(57)【要約】【課題】加圧対象物からテープを上手く引き離すことこと。【解決手段】テープ供給リール２からドライバＩＣ７の加圧面上にニトフロンテープ１を供給し、圧着ヘッド１６によりニトフロンテープ１を介して加圧する。次に、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の下流に設けた第二挟持部３０によりニトフロンテープ１を挟持し、移動ローラ２０，２１により移動方向に対して曲げた方向に送りながら移動ローラ２０，２１をドライバＩＣ７の加圧面と略水平に且つテープを挟持してない状態の第一挟持部２３と共に移動する。続いて、移動ローラ２０，２１を第一挟持部２３と共にテープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻し、その位置で第一挟持部２３によりニトフロンテープ１を挟持する。そして、第二挟持部３０によるニトフロンテープ１の挟持を解くと共に移動ローラ２０，２１を第一挟持部２３と共にもとの位置に戻し、ニトフロンテープ１を送る。【選択図】　　　　　　図１
2004102052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧対象物の加圧面と加圧部の加圧ヘッドとの間に介在させるテープを供給するテープ供給リールと、
加圧ヘッドにより加圧対象物を加圧する加圧部と、
加圧対象物の加圧面と略水平に移動すると共に、移動方向に対して曲げた方向にテープを送る移動ローラと、
移動ローラと共に移動し且つ移動ローラの下流でテープを挟持する第一挟持部と、
移動ローラ及び第一挟持部の下流で前記テープを挟持する第二挟持部と、
第二挟持部の下流に前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段と、
を備えたことを特徴とするテープ送り装置。
【請求項２】
テープを巻回したテープ供給リールと、
テープ供給リールの下流に設けられ、加圧ステージと加圧ヘッドの間に加圧対象物を挟んで加圧する加圧部と、
テープを案内しつつ加圧対象物の加圧面と略水平に移動する移動ローラと、
移動ローラにて移動方向に対して曲げた方向に送られたテープをアクチュエータにより動作する部材で挟むと共に、その挟持部分の下流に案内ローラを設けた第一挟持部と、
前記第一挟持部の案内ローラで案内されたテープの下流にて、当該テープをアクチュエータにより動作する部材で挟む第二挟持部と、
前記移動ローラおよび第一挟持部を、固定状態の前記第二挟持部に対して前記加圧面と略水平方向に移動させる直動装置と、
第二挟持部の下流に設けられ、前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段と、
を備えたことを特徴とするテープ送り装置。
【請求項３】
更に、加圧対象物の加圧面に対して気体を吐出する吐出手段と、吐出した気体を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のテープ送り装置。
【請求項４】
更に、前記テープ送出手段の下流に、テープのみを回収するテープ回収箱を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のテープ送り装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の加圧装置を用いたことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、
移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、
移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、
前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、
移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、
前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順と、
を含むことを特徴とするテープ送り方法。
【請求項７】
前記テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収することを特徴とする請求項６に記載のテープ送り方法。
【請求項８】
テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、
移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、
移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、
前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、
移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、
前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順と、
テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収する手順と、
前記回収したテープをリサイクルする手順と
を含むことを特徴とするテープリサイクル方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載のテープ送り方法を工程として備えることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、テープを加圧する過程が含まれる場合にこのテープを加圧対象物から上手に引き離すことができるテープ送り装置、テープ送り方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法、並びにテープリサイクル方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は、従来の圧着装置の一例を示す構成図である（例えば、特許文献１参照）。この圧着装置５００は、ニトフロンテープ１を供給するテープ供給リール５０１と、インデックステーブル５０２上に載せた液晶表示パネルＬの面に対して平行にニトフロンテープ１を送るガイドローラ５０３およびピッチローラ５０４と、使用済みのニトフロンテープ１を回収するテープ回収リール５０５と、テープ供給リール５０１及びガイドローラ５０３、テープ回収リール５０５及びピッチローラ５０４との間に夫々設けたテンションローラ５０６，５０７と、ガイドローラ５０３を上下移動させるためのアクチュエータ５０８と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置５０９とを有する。
【０００３】
加圧装置５０９は、エアシリンダー５１０のピストンロッド端部に圧着ヘッド５１１を設けた構成である。圧着ヘッド５１１には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ（異方導電性フィルム：Ａｎｉｓｏｔｏｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｆｉｌｍ）を加熱するためのヒータが内蔵されている（図示省略）。テープ回収リール５０５は、リールを回転させてニトフロンテープ１を回収するためのモータ５１２を備えている。また、テープ送りは、液晶表示パネルＬの下流に設けた一対のピッチローラ５０４により行う。ピッチローラ５０４は、ステッピングモータ５１３により駆動制御され、ニトフロンテープ１を所定量送る。
【０００４】
この圧着装置５００は、テープ供給リール５０１から供給されたニトフロンテープ１を液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させ、圧着ヘッド５１１によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。ドライバＩＣ７の本圧着が完了したら、上流側のガイドローラ５０３を上方に一旦持ち上げ、ドライバＩＣ７上に密着したニトフロンテープ１を当該ドライバＩＣ７から引き離す。そして、インデックステーブル５０２により新たな液晶表示パネルＬを加圧位置に移動させると共に、ピッチローラ５０４により所定量ニトフロンテープ１を送り、加圧に供していない部分を当該液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置させる。移動したニトフロンテープ１は、テープ回収リール５０５により回収される。この圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７から引き離すと共にニトフロンテープ１の送り動作を行うようにしている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２５６３１６号公報（第３頁―第４頁、［図１］―［図２］）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の圧着装置５００では、ガイドローラ５０３の上下移動によりニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離しているが、ガイドローラ５０３が液晶表示パネルＬと平行な位置に在り、この位置からニトフロンテープ１を引き離すとなれば、ドライバＩＣ７に密着しているニトフロンテープ１がはがれ難いという問題点がある。具体的には、図１１に示すように、ガイドローラ５０３を上方に移動しても密着力が強いと、離れ難く或いは離れないままになる。その場合、ニトフロンテープ１を送る際やインデックステーブル５０２により液晶表示パネルを移送する際に、ドライバＩＣ７がガラス基板Ｇから剥がれてしまう。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加圧対象物からテープを上手く引き離すことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明によるテープ送り装置は、加圧対象物の加圧面と加圧部の加圧ヘッドとの間に介在させるテープを供給するテープ供給リールと、加圧ヘッドにより加圧対象物を加圧する加圧部と、加圧対象物の加圧面と略水平に移動すると共に、移動方向に対して曲げた方向にテープを送る移動ローラと、移動ローラと共に移動し且つ移動ローラの下流でテープを挟持する第一挟持部と、移動ローラ及び第一挟持部の下流で前記テープを挟持する第二挟持部と、第二挟持部の下流に前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この発明では、まず、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する。そして、第二挟持部により前記テープを挟持し、移動ローラによって移動方向に対して曲げた方向にテープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つ第一挟持部と共に移動させる。これにより、移動ローラの移動に伴い、前記加圧面から前記曲げ方向にテープが引き離される。次に、所定のテープの送り量を確保するのに必要な量だけ、前記移動ローラ及び第一挟持部を戻す。そして、第一挟持部によりテープを挟持し且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解いた状態で、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻す。これにより、テープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。なお、前記第二挟持部とテープ送出手段は、一体構成であっても良い。
【００１０】
つぎの発明によるテープ送り装置は、テープを巻回したテープ供給リールと、テープ供給リールの下流に設けられ、加圧ステージと加圧ヘッドの間に加圧対象物を挟んで加圧する加圧部と、テープを案内しつつ加圧対象物の加圧面と略水平に移動する移動ローラと、移動ローラにて移動方向に対して曲げた方向に送られたテープをアクチュエータにより動作する部材で挟むと共に、その挟持部分の下流に案内ローラを設けた第一挟持部と、前記第一挟持部の案内ローラで案内されたテープの下流にて、当該テープをアクチュエータにより動作する部材で挟む第二挟持部と、前記移動ローラおよび第一挟持部を、固定状態の前記第二挟持部に対して前記加圧面と略水平方向に移動させる直動装置と、第二挟持部の下流に設けられ、前記テープをリールに巻くことなく送り出すテープ送出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、加圧対象物の加圧面に対して気体を吐出する吐出手段と、吐出した気体を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする。加圧対象物の間にテープを挟んで加圧する場合、加圧面にパーティクルが付着していると、パーティクルの付着部分で加圧面に荷重が集中する。このため、気体によりパーティクルを飛ばし、これを吸引することで加圧面上のパーティクルを除去する。これにより、良好な加圧を行うことができる。
【００１２】
つぎの発明によるテープ送り装置は、上記構成において、更に、前記テープ送出手段の下流に、テープのみを回収するテープ回収箱を設けたことを特徴とする。テープのみ回収することで、従来のようにリールからテープを取り外す手間がなくなるので、テープのリサイクルが簡単になる。なお、テープ回収箱は、テープを受け入れることができれば、どのようなものでも良い。
【００１３】
また、上記いずれか一つに記載の加圧装置を用いて電気光学装置の製造を行うこともできる。
【００１４】
つぎの発明によるテープ送り方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順とを含むことを特徴とする。
【００１５】
つぎの発明によるテープ送り方法は、上記構成において、前記テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収することを特徴とする。
【００１６】
つぎの発明によるテープリサイクル方法は、テープ供給リールから加圧対象物の加圧面上にテープを供給し、加圧部の加圧ヘッドにより前記加圧対象物を、前記テープを介して加圧する手順と、移動ローラ及び第一挟持部の下流に設けた第二挟持部により前記テープを挟持する手順と、移動ローラにより移動方向に対して曲げた方向に前記テープを送りながら、当該移動ローラを加圧対象物の加圧面と略水平に且つテープ挟持してない状態の第一挟持部と共に移動する手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共に、テープ送り量に基づいて必要量だけもとの方向に戻す手順と、移動ローラの下流にて第一挟持部によりテープを挟持し、且つ第二挟持部によるテープの前記挟持を解く手順と、前記移動ローラを第一挟持部と共にもとの位置に戻すことで、テープを送る手順と、テープ送り方法により送られたテープをこのテープが巻かれていたリールと分別して回収する手順と、前記回収したテープをリサイクルする手順とを含むことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、この実施の形態の構成要件には、当業者により置換可能かつ容易なもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置は、ニトフロンテープ１を巻回し且つテープを送り出すテープ供給リール２と、ニトフロンテープ１に張力を与えるテンションローラ３と、加圧面と平行にテープを送るためのガイドローラ４と、液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１に順次移動させるインデックステーブル５と、液晶表示パネルＬを順番にインデックステーブル５に供給し且つ加圧後の液晶表示パネルＬを運び出す液晶表示パネル移送機構６と、ドライバＩＣ７を加圧する加圧装置８と、ニトフロンテープ１を一定間隔で送るテープ送り装置９と、送り出したニトフロンテープ１を回収するテープ回収箱１０とを有する。
【００１９】
ニトフロンテープ１は、例えばテフロン（登録商標）・ビニール・ゴム等の樹脂系、紙、繊維などの材料からなるテープ状のものであり、通常リールに巻かれた状態で市場供給されている。また、ニトフロンテープ１は使用済みであっても、リサイクルにより再利用できる。
【００２０】
インデックステーブル５には、テーブル面に開口した吸引口１１と、これに繋がる真空ポンプ１２とを有する真空吸着装置１３が設けられている。また、インデックステーブル５には、駆動用のアクチュエータ１４が設けられている。アクチュエータ１４の動作により、上面に載せられた液晶表示パネルＬが一定間隔で送られる。加圧装置８は、エアシリンダー１５のピストンロッド端部に圧着ヘッド１６を設けた構成である。圧着ヘッド１６には、ガラス基板ＧとドライバＩＣ７との間に介在するＡＣＦ１７を加熱するためのヒータ１８が内蔵されている。
【００２１】
テープ送り装置９は、２つの移動ローラ２０，２１および２つのガイドローラ２２，２２を夫々４点に設置し、ニトフロンテープ１をテープ送り方向に対して凸形状に案内する。移動ローラ２０，２１は、上流側に位置され且つこの移動ローラ２０，２１の間には、ニトフロンテープ１を挟持する第一挟持部２３が設けられている。第一挟持部２３は、エアシリンダー２４と、その先端に設けたクランプヘッド２５とから構成されている。移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は、移動装置２６により移動される。具体的には、これら移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３は移動プレート２７上に固定されており、この移動プレート２７は、ボールねじ２８及びサーボモータ２９（又はステッピングモータ）と、図示しない直動案内とにより液晶表示パネルＬの面に平行に移動する。
【００２２】
第二挟持部３０は、ニトフロンテープ１を挟持すると共に、２つのガイドローラ２２，２２の下流に設けられる。第二挟持部３０は、エアシリンダー３１と、その先端に設けたクランプヘッド３２とから構成されている。この第二挟持部３０およびガイドローラ２２，２２は、装置の図示しないベッド側に固定されている。また、第二挟持部３０の下流には、ニトフロンテープ１を送り出す送出ローラ３３が設けられている。送出ローラ３３は、ニトフロンテープ１を間に挟んでテープ回収箱１０内にニトフロンテープ１を落とし込む。前記サーボモータ２９やエアシリンダー３１等は、制御装置３４により制御される。
【００２３】
図２は、この加圧装置の動作を示す説明図である。まず、同図（ａ）に示すように、インデックステーブル５上に載置した液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７を圧着ヘッド１６により加圧加熱する。なお、加圧前の状態では、液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上にはＡＣＦ１７を介してドライバＩＣ７が仮圧着されている。また、インデックステーブル５上の液晶表示パネルＬは、真空吸着装置１３により加圧面に対して真空吸着されている。
【００２４】
次に、同図（ｂ）に示すように、所定時間加圧および加熱を行った後、圧着ヘッド１６を上方に退避させ、引き続き、第二挟持部３０のクランプヘッド３２によりニトフロンテープ１を挟持すると共に、移動装置９により移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を液晶表示パネルＬの上まで移動させる。このとき、圧着ヘッド１６は、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と干渉しない位置まで上昇する。一方、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動に先立ち、第二挟持部３０はニトフロンテープ１をクランプしておく。上下に設けた移動ローラ２０，２１が移動することで、当該移動ローラ２０，２１によりニトフロンテープ１が上方に送られ、ドライバＩＣ７の上面に若干密着した状態（加圧により若干吸着した状態）から引き離される。
【００２５】
即ち、図３に示すように、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７の上面を移動し、且つこの移動ローラ２０，２１にガイドされつつニトフロンテープ１が上方に送られるため、ドライバＩＣ７の面に対するニトフロンテープ１の送り角度を大きくとることができる（この実施の形態では９０度）。また、ニトフロンテープ１を引き離すときの力が、ドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間（具体的にはＡＣＦ１７）に加わり難い。経験的には、この角度が大きいほうが引き離しやすいので、好ましくは３０度以上、更に好ましくは７０度以上とする。また、移動ローラ２０，２１は、ドライバＩＣ７に無理な荷重を与えないように、ドライバＩＣ７上を移動するときは、多少上方に逃げられるように設計しておくほうが良い。逆に、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７に対してニトフロンテープ１を介して接触しない場合は、引き離す力がドライバＩＣ７とガラス基板Ｇとの間に加わる傾向になるので、なるべく移動ローラ２０，２１を接触させるか或いは支障のない程度離すようにするのが好ましい。
【００２６】
次に、同図（ｃ）に示すように、ニトフロンテープ１を引き離した後、インデックステーブル５を駆動し、別の液晶表示パネルＬを加圧位置Ｔ１まで移動させる。そして、第二挟持部３０によりニトフロンテープ１をクランプしたまま、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２で停止させる。この状態でニトフロンテープ１は、液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に位置し、且つこのドライバＩＣ７上のニトフロンテープ１は、先の工程で加圧に供した部分である。続いて、同図（ｄ）および（ｅ）に示すように、第一挟持部２３はクランプヘッド２５によりニトフロンテープ１を挟持し、そのまま同方向に移動ローラ２０，２１および第一挟持部２３を移動させることで、ニトフロンテープ１をその移動量だけ送る。即ち、前記所定位置Ｔ２は、移動ローラ２０，２１の待機位置Ｔ３からテープ送り量離れた位置であり、この所定位置Ｔ２を設定変更することでニトフロンテープ１のテープ送り量を決定できる。
【００２７】
なお、このテープ送り時には、第二挟持部３０のクランプヘッド３２はニトフロンテープ１を開放した状態となる。使用済みのニトフロンテープ１は、送出ローラ３３により送り出され、下方に設置したテープ回収箱１０内に落とされる。なお、送出ローラ３３は、第一挟持部２３の挟持力を超えない程度のトルクをもって回転し、テープ送り系統にテンションを加えつつ当該ニトフロンテープ１の送り出しを行う。そして、上記同様に圧着ヘッド１６によりニトフロンテープ１を介してドライバＩＣ７を加圧加熱する。なお、この後は上記した手順を繰り返すことで、仮圧着状態のドライバＩＣ７の本圧着を連続的に行うことができる。また、テープ回収箱１０内に落とされたニトフロンテープ１は、そのままリサイクル工程に移すことができる。即ち、従来のように使用済みのニトフロンテープ１をリールに巻きつけながら回収する方式ではないため、リールからニトフロンテープ１を分離する手間が省け、リサイクル工程が簡単になる。
【００２８】
以上の圧着装置１００によれば、移動ローラ２０，２１がドライバＩＣ７上を移動することで、ドライバＩＣ７に密着したニトフロンテープ１を引き離すことができ、且つ第一挟持部２３によりニトフロンテープ１を所定位置Ｔ２にてクランプし、更に元の待機位置Ｔ３に戻すことでニトフロンテープ１を送ることができる。このため、ニトフロンテープ１の引き離し及び送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００２９】
なお、上記実施の形態１において、ニトフロンテープ１のテープ送り基準高より高い位置に移動ローラ２１およびガイドローラ２２が配置されているが、図４の（ａ）に示すように、移動ローラ２１を省略しても良いし、（ｂ）に示すように、ガイドローラ２２を省略しても良い。また、テープ送り基準高より高い位置に、更に別の移動ローラ２１及びガイドローラ２２を設けても良い（図示省略）。即ち、テープ送り基準高の移動ローラ２０から上方にニトフロンテープ１を送るようにすれば、ドライバＩＣ７上面から当該ニトフロンテープ１を所定角度で引き離すことができるので、テープ送り基準高より高い位置のローラ数は上記数に限定されない。
【００３０】
また、上記実施の形態１では送出ローラ３３は単にテープ送りのみの機能を有しているが、図５に示すように、送出ローラ３３のローラ表面にニトフロンテープ１を噛み込むような凹凸３５を設け、このローラ３３をサーボモータ３６またはステッピングモータにより回転制御することで、第二挟持部３０の機能を持たせるようにしても良い。即ち、ニトフロンテープ１の送り時は、所定トルクで送出ローラ３３を回転させ、上記移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３の移動中は、この送出ローラ３３を図示しないブレーキ装置により回転しないように固定する。これにより、事実上、第二挟持部３０と同じ機能を持ち合わせることができる。
【００３１】
（実施の形態２）
図６は、この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。この圧着装置２００は、移動プレート２７に液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７上に付着したゴミや塵等の付着物Ｐを除去する付着物除去装置４０を設けた点が特徴であり、その他の構成は上記実施の形態１と同様でありその説明は省略する。この圧着装置２００の移動プレート２７は、エアの噴出口４１が液晶表示パネルＬのドライバＩＣ７面に対して向いているエア噴出装置４２と、噴出したエアを吸引するエア吸引装置４３を有している。エア吸引装置４３は、ドライバＩＣ７の面に向かって吸引口４４が開口しており、噴出口４１から噴出したエアを吸引する。
【００３２】
エア噴出装置４２は、周囲の空気を取り入れて圧縮する圧縮機４５と、フレキシブルに変形し、圧縮空気を送るエアノズル４６から構成される。一方、エア吸引装置４３は、ポンプ４７とエアノズル４８とから構成される。このエア噴出装置４２と、エア吸引装置４３のそれぞれのエアノズル４６，４８は、移動プレート２７に固定されており、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３と共に移動する。図６に示すように、ニトフロンテープ１をドライバＩＣ７の上面から引き離し、次の液晶表示パネルＬを移送した場合において、ドライバＩＣ７の面上にゴミ等の付着物Ｐが存在するとき、この付着物Ｐの部分に荷重が集中してしまう。このため、当該手順において、エア噴出装置４２の噴出口４１から、ドライバＩＣ７の面上に向かって噴出し、そのエアを吸引口４４から吸引する。これにより、ドライバＩＣ７面上の付着物Ｐがエアと共にエア吸引装置４３で吸引され、図示しないフィルターで補足される。
【００３３】
このようにエア吸引装置４３により吸引すれば、吹き飛ばした塵等の付着物Ｐが圧着装置２００の周囲に飛散して再びドライバＩＣ７上に付着するのを防止できる。更に、エア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定されており、移動プレート２７の移動に伴ってドライバＩＣ７の面上を移動する。即ち、噴出口４１のノズル先端を小さく絞って流速を高めることでスポット的に強力な噴出を行うと共に、ドライバＩＣ７の面を走査することで当該ドライバＩＣ７全面に対して強力なエア噴出を行うことができる。また、この噴出口４１と共に吸引口４４が移動するので、エア吸引も確実に行える。
【００３４】
以上より、この圧着装置２００によれば、付着物Ｐに起因してドライバＩＣ７の一部分に荷重が集中する状態を回避できる。このため、圧着過程でドライバＩＣ７が破損するのを防止できる。このエア噴出装置４２の噴出口４１およびエア吸引装置４３の吸引口４４は、移動プレート２７に固定して移動ローラ２０，２１等と共に移動するようにしたが、移動しないように固定しても良い。
【００３５】
（実施の形態３）
図７は、この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００は、上記実施の形態１の圧着装置１００と略同様の構成であるが、図８に示すような、セパレータ３０３上にＡＣＦ層３０４を設けた層状テープ３０１を所定の長さにカットするテープカッター３０２が設けられている点に特徴がある。この圧着装置３００では、層状テープ３０１をテープ供給リール２に巻回し、ＡＣＦ３０４ａごと液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に供給する。このＡＣＦ層３０４は、液晶表示パネルＬの上流側に設けたテープカッター３０２により所定長さにカットされる。テープカッター３０２は、ピストン運動するアクチュエータ３０５の軸の先端にカッター３０６を設けた構成である。
【００３６】
図９は、このＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。このＡＣＦ貼り付け装置３００では、同図（ａ）に示すように、テープ供給リール２から層状テープ３０１が供給され、ガイドローラ４を通過したところで、前記テープカッター３０２によりハーフカット処理され、ＡＣＦ層３０４のみが所定長さに分断される（ＡＣＦ３０４ａ）。続いて、同図（ｂ）に示すように、層状テープ３０１を送り、加圧位置Ｔ１にて加圧ヘッド１６による加圧を行う。これにより、ＡＣＦ３０４ａがセパレータ３０３からガラス基板Ｇに移り、ガラス基板Ｇ上にＡＣＦ３０４ａが張着された状態になる。この状態では、ＡＣＦ３０４ａがガラス基板Ｇおよびセパレータ３０３の両方に張り付いており、このセパレータ３０３をＡＣＦ３０４ａから引き離す必要がある。次に、同図（ｃ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をガラス基板Ｇの方向に移動させ、セパレータ３０３をテープ送り基準高から上方に移動させる。このとき、移動ローラ２０のローラ径は比較的小さくするのが好ましい。セパレータ３０３には、次にガラス基板Ｇに貼り付ける分断されたＡＣＦ３０４ａが保持されており、ローラ径が大きいと隣接するＡＣＦ３０４ａまで剥がれてしまうからである。移動ローラ２０のローラ径は、例えば３ｍｍ程度である。
【００３７】
次に、インデックステーブル５を回転させ、新しいガラス基板Ｇを加圧位置に移送する。引き続き、同図（ｄ）に示すように、移動ローラ２０及び第一挟持部２３を元の方向に戻し、所定位置Ｔ２にて第一挟持部２３によりセパレータ３０３をクランプする。これと共に、第二挟持部３０を開放する。そして、同図（ｅ）に示すように、移動ローラ２０，２１及び第一挟持部２３をテープ送り量だけ移動させ、層状テープ３０１を送る。送出ローラ３３は所定のトルクで回転し、セパレータ３０３を外部に送出する。これにより、新しい液晶表示パネルＬのガラス基板Ｇ上に次のＡＣＦ３０４ａが位置するので、上記同様、加圧ヘッド１６によりセパレータ３０３ごと加圧してＡＣＦ３０４ａをガラス基板Ｇ上に貼り付ける。
【００３８】
以上、このＡＣＦ貼り付け装置３００によれば、ガラス基板Ｇに対するＡＣＦ３０４ａの貼り付け及び層状テープ３０１の送りを移動ローラ２０，２１の往復過程で連続的に行うことができる。
【００３９】
以上、この実施の形態１〜３では、ニトフロンテープ及びＡＣＦの層状テープを例示して説明したが、テープの種類はこれに限定されない。例えば上記図１に記載の加圧装置は、熱及び圧力を必要とする装置に適用することもできる。
また、本発明のテープ送り装置およびテープ送り方法ならびにテープリサイクル方法は、上述した液晶装置の製造方法および製造装置に限定されず、その他の電気光学装置の製造方法及び製造装置にも適用可能であり、例えば、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の製造方法および製造装置に用いることができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のテープ送り装置および方法では、一度にテープを加圧面から引き離すと共に所定方向に送ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る圧着装置を示す構成図である。
【図２】この加圧装置の動作を示す説明図である。
【図３】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【図４】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図５】図１に示した圧着装置の変形例を示す構成図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る圧着装置を示す構成図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係るＡＣＦ貼り付け装置を示す構成図である。
【図８】層状テープの構成を示す断面図である。
【図９】ＡＣＦ貼り付け装置の動作を示す説明図である。
【図１０】従来の圧着装置の一例を示す構成図である。
【図１１】ニトフロンテープの引き離し状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１　ニトフロンテープ
２　テープ供給リール
４　ガイドローラ
７　ドライバＩＣ
８　加圧装置
９　移動装置
１０　テープ回収箱
１６　圧着ヘッド（加圧ヘッド）
２０，２１　移動ローラ
２２　ガイドローラ
２３　第一挟持部
２６　移動装置
２７　移動プレート
２９　サーボモータ
３０　第二挟持部
３３　送出ローラ
３４　制御装置
Ｌ　液晶表示パネル
Ｔ１　加圧位置
Ｔ２　所定位置
Ｔ３　待機位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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