(57)【要約】【課題】よりスムーズに循環配管内の圧力調整を行って、静音化を図ることができると共に、設備費の低減（低コスト化）を図ることができる圧力調整ベローズ及びそれを備える冷却装置を実現する。【解決手段】圧力調整ベローズ５７は、二次冷媒を循環配管５３に循環させることにより、冷凍機５４で発生した冷熱を冷却対象である冷熱利用機器５２に供給する冷却装置５０に備えられ、循環配管５３内の圧力調整を行う圧力調整ベローズ５７であって、圧力調整ベローズ５７のベローズタンク６３は、側部５７ａ及び上面５７ｂがゴム又は樹脂により形成されていることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次冷媒を循環配管に循環させることにより、冷凍機で発生した冷熱を冷却対象に供給する冷却装置に備えられ、前記循環配管内の圧力調整を行う圧力調整ベローズであって、
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、少なくとも上面がゴム又は樹脂により形成されていることを特徴とする圧力調整ベローズ。
【請求項２】
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、側部及び上面がゴム又は樹脂により一体成形されていることを特徴とする請求項１記載の圧力調整ベローズ。
【請求項３】
二次冷媒が循環する循環配管と、該循環配管内の圧力を調整する圧力調整ベローズと、を備え、前記二次冷媒を前記循環配管に循環させることにより冷凍機で発生した冷熱を冷却対象に供給する冷却装置であって、
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、少なくとも上面がゴム又は樹脂により形成されていることを特徴とする冷却装置。
【請求項４】
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、側部及び上面がゴム又は樹脂により一体成形されていることを特徴とする請求項３に記載の冷却装置。
【請求項５】
前記冷凍機は、作動ガスを圧縮させて冷熱を発生するスターリング冷凍機であることを特徴とする請求項３又は４に記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、二次冷媒を循環配管に循環させることにより、冷凍機を用いて発生した冷熱を冷熱利用機器に供給する冷却装置に関し、特には、この冷却装置における循環配管内の圧力調整を行う圧力調整ベローズ、及びそれを備える冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、地球環境問題におけるフロン代替の冷凍装置として、又、従来の冷却装置より使用温度が広範囲であり、コンパクトで、しかも成績係数が高く、エネルギー効率が良好となる冷凍機として、スターリング冷凍機が脚光を浴びている。このため、スターリング冷凍機は、冷凍庫、冷蔵庫、投げ込み式クーラ等の業務用又は家庭用の冷熱利用機器をはじめ、低温液循環器、低温恒温器、恒温槽、ヒートショック試験装置、凍結乾燥機、温度特性試験装置、血液・細胞保存装置、コールドクーラ、その他各種の冷熱装置等のあらゆる産業分野の冷熱利用機器に適用可能な、冷熱供給源としての利用が検討されている。
【０００３】
上記のような冷却装置に関連する従来技術として、スターリング冷凍機の冷却ヘッド、冷却ヘッドで冷却される冷熱冷媒を流すポンプを有する冷熱冷媒管路及び冷熱利用機器の冷熱冷媒配管とから構成される冷熱冷媒の循環路を備えたスターリング冷却装置において、循環路内を循環する冷熱冷媒の収縮や圧力変動に対して冷熱冷媒流の補充、圧力調整を行い、冷熱冷媒の流れの安定性を図り良好な熱移送を可能とする、ベローズタンク装置を接続したスターリング冷却装置が開示されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３０３４５９号公報（第１頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のスターリング冷凍機を用いた冷却装置では、冷熱冷媒（二次冷媒、冷却液）を循環させる循環配管内の圧力調整を行なうために、圧力調整ベローズが設けられている。圧力調整ベローズは、ベローズタンクの容積が変化することにより循環配管内で生じた圧力を吸収するものである。このような圧力調整ベローズでは、循環配管内の圧力を吸収して膨張したとき、ベローズタンクが倒れるのを防止するため、ベローズタンクを案内する金属製のガイド及びガイドレールを設けている。しかし、圧力調整ベローズが膨張するとき脈動が起こるため、ベローズタンクを案内しているガイドとガイドレールとが接触して金属音が生じ、非常に騒がしい。また、ガイドやガイドレールを設けるための設備費も必要となる。
【０００６】
本発明は、よりスムーズに循環配管内の圧力調整を行って、静音化を図ることができると共に、設備費の低減（低コスト化）を図ることができる圧力調整ベローズ及びそれを備える冷却装置を実現することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、二次冷媒を循環配管に循環させることにより、冷凍機で発生した冷熱を冷却対象に供給する冷却装置に備えられ、前記循環配管内の圧力調整を行う圧力調整ベローズであって、前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、少なくとも上面がゴム又は樹脂により形成されていることを特徴とする圧力調整ベローズを提供する。
【０００８】
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、側部及び上面がゴム又は樹脂により一体成形されていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明は、二次冷媒が循環する循環配管と、該循環配管内の圧力を調整する圧力調整ベローズと、を備え、前記二次冷媒を前記循環配管に循環させることにより冷凍機で発生した冷熱を冷却対象に供給する冷却装置であって、前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、少なくとも上面がゴム又は樹脂により形成されていることを特徴とする冷却装置を提供する。
【００１０】
前記圧力調整ベローズのベローズタンクは、側部及び上面がゴム又は樹脂により一体成形されていることが好ましい。
【００１１】
前記冷凍機は、作動ガスを圧縮させて冷熱を発生するスターリング冷凍機であることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係る冷却装置の実施の形態を実施例に基づいて図面を参照して説明する。本発明に係る冷却装置を説明するにあたり、まず、スターリング冷凍機を用いた冷却装置の基本的な構成について説明する。
【００１３】
図３は、このようなスターリング冷凍機を用いた冷却装置１の概略的な構成を示す図である。冷却装置１は、冷却対象となる冷熱利用機器２に二次冷媒（冷却液）を循環させる循環配管３と、この循環配管３に設けられた冷凍機４と、循環配管３に設けられ、二次冷媒を冷熱利用機器２に循環させる二次冷媒ポンプ５と、循環する二次冷媒量を調整するリザーバタンク６と、を備える。
【００１４】
循環配管３を矢印ａに沿って循環する二次冷媒は、冷凍機４で冷却される。循環配管３に設けられる二次冷媒（冷却液）ポンプ５は、二次冷媒を循環させて、冷熱利用機器２に二次冷媒を送流して冷熱の利用に供する。
【００１５】
リザーバタンク６は、循環する二次冷媒量を調節するために設けられている。つまり、循環配管３を循環する二次冷媒は、冷凍機４で冷却されるにつれて体積が減少してしまう。このため二次冷媒を補充して二次冷媒量を調整するためにリザーバタンク６が設けられている。
【００１６】
リザーバタンク６の上部空間６’には、圧力調整ベローズ７、安全バルブ８、及び、タンクベント９が、内部に貫通孔が設けられた金属製の汎用品である角ブロック１０を介して、リザーバタンク６と連通するように接続されている。リザーバタンク６の上部には二次冷媒注入バルブ（フィル）１１が接続されている。一方、リザーバタンク６の二次冷媒の貯留部分６ａと循環配管３とは、電磁弁１２を介して接続されている。
【００１７】
圧力調整ベローズ７は、伸縮することにより、循環配管３内の圧力調整を行なうものである。つまり、二次冷媒が冷熱利用機器２で冷熱を与えることにより二次冷媒に温度上昇が生じ、この結果、二次冷媒の体積変化が生じる。この体積変化により生じる循環配管３内の圧力変動に応じて、圧力調整ベローズ７が伸縮することで、循環配管３内の圧力変動を吸収する。
【００１８】
図４は、圧力調整ベローズ７の基本的な構成を示す斜視図である。圧力調整ベローズ７は、ベローズタンク３３と、ガイド３２及びガイドレール３１と、を含んで構成される。ベローズタンク３３は、じゃばら形（ベロー形）のゴムから成る側部（ベローズ）７ａと、側部７ａの上面７ｆに設けられた蓋の役目をする円盤形状の金属から成る頂板７ｂと、を具備する。ゴム製の側部７ａの下辺部７ｃは、ドーナツ状の金属板（底板）７ｄにより角ブロック６０（図３参照）上に密封した状態で取り付けられている。
【００１９】
図４に示されるように、圧力調整ベローズ７は、ベローズタンク３３の側部７ａ及び上方を取り囲むコの字型のガイドレール３１と、ガイド３２とを有する。このガイド３２により、ベローズタンク３３の頂板７ｂは、ガイドレール３１に上下動摺動可能に案内されている。さらに詳しく説明すると、ガイド３２の中央部３２ａが、圧力調整ベローズ７の頂板７ｂに設けられた突設部７ｅに固定されると共に、ガイド３２の両端部３２ｂが、ベローズタンク３３の側部７ａ近傍に位置するガイドレール７ａに上下動摺動可能にはめられている。ガイド３２及びガイドレール３１は、金属で形成されている。ガイドレール３１の底辺３１ａは、金属板（底板）７ｄにより角ブロック６０（図３参照）に取り付けられて固定される。
【００２０】
圧力調整ベローズ７が、ガイドレール３１及びガイド３２を有するのは、以下の理由による。圧力調整ベローズ７では、ベローズタンク３３の容積が変化して循環配管３内で生じた圧力を吸収するため、ゴム製の側部（ベローズ）７ｅが上方へ伸びる。この際、金属製の頂板７ｃは重いため、ベローズタンク３３自体が側方に倒れてしまう恐れがある。そこで、ベローズタンク３３が倒れるのを防止するために、ガイド３２及びガイドレール３１を設けてベローズタンク３３を案内しているのである。
【００２１】
一方、安全バルブ８はリザーバタンク６の内圧が所定圧以上になると開弁することにより、リザーバタンク６の内圧が異常な高圧にならないようにするものである。
【００２２】
リザーバタンク６に設けられる二次冷媒注入バルブ（フィル）１１は、二次冷媒を冷却装置１内に注入する際に、開弁して用いるものである。また、タンクベント９は、リザーバタンク６を強制開放できるようにするものである。
【００２３】
循環配管３に設けられる気液分離配管２０は、冷熱利用機器２から戻ってきた二次冷媒中の残留エアを分離するためのものである。気液分離配管２０は、冷熱利用機器２と二次冷媒ポンプ５との間の配管３ａに設けられた気液分離管２０ａと、気液分離された二次冷媒に残留しているエアをリザーバタンク６に導く気体回収管２０ｂと、液体の二次冷媒を循環配管３に戻す液体戻管２０ｃ等と、により形成されている。
【００２４】
気液分離管２０ａと液体戻管２０ｃとは連通して、略逆Ｕ字状をなし、その頂部近傍に気体回収管２０ｂが接続されて、リザーバタンク６へ連通している。エアが分離している二次冷媒が、冷熱利用機器２から循環配管３ａに流動して二次冷媒ポンプ５に戻るまでの間に、二次冷媒に残留しているエア（空気）が気液分離管２０ａ内を上昇することにより気液分離が行われる。この気体の二次冷媒は、気体回収管２０ｂを介してリザーバタンク６に回収され、液体の二次冷媒は、液体戻管２０ｃを介して循環配管３に戻るようにする。
【００２５】
なお、液体戻管２０ｃには、フッ素液フィルタ２１を設けてもよい。フッ素液フィルタ２１は、例えばハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）の二次冷媒を用いた場合に、二次冷媒中で発生するフッ素化合物を取り除くためのものであり、例えば公知の活性アルミナカートリッジが用いられる。具体的には、上述した電磁弁１２を開いて循環配管３を循環する二次冷媒の一部をリザーバタンク６に流入させる。リザーバタンク６内の二次冷媒は、液体戻管２０ｃへ流出してフッ素液フィルタ２１を通り、二次冷媒中のフッ素化合物が取り除かれる。
【００２６】
冷却装置１では、上述したように、気液分離配管２０により気液分離を行い、二次冷媒残留中の空気（エア）をリザーバタンク６に回収している。しかし、循環配管３を流れる二次冷媒の流速が速い場合、特に、冷却装置１を運転始動し始めた初期段階においては、二次冷媒残留中の空気（エア）をスムーズに気液分離させることが難しい。このため、二次冷媒（冷却液）ポンプ５にインバータ（図示せず）を設置し、二次冷媒ポンプ５をインバータ制御することにより、循環配管３を流れる二次冷媒の流速を遅くする等の流量の調整を行って、気液分離配管２０を介してスムーズに気液分離が行われるようにしている。
【００２７】
気液分離が行われると、二次冷媒ポンプ５には液体の二次冷媒のみが戻るので、二次冷媒残留中の空気（エア）により生じる、二次冷媒ポンプ５のエアー噛み等の不都合が防止できる。
【００２８】
本発明は、以上のような基本構成を有する冷却装置において、次のような構成を特徴とする。つまり、圧力調整ベローズ７に改良を加え、よりスムーズに循環配管内の圧力調整を行って、静音化を図ると共に、設備費の低減（低コスト化）を図る。以下に、本発明に係る圧力調整ベローズを備える冷却装置の実施例について具体的に説明する。
【００２９】
（実施例）
図１は、本発明の実施例に係る圧力調整ベローズを備える冷却装置５０の概略的な構成を示す図である。冷却装置５０は、冷却対象となる冷熱利用機器５２に二次冷媒（冷却液）を循環させる循環配管５３と、循環配管５３内の圧力を調整する本発明に係る圧力調整ベローズ５７と、を備える他、循環配管５３に設けられた冷凍機５４、循環配管５３に設けられ、二次冷媒を冷熱利用機器５２に循環させる二次冷媒ポンプ５５、及び、循環する二次冷媒量を調整するリザーバタンク５６等、を含んで構成される。
【００３０】
循環配管５３を循環する二次冷媒は、冷凍機５４で冷却される。冷凍機５４には、作動ガスを圧縮させて冷熱を発生するスターリング冷凍機が用いられる。循環配管５３に設けられる二次冷媒（冷却液）ポンプ５５は、二次冷媒を循環させて、冷熱利用機器５２に二次冷媒を送流して冷熱の利用に供する。
【００３１】
リザーバタンク５６は、循環する二次冷媒量を調節するために設けられている。つまり、循環配管５３を循環する二次冷媒は、冷凍機５４で冷却されるにつれて体積が減少してしまう。このため二次冷媒を補充して二次冷媒量を調整するためにリザーバタンク５６が設けられている。
【００３２】
リザーバタンク５６の上部空間５６’には、本発明に係る圧力調整ベローズ５７、安全バルブ５８、及び、タンクベント５９が角ブロック６０を介して、リザーバタンク５６と連通するように接続されている。つまり、圧力調整ベローズ５７、安全バルブ５８、及び、タンクベント５９は、内部に貫通孔が設けられた金属製の汎用品である角ブロック６０に装着されており、この角ブロック６０がリザーバタンク５６の上部空間５６’に配置されている。また、リザーバタンク５６の上部には二次冷媒注入バルブ（フィル）６１が接続されている（設けられている）。さらに、リザーバタンク５６の液体の二次媒体の貯留部分５６ａと循環配管５３とは、電磁弁６２を介して接続されている。
【００３３】
圧力調整ベローズ５７は、伸縮することにより、後述する気体回収管７０ｂ、及び気液分離管７０ａ等を介して循環配管５３内の圧力調整を行なうものである。つまり、二次冷媒が冷熱利用機器５２で冷熱を与えることにより二次冷媒に温度上昇が生じ、この結果二次冷媒の体積変化が生じる。この体積変化により生じる循環配管５３内の圧力変動に応じて、圧力調整ベローズ５７が伸縮することで、循環配管５３内の圧力変動を吸収する。
【００３４】
安全バルブ５８はリザーバタンク５６の内圧が所定圧以上になると開弁することにより、リザーバタンク５６の内圧が異常な高圧にならないようにするものである。
【００３５】
リザーバタンク５６に設けられる二次冷媒注入バルブ（フィル）６１は、二次冷媒を冷却装置５０内、つまりリザーバタンク５６に注入する際に、開弁して用いるものである。また、タンクベント５９は、リザーバタンク５６を強制開放できるようにするものである。具体的には、二次冷媒を冷却装置５０内に注入するとき、フィル６１を開いてリザーバタンク５６に二次冷媒（冷却液）を注ぎ込む。このとき、空気（エア）がリザーバタンク５６から逃げられるようにするため、タンクベント５９を開く。
【００３６】
循環配管５３には、二次冷媒の気液分離を行う気液分離配管７０が設けられている。気液分離配管７０は、冷熱利用機器５２側から戻ってきた二次冷媒中の残留エアを分離し、液体の二次冷媒を循環配管５３に戻るようにするものである。気液分離配管７０は、冷熱利用機器５２と二次冷媒ポンプ５５との間の配管５３ａに設けられた気液分離管７０ａと、気液分離された二次冷媒残留中の空気（エア）をリザーバタンク５６に導く気体回収管７０ｂと、液体の二次冷媒を循環配管５３に戻す液体戻管７０ｃ等と、により形成されている。
【００３７】
気液分離管７０ａと液体戻管７０ｃとは連通して、略逆Ｕ字状をなし、その頂部近傍に気体回収管７０ｂが接続されて、リザーバタンク５６へ連通している。二次冷媒が、冷熱利用機器５２から循環配管５３ａに流動して二次冷媒ポンプ５５に戻るまでの間に、二次冷媒中に残留している空気（エア）が気液分離管７０ａ内を上昇することにより気液分離が行われる。この二次冷媒中の残留エアは、気体回収管７０ｂを介してリザーバタンク５６に回収される。
【００３８】
気液分離が行われると、二次冷媒ポンプ５５には液体の二次冷媒のみが戻るので、二次冷媒中の残留エアにより生じる、二次冷媒ポンプ５５でのエアー噛み等の不都合が防止できる。
【００３９】
なお、液体戻管７０ｃには、フッ素液フィルタ７１を設けてもよい。フッ素液フィルタ７１は、例えばハイドロフルオロエータエル（ＨＦＥ）の二次冷媒を用いた場合に、二次冷媒中で発生するフッ素化合物を取り除くためのものであり、例えば公知の活性アルミナカートリッジが用いられる。具体的には、上述した電磁弁６２を開いて循環配管５３を循環する二次冷媒の一部をリザーバタンク５６に流入させる。リザーバタンク５６内の二次冷媒は、液体戻管７０ｃへ流出してフッ素液フィルタ７１を通り、二次冷媒中のフッ素化合物が取り除かれる。
【００４０】
冷却装置５０には、上述したように、本発明の実施例に係る圧力調整ベローズ５７が備えられている。図２に圧力調整ベローズ５７の主要部、つまりベローズタンク６３の側方から見た概略的な断面図を示す。圧力調整ベローズ５７は、循環配管５３の圧力変動を吸収するために容積可変のベローズタンク６３を含んで構成される。ベローズタンク６３は、じゃばら形（ベロー形）の側部（ベローズ）５７ａと、円盤形状の上面５７ｂと、から成る。本発明の特徴は、ベローズタンク６３の少なくとも上面５７ｂがゴムにより形成されていることである。さらに詳しく説明すると、本実施例に係るベローズタンク６３の側部５７ａ及び上面５７ｂはゴムにより一体成形されている。
【００４１】
ゴム製のベローズタンク６３の下辺部５７ｃは、図４で示した金属板７ｄのようなドーナツ状の金属板（図示せず）により角ブロック６０（図１参照）上に密封した状態で取り付けられて、圧力調整ベローズ５７として用いられる。この取り付けにより、圧力調整ベローズ５７のベローズタンク６３内は密閉空間を形成する。
【００４２】
（作用）
次に、図１及び図２を参照しつつ、本実施例の作用について簡単に説明する。冷却対象である冷熱利用機器５２に冷熱を供給する場合、冷凍機５４が始動すると共に、二次冷媒ポンプ５５が始動し、二次冷媒が循環配管５３を矢印ａで示す方向に流れる。
【００４３】
循環配管５３を流れる二次冷媒は、冷凍機５４に達し、冷凍機５４において冷却される。冷却された二次冷媒は、循環配管５３中をさらに流通して、冷熱利用機器５２に達し、冷熱を供給する。このように、冷凍機５４で冷却された二次冷媒は、二次冷媒ポンプ５５により循環配管５３内で循環され、冷熱利用機器５２において冷却作用をする。
【００４４】
二次冷媒が冷熱利用機器５２に冷熱を供給して冷却作用をすることにより、二次冷媒の温度が上昇し、体積変化が生じる。例えば、二次冷媒の体積が増大して、循環配管５３内の圧力が高くなると、圧力調整ベローズ５７が膨張する。つまり、ベローズタンク６３のじゃばら状の側部５７ａは上方に伸び、上面５７ｂが上昇する。逆に、循環配管５３内の圧力が低くなると、圧力調整ベローズ５７は縮小する。つまり、ベローズタンク６３の側部５７ａは縮み、上面５７ｂが下降する。このようにして、ベローズタンク６３内の容積が変動することにより圧力調整ベローズ５７が循環配管５３内の圧力変動を吸収し、循環配管５３内は、所定の圧力状態に維持される。
【００４５】
本実施例の圧力調整ベローズ５７では、ベローズタンク６３の側部５７ａ及び上面５７ｂがゴムにより一体成形されているため、隙間が生じず、吸収されるエアがベローズタンク６３から外部へ漏れ出るといった不都合がない。また、ベローズタンク６３の上面５７ｂはゴム製のため、ベローズタンクの上面を金属製の頂板により蓋をする場合に比べて、上面５７ｂの重さが軽くなる。このため、ベローズタンク６３が側方に倒れることなく上下方向にスムーズにまっすぐ伸縮することができる。したがって、圧力調整ベローズのベローズタンクが側方に倒れるのを防止するために案内していた金属製のガイド及びガイドレール自体が不要である。その結果、圧力調整ベローズが伸縮するときに脈動してガイドとガイドレールとが摺動する際に生じていた金属音を無くすことができ、静音化を図ることができる。
【００４６】
さらに、ガイド及びガイドレールを設けなくてもよいので、設備費の低減を図ることができる。
【００４７】
なお、本実施例のベローズタンク６３の側部５７ａ及び上面５７ｂはゴム製であるが、金属よりも軽い等、本実施例の圧力調整ベローズ５７と同様の役割を果たせば、ベローズタンクの材質はゴムには限られず、例えば、樹脂によりベローズタンクを一体成形してもよい。
【００４８】
以上、本発明に係る圧力調整ベローズ及びそれを備える冷却装置の実施形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は特にこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることはいうまでもない。
【００４９】
【発明の効果】
以上の構成から成る本発明に係る圧力調整ベローズ及びそれを備える冷却装置によると、よりスムーズに循環配管内の圧力調整を行って、静音化を図ることができると共に、設備費の低減（低コスト化）を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る冷却装置の概略的な構成を示す図である。
【図２】本実施例に係る圧力調整ベローズの主要部を側方から見た概略的な断面図である。
【図３】冷却装置の概略的な基本的構成を示す図である。
【図４】基本的な圧力調整ベローズを示す斜視図である。
【符号の説明】
１、５０    冷却装置
２、５２    冷熱利用機器
３、５３    循環配管
３ａ、５３ａ、５３ｂ    配管
４、５４    冷凍機
５、５５    二次冷媒（冷却液）ポンプ
６、５６    リザーバタンク
６ａ、５６ａ    貯留部分
６’、５６’    上部空間
７、５７    圧力調整ベローズ
７ａ、５７ａ    側部（ベローズ）
７ｂ    頂板
７ｃ、５７ｃ    下辺部
７ｄ    金属板
７ｅ    突設部
７ｆ、５７ｂ    上面
８、５８    安全バルブ
９、５９    タンクベント
１０、６０    角ブロック
１１、６１    二次冷媒注入バルブ（フィル）
１２、６２    電磁弁
２０、７０    気液分離配管
２０ａ、７０ａ    気液分離管
２０ｂ、７０ｂ    気体回収管
２０ｃ、７０ｃ    液体戻管
２１、７１    フッ素液フィルタ
３１    ガイドレール
３１ａ    底辺
３２    ガイド
３２ａ    中央部
３２ｂ    両側端部
３３、６３    ベローズタンク
５６ｂ    水位
５６ｃ    位置
８０    バイパス配管
８０ａ    一端
８０ｂ    他端
８１    バイパス弁
【図１】
2004286373.tif 000003
【図２】
2004286373.tif 000004
【図３】
2004286373.tif 000005
【図４】
2004286373.tif 000006