(57)【要約】【課題】小型で効率良く入射光をＯＮ又はＯＦＦ（スイッチング）でき、アレイ化が容易な光スイッチング素子、この素子を用いるプロジェクタ及びプリンタを提供すること。【解決手段】入射光を反射させる平面部１０１と、平面部１０１の端部近傍に設けられ、可撓性を有する略円弧形状の支持部１０２と、支持部１０２の一端が固定されている基板部１０３と、支持部１０２に静電力を作用させて支持部１０２を基板部１０３の方向へ撓ませることで平面部１０１を第１の位置に移動させ、前記静電力を解除して支持部１０２の撓む力で平面部１０１を第２の位置に移動させる駆動部１０４とを有する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を反射又は吸収させる平面部と、
前記平面部の端部近傍に設けられ、可撓性を有する略円弧形状の支持部と、
前記支持部の一端が固定されている基板部と、
前記支持部に所定の力を作用させて前記支持部を前記基板部の方向へ撓ませることで前記平面部を第１の位置に移動させ、前記所定の力を解除して前記支持部の撓む力で前記平面部を第２の位置に移動させる駆動部とを有することを特徴とする光スイッチング素子。
【請求項２】
前記平面部に形成された反射膜と、
前記基板部に形成された光吸収膜とを有し、
前記基板部に対して前記平面部が設けられている方向から入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して略垂直である前記第１の位置の場合は前記基板部の前記光吸収膜が吸収し、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記反射膜で反射することを特徴とする請求項１に記載の光スイッチング素子。
【請求項３】
前記平面部に形成された反射膜を有し、
前記基板部に対して前記平面部が設けられている方向から入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して所定の角度をなす前記第１の位置の場合は前記平面部の前記反射膜が第１の方向へ反射し、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記反射膜が前記第１の方向と異なる第２の方向へ反射することを特徴とする請求項１に記載の光スイッチング素子。
【請求項４】
前記平面部に形成された光吸収膜と、
前記基板部に形成された光を透過させる透明部又は開口部とを有し、
前記基板部に対して入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して略垂直である前記第１の位置の場合は前記基板部の前記透明部又は前記開口部が透過させ、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記光吸収膜で吸収することを特徴とする請求項１に記載の光スイッチング素子。
【請求項５】
複数の前記平面部をアレイ状に配列することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光スイッチング素子。
【請求項６】
前記駆動部は、静電力を前記支持部に作用させることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光スイッチング素子。
【請求項７】
光を供給する光源部と、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光スイッチング素子を備え、入射光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、
前記変調された光を投写する投写レンズとを有することを特徴とするプロジェクタ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光スイッチング素子を有することを特徴とするプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチング素子、プロジェクタ、プリンタに関し、詳細には微小な光スイッチング素子に好適な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の製造業等の産業界においては、省資源、低コスト化のために、製品の小型化が進んでいる。この小型化に伴い、製品を構成する各素子にも小型化が要求される。特に、映像表示装置の分野においても、小型化の要請は大きい。映像表示装置を小型化するときの要素技術の一つは、光スイッチング素子である。光スイッチング素子の代表例の一つとして、アクチュエータで反射ミラーの変位角度量を制御して、光のＯＮ又はＯＦＦを行う反射型のティルトミラーデバイスが挙げられる。
【０００３】
反射型のティルトミラーデバイスは、微小な反射ミラーを基板部の上にアレイ状に配列して構成されている。反射ミラーと基板部とは所定の間隔が設けられている。そして、反射ミラーを基板部に対して、その反射角度がそれぞれ異なる２つの位置状態に変位させる。例えば、反射ミラーが第１の位置状態のときの反射方向をＯＮ、第２の位置状態のときの反射方向をＯＦＦとする。従って、反射ミラーの変位量が大きいほうが、光の反射方向によるＯＮ又はＯＦＦの分離が良くなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光スイッチング素子の小型化が進むと、例えばティルトミラーデバイスの場合、反射ミラー自体が小さくなる。反射ミラーが小さくなると、その駆動による変位量も小さくなる。反射ミラーの変位量が小さいと、上述の光の反射方向によるＯＮ又はＯＦＦの分離を効率良く行うことが困難である。たとえば、反射ミラーを小型化すると、基板部に水平な方向の反射ミラーの大きさに対して、基板部に垂直な方向の反射ミラーの変位量が小さい。現在のティルトミラーデバイスの反射ミラーの変位量は、反射ミラーの傾き角度で±１２°程度である。入射光を反射させる方向でＯＮとＯＦＦとに分離する場合、反射ミラーの傾き角度が大きいことが望ましい。反射型のティルトミラーデバイスの場合、各反射ミラーを小型化しつつ、反射ミラーの変位量を十分大きくすることは困難であり問題である。また、従来の反射型のティルトミラーデバイスは、反射ミラーの中心近傍に基板部とのアンカーホールが設けられている。アンカーホールの領域は、光を反射させない。よって、入射光を効率良く反射させることが困難であり問題である。さらに、映像表示素子として光スイッチング素子を用いる場合、小型化しつつアレイ状に配列できることも必要となる。従来のティルトミラーデバイスの例の一つは、テキサスインスツルメンツ社のＤＭＤである。ＤＭＤはテキサスインスツルメンツ社の登録商標である。
【０００５】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、小型で効率良く入射光をＯＮ又はＯＦＦ（スイッチング）でき、アレイ化が容易な光スイッチング素子、この素子を用いるプロジェクタ及びプリンタを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、入射光を反射又は吸収させる平面部と、前記平面部の端部近傍に設けられ、可撓性を有する略円弧形状の支持部と、前記支持部の一端が固定されている基板部と、前記支持部に所定の力を作用させて前記支持部を前記基板部の方向へ撓ませることで前記平面部を第１の位置に移動させ、前記所定の力を解除して前記支持部の撓む力で前記平面部を第２の位置に移動させる駆動部とを有することを特徴とする光スイッチング素子を提供できる。これにより、平面部の移動する変位角が大きく、高効率、小型で、アレイ化が容易な光スイッチング素子を得られる。
【０００７】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記平面部に形成された反射膜と、前記基板部に形成された光吸収膜とを有し、前記基板部に対して前記平面部が設けられている方向から入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して略垂直である前記第１の位置の場合は前記基板部の前記光吸収膜が吸収し、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記反射膜で反射することが望ましい。これにより、平面部が基板部に対して略平行となる状態で光のＯＮ、略垂直となる状態で光のＯＦＦをすることができる。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記平面部に形成された反射膜を有し、前記基板部に対して前記平面部が設けられている方向から入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して所定の角度をなす前記第１の位置の場合は前記平面部の前記反射膜が第１の方向へ反射し、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記反射膜が前記第１の方向と異なる第２の方向へ反射することが望ましい。これにより、平面部の変位角度を制御することで反射方向を大きく異ならせることができる。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記平面部に形成された光吸収膜と、前記基板部に形成された光を透過させる透明部又は開口部とを有し、前記基板部に対して入射する光を、前記平面部が前記基板部に対して略垂直である前記第１の位置の場合は前記基板部の前記透明部又は前記開口部が透過させ、前記平面部が前記基板部に対して略平行である前記第２の位置の場合は前記平面部の前記光吸収膜で吸収することが望ましい。これにより、平面部が基板部に対して略垂直な状態で光のＯＮ、略平行な状態で光のＯＦＦを行うことができる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様によれば、複数の前記平面部をアレイ状に配列することが望ましい。これにより、この光スイッチング素子により２次元画像を表示することができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記駆動部は、静電力を前記支持部に作用させることが望ましい。これにより、簡易な構成で平面部を移動させることが出来る。
【００１２】
また、本発明によれば、光を供給する光源部と、上述の光スイッチング素子を備え、入射光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、前記変調された光を投写する投写レンズとを有することを特徴とするプロジェクタを提供できる。これにより、小型なプロジェクタで高輝度な投写像を得ることができる。
【００１３】
また、本発明によれば、上述の光スイッチング素子を有することを特徴とするプリンタを提供できる。これにより、小型で、光のＯＮ又はＯＦＦによるノイズの少ないプリンタを提供できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
【００１５】
（第１実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る光スイッチング素子１００の正面図である。図１（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ平面部１０１が第２の位置、第１の位置にある状態の構成を示す概略構成を示す図である。光スイッチング素子１００は、反射型のティルトミラーデバイスである。入射光を反射させる平面部１０１と、平面部１０１の端部近傍に設けられ、可撓性を有する略円弧形状の支持部１０２と、支持部１０２の一端が固定されている基板部１０３と、支持部１０２に所定の力を作用させる駆動部１０４とから構成される。
【００１６】
駆動部１０４は、支持部１０２に所定の力、例えば静電力を作用させる。静電力により支持部１０２は基板部１０３の方向へ撓みながら引き寄せられる。支持部１０２の他端には平面部１０１が固着されている。このため、支持部１０２が基板部１０３の方向へ引き寄せられると、平面部１０１は基板部１０３に対して略垂直になる図１（ｃ）で示す第１の位置の状態となる。また、この静電力を解除すると、支持部１０２の撓む力で平面部１０１は図１（ｂ）で示す第２の位置の状態へ戻る。つまり、支持部１０２が元の形状（図１（ｂ）に示す形状）に戻ろうとする力によって、平面部１０１は、再び基板部１０３と平行になる。
【００１７】
図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ本実施形態に係る光スイッチング素子１００の作用を説明する図である。平面部１０１には反射膜１０１ａが形成されている。また、基板部１０３は光吸収膜１０３ａが形成されている。
【００１８】
図２（ａ）に示す平面部１０１が基板部１０３に対して略平行である第２の位置の場合は、基板部１０３に対して平面部１０１が設けられている方向から入射する入射光Ｌ１を、平面部１０１の反射膜１０１ａが反射する。また、図２（ｂ）に示す平面部１０１が基板部１０３に対して略垂直である第１の位置の場合は、基板部１０３の光吸収膜１０３ａが吸収する。これにより、入射光Ｌ１を所定の方向に反射させるＯＮの状態と、入射光Ｌ１を吸収するＯＦＦの状態とにスイッチングさせることができる。
【００１９】
図３（ａ）〜（ｌ）は、本実施形態に係る光スイッチング素子１００の一つの構成要素を製造する手順を示す図である。図３（ａ）において、基板部１０３上に電極部となる金属膜２００をスパッタリングにより蒸着する。図３（ｂ）において、電極部２００ａをパターニングにより形成する。図３（ｃ）において、ＳｉＯ２等の絶縁層２０１を形成する。図３（ｄ）において、絶縁層２０１をパターニングする。図３（ｅ）において、支持部１０２の略円弧形状を形成するための犠牲層２０２を形成する。図３（ｆ）において、公知のグレーレベル技術を用いて、犠牲層２０２が基板１０３の法線を含む断面上でほぼ円弧状になるように犠牲層２０２をパターニングする。図３（ｇ）において、支持部１０２の略円弧形状を構成する金属膜２０３を積層する。図３（ｈ）において、金属膜２０３をパターニングする。図３（ｉ）において、平面部１０１を形成するための犠牲層２０４を積層する。図３（ｊ）において、犠牲層２０４の上に平面部１０１となる金属膜２０５を形成する。ここで、図３（ｈ）でパターニングされた金属膜２０３と金属膜２０５とは結合される。図３（ｋ）において、金属膜２０５をパターニングする。図３（ｌ）において、犠牲層２０２、２０４をエッチングにより除去する。また、静電力を支持部１０２に作用させる駆動部２０６を形成する。駆動部２０６は、プログラムによりソフトウエア的に制御される。この手順により製造された構成要素をアレイ状に配列して光スイッチング素子１００を製造する。
【００２０】
上述の製造工程は、いわゆるＭＥＭＳ技術（Ｍｉｃｒｏ−ｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）を用いることができる。特に、光スイッチング素子を反射型のライトバルブとして使用する場合、Ｃ−ＭＯＳ等の駆動回路が必要になる。この駆動回路を集積化する観点からもＭＥＭＳ技術を用いることが望ましい。
ＭＥＭＳ技術を用いれば、上記製造工程によって一辺の長さが１０μｍ〜１５μｍである平面部が得られる。このため、面積あたりの画素領域数が多い（つまり解像度が高い）空間光変調装置が形成される。なお、平面部１０２の一辺の長さが１０μｍ〜１５μｍである場合には、基板１０３と平面部１０２との間の距離が２μｍ〜３μｍとなるように、犠牲層２０２の厚さおよび犠牲層２０４の厚さが決められる。なお、この距離とは、平面部１０２が第２の位置（つまり基板１０３に平行な位置）にある場合の基板１０３と平面部１０２との間の距離である。
【００２１】
また、上述の製造工程において、円弧形状の支持部１０２はアナログのフォトプロセスであるグレーレベル技術を用いて形成している。しかし、これに限られるものではなく、薄膜の残留応力を制御することで円弧形状を形成することもできる。
【００２２】
さらに、上記製造工程による光スイッチング素子１００は、従来のアンカーホールが不要となる。このため、平面部１０１の反射領域を有効に利用することができるので、光の利用効率を向上できる。
【００２３】
（第２実施形態）
図４（ａ）、（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る光スイッチング素子４００の概略構成を示す図である。本実施形態は、平面部１０１が第１の位置にあるとき、基板部１０３に対して所定の角度αをなす点が上記第１実施形態と異なる。上記第１実施形態と同様の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２４】
図４（ａ）は、平面部１０１が基板部１０３に対して略平行となる第２の位置にあるときの構成を示す図である。上記第１実施形態と同様に、入射光Ｌ１を反射光Ｌ２の方向へ反射する。図４（ｂ）は、平面部１０１が基板部１０３に対して所定の角度をなす第１の位置にあるときの構成を示す図である。駆動部１０４は、静電力を支持部１０２に作用させて、平面部１０１が基板部１０３に対して角度αをなす位置へ平面部１０１を変位させる。平面部１０１が第１の位置の状態のときは、入射光Ｌ１は反射光Ｌ３の方向へ反射させる。このように、入射光Ｌ１を反射させる方向を異ならせることで、光のＯＮ又はＯＦＦを行うことができる。本実施形態では、反射光の角度を大きく変化させることができる。
【００２５】
（第３実施形態）
図５（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る光スイッチング素子５００の概略構成を示す図である。本実施形態では入射光を透過又は遮光することでＯＮ又はＯＦＦを行う点で、入射光を反射させることで光のＯＮ又はＯＦＦを行っている上記各実施形態と異なる。上記各実施形態と同様の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２６】
本実施形態では、光吸収膜１０１ｂが平面部１０１に形成されている。光吸収膜１０１ｂは、基板５０１に向かい合うように位置する。また、基板部５０１は光を透過させる硝子などの透明部材から構成されている。図５（ａ）で示す平面部１０１が基板部５０１に対して略平行である第２の位置では、基板部５０１に対して平面部１０１が設けられている方向と反対の方向から入射する入射光Ｌ１を、平面部１０１の光吸収膜１０１ｂが吸収する。図５（ｂ）で示す平面部１０１が基板部５０１に対して略垂直である第１の位置では、入射光Ｌ１は透明部材からなる基板部５０１を透過して射出する。これにより、入射光Ｌ１を透過（ＯＮ）又は遮光（ＯＦＦ）の２つの状態に制御できる。
【００２７】
また、本実施形態の変形例として、基板部５０１を光学的に不透明な材料で構成しておき、基板部５０１の光の通過部に開口部を設ける構成でも良い。この構成でも、入射光Ｌ１を通過（ＯＮ）させることができる。
さらに、基板部５０１に対して平面部１０１が設けられた方向から入射光Ｌ１を入射してもよい。この場合には、平面部１０１は、基板１０３と反対の側に光吸収膜１０１ｂを有する。
【００２８】
（第４実施形態）
図６は、本発明の第６実施形態に係るプロジェクタ６００の概略構成を示す図である。プロジェクタ６００は、上記第１実施形態で述べた光スイッチング素子１００を備える空間光変調装置６０６、またはライトバルブ６０６を有している。光源部６０１は白色光を供給する。光源部６０１からの白色光は、前面硝子６０２を透過する。前面硝子６０２には、ＩＲコート及びＵＶコートが施されている。前面硝子６０２を透過した光は、照度を均一化するためのロッドインテグレータ６０３に一方の端面から入射する。ロッドインテグレータ６０３内を多重反射して進行する光は、他方の端面から射出する。ロッドインテグレータ６０３を射出した光は、光源部６０１からの光を色分解するためのカラーホイール６０４に入射する。カラーホイール６０４には、ダイクロイック膜が螺旋状等の適当な形状に組み合わされて設けられている。ダイクロイック膜は、特定の波長領域の光を透過し、他の波長領域の光を反射させる。例えば白色光を、３つの波長領域の光に色分解する場合は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の光のみをそれぞれ透過させるＲ光透過ダイクロイック膜、Ｇ光透過ダイクロイック膜、Ｂ光透過ダイクロイック膜が形成されている。そして、モータＭは、カラーホイール６０４を、光軸ＡＸ１と平行な軸ＡＸ２を中心に回転させる。
【００２９】
カラーホイール６０４で色分解された光は、リレーレンズ６０５を経由して反射型の空間光変調装置６０６へ入射する。反射型の空間光変調装置６０６は、上述のようにティルトミラーデバイスを用いた光変調装置である。反射型の空間光変調装置６０６は、画像信号に応じて入射光を変調して射出する。変調された光は、投写レンズ６０７を経由してスクリーン６０８の方向へ反射される。投写レンズ６０７は、反射型の空間光変調装置６０６に形成されている画像を拡大してスクリーン６０８へ投写する。これにより、小型なプロジェクタを得ることができる。また、ティルトミラーデバイスにアンカーホールが存在しないので、光源部６０１からの光を効率良く利用できる。この結果、明るい投写像を得られる。
【００３０】
（第５実施形態）
図７は、本発明の第５実施形態に係るレーザプリンタ７００の概略構成を示す図である。レーザ光源７０１からの光は、上記各実施形態に係る光スイッチング素子を有する反射型のティルトミラーデバイス７０２に入射する。ティルトミラーデバイス７０２は、不図示の制御部からの信号に基づいて、光のＯＮ又はＯＦＦにより感光ドラム７０３上にレーザ光を反射させる。感光ドラム７０３の表面は、予め帯電ロール７０４の負電荷により均一な負の静電気を帯びている。そして、レーザ光が照射された感光ドラム７０３上の部分（画像に相当する部分）だけ負の電荷が弱まる。これにより、感光ドラム７０３上に静電潜像（プリントイメージ）が形成される。次に、負に帯電されたトナーは、感光ドラム７０３上の負の電荷が弱い部分に引きつけられて、感光ドラム７０３上にトナー像を形成する。感光ドラム７０３に密着した用紙Ｐの裏側から転写ロール７０５により正の電荷が与えられる。これにより、トナーは用紙Ｐに転写される。そして、用紙Ｐから正の電荷が奪われると用紙Ｐが感光ドラム７０３から剥離する。用紙Ｐの転写されたトナーは、定着部であるヒートロール７０６の熱で溶ける。同時に、プレッシャーロール７０７で圧力を受けて用紙Ｐに定着される。感光ドラム７０３表面に残った残留トナーは、クリーニングブレード７０８により掃き落とされる。そして、感光ドラム７０３は帯電ロール７０４により、電気的に均一に負に帯電される。この一連の手順を繰り返して用紙Ｐに印字することができる。これにより、小型なプリンタを得られる。また、レーザ光を効率良く感光ドラム７０３に照射できる。この結果、Ｓ／Ｎ比が高くノイズの少ない印字を行うことが出来る。
【００３１】
上記各実施形態では、静電力を用いて支持部を撓ませている。しかし、静電力の他に、以下の駆動方法を採用することもできる。
（１）ピエゾ素子を支持部に貼り付けて、ピエゾ素子の伸縮で支持部を撓ませること又は初めの状態へ戻すことによる駆動方法。
（２）形状記憶部材を支持部に貼り付け、加熱することで支持部を撓ませること又は初めの状態へ戻すことによる駆動方法。
（３）支持部近傍を所定の媒質で満たし、この媒質内に気泡（バブル）を発生させ、媒質内の圧力差で支持部を撓ませること又は初めの状態へ戻すことによる駆動方法。
【００３２】
なお、上記実施形態にかかるプロジェクタは、白色光を供給する光源部とカラーホイールとを備えたものを例に説明している。しかし、これに限られず、光源部からの光を画像信号に応じてＯＮ又はＯＦＦする空間光変調装置を用いるプロジェクタであれば様々な構成のプロジェクタに適用できる。また、本発明は、光のＯＮ又はＯＦＦに限られず、マイクロポンプ等の流体のバルブにも適用することができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、小型で効率良く入射光をＯＮ又はＯＦＦ（スイッチング）でき、アレイ化が容易な光スイッチング素子、この素子を用いるプロジェクタ及びプリンタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の第１実施形態に係る光スイッチング素子の概略構成を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る光スイッチング素子の作用を示す図である。
【図３】（ａ）〜（ｌ）は、上記第１実施形態に係る光スイッチング素子の製造工程を示す図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る光スイッチング素子の概略構成を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る光スイッチング素子の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係るプロジェクタの概略構成を示す図である。
【図７】本発明の第５実施形態に係るプリンタの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１００、４００、５００　光スイッチング素子
１０１ｂ　光吸収膜
１０１ａ　反射膜
１０１　平面部
１０２　支持部
１０３　基板部
１０４　駆動部
１０３ａ　光吸収膜
２００　金属膜
２００ａ　電極部
２０１　絶縁層
２０２、２０４　犠牲層
２０３、２０５　金属膜
２０６　駆動部
５０１　基板部
６００　プロジェクタ
６０１　光源部
６０２　前面硝子
６０３　ロッドインテグレータ
６０４　カラーホイール
６０５　リレーレンズ
６０６　空間光変調装置
６０７　投写レンズ
６０８　スクリーン
７００　レーザプリンタ
７０１　レーザ光源
７０２　ティルトミラーデバイス
７０３　感光ドラム
７０４　帯電ロール
７０５　転写ロール
７０６　ヒートロール
７０７　プレッシャーロール
７０８　クリーニングブレード
ＡＸ１　光軸
ＡＸ２　軸
Ｐ　用紙
【図１】
2004117573.tif 000003
【図２】
2004117573.tif 000004
【図３】
2004117573.tif 000005
【図４】
2004117573.tif 000006
【図５】
2004117573.tif 000007
【図６】
2004117573.tif 000008
【図７】
2004117573.tif 000009