(57)【要約】【課題】ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握すること。【解決手段】複数のＬＣＤ基板２の各原画像データをそれぞれ画像処理してＬＣＤ基板２の欠陥部Ｇ１、Ｇ２を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部Ｇ１、Ｇ２の数を加算する。【選択図】    図７
2004286532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して前記被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、
前記撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と前記欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて前記各座標領域毎に前記欠陥部の数を加算する工程と、
前記欠陥部の加算結果から前記被検査対象物の良否判定を行う工程と、
を有することを特徴とする外観検査方法。
【請求項２】
前記欠陥部の加算数が所定数に達すると、前記被検査対象物を不良と判定し、その旨を報知することを特徴とする請求項１記載の外観検査方法。
【請求項３】
複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して前記各撮像画像データごとに前記被検査対象物の欠陥部を抽出する外観検査装置において、
前記撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する座標情報記憶手段と、
前記被検査対象物の欠陥部を抽出して得られる欠陥抽出画像データと前記座標情報との座標位置を一致させて前記各座標領域毎に前記欠陥部の数を加算する加算手段と、
前記加算手段の結果に基づいて前記被検査対象物の良否判定を行う判定手段と、
を具備したことを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
前記加算手段は、前記各座標領域別にそれぞれ前記欠陥部の各加算数を求めることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記加算手段は、前記欠陥部の種類別にそれぞれ前記欠陥部の各加算数を求めることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記加算手段は、前記欠陥部のうち特定の欠陥部のみの加算数を求めることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記判定手段は、前記加算手段による前記欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数に達すると、前記被検査対象物を不良品と判定し、検査を中止すると共にその旨を報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
【請求項８】
複数の前記被検査対象物を撮像装置により順次撮像して取得される前記各撮像画像データを用いる、又は既に撮像されて画像記憶装置に記憶されている前記撮像画像データを用いることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハなどの半導体回路基板上や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板上の検査を行なう外観検査方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体回路やＬＣＤパネルなどの製品の製造工程では、製品の歩留まりや品質維持のために製造工程の後に、製品の検査工程が配備されている。この検査工程には、製品の外観検査があり、検査作業員が製品を目視により検査するのが一般的である。
【０００３】
近年、例えばＬＣＤパネルの基板（以下、ＬＣＤ基板と称する）上の多種多様の欠陥部を撮像し、その撮像画像データを画像処理することによって自動的に検査することができる自動外観検査装置の開発が盛んになり、その実用化も進んでいる。
【０００４】
半導体回路やＬＣＤパネルなどの製品は、製造工程において通常ロットと呼ばれる例えば２０枚の検査基板を１組とした単位で製造が進行する。検査工程では、ロットの全数について自動外観検査するか、又は予め指定された枚数のみを抜き取りして自動外観検査することが行われている。そして、自動外観検査では、１枚のＬＣＤ基板毎に欠陥抽出、欠陥分類、ＬＣＤ基板の良否判定といった検査処理が行われる。
【０００５】
この自動外観検査では、ＬＣＤ基板個々の欠陥情報や判定結果の集計結果から１ロットの検査中であっても、例えば数枚のＬＣＤ基板に対する集計結果から欠陥数が多ければ、検査の途中で見切りを付けて検査を終了させ、そのロットに対する良否判定することが必要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＬＣＤ基板個々の欠陥情報や判定結果の集計は、テキストファイルや数値データによって行われている。このため、ロット検査を途中で終了した場合、自動外観装置に撮像した撮像画像データの保存及びその表示機能があれば、その画像と集計データとを比べながら欠陥部を判断しなければならない。すなわち、ロット検査の途中で検査終了処理が発生して担当の検査作業員に対して警告が発せられたとき、検査作業員はＬＣＤ基板上のどの領域に欠陥部が発生して問題になっているのかを瞬時に把握することが困難になっている。
【０００７】
そこで本発明は、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する工程と、欠陥部の加算結果から被検査対象物の良否判定を行う工程とを有する外観検査方法である。
【０００９】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して各撮像画像データごとに被検査対象物の欠陥部を抽出する外観検査装置において、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する座標情報記憶手段と、被検査対象物の欠陥部を抽出して得られる欠陥抽出画像データと座標情報との座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する加算手段と、加算手段の結果に基づいて被検査対象物の良否判定を行う判定手段とを具備した外観検査装置である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は外観検査装置の構成図である。検査ステージ１上には、例えばＬＣＤパネルに用いられるＬＣＤ基板２が載置される。このＬＣＤ基板２は、例えばＬＣＤ製造工程でのＬＣＤパネル製造に用いられる。
【００１２】
検査ステージ１は、装置制御ユニット３によって後述するラインセンサカメラ５のライン方向に対して直交する１軸方向に移動するものである。
【００１３】
検査ステージ１上に載置されたＬＣＤ基板２の上方には、ライン照明装置４とラインセンサカメラ５とがＬＣＤ基板２の面上を介して対向配置されている。ライン照明装置４は、ライン照明光６をＬＣＤ基板２の表面に対して所定の入射角で照射するように傾けて配置されている。
【００１４】
ラインセンサカメラ５は、ＬＣＤ基板２の面からの反射光７を撮像してその画像信号を出力する。
【００１５】
画像処理ボード８は、ラインセンサカメラ５から出力された画像信号を入力して撮像画像データ（以下、原画像データと称する）を作成し、この原画像データを画像処理してＬＣＤ基板２上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつ欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した欠陥抽出画像データ（以下、結果画像データと称する）を作成する機能を有する。
【００１６】
装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ（以下、装置制御兼画像表示用ＰＣと称する）９は、画像処理ボード８から結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ１０に表示し、かつ画像処理ボード８からの原画像データ及び結果画像データを画像サーバ１１に保存する機能を有する。これら原画像データ及び結果画像データの画像サーバ１１への保存は、例えばＪＰＧファイル、ＢＭＰファイルといったファイルフォーマットで行われる。
【００１７】
又、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、内部のプログラムメモリに記憶されている検査プログラムを実行することにより座標情報記憶部１２と、加算部１３と、報知部１４との機能を有する。
【００１８】
このうち座標情報記憶部１２は、原画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する。例えば、図２は原画像データの模式図である。この原画像データは、基板表面上にＬＣＤパネル１５が縦横方向に９枚配列されて作成されたＬＣＤ基板２を撮像して取得したものである。
【００１９】
この原画像データに対する座標情報は、例えば図３に示すようにＬＣＤ基板２の縦横方向に対し、縦方向を５分割し、横方向を４分割し、合計２０個の矩形Ｋに分割する。そして、これら分割された各矩形領域は、それぞれ座標（０，０）、（０，１）、…、（４，３）が付されて２次元配列で表現したものとなっている。なお、これら矩形領域は、それぞれ座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）と称し、その各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【００２０】
加算部１３は、ＬＣＤ基板２の表面上の欠陥部を抽出して得られる結果画像データと図４に示す座標情報との座標位置を一致させて各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）毎に欠陥部の数を加算する機能を有する。この場合、加算部１３は、例えば各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）毎の各カウンタを持ち、これらカウンタによってそれぞれ欠陥部の数をカウントする。
【００２１】
この欠陥部の数の加算方法は、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの欠陥部の各加算数の総計を求める方法と、欠陥部の種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求める方法とがある。
【００２２】
報知部１４は、加算部１３による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「５」以上になると、モニタ１０の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する機能を有する。
【００２３】
なお、装置制御兼画像表示用ＰＣ９には、キーボード１５及びマウス１６が接続され、検査に対する指示や設定の変更を行なえるようになっている。例えば、キーボード１５又はマウス１６を操作することによって図４に示す座標情報の各座標領域のサイズや分割数を変更できる。
【００２４】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図５に示す検査フローチャートに従って説明する。
【００２５】
検査の開始前に、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ１において、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの欠陥数のカウント値を初期化する。
【００２６】
次に、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ２において、１ロット、例えば２０枚のＬＣＤ基板２に対する検査が終了したか否かの判断を行ない、ここでは検査が終了していないので、次のステップＳ３に進む。
【００２７】
次に、１ロットのＬＣＤ基板２が収納されたカセットの全数検査が行われる。このカセットからは、図示しない搬送ロボットによりＬＣＤ基板２が１枚づつ取り出され、これらＬＣＤ基板２が検査ステージ１上に順次載置される。
【００２８】
この状態に、ライン照明装置４は、ＬＣＤ基板２の表面に対してライン照明光６を所定の入射角で照射する。このとき、ラインセンサカメラ５は、ステップＳ２において、ＬＣＤ基板２の面からの反射光７を撮像してその画像信号を出力する。これと共に、検査ステージ１は、装置制御ユニット３によってラインセンサカメラ５のライン方向に対して直交する１軸方向に移動する。これによって、ラインセンサカメラ５からは、ＬＣＤ基板２の全面を走査した画像信号が出力される。
【００２９】
画像処理ボード８は、ステップＳ４において、ラインセンサカメラ５から出力された画像信号を入力して原画像データを作成し、この原画像データを画像処理してＬＣＤ基板２上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップＳ５において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【００３０】
図６は結果画像データの一例を示す模式図である。この結果画像データには、各欠陥部Ｇ１、Ｇ２が抽出されている。これら欠陥部Ｇ１、Ｇ２は、例えばその欠陥部の種類が異なるものである。
【００３１】
装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、画像処理ボード８から図６に示す結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ１０に表示し、かつ画像処理ボード８からの原画像データ及び結果画像データを、例えばＪＰＧファイル、ＢＭＰファイルといったファイルフォーマットで画像サーバ１１に保存する。
【００３２】
次に、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ６において、図６に示す結果画像データ上に欠陥部があるか否かを判断し、ここでは欠陥部Ｇ１、Ｇ２が抽出されているので、次のステップＳ７に進み、図７に示すように結果画像データと図４に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、加算部１３を動作させて各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）毎に欠陥部の数を加算する。
【００３３】
この場合、欠陥部Ｇ１は２つの座標領域（３，０）、（３，１）にあり、欠陥部Ｇ２は２つの座標領域（２，１）、（２，２）にある。
【００３４】
従って、加算部１３は、これら座標領域（３，０）、（３，１）、（２，１）、（２，２）の各カウンタをそれぞれカウントアップする。
【００３５】
なお、加算部１３は、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、さらに欠陥部Ｇ１、Ｇ２などの種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部、例えば傷のみの加算数を求める。
【００３６】
又、同一の座標領域内に複数の欠陥部があれば、これら欠陥部を１つとして複数のカウントを行なう。
【００３７】
次に、報知部１４は、ステップＳ８において、加算部１３による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「５」以上になったか否かを判断する。
【００３８】
この場合、報知部１４は、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの各加算数がそれぞれ個別に欠陥数「５」以上になった否かを判断したり、さらには、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの欠陥部の各加算数の総計が欠陥数「５」以上になった否かを判断したり、欠陥部Ｇ１、Ｇ２などの種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数が欠陥数「５」以上になったか否かを判断したり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数が欠陥数「５」以上になったか否かを判断する。
【００３９】
報知部１４は、これら欠陥部の加算数のうちいずれか１つの加算数が欠陥数「５」以上になると、モニタ１０の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【００４０】
そして、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ１０に移り、１ロットのＬＣＤ基板２に対する検査を途中で終了する。
【００４１】
ここで、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとに欠陥部の加算数を求めていた場合、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ＬＣＤ基板２に対する検査を途中で終了する起因となったＬＣＤ基板２の結果画像データ上に対し、欠陥部の加算数が「５」以上となった座標領域、例えば図８に示すように座標領域（３，０）、（３，１）の各矩形Ｋを上書きし、その画像をモニタ１０に表示してもよい。
【００４２】
又、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、図６に示すＬＣＤ基板２の結果画像データ上に、図７に示す各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）からなる座標情報を上書きし、その画像をモニタ１０に表示してもよい。
【００４３】
一方、加算部１３による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数「５」に達していなければ、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ９に移り、１ロットの全数について検査が終了したか否かを判断し、終了していなければ、再びステップＳ２に戻って次のＬＣＤ基板２に対する検査を行なう。そして、１ロットの全数について検査が終了すると、検査自体が終了する。
【００４４】
このように上記第１の実施の形態においては、複数のＬＣＤ基板２の各原画像データをそれぞれ画像処理してＬＣＤ基板２の欠陥部を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部の数を加算するので、複数枚のＬＣＤ基板２の検査結果から各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）での各欠陥部の数から欠陥が現れる傾向を把握できる。例えば、欠陥が現れる傾向から欠陥部が現れる座標領域が特定されると、検査工程の前の製造工程、例えば露光プロセスにおいて欠陥部を生じさせる要因があることなどを判定できる。
【００４５】
さらに、欠陥部の加算数が予め設定された例えば欠陥数「５」に達すれば、ＬＣＤ基板２に対する検査を途中で終了するので、無駄に検査を続けることなく、検査の途中で１ロットのＬＣＤ基板２の全体を不良品として判定できる。
【００４６】
又、欠陥部の数の加算方法として、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、欠陥部の種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求めたりすれば、欠陥部の種類別にその現れる傾向を把握でき、欠陥部を生じさせる要因の判定に用いることができる。
【００４７】
さらに、特定の欠陥部のみの数を加算するようにすれば、ＬＣＤ基板２の製造工程において絶対的に不必要な欠陥部の発生を検出することができ、特定の欠陥部の発生があれば、これを直ちに検出して製造工程に反映できる。
【００４８】
又、各座標領域（０，０）、（０，１）、…、（４，３）のサイズを小さくすると、欠陥部の発生するＬＣＤ基板２上の位置を正確に把握することができる。これにより、欠陥部を生じさせる要因、例えば露光プロセスにおけるステッパ特有の欠陥部であることなどを判定できる。
【００４９】
なお、上記第１の実施の形態は、次の通り変形してもよい。
【００５０】
例えば、図６に示す結果画像データは、欠陥部に対応する部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により表示したが、これに限らず、例えば欠陥部に対応する部分を赤色、非欠陥部分を原画像データそのままで表示してもよい。
【００５１】
又、欠陥部の数を加算するだけでなく、欠陥部の現れた座標領域の履歴を記憶してもよい。この場合、欠陥部の種類も合わせて記憶する。この履歴により過去に現れた欠陥部の座標領域やその種類の傾向を把握できる。
【００５２】
（２）次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００５３】
図９は外観検査装置の構成図である。画像サーバ１１には、例えば１ロットのＬＣＤ基板２に対する全数検査した複数の原画像データが保存されている。
【００５４】
装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、画像サーバ１１に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ１０に表示する機能を有する。
【００５５】
又、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、原画像データを画像処理してＬＣＤ基板２上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップＳ５において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する機能を有する。
【００５６】
座標情報記憶部１２には、例えば、図１０に示す原画像データに対する座標情報が記憶されている。図１０に示す原画像データは、基板表面上にＬＣＤパネル１５が縦横方向に４枚配列されて作成されたＬＣＤ基板２を撮像して取得したものである。この原画像データに対する座標情報は、例えば図１１に示すようにＬＣＤ基板２の各ＬＣＤパネル１５毎にそれぞれ縦方向を３分割し、横方向を２分割し、かつこれら矩形Ｋ１〜Ｋ４内の各座標領域に座標（１，１）、（１，２）、…、（４，６）を付したものとなっている。
【００５７】
なお、矩形Ｋ１内には座標（１，１）、（１，２）、…、（１，６）が付され、矩形Ｋ２内には座標（２，１）、（２，２）、…、（２，６）が付され、矩形Ｋ３には座標（３，１）、（３，２）、…、（３，６）が付され、矩形Ｋ４内には座標（４，１）、（４，２）、…、（４，６）が付されている。
【００５８】
これら座標領域（１，１）〜（４，６）の各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【００５９】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図１２に示す検査フローチャートに従って説明する。なお、上記第１の実施の形態と同一ステップの説明は省略する。
【００６０】
装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ２０において、画像サーバ１１に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ１０に表示する。
【００６１】
次に、装置制御兼画像表示用ＰＣ９は、ステップＳ４において、原画像データを画像処理してＬＣＤ基板２上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップＳ５において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【００６２】
図１３は結果画像データの一例を示す模式図であって、例えばショット班の欠陥部Ｇ３が抽出されている。
【００６３】
次に、加算部１３は、ステップＳ７において、図１４に示すように結果画像データと図１１に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、各座標領域（１，１）〜（４，６）毎に欠陥部の数を加算する。
【００６４】
ここでは、加算部１３は、欠陥部Ｇ３が存在する各座標領域（３，１）、（３，２）の各カウンタをそれぞれカウントアップする。又、加算部１３は、欠陥部Ｇ３などの種類別、例えば傷、ショット班等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める。
【００６５】
次に、報知部１４は、ステップＳ８において、加算部１３による欠陥部の種類別の各加算数が予め欠陥部の種類別に設定された欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「１０」、ショット班に対する欠陥数「５」以上になったか否かを判断する。
【００６６】
この判断の結果、いずれか一方の欠陥部の種類の加算数が予め設定された各欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「１０」、ショット班に対する欠陥数「５」以上になると、報知部１４は、ステップＳ２１に移り、モニタ１０の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【００６７】
このように上記第２の実施の形態によれば、画像サーバ１１に例えば１ロットのＬＣＤ基板２に対する全数検査した複数の原画像データを保存しても、これら原画像データを検索して読み出して欠陥部の数を加算することにより、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができることは言うまでもなく、ＬＣＤ基板２の原画像データを取得するための検査ステージ１や装置制御ユニット３、ライン照明装置４、ラインセンサカメラ５、画像処理ボード８と別体で欠陥部の現れる傾向を把握できる。
【００６８】
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００６９】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００７０】
例えば、ＬＣＤ基板２の検査に限らず、ウエハなどの半導体回路上や液晶ディスプレイなどの各種フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の検査も行なうことができる。
【００７１】
又、上記第２の実施の形態では、図１１に示すように各ＬＣＤパネル１５に対して各矩形Ｋ１〜Ｋ４の座標情報を重ね合わせているが、図１０に示す各ＬＣＤパネル１５の縁取り部分２０に対しても矩形の座標領域を重ね合わせれば、各ＬＣＤパネル１５の縁取り部分２０に対する欠陥部の数を加算できる。ＬＣＤパネル１５の縁取り部分２０には、ＬＣＤのドライバ回路やその配線が形成されるものであり、この半導体回路上の欠陥部の発生の傾向を把握できる。
【００７２】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態における原画像データの模式図。
【図３】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態におけるＬＣＤ基板を縦横方向に分割した各領域を示す図。
【図４】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態におけるＬＣＤ基板を分割する座標情報を示す図。
【図５】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態における検査フローチャート。
【図６】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図７】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【図８】本発明に係わる外観検査装置の第１の実施の形態における検査途中終了した起因となった結果画像データに座標領域を上書きした模式図。
【図９】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態を示す構成図。
【図１０】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態における原画像データの模式図。
【図１１】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態におけるＬＣＤ基板を分割する座標情報を示す図。
【図１２】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態における検査フローチャート。
【図１３】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図１４】本発明に係わる外観検査装置の第２の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【符号の説明】
１：検査ステージ、２：ＬＣＤ基板、３：装置制御ユニット、４：ライン照明装置、５：ラインセンサカメラ、８：画像処理ボード、９：装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ、１０：モニタ、１１：画像サーバ、１２：座標情報記憶部、１３：加算部、１４：報知部、１５：キーボード、１６：マウス、２０：縁取り部分。
【図１】
2004286532.tif 000003
【図２】
2004286532.tif 000004
【図３】
2004286532.tif 000005
【図４】
2004286532.tif 000006
【図５】
2004286532.tif 000007
【図６】
2004286532.tif 000008
【図７】
2004286532.tif 000009
【図８】
2004286532.tif 000010
【図９】
2004286532.tif 000011
【図１０】
2004286532.tif 000012
【図１１】
2004286532.tif 000013
【図１２】
2004286532.tif 000014
【図１３】
2004286532.tif 000015
【図１４】
2004286532.tif 000016