(57)【要約】【課題】樹脂製スピンチャックとインサート金具の組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックにおいて、金型への樹脂注入時に形成される樹脂淀み部を成形品の中心軸線上に形成することができ、もってスラグ、樹脂淀み部およびウエハ吸着面の樹脂の不均一配向に起因する偏心・変形による成形不良の発生を抑えることが可能なスピンチャックの製造方法を提供する。【解決手段】樹脂製スピンチャックとスピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックの製造方法において、インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填することにした。【選択図】  図１
2004167906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製スピンチャックと前記スピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックの製造方法において、
前記インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填することを特徴とするスピンチャックの製造方法。
【請求項２】
樹脂製スピンチャックと前記スピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックにおいて、
前記インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填したことを特徴とするスピンチャック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転処理装置の回転支持台として用いられるスピンチャックとその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半導体ウエハのフォトレジスト塗布機または現像処理装置等の回転処理装置にその回転支持台として用いられるスピンチャックが知られており、このスピンチャックに関して本願出願人は先に、樹脂製スピンチャックのウエハ吸着面とこの樹脂製スピンチャックを回転させる回転駆動源の回転シャフトとの直角度を高精度に確保すべく、図８に示すように、樹脂製スピンチャック５１と回転シャフト５２とをインサート成形により一体成形したスピンチャックや、図９に示すように、樹脂製スピンチャック５１と回転シャフト５２に連結されるトルク伝達シャフト５３とをインサート成形により一体成形したスピンチャックを提案しており（特許文献１参照）、また、樹脂製スピンチャックのウエハ吸着面に成形上のうねりや反り等が発生しないように、図１０に示すように、樹脂製スピンチャック５１をその中心軸線上（センター）１点からのゲート５４方式（センターゲート方式）により成形することにしたスピンチャックの製造方法を提案している（特許文献２参照）。
【０００３】
しかしながら、上記スピンチャックにおいては何れも、回転シャフト５２またはトルク伝達シャフト５３等のインサート金具の端面５２ａ，５３ａが平面状に形成されているために（インサート金具内部の真空引き流路５２ｂ，５３ｂはインサート成形による一体成形後に貫通加工されるので、一体成形時、端面５２ａ，５３ａは真空引き流路５２ｂ，５３ｂが開口していない平面形状のままとされている）、樹脂を注入する際に発生するスラグ（ゲート先端部分に形成される固まり始めた注入樹脂）に起因してウエハ吸着面５５にうねりが発生することがあり、これにより半導体ウエハのフォトレジスト塗布または現像処理にバラツキが生じる問題がある。
【０００４】
また、ゲート５４から樹脂を注入すると上記回転シャフト５２またはトルク伝達シャフト５３等のインサート金具の端面５２ａ，５３ａに樹脂淀み部が形成される。しかしながら、この樹脂淀み部は常にインサート金具の端面５２ａ，５３ａの中心にできるとは限らず、そのため、樹脂淀み部の中心と成形品の中心とが同軸上に無いことから、樹脂が真円状態で充填されない。したがってこれを原因として、ウエハ吸着面５５を形成する樹脂が均一に充填されず、成形品にウエルド部が形成されてしまう問題がある。
【０００５】
また、ウエハ吸着面５５の樹脂が均一に配向していないために、温度変化によりウエハ吸着面５５に大きな寸法変化が発生したり、吸着保持のバキューム圧が加わった際にウエハ吸着面５５が均一に収縮しないことからウエハを吸着することができなくなってしまう等の不都合が発生する虞もある。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１４１４０１号公報
【特許文献２】
特開２００１−１６８１７９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の点に鑑みて、樹脂製スピンチャックとインサート金具の組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックにおいて、金型への樹脂注入時に形成されるスラグないし樹脂淀み部を成形品の中心軸線上に形成することができ、もってスラグ、樹脂淀み部およびウエハ吸着面の樹脂の不均一配向に起因する偏心・変形による成形不良の発生を抑えることが可能なスピンチャックとその製造方法とを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１によるスピンチャックの製造方法は、樹脂製スピンチャックと前記スピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックの製造方法において、前記インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２によるスピンチャックは、樹脂製スピンチャックと前記スピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックにおいて、前記インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填したことを特徴とするものである。
【００１０】
樹脂製スピンチャックとインサート金具の組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックを製造する場合、金型のキャビティ空間にインサート金具をセットすると、金型のゲート、キャビティ空間およびインサート金具が同軸上に配置される。したがって、インサート金具における注入ゲート直下位置に本願発明のように樹脂滞留部を設けると、この樹脂滞留部はキャビティ空間の中心軸線上すなわち成形品の中心軸線上に配置される。樹脂滞留部はインサート金具に凹部状ないし座ぐり状のものとして形成され、ここに意図的にゲートからキャビティ空間へ充填されるスラグおよび樹脂の一部を滞留させて樹脂淀み部を形成するものである。このスラグないし樹脂淀み部がキャビティ空間の中心軸線上すなわち成形品の中心軸線上に配置されるために、樹脂を円周上均一に充填し、真円状態となるように充填することが可能となる。
【００１１】
尚、本件出願には、以下の技術的事項が含まれる。
【００１２】
すなわち、上記目的を達成するため、本件出願が提案するスピンチャックおよびその製造方法は、ゲート直下のトルク伝達部の部品に凹状の樹脂滞留部を設けて樹脂淀み部を設けることで、樹脂が同心円（真円）上に充填されるので、ウエハ吸着平面のウネリが安定し、品質の安定化が可能となる。また、充填される樹脂は軸心を基点とし法線方向に均一に配向するため、温度変化による寸法変化および吸着圧に対する変形量も円周上均一となるため、成形不良が低減できる。更に、提案形状はコストアップを伴わずに安定した品質も確保できるものである。
【００１３】
また、ゲート直下のトルク伝達部の部品に凹状の樹脂滞留部を設けるとともにトルク伝達部の部品の締結部をスピンチャック本体側に近付けるように構成すると、以下の効果を奏することが可能となる。
【００１４】
すなわち、一般に上記図９に示したようなシャフト連結用のカラー５６（本願の締結部に相当）をスピンチャック本体側すなわち支持部側に配置すると、スピンチャックの重心が上側に移るので、スピンチャックの重さによる偏心が起こりづらい。故に、樹脂滞留部を設け、更にシャフトとの締結部を上側にすることで、ウエハ吸着面とトルク伝達シャフトとの直角度のバラツキをなくすことができるだけでなく、締結部のガタつきによる直角度のバラツキもなくすことができる。
【００１５】
樹脂製スピンチャックを成形する成形材料としては、寸法精度を確保するとともに、要求される体積固有抵抗を満足させるべく、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ樹脂）、フェノール樹脂（ＰＦ樹脂）、ポリイミド樹脂（ＰＩ樹脂）またはポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ樹脂）等が好適である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施例に係るスピンチャック１の縦断面を示しており、このスピンチャック１は以下のように構成されている。
【００１８】
すなわち先ず、円筒状を呈する樹脂製の軸部２の上端に、被加工物である半導体ウエハ（図示せず）を支持する円盤状の支持部３が同じ樹脂材料をもって同軸上に一体成形されており、軸部２の内周に、当該スピンチャック１を回転させる回転駆動源（モーター、図示せず）の回転シャフト（モーターシャフト、図示せず）に着脱自在に連結されるトルク伝達シャフト４がインサート成形の実施によって同軸上に一体成形されている。トルク伝達シャフト４に対して回転シャフトはその下方から差し込まれることになる。
【００１９】
トルク伝達シャフト４は、回転シャフトと同様、ステンレス鋼等の錆びにくい金属材料により、円筒状の外周面４ａを備え、更にその上側端面４ｂに、凹部状の樹脂滞留部（凹部または座ぐり部とも称する）９が同軸上に形成されたインサート金具をなしている。また、このトルク伝達シャフト４の内部には下から順に、トルク伝達部５、締結部（連結部、嵌め合い部またはガイド部とも称する）６、シール部（シール面とも称する）７および連通孔８が一連にかつ同軸上に形成されている。
【００２０】
これらのうち、トルク伝達部５は、トルク伝達シャフト４の下側端面４ｃに四角形等の非真円形状をもって開口しており、ここに回転シャフトを差し込んだときにトルク伝達シャフト４を回転シャフトに対して回り止めして回転トルクを伝達させる機能をなす。尚、このトルク伝達部５による回り止め構造は、２面幅構造やキー溝構造等であっても良い。
【００２１】
締結部６は、回転シャフトとの嵌め合い部であり、回転シャフトを差し込んだときに回転シャフトによってトルク伝達シャフト４を保持させ、かつ両シャフトのガタツキをなくし、同軸度および直角度を確保する機能をなす。この締結部６は支持部３との軸方向間隔が比較的短く設定されている。
【００２２】
シール部７は、回転シャフトを差し込んだときにその上端部に予め嵌着したＯリング（図示せず）を密接させ、スピンチャック１内部の真空引き流路を外気と遮断するシール機能をなす。
【００２３】
連通孔８は、回転シャフトを差し込んだときにその内部に予め形成した真空引き流路（図示せず）と、この連通孔８の上方位置において樹脂部の円盤状支持部３に形成した貫通孔状の真空吸引口１０とを連通させる機能をなす。尚、この連通孔８と樹脂部の真空吸引口１０は、上記インサート成形による一体成形後に後加工により形成されるものである。
【００２４】
また、円盤状支持部３の中心位置に、上記したようにこの支持部３の上に載せるウエハを吸着固定するための真空吸引口１０が設けられており、この真空吸引口６がトルク伝達シャフト４の連通孔８を介して回転シャフトの真空引き流路と連通する。
【００２５】
また、ウエハに対する吸引力を高めるために、円盤状支持部３の上面周縁部に環状の突起部（最外周突起部）１１が設けられるとともに、同じく支持部３の上面であって最外周突起部１１の内周側に平面円弧形状の突起部（内側突起部）１２が所要数設けられており、これらの突起部１１，１２の形成によって相対の凹部となる部分が凹部状ないし溝状の、支持部３上面における真空引き流路１３とされている。内側突起部１２は、スピンチャック１の回転バランスを確保するために複数が同心円状に形成されている。
【００２６】
また、これらの突起部１１，１２の高さは全てが同じに設定されており、各突起部１１，１２の上端面はそれぞれ軸直角平面として形成されるとともに互いに同一平面上に形成されており、この平面がスピンチャック１のウエハ吸着面１４とされている。
【００２７】
つぎに上記スピンチャック１の製造方法を説明すると、上記スピンチャック１は図２に示す金型２１を用いて、軸部２および支持部３よりなる樹脂部を一体成形するものであって、このとき金型２１のキャビティ空間２５の中心位置にインサート金具としてトルク伝達シャフト４をセットした状態で樹脂部を成形することにより、樹脂部の成形と同時に樹脂部とトルク伝達シャフト４とを一体化する。金型２１は上型２２および下型２３の組み合わせよりなり、両型２２，２３のパーティング部２４にキャビティ空間２５が設けられており、またその上方であってかつ同軸上に樹脂部成形材料注入用のゲート２６が一箇所設けられている。
【００２８】
図２は、金型２１のキャビティ空間２５の中心位置にトルク伝達シャフト４をセットして型締めした状態を示しており、この状態でつぎに、ゲート２６からキャビティ空間２５へ成形材料である樹脂を注入する。この図２の状態で、金型２１のゲート２６、キャビティ空間２５およびこのキャビティ空間２５にセットされたトルク伝達シャフト４は同軸上に配置されており、またトルク伝達シャフト４の上側端面４ｂの中心位置に設けられた凹部状の樹脂滞留部９も同軸上に配置されて、ゲート２６の直下位置に配置されている。
【００２９】
ゲート２６から樹脂を注入すると、樹脂は矢印の向きに流れて金型２１のキャビティ空間２５に充填されるが、上記したようにトルク伝達シャフト４の端面４ｂに凹部状の樹脂滞留部９が設けられているために、ここにスラグおよび注入した樹脂の一部が滞留して山なり状の樹脂淀み部１５が形成されることになる。そして、凹部状の樹脂滞留部９が端面４ｂの中心位置であってゲート２６の直下位置に設けられているために、ここに形成される樹脂淀み部１５も端面４ｂの中心位置であってゲート２６の直下位置、すなわちキャビティ空間２５の中心位置に形成されることになる。したがって、以後注入される樹脂は、図３に示すようにキャビティ空間２５内で放射状に流れ、キャビティ空間２５に真円状態に充填される。したがって、支持部３にウエルド部が形成されることなく支持部３が真円形状に成形されるため、形態良好で、図４に示すようにウエハ吸着面１４の平坦度が頗る高い成形品を成形することができる。
【００３０】
これに対して、比較例として示す図５のように、インサート金具であるトルク伝達シャフト４の端面４ｂに凹部状の樹脂滞留部が設けられていない場合は、樹脂の注入時にトルク伝達シャフト４の端面４ｂが平面状のままであるために、図６に示すように樹脂淀み部１５が金型２１のキャビティ空間２５の軸心位置０に対して芯ずれしかつ不規則な位置に形成される。したがって、樹脂淀み部１５と型２２の間の隙間の大きさが円周上異なることで樹脂の流速（充填量）が円周上異なることになるために、図６に示したように樹脂が不規則に流れ、流れの合流部にウエルド部が形成され、樹脂は真円状態に充填されない。したがって、形態がいびつで、図７に示すようにウエハ吸着面１４に大きなうねりが発生した成形品が成形されてしまうことになる。トルク伝達シャフト４の端面４ｂで樹脂淀み部１５が軸心位置０に形成されればこのようなことはないが、従来、樹脂淀み部１５が軸心位置０に形成される保証がないため、形態良好な成形品はせいぜい１０〜５０％程度に過ぎない。
【００３１】
これに対して、本願発明の上記構成によれば、インサート金具であるトルク伝達シャフト４の端面４ｂの中心位置に凹部状の樹脂滞留部９を設けることで、金型２１のキャビティ空間２５の中心すなわち成形品の中心と樹脂淀み部１５の中心とを規則的に同軸上に配置することができるために、樹脂淀み部１５と型２２の間の隙間の大きさが円周上均一化され、樹脂の流速（充填量）も円周上均一化される。したがって、常に樹脂を真円状態に充填することが可能となり、よって形態良好な成形品を１００％の確率で成形することができる。
【００３２】
また併せて、上記構成のスピンチャック１によれば、以下の作用効果を奏することが可能である。
【００３３】
▲１▼  上記図８に示したスピンチャックは、回転駆動源（モーター）の回転シャフト（モーターシャフト）５２をインサート成形して同軸上に一体としたものであるが、回転シャフト（モーターシャフト）５２と一体としたために、スピンチャックのメンテナンス性が余り良くない問題がある。スピンチャックは消耗品であることから、定期的に回転駆動源（モーター）から取り外して洗浄工程を実施するのが一般的である。
【００３４】
これに対して、上記実施例に係るスピンチャック１によれば、回転駆動源（モーター）の回転シャフト（モーターシャフト）ではなく、この回転シャフト（モーターシャフト）を別体で連結するトルク伝達シャフト（インサート金具）４をインサート成形するようにしたために、回転駆動源（モーター）に対してスピンチャック１を容易に着脱することが可能となり、よってメンテナンス性を向上させることができる。
【００３５】
▲２▼  上記図９に示したスピンチャックは、回転駆動源（モーター）の回転シャフト（モーターシャフト）５２にカラー５６を介して連結するトルク伝達シャフト５３をインサート成形して同軸上に一体としたものであるが、連結部とシャフトの寸法精度や出来合いによりウエハ吸着面５５の直角度にバラツキが発生し、スピンチャック５１が偏芯した状態で回転するために、半導体ウエハのフォトレジスト塗布または現像処理にバラツキが発生する虞がある。これはスピンチャック本体と連結部との軸方向間隔が離れていることから重心が下側にあるために、直角度への影響が顕著となるものである。
【００３６】
これに対して、上記実施例に係るスピンチャック１によれば、スピンチャック本体と締結部６を近付けるように構成したために、締結部６（連結用のカラー５６に相当）のガタによる直角度のバラツキを無くすことで、スピンチャック本体の高精度を維持することができる。したがって、フォトレジスト塗布または現像処理にバラツキが発生するのを防止することができ、安定した品質を得ることができる。
【００３７】
▲３▼  また、樹脂滞留部は、スピンチャックが真円状態で成形できることだけでなく、樹脂材料の射出速度（射出速度：射出成形において成形材料がキャビティに射出される単位時間当たりの質量）を大きくする必要性からもこれを設定したということができる。
【００３８】
すなわち、射出速度が小さい場合は少量の樹脂が注入されるので、樹脂滞留部を設けなくてもスラグはインサート金具の中心に形成される。したがって、注入した樹脂が中心に対して均一に配向され、結果としてスピンチャックはウネリのない真円状態で成形することができる。一方、効率の良い成形サイクルや径の大きなスピンチャックを成形するといった場合には射出速度を大きく設定するので短時間に大量の樹脂が注入される。したがってこの場合には、スラグがインサート金具の中心に形成されないうちに樹脂がキャビティへ流れてしまい、結果としてスピンチャックは真円状態で成形することができない。これに対して、本発明のようにインサート金具における注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けると、この樹脂滞留部によって射出速度が大きい場合であってもスラグが形成され、しかもスラグがインサート金具の中心に形成されるために、結果としてスピンチャックを真円状態で成形することができる。
【００３９】
この観点から、ゲートの径寸法φＡ、樹脂滞留部の径寸法φＢおよび樹脂滞留部の深さは効率の良い成形サイクルやスピンチャックの径に応じて設計する。
【００４０】
樹脂滞留部の寸法設定は、具体的には以下のとおりとなる。
【００４１】
すなわち、図２に示したように、ゲート２６の径寸法をφＡ、樹脂滞留部９の径寸法をφＢとすると、
φＡ＜φＢ＜φＡ×１．２〜２．０
とし、より好ましくは
φＡ×１．２＜φＢ＜φＡ×１．６・・・・（１）式
とする。上記実施例では、ゲート２６の径寸法φＡが７ｍｍであるので、樹脂滞留部９の径寸法φＢは８．４〜１１．２ｍｍが好ましい寸法となる。また、樹脂滞留部９の深さ寸法Ｌは３〜１０ｍｍとする。
【００４２】
樹脂滞留部の寸法が上記（１）式を充足すると、樹脂滞留部を設けた効果が充分に得られる上に、注入樹脂の歩留が良い。これに対して、φＢ≪φＡであると、ゲートから注入した樹脂は樹脂淀み部を形成せずにキャビティへ流れるために、樹脂滞留部を設けた効果は充分に発揮できない。また、φＢ≫φＡであると、樹脂滞留部を設けた効果が得られる以上に樹脂滞留部が大きいため、樹脂の注入に時間を要するので、成形サイクルの効率が悪くなる。更に、注入する樹脂が余分に必要なため、注入する樹脂の歩留が悪くなる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００４４】
すなわち、上記構成を備えた本発明の請求項１によるスピンチャックの製造方法においては、インサート金具における注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることによって樹脂を真円状態に充填するようにしたために、成形品である樹脂製スピンチャックにウエルド部が形成されてスピンチャックの形状がいびつとなったり、スピンチャックのウエハ吸着面にうねりが発生したりするのを有効に防止することができる。また、インサート金具における注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けるだけの構成で成形品にウエルド部が形成されなくなるので、加工工程の追加および部品点数が増えず、よってコストアップを伴わない。また、効率の良い成形サイクルや径の大きなスピンチャックを成形するときに射出速度を大きく設定しても、本発明のようにインサート金具における注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けると、この樹脂滞留部によって樹脂淀み部が形成され、しかも樹脂淀み部がインサート金具の中心に形成される。したがって、スピンチャックを真円状態で成形することができる。
【００４５】
また、このようにして製造された本発明の請求項２によるスピンチャックによれば、その回転作動が安定し、ウエハ支持が安定するために、フォトレジスト塗布や現像処理等の作業工程を精度良く、しかも効率的に実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るスピンチャックの断面図
【図２】本発明の実施例に係るスピンチャックの製造方法の説明図
【図３】同製造方法における樹脂の流れを示す説明図
【図４】同製造方法におけるウエハ吸着面うねり発生状況を示すグラフ図
【図５】比較例に係るスピンチャックの製造方法の説明図
【図６】同製造方法における樹脂の流れを示す説明図
【図７】同製造方法におけるウエハ吸着面うねり発生状況を示すグラフ図
【図８】従来例に係るスピンチャックの断面図
【図９】他の従来例に係るスピンチャックの断面図
【図１０】従来例に係るスピンチャックの製造方法の説明図
【符号の説明】
１  スピンチャック
２  軸部
３  支持部
４  トルク伝達シャフト（インサート金具）
４ａ  外周面
４ｂ，４ｃ  端面
５  トルク伝達部
６  締結部
７  シール部
８  連通孔
９  樹脂滞留部
１０  真空吸引口
１１，１２  突起部
１３  真空引き流路
１４  ウエハ吸着面
１５  樹脂淀み部
２１  金型
２２  上型
２３  下型
２４  パーティング部
２５  キャビティ空間
２６  ゲート
【図１】
2004167906.tif 000003
【図２】
2004167906.tif 000004
【図３】
2004167906.tif 000005
【図４】
2004167906.tif 000006
【図５】
2004167906.tif 000007
【図６】
2004167906.tif 000008
【図７】
2004167906.tif 000009
【図８】
2004167906.tif 000010
【図９】
2004167906.tif 000011
【図１０】
2004167906.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成14年12月10日(2002.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004167906.tif 000013
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004167906.tif 000014
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2004167906.tif 000015
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2004167906.tif 000016
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2004167906.tif 000017
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2004167906.tif 000018
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2004167906.tif 000019
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2004167906.tif 000020