(57)【要約】【課題】簡単な構成で高速に多角形の露光を行うことができる装置を提供する。【解決手段】本発明の露光装置は、回転機構４の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成して偏向器２に供給する同心円演算処理部６と、送り機構５によりスライド移動した同心円の半径と、生成される多角形の中心からの長さの差分に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として偏向器２に供給する多角形演算処理部６とを備えた。【選択図】  図１
2004361855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビーム照射手段から照射される光ビームを光学系を介して回転移動手段により回転移動およびスライド移動手段によりスライド移動するターンテーブル上の原盤に回転半径方向に偏向手段により偏向させて照射することにより、原盤を露光する露光装置において、
上記回転移動手段の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成して上記偏向手段に供給する同心円演算処理手段と、
上記スライド移動手段によりスライド移動した上記同心円の半径と、生成される多角形の中心からの長さの差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給する多角形演算処理手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置において、
上記多角形演算処理手段は、上記スライド移動手段からスライド移動した上記同心円の半径を求め、生成される多角形の頂点の数に応じて、上記同心円に対して多角形の頂点と上記頂点間の中点のなす角度を求め、上記同心円の半径と上記同心円に対する上記多角形の中点の角度の長さとの差分を求め、上記差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項２記載の露光装置において、
上記多角形演算処理手段は、上記差分に相当する信号を直線補間することを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項１記載の露光装置において、
上記多角形演算処理手段は、上記同心円の半径と上記回転移動手段の回転検出信号の分解能に基づいて上記多角形の頂点位置から上記回転検出信号の最小分解能に応じた位置の差分を求め、上記差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
ビーム照射手段から照射される光ビームを光学系を介して回転移動手段により回転移動およびスライド移動手段によりスライド移動するターンテーブル上の原盤に回転半径方向に偏向手段により偏向させて照射することにより、原盤を露光する露光方法において、
上記回転移動手段の回転検出信号を検出するステップと、
上記スライド移動手段によりスライド移動した半径位置を検出するステップと、
生成される多角形の分割数を検出するステップと、
上記回転移動手段の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成して上記偏向手段に供給する同心円演算処理ステップと、
上記スライド移動手段によりスライド移動した上記同心円の半径と、生成される多角形の中心からの長さの差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給する多角形演算処理ステップと、
を備えたことを特徴とする露光方法。
【請求項６】
請求項５記載の露光方法において、
上記多角形演算処理ステップは、上記スライド移動手段からスライド移動した上記同心円の半径を求め、生成される多角形の頂点の数に応じて、上記同心円に対して多角形の頂点と上記頂点間の中点のなす角度を求め、上記同心円の半径と上記同心円に対する上記多角形の中点の角度の長さとの差分を求め、上記差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給することを特徴とする露光方法。
【請求項７】
請求項６記載の露光方法において、
上記多角形演算処理ステップは、上記差分に相当する信号を直線補間することを特徴とする露光方法。
【請求項８】
請求項５記載の露光方法において、
上記多角形演算処理ステップは、上記同心円の半径と上記回転移動手段の回転検出信号の分解能に基づいて上記多角形の頂点位置から上記回転検出信号の最小分解能に応じた位置の差分を求め、上記差分に相当する信号を上記同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として上記偏向手段に供給することを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ディスク用原盤露光装置を用いて、ガラス原盤またはウエハー等へ情報を記録するための露光装置および露光方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
はじめに、光ディスクの原盤製造システムの概略を説明する。
光ディスク原盤製造システムとはスタンパを製作する一連の装置である。スタンパとは光ディスクの成形に必要な型で、ディスクに形成されるピットと呼ばれる微細な凸形状を含む厚さ約０．３ｍｍの円形金属板である。この金属板を作る工程を説明する。
【０００３】
まず、洗浄機でガラス盤を洗浄する。次にレジストコータによりガラス円盤上にフォトレジストを塗布し、原盤露光装置によりレーザビームまたは電子ビームを照射して信号を記録する。さらに現像機により現像して原盤ができあがる。次に薄膜処理器においてその上にニッケルＮｉ薄膜をスパッタ法や無電解メッキ法により形成し、電鋳処理機によりその薄膜を電極にしてニッケルＮｉをメッキする。ニッケルＮｉ金属板をガラス盤から剥離し、付着したフォトレジストを除去し、内径・外径を整えてスタンパが出来上がる。
【０００４】
このようにして製作される光ディスクは通常、ガラス原盤を高速回転させながら、レーザビームまたは電子ビームをガラス原盤の径方向へ移動させるため、レーザビームまたは電子ビームが照射された部分の奇跡が渦巻き上となるため、ガラス原盤上の露光された場所も渦巻き状となる。
【０００５】
この露光された部分を、ディスク原盤露光装置が停止することなしに、レーザビームまたは電子ビームが照射された部分を渦巻き上ではなく、同心状にする方法は特許文献１および特許文献２などで提案されている。
【０００６】
これはレーザビームまたは電子ビームを、回転機構が１回転する間に送りピッチ分だけ送り方向と逆向きに偏向させることで実現できる。
【０００７】
また、近年ディスク原盤露光装置の高密度記録対応が進み、５０〜４００ｎｍ程度の微小幅の渦巻き状の溝を露光することが可能となっている。これは半導体用のリソグラフィ技術とほぼ同等の線幅を露光することが可能ということである。
【０００８】
半導体の分野のリソグラフィでは、送り機構が互いに直角方向になる送り機構２軸とその上にウエハー搭載用のターンテーブルを有する形が一般的である。半導体分野でのリソグラフィは、ステッパー露光だとレーザビーム露光が、マスク用直接露光装置だと電子ビーム露光が主な方式である。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００２−３２９３６号公報
【特許文献２】
特開平１１−２５９９１６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の電子ビームによる直接描画装置の場合、ターンテーブルは露光線の角度変更にのみ用いられ、直線露光は互いに直角となる２つの送り機構を移動して露光するため、ディスク用露光装置の回転機構の相対線速度に比べてかなり遅くスループットが低いという不都合があった。
【００１１】
また、特許文献１および特許文献２では、同心円の露光方法のみが開示されているため、多角形の露光ができないという不都合があった。
【００１２】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で高速に多角形の露光を行うことができる装置を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の露光方法及び露光装置は、回転移動手段の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成して偏向手段に供給する同心円演算処理手段と、スライド移動手段によりスライド移動した同心円の半径と、生成される多角形の中心からの長さの差分に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として偏向手段に供給する多角形演算処理手段とを備えたものである。
【００１４】
これにより、レーザ光を用いたディスク原盤露光装置だけでなく、電子ビームを用いた原盤露光装置も対象とし、ディスク用原盤露光装置を用いて、回転機構が高速回転し、停止することなく直線を露光することにより、多角形を露光することができる。
【００１５】
従って本発明によれば、以下の作用をする。
まず、回転移動手段からスピンドルエンコーダ信号を受け取る動作では、多角形演算処理手段は、回転移動手段のスピンドルエンコ−ダ信号を検出する。
【００１６】
また、スライド移動手段からスライド半径位置データを受け取る動作では、多角形演算処理手段は、スライド移動手段から同心円の半径を検出する。
【００１７】
次に、入力部からＮ多角形分割コマンドを受け取る動作では、多角形演算処理手段は、入力部からＮ多角形分割コマンドを検出する。
【００１８】
ここで、同心円演算処理を行う際に、多角形演算処理を行う動作では、多角形演算処理手段は、同心円演算処理手段により同心円偏向信号を生成する際に、同心状の円と多角形との距離の差分に相当する信号を生成する。
【００１９】
そして、同心円演算処理のウオブル信号に多角形演算処理のウオブル信号を重畳させたウオブル信号を生成する動作では、多角形演算処理手段は、同心円演算処理手段により回転移動手段の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成する際に、スライド移動手段によりスライド移動した同心円の半径と、生成される多角形の中心からの長さの差分に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号を生成する。
【００２０】
生成されたウオブル信号を偏向ジェネレータに供給する動作では、多角形演算処理手段は、同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるために生成された多角形露光信号を偏向ジェネレータに供給する。
【００２１】
偏向ジェネレータは偏向器にウオブル信号に基づく偏向信号を供給する動作では、偏向ジェネレータは多角形露光信号に基づいて偏向信号を生成し、偏向器に生成された偏向信号を供給する。
【００２２】
偏向器が偏向信号に基づいてカッティングビーム源からのビームを偏向させて原盤に同心状の多角形を露光する動作では、偏向ジェネレータを介して偏向器へ入力する偏向信号に、同心状の円と多角形との距離の差分に相当する信号を重畳させることにより、ガラス原盤上に同心状の多角形を露光させる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について以下に適宜図面を参照しながら説明する。
本発明の実施の形態は、同心状の多角形を露光する露光方法及びその装置に関するものである。
図１に本発明の実施の形態に適用されるディスク原盤露光装置を用いた多角形露光装置の構成を示すブロック図を示す。
【００２４】
ガラス原盤またはウエハー３が搭載された回転機構４と、その回転系を径方向に移動させることができる送り機構５を装備した原盤露光装置において、ガラス原盤またはウエハー３の上に図示しない対物レンズを用いてカッティングビーム源１から照射されるレーザビームまたは電子ビームを集光させる。この集光ビームのスポットサイズはおよそ５０〜４００ｎｍ程度まで集光される。
【００２５】
また、偏向器２を利用することにより、カッティングビーム源１から照射されるレーザビームまたは電子ビームをガラス原盤３の径方向にウォブリングさせることができる。
【００２６】
図２は、同心円に対して多角形を露光する様子を示す図である。
通常、このディスク原盤露光装置により露光された部分の奇跡は図２の２点鎖線Ｂのようならせん状となるが、このウォブリングの機能を利用することにより、露光された部分の奇跡を同心状の円Ｃとすることが可能である。（特許文献１および特許文献２参照）
【００２７】
本発明の実施の形態は、さらに、この図１の偏向ジェネレータ７を介して偏向器２へ入力する偏向信号に、同心状の円Ｃと多角形Ａとの距離の差分に相当する信号を重畳させることにより、ガラス原盤３上に同心状の多角形を露光させることが可能となる。
【００２８】
具体的には、本発明の実施の形態に適用されるディスク原盤露光装置を用いた多角形露光装置は、６で示すように、回転機構４の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成して偏向器２に供給する同心円演算処理部と、送り機構５によりスライド移動した同心円の半径Ｒと、生成される多角形の中心Ｏからの長さの差分△に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として偏向器２に供給する多角形演算処理部とを有して構成される。
【００２９】
上述した多角形演算処理部６は、送り機構５からスライド移動した同心円の半径Ｒを求め、生成される多角形の頂点Ｐの数Ｎに応じて、同心円に対して多角形の頂点Ｐと頂点Ｐ間の中点Ｄのなす角度θを求め、同心円の半径Ｒと同心円に対する多角形の中点Ｄの角度の長さとの差分△を求め、差分△に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として偏向手段に供給するように構成される。
【００３０】
また、多角形演算処理部６は、差分△に相当する信号を直線補間するように構成される。
【００３１】
また、多角形演算処理部６は、同心円の半径Ｒと回転機構４のスピンドルエンコ−ダ信号Ｅの分解能に基づいて多角形の頂点Ｐ位置からスピンドルエンコ−ダ信号Ｅの最小分解能に応じた位置の差分△を求め、差分△に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号として偏向器２に供給するように構成される。
【００３２】
なお、同心円演算処理部は、回転機構４の回転クロックパルスをカウントし、回転機構４の１回転毎にこのカウント値をクリアすることにより得られる階段状の鋸波信号を、滑らかに処理した鋸波状のウオブル信号である。
【００３３】
このように構成された本発明の実施の形態に適用されるディスク原盤露光装置を用いた多角形露光装置の動作を以下に説明する。
【００３４】
図７は、多角形露光動作を示すフローチャートである。
図７において、ステップＳ１で、回転機構からスピンドルエンコーダ信号を受け取る。具体的には、多角形演算処理部６は、回転機構４のスピンドルエンコ−ダ信号Ｅを検出する。
【００３５】
ステップＳ２で、送り機構５からスライド半径位置データを受け取る。具体的には、多角形演算処理部６は、送り機構５から同心円の半径Ｒを検出する。
【００３６】
ステップＳ３で、入力部からＮ多角形分割コマンドを受け取る。具体的には、多角形演算処理部６は、図示しない入力部からＮ多角形分割コマンドを検出する。
【００３７】
ステップＳ４で、同心円演算処理を行う際に、多角形演算処理を行う。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円演算処理部により同心円偏向信号を生成する際に、同心状の円Ｃと多角形Ａとの距離の差分に相当する信号を生成する。
【００３８】
ステップＳ５で、同心円演算処理のウオブル信号に多角形演算処理のウオブル信号を重畳させたウオブル信号を生成する。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円演算処理部により回転機構４の回転に応じて同心円を露光させるための同心円偏向信号を生成する際に、送り機構５によりスライド移動した同心円の半径Ｒと、生成される多角形の中心Ｏからの長さの差分△に相当する信号を同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるための多角形露光信号を生成する。
【００３９】
ステップＳ６で、生成されたウオブル信号を偏向ジェネレータに供給する。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円偏向信号に重畳させて多角形を露光させるために生成された多角形露光信号を偏向ジェネレータ７に供給する。
【００４０】
ステップＳ７で、偏向ジェネレータは偏向器にウオブル信号に基づく偏向信号を供給する。具体的には、偏向ジェネレータ７は多角形露光信号に基づいて偏向信号を生成し、偏向器２に生成された偏向信号を供給する。
【００４１】
ステップＳ８で、偏向器は偏向信号に基づいてカッティングビーム源からのビームを偏向させて原盤に同心状の多角形を露光する。具体的には、偏向ジェネレータ７を介して偏向器２へ入力する偏向信号に、同心状の円Ｃと多角形Ａとの距離の差分に相当する信号を重畳させることにより、ガラス原盤３上に同心状の多角形を露光させる。
【００４２】
図８は、同心円演算処理の動作を示すフローチャートである。図８は、上述した図７におけるステップＳ４の同心円演算処理の動作に対応する。
【００４３】
図８において、ステップＳ１１で、カウンタがクロックをカウントする。具体的には、同心円演算処理部６のカウンタが回転機構４の回転クロックパルスをカウントする。
【００４４】
ステップＳ１２で、スピンドル１回転毎にカウンタをクリアする。具体的には、同心円演算処理部６は回転機構４の１回転毎にこのカウント値をクリアする。
【００４５】
ステップＳ１３で、階段状の鋸波信号を生成する。具体的には、同心円演算処理部６は上述したステップにより得られる階段状の鋸波信号を生成する。
【００４６】
ステップＳ１４で、滑らかな階段状の鋸波信号を生成する。具体的には、同心円演算処理部６は、階段状の鋸波信号を滑らかに処理した鋸波状のウオブル信号を生成する。
【００４７】
同心円と多角形との距離の差分を求める方法を２つ例としてあげることとする。
【００４８】
図９は、第１の多角形演算処理の動作を示すフローチャートである。図９は、上述した図７におけるステップＳ４の多角形演算処理の動作に対応する。
【００４９】
図９において、ステップＳ２１で、生成する多角形の頂点の数をＮとする。具体的には、多角形演算処理部６は、図示しない入力部からＮ多角形分割コマンドを検出して、生成される多角形の頂点Ｐの数Ｎを認識する。
【００５０】
ステップＳ２２で、同心円に対して多角形の頂点と中点のなす角度を求める。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円に対して多角形の頂点Ｐと頂点Ｐ間の中点Ｄのなす角度θを求める。生成する多角形の頂点の数をＮとする。図３において、θは以下の数１式であらわすことができる。
【００５１】
【数１】
θ＝３６０／２Ｎ
【００５２】
ステップＳ２３で、同心円の半径と多角形の中点の角度の長さとの差分を求める。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円の半径Ｒと同心円に対する多角形の中点Ｄの角度の長さとの差分△を求める。
差分Δは以下の数２式で求めることができる。
【００５３】
【数２】
Δ＝Ｒ−Ｒｓｉｎθ
【００５４】
ステップＳ２４で、距離の差分に相当するウオブル信号を生成する。具体的には、多角形演算処理部６は、同心円の半径Ｒと同心円に対する多角形の中点Ｄの角度の長さとの差分△に相当する信号を同心円偏向信号として生成する。
【００５５】
この差分に相当する、ウオブル信号の偏向量を重畳させてやれば多角形の頂点と頂点の中心Ｄではこの位置をレーザビームまたは電子ビームを通過させることができる。なお、ウオブル信号の偏向量はあらかじめ、どの程度の信号をいれるとどれくらい偏向されるか確認しておく必要がある。
【００５６】
図１０は、三角波の差分のウオブル信号の生成の動作を示すフローチャートである。図１０は、上述した図７におけるステップＳ５の重畳処理の動作に対応する。
【００５７】
図１０において、ステップＳ３１で、差分のウオブル信号の最大値または最小値を求める。具体的には、多角形演算処理部６は、生成される最小値となる多角形の頂点Ｐと最大値となる多角形の中点Ｄにおける差分を求める。
【００５８】
ステップＳ３２で、多角形の頂点と頂点間の中点との間を直線補間した三角波の差分のウオブル信号を生成する。具体的には、多角形演算処理部６は、図３に示す多角形の頂点Ｐと頂点Ｐ間の中点Ｄとの間を直線補間して、図４Ｂに示す三角波の差分のウオブル信号を生成する。
【００５９】
ステップＳ３３で、三角波の差分のウオブル信号を重畳信号とする。具体的には、多角形演算処理部６は、図４Ｂに示す三角波の差分のウオブル信号を図４Ａに示す同心円のウオブル信号に重畳させる。
【００６０】
この差分を重畳させる信号の最大値または最小値として、多角形の頂点からＤまでの間を直線補完した三角波を重畳信号とすれば、同心状の多角形を露光することが可能となる。
【００６１】
図１１は、第２の多角形演算処理の動作を示すフローチャートである。図１１は、上述した図７におけるステップＳ４の多角形演算処理の動作に対応する。
【００６２】
図１１において、ステップＳ４１で、スピンドルエンコ−ダ信号を取り出す。具体的には、多角形演算処理部６は、回転機構４のスピンドルエンコ−ダ信号Ｅを検出する。なお、同心円の半径Ｒはすでに検出しているものとする。
【００６３】
上述した図９の方法で多角形を生成すると、中点Ｄと頂点の間は正確には直線とはならない。そこで、この部分を更に正確に直線に近い形で露光させるには回転機構４に内蔵されているエンコーダ信号Ｅを利用する。
【００６４】
ステップＳ４２で、エンコ−ダの分解能から多角形の頂点位置からエンコ−ダ１パルス分回転した位置の角度を求める。具体的には、多角形演算処理部６は、図５に示すように、同心円の半径Ｒと回転機構４のスピンドルエンコ−ダ信号Ｅの分解能に基づいて多角形の頂点Ｆ位置からスピンドルエンコ−ダ信号Ｅの最小分解能エンコ−ダ１パルス分回転した位置Ｇの角度θ２を求める。
【００６５】
ここで、エンコーダの分解能をｎとすると、ある多角形の頂点位置Ｆよりエンコーダ１パルス分回転した位置Ｇの角度θ２は以下の数３式であらわすことができる。
【００６６】
【数３】
θ２  ＝  ３６０／ｎ
【００６７】
ステップＳ４３で、同心円の半径とエンコ−ダ１パルス分回転した位置の差分を求める。具体的には、多角形演算処理部６は、図５に示すように、同心円の半径Ｒとエンコ−ダ１パルス分回転した位置Ｇの差分△を求める。
この位置Ｇでの差分Δは以下の数４式で求められる。
【００６８】
【数４】
Δ＝Ｒ−ＥＧ
数４式の多角形の辺の長さＥＧは以下の数５式で求められる。
【００６９】
【数５】
ＥＧ  ＝  Ｒｃｏｓθ２−Ｒｓｉｎθ２／ｔａｎ（θ２＋９０―θ１／２）
【００７０】
ステップＳ４４で、距離の差分に相当するウオブル信号を生成する。具体的には、多角形演算処理部６は、図５に示すように、同心円の半径Ｒとエンコ−ダ１パルス分回転した位置Ｇの差分△に相当する信号を同心円偏向信号として生成する。
【００７１】
これにより、エンコーダ１パルス分回転する毎にこの分だけの差分△をウォブリング信号に重畳させることによって多角形を露光することができる。
【００７２】
本発明の実施の形態の方式を用いて露光された多角形は、光ディスク分野以外の分野への応用が可能である。
【００７３】
例えば、半導体や液晶分野への応用展開が可能である。また、半導体用露光装置には電子ビーム直接描画装置というものがあるが、これは２つの直交するＸ−Ｙ軸の送り機構を動かし、直線を描画するのが一般的な方式であり、このやり方はスループットが低く露光終了までにかなりの長時間を要する。
【００７４】
したがって、本発明の実施の形態を用いて多角形を露光する方式は、今後のリソグラフィ分野での最小露光スポットサイズの更なる微小化を実現することができる。
【００７５】
ディスク用の電子ビーム原盤露光装置を用いると、回転機構４が高速で回転するため、線速度が電子ビーム直接描画装置よりも大きくなり、スループットの改善に大きく貢献することができる。
【００７６】
また、液晶の分野で使用されているフロントライト型導光板のようなＶ溝が一方向に並行して並んでいるようなものを製造するのに応用可能である。
【００７７】
図６で示す他の用途のように、ガラス原盤の一部を拡大して観察してみると直線が一列にならんだ形になる。本発明の実施の形態による多角形を露光する方式を用いてこのような多角形を形成し、この部分を取り出して作成できるデバイスの製作に有効である。
【００７８】
これにより、ガラス原盤上の微小領域を取り出すと、直線が並んだ形状となり、ディスク以外の半導体リソグラフィなどの分野でも利用可能な露光装置を実現することができる。
【００７９】
他の用途において本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置を用いて、同心状の多角形を露光する目的は、スパイラルを描くことを主目的としている光ディスク用の原盤露光装置を他の用途に利用するためである。主に半導体系の装置の代替として直線的な形状を描けるようにこの方法を適用する。
【００８０】
上述した本発明の実施の形態は、同心円から発展させた同心状の多角形の描画方法について詳細に説明したが、上述した本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置に対して、直線送り機構を半径Ｒ方向に１軸追加した装置により、任意の直線を描くことができる。
【００８１】
原盤露光装置で直線を描画する理由として、半導体業界が更なる微細加工へ進んでいる中で、０．１ミクロン以下の描画用として電子ビーム露光装置が有望視されているが、半導体描画装置としての電子ビーム露光装置は、現在は電子ビーム直接描画装置というのがマスク描画用として知られている。
【００８２】
しかし、電子ビームによる直接描画はスループットが低く、一枚のウエハーを描画するのにかなりの時間を要する。この電子ビーム直接描画装置の代わりに、上述した本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置を利用した光ディスク用の電子ビーム露光装置を使用することによりスループットの向上が見込まれる。
【００８３】
具体的な用途として、以下のものがある。
フロントライト導光板は、一枚の長方形に直線がならんでいる形状であるため、上述した本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置を直線方向に適用することができる。
【００８４】
また、超微細マイクロレンズは、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ）等の上にかぶさっている微小なレンズ群であるため、上述した本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置を微小形状に適用することができる。つまり、微細なレンズが等間隔に直線的に平面に並んでいるので、上述した本発明の実施の形態の多角形の直線部分をパルス変調に変更すれば描画することができる。
【００８５】
また、ＬＳＩ（ｌａｒｇｅ  ｓｃａｌｅ  ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）は、上述した本発明の実施の形態による同心状の多角形露光方法とその装置に対して、直線送り機構を半径Ｒ方向に１軸追加した装置により、任意のパターンを描画可能である。
【００８６】
なお、上述した本発明の実施の形態に限らず、本発明の特許請求の範囲を逸脱しない限り、適宜他の構成をとりうることができることは言うまでもない。
【００８７】
【発明の効果】
この発明の露光方法及び露光装置は、レーザ光を用いたディスク原盤露光装置だけでなく、電子ビームを用いた原盤露光装置も対象とし、ディスク用原盤露光装置を用いて、回転機構が高速回転し、停止することなく直線を露光することにより、多角形を露光することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に適用される多角形露光装置の構成を示すブロック図である。
【図２】同心円に対して多角形を露光する様子を示す図である。
【図３】同心円と多角形との距離の差分を求めるイ部分拡大部図である。
【図４】ロ部分のウオブル信号に重畳する差分信号を示す図であり、図４Ａは同心円のウオブル信号、図４Ｂは差分信号である。
【図５】同心円の半径とエンコーダ１パルス分回転した位置の差分を求める図である。
【図６】他の用途を示す図である。
【図７】多角形露光動作を示すフローチャートである。
【図８】同心円演算処理の動作を示すフローチャートである。
【図９】第１の多角形演算処理の動作を示すフローチャートである。
【図１０】三角波の差分のウオブル信号の生成の動作を示すフローチャートである。
【図１１】第２の多角形演算処理の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１……カッティングビーム源、２……偏向器、３……原盤、４……回転機構、５……送り機構、６……同心円演算処理部および多角形演算処理部、７……偏向ジェネレータ、Ａ……多角形、Ｂ……らせん、Ｃ……同心円、Ｒ……同心円の半径、Ｏ……多角形の中心、△……差分、Ｐ……多角形の頂点、Ｄ……頂点の中点、Ｎ……多角形の頂点の数、θ……頂点Ｐと中点Ｄのなす角度、Ｅ……スピンドルエンコ−ダ信号、Ｆ……多角形の頂点、Ｇ……エンコ−ダ１パルス分回転した位置、ｎ……エンコーダの分解能、θ２……頂点位置Ｆよりエンコーダ１パルス分回転した位置Ｇの角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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