(57)【要約】【課題】チップ形状に切断された状態にあるグリーンシートを、搬送し易いように、また分離処理等の後工程での自動化処理がし易いように粘着シートに転写する。【解決手段】平面ベッド２１とこれに対向する平板状の受けプレート２２とを用い、前記平面ベッド２１と前記受けプレート２２間に粘着シート１を配するとともに、下敷きシート８１上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を前記平面ベッド２１上に載せ、前記平面ベッド２１、前記受けプレート２２の少なくとも一方を昇降させ、相互の対向間隔を離間した状態から狭い状態に変化させることより、前記グリーンシート８０を前記粘着シート１に転写し、以後、粘着シート１を搬送する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面ベッドとこれに対向する平板状の受けプレートとを用い、前記平面ベッドと前記受けプレート間に粘着シートを配するとともに、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシートを前記平面ベッド上に載せ、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降させ、相互の対向間隔を離間した状態から狭い状態に変化させることより、前記グリーンシートを前記粘着シートに転写することを特徴とするチップ部品転写方法。
【請求項２】
対をなした転写用ローラーを用い、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート及び粘着シートを前記対をなした転写用ローラーで挟持しながら重ねて通過させ、前記粘着シートに対して前記グリーンシートを転写することを特徴とするチップ部品転写方法。
【請求項３】
前記グリーンシートの切断方向が前記粘着シートの搬送方向に対して非平行かつ非直角となるように転写する請求項１又は２記載のチップ部品転写方法。
【請求項４】
平面ベッドと、これに対向する平板状の受けプレートと、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降駆動する昇降手段とを備え、前記平面ベッドと前記受けプレート間に粘着シートを配するとともに、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシートを前記平面ベッド上に載せ、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降させ、相互の対向間隔を離間した状態から狭い状態に変化させることより、前記グリーンシートを前記粘着シートに転写することを特徴とするチップ部品転写装置。
【請求項５】
互いに圧接する向きに付勢された、対をなす転写用ローラーを備え、前記下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート及び前記粘着シートを前記対をなした転写用ローラーで挟持しながら重ねて通過させ、前記粘着シートに対して前記グリーンシートを転写することを特徴とするチップ部品転写装置。
【請求項６】
前記平面ベッドが回転テーブルで構成されていて、前記グリーンシートの切断方向を前記粘着シートの搬送方向に対して非平行かつ非直角状態にして転写する請求項４記載のチップ部品転写装置。
【請求項７】
請求項１，２又は３記載のチップ部品転写方法でチップ部品が転写された粘着シートを分離部及び剥離部に搬送し、該分離部にて前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離しかつ前記剥離部で前記粘着シートから剥離することを特徴とするチップ部品分離方法。
【請求項８】
前記粘着シートに対し、再圧着部にて前記グリーンシートを圧着してから前記粘着シートを反転して前記分離部及び前記剥離部に搬送する請求項７記載のチップ部品分離方法。
【請求項９】
請求項４，５又は６記載のチップ部品転写装置でチップ部品が転写された粘着シートの搬送機構と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記グリーンシートを個々のチップ部品に分離する分離部と、
前記分離部で分離されたチップ部品を前記粘着シートから剥離する剥離部とを備えたことを特徴とするチップ部品分離装置。
【請求項１０】
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に再圧着部が設けられていて、前記粘着シートを反転して前記分離部及び前記剥離部に搬送する手前側にて前記粘着シートに対して前記グリーンシートを圧着する請求項９記載のチップ部品分離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ形状に切断された状態にあるグリーンシート（未焼成セラミックシート）を粘着シートに転写するチップ部品転写方法及び装置、並びに該方法及び装置にて粘着シートに転写されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離する為のチップ部品分離方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、出願人においては、下敷きシート（台紙等）上に積層体グリーンシートを載せ、押切切断機等のチップ切断機でグリーシートをチップ形状に切断し、それをチップ分離機にて個々のチップ部品に分離する工程をとっていた。この場合、以下の問題があった。
【０００３】
▲１▼  現状の分離工程は分離率が低く、また分離治具一台に一人の作業者がついて作業を行っており、省人化、作業者の安全性、作業リードタイム等においても問題が残っている。
【０００４】
▲２▼  切断工程でのグリーンシートの下敷きシートは分離工程でも兼用されているが必ずしも分離工程に適した性質を有するものではない。すなわち、切断工程の下敷きシートは通気紙を用い、その通気紙は薄く弾性が無いが、分離工程で弾性の殆ど無い下敷きシートを用いると、分離処理で発生するストレスは殆ど全てチップに直接かかることになり製品に悪影響を与える。
【０００５】
▲３▼  切断工程に適した下敷きシートの性質として、切断刃への付着物を避けるため、粘着性が無いことが要求されるが、分離工程で粘着性の殆ど無い下敷きシートを用いると、ハンドリング性が悪く、自動化の妨げとなる。
【０００６】
また、押切切断機を使用した場合、以下に述べるチップ切断後の問題がある。従来、積層体のグリーンシートは積層時にシート同士に接合性を持たせなければならない為、バインダーが使用されている。このバインダーの作用の為、いわゆる押切切断機等のチップ切断機（切断時チップ同士に間隙が出来ないタイプ）で切断を行った場合には、切断工程が進行すると同時にチップの接合も進んでしまうと言った問題がある。この結果として、切断工程完了時に切断したはずのチップが２つ以上くっついた状態（アベック）を起こしてしまう。この現象はチップサイズが小さくなればなるほど大きく現れ重要な問題となってくる。
【０００７】
この問題を解決する為に、従来技術として下記特許文献１及び特許文献２が提案されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−３３０１７７号公報
【特許文献２】特開平５−３２６３２１号公報
【０００９】
特許文献１の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シャープエッジとブレード刃（スクレーパとして機能する）を用いて分離する方式である。
【００１０】
特許文献２の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シートを内巻きにして切断を完全なものとしてから、さやに収納して焼成炉を通して分離する方式である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  粘着シートに貼り付けた状態で切断した場合、粘着シートによりグリーンシートの片面が完全に固定されてしまう為に、押切切断機の様に切断刃分体積が逃げなければならないような切断では切断形状が崩れ易い（特に極小チップ部品ではその可能性が高い）。
▲２▼  粘着シートからの剥離にブレード刃等を用いた場合、そこで受けるストレスによってチップ部品を破壊する可能性が高い。
【００１２】
上記特許文献２の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  特許文献１の工法と同様に切断時にチップ形状が崩れ易い。
▲２▼  シートを内巻きにしただけでは極小チップの分離は難しい。
▲３▼  内巻き工程、さや詰め工程、焼成工程が必要になり、工程が複雑になる（人手作業が多い）。
【００１３】
従来技術では、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ以下の極小チップ部品を破損せずに分離し、なおかつ分離率を上げる事は難しい。また分離のみを考えた方式の場合、人手の入る要素が多く、自動化等の省力化が困難となっている。
【００１４】
本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、チップ形状に切断された状態にあるグリーンシートを、搬送し易いように、また後工程での自動化処理がし易いように粘着シートに転写するためのチップ部品転写方法及び装置を提供することにある。
【００１５】
また、本発明の第２の目的は、個々のチップ部品（極小チップ部品乃至一般形状のチップ部品まで含む）に損傷を与えることなく確実に搬送でき、しかも安全に、かつ分離率（分離工程歩留り）を下げることなく分離でき、自動化、省力化にも適したチップ部品分離方法及び装置を提供することにある。
【００１６】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るチップ部品転写方法は、平面ベッドとこれに対向する平板状の受けプレートとを用い、前記平面ベッドと前記受けプレート間に粘着シートを配するとともに、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシートを前記平面ベッド上に載せ、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降させ、相互の対向間隔を離間した状態から狭い状態に変化させることより、前記グリーンシートを前記粘着シートに転写することを特徴としている。
【００１８】
本願請求項２の発明に係るチップ部品転写方法は、対をなした転写用ローラーを用い、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート及び粘着シートを前記対をなした転写用ローラーで挟持しながら重ねて通過させ、前記粘着シートに対して前記グリーンシートを転写することを特徴としている。
【００１９】
本願請求項３の発明に係るチップ部品転写方法は、請求項１又は２において、前記グリーンシートの切断方向が前記粘着シートの搬送方向に対して非平行かつ非直角となるように転写することを特徴としている。
【００２０】
本願請求項４の発明に係るチップ部品転写装置は、平面ベッドと、これに対向する平板状の受けプレートと、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降駆動する昇降手段とを備え、前記平面ベッドと前記受けプレート間に粘着シートを配するとともに、下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシートを前記平面ベッド上に載せ、前記平面ベッド、前記受けプレートの少なくとも一方を昇降させ、相互の対向間隔を離間した状態から狭い状態に変化させることより、前記グリーンシートを前記粘着シートに転写することを特徴としている。
【００２１】
本願請求項５の発明に係るチップ部品転写装置は、互いに圧接する向きに付勢された、対をなす転写用ローラーを備え、前記下敷きシート上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート及び前記粘着シートを前記対をなした転写用ローラーで挟持しながら重ねて通過させ、前記粘着シートに対して前記グリーンシートを転写することを特徴としている。
【００２２】
本願請求項６の発明に係るチップ部品転写装置は、請求項４において、前記平面ベッドが回転テーブルで構成されていて、前記グリーンシートの切断方向を前記粘着シートの搬送方向に対して非平行かつ非直角状態にして転写することを特徴としている。
【００２３】
本願請求項７の発明に係るチップ部品分離方法は、請求項１，２又は３記載のチップ部品転写方法でチップ部品が転写された粘着シートを分離部及び剥離部に搬送し、該分離部にて前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離しかつ前記剥離部で前記粘着シートから剥離することを特徴としている。
【００２４】
本願請求項８の発明に係るチップ部品分離方法は、請求項７において、前記粘着シートに対し、再圧着部にて前記グリーンシートを圧着してから前記粘着シートを反転して前記分離部及び前記剥離部に搬送することを特徴としている。
【００２５】
本願請求項９の発明に係るチップ部品分離装置は、請求項４，５又は６記載のチップ部品転写装置でチップ部品が転写された粘着シートの搬送機構と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記グリーンシートを個々のチップ部品に分離する分離部と、
前記分離部で分離されたチップ部品を前記粘着シートから剥離する剥離部とを備えたことを特徴としている。
【００２６】
本願請求項１０の発明に係るチップ部品分離装置は、請求項９において、前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に再圧着部が設けられていて、前記粘着シートを反転して前記分離部及び前記剥離部に搬送する手前側にて前記粘着シートに対して前記グリーンシートを圧着することを特徴としている。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るチップ部品転写方法及び装置、並びに分離方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２８】
図１乃至図５で本発明の第１の実施の形態を説明する。これらの図において、１０は長尺テープ状粘着シートの繰り出しリール部、１１は同じく巻取りリール部であり、繰り出しリール部１０から繰り出された粘着シート１はガイド１２、反転用ガイド１３等を経て巻取りリール部１１で巻き取られるようになっている。また、粘着シート１を間欠送りするために粘着シートの搬送経路の途中に駆動ロール部１４が設けられている。この駆動ロール部１４はモータ等で間欠的に回転駆動される駆動ロール１５と駆動ロール１５との間で粘着シート１を挟む圧接ロール１６とからなっている。ここで使用する粘着シート１は片側のみに粘着層が設けられたものであり、他方の側は基材面で非粘着性である。
【００２９】
上記のように、前記粘着シート１は繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に向けて搬送されることになるが、繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に至る粘着シート１の搬送経路には、下敷きシート（台紙等）上に載置されかつ方形チップ形状に切断処理された積層体グリーンシートを粘着シート１の粘着層側に転写して供給するための転写装置２０、該転写装置２０の近傍に配置されて転写後のグリーシートの粘着シート１への付着を確実にするための再圧着部３０、押さえローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させてチップ部品への分離を促進する分離促進部４０、前記グリーンシートを個々のチップ部品７０に分離する分離部５０、及びチップ部品７０を前記粘着シート１から剥離し、チップ受け箱７５に落下させる剥離部６０が順次配設されている。
【００３０】
図２及び図３に示すように、前記転写装置２０は、装置フレーム２５に固定の転写装置取付ブロック２６で昇降自在に支持された平面ベッド２１と、これに対向するように装置フレーム２５に受け台ブロック２７を介して固定された平板状の受けプレート２２とを有している。平面ベッド２１は取付ブロック２６側のブッシュを摺動自在に貫通するガイド軸２８に固定され、さらに平面ベッド２１と取付ブロック２６間に設けられた昇降手段としての昇降シリンダ２９（エアシリンダ等）により昇降駆動されるようになっている。
【００３１】
図示の場合は、受けプレート２２が固定で、平面ベッド２１が昇降手段により昇降駆動される機構としたが、平面ベッド２１、受けプレート２２の少なくとも一方が昇降することで相互の対向間隔が離間した状態から狭い状態に変化する機構であればよい。
【００３２】
図３のように、粘着シート１は粘着層側を下向きとして平面ベッド２１と受けプレート２２の間を通過しており、同図（Ａ）のように下敷きシート（台紙等）８１上に置かれて予め方形チップ形状に切断処理（押切切断機等のチップ切断機により処理）されたグリーンシート８０を下敷きシート８１と共に平面ベッド２１上に載置し、粘着層を下向きとした粘着シート１がその上を通過する配置として、粘着シート１の停止状態にて昇降シリンダ２９を伸張させ、平面ベッド２１と受けプレート２２の間隔を狭めてグリーシート８０を粘着シート１の粘着層に押し付ける。このとき、粘着シート１の非接着面基材側は受けプレート２２により平面で支持されており、平面ベッド２１が上昇した際、方形チップ形状に切断されたグリーンシート８０を確実に転写するようになっている。なお、受けプレート２２は所定の温度に加熱制御される加熱プレートであり、転写の進行を確実に行う。
【００３３】
このようにして、図３（Ｂ）のようにグリーシート８０が粘着シート１側に転写され、以後グリーシート８０は粘着シート１の粘着層に付着した状態で搬送されることになる。なお、下敷きシート８１は、グリーシート８０の切断時に使用した下敷きのシートであり、この時にグリーンシート８０から外れ平面ベッド２１上に残される。下敷きシート８１はグリーシート切断用の下敷きのシートとして使用可能な材質で、粘着シート１にグリーンシート８０を転写（移載）できる物であればなんでも構わない。例えば、クリーン紙等で、粘着力の無いシートである。
【００３４】
前記粘着シート１上に転写された前記グリーンシート８０はその粘着状態が完全とは限らない場合がある。この為、後工程での分離部５０及び剥離部６０の処理の都合で粘着シート１の粘着層下向きから上向きへ反転して搬送するする場合、粘着シート１からグリーンシート８０を個品チップとして剥離する前に粘着シート１を反転用ガイド１３で方向転換する必要があり、この時チップ形状に切断処理されているグリーンシート８０のうち一部が落下してしまう恐れがある。これを防止する為に前記再圧着部３０が転写装置２０の近傍（反転用ガイド１３よりも手前側の搬送経路）に配置されている。前記再圧着部３０は位置固定の受けローラー３１と、圧着用の押えローラー３２の組を有し、押えローラー３２は受けローラー３１に圧接する向きにエアーシリンダ等の付勢手段３３で付勢されており、受けローラー３１との間にグリーシート８０が付着した粘着シート１を挟んで再圧着処理を行う。これにより、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０を、グリーンシート面から所定の圧力により押さえ付け、粘着シート１への密着を促進させる。この時、ローラー３２の素材は非粘着性であって、粘着シート１に粘着しない物が望ましい。
【００３５】
なお、再圧着部３０のローラー加圧力は、５Ｎ／ｍｍ（線接触加圧時、１ｍｍ長さ当たりの加圧値）以下、ローラー３１は金属が好ましく、ローラー３２の材質はシリコンゴム、ローラー硬度は２０〜４０°が好ましい。
【００３６】
前記分離促進部４０は、固定プレート４１と、その上を横方向に往復移動自在でプレート４１に圧接する向きにエアーシリンダ等の付勢手段４３で付勢さたれ押さえローラー４２とを有する。粘着シート１は反転用ガイド１３で反転された状態であり、図４のように、粘着シート１の基材２が下側、粘着層３が上側、さらにその上側にグリーシート８０が付着して固定プレート４１上を通過するようになっている。そして、固定プレート４１上にて停止中の粘着シート１上のグリーシート８０に対して押さえローラー４２が粘着シート搬送方向に沿って横方向に動くことで、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０をグリーンシート面から所定の圧力により部分的に順次押さえ付け分離を促進させる。つまり、ローラー４２により押圧された粘着シート１のエリアは粘着層３の粘着材が沈み込むので、押圧されないエリアとの境界部分にあるグリーシート８０の切断されたチップ７０Ａ（チップ部品７０となる部分）に矢印Ｆの押圧力が加わり、隣接チップとの境の切断個所Ｃに対し、厚さ方向にせん断力が働き、チップ分離が促進できる。ローラー４２の表面素材は粘着シート１に粘着しにくい材質が望ましい。
【００３７】
図５に示すように、分離部５０として微小曲率半径Ｒａで粘着シート１を走行させる分離エッジ部を有している。また、その後段には曲率半径Ｒｂ（Ｒｂ＞Ｒａ）の湾曲面で粘着シート１を走行させてグリーシート８０側を下向きに変えるとともに粘着シート１の粘着力を低下させるための加熱、冷却、光線（紫外線や赤外線も含む）照射等の処理を行う粘着力低下手段を有する剥離部６０が設けられている。
【００３８】
前記分離部５０としての分離エッジ部は、更に分離を進め分離状態を確認する為にシャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）を用いて粘着シート１の方向転換を行う（なお、半径Ｒａの固定又は回転軸体を用いてシャープエッジと同様の機能を果たすことも可能である。）。この時粘着シート１には一定のテンションが掛かっており、チップ７０Ａ相互は離間分離処理されることになり、分離は完全なものとなる。また、分離部５０の処理の後、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂを持つ剥離部６０で、粘着シート１の粘着力を減少させる処理を用いてグリーシート８０からチップ部品７０を確実に分離した状態で粘着シート１から剥離させる。例えば、粘着シート１が加熱により粘着力が低下する熱発泡粘着シートであれば、剥離部６０では加熱を、粘着シート１が冷却により粘着力が低下するものであれば、剥離部６０では冷却を、粘着シート１が紫外線、赤外線等の光線照射により粘着力が低下するものであれば、光線照射処理を行う。
【００３９】
この第１の実施の形態の場合の全体的な動作説明を行う。
【００４０】
粘着シート１は繰り出しリール部１０から繰り出され、駆動ロール部１４により間欠走行するように搬送されて、巻取りリール部１１で巻き取られるようになっており、転写装置２０において、下敷きシート８１上に載置して押切切断機等のチップ切断機で方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０が、停止状態の粘着シート１の粘着層３側に転写、供給され、ここで、グリーシート８０は粘着シート１に付着してこれに移し変えられる。
【００４１】
粘着シート１の間欠走行に伴い、グリーシート８０は再圧着部３０を通過し、ここでグリーンシート８０を粘着シート１の粘着層３側に押し付け、粘着シート１への密着を促進させる。
【００４２】
粘着シート１及びこれに付着したグリーシート８０は再圧着部３０を通過した後、反転用ガイド１３で反転されてグリーシート８０が粘着シート１の上側となった状態で走行して分離促進部４０に至り、押さえローラー４２の横方向の動きでグリーンシート面から所定の圧力が順次加わることでチップ毎の分離が促進される（図４のチップ切断個所Ｃに対し、厚さ方向にせん断力が加えられる。）。
【００４３】
そして、分離部５０に至った粘着シート１及びグリーシート８０は、シャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）を通過して方向転換することでさらに分離が進められ、その後、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂを持つ剥離部６０を走行しながら、粘着シート１の粘着力を減少させる処理が行われることで、個々のチップ部品７０に分離しかつ粘着シート１から剥離してチップ受け箱６０に落下する。
【００４４】
なお、使用可能な粘着シート１の具体例としては、例えば、日東電工社製「  リバアルファ」があり、その仕様は以下の通りである。
粘着力：３．７Ｎ又は４．９Ｎ／２０ｍｍ
基材厚み：３８μｍ〜１００μｍ
粘着層厚み：２０μｍ〜５０μｍ
粘着シート転写圧力：１０Ｎ／ｃｍ２以下
【００４５】
この第１の実施の形態によれば、以下の効果を奏することができる。
【００４６】
（１）  方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を下敷きシート（台紙等）８１上から粘着シート１側に転写する工程を自動化でき、以後粘着シート１にグリーンシート８０を付着させた状態で搬送、各種処理を実行することができる。
【００４７】
（２）  チップ状に切断されたグリーンシート８０を粘着シート１に転写する方式の為、切断時の下敷きシートを任意に選ぶ事が出来る。この事により、分離工程に配慮することによる下敷きシートの制限が無くなり、有利な条件で切断工程が行えるようになる。
【００４８】
（３）  前記グリーンシート８０を粘着シート１に転写して搬送することで、各種工程の自動化ができ、また、従来行われていなかった補助的工程（再圧着部２０や分離促進部４０等による工程）を加えることができ、さらに自動化効果による歩留向上と省人化を図れる。特に極小チップ部品、例えば１００５（１．０ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）サイズ  、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ、０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズチップ部品等の転写、搬送、自動化処理に適している。
【００４９】
図６は本発明の第２の実施の形態であって、転写方法及び装置に関する構成部分を示す。この場合、方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０の切断線Ａ，Ｂが粘着シート１の幅方向（搬送方向に直交する方向）に対して平面上で非平行かつ非直角となるように、前記グリーンシート８０を転写前に予め旋回した状態で平面ベッド２１上に載置している。具体的には、前記グリーンシート８０の切断線Ａ（チップ長辺が沿った方向）と粘着シート１の幅方向とが所定角度α（０°＜α＜９０°で好ましくは２０°≦α≦４０°）を成している。
【００５０】
その理由は、図７に示す後工程の分離促進部４０において、同図（Ａ）の平面図のように、前記グリーンシート８０の切断線Ａと押さえローラー４２の軸方向（又は外周線）とが平行の場合、切断線Ａに沿ったチップ７０Ａの長辺は剪断分離されるが、切断線Ｂに沿ったチップ７０Ａの短辺は分離が進まないからである。図７（Ｂ）の平面図のように、分離促進部４０がプレート４１上に停止した前記グリーンシート８０の切断線Ａに対し所定の角度α（０°＜α＜９０°で好ましくは２０°≦α≦４０°）を成す押さえローラー４２を持つ場合には、前記角度αを成す状態でグリーンシート８０上を押さえローラー４２が加圧しながら移動することにより、グリーンシート８０全域に渡って分離の促進を行うことができる。前記角度αを設けたことで、切断線Ａ及びＢに沿ったチップ７０Ａの辺が共に剪断分離される。
【００５１】
同様の理由で、分離部５０でのグリーンシート８０を個片のチップ７０Ａに分離する際にも前記角度αが存在していることが、チップ長辺、短辺の両方の分離に有効である。
【００５２】
なお、図６の第２の実施の形態における転写の為の機構及びその動作は第１の実施の形態と同様であり、平面ベッド２１、受けプレート２２の少なくとも一方が昇降することで相互の対向間隔が離間した状態から狭い状態に変化し、グリーンシート８０を粘着シート１の粘着層側に転写する。また、転写以外の機構は第１の実施の形態と同じでよい。
【００５３】
図８乃至図１０は本発明の第３の実施の形態であって、転写方法及び装置に関する構成部分を示す。この場合、平面ベッドとして回転テーブル９０を用いており、この回転テーブル９０は回転駆動軸９１に固定されていて、回転駆動軸９１の回転に伴い所定角度回転自在である。その他の機構部分は第１の実施の形態と同様である。
【００５４】
転写動作は、まず下敷きシート８１上に置かれて予め方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を、図９（Ａ）のように下敷きシート８１と共に平面ベッドとしての回転テーブル９０上に載せる。このとき、グリーンシート８０の切断線Ａが粘着シート１の幅方向（搬送方向に直交する方向）に対して平面上で平行となる（普通にグリーンシート８０を回転テーブル９０上に移載すれば図９（Ａ）の状態となる）。次に、図９（Ｂ）のように回転テーブル９０を所定角度αだけ回転させる。これにより、前記グリーンシート８０の切断線Ａ（チップ長辺が沿った方向）と粘着シート１の幅方向とが角度α（０°＜α＜９０°で好ましくは２０°≦α≦４０°）を成し、この回転テーブル９０の回転位置を維持して、回転テーブル９０と受けプレート２２の間隔を狭めてグリーシート８０を粘着シート１の粘着層に押し付ける。これにより、図１０のようにグリーシート８０が平面内で所定角度αを保持して粘着シート１側に転写されることになる。
【００５５】
なお、第３の実施の形態において、転写以外の機構は第１の実施の形態と同じでよい。
【００５６】
上記第１乃至第３の実施の形態では、転写方法及び装置において、グリーンシート切断時に使用する下敷きシートは、個片状、つまり枚葉シートとし、昇降する平面ベッドと受けプレートの組を用いて枚葉シート上のグリーンシート毎に転写したが、対をなす転写用ローラーによるグリーンシート及び粘着シートの挟み込み方式による転写も可能であり、この場合を本発明の第４の実施の形態として図１１にて説明する。
【００５７】
図１１の第４の実施の形態において、粘着シート１の搬送経路に１対の転写用ローラー９５，９６が配置され、互いに圧接する方向に図示しない付勢手段（エアシリンダ等）で付勢されている。これらの転写用ローラー９５，９６間には、下敷きシート（台紙等）８１上に載置されかつチップ形状に切断処理されたグリーンシート８０及び粘着シート１が重ねられて通過し、前記転写用ローラー９５，９６で圧接、挟持されることによって、粘着シート１の粘着層側にグリーンシート８０が転写される。この場合、下敷きシート８１が粘着シート１に接触する可能性が無いことが必要条件である。
【００５８】
なお、第４の実施の形態において、転写以外の機構は第１の実施の形態と同じでよい。
【００５９】
この第４の実施の形態によれば、下敷きシートとして枚葉シートだけでなく、テープ状（リールｔｏリール用）の下敷きシートを使用可能である。
【００６０】
上記第１乃至第３の実施の形態においても、前の工程にあたるグリーンシート切断機での使用形態によっては、テープ状（リールｔｏリール用）の下敷きシートを使用してもよい。
【００６１】
また、各実施の形態において、グリーンシートの供給は転写前にチップが落下しない為に平面ベッド上に載置して上方の粘着シートの粘着層に付着させたが、グリーンシートのチップを落下させることなく供給できるならば各実施の形態の場合とは天地逆の転写方式でも問題ない。
【００６２】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、チップ形状に切断処理されたグリーンシートを下敷きシートから粘着シート側に転写する工程を自動化でき、以後粘着シートにグリーンシートを付着させた状態で搬送、各種処理を実行することができる。このため、グリーンシートの切断時の下敷きシートを任意に選ぶ事が出来、分離工程に配慮することによる下敷きシートの制限が無くなり、有利な条件で切断工程が行える。また、前記グリーンシートを粘着シートに転写して搬送することで、各種工程の自動化ができ、また、従来行われていなかった補助的工程も必要に応じて加えることができ、さらに自動化効果による歩留向上と省人化を図れる。とくに、従来技術では分離・剥離工程歩留まりの向上が困難であった極小チップ部品の搬送、及び分離・剥離処理に適用すればその効果は大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るチップ部品転写方法及び装置、並びに分離方法及び装置の第１の実施の形態を示す全体構成図である。
【図２】第１の実施の形態における転写方法及び装置に関する機構部分の側面図である。
【図３】第１の実施の形態における転写装置の動作を説明する斜視図である。
【図４】第１の実施の形態における分離促進部の説明図である。
【図５】第１の実施の形態における分離部及び剥離部の説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態における転写方法及び装置に関する部分の斜視図である。
【図７】第２の実施の形態の場合の分離促進部の動作説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態における転写方法及び装置に関する機構部分の正面図である。
【図９】第３の実施の形態における転写装置の動作説明のための平面図である。
【図１０】第３の実施の形態における粘着シートへの転写後の状態を示す平面図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態における転写方法及び装置に関する部分の説明図である。
【符号の説明】
１  粘着シート
２  基材
３  粘着層
１０  繰り出しロール
１１  巻取りロール
１３  反転用ガイド
１４  駆動ロール部
２０  転写装置
２１  平面ベッド
２２  受けプレート
３０  再圧着部
３１  受けローラー
３２，４２  押さえローラー
４０  分離促進部
４１  固定プレート
５０  分離部
６０  剥離部
７５  チップ受け箱
７０  チップ部品
８０  グリーンシート
８１  下敷きシート
９０  回転テーブル
９５，９６  転写用ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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