(57)【要約】【課題】装置全体をコンパクトに製作することができると共に、小吸引力により確実に物品の吸着・保持動作を行うことができる物品吸着装置を提供する。【解決手段】本体１に接続した減圧手段２と空気の吸引作用を行う作動室３を接続させ、この作動室内の一側に減圧手段と接続させた第一弁孔４を設けて、作動室内における第一弁孔の他側において物品ｂの吸着側に開口させた第二弁孔５を設け、作動室内へ第一弁孔および第二弁孔へ選択的に対応してこれら第一弁孔または第二弁孔に位置する弁体６を移動自在に設けて、本体において第二弁孔の外側に物品を吸着する吸着部材７を設け、作動室内に常時は弁体を第二弁孔へ付勢させる弾性部材８を設ける。【選択図】　　図１
2004114220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、該本体に接続して空気の吸引を行う減圧手段と、この減圧手段と接続させて空気の吸引作用を行う作動室と、この作動室内の一側に設けて前記減圧手段と接続させた第一弁孔と、前記作動室内における前記第一弁孔の他側において物品の吸着側に開口させて設けた第二弁孔と、前記作動室内へ移動自在に設けて前記第一弁孔および第二弁孔へ選択的に対応してこれら第一弁孔または第二弁孔に位置する弁体と、前記本体において前記第二弁孔の外側に設けて物品を吸着する吸着部材と、前記作動室内に設けて常時は前記弁体を第二弁孔へ付勢させる弾性部材とを備えさせてなり、
前記作動室の内壁と弁体の外周部との間に空気の流通路を形成させてあり、
第一弁孔および第二弁孔には、前記弁体が当接したとき一部の空気が流通し得る第一空気漏れ出し手段および第二空気漏れ出し手段を設けたことを特徴とする物品吸着装置。
【請求項２】
弾性部材は、本体における第一弁孔側の吸引力より弱い付勢力に設定させてあり、
前記本体における第一弁孔側の吸引は、作動室の内壁と弁体の外周部との間に形成させた流通路を流動する空気の流動量より大きい吸引量に設定させたことを特徴とする請求項１記載の物品吸着装置。
【請求項３】
本体に、減圧手段による物品の吸着有無を検出する検出手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の物品吸着装置。
【請求項４】
既存の吸着部材に接続させた接続部材の途中を切断し、本体における第二弁孔側に前記吸着部材に接続させた一方の接続部材を連結し、前記本体における第一弁孔側に前記切断させた他方の接続部材を連結させたことを特徴とする請求項１記載の物品吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、物品の空圧による吸着・保持にあって、小動力により物品を確実に作動させることができる物品吸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者は、板硝子や金属板、あるいは、木製仕上げ板のような表面が平坦に仕上げられている部材の持ち上げ保持や移動・運搬を行うことができる装置をすでに提供した（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３４１０８９号公報
【０００４】
しかしながら、この装置は、作動室内においてその内壁と弁体の外周部との間に吸引空気が通過する大きな空間部があるため、減圧手段側において空気吸引を行っても該作動室内における負圧が生じにくく、第二弁孔に当接している弁体を上方へ吸い上げるためには、大吸引力の減圧手段が必要となる。
また、弁体を第二弁孔側へ付勢させるスプリングが、この第二弁孔の外方へ、いわゆる本体の外部から突出して、外筒ガイド体を介して取り付けられた構成を有するため、部品点数が多くなって組み立てが煩雑となるばかりか、製作コストが高騰する。また、装置全体が大型化してコンパクトな吸着ユニットには対応できないものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記した問題点を解決するためになされたもので、本体に接続した減圧手段と空気の吸引作用を行う作動室を接続させ、この作動室内の一側に減圧手段と接続させた第一弁孔を設けて、作動室内における第一弁孔の他側において物品の吸着側に開口させた第二弁孔を設け、作動室内へ第一弁孔および第二弁孔へ選択的に対応してこれら第一弁孔または第二弁孔に位置する弁体を移動自在に設けて、本体において第二弁孔の外側に物品を吸着する吸着部材を設け、作動室内に常時は弁体を第二弁孔へ付勢させる弾性部材を設けることにより、装置全体をコンパクトに製作することができると共に、小吸引力により確実に物品の吸着・保持動作を行うことができる物品吸着装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するための本発明の手段は、
本体と、該本体に接続して空気の吸引を行う減圧手段と、この減圧手段と接続させて空気の吸引作用を行う作動室と、この作動室内の一側に設けて前記減圧手段と接続させた第一弁孔と、前記作動室内における前記第一弁孔の他側において物品の吸着側に開口させて設けた第二弁孔と、前記作動室内へ移動自在に設けて前記第一弁孔および第二弁孔へ選択的に対応してこれら第一弁孔または第二弁孔に位置する弁体と、前記本体において前記第二弁孔の外側に設けて物品を吸着する吸着部材と、前記作動室内に設けて常時は前記弁体を第二弁孔へ付勢させる弾性部材とを備えさせてなり、
前記作動室の内壁と弁体の外周部との間に空気の流通路を形成させてあり、
第一弁孔および第二弁孔には、前記弁体が当接したとき一部の空気が流通し得る第一空気漏れ出し手段および第二空気漏れ出し手段を設けた物品吸着装置の構成にある。
【０００７】
弾性部材は、本体における第一弁孔側の吸引力より弱い付勢力に設定させてあり、
前記本体における第一弁孔側の吸引は、作動室の内壁と弁体の外周部との間に形成させた流通路を流動する空気の流動量より大きい吸引量に設定させる。
【０００８】
既存の吸着部材に接続させた接続部材の途中を切断し、本体における第二弁孔側に前記吸着部材に接続させた一方の接続部材を連結し、前記本体における第一弁孔側に前記切断させた他方の接続部材を連結させる。
【０００９】
本体に、減圧手段による物品の吸着有無を検出する検出手段を設ける。
【００１０】
【実施例】
次に、本発明に係る物品吸着装置の一実施例を図面に基づいて説明する。
図１〜図２および図６〜図７においてＡは物品吸着装置で、例えば、図２に示すような吸着ユニットＷに一個または複数個が取り付けられるもので、テーブルやコンベア等の載置台１２上に載置された物品ｂに対して吸着保持を行なうものであって、本体１と、減圧手段２と、作動室３と、第一弁孔４と、第二弁孔５と、弁体６と、吸着部材７と、弾性部材８と、流通路９と、第一空気漏れ出し手段１０と、第二空気漏れ出し手段１１とにより基本的に構成される。
【００１１】
そして、前記した本体１は、例えば、吸着ユニットＷにおいて、昇降および左右前後方向へ移動自在となるフレーム１３へ支承されていて、例えば、前記した所定の移動運動が与えられるようにしてある。
【００１２】
前記した減圧手段２は、本体１に接続するように設けて後記する吸着部材７を介して物品ｂへ空気の吸引力を作用させるものであって、真空ポンプ等の任意の吸引部材１４および開閉弁１５，配管１６等からなる。
【００１３】
前記した作動室３は、減圧手段２と接続させた本体１内に設けてあって、減圧手段２による空気の吸引力による所定の減圧力が掛かるようにしてある。
【００１４】
前記した第一弁孔４は、本体１内における作動室３においてその一側、すなわち、上部壁に設けてあって、作動室３と連通するように配されており、その周縁部に後記する弁体６が対応する弁座４ａが設けられている。
【００１５】
前記した第二弁孔５は、第一弁孔４の他側、すなわち、作動室３の下側壁において大気側（物品ｂの吸着側）に開口させて、作動室３を介して第一弁孔４と連通するように設けてあって、その周縁部に後記する弁体６が対応する弁座５ａが設けられている。
【００１６】
前記した弁体６は、図１〜図４，図６〜図７に示すように、作動室３内において移動自在に設けて第一弁孔４および第二弁孔５の弁座４ａ，５ａへ選択的に対応して、これら弁孔４，５に位置するもので、一般的には球状に形成するものであるが、板状や立方体状に設けてもよく、内部は充実体であってもよいが該内部を空洞化し、かつ、全体を合成樹脂製等により比較的軽量に製作して、できるだけ小動力の減圧手段２による空気の吸引作用を受けやすくすることが好ましい。
【００１７】
なお、第一弁孔４および第二弁孔５において、弁体６が当接したときの一部の空気が流通し得る第一空気漏れ出し手段１０および第二空気漏れ出し手段１１を形成させてあるもので、この第一空気漏れ出し手段１０および第二空気漏れ出し手段１１において空気が流通する該空気の流動量は、減圧手段２による空気の吸引量より少なくなるように設けられるものであって、図３（ａ）に示すように、第一弁孔４および第二弁孔５の弁座４ａ，５ａ面を直線面状あるいは曲線面状に形成したり、図示してないが、弁座部に空気が流通し得る細い溝（スリット）を一箇所または複数箇所に刻設したりする。図３においては、第一弁孔４と第二弁孔５とをそれぞれの要部を左右に分けて概略的に表している。
【００１８】
更に、図３（ｂ）に示すように、弁座４ａ，５ａの上面を球状の弁体６に合わせて円弧の凹み状に形成して、該弁体６の外形を楕円状の球体（非真球体）や異形状に成形したり、図３（ｃ）に示すように、中空状の弁体ｂに細径の小穴を穿設したり、図示してないが、本体１等の適所に迂回路（バイパス）を形成してあるものであって、いずれの場合にも、減圧手段２と作動室３とが、あるいは、作動室３と後記する吸引室とが、この第一空気漏れ出し手段１０および第二空気漏れ出し手段１１を介して一部の空気を流通させる。
該一部の空気とは、減圧手段２による空気の吸引力を低下させる等の悪影響を与えない程度のわずかな量の空気である。
なお、この第一弁孔４と第二弁孔５との第一空気漏れ出し手段１０と第二空気漏れ出し手段１１とにあっては、第一空気漏れ出し手段１０はわずかに空気漏れを生ずる程度であり、第二空気漏れ出し手段１１は弁体６を第二弁孔５により受けているというもので比較的大きな空気漏れであっても構わない。
【００１９】
前記した吸着部材７は、本体１において第二弁孔５の外側に設けて物品ｂを吸着するものであって、第二弁孔５の下側において該第二弁体５を囲むように設けて物品ｂの吸引室１７を形成し、該物品ｂ面に当接したとき第二弁孔５への外気の流入を妨げるものであり、前記吸引室１７が形成されるカップ状であって、物品ｂ面への密着性が良好となるゴム製やスポンジ，発泡ウレタン等の可撓性あるいは弾力性を有する素材により成形することにより、物品ｂへの吸着をより確実にし、該物品ｂの表面に多少の凹凸があっても、物品ｂ面へ当接したとき所定縮量が得られるクッション性を発揮して吸着効果が得られる。また、この吸着部材７は異なるサイズや形状などのものと着脱自在に交換することもできる。
【００２０】
また、この吸着部材７は、物品吸着装置Ａが降下して該吸着部材７が物品ｂ面へ当接したときの緩衝作用を行なうと共に、物品吸着装置Ａの過剰降下量を吸収するものであり、図示してないが、ベローズ状に形成することもある。
なお、柔軟材に形成することで、傷の付きやすい物品ｂ面に当接しても該物品ｂへ損傷を与えることがないものであるが、処理する物品ｂによってはクッション性を有しない素材により成形してもよいことはもちろんであり、本体１側の適所にクッション性を備えてもよい。
【００２１】
前記した弾性部材８は、作動室３内に設けて常時は弁体６を第二弁孔５へ付勢させるもので、コイルスプリング等を用いる。
該弾性部材８は、減圧手段２による空気の吸引力より弱い付勢力、すなわち、前記吸引力より弱いばね力に設定や調整がしてあって、該吸引力が作動室３に働くことで弁体６を吸引し、この弾性部材８の付勢力に抗して該弁体６を第一弁孔４側へあるいは第一弁孔４へ引き寄せる。このばね力は、減圧手段２による空気の吸引を行わない状態において、単に弁体６を第二弁孔５側へ付勢させる力を有していればよいもので、すなわち、主体１を上下逆に取り付けたとき、弁体６がその自重等により第一弁孔４に当接しない（第一弁孔４と弁体６とを離隔させる）作用を発揮すればよいこととなる。
【００２２】
また、作動室３の内壁と弁体６の外周部との間に、図１および図４に示すように、空気の流通路９を形成させてあるもので、この流通路９は最低限の空気の流動が行われ得る比較的狭い隙間で設けてある。すなわちこの構成により、減圧手段２によって行われる本体１における第一弁孔４側の空気の吸引力は、作動室３の内周壁と弁体６の外周部との間に形成させた流通路９を流動する空気の流動量より大きい吸引量に設定させてある。
いわゆる、作動室３内においてこの流通路９をその断面において絞ることでベンチュリ効果が得られる。これは、作動室３における弁体６が位置していない断面部より、弁体６が位置している断面部すなわち流通路９が絞られた狭い箇所となる。
これにより、図１に示すように、弾性部材８により弁体６が第二弁孔５側に押し付けられた状態において、減圧手段２による本体１における第一弁孔４側の吸引が作動室３に掛かったとき、第二弁孔５から流入した吸引空気は、狭い流通路９を通過する際に流動抵抗が掛かる共に流速が増し、弁体６の上部と第二弁孔４の下部との間において形成される作動室３の空間部に負圧が発生し、この空間部と第二弁孔５，吸引室１７側との負圧差が大きくなるので、弁体６は比較的小吸引力によって弾性部材８の付勢力に抗して持ち上げられる。
【００２３】
図１において２０は、本体１の適所に設けた検出手段で、減圧手段２による物品ｂの吸着有無を検出するものであり、例えば、作動室３において第一弁孔４付近に配設して、該第一弁孔４側に弁体６が所定の間（例えば時間）位置していることをこの検出手段２０が検知したとき、物品ｂは吸着・保持されていないことを検出し図示しない制御手段等に送信する。
【００２４】
また、本体１における第二弁孔５には、作動室３内へのゴミ等の異物の侵入を防止する除去部材２１を取り付けてあるもので、図５（ａ）に示すように、多数の空気の通孔２２を穿設した穿孔板や、図５（ｂ）に示すように、多数の空気の通孔２２を有する網体等が用いられる。また、これら通孔２２は、作動室３内において作動室３の内壁と弁体６の外周部との間に形成される流通路９の隙間より狭く（小さく）形成されることで、事前に作動室３内への異物の侵入を防除して流通路９においてこの異物の詰まりに起因する弁体６の動作不良を防止する。
なお、この除去部材２１は、スポンジなどの合成樹脂等による多孔質体であっても構わない。
【００２５】
したがって、前記のように構成される本発明実施例に係る物品吸着装置Ａは、以下に述べる作用を奏するもので、該物品吸着装置Ａは、図２に示すように、下方に位置した物品ｂを、その上方からその吸着部材７が対応して吸着保持する例について説明する。
まず、減圧手段２を作動させない状態においては、図１および図６（ａ）に示すように、弁体６は、コイルスプリング等の弾性部材８により下方へ押し下げられ、該弁体６を第二弁孔５の弁座５ａへ対応させている。なお、弁体６は必ずしも弁座５ａに圧接させなくてもよい。
なお、このとき、該弁体６と第二弁孔５の弁座５ａとにおいては、第二空気漏れ出し手段１１により、減圧手段２による空気の吸引力を低下させない程度の空気漏れが生ずる、いわゆる、密閉状態とならないように配されている。
【００２６】
そして、図６（ａ）に示すように、吸着部材７には物品ｂが対応しない状態において、減圧手段２を作動させると、その空気の吸引力が作動室３に掛かって、この作動室３内にある弁体６を吸引するもので、吸着部材７を経由して第二弁孔５から流入した吸引空気は、作動室３内の弁体６の外周部とに形成される狭い流通路９を通過する際に空気の流動抵抗が掛かると共に流速が増し、弁体６の上部と第二弁孔４の下部との間において形成される作動室３の空間部ｍに負圧（外気とに負圧差）を発生させるので、図６（ｂ）に示すように、弁体６は、減圧手段２の比較的小吸引力によっても、自己の軽量化も相俟って弾性部材８の付勢力に抗して持ち上げられる。
【００２７】
更に、弾性部材８の付勢力に抗して持ち上げられた該弁体６は、第一弁孔４に当接してこの第一弁孔４を閉じ、吸着部材７からの空気の吸引を阻止しようとする。
しかし、この状態において、第一弁孔４と弁体６とにあるいは両者４，６との間には、第一空気漏れ出し手段１０が設けられているため、図６（ｂ）に示すように、わずかな外部空気が、すなわち、前記したように減圧手段２による吸引力を低下させない程度の外部空気が、この第一弁孔４から漏れ吸われている。
一方、この第一空気漏れ出し手段１０における空気の吸い込みは、極めてわずかであるため、減圧手段２の正常な運転低下を来すことはないと共に、弁体６は軽量でありかつ弾性部材８のばね力は減圧手段２の空気吸引力より弱く設定されているため、更には、作動室３における内壁と弁体６の外周部とに形成される流通路９が狭いために、前記作動室３の空間部ｍに負圧が生ずるので、弁体６は第一弁孔４へ引き寄せられて第二弁孔５側へ移動することがない。
なお、特に、この作動室３の空間部ｍに負圧を生じさせることができない場合には、非常に大きな減圧手段２の吸引力が必要となり、大馬力の駆動源を要するので、前記流通路９が狭いことは本実施例の作用にあって大きな要点となる。
【００２８】
次に、この吸引準備ができた状態の物品吸着装置Ａにおける吸着部材７を、図６（ｃ）に示すように、物品ｂの表面に押し付けると、吸着部材７の下周縁が物品ｂ面に当接して、該吸着部材７の開口部が物品ｂ面によって塞がれた状態になる。
【００２９】
すると、図６（ｃ）に示すように、第一空気漏れ出し手段１０の作用によって、減圧手段２による吸引力は、その空気漏れに起因して引き続いて吸引誘導が行われ、吸引室１７内に対して直ちにその吸引力が働き、該吸引室１７には急激に負圧が掛かる。
【００３０】
そして、吸引室１７の負圧と作動室３における弁体６上部と第一弁孔４との間の負圧とが近似してくると、図６（ｃ）に示すように、弾性部材８の付勢力によって弁体６が第一弁孔４から離隔されるので、更に一気に作動室３および吸引室１７内に掛かって、作動室３と吸引室１７が略同一負圧になりかつこの負圧が維持されて、これにより、同図に示すように、吸着部材７が物品ｂを吸着保持するため、本体１、すなわち、吸着ユニットＷを引き上げると、吸着部材７により吸着されて持ち上げられる。
このとき、第二弁孔５側に弁体６は戻されるが、この第二空気漏れ出し手段１１を通じて、吸引室１７は減圧手段２による空気の吸引作用が発揮されている。加うるに、この物品吸着装置Ａは、第一空気漏れ出し手段１０により第一弁孔４から常に空気を吸引している状態が維持されるため、吸着部材７に物品ｂが接触した瞬間に該物品ｂを吸着できるものである。
仮に、本実施例物品吸着装置Ａにおいて、第一空気漏れ出し手段１０が無くて第一弁孔４へ弁体６が密着しこの弁座４ａを閉塞させる場合には、吸着部材７が物品ｂへ押し付けた後減圧手段２を作動させなければ、該物品ｂを吸着させることができない。そのため、物品吸着までに時間を要すると共に、連続作業ができにくい。
【００３１】
本実施例にあって、前記状態において、吸着保持した物品ｂを他の処理機等へ移送するもので、該操作が終了すれば、他の工程へ物品ｂを置き、減圧手段２の減圧作動を停止（あるいは、切り換えバルブを操作）した後、作動室３内を排気するか、送気することで、吸着部材７と物品ｂとは分離する。
【００３２】
特に、本発明実施例装置Ａの有効な構成は、物品吸着装置Ａを物品ｂに押し付けたときに、物品ｂ面における吸着位置に所定に突出した部分や不定形であったり、あるいは、物品ｂ上面に凹陥やえぐられた部分があったり、図２に示すように、吸着部材７の吸着作用部が物品ｂの外周縁からはみ出したりしている場合であっても、複数設けた他の物品吸着装置Ａは作動不良とならず物品ｂの吸着保持が行なえる点である。
【００３３】
すなわち、複数個の吸着部材７を物品ｂ面に対応させたとき、物品吸着装置Ａにおける該吸着部材７のうちの一個またはそれ以上が、図２に示すように、物品ｂ面から外れている場合は、この吸着部材７に対応する弁体６は、減圧手段２による吸引力によって上方へ持ち上げられて第一弁孔４へ当接するため、該吸着部材７の吸引室１７にはほとんど吸引力が働かず、第一空気漏れ出し手段１０からの空気漏れ以外に第一弁孔４部からの空気の吸引がほとんど行われない。
【００３４】
そのため、第一弁孔４へ弁体６が対応し、物品ｂ不在による過剰吸引によって減圧室１７の吸引力を低下させることなく、減圧手段２によるあらかじめ定められた吸引力が、他の吸着部材７，７…における吸引室１７…へ均一に与えられて、残りの吸着部材７，７…によって物品ｂを確実に吸引保持することができて、装置Ａを他の工程へ移動搬送すれば、物品ｂの移動を行うことができる。
あるいは、吸着部材７，７…によって物品ｂを確実に吸引保持した状態で、他の加工機による所定の加工を行うことができる。
【００３５】
更に、本発明実施例物品吸着装置Ａは、弁体６を付勢させる弾性部材８を設けることにより、下向きに物品ｂを吸着することができることはもちろんのこと、物品ｂを吸着する方向が横向きや上向き等の任意角度に対しての使用であっても、同様の作用効果を発揮することができるので、本物品吸着装置Ａの使用にあって範囲が拡大される。
【００３６】
図７においてＡは他の例を示す物品吸着装置で、本体１における吸着部材７の取付部をねじ等による止着部材２５により交換自在とすることができる。いわゆる、既存の吸着ユニットに取り付けられいる既存の吸着部材７ａに接続させたホースなどの接続部材２６の途中を切断し、本体１における第二弁孔５側に吸着部材７ａに接続させた一方の接続部材２６ａを連結し、本体１における第一弁孔４側に前記切断させた他方の接続部材２６ｂを連結させて既存のものを利用することができる。
【００３７】
すなわち、既存の吸着部材７ａにおけるエアーホースなどの接続部材２６の適所を切断３０を行って、その一方２６ａ側における吸着部材７ａに止着部材２５を取り付け、該止着部材２５によってこの吸着部材７ａを本体１の止着部２７へ設け、前記切断された他方の接続部材２６ｂの端部を、止着部材２８により本体１における第一弁孔４側の取付部２９へ取り付けることで、既存の吸着ユニットなどの改造を行う手間等を掛けることなく、容易に本願実施例の物品吸着装置Ａを利用することができる。
【００３８】
【発明の効果】
前述のように本発明は、作動室内に設けた弁体を第一弁孔側に付勢させる弾性部材を前記作動室内に設け、かつ、該弁体を第二弁孔側に押し付けるように設けたものであるから、構成する部品点数を減らし、更に、装置全体をコンパクトに形成することができて安価に市場提供することができると共に、小型化された吸着ユニットにも用いることができて汎用性が向上する。
特に、作動室における内壁と弁体の外周部とに形成される流通路が狭く、この流通路を通過する空気の流動量が第一弁孔側の空気吸引量より小さいため、第一弁孔側の空気吸引が比較的小動力であっても、前記作動室の空間部に容易に負圧が生じさせ、弁体を簡単に第一弁孔へ引き寄せさせることができ、更にこの引き寄せられた弁体の第一弁孔への当接維持を確実に行うことができて、前記構成により装置の小型化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る物品吸着装置の一実施例の要部を示す縦断正面図ある。
【図２】図１における物品吸着装置を複数個設けた状態を示す概略図である。
【図３】図１における物品吸着装置の第一および第二空気漏れ出し手段の各例を示す説明図である。
【図４】図１における物品吸着装置の作動室内部の流通路を示す横断面図である。
【図５】図１における物品吸着装置に設けた除去部材の各例を示す説明図である。
【図６】図５における物品吸着装置の物品吸着状態の各工程を示す概略的な断面図である。
【図７】図１における物品吸着装置の他の吸着部材の装着例を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ…物品吸着装置．ｂ…物品．１…本体．２…減圧手段．３…作動室．４…第一弁孔．５…第二弁孔．６…弁体．７，７ａ…吸着部材．８…弾性部材．９…流通路．１０…第一空気漏れ出し手段．１１…第二空気漏れ出し手段．２６，２６ａ，２６ｂ…接続部材．
【図１】
2004114220.tif 000003
【図２】
2004114220.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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