(57)【要約】　　　（修正有）【課題】剛性の小さいペットフィルム等の薄板を平坦な状態でワーク載置台に載置させることができる薄板ワークの固定装置および固定方法を提供する。【解決手段】内部に中空部１６ｂが形成された箱状で、ワークとの当接面に中空部１６ｂと連通する複数の孔３０が形成されたワーク載置台１６と、内部に中空部１９ｂが形成された箱状で、ワークとの当接面に中空部１９ｂと連通する複数の孔３０が形成されたワーク保持台１９と、ワーク保持台１６を上下方向に移動させるリフタ１３と、ワーク保持台１６を付勢するばね１７とを設ける。そして、中空部１６ｂと中空部１９ｂを真空源および圧縮空気源に接続する。【選択図】　　　　図３
2004114234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク載置台と、
内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク保持台と、
前記ワーク保持台を上下方向に移動させる手段と、
前記ワーク保持台を付勢する加圧手段とを設け、
前記ワーク載置台および前記ワーク保持台の前記中空部を真空源および圧縮空気源に接続することを特徴とする薄板ワークの固定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板ワークの固定装置を用い、以下に示す工程により、前記ワーク載置台に載置された前記ワークを前記ワーク保持台に保持させることを特徴とする薄板ワークの固定方法。
１．前記ワークが吸着されていない前記ワーク保持台の前記当接面を、前記ワーク載置台に載置された前記ワークに対して水平方向に位置決めする工程
２．前記ワーク保持台の前記当接面を僅かな隙間をあけて前記ワークの表面に対向させる工程
３．前記ワーク保持台と前記ワーク載置台の内部に微小圧の圧縮空気を供給する工程
４．前記ワーク保持台の内部に微小圧の圧縮空気を供給または大気圧、前記ワーク載置台の内部を大気圧にして、前記ワーク保持台を予め定める加圧力で前記ワーク載置台に押し付ける工程
５．前記ワーク保持台に前記ワークを吸着させる工程
６．前記ワーク保持台を前記ワーク載置台から遠ざける工程
【請求項３】
請求項１に記載の薄板ワークの固定装置を用い、以下に示す工程により前記ワーク保持台に吸着された前記ワークを前記ワーク載置台に保持させることを特徴とする薄板ワークの固定方法。
１．前記ワークを前記ワーク載置台の前記当接面に対して水平方向に位置決めする工程
２．前記ワークの下面を前記ワーク載置台の前記当接面と僅かな隙間をあけて対向させる工程
３．前記ワーク保持台と前記ワーク載置台の内部に微小圧の圧縮空気を供給する工程
４．前記ワーク保持台の内部に微小圧の圧縮空気を供給または大気圧、前記ワーク載置台の内部を大気圧にして、前記ワーク保持台を予め定める加圧力で前記ワーク載置台に押し付ける工程
５．前記ワーク載置台に前記ワークを吸着させる工程
６．前記ワーク保持台を前記ワーク載置台から遠ざける工程
【請求項４】
前記加圧力は１平方メートル当たり１０〜５０ｋｇとすることを請求項２または請求項３に記載の薄板ワークの固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、剛性の小さい薄板ワークを固定するための薄板ワークの固定装置および固定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、特開２００１−１３９１７０号には、　板状のワークを第１のワーク載置部から第２のワーク載置部へ移載するワーク移載手段と、第２のワーク載置部に載置されたワークが１枚であるか否かを検知するワーク厚み検知手段と、ワーク厚み検知手段によってワークが複数枚であることが検知されたときは、ワーク移載手段を制御して第２のワーク載置部上のワークが１枚になるまで余分なワークを第１のワーク載置部に戻し移載させるワーク移載制御手段とを備えた板状ワーク供給装置の技術が開示されている。
【０００３】
この従来技術では、板状のワークを複数の真空吸着パッドで吸着して保持および移動するようにし、また、ワークを載置するワーク載置台を、表面に複数の孔を備える箱状に形成し、載置されたワークを吸着することによりワークを確実に保持するように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ワークの材質がポリエチレンテレフタレートで、板厚が０．１ないし０．２ｍｍである場合（以下、ペットフィルムという。）、剛性が小さいため、吸着箇所が少ないとワークに皺が寄ってしまう。また、ワーク載置台に載置されたペットフィルムに皺が寄っていた場合、皺が寄った状態でワーク載置台に保持されてしまうため、加工精度が低下した。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、剛性の小さいペットフィルム等の薄板を平坦な状態でワーク載置台に載置させることができる薄板ワークの固定装置および固定方法を提供するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、請求項１の発明は、薄板ワークの固定装置を、内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク載置台と、内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク保持台と、前記ワーク保持台を上下方向に移動させる手段と、前記ワーク保持台を付勢する加圧手段とで構成し、前記ワーク載置台および前記ワーク保持台の前記中空部を真空源および圧縮空気源に接続する。
【０００７】
また、請求項１に記載の薄板ワークの固定装置を用い、以下に示す工程により、前記ワーク載置台に載置された前記ワークを前記ワーク保持台に保持させる。
１．前記ワークが吸着されていない前記ワーク保持台の前記当接面を、前記ワーク載置台に載置された前記ワークに対して水平方向に位置決めする工程
２．前記ワーク保持台の前記当接面を僅かな隙間をあけて前記ワークの表面に対向させる工程
３．前記ワーク保持台と前記ワーク載置台の内部に微小圧の圧縮空気を供給する工程
４．前記ワーク保持台の内部に微小圧の圧縮空気を供給または大気圧、前記ワーク載置台の内部を大気圧にして、前記ワーク保持台を予め定める加圧力で前記ワーク載置台に押し付ける工程
５．前記ワーク保持台に前記ワークを吸着させる工程
６．前記ワーク保持台を前記ワーク載置台から遠ざける工程
【０００８】
さらに、請求項１に記載の薄板ワークの固定装置を用い、以下に示す工程により前記ワーク保持台に吸着された前記ワークを前記ワーク載置台に保持させる。１．前記ワークを前記ワーク載置台の前記当接面に対して水平方向に位置決めする工程
２．前記ワークの下面を前記ワーク載置台の前記当接面と僅かな隙間をあけて対向させる工程
３．前記ワーク保持台と前記ワーク載置台の内部に微小圧の圧縮空気を供給する工程
４．前記ワーク保持台の内部に微小圧の圧縮空気を供給または大気圧、前記ワーク載置台の内部を大気圧にして、前記ワーク保持台を予め定める加圧力で前記ワーク載置台に押し付ける工程
５．前記ワーク載置台に前記ワークを吸着させる工程
６．前記ワーク保持台を前記ワーク載置台から遠ざける工程
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
図１は本発明に係るレーザ加工機本体の構成図である。
同図において、レーザ加工機本体ＡのＸＹテーブル２は、ベッド１上を水平なＸ、Ｙ方向に移動自在である。ＸＹテーブル２には、表面に内部の中空部に接続する複数の孔が形成され、中空部を真空源に接続することにより真空吸着機能を持たせたテーブル３が固定されている。テーブル３には、ワーク４が吸着保持される。
【００１０】
門形のコラム５はベッド１に固定されている。コラム５に載置されたレーザ発振器６から出力されたレーザビームは、ミラー７により光路を偏向され、ガルバノスキャナミラー８により位置決めされ、ｆθレンズ９を通過してワーク４を加工する。
【００１１】
図２は、レーザ加工機の全体構成図であり、Ｂは搬入装置、Ｃは搬出装置である。
同図において、搬入装置Ｂのスライダ１２は、レール１１上を図の左右方向に往復移動自在である。スライダ１２の下部には、リフタ１３が配置されている。リフタ１３の移動部の先端には、プレート１４が固定されている。プレート１４には、ガイドロッド１５を介してワーク保持台１６が図の上下方向移動自在に支持されている。ばね１７はワーク保持台１６をスライダ１２から遠ざける方向に付勢している。また、搬入装置Ｂの台１８の上面にはワーク載置台１９が固定されている。
【００１２】
搬出装置Ｃのスライダ１２は、レール２３上を図の左右方向に往復移動自在である。スライダ１２の下部には、リフタ１３が配置されている。台２０の上面は平坦に形成されている。
なお、図中スライダ１２の待機位置は実線で示す位置であり、供給位置は破線で示す位置である。そして、スライダ１２が待機位置にあるとき、プレート１４は上昇位置にある。
【００１３】
次に、ワーク保持台１６とワーク載置台１９の構成を、さらに説明する。
図３は、ワーク保持台１６近傍の正面断面図である。
ワーク保持台１６は箱状で、下板１６ａには複数の孔３０が形成され、中空部１６ｂは継ぎ手３１を介して図示を省略する圧縮空気源または真空源に接続されている。
ワーク載置台１９は箱状で、上板１９ａには複数の孔３０が形成され、中空部１９ｂは継ぎ手３１を介して図示を省略する圧縮空気源または真空源に接続されている。
【００１４】
次に、この実施形態の動作を説明する。
なお、ワーク載置台１９上には、予めワーク４が載置されている。
手順１．ワーク４が吸着されていないワーク保持台１６を、ワーク載置台１９に載置されたワーク４の上方に位置決めする。（図４参照）
手順２．ワーク保持台１６を下降させ、当接面をワーク４の表面から僅かな隙間（例えば０．０５〜０．２ｍｍ）をあけて対向させる。（図５参照）
手順３．継ぎ手３１を介して中空部１６ｂ、１９ｂに微小圧の圧縮空気を供給する。この時、中空部１６ｂに供給する圧力を中空部１９ｂに供給する圧力よりも僅かに大きくすることが望ましい。
手順４．中空部１６ｂ、１９ｂに供給する圧力を停止し、中空部１６ｂ、１９ｂ内部の圧力を大気圧にして、ワーク保持台１６をばね１７に抗して予め定める距離だけ下降させ、ばね１７の弾性力およびワーク保持台１６の質量でワーク４を加圧する。なお、この時の加圧力は、１平方メートル当たり１０〜５０ｋｇにするとよい。（図５参照）
手順５．この状態で、継ぎ手３１を介して中空部１６ｂを真空源に接続し、ワーク保持台１６にワーク４を吸着させる。
手順６．ワーク保持台１６を上昇させ、ワーク載置台１９から遠ざける。
手順７．ワーク保持台１６をテーブル３の上方に位置決めする。
手順８．ワーク保持台１６を下降させ、ワーク保持台１６をテーブル３に　押し付ける。なお、押し付け量としては手順４の場合と同じでよい。
手順９．テーブル３に吸引動作をさせる。
手順１０．ワーク保持台１６の吸引動作を停止させる。なお、吸引動作を　停止させた後、短時間、中空部１６ｂに圧縮空気を供給するようにして　もよい。このようにすると、ワーク４が静電気等によりワーク保持台１　６の保持面に密着している場合でも、ワーク４に皺が寄ることを防止で　きる。
手順１１．ワーク保持台１６を上昇させた後、ワーク保持台１６を待機位　置に移動させる。
手順１２．加工を行う。
なお、加工後の手順は従来の場合と同じであるので、説明を省略する。
【００１５】
以上説明したように、本発明では、ワーク４に皺が発生することを防止できるので、加工精度を向上させることができる。
【００１６】
ところで、上記では、ワーク載置台１９に載置されたワーク４をワーク保持台１６に保持させる場合について説明したが、ワーク保持台１４に吸着されたワーク４をワーク載置台１９に保持させる場合にも適用することができる。そして、この場合の手順は以下の通りである。
１．ワーク４をワーク載置台１９の当接面に対して水平方向に位置決めする。
２．ワーク４の下面をワーク載置台１９の当接面と僅かな隙間をあけて対向させる。
３．中空部１６ｂ、１９ｂに微小圧の圧縮空気を供給する。
４．中空部１６ｂ、１９ｂの内部を大気圧にして、ワーク保持台１４を予め定める距離下降させる。
５．ワーク載置台１９にワーク４を吸着させる。
６．ワーク保持台１６をワーク載置台１９から遠ざける。
【００１７】
なお、上記では、レーザ加工機本体Ａの、テーブル３は真空吸着機能だけを持つものとしたが、テーブル３をワーク載置台１９と同様に圧縮空気源にも接続するようにすると、図２におけるワーク載置台１９を図２における台２０に置き換えることができる。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク載置台と、内部に中空部が形成された箱状で、ワークとの当接面に前記中空部と連通する複数の孔が形成されたワーク保持台と、前記ワーク保持台を上下方向に移動させる手段と、前記ワーク保持台を付勢する加圧手段とを設け、前記ワーク載置台および前記ワーク保持台の前記中空部を真空源および圧縮空気源に接続し、圧縮空気と、加圧手段とを協調させ、ワークに皺が発生しないようにした状態でワーク保持台にワークを保持させる。この結果、テーブルに皺のないワークを供給することができる。
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るレーザ加工機本体の構成図である。
【図２】本発明に係るレーザ加工機の全体構成図である。
【図３】本発明に係るワーク保持台１６近傍の正面断面図である。
【図４】吸着手順の説明図である。
【図５】吸着手順の説明図である。
【図６】吸着手順の説明図である。
【符号の説明】
４　ワーク
１３　リフタ
１６　ワーク載置台
１６ｂ、１９ｂ　中空部
１７　ばね
１９ワーク保持台
３０　孔
【図１】
2004114234.tif 000003
【図２】
2004114234.tif 000004
【図３】
2004114234.tif 000005
【図４】
2004114234.tif 000006
【図５】
2004114234.tif 000007
【図６】
2004114234.tif 000008