(57)【要約】【課題】過大圧保護のダイアフラムの小型化が図れ、安価に出来る差圧測定装置を提供する。【解決手段】高圧側シールダイアフラム室の高圧側バックプレート面を覆って設けられ高圧側バックプレート面と低圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成され凸側がバックプレート面に接して所定の押圧力でバックプレート面に押圧取付けられた高圧側予加重ダイアフラムと、本体ボディに設けられ一端が低圧側過大圧室に連通され他端が低圧側伝導穴に連通される低圧側過大圧伝導穴と、低圧側シールダイアフラム室の低圧側バックプレート面を覆って設けられ低圧側バックプレート面と高圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成されこの凸側がバックプレート面に接して所定の押圧力でバックプレート面に押圧取付けられた低圧側予加重ダイアフラムと、本体ボディに設けられ一端が高圧側過大圧室に連通され他端が高圧側伝導穴に連通される高圧側過大圧伝導穴とを具備した差圧測定装置である。【選択図】　　　図１
2004117086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体ボディの一方の側面に設けられた高圧側バックプレート面と、この高圧側バックプレート面を覆って設けられ高圧側シールダイアフラム室を構成する高圧側シールダイアフラムと、前記本体ボディの他方の側面に設けられた低圧側バックプレート面と、この低圧側バックプレート面を覆って設けられ低圧側シールダイアフラム室を構成する低圧側シールダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ前記高圧側シールダイアフラム室に一方端が連通された高圧側伝導穴と、前記本体ボディに設けられ前記低圧側シールダイアフラム室に一方端が連通された低圧側伝導穴とを具備する差圧測定装置において、
前記高圧側シールダイアフラム室の前記高圧側バックプレート面を覆って設けられ前記高圧側バックプレート面と低圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成されこの凸側が前記バックプレート面に接して所定の押圧力で前記バックプレート面に押圧取付けられた高圧側予加重ダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ一端が前記低圧側過大圧室に連通され他端が前記低圧側伝導穴に連通される低圧側過大圧伝導穴と、前記低圧側シールダイアフラム室の前記低圧側バックプレート面を覆って設けられ前記低圧側バックプレート面と高圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成されこの凸側が前記バックプレート面に接して所定の押圧力で前記バックプレート面に押圧取付けられた低圧側予加重ダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ一端が前記高圧側過大圧室に連通され他端が前記高圧側伝導穴に連通される高圧側過大圧伝導穴とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
外周部分に取り付け平坦部が設けられた予加重ダイアフラムを具備したことを特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
【請求項３】
少なくとも１個の波形形状部を有する予加重ダイアフラムを具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の差圧測定装置。
【請求項４】
前記予加重ダイアフラムが前記バックプレート面に押圧取付けられた後もなお凸形形状を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、過大圧保護のダイアフラムを有する差圧測定装置に関し、過大圧保護のダイアフラムの小型化が図れ、特殊な高強度材料を使用しなくても済み、安価に出来る差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、実開昭６０―１８１６４２号に示されている。
【０００３】
図において、１は本体ボディで、円柱状の首部１Ａと、首部１Ａの端部外周縁部１Ｃにおいて溶接接続されたブロック状の受圧部１Ｂとよりなる。首部１Ａと受圧部１Ｂとは、この場合は、ステンレス材よりなる。
【０００４】
本体ボディ１の両側に、高圧側カバーフランジ２、低圧側カバーフランジ３が溶接等によって固定されており、両カバーフランジ２，３には測定せんとする高圧側圧力ＰＨ　の高圧流体の導入口４、低圧側圧力ＰＬ　の低圧流体の導入口５が設けられている。
【０００５】
本体ボディ１内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８が設けられている。
【０００６】
センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８は、それぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されており、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測定室６を２分している。
【０００７】
センタダイアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフラム７は周縁部を本体ボディ１に溶接されている。
【０００８】
シリコンダイアフラム８は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。
シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレインゲ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフラム８を形成する。
【０００９】
４っのストレインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変化として検出される。
【００１０】
シリコンダイアフラム８は、首部１Ａを２個のセンサ室８１，８２に分ける。
支持体９の圧力測定室６側端面に、低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム８が接着固定されている。
【００１１】
本体ボディ１と高圧側カバーフランジ２、および低圧側カバーフランジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されている。
この圧力導入室１０，１１内に高圧側，低圧側シールダイアフラム１２，１３を設け、このシールダイアフラム１２，１３と対向する本体ボディ１の壁にシールダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａが形成されている。
シールダイアフラム１２，１３と高圧側，低圧側バックプレ―ト１０Ａ，１１Ａとにより、高圧側，低圧側シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａが構成される。
【００１２】
シールダイアフラム１２，１３は、受圧部１Ｂに、シールリング１２１，１３１により周縁部が溶接されている。
この場合は、シールダイアフラム１２，１３と、シールリング１２１，１３１とはステンレス材よりなる。
【００１３】
シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａと圧力測定室６とは、連通孔１４，１５を介して導通されている。
【００１４】
そして、シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａにシリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液１０１，１０２が高圧側，低圧側伝導穴１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面にまで至っている。
【００１５】
封入液１０１，１０２は、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮されている。
【００１６】
以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、高圧側シールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。
一方、低圧側から圧力が作用した場合、低圧側シールダイアフラム１３に作用する圧力が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。
【００１７】
この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ８０によって電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
【００１８】
図４従来例における差圧測定装置に採用されているセンタダイアフラム７の特性指標として、ダイアフラムの圧力“Ｐ”に対する排除容積“ΔＶ”の特性を示す“ｆ（φ）”が用いられている。
この特性としては、測定圧力範囲では可能な限り一様な傾斜を持つ直線関係が求められる。
【００１９】
このような理想な特性を有するセンタダイアフラム７を採用した差圧計は、センサからの信号もプロセス圧力に比例した出力を得ることが可能となり、増幅部での信号変換及びＣＰＵでの補正演算も高次式の高次項を省略しても測定誤差を極力小さくすることが可能になる。
【００２０】
即ち、従来から採用されている３枚ダイアフラム方式、即ち、プロセス側に接する高／低圧側シールダイアフラム１２，１３が２枚、センタダイアフラム７が１枚の合計３枚からなる差圧測定装置は、プロセス圧力によってセンタダイアフラム７は両側に移動する構造になっている。
【００２１】
この結果、両側に移動する広い範囲で、一様な直線特性“ｆ（φ）”を求められる必要がある。
これらの特性を得るためには、センタダイアフラム７の外径を大きくする、又はセンタダイアフラム７の板厚を薄くする解決策が有効である。
【００２２】
しかし、板厚を薄くすると発生応力が大きくなるため、主に、センタダイアフラム７の外径を大きくする方向で解決されている。
【００２３】
ところで、この３枚ダイアフラム方式を備えた差圧測定装置は、高圧側あるいは低圧側のシールダイアフラム１２，１３に過大圧が印加されたときに、印加された側のシールダイアフラムが本体ボディ１に密着する。
【００２４】
これにより、封入液１０１，１０２の移動が無くなり、センサ８０への圧力伝達が無くなり、過大圧がセンサ８０に伝わらない構造となっている。
【００２５】
【特許文献１】
実開昭６０−１８１６４２号（第２−５頁、第１図）
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術で説明した３枚ダイアフラム方式のセンタダイアフラム７を、あらかじめ、予荷重を加えた予荷重方式のセンタダイアフラムとして採用すると、センタダイアフラム７の発生応力が高くなり、強度的に強い材料を採用しなければならないという問題があった。
【００２７】
また、ダイアフラムとして成形するためには材料自身に延性が必要であるが、差圧測定装置に採用するセンタダイアフラム７の発生応力が高くなると、センタダイアフラム７自身が延性のない強い材料が必須の要件になってしまう。
【００２８】
以上のことから従来技術のセンタダイアフラム７では、強度的に強い材料は硬く、且つ、延びもないことから、センタダイアフラム７として成形することが困難となり、これら相反する問題を解決することは難しい。
【００２９】
従って、センタダイアフラムの波形形状を改善し、小さな応力でも大きな排除容積、即ち、センタダイアフラムの初期状態時と圧力印加状態時の移動体積とを比較した容積が大きくなるような形状にすることに、解決しなければならない課題を有する。
【００３０】
本発明は、この問題点を、解決するものである。
本発明の目的は、過大圧保護のダイアフラムの小型化が図れ、特殊な高強度材料を使用しなくても済み、安価に出来る差圧測定装置を提供することにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１記載の差圧測定装置においては、
本体ボディの一方の側面に設けられた高圧側バックプレート面と、この高圧側バックプレート面を覆って設けられ高圧側シールダイアフラム室を構成する高圧側シールダイアフラムと、前記本体ボディの他方の側面に設けられた低圧側バックプレート面と、この低圧側バックプレート面を覆って設けられ低圧側シールダイアフラム室を構成する低圧側シールダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ前記高圧側シールダイアフラム室に一方端が連通された高圧側伝導穴と、前記本体ボディに設けられ前記低圧側シールダイアフラム室に一方端が連通された低圧側伝導穴とを具備する差圧測定装置において、
前記高圧側シールダイアフラム室の前記高圧側バックプレート面を覆って設けられ前記高圧側バックプレート面と低圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成されこの凸側が前記バックプレート面に接して所定の押圧力で前記バックプレート面に押圧取付けられた高圧側予加重ダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ一端が前記低圧側過大圧室に連通され他端が前記低圧側伝導穴に連通される低圧側過大圧伝導穴と、前記低圧側シールダイアフラム室の前記低圧側バックプレート面を覆って設けられ前記低圧側バックプレート面と高圧側過大圧室を構成し予め所定の凸形形状に形成されこの凸側が前記バックプレート面に接して所定の押圧力で前記バックプレート面に押圧取付けられた低圧側予加重ダイアフラムと、前記本体ボディに設けられ一端が前記高圧側過大圧室に連通され他端が前記高圧側伝導穴に連通される高圧側過大圧伝導穴とを具備したことを特徴とする。
【００３２】
本発明の請求項２においては、請求項１記載の差圧測定装置において、
外周部分に取り付け平坦部が設けられた予加重ダイアフラムを具備したことを特徴とする。
【００３３】
本発明の請求項３においては、請求項１又は請求項２記載の差圧測定装置において、
少なくとも１個の波形形状部を有する予加重ダイアフラムを具備したことを特徴とする。
【００３４】
本発明の請求項４においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の差圧測定装置において、
前記予加重ダイアフラムが前記バックプレート面に押圧取付けられた後もなお凸形形状を有することを特徴とする。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の部品説明図、図３は図１の動作説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４と相違部分のみ説明する。
【００３６】
２１は、高圧側シールダイアフラム室１２Ａの高圧側バックプレート１０Ａの面を覆って設けられ，高圧側バックプレート１０Ａの面と低圧側過大圧室２２を構成する高圧側予加重ダイアフラムである。
【００３７】
そして、図２に示す如く、高圧側予加重ダイアフラムは、予め所定の凸形形状に形成され、この凸側が、バックプレート面１０Ａに接して、所定の押圧力でバックプレート面１０Ａに押圧取付けられる。
【００３８】
２３は、本体ボディ１に設けられ、一端が低圧側過大圧室２２に連通され、他端が低圧側伝導穴１７に連通される低圧側過大圧伝導穴である。
この場合は、低圧側過大圧伝導穴２３の一端は、高圧側予加重ダイアフラム２１の中心に対向した位置に設けられている。
【００３９】
なお、高圧側伝導穴１６は、高圧側予加重ダイアフラム２１の外周端の外側位置で、高圧側シールダイアフラム室１２Ａに連通されている。
２４は、低圧側シールダイアフラム室１３の低圧側バックプレート１１Ａの面を覆って設けられ，低圧側バックプレート１１Ａの面と高圧側過大圧室２５を構成する低圧側予加重ダイアフラムである。
【００４０】
そして、図２に示す如く、予め所定の凸形形状に形成され、この凸側がバックプレート１１Ａの面に接して所定の押圧力でバックプレート１１Ａの面に押圧取付けられる。
【００４１】
２６は、本体ボディ１に設けられ、一端が高圧側過大圧室２５に連通され、他端が高圧側伝導穴１６に連通される高圧側過大圧伝導穴である。
この場合は、高圧側過大圧伝導穴２６の一端は、低圧側予加重ダイアフラム２４の中心に対向した位置に設けられている。
【００４２】
なお、低圧側伝導穴１７は、低圧側予加重ダイアフラム２４の外周端の外側位置で、低圧側シールダイアフラム室１３Ａに連通されている。
【００４３】
高圧側，低圧側予加重ダイアフラム２１，２４は、図２に示す如く、円盤形状に形成され、中央部分に設けられたセンター平坦部２１Ａ，２４Ａと、センター平坦部２１Ａ，２４Ａの周囲を囲んで外側に設けられた波部２１Ｂ，２４Ｂと、波部２１Ｂ，２４Ｂの周囲を囲んで外側に設けられたアウター平坦部２１Ｃ，２４Ｃとを有し、全体として予め所定の凸形形状に形成されている。
【００４４】
そして、この凸側が、、図２に示す如く、バックプレート１０Ａ，１１Ａの面に接して，所定の押圧力で、バックプレート１０Ａ，１１Ａの面に押圧取付けられている。
押圧取付け前の高圧側，低圧側予加重ダイアフラム２１，２４を点線で示す。
なお、この波部２１Ｂ，２４Ｂは、実施例においては２個であるが、１個でもよく、または２個以上でもよい。
【００４５】
以上の構成において、高圧側，低圧側予加重ダイアフラム２１，２４は、過大圧が印加されて初めて動作するダイアフラムであり、過大圧以下では、常に本体ボディ１に密着するよう組立てられている。
【００４６】
即ち、予加重ダイアフラムは、２１，２４は、初期状態からみると、常に片側にのみ動作するダイアフラムである。
よって、予加重ダイアフラム２１，２４は、片側のみで、小さな圧力で大きな排除容積を得られるダイアフラムであれば良い。
【００４７】
予加重ダイアフラム２１，２４においては、バックプレート１０Ａ，１１Ａに密着する側の面が、予め所定の凸形形状に形成されているので、高圧側，低圧側過大圧伝導穴２３，２６からのプラス側圧力（＋Ｐ）に対し、通常のダイアフラムと比較して、低い圧力で大きな排除容積（初期状態時と圧力印加状態時の移動体積）を得ることが可能となる。
【００４８】
また、マイナス側圧力（−Ｐ）に対しては通常のダイアフラムと比較して、大きな排除容積を得ることができないが、予加重ダイアフラム２１，２４では使用しない領域のため問題にはならない。
【００４９】
これは、図３に示すように、予加重ダイアフラムと通常のダイアフラムとの関係を圧力と排除容積との関係を示す“ｆ（φ）”と“通常ｆ（φ）”とで示せば、圧力を加える（＋Ｐ）と、圧力ポイントＣ点を超えるとＣ点以下の特性よりも、単位圧力に対して大きな排除容積が得られる特性となる。
【００５０】
即ち、圧力ポイントＣ点以上の過大圧圧力が印加されると、予加重ダイアフラム２１，２４は、急激に変形して、過大圧圧力が吸収されることになる。
【００５１】
なお、差圧測定装置の使用する圧力レンジに対応して、過大圧に対して動作する圧力ポイントＣ点は任意に設定できる必要がある。
【００５２】
このためには、予加重ダイアフラム２１，２４の板厚を変化させ、発生応力を緩和する手法が用いられるが、予加重ダイアフラム２１，２４の凸形形状は圧力ポイントＣ点が変化しても、Ｃ点での形状は常に凸形形状になるよう成形する。この結果、図３に示す特性を得ることができる。
【００５３】
ここで、図３において、αは予加重範囲、βは予加重ダイアフラム方式動作範囲、γは３枚ダイアフラム方式正常動作範囲を示す。
【００５４】
この結果、
（１）予め所定の凸形形状に形成されている予加重ダイアフラム２１，２４が使用されたので、低圧でも排除容積を大きくとることができるため、予加重ダイアフラム２１，２４自体を小さく設計することが可能となる。
また、材質を高強度の材料にする必要もなくなり、製造工程を簡約でき、製造コストのコストダウンを図ることができる差圧測定装置が得られる。
【００５５】
（２）予加重ダイアフラム２１，２４と本体ボディ１との接合には、通常、溶接等が用いられる。
凸形状を成している予加重ダイアフラム２１，２４の外周部分に取付平坦部２１Ｃ，２４Ｃが設けられたので、溶接時等の固定、位置決めが容易となり、均一且つ強固な溶接等の固定が可能となる差圧測定装置が得られる。
【００５６】
（３）ダイアフラムは、その形状により、同じ圧力が加わった場合でも、最大応力の発生部分が異なるため、溶接部など構造的に弱い部分に最大応力が発生しないように設計する必要がある。
【００５７】
予荷重ダイアフラム２１，２４に少なくとも１つの波形状２１Ｃ，２４Ｃを設けることにより、構造的に強い部分に最大応力を発生させるとともに、応力集中を避け、発生応力を分散させることが可能となる。
【００５８】
よって、繰り返し発生する応力に対し、信頼性が高い差圧測定装置が得られる。
また、波形状２１Ｃ，２４Ｃを有することにより、封入液の流動性が良好となるため、応答の良い差圧測定装置が得られる。
【００５９】
（４）予加重ダイアフラム２１，２４が、バックプレート面１０Ａ，１１Ａに押圧取付けられた後もなお凸形形状を有するようにしたので、凸形形状に成形された予加重ダイアフラム２１，２４の特性は、傾きが緩やかな状態から、一旦傾きが大きくなり、その後再び傾きが緩やかになる特性を示す。
【００６０】
この傾きが大きくなる点、すなわち予加重ポイントは、凸形形状の予加重ダイアフラムが凸形形状を保持した状態で存在する。
したがって、バックプレート面に押圧取付けられた後も凸形形状を有することで、排除容積が急激に大となる点が存在し、過大圧保護に優れた差圧測定装置が得られる。
【００６１】
なお、前述の実施例においては、予加重ダイアフラム２１，２４は、センター平坦部２１Ａ，２４Ａ、波部２１Ｂ，２４Ｂ、アウター平坦部２１Ｃ，２４Ｃを有すると、説明したが、これに限ることはなく、たとえば、椀形状であっても良く、要するに、全体として予め所定の凸形形状に形成されてあれば良い。
【００６２】
【発明の効果】
上記説明したように、本発明に係る差圧測定装置は、予め所定の凸形形状に形成されている予加重ダイアフラムが使用されたので、低圧でも排除容積を大きくとることができるため、予加重ダイアフラム自体を小さく設計することが可能となる。
また、材質を高強度の材料にする必要もなくなり、製造工程を簡約でき、製造コストのコストダウンを図ることができる差圧測定装置が得られる。
【００６３】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
予加重ダイアフラムと本体ボディとの接合には、通常、溶接等が用いられる。
凸形状を成している予加重ダイアフラムの外周部分に取付平坦部が設けられたので、溶接時等の固定、位置決めが容易となり、均一且つ強固な溶接等の固定が可能となる差圧測定装置が得られる。
【００６４】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ダイアフラムは、その形状により、同じ圧力が加わった場合でも、最大応力の発生部分が異なるため、溶接部など構造的に弱い部分に最大応力が発生しないように設計する必要がある。
【００６５】
ダイアフラムに少なくとも１つの波形状を設けることにより、構造的に強い部分に最大応力を発生させるとともに、応力集中を避け、発生応力を分散させることが可能となる。
【００６６】
よって、繰り返し発生する応力に対し、信頼性が高い差圧測定装置が得られる。
また、波形状を有することにより、封入液の流動性が良好となるため、応答の良い差圧測定装置が得られる。
【００６７】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
予加重ダイアフラムが、バックプレート面に押圧取付けられた後もなお凸形形状を有するようにしたので、図３に示したとおり、凸形形状に成形された予加重ダイアフラム２１，２４の“ｆ（φ）”特性は、傾きが緩やかな状態から、一旦傾きが大きくなり、その後再び傾きが緩やかになる特性を示す。
【００６８】
この傾きが大きくなる点、すなわち予加重ポイントＣは、凸形形状の予加重ダイアフラムが凸形形状を保持した状態で存在する。
したがって、バックプレート面１０Ａ，１１Ａに押圧取付けられた後も凸形形状を有することで、排除容積が急激に大となる点が存在し、過大圧保護に優れた差圧測定装置が得られる。
【００６９】
従って、本発明によれば、過大圧保護のダイアフラムの小型化が図れ、特殊な高強度材料を使用しなくても済み、安価に出来る差圧測定装置を実現することが出来る．
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の部品説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
１　　　本体ボディ
８　　　シリコンダイアフラム
８０　　ストレインゲ―ジ
９　　　支持体
１０Ａ　高圧側バックプレ―ト
１１Ａ　低圧側バックプレ―ト
１２　　高圧側シールダイアフラム
１２Ａ　高圧側シールダイアフラム室
１３　　低圧側シールダイアフラム
１３Ａ　低圧側シールダイアフラム室
１６　　高圧側伝導穴
１７　　低圧側伝導穴
２１　　高圧側予加重ダイアフラム
２２　　低圧側過大圧室
２３　　低圧側過大圧伝導穴
２４　　低圧側予加重ダイアフラム
２５　　高圧側過大圧室
２６　　高圧側過大圧伝導穴
【図１】
2004117086.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004117086.tif 000005
【図４】
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