(57)【要約】【課題】板状物品を収納するカセットケースの搬送に特に好適な台車式搬送装置を提供する。【解決手段】所定経路を走行する搬送用台車１上に、一横側面が開放した荷室４が、垂直軸心Ｖの周りの回転と台車走行方向ＦＲに往復移動自在に支持され、前記荷室４が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部４ａが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室４の横向き開口部４ａを閉じる荷室カバー６が搬送用台車１上に設けられ、前記荷室４には、当該荷室４が前記荷室カバー６から離間移動し且つ台車走行方向ＦＲに対し横向き開口部４ａが左右横向きになる回転状態において当該荷室４内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物（カセットケースＫ）を移載する移載手段７が併設された構成。【選択図】    図１
2004349517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定経路を走行する搬送用台車上に、一横側面が開放した荷室が、垂直軸心の周りの回転と台車走行方向に往復移動自在に支持され、前記荷室が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部が当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室の横向き開口部を閉じる荷室カバーが搬送用台車上に設けられ、前記荷室には、当該荷室が前記荷室カバーから離間移動し且つ台車走行方向に対し横向き開口部が左右横向きになる回転状態において当該荷室内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物を移載する移載手段が併設されている、台車式搬送装置。
【請求項２】
前記搬送用台車には、台車走行方向に往復移動可能に支持された往復動台と、この往復動台上に垂直軸心の周りに回転可能に支持された回転台とが設けられ、前記荷室は前記回転台上に支持され、前記移載手段は、前記荷室内の被搬送物支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台上に支持され且つ前記荷室の横向き開口部を出退移動するランニングフォークから構成されている、請求項１に記載の台車式搬送装置。
【請求項３】
前記荷室は、定位置に支持した被搬送物の端部が横向き開口部から突出する奥行きのものであり、前記荷室カバーには、前記荷室の横向き開口部から突出する被搬送物の端部が遊嵌する凹入空間が形成されている、請求項１又は２に記載の台車式搬送装置。
【請求項４】
前記被搬送物は、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースであって、その板状物品出し入れ用開口部が前記荷室の横向き開口部側に位置するように当該荷室内に収納され、当該荷室内には、前記カセットケースをその板状物品出し入れ用開口部が斜め上向きになるように傾斜させて支持するカセットケース位置決め支持部を備え、前記荷室カバー内には、当該荷室カバーが前記荷室の横向き開口部を閉じた状態において前記カセットケースの板状物品出し入れ用開口部に隣接する板状物品飛び出し防止具が配設されている、請求項１〜３の何れかに記載の台車式搬送装置。
【請求項５】
前記荷室の横向き開口部の周縁と、当該周縁に隣接する前記荷室カバーの周縁との内、少なくとも一方に、弾性材から成るシール材が付設されている、請求項１〜４の何れかに記載の台車式搬送装置。
【請求項６】
前記被搬送物は、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースであって、その板状物品出し入れ用開口部が前記荷室の横向き開口部側に位置するように当該荷室内に収納され、前記荷室カバーには、取り入れた外気をフイルターに通した状態で当該荷室カバー内に送入する送気装置が併設されている、請求項１〜５の何れかに記載の台車式搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状物品を収納するカセットケースの搬送に特に好適な台車式搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶用ガラス基板やウェハなどの板状物品を収納するカセットケースの搬送に利用される台車式搬送装置として、例えば特許文献１に記載のものが知られている。この特許文献１に記載された台車式搬送装置は、所定経路を走行する搬送用台車上に、左右横側面に開口部を備えた固定の外側収納室を設けると共に、この固定の外側収納室内に、一横側面が開放した内側収納室を垂直軸心の周りに回転可能に内装し、この内側収納室の横向き開口部が外側収納室の開口部にある状態において当該内側収納室内と台車走行経路脇の荷受け台との間で被搬送物、即ち、板状物品を収納するカセットケースを移載する移載手段を前記内側収納室内に配設して成るものである。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−３７０６３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の従来の台車式搬送装置では、収納室が内外二重構造となるだけでなく、固定の外側収納室として、被搬送物を収納した内側収納室の全体が支障なく回転できるだけの大きな内部空間を備えたものが必要であり、装置全体が大型で大重量物となる問題点があった。又、内側収納室内に配設される移載手段は、その移載側端部を内側収納室外に突出させる必要があることから、内側収納室の回転を許すための外側収納室の開口部と内側収納室との間の隙間が広くなり、内側収納室内を外界よりも高気圧にして内側収納室内を清浄に保つ場合に併用されるファンフィルタユニットの送気圧力を高くしなければならなかった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記のような従来の問題点を解消し得る台車式搬送装置を提供することを目的とするものであって、その手段を後述する実施形態の参照符号を付して示すと、所定経路を走行する搬送用台車１上に、一横側面が開放した荷室４が、垂直軸心Ｖの周りの回転と台車走行方向ＦＲに往復移動自在に支持され、前記荷室４が、往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部４ａが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室４の横向き開口部４ａを閉じる荷室カバー６が搬送用台車１上に設けられ、前記荷室４には、当該荷室４が前記荷室カバー６から離間移動し且つ台車走行方向ＦＲに対し横向き開口部４ａが左右横向きになる回転状態において当該荷室４内と台車走行経路脇の荷受け台３２との間で被搬送物（カセットケースＫ）を移載する移載手段７が併設された構成となっている。
【０００６】
上記構成の本発明を実施する場合、前記搬送用台車１には、台車走行方向ＦＲに往復移動可能に支持された往復動台９と、この往復動台９上に垂直軸心Ｖの周りに回転可能に支持された回転台１０とを設け、前記荷室４は前記回転台１０上に支持し、前記移載手段７は、前記荷室４内の被搬送物支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台１０上に支持され且つ前記荷室４の横向き開口部４ａを出退移動するランニングフォーク１３から構成することができる。
【０００７】
又、前記荷室４は、定位置に支持した被搬送物（カセットケースＫ）の端部が横向き開口部４ａから突出する奥行きの浅いものとし、前記荷室カバー６には、前記荷室４の横向き開口部４ａから突出する被搬送物（カセットケースＫ）の端部が遊嵌する凹入空間２８ｂを形成することができる。
【０００８】
前記被搬送物が、板状物品（ガラス基板Ｗ）を上下複数段に支持するカセットケースＫであって、その板状物品出し入れ用開口部（ガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ）が前記荷室４の横向き開口部４ａ側に位置するように当該荷室４内に収納されるものであるときは、当該荷室４内には、前記カセットケースＫをその板状物品出し入れ用開口部（ガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ）が斜め上向きになるように傾斜させて支持するカセットケース位置決め支持部１２を設け、前記荷室カバー６内には、当該荷室カバー６が前記荷室４の横向き開口部４ａを閉じた状態において前記カセットケースＫの板状物品出し入れ用開口部（ガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ）に隣接する板状物品飛び出し防止具（ガラス基板飛び出し防止具３１ａ，３１ｂ）を配設することができる。
【０００９】
又、前記荷室４の横向き開口部４ａの周縁と、当該周縁に隣接する前記荷室カバー６の周縁６ａとの内、少なくとも一方に、弾性材から成るシール材３０を付設することができる。
【００１０】
前記のように前記被搬送物が、板状物品（ガラス基板Ｗ）を上下複数段に支持するカセットケースＫであって、その板状物品出し入れ用開口部（ガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ）が前記荷室４の横向き開口部４ａ側に位置するように当該荷室４内に収納されるものであるときは、前記荷室カバー６には、取り入れた外気をフイルターに通した状態で当該荷室カバー６内に送入する送気装置２９を併設することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の好適実施形態を添付図に基づいて説明すると、図１において、１はモーター駆動の駆動輪２と自在車輪３とを備えた搬送用台車であって、床面上に設定された所定経路上を自動操縦されて自走する従来周知のものである。４は、搬送用台車１上に垂直軸心Ｖの周りの回転と台車走行方向ＦＲに往復移動自在に支持された、一横側面が開放した荷室であって、囲い５によって形成されている。６は、前記荷室４が往復移動経路の一端にあって且つその横向き開口部４ａが当該往復移動経路の一端側に向いているとき、当該荷室４の横向き開口部４ａを閉じるように搬送用台車１上に設けられた荷室カバーである。７は前記荷室４内に配設された移載手段である。
【００１２】
以下、詳細に説明すると、搬送用台車１内にはガイドレール８によって台車走行方向ＦＲに往復移動自在に支持された往復動台９と、この往復動台９上に垂直軸心Ｖの周りに回転可能に支持された回転台１０とが設けられ、前記荷室４を形成する囲い５は、前記回転台１０上に支持された左右一対のフレーム１１に取り付けられている。荷室４（囲い５）内には、前記左右一対のフレーム１１に支持されたカセットケース位置決め支持台１２が配設され、前記移載手段７は、前記カセットケース位置決め支持台１２によって決まるカセットケース支持レベルに対する上位置と下位置との間で昇降可能に前記回転台１０上に支持され且つ前記荷室４の横向き開口部４ａを出退移動するランニングフォーク１３から構成されている。
【００１３】
往復動台９の往復駆動手段は、例えば図２に示すように、搬送用台車１側に軸支された一対の案内輪１４ａ，１４ｂによって往復動台９の往復移動経路に沿って掛張されたタイミングベルト１５と、このタイミングベルト１５の一部を往復動台９に結合する結合手段１６と、一方の案内輪１４ａを正逆回転駆動するモーター１７とから構成されたものを使用できるが、その他、如何なる構成のものでも良い。回転台１０の回転駆動手段としては、例えば回転台１０の回転中心軸を減速機付きモーターで直接に正逆回転駆動するようなものが使用できるが、これも他の如何なる構成の回転駆動手段であっても良い。
【００１４】
ランニングフォーク１３は、固定の第一フォーク１８と当該第一フォーク１８に対して出退移動自在な第二フォーク１９、及びこの第二フォーク１９に対して出退移動自在な第三フォーク２０から構成されたもので、その駆動手段は従来周知のものであるから図示及び説明は省略する。このランニングフォーク１３（第一フォーク１８）の昇降駆動手段２１の一例を説明すると、図１及び図３に示すように、回転台１０には複数本の垂直ガイドレール２２が固定されると共に１本の垂直な螺軸２３が自転可能に支承され、第一フォーク１８の底部フレーム１８ａには、各垂直ガイドレール２２に係合するスライドガイド２４と螺軸２３に螺嵌するナット部材２５とが取り付けられ、前記螺軸２３には、チエンやタイミングベルトなどの巻き掛け伝動手段２６を介してモーター２７が連動連結されている。従って、モーター２７で螺軸２３を正逆回転駆動することにより、第一フォーク１８、即ち、ランニングフォーク１３を垂直ガイドレール２２に沿って昇降駆動させることができる。このランニングフォーク１３の昇降駆動手段２１も図示の構成のものに限定されるわけではない。
【００１５】
図１は、荷室４がホームポジションにある状態を示している。荷室４のホームポジションは、荷室４の横向き開口部４ａが台車走行方向ＦＲの一方（Ｆ方向）に向いている状態で往復動台９が往復動行程のＦ方向端まで移動した状態である。而して、荷室カバー６は、ホームポジションにある荷室４の横向き開口部４ａを閉じた状態で当該荷室４の内部空間２８ａと共に荷収納空間２８を形成する凹入空間２８ｂと、取り入れた外気をフイルターに通した状態でこの荷室カバー６の凹入空間２８ｂ内に送入する送気装置２９とを備えている。又、荷室４の横向き開口部４ａの周縁には、この荷室４がホームポジションにあるときに荷室カバー６の開口部周縁６ａとの間の隙間（好ましくは指先が入る程度の大きさ）を埋める軟質弾性材製の帯状シール材３０が付設されている。このシール材３０は、荷室カバー６の開口部周縁６ａに付設しても良いし、荷室４と荷室カバー６の両方に取り付けても良い。
【００１６】
この実施形態で取り扱われる被搬送物は、板状物品の一例である液晶用ガラス基板Ｗを上下複数段に支持するカセットケースＫであって、横一側面にはガラス基板出し入れ用開口部Ｗａが設けられている。而して、このカセットケースＫは、そのガラス基板出し入れ用開口部Ｗａが荷室４の横向き開口部４ａと同一側になるように当該荷室４内に収納されると共に、カセットケース位置決め支持台１２によって所定レベルに支持されるが、このときカセットケースＫのガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ側の端部が荷室４の横向き開口部４ａから所定長さだけ突出するように荷室４の奥行きが設定されると共に、当該ガラス基板出し入れ用開口部Ｗａが斜め上向きに開口するように所定角度（１〜３度程度）だけ傾斜した状態でカセットケースＫが支持されるようにカセットケース位置決め支持台１２が構成されている。
【００１７】
図１に示すように荷室４がホームポジションにあるとき、当該荷室４内に収納支持されたカセットケースＫは、当該荷室４から突出するガラス基板出し入れ用開口部Ｗａ側の端部が荷室カバー６の凹入空間２８ｂ内に納まることになる。換言すれば、カセットケースＫは、荷室４と荷室カバー６とで形成される荷収納空間２８内に収納されることになる。この状態において、カセットケースＫのガラス基板出し入れ用開口部Ｗａの左右両側辺に隣接する左右一対のガラス基板飛び出し防止具３１ａ，３１ｂが荷室カバー６内に配設されている。このガラス基板飛び出し防止具３１ａ，３１ｂは、カセットケースＫのガラス基板出し入れ用開口部Ｗａの上下方向全域をカバーする長さを有する棒状のもので、搬送用台車１の停止時などの反動でカセットケースＫ内からガラス基板Ｗが飛び出すのを、カセットケースＫ自体の傾斜と共に阻止する。又、搬送用台車１によるカセットケースＫの搬送中などには、荷室カバー６が備える送気装置２９を稼働させておくことにより、荷室４と荷室カバー６とで形成される荷収納空間２８内の気圧が外部より若干高くなり、従って、荷室４と荷室カバー６との間の隙間や荷室４の底部の隙間などから外気が侵入することはなく、収納されたカセットケースＫの内外は清浄に保たれる。
【００１８】
図４及び図８に示されるように、搬送用台車１の走行経路中の適当箇所には、当該台車走行経路脇に、搬送用台車１との間でカセットケースＫを受け渡しするための荷受け台３２が設置される。この荷受け台３２は、搬送用台車１側のランニングフォーク１３が水平出退移動及び垂直昇降移動可能に遊嵌するランニングフォーク動作凹部３３の左右両側にカセットケースＫの底部左右両側辺を支持する受け台部３４ａ，３４ｂを備えたものである。
【００１９】
カセットケースＫを搬送用台車１側から荷受け台３２側へ下ろす作業について説明すると、カセットケースＫを荷室４と荷室カバー６とで形成される荷収納空間２８内で収納支持した搬送用台車１が、図４に示す荷受け台３２脇の定位置で自動停止せしめられる。この搬送用台車１の停止の後、図５及び図６に示すようにホームポジションにあって、カセットケースＫを支持している荷室４が、図１及び図２に示す往復動台９の台車走行方向ＦＲの一方（Ｆ方向）の行程限から他方（Ｒ方向）の行程限への移動により、ランニングフォーク１３などと共に後退限位置まで後退移動せしめられる。この結果、図５に示すように荷室４と荷室カバー６との間が開かれる。
【００２０】
次にカセットケースＫを支持している荷室４が、回転台１０の正回転により、横向き開口部４ａが荷受け台３２側に向くように垂直軸心Ｖの周りで９０度だけ正回転せしめられる。換言すれば、この荷室４の回転が、荷室カバー６と囲い５、カセットケースＫ、ランニングフォーク１３などとが干渉することなく行われるように、ホームポジションからの荷室４の後退移動量が設定されている。荷室カバー６から離れた後退限位置で荷室４が９０度回転したとき、図６に示すように当該荷室４は、荷受け台３２のセンターから台車走行方向ＦＲの一方（Ｒ方向）にずれた位置にあるので、次に図７に示すように荷室４が、台車走行方向ＦＲの他方（Ｒ方向）の行程限にある往復動台９を所定量だけ台車走行方向ＦＲの一方（Ｆ方向）へ前進移動させることにより、荷受け台３２のセンターに対応する荷移載位置に移動せしめられる。
【００２１】
上記のように一旦後退限位置まで後退移動させた荷室４を荷受け台３２のセンターに対応する荷移載位置に前進移動させるのは、次に行われるランニングフォーク１３による荷移載作業を搬送用台車１のセンター又はこれに近い安定性の高い位置で行わせるためである。換言すれば、後退限位置まで後退移動させた荷室４の重心位置が搬送用台車１の前後の車輪間の中央位置から台車走行方向の一方（Ｒ方向）に大きくずれ、場合によっては当該荷室４が搬送用台車１の端部からはみ出るような構成を採用しても、実際のランニングフォーク１３による荷移載作業は、安定的に行わせることができる。従って、搬送用台車１の全長を短くして小型化するのにも役立つ。勿論、状況によっては、後退限位置まで後退移動させた荷室４が荷受け台３２のセンターと対応するように搬送用台車１の停止位置を設定し、後退限位置からの荷室４の前進移動を行わないで直ちに荷移載作業を行えるしても良い。即ち、荷室４の後退限位置が荷移載位置となるようにしても良い。
【００２２】
何れにしても荷移載位置にある荷室４内から荷受け台３２へのカセットケースＫの下ろし作業は、従来周知のランニングフォーク１３による荷下ろし動作で行われる。即ち、図８に示すように、ランニングフォーク１３は荷室４と一体に回転するため、当該ランニングフォーク１３の出退移動方向と荷室４内で支持されているカセットケースＫの荷室４に対する出し入れ方向とは平行である。而して、ホームポジションにあるランニングフォーク１３の昇降駆動手段２１による上昇限位置までの上昇動作、ランニングフォーク１３の伸長動作、昇降駆動手段２１によるランニングフォーク１３の下降限位置までの下降動作、及びランニングフォーク１３の縮小動作をこの順に行わせることにより、荷室４内でカセットケース位置決め支持台１２により支持されるカセットケースＫを荷受け台３２の左右一対の受け台部３４ａ，３４ｂ上に搬出移載させることができる。
【００２３】
上記作業とは逆に、荷受け台３２上のカセットケースＫを搬送用台車１上の荷室４内に取り込む作業を行うときは、上記の荷下ろし作業時と同様に搬送用台車１を荷受け台３２に対する定位置に停止させた状態で、荷室４の後退移動、荷室４の９０度正回転、及び荷室４の荷移載位置への前進移動を行わせ、空の荷室４を荷受け台３２に対向させた後、ランニングフォーク１３を上記荷下ろし動作時とは逆の行程で動作させることにより、荷受け台３２上のカセットケースＫをランニングフォーク１３で荷室４内に取り込むと共に、当該カセットケースＫを荷室４内のカセットケース位置決め支持台１２により支持させることができる。
【００２４】
荷室４内にカセットケースＫが収納支持されたならば、先に説明した荷下ろし作業時とは逆に荷室４が回転移動せしめられてホームポジションに戻される。即ち、図７に示す荷移載位置にある荷室４は、図６に示す後退限位置（荷室４を回転させることができる位置）まで往復動台９により一旦後退移動せしめられた後、回転台１０の逆回転により、横向き開口部４ａが荷室カバー６に対向する向きまで垂直軸心Ｖの周りで９０度だけ逆回転せしめられ、続いて往復動台９により前進限位置まで前進移動せしめられて、荷室４の横向き開口部４ａが荷室カバー６で閉じられると共に当該荷室４と荷室カバー６とで形成される荷収納空間２８内にカセットケースＫを収納するホームポジションに復帰せしめられる。
【００２５】
尚、横向き開口部４ａが台車走行経路脇の荷受け台３２の方に向いた状態の荷室４内と当該荷受け台３２との間でカセットケースＫなどの荷（被搬送物）を受け渡しする移載手段７として、荷室４と一体に移動及び回転するランニングフォーク１３を利用したが、荷受け台３２側に配設された移載用コンベヤと接続する移載用コンベヤなど、他の移載手段を利用することもできる。又、利用する移載手段の構成にもよるが、移載手段は、荷室４とは一体に移動及び回転させないで、搬送用台車１側の定位置に配設することも可能である。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は以上のように実施し且つ使用することが出来るものであって、係る本発明の台車式搬送装置によれば、従来のように被搬送物を収納した荷室全体が支障なく回転できるだけの大きな内部空間を備えた外側収納室が不要であり、この外側収納室に相当するものとして、荷室の横向き開口部を塞ぐことができる荷室カバーを設ければ良いので、装置全体を小型軽量に構成することができる。又、荷室は、固定の荷室カバーから一旦離間移動させた後に回転させて台車走行経路脇の荷受け台に対応させるものであるから、この荷室に併設される移載手段が荷室から突出するものであっても、荷室がホームポジションにあるときには、当該荷室と荷室カバーとを両者間の隙間が十分に小さくなる状態に隣接させることができ、荷室内を外界よりも高気圧にして荷室内を清浄に保つためにファンフィルタユニット（実施形態での送気装置２９）を併用する場合でも、その送気圧力を低くすることができる。
【００２７】
尚、請求項２に記載の構成によれば、本発明を容易に実施することができる。又、請求項３に記載の構成によれば、回転する荷室を被搬送物の大きさよりも大巾に小型化することができる。更に、請求項４に記載の構成によれば、板状物品を上下複数段に支持するカセットケースの搬送に使用する場合に、搬送用台車の停止時の反動などでカセットケース内からの板状物品の飛び出しを効果的に防止することができる。又、請求項５に記載の構成によれば、荷室と固定の荷室カバーとで形成される被搬送物収納空間の密閉性を一層高めることができる。又、請求項６に記載の構成によれば、前記のように板状物品を上下複数段に支持するカセットケースの搬送に使用する場合に、荷室と固定の荷室カバーとで形成される被搬送物収納空間の清浄性を効果的に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ図は荷室がホームポジションにある状態での一部縦断側面図であり、Ｂ図は同一部縦断正面図である。
【図２】往復動台の駆動手段を説明する一部切り欠き平面図である。
【図３】移載手段としてのランニングフォークの昇降駆動手段を説明する一部横断平面図である。
【図４】荷受け台に対する定位置に搬送用台車が停止した状態を示す一部横断平面図である。
【図５】荷室を後退移動させた状態を示す一部縦断側面図である。
【図６】荷室を９０度正回転させた状態を示す一部横断平面図である。
【図７】荷室を荷移載位置に移動させた状態を示す一部横断平面図である。
【図８】荷受け台に対するカセットケースの移載作業を説明する一部縦断正面図である。
【符号の説明】
１    搬送用台車
４    荷室
４ａ    横向き開口部
５    荷室形成囲い
６    荷室カバー
７    移載手段
９    往復動台
１０    回転台
１２    カセットケース位置決め支持台
１３    ランニングフォーク
２８    荷収納空間
２８ａ    荷室の内部空間
２８ｂ    荷室カバーの凹入空間
２９    送気装置
３０    軟質弾性材製の帯状シール材
３１ａ，３１ｂ    ガラス基板飛び出し防止具
３２    荷受け台
Ｋ    カセットケース
Ｗ    ガラス基板
Ｗａ    カセットケースのガラス基板出し入れ用開口部
ＦＲ    台車走行方向
Ｖ    荷室の回転垂直軸心
【図１】
2004349517.tif 000003
【図２】
2004349517.tif 000004
【図３】
2004349517.tif 000005
【図４】
2004349517.tif 000006
【図５】
2004349517.tif 000007
【図６】
2004349517.tif 000008
【図７】
2004349517.tif 000009
【図８】
2004349517.tif 000010