(57)【要約】【課題】ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクについて、ディスク基材の表面をガイドによる空気軸受面とし、回転軸方向の面振れを微小にし、安定させるとともに、記録膜の形成及びパターン転写を高精度にして、記録再生精度を可及的に高められるように、フレキシブル光ディスクの構造及び製造方法を工夫すること。【解決手段】ＰＥＴ樹脂シート製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクの製造方法を前提として、上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さくてかつ微小であり、上記ＰＥＴ樹脂シートの上記一方の面にマスキングシートを剥離可能に積層してあり、上記マスキングシートの熱収縮率を上記ＰＥＴ樹脂シートよりも大きくし、マスキングシートを積層したＰＥＴ樹脂シートの他方の面を易接着処理し、当該面に転写層を積層し、上記転写層を硬化させた後、上記転写層のパターン転写面に記録膜を成膜し、上記マスキングシートを剥離させること。【選択図】　図２
2004110921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＥＴ樹脂シート製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクの製造方法において、
上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さく、かつ微小であり、
上記ＰＥＴ樹脂シートの上記一方の面にマスキングシートを剥離可能に積層してあり、
上記マスキングシートの熱収縮率を上記ＰＥＴ樹脂シートよりも大きくし、
マスキングシートを積層したＰＥＴ樹脂シートの他方の面を易接着処理し、当該面に転写層を積層し、
上記転写層を硬化させた後、上記転写層のパターン転写面に記録膜を成膜し、
上記マスキングシートを剥離させるフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項２】
上記ＰＥＴ樹脂シートが滑剤を含有していないシートであり、上記他方の面の上記易接着処理層が滑剤を含有していて、当該面を粗面にしている請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項３】
上記一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下である請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項４】
上記他方の面の易接着処理層内の滑剤による表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍである請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項５】
上記マスキングシートが、ＰＥＴ樹脂シートよりも熱収縮率が大きい合成樹脂シートである請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項６】
上記マスキングシートとＰＥＴ樹脂シートとの熱収縮率の差が、光ディスク基板の中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下になる値である請求項１のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項７】
上記マスキングシートがポリエチレンシートである請求項５又は請求項６のフレキシブル光ディスクの製造方法。
【請求項８】
ＰＥＴ樹脂シート製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクにおいて、
上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さく、かつ微小であり、
ＰＥＴ樹脂シートの他方の面の滑剤を含有している易接着処理層に、パターン転写層を積層してあり、
上記転写層の転写面に記録膜を成膜しているフレキシブル光ディスク。
【請求項９】
上記ＰＥＴ樹脂シートが滑剤を含有しないシートであり、上記他方の面に易接着処理層があり、当該易接着処理層が滑剤を含有していて当該面が粗面になっている請求項８のフレキシブル光ディスク。
【請求項１０】
上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下であり、他方の面の易接着処理層内の滑剤による表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍである請求項８のフレキシブル光ディスク。
【請求項１１】
上記滑剤がシリカである請求項８のフレキシブル光ディスク。
【請求項１２】
上記光ディスクの空気軸受側面が凹状面である請求項８のフレキシブル光ディスク。
【請求項１３】
上記光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下である請求項１２のフレキシブル光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、フレキシブル光ディスク、特に高記録密度のフレキシブル光ディスクおよびその製造方法に関するものであり、フレキシブル光ディスクの可撓性を損なうことなしに、ガイドによる空気軸受による面振れ量を低減し、記録再生信号の高精度化を図ることができるものである。
【０００２】
【従来の技術】
リムバブルで記録容量が大であることなど、その特性が優れているためＣＤやＤＶＤなどの光ディスクが急激に普及している。通常の光ディスクは厚さ１．２または０．６ｍｍのポリカーボネート基板にプリグルーブ、ピットを転写し、その上に記録膜を成膜して、情報を記録再生するものである。そして、光を記録面上に高精度で集光するために、光学ヘッドと光ディスク表面間の相対的な位置関係を高精度で制御することが必要であるので、基板を平坦にし、剛性を持たせ、かつ光ピックアップにサーボをかけて高い位置精度を出している。
他方、記録容量をさらに高めるために、対物レンズの開口数（ＮＡ）を上げたり、レーザーを短波長化することで、光スポットを更に小径化するための研究開発が行われている。また、ＮＡを上げるためには基板のチルト（面振れ）を小さくしなければならないので、製造基板の形状精度を向上させ、ピックアップへチルト（面振れ）サーボを搭載し、記録膜上に０．１ｍｍ程度の極めて薄いカバー層を設けて当該カバー層側から記録再生することでチルト（面振れ）マージンを拡大するなどの方策が採用されている。
【０００３】
従来の光ディスクのチルト（面振れ）を小さくすることは、その材料や製法を工夫することによって達成できないではないが、さらにチルト（面振れ）を小さくするとすれば、そのコスト増が極めて著しい。反対に、光ディスクのチルト　（面振れ）を現状のままにして、これに対する光ピックアップのチルト（面振れ）サーボ精度を高くして対応するについても同様である。また、光ディスクの基板側からではなく、記録膜側から再生する方式もあるが、この場合は、記録膜面と対物レンズの距離が０．１ｍｍ程度しか確保されないので、ハードな光ディスクと対物レンズとの衝突を防ぐために面振れを極めて小さくして安定させなければならず、そのためにはチャッキング（光ディスクのチャッキング）精度を向上させればよい。しかし、これについてもコストアップが著しい。
【０００４】
他方、光ディスクを上記のようにハードにして形状精度を高度にするのではなくて、ディスクを可撓性にしたフレキシブル光ディスクがあり、このフレキシブル光ディスクに対する記録再生装置の概要は、図１に示すようなものである。
すなわち、フレキシブル光ディスク１の記録再生面と反対側にガイド２を設け、対物レンズ３とガイド２とを光ディスク１を挟んで対向させ、光ディスク１の回転によって生じる動的空気軸受で、ガイドに対する部分を空力的に浮上させ（ベルヌーイ浮上：空気軸受による非接触支持）、この空力浮上を安定化させることによって、光ディスク１のチルトを限りなく０に近づけるようにするものである。
【０００５】
上記フレキシブル光ディスクの基板を作製する方法の一つとして、ＰＥＴ樹脂シートなどのフレキシブルシートをロールトゥーロール方式で搬送させながら、スタンパに紫外線硬化型樹脂を塗布した後、フレキシブルシートを載置して紫外線硬化させ、スタンパから剥離させることにより、樹脂塗布層にスタンパの微細パターンが転写された転写基板が得られ、パターンの転写面に記録膜１２を成膜する２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏ　Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）がある。一般的にＰＥＴ樹脂シートは、ロールトゥーロールでシートの供給、巻き取りをスムーズに行うため（滑性確保のため）に滑剤を含有しており、ＰＥＴ樹脂シートの表面が滑剤の介在によって粗面になっている（図３参照）。
表面記録型の光ディスクの場合は、ディスク基材が透明であることは必ずしも必須ではないが、ガイドと光ディスク面との間に空気軸受を形成して回転方向の面振れを安定化させる（チルト低減）には、ガイドに対向する面が極めて平滑でなければならない。
【０００６】
他方、フレキシブル光ディスクがガイドから離れる方向に反っていると、それが自重による微小なものであっても、回転方向の面振れの安定化は図られない。このために、特許第２９４２４３０号公報に、フレキシブルディスクの外周部に高剛性の部位を設けて光ディスクの上記反りを小さくする方法が記載されているが、この方法はディスクの上記反りを小さくすることはできるが、しかし、回転時の高剛性部位のわずかな重量アンバランスによってかえって面振れが助長され、
面振れは必ずしも低減されない。
【０００７】
ところで、特開平９−５４９８５号公報に、従来の光ディスク（ハードな光ディスク）について、紫外線硬化樹脂の硬化収縮による基板変形の反りを低減させるについて、反り方向が異なる２枚の基板を貼り合わせ、それぞれの反りを打ち消させて、全体の反りを小さくすることが記載されている。これに倣って、フレキシブル光ディスクのディスク基板を、２枚のシートを貼り合わせて構成することが想定されるが、しかし、２枚のシートを貼り合わせた複合構造のディスク基板は剛性が高くなるので、空気軸受で面振れを安定させるのに必要な可撓性を確保することは難しい。
【０００８】
さらに、特許第２５４３２３０号公報に薄い基板の反りを小さくする方法が記載されている。このものは、比較的ハードな板を挟んで貼ることで、薄い基板の反りを小さくするものであるが、これも上記の従来技術と同様に剛性が高くなることが避けられず、そのため、空気軸受で面振れを安定させることは困難である。
また、光ディスクの面振れを空気軸受で安定させる場合、空気軸受の空気圧による押圧力とそれに対抗するディスクの反力との釣り合いで空気軸受による安定化が図られるのであるから、ディスクの反りが、ガイドに対して突き出る方向　（ガイドに対して凹状）に反っていることが望ましい。
【０００９】
【特許文献１】特許第２９４２４３０号公報
【特許文献２】特開平９−５４９８５号公報
【特許文献３】特許第２５４３２３０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、回転駆動時における回転軸方向の面振れが空気流の圧力差によって安定化されるフレキシブル光ディスクについて、従来技術の上記問題を解消すべく、ガイドによる上記空気軸受で面振れを安定させ、面振れが微小に抑制され、安定化されるフレキシブル光ディスク及びその製造方法を提供することをその目的とするものであり、その課題は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクについて、ディスク基材の表面をガイドによる空気軸受面とし、回転軸方向の面振れを微小にし、安定させるとともに、記録膜の形成及びパターン転写を高精度にして、記録再生精度を可及的に高められるように、フレキシブル光ディスクの構造及び製造方法を工夫することである。
【００１１】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】（請求項１に対応）
解決手段はフレキシブル光ディスクの製造方法についての手段であり、ＰＥＴ樹脂シート製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクの製造方法を前提として、次の（イ）〜（ヘ）によるものである。
（イ）上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さくてかつ微小であり、
（ロ）上記ＰＥＴ樹脂シートの上記一方の面にマスキングシートを剥離可能に積層してあり、
（ハ）上記マスキングシートの熱収縮率を上記ＰＥＴ樹脂シートよりも大きくし、
（ニ）マスキングシートを積層したＰＥＴ樹脂シートの他方の面を易接着処理し、当該面に転写層を積層し、
（ホ）上記転写層を硬化させた後、上記転写層のパターン転写面に記録膜を成膜し、
（ヘ）上記マスキングシートを剥離させること。
【００１２】
【作用】
上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さくてかつ微小であると、そのままでは上記一方の面の滑りが悪く、当該シートの取扱いに支障を生じるが、上記一方の面にマスキングシートを剥離可能に積層してあるので、それで滑性が確保され、また他方の面は所要の表面粗さがある。したがって、ディスク基材の滑性不足により取扱いに支障を生じることはない。それゆえ、マスキングシートを積層したＰＥＴ樹脂シートは、それ自身の一方の面の表面粗さが極めて微小であるにも関わらず、その取扱いに格別の支障を生じることはない。
上記一方の面にマスキングシートを積層したＰＥＴ樹脂シートの他方の面に転写層を積層してあるので、記録膜成膜時のマスキングシートとＰＥＴ樹脂シートの熱収縮量の差によって、ＰＥＴ樹脂シートが、マスキングシートを上にして凹状に反って変形する。
【００１３】
また、上記他方の面は所要の滑性を確保できる粗さの粗面であり、当該面に易接着処理して転写層を接着しているので、転写層が所要の接着強度で接着され、したがって、高品質のパターン形成が確実になされる。
さらに、マスキングシートが除去されて製作された光ディスクの一方の面はもともと極めて平滑であり、上記製作過程においてマスキングシートでカバーされているから摩傷などの損傷を受けることがない。したがって、上記一方の面は、極めて平滑なままに保護される。
また、ガイドに対向する面の外周がガイドに向かって反った状態になるから、光ディスクの面振れ量は微小で、かつ安定する。
したがって、記録再生精度が高い光ディスク基板が製作される。
【００１４】
なお、フレキシブル光ディスク基板の樹脂シートはＰＥＴ樹脂シートであるが、ポリイミド樹脂シート、ポリプロピレン樹脂シート、ポリスチレン樹脂シート等のように、表面粗さ、ヤング率等の物性が類似しているものであれば、ＰＥＴ樹脂シートとは異なる樹脂シートであっても、上記作用を奏する。
したがって、これらのシートは上記ＰＥＴ樹脂シートと同等なものであるから、これらによるものは、この発明の範囲内に含まれる。
【００１５】
【実施態様１】（請求項２に対応）
実施態様１は、解決手段１について、ＰＥＴ樹脂シートが滑剤を含有していないシートであり、上記他方の面の上記易接着処理層が滑剤を含有していて当該面を粗面にしていることである。
【００１６】
【実施態様２】（請求項３に対応）
実施態様２は、上記解決手段１における一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下であることである。
【作用】
上記一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下であることによって、光ディスクの面振れ量は極めて微小に抑制される。
【００１７】
【実施態様３】（請求項４に対応）
実施態様３は、上記解決手段１における他方の面の易接着処理層内の滑剤による表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍであることである。
【作用】
上記他方の面の表面に滑剤が介在して当該面を粗面にしたものであるから、表面粗さが滑剤の混入量によって容易・正確に調整され、その品質のバラツキが小さい。そして、表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍであることによって、当該面についてシート取扱い上必要な滑性が十分確保される。
【００１８】
【実施態様４】（請求項５に対応）
実施態様４は、解決手段１におけるマスキングシートが、ＰＥＴ樹脂シートよりも熱収縮率が大きい合成樹脂シートであることである。
【作用】
記録膜成膜時の加熱によって、マスキングシートがＰＥＴ樹脂シートよりも大きく熱収縮するので、ＰＥＴ樹脂シートがマスキングシート側に向かって凹状に反って変形する。
したがって、光ディスクの面振れ量は小さく、かつ安定する。
【００１９】
【実施態様５】（請求項６に対応）
実施態様５は、上記解決手段１のマスキングシートについて、当該マスキングシートとＰＥＴ樹脂シートとの熱収縮率の差が、光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下になる値であることである。
【作用】
光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下であることによって、面振れ量が小さく、かつ安定したフレキシブル光ディスクが作製される。
【００２０】
【実施態様６】（請求項７に対応）
実施態様６は、上記実施態様４又は実施態様５におけるマスキングシートがポリエチレンシートであることである。
【作用】
ポリエチレンシートはその熱収縮率がＰＥＴ樹脂シートの熱収縮率のほぼ１０倍であるから、実施態様５の光ディスク基板が確実に作製される。
【００２１】
【解決手段２】（請求項８に対応）
解決手段２は、フレキシブル光ディスクの構造に関する手段であり、ＰＥＴ樹脂シート製のディスク基板によるフレキシブル光ディスクを前提として、次の　（イ）〜（ハ）によるものである。
（イ）上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さく、かつ微小であり、
（ロ）ＰＥＴ樹脂シートの他方の面の滑剤を含有する易接着処理層に、パターン転写層を積層してあり、
（ハ）上記転写層の転写面に記録膜を成膜していること。
【００２２】
【作用】
ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さが、他方の面の表面粗さよりも小さくてかつ微小であるから、当該ＰＥＴ樹脂シートの一方の面にガイドを直接対向させて当該ガイドによる空気軸受を形成することができる。そして、ガイドに対向する面が極めて平滑であるから、光ディスクの面振れが微小に抑制され、かつ安定する。
他方、上記ＰＥＴ樹脂シートの一方の面は、滑剤を含有する易接着処理層を備えており、当該易接着処理面は所要の粗面に調整されるから、転写層の接着に支障はなく、パターンが高精度で転写されている。
したがって、記録再生精度が高いフレキシブル光ディスクが構成される。
【００２３】
【実施態様１】（請求項９に対応）
実施態様１は、解決手段２について、上記ＰＥＴ樹脂シートが滑剤を含有しないシートであり、上記他方の面に易接着処理層があり、当該易接着処理層が滑剤を含有していて当該面が粗面になっているものである。
【作用】
滑剤を含有していないＰＥＴ樹脂シートであって、上記他方の面に易接着処理層があり、当該易接着処理層が滑剤を含有していて所要の粗面になっているから、上記解決手段２のフレキシブル光ディスクが容易に実現される。また、易接着処理層に含有されている滑剤の粒径、含有割合を加減することによって、上記他方の面の表面粗さは容易、確実に調整される。
【００２４】
【実施態様２】（請求項１０に対応）
実施態様２は、上記解決手段２におけるＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下であり、他方の面の易接着処理層内の滑剤による表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍであることである。
【作用】
ＰＥＴ樹脂シートの一方の面の表面粗さＲｍａｘが、０．０５μｍ以下であるから、当該面は極めて平滑であり、ガイドによる空気軸受の空気層の厚さが極めて安定する。したがって、光ディスクの面振れ量が微小に抑制され、かつ安定する。
また、他方の面の易接着処理層内の滑剤による表面粗さＲｍａｘが０．１μｍ〜０．５μｍであるから、転写層が高い密着性をもって強固に接着される。したがって、パターン転写精度が高く、光ディスクの変形によって部分的に剥離することもない。
それゆえ、高精度の記録再生信号が得られる。
【００２５】
【実施態様３】（請求項１１に対応）
実施態様３は、上記解決手段２における滑剤が、シリカであることである。
【作用】
易接着処理層に滑剤を含有させて他方の面を粗面にするについて、その滑剤がシリカであることで、滑剤の粒径分布が小さく、易接着処理層への分散が均等になされるので、表面粗さのばらつきが低減される。
したがって、可及的に微小な表面粗さによって、均等な接着力で転写層が積層されている。
それゆえ、転写層の接着強度のバラツキが小さくて安定し、信頼性の高い高品質のフレキシブル光ディスクが構成される。
【００２６】
【実施態様４】（請求項１２に対応）
実施態様４は、解決手段２の光ディスクについて、ディスクの空気軸受側面が凹状面であることである。
【作用】
フレキシブル光ディスクが空気軸受側に凹状の面であることによって、光ディスクの面振れ量が微小に抑制され、かつ安定し、高精度の記録再生信号が得られる。
【００２７】
【実施態様５】（請求項１３に対応）
実施態様５は、実施態様４について、光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下であることである。
【作用】
光ディスクの中心部と周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下であることによって、光ディスクの面振れ量が微小に抑制され、かつ安定し、高精度の記録再生信号が得られる。
【００２８】
【実施の形態】
次いで、図面を参照しながら実施の形態を説明する。
本発明は、面振れを安定化させる空気軸受の形成、転写層との高い密着性、接着性を有し、記録再生信号特性の高品質なフレキシブル光ディスクを提供するものであるが、その実施例は次のとおりである。
【００２９】
【実施例１】
通常のＰＥＴ樹脂シートは滑剤を含有させたものであって、この滑剤の存在によって表面を粗面にしてその滑性を高めて、当該シートの取扱いに支障を生じないようにしている（図３参照）。これに対して、この発明の実施例１のディスク基材１０は、厚さ０．０７５ｍｍ、直径１２０ｍｍの、両面平滑なＰＥＴ樹脂シートであり、その一方の面１０ｘ（図４参照）に厚さ０．０６０ｍｍのポリエチレン製のマスキングシート１０ａが積層されている。また、ＰＥＴ樹脂シートの他方の面１０ｙは、転写層との接着に備えて易接着処理（厚さ０．１μｍのポリエステル系樹脂のコーティングによる）している。
スタンパ１３に紫外線硬化型樹脂（転写層を形成するもの）を塗布してあり、その上に、上記ＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材１０）を載置し、スタンパ１３をスピン回転（３０００ｒｐｍ）させて上記紫外線硬化型樹脂を厚さ０．００５ｍｍに延展させ、その後、これに紫外線を照射して硬化させる。このとき、紫外線硬化型樹脂層にスタンパ１３のプリフォーマットが転写されるとともに、紫外線硬化型樹脂層が易接着処理された上記他方の面１０ｙに高密着性をもって強固に接着固定される。
紫外線硬化型樹脂層をスタンパ１３から剥離させることで、ディスク基材１０の他方の面に転写層１１が積層される。転写層１１のプリフォーマットの転写面に記録膜１２を成膜し、最後に、マスキングシート１０ａを剥離して除去することで、フレキシブル光ディスクが完成される。なお、記録膜１２をアクリル樹脂の保護層（厚さ１０μｍ）で被覆して当該記録膜１２が損傷することを防止する。
【００３０】
上記ＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材１０）は、そのガイド２（図１参照）に対向する上記一方の面１０ｘ（光ディスクの空気軸受で支承される面）の表面粗さＲｍａｘは０．０２μｍであり、また、その他方の面１０ｙ（転写面側の面）が易接着処理されていて、その易接着処理材に含有させた滑剤の存在によって、上記他方の面１０ｙすなわち易接着処理面は、粗面化されている。この実施例１における易接着処理材は、平均粒径をナノオーダーサイズに制御してあり、これによって処理面の表面粗さＲｍａｘが０．１〜０．５μｍの範囲内になっている（図４参照）。
【００３１】
また、上記の光ディスクは、上記マスキングシートが塩化ビニールシートであり、その熱収縮率がＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材）１０の熱収縮率よりも大きいので、記録膜成膜工程の加熱で凹状に反って変形することなどにより、最終的に凹状に反った形状になる。なお、この製造加工工程におけるディスク基板１０の変形の過程は図５に模式的に示すとおりである。すなわち、マスキングシート１０ａを積層したＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材）１０は、押出成形時の樹脂の溶融温度のために凹状に若干反っており（図５（ａ））、転写層形成工程での転写層の熱収縮によって上記反りが若干戻り（同図（ｂ））、その後の記録膜成膜工程での加熱によるマスキングシートの熱収縮のために上記反りが増大し　（同図（ｃ）、さらに、マスキングシートの剥離除去によって、マスキングシートの内部張力から解放されてディスク基板１０の反りが低減され（同図（ｄ））、
最終的に、光ディスクは凹形状のものになる。
【００３２】
上記のように凹状に変形したフレキシブル光ディスクは、記録再生装置に搭載されたとき、静止状態で、そのガイドと対向する面、すなわち、空気軸受形成面が凹状面であり、その中心部とディスク周辺部との高さの差Ｈと半径Ｒとの比（Ｈ／Ｒ）が、０．０５であった。また、ＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材）１０と転写層１１の密着性は良好で、面振れ安定化時にガイドによる空気軸受の空気圧で押されて光ディスクが変形しても、シートから転写層が剥離することはなかった。また、このものは、光ディスクの面振れ量が１０μｍ以下で安定することが確認された。さらに、上記光ディスクに実際に情報を記録して再生した結果、アイパターンのアイの開きが鮮明で、低ジッタの高品質な信号特性が得られた。
【００３３】
【実施例２】
実施例２として、ディスクのガイドと対向する面（上記一方の面）の表面粗さＲｍａｘを０．０５μｍとし、転写面側面（上記他方の面）を易接着処理してその処理層に滑剤を分散付与したＰＥＴ樹脂シート（表面粗さＲｍａｘは０．１〜０．５μｍの範囲内のもので、実施例１と同じ）を用いて、実施例１と同様にフレキシブル光ディスクを製造する。
この実施例２の光ディスクは、静止状態において上記のＨ／Ｒが、０．０７であり、また、ＰＥＴ樹脂シート（ディスク基材）と転写層の密着性は良好で、面振れ安定化時に光ディスクが変形しても、転写層が剥離することはなかった。
【００３４】
【比較例１】
比較例１として、ディスクの空気軸受形成面（上記一方の面）の表面粗さＲｍａｘが０．１μｍのもの、０．２μｍのもの、０．５μｍのものの３つのＰＥＴ樹脂シートを用いて、実施例１と同様にしてフレキシブル光ディスクを製造した。この光ディスクの面振れは３０μｍであって安定せず、ガイドとディスクが干渉（接触）し易く、実際に情報を記録再生したところ、その再生信号はアイパターンのアイの開きが不鮮明で、ジッタも大きかった。
【００３５】
【比較例２】
比較例２として、光ディスクのガイドが対向する面の表面粗さＲｍａｘを０．０５μｍとし、転写面側は易接着処理されていないＰＥＴ樹脂シート（表面粗さＲｍａｘが０．０５μｍ以下）を用いて、実施例１と同様にフレキシブル光ディスクを製造した。このものではシートと転写層の密着性が悪く、面振れ安定化時のディスク変形によって転写層に部分的な剥離を生じた。
【００３６】
【比較例３】
比較例３として、光ディスクの空気軸受形成面の表面粗さＲｍａｘを０．０５μｍとし、転写側面が易接着処理されてその処理面に滑剤が分散付与されたＰＥＴ樹脂シート（表面粗さＲｍａｘは０．１〜０．５μｍの範囲のもの）を用いて、実施例１と同様にしてフレキシブル光ディスクを製造した。そして、この比較例３において、ガイドと対向する面が静止状態で凸状になるように反らせ、その反りの高さの比Ｈ／Ｒが０．５になるようにして、光ディスクの面振れ量を測定した。その結果、その面振れ量は４５μｍで、面振れは安定しなかった。また、この比較例３において、静止状態で、ガイドに対向する面が凹状で、その反りの高さの比Ｈ／Ｒが０．２になるようにして、面振れ量を測定した。その結果、ガイドがディスクの空気軸受形成面に接触しやすく、面振れが安定せず、ガイドに対向した面に擦り傷で損傷していた。
【００３７】
【比較例４】
さらに、比較例４として、マスキングシートが積層されていないＰＥＴ樹脂シートを用いて、実施例１と同様にして転写層、記録膜を形成して、フレキシブル光ディスクを製作した。その結果、ガイドに対向する面は静止状態ですべて凸状に反り、その反りの高さの比Ｈ／Ｒが０．４となり、ディスクの面振れが安定しなかった。
【００３８】
【発明の効果】
この発明の効果を主な請求項毎に整理すれば次のとおりである。
１．請求項１に係る発明の効果
ディスク基材がＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂で構成されており、ディスク基材の一方の面の表面粗さが他方の面の表面粗さよりも小さくかつ微小であるが、上記一方の面をマスキングシートでカバーしているので、当該面の滑性が確保される。また、他方の面の所要の滑性はその面粗さによって確保される。したがって、ディスク基材の表裏両面の滑性が確保されるので、取扱上に支障を生じることはない。
また、上記一方の面はマスキングシートでカバーされているので、製造工程などで擦り傷などで損傷されることはなく、マスキングシートを除去することで、ガイドに対向する面の高い平滑性が確保される。したがって、当該面にガイドを対向させて空気軸受が形成されたとき、光ディスクに対する上記空気軸受による案内が安定するから、面振れ量が小さく、かつ安定する。
さらに、上記他方の面には易接着処理層を介して転写層が高い密着性をもって均等にかつ強固に接着固定されるので、パターンの転写精度が高く、変形によって転写層が部分的に剥離することもない。
したがって、記録再生精度が高いフレキシブル光ディスクが安定的にかつ容易に製造される。
【００３９】
２．請求項２に係る発明の効果
滑剤を含有していないＰＥＴ樹脂シートの上記他方の面を、滑剤を含有している易接着処理材で粗面にしたものをディスク基材に利用することで、請求項１に係る発明のフレキシブル光ディスクが安定的にかつ容易に製造される。
【００４０】
３．請求項４、請求項５にかかる発明の効果
マスキングシートの熱収縮率がＰＥＴ樹脂シートの熱収縮率よりも大きいので、記録膜成膜時の熱収縮によってＰＥＴ樹脂シートがマスキングシート側に向かって凹状に反って変形する。したがって、光ディスクの面振れ量が小さく、かつ安定する。
また、マスキングシートの熱収縮率とＰＥＴ樹脂シートの熱収縮率の差を、光ディスク基板の中心部と外周部の高さの比が０．１以下になる値にすることによって、光ディスクの面振れ量が大きく抑制され、かつ安定し、そのバラツキが小さくなる。
【００４１】
４．請求項８に係る発明の効果
ガイドと対向する一方の面が極めて平滑な面であり、他方の面が所要の粗面であるから、光ディスクの面振れ量が極めて小さい。また、他方の面は易接着層に含まれた滑剤による粗面であって、当該易接着層を介して転写層が高い密着性をもって接着されているので、当該面への転写層の接着が強固で、かつ安定している。
したがって、ガイドによる空気軸受の面振れ量が小さくて安定しており、転写層に転写されたパターンの精度が高く、光ディスクの変形によって転写層に局部的な剥離を生じることもない。
それゆえ、高精度の記録再生信号が得られる。
【００４２】
５．請求項１２、請求項１３に係る発明の効果
ディスク基材のマスキングシート側の面が凹面状になっていることにより、回転駆動時における光ディスクの面振れを空気軸受で高度に安定化させることができ、面振れ量を極めて微小に抑制することができる。
さらに、光ディスクの中心部と周辺部との高さの差と半径Ｒの比（Ｈ／Ｒ）が０．１以下であるとき、面振れ量の抑制効果が特に顕著である。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、フレキシブル光ディスクの記録再生状態を模式的に示す断面図である。
【図２】は、実施例の光ディスクの製造工程を模式的に示す斜視図である。
【図３】は、滑剤を含む通常のＰＥＴ樹脂シートの拡大断面図である。
【図４】は、実施例におけるＰＥＴ樹脂シートの拡大断面図である。
【図５】は、実施例の光ディスクの製造工程における光ディスクの反りの発生を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１：フレキシブル光ディスク
２：ガイド
３：対物レンズ
１０：ディスク基材（ＰＥＴ樹脂シート）
１０ａ：マスキングシート
１０ｘ：一方の面（ガイドと対向する面）
１０ｙ：他方の面（易接着処理面）
１１：転写層
１２：記録膜
１３：スタンパ
１４：滑剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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