(57)【要約】【課題】リニアガイド装置の軌道面間距離を簡便に測定できる方法を提供する。【解決手段】転動体転動溝（１３）を有する案内レール（１１）と、前記転動体転動溝（１３）に対向する転動体転動溝（１４）を有するスライダ（１２）と、前記案内レール（１１）または前記スライダ（１２）の直線運動に伴って前記転動体転動溝同士（１３，１４）によって形成された軌道（１７）を転動する複数の転動体（１５）とを備えたリニアガイド装置（１０）における軌道面間距離を測定する方法であって、前記軌道（１７）内に、前記転動体（１５）に換えて厚さ寸法が既知の測定用部材（１）を挿入した状態で前記案内レール（１１）に対する前記スライダ（１２）のガタ量を測定し、前記測定用部材（１）の厚さ寸法と前記測定されたガタ量とから、前記軌道面間距離を算出する。【選択図】  図６
2004286124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有するスライダと、前記案内レールまたは前記スライダの直線運動に伴って前記転動体転動溝同士によって形成された軌道を転動する複数の転動体とを備えたリニアガイド装置における軌道面間距離を測定する方法であって、
前記軌道内に、前記転動体に換えて厚み寸法が既知の測定用部材を挿入した状態で前記案内レールに対する前記スライダのガタ量を測定し、
前記測定用部材の厚み寸法と前記測定されたガタ量とから、前記軌道面間距離を算出することを特徴とする軌道面間距離測定方法。
【請求項２】
前記測定用部材は、前記転動体と同一形状であることを特徴とする請求項１に記載の軌道面間距離測定方法。
【請求項３】
前記測定用部材は、前記軌道内に挿入するための把持部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の軌道面間距離測定方法。
【請求項４】
前記測定用部材は、前記転動体と同一形状の部材を連結して構成されることを特徴とする請求項１に記載の軌道面間距離測定方法。
【請求項５】
前記転動体の軌道面間距離に対するオーバーサイズ量を決定する方法であって、
請求項１〜４のいずれかに記載の軌道面間距離測定方法によって測定された前記軌道面間距離から、目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量を決定することを特徴とするオーバーサイズ量決定方法。
【請求項６】
転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有するスライダと、前記案内レールまたは前記スライダの直線運動に伴って前記転動体転動溝同士によって形成された軌道を転動する複数の転動体とを備えたリニアガイド装置において、
請求項５に記載のオーバーサイズ量決定方法によって決定された前記目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量の転動体を使用していることを特徴とするリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造装置、加工機械、測定機器等の各種機械に用いられるリニアガイド装置での軌道面間距離測定方法、および、オーバーサイズ量決定方法、並びに、リニアガイド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、リニアガイド装置に高い運動精度や高い剛性が必要な場合には、リニアガイド装置に所望の予圧量を付与するために、スライダと案内レールとの間に所定のオーバーサイズ量を付与した転動体を組み込んで使用する。すなわち、案内レールとスライダの軌道面間距離よりも、僅かに大きい外径の転動体を用いることによって、あらかじめ転動体に弾性変形を与える。そのため、案内レールに対するスライダの隙間を無くすことができる。したがって、運動精度や、剛性を高めることができる。
【０００３】
リニアガイド装置に与えられる予圧量は、リニアガイド装置の用途によって異なる。例えば、工作機械など、高い剛性が求められる場合は、予圧量は大きい。一方、半導体製造装置など、低い摺動抵抗が求められる用途では、予圧量は小さい。また、転動体に予圧をかけない状態で使用されることもある。
このように、リニアガイド装置には、用途に応じた適切な予圧量を与えることが必要である。したがって、適切な予圧量を決定するためには、転動体に付与すべき所定のオーバーサイズ量を正確に決定することが重要であり、そのためには、転動体が挿入される軌道での軌道面間距離を正確に知る必要がある。
【０００４】
ここで、「軌道面間距離」とは、転動体の軸線に垂直な断面での図心または転動体の中心点を含む断面での図心と、転動体が案内レールの転動体転動溝に接触している部分での中央との距離、および、転動体の軸線に垂直な断面での図心または転動体の中心点を含む断面での図心と、転動体がスライダの転動体転動溝に接触している部分での中央との距離の和である。
【０００５】
従来、軌道面間距離の測定には、例えば、図２０に示すような方法が用いられている。
この従来の方法では、図２０（ａ）に示すように、まず、案内レール１１０側の転動体転動溝１３０に測定用部材２００を当接させて溝幅Ｗと溝ピッチＨとを測定する。そして、図示しないスライダ側の転動体転動溝についても同様に、溝幅と溝ピッチとを測定する。そして、これらの測定値から、幾何的な関係式によって、軌道面間距離を算出している（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００６】
【非特許文献１】
ＮＳＫ（日本精工株式会社）Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｊｏｕｒｎａｌ  Ｎｏ．６５２（１９９２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来の方法は、図２０（ｂ）に示すように、案内レール１１０側の転動体転動溝１３０およびスライダ側の転動体転動溝がゴシックアーチ形状など、特定形状の場合にのみ使用できるものであった。すなわち、例えば図２０（ｃ）に示すように転動体転動溝がサーキュラーアーク形状の場合は、転動体転動溝が単一の円弧形状であるため、測定用部材２００と転動体転動溝との接触部が一点となるため、測定用部材２００を安定して転動体転動溝に固定できない。そのため、３次元測定機などの設備が必要になる。また、測定に長時間を要するなどの問題点がある。
【０００８】
本発明の目的は、例えば軌道を構成している転動体転動溝の溝形状がサーキュラーアーク形状のリニアガイド装置であっても、軌道面間距離を簡単に測定できる方法を提供し、さらに、転動体のオーバーサイズ量を決定する方法およびその方法によって決定されたオーバーサイズ量の転動体を使用したリニアガイド装置を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のうち請求項１に記載した発明は、転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有するスライダと、前記案内レールまたは前記スライダの直線運動に伴って前記転動体転動溝同士によって形成された軌道を転動する複数の転動体とを備えたリニアガイド装置における軌道面間距離を測定する方法であって、前記軌道内に、前記転動体に換えて厚み寸法が既知の測定用部材を挿入した状態で前記案内レールに対する前記スライダのガタ量を測定し、前記測定用部材の厚み寸法と前記測定されたガタ量とから、前記軌道面間距離を算出することを特徴としている。
【００１０】
ここで、「厚み寸法」とは、軌道内に挿入される測定用部材が転動体転動溝に接触する部分での測定用部材の寸法である。例えば、測定用部材がボールの場合には、ボールの直径であり、測定用部材がころの場合には、円筒部分の外径である。また、測定用部材が、直方体の場合には、直方体が転動体転動溝に接触する面同士の二面幅である。
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、リニアガイド装置の軌道内に、測定用部材を挿入した状態で案内レールに対するスライダのガタ量を測定している。このとき、例えばスライダの高さ方向でのスライダの位置は、ガタ量の範囲で二つの位置が決まる。そのため、測定用部材の厚み寸法と測定されたガタ量とから、幾何学的に軌道面間距離を算出することができる。そして、リニアガイド装置の軌道の溝形状にかかわらず、測定用部材を転動体転動溝と接触させた状態を保って測定されるので、軌道の溝形状が、例えばサーキュラーアーク形状のリニアガイド装置でも、軌道面間距離を測定することができる。
【００１２】
次に、本発明のうち請求項２に記載した発明は、請求項１に記載の軌道面間距離測定方法であって、前記測定用部材は、前記転動体と同一形状であることを特徴としている。
ここで、「同一形状」とは、外形および寸法のいずれについても同じであることをいう。
【００１３】
請求項２に係る発明によれば、測定用部材は、リニアガイド装置に使用する転動体と同一形状であるため、リニアガイド装置に使用する転動体の代わりに、この測定用部材を用いて、リニアガイド装置を組み立てることができる。そのため、リニアガイド装置を組み立てる装置をそのまま使用して、測定用部材の組み込みを行える。したがって、リニアガイド装置の製造を自動化する場合でも、測定用部材を挿入するための特別な設備が不要である。
【００１４】
次に、本発明のうち請求項３に記載した発明は、請求項１に記載の軌道面間距離測定方法であって、前記測定用部材は、前記軌道内に挿入するための把持部を備えていることを特徴としている。
請求項３に係る発明によれば、測定用部材に把持部を備えているため、測定用部材を挿入し易い。
【００１５】
次に、本発明のうち請求項４に記載した発明は、請求項１に記載の軌道面間距離測定方法であって、前記測定用部材は、前記転動体と同一形状の部材を連結して構成されることを特徴としている。
請求項４に係る発明によれば、測定用部材を挿入する手間を少なくできるため、測定時間を短縮できる。
【００１６】
次に、本発明のうち請求項５に記載した発明は、前記転動体の軌道面間距離に対するオーバーサイズ量を決定する方法であって、請求項１〜４のいずれかに記載の軌道面間距離測定方法によって測定された前記軌道面間距離から、目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量を決定することを特徴としている。
請求項５に係る発明によれば、リニアガイド装置の仮組みを行わずに、使用する転動体に付加する所望のオーバーサイズ量を決定することができる。したがって、リニアガイド装置に用途に応じた適切な予圧を与えるために必要な転動体のオーバーサイズ量を容易に決定できる。
【００１７】
次に、本発明のうち請求項６に記載した発明は、転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有するスライダと、前記案内レールまたは前記スライダの直線運動に伴って前記転動体転動溝同士によって形成された軌道を転動する複数の転動体とを備えたリニアガイド装置において、請求項５に記載のオーバーサイズ量決定方法によって決定された前記目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量の転動体を使用していることを特徴としている。
そのため、請求項６に係る発明によれば、用途に応じた適切な予圧に設定されたリニアガイド装置を提供することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置１０を示す斜視図であり、同図では、スライダーの一部を破断して図示している。
このリニアガイド装置１０は、例えば、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定機器などの各種機械に用いられる。
【００１９】
同図に示すように、リニアガイド装置１０は、案内レール１１と、この案内レール１１の両側に袖部１２ａを有する断面コ字形のスライダ１２とを備えている。案内レール１１の両側面には直線状の転動体転動溝１３が案内レール１１の長手方向に沿って形成されている。この転動体転動溝１３はスライダ１２の袖部内側面に形成された直線状の転動体転動溝１４と対向して軌道１７を形成しており、スライダ１２を案内レール１１の長手方向に相対移動させるとスライダ１２に組み込まれた転動体としての複数のボール１５が軌道１７内を転動し、さらにスライダ１２の袖部１２ａ内に形成されたボール戻し路１６を転動して無限循環する。リニアガイド装置１０は、この無限循環する溝を４組有している。
【００２０】
次に、リニアガイド装置１０を例にして、本発明に係る軌道面間距離測定方法を説明する。
この軌道面間距離測定方法では、軌道面間距離の測定用部材１として、例えば、図２に示すように転動体としてのボール１５と同一形状の部材を用いることができる。詳しくは、この測定用部材１は、リニアガイド装置１０に使用する転動体と同一の球形状で、呼び径も転動体と同一である。そのため、リニアガイド装置１０に使用する転動体としてのボール１５の代わりに、この測定用部材１を用いて、リニアガイド装置１０を組み立てることができる。この際、循環のための部品（エンドキャップなど）は必ずしも取り付ける必要はない。しかし、測定用部材１の脱落を防止するためには、循環のための部品を取り付けることが好ましい。
【００２１】
なお、この測定用部材１は、転動体に混入しても判別可能なように、着色しても良い。また、測定用部材１の材質を転動体と異なる材質としても良い。例えば、転動体が鋼材である場合には、測定用部材１の材質を、例えばセラミックスとすれば転動体と容易に判別できる。なお、測定用部材１には、測定を繰り返し行っても測定用部材１に摩耗が生じないように、焼入れされた鋼材やセラミックス等、硬度の高い材料を使用することが望ましい。
【００２２】
はじめに、測定用部材１の厚み寸法ＤＲ（図２の測定用部材１ではボールの直径）を予め正確に測定しておく。軌道面間距離の呼び値（設計上の狙い値）をＤとする。また、測定用部材１の厚み寸法ＤＲの軌道面間距離の呼び値Ｄに対するオーバーサイズ量δｒを、δｒ＝ＤＲ−Ｄで定義する。
軌道面間距離は、スライダ１２と案内レール１１の相対的な位置関係によって変化する。しかし、スライダ１２と案内レール１１との相対的な位置関係を適切に選べば、リニアガイド装置１０の全ての軌道１７の組について、軌道面間距離を同一値ＤＺにすることができる。この状態を、以下、「基準状態」と呼ぶことにする。また、軌道面間距離の呼び値Ｄに対するオーバーサイズ量を、δｚ＝ＤＺ−Ｄで定義する。
【００２３】
まず、基準状態で、それぞれの案内レール１１およびスライダ１２の軌道１７内に、測定用部材１を挿入する。δｒ＜δｚであれば、案内レール１１とスライダ１２との軌道１７にガタのある状態で、測定用部材１を挿入できる。
図３に、測定用部材１を軌道１７内に挿入する方法を示す。同図に示す挿入方法では、軌道１７のそれぞれに複数個の測定用部材１を挿入している。そのため、測定用部材１の長さが短くてもスライダ１２が傾きにくい。したがって、正確な測定ができる。なお、例えば図４に示すように、各軌道の中央付近に１個ずつ測定用部材１を挿入してもよいが、スライダ１２の傾きを少なくして正確な測定を行うためには、図３に示すように複数の測定用部材を挿入することが望ましい。
【００２４】
次に、案内レール１１に対するスライダ１２のガタ量を測定する。案内レール１１に対するスライダ１２の高さ方向（図５中に示す）でのガタ量をΔｃとする。図５に示すように、ガタ量Δｃは、例えばダイヤルゲージ１００などの測定器で測定することができる。すなわち、案内レール１１を定盤などに固定し、スライダ１２上面にダイヤルゲージ１００を当てる。そして、スライダ１２を上方向に軽く押し上げた時のダイヤルゲージ１００の指示値と、軽く押し下げた時のダイヤルゲージ１００の指示値の絶対値の和がガタ量Δｃである。
【００２５】
次に、図６に測定用部材１と軌道との接触部分の説明図を示す。
同図に示すように、測定用部材１とスライダ１２の転動体転動溝１４との接触角および測定用部材１と案内レール１１の転動体転動溝１３との接触角をそれぞれαＵ、αＬとする。なお、加工誤差などの寸法誤差による接触角の変化は小さい。そのため、接触角としては、予め設計で決められた値を用いて差し支えない。なお、同図中、符号１４Ａは、スライダ１２を下方向に変位させてガタが無くなる位置での転動体転動溝１４の位置であり、符号１４Ｂは、スライダ１２を上方向に変位させてガタが無くなる位置での転動体転動溝１４の位置である。
【００２６】
ここで、基準状態からスライダ１２を上方向に変位させてガタが無くなる位置での変位量をΔｃＬとする。また、下方向に変位させてガタが無くなる位置での変位量をΔｃＵとする。Δｃ＝ΔｃＬ＋ΔｃＵである。図６に示すように、ΔｃＵは、幾何的な関係から求めることができる。すなわち、下記の（式１）から計算することができる。
【００２７】
【数１】
2004286124.tif 000003
【００２８】
同様にして、ΔｃＬは下記の（式２）となる。
【００２９】
【数２】
2004286124.tif 000004
【００３０】
したがって、案内レール１１に対するスライダ１２の高さ方向のガタ量Δｃは下記の（式３）となる。
【００３１】
【数３】
2004286124.tif 000005
【００３２】
（式３）より、次の（式４）からδｚを計算することができる。
【００３３】
【数４】
2004286124.tif 000006
【００３４】
ここで、Ｄ，δｒ、ΔＲ、αＵ、αＬは既知である。したがって、軌道面間距離ＤＺは、ＤＺ＝Ｄ＋δｚから知ることができる。
なお、上述の説明では、案内レール１１に対するスライダ１２の高さ方向のガタ量について測定したが、案内レール１１に対するスライダ１２の幅方向のガタ量を測定しても、上述の軌道面間距離測定方法と同様にしてＤＺを求めることができる。
【００３５】
以上説明したように、本発明に係る軌道面間距離測定方法によれば、リニアガイド装置１０の軌道１７の溝形状にかかわらず、軌道面間距離を簡単な測定機器（例えばダイヤルゲージ１００）のみで容易に測定することができる。
なお、上述の軌道面間距離測定方法では、測定用部材１として、転動体（ボール１５）と同一形状の部材を用いている。そのため、リニアガイド装置１０を組み立てる装置をそのまま使用して、測定用部材１の組み込みを行える。したがって、リニアガイド装置１０の製造を自動化する場合でも、測定用部材１を挿入するために特別な設備は不要である。
【００３６】
次に、上述の軌道面間距離の測定結果から、目的とする予圧量に対応する転動体のオーバーサイズ量を決定する方法を説明する。
図７は、予め求めておいたオーバーサイズ量と予圧量との関係を示すグラフである。なお、同図は、リニアガイド装置１０の転動体にボール１５を用いた場合の例である。
【００３７】
いま、目的とする予圧量δｅに対応する転動体のオーバーサイズ量をδｏとする。このとき、使用するべき転動体のオーバーサイズ量δｓは、次式で得られる。
δｓ＝δｏ＋δｚ                                          （式５）
より実用的には、図７に示すグラフで、δｏ＝βδｅと線形近似を行うと扱いやすい。なお、係数βは１以上の値である。例えば図７では、係数β＝１．３である。この係数βを用いれば、（式５）は、次のようになる。
【００３８】
δｓ＝βδｅ＋δｚ                                      （式６）
以上説明したように、このオーバーサイズ量決定方法によれば、目的とする予圧量δｅに対応するオーバーサイズ量δｏをグラフを用いて容易に知ることができる。
なお、リニアガイド装置１０の転動体として、例えばボール１５を用いる場合は、オーバーサイズ量をそのまま予圧量と考えても差し支えない。しかし、転動体がころの場合、あるいはボールの場合でも、スライダ１２部材に十分な剛性がないと、予圧量はオーバーサイズ量よりも小さくなる。これは、スライダ１２部材の弾性変形量が転動体と軌道面との間の弾性変形量に対して、無視できないほど大きいためである。このような場合、スライダ１２部材の変形を考慮したオーバーサイズ量と予圧量との関係は、ＦＥＭなどの解析手法によって、実用上問題ない精度で求めることができる。
【００３９】
【実施例】
以下、本発明に係る軌道面間距離測定方法によって軌道面間距離を測定し、さらに、転動体オーバーサイズ量決定方法によって目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量を決定した実施例について説明する。
なお、この実施例では、以下の条件で行った。
【００４０】
・測定対象：転動体にころ２５を使用したリニアガイド装置２０（図８参照）。なお、リニアガイド装置２０のころ２５以外の主な構成は、上記実施形態と同様である。
・接触角：案内レールの転動体転動溝およびスライダの転動体転動溝ともに４５°
・所要の予圧量：２．０μｍ
・軌道面間距離の測定用部材：円筒形状である測定用部材２（図９参照）
・測定用部材２の呼び直径：４ｍｍ
・測定用部材２の円筒直径のオーバーサイズ量δｒ：  δｒ＝−１６．２μｍ（予め測定した結果による）
・軌道面間距離の呼び寸法：４ｍｍ
まず、図１０に示すように、各軌道１７内（４箇所とも）に、測定用部材２をスライダ１２の両端から挿入する（手順１）。
【００４１】
次に、測定用部材２をスライダ１２に挿入した状態で、スライダ１２の高さ方向のガタ量Δｃを測定する（手順２）。なお、測定には、上述した（図５に示した）測定方法と同様に、ダイヤルゲージ１００を用いた。上方向および下方向への移動は、手で軽く押し引きすることで行った。測定の結果、ガタ量Δｃは１９．８μｍだった。
【００４２】
次に、（式４）によって、軌道面間距離を算出した（手順３）。
δ＝−１６．２μｍ＋１９．８μｍ／（１／ｓｉｎ４５°＋１／ｓｉｎ４５°  ）＝−９．２μｍ
したがって、軌道面間の距離ＤＺは、ＤＺ＝４ｍｍ−９．２μｍ＝３．９９０８ｍｍである。
【００４３】
次に、組み込む転動体での目的とする予圧量に対応するオーバーサイズ量を決定する（手順４）。この際、予め、ＦＥＭおよびヘルツの接触理論を用いて解析を行った。その結果、オーバーサイズ量δｏと予圧量δｅの関係は、図１１に示すグラフとなることが分かった。すなわち、δｏ＝βδｅの形で表すことができ、β＝５．０である。したがって、目的とする予圧量δｅ＝２．０μｍに対して、対応するオーバーサイズ量は、δｏ＝１０．０μｍとなる。そこで、組み込む転動体のオーバーサイズ量δｓを（式５）で求めた。
【００４４】
δｓ＝δｏ＋δｚ＝１０．０μｍ−９．２μｍ＝０．８μｍ
したがって、使用する転動体のオーバーサイズ量は、＋０．８μｍとすればよい。
ただし、実際には、目的とする予圧量は、ある程度の範囲を許容するのが普通である。例えば、本実施例において、予圧量δｅの許容範囲を、１．５μｍ≦δｅ≦２．５μｍとする。この場合、図１１から、オーバーサイズ量は７．５≦δｏ≦１２．５μｍの範囲となる。したがって、（式５）から、組み込む転動体のオーバーサイズ量は、次の範囲であれば良い。
【００４５】
−１．７μｍ≦δｓ≦３．３μｍ
以上説明したように、本発明に係る軌道面間距離測定方法によれば、リニアガイド装置１０，２０の軌道１７の溝形状によらず、軌道面間距離を簡単な測定機器（ダイヤルゲージ１００）のみで容易に測定することができる。
また、本発明に係るオーバーサイズ量決定方法によれば、リニアガイド装置１０，２０に適切な目的とする予圧を与えるための転動体１５，２５の対応するオーバーサイズ量を容易に決定できる。
【００４６】
したがって、用途に応じて適切な予圧に設定されたリニアガイド装置１０，２０を提供できる。
なお、本発明は、前述した実施形態（実施例）に限定されるものではない。具体的には、以下のような種々の形態とすることも可能である。
例えば、リニアガイド装置１０の転動体にボール１５を使用した場合（図１参照）での測定用部材としては、以下のような形態とすることができる。
【００４７】
図１２に測定用部材の第二実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材３は、段付きの円筒形状であり、直径が精密に加工された測定用円筒部３ａと、この測定用円筒部３ａより径が細い軸部である把持部３ｂとをもつ。この測定用部材３によれば、測定部分の長さを短くすることができるので、円筒度を精度良く抑えられる。また、把持部３ｂを持てば、軌道１７内への出し入れが容易である。そのため、作業性が向上する。なお、測定用円筒部３ａは、図１２（ａ）のように軸部と一体でも良いし、図１２（ｂ）のように、把持部３ｂと別体でも良い。別体であれば、測定用円筒部３ａが摩耗した場合でも、測定用円筒部３ａのみを交換することができる。
【００４８】
なお、この測定用部材３を軌道面間に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態（以下同じ）と同様である。
図１３に測定用部材の第三実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材４は、４個の測定用円筒を１つの面板４ｂに取り付けている。図１３（ｂ）に示すように、各測定部４ａは、面板４ｂに対してガタを有しており移動することができる。そのため、この４個の測定用円筒４ｃを軌道１７内へ同時に挿入することができる。したがって、各測定部４ａを１個ずつ挿入しなくてもよいため、測定用部材４の取り扱いが容易である。なお、この測定用部材４を軌道面間に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
【００４９】
図１４に測定用部材の第四実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材５は、例えば測定用部材１に対し、第二実施形態での把持部に相当する棒を取り付けたものである。そのため、単純な球形状と比較して、測定用部材５は取り扱いが容易である。なお、この測定用部材５を軌道１７内に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
【００５０】
図１５に測定用部材の第五実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材６は、測定部となる複数個のボール６ａに貫通孔をあけ、ワイヤ６ｂで連結している。そのため、測定用部材６の取り扱いが容易である。なお、この測定用部材６を軌道１７内に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
【００５１】
図１６に測定用部材の第六実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材７は、測定部となる複数個のボール７ａを連結部材７ｂで連結している。連結部材７ｂは、樹脂から成形されており、ボール７ａ部材を取り囲んで保持する装着孔を有している。そのため、取り扱い時にボール７ａが外れにくく、作業性も良い。なお、この測定用部材７を軌道１７内に挿入（図１７参照）し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
【００５２】
次に、例えばリニアガイド装置２０の転動体にころ２５を使用した場合（図８参照）での測定用部材としては、以下のような形態とすることができる。
図１８に測定用部材の第七実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材８は測定部となる複数個のころ８ａ部材を連結部材８ｂで連結している。そのため、転動体と同一形状の測定用部材をそのまま使用した場合に対して、測定用部材８の挿入回数を少なくできる。したがって、測定用部材８を挿入する時間を短縮し、迅速な測定が可能である。なお、この測定用部材８を軌道１７内に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
【００５３】
図１９に測定用部材の第八実施形態を示す。同図に示すように、この測定用部材９は、測定部となる２面の平面度が高いブロック形状である。そのため、精度の高い測定が可能である。なお、この測定用部材９を軌道１７内に挿入し、軌道面間距離を測定する方法等については、上記実施形態と同様である。
なお、測定用部材の種々の実施形態として、第二〜第八実施形態に示す各形状を備えた測定用部材および測定用部材の挿入方法等について説明したが、本発明に係る測定用部材および測定用部材の挿入方法はこれに限定されるものではない。例えば、リニアガイド装置１０の転動体にボール１５を使用している場合での測定用部材を、リニアガイド装置２０の転動体にころ２５を使用した場合に適用してもよい。この場合、転動体の代わりに、当該測定用部材を用いてリニアガイド装置１０を組み立てる。そして、組み立てた状態でガタ量を測定することができる。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、軌道の溝形状が、例えばサーキュラーアーク形状のリニアガイド装置でも、軌道面間距離を簡便に測定できる方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態におけるリニアガイド装置の一部破断斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態における測定用部材の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態における測定用部材の挿入方法の説明図である。
【図４】本発明の一実施形態における測定用部材の挿入方法の説明図である。
【図５】本発明の一実施形態おけるリニアガイド装置のガタ量を測定する方法の説明図である。
【図６】本発明の一実施形態における測定用部材および軌道の要部拡大説明図である。
【図７】オーバーサイズ量と予圧量との関係を示すグラフである。
【図８】本発明の一実施例におけるリニアガイド装置の説明図である。
【図９】本発明の一実施例における測定用部材の平面図である。
【図１０】本発明の一実施例における測定用部材の挿入方法の説明図である。
【図１１】オーバーサイズ量と予圧量との関係を示すグラフである。
【図１２】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の平面図である。
【図１３】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の説明図である。
【図１４】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の平面図である。
【図１５】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の説明図である。
【図１６】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の説明図である。
【図１７】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の挿入方法の説明図である。
【図１８】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の説明図である。
【図１９】本発明のその他の実施形態に係る測定用部材の説明図である。
【図２０】従来の軌道面間距離を測定する方法の説明図である。
【符号の説明】
１、２、３、４、５、６、７、８、９、２００    測定用部材
１０、２０    リニアガイド装置
１１    案内レール
１２    スライダ
１３    転動体転動溝
１４    転動体転動溝
１５、２５    転動体（ボール、ころ）
１６    転動体戻し溝
１７    軌道
１００    ダイヤルゲージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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