(57)【要約】【課題】複数のプレートを積層してフィルタを形成する際に、部品費を安価にして製造費を低減化することができるインクジェットヘッドを提供することを目的とする。【解決手段】インク流路内の異物を除去するフィルタＦ１は、３枚のフィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃをそれぞれ形成したベースプレート１６、アパーチャプレート１５、サプライプレート１４を積層して形成されている。各フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃには、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が各フィルタ部１６ｃ、１５ｅ及び１４ｃ毎に異なる方向に延設されている。各フィルタ部１６ｃ、１５ｅ及び１４ｃを相互に重ねることにより、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３は、フィルタＦ１における異物を除去するための貫通部Ｆ２を形成した。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズルと、前記ノズルに繋がるインク流路と、前記インク流路内の異物を除去するフィルタとを備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記フィルタは、複数のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートには、長手方向に延びる複数の長溝が各フィルタ用プレート毎に異なる方向に延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記各フィルタ用プレートは、複数の長溝を所定間隔毎に平行に延設していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記フィルタは、３枚のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートは、長手方向に延びる３本の長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に６０度ずれるように延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体に印刷を行うための、インクジェットヘッドに関し、更に詳細には、インク流路内の異物を除去するフィルタを備えるインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、種々のインクジェットヘッド装置が提案されており、例えば、下記特許文献１のインクジェットヘッド装置においては、キャビティプレートに所定間隔で設けられたインク圧力室にインクを貯留し、前記キャビティプレートに接合された圧電素子を駆動することにより、前記インクに圧力変動を与えてノズルからインクを吐出させることができる。そのインクジェットヘッドにおいては、インクの流路内へ異物が混入することを防止するため、流路の入口部にフィルターを次のように設けていた。すなわち、キャビティプレート、第１ベースプレート、第２ベースプレート及びマニホールドプレートを積層してなる積層プレートでインク流路を形成し、キャビティプレート、第１ベースプレート、第２ベースプレート及びマニホールドプレートの各プレートにフィルターを形成する貫通孔を設け、隣接するプレートの各貫通孔は、互いの中心位置が重ならないようにずらして配置され、隣接するプレートの貫通孔同士の重なる範囲は、１５マイクロメータ程度の大きさになるように配置した。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１ー３２８２６４号公報（図２、第３頁乃至第５頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、隣接するプレートの貫通孔同士の一部が重なるようにしてフィルターを形成することは、正確な大きさの貫通孔を形成する必要があって、厳しい位置決め精度が要求される。しかし、これらマニホールドプレート、キャビティプレート、第１ベースプレート及び第２ベースプレートが、ステンレス鋼で形成された板状部材である場合、貫通孔同士の一部が重なるように製造することは困難であって、部品費及び製造費が高くなるという問題があった。
そこで、本発明は、上述した問題を解決するべく、複数のプレートを積層してフィルタを形成する際に、部品費を安価にして製造費を低減化することができる優れたインクジェットヘッドを提供することを目的する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため請求項１に係る発明によれば、インクを吐出するノズルと、前記ノズルに繋がるインク流路と、前記インク流路内の異物を除去するフィルタとを備えるインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタは、複数のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートには、長手方向に延びる複数の長溝が各フィルタ用プレート毎に異なる方向に延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したことを特徴とする。
【０００６】
請求項１に記載のインクジェットヘッドによれば、各フィルタ用プレート毎に長溝が異なる方向に延設されたフィルタ用プレートを積層して、各フィルタ用プレート毎の長溝を相互に重ねることにより、前記フィルタの貫通部を形成したので、長溝を各フィルタ用プレート毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がない。そのため、複数のフィルタ用プレートを積層してフィルタを形成することが容易であって、部品費を安価にして製造費を低減化することができる。
【０００７】
請求項２に係る発明によれば、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、各フィルタ用プレートは、複数の長溝を所定間隔毎に平行に延設していることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載のインクジェットヘッドによれば、各フィルタ用プレートの長溝を相互に重ねることにより、フィルタの貫通部を形成する際に、長溝が所定間隔毎に平行に延設されているので、フィルタの貫通部が所定の位置に複数形成されることになる。
【０００９】
請求項３に係る発明によれば、請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタは、３枚のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートは、長手方向に延びる３本の長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に６０度ずれるように延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載のインクジェットヘッドによれば、３本の長溝が相互に６０度ずれるように延設された３枚のフィルタ用プレートを積層して、各フィルタ用プレート毎の長溝を相互に重ねることにより、前記フィルタの貫通部を形成したので、長溝を各フィルタ用プレート毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がないため、３枚のフィルタ用プレートを積層してフィルタを形成することが容易であって、部品費を安価にして製造費を低減化することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインクジェットヘッドにつき具体化した実施形態に基づいて図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本実施の形態のインクジェットヘッド１を分解して示す斜視図である。図２は、本実施の形態のインクジェットヘッド１を構成する積層体の一部を拡大して示す分解斜視図である。図３は、本実施の形態のインクジェットヘッド１を構成する積層体の一部を拡大して示す断面図である。図４は、本実施の形態のインクジェットヘッド１のインク流路を説明するため概念的に示す拡大斜視図である。
図５は、本実施の形態のインクジェットヘッド１の積層した第一、第二、第三マニホールドプレート１１、１２、１３を第三マニホールドプレート１３側から見た平面図である。図６は、本実施の形態のインクジェットヘッド１のインク流路に形成されるフィルタ部を拡大して示す斜視図であって、（Ａ）はフィルタ部１４ｃ、（Ｂ）はフィルタ部１５ｅ、（Ｃ）はフィルタ部１６ｃを示す。図７は、本実施の形態のインクジェットヘッド１のインク流路に形成されるフィルタ部Ｆ１を拡大して示す平面図である。図８は、本実施の形態のインクジェットヘッド１のインク流路に形成されるフィルタ部Ｆ１の貫通部Ｆ２を拡大して示す平面図である。
【００１２】
最初に、図１及び図２を参照して、ヘッド本体８について説明する。ヘッド本体８は、略長方形の金属板を９枚積層した９層構造になっている。具体的には、ヘッド本体８は、下層から、ノズルプレート９、カバープレート１０、第一マニホールドプレート１１、第二マニホールドプレート１２、第三マニホールドプレート１３、サプライプレート１４、アパーチャプレート１５、ベースプレート１６及びキャビティプレート１７の９枚の薄い金属板を積層した構造となっている。これら９枚の薄い金属板は、接着材により相互に張り付けられる。キャビティプレート１７の上方には、図１に示す台形形状の４個の圧電素子ユニット１８が接着材により張り付けられている。各圧電素子ユニット１８には、４個のフレキシブルプリント基板１９の先端部が後述する方法で固着される。尚、これらフレキシブルプリント基板１９には、図示しない駆動用集積回路（駆動用ＩＣ）を搭載している。
【００１３】
ノズルプレート９には、図２及び図３に示すように、微小径のインク噴出用のノズル９ａが、多数個穿設されている。ノズル９ａのピッチ間隔は、６００（ｄｐｉ）程度の印刷密度に対応する基本ピッチで形成されている。ノズルプレート９のノズル９ａは、ノズルプレート９をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
また、カバープレート１０には、前記ノズル９ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１０ａが多数穿設されている。カバープレート１０の貫通孔１０ａはカバープレート１０をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
【００１４】
また、第一マニホールドプレート１１には、前記貫通孔１０ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１１ａが多数穿設されている。また、第一マニホールドプレート１１には、インクを供給するマニホールド流路１１ｂが形成されている。第一マニホールドプレート１１の貫通孔１１ａ及びマニホールド流路１１ｂは、第一マニホールドプレート１１をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
【００１５】
また、第二マニホールドプレート１２には、前記貫通孔１１ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１２ａが多数穿設されている。また、第二マニホールドプレート１２における上記マニホールド流路１１ｂと対応する位置には、マニホールド流路１２ｂが形成されている。第二マニホールドプレート１２の貫通孔１２ａ及びマニホールド流路１２ｂは、第二マニホールドプレート１２をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
【００１６】
また、第三マニホールドプレート１３には、前記貫通孔１２ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１３ａが多数穿設されている。また、第三マニホールドプレート１３における上記マニホールド流路１２ｂと対応する位置には、マニホールド流路１３ｂが形成されている。第三マニホールドプレート１３の貫通孔１３ａ及びマニホールド流路１３ｂは、第三マニホールドプレート１３をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
【００１７】
これらマニホールド流路１１ｂ、マニホールド流路１２ｂ及びマニホールド流路１３ｂから構成されるインク通路は、インクを供給するマニホールドＭＮを形成するが、所定量のインクを確保するため、マニホールドＭＮは、所定の深さ及び幅となるように形成されている。
マニホールドＭＮは、図５に示すように、インクが導入されるマニホールド口ＭＮ１と、マニホールド口ＭＮ１からインクをノズル９ａより吐出させるためのマニホールド流路ＭＮ２（マニホールド流路１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを総称していう）とを備えている。
【００１８】
また、サプライプレート１４には、前記貫通孔１３ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１４ａが多数穿設されている。また、サプライプレート１４には、上記マニホールド流路１３ｂと対応する位置に、貫通孔１４ｂが形成されている。更に、サプライプレート１４には、前記マニホールド口ＭＮ１と対応する位置に、フィルタ部１４ｃが形成されている。サプライプレート１４の貫通孔１４ａ、貫通孔１４ｂ及びフィルタ部１４ｃは、サプライプレート１４をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。フィルタ部１４ｃには、図６（Ａ）に示すように、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ１が所定間隔（Ｌ１＝５０ミクロン）毎に平行となるように形成されている。
【００１９】
また、アパーチャプレート１５には、貫通孔１４ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１５ａが多数穿設されている。また、アパーチャプレート１５には、貫通孔１４ｂに対応する位置に貫通孔１５ｂが形成されている。このアパーチャプレート１５の貫通孔１５ｂは、流路抵抗を大きくするためのしぼり流路１５ｃと連通し、しぼり流路１５ｃの貫通孔１５ｂの反対側には、貫通孔１５ｄが形成されている。更に、アパーチャプレート１５には、前記フィルタ部１４ｃに対応する位置に、フィルタ部１５ｅが形成されている。
アパーチャプレート１５の貫通孔１５ａ、貫通孔１５ｂ、しぼり流路１５ｃ、貫通孔１５ｄ及びフィルタ部１５ｅは、アパーチャプレート１５をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。フィルタ部１５ｅには、図６（Ｂ）に示すように、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ２が所定間隔（Ｌ１＝５０ミクロン）毎に平行となるように形成されている。
【００２０】
また、ベースプレート１６には、前記貫通孔１５ａに連通した微小径のインクの通路である貫通孔１６ａが複数形成されている。ベースプレート１６には、しぼり流路１５ｃからインクを供給するため、貫通孔１５ｄと対応する位置に貫通孔１６ｂが複数形成されている。更に、ベースプレート１６には、前記フィルタ部１５ｅに対応する位置に、フィルタ部１６ｃが形成されている。ベースプレート１６の貫通孔１６ａ、貫通孔１６ｂ及びフィルタ部１６ｃは、ベースプレート１６をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。フィルタ部１６ｃには、図６（Ｃ）に示すように、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ３が所定間隔（Ｌ１＝５０ミクロン）毎に平行となるように形成されている。
【００２１】
さらに、キャビティプレート１７には、図４に示すように、ほぼ菱形のインク圧力室１７ａが縦横に多数配列され、インク圧力室１７ａの一方の鋭角部１７ａ１は、インク圧力室１７ａにインクを供給するため、貫通孔１６ｂと連設し、また、インク圧力室１７ａの他方の鋭角部１７ａ２は、前記ノズル９ａにインクを送り出すための、貫通孔１６ａと連設している。この場合、縦横に多数配置されるインク圧力室１７ａの鋭角部１７ａ１、１７ａ２を、隣接するインク圧力室１７ａ間に入り込ませて配置するので、ほぼ菱形のインク圧力室１７ａを高密度に配列することができる。キャビティプレート１７には、フィルタ孔１６ｃに対応する位置に、インク供給源（図示せず）からインクを導入するインク導入口１７ｂが形成されている（図１参照）。キャビティプレート１７のインク圧力室１７ａ及びインク導入口１７ｂは、キャビティプレート１７をエッチングすることにより安価且つ容易に形成される。
【００２２】
キャビティプレート１７の上方には、図１に示す台形形状の圧電素子ユニット１８が接着材により張り付けられるが、圧電素子ユニット１は４枚の圧電シート（図示せず）が積層され、最上層に表面電極が形成され、４枚の圧電シートの内の第１層及び第２層間、第３層及び第４層間に内部電極が形成されている。そして、圧電素子ユニット１８に設けられる複数の圧電素子単位構造１８ａ（図２参照）は、インクの圧力室１７ａの形状と対応している。
【００２３】
この場合、圧電素子単位構造１８ａの上面には、表面電極である駆動電極１８ｂが形成されており、インク圧力室１７ａの形状に比べて少し小さくなっている。そして、フレキシブルプリント基板１９から圧電素子単位構造１８ａの駆動電極１８ｂに駆動信号を送出すると、１個の圧電素子単位構造１８ａは、１個のインク圧力室１７ａと対応することにより、インク圧力室１７ａ内のインクに噴射圧力を与えることができる。
【００２４】
次に、ヘッド本体８の前記フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃを相互に重ねることにより形成されるフィルタＦ１（図７参照）について説明する。フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃは、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が各フィルタ部１６ｃ、１５ｅ、１４ｃ毎に異なる方向に延設されている。
この場合、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が各フィルタ部１６ｃ、１５ｅ、１４ｃ毎に相互に６０度ずれるように重なることにより、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３の重なる部分が、フィルタＦ１における異物を除去するための正三角形状の貫通部Ｆ２となる。この貫通部Ｆ２は、図８に示すように、正三角形となり、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３のスリット幅が５０ミクロンの場合、その正三角形の一辺Ｌ２は２８．９ミクロンとなり、正三角形の貫通部Ｆ２内を通る異物の大きさ（正三角形の内径Ｌ３）は、１６．７ミクロン以下となる。
【００２５】
尚、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３のスリット幅が４０ミクロンの場合、その正三角形の一辺Ｌ２は２３．１ミクロンとなり、正三角形の貫通部Ｆ２内を通る異物の大きさ（正三角形の内径Ｌ３）は、１３．３ミクロン以下となる。この場合、ノズルの大きさは２０ミクロン程度であり、貫通部Ｆ２は異物を濾過するフィルタとしての機能を果たし、ノズルの詰まりを防止することができる。
このような小さな正三角形の貫通部Ｆ２を、例えば一枚のプレートをエッチングまたはプレス加工により形成することは、精度の点で困難で安定性に欠けるという欠点があるが、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３をサプライプレート１４、アパーチャプレート１５及びベースプレート１６毎に相互に重なることにより、フィルタＦ１における異物を除去するための貫通部Ｆ２を形成したので、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３をプレート１４、１５、１６毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がなくなる。
【００２６】
そして、ヘッド本体８においては、図１、図３及び図４に示すように、圧電素子単位構造１８ａの配設位置に対応して形成された複数のインク圧力室１７ａにインクを供給するべく、インク供給源よりインク導入口１７ｂ、１６ｃ、１５ｅ、１４ｃを介して供給されたインクは、マニホールドＭＮ、貫通孔１４ｂ、貫通孔１５ｂ、しぼり流路１５ｃ、貫通孔１５ｄ及び貫通孔１６ｂを経て、インク圧力室１７ａに供給される。そして、圧電素子単位構造１８ａにフレキシブルプリント基板１９を介して駆動電圧が印加されると、圧電素子単位構造１８ａが変形して、インク圧力室１７ａ内のインクは、貫通孔１６ａ、１５ａ、１４ａ、１３ａ、１２ａ、１１ａ、１０ａを経て、ノズル９ａから噴射され、そのインクでもって印刷媒体に印刷可能となる。
【００２７】
以上説明したように、本実施の形態による発明によれば、インク流路内の異物を除去するフィルタＦ１を備えるインクジェットヘッド１において、前記フィルタＦ１は、複数（３枚）のフィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃを形成したベースプレート１６、アパーチャプレート１５、サプライプレート１４を積層して形成され、各フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃには、長手方向に延びる複数の長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が各フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃ毎に異なる方向に延設され、前記長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３が各フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃを相互に重ねることにより、フィルタＦ１における異物を除去するための貫通部Ｆ２を形成したので、従来技術に比べて、長溝Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３を各フィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃ毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がない。そのため、複数のフィルタ部１６ｃ、フィルタ部１５ｅ及びフィルタ部１４ｃを積層してフィルタＦ１を形成することが容易であって、部品費を安価にして製造費を低減化することができる。
【００２８】
尚、本発明は上述した実施の形態に限らず、様々な形態に応用が可能である。例えば、変形例として、積層して形成される各フィルタ用プレートは、必ずしもサプライプレート１４、アパーチャプレート１５、ベースプレート１６である必要はなく、例えばアパーチャプレート１５、ベースプレート１６及びキャビティプレート１７に形成されてもよいし、キャビティプレート１７上に形成されるインク供給用のリザーバプレート（図示せず）、キャビティプレート１７及びベースプレート１６に形成されてもよいし、更に、別のプレートに形成されてもよい。また、フィルタを形成するためには、必ずしも３枚のプレートを使用する必要はなく、例えば２枚のプレートを使用しても良いし、４枚以上のプレートを使用しても良い。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明した通り、請求項１に係るインクジェットヘッドによれば、インクを吐出するノズルと、前記ノズルに繋がるインク流路と、前記インク流路内の異物を除去するフィルタとを備えるインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタは、複数のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートには、長手方向に延びる複数の長溝が各フィルタ用プレート毎に異なる方向に延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したので、長溝を各フィルタ用プレート毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がない。そのため、複数のフィルタ用プレートを積層してフィルタを形成することが容易であって、部品費を安価にして製造費を低減化することができる。
【００３０】
また、請求項２に係るインクジェットヘッドによれば、各フィルタ用プレートは、複数の長溝を所定間隔毎に平行に延設しているので、フィルタの貫通部が所定の位置に複数形成されることになる。
【００３１】
また、請求項３に係るインクジェットヘッドによれば、前記フィルタは、３枚のフィルタ用プレートを積層して形成され、各フィルタ用プレートは、長手方向に延びる３本の長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に６０度ずれるように延設され、前記長溝が各フィルタ用プレート毎に相互に重なることにより、前記フィルタにおける前記異物を除去するための貫通部を形成したので、長溝を各フィルタ用プレート毎に相互に重ねる際の位置決めを高精度にする必要がない。そのため、３枚のフィルタ用プレートを積層してフィルタを形成することが容易であって、部品費を安価にして製造費を低減化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態のインクジェットヘッドを分解して示す斜視図である。
【図２】本実施の形態のインクジェットヘッドを構成する積層体の一部を拡大して示す分解斜視図である。
【図３】本実施の形態のインクジェットヘッドを構成する積層体の一部を拡大して示す断面図である。
【図４】本実施の形態のインクジェットヘッドのインク流路を説明するため概念的に示す拡大斜視図である。
【図５】本実施の形態のインクジェットヘッドの積層した第一、第二、第三マニホールドプレートを第三マニホールドプレート側から見た平面図である。
【図６】本実施の形態のインクジェットヘッドのインク流路に形成されるフィルタ部を拡大して示す斜視図であって、（Ａ）は、サプライプレートのフィルタ部、（Ｂ）は、アパーチャプレートのフィルタ部、（Ｃ）はベースプレートのフィルタ部である。
【図７】本実施の形態のインクジェットヘッドのインク流路に形成されるフィルタ部を拡大して示す平面図である。
【図８】本実施の形態のインクジェットヘッドのインク流路に形成されるフィルタ部の貫通部を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　　インクジェットヘッド
９　　　　　　　　ノズルプレート
１０　　　　　　　カバープレート
１１　　　　　　　第１マニホールドプレート
１２　　　　　　　第２マニホールドプレート
１３　　　　　　　第３マニホールドプレート
１４　　　　　　　サプライプレート
１５　　　　　　　アパーチャプレート
１６　　　　　　　ベースプレート
１７　　　　　　　キャビティプレート
１７ａ　　　　　　インク圧力室
１８　　　　　　　圧電素子ユニット
１６ｃ　　　　　　　　　　　　フィルタ部
１５ｅ　　　　　　　　　　　　フィルタ部
１４ｃ　　　　　　　　　　　　フィルタ部
Ｘ１　　　　　　　　　　　　　　長溝
Ｘ２　　　　　　　　　　　　　　長溝
Ｘ３　　　　　　　　　　　　　　長溝
Ｆ１　　　　　　　　　　　　　　フィルタ
Ｆ２　　　　　　　貫通部
【図１】
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【図２】
2004114511.tif 000004
【図３】
2004114511.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004114511.tif 000007
【図６】
2004114511.tif 000008
【図７】
2004114511.tif 000009
【図８】
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