(57)【要約】【課題】本発明の目的は、Ｙ軸に平行に基部から突出した少なくとも２つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造において、良好な特性を得ることが出来る圧電振動式慣性センサー素子の支持構造を提供すること。【解決手段】目的を達成するため本発明はＹ軸に平行に基部から突出した少なくとも２つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造において、この圧電振動式慣性センサー素子の基部で、かつ圧電振動式慣性センサー素子のＺ軸方向の側面とＹ軸方向の底面において前述の圧電振動式慣性センサー素子が略コの字形の支持台に嵌合した状態で支持されていることを特徴とし、同時にこの支持台が誘電体を含む絶縁体から成ることで課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｙ軸に平行に基部から突出した少なくとも２つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造において、
該圧電振動式慣性センサー素子の基部で、かつ該圧電振動式慣性センサー素子のＺ軸方向の側面とＹ軸方向に平行な底面において該圧電振動式慣性センサー素子が略コの字形の支持台に嵌合した状態で支持されていることを特徴とする圧電振動式慣性センサー素子の支持構造。
【請求項２】
請求項１に記載の略コの字形の該圧電振動式慣性センサー素子の該支持台が誘電体を含む絶縁体から成ることを特徴とする圧電振動式慣性センサー素子の支持構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェットエッチング法により加工された音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の保持の方法は、特許文献１  （公開特許公報  昭４９−１０６９１）の第１図−ａに図示されているように、図５の斜視図の様にセラミックなどから成る板状の支持台の上に圧電振動式慣性センサー素子を片持ちの状態で、圧電振動式慣性センサー素子の片面の主面を先の板状の支持台上に接着剤を介して固定する方法をとっていた。
【０００３】
しかしながら、先の方法では圧電振動式慣性センサー素子における基部の片面の主面を先の板状の支持台上に接着剤を介して固定している為に、音叉型振動子におけるそれぞれの脚部の振動が抑制されるといった影響を受けるという問題があった。
【０００４】
また、圧電振動式慣性センサー素子において大きな面積を占める基部の主面を接着剤で板状の支持台の上に固定するといった方法では、水晶から成る圧電振動式慣性センサー素子の基部の温度特性による歪みの影響が直接脚部の振動部に伝播してしまうといった問題があった。
【０００５】
また、特許文献２（特開平１１−３２５９１１）に記載のある、圧電振動式慣性センサー素子の静止状態における圧電振動式慣性センサー素子の基部の温度変化による歪みが脚部の振動部に伝播して脚部の振動方向のずれ、すなわち振動の漏れが発生し、その結果圧電振動式慣性センサー素子から検出される回転角速度に誤差が生じてしまうといった問題があった。
【特許文献１】
特開昭  ８−１０６９１  号公報
【特許文献２】
特開平１１−３２５９１１号公報
【０００６】
圧電振動式慣性センサー素子におけるふたつの脚部の間隔は一例をあげれば図６の概略の側面図に示す様に約０．５ｍｍと非常に狭いものであり、その為、前記の板状の支持台上に接着剤を用いて先の図６での概略の側面図のように、圧電振動式慣性センサー素子の回転軸が正確に鉛直線方向と平行と成るように固定させるといった作業は極めて微細な作業であり、同時に非常に多くの工数を費やすという問題があった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、Ｙ軸に平行に基部から突出した少なくとも２つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造において、該圧電振動式慣性センサー素子の基部で、かつ該圧電振動式慣性センサー素子のＺ軸方向の側面とＹ軸方向に平行な底面において該圧電振動式慣性センサー素子が略コの字形の支持台に嵌合した状態で支持されていることを特徴とする圧電振動式慣性センサー素子の支持構造を提供することである。
【０００８】
また、同時に先述の略コの字形の該圧電振動式慣性センサー素子の支持台が誘電体を含む絶縁体から成ることを特徴とする圧電振動式慣性センサー素子の支持構造を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、Ｙ軸に平行に基部から突出した少なくとも２つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子の支持構造において、この圧電振動式慣性センサー素子の基部で、かつ圧電振動式慣性センサー素子のＺ軸方向の側面とＹ軸方向に平行な底面において前述の圧電振動式慣性センサー素子が略コの字形の支持台に嵌合した状態で支持されていることを特徴とする。
【００１０】
また、同時に前述の略コの字形の該圧電振動式慣性センサー素子の支持台が誘電体を含む絶縁体から成ることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら、本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１２】
図１は本発明の略コの字形の圧電振動式慣性センサー素子３の支持台７を、Ｚ軸（圧電振動式慣性センサー素子３の厚み）方向からみた概略の側面図である。本発明の支持台７は略コの字形をしているために、圧電振動式慣性センサー素子３の主面４は支持台７に接することがない。圧電振動式慣性センサー素子３は接着剤８を介して略コの字形の支持台７に嵌め込まれるように支持され、従って主面４を除き圧電振動式慣性センサー素子３の側面５と底面６だけが接着剤８を介して略コの字形の支持台７内側の面と対面する。
【００１３】
圧電振動式慣性センサー素子３は略コの字形の支持台７に図２に示す様に嵌め込むように支持されているために従来の板状の支持台上に圧電振動式慣性センサー素子３を片持ちの状態で接着剤を介して支持した図６の概略の側面図にあるように、回転軸方向に対して圧電振動式慣性センサー素子３が角度を持ち図６にあるような矢印の方向に斜めに搭載されてしまうことがない。
【００１４】
なお、本発明の支持台７は略コの字形であり、略コの字形の支持台７は圧電振動式慣性センサー素子３の側面５方向や底面６方向の形状が、例えば従来の板状の支持台９の例を示す図３や図４にあるような段差を持った形状をしている場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００１５】
なお、実施例では２脚の音叉振動子を用いた例を示したが、２脚に限らず３脚や４脚の場合や、脚が平行ではない場合であっても同様の効果を奏する。
【００１６】
【発明の効果】
本発明により、水晶から成る圧電振動式慣性センサー素子の基部の温度特性による歪みの影響が脚部の振動部に伝播することが無くなる。
【００１７】
また、本発明により圧電振動式慣性センサー素子の特性を改善して、製造歩留まりを著しく高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、Ｚ軸方向からみた概略の側面図である。
【図２】本発明の略コの字形の圧電振動式慣性センサー素子の支持台に、圧電振動式慣性センサー素子が嵌め込まれる模様を示した概略の斜視図である。
【図３】従来の圧電振動式慣性センサー素子の支持台に圧電振動式慣性センサー素子が嵌め込まれる模様を示した概略の斜視図である。
【図４】従来の圧電振動式慣性センサー素子の支持台に圧電振動式慣性センサー素子が保持される模様を示した概略の斜視図である。
【図５】従来の板状の圧電振動式慣性センサー素子の支持台に圧電振動式慣性センサー素子を片持ちで接着剤を介して保持される模様を示した概略の斜視図である。
【図６】従来の板状の圧電振動式慣性センサー素子の支持台に圧電振動式慣性センサー素子を片持ちで接着剤を介して保持される模様を示すＺ軸（圧電振動式慣性センサー素子の厚み）方向からみた概略の側面図である。
【符号の説明】
１  基部
２  脚部
３  圧電振動式慣性センサー素子
４  主面
５  側面
６  底面
７  略コの字形の支持台
８  接着剤
９  板状の支持台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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