(57)【要約】【課題】磁気インピーダンス素子を用いた回転検出装置であって、簡単な構造で外乱磁界の影響が確実に低減できる、安価な回転検出装置を提供する。【解決手段】回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体１１ａ，１１ｂと、回転体１１ａ，１１ｂの回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化を電気信号に変換する磁気インピーダンス素子１３と、磁気インピーダンス素子１３を囲う磁性体からなるカバーであって、回転体１１ａ，１１ｂと磁気インピーダンス素子１３の対向位置に開口部１４ｈを有する磁性体素子カバー１４とを備え、磁気インピーダンス素子１３により、回転体１１ａ，１１ｂの回転状態が検出される回転検出装置１００，１０１とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体と、
当該回転体の回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化を電気信号に変換する磁気インピーダンス素子と、
当該磁気インピーダンス素子を囲う磁性体からなるカバーであって、前記回転体と磁気インピーダンス素子の対向位置に開口部を有する磁性体素子カバーとを備え、
前記磁気インピーダンス素子により、前記回転体の回転状態が検出されることを特徴とする回転検出装置。
【請求項２】
回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体と、
当該回転体の回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化を電気信号に変換する磁気インピーダンス素子と、
当該磁気インピーダンス素子を囲う永久磁石からなるカバーであって、前記回転体と磁気インピーダンス素子の対向位置に開口部を有する永久磁石素子カバーとを備え、
前記磁気インピーダンス素子により、前記回転体の回転状態が検出されることを特徴とする回転検出装置。
【請求項３】
前記永久磁石素子カバーが、両端開放された筒形状で、両端面に磁極を有する筒状永久磁石であり、
当該筒状永久磁石内に、前記磁気インピーダンス素子が配置されることを特徴とする請求項２に記載の回転検出装置。
【請求項４】
前記回転体が、磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギアであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の回転検出装置。
【請求項５】
前記ギアが、エンジンのクランクシャフトに連結したギアであることを特徴とする請求項４に記載の回転検出装置。
【請求項６】
前記回転体が、エンジンのカムシャフトに連結した磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなるカムであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の回転検出装置。
【請求項７】
前記回転体が、円筒の中心軸を回転軸とし、円筒の外周円に磁極が交互に配置されてなる円筒状磁石であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の回転検出装置。
【請求項８】
前記円筒状磁石が、車輪の回転軸に取り付けた着磁ロータであることを特徴とする請求項７に記載の回転検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転体の回転状態を検出する回転検出装置に関するもので、特に、車両におけるエンジン制御やブレーキのＡＢＳ制御に好適な回転検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気インピーダンス素子は、外部磁界の変化によって高周波電流に対するインピーダンスが変化する磁気インピーダンス効果を利用した、磁気検出素子である。磁気インピーダンス素子に高周波電流を印加して、外部磁界の変化により発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換することで、磁気インピーダンス素子の出力が得られる。この磁気インピーダンス素子は、磁気抵抗素子やホール素子に較べて磁気感度が２桁ほど高いため、種々の応用が期待されている。このような高い磁気感度を有する磁気インピーダンス素子の適用例として、例えば特開２００１−１１６７７３号公報（特許文献１）には、電流検出装置への適用が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１１６７７３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
磁気インピーダンス素子は高い磁気感度を有しており、これによって種々の応用が期待される反面、外乱磁界の影響を受け易い。このため、磁気インピーダンス素子を用いた応用装置では外乱磁界の影響を排除する必要がある。例えば、特許文献１に開示された電流検出装置では、磁気シールドと２つの逆巻きコイルと２つの薄膜磁気インピーダンス素子を用いて、外乱磁界の影響の低減が行なわれている。しかしながら、上記の外乱磁界の影響の低減方法は、装置構造が複雑になり、また磁気インピーダンス素子の出力信号処理も複雑となって、装置コストが上昇してしまう。
【０００５】
磁気インピーダンス素子の他の応用例として、他にも、回転検出装置への応用が考えられる。高い磁気感度を有する磁気インピーダンス素子を用いて、回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体の回転状態を、高感度で検出することができる。このような回転検出装置への磁気インピーダンス素子の適用にあたっては、外乱磁界の発生要因が多く、発生する外乱磁界も複雑であるため、より簡略化された方法で確実に外乱磁界を低減する方法が望まれる。
【０００６】
そこで本発明は、磁気インピーダンス素子を用いた回転検出装置であって、簡単な構造で外乱磁界の影響が確実に低減できる、安価な回転検出装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の回転検出装置は、回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体と、当該回転体の回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化を電気信号に変換する磁気インピーダンス素子と、当該磁気インピーダンス素子を囲う磁性体からなるカバーであって、前記回転体と磁気インピーダンス素子の対向位置に開口部を有する磁性体素子カバーとを備え、前記磁気インピーダンス素子により、前記回転体の回転状態が検出されることを特徴としている。
【０００８】
この回転検出装置においては、回転センサである高い磁気感度を持った磁気インピーダンス素子は、透磁率の高い磁性体からなる磁性体素子カバーで囲われている。従って、この磁性体素子カバーが磁気シールドとなって、外乱磁界の影響が確実に低減される。回転体の回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化は、回転体との対向位置で磁性体素子カバーに設けられた開口部を介して、磁気インピーダンス素子に伝達される。この開口部を介して磁気インピーダンス素子に伝達された磁界強度の繰り返し変化によって、回転体の回転状態が検出される。尚、磁気インピーダンス素子は高い磁気感度を有しているために、開口部の大きさは必要最小限の小さなものであってよい。
【０００９】
このように、上記の回転検出装置においては、磁気インピーダンス素子の高い磁気感度を利用して、小さな開口部を有する磁性体素子カバーで磁気インピーダンス素子を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響を確実に低減することができる。これによって、本発明の回転検出装置は、安価な回転検出装置とすることができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、回転に伴って周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす回転体と、当該回転体の回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化を電気信号に変換する磁気インピーダンス素子と、当該磁気インピーダンス素子を囲う永久磁石からなるカバーであって、前記回転体と磁気インピーダンス素子の対向位置に開口部を有する永久磁石素子カバーとを備え、前記磁気インピーダンス素子により、前記回転体の回転状態が検出されることを特徴としている。
【００１１】
この回転検出装置においては、回転センサである高い磁気感度を持った磁気インピーダンス素子は、永久磁石からなる永久磁石素子カバーで囲われている。この永久磁石素子カバーの磁気インピーダンス素子が配置される空洞内には、開口部以外の方向からは磁界が入りにくいため、永久磁石素子カバーは、外乱磁界に対して磁気シールドとしての役割を果たす。
【００１２】
また、永久磁石素子カバーは、磁気シールドとしての役割だけでなく、バイアス磁界を印加するバイアス磁石としての役割も付加される。回転体の回転に伴って発生する磁界強度の変化は、回転体が磁化されておらず回転体自身が発生する磁界が無い場合にも、永久磁石素子カバーのバイアス磁界の大きさを適宜設定して、大きくすることができる。従って、これによっても外乱磁界の影響が低減される。尚、磁気インピーダンス素子は高い磁気感度を有しているために、開口部の大きさは必要最小限の小さなものであってよい。
【００１３】
このように、上記の回転検出装置においては、小さな開口部を有する永久磁石素子カバーで磁気インピーダンス素子を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響を確実に低減することができる。これによって、本発明の回転検出装置は、安価な回転検出装置とすることができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、前記永久磁石素子カバーが、両端開放された筒形状で、両端面に磁極を有する筒状永久磁石であり、当該筒状永久磁石内に、前記磁気インピーダンス素子が配置されることを特徴としている。
【００１５】
これによれば、筒状永久磁石内の磁気インピーダンス素子が配置される位置では、筒状永久磁石自身が発生する磁界は、筒の軸に平行で一定の大きさになる。また、前記開口部のある端面は磁極となっており、対向する回転体に向かって、最大のバイアス磁界が印加される。このようにして、筒状永久磁石からなる永久磁石素子カバーを用いた回転検出装置においては、回転体の回転状態の検出精度が高められる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、前記回転体が、磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギアであることを特徴としている。
【００１７】
永久磁石と引き合う磁性体もしくは磁性体を含んだ材料でできた歯車形状のギアは、通常、環境磁界によって、わずかながらも磁化されている。このため、ギアが回転すると磁化されたギアから発生する磁界も回転して、磁界強度の繰り返し変化が周囲にもたらされる。また、磁化されていない場合でも、ギアの回転に伴って歯車形状の凹凸が地磁気を周期的に乱すため、やはり磁界強度の繰り返し変化が周囲にもたらされる。さらに、バイアス磁界が印加された場合も、ギアの回転に伴って歯車形状の凹凸がバイアス磁界を周期的に乱すため、やはり磁界強度の繰り返し変化が周囲にもたらされる。従って、この磁界強度の繰り返し変化を磁気インピーダンス素子により検出することで、ギアの回転状態の検出が可能となる。
【００１８】
請求項５と６に記載のように、本発明の回転検出装置は、エンジンのクランクシャフトに連結したギアや、エンジンのカムシャフトに連結したカムの回転状態の検出に好適である。
【００１９】
車両のエンジン周りには、多くの外乱磁界の発生要因があり、発生する外乱磁界も複雑である。このような外乱磁界のあるエンジン周りの回転体の回転状態検出に対しても、本発明の回転検出装置を適用することで、確実に外乱磁界を低減することができ、精度の高い回転状態検出が可能となる。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、前記回転体が、円筒の中心軸を回転軸とし、円筒の外周円に磁極が交互に配置されてなる円筒状磁石であることを特徴としている。
【００２１】
このような円筒状磁石からなる回転体は、外周円に交互に配置されてなる磁極の回転に伴って、周囲に磁界強度の繰り返し変化をもたらす。従って、この磁界強度の繰り返し変化を磁気インピーダンス素子により検出することで、回転体の回転状態の検出が可能となる。
【００２２】
請求項８に記載のように、本発明の回転検出装置は、車輪の回転軸に取り付けた着磁ロータの回転状態の検出に好適である。
【００２３】
車輪の回転軸に着磁した着磁ロータの回転状態を検出する上記の回転検出装置は、ＡＢＳ用の車輪回転センサである。車両下部においても、多くの外乱磁界の発生要因があり、発生する外乱磁界も複雑である。このような外乱磁界のある車両下部の回転体の回転状態検出に対しても、本発明の回転検出装置を適用することで、確実に外乱磁界を低減することができ、精度の高い回転状態検出が可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図に基づいて説明する。
【００２５】
（第１の実施形態）
図１（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態における回転検出装置１００，１０１の構成を示す模式図である。図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１は、被検出体である回転体１１ａ，１１ｂと、磁気インピーダンス素子１３と、磁性体素子カバー１４とを備えている。
【００２６】
図１（ａ）〜（ｃ）の回転体１１ａ，１１ｂは、磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギアで、このギア１１ａ，１１ｂの回転に伴って、以下のような磁界強度の繰り返し変化をギア１１の周囲にもたらす。
【００２７】
図１（ａ）は、ギア１１ａが磁化されている場合である。永久磁石と引き合う磁性体でできたギア１１ａは、通常、環境磁界によってわずかながらも磁化されている。図１（ａ）では、ギア１１ａの磁化によって発生している磁力線を矢印で示した。磁化されたギア１１ａが回転すると、磁力線も回転して、磁界強度の繰り返し変化がギア１１ａの周囲にもたらされる。
【００２８】
図１（ｂ），（ｃ）は、ギア１１ｂが磁化されていない場合である。ギア１１ｂが磁化されていなくても、ギア１１ｂが回転すると、歯車形状の外周の凹凸が地磁気の磁力線を図１（ｂ），（ｃ）のように周期的に乱すため、やはり磁界強度の繰り返し変化がギア１１ｂの周囲にもたらされる。このギア１１ａ，１１ｂの回転に伴った磁界強度の繰り返し変化を、磁気インピーダンス素子１３により検出することで、ギア１１ａ，１１ｂの回転状態の検出が可能となる。
【００２９】
図１（ａ）〜（ｃ）の磁気インピーダンス素子１３は、磁気インピーダンス効果を利用した磁気検出素子で、非磁性基板上に形成されたニッケル鉄（ＮｉＦｅ）薄膜からなる。図１（ａ）〜（ｃ）に示す磁気インピーダンス素子１３のＮｉＦｅ薄膜パターンは、磁界検出方向に沿った複数本の直線部分が所定間隔で平行に並び、順次折り返すように連結されてつづら折り状に形成されている。磁気インピーダンス素子１３のＮｉＦｅ薄膜パターンの両端部には高周波電流が印加され、外部磁界の変化により両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換することで、磁気インピーダンス素子１３の出力が得られる。この磁気インピーダンス素子１３は、従来の磁気抵抗素子やホール素子と比較して、磁気感度が非常に高い。尚、磁気インピーダンス素子１３の周りには、駆動回路、出力検出回路、特性調整回路、入出力回路等の信号処理回路が設置されるが、簡単化のために図示は省略した。
【００３０】
図１（ａ）〜（ｃ）の磁性体素子カバー１４は、磁気インピーダンス素子１３を囲う磁性体からなるカバーであって、回転体であるギア１１ａ，１１ｂと磁気インピーダンス素子１３の対向位置に、開口部１４ｈを有している。図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１においては、回転センサである高い磁気感度を持った磁気インピーダンス素子１３は、透磁率の高い磁性体素子カバー１４で囲われている。従って、この磁性体素子カバー１４が磁気シールドとなって、外乱磁界の影響が確実に低減される。
【００３１】
回転体であるギア１１ａ，１１ｂの回転に伴って発生する磁界強度の繰り返し変化は、ギア１１ａ，１１ｂとの対向位置で磁性体素子カバー１４に設けられた開口部１４ｈを介して、磁気インピーダンス素子１３に伝達される。この開口部１４ｈを介して磁気インピーダンス素子１４に伝達された磁界強度の繰り返し変化によって、ギア１１ａ，１１ｂの回転状態が検出される。尚、磁気インピーダンス素子１３は高い磁気感度を有しているために、開口部１４ｈの大きさは必要最小限の小さなものであってよい。
【００３２】
このように本実施形態の回転検出装置１００，１０１では、磁気インピーダンス素子１３の高い磁気感度を利用して、小さな開口部１４ｈを持つ磁性体素子カバー１４で磁気インピーダンス素子１３を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響が確実に低減される。これによって、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１は、安価な回転検出装置とすることができる。
【００３３】
図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１は、エンジンのクランクシャフトに連結したギアや、エンジンのカムシャフトに連結したカムの回転状態の検出に好適である。車両のエンジン周りには、多くの外乱磁界の発生要因があり、発生する外乱磁界も複雑である。このような外乱磁界のあるエンジン周りの回転体の回転状態検出に対しても、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１を適用することで、確実に外乱磁界を低減することができ、精度の高い回転状態検出が可能となる。
【００３４】
図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１は、磁界強度の繰り返し変化もたらす回転体が、磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギアであったが、磁気インピーダンス素子で回転状態を検出できる回転体はこれに限らない。
【００３５】
図２は回転検出装置１０２の構成を示す模式図で、回転検出装置１０２の回転体は、外周円に磁極が交互に配置されてなる円筒状磁石からなる。図２の回転検出装置１０２は、被検出体である回転体２１の他に、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１と同様の磁気インピーダンス素子２３と磁性体素子カバー２４とを備えている。従って、この磁性体素子カバー２４が磁気シールドとなって、外乱磁界の影響が確実に低減される。
【００３６】
図２の回転検出装置１０２における回転体２１は円筒状磁石で、図のように、円筒の中心軸を回転軸とし、磁極が円筒の外周円に交互に配置されてなる着磁ロータである。この着磁ロータ２１からは図中の矢印で示した繰り返しパターンの磁力線が出ており、回転に伴って、磁界強度の繰り返し変化が着磁ロータ２１の周囲にもたらされる。これによって、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１と同様に、磁性体素子カバー２４に設けられた開口部２４ｈを介して、磁気インピーダンス素子２３により着磁ロータ２１の回転状態の検出が可能となる。
【００３７】
このようにして、図２の回転検出装置１０２においても、小さな開口部２４ｈを持つ磁性体素子カバー２４で磁気インピーダンス素子２３を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響が確実に低減される。これによって、図２の回転検出装置１０２は、安価な回転検出装置とすることができる。
【００３８】
また、図２の回転検出装置１０２は、車輪の回転軸に取り付けた着磁ロータの回転状態を検出するＡＢＳ用の車輪回転センサに好適である。車両下部においても、多くの外乱磁界の発生要因があり、発生する外乱磁界も複雑である。このような外乱磁界のある車両下部の回転体の回転状態検出に対しても、図２の回転検出装置１０２を適用することで、確実に外乱磁界を低減することができ、精度の高い回転状態検出が可能となる。
【００３９】
（第２の実施形態）
第１実施形態の回転検出装置は、磁気インピーダンス素子が磁性体からなる磁性体素子カバーで囲われた回転検出装置であった。本実施形態の回転検出装置は、磁気インピーダンス素子が永久磁石からなる永久磁石素子カバーで囲われた回転検出装置に関する。以下、本実施形態について、図に基づいて説明する。
【００４０】
図３（ａ），（ｂ）は、本実施形態における回転検出装置１０３の構成を示す模式図である。図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３は、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１と同様の磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギア３１と、磁気インピーダンス素子３３とを備えている。
【００４１】
図３（ａ），（ｂ）の符号３４は、磁気インピーダンス素子３３を囲う永久磁石からなる永久磁石素子カバーである。永久磁石素子カバー３４は、回転体であるギア３１と磁気インピーダンス素子３３の対向位置に開口部３４ｈを有する、両端開放された筒形状で両端面に磁極を有する筒状永久磁石である。永久磁石素子カバー３４の空洞内には、磁気インピーダンス素子３４が、図３（ａ），（ｂ）に示すように、ギア３１側に寄せられ、永久磁石素子カバー３４の端部から外に出ないように配置される。
【００４２】
図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３では、回転センサである高い磁気感度を持った磁気インピーダンス素子３３が、永久磁石からなる永久磁石素子カバー３４で囲われている。この永久磁石からなる永久磁石素子カバー３４の空洞内には、開口部以外の方向からは磁界が入りにくいため、永久磁石素子カバー３４は、外乱磁界に対して磁気シールドとしての役割を果たす。
【００４３】
永久磁石素子カバー３４は、磁気シールドとしての役割だけでなく、図中の矢印で示したバイアス磁界を印加するバイアス磁石としての役割も付加される。図３（ａ），（ｂ）の永久磁石素子カバー３４では、開口部３４ｈのある端面が磁極となっており、対向するギア３１に向かって、最大のバイアス磁界が印加される。また、永久磁石素子カバー３４の空洞内の磁気インピーダンス素子３３が配置される位置にも、バイアス磁界の一部が入り込む。ギア３１が回転すると、歯車形状の外周の凹凸が、バイアス磁界の磁力線を図３（ａ），（ｂ）のように周期的に乱す。このため、磁界強度の繰り返し変化がギア３１の周囲にもたらされる。このギア３１の回転に伴った磁界強度の繰り返し変化は、永久磁石素子カバー３４の空洞内に入り込んだバイアス磁界にももたらされ、これを磁気インピーダンス素子３３により検出することで、ギア３１の回転状態の検出が可能となる。
【００４４】
ギア３１の回転に伴って発生する磁界強度の変化は、ギア３１が磁化されておらずギア３１自身が発生する磁界が無い場合にも、永久磁石素子カバー３４のバイアス磁界の大きさを適宜設定して、大きくすることができる。従って、これによっても外乱磁界の影響が低減される。
【００４５】
このようにして、筒状永久磁石からなる永久磁石素子カバー３４を用いた、図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３においては、回転体の回転状態の検出精度が高められる。尚、開口部３４ｈが小さくなると、バイアス磁界が永久磁石素子カバー３４の空洞内に入りにくくなるが、磁気インピーダンス素子３３は高い磁気感度を有しているために、開口部３４ｈの大きさは必要最小限の小さなものであってよい。
【００４６】
このように、図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３においては、小さな開口部３４ｈを有する永久磁石素子カバー３４で磁気インピーダンス素子３３を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響を確実に低減することができる。これによって、図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３は、安価な回転検出装置とすることができる。尚、図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３も、図１（ａ）〜（ｃ）の回転検出装置１００，１０１と同様に、エンジンのクランクシャフトに連結したギアや、エンジンのカムシャフトに連結したカムの回転状態の検出に好適である。
【００４７】
（他の実施形態）
図３（ａ），（ｂ）の回転検出装置１０３は、永久磁石素子カバー３４で囲われた磁気インピーダンス素子３３を用いて、磁性体もしくは磁性体を含んだ材料からなる歯車形状のギア３１の回転状態を検出する回転検出装置である。これに限らず、図３（ａ），（ｂ）と同じ永久磁石素子カバー３４で囲われた磁気インピーダンス素子３３を用いて、図２に示すような、磁極が円筒の外周円に交互に配置されてなる着磁ロータ２１の回転状態を検出することも可能である。
【００４８】
このよう回転検出装置においても、小さな開口部を有する永久磁石素子カバー３４で磁気インピーダンス素子３３を囲うだけの簡単な構造で、外乱磁界の影響を確実に低減することができ、安価な回転検出装置とすることができる。尚、この場合には、磁気インピーダンス素子３３を囲う永久磁石素子カバー３４については、バイアス磁石としての役割は必要なく、磁気シールドとしての機能のみが利用される。この永久磁石素子カバー３４で囲われた磁気インピーダンス素子３３を有する回転検出装置も、車輪の回転軸に取り付けた着磁ロータの回転状態を検出するＡＢＳ用の車輪回転センサに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における回転検出装置の構成を示す模式図で、（ａ）はギアが磁化されている場合、（ｂ）と（ｃ）はギアが磁化されていない場合である。
【図２】第１実施形態における他の回転検出装置の構成を示す模式図で、回転体が外周円に磁極が交互に配置されてなる円筒状磁石からなる。
【図３】第２実施形態における回転検出装置の構成を示す模式図で、（ａ），（ｂ）はギアの回転に伴うバイアス磁界の変化を示す。
【符号の説明】
１００〜１０３  回転検出装置
１１ａ，１１ｂ，３１  ギア（回転体）
１３，２３，３３  磁気インピーダンス素子
１４，２４  磁性体素子カバー
１４ｈ，２４ｈ，３４ｈ  開口部
２１  着磁ロータ（回転体）
３４  永久磁石素子カバー
【図１】
2004271235.tif 000003
【図２】
2004271235.tif 000004
【図３】
2004271235.tif 000005