(57)【要約】【課題】半導体樹脂封止装置において、集塵効率の高いクリーナを提供する。【解決手段】回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設すると共に、前記集塵フードの下端を前記被クリーニング平面に近接、又は当接させたクリーナにおいて、前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設する。【選択図】　　　　図１
2004033801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設すると共に、前記集塵フードの下端を前記被クリーニング平面に近接、又は当接させたクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設したことを特徴とするクリーナ。
【請求項２】
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設したクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記他方の内壁の下端部に凹部を設け集塵用開口を形成すると共に、前記被クリーニング平面と対向する集塵フードの内壁下端の前記凹部以外の部分に、その下端が前記被クリーニング平面に当接するスカート部を設けたことを特徴とするクリーナ。
【請求項３】
スカート部を可撓性を有するスカート部としたことを特徴とする請求項２に記載のクリーナ。
【請求項４】
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設すると共に、前記集塵フードの下端を前記被クリーニング平面に近接させたクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記回転ブラシの軸方向長さとほぼ等しい長さの範囲の前期他方の内壁の下端と前記被クリーニング平面との隙間を、他の下端部と前記被クリーニング平面との隙間に比し大なるようにしたことを特徴とするクリーナ。
【請求項５】
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設したクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記他方の内壁の下端部に凹部を設け集塵用開口を形成すると共に、前記被クリーニング平面と対向する集塵フードの内壁下端の前記凹部以外の部分に、その下端が前記被クリーニング平面に当接、若しくは近接するスカート部を設け、且つ、前記集塵用開口に集塵動作に応動し開閉する扉を設けたことを特徴とするクリーナ。
【請求項６】
回転ブラシの外周全域に当接する板状のブラシクリーナを集塵フードに装着したことを特徴とするクリーナ。
【請求項７】
集塵フードの前記他方の内壁と上記回転ブラシとの間に、集塵路を確保する仕切り板が配設され、該仕切り板の上端部にはスリットが設けられていることを特徴とする、
請求項１乃至請求項５のうちのいずれかひとつに記載のクリーナ。
【請求項８】
前記スリットに対して開閉弁が配設され、該開閉弁は所定の駆動機構により前記スリットを開閉することを特徴とする、
請求項７に記載のクリーナ。
【請求項９】
集塵フードの待機位置に被クリーニング平面と略同じ高さのフラットステージが設置され、
該フラットステージには、回転ブラシの外周全域に当接する板状のブラシクリーナが装着されることを特徴とするクリーナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、産業用機器のクリーナ、特に、半導体樹脂封止装置装置にクリーナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５（１）は従来技術の半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の平面図（上面図）であり、図５（２）は同じクリーナのヘッド部の側断面図である。クリーナのヘッド部は、半導体樹脂封止装置の金型である定板８及びその近傍にて平行移動しつつ集塵作業を行う。定板８は、ポット２とキャビティ４を備えるチェイスブロック３を含む。その金型である定板８に対し、ヘッド部は、所定の隙間を持たせた上空位置を前進後進する。更にヘッド部は、集塵装置（図示せず。）とホース等（図示せず。）によって繋がる集塵ダクト１０と一体となったフード１２を含む。該フード１２には、その下方周囲に前面シール１６、側面シール１８、及び後面シール２０が設けられる。また該フード１２の内部には、回転軸が定板８と平行をなすロールブラシ１４が設けられる。該ロールブラシ１４は（図示しない）駆動源により回転駆動される。また同様に、ヘッド部全体も、駆動源（図示せず。）により前進又は後進を繰り返す。
【０００３】
ところで、図５に示す従来技術の半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部に対して、以下のように複数の問題点が指摘されている。
【０００４】
（１）従来技術の半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部においては、金型面とヘッド部との間に所定の隙間を設けている。これは、隙間が無ければ塵を吸い取れないからである。けれども、ヘッド部において空気流入部の開口面積が大きいため、ヘッド部内の静圧が十分には上がらなくなりがちである。そうなると、定板８と、前面シール１６、側面シール１８、及び後面シール２０との間の空気流速が十分には得られず、結局、塵の吸い残しが生じてしまう。
【０００５】
（２）また、空気流速を十分に得るためには、金型とヘッド部との間、即ち、定板８と、前面シール１６、側面シール１８、及び後面シール２０との間で、微妙な高さ合わせをする必要がある。これが僅かでもずれるとヘッド部内の静圧が不十分になってしまい、やはり塵の吸い残しが生じてしまう。
【０００６】
（３）他方で、集塵装置や配管の途中での目詰まり等、ヘッド部以外の部位で障害が発生し多少なりともヘッド部内の静圧が下がってしまうと、それだけで相当量の塵の吸い残しの要因となってしまっている。
【０００７】
（４）ヘッド部内でロールブラシ１４は回転しているのであるが、ロールブラシ１４の回転は集塵のための空気流の流速に影響する。つまり、フード部の内部で、集塵のための空気流の流入方向と、ロールブラシ１４外周部の回転による移動方向とが、対向してしまう流入路では流れの乱れが生じ集塵効率を悪化させる傾向がある。
【０００８】
（５）更に、ロールブラシ１４を相当期間長く使用すると、ブラシそのものの中に塵がたまり、クリーニング時に金型上に却って塵を落とすことも少なくない。
【０００９】
（６）図５（２）の右部に示すように、定板８上にてヘッド部が後退位置にまでくるとヘッド部の後下部がシールされなくなってしまう。よって、空気がそこから一気に流入してヘッド部内の静圧が下がり、後退位置近辺に塵の吸い残しを生じている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体樹脂封止装置において、集塵効率の高いクリーナを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するために為されたものである。本発明に係る請求項１に記載のクリーナは、
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設すると共に、前記集塵フードの下端を前記被クリーニング平面に近接、又は当接させたクリーナである。そのクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設したことを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る請求項２に記載のクリーナは、
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設したクリーナである。そのクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記他方の内壁の下端部に凹部を設け集塵用開口を形成すると共に、前記被クリーニング平面と対向する集塵フードの内壁下端の前記凹部以外の部分に、その下端が前記被クリーニング平面に当接するスカート部を設けたことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る請求項３に記載のクリーナは、
スカート部を可撓性を有するスカート部としたことを特徴とする請求項２に記載のクリーナである。
【００１４】
本発明に係る請求項４に記載のクリーナは、
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設すると共に、前記集塵フードの下端を前記被クリーニング平面に近接させたクリーナである。そのクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記回転ブラシの軸方向長さとほぼ等しい長さの範囲の前期他方の内壁の下端と前記被クリーニング平面との隙間を、他の下端部と前記被クリーニング平面との隙間に比し大なるようにしたことを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る請求項５に記載のクリーナは、
回転軸が被クリーニング平面と平行をなす回転ブラシを集塵ヘッドの集塵フード内に配設したクリーナである。そのクリーナにおいて、
前記回転ブラシの前記回転軸を挟んで対向する前記集塵フードの対向内壁の一方の内壁を前記回転ブラシに近接するよう、他方の内壁を前記回転ブラシとの間に集塵路が形成されるように前記集塵フード内に前記回転ブラシを片寄せて配設し、
前記他方の内壁の下端部に凹部を設け集塵用開口を形成すると共に、前記被クリーニング平面と対向する集塵フードの内壁下端の前記凹部以外の部分に、その下端が前記被クリーニング平面に当接、若しくは近接するスカート部を設け、且つ、前記集塵用開口に集塵動作に応動し開閉する扉を設けたことを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る請求項６に記載のクリーナは、
回転ブラシの外周全域に当接する板状のブラシクリーナを集塵フードに装着したことを特徴とするクリーナである。
【００１７】
本発明に係る請求項７に記載のクリーナは、
集塵フードの前記他方の内壁と上記回転ブラシとの間に、集塵路を確保する仕切り板が配設され、該仕切り板の上端部にはスリットが設けられていることを特徴とする、
請求項１乃至請求項５のうちのいずれかひとつに記載のクリーナである。
【００１８】
本発明に係る請求項８に記載のクリーナは、
前記スリットに対して開閉弁が配設され、該開閉弁は所定の駆動機構により前記スリットを開閉することを特徴とする、
請求項７に記載のクリーナである。
【００１９】
本発明に係る請求項９に記載のクリーナは、
集塵フードの待機位置に被クリーニング平面と略同じ高さのフラットステージが設置され、
該フラットステージには、回転ブラシの外周全域に当接する板状のブラシクリーナが装着されることを特徴とするクリーナである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る好適な実施の形態を説明する。
【００２１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る半導体樹脂封止装置のクリーナの、特にヘッド部の模式的な側断面図である。実施の形態１においても、クリーナのヘッド部は、半導体樹脂封止装置の金型である定板８及びその近傍にて平行移動しつつ集塵作業を行う。ヘッド部は、集塵装置（図示せず。）とホース等（図示せず。）によって繋がる集塵ダクト１０と一体となったフード１２を含む。該フード１２には、その下方周囲に前面シール１６、側面シール１８、及び後面シール２０が設けられる。また該フード１２の内部には、回転軸が定板８と平行をなすロールブラシ１４が設けられる。該ロールブラシ１４は（図示しない）駆動源により回転駆動される。また同様に、ヘッド部全体も、駆動源（図示せず。）により前進又は後進を繰り返す。
【００２２】
実施の形態１のクリーナのヘッド部では、金型との間の開口部は１箇所であり、それは前面シール１６下方のみに設けられる。まず、前面シール１６下端と定板８との間には一定以上の空気流の流速が得られる程度の高さが設けられる。
【００２３】
また、前面シール１６は、集塵フード１２内部と外部との気圧差に応じて開閉するフラップとして構成されている。つまり、外部の気圧に対しフード１２内部の気圧が下がる程、前面シール１６はフード１２内側に開くように構成されている。例えば、この構成はバネのような弾性体を利用することで実現される。即ちバネは、前面シール１６が被クリーニング面に垂直であるときには前面シール１６に何ら作用せず、前面シール１６が集塵フード１２内部と外部との気圧差のため内側に開こうとするとそれを押し留める（それに逆らう）方向に作用するように、設置すればよい。また、シールそのものに弾性体の性質を持たせてもよい。
【００２４】
このように前面シール１６をフラップとして構成することにより、前面シール１６と定板８間の流入速度は略一定に保たれる。つまり、集塵フード１２内の気圧が下がれば空気流の流速が上がろうとするが、同時に前面シール１６が内側に開いて集塵フード１２内の気圧が上がり、空気流の流速も上がることがない。逆に、集塵フード１２内の気圧が上がれば空気流の流速が下がろうとするが、同時に前面シール１６が垂直方向に戻り集塵フード１２内の気圧が下がり、空気流の流速も下がることがない。
【００２５】
実施の形態１のクリーナのヘッド部では、ロールブラシ１４は、集塵フード１２の後面に片寄せされ、集塵フード１２の前面と空間を開けて、設置されている。このように配置するれば、定板８の端部（図面では右側端部）に段差がある場合でも、集塵フード１２の後面の側をその段差に沿わせつつロールブラシ１４を定板８の領域限度内で使用すれば、十分な集塵力により対象領域全部をクリーニングできる。
【００２６】
更に、ロールブラシ１４は、集塵フード１２の前面との間の空間における主要な空気流と、外周部の動きが一致するように回転する。図１右部において、ハッチングされた矢印（５０、５２、５４、５６）は、（主要な）空気流を示すが、ロールブラシ１４は、それに合わせて矢印６０の方向に回転する。このロールブラシ１４の回転により、空気流における流れが乱されることは、殆どないことになる。
【００２７】
ヘッド部には、自由動作範囲２２が設けられる。この自由動作範囲２２により、ヘッド部内の気圧が下がればヘッド部が定板８に吸い寄せられ、ヘッド部と定板８との間のシール性能が保持される。上記の自由動作範囲２２は、集塵ダクト１０の可撓性により与えられてもよく、前面シール１６、側面シール１８、及び後面シール２０などのスカート部の可撓性により与えられてもよい。
【００２８】
実施の形態１の半導体樹脂封止装置のクリーナでは、ヘッド部の待機位置として、定板８と略同じ高さのフラットステージ２６が設置されている。図２は、フラットステージ２６を含む、本発明の実施の形態１に係る半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の模式的な側断面図である。このフラットステージ２６には、待機時のロールブラシ１４の下端近傍に、ロールブラシ１４の外周全域と当接するフラットバー２４が設置されている。このフラットバー２４は、ロールブラシ１４の長手方向と略同じ長さを備える。ここで、クリーナが集塵動作を行なうとフラットステージ２６上は金型上と同様のシール性能を発揮するため、集塵装置で吸気しながらロールブラシ１４を回転させることにより、フラットバー２４によってロールブラシ１４の植毛の間隔が開かれ、毛の間に挟まった塵が吸引で除去される。
【００２９】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係る半導体樹脂封止装置のクリーナの、特にヘッド部の模式的な側断面図である。本発明の実施の形態２に係る半導体樹脂封止装置のクリーナは、実施の形態１に係る半導体樹脂封止装置のクリーナと略同じものであり、同一部位には同一符号を付して説明を省略し、よって差異を中心に説明する。
【００３０】
実施の形態２のクリーナのヘッド部では、主要な空気流を画する仕切り板２８及び仕切りシール３０が、集塵フード１２の前面とロールブラシ１４との間に、ロールブラシ１４に片寄せて設置されている。仕切り板２８は、ロールブラシ１４の上面及び片側面を略覆って位置し、仕切りシール３０は、仕切り板２８下方に、定板８と接するように配置される。但し、仕切り板２８の上部には、スリット３４が設けられている。
【００３１】
上記の仕切り板２８及び仕切りシール３０によって、ロールブラシ１４の周囲のブラシ室は、空気流が存する吸気経路から略独立することになる。すると、主要な空気流は、ロールブラシ１４の回転方向により影響を受けない、即ち流れが乱されないことになる。更に、仕切り板２８上部に設けられるスリット３４が適切な大きさであれば、ブラシ室内の塵もブラシ室内の気圧と吸気経路の気圧との差によって、吸気経路の中に吸い出されることになる。
【００３２】
図４も、本発明の実施の形態２に係る半導体樹脂封止装置のクリーナの、特にヘッド部の模式的な側断面図である。図４のヘッド部においては、仕切り板２８上部のスリット３４に対し、開閉弁３６が設置されている。図４左部に示すように、開閉弁３６の端部は、スリット３４の端にてヒンジするように集塵フード１２の後面の内側に接合する。開閉弁３６は、駆動源（図示せず。）によって開閉駆動される。即ち、クリーナの停止時や通常動作時には開けられる。更に、ヘッド部が後退してブラシ室の下面（の一部）が金型（定板８）から外れ、ブラシ室の気圧が（外気圧と同じ程度まで）上がるときに、開閉駆動源（の操作）により閉じられる。そうすると、吸気経路の気圧が上がることが無いまま、金型（定板８）の端部（図４では右端部）に到るまで塵が残らず吸い上げられる。
【００３３】
もちろん、開閉弁３６の開閉駆動は上記のものに限定されない。例えば、弾性体の縮作用により、クリーナの動作静止時や通常動作時には開閉弁３６がブラシ室内側に付勢され、ブラシ室の下面が定板８から外れブラシ室の気圧が上がるときにはブラシ室と吸気経路との気圧差により開閉弁３６が弾性体の縮作用に逆らってスリット３４を閉じる、というような構成でもよい。
【００３４】
なお、実施の形態１及び実施の形態２においては、クリーナのヘッド部は一つであるが、例えば、下方の金型だけでなく上下の金型に夫々対向する２個のヘッド部が備わっていても、同様なクリーニングを行える。その場合に、夫々の集塵ダストに係るホースを途中で繋ぎ１台の集塵機で吸引してもよく、また、夫々の集塵ダストに係るホースを、各々別の集塵機で吸引してもよい。
【００３５】
実施の形態１及び実施の形態２のいずれにおいても、図２に示すようなフラットステージ２６が備わるが、該フラットステージ２６が有するフラットバー２４は、長矩形でなくてもよい。ロールブラシ１４の毛を開くことができればよく、例えば、くし歯形状であってもよい。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明から明白なように、本発明の利用により以下のような効果を得ることができる。
【００３７】
本発明に係る請求項１に記載のクリーナを利用することにより、被クリーニング平面の領域に隣接して該平面より低くなる段差がある場合に、回転ブラシと集塵フードの内壁とが近接した側をその段差に沿わせ、且つ回転ブラシを被クリーニング平面の領域限度内に置いて使用することで、段差による集塵力の低下を極力抑制できる。よって、被クリーニング平面全域を隈なく効率的にクリーニングできる。
【００３８】
本発明に係る請求項２に記載のクリーナを利用することにより、クリーナの集塵能力を効率的に向上できる。
【００３９】
本発明に係る請求項３に記載のクリーナを利用することにより、被クリーニング平面上にて集塵ヘッド部の移動を円滑に行うことができる。
【００４０】
本発明に係る請求項４に記載のクリーナを利用することにより、クリーナの集塵能力を効率的に向上できる。
【００４１】
本発明に係る請求項５に記載のクリーナを利用することにより、集塵用開口の開口面積を集塵力にマッチングしたものにすることができ、結果的に集塵力を効果的に確保できる。
【００４２】
本発明に係る請求項６に記載のクリーナを利用することにより、クリーニングのクリーン度を高め得ることができるだけでなく、回転ブラシ自体を殊更クリーニングする工程を要しないので使用上至便である。
【００４３】
本発明に係る請求項７に記載のクリーナを利用することにより、回転ブラシの回転方向を自由に設定でき、更にブラシ室の塵も吸気経路に吸い込まれ得る。
【００４４】
本発明に係る請求項８に記載のクリーナを利用することにより、被クリーニング平面の領域に隣接して該平面より低くなる段差がある場合に、回転ブラシと集塵フードの内壁とが近接した側をその段差に沿わせ、且つ集塵路を被クリーニング平面の領域限度内に合致させて使用することで、段差による集塵力の低下を極力抑制できる。よって、被クリーニング平面全域を隈なく効率的にクリーニングできる。
【００４５】
本発明に係る請求項９に記載のクリーナを利用することにより、クリーニングのクリーン度を高め得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の模式的な側断面図である。
【図２】フラットステージを含む本発明の実施の形態１に係る半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の模式的な側断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の模式的な側断面図（１）である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の模式的な側断面図（２）である。
【図５】（１）は従来技術の半導体樹脂封止装置のクリーナのヘッド部の平面図（上面図）であり、（２）は同じクリーナのヘッド部の側断面図である。
【符号の説明】
８　定板、　１０　集塵ダスト、　１２　集塵フード、　１４　ロールブラシ、　１６　前面シール、　１８　側面シール、　２０　後面シール、　２４　フラットバー、　２６　フラットステージ、　２８　仕切り板、　３０　仕切りシール、　３４　スリット、　３６　開閉弁。
【図１】
2004033801.tif 000003
【図２】
2004033801.tif 000004
【図３】
2004033801.tif 000005
【図４】
2004033801.tif 000006
【図５】
2004033801.tif 000007