(57)【要約】【課題】セラミックスラリー浸漬時の不要部へのセラミックスラリーの付着や、キャリアフィルムを支持フィルムから剥離する時に生じるセラミックグリーンシートのキャリアフィルムからのハガレを防止するセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。【解決手段】ポリエチレンからなる支持フィルム１０の両面に、シリコン樹脂の離形剤からなる離形層１３，１４を介して、ＰＥＴからなるキャリアフィルム１１，１２を装着して複合フィルム１を形成する。この複合フィルム１をセラミックスラリーに浸漬し、乾燥することで、キャリアフィルム１１，１２の表面にセラミックグリーンシートを形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルムの両面にキャリアフィルムを装着するキャリアフィルム装着工程と、前記支持フィルムをセラミックスラリーに浸漬し、前記キャリアフィルム表面に前記セラミックスラリーを塗工する工程と、前記セラミックスラリーを乾燥してセラミックグリーンシートを形成する工程と、該セラミックグリーンシートが表面に形成された前記キャリアフィルムを前記支持フィルムから剥離するキャリアフィルム剥離工程とを含むセラミックグリーンシートの製造方法であって、
キャリアフィルム装着工程で、前記支持フィルムの両面に装着する前記キャリアフィルムのうち少なくとも一方のキャリアフィルムの前記支持フィルム側の面に離形剤を塗布し、一方のキャリアフィルムと他方のキャリアフィルムで支持フィルムに対する密着力に差を持たせて、該キャリアフィルムを前記支持フィルムに装着し、
前記キャリアフィルム剥離工程で、前記支持フィルムに対する密着力の弱いキャリアフィルムを前記支持フィルムに対する密着力の強いキャリアフィルムより先に前記支持フィルムから剥離することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層電子部品に用いるセラミックグリーンシートの製造方法、特に、支持フィルムの両面に装着されたキャリアフィルム表面にセラミックグリーンシートを形成する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のセラミックグリーンシートの製造方法について、図を参照して説明する。
【０００３】
図５は、従来のセラミックスラリーの浸漬方法を示す概要図と、セラミックスラリーに浸漬する前後における支持フィルムとキャリアフィルムとからなる複合フィルムの側面断面図である。
図６は、支持フィルムからキャリアフィルムを剥離する工程を示す概要図である。
図５（ａ）に示すように、例えば、ポリエチレンからなる支持フィルム１０の両面のそれぞれにＰＥＴからなるキャリアフィルム１１，１２を貼り合わせて、複合フィルム１を形成する。図５（ｂ）に示すように、複合フィルム１は送り出しロール１０１から送り出され、セラミックスラリー２が蓄えられた浸漬槽１０２内に導かれる。セラミックスラリー２内を複合フィルム１が通過することで、キャリアフィルム１１，１２の外表面にセラミックスラリー２の層が設けられる。このセラミックスラリー２を乾燥させることで、図５（ｃ）に示すように、キャリアフィルム１１，１２の外表面にセラミックグリーンシート２１，２２が形成される。
【０００４】
次に、図６に示すように、セラミックグリーンシート２１，２２が形成された複合フィルム１は搬送ロール１１０，１１２が設置されている位置まで搬送され、キャリアフィルム１１およびセラミックグリーンシート２１からなる部分が、支持フィルム１０、キャリアフィルム１２、およびセラミックグリーンシート２２からなる部分から剥離される。キャリアフィルム１１およびセラミックグリーンシート２１からなる部分は、支持フィルム１０から剥離された後、巻き取りロール１１１に巻き取られる。一方、支持フィルム１０、キャリアフィルム１２、およびセラミックグリーンシート２２からなる部分は、搬送ロール１１３を介し、搬送ロール１１４，１１６の位置まで搬送され、キャリアフィルム１２およびセラミックグリーンシート２２からなる部分が、支持フィルム１０から剥離される。支持フィルム１０から剥離された、キャリアフィルム１２およびセラミックグリーンシート２２からなる部分は巻き取りロール１１５に巻き取られる。支持フィルム１０は搬送ロール１１７を介し巻き取りロール１１８に巻き取られる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−１９２９６２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前述のような従来のセラミックグリーンシートの製造方法では、次に示す解決すべき課題が存在した。
【０００７】
複合フィルム１は支持フィルム１０の両面にキャリアフィルム１１，１２が粘着材料により装着されているが、支持フィルム１０とキャリアフィルム１１，１２との間の密着力が低すぎる場合には、複合フィルム１を搬送する際の搬送ロールからの衝撃や、搬送経路の曲がり部による複合フィルムの曲がり等により、支持フィルム１に応力が加わり、それぞれのフィルム間に隙間が生じる可能性がある。隙間がある状態でセラミックスラリー２に浸漬すると、この隙間にセラミックスラリー２が浸入し、このまま乾燥すると不要な面にセラミックグリーンシートが形成される。これにより、以降の工程に使用することができなくなる。
【０００８】
また、密着力が高すぎる場合には、図７に示すような問題が生じる。
【０００９】
図７は、支持フィルムの一方の面からキャリアフィルムが剥離する状態を示した概要図である。
図７に示すように、キャリアフィルム１１を支持フィルム１０から剥離する場合に、この間の密着力が高いと、支持フィルム１０側の部分は、搬送ロール１１２の表面に沿って搬送されず、キャリアフィルム１１と支持フィルム１０との間の密着力により、キャリアフィルム１１側に所定長さに亘り引っ張られる。キャリアフィルム１１に引っ張られた支持フィルム１０、キャリアフィルム１２およびセラミックグリーンシート２２は、屈曲（矢印９０）して搬送ロール１１２側に搬送される。このようにして搬送されたキャリアフィルム１２に形成されたセラミックグリーンシート２２は、前記屈曲によりキャリアフィルム１２から剥離してしまい、以降の工程で使用することができなくなる。
【００１０】
例えば、支持フィルムの厚みを２４μｍとし、キャリアフィルムの厚みを３８μｍとし、セラミックグリーンシートの厚みを２４μｍとした場合における、支持フィルムとキャリアフィルムとの間の密着力と、セラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレの発生との関係を図８に示す。ここで、ｆ・ｇ／２０ｍｍとは、密着力である。これは貼り合わせた支持フィルムとキャリアフィルムを２０ｍｍ幅のテープに切り取り、それを剥がす時に必要な力を示している。また、セラミックスラリーの不要付着やセラミックグリーンシートのハガレは６００ｍｍのグリーンシートを成形する間の発生率である。
【００１１】
図８に示すように、密着力が２．４ｆ・ｇ／２０ｍｍ未満であると、支持フィルムとキャリアフィルムとの間に隙間が生じてしまい、セラミックスラリーが浸入して不要な付着が生じる。また、密着力が２．４ｆ・ｇ／２０ｍｍ以上になると支持フィルムからキャリアフィルムを剥離する際に屈曲部が生じて、セラミックグリーンシートのハガレが生じる。
【００１２】
このように、支持フィルム１０とキャリアフィルム１１，１２との間の密着力が適正でないと、前述のような問題が発生しやすくなる。密着力を適正に保てば、前述の問題は発生しにくくなるが、密着力を適正に制御することは困難であり、完全に防ぐことはできない。このため、歩留まりが向上しにくく、不良部分の削除等の本来不要な作業を行わなければならず、作業負荷が大きかった。
【００１３】
この発明の目的は、セラミックスラリー浸漬時の不要部へのセラミックスラリーの付着や、キャリアフィルムを支持フィルムから剥離する時に生じるセラミックグリーンシートのキャリアフィルムからのハガレを防止するセラミックグリーンシートの製造方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、支持フィルムの両面にキャリアフィルムを装着するキャリアフィルム装着工程と、前記支持フィルムをセラミックスラリーに浸漬し、前記キャリアフィルム表面に前記セラミックスラリーを塗工する工程と、前記セラミックスラリーを乾燥してセラミックグリーンシートを形成する工程と、該セラミックグリーンシートが表面に形成された前記キャリアフィルムを前記支持フィルムから剥離するキャリアフィルム剥離工程とを含むセラミックグリーンシートの製造方法であって、前記キャリアフィルムの内、少なくとも一方のキャリアフィルムの支持フィルム側の面に離形剤を塗布し、一方のキャリアフィルムと他方のキャリアフィルムで支持フィルムに対する密着力に差を持たせて、支持フィルムに装着し、キャリアフィルム剥離工程で、支持フィルムに対する密着力の弱いキャリアフィルムを支持フィルムに対する密着力の強いキャリアフィルムより先に支持フィルムから剥離することを特徴としている。
【００１５】
この構成では、離形剤からなる層を支持フィルムとキャリアフィルムとの間に設けることで、支持フィルムからキャリアフィルムが剥離しやすいようにするとともに、この剥離剤の層の弾性力を利用して、搬送ローラの衝撃等による外部からの力を緩衝することで、不必要なハガレを防止する。
【００１６】
また、搬送ローラ等の衝撃により外力が加えられても、離形剤の層が形成された支持フィルムとキャリアフィルムとの間は、離形剤の層の弾性力により不要なハガレが発生せず、他方のキャリアフィルムと支持フィルムは密着力が高いためハガレが発生しない。また、剥離剤の層が形成されている側のキャリアフィルムを先に支持フィルムから剥離するので、支持フィルム、剥離剤を用いていない側のキャリアフィルム、およびセラミックグリーンシートが、搬送ロール表面に沿って、スムーズに搬送される。これにより、従来のような屈曲部は生じず、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥がれない。また、剥離層の数が最小限となり、製造コストが低下する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
第１の実施形態に係るセラミックグリーンシートの製造方法を、図を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る支持フィルム、キャリアフィルムからなる複合フィルムにセラミックグリーンシートが形成された状態を示す側面断面図である。
【００１９】
図１に示すように、ポリエチレンからなる支持フィルム１０の両面に、シリコン樹脂の離形剤からなる離形層１３，１４を介して、ＰＥＴからなるキャリアフィルム１１，１２を装着することで、複合フィルム１は形成されている。この構造は、キャリアフィルム１１，１２のそれぞれ一方の面に離形剤を塗布して、支持フィルム１０の両面に接着することで形成される。
【００２０】
このように形成された複合フィルム１に、図５（ｂ）に示したような方法を用いてセラミックグリーンシート２１，２２を形成し、図６に示したような方法により、支持フィルム１０からキャリアフィルム１１，１２を剥離する。
【００２１】
このように、支持フィルム１０とキャリアフィルム１１，１２との間には所定の厚みで弾性力を有する離形層１３，１４が形成されているので、離形層１３，１４の弾性力により、支持フィルム１０とキャリアフィルム１１，１２との間に発生する応力や、衝撃を緩衝することができる。これにより、セラミックスラリーに浸漬する前段階でキャリアフィルム１１，１２が支持フィルム１０から部分的に剥がれ、隙間が生じることを防止できる。また、離形層が衝撃を緩衝することで、離形層を設けない場合よりも、密着力が弱くても部分的な剥離が生じにくくすることができる。
【００２２】
また、剥離層１３，１４を設けて、支持フィルム１０とキャリアフィルム１１との密着力と、支持フィルム１０とキャリアフィルム１２との密着力とに差を持たせることができるので、密着力の弱い方のキャリアフィルム１１を支持フィルム１０から容易に剥離することができる。これにより、キャリアフィルム１１を支持フィルム１０から剥離する際に、支持フィルム１０、キャリアフィルム１２およびセラミックグリーンシート２２が鋭く屈曲しなくなり、セラミックグリーンシート２２のハガレの発生を防止することができる。
【００２３】
図２に、密着力に差を持たせた剥離層を設けた場合における、密着力とセラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレの発生との関係を示す。ここで、各フィルムの仕様は、従来技術に述べた図８の条件と同じである。
【００２４】
図２に示すように、密着力を１．０〜３．０ｆ・ｇ／２０ｍｍに設定し、この範囲においてキャリアフィルム１１と支持フィルム１０との密着力と、キャリアフィルム１２と支持フィルム１０との密着力とに差を持たせることにより、図８の従来技術に比べてセラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレの発生を防止することができる。
【００２５】
このように、密着力に差を持たせた離形層を設けることにより、密着力を抑えながらも、搬送ローラ等による外部からの力によって支持フィルムとキャリアフィルムとが部分的に剥がれて隙間が生じることを防止することができるとともに、キャリアフィルムを支持フィルムから容易に離間することができるので、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥がれることを防止することができる。これにより、歩留まりが向上し、製造コストを低減することができる。
【００２６】
さらには、密着力を低く抑えることができるので、セラミックグリーンシート付きキャリアフィルムを支持フィルムから剥離する際に、セラミックグリーンシートが伸びたり、破れたりすることが防止できる。
【００２７】
次に、第２の実施形態に係るセラミックグリーンシートの製造方法について、図を参照して説明する。
【００２８】
図３は本実施形態に係る支持フィルム、キャリアフィルムからなる複合フィルムにセラミックグリーンシートが形成された状態を示す側面断面図である。
【００２９】
図３に示すように、複合フィルム１は、ポリエチレンからなる支持フィルム１０の片面にのみシリコン樹脂の離形剤からなる離形層１３を介して、ＰＥＴからなるキャリアフィルム１１が装着され、支持フィルム１０の他方の面には直接キャリアフィルム１２が装着されている。この構造は、キャリアフィルム１１の一方の面に離形剤を塗布して、支持フィルム１０の片面に接着することで形成される。
【００３０】
このように形成された複合フィルム１についても、図５（ｂ）に示したような方法を用いてセラミックグリーンシート２１，２２を形成し、図６に示したような方法により、支持フィルム１０からキャリアフィルム１１，１２を剥離する。
【００３１】
ここで、離形層１３を備えた側の支持フィルム１０とキャリアフィルム１１との密着力は、直接に装着された支持フィルム１０とキャリアフィルム１２との密着力よりも小さく設定されている。
【００３２】
図４に、このような構成の複合フィルムにおける、密着力とセラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレの発生との関係を示す。ここで、各フィルムの仕様は、従来技術に述べた図８の条件と同じである。
【００３３】
図４に示すように、離形層１３を備えた側は、密着力を１．０〜３．０ｆ・ｇ／２０ｍｍとすることにより、セラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレを防止することができる。
【００３４】
また、キャリアフィルム１２が支持フィルム１０に直接装着されている側は、密着力を離形層１３を備えた側よりも大きくすることにより、セラミックスラリーの不要付着およびセラミックグリーンシートのハガレを防止することができる。また、密着力を５．０ｆ・ｇ／２０ｍｍを超えると、キャリアフィルム１２からセラミックグリーンシートが剥離できない。従って、密着力は、２．６〜４．０ｆ・ｇ／２０ｍｍに設定する。
【００３５】
このような構成とすることで、セラミックスラリーの不要付着やセラミックグリーンシートのハガレを防止することができるとともに、剥離層の形成数を最小限にすることができるので、剥離層を形成する作業負荷を低減することができるとともに、材料コストを最小限とすることができるので、製造コストを低減することができる。
【００３６】
【発明の効果】
この発明によれば、密着力に差を持たせた離形剤からなる層を支持フィルムとキャリアフィルムとの間に設けることで、支持フィルムからキャリアフィルムが剥離しやすいようにするとともに、この剥離剤の層の弾性力を利用して、搬送ローラの衝撃等による外部からの力を緩衝することで、不必要なハガレを防止することができる。これにより、キャリアフィルムと支持フィルムとの間におけるセラミックスラリーの不要な付着や、キャリアフィルムを支持フィルムから剥離する際におけるキャリアフィルムからのセラミックグリーンシートの不要なハガレを防止することができる。
【００３７】
また、この発明によれば、離形剤をキャリアフィルムの一方にのみ塗布し、キャリアフィルムを支持フィルムに直接装着する側の密着力を高くすることにより、搬送ローラ等の衝撃により外力が加えられても、離形剤の層が形成された支持フィルムとキャリアフィルムとの間は、離形剤の層の弾性力により部分的なハガレを抑制することができ、他方のキャリアフィルムと支持フィルムは十分な密着力を有するため、部分的なハガレを抑制することができる。これにより、セラミックスラリーが支持フィルムとキャリアフィルムとの間に浸入して、不要に付着することを防止することができる。また、離形剤が塗布されたキャリアフィルムと支持フィルムとの密着力を、離形剤が塗布されていないキャリアフィルムと支持フィルムとの密着力よりも小さくし、離形剤が塗布されたキャリアフィルムを、離形剤が塗布されていないキャリアフィルムより先に、支持フィルムから離間することにより、支持フィルム、剥離剤を用いていない側のキャリアフィルム、およびセラミックグリーンシートが、搬送ロール表面に沿って、スムーズに搬送される。これにより、従来のような屈曲部は生じず、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥がれることを防止することができる。また、剥離層の数が最小限となるので、作業負荷が低減するとともに材料コストも最小限とすることができ、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係る複合フィルムにセラミックグリーンシートが形成されている状態を示す側面断面図
【図２】図１に示した構造における密着力と各不良との関係を示した表
【図３】第２の実施形態に係る複合フィルムにセラミックグリーンシートが形成されている状態を示す側面断面図
【図４】図２に示した構造における密着力と各不良との関係を示した表
【図５】従来のセラミックスラリーの浸漬方法を示す概要図と、セラミックスラリーに浸漬する前後における支持フィルムとキャリアフィルムとからなる複合フィルムの側面断面図
【図６】支持フィルムからキャリアフィルムを剥離する工程を示す概要図
【図７】図６に示す剥離工程の部分拡大図
【図８】従来の構造における密着力と各不良との関係を示した表
【符号の説明】
１−複合フィルム
２−セラミックスラリー
１０−支持フィルム
１１，１２−キャリアフィルム
１３，１４−離形層
２１，２２−セラミックグリーンシート
９０−屈曲部
１０１−搬出ローラ
１０２−浸漬槽
１１０，１１２，１１３，１１４，１１６，１１７−搬送ローラ
１１１，１１５，１１８−巻き取りローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004188734.tif 000008
【図７】
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【図８】
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