(57)【要約】【課題】ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを基板とするフレキシブル光ディスクについて、その弾力性を高めることによって安価なフィルムを素材に用いて高品質なベルヌーイ浮上が可能なフレキシブルディスクフィルムを製作できるように、その構造及び製造方法を工夫すること。【解決手段】ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを基板とするフレキシブル光ディスクについて、スタンパの微細パターンをポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに転写し、ポリエステルフィルムの転写面と反対側の面に高弾性樹脂によるマスキングフィルムを貼り合わせること。【選択図】  図２
2004227626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタンパの微細パターンをポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに転写するフレキシブル光ディスクにおいて、
ポリエステルフィルムの転写面と反対側の面に高弾性樹脂によるマスキングフィルムを貼り合わせることを特徴とするフレキシブル光ディスク。
【請求項２】
請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法であって、
ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンをホッパーに入れて共押出しして、ＥＶＡ側をＰＥＴフィルムに貼り合わせて、ＰＥＴフィルムのマスキングフィルムを形成することを特徴とするフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項３】
上記マスキングフィルムがＰＥレジンからなることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項４】
ＰＥＴフィルムとマスキングフィルムの昇温時の粘着力が、常温時の２．５倍以上であることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスク。
【請求項５】
上記マスキングフィルムの表面粗さがＲａで１０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスク。
【請求項６】
上記マスキングフィルムが、記録膜成膜時の昇温によるその熱収縮率がＰＥＴフィルムよりも大きい熱収縮フィルムであることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスク。
【請求項７】
上記マスキングフィルムが低密度ポリエチレン（ＰＥ）であることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスク。
【請求項８】
上記マスキングフィルムの熱収縮率が１５〜４０％（ミリコン油に５分浸漬テストによる）であることを特徴とする請求項１のフレキシブル光ディスク。
【請求項９】
上記スタンパの微細パターンをＰＥＴフィルムに転写後に所望の記録膜等を積層し、その後、フレキシブル光ディスクの最終形態を、マスキングフィルム面が凹面になるようにすることを特徴とする請求項２のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項１０】
フレキシブル光ディスクの最終形態が、マスキングフィルム面が凹面になっており、中心部と周辺部との高さの差Ｈと、半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．０５〜０．１であることを特徴とする請求項６乃至請求項８のフレキシブル光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、光ディスク等の光記録媒体に関し、特に高記録密度光ディスクおよびその製造方法に関するものであり、特にフレキシブルシートを用いたフレキシブル光ディスクについて、ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを用いることでその製造コストを低減し、かつその面振れ安定化を図ってその品質を向上させることができるものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクはリムーバブルであり、かつ大容量であることから、ＣＤ，ＤＶＤなどとして広く普及している。通常、厚さ１．２または０．６ｍｍのポリカーボネート（ＰＣ）基板に記録膜を成膜して信号を記録再生する。光を記録面上に集光するために対物レンズと記録面間の高い位置精度が必要であるが、基板を平坦にし、剛性を持たせ、かつ光ピックアップにサーボをかけて位置精度を出している。さらに記録容量を高めるために対物レンズの開口数（ＮＡ）を上げたり、レーザーを短波長化することで、光スポットを更に小径化しようとする開発が行われている。ＮＡを上げるためには基板のチルト（面振れ）を小さくしなければならないが、製造基板の精度向上を図り、ピックアップにチルト（面振れ）サーボを搭載し、記録膜上に０．１ｍｍ程度の薄いカバー層を設け、このカバー側から記録再生することでチルト（面振れ）マージンを拡大することなどが行われている。
【０００３】
基板のチルト（面振れ）を小さくすることは、材料や製法の工夫によりある程度達成可能であるが、しかし，コストアップが避けられない。また、光ピックアップのチルト（面振れ）サーボ機能の向上によるものも同様である。
また、記録膜側から再生する手法も、記録膜面と対物レンズの距離が０．１ｍｍ程度しか確保できないので、剛体である通常の光ディスクを回転させ、光ディスク表面と対物レンズとの衝突を防ぐためには、光ディスクの面振れを小さくするようにディスクのチャッキング精度を向上させることが挙げられるが、これもコストアップにつながる。
【０００４】
他方、光ディスクを剛体にしてその機械精度を高精度化するのではなく、ディスクを可撓性にし、記録再生面と反対側にガイドを設け、ディスクを回転させて、ディスクを挟んで対物レンズと対向するガイドによって空気力学的にディスクを浮上（ベルヌーイ浮上：非接触）させ、対物レンズに対する記録再生面の安定化を図り、これによって光ディスクの対物レンズに対するチルトを限りなく０に近づけることが可能である（例えば、特開２００１−１０１６９８号公報、特開２００２−２８８８６２号公報）。
【０００５】
上記特開２００２−２８８８６２号公報に記載されているものは、フレキシブル光ディスクの上下に安定化板を設け、これによって面振れを安定化させて良好な記録再生を行うものであり、上下の安定化板とフレキシブルディスクとの間に作用する負圧を利用して面振れを安定化させるものである。
上記の可撓性の光ディスク基板、すなわちフレキシブル光ディスク基板を作製するための従来工法として、微細パターンが転写されたポリカーボネート（ＰＣ）フィルムを基板としてフレキシブル光ディスクを製造していたが、ＰＣフィルムは非常に高価なものであるので、剛体のＣＤやＤＶＤなどに比べて製造コストが高くなることが避けられない。このため、低コストで高品質なフレキシブル光ディスクを製造可能にするようにその製造プロセスを工夫する必要があり、そのために、廉価なポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを基板とするものが開発されている。しかし、このものは、硬くて弾性力に乏しく、ガイドによる空気軸受の面振れ安定化が成されにくいという問題がある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１０１６９８号公報。
【特許文献２】特開２００２−２８８８６２号公報。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
【課題１】
本発明の課題１は、ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを基板とするフレキシブル光ディスクについて、その弾力性を高めることによって安価なフィルムを素材に用いて高品質なベルヌーイ浮上が可能なフレキシブルディスクフィルムを製作できるように、その構造及び製造方法を工夫することである。
【０００８】
【課題２】（請求項４に対応）
課題２は、課題１を解決するために上記ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムにマスキングフィルムを積層した構造にするについて、記録膜性膜時の昇温プロセスを経た後、マスキングフィルムとＰＥＴフィルムが十分な密着性を有するようにして、積層面の剥離を防止することである。
【０００９】
【課題３】（請求項５に対応）
課題３は、課題１を解決するために上記ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムにマスキングフィルムを積層した構造のものについて、マスキングフィルム面をガイドに近接させた際に、間隙における層流で送り出して、空気力学的なディスクの浮上作用を安定させることである。
【００１０】
【課題４】（請求項６に対応）
課題４は、課題１を解決するために上記ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムにマスキングフィルムを積層した構造のものについて、マスキングフィルムが熱収縮を利用して、フレキシブル光ディスクの反り形状を適正な範囲に制御し、これによって、ディスクの面振れ安定化を図れるようにすることである。
【００１１】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】（請求項１に対応）
上記課題を解決するために講じた手段１は、ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムを基板とするフレキシブル光ディスクについて、スタンパの微細パターンをポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに転写し、ポリエステルフィルムの転写面と反対側の面に高弾性樹脂によるマスキングフィルムを貼り合わせることである。
【００１２】
【作用】
基板がポリエステル（ＰＥＴ）フィルムと高弾性樹脂フィルムとの複合構造であるから、基板の弾力性が高い。そして、ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムは廉価であり、高弾性樹脂フィルムを廉価なものにすることによって、基板の素材コストが低くなる。そして、この基板に十分な弾力性を有するので、高い面振れ安定性が実現される。
【００１３】
【解決手段２】（請求項２に対応）
解決手段２は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクの製造方法について、ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンをホッパーに入れて共押出しして、ＥＶＡ側をＰＥＴフィルムに貼り合わせて、ＰＥＴフィルムのマスキングフィルムを形成することである。
【００１４】
【作用】
ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンをホッパーに入れて共押出しして、ＥＶＡ側をＰＥＴフィルムに貼り合わせて、ＰＥＴフィルムのマスキングフィルムを形成することによって、ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンとによる積層構造の基板を廉価に製造することができる。そして、両層の接着性、接着精度は高いので、両層一体の高品質の基板が形成される。
そして、エチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンによって形成されるマスキングフィルムは、高い弾力性を有するので、これによってＰＥＴフィルムの弾力性不足が十分補完される。
【００１５】
【実施態様１】（請求項３に対応）
実施態様１は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクのマスキングフィルムをＰＥレジンによって構成することである。
【作用】
ＰＥレジンは廉価であり、かつ高弾力性を有するので、解決手段１の上記作用が最も効果的に実現される。
【００１６】
【実施態様２】（請求項４に対応）
実施態様２は、上記課題２を解決するためのものであり、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクのＰＥＴフィルムと高弾力性マスキングフィルムとの昇温時の粘着力を、常温時の２．５倍以上にすることである。
【作用】
記録膜成膜時の粘着力が常温時の２倍未満では、フレキシブル光ディスクを記録再生装置に搭載して、ベルヌーイ浮上を繰り返すと、反って光ディスクの遠心力や空気圧で局部的な曲げ負荷が繰り返される結果、ＰＥＴフィルムのマスキングフィルムとの積層面に部分的な剥離を生じるが、ほぼ２．５倍以上であれば、上記剥離を生じることはない。
なお、上記の「２．５倍以上」は、数値自体に臨界的な意義があるわけではないが、ベルヌーイ浮上を繰り返すことによって、ＰＥＴフィルムのマスキングフィルムとの積層面に部分的な剥離を生じることを確実に防止するために必要な記録膜成膜時の粘着力の常温時の粘着力についての必要条件である。
【００１７】
【実施態様４】（請求項５に対応）
実施態様４は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクにおけるマスキングフィルムの表面粗さをＲａで１０ｎｍ以下にしたことである。
【作用】
マスキングフィルムの表面粗さは、ガイドとマスキングフィルムとの隙間に引き込まれる空気流の状態を左右する。
そして、マスキングフィルムの表面粗さがＲａで１０ｎｍを越えると、上記空気流が乱流となって安定せず、したがって、ベルヌーイ浮上が不安定になって、面振れ安定化が図られない。
なお、上記の「Ｒａで１０ｎｍ以下」は、数値自体に臨界的な技術的意義があるわけではないが、ベルヌーイ浮上が不安定させるために必要なマスキングフィルムの表面粗さについての必要条件である。
【００１８】
【実施態様５】（請求項６に対応）
実施態様５は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクの上記マスキングフィルムが、記録膜成膜時の昇温によるその熱収縮率がＰＥＴフィルムよりも大きい熱収縮フィルムであることである。
【作用】
ＰＥＴフィルムとマスキングフィルムは、記録膜成膜時に共に加熱されて昇温する。このとき、マスキングフィルムの熱収縮率がＰＥＴフィルムよりも大きいので、フレキシブル光ディスクはマスキングフィルム側に凹面状に大きく反った形状になる。
【００１９】
【実施態様６】（請求項７に対応）
実施態様６は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクのマスキングフィルムが低密度ポリエチレン（ＰＥ）であることである。
【００２０】
【実施態様７】（請求項８に対応）
実施態様７は、上記解決手段１のフレキシブル光ディスクのマスキングフィルムの熱収縮率が１５〜４０％（ミリコン油に５分浸漬テストによる）であることである。
【作用】
マスキングフィルムの熱収縮率が１５％以下（ミリコン油に５分浸漬テストによる。以下同じ）ではフレキシブル光ディスクの反りは小さく、ガイドを近接させても面振れを安定させにくく、他方、マスキングフィルムの熱収縮率が４０％以上ではマスキングフィルム側が凹面状に大きく反りすぎて、やはり面振れを安定させにくい。マスキングフィルムの熱収縮率が１５〜４０％のとき、ほぼ適当な反りになって、面振れが安定する。
なお、上記の「熱収縮率が１５〜４０％」は、それ自体が臨界的な技術的意義を有するものではないが、上記空気軸受による面振れを可及的に安定させるために必要なおおよその範囲として適当なものである。
【００２１】
【実施態様８】（請求項９に対応）
実施態様８は、上記解決手段２の製造方法において、スタンパの微細パターンをＰＥＴフィルムに転写した後に所望の記録膜等を積層し、その後、フレキシブル光ディスクの最終形態を、マスキングフィルム面が凹面になるようにしたことである。
【作用】
ＰＥＴフィルムの所定厚さを前提として、マスキングフィルムの熱収縮率、熱収縮力、記録膜成膜時の昇温温度等を勘案して、その材質、厚さなどを適宜選択して、スタンパの微細パターンをＰＥＴフィルムに転写した後、所望の記録膜等を積層した後、フレキシブル光ディスクの最終形態が、マスキングフィルム面が凹面になるようにすることによって、所要の凹面状の反りを備えたフレキシブル光ディスクが成形される。
【００２２】
【実施態様９】（請求項１０に対応）
実施態様９は、実施態様５乃至実施態様７のフレキシブル光ディスクについて、その最終形態が、マスキングフィルム面が凹面になっていて、中心部と周辺部との高さの差Ｈと、半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．０５〜０．１であることである。
【作用】
上記フレキシブル光ディスクについて、マスキングフィルムの熱収縮によってマスキングフィルム側を凹面にして凹面状に反ったフレキシブル光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと、半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．０５未満では反りが小さすぎて面振れが安定せず、反対に０．１を越えると反りが大きすぎて面振れが安定しない。そして、Ｈ／Ｒが０．０５〜０．１のとき、上記反りの大きさが適当であり、面振れが安定する。
【００２３】
【実施の形態】
この実施の形態は、記録膜成膜時の成膜応力や熱による変形を防止し、機械特性、記録再生信号特性の高品質な本発明のフレキシブル光ディスクをハイサイクルで製造可能な量産工法を実現したものである。
【００２４】
低密度ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンをホッパーに入れて共押出しして、ＥＶＡ側をＰＥＴフィルム１に貼り合わせて、厚さ７５μｍのポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに厚さ６０μｍのマスキングフィルム２を積層する。これによって、マスキングフィルム付きのＰＥＴフィルムが得られる（図２（ｂ））。ＰＥＴフィルム１の転写層３にスタンパの微細パターン４を転写し（図２（ｃ））、スパッタ、真空蒸着などで記録膜等が成膜される（図２（ｄ））。これをディスクサイズに加工することでフレキシブル光ディスクが作成される。これを図１に示すディスク評価装置に搭載し、マスキングフィルム２にガイドを近接させて、その間隙ｓの高速空気流によるベルヌーイ浮上力を利用して、ディスクの面振れを安定化させた後、フォーカス、トラッキングサーボをロックさせて、記録再生を実施する。
【００２５】
ＰＥＴフィルム１とマスキングフィルム２間の粘着層６の粘着剤がＥＶＡであるから、常温時の粘着力がある程度規定されるが、記録膜成形（成膜）時にフィルムがプラズマでたたかれるので例えば６０℃程度に昇温し、また、マスキングフィルム２（ＰＥフィルム）の熱収縮率がＰＥＴフィルム１よりも高いので、昇温と、記録膜成膜応力とによりマスキングフィルムが収縮することで、フレキシブル光ディスク全体がマスキングフィルム側が凹面にして凹状の反った形状になる（図２（ｄ））。
【００２６】
実験の結果によれば、常温時と昇温時の粘着力が同等の場合は、記録膜成膜後、マスキングフィルムとＰＥＴフィルムが剥離する現象が見られる。また、上記昇温時の粘着力が常温時の２倍の場合は、成膜直後の剥離はみられないが、記録再生装置に搭載してベルヌーイ浮上を繰り返すと、反ったディスクが遠心力や空気圧で繰り返して局部的に屈曲することで、マスキングフィルムとＰＥＴフィルムが剥離する。昇温時の粘着力が常温時の２．５倍、３．５倍の場合は、記録再生装置に搭載してもマスキングフィルムとＰＥＴフィルムは剥離しないことが確認された。
【００２７】
ＰＥＴフィルム１とマスキングフィルム２の密着性をパラメーターにとって、常温時の密着力に対して、成膜昇温時の密着力の比をとった結果、成膜昇温時の密着力が２．５倍以上あれば十分な密着性を有し、高品質な記録再生特性が得られたが、しかし、２．５倍以下ではＰＥＴフィルムとマスキングフィルムの間に浮きが発生し、ディスクとしての機能を有し得なかった。
したがって、昇温時の粘着力を常温時の２．５〜３．５倍にする必要がある。そしてそのためには、粘着層６の昇温時の粘着力を加減することによって昇温時の粘着力を調整すればよい。
【００２８】
実施例１のフレキシブル光ディスクの製造方法によって、ＰＥレジンであるマスキングフィルムの表面粗さＲａが、５ｎｍ，１０ｎｍ，２０ｎｍ，２５ｎｍ，３５ｎｍ，５０ｎｍのものを製造し、マスキングフィルムの表面粗さＲａをパラメーターにとって、ディスクをベルヌーイ浮上させたところ、マスキングフィルムの表面粗さＲａが１０ｎｍ以下では、マスキングフィルム面をガイドに近接させる際に、間隙における空気流を層流で送り出すことにより、安定したディスクのベルヌーイ浮上力が得られ、ディスクの面振れが安定し（面振れは２０μｍ未満）、高品質な記録再生特性が得られたが、マスキングフィルムの表面粗さＲａが１０ｎｍ以上では、間隙における空気流が乱流化し、ディスクの面振れが安定せず（面振れが３０μｍ以上）、フォーカスサーボをロックできなかった。
【００２９】
マスキングフィルムの表面粗さは、結果的にフォーカスサーボ特性に影響を及ぼす。表面粗さＲａが２５，３５，５０ｎｍの場合は、ガイドとマスキングフィルム間の空気が乱流となり、フレキシブル光ディスクを揺動させる。その結果、記録再生面も同様に揺動するので、フォーカスサーボが追従しにくくなる。表面粗さが１５，２０ｎｍの場合は、ガイドとマスキングフィルム間の空気流が層流となり、安定した浮上力が得られフレキシブル光ディスクが揺動しなくなる。その結果、記録再生面のフォーカスサーボの追従性が良好で、高品質な記録再生特性が得られた。
したがって、マスキングフィルムの表面粗さＲａを１０ｎｍ以下にすることが必要である。そしてそのためには、マスキングフィルムの表面粗さＲａを、ラッピング等によって１０ｎｍ以下に調整すればよい。
【００３０】
実施例１のフレキシブル光ディスクの製造方法で、マスキングフィルムの熱収縮率をパラメーターにとって、多数のフレキシブル光ディスクを製造し、これらの面振れを安定性を確認したところ、熱収縮率が１５％以下（ミリコン油に５分浸漬テストによる。以下同じ）ではフレキシブル光ディスクがほとんど平坦で、ガイドを近接させても面振れを安定させにくく、したがって、フォーカスサーボをロックしずらかった。マスキングフィルムの熱収縮率が４０％以上ではマスキングフィルム側が凹面状に大きく反りすぎて、やはり面振れを安定させにくく、フォーカスサーボをロックしずらかった。マスキングフィルムの熱収縮率が１５〜４０％の間においては、中心部と周辺部との高さの差Ｈと、半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下の凹面形状となり、面振れが安定しやすく、サーボロックも可能となり、高品質な記録再生特性が得られた。
【００３１】
なお、マスキングフィルムの熱収縮率が１５，２８，４０％の場合、Ｈ／Ｒがそれぞれ０．０５，０．０８，０．１となり、ガイド近接時に適度の圧力場を発生でき、面振れが２０μｍ以下となり、フォーカスサーボの追従性が良好で高品質な記録再生が得られた。マスキングフィルムの熱収縮率が１０％の場合、Ｈ／Ｒが０．０２となり、ガイド近接時に十分な圧力場が発生せず、面振れ安定化ががなされなかった。また、マスキングフィルムの熱収縮率が５０％の場合、Ｈ／Ｒが０．１４となり、ガイド近接時に発生する圧力場が大きすぎて、面振れが安定せず、フォーカスサーボがロック不可であった。
以上のことから、マスキングフィルムの熱収縮率を１５〜４０％にする必要がある。そしてこのためには、マスキングフィルムの密度を調整することによってマスキングフィルムの熱収縮率を１５〜４０％の範囲にすればよい。
【００３２】
【比較例１】
ＰＥＴフィルムにスタンパの微細パターンを転写形成後、記録層等を形成する。このものは、ディスクの弾性が小さく、このため、ガイドを近接させた際、ディスクがベルヌーイ浮上する際、安定な浮上状態を形成しにくく、その結果、１回転での面振れプロファイルにスパイク状の信号波形が得られた。このスパイク状の信号波形で示される面振れをフォーカスサーボで補償することは難しく、したがって、安定した記録再生特性は得られなかった。
【００３３】
【発明の効果】
特開２０００−２８８８６２号公報に記載されている従来技術は、フレキシブル光ディスクの上下に安定化板を設け、これによって面振れを安定化させて良好な記録再生を行うものであり、上下の安定化板とフレキシブルディスクとの間に作用する負圧を利用して面振れ安定化させるものであるが、これに対して、本発明はフレキシブル光ディスクとガイド間で陽圧と負圧を発生させてバランスさせるものである。
この発明の効果を主な請求項毎に整理すれば、次のとおりである。
【００３４】
（１）請求項１に係る発明について
ポリエステルフィルムの転写面と反対側の面に高弾力性樹脂によるマスキングフィルムが貼り合わされていることで、ポリエステルフィルムに弾力性を付与することができ、ＰＣフィルムなどと同等の弾性が得られる。したがって、コストの安いＰＥＴフィルムを用いた低コスト工法で面振れ安定性の高いフレキシブル光ディスクを製造することができる。
【００３５】
（２）請求項２に係る発明について
ポリエチレン（ＰＥ）レジンとエチレン酸ビニルエマルジョン共重合体（ＥＶＡ）レジンをホッパーに入れて共押出しして、ＥＶＡ側をＰＥＴフィルムに貼り合わせて、ＰＥＴフィルムのＰＥレジンから構成されるマスキングフィルムを形成することで、昇温プロセスを経た後においても、マスキングフィルムとＰＥＴフィルムが十分な密着性で積層されたフレキシブル光ディスクを、能率的に製造することができる。
【００３６】
（３）請求項４に係る発明について
ＰＥＴフィルムとマスキングフィルムの昇温時の粘着力が、常温時の２．５倍以上であることにより、経時的にＰＥＴフィルムとマスキングフィルムが剥離せず、所要の弾性を有する状態が維持される。
【００３７】
（４）請求項５に係る発明について
マスキングフィルムの表面粗さがＲａで１０ｎｍ以下であることにより、マスキングフィルム面をガイドに近接させる際に、間隙における空気流を層流で送り出すことにより、空気軸受けの安定形成がなされる。
【００３８】
（４）請求項６に係る発明について
マスキングフィルムが熱収縮フィルムであることにより、加熱することで、マスキングフィルムが熱収縮し、適正な反り形状に制御することが可能であり、具体的には、マスキングフィルムが低密度ポリエチレン（ＰＥ）であって（請求項７）、その熱収縮率が１５〜４０％（ミリコン油に５分浸漬テストによる）（請求項８）であるとき、フレキシブル光ディスクの最終形態が、ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと、半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下になり（請求項１０）、ガイドを近接させると、ディスクの面振れを２０μｍ以下に制御可能である。したがって、高品質な記録再生特性を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、この発明のフレキシブル光ディスクとドライブ（ピックアップの対物レンズ）の状態を示す模式図である。
【図２】は、この発明のフレキシブル光ディスクの製造工程のフロー図である。
【符号の説明】
１：ポリエステル（ＰＥＴ）フィルム
２：マスクフィルム
３：転写層
４：プリフォーマットパターン
５：記録層
６：粘着層
【図１】
2004227626.tif 000003
【図２】
2004227626.tif 000004