(57)【要約】【課題】被塗工基材の塗布面に傷が生じることを防止した、耐久性が高い塗工装置用ロッド及びその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】塗工装置用ロッド１１０は、円柱状の母材１１２の表面に形成されラッピング処理された中間層１１３と、中間層１１３の表面に形成されラッピング処理された耐磨耗性の皮膜１１４と、を有する。中間層１１３は、母材１１２の表面を拡散処理により改質してなる拡散層である。中間層１１３として、母材表面を拡散処理してなる拡散層を形成しており、中間層１１３が母材１１２の一部を構成しているので、これにより、中間層１１３が母材に強固に固着されており、母材１１２から著しく剥れ難い。【選択図】        図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の母材の表面に形成された中間層と、
前記中間層の表面に形成された耐磨耗性の皮膜と、
が設けられ、
前記中間層が、前記母材の表面を拡散処理により改質してなる拡散層であることを特徴とする塗工装置用ロッド。
【請求項２】
前記中間層の表面及び前記皮膜の表面がラッピング処理されていることを特徴とする請求項１に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項３】
前記中間層の厚みが３〜６０μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項４】
前記皮膜がイオンプレーティング法によって形成されたイオンプレーティング膜であることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項５】
前記皮膜の膜厚が０．２〜５μｍの範囲内であることを特徴とする請求項４に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項６】
前記母材の表面には塗布液量調整用の溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のうち何れか１項に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項７】
前記溝によって形成された山の角部の曲率半径が１０μｍ以上にされていることを特徴とする請求項６に記載の塗工装置用ロッド。
【請求項８】
円柱状の母材の表面に、前記母材の表面を拡散処理により改質してなる拡散層を中間層として形成する中間層形成工程と、
前記中間層の表面をラッピングする中間層ラッピング工程と、
前記中間層の表面に耐磨耗性の皮膜を形成する皮膜形成工程と、
前記皮膜の表面をラッピング処理する最表面ラッピング工程と、
を行うことを特徴とする塗工装置用ロッドの製造方法。
【請求項９】
前記中間層及び前記皮膜を６００℃以下の温度条件で形成することを特徴とする請求項８に記載の塗工装置用ロッドの製造方法。
【請求項１０】
前記皮膜形成工程ではイオンプレーティング法で前記皮膜を形成することを特徴とする請求項９に記載の塗工装置用ロッドの製造方法。
【請求項１１】
前記中間層形成工程と、前記中間層ラッピング工程と、を交互に複数回行うことを特徴とする請求項８〜請求項１０のうち何れか１項に記載の塗工装置用ロッドの製造方法。
【請求項１２】
前記中間層ラッピング工程では前記中間層の最大表面粗さが０．２μｍになるまでラッピングし、
前記最表面ラッピング工程では前記皮膜の最大表面粗さが０．２μｍになるまでラッピングすることを特徴とする請求項８〜請求項１１のうち何れか１項に記載の塗工装置用ロッドの製造方法。
【請求項１３】
前記母材の表面に塗布液量調整用の溝を形成しておくことを特徴とする請求項８〜請求項１２のうち何れか１項に記載の塗工装置用ロッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐磨耗性の皮膜が表面に形成されている塗工装置用ロッド及びその製造方法に関し、更に詳細には、連続して走行するウエブ等の被塗工基材に塗布液を塗布するのに最適な塗工装置用ロッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
感光材料、写真製版材料、磁気記録材料、記録紙材料、感光性平板印刷版などを製造する際、薄い金属板、紙、フィルム等からなるシート状或いはウエブ状の被塗布体（被塗工基材）を長手方向に連続走行させつつ片面側に塗布液（感光液）を塗布することが広く行われている。
【０００３】
この塗布を行う際、被塗工基材の塗布面に塗工装置用ロッド（バー）を当接させ、ロッド表面に塗布液を供給しつつ塗工装置用ロッドを回転させて塗布していることが多い。なお、この塗布方法はバー塗布法と呼ばれている。
【０００４】
この塗工装置用ロッドは、断面真円の丸棒、丸棒の表面に周方向に沿った溝が形成されたもの、又は、丸棒にワイヤを巻付けたもの、で構成される。この塗工装置用ロッドの表面には、一般に、表面改質処理が施されており、耐磨耗性の皮膜が形成されていることが多い。皮膜の形成は、メッキ、物理蒸着、化学蒸着等、様々な手法で行われ得る。
【０００５】
ところで、塗工装置用ロッドの表面に凹凸が形成されていると、被塗工基材の塗布面に傷（主としてスリキズ）が生じてしまう。このため、母材の表面をラッピング処理して平滑面とし、その上に表面改質処理による耐磨耗性の皮膜を形成している。
【０００６】
しかし、母材の表面を充分にラッピング処理しても、被塗工基材の塗布面に傷が生じることが頻繁に起こるという問題があった。
【０００７】
また、特に陽極酸化アルミウエブに対して高速で塗布すると、ロッド表面に形成した耐磨耗性の皮膜が短期間で磨耗或いは剥離してしまい、塗布精度が低下するという問題もあった。
【０００８】
なお、塗工装置用ロッドの表面に皮膜を形成する例としては、例えば、特許文献１〜５に開示されている。
【０００９】
しかし、特許文献１では、皮膜の最大粗さを０．８μｍ以下にすると共に皮膜の膜厚を１．５μｍ〜３０μｍの範囲内にして、皮膜として硬質クロムメッキ膜やアモルファスクロムメッキ膜を形成することが開示されているものの、皮膜の膜厚が厚過ぎる場合には皮膜が剥がれ易くなると想定される。
【００１０】
また、特許文献２は、皮膜として形成したセラミック膜又はダイヤモンド膜の膜厚と、塗工装置用ロッドの表面凸部の平坦面の幅と、の比について開示した文献であり、この平坦面の幅に影響されずに皮膜の膜厚を決定可能にすることが望まれる。
【００１１】
また、特許文献３は、皮膜を複数層にわたって形成することが開示された文献であり、皮膜を剥がれ難くするために中間層を形成しているが、中間層を剥れ難くする対策を行っておくことが望ましい。
【００１２】
また、特許文献４では、母材の表面にセラミック膜又はダイヤモンド膜を皮膜として形成すると共に、母材に溝を形成し、溝によって形成された凸部の曲率半径について規定している。そして、溝によって形成された凸部のロッド軸方向端部の曲率半径について、膜厚との関係で規定している。しかし、凸部の切削加工量が多いため、加工に時間がかかると想定される。
【００１３】
また、特許文献５では、耐磨耗性能の増大を図るためにロッド表面に直接、或いは中間層を介して窒化チタン層を耐磨耗性の皮膜として形成している。しかし、中間層として硬質クロム膜をメッキで成膜しており、また、皮膜である窒化チタン層の厚みが開示されておらず、中間層の剥れが懸念される。
【００１４】
【特許文献１】
特開２０００−９０１号公報
【特許文献２】
特開２０００−３４３０１２号公報
【特許文献３】
特開２０００−３５４８０８号公報
【特許文献４】
特開２０００−３３４３４９号公報
【特許文献５】
特開平４−０４８９５６号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事実を考慮して、被塗工基材の塗布面に傷が生じることを防止した、耐久性が高い塗工装置用ロッド及びその製造方法を提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、母材の表面を更に高い精度で平滑にすることにより上記の問題を解消することを試みたが、上記の問題は解決されなかった。
【００１７】
そこで、本発明者は、高い精度で平滑にした母材表面に形成した皮膜の表面状態を分析した。その結果、皮膜の表面に微細な凹凸が形成されることがあり、このため、塗工装置用ロッドを用いると被塗工基材の塗布面に傷（主としてスリキズ）が生じることが判った。そして、皮膜の凹凸は塗工装置用ロッドの使用により減少していくが、使用初期の段階ではこの凹凸によって被塗工基材の塗布面に生じる傷が深いことも判った。更に、皮膜として、硬度が高く耐磨耗性のあるものを用いた場合、塗工装置用ロッドの使用によってもこの凹凸が低減せず、このため、長期にわたって塗布面に傷が生じてしまうことも判った。
【００１８】
以上のような検討結果に基づき、本発明者は、被塗工基材の塗布面に傷が生じることを防止する対策として、皮膜の表面をラッピング処理することを考え付いた。
【００１９】
また、本発明者は、どのような中間層にも表面には微細な凸部が生じることを見い出した。一方、最表面に位置する皮膜は、耐磨耗性の観点上、一般的に硬度を高くしており、チッピング防止のために厚肉化できない。従って、中間層に形成されている凸部によって皮膜に凸部が形成され易く、このため、このような塗工装置用ロッドを用いて被塗工基材に塗布液を塗布すると、被塗工基材の塗布面にスリキズが生じ易いということを見い出した。
【００２０】
そこで、本発明者は、被塗工基材の塗布面に傷が生じることを防止する対策として、中間層の表面をラッピング処理することも考え付いた。
【００２１】
また、本発明者は、中間層が剥れることによって皮膜のチッピングが頻繁に生じていることを突き止めた。そこで、中間層が母材から剥がれ難くする対策を考え、実験を重ねて検討し、本発明を完成するに至った。
【００２２】
請求項１に記載の発明は、円柱状の母材の表面に形成された中間層と、前記中間層の表面に形成された耐磨耗性の皮膜と、が設けられ、前記中間層が、前記母材の表面を拡散処理により改質してなる拡散層であることを特徴とする。
【００２３】
中間層（拡散層）及び皮膜の膜厚は０．２μｍ以上であることが好ましい。膜厚が０．２μｍ未満であると、磨耗を防止するための皮膜として厚さが充分でなく、しかも、ロッド表面の粗さによって皮膜表面が粗くなり、皮膜の滑らかさを確保し難くなるためである。また、中間層の膜厚は、厚くなり過ぎて剥がれ易くならないようにする。中間層の膜厚は、材質によっても異なるが、実用的には、２〜７０μｍ程度であることが多い。
【００２４】
皮膜としては、ＤＬＣ膜（ダイヤモンドライクカーボン膜）、ＴｉＮ膜（窒化チタン膜）、ＴｉＣＮ膜、ＣｒＮ膜、ＴｉＣ膜、Ａｌ２Ｏ３膜、Ｃｒ２Ｏ３膜、ＳｉＯ３膜、Ｔｉ２Ｏ３膜、ＡｌＮ膜、ＺｒＮ膜、ＳｉＣ膜などが好ましいが、耐磨耗性である限り特に限定しない。皮膜の製法は、イオンプレーティング、メッキ等、特に限定しない。
【００２５】
母材表面を拡散処理して中間層を形成する際、イオン窒化処理等によって母材の表面を改質することにより形成する。これにより、中間層が母材と一体的に形成されているので、中間層が母材から著しく剥れ難い。中間層の材質は特に限定しない。
【００２６】
また、中間層の熱膨張係数が、母材の熱膨張係数よりも小さくて皮膜の熱膨張係数よりも大きいか、又は、母材の熱膨張係数よりも大きくて皮膜の熱膨張係数よりも小さいように、中間層の材質を選定することが好ましい。これにより、ロッド温度が変化して、母材と皮膜との熱膨張係数の違いにより皮膜に熱応力が生じても、中間層がこの熱応力の緩和材として作用するので、皮膜に生じる熱応力を低減することができる。従って、皮膜の成膜中にロッド温度が変化したり、ロッド使用中にロッド表面にせん断応力や垂直応力が加えられても、皮膜にクラックや剥離が生じ難い。
【００２７】
中間層が複数層形成されていてもよい。これにより、中間層の厚みが所定厚以上である場合、一層の中間層を形成する場合に比べ、中間層のチッピングが生じ難い。なお、この場合、中間層を構成する各層の熱膨張係数を母材側から皮膜側にかけて、順次上がる、又は、順次下がるように各層の材質を選定することにより、母材と皮膜との熱膨張係数差が大きくても、皮膜に大きな熱応力が生じることを回避できる。
【００２８】
このように、請求項１に記載の発明では、中間層として、母材表面を拡散処理してなる拡散層を形成しているので、中間層が母材の一部を構成している。従って、中間層が母材に強固に固着されており、母材から著しく剥れ難い。
【００２９】
請求項２に記載の発明は、前記中間層の表面及び前記皮膜の表面がラッピング処理されていることを特徴とする。
【００３０】
中間層表面及び皮膜表面のラッピング処理の形態は特に限定しない。
【００３１】
請求項２に記載の発明では、このように、中間層の表面がラッピング処理されているので、母材に転造ムラが生じていてもラッピング処理によりこの転造ムラを解消でき、塗工装置用ロッドを用いても被塗工基材の塗布面に部分的に力が加えられ過ぎて筋状の傷が生じることを防止できる。その上、中間層表面の微小な凹凸やうねりを除去することができるので、中間層のこの微小な凹凸やうねりが皮膜の表面に影響することを防止できる。
【００３２】
更に、皮膜の表面がラッピング処理されているので、皮膜を形成する際に皮膜に凹凸が生じても、この凹凸を除去することができ、これにより、塗工装置用ロッドを用いても被塗工基材の塗布面に傷が付くことが防止される。
【００３３】
請求項３に記載の発明は、前記中間層の厚みが３〜６０μｍの範囲内であることを特徴とする。
【００３４】
これにより、拡散層の滑らかさを充分に確保できると共に、厚くなり過ぎて不具合が生じることを防止できる。
【００３５】
請求項４に記載の発明は、前記皮膜がイオンプレーティング法によって形成されたイオンプレーティング膜であることを特徴とする。イオンプレーティング膜の硬度は比較的高いので、これにより、耐磨耗性に優れた塗工装置用ロッドが実現される。
【００３６】
請求項４に記載の発明のように皮膜がイオンプレーティング膜である場合、中間層は、メッキ膜やイオンプレーティング膜であってもよく、皮膜の種類、製法は特に限定しない。硬度が高い層を中間層として形成する場合には、チッピングが発生しないように中間層の厚みを考慮することが好ましい。実用的には、中間層がメッキ層である場合には３〜１２μｍの範囲内、中間層がイオンプレーティング膜である場合には０．２〜５μｍであることが多い。
【００３７】
このように、請求項４に記載の発明では、中間層の上に、皮膜としてイオンプレーティング膜を形成している。従って、硬度が高い皮膜がロッド表面に形成されていても、中間層の作用によって皮膜が母材から剥れ難い。
【００３８】
また、この中間層の表面がラッピング処理されているので、母材に転造ムラが生じていてもラッピング処理によりこの転造ムラを解消でき、塗工装置用ロッドを用いても被塗工基材の塗布面に部分的に力が加えられ過ぎて筋状の傷が生じることを防止できる。その上、中間層表面の微小な凹凸やうねりを除去することができるので、中間層のこの微小な凹凸やうねりが皮膜の表面に影響することを防止できる。
【００３９】
更に、皮膜の表面がラッピング処理されているので、皮膜を形成する際に皮膜に凹凸が生じても、この凹凸を除去することができ、これにより、塗工装置用ロッドを用いても被塗工基材の塗布面に傷が付くことが防止される。
【００４０】
なお、請求項１から請求項４に記載の発明では、各層の熱膨張係数を母材側から皮膜側にかけて、順次上がる、又は、順次下がるように各層の材質を選定することにより、母材と皮膜との熱膨張係数差が大きくても、皮膜に生じる応力を緩和することができ、皮膜にクラックが生じ難くなる。
【００４１】
請求項５に記載の発明は、前記皮膜の膜厚が０．２〜５μｍの範囲内であることを特徴とする。膜厚が０．２μｍ未満であると、上述したように、磨耗を防止するための皮膜として厚さが充分でなく、しかも、皮膜の滑らかさを確保し難くなるためである。また、イオンプレーティング膜の硬度は、他の方法で形成した膜に比べて一般的に高いため、５μｍよりも厚いと皮膜にチッピングが生じ易くなる。５μｍ以下にすることにより、皮膜にチッピングが発生することを防止し易い。
【００４２】
なお、皮膜として硬質クロム膜を湿式メッキで形成すると、ラッピング処理後の表面硬度が８００Ｈｖ程度であり、１０００Ｈｖにまで達しない。一方、皮膜の耐磨耗性の点では、ラッピング処理後の表面硬度を１０００Ｈｖ以上とすることが好ましい。そこで、皮膜のビッカース硬さは１０００Ｈｖ以上であることが好ましい。これにより、表面の耐磨耗性が充分に高い塗工装置用ロッドが実現される。例えば、皮膜の材質をＴｉＮやＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）などにすると、ラッピング処理後の表面硬度を１０００Ｈｖ以上にすることができる。
【００４３】
請求項６に記載の発明は、前記母材の表面には塗布液量調整用の溝が形成されていることを特徴とする。これにより、塗布液量を調整して塗布することができる耐久性の良い塗工装置用ロッドが実現される。
【００４４】
請求項７に記載の発明は、前記溝によって形成された山の角部の曲率半径が１０μｍ以上にされていることを特徴とする。これにより、山の角部で皮膜が剥がれ難くなり、塗布面に筋状のスリキズが生じることを防止し易い。このことは、硬度が高いイオンプレーティング膜を皮膜として形成する場合に特に優れた効果を奏する。
【００４５】
請求項８に記載の発明は、円柱状の母材の表面に、前記母材の表面を拡散処理により改質してなる拡散層を中間層として形成する中間層形成工程と、前記中間層の表面をラッピングする中間層ラッピング工程と、前記中間層の表面に耐磨耗性の皮膜を形成する皮膜形成工程と、前記皮膜の表面をラッピング処理する最表面ラッピング工程と、を行うことを特徴とする。
【００４６】
このように、中間層（拡散層）をラッピング処理することにより、母材に転造ムラが生じていてもこの転造ムラを容易に解消することができる。また、中間層は、上述したように母材に強固に固着しており、ラッピング処理中に剥れることが起こり難いので、ラッピング処理を著しく行い易い。更に、中間層表面の微小な凹凸やうねりを除去することができ、中間層のこの微小な凹凸やうねりが皮膜の表面に影響することを防止できる。
【００４７】
ラッピングの削り深さの好ましい値は、中間層及び皮膜の膜形成方法（表面改質処理など）によって異なるが、０．２μｍ〜５μｍの範囲内であることが多い。ラッピングの手法は特に限定しない。
【００４８】
請求項９に記載の発明は、前記中間層及び前記皮膜を６００℃以下の温度条件で形成することを特徴とする。
【００４９】
これにより、中間層及び皮膜を低温で形成しているので、母材と中間層や皮膜との熱膨張係数の違いによって中間層や皮膜に生じる残留応力を小さくすることができる。従って、残留応力により皮膜にクラックや剥離が生じることを防止し易い。
【００５０】
請求項１０に記載の発明は、前記皮膜形成工程ではイオンプレーティング法で前記皮膜を形成することを特徴とする。これにより、低温で皮膜を形成できると共に、耐磨耗性の高い皮膜を形成することができる。
【００５１】
請求項１１に記載の発明は、前記中間層形成工程と、前記中間層ラッピング工程と、を交互に複数回行うことを特徴とする。
【００５２】
これにより、所定の厚みの中間層を形成するにあたり、一層の中間層を形成する場合に比べ、中間層のチッピングが生じ難い。なお、中間層を構成する各層の熱膨張係数を母材側から皮膜側にかけて、順次上がる、又は、順次下がるように各層の材質を選定することにより、母材と皮膜との熱膨張係数差が大きくても、皮膜に大きな熱応力が生じることを回避できる。
【００５３】
なお、母材の表面を予めラッピング処理しておいてもよい。これにより、母材表面の凹凸やうねりの影響を解消することができる。
【００５４】
請求項１２に記載の発明は、前記中間層ラッピング工程では前記中間層の最大表面粗さが０．２μｍになるまでラッピングし、前記最表面ラッピング工程では前記皮膜の最大表面粗さが０．２μｍになるまでラッピングすることを特徴とする。
【００５５】
これにより、被塗工基材に傷が付くことが充分に防止される。なお、表面最大粗さは、好ましくは０．１μｍ以下であり、これにより、塗工装置用ロッドの使用開始初期段階で生じ易いスリキズの発生を確実に防止できる。
【００５６】
請求項１３に記載の発明は、前記母材の表面に塗布液量調整用の溝を形成しておくことを特徴とする。これにより、塗布液量を調整して塗布することができる耐久性の良い塗工装置用ロッドを製造することができる。
【００５７】
ここで、本発明者は、母材の表面に塗布液量調整用の溝を形成した塗工装置用ロッドについても表面状態を分析した。その結果、この溝を形成する山の高さには、主として転造ムラによるうねりが形成されていることが判った。図を用いて詳細に説明すると、図２４に示すように、母材５８２の溝５８８を形成する山５８９のうねり幅ｄは、大きい場合には１μｍ程度になる。このため、母材５８２の表面改質処理を行った塗工装置用ロッドを用いると、最も高さの高い部位が被塗工基材の塗布面に局所的に強い押圧力で当接し、この塗布面に筋状のスリキズが生じることが判った。
【００５８】
そこで、溝を形成する山の高さのうねり幅を０．５μｍ以下にするまで前記母材の表面をラッピング処理しておくことが好ましい。
【００５９】
これにより、上記の山の高さにうねりが生じていてもこのうねりを充分に解消できるので、被塗工基材の塗布面に部分的に力が加えられ過ぎて筋状の傷が生じることを防止できる。なお、この場合、母材の溝による凹凸が緩やかになり過ぎないように、中間層の膜厚を調整することが好ましい。
【００６０】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、簡略のため、本発明の実施の形態では、塗工装置用ロッドを単にロッドという。
【００６１】
［第１形態］
図１に示すように、第１形態に係る塗工装置用ロッド１０（以下、単にロッド１０という）は、走行するウエブＷへの塗布液の塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドである。
【００６２】
図２に示すように、このロッド１０は、塗布液量調整用の溝１８が表面に形成されている母材１２に耐磨耗性の皮膜１４を成膜したロッドである。溝１８は、母材１２の表面の周方向（すなわち軸方向に対して直交方向であり、ウエブＷの走行方向に沿った方向）に多数形成されている。母材１２はステンレス鋼製であることが多い。
【００６３】
ロッド１０を製造するには、まず、円柱部材の表面に、周方向（すなわち軸方向に対して直交する方向であり、ウエブＷの走行方向に沿った方向）に、谷と山とを交互に形成することにより多数の溝１８を形成した母材１２を製造する。
【００６４】
溝１８を転造により形成した場合、皮膜１４が成膜された後の山１９の高さのうねり幅をラッピングにより０．５μｍ以下にすることが望ましい。これにより、溝１８を形成する際に生じた転造ムラを解消できる。なお、この場合、ラッピング後の皮膜１４の厚みが不足しない程度に、皮膜１４の成膜量を予め調整しておく。
【００６５】
次に、母材１２の表面に皮膜１４を形成する。なお、イオンプレーティング装置により成膜すると比較的低温で成膜できる。これにより、成膜時と常温時とでのロッドの温度差が小さくなり、皮膜１４にクラックや剥離が生じ難い。
【００６６】
更に、皮膜１４の表面をラッピング処理する。これにより、成膜後に皮膜１４の表面に凹凸が形成されていても、このラッピング処理によってこの凹凸が除去されているので、ロッド１０を用いてもウエブＷの塗布面に傷が付くことがない。
【００６７】
［実験例１］
上記の母材１２として直径１０ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、表面に皮膜１４を成膜した。その際、皮膜１４の材質、膜厚、ラッピング処理の実施、不実施をパラメータとして変化させた。製造したロッドの一覧を表１に示す。
【００６８】
【表１】
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このようにして製造したロッドを用い、走行速度７０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。図１に示すように、ロッドの回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと逆方向に移動するような回転方向である。
【００６９】
そして、実験後のウエブＷの塗布面状態を観察した。実験結果を表１に併せて示す。なお、表１に示した「塗布面状態（スリキズ）」では、○はスリキズの発生なし、△は１ｍ×１ｍの範囲内に数箇所にわってスリキズが発生、×は全面にスリキズが発生、をそれぞれ示す。また、表１で「（表面処理前）」と記載があるものは、皮膜１４を形成する前に、母材表面の仕上げ処理を行っており、この記載がないものは、皮膜１４を形成した後に皮膜表面の仕上げ処理を行ったことを示す。
【００７０】
表１から判るように、皮膜１４が硬質クロム膜である場合、表面最大粗さＲｍａｘが０．５μｍ又は０．４μｍの場合、うねり幅が０．４μｍとなっていても、ウエブＷの塗布面に全面にスリキズが発生することが判った。そして、このことは、皮膜１４を形成する前に母材表面を仕上げ処理した場合、及び、皮膜１４の形成後に皮膜表面を仕上げ処理した場合、の何れであっても生じていた。また、硬質Ｃｒ膜であっても、表面最大粗さＲｍａｘが０．２μｍの場合には、ウエブＷの塗布面にスリキズが発生することを充分に防止できることが判った（なお、このときのうねり幅は０．４μｍである）。
【００７１】
また、皮膜１４がＴｉＮ膜及びＤＬＣ膜の何れであっても、表面最大粗さＲｍａｘが０．５μｍである場合、ウエブＷの塗布面に全面にスリキズが発生することが判った（なお、この場合のうねり幅は何れも０．６μｍであった）。Ｒｍａｘが０．３μｍの場合には、スリキズ防止の効果が認められることが判った。そして、Ｒｍａｘが０．２μｍの場合には、ウエブＷの塗布面にスリキズが発生することを充分に防止できることが判った。
【００７２】
従って、本実験例では、皮膜１４の表面最大粗さＲｍａｘは０．５μｍよりも小さいことが好ましく、更には０．３μｍ以下であることがより好ましく、０．２μｍ以下であることが特に好ましいと判断される。０．２μｍよりも皮膜表面が粗いと、ウエブＷの塗布面にスリキズを付けてしまう場合があり、また、１本のロッド表面のラッピング量を均一にし難くなってロッド径にムラが生じる場合があると考えられる。
【００７３】
なお、本実験例は砥石によるラッピング処理の実験例であるが、フィルムや砥粒等によるラッピング処理であっても同様の効果を得ることができる。
【００７４】
［第２形態］
図３に示すように、第２形態に係るロッド１１０は、走行するウエブＷへの塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドである。
【００７５】
図８、図９に示すように、このロッド１１０は、母材１１２の上に、中間層１１３が成膜され、更に、中間層１１３の上に耐磨耗性の皮膜１１４が成膜されたロッドである。母材１１２はステンレス鋼製であることが多い。
【００７６】
中間層１１３及び皮膜１１４は、イオンプレーティング装置により成膜すると比較的低温で成膜でき、これにより、成膜時と常温時とでのロッドの温度差が小さくなる。従って、熱膨張係数の違いによって中間層１１３や皮膜に残留する熱応力が小さくなり、皮膜１１４や中間層１１３にクラックや剥離が生じ難い。
【００７７】
また、中間層１１３として、母材１１２の表面を拡散処理により形成してなる拡散層とすると、中間層１１３が母材と一体的に形成されているので、中間層が母材から著しく剥れ難い。
【００７８】
中間層１１３及び皮膜１１４の材質を選定する際、母材１１２、中間層１１３、及び皮膜１１４の各熱膨張係数が、順次増大、又は順次低減するように選定する。これにより、ロッド温度が変化して、母材１１２と皮膜１１４との熱膨張係数の違いにより皮膜１１４に熱応力が生じても、中間層１１３が緩和材として作用するので、皮膜１１４に生じる熱応力は小さい。
【００７９】
また、例えば、膜厚を厚くすると欠けが生じ易い高硬度のセラミックを皮膜１１４として成膜しても、中間層１１３が成膜されていることにより、皮膜１１４から母材１１２までの膜厚を稼ぐことができるので、磨耗量も稼ぐことができる。
【００８０】
ロッド１１０を製造するには、まず、図４に示すように、円柱部材の表面に、周方向（すなわち軸方向に対して直交方向であり、ウエブＷの走行方向に沿った方向）に、谷と山とを交互に形成することにより多数の溝１１８を形成した母材１１２を製造する。
【００８１】
次に、母材１１２の表面に中間層１１３を形成し（図５参照）、中間層１１３の表面をラッピングする（図６参照）。
【００８２】
上記の溝１１８を転造により形成した場合、皮膜１１４が成膜された後の山１１９の高さのうねり幅をラッピングにより０．５μｍ以下にすることが望ましい。これにより、溝１１８を形成する際に生じた転造ムラを解消できる。なお、この場合、ラッピング後の中間層１１３の厚みが不足しない程度に、中間層１１３の成膜量を予め調整しておく。
【００８３】
更に皮膜１１４を形成し（図７参照）、皮膜１１４の表面をラッピングすることによりロッド１１０が得られる（図８参照）。
【００８４】
このように、本実施形態に係るロッド１１０では、母材１１２と皮膜１１４との間に中間層１１３を設け、この中間層１１３の表面をラッピングし、その後、皮膜１１４を形成し、更に皮膜１１４の表面をラッピングしている。
【００８５】
従って、中間層１１３の表面に凸部１１３Ｔ（図５参照）が形成されていても、中間層１１３表面のラッピングによりこの凸部１１３Ｔが除去される。これにより、簡易な処理によって中間層１１３の凸部１１３Ｔの影響が皮膜１１４に出現することを防止でき、ウエブＷの塗布面にこの凸部１１３Ｔによる傷が生じることを防止できる。
【００８６】
また、皮膜１１４の表面に凸部１１４Ｔが形成されていても、皮膜１１４の表面のラッピングによりこの凸部１１４Ｔが除去される。これにより、凸部１１４Ｔによって被塗工基材（被塗布体）の塗布面に傷が付くことが防止される。
【００８７】
更に、中間層１１３を形成することにより、硬度が高い皮膜１１４をコーティングしても皮膜１１４にチッピングが生じ難い。従って、ロッド寿命が長くなり、使用するロッドの本数が低減するので、大幅なコストダウンを実現できると共に、ロッドの交換頻度が低減して生産ラインの稼動率が向上する。
【００８８】
なお、中間層を複数層にわたって形成してもよい。この場合、最表面側（最外面側）の中間層表面をラッピングすることにより、複数の中間層を形成してもラッピングを１回行うことだけで、皮膜１１４を形成する下地面を平坦にすることができる。
【００８９】
［実験例２］
上記の母材１１２として直径１３ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、表面にメッキにより中間層１１３を成膜し、更に、イオンプレーティングにより皮膜１１４を成膜した。その際、中間層１１３の材質や、ラッピングの実施、不実施をパラメータとして変化させた。製造したロッドの一覧を表２に示す。
【００９０】
【表２】
2004267854.tif 000004
そして、この製造したロッドを用い、走行速度８０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。図３に示すように、ロッドの回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと同方向に移動するような回転方向である。
【００９１】
そして、実験後のウエブＷの塗布面状態を観察した。実験結果を表２に併せて示す。なお、表２に示した「塗布面状態（スリキズ）」では、○はスリキズの発生なし、△は１ｍ×１ｍの範囲内に数箇所にわたってスリキズが発生、×は全面にスリキズが発生、をそれぞれ示す。
【００９２】
表２から判るように、中間層形成後と、最表面（すなわち皮膜１１４の表面）と、の両者をラッピングした場合、塗布面にスリキズが発生しなかった。また、中間層形成前と最表面（すなわち皮膜１１４の表面）と、の両者をラッピングした場合、塗布面にややスリキズが発生したが、ラッピングの効果が認められた（表２のＮｏ．９、Ｎｏ．１０参照）。その他の条件では、塗布面に全面にわたってスリキズが生じた。
【００９３】
また、上記の母材１１２として直径１３ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、表面改質により中間層１１３としてイオン窒化膜を形成し、更に、イオンプレーティングにより皮膜１１４を成膜した。その際、中間層１１３や皮膜１１４のラッピングの実施、不実施、及び、皮膜１１４の材質をパラメータとして変化させた。製造したロッドの一覧を表３に示す。
【００９４】
【表３】
2004267854.tif 000005
そして、この製造したロッドを用い、走行速度８０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。表２に示したロッドの実験と同様、ロッドの回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと同方向に移動するような回転方向である。
【００９５】
そして、実験後のウエブＷの塗布面状態を観察した。実験結果を表３に併せて示す。なお、表３に示した「塗布面状態（スリキズ）」では、○はスリキズの発生なし、△は１ｍ×１ｍの範囲内に数箇所にわたってスリキズが発生、×は全面にスリキズが発生、をそれぞれ示す。
【００９６】
表３から判るように、中間層形成後と、最表面（すなわち皮膜１１４の表面）と、の両者をラッピングした場合、塗布面にスリキズが発生しなかった。また、中間層形成前と最表面（すなわち皮膜１１４の表面）と、の両者をラッピングした場合、塗布面にややスリキズが発生したが、ラッピングの効果が認められた（表３のＮｏ．９、Ｎｏ．１０参照）。その他の条件では、塗布面に全面にわたってスリキズが生じた。
【００９７】
［実験例３］
上記の母材１１２として直径１３ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、表面に中間層１１３、更に、皮膜１１４を成膜した塗工装置用ロッドを製造した。その際、中間層１１３の材質や膜厚をパラメータとして変化させた。製造したロッドを表４に示す。
【００９８】
【表４】
2004267854.tif 000006
そして、製造したロッドの耐久性試験（耐磨耗性試験）を行った。試験結果を図１０に示す。
【００９９】
また、中間層を形成せずに、母材１１２の表面に皮膜１１４を形成したもの（表４のＮｏ．４、Ｎｏ．５参照）も製造し、同様に耐久性試験を行った。更に、中間層、皮膜の何れも形成せずに、母材のみ（表４のＮｏ．６参照）で耐久性試験も行った。何れも、試験結果を図１０に併せて示す。
【０１００】
そして、この製造したロッドを用い、走行速度８０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。図３に示すように、ロッドの回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと同方向に移動するような回転方向である。
【０１０１】
表４から判るように、中間層１１３を設けたロッド（表４のＮｏ．１〜Ｎｏ．３）は、中間層を設けないロッド（Ｎｏ．４〜Ｎｏ．６）に比べ、同じ塗布長さの使用であっても磨耗量が極めて少なかった。従って、中間層１１３を設けたほうが耐磨耗性の点で耐久性が著しく高くなることが判った。
【０１０２】
また、中間層１１３を拡散層にしたもの（Ｎｏ．３）は、中間層１１３を拡散層にしなかったもの（Ｎｏ．１、Ｎｏ．２）に比べ、耐磨耗性が各段に優れていた。
【０１０３】
なお、中間層１１３を形成しない場合（Ｎｏ．４、Ｎｏ．５）であっても、皮膜１１４をＴｉＮ膜にしたほうが、皮膜１１４を硬質Ｃｒ膜にした場合に比べ、良好な結果であった。
【０１０４】
［第３形態］
まず、第３形態に係るロッドを説明する。図１１に示すように、第３形態に係るロッド２１０は、走行するウエブＷへの塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドである。
【０１０５】
図１２に示すように、このロッド２１０は、母材２１２の上に耐磨耗性の皮膜２１４が成膜されたロッドである。母材２１２はステンレス鋼製であることが多い。皮膜２１４のビッカース硬さは２０００Ｈｖであり、膜厚は２μｍである。
【０１０６】
また、母材２１２の表面には、周方向（すなわち軸方向に対して直交方向であり、ウエブＷの走行方向に沿った方向）に多数の溝２１８と山２２０とが交互に形成され、この結果、ロッド表面が凹凸にされている。山２２０を構成する山角部２２０ＥはＲ状に丸みを帯びている。山角部２２０Ｅの曲率半径Ｒは１０μｍにされている。
【０１０７】
このように、本実施形態に係るロッド２１０では、山角部２２０ＥがＲ状にされて丸みを帯びているので、山角部２２０Ｅ上に成膜された皮膜２１４に応力集中が生じることが防止される。また、皮膜２１４のビッカース硬さが２０００Ｈｖであり膜厚が２μｍであるので、皮膜のビッカース硬さを上げても皮膜にチッピングが生じ難い。
【０１０８】
従って、ロッド２１０の製造時に皮膜２１４に生じるクラックや剥離が低減し、ロッド２１０を製造する上での歩留まりを向上させることができる。また、走行するウエブＷによって山２２０の上面からせん断応力や垂直応力が加えられても、皮膜２１４にクラックや剥離が生じ難いので、ウエブＷに生じるスリキズの頻度が大幅に低減し、ウエブＷの生産性が向上する。更に、ロッド寿命が長くなり、使用するロッドの本数が低減するので、大幅なコストダウンを実現できると共に、ロッドの交換頻度が低減して生産ラインの稼動率が向上する。
【０１０９】
なお、皮膜２１４を形成する際、イオンプレーティング装置により成膜すると比較的低温で形成できる。これにより、成膜時と常温時とでのロッドの温度差が小さくなり、熱膨張係数の違いによって皮膜２１４に残留する熱応力が小さくなり、皮膜２１４にクラックや剥離が生じ難い。
【０１１０】
［実験例４］
上記の母材２１２として直径１０ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、山２２０の断面形状（すなわち溝２１８の断面形状）が台形状のままである母材（台形型）と、これに山角部２２０ＥをＲ状（Ｒ＝１０μｍ）にする加工を施した母材（Ｒ型）と、を製造した。溝２１８を形成する際には転造により形成した。
【０１１１】
そして、各母材にＤＬＣ膜を皮膜２１４としてイオンプレーティング法で成膜したロッドを８本製造した。その際、ビッカース硬さや膜厚をパラメータとして変化させた（表５のＮｏ．１〜Ｎｏ．８を参照）。
【０１１２】
これらのロッドを用い、図１１に示したように、走行するウエブＷへの塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドとして、走行速度６０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。ロッド２１０の回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと同方向に移動するような回転方向である（図１１参照）。実験結果を表５に示す。
【０１１３】
【表５】
2004267854.tif 000007
表５から判るように、母材の溝２１８の断面形状が台形状のままである場合（すなわち台形型の場合）、皮膜２１４のビッカース硬さや膜厚を変化させた４本の何れのロッドであっても、皮膜２１４にチッピングが生じ（図１４参照）、ウエブＷの塗布面状が悪い状態（スリキズが生じた状態）であった。
【０１１４】
一方、山角部２２０ＥをＲ状にした場合（すなわちＲ型の場合）、皮膜２１４のビッカース硬さや膜厚を変化させた４本のロッドのうち、皮膜２１４の膜厚を２μｍにした２本のロッド（表５のＮｏ．３、Ｎｏ．７）では、皮膜２１４にチッピングが発生しておらず（図１３参照、図１５参照）、ウエブＷの塗布面状は良好な状態（スリキズが発生していない状態）であった。
【０１１５】
［実験例５］
上記の母材２１２として直径１０ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、山２２０の断面形状（すなわち溝２１８の断面形状）が台形状のままである母材（台形型）と、これに山角部２２０ＥをＲ状（Ｒ＝１０μｍ）にする加工を施した母材（Ｒ型）と、をそれぞれ２本づつ製造した。溝２１８を形成する際には転造により形成した。
【０１１６】
更に、何れの母材の表面にも、中間層２３２（後述の図１６参照）として硬質クロム膜を１０μｍの厚みで形成し、更にラッピング処理して表面最大粗さを０．２μｍ以下にした。
【０１１７】
そして、１本の台形型の母材、及び、１本のＲ型の母材の表面に、それぞれ、皮膜２１４としてイオンプレーティング法によりＴｉＮ膜を成膜した。そして、皮膜２１４をラッピング処理して表面最大粗さを０．２μｍ以下にした。
【０１１８】
また、１本の台形型の母材、及び、１本のＲ型の母材の表面に、それぞれ、皮膜２１４としてイオンプレーティング法によりＤＬＣ膜を成膜した。製造したロッドの一覧を表６に示す。
【０１１９】
【表６】
2004267854.tif 000008
これらのロッドを用い、図１１に示したように、走行するウエブＷへの塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドとして、走行速度６０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。ロッド２１０の回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと同方向に移動するような回転方向である（図１１参照）。実験結果を表６に併せて示す。
【０１２０】
表６から判るように、母材の溝２１８の断面形状が台形状のままである場合（すなわち台形型の場合）、何れのロッドであっても皮膜２１４にチッピングが生じ、ウエブＷの塗布面状が悪い状態（スリキズが生じた状態）であった。
【０１２１】
一方、山角部２２０ＥをＲ状にした場合（すなわちＲ型の場合）、何れのロッドであっても皮膜２１４にチッピングが発生しておらず、ウエブＷの塗布面状は良好な状態（スリキズが発生していない状態）であった。
【０１２２】
［第４形態］
次に、第４形態に係るロッドを説明する。第４形態では、第３形態と同様の構成要素には同じ符号を付してその説明を省略する。
【０１２３】
図１６に示すように、第４形態に係るロッド２２８では、母材２１２と皮膜２１４との間に中間層２３２を形成している。中間層２３２の材質は、熱膨張係数が、母材２１２、中間層２３２、皮膜２１４の順に順次大きくなる、又は、順次小さくなるように、選定されている。
【０１２４】
これにより、皮膜２１４のチッピングを抑制することができ、また、磨耗量を稼ぐことができるので、ロッド２２８の歩留まり向上かつ高寿命化を実現することができる。
【０１２５】
［実験例６］
上記の母材２１２として直径１４ｍｍφのステンレス鋼製の母材を用い、溝２１８の断面形状が台形状で更に山角部２２０ＥをＲ状にした母材（Ｒ型）を８本製造した。山角部２２０Ｅの曲率半径Ｒの値は実験例４と同じである。
【０１２６】
そして、６本の母材に、中間層２３２として硬質Ｃｒ膜（熱膨張係数１２．５×１０−６／℃）、イオン窒化膜（熱膨張係数１２×１０−６／℃）、或いは無電解ニッケル膜（熱膨張係数１３．３×１０−６／℃）を形成し、更に、ＤＬＣ膜（熱膨張係数０．８〜７．８×１０−６／℃）を皮膜２１４として成膜してロッドを製造した。その際、ビッカース硬さや膜厚をパラメータとして変化させた（表７のＮｏ．１〜Ｎｏ．６を参照）。
【０１２７】
これらのロッドを用い、図１１に示したように、走行するウエブＷへの塗布と塗布液量の調整との両方を兼ねて行うロッドとして、走行速度８０ｍ／分で走行するウエブＷに塗布液を塗布する実験を行った。ロッド２２８の回転方向Ｑは、ウエブＷと接触するロッド表面がウエブ走行方向Ｐと逆方向に移動するような回転方向である（図１１参照）。実験結果を表７に示す。
【０１２８】
【表７】
2004267854.tif 000009
表７から判るように、中間層２３２を形成しなかったロッド（表７のＮｏ．５及びＮｏ．６参照）ではロッド表面にチッピングが生じ、ウエブＷの塗布面状が悪い状態（スリキズが生じた状態）であったが、中間層２３２を形成したロッドでは、ロッド表面にチッピングは発生せず、ウエブＷの塗布面状が良好な状態（スリキズが発生していない状態）であった。
【０１２９】
［第５形態］
第５形態に係るロッドの製造方法は、図１７に示すように、走行するウエブＷに塗布液Ｌを塗布するのに用いるロッドの製造方法であり、ロッド３１０は、母材３１２の表面に耐磨耗性の皮膜３１４が成膜されてなるロッドである。母材３１２は、ステンレス鋼製であることが多い。皮膜３１４はイオンプレーティング装置で成膜する。
【０１３０】
［イオンプレーティング装置の構成］
皮膜をコーティングするイオンプレーティング装置３１６（図１８、図１９参照）は、チャンバ３１８と、チャンバの中に設置された３個のイオンソース３２０Ａ〜Ｃ（図１９参照）と、を有する。
【０１３１】
図１８に示すように、チャンバ３１８は、所定長さのロッド３１０を収容できる寸法で形成されている。また、チャンバ３１８には、複数本のロッドを自公転可能に保持する保持部３２２が設けられている。
【０１３２】
保持部３２２は、中心軸３２４と、中心軸３２４の端部側に固定された平歯車３２６と、を備えている。中心軸３２４のもう一方の端部側にも、同様に平歯車（図示せず）が固定されている。また、保持部３２２は、平歯車３２６と噛み合う複数個の小型平歯車３２８と、小型平歯車３２８に内周側のギア歯３３１で噛み合うリング状歯車３３２と、を備えている。小型平歯車３２８には、ロッドを着脱自在に取付ける取付部３３０が設けられている。
【０１３３】
リング状歯車３３２には外周側にもギア歯３３４が形成され、チャンバ３１８内には、このギア歯３３４と噛み合う駆動用歯車３３６が設けられており、駆動用歯車３３６の回転によりリング状歯車３３２が回転し、これによって小型平歯車３２８が平歯車３２６の周囲を自公転するようになっている。
【０１３４】
このような構成を有する保持部３２２は、真空中であってもリング状歯車３３２が回転可能であって小型平歯車３２８が自公転可能にされている。
【０１３５】
また、図１９に示すように、チャンバ３１８の出入口に近い位置にイオンソース３２０Ａが、チャンバ３１８の中央位置にイオンソース３２０Ｂが、チャンバ３１８の奥側の位置にイオンソース３２０Ｃが、それぞれ設けられており、所定長さのロッドがチャンバ３１８に収容された場合に、ロッド両端部がそれぞれイオンソース３２０Ａ、３２０Ｃの近くに位置し、ロッド中央部がイオンソース３２０Ｂの近くに位置するようになっている。
【０１３６】
［母材への成膜による製品の製造］
本実施形態では、上記のイオンプレーティング装置３１６を用いて、耐磨耗性の皮膜を成膜した製品（ロッド）の製造を行う。まず、塗布液量調整用の溝３１１（図２０参照）を表面に予め形成した長尺円柱状の未使用の母材３１２を、小型平歯車３２８ごとに取付部３３０に取付ける。
【０１３７】
そして、チャンバ３１８内を真空吸引した後、小型平歯車３２８を自公転させながらイオンプレーティング法により耐磨耗性の皮膜３１４を母材３１２に成膜する。その際、所望厚さ（０．２μｍ〜３．０μｍの範囲内であることが多い）でほぼ均一に皮膜３１４が成膜されるように、イオンソース３２０Ａ〜Ｃの出力を調整して成膜する。
【０１３８】
これにより、耐磨耗性の皮膜３１４の厚さが均一なロッド３１０を製造できるので、皮膜３１４を薄膜にしても部分的に薄過ぎる皮膜部分が生じることがない。従って、このロッド３１０を用い、走行するウエブＷに塗布液を塗布すると、ロッド３１０とウエブＷとの接触面積が増大し、ロッド３１０が部分的に磨耗（偏磨耗）することを回避できる。
【０１３９】
よって、高速で塗布しても塗布精度が低下したり塗布スジが生じたりするなどの塗布不良が発生することを防止できる。また、ロッド３１０の使用時において、走行するウエブＷから加えられる力により、ロッド３１０の表面にせん断力や垂直応力が加えられても、皮膜３１４にクラックや剥離が生じ難い。更に、ロッド３１０の寿命が長くなるので、ロッド３１０の使用本数が低減してコストダウンに大きく寄与すると共に、ロッド使用中（すなわちロッド３１０が設けられている塗布ラインの運転中）にロッド３１０を交換する回数が低減し、ウエブＷの生産ラインの稼動率が大幅に向上する。
【０１４０】
また、保持部３２２を有するイオンプレーティング装置３１６を用いることにより、複数本の母材に同時に成膜してロッド３１０を製造することができるので、イオンプレーティング装置３１６を稼動させる回数が低減してコストダウンを図ることができる。また、皮膜３１４の膜厚分布が各ロッドで同じであり、同一物を量産することができる。更に、表面に溝が形成されているロッドであっても膜厚を容易に測定することができ、膜厚の管理、制御が容易である。
【０１４１】
皮膜３１４の材質としては、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）や窒化チタン（ＴｉＮ）が好ましい。その他、好ましい材質としては、ＴｉＣＮ、ＣｒＮ、ＴｉＣ、Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、ＳｉＯ３、Ｔｉ２Ｏ３、ＡｌＮ、ＺｒＮ、ＳｉＣなどである。
【０１４２】
［実験例７］
本実験例では、上記のイオンプレーティング装置３１６を用い、イオンソース３２０Ａ〜Ｃの出力をパラメータとして変化させて、成膜された皮膜の膜厚分布を測定した。
【０１４３】
この実験では、ロッド幅方向（すなわち長手方向）の膜厚分布を測定するために、図２１に示すように、溝が形成されていない円柱状の母材であるダミー母材（ダミーロッド）３４０を２本取付けると共に、ダミー母材３４０の膜厚測定位置に複数枚のシリコンウエハ３４２を貼り付けた。皮膜としてはＤＬＣ膜を成膜した。ダミー母材３４０以外の母材取付位置には、全て上記の母材３１２を取付けた。
【０１４４】
母材３１２及びダミー母材３４０の長さＬは２０００ｍｍであり、イオンソース３２０Ａの位置は母材端部３４０Ａから２００ｍｍだけロッド中央側の位置であり、イオンソース３２０Ｃの位置もイオンソース３２０Ｃから２００ｍｍだけロッド中央側の位置である。また、ロッド中央位置にはイオンソース３２０Ｂが位置している。すなわち、図１９を用いて説明すると、チャンバ３１８の出入口に近いロッド端部を原点としてチャンバ奥方向へＸ軸をとると、イオンソース３２０ＡがＸ＝２００ｍｍ、イオンソース３２０ＢがＸ＝１０００ｍｍ、イオンソース３２０ＣがＸ＝１８００ｍｍ、に位置している。
【０１４５】
本実験では、イオンソース３２０Ａ〜Ｃの出力を異ならせた３通りの成膜条件（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３）で成膜を行った。Ｎｏ．１では、イオンソース３２０Ａ〜Ｃの出力を同一にした。Ｎｏ．２では、イオンソース３２０Ａ、３２０Ｃの出力を１００％、イオンソース３２０Ｂの出力を０％とした。Ｎｏ．３ではイオンソース３２０Ａ、３２０Ｃの出力を１００％、イオンソース３２０Ｂの出力を３０％とした。
【０１４６】
Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３で成膜後、シリコンウエハ３４２に成膜された皮膜の厚みをそれぞれ測定することにより膜厚分布を求めた。この膜厚分布を図２２に示す。
【０１４７】
また、母材３１２に皮膜３１４が成膜されてなるロッドを用い、ウエブＷの塗布面に塗布液を塗布する実験を行った。Ｎｏ．１〜Ｎｏ．３で得られたこのロッドの特性、及び、このロッドを用いた塗布実験の結果を表８に示す。なお、表８では、膜厚分布範囲を算出するにあたって図２２を用いた。
【０１４８】
【表８】
2004267854.tif 000010
表８から判るように、イオンソースの出力調整を行うことにより膜厚分布範囲を２５％以内に抑え、しかも皮膜３１４の膜厚を０．２μｍ〜３．０μｍの範囲内に抑えたロッド（Ｎｏ．３で得られたロッド）で塗布実験を行った場合、塗布面にスリキズは発生しないという良好な結果が得られた。また、３０％以内に抑えたロッド（Ｎｏ．２で得られたロッド）では、１ｍ×１ｍの範囲内で数箇所にスリキズが発生していた程度であり、スリキズの発生箇所は比較的少なかった。一方、膜厚分布範囲が３３％であるロッド（Ｎｏ．１で得られたロッド）では、塗布面全面にスリキズが発生した。
【０１４９】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、上記実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。例えば、母材の外周面にワイヤを巻回し、ガスの発生等をコントロールしながらワイヤ外周面にウェットメッキやドライメッキ等により皮膜を形成してもよい。その際、ワイヤの径に合わせて母材に溝を形成してもよい。また、母材に溝を形成せずに皮膜を形成しても有効である。更に、ウエブＷに塗布された塗布液の過剰分を掻き落とすタイプ（図２３参照）のロッド３５０の製造方法としても適用可能である。また、上記の実施形態を相互に適宜組み合わせても実施できる。なお、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【０１５０】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、被塗工基材の塗布面に傷が生じることを防止した、耐久性が高い塗工装置用ロッドを実現させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１形態に係る塗工装置用ロッドを用いてウエブに塗布液を塗布することを示す側面断面図である。
【図２】第１形態に係る塗工装置用ロッドの部分拡大側面断面図である。
【図３】第２形態に係る塗工装置用ロッドを用いウエブに塗布液を塗布することを示す側面断面図である。
【図４】第２形態で、予め溝を形成した母材を示す部分拡大側面断面図である。
【図５】母材に中間層を成膜したことを示す部分拡大側面断面図である。
【図６】中間層の表面をラッピングしたことを示す部分拡大側面断面図である。
【図７】中間層の上に皮膜を成膜したことを示す部分拡大側面断面図である。
【図８】皮膜の表面をラッピングしたことを示す部分拡大側面断面図である。
【図９】第２形態に係る塗工装置用ロッドにウエブの塗布面が当接することを示す部分拡大側面断面図である。
【図１０】実験例３の実験結果を示すグラフ図である。
【図１１】第３形態に係る塗工装置用ロッドを用いてウエブに塗布液を塗布することを示す側面断面図である。
【図１２】第３形態に係る塗工装置用ロッドの構成を示す部分拡大側面断面図である。
【図１３】図１３（Ａ）から（Ｃ）は、何れも、実験例４（第３形態の実験例）で、塗工装置用ロッドを用いて塗布実験を行った後のロッド表面状態を示す拡大図である（ロッド表面にチッピングが生じていない良い状態）。
【図１４】図１４（Ａ）から（Ｃ）は、何れも、実験例４（第３形態の実験例）で、塗工装置用ロッドを用いて塗布実験を行った後のロッド表面状態を示す拡大図である（ロッド表面にチッピングが生じた悪い状態）。
【図１５】実験例４（第３形態の実験例）で、Ｒ型のロッドを用いて塗布実験を行った実験結果を示すグラフ図である。
【図１６】第４形態に係る塗工装置用ロッドの構成を示す部分拡大側面断面図である。
【図１７】第５形態で製造された塗工装置用ロッドが使用されていることを示す側面断面図である。
【図１８】第５形態で塗工装置用ロッドを製造する際に用いるイオンプレーティング装置のチャンバ内の構成を示す斜視図である。
【図１９】第５形態で塗工装置用ロッドを製造する際に用いるイオンプレーティング装置で、ロッドとイオンソースとの位置関係を示す模式的側面図である。
【図２０】第５形態で塗工装置用ロッドを製造する際に用いる母材の部分断面側面図である。
【図２１】実験例７で実験を行った際に、ダミー母材及びシリコンウエハをチャンバ内に設けたことを示す斜視図である。
【図２２】実験例７で得られたロッドの膜厚分布の測定結果を示すグラフ図である。
【図２３】塗工装置用ロッドが、ウエブに塗布された塗布液の過剰分を掻き落とすタイプのロッドとして適用された例を示す側面断面図である。
【図２４】従来の塗工装置用ロッドで、予め溝を形成した母材を示す部分拡大側面断面図である。
【符号の説明】
１０  塗工装置用ロッド
１２  母材
１４  皮膜
１８  溝
１１０  ロッド（塗工装置用ロッド）
１１２  母材
１１３  中間層
１１４  皮膜
１１８  溝
１１９  山
２１０  ロッド（塗工装置用ロッド）
２１２  母材
２１４  皮膜
２１８  溝
２２０Ｅ  山角部（角部）
２２８  ロッド（塗工装置用ロッド）
２３２  中間層
３１０  ロッド（塗工装置用ロッド）
３１１  溝
３１２  母材
３１４  皮膜
３５０  ロッド（塗工装置用ロッド）
５８８  溝
５８９  山
Ｗ  ウエブ（被塗工基材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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