(57)【要約】【課題】リールを回転軸に装着する際に摺動部分で剥落した磨耗片が異物となる虞があった。【解決手段】リール２０を装着する回転軸１６とリール２０を押えるリール押え１９のそれぞれ対向する部分に第１、第２の磁石１８、２１を配置する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状部材を巻回するリールを軸支し、軸方向中間の所定位置に第１の磁石を配置した回転軸と、内周面に第２の磁石を配置し、第１の磁石との間の磁力により回転軸に軸支されたリールを内方に押圧するリール押えとを具えたことを特徴とするテープ状部材の搬送装置。
【請求項２】
リールを押圧するリール押えの第２の磁石を、回転軸に配置された第１の磁石位置近傍に位置させたことを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【請求項３】
第１の磁石を、複数の異なる巾のテープに対応して、回転軸の軸方向に分散配置したことを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【請求項４】
第１、第２の磁石の少なくとも一方が、環状磁性体であることを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【請求項５】
第１、第２の磁石の間の磁気反発力によりリール押えがリールを押圧することを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はリールに巻回したテープ状部材を繰り出し、空リールに巻き取るテープ状部材の搬送装置に関し、特に回転軸に軸支したリールを保持する機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
長尺のテープ状部材は一般的にリールに巻回され、利用時あるいは作業時にリールから繰り出され、所定の作業が完了したテープ状部材は空リールに巻き取られて保管され、移動される。テープ状部材の一例として半導体装置の製造に用いられるＴＡＢテープがある。このＴＡＢテープは一定間隔で開口部を設けた長尺の絶縁テープに導電箔を積層し、この導電箔を所定パターンにエッチングして、開口部内に延在するインナリードを形成したもので、インナリードと半導体ペレットを電気的に接続するボンディング工程、電気的接続部を樹脂にて封止する樹脂封止工程、半導体装置としての電気的特性を検査する検査工程、ＴＡＢテープを所定パターンに切断して個々の半導体装置に分離する切断工程などを経てＴＡＢ式半導体装置は製造される。各工程では、図２に示すように一対の回転軸１、２にリール３、４を軸支し、一方のリール３から繰り出したＴＡＢテープ５を作業ポジション６に沿って移動させ、作業が完了したＴＡＢテープ５を他のリール４に巻き取って、保管され、次工程に移動する。図示例では、吸着コレット７によって半導体ペレット８をインナリード（図示せず）に電気的接続するボンディング工程を示す。回転軸に軸支されたリール３、４はリール押え９、１０によって保持されている。
【０００３】
このリール３を回転軸に保持する機構を図３に示す。図において、１は回転軸で、一端は回転駆動源に接続され、軸方向中間にフランジ１ａが形成され、フランジ１ａ外方の周面に穴１ｂを穿設し、この穴１ｂ内にキー１１を配置している。リール３はキー穴３ａにキー１１が挿入され、回転軸１に対するリール３の相対位置ずれを防止してフランジ１ａに押し当てられる。９はリール押えで、図示例では、ゴムなどの弾性を有する部材からなり、回転軸１の径よりやや径小の穴９ａを有し、一端にフランジ９ｂを形成している。このリール押え９はリール３をフランジ９ｂで押え、穴９ａと回転軸１の摩擦によりリール３を保持している。
【０００４】
この種リール押え９は回転軸１への着脱が容易であるが、繰返し使用すると磨耗し、穴９ａの径が拡大し保持力が低下するため、交換する必要があった。またリール３はテープ状部材の巾に応じて用意されるが、ＴＡＢテープの場合、一般的に３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍのテープが用いられ、各巾に応じてリールが用意されている。これに対して一つのリール押え９で巾の異なるリールを保持しようとすると、巾狭のリールでは回転軸１の内方までリール押え９を挿入する必要があり、磨耗が顕著であった。さらには、電極数が数百の多電極ＴＡＢテープの場合、インナリードの巾、間隔が微細となるが、磨耗したリール押え９の磨耗片が剥落してＴＡＢテープに付着すると異物となり、半導体ペレットとインナリードの電気的接続を損なう虞があり、半導体装置の信頼性を低下させる虞があった。
【０００５】
リール３を回転軸に保持する機構として特開昭６３−１８９３５１号公報（先行技術）には図４に示す構造が開示されている。図において、１２は回転軸で、第１、第２の回転軸１２ａ、１２ｂを同心配置し、磁気的に結合し、結合部１２ｃにフランジを形成している。第１の回転軸は一端が回転駆動源に接続されている。第２の回転軸１２ｂの結合部（フランジ）１２ｃ近傍には穴１２ｄが形成されている。１３は穴１２ｄの底部に配置された板ばね、１４ａ、１４ｂは穴１２ｄ内の板ばね１３上に配置された長さの異なるキーで、回転軸１２ｂの周面から弾性的に突出し、回転軸１２ｂから脱落しないようにピン１５によって係止されている。回転軸１２に挿入されたリール３はフランジ１２ｃによって軸方向の位置決めがされ、キー１４によって回転軸１２に対する相対位置が決定される。この機構はリール３を回転軸１２に挿入するだけでキー１４によってリール３が位置決めできるためリール３の着脱が容易である。また長さの異なるキー１４ａ、１４ｂにより、巾の異なるリール３ｂ、３ｃに対応することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
一方、先行技術の構造ではリール３を回転軸１２に装着する際に、キー１４とリール３のキー穴３ａが摺動するため、磨耗片が剥落して異物を発生する虞があり、図３に示す機構と同様に半導体装置の信頼性を低下させる虞があった。またリール３やキー１４を金属で構成すると、導電性の異物を発生し、半導体装置内部を短絡させたり、耐電圧を低下させる虞もあった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題の解決を目的として提案されたもので、テープ状部材を巻回するリールを軸支し、軸方向中間の所定位置に第１の磁石を配置した回転軸と、内周面に第２の磁石を配置し、第１の磁石との間の磁力により回転軸に軸支されたリールを内方に押圧するリール押えとを具えたことを特徴とするテープ状部材の搬送装置を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明によるテープ状部材の搬送装置は、リールを軸支する回転軸に第１の磁石を、回転軸１６に軸支されてリール２０を押圧するリール押え１９に第２の磁石２１を配置したことを特徴とするが、リールを押圧するリール押えの第２の磁石を、回転軸に配置された第１の磁石位置近傍に位置させることにより、第１、第２の磁石間の磁気による力を最大にすることができる。また第１の磁石を回転軸の軸方向に分散配置することにより、複数の異なる巾のテープに対応させることができる。第１、第２の磁石の少なくとも一方を環状磁性体とすることにより、リール押えの回転軸への挿入方向の制限をなくすことができる。さらには、第１、第２の磁石の間の磁気反発力によりリール押えがリールを押圧することにより、リール押えを外す方向の外力が作用しても、確実にリールを位置決めできる。
【０００９】
【実施例】
以下に本発明の実施例を図１から説明する。図において、１６は回転軸で、一端が回転駆動源（図示せず）に接続され、軸方向中間部にフランジ１６ａを形成し、フランジ１６ａの外方の周面に溝１６ｂを穿設している。１７は溝１６ｂ内に配置されたキーで、回転軸１６に対して固定されている。１８ａ、１８ｂ、１８ｃは第１の磁石で、回転軸１６の溝１６ｂと先端との間の所定位置に配置されている。１９は筒状のリール押えで、回転軸１６に装着されたリール２０をフランジ１６ａに押圧する。このリール押え１９の内周には第２の磁石２１が配置されている。この第２の磁石２１の回転軸１６上の位置は、リール２０のフランジ１６ａへの当接位置で決定され、この位置によって第１の磁石１８ａ、１８ｂ、１８ｃの位置が決定される。即ち、３５ｍｍ巾のＴＡＢテープに対応するリール２０ａに対して決定される第２の磁石２１位置に第１の磁石１８ａが配置され、４８ｍｍ巾のＴＡＢテープに対する図示点線で示すリール２０ｂ位置に対して第１の磁石１８ｂが、７０ｍｍ巾のＴＡＢテープに対する図示点線で示すリール２０ｃ位置に対して第１の磁石１８ｃがそれぞれは位置される。
【００１０】
第１の各磁石１８ａ、１８ｂ、１８ｃは環状磁石で、環状スペーサ２２ａ、２２ｂによって間隔が決定され、各環状体１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、２２ａ、２２ｂは回転軸１６と同軸配置されたねじ軸２３に同心配置されたねじ軸２３と螺合するキャップ２４によって一体化されている。第１の磁石１８の外周面はスペーサ２２の外周面よりやや内方にあり、リール押え１９の挿入を容易にしている。第１の磁石１８として例えば環状ネオジム磁石を、第２の磁石２１として円筒状ネオシムブラスチック磁石を用いることができるが、棒状磁石を回転軸１６の外周方向、又はリール押え１９の内周方向に配置することもでき、少なくとも一方の磁石として環状磁石を用いれば良い。また、第１、第２の磁石１８、２１は近接したとき、互いに反発し、この反発力によりリール押え１９をフランジ１６ａ側に移動させる。
【００１１】
本発明によるテープ状部材の搬送装置は、上記構成により、リール２０が第１、第２の磁石１８、２１の反発力でフランジ１６ａに押圧されるため、回転軸１６とリール押え１９の間、リール２０とキー１７の間で摺動せず、異物を発生しない。また、リール押え１９に外方への力が作用し、リール押え１９が外方に位置ずれし、リール２０から離れようとすると、第１、第２の磁石１８、２１間の磁気反発力が増大し、リール２０をフランジ１６ａに押しつける力が増大するため、リール２０を確実に保持することができる。またリール押え１９は摺動部がないため磨耗せず、繰返し使用することができる。
【００１２】
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されることなく、例えば、ＴＡＢテープだけでなく、テープ状部材一般に適用できる。
【００１３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、テープ状部材が巻回されるリールを回転軸に確実に保持でき、磨耗せず、異物を発生しないテープ状部材の搬送装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す要部断面側面図
【図２】ＴＡＢ式半導体装置の製造工程を示す正面図
【図３】テープ状部材の搬送装置の一例を示す要部断面側面図
【図４】テープ状部材の搬送装置の他の例を示す要部断面側面図
【符号の説明】
１６　回転軸
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ　第１の磁石
１９　リール押え
２０　リール
２１　第２の磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004026422.tif 000006