(57)【要約】【課題】冷却装置全体の横幅が小さ、その設置面積が小さくて済み、クリーンルーム等の壁の側方に対して冷却装置の側方に通風エリアを設けずに設置可能とする。【解決手段】スターリング冷凍機１の放熱用熱交換器３１の入口と出口に、冷却水用の冷却水配管の途中に設けた冷却水用ポンプ５８を介して放熱器５４が接続されており、放熱器５４の水熱交換器５５と、放熱器５４のファン５６と、スターリング冷凍機１と、冷熱冷媒用ポンプ５７及び冷却水用ポンプ５８とを、冷却装置５２の前方から後方に向けて全体として直線的に配置されている。【選択図】    図４
2004286374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍機と、該冷凍機で冷熱が付与された冷熱冷媒を該冷凍機と冷熱冷熱利用機器の間を循環させる冷熱冷媒循環用の循環配管と、該循環配管の途中に設けた冷熱冷媒用ポンプとを備えた冷却装置において、
上記冷凍機の放熱用熱交換器の入口と出口に、冷却水用の冷却水配管の途中に設けた冷却水用ポンプを介して放熱器が接続されており、
上記放熱器の水熱交換器と、該放熱器のファンと、上記冷凍機と、上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプとを、冷却装置の前方から後方に向けて全体として直線的に配置されていることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプは、前後方向に対して左右に配置されていることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項３】
上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプは、上下方向に重なるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷却装置に関する発明であり、特に、食品流通、環境試験、医療、バイオ産業、半導体製造等の産業用又は家庭用機器等のあるゆる産業分野に使用できる、きわめて汎用性の高いスターリング冷凍機を使用したスターリング冷却装置の２次冷媒を循環させる冷却液回路に特徴を有する発明である。
【０００２】
【従来の技術】
従来、業務用、家庭用の冷熱関連機器の冷凍装置としては、フロン（単一、二元あるいは混合冷媒等）を冷媒として使用したシステムが知られている。そして地球環境問題を背景とした昨今のフロン規制に対しては、ＨＣＦＣ、ＨＦＣを使用した冷凍装置が知られている。
【０００３】
しかしながら、地球環境問題に対する国際的な取組みの本格化を背景として、今後、特定フロン及び代替フロンを含めフロン使用の一層の規制が求められる方向にあり、又、従来の冷媒としてフロンを使用した冷却装置は、そのシステムの特性から使用温度領域が狭く、特に、昨今の各産業分野における技術発展に伴い求められている超低温領域の実現には、さらなる開発が必要である。
【０００４】
これらの従来の冷却装置の問題を解決するために、フロンを使用せずに、従来の冷却装置より使用温度が広範囲で、従って、冷凍庫、冷蔵庫、投げ込み式クーラ等の業務用又は家庭用の冷熱利用機器をはじめとして、低温液循環器、低温恒温器、恒温槽、ヒートショック試験装置、凍結乾燥機、温度特性試験装置、血液・細胞保存装置、コールドクーラ、その他各種の冷熱装置等のあらゆる産業分野の冷熱利用機器に適用可能な、コンパクトで、しかも成績係数が高く、エネルギー効率が良好となるスターリング冷却装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
ここで従来のスターリング冷凍機を利用した冷却装置６３の概要を図６で説明する。この冷却装置６３は、スターリング冷凍機６４を有し、スターリング冷凍機６４は冷却ヘッド６５を有する。冷却ヘッド６５には二次（冷熱）冷媒管路６６が接続されており、冷熱冷媒管路６６で送られてくる冷熱冷媒を冷却ヘッド６５で冷却する。
【０００６】
この冷熱冷媒管路６６の両端は、冷凍庫等の冷熱利用機器６７の冷熱冷媒配管に接続される。これによって、冷却ヘッド６５、冷熱冷媒管路６６及び冷熱利用機器６７から成る冷熱冷媒が循環する循環路が構成されている。
【０００７】
冷熱冷媒管路６６の途中には冷熱冷媒用ポンプ６８が配設されており、冷熱冷媒を冷熱冷媒管路６６中を循環させている。これにより、冷却ヘッド６５で冷却された冷熱冷媒は、冷熱冷媒管路６６によって、冷熱利用機器６７に送られる。
【０００８】
スターリング冷凍機６５は、その本体を構成するクランク室やモータ室を有するハウジング７０内に、作動ガスが密閉状態で封入されている。一方、作動ガスが圧縮室（高温室）７１と膨張室（低温室）７２との間を流動し、この流路に沿って配設された冷却用熱交換器７３（低温側熱交換器）及び放熱用熱交換器７４（高温側熱交換器）により、夫々冷熱冷媒及び放熱用冷媒との熱交換が行われる。
【０００９】
この放熱用熱交換器では外部の放熱器７５（ラジエータ）からの冷却水をホース７６で流入口から導入して放熱用熱交換器７４内に熱交換を行い、熱交換された冷却水を流出口からホース７６及び冷却水用ポンプ７７で放熱器７５へ送り出される。
【００１０】
【特許文献１】
特開２０００−１４６３４０号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
スターリング冷凍機は、上述のとおり、その環境適合性、コンパクト性、高い成績係数及びエネルギー効率が着目され、家庭用及び産業用の各種の冷熱利用機器に適用可能であるが、特に、近年クリーンルーム内での半導体製造装置に適用に注目されている。
【００１２】
ところで、クリーンルームは、除塵のために必要な設備の維持コストが高く、クリーンルームのスペースの大きさに応じてかなり高くなる。よって、クリーンルーム内に設置される冷却装置のスペースも制限され、一層のコンパクト性が求められる。しかも放熱器を通過して冷却装置から送り出す空気の流れのための通風エリアのためのスペースも必要である。しかし、従来のスターリング冷凍機を利用した冷却装置は、特にこのような点迄は考慮されていなかった。
【００１３】
本発明は、このような従来のスターリング冷凍機を利用した冷却装置の問題を解決することを目的とし、スターリング冷凍機を利用した冷却装置を構成する各機器の配置を工夫することで、全体的に幅の狭い、コンパクトで、クリーンルームの空気の流れにも適合した冷却装置を実現するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、冷凍機と、該冷凍機で冷熱が付与された冷熱冷媒を該冷凍機と冷熱冷熱利用機器の間を循環させる冷熱冷媒循環用の循環配管と、該循環配管の途中に設けた冷熱冷媒用ポンプとを備えた冷却装置において、上記冷凍機の放熱用熱交換器の入口と出口に、冷却水用の冷却水配管の途中に設けた冷却水用ポンプを介して放熱器が接続されており、上記放熱器の水熱交換器と、該放熱器のファンと、上記冷凍機と、上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプとを、冷却装置の前方から後方に向けて全体として直線的に配置されていることを特徴とする冷却装置を提供する。
【００１５】
上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプは、前後方向に対して左右に配置されている構成としてもよい。
【００１６】
上記冷熱冷媒用ポンプ及び上記冷却水用ポンプは、上下方向に重なるように配置されている構成としてもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して以下に説明する。図１〜図３は、本発明の適用されるスターリング冷凍機を説明する図であり、図１はスターリング冷凍機１の全体構成を説明する正面図である。図２はスターリング冷凍機１の要部を説明する図であり、図３は一部が断面の右側面図を示す図である。
【００１８】
スターリング冷凍機１の鋳物で形成されたハウジング２は、その内部はＨｅが充填され、半密閉状態に保持されており、区画壁３を介して互いに連通するモータ室４とクランク室５とを有する。モータ室４には正逆回転可能なモータ６が配設されており、クランク室５には、モータ６で回転駆動されるクランクシャフト７、コンロッド８、９と、クロスガイドヘッド１０、１１等の駆動機構が配設されている。
【００１９】
クランクシャフト７の二つのクランク部１２、１３は、モータ６の正転時にクランク部１３がクランク部１２より先行して移動するように、位相差を付けて形成されている。この位相差は、一般的には約９０度の位相差が採用される。クランク部１２、１３には、コンロッド８、９が取り付けられ、さらにこのコンロッド８、９にクロスガイドヘッド１０、１１が取り付けられている。
【００２０】
ハウジング２におけるクランク室５の上部には、座部１４を介してシリンダブロック１５がボルト１６で取付られている。シリンダブロック１５は、圧縮シリンダ１７を形成するとともに、膨張シリンダ１８の一部（下部）を形成している。
【００２１】
圧縮シリンダ１７内を往復動する圧縮ピストン１９の上方空間（圧縮空間）が高温室２０であり、この中で作動ガスであるＨｅは圧縮されて高温となる。圧縮ピストンロッド２１は、圧縮ピストン１９とクロスガイドヘッド１０を連結し、クランク室５から圧縮シリンダ１７へ伸びるように設けられている。オイルシールベローズ２２が圧縮ピストンロッド２１とハウジング２の上部の間に取り付けられ、圧縮シリンダ１７とクランク室５の間をシールし、クランク室５からの油上がりを防止している。
【００２２】
一方、膨張シリンダ１８は、その下部は上述の通りシリンダブロック１５で構成し、その上部は、後述する放熱用熱交換器２９の内側シリンダ２３と冷却用熱交換器の内筒２４とから構成している。この膨張シリンダ１８内を往復摺動するピストン２５の上方空間（膨張空間）が低温室２６であり、この中で作動ガスが膨張し低温となる。
【００２３】
膨張ピストンロッド２７は、膨張ピストン２５とクロスガイドヘッド１１とを連結し、クランク室５から膨張シリンダ１８内に伸びている。オイルシールベローズ２８が、膨張ピストンロッド２７とハウジング２の上部の間に取り付けられ、膨張シリンダ１８とクランク室５の間をシールしクランク室５からの油上がりを防止している。膨張ピストン２５は、圧縮ピストン１９より９０度の位相だけ先行して移動する。
【００２４】
膨張シリンダ１８を囲むように、放熱用熱交換器（高温側熱交換器）２９、再生器３０及び冷却用熱交換器（低温側熱交換器）３１が互いに連通して環状に配設されている。放熱用熱交換器２９の下端、かつ膨張シリンダ１８の周囲に、マニホールド（作動ガス用の流路）３２が形成されている。
【００２５】
そして、圧縮シリンダ１７の上端部には、高温室２０とマニホールド３２とを連通する連通孔３３が形成されている。高温室２０と低温室２６は、連通孔３３、マニホールド３２、放熱用熱交換器２９、再生器３０及び冷却用熱交換器３１を通して互いに順次連通するように構成されている。
【００２６】
シリンダブロック１５は、その上部に放熱用熱交換ハウジング３４を有する。この放熱用熱交換ハウジング３４と内側シリンダ２３との間には、熱交換器筒３７が嵌合し、放熱用熱交換器（高温側熱交換器）２９を構成している。熱交換器筒３７は、その内面には、作動ガスの流路を形成する細溝３５を有し、外面に放熱フィン３６を有する。
【００２７】
作動ガスは細溝３５を通り、放熱用熱交換ハウジング３４と放熱フィン３６との間の放熱路３８は冷却水が流れこれにより、作動ガスの温熱が冷却水に放熱される。シリンダブロック１５の左右両側面には、蓋板３９が水密的に固定されており、この蓋板３９とシリンダブロック１５との間に冷却水路４０を形成している。この冷却水路４０は、入口４１と通して放熱路３８に連通するとともに、圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８を囲むように形成されている。
【００２８】
放熱路３８に冷却水の流入口４２が設けられており、冷却水路４０には流出口４３が設けられ、流入口４０と流出口４３は、後述する冷却水の循環配管５９及び冷却水用ポンプ６８を介して、冷却ファン５６を有する空冷の放熱器５４（ラジエータ）に接続されている。
【００２９】
内筒２４の下部は、内側シリンダ２３と嵌合し膨張シリンダ１８の一部を構成しているが、この内筒２４の上部外周側に冷却用熱交換ハウジング４４が配設され、シリンダブロック１５に着脱可能に固着されている。冷却用熱交換ハウジング４４は、その内面には複数の細溝４５を有し、内筒２４と嵌合して作動ガス流路４６を形成し、その外面には冷却フィン４７を有する。これにより、冷却用熱交換器（低温側熱交換器）３１を構成している。
【００３０】
この冷却用熱交換器３１は、本発明のスターリング冷凍機の冷熱を利用する冷熱利用機器の冷熱冷媒の冷却を行う。冷熱冷媒としては、空気、水、アルコール、ＨＦＥ、ＰＦＣ等が使用される。冷却用熱交換器と冷熱利用機器の間に冷熱冷媒用の循環配管が設けられており、この循環配管の途中に冷熱冷媒用ポンプが配置されている。この冷熱冷媒用ポンプにより冷熱冷媒は循環配管内を循環する。
【００３１】
内筒２４と冷却用熱交換ハウジング４４との間の環状空間には、金属メッシュ等の蓄冷材から成る再生器３０が配設されている。
【００３２】
オイルシールベローズ２８と膨張ピストン２５との間の空間（オイルシールベローズ２２と圧縮ピストン１９との間の空間についても同じ）は、バッファ空間（バッファ室）４８と呼ばれている。バッファ空間４８は、管４９によりバッファタンク５１に接続され、バッファタンク５１は、管５０によりハウジング２のクランク室５（モータ室４でもよい。）に接続されている。図１において、クランク室５を含むハウジング２内には作動ガスであるＨｅが充填されており、ハウジング２はバッファタンク５１を介してバッファ空間４８とほぼ同圧の状態で密閉されている。
【００３３】
本発明は、以上のような構成のスターリング冷凍機１を利用した冷却装置において、冷却装置を構成する各機器の配置構造を特徴とするものである。その実施態様を図４（ａ）で説明する。本発明の冷却装置５２では、冷却装置５２のケース５３内において、前部に放熱器５４（ラジエター）の水熱交換器５５とファン５６を配置し、その後方に冷凍機１を配置し、さらにその後方左に冷熱冷媒用ポンプ５７、後方右に冷却水用ポンプ５８を、全体として図４（ａ）中に左右方向に直線的に配置している。
【００３４】
そして、スターリング冷凍機１の放熱用熱交換器２９の流出口４３、冷却水用ポンプ５８、放熱器５４の水熱交換器５５及びスターリング冷凍機１が循環配管５９で接続されている。冷却水は、冷却水用ポンプ５８によって、循環配管５９を通して放熱用熱交換器２９と放熱器５４の間で矢印ａ方向に循環して流される。一方、冷熱冷媒は、冷熱冷媒用ポンプ５７によって、冷熱冷媒用管路５７’を通して冷却用熱交換器（低温側熱交換器）３１と冷熱利用機器（図示せず）との間を、矢印ｂ方向に循環して流される。
【００３５】
このような配置構造を採用した本発明に係る冷却装置５２では、その構成する機器を全体的に図４（ａ）中左右方向に直線方向に配置したので、冷却装置５２全体の横幅ｗが小さくなり、その設置面積が小さくて済む。例えば、冷却装置５２の横幅ｗが小さいと、後述するが、クリーンルーム内で冷却装置５２を利用する場合等では、クリーンルーム内での冷却装置５２の設置面積を小さくでき、クリーンルーム自体を小さくできるので、建設費、維持費のコスト低減ともなる。
【００３６】
そして、図４（ｂ）のクリーンルーム６０の空気の流れｓに沿うように冷却装置５２の前後方向（図４（ａ）、（ｂ）の左右方向）を揃えて配置することで、冷却装置を５２を通過する空気は、放熱器５４から後方左右に配置された冷熱冷媒用ポンプ５７及び冷却水用ポンプ５８方向に、一方向に流れるから、クリーンルーム６０内に設置する場合は、通風エリアとして冷却装置５２の前後方向（図４（ｂ）の左右方向）のスペースを空けておけばよく、側方は、クリーンルーム６０の壁６１に近接又は当接して配置してもよい。
【００３７】
図５（ａ）は、本発明に係るスターリング冷凍機を利用した冷却装置の各機器の配置構造の別の実施態様を示す平面図であり、図５（ｂ）は側面を示す図である。図５に示す冷却装置６２は、図４に示す冷却装置５２とほぼ同じであるが、異なる構成は次の通りである。即ち、図５に示す冷却装置６２では、冷却水用ポンプ５８の上方に冷熱冷媒用ポンプ５７を配置する２層構造を採用することで、上下方向のスペースを有効に活用するものである。
【００３８】
（作用）
次に、本発明の上記実施例のスターリング冷凍機の作用を説明する。モータ６によってクランクシャフト７が回転し、クランク室５内のクランク部１２、１３が９０度位相がずれて回転する。このクランク部１２、１３に連結されたコンロッド８、９、クロスガイドヘッド１０、１１、圧縮ピストンロッド２１及び膨張ピストンロッド２７を介して、圧縮ピストン１９及び膨張ピストン２５が、互いに９０度の位相差をもって往復動する。
【００３９】
膨張ピストン２５が９０度先行して上死点付近でゆっくりと移動中、圧縮ピストン１９は中間付近を上死点に向かって急速に移動して作動ガスの圧縮動作を行う。圧縮された作動ガスは、連通孔３３及びマニホールド３２を通り放熱用熱交換器２９の細溝３５内に流入し、放熱路３８を流れる冷却水に放熱する。さらに作動ガスは、再生器３０に蓄熱された冷熱で冷却され、細溝４５内を通って低温室２６（膨張空間）内に流入する。
【００４０】
圧縮ピストン１９が上死点近辺でゆっくりと移動している時に膨張ピストン２５は急激に下死点に向かって移動し、低温室２６（膨張空間）に流入した作動ガスは急激に膨張し冷熱が発生する。これにより冷却用熱交換器３１を含むヘッド部（コールドヘッドと言う。）４８は冷却されて低温となる。
【００４１】
そして、冷却用熱交換器３１において、冷却フィン４７に接する冷熱利用機器用の冷熱冷媒を冷却する。膨張ピストン２５が下死点から上死点に移動するときには圧縮ピストン１９は中間位置から下死点に向かっており、作動ガスは低温室２６より冷却用熱交換器の細溝４５を通り再生器３０に流入し作動ガスの有する冷熱を再生器３０に蓄熱する。再生器３０に蓄熱された冷熱は、上記のように高温室２０から放熱用熱交換器２９を通して送られてくる作動ガスを、再度冷却するために再利用される。
【００４２】そして、冷却用熱交換器において冷却された冷熱冷媒は、流出パイプ６４から各種の冷熱利用機器に送られ冷却に利用される。例えば、冷熱冷媒は、冷凍庫等の冷熱利用機器内の冷熱冷媒用配管に送られ、冷熱利用機器内で冷凍あるいは冷却作用を行う。そして冷熱利用機器から冷却用熱交換器３１に流入パイプ６５を通って循環して戻され、再度冷却される。
【００４３】
放熱器５４（ラジエータ）から送られてくる冷却水は、流入口４２から放熱用熱交換器３８内に流入し、放熱路３８を通過して作動ガスを冷却する。さらに、この冷却水は冷却水路４０に流入し、圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８の周囲を流れる。これによって、シリンダブロック１５の内側に形成されている圧縮シリンダ１７及び膨張シリンダ１８を周囲から冷却する。この後、冷却水は、流出口４３から流出して、放熱器５４において冷却ファン５６で冷却され、再度、放熱用熱交換器２９へ循環する。
【００４４】
バッファタンク５１は、バッファ空間４８とハウジング２を均等な圧力とし、バッファ空間４８内の圧力変動を吸収するとともに、ハウジング２内の圧力変動を吸収し、バッファ空間にその影響を及ぼさないような緩衝機能を有する。
【００４５】
ところで、本発明に係る冷却装置５２では、冷却装置のケース５３内において、前方に放熱器５４の水熱交換器５５とファン５６を配置し、その後方にスターリング冷凍機１を配置し、さらにその後方左に冷熱冷媒用ポンプ５７、後方右に冷却水用ポンプ５８を、冷却装置５２を構成する機器を全体として直線的に配置しているから、冷却装置５２全体の横幅ｗが小さくなり、その設置面積が小さくて済む。
【００４６】
図７はクリーンルーム６０内における冷却装置５２（チラー）の設置態様の一例を示す図である。クリーンルーム６０内において、二列の通路６０’、６０’の間のスペースに、冷却装置５２と冷熱利用機器の一例であるプローバ６９（半導体製造工程で利用される計測装置）の組合せが、複数左右方向に配列されている。冷却装置５２は、図７のように設置されるために、冷却装置５２の横幅ｗが小さいと設置面積が小さくなり、クリーンルーム内における冷却装置が占める面積が小さくなり、クリーンルーム自体の面積も小さくすることが可能であり建設コスト及びメインテナンスの価格を低くすることができる。
【００４７】
さらに、本発明に係る別の実施例である冷却装置６２（図５）では、後方に配置した冷熱冷媒用ポンプ５７及び冷却水用ポンプ５８を上下方向に２層に配置することで、上下方向のスペースをより一層、有効に活用することができるものである。
【００４８】
ファン５６により空気が前方に配置した放熱器５４に向けて流れ込み、冷却装置５２、６２内を前後方向に向けて流れ、後方に配置した冷熱冷媒用ポンプ５７及び冷却水用ポンプ５８の周囲を通過して冷却装置５２、６２の後方から流れ出る。
【００４９】
要するに、本発明に係る冷却装置５２、６２は、空気の流れは、冷却装置５２、６２の前後方向に一方向に流れることの可能な構造である。従って、この冷却装置５２、６２のケース５３の側面をクリーンルーム６０の壁６１に対して近接又は当接し配置し、壁６１の側方に対して冷却装置５２、６２の側方に通風エリアを設けずに設置することができる。
【００５０】
以上、本発明に係る冷却装置の実施の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は、上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることは言うまでもない。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は以上のような構成であるから、冷却装置全体の横幅が小さくなり、その設置面積が小さくて済み、特に面積当たり維持費が高くなるクリーンルームに設置する冷却装置としては最適である。さらに、冷熱冷媒用ポンプ及び冷却水用ポンプを上下方向に２層に配置すれば、上下方向のスペースをより一層、有効に活用することができる。
【００５２】
又、前方に配置した放熱器から後方に配置した冷熱冷媒用ポンプ及び冷却水用ポンプに向けて一方向に流れることの可能な構造であるから、冷却装置のケース側面をクリーンルームの壁に対して近接又は当接し配置しても、即ちクリーンルームの壁の側方に対して冷却装置の側方に通風エリアを設けずに設置してもよいので、クリーンルーム内のスペースの有効利用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る冷却装置に使用するスターリング冷凍機の全体構成を説明するための正面図である。
【図２】図１のスターリング冷凍機の要部を示す図である。
【図３】図１のスターリング冷凍機を説明する右側一部破断正面図である。
【図４】本発明に係る冷却装置の特徴的な構成を説明するための図である。
【図５】本発明に係る冷却装置の別の態様の特徴的な構成を説明するための図である。
【図６】従来例を説明するための図である。
【図７】本発明に係る冷却装置の利用例を説明するための平面図である。
【符号の説明】
１    スターリング冷凍機
２    ハウジング
３    区画壁
４    モータ室
５    クランク室
６    モータ
７    クランクシャフト
８、９    コンロッド
１０、１１    クロスガイドヘッド
１０’、１１’    連結ピン
１２、１３    クランク部
１４    座部
１５    シリンダブロック
１６    ボルト
１７    圧縮シリンダ
１８    膨張シリンダ
１９    圧縮ピストン
２０    上方空間（圧縮空間）高温室
２１    圧縮ピストンロッド
２２    オイルシールベローズ
２３    内側シリンダ
２４    冷却用熱交換器の内筒
２５    膨張ピストン
２６    上方空間（膨張空間）が低温室
２７    膨張ピストンロッド
２８    オイルシールベローズ
２９    放熱用熱交換器（高温側熱交換器）
３０    再生器
３１    冷却用熱交換器（低温側熱交換器）
３２    マニホールド（作動ガス用の流路）
３３    連通孔
３４    放熱用熱交換ハウジング
３５    熱交換器筒の内面の作動ガス流路用の細溝
３６    放熱フィン
３７    熱交換器筒
３８    放熱用熱交換ハウジング放熱フィンとの間の放熱路
３９    蓋板
４０    冷却水路
４１    入口
４２    放熱路に冷却水の流入口
４３    冷却水路の流出口
４４    冷却用熱交換ハウジング
４５    冷却用熱交換ハウジングの内面の複数の細溝
４６    作動ガス流路
４７    冷却フィン
４８    バッファ空間（バッファ室）
４９    管
５１    バッファタンク
５２    冷却装置
５３    冷却装置のケース
５４    放熱器（ラジエター）
５５    水熱交換器
５６    ファン
５７    冷熱冷媒用ポンプ
６８    冷却水用ポンプ
５９    循環配管
６０    クリーンルーム
６０’    クリーンルーム内の通路
６１    クリーンルームの壁
６２    冷却装置
６３    冷却装置
６４    スターリング冷凍機
６５    冷却ヘッド
６６    冷熱冷媒管路
６７    冷熱利用機器
６８    冷熱冷媒用ポンプ
６９    冷熱利用機器の一例であるプローバ
７０    ハウジング
７１    圧縮室（高温室）
７２    膨張室（低温室）
７３    冷却用熱交換器（低温側熱交換器）
７４    放熱用熱交換器（高温側熱交換器）
７５    放熱器
７６    ホース
７７    冷却水用ポンプ
【図１】
2004286374.tif 000003
【図２】
2004286374.tif 000004
【図３】
2004286374.tif 000005
【図４】
2004286374.tif 000006
【図５】
2004286374.tif 000007
【図６】
2004286374.tif 000008
【図７】
2004286374.tif 000009