(57)【要約】【課題】被測定物からの不要な戻り光の影響を受けず、パーティクルの検査を行えるようにする。【解決手段】被測定物であるＬＣＤ基板２に照射されたレーザ光のうち、ＬＣＤ基板２内に入射し、内部で反射して検査面から出射した戻り光を遮蔽するため、遮蔽部２２ａを有する遮蔽スリット板２２が設けられる。この遮蔽スリット板２２には、パーティクルに照射されて散乱した散乱光が通るスリット２２ｂが設けられる。また、ＬＣＤ基板２に照射されたレーザ光のうち、ＬＣＤ基板２の側面から出射する戻り光を遮蔽する遮蔽板２３が設けられる。これにより、パーティクルの検査に不要な戻り光の検出器１９への入光が抑制される。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物にレーザ光を照射し、前記被測定物で散乱したレーザ光の散乱強度を測定することにより、前記被測定物におけるパーティクルの付着状態を検査するパーティクル検査装置において、
前記レーザ光の照射によって前記被測定物で散乱したレーザ散乱光を受光する受光手段と、
前記被測定物で反射した戻り光を遮蔽する遮蔽手段と
を備えたことを特徴とするパーティクル検査装置。
【請求項２】
前記遮蔽手段は、前記被測定物に付着したパーティクルにより散乱したレーザ散乱光を通すスリットを有するスリット板である
ことを特徴とする請求項１記載のパーティクル検査装置。
【請求項３】
前記遮蔽手段は、前記被測定物の側部から出射する光を遮蔽する遮蔽板である
ことを特徴とする請求項１記載のパーティクル検査装置。
【請求項４】
前記スリットを通過した光を前記受光手段に集光する集光手段を備えた
ことを特徴とする請求項２記載のパーティクル検査装置。
【請求項５】
波長の異なる複数のレーザ光を照射する複数の照射手段と、前記受光手段によって受光された各波長のレーザ光によるレーザ散乱強度の差分を演算し、前記被測定物におけるパーティクルの付着状態を判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする請求項１記載のパーティクル検査装置。
【請求項６】
前記被測定物が液晶パネルであることを特徴とする請求項１記載のパーティクル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物にレーザ光を照射して、その散乱光を測定することにより、被測定物におけるパーティクルの付着状態を検査するパーティクル検査装置に関する。詳しくは、被測定物からの不要な戻り光を遮蔽する遮蔽手段を備えることで検査感度を向上させ、微小なパーティクルを検出できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）基板の製造検査ラインにおいて、このＬＣＤ基板上に付着したパーティクルを検査する装置としては、従来、検査対象であるＬＣＤ基板に波長の異なる複数のレーザ光を当て、ある波長のレーザ光の散乱強度と、別の波長のレーザ光の散乱強度の差分によって、ＬＣＤ基板の表面のパーティクルを検査するものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１５３８０９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来のパーティクル検査装置では、２００ｍｍ角程度の大型のＬＣＤ基板の検査では、ＬＣＤ基板内からの戻り光は、被検査域の点から特に問題とはならないものの、検査対象のＬＣＤ基板が２０ｍｍ角程度の小形のものになると、ＬＣＤ基板内からの戻り光の影響が大きくなり、検査感度が低下して微小径のパーティクルが検出できないという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、検査対象が小形であっても検査感度が低下しないパーティクル検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、本発明に係るパーティクル検査装置は、被測定物にレーザ光を照射し、この被測定物で散乱したレーザ光の散乱強度を測定することにより、被測定物におけるパーティクルの付着状態を検査するパーティクル検査装置において、レーザ光の照射によって被測定物で散乱したレーザ散乱光を受光する受光手段と、被測定物で反射した戻り光を遮蔽する遮蔽手段とを備えたものである。
【０００７】
本発明に係るパーティクル検査装置では、被測定物にレーザ光が照射されると、被測定物にパーティクルが付着している場合、レーザ光が散乱し、この散乱光が受光手段で受光される。これに対して、被測定物で反射した光は遮蔽手段で遮蔽され、受光手段に到達しない。これにより、パーティクルの検査に不要な戻り光の影響を受けていない散乱光の強度からパーティクルの付着状態を検査することができる。
【０００８】
したがって、微小なパーティクルの検出が可能となり、検査感度が向上する。また、戻り光の影響が大きい小形の被測定物であっても、正確にパーティクルの検査が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のパーティクル検査装置の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態によるパーティクル検査装置の一例を示す概略正面図である。まず、図１に基づいて、本実施の形態によるパーティクル検査装置の全体構成について説明する。
【００１０】
パーティクル検査装置１は、被測定物としてＬＣＤ基板２（液晶パネル）の表面（以下、検査面と称す。）のパーティクル検査を行うものである。このパーティクル検査装置１は、ＬＣＤ基板２を搭載する測定テーブル部３と、レーザ光を照射するレーザ光源部４と、このレーザ光源部４からのレーザ光をＬＣＤ基板２に導くレーザ導入部５と、ＬＣＤ基板２で反射したレーザ散乱光を検出する散乱光検出部６とを有する。そして、散乱光検出部６において、ＬＣＤ基板２内からの不要な戻り光は遮蔽することで、パーティクルの検査感度を向上させるものである。
【００１１】
測定テーブル部３は、ＬＣＤ基板２を搭載したテーブル７と、このテーブル７を水平移動方向、水平回転方向等に移動する搬送機構（図示せず）を有するものである。ここで、本実施の形態のパーティクル検査装置１におけるパーティクル検査は、図示しない搬送機構の動作によってＬＣＤ基板２を載せたテーブル７をＸ方向（図１の紙面方向）に平行移動させながら行う。
【００１２】
なお、本実施の形態のパーティクル検査装置１は、ＬＣＤ基板２の製造検査ライン内に設置されるものであり、ＬＣＤ基板２を保持したテーブル７は前工程から図示しない搬送機構によって搬送され、このパーティクル検査装置１においてパーティクル検査を行った後、図示しない搬送機構によって搬送され、次工程に移送される。このような構成とすると、検査のためにＬＣＤ基板２を別の場所へ搬送する必要がなく、搬送中のパーティクルの付着を抑えることができる。
【００１３】
次に、レーザ光源部４は、複数の異なる波長を有するレーザ光を照射するため、本実施の形態では、照射手段として３つのレーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃを用いてレーザ光をＬＣＤ基板２に照射するものである。レーザ発振器８ａは、例えばＡｒ（アルゴン）の単色レーザ光を用いたものであり、レーザ発振器８ｂは、例えばＨｅ−Ｎｅ（ヘリウム−ネオン）の単色レーザ光を用いたものである。また、レーザ発振器８ｃは、例えばＹＡＧ（イットリウム、アルミニウム、ガーネット）の単色レーザ光を用いたものである。本例では、測定用レーザ光として、上記の３つのレーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃのうちから２つのレーザ発振器を選択し、波長の異なる２種類のレーザ光をＬＣＤ基板２に照射するものである。なお、２つのレーザ発振器は、ＬＣＤ表面に付着する主な異物の種類や異物のパーティクル径に合わせて選択するものとする。
【００１４】
各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃには、それぞれシャッタ９ａ，９ｂ，９ｃが設けられ、各レーザ光の照射タイミングを制御するようになっている。また、２つのレーザ発振器８ｂ，８ｃには、減衰フィルタ１０ｂ，１０ｃが設けられている。この減衰フィルタ１０ｂ，１０ｃは、レーザ導入部５に設けたフォトダイオード１１によって各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃから出射されるレーザ強度を検出し、この検出信号に基づいて減衰量を制御することにより、各レーザ発振器８ｂ，８ｃのレーザ強度をレーザ発振器８ａのレーザ強度に一致させるものである。なお、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃ間のレーザ強度の調整は、パーティクル検査に先立って、フォトダイオード１１をレーザ光の光路内に配置し、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃを順次起動させて、それぞれのレーザ光の強度を測定することにより行うものとする。
【００１５】
レーザ導入部５は、レーザ光源部４からのレーザ光をＬＣＤ基板２に導くための光学系を備え、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃからのレーザ光路を屈折させて光軸を一致させるとともに、これらレーザ光からパーティクル検査用のスリット光を生成し、円柱レンズ１２を通してＬＣＤ基板２に照射するものである。図１において左側のレーザ発振器８ａのレーザ光は、ミラー１３によって９０°屈曲され、中央のハーフミラー１４に導かれ、このハーフミラー１４によって９０°屈曲されて円柱レンズ１２側に導かれる。
【００１６】
また、図１において左側のレーザ発振器８ｃのレーザ光は、ミラー１５によって９０°屈曲され、中央のハーフミラー１６に導かれ、このハーフミラー１６によって９０°屈曲されて円柱レンズ１２側に導かれる。また、図１において中央のレーザ発振器８ｂのレーザ光は、ハーフミラー１４，１６を通して円柱レンズ１２側に導かれる。また、これらのミラー１３，１５およびハーフミラー１４，１６は、それぞれ位置決め可能に設けられており、ミラー１３，１５およびハーフミラー１４，１６の位置決めにより、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃからのレーザ光が互いの光軸を一致させた状態で合流され、円柱レンズ１２側に導かれる。
【００１７】
また、円柱レンズ１２側の前段には、絞り板１７が設けられている。この絞り板１７は、Ｙ方向（図１の紙面と直交方向）に長手形状のスリット１８を形成したものである。
【００１８】
これにより、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃから照射されたレーザ光が、絞り板１７のスリット１８を通ることでスリット光となり、このスリット光が円柱レンズ１２によって拡張され、Ｙ方向の線状測定光としてＬＣＤ基板２に照射される。そして、上述した測定テーブル部３の図示しない搬送機構の動作によって、ＬＣＤ基板２をＸ方向（図１の紙面方向）に平行移動させながら、所定の送り間隔で散乱光の検出が行われる。
【００１９】
なお、さらに広い照射域が必要な場合には、絞り板１７の後段でレーザを分岐し、複数の円柱レンズに導くことにより拡張する方法も可能である。また、円柱レンズ１２を使用せず、テーブル７のＸ−Ｙ動作を行うことによってスポット光によるステップ送り検査も可能である。
【００２０】
散乱光検出部６は、ＬＣＤ基板２の表面で反射したレーザ散乱光を検出する受光手段としての複数の検出器１９と、この検出器１９からの検出信号の差分を演算する差分演算部２０と、差分演算部２０から出力された差分信号について判定結果を出力する補正回路２１と、ＬＣＤ基板２内からの不要な戻り光を遮蔽する遮蔽手段としての遮蔽スリット板２２および遮蔽板２３を有している。
【００２１】
各検出器１９は、例えばフォトダイオード（ＰＤ）等の受光素子をＹ方向（図１の紙面と直交方向）に並べて配置したものであり、ＬＣＤ基板２に照射される線状測定光を挟んでＸ方向（図１の紙面方向）の両側に分散配置されている。また、各検出器１９には、受光面に各レーザの波長に対応する帯域を有する図示しないバンドパスフィルタが配置されている。
【００２２】
差分演算部２０は判定手段を構成し、各検出器１９からの検出信号を入力し、上述のように選択された２種類のレーザによるレーザ散乱光の検出レベルの差を演算し、その差分信号を出力するものである。補正回路２１は判定手段を構成し、差分演算部２０からの差分信号を入力するとともに、周囲光を検出する補正用受光部２４からの受光信号に基づいて、差分信号に対する所定の補正を行い、補正結果信号を出力するものである。なお、上述したレーザ強度補正用のフォトダイオード１１や、散乱光検出用の検出器１９の各フォトダイオードには、増幅器２５，２６が接続され、それぞれ検出出力が増幅されるようになっている。
【００２３】
さて、図１に示すパーティクル検査装置１において、パーティクル検査が行われるＬＣＤ基板２のサイズが小型化（例えば、２０ｍｍ角）してくると、測定テーブル部３の小形化が可能となる。そして、散乱光検出部６の検出器１９等も測定テーブル部３と近接配置することで、パーティクル検査装置１の小型化が可能となってくる。これにより、検査対象であるＬＣＤ基板２の近傍に、レーザ光の反射率の高い部品を配置せざるを得ない状況が発生している。このようなＬＣＤ基板２以外での反射光は、パーティクルの検査感度を低下させるノイズとなる。また、ＬＣＤ基板２内から出射する戻り光も、パーティクルの検査感度を低下させるノイズとなる。
【００２４】
そこで、遮蔽スリット板２２および遮蔽板２３は、パーティクルの検査感度を低下させるノイズとなるＬＣＤ基板２内からの戻り光等を遮蔽するために設けられる。図２は遮蔽スリット板２２および遮蔽板２３の構成例を示す散乱光検出部６の要部正面図である。なお、この図２では、ＬＣＤ基板２のＸ方向の両側に配置されることになる遮蔽スリット板２２等のうち、説明を簡単にするため、一方の側に配置されたものを図示している。
【００２５】
パーティクルの検査感度を低下させるノイズとなるＬＣＤ基板２内からの戻り光としては、ＬＣＤ基板２に入射したレーザ光が、マイクロレンズ２ａ等のＬＣＤ内部構造部品やＬＣＤ基板２の内側面等で反射して検査面に戻り、検査面から出射する光と、ＬＣＤ基板２に入射したレーザ光が、該ＬＣＤ基板２の側面から出射する光に大別できる。
【００２６】
これらの光強度は、１枚のガラス基板を切断してＬＣＤ基板２を製造する際の、該ＬＣＤ基板２の側面の切断面粗さや切断角度のばらつきから、強度の再現性や均一性が低く、検査光として使用することは困難である。そこで、ＬＣＤ基板２の検査面から出射する戻り光は遮蔽スリット板２２で遮蔽し、ＬＣＤ基板２の側面から出射する戻り光は遮蔽板２３で遮蔽する。
【００２７】
さて、ＬＣＤ基板２の内部から検査面に入射する光は、入射角が臨界角以下であれば、この入射角に応じた出射角で検査面から出射する。そこで、遮蔽スリット板２２は、図１に示すテーブル７の側方で、このテーブル７上のＬＣＤ基板２の検査面からの出射する戻り光を遮る位置に遮蔽部２２ａを設け、この遮蔽部２２ａの下側に、ＬＣＤ基板２の検査面と平行な１本のスリット２２ｂを設けたものである。これにより、ＬＣＤ基板２の検査面とほぼ平行な側方散乱光のみが検出器１９で受光されるようになる。また、遮蔽板２３は、テーブル７上のＬＣＤ基板２の側方に設けられ、ＬＣＤ基板２内から側面を透過する戻り光を遮蔽し、検出器１９への入光を規制する。
【００２８】
なお、遮蔽スリット板２２を設けたことで、本来の信号分も多少カットされるので、検査に必要とされる光の補足率を向上させるため、遮蔽スリット板２２のスリット２２ｂを通過した光を検出器１９に集光する集光手段としての集光ミラー２７が設けられる。
【００２９】
次に、以上のような構成のパーティクル検査装置１の動作について説明する。一般に、パーティクルによる散乱強度は、レーザ光の照射強度を一定とした場合、照射光の波長に反比例することが知られている。そこで、この原理を利用し、波長の異なるレーザによる散乱強度の差からパーティクルを検出する。
【００３０】
まず、パーティクル検査に先立って、各測定用レーザ光の強度を均一に調整する。これは、上述したフォトダイオード１１をレーザ光の光路内に配置し、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃを順次起動させて、それぞれのレーザ光の強度を測定することにより行う。そして、この測定結果により、減衰フィルタ１０ｂ，１０ｃを制御し、各レーザ発振器８ｂ，８ｃのレーザ強度をレーザ発振器８ａのレーザ強度に一致させる。
【００３１】
次に、パーティクル検査を行う。なお、レーザ導入部５においては、予めミラー１３，１５等の位置決め調整により、各レーザ発振器８ａ，８ｂ，８ｃからのレーザ光が互いの光軸を一致させた状態で合流され、円柱レンズ１２側に導かれるように調整されているものとする。まず、測定テーブル部３の動作によって、ＬＣＤ基板２を搭載したテーブル７を水平移動し、ＬＣＤ基板２を初期位置に配置する。
【００３２】
次に、使用する測定用レーザ光に該当する２つのレーザ発振器を起動し、互いに均一な強度のレーザ光を出力する。これにより、ＬＣＤ基板２の検査面には、２つの波長を有するレーザ光がスリット１８を通して直線状に照射される。そこで、このレーザ照射によるレーザ散乱光を、それぞれの波長に対応する帯域を有する図示しないバンドパスフィルタを介して散乱光検出部６の検出器１９によって検出する。そして、各レーザ散乱光の差分を差分演算部２０によって演算し、補正回路２１を経て結果信号を出力する。これにより、ＬＣＤ基板２において、線状測定光が照射された範囲におけるパーティクル検査が行えることになる。ここで、レーザ光の一度の照射で検査が行われる直線状の範囲を検査ラインと称す。
【００３３】
次に、測定テーブル部３の動作によって、直線状の測定レーザ光と直交する方向にＬＣＤ基板２を予め設定した送り間隔だけ移動し、次の検査ラインにおいて同様の散乱光測定を行う。このような動作を繰り返し、ＬＣＤ基板２の全面にわたるパーティクル検査を行う。この後、測定テーブル部３の動作によってＬＣＤ基板２をパーティクル検査装置１の外部に移送し、検査後のＬＣＤ基板２を次の工程に移行するとともに、次のＬＣＤ基板２をパーティクル検査装置１内に移送し、パーティクル検査に移行する。
【００３４】
ここで、ＬＣＤ基板２に入射したレーザ光のうち、図２に示すようにマイクロレンズ２ａ等のＬＣＤ内部構造部品やＬＣＤ基板２の内側面等で反射して検査面に戻った光は、検査面への入射角が臨界角以下であれば、入射角に応じた出射角で検査面から出射する。しかしながら、この戻り光は遮蔽スリット板２２の遮蔽部２２ａで遮蔽される。
【００３５】
また、ＬＣＤ基板２に入射したレーザ光のうち、ＬＣＤ基板２の側面から出射する戻り光は、遮蔽板２３で遮蔽される。さらに、ＬＣＤ基板２の近傍に配置されるパーティクル検査装置１を構成する部品で反射されたレーザ光も、遮蔽スリット板２２の遮蔽部２２ａ等で遮蔽される。これにより、ＬＣＤ基板２の検査面とほぼ平行な側方散乱光のみが遮蔽スリット板２２のスリット２２ｂを通過し、検出器１９で受光されるようになる。
【００３６】
図３は本実施の形態のパーティクル検査装置と従来のパーティクル検査装置におけるＬＣＤ基板間での強度差を示すグラフである。この図３に示すように、本実施の形態のパーティクル検査装置では、受光強度の低下はあるものの、複数枚のＬＣＤ基板２を検査した場合の各基板間での強度差が少なく抑えられ、安定した検査結果が得られることが判る。
【００３７】
ここで、本実施の形態のパーティクル検査装置を用いた検査は、サンプルとして３枚のＬＣＤ基板の検査を行ったもので、それぞれの基板毎に各検査ライン上の中央および左右両側で受光強度を測定した結果であるが、基板間だけでなく、同一基板内でも強度差が少ないことが判る。
【００３８】
これに対して、従来のパーティクル検査装置を用いた検査は、サンプルとして２枚のＬＣＤ基板の検査を行ったもので、それぞれの基板毎に各検査ライン上の中央および左右両側で受光強度を測定した結果であるが、基板間だけでなく、同一基板内でも強度差が大きいことが判る。
【００３９】
図４は１枚のＬＣＤ基板のある検査ラインでの強度を示すグラフで、図４（ａ）は本実施の形態のパーティクル検査装置での検査結果、図４（ｂ）は従来のパーティクル検査装置での検査結果を示す。本実施の形態のパーティクル検査装置では、１枚のＬＣＤ基板２のある検査ラインにおける散乱強度の平坦さが向上し、パーティクルのみがピークとして表れていることが判る。なお、図示しないが、他の検査ラインでも同様の結果が得られる。これに対して、従来のパーティクル検査装置では散乱強度が安定せず、パーティクルか否かの判断が困難になる。
【００４０】
以上のような本実施の形態によるパーティクル検査装置では、以下のような効果を得ることが可能となる。すなわち、ＬＣＤ基板２内に入射したレーザ光による不要な戻り光が遮蔽スリット板２２および遮蔽板２３で遮蔽されるので、ＬＣＤ基板２の下地パターンの影響を受けることなく、パーティクルの検知を行うことができる。また、不要な戻り光の影響を受けずにパーティクル検査が行えることから、２０ｍｍ角程度の大きさの小形のＬＣＤ基板であっても、検査感度が向上し、径の小さなパーティクルの検出が可能となる。
【００４１】
さらに、検査しているＬＣＤ基板２の周囲に配置される部品からの反射光も遮蔽できるので、検査装置の小型化が可能であり、製造設備への組み込みが容易となる。そして、製造設備に検査装置を組み込むことで、検査による工程増加やパーティクル付着もなくなる。
【００４２】
また、レーザ光によるレーザ散乱強度の検出は、フォトダイオード等の検出器で行うことが可能なため、安価でシンプルなパーティクルフィールドバックシステムを構成することが可能である。
【００４３】
なお、本発明は以上の例に限定されず、適宜変形が可能である。例えば、以上の例では、２つのレーザ光を同時に照射して散乱光の測定を行うようにしたが、１つずつ順番に照射して散乱光の測定を行うようにしてもよい。また、本発明は、ＬＣＤ基板のパーティクル検査に限らず、ウェーハ等のパーティクル検査およびＬＣＤ、ウェーハ等の表面検査への使用が可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、被測定物にレーザ光を照射し、この被測定物で散乱したレーザ光の散乱強度を測定することにより、被測定物におけるパーティクルの付着状態を検査するパーティクル検査装置において、レーザ光の照射によって被測定物で散乱したレーザ散乱光を受光する受光手段と、被測定物で反射した戻り光を遮蔽する遮蔽手段とを備えたものである。
【００４５】
これにより、パーティクルの検査に不要な戻り光の影響を受けていない散乱光の強度からパーティクルの付着状態を検査することができる。したがって、微小なパーティクルの検出が可能となり、検査感度が向上する。また、被測定物からの戻り光の影響が大きくなる小形の被測定物であっても、正確にパーティクルの検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるパーティクル検査装置の一例を示す概略正面図である。
【図２】遮蔽スリット板および遮蔽板の構成例を示す散乱光検出部の要部正面図である。
【図３】本実施の形態のパーティクル検査装置と従来のパーティクル検査装置におけるＬＣＤ基板間での強度差を示すグラフである。
【図４】１枚のＬＣＤ基板のある検査ラインでの強度を示すグラフである。
【符号の説明】
１・・・パーティクル検査装置、２・・・ＬＣＤ基板、３・・・測定テーブル部、４・・・レーザ光源部、５・・・レーザ導入部、６・・・散乱光検出部、７・・・テーブル、８ａ，８ｂ，８ｃ・・・レーザ発振器、９ａ，９ｂ，９ｃ・・・シャッタ、１０ｂ，１０ｃ減衰フィルタ、１１・・・フォトダイオード、１２・・・円柱レンズ、１３・・・ミラー、１４・・・ハーフミラー、１５・・・ミラー、１６・・・ハーフミラー、１７・・・絞り板、１８・・・スリット、１９・・・検出器、２０・・・差分演算部、２１・・・補正回路、２２・・・遮蔽スリット板、２２ａ・・・遮蔽部、２２ｂ・・・スリット、２３・・・遮蔽板、２４・・・補正用受光部、２５・・・増幅器、２６・・・増幅器、２７・・・集光ミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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