(57)【要約】【課題】先端に高精度な球面、或いは、非球面を有するマイクロ研削工具の作製方法及びマイクロ研削工具を提供すること。【解決手段】加工機上へ設置された工具成形用電極保持台へ高精度なＶ溝を加工し、所定の径に高精度に成形された工具成形用電極を前記Ｖ溝へ高精度に設置した後、研削工具材料を前記工具成形用電極上へ微細放電加工しながら高精度に走査させることにより、マイクロ研削工具を高精度に成形することができる。このとき、工具材料が焼結ダイヤモンドであると好適である。【選択図】  図１
2004167632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工機上に設置された工具成形用電極保持台にＶ溝を加工し、所定の径に成形された工具成形用電極を前記Ｖ溝に設置した後、研削工具材料を前記工具成形用電極上に微細放電加工しながら走査させ、前記研削工具に成形すること
を特徴とするマイクロ研削工具の作製方法。
【請求項２】
加工機上に設置された溝形成用薄板電極に、所定の径に成形された研削工具を前記溝形成用電極に送り込む際、前記研削工具の底面或いは側面を回転させずに放電させながら行い微細溝を形成すること
を特徴とするマイクロ研削工具の加工方法。
【請求項３】
工具材料は焼結ダイヤモンドであることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロ研削工具の加工方法。
【請求項４】
加工機上に設置された工具成形用電極保持台にＶ溝を加工し、所定の径に成形された工具成形用電極を前記Ｖ溝に設置した後、研削工具材料を前記工具成形用電極上に微細放電加工しながら走査することで作製されたマイクロ研削工具であって、
前記マイクロ研削工具の直径が３００μｍ以下であること
を特徴とするマイクロ研削工具。
【請求項５】
工具材料は焼結ダイヤモンドであることを特徴とする請求項４記載のマイクロ研削工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロレンズアレイなどの光学素子の加工に使用されるマイクロ研削工具の作製方法及びマイクロ研削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロレンズアレイなどの微細な光学デバイス金型加工においては、その加工対象から使用する工具は直径が３００μｍ以下で、且つ、３次元曲面形状を加工するため工具先端に１μｍ以下の形状精度を有する球面、或いは、非球面形状を有する工具が求められている。
【０００３】
従来の研削工具の作製方法としては、放電ツルーイングなどが採用されている。
【０００４】
この放電ツルーイング方法は、例えば、特許文献１に開示されているように、機上で工具電極を作製することにより工具形状の高精度化を図ることができるというものである。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭６３−２８３８６１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、工具電極を機上で加工することは難しく、加えて工具電極は放電加工時の消耗が小さいことが求められるが、純タングステン材料などの電極消耗の小さい材料は硬度が高いため高精度に加工し難いため、高精度なマイクロ研削工具の作製方法としては問題が生じることになる。また、工具電極を個別に作製し加工機へ装着した場合には、作製する研削工具と放電加工電極の相対位置決め誤差により、成形する工具に形状誤差を生じるという問題も生じる可能性がある。
【０００７】
更に、直径が１ｍｍ以下の微細な工具の作製方法としては、研削加工や図５に示すような放電加工が用いられている。放電加工においては、研削工具１１を回転させながらブロック電極１０へ逆極性で放電させながら送り込むことにより微細な工具を形成することができる。しかし、いずれの加工においても微細工具へ刃を形成することが難しく、形状としては、単純な円柱形状であり研削工具としては、加工能力が低いという問題があった。
【０００８】
前述するような、このように従来工法は、ツルーイング用電極を高精度に作製することが難しく、ツルーイング用電極の装着誤差、または、研削能力が低いといった課題があり、マイクロ研削工具を作製する方法としては問題が多い。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、先端に高精度な球面あるいは非球面を有し、且つ、加工能力に優れたマイクロ研削工具及びその作製方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のマイクロ研削工具の作製方法は、加工機上に設置された工具成形用電極保持台にＶ溝を加工し、所定の径に成形された工具成形用電極を前記Ｖ溝に設置した後、研削工具材料を前記工具成形用電極上に微細放電加工しながら走査させ、前記研削工具に成形することを特徴とするものである。
【００１１】
上記方法によれば、微細放電加工などで高精度に作製された純タングステンなどの低電極消耗材料を、加工機との軸ずれなく高精度に設置することができ、仮に作製する工具径が微小であったとしても、高精度に作製することが可能となる。
【００１２】
また、工具の加工能力が低い場合には、加工機上に設置された溝形成用薄板電極に、所定の径に成形された研削工具を前記溝形成用電極に送り込む際、前記研削工具の底面或いは側面を回転させずに放電させながら行い微細溝を形成することにより、工具の加工能力を向上させることが可能となる。
【００１３】
また、工具材料として焼結ダイヤモンドを用いることで、工具材料の高耐摩耗性の特徴により、超硬合金などの高硬度材料に対しても工具摩耗の極めて小さいマイクロ研削工具を得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１〜図３を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロ研削工具の作製方法を示す断面図でである。図１において、１は研削工具，２は工具成形用電極，３は電極保持台，４はマンドレル，５はＺステージ，６はＸＹステージ，７は放電発生回路である。
【００１６】
同図において、研削工具１は、モーターによって回転されるマンドレル４に固定されており、Ｚステージ５を用いて回転軸方向に位置決めすることができる。工具成形用電極２は、ＸＹステージ６上に設置された電極保持台３に形成されたＶ溝上に固定されている。
【００１７】
電極保持台３のＶ溝は、図３に示すように、研削工具１の代わりに円錐形状に成形された焼結ダイヤモンド工具９を回転させながら電極保持台へ切り込み、水平方向に走査することにより加工することができる。このように機上で加工されたＶ溝へ工具成形用電極２を設置することにより、工具成形上電極の位置決めが容易となり、工具成形用電極と加工機との軸ずれを極めて小さくすることができる。
【００１８】
また、研削工具１と電極保持台３の間には、微小エネルギーの放電パルスの発生が可能なＲＣ回路で構成される放電発生回路７が電気的に接続されており、研削工具１と工具成形用電極２との間で微細放電加工を実施できる構成となっている。
【００１９】
以上のような装置構成により、研削工具１を回転させながら所定の放電ギャップを保つように工具成形用電極２上を円周運動させながら放電ツルーイングすることにより、研削工具１の先端に高精度な球形状を作製することができる。
【００２０】
電極保持台材料として真鍮を用い、電極保持台へのＶ溝加工として、頂角９０°に成形した焼結ダイヤモンド工具を３０００ｒｐｍで回転させながら切り込み量１μｍで電極保持台上を２０μｍ／ｓｅｃで走査して、深さ４５０μｍとしたＶ溝を加工し、その溝上へ工具成形用電極材料として直径９５０μｍのタングステンを設置した。
【００２１】
研削工具材料としては、直径１００μｍの焼結ダイヤモンドを用いた。放電加工の条件としては、工具回転数を３０００ｒｐｍ、コンデンサ容量１０ｐＦ、電圧７０Ｖ、加工雰囲気は放電加工油中とし、電極頂点での放電検出点から１回の切り込み量を０．５μｍとし、電極上部を３０μｍ／ｓｅｃの速度で放電させながら走査した結果、工具先端にＲ＝５０μｍの球形状を有するマイクロ研削工具が得られた。
【００２２】
（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態に係る研削性を向上させるマイクロ研削工具の作製方法を模式的に示すものである。図２において、薄板電極８は加工機Ｚ軸に対して垂直に設置されており、薄板電極と工具材料は放電回路が接続されている。また、工具材料を所定の位置に位置決めし、回転させずに放電させながら薄板電極へ送り込むことで、微細な溝を加工することができる。工具材料と薄板電極の位置決めは、工具側面と薄板電極との導通検出により可能である。
【００２３】
薄板電極材料としては、板厚３０μｍのステンレス鋼、研削工具材料としては、直径１００μｍの焼結ダイヤモンド工具を用い、放電条件をコンデンサ容量１００ｐＦ、電圧８０Ｖとし、放電させながら研削工具を薄板電極材料へ送り込む加工を、工具を直角に回転させ２回繰り返すことにより、図４に示すような、幅３０μｍ、深さ２０μｍの微細な溝を加工することができた。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば、直径が１ｍｍ以下で、且つ、先端が球面或いは非球面形状を有する高精度、且つ、研削性に優れたマイクロ研削工具の作製方法及びマイクロ研削工具を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るマイクロ研削工具の加工方法を示す断面図
【図２】本発明の第２の実施形態に係るマイクロ研削工具への微細溝加工方法を示す断面図
【図３】本発明の第１の実施形態に係るＶ溝加工方法を示す断面図
【図４】本発明の第２の実施形態に係るマイクロ研削工具を示す図
【図５】従来の研削工具の加工法を示す断面図
【符号の説明】
１  研削工具
２  工具成形用電極
３  電極保持台
４  マンドレル
５  Ｚステージ
６  ＸＹステージ
７  放電発生回路
８  溝形成用電極
９  円錐形焼結ダイヤモンド工具
１０  ブロック電極
１１  研削工具
【図１】
2004167632.tif 000003
【図２】
2004167632.tif 000004
【図３】
2004167632.tif 000005
【図４】
2004167632.tif 000006
【図５】
2004167632.tif 000007