(57)【要約】【課題】スライダーをサスペンションに搭載することなく、単体のまま正確にその特性を試験することを可能にする。【解決手段】試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダー１４を単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、前記セットプレートに、スライダー１４を任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部４０と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する、上端部５１ａが半球状に形成された加圧ピン５１とが設けられ、前記加圧ピン５１を前記固定ベース部４０の重心位置から平面内で偏位させる移動機構６０ａが設けられていることを特徴とする。【選択図】        図７
2004227656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを媒体表面に向けて弾性的に押し込む押し込みマージンを０〜２００μｍとする支持機構が設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【請求項２】
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンの突出長さが、スライダーの押し込みマージンが０〜２００μｍとなるように設定されていることを特徴とする請求項１記載のスライダー試験機。
【請求項３】
試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンが軸線方向に可動にねじ部品に支持されるとともに、前記加圧ピンと前記ねじ部品に螺合された調節ナットとの間を弾発するコイルスプリングが、設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【請求項４】
試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する、上端部が半球状に形成された加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンを前記固定ベース部の重心位置から平面内で偏位させる移動機構が設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【請求項５】
試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記スライダーを媒体から引き離す際に、前記スライダーが搭載されている面側から前記リングバネを押接するフックバーが設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク等の媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダー（磁気ヘッド）の特性を試験するスライダー試験機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク等の媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダー（磁気ヘッド）は、媒体を実際に回転させて、媒体表面からの浮上特性、媒体との間でのデータの読み取り／書き込み機能を試験した後、実機に搭載される。従来、このスライダーの機能試験は、サスペンションにスライダーを搭載してスライダー組立体を形成し、このスライダー組立体を試験機にセットして試験している。試験機では、磁気ディスクに相当する媒体を回転駆動して磁気ヘッドを浮上させ、スライダーの浮上量及びデータの読み取り／書き込み特性を検査して良否を判定する。そして、試験不合格と判定されたスライダーはサスペンションとともに廃棄処分とされる。
【０００３】
【特許文献１】
特願２００２−２４５４２８
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、スライダーの不良率が高い場合には、スライダーとともにサスペンションも廃棄されることになり、スライダーの製作コストと同時に、サスペンションの製造費、スライダー組立体の組立費が無駄になるという問題がある。スライダー組立体に使用されているサスペンションは、媒体の大容量化とともに高機能化し、付加価値の高いものとなっている。したがって、サスペンションの製造費用も無視できない。また、スライダーは、媒体容量が増大するとともに、高機能となり、高度の製造技術が必要となるために製造歩留まりが低下する傾向にある。この結果、スライダー試験で廃棄されるものが多く生じ、製造費用の無駄が増大しているという課題がある。
【０００５】
このため、スライダーをサスペンションに搭載する前に、スライダーの単体のみでその機能を試験し、スライダーの良品のみをサスペンションに搭載する方法が考えられている。このようにスライダーを単体で試験する場合も、サスペンションにスライダーを搭載したときと同じように、スライダーの浮上特性、媒体に対するデータの読み取り／書き込み検査を行わなければならないから、試験用の媒体を回転駆動した状態で、スライダーをサスペンションによって支持したと同様の条件で試験できるように検査装置を構成する必要がある。
【０００６】
スライダーは媒体の回転によって生じる表面空気層からの浮上力を受ける。サスペンションはこスライダーに対して浮上力に抗する加圧力を加え、媒体表面から、たとえば数十ｎｍといった浮上距離を維持するように設けられる。したがって、スライダー試験機では、たとえば、スライダーが受ける浮上力を阻害しないようにスライダーを支持することができ、サスペンションにスライダーを搭載したときと同様に一定の加重をスライダーに与えて、その特性が正確に検査できるようにする必要がある。また、スライダーが浮上した状態で試験機との間で電気的な接続が行われるようにすることが必要になる。
【０００７】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、サスペンションに搭載したと同じ条件で単体のスライダーによる機能試験を可能にし、良品のスライダーを確実に判別して、良品のみ組み立てに使用することで、製造コストの無駄をなくすことを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、前記セットプレートに、スライダーを媒体表面に向けて弾性的に押し込む押し込みマージンを０〜２００μｍとする支持機構が設けられていることを特徴とする。
また、前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、前記加圧ピンの突出長さが、スライダーの押し込みマージンが０〜２００μｍとなるように設定されていることを特徴とする。
【０００９】
また、試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、前記加圧ピンが軸線方向に可動にねじ部品に支持されるとともに、前記加圧ピンと前記ねじ部品に螺合された調節ナットとの間を弾発するコイルスプリングが、設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する、上端部が半球状に形成された加圧ピンとが設けられ、前記加圧ピンを前記固定ベース部の重心位置から平面内で偏位させる移動機構が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、前記スライダーを媒体から引き離す際に、前記スライダーが搭載されている面側から前記リングバネを押接するフックバーが設けられていることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面と共に詳細に説明する。図１は本発明に係るスライダー試験機の全体構造を示す斜視図である。同図で１０はスライダー試験機の試験機本体である。試験機本体１０には、試験用の媒体１２を実機と同じように回転駆動する駆動部、媒体１２をスライダーがセットされている試験位置に移動させる移動制御部、試験位置で媒体１２を実機と同様に回転させて媒体１２とスライダーとの間でのデータの読み取り／書き込み特性を検査する検査装置が備えられている。
【００１３】
本実施形態のスライダー試験機は、試験機本体１０の上面の４つのコーナー部に１台ずつ被試験体のスライダー１４をセットするセット部が設けられたものである。各々のセット部は、スライダー１４を支持するセットプレート２０と、セットプレート２０を支持するアーム部２２と、アーム部２２を支持する搭載ベース２４とを備える。１０ａは搭載ベース２４をセットするセット台１０ａである。
【００１４】
媒体１２は媒体面を水平にしてスピンドル１３に支持されている。スピンドル１３は試験機本体１０の一方側と他方側との間を移動可能に設けられており、スピンドル１３に支持されて媒体１２が試験機本体１０の一方側と他方側との間を移動することにより、セットプレート２０にセットされたスライダー１４について試験することができる。セットプレート２０にはスライダー１４を単体で着脱自在に装着することができ、セットプレート２０に被試験体を順次着脱することによってスライダーを単体で試験することができる。
【００１５】
図２はスライダー１４を装着するセットプレート２０でのスライダー１４の取り付け構造を示す。
セットプレート２０はスライダー１４を媒体１２の表面に対して浮上した状態で支持するためのリングバネ３０と、スライダー１４を着脱自在に支持するための固定ベース部４０と、固定ベース部４０を弾性的に加圧してスライダー１４に所定の加圧力を加えるための加圧機構部５０とを備える。
【００１６】
リングバネ３０はスライダー１４を固定ベース部４０に支持した状態で、スライダー１４が任意の方向（ピッチング方向とローリング方向）に傾動可能となるように支持するためのものである。実施形態では、金属薄板に円弧状のスリット３２を設けてリングバネ３０とし、これによってスライダー１４を任意の方向に傾動可能としている。なお、リングバネ３０はセットプレート２０の上面にその周縁部を貼り付けるようにして取り付ける。リングバネ３０の下方は固定ベース部４０等を配置するとともに、固定ベース部４０を傾動可能とするための空間に形成されている。
【００１７】
固定ベース部４０はリングバネ３０の中央に形成されたセット部３４の下面に固定されている。固定ベース部４０はスライダー１４を着脱自在に装着するためのコンタクトブロック４２とこれに対向して配置された押さえバネ４４とを備えている。押さえバネ４４はスライダー１４の電極を形成した側面と反対側の側面をコンタクトブロック４２に向けて弾性的に押圧し、コンタクトブロック４２との間でスライダー１４を挟圧して保持する。
【００１８】
押さえバネ４４によってスライダー１４をコンタクトブロック４２に向けて弾性的に押圧することにより、スライダー１４の端子がコンタクトブロック４２に設けられたコンタクト端子に押接される。コンタクトブロック４２のコンタクト端子はリングバネ３０に設けられた配線パターンを介して検査装置と電気的に接続され、スライダー１４の電気的特性が測定される。
【００１９】
加圧機構部５０は、固定ベース部４０の中央部の下方に配置された加圧ピン５１と加圧ピン５１に外挿して設けたコイルスプリング５２とを備える。コイルスプリング５２は加圧ピン５１の上端面を固定ベース部４０の下面に当接させ、リングバネ３０に支持されたスライダー１４を媒体表面に向けて弾性的に加圧する荷重を作用させるためのものである。コイルスプリング５２の付勢力を調節することにより、媒体の回転によってスライダー１４が浮上した際にスライダー１４に作用する荷重が調節され、媒体表面からのスライダー１４の浮上量を調節することができる。
【００２０】
図３は、加圧ピン５１によって固定ベース部４０を支持する構成例を示す。図３（ａ）は、加圧ピン５１の上端部５１ａを滑らかな半球状に形成した例、図３（ｂ）は、加圧ピン５１の上端面を平坦面とし、固定ベース部４０の下面で加圧ピン５１に対向する部位に、滑らかな半球状の膨出部５４を設けた例である。このように、加圧ピン５１あるいは固定ベース部４０の当接部分を滑らかな球面状に形成することによって、固定ベース部４０は任意の方向に容易に傾動可能となる。
【００２１】
スライダー１４をセットプレート２０に単体でセットしてその特性を試験する際には上述したようにスライダー１４に荷重が加わるようにするが、実際に試験を行った結果、スライダー１４をリングバネ３０にセットした状態で加圧ピン５１の上端面と固定ベース部４０との下面がちょうど当接した状態（０点位置）よりも若干、加圧ピン５１によってスライダー１４を媒体側に向けて押し込む配置とすることによってスライダー１４が安定して浮上することが見いだされた。
【００２２】
図５は、セットプレート２０にスライダー１４をセットした自由セット状態で、加圧ピン５１の上端面が固定ベース部４０の下端面にちょうど当接する配置となる状態を０点位置とし、浮上押し込みマージンを変えて、スライダー１４の浮上量を測定した結果を示す。この測定結果は、浮上押し込みマージンが０〜２００μｍの範囲でスライダー１４が安定して浮上することを示す。
すなわち、自由セット状態で加圧ピン５１の端面と固定ベース部４０の下面とが離間している状態、あるいは加圧ピン５１による押し込み量が２００μｍ以上になると、スライダーがクラッシュしたり安定して浮上することができなかったりすることを意味している。
【００２３】
図４は、加圧ピン５１と固定ベース部４０とを、スライダーをクラッシュさせることなく安定して浮上させる配置にするための構成例を示す。５５が加圧ピン５１を軸線方向に移動可能に支持する支持ガイド、５２が加圧ピン５１のフランジ５１ｂを常時支持ガイド５５に弾性的に押接するコイルスプリングである。
図４（ａ）は、線Ａが自由セット状態における従来の加圧ピン５１の上端面の高さ位置を示し、線Ｂが本実施形態で加圧ピン５１の突出長さを長くした場合の加圧ピン５１の上端面の高さ位置を示す。線Ａの高さ位置にくらべて線Ｂの高さ位置が上位置にあるのは、高さＢ−Ａの分だけ加圧ピン５１が従来にくらべて突出した位置にあるということであり、高さＢ−Ａがスライダー１４の押し込みマージンに相当している。
【００２４】
図４（ｂ）は、スライダー１４の押し込みマージンをとるために、加圧ピン５１については従来と同様の長さとし、固定ベース部４０の下面に設けた膨出部５４の径寸法を従来よりも大きく設定した例である。同図で線Ｃが膨出部５４が従来の場合での固定ベース部４０の下面位置、線Ｄが膨出部５４を大径に形成した場合での固定ベース部４０の下面位置を示す。この場合は高さＤ−Ｃがスライダー１４の押し込みマージンに相当する。
したがって、図４（ａ）に示す場合は高さＢ−Ａ、図４（ｂ）に示す場合は高さＤ−Ｃを押し込みマージン０μｍ〜２００μｍに設定することにより、スライダー１４のクラッシュを防止し、安定的にスライダー１４を浮上させて試験することができる。なお、スライダー１４の押し込みマージンを調節する方法としては、加圧ピン５１の突出長さと固定ベース部４０に設ける膨出部５４の径寸法の双方を変えて調節することももちろん可能である。
【００２５】
図６は、加圧ピン５１によって固定ベース部４０を加圧して支持する加圧機構部５０において加圧ピン５１に作用させる加圧力を調節する機構を設けた実施形態を示す。加圧ピン５１は図４に示すと同様に支持ガイド５５により軸線方向に可動に支持され、加圧ピン５１とは別部品に形成されたねじ部品５６の上端部が、加圧ピン５１と一体に形成されたフランジ５１ｂに設けた摺動穴に挿入されている。コイルスプリング５２はねじ部品５６のねじ部に外挿され、ねじ部品５６に螺合された調節ナット５７とフランジ５１ｂとの間を弾発している。図６（ｂ）は加圧ピン５１とねじ部品５６とを組み合わせた状態を示す。ねじ部品５６の上端部がフランジ５１ｂに設けた摺動穴に挿入されていることにより、加圧ピン５１はねじ部品５６に対して軸線方向に可動となる。
【００２６】
本実施形態の加圧機構部５０は、コイルスプリング５２がフランジ５１ｂと調節ナット５７との間に弾発して設けられていることにより、調節ナット５７を回動してフランジ５１ｂと調節ナット５７との間隔を変えることにより固定ベース部４０を押圧するバネ圧を調節することができる。
加圧ピン５１に作用する加圧力を調節する方法としては、加圧ピン５１に装着するコイルスプリング５２をバネ圧の異なるスプリングに交換するといった方法も可能であるが、調節ナット５７を回動して加圧力を調節する方法は、検査対象品に合わせて簡単にバネ圧を調節することができ、適当なバネ圧の条件下でスライダーの試験を行えるという利点がある。
【００２７】
図７、８は加圧機構部５０として加圧ピン５１の傾動方向を調節可能とした実施形態を示す。すなわち、図７に示すように加圧ピン５１の上端部５１ａを半球状に形成し、固定ベース部４０の下面を平坦面に形成した場合は、加圧ピン５１の中心を固定ベース部４０の対称中心（重心）位置から平面内で偏位させることによって固定ベース部４０の傾動方向を調節することができる。
【００２８】
スライダーの特性を試験する際には、スライダーを試験用の媒体面から浮上させて試験するが、実機においては、スライダーは必ずしも媒体面に平行に浮上するとは限らない。リングバネ３０は試験対象のスライダーが任意の方向に傾動可能となるように、スリット３２の形状等を設計しているが、固定ベース部４０に対する加圧ピン５１の押圧位置（支持位置）を移動させることによって、固定ベース部４０の傾き方向を変えることができ、これによってスライダー１４の向きを調節することが可能である。
【００２９】
本実施形態では、図７に示すように、加圧ピン５１の基部をセットプレート２０に設けたセット孔５８に遊嵌し、マイクロメータ６０ａ、６０ｂにより加圧ピン５１の基部を押動することによって加圧ピン５１をＸ−Ｙ平面内で任意の方向に移動可能としている。
図８（ａ）に示すように、２つのマイクロメータ６０ａ、６０ｂは加圧ピン５１の外面に駆動ロッドが当接する配置で、加圧ピン５１に対して駆動ロッドの軸線方向が交差する配置（本実施形態では直交する配置）に設けられている。
【００３０】
図８（ｂ）は、加圧ピン５１の周囲にスプリング５９を配置し、スプリング５９の付勢力により、加圧ピン５１がセット孔５８の中心位置に常時復帰するように設けられていることを示す。
このように、加圧ピン５１を固定ベース部４０に対して可動に設け、マイクロメータ６０ａ、６０ｂによって加圧ピン５１のＸ−Ｙ平面内における移動位置を調節可能としたことによって、スライダー１４の傾動方向が適宜調節でき、より高精度の試験を行うことが可能になるとともに、多種のスライダーについて試験することが可能になる。
【００３１】
図９、１０はスライダーを試験する際に、媒体１２にスライダー１４が付着してしまうことによる問題を解消する機構について示す。
スライダー試験においては、媒体１２を回転させ媒体１２の表面からスライダー１４を浮上させて試験を行うが、スライダー１４は、まず媒体１２の表面に接触した状態にセットされ、媒体１２が回転することによって浮上開始する。そして、媒体１２の回転が停止するとスライダー１４は媒体１２の表面に接触するが、スライダー１４は媒体１２に対して加圧された状態にあるため、媒体１２からスライダー１４を引き離す際に、媒体１２の表面にスライダー１４が付着して離れにくくなる。この場合、媒体１２からスライダー１４を無理に引き離そうとすると、リングバネ３０が引っ張られて大きく変形するという問題が生じる。
【００３２】
なお、媒体１２に対してスライダー１４が浮上する状態を試験する方法には、上記のように、スライダー１４を媒体１２の表面に接触した状態でセットして媒体１２を回転開始させる方法（Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｓｔａｒｔ  Ｓｔｏｐ方式）の他に、媒体１２を回転させた状態でスライダー１４を媒体１２の表面に近づけて、スライダー１４を浮上させて試験する方法（Ｌｏａｄ  Ｕｎｌｏａｄ方式）もある。この場合も、媒体１２が回転して媒体１２の表面から浮上しているスライダー１４には流体力学的な負圧力が作用し、その負圧力によってスライダー１４が媒体表面に吸引される。このため、媒体１２の表面からスライダー１４が離れにくくなるという上述したと同様な問題が生じる。
【００３３】
本実施形態では、媒体１２からスライダー１４を引き離す際にリングバネ３０の上面をフックバー７０によって押さえることによってリングバネ３０の変形を防止しながらスライダー１４を引き離すことができるように構成したことを特徴とする。
図９（ａ）は、媒体１２に向けてスライダー１４をセットする状態（近づけている状態）を示す。固定ベース部４０を支持するリングバネ３０と媒体１２との間にフックバー７０が配置されている。
図９（ｂ）は、媒体１２の表面にスライダー１４が押接されて、媒体１２にスライダー１４が付着している状態である。本実施形態においては、この状態からスライダー１４を媒体１２から引き離す際に、まず、フックバー７０をリングバネ３０の上面に押接し、図９（ｃ）に示すように、フックバー７０によってリングバネ３０の上面を押圧しながらスライダー１４を媒体１２の表面から引き離すようにする。
【００３４】
図９（ｃ）に示すように、リングバネ３０の上面をフックバー７０によって押さえるようにすることで、リングバネ３０がたわむことを防止して、スライダー１４を確実に媒体１２から引き離すことができる。このように、フックバー７０はリングバネ３０に対して接離可能に設けられ、スライダー１４を試験している際にはリングバネ３０から離間した位置にあり、スライダー１４を媒体１２から引き離す際にリングバネ３０に押接されるように設けられている。
図１０（ａ）は、リングバネ３０とフックバー７０の平面配置を示す。リングバネ３０には前述したようにスリット３２が設けられてスライダー１４が任意の方向に傾動可能となっているから、フックバー７０はスライダー１４を支持しているリングバネ３０の中央部のセット部３４付近まで押さえバーを延出するように設けられている。
【００３５】
図１０（ａ）は、リングバネ３０に対して、一方側にＴ字形のフックバー７０を配置した例であり、図１０（ｂ）は、スライダー１４を挟んだ対向位置に一対のフックバー７０、７０を配置した例である。図１０（ｂ）に示すように、一対のフックバー７０、７０によってリングバネ３０を支持する方法によれば、より確実にリングバネ３０の変形を防止して媒体１２からスライダー１４を引き離すことができる。
なお、図１０（ｃ）は、リングバネ３０の平面配置を示している。４２がスライダー１４の位置決めと電気的接続のためのコンタクトブロック、４４が押さえバネである。スリット３２は同芯状に２重に設けられ、リブ３６によってリング状のバネ部が連結されている。
【００３６】
図９、１０に示すように、リングバネ３０にフックバー７０を押接可能に設けることにより、スライダー１４が媒体１２の表面に付着した場合であってもリングバネ３０を変形させることなくスライダー１４を媒体１２から引き離すことができる。スライダーを搭載するサスペンションは剛性が低くなってきており、これに対応してリングバネ３０も剛性が低いものが使用されるようになってきていることから、本実施形態のようにリングバネ３０をフックバー７０によって押さえて変形しないようにすることは、確実に信頼性の高いスライダー１４の試験を行う上で有効である。
【００３７】
（付記１）  試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを媒体表面に向けて弾性的に押し込む押し込みマージンを０〜２００μｍとする支持機構が設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
（付記２）  前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンの突出長さが、スライダーの押し込みマージンが０〜２００μｍとなるように設定されていることを特徴とする付記１記載のスライダー試験機。
（付記３）  前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記固定ベース部の下面に、前記加圧ピンに当接する外面が球面状となる膨出部が設けられるとともに、前記加圧ピンの突出長さおよび／または前記膨出部の径寸法が、スライダーの押し込みマージンが０〜２００μｍとなるように設定されていることを特徴とする付記１記載のスライダー試験機。
（付記４）  試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンが軸線方向に可動にねじ部品に支持されるとともに、前記加圧ピンと前記ねじ部品に螺合された調節ナットとの間を弾発するコイルスプリングが、設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
（付記５）  試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する、上端部が半球状に形成された加圧ピンとが設けられ、
前記加圧ピンを前記固定ベース部の重心位置から平面内で偏位させる移動機構が設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
（付記６）  加圧ピンが、Ｘ−Ｙ平面内で移動可能にセットプレートに設けられたセット孔に遊嵌して設けられ、
移動機構として、前記加圧ピンの外面に当接して加圧ピンをＸ−Ｙ平面内で移動させる駆動ロッドを、軸線方向を交差させて配置した２つのマイクロメータを備えていることを特徴とする付記５記載のスライダー試験機。
（付記７）  試験用の媒体を回転駆動する駆動部と、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに前記媒体の表面に向けスライダーを弾性的に加圧して支持するセットプレートと、該セットプレートに支持されたスライダーと電気的に接続されスライダーの特性を検査する検査装置とを備えたスライダー試験機であって、
前記セットプレートに、スライダーを任意方向に傾動可能に支持するリングバネと、スライダーを着脱自在に支持すべく前記リングバネに取り付けられた固定ベース部と、該固定ベース部を媒体に向けて付勢する加圧ピンとが設けられ、
前記スライダーを媒体から引き離す際に、前記スライダーが搭載されている面側から前記リングバネを押接するフックバーが設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【００３８】
【発明の効果】
本発明に係るスライダー試験機によれば、上述したように、スライダーをサスペンションに搭載することなく単体のまま、スライダーをサスペンションに搭載したと同様の上面でスライダーの特性を容易にかつ正確に試験することができる。また、スライダー単体でスライダーの良否を判定できることから、スライダーをサスペンションに搭載する作業やサスペンションの製造コストの無駄を省くことができ、製造コストの削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】スライダー試験機の全体構成を示す説明図である。
【図２】スライダーを支持するセットプレートの構成を示す説明図である。
【図３】加圧ピンと固定ベース部の構成を示す説明図である。
【図４】スライダーを押し込みマージンを設けて支持する構成を示す説明図である。
【図５】スライダーの押し込みマージンによってスライダーが安定して浮上する領域を示すグラフである。
【図６】加圧ピンの加圧バネ圧を可変にする構成を示す説明図である。
【図７】加圧ピンの平面配置位置を可変とする構成を示す説明図である。
【図８】加圧ピンの平面配置位置を可変とするマイクロメータの配置を示す説明図である。
【図９】スライダーを媒体から引き離す構成を示す説明図である。
【図１０】スライダーを媒体から引き離すフックバーの配置を示す説明図である。
【符号の説明】
１０  試験機本体
１２  媒体
１４  スライダー
２０  セットプレート
３０  リングバネ
３２  スリット
３４  セット部
４０  固定ベース部
４２  コンタクトブロック
４４  押さえバネ
５０  加圧機構部
５１  加圧ピン
５１ｂ  フランジ
５２  コイルスプリング
５４  膨出部
５５  支持ガイド
５６  ねじ部品
５７  調節ナット
５８  セット孔
６０ａ、６０ｂ  マイクロメータ
７０  フックバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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