(57)【要約】【課題】正確に容器内の液量を測定することができる装置を提供すること。【解決手段】本発明は、液体材料１４を貯蔵する容器１６であって、圧送ガスを送り込むことで、供給先に液体材料を圧送することが可能となっている前記容器内の液体材料の液量を測定するための装置１０において、容器内のガス圧を検出する圧力検出手段３２と、容器から排出されるガスの排出量を検出するガス排出量検出手段３４と、圧力検出手段及びガス排出量検出手段からの検出値に基づいて容器内の液体材料の液量を演算により求める演算処理手段４０とを備えることを特徴とする。この構成では、容器内のガス圧及びガス排出量のみのデータから液体材料の液量を求めることが可能となる。例えば、大気圧分のガスを容器内から排出した場合、そのガス排出量は容器内の空間（液体材料を除く領域）の容積に一致することから、容器内の液量を求めることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を貯蔵する容器であって、圧送ガスを送り込むことで、供給先に液体材料を圧送することが可能となっている前記容器内の液体材料の液量を測定するための装置であって、
前記容器内のガス圧を検出する圧力検出手段と、
前記容器から排出されるガスの排出量を検出するガス排出量検出手段と、
前記圧力検出手段及び前記ガス排出量検出手段からの検出値に基づいて前記容器内の液体材料の液量を演算により求める演算処理手段と、
を備えることを特徴とする液量測定装置。
【請求項２】
前記ガス排出量検出手段は積算型流量計であることを特徴とする請求項１に記載の液量測定装置。
【請求項３】
前記演算処理手段は、
Ｗ＝［Ｖ０−Ｑ／｛（Ｐ１−Ｐ２）×１０｝］×ρ
（Ｗ：容器内の液体材料の液量（ｋｇ）
Ｖ０：容器の全容積（Ｌ）、
Ｑ：前記ガス排出量検出手段により検出される測定開始時点から測定終了時点までのガス排出量（Ｌ）、
Ｐ１：圧力検出手段により検出される測定開始時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
Ｐ２：圧力検出手段により検出される測定終了時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ρ：液体材料の液密度（ｋｇ／Ｌ））
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求めるようになっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液量測定装置。
【請求項４】
液体材料を貯蔵する容器であって、圧送ガスを送り込むことで、供給先に液体材料を圧送することが可能となっている前記容器内の液体材料の液量を測定するための装置であって、
前記容器内のガス圧を検出する第１の圧力検出手段と、
前記容器から排出されるガスを蓄積することのできるバッファタンクと、
前記バッファタンク内のガス圧を検出する第２の圧力検出手段と、
前記第１の圧力検出手段及び前記第２の圧力検出手段からの検出値に基づいて前記容器内の液体材料の液量を演算により求める演算処理手段と、
を備えることを特徴とする液量測定装置。
【請求項５】
前記演算処理手段は、
Ｗ＝［Ｖ０−ＶＢ×｛（ＰＢ２−ＰＢ１）×１０｝／｛（ＰＡ１−ＰＡ２）×１０｝］×ρ
（Ｗ：容器内の液体材料の液量（ｋｇ）
Ｖ０：容器の全容積（Ｌ）、
ＶＢ：バッファタンクの容積（Ｌ）
ＰＡ１：第１の圧力検出手段により検出される測定開始時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＡ２：第１の圧力検出手段により検出される測定終了時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＢ１：第２の圧力検出手段により検出される測定開始時点におけるバッファタンク内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＢ２：第２の圧力検出手段により検出される測定終了時点におけるバッファタンク内のガス圧（ＭＰａ）、
ρ：液体材料の液密度（ｋｇ／Ｌ））
に基づいて、前記容器内の液体材料の液量を演算により求めるようになっていることを特徴とする請求項４に記載の液量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体材料、特に半導体製造プロセス等で用いられる液体材料が貯蔵される容器において、その容器内の液量を測定するための液量測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積デバイスや液晶パネル、光素子等のマイクロ・エレクトロニクス・デバイスを製造する際、（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒ、Ｅｒ（Ｃ１１Ｈ１９Ｏ２）３、ＥｒＣｌ３／Ｃ２Ｈ５ＯＨ、ＰＯＣｌ３、ＴｉＣｌ４、Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４（ＴＥＯＳ）、Ｔａ（ＯＣ２Ｈ５）５（ＰＥＴ）等の材料が用いられる場合がある。これらの材料を半導体製造プロセス等において用いる場合、近年、液体の状態で容器に貯蔵し、また液体の状態のまま供給先に供給するという手法が採られる傾向にある。また、これらの材料は、可燃性や毒性等がある比較的高価な特殊材料であり、その取扱いには十分に注意が必要であるため、容器内の液量を正確に測定し管理する必要がある。
【０００３】
容器内の液量測定手段としては、従来、容器内にフロート式のセンサを配置して液量を測定する手段（例えば、下記の特許文献１参照）や、ロードセル等からなる重量計を用いる手段が知られている。また、容器の側壁部にガラス窓を設けて外部から光ファイバ式センサにより液量を測定する手段もある。更に、容器内の液体材料を供給先に供給するために窒素ガス等の圧送ガスが導入されるタイプの容器については、圧送ガスの導入量が液体材料の供給先への供給量に対応することから、積算型流量計により圧送ガス導入量を管理して容器内の残量を求める手段も考えられている。
【０００４】
【特許文献１】
特願２００１−３４７８２４号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の液量測定手段はいずれも次に示す問題点がある。
【０００６】
まず、フロート式センサを用いる手段は、容器内の液体材料を汚染するおそれがある。
【０００７】
また、重量計を用いた場合には、容器に種々の配管が接続されているため、精度が低いという問題点がある。
【０００８】
ガラス窓を設けて外部から測定する手段では、容器の側壁部とガラス窓との間のシール材の耐久性が問題となることがある。特に、容器内に貯蔵する材料が（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３ＥｒやＥｒ（Ｃ１１Ｈ１９Ｏ２）３のような高融点材料である場合、材料を液体状態に保つために容器を周囲のヒータにより熱するため、熱収縮によりシール材が劣化し、材料が漏洩するおそれがある。
【０００９】
更に、圧送ガスの導入量から液量を求める手段では、何らかの原因により積算型流量計の初期値が不明となった場合には、液量が全く分からなくなってしまう。
【００１０】
本発明は、以上の従来における問題点を解決し、正確に容器内の液量を測定することができる装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、液体材料を貯蔵する容器であって、圧送ガスを送り込むことで、供給先に液体材料を圧送することが可能となっている前記容器内の液体材料の液量を測定するための装置において、容器内のガス圧を検出する圧力検出手段と、容器から排出されるガスの排出量を検出するガス排出量検出手段と、圧力検出手段及びガス排出量検出手段からの検出値に基づいて容器内の液体材料の液量を演算により求める演算処理手段とを備えることを特徴としている。ガス排出量検出手段としては積算型流量計が有効である。
【００１２】
かかる構成においては、容器内のガス圧及びガス排出量のみのデータから液体材料の液量を求めることが可能となる。例えば、大気圧分のガスを容器内から排出した場合、そのガス排出量は容器内の空間（液体材料を除く領域）の容積に一致することから、容器内のガス圧及びガス排出量から液量が求められる。
【００１３】
具体的には、演算処理装置は、次式に基づいて液量を求めることができる。
Ｗ＝［Ｖ０−Ｑ／｛（Ｐ１−Ｐ２）×１０｝］×ρ
（Ｗ：容器内の液体材料の液量（ｋｇ）
Ｖ０：容器の全容積（Ｌ）、
Ｑ：前記ガス排出量検出手段により検出される測定開始時点から測定終了時点までのガス排出量（Ｌ）、
Ｐ１：圧力検出手段により検出される測定開始時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
Ｐ２：圧力検出手段により検出される測定終了時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ρ：液体材料の液密度（ｋｇ／Ｌ））
【００１４】
また、本発明の別の形態に係る液量測定装置は、容器内のガス圧を検出する第１の圧力検出手段と、容器から排出されるガスを蓄積することのできるバッファタンクと、バッファタンク内のガス圧を検出する第２の圧力検出手段と、第１の圧力検出手段及び第２の圧力検出手段からの検出値に基づいて容器内の液体材料の液量を演算により求める演算処理手段と、を備えるものである。
【００１５】
この場合、バッファタンク内の容積（すなわち、ガス放出量）が予め分かっていることから、バッファタンクと容器内のガス圧の変化量から液量が求められるのである。
【００１６】
具体的には、演算処理手段は、次式に基づいて液量を算出することができる。
Ｗ＝［Ｖ０−ＶＢ×｛（ＰＢ２−ＰＢ１）×１０｝／｛（ＰＡ１−ＰＡ２）×１０｝］×ρ
（Ｗ：容器内の液体材料の液量（ｋｇ）
Ｖ０：容器の全容積（Ｌ）、
ＶＢ：バッファタンクの容積（Ｌ）
ＰＡ１：第１の圧力検出手段により検出される測定開始時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＡ２：第１の圧力検出手段により検出される測定終了時点における容器内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＢ１：第２の圧力検出手段により検出される測定開始時点におけるバッファタンク内のガス圧（ＭＰａ）、
ＰＢ２：第２の圧力検出手段により検出される測定終了時点におけるバッファタンク内のガス圧（ＭＰａ）、
ρ：液体材料の液密度（ｋｇ／Ｌ））
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００１８】
図１は本発明の第１実施形態に係る液量測定装置１０を概略的に示す説明図である。液量測定装置１０の説明に先立ち、液量測定装置１０が用いられる液体供給装置１２について、まず説明する。
【００１９】
液体供給装置１２は、半導体デバイスや液晶パネル等を製造する際のプロセスで用いられる液体材料１４を、窒素ガス等の圧送ガスによって容器１６から所定の供給先に供給するためのものである。なお、この第１実施形態では、液体材料１４として（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒが容器１６内に貯蔵され、供給先に送られることとする。
【００２０】
容器１６は耐食性に優れた材料からなる円筒形の密閉容器である。容器１６内に液体状態で貯蔵されるべき液体材料１４、すなわち（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒは融点が１３３℃であり、常温では固体となるため、容器１６は（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒを液体状態に保つためのヒータ１８により囲まれている。
【００２１】
図示実施形態において、容器１６の天板部分２０には４本の配管２２，２４，２６，２８が貫通設置されている。配管２２は、供給先に延びる液体材料供給用配管であり、容器１６内の端部は容器底部近傍に配置されている。配管２４は、一端が圧送ガス供給源（図示しない）に接続された圧送ガス導入用配管であり、他端は容器１６内の天板部分２０近傍にて終端している。この配管２４を通して窒素ガス等の圧送ガスを容器１６内に導入し、容器１６上部の空間（液体材料の液面よりも上方の領域）３０内の圧力を陽圧状態、好ましくは大気圧０．１ＭＰａの２倍を越える圧力（０．３ＭＰａ）とすると、容器１６内の（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒが配管２２を経て供給先に圧送されることになる。
【００２２】
また、配管２６は液体材料を容器１６に補充するためのものであり、マザータンクと称される交換式容器（図示しない）が接続されるようになっている。すなわち、容器１６内の液量が所定量以下となった場合には、マザータンクを配管２６に接続して液体材料１４をマザータンクから容器１６内に適宜補充するのである。
【００２３】
配管２８は容器１８内の上部空間３０の圧力を開放するためのベントラインであり、本実施形態に係る液量測定装置１０の一部を構成している。配管２８の一端は容器１８内の天板部分２０近傍に配置されており、これにより、配管２８の内部は、容器１８内の上部空間３０と連通されるようになっている。
【００２４】
液量測定装置１０は、更に、配管２８に接続された圧力センサ（圧力検出手段）３２と、配管２８中に介設された積算型流量計（ガス排出量検出手段）３４とを備えている。圧力センサ３２は、容器１８内のガス圧（空間３０の圧力）を検出するものである。また、積算型流量計３４は、所定時間の間に流れる流量の積算値（例えば配管２８中に設けられた開閉弁３６，３８が開放された時点から開閉弁３６，３８のいずれか一方が閉じられるまでの、容器１８内から排出されたガスの総量）を測定することができる。圧力センサ３２及び積算型流量計３４は、マイクロコンピュータからなる制御装置（演算処理手段）４０に接続されており、制御装置４０は圧力センサ３２及び積算型流量計３４からの信号に基づいて、以下に示す方法で容器１８内の液量を算出することができるようになっている。
【００２５】
なお、第１実施形態において液体材料１４は（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒであり、ヒータ１８によって加熱されて液化されているため、液量を測定する場合、温度の影響を受けるおそれがあるため、配管２８は断熱管から構成されることが好ましい。また、配管２２，２４，２６にもそれぞれ開閉弁４２，４４，４６が介設されており、これらの開閉弁４２，４４，４６と配管２８中の開閉弁３６，３８とは制御装置４０により開閉制御される。
【００２６】
以上のような構成の液量測定装置１０を用いて、容器１６内の液体材料１４の液量を測定する方法について、次に説明する。
【００２７】
まず、測定開始スイッチ４８を投入すると、制御装置４０は全ての開閉弁３６，３８，４２，４４，４６を一旦閉じるよう制御信号を発する。また、積算型流量計３４をリセットし、その積算値を「０」にする。
【００２８】
次に、制御装置４０は開閉弁３６に制御信号を送り、これを開き、圧力センサ３２からの信号によって容器１６内の空間３０の圧力を検出する。今、この圧力検出値は前述の０．３ＭＰａであるとする。
【００２９】
容器１６内の圧力を検出したならば、制御装置４０は開閉弁３８を開く。これにより、容器１６内の空間３０は陽圧であるため、そこにあるガス（窒素と（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒの混合ガス）は配管２８を通って排出される。なお、この排出ガスは、図示しないガス処理装置において適宜処理される。制御装置４０は、圧力センサ３２からの圧力検出値を監視し、その減圧量が０．１ＭＰａとなった時点、すなわち圧力検出値が０．２ＭＰａとなった時点で、開閉弁３６，３８を閉じ、積算型流量計３４の積算値を読み取る。
【００３０】
容器１６内のガス圧が０．１ＭＰａ分だけ減圧したことは、大気圧分に相当する窒素等の混合ガスが容器１６内の空間３０から外部に放出されたことになる。大気圧分のガス排出量は大気圧における空間３０の容積に一致する。従って、仮に積算型流量計３４の積算値が１Ｌ（リットル）であった場合には、容器１６内の空間３０の容積は積算値そのもの、すなわち１Ｌとなる。容器１６全体の容積については予め分かっているので、その値が例えば３Ｌであるならば、液体材料１４の液量は２Ｌと求められる。勿論、液体材料１４の液密度は分かっているので、液体材料１４の液量を重量として表すことができる。以上を制御装置４０において演算処理することで、液量が求められるのである。
【００３１】
制御装置４０は求めた液量を適当な表示装置５０に表示してもよいし、或いは、液量が所定値を下回った場合には、例えばアラームランプ５２を点灯する等してもよい。これにより、液体材料１６の補充のタイミングを正確に知ることが可能となる。
【００３２】
以上の算出法を一般式で表す。測定開始時の容器１６内のガス圧をＰ１（ＭＰａ）、測定終了時のガス圧をＰ２（ＭＰａ）、測定開始時から終了時までの積算型流量計３４の積算値をＱ（Ｌ）、容器１６内の全容積をＶ０（Ｌ）、容器１６内の空間３０の容積をＶ１（Ｌ）、容器１６内の液体材料１４の液量（体積）をＶ２（Ｌ）とすると、容器１６内の空間３０の容積Ｖ１は次式の通りである。
Ｖ１＝Ｑ／｛（Ｐ１−Ｐ２）×１０｝  ・・・（１）
【００３３】
従って、容器１６内の液体材料１４の体積Ｖ１は
Ｖ２＝Ｖ０−Ｖ１  ・・・（２）
となり、液体材料１４の液密度をρ（ｋｇ／Ｌ）とした場合、液体材料１４の液量を重量Ｗ（ｋｇ）であらわすと、
Ｗ＝Ｖ２×ρ  ・・・（３）
となる。そして、上式（１）〜（３）から、
Ｗ＝［Ｖ０−Ｑ／｛（Ｐ１−Ｐ２）×１０｝］×ρ・・・（４）
が得られる。
【００３４】
上の例はＰ１−Ｐ２を０．１ＭＰａとした場合であるが、一般式（４）を用いた場合、制御装置４０に予めＶ０、Ｐ２、ρの値を記憶させておけば、測定開始時にＰ１を検出し、圧力センサ３２の検出値が所定のＰ２になった時点でのＱを検出するだけで、液体材料１４の残量Ｗを求めることができる。
【００３５】
なお、上記実施形態では積算型流量計３４を用いているため、その出力値はガス排出量に一致することになるが、通常の流量計を用い、制御装置４０において積算値を算出することとしてもよい。
【００３６】
また、上記実施形態では、液体材料１４として（ＣＨ３Ｃ５Ｈ４）３Ｅｒが用いられており、容器１６内のガス温度は常温よりも相当に高い１３０℃前後となっているため、配管２８内を流れるガスの温度、特に積算型流量計３４内でのガス温度はそれよりも若干低くなることが考えられる。このため、容器１６内の空間３０に温度センサ（第１の温度検出手段）５４を設けると共に、積算型流量計３４の出口又は入口の近傍の配管２８内に温度センサ（第２の温度検出手段）５６を設け、これらの温度センサ５４，５６からの温度検出値から上記（４）を補正することとしてもよい。
【００３７】
すなわち、温度センサ５４により検出される容器１６内のガス温度をＴ１、温度センサ５６により検出される積算型流量計３４内のガス温度をＴ２とした場合、上式（１）は、
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となる。なお、式（４）′中、Ｃは配管２８内の容積等を考慮した液体測定装置個々の補正値である。
【００３８】
次に、図２に示す本発明の第２実施形態に係る液量測定装置１００について説明する。図２に示す液体測定装置１００は、図１における積算型流量計３４に代えて、バッファタンク１０２を配管２８に介設し、このバッファタンク１０２内の圧力を検出する圧力センサ（第２の圧力検出手段）１０４を設けると共に、バッファタンク１０２の出口側の配管２８にも開閉弁１０６を取り付けた点で、図１に示す液体測定装置１０と異なっている。従って、図１に示す構成要素と同一又は相当要素には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
この第２実施形態に係る液体測定装置１００における制御装置４０は、圧力センサ１０４からの信号を受けてバッファタンク１０２内のガス圧を認識することが可能である。また、この制御装置４０は、他の開閉弁３６，３８，４２，４４，４６の開閉制御は勿論、開閉弁１０６の開閉制御を行うこともできる。
【００４０】
このような構成の液量測定装置１００を用いて容器１６内の液体材料１４の液量を測定する場合、まず、測定開始スイッチ４８を投入すると、制御装置４０は開閉弁３６，３８，４２，４４，４６を一旦閉じ、開閉弁１０６については開くよう、制御信号を発する。これにより、バッファタンク１０２内は大気圧となる。また、制御装置４０は圧力センサ１０４の出力値をゲージ圧で０ＭＰａに校正する。この時の圧力出力値をＰＢ１とする。その後、開閉弁１０６を閉じる。
【００４１】
次に、制御装置４０は開閉弁３６に制御信号を送り、これを開き、圧力センサ（第１の圧力検出手段）３２からの信号によって容器１６内のガス圧を検出する。今、この圧力検出値をＰＡ１とし、またその値は前述の０．３ＭＰａであるとする。
【００４２】
容器１６内のガス圧を検出したならば、制御装置４０は開閉弁３８を開くと、容器１６の空間３０内の圧力はバッファタンク１０２内の圧力よりも高いので、容器１６内のガスは配管２８を通ってバッファタンク１０２に流入する。そして、制御装置４０は、内蔵のタイマ（図示しない）により一定時間が経過したならば、開閉弁３８を閉じ、バッファタンク１０２内のガス圧を圧力センサ１０４からの信号により検出する。この時の圧力検出値をＰＢ２とし、仮に０．０５ＭＰａとする。なお、タイマを用いずに、圧力センサ１０４からの信号を監視し、その値が予め設定した値ＰＢ２（例えば０．０５ＭＰａ）となった時点で開閉弁３８を閉じることとしてもよい。この圧力センサ１０４による圧力検出と同時に、制御装置４０は、圧力センサ３２からの信号により、容器１６内のガス圧を検出する。この時の圧力検出値をＰＡ２とし、その値を仮に０．２７５ＭＰａとする。
【００４３】
バッファタンク１０２内の容積は予め分かっており、その値をＶＢ（例えば０．５Ｌ）とするならば、大気圧に換算してどの程度の量（Ｌ）のガスが容器１６から放出されたのか、すなわち容器１６内の空間３０の容積（ガス体積）Ｖ１がどの程度なのかが、次式を用いて制御装置４０において算出することができる。Ｖ１＝ＶＢ×｛（ＰＢ２−ＰＢ１）×１０｝／｛（ＰＡ１−ＰＡ２）×１０｝  ・・・（５）
【００４４】
上記の具体例では、ＰＡ１＝０．３ＭＰａ、ＰＡ２＝０．２７５ＭＰａ、ＰＢ１＝０ＭＰａ、ＰＢ２＝０．０５ＭＰａ、ＶＢ＝０．５Ｌであるので、これを式（５）に当てはめてＶ１を求めると、１Ｌとなる。従って、容器１６内の液体残量を堆積Ｖ２で表すと、
Ｖ２＝Ｖ０−Ｖ１  ・・・（６）
であるので、Ｖ０が３Ｌとすれば、残量Ｖ２は２Ｌとなる。
【００４５】
また、式（２）、（３）に式（５）を代入することで、容器１６内の液体残量を重量で表した値Ｗも次式から容易に求めることができる。
Ｗ＝［Ｖ０−ＶＢ×｛（ＰＢ２−ＰＢ１）×１０｝／｛（ＰＡ１−ＰＡ２）×１０｝］×ρ・・・（７）
【００４６】
また、第１の実施形態の場合と同様に、容器１６内及びバッファタンク１０２内に温度センサ５４，５６を設け、この温度センサ５４，５６からの検出値Ｔ１，Ｔ２に基づいて、式（７）を補正すれば、
Ｗ＝［Ｖ０−｛（Ｔ１＋２７３）／（Ｔ２＋２７３）｝×ＶＢ×｛（ＰＢ２−ＰＢ１）×１０｝／｛（Ｐ１−Ｐ２）×１０｝］×ρ＋Ｃ  ・・・（７）′
となる。なお、式（５）、（７）、（７）′において、特に説明していない符号については第１実施形態における式（１）〜（４）で用いたものと同義である。
【００４７】
以上のように、バッファタンク１０２内に容器１６内のガスを放出し、そのガス量と圧力変化量からも、容器１６内の液体材料１４の液量を正確に測定することが可能となる。
【００４８】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、容器内に残存する液体材料の液量を正確に測定することができ、液体材料の補充や、容器自体の交換を適正なタイミングで行うことができ、作業効率等を向上させることができる。
【００４９】
また、本発明によれば、排出ガス量と圧力変化から液量を測定するので、フロート式のセンサ、重量計、ガラス窓、圧送ガスの供給積算量から液量を測定する従来の手段における弊害は一切生じないものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による第１の実施形態に係る液量測定装置を示す概略説明図である。
【図２】本発明による第２の実施形態に係る液量測定装置を示す概略説明図である。
【符号の説明】
１０，１００…液量測定装置、１４…液体材料、１６…容器、１８…ヒータ、２２，２４，２６，２８…配管、３０…容器内の空間、３２…圧力センサ（第１の圧力検出手段）、３４…積算型流量計（ガス排出量検出手段）、３６，３８，４２，４４，４６，１０６…開閉弁、４０…制御装置（演算処理手段）、５４，４６…温度センサ、１０２…バッファタンク、１０４…圧力センサ（第２の圧力検出手段）。
【図１】
2004271455.tif 000004
【図２】
2004271455.tif 000005