(57)【要約】【課題】炭化ケイ素を主体としかつ安定して低い体積抵抗率を示す炭化ケイ素系導電性焼結体を提供すること、およびそのような炭化ケイ素系導電性焼結体を製造する工業的方法を提供することを目的とする。【解決手段】炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　からなる組成物の焼結体である。焼結体を構成する各成分の組成は、これら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％であることが好ましい。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　からなる組成物の焼結体であること、および、
（ロ）焼結体を構成するこれら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％であること
を特徴とする炭化ケイ素系導電性焼結体。
【請求項２】
導電性金属（Ｍ）　が、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、クロム、タングステン、モリブデン、あるいはこれらの金属を主とする合金よりなる群から選ばれた少なくとも１種の金属である請求項１記載の炭化ケイ素系導電性焼結体。
【請求項３】
炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　の各粒子の混合物を圧縮成形したものを、真空下または非酸化性ガス雰囲気下に焼結に適した温度にまで昇温して焼結し、焼結後のこれら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％である焼結体を得ることを特徴とする炭化ケイ素系導電性焼結体の製造法。
【請求項４】
焼結温度が１９００〜２２５０℃である請求項３記載の製造法。
【請求項５】
焼結を、常圧焼結法で行うことを特徴とする請求項３記載の製造法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、炭化ケイ素を主体としかつ低い体積抵抗率を示す炭化ケイ素系導電性焼結体およびその製造法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
炭化ケイ素を主体としかつ導電性を示す炭化ケイ素系導電性焼結体として、以下に例示するように、種々の組成のものが知られている。
【０００３】
特開昭６０−５１６６１号公報には、Ａｌ２Ｏ３　、ＳｉＣ　またはＳｉＮ　の１種と、その焼結助剤を適量含む基材に、導電材として周期律表中ＩＩＩａ族元素（たとえば　Ｓｃ，Ｙ，　Ｌａ）の炭化物、窒化物またはホウ化物を２０〜８０容量％混合してなる組成物を焼結してなる導電性セラミックスが示されている。抵抗率については、１〜５×１０−５Ωｃｍの範囲で任意の抵抗率のものが得られるとしている（測定法については記載がない）。
【０００４】
特開平１−１１９５６０号公報には、Ａｌ２Ｏ３　１〜２０重量％、遊離Ｃ　０．１〜３重量％、残部ＳｉＣ　からなる導電性炭化ケイ素焼結体が示されている。Ａｌ２Ｏ３　およびＣは焼結助剤として混合しており、焼結を促進するためにさらにＡｌＮ　を２重量％程度添加してもよいとしている。実施例の組成における電気比抵抗は、４端子法による測定で、１０−２〜１０２　Ω・ｃｍである。この公報の発明は、ワイヤ放電加工が可能な程度に電気比抵抗が低い焼結体を得ることを目的としている。この公報の発明は、炭化ケイ素系導電性焼結体の基本的な技術の一つであると思われる。
【０００５】
特開平５−１９４０３３号公報には、結晶質ＳｉＣ　からなるマトリックスの孔が、重金属ケイ化物からなる第２相で満たされた炭化ケイ素複合材料よりなる成形品であって、第２相がＣｒ，　Ｗ，　Ｈｆ，　Ｚｒ，　Ｖ，　Ｍｎ，　ＮｂまたはＴａ元素の少なくとも１種のケイ化物からなる炭化ケイ素複合材料の成形品が示されている。この成形品は、ＳｉＣ　粉末とＣ粉末とを含む混合物を処理して多孔質成形品を製造し、その成形品に真空中で、Ｓｉと上記の元素（Ｃｒ，　Ｗ，　Ｈｆ，　Ｚｒ，　Ｖ，　Ｍｎ，　ＮｂまたはＴａ）の金属とからなる液体均質混合物、またはＳｉと上記の元素のケイ化物との混合物を浸透させる工程を経て製造される。ただし、電気抵抗率のデータは示されていない。
【０００６】
特開平５−３４５６７３号公報には、ケイ化クロム３〜２５重量部と、酸化アルミニウム３〜３０重量部と、酸化イットリウム　０．２〜１０重量部と、残部を占める炭化ケイ素とからなる混合物を成形して成形体を作り、その成形体を不活性ガス雰囲気下において１８００〜２１００℃で焼結した炭化ケイ素質導電性複合セラミックスが示されている。炭化ケイ素に対してその１０重量部以下の炭素を配合すると、焼結性の向上、緻密化、機械的特性の改善の点で好ましいとの記載もある。実施例の組成（ＳｉＣ　の割合は３〜３５重量％）における比抵抗のデータは、１０−２〜１０−４Ω・ｃｍのオーダーである（測定法については記載がない）。
【０００７】
「窯業協会誌、９５　［９］　１９８７　」の８６０〜８６３頁には、「ＳｉＣ　の焼結体の熱伝導率及び電気抵抗率に及ぼす焼結助剤の影響」と題する論文が掲載されており、ＳｉＣ　に１〜４重量％の添加剤を添加してホットプレスした実験例が示されている。添加剤としては、Ｂｅ，　Ｂｅ２Ｃ，　ＢｅＯ，　Ｂ，　Ｂ４Ｃ，　ＢＮ，　ＭｇＯ，　Ａｌ，　ＡｌＮ，　Ａｌ２Ｏ３，　ＡｌＰＯ４，　Ｓｉ３Ｎ４，　ＳｉＯ２，　Ｐ２Ｏ５，　ＣａＯ，　ＴｉＯ２，　Ｖ２Ｏ５，　ＣｒＢ，　Ｃｒ２Ｏ３，　Ｆｅ２Ｏ３，　Ｇａ２Ｏ３，　ＧｅＯ２，　Ｙ２Ｏ３，　ＺｒＣ，　ＺｒＯ２，　ＮｂＣ，　Ｉｎ２Ｏ３，　ＬａＢ６，　ＨｆＣ，　ＴａＮ，　Ｔａ２Ｏ３，　Ｐｂ３Ｏ４を用いている。電気抵抗率に関しては、Ｂｅ，　Ｂｅ２Ｃ，　ＢｅＯ，　Ｂ，　Ｂ４Ｃ，　ＢＮ，　Ａｌ，　ＡｌＮ，　Ａｌ２Ｏ３，　ＡｌＰＯ４のデータが示されており、Ｂｅ，　Ｂｅ２Ｃ，　ＢｅＯ　を添加したときの抵抗率は１０１３オーダー、Ｂ，　Ｂ４Ｃは１０４　オーダー、ＢＮは１０１１オーダー、Ａｌは　０．８、ＡｌＮ　は２７、Ａｌ２Ｏ３　は　０．６、ＡｌＰＯ４　は　０．７である（単位はΩ・ｃｍ）。ただし電気抵抗率の測定は、１０７　Ω・ｃｍ以下の場合はｖａｎ　ｄｅｒ　Ｐａｕｗ法で、１０７　Ω・ｃｍ以上の場合は３電極法で行ったものである。
【０００８】
「Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｔｈｅ　Ａｍｅｒｉｃａｎ　Ｃｅｒａｍｉｃ　Ｓｏｃｉｅｔｙ，　Ｖｏｌ．　３９，　Ｎｏ．１１，　ｐ．３８６−３８９」には、
・ＳｉＣ　に、Ｍｇ，　Ｔａ，　Ｃｏ，　Ｂａ，　Ｍｏ，　Ｗ，　Ｓｒ，　Ｃｕ，　Ｍｎ，　Ｚｒ，　Ｂ，　Ｎｉ，　Ｌｉ，　Ｃａ，　Ｃｒ，　ＦｅまたはＡｌを３モル％添加してホットプレスしたときの密度、
・３モル％のＡｌを含むＳｉＣ　に、Ｍｇ，　Ｃｏ，　Ｂａ，　Ｍｏ，　Ｗ，　Ｓｒ，　Ｃｕ，　Ｍｎ，　Ｚｒ，　Ｂ，　Ｎｉ，　Ｌｉ，　Ｃａ，　Ｃｒ，　ＦｅまたはＴｉを３モル％添加してホットプレスしたときの密度のデータが示されている。電気抵抗率については、３モル％のＡｌおよび３モル％のＦｅを含むＳｉＣ　の電気抵抗率が、常温の場合で２１．０Ω・ｃｍであることが示されている（測定法については記載がない）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上に多数列挙した従来の炭化ケイ素系導電性焼結体にあっては、体積抵抗率がなお不足する傾向があり、また低い抵抗率を示すものも、同じ組成、同じ焼結条件で製造を行っても、体積抵抗率が高くなることがあるなど、再現性を欠く傾向がある。そして最後の２つの文献のように焼結をホットプレスにより行うときは、一般に体積抵抗率の数値が低めに出る傾向があるのでデータの解釈には留意しなければならないが、それはさておいても、焼結をホットプレスで行うことは、設備および生産性の点で常圧焼結法に比し工業的方法としては不利になる。
【００１０】
上記のうち特開平１−１１９５６０号公報の導電性炭化ケイ素焼結体においては、組成によっては１０−２とか１０−１Ω・ｃｍのオーダーの電気比抵抗を示すものも見られるが（測定法が必ずしも明確ではないが）、本発明者の実験によれば、原料に炭素を存在させると、焼結体の体積抵抗率の低下にブレーキをかける傾向があることを見い出している。
【００１１】
本発明は、このような背景下において、炭化ケイ素を主体としかつ安定して低い体積抵抗率を示す炭化ケイ素系導電性焼結体を提供すること、およびそのような炭化ケイ素系導電性焼結体を製造する工業的方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の炭化ケイ素系導電性焼結体は、
（イ）炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　からなる組成物の焼結体であること、および、
（ロ）焼結体を構成するこれら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％であること
を特徴とするものである。
【００１３】
本発明の炭化ケイ素系導電性焼結体の製造法は、炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　の各粒子の混合物を圧縮成形したものを、真空下または非酸化性ガス雰囲気下に焼結に適した温度にまで昇温して焼結し、焼結後のこれら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％である焼結体を得ることを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を詳細に説明する。
【００１５】
〈条件（イ）〉
本発明の炭化ケイ素系導電性焼結体は、炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　からなる組成物の焼結体である。
【００１６】
原料の炭化ケイ素（Ｓ）　としては、α−ＳｉＣ、β−ＳｉＣのいずれを用いることもできるが、一般にはα−ＳｉＣの方が実用性があることが多い。
【００１７】
導電性金属（Ｍ）　としては、好適には、銅、アルミニウム、鉄、コバルト、ニッケル、クロム、タングステン、モリブデン、あるいはこれらの金属を主とする合金が用いられ、これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの中では、Ｃｕ、ＳＵＳ　（ＳＵＳ３１６Ｌ）　、Ｎｉ−Ａｌ　合金（９５Ｎｉ−５Ａｌ）、Ｎｉ−Ｃｒ　合金（８０Ｎｉ−２０Ｃｒ　）、Ｃｏ−Ｃ−Ｃｒ−Ｗ　合金が、より低体積抵抗率を有する焼結体が得られる点で、特に重要である。
【００１８】
なお、上記（Ｓ），　（Ａ），　（Ｍ）　の組成物には、名目量の添加は別として、原料段階で炭素を含めることは好ましくない。ただし、焼結中に炭化ケイ素（Ｓ）　に由来するＣを生じたり、導電性金属（Ｍ）　がＣを含む合金であるときには、焼結体中には少量のＣを含むことがある。
【００１９】
〈条件（ロ）〉
そして、本発明の炭化ケイ素系導電性焼結体は、焼結体を構成するこれら３成分の合計量を１００重量％とするとき、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９８．７〜６５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．３〜１５重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が１〜２０重量％であることが要求される。炭化ケイ素（Ｓ）　の過少は、目的とするＳｉＣ焼結体の性質が損なわれる。酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が余りに少ないときは高密度、高強度の焼結体が得られず、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が余りに多いときは、収縮の度合いや重量変動度が大であり、形の良い焼結体を得ることが難しくなる。導電性金属（Ｍ）　の過少は低抵抗率が得られず、導電性金属（Ｍ）　の過多は、その金属の性質（たとえば高温時の使用条件したにおいては酸に溶けるというような）が発現してくるため好ましくない。上記３成分の割合のうち、より好ましい範囲は、炭化ケイ素（Ｓ）　の割合が９７．５〜７５重量％、酸化アルミニウム（Ａ）　の割合が　０．５〜１０重量％、導電性金属（Ｍ）　の割合が２〜１５重量％である。さらに好ましい範囲は、この順に、９６〜７８重量％、１〜１０重量％、３〜１２重量％である。
【００２０】
焼結に供する原料組成については、各成分のうち酸化アルミニウム（Ａ）　が焼結温度では分解しやすく、また導電性金属（Ｍ）　の種類によっては焼結温度で蒸発により一部が逸散することがあることを考慮して、焼結体の組成が上述の範囲になるように原料組成につき留意すべきである。
【００２１】
〈焼結体の製造法〉
上記の条件および組成を満足する炭化ケイ素系導電性焼結体は、炭化ケイ素（Ｓ）　、酸化アルミニウム（Ａ）　および導電性金属（Ｍ）　の各粒子の混合物を圧縮成形したものを、真空下または非酸化性ガス雰囲気下に焼結に適した温度にまで昇温して焼結することにより製造される。
【００２２】
焼結温度は、１９００〜２２５０℃、殊に１９５０〜２２００℃が適当である。焼結温度が余りに低すぎるときは焼結不良となり、目的の特性を有する導電性焼結体を得ることができない。一方、焼結温度が余りに高すぎるときは、組成物中の酸化アルミニウム（Ａ）　や導電性金属（Ｍ）　が分解、蒸散して重量減少を起こし、導電性の不足や形状の変形などのトラブルを生ずる。
【００２３】
原料炭化ケイ素（Ｓ）　粒子の粒径は、種々に設定しうるものの、たとえば０．０５〜１０μｍ　程度のものを用いることが多い。原料酸化アルミニウム（Ａ）　粒子は１〜１０μｍ　程度のものを用いることが多い。導電性金属（Ｍ）　粒子は１０〜１００μｍ　程度のものを用いることが多い。
【００２４】
上記の３つの原料については、それぞれの粒子を乳鉢やボールミルに入れ、長時間かけて充分に摩砕することにより、精砕と同時に均一混合を図る。
【００２５】
焼結に際しては、系を真空下におくか、アルゴンガス、ヘリウムガスなどの不活性ガス雰囲気下におき、酸化性ガスが実質的に存在しないようにする。一例をあげると、１５００℃程度までは真空下で行い、ついでアルゴン等の不活性ガスを導入してさらに昇温する方法を採用することができる。
【００２６】
焼結に際しては、昇温過程、冷却過程の温度条件を含めて、最適のパターンに設定するように留意する。先に述べた焼結温度に達した後は、この焼結温度に　０．５〜５時間程度保つことが望ましい。
【００２７】
焼結法としては、常圧焼結法、ホットプレス焼結法、雰囲気を加熱して焼結する方法、通電焼結法（型に混合粒子を充填し、型を通じて粒子に直接通電し、通電しながら型を通じて粒子に圧力を加える方法する）などが採用されるが、常圧焼結法で充分であり、そのように常圧焼結法を代表的手段として採用することができる点が、本発明の利点の一つでもある。
【００２８】
〈焼結体の体積抵抗率〉
このようにして得られた焼結体の体積抵抗率は、ＪＩＳ　Ｈ　６０２　に準じた短円柱状試料の４探針法による測定で、　０．５Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。より好ましい範囲は　０．２Ω・ｃｍ以下である。このときの測定装置としては、たとえば、三菱化学株式会社製の「ロレスタ−ＧＰ」、「ロレスタ−ＭＰ」などを用いることができる。
【００２９】
〈用途〉
このようにして得られた本発明の炭化ケイ素系導電性焼結体は、伸線ダイス、バイト等の工具、自動車用部材、ヒータ、自動車用グロープラグ、電気着火器、電極、熱交換機、バーナー管、ポンプ装置、ノズル、磁気ヘッドなど、高温構造材料、電気抵抗体、電極をはじめとする種々の用途に好適に用いることができる。
【００３０】
【実施例】
以下実施例をあげて本発明をさらに説明する。以下、「部」とあるのは重量部である。
【００３１】
実施例１〜１１、比較例１〜１０
〈焼結体試料の作製〉
平均粒径０．４６μｍ　、純度９８．８ｗｔ％のα−ＳｉＣ（Ｓ）　の粒子１００部と、平均粒径　３．７μｍ　、純度９９．９ｗｔ％のＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　の粒子および平均粒径３０μｍ　の導電性金属（Ｍ）　の粒子の所定量とを、少量のバインダー（中京油脂株式会社製の「セルナＳＥ６０４）と溶媒（エタノール）と共にポットミルに入れ、５〜１０時間かけて回転混合してから、温風乾燥後、乳鉢にて粉砕した。得られた粉体混合物を直径２５ｍｍの型に充填して圧縮成形（３０　ＭＰａ）を行い、この圧縮成形物を焼結炉に入れ、まず真空下に温度１５００℃にまで加熱してから、アルゴン雰囲気にして温度２１００℃にまで加熱してこの温度に１時間保つことにより焼結を行い、ついで放冷した。これにより、直径２３〜２４ｍｍ、高さ１０〜２０ｍｍの円板状（短円柱状）の焼結体試料が得られた。
【００３２】
比較のため、導電性金属（Ｍ）　に代えて、炭素Ｃを用いた場合、炭素ＣとＳＵＳまたはＣｕとを併用した場合についても、実験を行った。
【００３３】
〈体積電気抵抗率の測定〉
上記で得た試料について、ＪＩＳ　Ｈ　６０２　に準じて短円柱状試料の相対する面に電極を置き、定電流印加法により体積抵抗率（Ｖｏｌｕｍｅ　Ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ、単位：Ω・ｃｍ）を、４探針法（４端子４探針法）により測定した。測定装置は、三菱化学株式会社製の「ロレスターＧＰ」を用いた。
【００３４】
〈重量変動度の測定〉
焼結前後の重量を秤量し、重量の変動の度合（重量変動度）を、焼結前の重量に対する焼結後の重量の百分率として求めた。
重量変動度（％）＝１００×（焼結体の重量）／（焼結前の組成物の重量）
【００３５】
〈条件および結果〉
条件および結果を、実施例については表１に、比較例については表２にそれぞれ示す。また、実施例および比較例における体積抵抗率の測定結果を図１に、実施例および比較例における焼結時の重量変動度の測定結果を図２に示す。ただし、表１、表２においては、　ＳｉＣ（Ｓ）　を１００重量部とし、他の添加物の添加量をそれに付加してある。一方、図１、図２の横軸においては、焼結前の組成物の全量を１００重量％とし、その組成物に対するＡｌ２Ｏ３（Ａ）の割合を換算して示してある。
【００３６】
表１〜２中、ＳＵＳ　は「ＳＵＳ３１６Ｌ　」、Ｎｉ−Ｃｒ　は「８０Ｎｉ−２０Ｃｒ　」、Ｎｉ−Ａｌ　は「９５Ｎｉ−％Ａｌ」、ＰＳ６　は「Ｃｏ−１．１Ｃ−２９Ｃｒ−５Ｗ　」である。体積抵抗率の単位は「Ω・ｃｍ」、重量変動度の単位は「％」である。
【００３７】
また、表１，２には記載していないが、外観については総体的に良好であり、殊にＳＵＳ　添加の場合の外観が特に良好である。
【００３８】
【表１】
2004026517.tif 000003
【００３９】
【表２】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
2004026517.tif 000004
【００４０】
〈解析〉
（体積抵抗率）
表１〜２および図１から、焼結前の組成と焼結体の体積抵抗率との関係に関して、次のことがわかる。
【００４１】
１．ＳｉＣ　（Ｓ）　にＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　のみを添加したときには（表２参照）、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　の添加量が多いほど抵抗率が小さくなる。すなわち、ＳｉＣ　（Ｓ）　１００　部に対するＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　の添加量を　５．０部、７．５　部、１０．０部とすると、体積抵抗率はこの順に　２．２１，　０．９２，　０．５９　Ω・ｃｍとなっている。
【００４２】
２．ＳｉＣ　（Ｓ）　に、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　と共に、導電性金属（Ｍ）　（Ｃｕ，　ＳＵＳ，　Ｎｉ−Ｃｒ，　Ｎｉ−Ａｌ，　Ａｌ，　ＰＳ６）を併用したときは（表１参照）、極めて好ましい低抵抗率が得られる。このとき、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　の割合が大きいほど、導電性金属（Ｍ）　を併用したときの抵抗率が小さくなる。すなわち、ＳｉＣ　（Ｓ）　１００　部に対するＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　の添加量を　５．０部、７．５　部、１０．０部とすると、それと共に導電性金属（Ｍ）　を　５．０部添加したときの体積抵抗率は、この順に０．１１〜０．１６、０．０５〜０．１５、０．０２〜０．０４Ω・ｃｍとなっている。この数値は、上記１で述べたＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　のみを添加した場合に比し桁違いに小さくなっている。
【００４３】
３．ＳｉＣ　（Ｓ）　に、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　と共に、炭素Ｃを添加したときは（表２参照）、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　のみを添加したときに比しては抵抗率が小さくなっているが、その度合いはＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　と共に導電性金属（Ｍ）　を添加したときに比し劣っている。
【００４４】
４．ＳｉＣ　（Ｓ）　に、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　と共に、炭素Ｃおよび導電性金属（Ｍ）　を添加したときは（表２参照）、炭素Ｃの存在が、導電性金属（Ｍ）　による低抵抗率化をむしろ妨げる方向に作用している。
【００４５】
（焼結時の重量の変動の度合）
また表１〜２および図２から、焼結前の組成と焼結による重量の変動の度合（重量変動度）との関係に関して、次のことがわかる。
【００４６】
１．Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　の添加量が多くなるにつれ、重量の変動の度合は大きくなる。今、焼結前のＡｌ２Ｏ３　の重量比をＡ１、その他の成分の重量比をＢ１、焼結工程後のＡｌ２Ｏ３　の残存割合をＸ　、焼結工程後のその他の成分の残存割合をＹ　、焼結後の重量変動度をＷ２とすると、
Ｗ２　＝　Ｘ×Ａ１　＋　Ｙ×Ｂ１　　　　（１）
Ａ１　＋　Ｂ１　＝　１　　　　　　　　（２）
であるから、表１および表２のデータに基いて式（１）　にＡ１，　Ｂ１，　Ｗ２を代入してＸ，Ｙにつき解を求めると、
Ｘ　＝　０．１７、Ｙ　＝　０．９６
となるので、重量減少はＡｌ２Ｏ３　の分解による寄与が大きく、Ａｌ２Ｏ３　の約８３％が分解しているものと推定される。
【００４７】
２．炭素Ｃの添加量の多少は、重量変動度にはほとんど影響されない。
【００４８】
３．ＳｉＣ　（Ｓ）　に、Ａｌ２Ｏ３　（Ａ）　と共にＡｌを添加したときの重量減少率が大きいのは、Ａｌの沸点（２０６０℃）が比較的低く、焼結時の蒸発による逸散が大きくなるためと推定される。上述の式（１），　（２）から推定すると、Ａｌの逸散量は約５２％となる。
【００４９】
４．一方、Ａｌ以外の他の金属の重量変動度が、図２のＡｌ２Ｏ３　（Ａ）　単独添加のそれの直線より上にあることから、それら他の金属の存在によりＡｌ２Ｏ３　の分解が防止されていることが推定される。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、炭化ケイ素を主体としかつ安定して低い体積抵抗率を示す炭化ケイ素系導電性焼結体を提供することができる。
【００５１】
そして、常圧焼結法によっても安定して低い体積抵抗率を示す焼結体を得ることができるので、工業的方法としても有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例および比較例における体積抵抗率の測定結果を示したグラフである。
【図２】実施例および比較例における焼結時の重量の変動の度合の測定結果を示したグラフである。
【図１】
2004026517.tif 000005
【図２】
2004026517.tif 000006