(57)【要約】【課題】ジッタカーブを精度良く測定できるジッタカーブ測定装置および測定方法を提供すること。【解決手段】フォーカスサーボを行うためのフォーカスドライバ１６は、マイナスまたはプラスの値をもつフォーカスオフセット信号に基づいて、ディスクＴＤの記録面ＴＤａに対してレーザ光の焦点を近づける向きまたは遠ざける向きにオフセットさせるようになっている。フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する。フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する。各ジッタカーブの測定開始前に、ディスクＴＤのレーザ光被照射部位をスライド機構３０によって同じ開始点に設定する。【選択図】  図１
2004227722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクの記録面に対して少なくとも半導体レーザと受光素子とを含むホログラムレーザを対向させ、フォーカスサーボおよびトラッキングサーボを行いながら、上記半導体レーザからのレーザ光を上記ディスクの記録面へ照射し、上記記録面からの反射光を上記受光素子に受けて光電変換して、得られた再生信号を対象としてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定装置において、
上記ディスクとホログラムレーザとを相対的に上記ディスクの径方向に沿って平行移動させるスライド機構を備え、
上記フォーカスサーボを行うためのフォーカスドライバは、マイナスまたはプラスの値をもつフォーカスオフセット信号に基づいて、上記ディスクの記録面に対して上記レーザ光の焦点を近づける向きまたは遠ざける向きにオフセットさせるようになっており、
上記フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する第１ジッタカーブ測定手段と、
上記フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する第２ジッタカーブ測定手段と、
上記各ジッタカーブの測定開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって同じ開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載のジッタカーブ測定装置によってジッタカーブを測定するジッタカーブ測定方法であって、
上記第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記開始点設定手段によって、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって或る開始点に設定するステップと、
上記第１ジッタカーブ測定手段によって、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定するステップと、
上記第２ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、開始点設定手段によって、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって上記開始点と同じ開始点に設定するステップと、
上記第２ジッタカーブ測定手段によって、上記フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定するステップとを有することを特徴とするジッタカーブ測定方法。
【請求項３】
ディスクの記録面に対して少なくとも半導体レーザと受光素子とを含むホログラムレーザを対向させ、フォーカスサーボおよびトラッキングサーボを行いながら、上記半導体レーザからのレーザ光を上記ディスクの記録面へ照射し、上記記録面からの反射光を上記受光素子に受けて光電変換して、得られた再生信号を対象としてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定装置において、
上記ディスクとホログラムレーザとを相対的に上記ディスクの径方向に沿って平行移動させるスライド機構を備え、
上記フォーカスサーボを行うためのフォーカスドライバは、マイナスまたはプラスの値をもつフォーカスオフセット信号に基づいて、上記ディスクの記録面に対して上記レーザ光の焦点を近づける向きまたは遠ざける向きにオフセットさせるようになっており、
上記フォーカスオフセット信号をマイナスまたはプラスの所定のオフセット基準値からゼロまで次第に変化させ、続いてゼロから上記オフセット基準値の符号とは反対の方向に次第に変化させてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定手段を備えたことを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載のジッタカーブ測定装置において、
上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、所定のジッタレベルに対応する上記フォーカスオフセット信号の値を求め、その値を上記オフセット基準値として設定するオフセット基準値設定手段を備えたことを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載のジッタカーブ測定装置において、
上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって所定の開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載のジッタカーブ測定装置において、
上記オフセット基準値設定手段によって上記オフセット基準値を求めるシーケンスの開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって上記開始点と同じ開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項７】
請求項１、３または４に記載のジッタカーブ測定装置において、
上記ディスクの記録面にはデータ記録用のトラックが同心円状に形成されていることを特徴とするジッタカーブ測定装置。
【請求項８】
請求項３に記載のジッタカーブ測定装置によってジッタカーブを測定するジッタカーブ測定方法であって、
上記ジッタカーブ測定手段によって、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をマイナスまたはプラスの所定のオフセット基準値からゼロまで次第に変化させ、続いてゼロから上記オフセット基準値の符号とは反対の方向に次第に大きくして、そのときの再生信号からジッタカーブを測定することを特徴とするジッタカーブ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はジッタカーブ測定装置および測定方法に関し、より詳しくは、光ディスクや光磁気ディスクの記録情報を再生して得られる再生信号を対象としてジッタカーブを測定する装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、光ディスクや光磁気ディスクの記録情報を再生する光ピックアップの主要部品として、図１２中に示すようなホログラムレーザＨＬが用いられることが多い。このホログラムレーザＨＬは、ステムパッケージ１００に半導体レーザ１０１と受光素子１０３を収容するとともに、ステムパッケージ１００の上部にホログラム素子１０２を一体に備えている。ステムパッケージ１００の下部には複数のリードピン１１０が貫通して設けられている。
【０００３】
このようなホログラムレーザＨＬの特性検査のために、ホログラムレーザＨＬをコリメートレンズＣＬと対物レンズＯＬとを介して検査用の光ディスク（以下「検査用ディスク」という。）ＴＤに対向させて配置して、光ピックアップが構成される。なお、コリメートレンズＣＬと対物レンズＯＬは、光路をなす貫通孔を有する支持部材２００によって支持されている。ホログラムレーザＨＬはチャッキングユニットＣＬによって保持されている。また、検査用ディスクＴＤとスピンドルモータＳＭとを一体として平行移動させるためのスライド機構３０が設けられている。
【０００４】
検査用ディスクＴＤは、スピンドルモータＳＭによってモータの出力軸ＡＸの周りに、つまり検査用ディスクＴＤの中心の周りに回転される。半導体レーザ１０１が通電されてレーザ光を出射する。半導体レーザ１０１が出射したレーザ光に対して、ホログラム素子１０２の下面に形成された回折格子１０２ａがビームスプリッタとして機能して複数のトラッキングビームを生成する。ホログラム素子１０２を通過したレーザ光はコリメートレンズＣＬによって平行光にされ、対物レンズＯＬによって検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに集光される。この検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａによって反射された光は、対物レンズＯＬ、コリメートレンズＣＬを逆に通過して、ホログラム素子１０２の上面に形成された回折格子１０２ｂによって受光素子１０３へ向けて回折される。受光素子１０３は、例えば５分割された受光面を有し、各受光面に入射した光を光電変換する。この受光素子１０３の出力に基づいて、公知のフォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号、および記録情報を表す再生信号が得られる。上記対物レンズＯＬは、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号に基づいて、フォーカスドライバ、トラッキングドライバによって駆動される二軸アクチュエータＡＣによって、検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに対して垂直方向（ｚ方向）および径方向（ｒ方向）に位置制御されるようになっている（フォーカスサーボ、トラッキングサーボ）（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
従来、ホログラムレーザＨＬの特性検査工程では、この光ピックアップ（ホログラムレーザＨＬ）によって得られる再生信号を対象としたジッタカーブ測定が、図８に示すフローにしたがって行われている。なお、フォーカスドライバは、注入されたプラス（＋）またはマイナス（−）のフォーカスオフセット（電流）Ｉｆｏに応じて、アクチュエータＡＣを介して、検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに対して±ｚ方向に焦点をオフセットさせるようになっている。
【０００６】
まず、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に移動させる（Ｓ８１）。検査用ディスクＴＤの位置の原点は、その検査用ディスクＴＤの環状の記録面ＴＤａの内縁部がレーザ光被照射部位になる点とされている。スピンドルモータＳＭによって検査用ディスクＴＤを中心の周りに回転した状態で、トラッキングサーボおよびフォーカスサーボをかける（これらのサーボは、特に述べない限り継続される。この結果、トラッキングに伴ってディスクのレーザ光被照射部位は＋ｒ方向へ移動する。）。そして、フォーカスドライバに対してフォーカスオフセットを注入しない状態（Ｉｆｏ＝０）で、公知のジッタメータによって再生信号のジッタ値（Ｔｊ０）を測定し、その値をメモリに保存する（Ｓ８２）。その測定したジッタ値（Ｔｊ０）を基に、測定を終了させるべきジッタ値（Ｔｊｍａｘ）を決定する（Ｓ８３）。通常は、ＴｊｍａｘはＴｊ０よりも３ｎｓ〜５ｎｓ（ナノ秒）程度大きく設定される。次に、フォーカスドライバに対してマイナス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ８４）。そして、図９（ｂ）の左半分に示すように１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量をマイナス方向に変化させながら、ジッタ値がＴｊｍａｘに達するまでジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ８５）。このようにフォーカスオフセットをマイナス方向に注入してゆき、図９（ａ）の左半分に示すようなジッタカーブを測定する（マイナス方向測定シーケンス）。次に、フォーカスオフセット注入量を一旦ゼロ（Ｉｆｏ＝０）に戻した後（Ｓ８６）、フォーカスドライバに対してプラス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ８７）。そして、図９（ｂ）の右半分に示すように１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量をプラス方向に変化させながら、ジッタ値がＴｊｍａｘに達するまでジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ８８）。このようにフォーカスオフセットをプラス方向に注入してゆき、図９（ａ）の右半分に示すようなジッタカーブを測定する（プラス方向測定シーケンス）。以上のマイナス方向測定シーケンス、プラス方向測定シーケンスで得られた両方向のジッタカーブを合成して、合焦ずれ量を算出している。
【０００７】
合焦ずれ量は、光ディスクからの反射ビームが受光素子１０３の受光面に焦点を合わされた状態（合焦点）からのずれを意味する。合焦ずれ量は、ホログラムレーザＨＬの仕様の一項目として、例えば±０．７μｍ以内というように定められている。
【０００８】
【特許文献１】
実開平３−８９５２３号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、実際のジッタカーブの測定時間は、マイナス方向測定シーケンスとプラス方向測定シーケンスとでそれぞれ数秒間かかり、両方向で十数秒間を要する。このため、図９（ｃ）に示すように、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位には、マイナス方向測定シーケンスの開始時点Ａとプラス方向測定シーケンスの開始時点Ｂとの間で、数秒間のトラッキング相当分だけ径方向（ｒ方向）にずれΔが生じている。それにもかかわらず、従来は、マイナス方向測定シーケンスとプラス方向測定シーケンスとを単に繰り返して測定を行っている。このため、検査用ディスクＴＤが部位によって現実に有している歪み（反りや狂い）に起因して、マイナス方向測定シーケンスの開始時点Ａとプラス方向測定シーケンスの開始時点Ｂとの間でフォーカスサーボのかかり具合が異なる。この結果、合焦点近傍ではマイナス方向とプラス方向とで異なる条件で測定されたデータを繋ぎ合わせていることになり、測定精度が低下するという問題がある。
【００１０】
そこで、この発明の課題は、ジッタカーブを精度良く測定できるジッタカーブ測定装置および測定方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、第１の発明のジッタカーブ測定装置は、ディスクの記録面に対して少なくとも半導体レーザと受光素子とを含むホログラムレーザを対向させ、フォーカスサーボおよびトラッキングサーボを行いながら、上記半導体レーザからのレーザ光を上記ディスクの記録面へ照射し、上記記録面からの反射光を上記受光素子に受けて光電変換して、得られた再生信号を対象としてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定装置において、
上記ディスクとホログラムレーザとを相対的に上記ディスクの径方向に沿って平行移動させるスライド機構を備え、
上記フォーカスサーボを行うためのフォーカスドライバは、マイナスまたはプラスの値をもつフォーカスオフセット信号に基づいて、上記ディスクの記録面に対して上記レーザ光の焦点を近づける向きまたは遠ざける向きにオフセットさせるようになっており、
上記フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する第１ジッタカーブ測定手段と、
上記フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させてジッタカーブを測定する第２ジッタカーブ測定手段と、
上記各ジッタカーブの測定開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって同じ開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とする。
【００１２】
ディスクの「レーザ光被照射部位」とは、ディスクのうち半導体レーザからのレーザ光が照射される部位を指す。
【００１３】
この第１の発明のジッタカーブ測定装置では、第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、まず開始点設定手段が、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって或る開始点に設定する。第１ジッタカーブ測定手段は、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定する。この第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブ測定の間、トラッキングに伴ってディスクのレーザ光被照射部位は径方向にずれている。ここで、第２ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、開始点設定手段が、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって上記開始点と同じ開始点に設定する。第２ジッタカーブ測定手段は、上記フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定する。
【００１４】
このようにした場合、第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始時点と第２ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始時点との間で、ディスクのレーザ光被照射部位についての径方向のずれが解消される。したがって、従来に比してジッタカーブを精度良く測定できる。この結果、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【００１５】
なお、各ジッタカーブの測定を所定のジッタレベル、例えばフォーカスサーボを行うとき許容される最大のジッタ値に達するまで継続し、そのレベルに達した時点で停止するのが望ましい。そのようにした場合、フォーカスサーボを外すことなく、ジッタカーブの凹みを認識できる（いわゆる底が見える）ような範囲の測定が可能となる。
【００１６】
また、この発明のジッタカーブ測定方法は、第１の発明のジッタカーブ測定装置によってジッタカーブを測定するジッタカーブ測定方法であって、
上記第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記開始点設定手段によって、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって或る開始点に設定するステップと、
上記第１ジッタカーブ測定手段によって、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定するステップと、
上記第２ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、開始点設定手段によって、ディスクのレーザ光被照射部位をスライド機構によって上記開始点と同じ開始点に設定するステップと、
上記第２ジッタカーブ測定手段によって、上記フォーカスオフセット信号をゼロから上記一方向とは反対の方向に次第に変化させて、そのときの再生信号からジッタカーブを測定するステップとを有することを特徴とする。
【００１７】
また、第２の発明のジッタカーブ測定装置は、ディスクの記録面に対して少なくとも半導体レーザと受光素子とを含むホログラムレーザを対向させ、フォーカスサーボおよびトラッキングサーボを行いながら、上記半導体レーザからのレーザ光を上記ディスクの記録面へ照射し、上記記録面からの反射光を上記受光素子に受けて光電変換して、得られた再生信号を対象としてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定装置において、
上記ディスクとホログラムレーザとを相対的に上記ディスクの径方向に沿って平行移動させるスライド機構を備え、
上記フォーカスサーボを行うためのフォーカスドライバは、マイナスまたはプラスの値をもつフォーカスオフセット信号に基づいて、上記ディスクの記録面に対して上記レーザ光の焦点を近づける向きまたは遠ざける向きにオフセットさせるようになっており、
上記フォーカスオフセット信号をマイナスまたはプラスの所定のオフセット基準値からゼロまで次第に変化させ、続いてゼロから上記オフセット基準値の符号とは反対の方向に次第に変化させてジッタカーブを測定するジッタカーブ測定手段を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この第２の発明のジッタカーブ測定装置では、ジッタカーブ測定手段は、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をマイナスまたはプラスの所定のオフセット基準値からゼロまで次第に変化させ、続いてゼロから上記オフセット基準値の符号とは反対の方向に次第に大きくして、そのときの再生信号からジッタカーブを測定する。
【００１９】
このようにした場合、合焦点近傍ではジッタカーブの測定が連続して行われる。したがって、マイナス方向とプラス方向のジッタカーブを合成するためのデータ処理は必要が無く、ジッタカーブの繋ぎ目における測定条件の相異に起因した問題は発生しない。したがって、従来に比してジッタカーブを精度良く測定でき、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【００２０】
一実施形態のジッタカーブ測定装置は、上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、所定のジッタレベルに対応する上記フォーカスオフセット信号の値を求め、その値を上記オフセット基準値として設定するオフセット基準値設定手段を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この一実施形態のジッタカーブ測定装置では、上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、オフセット基準値設定手段が、上記フォーカスオフセット信号をゼロからマイナス方向またはプラス方向のうちいずれか一方向に次第に変化させて、所定のジッタレベルに対応する上記フォーカスオフセット信号の値を求め、その値を上記オフセット基準値として設定する。したがって、オフセット基準値を適正に設定でき、測定開始時にフォーカスサーボが外れてしまうような失敗を防止できる。
【００２２】
なお、「所定のジッタレベル」は、例えばフォーカスサーボを行うとき許容される最大のジッタ値とするのが望ましい。そのようにした場合、フォーカスサーボを外すことなく、ジッタカーブの凹みを認識できる（いわゆる底が見える）ような範囲の測定が可能となる。
【００２３】
一実施形態のジッタカーブ測定装置は、上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって所定の開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この一実施形態のジッタカーブ測定装置では、上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始前に、開始点設定手段が、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって所定の開始点に設定する。したがって、第１ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定は適正な開始点から可能となる。
【００２５】
一実施形態のジッタカーブ測定装置は、上記オフセット基準値設定手段によって上記オフセット基準値を求めるシーケンスの開始前に、上記ディスクのレーザ光被照射部位を上記スライド機構によって上記開始点と同じ開始点に設定する開始点設定手段を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この一実施形態のジッタカーブ測定装置では、上記オフセット基準値設定手段によって上記オフセット基準値を求めるシーケンスの開始時点と上記ジッタカーブ測定手段によるジッタカーブの測定開始時点との間で、ディスクのレーザ光被照射部位についての径方向のずれが解消される。この結果、ジッタカーブをさらに精度良く測定できる。
【００２７】
一実施形態のジッタカーブ測定装置は、上記ディスクの記録面にはデータ記録用のトラックが同心円状に形成されていることを特徴とする。
【００２８】
一実施形態のジッタカーブ測定装置では、上記ディスクの記録面にはデータ記録用のトラックが同心円状に形成されている。したがって、上記各ジッタカーブの測定シーケンスおよび／または上記オフセット基準値を求めるシーケンスの間、トラッキングサーボを継続しても、ディスクのレーザ光被照射部位は径方向に変化しない。したがって、上記ディスクが径方向に沿って歪みを有していても、ジッタカーブの測定および／またはオフセット基準値の設定に影響しなくなる。また、ディスクが回転する毎に同じデータ内容が反復して再生される。したがって、ジッタカーブをさらに精度良く測定できる。
【００２９】
また、この発明のジッタカーブ測定方法は、第２の発明のジッタカーブ測定装置によってジッタカーブを測定するジッタカーブ測定方法であって、上記ジッタカーブ測定手段によって、フォーカスドライバに与えるフォーカスオフセット信号をマイナスまたはプラスの所定のオフセット基準値からゼロまで次第に変化させ、続いてゼロから上記オフセット基準値の符号とは反対の方向に次第に大きくして、そのときの再生信号からジッタカーブを測定することを特徴とする。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３１】
図１は一実施形態のジッタカーブ測定装置の構成を模式的に示している。このジッタカーブ測定装置は、検査用の光ディスク（以下「検査用ディスク」という。）ＴＤの記録情報を再生して得られる再生信号を対象としてジッタカーブを測定するようになっている。
【００３２】
具体的には、図１２中に示したのと同じホログラムレーザＨＬをコリメートレンズＣＬと対物レンズＯＬとを介して検査用ディスクＴＤに対向させて配置して、光ピックアップが構成されている。
【００３３】
図１２中に示したように、ホログラムレーザＨＬは、ステムパッケージ１００に半導体レーザ１０１と受光素子１０３を収容するとともに、ステムパッケージ１００の上部にホログラム素子１０２を一体に備えている。ステムパッケージ１００の下部には複数のリードピン１１０が貫通して設けられている。
【００３４】
コリメートレンズＣＬと対物レンズＯＬは、光路をなす貫通孔を有する支持部材２００によって支持されている。ホログラムレーザＨＬはチャッキングユニットＣＬによって保持されている。
【００３５】
検査用ディスクＴＤは、スピンドルモータＳＭによってモータの出力軸ＡＸの周りに、つまり検査用ディスクＴＤの中心の周りに回転される。また、検査用ディスクＴＤとスピンドルモータＳＭとを一体として平行移動させるためのスライド機構３０が設けられている。
【００３６】
図１中に示すように、このジッタカーブ測定装置は、光出力制御回路４と、ヘッドアンプ６と、フォーカスエラー信号生成回路７と、トラッキングエラー信号生成回路８と、ゲイン調整回路１０と、ゲイン調整回路１１と、フォーカスドライバ１６と、トラッキングドライバ１７と、再生信号生成回路２１と、ジッタメータ２２と、ジッタカーブ生成部２３と、ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ）２４と、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）２５とを備えている。
【００３７】
図１と図１２とを併せて参照しながら、フォーカスサーボ、トラッキングサーボ、および記録情報の再生についての基本的な動作を説明する。
【００３８】
まずスピンドルモータＳＭによって検査用ディスクＴＤが中心の周りに回転された状態で、光出力制御回路４による制御によって半導体レーザ１０１が通電されてレーザ光を出射する。なお、この実施形態では、記録／再生切替信号は「再生」モードに切り替えられているものとする。したがって、半導体レーザ１０１からは「再生」モードに応じた出力レベルのレーザ光が出射される。
【００３９】
半導体レーザ１０１が出射したレーザ光に対して、ホログラム素子１０２の下面に形成された回折格子１０２ａがビームスプリッタとして機能して複数のトラッキングビームを生成する。ホログラム素子１０２を通過したレーザ光はコリメートレンズＣＬによって平行光にされ、対物レンズＯＬによって検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに集光される。この検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａによって反射された光は、対物レンズＯＬ、コリメートレンズＣＬを逆に通過して、ホログラム素子１０２の上面に形成された回折格子１０２ｂによって受光素子１０３へ向けて回折される。受光素子１０３は、例えば５分割された受光面を有し、各受光面に入射した光を光電変換する。この受光素子１０３の出力はヘッドアンプ６によって増幅されて、フォーカスエラー信号生成回路７、トラッキングエラー信号生成回路８、および再生信号生成回路２１へ送られる。そして、これらのフォーカスエラー信号生成回路７、トラッキングエラー信号生成回路８、および再生信号生成回路２１によって、それぞれ公知のフォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号、および記録情報を表す再生信号が生成される。
【００４０】
フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号は、それぞれゲイン調整回路１０、１１へ送られて「再生」モードに応じたレベルにゲイン調整された後、フォーカスドライバ１６、トラッキングドライバ１７へ送られる。そして、上記フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号に基づいて、フォーカスドライバ１６、トラッキングドライバ１７によって駆動される二軸アクチュエータＡＣによって、対物レンズＯＬが検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに対して垂直方向（ｚ方向）および径方向（ｒ方向）に位置制御される（フォーカスサーボ、トラッキングサーボ）。
【００４１】
一方、再生信号はジッタメータ２２へ送られる。そして、公知のジッタメータ２２によって、その再生信号を対象としてジッタ値が測定される。また、ジッタカーブ生成部２３によって、後述する測定方法にしたがってジッタカーブが算出される。
【００４２】
なお、フォーカスドライバ１６は、ジッタカーブ生成部２３によって注入されたプラス（＋）またはマイナス（−）のフォーカスオフセット（電流）Ｉｆｏに応じて、アクチュエータＡＣを介して、検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａに対して±ｚ方向に焦点をオフセットさせるようになっている。
【００４３】
記録媒体としてのＲＯＭ２４には、ジッタカーブ生成部２３にジッタカーブ測定方法を実行させるためのプログラムが格納されている。ＲＡＭ２５は、ジッタカーブ生成部２３のための作業領域として用いられ、保存すべきデータを一時的に記憶する。
【００４４】
図２はジッタカーブ測定方法のフローを例示している。また、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれこの測定方法を実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化をグラフ化したものである。
【００４５】
このジッタカーブ測定方法では、まずジッタカーブ生成部２３が開始点設定手段として働いて、図３（ｃ）に示すように、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に移動させる（Ｓ２１）。検査用ディスクＴＤの位置の原点は、その検査用ディスクＴＤの環状の記録面ＴＤａの内縁部がレーザ光被照射部位になる点とされている。スピンドルモータＳＭによって検査用ディスクＴＤを中心の周りに回転した状態で、トラッキングサーボおよびフォーカスサーボをかける（これらのサーボは、特に述べない限り継続される。この結果、トラッキングに伴ってディスクのレーザ光被照射部位は＋ｒ方向へ移動する。）。そして、フォーカスドライバ１６に対してフォーカスオフセットを注入しない状態（Ｉｆｏ＝０）で、ジッタメータ２２によって再生信号のジッタ値（Ｔｊ０）を測定し、その値をＲＡＭ２５に保存する（Ｓ２２）。その測定したジッタ値（Ｔｊ０）を基に、測定を終了させるべきジッタ値（Ｔｊｍａｘ）を決定する（Ｓ２３）。通常は、ＴｊｍａｘはＴｊ０よりも３ｎｓ〜５ｎｓ（ナノ秒）程度大きく設定される。次に、ジッタカーブ生成部２３が第１ジッタカーブ測定手段として働いて、フォーカスドライバ１６に対してマイナス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ２４）。そして、図３（ｂ）の左半分に示すようにマイナス方向に１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量を変化させながら、ジッタ値がＴｊｍａｘに達するまでジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ２５）。このようにフォーカスオフセットをマイナス方向に順次注入してゆき、図３（ａ）の左半分に示すようなジッタカーブを測定する（マイナス方向測定シーケンス）。次に、フォーカスオフセット注入量を一旦ゼロ（Ｉｆｏ＝０）に戻すとともに、ジッタカーブ生成部２３が開始点設定手段として働いて、図３（ｃ）に示すように、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に復帰させる（Ｓ２６）。続いて、ジッタカーブ生成部２３が第２ジッタカーブ測定手段として働いて、フォーカスドライバ１６に対してプラス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ２７）。そして、図３（ｂ）の右半分に示すようにプラス方向に１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量を変化させながら、ジッタ値がＴｊｍａｘに達するまでジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ２８）。このようにフォーカスオフセットをプラス方向に順次注入してゆき、図３（ａ）の右半分に示すようなジッタカーブを測定する（プラス方向測定シーケンス）。ジッタカーブ生成部２３は、以上のマイナス方向測定シーケンス、プラス方向測定シーケンスで得られた両方向のジッタカーブを合成して、合焦ずれ量を算出する。
【００４６】
このようにした場合、図３（ｃ）に示すように、マイナス方向測定シーケンスの測定開始時点Ａとプラス方向測定シーケンスの測定開始時点Ｂとの間で、ディスクのレーザ光被照射部位についての径方向のずれが解消される。したがって、従来に比してジッタカーブを精度良く測定できる。この結果、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【００４７】
また、この例では、マイナス方向とプラス方向の各ジッタカーブの測定をフォーカスサーボを行うとき許容される最大のジッタ値Ｔｊｍａｘに達するまで継続し、そのレベルに達した時点で停止しているので、フォーカスサーボを外すことなく、ジッタカーブの凹みを認識できる（いわゆる底が見える）ような範囲の測定が可能となる。
【００４８】
図４はジッタカーブ測定方法の別のフローを例示している。また、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれこの測定方法を実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化をグラフ化したものである。
【００４９】
このジッタカーブ測定方法では、まずジッタカーブ生成部２３が開始点設定手段として働いて、図５（ｃ）に示すように、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に移動させる（Ｓ４１）。検査用ディスクＴＤの位置の原点は、その検査用ディスクＴＤの環状の記録面ＴＤａの内縁部がレーザ光被照射部位になる点とされている。スピンドルモータＳＭによって検査用ディスクＴＤを中心の周りに回転した状態で、トラッキングサーボおよびフォーカスサーボをかける（これらのサーボは、特に述べない限り継続される。この結果、トラッキングに伴ってディスクのレーザ光被照射部位は＋ｒ方向へ移動する。）。そして、図５（ｂ）に示すように、フォーカスドライバ１６に対してオフセット基準値として適度なフォーカスオフセット（Ｉｆｏ＝Ｉｆｏｍｉｎ）を注入した状態で、ジッタメータ２２によって再生信号のジッタ値（Ｔｊｍａｘ）を測定し、その値をＲＡＭ２５に保存する（Ｓ４２）。このオフセット基準値Ｉｆｏｍｉｎは、この例ではマイナス符号をもち、ＴｊｍａｘがＴｊ０（Ｉｆｏ＝０のときのジッタ値）よりも３ｎｓ〜５ｎｓ（ナノ秒）程度大きくなるように設定される。なお、このオフセット基準値Ｉｆｏｍｉｎについては、予め十分に検討を行っておく必要がある（後述）。次に、ジッタカーブ生成部２３がジッタカーブ測定手段として働いて、フォーカスドライバ１６に対してプラス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ４３）。次に、図５（ｂ）の右半分に示すようにプラス方向に１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量を変化させながら、ジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ４４）。つまり、フォーカスオフセット信号Ｉｆｏをオフセット基準値Ｉｆｏｍｉｎからゼロまで次第に変化させ、続いてゼロからプラス方向に次第に変化させて、ジッタカーブを測定する。そして、最後にジッタ値がＴｊｍａｘに達した時点で測定を終了する。
【００５０】
このようにした場合、合焦点近傍ではジッタカーブの測定が連続して行われる。したがって、マイナス方向とプラス方向のジッタカーブを合成するためのデータ処理は必要が無く、ジッタカーブの繋ぎ目における測定条件の相異に起因した問題は発生しない。したがって、従来に比してジッタカーブを精度良く測定でき、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【００５１】
図６はジッタカーブ測定方法のさらに別のフローを例示している。また、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれこの測定方法を実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化をグラフ化したものである。
【００５２】
このジッタカーブ測定方法では、まずジッタカーブ生成部２３が開始点設定手段として働いて、図７（ｃ）に示すように、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に移動させる（Ｓ６１）。検査用ディスクＴＤの位置の原点は、その検査用ディスクＴＤの環状の記録面ＴＤａの内縁部がレーザ光被照射部位になる点とされている。スピンドルモータＳＭによって検査用ディスクＴＤを中心の周りに回転した状態で、トラッキングサーボおよびフォーカスサーボをかける（これらのサーボは、特に述べない限り継続される。この結果、トラッキングに伴ってディスクのレーザ光被照射部位は＋ｒ方向へ移動する。）。そして、フォーカスドライバ１６に対してフォーカスオフセットを注入しない状態（Ｉｆｏ＝０）で、ジッタメータ２２によって再生信号のジッタ値（Ｔｊ０）を測定し、その値をＲＡＭ２５に保存する（Ｓ６２）。その測定したジッタ値（Ｔｊ０）を基に、測定を終了させるべきジッタ値（Ｔｊｍａｘ）を決定する（Ｓ６３）。通常は、ＴｊｍａｘはＴｊ０よりも３ｎｓ〜５ｎｓ（ナノ秒）程度大きく設定される。次に、ジッタカーブ生成部２３がオフセット基準値設定手段として働いて、フォーカスドライバ１６に対してマイナス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ６４）。そして、図７（ｂ）の左部分に示すようにマイナス方向に１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量を変化させながら、ジッタ値がＴｊｍａｘに達するまでジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ６５）。このようにフォーカスオフセットをマイナス方向に順次注入してゆき、Ｔｊｍａｘに対応するフォーカスオフセットの値Ｉｆｏｍｉｎを求め、その値Ｉｆｏｍｉｎをオフセット基準値としてＲＡＭ２５に保存する（Ｓ６２）（オフセット基準値設定シーケンス）。次に、ジッタカーブ生成部２３が開始点設定手段として働いて、フォーカスサーボおよびトラッキングサーボを一時的に外して、図７（ｃ）中に示すように、スライド機構３０によって検査用ディスクＴＤの位置を原点に復帰させる（Ｓ６７）。続いて、フォーカスドライバ１６に対してフォーカスオフセットをオフセット基準値Ｉｆｏｍｉｎ分だけ注入した状態で、ジッタメータ２２によって再生信号のジッタ値を測定する（Ｓ６８）。このとき測定されるジッタ値は、図７（ａ）に示すように、Ｔｊｍａｘに相当する。続いて、ジッタカーブ生成部２３がジッタカーブ測定手段として働いて、フォーカスドライバ１６に対してプラス方向に１ステップ分だけフォーカスオフセットを注入し、ジッタ値（Ｔｊ）を測定する（Ｓ６９）。次に、図７（ｂ）中に示すようにプラス方向に１ステップ分ずつフォーカスオフセット注入量を変化させながら、ジッタ値の測定を繰り返す（Ｓ７０）。つまり、フォーカスオフセット信号Ｉｆｏをオフセット基準値Ｉｆｏｍｉｎからゼロまで次第に変化させ、続いてゼロからプラス方向に次第に変化させて、ジッタカーブを測定する（ジッタカーブ測定シーケンス）。そして、最後にジッタ値がＴｊｍａｘに達した時点で測定を終了する。
【００５３】
このようにした場合、先の例と同様に、合焦点近傍ではジッタカーブの測定が連続して行われる。したがって、マイナス方向とプラス方向のジッタカーブを合成するためのデータ処理は必要が無く、ジッタカーブの繋ぎ目における測定条件の相異に起因した問題は発生しない。したがって、従来に比してジッタカーブを精度良く測定でき、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【００５４】
また、ジッタカーブの測定開始前にオフセット基準値設定シーケンスを実行してオフセット基準値を設定しているので、各ホログラムレーザＨＬ毎にオフセット基準値を適正に設定できる。しかも、オフセット基準値設定シーケンス開始時点の検査用ディスクＴＤの位置とジッタカーブ測定シーケンス開始時点の検査用ディスクＴＤの位置とを同じにしているので、設定したオフセット基準値はさらに適正なものとなる。したがって、測定開始時にフォーカスサーボが外れてしまうような失敗を防止できる。また、ＴｊｍａｘをＴｊ０よりも３ｎｓ〜５ｎｓ（ナノ秒）程度大きく設定しておけば、フォーカスサーボを外すことなく、ジッタカーブの凹みを認識できる（いわゆる底が見える）ような範囲の測定が可能となる。
【００５５】
図１１は一般的な光ディスクのパターン、つまり１本のデータトラックＤＰ１が螺旋状に形成されたパターンを示している。このような螺旋状パターンによれば、ジッタカーブ測定中にトラッキングサーボを継続すると、ディスクのレーザ光被照射部位が移動してしまう。このため、フォーカスサーボやトラッキングサーボサーボの状態が変化して、ジッタカーブ測定の精度を低下させる。そこで、本発明では、図１０に示すように、検査用ディスクＴＤの記録面ＴＤａにデータ記録用のトラックＤＰｎが同心円状に形成されたものを提案する。この検査用ディスクを用いれば、各ジッタカーブの測定シーケンスおよび／またはオフセット基準値設定シーケンスの間、トラッキングサーボをかけていても、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位は径方向に変化しない。したがって、上記ディスクが径方向に沿って歪みを有していても、ジッタカーブの測定および／またはオフセット基準値の設定に影響しなくなる。また、ディスクが回転する毎に同じデータ内容が反復して再生される。したがって、ジッタカーブをさらに精度良く測定できる。さらには、ジッタカーブの測定に限らず、ホログラムレーザＨＬの様々な電気的光学特性の測定精度を向上させることができる。
【００５６】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明のジッタカーブ測定装置および測定方法によれば、ジッタカーブを精度良く測定できる。したがって、合焦ずれ量を精度良く求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態のジッタカーブ測定装置の構成を示す図である。
【図２】図１のジッタカーブ測定装置を用いたジッタカーブ測定方法のフローを示す図である。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ図２のフローを実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化を示す図である。
【図４】図１のジッタカーブ測定装置を用いたジッタカーブ測定方法の別のフローを示す図である。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ図４のフローを実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化を示す図である。
【図６】図１のジッタカーブ測定装置を用いたジッタカーブ測定方法のさらに別のフローを示す図である。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ図６のフローを実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化を示す図である。
【図８】従来のジッタカーブ測定方法のフローを示す図である。
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ図８のフローを実行したときのジッタ値Ｔｊ、フォーカスオフセット注入量Ｉｆｏ、検査用ディスクＴＤのレーザ光被照射部位の変化を示す図である。
【図１０】一実施形態の検査用ディスクのトラックのパターンを示す図である。
【図１１】従来の光ディスクのトラックのパターンを示す図である。
【図１２】検査用ディスクの記録面にホログラムレーザを対向させて構成される光ピックアップを示す図である。
【符号の説明】
ＴＤ  検査用ディスク
ＡＣ  アクチュエータ
ＯＬ  対物レンズ
ＣＬ  コリメートレンズ
ＨＬ  ホログラムレーザ
１６  フォーカスドライバ
１７  トラッキングドライバ
２１  再生信号生成回路
２２  ジッタメータ
２３  ジッタカーブ生成部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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