(57)【要約】【課題】本発明の目的は圧電素子ベベリングのメディア、及びメディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつこのメディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状のメディアを使用する加工方法を提供すること。【解決手段】上記の目的を達成する為に、本発明は圧電素材と研磨剤とメディアとを容器に収納し、この容器を回転駆動させ圧電素材をベベリング加工する際に使用するメディア及びそのベベリング加工方法において圧電素材ベベリング加工に使用されるメディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつメディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状で、このメディアを使用した圧電素材ベベリング加工方法で、またメディアを使用したベベリング加工途中における研磨材の交換及びそのベベリング加工の終了時での分別にすだれ状ふるいを用いる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素材と研磨剤とメディアとを容器に収納して該容器を回転駆動させて該圧電素材をベベリング加工する際使用されるメディアにおいて、
該圧電素材の該ベベリング加工に使用される該メディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつ該メディアの最大寸法が該圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状であることを特徴とするメディア。
【請求項２】
圧電素材と研磨剤とメディアとを容器に収納して該容器を回転駆動させて該圧電素材をベベリング加工する加工方法において、
該圧電素材の該ベベリング加工に使用するメディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつ該メディアの最大寸法が該圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状のメディアを使用することを特徴とする加工方法。
【請求項３】
請求項２に記載の該メディアを使用した該ベベリング加工途中における研磨材の交換及び該ベベリング加工の終了時における分別にすだれ状ふるいを用いることを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素材ベベリング加工における圧電素子形状のベベリング加工能率の改善とベベリング加工のバラツキの発生を抑制するメディアと、メディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつ該メディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状のメディアを使用した加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、振動子や発振器の小型化に伴いベベリングを行う圧電素子の周波数の高周波化及び小型化が急速に進んでおり同時に圧電素子の質量が急速に小さく成って来ている。圧電素子のベベリングはベベリング加工容器４の中に圧電素子１と研磨材を一緒に入れた状態においてベベリング加工容器４と圧電素子１の摩擦運動によってなされベベリング加工の後に図５の加工後の形状、及び図６に示すようなベベリング加工後の概略のひとつの面の形状のような圧電素子形状を得ることを目的とする。
【０００３】
ベベリングの加工能率は圧電素子の加工点に加わる荷重に依存するため小型・高周波化に伴う圧電素子の質量の減少はベベリング加工能率の低下を引き起こす結果となる。
【０００４】
これを補う為にベベリング加工容器４の中に以下の特許文献１に記載されているような、例えばアルミナ、ジルコニア、スチールといった単一素材から成る球状メディアを更に加えることによって圧電素子の加工点に加わる荷重を増大させてベベリング加工能率の低下を抑制している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０５−１１０３６７号公報（第２頁、図２）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、同じ寸法の球状メディアを用いた場合には同じ寸法の球状メディアが整列しやすいために乾式や湿式の手法にかかわらず図７の加工後の形状及び図８に示すような加工後のひとつの面の筋状の偏磨耗が圧電素子の表面に生じてしまう。この偏磨耗は圧電素子のベベリング加工能率の差を示しており、加工の速度がはやく、凹んでしまった部分についてはその表面粗さが粗くなってしまうという問題があった。
【０００７】
また、通信機器用途に使用される圧電素子は、ＡＴまたはＢＴカットなどの厚み滑り振動子であり厚みによって振動周波数が決定するので振動部分に凹凸がある場合にはその振動子から得られる共振特性が急峻でなくなってしまい、その結果、圧電振動子の重要な特性であるＣＩ　（クリスタルインピーダンス）　を劣化させてしまうという問題があった。
【０００８】
そこで、以上の問題を回避するために同じ寸法の球状メディアに代えて形状が不定形のメディアや複数の寸法の球状メディアを同時に使用する方法があるがメディア自体もベベリング加工により摩滅して変形するのでベベリング加工をより安定化するためにはメディアを分別する必要が生じるが、これらのメディアを格子状のふるいで分別して管理することは困難であるという問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、圧電素子ベベリングの円筒形メディア及びメディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつこのメディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状のメディアを使用する加工方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、圧電素材と研磨剤とメディアとを容器に収納して、この容器を回転駆動させて先の圧電素材をベベリング加工する際使用するメディアにおいて、圧電素材ベベリング加工に使用されるメディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつこのメディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状であることを特徴とする。
【００１１】
また、圧電素材と研磨剤とメディアとを容器に収納して、この容器を回転駆動させてこの圧電素材をベベリング加工する加工方法において、メディアの直径寸法と高さ寸法がほぼ同じで、かつこのメディアの最大寸法が圧電素材の最大寸法の５０％から１００％の円筒形状のメディアを使用する圧電素材ベベリング加工方法であることを特徴とする。
【００１２】
また、前述のメディアを使用した先のベベリング加工途中における研磨材の交換及びそのベベリング加工の終了時における分別にすだれ状ふるいを用いることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１４】
市販されるメディア形状には、球・円錐・三角錘・三角柱・四角柱・砲弾・不定形状のものなどがあるが製造する際に雛型が必要なものは価格が高くなる傾向がある。このとき、図１にあるような本発明の円筒形メディア２は、例えばプラスチックと研磨剤を混合することによっても製作することが出来て、型からの押出しと切断用のカッターを組合せることによってその量産が非常に容易である。
【００１５】
また、その高さと巾がほぼ同一寸法の場合、形状の管理やまたは繰返し使用する際において図２のようにすだれ状ふるい３を用いてのメディアの分別が容易である。図２にあるように繰り返しのべべリング加工の後に摩耗してその高さと巾寸法の小さくなった円筒形メディア２は、すだれ状ふるい３を用いてもとの大きさの円筒形メディア２と容易に分別することが出来る。また、ベベリング加工後に圧電素材１と円筒形メディア２とを区別する際においても、図３のようにすだれ状ふるい３を用いると容易に圧電素材１と円筒形メディア２とを区別することが出来る。
【００１６】
本発明の円筒形メディア２にかかわらず、あるメディアをベベリング容器に加える目的は、圧電素子１に適当な荷重を加えることにあるが同一質量のメディアを用いる場合にはメディアと圧電素子１の接触面積が小さいほど、すなわち面・線・点接触の順に圧電素子１に加わる圧力は大きくなる。すなわち球状の場合が点接触の為もっとも圧電素子１に加わる圧力が大きくなり、次に線接触の機会が多いＲ面をもつ円錐・砲弾・円柱状のメディアの順でその接点における圧電素材１の加工能率が高くなる。
【００１７】
しかしながら、圧電素子１のベベリング加工は単に面取りすることを目的とせず、圧電素子１の中心部から外形側に向かって徐々にＲが小さくなるように圧電素子１が加工されることが望まれる。そのためにベベリングに用いられるベベリング加工容器４などからのその形状の圧電素子１への転写を用いており、同じ寸法の球状メディアでみられる様な圧電素子１への局部的な加工は好ましくない。
【００１８】
このような観点から円柱形状のメディアが有効なメディア形状となるがベベリング加工容器４の内面はＲ状となっているため、圧電素子１よりメディア寸法が大きい場合には、図４にあるようにその荷重が圧電素子１に加わり難くなり仮にメディアの質量が大きくなってもその荷重が圧電素子１に有効に働かないことになる。したがって、メディア寸法は図１にあるようにベベリング加工される圧電素子１の最大寸法以下である必要があり、本発明の円筒形メディア２は図１にあるようにその最大寸法が圧電素材１の最大寸法以下である。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の円筒形メディアにより、加工される圧電素子の表面に圧電素子の特性を悪化させる偏磨耗を生じさせることなく、圧電素子のベベリング加工能率を大幅に改善することが出来る。
【００２０】
また、本発明の円筒形メディアはその製作及びその管理が容易であり、繰返し使用することが出きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の円筒形メディアを用いる圧電素子のベベリング加工の様子を示す模式図である。
【図２】本発明の円筒形メディアを、すだれ状ふるいを用いて分別する様子を示す模式図である。
【図３】本発明の円筒形メディアと圧電素子とを、すだれ状ふるいを用いて分別する様子を示す模式図である。
【図４】本発明の円筒形メディア寸法が圧電素子より大きい場合のベベリング加工の様子を示す模式図である。
【図５】本発明の円筒形メディアを用いたベベリングにより得られる一圧電素子形状を示す模式図である。
【図６】図５をＡ−Ａ面からみた一圧電素子の表面形状を示す模式図である。
【図７】従来の球状メディアを用いたベベリングにより得られる偏摩耗をもった一圧電素子形状を示す模式図である。
【図８】図７をＢ−Ｂ面からみた一圧電素子の偏摩耗をもった表面形状を示す模式図である。
【符号の説明】
１　圧電素材
２　円筒形メディア
３　すだれ状ふるい
４　ベベリング加工容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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