(57)【要約】【課題】半導体試験装置に備えるフェイル圧縮部から縮小したフェイルデータを取出してフェイル表示装置内の縮小フェイル格納部に格納しておき、オペレータの指示にあわせて縮小フェイル格納部と、フェイル圧縮部及び半導体試験装置内のフェイルメモリとを使い分けて高速にフェイルデータを表示する。【解決手段】半導体試験装置４の試験結果であるフェイルデータを表示装置１に表示するフェイル表示制御装置３であって、前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てを格納するフェイルメモリ４１と、前記半導体試験装置の試験結果を縮小するフェイル圧縮部４２と、前記フェイル圧縮部の縮小データを格納する縮小フェイル格納部３２と、前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力する表示制御部３１とを備えたフェイル表示制御装置。【選択図】　図１
2004117055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御装置であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てを格納するフェイルメモリと、
前記半導体試験装置の試験結果を縮小するフェイル圧縮部と、
前記フェイル圧縮部の縮小データを格納する縮小フェイル格納部と、
前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力する表示制御部と、
を備えることを特徴とするフェイル表示制御装置。
【請求項２】
前記フェイル圧縮部は前記フェイルメモリと共に前記半導体試験装置内に設けられ、前記縮小フェイル格納部は前記表示制御部と共にフェイル表示制御装置内に設けられ、入力装置からのオペレータの指示に応じて前記表示制御部によって最適のデータを選択することを特徴とする請求項１に記載のフェイル表示制御装置。
【請求項３】
半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てをフェイルメモリに格納するステップと、
前記半導体試験装置の試験結果をフェイル圧縮部で縮小するステップと、
前記フェイル圧縮部で縮小された縮小フェイルデータを縮小フェイル格納部に格納するステップと、
オペレータの指示に応答して前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力するステップと、
を含むことを特徴とするフェイル表示制御方法。
【請求項４】
半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
詳細表示箇所の変更に際して、
スクロールバーの移動操作による詳細表示箇所の移動を検出するステップと、
前記スクロールバーによる詳細表示箇所の移動中に、縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを表示装置に表示するステップと、
前記スクロールバーによる詳細表示箇所の確定後に、フェイルメモリに格納された詳細フェイルデータを表示装置に表示するステップと、
を含むことを特徴とするフェイル表示制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体試験装置の試験結果をオペレータの操作により高速に表示出来る表示装置に表示するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より半導体試験装置の試験結果から半導体メモリのメモリセルごとのフェイルを画面に表示することが行われている。
半導体試験装置の試験結果であるフェイル情報を表示するものとしては、以下のものが知れれている（特許文献１参照）
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３３０６５１号公報
【０００４】
上記公報には、ＩＣテスタにおいてＩＣテスト結果である分類データを解析及び編集し、ＦＡＩＬが発生する傾向や要因をグラフ等により表示することを目的として、
「ＩＣテスタにおいて、テスト制御部はテスタボード部上の被測定デバイスにテストプログラムに基づくＩＣテストを実行し、テスト結果を分類データとしてデータ収集ファイルに格納し、データ収集ファイルに格納された分類データをデータ収集部７３を介して抽出する。
また、テスト制御部は抽出された分類データを不良データ解析部に出力する。そして、不良データ解析部は、ＧＵＩ部の指示に基づいた分類データの解析を行い、解析結果をＩ／Ｏ部を介して表示部に表示する。」ものが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、半導体メモリの大容量化により全てのフェイル情報を半導体試験装置から取出して表示するためには長い時間を必要とするようになり、フェイル表示装置の備えるべき記憶領域も半導体メモリの大容量化に合わせて大きな容量が必要とされるという問題があった。
【０００６】
本発明の課題
（目的）は、半導体試験装置に備えるフェイル圧縮部から縮小したフェイルデータを取出してフェイル表示装置内の縮小フェイル格納部に格納しておき、オペレータの指示にあわせて縮小フェイル格納部と、フェイル圧縮部及び半導体試験装置内のフェイルメモリとを使い分けることによって高速にフェイルデータを表示することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御装置であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てを格納するフェイルメモリと、前記半導体試験装置の試験結果を縮小するフェイル圧縮部と、前記フェイル圧縮部の縮小データを格納する縮小フェイル格納部と、前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力する表示制御部とによりフェイル表示制御装置を構成する。（請求項１）
【０００８】
また、前記フェイル圧縮部は前記フェイルメモリと共に前記半導体試験装置内に設け、前記縮小フェイル格納部は前記表示制御部と共にフェイル表示制御装置内に設け、入力装置からのオペレータの指示に応じて前記表示制御部によって最適のデータを選択する構成とする、（請求項２）
【０００９】
また、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てをフェイルメモリに格納するステップと、前記半導体試験装置の試験結果をフェイル圧縮部で縮小するステップと、前記フェイル圧縮部で縮小された縮小フェイルデータを縮小フェイル格納部に格納するステップと、オペレータの指示に応答して前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力するステップとでフェイル表示を実行する。（請求項３）
【００１０】
また、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
詳細表示箇所の変更に際して、スクロールバーの移動操作による詳細表示箇所の移動を検出するステップと、前記スクロールバーによる詳細表示箇所の移動中に、縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを表示装置に表示するステップと、前記スクロールバーによる詳細表示箇所の確定後に、フェイルメモリに格納された詳細フェイルデータを表示装置に表示するステップとでフェイル表示を実行する。（請求項４）
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施するためのブロック構成を示す図である。
図１において、１は表示装置、２はオペレータによって操作されるマウス等の入力装置、３はフェイル表示制御装置、４は半導体試験装置である。
半導体試験装置４には半導体メモリの全てのメモリセルについての試験結果を格納するフェイルメモリ４１と、フェイルメモリの結果を任意の倍率で縮小することのできるフェイル圧縮部４２が含まれる。
フェイル表示装置３には表示制御部３１及び縮小フェイル格納部３２が含まれる。
縮小フェイル格納部３２には、フェイル表示を行う前にフェイル圧縮部４２によって縮小された縮小フェイルデータを取出して格納する。
表示制御装置３１は、オペレータが操作するマウス等の入力装置２によって、フェイルメモリ４１、フェイル圧縮部４２及び縮小フェイル格納部３２から最も適したデータソースを選択して表示装置１に表示する。
【００１２】
本発明における第１の実施の形態を図２及び図３を用いて説明する。
ここで、縮小フェイル部３２に格納されている縮小フェイルデータは、いくつかのメモリセルを１ビットの情報に縮小したもので、半導体メモリ全体に対して非常に小さくなっており、取出しに要する時間は短時間で済み、保存しておくための記憶領域も小さくて済む。
【００１３】
例えば、図２に示すように半導体メモリ全体を縮小して表示する場合には、縮小フェイル格納部３２からフェイルデータを取出して表示する。
このとき取出すフェイルデータは縮小されているため情報量が少なく、高速に表示装置１に表示することができる。
また、現在表示されている縮小率とは異なった縮小率で表示する際に、その縮小率のデータが縮小フェイル格納部に格納されていない場合には、表示制御部３１はフェイル圧縮部から直接その縮小フェイルデータを得る。
また、図３に示すように半導体メモリの一部（図２における左上部の部分）を拡大して表示する場合には、フェイルメモリ４１からフェイル情報を取出して表示する。
この時取出すデータは、半導体メモリの一部であるため、フェイルメモリ４１から取出す情報量は少なくて済むため高速に表示することができる。
【００１４】
次に、本発明における第２の実施の形態を図４及び図５を用いて説明する。
オペレータは、表示箇所を変更するために、表示装置内Ａ２のスクロールバーＡ１の移動操作や表示画面上でドラッグ操作を行うことができる。
この時、オペレータによってスクロールバーの移動操作によって表示箇所を変更している間は、図４に示すように縮小フェイル格納部３２から取出したフェイルデータを使用して高速に画面表示を行うことでオペレータの操作に直ちに反応できるようにされている。
オペレータが表示箇所を決定した時点で、フェイルメモリ４１から詳細なフェイルデータを取出して図５に示すように詳細に表示する。
これにより、オペレータはフェイルデータのイメージを視覚的に確認しながら高速な表示箇所の選択を行うことが可能となる。
【００１５】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明では、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御装置であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てを格納するフェイルメモリと、前記半導体試験装置の試験結果を縮小するフェイル圧縮部と、前記フェイル圧縮部の縮小データを格納する縮小フェイル格納部と、前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力する表示制御部とによりフェイル表示制御装置を構成することによって、オペレータの指示にあわせて縮小フェイル格納部と、フェイル圧縮部及び半導体試験装置内のフェイルメモリとを使い分けるて高速にフェイルデータを表示装置に表示することができる。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明では、前記フェイル圧縮部は前記フェイルメモリと共に前記半導体試験装置内に設けられ、前記縮小フェイル格納部は前記表示制御部と共にフェイル表示制御装置内に設けられ、入力装置からのオペレータの指示に応じて前記表示制御部によって最適のデータを選択して高速なフェイル表示ができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明では、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
前記半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータの全てをフェイルメモリに格納するステップと、前記半導体試験装置の試験結果をフェイル圧縮部で縮小するステップと、前記フェイル圧縮部で縮小された縮小フェイルデータを縮小フェイル格納部に格納するステップと、オペレータの指示に応答して前記フェイルメモリ、フェイル圧縮部又は縮小フェイル格納部のデータを選択して表示装置に出力するステップとで高速なフェイル表示が実現できる。
【００１８】
請求項４に記載の発明では、半導体試験装置の試験結果であるフェイルデータを表示装置に表示するフェイル表示制御方法であって、
詳細表示箇所の変更に際して、スクロールバーの移動操作による詳細表示箇所の移動を検出するステップと、前記スクロールバーによる詳細表示箇所の移動中に、縮小フェイル格納部に格納された縮小フェイルデータを表示装置に表示するステップと、前記スクロールバーによる詳細表示箇所の確定後に、フェイルメモリに格納された詳細フェイルデータを表示装置に表示するステップとでフェイル表示を制御することにより、オペレータはフェイルデータのイメージを視覚的に確認しながら高速な表示箇所の選択を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフェイル表示制御装置と半導体試験装置との関係を示す図である。
【図２】本発明のフェイル表示制御装置が表示装置に出力する縮小フェイル表示の例を示す図である。
【図３】本発明のフェイル表示制御装置が表示装置に出力する拡大フェイル表示の例を示す図である。
【図４】本発明においてオペレータの操作で表示箇所選択中のフェイル表示の例を示す図である。
【図５】本発明においてオペレータの操作で表示箇所選択が完了した時のフェイル表示の例を示す図である。
【符号の説明】
１　　　　表示装置
２　　　　入力装置
３　　　　フェイル表示制御装置
３１　　　表示制御部
３２　　　縮小フェイル格納部
４　　　　半導体試験装置
４１　　　フェイルメモリ
４２　　　フェイル圧縮部
Ａ１　　　スクロールバー
Ａ２　　　表示画面
【図１】
2004117055.tif 000003
【図２】
2004117055.tif 000004
【図３】
2004117055.tif 000005
【図４】
2004117055.tif 000006
【図５】
2004117055.tif 000007