(57)【要約】【課題】半導体チップのテストを効率的に行うことが可能な半導体テストシステムを提供する。【解決手段】チップ情報取得装置１０３は、半導体チップ１０１に記憶されたチップ情報１０２を取得し、取得したチップ情報１０２に対応するテストプログラムを、テストプログラムデータベース１０４に格納されているプログラムの中から選択し、選択したテストプログラムを半導体テスター１０５にローディングする。テストプログラムをローディングされた半導体テスター１０５は、そのテストプログラムに基づいて半導体チップ１０１のテストを行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップのテストを行う半導体テストシステムであって、
前記半導体チップのテストプログラムを格納するテストプログラム格納手段と、
前記半導体チップの識別情報を前記半導体チップから取得する識別情報取得手段と、
前記識別情報取得手段により取得された識別情報に応じたテストプログラムを、前記テストプログラム格納手段に格納されているテストプログラムの中から選択するテストプログラム選択手段と、
前記テストプログラム選択手段により選択されたテストプログラムに基づいて、前記半導体チップのテストを行うテスターとを備える半導体テストシステム。
【請求項２】
請求項１記載の半導体テストシステムであって、
前記識別情報取得手段は、前記半導体チップに内蔵される記憶媒体から前記識別情報を取得するものである半導体テストシステム。
【請求項３】
請求項１記載の半導体テストシステムであって、
前記識別情報取得手段は、前記半導体チップのパッケージにマーキングされた印を認識し、前記印に基づいて前記識別情報を取得するものである半導体テストシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体チップのテストを行う半導体テストシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体テストシステムにおける半導体チップのテストは、作業者が、テスト対象の半導体チップの種類を目視により認識し、認識した種類に対応したテストプログラムを選択し、選択したテストプログラムを半導体テスターにローディングすることで行っていた。
【０００３】
図３は、従来の半導体テストシステムの概略構成を示す図である。
半導体テストシステム２００は、テスト対象の半導体チップ２０１と、半導体チップ２０１のテストを行う半導体テスター２０５と、半導体チップ２０１に関する資料２０４と、作業者である人２０２と、テストプログラム名等が記載されたプログラム一覧表２０３とを備える。
【０００４】
半導体テストシステム２００の動作について説明する。
図４は、従来の半導体テストシステムの動作を説明するためのフローを示す図である。
人２０２は、目視により半導体チップ２０１や資料２０４を確認し、その半導体チップ２０１がどのような品種名であるか、マスクセットバージョンはいくつであるか、ＲＯＭのバージョンがいくつであるか等を確認する（Ｓ２１）。更に、人２０２は、Ｓ２１で確認した情報をもとに、プログラム一覧表２０３を参照して、その半導体チップ２０１に対応するテストプログラムを選択し（Ｓ２２）、選択したテストプログラムを半導体テスター２０５にローディングするための操作を行う（Ｓ２３）。その後、ローディングされたテストプログラムに基づいて、半導体テスター２０５が半導体チップ２０１のテストを行う（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２３６５９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体テストシステムにあっては、目視による半導体チップの確認、人によるテストプログラムの選択、及び手作業による半導体テスター１０５へのローディング操作等のため、半導体チップ１０１に類似品種や複数のマスクセットバージョン等が存在する場合に、選択ミスや操作ミスが起きる可能性がある。このため、不適切なテストプログラムが半導体テスター１０５にローディングされてしまい、半導体テストを適切に行うことができない。また、人による判断が加わるため、半導体チップのテストに要する時間も多くかかってしまう。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体チップのテストを効率良く行うことが可能な半導体テストシステムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体テストシステムは、半導体チップのテストを行う半導体テストシステムであって、前記半導体チップのテストプログラムを格納するテストプログラム格納手段と、前記半導体チップの識別情報を前記半導体チップから取得する識別情報取得手段と、前記識別情報取得手段により取得された識別情報に応じたテストプログラムを、前記テストプログラム格納手段に格納されているテストプログラムの中から選択するテストプログラム選択手段と、前記テストプログラム選択手段により選択されたテストプログラムに基づいて、前記半導体チップのテストを行うテスターとを備える。
【０００９】
また、本発明の半導体テストシステムは、前記識別情報取得手段が、前記半導体チップに内蔵される記憶媒体から前記識別情報を取得するものである。
【００１０】
また、本発明の半導体テストシステムは、前記識別情報取得手段が、前記半導体チップのパッケージにマーキングされた印を認識し、前記印に基づいて前記識別情報を取得するものである。
【００１１】
以上の構成によれば、半導体チップのテストを効率良く行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステム１００の概略構成を示す図である。
半導体テストシステム１００は、チップ情報１０２を内蔵する半導体チップ１０１と、半導体チップ１０１を着脱可能に搭載するソケット１０８を有するパフォーマンスボード１０７と、パフォーマンスボード１０７を介して半導体チップ１０１のチップ情報１０２を取得するチップ情報取得装置１０３と、チップ情報１０２に対応するテストプログラムを格納するテストプログラムデータベース１０４と、テスターヘッド１０６にチップ情報取得装置１０３を内蔵した半導体テスター１０５とを備える。
【００１３】
チップ情報１０２は、半導体チップ１０１を識別するための識別情報であり、半導体チップ１０１内のＲＯＭ等の記憶媒体に予め記憶されているものである。チップ情報１０２の内容としては、例えば、半導体チップ１０１の品種名、ＲＯＭバージョン、及びマスクセットバージョン等があげられ、テストプログラムの種類の変更に起因するような情報であることが好ましい。
【００１４】
ＲＯＭの仕様については、アドレスを２ｂｉｔとして、フォーマットを固定とし、アドレス２’ｂ００に半導体チップ１０１の品種名を記憶し、アドレス２’ｂ０１にＲＯＭバージョンを記憶し、アドレス２’ｂ１０にマスクセットバージョンを記憶する。データも固定して決まったサイズを用意する。
【００１５】
テストプログラムデータベース１０４には、チップ情報１０２に対応するテストプログラム（半導体チップをテストするためのプログラム）が格納されている。なお、テストプログラムデータベース１０４は、チップ情報取得装置１０３の中に設けてもよいし、半導体テスター１０５の中に設けてもよい。
【００１６】
チップ情報取得装置１０３は、パフォーマンスボード１０７及びソケット１０８を介して半導体チップ１０１にアクセスし、ＲＯＭに記憶されているチップ情報１０２を取得する。また、取得したチップ情報１０２に対応するテストプログラムを、テストプログラムデータベース１０４の中から選択し、選択したテストプログラムをテストプログラムデータベース１０４から取得して半導体テスター１０５にローディングする。
【００１７】
半導体チップ１０１は、チップ情報１０２を読み出すためのモード端子と、アドレス端子と、データ端子と、ＲＯＭの制御端子と、電源端子とを有する。
【００１８】
パフォーマンスボード１０７は、半導体チップ１０１のモード端子、アドレス端子、データ端子、及びＲＯＭの制御端子に割り当てられるテスターチャンネルと、電源端子に割り当てられる電源チャンネルとを有する。このようにチャンネルを割り当てることで、チップ情報取得装置１０３から半導体チップ１０１のＲＯＭへのアクセス経路を確定することができる。
【００１９】
なお、半導体チップ１０１内のＲＯＭの容量を固定とすることで、ＲＯＭへのアクセス方法を予め決めておくことができる。また、半導体チップ１０１の電源電圧値も固定とすれば、その品種に関わらず、常に同じ方法でチップ情報１０２を簡単に取り出すことができる。
【００２０】
また、チップ情報１０２を半導体チップ１０１内に記憶するのではなく、半導体チップ１０１のパッケージに、チップ情報に対応したマーキングを施すようにしても良い。この場合は、チップ情報取得装置１０３が、マーキングされた印をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）等で撮像し、画像処理にてチップ情報１０２を認識する方法とすれば良い。このために、半導体チップ１０１のパッケージにマーキングされる印とチップ情報とを対応付けたデータベースを、チップ情報取得装置１０３からアクセス可能な場所に設けておく。このようにすれば、テスターチャンネル１１６及び電源チャンネル１１７等を固定して決めておく必要はない。また、この場合は、チップ情報取得装置１０３を、半導体テスター１０５のハンドラやプローバの中に設けてもよい。
【００２１】
テスターヘッド１０６は、パフォーマンスボード１０７及びソケット１０８を介して半導体チップ１０１にアクセス可能であり、ここで取得した情報を半導体テスター１０５に供給する。
【００２２】
半導体テスター１０５は、テスターヘッド１０６から供給された情報を基に、半導体チップ１０１のテストを行い、そのテスト結果を出力する。上記テストは、チップ情報取得装置１０３によって選択され、ローディングされたテストプログラムに基づいて行う。なお、テストプログラムデータベース１０４が半導体テスター１０５内にある場合、半導体テスター１０５自らがテストプログラムを取得するようにする。この場合、チップ情報取得装置１０３は、テストプログラムのローディングは行わず、その選択のみを行い、選択したテストプログラムの情報（名前等）を半導体テスター１０５に通知するだけで良い。
【００２３】
次に、半導体テストシステム１００の動作について説明する。
図２は、本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムの動作フローを示す図である。
まず、チップ情報取得装置１０３は、半導体チップ１０１に記憶されたチップ情報１０２を取得する（Ｓ１１）。次に、取得したチップ情報１０２に対応するテストプログラムを、テストプログラムデータベース１０４に格納されているプログラムの中から選択し（Ｓ１２）、選択したテストプログラムを半導体テスター１０５にローディングする（Ｓ１３）。テストプログラムをローディングされた半導体テスター１０５は、そのテストプログラムに基づいて半導体チップ１０１のテストを行う。
【００２４】
以上のように、本実施形態によれば、半導体チップ１０１のテストを、人による作業ではなく自動的に行うことが可能なため、半導体チップ１０１のテストを効率良く行うことができる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体チップのテストを効率良く行うことが可能な半導体テストシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムを示す概略構成図
【図２】本発明の実施形態を説明するための半導体テストシステムの動作フローを示す図
【図３】従来の半導体テストシステムの概略構成を示す図
【図４】従来の半導体テストシステムの動作を説明するためのフローを示す図
【符号の説明】
１００  半導体テストシステム
１０１  半導体チップ
１０２  チップ情報
１０３  チップ情報取得装置
１０４  テストプログラムデータベース
１０５  半導体テスター
１０６  テスターヘッド
１０７  パフォーマンスボード
１０８  ソケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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