(57)【要約】【課題】従来、大型ペリクルをケース内に収納し、かつ台車に立て掛けて搬送する際等に、台車がグレーチング上或は凹凸床面上等を走行させる場合には、大きな振動が発生し、大型ペリクルのペリクル膜がケースのトレイの底面に接触し、大型ペリクルの品質を落す問題があった。【解決手段】大型ペリクルＡを収納するケースＢに於て、そのトレイ６の周辺部の所定位置に大型ペリクルＡを載置し得る平坦な搭載部９を設け、かつ搭載部９の内側面に搭載部９よりも２ｍｍ以上低い凹状部１０を設けて構成して、該ケースＢに大型ペリクルＡを収納する収納方法である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために該粘着材の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記トレイの周辺部の所定位置に平坦な大型ペリクルの搭載部を設けると共に、この大型ペリクルの搭載部の内側面を該大型ペリクルの搭載部よりも低い凹状部に形成したことを特徴とした大型ペリクルの収納方法。
【請求項２】
前記トレイの大型ペリクルの搭載部とこの大型ペリクルの搭載部よりも低い前記凹状部との段差を２ｍｍ以上にしたことを特徴とした請求項１の大型ペリクルの収納方法。
【請求項３】
前記トレイの凹状部の底面にリブを起立突設すると共に、該リブの上縁面とトレイの大型ペリクルの搭載部との高低差を２ｍｍ以上にしたことを特徴とした請求項１或は請求項２の大型ペリクルの収納方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを、トレイと蓋とよりなるケースに安全に収納することが出来る大型ペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於ては、後述の特許文献１に記載されているように、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或はレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或はセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或はレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或はペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
本発明のように、面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを収納するトレイと蓋とよりなるケースは、通常真空成形法によって成形されており、かつ大型ペリクルは、トレイに設置された後で蓋を被蓋することによってケースに収納されていた。そして前述のケースの製造に当たっては、ケース内に収納された大型ペリクルの枠体と蓋との間隔を０ｍｍより大きく１ｍｍ以下の範囲になるように計画的に設計製造し、この部分で蓋が大型ペリクルを抑え、輸送中等の振動によって大型ペリクルがケース内で動いて擦れたりして発塵することを防止していた。
【０００５】
また、大型ペリクルを収納する大型ケースのトレイは、大型ペリクルを搭載する周辺部のペリクルの搭載部とこの搭載部の内側の高さを同一とし、大きな面積の平坦面を有するトレイを形成していた。
【０００６】
しかし、面積が１０００ｃｍ２以上のペリクルを収納する大型のケースでは、次のような問題があった。即ち、大型ペリクルを収納する大型のトレイと蓋とよりなるケースは、成形精度を保ちながら製造することが困難であると共に、大きな面積の平坦面を有するトレイには反りが発生する等の問題があった。
【０００７】
また、大型のペリクルを持ち運ぶ時には、ペリクルを大型ケースに収納したまま、台車に立て掛けた状態で搬送することも行われている。このような状態でペリクルを搬送した場合には、台車がグレーチング上を走行する際の振動等によって、大型ケース全体が振動し、大型ケースのトレイの搭載部の内側面が彎曲して、収納した大型ペリクルのペリクル膜に接触し、ペリクル膜に悪影響を与え、ペリクルの品質を大きく低下せしめる問題があった。
【０００８】
本件特許出願人は、前述の問題を解決すべく、後述の特許文献２、特許文献３を開発し、意匠出願をして意匠権を取得している。この特許文献２及び特許文献３に係る技術は、大型のペリクルを収納するケースの平坦面に強度を持たせるために、ケースの内部に大径の凹状部を形成すると共に、この凹状部の底部に所定形状のリブを起立突設した構造である。
【０００９】
【特許文献１】
特公昭５４−２８７１８号公報
【特許文献２】
意匠登録第１０５６９７１号の公報
【特許文献３】
意匠登録第１０５６９７２号の公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述の特許文献２及び特許文献３に於ては、ペリクルを載置する搭載部がトレイの周辺部に明確に形成されておらず、従って、ペリクルを安定した状態で搭載することが困難であった。かつ凹状部の底部に起立突設されたリブの上縁面が、トレイの外周縁の高い場所と同一の高さを有していた。従って、このような構造を有するトレイを使用した場合にも、大型のペリクルを搬送する際に、大型ペリクル及び大型ケースが大きく振動した場合には、トレイがペリクル膜に接触し、ペリクル膜に悪影響を及ぼす問題があった。
【００１１】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、前述の従来の問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特にトレイの周辺部の所定位置に大型ペリクルを安定して載置し得る平坦な搭載部を設けると共に、この搭載部の内側全面に該搭載部より低い凹状部を形成し、これによって大型ケース内に収納された大型トレイのペリクル膜が、搬送中にトレイの搭載部の内側面に接触することを防止するようにした大型ペリクルの収納方法の技術を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、前述の多くの問題点を根本的に改善した発明であって、その第１発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために該粘着材の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記トレイの周辺部の所定位置に平坦な大型ペリクルの搭載部を設けると共に、この大型ペリクルの搭載部の内側面を該大型ペリクルの搭載部よりも低い凹状部に形成したことを特徴とした大型ペリクルの収納方法である。
【００１３】
前述の第１発明に於ては、大型ペリクルを収納するケースのトレイの周辺部の所定位置に平坦な大型ペリクル搭載部を設けたので、この搭載部に大型ペリクルを安定した状態で載置して搭載することが出来る。
【００１４】
また、この大型ペリクル搭載部の内側面を大型ペリクル搭載部より低い凹状部に形成したので、前述のように大型ケースに収納された大型ペリクルを台車に立て掛けた状態で搬送した場合に、振動によって大型ケースのトレイの搭載部の内側面が大きく彎曲しても、さらに該トレイの該内側面に反りが生じていた場合にも、該トレイの内側面が収納した大型ペリクルのペリクル膜に接触することを防止出来る。
【００１５】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記トレイの大型ペリクルの搭載部とこの大型ペリクルの搭載部よりも低い前記凹状部との段差を２ｍｍ以上にしたことを特徴とした第１発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００１６】
前述の第２発明に於ては、前記トレイの大型ペリクル搭載部とこの大型ペリクル搭載部より低い凹状部との段差を２ｍｍ以上にしたので、仮にトレイが輸送時の振動で大きく彎曲しても、或はトレイに反りが生じると共に、さらに振動で彎曲した場合にも、トレイの彎曲は最大限で２ｍｍ以内に抑えることが出来るので、トレイの搭載部の内側面が大型ペリクルのペリクル膜に接触することを防止出来る。
【００１７】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第３発明の要旨は、前記トレイの凹状部の底面にリブを起立突設すると共に、該リブの上縁面とトレイの大型ペリクルの搭載部との高低差を２ｍｍ以上にしたことを特徴とした第１発明或は第２発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００１８】
前述の第３発明に於ては、前述凹状部の底面にリブを起立突設したので、この凹状部及び凹状部を有する大型ケース全体の強度を補強することが出来ると共に、該凹状部が大きく湾曲することを防止出来る。さらに、該凹状部に設けたリブの上縁面と大型ペリクルの搭載部との高低差を２ｍｍ以上にしたので、トレイが大きく振動して彎曲した場合にも、該リブの上縁が大型ペリクルのペリクル膜に接触することを防止出来る。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一実施例を図により具体的に説明すると、図１は本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一例を示す縦断面説明図、図２は本発明に係る大型ペリクルの収納方法に用いられるトレイの形状を示す説明図、図３は他例の本発明に係る大型ペリクルの収納方法に用いられるトレイの形状を示す説明図である。
【００２０】
図１及び図２（ａ）に於て、Ａは大型ペリクルである。既に詳述したようにペリクル面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着剤２を介して接着されたペリクル膜３と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材４と、該粘着材４を保護するために粘着材４の下面に粘着された保護フィルム５から構成されている。
【００２１】
前記実施例に於ては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着して形成したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に層状粘着材を積層して粘着するのみで良い（しかし、本明細書に於ては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とよりなるケースＢに収納されている。また、トレイ６と蓋７とのコーナー部にはテープシール８が取付けられており、これ等のテープシール８によってトレイ６から蓋７が外れないように固定されている。
【００２２】
本発明に於ては、特に図１及び図２（ａ）に示す如く、前記大型ペリクルＡを収納し得るケースＢのトレイ６の周辺部の所定位置に大型ペリクルＡを載置することが出来る搭載部９が設けられている。そして、両側の搭載部９の内側全面には、搭載部９よりも低い凹状部１０が形成されている。
【００２３】
前記搭載部９と凹状部１０との段差、即ち凹状部１０の底面１１の深さＤは約２ｍｍ〜１０ｍｍに構成されている。前述の凹状部１０の形状は、例えば図２（ｂ）に示す凹状部１０ａの如く、両側の搭載部９間の中央部に径の小さい凹状部１０ａを設けることも、或は同図（ｃ）に示す如く、Ｖ形状の凹状部１０ｂを設けることも可能である。
【００２４】
さらに、図３（ａ）、（ｂ）に示す如く、前記搭載部９間に設けられた凹状部１０の底面１１にトレイ６の強度を補強し、かつトレイ６に反りが生ずることを防止するために、所定の形状のリブ１２を起立突設することが出来る。このようにして設けられたリブ１２の上縁面と前記搭載部９との高低差ｄは２ｍｍ以上に保持されている。
【００２５】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法に於ては、トレイ６の搭載部９の内側面に凹状部１０、１０ａ、１０ｂを設けて構成したので、大型のケースＢに収納された大型ペリクルＡを台車に立て掛けた状態で搬送したり、ケースＢのトレイ６に反りが生じた場合に、振動によってトレイ６の搭載部９の内側面が大きく彎曲しても、この内側面が収納した大型ペリクルＡのペリクル膜３に接触する心配はない。
【００２６】
前述のように凹状部１０の底面１１にリブ１２を起立突設した場合にも、リブ１２の上縁面と搭載部９との高低差ｄが２ｍｍ以上に保たれているので、トレイ６が振動等によって大きく彎曲しても、リブ１２が大型ペリクルＡのペリクル膜３に接触する心配はない。
【００２７】
本件発明者等は、大型ペリクルＡを大型の収納ケースＢに収納し、かつ、これを台車に立て掛けた状態で、グレーチングの上、或は凹凸状の床面を何回も走行させて、過酷な輸送テストを行ったが、トレイ６の搭載部９と凹状部１０、１０ａ、１０ｂの底面１１との段差（深さ）Ｄ、或は凹状部１０に起立したリブ１２の上縁面と搭載部９との高低差ｄが２ｍｍ以上あれば、凹状部１０、１０ａ、１０ｂの底面１１或はリブ１２が大型ペリクルＡのペリクル膜３に接触することがないことを確認した。
【００２８】
【発明の効果】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法に於ては、大型ペリクルを収納するケースのトレイの周辺部の所定位置に平坦な大型ペリクル搭載部を設けたので、この搭載部に大型ペリクルを安定した状態で載置して搭載することが出来る効果を有している。
【００２９】
また、この大型ペリクル搭載部の内側面を大型ペリクル搭載部より低い凹状部に形成したので、前述のように大型ケースに収納された大型ペリクルを台車に立て掛けた状態で搬送した場合に、振動によって大型ケースのトレイの搭載部の内側面が大きく彎曲しても、さらに該トレイの該内側面に反りが生じていた場合にも、該トレイの内側面が収納した大型トレイのペリクル膜に接触することを防止出来る効果も有している。
【００３０】
また本発明に於いて、前記トレイの大型ペリクル搭載部とこの大型ペリクル搭載部より低い凹状部との段差を２ｍｍ以上にした場合には、仮にトレイが輸送時の振動で大きく彎曲しても、或はトレイに反りが生じると共に、さらに振動で彎曲した場合にも、トレイの彎曲は最大限で２ｍｍ以内に抑えることが出来る効果があるので、トレイの搭載部の内側面が大型トレイのペリクル膜に接触することを防止出来る効果も有している。
【００３１】
また本発明に於いて、前述凹状部の底面にリブを起立突設した場合には、この凹状部及び凹状部を有する大型ケース全体の強度を補強することが出来る効果があると共に、該凹状部が大きく湾曲することを防止出来る効果がある。さらに、該凹状部に設けたリブの上縁面と大型ペリクルの搭載部との高低差を２ｍｍ以上にした場合には、トレイが大きく振動して彎曲した場合にも、該リブの上縁が大型トレイのペリクル膜に接触することを防止出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一例を示す縦断面説明図である。
【図２】本発明に係る大型ペリクルの収納方法に用いられるトレイの形状を示す説明図である。
【図３】他例の本発明に係る大型ペリクルの収納方法に用いられるトレイの形状を示す説明図である。
【符号の説明】
１      …枠体
２      …接着剤
３      …ペリクル膜
４      …粘着材
５      …保護フィルム
５ａ    …押え代
６      …トレイ
７      …蓋
８      …テープシール
９      …搭載部
１０    …凹状部
１０ａ  …凹状部
１０ｂ  …凹状部
１１    …底面
１２    …リブ
Ａ      …大型ペリクル
Ｂ      …ケース
Ｄ      …深さ（段差）
ｄ      …高低差
【図１】
2004361705.tif 000003
【図２】
2004361705.tif 000004
【図３】
2004361705.tif 000005