(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから安定した液滴の吐出を行うことができ、また、吐出液の交換時において、吐出液の無駄が少なく、配管の交換作業も容易に行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１と、ヘッドユニット１１を支持するヘッドユニット支持体１０２と、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を貯留する一次タンク系と、前記ヘッドユニット支持体１０２に設置された二次タンク４１２と、一次タンク系と二次タンク４１２とを接続する一次流路４１１と、二次タンク４１２とヘッドユニット１１とを接続する複数本の二次流路４１４とを備える。一次流路４１１の本数は、二次流路４１４の本数より少ない。【選択図】図６
2004167430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
ワークに対して液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを支持するヘッドユニット支持体と、
前記ワーク載置部と前記ヘッドユニット支持体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記各液滴吐出ヘッドから吐出する吐出液を貯留し、交換および／または吐出液の補充が可能な少なくとも１つの一次タンクを有する一次タンク系と、
前記ヘッドユニット支持体に対し固定的に設置され、前記一次タンクから吐出液が流入する二次タンクと、
前記一次タンク系と前記二次タンクとを接続し、前記一次タンク系から前記二次タンクに吐出液を供給する一次流路と、
前記二次タンクと前記ヘッドユニットとを接続し、前記二次タンクから前記各液滴吐出ヘッドにそれぞれ吐出液を供給する複数本の二次流路とを備え、
前記一次流路の本数が前記二次流路の本数より少ないことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記二次タンクは、その内部の圧力または液面の高さが調節されるものである請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記二次タンクは、前記ヘッドユニットより高い位置に設置されている請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記一次流路の本数が１本である請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記各二次流路の途中にそれぞれ設置され、流路を遮断可能な遮断弁を備える請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記ワーク載置部と前記ヘッドユニット支持体とを相対的に移動させつつ前記各液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ヘッドユニット支持体を前記装置本体に対し移動させる移動機構を備える請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記ワーク載置部を前記装置本体に対し移動させる移動機構を備える請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットプリンターが主に民生用のプリンターとして広く用いられている。このインクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用した産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。この産業用の液滴吐出装置は、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用される。
産業用の液滴吐出装置では、基板等の対象物が大型になるとともに、大量生産を目的とするので、ヘッドから吐出するインク等の吐出液の消費量が非常に多くなる。
【０００３】
従来の液滴吐出装置では、インク消費量の増大に対応するため、装置本体外に、複数のインクジェットヘッドにインクを供給する二次タンク（サブタンク）と、二次タンクにインクを補充する一次タンク（メインタンク）とを設置し、一次タンクを交換可能としている（例えば、特許文献１参照）。二次タンク内では、各インクジェットヘッドからの液滴吐出状態を良好に維持するために、インクジェットヘッドのノズル部に対するインクの液面高さ（水頭差）を調節することにより、各インクジェットヘッドに供給されるインクの圧力が調整される。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の液滴吐出装置では、二次タンクがインクジェットヘッドから遠く離れた装置本体外に設置され、長いチューブ（インクチューブ群２０６）を介して各インクジェットヘッドに接続されているので、各インクジェットヘッド内でのインクの圧力の調整を精度良く行うことが困難であるという問題がある。
【０００５】
また、各インクジェットヘッドと、遠く離れたところにある二次タンクとの間が、インクジェットヘッドと同数の多数のインクチューブ群２０６で接続されているので、このインクチューブ群２０６内の容積が大きい。よって、インク（吐出液）を異種のものに交換する際などには、インクチューブ群２０６内にある多量のインク（吐出液）が無駄になるという問題がある。
さらに、インクチューブ群２０６を交換する作業が煩雑で、各々のチューブの接続位置を間違えないように接続するのに多大な手間と時間を要するという問題もある。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−１５０７３３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドから安定した液滴の吐出を行うことができ、また、吐出液の交換時において、吐出液の無駄が少なく、配管の交換作業も容易に行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークを載置可能なワーク載置部と、
ワークに対して液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを支持するヘッドユニット支持体と、
前記ワーク載置部と前記ヘッドユニット支持体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記各液滴吐出ヘッドから吐出する吐出液を貯留し、交換および／または吐出液の補充が可能な少なくとも１つの一次タンクを有する一次タンク系と、
前記ヘッドユニット支持体に対し固定的に設置され、前記一次タンクから吐出液が流入する二次タンクと、
前記一次タンク系と前記二次タンクとを接続し、前記一次タンク系から前記二次タンクに吐出液を供給する一次流路と、
前記二次タンクと前記ヘッドユニットとを接続し、前記二次タンクから前記各液滴吐出ヘッドにそれぞれ吐出液を供給する複数本の二次流路とを備え、
前記一次流路の本数が前記二次流路の本数より少ないことを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドから安定した液滴の吐出を行うことができ、また、吐出液の交換時において、吐出液の無駄が少なく、配管の交換作業も容易に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記二次タンクは、その内部の圧力または液面の高さが調節されるものであることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドから、より安定した液滴の吐出を行うことができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記二次タンクは、前記ヘッドユニットより高い位置に設置されていることが好ましい。
これにより、二次タンクの配置の自由度が高く、省スペース化が図れる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置は、前記一次流路の本数が１本であることが好ましい。
これにより、吐出液の無駄をさらに少なく、配管の交換作業もさらに容易に行うことができる。
本発明の液滴吐出装置は、前記各二次流路の途中にそれぞれ設置され、流路を遮断可能な遮断弁をさらに備えることが好ましい。
これにより、二次タンク内の圧力を調整する圧力制御ユニットの非作動時に、吐出液が二次タンクから液滴吐出ヘッドに流れ続けるのを防止することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、前記ワーク載置部と前記ヘッドユニット支持体とを相対的に移動させつつ前記各液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置は、前記ヘッドユニット支持体を前記装置本体に対し移動させる移動機構をさらに備えることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
本発明の液滴吐出装置は、前記ワーク載置部を前記装置本体に対し移動させる移動機構をさらに備えることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
【００１３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図、図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンク収納部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１５】
これらの図に示す液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができる産業用の液滴吐出装置である。
【００１６】
液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材（ワーク）であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。また、本発明では、液滴吐出装置が対象とするワークは板状部材に限らずいかなるものでもよく、例えばレンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００１７】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、基板テーブル（ワーク載置部）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、液滴吐出ヘッド１１１のメンテナンスをするメンテナンス装置１２と、タンク収納部１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、制御装置１６と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００１８】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００１９】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤２２とを有している。石定盤２２の上には、基板テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板テーブル３は、リニアモータ１０１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板テーブル３上に載置される。
【００２０】
液滴吐出装置１では、基板テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２１】
図１に示すように、基板テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（フラッシング）された吐出液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収される。
【００２２】
基板テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、プリズム１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板テーブル３に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、プリズム１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、プリズム１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２３】
また、装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するヘッドユニット支持体（メインキャリッジ）１０２が、基板テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ１０３の駆動により、ヘッドユニット支持体１０２とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２４】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（吐出液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００２５】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００２６】
メンテナンス装置１２は、架台２１および石定盤２２の側方に設置されている。このメンテナンス装置１２は、ヘッドユニット１１の待機時に液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット１２１と、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面をワイピングするクリーニングユニット１２２と、液滴吐出ヘッド１１１の定期的なフラッシングを受ける定期フラッシングユニット１２３と、重量測定ユニット１２５とを有している。
【００２７】
また、メンテナンス装置１２は、Ｙ軸方向に移動可能な移動台１２４を有しており、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット１２３および重量測定ユニット１２５は、移動台１２４上にＹ軸方向に並んで設置されている。ヘッドユニット１１がメンテナンス装置１２の上方に移動した状態で移動台１２４がＹ軸方向に移動することにより、キャッピングユニット１２１、クリーニングユニット１２２、定期フラッシングユニット１２３および重量測定ユニット１２５のいずれかが液滴吐出ヘッド１１１の下方に位置し得るようになっている。ヘッドユニット１１は、待機時にはメンテナンス装置１２の上方に移動し、キャッピング、クリーニング（ワイピング）および定期フラッシングを所定の順番で行う。
【００２８】
キャッピングユニット１２１は、複数の液滴吐出ヘッド１１１のそれぞれに対応するように配置された複数のキャップとこれらキャップを昇降させる昇降機構とを有している。ヘッドユニット１１の待機時には、このキャップで液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を覆うことにより、ノズル形成面が乾燥するのを防止することができる。また、キャッピングユニット１２１によるキャッピングは、ヘッドユニット１１に吐出液を初期充填する際や、吐出液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１１から吐出液を排出する際、洗浄液により流路を洗浄する際などにも行われる。
【００２９】
キャッピングユニット１２１には、各キャップに通じる吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピング中に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出液は、この吸引チューブを通り、後述するキャッピング排液装置１７により回収され、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
【００３０】
クリーニングユニット１２２は、洗浄液（例えば、吐出液を溶解可能な溶剤など）を含ませたワイピングシートをローラーにより走行させ、このワイピングシートにより液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取り、清掃するよう作動するものである。
定期フラッシングユニット１２３は、ヘッドユニット１１の待機時のフラッシングに使用されるものであり、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した吐出液滴を受けるものである。定期フラッシングユニット１２３には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収される。
【００３１】
重量測定ユニット１２５は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、重量測定ユニット１２５の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を重量測定ユニット１２５に対し吐出する。重量測定ユニット１２５は、吐出された液滴を受ける液受けと、電子天秤等の重量計とを備えており、吐出された液滴の重量を計測する。または、液受けを取り外して装置外部の重量計で計測してもよい。後述する制御装置１６は、その重量計測結果に基づいて、吐出ノズルにおける１回の吐出液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００３２】
ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１のノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けを検出するものであり、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部を備えている。ドット抜け検出を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各ノズルから液滴を捨て吐出し、ドット抜け検出ユニット１９は、この捨て吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしているノズルの有無および個所を光学的に検出する。この際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出液は、ドット抜け検出ユニット１９が備える受け皿に溜まり、この受け皿の底部に接続された吸引チューブ（図示せず）を通って、後述する排液装置１８により回収される。
【００３３】
装置本体２およびメンテナンス装置１２の近傍には、ラック（棚）１３１を有するタンク収納部１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納部１３のラック１３１には、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を貯留する第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、クリーニングユニット１２２に供給する洗浄液を貯留する第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、キャッピングユニット１２１から回収された排液を貯留する第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２と、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット１２３およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液を貯留する第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２（図９中では図示を省略）とがそれぞれ設置（収納）されている。
【００３４】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２は、それぞれ、空になったときに吐出液を補充したり、満杯になっているタンクに交換したりすることができるようになっている。なお、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、交換（着脱）と、吐出液の補充との少なくとも一方が行えるようになっていればよい。
【００３５】
同様に、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２も、それぞれ、交換または洗浄液の補充を行うことができるようになっている。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、満杯になったときに空のタンクへの交換または排液の抜き取りを行うことができるようになっている。
【００３６】
制御装置（制御手段）１６は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御するものであり、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有している。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。
【００３７】
このような液滴吐出装置１（制御装置１６を除く）は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２を含めて、好ましくは、内部の温度および湿度が管理されるチャンバ９１に収容（収納）されている。すなわち、液滴吐出装置１は、温度および湿度が管理された環境下で稼動する。これにより、基板Ｗ上に吐出液滴によるパターンを形成（描画）するに当たり、液滴吐出装置１の各部や基板Ｗが温度変化によって熱膨張・熱収縮することによる誤差を生じるのを防止することができるので、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。
【００３８】
また、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２に貯留された吐出液の温度が管理（調節）される結果、吐出液の粘度等の特性が安定することから、液滴吐出ヘッド１１１からの液滴吐出状態が安定するので、さらに高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することもでき、基板Ｗを清浄に維持した状態でパターンの形成（描画）を行うことができる。
【００３９】
チャンバ９１は、主室（第１の部屋）９１３と、副室（第２の部屋）９１６とを有している。主室９１３と副室９１６とは、隔壁９１４および９１５により隔てられている。主室９１３内には、液滴吐出装置１が収容されており、副室９１６内には、タンク収納部９１３が収容されている。すなわち、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、チャンバ９１内において液滴吐出装置１と別個の部屋である副室９１６に収容されている。
【００４０】
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。また、隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。
【００４１】
このようなチャンバ９１を備えるチャンバ装置９は、さらに、チャンバ９１内の温度および湿度を調節（管理）する空調装置９２を備えている。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、温度および湿度を調節した空気（気体）を導入ダクト９３を通してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。天井裏９１１に送り込まれた空気は、フィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。主室９１３内に導入された空気は、連通部９１７を通って副室９１６に流入し、副室９１６内を経由して排気ダクト９４（排気口）により外部へと排出される。
【００４２】
このような構成により、空調装置９２によって温度および湿度が調節された空気が主室９１３および副室９１６の隅々まで確実に流入するので、簡単な構造で、液滴吐出装置１の周囲と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２の周囲との双方の温度および湿度を管理することができる。また、吐出液から発生する有害ガスをチャンバ９１の外部に排出することができ、安全性が高い。
【００４３】
本実施形態では、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の交換や吐出液の補充を行う際には、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、これを行うことができる。これにより、一次タンクの交換時や吐出液の補充時に、液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、一次タンクの交換や吐出液の補充を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、一次タンクの交換や吐出液の補充を行った後、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コストの低減が図れる。
【００４４】
また、本実施形態では、洗浄液タンクの交換や、洗浄液の補充、排液を貯留するタンクの交換、排液の抜き取り等の作業を行う場合でも、同様に、液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、その作業の直後から高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができ、スループット（生産能率）のさらなる向上が図れる。
【００４５】
なお、排気ダクト９４には、好ましくは流速センサ（図示せず）が設置されている。制御装置１６は、この流速センサの検出結果に基づいて、常時、必要排気量が確保されているか監視しており、異常があった場合には、警報音、音声、操作パネル（図示せず）への表示などの方法により、その旨をオペレータに報知する。
【００４６】
また、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を温度および湿度を調節して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
また、副室９１６に設けられた外部に対する開閉部は、戸が二重または三重以上になっていて、それらの戸と戸の間に別個の部屋（空間）が形成されるようなものでもよい。
また、チャンバ９１は、その内部の温度、湿度のいずれか一方が管理（調節）されるものであればよい。
また、本実施形態では、一次タンクを２個備えているが、一次タンクは、１個でも３個以上でもよい（他のタンクについても同様）。
【００４７】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板テーブルを示す側面図である。
図４に示すように、架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２により、周囲の環境条件や振動等の影響を防ぎ、基板テーブル３およびヘッドユニット１１が高精度に移動することができる。
【００４８】
石定盤２２の上には、Ｙ軸方向移動機構としてのリニアモータ１０１およびエアスライダ１０８が設置されている。基板テーブル３は、エアスライダ１０８によりＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ１０１の駆動によりＹ軸方向に移動する。また、基板テーブル３の下部には、θ軸回転機構１０５が設けられており、これにより、基板テーブル３は、基板テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
また、図３に示すように、基板テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４９】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。なお、図５および図７においては、設置された機器の一部の図示を省略する。
これらの図に示すように、装置本体２は、石定盤２２の上に設置された４本の支柱２３と、これらの支柱２３により支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とをさらに有している。基板テーブル３は、桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５０】
図５に示すように、桁２４および２５には、ヘッドユニット支持体１０２と、カメラキャリッジ１０６とがそれぞれ桁２４および２５の間に架け渡されるようにして設置されている。桁２４には、ヘッドユニット支持体１０２およびカメラキャリッジ１０６の共通のＸ軸方向移動機構として、リニアモータアクチュエータ１０３が設置されている。ヘッドユニット支持体１０２と、カメラキャリッジ１０６とは、それぞれ、リニアモータアクチュエータ１０３と、桁２５に設けられたリニアガイドとの案内により、Ｘ軸方向に円滑に移動可能に設置されている。ヘッドユニット支持体１０２と、カメラキャリッジ１０６とは、リニアモータアクチュエータ１０３の駆動により、それぞれ独立してＸ軸方向に移動する。
【００５１】
ヘッドユニット支持体１０２には、ヘッドユニット１１が支持されている。ヘッドユニット１１がヘッドユニット支持体１０２とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。ヘッドユニット１１には、吐出液を供給するための配管（図示せず）や、配線ケーブル（図示せず）等がそれぞれ接続されている。また、ヘッドユニット１１は、ヘッドユニット支持体１０２に対し着脱可能になっている。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００５２】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を模式的に示す平面図である。図８に示すように、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴が吐出される多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。液滴吐出ヘッド１１１は、電圧の印加により変位（変形）する圧電素子を有し、この圧電素子の変位（変形）を利用して、吐出ノズルに連通するように形成された圧力室（液室）内の圧力を変化させることよって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものである。なお、液滴吐出ヘッド１１１は、このような構成に限らず、例えば、吐出液をヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたものなどでもよい。
【００５３】
ヘッドユニット１１には、この液滴吐出ヘッド１１１が複数個（以下の説明では１２個として説明する）設置されている。これらの液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並ぶとともに、ノズル列が副走査方向に対し所定角度傾斜するような姿勢で配置されている。
なお、このような配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００５４】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、ヘッドユニット支持体１０２に複数のヘッドユニット１１が支持されていてもよい。
ここで、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板テーブル３上に載置（給材）された基板Ｗが所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
【００５５】
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、ヘッドユニット１１を停止した状態で、基板テーブル３の移動により基板Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させつつ、各液滴吐出ヘッド１１１から基板Ｗへの選択的な液滴吐出動作を行う。このとき、液滴吐出動作は、基板テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板テーブル３を複数回往復させて、液滴吐出動作を複数回繰り返し行ってもよい。以上の動作により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って伸びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００５６】
その後、ヘッドユニット支持体１０２を移動させることにより、ヘッドユニット１１１を前記所定の幅の分だけ副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させる。この状態で、前述した動作と同様に、基板Ｗを主走査方向に移動させつつ、各液滴吐出ヘッド１１１から基板Ｗへの選択的な液滴吐出動作を行う。そして、この領域への液滴吐出動作が終了したら、ヘッドユニット１１１をさらに前記所定の幅の分だけ副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させた状態として、基板Ｗを主走査方向に移動させつつ、同様の液滴吐出動作を行う。これを、数回繰り返すことで、基板Ｗの全領域に液滴吐出が行われる。このようにして、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する。
【００５７】
図１０は、図１および図２に示す液滴吐出装置における給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図、図１１は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図、図６および図９に基づいて、液滴吐出装置１における吐出液供給装置４、洗浄液供給装置５、キャッピング排液装置１７および排液装置１８について説明する。
【００５８】
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出液を供給する吐出液供給装置４について説明する。図１０に示すように、吐出液供給装置４は、吐出液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。
本実施形態では、一次タンク系４０は、吐出液を貯留する第１の一次タンク（吐出液タンク）４０１および第２の一次タンク（吐出液タンク）４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管（流出流路）４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管（流出流路）４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。なお、一次タンク系４０は、図示の構成に限らず、一次タンクの個数が１個のみのものでも、３個以上のものでもよい。
【００５９】
三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。三方弁４０５は、一次流路４１１と流出配管４０３とを接続する状態と、一次流路４１１と流出配管４０４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２から選択的に吐出液を一次流路４１１に供給することができる。三方弁４０５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００６０】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の個々の容量は、特に限定されないが、交換作業の容易化と、吐出液供給装置４全体としての容量確保との両立を考慮する観点から、１〜１０リットル程度であるのが好ましく、３〜５リットル程度であるのがより好ましい。
また、吐出液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１に接続された加圧配管（加圧経路）４０７と、第２の一次タンク４０２に接続された加圧配管（加圧経路）４０８と、三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。
【００６１】
加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。三方弁４０９には、加圧手段４０６からの配管（経路）４１０と、加圧配管４０７および４０８とがそれぞれ接続されている。三方弁４０９は、配管４１０と加圧配管４０７とを接続する状態と、配管４１０と加圧配管４０８とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２の内部を加圧手段４０６により選択的に加圧することができる。三方弁４０９は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００６２】
図６に示すように、二次タンク４１２は、ヘッドユニット支持体１０２に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、ヘッドユニット支持体１０２とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から伸びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
【００６３】
一次流路４１１は、好ましくは可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、ヘッドユニット支持体１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【００６４】
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から伸びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。
【００６５】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【００６６】
本実施形態では、二次タンク４１２は、ヘッドユニット１１より高い位置に設置されている。これにより、二次タンク４１２をヘッドユニット１１の邪魔にならないように容易に配置することができ、配置の自由度が高く、省スペース化が図れる。
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００６７】
以上説明したように、液滴吐出装置１では、二次タンク４１２がヘッドユニット支持体１０２上に設置されており、二次タンク４１２とヘッドユニット１１との距離が近いので、各液滴吐出ヘッド１１１に供給する吐出液の圧力制御をより高い精度で行うことができ、よって、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルから、液滴の吐出を良好な状態で安定して行うことができる。その結果、吐出液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。
【００６８】
また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１を有するにもかかわらず、一次タンク系４０と二次タンク４１２との間が１本の一次流路４１１で接続されているので、一次流路４１１内の容積が小さく、一次流路４１１内にある吐出液が少量である。よって、吐出液を異種のものに交換する際や、一次流路４１１を構成する配管を交換する際などには、一次流路４１１内の吐出液が無駄になるが、この無駄になる量が少量で済み、経済的である。
【００６９】
また、二次タンク４１２とヘッドユニット１１との距離が近く、各二次流路４１４を構成する配管の長さが短いので、各二次流路４１４を構成する配管を交換する際の作業量が少ない。また、各二次流路４１４を、二次タンク４１２およびヘッドユニット１１の対応する各接続口に間違いなく接続するのも簡単で、配管作業が容易ある。
【００７０】
図１１（ａ）に示すように、吐出液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
【００７１】
また、吐出液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
このような吐出液供給装置４は、図１０に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
【００７２】
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【００７３】
第２の一次タンク４０２から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出液を再充填する。
【００７４】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル（図示せず）に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【００７５】
以上説明したような吐出液供給装置４は、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【００７６】
また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の交換（補充）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出液を補充することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られるので、大量のワークに対し迅速に処理することができ、製造コスト低減が図れる。また、吐出液の初期充填時などの大量に吐出液を消費する際にも、タンク交換作業による時間のロスが無い。
【００７７】
なお、一次タンク（給液タンク）を３個以上設け、これらのうちから選択した１つの一次タンク（給液タンク）から吐出液が供給されるように切り替えて使用することにしてもよい。また、三方弁４０５のような流路切り替え手段や、三方弁４０９のような加圧経路切り替え手段は、自動で切り替わるよう構成されたものに限らず、手動で切り替えるものでもよい。また、吐出液を送液する方法は、一次タンク内を加圧する方法に限らず、吸引ポンプによって吸引することにより送液してもよい。
【００７８】
次に、液滴吐出ヘッド１１１のクリーニングを行うクリーニングユニット（クリーニング装置）１２２で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、洗浄液供給装置５は、ラック１３１に着脱可能に設置された、洗浄液を貯留する第１の洗浄液タンク（給液タンク）５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管（流出流路）５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管（流出流路）５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット１２２への給液配管（給液流路）５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管（加圧経路）５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管（加圧経路）５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。
【００７９】
加圧手段５０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。また、加圧手段４０６と加圧手段５０６とを別個に設けず、共用してもよい。給液流路５１１からクリーニングユニット１２２へ供給された洗浄液は、クリーニングユニット１２２に設置されたノズルより噴射され、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取るワイピングシートに含浸する。
このような洗浄液供給装置５は、吐出液供給装置４と同様に、三方弁５０５および５０９の切り替えにより、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２の２つを切り替えながら使用するので、吐出液供給装置４と同様の効果を発揮する。
【００８０】
次に、液滴吐出ヘッド１１１をキャッピングするキャッピングユニット（キャッピング装置）１２１からの排液（吐出液）を回収するキャッピング排液装置１７について説明するが、前記吐出液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、キャッピング排液装置１７は、ラック１３１に着脱可能に設置された、キャッピングユニット１２１から回収した排液を貯留する第１の排液タンク１７１および第２の排液タンク１７２と、第１の排液タンク１７１に接続された流入配管（流入流路）１７３と、第２の排液タンク１７２に接続された流入配管（流入流路）１７４と、三方弁（流路切り替え手段）１７５とを有している。三方弁１７５には、キャッピングユニット１２１からの排液配管（排液流路）１７６と、流入配管１７３および１７４とがそれぞれ接続されている。三方弁１７５は、排液配管１７６と流入配管１７３とを接続する状態と、排液配管１７６と流入配管１７４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、キャッピングユニット１２１からの排液を第１の排液タンク１７１または第２の排液タンク１７２内に選択的に導入することができる。三方弁１７５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【００８１】
図１１（ｂ）に示すように、キャッピング排液装置１７は、第１の排液タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７をさらに有している。液量検出手段１７７は、第１の排液タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の排液タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の排液タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７は、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の排液タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７の検出結果は、制御装置１６に入力される。また、キャッピング排液装置１７は、第２の排液タンク１７１の内部の液量を検出する同様の液量検出手段１７７をさらに有している。
【００８２】
このようなキャッピング排液装置１７では、図１０に示す状態では、キャッピングユニット１２１からの排液は、図示しない吸引ポンプに吸引され、第１の排液タンク１７１内に導入される。そして、第１の排液タンク１７１内の排液が蓄積していき、液量検出手段１７７が第１の排液タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、排液が第２の排液タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【００８３】
制御装置１６は、第１の排液タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の排液タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（排液の回収）を作業者に促すのが好ましい。キャッピング排液装置１７により回収された排液は、比較的清浄な状態の吐出液であるので、再利用に供される。
【００８４】
以上説明したようなキャッピング排液装置１７は、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う排液量の増大に有効に対応することができる。また、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
また、第１の排液タンク１７１、第２の排液タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、排液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【００８５】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット１２３およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出液）を回収する排液装置１８について説明するが、前記キャッピング排液装置１７と同様の事項については説明を省略する。図１０に示すように、排液装置１８は、ラック１３１に着脱可能に設置された（図９中には表れていない）、捨て吐出された排液を貯留する第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管（流入流路）１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管（流入流路）１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット１２３およびドット抜け検出ユニット１９からの排液配管（排液流路）１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、排液装置１８は、さらに、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２の内部の液量をそれぞれ検出する液量検出手段（図示せず）を有している。
このような排液装置１８によれば、前記キャッピング排液装置１７と同様の効果が得られる。排液装置１８により回収された排液は、廃棄または再利用に供される。
【００８６】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、一次タンク系と二次タンクとを接続する一次流路の本数は、前述した実施形態のように１本であるのが好ましいが、二次流路の本数すなわち液滴吐出ヘッドの個数より少なければ複数本であってもよく、その場合でも前述した効果が得られる。
また、二次タンクは、その内部の圧力が直接に調節されるものに限らず、その内部の液面の高さを調節することによって液滴吐出ヘッドに供給する吐出液の圧力が調節されるものでもよい。
【００８７】
また、タンク内の液量を検出する液量検出手段は、前記実施形態では、液量（液位）が所定の下限レベルまたは上限レベルになったのを検出するものであるが、本発明における液量検出手段は、液量（液位）の変化を常時検出可能なものであってもよい。
また、液量検出手段の構成は、図示の構成に限らず、例えば、タンク内に設けたフロート（浮子）の高さによって液量を検出する構成や、タンクの重量を測定することによって液量を検出する構成や、タンクから流出またはタンクに流入する流量を積算流量計で測定することによって液量を検出するものなど、いかなる構成のものでもよい。
【００８８】
また、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、基板（ワーク）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、これと逆に、基板（ワーク）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明の液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させるよう構成されたものであればよい。
例えば、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータに代えて、例えばボールネジ（送りネジ）などでもよい。
【００８９】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】ヘッドユニットの構成および液滴吐出動作を示す模式的平面図。
【図９】タンク収納部を示す斜視図。
【図１０】給液装置および排液装置を模式的に示す配管系統図。
【図１１】液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【符号の説明】
１０２……ヘッドユニット支持体、１０３……リニアモータアクチュエータ、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１４……ブロー装置、４１１……一次流路、４１２……二次タンク、４１３……中継部、４１４……二次流路、４１５……遮断弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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