(57)【要約】【課題】照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる測定機の光量補正方法及び光量補正装置を提供する。【解決手段】基準となる画像測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を基準となる画像測定機以外の画像測定機に保存して、基準となる画像測定機以外の画像測定機を使用するときに基準値を用いて照明光量の補正を行なう。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準となる測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を前記基準となる測定機以外の測定機に保存して、前記基準となる測定機以外の測定機を使用するときに前記基準値を用いて照明光量の補正を行なうことを特徴とする測定機の光量補正方法。
【請求項２】
基準となる測定機を用いて算出された、照明光量の基準値を保存する保存手段と、
照明光量を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された照明光量の値と前記保存手段に保存されている前記基準値とに基いて補正値を算出する補正値算出手段と、
前記補正値に基いて照明光量を補正する光量補正手段と
を備えていることを特徴とする測定機の光量補正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は測定機の光量補正方法及び光量補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
【特許文献】
特開平９−１８９５２２号公報
【０００４】
従来、画像測定機では光学系によって形成された像の光量に応じて出力されるカメラからの画像信号に基いて光量調節部をコンピュータを用いて制御することによって照明光量を調節していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、画像測定機を長期間に亘って使用した場合、ランプの劣化等によって光量が次第に低下し、コンピュータに記憶されている測定プログラム（光量、位置等の測定手順）を実行したときに所望の照明光量が得られなくなり、測定精度が悪くなったり測定できなくなったりするという問題が生じる。
【０００６】
また、たとえ同じ規格のランプであっても必ずしも同じ照明光量を得られるとは限らず、測定機間にばらつきがあるため、画像測定機を長期間に亘って使用した場合と同様の問題が生じる。
【０００７】
上記の場合、測定プログラムを修正（照明光量情報の変更）する必要があり、煩雑な作業が強いられる。
【０００８】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる測定機の光量補正方法及び光量補正装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、基準となる測定機を用いて照明光量の基準値を取得し、その基準値を前記基準となる測定機以外の測定機に保存して、前記基準となる測定機以外の測定機を使用するときに前記基準値を用いて照明光量の補正を行なうことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、基準となる測定機を用いて算出された、照明光量の基準値を保存する保存手段と、照明光量を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された照明光量の値と前記保存手段に保存されている前記基準値とに基いて補正値を算出する補正値算出手段と、前記補正値に基いて照明光量を補正する光量補正手段とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１はこの発明の一実施形態に係る画像測定機の光量補正装置のブロック図である。
【００１３】
この画像測定機（測定機）は、ステージ３と、ランプ４と、光量補正部（光量補正手段）５と、光学系６と、ＣＣＤカメラ７と、基台８と、コンピュータ１０とを備えている。光量補正部５とコンピュータ１０とで光量補正装置が構成される。
【００１４】
ランプ４、測定対象物２、光学系６及びＣＣＤカメラ７は同一光軸上に配置される。
【００１５】
ステージ３には例えば半導体やコネクタピン等の測定対象物２が載置される。
【００１６】
ステージ３は光学系６の光軸に直角な面内で測定対象物２を移動させるためのものであり、基台８に対してＸ、Ｙ方向へ移動することができる。
【００１７】
ステージ３の移動は制御部１１からの移動命令信号１１ｆに基いて行われる。
【００１８】
ランプ４はステージ３の下方の基台８内に設けられ、測定対象物２を照明する。ランプ４の照明光量は光量補正部５から供給される電力の変化に応じて変わる。ランプ４としては、例えばハロゲン電球が用いられる。
【００１９】
光量補正部５は制御部１１からの光量制御信号１１ａに基いてランプ４の光量を制御する。
【００２０】
光学系６は、ステージ３の上方に設けられ、ランプ４によって照明された測定対象物２の拡大像を形成するものであって、ズーム機能を備える。
【００２１】
ＣＣＤカメラ７は光学系６の上方に設けられ、光学系６により形成された像を取り込み、その像の光量に応じた画像信号７ａを出力する。
【００２２】
コンピュータ１０はＣＣＤカメラ７の画像信号７ａを取り込み、所定の処理を行なって光量調節部５を制御する。
【００２３】
コンピュータ１０は制御部（補正値算出手段）１１と受光量算出部（検出手段）１２と比較部１３とを備えている。
【００２４】
制御部１１は測定プログラムや後述する基準値等を記憶するメモリ（保存手段）１４を有する。
【００２５】
制御部１１は照明光量の値とメモリ１４に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する。
【００２６】
制御部１１は予め設定された測定手順（プログラム）にしたがって受光量算出部１２、比較部１３を制御し、補正値等の光量制御信号１１ａを出力する。
【００２７】
受光量算出部１２は、制御部１１からの受光量の算出命令１１ｂを受けたとき、ＣＣＤカメラ７からの画像信号７ａに基いて、例えばデータ変換テーブルを参照して照明光量の算出を行い、算出結果を比較部１３へ出力する。
【００２８】
比較部１３は、制御部１１から比較命令１１ｃを受けたとき、メモリ１４にあらかじめ記憶されている基準値と算出結果とを比較し、比較結果を示す信号１３ａを出力する。
【００２９】
図２は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートであり、Ｓ１〜Ｓ７は処理の各ステップを示す。
【００３０】
この基準値の取得は基準となる特定の画像測定機（図示せず）を用いて行われる。
【００３１】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の光量を検出する基準となる測定対象物を所定の位置に置くためにステージを移動させる（Ｓ１）。
【００３２】
次に、基準となる測定対象物に対して焦点が合うように光学系を調節する（Ｓ２）。
【００３３】
その後、照明方式（落射照明又は透過照明）を選択する（Ｓ３）。
【００３４】
次に、照明光量を所定の光量値に設定する（Ｓ４）。
【００３５】
この処理は特定の画像測定機の有するボリューム（図示せず）によって光量補正部からランプへ供給される電力を変化させることによって行われる。
【００３６】
その後、ＣＣＤカメラからグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて算出された照明光量の値を基準値とする（Ｓ５）。
【００３７】
次に，基準値を指定のファイル（例えばフレキシブル・ディスク）に保存する（Ｓ６）。
【００３８】
最後に、前記特定の画像測定機以外の画像測定機（他機）のメモリ１４に上記ステップ１〜６で得られた基準値を保存する（Ｓ７）。
【００３９】
図３は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートであり、Ｓ１１〜Ｓ１７は処理の各ステップを示す。
【００４０】
この光量補正値（補正値）の取得は基準となる前記特定の画像測定機以外の画像測定機を用いて行われるが、ここでは図１に示す画像測定機を用いた補正値の取得手順を説明する。
【００４１】
まず、キャリブレーションプレートやステージのガラス面等の基準となる測定対象物２を所定の位置に置くためにステージ３を移動させる（Ｓ１１）。
【００４２】
次に、基準となる測定対象物２に対して焦点が合うように光学系６を調節する（Ｓ１２）。
【００４３】
その後、照明方式（図１の場合は透過照明）を選択する（Ｓ１３）。
【００４４】
次に、照明光量を所定の光量値とする（Ｓ１４）。
【００４５】
この処理はこの画像測定機の有するボリューム（図示せず）によって光量補正部５からランプ４へ供給される電力を変化させることによって行われる。
【００４６】
その後、ＣＣＤカメラ７からグレイレベルの画像信号を取得し、この画像信号に基いて照明光量を算出する（Ｓ１５）。
【００４７】
次に、照明光量の値とメモリ１４に保存されている基準値とに基いて補正値を算出する（Ｓ１６）。
【００４８】
最後に，補正値をメモリ１４に保存する（Ｓ１７）。
【００４９】
以上の処理を実行した後測定プログラムを実行するとき、照明光量は上記の補正値に基いて補正され、全ての測定機において同等の照明光量が得られる。
【００５０】
この実施形態によれば、測定プログラムを修正することなく、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【００５１】
なお、上記実施形態では機差を補正する場合について説明したが、経年変化による照明光量の低下に対しても対応することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、測定作業が行われるとき、照明光量は補正値を用いて補正されるため、照明光源の経年変化や機差による照明光量の変化やばらつきに容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る測定機の光量補正装置のブロック図である。
【図２】図２は光量補正の基準値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【図３】図３は光量補正値を取得する手順を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
５  光量補正部（光量補正手段）
７  ＣＣＤカメラ
１２  受光量算出部（検出手段）
１１  制御部（補正値算出手段）
１４  メモリ（保存手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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