(57)【要約】【課題】複数の被処理液を反応容器内へ供給する被処理液供給機構の閉塞を解消することのできる水熱反応処理方法および装置を提供する。【解決手段】有機物を含有する複数の被処理液を、反応容器３１内の水の超臨界状態または亜臨界状態で水熱酸化反応させて処理流体とする水熱反応処理装置において、複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を反応容器３１内へ別々に供給する複数の被処理液供給機構を設ける。【選択図】    図１
2004188238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機物を含有する複数の被処理液を、反応容器内の水の超臨界状態または亜臨界状態で水熱酸化反応させて処理する水熱反応処理方法において、
前記複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、
この複数の被処理液群を、複数の被処理液供給機構を介して前記反応容器内へ別々に供給する、
ことを特徴とする水熱反応処理方法。
【請求項２】
請求項１に記載の水熱反応処理方法において、
前記複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、または、前記複数の被処理液群の水熱酸化反応を停止している間に、前記複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄する、
ことを特徴とする水熱反応処理方法。
【請求項３】
請求項２に記載の水熱反応処理方法において、
前記被処理液供給機構の流路を洗浄した流路洗浄廃液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない前記複数の被処理液群のいずれかに混和させて前記反応容器へ供給し、水熱酸化反応させて処理する、
ことを特徴とする水熱反応処理方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の水熱反応処理方法において、
希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない前記複数の被処理液群のいずれかにそれぞれ混和させて前記反応容器内へ供給する、
ことを特徴とする水熱反応処理方法。
【請求項５】
有機物を含有する複数の被処理液を、反応容器内の水の超臨界状態または亜臨界状態で水熱酸化反応させて処理する水熱反応処理装置において、
前記複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を前記反応容器内へ別々に供給する複数の被処理液供給機構を設けた、
ことを特徴とする水熱反応処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の水熱反応処理装置において、
前記複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を供給する洗浄液供給機構を設けた、
ことを特徴とする水熱反応処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載の水熱反応処理装置において、
前記被処理液供給機構の流路を洗浄した流路洗浄廃液を、混和させても固形物やスラリを析出または分離させることのない前記複数の被処理液群のいずれかに供給する廃液供給機構を設けた、
ことを特徴とする水熱反応処理装置。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の水熱反応処理装置において、
希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない前記複数の被処理液供給機構のいずれかにそれぞれ供給する供給機構を設けた、
ことを特徴とする水熱反応処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、廃棄物分解、エネルギー生成または化学物質製造を目的とする水熱酸化反応を行うのに好適な水熱反応処理方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
有機性被処理物を含有する有機性被処理液を、処理して酸化分解や加水分解することにより、廃棄物を分解したり、エネルギーを生成したり、または、化学物質を製造する水熱反応処理は、長年に亘って研究され、利用されてきている。
特に、近年、３７４℃以上、２２ＭＰａ（２２０気圧）以上の超臨界状態で、または、例えば３７４℃以上、２．５ＭＰａ（２５気圧）以上２２ＭＰａ未満、あるいは３７４℃未満、２２ＭＰａ以上、あるいは３７４℃未満、２２ＭＰａ未満であっても臨界点に近い高温高圧状態である亜臨界状態で、被処理物と、酸化剤を含んだ水とを反応させることにより、燃焼を含む酸化反応を生じさせ、有機性被処理液中の有機物を短時間でほぼ完全に分解する水熱反応処理が注目されている。
【０００３】
このようにして有機物を反応容器内で水熱酸化反応させて処理すると、有機物は酸化分解され、二酸化炭素、水などからなる高温高圧の処理流体が生成される。
そして、処理流体は、エネルギー回収されるか、冷却、減圧され、ガス分と液分とに分離される。
【０００４】
図３は従来の水熱反応処理装置の一例の概略構成を示すブロック図、図４は図３に示した反応容器の二重管ノズル部分を示す説明図である。
以下、液晶パネルや半導体基板の製造工程から排出される、それぞれ有機物を含有する洗浄工程廃液、剥離工程廃液、現像工程廃液、レジスト廃液を複数の被処理液として説明する。
【０００５】
図３において、１は後述する被処理液貯留槽６内へ被処理液としての洗浄工程廃液を供給する供給管、２は被処理液貯留槽６内へ被処理液としての剥離工程廃液を、供給管１を介して供給する供給管、３は被処理液貯留槽６内へ被処理液としての現像工程廃液を、供給管２，１を介して供給する供給管、４は被処理液貯留槽６へ被処理液としてのレジスト廃液を、供給管３，２，１を介して供給する供給管を示す。
６は供給管１〜４を介して供給される複数の被処理液を貯留する被処理液貯留槽を示し、貯留した複数の被処理液を混和させる攪拌手段を備えている。
【０００６】
７は被処理液貯留槽６内の混和した被処理液を後述する反応容器３１内へ供給する供給管、８は供給管７に配設された開閉弁、９は開閉弁８よりも上流の供給管７に配設された高圧ポンプを示し、この高圧ポンプ９は、混和した複数の被処理液を、例えば２２ＭＰａ（２２０気圧）以上の高圧で反応容器３１内へ供給管７、後述する二重管ノズル３２の第１流路３２ａを介して供給するものである。上記した供給管７〜高圧ポンプ９、二重管ノズル３２により、被処理液供給機構が構成されている。
【０００７】
１０は二重管ノズル３２の第２供給路３２ｂ内へ希釈水を供給する供給管、１１は供給管１０に配設された開閉弁、１２は開閉弁１１よりも上流の供給管１０に配設された高圧ポンプを示し、この高圧ポンプ１２は、希釈水を、例えば２２ＭＰａ以上の高圧で反応容器３１内へ供給管１０、二重管ノズル３２の第２流路３２ｂを介して供給するものである。
上記した供給管１０、開閉弁１１、高圧ポンプ１２、二重管ノズル３２により、希釈水供給機構が構成されている。
【０００８】
１３は開閉弁１１よりも下流の供給管１０内へ反応助剤としての燃料、例えば灯油を供給する供給管、１４は供給管１３に配設された開閉弁、１５は開閉弁１４よりも上流の供給管１３に配設された高圧ポンプを示し、この高圧ポンプ１５は、灯油を、例えば２２ＭＰａ以上の高圧で反応容器３１内へ供給管１３，１０、二重管ノズル３２の第２流路３２ｂを介して供給するものである。
上記した供給管１０，１３、開閉弁１４、高圧ポンプ１５、二重管ノズル３２により、反応助剤供給機構が構成されている。
【０００９】
１７はエアーコンプレッサを示し、酸化剤としての空気を、例えば２２ＭＰａ以上の高圧で反応容器３１内へ、供給管１８，１３，１１、二重管ノズル３２の第２流路３２ｂを介して供給するものである。
１９は供給管１８に配設された開閉弁、２０は開閉弁１９よりも上流の供給管１８に配設された予備加熱器を示し、この予備加熱器２０は、エアーコンプレッサ１７からの空気を所定温度に加熱し、反応容器３１を予熱するために使用する。
上記したエアーコンプレッサ１７、供給管１８，１３，１１、開閉弁１９、二重管ノズル３２により、酸化剤供給機構が構成されている。
【００１０】
２４は後述する排出管４１内へ中和剤を供給する中和剤供給管、２５は中和剤供給管２４に配設された開閉弁、２６は開閉弁２５よりも上流の中和剤供給管２４に配設された高圧ポンプを示し、この高圧ポンプ２６は、中和剤を、例えば２２ＭＰａ以上の高圧で排出管４１内へ中和剤供給管２４を介して供給するものである。
上記した中和剤供給管２４、開閉弁２５、高圧ポンプ２６により、中和剤供給機構が構成されている。
【００１１】
３１は円筒状をした縦型の反応容器を示し、図４に示すように、上蓋の中心に、二重管ノズル３２が配設され、下側に処理流体などを排出する排出口（図示が省略されている。）が設けられている。
そして、二重管ノズル３２は、図４に示すように、中心に位置する筒状の第１流路３２ａと、この第１流路３２ａの周囲を囲み、第１流路３２ａに沿った第２流路３２ｂを有し、第１流路３２ａに供給管７が接続され、第２流路３２ｂに供給管１０が接続されている。
また、二重管ノズル３２の先端は、流路面積が狭められ、第１流路３２ａへ供給される流体と第２流路３２ｂへ供給される流体とを噴出により、混和させることができる。
なお、反応容器３１内には、内側に析出して堆積する塩などを掻き落とす駆動機構によって回転させられるスクレーパ（掻き取り手段）（図示が省略されている。）が設けられている。
３３は断熱材を示し、反応容器３１と二重管ノズル３２の外周との間に配置され、反応容器３１から二重管ノズル３２への熱の伝導を遮断するためのものである。
【００１２】
４１は反応容器３１の排出口に一端が接続された排出管、４２は排出管４１の途中に配設された冷却器を示し、この冷却器４２は、排出管４１内を流通する流体を冷却するものである。
そして、冷却器４２よりも上流の排出管４１に、中和剤供給管２４が接続されている。
４３は排出管４１の他端に接続された気液分離器を示し、排出管４１から供給される流体を、気体と液体とに分離するものである。
４４は気液分離器４３に一端が接続された気体排出管、４５は気体排出管４４に配設された減圧弁を示し、この減圧弁４５は、気液分離器４３で分離した気体を、例えば大気圧に減圧して放出するためのものである。
４６は気液分離器４３に一端が接続された液体排出管、４７は液体排出管４６に配設された減圧弁を示し、この減圧弁４７は、気液分離器４３で分離した液体を、例えば大気圧に減圧して放出するためのものである。
【００１３】
次に、水熱反応処理の一例について説明する。
まず、開閉弁１１，１４，１９を開放し、高圧ポンプ１２，１５、エアーコンプレッサ１７および予備加熱器２０を作動させ、灯油などの反応助剤を反応容器３１内へ供給して水熱酸化反応を起こさせ、反応容器３１内を所定の温度に上昇させる起動運転を開始するとともに、冷却器４２を作動させる。
そして、反応容器３１内の温度が所定値に上昇し、反応容器３１内が水の超臨界状態になったならば、開閉弁８，２５を開放し、高圧ポンプ９，２６も作動させ、混和した複数の被処理液を反応容器３１内へ供給し、複数の被処理液を水熱酸化反応させて処理するとともに、処理流体に中和剤を添加する。
【００１４】
このようにして有機物を含有する複数の被処理液を反応容器３１内で水熱酸化反応させると、有機物は水熱酸化反応により、水、二酸化炭素の高温高圧流体と、乾燥またはスラリー状の灰分や塩類等の固体となり、処理流体を生成する。
なお、複数の被処理液を処理する運転を継続すると、稼働時間の経過に伴って反応容器３１の内側への塩の付着量が多くなって反応領域が狭くなるので、稼働とともに駆動機構でスクレーパを低速（例えば１ｒｐｍ）で回転させ、回転するスクレーパ本体で反応容器３１の内側に付着した塩を掻き落す。
【００１５】
このようにして生成された、塩類などを含む処理流体は、反応容器３１の排出口から排出管４１を介して気液分離器４３へ供給される途中において中和剤で中和された後、冷却器４２によって冷却される。
なお、処理流体を冷却した冷却器４２の熱は、エネルギー回収される。
そして、気液分離器４３へ供給される中和された流体は気体と液体とに分離され、分離された気体は減圧弁４５で減圧された後、気体排出管４５を介して排出され、分離された液体は減圧弁４７で減圧された後、液体排出管４６を介して排出される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、従来は複数の被処理液を混和させた状態で反応容器３１内へ供給し、水熱酸化反応させて処理している。
したがって、複数の被処理液が、前述したように洗浄工程廃液、剥離工程廃液、現像工程廃液、レジスト廃液の場合、これら複数の被処理液を混和させると、固形物や粘質なスラリを析出または分離させるため、供給管７内や二重管ノズル３２内に固形物や粘質なスラリが付着し、供給管７や二重管ノズル３２を閉塞させるという問題があった。
また、複数の被処理液が水溶性被処理液と非水溶性被処理液とに拘わらず、水溶性被処理液同士や、非水溶性被処理液同士でも、混和させると、固形物や粘質なスラリを析出または分離させる場合には、供給管７や二重管ノズル３２を閉塞させるという問題がある。
【００１７】
この発明は、上記したような不都合を解消するためになされたもので、複数の被処理液を反応容器内へ供給する被処理液供給機構の閉塞を解消することのできる水熱反応処理方法および装置を提供するものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
まず、請求項１にかかる発明は、有機物を含有する複数の被処理液を、反応容器内の水の超臨界状態または亜臨界状態で水熱酸化反応させて処理する水熱反応処理方法において、複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を、複数の被処理液供給機構を介して反応容器内へ別々に供給することを特徴とする。
そして、複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄し、流路を洗浄した未分解の流路洗浄廃液を他の被処理液群とともに水熱酸化反応させて処理したり、複数の被処理液群の水熱酸化反応を停止している間に、複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄し、流路を洗浄した未分解の流路洗浄廃液を回収し、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかに混和させて反応容器へ供給し、水熱酸化反応させて処理したり、さらに、希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかにそれぞれ混和させて反応容器内へ供給するのが望ましい。次に、請求項５にかかる発明は、有機物を含有する複数の被処理液を、反応容器内の水の超臨界状態または亜臨界状態で水熱酸化反応させて処理する水熱反応処理装置において、複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を反応容器内へ別々に供給する複数の被処理液供給機構を設けたことを特徴とする。
そして、複数の被処理液供給機構の少なくとも１つへ洗浄液を供給する洗浄液供給機構を設けたり、被処理液供給機構の流路を洗浄した未分解の流路洗浄廃液を回収し、混和させても固形物やスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかに供給する廃液供給機構を設けたり、さらに、希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液供給機構のいずれかにそれぞれ供給する供給機構を設けるのが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態を図に基づいて説明する。
なお、被処理液を、前述したように、洗浄工程廃液、剥離工程廃液、現像工程廃液、レジスト廃液とし、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない被処理液群として、洗浄工程廃液、剥離工程廃液および現像工程廃液からなる１つ目の被処理液群と、レジスト廃液からなる２つ目の被処理液群とに分離した。
そして、希釈水および空気を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない１つ目の被処理液群に混和させ、また、灯油を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない２つ目の被処理液群に混和させた。
【００２０】
図１はこの発明の一実施形態である水熱反応処理装置の概略構成を示すブロック図、図２は図１に示した反応容器の二重管ノズル部分を示す説明図であり、図３および図４と同一または相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００２１】
図１において、レジスト廃液を反応容器３１内へ供給する供給管４は、高圧ポンプ１５よりも上流の供給管１３に接続されている。
そして、供給管１３は、二重管ノズル３２の第１流路３２ａに接続されている。
また、空気を反応容器３１内へ供給する供給管１８は、開閉弁１１よりも下流の供給管１０に接続されている。
【００２２】
５は供給管４に配設された開閉弁、１６は開閉弁を示し、この開閉弁１６は、供給管４が接続された部分よりも上流の供給管１３に配設されている。
２１は供給管１３内へ洗浄液を供給する洗浄液供給管、２２は洗浄液供給管２１に配設された開閉弁、２３は開閉弁２２よりも上流の洗浄液供給管２１に配設された高圧ポンプを示し、この高圧ポンプ２３は、洗浄液を、例えば２２ＭＰａ（２２０気圧）以上の高圧で反応容器３１内へ供給管１３、二重管ノズル３２の第１流路３２ａを介して供給するものである。
上記した洗浄液供給管２１〜高圧ポンプ２３、二重管ノズル３２により、洗浄液供給機構が構成されている。
【００２３】
したがって、反応容器３１内へは、図２に示すように、二重管ノズル３２の第１流路３２ａからレジスト廃液および灯油が供給され、二重管ノズル３２の第２流路３２ｂから洗浄工程廃液、剥離工程廃液、現像工程廃液、希釈水および空気が供給される。
【００２４】
次に、水熱反応処理の一例について説明する。
まず、開閉弁１１，１４，１６，１９を開放し、高圧ポンプ１２，１５、エアーコンプレッサ１７および予備加熱器２０を作動させ、灯油などの反応助剤を反応容器３１内へ供給して水熱酸化反応を起こさせ、反応容器３１内を所定の温度に上昇させる起動運転を開始するとともに、冷却器４２を作動させる。
そして、反応容器３１内の温度が所定値に上昇し、反応容器３１内が水の超臨界状態になったならば、開閉弁８，５，２５を開放し、高圧ポンプ９，２６も作動させ、混和した複数の被処理液を反応容器３１内へ供給し、複数の被処理液を水熱酸化反応させて処理するとともに、処理流体に中和剤を添加する。
【００２５】
このようにして有機物を含有する複数の被処理液を反応容器３１内で水熱酸化反応させると、有機物は水熱酸化反応により、水、二酸化炭素の高温高圧流体と、乾燥またはスラリー状の灰分や塩類等の固体となり、処理流体を生成する。
なお、複数の被処理液を処理する運転を継続すると、稼働時間の経過に伴って反応容器３１の内側への塩の付着量が多くなって反応領域が狭くなるので、稼働とともに駆動機構でスクレーパを低速（例えば１ｒｐｍ）で回転させ、回転するスクレーパ本体で反応容器３１の内側に付着した塩を掻き落す。
【００２６】
このようにして生成された、塩類などを含む処理流体は、反応容器３１の排出口から排出管４１を介して気液分離器４３へ供給される途中において中和剤で中和された後、冷却器４２によって冷却される。
なお、処理流体を冷却した冷却器４２の熱は、エネルギー回収される。
そして、気液分離器４３へ供給される中和された流体は気体と液体とに分離され、分離された気体は減圧弁４５で減圧された後、気体排出管４５を介して排出され、分離された液体は減圧弁４７で減圧された後、液体排出管４６を介して排出される。
【００２７】
このようにして複数の被処理液を水熱酸化反応させて処理している間に間欠的に、開閉弁２２を開放させ、高圧ポンプ２３を作動させることにより、二重管ノズル３２の第１流路３２ａへ洗浄液を所定時間供給して洗浄する。
そして、流路および二重管ノズル３２の第１流路３２ａを洗浄した流路洗浄液は、反応容器３１で酸化分解される。
なお、この実施形態の場合、開閉弁１４を設けなくともよい。
【００２８】
上述したように、この発明の一実施形態によれば、複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を、複数の被処理液供給機構を介して反応容器３１内へ別々に供給するので、複数の被処理液を反応容器３１内へ供給する被処理液供給機構の閉塞を解消することができる。
そして、複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、複数の被処理液機構の流路の少なくとも１つ、例えばレジスト廃液供給機構の流路に洗浄液を供給して洗浄するので、その流路が閉塞するのをさらに解消することができる。
【００２９】
また、希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかにそれぞれ混和させて反応容器３１内へ供給するので、供給機構の構成を簡素化して簡単にすることができる。
さらに、酸化剤を空気とし、二重管ノズル３２の外側の第２流路３２ｂを介して反応容器３１に供給するとともに、反応容器３１と二重管ノズル３２との間に断熱材３３を配置したので、第２流路３２ｂを流れる空気も断熱材として機能するので、第１流路３２ａを流通するレジスト廃液および灯油が焦げ付くのを防止できるとともに、第２流路２３ｂから噴出する空気によって各被処理液などを反応容器３１内へ霧状で噴出させることができる。
【００３０】
上記した実施形態では、複数の被処理液を２つの被処理液群に分離した例で説明したが、複数の被処理液を分離する群は３つ以上でもよく、各被処理液群に複数の被処理液がある場合は、被処理液貯留槽６と同様な被処理液貯留槽を設け、この被処理液貯留槽にその被処理液群の被処理液を貯留して被処理液供給機構で反応容器３１内へ供給すればよい。
そして、被処理液供給機構は被処理液群の数に伴って増加し、ノズルも被処理液群の数に伴った多重管ノズルとすればよい。
【００３１】
また、複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、複数の被処理液供給機構の流路の１つを洗浄する例を示したが、複数の被処理液群の水熱酸化反応を停止している間に、その流路を洗浄してもよい。
また、二重管ノズル３２の第１流路３２ａのみを洗浄する洗浄液供給機構を設けたが、多重管ノズルの各流路へ洗浄液を供給して洗浄する洗浄液供給機構としてもよい。
このように多重管ノズルの各流路を洗浄する場合、各流路を順番に洗浄してその流路洗浄廃液を、その流路へ供給する被処理液群を貯留する被処理液貯留へ、流路洗浄廃液供給管、開閉弁、高圧ポンプなどで構成される廃液供給機構で供給したり、その流路へ供給する被処理液群の被処理液供給機構へ供給する構成とすることにより、各流路洗浄廃液も水熱酸化反応させて処理することができる。
【００３２】
そして、反応助剤を灯油として説明し、レジスト廃液に混和させる例を示したが、反応助剤の性状に基づき、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない被処理液群に混和させることは言うまでもない。
また、酸化剤を空気として説明し、この空気を洗浄工程廃液、剥離工程廃液、現像工程廃液の被処理液群に混和させたが、空気の場合はどの被処理液群に混和させても不具合を生じないため、どの被処理液群に混和させてもよい。
しかし、酸化剤を過酸化水素などにした場合は、酸化剤の性状に基づき、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない被処理液群に混和させることは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、複数の被処理液を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群に分離し、この複数の被処理液群を、複数の被処理液供給機構を介して反応容器内へ別々に供給するので、複数の被処理液を反応容器内へ供給する被処理液供給機構の閉塞を解消することができる。
そして、複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、または、複数の被処理液群の水熱酸化反応を停止している間に、複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄するので、流路が閉塞するのを解消することができる。
【００３４】
さらに、複数の被処理液群を水熱酸化反応させている間に間欠的に、複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄する場合、流路を洗浄した流路洗浄廃液を他の被処理液群とともに水熱酸化反応させて処理することができる。
また、複数の被処理液群の水熱酸化反応を停止している間に、複数の被処理液供給機構の流路の少なくとも１つへ洗浄液を流通させて洗浄する場合、流路を洗浄した流路洗浄廃液を回収し、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかに混和させて反応容器へ供給し、水熱酸化反応させて処理することができる。
また、希釈水、反応助剤、酸化剤を、混和させても固形物や粘質なスラリを析出または分離させることのない複数の被処理液群のいずれかにそれぞれ混和させて反応容器内へ供給するので、供給機構の構成を簡素化して簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態である水熱反応処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示した反応容器の二重管ノズル部分を示す説明図である。
【図３】従来の水熱反応処理装置の一例の概略構成を示すブロック図である。
【図４】図３に示した反応容器の二重管ノズル部分を示す説明図である。
【符号の説明】
１〜４，７，１０，１３，１８                供給管
６                                          被処理液貯留槽
５，８，１１，１４，１６，１９，２２，２５  開閉弁
９，１２，１５，２３，２６                  高圧ポンプ
１７                                        エアーコンプレッサ
２０                                        予備加熱器
２１                                        洗浄液供給管
２４                                        中和剤供給管
３１                                        反応容器
３２                                        二重管ノズル
３２ａ                                      第１流路
３２ｂ                                      第２流路
３３                                        断熱材
４１                                        排出管
４２                                        冷却器
４３                                        気液分離器
４４                                        気体排出管
４５，４７                                  減圧弁
４６                                        液体排出管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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