(57)【要約】【課題】ガラス基板を正確に基準位置に位置決めすること。【解決手段】ガラス基板４の一端面に接触したことを検出する２つの接触式センサ７、８を設け、これら接触式センサ７、８の各基板押当ピン７ｃ、８ｃがガラス基板４の端面に接触したときの各ロッド７ｂ、８ｂの初期位置からの伸ばし移動量Ｘ１、Ｘ２に基づいて位置決め制御装置１０によってガラス基板４を基準位置Ｑに位置決めするための補正回転量θｆを求め、この補正回転量θｆに従ってＸＹθステージ１のθステージ３を回転動作させる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上に載置された矩形状の基板を基準位置に位置決めする基板位置決め装置において、
前記基板の同一辺の端面に接触したことを検出する変位可能な各接触端部を有する２つの接触式センサと、
前記各接触端部の変位により前記各接触端部がそれぞれ前記基板に接触したときの前記接触端部の変位量に基づいて前記基板を前記基準位置に移動するための回転方向の補正量を求め、この補正量に従って前記ステージを回転制御する位置決め制御手段と、
を具備したことを特徴とする基板位置決め装置。
【請求項２】
前記各接触式センサは、それぞれ前記接触端部を前記基板の端面に対して一定圧力で接触したときに停止し、この停止したときの各接触位置を検出することを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
【請求項３】
前記ステージ上に載置された前記矩形状基板を基準位置に位置決めする基盤位置決め装置において、
前記基板における同一辺の端面に接触する前記各接触端部を有する２つの前記接触式センサと、前記同一辺の端面に対して垂直方向の他端面に接触する前記接触端部を有する１つの前記接触式センサとを有し、
前記位置決め制御手段は、前記２つの接触式センサにおける各接触端部が前記基板の同一辺の端面に接触したときの前記各接触端部の各変位量に基づいて前記基板を前記基準位置に位置決めするための回転方向の補正量を算出し、かつ前記同一辺の端面と前記垂直方向の他端面に対応する各１つの前記接触式センサにおけ各接触端部が前記基板の前記同一辺の端面と前記垂直方向の前記他端面に接触したときの各変位量に基づいて前記基板を前記基準位置に位置決めするための互いに垂直な各方向の補正量を算出し、これら補正量に従って前記ステージを前記回転方向及び前記互いに垂直な各方向に位置決め動作することを特徴とする基板位置決め装置。
【請求項４】
前記ステージは、ＸＹステージと、このＸＹステージ上に設けられたθステージとを有することを特徴とする請求項３記載の基板位置決め装置。
【請求項５】
前記ステージには、前記各接触式センサと前記基板との接触部の周辺に切欠き部を形成したことを特徴とする請求項３記載の基板置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に用いられるガラス基板やカラーフィルタなどの大型基板を基準位置に位置決めする基板位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
大型の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板は、例えば傷、汚れ、塵埃、欠けなどの欠陥部の検査が行われる。この検査は、検査者の目視により欠陥部を検出し、この検出した欠陥部を顕微鏡により拡大して行う。従って、ガラス基板は、基準位置に位置決めし、欠陥部の座標を正確に認識することが必要である。
【０００３】
又、ガラス基板は、例えば搬送ロボット等の搬送装置によりカセットから取り出されてステージ上に載置され、このステージ上でフォトグラフィ処理によりパターンを形成したり、各種フォトリソグラフィ処理工程においてガラス基板上の欠陥が検査される。従って、ガラス基板は、搬送ロボット等によりステージ上に載置されたときにその位置にバラツキが生じ、基準位置からずれる。このため、ガラス基板を基準位置に位置決めすることが必要である。
【０００４】
従来の基板位置決め装置としては、矩形状のガラス基板の２辺を基準位置に規制する３本の基準ピンにガラス基板を押し付けピンにより押し付けて位置決めすることが行なわれていた。しかし、ガラス基板が大型化すると、ステージとガラス基板との間の摩擦抵抗が大きくなり、押付ピンで押し付けることが困難になってきている。
【０００５】
この問題を解決する基板位置決め技術としては、例えば特許文献１がある。この特許文献１は、３つの光学的なエッジセンサをそれぞれ位置決めされるべき基準位置に配置し、ガラス基板をＸＹθステージの駆動によって各エッジセンサに向って移動させ、これらエッジセンサによりガラス基板の端面（縁）が検出されたときのＸＹθステージの移動量からガラス基板を位置決めする回転角とＸ方向、Ｙ方向の補正量を得る。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−９０３０８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板の縁を検出するのに光学的なエッジセンサを用いているので、ガラス基板の端面の位置を正確に検出できないことがある。
【０００８】
すなわち、光学的なエッジセンサは、反射式と透過式との２方式がある。反射式のエッジセンサは、光をガラス基板の端面に向って出力し、ガラス基板端面からの反射光からガラス基板の端面の位置を検出する。透過式のエッジセンサは、ガラス基板を挟んで投光器と受光器とを対向配置し、投光器から出力された光を受光器で受光してガラス基板の端面の位置を検出する。
【０００９】
このため、反射式のエッジセンサの場合、例えばガラス基板に撓みや微小な欠けなどが存在すると、ガラス基板端面からの反射光が散乱する。このため、エッジセンサに入射する光量が少なくなる。又、ガラス基板の種類によっては反射率の低いガラス基板がある。このガラス基板では、ガラス基板端面からの反射光の光量が少なくなる。このような理由から反射式のエッジセンサでは、ガラス基板の端面を正確に検出できない。
【００１０】
透過式のエッジセンサの場合、ガラス基板の光透過率が低ければ、投光器から出力された光のガラス基板による遮光と遮光されないところとの境界が明瞭に検出される。この結果、ガラス基板の端面位置が正確に検出される。しかし、ガラス基板の光透過率が高くなると、上記境界を明瞭に捉えることが難しくなる。このため、ガラス基板の端面位置が正確に検出できない。
【００１１】
そこで本発明は、ＬＣＤガラス基板などの大型基板にストレスを与えずに正確に位置決めできる基板位置決め装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ステージ上に載置された矩形状の基板を基準位置に位置決めする基板位置決め装置において、基板の同一辺の端面に接触したことを検出する変位可能な各接触端部を有する２つの接触式センサと、各接触端部の変位により各接触端部がそれぞれ基板に接触したときの接触端部の変位量に基づいて基板を基準位置に移動するための回転方向の補正量を求め、この補正量に従ってステージを回転制御する位置決め制御手段とを具備した基板位置決め装置である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１及び図２は基板位置決め装置の構成図であって、図１は正面図、図２は側面図である。ＸＹθステージ１は、ＸＹステージ２とθステージ３とガラス基板４を載置する基板載置ステージ５とを有する。ＸＹステージ２は、Ｘ方向とＹ方向とに移動可能である。θステージ３は、ＸＹステージ２上においてθ方向に回転可能で、その上に基板載置ステージ５が設けられている。
【００１５】
基板載置ステージ５の右側面側及び上側面側には、それぞれ２つの接触式センサ７、８及び接触式センサ１１が設けられている。これら接触式センサ７、８、１１は、それぞれガラス基板４の２辺に対応する基準位置（設計基板位置）Ｑからのずれ量を検出するために予め設定された各位置に固定設置されている。すなわち、これら接触式センサ７、８、１１は、それぞれ支持体９によって基板載置ステージ５上に載置されるガラス基板４の高さ位置と同一高さ位置に設けられている。
【００１６】
又、これら接触式センサ７、８は、それぞれ各中心ライン７ａ、８ａがＸ方向に平行（基準位置ＱのＹ基準辺に対して垂直）で、かつこれら中心ライン７ａ、８ａがＹ方向に予め設定された間隔Ｌをおいて設けられている。接触式センサ１１は、中心ライン１１ａがＹ方向に平行（基準位置ＱのＸ基準辺に対して垂直）に設けられている。
【００１７】
これら接触式センサ７、８、１１は、例えば空圧式アクチュエータであって、それぞれ直線方向に伸縮（変位）可能な各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂと、これらロッド７ｂ、８ｂの先端部にそれぞれ設けられた各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃとを有する。これら基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃは、それぞれガラス基板４と接触する面側がガラス基板４と点接触可能な曲面状に形成されている。これら基板押当ピン７ｃ、８ｃの形状は、例えば球状、半球状、円柱状、半円筒状に形成することが可能であり、ガラス基板４の端面に正確に接触させるたるには、円柱状又は半円柱状のものが好ましい。又、これら基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃは、ガラス基板４の端面に接触しとき、ガラス基板４の端面に損傷を与えず、変形しない樹脂により形成することが望ましい。
【００１８】
これら接触式センサ７、８、１１は、各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂを最も縮めたときの各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃの先端位置が基準位置ＱのＹ基準辺、Ｘ基準辺から所定の距離Ｌだけ離れた初期位置にするように設けられている。
【００１９】
なお、これら接触式センサ７、８、１１は、各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃがガラス基板４の端面に接触すると、自動的に各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの各伸ばし動作を停止する。例えば、各接触式センサ７、８、１１に供給する空気圧をデジタルセンサで検出し、空気圧が変化した時に各ロッド７ｂ、８ｂの各伸ばし動作を停止する。
【００２０】
位置決め制御装置１０は、各接触式センサ７、８、１１の各ロッド７ａ、８ａ、１１ａを伸ばし動作させ、これら接触式センサ７、８、１１の各ロッド７ａ、８ａ、１１ａをガラス基板４の端面に接触したときの各ロッド７ａ、８ａ、１１ａの各移動量（変位量）を求め、これら移動量に基づいてガラス基板４を基準位置Ｑに位置決めするためのＸＹθステージ１の回転方向とＸＹ方向の補正量を求め、この補正量に従ってＸＹθステージ１をフィートバック制御する。
【００２１】
この位置決め制御装置１０は、各接触式センサ７、８をそれぞれ伸ばし動作させたとき、これら接触式センサ７、８の基板押当ピン７ｃ、８ｃのガラス基板４の端面への接触を検出すると、このときに各接触式センサ７、８の各伸ばし動作を停止する。このとき位置決め制御装置１０は、各接触式センサ７、８から各ロッド７ｂ、８ｂの移動量信号を入力し、これら移動量信号と各接触式センサ７、８の間隔Ｌとに基づいてＸＹθステージ１の補正回転量θｆを求める。
【００２２】
例えば、図３に示すように一方の接触式センサ７のロッド７ｂの伸ばし移動量がＸ１で、他方の接触式センサ８のロッド８ｂの伸ばし移動量がＸ２であれば、位置決め制御装置１０は、これら伸ばし移動量Ｘ１、Ｘ２と、各接触式センサ７、８の間隔Ｌとに基づき次式を演算し、ＸＹθステージ１の補正回転量θｆ、
θｆ＝ｔａｎ−１（（Ｘ２−Ｘ１）／Ｌ）                        （１）
を算出する。この補正回転量θｆは、ＸＹθステージ１のｘｙ座標系にガラス基板４のｘ’ｙ’座標系を一致させるための回転ずれ量を補正する値である。
【００２３】
位置決め制御装置１０は、ＸＹθステージ１の補正回転量θｆに従ってＸＹθステージ１のθステージ３を回転制御するフィートバック信号をＸＹθステージ１に送出する。
【００２４】
この結果、ＸＹθステージ１は、θステージ３を補正回転量θｆだけ回転させる。これにより、ガラス基板４のｘ’ｙ’座標系は、図４に示すように基準位置のｘｙ座標系と平行になる。
【００２５】
次に、位置決め制御装置１０は、各接触式センサ８、１１をそれぞれ伸ばし動作させ、これら接触式センサ１１、８の基板押し当てピン１１ｃ、８ｃがガラス基板１１の端面に接触したことを検出すると、これら接触センサ１１、８の各ロッド１１ｂ、８ｂの各伸ばし動作を停止する。このとき、位置決め制御装置１０は、各接触式センサ８、１１から各ロッド１１ｂ、８ｂの移動量信号を入力し、各移動量Ｙ１、Ｘ３に基づいてガラス基板４を基準位置Ｑに位置決めする互いに垂直な各方向に対する各補正移動量Ｙ１−Ｌ１＝Ｂ、Ｘ３−Ｌ１＝Ａを算出し、ＸＹθステージ１のＸＹステージ２をＸＹ方向に移動制御するフィートバック信号をＸＹθステージ１に送出する。この結果、ＸＹθステージ１は、ＸＹステージ２を各補正移動量Ｂ、Ａだけ移動する。これにより、ガラス基板４のＸ’、Ｙ’座標系は、図１に示すように基準位置のＸ、Ｙ座標系に一致する。なお、各接触式センサ１１、８をガラス基板１１に接触するのに限らず、各接触式センサ１１、７をガラス基板１１に接触させてもよい。
【００２６】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００２７】
先ず、２つの接触式センサ７、８は、各ロッド７ｂ、８ｂを伸ばして各基板押当ピン７ｃ、８ｃがガラス基板４の同一辺の端面に接触すると、各ロッド７ｂ、８ｂの伸びを停止する。
【００２８】
位置決め制御装置１０は、各基板押当ピン７ｃ、８ｃがガラス基板４の端面に接触したときの各ロッド７ｂ、８ｂの初期位置からの伸ばし移動量Ｘ１、Ｘ２を求め、これら伸ばし移動量Ｘ１、Ｘ２に基づいて補正回転量θｆを求め、この補正回転量θｆに従ってＸＹθステージ１のθステージ３を回転動作させる。
【００２９】
この結果、ガラス基板４のｘ’ｙ’座標系は、回転ずれが補正されてＸＹθステージ１のｘｙ座標系に対して平行になる。この後、位置決め制御装置１０は、各接触式センサ７、８、１１を初期位置に復帰させてから各接触式センサ１１、８の各ロッド１１ｂ、８ｂを各初期位置からＹ方向、Ｘ方向に伸ばす。これら接触式センサ１１、８は、各ロッド１１ｂ、８ｂを伸ばして各基板押当ピン１１ｃ、８ｃがガラス基板４の各端面に接触すると、各ロッド１１ｂ、８ｂの伸びを停止する。
【００３０】
このとき位置決め制御装置１０は、図４に示すように各接触式センサ１１、８の各ロッド１１ｂ、８ｂの初期位置からの各伸ばし移動量Ｙ１、Ｘ３を求める。そして、位置決め制御装置１０は、各接触センサ１１、８の各ロッド１１ｂ、８ｂの各移動量Ｙ１、Ｘ３と初期位置から基準位置までの距離Ｌ１との差からガラス基板４を基準位置Ｑに位置決めするＸＹ方向に対する各補正移動量Ａ、Ｂを算出し、ＸＹθステージ１のＸＹステージ２をＸＹ方向に移動制御するフィートバック信号をＸＹθステージ１に送出する。
【００３１】
この結果、ＸＹθステージ１は、ＸＹステージ２を各移動量Ａ、ＢだけＸＹ方向に移動させる。これにより、ガラス基板４のｘ’ｙ’座標系は、基準位置Ｑのｘｙ座標系に一致し、ガラス基板４は、基準位置Ｑに位置決めされる。
【００３２】
このように上記第１の実施の形態においては、例えば、大型の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板４の検査工程において、例えば搬送ロボット等の搬送装置によりガラス基板４をＸＹθステージ１上に載置したとき、ガラス基板４は、基準位置Ｑに対してθ方向とＸＹ方向との両方にずれが生じる。このような場合でも、ガラス基板４のθ方向の回転ずれの補正を行った後に、ＸＹ方向のずれを補正することにより、ガラス基板４を基準位置Ｑに精度高く位置決めできる。
【００３３】
各接触式センサ７、８、１１は、各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃをガラス基板４の端面に接触させるだけなので、ガラス基板４に加わる力は小さい。従って、ガラス基板４を押したりするなどして、ガラス基板４に影響を与えることはない。
【００３４】
各接触式センサ７、８、１１を用いて直接ガラス基板４の端面位置を検出するので、ガラス基板４の端面位置を正確に検出でき、かつガラス基板４の端面位置の検出の再現性も高く、検出のばらつきが生じることも少ない。これにより、各接触式センサ７、８、１１の各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの伸ばし移動量Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１に基づいてガラス基板４は、基準位置Ｑに精度高く位置決めできる。
【００３５】
又、各接触式センサ７、８、１１は、ガラス基板４の端面に直接接触するので、ガラス基板４の端面に例えば撓みや微小な欠けなどが存在したり、又、ガラス基板４の反射率や光透過率などが異なるなどのガラス基板４の種類が異なっても、これらに関係なくガラス基板４の端面位置を正確に検出できる。
【００３６】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図４と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３７】
図５は基板位置決め装置の構成図である。２つの接触式センサ７、８は、Ｙ方向に沿って固定設置され、１つの接触式センサ１１は、Ｘ方向に沿って固定設置されている。これら接触式センサ７、８、１１は、各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの各先端部に各Ｌ字アーム７ｄ、８ｄ、１１ｄが連結されている。これらＬ字アーム７ｄ、８ｄ、１１ｄは、それぞれ各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂに対して支点７ｅ、８ｅ、１１ｅを介して回転可能に設けられている。又、これらＬ字アーム７ｄ、８ｄ、１１ｄは、それぞれ位置が固定された各支点７ｆ、８ｆ、１１ｆを中心に回転可能に設けられている。そして、これらＬ字アーム７ｄ、８ｄ、１１ｄの各先端部には、それぞれ球状の各基板押当ピン７ｇ、８ｇ、１１ｇが設けられている。なお、これら基板押当ピン７ｇ、８ｇ、１１ｇは、円筒状又は半円筒状でもよい。
【００３８】
従って、これら接触式センサ７、８、１１は、各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂを伸縮させると、各Ｌ字アーム７ｄ、８ｄ、１１ｄが支点７ｅ、８ｅ、１１ｅを中心にして回転し、各基板押当ピン７ｇ、８ｇ、１１ｇをガラス基板４の端面に接触させる。
【００３９】
又、これら接触式センサ７、８、１１は、スケール付であって、各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂを伸縮して各基板押当ピン７ｇ、８ｇ、１１ｇを常に一定の圧力でガラス基板４の端面に接触させ、かつこのときの各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの各伸ばし移動量に応じた各スケール信号をリアルタイムで出力する。
【００４０】
位置決め制御装置１０は、各接触式センサ７、８の各基板押当ピン７ｇ、８ｇをガラス基板４の端面に接触させたときの各ロッド７ａ、８ａの各伸ばし移動量に基づいてＸＹθステージ１の補正回転量を求め、この補正回転量に従ってＸＹθステージ１をフィートバック制御する。
【００４１】
又、位置決め制御装置１０は、各接触式センサ１１、８の各基板押当ピン１１ｇ、８ｇをガラス基板１１に接触させたときに、これら接触センサ１１、８の各ロッド１１ｂ、８ｂの各伸ばし移動量に基づいてＸＹ方向の各補正移動量を算出し、ＸＹθステージ１のＸＹステージ２をＸＹ方向に移動制御する。
【００４２】
このような構成であれば、リアルタイムでズラス基板４の基準位置Ｑに対するずれ量に応じた各接触式センサ７、８、１１での各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの各伸ばし移動量を検出でき、これらに基づいてガラス基板４のθ方向の回転ずれの補正を行い、この後にＸＹ方向のずれを補正し、ガラス基板４を基準位置Ｑに精度高く位置決めできる。
【００４３】
又、各接触式センサ７、８、１１は、各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの伸縮方向をガラス基板４の各端面に沿って設けるので、これら接触式センサ７、８、１１を設けるスペースを小さくでき、装置のコンパクト化が図れる。
【００４４】
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００４５】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００４６】
各接触式センサ７、８、１１は、例えば空気アクチュエータを用いたが、これに限らず、例えばシリンダ、又はパルスモータの駆動により各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの伸縮動作させるものでもよい。
【００４７】
又、これら接触式センサ７、８、１１は、３つに限らず、複数の接触式センサ、例えば接触式センサ１１に対してさらに接触式センサを並設してもよい。
【００４８】
３つの接触式センサ７、８、１１を固定設置した場合、これら接触式センサ７、８、１１の各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂを同時に伸ばしてガラス基板４の各端面に接触させ、このときの各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂの伸ばし移動量からガラス基板４の回転ずれ量及びＸＹ方向の移動ずれ量を求め、これらずれ量をなくすようにＸＹθステージ１を動作させてガラス基板４を基準位置Ｑに位置決めすることも可能である。
【００４９】
又、基板載置ステージ５が四辺形でかつガラス基板４のサイズよりも大きい場合、図６に示すように例えば接触式センサ８の基板押当ピン８ｃがガラス基板４の端面に接触するできるように基板載置ステージ５に切欠き部１２を形成する。この切欠き部１２の大きさは、ガラス基板４を搬送ロボット等により基板載置ステージ５上に載置するとき、大幅にずれることはないので、予め予測されるずれ量でずれたガラス基板４の端面に基板押当ピン８ｃが接触可能なサイズに形成すればよい。
【００５０】
各接触式センサ７、８、１１の各先端部には、図７に示すように例えばＴ字形状となる基板押当ピン８ｃを設けてもよい。この基板押当ピン８ｃを用いれば、ＸＹθステージ１自体の高さ位置が変化したり、ガラス基板４の載置位置が上下方向（Ｚ方向）に変化しても、基板押当ピン８ｃをガラス基板４の端面に必ず接触できる。
【００５１】
又、各接触式センサ７、８、１１は、それぞれ各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂを最も縮めたときの各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃの先端位置が基準位置になる必要はなく、例えば各ロッド７ｂ、８ｂ、１１ｂをそれぞれ任意の長さだけ縮めたときの各基板押当ピン７ｃ、８ｃ、１１ｃの先端位置を基準位置にしてもよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ガラス基板を正確に基準位置に位置決めできる基板位置決め装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板位置決め装置の第１の実施の形態を示す上面構成図。
【図２】本発明に係わる基板位置決め装置の第１の実施の形態を示す側面構成図。
【図３】本発明に係わる基板位置決め装置の第１の実施の形態における位置決め作用を示す模式図。
【図４】本発明に係わる基板位置決め装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図５】本発明に係わる基板位置決め装置の第２の実施の形態を示す構成図。
【図６】本発明に係わる基板位置決め装置におけるθステージの変形例を示す図。
【図７】本発明に係わる基板位置決め装置における基板押当ピンの変形例を示す図。
【符号の説明】
１：ＸＹθステージ、２：ＸＹステージ、３：θステージ、４：ガラス基板、５：基板載置ステージ、７，８，１１：接触式センサ、７ｂ，８ｂ，１１ｂ：ロッド、７ｃ，８ｃ，１１ｃ：基板押当ピン、９：支持体、１０：位置決め制御装置、１１ｄ：Ｌ字アーム、１１ｅ，１１ｆ：支点、１１ｇ：基板押当ピン、１２：切欠き部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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