(57)【要約】【課題】比較的短時間でもって目的とする低い真空度に到達することが可能な真空装置を提供すること。【解決手段】複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４を備えた真空ポンプを用い、各ポンプヘッド同士を切換弁Ｖ１〜Ｖ６を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなる。【選択図】    図１
2004150329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のポンプヘッドを備えた真空ポンプを用い、前記各ポンプヘッド同士を切換弁を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより前記複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなることを特徴とする真空装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸引ろ過や吸引通水による洗浄など減圧が要求される各種産業機械や理化学機械等に使用される真空装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
真空装置では、使用する真空ポンプの排気量や到達真空度が真空装置としての特性・能力に密接に関係するので、真空装置の用途に応じて真空ポンプが最適に設計される。しかしながら実際には、特に小型の真空ポンプでは、大きな排気量とより低い到達真空度を同時に得ることは困難である。すなわち、例えば一定容量の容器の内部を真空引き（減圧する）場合、真空ポンプの排気量が小さいと目的の真空度に達するまでにかなりの時間がかかり、かと言って真空ポンプの排気量を大きくするとより低い到達真空度が得られないといった不都合があり、汎用性に乏しいものであった。
尚、本願出願人が知っている上記の先行技術は、文献公知発明に係るものではないため、本願明細書には先行技術文献情報を開示しない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
低い到達真空度を効率的に得るためには、真空引き（減圧）する初期時に大きな排気能力を発揮し、ある程度の真空度に達した後にはより低い真空度まで到達できる能力が必要とされる。
そこで本願発明者等が鋭意研究を重ねた結果、複数個のポンプヘッドを備えた真空ポンプを用いて各ポンプヘッド同士を接続せしめ、複数個のポンプヘッド同士が接続された排気経路を、並列に接続した経路から直列に接続した経路に切り換えることにより、１台の真空ポンプでも大きな排気量と低い到達真空度を両立させることが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、真空引き（減圧）する初期時に大きな排気能力を発揮しある程度の真空度に達した後にはより低い真空度まで到達でき、その結果、比較的短時間でもって目的とする低い真空度に到達することが可能な汎用性に優れた真空装置を提供せんとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成する本発明の真空装置は、複数個のポンプヘッドを備えた真空ポンプを用い、前記各ポンプヘッド同士を切換弁を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより前記複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなることを特徴としたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な好適実施例を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明は図示実施例のものに限定されるものではなく、いろいろなバリエーションが考えられる。
【０００６】
図１は、４個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４を備えた一般的な真空ポンプを用いた本発明に係る真空装置の実施の一例を示すものであり、本発明の真空装置は、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士を切換弁Ｖ１〜Ｖ６を介して接続せしめて構成され、「イン」から吸引された気体がポンプヘッドＨ１〜Ｈ４と切換弁Ｖ１〜Ｖ６を経由する排気経路１ａ，１ｂを通って「アウト」から排気される仕組みになっている。
【０００７】
ちなみに本発明に係る真空装置では、真空ポンプとしてダイヤフラム型やそれに類するポンプヘッドを備えた真空ポンプが好適に使用されるが、その他の機構からなる真空ポンプであっても複数個のポンプヘッドを有するものであれば応用することが可能である。
【０００８】
切換弁Ｖ１〜Ｖ６は、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士を連通状に接続する配管で形成される排気経路１ａ，１ｂを切り換えるためのものであり、各ポンプヘッドＨ１〜Ｈ４の接続を並列と直列に切り換えられるように組み込まれる。
図示例では、切換弁Ｖ１〜Ｖ６が各ポンプヘッドＨ１〜Ｈ４を個々に切り換えられるように組み込まれている。
尚、切換弁Ｖ１〜Ｖ６としては、図示例の如き三方切換えバルブの他に、スライド式や連動式、或いは多方バルブ等を使用することができる。
【０００９】
排気経路１ａ，１ｂは、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士を連通状に接続している配管で形成された管路をそれぞれ切換弁Ｖ１〜Ｖ６で切り換えることにより形成されものであり、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士が並列に接続された排気経路（図１の（ａ）の状態）１ａと、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士が直列に接続された排気経路（図１の（ｂ）の状態）１ｂとが形成される仕組みになっている。すなわち、ポンプヘッドＨ１〜Ｈ４の各切換弁Ｖ１〜Ｖ６を切り換えることにより、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士が並列に接続された排気経路（以下、並列排気経路と称する。）１ａと、直列に接続された排気経路（以下、直列排気経路と称する。）１ｂとに切り換えられるように構成されている。
尚、図１において実線で示す部分が排気が流れる管路であり、破線で示す部分は閉鎖された管路を示す。
【００１０】
而して、図１の（ａ）に示すごとく切換弁Ｖ１〜Ｖ６を切り換えて、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士が並列に接続された並列排気経路１ａを形成して真空引き（減圧）すると、複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４を使用して同時に排気されるようになるため、大きな排気能力を発揮するようになる。この時の排気量と到達真空度との関係を、図２の（ａ）のグラフ（破線で表された方）に示す。
このグラフからも理解されるように、並列排気経路１ａを使って排気を行なった場合、大きな排気能力を発揮するが到達真空度をさほど下げることができない。
【００１１】
一方、切換弁Ｖ１〜Ｖ６を切り換えて、図１の（ｂ）に示すごとく複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４同士が直列に接続された直列排気経路１ｂを形成して真空引き（減圧）すると、排気量は並列排気経路１ａを使用した場合より大幅に少なくなる（ポンプヘッドが４個の場合、１／４以下となる。）が、「イン」から吸引された気体が複数個のポンプヘッドＨ１〜Ｈ４を通過するようになるため、図２の（ａ）のグラフ（実線で表された方）に示すごとく、より低い真空度まで到達できるようになる。
【００１２】
そこで、真空引き（減圧）する初期時には並列排気経路１ａを使って大きな排気能力を発揮させ、そしてある程度の真空度に達した後に、各切換弁Ｖ１〜Ｖ６を切り換えて、直列排気経路１ｂの使用に切り換えることにより、図２の（ｂ）のグラフに示すごとく、排気効率を下げることなく並列排気経路１ａを使った場合に得られなかったより低い真空度を効率良く得ることが可能となる。
尚、並列排気経路１ａの使用から直列排気経路１ｂの使用に切り換えるタイミングは、例えば、到達真空度モニター等を用いて自動的に行なうことが好ましいが、手動で切り換えられるようにしても良い。更に、仮に一定の容積を持った容器内を減圧する場合には、時間で切り換えるようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】
本発明に係る真空装置は斯様に、複数個のポンプヘッドを備えた真空ポンプを用い、各ポンプヘッド同士を切換弁を介して接続せしめ、これらの切換弁を切り換えることにより複数個のポンプヘッド同士を並列に接続する排気経路と直列に接続する排気経路とに切り換えられるように構成してなるので、真空引き（減圧）する初期時には切換弁を切り換えて並列排気経路を使用することにより大きな排気能力を発揮し、ある程度の真空度に達した後には直列排気経路に切り換えることによりより低い真空度まで到達でき、その結果、比較的短時間でもって目的とする低い真空度に到達することが可能となり、真空装置として汎用性に優れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施の一例を示す４個のポンプヘッドを備えた真空ポンプの排気経路図。
【図２】排気量と達成真空度との関係を説明するグラフ図。
【符号の説明】
Ｈ１〜Ｈ４：ポンプヘッド
Ｖ１〜Ｖ６：切換弁
【図１】
2004150329.tif 000003
【図２】
2004150329.tif 000004