(57)【要約】【課題】漏洩光を阻止することのできる光スイッチを提供する。【解決手段】光スイッチは、基本的にポリマーからなる板材と駆動手段とを備え、上記板材は、その内部に線状に延びる光導波路２と、この光導波路２を横断するように設けられた切れ目からなるメインスイッチ１２を有し、駆動手段は、切れ目の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択するものであって、メインスイッチ１２の出力ポート１４ａ，１４ｂ側に光信号切換え用の切れ目からなるサブスイッチ１３ａ，１３ｂを設ける。【選択図】          図４
2004361793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材と、駆動手段とを備え、上記板材は、その内部に線状に延びる光導波路と、この光導波路を横断するように設けられた切れ目からなるメインスイッチを有し、上記駆動手段は、上記切れ目の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択する光スイッチにおいて、上記メインスイッチの出力ポート側に同じく切れ目からなるサブスイッチを設けたことを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
上記メインスイッチと同じ動作を行なう上記サブスイッチは上記メインスイッチと同じ面に形成するとともに、上記メインスイッチと反対の動作を行なう上記サブスイッチは上記メインスイッチと反対側の面に形成したことを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。
【請求項３】
複数の入力ポート及び出力ポートを有する請求項１記載の光スイッチであって、上記メインスイッチの反射側ポートにのみ上記サブスイッチを設けるとともに、上記サブスイッチの出力側をカプラによって上記出力ポートに接続したことを特徴とする光スイッチ。
【請求項４】
上記サブスイッチを構成する上記切れ目が上記光導波路の光軸の法線に対し傾き角をもって構成したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光スイッチ。
【請求項５】
上記傾き角は４°〜１２°であることを特徴とする請求項４記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光通信設備において光路の切替に用いられる光スイッチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光スイッチは光ファイバ等で伝達された光信号を電気に変換することなく、光のままで経路の切り換えをおこなうものであり、その方式の一つに跳ね橋型光スイッチがある。
これはポリマー導波路フィルムに片面から加工され、かつ他方の面までは貫通していない溝を加工し、駆動機構によりその溝を開閉させて光信号のスイッチングを行うものである。
導波路素材としては例えばフッ素化ポリイミドを用いており、駆動機構としてはピエゾ素子や電磁アクチュエータを採用している。
【０００３】
即ち従来技術においては、溝の開放側から駆動機構によってフィルムに変位を加えると、溝が閉じて溝の隙間がなくなる。溝を閉じると溝表面が接触して光信号は溝部を透過し一方の出力ポートに出力される。
逆に反対側からフィルムに変位を加えると溝が開き、溝内に空気層が生じる。空気層が生じると光信号は溝表面で反射されて他方の出力ポートに出力される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１７４７８４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
光スイッチでは光信号を一方の出力ポートに出力するときに、他方の出力ポートには光信号が漏洩しないのが望ましい。
漏洩する光をクロストーク光といい、クロストーク光が多いと他系統の信号に混じってしまうため伝送品質の低下となり、満足なデータ伝送ができなくなるためである。
【０００６】
しかし、特許文献１に示した従来の光スイッチでは透過状態にしたときでも溝表面でわずかに反射が生じるため、他方の出力ポートに光が漏洩し、他方の出力ポートへのクロストーク光を完全に遮断することは難しい。
逆に、反射状態にした場合でも光がわずかに溝部を透過してしまうため、透過側出力ポートに光信号が漏洩してしまう。
【０００７】
例えば、光スイッチが透過状態（溝が閉じた状態）のとき、反射側へのクロストーク量を−６５ｄＢ以下とするには、計算では溝間隔を０．３ｎｍ以下とする必要がある。この値は分子レベルの大きさであり、これを安定して実現するのは困難である。
以上のように、跳ね橋型光スイッチではクロストーク特性の向上が課題となっている。
【０００８】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、漏洩光を阻止することのできる光スイッチを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る光スイッチは、板材と、駆動手段とを備え、板材は、その内部に線状に延びる光導波路と、この光導波路を横断するように設けられた切れ目からなるメインスイッチを有し、駆動手段は、切れ目の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択するものであって、メインスイッチの出力ポート側に同じく切れ目からなるサブスイッチを設けたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、図１を参照して、本発明の前提技術となる光スイッチについて説明する。図１に示すのは、この光スイッチに用いるポリマー光導波路３の部分である。このポリマー光導波路３は、切れ目として、ポリイミドフィルム１に鋭利な刃物で切断して形成した第１〜第３の切り込み６ａ〜６ｃを有している。
【００１１】
このポリマー光導波路３においては、説明のために、第１および第２の入力ポート４ａ，４ｂ、第１および第２の出力ポート５ａ，５ｂを図示しているが、入力ポートおよび出力ポートはより多く存在してもよい。
光導波路２は、各入力ポートと出力ポートに対応してポリイミドフィルム１の内部に多数形成されており、交差点８ａ〜８ｆで交差している。
図１には図示していないが、各交差点８ａ〜８ｆの近傍には、交差点部分を一方の側から圧迫する押圧手段が設けられている。押圧手段としては、たとえば、図２（ａ），（ｂ）に示すような、プッシュロッド９である。
【００１２】
図２（ａ），（ｂ）を参照して、光路の切換え動作について説明する。図２（ａ），（ｂ）は、光導波路２の交差点８ａ〜８ｆの部分を拡大して示したものである。
まず、プッシュロッド９がポリイミドフィルム１に押し当てられていない図２（ａ）の状態では、光導波路２を進んできた信号光は、切り込み６の部分で反射される。
一方、プッシュロッド９がポリイミドフィルム１に押し当てられた図２（ｂ）の状態では、プッシュロッド９の圧迫によって上下の光導波路２同士が物理的に接合されるため、信号光は切り込み６のあった部分を無反射で透過することができる。
【００１３】
再び、図１を参照して、引き続き、動作について説明する。たとえば、図１のポリマー光導波路３を備える光スイッチにおいて、交差点８ａ，８ｂ，８ｅ，８ｆにプッシュロッド９（図２参照）を押し当て、交差点８ｃのみを解放しておく。この場合、交差点８ｃにおいては、光導波路２が切り込み６ａによって４５°の角度で切断されているため、交差点８ｃでは、光信号が全反射される。その結果、第１の入力ポート４ａから入射した信号光を第１の出力ポート５ａに出力することができる。
【００１４】
また、交差点８ａ，８ｄにプッシュロッド９を押し当て、交差点８ｂを解放した場合には、第１の入力ポート４ａから入射した信号光を第２の出力ポート５ｂに出力することができる。
同様に、交差点８ａ〜８ｆの中から適宜選択した交差点のみにプッシュロッド９を押し当てることによって、第１および第２の入力ポート４ａ，４ｂからの入射光を第１および第２の出力ポート５ａ，５ｂのうちの任意の出力ポートに出力することができる。
【００１５】
図３（ａ），（ｂ）は別の形態による光スイッチの接続及び反射の切り換え原理を示す断面図であり、プッシュロッド９は、ポリイミドフィルム１の裏面すなわち切り込み６のある側と反対側の面において、押さえ板１０の貫通穴１１を通じて押すようになっている。
図３（ａ）に示すように、プッシュロッド９によって押さない状態では、切り込み６はふさがっており、光導波路２同士は接続状態である。
一方、図３（ｂ）に示すように、プッシュロッド９で押すことによって、光導波路２は曲げられ、切り込み６の間隙の幅が、信号波長の１／４より大きく広がる。このようにして、光導波路２内を伝わってきた信号光は全反射するようになる。
【００１６】
本願発明は上記前提技術に改良を加えたものであり、光信号を切り換えるメインスイッチとは別に、出力側ポートの光導波路に光導波路の透過と遮断を切り換えることのできるサブスイッチを設けることにより、漏洩光を阻止するものである。
図４はこの発明の実施の形態１による光スイッチを示す一部平面図であり、メインスイッチ１２だけの場合には、非選択側ポートヘの光信号の漏洩を完全に防止することができない。
そこで、透過側、反射側の出力ポートにそれぞれサブスイッチ１３ａ，１３ｂを設ける。
【００１７】
サブスイッチ１３ａ，１３ｂはメインスイッチ１２と同様に光導波路２部に溝を形成し、それを駆動機構により開閉できるようにしたものである。
溝を閉じると光信号は光導波路２をそのまま透過し、溝を開くと溝表面で反射されるため、光導波路２は遮断される。
サブスイッチ１３ａ，１３ｂの駆動機構としては、例えばメインスイッチ１２と同様の方法を用いることができる。
【００１８】
メインスイッチ１２の駆動方法としては、図３（ａ），（ｂ）に示したものを採用することが考えられる。
即ちポリイミドフィルム１を穴の開いた押さえ板１１で挟み、穴中央部にスイッチ部を配置して、溝部をポリイミドフィルム面外方向からアクチュエータにより開閉させるものである。
透過側、反射側それぞれのポートのサブスイッチ１３ａ，１３ｂにおいて、メインスイッチ１２によって当該ポートが非選択側になったときには、溝を開放させて光導波路２を遮断して漏洩光の下流への流出を防止する。
【００１９】
選択側ポートとなったときには、サブスイッチ１３ａ，１３ｂの溝を閉じて透過状態とし、信号出力を出力ポートに出力することができる。
サブスイッチ１３ａ，１３ｂはメインスイッチ１２と同様にポリイミドフィルムに溝を形成した構造であり、駆動機構により溝を開閉する。
【００２０】
跳ね橋型光スイッチは透過過剰損失が０．１ｄＢ以下と少ないことが特長の一つであり、同様の構造であるサブスイッチ１３ａ，１３ｂの透過過剰損失も同様な値である。
サブスイッチ１３ａ，１３ｂの追加によって、スイッチ部の透過過剰損失と反射損失は、サブスイッチ１３ａ，１３ｂの透過過剰損失分だけ増加することになるが、サブスイッチ１３ａ，１３ｂにおける損失は小さいので、サブスイッチ１３ａ，１３ｂの追加による損失の増大はわずかであり、スイッチ全体の性能を大きく落とすことはない。
【００２１】
次に本発明による光スイッチの具体的な動作について、図５，図６に基づき説明する。
図５に示すように、メインスイッチ１２部の溝が閉じているときは、入力信号は出力ポート１４ａ側に出力される。このとき、メインスイッチ１２で光信号がわずかに反射され、出力ポート１４ｂ側に漏れてしまうことが問題となる。出力ポート１４ａ側サブスイッチ１３ａは溝を閉じておき、光信号の出力を妨げないようにする。
メインスイッチ１２を透過状態にしても、出力ポート１４ｂ側に漏れる信号は、出力ポート１４ｂ側サブスイッチ１３ｂの溝を開放することにより、出力ポート１４ｂ側光導波路２を遮断して出力ポート１４ｂに出力されるのを防止する。
【００２２】
次に図６に示すように、メインスイッチ１２部の溝が開いているときは、入力信号は溝表面で反射し、出力ポート１４ｂ側に出力される。このとき、サブスイッチ１３ｂは溝を閉じておき、光信号の出力を妨げないようにする。
メインスイッチ１２の出力ポート１４ａ側に漏れる信号は、サブスイッチ１３ａの溝を開放することにより、出力ポート１４ａ側の光導波路２を遮断して、出力ポート１４ａ側に出力されるのを防止する。
【００２３】
以上のように本実施形態によれば、メインスイッチ１２の出力ポート側にサブスイッチ１３ａ，１３ｂを組み込み、メインスイッチ１２の状態に応じてサブスイッチ１３ａ，１３ｂの透過・反射を制御することで、光スイッチ全体としてクロストーク特性を向上させることができる。
【００２４】
実施の形態２．
本実施形態においても、サブスイッチによってクロストーク特性の向上を図ることは実施の形態１と同じであるが、更にメインスイッチ１２とサブスイッチ１３ａ，１３ｂを同一の駆動機構を用いて連動して動作させることを目的とする。
図４に示した光スイッチにおいて、２つのサブスイッチ１３ａ，１３ｂの状態はメインスイッチ１２の状態に応じて図７に示すように一意的に決まる。
そこで出力ポート１４ａ側のサブスイッチ１３ａはメインスイッチ１２と同じ面に、出力ポート１４ｂ側のサブスイッチ１３ｂはメインスイッチ１２とは反対面に形成することで、メインスイッチ１２の駆動機構を用いて同時にサブスイッチ１３ａ，１３ｂを駆動することができるようになる。
【００２５】
図８、図９は出力ポート１４ａ側のサブスイッチ１３ａの動作を説明するための側面図である。
図８において、駆動機構によりポリイミドフィルム１を下方に押し下げると、溝が閉じてメインスイッチ１２は透過状態となる。このときサブスイッチ１３ａはメインスイッチ１２とポリイミドフィルム１の同じ側に設けてあるので、ポリイミドフィルム１が押し下げられることにより、サブスイッチ１３ａの溝も閉じて透過状態となり、図５に示す状態となる。
逆に図９に示すように、ポリイミドフィルム１を押し上げて、メインスイッチ１２の溝を開放して反射状態にすると、サブスイッチ１３ａの溝も開放状態となり、漏洩光を遮断することができ、図６に示す状態となる。
【００２６】
次に図１０、図１１は出力ポート１４ｂ側のサブスイッチ１３ｂの動作を説明するための側面図である。
図１０において、駆動機構によりポリイミドフィルム１を下方に押し下げると、溝が閉じてメインスイッチ１２は透過状態となる。このとき出力ポート１４ｂ側サブスイッチ１３ｂはメインスイッチ１２とポリイミドフィルム１の反対側に設けてあるので、ポリイミドフィルム１が押し下げられることにより、サブスイッチ１３ｂの溝は開放され、漏洩光を遮断することができ、図５の状態となる。
逆に図１１に示すように、ポリイミドフィルム１を押し上げてメインスイッチ１２の溝を開放して反射状態にすると、サブスイッチ１３ｂの溝は閉じて透過状態となり、図６に示す状態となる。
【００２７】
このようにサブスイッチ１３ａ，１３ｂをメインスイッチ１２の近傍に組み込んだ場合には、図８〜図１１に示すように、メインスイッチ１２のフィルム押圧部材でサブスイッチ１３ａ，１３ｂも同時に駆動できるので、アクチュエータを増やすことなく、サブスイッチ１３ａ，１３ｂを構成することができる。
【００２８】
図１２はメインスイッチ１２とサブスイッチ１３が離れている場合の光スイッチを示す側面図である。
図において、ポリイミドフィルム１は保持部材１５によって保持され、又、駆動機構１６には、メインスイッチ１２とサブスイッチ１３を同時に駆動することのできる押圧部材１７が連結されている。このように構成することにより、メインスイッチ１２とサブスイッチ１３が離れている場合でも、図１２のように押圧部材を連結し、それを駆動することで、アクチュエータを増やすことなくサブスイッチ１３を追加できる。
なお、サブスイッチ１３ａ，１３ｂのフィルム１上での平面配置関係は実施の形態１の場合と同じである。
【００２９】
以上のように本実施形態によれば、サブスイッチ１３ａ，１３ｂを組み込む際に、出力ポート１４ａ側のサブスイッチ１３ａの溝はメインスイッチ１２の溝とポリイミドフィルム１の同じ面に、又、出力ポート１４ｂ側のサブスイッチ１３ｂの溝はメインスイッチ１２の溝とは反対面に形成することにより、即ちメインスイッチ１２と同じ動作を行なうサブスイッチ１３ａはメインスイッチ１２と同じ面に形成し、メインスイッチ１２と反対の動作を行なうサブスイッチ１３ｂはメインスイッチ１２と反対側の面に形成することにより、メインスイッチ１２用の駆動機構を用いてサブスイッチ１３ａ，１３ｂを連動させて駆動することができる。
このように駆動機構を増やすことなくサブスイッチ１３ａ，１３ｂを組み込めるので、サブスイッチ組み込みによるコストアップが最小限に押さえられる。
【００３０】
実施の形態３．
本実施形態においては、跳ね橋型光スイッチを用いた光クロスコネクトスイッチにサブスイッチを設けたものである。
光クロスコネクトスイッチは、図１３に示すように、多数の入力ポート１８−１，１８−２，１８−３をそれぞれ任意の出力ポート１９−１，１９−２，１９−３に接続することができるようにしたものであり、サブスイッチの無い従来の跳ね橋型光スイッチでは、３入力、３出力の場合は図１３に示すような構成となる。
図１３において、メインスイッチは９箇所存在し、入力側光導波路と出力側光導波路との交点にそれぞれメインスイッチＳ１１〜Ｓ３３が配置される。
【００３１】
図１４においては、入力１８−１と出力１９−２、入力１８−２と出力１９−１、入力１８−３と出力１９−３の接続パターンを示している。このときメインスイッチＳ１２、メインスイッチＳ２１、メインスイッチＳ３３が反射状態であり、その他のメインスイッチは透過状態である。
この接続パターンでは、スイッチＳ３１、スイッチＳ３２において、入力ポート１８−３からの信号が、出力ポート１９−１、出力ポート１９−２に漏洩してしまう。
図１３に示す構成にサブスイッチを追加することも考えられるが、非選択側ポートは遮断されてしまうため、図１３に示す構成にサブスイッチを組み込むと、任意の接続パターンがとれなくなるという問題が発生する。
【００３２】
本実施形態は、このような光クロスコネクトスイッチにもサブスイッチを設けて漏洩光を防ぐものであり、図１５に示すように、各メインスイッチＳ１１〜Ｓ３３からの反射出力を、カプラ２０を用いて出力ポート１９−１，１９−２，１９−３に接続するとともに、メインスイッチＳ１１〜Ｓ３３の反対側にサブスイッチＷ１１〜Ｗ３３を設けたものである。これにより任意の接続パターンが可能となる。
図１６においては、入力１８−１と出力１９−２、入力１８−２と出力１９−１、入力１８−３と出力１９−３の接続パターンを示している。これは従来スイッチを用いた図１４の場合と同じ接続パターンである。
【００３３】
従来スイッチで問題となった入力ポート１８−３から出力ポート１９−１及び出力ポート１９−２への漏洩は、サブスイッチＷ３１，Ｗ３２によって遮断されるので、クロストーク特性が向上する。
なお、このクロスコネクトスイッチの場合には、反射状態における透過側ポートヘの漏洩光は、各出力ポート１９−１，１９−２，１９−３に達することはなく、問題にならないので、サブスイッチは反射側のみに設ければ良い。
【００３４】
図１７はサブスイッチを組み込んだ別の形態による光クロスコネクトスイッチを示す回路図である。
図１５においては、各メインスイッチ部からの反射側出力を、２入力のカプラ２０で出力ポートに連結した場合を示したが、図１７は多入力のカプラ（図では３入力）２１を用いて一括して出力ポートに連結したものである。
【００３５】
以上のように本実施形態によれば、各メインスイッチの反射側ポートにサブスイッチを組み込み、サブスイッチの出力側をカプラによって各出力ポートに接続するようにしたので、光クロスコネクトスイッチにおいてもサブスイッチの組み込みを可能にした。
これによりクロストーク特性の優れた光クロスコネクトスイッチを実現できる。
【００３６】
実施の形態４．
図１８はこの発明の実施の形態４による光スイッチにおけるサブスイッチ部を示す平面図、図１９は同じく側面図である。
サブスイッチ１３は、溝を開放して光導波路２を遮断することで漏洩光の流出を防止する。
そしてサブスイッチ１３の溝表面を光導波路２の光軸に対して垂直方向から傾けることで、サブスイッチ１３で反射された漏洩光が入力ポートに戻ってしまうことを防止することができるようになる。
傾斜の方向としては、図１８に示すように、フィルム１の平面方向に対して傾ける場合と、図１９に示すように、フィルム１の側面方向に対して傾ける場合がある。
【００３７】
光ファイバは中央の核をなすコア部と、その周囲を囲むクラッド部からなり、コア部の屈折率をクラッド部よりもわずかに大きくすることにより、光がコアとクラッドの境界で全反射することを利用して光信号をコア内に閉じ込めて伝送させている。しかし、ある一定角度以上でコアからクラッドに入射した場合は境界面で全反射しなくなる。
そこでサブスイッチ１３を構成する溝をコアに対して垂直から傾けることにより、サブスイッチ１３での反射光は斜め方向に反射して臨界角より大きな角度となるので、不要な反射光はコアからクラッドに放出されて消失する。
【００３８】
コアとクラッドの屈折率をそれぞれｎ１、ｎ２、コアからクラッドヘ光が入射する場合の入射角をａ１、屈折角をａ２とすると、スネルの法則により、
ｎｌＳｉｎａ１＝ｎ２Ｓｉｎａ２
が成立する。
全反射しないための条件は、屈折角ａ２が９０°以下の条件を満足しなければならないので、
Ｓｉｎａ１＜ｎ２／ｎ１
なる式が成立することになる。
【００３９】
コアとクラッドの屈折率差は通常０．３％〜２％であるから、
ｎ１＝（１．００３〜１．０２）ｎ２となり、
１／１．０２＜Ｓｉｎａ１＜１／１．００３となる。
この式を満足するａ１を求めることにより、全反射しないための最大の入射角ａ１は７８°〜８６°となる。
従ってサブスイッチ１３をコアに対して９０°から（９０−８６）°〜（９０−７８）°、即ち４°〜１２°傾けることで、サブスイッチ１３での反射戻り光は光導波路を伝搬しなくなり、不要な反射光を消失させることができる。
これよりも大きく傾けても反射戻り光を消失させることはできるが、サブスイッチ１３の透過時の損失が大きくなってしまうため、必要最低限の傾きが望ましい。
【００４０】
以上のように本実施形態によれば、サブスイッチ１３の溝を光導波路２の光軸に対して垂直な方向から傾け、更には光導波路２の光軸に対する傾きが、光軸に垂直な方向から４°〜１２°にしたことにより、溝を開放して漏洩光を遮断した場合に、入力ポートに漏洩光が反射するのを防止することができる。
【００４１】
【発明の効果】
この発明の請求項１に係る光スイッチによれば、板材と、駆動手段とを備え、板材は、その内部に線状に延びる光導波路と、この光導波路を横断するように設けられた切れ目からなるメインスイッチを有し、駆動手段は、切れ目の間隙を接近および離隔させることによって光の進路を選択するものであって、メインスイッチの出力ポート側に同じく切れ目からなるサブスイッチを設けたので、光の漏洩を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の前提技術となる光スイッチの斜視図である。
【図２】本発明の前提技術となる光スイッチの接続／反射の切換え原理説明図（ａ），（ｂ）である。
【図３】本発明の前提技術となる光スイッチの接続／反射の切換え原理説明図（ａ），（ｂ）である。
【図４】この発明の実施の形態１による光スイッチの平面図である。
【図５】この発明の実施の形態１による光スイッチの平面図である。
【図６】この発明の実施の形態１による光スイッチの平面図である。
【図７】この発明の実施の形態２による光スイッチのメインスイッチとサブスイッチとの関係を示す表である。
【図８】この発明の実施の形態２による光スイッチを示す側面図である。
【図９】この発明の実施の形態２による光スイッチを示す側面図である。
【図１０】この発明の実施の形態２による光スイッチを示す側面図である。
【図１１】この発明の実施の形態２による光スイッチを示す側面図である。
【図１２】この発明の実施の形態２による光スイッチを示す側面図である。
【図１３】この発明の実施の形態３による光スイッチを示す平面図である。
【図１４】この発明の実施の形態３による光スイッチを示す平面図である。
【図１５】この発明の実施の形態３による光スイッチを示す平面図である。
【図１６】この発明の実施の形態３による光スイッチを示す平面図である。
【図１７】この発明の実施の形態３による光スイッチを示す平面図である。
【図１８】この発明の実施の形態４による光スイッチを示す平面図である
【図１９】この発明の実施の形態４による光スイッチを示す側面図である。
【符号の説明】
２  光導波路、１２  メインスイッチ、１３ａ，１３ｂ  サブスイッチ、１４ａ，１４ｂ  出力ポート、１８  入力ポート、１９  出力ポート、２０，２１  カプラ。
【図１】
2004361793.tif 000003
【図２】
2004361793.tif 000004
【図３】
2004361793.tif 000005
【図４】
2004361793.tif 000006
【図５】
2004361793.tif 000007
【図６】
2004361793.tif 000008
【図７】
2004361793.tif 000009
【図８】
2004361793.tif 000010
【図９】
2004361793.tif 000011
【図１０】
2004361793.tif 000012
【図１１】
2004361793.tif 000013
【図１２】
2004361793.tif 000014
【図１３】
2004361793.tif 000015
【図１４】
2004361793.tif 000016
【図１５】
2004361793.tif 000017
【図１６】
2004361793.tif 000018
【図１７】
2004361793.tif 000019
【図１８】
2004361793.tif 000020
【図１９】
2004361793.tif 000021