(57)【要約】【課題】チップ形状に切断された状態にあるグリーンシートを、個々のチップ部品に損傷を与えることなく安全に、かつ分離率を下げることなく分離する。【解決手段】チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を供給部２０にて粘着シート１に供給し、粘着シート１に前記グリーンシート８０を付着させた状態にて粘着シート１を分離エッジ部５１及び剥離部５２に搬送し、分離エッジ部５１にて前記チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を個々のチップ部品に分離しかつ剥離部５２で前記粘着シート１から剥離する構成である。前記剥離部５２では粘着シート１の粘着力を低下させて前記チップ部品を粘着シート１から剥離する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ形状に切断処理されたグリーンシートを供給部にて粘着シートに供給し、前記粘着シートに前記グリーンシートを付着させた状態にて前記粘着シートを分離部及び剥離部に搬送し、該分離部にて前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離しかつ前記剥離部で前記粘着シートから剥離することを特徴とするチップ部品分離方法。
【請求項２】
前記剥離部では前記粘着シートの粘着力を低下させて前記チップ部品を前記粘着シートから剥離する請求項１記載のチップ部品分離方法。
【請求項３】
前記グリーンシートを付着させた前記粘着シートを前記分離部に搬送する経路中に分離促進部を設け、該分離促進部のローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させてチップ部品の分離を促進する請求項１又は２記載のチップ部品分離方法。
【請求項４】
粘着シートの搬送機構と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを粘着シートに供給する供給部と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記グリーンシートを個々のチップ部品に分離する分離部と、
前記分離部で分離されたチップ部品を前記粘着シートから剥離する剥離部とを備えたことを特徴とするチップ部品分離装置。
【請求項５】
前記剥離部には前記粘着シートの粘着力を低下させる粘着力低下手段が設けられている請求項４記載のチップ部品分離装置。
【請求項６】
前記粘着シートの搬送経路における分離部の手前側に設けられていて、ローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させる分離促進部を備える請求項４又は５記載のチップ部品分離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ形状に切断された状態にあるグリーンシート（未焼成セラミックシート）を個々のチップ部品に分離する為のチップ部品分離方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、出願人においては、台紙上に積層体グリーンシートを載せ、押切切断機等のチップ切断機でグリーシートをチップ形状に切断し、それをチップ分離機にて個々のチップ部品に分離する工程をとっていた。この場合、以下の問題があった。
【０００３】
▲１▼  現状の分離工程は分離率が低く、また分離治具一台に一人の作業者がついて作業を行っており、省人化、作業者の安全性、作業リードタイム等においても問題が残っている。
【０００４】
▲２▼  切断工程でのグリーンシートの台紙は分離工程でも兼用されているが必ずしも分離工程に適した性質を有するものではない。すなわち、切断工程の台紙は通気紙を用い、その通気紙は薄く弾性が無いが、分離工程で弾性の殆ど無い台紙を用いると、分離処理で発生するストレスは殆ど全てチップに直接かかることになり製品に悪影響を与える。
【０００５】
▲３▼  切断工程に適した台紙の性質として、切断刃への付着物を避けるため、粘着性が無いことが要求されるが、分離工程で粘着性の殆ど無い台紙を用いると、ハンドリング性が悪く、自動化の妨げとなる。
【０００６】
また、押切切断機を使用した場合、以下に述べるチップ切断後の問題がある。従来、積層体のグリーンシートは積層時にシート同士に接合性を持たせなければならない為、バインダーが使用されている。このバインダーの作用の為、いわゆる押切切断機等のチップ切断機（切断時チップ同士に間隙が出来ないタイプ）で切断を行った場合には、切断工程が進行すると同時にチップの接合も進んでしまうと言った問題がある。この結果として、切断工程完了時に切断したはずのチップが２つ以上くっついた状態（アベック）を起こしてしまう。この現象はチップサイズが小さくなればなるほど大きく現れ重要な問題となってくる。
【０００７】
この問題を解決する為に、従来技術として下記特許文献１及び特許文献２が提案されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−３３０１７７号公報
【特許文献２】特開平５−３２６３２１号公報
【０００９】
特許文献１の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シャープエッジとブレード刃（スクレーパとして機能する）を用いて分離する方式である。
【００１０】
特許文献２の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シートを内巻きにして切断を完全なものとしてから、さやに収納して焼成炉を通して分離する方式である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  粘着シートに貼り付けた状態で切断した場合、粘着シートによりグリーンシートの片面が完全に固定されてしまう為に、押切切断機の様に切断刃分体積が逃げなければならないような切断では切断形状が崩れ易い（特に極小チップ部品ではその可能性が高い）。
▲２▼  粘着シートからの剥離にブレード刃等を用いた場合、そこで受けるストレスによってチップ部品を破壊する可能性が高い。
【００１２】
上記特許文献２の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  特許文献１の工法と同様に切断時にチップ形状が崩れ易い。
▲２▼  シートを内巻きにしただけでは極小チップの分離は難しい。
▲３▼  内巻き工程、さや詰め工程、焼成工程が必要になり、工程が複雑になる（人手作業が多い）。
【００１３】
従来技術では、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ以下の極小チップ部品を破損せずに分離し、なおかつ分離率を上げる事は難しい。また分離のみを考えた方式の場合、人手の入る要素が多く、自動化等の省力化が困難となっている。
【００１４】
本発明は、上記の点に鑑み、チップ形状に切断された状態にあるグリーンシートを、個々のチップ部品（極小チップ部品乃至一般形状のチップ部品まで含む）に損傷を与えることなく安全に、かつ分離率（分離工程歩留り）を下げることなく分離でき、自動化、省力化にも適したチップ部品分離方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るチップ部品分離方法は、チップ形状に切断処理されたグリーンシートを供給部にて粘着シートに供給し、前記粘着シートに前記グリーンシートを付着させた状態にて前記粘着シートを分離部及び剥離部に搬送し、該分離部にて前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離しかつ前記剥離部で前記粘着シートから剥離することを特徴としている。
【００１７】
本願請求項２の発明に係るチップ部品分離方法は、請求項１において、前記剥離部では前記粘着シートの粘着力を低下させて前記チップ部品を前記粘着シートから剥離することを特徴としている。
【００１８】
本願請求項３の発明に係るチップ部品分離方法は、請求項１又は２において、前記グリーンシートを付着させた前記粘着シートを前記分離部に搬送する経路中に分離促進部を設け、該分離促進部のローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させてチップ部品の分離を促進することを特徴としている。
【００１９】
本願請求項４の発明に係るチップ部品分離装置は、粘着シートの搬送機構と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記チップ形状に切断処理されたグリーンシートを粘着シートに供給する供給部と、
前記搬送機構による前記粘着シートの搬送経路に設けられていて、前記グリーンシートを個々のチップ部品に分離する分離部と、
前記分離部で分離されたチップ部品を前記粘着シートから剥離する剥離部とを備えたことを特徴としている。
【００２０】
本願請求項５の発明に係るチップ部品分離装置は、請求項４において、前記剥離部には前記粘着シートの粘着力を低下させる粘着力低下手段が設けられていることを特徴としている。
【００２１】
本願請求項６の発明に係るチップ部品分離装置は、請求項４又は５において、前記粘着シートの搬送経路における分離部の手前側に設けられていて、ローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させる分離促進部を備えることを特徴としている。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るチップ部品分離方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２３】
図１乃至図４で本発明に係るチップ部品分離方法及び装置の実施の形態を説明する。これらの図において、１０は長尺テープ状粘着シートの繰り出しリール部、１１は同じく巻取りリール部であり、繰り出しリール部１０から繰り出された粘着シート１はガイド１２、反転用ガイド１３等を経て巻取りリール部１１で巻き取られるようになっている。また、粘着シート１を間欠送りするために粘着シートの搬送経路の途中に駆動ロール部１４が設けられている。この駆動ロール部１４はモータ等で間欠的に回転駆動される駆動ロール１５と駆動ロール１５との間で粘着シート１を挟む圧接ロール１６とからなっている。ここで使用する粘着シート１は片側のみに粘着層が設けられたものであり、他方の側は基材面で非粘着性である。
【００２４】
上記のように、前記粘着シート１は繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に向けて搬送されることになるが、繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に至る粘着シート１の搬送経路には、方形チップ形状に切断処理された積層体グリーンシートを粘着シート１の粘着層側に供給するための供給部２０、前記グリーシートの粘着シート１への付着を確実にするための再圧着部３０、押さえローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させてチップ部品への分離を促進する分離促進部４０、及び前記グリーンシートを個々のチップ部品７０に分離しかつ前記粘着シート１から剥離し、チップ受け箱６０に落下させる分離・剥離部５０が順次配設されている。
【００２５】
図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記供給部２０は平面ベッド２１とこれに対向する平板状の受けプレート２２とを有し、平面ベッド２１、受けプレート２２の少なくとも一方が昇降することで相互の対向間隔が離間した状態から狭い状態に変化する機構を有する。図示の場合は、受けプレート２２が固定で、平面ベッド２１が図１のエアシリンダ等の昇降手段２３により昇降駆動される機構としている。そして、図２（Ａ）のように台紙８１上に置かれて予め方形チップ形状に切断処理（押切切断機等のチップ切断機により処理）されたグリーンシート８０を台紙８１と共に平面ベッド２１上に載置し、粘着層を下向きとした粘着シート１がその上を通過する配置として、粘着シート１の停止時に平面ベッド２１と受けプレート２２の間隔を狭めてグリーシート８０を粘着シート１の粘着層に押し付ける。これにより、図２（Ｂ）のようにグリーシート８０が粘着シート１側に供給され、以後グリーシート８０は粘着シート１の粘着層に付着した状態で搬送されることになる。なお、台紙８１は、グリーシート８０の切断時に使用した下敷きのシートであり、この時にグリーンシート８０から外れることになる。台紙８１はグリーシート切断用の下敷きのシートとして使用可能な材質で、粘着シート１にグリーンシート８０を転写（移載）できる物であればなんでも構わない。例えば、クリーン紙等で、粘着力の無いシートである。
【００２６】
前記再圧着部３０は位置固定の受けローラー３１と、圧着用の押えローラー３２の組を有し、押えローラー３２は受けローラー３１に圧接する向きにエアーシリンダ等の付勢手段３３で付勢されており、受けローラー３１との間にグリーシート８０が付着した粘着シート１を挟んで再圧着処理を行う。これにより、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０を、グリーンシート面から所定の圧力により押さえ付け、粘着シート１への密着を促進させる。
【００２７】
前記分離促進部４０は、固定プレート４１と、その上を横方向に往復移動自在でプレート４１に圧接する向きにエアーシリンダ等の付勢手段４３で付勢さたれ押さえローラー４２とを有する。粘着シート１は反転用ガイド１３で反転された状態になっており、図３のように、粘着シート１の基材２が下側、粘着層３が上側、さらにその上側にグリーシート８０が付着して固定プレート４１上を通過するようになっている。そして、固定プレート４１上にて停止中の粘着シート１上のグリーシート８０に対して押さえローラー４２が粘着シート搬送方向に沿って横方向に動くことで、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０をグリーンシート面から所定の圧力により部分的に順次押さえ付け分離を促進させる。つまり、ローラー４２により押圧された粘着シート１のエリアは粘着層３の粘着材が沈み込むので、押圧されないエリアとの境界部分にあるグリーシート８０の切断されたチップ７０Ａ（チップ部品７０となる部分）に矢印Ｆの押圧力が加わり、隣接チップとの境の切断個所Ｃに対し、厚さ方向にせん断力が働き、チップ分離が促進できる。ローラー４２の表面素材は粘着シート１に粘着しにくい材質が望ましい。
【００２８】
図４に示すように、分離・剥離部５０は、分離部として微小曲率半径Ｒａで粘着シート１を走行させる分離エッジ部５１を備えるとともに、曲率半径Ｒｂ（Ｒｂ＞Ｒａ）の湾曲面で粘着シート１を走行させてグリーシート８０側を下向きに変えるとともに粘着シート１の粘着力を低下させるための加熱、冷却、光線（紫外線や赤外線も含む）照射等の処理を行う粘着力低下手段を有する剥離部５２とを備えている。
【００２９】
前記分離部としての分離エッジ部５１は、更に分離を進め分離状態を確認する為にシャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）を用いて粘着シート１の方向転換を行う（なお、半径Ｒａの固定又は回転軸体を用いてシャープエッジと同様の機能を果たすことも可能である。）。この時粘着シート１には一定のテンションが掛かっており、チップ７０Ａ相互は離間分離処理されることになり、分離は完全なものとなる。また、分離エッジ部５１の処理の後、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂを持つ剥離部５２で、粘着シート１の粘着力を減少させる処理を用いてグリーシート８０からチップ部品７０を確実に分離した状態で粘着シート１から剥離させる。例えば、粘着シート１が加熱により粘着力が低下する熱発泡粘着シートであれば、剥離部５２では加熱を、粘着シート１が冷却により粘着力が低下するものであれば、剥離部５２では冷却を、粘着シート１が紫外線、赤外線等の光線照射により粘着力が低下するものであれば、光線照射処理を行う。
【００３０】
この実施の形態の場合の全体的な動作説明を行う。
【００３１】
粘着シート１は繰り出しリール部１０から繰り出され、駆動ロール部１４により間欠走行するように搬送されて、巻取りリール部１１で巻き取られるようになっており、供給部２０において、台紙８１上に載置して押切切断機等のチップ切断機で方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０が、粘着シート１の停止時にその粘着層３側に供給され、ここで、グリーシート８０は粘着シート１に付着してこれに移し変えられる。
【００３２】
粘着シート１の間欠走行に伴い、グリーシート８０は再圧着部３０を通過し、ここでグリーンシート８０を粘着シート１の粘着層３側に押し付け、粘着シート１への密着を促進させる。
【００３３】
粘着シート１及びこれに付着したグリーシート８０は再圧着部３０を通過した後、反転用ガイド１３で反転されてグリーシート８０が粘着シート１の上側となった状態で走行して分離促進部４０に至り、押さえローラー４２の横方向の動きでグリーンシート面から所定の圧力が順次加わることでチップ毎の分離が促進される（図３のチップ切断個所Ｃに対し、厚さ方向にせん断力が加えられる。）。
【００３４】
そして、分離・剥離部５０に至った粘着シート１及びグリーシート８０は、まず分離エッジ部５１のシャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）を通過して方向転換することでさらに分離が進められ、その後、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂを持つ剥離部５２を走行しながら、粘着シート１の粘着力を減少させる処理が行われることで、個々のチップ部品７０に分離しかつ粘着シート１から剥離してチップ受け箱６０に落下する。
【００３５】
この実施の形態に示したように、従来自動化されていなかった切断処理後のグリーシート８０を個々のチップ部品７０に分離する工程を、切断後のグリーンシートの供給から分離・剥離までインラインで行うことが可能となるため、以下の効果を得ることができる。
【００３６】
（１）  従来行われていなかった補助的工程（再圧着部２０や分離促進部４０等による工程）を加えることができる。
【００３７】
（２）  チップ形状に切断処理後のグリーンシート８０の連続的供給が可能となり、リードタイムの短縮が可能である。
【００３８】
（３）  省人化を図れる。
【００３９】
（４）  従来の治具作業に比して、作業者の安全性が向上する。
【００４０】
（５）  リール式の粘着シート１によりチップ形状に切断処理したグリーンシート８０を搬送出来るので、グリーンシートの切断工程から個々のチップ部品に分離、剥離する分離・剥離工程までをインラインで結ぶ事も可能となり、自動化に適している。特に極小チップ部品、例えば１００５（１．０ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）サイズ  、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ、０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズチップ部品等の処理に適している。
【００４１】
なお、グリーンシート切断時に使用するクリーン紙等の台紙は、実施の形態では個片状、つまり枚葉シートとしたが、前の工程にあたるグリーンシート切断機での使用形態によっては、テープ状（リールｔｏリール用）の台紙を使用してもよい。
【００４２】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、チップ形状に切断された状態にあるグリーンシートを、個々のチップ部品に損傷を与えることなく安全に、かつ分離率、つまり分離・剥離工程歩留りを下げることなく分離可能であり、また、自動化、省力化を図ることができ、とくに従来技術では分離・剥離工程歩留まりの向上が困難であった極小チップ部品の処理に適用すればその効果は大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るチップ部品分離方法及び装置の実施の形態を示す全体構成図である。
【図２】実施の形態における供給部の動作を説明する斜視図である。
【図３】実施の形態における分離促進部の説明図である。
【図４】実施の形態における分離・剥離部の説明図である。
【符号の説明】
１  粘着シート
２  基材
３  粘着層
１０  繰り出しロール
１１  巻取りロール
１３  反転用ガイド
１４  駆動ロール部
２０  供給部
２１  平面ベッド
２２  受けプレート
３０  再圧着部
３１  受けローラー
３２，４２  押さえローラー
４０  分離促進部
４１  固定プレート
５０  分離・剥離部
５１  分離エッジ部
５２  剥離部
６０  チップ受け箱
７０  チップ部品
８０  グリーンシート
８１  台紙
【図１】
2004235394.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004235394.tif 000006