(57)【要約】【課題】良好な再生信号が得られ、クロスライトパワーマージンも広がる光磁気記録媒体を提供する。【解決手段】本発明の光磁気記録媒体１０は、透光性の基板１１、光干渉層１２、磁壁移動層１３、中間層１４、記録層１５、保護層１６、放熱層１７、情報を記録再生するための情報トラック１８から構成される。情報トラック１８上には放熱層１７が形成されており、情報トラック１８間には放熱層１７が形成されていない。情報トラック１８間に放熱層１７が形成されていないため、情報トラック１８を横切る方向へは情報トラック１８に沿った方向よりも相対的に熱が伝導しにくくなる。【選択図】      図１
2004227636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも磁壁移動層と、中間層と、記録層とが積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック部には放熱層が形成されており、情報トラック間には実質的に放熱層が形成されていないことを特徴とする光磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ビームを用いて情報の記録再生を行う光磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
書き換え可能な高密度記録媒体として、半導体レーザーの熱エネルギーを用いて、磁性薄膜に磁区を書き込んで情報を記録し、磁気光学効果を用いて、この情報を読み出す光磁気記録媒体がある。また、近年この光磁気記録媒体の記録密度を高めて更に大容量の記録媒体とする要求が高まっている。
【０００３】
光磁気記録媒体等の光ディスクの線記録密度は、再生光学系のレーザー波長および対物レンズの開口数に大きく依存する。すなわち、再生光学系のレーザー波長λと対物レンズの開口数ＮＡが決まるとビームウェストの径が決まるため、信号再生時の空間周波数は２ＮＡ／λ程度が検出可能な限界となってしまう。
【０００４】
したがって、従来の光ディスクで高密度化を実現するためには、再生光学系のレーザー波長を短くしたり、対物レンズの開口数ＮＡを大きくする必要がある。しかしながら、レーザー波長や対物レンズの開口数の改善にも限度がある。このため、記録媒体の構成や読み取り方法を工夫し、記録密度を改善する技術が開発されている。
【０００５】
例えば、記録マークの境界に存在する磁壁を温度勾配によって移動させ、この磁壁の移動を検出することによって高密度な記録信号を再生する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
この方法によれば、記録媒体が磁壁が移動する温度に加熱された瞬間に低温部から高温部に向かっての磁壁の移動が起こり、この磁壁の移動を検出することによって高密度な記録信号を再生するので、光の回折限界に全く依存せずに信号が再生可能となる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−２９０４９６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１によると、磁壁の移動は、同一の情報トラック上で（トラック方向に）起こる現象であり、磁性層は情報トラック間で互いに分断（すなわち、磁気的に分離）されていることが望ましいとなっている。このような閉じていない磁区（分断された磁壁）を作成する方法として、上記特許文献１では、矩形の深溝基板を用いる方法と、溝部分をレーザーでアニール照射して磁気的に変質させる方法を提案しているが、矩形の深溝基板については、成形時の転写性に問題があり、また、アニール処理を行なった場合には、ディスク全面に行なうと処理に時間がかかり、媒体の量産性を考慮した場合、媒体のコストアップに繋がり問題である。
【０００９】
一方、上記特許文献１にも磁性層は情報トラック間で互いに分断されていることが望ましいと記載されていることからわかるように、たとえ情報トラック間で磁性層が分断されていなくても、磁壁移動による情報の再生は可能であったが、情報トラック間で磁性層を分断した場合と比べて信号のＳＮが悪く、実用上問題であった。
【００１０】
また、磁壁移動型の光磁気記録媒体に限らず、高密度の光磁気記録媒体及び磁気記録媒体において、トラック密度を向上させてゆくと、隣接トラック間のクロスライトやクロスイレースの問題となり、この問題を改善するためにもトラック間の分断は有効であった。しかし、トラック間の分断は前述のように量産性に問題があり、より簡便で量産性に優れた代替手段が求められていた。
【００１１】
本発明の目的は、従来技術の問題点を解決し超高密度の磁壁移動型の光磁気記録媒体を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記問題点は、少なくとも磁壁移動層、中間層、記録層が積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック部には放熱層が形成されており、情報トラック間には実質的に放熱層が形成されていないことを特徴とする光磁気記録媒体によって解決される。
【００１３】
本発明の光磁気記録媒体では、情報トラック間には実質的に放熱層または記録層が形成されていない構成をとることにより、トラックに沿った方向よりもトラック横断方向への熱伝導が相対的に断熱的となるため、記録用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布の等温線形状がトラックに垂直な直線により近づき、光磁気記録媒体上に形成される磁壁形状がトラックに垂直な直線に近づくとともに、再生用光ビームが形成する等温線形状もトラックに垂直な直線により近づくため、再生用光ビームによる加熱によって磁壁の移動を可能とする温度の等温線が光磁気記録媒体上に記録されている磁壁に接してから、前記磁壁を包括するまでの距離が短くなり、この結果、立ち上がり、立ち下りが急峻な良質の再生信号が得られる。
【００１４】
さらに、再生用光ビームによって発生する熱エネルギーがトラック横断方向に伝導することが抑制され、記録密度向上のためにトラックピッチを狭くしてもクロスライト及びクロスイレースの発生を抑制できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（発明の第１の実施の形態）
以下、本発明を適用した実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の光磁気記録媒体の一例を示す図である。１１は透光性の基板、１２は光干渉層、１３は磁壁移動層、１４は中間層、１５は記録層、１６は保護層、１７は放熱層、１８は情報を記録再生するための情報トラックである。情報トラック上には放熱層が形成されており、情報トラック間には放熱層が形成されていない。図１に示す光磁気記録媒体１０では、情報トラック間に放熱層が形成されていないため、情報トラックを横切る方向へは情報トラックに沿った方向よりも相対的に熱が伝導しにくくなる。
【００１７】
図１に示した光磁気記録媒体１０を以下のようにして作成した。
【００１８】
直流マグネトロンスパッタリング装置に、ＢドープしたＳｉ、及びＧｄ、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットを取り付け、トラッキング用の案内溝の形成されたディスク状のポリカーボネイト基板を基板ホルダーに固定した後、１×１０−５Ｐａ以下の高真空になるまでチャンバー内をクライオポンプで真空排気した。基板としてはランドグルーブ記録用の案内溝が形成された基板を用いた。案内溝の形状は、情報トラックとなるランド部およびグルーブ部の幅が０．５μｍ、ランド部とグルーブ部の境界となるテーパー部分の幅が０．０３μｍ、情報トラックのピッチが０．５３μｍ、溝の深さが６０ｎｍ、テーパー部の傾斜角度が６０度である。真空排気をしたままＡｒガスとＮ２ガスを０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、光干渉層としてＳｉＮ層を３０ｎｍ成膜した。引き続き、真空排気をしたままＡｒガスを０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、磁壁移動層としてＧｄＦｅＣｏ層を２５ｎｍ、中間層としてＴｂＦｅ層を５ｎｍ、記録層としてＴｂＦｅＣｏ層を４０ｎｍ順次成膜した。続いて、光干渉層の成膜時と同様の条件で、保護層としてＳｉＮ層を２０ｎｍ成膜した。次に、真空排気をしたままＡｒガスを０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、放熱層となるＡｌを３０ｎｍ成膜した。
【００１９】
磁壁移動層、中間層、記録層の各磁性層は、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットに直流パワーを印加して成膜した。各磁性層の組成は、全て補償組成近傍になるように調整し、キュリー温度は、磁壁移動層が２３０℃、中間層が１２０℃、記録層が２７０℃程度となるように設定した。放熱層の膜厚は薄すぎると効果が薄れ、厚すぎると情報の記録に過大なレーザーパワーが必要となるため、最適な厚さをシミュレーションで調べたところ１０から５０ｎｍが好適であったため、本実施の形態では３０ｎｍとした。
【００２０】
最後に、真空排気したままイオンガンを用いてＡｒイオンビームを照射し、情報トラック間のテーパー部分で前記放熱層が完全に除去されるまでエッチングを行った。このとき情報トラック部では反射膜が約２０ｎｍ残存していた。
【００２１】
この光磁気ディスクを真空装置から取り出した後、紫外線硬化樹脂からなる保護コート層を形成し、本実施の形態の光磁気記録媒体を完成した。
【００２２】
こうして作成した光磁気記録媒体を、図４に示す光磁気ディスク記録再生装置に乗せ、パルス磁界変調記録方法を用いて０．１５μｍの繰り返しパターンを記録した。４１は光磁気信号を記録再生するための光ピックアップ、４２は光磁気ディスク１０を回転するためのスピンドルモータ、４３は記録磁界を印加するための磁気ヘッドである。記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、対物レンズのＮＡは０．６、光パルスのデューティは５０％、記録パワーは７．５ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓである。この記録したマークを、同じく図４の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは８％（０．１５μｍのマーク幅に対する比率）と良好な値が得られた。
【００２３】
次に、本実施の形態の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを以下のように調べた。まず、ランド部の情報トラックに図４に示す光磁気ディスク記録再生装置を用いて０．１５μｍの繰り返しパターンを記録し、続いて両隣のグルーブ部の情報トラックに０．２μｍの繰り返しパターンを記録した。光パルスのデューティは５０％、記録パワーはランドとグルーブで同じパワーとした。このように３トラック記録を行った後、ランドに記録した０．１５μｍの繰り返しパターンを再生して、再生信号のマーク幅ジッタを測った。記録パワーを順次変えてこれを繰り返した。この結果を図５に実線で示す。次にランドとグルーブを入れ替えて上記と同様の測定を行った。この結果を図５に破線でしめす。これらの結果から、図５に両矢印で示すようにクロスライトパワーマージンを求めた。クロスパワーライトマージンは±１２％であり、十分実用になる値であった。
【００２４】
（比較例１）
放熱層を２０ｎｍの厚さに成膜して、イオンガンを用いたエッチングを行わない他は、第１の実施の形態と同様にして比較例１の光磁気記録媒体を作成した。
【００２５】
こうして作成した光磁気記録媒体を、図４に示す光磁気ディスク記録再生装置に乗せ、第１の実施の形態と同様にして０．１５μｍの繰り返しパターンを記録再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは１１％で、第１の実施の形態よりも悪かった。
【００２６】
次に、第１の実施の形態と同様にして比較例１の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを調べた。この結果を図６に示す。比較例１のクロスパワーライトマージンは±７％であり、実用には不十分な値であった。
【００２７】
（第２の実施の形態）
図２は本発明の光磁気記録媒体の第２の実施の形態を示す図である。２１は透光性の基板、２２は光干渉層、２３は磁壁移動層、２４は中間層、２５は記録層、２６は保護層、２７は放熱層、２８は情報を記録再生するための情報トラックである。本実施の形態の光磁気記録媒体はグルーブ記録用の媒体であり、溝の形状は、情報トラックとなるグルーブ部の幅が０．４０μｍ、ランド部の幅が０．１３μｍ、情報トラックのピッチが０．５３μｍ、溝の深さが６０ｎｍ、テーパー部の傾斜角度が略４５度である。情報トラック上には放熱層が形成されており、情報トラック間には放熱層が形成されていない。本実施の形態の光磁気記録媒体は、上記に示した溝形状の基板を用いた他は、第１の実施の形態と同様にして作成した。
【００２８】
こうして作成した光磁気記録媒体を、図４に示す光磁気ディスク記録再生装置に乗せ、パルス磁界変調記録方法を用いて０．１５μｍの繰り返しパターンを記録した。本実施の形態の光磁気記録媒体は、グルーブのピッチが０．５３μｍと狭いため、トラックサーボにサンプルサーボ方式を利用したが、それ以外は第１の実施の形態と同様にして信号の記録を行った。この記録したマークを、同じく図４の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは８％（０．１５μｍのマーク幅に対する比率）と良好な値が得られた。
【００２９】
次に、第１の実施の形態と同様にして本実施の形態の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを調べた。クロスパワーライトマージンは±１４％であり、十分実用になる値であった。
【００３０】
（第３の実施の形態）
図３は本発明の光磁気記録媒体の第３の実施の形態を示す図である。３１は透光性の基板、３２は光干渉層、３３は磁壁移動層、３４は中間層、３５は記録層、３６は保護層、３８は情報を記録再生するための情報トラックである。本実施の形態の光磁気記録媒体はランドグルーブ記録用の媒体であり、溝の形状は、情報トラックとなるランド部およびグルーブ部の幅が０．４３μｍ、ランド部とグルーブ部の境界となるテーパー部分の幅が０．１μｍ、情報トラックのピッチが０．５３μｍ、溝の深さが１７０ｎｍ、テーパー部の傾斜角度が略６０度である。
【００３１】
第１の実施の形態と同様にして光干渉層としてＳｉＮ層を３０ｎｍ、磁壁移動層としてＧｄＦｅＣｏ層を２５ｎｍ、中間層としてＴｂＦｅ層を５ｎｍ、記録層としてＴｂＦｅＣｏ層を５５ｎｍ順次成膜した。続いて、真空排気したままイオンガンを用いてＡｒイオンビームを照射し、情報トラック間のテーパー部分で記録層がほぼ除去されるまでエッチングを行った。このとき情報トラック部では記録層が約４０ｎｍ残存していた。次に光干渉層の成膜時と同様の条件で、保護層としてＳｉＮ層を５０ｎｍ成膜した。
【００３２】
この光磁気ディスクを真空装置から取り出した後、紫外線硬化樹脂からなる保護コート層を形成し、本実施の形態の光磁気記録媒体を完成した。
【００３３】
こうして作成した光磁気記録媒体を、図４に示す光磁気ディスク記録再生装置に乗せ、パルス磁界変調記録方法を用いてランド部の情報トラックにに０．１５μｍの繰り返しパターンを記録した。この記録したマークを、同じく図４の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓの線速度で再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは９％（０．１５μｍのマーク幅に対する比率）と良好な値が得られた。グルーブ部の情報トラックでも同様にしてジッタを調べたところ、こちらも９％と良好な値であった。
【００３４】
次に、第１の実施の形態と同様にして本実施の形態の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを調べた。クロスパワーライトマージンは±１６％であり、良好であった。
【００３５】
（第４の実施の形態）
図７は本発明の光磁気記録媒体の第４の実施の形態を示す図である。４１は透光性の基板、４２は光干渉層、４３は磁壁移動層、４４は中間層、４５は記録層、４６は保護層、４７は放熱層、４８は情報を記録再生するための情報トラックである。本実施の形態の光磁気記録媒体はランドグルーブ記録用の媒体であり、溝の形状は第１の実施の形態と同じである。
【００３６】
第１の実施の形態と同様にして光干渉層としてＳｉＮ層を３０ｎｍ、磁壁移動層としてＧｄＦｅＣｏ層を２５ｎｍ、中間層としてＴｂＦｅ層を５ｎｍ、記録層としてＴｂＦｅＣｏ層を４０ｎｍ、保護層としてＳｉＮ層を２０ｎｍ、放熱層となるＡｌを２０ｎｍ成膜した。続いて、エッチング制御層としてカーボンを２ｎｍ成膜した。エッチング制御層は放熱層または記録層よりもエッチング速度の遅い材料で形成すればよいが、カーボンが特に好適である。
【００３７】
続いて、真空排気したままイオンガンを用いてＡｒイオンビームを照射し、情報トラック間のテーパー部分で放熱層がほぼ除去されるまでエッチングを行った。このとき情報トラック部ではエッチング制御層として成膜したカーボンがほぼ除去され、厚さ２０ｎｍの放熱層が露出した状態になっていた。
【００３８】
この光磁気ディスクを真空装置から取り出した後、紫外線硬化樹脂からなる保護コート層を形成し、本実施の形態の光磁気記録媒体を完成した。
【００３９】
こうして作成した光磁気記録媒体を、図４に示す光磁気ディスク記録再生装置に乗せ、パルス磁界変調記録方法を用いてランド部の情報トラックに０．１５μｍの繰り返しパターンを記録した。この記録したマークを、同じく図４の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓの線速度で再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは８％（０．１５μｍのマーク幅に対する比率）と良好な値が得られた。グルーブ部の情報トラックでも同様にしてジッタを調べたところ、こちらも８％と良好な値であった。
【００４０】
次に、第１の実施の形態と同様にして本実施の形態の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを調べた。クロスパワーライトマージンは±１３％であり、第１の実施の形態よりも少し良好であった。
【００４１】
本実施の形態の光磁気記録媒体は、エッチング制御層を利用して製造することにより、情報トラックにおいて第１の実施の形態の光磁気記録媒体よりも好適な形状で放熱層が形成されている。
【００４２】
以上、本発明の４つの実施の形態が示され説明されたが、当業者であれば、本発明の趣旨と範囲は本明細書内特定の説明と図に限定されるのではなく、本特許請求の範囲に全て述べられた様々の修正と変更に及ぶことが理解されるであろう。
【００４３】
本発明の実施態様の例を以下に列挙する。
【００４４】
本発明の実施態様は、少なくとも磁壁移動層、中間層、記録層が積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック部には放熱層が形成されており、情報トラック間には実質的に放熱層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００４５】
また、本発明の実施態様は、ランド・アンド・グルーブ記録方式で利用する光磁気記録媒体であって、光磁気記録媒体のランド部及びグルーブ部が情報トラックとして利用され、ランド部及びグルーブ部には放熱層が形成されており、ランド部とグルーブ部の間のテーパー部には実質的に放熱層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００４６】
また、本発明の実施態様は、グルーブ記録方式で利用する光磁気記録媒体であって、光磁気記録媒体のグルーブ部が情報トラックとして利用され、グルーブ部には放熱層が形成されており、隣接するグルーブ部間のランド部には実質的に放熱層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００４７】
本実施態様によれば、本発明の光磁気記録媒体は、情報トラック間には実質的に放熱層が形成されていない構成をとることにより、トラックに沿った方向よりもトラック横断方向への熱伝導が相対的に断熱的となるため、記録用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布の等温線形状がトラックに垂直な直線により近づき、光磁気記録媒体上に形成される磁壁形状がトラックに垂直な直線に近づくとともに、再生用光ビームが形成する等温線形状もトラックに垂直な直線により近づくため、再生用光ビームによる加熱によって磁壁の移動を可能とする温度の等温線が光磁気記録媒体上に記録されている磁壁に接してから、磁壁を包括するまでの距離が短くなり、この結果、立ち上がり、立ち下りが急峻な良質の再生信号が得られる。
【００４８】
さらに、再生用光ビームによって発生する熱エネルギーがトラック横断方向に伝導することが抑制され、記録密度向上のためにトラックピッチを狭くしてもクロスライト及びクロスイレースの発生を抑制でき、クロスライトパワーマージンも広がる。
【００４９】
また、本発明の光磁気記録媒体においては、情報トラック部の放熱層の膜厚は１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５０】
本発明の実施態様は、少なくとも磁壁移動層、中間層、記録層が積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック間には実質的に記録層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００５１】
また、本発明の実施態様は、ランド・アンド・グルーブ記録方式で利用する光磁気記録媒体であって、光磁気記録媒体のランド部及びグルーブ部が情報トラックとして利用され、ランド部とグルーブ部の間のテーパー部には実質的に記録層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００５２】
また、本発明の実施態様は、グルーブ記録方式で利用する光磁気記録媒体であって、光磁気記録媒体のグルーブ部が情報トラックとして利用され、隣接するグルーブ部間のランド部には実質的に記録層が形成されていない光磁気記録媒体である。
【００５３】
本実施態様によれば、本発明の光磁気記録媒体は、情報トラック間には実質的に記録層が形成されていない構成をとることにより、トラックに沿った方向よりもトラック横断方向への熱伝導が相対的に断熱的となるため、記録用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布の等温線形状がトラックに垂直な直線により近づき、光磁気記録媒体上に形成される磁壁形状がトラックに垂直な直線に近づくとともに、再生用光ビームが形成する等温線形状もトラックに垂直な直線により近づくため、再生用光ビームによる加熱によって磁壁の移動を可能とする温度の等温線が光磁気記録媒体上に記録されている磁壁に接してから、磁壁を包括するまでの距離が短くなり、この結果、立ち上がり、立ち下りが急峻な良質の再生信号が得られる。
【００５４】
さらに、再生用光ビームによって発生する熱エネルギーがトラック横断方向に伝導することが抑制され、記録密度向上のためにトラックピッチを狭くしてもクロスライト及びクロスイレースの発生を抑制でき、クロスライトパワーマージンも広がる。
【００５５】
本発明の実施態様は、少なくとも磁壁移動層、中間層、記録層が積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック部には放熱層が形成されており、情報トラック間には実質的に放熱層が形成されていない光磁気記録媒体を製造する製造方法であって、放熱層を形成後エッチングにより少なくとも情報トラック間の放熱層を除去する、光磁気記録媒体の製造方法である。
【００５６】
本実施態様によれば、本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、少なくとも情報トラック間の放熱層をエッチングによって除去すればよいので、短い時間での処理が可能となり、量産性を損なうことなく作成できる。その結果、信号品位およびクロスライトパワーマージンの良好な光磁気記録媒体を、安価に製造することが可能となる。
【００５７】
本発明の実施態様は、少なくとも磁壁移動層、中間層、記録層が積層された光磁気記録媒体であって、再生用光ビームが光磁気記録媒体上に形成する温度分布によって記録層から磁壁移動層に転写された記録マーク境界の磁壁を移動させることにより情報を再生する超解像再生可能な光磁気記録媒体であり、情報トラック間には実質的に記録層が形成されていない光磁気記録媒体を製造する製造方法であって、記録層を形成後エッチングにより少なくとも情報トラック間の記録層を除去する、光磁気記録媒体の製造方法である。
【００５８】
本実施態様によれば、本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、少なくとも情報トラック間の記録層をエッチングによって除去すればよいので、短い時間での処理が可能となり、量産性を損なうことなく作成できる。その結果、信号品位およびクロスライトパワーマージンの良好な光磁気記録媒体を、安価に製造することが可能となる。
【００５９】
また、上記エッチングはイオンビームエッチングあるいは逆スパッタエッチングで行うことが好ましい。
【００６０】
また、エッチングを行うに先立って放熱層または記録層よりもエッチング速度の遅いエッチング制御層を形成し、その後エッチングを行うことが好ましい。
【００６１】
また、上記エッチング制御層はカーボンから成ることが好ましい。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光磁気記録媒体は、情報トラック間の部分に放熱層が無いため、情報トラックを横断する方向への熱伝導が抑制され、その結果、光ビーム照射時に記録および再生に好適な温度分布が情報トラック上に形成され、良好な再生信号が得られるという効果がある。さらに、クロスライトパワーマージンも広がるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光磁気記録媒体の第１の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明の光磁気記録媒体の第２の実施の形態を示す図である。
【図３】本発明の光磁気記録媒体の第３の実施の形態を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る光磁気ディスク記録再生装置の模式図である。
【図５】第１の実施の形態の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを説明するための図である。
【図６】比較例１の光磁気記録媒体のクロスライトパワーマージンを説明するための図である。
【図７】本発明の光磁気記録媒体の第４の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
１０    光磁気記録媒体（光磁気ディスク）
１１、２１、３１    透光性の基板
１２、２２、３２    光干渉層
１３、２３、３３    磁壁移動層
１４、２４、３４    中間層
１５、２５、３５    記録層
１６、２６、３６    保護層
１７、２７    放熱層
１８、２８、３８    情報トラック
【図１】
2004227636.tif 000003
【図２】
2004227636.tif 000004
【図３】
2004227636.tif 000005
【図４】
2004227636.tif 000006
【図５】
2004227636.tif 000007
【図６】
2004227636.tif 000008
【図７】
2004227636.tif 000009