(57)【要約】【課題】ニードル状部材に付着した液体を、簡単かつ確実に分離できる液体分離方法を提供する。【解決手段】ニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離させる方法であって、液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするとともに、ニードル状部材に次式で求められる加速度αを加えて液体を振り落とす。α＞｛γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄ−ｍｇ  ｃｏｓβ２｝／ｍ  ｃｏｓ（β２−β１）但し、γＬ  ：液体の表面自由エネルギー、Ｓ：液体とニードル状部材との接触面積、ｄ：液体とニードル状部材との接触長さ、ｍ：液体の質量、ｇ：重力加速度、β１  ：  鉛直上方向に対する加速度αの傾き、β２  ：  鉛直上方向に対するニードル状部材の傾き。【選択図】                図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離させる方法であって、
上記液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするとともに、
上記ニードル状部材に次式で求められる加速度αを加えて液体を振り落とすことを特徴とする液体分離方法。
α＞｛γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄ−ｍｇ  ｃｏｓβ２｝／ｍ  ｃｏｓ（β２−β１）
但し、γＬ  ：液体の表面自由エネルギー、Ｓ：液体とニードル状部材との接触面積、ｄ：液体とニードル状部材との接触長さ、ｍ：液体の質量、ｇ：重力加速度、β１  ：  鉛直上方向に対する加速度αの傾き、β２  ：  鉛直上方向に対するニードル状部材の傾き。
【請求項２】
上記液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするために、ニードル状部材に表面処理を施すことを特徴とする請求項１に記載の液体分離方法。
【請求項３】
上記液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするために、ニードル状部材に超音波振動を与えることを特徴とする請求項１に記載の液体分離方法。
【請求項４】
上記超音波振動の方向は、液体を振り落とす方向に対して略直交方向であることを特徴とする請求項３に記載の液体分離方法。
【請求項５】
上記ニードル状部材を第１の方向へ移動させ、かつストッパ部に衝突させることで、ニードル状部材に第１の方向と逆方向の加速度αを加えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体分離方法。
【請求項６】
上記ニードル状部材を先端が下方を向くように配置し、
上記ニードル状部材を下方へ移動させ、かつストッパ部に衝突させることで、ニードル状部材に上方への加速度αを加えることを特徴とする請求項５に記載の液体分離方法。
【請求項７】
上記ニードル状部材に、液体を振り落とす方向のベクトルを含む超音波振動を与えることにより、上記加速度αを加えることを特徴とする請求項１または２に記載の液体分離方法。
【請求項８】
ニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離する装置であって、
上記ニードル状部材は先端が下方を向くように配置され、
上記液体とニードル状部材との接触角θが９０°以上となるようにニードル状部材に表面処理が施されており、
上記ニードル状部材を下方へ移動させるニードル加速手段と、
上記ニードル状部材を衝突させ、ニードル状部材に次式で求められる加速度αを上方へ加えるストッパ手段とを設けたことを特徴とする液体分離装置。
α＞γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ−ｇ
但し、γＬ  ：液体の表面自由エネルギー、Ｓ：液体とニードル状部材との接触面積、ｍ：液体の質量、ｄ：液体とニードル状部材との接触長さ、ｇ：重力加速度。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写ピンやディスペンスノズルのようなニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離させる方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平５−３２９４２２公報
【特許文献２】特開平６−２５４４６４公報
従来、電子部品などの表面に、液状樹脂、接着剤、シリコーンオイルのような粘性のある液体を所定量正確に塗布する装置として、ディスペンサーと呼ばれる液体塗布装置が知られている。
一般に、ディスペンサは液体容器の下端部に吐出ノズルを備え、液体容器内に溜められた液体をノズルから定量ずつ押し出すことにより、対象物の表面に液体を塗布するものである。ところが、液体塗布装置の課題は、連続塗布を行った場合に、ノズルの外周部に液溜まりが残留、増加し、塗布精度を悪化させることである。そのため、定期的にノズルから液溜まりを除去するためのメンテナンスが必要であり、作業効率を低下させるという欠点があった。
【０００３】
このような課題を解消するため、特許文献１，２に記載のような液体塗布装置が提案されている。
特許文献１は自動接着剤塗布装置に関するものであり、ノズルの下方に、回転する一対のローラを配置し、先端に接着剤が付着したノズルを下方へ駆動し、ノズルの先端をローラの隙間に挿入した後、ノズルを引き抜くことにより、ノズルに付着した接着剤を拭き取るものである。
特許文献２の液体塗布装置は、ニードルおよびパイプからなるノズル部の外周にノズル受けを取り付け、ノズル受けから斜め方向のエアー通路を介してニードルとパイプとの間にエアーを供給し、パイプの内周面とニードルの外周面との隙間から下方に向かってエアーを吹き出すことにより、ノズル部の先端に残留した液体を吹き飛ばすようにしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献１の塗布装置では、回転する一対のローラによって接着剤を拭き取るため、拭き取りむらが発生することがある。また、塗布作業の途中でローラの間にノズルを挿入する動作を追加する必要があるため、作業効率はさほど向上しない。
また、特許文献２の塗布装置では、吐出ノズルの先端に付着している液溜まりを一定方向からのエアーによって吹き飛ばすため、引きちぎれた液体の一部が吐出ノズルの先端に残り、液体をノズルから完全に分離できない。そのため、塗布精度の悪化を防止できない。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、ニードル状部材に付着した液体を、簡単かつ確実に分離できる液体分離方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、ニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離させる方法であって、ニードル状部材を先端が下方を向くように配置し、液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするとともに、ニードル状部材に次式で求められる加速度αを加えて液体を振り落とすことを特徴とする液体分離方法を提供する。
α＞｛γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄ−ｍｇ  ｃｏｓβ２｝／ｍ  ｃｏｓ（β２−β１）
但し、γＬ  ：液体の表面自由エネルギー、Ｓ：液体とニードル状部材との接触面積、ｄ：液体とニードル状部材との接触長さ、ｍ：液体の質量、ｇ：重力加速度、β１  ：  鉛直上方向に対する加速度αの傾き、β２  ：  鉛直上方向に対するニードル状部材の傾きである。
【０００７】
本発明を原理を図１を参照して説明する。
本発明では、ニードル状部材の外周面に付着した液体をこのニードル状部材から分離するために、液体とニードル状部材との物性（接触角θ）、および液体の慣性力を利用している。
一般に、接着剤、樹脂、シリコーンオイルなどの粘性を持つ液体では、その表面自由エネルギーγＬ  は数十（１０−３Ｎ／ｍ）程度であるのに対し、ニードル状部材（金属材料）の表面自由エネルギーＥは数百（１０−３Ｎ／ｍ）程度であるから、粘性を持つ液体材料ではＥ＞γＬ  の関係が成立する。このようにＥ＞γＬ  の場合には、液体とニードル状部材との接触角θが９０°より小さく、液体がニードル状部材の表面に対して濡れるので、ニードル状部材に加速度を与えても液体をニードル状部材から分離しにくく、たとえ液体の一部を分離できても、一部がニードル状部材に残ってしまう。
そこで、本発明では、液体がニードルに対して自然にはじかれるように、液体とニードルとの接触角θを９０°以上とし、液体をニードル状部材から分離しやすくしている。具体的には、請求項２のようにニードル状部材に表面処理を施したり、請求項３，４のようにニードル状部材に超音波振動を与える方法がある。ニードル状部材に表面処理を施す場合には、ニードル状部材の表面自由エネルギーＥが液体の表面自由エネルギーγＬ  より小さくなるようにすればよい。このようにθ≧９０°とすることで、液体とニードルとの間に働く接着力が小さくなり、ニードルに対して比較的小さな加速度αを加えるだけで、液体を容易にニードルから分離することができる。
【０００８】
図１において、ニードルが鉛直方向に対して角度β２  だけ傾いており、ニードルに対して鉛直方向と角度β１  だけ傾いた加速度αを作用させると、液体自体には慣性力ｍαｃｏｓ（β２−β１）  がニードルに沿って下方向に作用する。また、液体には重力加速度ｇが下方に向かって作用しているため、重力ｍｇのニードル方向の成分はｍｇ  ｃｏｓβ２  となる。
ニードルの外周面に付着している液体にはγＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄの接着力が作用しているので、液体に作用する慣性力ｍαｃｏｓ（β２−β１）  と重力ｍｇのニードル方向の成分ｍｇ  ｃｏｓβ２  との和が、液体の接着力γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄより大きい場合に、液体はニードルから分離する。すなわち、液体を分離するための条件式は、
ｍαｃｏｓ（β２−β１）  ＋ｍｇ  ｃｏｓβ２＞γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄ
となるので、αの範囲を表す式は、
α＞｛γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｄ−ｍｇ  ｃｏｓβ２｝／ｍ  ｃｏｓ（β２−β１）
となる。
加速度αの方向は、図１のような斜め上方に限るものではなく、直上方、水平方向、斜め下方、直下方など、如何なる方向であってもよい。
【０００９】
図２は、ニードルを直下方に向けて配置し、ニードルに直上方への加速度αを加えた場合である。ニードルに付着している液体には慣性によって下方への加速度αが作用する。
この場合には、角度β１  ＝β２  ＝０、つまり重力ｍｇの方向と慣性力ｍαの方向とが同一方向になるので、ニードルに対して下方、水平方向または斜め方向の加速度αを加えた場合に比べて、次式のように加速度αを最小にできる。
α＞γＬ（１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ−ｇ
また、ニードルに軸線方向の加速度αを与えるので、ニードルに曲げ応力が作用せず、ニードルの変形を防止できる。
【００１０】
上記のようにニードル状部材に付着した液体を確実に分離できるので、本発明を液体塗布装置に適用した場合、次に液体を塗布する際にニードル状部材の周囲には液溜まりがなく、高い塗布精度を維持することができる。
また、ニードル状部材から液溜まりを除去するため、エアー噴射やローラなどの格別な機構を必要としないので、低コストの分離装置を実現できる。
【００１１】
ニードル状部材に加速度αを加えて液体を振り落とすため、請求項５のように、ニードル状部材を第１の方向へ移動させ、かつストッパ部に衝突させることで、ニードル状部材に第１の方向と逆方向の加速度αを加えるようにしてもよい。
静止しているニードル状部材に大きな加速度αを発生させることは難しいが、動いているニードル状部材をストッパ部に衝突させて急停止させれば、大きな加速度αを容易に与えることができる。この場合、加速度αは、ニードル状部材の移動方向と逆方向に作用する。
【００１２】
請求項６のように、ニードル状部材を先端が下方を向くように配置し、ニードル状部材に下方へ移動させ、かつストッパ部に衝突させることで、ニードル状部材に上方への加速度αを加えてもよい。
この場合は、図２と同様に、重力ｍｇの方向と慣性力ｍαの方向とが同一方向になるので、ニードル状部材に対して下方、水平方向、斜め方向に加速度を加える場合に比べて、加速度αを最小にできる。
また、ニードル状部材に軸線方向の加速度を与えるので、ストッパ部に衝突させた時にニードル状部材に曲げ応力が作用せず、ニードル状部材の変形を防止できる。
【００１３】
ニードル状部材に加速度αを加える方法としては、請求項５，６のように、ニードル状部材を一定方向に動かし、ストッパ部に衝突させることで加速度を発生させる方法のほか、静止しているニードル状部材に別部材を衝突させることで加速度を発生させることも可能である。
【００１４】
請求項７は、ニードル状部材に、液体を振り落とす方向のベクトルを含む超音波振動を与えることにより、加速度αを加える方法である。
請求項７では、超音波振動を請求項３，４のように液体とニードル状部材との接触角θを９０°以上とするために利用するだけでなく、加速度αを与える方法としても超音波振動を利用したものである。
周波数ｆ（Ｈｚ）、振幅Ａ（ゼロｔｏピーク）の超音波振動による加速度α（Ｇ）は次式で与えられる。
α＝（２πｆ）２  Ａ／９．８
【００１５】
請求項８に係る液体分離装置は、請求項６における液体分離方法を実施するための装置である。この場合には、請求項６と同様に、液体に対して慣性力ｍαと重力ｍｇとが下方に作用し、小さな加速度αで液体を分離できる。そのため、ニードル状部材に加わる衝撃力が小さくなり、耐久性に優れた液体分離装置を実現できる。また、ニードル状部材から振り落とされた液体は下方に落下するので、広い範囲に液体が飛散することがない。
ニードル状部材を下方へ移動させるニードル加速手段としては、スプリングを用いることができる。また、電動モータとボールネジとの組み合わせ、流体圧シリンダ、ボイスコイルモータ、リニアモータなどの直進駆動装置を用いることもできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図３，図４は本発明にかかる液体分離装置を用いた液体塗布装置の一例であり、対象物Ｗに液体Ｌを塗布する例を示す。本発明で用いられる液体Ｌとしては、表面自由エネルギーγＬ  が２０×１０−３Ｎ／ｍ以上の粘性流体であり、例えばシリコーンオイル、導電ペースト、封止用樹脂、クリームはんだ、セラミックスラリーなどがある。なお、常温では固体であるが、加熱によって液状となるもの（例えばワックスなど）でもよい。
【００１７】
この実施例の液体塗布装置は、先端が下方を向くように配置された転写ピン（ニードル状部材）１を備えている。転写ピン１は図示しない液体貯留層に先端部を挿入し、その周囲に液体を付着させ、この液体Ｌを対象物Ｗに転写するものである。転写ピン１はホルダ２によって保持されており、このホルダ２はＸＹロボットなどのアーム部３に駆動装置４を介して取り付けられている。この実施例の駆動装置４は、ホルダ２をアーム部３に対して上下動自在に案内するガイド５と、アーム部３に固定されたサーボモータ６と、サーボモータ６によって回転駆動されるボールネジ７とを備えており、ホルダ２に設けられたナット部８がボールネジ７に螺合している。そのため、サーボモータ６を駆動すると、ボールネジ７およびガイド５の作用によって、ホルダ２は上下方向に円滑に移動することができる。つまり、転写ピン１の位置を高精度に制御できる。
【００１８】
上記転写ピン１には、表面自由エネルギーＥをできるだけ低くするため、表面に撥水性コーディング処理が施されている。転写ピン１の表面エネルギーＥと液体の表面自由エネルギーγＬ  との間には次の関係が成り立つ。
Ｅ＜γＬ
そのため、液体Ｌと転写ピン１との接触角θを９０°以上とすることができる。θ≧９０°
【００１９】
この実施例の転写ピン１は、転写ピン１はホルダ２の穴２ａによって上下動自在にガイドされており、転写ピン１に設けた上下のフランジ１ａ，１ｂによって抜け止めされている。転写ピン１の上部には、上側フランジ１ａより上方に延びる軸部１ｃが設けられている。下側のフランジ１ｂとホルダ２の下面との間には、転写ピン１を下方へ付勢するスプリング９が配置されている。このスプリング９がニードル加速手段を構成している。そのため、後述するように転写ピン１を引き上げてスプリング９を撓ませ、転写ピン１を解放することで、上側のフランジ１ａをホルダ２の上面（ストッパ面）２ｂに衝突させ、転写ピン１に上方への加速度αを発生させることができる。
【００２０】
ここで、上記液体塗布装置における液体Ｌの塗布動作および転写ピン１からの残留液体の分離動作について、図４に従って説明する。
まず、転写ピン１の先端部に液体Ｌを付着させた状態で、ロボットをＸ，Ｙ方向に操作し、転写ピン１を対象物Ｗの直上に位置させる（図４の（ａ）参照）。転写ピン１の先端部に液体Ｌを付着させる方法としては、例えば液体の貯留層に転写ピン１の先端部を浸漬すればよい。
次に、駆動装置４を作動させて転写ピン１（ホルダ２）を塗布位置まで降下させる（図４の（ｂ）参照）。ここで、転写ピン１に付着している液体Ｌは対象物Ｗにも付着する。
次に、駆動装置４によって転写ピン１（ホルダ２）を引き上げると、転写ピン１に比べて対象物Ｗの表面自由エネルギーが高いので、大部分の液体Ｌは対象物Ｗに乗り移る（図４の（ｃ）参照）。しかし、液体Ｌの一部は転写ピン１の外周部に付着したまま残る。
転写ピン１に残った液体Ｌを除去するため、ロボットＸ，Ｙ方向に操作し、転写ピン１を分離位置まで移動させる。ここで、転写ピン１を持ち上げ、スプリング９を圧縮させる（図４の（ｄ）参照）。この転写ピン１の持ち上げ動作は、軸部１ｃを掴んで手動で行ってもよいし、カムなどの駆動源によって転写ピン１をホルダ２に対して持ち上げてもよい。
次に、転写ピン１を持ち上げた状態から解放すると、転写ピン１はスプリング９のばね力により下方へ急速に移動し、上側フランジ１ａがホルダ２の上面に衝突する（図４の（ｅ）参照）。この時、転写ピン１には上方への加速度αが発生し、転写ピン１に付着している液体Ｌには下方への慣性力（ｍα）と重力（ｍｇ）とが作用するため、液体Ｌは転写ピン１から振り落とされる。
次式を満足するような加速度αを発生するよう、スプリング９のばね係数、転写ピン１の持ち上げ量（スプリング９の圧縮量）などが設定される。
α＞γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ−ｇ
但し、γＬ  ：液体の表面自由エネルギー、Ｓ：液体とニードル状部材との接触面積、ｍ：液体の質量、ｄ：液体とニードル状部材との接触長さである。
【００２１】
−実験例１−
図５，図６は本発明者が行った実験結果である。
図５は実験に用いた転写ピンの構造を示し、ピン１０の上部に大径なボス部１１を設けるとともに、ピン１０を垂直駆動可能なピン加速手段１２が設けられている。ピン１０はガイド部材１３によって上下動自在にガイドされており、このガイド部材１３の上面にピン１０のボス部１１を停止させるストッパ面１４が設けられている。
ここでは、液体Ｌとして純水（粘度：１０００ｋｇ／ｍ３  、γＬ  ：６０×１０−３Ｎ／ｍ、質量：１ｍｇ）を使用し、転写ピン１０として表面にフッ素コーティング処理を施したピン（ピン径：φ５ｍｍ）を使用した。そのため、ピンと純水との接触角θは１１０°となった。
１ｍｇの純水Ｌとピンとの接着界面に働く接着力は、θ＝１１０°、ｍ＝１ｍｇ、γＬ  ＝６０×１０−３Ｎ／ｍ、Ｓ＝１．３１ｍｍ２  、ｄ＝１．２９ｍｍとすると、
γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ≒４０．１ｍ／ｓ２
であるから、ピンから純水Ｌを完全に分離するために必要な加速度αは、
α＞γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ−ｇ
であるから、α＞３Ｇとなる。
そこで、ストッパ面１４との衝撃力による３Ｇ以上の加速度αをピン１０に与えたところ、図６のように液体Ｌは飛滴となって落下した。
図６の（ａ）は開始位置、（ｂ）はピンの降下途中、（ｃ）はピンがストッパ面に衝突した瞬間、（ｄ）は衝突から微少時間経過後、（ｄ）は液体の分離後である。
液体分離後のピン１０には液体Ｌが全く残留しなかった。
【００２２】
−実験例２−
液体としてシリコーンオイルを使用した場合の実験結果を示す。実験装置は図５と同様である。
シリコーンオイル（γＬ  ：２０×１０−３Ｎ／ｍ、質量：１０μｇ）を使用し、転写ピンとして表面にフッ素コーティング処理を施したピン（ピン径：φ１ｍｍ）を使用した。そのため、ピンとシリコーンオイルとの接触角θは９０°となった。
θ＝１１０°、ｍ＝１０μｇ、γＬ  ＝２０×１０−３Ｎ／ｍ、Ｓ＝０．０９ｍｍ２  、ｄ＝０．３４ｍｍとした場合、１０μｇのシリコーンオイルをピンとの接着界面で完全に分離するために必要な加速度αは、
α＞γＬ  （１＋ｃｏｓθ）Ｓ／ｍｄ−ｇ
から、α≒５８８ｍ／ｓ２  、つまり約６０Ｇとなる。
転写ピンに上方へ約６０Ｇの加速度を加えたところ、シリコーンオイルを確実に除去することができた。
【００２３】
図７は本発明における液体塗布装置の第２実施例を示す。
この実施例では、転写ピン１と液体Ｌとの接触角θを９０°以上とするために、転写ピン１に超音波振動Ｕを与える超音波発生装置２０を設けたものである。
ニードル状部材の表面自由エネルギーＥが液体の表面自由エネルギーγＬ  より大きい場合、つまり転写ピン１と液体Ｌとの接触角θが９０°より小さい場合でも、転写ピン１に超音波振動を与えることで、接触角θが９０°以上となり、加速度αを加えた時に液体Ｌを簡単に分離できる。
ここでは、超音波振動Ｕの発生方向を横方向（軸線方向と直角方向）としたが、斜め方向でもよい。
【００２４】
図８は本発明における液体塗布装置の第３実施例を示す。
この実施例では、転写ピン１と液体Ｌとの接触角θを９０°以上とすると同時に、転写ピン１に加速度αを加えるために、上下方向の超音波振動Ｕを与える超音波発生装置２１を設けたものである。すなわち、転写ピン１をステップ形状のホーンとし、転写ピン１の上端部に上下方向の振動Ｕを印加できるボルト締めランジュバン型のような振動子２１を取り付け、転写ピン１のノード点をホルダ２で保持したものである。
この場合には、第２実施例と同様に、転写ピン１に超音波振動Ｕを与えることで、転写ピン１と液体Ｌとの接触角θを９０°以上とすることができると同時に、上下方向の加速度αを与えることができるため、構造が簡単となる。
周波数ｆ（Ｈｚ）、振幅Ａ（ゼロｔｏピーク）の上下方向の超音波振動Ｕを与えると、加速度α（Ｇ）は次式で与えられる。
α＝（２πｆ）２  Ａ／９．８
例えば、周波数６０ｋＨｚ、振幅６μｍの超音波振動では、約８７０００Ｇもの大きな加速度を与えることができる。したがって、転写ピン１から液体Ｌを簡単に分離できる。
【００２５】
上記実施例では、ニードル状部材として転写ピンの例を示したが、転写ピン以外に吐出ノズルであってもよい。この場合には、吐出ノズルは液体容器の下端部に接続され、液体容器から液体をノズルを介して押し出すことができる。
また、ニードル状部材に加速度αを与えるために、ニードル状部材をストッパ面に衝突させる例を示したが、逆に、ニードル状部材に可動部材を衝突させて加速度を発生させてもよい。
さらに、ニードル状部材のみを動作させ、ストッパ面に衝突させたが、駆動装置全体を動作させ、これを何らかのストッパ部に衝突させることにより、ニードル状部材に加速度を与えることもできる。この場合には、駆動装置全体に加速度が作用するので故障しやすいが、ニードル状部材のみに加速度を与える方法では、上記のような故障が少ない。
本発明の加速度の方向は、上下方向に限らず、水平方向や斜め方向でもよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、液体がニードルに対して自然にはじかれるように、液体とニードルとの接触角θを９０°以上とするとともに、ニードル状部材に対して、請求項１に記載の式で求められる加速度αを加えることにより、液体を残留させずにニードル状部材から確実に分離することができる。
上記のようにニードル状部材に付着した液体を確実に分離できるので、本発明を液体塗布装置に適用した場合、次に液体を塗布する際にニードル状部材の周囲には液溜まりがなく、高い塗布精度を維持することができる。
また、ニードル状部材から液溜まりを除去するため、エアー噴射やローラなどの格別な機構を必要としないので、低コストで液体を分離できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による液体の分離動作原理を示す図である。
【図２】ニードルおよび加速度の方向を鉛直方向とした場合における液体の分離動作原理を示す図である。
【図３】本発明にかかる液体分離装置を用いた液体塗布装置の一例の構成図である。
【図４】図３に示す液体塗布装置の動作図である。
【図５】実験に用いた転写ピンの構造を示す断面図である。
【図６】液体が転写ピンから分離する動作を示す拡大図である。
【図７】本発明にかかる液体分離装置の第２実施例の部分図である。
【図８】本発明にかかる液体分離装置の第３実施例の部分図である。
【符号の説明】
１      転写ピン（ニードル状部材）
２      ホルダ
２ｂ    ストッパ面
４            駆動装置
９      スプリング（ニードル加速手段）
２０    超音波発生装置
Ｌ            液体
Ｗ      対象物
【図１】
2004290818.tif 000003
【図２】
2004290818.tif 000004
【図３】
2004290818.tif 000005
【図４】
2004290818.tif 000006
【図５】
2004290818.tif 000007
【図６】
2004290818.tif 000008
【図７】
2004290818.tif 000009
【図８】
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