(57)【要約】【課題】ノズル先端と塗布対象物とのギャップを直接検出することによって高い精度を確保するとともに、検出手段を簡易に構成でき、ノズル先端に損傷を与えにくいギャップ調整方法及び塗布装置を提供する。【解決手段】本発明の塗布装置のギャップ調整方法は、塗布装置に設けられた導電性を有するノズル１６３の先端と、塗布対象物との間のギャップＧを調整する方法において、導電性を有するダミー部材７１と、前記ノズル先端との間の電気的特性を検出しながら前記ノズル先端を前記ダミー部材に接近させていき、前記電気的特性の所定変化を検出したときの前記ノズル先端と前記ダミー部材との位置関係を基準として、塗布時における前記ギャップを調整することを特徴とする。【選択図】          図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布装置に設けられた導電性を有するノズル先端と、塗布対象物との間のギャップを調整する方法において、
導電性を有するダミー部材と、前記ノズル先端との間の電気的特性を検出しながら前記ノズル先端を前記ダミー部材に接近させていき、前記電気的特性の所定変化を検出したときの前記ノズル先端と前記ダミー部材との位置関係を基準として、塗布時における前記ギャップを調整することを特徴とする塗布装置のギャップ調整方法。
【請求項２】
前記電気的特性の変化は、前記ノズル先端と前記ダミー部材との間の非導通状態から導通状態への変化であることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置のギャップ調整方法。
【請求項３】
前記電気的特性の変化を検出したときに音を発生させることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置のキャップ調整方法。
【請求項４】
前記ダミー部材には、前記ギャップに対応する既定の突出量を備えた凸部を形成し、前記ノズル先端を前記凸部に接近させていき、前記電気的特性の所定変化を検出したときの前記位置関係を調整位置とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の塗布装置のギャップ調整方法。
【請求項５】
塗布装置に設けられた導電性を有するノズル先端と、塗布対象物との間のギャップを調整可能な塗布装置において、
前記ノズル先端と前記塗布対象物とのギャップを変更可能なギャップ変更手段と、
前記塗布対象物を保持するための対象物保持手段と、
前記ノズル先端と前記塗布対象物との間の電気的特性の変化を検出する電気的変化検出手段と、
を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
前記電気的変化検出手段は、前記ノズル先端と前記塗布対象物との間の非導通状態から導通状態への変化を検出するように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記電気的特性の変化を検出したときに音を発生させる発音装置を有することを特徴とする請求項５又は６に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記塗布対象物と略同形状の導電性を有するダミー部材を有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記ダミー部材は、前記ノズル先端の接近位置に前記ギャップに対応する既定の突出量を備えた凸部を備えていることを特徴とする請求項８に記載の塗布装置。
【請求項１０】
請求項５乃至９のいずれか一項に記載の塗布装置を備えた電気光学装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は塗布装置のギャップ調整方法及び塗布装置に係り、特に、塗布装置を用いて塗布物を塗布対象物に塗布する際のノズル先端と塗布対象物とのギャップを調整する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、種々の塗布物を塗布対象物に塗布するための塗布装置が知られている。たとえば、電気光学パネルの製造工程では、一方の基板の表面上に塗布装置を用いてペースト状のシール材を塗布し、このシール材を介して上記基板と、他方の基板とを貼り合わせることによってパネル構造を構成する。
【０００３】
塗布装置としては、塗布物を収容するシリンジと、このシリンジに挿入されて塗布物を押し出すためのピストンロッドとを用いた機械的押出方式の塗布装置と、シリンジに圧縮空気などを供給してエア圧によって塗布物を押し出すように構成したエア圧押出方式（エアーシリンダー方式）の塗布装置とが知られている。シリンジにはノズルが取り付けられ、このノズル先端から塗布物が塗布対象物に向けて吐出されるように構成されている。
【０００４】
上記の塗布装置においては、ノズル先端と塗布対象物とのギャップによって塗布状態が敏感に変化するため、上記ギャップを正確に調整することが、塗布状態（塗布量）の適正化及び均一化を達成する上で非常に重要である。また、上記ギャップを積極的に変えることによって塗布量を制御する方法もある。
【０００５】
従来の上記ギャップの調整方法としては、ノズル先端と塗布対象物との間に隙間ゲージを挿入してノズルの高さを調整する方法や、ノズル先端を検出するリニアゲージセンサと、塗布対象物の表面高さを検出するレーザセンサとを用いる方法などが知られている。また、塗布対象物の表面に接触することによって当該表面の高さを検出するとともに、ノズル先端に接触することによってノズル先端の高さを検出する検出素子を用いた方法も知られている（たとえば、以下の特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−３４５１６０号公報（特に、図２参照。）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のギャップの調整方法のうち、隙間ゲージを用いる方法では、ノズル先端を隙間ゲージによって擦ってしまい、ノズル先端を傷つけてしまう恐れがある。また、上記ギャップとしては数十から数百μｍ程度になる場合があるため、隙間ゲージなどを用いた手作業による調整では、正確なギャップ設定ができないという問題点もある。
【０００８】
また、リニアゲージセンサとレーザセンサを用いてノズル先端と塗布対象物とを別々に測定する方法では、センサが高価であるとともに、別々のセンサでノズル先端と塗布対象物とをそれぞれ検出するため、測定精度のばらつきが問題になる。
【０００９】
さらに、塗布対象物とノズル先端の双方の高さを検出する検出素子を用いる方法では、検出素子の構造が複雑になり、高価になるとともに、検出素子自体の検出精度を確保することが困難であるという問題点がある。
【００１０】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ノズル先端と塗布対象物とのギャップを直接検出することによって高い精度を確保するとともに、検出手段を簡易に構成できるギャップ調整方法及び塗布装置を提供することにある。また、ノズル先端に損傷を与えにくいギャップ調整方法及び塗布装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の塗布装置のギャップ調整方法は、塗布装置に設けられた導電性を有するノズル先端と、塗布対象物との間のギャップを調整する方法において、導電性を有するダミー部材と、前記ノズル先端との間の電気的特性を検出しながら前記ノズル先端を前記ダミー部材に接近させていき、前記電気的特性の所定変化を検出したときの前記ノズル先端と前記ダミー部材との位置関係を基準として、塗布時における前記ギャップを調整することを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、ノズル先端をダミー部材に接近させていき、このときの両者間の電気的特性の変化を検出することにより、ノズル先端とダミー部材との間の位置関係を直接求めることができるため、ギャップ精度を高めることができるとともに、簡易な検出手段のみで安価に実施することができる。
【００１３】
本発明において、前記電気的特性の変化は、前記ノズル先端と前記ダミー部材との間の非導通状態から導通状態への変化であることが好ましい。これによれば、ノズル先端とダミー部材との間の非導通状態から導通状態への変化したときの両者が当接した位置を基準としてギャップを調整することができるため、ギャップ精度をさらに高めることができる。
【００１４】
なお、上記電気的特性としては、上記の他に、ノズル先端とダミー部材との間の電気抵抗値、静電容量値などが挙げられる。また、電気的特性の変化としては、上記の電気抵抗値や静電容量値が所定の閾値を上回ったときなどが挙げられる。
【００１５】
本発明において、前記電気的特性の変化を検出したときに音を発生させることが好ましい。これによれば、電気的特性の変化を検出したときに音を発生させることによって、音を聞いたときに直ちにノズル先端のダミー部材への接近を停止させることができるため、特に手動制御でノズル先端をダミー部材へ接近させる場合に、ノズル先端の損傷を防止することができる。
【００１６】
本発明において、前記ダミー部材には、前記ギャップに対応する既定の突出量を備えた凸部を形成し、前記ノズル先端を前記凸部に接近させていき、前記電気的特性の所定変化を検出したときの前記位置関係を調整位置とすることが好ましい。これによれば、予め調整したいギャップに対応する突出量を備えた凸部をダミー部材に設けておき、ノズル先端を凸部に接近させていったときに電気的特性に所定変化が生じたときの位置関係を調整位置とすることによって、より簡単にギャップの調整を完了させることができる。
【００１７】
次に、本発明の塗布装置は、塗布装置に設けられた導電性を有するノズル先端と、塗布対象物との間のギャップを調整可能な塗布装置において、前記ノズル先端と前記塗布対象物とのギャップを変更可能なギャップ変更手段と、前記塗布対象物を保持するための対象物保持手段と、前記ノズル先端と前記塗布対象物との間の電気的特性の変化を検出する電気的変化検出手段と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明において、前記電気的変化検出手段は、前記ノズル先端と前記塗布対象物との間の非導通状態から導通状態への変化を検出するように構成されていることが好ましい。
【００１９】
本発明において、前記電気的特性の変化を検出したときに音を発生させる発音装置を有することが好ましい。
【００２０】
本発明において、前記塗布対象物と略同形状の導電性を有するダミー部材を有することが好ましい。
【００２１】
本発明において、前記ダミー部材は、前記ノズル先端の接近位置に前記ギャップに対応する既定の突出量を備えた凸部を備えていることが好ましい。
【００２２】
上記の塗布装置は、特に、電気光学装置の製造装置の構成要素として用いることが好ましい。電気光学装置の製造装置としては、電気光学パネルの電気光学物質注入口に封止材を塗布するための塗布装置や、基板上に配置されるシール材の塗布装置を備えたものなどが挙げられる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る塗布装置のギャップ調整方法及び塗布装置の実施形態について詳細に説明する。本実施形態のキャップ調整方法及び塗布装置は、基本的に電気光学装置の製造工程において用いられるものである。そこで、電気光学装置として液晶装置を例にとることにし、最初に液晶装置の製造工程の概要について説明する。なお本実施形態においては液晶装置を例にとったが、本発明の適用範囲はそれに限られるものではなく、例えばエレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などの電気光学装置にも適用が可能である。
【００２４】
図８は、液晶装置の製造工程の概略を示す概略フローチャートである。最初に、ガラスやプラスチックなどで構成された２枚の基板１１，１２が準備される。これらの基板１１，１２の内面上には、それぞれ内面構造として所定の電極パターンが形成される。また、必要に応じてＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子が形成される。さらに、必要に応じて配向膜が塗布される。
【００２５】
次に、一方の基板１１にシール材が塗布される。この塗布工程は、スクリーン印刷などによってなされる場合もあるが、後述する塗布装置と同様の塗布装置（ディスペンサ）によってシール材が所定パターンに描画される場合もある。その後、基板１１と１２とがシール材を介して相互に貼り合わされる。
【００２６】
次に、シール材を加熱或いは紫外線照射などによって硬化することによってパネル構造が形成される。そして、上記シール材によって囲まれた領域にシール材の開口部である液晶注入口に液晶を注入する。この液晶注入工程では、たとえば、パネル構造を真空中に配置して、シール材の開口部を液晶で塞ぎ、周囲の圧力を上昇させることによって、シール材の内側と外側との間に内外圧力差が発生するため、この圧力差によって液晶がシール材の内側に引き込まれるようにする。
【００２７】
次に、上記のようにしてパネルに注入した液晶を封入する。この液晶封入工程では、まず、上記のように構成された液晶パネルを加圧する。これは、上記の状態では液晶パネルが太鼓状に膨らみ、パネル構造の適正な基板間ギャップや平坦度が確保されないため、液晶パネルの基板１１，１２を加圧して正規のパネル形状になるように規制するためである。そして、この加圧によって液晶パネルから余分な液晶があふれ出るので、その液晶をふき取ってから、液晶注入口に封止材を塗布し、この封止材を硬化させることによって液晶をシール材の内側に封入する。本実施形態の塗布装置は、上記の封止材の塗布工程に用いるものであり、塗布装置のギャップ調整方法はその塗布装置に関するものである。
【００２８】
図１は、本実施形態の塗布装置を含む製造装置１００の全体構成を模式的に示す概略構成図である。この製造装置１００では、４つの作業ステーションが用意されている。第１ステーション１１０では、液晶パネル５０を給材し、この液晶パネル５０を保持ユニット１５０において所定位置に保持した状態とする。そして、液晶パネルは上記の保持状態のまま、保持ユニット１５０とともに第２ステーション１２０に送られる。第２ステーション１２０では液晶パネルを加圧し、基板１１，１２を平坦にする。そして、その加圧状態のままで第３ステーション１３０に送る。第３ステーション１３０では、加圧によって液晶注入口からあふれ出た液晶を吸収材などにより払拭し、その後、液晶注入口に封止材を塗布する。この封止材を塗布する塗布装置１６０が本実施形態に係る塗布装置である。封止材の塗布が終了すると、液晶パネルは第４ステーションへと送られ、ここで、封止材に硬化処理が施される。この硬化処理は、たとえば封止材が紫外線硬化樹脂であれば、紫外線照射によってなされる。封止材が硬化されると、液晶パネルに対する加圧状態は解除され、第１ステーション１１０へと送られる。第１ステーション１１０へと送られた液晶パネル５０は保持ユニット１５０から解放され、製造装置１００から除材される。
【００２９】
図２は、第１ステーション１１０における給材後の液晶パネル５０の処理状態を示す概略斜視図である。液晶パネル５０は、第１ステーション１１０に給材された後に、位置決め部材１１１によってその上辺部５０ｕが位置決めされ、その後、下辺部５０ｄが位置決め部材１１２によって位置決めされる。そして、位置決め部材１１１，１１２によって上下位置が規制された状態で、保持ユニット１５０の保持部材１５１，１５２が前後両側から液晶パネル５０を挟みつけることにより、液晶パネル５０は保持固定された状態となる。ここで、液晶パネル５０の液晶注入口５０ａは、上記の上辺部５０ｕに開口している。
【００３０】
保持部材１５１，１５２には、その内面上にＯリング（パッキン）などの密閉手段１５１ａ，１５２ａが閉曲線状に設置されている。そして、この密閉手段１５１ａ，１５２ａによって取り囲まれた内面部分には気体導入口１５１ｂ，１５２ｂが開口している。液晶パネル５０を保持部材１５１，１５２で挟持したとき、密閉手段１５１ａ，１５２ａが液晶パネル５０の基板表面の外縁部に当接し、これによって液晶パネル５０の基板表面上に密閉空間が画成される。この密閉空間は、上記気体導入口１５１ｂ、１５２ｂを介して気体導入部１５１ｃ，１５２ｃに連通している。
【００３１】
上記のようにして第１ステーション１１０において液晶パネル５０が保持ユニット１５０に保持された状態になると、第２ステーション１２０へ送られ、気体導入部１５１ｃ，１５２ｃが図示しない加圧装置に接続され、気体導入部１５１ｃ，１５２ｃ及び気体導入口１５１ｂ，１５２ｂを介して上記密閉空間に気体が所定圧力で導入され、これによって液晶パネル５０が加圧される。そして、この加圧状態は、第４ステーションにおいて封止材が硬化されるまで維持される。
【００３２】
図３は、第３ステーション１３０に設置された塗布装置１６０の概略構成を模式的に示す概略構成斜視図である。この塗布装置１６０は、液晶パネル５０を保持する保持ユニット１５０の上方に配置される塗布ユニット１６０Ａと、この塗布ユニット１６０Ａを制御する制御部１６０Ｂとを備えている。図示例では、塗布ユニット１６０Ａは複数設けられている。塗布ユニット１６０Ａには、図示しない駆動機構によって上下に移動される移動フレーム１６１と、この移動フレーム１６１に装着されたシリンジ１６２と、シリンジ１６２の先端に設けられたノズル１６３と、移動フレーム１６１に接続されているとともにノズル１６３に導電接続された導電カバー１６４と、シリンジ１６２の移動フレーム１６１に対する上下位置を調整するための位置調整手段１６５とを備えている。ここで、ノズル１６３は金属などの導電体で構成されている。また、塗布ユニット１６０Ａからは、導電カバー１６４を介してノズル１６３に対して導電接続された検出線１６６が導出されている。この検出線１６６は上記制御部１６０Ｂ内に設けられた検出器１６８に接続されている。また、この検出器１６８からは、塗布装置の調整時にのみ用いる検出線１６７が導出されている。さらに、検出器１６８は発音器１６９に接続されている。この発音器１６９は、検出器１６８から検出信号が出力されたときに適宜の報知音を発するように構成されている。
【００３３】
図４は、液晶パネル５０に対して上記塗布装置１６０を用いて塗布するときの様子を示す概略断面図である。液晶パネル５０は、上述のように２枚の基板を、シール材５１を介して貼り合わせてなり、このシール材５１の内側に液晶５２が注入されたものである。図示例では液晶パネル５０の内部に３つの液晶封入領域が構成されたものの例を示してある。液晶注入口５０ａは、液晶パネル５０の上辺部５０ｕに開口している。この上辺部５０ｕは、上記保持ユニット１５０によって既定高さに配置される。上記塗布装置１６０は、各塗布ユニット１６０Ａのノズル１６３から封止材（たとえばＵＶ硬化型接着剤）６０を吐出し、上記液晶注入口５０ａに塗布していく。このときのノズル１６３の先端と液晶パネル５０の上辺部５０ｕとのギャップＧは、通常、１００〜２００μｍ程度、好ましくは約１５０μｍである。このギャップが最適範囲から逸脱すると、封止材６０の塗布量や塗布状態が変化するために、封止不良が発生する場合がある。
【００３４】
次に、本実施形態のギャップＧの調整方法について説明する。この方法においては、図５に示すダミー部材７１を用いる。このダミー部材７１は、金属などの導電体で構成されている。ダミー部材７１は、基本的に上記液晶パネル５０とほぼ同一の形状を有するものとなっている。このダミー部材７１を上記保持ユニット１５０によって保持したとき、ダミー部材７１の上辺部７１ｕは、液晶パネル５０の上辺部５０ｕと同じ高さに配置される。なお、ダミー部材７１としては、上記のように液晶パネル５０とほぼ同一の形状を有するものに限定されず、少なくとも保持ユニット１５０によって保持されたとき、その塗布されるべき部分（上辺部７１ｕ）が本来の塗布対象物（液晶パネル５０）の塗布されるべき部分（上辺部５０ｕ）と同一の位置関係に設定される（同一の高さに配置される）ものであればよい。
【００３５】
次に、上記のように保持されたダミー部材７１に対して、図３に示す検出線１６７をダミー基板７１に接続する。より具体的には、検出線１６７の端子部１６７ａを直接若しくは間接的にダミー基板７１に導電接続する。これによって、ダミー基板７１は検出器１６８に接続されたことになる。
【００３６】
次に、塗布ユニット１６０Ａを降下させ、ノズル１６３の先端をダミー部材７１の上辺部７１ｕに向けて接近させる。そして、やがてノズル１６３の先端がダミー部材７１の上辺部７１ｕに接触すると、検出器１６８はノズル１６３とダミー基板７１とが導通したことを検出して、検出信号を出力する。これによって、発音器１６９は報知音（ブザー）を発生する。なお、検出器１６８の検出信号によって、発音器ではなく、他の表示手段などがこれを表示するように構成してもよい。
【００３７】
上記のようにして、ノズル１６３とダミー部材７１とが接触したことが判明すると、手動制御によって作業を行っている場合には、作業者は塗布ユニット１６０Ａの動作（降下動作）を停止する。ただし、検出信号が出力されたときに、塗布ユニット１６０Ａの動作（降下動作）を自動的に停止させるように制御部１６０Ｂを構成してもよい。そして、このときの塗布ユニット１６０Ａの上下位置を基準として、上記ギャップＧを設定する。たとえば、このときの塗布ユニット１６０Ａの上下位置を制御部１６０Ｂなどから読み取り、塗布作業時の塗布ユニット１６０Ａの設定値を設定したり、或いは、位置調整手段１６５を用いて、シリンジ１６２の移動フレーム１６１に対する位置を修正したりする。より具体的には、上記のときの塗布ユニット１６０Ａの上下位置座標が装置上Ｚ１であるときには、塗布ユニット１６０Ａの塗布作業時の高さをＺ１＋Ｇとする。或いはまた、上記のときの塗布ユニット１６０Ａの上下位置座標が装置上Ｚ１であり、このＺ１が装置上の塗布作業時の塗布ユニット１６０Ａの高さＺ０との間にＺ０−Ｚ１＝Ｇ１の関係があり、これが所要のギャップＧと異なるときには、（Ｇ−Ｇ１）分だけ上記位置調整手段１６５を調整する。
【００３８】
本実施形態では、ノズル１６３がダミー部材７２に接触したときの導通状態を検出して、そのときのノズル１６３の位置を基準としてノズル１６３の位置、すなわち上記ギャップＧを設定するようにしている。したがって、ノズル１６３とダミー部材７２との直接的な位置関係を検出していることになるため、ギャップ調整を高精度に行うことができる。また、ノズル１６３とダミー部材７２とを直接接触させるようにしているが、両者間の導通状態を検出したときに直ちにノズル１６３の移動を停止するようにすれば、ノズル１６３に損傷を与える恐れもない。特に、ダミー部材７１の上辺部７１ｕを平坦に加工しておくことができるため、接触したときにノズル１６３が損傷する可能性をさらに低減できる。また、ダミー部材７１の材質をノズル１６３の材質よりも柔らかいものとすることにより、ノズル１６３の損傷をより確実に防止することもできる。
【００３９】
図６には、上記とは異なるダミー部材７２の形状を示す。このダミー部材７２は、その上辺部７２ｕに凸部７２ｐが形成されている。この凸部７２ｐは、塗布作業時における塗布対象物とノズル１６３との先端との間のギャップをＧに設定したい場合、当該ギャップＧと同じ突出量を有するように形成される。そして、ノズル１６３の先端を凸部７２ｐに向けて接近させていき、この凸部７２ｐに接触したことが検出器１６８にて検出されたときには、ノズル１６３の高さが塗布作業時の所望のギャップＧに対応したものとなっていることがわかる。したがって、このダミー部材７２を用いることによって、検出器１６８により導通状態を検出した状態で、ノズル１６３の高さ調整が既に完了していることになるから、ギャップＧの調整作業をきわめて簡易に行うことができることになる。
【００４０】
図７には、上記とはさらに異なるダミー部材７３の形状を示す。このダミー部材７３は、上記実施形態の検出器１６８の代わりに、ノズル１６３とダミー部材との間の静電容量を検出する検出手段を用いる場合に対応したものである。ノズルとダミー部材との間の静電容量は、ノズルとダミー部材との距離に依存するので、静電容量を検出することによってノズルとダミー部材との間のギャップＧを検出することができる。したがって、検出手段により検出された検出値が所定の閾値を超えたときにノズル１６３の接近を停止することによって、上記ギャップＧを直接に設定することができる。また、上記検出値が所定の閾値を超えたときのノズル１６３の位置を基準として調整を行う点では上記と同様であるが、当該基準となる位置にノズル１６３が配置されたときに調整が終了するのではなく、その後にさらに上記位置調整手段１６５などを用いて調整作業を行うことによって上記ギャップＧを調整しても構わない。上記の静電容量を検出することのできる検出手段（検出器）としては、ノズル１６３とダミー部材７３との間の検出すべき静電容量をコンデンサ要素とする発振回路を備えたものが挙げられる。この発振回路の発振周波数に基づいて静電容量あるいはその変化量を求めることが可能である。
【００４１】
上記のようにノズル１６３とダミー部材７３との間の静電容量によってギャップＧを測定する場合には、ノズル１６３をダミー部材７３に接触させる必要がないので、ノズル１６３の損傷は発生しない。また、調整作業中に誤ってノズル１６３がダミー部材７３に接触しないように、ノズル１６３やダミー部材７３よりも柔らかい緩衝部材７３ｃを配置し、調整作業時においてノズル１６３をこの緩衝部材７３ｃに向けて接近させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の液晶装置の製造装置の全体構成を示す概略構成図。
【図２】実施形態の保持ユニット及び位置決め手段を示す概略分解斜視図。
【図３】実施形態の塗布装置の概略構成を示す概略斜視図。
【図４】実施形態の塗布対象物である液晶パネル及び塗布状態を示す断面図。
【図５】実施形態のダミー部材を示す断面図。
【図６】異なるダミー部材を示す断面図。
【図７】さらに異なるダミー部材を示す断面図。
【図８】液晶装置の製造工程の概略を示す概略フローチャート。
【符号の説明】
１１，１２…基板、５０…液晶パネル、５０ａ…液晶注入口、５０ｕ…上辺部、７１〜７３…ダミー部材、７２ｐ…凸部、７３ｃ…緩衝部材、１００…製造装置、１５０…保持ユニット、１６０…塗布装置、１６０Ａ…塗布ユニット、１６０Ｂ…制御部、１６１…移動フレーム、１６２…シリンジ、１６３…ノズル、１６４…導電カバー、１６５…位置調整手段、１６６，１６７…検出線、１６８…検出器、１６９…発音器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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