(57)【要約】      （修正有）【課題】ＵＶソース部及びディスペンサー部の状態をチェックしてパッドコーティング作業を中断させることのできるパッドコーティングシステムと、そのインターロック方法を提供する。【解決手段】ＵＶソースオープン／クローズ信号に応答してＵＶ照射条件が設定されてパッドコーティング動作時に設定されているＵＶ照射条件に従ってＵＶを照射し、第１制御スイッチの状態を示す第１信号を出力するＵＶソース部４２と、パッドコーティング動作時に設定されているコーティング条件に従ってコーティング液を注射し、第２制御スイッチの状態を示す第２信号を出力するディスペンサー部４４と、及びＵＶソースオープン／クローズ信号ＳＯＣ及びコーティング条件指定信号ＡＤＤを発生し、パッドコーティング動作を制御し、第１信号と第２信号に応答してパッドコーティング動作を中断する制御部を備えるプローバ部３０とで構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１制御スイッチを備え、ＵＶソースオープン／クローズ信号に応答してＵＶ照射条件が設定され、前記設定されているＵＶ照射条件に従ってパッドコーティング動作時にＵＶを照射し、前記第１制御スイッチの状態を示す第１信号を出力するＵＶソース部と、
第２制御スイッチを備え、コーティング条件指定信号に応答してコーティング条件が設定され、前記設定されているコーティング条件に従って前記パッドコーティング動作時にコーティング液を注射し、前記第２制御スイッチの状態を示す第２信号を出力するディスペンサー部と、
前記ＵＶソースオープン／クローズ信号及び前記コーティング条件指定信号を発生し、前記パッドコーティング動作を制御し、前記第１信号と前記第２信号に応答して前記パッドコーティング動作を中断する制御手段を有するプローバ部と、
を備えることを特徴とするパッドコーティングシステム。
【請求項２】
前記プローバ部は、前記第１信号と前記第２信号を組合わせてインターラプト信号を発生するインターラプト信号発生手段をさらに備え、
前記インターラプト信号に応答して前記制御手段が前記パッドコーティング動作を中断することを特徴とする請求項１に記載のパッドコーティングシステム。
【請求項３】
前記パッドコーティングシステムは、前記制御手段にデータを入力し、前記制御手段からのデータを出力する入出力部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のパッドコーティングシステム。
【請求項４】
前記プローバ部は、
前記第１信号に応答して第１インターラプト信号を発生する第１インターラプト信号発生回路と、
前記第２信号に応答して第２インターラプト信号を発生する第２インターラプト信号発生回路と、
前記第１インターラプト信号及び第２インターラプト信号に応答して前記パッドコーティング動作を終了する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のパッドコーティングシステム。
【請求項５】
前記第１制御スイッチは、
前記ＵＶ照射を実行可能な状態にするのかを選択するシャッターオープン／クローズスイッチと、
前記ＵＶ照射時間を前記制御手段によって設定するのか、または手動で設定するのかを選択するタイム／手動モードスイッチと、
前記ＵＶが加熱された場合にオンされるＵＶランプと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のパッドコーティングシステム。
【請求項６】
前記第２制御スイッチは、
前記コーティング条件を前記制御手段によって設定するのか、または手動で設定するのかを選択する内部／外部モードスイッチと、
前記コーティング条件中、コーティング時間を前記制御手段によって設定するのか、または前記コーティング時間が調節されないようにするのかを選択するタイム／手動モードスイッチと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のパッドコーティングシステム。
【請求項７】
第１制御スイッチを備え、ＵＶソースオープン／クローズ信号に応答してＵＶ照射条件が設定され、前記設定されているＵＶ照射条件に従ってパッドコーティング動作時にＵＶを照射するＵＶソース部と、
第２制御スイッチを備え、コーティング条件指定信号に応答してコーティング条件が設定され、前記設定されたコーティング条件に従って前記パッドコーティング動作時にコーティング液を注射するディスペンサー部と、
前記ＵＶソースオープン／クローズ信号及びコーティング条件指定信号を発生し、前記パッドコーティング動作を制御するプローバ部と、を備えたパッドコーティングシステムのインターロック方法において、
前記第１制御スイッチと前記第２制御スイッチの動作状態をモニタリングする段階と、
前記第１制御スイッチと前記第２制御スイッチの少なくとも一つの動作状態が必要とする状態に設定されてない場合に前記パッドコーティング動作を中断する段階と、
を備えることを特徴とするパッドコーティングシステムのインターロック方法。
【請求項８】
前記第１制御スイッチの動作状態を示す第１信号を発生する段階と、
前記第２制御スイッチの動作状態を示す第２信号を発生する段階と、
前記第１信号及び第２信号によってインターラプト信号を発生する段階と、
前記インターラプト信号に応答して前記パッドコーティング動作を中断し、警報及びエラーメッセージの少なくとも一つを発生する段階と、
を備えることを特徴とする請求項７に記載のパッドコーティングシステムのインターロック方法。
【請求項９】
前記第１制御スイッチの動作状態を示す第１信号を発生する段階と、
前記第２制御スイッチの動作状態を示す第２信号を発生する段階と、
前記第１信号により第１インターラプト信号を発生し、第２信号により第２インターラプト信号を発生する段階と、
前記第１インターラプト信号及び第２インターラプト信号に応答して前記パッドコーティング動作を中断し、警報及びエラーメッセージの少なくとも一つを発生する段階と、
を備えることを特徴とする請求項７に記載のパッドコーティングシステムのインターロック方法。
【請求項１０】
前記第１制御スイッチは、
前記ＵＶ照射を実行可能な状態にするのかを選択するシャッターオープン／クローズスイッチ、前記ＵＶ照射時間を前記制御手段によって設定するのか、または手動で設定するのかを選択するタイム／手動モードスイッチ、及び前記ＵＶが加熱された場合にオンされるＵＶランプであることを特徴とする請求項７に記載のパッドコーティングシステムのインターロック方法。
【請求項１１】
前記第２制御スイッチは、
前記コーティング条件を前記制御手段によって設定するのか、または手動で設定するのかを選択する内部／外部モードスイッチ、及び前記コーティング条件中、コーティング時間を前記制御手段によって設定するのか、または前記コーティング時間が調節されないようにするのかを選択するタイム／手動モードスイッチであることを特徴とする請求項７に記載のパッドコーティングシステムのインターロック方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッドコーティングシステムに関する。特にエラー発生時にインターラプトを発生することのできるパッドコーティングシステム及びこのシステムのインターロック方法（Ｐａｄ  ｃｏａｔｉｎｇ  ｓｙｓｔｅｍ  ａｎｄ  ｉｎｔｅｒｌｏｃｋ  ｍｅｔｈｏｄ  ｔｈｅｒｅｏｆ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ウエハー状態でテストする時、一回で多い数のチップをテストするために、テスターのアドレス及びクロック信号印加ピンから印加される信号を、隣り合うチップのアドレス及びクロック信号印加パッドに共通に印加してテストを実施する。
【０００３】
しかし、ウエハーのエッジ部分には未完成のチップが位置するため、ウエハー状態でのテスト時に、未完成のチップと未完成のチップに隣り合うチップのアドレス及びクロック信号印加パッドにアドレス及びクロック信号が共通に印加される。この時、未完成のチップのアドレス及びクロック信号印加パッドが短絡した状態だと、テスターから印加される信号が未完成のチップに隣り合うチップのアドレス及びクロック信号印加パッドに正確に印加されないという問題が発生する。例えて説明すると、テスターから「ハイ」レベルのアドレス信号が発生される場合に未完成のチップの該当アドレスパッドが短絡された状態だと、未完成のチップに隣り合うチップの該当アドレスパッドに「ハイ」レベルのアドレス信号が印加されなくなる。
【０００４】
それで、ウエハー状態でテストを実施する前にウエハーのエッジ部分に位置した未完成のチップのアドレス及びクロック信号印加パッドを、パッドコーティングシステムを利用してコーティングするようになる。
【０００５】
図１は、従来のパッドコーティングシステムの構成を示すブロック図であり、制御部１２を備えたプローバ（ｐｒｏｂｅｒ）部、入出力部２０、ＵＶソース（ｓｏｕｒｃｅ）部２２、及びディスペンサー（ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ）部２４で構成されている。
【０００６】
図１に示したブロックそれぞれの機能を説明すると次のようである。
【０００７】
入出力部２０はデータを入出力する。制御部１２は、プローバ部１０に内蔵されており、入出力部２０から入力されるデータを貯蔵し、プローバ部１０、ＵＶソース部２２及びディスペンサー部２４を制御し、入出力部２０でデータを出力する。つまり、制御部１２は、ＵＶソース部２２及びディスペンサー２４にシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣ及びコーティング条件指定信号ＡＤＤを出力し、プローバ部１０を制御する。プローバ部１０は制御部１２の制御に基づいてウエハーをローディングし、制御部１２によって設定された座標値によりパッドを探索しながらパッドをコーティングし、ウエハーをアンローディングする。
【０００８】
ＵＶソース部２２は、ＵＶシャッターのオープン／クローズを制御してパッドコーティング後に液体であるコーティング液にＵＶを照射して固体に変更する装置である。ＵＶソース部２２はＵＶシャッターオープン／クローズスイッチ１がオープン状態で設定されているとＵＶ照射を実行可能な状態となり、クローズ状態に設定されているとＵＶ照射を実行できない状態となる。そして、タイム／手動モードスイッチ２がタイムモードで設定されていると制御部１２から印加されるシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣによってＵＶ照射時間が設定され、手動モードで設定されていると手動、または自らＵＶ照射時間が設定される。
【０００９】
ＵＶソース部２２は、ＵＶシャッターオープン／クローズスイッチ１がオープン状態に設定され、制御部１２から印加されるシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣに応答してＵＶ照射時間が設定されて、ＵＶシャッターをオープン／クローズしたり、手動または自ら設定されたＵＶ照射時間によってＵＶシャッターをオープン／クローズする。また、ＵＶソース部２２は、ＵＶを照射できる程度に加熱されるとＵＶランプ３をオンする。
【００１０】
ディスペンサー部２４は、パッドコーティング条件、例えば、コーティング液の量、注射圧力、及び注射時間を制御する装置であり、内部／外部モードスイッチ４が内部モードに設定されている場合には手動または自らパッドコーティング条件を設定し、外部モードに設定されている場合には制御部１２から印加されるコーティング条件指定信号ＡＤＤに応答してパッドコーティング条件が設定される。そして、タイム／手動モードスイッチ５がタイムモードに設定されていると制御部１２によって設定された注射時間で設定され、手動モードに設定されていると注射時間が調節されなくなる。
【００１１】
従来のパッドコーティングシステムは、ＵＶソース部２２のタイム／手動モードスイッチ２が手動モードで設定されて作業者がＵＶ照射時間を間違って調節したり、シャッターオープン／クローズスイッチ１がクローズ状態に設定されてシャッターがクローズ状態に設定されたり、ＵＶランプ３がオープンされた状態でパッドコーティング作業が実施されると、必要とするパッドに正確にＵＶコーティングができない場合がある。
【００１２】
また、ディスペンサー部２４の内部／外部モードスイッチ４が内部モードに設定された状態で作業者の誤りでパッドコーティング条件が変更されたり、タイム／手動モードスイッチ５が手動モードに設定された状態で注射時間が調節されなくなるとパッドコーティング動作が正確に実施できない。
【００１３】
これは従来のパッドコーティングシステムの制御部がＵＶソース部及びディスペンサー部のスイッチの状態を把握できない状態で、パッドコーティング作業が進行できるようになっているためである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、ＵＶソース部及びディスペンサー部の状態をチェックして、必要とする状態に設定されていない場合には、パッドコーティング作業を中断させることのできるパッドコーティングシステムを提供することにある。
【００１５】
本発明の他の目的は、前記目的を達成するためのパッドコーティングシステムのインターロック方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を達成するための本発明のパッドコーティングシステムは、第１制御スイッチを備え、ＵＶソースオープン／クローズ信号に応答してＵＶ照射条件が設定され、前記設定されたＵＶ照射条件に従ってパッドコーティング動作時にＵＶを照射し、前記第１制御スイッチの状態を示す第１信号を出力するＵＶソース部と、第２制御スイッチを備え、コーティング条件指定信号に応答してコーティング条件が設定され、前記設定されたコーティング条件に従って前記パッドコーティング動作時にコーティング液を注射し、前記第２制御スイッチの状態を示す第２信号を出力するディスペンサー部と、前記ＵＶソースオープン／クローズ信号及びコーティング条件指定信号を発生し、前記パッドコーティング動作を制御し、前記第１信号と前記第２信号に応答して前記パッドコーティング動作を中断する制御手段を有するプローバ部とを備えることを特徴とする。
【００１７】
前記他の目的を達成するための本発明のパッドコーティングシステムのインターロック方法は、第１制御スイッチを備え、ＵＶソースオープン／クローズ信号に応答してＵＶ照射条件が設定され、前記設定されたＵＶ照射条件に従ってパッドコーティング動作時にＵＶを照射するＵＶソース部と、第２制御スイッチを備え、コーティング条件指定信号に応答してコーティング条件が設定され、前記設定されたコーティング条件に従って前記パッドコーティング動作時にコーティング液を注射するディスペンサー部と、前記ＵＶソースオープン／クローズ信号及びコーティング条件指定信号を発生し、前記パッドコーティング動作を制御するプローバ部とを備えたパッドコーティングシステムのインターロック方法において、前記第１制御スイッチと前記第２制御スイッチの動作状態をモニタリングする段階、及び前記第１制御スイッチと前記第２制御スイッチの少なくとも一つの動作状態が必要とする状態に設定されていない場合に前記パッドコーティング動作を中断する段階を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のパッドコーティングシステム及びこのシステムのインターロック方法は、ＵＶソース部及びディスペンサー部のスイッチが必要とする状態に設定されてない場合にパッドコーティング動作を中止することによって発生する事故を未然に防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付された図を参照して本発明のパッドコーティングシステム及びこのシステムのインターロック方法を説明する。
【００２０】
図２は、本発明のパッドコーティングシステムの構成を示す実施例のブロック図で、制御部３２とインターラプト信号発生回路３４を備えたプローバ部３０、入出力部４０、ＵＶソース部４２、及びディスペンサー部４４で構成されている。
【００２１】
図２に示しているブロックそれぞれの機能を説明すると次のようである。
【００２２】
入出力部４０はデータを入出力する。制御部３２はプローバ部３０に内臓されており、入出力部４０によって入力されるデータを貯蔵し、プローバ部３０、ＵＶソース部４２、及びディスペンサー部４４を制御し、入出力部４０にデータを出力する。即ち、制御部３２は、ＵＶソース部４２及びディスペンサー部４４にシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣ及びコーティング条件指定信号ＡＤＤを出力し、インタラプト信号ＩＮＲに応答してシステムの動作を中断する。
【００２３】
プローバ部３０は、制御部３２の制御に基づいてウエハーをローディングし、制御部３２によって設定されている座標値によってパッドを探索しながらパッドをコーティングし、ウエハーをアンローディングする。
【００２４】
インタラプト信号発生回路３４は、第１信号（ＵＶソース部４２から印加されるシャッタクローズ信号ＳＣ、手動モード信号Ｍ１、及びＵＶランプオフ信号ＬＯ）と、第２信号（ディスペンサー部４４から印加される内部モード信号ＩＮＴ、及び手動モード信号Ｍ２）を組合わせてインターラプト信号ＩＮＲを発生する。
【００２５】
インターラプト信号発生回路３４は、ＵＶソース部４２のシャッターオープン／クローズスイッチ１がクローズ状態であることを示すシャッタクローズ信号ＳＣ、ＵＶソース部４２のタイム／手動モードスイッチ２が手動モードモード状態であることを示す手動モード信号Ｍ１、ＵＶソース部４２のＵＶランプ３がオフ状態であることを示すＵＶランプオフ信号ＬＯ、ディスペンサー部４４の内部／外部モードスイッチ４が内部モード状態であることを示す内部モード信号ＩＮＴ、及びディスペンサー部４４のタイム／手動モードスイッチ５が手動モード状態であることを示す手動モード信号Ｍ２がすべて「ハイ」レベルである場合がイネーブル状態だとすると、これらの信号ＳＣ、Ｍ１、ＬＯ、ＩＮＴ、Ｍ２のうち、一つの信号が「ハイ」レベルになるとインタラプト信号ＩＮＲを発生する。
【００２６】
制御部３２は、インターラプト信号ＩＮＲが発生されると入出力部４０を通じて警報を発生するか、またはエラーメッセージを出力する。
【００２７】
ＵＶソース部４２は、制御部３２から印加されるシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣに応答してＵＶシャッタをオープン／クローズし、第１信号として、シャッターオープン／クローズスイッチ１がクローズ状態であることを示すシャッタクローズ信号ＳＣ、タイム／手動モードスイッチ２が手動モード状態であることを示す手動モード信号Ｍ１、及びＵＶランプ３がオフ状態であることを示すＵＶランプオフ信号ＬＯを出力する。ＵＶソース部４２は、第１制御スイッチとして、シャッターオープン／クローズスイッチ１、および、タイム／手動モードスイッチ２およびＵＶランプ３を備える。
【００２８】
ディスペンサ４４部は、制御部３２から印加されるコーティング条件指定信号ＡＤＤに応答してコーティング液を注射し、第２信号として、内部／外部モードスイッチ４が内部モード状態であることを示す内部モード信号ＩＮＴ、及びタイム／手動モードスイッチ５が手動モード状態であることを示す手動モード信号Ｍ２を出力する。ディスペンサー部４４は、第２制御スイッチとして、内部／外部モードスイッチ４およびタイム／手動モードスイッチ５を備える。
【００２９】
本発明のパッドコーティングシステムは、ＵＶソース部４２のシャッターオープン／クローズスイッチ１がクローズ状態に設定されるか、タイム／手動スイッチ２が手動モード状態に設定されるか、ＵＶランプ３がオフ状態である場合、または、ディスペンサー部４４の内部／外部モードスイッチ４が内部モード状態に設定されるか、タイム／手動スイッチ５が手動モード状態に設定された場合にインターラプト信号ＩＮＲを発生してパッドコーティング動作を中断する。
【００３０】
そして、インタラプト信号ＩＮＲが発生されると入出力部４０を通じて警報を発生するか、またはエラーメッセージを出力する。すると、作業者がエラーと関係するＵＶソース部４２及びディスペンサー部４４のスイッチをチェックしてエラー発生原因を除くことができるので誤ったパッドコーティング作業を未然に防げる。
【００３１】
図３は、本発明のパッドコーティングシステムの構成を示す他の実施例のブロック図であり、制御部５２と第１インターラプト信号発生回路５４と第２インターラプト信号発生回路５６とを備えたプローバ部５０、入出力部６０、ＵＶソース部６２、及びディスペンサー部６４で構成されている。
【００３２】
図３に示されているブロックそれぞれの機能を説明すると次のようである。
【００３３】
入出力部６０、ＵＶソース部６２、及びディスペンサー部６４の機能は、図２に示されているデータ入出力部４０、ＵＶソース部４２、及びディスペンサー部４４の機能と同一である。
【００３４】
第１インターラプト信号発生回路５４は、ＵＶソース部６２から印加されるシャッタクローズ信号ＳＣ、手動モード信号Ｍ１、及びＵＶランプオフ信号ＬＯを組合わせて第１インターラプト信号ＩＮＲ１を発生する。第１インターラプト信号発生回路５４は、ＵＶソース部６２のシャッターオープン／クローズスイッチ１がクローズ状態であることを示すシャッタクローズ信号ＳＣ、ＵＶソース部６２のタイム／手動モードスイッチ２が手動モード状態であることを示す手動モード信号Ｍ１、ＵＶソース部６２のＵＶランプ３がオフ状態であることを示すＵＶランプオフ信号ＬＯがすべて「ハイ」レベルである場合がイネーブル状態だとすると、これらの信号ＳＣ、Ｍ１、ＬＯのうち、一つの信号が「ハイ」レベルになると第１インターラプト信号ＩＮＲ１を発生する。
【００３５】
第２インターラプト信号発生回路５６は、ディスペンサー部６４の内部モード信号ＩＮＴ、及び手動モード信号Ｍ２を組合わせて第２インターラプト信号ＩＮＲ２を発生する。第２インターラプト信号発生回路５６は、ディスペンサー部４４の内部／外部モードスイッチ４が内部モード状態であることを示す内部モード信号ＩＮＴ、及びディスペンサー部４４のタイム／手動モードスイッチ５が手動モード状態であることを示す手動モード信号Ｍ２がすべて「ハイ」レベルである場合がイネーブル状態だとすると、これらの信号ＩＮＴ、Ｍ２のうち、一つの信号が「ハイ」レベルになると第２インターラプト信号ＩＮＲ２を発生する。
【００３６】
制御部５２は第１インターラプト信号ＩＮＲ１、または第２インターラプト信号ＩＮＲ２が発生すると入出力部６０を通じて警報を発生するか、またはエラーメッセージを出力する。この時、制御部５２は、第１インターラプト信号ＩＮＲ１が発生していればＵＶソース部６２に関係するエラーであることを示すエラーメッセージを出力し、第２インターラプト信号ＩＮＲ２が発生していればディスペンサー部６４に関係するエラーであることを示すエラーメッセージを出力する。
【００３７】
図３に示している本発明のパッドコーティングシステムは、エラー発生時に入出力部６０を通じてＵＶソース部５４の誤りによるエラー発生であるか、またはディスペンサー部６４の誤りによるエラー発生であるか、をディスプレーできるので作業者がエラーの原因を簡単にチェックできる。
【００３８】
そして、図示してはないが、図３に示している第１インターラプト信号発生回路５４をプローバ部５０に備えずＵＶソース部６２に備えるように構成し、図３に示している第２インターラプト信号発生回路５６をプローバ５０に備えずディスペンサー部６４に備えるようにも構成できる。
【００３９】
また、図２に示しているインターラプト信号発生回路３４、または図３に示している第１インターラプト信号発生回路５４及び第２インターラプト信号発生回路５６を備えず、ＵＶソース部６２から発生する信号ＳＣ、Ｍ１、ＬＯ及びディスペンサー部６４から発生する信号ＩＮＴ、Ｍ２が制御部に直接印加されるようにも構成できる。このように構成すると、制御部が各信号ＳＣ、Ｍ１、ＬＯ、ＩＮＴ、Ｍ２の状態によってＵＶソース部のスイッチ及び／またはディスペンサー部のスイッチにエラーが発生したことを入出力部にディスプレーできるので作業者がエラーの原因を簡単にチェックできるが、インターラプト信号を発生するために必要な制御部の端子の数が多くなる。
【００４０】
図２及び図３で、ＵＶソース部は信号ＳＣ、Ｍ１、ＬＯを発生するための別の回路を備える必要なく、スイッチ１、２、３の操作によって内部的に発生する信号が外部に出力されるように構成できればよく、同じく、ディスペンサー部は信号ＩＮＴ、Ｍ２を発生するための別の回路を備える必要なく、スイッチ４、５の操作によって内部的に発生する信号が外部に出力されるように構成できれば良い。
【００４１】
前述したように、本発明のパッドコーティングシステムは、ＵＶソース部及びディスペンサー部のスイッチが必要とする状態になっていない場合、つまり、ＵＶソース部及びディスペンサー部が制御部によって制御できない状態に設定されている場合に制御部がパッドコーティング動作を中断する。
【００４２】
図４は、本発明のパッドコーティングシステムのインターロック方法を説明するためのプロ−チャートとして、一つのウエハーに対するインターロック方法を示すものである。
【００４３】
まず、制御部がシャッターオープン／クローズ信号ＳＯＣをＵＶソース部にコーティング条件指定信号ＡＤＤをディスペンサー部にそれぞれ出力する（第１００段階）。
【００４４】
制御部はパッドコーティングスタート命令が印加されているのかを判断する（第１１０段階）。もしもパッドコーティングスタート命令が印加されていなかったら（第１１０段階：いいえ）、第１１０段階を継続する。
【００４５】
パッドコーティングスタート命令が印加されていたら（第１１０段階：はい）、インターラプト信号ＩＮＲが発生しているのかを判断する（第１２０段階）。
【００４６】
インターラプト信号ＩＮＲが発生したら（第１２０段階：はい）、入出力部を通じて警報及び／またエラーメッセージを発生する（第１３０段階）。つまり、パッドコーティング動作を実施する前にＵＶソース部及びディスペンサー部のスイッチが必要とする状態に設定されているのかをチェックして、必要とする状態に設定されてないとエラーを発生し、パッドコーティング動作を中断する。インターラプト信号ＩＮＲが発生する条件は、前述したようにＵＶソース部のシャッターオープン／クローズスイッチがクローズ状態、タイム／手動モードスイッチが手動モード状態、またはＵＶランプがオフ状態であるか、ディスペンサー部の内部／外部モードスイッチが内部モード状態、タイム／手動モードスイッチが手動モード状態になっている場合である。
【００４７】
インターラプト信号ＩＮＲが発生されていなかったら（第１２０段階：いいえ）、パッドコーティング動作を実施するためにプローバ部がウエハーをローディングする（第１４０段階）。
【００４８】
そして、プローバ部がウエハーのコーティングするはずのパッドを探索しながら、ディスペンサー部に設定されているコーティング条件によってパッドをコーティングする（第１５０段階）。
【００４９】
次に、プローバ部がウエハーのコーティングするはずのパッドを探索しながら、ＵＶソース部に設定されている条件によってＵＶを照射する（第１６０段階）。
【００５０】
第１５０段階及び第１６０段階で、プローバ部は制御部に設定されている座標値によってウエハーのコーティングするはずのパッドを探索する。
【００５１】
プローバ部はコーティングが完了されたウェハーをアンローディングして動作を終了する（第１７０段階）。
【００５２】
図４に示している実施例のインターロック方法は、一つのウエハー単位でインターラプト信号ＩＮＲが発生されているのかをチェックすることであるが、一つのウエハー単位ではなく複数のウエハー単位でインターラプト信号ＩＮＲが発生されているのかをチェックすることも可能である。
【００５３】
前述では、本発明の望ましい実施例を参照して説明したが、当該技術分野の熟練した当業者は前記の特許請求の範囲に記載されている本発明の思想及び領域から外れない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させられることを理解できるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】従来のパッドコーティングシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明のパッドコーティングシステムの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明のパッドコーティングシステムの構成を示す他の実施例のブロック図である。
【図４】本発明のパッドコーティングシステムのインターロック方法を説明するためのプロ−チャートである。
【符号の説明】
【００５５】
１…ＵＶシャッターオープン／クローズスイッチ、
２…タイム／手動モードスイッチ、
３…ＵＶランプ、
４…内部／外部モードスイッチ、
５…タイム／手動モードスイッチ、
１０、３０、５０…プローバ部、
１２、３２、５２…制御部、
２０、４０、６０…入出力部、
２２、４２、６２…ＵＶソース部、
２４、４４、６４…ディスペンサー部、
３４…インターラプト信号発生回路、
５４…第１インターラプト信号発生回路、
５６…第２インターラプト信号発生回路、
ＡＤＤ…コーティング条件指定信号、
ＳＯＣ…シャッターオープン／クローズ信号、
ＩＮＲ、ＩＮＲ１、ＩＮＲ２…インターラプト信号、
ＩＮＴ…内部モード信号、
ＬＯ…ランプオフ信号、
Ｍ１、Ｍ２…手動モード信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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