(57)【要約】【課題】基板上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質のいずれをも向上させる。【解決手段】複数枚の帯状可撓性支持体それぞれの表面に各種類の異なる材料Ｐが塗布形成されている複数枚の転写シート３２を用いて、基板Ｂ上に各種類の異なる材料Ｐをパターン状に形成するパターン部材の製造方法。外周部に基板Ｂが巻き掛けられている回転するドラム１２の円周方向の複数箇所に、転写シート３２が巻き掛けられている転写シート支持ローラ３０をドラム１２に近接させて設け、それぞれの転写シート支持ローラ３０をドラム１２に押圧することにより材料Ｐを基板Ｂにパターン状に転写し、基板Ｂ上に各種類の異なる材料Ｐをパターン状に形成する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の帯状可撓性支持体それぞれの表面に各種類の異なる材料が塗布形成されている複数枚の転写シートを用いて、基板上に前記各種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造方法であって、
外周部に前記基板が巻き掛けられている回転するドラムの円周方向の複数箇所に、前記転写シートが巻き掛けられている転写シート支持ローラを前記ドラムに近接させて設け、
前記それぞれの転写シート支持ローラを前記ドラムに押圧することにより前記材料を前記基板に前記パターン状に転写し、前記基板上に前記各種類の異なる材料をパターン状に形成することを特徴とするパターン部材の製造方法。
【請求項２】
前記それぞれの転写シート支持ローラの上流側に前記パターン状の段差を有するパターン形成ローラを設け、該パターン形成ローラにより前記転写シートに前記パターン状の段差を形成する請求項１に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項３】
前記ドラムと前記基板との間には、無端環状の弾性体シートが配される請求項１又は２のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項４】
前記弾性体シートは、表層にハードコート層を有する多層構造のシートである請求項１、２又は３のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項５】
前記ドラムは、中高に形成されている請求項１、２、３又は４のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項６】
前記弾性体シートは、幅方向中央部が幅方向両端部より肉厚に形成されている請求項１、２、３又は４のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項７】
前記各種類の異なる材料には、少なくとも赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応する発光用又は表示用の材料が含まれる請求項１〜６のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項８】
複数枚の帯状可撓性支持体それぞれの表面に各種類の異なる材料が塗布形成されている複数枚の転写シートを用いて、基板上に前記各種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造装置であって、
外周部に前記基板が巻き掛け可能な回転ドラムの円周方向の複数箇所には、前記転写シートが巻き掛け可能な転写シート支持ローラが、前記ドラムに近接して設けられており、
前記それぞれの転写シート支持ローラが前記ドラムに押圧されることにより前記材料が前記基板に転写できるようになっていることを特徴とするパターン部材の製造装置。
【請求項９】
前記それぞれの転写シート支持ローラの上流側には、前記パターン状の段差を有するパターン形成ローラが設けられており、該パターン形成ローラにより前記転写シートに前記パターン状の段差が形成できるようになっている請求項８に記載のパターン部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパターン部材の製造方法及び製造装置に係り、特に、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用途に好適に使用されるパターン部材の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用材料として、ガラス基板、シート基材、フィルム等の面に、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）等の単色又は３色の微細（μｍレベル）なストライプ状又はマトリックス状のパターンを形成したパターン部材が使用されている。
【０００３】
このようなパターン部材の製造方法として、これまで各種の方法が提案、採用されている。たとえば、フォトリソグラフィー、顔料分散法、電着法、印刷法等が挙げられる。これらの製造方法は、一長一短あり、各社において最適と判断される製造方法が採用されているのが現状である（たとえば、特許文献１〜６）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−３６３８５
【０００５】
【特許文献２】
特開平９−２０４９８４号公報
【０００６】
【特許文献３】
特開昭６２−８５２０２号公報
【０００７】
【特許文献４】
特開平１０−１５３９６７号公報
【０００８】
【特許文献５】
特開２０００−２４６８６６
【０００９】
【特許文献６】
特開平８−１７１００８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパターン部材の製造方法では、品質（パターン精度）面とコスト面との両方を満足させることが困難であるのが現状である。
【００１１】
すなわち、フォトリソグラフィー、蒸着法等（たとえば、特許文献１、２参照）では、装置が複雑であるうえに、連続可撓性支持体への加工に不適であり量産に不向きである。
【００１２】
グラビヤオフセット印刷法（たとえば、特許文献３参照）では、転写の際にパターン形状が乱れ、高精度（数十μｍレベル）の加工が困難であるという問題がある。
【００１３】
インクジェット方式（たとえば、特許文献４参照）では、隔壁を必要とするため、開口率が小さくなるという問題があるうえに、有機の層を多層化するのが困難であるという問題がある。
【００１４】
転写方式（たとえば、特許文献５参照）は、フィルム上に形成されたパターンをガラス基板等へ転写する技術であるが、パターンを連続するフィルム状の基板等へ転写することには対応できない。
【００１５】
他の態様の転写方式（たとえば、特許文献６参照）としては、パターンを連続するフィルム状の基板等へ転写する技術が挙げられるが、これは版面に着色固化膜を転写した後にフィルム状の基板等へ転写する方式であり、転写を繰り返す必要がある。したがって、歩留りの低下、パターンの密着力のばらつき、等の問題点を生じる。
【００１６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させることができる製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、複数枚の帯状可撓性支持体それぞれの表面に各種類の異なる材料が塗布形成されている複数枚の転写シートを用いて、基板上に前記各種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造方法であって、外周部に前記基板が巻き掛けられている回転するドラムの円周方向の複数箇所に、前記転写シートが巻き掛けられている転写シート支持ローラを前記ドラムに近接させて設け、前記それぞれの転写シート支持ローラを前記ドラムに押圧することにより前記材料を前記基板に前記パターン状に転写し、前記基板上に前記各種類の異なる材料をパターン状に形成することを特徴とするパターン部材の製造方法、及びこれに使用される製造装置を提供する。
【００１８】
本発明によれば、回転するドラムに巻き掛けられている基板に、それぞれの転写シート、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用の材料パターンが形成されている各転写シートが押圧されることにより、パターン状材料を基板に転写できる。そして、これが各転写シート支持ローラの位置で行なわれることにより、パターン部材（たとえば、有機ＥＬ素子、液晶表示素子のカラーフィルタ）を形成できる。
【００１９】
したがって、本発明により、基板上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させることができる。
【００２０】
本発明において、前記それぞれの転写シート支持ローラの上流側に前記パターン状の段差を有するパターン形成ローラを設け、該パターン形成ローラにより前記転写シートに前記パターン状の段差を形成することが好ましい。
【００２１】
このように、転写シート支持ローラの上流側にパターン状の段差を有するパターン形成ローラを設け、転写シートに前記パターン状の段差を形成すれば、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させた状態でパターン状材料を基板に転写できるからである。
【００２２】
また、本発明において、前記ドラムと前記基板との間には、無端環状の弾性体シートが配されることが好ましい。通常、ドラムは金属材料で形成されることが多く、基板の変形を吸収できにくい。このように、ドラムと基板との間に弾性体シートが配されれば、弾性体シートがクッション層となり基板の変形を吸収でき、その結果、材料が容易確実に基板に転写できるからである。
【００２３】
また、本発明において、前記弾性体シートは、表層にハードコート層を有する多層構造のシートであることが好ましい。このように、弾性体シートの表層がハードコート層となっていれば、繰り返し使用による磨耗が防げる。また、転写シートの離型性を向上させることができる。
【００２４】
また、本発明において、前記ドラムは、中高に形成されていることが好ましい。また、本発明において、前記弾性体シートは、幅方向中央部が幅方向両端部より肉厚に形成されていることが好ましい。このように、ドラムが中高に形成されているか、弾性体シートの、幅方向中央部が幅方向両端部より肉厚に形成されていれば、転写シート支持ローラが押圧力によって撓んでも、押圧力は幅方向で均一になり、材料が確実に基板に転写できるからである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るパターン部材の製造方法及び製造装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２６】
図１に、本発明の第１の実施態様が示される。同図において、パターン部材の製造装置１０は、外周部に基板Ｂが巻き掛けられながら回転駆動されるドラム１２と、ドラム１２と基板Ｂとの間に配されるとともに、ドラム１２とテンションドラム１４とに巻き掛けられて張設される無端環状の弾性体シート１６と、ロール状に巻回された帯状可撓性支持体の基板Ｂを繰出す送り出しローラ２０と、基板Ｂの搬送経路上に配される複数のガイドローラ２２と、処理が終了した基板Ｂを巻き取る巻き取りローラ２４と、ドラム１２の円周方向の複数箇所（３箇所）にドラム１２に近接させて設けられる転写手段２８と、で構成される。
【００２７】
このうち、各転写手段２８（２８Ｒ、２８Ｇ及び２８Ｂ）は、それぞれ、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応するものであり、いずれも、転写シート支持ローラ３０と、帯状可撓性支持体の表面にパターン材料Ｐが塗布形成されている転写シート３２と、転写シート３２にパターン状の段差を形成させるパターン形成ローラ３４とで構成される。
【００２８】
なお、図示は省略したが、基板Ｂのテンションをコントロールするテンションローラや、基板Ｂの搬送を制御する駆動ローラを設けることも任意である。
【００２９】
次に基板Ｂについて説明する。一般的に、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用途の基板材質としては、ガラス板、シリコン基板、金属板等が使用できるが、本発明の構成より、帯状可撓性支持体の基板Ｂが好ましく使用できる。本実施態様においては、基板Ｂの幅を１０００ｍｍとした。
【００３０】
帯状可撓性支持体の基板Ｂとしては、一般に、所定幅の、長さが４５〜２００００ｍ、厚さが２〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６　−ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフィルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙等からなる可撓性帯状物又は該帯状物を基材としてその表面に加工層を形成した帯状物が使用できる。
【００３１】
なお、帯状可撓性支持体の基板Ｂは、予め別な装置によって陰極・電子輸送層をスパッタリング、真空蒸着法等により付与されたバリヤ機能を有するものであってもよい。
【００３２】
ドラム１２としては、基板Ｂの幅以上の幅を有し、真円度の出た、平滑な表面のものが好ましく使用できる。たとえば、鋼材の表面に硬質クロムメッキを施したものが使用できる。ドラム１２の外径に制限はないが、円周方向に全ての転写手段２８が設けられるだけのサイズのものが好ましい。図示の例では、外径を３０００ｍｍとした。また、ドラム１２の幅を１２００ｍｍとした。なお、比較的小径のドラム１２に対し転写手段２８を１組配し、この組み合わせを複数設ける構成でも、同様の機能が得られる。
【００３３】
ドラム１２の回転駆動は、モータ、減速機等を組み合わせた慣用の手段が採用できる。
【００３４】
弾性体シート１６としては、表層にハードコート層を有し、その下層に弾性層を有する、多層構造の無端環状のシートが好ましく使用できる。片側の表面にハードコート層を有するものでも、両側の表面にハードコート層を有するものでもよい。
【００３５】
このうち、弾性層としては、たとえば、厚さ１００μｍのＰＥＴシートが使用できる。ハードコート層としては、たとえば、厚さ１０μｍの二酸化珪素が使用できる。
【００３６】
なお、弾性体シート１６の幅方向中央部を幅方向両端部より肉厚に形成する場合には、たとえば、中央部の厚さを１００μｍとし、端部の厚さを８０μｍとし、その中間において厚さが徐々に変化するように形成すればよい。
【００３７】
図示の構成では、弾性体シート１６はドラム１２とテンションドラム１４とに巻き掛けられて張設されているが、弾性体シート１６の内径をドラム１２の外径と略同一にしてドラム１２の外周に一体的に取付ける構成であってもよい。また、弾性体シート１６と同一の材質のものをドラム１２の外周にライニングする構成も採用できる。
【００３８】
転写シート支持ローラ３０としては、転写シート３２の幅以上の幅を有し、真円度の出た、平滑な表面のものが好ましく使用できる。たとえば、鋼材の表面に硬質クロムメッキを施したものが使用できる。転写時に加熱を施す場合にはローラの内部に加熱手段を設ける構成とするのが好ましい。この加熱手段としては、熱媒を流す構成、シースヒータを設ける構成等、公知の手段が採用できる。
【００３９】
転写時に転写圧をかける（ドラム１２に押圧する）ためには、転写シート支持ローラ３０両端を回転自在に支持する軸受手段に押圧機構を設ければよい。このような押圧機構としては、ボルト部材とナット部材との組み合わせにモータを配したもの、エアシリンダによるもの等、公知の手段が採用できる。また、転写シート支持ローラ３０の幅方向中央部における、押圧反力による撓みを避ける意味で、バックアップローラを設ける構成も採用できる。
【００４０】
パターン形成ローラ３４としては、転写シート３２の幅以上の幅を有し、真円度の出た、パターン状の凹凸が形成されたものが好ましく使用できる。たとえば、金属の表面層にフォトリソグラフィー、機械加工、放電加工、レーザ加工等、公知の各種手段によりパターン状の凹凸が形成されたものが採用できる。パターン状の凹凸形状については後で詳述する。
【００４１】
このパターン形成ローラ３４と転写シート支持ローラ３０とで転写シート３２を挟み込み、転写パターンを形成した後に転写シート支持ローラ３０により基板Ｂへの転写がなされる。この詳細についても後で詳述する。
【００４２】
パターン形成ローラ３４と転写シート支持ローラ３０とで転写シート３２を挟み込む際の加圧（転写シート支持ローラ３０に押圧する）のためには、パターン形成ローラ３４両端を回転自在に支持する軸受手段に押圧機構を設ければよい。このような押圧機構としては、ボルト部材とナット部材との組み合わせにモータを配したもの、エアシリンダによるもの等、公知の手段が採用できる。
【００４３】
以上に説明した機能が果たせれるのであれば、パターン形成ローラ３４及び転写シート支持ローラ３０の外径に制限はないが、図示の構成では、パターン形成ローラ３４の外径を２００ｍｍとし、転写シート支持ローラ３０の外径を３００ｍｍとした。また、パターン形成ローラ３４及び転写シート支持ローラ３０の幅を１２００ｍｍとした。
【００４４】
転写シート３２としては、帯状可撓性支持体の表面にパターン材料Ｐが塗布形成されているものであればよいが、図１の構成の装置には、図２に示される構成のものが使用される。すなわち、転写シート３２は、基材層４０、塑性変形層４２、剥離層４４及びパターン材料Ｐの４層で構成されている。本実施態様においては、転写シート３２の幅を１０００ｍｍとした。
【００４５】
基材層４０としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）等を採用することができる。
【００４６】
塑性変形層４２としては、メタクリル酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、イタコン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール、ゼラチン等のポリマからなる層等を採用することができる。また、市販のフォトレジストを用いてもよい。また、膜強度改良のために、これらにアルコール可溶性ナイロン、またはエポキシ樹脂を添加したものを用いてもよい。
【００４７】
塑性変形層４２の上には、剥離層４４が形成される。剥離層４４としては、塑性変形層４２に用いたポリマに、パラフィンワックス、モンタン系ワックス、ビスアマイド系ワックス等のワックス、シリコーン樹脂、フツ素系化合物等を添加してなる物質を採用することができる。剥離層４４と塑性変形層４２に用いられる主要ポリマは同一のものでも異なるものでも差し支えない。
【００４８】
剥離層４４が形成された上にパターン材料Ｐが塗布形成され、これが乾燥されることにより、電流を流すと各色の光を発する色材層が形成される。本実施態様においては、それぞれのパターン材料Ｐとして３種類（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の顔料にバインダ、エタノール及び塗布助剤を混合・分散させて粘度を調整したものを使用して剥離層４４上に塗布した。塗布時の膜厚は２０μｍであり、乾燥時の膜厚は２μｍであった。
【００４９】
以下、パターン部材の製造について説明する。パターン部材の製造装置１０として、図１に示される構成のものを使用した。基板Ｂの搬送速度は、２ｍ／分に設定した。
【００５０】
図３は、パターン形成ローラ３４と転写シート支持ローラ３０とで転写シート３２を挟み込み、転写パターンを形成する際における、パターン形成ローラ３４と転写シート３２との関係を説明する概念図である。パターン形成ローラ３４の表面に形成されている凹凸パターンは、紙面に垂直方向に延びるストライプ状の段差であり、凸部３５Ａの幅が３５０μｍに、凹部３５Ｂの幅が１００μｍに形成されている。凸部３５Ａと凹部３５Ｂとの段差は４０μｍとなっている。
【００５１】
図４は、パターン形成ローラ３４と転写シート支持ローラ３０とで転写シート３２を挟み込み、転写パターンを形成した後の転写シート３２の断面形状を示す拡大断面図である。主に塑性変形層４２が変形することにより、転写シート３２にはパターン形成ローラ３４の反転パターンが形成されている。すなわち、図４において凸部３７Ｂは図３の凹部３５Ｂに、凹部３７Ａは図３の凸部３５Ａに、それぞれ対応している。このような方法で凸部３７Ｂを形成することにより、凸部３７Ｂの際をシャープに形成することができる。
【００５２】
図５は、パターン形成ローラ３４等により凸部３７Ｂが形成された転写シート３２が、転写シート支持ローラ３０に支持されながら基板Ｂの表面に転写されている状態を示す概念図である。転写時の押圧力は４９０ｋＰａ（５ｋｇ／ｃｍ２　）に設定し、転写シート支持ローラ３０の表面温度は１５０°Ｃに設定した。
【００５３】
このように、転写シート支持ローラ３０をドラム１２上の基板Ｂに押圧することにより、パターン材料Ｐを基板Ｂにパターン状に転写できる。この際に、転写シート３２の塑性変形層４２とパターン材料Ｐとの間に剥離層４４が存在することにより、図示のように転写が良好に行なわれる。図６は、転写が行なわれた後の基板Ｂの断面図である。
【００５４】
以上の転写工程が、パターン部材の製造装置１０の各転写手段２８（２８Ｒ、２８Ｇ及び２８Ｂ）で行なわれることにより、図７に断面図で示される基板Ｂが形成される。同図において、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各パターンのパターン材料Ｐが繰り返し形成されている。既述のように各パターンの幅は１００μｍであり、また、各パターン同士の隙間（スペース）の幅は５０μｍとなっている。
【００５５】
このように、パターンをストライプ状に設計した場合には、基板Ｂには図８（ａ）に示されるようなａ、ｂ、ｃ、ａ、ｂ、ｃ…のストライプパターンが形成される。このストライプパターンは、基板Ｂの搬送方向に平行に形成することもでき、本実施の態様のように、基板Ｂの搬送方向に対し直角に形成することもできる。ただし、後者の場合には、各転写手段２８（２８Ｒ、２８Ｇ及び２８Ｂ）でパターン同士の間隔が均等となるように位置決めを的確に行なえるような装置構成とする必要がある。
【００５６】
また、パターンをマトリックス状に設計することもできる。その場合には、基板Ｂには図８（ｂ）に示されるようなａ、ｂ、ｃ、ａ、ｂ、ｃ…のマトリックス状パターンが形成される。
【００５７】
図９（ａ）は、ストライプパターンを、基板Ｂの搬送方向に平行に形成した場合の基板Ｂ上のストライプパターンａ、ｂ、ｃ、ａ、ｂ、ｃ…を示し、図９（ｂ）は、同じく基板Ｂ上のマトリックス状パターンａ、ｂ、ｃ、ａ、ｂ、ｃ…を示す。
【００５８】
上記一連の工程は、良好な無塵度及び最適な温湿度の環境下で実施されることが好ましい。したがって、クリーンルーム内で行なわれるのが好ましく、クラス１００以下の環境下に設置されるのが好ましい。このためには、ダウンフローのクリーンルーム又はクリーンベンチを併用する形態が採用できる。
【００５９】
特に、パターン材料Ｐが有機ＥＬの発光層である場合、この発光層は水分が製品寿命に大きく影響することより、低湿度の環境に維持することが好ましい。具体的には、露点マイナス２０°Ｃ以下の空気又は窒素ガス雰囲気であることが好ましい。相対湿度（ＲＨ）も可能な限り低くすることが好ましい。
【００６０】
次に、本発明に係るパターン部材の製造方法及び製造装置の他の実施の形態について説明する。この実施の態様において、図１のパターン部材の製造装置１０と略同様の構成が採用されるが、転写手段２８（１２８）のみ相違して構成される。
【００６１】
この転写手段１２８は、パターン状の段差が形成された転写シート支持ローラ１３０と、帯状可撓性支持体の表面にパターン材料Ｐが塗布形成されている転写シート１３２とで構成される。すなわち、４層構成の転写シート３２に代えて２層構成の転写シート１３２が、表面が平滑な転写シート支持ローラ３０に代えて表面にパターン状の段差が形成された転写シート支持ローラ１３０が使用され、パターン形成ローラ３４は使用されない。その他の構成は、図１のパターン部材の製造装置１０と同一の構成が採用されているので、説明は省略する。
【００６２】
図１０は、転写手段１２８において、転写シート支持ローラ１３０の凸部１３５Ａにより転写シート１３２が基板Ｂに選択的に押し付けられることにより、パターン材料Ｐが基板Ｂの表面に転写されている状態を示す概念図である。
【００６３】
すなわち、転写シート１３２は、基材層１４０及びパターン材料Ｐの２層で構成されている。基材層１４０としては、転写シート３２の基材層４０と同様の材質が採用できる。また、転写シート支持ローラ１３０の凸部１３５Ａは、パターン形成ローラ３４の表面パターン（凸部３５Ａ、凹部３５Ｂ）の反転パターンが採用できる。
【００６４】
このような構成の転写手段１２８においては、基板Ｂに転写されたパターン材料Ｐのパターンの際を、転写手段２８程にはシャープに形成できないが、転写手段２８より簡易な構成とできるメリットがある。
【００６５】
以下に、本発明のパターン部材を有機ＥＬ素子用に適用される場合の特記事項について述べる。
【００６６】
パターン材料Ｐが有機ＥＬ素子用画素の場合には、パターンとして発光性有機薄膜層が形成される。したがって、転写シート３２、１３２に塗布されているパターン材料Ｐには、一種以上の発光性化合物及び／又は燐光発光性化合物が含有される。特に、発光輝度及び発光効率の点では、燐光発光性化合物が含有されるのが好ましい。この発光性化合物及び／又は燐光発光性化合物の塗布液中の含有率は、０．１〜７０質量％が好ましく、１〜２０質量％がより好ましい。
【００６７】
パターン材料Ｐとして発光性有機薄膜層を形成する場合、製品状態での膜厚は１０〜２００ｎｍとすることが好ましく、２０〜８０ｎｍとすることがより好ましい。膜厚が１０ｎｍ未満では断線の可能性が高く、膜厚が２００ｎｍ超では駆動電圧の上昇となり、いずれも好ましくないからである。
【００６８】
供給される基板Ｂが帯状可撓性支持体であり、予め別な装置によって陰極・電子輸送層をスパッタリング、真空蒸着法等により付与されたバリヤ機能を有するものである場合、以下の構成が一例として採用できる。
【００６９】
背面電極として、金属、合金、金属酸化物又は電気伝導性化合物等により形成できる。この背面電極は、仕事関数が４．５ｅＶ以上である材料により形成されることが好ましい。
【００７０】
具体的な材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、金、銀、鉛、アルミニウム等が挙げられる。これらの材料を単独で使用してもよいが、保存安定性と電子注入性とを両立させるためには、上記材料のうち２種以上を併用するのが好ましい。
【００７１】
このうち、電子注入性の観点からは、アルカリ金属及びアルカリ土類金属が好ましく、保存安定性の観点からは、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。このアルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単体のみならず、アルミニウムと０．０１〜１０質量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属との合金又は混合物を指す。
【００７２】
背面電極の厚さは、材料によって適宜の値が選択できるが、通常は１０ｎｍ〜５μの値が採用でき、５０ｎｍ〜１μｍの値が好ましく採用できる。この背面電極は、帯状可撓性支持体の基板Ｂ上に、スパッタリング、真空蒸着法等により連続的に形成されるのが好ましい。
【００７３】
以上、本発明に係るパターン部材の製造方法及び製造装置の実施形態の例について説明したが、本発明は上記実施形態の例に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００７４】
たとえば、主に図１に示されるパターン部材の製造装置１０についての説明がなされたが、パターン部材の製品サイズ、製品の種別、生産数量等に応じて上記実施形態以外の各種態様が選択できる。
【００７５】
図１１は、パターン部材の製造装置の他の態様を示すものである。図１に示されるパターン部材の製造装置１０においては、転写シート支持ローラ３０とパターン形成ローラ３４とで、転写シート３２にパターン状の段差を形成させながら転写する構成が採用されていたが、図１１の構成では、パターン形成ローラ３４と支持ローラ３５とで、転写シート３２にパターン状の段差を形成させる構成が採用されている。この支持ローラ３５には転写シート支持ローラ３０と同様の材質のものが採用できる。
【００７６】
また、本発明の実施形態では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用の材料パターンが形成される例について説明したが、たとえば、図７に示される各パターン同士の隙間（スペース）に、第４のパターンとしてブラックストライプを設けることもできる。
【００７７】
また、たとえば、パターン部材の製造装置１０において、送り出しローラ２０の次に除塵機等よりなる除塵ゾーンを設けたり、巻き取りローラ２４の前にＥＰＣ（エッジ位置制御装置）等を設けたりしてもよい。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、回転するドラムに巻き掛けられている基板に、それぞれの転写シート、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用の材料パターンが形成されている各転写シートが押圧されることにより、パターン状材料を基板に転写できる。そして、これが各転写シート支持ローラの位置で行なわれることにより、パターン部材（たとえば、有機ＥＬ素子、液晶表示素子のカラーフィルタ）を形成できる。
【００７９】
したがって、本発明により、基板上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン部材の製造装置の概念図
【図２】転写シートの構成を示す概念図
【図３】パターン形成ローラと転写シートとの位置関係を説明する概念図
【図４】転写シートに転写パターンを形成した後の概念図
【図５】転写シートのパターン材料が基板に転写されている状態を示す概念図
【図６】転写が行なわれた後の基板の概念図
【図７】全ての転写が終了した後の基板の概念図
【図８】パターン部材の構成図
【図９】パターン部材の構成図
【図１０】本発明のパターン部材の製造方法の他の実施の形態を示す概念図
【図１１】本発明のパターン部材の製造装置の他の実施の形態を示す概念図
【符号の説明】
１０…パターン部材の製造装置、１２…ドラム、１４…テンションドラム、１６…弾性体シート、２０…送り出しローラ、２２…ガイドローラ、２４…巻き取りローラ、２８…転写手段、３０…転写シート支持ローラ、３２…転写シート、Ｐ…パターン材料、Ｂ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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