(57)【要約】【課題】静電気破壊を防ぐために、製造工程中で発生するメタルコンタクトをリアルタイムで検出して表示することができるメタルコンタクト検出装置およびメタルコンタクト検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】製品中の静電気によって破壊される可能性のある部品の代わりにメタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段１１を備えるメタルコンタクト検出装置を、実際の製品の製造工程と同じ工程で組み立て、その組み立て工程中のメタルコンタクト検出手段１１の検出結果をリアルタイムで表示するようにした。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、
前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段、または該検出結果を記録する記録手段と、を備え、
前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなる、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出装置。
【請求項２】
製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、
前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づいて、前記製品の製造工程中のどの工程で前記メタルコンタクトが発生したかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段と、
前記メタルコンタクト検出手段の検出結果、もしくは、前記工程位置情報生成手段が生成する情報を表示する表示手段、または前記検出結果、もしくは前記情報を記録する記録手段と、を備え、
前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなる、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のメタルコンタクト検出装置において、
前記メタルコンタクト検出手段と、前記表示手段または前記記録手段とを備える以外は、メタルコンタクトの検出対象である前記製品と同じ構成を有する、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、
前記製品は、磁気ディスク装置であり、
前記所定の部品は、磁気ヘッドである、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、
前記製品は、磁気ディスク装置であり、
前記所定の部品は、前記製品におけるメタルコンタクトの発生が予測される箇所の部品であり、
該部品は、前記磁気ディスクの磁気ヘッドを搭載するためのサスペンション部及び前記磁気ヘッドと電気的に接続されているフレキシブルプリント配線板である、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出装置。
【請求項６】
製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、
前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、
当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中に発生するメタルコンタクトを検出する、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出方法。
【請求項７】
製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、
前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づきメタルコンタクトが発生した工程が前記製品の製造工程中のどの工程に相当するかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段、および前記工程位置情報生成手段の検出結果を、表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、
当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生するかを検出する、
ことを特徴とするメタルコンタクト検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品の製造工程中に発生する所定部品の静電気破壊を防ぐために、静電気破壊の原因となる電荷の放電現象であるメタルコンタクトを、リアルタイムで検出してその検出結果を表示するメタルコンタクト検出装置およびメタルコンタクト検出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
製品の製造工程において、静電気が原因となり製品中の所定の部品が破壊されることがある。
【０００３】
この静電気破壊は、まず、製品中の電気的な配線部分に静電気により電荷が蓄積され、次に、前記電気的な配線部分がこれと電位が異なる金属などの導電体と接触することで前記蓄積された電荷が放電し、そして、前記電気的な配線部分から所定の部品を通して放電電流が流れる、ことが原因で発生する。このような、電気的な配線部分に蓄積された電荷が放電する現象を、メタルコンタクトと呼ぶ。例えば、製品として磁気ディスク装置を製造する工程では、この静電気破壊により磁気ヘッドが破壊されることがある。
【０００４】
以上のような、静電気破壊に対する従来の対処方法としては以下に示す２つの方法が挙げられる。
第１の方法は、蓄積されている電荷を測定するナノクロメータと、電位を測定する表面電位計とを用いて、製造工程における各場所の静電気レベルを確認し、製品の電気的な配線部分への電荷の蓄積を防ぐ方法である。
第２の方法は、実際の製品（Ｈｅａｄ　Ｓｔａｃｋ　Ａｓｓｅｍｂｌｙ）を通常の製造工程で組み立てた後、その製品を専用の検査装置で検査し、静電気破壊の有無を判断する方法である（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−８１６２４号公報（第２−４頁，図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静電気破壊は、非常に短時間で蓄積される電荷が放電することにより発生することから、静電気レベルをナノクロメータや表面電位計で測定することは非常に困難である。また、実際の製品を使用して検査する方法では、静電気破壊が起こったかどうかを判定するために、専用の検査装置で製品を検査しなければならないため、製造工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生したのかを特定することが困難であるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記のような従来のものの問題点を解決するためになされたもので、製品の製造工程中に発生する静電気破壊を防ぐために、静電気破壊の原因となるメタルコンタクトをリアルタイムで検出してその検出結果を表示することができるメタルコンタクト検出装置、及びメタルコンタクト検出方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１にかかるメタルコンタクト検出装置は、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段、または該検出結果を記録する記録手段と、を備え、前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなる、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項２にかかるメタルコンタクト検出装置は、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づいて、前記製品の製造工程中のどの工程で前記メタルコンタクトが発生したかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果、もしくは、前記工程位置情報生成手段が生成する情報を表示する表示手段、または前記検出結果、もしくは前記情報を記録する記録手段と、を備え、前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなる、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項３にかかるメタルコンタクト検出装置は、請求項１または請求項２に記載のメタルコンタクト検出装置において、前記メタルコンタクト検出手段と、前記表示手段または前記記録手段とを備える以外は、メタルコンタクトの検出対象である前記製品と同じ構成を有する、ことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項４にかかるメタルコンタクト検出装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、前記製品は、磁気ディスク装置であり、前記所定の部品は、磁気ヘッドである、ことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項５にかかるメタルコンタクト検出装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、前記製品は、磁気ディスク装置であり、前記所定の部品は、前記製品におけるメタルコンタクトの発生が予測される箇所の部品であり、該部品は、前記磁気ディスクの磁気ヘッドを搭載するためのサスペンション部及び前記磁気ヘッドと電気的に接続されているフレキシブルプリント配線板である、ことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項６にかかるメタルコンタクト検出方法は、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中に発生するメタルコンタクトを検出する、ことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項７にかかるメタルコンタクト検出方法は、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づきメタルコンタクトが発生した工程が前記製品の製造工程中のどの工程に相当するかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段、および前記工程位置情報生成手段の検出結果を、表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生するかを検出する、ことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について説明する。
本実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置は、製品の製造工程中に発生するメタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段とを備えるものである。
【００１６】
なお、このメタルコンタクト検出装置は、所定の部品の代わりにメタルコンタクト検出手段と表示手段とを備える以外は、メタルコンタクトを検出する実際の製品と同じ構成になるようにする。
【００１７】
以下、本実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置が磁気ディスク装置の製造工程中に発生するメタルコンタクトを検出する場合について説明する。図１は、本実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置１０の構成例を示すブロック図である。
【００１８】
図１において、メタルコンタクト検出装置１０は、静電気破壊される可能性のある磁気ヘッドの代わりにメタルコンタクト検出手段１１を備えるとともに、メタルコンタクト検出手段１１の検出結果を表示する表示手段１４を備える以外は、実際の磁気ディスク装置と同じ構成をもつものである。なお、サスペンション部１２は磁気ヘッド（図示せず）を搭載するものであり、フレキシブルプリント配線板（以下、ＦＰＢＣと称す）１３は、磁気ヘッドと電気的に接続されている配線板であり、これらの部品は、磁気ディスク装置においてメタルコンタクトの発生が予測される箇所の部品である。
【００１９】
メタルコンタクト検出手段１１はメタルコンタクトが発生したときの電流あるいは電圧を検出する。例えば、メタルコンタクト検出手段１１は、コンデンサを有し、そのコンデンサに貯えられている電荷がメタルコンタクト発生時に放電することによって起こる電圧降下を検出する。
【００２０】
図２は、メタルコンタクト検出手段１１の詳細な構成例を示すブロック図である。図２において、２１はメタルコンタクト発生部、１１はメタルコンタクト検出手段であり、メタルコンタクト検出手段１１は、電流源２２と、コンパレータ２３と、コンデンサ２４と、接地２５とを備える。メタルコンタクト発生部２１は、図１に示す、サスペンション部１２やＦＰＢＣ１３に相当する。電流源２２は、常にコンデンサ２４に充電電流を供給し、コンデンサ２４は接地２５に対し一定の電圧２６の電荷を持つように設定される。
【００２１】
メタルコンタクト発生部２１でメタルコンタクトが発生した時、コンデンサ２４に蓄積されている電荷は、メタルコンタクト発生部２１で発生するメタルコンタクトにより放電する。この放電により接地２５に対するコンデンサ２４の電圧２６は下がる。コンパレータ２３は、電圧２６の降下を検出してその検出結果２７を出力する。以上の動作により、メタルコンタクト検出手段１１は、メタルコンタクト発生部２１で発生したメタルコンタクトを検出してその検出結果２７を出力する。
【００２２】
以上のように構成されたメタルコンタクト検出装置１０を用いてメタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法について説明する。まず、メタルコンタクト検出装置１０を実際の製品と同じ製造工程で組み立てる。その際、メタルコンタクト検出装置１０を、メタルコンタクト検出手段１１と表示手段１４とを備える以外は実際の製品と同じ構成になるように組み立てる。そして、製造工程において、サスペンション部１２またはＦＰＢＣ１３でメタルコンタクトが発生すれば、そのタイミングでメタルコンタクト検出手段１１が電圧降下を検出し、検出結果２７を表示手段１４に伝達する。表示手段１４は、メタルコンタクト検出手段１１で検出されたメタルコンタクトを視覚的に検知ができるように表示する。例えば、メタルコンタクトが発生すれば、ＬＥＤを点灯表示させることで、視覚的にメタルコンタクトの検出結果を検知できるようにする。以上のような動作により、実際の工程で起こりうる、例えば、サスペンション部１２、ＦＰＢＣ１３で発生するメタルコンタクトを検出し、メタルコンタクトが発生した旨を示す表示を行なうことができる。
【００２３】
以上のように、本実施の形態１では、磁気ディスク装置の静電気破壊される可能性のある所定の部品の代わりにメタルコンタクト検出手段１１を備えるメタルコンタクト検出装置を、磁気ディスク装置の製造工程と同じ工程で組み立て、その組み立て工程中にメタルコンタクト検出手段１１で検出した検出結果を表示手段１４で表示するようにしたことから、磁気ディスク装置の製造工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生するかを特定することができる。
【００２４】
なお、図３に示すメタルコンタクト検出装置３０のように、表示手段１４に代えて記録手段１５を備えるようにし、メタルコンタクト検出手段１１の検出結果を記録するようにしても良い。このように記録手段１５を備えることで、製品にメタルコンタクトが発生したか否かを記録することができる。
また、表示手段１４および記録手段１５の両方を備えるようにしても良い。
【００２５】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。
本実施の形態２にかかるメタルコンタクト検出装置は、本実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置に、新たに工程位置情報生成手段を備えることを特徴とする。工程位置情報生成手段は、製造工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生したかを示す情報を生成する手段である。
【００２６】
以下、本実施の形態２にかかるメタルコンタクト検出装置が磁気ディスク装置の製造工程中に発生するメタルコンタクトを検出する場合について説明する。図４は、本実施の形態２にかかるメタルコンタクト検出装置４０の構成例を示すブロック図である。なお、図１に示すメタルコンタクト検出装置１０と同一構成要素については同一符号を付し、説明を省略する。
【００２７】
工程位置情報生成手段１６は、メタルコンタクト検出手段１１が出力する検出結果２７に基づいてメタルコンタクトが発生した工程位置を示す情報を生成し、その情報を表示手段１４に出力する。
【００２８】
以上のように構成されるメタルコンタクト検出装置４０を用いたメタルコンタクト検出方法について説明する。
まず、メタルコンタクト検出装置４０を実際の製品と同じ製造工程で組み立てる。その際、メタルコンタクト検出装置４０を、メタルコタンクト検出手段１１、表示手段１４、及び工程位置情報生成手段１６を備える以外は実際の製品と同じ構成になるような製造工程で組み立てる。これにより、製造工程において、サスペンション部１２またはＦＰＢＣ１３でメタルコンタクトが発生すれば、そのタイミングでメタルコンタクト検出手段１１は電圧降下を検出し、検出結果２７を工程位置情報生成手段１６に伝達する。工程位置情報生成手段１６は、この検出結果２７に基づいてメタルコンタクトが発生した工程が磁気ディスク装置の製造工程中のどの工程に相当するかを示す情報を生成し、その情報を表示手段１４に出力する。表示手段１４は、メタルコンタクトが発生した工程位置を視覚的に検知ができるように表示する。以上のような動作により、実際の工程で起こりうる、例えば、サスペンション部１２、ＦＰＢＣ１３で発生するメタルコンタクトを検出し、そのことを示す表示を行なうことができる。
【００２９】
以上のように、本実施の形態２では、磁気ディスク装置の静電気破壊される可能性のある所定の部品の代わりにメタルコンタクト検出手段１１を備えるメタルコンタクト検出装置を、実際の磁気ディスク装置の製造工程と同じ工程で組み立て、メタルコンタクト検出手段１１の検出結果から工程位置情報生成手段１６で、メタルコンタクトが発生した工程位置を示す情報を生成し、表示手段１４でその情報を表示するようにしたことから、磁気ディスク装置の製造工程中のどの工程において、メタルコンタクトが発生したかをリアルタイムで正確に特定することができる。
【００３０】
なお、本実施の形態２では、工程位置情報生成手段１６が生成した情報のみを表示する場合について説明したが、メタルコンタクト検出手段１１の結果をもあわせて表示手段１４で表示するようにしても良い。
【００３１】
また、表示手段１４ではなく記録手段（図示せず）を備えるようにし、メタルコンタクトが発生した工程位置を示す情報を記録手段で記録するようにして良い。このように記録手段を備えることで、磁気ディスク装置の製造工程においてメタルコンタクトが発生する工程位置を記録することができる。
また、表示手段１４および記録手段の両方を備えるようにしても良い。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように、本発明の請求項１にかかるメタルコンタクト検出装置によれば、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段、または該検出結果を記録する記録手段と、を備え、前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなるものとしたので、製造工程中に発生したメタルコンタクトをリアルタイムに表示または記録して、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を効果的に行うことが可能となる。
【００３３】
また、本発明の請求項２にかかるメタルコンタクト検出装置によれば、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づいて、前記製品の製造工程中のどの工程で前記メタルコンタクトが発生したかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段と、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果、もしくは、前記工程位置情報生成手段が生成する情報を表示する表示手段、または前記検出結果、もしくは前記情報を記録する記録手段と、を備え、前記メタルコンタクト検出手段を、前記製品の所定の部品の代わりに備えてなるものとしたので、製造工程中にメタルコンタクトが発生したか否か、発生したとすればどの工程で発生したかをリアルタイムに表示または記録して、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を一層効果的に行うことが可能となる。
【００３４】
また、本発明の請求項３にかかるメタルコンタクト検出装置によれば、請求項１または請求項２に記載のメタルコンタクト検出装置において、前記メタルコンタクト検出手段と、前記表示手段または前記記録手段とを備える以外は、メタルコンタクトの検出対象である前記製品と同じ構成を有するものとしたので、メタルコンタクトの検出対象である実際の製品を製造するのと同様の条件下で、製造工程中にメタルコンタクトが発生したか否か、発生したとすればどの工程で発生したかをリアルタイムにかつ正確に表示または記録して、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を効果的に行うことが可能となる。
【００３５】
また、本発明の請求項４にかかるメタルコンタクト検出装置によれば、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、前記製品は、磁気ディスク装置であり、前記所定の部品は、磁気ヘッドであるものとしたので、メタルコンタクトの検出対象である磁気ディスク装置を製造するのと同様の条件下での製造工程中にメタルコンタクトが発生したか否か、発生したとすればどの工程で発生したかをリアルタイムにかつより正確に表示または記録して、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を効果的に行うことが可能となる。
【００３６】
また、本発明の請求項５にかかるメタルコンタクト検出装置によれば、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のメタルコンタクト検出装置において、前記製品は、磁気ディスク装置であり、前記所定の部品は、前記製品におけるメタルコンタクトの発生が予測される箇所の部品であり、該部品は、前記磁気ディスクの磁気ヘッドを搭載するためのサスペンション部及び前記磁気ヘッドと電気的に接続されているフレキシブルプリント配線板であるものとしたので、磁気ディスク中の静電気破壊される可能性のあるサスペンション部及びフレキシブルプリント配線板の代わりにメタルコンタクト検出手段を備えるとともに、メタルコンタクト検出手段の検出結果を、表示する表示手段、または記録する記録手段を備えるようにしたことから、メタルコンタクトの検出対象である磁気ディスク装置を製造するのと同様の条件下での製造工程中に発生したメタルコンタクトをリアルタイムにかつより正確に表示または記録して、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を効果的に行うことが可能となる。
【００３７】
また、本発明の請求項６にかかるメタルコンタクト検出方法によれば、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果を表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中に発生するメタルコンタクトを検出するようにしたので、組み立て工程中にメタルコンタクト検出手段が検出した結果を、リアルタイムに表示または記録することで、製造工程中に発生したメタルコンタクトをリアルタイムにかつより正確に表示または記録することができ、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を効果的に行うことが可能となる効果がある。
【００３８】
また、本発明の請求項７にかかるメタルコンタクト検出方法によれば、製品中の電気的な配線部分に静電気が原因で蓄積される電荷が前記配線部分と電位の異なる導電体と当該配線部分とが接触することで放電する現象である、メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出方法において、前記メタルコンタクトを検出するメタルコンタクト検出手段を、前記製品中の所定の部品の代わりに備え、前記メタルコンタクト検出手段の検出結果に基づきメタルコンタクトが発生した工程が前記製品の製造工程中のどの工程に相当するかを示す情報を生成する工程位置情報生成手段、および前記工程位置情報生成手段の検出結果を、表示する表示手段または記録する記録手段を、さらに備えたメタルコンタクト検出装置を、当該製品を製造する工程と同じ工程で組み立て、当該メタルコンタクト検出装置の組み立て工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生するかを検出するようにしたので、組み立て工程中にメタルコンタクト検出手段および工程位置情報生成手段が検出した結果を、リアルタイムに表示または記録することで、製造工程中のどの工程でメタルコンタクトが発生したかをリアルタイムにかつより正確に表示または記録することができ、製造工程中に発生する静電気破壊に対する問題点の発見及び改善を一層効果的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置のメタルコンタクト検出手段１１の構成例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態１にかかるメタルコンタクト検出装置の変形例を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態２にかかるメタルコンタクト検出装置の構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０，３０，４０　メタルコンタクト検出装置
１１　メタルコンタクト検出手段
１２　サスペンション部
１３　フレキシブルプリント配線板
１４　表示手段
１５　記録手段
１６　工程位置情報生成手段
２１　メタルコンタクト発生部
２２　電流源
２３　コンパレータ
２４　コンデンサ
２５　接地
２６　電圧
２７　検出結果
【図１】
2004127431.tif 000003
【図２】
2004127431.tif 000004
【図３】
2004127431.tif 000005
【図４】
2004127431.tif 000006