(57)【要約】【課題】漏洩磁束による出力信号のデューティ比変化を最小限に留め、漏洩磁束が印加される使用環境下でも安定したセンサ出力を得ることができるようにする。【解決手段】回転側の軌道輪３２に、磁気特性をＮ，Ｓ交互に磁化させた被検出部１を設ける。この被検出部１に対向して固定側の軌道輪３２に磁気検出部２を設ける。磁気検出部２は円周方向に複数個並べて配置したアナログ出力の磁気センサ２ａ，２ｂからなる。隣接した２つの磁気センサ２ａ，２ｂの差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理する差動出力生成手段７を設ける。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ軌道輪となる内輪および外輪と、これら内外の軌道輪間に収容された複数の転動体を備えた転がり軸受に、回転体の回転速度を検出する回転センサ装置を内蔵した回転センサ付軸受であって、
上記回転センサ装置は、前記内外の軌道輪のうち、回転側の軌道輪に装着され磁気特性を円周方向にＮ，Ｓ交互に磁化させた被検出部と、この被検出部に対向して固定側の軌道輪に装着された磁気検出部とでなり、この磁気検出部は円周方向に複数個並べて配置したアナログ出力の磁気センサを有し、２つの磁気センサの差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理する差動出力生成手段を設けたことを特徴とする回転センサ付軸受。
【請求項２】
請求項１において、差動出力を取る２つの磁気センサは、被検出部のＮ，Ｓ交互に磁化させた繰り返し磁気位相における略１８０度の磁気位相差を持たせて配置した回転センサ付軸受。
【請求項３】
請求項１において、差動出力を取る２つの磁気センサは、固定側軌道輪の９０度以内の範囲に配設した回転センサ付軸受。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかにおいて、上記磁気検出部に用いられる磁気センサは、この回転センサ付軸受の使用環境による外部磁界が加わっても出力飽和しない程度の低感度のものとした回転センサ付軸受。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、差動出力を取る２つの磁気センサがそれぞれホール素子であり、これら２つのホール素子のうちの一方のホール素子の出力中点を基準電圧として、他方のホール素子の出力中点が上記基準電圧とほぼ同じ電圧になるように、他方のホール素子の電源電圧を制御する出力基準電圧揃え手段を設けた回転センサ付軸受
【請求項６】
ハウジングと、このハウジングに固定されたステータと、このステータに対向して配置され、回転軸に固定されるロータとを備え、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の回転センサ付軸受を前記回転軸の支持に用いたことを特徴とするモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は回転センサ付軸受に関し、特に汎用モータのように大きな磁界を発生する近傍で使用される回転センサ付軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８は従来の回転センサ付軸受の縦断面図である。図８において、回転センサ付軸受５１は、内輪５２、外輪５３、転動体５４、および保持器５５からなる転がり軸受で構成されており、回転側（例えば内輪５２側）に環状の磁気エンコーダ５６が固定されている。非回転側（例えば外輪５３側）には、ホール素子等からなる磁気センサ５７が上記磁気エンコーダ５６に対向して固定されている。磁気エンコーダ５６は、ゴム磁石等からなり、円周方向にＮ極とＳ極を交互に着磁したものである。磁気センサ５７は、樹脂ケース５８内に挿入された状態で樹脂モールドされ、この樹脂ケース５８は金属ケース５９を介して外輪５３に嵌着させることで、外輪５３に固定されている。
【０００３】
このように構成することにより、内輪５２の回転に伴い、磁気センサ５７が磁気エンコーダ５６の磁気変化を検出し、その検出信号は図９のようなインクリメンタルな回転パルス信号となる。この信号から内輪５２の回転数や回転方向を知ることができる。このような回転センサ付軸受は、小型でかつ組立調整が不要であり、さらに堅牢などの特徴を有しており、モータ支持軸受などに利用されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１７４２５８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、大きな磁界を発生するコイルや磁石の磁路内に図８に示した回転センサ付軸受を組込んだ場合、その外部磁界による漏洩磁束によって回転センサ付軸受５１の出力が誤動作する場合がある。
例えば、図１０に示すように、回転センサ付軸受をモータに組込んだ場合を例にして説明する。同図に示した例では、回転軸６２に組込まれたロータ６１は、フロント側軸受６４と回転センサを組込んだリア軸受６５によってハウジング６３に支持されており、ステータ６０はハウジング６３に固定されている。ステータ６０に大きな電流を流す場合には、磁束の流れを無視できなくなり、同図の矢印で示すようにロータ６１から回転軸６２、さらには内輪５２、外輪５３、ハウジング６３を介してステータ６０に戻る磁気ループが発生する。なお、電流の流れる向きが逆になれば磁気ループは反対向きになる。
この際、内輪５２と外輪５３との間では、転動体５４およびリテナ５５を除けば非磁性部分が支配的で磁気抵抗が大きくなるため、磁束が漏洩しやすくなり、この漏洩磁束は磁気センサ５７に影響を及ぼす。
【０００６】
磁気センサ５７としては、ホール素子と、このホール素子の出力信号をデジタル信号に変換するＩＣとで構成されるホールＩＣや、ＭＲ素子（磁気抵抗素子）などを用いる場合が一般的である。図１１はホールＩＣの内部構成例である。磁気を検出するホール素子７１の他に、増幅回路７２、シュミットトリガ回路７３、出力トランジスタ７４を有している。ホールＩＣには、磁界の強弱によってＯＮ，ＯＦＦするスイッチタイプと、磁石のＳ極とＮ極が交互に印加されてＯＮ，ＯＦＦが切り替わる交番磁界タイプの２種類があるが、回転センサとしては後者の交番磁界タイプを使用するのが一般的ある。ここでは図１１に示すホールＩＣを用いた場合を例にして漏洩磁束の影響を説明する。
【０００７】
漏洩磁束が無い場合は、図１２に示すように、磁気エンコーダ５６（図８）の回転に伴い、磁気センサ５７のホールＩＣには交番磁界が印加される。ホール素子のアナログ出力は、閾値を超えるごとにＯＮ，ＯＦＦを繰り返すパルス信号に変換され、その出力デューティ比（Ｔｐ／Ｔｎ）は約５０％になっている。
ここで、外部から漏洩磁束が加わると、図１３（ａ）に示すように磁気センサであるホールＩＣに印加される交番磁界は、漏洩磁束の向きにより上下にオフセットする。そのため、磁気センサであるホールＩＣの出力は同図（ｂ），（ｃ）のようにデューティ比が変化するようになる。また、そのオフセット量は漏洩磁束が強いほど大きくなり、出力パルスの欠落や、出力が完全に出なくなるなどの恐れがある。
【０００８】
この発明の目的は、磁気センサに流れる漏洩磁束の影響でエンコーダ信号が乱れることを少なくでき、安定したセンサ出力を得ることのできる回転センサ付軸受を提供することである。
この発明の他の目的は、モータ駆動のための磁束の影響にかかわらず、回転検出を正確に行えるモータを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明の回転センサ付軸受は、それぞれ軌道輪となる内輪および外輪と、これら内外の軌道輪間に収容された複数の転動体を備えた転がり軸受に、回転体の回転速度を検出する回転センサ装置を内蔵した回転センサ付軸受である。
上記回転センサ装置は、前記内外の軌道輪のうち、回転側の軌道輪に装着され磁気特性をＮ，Ｓ交互に磁化させた被検出部と、この被検出部に対向して固定側の軌道輪に装着された磁気検出部とでなる。この磁気検出部は、円周方向に複数個並べて配置したアナログ出力の磁気センサを有し、２つの磁気センサの差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理する差動出力生成手段を設けたものとする。上記エンコーダ信号は、例えば矩形波等のパルス信号である。上記２つの磁気センサは、例えば隣接して配置されたものである。上記２つの磁気センサと、その作動出力を処理する差動出力生成手段の組は、２組以上であっても良く、少なくとも１組以上備える。
この構成によると、上記差動出力生成手段により、２つの磁気センサの差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理するようにしたため、漏洩磁束が磁気センサに影響を与えても、出力信号となるエンコーダ信号への影響を最小限に留めることができる。例えば、エンコーダ信号のデューティ比が変化することを抑制し、誤動作を防止することが可能となる。そのため、外部漏洩磁束に対して強くすることができる。
【００１０】
差動出力を取る２つの磁気センサは、被検出部のＮ，Ｓ交互に磁化させた繰り返し磁気位相における略１８０度の磁気位相差を持たせて配置しても良い。略１８０度の磁気位相差で設置した場合は、差動出力の振幅は、差動出力生成手段のゲインが１であってもほぼ２倍に増幅されるため、感度が向上して漏洩磁束の影響を受け難くなる効果が期待できる。上記略１８０度の位相差は、３６０度を単位とする繰り返し周期における位相差であり、例えば５４０度等のように３６０度を超える位相差の場合は、３６０度で除算とた余りとなる位相差である。
【００１１】
また、差動出力を取る２つの磁気センサは、近接して配置することが好ましいが、接近して配置できない場合であっても、固定側軌道輪の９０度以内の範囲に配設することが好ましい。
２つの磁気センサの配置関係が９０度を超えている場合、漏洩磁束が磁気センサを貫通する方向が各磁気センサで異なることになり、磁気センサの出力オフセット方向がお互いに逆向きになる。そのため、出力信号の差を取ってもオフセットを完全にキャンセルできなくなり、エンコーダ信号のデューティ比変化が大きくなることが予想される。したがって９０度以内に配置することが好ましい。
【００１２】
さらに、磁気センサは、外部磁界が加わっても極力出力飽和しないように低感度で使用されるものとしてもよい。すなわち、上記磁気センサは、この回転センサ付軸受の使用環境による外部磁界が加わっても出力飽和しない程度の低感度のものとする。
磁気センサに加わる漏洩磁束が大きい環境下では、磁気センサの出力オフセット量が大きくなり、飽和状態になる場合も有り得る。この場合は、磁気センサ出力波形が潰れるため、デューティ比の変化が起こり、最悪の場合はパルスの欠損が発生する。このように強い漏洩磁束が働く環境下で使用する場合には、磁気センサの感度を低くして使用すれば良く、これにより飽和を抑えることが可能となる。
【００１３】
差動出力を取る２つの磁気センサがそれぞれホール素子である場合に、これら２つのホール素子のうちの一方のホール素子の出力中点を基準電圧として、他方のホール素子の出力中点が上記基準電圧とほぼ同じ電圧になるように、他方のホール素子の電源電圧を制御する出力基準電圧揃え手段を設けても良い。
磁気センサとしてホール素子を使用する場合、ホール素子に印加する電源電圧の約半分が出力基準電圧になる。この値は、素子によってバラツキがあり、また、感度などの特性値も微妙に異なるため、２つの素子の出力差を取っても漏洩磁束によるオフセットを完全に除去できない場合がある。ホール素子の特性は補正できないが、出力基準電圧を揃えることができれば、オフセットを抑え込むことができ、デューティー比変化をより少なくすることが可能となる。
【００１４】
この発明のモータは、ハウジングと、ハウジングに固定されたステータと、このステータに対向して配置され、回転軸に固定されるロータとを備え、この発明の回転センサ付軸受をモータの回転軸の支持に用いたことを特徴とする。
モータの回転軸を支持した回転センサ付軸受は、漏洩磁束のある環境下となるが、この発明の回転センサ付軸受を用いれば、エンコーダ信号への漏洩磁束の影響を少なくでき、安定したエンコーダ出力が得られる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施形態を図１および図２を用いて説明する。この回転センサ付軸受３１は、内輪および外輪となる一対の軌道輪３２，３３と、これら軌道輪３２，３３間に収容された複数の転動体３４を備えた転がり軸受３０に、この回転センサ付軸受３１によって支持される回転体（図示せず）の回転速度を検出する回転センサ装置４０を内蔵したものである。各転動体３４は、保持器３５の円周方向複数箇所に設けられたポケットに収容される。転がり軸受３０は、例えば深溝玉軸受からなる。
回転センサ装置４０は、内外の軌道輪３２，３３のうち、回転側の軌道輪３２の一端部に装着された被検出部１と、この被検出部１に対向して固定側の軌道輪３３に装着された磁気検出部２とでなる。この例では、回転側の軌道輪３２は内輪とし、固定側の軌道輪３３は外輪としてある。磁気検出部２は、後述のように複数の磁気センサからなる。これらの磁気センサは、樹脂ケース３８内に挿入された状態で樹脂モールドされ、この樹脂ケース３８は金属ケース３９を介して軌道輪３３に嵌着させることで、軌道輪３３に固定されている。
【００１６】
図１（ｂ）は、被検出部１と検出部２を取り出してその構成を模式的に示した図である。回転側軌道輪３２の一端面に装着される被検出部１としては、磁気特性をＮ，Ｓ交互に磁化させた磁気エンコーダが用いられる。この磁気エンコーダである被検出部１は、環状のバックメタル１ａと、その外周側に設けられた磁性体１ｂからなり、バックメタル１ａを介して回転側軌道輪３２に固着される。磁性体１ｂとしては、例えばゴム磁石が用いられ、バックメタル１ａに加硫接着される。磁性体１ｂは、プラスチック磁石や焼結磁石、あるいは金属磁石で形成されたものであっても良く、これらの場合にはバックメタル１ａは必ずしも設けなくても良い。
【００１７】
被検出部１に対向して固定側軌道輪３３に装着される磁気検出部２としては、磁束密度の変化をアナログ信号として出力する２つの磁気センサ２ａ，２ｂが用いられている。これら２つの磁気センサ２ａ，２ｂは、円周方向に所定の間隔、この例では１８０度の磁気位相差を持たせて配置されている。この磁気位相差は被検出部１のＮ，Ｓ交互に磁化させた磁気位相における位相差である。磁気センサ２ａ，２ｂとしては、例えば、ホール素子や、アナログ出力タイプのホールＩＣなどが利用できる。この実施形態では、磁気センサ２ａ，２ｂにホール素子を用いている。ホールＩＣは、ホール素子を有するＩＣ（集積回路）である。磁気センサ２ａ，２ｂとしてホール素子を用いた場合、各ホール素子の出力はプラスとマイナスの逆位相２出力であり、その差動増幅を作動増幅手段３，３´で行ってホール素子信号とする。図１（ｂ）で示すと、磁気センサ２ａ，２ｂの出力信号はそれぞれＡ，Ａ´点の信号になる。作動増幅手段３，３´にはオペアンプが用いられる。
上記２つの磁気センサ２ａ，２ｂのアナログ出力は、その差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理する差動出力生成手段７に入力される。差動出力生成手段７は、オペアンプを用いた差動増幅回路４と、この差動増幅回路４の出力を矩形化処理するコンパレータ５とからなる。
【００１８】
上記構成の動作を説明する。被検出部１が一定の速度で回転すると、隣接する２つの磁気センサ２ａ，２ｂの出力であるＡ，Ａ´点の出力は、図２（ａ），図２（ｂ）の破線で示すように一定電圧（Ｖｃ／２）を基準として正弦波状に変化する。電圧Ｖｃは電源電圧である。ここで、漏洩磁束が印加されると、図２（ａ），図２（ｂ）の実線で示すように磁気センサ２ａ，２ｂの出力は漏洩磁束が大きくなるに従いオフセットする。なお、オフセットの方向は外部磁束の向きにより異なる。また、２つの磁気センサ２ａ，２ｂの感度，漏洩磁束の量がほぼ同じと仮定すれば、それぞれのオフセット量もほぼ等しくなる。
【００１９】
その後、磁気センサ２ａ，２ｂの出力Ａ，Ａ´点の信号の差動増幅を、オペアンプによる差動増幅手段４で取れば、漏洩磁束によるオフセット成分を除去した信号（図２（ｃ））を得ることができる。また、２つの磁気センサ２ａ，２ｂを１８０度の磁気位相差で設置した場合は、差動出力後の振幅（Ｂ点）は差動増幅手段４のゲインが１であってもほぼ２倍に増幅されるため、感度が向上して漏洩磁束の影響を受けにくくなる効果が期待できる。なお、この例の場合、差動増幅手段４の差動出力はＶｃ／２の電圧基準で出力される。その後段では、所定の電圧（Ｖｃ／２）を基準としてコンパレータ５を用いて矩形化処理され、図２（ｄ）に示すように漏洩磁束の影響が削除されたデューティ比変化の少ない１相分のエンコーダ信号を得ることができる。
【００２０】
なお、差動出力生成手段７は、上記のように差動増幅手段４とコンパレータ５とで構成する代わりに、図３に示すように、２つの磁気エンコーダ２ａ，２ｂの出力を比較して矩形処理するコンパレータ５だけで構成しても良い。その場合も、２つの磁気センサ２ａ，２ｂの差動出力が１相分のエンコーダ信号として処理される。
【００２１】
上記の説明では、１相分のエンコーダ出力の場合で説明してきたが、Ａ相，Ｂ相の２相出力が必要な場合には、図４のように第１の組の磁気センサ２ａ，２ｂ　とは磁気位相が９０度異なる位置に第２の組の磁気センサ２ｃ，２ｄを配置して、それぞれの磁気センサの組毎に、上記各例と同様な差動出力生成手段７等の信号処理手段を設ける。なお、図４では磁気センサ２ａ〜２ｄの付属回路を省略して表しており、これらの磁気センサ２ａ〜２ｄにおいても、図１の点線で囲った範囲Ｈ内の回路、つまりホール素子のプラスとマイナスの逆位相２出力の差動増幅手段３となる回路が設けられている。図４の例では、２つの磁気センサ出力の差動増幅後にコンパレータ５により矩形処理をしているが、図３で説明したように、差動増幅手段４を省略してコンパレータ５だけで差動出力生成手段７を構成しても構わない。
【００２２】
今まで説明してきたように、エンコーダ１相分の出力を得るためには２つの磁気センサ２ａ，２ｂ（２ｃ，２ｄ）の差動出力を取る必要がある。そのセンサ配置は、図５に示すように２つの磁気センサ２ａ，２ｂの漏洩磁束の影響がほぼ同じになるように近接した位置に配置した方が耐漏洩磁束度は向上する。
配置上の制約があって２つの磁気センサ２ａ，２ｂを接近できない場合であっても、固定側軌動輪３３の９０度以内に２つの磁気センサ２ａ，２ｂを配置するのが望ましい。例えば、他方の磁気センサ２ｂを図５の点線位置２ｂ´のように一方の磁気センサ２ａに対して９０度を超えて配置した場合、漏洩磁束が磁気センサを貫通する方向が各磁気センサで異なるため、磁気センサの出力オフセット方向がお互いに逆向きになり、出力信号の差を取ってもオフセットを完全にキャンセルできなくなる。この場合、エンコーダ信号のデューティ比変化が大きくなることが予想される。そのため、９０度以内に配置することが望ましい。
【００２３】
また、磁気センサ２ａ，２ｂに加わる漏洩磁束が大きい環境下では、磁気センサ２ａ，２ｂの出力オフセット量が大きくなり飽和状態になる場合も有り得る。この場合は、磁気センサ出力波形が潰れるため、デューティ比の変化が起こり、最悪の場合はパルスの欠損が発生する。
このように強い漏洩磁束が働く環境下で使用する場合には、磁気センサ２ａ，２ｂの感度を、通常に使用する感度よりも低くして使用すれば、飽和を抑えることが可能となる。その方法は、磁気センサ２ａ，２ｂがホール素子の場合、ホール素子の印加電圧を、そのホール素子に対する標準の印加電圧よりも低くし、あるいはホール素子に流れる駆動電流を、そのホール素子に対する標準の電流値よりも低く設定すれば実現可能である。なお、使用環境の温度変化が激しい場合には、ホール素子の感度変化が少ない定電圧駆動方式が好ましい。
【００２４】
磁気センサ２ａ，２ｂとしてホール素子を使用する場合、ホール素子に印加する電源電圧ＶＨ　の約半分が出力基準電圧（ＶＨ／２）になる。この値は、素子によってバラツキがあり、また、感度などの特性値も微妙に異なるため、２つの素子の出力差を取っても漏洩磁束によるオフセットを完全に除去できない場合がある。ホール素子の特性は補正できないが、出力基準電圧ＶＨ／２を揃えることができれば、オフセットを抑え込むことができ、デューティー比変化をより少なくすることが可能となる。
図６にホール素子間の基準電圧を揃えるための出力基準電圧揃え手段８の回路例を示す。差動出力を取る一方の磁気センサ２ａであるホール素子のプラスとマイナスの出力端子間を２本の抵抗Ｒ１，Ｒ２で直列接続してあり、両抵抗Ｒ１，Ｒ２の中間点はそのホール素子の基準電圧ＶＨ／２となる。他方の磁気センサ２ｂであるホール素子のプラスとマイナスの出力端子間も２本の抵抗Ｒ３，Ｒ４で直列接続されている。それぞれの中間点電圧（電圧ＶＨ／２と中間点Ｐの電圧）の差を取る電圧差検出手段６を設け、この電圧差検出手段６の出力を、他方の磁気センサ２ｂであるホール素子の電源として接続する。これにより、中間点Ｐの電圧と中間点電圧ＶＨ／２が等しくなるように、他方の磁気センサ２ｂの電源電圧を制御することができる。電圧差検出手段６は、差動増幅手段であり、オペアンプで構成されている。これら電圧差検出手段６と上記各抵抗Ｒ１〜Ｒ４とで、出力基準電圧揃え手段８が構成される。なお、図６の例では、各ホール素子の片側の出力をコンパレータ４により取ることでエンコーダ矩形出力を得ているが、コンパレータ４の前に、図１の例と同様に差動増幅手段を入れても構わない。
【００２５】
いままで説明してきたように、漏洩磁束のある環境下においても、エンコーダ出力が安定して得られれば、この回転センサ付軸受３１が使用可能であり、漏洩磁束が存在するモータ軸の支持軸受として、今回述べた回転センサ付軸受３１を用いても問題なく使用可能となる。
【００２６】
図７は、そのモータの一例を示す。このモータは図１０と共に説明したものにおいて、この発明の回転センサ付軸受を用いたものである。説明し直すと、このモータは、回転軸６２に組込まれたロータ６１が、両端の軸受６４，６５によりハウジング６３に支持されている。ステータ６０はステータコイル６０ａを有しており、ハウジング６３に固定されている。両側の軸受６４，６５のうち、一方の軸受６５に、この発明における上記いずれかの実施形態の回転センサ付軸受回転センサ３１が用いられている。回転センサ付軸受３１を取付ける一方の軸受６５は、例えばリア側軸受である。他方の軸受６４には、回転センサを有しない転がり軸受が用いられている。
【００２７】
なお、上記各実施形態は、被検出部１と磁気検出部２とがラジアル方向に対向するものとしたが、この発明は、被検出部１と磁気検出部２とがアキシアル方向に対向する回転センサ付軸受にも適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、２つの磁気センサの差動出力を１相分のエンコーダ信号として処理するようにしたため、漏洩磁束による出力信号のデューティ比変化を最小限に留め、漏洩磁束が印加される使用環境下でも安定したセンサ出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はこの発明の一実施形態にかかる回転センサ付軸受の部分断面図、（ｂ）はその磁気エンコーダと磁気センサの概念構成および回路構成例を示す説明図である。
【図２】同磁気センサの各部の出力を示すグラフである。
【図３】磁気センサの出力処理回路の変形例を示す説明図である。
【図４】磁気センサおよびその出力処理回路のさらに他の変形例を示す説明図である。
【図５】磁気センサの配置関係を示す回転センサ付軸受の側面図である。
【図６】出力基準電圧揃え手段を含む磁気センサの出力処理回路を示す説明図である。
【図７】この発明の回転センサ付軸受を用いたモータの一例の断面図である。
【図８】従来の回転センサ付軸受の断面図である。
【図９】その出力を示すグラフである。
【図１０】従来の回転センサ付軸受を用いたモータの断面図である。
【図１１】従来のホールＩＣの回路図である。
【図１２】その出力のグラフである。
【図１３】同出力の外部磁界がある場合を示すグラフである。
【符号の説明】
１：磁気エンコーダ
２：磁気検出部
２ａ〜２ｄ：磁気センサ
３：差動増幅手段
４：差動増幅手段
５：コンパレータ
６：電圧差検出手段
７：差動出力生成手段
８：出力基準電圧揃え手段
３０：転がり軸受
３２，３３：軌道輪
３４：転動体
４０：回転センサ装置
６０：ステータ
６１：ロータ
６２：回転軸
６３：ハウジング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004117318.tif 000006
【図５】
2004117318.tif 000007
【図６】
2004117318.tif 000008
【図７】
2004117318.tif 000009
【図８】
2004117318.tif 000010
【図９】
2004117318.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2004117318.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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