(57)【要約】      （修正有）【課題】一方向凝固熱電結晶材料において、性能指数を向上できる材料及び製造方法及び熱電素子並びに熱電モジュールを提供する。【解決手段】Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む溶融合金を粉砕して合金粉末を得、該合金粉末に窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ4Ｃ、酸化ホウ素の何れか１種以上を含むホウ素化合物の粉末あるいはスラリーを添加混合してホウ素混合粉末を得る工程を含むことを特徴とする一方向凝固熱電結晶材料及びその製造方法。【選択図】図１
2004349566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を主成分とし、結晶方向が１軸配向している一方向凝固熱電結晶材料であって、ホウ素（Ｂ）化合物を含有することを特徴とする一方向凝固熱電結晶材料。
【請求項２】
上記ホウ素化合物が窒化物、炭化物、酸化物のいずれか１種以上を含むことを特徴とする請求項１記載の一方向凝固熱電結晶材料。
【請求項３】
上記ホウ素化合物の含有率がホウ素換算で０．０１〜０．５重量％であることを特徴とする請求項１または２記載の一方向凝固熱電結晶材料。
【請求項４】
Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む溶融合金を粉砕して合金粉末を得、該合金粉末に窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）のいずれか１種以上を含むホウ素化合物の粉末あるいはスラリーを添加・混合してホウ素混合合金粉末を得る工程を含むことを特徴とする一方向凝固熱電結晶材料の製造方法。
【請求項５】
上記ホウ素化合物の総量がホウ素換算で０．０１〜０．５重量％であることを特徴とする請求項４記載の一方向凝固熱電結晶材料の製造方法。
【請求項６】
上記ホウ素混合合金粉末を溶融させて融液を得、該融液を型枠に備えられた断面積１０ｍｍ２以下、長さ５０ｍｍ以上の空隙に流入した後、冷却することによって一方向凝固により結晶成長させることを特徴とする請求項４または５記載の一方向凝固熱電結晶材料の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至３の何れかに記載の一方向凝固熱電結晶材料からなる熱電素子。
【請求項８】
上記熱電素子は一方向凝固熱電結晶材料からなる長尺体を所定の長さに切断する工程を含むことを特徴とする請求項７に記載の熱電素子の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の熱電素子を用いた熱電モジュールであって、支持基板と、支持基板上に複数配列された熱電素子と、複数の熱電素子間を電気的に接続する配線導体と、上記支持基板上に設けられ、配線導体と電気的に連結された外部接続端子とを具備してなることを特徴とする熱電モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体等の発熱体の冷却等に使用する熱電モジュール用の熱電素子として好適に用いることのできる一方向凝固熱電結晶材料とその製造方法、及びこれを用いてなる熱電素子とその製造方法、及び熱電素子を搭載した熱電モジュールに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より、ペルチェ効果を利用した熱電モジュールは、電流を流すことにより一端が発熱するとともに他端が吸熱するため、冷却用として用いられている。特に、レーザーダイオードの温度制御、持ち運び可能な冷蔵庫、恒温槽、光検出素子、半導体製造装置等への幅広い利用が期待されている。特に、フロンレス、無振動、無騒音であるために家庭用冷蔵庫、クーラーへの展開が期待されている。
【０００３】
この室温付近で使用される冷却用熱電モジュールは、Ｐ型及びＮ型の熱電素子を対にしたものを複数直列に電気的接続が行なわれた構成を有し、そこで使用される熱電素子としては、冷却特性が優れるという観点からＡ２Ｂ３型結晶（ＡはＢｉ及び／又はＳｂ、ＢはＴｅ及び／又はＳｅ）が一般的に用いられている。
【０００４】
Ｐ型の熱電素子としてはＢｉ２Ｔｅ３（テルル化ビスマス）とＳｂ２Ｔｅ３（テルル化アンチモン）との固溶体が、Ｎ型の熱電素子としてはＢｉ２Ｔｅ３とＢｉ２Ｓｅ３（セレン化ビスマス）との固溶体が特に優れた性能を示すことから、これらのＡ２Ｂ３型結晶（ＡはＢｉ及び／又はＳｂ、ＢはＴｅ及び／又はＳｅ）が熱電素子として広く用いられている。
【０００５】
これら熱電素子は熱電結晶材料から形成され、その熱電特性は性能指数で表される。ここで性能指数Ｚとは、ゼーベック係数をＳ、抵抗率をρ、熱伝導率をｋとしたとき、Ｚ＝Ｓ２／ρｋで定義されるもので、熱電結晶材料を熱電素子として用いる場合の性能及び効率を示すものである。すなわち性能指数が高い材料を用いるほど冷却性能、効率に優れる熱電モジュールが得られる。
【０００６】
上記Ａ２Ｂ３型結晶からなる熱電素子に使用される熱電結晶材料としては、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｓｅ等の混合粉末を溶融、凝固させた溶融合金を粉砕して合金粉末を得、該合金粉末をホットプレス等によって加圧焼結させた焼結材料が提案されている（例えば特許文献１、２参照）。
【０００７】
これら特許文献１、２によれば、先ず溶融合金を得、合金粒子の大きさを篩い分け、熱処理によって均一にし、さらにホットプレスによって圧力を印加しながら、加熱焼結する焼結材料の製造方法が提案されている。これら焼結材料は、焼結体中の結晶を配向させることで、比抵抗を低下させ、さらに多結晶化であるため粒界相の影響による低熱伝導率化によって性能指数が高められるとされている。
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１、２では、これら焼結体により得られる熱電材料の性能指数は最大でも２．８×１０−３／Ｋ程度であり、冷却素子として用いることは可能であっても、冷却性能が低く、効率も悪いために利用は限定され、家庭用冷蔵庫等への実用化は非常に困難である。そのため家庭用冷蔵庫などへの用途を拡大するために、この材料の性能指数の大幅な向上が要求されている。
【０００９】
そこで、性能指数の高い熱電材料として、古くよりブリッジマン法、引き上げ（ＣＺ）法、ゾーンメルト法など公知の単結晶製造技術をベースにした一方向凝固技術によって結晶の方位がそろったインゴットあるいは単結晶に近い結晶体からなる一方向凝固熱電結晶材料が提案されており、上述したＡ２Ｂ３型結晶（ＡはＢｉ及び／又はＳｂ、ＢはＴｅ及び／又はＳｅ）を主成分とする一方向凝固熱電結晶材料は、ａ軸が結晶容易軸であるため、一方向凝固により成長方向に沿ってｃ軸に垂直なｃ面が平行になる。更にｃ面の比抵抗は、ａ軸よりも大幅に小さく、ゼーベック係数、熱伝導率は結晶方向による異方性が小さいために、一方向凝固結晶材料はｃ面に沿って電流を流すことによって焼結体と比較して、比抵抗の大幅な低減が可能となり、焼結体と比べて性能指数を高めることができる（非特許文献３参照）。
【００１０】
【特許文献１】
特公平８−３２５８８号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開平１−１０６４７８号公報
【００１２】
【非特許文献１】
上村  欣一  西田  勲夫  著「熱電半導体とその応用」
昭和６３年１２月２０日  日刊工業新聞社  ｐ．１４９
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、非特許文献１に示すような一方向凝固熱電結晶材料は、単結晶材料に近く、結晶方向、結晶サイズがほぼそろっている。そのため、その性能指数の向上は、組成の調整、一方向凝固条件の最適化等に限られ、それらによる性能指数の向上はわずかである。従って、一方向凝固熱電結晶材料の性能指数は従来の材料系では限界にきているのが現状である。
【００１４】
この要因の一つに、一方向凝固熱電結晶材料の熱伝導率が高い点が挙げられる。これは、一方向凝固熱電結晶材料は結晶の向きがそろっているために、粒界が少なくなり、焼結体のような粒界によるフォノンの散乱が生じず、熱伝導率が高くなる。その結果、ゼーベック係数の向上、比抵抗の低下は可能であっても、同時に熱伝導率が高くなり性能指数の向上が小さい。従って、これまでの一方向凝固熱電結晶材料では、熱伝導率が高く性能指数は３×１０−３／Ｋ程度が限界であった。
【００１５】
そこで、本発明は熱伝導率を低下させることにより性能指数を高めた一方向凝固熱電結晶材料及びその製造方法及び熱電素子並びに冷却性能、冷却効率を大幅に高めた熱電モジュールを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、単結晶に近い一方向凝固熱電結晶材料において、ホウ素化合物を微量含有させることによって、ゼーベック係数、比抵抗は変化しないまま、熱伝導率を低下させることが可能となり、結果、性能指数の向上が可能であるという知見に基づくものである。
【００１７】
即ち、本発明の一方向凝固熱伝結晶材料は、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含み、結晶方向が１軸配向している熱電結晶材料において、ホウ素（Ｂ）化合物を含有することを特徴とする。このようにホウ素化合物を含有することによってフォノンの散乱を引き起こし、熱伝導率が低下し、性能指数が向上する。
【００１８】
特に、上記ホウ素化合物としては、窒化物、炭化物、酸化物のいずれかであることが好ましい。
【００１９】
さらに、これらホウ素化合物の含有率はホウ素換算で０．０１〜０．５重量％が好ましい。このようなホウ素化合物及び含有率に制御することによって、ゼーベック係数、比抵抗は一定の値に保持し、熱伝導率のみを効率よく低減させ、性能指数の高いものとすることができる。
【００２０】
また、本発明の一方向凝固熱電結晶材料の製造方法は、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む合金を粉砕した粉末と、窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）いずれかのうち１種以上を含む粉末あるいはスラリーを混合させる工程を含む。このような工程にすることによって、ホウ素化合物を効率よく残存させることが可能となり、熱伝導率の低下効果が大きい。特にホウ素化合物の総量が、ホウ素換算で０．０１〜０．５重量％であることが好ましい。このような量に制御することによって熱伝導率のみを効率よく低減可能であり、性能指数が向上できる。
【００２１】
また、特に、上記ホウ素化合物と混合したホウ素混合合金粉末を溶融させ、断面積が１０ｍｍ２以下、長さ５０ｍｍ以上の空隙を持つ型枠に融液を挿入し、冷却時に一方向凝固により結晶成長させる製造方法が好ましい。このように断面積の小さい型枠を用いることで、ホウ素化合物を熱電結晶材料中に均一に分散することが可能となり、性能向上が安定できる。
【００２２】
また、本発明の熱電素子は、ホウ素化合物を含んでいるＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む一方向凝固熱電結晶材料を切断して得られることを特徴とする。このような熱電素子によって冷却性能が高い熱電素子が得られる。
【００２３】
また、さらに本発明の熱電モジュールは、支持基板と、該支持基板上に複数配列された熱電素子と、該複数の熱電素子間を電気的に接続する配線導体と、上記支持基板上に設けられ、該配線導体と電気的に連結された外部接続端子とを具備し、上記熱電素子が、ホウ素化合物を含む一方向凝固熱電結晶材料を切断して得られることを特徴とする。このような、熱電素子を用いることによって冷却性能及び効率に優れた熱電モジュールが得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を詳述する。
【００２５】
本発明は、ホウ素化合物を含有する一方向凝固熱電結晶材料及びその製造方法であり、この熱電結晶材料を加工して得られる熱電素子及び熱電モジュールに関するものである。
【００２６】
本発明の一方向凝固熱電結晶材料は、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を主成分とし、結晶方向が１軸配向している一方向熱電結晶材料であって、ホウ素（Ｂ）化合物を含有することが重要である。
【００２７】
主成分として、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を用いることによって、室温付近で性能指数が高い一方向凝固熱電結晶材料組成となり、またホウ素化合物を含有することで、性能指数を３×１０−３／Ｋ以上に向上させることができ、冷却性能及び冷却効率に優れる熱電モジュールに好適な熱電結晶材料を得ることができる。
【００２８】
なお、上記性能指数（Ｚ）は、ゼーベック係数をＳ、抵抗率をρ、熱伝導率をｋとしたとき、Ｚ＝Ｓ２／ρｋで定義されるもので、熱電材料を熱電素子として用いる場合の性能及び効率を示すものであり、性能指数が高い材料を用いるほど冷却性能、効率に優れる熱電モジュールが得られる。
【００２９】
ホウ素化合物を含有することで、ゼーベック係数及び比抵抗の低下を小さいものとして、熱伝導率を低下させることができるため、性能指数が向上するものである。ホウ素化合物を含有することによって熱伝導率が低下するメカニズムとしては、結晶材料中に残存し、主に粒界に存在するホウ素化合物がフォノンを散乱させることによって、フォノンの平均自由工程を低下させ熱伝導が小さくなることが考えられる。
【００３０】
なお、上記ホウ素化合物は、室温で安定に存在する非金属化合物であるＢＮ、Ｂ４Ｃ、Ｂ２Ｏ３や、金属ホウ化物であるＴｉＢ２、ＺｒＢ２、ＨｆＢ２等を用いることができるが、ゼーベック係数、比抵抗への影響から非金属化合物が好ましい。
【００３１】
本発明によれば、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｓｅ系の一方向凝固熱電結晶材料は、単結晶材料に近いために第２相として存在する粒子が残存しにくかったが、ホウ素化合物はホウ素自身の原子半径が小さく、耐熱性が高く、またＢｉやＴｅとの反応性も悪いために、材料を得る際にＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｓｅを混合、溶融させた融液中で残存し、包融物（インクルージョン）として取り込まれやすいため、第２相として残存していると考えられる。ホウ素化合物が残存している場所は、粒内、粒界、劈開面いずれでも構わないが、劈開面の間に存在することがゼーベック係数、比抵抗への影響がより小さくなり好ましい。
【００３２】
また、上記ホウ素化合物は、窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）のいずれか１種以上を含むことが好ましい。
【００３３】
これらのホウ素化合物は特に高温において安定性が高い、すわわちＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｓｅとの反応性が悪く、さらに非金属であるために比抵抗、あるいはゼーベック係数への影響が小さいため、性能指数をより向上させることができる。
【００３４】
さらに、上記ホウ素化合物の含有率としてはホウ素換算で０．０１〜０．５重量％とすることが好ましい。
【００３５】
上記含有率が０．０１重量％未満となると、熱伝導率を低下させる効果が小さくなり性能指数の向上が見られず、一方、０．５重量％を越えると、ゼーベック係数、比抵抗が急激に劣化するために性能指数が低下する。より好ましくは０．０１〜０．３重量％、さらに好ましくは０．０１〜０．１重量％である。
【００３６】
また、上記ホウ素化合物の粒径は、平均粒径０．０１〜０．１μｍが好ましく、一方向凝固熱電結晶材料内に均一に分散させ、熱伝導低下効果をより発揮することができる。
【００３７】
次に、上記一方向凝固熱電結晶材料の製造方法について説明する。
【００３８】
まず、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｓｅ金属と、ＳｂＩ３、ＨｇＢｒ２等のハロゲン化合物からなるドーパントとを特定の組成比に混合した粉末を用意する。これら原料粉末は、あらかじめ石英管に秤量した上記の金属を不活性ガスあるいは真空封入したのち、加熱、溶融、冷却した後、溶融合金を得る。
【００３９】
次に、この溶融合金をスタンプミルやボールミルあるいは乳鉢等で粗粉砕して合金粉末を得る。粉砕後の粒径は特に重要ではないが、一方向凝固前に溶融させる際の均一化のためには５ｍｍ以下に粉砕することが好ましい。
【００４０】
次に、添加するホウ素化合物を準備する。このホウ素化合物としては、粉末あるいはスラリー状であることが重要である。粉末あるいは水あるいは有機溶剤等で粉末を分散させたスラリー状で添加する場合は、合金粉末との混合も容易であり、均一に分散し、さらに特殊な装置を必要としない。
【００４１】
なお、上記ホウ素化合物を添加する際は、予め準備した合金粉末に添加することが重要である。溶融合金に添加した場合は、ホウ素化合物が溶融均質化の段階で合金と分離し均一に分散されない。従って、ここでは溶融合金を粉砕して得られた合金粉末に、ホウ素化合物を混合することが重要となる。添加の方法としては、特に指定はしないが、合金粉末と準備したホウ素化合物とをポリポット等に入れて混合する方法等が用いられる。スラリーを添加した場合は、スラリー溶媒成分を蒸発させ、ホウ素混合合金粉末を得る。このとき、スラリーとしてスプレーを用いてもよい。
【００４２】
また、上記ホウ素化合物の総量は、ホウ素換算で０．０１〜０．５重量％であることが好ましく、上述した粉末の場合は、天秤にて秤量し添加するが、スラリーでの添加の場合は、ホウ素含有率をあらかじめ考慮し、秤量する必要がある。
前述した窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）のいずれかの化合物の場合は、水あるいは有機溶剤に分散させても溶解せず、また乾燥させても蒸発しないため、添加率は各化合物の原子量の比である化学量理論組成に基いて容易に算出することができる。また、これら３種類以外のホウ素化合物を添加する場合は、必要に応じてスラリー乾燥後におけるホウ素換算量を化学分析（ＩＰＣ発光分光分析）によって予め測定し、ホウ素化合物の添加率を制御することが好ましい。
【００４３】
次に、得られたホウ素混合合金粉末から一方向凝固熱電結晶を得る方法を説明する。一方向凝固による結晶成長は、公知の技術であるブリッジマン法、引き上げ法、ゾーンメルト法などいずれの手法でも良いが、ここでは装置が安価で量産が可能な方法を説明する。
【００４４】
先ず、結晶の融液を保持し、結晶成長を行うための内部空間が貫通した空隙を有する結晶鋳型等の型枠を用意する。型枠の材質は合金と高温で反応せずに安定な材料であればどのような材質でも良いが、コスト、耐久性、加工性が良いことからカーボン製の結晶鋳型が好ましい。
【００４５】
なお、上記型枠の空隙は、その断面積が１０ｍｍ２以下、長さが５０ｍｍ以上の直方体あるいは円柱状にすることが好ましく、添加したホウ素化合物を一方向凝固中に均一に分散させ、性能指数を安定化させることができるためである。すなわち、断面積が１０ｍｍ２よりも大きくなると、一方向凝固方向と垂直な面内において、温度の不均一化に伴う一方向凝固の不均一化が生じやすく、添加したホウ素化合物が面内で均一に分散されず、熱伝導率の低下ばらつきが起こり性能指数が安定しないためである。また、上記断面積は小さいほど性能指数のばらつきが減少し、より好ましくは５ｍｍ２以下、さらに好ましくは２ｍｍ２以下である。長さも同様に、５０ｍｍ以下の短い結晶では、熱電素子を作製するための量産性が低いため、結晶は長いほうが好ましい。より好ましくは１００ｍｍ以上、さらに好ましくは１２０ｍｍ以上である。
【００４６】
次に、この型枠をカーボンあるいは石英ガラス中のるつぼ内に入れる。この際、例えば、試験管形状のカーボンルツボの中に内部空間が貫通した型枠を入れてその上部に合金粉末を入れることで、加熱溶融すれば融液が自然に内部空間に含浸する。このとき炉内の雰囲気はＡｒなど不活性雰囲気中が好ましく、より好ましくはルツボの形状の入り口を小さくして、Ｔｅ、Ｓｅ等の合金中の蒸気圧が高い成分の蒸発を抑える手法が望ましい。
【００４７】
含浸後、型枠をブリッジマン法と同様に移動させる方法、あるいは型枠から結晶を引き上げる引き上げ法によって融液の一部が冷却固化され、一方向凝固された結晶が得られる。融液を得る温度は組成によって異なるが、融点よりも１００〜２００℃高い温度で溶融することで融液が得られる。型枠あるいは結晶の移動速度は、１〜１０ｍｍ／ｈが性能指数を高める上で適当である。
【００４８】
このようにして得られた熱電結晶材料は熱電素子として好適に用いることができる。
【００４９】
熱電素子は、上述のようにして得られた一方向凝固熱電結晶材料からなる長尺体を準備する。ここでは断面積は１０ｍｍ２以下、全長は５０ｍｍ以上、断面形状が四角形の一方向凝固熱電結晶材料を例として説明する。
【００５０】
先ず、準備した一方向凝固熱電結晶材料の長尺体の側面に耐メッキ性を有する樹脂、即ちメッキレジストを被覆する。メッキレジストの厚みとしては数μｍあれば効果を発揮できるが、後の切断加工時における剥離防止効果を高め、レジストとしての付着信頼性を向上する点で、特に２０μｍ以上、更には５０μｍ以上であることが望ましい。
【００５１】
なお、メッキレジストとしては熱電素子に一般的に施される無電解ニッケル及び金メッキ（又は金は蒸着）処理に耐性のある材質であれば使用することができる。しかし、後工程においてメッキ工程を用いる場合、前処理として酸処理を行うため、耐酸性のある有機物であることが好ましい。特に、メッキレジストとしては、耐メッキ性があり、且つメッキ後にアルカリ溶液によって容易に除去できる点で、アクリル系の樹脂を用いることがより好ましい。
【００５２】
メッキレジストの被覆方法としては、印刷や真空中での蒸着で行う方法も採用できるが、有機溶剤で希釈した溶液に漬けた後、乾燥させる工程を数回行う塗布方法が厚みを確保し、量産性を高め、コストを抑制するので好ましい。
【００５３】
メッキレジストの表面に、所望によりメッキ剥離性の高い材料を塗布することができる。これによってメッキレジスト材をさらに容易に除去することが可能となる。
【００５４】
次いで、メッキレジストを被覆した熱電結晶体を複数並べ、刃の厚みの薄いワイヤーソーあるいはダイシングソーを高速で回転させて長手方向と略垂直な方向に切断し、さらに切断によって形成された切断面に、後述するメッキ層を形成する。このように長尺体を切断することによって、熱電素子の形状の寸法精度を高めることができ、熱電モジュールに用いた際の冷却性能、特に抵抗特性のばらつきを小さくすることができる。
【００５５】
次いで、切断して得られた熱電結晶体にメッキ処理を行う。メッキは熱電素子と熱電モジュールの電極材として用いる銅との反応を防止し、同時にハンダ濡れ性を高め接合を容易にする観点からニッケルメッキを用いて施し、その上にさらに金メッキを施すのが好ましい。
【００５６】
そして、全ての面にメッキ層を形成した後、切断面にあたる面のみメッキ層を残すため、アルカリ溶液などメッキレジスト除去材によってメッキレジストを、その上に形成されたメッキ層と共に除去することで、上記切断面にのみメッキ層が施された熱電素子を作製することができる。
【００５７】
このようにして得られた熱電素子は、熱電モジュール用として好適に用いられる。この熱電モジュールは、図１に示すように支持基板１、２の表面に、それぞれ配線導体３、４が形成され、さらにゼーベック係数がマイナスであるＮ型熱電素子とゼーベック係数がプラスであるＰ型熱電素子を交互に電気的に直列接続するように接合して複数のＮ型熱電素子５ａ、Ｐ型熱電素子５ｂからなる熱電素子５が挟持されるように形成し、ハンダで接合する。そして、これらの熱電素子５は、電気的に直列になるように配線導体３、４で接続し、さらに外部接続端子６に接続されている。この外部接続端子６には、ハンダによって外部配線が接続され、外部から電力が供給される構造となっている。
【００５８】
このようにして、性能指数が高い一方向凝固熱電結晶体材料を用いて、熱電モジュールを作製することによって、従来の熱電モジュールと比較して、冷却性能、及び効率に格段に優れる熱電モジュールを安価に製造することができる。その結果、本発明品による熱電モジュールは、高い冷却性能が要求される家庭用冷蔵庫、クーラー等への応用が期待される。
【００５９】
【実施例】
（実施例１）
次いで、本発明の実施例を説明する。
【００６０】
先ず、種々の一方向凝固熱電結晶材料を作製した。原料粉末として、Ｎ型熱電材料としてＢｉ２Ｔｅ２．８５Ｓｅ０．１５に０．０６重量％ＳｂＩ３を加えた組成、Ｐ型熱電材料としてＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３組成となるように、純度９９．９９％以上のＢｉ、Ｔｅ、Ｓｂ、Ｓｅ金属粉末及びＳｂＩ３粉末を準備した。
【００６１】
これらの原料粉末を秤量し、カーボン製のるつぼに充填し、蓋によって密閉した。石英管に入れ真空置換を行いアルゴン雰囲気中で８００℃、５時間で溶融合金を作製した。
【００６２】
溶融合金をグローブボックス中、スタンプミルで粉砕し、２ｍｍの目開きのふるいを通して合金粉末を得た。この合金粉末に、表１に示す如く含有率、状態（粉末、スラリーＡ〜Ｃ）で窒化ホウ素、炭化ホウ素、酸化ホウ素を添加し、スラリー添加品は乾燥させた後、ボールミルにて１時間乾式混合し、ホウ素混合合金粉末を作製した。
【００６３】
ホウ素混合合金粉末を、正方形形状で断面積１０ｍｍ２及び２ｍｍ２、長さ１００ｍｍの円柱状の空隙を有するカーボン鋳型の型枠の上部に配置し、縦型の石英管を炉芯管とする単結晶育成装置（ブリッジマン法）にて８００℃で溶融させ、空隙の中に融液を充填した後、ブリッジマン法の原理で型枠を移動させながら冷却し、凝固点（約６００℃）付近で表１に示す条件（ＳＰは冷却速度）で結晶成長させ、１０ｍｍ２及び２ｍｍ２の断面積を有するＮ型及びＰ型の一方向凝固熱電結晶材料からなる長尺体を作製した。
【００６４】
得られた断面積１０ｍｍ２の正方形形状の一方向凝固熱電結晶材料を長手方向に２０ｍｍに切断し、市販のゼーベック係数測定装置（真空理工製ＺＥＭ装置）にて長手方向のゼーベック係数（Ｓ）および比抵抗（ρ）を測定した。さらに厚み１ｍｍに切断しレーザーフラッシュ法にて熱伝導率（κ）を求め、性能指数Ｚ＝Ｓ２／ρκより性能指数を算出した。
【００６５】
結果を表１に示す。
【００６６】
【表１】
2004349566.tif 000003
【００６７】
表１から明らかなように、本発明の範囲内であるホウ素化合物を含有する実施例Ｎｏ．２から１５及び１７から３０ではいずれも性能指数が３×１０−３／Ｋ以上有しており、本発明の範囲外であるホウ素化合物を含有していない試料Ｎｏ．１および１６では、Ｐ型、Ｎ型いずれの結晶材料においても熱電性能指数が最大で２．９３×１０−３／Ｋと本発明品と比較して低かった。
【００６８】
（実施例２）
次いで、表１に示す試料Ｎｏ．の組成の材料を用いて上記実施例１で作製した正方形状で断面積２ｍｍ２、長さ１００ｍｍの一方向凝固熱電結晶材料を用いて熱電素子を作製し、次いで熱電モジュールを作製した。
【００６９】
まず、一方向凝固熱電材料の側面を市販のメッキレジスト（アクリル系樹脂）でコーティングした後、ダイシングソーで長さ０．８ｍｍに切断して直方体素子を作製した。
【００７０】
得られた素子に無電解メッキを施し、厚みが１０〜３０μｍとなるようにＮｉメッキ層を形成した後、厚さ５μｍのＡｕメッキを施し、その後アルカリ溶液中に入れ、超音波洗浄によって素子の側面のメッキレジスト上に付着したメッキ層を除去し、切断面のみにメッキ層を形成し、熱電素子を作製した。
【００７１】
次いで、４０×４０ｍｍの基板上に１２７対の熱電素子を、格子状の組立ジグを用いて配線導体が形成された支持基板上に並べてハンダを用いて接合し、電極の端部にリード線を取り付け熱電モジュールを作製した。得られた熱電モジュールは、水冷ヒートシンクを用いて放熱面を２７℃と一定にしたまま、電流値を変えて通電し、冷却面温度が最低となる温度を求め、放熱面温度−冷却面温度を最大温度差（ΔＴｍａｘ）として求めた。
【００７２】
結果を表２に示す。
【００７３】
【表２】
2004349566.tif 000004
【００７４】
表２から明らかなように、本発明の範囲内である一方向凝固熱電結晶材料を用いて作製された試料Ｎｏ．２から５では、最大温度差（ΔＴｍａｘ）が７５℃以上、吸熱効率（ＣＯＰ）が６９％以上であるのに対して、本発明の範囲外である一方向凝固熱電結晶材料を用いて作製された試料Ｎｏ．１はΔＴｍａｘが７３℃、ＣＯＰが６７％であり、本発明品と比べて低かった。
【００７５】
【発明の効果】
本発明の一方向凝固熱電結晶材料は、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含み、結晶方向が１軸配向している熱電結晶材料において、ホウ素（Ｂ）化合物を含有することから、熱伝導率を低減させ、性能指数を大幅に向上でき、さらに熱電モジュールの高性能化が可能な一方向凝固熱電結晶材料を提供できる。
【００７６】
また、上記ホウ素化合物としては、窒化物、炭化物、酸化物のいずれかとし、さらに、上記ホウ素化合物の含有率はホウ素換算で０．０１〜０．５重量％であることから、ゼーベック係数、比抵抗は一定の値に保持し、熱伝導率のみを効率よく低減させ、性能指数の高いものとすることができる。
【００７７】
またさらに、本発明の一方向凝固熱電結晶材料の製造方法は、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む合金を粉砕した粉末と、窒化ホウ素（ＢＮ）、炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）いずれかのうち１種以上を含むスラリーを混合させる工程を含むことから、ホウ素化合物を効率よく残存させることが可能となり、熱伝導率の低下効果を大きくすることができる。
【００７８】
さらにまた、上記ホウ素化合物と混合したホウ素混合合金粉末を溶融させ、断面積が１０ｍｍ２以下、長さ５０ｍｍ以上の空隙を持つ型枠に融液を挿入し、冷却時に一方向凝固により結晶成長させることから、断面積の小さい型枠を用いることで、ホウ素化合物を熱電結晶材料中に均一に分散することが可能となり、性能向上が安定できる。
【００７９】
また、本発明の熱電素子は、ホウ素化合物を含んでいるＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ及びＳｅのうち少なくとも２種を含む一方向凝固熱電結晶材料を切断して得られることから、冷却性能が高い熱電素子が得られる。
【００８０】
さらに、本発明の熱電モジュールは、支持基板と、該支持基板上に複数配列された熱電素子と、該複数の熱電素子間を電気的に接続する配線導体と、上記支持基板上に設けられ、該配線導体と電気的に連結された外部接続端子とを具備し、上記熱電素子が、ホウ素化合物を含む一方向凝固熱電結晶材料を切断して得られることを特徴とする。このような、熱電素子を用いることによって冷却性能及び効率に優れた熱電モジュールが得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の熱電モジュールの一実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１、２・・支持基板
３、４・・配線導体
５・・・・熱電素子
５ａ・・・Ｎ型熱電素子
５ｂ・・・Ｐ型熱電素子
６・・・・外部接続端子
【図１】
2004349566.tif 000005