(57)【要約】【課題】分解容易で密閉性の確保が可能な金属吐出装置を提供する。【解決手段】開口部１ａを有するノズル板１と、ダイヤフラム２とで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室３内に、溶融金属５を充填する。圧力室３内の溶融金属５を加圧して、ノズル板１の開口部１ａから溶融金属５を吐出させる。ダイヤフラムブロック７とダイヤフラム２を一体形成してノズル板１に対向配置する。ノズル対向面７ａまたはダイヤフラム対向面１ｂのいずれか一方に閉ループ状の突条８を設ける。突条８をノズル対向面７ａまたはダイヤフラム対向面１ｂのいずれか他方に当接させる。ノズル板１に重ねてノズル押さえブロック９を配置し、ノズル押さえブロック９を締結手段１０でダイヤフラムブロック７に締結する。【選択図】      図１
2004275794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる金属吐出装置において、
前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置し、
前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設け、
前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に当接させ、
前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、
前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付けたことを特徴とする金属吐出装置。
【請求項２】
前記突条を前記ノズル対向面に設け、前記突条の当接部は前記突条の幅寸法より幅広とした薄板部を有する請求項１に記載の金属吐出装置。
【請求項３】
前記薄板部の自由端側を支持する支持部を前記ノズル板に設けた請求項２に記載の金属吐出装置。
【請求項４】
開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる金属吐出装置において、
前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置し、
前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設け、
前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に、耐熱性と柔軟性とを有するシール材を介して当接させ、
前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、
前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付けたことを特徴とする金属吐出装置。
【請求項５】
前記突条を前記ノズル対向面に設け、前記ノズル板における前記シール材の配置部は前記突条の幅寸法より幅広とした薄板部を有する請求項４に記載の金属吐出装置。
【請求項６】
開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる金属吐出装置において、
前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置し、
前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設け、
前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に、前記突条の幅寸法よりも幅広とした変形可能部を有するスペーサを介して当接させ、
前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、
前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付けたことを特徴とする金属吐出装置。
【請求項７】
前記スペーサは前記突条に背向する側に開口する断面Ｕ字状で、その開口部に耐熱性および柔軟性を有するシール材を充填した請求項６に記載の金属吐出装置。
【請求項８】
前記突条の当接面に、耐熱性と柔軟性を有するシール材を配置した請求項７に記載の金属吐出装置。
【請求項９】
前記ダイヤフラムブロックに前記ノズル押さえブロックに対向する第１の位置決め面を設け、
前記締結手段による前記ダイヤフラムブロックへの前記ノズル押さえブロックの締結によって、前記ダイヤフラムブロック側の前記位置決め面に当接する、第２の位置決め面を前記ノズル押さえブロックに設けた請求項１ないし請求項８のいずれか一つに記載の金属吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、圧力室内に供給した半田等の溶融金属を、加圧することによって吐出させる金属吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の金属吐出装置の従来例として、インクジェット技術を応用して、溶融金属である半田を液滴状に吐出させて半導体基板上に付着させ、バンプを形成する装置が提案されている（例えば特許文献１）。また他の従来例として、ノズル板とダイヤフラムとを互いに当接させて圧力室を形成した構造のものも提案されている（例えば特許文献２）。圧力室の具体的構造の従来例としては、インクジェット記録装置における記録ヘッドがある（例えば特許文献３）。この記録ヘッドでは、圧力室を構成するダイヤフラム、給液ブロックおよびノズル板を接着剤で接着している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２９４５９１号公報
【特許文献２】
特開２００２−４３３５１号公報
【特許文献３】
特開平７−３１４６７１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、溶融金属を吐出させる金属吐出装置では、圧力室を構成する部材を金属の融点以上に昇温する必要があるので、特許文献３に開示されているように圧力室を構成する部材を接着剤で接着する構成では、接着剤の耐熱性の限界から接着剤に剥離や亀裂が生じ、圧力室の密閉性を長期にわたって確保することが困難である。
【０００５】
また、圧力室内では溶融金属による侵食や不純物の堆積などが生じるため、ノズル板，ダイヤフラム等の圧力室構成部材の定期的な部品交換やクリーニグなどのメインテナンスが必要であるが、これに対応するためには容易に分解できる構造でなければならず、溶接や接着など分解の困難な接合方法を用いて圧力室を構成することはできない。
【０００６】
さらに、ノズル板やダイヤフラムを単に当接させるだけで圧力室を構成して分解容易な構造とした場合には、部品精度や組立精度の誤差により圧力室外周における部材当接部で部分的に隙間が生じ易く、圧力室の密閉性を確保できないという問題がある。
【０００７】
この発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、分解容易で密閉性の確保が可能な金属吐出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の第１の金属吐出装置は、開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる。前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置する。前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設ける。前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に当接させる。前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付ける。
【０００９】
この発明の第２の金属吐出装置は、開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる。前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置する。前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設ける。前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に、耐熱性と柔軟性とを有するシール材を介して当接させる。前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付ける。
【００１０】
この発明の第３の金属吐出装置は、開口部を有するノズル板と、加圧手段を有するダイヤフラムとで室壁面の少なくとも主要部が構成される圧力室内に溶融金属を充填し、前記加圧手段により前記圧力室内の前記溶融金属を加圧して、前記開口部から前記溶融金属を吐出させる。前記ダイヤフラムと連結されるダイヤフラムブロックを、前記ノズル板に対向配置する。前記ダイヤフラムブロックの前記ノズル板に対向するノズル対向面、または前記ノズル板の前記ダイヤフラムブロックに対向するダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設ける。前記突条を、前記ノズル対向面または前記ダイヤフラム対向面のいずれか他方に、前記突条の幅寸法よりも幅広とした変形可能部を有するスペーサを介して当接させる。前記ノズル板に重ねてノズル押さえブロックを配置し、前記ノズル押さえブロックを締結手段で前記ダイヤフラムブロックに締結することにより、前記ノズル押さえブロックで前記ノズル板を前記ダイヤフラムブロックに押し付ける。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この金属吐出装置は、開口部１ａを有するノズル板１と、加圧手段６が設けられたダイヤフラム２とで室壁面の主要部が構成される圧力室３内に、この圧力室３に連通する溶融金属供給口４から溶融金属（例えば半田）５を供給（例えば充填）する。加圧手段６によりダイヤフラム２を介して圧力室３内の溶融金属５を加圧して、ノズル板１の開口部１ａから溶融金属５を、例えば液滴状に適宜吐出させる。
【００１２】
加圧手段６は例えば圧電素子からなる。ダイヤフラム２はダイヤフラムブロック７に連結（例えば一体形成）され、このダイヤフラムブロック７がノズル板１に対向配置される。このダイヤフラムブロック７のノズル板１に対向するノズル対向面７ａには閉ループ状の突条８が設けられている。図１は断面図であるので、突条８が２カ所に現れている。この突条８が、ノズル板１のダイヤフラムブロック７に対向するダイヤフラム対向面１ｂに当接するように、ダイヤフラムブロック７がノズル板１に対向配置され、ノズル板１とダイヤフラム２と突条８とで囲まれる空間が圧力室３を構成する。溶融金属供給口４はダイヤフラムブロック７に設けられている。
【００１３】
ノズル板１におけるダイヤフラム対向面１ｂとは反対側の背面には、ノズル押さえブロック９が重ねて配置される。このノズル押さえブロック９は、締結手段１０でダイヤフラムブロック７に締結される。これにより、ノズル押さえブロック９がノズル板１をダイヤフラムブロック７側に押し付け、ダイヤフラム対向面１ｂにダイヤフラムブロック７の突条８が押し付けられる。ここでは、締結手段１０として複数本のボルトを使用した場合を示している。具体的には、ノズル押さえブロック９においてノズル板１と重ならない外周部に、ノズル押さえブロック９およびノズル板１の重なり方向に向けて締結手段（ボルト）１０が挿入され、ノズル押さえブロック９の外周部と対向するダイヤフラムブロック７のノズル押さえ対向面７ｂに締結手段（ボルト）１０が締め付けられる。ノズル押さえブロック９においてノズル板開口部１ａと重なる箇所には、ノズル板開口部１ａから溶融金属５の液滴が吐出するのを妨げないように開口部７ｃが設けられている。
【００１４】
この金属吐出装置によると、締結手段１０でノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結することで、ノズル板１がダイヤフラムブロック７に押し付けられ、ダイヤフラム対向面１ｂにダイヤフラムブロック７の突条８が押し当てられるので、ノズル板１とダイヤフラムブロック７とで囲まれる空間からなる圧力室３の密閉性を十分確保することができる。
【００１５】
また、締結手段１０によるダイヤフラムブロック７へのノズル押さえブロック９の締結を解除することにより、ノズル板１とダイヤフラムブロック７を切り離すことができるので、メインテナンスに際して圧力室３の分解が容易となる。
【００１６】
なお、図１では、ダイヤフラムブロック７における突条８を、ノズル対向面７ａの外周縁から若干内側に片寄らせて設けているが、これに限らず例えば図２に一部を拡大して示すように、突条８をその外側面がノズル対向面７ａの外周縁と面一となるようにノズル対向面７ａの外周縁に沿って設けるようにしても良い。
【００１７】
また、この実施の形態１では、ノズル対向面７ａに閉ループ状の突条８を設けた場合について示したが、これに限らず、ダイヤフラム対向面１ｂに突条８を設け、この突条８をノズル対向面７ａに押し当てるようにしても良い。
【００１８】
実施の形態２．
図３はこの発明の実施の形態２による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態２では、実施の形態１の金属吐出装置（図１、図２）において、ノズル板１における突条８の当接部を、突条８の幅寸法より幅広で塑性又は弾性変形可能な薄板部１０１としている。その薄板部１０１は、ノズル板１のノズル押さえブロック９に対向する背面側を溝加工することにより形成されている。その他の構成は実施の形態１の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００１９】
図４は図３のＡ部を拡大して示す。このように、締結手段１０でノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態では、ノズル板１の薄板部１０１が塑性又は弾性変形して、ダイヤフラムブロック７側の突条８が薄板部１０１に食い込み、ノズル板１への突条８の当接が確実なものとなる。
【００２０】
例えば図５に示すように、複数本のボルトからなる締結手段１０によるダイヤフラムブロック７へのノズル押さえブロック９の締め付け量が不均一となった場合でも、ノズル板１における突条８の当接部を、突条８の幅寸法より幅広で塑性又は弾性変形可能な薄板部１０１とすることにより、閉ループ状の突条８の全周にわたって、突条８をダイヤフラム対向面１ｂに隙間なく確実に当接させることができる。締結手段１０による締め付け量の不均一だけでなく、組立誤差や部品寸法誤差などがある場合でも、ノズル板１における薄板部１０１の塑性又は弾性変形でこれらの誤差を同様に吸収することができる。また、薄板部１０１の変形は、ノズル板１における突条８の当接部のみの局所的なものであるため、その変形がノズル板１の全体的な反りや湾曲につながることはない。これらのことから、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。
【００２１】
ちなみに、実施の形態１による金属吐出装置（図１、図２）において、図６に示すように締結手段１０によるダイヤフラムブロック７へのノズル押さえ部材９の締め付け量が不均一となった場合、ダイヤフラム対向面１ｂと突条８との当接部の一部において隙間が生じることがあり、圧力室３の密閉性を十分確保できない。
【００２２】
実施の形態３．
図７はこの発明の実施の形態３による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態３でも、実施の形態１の金属吐出装置（図１、図２）において、ノズル板１における突条８の当接部を、突条８の幅寸法より幅広で塑性又は弾性変形可能な薄板部１０１Ａとしている。その薄板部１０１Ａは、外周側が自由端となった片持ち状に形成されており、ノズル板１のノズル押さえブロック９に対向する背面側を一部除去してダイヤフラム対向面１ｂ側を薄板状に残して形成できる。その他の構成は実施の形態１の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００２３】
このように、ノズル板１における突条８の当接部を、突条８の幅寸法より幅広で塑性又は弾性変形可能な片持ち状の薄板部１０１Ａとした場合も、締結手段１０でノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、ノズル板１の薄板部１０１Ａが塑性又は弾性変形して、ダイヤフラムブロック７側の突条８が薄板部１０１Ａに食い込み、ノズル板１への突条８の当接が確実なものとなる。
【００２４】
図７の金属吐出装置において、ノズル押さえブロック９におけるノズル板薄板部１０１Ａに対向する部分に図８に示すように溝部９ｂを設け、その溝部９ｂの一側縁を薄板部１０１Ａの自由端を支持する支持部１１としても良い。
【００２５】
このように、ノズル押さえブロック９における薄板部１０１Ａに対向する部分を溝加工して、その溝部９ｂの一側縁からなる支持部１１で薄板部１０１Ａの自由端を支持することにより、薄板部１０１Ａの突条８への当接圧をより高めることができ、圧力室３の密閉性をより確実にすることができる。
【００２６】
また、図８に示す支持部１１に代えて、図９に示すように、ノズル押さえブロック９における薄板部１０１Ａの自由端に対向する部分を若干高くして肩部状の支持部１１Ａとしても良い。
【００２７】
この場合も、肩部状の支持部１１Ａで薄板部１０１Ａの自由端が支持されるので、薄板部１０１Ａの突条８への当接圧をより高めることができ、圧力室３の密閉性をより確実にすることができる。
【００２８】
さらに、ノズル板１の薄板部１０１Ａを、図１０に示すようにダイヤフラム対向面１ｂ側を一部除去して背面側を薄板状に残すことで、外周側が自由端となった片持ち状に形成すると共に、ノズル押さえブロック９におけるノズル板薄板部１０１Ａに対向する部分に溝部９を設け、その溝部９ｂの一側縁を薄板部１０１Ａの自由端を支持する支持部１１Ｂとしても良い。
【００２９】
この場合も、支持部１１Ｂで薄板部１０１Ａの自由端が支持されるので、薄板部１０１Ａの突条８への当接圧をより高めることができ、圧力室３の密閉性をより確実にすることができる。
【００３０】
実施の形態４．
図１１はこの発明の実施の形態４による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態４では、実施の形態２の金属吐出装置（図３、図４）において、突条８のノズル板１への当接面に、耐熱性と柔軟性を有するシール材１２を配置、例えばコーティングしている。シール材１２としては、例えばポリイミド樹脂やシリコンゴムなどが用いられる。その他の構成は実施の形態２の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００３１】
このように、突条８のノズル板１への当接が、耐熱性と柔軟性を有するシール材１２を介することにより、突条８の当接面や、これに対向するダイヤフラム対向面１ｂ（薄板部１０１の当接面）に微細な凹凸があった場合でも、その凹凸にシール材１２が充填されるので、圧力室３の密閉性がより確実なものとなる。
【００３２】
シール材１２は、図１１のように突条８の当接面に配置する場合に限らず、図１２に示すように、同じシール材１２を突条８とダイヤフラム対向面１ｂ（薄板部１０１の当接面）の間に介在させても良い。
【００３３】
このように、突条８とダイヤフラム対向面１ｂ（薄板部１０１の当接面）との間にシール材１２を介在させた場合にも、突条８の当接面や、これに対向するダイヤフラム対向面１ｂ（薄板部１０１の当接面）に微細な凹凸があったとき、その凹凸にシール材１２が充填されるので、圧力室３の密閉性がより確実なものとなる。
【００３４】
実施の形態５．
図１３はこの発明の実施の形態５による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態５では、実施の形態１の金属吐出装置（図１、図２）において、ダイヤフラムブロック７側の突条８と、ダイヤフラム対向面１ｂとの間に、突条８の幅寸法より幅広のスペーサ１３を介在させている。スペーサ１３は、ダイヤフラムブロック７に対向する面を平坦面とすると共に、ノズル板１に対向する背面側に開口する開口部１３ａを形成して全体を断面Ｕ字状とし、突条８が当接する部分を塑性又は弾性変形可能な薄板部１３１としている。開口部１３ａは突条８の幅寸法より幅広としている。その他の構成は実施の形態１の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００３５】
このように、ダイヤフラムブロック７側の突条８と、これに対向するダイヤフラム対向面１ｂとの間にスペーサ１３を介在させ、スペーサ１３には突条８の幅寸法より幅広の塑性又は弾性変形可能な薄板部１３１を設けることにより、ノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、図１３のＢ部を拡大して示す図１４のように、スペーサ１３の薄板部１３１が塑性又は弾性変形して、ダイヤフラムブロック７側の突条８が薄板部１３１に食い込み、スペーサ１３への突条８の当接が突条８の全周にわたって確実なものとなる。その結果、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。また、ノズル板１を変形させないで、スペーサ１３を変形させるので、ノズル板１がセラミック材や硝子材などの脆性材料である場合でも、ノズル板１における突条８が対向する部分にひび割れなどの破損を生じさせることがない。
【００３６】
実施の形態６．
図１５はこの発明の実施の形態６による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態６では、実施の形態１の金属吐出装置（図１、図２）において、突条８をダイヤフラムブロック７側に設けるのに代えて、ダイヤフラム対向面１ｂに設けると共に、この突条８と、これに対向するノズル対向面７ａとの間にスペーサ１３を介在させている。スペーサ１３は、ノズル板１に対向する面を平坦面とすると共に、ダイヤフラムブロック７に対向する背面側に開口する開口部１３ａを形成して全体を断面Ｕ字状とし、突条８が当接する部分を塑性又は弾性変形可能な薄板部１３１としている。開口部１３ａは突条８の幅寸法より幅広としている。その他の構成は実施の形態１の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００３７】
このように、ノズル板１における突条８と、これに対向するノズル対向面７ａとの間にスペーサ１３を介在させ、スペーサ１３には突条８の幅寸法より幅広の塑性又は弾性変形可能な薄板部１３１を設けることにより、ノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、スペーサ１３の薄板部１３１が塑性又は弾性変形して、ノズル板１側の突条８が薄板部１３１に食い込み、スペーサ１３への突条８の当接が突条８の全周にわたって確実なものとなる。その結果、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。
【００３８】
図１５のように、スペーサ１３の一部を薄板部１３１とするのに代えて、図１６のように全体が薄板状のスペーサ１３Ａを用いても良い。図１６では、ノズル対向面７ａに突条８を設け、この突条８とこれに対向するダイヤフラム対向面１ｂとの間にスペーサ１３Ａを介在させている。さらに、ダイヤフラム対向面１ｂにおけるスペーサ１３Ａの配置部には、突条８の幅寸法より幅広の溝部１ｃを突条８に対応させて形成している。
【００３９】
このように、ダイヤフラムブロック７側の突条８と、これに対向するダイヤフラム対向面１ｂとの間に薄板状のスペーサ１３Ａを介在させ、ダイヤフラム対向面１ｂにおけるスペーサ１３Ａの配置部に突条８の幅寸法より幅広の溝部１ｃを形成することにより、ノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、薄板状のスペーサ１３Ａが塑性又は弾性変形して、ダイヤフラムブロック７側の突条８が薄板状のスペーサ１３Ａに食い込み、スペーサ１３Ａへの突条８の当接が突条８の全周にわたって確実なものとなる。その結果、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。
【００４０】
図１５の構成において、スペーサ１３の一部を薄板部１３１とするのに代えて、図１７のように全体が薄板状のスペーサ１３Ａを用いると共に、ノズル対向面７ａにおけるスペーサ１３Ａの配置部に、突条８の幅寸法より幅広の溝部７ｄを突条８に対応させて形成しても良い。
【００４１】
このように、ノズル板１側の突条８と、これに対向するノズル対向面７ａとの間に薄板状のスペーサ１３Ａを介在させ、さらにノズル対向面７ａにおけるスペーサ１３Ａの配置部に突条８の幅寸法より幅広の溝部７ｄを形成した場合も、ノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、薄板状のスペーサ１３Ａが塑性又は弾性変形して、ノズル板１の突条８が薄板状のスペーサ１３Ａに食い込み、スペーサ１３Ａへの突条８の当接が突条８の全周にわたって確実なものとなる。その結果、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。
【００４２】
実施の形態７．
図１８はこの発明の実施の形態７による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態７では、実施の形態５の金属吐出装置（図１３、図１４）において、スペーサ１３のノズル板１に対向する背面側に開口する開口部１３ａに、耐熱性と柔軟性を有するシール材２２を充填している。シール材２２には、ポリイミド樹脂やシリコンゴムなどが用いられる。その他の構成は実施の形態５の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００４３】
このように、スペーサ１３の開口部１３ａにシール材２２を充填することにより、ノズル押さえブロック９をダイヤフラムブロック７に締結した状態で、スペーサ１３の薄板部１３１が塑性又は弾性変形して、ダイヤフラムブロック７側の突条８が薄板部１３１に食い込むだけでなく、シール材２２によりノズル板１におけるダイヤフラム対向面１ｂとスペーサ１３との接触部での密閉性が確実なものとなる。その結果、圧力室３の密閉性をより確実なものとすることができる。
【００４４】
なお、実施の形態６（図１５）のようにノズル板１側に突条８を設けた場合にも、そのスペーサ１３の開口部１３ａに同様のシール材２２を充填することで、ダイヤフラムブロック７におけるノズル対向面７ａとスペーサ１３との接触部での密閉性をより確実なものとすることができる。
【００４５】
実施の形態８．
図１９はこの発明の実施の形態８による金属吐出装置の要部を示す断面図である。この実施の形態８では、実施の形態７の金属吐出装置（図１８）において、突条８のスペーサ１３への当接面に実施の形態４（図１１）の場合と同様のシール材１２を配置、例えばコーティングしている。その他の構成は実施の形態７の場合と同様であり、ここではそれらの説明は省略する。
【００４６】
このように、突条８のスペーサ１３への当接面にシール材１２を配置することにより、スペーサ１３と突条８との接触部でも密閉性を確保でき、圧力室３の密閉性をより一層確実なものとすることができる。
【００４７】
実施の形態９．
図２０はこの発明の実施の形態９による金属吐出装置の要部を示す断面図、図２１は図２０のＣ部の拡大図である。この実施の形態９では、実施の形態２の金属吐出装置（図３、図４）において、ダイヤフラムブロック７にノズル押さえブロック９に対向する位置決め面１４を設けると共に、締結手段１０によるダイヤフラムブロック７へのノズル押さえブロック９の締結時に、ダイヤフラムブロック７側の位置決め面１４に当接して、ノズル押さえブロック９の締結側への位置決めを行う位置決め面１５をノズル押さえブロック９に設けている。ダイヤフラムブロック７側の位置決め面１４は、ノズル押さえブロック９の外周部が対向するノズル押さえ対向面７ｂからなる。ノズル押さえブロック９側の位置決め面１５は、ダイヤフラムブロック７側の位置決め面１４に対向するノズル押さえブロック９の外周部に設けている。その他の構成は実施の形態２の場合と同様であり、ここではれらの説明は省略する。
【００４８】
このように、ダイヤフラムブロック７およびノズル押さえブロック９の双方に、ノズル押さえブロック９の締結時に互いに当接する位置決め面１４，１５を設けることにより、締結手段１０による締め付け力に左右されることなく、ノズル押さえブロック９のダイヤフラムブロック７への締め付け量が位置決め面１４，１５によって規定されるので、締め付け量のアンバランスが抑制される。また、締め付け力の大半が位置決め面１４，１５に作用するため、締結手段（ボルト）１０を強く締めることができ、それだけ締結手段１０の緩みを防止できる。その結果、圧力室３の密閉性をより一層確実なものとすることができる。
【００４９】
なお、この実施の形態９では、実施の形態２の金属吐出装置（図３、図４）において位置決め面１４，１５を設けた場合を示したが、これに限らず、他の実施の形態１，３〜８の金属吐出装置に同様の位置決め面１４，１５を設けることで、同様の効果を得ることができる。
【００５０】
【発明の効果】
この発明の第１の金属吐出装置によれば、圧力室の密閉性を十分確保することができる。また、締結手段によるダイヤフラムブロックへのノズル押さえブロックの締結を解除することにより、ノズル板とダイヤフラムブロックを切り離すことができるので、メインテナンスに際して圧力室の分解が容易となる。
【００５１】
この発明の第２の金属吐出装置によれば、ダイヤフラムブロックのノズル対向面、またはノズル板のダイヤフラム対向面のいずれか一方に設けた閉ループ状の突条を、前記ノズル対向面またはダイヤフラム対向面のいずれか他方に、耐熱性と柔軟性を有するシール材を介して当接させるので、突条の当接面や、これに対向するダイヤフラム対向面やノズル対向面に微細な凹凸があった場合でも、その凹凸にシール材が充填されるので、圧力室の密閉性がより確実なものとなる。
【００５２】
この発明の第３の金属吐出装置によれば、ダイヤフラムブロックのノズル対向面、またはノズル板のダイヤフラム対向面のいずれか一方に閉ループ状の突条を設け、この突条を、前記ノズル対向面またはダイヤフラム対向面のいずれか他方に、前記突条の幅寸法よりも幅広とした変形可能部を有するスペーサを介して当接させるので、ノズル押さえブロックをダイヤフラムブロックに締結した状態で、スペーサの変形可能部が塑性又は弾性変形して、突条がスペーサの変形可能部に食い込み、スペーサへの突条の当接が突条の全周にわたって確実なものとなる。その結果、圧力室の密閉性をより確実なものとすることができる。また、ノズル板を変形させないで、スペーサを変形させるので、ノズル板がセラミック材や硝子材などの脆性材料である場合でも、ノズル板にひび割れなどの破損を生じさせることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１の変形例の一部の拡大断面図である。
【図３】この発明の実施の形態２にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図４】図３のＡ部の拡大断面図である。
【図５】実施の形態２にかかる金属吐出装置におけるノズル押さえブロックの締め付け量が不均一である場合の説明図である。
【図６】実施の形態１にかかる金属吐出装置におけるノズル押さえブロックの締め付け量が不均一である場合の説明図である。
【図７】この発明の実施の形態３にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図８】この発明の実施の形態３の変形例の断面図である。
【図９】この発明の実施の形態３の他の変形例の断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態３のさらに他の変形例の断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態４にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態４の変形例の断面図である。
【図１３】この発明の実施の形態５にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図１４】図１３のＢ部の拡大断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態６にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図１６】この発明の実施の形態６の変形例の断面図である。
【図１７】この発明の実施の形態６の他の変形例の断面図である。
【図１８】この発明の実施の形態７にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図１９】この発明の実施の形態８にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図２０】この発明の実施の形態９にかかる金属吐出装置の要部を示す断面図である。
【図２１】図２０におけるＣ部の拡大断面図である。
【符号の説明】
１  ノズル板、１ａ  開口部、１ｂ  ダイヤフラム対向面、１ｃ  溝部、２ダイヤフラム、３  圧力室、４  溶融金属供給口、５  溶融金属、６  加圧手段、７  ダイヤフラムブロック、７ａ  ノズル対向面、７ｂ  ノズル押さえ対向面、７ｄ  溝部、８  突条、９  ノズル押さえブロック、１０  締結手段、１２シール材、１３  スペーサ、１３ａ  開口部、１４，１５  位置決め面、２２シール材、１０１，１０１Ａ  ノズル板の薄板部、１３１  スペーサの薄板部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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