(57)【要約】【課題】ガス応答性の優れ、急速昇温が可能で、且つ急速昇温の繰り返しにおいても強度の高い小型の酸素センサを提供する。【解決手段】空気を導入するための空気導入孔を有する長尺状のジルコニア固体電解質基板３の先端付近の外表面に測定電極５を、測定電極５と対向する空気導入孔内３ａ壁面に基準電極４を設けた検出部１を有する酸素センサにおいて、記検出部１の長手方向に対して直交する方向のセンサの幅ｗが２．０〜３．５ｍｍであるとともに、検出部１における長手方向に対して直交する方向のセンサ全体の総断面積Ｖｐに占める空気導入孔３ａの断面積Ｖｏの比率Ｖｏ／Ｖｐが、０．００８〜０．２５の範囲にあることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を導入するための空気導入孔を有する長尺状のジルコニア固体電解質基板の先端付近の外表面に測定電極を、該測定電極と対向する空気導入孔内壁面に基準電極を設けた検出部を有する酸素センサにおいて、前記検出部の長手方向に対して直交する方向の幅が２．０〜３．５ｍｍであるとともに、長手方向に対して直交する方向のセンサ全体の総断面積Ｖｐに占める前記空気導入孔の断面積Ｖｏの比率Ｖｏ／Ｖｐが、０．００８〜０．２５の範囲にあることを特徴とする酸素センサ。
【請求項２】
前記測定電極および基準電極間のジルコニア固体電解質基板の厚みが１５０〜６００μｍであることを特徴とする請求項１記載の酸素センサ。
【請求項３】
セラミック絶縁層中に発熱体を埋設したヒータ部が前記検出部と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の酸素センサ。
【請求項４】
前記検出部と前記ヒータ部とが同時焼成して形成されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか記載の酸素センサ。
【請求項５】
前記検出部と、前記ヒータ部とそれぞれ別体で形成された後、接合材によって接合し一体化されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか記載の酸素センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における空気と燃料の比率を制御するための酸素センサに関するものである。
【０００２】
【従来技術】
現在、自動車等の内燃機関においては、排出ガス中の酸素濃度を検出して、その検出値に基づいて内燃機関に供給する空気および燃料供給量を制御することにより、内燃機関からの有害物質、例えばＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘを低減させる方法が採用されている。
【０００３】
この酸素センサとして、主として酸素イオン導電性を有するジルコニアを主分とする固体電解質からなり、一端が封止された円筒管の外面および内面にそれぞれ一対の電極層が形成された固体電解質型の酸素センサが用いられている。この酸素センサの代表的なものとしては、図７の概略断面図に示すように、ＺｒＯ２固体電解質からなり、先端が封止された円筒管３１の内面には、検出部として白金からなり空気などの基準ガスと接触する基準電極３２が、また円筒管３１の外面には排気ガスなどの被測定ガスと接触される測定電極３３が形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような酸素センサにおいて、一般に、空気と燃料の比率が１付近の制御に用いられている、いわゆる理論空燃比センサ（λセンサ）としては、測定電極３３の表面に、保護層としてセラミック多孔質層３４が設けられており、所定温度で円筒管３１両側に発生する酸素濃度差を検出し、エンジン吸気系の空燃比の制御が行われている。この際、理論空燃比センサは約７００℃付近の作動温度までに加熱する必要があり、そのために、円筒管３１の内側には、検出部を作動温度まで加熱するため棒状ヒータ３５が挿入されている。
【０００５】
しかしながら、近年排気ガス規制の強化傾向が強まり、エンジン始動直後からのＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘの検出が必要になってきた。このような要求に対して、上述のように、棒状ヒータ３５を円筒管３１内に挿入してなる間接加熱方式の円筒型酸素センサでは、検出部が活性化温度に達するまでに要する時間（以下、活性化時間という。）が遅いために排気ガス規制に充分対応できないという問題があった。
【０００６】
この問題を回避する方法として、図８の概略断面図に示すように平板状の固体電解質基板３６の外面および内面に測定電極３７と基準電極３８をそれぞれ設けると同時に、セラミック絶縁層３９の内部に発熱体４０を埋設したヒータ一体型の酸素センサが提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−１３１２６９号公報
【０００８】
【特許文献２】
特表２００２−５４０３９９号公報
【０００９】
【特許文献３】
特開２００２−２３６１０４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２、３などの従来のヒータ一体型酸素センサは、前記従来の間接加熱方式と異なり、直接加熱方式であるために急速昇温が可能ではあるが、その昇温速度をさらに早くすることが望まれているが、センサ自体が大きいために、急速昇温化に対しても限界があり、その結果、活性化時間の短縮ができないなどの問題があった。
【００１１】
しかしながら、この問題に関しては、センサの小型化によってある程度の急速昇温が可能となる反面、センサを小型化すると、急速昇温を繰り返すとセンサ強度が低下したり、あるいはセンサが破壊するという問題があった。
【００１２】
従って、本発明は、ガス応答性の優れ、急速昇温が可能で、且つ急速昇温の繰り返しにおいても強度の高い小型の酸素センサを提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の問題について検討した結果、ガス応答性が酸素センサの幅と非常に密接な関係にあり、またセンサ強度がセンサの総断面積や空気導入孔の断面積と関係があることを突き止め、検出部の幅や、センサ総断面積に占める空気導入孔の断面を所定の範囲に制御することにより、センサ強度を充分保ったまま、ガス応答性の優れた小型の酸素センサが提供できることを見出し、本発明に至った。
【００１４】
即ち、本発明の酸素センサは、空気を導入するための空気導入孔を有する長尺状のジルコニア固体電解質基板の先端付近の外表面に測定電極を、該測定電極と対向する空気導入孔内壁面に基準電極を設けた検出部を有するものであって、該検出部における長手方向に対して直交する方向の検出部の幅が２．０〜３．５ｍｍであるとともに、該酸素センサの長手方向に対して直交する方向のセンサ全体の総断面積Ｖｐに占める前記空気導入孔の断面積Ｖｏの比率Ｖｏ／Ｖｐが、０．００８〜０．２５の範囲にあることを特徴とするものである。
【００１５】
なお、前記測定電極および基準電極間のジルコニア固体電解質基板の厚みが１５０〜６００μｍであることが望ましい。
【００１６】
また、本発明の酸素センサにおいては、セラミック絶縁層中に発熱体を埋設したヒータ部を具備することが望ましく、このヒータ部は、前記検出部と同時焼成して形成されてなるか、またはそれぞれ別体で形成された後、接合材によって接合し一体化されたものでもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の酸素センサの基本構造の例を図面をもとに説明する。図１は、本発明の酸素センサの一例を説明するための概略断面図であり、図２は他の例を説明するための概略断面図である。これらは、一般的に理論空撚比センサと呼ばれるものであり、図１、図２の例ではいずれも検出部１とヒータ部２を具備するものである。
【００１８】
図１の酸素センサにおいては、ジルコニアからなる酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質基板３と、この固体電解質基板３の対向する両面には、空気に接する基準電極４と、排気ガスと接する測定電極５とが形成されており、酸素濃度を検知する機能を有する検出部１を形成している。
【００１９】
即ち、固体電解質基板３は、先端が封止された平板状の中空形状からなり、この中空部が空気導入孔３ａを形成している。そして、この中空内壁に、空気などの基準ガスと接触する基準電極４が被着形成され、この基準電極４と対向する固体電解質基板３の外面に、排気ガスなどの被測定ガスと接触する測定電極５が形成されている。
【００２０】
また、排気ガスによる電極の被毒を防止する観点から、測定電極５表面には電極保護層としてセラミック多孔質層６が形成されている。
【００２１】
本発明によれば、かかる酸素センサにおいては、検出部１における長手方向に対して直交する方向の幅ｗが２．０〜３．５ｍｍであることが重要である。本発明によれば、この幅ｗが２．０ｍｍより小さくなると、センサ自身が小さくなりエンジン中でセンサの温度が上がらないため、ガス応答性が悪くなる。逆に、幅ｗが３．５ｍｍを越えると、センサが大きいため急速昇温性が悪くなり、その結果活性化時間も悪くなる。幅ｗとしては２．５〜３．０ｍｍの範囲が特に優れる。
【００２２】
なお、この検出部１とは、測定電極５が形成されている領域を示し、上記幅ｗは、測定電極５が形成されている領域における最大幅を指すものである。
【００２３】
さらに、本発明においては、これと同時に、空気導入孔３ａに関して、充分なセンサ強度を保持し、急速昇温の繰り返しによるセンサの破壊を防止する観点から、センサの長手方向に対して直交する方向の総断面積Ｖｐに占める空気導入孔３ａの断面積Ｖｏの比率Ｖｏ／Ｖｐを０．００８〜０．２５の範囲に制御することが必要がある。即ち、Ｖｏ／Ｖｐが０．００８より小さいと、基準電極４への酸素の供給が悪くなり、所定の起電力が得られなし、活性化時間も遅くなる。また、Ｖｏ／Ｖｐが０．２５を越えるとセンサ強度が低下して、急速昇温の繰り返しによりセンサが破壊しやすくなる。Ｖｏ／Ｖｐの範囲としては、特に０．０５〜０．２の範囲が優れる。
【００２４】
本発明においては、センサ総断面積Ｖｐおよび空気導入孔３ａの断面積Ｖｏは、測定電極５および基準電極４が形成された検出部１における断面積を示す。これは、後述するヒータなどによって検出部が最も高い温度に設定されるためである。
【００２５】
また、この際、測定電極５および基準電極４に挟まれたジルコニア固体電解質基板３の厚みを１５０〜６００μｍ、特に３００〜４００μｍとすることによって、急速昇温時において、測定電極５および基準電極４に挟まれたジルコニア固体電解質基板３が熱応力により破壊しやすくなるのを効果的に防止するとともに、電極４，５間の固体電解質基板３の電気抵抗を適正に制御し、優れたガス応答性を維持することができる。
【００２６】
また、本発明によれば、図１に示すように、検出部１はヒータ部２と一体的に形成されていることが検出部１を急速昇温する上で望ましい。ヒータ部２は、電気絶縁性を有するセラミック絶縁層７に発熱体８が埋設された構造からなり、図１の酸素センサにおいては、ヒータ部２は、検出部１とともに焼成によって一体化された構造からなり、図２の酸素センサにおいては、検出部１とヒータ部２とは、それぞれ別体で形成され、接合材１０によって接合された構造からなる。
【００２７】
特に、検出部１の固体電解質基板３とヒータ部２のセラミック絶縁層７との熱膨張係数膨張差が大きい場合には、図２の構造からなることが望ましい。
【００２８】
なお、このヒータ部２は、図１では、保温性をヒータ部２による加熱効率を高めヒータ部２は、保温と材料間の熱膨張係数の差に起因する応力を低減するために、検出部１と接する側と反対側に固体電解質基板３と同一または類似の熱膨張係数を有するセラミック層９を形成することが望ましい。
【００２９】
また、本発明の酸素センサは、図３の概略平面図に示すように、固体電解質基板３の先端部付近に検出部１やヒータ部２が形成されており、固体電解質基板３の後端部付近の表面に測定電極５や基準電極４とリード１１ａを介して接続された一対の電極パッド１１が形成されている。そして、この電極パッド１１には、適宜、発熱体８への電力の印加や、検出部１の電極４、５からの信号の外部への取り出しを行なうために金属製のコネクタが用いられるが、場合によっては電圧の印加や、信号の取り出しはＮｉ等の金属ピンをパッド部にロウ付けして用いられることもある。
【００３０】
本発明の酸素センサにおいては、センサの長手方向に対して直交する方向の幅が、後端部から先端部まで同一であるもの（ａ）、または連続的、または段階的に小さいもの（ｂ）があり、（ｂ）の場合、電極パッド１１が設けられる部分の幅をセンサ先端部より広くし、検出部の小型化とともに、電極パッド１１にコネクタや金属ピンなどを容易に且つ強固に取り付けることができる。
【００３１】
また、本発明によれば、センサの小型化とともに優れたガス応答性を図る上で、測定電極５の電極面積が８〜１８ｍｍ２であることが望ましい。一方、センサ後端部における幅Ｌｂ（ｍｍ）は、３．５〜６ｍｍ、特に４．０〜５．５ｍｍであることが適当である。これによって、測定電極５の面積および先端部の幅を上記の範囲に制御することによって、ヒータによる急速昇温性を高め、センサによるガス応答性を改善することができる。また、本発明ではこれら電極パッド１１の強度を保持する観点から、素子端面の空気導入孔の面積Ｖｏはセンサ部のそれと同一形状で、同じ大きさに設定することが望ましい。
【００３２】
さらに、本発明によれば、図４に示すように、金属製のハウジングに挿入するため、酸素センサをセラミックスリーブ１２の貫通穴に挿入固定される。
【００３３】
本発明の酸素センサにおいて用いられる固体電解質は、ＺｒＯ２を含有するセラミックスからなり、安定化剤として、Ｙ２Ｏ３等の希土類酸化物を酸化物換算で１〜３０モル％含有する部分安定化ＺｒＯ２あるいは安定化ＺｒＯ２が用いられる。さらに、焼結性を改善する目的で、上記ＺｒＯ２に対して、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２を５重量％以下の割合で添加含有させることができる。
【００３４】
固体電解質基板３の表面に被着形成される基準電極４、測定電極５は、いずれも白金、あるいは白金と、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび金の群から選ばれる１種との合金が用いられる。また、センサ動作時における電極中の金属の粒成長を防止する目的と、応答性に係わる白金粒子と固体電解質と気体との、いわゆる３相界面の接点を増大する目的で、上述のセラミック固体電解質成分を１〜５０体積％、特に１０〜３０体積％の割合で上記電極４、５中に混合してもよい。また、電極形状としては、四角形でも楕円形でもよい。また、電極４、５の厚さは、３〜２０μｍ、特に５〜１０μｍが好ましい。
【００３５】
一方、発熱体８を埋設するセラミック絶縁層７としては、アルミナセラミックスからなる相対密度が８０％以上、開気孔率が５％以下の緻密質なセラミックスによって構成されていることが高強度化を図る上で望ましい。この際、焼結性を改善する目的でＭｇ、Ｃａ、Ｓｉを総和で１〜１０質量％含有していてもよいが、Ｎａ、Ｋ等のアルカリ金属は、マイグレーションによって一対のヒータ間の電気絶縁性を悪くするため酸化物重量換算で５０ｐｐｍ以下に制御することが望ましい。
【００３６】
また、測定電極５の表面に形成されるセラミック多孔質層６は、厚さ１０〜８００μｍで、気孔率が１０〜５０％のジルコニア、アルミナ、γ−アルミナおよびスピネルの群から選ばれる少なくとも１種によって形成されていることが望ましい。この多孔質層６の厚さは、電極被毒物質の影響を防止するとともにガス応答性を阻害しないように、１００〜５００μｍの厚さが望ましい。
【００３７】
ヒータ部２におけるセラミック絶縁層７内に埋設された発熱体８およびリード８ａは、金属として白金単味、あるいは白金とロジウム、パラジウム、ルテニウムの群から選ばれる１種との合金を用いることができる。この場合、発熱体８とリード８ａの抵抗比率は室温において、９：１〜７：３の範囲に制御することが好ましい。
【００３８】
また、本発明の酸素センサは、センサ全体の厚さとしては、０．８〜２．０ｍｍ、特に１．２〜１．７ｍｍ、センサの長さとしては４５〜５５ｍｍ、特に４５〜５０ｍｍが急速昇温性とセンサのエンジン中への取付け具合との関係から好ましい。
【００３９】
また、セラミックスリーブ１２は、アルミナ、ジルコニア、スピネルを主とする絶縁性のセラミックスから形成することによって金属製のハウジングへの熱の伝達を防止したり、あるいは系外からの電気的なノイズの侵入を防止し、正確な電気信号を取り出すことが出来る。排気ガスのリークを抑制する関係からスリーブ１２の焼結体の密度としては、少なくとも８０％以上、特に９０％以上あることが望ましい。
【００４０】
次に、本発明の酸素センサの製造方法について、図５の分解斜視図をもとに説明する。
【００４１】
まず、固体電解質のグリーンシート１３を作製する。このグリーンシート１３は、例えば、ジルコニアの酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質粉末に対して、適宜、成形用有機バインダーを添加してドクターブレード法や、押出成形や、静水圧成形（ラバープレス）あるいはプレス形成などの周知の方法により作製され、さらにはパンチング等によって図７のような先端部の幅が後端部から先端部に向かって連続的、または段階的に小さいグリーンシートを作製する。
【００４２】
次に、上記のグリーンシート１３の両面に、それぞれ測定電極５および基準電極４となるパターン１４やリードパターン１５や電極パッドパターン１６やスルーホール（図示せず）などを例えば、白金を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で印刷形成した後、空気導入孔１７を形成したグリーンシート１８およびグリーンシート１９をアクリル樹脂や有機溶媒などの接着材を介在させるか、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着することにより検出部１の積層体Ａを作製する。この際、空気導入孔１７の焼成後の大きさが本発明の特定する範囲になるように加工しこれを積層する。加工方法としては、パンチング、ＮＣ旋盤による切削加工、レーザー加工などが挙げられる。
【００４３】
なお、この時に測定電極５となるパターン１４の表面には、図１のセラミック多孔質層６を形成するための多孔質スラリーを印刷塗布形成してもよい。
【００４４】
次に、図７に示すようにジルコニアグリーンシート２０表面にアルミナ粉末からなるペーストをスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で印刷し、セラミック絶縁層２１ａを形成する。
【００４５】
次に、セラミック絶縁層２１ａの表面に、ヒータパターン２２およびリードパターン２３を印刷塗布する。そして、アルミナなどの絶縁性ペーストを塗布してセラミック絶縁層２１ｂを形成する。そしてジルコニアグリーンシート２４を積層することにより、ヒータ部２の積層体Ｂを作製する。
【００４６】
また、ジルコニアグリーンシート２０の下面には、ヒータ用電極パッドパターン２５を前記導電性ペーストを用いて印刷塗布し、ヒータ用リードパターン２３ａ、２３ｂとは、ビア導体２４と同様にして形成されたビア導体２６によって電気的に接続する。
【００４７】
なお、上記のヒータ部の積層体Ｂを作製するにあたり、セラミック絶縁層２１ａ，２１ｂは、上記のように絶縁性ペーストの印刷塗布によって形成する他に、アルミナなどのセラミックスラリーを用いてドクターブレード法などのシート成形方法によって絶縁性シートを形成して積層することもできる。
【００４８】
この後、検出部の積層体Ａとヒータ部の積層体Ｂをアクリル樹脂や有機溶媒などの接着材を介在させるか、あるいはローラ等で圧力を加えながら両者を機械的に接着することにより接着一体化した後、これらを焼成する。焼成は、大気中または不活性ガス雰囲気中、１３００℃〜１７００℃の温度範囲で１〜１０時間焼成する。なお、焼成時には、焼成時の検出部の反りを抑制するため、錘として平滑なアルミナ等の基板を積層体の上に置くことにより反り量を低減することができる。
【００４９】
また、検出部の積層体Ａとヒータ部の積層体Ｂとを同時焼成して一体化する場合には、両者の熱膨張係数差による応力の発生を低減するために、例えば、検出部を形成する固体電解質成分とヒータ部のセラミック絶縁層を形成する絶縁成分との複合材料を介在させることが望ましい。
【００５０】
その後、必要に応じて、焼成後の測定電極１４の表面に、プラズマ溶射法等により、アルミナ、ジルコニア、スピネルの群から選ばれる少なくとも１種のセラミックスを形成することによってヒータ部が一体化された酸素センサを形成することができる。
【００５１】
その後、本発明によれば、図６に示したような所定のスリーブ１２を準備し、上記で作成した酸素センサを挿入し、酸素センサとスリーブ１２との間にガラス粉末を充填し、大気中または不活性雰囲気中で１１００〜１３００℃で熱処理して、前記ガラスを溶融することで酸素センサをスリーブ１２に固定することができる。
【００５２】
なお、上記の方法では、ヒータ部２は検出部１と同時焼成して形成した場合について説明したが、検出部１とヒータ部２とはそれぞれ別体で焼成した後、ガラスなどの適当な無機系の接合材１０で接合することによって図２に示したような酸素センサを作製することができる。
【００５３】
また、本発明は、小型で、かつ空気導入孔の総断面積Ｖｏとセンサ断面Ｖｐの比率が一定であることが重要であって、指定する数値を満足さえすれば、いかなる平板状の酸素センサも本発明に含まれることは明白である。
【００５４】
【実施例】
図１に示すλセンサを、図５に従い以下のようにして作製した。
【００５５】
まず、純度が９９．９％アルミナ粉末と、Ｓｉを０．１重量％含む５モル％Ｙ２Ｏ３含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を添加してスラリーを作製し、押出成形により焼結後の厚さが約１３０〜８００μｍになるようなジルコニア固体電解質のグリーンシート１３を作製した。
【００５６】
その後、厚みが異なるジルコニア固体電解質のグリーンシート１３の両面に、平均粒子径が０．１μｍで８モル％のイットリアからなるジルコニアを３０体積％結晶内に含有する白金粉末を含有する導電性ペーストをスクリーン印刷して、測定電極と基準電極のパターン１４、リードパターン１５を印刷形成した。一方、センサの厚みを変化させるため厚みの異なるグリーンシート同士をアクリル樹脂の接着剤により積層し、空間積層体を作製した後、レーザー加工で空気導入孔１７を形成し、さらにその空間部を覆うように蒸気の電極を形成したジルコニア固体電解質のグリーンシート１３をアクリル樹脂の接着剤によりその積層体に接合して検出部用積層体Ａを得た。この際、測定電極は焼成後１７ｍｍ２となるようにした。また、空気導入孔１７は、レーザー加工により表１に示すように種々の大きさになるように形成した。
【００５７】
次に、ジルコニアグリーンシート２０表面に上述のアルミナ粉末からなるペーストを用いてスクリーン印刷してセラミック絶縁層２１ａを焼成後約１０μｍになるように形成した後、一方のヒータパターン２２およびリード部２３を、アルミナ粉末を２０体積％含有する含有する白金粉末を含有する導電性ペーストを用いてスクリーン印刷で印刷形成し、さらにこの表面にもう一度アルミナ粉末からなるペーストをスクリーン印刷してセラミック絶縁層２１ｂを形成した。この後、ジルコニアグリーンシート２４を積層することにより、ヒータ部用積層体Ｂを作製した。また、グリーンシート２０の裏面に電極パターン２５を形成し、リードパターン２３とグリーンシート２０、２１ａ、２１ｂに形成したビア導体２６によって接続した。
【００５８】
この後、前述の製造方法に従い検出部用積層体Ａとヒータ部用積層体Ｂを接合してヒータ一体化センサの積層体を１５００℃、１時間焼成してヒータ一体化センサを作製した。この際、検出部用積層体とヒータ部用積層体の幅と厚みをそれぞれ変化させて、焼成後の検出部の幅が１．８〜４．２ｍｍで、検出部の厚みが１．５〜２ｍｍの理論空燃比型（λ型）のヒータ一体化の酸素センサを作製した。
【００５９】
この後、水素、メタン、窒素、酸素の混合ガスを用いて空燃比を１２と２３の混合ガスを０．５秒間隔で交互にセンサに吹き付けがら、センサのヒータに１２Ｖ印加させてセンサの活性化時間の測定を行い結果を表１に示した。この際、図６に示すようにヒータに電圧を印加した時間をゼロとし、まずセンサが空燃比１２で０．６Ｖを示し、次に空燃比１２で０．３Ｖを示すまでの時間ｔをセンサの活性化時間とした。
【００６０】
次に、表１に示すセンサをそれぞれ２０個づつ作製して、室温から２０秒で１０００℃まで昇温した後、再度室温までファンで強制冷却するという温度サイクルを１サイクルとして、これを２０万回行った後のセンサの破損率を測定した。結果を合わせて表１に示す。この際、最高発熱体の検出部の総断面積、空気導入孔の断面積およびジルコニア固体電解質の厚みは走査型電子顕微鏡写真から測定した。
【００６１】
なお、本実施例においては、市販のセンサ（試料Ｎｏ．２１）も比較のため、上記と同様な評価を行なった。
【００６２】
【表１】
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【００６３】
表１より、検出部の幅が、３．５ｍｍを越える試料Ｎｏ．１では、温度サイクルによるセンサの破損率が高くガス応答性が悪いことが分かる。また、検出部の幅が２ｍｍより小さくなる場合も、試料Ｎｏ．２に示すようにガス応答性が悪いことが分かる。
【００６４】
次に、検出部の総断面積Ｖｐと空気導入孔の断面積Ｖｏとの比率Ｖｏ／Ｖｐが０．００８より小さい試料（Ｎｏ．１５）ではガス応答性が悪かった。また、Ｖｏ／Ｖｐが、０．２５を越える試料（Ｎｏ．１６）では、センサの破損率が高かった。
【００６５】
それに対して、本発明のもので、検出部の幅が２〜３．５ｍｍで、且つ検出部の総断面積Ｖｐと空気導入孔の断面積Ｖｏとの比率Ｖｏ／Ｖｐが０．００８〜０．２５の試料は全てガス応答性に優れると同時に、温度サイクルによるセンサの破損率も低かった。
【００６６】
また、電極間の厚みが１５０〜６００μｍの試料は活性化時間も１０（ｓ）以下、破損率も３０％以下と全て固体電解質の破壊に起因するセンサの破損率は低いことが分かる。特に、固体電解質の厚みが３００〜４００μｍの試料Ｎｏ．８、９では、急激な熱サイクルを加えても固体電解質の破損は認められなかった。
【００６７】
さらに、本発明品は、市販のセンサ試料Ｎｏ．２１に較べても、急速昇温性に優れ、熱サイクルにおける素子の破損率とも低いものであった。
【００６８】
【発明の効果】
以上詳述したとおり、本発明によれば、空気導入孔内壁面に基準電極を設けた検出部を有する酸素センサにおいて、前記検出部の長手方向に対して直交する方向のセンサの幅が２．０〜３．５ｍｍであるとともに、該検出部における長手方向に対して直交する方向のセンサ全体の総断面積Ｖｐに占める前記空気導入孔の断面積Ｖｏの比率Ｖｏ／Ｖｐが、０．００８〜０．２５の範囲に設計することによって、小型化によるガス応答性を高めることができるとともに、センサの強度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の酸素センサの一例を説明するための概略断面図である。
【図２】本発明の酸素センサの他の例を説明するために概略断面図である。
【図３】本発明における酸素センサの概略平面図である。
【図４】本発明の酸素センサをスリーブに固定した時の概略斜視図である。
【図５】本発明の酸素センサの製造方法を説明するための分解斜視図である。
【図６】活性化時間の測定方法を説明するためのグラフである。
【図７】従来のヒータ一体型酸素センサの構造を説明するための概略断面図である。
【図８】従来の他のヒータ一体型酸素センサの構造を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１  検出部
２  ヒータ部
３  固体電解質基板
３ａ  空気導入孔
４  基準電極
５  測定電極
６  セラミック多孔質層
７  セラミック絶縁層
８  発熱体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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