(57)【要約】【課題】圧電振動片の一端（固着端）をパッケージベース（以下、容器という）に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子に関し、圧電振動片の他端下が容器の内部底面に接触することなく、確実に隙間を形成することができる片端支持型圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】圧電振動片２０の固着端とは別の他端位置における容器１０の内部底面１１上に枕部材１を配置し、圧電振動片２０は前記枕部材１と容器１０の段差部１３とに跨がって載置した状態にて、接着剤３０による固着端固定のための第１の加熱工程「接着剤乾燥段階」を行ない、この時は前記枕部材１は収縮せず、次に、前記圧電振動片２０と容器１０との固定後に第２の加熱工程「アニール段階」を行ない、このとき前記枕部材１の収縮が行なわれるようにしたので、圧電振動片２０の他端を確実に自由端とする片端支持型圧電振動子を得ることできる。【選択図】　　　　　　　　　図３
2004135196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、
圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱収縮性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、
圧電振動片は前記枕部材と容器とに跨がって載置した状態にて固着端固定のための第１の加熱工程を行ない、
前記圧電振動片と容器との固定後に前記枕部材の収縮のための第２の加熱工程を行ない、
前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、
圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱可塑性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、
圧電振動片は前記枕部材と容器とに跨がって載置した状態にて固着端固定のための第１の加熱工程を行ない、
前記圧電振動片と容器との固定後に前記枕部材の変形のための第２の加熱工程を行ない、
前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項３】
前記請求項１または２において、
前記第２の加熱工程は、前記第１の加熱工程よりも温度を高くしたことを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項４】
圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、
圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱収縮性および熱可塑性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、
前記枕部材は圧電振動片の一端を容器に固定する接着乾燥工程において形状を維持し、
前記接着乾燥後のアニール工程において前記枕部材の形状を収縮および変形させ、
前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項５】
前記請求項２乃至４の何れかにおいて、
前記枕部材に用いる熱可塑性樹脂組成物に対し、予め延伸加工を施したことを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項６】
前記請求項５において、
前記枕部材は、気圧供給により膨らませて延伸加工を施した球体形状の枕部材であることを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項７】
前記請求項５において、
前記枕部材は、少なくとも貫通方向に引っ張って延伸加工を施した円筒状の枕部材であることを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【請求項８】
前記請求項５において、
前記枕部材は、中央部を押し出して延伸加工を施したコップ形状の枕部材であることを特徴とする片端支持型圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、片端支持型圧電振動子の製造方法に関し、特に、小型化により非振動領域が極小の圧電振動片をほぼ水平に固定する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周波数発生源やフィルタといった機能を有する電子部品に圧電材料を用いたものがある。例えば、人工的に成長させた水晶の結晶から一定の法則に従って正確に切り出した薄板を研磨して得られる水晶片（圧電振動片）は、種々の圧電材料の中でも特に共振特性に優れることから圧電振動子として多用されている。
従来から、このような圧電振動片の保持構造として、片端支持型あるいは片持型などと呼ばれる保持構造がある。
これは圧電振動片の縁部における一端を導電性接着材によってパッケージベース（基台とも呼ばれる）に固定し、他端は自由端とすることで、温度変化により生じるパッケージベースとの膨張係数の差違による熱膨張ストレスが圧電振動片に与える影響を回避する上で有効な構造である。
【０００３】
この片端支持型の圧電振動片の保持方法として、例えば特開平１０−０９８３４９号公報に示される方法が提案されている。
この公報に示される方法について、図７及び図８を用いて簡単に説明する。
図７及び図８は従来の片端支持型圧電振動子の製造方法を説明するための断面図であり、図７は接着剤乾燥前の状態を示し、図８は接着剤乾燥後の状態を示す。
【０００４】
まず、図７は、矩形状のパッケージベース１０と、このパッケージベース１０内に傾斜した状態で収納された平板状の水晶振動片２０と、この水晶振動片２０をパッケージベース１０に固着するために塗布した導電性接着剤３０とを備えて構成される水晶振動子の例を示したものである。
なお、ここでは図示を省略したが、この水晶振動子の最終的な形態としては、パッケージベース１０の上方を蓋で被覆して内部を気密に封止される。
前記パッケージベース１０は、内部底面１１とその周りを取り囲む周壁１２とで内部空間を形成しており、内部底面１１の周囲の一部に段差部１３が設けられている。この段差部１３の上面には一対の電極部１４が設けられており、導電性接着剤３０により水晶振動片２０の片端が電極部１４へ固定されることで片端支持されることになる。
【０００５】
この図に示すように、導電性接着剤３０の乾燥前状態にあっては、水晶振動片２０は段差部１３の角部（支点）１５と内部底面１１とに当接した傾斜状態に載置される。そして、乾燥工程に入る。乾燥工程では上記水晶振動片２０が載置されたパッケージベース１０をキュア炉に入れて導電性接着剤３０を硬化させる。ここで導電性接着剤３０は、エポキシ系の熱硬化性接着剤であるため硬化する際に分子間の架橋反応による収縮を伴う。そして、その際の導電性接着剤３０の収縮量は、水晶振動片２０と電極部１４との間に介在する導電性接着剤３０の厚みに比例する。即ち、段差部１３の上面において角部１５から離れるに従って次第に導電性接着剤３０の厚みが増していくので、水晶振動片２０の固定側端部は角部１５での接触部分を支点として反時計方向へ僅かに回転する。
【０００６】
水晶振動片２０の回転によって、パッケージベース１０の内部底面１１に接触していた水晶振動片２０の他端が僅かに持ち上がり、図８に示すようにパッケージベース１０の間に隙間ができる。
そして、キュア炉から出して導電性接着剤３０の硬化が完了すると、前記図８の状態が保たれ、水晶振動片２０の他端が完全にフリーとなる片端支持型の水晶振動子を得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の片端支持型圧電振動子の製造方法においては、以下に示すような問題点があった。つまり、導電性接着剤の成分や状態を一定に管理しておかなければ、乾燥工程における収縮の度合いにばらつきが生じてしまい、そのため水晶振動片の他端下の隙間長がばらつくことになる。
また、パッケージベースの段差部と圧電振動片と導電性接着剤の３者の配置関係が極めて正確であることが求められるが、実際には導電性接着剤の塗布精度および圧電振動片のマウント精度の相乗的な誤差により、圧電振動片の他端下の隙間長がばらつくことになる。
そして、このような圧電振動片の他端下の隙間長がばらつきが大きくなると、隙間長がなくなることもあり圧電振動片の他端下がパッケージベースの内部底面に接触した状態で固定されることが生じる虞があった。
近年の小型化により圧電振動片は、ほぼ全面が有効振動領域となっており非振動領域は圧電振動片の縁部の極わずかとなってきている。そのため、上述の如く圧電振動片の他端下がパッケージベースの内部底面に接触していると、振動領域に影響し、周波数特性が劣化することがあるという問題点があった。
【０００８】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、圧電振動片の他端下がパッケージベースの内部底面に接触することなく、確実に隙間を形成することができる片端支持型圧電振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項１の発明は、圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱収縮性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、圧電振動片は前記枕部材と容器とに跨がって載置した状態にて固着端固定のための第１の加熱工程を行ない、前記圧電振動片と容器との固定後に前記枕部材の収縮のための第２の加熱工程を行ない、前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項２の発明は、圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱可塑性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、圧電振動片は前記枕部材と容器とに跨がって載置した状態にて固着端固定のための第１の加熱工程を行ない、前記圧電振動片と容器との固定後に前記枕部材の変形のための第２の加熱工程を行ない、前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項３の発明は、前記請求項１または２に記載の片端支持型圧電振動子の製造方法において、前記第２の加熱工程は、前記第１の加熱工程よりも温度を高くしたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項４の発明は、圧電振動片の一端を容器に接着固定して支持する片端支持型圧電振動子の製造方法であって、圧電振動片と容器とを固定する固着端とは別の他端位置において、当該圧電振動片と容器との間に熱収縮性および熱可塑性を有する樹脂組成物からなる枕部材を配置し、前記枕部材は圧電振動片の一端を容器に固定する接着乾燥工程において形状を維持し、前記接着乾燥後のアニール工程において前記枕部材の形状を収縮および変形させ、前記圧電振動片と枕部材との間に隙間を形成することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項５の発明は、前記請求項２乃至４の何れかに記載の片端支持型圧電振動子の製造方法において、前記枕部材に用いる熱可塑性樹脂組成物に対し、予め延伸加工を施したことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項６の発明は、前記請求項５記載の片端支持型圧電振動子の製造方法において、前記枕部材は、気圧供給により膨らませて延伸加工を施した球体形状の枕部材であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項７の発明は、前記請求項５記載の片端支持型圧電振動子の製造方法において、前記枕部材は、少なくとも貫通方向に引っ張って延伸加工を施した円筒状の枕部材であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法の請求項８の発明は、前記請求項５記載の片端支持型圧電振動子の製造方法において、前記枕部材は、中央部を押し出して延伸加工を施したコップ形状の枕部材であることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図示した実施の形態例に基づいて本発明を詳細に説明する。
図１は本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法における最後の加熱工程（第２の加熱工程）前の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。なお、上述の従来例に示したものと同様の構成部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１８】
この例に示す圧電振動子は、パッケージベース１０と圧電振動片２０と導電性接着剤３０とに加え、更に枕部材１を備えて構成する。
前記枕部材１は、合成高分子化合物（所謂、プラスチック）であって、特に加熱により収縮する特性（熱収縮性）を持つ樹脂組成物を材料としたものであり、ここでは、枕部材１に、不飽和ポリエステル系の樹脂を用いた場合を例にして説明する。
不飽和ポリエステル樹脂の種類は多岐にわたるが、硬化時に大きな収縮を伴うものが多く、収縮を利用する本願発明に適合した材質といえる。収縮率は、架橋剤として配合されるモノマーの種類や含有量に大きく影響する傾向があるため、枕部材に必要な応力強度や外形的な状態等（例えば、圧電振動片２０を支持するに充分な軟性弾性体を形成可能な程度）の条件に照らし、収縮率を大きくしておくことが好ましい。また、圧電振動子２０と枕部剤１が接着することがないような物性にしておく必要がある。
なお、同図中には、収縮前の枕部材の形状を表わすため符号を１ａとして枕部材を示す。
【００１９】
つまり、この図に示す最後の加熱工程前の状態にある圧電振動子は、圧電振動片２０が段差部１３の上面と枕部材１ａの２点で支持されており、圧電振動片２０は、パッケージベース１０の内部底面１１に対し、ほぼ水平に保持されている。
【００２０】
このような状態から、例えば、導電性接着剤３０を硬化して圧電振動片２０の固着端を固定するための接着剤乾燥工程（約１８０℃の温度に加熱する）を経て、次に、硬化後の導電性接着剤３０を含め構成部材全体に対して残留ストレス歪を焼きなまして除去するアニール（ａｎｎｅａｌ）工程（約２７０℃の温度に加熱する）を経て、最終的に図示を省略したキャップ（蓋）を被覆する気密封止工程を経て完成となる。
【００２１】
次に、図２は本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法における最後の加熱工程（第２の加熱工程）後の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。なお、ここでいう最後の加熱工程として、上述のアニール工程を対応させて説明する。
この図に示すアニール工程後の状態にある圧電振動子は、収縮した枕部材１ｂとなり、圧電振動片２０の他端（段差部１３上に固定された固着端と対向する側）は、その下側に隙間が形成され、接触のないフリーな状態となっている。
つまり、枕部材１は、導電性接着剤３０を乾燥させるための接着剤乾燥工程（第１の加熱工程）における約１８０℃の温度では収縮が加速されずに形状を維持し、その後のアニール工程（第２の加熱工程）による約２７０℃までの温度上昇中に収縮が加速されるのである。そのため、枕部剤１の材質例とした不飽和ポリエステル樹脂は、収縮開始点温度に留意する必要がある。そこで、添加剤を併用するなどして耐熱性を調整し、この場合に所望とする収縮開始点温度として、例えば２００℃〜２５０℃に設定したものを用いる。
【００２２】
次に図３は、本発明に係る工程順序における状態構成遷移を示す圧電振動子の断面図である。
同図（ａ）は、「接着剤および枕部剤の配置段階」として、パッケージベース１０に導電性接着剤３０の塗布と枕部剤１ａの配置を行った状態例を示しており、具体的には、パッケージベース１０の段差部１３の上面に設けられた電極部１４に導電性接着剤３０が塗布され、また他方、圧電振動片２０の固着端とは別の他端の下部に枕部材１ａが配置される。
同図（ｂ）は、「圧電振動片のマウント段階」として、圧電振動片２０をマウントした状態例を示している。この段階では、圧電振動片２０は両端で支持される。即ち、一方の支持端（固着端）側は導電性接着剤３０が塗布された段差部１３の上面に載置され、他方の支持端（他端）側は、枕部材１ａに載置される。このようにパッケージベース１０の段差部１３と枕部材１ａとに跨って載置することで、圧電振動片２０はパッケージベース１０の内部底面に対してほぼ水平に、且つ、安定して保持された状態にある。
【００２３】
同図（ｃ）は、「接着剤乾燥段階」（第１の加熱工程）として、導電性接着剤３０を加熱乾燥して硬化させた状態例を示す。ここで導電性接着剤３０は、上述の従来例に示したものと同様のエポキシ系の導電性接着剤、あるいは、一般に多用されているシリコン系の導電性接着剤である。この加熱乾燥は、導電性接着剤３０の硬化条件に応じた環境に設定したもので、ここでは約１８０℃の温度に加熱して接着剤に溶け込んでいる有機溶剤を発散気化し、揮発を加速することで硬化する。なお、導電性接着剤３０は硬化する際に収縮を伴うものの、その収縮率は僅かなものである。
また一方、枕部剤１ａはこの段階では収縮せず、形状を維持しているので、圧電振動片２０は他端を枕部剤１ａに支持された状態で接着剤の硬化がなされるため、傾斜することなく確実にほぼ水平の状態に固定される。
【００２４】
同図（ｄ）は、「アニール段階」（第２の加熱工程）として、残留ストレス歪を焼きなましにより開放すると同時に、枕部材を収縮させた状態例を示す。これにより枕部材１ｂの如く収縮するので、圧電振動子２０の他端の下には枕部材の収縮した高さ分の隙間が生じる。
【００２５】
以上説明したように、熱収縮性を有する樹脂組成物からなる枕部材１を圧電振動片２０の他端の下に配置するようにして、まず、第１の加熱工程により圧電振動片２０の固着端の固定を施し、次に、第２の加熱工程により枕部材１を収縮することで、圧電振動片２０は傾斜することなく他端下に確実に隙間を形成した片端支持型圧電振動子を得ることができる。
【００２６】
以上説明した本発明の実施の形態例においては、枕部材に用いる材質として、熱収縮性を有する樹脂組成物を用いるという例を示したが、本発明の実施にあってはこの例に限らず、例えば、熱可塑性を有する樹脂組成物を用いて構成してもよい。熱可塑性樹脂は、加熱することで軟化し、外力により変形する性質をもつため、この場合の枕部材は、例えば、上述の第２の加熱工程において軟化し、枕部材自体の自重により潰れを生じさせて、高さ方向が縮むようにすればよい。熱可塑性樹脂としては、ポリエステル系熱可塑性エラストマーや、ポリエチレンテレフタレートなどが耐熱性（軟化点温度調整）の面から適用し易い材料と言えよう。
そして更には、高さ方向の縮小率を大きくとるために、枕部材の形状を工夫することが好ましい。以下に、本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法に用いる枕部材の形状加工応用例を図示して説明する。
【００２７】
図４は、枕部材の延伸加工処理の第１の実施例を示す図である。同図（ａ）は、金属パイプ４０の先端部に枕部材の原形２を付着し、金属パイプ４０を通して前記枕部材の原形２に気圧を供給して膨らませた後、金属パイプ４０から切断して、一点が開口した球体形状の枕部材を形成する。
こうして得られる枕部材２ａは、内部に与えられた応力により引き伸ばされた肉厚となる。
【００２８】
そして枕部材２ａは、同図（ｂ）の如く、圧電振動片２０とパッケージベース１０との間に、圧電振動片２０の他端を支えるように配置される。
なお、パッケージベース１０側には、枕部材２ａの底部が嵌合する凹溝を枕部材の配置位置に設けることも好ましい。
【００２９】
このように配置した枕部材２ａは、「接着剤乾燥段階」（第１の加熱工程）では軟化変形せずに圧電振動片２０を支持し、「アニール段階」（第２の加熱工程）で、同図（ｃ）に示す如く軟化変形する。即ち、この図に示す枕部材２ｂは、全体が萎みつつ収縮するので、圧電振動片２０と枕部材２ｂとの間には隙間ができる。
【００３０】
次に、図５は枕部材の延伸加工処理の第２の実施例を示す図である。同図（ａ）は、直円錐の先端を対向配置したそれぞれの圧伸ヘッド５０ａおよび５０ｂとの間に、円筒形の枕部材の原形３の貫通孔に合わせて挟み込んだ状態を示している。
同図（ｂ）は、同図（ａ）の状態から圧伸ヘッド５０ａと５０ｂの間を接近させて枕部材の原形３の両端を押し広げると共に、圧伸ヘッド５０ａおよび５０ｂの斜面に当接した枕部材３の端部を、押さえリング６０ａおよび６０ｂにより押圧固定した状態を示す。
【００３１】
同図（ｃ）は、同図（ｂ）の状態から圧伸ヘッド５０ａと５０ｂの間を離すことで、枕部材３の胴体部分を引き伸ばした状態を示す。こうして得られる枕部材３ａは、同図（ｄ）に示すような形状に形成される。
【００３２】
そして枕部材３ａは、同図（ｅ）の如く、圧電振動片２０とパッケージベース１０との間に、圧電振動片２０の他端を支えるように配置される。このように配置した枕部材３ａは、「接着剤乾燥段階」（第１の加熱工程）では軟化変形せずに圧電振動片２０を支持し、「アニール段階」（第２の加熱工程）で、同図（ｆ）に示す如く軟化変形する。即ち、この図に示す枕部材３ｂは、特に貫通孔方向（高さ方向）が萎みつつ収縮するので、圧電振動片２０と枕部材３ｂとの間には隙間ができる。
【００３３】
次に、図６は枕部材の延伸加工処理の第３の実施例を示す図である。同図（ａ）は、逆さ円錐台形状の穴を設けた型台７０の上部に円形平板状の枕部材の原形４を載置した状態を示している。
同図（ｂ）は、同図（ａ）の状態にある枕部材の原形４の中腹上部から、押込ヘッド８０により押し下げられた状態を示している。こうして得られるコップ形状の枕部材４ａを同図（ｃ）に示す如く、圧電振動片２０とパッケージベース１０との間に、圧電振動片２０の他端を支えるように配置する。このように配置した枕部材４ａは、「接着剤乾燥段階」（第１の加熱工程）では軟化変形せずに圧電振動片２０を支持し、「アニール段階」（第２の加熱工程）で、同図（ｆ）に示す如く軟化変形する。即ち、この図に示す枕部材４ｂは、特にコップの深さ方向（高さ方向）が萎みつつ収縮するので、圧電振動片２０と枕部材３ｂとの間には隙間ができる。
【００３４】
以上のように、本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法に用いる枕部材に熱可塑性樹脂を用いて構成すれば、第１の加熱工程により圧電振動片２０の固定端を接着固定する際には、枕部材は圧電振動片２０の他端を支持したままの状態で形状を維持し、次の第２の加熱工程の際に軟化変形または収縮することで、圧電振動片２０は傾斜することなく他端下に確実に隙間を形成した片端支持型圧電振動子を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明に係わる片端支持型圧電振動子の製造方法は、圧電振動片の固着端とは別の他端位置におけるパッケージベース（容器）の内底面上に枕部材を配置し、圧電振動片は前記枕部材と容器の段差部とに跨がって載置した状態にて、接着剤による固着端固定のための第１の加熱工程を行ない、この時は前記枕部材は収縮または変形せず、次に、前記圧電振動片と容器との固定後に前記第１の加熱工程よりも高温となる第２の加熱工程を行ない、このとき前記枕部材の収縮または変形が行なわれるようにしたので、圧電振動片の他端を確実に自由端とする片端支持型圧電振動子を得ることできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法における最後の加熱工程（アニール工程）前の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。
【図２】本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法における最後の加熱工程（アニール工程）後の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。
【図３】本発明に係る工程順序における状態構成遷移を示す圧電振動子の断面図である。
【図４】本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法に用いる枕部材への延伸加工処理の第１の実施例を示す図である。
【図５】本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法に用いる枕部材への延伸加工処理の第２の実施例を示す図である。
【図６】本発明に係る片端支持型圧電振動子の製造方法に用いる枕部材への延伸加工処理の第３の実施例を示す図である。
【図７】従来技術の片端支持型圧電振動子の製造方法における加熱工程（接着乾燥工程）前の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。
【図８】従来技術の片端支持型圧電振動子の製造方法における加熱工程（接着乾燥工程）後の状態構成例を示す圧電振動子の断面図である。
【符号の説明】
１・・・枕部材
１ａ・・・収縮前の枕部材
１ｂ・・・収縮後の枕部材
２・・・枕部材の原形
２ａ・・・収縮／変形前の枕部材
２ｂ・・・収縮／変形後の枕部材
３・・・枕部材の原形
３ａ・・・収縮／変形前の枕部材
３ｂ・・・収縮／変形後の枕部材
４・・・枕部材の原形
４ａ・・・収縮／変形前の枕部材
４ｂ・・・収縮／変形後の枕部材
１０・・・パッケージベース（容器）
１１・・・内部底面
１２・・・周壁
１３・・・段差部
１４・・・電極部
１５・・・角部（支点）
２０・・・水晶振動片（圧電振動片）
３０・・・導電性接着剤
４０・・・金属パイプ
５０ａ、５０ｂ・・・圧伸ヘッド
６０ａ、６０ｂ・・・押さえリング
７０・・・型台
８０・・・押込ヘッド
【図１】
2004135196.tif 000003
【図２】
2004135196.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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