(57)【要約】【課題】２重梱包をやめることを提案し、且つ、小型の電子部品から大型の装置まで、空気の清浄度を維持したまま搬送できる２重包装型クリーンキャリアを提供すること。【解決手段】キャリアＣは、パレット１と、このパレット１を覆う２重のカバー２，３と、これらのカバー２，３を支持する支持フレーム４と、前記２重カバーの内側のカバー（内カバー）２を取付けるためのキャップ５と、前記内カバー２内にクリーンエアを供給するクリーンユニット６と、そのクリーンユニット６の外気取入口７を備えている。そして、前記２重カバー２，３内に搬送物８を無梱包のまま収容し、クリーンユニット６によりクリーンエアを供給しつつ、搬送元から搬送先まで搬送できるようになっている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を載せるパレットと、前記搬送物を覆う２重のカバーと、そのカバーを支持する支持フレームと、前記カバー内にクリーンエアを供給するクリーンユニットを備えた２重包装型クリーンキャリア。
【請求項２】
前記カバーは、低発塵性の材料を用いたことを特徴とする請求項１に記載の２重包装型クリーンキャリア。
【請求項３】
前記カバー内部から、外部にエアが流出する流出口を設けたことを特徴とする請求項１に記載の２重包装型クリーンキャリア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、製造装置メーカー等から製造装置等を半導体工場等に搬送する場合に使用される２重包装型クリーンキャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、パッケージされた半導体製品は、パッケージ本体に損傷を与えないように、専用の容器であるＩＣトレイに収納されて搬送される（特許文献１）。
このＩＣトレイによる搬送対象は、専らパッケージされた半導体製品であり、搬送範囲も同一工場内が想定され、また搬送環境の空気の清浄度も考慮されることはない。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２８１１７０号公報（段落０００９，００３０）
【０００４】
一方、搬送環境の清浄度（クリーン度）の維持、即ち、空気中の塵埃等の微粒子による汚染の防止が重要なポイントとなる、ウエハ等の部品、製造装置等の搬送は、次のような搬送方法が行なわれていた。
半導体工場等では、クリーンルームへ発塵源を持ち込まないことが鉄則であって、図１１の搬送手順図に示したように、搬送元では、クリーニングされた装置等をまず、ラッピングのようにテーピングして（１重、図１１（１））、さらにその上からテーピングし（図１１（２））、２重梱包して搬出していた。
２重梱包の意味は、１重目の梱包が装置等の防塵のためであり、２重目の梱包が１重目梱包の防塵のためである。
このように２重梱包された装置等は、クリーンカー等で搬送先に搬入される。その際に、２重梱包に使用した梱包材料は、クリーンルームの前室（サービスエリア）等で取除かれ、ゴミとして廃棄される（図１１（３）、（４））。
【０００５】
しかし、搬送元での２重梱包の作業、搬送先での２重梱包の開梱も手間のかかる作業であった。
また、搬送先において、搬送物が多量の場合、それらのゴミ処理のため作業、コストも無視できないものであり、これらゴミは、埋立処分、焼却処分されるにしても、環境への負荷が憂慮されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本出願人は、このような現状の問題点を認識し、本発明に想到したものであり、２重梱包をやめることを提案し、そのため電子部品、精密機材、製造装置等を、空気の清浄度を高度に維持したまま搬送できる２重包装型クリーンキャリアの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願発明は、搬送物を載せるパレットと、前記搬送物を覆う２重のカバーと、そのカバーを支持する支持フレームと、前記カバー内にクリーンエアを供給するクリーンユニットを備えた２重包装型クリーンキャリアとした（請求項１に記載の発明）。
クリーンユニットにより、前記カバー内にクリーンエアが供給されるので、搬送元から搬送先まで無梱包のまま、搬送することができる。
【０００８】
上記発明において、前記カバーは、低発塵性の材料を用いる（請求項２に記載の発明）。
前記カバーに低発塵性の材料を用いることにより、搬送物を無梱包のまま、搬送できる。
【０００９】
前記カバー内部から、外部にエアが流出する流出口を設けた２重包装型クリーンキャリアとした（請求項３に記載の発明）。
カバー内部の空気圧を所定値に調整して、カバーを膨張させつつ、搬送物を搬送させることで、外部からの汚染物質の侵入を排除し、搬送物を無梱包のまま、搬送できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
上記各発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は実施形態に係る２重包装型クリーンキャリア（以下、キャリアという）の斜視図、図２は同分解組立斜視図である。
なお、これらの各図、後述の各図において、同一の構成については、同一の符号を付して、重複した説明を省略する。
【００１１】
前記キャリアＣは、パレット１と、このパレット１を覆う２重のカバー２、３と、これらのカバー２，３を支持する支持フレーム４と、前記２重カバーの内側のカバー（内カバー）２を取付けるためのキャップ５と、前記内カバー２内にクリーンエアを供給するクリーンユニット６と、そのクリーンユニット６の外気取入口７を備えている。
そして、前記２重カバー２，３内に搬送物８を無梱包のまま収容し、クリーンユニット６によりクリーンエアを供給しつつ、搬送元から搬送先まで搬送できるようになっている。
よって、従来の２重梱包、その開梱から生じる資源の無駄、搬送作業の重複等の問題点を解決できる。
ここでは、搬送物８として製造装置を想定しているが、これに限定されるものではなく、ウエハ、ガラス基板等の電子素材、精密機材等、高清浄度を必要とするものであれば、どのような物でもよい。
【００１２】
前記パレット１は搬送物８を置く架台となるもので、その上面１０の一端に前記クリーンユニット６が配置、固定され、前記上面１０の縁に前記支持フレーム４を取付ける取付孔１１，１１・・・が設けられている。また、正面、背面、左右側面１２〜１５に前記キャップ５が差込まれるキャップ用孔１６が設けられ、正面１２及び背面１３に電動パレット等（図８参照）のフォークを挿入する孔１２０，１３０が設けられている。
【００１３】
前記キャップ用孔１６は、キャップ５の形状に合わせるように、例えば円形でもよいが、この実施形態では、長方形状に切欠いており、キャップ５の嵌合わせを容易にしている。
【００１４】
前記２重カバーを構成する内外カバー２，３は、それぞれ軽く、丈夫で、且つ、発塵の少ない材料で作られている。
この実施形態では、材質がポリエステルの商品名「セールクロス」を用いている。
【００１５】
前記カバー２，３の低発塵性の実験結果を表１〜表４に、その実験装置を図３に示す。
この実験方法は、天井にファンフィルタユニットＦを取付けたクリーンブースＣＢに塵検出用の排気孔Ｅと、テスト用布地Ｔを先端に取付けた２本の棒Ｂを挿入できる孔Ｈを設けた実験装置を用い、その２本の棒Ｂを用いてテスト用布地Ｔを揉んで発塵させ、前記排気孔Ｈからの発塵をパーティクルカウンターＰＣで計測するものである。
【００１６】
前記テスト用布地Ｔとして、前記カバー布地、比較例としてクリーニングされたクリーン衣、ハンカチを取上げた。
この実験の結果、例えば０．３μの塵を比較してみると、クリーンブースＣＢ内で計測数「０」のとき（表１）、この中でクリーン衣を揉み出して発塵させると、「２６」が計測された（表２）。同様にハンカチの場合は、「１２４１４」が計測された（表３）。
しかし、前記カバーの場合は、計測数「７」であり（表４）、前記カバーの発塵性が極めて低く、キャリア１のカバー材料に適する布地であることが確認された。
【表１】
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【表２】
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【表３】
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【表４】
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【００１７】
このような低発塵性の内カバー２は、前記パレット１の上方を覆うと共に、前記支持フレーム４に掛けられた場合に、その裾部分２０が前記パレット１の前記キャップ用孔１６を覆うことができる程度のサイズに作ればよい。
前記内カバー２には、図２のように、前記クリーンユニット６の空気吸入口６０を外部に臨ませるための吸入口用孔２１が設けられ、また裾部分２０には、前記パレット１のキャップ用孔１６に対応させたキャップ受入孔２２，２２・・・が所定間隔毎に設けられている。
【００１８】
前記外カバー３は、前記内カバー２を防塵するもので、前記内カバー２の上方を覆いながら前記支持フレーム４に掛けられた場合に、その裾部分３０が前記内カバー２より長めのサイズに作成する。
前記外カバー３には内カバー２の吸入口用孔２１と同様の吸入口用孔３１が設けられている。但し、前記受入孔２２のようなものは設けられていない。
【００１９】
よって、前記内カバー２は、前記キャップ用孔１６にキャップ５を差込んで取付ければ良く、迅速、且つ、簡単に取付／取外し可能になっており、一方、外カバー３は、前記内カバー２を覆うように取付けるだけで良い。
【００２０】
上記構成の２重のカバー２，３においては、前記内カバー２がキャップ５を介して前記パレット１に取付けられることにより、各キャップ用孔１６，１６・・・の間隔毎に、クリーンエアの流出口が形成されることになる。
即ち、図１のＡ部詳細断面の図４及び図５に示したように、前記クリーンユニット６から供給されるクリーンエアは、前記各キャップ用孔１６，１６・・・の間隔毎に形成されたクリーンエア流出口２３から排気され、カバー内が所定の加圧状態に保たれる。
よって前記クリーンユニット６から供給されるクリーンエアにより、図６に示したようにカバー全体が膨張すると共に、この状態が搬送先から搬送元まで維持されることよって、カバー内を例えばクラス１０〜１００程度に維持しつつ、外部からの発塵源の侵入を防いでいる。
【００２１】
前記支持フレーム４は、図２に示したように、予め組立てられたフレームの各先端を前記パレット１の孔１１，１１・・・にそれぞれ差込むことができるように構成されている。
なお、支持フレーム４を組立てるには、複数本の棒部材４０と、各棒部材４０を連結する複数の継手４１を用意し、予め組立てておけば良い。
なお、「４２」で示すものは、前記孔１１に対する支持フレーム４のストッパーである。
【００２２】
前記キャップ５は、どうのような形状でもよく、例えば図２、図５等に示したように、断面が略凸状のハット状弾性体（ゴムキャップ）でもよい。
【００２３】
前記クリーンユニット６は、その内部に前記吸入口６０から空気を取入れる送風ファン、取入れられた空気を清浄するプレフィルター及びＨＥＰＡフィルター又はＵＬＰＡフィルターが取付けられ、その下部に電源コード、バッテリー充電器、バッテリー等が収納されている（それぞれ図示せず）。なお、側面には操作盤６１が取付けられている。
【００２４】
前記クリーンユニット６の吸入口６０の短管には、その外側に差込短管６２（図２）を連接させて、その差込短管６２と前記内外カバー２，３の各孔２１，３１の縁部とをバンド部材で取付け、且つ、密閉すればよい（図１のＢ部詳細断面の図７）。
【００２５】
なお、カバー２が膨張する程度の所定の空気圧に調整するためには、クリーンユニット６の風量、前記クリーンエア流出口２３からの空気流出量を調整すればよい。
【００２６】
次に図８（ａ）〜（ｆ）に基づき、前記キャリア１の使用例について説明する。
搬送元における作業
前記搬送物８は、クリーンパレット９により、サービスエリア（クリーン度クラス１００〜１０００程度）に運ばれ、無梱包のまま、前記パレット１に載せられる（図８（ａ），（ｂ））。
次に、組立てられた支持フレーム４上に、下ろし易いように畳んだ状態の（或いは、半分下ろして支持フレーム４上部に折り返しておく）内外カバー２，３を掛ける。この場合、前記差込短管６２を予め、前記カバー２，３に取付けておくと良い。このような状態で支持フレーム４を前記パレット１に載せる。そして、前記キャップ５で内カバー２をセットし、また、差込短管６２を空気吸入口６０にセットする。そして前記クリーンフィルタ６をオンして、カバー内にクリーンエアを送込み、膨らませる（図８（ｃ））。
その結果、カバー内は、クリーン度クラス１０〜１００程度の清浄度の高いクリーンエアで満たされると共に、前記流出口２３から空気が流出する。
このような状態が、従来の２重梱包の状態に相当するもので、この状態を保ったまま、建物内は電動パレット９Ａ等で、屋外はホーク車９Ｂ等で運ばれ、クリーンカーＣＣに積込まれる（図８（ｄ），（ｅ））。
このクリーンカーＣＣ内でも、前記クリーンフィルタ６は稼働しており、この場合、クリーンカーＣＣから前記クリーンフィルタ６に電力を供給することもできる。
【００２７】
搬送先における作業
搬送元における作業の逆手順でよく、サービスエリア搬入前に汚染領域で、塵などで汚れた外カバー３を外す。
次に、サービスエリアで内カバー２、支持フレーム４を外すことで、無梱包の製造装置８が現れるので、そのままクリーンルームに搬入する。
【００２８】
その結果、本発明に係るキャリア１では、第１に２重梱包、その開梱作業の手間を省くことができる、第２に前記キャリア１の各構成をクリーニングすることにより、再使用できる、第３に従来の２重梱包のようにゴミの廃棄の手間、費用等がかからず、そのコストを削減することができる，などの作用効果を奏する。
【００２９】
なお、図９に示したように、前記パレット１に、据付用補強部材１８を取付けて、それぞれの両端に、着脱自在の係支部材１８０を配置してもよい。
また、図１０に示したように、前記パレット１の前後に取付ステー１９を介してローラ１９０を取付けてもよい。
【００３０】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、クリーンユニットにより、前記カバー内にクリーンエアが供給されるので、搬送元から搬送先まで無梱包のまま、搬送することができ、少なくともクラス１０程度のクリーン度を達成することも可能である。
【００３１】
請求項２に記載の発明によれば、前記クリーンユニットと共に、低発塵性の材料を用いることにより、搬送物を無梱包のまま、搬送できる。
【００３２】
請求項３に記載の発明によれば、カバー内部の空気圧を、前記クリーンユニットの風量や前記流出口からの流出量を調整して、カバーを膨張させつつ、搬送物を搬送させることで、外部からの汚染物質の侵入を排除し、搬送物を無梱包のまま、搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係るキャリアの斜視図、
【図２】同キャリアの分解組立斜視図、
【図３】同キャリアのカバーの低発塵性を実験するための実験装置概略図、
【図４】図１のＡ部詳細図、
【図５】図１のＡ部詳細図、
【図６】同キャリアの使用例図、
【図７】図１のＢ部詳細図、
【図８】同キャリアの使用例図、
【図９】別例のキャリアの斜視図、
【図１０】別例のキャリアの正面図、
【図１１】従来例の搬送方法の説明図。
【符号の説明】
Ｃ  キャリア                          Ｆ  ファンフィルタユニット
ＣＢ  クリーンブース                  Ｅ  塵検出用の排気孔
Ｔ  テスト用布地                      Ｂ  棒
Ｈ  孔                                ＰＣ  パーティクルカウンター
１  パレット                          １０  上面
１１  取付孔                          １２〜１５  正面、背面、左右側面
１６  キャップ用孔                    １２０，１３０  孔
１８  補強部材                        １８０  係支部材
１９  取付ステー                      １９０  ローラ
２  内カバー                          ２０  裾部分
２１  吸入口用孔                      ２２  キャップ受入孔
２３  クリーンエア流出口
３  外カバー                          ３０  裾部分
３１  吸入口用孔
４  支持フレーム
４０  棒部材                          ４１  継手
４２  ストッパー
５  キャップ
６  クリーンユニット
６０  吸入口                          ６１  操作盤
６２  差込短管
７  外気取入口
８  搬送物
９  クリーンパレット
９Ａ  電動パレット                    ９Ｂ  ホーク車
ＣＣ  クリーンカー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004150674.tif 000015
【図１０】
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【図１１】
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