(57)【要約】【課題】マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写する際に、供給したスレーブ媒体の保持と、磁気転写後の剥離とを簡易な構造で確実に得るようにした磁気転写装置を提供する。【解決手段】転写パターンを有するマスター担体３を転写ホルダー１０に保持し、このマスター担体３に重ねて転写を受けるスレーブ媒体２を保持し、両者を密着させて磁気転写を行う際に、転写ホルダー１０はホルダー面５ｂに開口部１２を備え、この開口部１２に吸引圧を導入してスレーブ媒体２を吸着保持する一方、開口部１２に加圧気体を送給してスレーブ媒体２をマスター担体３から剥離するための吐出を行う。開口部１２より加圧気体を吐出してスレーブ媒体２を剥離する際に、スレーブ媒体２をマスター担体３より引き剥がす外力を印加する外力印加手段をさらに備えるのが好ましい。【選択図】　　　　　図２
2004134012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体をホルダーに保持し、このマスター担体に重ねて転写を受けるスレーブ媒体を保持し、両者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダーはホルダー面に開口部を備え、該開口部に吸引圧を導入して前記スレーブ媒体を吸着保持する一方、該開口部に加圧気体を送給して前記スレーブ媒体を前記マスター担体から剥離するための吐出を行うことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記開口部は、マスター担体の内周側に設置し、スレーブ媒体の内周部を吸着保持することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記開口部より加圧気体を吐出して前記スレーブ媒体を剥離する際に、該スレーブ媒体をマスター担体より引き剥がす外力を印加する外力印加手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記外力印加手段による外力印加部位は、スレーブ媒体の内周部または外周部であることを特徴とする請求項３に記載の磁気転写装置。
【請求項５】
前記外力印加手段による印加外力の大きさは、０．１Ｎ〜２Ｎの範囲であることを特徴とする請求項３に記載の磁気転写装置。
【請求項６】
前記開口部より吐出する加圧気体に不活性ガスを使用することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写情報に対応したパターンが形成されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関し、特にホルダーにマスター担体およびスレーブ媒体を収容して密着および剥離させる機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならない。
【０００５】
また、位置決めした状態のマスター担体およびスレーブ媒体をホルダーに保持する必要があり、しかも、スレーブ媒体の両面にマスター担体を密着させる両面同時磁気転写の場合には、ホルダーにはまずマスター担体を保持し、その上にスレーブ媒体を保持することになり、両者を保持する構造が複雑となる。
【０００６】
さらに、スレーブ媒体とマスター担体とを密着させた場合に、両者は平坦面の密着で互いに吸着することになり、磁気転写後のマスター担体よりスレーブ媒体を剥離する際には、剥離手段を設置して引き剥がしを積極的に行う必要がある。
【０００７】
上記点から、従来より、スレーブ媒体をマスター担体に保持するための吸引穴を設けるとともに、スレーブ媒体をマスター担体より剥離するための吐出穴を別途に設けて、スレーブ媒体の吸着保持と剥離とを行うようにした構造が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−２５４５５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ホルダーにスレーブ媒体を保持するための吸引穴とスレーブ媒体を剥離するための吐出穴をそれぞれ設けるものでは、スレーブ媒体の無記録エリアが狭いために、吸着用と剥離用との両方の穴を設置することが難しく、また設置しても穴の大きさや個数が十分でなく、吸着不良や剥離不良が発生していた。
【００１０】
また、ホルダーの内部に吸着用の経路と吐出用の経路とをそれぞれ別途に設置するため、それらの構造が複雑となり、ホルダーの肉厚が部分的に薄くなることなどで剛性が低下する恐れがあり、コストが上昇する問題を有する。
【００１１】
特に、吐出圧の供給が不十分であると、マスター担体に密着しているスレーブ媒体を剥離することができず、磁気転写後におけるスレーブ媒体の排出不良が発生したり、外力を加えて無理に剥離させてスレーブ媒体へ傷などの損傷を与えたり、マスター担体も一緒にホルダーより外れて、高価なマスター担体に損傷を与える問題が生じる。
【００１２】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、スレーブ媒体の保持および剥離を簡易な構造で得るようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による磁気転写装置は、転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体をホルダーに保持し、このマスター担体に重ねて転写を受けるスレーブ媒体を保持し、両者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記ホルダーはホルダー面に開口部を備え、該開口部に吸引圧を導入して前記スレーブ媒体を吸着保持する一方、該開口部に加圧気体を送給して前記スレーブ媒体を前記マスター担体から剥離するための吐出を行うことを特徴とするものである。
【００１４】
前記開口部は、マスター担体の内周側に設置し、スレーブ媒体の内周部を吸着保持するのが好適である。
【００１５】
また、前記開口部より加圧気体を吐出して前記スレーブ媒体を剥離する際に、該スレーブ媒体をマスター担体より引き剥がす外力を印加する外力印加手段をさらに備えるのが好ましい。その際、外力印加手段による外力印加部位は、スレーブ媒体の内周部または外周部が好適である。この外力印加手段による印加外力の大きさは、０．１Ｎ〜２Ｎの範囲が好ましい。
【００１６】
前記開口部より吐出する加圧気体に不活性ガスを使用するのが好適である。
【００１７】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、ホルダー面に設けた開口部に吸引圧を導入してスレーブ媒体を吸着保持する一方、この開口部に加圧気体を送給してスレーブ媒体をマスター担体から剥離するための吐出を行うようにしたことにより、吸着用の穴と吐出用の穴とを分離形成するものに比べて開口部を大きくとることができ、スレーブ媒体の吸着保持が確実に行え、また、剥離も確実に行うことができるとともに、開口部構造が簡単になり、ホルダーの剛性向上とコストダウンが可能となる。
【００１８】
また、前記開口部より加圧気体を吐出する際に、スレーブ媒体をマスター担体より引き剥がす外力を印加する外力印加手段をさらに備えると、確実にマスター担体よりスレーブ媒体を剥離でき、無理な剥離に伴うスレーブ媒体やマスター担体に損傷を与えることがなくなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態をエア経路とともに示す概略断面図、図２は片側ホルダーにスレーブ媒体をセットする状態の分解斜視図、図３はスレーブ媒体を剥離する状態の斜視図である。なお、この図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００２０】
図示した磁気転写装置１は、スレーブ媒体２（磁気記録媒体）の両側記録面にサーボ信号等に対応する転写パターンを有するマスター担体３，４をそれぞれ密着させ転写用磁界を印加して両面同時磁気転写を行う。
【００２１】
この磁気転写装置１は、スレーブ媒体２および２枚のマスター担体３，４を収容する転写ホルダー１０を備える。この転写ホルダー１０は、接離移動可能な左側の片側ホルダー５と右側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間に、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でそれぞれ密着させる。
【００２２】
片側ホルダー５および他側ホルダー６の背面の中心位置には、それぞれ支持軸５ａ，６ａが突設され、不図示の装置本体に支持されている。この片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ，６ａを中心に一体に回転駆動される。なお、図示していないが、磁気転写装置１は転写ホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備える。
【００２３】
また、図２および図３に一部を示すように、上記転写ホルダー１０にスレーブ媒体２を供給するとともに、磁気転写後にスレーブ媒体２をマスター担体３より引き剥がす外力を印加する外力印加手段としてのスレーブハンドリング用のチャック２０（例えばロボットハンド）をさらに備える。
【００２４】
図示のスレーブ媒体２は、円盤状で所定径の中心孔２ａが開口されたハードディスクであり、ガラス板等からなる円盤状のベースの両面に磁性層が形成された記録面を有する。このスレーブ媒体２の中心孔２ａの内径は、このスレーブ媒体２とともに片側ホルダー５に保持される一方のマスター担体３の中心孔３ａの内径より小さく設定されている。そして、該スレーブ媒体２を、図２に示すように、前記チャック２０によって記録面を鉛直方向に向けて上記中心孔２ａの内径部（マスター担体３の中心孔３ａとの内径差部位）を保持し、片側ホルダー５に保持されたマスター担体３に対して供給する。なお、前記スレーブ媒体２は、高密度フレキシブルディスであってもよい。
【００２５】
前記マスター担体３，４はディスク状に形成され、中心部に中心孔３ａ，４ａが開口されているとともに、その片面にスレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸形状の磁性層による転写パターンを有し、これと反対側の面が片側ホルダー５および他側ホルダー６に保持される。
【００２６】
前記片側ホルダー５は、そのホルダー面５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着保持するマスター吸引穴１１を備え、また、このホルダー面５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着保持するとともに磁気転写後に加圧気体を送給してマスター担体３より剥離する開口部１２を備える。前記他側ホルダー６は、そのホルダー面６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着保持するマスター吸引穴１３を備え、また、このホルダー面６ｂの中心部に内部空間を減圧する吸引穴１４を備える。
【００２７】
つまり、片側ホルダー５は円盤状でマスター担体３の外径より大きい円形状のホルダー面５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に多数のマスター吸引穴１１が開口され、このマスター吸引穴１１に連通する通気路１１ａがホルダー内に設置されている。また、上記マスター担体３の内径より内周側のホルダー面５ｂに、図２のように円弧溝状のスレーブ用の開口部１２が開口され、この開口部１２に連通する通気路１２ａがホルダー内に設置されている。両通気路１１ａ，１２ａは、例えば、支持軸５ａを通してホルダー外に導出される。
【００２８】
一方、前記他側ホルダー６も円盤状でマスター担体４の外径より大きい円形状のホルダー面６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に多数のマスター吸引穴１３が開口され、このマスター吸引穴１３に連通する通気路１３ａがホルダー内に設置されている。また、上記マスター担体４の内径より内周側のホルダー面６ｂには凹部が形成され、この凹部の中心に内部空間吸引用の吸引穴１４が開口され、この吸引穴１４に連通する通気路１４ａがホルダー内に設置されている。両通気路１３ａ，１４ａは、例えば、支持軸６ａを通して外部に導出される。
【００２９】
また、他側ホルダー６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、他側ホルダー６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、片側ホルダー５のホルダー面５ｂに圧接して内部空間の開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、他側ホルダー６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００３０】
そして、前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の少なくとも一方が軸方向（図で左右方向）に移動可能に支持され、両ホルダー５，６が互いに接離移動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移動に伴い、シール部７の端面シール材７ｂが片側ホルダー５のホルダー面５ｂに圧接して内部空間を閉じる。この密閉後に、内部空間を減圧すると共に、他側ホルダー６を閉方向へ移動させる。これに伴い、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させる。
【００３１】
なお、上記密着力の印加のために、内部空間の真空吸引に加えて、転写ホルダー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えてもよい。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端が転写ホルダー１０の支持軸５ａまたは６ａに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００３２】
前記片側ホルダー５のスレーブ用の開口部１２に接続された通気路１２ａは、外部に導出されてエア経路８に接続され、第１バルブ１７を介して真空源１５（真空ポンプ）に接続され、この第１バルブ１７の開閉に応じて真空圧を導入し、磁気転写のためにスレーブ媒体２を保持する際には開口部１２を減圧し、スレーブ媒体２を吸着保持する。また、上記エア経路８は、第１バルブ１７より転写ホルダー１０側で分岐し、第２バルブ１８を介して圧縮源１６（圧縮ポンプ）に接続され、この第２バルブ１８の開閉に応じて圧縮気体を送給し、磁気転写後にスレーブ媒体２を剥離する際に開口部１２より圧縮気体を吐出する。さらに、真空源１５と第１バルブ１７の間のエア経路８より分岐して、第３バルブ１９を介してマスター吸引穴１１へ真空圧が導入され、マスター担体３の裏面を吸着保持する。
【００３３】
なお、上記開口部１２に送給する圧縮気体としては不活性ガスが、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４への影響がない点で好ましいが、その際には、圧縮源１６は不活性ガスを貯蔵したガスボンベで構成される。
【００３４】
他側ホルダー６のマスター吸引穴１３、内部空間用の吸引穴１４についても同様に真空圧が導入され、マスター担体４の裏面を吸着により保持するとともに内部空間を減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高める。
【００３５】
前記スレーブハンドリング用のチャック２０は、図２に示すように、開状態にある転写ホルダー１０の片側ホルダー５に対し、スレーブ媒体２を供給し、また、図３に示すように、磁気転写後に開作動した転写ホルダー１０の片側ホルダー５よりマスター担体３に密着しているスレーブ媒体２を剥離する外力を印加するものである。このチャック２０は、不図示のアーム部の先端にスレーブ媒体２を把持し供給する１対のスレーブ把持爪２１を備える。このスレーブ把持爪２１は、不図示の駆動機構によって両側に拡縮移動し、この把持爪２１をスレーブ媒体２の中心孔２ａに挿入して、図３に示すように開いて内径部をチャックし、閉じて解放する。把持爪２１にはスレーブ媒体２を保持する溝部２１ａを有し、保持位置を規制している。
【００３６】
なお、上記チャック２０により印加する剥離外力の大きさは、マスター担体３のホルダー面５ｂへの保持力等との関係より、０．１Ｎ〜２Ｎの範囲が好ましい。
【００３７】
前記片側ホルダー５の開口部１２は、上記のようなスレーブ把持爪２１と干渉しないような構造に形成されている。つまり、図２のように、片側ホルダー５のホルダー面５ｂの中心部は、スレーブ媒体２の中心穴２ａに相当する部位が凹部５ｃに形成され、この凹部５ｃとマスター担体３の中心孔３ａの内径との間の部分におけるスレーブ把持爪２１の移動範囲を除く部位に、円弧状の開口部１２が形成されてなり、この把持爪２１の移動部位は凹部５ｃに連続する切欠溝部５ｄとなっている。
【００３８】
なお、磁気転写後のスレーブ媒体２の剥離時における開口部１２からの圧縮気体の吐出と、剥離外力の印加とは同時または多少前後してもよいもので、例えば、チャック２０によってスレーブ媒体２を保持した後に圧縮気体の吐出するように設定する。
【００３９】
なお、ホルダー面５ｂ，６ｂにはマスター担体３，４の背面を吸着保持する緩衝材を備えてもよい。この緩衝材は均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性を有する材料により円盤シート状に形成される。
【００４０】
片側ホルダー５および他側ホルダー６に対するマスター担体３，４およびスレーブ媒体２の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体３，４またはスレーブ媒体２をＸＹ方向へ微調整することにより行うか、位置決め部材をホルダー５，６に設置して行う。
【００４１】
マスター担体３，４は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなる。その基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３，４が使用される。
【００４２】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が転写ホルダー１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。転写ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石を転写ホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、転写ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００４３】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置の転写ホルダー１０では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５に一方のマスター担体３を、他側ホルダー６に他方のマスター担体４を、それぞれ位置を合わせて吸着保持させておく。
【００４４】
この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてチャック２０により供給し、第１バルブ１７を開いて開口部１２に真空圧を導入してその内周部を吸着保持した後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００４５】
そして、転写ホルダー１０の内部空間を閉じた後に、内部空間のエア排出を行って減圧し、所定の真空度とすると共に、さらに他側ホルダー６を接近移動させる。スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力および印加圧力で、片側ホルダー５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００４６】
その後、転写ホルダー１０の両側に磁界印加装置を接近させ、転写ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４７】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４８】
磁気転写後に、スレーブ媒体２を取り出すために、転写ホルダー１０を開作動する。その際、第１バルブ１７を閉じた後、第２バルブ１８を開いて圧縮気体を開口部１２に送給し、この圧縮気体の吐出によりスレーブ媒体２の内周部を剥離方向に押圧するとともに、マスター担体３とスレーブ媒体２との密着面に圧縮気体が流入して剥離を行う。その際、チャック２０の把持爪２１によりスレーブ媒体２の内周部を保持して剥離外力を同時に加えて、確実な剥離を得る。その後、チャック２０により磁気転写後のスレーブ媒体２を取り出して搬出し、次の新しいスレーブ媒体２を供給し、以下同様の磁気転写を繰り返し行う。
【００４９】
本実施形態によれば、ホルダー面５ｂに形成した開口部１２はスレーブ媒体２を吸着保持する吸着穴とスレーブ媒体２をマスター担体３から剥離するための吐出穴とを兼用する構造としたために、広い開口面積となり確実な吸着保持と剥離とが行える。さらに、磁気転写後の剥離時にはチャック２０の把持爪２１によりスレーブ媒体２を保持して剥離外力を同時に印加するようにしたために、傷を付けることなくマスター担体３と密着状態のスレーブ媒体２を確実かつ容易に剥離でき、搬出が行える。
【００５０】
なお、前記実施形態では、磁気転写後の剥離時にスレーブ媒体２に剥離外力を印加する外力印加手段としては、スレーブハンドリング用のチャック２０と兼用しているが、これとは別途に独立に設けてもよい。独立に設ける場合、その機構は転写ホルダー１０に内蔵しても、転写ホルダー１０の外部に設置してもよい。内蔵式の場合は、出没する作動部材を設置し、スレーブ媒体２のマスター担体３と非密着部位を押圧する。外部設置の場合、開作動したホルダー空間内に進退移動し、スレーブ媒体２に係合して剥離外力を印加するように構成すればよい。その際、剥離外力印加部位は、スレーブ媒体２の内周部または外周部で行うことになる。
【００５１】
また、開口部１２よりの圧縮気体の吐出で、スレーブ媒体２の良好な剥離が確保できる場合には、外力印加手段は設置しなくてもよくなるが、剥離したスレーブ媒体２が落下した際に、損傷、異物付着の問題が生じないようにすることが必要となる。
【００５２】
なお、上記実施形態は、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を密着させて両面同時に磁気転写を行う場合であるが、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３または４を密着させて片面転写を行い、必要に応じて両面逐次転写を行う場合もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態をエア経路とともに示す概略断面図
【図２】開状態のホルダーに対するスレーブ媒体の供給状態を示す斜視図
【図３】開状態のホルダーからのスレーブ媒体の剥離状態を示す斜視図
【符号の説明】
１　　磁気転写装置
２　　スレーブ媒体
２ａ　　中心孔
３，４　　マスター担体
３ａ，４ａ　　中心孔
５　　片側ホルダー
６　　他側ホルダー
１０　　転写ホルダー
１１　　マスター吸引穴
１２　　開口部
１２ａ　　通気路
１５　　真空源
１６　　圧縮源
２０　　チャック（外力印加手段）
２１　　スレーブ把持爪
【図１】
2004134012.tif 000003
【図２】
2004134012.tif 000004
【図３】
2004134012.tif 000005