(57)【要約】【課題】多数の電子部品の測定を行った場合であっても、異方性導電ゴムシートの劣化による接触不良が確実に抑制され、検査の信頼性が高められ、さらに異方性導電ゴムシートの実使用面積の増大及び寿命の延長を図ることができ、電子部品の検査コストを低減し得る電子部品検査装置を提供する。【解決手段】上面に複数の端子部が設けられた測定基板３上に、異方性導電ゴムシート４が配置され、該異方性導電ゴムシート４上に電極６ａを有する電子部品６が電極６ａ側から圧接されて電子部品６の特性が検査される電子部品検査装置であって、上記測定基板３に複数の吸引孔としての吸引孔３ａが形成されており、吸引孔３ａから吸引することにより、異方性導電ゴムシート４が測定基板３上に吸引保持された状態で電子部品６の電極６ａの異方性導電ゴムシート４への圧接が行われる、電子部品検査装置。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に端子部が設けられた測定治具と、
前記測定治具上に配置されており、かつ厚み方向に導電性を有する異方性導電ゴムシートとを備え、前記異方性導電ゴムシート上に電子部品の電極が圧接されて電子部品の電極と測定治具上の端子部とが電気的に接続されて、電子部品の特性が測定される電子部品検査装置において、
前記測定治具の上面に少なくとも１つの吸引孔が設けられており、前記吸引孔を介して前記異方性導電ゴムシートを吸引することにより、該異方性導電ゴムシートが測定治具上に密着される、電子部品検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品検査装置を用いた電子部品検査方法であって、
前記異方性導電ゴムシートを吸引により前記測定治具上に密着させる工程と、
前記異方性導電ゴムシートが前記測定治具上に密着された状態で、前記異方性導電ゴムシート上に電子部品の電極を圧接させて電子部品の特性を測定する工程とを備える、電子部品検査方法。
【請求項３】
前記異方性導電ゴムシートの未使用部分を用いて、電子部品の特性を測定するにあたり、前記吸引を一時解除し、異方性導電ゴムシートを移動させる工程をさらに備える、請求項２に記載の電子部品検査方法。
【請求項４】
前記異方性導電ゴムシートの使用済部分にマーキングを付与する工程をさらに備える、請求項３に記載の電子部品検査方法。
【請求項５】
前記電子部品の消費電流を計測する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項３または４に記載の電子部品検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性導電ゴムシートを用いた電子部品検査装置及び検査方法に関し、より詳細には、測定治具上に異方性導電ゴムシートを介して電子部品が圧接されて、電子部品の特性が測定される電子部品検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置などの様々な電子部品の特性を測定するに際し、異方性導電ゴムシートが用いられている。すなわち、複数の端子部が上面に設けられた測定治具上に異方性導電ゴムシートが載置され、該異方性導電ゴムシート上に電子部品の電極が圧接されて、電子部品の特性が測定されている。異方性導電ゴムシートでは、厚み方向に導電性を有するように、絶縁性材料からなるゴムシートの上面から下面に至るように、金線などの導電性の線材が多数配置されている。
【０００３】
ところで、上記異方性導電ゴムシートを用いた検査装置において、電子部品の特性の測定を繰り返すと、異方性導電ゴムシートの表面が変形し、電子部品の電極と異方性導電ゴムシートとの電気的接続並びに異方性導電ゴムシートと測定治具上の端子部との電気的接続が充分に行えないことがあった。そこで、従来、異方性導電ゴムシートを用いて、電子部品の特性を測定するにあたっては、異方性導電ゴムシートがたわみ、測定が確実に行えないようになった場合に、異方性導電ゴムシートが、新たな異方性導電ゴムシートに取り替えられていた。
【０００４】
しかしながら、交換作業が煩雑であるため、比較的大きな異方性導電ゴムシートを用意し、異方性導電ゴムシートの劣化が生じた場合、該異方性導電ゴムシートの未使用部分を用いて特性を測定する方法が提案されている。
【０００５】
例えば、下記の特許文献１には、図８（ａ）及び（ｂ）に示す半導体集積回路装置が開示されている。ここでは、異方性導電ゴムシート５１が、測定治具５２上に載置されている。測定治具５２の上面には、複数の測定端子５３が配置されている。他方、半導体集積回路５４は、側方に延びる複数本のリード５４ａを有する。リード５４ａを図示の矢印方向にリード押え機構により押圧することにより、リード５４ａが、異方性導電ゴムシート５１に圧接される。それによって、リード５４ａが、測定治具５２上の測定端子５３に電気的に接続される。
【０００６】
特許文献１に記載の試験装置では、上記異方性導電ゴムシート５１が測定端子５３に圧接、あるいは圧接後離脱する度に、異方性導電ゴムシート５１の位置を測定端子５３に対して移動させる機構が設けられている。すなわち、異方性導電ゴムシートを、測定の度毎に移動させることにより、異方性導電ゴムシートの未使用部分を使用部分に変更し、それによって、異方性導電ゴムシートの劣化による測定不良が抑制されるとされている。
【０００７】
また、下記の特許文献２には、図９に断面図で示すＩＣ試験装置が開示されている。ここでは、異方性導電ゴムシート６１が測定治具６２上の端子部６３に接触するように重ねられている。ＩＣ６４のリード端子６４ａが、リード押え治具６５により異方性導電ゴムシート６１の上面に圧接され、ＩＣの特性の測定が行われる。
【０００８】
特許文献２に記載の試験装置では、ＸＹ駆動手段により、上記異方性導電ゴムシート６１がＸ方向及びＹ方向に移動し得るように構成されており、それによってＩＣのリード端子６４ａと接触される部分が順次移動されるように構成されている。それによって、異方性導電ゴムシート６１の耐久性が高められるとされている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平５−１２９３８６号公報
【特許文献２】
特開平９−２２２４５９号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１，２に記載の各試験装置では、異方性導電ゴムシートの位置を移動させる機構により、異方性導電ゴムシートの未使用部分が次の使用部分とされ、それによって電子部品のリードなどの電極と測定治具上の端子部との電気的接続の信頼性が高められるとともに、異方性導電ゴムシートの耐久性が高められている。
【００１１】
しかしながら、特許文献１，２に記載の試験装置では、上記のように、異方性導電ゴムシートを移動させる機構を用意しなければならず、特に特許文献２に記載のようにＸＹ移動機構を設ける場合には、移動機構が複雑かつ大型となり、コストが非常に高くつくという問題があった。
【００１２】
加えて、特許文献１，２に記載の試験装置では、多数回にわたり試験を行った場合、異方性導電ゴムシート面の歪みにより測定の信頼性が低下するという問題があった。すなわち、異方性導電ゴムシートに、電子部品の電極を圧接させた場合、異方性導電ゴムシートが変形する。従って、次回の測定に際しては、特許文献１，２に記載の試験装置では、異方性導電ゴムシートの他の部分に次の電子部品のリードなどの電極が圧接されるように構成されている。しかしながら、多数回にわたり試験を行うと、異方性導電ゴムシートが上記圧接後に充分に弾性回復せず、歪みが生じてくる。このような場合、特許文献１，２に記載の試験装置を用いて、異方性導電ゴムシートを移動させたとしても、接触不良が生じたり、特性を高精度に測定できないことがあった。
【００１３】
すなわち、特許文献１，２に記載の試験装置では、多数回にわたって試験を行った場合に異方性導電ゴムシートが劣化すると、異方性導電ゴムシートを取り替えねばならず、そのため、異方性導電ゴムシートの消費量が大きく、コストが高くつかざるを得なかった。
【００１４】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、大がかりであり、かつコストの高くつく駆動機構を必要とせず、さらに異方性導電ゴムシートの消費量を効果的に低減することができ、さらに電子部品の特性を高精度に測定することを可能とする電子部品検査装置及び検査方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本願の第１の発明は、上面に端子部が設けられた測定治具と、前記測定治具上に配置されており、かつ厚み方向に導電性を有する異方性導電ゴムシートとを備え、前記異方性導電ゴムシート上に電子部品の電極が圧接されて電子部品の電極と測定治具上の端子部とが電気的に接続されて、電子部品の特性が測定される電子部品検査装置において、前記測定治具の上面に少なくとも１つの吸引孔が設けられており、前記吸引孔を介して前記異方性導電ゴムシートを吸引することにより、該異方性導電ゴムシートが測定治具上に密着されることを特徴とする。
【００１６】
本願の第２の発明は、第１の発明に係る検査装置を用いた検査方法であって、前記異方性導電ゴムシートを吸引により前記測定治具上に密着させる工程と、前記異方性導電ゴムシートが前記測定治具上に密着された状態で、前記異方性導電ゴムシート上に電子部品の電極を圧接させて電子部品の特性を測定する工程とを備えられる。
【００１７】
第２の発明に係る電子部品検査方法のある特定の局面では、前記異方性導電ゴムシートの未使用部分を用いて、電子部品の特性を測定するにあたり、前記吸引を一時解除し、異方性導電ゴムシートを移動させる工程がさらに備えられる。
【００１８】
第２の発明に係る電子部品検査方法のさらに他の特定の局面では、前記異方性導電ゴムシートの使用済部分にマーキングを付与する工程がさらに備える。
第２の発明に係る電子部品検査方法のさらに他の特定の局面では、前記電子部品の消費電流を計測する工程がさらに備えられる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより本発明を明らかにする。
【００２０】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る電子部品検査装置の概略を示す斜視図及び正面断面図である。
電子部品検査装置１は、支持台２と支持台２上に配置された測定基板３とからなる測定治具を有する。測定基板３上には異方性導電ゴムシート４が載置されている。
【００２１】
支持台２は、上面に開いた流路２ａを有する。流路２ａの他端は、支持台２の側面２ｂに至っている。この側面２ｂにおける流路２ａの開口部に図示しない吸引源が接続される。吸引源としては、例えば真空ポンプなどの適宜の吸引装置を用いることができる。
【００２２】
支持台２の上面２ｃ上には、測定基板３が載置されている。測定基板３は、本実施形態では、例えば金属などの剛性材料からなる。測定基板３の上面には、図２に示すように、複数の端子部５が形成されている。なお、図１では、端子部５の図示は省略されている。また、測定基板３には、上下方向に貫くように複数の吸引孔３ａが形成されている。吸引孔３ａは、１個のみ形成されていてもよい。吸引孔３ａは、その下方の開口が、支持台２の流路２ａに臨むように配置されている。
【００２３】
また、測定基板３上には、異方性導電ゴムシート４が載置されている。図３に示すように、異方性導電ゴムシート４は、絶縁性ゴムからなるシート本体４ａと、シート本体４ａに埋め込まれた金線４ｂとを有する。金線４ｂは、異方性導電ゴムシート４の上面から下面に貫くように配置されている。従って、異方性導電ゴムシート４は、その厚み方向に導電性を有し、面方向には導電性を有しない。
【００２４】
異方性導電ゴムシート４のシート本体４ａは、例えばブチルゴムなどの合成ゴムあるいは天然ゴムで構成される。金線４ｂに代えて、Ｃｕ線やＡｇ線などの他の導電性線材を用いてもよい。
【００２５】
異方性導電ゴムシート４の上面には、電子部品６が圧接される。図１に示すように、本実施形態では、電子部品６は、その下面６ａに、複数の電極６ｂを有する。電極６ｂが、異方性導電ゴムシート４の上面に圧接されるように、電子部品６が異方性導電ゴムシート４上に配置されて、電子部品の測定が測定基板３を用いて行われる。
【００２６】
本実施形態の特徴は、上記測定に先立ち、上述した吸引源による吸引により、吸引孔３ａを介して異方性導電ゴムシート４が測定基板３の上面に吸着されることにある。吸着により、異方性導電ゴムシート４の下面が測定基板３の上面に密着される。この状態で、上記電子部品６の電極６ｂが、異方性導電ゴムシート４の上面に圧接されて測定が行われる。
【００２７】
前述したように、異方性導電ゴムシートを用いた電子部品の特性測定を繰り返した場合、異方性導電ゴムシートにたわみが生じる。これを、図４（ａ）及び（ｂ）に示す。
【００２８】
すなわち、図４（ａ）は、異方性導電ゴムシート上に電子部品６が配置されている状態を示す。通常であれば、異方性導電ゴムシート４は、平坦である。しかしながら、測定を多数繰り返すうち、異方性導電ゴムシート４に電子部品６が多数回圧接されるため、図４（ｂ）に示すように、異方性導電ゴムシート４にたわみが発生する。このようなたわみが発生すると、電子部品６を異方性導電ゴムシート４に圧接したとしても、異方性導電ゴムシート４の上面が凹んでいる部分では、異方性導電ゴムシート４に埋設されている金線４ｂと電子部品６の電極６ｂとの接触不良が生じたり、測定基板３上の端子部と異方性導電ゴムシートの金線との接触不良が生じたりすることがある。また、たわんだ部分に電子部品６の電極６ｂが圧接した場合などにおいては、異方性導電ゴムシート４内の金線４ｂが変形し、それによって異方性導電ゴムシート４の劣化がさらに加速することもある。また、比較的高価な異方性導電ゴムシートでは、金線などの線材が０．１ｍｍ程度の狭ピッチで配列されており、このような高価な異方性導電ゴムシートでは、弾性を確保するために柔軟なゴムが用いられていることが多い。そのため、このような比較的高価な異方性導電ゴムシートでは、上記異方性導電ゴムシートの歪みがより一層生じ易いという問題があった。
【００２９】
上記のような異方性導電ゴムシートの歪みを防止するには、異方性導電ゴムシートに張力を与えて、歪みを矯正すればよいと考えられる。しかしながら、張力が大き過ぎると、異方性導電ゴムシートが面方向に伸び、導電性線材の配置密度が低下し、導通性が悪化し導電性の信頼性が低下するおそれがある。さらに、導電性線材の長さとゴムシート本体の厚みのバランスが悪くなり、導電性線材が配置されている部分にも歪みが生じ、それによって異方性導電ゴムシートの劣化が加速するおそれがある。逆に、張力が小さ過ぎると、異方性導電ゴムシート面の歪みを充分に矯正することができなくなる。
【００３０】
これに対して、本実施形態では、上記のように、異方性導電ゴムシート４は吸引により、測定基板３の上面に密着され、異方性導電ゴムシート４が確実に平坦化される。すなわち、電子部品６の測定が繰り返されたとしても、異方性導電ゴムシート４が吸引により、測定基板３の上面に密着されているため、異方性導電ゴムシート４にたわみが生じ難く、またたわみが生じたとしても、吸引により矯正され、異方性導電ゴムシート４が確実に平坦化される。
【００３１】
従って、本実施形態の検査装置１を用いれば、異方性導電ゴムシート４にたわみが生じ難いため、異方性導電ゴムシート４の寿命を延ばすことができるとともに、測定の信頼性を効果的に高めることができる。
【００３２】
なお、上記測定基板３は、通常、プリント回路基板で構成される。そして、複数の端子部５は、０．５〜１．０ｍｍピッチ程度で配置されていることが多い。従って、上記吸引孔としては、０．２〜０．５ｍｍ径程度の吸引孔を設けることが望ましい。
【００３３】
なお、本実施形態では、測定基板３の上面に開いた吸引孔３ａは、支持台２の側面２ｂに至る流路２ａに連なっていたが、支持台２の下面に至るように形成されていてもよい。
【００３４】
本実施形態の電子部品検査装置１を用いた場合、異方性導電ゴムシート４の貼り代ろを最小限に抑えることができる。これを、図５及び図６を参照して説明する。例えば、図５に示すように、測定基板３上に、異方性導電ゴムシート１４を吸引せずに粘着テープ１１，１１で貼り合わせるとする。この場合には、粘着テープ１１，１１により異方性導電ゴムシート１４に張力を与えて貼り合わせる必要があるため、大きな貼り代ろが必要である。
【００３５】
これに対して、本実施形態では、異方性導電ゴムシート４が吸引により固定されるため、図６に示すように、粘着テープ１１，１１を貼付する貼り代ろが必要ではない。なお、図６では、粘着テープ７が図示されているが、粘着テープ７は異方性導電ゴムシート４の紛失を防止するために、異方性導電ゴムシート４を測定基板３上に仮止めするために用いれらているものに過ぎない。
【００３６】
従って、電子部品検査装置１では、異方性導電ゴムシート４の貼り代ろを小さくし得るため、異方性導電ゴムシートの使用領域を増大させることができ、それによっても、コストを低減することができる。特に、異方性導電ゴムシートは、１平方ｃｍ当り数百円〜千数百円と消耗材としては非常に高価である。従って、本実施形態によれば、このような高価な異方性導電ゴムシートの使用量を低減することができる。
【００３７】
なお、上記電子部品検査装置１を用いた電子部品の測定に際しては、異方性導電ゴムシート４上において、電子部品６を測定する工程を多数回繰り返した場合、やはり異方性導電ゴムシートが劣化することがある。この場合には、異方性導電ゴムシートの未使用部分が、電子部品６に圧接されるように、異方性導電ゴムシートの位置を移動させればよい。この移動に際しては、上記吸引源による吸引を一時的に解除することにより、容易に行うことができる。すなわち、異方性導電ゴムシート４は、粘着テープや圧接手段などにより、測定基板３上に固定されているものではないため、容易に異方性導電ゴムシート４を移動させることができる。
【００３８】
また、好ましくは、異方性導電ゴムシート４の使用済部分に、マーキングを行っておけば、使用部分と未使用部分との区別が容易となる。従って、電子部品６に未使用部分が圧接されるように容易に異方性導電ゴムシート４の位置をずらすことができる。
【００３９】
また、上記電子部品検査装置１を用いた検査方法では、好ましくは、測定基板３上の端子部５により電子部品６の消費電流を特性の測定と合わせて測定することが望ましい。すなわち、消費電流の値が、定格消費電流より小さい場合、接触不良であることを知ることができる。従って、この接触不良の発生状況により異方性導電ゴムシート４の寿命を予測することも可能である。
【００４０】
なお、上記実施形態では、電子部品６は、下面に複数の電極６ａが形成されており、該電極６ａが、異方性導電ゴムシートに圧接されるように構成されていたが、電極としてのリード端子が側方に延ばされた電子部品を用いてもよい。その場合には、リード端子をリード端子押え機構などにより異方性導電ゴムシート上に圧接させればよい。
【００４１】
また、上記実施形態では電極６ａが下面のみに形成されたものであるが、電子部品６の側面に電極を形成し、その回り込み部が下面に形成された電子部品に用いてもよい。
【００４２】
次に、具体的な実験例につき説明する。下面の形状が４ｍｍ×４ｍｍの矩形の電子部品６を用意した。ここでは、電極６ａは、０．３ｍｍ×０．３ｍｍの矩形の形状を有し、かつ０．６ｍｍピッチで配置されている。
【００４３】
測定治具上に６ｍｍ×８ｍｍの矩形の異方性導電ゴムシート４を配置し、一端を帯電防止粘着テープで仮止めした。なお、異方性導電ゴムシート４には、０．１ｍｍで金線が配置されている。
【００４４】
また、測定基板３には、異方性導電ゴムシート４が設置される部分に、直径０．３ｍｍの９個の吸引孔が格子状に配置されている。
上記吸引孔から吸引することにより、異方性導電ゴムシート４を測定基板３上に吸着し、その状態で電子部品６の特性を測定する工程を繰り返した。結果を図７に示す。なお、比較のために上記吸着を行わないことを除いては同様にして測定した結果を比較例として図７に併せて示す。
【００４５】
図７から明らかなように、吸着を行わなかった場合には、１００回の測定を行った後から接触不良が発生し始め、５００回程度圧接・測定を繰り返したところ、５０％以上において、接触不良が生じた。これに対して、本実施形態に従って異方性導電ゴムシートを吸着した場合には、１０００回の測定まで接触不良率を１％以下に抑えることが可能であった。従って、みかけ不良を低減することができ、電子部品の良品率を効果的に高め得ることがわかる。
【００４６】
また、４ｍｍ×４ｍｍの矩形の下面を有する電子部品６を用いた場合、上述したように、吸着を利用せずに、粘着テープを用いて張力を加えて測定治具に貼り合わせる場合には、粘着テープの貼り代ろ領域を含めて１０ｍｍ×１６ｍｍの面積のものを用いなければならなかった。これに対して、上記実験例では、仮止めのための帯電防止テープとして、６ｍｍ×８ｍｍの大きさのものを用いればよいだけであるため、貼り代ろを含めた導電ゴムシート面積を約７０％低減し得ることが認められた。
【００４７】
【発明の効果】
本発明に係る電子部品検査装置では、測定治具の吸引孔から異方性導電ゴムシートが吸引され、測定治具上に吸着されるため、電子部品の測定に際し、電子部品の電極を異方性導電ゴムシートに圧接する工程を多数繰り返したとしても、異方性導電ゴムシートのたわみを確実に矯正することができる。従って、異方性導電ゴムシートを用いた電子部品の特性測定に際し、接触不良を低減することができるとともに、異方性導電ゴムシートの寿命を飛躍的に延長することができる。
【００４８】
加えて、異方性導電ゴムシートの測定治具上への固定が、吸着によるため、粘着テープ等を用いた固定方法に比べて貼り代ろを著しく小さくすることができる。よって、異方性導電ゴムシートの実使用面積を飛躍的に増大することができ、それによっても、電子部品の検査コストを低減することができる。
【００４９】
さらに、異方性導電ゴムシートの未使用部分を使用するために、異方性導電ゴムシートを移動させる必要がある場合においても、上記吸引を一時的に解除するだけで、異方性導電ゴムシートの移動を容易に行うことができる。
【００５０】
本発明に係る電子部品検査方法では、本発明に従って構成された電子部品検査装置を用いて電子部品の測定が行われるため、同様に、異方性導電ゴムシートの寿命を延長することができるとともに、電子部品の測定の信頼性を高めることができ、さらに異方性導電ゴムシートの実使用面積を増大することができる。従って、安価にかつ高精度に電子部品の特性を測定することが可能となる。
【００５１】
本発明に係る電子部品検査方法においては、異方性導電ゴムシートの未使用部分を用いるにあたり、吸引を一時解除して、異方性導電ゴムシートを移動させる工程を備える場合には、未使用部分を使用するための異方性導電ゴムシートの移動を容易に行うことができる。
【００５２】
本発明に係る電子部品検査方法において、異方性導電ゴムシートの使用済部分にマーキングを施した場合には、使用済部分と未使用部分を容易に区別することができ、それによって異方性導電ゴムシートの未使用部分を用いるように異方性導電ゴムシートを容易に移動させることができる。
【００５３】
本発明に係る電子部品検査方法において、電子部品の消費電流を測定する工程をさらに供える場合には、消費電流の値が低減した場合に、接触不良と判断することができるため、異方性導電ゴムシートの寿命を確実に把握することでができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る電子部品検査装置の斜視図及び正面断面図。
【図２】本発明に係る電子部品検査装置の要部を説明するための模式的斜視図。
【図３】本発明の一実施形態で用いられる異方性導電ゴムシートを説明するための正面断面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、異方性導電ゴムシートが吸着されていない場合に、電子部品の圧接を多数回繰り返した場合に異方性導電ゴムシートに歪みが生じる状態を説明するための各模式的正面図。
【図５】本発明の実施形態の比較例として、異方性導電ゴムシートを吸引せず、粘着テープにより張力を与えて測定治具上に貼り合わせた構造を説明するための模式的平面図。
【図６】本発明の一実施形態において、測定治具上に異方性導電ゴムシートが吸引固定され、かつ帯電防止テープにより仮止めされている構造を示す模式的平面図。
【図７】本発明の一実施例における電子部品の異方性導電ゴムシートへの圧接測定回数と接触不良率との関係、並びに異方性導電ゴムシートを吸着保持しないことを除いては同様にして行った比較例の場合の電子部品の圧接回数と接触不良率との関係を示す図。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、従来の半導体集積回路試験装置を説明するための正面断面図及び平面図。
【図９】従来のＩＣ試験装置の一例を示す正面断面図。
【符号の説明】
１…電子部品検査装置
２…支持台
３…測定基板
３ａ…吸引孔
４…異方性導電ゴムシート
４ａ…シート本体
４ｂ…金線
５…端子部
６…電子部品
６ａ…下面
６ｂ…電極
７…帯電防止粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004271181.tif 000008
【図７】
2004271181.tif 000009
【図８】
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【図９】
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