(57)【要約】【課題】ビーム偏向タイミング情報のみを与えられて、共振ミラーガルバノメータによって偏向されたレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットを制御するシステムと方法。【解決手段】レーザ・ビーム１６を偏向している共振走査ミラー１４に関する偏向範囲の両端の近くに、２つの光検出器１０、１２がある。各光検出器１０、１２は、偏向の中心１８から等距離にある。ビームが側部１０から側部１２へ掃引すると、光検出器１０、１２がパルスを発生する。【選択図】図１
2004110030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　共振走査ミラーを制御する方法であって、
　前記共振走査ミラーの動作に応答して、前記共振走査ミラーをそれて偏向するレーザ・ビームに関する偏向タイミングを測定するステップと、
　前記偏向タイミング測定に応答して、前記レーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御するステップと、
を含む前記方法。
【請求項２】
　振動ミラーガルバノメータによって偏向されるレーザ・ビームの偏向振幅およびオフセットを制御するシステムであって、
　共振走査ミラーと、
　該共振走査ミラーにより偏向されるレーザ・ビームに応答して出力信号を発生するように構成された光検出器システムと、
　前記光検出器の出力信号に応答して前記偏向されたレーザ・ビームに関する時間合計および／または時間差を計算するように構成されたタイミング検出論理回路と、
　前記時間合計および／または時間差に応答して制御作用力を計算するように構成されたディジタル・プロセッサと、
　前記制御作用力を電圧に変換するように構成された一対のデジタル・アナログ変換機（ＤＡＣ）と、
　前記制御作用力に応答して、正弦波を発生するように構成された正弦波発生器と、
　前記正弦波に応答して、共振走査ミラー・モータ・コイル電圧を発生するように構成された電圧増幅器と、
を含む前記システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、一般に微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーに関し、特に、レーザ・ビーム偏向タイミングのみを使用して共振走査ミラーを制御する方法とシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
　ビーム偏向タイミング情報のみを与えられて、振動ミラーガルバノメータによって偏向されたレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御する技術を供給することは、ＭＥＭＳミラー技術において望ましく有利なことであろう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　本発明は、ビーム偏向タイミング情報のみを与えられて、振動ミラーガルバノメータによって偏向されるレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットを制御するシステムと方法を示している。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
　１つの実施例に拠れば、共振走査ミラーを制御する方法は、共振走査ミラーの動きに応答して共振走査ミラーを外れて偏向するレーザビームに関する偏向タイミングを測定するステップと、偏向タイミング測定に応答するレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御するステップとを含む。
【０００５】
　もう一つの例によれば、共振走査ミラーを制御する方法は、共振走査ミラーに関する偏向範囲の中心から等間隔に離れて配置された２つの光検出器を供給するステップと、共振走査ミラーの動きに応答して２つの光検出器の間で移動する偏向されたレーザ・ビームに関するデルタ時間を測定するステップと、デルタ時間測定に応答してレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットを制御するステップを含む。
【０００６】
　更にもう一つの実施例によれば、振動ミラーガルバノメータによって偏向されるレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットを制御するシステムは、共振走査ミラーと、共振走査ミラーに関する偏向範囲の中心から等間隔に離れた一対の光検出器と、一対の光検出器の間を移動する偏向されたレーザ・ビームに関する時間合計および／または時間差を計算するように構成されたタイミング検出論理回路と、時間合計および／または時間差に応答する制御作用力を計算するように構成されたディジタル・プロセッサと、制御作用力を電圧に変換するように構成された一対のディジタル／アナログ変換器と、制御作用力に応答して正弦波を発生するように構成された正弦波発生器と、正弦波発生器に応答して共振走査ミラー・モータ・コイル電圧を発生するように構成された電圧増幅器と、を含む。
【実施例１】
【０００７】
　図１ないし図９を参照して以下に議論する本発明の特定の実施例は、振動ミラーガルバノメータの偏向されたレーザ・ビームの偏向振幅とオフセットを、タイミング情報のみを与えられて制御するシステムと方法とを示している。
【０００８】
　最初に図１に注目すると、レーザ・ビーム１６を偏向している共振走査ミラー１４に関する偏向範囲の両端の近くに、２つの光検出器１０、１２が、絵入り略図に図示されている。各光検出器１０、１２は既知のものであるが、偏向の中心１８から等距離にある。ビームが側部２０から側部２２へ掃引すると、光検出器１０、１２が図２に示すようなパルスを発生する。
【０００９】
　図２は、偏向されたレーザ・ビーム１６が側部２０から側部２２へ掃引するときに、図１に描かれた２つの光検出器１０、１２により発生されるディジタル・パルスを図示する波形図である。偏向振幅とオフセットとは下記の関係によりセンサ１０、１２の時間へ関係付けられる。
【数１】
2004110030.tif 000003
【００１０】
　検出器１０、１２が希望の全偏向振幅の７０％近くに位置するときは、各検出器１０、１２のパルスは、単位円内の異なる象限の中に現れる。各それぞれの象限について、方程式（１）は、下記の通りになる。
【数２】
2004110030.tif 000004
【００１１】
　偏向の振幅が低いときは、ｔ0からｔ1への時間およびｔ2からｔ3への時間は短くなる。同様に、偏向振幅が大きいときは、これらの時間デルタが増加するので、これらの時間を測定することにより、振幅の関数である値を発生する。図３は、図２に示したディジタル・パルスについて、偏向されたレーザ・ビーム振幅と波形タイミングとの間の関係を図示する略図である。この関数は下記のように簡潔に書くことができる。
【数３】
2004110030.tif 000005
【００１２】
　それから、ｔｓｕｍと定義される値は下記の通りに書かれる。
　
【数４】
2004110030.tif 000006
【００１３】
　ビーム１６偏向に対する正のオフセットがあるときは、タイミングｔｌｅｆｔが増加して、タイミングｔｒｉｇｈｔが減少することが理解されよう。トラック偏向オフセットｔｄｉｆｆが下記の通りに定義される。
【数５】
2004110030.tif 000007
【００１４】
　方程式（２）を振幅Ａについて解き、方程式（３）をオフセットｂについて解くと、そのときはタイミング測定と振幅とオフセットが下記のように示される。
【数６】
2004110030.tif 000008
【００１５】
　それから、所望の動作点周辺（オフセットｂが零で基準値が偏向振幅Ａの７０．７％であるときに）で、方程式（４）と方程式（５）とがそれぞれ下記の通りに近似される。
【数７】
2004110030.tif 000009
【００１６】
　図４は、図１に示したシステムのトポロジーについて、定義された時間ｔｓｕｍとレーザ偏向振幅Ａとオフセットｂとの間の関数関係を図示する３次元グラフである。図５は、図１に示したシステムについて、定義された時間ｔｄｉｆｆとレーザ偏向振幅Ａとオフセットｂとの間の関数関係を図示する３次元グラフである。この場合、偏向はミラー１４の回転の度数で測定され、時間は１ＭＨｚクロック周期内にある。本発明者は、分解能を増すためにより高い周波数クロックを使用できることを、実際に発見した。図４と図５に注目すると、ある振幅Ａまたはオフセットｂにおいて、偏向されたレーザ・ビーム１６が検出器１０と検出器１２の両方を横切らないこと、それゆえ４つの検出器パルスのうち２つのみが発生されるのがわかる。この場合、失われたｔｌｅｆｔまたはｔｒｉｇｈｔの値はゼロと定義される。そのときの結果は、あるコントローラが考慮しなければならない３つの動作有効期間があるということである。これらは次の通りに説明される。１）検出なし：オープン・ループで動作して、振幅管理をステップ増加する；２）右または左検出のみ：振幅とオフセットの利得はほぼ半分なので、コントローラ利得を２倍にする；両方の検出器時間が利用できる：前記のように利得を使用する。
【００１７】
　引続き図４と図５を参照すると、振幅に対するｔｓｕｍ表面の傾斜がほぼ４０クロック／度であり、またオフセットに対するｔｄｉｆｆ表面の傾斜がほぼ６０クロック／度である（希望するオペレーティング・ポイントの近くで）ことがわかる。従って、レーザ・ビームの偏向振幅とオフセットの制御に使用するのに充分な測度が利用可能であることがわかる。
【００１８】
　さて上記の観点から、ＭＥＭＳミラー１４コイル・ドライバに関する議論を以下に提示する。ワーキング・エリアすなわちｔ1からｔ1までをビームが横切るのに要する時間に関して、ビーム偏向方程式を再配置すると、振幅は下記のように表現される。
【数８】
2004110030.tif 000010
【００１９】
　従って、検出器１０、検出器１２の検出角度およびミラー１４の掃引周波数を知っていれば、左側検出器１０から右側検出器１２へ掃引するのに必要とされる時間から、振幅が計算できる。
【００２０】
　変化する振幅に対するシステムの感度を方程式（６）から決定できるので、維持しなければならない振幅の変化は、許容できる周期の変動が知られており、周期をおおよそΔＴとすれば、下記のように決定される。
【数９】
2004110030.tif 000011
【００２１】
　検出器１０と検出器１２とが全偏向の７０．７％であるように、位置していれば、そのときは、振幅のパーセント変化は、下記のようにタイミングの漸進的変化の関数として表現できる。
【数１０】
2004110030.tif 000012
【００２２】
　そして、タイミングにおける１０ｎｓｅｃの変化、ｄＴについて、方程式（７）は、下記の通りになる。
【数１１】
2004110030.tif 000013
【００２３】
　従って、ミラー１４の偏向を制御するために、増幅器に少なくとも１４ビットの分解能が必要である。
【００２４】
　図６は、偏向されたレーザ・ビーム１６の振幅を制御するための完全なシステム１００を図示する略図であり、図１に示したシステムと共に使用するのに適していて、左センサ１０におけるレーザ・ビーム２０の最初の検出から右センサ１２におけるレーザ・ビーム２２の検出までの時間を測定することにより、変更されたレーザ・ビーム１６の振幅を制御する。システム１００は、左光検出器１０、右光検出器１２、左右の検出器１０、１２までの時間の和と差とを計算するタイミング検出論理回路１０２、制御作用力を計算するためのデジタル・プロセッサ１０４、制御作用力値を電圧に変換するための振幅ＤＡＣ１０６及びオフセットＤＡＣ１０８、制御作用力により、その振幅が変調済みである正弦波発生器１１０、およびミラー・モータ・コイル１１４を駆動する電圧増幅器１１２を含む。一つの実施例によれば、正弦駆動波形を発生するために、水晶制御ＰＷＭ信号を使用するＨブリッジ電圧増幅器により、コイル１１４が駆動され、一方、駆動信号の振幅は、たとえば１６ビットＤＡＣを介して制御される。
【００２５】
　図７は、図６に描かれたタイミング検出論理回路１０２の一層詳細な図である。タイミング検出論理回路１０２は、上述のｔｌｅｆｔおよびｔｒｉｇｈｔの時間間隔（左検出器１０から左検出器１０までおよび右検出器１２から右検出器１２までの時間）を測定するために動作できる。
【００２６】
　図８は、図７に描かれた状態機械シグナル・コンディショナ１１６の一層詳細な図を示す。状態機械シグナル・コンディショナ１１６は下記の真理値表に基づいて設計される。
　
【表１】
2004110030.tif 000014
【００２７】
　図９は、図６ないし図８に描かれたシステムに関連する偏向振幅を維持するための５次ディジタル制御ループのトポロジーを図示するシステム図である。点線の下の諸ブロックは、コードで実施される諸機能を表現する。
【実施例２】
【００２８】
　図１０は、遠ミラー２０２、近ミラー２０４、単一のレーザ検出器２０６を含むシステム２００を図示する図解であって、レーザ発振器により発振されるレーザ・ビーム２１０を偏向させている共振走査ミラー２０８に関連する偏向範囲の一端に近くに、各ミラーが配置されている。共振走査ミラー２０８は、プリンタ・レンズ２１２の範囲よりも大きいレーザ・ビーム２１０の正弦波変位を発生する。偏向されたレーザ・ビーム（図１０に２３０と２４０の数字で示す）が遠ミラー２０２と近ミラー２０４（これらは固定位置のミラーである）を横切ると、ビーム２１４とビーム２１６とが単一のレーザ検出器２０６へ反射される。
【００２９】
　図１１は、レーザ検出器２０６によりわかる共振走査ミラー２０８から偏向するレーザビームの正弦波変位とともに、図１０に示す共振走査ミラー２０８の強制関数により発生されるウィンドウ関数を図示する波形図である。
【００３０】
　図１２は、図１１に示したウィンドウ関数２４２および検出器２０６の出力信号２５０を使用して発生される、２つの出力信号２４４、２４６を示す。図１１に示した正弦波２５２の振幅が「一定以上の」信号からのポジティブ・ゴーイング・パルス２４４、２４６の長さにより表現されるならば、そのときは長いパルスであればあるほど大きな振幅を意味する。
【００３１】
　図１３は、図３に示したグラフと類似のグラフを描写し、偏向されたレーザ・ビームの振幅と図１２に示したポジティブ・ゴーイング・パルス２４４、２４６の長さとの関係を示す。そのとき正弦波２５２の全振幅は、近ミラー２０４のパルスの長さに加えられた遠ミラー２０２からのパルスの長さとして表現される。この結果がある予想された全幅から差し引かれて振幅エラーを発生し、これがコントローラへフィードバックされ、これにより共振走査ミラー２０８上の強制関数の振幅を修正して、正弦波２５２の振幅を管理することができる。
【００３２】
　正弦波２５２が遠ミラー２０２と近ミラー２０４との間の中心になければ、遠ミラー２０２、近ミラー２０４からのパルス２４４、２４６の幅は長さが同一でない。一方のパルス幅からもう一方を差し引けば、図１０に示された中心２２０からの正弦波の有効オフセット値が得られる。このオフセットを同様にコントローラへフィードバックして、共振走査ミラー２０８上の強制関数のオフセットを修正することにより、正弦波２５２のオフセットを管理することができる。
【００３３】
　図１４は、図６に描かれたタイミング検出論理回路１０２のもう一つの実施例の詳細な図解を示す。タイミング検出論理回路１０２が図１４に示す構成を採用するときは、制御システム１００もまた図１０に示す検出システム２００により使用するのに適している。検出システム２００は、ウィンドウ信号２４２と同様に単一の検出信号２５０に対して応答できることがわかる。
【００３４】
　図１５は、図１４に描写した状態機械信号コンディショナ３００の一層詳細の図解を示す。状態機械信号コンディショナ３００は、下記の真理値表２に基づいて設計されている。
　
【表２】
2004110030.tif 000015
【００３５】
　上記の見地から、ＭＥＭＳミラー・コントローラの技術において、本発明が大きな進歩を提示することがわかる。更に、共振走査ミラー・コントローラの当業者が、新規の諸原則を応用し、要求される特別な構成要素を使用するのに必要な情報を供給するために、本発明をかなり詳細に説明してきた。上記の説明を参照すれば、本発明が構成と動作において先行技術から著しく離れていることが明らかである。しかしながら、本発明の特定の実施例を本書に詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲に定義される本発明の精神と範囲からどんな仕方でも離れることなく、種々な変更、修正、代替をなし得ることを理解すべきである。
【００３６】
　以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
【００３７】
　（１）　共振走査ミラーを制御する方法であって、
　前記共振走査ミラーの動作に応答して、前記共振走査ミラーによって偏向されるレーザ・ビームに関する偏向タイミングを測定するステップと、
　前記偏向タイミング測定に応答して、前記レーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御するステップと、
を含む前記方法。
【００３８】
　（２）　前記共振走査ミラーの動作に応答して、前記共振走査ミラーによって偏向されるレーザ・ビームに関する偏向タイミングを測定する前記ステップは、前記共振走査ミラーに関する偏向範囲の中心から均等に間隔をあけた２つの光検出器の間のデルタ時間を測定するステップを含む第１項記載の方法。
【００３９】
　（３）　前記偏向タイミング測定に応答して前記レーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御する前記ステップは、第１光検出器に関する所定の視野を前記レーザ・ビームが横切る時間と第２光検出器に関する所定の視野を前記レーザ・ビームが横切る時間との合計に対する利得を利用することにより偏向振幅を計算するステップを含み、これらの光検出器は前記共振走査センサに関する偏向範囲の中心から実質的に等間隔をあけて配置されている第１項記載の方法。
【００４０】
　（４）　前記偏向タイミング測定に応答して前記レーザ・ビームの偏向振幅とオフセットとを制御する前記ステップは、第１光検出器に関する所定の視野を前記レーザ・ビームが横切る時間と第２光検出器に関する所定の視野を前記レーザ・ビームが横切る時間との合計に対する利得を利用することにより偏向オフセットを計算するステップを含み、複数の光検出器は前記共振走査センサに関する偏向範囲の中心から実質的に等間隔をあけて配置されている第１項記載の方法。
【００４１】
　（５）　前記偏向タイミング測定に応答して前記レーザ・ビームの前記偏向振幅とオフセットを制御する前記ステップは、
　前記偏向タイミング測定に応答して振幅データを計算するステップと、
　前記振幅データを制御電圧へ変換するステップと、
　前記制御電圧により前記共振走査ミラーに関するモータ・コイルを駆動するステップと、
を含む第１項記載の方法。
【００４２】
　（６）　前記偏向タイミング測定に応答して振幅データを計算する前記ステップは、前記偏向タイミング測定に応答するディジタル信号プロセッサにより振幅データを計算するステップを更に含む第５項記載の方法。
【００４３】
　（７）　前記偏向タイミング測定に応答して前記レーザ・ビームの前記偏向振幅と前記オフセットとを制御する前記ステップは、
　前記偏向タイミング測定に応答してパルス幅データを計算するステップと、
　前記パルス幅データを制御電圧へ変換するステップと、
　前記制御電圧により前記共振走査ミラーに関するモータ・コイルを駆動するステップと、
を含む第１項記載の方法。
【００４４】
　（８）　前記パルス幅データを制御電圧へ変換する前記ステップが、
　ディジタル・アナログ変換器により前記パルス幅を電圧へ変換するステップと、
　電圧増幅器により前記電圧を処理して共振走査ミラー・モータ・コイル制御電圧を発生する前記ステップと、
を含む第６項記載の方法。
【００４５】
　（９）　振動ミラーガルバノメータによって偏向されるレーザ・ビームの偏向振幅およびオフセットを制御するシステムであって、
　共振走査ミラーと、
　該共振走査ミラーにより偏向されるレーザ・ビームに応答して出力信号を発生するように構成された光検出器システムと、
　前記光検出器の出力信号に応答して前記偏向されたレーザ・ビームに関する時間合計および／または時間差を計算するように構成されたタイミング検出論理回路と、
　前記時間合計および／または時間差に応答して制御作用力を計算するように構成されたディジタル・プロセッサと、
　前記制御作用力を電圧に変換するように構成された一対のデジタル・アナログ変換機（ＤＡＣ）と、
　前記制御作用力に応答して、正弦波を発生するように構成された正弦波発生器と、
　前記正弦波に応答して、共振走査ミラー・モータ・コイル電圧を発生するように構成された電圧増幅器と、
を含む前記システム。
【００４６】
　（１０）　前記一対のデジタル・アナログ変換機が、
　前記偏向されたレーザ・ビームの前記振幅を制御するように構成された第１ＤＡＣと、
　前記偏向されたレーザ・ビームの前記オフセットを制御するように構成された第２ＤＡＣと、
を含む第８項記載のシステム。
【００４７】
　（１１）　前記光検出器システムが、前記共振走査ミラーに関する前記偏向範囲の前記中心から等間隔を取って配置された一対の光検出器を含むと共に、前記タイミング検出論理回路が、前記一対の光検出器の間を移動する偏向されたレーザ・ビームに関連する前記時間合計と前記時間差とを計算するように構成されている第８項記載のシステム。
【００４８】
　（１２）前記光検出システムが、
　前記共振走査ミラーに関する前記偏向範囲の前記中心から均等に間隔をとって配置された一対のミラーと、
　前記共振走査ミラーにより偏向された前記レーザ・ビームに応答して、前記出力信号を発生するように構成された単一の光検出器と、
を含む第８項記載のシステム。
【００４９】
　　（１３）　ビーム偏向タイミング情報のみを与えられて、共振ミラーガルバノメータによって偏向されたレーザビームの偏向振幅とオフセットとを制御するシステムと方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
　添付図面と共に前記の詳細な説明を参照することにより本発明がより良く理解されるにつれて、本発明の他の面、特徴、利点が容易に明らかになる。
【図１】レーザ・ビームを偏向している共振走査ミラーに関する偏向範囲の両端近くにある２つの光検出器を図示する絵画的な図である。
【図２】偏向されたレーザ・ビームが端から端まで掃引するときに図１に描かれた２つの光検出器により発生されるディジタル・パルスを図示する波形図である。
【図３】図２に示したディジタル・パルスについて、偏向されたレーザ・ビームの振幅と波形タイミングの間の関係を示す図解である。
【図４】図１に示したシステムについて、定義された時間ｔｓｕｍとレーザ・ビームの偏向振幅およびオフセットとの関数的な関係を図示する３次元グラフである。
【図５】図１に示したシステムについて、定義された時間ｔｄｉｆｆとレーザ・ビームの偏向振幅およびオフセットとの関数的な関係を図示する３次元グラフである。
【図６】図６は、偏向されたレーザ・ビームの振幅とオフセットを制御するための完全なシステムを図示する簡略化された回路図であって、図１に示したシステムと共に使用するのに適していて、左センサにおけるレーザ・ビームの最初の検出から右センサにおけるレーザ・ビームの検出に至るまでの時間を測定することにより、偏向されたレーザ・ビームの振幅とオフセットを制御する。
【図７】図６に描かれたタイミング検出論理回路の一層詳細な回路図である。
【図８】図７に描いた状態機械シグナル・コンディショナの一層詳細な回路図を示す。
【図９】図６ないし図８に描いたシステムに関する偏向の振幅とオフセットを維持するためのデジタル制御ループのトポロジーを図示するシステム図である。
【図１０】二つのミラーと単一のレーザ検出器とを図示する絵画的な図であって、レーザ・ビームを偏向している共振走査ミラーに関する偏向範囲の一端に近く各ミラーが配置される。
【図１１】共振走査ミラーから偏向されたレーザ・ビームの正弦波変位を描いた波形図であって、レーザ検出器によって検知されると共に、図１０に示した共振走査ミラーの強制関数により発生されたウインドウ関数によって検知される。
【図１２】図１２に示したウインドウ関数および検出器出力信号を使用して発生された二つの出力信号を描く。
【図１３】図３と同様に、偏向されたレーザ・ビームの振幅と図１２に示したポジティブ・ゴーイング・パルスの長さとの間の関係を示す。
【図１４】図６に描いたタイミング検出器論理回路のもう一つのより詳細な回路図であって、図１０に示したシステムにより使用されるのに適したものである。
【図１５】図１４に描いた状態機械シグナル・コンディショナの一層詳細な回路図である。
【００５１】
　上記に確認した図面の図形が特定の実施例を提示するが、本発明の他の実施例も議論において指摘したように考慮されている。全ての場合にこの開示は、本発明の例示的な実施例を代表によって示すのであって、制限によって示すのではない。多くの他の修正と実施例が、当業者により工夫され得るが、それらは本発明の諸原則の範囲と精神の範囲以内に入る。
【符号の説明】
【００５２】
　１０、１２　光検出器
　１４　共振走査ミラー
　１６　レーザ・ビーム
　１８　偏向の中心
　２０、２２　側部
　１００　システム
　１０２　タイミング検出論理回路
　１０４　ディジタル・プロセッサ
　１０６　振幅ＤＡＣ
　１０８　オフセットＤＡＣ
　１１０　正弦波発生器
　１１２　電圧増幅器
　１１４　ミラー・モータ・コイル
　２００　システム
　２０２　遠ミラー
　２０４　近ミラー
　２０６　単一レーザ検出器
　２０８　共振走査ミラー
　２１０　レーザ・ビーム
　２１２　プリンタ・レンズ
　２３０、２４０　偏向されたレーザ・ビーム
　２４２　ウィンドウ関数
　２４４、２４６　出力信号
　２５０　出力信号
　２５２　正弦波
　３００　状態機械シグナル・コンディショナ
【図１】
2004110030.tif 000016
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004110030.tif 000019
【図５】
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【図６】
2004110030.tif 000021
【図７】
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【図８】
2004110030.tif 000023
【図９】
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【図１０】
2004110030.tif 000025
【図１１】
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【図１２】
2004110030.tif 000027
【図１３】
2004110030.tif 000028
【図１４】
2004110030.tif 000029
【図１５】
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