(57)【要約】【課題】ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの検出速度を向上させること。【解決手段】この液滴吐出ノズルの検査方法及び検出装置は、液滴吐出ノズルが液滴を吐出するタイミングに応じて液滴のサンプリングを開始する（ステップＳ１０３、ステップＳ１０４）。サンプリングデータの解析（ステップＳ１０７）においては、サンプリングしたデータに、ドット抜けに対応する連続したＬ信号が存在するか否かを調べることにより、ドット抜けが存在すると判定できる。ドット抜けが存在する場合は（ステップＳ１０８：Ｙｅｓ）、ドット抜けフラグＦＦをＯＮにする（ステップＳ１０９）。ドット抜けが存在する場合は（ステップＳ１０８：Ｎｏ）、両端の液滴吐出ノズルにドット抜けが存在するか否かを判定し（ステップＳ１１１）、ドット抜けが存在する場合には、ドット抜けフラグＦＦをＯＮにする（ステップＳ１１２）。【選択図】      図４
2004345209.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
を含むことを特徴とする液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項２】
いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項３】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更するドット抜け判定対象変更工程と、を含み、
複数の前記液滴吐出ヘッドすべてに対してドット抜けの有無を検出することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項４】
前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドに対してのみ前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項５】
前記ドット抜けに対応する基準値は、液滴吐出ノズル間の移動に対応する基準値以上のことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項６】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項７】
いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃する手順を実行することを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項８】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更するドット抜け判定対象変更手順と、
をコンピュータに実行させることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドすべてに対してドット抜けの有無を検出することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項９】
前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドに対してのみ前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項１０】
前記ドット抜けに対応する基準値は、液滴吐出ノズル間の移動に対応する基準値以上のことを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載の液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項１１】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、
前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、
所定のサンプリングレートで前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を取得する信号取得手段と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定し、
ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定するドット抜け判定部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１２】
前記ドット抜け判定部は、いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃する信号を発することを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１３】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、
前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、
所定のサンプリングレートで前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を取得する信号取得手段と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定し、
ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更することにより、すべての前記液滴吐出ヘッドに対してドット抜けを検出するドット抜け判定部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１４】
前記ドット抜け判定部は、前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルのみを清掃する信号を発することを特徴とする請求項１３に記載の液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１５】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の液滴吐出ノズルの検査装置と、
を有することを特徴とするインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液滴吐出法における液滴吐出ノズルのドット抜け検出に関し、さらに詳しくは、ドット抜け検出の速度を向上させることを達成できる液滴吐出ノズルの検査方法、液滴吐出ノズルの検査プログラム、及び液滴吐出ノズルの検査装置、並びにインクジェット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット法に代表される液滴吐出法は、液滴吐出ノズルから吐出させた液滴を、対象物の任意の場所に付着させることができるので、液滴としてインクを用いて画像を形成する印刷用途に広く用いられている。また、この他にも、近年においては、カラーフィルタ材料やオーバーコート材料等を基板上に塗布して液晶パネル等の電気光学パネルのカラーフィルタ基板や素子基板を製造する用途にも応用されてきている。
【０００３】
液滴吐出法では、液滴吐出ノズルから液滴を吐出させるので、液滴吐出ノズルの目詰まりが発生すると、印刷用途においては画像内にドットの抜けが生じ、画質を劣化させてしまう。また、液晶パネル電気光学パネルにおいては、カラーフィルタやオーバーコートの欠陥等によって、画素欠陥や表示ムラといった問題が発生する。このため、液滴吐出法においては、液滴が吐出されない液滴吐出ノズルを検知して、吸引・清掃によって液滴吐出ノズルの目詰まりを防止する必要がある。このような液滴吐出の有無を検知するものとしては、例えば特許文献１に、第１の液滴を検出したパルスの終わりから第２の液滴を検出したパルスまでの時間で、液滴吐出の有無を判定する印刷装置が開示されている。
【０００４】
この印刷装置によれば、第１の液滴を検出したパルスの終わりから第２の液滴を検出したパルスまでの時間が第１の基準値よりも少ない場合、第１と第２の液滴は、同じ液滴吐出ノズルから吐出されたものと判定される。前記時間が第１の基準値よりも大きく、第２の基準値よりも小さい場合には、第１と第２の液滴は異なる液滴吐出ノズルから吐出されたと判断される。これによって、２個の液滴吐出ノズルから液滴が吐出されていると判断できるので、正常に吐出している液滴吐出ノズルの数を計数できる。そして、前記時間が第２の基準値よりも大きくなった場合には、第１と第２の液滴の間には、少なくとも１以上の不吐出液滴吐出ノズルがあると判断される。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２００２−１９２７４０号公報  Ｐ５〜Ｐ１２、図８〜図１０
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この印刷装置では、最初に検出した液滴の信号が、液滴吐出ノズル列の端における液滴吐出ノズルから吐出されたものかどうかまでは判定できないので、端の液滴吐出ノズルから液滴が吐出されたか否かの確認をする必要がある。このため、端の液滴吐出ノズルのみを吐出して、ドット抜けを検出している。このように、全液滴吐出ノズルの吐出に加え、端の液滴吐出ノズルを改めて吐出させなければならないので、不吐出液滴吐出ノズルの検出には時間を要し、また、余分な液体を吐出することになる。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ドット抜け検出の速度を向上させることを達成できる液滴吐出ノズルの検査方法、液滴吐出ノズルの検査プログラム、及び液滴吐出ノズルの検査装置、並びにインクジェット装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得工程と、前記液滴吐出ノズルが吐出する液滴１滴あたりの前記液滴検出信号と前記液滴非検出信号とを分離する信号分離工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得手順と、前記液滴吐出ノズルが吐出する液滴１滴あたりの前記液滴検出信号と前記液滴非検出信号とを分離する信号分離手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１０】
このような構成により、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。また、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液体の無駄な消費を抑えることにより、製品のコスト増加を抑制できる。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムによれば、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１２】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、上記次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法において、いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする。
【００１３】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、上記次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムにおいて、いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃する手順を実行することを特徴とする。
【００１４】
このようにすれば、すべての液滴吐出ノズルに対してドット抜けを判定する必要がないので、処理時間を短縮することにより、生産性を向上させることができる。
【００１５】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更するドット抜け判定対象変更工程と、を含み、複数の前記液滴吐出ヘッドすべてに対してドット抜けの有無を検出することを特徴とする。
【００１６】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴検出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非検出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得する信号取得手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定する第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、当該第１のドット抜け液滴吐出ノズル判定工程において、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定する第２のドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更するドット抜け判定対象変更手順と、をコンピュータに実行させることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドすべてに対してドット抜けの有無を検出することを特徴とする。
【００１７】
このような構成により、複数の液滴吐出ヘッドに対して、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。また、複数の液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液体の無駄な消費を抑えることにより、製品のコスト増加を抑制できる。
【００１８】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、上記液滴吐出ノズルの検査方法において、前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドに対してのみ前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする。
【００１９】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、上記液滴吐出ノズルの液滴吐出ノズルの検査プログラムにおいて、前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドに対してのみ前記液滴吐出ノズルを清掃することを特徴とする。
【００２０】
これらの発明においては、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドのみに対して液滴吐出ノズルの吸引等による清掃を実行するので、清掃に起因する吐出液の消費を必要最小限に抑えることができる。これにより、例えば液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液晶の無駄な消費を抑えることができるので、製品のコスト上昇を抑えることができる。
【００２１】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法又は液滴吐出ノズルの検査プログラムは、上記液滴吐出ノズルの検査方法又は液滴吐出ノズルの検査プログラムにおいて、前記ドット抜けに対応する基準値は、液滴吐出ノズル間の移動に対応する基準値以上のことを特徴とする。これによって、より確実にドット抜けを検出することができる。
【００２２】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、所定のサンプリングレートで前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を取得する信号取得手段と、前記信号取得手段によって取得した、前記液滴吐出ノズルが吐出する液滴１滴あたりの前記液滴検出信号と前記液滴非検出信号とを分離し、さらに、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定し、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定するドット抜け判定部と、を有することを特徴とする。
【００２３】
このような構成により、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。また、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液体の無駄な消費を抑えることにより、コストダウンに寄与する。
【００２４】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、上記液滴吐出ノズルの検査装置において、前記ドット抜け判定部は、いずれかの前記液滴吐出ノズルにドット抜けが発生した場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの判定を中断して、前記液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルを清掃する信号を発することを特徴とする。このような構成により、すべての液滴吐出ノズルに対してドット抜けを判定する必要がなくなるので、処理時間を短縮して生産性を向上させることができる。
【００２５】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、所定のサンプリングレートで前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を取得する信号取得手段と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、ドット抜けが発生していると判定し、ドット抜けが発生していないと判定された場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値と、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数との差を求め、両者の差が予め定められたドット抜けに対応する基準値以上の場合には、検査対象の液滴吐出ヘッドが備える液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定し、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値以上の場合には、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出対象を次の液滴吐出ヘッドに変更することにより、すべての前記液滴吐出ヘッドに対してドット抜けを検出するドット抜け判定部と、を有することを特徴とする。
【００２６】
このような構成により、複数の液滴吐出ヘッドに対しても、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。また、複数の液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、吐出液の無駄な消費を抑えることにより、コストダウンに寄与する。
【００２７】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、上記液滴吐出ノズルの検査装置において、前記ドット抜け判定部は、前記複数の液滴吐出ヘッドのうち少なくとも１つにドット抜けが発生している場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルのみを清掃する信号を発することを特徴とする。
【００２８】
この発明においては、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドのみに対して液滴吐出ノズルの吸引等による清掃を実行するので、清掃に起因する吐出液の消費を必要最小限に抑えることができる。これにより、例えば液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液晶の無駄な消費を抑えることができるので、製品のコスト上昇を抑えることができる。
【００２９】
また、次の発明に係るインクジェット装置は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを備えたインクジェットヘッドと、上記液滴吐出ノズルの検査装置とを有することを特徴とする。
【００３０】
このインクジェット装置は、上記液滴検出液滴吐出ノズルの検査装置を有するので、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できる。これにより、ドット抜け検出に要する時間を短縮して、電気光学パネルや印刷物等の生産性を向上させることができる。また、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを確実に検知できるので、このインクジェット装置で製造する電気光学パネルや印刷物等の不良を低減できる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。以下の説明では、液滴吐出ヘッドとして、複数の液滴吐出ノズルを持つインクジェットヘッドを例にとって説明する。なお、本発明は、工業用インクジェット、印刷に用いるインクジェットプリンタ等といったインクジェットのみならず、液滴を吐出する液滴吐出ノズルを複数個有する液滴吐出方式全般に対して適用できる。
【００３２】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係る液滴吐出ノズルの検査装置を示す説明図である。この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法及び検出装置は、次の点に特徴がある。すなわち、ドット抜けに相当する基準の基準値よりも大きな液滴非検出信号が存在する場合には、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルが存在すると判定する。ドット抜けに相当する基準の基準値よりも大きな液滴非検出信号が存在しない場合には、液滴吐出ヘッドが備える全液滴吐出ノズルに対する液滴吐出に関する基準値と実測による液滴吐出に関する値とを比較して、両端液滴吐出ノズルのドット抜けを判定する。なお、実施の形態１では、液滴吐出ヘッド１を複数有する場合における液滴吐出ノズルの検査方法及び検出装置を説明するが、液滴吐出ヘッド１が単数である場合であっても、液滴吐出ヘッド１が複数ある場合と略同様に本発明を適用できる。液滴吐出ヘッド１が単数である場合については実施の形態２で説明する。
【００３３】
まず、図１を用いて、この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査装置の構成を説明する。この液滴吐出ノズルの検査装置１００は、液滴検出部３０と、ドット抜け判定部２０とを有しており、インクジェット装置２００の近傍に配置される。インクジェット装置２００の液滴吐出ヘッド１は、キャリッジ４に取り付けられており、図１のＸ方向に移動する。
【００３４】
図１（ｂ）に示すように、この液滴吐出ヘッド１では、液滴吐出ノズル１０はＸ方向と平行に配列されている。そして、カラーフィルタ基板や素子基板、あるいは印刷用紙その他の液滴吐出対象物Ｅに対してカラーフィルタ材料やインク等を吐出する場合には、液滴吐出ヘッド１を固定してステージ２をＹ方向に往復させる。ドット抜けの検出は、例えば所定の時間液滴を吐出した場合あるいは１枚の基板に対する吐出が終了した後に、ドット抜け検出モードに入るようにする。本実施の形態においては、ステージ２から離れたドット抜け検出領域Ａでドット抜け検知動作を実行する。
【００３５】
図２は、液滴検出部を示す説明図である。ドット抜け検出領域Ａには、液滴検出部３０が備えられている。この液滴検出部３０は、光源３２と、この光源３２から出射する検出光を受光して、その光量に応じた大きさの出力を発する受光部３１とを対向して配置されることにより構成されている。光源３２には、例えばレーザーや発光ダイオードを使用することができ、本実施の形態においてはレーザーを使用する。また、受光部３１には、通常用いられるフォトセンサその他の受光素子を使用することができる。
【００３６】
光源３２から出射する検出光３３は、受光部３１まで到達してここで検出される。液滴吐出ヘッド１のドット抜けを検出する際には、液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎから吐出した液滴１２が検出光３３を横切るように、液滴吐出ヘッド１を図のＸ方向に走査させる。受光部３１は、図２（ｂ）に示すように、受光部３１の計測領域を液滴１２が通過している場合には、液滴検出信号としてＨｉｇｈ（以下Ｈ）信号を出力する。そして、単に光源からの出射光を入力として受光している場合には、液滴非検出信号としてＬｏｗ（以下Ｌ）信号を出力する。これによって、液滴１２の吐出、不吐出を検出することができる。なお、受光部３１は、反対の入力−出力特性を持つものでも構わない。
【００３７】
図３は、この発明の実施の形態１に係るドット抜け判定部の構成を示す機能ブロック図である。ドット抜け判定部２０は、受光部出力検出部２２と、処理部２４と、記憶部２６とを含む構成である。受光部３１の出力Ｓは、まず受光部出力検出部２２に取り込まれ、Ａ／Ｄ変換される。処理部２４は、受光部出力検出部２２から所定のサンプリング周波数ｆで、受光部３１の出力Ｓをディジタル信号として取り込む。そして、この出力ＳのＨ信号とＬ信号との件数に基づいて、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数及び液滴吐出ノズルを判定する。記憶部２６は、処理部２４がデータ処理をしている間、必要に応じてデータを格納しておくために使用する。
【００３８】
なお、記憶部２６は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等のような読み出しのみが可能な記憶媒体、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。また、この処理部２４は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この処理部２４はメモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、処理部２４の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。また、このドット抜け判定部２０には、周辺機器として入力装置、表示装置などを接続し（いずれも図示省略）、これらの制御プログラムをメモリにロードして実行することにより前記周辺機器の機能を実現させるものであってもよい。さらに、ドット抜け判定部２０には、周辺機器として入力装置、表示装置など（いずれも図示省略）を接続してもよい。ここで、入力装置とはキーボード、マウス等の入力デバイスのことをいう。表示装置とはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）や液晶表示装置等のことをいう。次に、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法の手順について説明する。次の説明においては、必要に応じて図１〜図３を参照されたい。
【００３９】
図４は、この発明の実施の形態１に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャートである。まず、ドット抜け判定部２０の処理部２４から発信されるドット抜け検出指令によって、光源３２からレーザーの照射が開始する（ステップＳ１０１）。そして、処理部２４からの液滴吐出ヘッド移動指令によって、液滴吐出ヘッド１がドット抜け検出領域Ａへの移動を開始する（ステップＳ１０２）。次に、処理部２４からの液滴吐出命令によって、液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎから所定の吐出周波数で液滴を吐出させる（ステップＳ１０３）。これと同時に、処理部２４は、受光部３１からの出力Ｓのサンプリングを開始する（ステップＳ１０４）。なお、この例においては、液滴検出部３０に第１番目の液滴吐出ノズル１０１が到達するよりも前に、液滴１２の吐出を開始する。
【００４０】
処理部２４が、液滴吐出ヘッド１の全液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎに対する液滴吐出に関するデータを取得したら、サンプリングを終了して（ステップＳ１０５）、液滴吐出を終了する（ステップＳ１０６）。そして、処理部２４はサンプリングデータを解析して、ドット抜けが存在するか否かを判定する（ステップＳ１０７）。そして、ドット抜けが存在する場合には、ドット抜けフラグＦＦをＯＮにする。最初の液滴吐出ヘッド１１のドット抜けを判定したら、次の液滴吐出ヘッド１２に対して上記ステップＳ１０１〜ステップＳ１０７までの処理を実行することにより、前記液滴吐出ヘッド１２のドット抜けを判定する。これを複数の液滴吐出ヘッドすべてに対して繰り返すことにより、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドを特定する。ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドを特定したら、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドのみを選択して吸引・清掃する。このように、液滴吐出ヘッドが複数存在する場合には、まず、すべての液滴吐出ヘッドに対してドット抜けの有無を判定し、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドに対してのみ吸引・清掃を実行する。これにより、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出液の消費を抑制することができるので、液晶のように高価な吐出液を使用する場合には好ましい。
【００４１】
図５は、この発明の実施の形態１に係る液滴吐出ノズルのドット抜け判定方法を示す説明図である。この発明に係るドット抜け判定法方法は、まず、液滴検出部３０から検出されたＨ信号とＬ信号との件数に基づいて、ドット抜けの有無を判定する。本発明は、液滴吐出ノズルピッチＰが狭い場合（受光部３１における計測領域径Ｄの約２倍）に対しても有効である。一定のピッチをもつ液滴吐出ノズル列においては、図５（ａ）に示すように、ノズルピッチＰによっては同一の液滴吐出ノズルにおける吐出に相当する連続したＬ信号の数と、異なる液滴吐出ノズルにおける吐出に相当する連続したＬ信号の数とが同じ程度の場合がある。ここで、ドット抜けしている液滴吐出ノズルが存在する場合、それらとは顕著に異なる長さを持ったある程度の連続したＬ信号が必ず存在する。したがって、液滴検出部３０の情報をサンプリングしたデータに、ドット抜けに対応する連続したＬ信号が存在するか否かを調べることにより、液滴吐出ノズルのドット抜けが存在するか否かを判定できる（図５（ｂ））。
【００４２】
次に、液滴吐出ノズル列両端の液滴吐出ノズルが吐出しているか否かを判定する方法を説明する。上記判定方法では、ドット抜けしている液滴吐出ノズルが存在することまでは判定できるが、最初に検出する液滴１２が端部の液滴吐出ノズルから吐出されたものかどうかは判別できない。また、最初に検出する液滴１２が端部の液滴吐出ノズルから吐出されたものかどうかは判別できないので、ドット抜けが検出されなかった場合、すなわち、ドット抜けに相当する連続したＬ信号が検知されなかった場合には、端部の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していてもドット抜けが発生していないと判定される。このため、ドット抜けが検出されなかった場合には、液滴吐出ヘッド１の両端部における液滴吐出ノズル１０１と１０ｎとが吐出しているか否かを判定する。図５（ｃ）に示すように、全液滴吐出ノズルが正常に吐出する場合における１ヘッド分の全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数の基準値Ｎｂと、ドット抜け検査対象の液滴吐出ヘッドに備えられる全液滴吐出ノズルに対する全サンプリング件数Ｎｄとを比較する。そして、両者の差Ｎｂ−Ｎｄが１個のドット抜けに相当する連続したＬ信号の件数以上の場合であれば、液滴吐出ノズル列の両端における少なくとも一方の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定できる。
【００４３】
ここで、複数の液滴吐出ノズル列が一定の間隔をもって直線状に配列されている場合や、複数の液滴吐出ヘッドが存在する場合であっても、上記ドット抜け検出は同様に適用できる。複数液滴吐出ノズル列、複数液滴吐出ヘッドの場合でも、前液滴吐出ノズル列から次の液滴吐出ノズル列へ、前液滴吐出ヘッドから次の液滴吐出ヘッドへ移動する際には、それに相当するＬ信号の件数データを予めドット抜け判定部２０の記憶部２６に格納しておく。ただし、ドット抜け、液滴吐出ノズル列間移動、液滴吐出ヘッド間移動に対応する連続したＬ信号は、それぞれ異なる値とする必要がある。
【００４４】
次に、ドット抜けした液滴吐出ノズルの判定についてより具体的に説明する。表１、表２は、各液滴に対するＨ信号の件数とＬ信号の件数とを整理したものである。例えば、ドット抜けに対応する基準値としてドット抜けに相当する連続したＬ信号の件数を３００件とする。表１、２に示すように、Ｈ信号とＬ信号との合計は２５件となり、Ｈ信号が５件、Ｌ信号が２０件程度の比率で分かれる。ドット抜け判定部２０は、各液滴毎にＬ信号の件数をチェックし、３００件に近いデータ（第３滴目）、があれば、そこでドット抜けしている液滴吐出ノズルがあると判断できる。
【００４５】
【表１】
2004345209.tif 000003
【００４６】
【表２】
2004345209.tif 000004
【００４７】
次に、液滴吐出ヘッド間移動について説明する。液滴吐出ヘッド間移動も、ドット抜けの判定と同様である。液滴吐出ヘッド間移動に対応する基準値として、液滴吐出ヘッド間移動に相当するＬ信号の件数を例えば４００００件とする。なお、液滴吐出ヘッド間移動に相当するＬ信号の件数は、液滴吐出ノズルピッチＰ、受光部３１の計測領域径Ｄ、サンプリング周波数ｆ、受光部３１の感度、液滴吐出ヘッド１の移動速度ｖ等の条件によって変化する。
【００４８】
各液滴に対するＨ信号とＬ信号とのサンプリング結果が表２に示すようになった場合、第３００滴目の液滴から第３０１滴目の液滴までに４００００件のＬ信号が存在する。本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法では、液滴吐出ヘッド間移動に相当する連続するＬ信号が存在すれば、そこで液滴吐出ヘッド間の移動があったものと判断される。したがって、第３００滴目の液滴までは第１番目の液滴吐出ヘッド１１から吐出され、第３０１滴目からの液滴は第２番目の液滴吐出ヘッド１２から吐出されると判断する。なお、複数の液滴吐出ノズル列が直線状に配列される場合における液滴吐出ノズル列間の移動も、液滴吐出ヘッド間の移動と同様に処理する。
【００４９】
次に、両端液滴吐出ノズルのドット抜け判定について説明する。ドット抜け検出の判定において、ドット抜けしている液滴吐出ノズルが存在しないと判定されると、次に両端の液滴吐出ノズルのドット抜けを判定する。表２の結果では、第３００滴目の液滴が液滴吐出ヘッド１１から吐出される。第１滴目のＨ信号から第３００滴目のＨ信号までが１ヘッド分のサンプリング件数となる。１ヘッド分におけるＨ信号とＬ信号とのサンプリング件数の総和、すなわち上記基準値Ｎｂは、７４８０件となる。ここで、１ヘッド分の全サンプリング件数が７１８０件であったとすると、基準値Ｎｂよりも３００件少ない。ドット抜けに相当するＬ信号の件数は３００件なので、両端どちらか１つの液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判断する。次に、この発明の液滴吐出ノズルの検査方法におけるドット抜け判定手順の詳細を説明する。
【００５０】
図６は、この発明の実施の形態１に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャートである。この実施の形態においては、ドット抜け検出の条件として、液滴吐出の周波数Ｆを１０ｋＨｚ、受光部３１の出力Ｓを取得するサンプリング周波数ｆは２５０ｋＨｚ、液滴吐出ヘッド１の移動速度ｖは１００ｍｍ／ｓｅｃ．受光部３１の計測領域径Ｄは９０μｍ、液滴吐出ヘッド１の液滴吐出ノズルピッチＰは１００μｍ、液滴１２の直径ｄは２６μｍとする。また、複数の液滴吐出ヘッド１１、１２・・・１ｎのドット抜けを判定する例について説明する。
【００５１】
上記サンプリング周波数ｆと液滴吐出の周波数Ｆとの関係から、処理部２４は１個の液滴あたり２５件のサンプリングデータを取得することになる。液滴１２が受光部３１の計測領域を通過するとＨ信号が出力され、それ以外はＬ信号が出力されるので、Ｈ信号とＬ信号との合計が２５件ということになる。液滴１２の速度、及び受光部３１の感度にもよるが、上記条件においてはＨ信号が５件、Ｌ信号が２０件程度に分かれる。なお、液滴吐出時におけるＨ信号、Ｌ信号の件数、ドット抜けに相当するＬ信号の件数は、液滴吐出ノズルピッチＰ、受光部３１の計測領域径Ｄ、サンプリング周波数ｆ、受光部３１の感度、液滴吐出ヘッド１の移動速度ｖ等の条件によって変化する。
【００５２】
ドット抜け検出の前に、まず検査対象すべての液滴吐出ヘッドに関するドット抜けフラグＦＦをＯＦＦにする（ステップＳ２０１）。そして、取得したＨ信号とＬ信号とのサンプリングデータを、液滴１滴あたりのＨ信号とＬ信号とに分ける（ステップＳ２０２）。次に、連続するＬ信号の件数がヘッド間移動に相当する基準値よりも小さい場合には、（ステップＳ２０３：Ｎｏ）、ヘッド間移動はないので、ドット抜けの判定ステップへ移行する。各液滴のＬ信号データのうち、連続するＬ信号の件数がドット抜けに相当する基準値（ここでは３００件）以上の場合には（ステップＳ２０４：Ｙｅｓ）、いずれかの液滴吐出ノズルにドット抜けが存在すると判定し、現在の液滴吐出ヘッド１１のドット抜け数を１加える（ステップＳ２０５）。そして、現在ドット抜けを検出している液滴吐出ヘッド１１に対するドット抜けフラグＦＦをＯＮとする（ステップＳ２０６）。
【００５３】
ドット抜けフラグＦＦをＯＮにしたら、すべての液滴に対して上記判定を実行する（ステップＳ２１２：Ｎｏ）。すべての液滴に対して上記判定が終了したら（ステップＳ２１２：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド１１に対するドット抜け判定手順が終了する。ドット抜け判定部２０の処理部２４は、前記ドット抜けフラグＦＦのＯＮ状態を検知して、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドをクリーニングユニット６で吸引・清掃させて、ドット抜けを解消する。
【００５４】
なお、これまでのドット抜け判定においてドット抜けフラグＦＦがＯＮにされるということは、ここまでの段階で必ずドット抜けが存在することになる。したがって、次のドット抜け判定手順である液滴吐出ヘッド両端における液滴吐出ノズルのドット抜けを判定する必要はない。
【００５５】
連続するＬ信号の件数がヘッド間移動に相当する数よりも多い場合には、（ステップＳ２０３：Ｙｅｓ）、まず、現在ドット抜けを検出している液滴吐出ヘッドのドット抜けフラグＦＦがＯＮか否かを判定する（ステップＳ２０７）。当該ドット抜けフラグＦＦがＯＮである場合には（ステップＳ２０７：Ｙｅｓ）、判定対象の液滴吐出ヘッドを次の液滴吐出ヘッド１２へ変更する（ステップＳ２１１）。そして、次の液滴吐出ヘッド１２におけるすべての液滴に対してステップＳ２０３〜Ｓ２０６の手順を繰り返す（ステップＳ２１２：Ｎｏ）。すべての液滴に対して上記判定が終了したら（ステップＳ２１２：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド１２に対するドット抜け判定手順が終了する。
【００５６】
ドット抜けフラグＦＦがＯＦＦであるときには（ステップＳ２０７：Ｎｏ）、両端の液滴吐出ノズルにドット抜けが存在する可能性がある。この場合には、両端における液滴吐出ノズルのドット抜けを判定するために、ドット抜けの検出対象である液滴吐出ヘッド１１における全液滴吐出ノズルに対応するＬ信号の全サンプリング件数Ｎｄを計算する（ステップＳ２０８）。そして、１ヘッドにおける全液滴吐出ノズル分に対する全サンプリング件数の基準値Ｎｂと、前記全サンプリング件数Ｎｄとを比較する（ステップＳ２０９）。両者の差が１ドットの抜けに相当するＬ信号の件数以上の場合は（ステップＳ２０９：Ｙｅｓ）、ドット抜けを判定している現在の液滴吐出ヘッド１１に対してドット抜けフラグＦＦをＯＮにする（ステップＳ２１０）。そして、判定対象の液滴吐出ヘッドを次の液滴吐出ヘッド１２へ変更する（ステップＳ２１１）。
【００５７】
上記手順によって、液滴吐出ノズル列の中間部にドット抜けが存在しない場合でも両端のドット抜けを検出できるので、液滴吐出ノズルピッチＰが小さい場合であってもドット抜けを確実に検出することができる。また、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを検出できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。さらに、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液体の無駄な消費を抑えることができる。
【００５８】
ＮｂとＮｄとの差が１ドットの抜けに相当するＬ信号の件数よりも小さい場合は（ステップＳ２０９：Ｎｏ）、判定対象の液滴吐出ヘッドを次の液滴吐出ヘッド１２へ変更する（ステップＳ２１１）。そして、次の液滴吐出ヘッド１２におけるすべての液滴に対してステップＳ２０３〜Ｓ２０６の手順を繰り返す（ステップＳ２１２：Ｎｏ）。すべての液滴に対して上記判定が終了したら（ステップＳ２１２：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド１２に対するドット抜け判定手順が終了する。これらの手順をすべての液滴吐出ヘッドに対して繰り返すことにより、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドを特定することができる。
【００５９】
以上、実施の形態１に係る本発明によれば、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。これにより、インクジェット装置２００で製造する電気光学パネルや印刷物等の生産性を向上させることができる。また、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、吐出液の無駄な消費を抑えることにより製品のコスト増加を抑えることができる。さらに、一定のピッチをもつ液滴吐出ノズル列においてドット抜けしている液滴吐出ノズルが存在する場合、必ずある程度の連続したＬ信号が存在することを利用するので、液滴吐出ノズル間ピッチの小さい場合でも確実にドット抜けの存在を検知することができる。これにより、インクジェット装置で製造する電気光学パネルや印刷物等の不良を低減できる。
【００６０】
（実施の形態２）
図７は、この発明の実施の形態２に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャートである。実施の形態２に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、実施の形態１と略同様であるが、液滴吐出ヘッドが単独の場合に本発明を適用したものである。その他の構成は実施の形態１と同様なので、同一の構成に対しては同一の符号を付し、その説明を省略する。なお、以下の説明においては、必要に応じて図１〜図３を参照されたい。
【００６１】
図２に示すように、まず、ドット抜け判定部２０の処理部２４から発信されるドット抜け検出指令によって、光源３２からレーザーの照射が開始する（ステップＳ３０１）。そして、処理部２４からの液滴吐出ヘッド移動指令によって、液滴吐出ヘッド１がドット抜け検出領域Ａへの移動を開始する（ステップＳ３０２）。次に、処理部２４からの液滴吐出命令によって、液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎから所定の吐出周波数で液滴を吐出させる（ステップＳ３０３）。これと同時に、処理部２４は、受光部３１からの出力Ｓのサンプリングを開始する（ステップＳ３０４）。なお、実施の形態２においては、液滴検出部３０に第１番目の液滴吐出ノズル１０１が到達するよりも前に、液滴１２の吐出を開始する。また、実施の形態２は液滴吐出ヘッドが単独の場合なので、図２（ｄ）の液滴吐出ヘッド１２以下は存在しない。
【００６２】
処理部２４が、液滴吐出ヘッド１１の全液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎに対する液滴吐出に関するデータを取得したら、サンプリングを終了して（ステップＳ３０５）、液滴吐出を終了する（ステップＳ３０６）。そして、処理部２４はサンプリングデータを解析し、ドット抜けが存在するか否かを判定して（ステップＳ３０７）、ドット抜け判定が終了する。ドット抜けを検出した場合には、ドット抜けフラグＦＦがＯＮとなり、これに基づいてドット抜けが発生した液滴吐出ノズルを選択、あるいはその液滴吐出ノズルの近傍のエリアをクリーニングユニット６で吸引・清掃して、ドット抜けを解消する。次に、この発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法におけるドット抜け判定方法についてより詳細に説明する。
【００６３】
図８は、この発明の実施の形態２に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャートである。この実施の形態におけるドット抜け検出の条件は、実施の形態１における条件と同様である。ドット抜け検出の前に、まず検査対象である液滴吐出ヘッドに関するドット抜けフラグＦＦをＯＦＦにする（ステップＳ４０１）。そして、取得したＨ信号とＬ信号とのサンプリングデータを、液滴１滴あたりのＨ信号とＬ信号とに分ける（ステップＳ４０２）。次に、各液滴のＬ信号データのうち、連続するＬ信号の件数がドット抜けに相当する基準値（ここでは３００件）以上の場合には（ステップＳ４０３：Ｙｅｓ）、液滴吐出ノズルに１つ以上のドット抜けが存在すると判定する。そして、ドット抜けを検出している液滴吐出ヘッド１１に対するドット抜けフラグＦＦをＯＮにして（ステップＳ４０７）、ドット抜け判定手順が終了する。
【００６４】
各液滴のＬ信号データのうち、連続するＬ信号の件数がドット抜けに相当する基準値（ここでは３００件）よりも小さい場合には（ステップＳ４０３：Ｎｏ）、すべての液滴に対して上記判定を実行する（ステップＳ４０４：Ｎｏ）。すべての液滴に対して上記判定が終了したら（ステップＳ４０４：Ｙｅｓ）、両端の液滴吐出ノズルにドット抜けが存在するか否かを判定する。この場合には、ドット抜けの検出対象である液滴吐出ヘッド１１における全液滴吐出ノズルに対応するＬ信号の全サンプリング件数Ｎｄを計算する（ステップＳ４０５）。そして、液滴吐出ヘッド１個における全液滴吐出ノズル分に対する全サンプリング件数の基準値Ｎｂと、前記全サンプリング件数Ｎｄとを比較する（ステップＳ４０６）。両者の差が１ドットの抜けに相当するＬ信号の件数以上の場合は（ステップＳ４０６：Ｙｅｓ）、ドット抜けを判定している液滴吐出ヘッド１１の両端における液滴吐出ノズルに、少なくとも１つのドット抜けが発生している。したがって、この場合には、ドット抜けフラグＦＦをＯＮにする（ステップＳ４０７）。両者の差が１ドットの抜けに相当するＬ信号の件数よりも小さい場合は（ステップＳ４０６：Ｎｏ）ドット抜けは発生していないので、上記処理手順を終了させる。
【００６５】
ここで、前記ドット抜けフラグＦＦがＯＮであった場合には、ドット抜け判定部２０の処理部２４はこれを検知して、ドット抜けが発生している液滴吐出ヘッドをクリーニングユニット６で吸引・清掃させて、ドット抜けを解消する。なお、ドット抜けフラグＦＦがＯＮにされるということは、必ずドット抜けが存在することになるので、ドット抜けフラグＦＦをＯＮにした段階で、以降の液滴に対するドット抜けの判定を中止して、液滴吐出ノズルの清掃動作に移行する。このようにすれば、最後の液滴まで判定する必要はないので、処理時間を短縮できる。これにより、電気光学パネルや印刷物の生産性を向上させることができる。特に、ドット抜け判定手順を実行させるためのコンピュータプログラムの言語によっては、判定時間を要するものがあるので、途中で判定を中止すると有効である。
【００６６】
この手順によって、液滴吐出ノズル列の中間部にドット抜けが存在しない場合でも両端のドット抜けを検出できるので、液滴吐出ノズルピッチＰが小さい場合であってもドット抜けを確実に検出することができる。また、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを検出できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。さらに、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、吐出液の無駄な消費を抑えることができる。
【００６７】
以上、実施の形態２に係る本発明によれば、液滴吐出ヘッドが単独であっても、１回の走査で液滴吐出ヘッド全体の液滴吐出ノズルに対するドット抜けを判定できるので、ドット抜け検出に要する時間を短縮できる。これにより、インクジェット装置２００で製造する電気光学パネルや印刷物等の生産性を向上させることができる。また、液滴吐出ヘッド全体のドット抜けを１回の走査で検出できるので、吐出する液体の消費量も低減できる。その結果、液晶のように高価な液滴を吐出する場合には、液体の無駄な消費を抑えることにより製品のコスト増加を抑えることができる。さらに、一定のピッチをもつ液滴吐出ノズル列においてドット抜けしている液滴吐出ノズルが存在する場合、必ずある程度の連続したＬ信号が存在することを利用するので、液滴吐出ノズル間ピッチの小さい場合でも確実にドット抜けの存在を検知することができる。これにより、インクジェット装置で製造する電気光学パネルや印刷物等の不良を低減できる。
【００６８】
（本発明の適用対象）
この液滴吐出ノズルの検査方法等は、液滴吐出方式で、例えば電気光学パネルの素子基板やカラーフィルタ基板を製造する場合にも、その液滴吐出ノズルを検査するために適用できる。前記電気光学パネルとしては、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー電気光学パネルであっても同様である。また、パッシブマトリクス型の電気光学パネルのみならず、アクティブマトリクス型の電気光学パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に適用することができる。また、透過型又は反射型の電気光学パネルだけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電子光学装置においても本発明を同様に適用することができる。また、エレクトロルミネッセンス装置（有機、無機）においては、発光色を白色とし、装置の前面にカラーフィルタを配置することによりフルカラー表示を行うものに対しても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査装置を示す説明図。
【図２】液滴検出部を示す説明図。
【図３】この発明の実施の形態に係るドット抜け判定部の構成を示す機能ブロック図。
【図４】この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャート。
【図５】この発明に係る液滴吐出ノズルのドット抜け判定方法を示す説明図。
【図６】この発明の実施の形態に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャート。
【図７】この発明の実施の形態２に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャート。
【図８】この発明の実施の形態２に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャート。
【符号の説明】
１、１１、１２  液滴吐出ヘッド、  １０  液滴吐出ノズル、  １２  液滴、  ２０  判定部、  ２２  受光部出力検出部、  ２４  処理部、  ２６  記憶部、  ３０  液滴検出部、  ３１  受光部、  ３２  光源、  ３３  検出光、  １００液滴吐出ノズルの検査装置、  ２００  インクジェット装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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