(57)【要約】【課題】再現性のある測定を行うことのできる試料観察装置を提供する。【解決手段】電子ビームを試料の表面に照射する電子銃と、電子ビームが試料の表面に照射されることにより、試料から生じる電子を検出する電子検出部と、電子検出部が検出した電子に基づいて信号プロファイルを生成する状態取得部と、信号プロファイルに基づいて、試料の表面に設けられたパターンのエッジの位置を算出するエッジ位置算出装置とを備え、エッジ位置算出装置は、信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を算出し、特異点の位置をエッジの位置とする特異点検出部とを有する試料観察装置を提供する。【選択図】  図４
2004286580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームを照射して、所望のパターンが形成された試料の表面を観察する試料観察装置であって、
前記電子ビームを前記試料の表面に照射する電子銃と、
前記電子ビームが前記試料の表面に照射されることにより、前記試料から生じる電子を検出する電子検出部と、
前記電子検出部が検出した電子に基づいて、前記試料の表面上の位置と、当該位置に対応して前記電子検出部が検出した電子量との関係を示す信号プロファイルを生成する状態取得部と、
前記信号プロファイルに基づいて、前記試料の表面に設けられた前記パターンのエッジの位置を算出するエッジ位置算出装置と
を備え、
前記エッジ位置算出装置は、
前記信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、
前記信号プロファイルにおける位置と、前記スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を算出し、前記特異点の位置を前記エッジの位置とする特異点検出部と
を有する試料観察装置。
【請求項２】
前記エッジ位置算出装置は、前記信号プロファイルにおいて位置の異なる２つの基準点と、前記スムージングプロファイルにおいて前記２つの基準点と対応する２つのスムージング基準点とを抽出する基準点抽出部を更に有し、
前記特異点検出部は、前記２つの基準点の位置、前記２つのスムージング基準点の位置、及び対応する前記基準点に対する前記スムージング基準点のそれぞれの位置の変動量に基づいて、前記特異点を検出する試料観察装置。
【請求項３】
前記基準点抽出部は、対応する前記スムージング基準点の前記基準点に対する位置の変動方向が異なる２点を、前記２つの基準点として抽出する請求項２に記載の試料観察装置。
【請求項４】
前記基準点抽出部は、
前記信号プロファイルの前記エッジを含むエッジ領域において、信号の強度が最大となる信号最大点と、前記信号プロファイルの前記エッジ領域における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを前記２つの基準点として抽出し、
前記スムージングプロファイルのエッジを含むエッジ領域において信号の強度が最大となる信号最大点と、前記スムージングプロファイルの前記エッジ領域における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを前記２つのスムージング基準点として抽出する請求項２に記載の試料観察装置。
【請求項５】
前記スムージング部は、前記基準点の位置と、対応する前記スムージング基準点の位置との変動量が、前記スムージングプロファイルの各点を算出するために用いる前記信号プロファイルのサンプル点数に対して線形に変化する前記サンプル点数の領域で、前記信号プロファイルをスムージングして前記スムージングプロファイルを生成する請求項２に記載の試料観察装置。
【請求項６】
試料の表面に照射された電子ビームによって取得された、前記試料の表面の状態を示す信号プロファイルから、前記試料の表面におけるエッジの位置を算出するエッジ位置算出装置であって、
前記信号プロファイルにおいて、前記エッジを含むエッジ領域をスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、
前記信号プロファイルにおける位置と、前記スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を検出し、前記特異点の位置を前記エッジの位置として算出する特異点検出部と
を備えるエッジ位置算出装置。
【請求項７】
エッジ位置算出装置に、試料の表面に照射された電子ビームによって取得された前記試料の表面の状態を示す信号プロファイルから、前記試料の表面におけるエッジの位置を算出させるプログラムであって、
前記エッジ位置算出装置を、
前記信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、
前記信号プロファイルにおける位置と、前記スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を検出し、前記特異点の位置を前記エッジの位置として算出する特異点検出部と
して機能させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビームにより試料の表面を観察する試料観察装置に関する。特に、本発明は、試料表面に設けられたパターンのエッジを観察する試料観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子ビームを用いて試料を観察する装置に電子顕微鏡がある。電子顕微鏡は、電子ビームを試料に照射することにより試料から生じる２次電子、反射電子等を検出し、検出したこれらの電子に基づいて、試料表面の電子像を取得する。
【０００３】
試料の表面には所望のパターンが設けられており、電子顕微鏡が取得した電子像から、当該パターンの寸法を測定する場合がある。この場合、当該パターンの断面のそれぞれの位置に対応する電子量から、当該パターンのエッジを検出し、パターン寸法を測定している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−２９９６７５４号公報（第２−３頁、第７図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電子顕微鏡は、様々な要因によって電子像を精度よく取得できない場合がある。例えば、試料、試料ステージ等の帯電等の電気的な要因によって電子ビームがドリフトしたり、電子ビームの焦点がずれてしまった場合、精度よく電子像を取得できない。また、試料ステージの振動等の物理的な要因によっても、電子ビームの照射位置等がずれてしまい、精度よく電子像を取得することができない。このため、測定したパターンの寸法は、測定環境等により変動し、再現性のある測定をすることが困難であった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、電子ビームを照射して、所望のパターンが形成された試料の表面を観察する試料観察装置であって、電子ビームを試料の表面に照射する電子銃と、電子ビームが試料の表面に照射されることにより、試料から生じる電子を検出する電子検出部と、電子検出部が検出した電子に基づいて、試料の表面上の位置と、当該位置に対応して電子検出部が検出した電子量との関係を示す信号プロファイルを生成する状態取得部と、信号プロファイルに基づいて、試料の表面に設けられたパターンのエッジの位置を算出するエッジ位置算出装置とを備え、エッジ位置算出装置は、信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を算出し、特異点の位置をエッジの位置とする特異点検出部とを有する試料観察装置を提供する。
【０００７】
エッジ位置算出装置は、信号プロファイルにおいて位置の異なる２つの基準点と、スムージングプロファイルにおいて２つの基準点と対応する２つのスムージング基準点とを抽出する基準点抽出部を更に有し、特異点検出部は、２つの基準点の位置、２つのスムージング基準点の位置、及び対応する基準点に対するスムージング基準点のそれぞれの位置の変動量に基づいて、特異点を検出してよい。
【０００８】
基準点抽出部は、対応するスムージング基準点の基準点に対する位置の変動方向が異なる２点を、２つの基準点として抽出してよい。また、基準点抽出部は、信号プロファイルのエッジを含むエッジ領域において、信号の強度が最大となる信号最大点と、信号プロファイルのエッジ領域における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを２つの基準点として抽出し、スムージングプロファイルのエッジを含むエッジ領域において信号の強度が最大となる信号最大点と、スムージングプロファイルのエッジ領域における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを２つのスムージング基準点として抽出してよい。
【０００９】
スムージング部は、基準点の位置と、対応するスムージング基準点の位置との変動量が、スムージングプロファイルの各点を算出するために用いる信号プロファイルのサンプル点数に対して線形に変化するサンプル点数の領域で、信号プロファイルをスムージングしてスムージングプロファイルを生成してよい。
【００１０】
本発明の第２の形態においては、試料の表面に照射された電子ビームによって取得された、試料の表面の状態を示す信号プロファイルから、試料の表面におけるエッジの位置を算出するエッジ位置算出装置であって、信号プロファイルにおいて、エッジを含むエッジ領域をスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を検出し、特異点の位置をエッジの位置として算出する特異点検出部とを備えるエッジ位置算出装置を提供する。
【００１１】
本発明の第３の形態においては、エッジ位置算出装置に、試料の表面に照射された電子ビームによって取得された試料の表面の状態を示す信号プロファイルから、試料の表面におけるエッジの位置を算出させるプログラムであって、エッジ位置算出装置を、信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成するスムージング部と、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を検出し、特異点の位置をエッジの位置として算出する特異点検出部として機能させるプログラムを提供する。
【００１２】
尚、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又、発明となりうる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１４】
図１は、本発明の実施形態に係る試料観察装置１００の構成の一例を示す。試料観察装置１００は、測定するべき試料１１０に電子ビーム２４を照射することにより、試料１１０の表面の状態を観察する。試料観察装置１００は、筐体１０、電子銃１２、偏向器１４、レンズ１８、電子検出部１６、試料ホルダ２０、試料ステージ２２、及び信号処理部３０を備える。
【００１５】
まず、試料観察装置１００の動作の概要について説明する。電子銃１２は、電子ビーム２４を生成する。電子銃１２には、電子ビーム２４を試料１１０方向に加速するための負の加速電圧が印加される。偏向器１４は、電子ビーム２４を、試料１１０の表面の所望の位置に偏向させる。偏向器１４は、例えば、電界を生成することにより電子ビーム２４を偏向させる。
【００１６】
レンズ１８は、偏向された電子ビーム２４を、試料１１０の表面において合焦させる。レンズ１８は、例えば与えられる電流に応じて電子ビームの焦点位置を変更させるものであってよい。
【００１７】
試料ホルダ２０は、試料２４を載置する。試料ホルダ２０には、電子銃１２より高い電位が与えられ、電子ビーム２４を試料１１０の方向に加速させる。また、試料ステージ２２は、試料ホルダ２０を載置する。試料観察装置１００は、試料ステージ２２を移動させることにより、電子ビーム２４が照射される試料１１０の位置を変更する。
【００１８】
電子検出部１６は、電子ビーム２４が試料１１０の表面に照射されることにより生じる電子を検出する。信号処理部３０は、電子検出部１６が検出した電子に基づいて、試料１１０の表面の状態を示す電子像を取得する。また、信号処理部３０は、試料１１０の表面上の位置と、当該位置に対応して電子検出部１６が検出した電子量との関係を示す信号プロファイルを生成し、当該信号プロファイルに基づいて、試料１１０の表面に設けられたパターンのエッジ位置を算出する。また、信号処理部３０は、当該パターンの寸法を算出する。
【００１９】
図２は、信号処理部３０が取得する電子像及び信号プロファイルを説明する図である。図２（ａ）は、試料１１０の表面に設けられたパターン１１２の一例を示す。例えば、試料１１０は、半導体基板であって、パターン１１２は試料１１０の表面に設けられた配線パターンである。パターン１１２は、試料１１０の表面に対し角度を有して設けられたエッジ１１４を有する。本例における試料観察装置１００は、当該エッジ１１４の試料１１０の表面における位置を測定し、測定したエッジ位置に基づいてパターン１１２の寸法を測定する。
【００２０】
図２（ｂ）は、信号処理部３０が取得する電子像の一例を示す。電子ビーム２４が試料１１０の表面に照射されることにより、電子ビーム２４が照射された試料１１０の表面において２次電子及び反射電子が生じる。信号処理部３０は、電子ビーム２４が照射された位置と、当該位置に電子ビーム２４が照射されたときに電子検出部１６が検出した電子量とを対応付けて格納し、電子ビーム２４が照射された位置と、当該位置に対応する電子量との関係を示す電子像を生成する。
【００２１】
図２（ｃ）は、信号処理部３０が生成する信号プロファイルの一例を示す。信号処理部３０は、寸法を測定するべきパターン１１２の断面Ａ−Ａ’のそれぞれの位置と、当該位置に対応する電子量との関係を示す信号プロファイルを生成する。図２（ｃ）に示すように、信号プロファイルにはパターン１１２のエッジ１１４に対応する位置に、波形のエッジを含むエッジ領域１１６を有する。信号処理部３０は、当該信号プロファイルの波形のエッジの位置を算出することにより、パターン１１２のエッジ１１４の位置を算出する。
【００２２】
図３は、信号処理部３０の構成の一例を示す。信号処理部３０は、状態取得部３２、及びエッジ位置算出装置３４を有する。状態取得部３２は、電子検出部１６が検出した電子に基づいて、試料１１０の表面上の位置と、当該位置に対応して電子検出部１６が検出した電子量との関係を示す信号プロファイルを生成する。
【００２３】
エッジ位置算出装置３４は、状態取得部３２が生成した信号プロファイルに基づいて、試料１１０の表面に設けられたパターン１１２のエッジ１１４の位置を算出する。エッジ位置算出装置３４は、スムージング部３６、基準点抽出部３８、及び特異点検出部４０を有する。
【００２４】
スムージング部３６は、状態取得部３２から信号プロファイルを受け取り、当該信号プロファイルをスムージングしたスムージングプロファイルを生成する。ここで、スムージングとは、例えば信号プロファイルにおけるそれぞれの位置の電子量を、隣接する位置の電子量と加算平均し、当該位置におけるスムージングプロファイルの電子量の値として算出する操作を指す。つまり、スムージングプロファイルの所望の位置における電子量を算出するために、信号プロファイルから対応する複数のサンプル点を抽出し、抽出したサンプル点における電子量を加算平均することにより、当該スムージングプロファイルの所望の位置における電子量を算出する。
【００２５】
また、スムージングにおいては、スムージングプロファイルのそれぞれの位置の電子量を算出する場合に用いる、信号プロファイルにおけるサンプル点数を変化させることにより、スムージング強度を変化させることができる。例えば、スムージングプロファイルの所望の位置の電子量を算出するために、信号プロファイルの対応する位置を含む所定の領域に存在するサンプル点の電子量を加算平均するが、当該所定の領域の幅を変化させることにより、当該所定の領域に含まれるサンプル点数を変化させ、スムージング強度を変化させる。
【００２６】
また、上述したスムージングの操作では、複数のサンプル点の電子量を加算平均したが、他の例においては、それぞれのサンプル点の電子量に重み付けをして加算平均してもよい。また、当該重み付けの係数を変化させることにより、スムージングの強度を変化させてもよい。
【００２７】
信号プロファイルをスムージングすることにより、当該信号プロファイルを取得したときの測定条件に対して、電子ビーム２４のドリフト、焦点ずれ等が生じている場合の、信号プロファイルを疑似的に算出することができる。このため、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが変動しない特異点を検出すれば、電子ビーム２４のドリフト、焦点ずれ等により、測定位置が変動しない点を検出することができる。信号処理部３０は、このような特異点をエッジ領域において検出して、当該特異点の位置をエッジの位置として算出する。
【００２８】
基準点抽出部３８は、状態取得部３２が生成した信号プロファイルと、スムージング部３６が生成したスムージングプロファイルとを受け取り、信号プロファイルにおいて位置の異なる２つの基準点と、スムージングプロファイルにおいて２つの基準点と対応する２つのスムージング基準点とを抽出する。
【００２９】
特異点検出部４０は、基準点抽出部３８が抽出した２つの基準点の位置、２つのスムージング基準点の位置、及び対応する基準点に対するスムージング基準点のそれぞれの位置の変動量に基づいて、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一となる特異点を算出する。また、特異点検出部４０は、当該特異点の位置をエッジ１１４の位置として算出する。特異点の算出方法の詳細については、図４及び図５を用いて説明する。
【００３０】
図４は、信号プロファイル及びスムージングプロファイルのエッジ領域の一例を示す。図４において、実線１１８で示される波形は、信号プロファイルのエッジ領域を示し、破線１２０で示される波形は、スムージングプロファイルのエッジ領域を示す。
【００３１】
また、本例において、基準点抽出部３８は、対応するスムージング基準点の、信号プロファイルの基準点に対する位置の変動方向が異なる２点を、２つの基準点として抽出する。例えば、基準点抽出部３８は、信号プロファイルにおいて、エッジを含むエッジ領域１１６において、信号（電子量）の強度が最大となる信号最大点と、信号プロファイルのエッジ領域１１６における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを当該２つの基準点として抽出する。
【００３２】
また、基準点抽出部３８は、スムージングプロファイルのエッジを含むエッジ領域において信号の強度が最大となる信号最大点と、スムージングプロファイルのエッジ領域における信号の強度の微分値が最大となる微分最大点とを２つのスムージング基準点として抽出する。これらのような特徴点を基準点として抽出することにより、これらの基準点の信号プロファイル及びスムージングプロファイルにおける位置を容易に特定することができる。
【００３３】
スムージングプロファイルの信号最大点は、信号プロファイルの信号最大点に対し、右側に変動する。また、スムージングプロファイルの微分最大点は、信号プロファイルの微分最大点に対し、左側に変動する。信号最大点の変動方向と、微分最大点の変動方向との極性が変化しているため、変動量が略零となる特異点は、信号最大点と微分最大点との間に有ることがわかる。特異点検出部４０は、信号プロファイルの信号最大点及び微分最大点の位置、及び信号プロファイルをスムージングした場合のこれらの基準点の変動量及び変動方向に基づいて、特異点を検出する。例えば、特異点検出部４０は、信号プロファイルの信号最大点のと微分最大点との間を、前述したそれぞれの変動量に応じた分割比で分割した点を特異点として算出する。
【００３４】
図５は、特異点の位置を算出する方法の一例を説明するための図である。図５において横軸はスムージング部３６におけるスムージングの強度を示し、縦軸は信号プロファイルにおける２つの基準点の位置、及びスムージングプロファイルにおける２つのスムージング基準点の位置を示す。
【００３５】
特異点検出部４０は、まず信号プロファイルの２つの基準点の位置Ａ及び位置Ｂを算出する。２つの特異点は、例えば図４において説明したように信号最大点と微分最大点である。
【００３６】
次に、特異点検出部４０は、スムージングプロファイルの２つのスムージング基準点の位置Ａ’及び位置Ｂ’を算出する。そして一の基準点と、対応するスムージング基準点との位置の変動量ΔＡ、及び他の基準点と、対応するスムージング基準点との位置の変動量ΔＢを算出する。
【００３７】
そして、特異点検出部４０は、２つの基準点の位置Ａ、位置Ｂ、及び位置の変動量ΔＡ、変動量ΔＢから、特異点の位置Ｅを算出する。例えば、位置Ａ及び位置Ａ’を結ぶ直線と、位置Ｂ及び位置Ｂ’を結ぶ直線とが交わる位置を特異点の位置Ｅとして算出する。例えば、特異点検出部４０は下式に基づいて特異点の位置Ｅを算出する。
【数１】
2004286580.tif 000003
また、ΔＡ及びΔＢは、測定するべきパターン１１２の形状によって定まるため、特異点検出部４０は、予め同一形状のパターンを用いて測定したΔＡ及びΔＢを格納し、格納したΔＡ及びΔＢを用いて特異点の位置Ｅを算出してもよい。また、特異点検出部４０は、α＝ΔＡ／ΔＢの値を予め格納していてもよい。この場合、特異点検出部４０は、下式を用いて特異点の位置Ｅを算出する。
【数２】
2004286580.tif 000004
【００３８】
また、それぞれの基準点の位置の変動量が、スムージングの強度に対して線形に変化する領域と、非線形に変化する領域がある。スムージング部３６は、基準点の位置の変動量がスムージングの強度に対して線形に変化する領域で、信号プロファイルをスムージングすることが好ましい。例えば、スムージング部３６は、基準点の位置と、対応するスムージング基準点の位置との位置の変動量が、スムージングプロファイルの各点を算出するために用いる信号プロファイルのサンプル点数に対して線形に変化するサンプル点数の領域で、信号プロファイルをスムージングしてスムージングプロファイルを生成する。
【００３９】
以上説明した処理により、信号プロファイルにおける位置と、スムージングプロファイルにおける位置とが略同一である特異点の位置を算出することができる。算出した特異点の位置を、測定するべきパターン１１２のエッジ１１４の位置とすることで、電子ビーム２４のドリフト、焦点ずれ等が生じた場合であっても、再現性のある測定を行うことができる。
【００４０】
また、本例における試料観察装置１００は、信号プロファイルをスムージングすることにより、電子ビームのドリフトや焦点ずれが生じた場合の信号プロファイルを擬似的に算出していたが、他の例においては、偏向器１４、レンズ１８等を制御することにより電子ビームのドリフトや焦点ずれを実際に生じさせた場合の信号プロファイルを更に取得して特異点を検出してもよい。
【００４１】
また、試料観察装置１００は、観察するべきパターンの形状毎に、前述した特異点の信号レベルが予め与えられており、観察するパターン１１２の信号プロファイルにおいて当該信号レベルとなる位置をエッジの位置として算出してもよい。
【００４２】
図６は、エッジ１１４の形状及び信号プロファイルの一例を示す。図６（ａ）は、エッジ１１４の形状の一例を示す。このようなエッジ１１４に電子ビームを照射した場合、エッジ１１４の形状と材質に応じて２次電子が放出される。但し、いわゆる傾斜角効果により、電子ビームの入射方向に対して傾きを有する場所から放出される２次電子量は、電子ビームの入射方向に対して傾きを有さない場所から放出される２次電子量より増大する。
【００４３】
図６（ｂ）は、傾斜角効果を考慮しない場合の信号プロファイルを示し、図６（ｃ）は、傾斜角効果により増大する電子量の信号プロファイルを示す。状態取得部３２は、図６（ｄ）に示すように、図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示した信号プロファイルを加算した信号プロファイルを生成する。
【００４４】
このような信号プロファイルをスムージングした場合、信号最大点は右側に変動し、微分最大点は左側に変動する。このため、スムージングに応じた信号最大点及び微分最大点の変動に基づいて、特異点を精度よく検出することができる。
【００４５】
図７は、試料観察装置１００を制御するコンピュータ３００の構成の一例を示す。本例において、コンピュータ３００は、試料観察装置１００を図１〜図６において説明した試料観察装置１００として機能させるプログラムを格納する。また、コンピュータ３００は、試料観察装置１００のエッジ位置算出装置３４として更に機能してもよい。
【００４６】
コンピュータ３００は、ＣＰＵ７００と、ＲＯＭ７０２と、ＲＡＭ７０４と、通信インターフェース７０６と、ハードディスクドライブ７１０と、フレキシブルディスクドライブ７１２と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１６とを備える。ＣＰＵ７００は、ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、ハードディスク７１０、フレキシブルディスク７２０、及び／又はＣＤ−ＲＯＭ７１８に格納されたプログラムに基づいて動作する。
【００４７】
例えば、コンピュータ３００が、エッジ位置算出装置３４として機能する場合、当該プログラムは、コンピュータ３００が、エッジ位置算出装置３４として機能するためのプログラムを格納する。コンピュータ３００をエッジ位置算出装置として機能させるプログラムは、コンピュータ３００を、図３に関連して説明したスムージング部３６、基準点抽出部３８、及び特異点検出部４０として機能させる。
【００４８】
通信インターフェース７０６は、例えば試料観察装置１００の電子銃１２、偏向器１４、電子検出部１６、レンズ１８、及び試料ステージ２２と通信し、それぞれを制御するための制御信号を送信する。格納装置の一例としてのハードディスクドライブ７１０、ＲＯＭ７０２、又はＲＡＭ７０４は、設定情報、及びＣＰＵ７００を動作させるためのプログラム等を格納する。また、これらのプログラムは、フレキシブルディスク７２０、ＣＤ−ＲＯＭ７２２等の記録媒体に格納されていてもよい。
【００４９】
フレキシブルディスクドライブ７１２は、フレキシブルディスク７２０がプログラムを格納している場合、フレキシブルディスク７２０からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１６は、ＣＤ−ＲＯＭがプログラムを格納している場合、ＣＤ−ＲＯＭ７１８からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。
【００５０】
また、プログラムは記録媒体から直接ＲＡＭに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にＲＡＭに読み出されて実行されてもよい。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。
【００５１】
プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭの他にも、ＤＶＤ、ＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ＩＣカードやミニチュアーカードなどの半導体メモリー等を用いることができる。又、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはＲＡＭ等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、パターンのエッジ位置の測定等において、測定条件によらず再現性のある測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る試料観察装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】信号処理部３０が取得する電子像及び信号プロファイルを説明する図である。図２（ａ）は、試料１１０の表面に設けられたパターン１１２の一例を示し、図２（ｂ）は、信号処理部３０が取得する電子像の一例を示し、図２（ｃ）は、信号処理部３０が生成する信号プロファイルの一例を示す。
【図３】信号処理部３０の構成の一例を示す図である。
【図４】信号プロファイル及びスムージングプロファイルのエッジ領域の一例を示す図である。
【図５】特異点の位置を算出する方法の一例を説明するための図である。
【図６】エッジ１１４の形状及び信号プロファイルの一例を示す図である。図６（ａ）は、エッジ１１４の形状の一例を示し、図６（ｂ）は、傾斜角効果を考慮しない場合の信号プロファイルを示し、図６（ｃ）は、傾斜角効果により増大する電子量の信号プロファイルを示し、図６（ｄ）は、信号処理部３０が生成する信号プロファイルを示す。
【図７】試料観察装置１００を制御するコンピュータ３００の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０・・・筐体、１２・・・電子銃、１４・・・偏向器、１６・・・電子検出部、１８・・・レンズ、２０・・・試料ホルダ、２２・・・試料ステージ、３０・・・信号処理部、３２・・・状態取得部、３４・・・エッジ位置算出部、２６・・・スムージング部、３８・・・基準点抽出部、４０・・・特異点検出部、１００・・・試料観察装置、１１０・・・試料、３００・・・コンピュータ、７００・・・ＣＰＵ、７０２・・・ＲＯＭ、７０４・・・ＲＡＭ、７０６・・・通信インターフェース、７１０・・・ハードディスクドライブ、７１２・・・ＦＤドライブ、７１４・・・ＣＤ−ＲＯＭドライブ、７２０・・・フレキシブルディスク、７２２・・・ＣＤ−ＲＯＭ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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