(57)【要約】【課題】プリント基板を確実に固定することができ、かつプリント基板のセットも容易な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１０は、台座１１と、台座１１上の前方寄りに設けられ、インターフェース回路基板１３を含むステージと１２と、ステージ１２の上方に設けられるプローブ装置１４と、プローブ装置１４が固定される支持板１５と、支持板１５に固定された２つの押圧部材１６と、プローブ装置を昇降させる昇降機構１７を備えている。プリント基板はインターフェースコネクタ１３ｂに対して斜め上方から差し込まれる。押圧部材１６はプリント基板を検査する際にプローブ装置１４とともに降下し、プリント基板は押圧部材１６によって水平状態にまで押圧されてその挿入状態がロックされる。【選択図】  図１
2004271237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物が搭載されるステージと、
前記検査対象物と接続される接続装置と、
前記接続装置を昇降させる昇降機構と、
前記接続装置とともに備えられ前記検査対象物を押圧する押圧部材を備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記押圧部材は、弾性的に伸縮可能な部材であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記検査対象物はプリント基板であり、
前記接続装置は前記プリント基板と接続可能なプローブ装置であることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記ステージは、インターフェース回路基板を含み、
前記インターフェース回路基板上に設けられた前記プリント基板が接続されるコネクタをさらに備え、
前記コネクタは、前記プリント基板を前記インターフェース回路基板の基板面に対して斜め上方から挿入させる機構を備え、
前記押圧部材は、前記プローブ装置とともに降下するとき、前記コネクタに対して斜めに挿入された前記プリント基板が略水平になるように押圧することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記インターフェース回路基板は、さらに位置決め部材を有することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記押圧部材は、前記コネクタに対して斜めに挿入された前記プリント基板が略水平になるまで押圧しているときにかかる荷重以上の圧接力が加わったときに圧縮することを特徴とする請求項４または５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記プローブ装置は、
コンタクトピンを備えるプローブ本体と、
前記プローブ本体をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持する保持手段と、
前記スライドしたプローブ本体を定常位置に復帰させる復帰手段を備えることを特徴とする請求項３ないし６のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は検査装置に関し、より詳細には、検査対象物であるプリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、プリント基板を確実に固定することができ、かつプリント基板のセットも容易な検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品が実装されたプリント基板の検査工程や当該プリント基板へのデータの書き込み工程では、プリント基板上に実装されたプローブコネクタにプローブを当てて、そこからデータを測定し、もしくはデータを書き込むことが行われている。このとき問題となるのは、プローブとプローブコネクタとの位置合わせである。すなわち、プリント基板をステージ上に搭載した際の位置ずれやプリント基板上のプローブコネクタの実装のばらつきなどによりコネクタが本来の位置に存在していなくても、プローブを確実に接続させる仕組みが必要とされる。
【０００３】
従来、プローブとプローブコネクタの位置合わせを確実に行う方法として、コネクタの位置を光学顕微鏡やビデオカメラで撮像しながらプローブを移動させてプローブと非測定体との位置合わせを行う方法が知られている（特許文献１および２参照）。この方法によれば、正確かつ確実に、しかも自動的に位置合わせを行うことができる。
【０００４】
しかしながら、この方法では、プローブの制御システムが複雑かつ大型化し、装置自体のコストもかかってしまうという問題がある。特に、プローブを積極的に移動させるシステムには適しているが、プローブとプローブコネクタとのわずかな位置ずれを補正するための方法としては適していない。そこで、簡単な構成で位置合わせを行うことができる検査装置もある。
【０００５】
図１６は、そのような従来の検査装置の構成を示す略斜視図である。
【０００６】
図１６に示されるように、この検査装置は、この検査装置６０は、台座６１と、台座上の前方寄りに設けられるステージ６２と、ステージ６２上に設けられるインターフェース回路基板６３と、ステージ６２の上方に設けられるプローブ装置６４と、プローブ装置６４が固定される支持板６５と、プローブ装置６４を昇降させる昇降機構６７を備えている。
【０００７】
ステージ６２上のインターフェース回路基板６３には、検査対象のプリント基板６６が接続される第１のインターフェースコネクタ６３ｂと、ステージ上からはみ出した基板上に実装されるインターフェース回路６３ｃと、測定用信号の供給および測定結果の処理を行うコンピュータと接続するためインターフェース回路基板６３の一方の先端部に設けられる第２のインターフェースコネクタ６３ｄを備えている。
【０００８】
プローブ装置６４は、検査対象であるプリント基板６６上のプローブコネクタ６６ａに接続されるプローブ本体６４ａと、プローブ本体６４ａをその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持するプローブホルダ６４ｂを備えている。プローブ本体６４ａの先端部からはコンタクトピンが露出しており、プローブ本体６４ａの後端部には同軸ケーブル６８の一端が接続される。同軸ケーブル６８の他端はインターフェース回路を介してコンピュータに接続され、測定用信号の供給や測定結果の処理が行われる。
【０００９】
図１７は、プリント基板６６および第１のインターフェースコネクタ６３ｂの構成を示す略斜視図である。
【００１０】
図１７に示されるように、第１のインターフェースコネクタ６３ｂに接続されるプリント基板６６は、その先端部に配列された複数の端子７１と、誤接続防止のための切り欠き７２と、その両側端部に設けられたプリント基板６６のスロットからの抜けを防止するためのロック用切り欠き７３を備えている。
【００１１】
一方、第１のインターフェースコネクタ６３ｂは、絶縁性材料からなるコネクタ本体７５と、プリント基板６６の端子７１に対応してコネクタ本体７５のスロットに配列された端子７６と、誤接続防止用切り欠き７２に対応して設けられた誤接続防止用突起部７７と、コネクタ本体７５の両側部に設けられる板バネ部材７８と、ロック用切り欠き７３に対応して板バネ部材７８の裏側の面に設けられたロック用突起部７９を備えている。
【００１２】
プリント基板６６は、第１のインターフェースコネクタ６３ｂのスロットに対して斜め上方から差し込まれて仮接続状態となり、その後、斜めの状態にあるプリント基板６６を下方に押し下げると、プリント基板６６は水平状態となる。このとき、ロック用突起部７９とロック用切り欠き７３が嵌まり合うので、プリント基板６６の挿入状態はロックされ、プリント基板６６と第１のインターフェースコネクタ６３ｂの電気的な接続状態も確実となる。プリント基板６６を第１のインターフェースコネクタ６３ｂから抜き出すには、２つの板バネ部材７８、７８をそれぞれ外側に曲げて嵌合を解除した後、プリント基板６６を上方に持ち上げることで再び仮接続状態となる。したがって、この状態でプリント基板６６を第１のインターフェースコネクタ６３ｂから容易に抜き出すことができる。
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−２９６１４８号公報
【特許文献２】特開平０８−３３０３７１号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の装置では、検査対象物であるプリント基板をインターフェース回路基板上でロックしたり解除したりする作業が非常に面倒であった。一方、ロック機構を設けずにプリント基板がコネクタに単に差し込まれているだけでは確実な接続状態にあるとはいえず、プローブ装置と接続される際にプリント基板の位置がずれて互いに接続不可能な位置関係になったり、プリント基板がコネクタから外れたりするという問題がある。
【００１５】
したがって、本発明の目的は、プリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、プリント基板を確実に固定することができ、かつプリント基板の挿抜作業も容易な検査装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の前記目的は、検査対象物が搭載されるステージと、前記検査対象物と接続される接続装置と、前記接続装置を昇降させる昇降機構と、前記接続装置とともに備えられ前記検査対象物を押圧する押圧部材を備えていることを特徴とする検査装置によって達成される。
【００１７】
本発明によれば、接続装置を降下させて検査対象物に接続装置を接続する際、検査対象物を確実に固定することができる。
【００１８】
本発明の好ましい実施形態において、前記押圧部材は、弾性的に伸縮可能な部材である。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態によれば、検査対象物をより確実に固定することができる。
【００２０】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記検査対象物はプリント基板であり、前記接続装置は前記プリント基板と接続可能なプローブ装置である。
【００２１】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、プリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、プリント基板を確実に固定することができる。
【００２２】
本発明のさらに好ましい実施形態においては、前記ステージは、インターフェース回路基板を含み、前記インターフェース回路基板上に設けられた前記プリント基板が接続されるコネクタをさらに備え、前記コネクタは、前記プリント基板を前記インターフェース回路基板の基板面に対して斜め上方から挿入させる機構を備え、前記押圧部材は、前記プローブ装置とともに降下するとき、前記コネクタに対して斜めに挿入された前記プリント基板が略水平になるように押圧する。
【００２３】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、プリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、プリント基板を確実に固定することができ、かつプリント基板のセットも容易となる。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記インターフェース回路基板は、さらに位置決め部材を有する。
【００２５】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、プリント基板とインターフェース回路基板上のコネクタとを確実に接続することができる。
【００２６】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記押圧部材は、前記コネクタに対して斜めに挿入された前記プリント基板が略水平になるまで押圧しているときにかかる荷重以上の圧接力が加わったときに圧縮する。
【００２７】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、プリント基板を水平状態にしている間はプローブ装置とプリント基板が接続されることがないので、プリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、誤接続を防止することができる。
【００２８】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記プローブ装置は、コンタクトピンを備えるプローブ本体と、前記プローブ本体をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持する保持手段と、前記スライドしたプローブ本体を定常位置に復帰させる復帰手段を備える。
【００２９】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、前記プローブ本体とプローブコネクタの中心軸がずれている場合でも、プローブ装置はその定常位置を中心とした一定範囲内でプローブコネクタとの位置ずれを吸収することができ、スライドして中心軸からずれたプローブ本体をもとの位置に復帰させることができる。また特に、このときプリント基板にかかる外力によってその位置がずれて互いに接続不可能な位置関係になったり、プリント基板がコネクタから外れたりするということも防止することができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【００３２】
図１に示されるように、この検査装置１０は、台座１１と、台座１１上の前方寄りに設けられ、インターフェース回路基板１３を含むステージ１２と、ステージ１２の上方に設けられるプローブ装置１４と、プローブ装置１４が固定される支持板１５と、支持板１５に固定された２つの押圧部材１６と、プローブ装置を昇降させる昇降機構１７を備えている。
【００３３】
ステージ１２は、図示されていないが、ねじ止め機構やクリップ機構といったインターフェース回路基板１３を着脱可能に固定する機構を備えている。したがって、検査対象物に合わせて種々のインターフェース回路基板をステージ上に設けることができる。
【００３４】
インターフェース回路基板１３は、ステージ上に搭載される基板部分に形成された開口領域１３ａと、検査対象のプリント基板が接続される第１のインターフェースコネクタ１３ｂと、ステージ１２上からはみ出した基板部分に実装されるインターフェース回路１３ｃと、測定用信号の供給および測定結果の処理を行うコンピュータと接続するためインターフェース回路基板１３の一方の先端部に設けられる第２のインターフェースコネクタ１３ｄを備えている。
【００３５】
プローブ装置１４は、図示されていないプリント基板上のプローブコネクタに接続されるプローブ本体１４ａと、プローブ本体１４ａをその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持するプローブホルダ１４ｂを備えている。プローブ本体１４ａは、その両端部がプローブホルダ１４ｂの上下面から突出した状態で保持される。プローブ本体１４ａの先端部からはコンタクトピンが露出しており、プローブ本体１４ａの後端部には同軸ケーブル１８の一端が接続される。図示されていないが、同軸ケーブル１８の他端はインターフェース回路を介してコンピュータに接続され、測定用信号の供給や測定結果の処理が行われる。
【００３６】
支持板１５は、プローブ装置１４とともに押圧部材１６を昇降させる部材である。支持板１５は、プローブ本体１４ａを保持するプローブホルダ１４ｂの蓋としての機能を兼ねていてもよい。
【００３７】
押圧部材１６は、詳細は後述するが、第１のインターフェースコネクタ１３ｂに斜め上方から差し込まれたプリント基板が水平状態となるようにこれを押圧し、さらに、水平状態のプリント基板を押さえ続け、プローブ本体１４ａをプローブコネクタに接続する際にプリント基板が動かないようにする役割を果たす。
【００３８】
昇降機構１７は、駆動レバー１７ａの上下動により連結パイプ１７ｂを昇降させる手動式のものである。台座１１上の後方寄りには、昇降機構１７を支持する略Ｌ字形の支持台１９が立設されており、プローブ装置１４がプリント基板の上方に配置されるように、昇降機構１７は支持台１９によってステージよりも十分高い位置に設置されている。連結パイプ１７ｂの端部は支持板１５に接続されているので、連結パイプ１７ｂの昇降に合わせて支持板１５、プローブ装置１４および押圧部材１６も昇降する。なお、昇降機構１７として、例えばモータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどの駆動源を採用しても構わない。
【００３９】
図２は、インターフェース回路基板１３およびこれに接続されたプリント基板の構成を示す略斜視図である。
【００４０】
図２に示されるように、検査対象のプリント基板２１には、プローブコネクタ２２が実装されている。プリント基板２１上に実装された電子部品はインターフェース回路基板の開口領域１３ａ内に位置するため、その裏面に配置された電子部品がインターフェース回路基板１３の基板面に接触して破損するようなことはない。また、第１のインターフェースコネクタ１３ｂと接続されている方とは反対側のプリント基板２１の先端部は、インターフェース回路基板の開口領域１３ａの周囲を構成する基板部分の上面２３と当接可能となっている。したがって、この基板部分はプリント基板に対する枕部材２３として機能し、プリント基板２１が押圧部材によって押圧された場合でも枕部材２３によって極端なたわみが規制される。なお、押圧部材１６が当接するプリント基板上の領域には電子部品を実装しないか、または所定の規格によって定められる電子部品の実装不可領域を押圧部材１６の当接領域として利用しても構わない。
【００４１】
プローブ本体１４ａはプローブコネクタ２２の鉛直方向上方に配置され、プローブ装置１４が降下した場合にはプローブ本体１４ａがプローブコネクタ２２と接続するようになっている。すなわち、昇降機構１７がプローブ装置１４を降下させると、プローブ本体１４ａはその鉛直方向下方にあるプローブコネクタ２２と接続する。インターフェース回路基板１３あるいは同軸ケーブル１８から測定用信号を供給し、その結果をコンピュータで処理することにより、プリント基板が正常に動作するか否かを判定することができる。
【００４２】
図３は、プローブ装置１４の構成を示す一部破断図である。
【００４３】
図３に示されるように、このプローブ装置は、円筒状のプローブ本体１４ａと、プローブ本体１４ａをスライド自在に保持するプローブホルダ１４ｂと、プローブ本体１４ａの周縁に固定される円型のフランジ部材３１と、フランジ部材３１とともにプローブホルダ１４ｂ内に収容される弾性部材３２を備えている。
【００４４】
プローブ本体１４ａの先端部の内側にはコンタクトピン３３が設けられており、さらに、コンタクトピン３３とプローブコネクタの位置ずれを補正する方向にプローブ本体を導くためのテーパー部３４が設けられている。プローブホルダ１４ｂの中央部には、プローブ本体１４ａの両端部を突出させるための貫通孔１４ｃが設けられている。貫通孔１４ｃの径はプローブ本体１４ａの径よりも大きく設定され、貫通孔１４ｃとプローブ本体１４ａとの間にはある程度の遊び（隙間）が形成される。プローブ本体１４ａはフランジ部材３１とともに、プローブホルダ１４ｂの中心軸を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持される。したがって、プローブ本体１４ａとプローブコネクタの中心軸がずれている場合でも両者を接続させることができる。
【００４５】
弾性部材３２としては、フランジ部材３１およびこれと固定されたプローブ本体１４ａをスライドさせるのに十分な柔軟性を有し、かつスライドしたフランジ部材３１およびプローブ本体１４ａを定常位置に復帰させるのに十分な反発力を有する材料が用いられ、好ましくはマイクロセルポリマーシートなどの発泡材が用いられる。弾性部材３２はフランジ部材３１の周囲に設けられており、プローブ本体１４ａに外力が加えられると、プローブ本体１４ａとともにフランジ部材３１がスライドして、スライド方向にある弾性部材３２の一部が圧縮される。その後、プローブ本体１４ａが外力から解放されると、圧縮された弾性部材３２の反発力によってプローブ本体１４ａはスライド前の定常位置に戻る。したがって、スライドして中心軸からずれたプローブ本体１４ａをもとの位置に復帰させることができる。
【００４６】
図４は、押圧部材１６の構成を示す略断面図である。
【００４７】
図４に示されるように、この押圧部材１６は、支持板１５に固定されたハウジング４１と、ハウジング４１内に挿入されたピン４２と、ハウジングを貫通したピンの先端部に設けられているクッション部材４３と、クッション部材４３とハウジング４１との間に設けられたコイルばね４４を備えている。
【００４８】
ハウジング４１は、フランジ部４１ａを有する筒状体であり、筒状部分は支持板１５を貫通した状態で保持され、ハウジング４１のフランジ部４１ａと支持板１５とがねじ４５で固定される。クッション部材４３はプリント基板２１と当接する部分であるため、プリント基板２１を傷つけないように耐摩耗性、自己潤滑性の高い樹脂材料が用いられ、好ましくはポリアセタール樹脂が用いられる。または、フッ素加工を施した金属等であっても構わない。コイルばね４４は、詳細は後述するが、第１のコネクタに対して斜めにセットされたプリント基板を水平状態にするときにかかる程度の荷重では収縮しないが、それ以上の荷重が加わったときには収縮するような弾性力を有するものである。
【００４９】
ピン４２およびクッション部材４３はコイルばね４４によって下方に常時付勢されているが、ピン４２はピンヘッド４２ａを有するため、これらの下方への移動はピンヘッド４２ａによって規制されている。クッション部材４３に対して上方に向けて圧接力が加わると、コイルばね４４が収縮してクッション部材４３が上方に移動し、ピン４２が上方に持ち上がる。圧接力から解放されると伸長状態に戻ることができる。
【００５０】
図５は、プリント基板２１および第１のインターフェースコネクタ１３ｂの構成を示す略斜視図である。
【００５１】
図５に示されるように、第１のインターフェースコネクタ１３ｂに接続されるプリント基板２１は、その先端部に配列された複数の端子５１と、誤接続防止のための切り欠き５２と、その両側端部に設けられたプリント基板２１のスロットからの抜けを防止するためのロック用切り欠き５３を備えている。
【００５２】
一方、第１のインターフェースコネクタ１３ｂは、絶縁性材料からなるコネクタ本体５５と、プリント基板２１の端子５１に対応してコネクタ本体５５のスロットに配列された端子５６と、誤接続防止用切り欠き５２に対応して設けられた誤接続防止用突起部５７を備えている。また、本実施形態においては、プリント基板２１の挿抜作業を容易にするため、上述したコネクタ本体５５の両側部に設けられる板バネ部材７８およびその裏側の面に設けられるロック用突起部７９は設けられていない。
【００５３】
図６および図７は、図５に示したプリント基板２１と第１のインターフェースコネクタ１３ｂの接続状態を示す図であって、図６は仮接続状態、図７は本接続状態を示している。
【００５４】
図６に示されるように、第１のインターフェースコネクタ１３ｂのスロットは、その実装面と水平方向のみならず、斜め上方にも開口している。したがって、プリント基板２１を第１のインターフェースコネクタ１３ｂのスロットに対して斜め上方から差し込むことができる。ただし、図５に示したように、インターフェースコネクタ１３ｂのスロットには誤接続防止用突起部５７が設けられているため、誤接続防止用突起部５７と誤接続防止用切り欠き５２とが嵌まり合う向きでなければプリント基板２１を差し込むことはできない。この仮接続状態では、プリント基板２１を容易に抜き出すことができ、接続状態も不安定である。
【００５５】
図７に示されるように、斜めの状態にあるプリント基板２１を押圧部材１６により下方に押し下げると、プリント基板２１は水平状態となる。このとき、プリント基板２１は第１のインターフェースコネクタ１３ｂから斜めの状態に戻る方向に弾性力を受けている。プリント基板２１を第１のインターフェースコネクタ１３ｂから抜き出すには、押圧部材１６を上方に持ち上げれば自動的にプリント基板２１の後端部が上方に持ち上がり、再び図５に示した仮接続状態となる。したがって、この状態でプリント基板２１を第１のインターフェースコネクタ１３ｂから容易に抜き出すことができる。
【００５６】
図８ないし図１１は、プローブ装置１４とプリント基板２１との接続動作を説明するための模式図である。
【００５７】
図８に示されるように、まず、検査対象のプリント基板２１は第１のインターフェースコネクタ１３ｂに対して斜め上方から差し込まれて、仮接続状態とされる。一方、プローブ装置１４は上昇位置にある。
【００５８】
図９に示されるように、プローブ装置１４を降下させると、押圧部材１６も一緒に降下する。そして、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２との接続よりも先に押圧部材１６の先端部がプリント基板２１の基板面に当接する。この状態ではまだプリント基板２１は斜めの状態を維持している。
【００５９】
図１０に示されるように、プローブ装置１４をさらに降下させると、押圧部材１６によってプリント基板２１が水平状態まで押し下げられる。押圧部材１６のコイルばね４４は、このとき押圧部材１６にかかる程度の荷重では圧縮しないように弾性力が設定されているため、押圧部材１６が圧縮することはなく、よって押圧部材１６よりも高い位置にあるプローブ本体１４ａがプローブコネクタ２２と接続することはない。水平状態まで押し下げられたプリント基板２１の端部は、枕部材２３に当接しているかそれよりもわずかに持ち上がっているにすぎず、これ以上押し下げられることはない。
【００６０】
図１１に示されるように、プローブ装置１４をさらに押し下げると、押圧部材１６の先端部にかかる圧接力もさらに強まるため、押圧部材１６は圧縮し始める。その結果、プローブ本体１４ａがプローブコネクタ２２と接続する。この状態からプローブ装置１４を上昇させると、プリント基板２１にかかる押圧部材１６の圧縮力が徐々に弱まっていき、プローブ装置１４およびこれと連動する押圧部材１６が図１０、図９の状態を経て、図８に示した上昇位置に戻る。この時、プリント基板２１は押圧部材１６の上昇に伴って図８に示した状態に戻るので、第１のコネクタのスロットから容易に抜き出すことができる。
【００６１】
図１２ないし図１４は、プローブ装置１４とプリント基板との接続動作を概略的に示す略断面図であって、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２の中心軸がずれている場合を示している。なお、プローブ本体１４ａの内部構造については図示を省略している。
【００６２】
図１２に示されるように、プローブ装置１４が上昇位置にあるとき、プローブ本体１４ａには何の外力も加わっていないため、プローブ本体１４ａは定常位置であるプローブホルダ１４ｂの中央に位置し、プローブホルダ１４ｂと同軸状態を保っている。一方、プローブ本体１４ａの中心軸に対し、プローブコネクタ２２の中心軸は左側にずれている。
【００６３】
図１３に示されるように、プローブ装置１４を降下させると、プローブ本体１４ａの先端部がプローブコネクタ２２と接触する。ここで、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２の中心軸がずれているので、プローブ本体１４ａの先端部に設けられたテーパー部３４にはプローブコネクタ２２の外周の一部のみが接触する。
【００６４】
図１４に示されるように、プローブ装置１４をさらに降下させると、その接触部分がテーパー部３４に沿って徐々に奥へと相対的に移動して、プローブ本体１４ａはその中心軸がプローブコネクタ２２の中心軸と一致する最終的な位置まで移動し、コンタクトピン３３がプローブコネクタ２２に接触する。また、プローブ本体１４ａとともにフランジ部材３１もスライドする。このようにして、プローブホルダ１４ｂに対するフランジ部材３１の中心軸がずれると、スライド方向（図示左側）にある弾性部材３２の一部が圧縮され、これと反対方向にある弾性部材３２とフランジ部材３１との間には隙間３５が生ずる。
【００６５】
図１４に示した状態からプローブ装置１４を上昇させると、図１３の状態を経て、または直接、図１２に示した元の上昇位置へ戻る。すなわち、プローブコネクタ２２とテーパー部３４との圧接力によってスライドしたプローブ本体１４ａがその圧接力から解放されると、圧縮されている弾性部材３２の反発力によって元の位置に戻るので、図１２に示されるように、プローブ本体１４ａとプローブホルダ１４ｂは再び同軸状態となり、弾性部材３２も定常状態に戻る。このように、プローブ装置１４は定常位置を中心とした３６０度の一定範囲内でプローブコネクタ２２との位置ずれを吸収することができる。
【００６６】
以上説明したように、本実施形態によれば、プリント基板２１上に設けられたプローブコネクタ２２とプローブ装置１４のプローブ本体１４ａとを接続してプリント基板２１を検査する場合に、検査対象のプリント基板２１を簡単な構成で確実に固定することができ、しかも第１のインターフェースコネクタ１３ｂに対するプリント基板２１の挿抜作業が容易となる。
【００６７】
図１５は、インターフェース回路基板の他の例を示す略側面図である。
【００６８】
図１５に示されるように、このインターフェース回路基板１３’は、ステージ上に搭載される基板部分に形成された開口領域１３ａと、検査対象のプリント基板２１が接続される第１のインターフェースコネクタ１３ｂと、ステージ１２上からはみ出した基板部分に実装されるインターフェース回路１３ｃと、測定用信号の供給および測定結果の処理を行うコンピュータと接続するためインターフェース回路基板１３の一方の先端部に設けられる第２のインターフェースコネクタ１３ｄを備えており、この点は図５に示したインターフェース回路基板１３と同様である。
【００６９】
本実施形態ではさらに、上述した枕部材として機能する基板部分に位置決め部材１３ｅが設けられている。この位置決め部材１３ｅは、プリント基板の端部と接する面が斜めに傾斜している。プリント基板２１を水平状態にすると、その端部がストッパ部材１３ｅの傾斜面と接することで第１のインターフェースコネクタ１３ｂへの挿入方向に圧接力がかかり、プリント基板２１が位置決めされるため、プリント基板２１と第１のインターフェースコネクタ１３ｂとを確実に接続することができる。また、位置決め部材１３ｅはプリント基板２１を略平行に保持するための平坦部１３ｆを備えていることが好ましい。これにより、コンタクトピン３３がプローブコネクタ２２に対して略垂直に当接するため、コンタクトピン３３やプローブコネクタ２２の破損をより確実に防止することができる。
【００７０】
本発明は、以上の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更を加えることが可能であり、これらも本発明の範囲に包含されるものであることは言うまでもない。
【００７１】
例えば、前記実施形態においては、プローブ本体１４ａと、プローブ本体の周縁に設けられるフランジ部材３１と、フランジ部材をスライド自在に収容するプローブホルダ１４ｂと、フランジ部材の周縁とプローブホルダ１４ｂ内面との間に挟まれた状態でフランジ部材とともにプローブホルダ１４ｂ内に収容される弾性部材３２を備えたプローブ装置を用いた場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、プローブ本体１４ａをスライド自在に保持し、かつスライドしたプローブ本体１４ａを定常位置に復帰させる手段さえ備えていれば、どのような構成であっても構わない。さらには、プローブ本体１４ａが必ずしもスライド自在に保持されていなくても構わない。
【００７２】
また、前記実施形態においては、プローブ装置の水平方向の位置が固定されているが、この位置を調整できるような機構が設けられていても構わない。例えば、連結パイプ１７ｂと支持板１５との接続位置を変更することが可能な機構を設ければ、検査対象のプリント基板上に設けられているプローブコネクタの位置にプローブ装置を合わせることができる。
【００７３】
また、前記実施形態においては、押圧部材１６が２つ設けられている場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、３つ以上であってもよく、さらには、検査時にプリント基板２１が動かないようにしっかり固定できるのであれば、押圧部材１６を１つだけにしても構わない。
【００７４】
また、前記実施形態においては、検査対象のプリント基板２１が斜め上方から差し込まれ、押圧部材１６によって水平状態にまで押圧されて挿入状態がロックされる場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、プリント基板２１が最初から水平状態でセットされるものであっても構わない。またそのような場合に、押圧部材１６がコイルばね４４を備えていなくてもよく、押圧部材１６は弾性的に伸縮可能でなくても構わない。
【００７５】
また、前記実施形態においては、ステージ上に搭載される検査対象物がプリント基板であり、これに接続される装置がプローブ装置である場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、ステージ上に検査対象物が搭載され、降下により接続装置が前記検査対象物と接続される際、前記接続装置とともに押圧部材も降下して前記検査対象物を押圧する構成を備えていれば、検査対象物と接続装置はどのようなものであっても構わない。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プリント基板にプローブ装置を接続してプリント基板を検査する際に、プリント基板を確実に固定することができ、かつプリント基板の挿抜作業も容易な検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【図２】図２は、インターフェース回路基板１３およびこれに接続されたプリント基板の構成を示す略斜視図である。
【図３】図３は、プローブ装置１４の構成を示す一部破断図である。
【図４】図４は、押圧部材１６の構成を示す略断面図である。
【図５】図５は、プリント基板２１および第１のインターフェースコネクタ１３ｂの構成を示す略斜視図である。
【図６】図６は、図５に示したプリント基板２１と第１のインターフェースコネクタ１３ｂの接続状態を示す図であって、仮接続状態を示している。
【図７】図７は、図５に示したプリント基板２１と第１のインターフェースコネクタ１３ｂの接続状態を示す図であって、本接続状態を示している。
【図８】図８は、図９ないし図１１とともに、プローブ装置１４とプリント基板２１との接続動作を説明するための模式図である。
【図９】図９は、図８、図１０および図１１とともに、プローブ装置１４とプリント基板２１との接続動作を説明するための模式図である。
【図１０】図１０は、図８、図９および図１１とともに、プローブ装置１４とプリント基板２１との接続動作を説明するための模式図である。
【図１１】図１１は、図８ないし図１０とともに、プローブ装置１４とプリント基板２１との接続動作を説明するための模式図である。
【図１２】図１２は、図１３および図１４とともに、プローブ装置１４とプリント基板との接続動作を概略的に示す略断面図であって、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２の中心軸がずれている場合を示している。
【図１３】図１３は、図１２および図１４とともに、プローブ装置１４とプリント基板との接続動作を概略的に示す略断面図であって、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２の中心軸がずれている場合を示している。
【図１４】図１４は、図１２および図１３とともに、プローブ装置１４とプリント基板との接続動作を概略的に示す略断面図であって、プローブ本体１４ａとプローブコネクタ２２の中心軸がずれている場合を示している。
【図１５】図１５は、インターフェース回路基板の他の例を示す略側面図である。
【図１６】図１６は、従来の検査装置の構成を示す略斜視図である。
【図１７】図１７は、プリント基板６６および第１のインターフェースコネクタ６３ｂの従来の構成を示す略斜視図である。
【符号の説明】
１０      検査装置
１１      台座
１２      ステージ
１３、１３’      インターフェース回路基板
１３ａ      開口領域
１３ｂ      第１のインターフェースコネクタ
１３ｃ      インターフェース回路
１３ｄ      第２のインターフェースコネクタ
１３ｅ      位置決め部材
１３ｆ      位置決め部材の平坦部
１４      プローブ装置
１４ａ      プローブ本体
１４ｂ      プローブホルダ
１４ｃ      貫通孔
１５      支持板
１６      押圧部材
１７      昇降機構
１７ａ      駆動レバー
１７ｂ      連結パイプ
１８      同軸ケーブル
１９      支持台
２１      プリント基板
２２      プローブコネクタ
２３      枕部材（開口領域１３ａの周囲を構成する基板部分の上面）
３１      フランジ部材
３２      弾性部材
３３      コンタクトピン
３４      テーパー部
４１      ハウジング
４１ａ      フランジ部
４２      ピン
４２ａ      ピンヘッド
４３      クッション部材
４４      コイルばね
５１      端子
５２      欠き
５３      欠き
５５      コネクタ本体
５６      端子
５７      誤接続防止用突起部
５８      板バネ部材
５９      ロック用突起部
６０      検査装置
６１      台座
６２      ステージ
６３      インターフェース回路基板
６３ｂ      コネクタ
６３ｃ      インターフェース回路
６３ｄ      インターフェースコネクタ
６４      プローブ装置
６４ａ      プローブ本体
６４ｂ      プローブホルダ
６５      支持板
６６      プリント基板
６６ａ      プローブコネクタ
６７      昇降機構
６８      同軸ケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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