(57)【要約】【課題】複数枚のプレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出した際に、切断された各連結片が当該インクジェットヘッドの側面から突起状に飛び出すことを防止したインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】例えば、キャビティプレート９００においては、各連結片９５１の一端の両側に隣接する一対の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂが各連結片９５１毎に設けら、キャビティプレート９００の一辺の上に長手方向の中心線Ｌ３が位置する細長状のハーフ溝９５４が各連結片９５１毎に設けらる。この点は、キャビティプレート９００とともに積層構造物を構成するカバープレート及び、第一マニホールドプレート、第二マニホールドプレート、第三マニホールドプレート、サプライプレート、アパーチャプレート、ベースプレートにおいても同様である。【選択図】　図４６
2004114495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム枠に複数の連結片で支持されたプレートを、複数枚各フレーム枠とともに積層接着することにより、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを形成した後、各連結片を切断することにより、前記インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出すインクジェットヘッドの製造方法において、
各連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝を各連結片毎に各プレートに設けるとともに、当該プレートの一辺の上に又は当該プレートの一辺より当該プレートの側に長手方向の中心線が位置する細長状のハーフ溝を各連結片に設けたこと、を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載するインクジェットヘッドの製造方法であって、
各連結片は、各プレートに異なる位置に配設され、相隣り合う連結片は、各プレートを各フレーム枠とともに積層接着した際に、前記切欠溝の幅以上の距離を隔てて配列されていること、を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドをフレーム枠から取り出すインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットヘッドの製造方法の一つについて、図４９に基づいて説明する。図４９は、各プレート１０１１，１０１２，１０１３，１０１４をもつリードフレームを積層した状態を示すもので、図４９（ａ）は積層体１０５０ａをベースプレート１０１４側から見た上面図、図４９（ｂ）は図４９（ａ）のＶＩＩｂ線の断面図、図４９（ｃ）は図４９（ａ）のＶＩＩｃ線の断面図である。上記のように各プレート１０１１，１０１２，１０１３，１０１４ごとに連設片１０５２の位置を異ならせることにより、各リードフレームを積層したとき、図４９に示すように各連設片１０５２は積層方向に重ならない。
【０００３】
よって、各リードフレームの積層体１０５０ａから連設片１０５２を切断してキャビティプレート１０１０を作成する際に、小さなせん断力で各連設片１０５２を切断することができる。また、切断時にキャビティプレート１０１０にかかる応力を小さくすることができるので、各プレートの変形や、接着層の剥がれを防止することができる。更に、２個の隣接する連設片１０５２をそのプレートの中心線から均等の間隔で配設することにより、フレーム枠１０５３から連設片１０５２を切断してキャビティプレート１０１０を作成する際に、かかるせん断力を均等に連設片１０５２に分配することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２３４１７０号公報（第５頁、第７図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、各リードフレームの積層体１０５０ａから連設片１０５２を切断してキャビティプレート１０１０を作成する際に、切断された各連設片１０５２の一部がキャビティプレート１０１０から突起状に飛び出して残ることがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、上述した点を鑑みてなされたものであり、複数枚のプレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出した際に、切断された各連結片が当該インクジェットヘッドの側面から突起状に飛び出すことを防止したインクジェットヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために成された請求項１に係る発明は、フレーム枠に複数の連結片で支持されたプレートを、複数枚各フレーム枠とともに積層接着することにより、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを形成した後、各連結片を切断することにより、前記インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出すインクジェットヘッドの製造方法において、各連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝を各連結片毎に各プレートに設けるとともに、当該プレートの一辺の上に又は当該プレートの一辺より当該プレートの側に長手方向の中心線が位置する細長状のハーフ溝を各連結片に設けたこと、を特徴としている。
【０００８】
すなわち、本発明のインクジェットヘッドの製造方法では、先ず、フレーム枠に複数の連結片で支持されたプレートを、複数枚各フレーム枠とともに積層接着することにより、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを形成するが、このとき、各連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝が各連結片毎に各プレートに設けられているとともに、さらに、当該プレートの一辺の上に又は当該プレートの一辺より当該プレートの側に長手方向の中心線が位置する細長状のハーフ溝が各連結片に設けられていることから、その後に、各連結片を切断することにより、インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出しても、各連結片は、当該連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝を支点として、当該連結片の細長状のハーフ溝の長手方向の中心線又は当該中心線よりもプレート側で折れ曲がり、当該プレートの一辺の上で又は当該プレートの一辺より当該プレートの側で切断されるので、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数枚のプレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出した際に、切断された各連結片が当該インクジェットヘッドの側面から突起状に飛び出すことを防止したものと言える。
【０００９】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載するインクジェットヘッドの製造方法であって、各連結片は、各プレートに異なる位置に配設され、相隣り合う連結片は、各プレートを各フレーム枠とともに積層接着した際に、前記切欠溝の幅以上の距離を隔てて配列されていること、を特徴としている。
【００１０】
さらに、本発明のインクジェットヘッドの製造方法において、各連結片が、各プレートに異なる位置に配設されるものであり、相隣り合う連結片が、各プレートを各フレーム枠とともに積層接着した際に、切欠溝の幅以上の距離を隔てて配列されているものであれば、各連結片は、当該連結片が設けられたプレートに積層されたプレートの一辺の上又は下に位置することができるので、インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出す場合に、各連結片をプレートの一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片を互いに干渉させずに切断することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。先ず、本実施形態のインクジェットヘッドの概略構成について説明する。
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、略長方形に形成された複数の薄い金属板を積層した構造からなり、さらに、平面視略台形状のプレート型の４枚の各圧電シート１０を互い違いに積層している。そして、この各圧電シート１０の上側には、フレキシブルプリント配線基板（以下、「ＦＰＣ基板」という）５０の延出部５１が載置され、後述のように電気的に接続される。尚、積層された各圧電シート１０の周囲には、インク供給口９０１が設けられている。
【００１２】
ここで、インクジェットヘッド１の積層構造を具体的に説明すると、略長方形の薄い金属板を９枚積層した９層構造になっており、図１及び図２に示すように、下層から、ノズルプレート１００及び、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を積層した構造となっている。
【００１３】
この点、ノズルプレート１００には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域１１０をそれぞれ一群にして、図３に示すように、微小径のインク噴出用のノズル１１１が、要求される印字密度に対応して、多数個穿設されている。
【００１４】
また、カバープレート２００の上側には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域２１０をそれぞれ一群にして、図４に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔２１１が多数穿設されている。そして、カバープレート２００の各貫通孔２１１は、ノズルプレート１００の各ノズル１１１に対向する位置に配設されており、カバープレート２００とノズルプレート１００とが積層された際に、ノズルプレート１００の各ノズル１１１と連通する（図２７参照）。
【００１５】
尚、カバープレート２００の下側には、図５に示すように、２つの溝凹設部２１２が長手方向に形成されている。そして、溝凹設部２１２の外周及び、溝凹設部２１２に囲まれた複数の浮島部２１３には、各貫通孔２１１が配設されている。
【００１６】
また、第一マニホールドプレート３００には、図６に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔３１１が多数穿設されている。そして、第一マニホールドプレート３００の各貫通孔３１１は、カバープレート２００の各貫通孔２１１に対向する位置に配設されており、第一マニホールドプレート３００とカバープレート２００とが積層された際に、カバープレート２００の各貫通孔２１１と連通する（図２７参照）。
【００１７】
さらに、第一マニホールドプレート３００には、図６に示すように、インクマニホールド流路２（図２７参照）を構成する２つの溝貫通部３１２が長手方向に形成されている。そして、溝貫通部３１２の外周及び、溝貫通部３１２に囲まれた複数の浮島部３１３には、各貫通孔３１１が配設されている。また、複数の浮島部３１３は、下側をハーフエッチングされた複数の連結片３１４によって支持された構造になっている。各連結片３１４は、第一マニホールドプレート３００の約半分程度の厚みで形成されている。
また、溝貫通部３１２には、複数のインク供給部３１５が延び出ている。
【００１８】
また、第二マニホールドプレート４００には、図７に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔４１１が多数穿設されている。そして、第二マニホールドプレート４００の各貫通孔４１１は、第一マニホールドプレート３００の各貫通孔３１１に対向する位置に配設されており、第二マニホールドプレート４００と第一マニホールドプレート３００とが積層された際に、第一マニホールドプレート３００の各貫通孔３１１と連通する（図２７参照）。
【００１９】
さらに、第二マニホールドプレート４００には、図７に示すように、インクマニホールド流路２（図２７参照）を構成する２つの溝貫通部４１２が長手方向に形成されている。そして、第二マニホールドプレート４００の各溝貫通部４１２は、第一マニホールドプレート３００の各溝貫通部３１２に対向する位置に配設されており、第二マニホールドプレート４００と第一マニホールドプレート３００とが積層された際に、第一マニホールドプレート３００の各溝貫通部３１２と連通する（図２７参照）。また、溝貫通部４１２の外周及び、溝貫通部４１２に囲まれた複数の浮島部４１３には、各貫通孔４１１が配設されている。そして、複数の浮島部４１３は、上側をハーフエッチングされた複数の連結片４１４によって支持された構造になっている。各連結片４１４は、第二マニホールドプレート４００の約半分程度の厚みで形成されている。
また、溝貫通部４１２には、複数のインク供給部４１５が延び出ている。そして、第二マニホールドプレート４００の各インク供給部４１５は、第一マニホールドプレート３００の各インク供給部３１５に対向する位置に配設されており、第二マニホールドプレート４００と第一マニホールドプレート３００とが積層された際に、第一マニホールドプレート３００の各インク供給部３１５と連通する（図２７参照）。
【００２０】
また、第三マニホールドプレート５００には、図８に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔５１１が多数穿設されている。そして、第三マニホールドプレート５００の各貫通孔５１１は、おおよそ、第二マニホールドプレート４００の各貫通孔４１１に対向する位置に配設されており、第三マニホールドプレート５００と第二マニホールドプレート４００とが積層された際に、第二マニホールドプレート４００の各貫通孔４１１と連通する（図２７参照）。
【００２１】
さらに、第三マニホールドプレート５００には、図８に示すように、インクマニホールド流路２（図２７参照）を構成する２つの溝貫通部５１２が長手方向に形成されている。そして、第三マニホールドプレート５００の各溝貫通部５１２は、第二マニホールドプレート４００の各溝貫通部４１２に対向する位置に配設されており、第三マニホールドプレート５００と第二マニホールドプレート４００とが積層された際に、第二マニホールドプレート４００の各溝貫通部４１２と連通する（図２７参照）。また、溝貫通部５１２の外周及び、溝貫通部５１２に囲まれた複数の浮島部５１３には、各貫通孔５１１が配設されている。そして、複数の浮島部５１３は、上側をハーフエッチングされた複数の連結片５１４によって支持された構造になっている。各連結片５１４は、第三マニホールドプレート５００の約半分程度の厚みで形成されている。
また、溝貫通部５１２には、複数のインク供給部５１５が延び出ている。そして、第三マニホールドプレート５００の各インク供給部５１５は、第二マニホールドプレート４００の各インク供給部４１５に対向する位置に配設されており、第三マニホールドプレート５００と第二マニホールドプレート４００とが積層された際に、第二マニホールドプレート４００の各インク供給部４１５と連通する（図２７参照）。
【００２２】
また、サプライプレート６００には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域６１０をそれぞれ一群にして、図９に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔６１１が多数個穿設されるとともに、微小径のインク導入用の貫通孔６１２が多数個設けられている。この点、サプライプレート６００の各貫通孔６１１は、おおよそ、第三マニホールドプレート５００の各貫通孔５１１に対向する位置に配設されており、サプライプレート６００と第三マニホールドプレート５００とが積層された際に、第三マニホールドプレート５００の各貫通孔５１１と連通する（図２７参照）。一方、サプライプレート６００の各貫通孔６１２は、第三マニホールドプレート５００の２つの溝貫通部５１２のいずれかに対向する位置に配設されており、サプライプレート６００と第三マニホールドプレート５００とが積層された際に、第三マニホールドプレート５００の２つの溝貫通部５１２のいずれかと連通する（図２７参照）。そして、サプライプレート６００の各貫通孔６１２には、図１０及び図１１に示すように、インク内のゴミが侵入するのを防ぐためのフィルター孔６１３が多数個穿設されている。
【００２３】
さらに、サプライプレート６００には、図２及び図９に示すように、平面視略台形状の４つの領域６１０の外側に、小径のインク供給用のインク供給口６０１が１０個穿設されている。そして、サプライプレート６００の各インク供給口６０１は、第三マニホールドプレート５００の各インク供給部５１５に対向する位置に配設されており、サプライプレート６００と第三マニホールドプレート５００とが積層された際に、第三マニホールドプレート５００の各インク供給部５１５と連通する（図２７参照）。また、サプライプレート６００の各インク供給口６０１には、図１６に示すように、インク内のゴミが侵入するのを防ぐためのフィルター孔６０２が多数個穿設されている。
【００２４】
また、アパーチャプレート７００には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域７１０をそれぞれ一群にして、図１２に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔７１１が多数個穿設されるとともに、微小のインク導入用の絞り部７１２が多数穿設されている。そして、アパーチャプレート７００の各貫通孔７１１は、おおよそ、サプライプレート６００の各貫通孔６１１に対向する位置に配設されており、アパーチャプレート７００とサプライプレート６００とが積層された際に、サプライプレート６００の各貫通孔６１１と連通する（図２７参照）。
【００２５】
一方、アパーチャプレート７００の各絞り部７１２は、図１３に示すように、インク入口７１３及び、インク出口７１４、当該インク入口７１３と当該インク出口７１４を連通させる溝貫通部７１５で構成されており、それらは、プレス加工で貫いて形成されている。そして、アパーチャプレート７００の各絞り部７１２のインク入口７１３は、おおよそ、サプライプレート６００の各貫通孔６１２に対向する位置に配設されており、アパーチャプレート７００とサプライプレート６００とが積層された際に、サプライプレート６００の各貫通孔６１２と連通する（図２７参照）。
【００２６】
さらに、アパーチャプレート７００には、図２及び図１２に示すように、平面視略台形状の４つの領域７１０の外側に、小径のインク供給用のインク供給口７０１が１０個穿設されている。そして、アパーチャプレート７００の各インク供給口７０１は、サプライプレート６００の各インク供給口６０１に対向する位置に配設されており、アパーチャプレート７００とサプライプレート６００とが積層された際に、サプライプレート６００の各インク供給口６０１と連通する（図２７参照）。
【００２７】
また、ベースプレート８００には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域８１０をそれぞれ一群にして、図１４に示すように、微小径のインク通路用の貫通孔８１１が多数個穿設されるとともに、微小径のインク導入用の貫通孔８１２が多数個設けられている。そして、ベースプレート８００の各貫通孔８１１は、おおよそ、アパーチャプレート７００の各貫通孔７１１に対向する位置に配設されており、ベースプレート８００とアパーチャプレート７００とが積層された際に、アパーチャプレート７００の各貫通孔７１１と連通する（図２７参照）。一方、ベースプレート８００の各貫通孔８１２は、おおよそ、アパーチャプレート７００の各絞り部７１２のインク出口７１４に対向する位置に配設されており、ベースプレート８００とアパーチャプレート７００とが積層された際に、アパーチャプレート７００の各絞り部７１２のインク出口７１４と連通する（図２７参照）。
【００２８】
さらに、ベースプレート８００には、図２及び図１４に示すように、平面視略台形状の４つの領域８１０の外側に、小径のインク供給用のインク供給口８０１が１０個穿設されている。そして、ベースプレート８００の各インク供給口８０１は、アパーチャプレート７００の各インク供給口７０１に対向する位置に配設されており、ベースプレート８００とアパーチャプレート７００とが積層された際に、アパーチャプレート７００の各インク供給口７０１と連通する（図２７参照）。
【００２９】
また、キャビティプレート９００には、図２に示すように、平面視略台形状の４つの領域９１０をそれぞれ一群にして、図１５に示すように、略菱形形状のインク圧力室９１１が、要求される印字密度に対応して、マトリクス状に多数個貫設されている。この点、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１は、隣接する他のインク圧力室９１１の鋭角部の間に、当該インク圧力室９１１の鋭角部を入り込ませるようにして高密度に配置されている。そして、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１の一方の鋭角部は、おおよそ、ベースプレート８００の各貫通孔８１１に対向する位置に配設されており、キャビティプレート９００とベースプレート８００とが積層された際に、ベースプレート８００の各貫通孔８１１と連通する（図２７参照）。一方、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１の他方の鋭角部は、おおよそ、ベースプレート８００の各貫通孔８１２に対向する位置に配設されており、キャビティプレート９００とベースプレート８００とが積層された際に、ベースプレート８００の各貫通孔８１２と連通する（図２７参照）。
【００３０】
さらに、キャビティプレート９００には、図２及び図１５に示すように、平面視略台形状の４つの領域９１０の外側に、小径のインク供給用のインク供給口９０１が１０個設けられている。そして、キャビティプレート９００の各インク供給口９０１は、ベースプレート８００の各インク供給口８０１に対向する位置に配設されており、キャビティプレート９００とベースプレート８００とが積層された際に、ベースプレート８００の各インク供給口８０１と連通する（図２７参照）。
【００３１】
尚、キャビティプレート９００には、図２及び図１５に示すように、平面視略台形状の４つの領域９１０の両側に、圧電シート１０を積層する際に使用する位置決め孔９０３が設けられている。
【００３２】
次に、圧電シート１０及びＦＰＣ基板５０の概略構造、並びに、圧電シート１０とＦＰＣ基板５０との電気的な接続構造について説明する。
先ず、圧電シート１０の概略構造について説明すると、圧電シート１０には、図１７に示すように、略菱形形状の駆動電極１１が、要求される印字密度に対応して、マトリクス状に多数個形成されている。そして、圧電シート１０の各駆動電極１１は、おおよそ、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１に対向する位置に配設されており、圧電シート１０がキャビティプレート９００に積層され、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１の上面部が圧電シート１０によって塞がれた際には、キャビティプレート９００の各インク圧力室９１１の上面に位置する。
【００３３】
また、圧電シート１０の各駆動電極１１には、図１８及び図１９に示すように、その鋭角部から引き出された部分の上に接点ランド部１４が形成されている。そして、各駆動電極１１の接点ランド部１４は、第一段面１２及び第二段面１３を有する２段形状になっている。
【００３４】
また、圧電シート１０は、図１９に示すように、第１圧電層２１及び、第２圧電層２３、第３圧電層２４、第４圧電層２６を積層した構造になっており、第１圧電層２１と第２圧電層２３の間に内部電極２２が形成され、第３圧電層２４と第４圧電層２６の間に内部電極２５が形成されている。この点、内部電極２２，２５の端部は、圧電シート１０の両斜辺の端面部に露出するように形成されている（図１，図１７参照）。尚、各圧電シート１０の両斜辺の端面部は、各圧電シート１０がキャビティプレート９００に積層された際に、隣接する他の圧電シート１０の両斜辺の端面部に接触することから、各圧電シート１０がキャビティプレート９００に積層された際には、各圧電シート１０の内部電極２２，２５は電気的にそれぞれ接続される。
【００３５】
また、圧電シート１０には、図１７に示すように、両斜辺の縁辺部に２種類の共通電極３１，３６が交互に形成されている。そして、一方の共通電極３１は、図２０に示すように、スルーホール３２を介して、第３圧電層２４と第４圧電層２６の間に形成された内部電極２５に電気的に接続されている。また、他方の共通電極３６は、図２１に示すように、スルーホール３７を介して、第１圧電層２１と第２圧電層２３の間に形成された内部電極２２に電気的に接続されている。尚、一方の共通電極３１には、図２０に示すように、凸状の接点ランド部３３が形成されている。同様にして、他方の共通電極３６には、図２１に示すように、凸状の接点ランド部３８が形成されている。
【００３６】
また、圧電シート１０には、図１７に示すように、平行対向辺（上辺及び下辺）の縁辺部の仮想線Ｌ１，Ｌ２上に、円形状の複数のダミー電極４１が形成されている。この点、各ダミー電極４１は、上述した共通電極３１，３６とは異なり、図２２に示すように、内部電極２２，２５のいずれにも電気的に接続されていない。
【００３７】
尚、圧電シート１０には、図１７に示すように、両斜辺の縁辺部に、ＦＰＣ基板５０を載置する際に使用する位置決めマーク４６が設けられている。
【００３８】
次に、ＦＰＣ基板５０の概略構造について説明すると、ＦＰＣ基板５０は、図２３に示すように、延出部５１において、多数の接点ランド部５２が形成されている。そして、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５２は、圧電シート１０の各駆動電極１１の接点ランド部１４の第二段面１３に対向する位置に配設されており、ＦＰＣ基板５０が圧電シート１０に載置された際には、圧電シート１０の各駆動電極１１の接点ランド部１４の第二段面１３に接触する。さらに、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５２には、図２３には示されていないが、図２４に示すように、銅箔より構成される導体パターン５３が配線されている。
【００３９】
また、ＦＰＣ基板５０は、図２３に示すように、延出部５１の上辺及び両斜辺の縁辺部においても、多数の接点ランド部５４が形成されている。そして、延出部５１の上辺の縁辺部の各接点ランド部５４は、圧電シート１０の上辺の端縁部の仮想線Ｌ１（図１７参照）上に形成された各ダミー電極４１に対向する位置に配設されており、ＦＰＣ基板５０が圧電シート１０に載置された際には、圧電シート１０の上辺の端縁部の仮想線Ｌ１（図１７参照）上に形成された各ダミー電極４１に接触する。また、延出部５１の両斜辺の各接点ランド部５４は、圧電シート１０の両斜辺の縁辺部に交互に形成された２種類の各共通電極３１，３６の接点ランド部３３，３８に対向する位置に配設されており、ＦＰＣ基板５０が圧電シート１０に載置された際には、圧電シート１０の両斜辺の縁辺部に交互に形成された２種類の各共通電極３１，３６の接点ランド部３３，３８に接触する。さらに、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５４には、図２３には示されていないが、図２４に示すように、銅箔より構成される導体パターン５５が配線されており、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５４は電気的に接続されている。
【００４０】
また、ＦＰＣ基板５０は、図２５に示すように、ポリイミドフィルムなどのベースフィルム６１と、上述した導体パターン５３、カバーコート６２、Ｎｉメッキ６３、半田６４などから構成されている。この点、Ｎｉメッキ６３及び半田６４は、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５２を構成する。尚、図２５に示す構造は、延出部５１の上辺及び両斜辺の縁辺部において形成・配線された接点ランド部５４や導体パターン５５についても、同様である。
【００４１】
さらに、ＦＰＣ基板５０には、図２３に示すように、両斜辺の縁辺部に、圧電シート１０に載置される際に使用する位置決めマーク５６が設けられている。
【００４２】
従って、ＦＰＣ基板５０の位置決めマーク５６と圧電シート１０の位置決めマーク４６を重ねて、ＦＰＣ基板５０を圧電シート１０に載置すれば、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５２が圧電シート１０の各駆動電極１１の接点ランド部１４の第二段面１３に重なり合うので、熱圧着などによって加熱接合すれば、図２６に示すように、ＦＰＣ基板５０のＮｉメッキ６３と圧電シート１０の接点ランド部１４の第二段面１３とが接触した状態で固定されるので、ＦＰＣ基板５０の各導体パターン５３と圧電シート１０の各駆動電極１１が電気的に接続される。
【００４３】
尚、このとき、図２６に示すように、圧電シート１０の各駆動電極１１の接点ランド部１４の第二段面１３に塗布されたＮ．Ｃ．Ｐ１５により、ＦＰＣ基板５０のＮｉメッキ６３と圧電シート１０の接点ランド部１４の第二段面１３とを覆うことになるが、圧電シート１０の各駆動電極１１の接点ランド部１４の第二段面１２にまで垂れてくることがある。
【００４４】
また、ＦＰＣ基板５０の位置決めマーク５６と圧電シート１０の位置決めマーク４６を重ねて、ＦＰＣ基板５０を圧電シート１０に載置すれば、さらに、ＦＰＣ基板５０の各接点ランド部５４が、圧電シート１０の上辺の縁辺部の仮想線Ｌ１（図１７参照）上に形成された各ダミー電極４１又は、圧電シート１０の両斜辺の縁辺部に交互に形成された２種類の各共通電極３１，３６の接点ランド部３３，３８に重なり合うので、熱圧着などによって加熱接合することにより、各ダミー電極４１又は、２種類の各共通電極３１，３６に電気的に接続される。
【００４５】
従って、ＦＰＣ基板５０を介して、駆動電極１１と内部電極２２，２５との間に駆動電圧を印可すれば、当該駆動電極１１の真下に位置する、圧電シート１０の第１圧電層２１及び、第２圧電層２３、第３圧電層２４、第４圧電層２６を変形させることができる。
【００４６】
すなわち、駆動電極１１の真下に位置する第１圧電層２１の部分は、電圧印可時に撓む活性部を構成することになる。また、第１圧電層２１及び、第２圧電層２３、第３圧電層２４、第４圧電層２６を焼成する場合には、圧電セラミックスと電極を構成する金属材料では焼成した場合の収縮率が異なるので、圧電シート１０の全体が反ったり波打ったりすることがある。よって、第４圧電層２６の上面部に形成される内部電極２５は、焼成後に、第１圧電層２１及び、第２圧電層２３、第３圧電層２４、第４圧電層２６が反ったり、あるいは波打ったりしてその平面性が損なわれないようにするための拘束層として機能する。、さらに、第２圧電層２３及び、第３圧電層２４、第４圧電層２６は、第１圧電層２１の活性部が下方向（キャビティプレート９００側）へのみ変形するようにするための拘束層として機能する。
【００４７】
次に、上記のように構成されるインクジェットヘッド１のインクの流れについて説明する。図１に示すように、下層から、ノズルプレート１００及び、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００、圧電シート１０を積層すると、ノズルプレート１００の一つのノズル１１１から吐出されるインクの流路は、図２７の断面図で示すことができる。また、図２８に、ノズルプレート１００の一つのノズル１１１から吐出されるインクの流路の一部を斜視図で示す。
【００４８】
この点、ノズルプレート１００の一つのノズル１１１から吐出されるインクは、先ず、インクマニホールド流路２にインクタンク（不図示）から供給される。尚、インクマニホールド流路２にインクをインクタンク（不図示）から供給するには、図２７及び図２８には示されていないが、キャビティプレート９００のインク供給口９０１（図１参照）及び、ベースプレート８００のインク供給口８０１（図１参照）、アパーチャプレート７００のインク供給口７０１（図１参照）、サプライプレート６００のインク供給口６０１（図１参照）、第三マニホールドプレート５００の溝貫通部５１２のインク供給部５１５（図８参照）、第二マニホールドプレート４００の溝貫通部４１２のインク供給部４１５（図７参照）、第一マニホールドプレート３００の溝貫通部３１２のインク供給部３１５（図６参照）が連通してなるインク供給路を介して行われる。このとき、サプライプレート６００のインク供給口６０１をインクが通過する際は、フィルター孔６０２により（図１６参照）、インク内のゴミが侵入するのを防いでいる。
【００４９】
ここで、インクマニホールド流路２の概略構成について説明すると、インクマニホールド流路２は、図２７に示すように、第三マニホールドプレート５００の溝貫通部５１２（図８参照）及び、第二マニホールドプレート４００の溝貫通部４１２（図７参照）、第一マニホールドプレート３００の溝貫通部３１２（図６参照）が連通することにより側壁面が構成されており、さらに、上壁面がサプライプレート６００で構成され、下壁面がカバープレート２００で構成されている。
【００５０】
また、インクマニホールド流路２は、図３０に示すように、２つ形成されている。すなわち、図３１に示すように、長手方向の上半分に一つのインクマニホールド流路２が形成されるとともに、図３２に示すように、長手方向の下半分に一つのインクマニホールド流路２が形成されている。そして、各インクマニホールド流路２には、第三マニホールドプレート５００の溝貫通部５１２のインク供給部５１５（図８参照）及び、第二マニホールドプレート４００の溝貫通部４１２のインク供給部４１５（図７参照）、第一マニホールドプレート３００の溝貫通部３１２のインク供給部３１５（図６参照）が連通してなるインク供給路の一部が５つ形成されている。
【００５１】
また、各インクマニホールド流路２では、図３３に示すように、第三マニホールドプレート５００の溝貫通部５１２の浮島部５１３（図８参照）及び、第二マニホールドプレート４００の溝貫通部４１２の浮島部４１３（図７参照）、第一マニホールドプレート３００の溝貫通部３１２の浮島部３１３（図６参照）が互いに重なり合うように配置される一方で（図３１，図３２参照）、第三マニホールドプレート５００の溝貫通部５１２の浮島部５１３を支持する連結片５１４（図８参照）及び、第二マニホールドプレート４００の溝貫通部４１２の浮島部４１３を支持する連結片４１４（図７参照）、第一マニホールドプレート３００の溝貫通部３１２の浮島部３１３を支持する連結片３１４（図６参照）が互いに重なり合うことがないように配置される（図３１，図３２参照）。
【００５２】
従って、各インクマニホールド流路２には、図３１及び図３２に示すように、各浮島部５１５，４１３，３１３が重なり合ったものが４つ内在するので、各インクマニホールド流路２は閉ループ状となり、各浮島部５１５，４１３，３１３の周囲をインクが流れることになる。このとき、各浮島部５１５，４１３，３１３を支持する連結片５１４，４１４，３１４は、図３３に示すように、互いに重なり合うことがないように配置されるとともに、上述したようにハーフエッチングされたものであることから、各浮島部５１５，４１３，３１３の周囲をインクがスムーズに流れることができる。
【００５３】
そして、インクマニホールド流路２を流れるインクは、図２７に示すように、サプライプレート６００の貫通孔６１２、アパーチャプレート７００の絞り部７１２のインク入口７１３・溝貫通部７１５・インク出口７１４、ベースプレート８００の貫通孔８１２を経て、キャビティプレート９００のインク圧力室９１１に導入される。このとき、サプライプレート６００の貫通孔６１２をインクが通過する際は、フィルター孔６１３により（図１０，図１１参照）、インク内のゴミが侵入するのを防いでいる。
【００５４】
一方、キャビティプレート９００のインク圧力室９１１は、圧電シート１０がキャビティプレート９００に積層されることにより、図２７及び図２９に示すように、その上面部が圧電シート１０によって塞がれるとともに、その上面部に圧電シート１０の駆動電極１１が配置される。このとき、図２９に示すように、略菱形形状の駆動電極１１の投影部は、同じく略菱形形状のインク圧力室１９Ａの内側にある。一方、圧電シート１０の駆動電極１１の鋭角部から引き出された部分の上に形成された接点ランド部１４の投影部は、キャビティプレート９００のインク圧力室９１１の外側にある。
【００５５】
そして、ＦＰＣ基板５０を介して、圧電シート１０の駆動電極１１と内部電極２２，２５（図１９参照）との間に駆動電圧を印可すると、キャビティプレート９００のインク圧力室９１１側に圧電シート１０が変形するので、キャビティプレート９００のインク圧力室９１１内のインクは、ベースプレート８００の貫通孔８１１に押し出される。その後、ベースプレート８００の貫通孔８１１に押し出されたインクは、ベースプレート８００の貫通孔８１１及び、アパーチャプレート７００の貫通孔７１１、サプライプレート６００の貫通孔６１１、第三マニホールドプレート５００の貫通孔５１１、第二マニホールドプレート４００の貫通孔４１１、第一マニホールドプレート３００の貫通孔３１１、カバープレート２００の貫通孔２１１を経て、ノズルプレート１００のノズル１１１から吐出される。
【００５６】
尚、一つのインクマニホールド流路２には、サプライプレート６００の長手方向の上半分又は下半分に設けられた全ての貫通孔６１２が連通しており、ひいては、キャビティプレート９００の長手方向の上半分又は下半分に設けられた全てのインク圧力室９１１に連通しているので、一つのインクマニホールド流路２に供給されたインクは、ノズルプレート１００の長手方向の上半分又は下半分に設けられた全てのノズル１１１のいずれかから吐出されることになる。
【００５７】
次に、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法は、概略して説明すると、下層から、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を積層接着する際に、それぞれ、図２に示すように、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０に支持された状態で積層する。
【００５８】
そして、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り外すとともに、カバープレート２００に対してノズルプレート１００を積層接着し、キャビティプレート９００に各圧電シート１０を積層接着することにより、インクジェットヘッド１が製造される。
【００５９】
そこで、キャビティプレート９００を例として、フレーム枠９５０に支持された状態について説明すると、キャビティプレート９００は、図１に示すように、６個の位置決め穴９５２が設けられたフレーム枠９５０に対して、１０個の連結片９５１を介して支持されている。そして、各連結片９５１には、図４６及び図４７に示すように、ハーフエッチングされた細長状のハーフ溝９５４が形成されている。この点、各連結片９５１のハーフ溝９５４は、図４６に示すように、その長手方向の中心線Ｌ３がキャビティプレート９００の一辺と一致するように配設されている。さらに、キャビティプレート９００においては、各連結片９５１の根元の両側に一対の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂが形成されている。
【００６０】
尚、上記は、キャビティプレート９００を例として説明したが、これらの点は、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００についも同様である。
【００６１】
但し、図３７〜図４４を比較すればわかるように、キャビティプレート９００の連結片９５１及び、ベースプレート８００の連結片８５１、アパーチャプレート７００の連結片７５１、サプライプレート６００の連結片６５１、第三マニホールドプレート５００の連結片５５１、第二マニホールドプレート４００の連結片４５１、第一マニホールドプレート３００の連結片３５１、カバープレート２００の連結片２５１、並びに、キャビティプレート９００の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂ及び、ベースプレート８００の切欠溝８５３Ａ，８５３Ｂ、アパーチャプレート７００の切欠溝７５３Ａ，７５３Ｂ、サプライプレート６００の切欠溝６５３Ａ，６５３Ｂ、第三マニホールドプレート５００の切欠溝５５３Ａ，５５３Ｂ、第二マニホールドプレート４００の切欠溝４５３Ａ，４５３Ｂ、第一マニホールドプレート３００の切欠溝３５３Ａ，３５３Ｂ、カバープレート２００の切欠溝２５３Ａ，２５３Ｂについては、以下に述べるような関係で、それぞれ異なる位置に配設されている。
【００６２】
すなわち、下層から、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を積層接着すると、図３６に示すように、キャビティプレート９００の他方の切欠溝９５３Ｂとベースプレート８００の一方の切欠溝８５３Ａとが重なり合って一致するので、ベースプレート８００の連結片８５１は、キャビティプレート９００の連結片９５１に対して、切欠溝９５３Ｂ，８５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６３】
また、図３６に示すように、ベースプレート８００の他方の切欠溝８５３Ｂとアパーチャプレート７００の一方の切欠溝７５３Ａとが重なり合って一致するので、アパーチャプレート７００の連結片７５１は、ベースプレート８００の連結片８５１に対して、切欠溝８５３Ｂ，７５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６４】
また、図３６に示すように、アパーチャプレート７００の他方の切欠溝７５３Ｂとサプライプレート６００の一方の切欠溝６５３Ａとが重なり合って一致するので、サプライプレート６００の連結片６５１は、アパーチャプレート７００の連結片７５１に対して、切欠溝７５３Ｂ，６５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６５】
また、図３６に示すように、サプライプレート６００の他方の切欠溝６５３Ｂと第三マニホールドプレート５００の一方の切欠溝５５３Ａとが重なり合って一致するので、第三マニホールドプレート５００の連結片５５１は、サプライプレート６００の連結片６５１に対して、切欠溝６５３Ｂ，５５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６６】
また、図３６に示すように、第三マニホールドプレート５００の他方の切欠溝５５３Ｂと第二マニホールドプレート４００の一方の切欠溝４５３Ａとが重なり合って一致するので、第二マニホールドプレート４００の連結片４５１は、第三マニホールドプレート５００の連結片５５１に対して、切欠溝５５３Ｂ，４５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６７】
また、図３６に示すように、第二マニホールドプレート４００の他方の切欠溝４５３Ｂと第一マニホールドプレート３００の一方の切欠溝３５３Ａとが重なり合って一致するので、第一マニホールドプレート３００の連結片３５１は、第二マニホールドプレート４００の連結片４５１に対して、切欠溝４５３Ｂ，３５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６８】
また、図３６に示すように、第一マニホールドプレート３００の他方の切欠溝３５３Ｂとカバープレート２００の一方の切欠溝２５３Ａとが重なり合って一致するので、カバープレート２００の連結片２５１は、第一マニホールドプレート３００の連結片３５１に対して、切欠溝３５３Ｂ，２５３Ａの幅を隔てた位置に配設されている。
【００６９】
従って、下層から、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００のそれぞれを、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０に支持された状態で積層接着した後に、キャビティプレート９００を見ると、図４５に示すようになり、連結片９５１，８５１，７５１，６５１，５５１，４５１，３５１，２５１は、形成された１０箇所の全てにおいて、積層方向で重なることなく、所定の幅を隔てて配置される。
【００７０】
また、下層から、カバープレート２００、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を積層接着した際には、それぞれの辺が重なり合って一致することから、キャビティプレート９００の連結片９５１に形成されたハーフ溝９５４の真下には、当該連結片９５１を横切りつつも、ベースプレート８００及び、アパーチャプレート７００、サプライプレート６００、第三マニホールドプレート５００、第二マニホールドプレート４００、第一マニホールドプレート３００、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる（図３６参照）。
【００７１】
また、ベースプレート８００の連結片８５１に形成されたハーフ溝８５４の真上には、当該連結片８５１を横切りつつも、キャビティプレート９００の一辺が位置するとともに、その真下には、当該連結片８５１を横切りつつも、アパーチャプレート７００及び、サプライプレート６００、第三マニホールドプレート５００、第二マニホールドプレート４００、第一マニホールドプレート３００、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７２】
また、アパーチャプレート７００の連結片７５１に形成されたハーフ溝７５４の真上には、当該連結片７５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００の各一辺が一致して位置するとともに、その真下には、当該連結片７５１を横切りつつも、サプライプレート６００及び、第三マニホールドプレート５００、第二マニホールドプレート４００、第一マニホールドプレート３００、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７３】
また、サプライプレート６００の連結片６５１に形成されたハーフ溝６５４の真上には、当該連結片６５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００、アパーチャプレート７００の各一辺が一致して位置するとともに、その真下には、当該連結片６５１を横切りつつも、第三マニホールドプレート５００及び、第二マニホールドプレート４００、第一マニホールドプレート３００、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７４】
また、第三マニホールドプレート５００の連結片５５１に形成されたハーフ溝５５４の真上には、当該連結片５５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００、アパーチャプレート７００、サプライプレート６００の各一辺が一致して位置するとともに、その真下には、当該連結片５５１を横切りつつも、第二マニホールドプレート４００及び、第一マニホールドプレート３００、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７５】
また、第二マニホールドプレート４００の連結片４５１に形成されたハーフ溝４５４の真上には、当該連結片４５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００、アパーチャプレート７００、サプライプレート６００、第三マニホールドプレート５００の各一辺が一致して位置するとともに、その真下には、当該連結片４５１を横切りつつも、第一マニホールドプレート３００及び、カバープレート２００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７６】
また、第一マニホールドプレート３００の連結片３５１に形成されたハーフ溝３５４の真上には、当該連結片３５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００、アパーチャプレート７００、サプライプレート６００、第三マニホールドプレート５００、第二マニホールドプレート４００の各一辺が一致して位置するとともに、その真下には、当該連結片３５１を横切りつつも、カバープレート２００の各一辺が位置することになる。
【００７７】
また、カバープレート２００の連結片２５１に形成されたハーフ溝２５４の真上には、当該連結片２５１を横切りつつも、キャビティプレート９００及び、ベースプレート８００、アパーチャプレート７００、サプライプレート６００、第三マニホールドプレート５００、第二マニホールドプレート４００、第一マニホールドプレート３００の各一辺が一致して位置することになる。
【００７８】
尚、これらの点は、ハーフ溝９５４，８５４，７５４，６５４，５５４，４５４，３５４，２５４が形成された１０箇所の全てにおいて同様である。
【００７９】
従って、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り外すために上下させると、キャビティプレート９００の各連結片９５１は、当該連結片９５１の両側の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂを支点としてベースプレート８００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片９５１に形成されたハーフ溝９５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片９５１は、キャビティプレート９００の一辺から飛び出すことがない。さらに、キャビティプレート９００の各連結片９５１の片隣に位置する連結片８５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片９５１，８５１が互いに干渉することはない。
【００８０】
また、ベースプレート８００の各連結片８５１は、当該連結片８５１の両側の切欠溝８５３Ａ，８５３Ｂを支点としてキャビティプレート９００及びアパーチャプレート７００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片８５１に形成されたハーフ溝８５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片８５１は、ベースプレート８００の一辺から飛び出すことがない。さらに、ベースプレート８００の各連結片８５１の両隣に位置する連結片９５１，７５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片８５１，９５１，７５１が互いに干渉することはない。
【００８１】
また、アパーチャプレート７００の各連結片７５１は、当該連結片７５１の両側の切欠溝７５３Ａ，７５３Ｂを支点としてベースプレート８００及びサプライプレート６００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片７５１に形成されたハーフ溝７５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片７５１は、アパーチャプレート７００の一辺から飛び出すことがない。さらに、アパーチャプレート７００の各連結片７５１の両隣に位置する連結片８５１，６５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片７５１，８５１，６５１が互いに干渉することはない。
【００８２】
また、サプライプレート６００の各連結片６５１は、当該連結片６５１の両側の切欠溝６５３Ａ，６５３Ｂを支点としてアパーチャプレート７００及び第三マニホールドプレート５００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片６５１に形成されたハーフ溝６５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片６５１は、サプライプレート６００の一辺から飛び出すことがない。さらに、サプライプレート６００の各連結片６５１の両隣に位置する連結片７５１，５５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片６５１，７５１，５５１が互いに干渉することはない。
【００８３】
また、第三マニホールドプレート５００の各連結片５５１は、当該連結片５５１の両側の切欠溝５５３Ａ，５５３Ｂを支点としてサプライプレート６００及び第二マニホールドプレート４００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片５５１に形成されたハーフ溝５５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片５５１は、第三マニホールドプレート５００の一辺から飛び出すことがない。さらに、第三マニホールドプレート５００の各連結片５５１の両隣に位置する連結片６５１，４５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片５５１，６５１，４５１が互いに干渉することはない。
【００８４】
また、第二マニホールドプレート４００の各連結片４５１は、当該連結片４５１の両側の切欠溝４５３Ａ，４５３Ｂを支点として第三マニホールドプレート５００及び第一マニホールドプレート３００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片４５１に形成されたハーフ溝４５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片４５１は、第二マニホールドプレート４００の一辺から飛び出すことがない。さらに、第二マニホールドプレート４００の各連結片４５１の両隣に位置する連結片５５１，３５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片４５１，５５１，３５１が互いに干渉することはない。
【００８５】
また、第一マニホールドプレート３００の各連結片３５１は、当該連結片３５１の両側の切欠溝３５３Ａ，３５３Ｂを支点として第二マニホールドプレート４００及びカバープレート２００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片３５１に形成されたハーフ溝３５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片３５１は、第一マニホールドプレート３００の一辺から飛び出すことがない。さらに、第一マニホールドプレート３００の各連結片３５１の両隣に位置する連結片４５１，２５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片３５１，４５１，２５１が互いに干渉することはない。
【００８６】
また、カバープレート２００の各連結片２５１は、当該連結片２５１の両側の切欠溝２５３Ａ，２５３Ｂを支点として第一マニホールドプレート３００の一辺に沿って容易に折れ曲がり、当該連結片２５１に形成されたハーフ溝２５４に沿って切断されることになる。従って、切断された各連結片２５１は、カバープレート２００の一辺から飛び出すことがない。さらに、カバープレート２００の各連結片２５１の片隣に位置する連結片３５１とは、図３６及び図４５に示すように、所定の幅をもって隔てられているので、連結片２５１，３５１が互いに干渉することはない。
【００８７】
以上詳細に説明したように、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、先ず、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０に１０個の各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１で支持されたカバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０とともに積層接着することにより、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を形成している。
【００８８】
このとき、例えば、キャビティプレート９００においては、図４６に示すように、各連結片９５１の一端の両側に隣接する一対の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂが各連結片９５１毎に設けられているとともに、さらに、キャビティプレート９００の一辺の上に長手方向の中心線Ｌ３が位置する細長状のハーフ溝９５４が各連結片９５１毎に設けられている。この点は、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００においても同様である。
【００８９】
従って、その後に、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１を切断することにより、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出しても、例えば、各連結片９５１は、当該連結片９５１の一端の両側に隣接する一対の切欠溝９５３Ａ，９５３Ｂを支点として、当該連結片９５１の細長状のハーフ溝９５４の長手方向の中心線Ｌ３で折れ曲がり、当該キャビティプレート９００の一辺の上で切断される。この点は、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１においても同様である。
【００９０】
従って、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法は、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出した際に、切断された各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１が、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物の側面から突起状に飛び出すことを防止したものと言える。
【００９１】
さらに、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法においては、図３７〜図４４に示すように、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１が、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００に異なる位置に配設されるものである。そして、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００が、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０とともに積層接着された際には、図３６に示すように、例えば、相隣り合う各連結片２５１，３５１が、切欠溝２５３Ａ，３５３Ｂの幅の距離を隔てて配列されている。この点は、各連結片３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１のうち、相隣り合うものについても同様である。
【００９２】
従って、例えば、各連結片９５１は、当該連結片９５１が設けられたキャビティプレート９００に積層されたベースプレート８００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片９５１をベースプレート８００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片９５１を相隣り合う各連結片８５１に干渉させずに切断することができる。
【００９３】
また、各連結片８５１は、当該連結片８５１が設けられたベースプレート８００に積層されたキャビティプレート９００の一辺の下及びアパーチャプレート７００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片８５１をキャビティプレート９００の一辺又はアパーチャプレート７００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片８５１を相隣り合う各連結片９５１，７５１に干渉させずに切断することができる。
【００９４】
また、各連結片７５１は、当該連結片７５１が設けられたアパーチャプレート７００に積層されたベースプレート８００の一辺の下及びサプライプレート６００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片７５１をベースプレート８００の一辺及びサプライプレート６００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片７５１を相隣り合う各連結片８５１，６５１に干渉させずに切断することができる。
【００９５】
また、各連結片６５１は、当該連結片６５１が設けられたサプライプレート６００に積層されたアパーチャプレート７００の一辺の下及び第三マニホールドプレート５００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片６５１をアパーチャプレート７００の一辺及び第三マニホールドプレート５００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片６５１を相隣り合う各連結片７５１，５５１に干渉させずに切断することができる。
【００９６】
また、各連結片５５１は、当該連結片５５１が設けられた第三マニホールドプレート５００に積層されたサプライプレート６００の一辺の下及び第二マニホールドプレート４００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片５５１をサプライプレート６００の一辺及び第二マニホールドプレート４００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片５５１を相隣り合う各連結片６５１，４５１に干渉させずに切断することができる。
【００９７】
また、各連結片４５１は、当該連結片４５１が設けられた第二マニホールドプレート４００に積層された第三マニホールドプレート５００の一辺の下及び第一マニホールドプレート３００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片４５１を第三マニホールドプレート５００の一辺及び第一マニホールドプレート３００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片４５１を相隣り合う各連結片５５１，３５１に干渉させずに切断することができる。
【００９８】
また、各連結片３５１は、当該連結片３５１が設けられた第一マニホールドプレート３００に積層された第二マニホールドプレート４００の一辺の下及びカバープレート２００の一辺の上に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片３５１を第二マニホールドプレート４００の一辺及びカバープレート２００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片３５１を相隣り合う各連結片４５１，２５１に干渉させずに切断することができる。
【００９９】
また、各連結片２５１は、当該連結片２５１が設けられたカバープレート２００に積層された第一マニホールドプレート３００の一辺の下に位置することができるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出す場合に、各連結片２５１を第一マニホールドプレート３００の一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片２５１を相隣り合う各連結片３５１に干渉させずに切断することができる。
【０１００】
また、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０から取り出すときに、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物の接着層に発生する応力を低減させることができる。
【０１０１】
また、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、図３７〜図４４に示すように、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１に各ハーフ溝２５４，３５４，４５４，５５４，６５４，７５４，８５４，９５４を設けているので、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１の折り曲げたときに、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００の積層構造物の接着層に加わる応力を低減させることができる。
【０１０２】
また、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、図３７〜図４４に示すように、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１が、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００に異なる位置に配設されるものである。従って、フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０に各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１で支持されたカバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００を、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０とともに積層接着した際には、図４５に示すように、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１は規則正しく配置されるので、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００が正しく積層されたか否かを、各連結片２５１，３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１の位置で一瞬して確認することができる。
【０１０３】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、キャビティプレート９００の各連結片９５１のハーフ溝９５４を、図４６に示すように、その長手方向の中心線Ｌ３がキャビティプレート９００の一辺と一致するように配設されていたが、図４８に示すように、その長手方向の中心線Ｌ３がキャビティプレート９００の一辺の内側に位置するように配設させてもよい。このようにすれば、切断されたの各連結片９５１がキャビティプレート９００から飛び出さないことをより確実にすることができる。この点は、キャビティプレート９００を例として説明したが、これらの点は、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００についも同様である。
【０１０４】
また、本実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法では、カバープレート２００及び、第一マニホールドプレート３００、第二マニホールドプレート４００、第三マニホールドプレート５００、サプライプレート６００、アパーチャプレート７００、ベースプレート８００、キャビティプレート９００が、各フレーム枠２５０，３５０，４５０，５５０，６５０，７５０，８５０，９５０とともに積層接着された際には、図３６に示すように、例えば、相隣り合う各連結片２５１，３５１が、切欠溝２５３Ａ，３５３Ｂの幅の距離を隔てて配列されているが、切欠溝２５３Ａ，３５３Ｂの幅以上のの距離を隔てて配列されてもよい。この点は、各連結片３５１，４５１，５５１，６５１，７５１，８５１，９５１のうち、相隣り合うものについても同様である。
【０１０５】
【発明の効果】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法では、先ず、フレーム枠に複数の連結片で支持されたプレートを、複数枚各フレーム枠とともに積層接着することにより、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを形成するが、このとき、各連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝が各連結片毎に各プレートに設けられているとともに、さらに、当該プレートの一辺の上に又は当該プレートの一辺より当該プレートの側に長手方向の中心線が位置する細長状のハーフ溝が各連結片に設けられていることから、その後に、各連結片を切断することにより、インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出しても、各連結片は、当該連結片の一端の両側に隣接する一対の切欠溝を支点として、当該連結片の細長状のハーフ溝の長手方向の中心線又は当該中心線よりもプレート側で折れ曲がり、当該プレートの一辺の上で又は当該プレートの一辺より当該プレートの側で切断されるので、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、複数枚のプレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出した際に、切断された各連結片が当該インクジェットヘッドの側面から突起状に飛び出すことを防止したものと言える。
【０１０６】
さらに、本発明のインクジェットヘッドの製造方法において、各連結片が、各プレートに異なる位置に配設されるものであり、相隣り合う連結片が、各プレートを各フレーム枠とともに積層接着した際に、切欠溝の幅以上の距離を隔てて配列されているものであれば、各連結片は、当該連結片が設けられたプレートに積層されたプレートの一辺の上又は下に位置することができるので、インクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出す場合に、各連結片をプレートの一辺に押しつけて容易に折り曲げることができ、さらに、各連結片を互いに干渉させずに切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティプレートがフレーム枠に支持された状態について示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの積層構造を示した分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートに設けられた微小径のインク噴出用のノズルの一群を示した平面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、カバープレートに設けられた微小径のインク通路用の貫通孔の一群を示した平面図である。
【図５】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、カバープレートの下側の一部を示した平面図である。
【図６】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第一マニホールドプレートの表側の一部を示した平面図である。
【図７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第二マニホールドプレートの表側の一部を示した平面図である。
【図８】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第三マニホールドプレートの表側の一部を示した平面図である。
【図９】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、サプライプレートに設けられた微小径のインク通路用の貫通孔及び微小径のインク導入用の貫通孔の一群及び、小径のインク供給口を示した平面図である。
【図１０】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、サプライプレートに設けられた微小径のインク導入用の貫通孔を拡大した平面図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、サプライプレートに設けられた微小径のインク導入用の貫通孔を拡大した断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、アパーチャプレートに設けられた微小径のインク通路用の貫通孔及び微小のインク導入用の絞り部の一群及び、小径のインク供給口を示した平面図である。
【図１３】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、アパーチャプレートに設けられた微小のインク導入用の絞り部を拡大した平面図である。
【図１４】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ベースプレートに設けられた微小径のインク通路用の貫通孔及び微小径のインク導入用の貫通孔の一群及び、小径のインク供給口を示した平面図である。
【図１５】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、キャビティプレートに設けられたインク圧力室の一群及び、小径のインク供給口を示した平面図である。
【図１６】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、サプライプレートに設けられた小径のインク供給口を拡大した平面図である。
【図１７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シートを示した平面図である。
【図１８】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シートの駆動電極を拡大した平面図である。
【図１９】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シート及び駆動電極を拡大した断面図である。
【図２０】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シートの一方の共通電極を拡大した断面図である。
【図２１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シートの他方の共通電極を拡大した断面図である。
【図２２】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、圧電シートのダミー電極を拡大した断面図である。
【図２３】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣ基板の延出部の平面図である。
【図２４】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣ基板の延出部の部分拡大図である。
【図２５】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣ基板の延出部の接点ランド部の断面図である。
【図２６】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ＦＰＣ基板と圧電シートが接続された際の断面図である。
【図２７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートの一つのノズルから吐出されるインクの流路を示した断面図である。
【図２８】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートの一つのノズルから吐出されるインクの流路の一部を示した斜視図である。
【図２９】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートの一つのノズルから吐出されるインクの流路の一部を示した平面図である。
【図３０】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第三マニホールドプレートの表側からインクマニホールド流路を示した平面図である。
【図３１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第三マニホールドプレートの表側からインクマニホールド流路を示した平面図であって、長手方向の上半分に形成されたインクマニホールド流路のみを示したものである。
【図３２】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、第三マニホールドプレートの表側からインクマニホールド流路を示した平面図であって、長手方向の下半分に形成されたインクマニホールド流路のみを示したものである。
【図３３】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドにおいて、インクマニホールド流路の一部を示した斜視図である。
【図３４】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの概略構成を示した分解斜視図である。
【図３５】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、複数枚のプレートを積層接着する際の構成を示した分解斜視図である。
【図３６】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、フレーム枠で支持された状態のプレートの複数枚を積層接着した際のキャビティプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図３７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図３８】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、ベースプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図３９】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、アパーチャプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４０】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、サプライプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、第三マニホールドプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４２】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、第二マニホールドプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４３】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、第一マニホールドプレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４４】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、カバープレートの一つの連結片の付近を示した平面図である。
【図４５】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、フレーム枠で支持された状態のプレートの複数枚を積層接着した際のキャビティプレートの一部を示した平面図である。
【図４６】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティプレートの連結片の付近を拡大して示した平面図である。
【図４７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティプレートの連結片のハーフ溝を拡大して示した断面図である。
【図４８】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティプレートの連結片のハーフ溝のその他の形態を示した平面図である。
【図４９】従来技術のインクジェットヘッドの製造方法において、各リードフレームを積層状態で粘着させた積層体を表した図であり、（ａ）は積層体のリードフレームのベースプレート側から見た上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＶＩＩｂ線の断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＶＩＩｃ線の断面図である。
【符号の説明】
１　インクジェットヘッド
２００　カバープレート
２５０　カバープレートのフレーム枠
２５１　カバープレートの連結片
２５３Ａ，２５３Ｂ　カバープレートの切欠溝
２５４　カバープレートのハーフ溝
３００　第一マニホールドプレート
３５０　第一マニホールドプレートのフレーム枠
３５１　第一マニホールドプレートの連結片
３５３Ａ，３５３Ｂ　第一マニホールドプレートの切欠溝
３５４　第一マニホールドプレートのハーフ溝
４００　第二マニホールドプレート
４５０　第二マニホールドプレートのフレーム枠
４５１　第二マニホールドプレートの連結片
４５３Ａ，４５３Ｂ　第二マニホールドプレートの切欠溝
４５４　第二マニホールドプレートのハーフ溝
５００　第三マニホールドプレート
５５０　第三マニホールドプレートのフレーム枠
５５１　第三マニホールドプレートの連結片
５５３Ａ，５５３Ｂ　第三マニホールドプレートの切欠溝
５５４　第三マニホールドプレートのハーフ溝
６００　サプライプレート
６５０　サプライプレートのフレーム枠
６５１　サプライプレートの連結片
６５３Ａ，６５３Ｂ　サプライプレートの切欠溝
６５４　サプライプレートのハーフ溝
７００　アパーチャプレート
７５０　アパーチャプレートのフレーム枠
７５１　アパーチャプレートの連結片
７５３Ａ，７５３Ｂ　アパーチャプレートの切欠溝
７５４　アパーチャプレートのハーフ溝
８００　ベースプレート
８５０　ベースプレートのフレーム枠
８５１　ベースプレートの連結片
８５３Ａ，８５３Ｂ　ベースプレートの切欠溝
８５４　ベースプレートのハーフ溝
９００　キャビティプレート
９５０　キャビティプレートのフレーム枠
９５１　キャビティプレートの連結片
９５３Ａ，９５３Ｂ　キャビティプレートの切欠溝
９５４　キャビティプレートのハーフ溝
Ｌ３　キャビティプレートのハーフ溝の長手方向の中心線
【図１】
2004114495.tif 000003
【図２】
2004114495.tif 000004
【図３】
2004114495.tif 000005
【図４】
2004114495.tif 000006
【図５】
2004114495.tif 000007
【図６】
2004114495.tif 000008
【図７】
2004114495.tif 000009
【図８】
2004114495.tif 000010
【図９】
2004114495.tif 000011
【図１０】
2004114495.tif 000012
【図１１】
2004114495.tif 000013
【図１２】
2004114495.tif 000014
【図１３】
2004114495.tif 000015
【図１４】
2004114495.tif 000016
【図１５】
2004114495.tif 000017
【図１６】
2004114495.tif 000018
【図１７】
2004114495.tif 000019
【図１８】
2004114495.tif 000020
【図１９】
2004114495.tif 000021
【図２０】
2004114495.tif 000022
【図２１】
2004114495.tif 000023
【図２２】
2004114495.tif 000024
【図２３】
2004114495.tif 000025
【図２４】
2004114495.tif 000026
【図２５】
2004114495.tif 000027
【図２６】
2004114495.tif 000028
【図２７】
2004114495.tif 000029
【図２８】
2004114495.tif 000030
【図２９】
2004114495.tif 000031
【図３０】
2004114495.tif 000032
【図３１】
2004114495.tif 000033
【図３２】
2004114495.tif 000034
【図３３】
2004114495.tif 000035
【図３４】
2004114495.tif 000036
【図３５】
2004114495.tif 000037
【図３６】
2004114495.tif 000038
【図３７】
2004114495.tif 000039
【図３８】
2004114495.tif 000040
【図３９】
2004114495.tif 000041
【図４０】
2004114495.tif 000042
【図４１】
2004114495.tif 000043
【図４２】
2004114495.tif 000044
【図４３】
2004114495.tif 000045
【図４４】
2004114495.tif 000046
【図４５】
2004114495.tif 000047
【図４６】
2004114495.tif 000048
【図４７】
2004114495.tif 000049
【図４８】
2004114495.tif 000050
【図４９】
2004114495.tif 000051