(57)【要約】【課題】熱風を供給する乾燥手段を用いて配向膜を形成することにより、良好な表示特性が得られるとともに、歩留まりを向上させる。【解決手段】ガラス基板１の一方の面に配向膜材料溶液ＳＯを塗布し、このガラス基板１上に塗布した配向膜材料溶液ＳＯに熱風の流れを付与し、ガラス基板１の周辺部に滞留する残留熱風を排気させ、かつ熱風の流れと交差する平面とガラス基板１とを面方向に相対的に往復移動させることにより乾燥させて成膜した配向膜を有し、この配向膜は配向膜角部に配向膜端部よりも膜厚の厚い突起部を設ける。【選択図】        図１４
2004286975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の一方の面に配向膜材料溶液を塗布し、前記ガラス基板上に塗布した前記配向膜材料溶液に熱風の流れを付与し、前記ガラス基板の周辺部に滞留する残留熱風を排気させ、かつ前記熱風の流れと交差する平面と前記ガラス基板とを面方向に相対的に往復移動させることにより乾燥させて成膜した配向膜を備え、前記配向膜は当該配向膜の角部に当該配向膜の端部よりも膜厚の厚い突起部を設けたことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記ガラス基板の前記配向膜が形成された面上にシール材を有し、前記配向膜の角部と重なって当該シール材が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記配向膜の角部は前記シール材の角部に面方向に突出する突出部を有することを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置に係わり、特に液晶表示装置を構成するガラス基板の内壁面に配向膜材料溶液を塗布し乾燥させて成膜させた配向膜を有する液晶表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に液晶表示装置の基板内壁面には、液晶材料の分子配列状態を一様にさせる液晶配向膜が形成されている。この配向膜の形成工程には、溶剤で希釈された配向膜材料の塗膜（以下、これを配向膜材料塗膜と呼ぶ）を基板の一方の面に形成する印刷工程と、この印刷工程で形成された配向膜材料塗膜を加熱硬化させる加熱工程とを有している。
【０００３】
この加熱工程には、約１００℃程度の温度で配向膜材料塗膜の含有溶剤を仮乾燥させる乾燥処理工程と、仮乾燥後の配向膜材料塗膜を約１８０℃以上の温度で焼成する焼成処理工程とを有している。これらの段階的な処理工程には、図２２に示すようなホットプレートが用いられている。このホットプレートは、ガラス基板１の他方の面（配向膜材料塗膜の形成面の反対側面）が接触する領域（以下、基板接触領域と呼ぶ）に複数の位置から排気口へ抜ける貫通孔Ｈが形成されたホットプレートＨＰと、このホットプレートＨＰに埋め込まれたヒータ４と、ガラス基板１を上方向に突上げる突上げピン１４と、ホットプレートＨＰの排気口に連結された図示しない真空ポンプとを有して構成されている。
【０００４】
このような構成によれば、真空ポンプの真空吸引により、ガラス基板１をホットプレートＨＰに密着させることができるので、ヒータ４の熱をホットプレートＨＰを介してガラス基板１に効率的に伝導させることができる。これによってガラス基板１に形成された塗膜は、その熱によって仮乾燥または焼成される。
【０００５】
ところで、加熱処理後には、ホットプレートＨＰに密着したガラス基板１をホットプレートＨＰから搬送アームへ移し換える必要がある。そこで、ホットプレートＨＰの内部には、基板接触面からガラス基板１を突上げる複数の突上げピン１４が収容されている。図２３に示すようにこれらの突上げピン１４の突上げによってホットプレートＨＰからガラス基板１が浮き上がるため、ガラス基板１とホットプレートＨＰとの間には、搬送アーム１５が挿入される空間が確保されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ホットプレートＨＰの基板接触領域内には、貫通孔Ｈの端部及び突上げピン１４の収容孔の端部が形成されているので、ガラス基板１の裏面には、部分的にホットプレートＨＰと接触しない領域が生じる。これによって配向膜材料塗膜に乾燥むらが生じ、配向膜の膜厚がばらつき、配向膜表面における液晶分子の配列に影響を及ぼし、その結果として液晶表示装置の表示特性を低下させる。
【０００７】
また、ホットプレート吸着方式では、乾燥処理時における基板内温度分布のばらつきによるガラス基板１の割れを発生させていた。さらには、乾燥処理後におけるガラス基板１を剥離する際に静電気の帯電による撓みが発生し、これによってガラス基板１の割れを発生させていた。
【０００８】
したがって、本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、熱風を供給する乾燥手段を用いて配向膜を形成することにより、前述した課題を全て解決させ、良好な表示特性が得られるとともに、生産歩留まりを向上させ、生産性を向上させることができる液晶表示装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明による液晶表示装置は、ガラス基板の一方の面に配向膜材料溶液を塗布し、このガラス基板上に塗布した配向膜材料溶液に熱風の流れを付与し、ガラス基板の周辺部に滞留する残留熱風を排気させ、かつ熱風の流れと交差する平面とガラス基板とを面方向に相対的に往復移動させることにより乾燥させて成膜した配向膜を有し、この配向膜は当該配向膜の角部に当該配向膜の端部よりも膜厚の厚い突起部を設けたものである。
【００１０】
なお、本発明は、上記構成及び後述する各実施の形態の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明による液晶表示装置の一実施例による構成を説明する前提手段として用いられる熱風乾燥装置の構成を説明するシステム図であり、前述した図と同一部分には同一符号を付しその説明は省略する。なお、以下、説明の便宜上、熱風乾燥装置の設置面をＸ軸及びＹ軸面に含む直交座標系を定義してある。また、実線で示す矢印方向は加熱乾燥時における熱風の流れる方向を、点線で示す矢印方向はガラス基板の投入，取出し時における熱風の流れる方向をそれぞれ示している。
【００１２】
図１において、１は一方の面に配向膜材料溶液が塗布されたガラス基板、２は内部にガラス基板１を収容し、このガラス基板１の一方の面に塗布された配向膜材料溶液を熱風乾燥させて配向膜を成膜するチャンバ、３は例えばクリーンルーム内の空気を吸引して圧送する給気用ブロワ、４は給気ブロワ３から圧送された空気を加熱させるヒータ、５は加熱された空気内の異物を除去し清浄化するヘパフィルタ、６はヘパフィルタ５から送出された加熱空気をガラス基板１の搬入中に熱風の流れを止めてバイパス配管へ分岐させる三方弁である。
【００１３】
また、７は三方弁６の一方の弁から送出された加熱空気をニ方向に分岐させてチャンバ２内に導入させる分岐弁、８はチャンバ２内に配設されて分岐弁７を介して導入された熱風の温度及び流量等を均一に保持させて分岐する６分岐管、９ａ，９ｂは六分岐管８から送出された加熱空気をノズル毎に流量の調整を行うダンパ、１０はダンパ９ａ，９ｂを通過した加熱空気を一旦蓄える均熱容器である。なお、ヘパフィルタ５からチャンバ２内に供給される熱風の配管は、サニタリー配管が用いられ、異物の発生及び付着を防止させている。
【００１４】
また、１１は均熱容器１０内に蓄積された加熱空気をガラス基板１を載置するベースプレート１２の上面に向けてブローするノズルである。このノズル１１は、図２に斜視図で示すようにその内部に収容されている複数のスリットノズル１１ａがそれぞれベースプレート１２の上面に対向するスリット状のノズル孔を有しており、これらのスリットノズル１１ａは、それぞれのノズル孔の長孔がＸＹＺ軸におけるＸ方向に沿うように、ほぼ等間隔でＹ方向に一列に並設されてベースプレート１２上に均一に熱風ＨＡを吹付ける。
【００１５】
なお、ここでノズル１１内の各スリットノズル１１ａからブローする熱風の温度及び流量が均一であっても、各スリットノズル１１ａ毎にばらつきがあっては意味がないことから、熱風の温度，風量等の等分機能を有する分岐管がその内部に採用されており、各スリットノズル１１ａに熱風を温度及び風量ともに均等に供給される構成となっている。また、スリットノズル１１ａの本数は、ベースプレート１２上に載置されるガラス基板１の表面積等に対応させて決定される。
【００１６】
また、１３ａ，１３ｂはガラス基板１の上面にノズル１１よりブローされた加熱風の舞い上がり分の熱風を吸引させる上面側排気溝である。また、ベースプレート１２の上面には、ガラス基板１の他方の面（背面）を点支持する基板支持ピン１４が複数立設されている。これらの基板支持ピン１４は、搬送アーム１５の先端が挿入可能な隙間Ｇがガラス基板１とベースプレート１２との間に形成される状態を維持できように配置されている。
【００１７】
したがって、ベースプレート１２の上面には、一列に配列されない３本のピンを含んだ３本以上の基板支持ピン１４が搬送アーム１５の挿入経路以外に立設されていれば良い。例えば搬送アーム１５の先端が二股形状を有している場合には、搬送アーム１５の先端脚部の幅以上の行間隔を有する２行のマトリクス状に複数の基板支持ピンを配置することができる。
【００１８】
これらの基板支持ピン１４は、上述したようにガラス基板１を点支持しているが、実際には、ガラス基板１との接触界面に微小面積を有している。このために乾燥処理中にスリットノズル１１ａから放出される熱風により基板支持ピン１４が加熱されると、ガラス基板１は、各基板支持ピン１４との接触界面からの熱により部分的に加熱される。これによるガラス基板１の温度むらの低減を図るには、各基板支持ピン１４の先端とガラス基板１との接触面積をより狭くすることが好ましい。
【００１９】
したがって、各基板支持ピン１４の先端形状として曲率半径５ｍｍ以下の球面形状を採用し、さらに各基板支持ピン１４の先端を熱拡散率の小さな材料で形成すればより好ましい。そこで、各基板支持ピン１４の先端の形成材料として適切な材料を決定すべく、下記表１に示した熱拡散率３０ｍｍ２／ｓ〜０．１ｍｍ２／ｓの材料（アルミニウム，ガラス，テフロン（登録商標），ベスペル（登録商標））により形成されたブロック材を用いて以下の実験を行った。
【００２０】
【表１】
2004286975.tif 000003
【００２１】
未乾燥の配向膜材料塗膜（膜厚１．５μｍ）が形成されたガラス基板（１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．１ｍｍ）を複数準備し、図３に示すように各ガラス基板１をそれぞれ未乾燥の配向膜材料塗膜３０を上側に向けていずれかの材料のブロック材ＢＬ上に配置した。ただし、各材料のブロック材ＢＬには、各ガラス基板１の配向膜材料塗膜３０の形成領域の反対側の領域の一部３０Ａを接触させた。
【００２２】
この状態で各ガラス基板１の配向膜材料塗膜３０に約１００℃の温風を吹き付けたところ、熱拡散率０．４７ｍｍ２／ｓ以下の材料で形成されたブロック材ＢＬに乗せたガラス基板１の配向膜材料塗膜３０には乾燥むらが生じなかった。そこで本実施の形態では、各基板支持ピン１４の少なくとも先端部を熱拡散率０．５ｍｍ２／ｓ以下の材料で形成することとした。
【００２３】
また、１６ａ，１６ｂはノズル１１よりブローされた熱風をガラス基板１の四隅へ誘導させるとともにガラス基板１に当って跳ね返る熱風の淀みを吸引する側面側排気溝、１７はチャンバ２内の熱風の淀み及びガラス基板１を載置するベースプレート１２の下部周辺部に滞留する熱風の淀みなどを吸引してチャンバ２の内部全体の気流の流れを制御する下面側排気溝である。
【００２４】
また、１８は下面側排気溝１７の背面側に配設され、ベースプレート１２に連結された揺動装置であり、この揺動装置１８は、揺動体本体１８ａがモータ１８ｂに連結されたボールネジ１８ｃに結合されて構成されており、揺動体本体１８ａがモータ１８ｂの回転によりボールネジ１８ｃが矢印Ａ−Ａ´方向に往復移動し、これによってベースプレート１２に連結されている揺動体本体１８ａが矢印Ａ−Ａ´方向に揺動される。したがって、ベースプレート１２上に載置されるガラス基板１が面内方向に矢印で示すＡ−Ａ´方向に揺動される。
【００２５】
また、１９はチャンバ２の底部に配設されたチャンバ側排気装置であり、この排気装置１９は揺動装置１８による矢印Ａ−Ａ´方向の揺動動作により発塵した異物等を吸引し、チャンバ２の内部への流れ込み等を防止させる。
【００２６】
なお、これらの上面側排気溝１３ａ，１３ｂ、側面側排気溝１５ａ，１５ｂ，下面側排気溝１６及びチャンバ側排気装置１９は、それぞれ対応するダンパ２０ａ，２０ｂ、ダンパ２１ａ，２１ｂ、ダンパ２２ａ，２２ｂ、ダンパ２３を介して三方弁２４の一方の弁に結合され、さらにこの三方弁２４の他方の弁には前述した三方弁６の他方の弁が結合され、チャンバ２内で気化した溶媒を含む不要な熱風及びガラス基板１の投入出時の熱風とともに集結されて排気ブロア２５によりクリーンルームの外部に強制的に排気させ、溶媒の再付着を防止させている。
【００２７】
図４は、熱風乾燥装置を収容するレベリング装置の概略構成を説明する図であり、図４（ａ）は上方から見た平面図、図４（ｂ）は側面から見た平面図である。図４（ａ），（ｂ）において、１００は図１で説明した熱風乾燥装置内のチャンバ２が２段２列（４ポジション）にわたって設置された熱風乾燥装置部であり、この熱風乾燥装置部１００の前後には、処理前のガラス基板１をチャンバ２の内部に搬入させる搬送アーム１５を有する搬入用ロボット２００及び処理後のガラス基板１をチャンバ２から搬出させる搬送アーム１５´を有する搬出用ロボット３００が配設されている。
【００２８】
これらの搬入用ロボット２００及び搬出用ロボット３００は、図４（ａ）に示すように各搬送アーム１５，１５´が矢印Ｂ−Ｂ´方向に並行移動し、さらに、図４（ｂ）に示すように矢印Ｃ−Ｃ´方向に上下移動する機能を有しており、熱風乾燥装置部１００の２段２列（４ポジション）に設置されている各チャンバ２に対して各搬送アーム１５，１５´が交互に移動動作を繰り返すことによりガラス基板１の搬入出の並行処理が可能となる。
【００２９】
また、この搬入用ロボット２００の前段側には、当該ガラス基板１の清浄処理等の前処理工程を行う上流側装置４００が設置され、さらに搬出用ロボット３００の後段側には、配向膜を成膜した当該ガラス基板１の焼成処理等の後処理工程を行う下流側装置５００が設置されている。したがって、清浄処理された当該ガラス基板１は搬入用ロボット２００の搬送アーム１５に載置されてチャンバ２内に搬入され、配向膜を成膜したガラス基板１はチャンバ２内から搬出用ロボット３００の搬送アーム１５´に載置されて焼成処理を行う下流側装置５００へ搬送されることになる。
【００３０】
また、６００は図１に示したチャンバ２を２段２列の４ポジションで設置した熱風乾燥装置部１００，搬入用ロボット２００及び搬出用ロボット３００をそれぞれ個別に分割させて格納するロボットフレーム、７００はそのロボットカバーフレーム、８００は温調ユニットである。なお、図１で説明したチャンバ２の外部に配設される例えば給気ブロワ３，ヒータ４，へパフィルタ５，三方弁６，分岐弁７，ダンパ２０ａ，２０ｂ〜２３，三方弁２４及び排気ブロワ２５等は、床下に収容される構造となっている。
【００３１】
また、９００は熱風乾燥装置部１００，搬入用ロボット２００及び搬出用ロボット３００の背面側に配設されて温調ユニット８００内の各種装置，搬入用ロボット２００及び搬出用ロボット３００等を駆動させる駆動回路及びそれらの制御回路が収納されている制御装置部である。なお、この制御装置部９００を装置背面側に背負う構造で設置するとするとともに、熱風乾燥装置部１００，ロボットフレーム６００，ロボットカバーフレーム７００などを分割式構造で構成するすることにより、移設，再組立て時の作業効率を向上させることができる。
【００３２】
なお、図中、矢印Ａ−Ａ´方向は図１に示す揺動装置１８の往復移動によるベースプレート１２の揺動方向を示しており、ベースプレート１２の矢印Ａ−Ａ´方向のストロークは約２００ｍｍ程度であり、搬送アーム１５の矢印Ｃ−Ｃ´方向のストロークは約７５０ｍｍ程度である。また、このレベリング装置は、その幅が約３５００ｍｍ，長さが約４５００ｍｍ，高さが約２７５０ｍｍの寸法を有して形成されている。
【００３３】
このよう構成されるレベリング装置を用いることにより、寸法の異なる大型ガラス基板の処理時には、基板サイズによる段取り換え作業が不要となるとともに、定常の交換作業に要する時間，安全性及び作業性が極めて高くなる。
【００３４】
次に、このように構成される熱風乾燥装置を用いて液晶表示装置の製造プロセスの配向膜形成処理について説明する。
【００３５】
液晶表示装置の製造プロセスには、配向膜形成プロセス，ラビングプロセス，シール材印刷プロセス，スペーサ散布プロセス，基板貼り合わせプロセス，シール材焼成プロセス，液晶注入プロセス，液晶注入口封止プロセス及び偏光板貼り付けプロセス等が含まれているが、ここでは、図１で説明した熱風乾燥装置を用いる配向膜形成プロセスに重点をおいて説明する。
【００３６】
一方の面（以下、電極形成面を呼ぶ）にＴＦＴ（表示領域対角１７インチ）またはカラーフィルタパターンが６面にわたって形成配置された洗浄後のガラス基板が上流装置４００から搬入用ロボット２００により配向膜形成プロセスに搬送されと、以下に示すようにガラス基板１上に形成されている配向膜材料塗膜に対する乾燥処理が実行される。なお、ここでは、可溶性ポリイミドまたはポリアミック酸を１−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）またはγ−ブチロラクトン（ＢＬ）に溶解させることによって得られた約５ｗｔ％の配向膜材料溶液を用いることとする。
【００３７】
まず、給気ブロワ３が回転を開始させることにより、クリーンルーム内の大気を取り込み、加熱中のヒータ４に送り込む。これによって加熱された空気がヘパフィルタ５，三方弁６，分岐弁７，６分岐管８及びダンパ９ａ，９ｂをそれぞれ通過して均熱容器１０に一旦蓄えられた後、ノズル１１の各スリットノズルの先端から一様な温度（例えば約６０℃程度）で放出される。これと同時に上面排気溝１３ａ，１３ｂ、側面排気溝１６ａ，１６ｂ、下面排気溝１７及びチャンバ内排気装置１９を駆動させてチャンバ２内の大気を適宜排気させる。
【００３８】
その間に上流装置４００にて洗浄後のガラス基板（６５０ｍｍ×８３０ｍｍ×０．５〜０．７ｍｍまたは７３０ｍｍ×９２０ｍｍ×０．５〜０．７ｍｍ）の電極形成面にフレキソ印刷法によって配向膜材料塗膜を形成しておく。そして、チャンバ２の内部温度が適当な温度（例えば約５５℃程度）に安定したら、チャンバ２の搬入口を開け、上流装置４００より搬入用ロボット２００が上流装置４００よりガラス基板を配向膜材料塗膜が上面となるように搬送アーム１５の先端部に掬い上げ、チャンバ２の搬入口を開け、熱風乾燥装置部１００内のチャンバ５内のベースプレート１２上まで搬送する。
【００３９】
その後、搬送アーム１５の先端部がベースプレート１２上のピン列の間に収容されるように搬送アーム１５をＺ軸方向に移動させる。これにより搬送アーム１５の先端部からピン群に先端にガラス基板１が乗り換えられたら、搬送アーム１５をＸＹＺ軸によるＸ方向に移動させることによって搬送アーム１５の先端部をピン列の間から引き抜く。そして、チャンバ２の搬入口のシャッタを閉じる。
【００４０】
その後、揺動装置１８のモータ１８ａの回転を開始することによってベースプレート１２を適当な速度（例えば約１００ｍｍ／ｓ）でＡ−Ａ´方向に約２００ｍｍのストロークで往復移動させる。このときのベースプレート１２のストロークは、ノズル１１の各スリットノズルの配置間隔とほぼ等しい距離である。これにより、配向膜材料塗膜の全面から溶剤を均一かつ効率的に蒸発させることができる。
【００４１】
図５は、ガラス基板１上に形成された配向膜材料塗膜の溶剤が均一かつ効率的に蒸発するメカニズムについて説明する模式図である。まず、図５（ａ）に示すようにノズル１１の各スリットノズル１１ａからガラス基板１に向けてブローした熱風ＨＡは、ガラス基板１の上面に当った後、ガラス基板１上で淀み、その淀み部ＨＡ´からなる熱風層ＨＬＡを形成し、これによって次に引続き放出される熱風ＨＡがガラス基板１の上面に当らなくなってしまう。
【００４２】
そして、図５（ｂ）に示すように各スリットノズル１１ａの間隔Ｄを広げ、各スリットノズル１１ａ相互間に熱風ＨＡが排気する道筋ＥＸを形成することで次ぎの新しい熱風ＨＡをガラス基板１上に当てることができるが、ガラス基板１の上面において、各スリットノズル１１ａの直下の加熱エリアＨＡＲと排気されて加熱されないエリアＣＡＲとで温度差が生じる。
【００４３】
そこで、図５（ｃ）に示すようにガラス基板１を矢印Ａ−Ａ´方向に往復運動させることで加熱エリアＨＡＲ，加熱されないエリアＣＡＲ毎の温度差がなくなり、温度分布が均一化されるので、部分的な乾燥を防止させ、均一加熱による乾燥が得られる。すなわち、ガラス基板１が中央部及び四隅を含む全面に均等に熱風ＨＡが供給されることで均一な温度分布による乾燥が得られる。なお、このガラス基板１を矢印Ａ−Ａ´方向に往復運動させる揺動手段は、図１及び図２に示す揺動装置１８のモータ１８ｂの駆動により矢印Ａ−Ａ´方向の往復運動に連動して行われる。
【００４４】
なお、ここでガラス基板の寸法及びその種類により放出する熱風に角度が必要になる場合には、ノズル１１の取付け用のアルミクランプ部で角度をもたせ、これによって熱風放出角度を調節することができる。また、ガラス基板の寸法及びノズル１１からの距離が変化した場合にノズル１１の前段にあるダンパ９ａ，９ｂ（図１参照）の調整でガラス基板の端部及び中央部などのガラス基板内の各場所毎に放出する熱風量を変更することができる。
【００４５】
このため、焼成前の段階で配向膜材料塗膜の膜厚及び膜物性にばらつきの発生を防止することができる。なお、このとき、ガラス基板１の表面付近における熱風の速度が０．５ｍ／ｓ以上となるように各スリットノズル１１ａから熱風を放出させれば、気化した溶剤を含む熱風がガラス基板１に表面付近で滞留させずに図１に示す上面排気溝１３ａ，１３ｂ、側面排気溝１６ａ，１６ｂ、下面側排気溝１７及びチャンバ内排気装置１９の駆動によりダンパ２０ａ，２０ｂ〜２３及び三方弁２４を介して排気ブロワ２５により吸引され、外部にスムーズに放出されるので、乾燥時間を大幅に短縮させることができる。
【００４６】
このようにして配向膜材料塗膜の含有溶剤の約８０％程度が蒸発し、配向膜材料塗膜の流動性が失われた後に搬送用ロボット３００の搬送アーム１５´の先端部がガラス基板１とベースプレート１２との間の隙間Ｇに挿入されるように搬送アーム１５´をＸ方向に移動させ、さらに支持ピン１４の先端から搬送アーム１５´の先端部にガラス基板１が乗り換わるように搬送アーム１５´をＺ方向に移動させる。これにより、支持ピン１４の先端からガラス基板１をスムーズに掬い上げることができる。
【００４７】
このようにガラス基板１に過度の力を付与することなく、支持ピン１４の先端からからガラス基板１を掬い上げることができるのは、ガラス基板１との接触面積が狭い各支持ピン１４は、ホットプレートのプレートとは異なり、ガラス基板１との間に静電気（剥離帯電）を殆ど発生させないことに起因している。このため、ガラス基板１の割れ等の発生を防止することができる。
【００４８】
なお、ベースプレート１２の支持ピン１４の先端からガラス基板１を掬い上げたら、次のガラス基板１に配向膜材料塗膜に対する乾燥処理が開始するまで、給気ブロワ３からの吸気を停止させて支持ピン１４の熱風による加熱を防止することが望ましい。
【００４９】
次に、この熱風乾燥装置部１００での乾燥処理が終了したら、ガラス基板１は、その状態で搬出用ロボット３００の搬送アーム１５´で次工程の赤外線乾燥を行う下流装置５００へと搬送される。そして、ガラス基板１の配向膜材料塗膜に対する焼成処理が実行される。すなわち、赤外線加熱炉の内部でガラス基板１を適当な温度（例えば、約２３０℃）で適当な時間（例えば、約２０分）にわたって加熱することによってガラス基板１上の配向膜材料塗膜を焼成する。これにより、ガラス基板１上に均一な膜厚及び膜物性の配向膜が形成される。
【００５０】
その後、ガラス基板１は、配向膜形成プロセスから、順次、ラビングプロセス，シール材印刷プロセス，スペーサ散布プロセス，基板貼り合わせプロセス，シール材焼成プロセス，液晶注入プロセス，液晶注入口封止プロセス及び偏光板貼り付けプロセス等へと搬送される。これにより、そのガラス基板１を含む液晶表示装置が完成する。
【００５１】
以上の液晶表示装置製造プロセスによれば、配向膜形成工程において、一様な膜物性の配向膜を一様な膜厚で形成することができるので、液晶表示装置における液晶分子配列の乱れの発生を確実に防止することができる。このために良好な表示特性の液晶表示装置を得ることができる。また、ホットプレートを用いた配向膜形成工程において発生し易かった基板割れの発生を確実に防止することができるので、液晶表示装置製造プロセスの歩留まりを向上させることができる。さらに、ホットプレートを用いた場合よりも、突上げピンによる基板突上げ処理が必要ない分だけ効率化を図ることができる。
【００５２】
これらの効果についてホットプレートを用いた工程と比較して下記表２に示す。
【００５３】
【表２】
2004286975.tif 000004
【００５４】
（１）本実施例による係わる熱風乾燥装置を用いた場合には、ホットプレーを用いた場合に生じる剥離帯電が全く生じない。このためにホットプレートを用いた場合と異なり、ガラス基板１の割れの発生が皆無となる。
【００５５】
（２）ホットプレートを用いた場合、ガラス基板１の割れの発生を防止するために突上げピン１４によってガラス基板１をゆっくり持ち上げる必要がある。これに対して本実施例に係わる熱風乾燥装置を用いた場合には、このようなガラス基板１の突き上げ処理が必要ない。このためにその分だけ配向膜の形成プロセスを効率化することができる。例えば、ホットプレートによれば、７２０ｍｍ×９３０ｍｍのガラス基板の乾燥処理（搬入から搬出まで）に約１００秒以上の時間を要するのに対して本実施例に係わる熱風乾燥装置によれば、７２０ｍｍ×９３０ｍｍのガラス基板１の乾燥処理に要する時間を約６０秒以下に短縮することができる。
【００５６】
（３）ホットプレートを用いた場合には、ガラス基板１の温度に±２℃程度のばらつきが生じるのに対して本実施例に係わる熱風乾燥装置を用いた場合には、ガラス基板１の温度のばらつきが±１℃程度に抑制される。このために配向膜材料塗膜を一様に乾燥させることができる。この効果は、以下の実験により確認される。
【００５７】
熱拡散率が約０．１ｍｍ２／ｓのベスペル（登録商標）で形成された支持ピン１４と約２００ｍｍの間隔で並べられたスリットノズル１１とを有する乾燥装置を用いて以下の実験を行った。内部温度が約５５℃に安定化させたチャンバ２において、各スリットノズル１１から約６０℃に温風を速度０．５ｍ／ｓ〜２ｍ／ｓで放出させながら、スリットノズル１１の先端から約２００ｍｍ離れた位置で配向膜材料溶液塗布済みのガラス基板１を１００ｍｍ／ｓで往復させた。このときのガラス基板１のストロークは、約２００ｍｍである。
【００５８】
この結果、チャンバ２にガラス基板１を投入してから約２５秒で配向膜材料塗膜の仮乾燥が完了したので、チャンバ２にガラス基板１を投入してから約４０秒後に熱風の放出とガラス基板１の往復移動とを停止し、ガラス基板１の外観及び面内温度分布を観察した。この結果、ガラス基板１には割れ等の欠陥が生じていないことが確認された。また、ガラス基板１の温度のばらつきは、±１℃程度に抑制されていることが判った。
【００５９】
ただし、図６に示すようにガラス基板１の一部の領域を除けば、ガラス基板１の温度のばらつきは、±０．５℃程度に抑制されることが判った。すなわち、配向膜材料塗膜に乾燥むらの要因となるガラス基板１の温度むらが抑制されていることが確認された。
【００６０】
また、前述したようにプロセス時間が約４０秒，搬送時間は合計で約３０秒であり、一部動作を並行化により短縮し約２０秒として約６０秒以下に短縮することができることから、チャンバ２を４ポジション設けているので、合計約６０秒／４ポジションで約１５秒／枚の目標タクトを達成できた。
【００６１】
その後、赤外線加熱炉で約２３０℃で約２０分間ガラス基板を加熱することによってガラス基板上の配向膜材料を硬化させた。このようにして配向膜が形成されたガラス基板を用いてＬＣＤパネルを作製し、そのプレチルト角を測定した。この結果、ホットプレートＨＰで配向膜を形成したガラス基板を用いたＬＣＤパネルと同程度のプレチルト角（約６°）を示すことが確認された。
【００６２】
次に、本実施例に係わる熱風乾燥装置を用いた乾燥処理の最適条件について説明する。ここでは、乾燥処理の最適条件を得るために以下の実験を行った。
【００６３】
（１）実験１
乾燥時間を最適化するために図７に示すようにホットプレートＨＰからの伝熱及びドライヤーＤＲからの温風によってそれぞれ１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．１ｍｍのガラス基板１上の配向膜材料塗膜を乾燥させた。なお、ここではドライヤーＤＲをガラス基板１上に温風が垂直に吹き付けられるような姿勢で水平方向に往復移動させた。
【００６４】
ここで用いた配向膜材料は、ポリイミド骨格に主鎖と長鎖アルキル基の側鎖とからなり、長鎖アルキル基が配向膜表面に存在することでプレチルト角を発現する材料を用いた。配向膜材料を希釈した溶剤は、１−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、γ−ブチロラクトン（ＢＬ）である。
【００６５】
溶剤乾燥後、同条件で液晶セルを作製し、プレチルト角を測定したところ、図８に示すようになった。ここで、乾燥時間は以下のように定義した。基板上に塗布された溶液が乾燥して溶剤が蒸発するときには、膜厚減少が起こり、膜面に干渉縞を生じる。溶剤が蒸発して膜厚が均一になると、干渉縞が消え、膜面は一様に干渉色を示す。基板加熱開始から一様の干渉色となるまでの時間を乾燥時間として測定した。
【００６６】
ホットプレート乾燥では乾燥時間によらず、ほぼ一定のプレチルト角を示すのに対して熱風乾燥では乾燥時間によって大きくプレチルト角が変わり、乾燥時間が短いと、プレチルト角が小さい。
【００６７】
ここで、溶剤組成が配向膜高分子に与える影響を調べた。ＮＭＰ，ＢＬに配向膜高分子をそれぞれ溶解し、分子サイズを光散乱強度の散乱角度依存性から求めた。この結果を図９に示す。ＮＭＰ溶液中では、高分子が収縮していることが判った。高分子が収縮すると、プレチルト角の発現に寄与する側鎖が主鎖の中に丸め込まれると考えられる。さらに、ＮＭＰ比率が高い溶液から成膜した配向膜ではプレチルト角が低下することが判った。配向膜高分子が伸長しているときには、熱風と親和性の高い側鎖は膜表面に偏在するが、配向膜高分子が収縮するとき、プレチルト角に寄与する側鎖は主鎖に丸め込まれて膜表面に存在する量が減り、その結果、プレチルト角が低下すると考えている。
【００６８】
溶剤乾燥工程では、混合溶剤が均一に蒸発せず、蒸発速度はＮＭＰよりもＢＬの方が速い。このために塗膜中では配向膜高分子の濃縮と同時に混合溶剤組成変化が起きる。溶剤乾燥時の塗膜中の溶剤組成は以下のように変化すると考えられる。加熱により配向膜表面からはＢＬが蒸発する。膜内では深さ方向に溶剤の濃度勾配を生じ、基板側より表面に向かってＢＬが拡散するが、乾燥時間が短いと、表面の蒸発に対して膜内の拡散が追いつかず、表面は蒸発し難いＮＭＰの組成比が増加する。また、熱風乾燥では、溶剤の滞留を防ぐために積極的に溶剤を除去しているので、ＢＬとＮＭＰとの蒸発速度差を増大させ、表面のＮＭＰ濃度が進む。したがって、ＮＭＰが濃縮され易い乾燥速度の速い条件では、表面の高分子が収縮し、プレチルト角が低下する。
【００６９】
以上の結果から、プレチルト角が従来方法のホットプレート乾燥と同等以上となる約２０秒以上の乾燥時間となる温度及び風速をこの配向膜材料の最適熱風乾燥条件とした。その温度は熱風の吹出し口温度が７０℃〜９０℃、ガラス基板上の風速が１．５〜２．０ｍ／ｓであることが判った。
【００７０】
（２）実験２
本実施例に係わる熱風乾燥装置により、各温度の熱風をガラス基板１に吹付け、配向膜材料塗膜の外観を観察した。この結果、約３０℃以下の熱風を吹付けた場合には、配向膜材料塗膜の平坦性が低下することが判った。また、約３０℃以上の熱風を吹付けた配向膜材料塗膜の平坦性は、図１０に示すように熱風の温度に対応して変化することが判った。すなわち、熱風温度が高いほど、配向膜材料溶液の流動性が高くなるため、平坦性が向上することが判った。
【００７１】
配向膜溶液の溶剤は一般的に混合溶剤であり、乾燥時には溶剤成分比が変化する。このとき、時間とともに配向膜高分子と溶剤との親和性の変化及び配向膜の濃度の増加による流動性の低下が起き、最表面の配向膜高分子構造が決定される。例えば、配向膜との親和性が若干劣る溶剤が濃縮されて分子が収縮し、この結果、プレチルト角を発現する要素である高分子側鎖の表面濃度が低下してプレチルト角が低下する。そこで、各温度の熱風による乾燥処理を経たガラス基板でそれぞれ液晶セルを作製し、そのプレチルト角を測定した。この結果、図１１に示すように熱風温度が高くなるほどプレチルト角が低下することが確認された。そして、約１００℃以上の熱風による乾燥では、適切なプレチルト角を得ることが困難であることが確認された。
【００７２】
以上の結果より、本実施例では、ノズルから供給する熱風の最適温度の範囲として約３０℃〜１００℃を採用することとした。
【００７３】
（３）実験３
ホットプレートによる乾燥課程について詳細に説明すると、図１２（ａ）に断面図で示すようにガラス基板１上に塗布した溶液ＳＯが乾燥により膜厚が減少する。このとき、ガラス基板１の端部については溶液ＳＯの乾燥速度が大きいので、液膜の流れがガラス基板１の中央部から端部に向かうことにより、突起部ＰＲが発生する。なお、塗布された当初の配向膜材料塗膜の膜厚は１０００ｎｍ〜１５００ｎｍである。
【００７４】
その後、乾燥が進行し、図１２（ｂ）に示すように溶液ＳＯはガラス基板１の端部に膜厚が薄い部分が生じ、その中央部の膜厚が厚い部分との間に傾斜が生じる。さらに乾燥が進行し、図１２（ｃ）に示すように溶液ＳＯは膜厚が薄い部分が端部から中央部分に移動する。乾燥後は、図１２（ｄ）に示すように端部から中央部まで均一の膜厚となる。ただし、端部については上述の理由により突起部ＰＲが発生している。この場合、乾燥した配向膜材料塗膜は、均一な中央部では約６０ｎｍとなり、突起部ＰＲでは約１００ｎｍとなる。
【００７５】
この配向膜材料塗膜は、乾燥後に焼成されて配向膜が形成されるが、配向膜の膜厚も同様に中央部で約６０ｎｍであり、突起部ＰＲでは約１００ｎｍである。このようにホットプレートによる乾燥では、乾燥を開始する位置がガラス基板１の端部に固定されており、乾燥開始位置を自由に変更できるものではない。
【００７６】
なお、上述したホットプレートによる乾燥の場合、ガラス基板１上に塗布した溶液ＳＯが乾燥により膜厚が減少するメカニズムは、図１３（ａ）に拡大断面図で示すようにガラス基板１上に溶液ＳＯが塗布された膜表面は飽和蒸気圧にあり、中央部では気流が弱いので、実線の矢印で示す方向でその大きさを示すように蒸発速度が中央部では端部よりも小さい。このために端部の蒸発を補うために太線の矢印で示す方向に液膜が中央部から端部へ向かって移動する。この結果、図１３（ｂ）に示すように端部（特に辺部より角部）は表面積が大となり、中央部における溶液ＳＯの蒸発速度が大となる。この結果、図１３（ｃ）に示すように端部に突起部ＰＲを有し、中央部で膜厚がほぼ均一な配向膜ＯＲが形成されると考えられている。
【００７７】
これに対して本実施例に係わる熱風乾燥装置を用いた熱風乾燥処理の場合では、図１４（ａ）に断面図で示すようにガラス基板１上に塗布した溶液ＳＯは、均等に蒸発し、端部には突起部が生じ難い。ただし、図１４（ｂ）に示すようにノズルとの位置により乾燥速度が大となる部分があり、その部分に突起部ＰＲが生じるが、ガラス基板１が移動しているので、突起部ＰＲもこれに伴なって移動する。このために干渉縞が発生する位置もランダムになる。このように熱風乾燥の場合では、溶液ＳＯの乾燥速度が大の部分をランダムに発生させることで、突起部ＰＲの発生を減少させている。これによって図１４（ｃ）に示すように溶液ＳＯの膜厚は均等に減少し、乾燥後は、図１４（ｄ）に示すように端部から中央部まで全体がほぼ均一の膜厚となり、乾燥が完了する。
【００７８】
なお、上述した熱風乾燥の場合、ガラス基板１上に塗布した溶液ＳＯが乾燥により膜厚が減少するメカニズムは、図１５（ａ）に拡大断面図で示すようにガラス基板１上に溶液ＳＯが塗布された膜表面は常に換気され、実線の矢印で示す方向でその大きさを示すように溶液ＳＯの蒸発速度が端部と中央部とで一定であるので、蒸発速度は面内で略均一となる。このために液膜が中央部から端部に移動する量が減少し、溶液ＳＯが均等に蒸発し、図１５（ｂ）に示すように端部には突起部が生じ難くなり、端部及び中央部で膜厚がほぼ均一な配向膜ＯＲが形成されると考えられている。
【００７９】
以上の説明から、ホットプレート乾燥と熱風乾燥とによる端部の形状を対比すると、図１６に示すように本実施例に係わる熱風乾燥装置による熱風乾燥ＨＡでは、配向膜の端部に形成される突起部の高さ方向の寸法がホットプレート乾燥ＨＰのそれの約１／３程度となり、配向膜の中央部と略均一な膜厚が得られることが判った。
【００８０】
図１７は、ガラス基板１上に形成された配向膜ＯＲの形状を説明する図であり、図１７（ａ）は平面図である。図１７（ａ）において、ＯＲは配向膜を、ＣＥは配向膜ＯＲの中心部を、ＥＤは配向膜ＯＲの端部を、ＣＯは配向膜ＯＲの角部をそれぞれ示している。また、図１７（ｂ）は図１７（ａ）の端部ＥＤの拡大断面図を、図１７（ｃ）は図１７（ａ）の角部ＣＯの拡大断面図をそれぞれ示している。
【００８１】
図１７において、配向膜ＯＲを形成する溶液の粘度（粘性率）が低い場合及び溶媒の割合が多い場合には、特に端部ＥＤへの液膜の移動量が大となり、端部ＥＤの突起部が大となる問題点が見出された。このために本実施例に係わる熱風乾燥では、図１７（ｂ），（ｃ）に示すように端部ＥＤ及び角部ＣＯに形成される突起部ＰＲの発生を防止またはその形状を小さくすることができ、溶液の粘度が低い場合及び溶媒の割合が多い場合には、特に有効である。
【００８２】
また、図１７（ａ）に示す角部ＣＯは、端部ＥＤに比べて蒸発速度が大となるため、図１７（ｃ）に示すように端部ＥＤよりも突起部ＰＲが大きくなる。このため、熱風乾燥を用いた場合でも角部ＣＯには突起部ＰＲが残る場合もある。さらに、溶液の粘度が低い場合では、特に角部ＣＯに塗布された溶液は中心部ＣＥに向かい後退（縮退）することが見出された。このため、図１８（ａ），（ｂ）に示すように角部ＣＯには、所謂丸み（面取り）が生じる場合がある。ここで、溶液の粘性率が約２５ｃｐ以下の場合、特に８〜１２ｃｐの場合には、角部ＣＯに生じる丸みの半径ｒは、０．１ｍｍ〜１ｍｍの間となる。
【００８３】
配向膜ＯＲの形成後には、この配向膜ＯＲ上にはシール材ＳＥが塗布形成されるが、この場合、配向膜ＯＲの角部ＣＯには、図１８（ｂ）に示すように配向膜ＯＲの端部ＥＤの丸みに沿うようにシール材ＳＥを塗布し、配向膜ＯＲと一部重なるようにシール材ＳＥが塗布される。このとき、シール材ＳＥの内側（液晶組成物側）の丸み半径を配向膜ＯＲの角部ＣＯの半径ｒよりも小さくして液晶組成物が形成される領域の丸みを小さくすることができる。
【００８４】
図１９は、（ａ），（ｂ）は、図１８に示す角部ＣＯに配向膜ＯＲが形成されているガラス基板１上にカラーフィルタ基板ＣＦＰを重ね合わせた状態を示す平面図である。図１９において、カラーフィルタＣＦＲには、遮光膜としてブラックマトリクス（ブラックマスクとも言う）ＢＭが設けられている。また、このブラックマトリクスＢＭには開口ＯＰが設けられており、一般にこの開口ＯＰにはＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）各色を透過するカラーフィルタが設けられている。このＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３ドットで１画素が構成されているとすると、開口ＯＰは１ドットを構成することになる。
【００８５】
シール材ＳＥが設けられている部分には、液晶組成物が存在しないので、表示に寄与することがなく、一般に図１９（ａ）に示すようにシール材ＳＥにかからないように開口ＯＰが設けられる。しかし、この場合、ブラックマトリクスＢＭの枠の幅Ｗ１が広くなるという問題が生じる。このため、図１９（ｂ）に示すように丸みが生じた角部ＣＯに開口ＯＰが一部重なるようにブラックマトリクスＢＭを設け、幅Ｗ２が狭くなるようにする。この場合、角部ＣＯに丸みによる影ＳＨが生じ、表示品質が損なわれることになる。
【００８６】
ここで、図１８（ｂ）に示したようにシール材ＳＥで配向膜ＯＲの角部ＣＯを覆うことで図１９（ｂ）に示すように開口ＯＰと重なる丸みをシール材ＳＥにより形成される丸みとすることにより、角部ＣＯの丸みの半径を小さくすることができ、これによって開口ＯＰに生じる影ＳＨを減少させることが可能となる。
【００８７】
さらに、同様に図２０（ａ），（ｂ）に示すように配向膜ＯＲの角部ＣＯには、中心部ＣＥから外部に向かい、平面的な突出部ＰＲ１を形成する。または、配向膜材料塗膜を平面的な突出部ＰＲ１を形成するように塗布し、その後、乾燥，焼成により角部ＣＯがほぼ直角に近くなるような突出部ＰＲ１を形成しても良い。このとき、本実施例に係わる熱風乾燥処理を用いることにより、蒸発速度を局所的に変化させることができるので、角部ＣＯの蒸発速度を他の部分と異ならせ、丸みを減少させることができる。このため、前述したノズルは角部ＣＯに吹付けられる熱風量及びその温度を制御可能に形成される。なお、丸みを減少させるように熱風量及びその温度を制御すると、断面方向の突起部が増加することになる。
【００８８】
また、図２０（ｂ）に示すように配向膜ＯＲと一部重なるようにシール材ＳＥを塗布して液晶組成物が存在する領域の丸みが減少するようにしている。なお、図２０（ｂ）では配向膜ＯＲの端部ＥＤを点線で示している。また、図が複雑になることを避け、開口ＯＰが形成される位置についても点線で示した。このようにシール材ＳＥにより配向膜ＯＲの角部ＣＯの形状と、この角部ＣＯに隣接するブラックマトリクスＢＭの開口ＯＰの角部の形状とを近づけることが可能となる。
【００８９】
本実施例に係わる熱風乾燥処理では、配向膜材料塗膜が均一な膜厚に形成されるので、この配向膜材料塗膜の表面には転写ローラの凹凸部が残る場合がある。図２１（ａ）に概略斜視図で示すように転写ローラＲＯの表面には突起ＲＯ１が設けられており、この突起ＲＯ１は配向膜材料溶液が転写ローラＲＯに保持され易くするために設けられている。このために図２１（ｂ）に示すように配向膜材料塗膜を焼成した配向膜ＯＲにも同様の凹凸ＯＲ１が形成されることになる。
【００９０】
なお、前述した実施例においては、基板支持ピンによりガラス基板をベースプレートから浮かす構成とした場合について説明したが、基板支持ピン以外の支持部材でガラス基板をベースプレートから浮かせるように構成しても良い。例えば、ガラス基板に線接触する凸部をベースプレートに形成してガラス基板を浮かすように構成にしても良い。
【００９１】
また、前述した熱風乾燥装置においては、熱風流形成手段（ノズル）に対してべースプレートを往復移動させるように構成した場合について説明したが、ベースプレートに対してノズルに揺動装置を連結させ、このノズルを往復移動させるように構成しても良い。さらにはノズル及びベースプレートの双方を相対的に往復移動させるように構成しても良い。
【００９２】
また、前述した熱風乾燥装置においては、チャンバ２の内部に大気を供給する給気ブロワ３及びチャンバ２の内部の不要熱風を排気する排気ブロワ２５を設けた場合について説明したが、給気ブロワ３及び排気ブロワ２５にそれぞれインバータを設け、大気の供給量と排気量とのバランスを取ることでチャンバ２内から熱風漏れによる周囲の影響及びチャンバ２内への外気の流入による乾燥不良を防止することができる。
【００９３】
また、ガラス基板１をチャンバ２内に搬入する際に熱風を乾燥処理中と同量に供給されると、ノズル１１の直下の部分のみが先に乾燥が進行してしまう。これを防止するためにガラス基板１の搬入時には上述したインバータによる給気ブロワ３及び排気ブロワ２５のモータ回転数の制御及び三方弁６の切り換えによる熱風の供給量を低下（停止）させることにより、ノズル１１の直下の先行乾燥を防止することができる。また、待機時の基板支持ピン１４の温度上昇による乾燥むらの発生を防止できる。
【００９４】
また、前述した熱風乾燥装置においては、チャンバ２の内部に熱風の舞い上がりを吸引する上面排気溝１３ａ，１３ｂ及びガラス基板１に当った熱風を吸引する側面排気溝１６ａ，１６ｂ並びにチャンバ２内部の全体に淀む不要熱風を吸引する下面排気溝１７の３種類の排気システムを設けた場合について説明したが、これらの溝１３ａ，１３ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７にそれぞれスリットまたはパンチングを設け、その開口面積を調節することにより、流量及び流速を調整することでチャンバ２内の気流を制御し、効率的な乾燥及び異物の低減を図ることができる。
【００９５】
また、前述した熱風乾燥装置においては、ベースプレート１２に立設される複数の基板支持ピン１４は、ベースプレート１２上に固定されている場合について説明したが、このベースプレート１２にガラス基板１の搬入出時及び乾燥処理時に基板支持ピン１４の高さを変更可能なアクチュエータを設け、ガラス基板１の搬入出時の許容範囲大，品種及び寸法等によりノズル１１からの距離の変更が必要な場合にその対応が可能となる。
【００９６】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明による液晶表示装置によれば、ガラス基板上に形成した配向膜材料塗膜の乾燥むら及び配向膜の膜厚のばらつきの発生などがなくなるので、配向膜表面における液晶分子の配列に悪影響を及ぼすことが皆無となるので、良好な表示特性を有する液晶表示装置が得られるという極めて優れた効果を有する。
【００９７】
また、本発明による液晶表示装置によれば、ガラス基板内の温度分布のばらつき及び静電気帯電による撓みの発生によるガラス基板の割れなどの発生が皆無となるので、液晶表示装置の歩留まりの向上させ、延いては生産性を大幅に向上させることができるなどの極めて優れた効果を有する。
【００９８】
また、本発明による液晶表示装置によれば、ガラス基板上に形成された配向膜の角部と重なってシール材を形成することによってシール材の内側（液晶組成物側）の丸みの半径を配向膜角部の丸みの半径よりも小さくして液晶組成物が形成される領域の丸みを小さくすることができるという極めて優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による液晶表示装置の一実施例による構成を説明する前提手段として用いられる熱風乾燥装置の構成を示すシステム図である。
【図２】図１に示すチャンバ内に収容されている熱風供給手段周辺部の構成を示す斜視図である。
【図３】ガラス基板の支持材料が基板温度分布に与える影響を調べるための実験設備の概略斜視図である。
【図４】本発明に係わる熱風乾燥装置が搭載されるレベリング装置の構成を示す図である。
【図５】本発明に係わる熱風乾燥装置による熱風乾燥のメカニズムを説明する模式図である。
【図６】本発明に係わる熱風乾燥装置により熱風乾燥処理されたガラス基板の面内温度分布を説明する図である。
【図７】熱風乾燥処理を最適化するための実験設備の概略斜視図である。
【図８】乾燥方式ごとに乾燥時間とプレチルト角との関係を示す図である。
【図９】配向膜形成材料溶液中における高分子の広がりを概念的に示す図である。
【図１０】本発明に係わる熱風乾燥装置のチャンバ内の温度と仮乾燥後の塗膜の表面粗さとの関係を示す図である。
【図１１】熱風の温度とプレチルト角度との関係を示す図である。
【図１２】ホットプレートによる配向膜形成材料溶液の乾燥課程を説明する断面図である。
【図１３】図１２に示す配向膜形成材料溶液の乾燥のメカニズムを説明する塗布膜の端部の拡大断面図である。
【図１４】本発明による液晶表示装置の一実施例による構成を説明するための熱風乾燥装置により形成された配向膜形成材料溶液の乾燥課程を説明する断面図である。
【図１５】図１４に示す配向膜形成材料溶液の乾燥のメカニズムを説明する塗布膜の端部の拡大断面図である。
【図１６】ホットプレート乾燥と本発明に係わる熱風乾燥装置の熱風乾燥とによる塗膜端部の形状を比較する図である。
【図１７】ガラス基板上に形成された配向膜の形状を示す図である。
【図１８】ガラス基板に形成された配向膜上にシール材が塗布された状態を示す平面図である。
【図１９】図１８に示すシール材上にカラーフィルタ基板が重ね合わせた状態を示す平面図である。
【図２０】ガラス基板の角部における配向膜の退縮防止構造を説明する平面図である。
【図２１】配向膜材料を塗布する転写ローラ及びこの転写ローラにより塗布された塗膜の熱風乾燥により形成された配向膜の形状を示す斜視図である。
【図２２】従来のホットプレートによる乾燥装置の構成を示す概略断面図である。
【図２３】従来のホットプレートによる乾燥装置の構成を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１  ガラス基板
２  背面パネル
３  給気ブロア
４  ヒータ
５  ヘパフィルタ
６  三方弁
７  分岐弁
８  ６分岐管
９ａ  ダンパ
９ｂ  ダンパ
１０  均熱容器
１１  ノズル
１１ａ  スリットノズル
１２  ベースプレート
１３ａ  上面排気溝
１３ｂ  上面排気溝
１４  支持ピン
１５  搬送アーム
１６ａ  側面排気溝
１６ｂ  側面排気溝
１７  下面排気溝
１８  揺動装置
１８ａ  揺動体本体
１８ｂ  モータ
１８ｃ  ボールネジ
１９  排気装置
２０ａ  ダンパ
２０ｂ  ダンパ
２１ａ  ダンパ
２１ｂ  ダンパ
２２ａ  ダンパ
２２ｂ  ダンパ
２３  ダンパ
２４  三方弁
２５  排気ブロワ
３０  配向膜材料塗膜
３０Ａ  形成領域の反対側の領域の一部３０Ａ
ＳＯ  溶液
ＰＲ  突起部
ＯＲ  配向膜
ＥＤ  配向膜端部
ＣＯ  配向膜角部
ＣＥ  配向膜中心部
ＳＥ  シール材
ＯＰ  開口
ＰＲ１  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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