(57)【要約】【課題】軸受部分の自己発熱を低下させた回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。【解決手段】真空外囲器１０内に配置された陽極ターゲット１１と、この陽極ターゲット１１が連結する回転体１４と、この回転体１４の内側に嵌合して回転体とともに陽極ターゲット１１を回転可能に支持する回転支持機構を構成し、かつ、回転体との間にラジアル方向のすべり軸受Ｒａ、Ｒｂが形成される外径の小さい径小部１８ａおよびこの径小部１８ｂよりも外径が大きく回転体１４との間にスラスト方向のすべり軸受Ｓａ、Ｓｂが形成される径大部１８ｂを有する固定体１８とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、径小部１８ａの外径が径大部１８ｂの外径の２／３以下で、少なくともラジアル方向のすべり軸受Ｒａ、Ｒｂが形成される領域における回転体１４の固定体１４との嵌合面がバニシ仕上げされている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結する回転体と、この回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構を構成し、かつ、前記回転体との間にラジアル方向のすべり軸受が形成される外径の小さい径小部およびこの径小部よりも外径が大きく前記回転体との間にスラスト方向のすべり軸受が形成される径大部を有する固定体とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記径小部の外径が前記径大部の外径の２／３以下で、少なくとも前記ラジアル方向のすべり軸受が形成される領域における前記回転体の内面がバニシ仕上げされていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
ラジアル方向のすべり軸受が形成されている領域における固定体の径小部の直径が２０ｍｍ以下である請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
回転体は、陽極ターゲットが機械的に連結した第１回転部材と、前記陽極ターゲットに近い側で前記第１回転部材との間に断熱間隙が設けられ、この断熱間隙よりも前記陽極ターゲットから遠い側で前記第１回転部材の内周面に接合され、かつ、固定体と対向する内側がラジアル方向のすべり軸受面となる第２回転部材とを有する請求項１または請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
ラジアル方向のすべり軸受が、管軸方向の所定範囲に形成された第１すべり軸受と、この第１すべり軸受よりも前記陽極ターゲットから遠くに位置し管軸方向の所定範囲に形成された第２すべり軸受とで構成され、かつ、前記ラジアル方向のすべり軸受を介して固定体によって回転可能に支えられる回転部分の重心が、前記第１すべり軸受が形成された管軸方向における所定範囲の中間位置よりも前記陽極ターゲットに近い側に位置している請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
固定体内部に、真空外囲器の外から前記固定体の径大部に至る冷却用通路が管軸方向に設けられている請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
固定体と回転体が対向する対向間隙に、液体金属潤滑材に浸漬する浮動体が配置された請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項７】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結する回転体と、この回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構を構成し、かつ、前記回転体との間にラジアル方向のすべり軸受が形成される外径の小さい径小部およびこの径小部よりも外径が大きく前記回転体との間にスラスト方向のすべり軸受が形成される径大部を有する固定体とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造方法において、前記径小部の外径が前記径大部の外径の２／３以下で、前記ラジアル方向のすべり軸受が形成される領域における前記回転体の前記固定体との嵌合面をバニシ仕上げする第１工程と、この第１工程で嵌合面がバニシ仕上げされた前記回転体に前記固定体を嵌合する第２工程とを有する回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転陽極型Ｘ線管は、Ｘ線を放出する陽極ターゲットが回転可能に支持され、医療用などのＸ線撮影装置に組み込まれて使用される。Ｘ線撮影装置はいろいろな方向から被撮影体を撮影し、その撮影方向も短時間に転換される。したがって、Ｘ線撮影装置に組み込まれた回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲット部分などに加速度が作用する。そのため、陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構は、加速度による荷重を考慮した設計が求められている。
【０００３】
このような荷重に対応するために、従来の回転陽極型Ｘ線管では、たとえば陽極ターゲットを支持する回転支持機構の軸受部分に動圧式すべり軸受が用いられ、回転支持機構を構成する固定体の一部、たとえば動圧式すべり軸受が設けられる領域の外径を大きくしている。
【０００４】
ここで、従来の回転陽極型Ｘ線管について、固定体の一部の径を大きくした構造を例にとり図５を参照して説明する。
【０００５】
陽極ターゲット５１はナット５２で継手部５３に固定され、継手部５３は回転体５４に連結されている。回転体５４は、有底円筒状をした鉄合金製の内側円筒５４ａと銅製の外側円筒５４ｂが同軸的に接合した二重構造部分、および、内側円筒５４ａの図示下端の開口を封止するスラストリング５５などから構成されている。内側円筒５４ａとスラストリング５５はねじ５６で固定されている。
【０００６】
回転体５４の内側に、鉄合金製の円柱状固定体５７が嵌合されている。固定体５７は、図示上端の直径Ｄｒが小さい径小部５７ａおよび径小部５７ａよりも直径Ｄｓが大きい中間の径大部５７ｂ、その直径が径大部５７ｂよりも小さく径小部５７ａよりも大きい下端の陽極支持部５７ｃなどから構成されている。
【０００７】
固定体５７の中心部分に液体金属潤滑材Ｍを収納するリザーバＲが管軸ｍ１方向に形成されている。また、回転体５４と固定体５７の嵌合部分に液体金属潤滑材Ｍを供給するダクトＤが半径方向に形成されている。
【０００８】
上記の回転体５４および固定体５７の嵌合部分に動圧式すべり軸受が形成されている。たとえば径小部５７ａの外周軸受面にらせん溝６０ａ、６０ｂが設けられ、ラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂが形成されている。また、径大部５７ｂの図示上側の軸受面にらせん溝６１ａがサークル状に設けられ、スラストリング５５の上側軸受面にらせん溝６１ｂがサークル状に設けられ、スラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂが形成されている。
【０００９】
固定体の径小部５７ａは、軸方向長さＬｒが５０ｍｍから１００ｍｍ程度、直径Ｄｒが２０ｍｍから４０ｍｍ程度の範囲で製作される。一方、回転体５４の内側円筒５４ａに設けられる穴６２の加工は旋盤などを用いた切削加工、あるいは研磨加工などで行われる。この場合、穴６２の直径Ｄｒの下限値は２０ｍｍ程度で、それよりも小さいと加工コストが増大する。
【００１０】
固定体５７の径大部５７ｂは、直径Ｄｓが３０ｍｍから５０ｍｍ程度の範囲に製作される。なお、径小部５７ａの軸方向長さＬｒは、径大部５７ｂの直径Ｄｓの１．２倍以上、好ましくは１．５倍から５倍までの範囲に設定される。
【００１１】
動圧式すべり軸受部分は、スラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂの平均軸受間隙Ｇｓの方が、ラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂの平均軸受間隙Ｇｒよりも大きい寸法に設定されている。平均軸受間隙は、ラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂでは、軸受部の管軸方向および円周方向における全体的な平均値を意味し、スラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂでは、径大部の上下両方の軸受間隙の平均値を意味し、特定の方向に片寄った状態におけるその一部分の軸受間隙を表すものではない。
【００１２】
また、ラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂの平均軸受間隙Ｇｒは、１０μｍ乃至２０μｍの範囲たとえば１５μｍに設定される。スラストすべり軸受Ｓａ、Ｓｂの平均軸受間隙Ｇｓは、３０μｍ乃至６０μｍの範囲たとえば４５μｍに設定される。らせん溝６０ａ、６０ｂ、６１ａ、６１ｂの深さは、いずれも約２０μｍになっている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の回転陽極型Ｘ線管は、動作状態に入ると、回転に伴って動圧式すべり軸受部分に自己発熱が発生する。この熱は回転体に伝導し、軸受を経て陽極支持部５７ｃに到達し、管外に放散される。しかし、軸受部分の温度が上昇すると、液体金属潤滑材に活性があるため、固定体および回転体の軸受面を構成する材料と液体金属潤滑材が反応し、金属間化合物層が軸受面上に堆積する。その結果、軸受隙間が徐々に減少し、回転特性を劣化させる。
【００１４】
一般に、軸受部分における自己発熱は、管軸から軸受面までの距離が長い方が大きくなる。従来の回転陽極型Ｘ線管の場合、回転体のラジアル軸受部の内径加工には、旋盤を用いた切削法、あるいは、旋盤や研削盤を用いた研磨法が用いられている。これらの方法は、加工上の制約から内径Ｄｓを２０ｍｍよりも小さくすることが難しい。したがって、高速回転させるとラジアル軸受の自己発熱が大きくなり、高速回転の実現が困難になっている。
【００１５】
ここで、ラジアル軸受の自己発熱について説明する。回転体と固定体の嵌合部に潤滑材たとえば液体金属潤滑材が満たされている場合、軸受部分が回転すると、液体金属潤滑材の粘性で熱が発生する。このとき、嵌合部における発熱パワーＰは次の（１）式で示される。
Ｐ＝ｋ・Ｒ３　・Ｗ・Ｎｎ・η／Ｃ…（１）
（Ｒ：嵌合半径、Ｃ：嵌合半径隙間、Ｗ：管軸方向における嵌合幅、η：液体金属潤滑材の粘性係数、Ｎ：回転スピード、ｋ：定数）
（１）式のｎの値は、Ｎが臨界回転数Ｎｃよりも小さい層流域にあるか、臨界回転数Ｎｃよりも大きい乱流域にあるかで相違する。
【００１６】
なお、臨界回転数Ｎｃは次の（２）式で示される。
Ｎｃ＝１０００η／２πＲＣρ…（２）
（ρ：液体金属潤滑材の密度）
（１）式で示されるように、Ｒが小さい場合、ラジアル軸受部の自己発熱が少なくなる。また、Ｒが小さい場合、自己発熱が同じとすれば、その分、回転数を増大できる。しかし、従来の回転陽極型Ｘ線管は、加工上の制約からＲの大きさには下限値があり、Ｒの値をそれ以上に小さくできない。
【００１７】
本発明は、上記した欠点を解決し、軸受部分の自己発熱を低下させた回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結する回転体と、この回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構を構成し、かつ、前記回転体との間にラジアル方向のすべり軸受が形成される外径の小さい径小部およびこの径小部よりも外径が大きく前記回転体との間にスラスト方向のすべり軸受が形成される径大部を有する固定体とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記径小部の外径が前記径大部の外径の２／３以下で、少なくとも前記ラジアル方向のすべり軸受が形成される領域における前記回転体の内面がバニシ仕上げされていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲットが連結する回転体と、この回転体とともに前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構を構成し、かつ、前記回転体との間にラジアル方向のすべり軸受が形成される外径の小さい径小部およびこの径小部よりも外径が大きく前記回転体との間にスラスト方向のすべり軸受が形成される径大部を有する固定体とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造方法において、前記径小部の外径が前記径大部の外径の２／３以下で、前記ラジアル方向のすべり軸受が形成される領域における前記回転体の前記固定体との嵌合面をバニシ仕上げする第１工程と、この第１工程で嵌合面がバニシ仕上げされた前記回転体に前記固定体を嵌合する第２工程とを有する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について図１を参照して説明する。符号１０は回転陽極型Ｘ線管を構成する真空外囲器で、図１ではその筒状部１０ａおよび筒状部１０ａの図示下端の開口を封止する封止部材１０ｂ、筒状部１０ａおよび封止部材１０ｂ間を気密に連結する封止リング１０ｃが示されている。
【００２１】
真空外囲器１０内に陽極ターゲット１１が配置されている。陽極ターゲット１１はナット１２で継手部１３に固定され、継手部１３は回転体１４に連結されている。回転体１４は、継手部１３が直接固着された鉄または鉄合金からなる中間円筒１５ａと、その内側に第１の断熱間隙ｇ１を置いて設けられた内側円筒１５ｂと、中間円筒１５ａの外周に第２の断熱間隙ｇ２を置いて設けられた銅製の外側円筒１５ｃとが同軸的に接合した三重構造部分、および、内側円筒１５ｂの図示下端の開口を封止するスラストリング１６などから構成されている。内側円筒１５ｂおよびスラストリング１６はねじ１７で固定されている。
【００２２】
回転体１４たとえばその内側円筒１５ｂの内側に、鉄合金製の円柱状固定体１８が挿入されている。固定体１８は、回転体１４とともに陽極ターゲット１１を回転可能に支持する回転支持機構を構成し、また、陽極ターゲット１１や継手部１３、回転体１４などの回転部分を回転可能に支えている。固定体１８は、図示上端の直径が小さい径小部１８ａおよび径小部１８ａよりも直径が大きい中間の径大部１８ｂ、径大部１８ｂよりも直径が小さく径小部１８ａよりも直径が大きい下端の陽極支持部１８ｃなどから構成されている。陽極支持部１８ｃはスラストリング１６および封止部材１０ａを貫通し、真空外囲器１０の外側まで伸びている。固定体１８の中心部分に液体金属潤滑材を収納するリザーバＲが管軸ｍ１に沿って形成されている。また、回転体１４と固定体１８の嵌合部分に液体金属潤滑材を供給するダクトＤが半径方向に形成されている。
【００２３】
回転体１４および固定体１８が嵌合し、両者が対向する部分に動圧式すべり軸受が形成されている。たとえば径小部１８ａの管軸方向に離れた２つの領域の外周面にそれぞれ、形成方向が相違するらせん溝群が対に設けられ、ラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂが形成されている。動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂでは、回転体１４および固定体１８が管軸ｍ１を中心とするその半径方向で対向し、いずれも管軸方向における所定長さに形成されている。
【００２４】
また、径大部１８ｂの図示上端面およびスラストリング１６の図示上面に、それぞれらせん溝（図示せず）がサークル状に設けられ、スラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂが形成されている。動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂでは、回転体１４および固定体１８が管軸ｍ１の延長方向で対向している。
【００２５】
上記の構成で、固定体１８の径小部１８ａの外直径Ｄｒは、径大部１８ｂの外直径Ｄｓの２／３以下の寸法に設定されている。また、内側円筒１５ｂと固定体１８と嵌合する嵌合面のうち、少なくともラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂが設けられている領域における内側円筒１５ｂの内表面はバニシ仕上げされている。
【００２６】
また、動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂを介して固定体１８によって回転可能に支えられる回転部分、たとえば陽極ターゲット１１や継手部１３、回転体１４などの重心Ｇは、陽極ターゲット１１に近い側に位置するラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａの管軸方向における中間位置Ｑよりも陽極ターゲット１１側になっている。固定体１８に径大部１８ｂを設け、その径大部１８ｂに動圧式すべり軸受を設ける構造であるため、回転部分の重心Ｇが陽極ターゲット１１に近い位置にあっても、回転部分を確実に支持できる。
【００２７】
上記した構成によれば、固定体１８の径小部１８ａの外径が径大部１８ｂの外径の２／３以下の寸法に設定され、その分、内側円筒１５ａの肉厚が大きくなっている。この場合、内側円筒１５ａの穴加工にバニシ仕上げを適用でき、従来、下限値とされていた２０ｍｍよりも小さい、たとえば１０ｍｍ程度の直径の穴を低コストで容易に実現できる。
【００２８】
たとえば目標の高速回転数を１２０００ｒｐｍとし、Ｒ＜１０ｍｍとすると、（１）式のＮは（２）式の臨界回転数Ｎｃよりも小さくなり、軸受部分の回転に伴う液体金属潤滑材の流れはほぼ層流状態でｎ＝２となる。
【００２９】
したがって、（１）式において、Ｒの値を従来構造の２０ｍｍから１／２以下の１０ｍｍ以下にすると、ラジアル軸受部の自己発熱は１／８以下に低下する。この場合、自己発熱の大きさを従来構造と同じにすると、その回転数は８の平方根倍である約２．８倍以上にできる。
【００３０】
たとえば特開２００１−３５７８０５に示された従来構造の場合、ラジアル軸受部が形成される内側円筒の内径と外径の差が小さく肉厚が薄くなっている。この場合、内側円筒の穴加工にバニシ仕上げを適用すると、加工歪が大きくなり、加工後の時間経過や熱処理により寸法変化が生じ、管軸方向に沿って均一な加工寸法が得られない。
【００３１】
ここで、回転陽極型Ｘ線管の回転体の内周面をバニシ仕上げする方法について図２の断面図を参照して説明する。図２は、図１に対応する部分には同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。
【００３２】
バニシ仕上げ用工具は、円筒状の支持部材２１およびこの支持部材２１の端部に円周方向に等間隔に回転可能に支持された複数のローラ２２、支持部材２１や複数のローラ２２の内側に配置された心棒２３などから構成されている。図中の符号ｍ０は回転体１４の回転軸、符号ｍ２はローラ２２の回転軸を示し、回転軸ｍ０とローラ２２の回転軸ｍ２はほぼ同じ方向に伸びている。
【００３３】
そして、中間円筒１５ａおよび内側円筒１５ｂ、外側円筒１５ｃが同軸的に嵌合し接合した回転体１４の、その内側円筒１５ｂ部分の内側に予め形成された空洞２４の端部内面に、加工用工具の複数のローラ２２が接触するように嵌め込む。
【００３４】
上記した配置で、回転体１４を軸ｍ０を中心に矢印Ｙ１方向に回転させる。そして、バニシ仕上げ用工具たとえば回転状態にある複数のローラ２２を矢印Ｙ２方向に移動させる。このとき、内側円筒１５ｂの内周面が回転しながらローラ２２の外側面で押され、その内周面が円周方向にバニシ仕上げされ、所定寸法に加工される。なお、バニシ仕上げ時に発生するローラ２２の内方向への動きは心棒２３で抑えられ、内側円筒１５ｂの内周面に対して大きな力が加えられる。
【００３５】
そして、バニシ仕上げ後に、回転体１４内部の穴の部分に固定体が組み込まれ、回転陽極型Ｘ線管の組み立てが行われる。
【００３６】
バニシ仕上げでは、回転体１４たとえば内側円筒１５ｂに大きな力が加えられる。そのため、内側円筒１５ｂにもろい材料を使用すると、穴加工の際に欠けが生じる場合がある。しかし、回転体や固定体の軸受面を構成する材料として、鉄、鉄が主体で炭素を含む合金、鉄とニッケルが主体の合金、鉄とニッケルとコバルトが主体の合金、鉄とクロムが主体の合金、鉄とクロムとニッケルが主体の合金、または、炭素とバナジウムとモリブデンとタングステンの中から選択された少なくとも一種が鉄とクロムに含有する鉄合金を用いれば、加工中の欠けが防止される。
【００３７】
次に、本発明の他の実施形態について図３を参照して説明する。図３は図１に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。
【００３８】
この実施形態の場合、固定体１８の径大部１８ｂおよび陽極支持部１８ｃに管軸ｍ１方向に空洞３１が設けられ、その空洞３１内にパイプ３２が配置されている。空洞３１およびパイプ３２の図示下端の開口は真空外囲器１０の外側に位置し、たとえば矢印Ｙ３で示すように、パイプ３２の下端開口からパイプ３２内を上昇し、パイプ３２外を下降し、空洞３１の下端開口から真空外囲器１０の外へと冷却媒体が循環する冷却用通路が形成されている。
【００３９】
この構成によれば、陽極ターゲット１１で発生した熱が中間円筒１５ａを通り、中間円筒１５ａから内側円筒１５ｂに伝達する両者の接合部分の近傍に冷却用通路が設けられているため、軸受部分の温度上昇が抑えられる。
【００４０】
次に、本発明の他の実施形態について図４を参照して説明する。図４は図１に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００４１】
この実施形態の場合、円Ａ内の拡大図で示すように、径大部１８ｂの外周面と内側円筒１５ｂとの間に、動圧式すべり軸受が形成された領域よりも半径方向の隙間Ｇｐが大きい筒状の逃げ部３５が設けられている。そして、逃げ部３５に液体金属潤滑材Ｍが満たされ、その液体金属潤滑材Ｍに浮動体たとえば円筒状スリーブ３６が配置されている。円筒状スリーブ３６はたとえば内側円筒１５ｂや固定体１８の軸受面と同じ材料で形成され、液体金属潤滑材Ｍに浸漬され、たとえば浮いた状態になっている。
【００４２】
浮動スリーブ３６は、回転体１５が回転すると、その約５０％の回転数で回転する。このとき、円筒状スリーブ３６と内側円筒１５ｂの隙間、および、円筒状スリーブ３６と固定体１８の隙間に位置する液体金属潤滑材Ｍが粘性損失で熱を発生する。この場合、円筒状スリーブ３６があるため、内側円筒１５ｂと円筒状スリーブ３６間、および、円筒状スリーブ３６と固定体１８間の回転速度差が小さいため、逃げ部３５の発熱が小さくなり、全体の温度上昇が抑えられる。
【００４３】
上記した構成によれば、陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構の固定体に直径の小さい径小部と直径の大きい径大部とを設け、径小部の直径を径大部の直径の２／３以下にしている。この場合、回転体たとえば内側円筒は、その外径が内径の１．５倍以上となり肉厚が厚くなり、内部の穴加工にバニシ仕上げが適用できる。したがって、穴加工の加工コストが軽減する。また、内径寸法の小さい穴加工が容易で、軸受部分における発熱を小さくできる。その結果、動圧式すべり軸受の温度上昇が抑えられ、液体金属潤滑材との反応が防止され、長期に亙り安定した高速回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法が得られる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、軸受部分の自己発熱を低下させた回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための断面図である。
【図２】本発明に用いられるバニシ仕上げするための概略の断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態を説明するための断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態を説明するための断面図である。
【図５】従来例を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１０…真空外囲器
１１…陽極ターゲット
１２…ナット
１３…継手部
１４…回転体
１５ａ…中間円筒
１５ｂ…内側円筒
１５ｃ…外側円筒
１６…スラストリング
１７…ねじ
１８…固定体
１８ａ…径小部
１８ｂ…径大部
１８ｃ…陽極支持部
ｍ１…管軸
Ｒａ、Ｒｂ…ラジアル方向の動圧式すべり軸受
Ｓａ、Ｓｂ…スラスト方向の動圧式すべり軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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