(57)【要約】【課題】切り込み面が平滑で、切れ目の幅が狭く、切れ目の深さの制御が容易で、かつ生産性が良好な光スイッチおよびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の光スイッチに用いられるポリマー光導波路３は、ポリマーフィルム１と、ポリマーフィルム１内に線状に形成された複数本の光導波路２と、ポリマーフィルム１の一方表面に形成されたクリーブ停止層１０とを有している。ポリマーフィルム１の他方表面からクリーブ停止層１０に達し、かつ光導波路２を横断する切れ目６が形成されている。クリーブ停止層１０は、ポリマーフィルム１および光導波路２よりも破壊靭性の大きい材質からなっている。【選択図】        図１
2004361739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートと、
前記シート内に線状に形成された光導波路と、
前記シートの一方表面に形成され、かつ前記シートおよび前記光導波路よりも破壊靭性の大きい材質からなるクリーブ停止層とを備え、
前記シートの他方表面から前記クリーブ停止層に達し、かつ前記光導波路を横断する切れ目が形成された、光スイッチ。
【請求項２】
前記クリーブ停止層は、複数の層が積層された積層構造を有することを特徴とする、請求項１に記載の光スイッチ。
【請求項３】
シートと、
前記シート内に線状に形成された光導波路とを備え、
前記シートの表面には、前記光導波路を挟み込むように１対の凹部が形成されており、
前記１対の凹部の各々のエッジ部間を繋ぎ、かつ前記光導波路を横断する切れ目が形成された、光スイッチ。
【請求項４】
前記エッジ部の曲率半径が４０μｍ以下であることを特徴とする、請求項３に記載の光スイッチ。
【請求項５】
前記シートの表面に形成される全ての前記凹部において、前記凹部に設けられるエッジ部は１つであることを特徴とする、請求項３または４に記載の光スイッチ。
【請求項６】
前記１対の凹部のうちの一方の凹部の前記エッジ部から前記光導波路までの距離と、前記１対の凹部のうちの他方の凹部の前記エッジ部から前記光導波路までの距離とは互いに異なっており、ともに１０μｍ以上であることを特徴とする、請求項３〜５のいずれかに記載の光スイッチ。
【請求項７】
シート内に線状に形成された光導波路を横断する切れ目の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択する光スイッチの製造方法であって、
前記光導波路を内部に有する前記シートの表面に起点溝または起点凹部を形成する工程と、
前記シートの表面とは反対側の面から前記シートを押圧して前記シートの一部を前記シートの面外方向に変位させることにより、前記起点溝または前記起点凹部を起点としたクリーブを生じさせて、前記光導波路を横断する前記切れ目を形成する工程とを備えた、光スイッチの製造方法。
【請求項８】
前記シートおよび前記光導波路よりも破壊靭性の大きい材質からなるクリーブ停止層を前記シートの表面とは反対側の面に形成する工程をさらに備え、
前記起点溝を起点として生じる前記切れ目が前記クリーブ停止層に達するまで前記クリーブを進行させることを特徴とする、請求項７に記載の光スイッチの製造方法。
【請求項９】
前記起点凹部は前記光導波路を挟み込むように前記シートの表面に形成された１対の凹部を有し、前記１対の凹部の各々のエッジ部を起点として生じる前記切れ目が前記１対の凹部の各々のエッジ部間を繋ぐように形成されることを特徴とする、請求項７に記載の光スイッチの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチおよびその製造方法に関し、特に、光通信に用いられる光スイッチおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光スイッチは、光ファイバ等で伝達された光信号を電気に変換することなく光のままで光信号の経路の切り換え（スイッチング）をおこなうものであり、その方式の一つに跳ね橋型光スイッチがある。この跳ね橋型光スイッチは、ポリマー導波路フィルムに切れ目（切り込み）を形成し、その切れ目の開閉によりスイッチングを行うものであり、たとえば特開２００２−１７４７８４号公報に開示されている。
【０００３】
光スイッチの重要な特性の一つに光信号のロス（光損失）があり、このロスの値は小さい方が望ましい。跳ね橋型光スイッチにおいて光信号のロスを小さくするための切れ目の形状の条件は、（１）切れ目の切り込み面が平滑なこと、（２）切れ目の溝幅が狭いこと、（３）切れ目の深さが所定の深さになっていることである。（１）〜（３）の各条件が必要な理由は以下のとおりである。
【０００４】
（１）切れ目の切り込み面が粗いと切り込み面において反射光が散乱してしまい、散乱によるロスが大きくなる。よって、切り込み面での光信号の散乱によるロスを最小限に抑えるため切り込み面が平滑であることが必要である。
【０００５】
（２）切れ目の溝幅が広いと、導波路フィルムを変位させて切れ目を閉じた場合でも十分に切れ目の間隙を閉じることができず、切り込み面での反射量が増えて透過損失の増加となる。導波路フィルムの変位量を大きくすると切り込み面を密着させることはできるが、その場合には導波路フィルムの曲げ変形が大きくなってしまう。また、導波路フィルムに曲げ変形を与えると導波路の透過損失が大きくなってしまい、スイッチの透過損失の増大となる。よって、導波路フィルムの少ない変位量で溝を閉じるため切れ目の溝幅を狭くすることが必要である。
【０００６】
（３）導波路フィルムを変位させて反射状態とするには少なくとも切れ目は光導波路（コア）の深さまで到達している必要がある。光導波路の位置より深いところまで切れ目が達している場合でも、切れ目の深さが十分ではないと反射状態にしたときに光導波路位置での空気層が十分な厚さとはならず、光が全反射しないため反射損失が大きくなってしまう。逆に切れ目が深すぎると導波路フィルムの残り部分が少なくなり、スイッチ作動の繰り返しにより切れ目の底部から導波路フィルムが破断してしまう恐れがある。また、切れ目が導波路フィルムを貫通すると、切れ目の両側の光導波路同士の中心位置がずれてしまい透過状態にできなくなる。従って、導波路フィルムの厚さ、光導波路の位置に応じて切れ目の深さには最適値があり、その深さ以外では透過状態もしくは反射状態での損失が大きくなってしまう。
【０００７】
切れ目の形成方法には、例えばダイシングや鋭利な刃物による切り込み等が考えられ、その切り込みによる形成方法の一つにクリーブ（ｃｌｅａｖｅ）がある。クリーブは導波路フィルムに引張力もしくは剪断力を加えて導波路フィルムに亀裂を発生させて切れ目を形成する方法である。特開２００２−１７４７８４号公報には、引張力を付与するためのラバーシートを導波路フィルムに重ねて接着することにより導波路フィルムに引張力を加えながら、ダイサーその他の切断加工機の刃を接触させて劈開（≒クリーブ）によって裂けるように切断する方法が示されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１７４７８４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
跳ね橋型光スイッチに用いるポリマー導波路フィルムでは、クリーブ方式を用いることにより十分に平滑な切り込み面が得られ、上記（１）の条件は十分に満たされ得る。またクリーブ方式は除去加工ではないので切れ目の溝幅を非常に小さな値にすることができ、上記（２）の条件も十分に満たされ得る。
【００１０】
しかし、特開２００２−１７４７８４号公報に示されているクリーブ加工方法ではクリーブが急速に進行するため、切れ目を所望の深さに制御することは難しく、上記（３）の条件を満たすことは困難であった。
【００１１】
一方、切れ目の幅に対する切れ目の深さが大きいため（たとえば切れ目の幅が１μｍ以下程度で切れ目の深さが３０μｍ程度）、非破壊で切れ目の深さを直接測定するのは困難である。従って、クリーブ加工中に切れ目の深さを測定し、その値をフィードバックさせて所望の切れ目の深さでクリーブ加工を完了することは難しい。
【００１２】
クリーブ加工をおこないながらクリーブ加工中における切れ目の深さを把握する方法には、光学測定を用いるものがある。この方法は、クリーブ加工する導波路フィルムの光導波路に光源からの光を入射し、その光導波路の反射側ポートからの出力光を計測しながらクリーブ加工をおこなうものである。この方法によれば、クリーブを徐々に進行させ、反射光が所定量に達したところでクリーブ加工は終了される。この方法を用いると所望の光学特性となるクリーブ面（切り込み面）を得ることができ、このとき切れ目の深さは反射光が十分な量となる最低限の深さになる。
【００１３】
しかし、この方法では、同一の光導波路上で複数のポイントを同時加工できないこと、および加工時間が長くなることから、マトリクススイッチのように導波路フィルム上に多数のスイッチを製作する場合には生産性が非常に悪くなってしまう。
【００１４】
それゆえ本発明の目的は、切り込み面が平滑で、切れ目の幅が狭く、切れ目の深さの制御が容易で、かつ生産性が良好な光スイッチおよびその製造方法を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の光スイッチは、シートと、光導波路と、クリーブ停止層とを備えている。光導波路は、シート内に線状に形成されている。クリーブ停止層は、シートの一方表面に形成され、かつシートおよび光導波路よりも破壊靭性の大きい材質からなっている。シートの他方表面からクリーブ停止層に達し、かつ光導波路を横断する切れ目が形成されている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す斜視図である。また、図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１における光スイッチの切れ目付近（光導波路の交差部付近）を拡大して示した概略断面図である。図１および図２を参照して、本実施の形態における光スイッチは、ポリマー光導波路３と、駆動部材９とを主に有している。
【００１８】
ポリマー光導波路３は、ポリマーフィルム（シート）１と、複数本の光導波路２と、クリーブ停止層１０と、複数個の切れ目６とを有している。ポリマーフィルム１はシート形状を有している。複数本の光導波路２の各々は、そのポリマーフィルム１内に線状に形成されており、格子状に配置されている。クリーブ停止層１０は、ポリマーフィルム１の一方表面側に形成されている。このクリーブ停止層１０は、ポリマーフィルム１および光導波路２よりも破壊靭性の大きい材質からなっており、ポリマーフィルム１および光導波路２よりもクリーブされにくい層である。複数個の切れ目６の各々は、光導波路２同士の交差部８ａ〜８ｆのそれぞれを横断するように形成された信号切換面となる溝であり、ポリマーフィルム１の他方表面からクリーブ停止層１０に達するように形成されている。
【００１９】
駆動部材９は、光導波路２同士の交差部８ａ〜８ｆのそれぞれを圧迫できるように配置されている。この駆動部材９で各交差部を圧迫することにより、切れ目６の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択することができる。この駆動部材９は、たとえばプッシュロッドであるが、これに限定されるものではなく、ピエゾ素子から超音波を送ることにより風船を膨らませて交差部を圧迫するものや、コイルの通電時における磁石との反発力を利用して交差部を圧迫するものや、切れ目にくさび部材を差し込むものであってもよい。
【００２０】
ポリマーフィルム１の材質としては、たとえばフッ素化ポリイミド、非晶質パーフルオロ樹脂（ＣＹＴＯＰ／サイトップ（Ｒ））等が用いられる。この場合、クリーブ停止層１０の材質としては、たとえば、ポリマーフィルム１に用いられるフッ素化ポリイミドよりも破壊靭性の大きい種類のフッ素化ポリイミドが用いられてもよい。
【００２１】
なお、ポリマーフィルム１はクラッドであり、光導波路２はコアである。また図１においては説明のために、光導波路２の入力ポート４ａ、４ｂおよび出力ポート５ａ、５ｂを図示しているが、入力ポートおよび出力ポートはこれ以外にも多数設けられていてもよい。
【００２２】
次に、本実施の形態における光スイッチの光路の切換え（スイッチング）動作について説明する。
【００２３】
まず、図２（ａ）に示すようなプッシュロッド９がポリマーフィルム１に押し当てられていない状態では、光導波路２を進んできた信号光は切れ目６の部分で反射する。一方、図２（ｂ）に示すようなプッシュロッド９がポリマーフィルム１に押し当てられた状態では、プッシュロッド９の圧迫によって切れ目６の両側の光導波路２同士が物理的に接合されるため、信号光は切れ目６の部分を無反射で透過する。
【００２４】
再び、図１を参照して、たとえば交差点８ａ、８ｂ、８ｅ、８ｆにプッシュロッド９が図２（ｂ）に示すように押し当てられ、かつ交差点８ｃにプッシュロッド９が図２（ａ）に示すように押し当てられていない場合、入力ポート４ａから入射した信号光は交差点８ａ、８ｂを透過して交差点８ｃに達し、その交差点８ｃにおいて全反射し、さらに交差点８ｅ、８ｆを透過して出力ポート５ａに出力される。
【００２５】
また、たとえば交差点８ａ、８ｄにプッシュロッド９が図２（ｂ）に示すように押し当てられ、かつ交差点８ｂにプッシュロッド９が図２（ａ）に示すように押し当てられていない場合、入力ポート４ａから入射した信号光は交差点８ａを透過して交差点８ｂに達し、その交差点８ｂにおいて全反射し、さらに交差点８ｄを透過して出力ポート５ｂに出力される。
【００２６】
同様に、交差点８ａ〜８ｆの中から適宜選択した交差点のみにプッシュロッド９を押し当てることによって、入力ポート４ａ、４ｂからの各入射光を出力ポート５ａ、５ｂのうちの任意の出力ポートに出力することができる。
【００２７】
このようにポリマーフィルム１内に線状に形成された光導波路２を横断する切れ目６の間隙を接近および離隔させることによって光の進路が選択される。
【００２８】
次に、本実施の形態における光スイッチの製造方法について説明する。
図３〜図６は、本発明の実施の形態１における光スイッチの製造方法を工程順に示す概略断面図である。図３を参照して、まず、内部に複数本の光導波路２を有するポリマーフィルム１とクリーブ停止層１０との積層体が準備される。その積層体におけるポリマーフィルム１の表面に、クリーブの起点となる溝（起点溝）６が形成される。この起点溝６はカッター刃、ダイシング、エッチング等の加工により形成される。また、起点溝６の底からクリーブ加工が進展するので、起点溝６の位置によってクリーブ溝位置が決定する。この起点溝６の深さは光導波路２のモードフィールド径内にかからない深さとされる。この後、クリーブさせる箇所の周囲が押さえ治具２０により保持される。
【００２９】
図４を参照して、起点溝６が形成されたポリマーフィルム１の表面とは反対側の面であって起点溝６の直下から、積層体が突き上げ部材２１により徐々に突き上げられて押圧される。これにより、ポリマーフィルム１における起点溝６の形成部分がポリマーフィルム１の面外方向に変位し、起点溝６からクリーブがポリマーフィルム１内部に向けて進行する。
【００３０】
図５を参照して、突き上げ部材２１の突き上げに従ってクリーブが進行して、そのクリーブによる切れ目６が形成され、その切れ目６の先端がクリーブ停止層１０に達したところでクリーブの進行が停止する。これにより、光導波路２を横断する信号切換面となる切れ目６が形成される。
【００３１】
図６を参照して、上記の切れ目６が形成された後に、突き上げ部材２１が退避され、それによりポリマーフィルム１、複数本の光導波路２、クリーブ停止層１０および複数個の切れ目６を有するポリマー光導波路３が形成される。この後、ポリマー光導波路３と駆動部材９（図２（ａ）、（ｂ））とが所定の位置関係に配置されて本実施の形態の光スイッチが製造される。
【００３２】
上述したように本実施の形態におけるクリーブ加工工程は、「起点溝形成工程」と「クリーブ加工工程」との２つに分けられる。クリーブ位置を規定し、クリーブで割れ始めるための起点溝６を形成する工程が「起点溝形成工程」であり、起点溝６の形成部分に引張力あるいは剪断力を加えて起点溝６を起点に所望の深さまでクリーブによる切れ目６を進行させる工程が「クリーブ加工工程」である。
【００３３】
引張力を用いる従来例のクリーブ加工方法では導波路フィルムの厚さ方向に均一の応力が掛かるため、起点溝から始まったクリーブは一気に反対面まで進行して切れ目が導波路フィルムを貫通してしまいやすい。
【００３４】
これに対して、本実施の形態によれば、ポリマーフィルム１の起点溝６の形成部を面外方向に変位させているため、ポリマーフィルム１の起点溝６が形成された一方表面側に加わる応力は大きくなるものの、その裏面となる他方表面側に加わる応力は小さくなる。このように本実施の形態では、起点溝６が形成された部分におけるポリマーフィルム１の厚み方向に応力の分布を生じさせたため、従来例の方法よりもクリーブによる切れ目６が途中で止りやすくなる。よって、切れ目６を所望の深さに制御することが容易となり、光学特性の優れた信号切替面を得ることができる。
【００３５】
さらに本実施の形態では、クリーブ停止層１０が設けられている。このクリーブ停止層１０は、ポリマーフィルム１および光導波路２よりも破壊靭性の大きい材質からなり、ポリマーフィルム１および光導波路２よりもクリーブされ難いものである。このため、ポリマーフィルム１内におけるクリーブの進行はクリーブ停止層１０により停止される。よって、クリーブ停止層１０の上面の位置を切れ目６の深さの狙い位置にしておくことで所望深さのクリーブによる切れ目６を容易に実現することができる。
【００３６】
ポリマー光導波路３を構成する各フィルムの製作はスピンコート法を用いるのが一般的であり、その膜厚をサブミクロン単位で高精度に制御することができる。このようにポリマーフィルム１の厚さおよびクリーブ停止層１０の厚さの精度が高いため、クリーブ停止層１０を設けることによりクリーブにおける切れ目６の深さのばらつきの少ないクリーブ加工を実現することができる。
【００３７】
このようにクリーブ停止層１０により確実にクリーブの進行を停止させることができるため、突き上げ部材２１のストロークを変えた時に生じるクリーブ深さの変化を防止することができる。また、ポリマーフィルム１そのもののばらつきやポリマーフィルム１の保持力のばらつき等によりクリーブ深さにばらつきが生じることも防止できる。
【００３８】
（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す断面図である。図２を参照して、本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成と比較して、クリーブ停止層１０が複数の層１０ａ、１０ｂの積層構造よりなっている点において異なっている。
【００３９】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４０】
本実施の形態によれば、クリーブ停止層１０が複数の層１０ａ、１０ｂの積層構造よりなっているため、クリーブ加工時にクリーブの進行が一時停止するポイントが多くなる。このため、クリーブ時にクリーブ停止層１０の上部層１０ｂまでクリーブが進行しても、その下部層１０ａで進行を止めることができる。これにより、切れ目６の深さの許容範囲内に薄いクリーブ停止層１０を複数重ねておくことで、クリーブをより確実かつ容易に停止させることができ、クリーブによる切れ目６が深すぎることによる加工不良を減らすことができる。
【００４１】
（実施の形態３）
図８は、本発明の実施の形態３における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す平面図である。図８を参照して、本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成と比較して、ポリマーフィルム１の表面に起点凹部として１対の凹部１ａが形成されている点において異なる。
【００４２】
この１対の凹部１ａは、光導波路２の交差点を挟み込むように光導波路２の真上を避けて配置されている。１対の凹部１ａの各々には曲率半径Ｒの小さいエッジ部１ｂが設けられており、各エッジ部１ｂは光導波路２の交差点を挟んで互いに向かい合うように形成されている。この１対の凹部１ａの各々のエッジ部１ｂを繋ぐように切れ目６が形成されており、この切れ目６は光導波路２の交差点を横断している。１対の凹部１ａの各々の深さは切れ目６の深さと同じである。
【００４３】
また、複数の凹部１ａの中には、両端部のそれぞれにエッジ部１ｂが設けられた凹部１ａも存在しており、両端部のエッジ部１ｂのそれぞれに切れ目６が繋がっている。
【００４４】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
次に、本実施の形態の製造方法について説明する。
図９〜図１３は、本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法を工程順に示す概略斜視図である。図９を参照して、ポリマーフィルム１の表面に、１対の凹部１ａが例えばエッチングにより形成される。１対の凹部１ａは、光導波路２の交差点を挟み込むように光導波路２の真上を避けて配置される。１対の凹部１ａの各々の深さは切れ目の深さの狙い値と同じであり、また１対の凹部１ａの各々には曲率半径Ｒの小さいエッジ部１ｂが設けられる。１対の凹部１ａの各エッジ部１ｂは、光導波路２の交差点を挟んで互いに向かい合うように形成される。
【００４６】
図１０を参照して、クリーブ箇所（光導波路２の交差点近傍）の周囲を押さえ治具（図示せず）で保持し、１対の凹部１ａが形成されたポリマーフィルム１の表面とは反対側の面であってクリーブ箇所の直下から、積層体が突き上げ部材（図示せず）により徐々に突き上げられて押圧される。
【００４７】
図１１を参照して、突き上げ部材を突き上げていくと、１対の凹部１ａの各々のエッジ部１ｂからクリーブが発生して切れ目６が生じる。
【００４８】
図１２を参照して、突き上げ部材をさらに突き上げていくと、１対の凹部１ａの各々のエッジ部１ｂから発生したクリーブによる切れ目６が光導波路２の交差点に向かって進行する。
【００４９】
図１３を参照して、光導波路２の交差点に向かって進行してきたクリーブによる切れ目６同士が連結して、光導波路２の交差点を横断する信号切換面となる切れ目６が形成される。この後、実施の形態１と同様、突き上げ部材が退避され、それによりポリマーフィルム１、複数本の光導波路２、および複数個の切れ目６を有するポリマー光導波路３が形成される。この後、ポリマー光導波路３と駆動部材とが所定の位置関係に配置されて本実施の形態の光スイッチが製造される。
【００５０】
本実施の形態によれば、クリーブ加工箇所への起点溝の加工が不要であるとともに、凹部１ａのエッジ部１ｂからクリーブによる切れ目６をポリマーフィルム１の平面方向に進行させて溝を加工することができる。このため、切れ目６の切断面の全域においてクリーブによる平滑な面と切れ目６の幅の狭さとを実現することができる。
【００５１】
また、跳ね橋型光スイッチでは、スイッチを透過状態とするにはポリマーフィルム１に変位を加えて切れ目６を密着させる必要がある。本実施の形態の方法により切れ目６を形成した場合には切れ目６の密着面が光導波路２の交差点周辺部に限定されるため、ポリマーフィルム１に同等の変位を与えた場合に光導波路２により大きな密着力が作用して透過損失を少なくすることができる。逆に同等の密着力を得るためにはフィルム駆動機構の発生力は少なくてもよいため、駆動機構の設計が容易となる。
【００５２】
（実施の形態４）
図１４は、本発明の実施の形態４における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す平面図である。図１４を参照して、本実施の形態の構成は、実施の形態３の構成と比較して、凹部１ａの形状において異なる。
【００５３】
本実施の形態では、ポリマーフィルム１に表面に形成される全ての凹部１ａにおいて、凹部１ａに設けられるエッジ部１ｂは１つだけである。このため、実施の形態３において両端部のそれぞれにエッジ部１ｂを有していた凹部１ａは、本実施の形態においては２分割されている。つまり、本実施の形態では、光導波路２の交差点周辺部の必要な箇所のみに凹部１ａが形成されている。
【００５４】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態３の構成とほぼ同じであるため同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５５】
本実施の形態によれば、実施の形態３において両端部のそれぞれにエッジ部１ｂを有していた凹部１ａが２分割されている。このため、２分割された凹部１ａの間の領域を凹部１ａを形成しない領域とすることができ、ポリマーフィルム１の膜厚の薄くなる箇所を少なくすることができる。また、クリーブ加工後においてクリーブにより形成された切れ目６の延在方向においてポリマーフィルム１の膜厚の薄い部分が連続することも防止できる。これにより、クリーブ後のポリマーフィルム１の強度の低下を最小限に押さえることができ、ポリマーフィルム１の取り扱い時において曲げや破断等でポリマーフィルム１を損傷することも防止できる。従って、クリーブ後のポリマーフィルム１の取り扱い性が向上する。
【００５６】
（実施の形態５）
本実施の形態の構成は、実施の形態１または２のクリーブ停止層１０と実施の形態３の凹部１ａとが組み合わされた構成を有している。なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１〜３の構成とほぼ同じであるため、その説明を省略する。
【００５７】
本実施の形態によれば、切れ目６の全域に渡って良好な切れ目６表面が得られるという実施の形態３の効果に加えて、クリーブ停止層１０を組み込むことにより切れ目６の深さのばらつきを減らすことができるという実施の形態１または２の効果も得られる。
【００５８】
（実施の形態６）
本実施の形態の構成は、実施の形態１または２のクリーブ停止層１０と実施の形態４の凹部１ａとが組み合わされた構成を有している。なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１、２および４の構成とほぼ同じであるため、その説明を省略する。
【００５９】
本実施の形態によれば、切れ目６の全域に渡って良好な切れ目６表面が得られるとともにポリマーフィルム１の取り扱い性が向上するという実施の形態４の効果に加えて、クリーブ停止層１０を組み込むことにより切れ目６の深さのばらつきを減らすことができるという実施の形態１または２の効果も得られる。
【００６０】
（実施の形態７）
実施の形態３〜６においては、光導波路２の交差点両側の凹部１ａからそれぞれクリーブが進行した場合、たとえば図１２に示すように１対の凹部１ａの中間点付近でクリーブによる切れ目６同士が連結する。この場合、各凹部１ａからクリーブの進行により延びる切れ目６の切断面は完全に同一な面ではない。このため、図１５に示すように切れ目６の連結部において曲がりや段差が生じる。このとき、光導波路２の交差点８から凹部１ａのエッジ部１ｂまでの距離が交差点８の両側でほぼ同じ値であると（Ａ＝Ｂ）、この曲がりや段差が光導波路２の交差点８の近傍に生じ易くなる。このように上記の曲がりや段差が光信号が通る場所にあると、光信号の損失が発生する。
【００６１】
本実施の形態では、図１６に示すように、光導波路２の交差点８から凹部１ａのエッジ部１ｂまでの距離が交差点８の両側で異なる値とされている（Ｃ≠Ｄ）。また、光導波路２のモードフィールド径は約１０μｍなので、両側の距離ＣおよびＤの双方を１０μｍ以上にしておく必要がある。つまり、１対の凹部１ａのうちの一方の凹部１ａのエッジ部１ｂから光導波路２の交差点８までの距離Ｃと、１対の凹部１ａのうちの他方の凹部１ａのエッジ部１ｂから光導波路２の交差点８までの距離Ｄとは互いに異なっており、かつともに１０μｍ以上である。
【００６２】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態３〜６のいずれかの構成とほぼ同じであるため同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６３】
本実施の形態によれば、光導波路２の交差点８から凹部１ａのエッジ部１ｂまでの距離が交差点８の両側で異なるため、クリーブの進行によって延びる切れ目６の連結部を光導波路２の近傍から外すことができ、光信号のロスを抑制することができる。
【００６４】
（実施の形態８）
図１７は、本発明の実施の形態８における光スイッチのポリマーフィルム表面に設けられる凹部のエッジ部の形状を拡大して示す平面図である。図１７を参照して、本実施の形態では、光導波路２の交差点を挟む１対の凹部１ａのうち一方の凹部１ａのエッジ部１ｂの曲率半径Ｒが、他方の凹部１ａのエッジ部１ｂの曲率半径Ｒよりも大きくなっている。
【００６５】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態３〜６のいずれかの構成とほぼ同じであるため同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６６】
本実施の形態によれば、光導波路２の交差点を挟む１対の凹部１ａのうち一方の凹部１ａにおいて他方の凹部１ａよりもエッジ部１ｂの曲率半径Ｒを大きくしているため、曲率半径Ｒの大きい方のエッジ部１ｂにおいてクリーブ開始が他方のエッジ部１ｂより遅くなる、あるいはクリーブしなくなるため、実施の形態７と同様の効果を得ることができる。
【００６７】
上記の実施の形態３〜８においては、凹部１ａのエッジ部１ｂの曲率半径Ｒは４０μｍ以下であることが好ましい。エッジ部１ｂの曲率半径Ｒが大きくなるとエッジ部１ｂにおける応力集中係数が小さくなるのでクリーブ起点がエッジ部１ｂの頂点からずれやすくなり、クリーブにより形成される切れ目６の平面位置精度が低下する。跳ね橋型光スイッチでは、この切れ目６の位置精度は±２μｍ以下が必要であるため、フッ素化ポリイミド導波路フィルム１を用いた実験では曲率半径Ｒが４０μｍを越えると切れ目６の所望の平面位置精度が得られないことが判っている。
【００６８】
上記の実施の形態１〜８では、ポリマーフィルム１の材質がポリイミドの場合について説明したが、フィルムの材質はポリイミドに限定されるものではなく、クラッドとして機能し、かつクリーブ加工が可能で、さらに可撓性を有するポリマーなどであれば良い。
【００６９】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の光スイッチによれば、クリーブ停止層により確実にクリーブの進行を停止させることができるため、所望深さのクリーブによる切れ目を容易に実現することができる。これにより、切り込み面が平滑で、切れ目の溝幅が狭く、切れ目の深さの制御が容易で、かつ生産性が良好な光スイッチを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１における光スイッチの光導波路の交差部を拡大して示した概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１における光スイッチの製造方法の第１工程を示す概略断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１における光スイッチの製造方法の第２工程を示す概略断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１における光スイッチの製造方法の第３工程を示す概略断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１における光スイッチの製造方法の第４工程を示す概略断面図である。
【図７】本発明の実施の形態２における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態３における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す平面図である。
【図９】本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法の第１工程を示す概略斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法の第２工程を示す概略斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法の第３工程を示す概略斜視図である。
【図１２】本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法の第４工程を示す概略斜視図である。
【図１３】本発明の実施の形態３における光スイッチの製造方法の第５工程を示す概略斜視図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を概略的に示す平面図である。
【図１５】光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を示す平面図である。
【図１６】本発明の実施の形態７における光スイッチに用いるポリマー光導波路の構成を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態８における光スイッチのポリイミドフィルム表面に設けられる凹部のエッジ部の形状を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
１  ポリマーフィルム、１ａ  凹部、１ｂ  エッジ部、２  光導波路、３  ポリマー光導波路、４ａ，４ｂ  入力ポート、５ａ，５ｂ  出力ポート、６  起点溝，切れ目、８，８ａ〜８ｆ  交差点、９  駆動部材、１０  クリーブ停止層、１０ａ  下部層、１０ｂ  上部層、２０  押さえ治具、２１  突き上げ部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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