状ろ材Ｒに噴霧器によりリン酸水溶液を吹き付けた後、当該シート状ろ材Ｒを乾燥させることにより得ることができる。
【００２４】
また、このようにリン酸水溶液に浸漬などされたシート状ろ材Ｒに対して、活性炭粒子を含ませるようにしてあっても良い。
【００２５】
また、前記主ろ材１、副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒは、捕捉対象物質を酸性のガス成分とする場合には、典型的には不織布からなるシート状ろ材Ｒを炭酸カリウム水溶液に漬け込み、乾燥させることにより得ることができる。
【００２６】
あるいはまた、前記主ろ材１、副ろ材２を構成するシート状ろ材Ｒは、捕捉対象物質を酸性のガス成分とする場合には、シート状ろ材Ｒに噴霧器により炭酸カリウム水溶液を吹き付けた後、当該シート状ろ材Ｒを乾燥させることにより得ることができる。
【００２７】
また、このように炭酸カリウム水溶液に浸漬などされたシート状ろ材Ｒに対して、活性炭粒子を含ませるようにしてあっても良い。
【００２８】
また、主ろ材１の捕捉対象物質と副ろ材２の捕捉対象物質とが同種の物質となるように構成した場合には、前記主ろ材１のみならず、スペーサの役割を果たす副ろ材２によっても主ろ材１の捕捉対象物質（ガス成分）と同種のエア中の捕捉対象物質を除去することができることから、このケミカルフィルタＫによって除去しようとするターゲットガスのガス除去効果を著しく高めることができる。
【００２９】
また、主ろ材１の捕捉対象物質と副ろ材２の捕捉対象物質とが異種の物質となるように構成した場合には、スペーサの役割を果たす副ろ材２によって前記主ろ材１により除去することができるエア中のガス成分と異なる種類のエア中のガス成分を除去することができることから捕捉対象物質に合わせて複数のケミカルフィルタＫを用意することなく、異なるガス成分を除去することができる。
【００３０】
また、主ろ材１と副ろ材２との対象を同じくした場合は、同じシート状ろ材ＲからケミカルフィルタＫを製造し、主ろ材１と副ろ材２との対象を異なるものとした場合には、異なるシート状ろ材ＲからケミカルフィルタＫを製造することにより、この実施の形態にかかるケミカルフィルタ用ろ材Ｒを構成するようにすることができる。
【００３１】
この実施の形態にかかるケミカルフィルタ用ろ材Ｒは、主ろ材１を構成するシート状ろ材Ｒの面間に、副ろ材２を交互に挟み込むようにして、主ろ材１を構成するシート状ろ材Ｒを折り畳んでいくことで形成される。
【００３２】
このように構成されたケミカルフィルタ用ろ材Ｒは、典型的には図１に示されるように、Ｃ型チャンネル状をなす４つの枠構成材３０を組み合わせて方形に形作られたフィルタ枠３に対し、この枠構成材の内側にろ材Ｒの辺部を嵌め込ませるようにして収めさせることにより、ケミカルフィルタユニットを構成させるようにして用いられる。
【００３３】
【発明の効果】
この発明にかかるケミカルフィルタ用ろ材にあっては、プリーツ型に構成されたろ材に通常用いられているアルミニウム等のスペーサの代わりに、副ろ材を用いることによって、ガス吸着効果を飛躍的に向上させることができる。この結果、かかるろ材によって構成されるケミカルフィルタの寿命の長期化及びケミカルフィルタのコンパクト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この実施の形態にかかるケミカルフィルタ用ろ材を用いて構成されたケミカルフィルタユニットの正面図
【図２】図１のｘ−ｘ断面図
【図３】図１のｙ−ｙ断面図
【図４】分離斜視図
【図５】斜視図
【符号の説明】
１　　主ろ材
１ａ　一次側
１ｂ　二次側
１ｃ　ろ材面
２　　副ろ材
２ａ　一面側
２ｂ　他面側
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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