(57)【要約】【課題】フィルタ要素材料の特性劣化を長期間にわたって防止することにより、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できるようにする。【解決手段】液状のフィルタ材料をフィルタ材料の使用温度より低い温度で保存する工程と、フィルタ材料を使用温度に戻す工程と、使用温度に戻されたフィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する工程とを有するカラーフィルタ基板の製造方法である。保存工程は冷却保存部４の冷蔵庫２６によって行われる。使用温度に戻す工程は、フィルタ材料供給部３のヒータ２１又は自然の昇温によって行われる。吐出は、記録ヘッド１３に設けたノズルから行われる。冷蔵庫２６によって容器２２内のフィルタ材料を冷却保存するので、フィルタ材料の長寿命化が達成される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状のフィルタ材料を該フィルタ材料の使用温度より低い温度で保存する工程と、
前記フィルタ材料を前記使用温度に戻す工程と、
前記使用温度に戻された前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
液状のフィルタ材料を該フィルタ材料の劣化温度より低い温度で保存する工程と、
前記フィルタ材料を使用温度に戻す工程と、
前記使用温度に戻された前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記フィルタ材料はＲ，Ｇ，Ｂ又はＣ，Ｍ，Ｙの顔料を含む液状材料であることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つにおいて、前記使用温度が１８℃〜２６℃のとき、前記保存する工程では、前記フィルタ材料を１０℃以下で保存することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つにおいて、前記フィルタ材料を使用温度に戻す工程では、前記フィルタ材料を加熱手段によって加熱することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項６】
請求項５において、前記フィルタ材料の温度を温度センサによって検知し、この検知結果に従って、温度制御回路が前記加熱手段を制御して前記フィルタ材料の温度を制御することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、前記吐出部は、圧電素子を用いたインクジェットヘッドであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、前記吐出部は、熱エネルギーによって発生する気泡により材料を吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項９】
フィルタ材料を貯留する容器と、
前記フィルタ材料を冷却する冷却手段と、
前記フィルタ材料を加熱する加熱手段と、
前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する液滴吐出手段と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１０】
請求項９において、前記フィルタ材料の温度が該フィルタ材料の使用温度より低い温度になるように前記冷却手段の動作を制御する制御手段を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１１】
請求項９において、前記フィルタ材料の温度が該フィルタ材料の劣化温度より低い温度になるように前記冷却手段の動作を制御する制御手段を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１２】
請求項９から請求項１１のいずれか１つにおいて、前記フィルタ材料はＲ，Ｇ，Ｂ又はＣ，Ｍ，Ｙの顔料を含む液状材料であることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１３】
請求項９乃至１２のいずれか１つにおいて、前記吐出部は圧電素子を用いたインクジェットヘッドであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１４】
請求項９乃至１２のいずれか１つにおいて、前記吐出部は、熱エネルギーによって発生する気泡により材料を吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１５】
請求項１から請求項８のいずれか１つに記載のカラーフィルタ基板の製造方法によって製造されることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項１６】
請求項１５記載のカラーフィルタ基板を有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１７】
請求項１から請求項８のいずれか１つに記載のカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１８】
請求項１６記載の電気光学装置を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー表示を行う際に用いられるカラーフィルタ基板、その製造方法及びその製造装置に関する。また本発明は、液晶装置やエレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置及びその製造方法に関する。また本発明は、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等といった電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ等といった電子機器に、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置が広く用いられている。例えば、電子機器に関する各種の情報を視覚的に表示するために電気光学装置が用いられている。
【０００３】
電気光学装置として液晶装置を考えた場合、その液晶装置によってカラー表示を行うときには、その液晶装置の内部にカラーフィルタ基板が設けられる。カラーフィルタ基板は、例えば、透光性のガラス等によって形成された基材上にカラーフィルタを形成することによって作製される。カラーフィルタとは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のフィルタ要素や、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）の３色のフィルタ要素を平面内に所定の配列で並べることによって形成された光学要素である。
【０００４】
基材上にカラーフィルタを形成してカラーフィルタ基板を作製する際、すなわち、基材上に複数のフィルタ要素を形成する際に、従来、インクジェット技術を利用して基材上にフィルタ要素の材料を供給する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法では、フィルタ要素の材料をノズル等といった吐出部から液滴状に吐出することによって当該材料が基材上に塗布される。この場合、吐出部から吐出されるフィルタ要素材料は、所定量がインクタンク内に貯留される。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−０１９７９０
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなインクジェット技術を用いたカラーフィルタ基板の製造方法においては、インクタンク内に貯留されるフィルタ要素材料が経時的に劣化することにより、製造されるカラーフィルタ基板の特性が劣化するおそれがある。本発明は、そのような問題点を解消するために成されたものであって、フィルタ要素材料の特性劣化を長期間にわたって防止することにより、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法は、液状のフィルタ材料を該フィルタ材料の使用温度より低い温度で保存する工程と、前記フィルタ材料を前記使用温度に戻す工程と、前記使用温度に戻された前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する工程とを有することを特徴とする。
【０００８】
上記構成において、「フィルタ材料」は、Ｒ，Ｇ，ＢやＣ，Ｍ，Ｙの色を有する材料によって構成される。このフィルタ材料の材質は特別のものに限定されないが、例えば、レジン等の透明材を主体とする各色顔料と、エチレングリコール等といったグリコール系の溶媒とから成る液状物とすることができる。また、顔料、界面活性剤及び溶媒によって構成される固形分を適宜の溶媒に溶かすことによって構成された液状物とすることもできる。
【０００９】
また、「使用温度」とは、フィルタ材料が使用される温度のことであり、フィルタ材料が室内で使用される場合は、この使用温度は、とりもなおさず室温のことである。この使用温度は、現状では、季節及び場所を問わず温調設備によって制御されて、１８℃〜２６℃の範囲、望ましくは２５℃〜２６℃の範囲に保持される。
【００１０】
また、「使用温度より低温度で保存する工程」は、例えば家庭で使用されている冷蔵庫のような冷却手段、その他任意の構造の冷却手段を用いて構成できる。また、「フィルタ材料を使用温度に戻す工程」は、フィルタ材料を上記冷却手段の作用が及ぶ領域の外側へ出して自然に昇温させる方法や、ヒータ等といった加熱手段を用いて強制的に昇温させる方法等が考えられる。
【００１１】
また、「フィルタ材料を液滴として吐出する吐出部」は、例えばインクジェットヘッドのノズルのような微細な開口によって構成される。また、「フィルタ材料を液滴として吐出する工程」は、液滴吐出技術いわゆるインクジェット技術によって実現できる。このインクジェット技術は、例えば、インク貯留室に圧電素子及びノズルを付設し、圧電素子の振動によるインク貯留室の体積変化に応じてノズルからインク、すなわち液状物を液滴として吐出する技術であることが望ましい。また、インクジェット技術は、例えば、インク貯留室内に貯留されたインクを加熱によって膨張させることによりノズルからインクを液滴として吐出する技術とすることもできる。
【００１２】
上記構成より成る本発明のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、フィルタ材料が吐出部から吐出されるときは、そのフィルタ材料の温度は使用温度に保持される。これにより、良好な吐出処理が行われる。他方、フィルタ材料の吐出処理が行われない期間、すなわち待機期間中は、そのフィルタ材料は使用温度より低い温度に保持される。これにより、フィルタ材料の劣化が長期間にわたって防止され、それ故、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できる。
【００１３】
次に、本発明に係る他のカラーフィルタ基板の製造方法は、液状のフィルタ材料を該フィルタ材料の劣化温度より低い温度で保存する工程と、前記フィルタ材料を使用温度に戻す工程と、使用温度に戻された前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
上記の製造方法では、フィルタ材料を使用温度よりも低い温度で保存した。これに対し、本製造方法では、フィルタ材料を当該フィルタ材料の劣化温度よりも低い温度で保存する。ここで、フィルタ材料の劣化温度とは、フィルタ材料をその温度で保存するときにそのフィルタ材料に劣化が発生するような温度であり、例えば、フィルタ材料の主溶媒が水であるときは、５℃〜１０℃の範囲の温度である。
【００１５】
本発明の製造方法によれば、フィルタ材料が吐出部から吐出されるときは、そのフィルタ材料の温度は使用温度に保持される。これにより、良好な吐出処理が行われる。他方、フィルタ材料の吐出処理が行われない期間、すなわち待機期間中は、そのフィルタ材料は劣化温度より低い温度に保持される。これにより、フィルタ材料の劣化が長期間にわたって防止され、それ故、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できる。
【００１６】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法において、フィルタ材料の使用温度が１８℃〜２６℃、好ましくは２５℃〜２６℃のとき、前記保存する工程では、前記フィルタ材料を１０℃以下で保存することが望ましい。これにより、フィルタ材料の劣化を長期間にわたって防止でき、それ故、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できる。
【００１７】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法において、前記フィルタ材料を使用温度に戻す工程では、前記フィルタ材料を加熱手段によって加熱することが望ましい。冷却保存されたフィルタ材料を使用温度に戻すにあたっては、室温等といった使用温度環境下で自然に昇温させることもできる。しかしながら、この方法では、フィルタ材料が使用可能状態になるまでに長時間を要するという問題が考えられる。これに対し、加熱手段を設けてフィルタ材料を強制的に昇温させれば、フィルタ材料を短時間で使用状態に復元できる。なお、加熱手段の具体的な構成は任意に決めることができる。例えば、ヒータ線からの放射熱によって加熱したり、熱風を当てて加熱したりすることができる。
【００１８】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法においては、前記フィルタ材料の温度を温度センサによって検知し、この検知結果に従って、温度制御回路が前記加熱手段を制御して前記フィルタ材料の温度を制御することを特徴とすることが望ましい。この時、前記フィルタ材料の温度を温度センサによって検知し、この検知結果に基づいてフィルタ材料が使用温度に戻ったかどうかを判定することもできる。こうすれば、フィルタ材料を常に一定の温度状況下で使用することが可能となり、安定した品質のカラーフィルタ基板を製造できる。
【００１９】
本発明に係るカラーフィルタの製造方法においては、前記吐出部は、圧電素子を用いたインクジェットヘッドであることが好ましい。また、本発明に係るカラーフィルタの製造方法においては、前記吐出部は、熱エネルギーによって発生する気泡により材料を吐出するインクジェットヘッドであることが好ましい。
【００２０】
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置は、フィルタ材料を貯留する容器と、前記フィルタ材料を冷却する冷却手段と、前記フィルタ材料を加熱する加熱手段と、前記フィルタ材料を吐出部から液滴として吐出する液滴吐出手段とを有することを特徴とする。
【００２１】
ここで、「容器」は、金属、プラスチック、その他任意の材質とすることができる。但し、本発明ではフィルタ材料を冷却したり、加熱したりするので、熱伝導率の高い材料によって形成することが望ましい。また、冷却手段は、例えば家庭で一般的に使用されている冷蔵庫のような冷却装置、又はその他任意の構造の冷却装置を使用できる。
【００２２】
また、「加熱手段」は、ヒータ線等を用いて放射熱によって加熱する装置や、熱風を吹きつける装置や、その他任意の構造の加熱装置を用いることができる。また、「液滴吐出手段」は、液状物を液滴として吐出することができる任意の構造の吐出装置を用いることができる。例えば、圧電素子の振動によって液体室の体積を変化させることによって吐出する構造や、液体室内の液状物を加熱及び冷却によって膨張及び収縮させることによって吐出する構造等を用いることができる。
【００２３】
上記構成から成るカラーフィルタ基板の製造装置によれば、液滴吐出手段によってフィルタ材料を液滴として吐出することにより、フィルタ材料を基材上の所定領域に塗布することができる。この塗布処理のとき、フィルタ材料は室温すなわち使用温度に保持され、これにより、良好な吐出処理が行われる。他方、フィルタ材料の吐出処理が行われない期間、すなわち待機期間中は、冷却手段によってそのフィルタ材料は低い温度に保持される。これにより、フィルタ材料の劣化が長期間にわたって防止され、それ故、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できる。なお、加熱手段によってフィルタ材料を加熱すれば、低い温度に保存されていたフィルタ材料を短時間で使用可能な温度まで昇温させることができる。
【００２４】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置においては、前記フィルタ材料の温度が該フィルタ材料の使用温度より低い温度になるように前記冷却手段の動作を制御する制御手段を設けることが望ましい。これにより、待機期間中のフィルタ材料は使用温度よりも低い温度で保存されるので、劣化が抑えられる。
【００２５】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置においては、前記フィルタ材料の温度が該フィルタ材料の劣化温度より低い温度になるように前記冷却手段の動作を制御する制御手段を設けることが望ましい。これにより、待機期間中のフィルタ材料は劣化温度よりも低い温度で保存されるので、劣化が抑えられる。
【００２６】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置において、前記フィルタ材料はＲ，Ｇ，Ｂ又はＣ，Ｍ，Ｙの顔料を含む液状材料であることが望ましい。
本発明に係るカラーフィルタの製造装置においては、前記吐出部は、圧電素子を用いたインクジェットヘッドであることが好ましい。
本発明に係るカラーフィルタの製造装置においては、前記吐出部は、熱エネルギーによって発生する気泡により材料を吐出するインクジェットヘッドであることが好ましい。
【００２７】
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板は、以上に記載したカラーフィルタ基板の製造方法によって製造されることを特徴とする。本発明の製造方法によれば、フィルタ材料の劣化を長期間にわたって防止できるので、長期間にわたって高品質のカラーフィルタ基板を製造できる。つまり、本発明に係るカラーフィルタ基板は、内蔵するカラーフィルタ基板に関して高い信頼性を確保できる。
【００２８】
次に、本発明に係る電気光学装置は、以上に記載したカラーフィルタ基板を有することを特徴とする。本発明に係るカラーフィルタ基板は、内蔵するカラーフィルタ基板に関して高い信頼性を確保できるので、そのカラーフィルタ基板を用いて構成される電気光学装置も、内蔵するカラーフィルタ基板に関して高い信頼性を確保でき、高品質の表示を行うことができる。このような電気光学装置としては、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置、その他の装置が考えられる。
【００２９】
次に、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、以上に記載したカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする。本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法によれば、フィルタ材料の劣化を長期間にわたって防止できるので、その製造方法を１つの工程として有する本発明の電気光学装置の製造方法を用いれば、フィルタ材料の劣化を長期間にわたって防止できる。
【００３０】
次に、本発明に係る電子機器は、以上に記載した電気光学装置を有することを特徴とする。本発明の電気光学装置は、内蔵するカラーフィルタ基板に関して高い信頼性を有し、高品質の表示を行うことができるので、その電気光学装置を用いて構成される本発明の電子機器も、高品質の表示を行うことができる。このような電子機器としては、例えば、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ、デジタルカメラ、その他種々の機器が考えられる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
（カラーフィルタ基板、その製造方法及びその製造装置の実施形態）
以下、本発明に係るカラーフィルタ基板、その製造方法及びその製造装置を一実施形態を挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。
【００３２】
図１は、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法を実現できる製造装置の一実施形態を示している。この製造装置１は、フィルタ形成部２と、フィルタ材料供給部３と、冷却保存部４とを有する。フィルタ形成部２は、ベース６と、このベース６上に設置されたＸ方向駆動系７ｘと、同じくベース６上に設置されたＹ方向駆動系７ｙとを有する。
【００３３】
Ｘ方向駆動系７ｘは、駆動モータ１１と、その駆動モータ１１によって駆動されて自身の中心軸線を中心として回転するネジ軸１２とを有する。ネジ軸１２には、記録ヘッド１３がネジ嵌合している。駆動モータ１１が作動してネジ軸１２が正時計回転又は反時計回転すると、それにネジ嵌合する記録ヘッド１３が矢印Ｘ方向で往復移動する。
【００３４】
Ｙ方向駆動系７ｙは、ベース６上に固定されたネジ軸１６と、そのネジ軸１６に嵌合する嵌合部材を回転駆動する駆動モータ１７と、この駆動モータ１７に固定されたステージ１８とを有する。フィルタ形成処理を受けるカラーフィルタ基板の基材５２はステージ１８上に載せられる。この場合、基材５２は容易には位置ズレしないように固着されることが望ましい。Ｙ方向モータ１７が作動して上記の嵌合部材が正時計回転又は反時計回転すると、ステージ１８がネジ軸１６にガイドされて矢印Ｙ方向で往復移動する。Ｙ方向は上記のＸ方向に直角の方向である。
【００３５】
Ｙ方向駆動系７ｙを構成するネジ軸１６上にはクリーニング装置８が配設され、このクリーニング装置８と一体なモータ９の出力軸がネジ軸１６にネジ嵌合している。モータ９を作動させてクリーニング装置８を記録ヘッド１３の所まで搬送すれば、このクリーニング装置８によって記録ヘッド１３をクリーニングすることができる。
【００３６】
フィルタ材料供給部３には加熱手段としてのヒータ２１が配設されている。フィルタ材料を貯留した容器２２は、このヒータ２１によって囲まれる空間内に置くことができるようになっている。また、容器２２と記録ヘッド１３とはパイプ２３によってつながっている。このパイプ２３を通して、容器２２内の液状物、すなわちフィルタ材料が記録ヘッド１３内へ供給される。
【００３７】
なお、本実施形態においてＲ，Ｇ，Ｂの３色によってカラーフィルタを形成する場合には、製造装置１がＲ色用、Ｇ色用、Ｂ色用の３種類用意されて、それらが別々の場所に設置され、個々の製造装置１の容器２２の中にはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれの色のフィルタ材料が１色ずつ収容される。
【００３８】
冷却保存部４は、冷媒ガスを用いた周知の冷蔵庫２６によって構成されている。この冷蔵庫２６は少なくとも容器２２を収容可能な容積を有している。また、この冷蔵庫２６の適所には扉が設けられ、この扉を開ければ、容器２２を内部へ収納できる。この容器収納時の作業性を考慮して、パイプ２３は容易に変形できるようになっていることが望ましい。
【００３９】
本実施形態のカラーフィルタ基板の製造装置１は温度制御回路２７を有する。この温度制御回路２７は、作業者によって操作されるスイッチ等といった入力装置からの指示に従って、冷蔵庫２６をＯＮ／ＯＦＦ制御する。また、温度制御回路２７は、容器２２の近傍に配置した温度センサ２８によって検知される容器２２の温度情報、従って容器２２内のフィルタ材料の温度情報に従って、ヒータ２１への通電量を制御する。この通電量の制御によりヒータ２１の発熱量を制御して、フィルタ材料の温度を制御する。本実施形態では、温度制御回路２７は、冷蔵庫２６によって冷却された容器２２内のフィルタ材料を使用温度、例えば室温、例えば１８℃〜２６℃、好ましくは２５℃〜２６℃まで昇温させる機能を実現する。なお、冷蔵庫２６は、専用のＯＮ／ＯＦＦスイッチによって作業者が希望に応じて独自にＯＮ／ＯＦＦできるようにしても良い。
【００４０】
図１のフィルタ形成部２を構成する記録ヘッド１３の底面には、例えば図３に示すようなインクジェットヘッド３２が１つ又は複数設けられている。このインクジェットヘッド３２は、ほぼ長方形状のケーシング３３を有し、そのケーシング３３の底面には複数のノズル３４が設けられている。これらのノズル３４は、直径約０．０２〜０．１ｍｍ程度の微小な開口を有する。
【００４１】
本実施形態では、複数のノズル３４は２列にわたって設けられ、これにより、２本のノズル列３６，３６が形成されている。個々のノズル列３６において、ノズル３４は一定の間隔で直線上に設けられている。これらのノズル列３６には、矢印Ｂで示す方向から液状物、すなわちフィルタ材料が供給される。供給されたフィルタ材料は圧電素子の振動に従って各ノズル３４から微小な液滴として吐出される。なお、ノズル列３６の個数は、１本又は３本以上であっても良い。
【００４２】
インクジェットヘッド３２は、図４に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート３７と、それに対向して配置された振動板３８と、その両者を互いに接合する複数の仕切り部材４２とを有する。また、ノズルプレート３７と振動板３８との間には、フィルタ材料を貯留するための複数の貯留室３９と、フィルタ材料が一時的に溜る個所である液溜り４１とが、各仕切り部材４２によって形成されている。さらに、複数の貯留室３９と液溜り４１とが通路４３を介して互いに連通している。また、振動板３８の適所にフィルタ材料フィルタの供給孔４４が形成されており、この供給孔４４に図１のパイプ２３を介して容器２２が接続されている。容器２２から供給されたフィルタ材料Ｍ０は、液溜り４１に充填され、さらに、通路４３を通って貯留室３９に充填される。
【００４３】
インクジェットヘッド３２の一部を構成するノズルプレート３７には、フィルタ材料を貯留室３９からジェット状に噴射するためのノズル３４が設けられている。このノズル３４が複数個並べられてノズル列３６を構成することは図３に関連して既述した通りである。また、振動板３８において貯留室３９に対応する面にはフィルタ材料を加圧するための加圧体４６が取り付けられている。この加圧体４６は、図５に示すように、圧電素子４７及びこれを挟持する一対の電極４８ａ及び４８ｂを有している。
【００４４】
圧電素子４７は、電極４８ａ及び４８ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより貯留室３９の容積を増大させる機能を有する。そして、貯留室３９の容積が増大すると、その増大した容積分に相当するフィルタ材料Ｍ０が液溜り４１から通路４３を通って貯留室３９内へ流入する。
【００４５】
一方、圧電素子４７への通電を解除すると、圧電素子４７と振動板３８とが共に元の形状に戻り、貯留室３９も元の容積に戻る。そのため、貯留室３９の内部にあるフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズル３４からフィルタ材料が液滴４９となって吐出される。なお、液滴４９は、フィルタ材料に含まれる溶剤等の種類にかかわらず、微小な液滴としてノズル３４から安定して吐出される。
【００４６】
本実施形態のカラーフィルタ基板の製造装置１は、図２に示す制御装置９０を有する。この制御装置９０は、図１のフィルタ形成部２内のＸ方向モータ１１、Ｙ方向モータ１７及び記録ヘッド１３の各要素の動作を制御する。なお、製造装置１は、図１のクリーニング用モータ９の動作を制御する制御部も有するが、その制御部についての詳しい説明は省略する。
【００４７】
制御装置９０は、コンピュータによって構成された駆動信号制御部９１と、コンピュータによって構成されたヘッド位置制御部９２とを有する。これらの制御部は信号線９７を通して互いに情報を共有できるようになっている。駆動信号制御部９１は、記録ヘッド１３を駆動するための波形Ｓ０をアナログアンプ９３へ出力する。また、駆動信号制御部９１は、フィルタ材料をいずれの位置に吐出するかを示すビットマップデータＳ１をタイミング制御部９４へ出力する。
【００４８】
アナログアンプ９３は、上記の波形Ｓ０を増幅して中継回路９５へ伝送する。タイミング制御部９４は、クロックパルス回路を内蔵し、上記のビットマップデータＳ１に従って吐出タイミング信号Ｓ２を中継回路９５へ出力する。中継回路９５は、タイミング制御部９４から送られた吐出タイミング信号Ｓ２に従って、アナログアンプ９３から送られた波形Ｓ０を記録ヘッド１３の入力ポートへ出力する。
【００４９】
ヘッド位置制御部９２は、Ｘ−Ｙ制御回路９６へ記録ヘッド１３の位置に関する情報Ｓ３を出力する。Ｘ−Ｙ制御回路９６は、送られてきた記録ヘッド１３の位置情報Ｓ３に基づいて、Ｘ方向における記録ヘッド１３の位置を制御する信号をＸ方向モータ１１に対して出力し、さらに、Ｙ方向におけるステージ１８の位置を制御する信号をＹ方向モータ１７に対して出力する。
【００５０】
駆動信号制御部９１及びヘッド位置制御部９２に関する以上の構成により、記録ヘッド１３は、ステージ１８に載置された基材５２の希望の座標位置が到来したときにフィルタ材料を液滴として吐出し、これにより、基材５２上の希望位置にフィルタ材料の液滴が着弾して塗布される。
【００５１】
次に、図３に示したインクジェットヘッド３２を用いて行われる、カラーフィルタ基板の製造方法について説明する。まず、図６（ａ）において、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された基材５２の上に、遮光層５３を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミニウム等を材料として、例えばドライメッキ法を用いて金属薄膜５３ａを形成する。この場合、金属薄膜５３ａの厚さは、０．１〜０．５μｍ程度であることが望ましい。
【００５２】
次に、図６（ｂ）において、感光性樹脂であるレジスト５７ａを一様な厚さで塗布し、そのレジスト５７ａをマスクを介して露光し、さらに現像して、レジスト５７ａを所定のパターンに形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして金属薄膜５３ａをエッチングして、図６（ｃ）に示すように、所定形状、本実施形態では矢印Ａ方向から見て格子形状の遮光層５３を形成する。
【００５３】
次に、図６（ｄ）において、遮光層５３の上に、感光性樹脂５４ａを一様な厚さで形成し、これにフォトリソグラフィ処理を施して図７（ｅ）に示すように所定パターンのバンク５４を遮光層５３と同じ形状、すなわち格子形状に形成する。このとき、バンク５４の高さは１．０μｍ程度に形成するのが望ましい。
【００５４】
こうしてバンク５４を形成することにより、基板５２上にそのバンク５４によって区分けされた複数の表示用ドット領域５６が形成される。バンク５４が格子形状であることにより、これら複数の表示用ドット領域５６は、矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことになる。バンク５４としては、特に黒色のものを用いる必要はなく、例えば、ウレタン系又はアクリル系の硬化型の感光性樹脂組成物を用いることができる。
【００５５】
以上のように基板５２上にバンク５４が形成された後、その基板５２を図１においてステージ１８上の所定位置に載置する。そして、Ｘ方向駆動系７ｘ及びＹ方向駆動系７ｙを作動させると共に、図４の加圧体４６を作動させることにより、以下のようなカラーフィルタ形成処理を行う。なお、本実施形態では、図９（ａ）で示すようにＧ色フィルタ要素５９ｇ、Ｒ色フィルタ要素５９ｒ及びＢ色フィルタ要素５９ｂをストライプ配列に形成するものとする。なお、ストライプ配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの色が縦方向に１列に並び、横方向に順番に１つずつ繰り返して変化する配列である。
【００５６】
まず、図７（ｆ）において、Ｇ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域５６ｇ内へ、図３に示したインクジェットヘッド３２を用いて、Ｇ色フィルタ材料を液滴４９として吐出する。このときの吐出量Ａｇは、予め、バンク４の高さによって規定される表示用ドット領域５６ｇの容積よりも多く設定されており、供給されたＧ色フィルタ材料はバンク５４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＧ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図７（ｇ）に示すように、Ｇ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＧ色フィルタ要素５９ｇを形成する。
【００５７】
次に、図７（ｈ）において、Ｒ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域５６ｒ内へ、図３に示したインクジェットヘッド３２を用いて、Ｒ色フィルタ材料を液滴４９として吐出する。このときの吐出量Ａｒも、バンク５４の高さによって規定される表示用ドット領域５６ｒの容積よりも多く設定され、供給されたＲ色フィルタ材料はバンク５４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＲ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図８（ｉ）に示すように、Ｒ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＲ色フィルタ要素５９ｒを形成する。
【００５８】
次に、図８（ｊ）において、Ｂ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域５６ｂ内へ、図３に示したインクジェットヘッド３２を用いて、Ｂ色フィルタ材料を液滴４９として吐出する。このときの吐出量Ａｂも、バンク５４の高さによって規定される表示用ドット領域５６ｂの容積よりも多く設定され、供給されたＲ色フィルタ材料はバンク５４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＢ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図８（ｋ）に示すように、Ｂ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＢ色フィルタ要素５９ｂを形成する。
【００５９】
その後、例えば、２３０℃、３０分程度の加熱によってアフターベークを行って、フィルタ要素を硬化させることにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色フィルタ要素５９ｇ，５９ｒ，５９ｂを所定の配列、例えば図９（ａ）のストライプ配列に並べて成るカラーフィルタが形成される。また、同時に、基材５２とカラーフィルタとから成るカラーフィルタ基板５１が形成される。
【００６０】
図１に示したカラーフィルタ基板の製造装置１は以上に説明したようなカラーフィルタ基板の形成処理を実行する。この形成処理が行われている間、Ｒ，Ｇ又はＢのフィルタ材料を収容した容器２２は、フィルタ材料供給部３に配置される。そして、パイプ２３を通してフィルタ材料が記録ヘッド１３へ送られる。このとき、フィルタ材料が使用温度、すなわち室温、例えば１８℃〜２６℃、好ましくは２５℃〜２６℃になっていれば、ヒータ２１は発熱しない状態になっている。
【００６１】
カラーフィルタ基板の形成処理が終了して、製造装置１を再度稼動するまでに長時間の待機期間がある場合、作業者はフィルタ材料の容器２２をフィルタ材料供給部３から取り出して、冷却保存部４にある冷蔵庫２６の中に入れる。冷蔵庫２６の内部は、フィルタ材料の使用温度よりも低い温度、又はフィルタ材料の劣化温度よりも低い温度に設定されている。今、使用温度すなわち室温を２５℃〜２６℃に設定するならば、冷蔵庫２６内の温度は約１０℃に設定される。従って、冷蔵庫２６に入れられたフィルタ材料はその低温度まで冷却された状態で保存される。この結果、フィルタ材料が短時間に劣化することを防止でき、フィルタ材料の品質を長期間にわたって正常に保持できる。
【００６２】
以上のようにフィルタ材料を冷蔵庫２６内で冷却して保存した場合、このフィルタ材料を冷蔵庫２６から出してフィルタ基板の形成処理を再開しようとするときには、冷蔵庫２６から取り出したフィルタ材料がその使用温度、すなわち室温に昇温するまで、作業を開始できない。本実施形態では、フィルタ材料供給部３にヒータ２１を設置してあるので、作業者がそのヒータ２１によって囲まれる領域内に容器２２を置いて、ヒータ２１を発熱させれば、容器２２内のフィルタ材料を短時間に使用温度まで昇温でき、それ故、インクジェットヘッド３２（図３参照）を用いたカラーフィルタ基板の形成処理を短時間内に開始できる。
【００６３】
なお、フィルタ材料の形成処理を開始するまでに時間の余裕がある場合には、ヒータ２１の発熱を利用することなく、ヒータ材料を室温環境下で自然に昇温させることもできる。
【００６４】
（変形例）
以上の実施形態では、フィルタ材料供給部３と冷却保存部４との間で作業者がフィルタ材料の容器２２を手作業によって搬送する場合を念頭に置いた。この場合、フィルタ材料供給部３と冷却保存部４との間にベルトコンベヤのような搬送装置を設置して、容器２２の搬送を簡単に出来るようにすることが望ましい。また、フィルタ材料供給部３と冷却保存部４との間にロボットハンド等といった搬送装置を設置して、容器２２の搬送をその搬送装置を使って自動的に行うことも望ましい。
【００６５】
また、ヒータ２１を用いない場合には、冷蔵庫２６のような冷却手段をフィルタ材料供給部３に設置しておくことも可能である。但し、この場合には、インクジェットヘッドを用いてフィルタ要素を形成する処理を行うときには、冷却手段による冷却処理を停止する必要がある。
【００６６】
また、場合によっては、冷媒ガス等を用いた冷却構造と、ヒータ線等を用いた加熱構造とを共に、フィルタ材料供給部３に設置して、容器の冷却及び加熱を１つの場所で選択的に行うことも可能である。
【００６７】
また、上記の実施形態では、カラーフィルタを構成するフィルタ要素としてＲ，Ｇ，Ｂの３色を考えた。しかしながら、フィルタ要素としては、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外にＣ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）とすることもできる。
【００６８】
以上の実施形態では、フィルタ要素９ｇ，９ｒ，９ｂの配列を図５（ａ）に示すストライプ配列とした。しかしながら、これに代えて、図５（ｂ）に示すモザイク配列や、図５（ｃ）に示すデルタ配列を採用することもできる。モザイク配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂが縦列と横列の両方で順番に繰り返して並べられる配列である。また、デルタ配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂが三角形の頂点に相当する位置に配列されると共に横列方向でＲ，Ｇ，Ｂが順番に繰り返して並べられる配列である。
【００６９】
（電気光学装置及びその製造方法の実施形態）
以下、本発明に係る電気光学装置及びその製造方法を液晶装置及びその製造方法を例に挙げて説明する。図１０は、本発明を電気光学装置の一例である液晶装置に適用した場合の実施形態を示している。ここに示す液晶装置は、単純マトリクス方式で半透過反射型の液晶装置である。また、ここに示す液晶装置は、文字、数字、図形等といった像を視覚によって認識できるように表示するための液晶表示装置である。
【００７０】
ここに示す液晶装置６１は、液晶パネル６２に照明装置６６及び配線基板６４を付設することによって形成されている。液晶パネル６２は、矢印Ａ方向から見て長方形状又は正方形状の第１基板６７ａと、矢印Ａ方向から見て同じく長方形状又は正方形状の第２基板６７ｂとを、矢印Ａ方向から見て環状のシール材６８によって貼り合わせることによって形成されている。
【００７１】
第１基板６７ａと第２基板６７ｂとの間には間隙、いわゆるセルギャップが形成され、そのセルギャップ内に液晶が注入されて液晶層６５を形成している。符号７９はセルギャップを維持するためのスペーサを示している。なお、観察者は矢印Ａ方向から液晶装置６１を観察する。
【００７２】
第１基板６７ａは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第１基材７１ａを有する。この第１基材７１ａの液晶側の表面には、反射膜７２が形成され、その上に絶縁膜７３が形成され、その上に第１電極７４ａが形成され、その上に配向膜７６ａが形成されている。また、第１基材７１ａの照明装置６６側の表面には第１偏光板７７ａが、例えば貼着によって装着されている。
【００７３】
第１基板６７ａに対向する第２基板６７ｂは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第２基材７１ｂを有する。この第２基材７１ｂの液晶側の表面には、カラーフィルタ７８が形成され、その上に第２電極７４ｂが形成され、その上に配向膜７６ｂが形成されている。また、第２基材７１ｂの外側の表面には第２偏光板７７ｂが、例えば貼着によって装着されている。
【００７４】
第１基板６７ａ側の第１電極７４ａは図１０の左右方向へ延びる線状電極である。また、第１電極７４ａは複数本形成されていて、それらは紙面垂直方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第１電極７４ａは、矢印Ａ方向から見てストライプ状に形成されている。
【００７５】
また、第２基板６７ｂ側の第２電極７４ｂは、図１０の紙面垂直方向に延びる線状電極である。また、第２電極７４ｂは複数本形成されていて、それらは図１０の左右方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第２電極７４ｂは、第１電極７４ａに直交する方向へ延びるストライプ状に形成されている。
【００７６】
第１電極７４ａと第２電極７４ｂとは矢印Ａ方向から見て多数のマトリクス状に並ぶ点で交差しており、これらの交差点が表示のためのドット領域を構成している。Ｒ，Ｇ，Ｂの３色や、Ｃ，Ｍ，Ｙの３色のフィルタ要素から成るカラーフィルタを用いてカラー表示を行う場合には、上記のドット領域の１つずつにそれら３色のうちの１つずつが対応して配置され、３色の集まりが１つのユニットになって１画素を構成する。そして、その画素の多数が矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことにより、有効表示領域Ｖが形成され、この有効表示領域Ｖの領域内に文字、数字、図形等といった像が表示される。
【００７７】
表示の最小単位である表示用ドット領域に対応して、反射膜７２に開口８１が形成されている。これらの開口８１は、照明装置６６から供給される面状の光を透過させて、透過型の表示を実現する。なお、透過型の表示を行うにあたっては、反射膜７２に開口８１を設けることだけに限られず、例えば、反射膜７２の膜厚を薄くすることによっても透過型の表示を実現できる。
【００７８】
第１基材７１ａは第２基材７１ｂを越えて外側へ張り出す張出し部８０を有している。第１基板７１ａ側の第１電極７４ａはシール材６８を横切ってその張出し部８０上に延び出て配線７５となっている。また、張出し部８０の辺縁には外部接続端子６０が形成されている。配線基板６４は、その外部接続端子６０に導電接続されている。第２基板７１ｂ側の第２電極７４ｂは、シール材６８の内部に分散された導通材６９を介して第１基板７１ａ側の配線７５に接続されている。なお、導通材６９は、図１０ではシール材６８の幅寸法とほとんど同じ寸法で描いてあるが、実際は、導通材６９はシール材６８の幅よりも小さくなっており、そのため、シール材６８の幅方向には複数の導通材６９が存在するのが普通である。
【００７９】
張出し部８０の表面において、配線７５と外部接続端子６０との間には駆動用ＩＣ６３がＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）５８によって接着されている。そして、このＡＣＦ５８により、駆動用ＩＣ６３のバンプが配線７５及び外部接続端子６０に導電接続している。この実装構造により、配線基板６４から駆動用ＩＣ６３へ信号及び電圧が供給される。一方、駆動用ＩＣ６３からの走査信号及びデータ信号が第１電極７４ａや第２電極７４ｂへ伝送される。
【００８０】
図１０において、照明装置６６は、観察側から見て液晶パネル６２の背面に緩衝材８８を挟んで配設され、バックライトとして機能する。この照明装置６６は、基板８７に支持された光源としてのＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）８６と、導光体８２とを有する。導光体８２の観察側の表面には拡散シート８３が設けられ、その反対側の面には反射シート８４が設けられる。ＬＥＤ８６を点状光源とする光は、導光体８２の受光面８２ａから導光体８２の内部に取り込まれ、その内部を伝播する間に光出射面８２ｂから面状光となって出射する。
【００８１】
上記構成より成る液晶装置６１において反射型の表示が行われる場合には、太陽光、室内光等といった外部光が第２基板６７ｂを通して液晶層６５の内部に取り込まれ、反射膜７２で反射した後、再び液晶層６５へ供給される。一方、透過型の表示が行われる場合には、照明装置６６のＬＥＤ８６が発光し、導光体８２の光出射面８２ｂから面状の光が出射し、反射膜７２に設けた複数の開口８１を通過した光が液晶層６５へ供給される。
【００８２】
液晶層６５に光が供給されたとき、第１電極７４ａ及び第２電極７４ｂの一方に走査信号が与えられ、それらの他方にデータ信号が与えられると、当該データ信号が与えられた部分の表示用ドットに所定電圧が印加されて液晶が駆動され、当該表示用ドットに供給された光が変調される。このような変調が、有効表示領域Ｖ内の表示用ドットごと、換言すれば画素ごとに行われ、文字、数字、図形等といった希望する像がその有効表示領域Ｖ内に形成され、観察者によって矢印Ａ方向から観察される。
【００８３】
本実施形態の液晶装置６１は、それに含まれるカラーフィルタ７８が図１〜図５に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図６〜図９に示した製造方法によって製造されることに特徴がある。図１に関連して説明したように、本発明のカラーフィルタ基板の製造装置では、非使用時のフィルタ材料を冷蔵庫２６のような冷却装置によって冷却して保存するようにしたので、フィルタ材料を長期簡にわたって高品質に保持できる。従って、この製造装置によって製造されたカラーフィルタ基板は高品質であり、従ってそのカラーフィルタ基板を内蔵する図１０の液晶装置６１も高品質である。
【００８４】
（変形例）
図１０の実施形態では、半透過反射型で単純マトリクス方式の液晶装置に本発明を適用した。しかしながら、本発明は、これ以外に、反射型表示機能を持たない半透過型の単純マトリクス方式の液晶装置や、透過型表示機能を持たない反射型の単純マトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）等といった２端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等といった３端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置等といった各種の液晶装置に適用できる。
【００８５】
（電子機器及びその製造方法の実施形態）
図１１は、本発明に係る電子機器の一実施形態を示している。ここに示す電子機器は、表示情報出力源１０１、表示情報処理回路１０２、電源回路１０３、タイミングジェネレータ１０４及び液晶装置１０５によって構成される。そして、液晶装置１０５は液晶パネル１０７及び駆動回路１０６を有する。液晶装置１０５は、図１〜図５に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図６〜図９に示した製造方法によって製造された、図１０に示す液晶装置６１によって構成できる。
【００８６】
表示情報出力源１０１は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等といったメモリや、各種ディスク等といったストレージユニットや、ディジタル画像信号を同調出力する同調回路等を備え、タイミングジェネレータ１０４により生成される各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等といった表示情報を表示情報処理回路１０２に供給する。
【００８７】
次に、表示情報処理回路１０２は、増幅・反転回路や、ローテーション回路や、ガンマ補正回路や、クランプ回路等といった周知の回路を多数備え、入力した表示情報の処理を実行して、画像信号をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１０６へ供給する。ここで、駆動回路１０６は、走査線駆動回路（図示せず）やデータ線駆動回路（図示せず）と共に、検査回路等を総称したものである。また、電源回路１０３は、上記の各構成要素に所定の電源電圧を供給する。
【００８８】
図１２は、本発明に係る電子機器のさらに他の実施形態であるデジタルカメラであって、液晶装置をファインダとして用いるものを示している。このデジタルカメラ１１０におけるケース１１１の背面には液晶表示ユニット１１２が設けられる。この液晶表示ユニット１１２は、被写体を表示するファインダとして機能する。この液晶表示ユニット１１２は、図１〜図５に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図６〜図９に示した製造方法によって製造された、図１０に示す液晶装置６１によって構成できる。
【００８９】
ケース１１１の前面側（図においては裏面側）には、光学レンズやＣＣＤ等を含んだ受光ユニット１１３が設けられている。撮影者が液晶表示ユニット１１２に表示された被写体像を確認して、シャッタボタン１１４を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１１５のメモリに転送されてそこに格納される。
【００９０】
ケース１１１の側面には、ビデオ信号出力端子１１６と、データ通信用の入出力端子１１７とが設けられている。ビデオ信号出力端子１１６にはテレビモニタ１１８が必要に応じて接続され、また、データ通信用の入出力端子１１７にはパーソナルコンピュータ１１９が必要に応じて接続される。回路基板１１５のメモリに格納された撮像信号は、所定の操作によって、テレビモニタ１１８や、パーソナルコンピュータ１１９に出力される。
【００９１】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のカラーフィルタ基板の製造装置で用いる制御装置の一例を示す回路ブロック図である。
【図３】図１の装置で用いられるインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図４】図３のインクジェットヘッドの内部構造を一部破断して示す斜視図である。
【図５】図３のＤ−Ｄ線に従った断面図である。
【図６】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の主要工程を示す工程図である。
【図７】図６に続く工程を示す工程図である。
【図８】図７に続く工程を示す工程図である。
【図９】複数のフィルタ要素の配列例を示しており、（ａ）はストライプ配列、（ｂ）はモザイク配列、（ｃ）はデルタ配列を示している。
【図１０】本発明に係る電気光学装置の一実施形態である液晶装置の断面構造を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る電子機器の一実施形態を示すブロック図である。
【図１２】本発明に係る電子機器の他の実施形態であるデジタルカメラ及び付随する機器を示す図である。
【符号の説明】
１：カラーフィルタ基板の製造装置、２：フィルタ形成部、３：フィルタ材料供給部、４：冷却保存部、７ｘ，７ｙ：駆動系、８：クリーニング装置、９：モータ、１１：モータ、１２：ネジ軸、１３：記録ヘッド、１６：ネジ軸、１７：モータ、１８：ステージ、２１：ヒータ（加熱手段）、２２：容器、２３：パイプ、２６：冷蔵庫（冷却手段）、２８：温度センサ、３２：インクジェットヘッド、３４：ノズル、４６：加圧体、４９：液滴、５１：カラーフィルタ基板、５２：基板、５３：遮光膜、５４：バンク、５６：表示用ドット領域、５９ｇ，ｒ，ｂ：フィルタ要素、６１：液晶装置（電気光学装置）、６２：液晶パネル、６７ａ，６７ｂ：基板、７１ａ，７１ｂ：基材、７８：カラーフィルタ、Ｍ０：フィルタ材料、１１０：デジタルカメラ（電子機器）
【図１】
2004361490.tif 000003
【図２】
2004361490.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004361490.tif 000010
【図９】
2004361490.tif 000011
【図１０】
2004361490.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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