(57)【要約】【課題】入力スクリーンの光電面の特性が全域に亘って安定なＸ線イメージ管、イメージ管製造装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】光電変換面１２２に利用されるアルカリ金属とアルカリ金属とにより合金となる合金材料である複数の蒸発源材料が、蒸発源保持体１８１により同一直線上に配列され、全ての蒸発源材料の蒸着が終了した後、個々の蒸発原材料が、真空外囲器１１１の外部に一括して取り除かれるので、検出位置によって検出感度が異なることが防止される。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力Ｘ線を蛍光に変換する蛍光面と、その蛍光を光電子に変換する光電変換面とからなる入力スクリーンと、この入力スクリーンと対向する位置に配置され、上記光電子を蛍光に変換する蛍光面からなる出力スクリーンと、前記入力スクリーンおよび前記出力スクリーンを所定の真空度に保持する真空外囲器とを有するＸ線イメージ管において、
前記真空外囲器の所定の位置には、前記入力スクリーンの上記光電変換面に用いられる蒸発源材料を前記真空外囲器外に取り出し及び前記真空外囲器内に挿入可能な導入管が封止・接合され、
前記導入管は、前記真空外囲器に用いられる材料との間に、前記導入管に負荷される荷重に耐える補助部材を介在させた状態で、前記真空外囲器に接続されていることを特徴とするＸ線イメージ管。
【請求項２】
前記導入管は銅で、前記真空外囲器はステンレス鋼で、前記補助部材は鉄であることを特徴とする請求項１記載のＸ線イメージ管。
【請求項３】
前記導入管は、前記補助部材に対して、前記導入管の外径の１／５の長さ以上挿入され、前記補助部材と前記真空外囲器とが接続される接続部は、上記導入管が補助部材に挿入される長さより長い接続領域を含むことを特徴とする請求項１または２記載のＸ線イメージ管。
【請求項４】
前記導入管が前記補助部材に挿入されるはめあい部および上記接続部は、ろう接により接続されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のＸ線イメージ管。
【請求項５】
入力Ｘ線を蛍光に変換する蛍光面と、その蛍光を光電子に変換する光電変換面とからなる入力スクリーンと、この入力スクリーンと対向する位置に配置され、上記光電子を蛍光に変換する蛍光面からなる出力スクリーンと、前記入力スクリーンおよび前記出力スクリーンを所定の真空度に保持する真空外囲器とを有するＸ線イメージ管の製造装置において、
前記真空外囲器の所定の位置に設けられた導入管を介して前記入力スクリーンの上記光電変換面に用いられる複数の蒸発源材料を所定の順で保持するとともに上記蒸発源材料から蒸発源材料の蒸気を発生させるための加熱機構からなる蒸発源保持部が前記真空外囲器外に取り出し及び前記真空外囲器内に挿入可能で、前記入力スクリーンの上記光電変換面に対して前記蒸発源保持部から任意の蒸発源材料の蒸気が発生される際に対応する蒸発源材料が前記入力スクリーンの中心と前記出力スクリーンの中心との間に定義される管軸中心位置に、所定の順で位置可能であることを特徴とするＸ線イメージ管の製造装置。
【請求項６】
前記蒸発源保持部は、上記蒸発源材料であるアルカリ金属との合金材料として利用される第１の材料を保持する第１の領域と少なくとも１つの上記蒸発源材料であるアルカリ金属を保持可能な第２の領域とが、前記導入管を介して前記真空外囲器に挿入され、または取り出される際の移動方向に対応した所定の順で配列されていることを特徴とする請求項５記載のＸ線イメージ管の製造装置。
【請求項７】
前記第２の領域は、上記アルカリ金属の蒸気を前記入力スクリーンの上記光電変換面に指向性なく供給可能であることを特徴とする請求項５または６記載のＸ線イメージ管の製造装置。
【請求項８】
入力Ｘ線が蛍光に変換された蛍光を光電子に変換する光電変換面を有する入力スクリーンが真空容器内に封入されているＸ線イメージ管の製造方法において、
光電変換面に利用されるアルカリ金属とアルカリ金属とにより合金となる合金材料である複数の蒸発源材料は同一直線上に配列され、
全ての蒸発源材料の蒸着が終了した後、個々の蒸発原材料は、真空容器外部に一括して取り除かれることを特徴とするＸ線イメージ管の製造方法。
【請求項９】
蒸発源材料のうち少なくともアルカリ金属からなる蒸発源材料は、入力スクリーンの光電変換面側に形成された微小穴を介して、指向性なく供給されることを特徴とする請求項８記載のＸ線イメージ管の製造方法。
【請求項１０】
蒸発源保持体には、蒸発源材料を加熱する加熱機構が一体的に設けられていることを特徴とする請求項８または９のいずれかに記載のＸ線イメージ管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線の濃度分布であるＸ線画像を検出し、可視光像として出力するＸ線イメージ管、Ｘ線イメージ管製造装置およびＸ線イメージ管の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
医療用診断装置や非破壊検査装置においては、被写体（検体）および検査対象物にＸ線を照射して得られるＸ線濃度分布またはＸ線画像が、Ｘ線検出器により検出され、またはＸ線向けフィルムに記録される。
【０００３】
Ｘ線検出器は、例えばＸ線イメージ管（Ｘ線イメージインテンシファイア）であり、透視用の強度が与えられた透視用Ｘ線量により動画を出力可能で、モニタされた動画の特定のタイミングで撮影用の強度が与えられた撮影用Ｘ線量により静止画を得ることができる。
【０００４】
Ｘ線イメージ管は、図６に示されるように、真空外囲器（真空容器）１００１内に、入力スクリーン１０２０、真空容器内で、入力スクリーンと対向する所定位置に設けられる出力スクリーン１０３０、入力スクリーンと出力スクリーンとの間の所定位置に位置される陽極１０４０および集束電極１０５０等からなる。
【０００５】
入力スクリーン１０２０は、例えば入力蛍光体層１０２１と光電面１０２２とからなる。入力スクリーン１０２０に入射された図示しないＸ線源から放射されて被写体を透過して濃度分布が与えられたＸ線は、入力蛍光体層１０２１により一旦蛍光に変換され、光電面１０２２で光電子に変換される。
【０００６】
入力スクリーン１０２０で生成された光電子は、陽極１０４０から供給される電界により加速されながら、集束電極１０５０（図６に示される例では、集束電極は、集束電極１０５１〜１０５３の３段からなる）から供給される電界により順に集束され、出力スクリーン１０３０の所定の領域に集束される。
【０００７】
出力スクリーン１０３０に集束された光電子は、出力スクリーンにより可視光に変換される。すなわち、出力スクリーン１０３０には、入力スクリーン１０２０に入射したＸ線画像（Ｘ線濃度分布）に対応した可視光像が、投影される。
【０００８】
上述したＸ線イメージ管においては、光電面１０２１は、例えばＳｂ（アンチモン）１０６１や、外部から供給される任意種類のアルカリ金属１０７１（外部から金属蒸気として供給される）により形成される。
【０００９】
なお、図６に示される通り、アンチモン（Ｓｂ）等の光電面形成のための蒸発源１０６１は、真空容器１００１内に予め配置され、入力スクリーン１０２０の光電面１０２１を形成するために所定量が蒸発された後も真空容器内にそのまま残されること多い。また、アルカリ金属１０７１の金属蒸気は、真空容器１００１の出力スクリーン１０３０の近傍に設けられる導入管１０８０により真空容器内に供給される。
【００１０】
なお、入力スクリーンの光電面を均一に形成するために、環状のフィラメントに、アンチモンを５μｍ以下の厚さに固定してフィラメントに通電することで、均一な光電面を得るとともに、アンチモンが管内異物となることを抑止したＸ線イメージ管が、既に提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
また、光電面へのアンチモンの付着量を、アンチモンが蒸発したことによる金属薄板の抵抗の変化で検出する例が、既に提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１２】
ところで、特許文献１あるいは２のいずれにも示されていないが、蒸発源１０６１は、図６に示した通り、光電面１０２１の形成に利用されたあとも、真空容器内にそのまま残される。これに対して、アルカリ金属蒸気１０７１を真空容器１００１内に供給するための導入管１０８０は、多くの場合Ｘ線イメージ管を製造する課程で切断されて、除去される。
【００１３】
しかしながら、上述した通り、真空容器１００１内には、アンチモン蒸発源が残存されることから、光電面１０２２が形成された後の排気工程やＸ線イメージ管を製造する工程の１つであるエージング工程等において、管内に残存しているアンチモンが不所望に光電面に付着し、および出力スクリーン１０３０上に落下することはさけられない。
【００１４】
このことは、出力スクリーンに投影される可視光像の画質を低下させる要因となることが知られている。
【００１５】
また、蒸発源が配置される位置やアルカリ金属蒸気が供給される導入管の位置は、図６に示されるようなＸ線イメージ管においては、必然的に、真空容器の管軸（入力スクリーンの中心と出力スクリーンの中心を結ぶ軸線）から離れた位置に設定されることから、入力スクリーンに付着されるアンチモンやアルカリ金属の膜厚に蒸着むらが発生しやすい。このため、出力スクリーンに投影される可視光像の輝度が不均一となり、あるいは入力スクリーンから出力される光電子像の強度が不均一となり、あたかも入力スクリーンへのＸ線の入射位置によって検出感度にばらつきが生じて出力スクリーンに投影された画像にむらが発生する問題がある。
【００１６】
このような背景から、真空外囲器１１の側面に導入口１６を設け、加熱体１７ａの上半分にアンチモン等１７ｂが固定された蒸発源１７を、Ｘ線イメージ管の管軸ｍ上に位置させて入力部１２の入力光電面１２ｃを形成する方法が既に提案されている。なお、（例えば、特許文献３参照）。
【００１７】
【特許文献１】
特開平４−２０９４４３号公報（請求項１、第２頁左下欄第１６行〜第１８行、第３頁右上欄第８行〜第１４行）
【００１８】
【特許文献２】
特開平９−８２２２５号公報（要約、図１、図３、段落［００１９］〜［００２１］）
【００１９】
【特許文献３】
特開２００１−１５５６３４号公報（要約、図１、段落［００１５］〜［００２０］、同［００２２］）
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献３の例のように、真空外囲器１１の側面に導入口１６を設け、光電面１２ｃに対するアンチモンの蒸着の終了後に、蒸発源１７を除去する構成においても、段落［００２２］に記載されているように、加熱体１７ａ上にアンチモンが残らないよう、加熱体１７ａに予め固定されるアンチモンの量は、正確に管理されなければならない。
【００２１】
なお、特許文献３においても、アンチモン以外のアルカリ金属等は、真空外囲器１１の管軸ｍに平行な任意の位置ｎ１，ｎ２に位置されることから、入力光電面１２ｃに蒸着されるアルカリ金属等の膜は、入力面１２を通る管軸ｍに対して非対称に形成されることになる。
【００２２】
また、真空外囲器１１の側面に設けられる導入口１６は、アンチモンすなわち蒸着源１７が真空外囲器から取り除かれた後でチップオフ（封止・切断）されるが、加熱体１７ａを真空外囲器内に挿入／排出可能とする導入口の内径は、１０ｍｍ程度にも達する。
【００２３】
このことは、真空外囲器１１が変形しないチップオフ位置を、真空外囲器側面から導入口の太さの数倍以上離れた位置まで増大させることになる。この場合、真空外囲器１１の外側を囲むカバー部材（Ｘ線イメージ管の外筒）の直径を増大させる欠点がある。
【００２４】
この発明の目的は、上記した欠点を解決し、入力スクリーンの光電面の特性が全域に亘って安定なＸ線イメージ管、Ｘ線イメージ管の製造装置およびＸ線イメージ管の製造方法を提供することである。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、入力Ｘ線を蛍光に変換する蛍光面と、その蛍光を光電子に変換する光電変換面とからなる入力スクリーンと、この入力スクリーンと対向する位置に配置され、上記光電子を蛍光に変換する蛍光面からなる出力スクリーンと、前記入力スクリーンおよび前記出力スクリーンを所定の真空度に保持する真空外囲器とを有するＸ線イメージ管において、前記真空外囲器の所定の位置には、前記入力スクリーンの上記光電変換面に用いられる蒸発源材料を前記真空外囲器外に取り出し及び前記真空外囲器内に挿入可能な導入管が封止・接合され、前記導入管は、前記真空外囲器に用いられる材料との間に、前記導入管に負荷される荷重に耐える補助部材を介在させた状態で、前記真空外囲器に接続されていることを特徴とするＸ線イメージ管である。
【００２６】
また本発明は、入力Ｘ線を蛍光に変換する蛍光面と、その蛍光を光電子に変換する光電変換面とからなる入力スクリーンと、この入力スクリーンと対向する位置に配置され、上記光電子を蛍光に変換する蛍光面からなる出力スクリーンと、前記入力スクリーンおよび前記出力スクリーンを所定の真空度に保持する真空外囲器とを有するＸ線イメージ管の製造装置において、前記真空外囲器の所定の位置に設けられた導入管を介して前記入力スクリーンの上記光電変換面に用いられる複数の蒸発源材料を所定の順で保持するとともに上記蒸発源材料から蒸発源材料の蒸気を発生させるための加熱機構からなる蒸発源保持部が前記真空外囲器外に取り出し及び前記真空外囲器内に挿入可能で、前記入力スクリーンの上記光電変換面に対して前記蒸発源保持部から任意の蒸発源材料の蒸気が発生される際に対応する蒸発源材料が前記入力スクリーンの中心と前記出力スクリーンの中心との間に定義される管軸中心位置に、所定の順で位置可能であることを特徴とするＸ線イメージ管の製造装置である。
【００２７】
さらに本発明は、入力Ｘ線が蛍光に変換された蛍光を光電子に変換する光電変換面を有する入力スクリーンが真空容器内に封入されているＸ線イメージ管の製造方法において、光電変換面に利用されるアルカリ金属とアルカリ金属とにより合金となる合金材料である複数の蒸発源材料は同一直線上に配列され、全ての蒸発源材料の蒸着が終了した後、個々の蒸発原材料は、真空容器外部に一括して取り除かれることを特徴とするＸ線イメージ管の製造方法である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明のＸ線イメージ管、Ｘ線イメージ管の製造装置およびＸ線イメージ管の製造方法を詳細に説明する。
【００２９】
図１に示される通りＸ線イメージ管１０１は、内部が所定の真空に維持される真空外囲器（真空容器）１１１、および真空外囲器の周りを覆う図示しない外装ハウジングを有している。
【００３０】
真空外囲器１１１の内側の一端部には、外部から入射するＸ線を光電子に変換する入力スクリーン（入力部）１２０が設けられている。真空外囲器１１１内の入力スクリーン１２０と対向する所定の位置には、真空外囲器内で増幅された光電子を可視光に変換する出力スクリーン（出力部）１３０が設けられている。
【００３１】
入力スクリーン１２０は、例えばＡｌ（アルミニウム）あるいはＢｅ（ベリリウム）製基板からなり、内側となる側の面に、入射Ｘ線を蛍光に変換する蛍光面１２１と、蛍光面により変換された蛍光を光電子に変換する光電変換面（以下単に光電面と呼称する）１２２とが、順に積層されている。なお、光電変換面１２２は、多くの場合アルカリ金属とアンチモン（Ｓｂ）との合金が利用される。
【００３２】
基板は、真空外囲器１１１の一部として機能することから、真空外囲器１１１の外側にかかる大気圧と真空外囲器内の真空度とにより、変形しない厚さに形成されている。
【００３３】
出力スクリーン１３０は、例えば可視光を透過可能な所定の厚さのガラス板であって、真空外囲器１１１の内側すなわち入力スクリーン１２０と面する側に、入力スクリーンから出射された光電子を可視光（まれに蛍光）に変換する蛍光面１３１を有する。
【００３４】
入力スクリーン１２０と出力スクリーン１３０との間には、光電面１２２から出射された光電子を出力スクリーンの蛍光面１３１に向けて加速するための電界を提供する陽極１４０と、陽極により加速された光電子を蛍光面の所定の領域に集束させるための集束電界を提供する集束電極１５０が設けられている。なお、集束電極１５０は、周知の電子レンズとして機能するが、出力画像にゆがみが生じることを低減するために、図１に示すＸ線イメージ管１０１では、第１〜第３の部分からなり（便宜的に１５１〜１５３を付す）、光電子を、段階的に集束させて、蛍光面１３１に結像させる。
【００３５】
真空外囲器１１１の外周の所定位置、例えば外囲器内の管軸（入力スクリーン１２０の中心と出力スクリーン１３０の中心とを結んで定義される軸）上の任意の位置から外囲器に向けて延出された法線が外囲器と交わる位置には、所定の内径が与えられた導入管１７０が形成されている。なお、導入管１７０は、図１に示される通り、外囲器１１１の管軸を通って反対側に突出されてもよいが、以下に説明する加熱装置の大きさに依存して外囲器の一方のみに設けられてもよい。また、導入管１７０の少なくとも任意の一カ所には、真空外囲器１１１内を排気するために用いられる真空ポンプが接続される分岐部１７１が形成されている。
【００３６】
導入管１７０は、内径が概ね１０ｍｍであり、以下に説明する加熱装置と接続された蒸発源保持部１８１が、蒸発源保持−スライド機構１８０により、内部を移動可能に形成されている。
【００３７】
導入管１７０の外径は、図４を用いて後段に説明するが、真空外囲器１１１内が所定の真空度まで減圧された後にチップオフ（封止・切断）される際に、真空外囲器との接続部にひびが生じ、あるいは真空外囲器内に外気が侵入することのないように設定されている。
【００３８】
蒸発源保持−スライド機構１８０により導入管１７０を介して外囲器１１１内に挿入され、あるいは外囲器から取り出される蒸発源保持部１８１は、図２に示されるように、入力スクリーン１２０の光電面１２２に用いられる第１および第２のアルカリ金属蒸発源を保持する第１および第２の領域１９１，１９２と、合金対象であるアンチモンを保持する第３の領域１９３とが順に配列された、例えば棒状または細い板状の蒸発源保持部１８１と、図示しないが、保持部を導入管１７０内に進入させて真空外囲器１１１内部の所定の位置まで移動させ、もしくは真空外囲器および導入管から外部に取り出し可能なスライド装置からなる。蒸発源保持部１８１には、耐熱性の高いＭｏ（モリブデン），Ｔａ（タンタル），Ｗ（タングステン），Ｎｉ（ニッケル）あるいはステンレス鋼等が利用される。なお、蒸発源保持部１８１には、以下に説明する加熱装置と保持部とを一体としたセラミックヒータを用いてもよい。
【００３９】
スライド機構１８０により外囲器１１１内および導入管１７０内を移動される蒸発源保持部１８１の第１〜第３の領域１９１〜１９３と外囲器の管軸が交わる位置は、保持部が移動される毎に、入力スクリーン１２０の概ね曲率中心の位置またはその近傍に設定可能である。
【００４０】
第１および第２の領域１９１，１９２は、図３により以下に説明する通り、加熱により溶融されるアルカリ金属が流れ出ることを抑止可能なボート１９１ａ，１９２ａとそれぞれのボートを覆うとともにアルカリ金属の蒸気のみが通過可能な開口が形成された蓋１９１ｂ，１９２ｂからなる。
【００４１】
第３の領域１９３には、光電面１２２を形成するために必要な量のアンチモンが、予め固定（溶融された状態で第３の領域にセットされた後、冷却されることで容易に落下することがない状態に保持）されている。
【００４２】
蒸発源保持部１８１の第１ないし第３の領域が設けられる側と反対の側には、保持部を加熱するための加熱装置１８２が接続されている。
【００４３】
導入管１７０の所定の位置にセットされた蒸発源保持部１８１は、図示しないスライド装置により、例えばセラミック等の高い耐熱性を呈する材質により形成されたガイドレールまたは案内部材（図示せず）に沿って、真空外囲器１１１内の所定位置まで挿入（繰り出）される。
【００４４】
以下、例えばアンチモンが固定されている第３の領域１９３の中央付近が真空外囲器１１１の管軸近傍に位置された（保持部１８１が最も真空外囲器の奥まで挿入された）状態で加熱装置１８２が動作されると、第３の領域からアンチモン蒸気が発生され、入力スクリーン１２０の蛍光面１２１に蒸着される。
【００４５】
蒸発源保持部１８１を概ね管軸中心に位置させて加熱可能としたことにより、蛍光面１２１の管軸付近から外周に向けて概ね均一の濃度で、もしくは外周側が次第に薄くなるような濃度分布で、アンチモン蒸気が蛍光面に付着される。
【００４６】
次に、蒸発源保持部１８１が所定量だけ導入管１７０内を外囲器１１１の外側に向けて移動されて、第１の領域１９１が管軸近傍に位置されて加熱装置１８２が動作されることで、ボート１９１に収容されている第１のアルカリ金属の蒸気が、前にアンチモンが供給された光電面１２２に、所定量だけ付着される。
【００４７】
第１のアルカリ金属の蒸気は、蓋１９１ｂの開口を通じて放射状に飛翔されるので、前に光電面１２２に供給されたアンチモンと同様に、管軸付近から外周に向けて概ね均一の濃度で、もしくは外周側が次第に薄くなるような濃度分布で、光電面に供給され、アンチモンと結合される。なお、第１のアルカリ金属には、例えばセシウム（Ｃｓ）が用いられる。
【００４８】
次に、再び蒸発源保持部１８１が所定量だけ導入管１７０内を外囲器１１１の外側に向けて移動されて、第２の領域１９２が管軸近傍に位置されて加熱装置１８２が動作されることで、ボート１９２に収容されている第２のアルカリ金属の蒸気が、直前に第２のアルカリ金属が供給された光電面１２２に、所定量だけ付着される。
【００４９】
第２のアルカリ金属の蒸気は、蓋１９２ｂの開口を通じて放射状に飛翔されるので、直前に光電面１２２に供給された第１のアルカリ金属と同様に、管軸付近から外周に向けて概ね均一の濃度で、もしくは外周側が次第に薄くなるような濃度分布で、光電面に供給され、（アンチモンおよび）第１のアルカリ金属と結合される。なお、第２のアルカリ金属には、例えばカリウム（Ｋ）が用いられる。
【００５０】
より詳細には、蒸発源保持部１８１またはセラミックヒータが、蒸発源保持−スライド機構１８０を介して導入管１７０から真空外囲器１１１内の所定の位置すなわちアンチモンが固着されている第３の領域の中心またはその近傍が外囲器の管軸に位置される。
【００５１】
この状態で、導入管１７０の分岐部１７１に接続された図示しない真空ポンプが動作され、真空外囲器１１１内が所定の真空度まで排気される。
【００５２】
以下、外囲器１１１内の真空度が所定の真空度に達した時点で加熱装置１８２による加熱により蒸発源保持部１８１が所定の温度まで昇温され、アンチモンが入力スクリーン１２０の蛍光面１２１に、所定の量だけ付着される。なお、入力スクリーン１２０の蛍光面１２１と保持部１８１のアンチモンが固定されている位置との間の距離は、入力スクリーンの直径が例えば２２０ｍｍである場合に、好ましくは、２４０ｍｍであることが、実験および経験により確認されている。すなわち、外囲器１１１の外周に導入管１７０が設けられる位置は、上述の条件を満たす位置である。
【００５３】
続いて、予め決められた時間または予め保持部１８１に固着されている全てのアンチモンが外囲器１１１内に飛翔された後、スライド機構１８０により保持部１８１が所定距離だけ移動され、第１のアルカリ金属を収容した第１の領域すなわちボート１９１の中心またはその近傍が外囲器の管軸に位置される。
【００５４】
以下、例えばボート１９１の温度が所定の温度、例えば４００℃になるように加熱装置１８２が動作されて保持部１８１およびボート１９１が加熱されることで、蓋１９１ｂに設けられた開口から、第１のアルカリ金属（この例ではセシウム（Ｃｓ））が、既にアンチモンが付着されている蛍光面１２１に、所定量付着される。この場合、セシウムは入力スクリーン１２０に向けて指向性なく（非指向性で）飛翔し、入力スクリーンでアンチモンと結合して、均一な厚さのＣｓ−Ｓｂ膜となる。
【００５５】
続いて、予め決められた時間だけ加熱装置１８２が動作されて、所定量のＣｓが外囲器１１１内に飛翔された後、スライド機構１８０により保持部１８１が所定距離だけ移動され、今度は第２のアルカリ金属を収容した第２の領域すなわちボート１９２の中心またはその近傍が外囲器の管軸に位置される。
【００５６】
以下、前に説明したと同様に、ボート１９２の温度が所定の温度例えば４００℃になるように加熱装置１８２が動作されて保持部１８１およびボート１９２が加熱されることで、蓋１９２ｂに設けられた開口から第２のアルカリ金属（この例ではＫ）が、既に合金化されたＣｓ−Ｓｂ膜が付着されている面に所定量付着される。この場合、Ｋは、Ｃｓ−Ｓｂ膜（および入力スクリーン１２０）に向けて指向性なく（非指向性で）飛翔するので、入力スクリーン上に、均一な厚さのＣｓ−Ｓｂ−Ｋ膜すなわち光電面１２２が形成される。
【００５７】
ところで、真空外囲器１１１に対し、上述の蒸発源保持部１８１を進入させ、あるいは外囲器から保持部を抜き出し可能とするためには、前に説明した通り、導入管１７０の内径が１０ｍｍ程度と、大径となる。
【００５８】
このため、従来のように、外囲器１１１に導入管１７０を単に接続した場合、チップオフ（封止・切断）工程後、外囲器と導入管との接続部にひび等が生じて強度が低下し、あるいは外囲器内に外気が侵入する虞れがある。
【００５９】
このため、外囲器１１１と導入管１７０との接続部は、図４により以下に説明する接続部により接続されていることを特徴とする。
【００６０】
図４に示されるように、真空外囲器１１１と導入管１７０とが接続される部分においては、外囲器の側面の所定領域に、例えばバーリング加工により、導入管１７０の外径よりも所定の割合だけ大きな直径の開口が設けられ、外囲器の材質が外側に突出された接続部１１１ａが形成されている。接続部１１１ａの内側には、内部に、導入管１７０が挿入可能に形成された管フランジ１６０が位置されている。なお、管フランジ１６０の厚さ（高さ）は、外囲器１１１の厚さＴ０に比較して、数倍に設定される。
【００６１】
管フランジ１６０の径は、接続部１１１ａの径よりも僅かに小さく形成され、「すきまばめ」の関係にある。従って、ろう接において、ろう材が両者間に流れ込むことができ、管フランジ１６０と接続部１１１ａとが強固に（堅牢に）接続される。なお、両者の「すきま」は、ろう接時の熱膨張を考慮して設定される。また、管フランジ１６０の高さｈは、バーリング加工により外囲器１１１の外周面から外側に延出された接続部１１１ａの高さ（厚さ）Ｈと概ね等しく形成されていることから、管フランジと接続部とをろう接する際に、ろう材が均一に両者の「すきま」に流れ込むことを達成可能で、ろう接時の作業性を向上できる。
【００６２】
管フランジ１６０の内径側には、導入管１７０が挿入された後の管フランジとのろう接の作業性を考慮して、接続部１１１ａと管フランジの外径の高さ（Ｈ≒ｈ）よりも僅かに、低い段差Ｎが設けられている。すなわち、段差Ｎは、導入管１７０と管フランジ１６０とがろう接される際に、ろう材が管フランジと接続部１１１ａとのろう接部に回り込むことを抑止できる。なお、段差Ｎが深いと、導入管１７０が管フランジ１６０により保持される長さ（ろう接部の距離）が少なくなるので、段差Ｎの深さは、僅かでよい。
【００６３】
導入管１７０の端部は、管フランジ１６０の内径ｄに対して「すきまばめ」の関係になるように、所定の外径ａに設定されている。但し、管フランジ１６０に挿入されない導入管１７０の端部の径（外径）Ａと管フランジに挿入される部分の外径ａとの差は、僅かでよい。
【００６４】
なお、ろう接においては、導入管１７０と管フランジ１６０との間に、ろう材が両者間に流れ込むことができ、両者は、強固に（堅牢に）接続される。また、両者の「すきま」は、ろう接時の熱膨張を考慮して設定される。
【００６５】
一方、図５に示される通り、管フランジ１６０の外径Ｄは、管フランジに導入管１７０が挿入された状態で導入管に大きな外力が掛かったとしても接続部１１１ａに応力集中が生じない程度に設定されているので、導入管を、外囲器１１１の側面からの距離が少ない位置で、チップオフできる。
【００６６】
なお、導入管１７０の材質がＣｕ、管フランジ１６０の材質がＦｅまたはステンレス鋼、外囲器の材質がステンレス鋼である場合、導入管の外径Ａに対する導入管が管フランジで保持されるためのろう接部の長さ（管フランジの内径の深さ）Ｌは、導入管の外径Ａが１８ｍｍよりも大きい場合に、例えばＡ／５以上で、導入管をチップオフする際のチップオフ位置を外囲器の外周から導入管の外径と同程度に設定できる。
【００６７】
このように、異種金属である真空外囲器１１１（ステンレス）に導入管１７０を接続する際に、外囲器と導入管との間に管フランジ１６０を設け、管フランジと導入管とをろう接した後、管フランジを外囲器にろう接することで、導入管がチップオフされる際に外囲器にかかる荷重を管フランジの内径と外径の差で吸収できるので、外囲器の気密性を維持したままで、導入管を外囲器の外周から僅かの距離の位置でチップオフできる。また、管フランジ１６０と導入管１７０とがろう接される接合部分においても有害な塑性変形が生じることが抑制される。
【００６８】
上記のように、導入管をチップオフすることにより本発明のＸ線イメージ管が製造される。
【００６９】
なお、請求項１におけるＸ線イメージ管の導入管は、このチップオフ後のものも含まれる。
【００７０】
従って、入力スクリーン１２０の光電面１２２に用いられるアンチモンとアルカリ金属を蒸着させるための蒸発源保持体１８１を、スライド機構１８０により真空外囲器１１１内に挿入可能に、または外囲器から取り外し可能とするための内径の大きな導入管１７０を用いたとしても、外囲器の外周を囲むカバー部材の直径が不所望に増大されることが防止される。なお、内径の大きな導入管１７０が利用可能となるので、外囲器１１１の管軸中心に、複数の蒸発源金属を位置させることができ、しかも蒸着が終了した後に残りの蒸発源が外囲器内に残されることが防止できる。
【００７１】
なお、この発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々な変形・変更が可能である。また、各実施の形態は、可能な限り適宜組み合わせて実施されてもよく、その場合、組み合わせによる効果が得られる。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、入力スクリーンの光電変換面の特性が全域に亘って安定なＸ線イメージ管が得られる。
【００７３】
特に、入力スクリーンの光電変換面の形成に用いられる蒸発源は、真空外囲器の管軸中心に位置されるので、特性が均一な光電変換面が得られる。また、蒸発源は、光電変換面の形成終了後に、Ｘ線イメージ管の真空外囲器外に取り出されるので、排気工程やエージング工程等において、周知の製造方法のように、アンチモンが光電変換面に再付着し、あるいは出力スクリーンに落下することが完全に防止される。なお、アルカリ金属蒸気も管軸中心から指向性なく入力スクリーンに蒸着されるので、輝度が一様な入力スクリーンが得られる。
【００７４】
さらに、蒸発源金属を真空外囲器内の管軸中心に位置させて光電変換面を形成可能であるから、蒸発源金属の消費量が低減されるとともに、外囲器内の側壁等の光電変換に寄与しない領域に、不所望にアンチモンやアルカリ金属が付着することが抑止できる。この場合、外囲器内の集束電極や陽極に付着するアンチモンやアルカリ金属の量も低減されるので、耐電圧特性も向上する。しかも、欠点像や放電現象が生じることも防止できる。
【００７５】
一方、蒸発源金属を外囲器から取り出し可能な内径の大きな導入管は、外囲器と導入管との間に介在される管フランジを介して強固に外囲器に固着されているので、外囲器の外周から僅かな距離でチップオフでき、Ｘ線イメージ管の外径も低減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態が適用されるＸ線イメージ管の一例を説明する概略図。
【図２】図１に示したＸ線イメージ管内に挿入され、またはＸ線イメージ管から外部に取り出される蒸発源保持部の一例を説明する概略図。
【図３】図２に示した蒸発源保持部として利用されるボートの一例を説明する概略図。
【図４】図１に示したＸ線イメージ管の外囲器と図２に示した蒸発源保持部を外囲器内に挿入／取り出し可能な導入管との接続部の一例を説明する概略図。
【図５】図４に示した外囲器と導入管との接続部のチップオフ位置を説明する概略図。
【図６】周知のＸ線イメージ管の一例を説明する概略図。
【符号の説明】
１０１…Ｘ線イメージ管、
１１１…真空外囲器、
１１１ａ…接続部、
１２０…入力スクリーン、
１２１…蛍光面、
１２２…光電変換面、
１３０…出力スクリーン、
１３１…蛍光面、
１４０…陽極、
１５０…集束電極、
１７０…導入管、
１７１…分岐部、
１８０…蒸発源保持−スライド機構、
１８１…蒸発源保持部（セラミックヒータ）、
１８２…加熱装置、
１９１…第１の領域（アルカリ金属保持部）、
１９１ａ…ボート、
１９１ｂ…蓋、
１９２…第２の領域（アルカリ金属保持部）、
１９２ａ…ボート、
１９２ｂ…蓋、
１９３…第３の領域（アンチモン固着部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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