(57)【要約】【課題】オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できるようにすること、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えること及びオーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができるカラーフィルタ基板を提供する。【解決手段】基材２と、基材２の表面に形成された複数のフィルタ要素９と、複数のフィルタ要素９を囲むように形成される枠状のバンク５と、バンク５によって囲まれる領域に液滴吐出によって形成されたオーバーコート層１１とを有するカラーフィルタ基板１である。Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルタ要素９は、格子状パターンに形成されたバンク４によって形成されるドットマトリクス状に並んだ領域６の内部領域に液滴吐出によって形成するのが好ましい。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、
該基材の表面に形成された複数のフィルタ要素と、
該複数のフィルタ要素を囲むように設けられてなる枠状の区分け要素と、
該区分け要素によって囲まれる領域に、前記フィルタ要素を覆うように設けられてなるオーバーコート層と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項２】
請求項１において、前記区分け要素は突出するバンクであることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項３】
基材と、
該基材の表面に形成されて該基材の表面を複数の領域に区分けする第１区分け要素と、
前記複数の領域内に設けられてなる複数のフィルタ要素と、
該複数のフィルタ要素を囲むように設けられてなる枠状の第２区分け要素と、
該第２区分け要素によって囲まれる領域に、前記フィルタ要素を覆うように設けられてなるオーバーコート層と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項４】
請求項３において、前記第１区分け要素及び前記第２区分け要素は突出するバンクであることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項５】
請求項３又は請求項４において、前記第１区分け要素と前記第２区分け要素は同じ材料によって形成されることを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項６】
基材上に複数のフィルタ要素を形成する工程と、
該複数のフィルタ要素を囲むように枠状の区分け要素を形成する工程と、
該区分け要素によって囲まれる領域に液滴吐出によってオーバーコート層を、前記フィルタ要素を覆うように形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項７】
請求項６において、前記区分け要素は突出するバンクであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項８】
基材の表面を複数の領域に区分けする第１区分け要素を形成する工程と、
前記複数の領域内に複数のフィルタ要素を形成する工程と、
該複数のフィルタ要素を囲むように枠状の第２区分け要素を形成する工程と、
該第２区分け要素によって囲まれる領域に液滴吐出によってオーバーコート層を、前記フィルタ要素を覆うように形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項９】
請求項８において、前記第１区分け要素及び前記第２区分け要素は突出するバンクであることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１０】
請求項８又は請求項９において、前記第１区分け要素と前記第２区分け要素は同一工程で形成されることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０の少なくともいずれか１つにおいて、前記複数のフィルタ要素は液滴吐出によって形成されることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１２】
請求項１又は請求項２記載のカラーフィルタ基板と、該カラーフィルタ基板上に形成された電気光学物質層とを有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項６又は請求項７記載のカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２記載の電気光学装置と、該電気光学装置の動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする電子機器。
【請求項１５】
請求項１３記載の電気光学装置の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー表示を行う際に用いられるカラーフィルタ基板及びその製造方法に関する。また本発明は、液晶装置やエレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置及びその製造方法に関する。また本発明は、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等といった電子機器及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ等といった電子機器に、液晶装置やエレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置が広く用いられている。例えば、電子機器に関する各種の情報を視覚的に表示するために電気光学装置が用いられている。
【０００３】
電気光学装置として液晶装置を考えた場合、その液晶装置によってカラー表示を行うときには、その液晶装置の内部にカラーフィルタ基板が設けられる。カラーフィルタ基板は、例えば、透光性のガラス等によって形成された基材上にカラーフィルタを形成することによって作製される。カラーフィルタとは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のフィルタ要素や、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）の３色のフィルタ要素を平面内に所定の配列で並べることによって形成された光学要素である。
【０００４】
基材上に形成されたカラーフィルタの上には、さらに、オーバーコート層が形成されることがある。このオーバーコート層は、保護層又は保護膜等と呼ばれることもある。従来、このオーバーコート層を液滴吐出技術、例えばインクジェット技術を用いて行う方法が知られている。また、カラーフィルタを構成する複数のフィルタ要素の最外縁に沿って複数の隔壁を設け、オーバーコート層が基材上で必要以上に広がることをそれらの隔壁によって防止するようにした技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１９６１２４（第６〜８頁、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のオーバーコート層の形成技術においては、上記複数の隔壁がくし歯状に形成されていたので、基材上に塗布されたオーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御することができないおそれがあった。また、オーバーコート層の広がりを抑制することが必ずしも十分でなかった。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができないおそれがあった。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できるようにすること、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えること及びオーバーコート層の表面を正確に平坦にすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係る第１のカラーフィルタ基板は、基材と、該基材の表面に形成された複数のフィルタ要素と、該複数のフィルタ要素を囲むように設けられてなる枠状の区分け要素と、該区分け要素によって囲まれる領域に、前記フィルタ要素を覆うように設けられてなるオーバーコート層とを有することを特徴とする。
【０００９】
上記構成において、「基材」は、例えば、透光性のガラスや透光性のプラスチック等によって形成される。また、「区分け要素」は、例えば、基材上に突出するバンクや、基材上に形成される撥インク層によって構成される。この撥インク層は、基材の表面からほとんど突出することなく形成することができる。バンクは、基材上に突出することにより基材表面における液状のフィルタ要素の材料の流れを阻止する。また、撥インク層は、基材表面にける液状のフィルタ要素の材料の流れを撥インク性によって阻止する。
【００１０】
「複数のフィルタ要素」の各々は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色や、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）の３原色の色を透過する材料によって形成される。通常、それら各色のフィルタ要素は基材上で所定の配列、例えばストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等に並べられる。一般に、１つのフィルタ要素は表示の最小単位である表示用ドット領域に対応する。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の領域の集まりやＣ，Ｍ，Ｙの３色の領域の集まりによって１つの画素が形成される。これらのフィルタ要素の形成方法は特別のものに限定されないが、例えば、インクジェット技術を用いて基材上に液滴として吐出したり、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を用いたパターニング技術によって形成したりすることができる。
【００１１】
また、「フィルタ要素の材料」、すなわちフィルタ材料は、Ｒ、Ｇ、Ｂや、Ｃ、Ｍ、Ｙの色を有する材料によって構成される。この材料の材質は、特別のものに限定されないが、例えば、レジン等の透明材を含有する各色着色材料と、エチレングリコール等といったグリコール系の溶媒とから成る液状物とすることができる。また、顔料、界面活性剤及び溶媒によって構成される固形分を適宜の溶媒に溶かすことによって構成された液状物とすることもできる。これらの液状物は、インクジェット技術を用いる場合に好適である。
【００１２】
本発明では、「オーバーコート層」は液滴吐出技術を用いて基材上に塗布される。ここで、「液滴吐出技術」は、特定の構造に限定されるものではないが、例えば、インクジェット技術として知られている液滴吐出構造を用いることが好ましい。この場合には、インクジェット用のノズルから液滴が吐出されることになる。
【００１３】
上記のインクジェット技術は、例えば、インク貯留室に圧電素子及びノズルを付設し、圧電素子の振動によるインク貯留室の体積変化に応じてノズルからインク、すなわち液状物を液滴として吐出する技術であることが好ましい。また、インクジェット技術は、例えば、インク貯留室内に貯留されたインクを加熱によって膨張させることによりノズルからインクを液滴として吐出する技術とすることもできる。
【００１４】
上記構成より成る本発明のカラーフィルタ基板によれば、基材上におけるオーバーコート層の広がりが区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００１５】
また、本発明のカラーフィルタ基板において、前記区分け要素はバンクや撥インク層によって形成できるが、好ましくはバンクによって構成する。こうすれば、オーバーコート層の基材上における流れを確実に抑制できる。
【００１６】
次に、本発明に係る第２のカラーフィルタ基板は、基材と、該基材の表面に形成されて該基材の表面を複数の領域に区分けする第１区分け要素と、前記複数の領域内に設けられてなる複数のフィルタ要素と、該複数のフィルタ要素を囲むように設けられてなる枠状の第２区分け要素と、該第２区分け要素によって囲まれる領域に、前記フィルタ要素を覆うように設けられてなるオーバーコート層とを有することを特徴とする。この第２のカラーフィルタ基板において先の第１のカラーフィルタ基板における構成要素と同じ呼称の構成要素は同じものであるので、その説明は省略する。
【００１７】
この第２のカラーフィルタ基板が上記の第１のカラーフィルタ基板と異なる点は、第１のカラーフィルタ基板では１種類の区分け要素だけが用いられるのに対し、第２のカラーフィルタ基板では、第１区分け要素と第２区分け要素の２種類の区分け要素が用いられることである。
【００１８】
この第２のカラーフィルタ基板において、第１区分け要素はフィルタ要素を形成するための複数の領域を区分けするためのものである。一方、第２区分け要素はオーバーコート層の形成領域を画定するためのものである。つまり、本発明における第２区分け要素が先の第１のカラーフィルタ基板における区分け要素に相当し、本発明ではこの区分け要素の他に第１区分け要素が用いられる。
【００１９】
第１区分け要素によって区分けされる領域の個々には、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色から選択される１色の材料や、Ｃ，Ｍ，Ｙの３色から選択される１色の材料が供給される。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つの領域の集まり又はＣ，Ｍ，Ｙの３つの領域の集まりによって１つの画素が形成される。このように、第１区分け要素はフィルタ要素を形成するための複数の領域を形成するためのものであるので、この第１区分け要素を用いた本発明は、フィルタ要素を液滴吐出技術を用いて形成する場合に好適である。
【００２０】
上記構成より成る第２のカラーフィルタ基板によれば、基材上におけるオーバーコート層の広がりが第２区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００２１】
また、上記第２のカラーフィルタ基板において、前記第１区分け要素及び前記第２区分け要素はバンクや撥インク層によって形成できるが、好ましくはバンクによって構成する。こうすれば、オーバーコート層の基材上における流れを確実に抑制できる。
【００２２】
また、上記第２のカラーフィルタ基板において、前記第１区分け要素と前記第２区分け要素は同じ材料によって形成されることが好ましい。この構成は、第１区分け要素と第２区分け要素とを同一の工程で形成することによって実現できる。このように第１区分け要素と第２区分け要素とを同一の工程で形成するようにすれば、製造工程を簡略化できる。
【００２３】
また、上記第２のカラーフィルタ基板において、前記複数のフィルタ要素は任意の方法、例えば、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を用いたパターニング方法や、液滴吐出技術を用いた方法等によって形成できる。しかしながら、第１区分け要素を用いて複数のフィルタ要素の形成領域を区画するようにした第２のカラーフィルタ基板に関しては、液滴吐出技術を適用することが好ましい。
【００２４】
次に、本発明に係る第１のカラーフィルタ基板の製造方法は、基材上に複数のフィルタ要素を形成する工程と、該複数のフィルタ要素を囲むように枠状の区分け要素を形成する工程と、該区分け要素によって囲まれる領域に液滴吐出によってオーバーコート層を、前記フィルタ要素を覆うように形成する工程とを有することを特徴とする。この第１のカラーフィルタ基板の製造方法において上記の第１カラーフィルタ基板又は第２のカラーフィルタ基板における構成要素と同じ呼称の構成要素は同じものであるので、その説明は省略する。
【００２５】
この第１のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、上記の第１のカラーフィルタ基板を製造できる。こうして製造される第１のカラーフィルタ基板においては、基材上におけるオーバーコート層の広がりが区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００２６】
また、上記第１のカラーフィルタ基板の製造方法において、前記区分け要素はバンクや撥インク層によって形成できるが、好ましくはバンクによって構成する。こうすれば、オーバーコート層の基材上における流れを確実に抑制できる。
【００２７】
次に、本発明に係る第２のカラーフィルタ基板の製造方法は、基材の表面を複数の領域に区分けする第１区分け要素を形成する工程と、前記複数の領域内に複数のフィルタ要素を形成する工程と、該複数のフィルタ要素を囲むように枠状の第２区分け要素を形成する工程と、該第２区分け要素によって囲まれる領域に液滴吐出によってオーバーコート層を、前記フィルタ要素を覆うように形成する工程とを有することを特徴とする。この第２のカラーフィルタ基板の製造方法において上記の第１カラーフィルタ基板又は第２のカラーフィルタ基板における構成要素と同じ呼称の構成要素は同じものであるので、その説明は省略する。
【００２８】
この第２のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、上記の第２のカラーフィルタ基板を製造できる。こうして製造される第２のカラーフィルタ基板においては、基材上におけるオーバーコート層の広がりが第２区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００２９】
上記第２のカラーフィルタ基板の製造方法において、前記第１区分け要素及び前記第２区分け要素はバンクや撥インク層によって形成できるが、好ましくはバンクによって構成する。こうすれば、オーバーコート層の基材上における流れを確実に抑制できる。
【００３０】
また、上記第２のカラーフィルタ基板の製造方法において、前記第１区分け要素と前記第２区分け要素は同一工程で形成されることが好ましい。こうすれば、カラーフィルタ基板の製造工程を簡略化できる。
【００３１】
また、上記第２のカラーフィルタ基板の製造方法において、前記複数のフィルタ要素は任意の方法、例えば、フォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を用いたパターニング方法や、液滴吐出技術を用いた方法等によって形成できる。しかしながら、第１区分け要素を用いて複数のフィルタ要素の形成領域を区画するようにした第２のカラーフィルタ基板の製造方法に関しては、前記複数のフィルタ要素は液滴吐出によって形成されることが好ましい。
【００３２】
次に、本発明に係る電気光学装置は、上記構成のカラーフィルタ基板と、該カラーフィルタ基板上に形成された電気光学物質層とを有することを特徴とする。ここで、「電気光学物質層」は、電気光学物質によって形成される層のことである。また、電気光学物質とは、電界の印加に応じて光学的な特性が変化する物質のことであり、例えば、液晶、エレクトロルミネッセンスの発光要素等が考えられる。このような電気光学装置としては、例えば、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置等が考えられる。
【００３３】
この構成の電気光学装置によれば、その電気光学装置を構成するカラーフィルタ基板に関して、そのカラーフィルタ基板を構成する基材上においてオーバーコート層の広がりが第２区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００３４】
次に、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、上記構成のカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする。この電気光学装置の製造方法によれば、上記の電気光学装置を製造できる。
【００３５】
次に、本発明に係る電子機器は、上記の電気光学装置と、該電気光学装置の動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする。このような電子機器としては、例えば、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ、デジタルカメラ等が考えられる。
【００３６】
本発明の電子機器によれば、その電子機器内に含まれる電気光学装置を構成するカラーフィルタ基板に関して、そのカラーフィルタ基板を構成する基材上においてオーバーコート層の広がりが第２区分け要素によって阻止されるので、オーバーコート層の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層の基材上での広がりを確実に抑えることができる。また、オーバーコート層の表面を正確に平坦にすることができる。
【００３７】
次に、本発明に係る電子機器の製造方法は、以上に記載した電気光学装置の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする。この電子機器の製造方法によれば、上記の電子機器を製造できる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
（カラーフィルタ基板の実施形態）
以下、本発明に係るカラーフィルタ基板及びその製造方法を一実施形態を挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。
【００３９】
図１はカラーフィルタ基板の一実施形態の平面構造を示している。また、図４（ｌ）は図１のＡ−Ａ線に従ったカラーフィルタ基板の断面構造を示している。これらの図に示すように、カラーフィルタ基板１は、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された基材２と、その基材２の上に形成された遮光層３と、その遮光層３の上に形成された第１区分け要素としての色インク用バンク４と、基材２の上に形成された第２区分け要素としてのオーバーコート用バンク５とを有する。
【００４０】
遮光層３は、例えば、遮光性の金属又は樹脂を材料としてフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理によって形成される。また、色インク用バンク４は、例えば撥インク性の感光性樹脂を材料としてフォトリソグラフィ処理によって形成される。また、オーバーコート用バンク５は、例えば、色インク用バンク４と同じ材料によって同一工程で形成される。
【００４１】
図１に示すように、遮光層３及び色インク用バンク４は、ドットマトリクス状に並ぶ複数の表示用ドット領域６を形成するために格子状に形成されている。そして、特定波長の光を透過するフィルタ要素９がその表示用ドット領域６の中に設けられている。
【００４２】
複数の表示用ドット領域６には、Ｇ色に対応する領域６ｇ、Ｒ色に対応する領域６ｒ、そしてＢ色に対応する領域６ｂの３種類が含まれるが、それらは全て同じ形状、例えば長方形状、正方形状に形成される。また、Ｇ色領域６ｇの中にはＧ色フィルタ要素９ｇが形成され、Ｒ色領域６ｒの中にはＲ色フィルタ要素９ｒが形成され、そして、Ｂ色領域６ｂの中にはＢ色フィルタ要素９ｂが形成されている。
【００４３】
複数のフィルタ要素６の並べ方としては、図５（ａ）に示すようなストライプ配列や、図５（ｂ）に示すようなモザイク配列や、図５（ｃ）に示すようなデルタ配列や、その他の種々の並べ方を採用できるが、本実施形態では図５（ａ）に示すストライプ配列を採用するものとする。なお、ストライプ配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれの色が縦方向に１列に並び、横方向に順番に１つずつ繰り返して変化する配列である。また、モザイク配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂが縦列と横列の両方で順番に繰り返して並べられる配列である。また、デルタ配列とは、Ｒ，Ｇ，Ｂが三角形の頂点に相当する位置に配列されると共に横列方向でＲ，Ｇ，Ｂが順番に繰り返して並べられる配列である。
【００４４】
オーバーコート用バンク５は、図１に示すように、複数のフィルタ要素９を囲むように正方形状又は長方形状の枠状に形成されている。そして、そのオーバーコート用バンク５によって囲まれる領域の中に、図４（ｌ）に示すように、全てのフィルタ要素９を覆うようにオーバーコート層１１が設けられる。
【００４５】
このオーバーコート層１１は、例えば次のように機能する。第１に、保護膜の形成によってカラーフィルタ基板の表面を平坦化することにより、そのカラーフィルタ基板の表面に電極が形成される際、その電極が切れることを防止する。第２に、保護膜上の電極の低抵抗化によって画素間のコントラスト比を向上させる。第３に、保護膜形成後に続いて行われる工程においてカラーフィルタ基板内の画素が傷付くことを防止する。第４に、カラーフィルタ基板が液晶装置に用いられる場合にセルギャップ内へ液晶が封入された後、カラーフィルタ基板から液晶へ不純物が拡散することを防止する。
【００４６】
フィルタ要素９の形成方法は任意に選定できるが、例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の顔料を含んだ材料をフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理によってパターニングする方法や、液滴吐出技術すなわちインクジェット技術を用いた方法等によってフィルタ要素９を形成できる。また、オーバーコート層１１は、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド樹脂等といった樹脂のいずれか１つをインクジェット技術によって液滴として吐出することにより、オーバーコート層用バンク５で囲まれる領域内に供給して形成する。
【００４７】
以上のようにして形成されたカラーフィルタ基板１においては、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルタ要素９を１つのユニットとして１つの画素が構成され。この画素が平面内で多数個、マトリクス状に配列される。そして、これらの画素に光、例えば白色光を供給したときに、各カラーフィルタ要素９によって特定の色成分を選択的に透過させる。透過した各色の光の平面内での組み合わせにより、文字、数字、図形等といった像をカラー表示できる。
【００４８】
本実施形態のカラーフィルタ基板１では、複数のカラーフィルタ要素９の最外周縁の周りをオーバーコート層用バンク５で取り囲んだので、オーバーコート層１１の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層１１の基材２上での広がりを確実に抑えることができる。さらに、オーバーコート層１１の表面を正確に平坦にすることができる。
【００４９】
（変形例）
上記実施形態では、色インク用バンク４とオーバーコート用バンク５とを同じ材料によって同一工程で形成したが、これらを異なる材料を用いて異なる工程で形成することもできる。
【００５０】
（カラーフィルタ基板の製造方法の実施形態）
以下、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一実施形態を、図１及び図４（ｌ）に示したカラーフィルタ基板を製造する場合を例に挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。
【００５１】
カラーフィルタ基板の製造方法の説明に先立って、まず、その製造方法を実現できる製造装置について説明する。図６は、そのようなカラーフィルタ基板の製造装置の一例を示している。この製造装置２０１は、フィルタ形成部２０２と、材料供給部２０３とを有する。フィルタ形成部２０２は、ベース２０６と、このベース２０６上に設置されたＸ方向駆動系２０７ｘと、同じくベース２０６上に設置されたＹ方向駆動系２０７ｙとを有する。
【００５２】
Ｘ方向駆動系２０７ｘは、駆動モータ２１１と、その駆動モータ２１１によって駆動されて自身の中心軸線を中心として回転するネジ軸２１２とを有する。ネジ軸２１２には、記録ヘッド２１３がネジ嵌合している。駆動モータ２１１が作動してネジ軸２１２が正時計回転又は反時計回転すると、それにネジ嵌合する記録ヘッド２１３が矢印Ｘ方向で往復移動する。
【００５３】
Ｙ方向駆動系２０７ｙは、ベース２０６上に固定されたネジ軸２１６と、そのネジ軸２１６に嵌合する嵌合部材を回転駆動する駆動モータ２１７と、この駆動モータ２１７に固定されたステージ２１８とを有する。ステージ２１８は、フィルタ形成処理を受けるカラーフィルタ基板の基材２を支持するための基材支持手段として機能する。この基材２はステージ２１８上に載せられた上、容易には位置ズレしないように、例えば、空気吸引によって吸着固定されたり、適宜の機械的なクランプ機構によって固定されたりする。Ｙ方向モータ２１７が作動して上記の嵌合部材が正時計回転又は反時計回転すると、ステージ２１８がネジ軸２１６にガイドされて矢印Ｙ方向で往復移動する。Ｙ方向は上記のＸ方向に直角の方向である。
【００５４】
Ｙ方向駆動系２０７ｙを構成するネジ軸２１６上にはクリーニング装置２０８が配設され、このクリーニング装置２０８と一体なモータ２０９の出力軸がネジ軸２１６にネジ嵌合している。モータ２０９を作動させてクリーニング装置２０８を記録ヘッド２１３の所まで搬送すれば、このクリーニング装置２０８によって記録ヘッド２１３をクリーニングすることができる。
【００５５】
材料供給部２０３にはフィルタ要素の材料やオーバーコート層の材料等を貯留した容器２２２が配置される。そして、容器２２２と記録ヘッド２１３とはパイプ２２３によってつながっている。このパイプ２２３を通して、容器２２２内の液状材料が記録ヘッド２１３内へ供給される。
【００５６】
なお、本実施形態においてＲ，Ｇ，Ｂの３色によってカラーフィルタを形成する場合には、製造装置２０１がＲ色用、Ｇ色用、Ｂ色用の３種類用意されて、それらが別々の場所に設置され、個々の製造装置２０１の容器２２２の中にはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれの色のフィルタ材料が１色ずつ収容される。また、本実施形態ではオーバーコート層１１をインクジェット技術を用いて形成するので、オーバーコート層１１を形成する工程にも図６に示す製造装置２０１が設置され、この製造装置２０１の容器２２２内にはオーバーコート層１１のための液状材料が収容される。
【００５７】
図６のフィルタ形成部２０２を構成する記録ヘッド２１３の底面には、例えば図８に示すようなインクジェットヘッド２２が１つ又は複数設けられている。このインクジェットヘッド２２は、ほぼ長方形状のケーシング２０を有し、そのケーシング２０の底面には複数のノズル２７が設けられている。これらのノズル２７は、直径約０．０２〜０．１ｍｍ程度の微小な開口を有する。
【００５８】
本実施形態では、複数のノズル２７は２列にわたって設けられ、これにより、２本のノズル列２８，２８が形成されている。個々のノズル列２８において、ノズル２７は一定の間隔で直線上に設けられている。これらのノズル列２８には、矢印Ｂで示す方向から液状材料が供給される。供給された液状材料は圧電素子の振動に従って各ノズル２７から微小な液滴として吐出される。なお、ノズル列２８の個数は、１本又は３本以上であっても良い。
【００５９】
インクジェットヘッド２２は、図９に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向して配置された振動板３１と、その両者を互いに接合する複数の仕切り部材３２とを有する。また、ノズルプレート２９と振動板３１との間には、液状材料を貯留するための複数の貯留室３３と、液状材料が一時的に溜る個所である液溜り３４とが、各仕切り部材３２によって形成されている。さらに、複数の貯留室３３と液溜り３４とが通路３８を介して互いに連通している。また、振動板３１の適所に液状材料の供給孔３６が形成されており、この供給孔３６に図６のパイプ２２３を介して容器２２２が接続されている。容器２２２から供給された液状材料Ｍ０は、液溜り３４に充填され、さらに、通路３８を通って貯留室３３に充填される。
【００６０】
インクジェットヘッド２２の一部を構成するノズルプレート２９には、液状材料を貯留室３３からジェット状に噴射するためのノズル２７が設けられている。このノズル２７が複数個並べられてノズル列２８を構成することは図８に関連して既述した通りである。また、振動板３１において貯留室３３に対応する面には液状材料を加圧するための加圧体３９が取り付けられている。この加圧体３９は、図１０に示すように、圧電素子４１及びこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有している。
【００６１】
圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより貯留室３３の容積を増大させる機能を有する。そして、貯留室３３の容積が増大すると、その増大した容積分に相当する液状材料Ｍ０が液溜り３４から通路３８を通って貯留室３３内へ流入する。
【００６２】
一方、圧電素子４１への通電を解除すると、圧電素子４１と振動板３１とが共に元の形状に戻り、貯留室３３も元の容積に戻る。そのため、貯留室３３の内部にある液状材料の圧力が上昇し、ノズル２７から液状材料が液滴８となって吐出される。なお、液滴８は、液状材料に含まれる溶剤等の種類にかかわらず、微小な液滴としてノズル２７から安定して吐出される。
【００６３】
カラーフィルタ基板の製造装置２０１は、図７に示す制御装置９０を有する。この制御装置９０は、図６のフィルタ形成部２０２内のＸ方向モータ２１１、Ｙ方向モータ２１７及び記録ヘッド２１３の各要素の動作を制御する。なお、製造装置２０１は、図６のクリーニング用モータ２０９の動作を制御する制御部も有するが、その制御部についての詳しい説明は省略する。
【００６４】
制御装置９０は、コンピュータによって構成された駆動信号制御部９１と、コンピュータによって構成されたヘッド位置制御部９２とを有する。これらの制御部は信号線９７を通して互いに情報を共有できるようになっている。駆動信号制御部９１は、記録ヘッド２１３を駆動するための波形Ｓ０をアナログアンプ９３へ出力する。また、駆動信号制御部９１は、液状材料をいずれの位置に吐出するかを示すビットマップデータＳ１をタイミング制御部９４へ出力する。
【００６５】
アナログアンプ９３は、上記の波形Ｓ０を増幅して中継回路９５へ伝送する。タイミング制御部９４は、クロックパルス回路を内蔵し、上記のビットマップデータＳ１に従って吐出タイミング信号Ｓ２を中継回路９５へ出力する。中継回路９５は、タイミング制御部９４から送られた吐出タイミング信号Ｓ２に従って、アナログアンプ９３から送られた波形Ｓ０を記録ヘッド２１３の入力ポートへ出力する。
【００６６】
ヘッド位置制御部９２は、Ｘ−Ｙ制御回路９６へ記録ヘッド２１３の位置に関する情報Ｓ３を出力する。Ｘ−Ｙ制御回路９６は、送られてきた記録ヘッド２１３の位置情報Ｓ３に基づいて、Ｘ方向における記録ヘッド２１３の位置を制御する信号をＸ方向モータ２１１に対して出力し、さらに、Ｙ方向におけるステージ２１８の位置を制御する信号をＹ方向モータ２１７に対して出力する。
【００６７】
駆動信号制御部９１及びヘッド位置制御部９２に関する以上の構成により、記録ヘッド２１３は、ステージ２１８に載置された基材２の希望の座標位置が到来したときに液状材料を液滴として吐出し、これにより、基材２上の希望位置に液状材料の液滴が着弾して塗布される。
【００６８】
次に、図８に示したインクジェットヘッド２２を用いて行われる、カラーフィルタ基板の製造方法について説明する。図２〜図４はその製造方法を構成する各工程を工程順に示している。また、図４（ｌ）が目標とするカラーフィルタ基板１を示している。
【００６９】
まず、図２（ａ）において、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された基材２の上に、遮光層３を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミニウム等を材料として、例えばドライメッキ法を用いて金属薄膜３ａを形成する。この場合、金属薄膜３ａの厚さは、０．１〜０．５μｍ程度であることが望ましい。
【００７０】
次に、図２（ｂ）において、感光性樹脂であるレジスト７ａを一様な厚さで塗布し、そのレジスト７ａをマスクを介して露光し、さらに現像して、レジスト７ａを所定のパターンに形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして金属薄膜３ａをエッチングして、図２（ｃ）に示すように、所定形状、本実施形態では矢印Ａ方向から見て格子形状の遮光層３を形成する。
【００７１】
次に、図２（ｄ）において、遮光層３の上に、感光性樹脂４ａを一様な厚さで形成し、これにフォトリソグラフィ処理を施して図３（ｅ）に示すように所定パターンの色インク用バンク４を遮光層３と同じ形状、すなわち格子形状に形成する。また同時に、オーバーコート用バンク５を図１に示す長方形又は正方形の枠状に形成する。なお、ここでいう枠状とは、完全に閉じた形状の枠状であっても良いし、場合によっては、液状材料が外へ漏れ出ることがない程度に微細な開口が形成されるような枠状、すなわち完全には閉じていない状態の枠状であっても良い。また、色インク用バンク４の高さは１．０μｍ程度に形成するのが望ましい。バンク４及び５は、基材２の表面を、液滴を吐出するための領域に区分けする区分け要素として作用する。
【００７２】
色インク用バンク４を形成することにより、基材２上にそのバンク４によって区分けされた複数の表示用ドット領域６が形成される。バンク４が格子形状であることにより、これら複数の表示用ドット領域６は、矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことになる。バンク４としては、特に黒色のものを用いる必要はなく、例えば、ウレタン系又はアクリル系の硬化型の感光性樹脂組成物を用いることができる。また、オーバーコート用バンク５を形成することにより、そのバンク５によって囲まれる領域がオーバーコート層を形成するための領域として画定される。
【００７３】
なお、バンク４及び５はそれらの内側領域内に液状材料を収容することが主な役割であり、これらのバンク４及び５の表面に液状材料が付着することは好ましくない。従って、バンク４及び５の材質としては、液状材料をはじく性質を有するもの、すなわち撥液性を有するものであることが望ましい。この意味からバンク４及び５は、フッ素樹脂、シリコン樹脂等によって形成されることが好ましい。
【００７４】
以上のように基材２上に色インク用バンク４及びオーバーコート用バンク５が形成された後、その基材２を図６においてステージ２１８上の所定位置に載置する。そして、Ｘ方向駆動系２０７ｘ及びＹ方向駆動系２０７ｙを作動させると共に、図９の加圧体３９を作動させることにより、以下のようなカラーフィルタ形成処理を行う。なお、本実施形態では、図５（ａ）で示すようにＧ色フィルタ要素９ｇ、Ｒ色フィルタ要素９ｒ及びＢ色フィルタ要素９ｂをストライプ配列に形成するものとする。
【００７５】
カラーフィルタの形成処理工程に入ると、まず、図３（ｆ）において、Ｇ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域６ｇ内へ、図８に示したインクジェットヘッド２２を用いて、Ｇ色フィルタ材料を液滴８として吐出する。この液滴吐出は１つの表示用ドット領域に対して複数回行われ、合計の吐出量Ａｇは、予め、バンク４の高さによって規定される表示用ドット領域６ｇの容積よりも多くなるように設定されている。従って、供給されたＧ色フィルタ材料はバンク４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＧ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図３（ｇ）に示すように、Ｇ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＧ色フィルタ要素９ｇを形成する。
【００７６】
次に、図３（ｈ）において、Ｒ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域６ｒ内へ、図８に示したインクジェットヘッド２２を用いて、Ｒ色フィルタ材料を液滴８として吐出する。このときの合計の吐出量Ａｒも、バンク４の高さによって規定される表示用ドット領域６ｒの容積より多くなるように設定され、供給されたＲ色フィルタ材料はバンク４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＲ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図４（ｉ）に示すように、Ｒ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＲ色フィルタ要素９ｒを形成する。
【００７７】
次に、図４（ｊ）において、Ｂ色のフィルタ要素を形成すべき表示用ドット領域６ｂ内へ、図８に示したインクジェットヘッド２２を用いて、Ｂ色フィルタ材料を液滴８として吐出する。このときの合計の吐出量Ａｂも、バンク４の高さによって規定される表示用ドット領域６ｂの容積より多くなるように設定され、供給されたＲ色フィルタ材料はバンク４よりも上方へ突出する。次に、５０℃、１０分程度の加熱処理によってプレベークを行ってＢ色フィルタ材料内の溶剤を蒸発させて、図４（ｋ）に示すように、Ｂ色フィルタ材料の表面を平坦化させてＢ色フィルタ要素９ｂを形成する。
【００７８】
その後、例えば、２３０℃、３０分程度の加熱によってアフターベークを行って、フィルタ要素を硬化させることにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色フィルタ要素９ｇ，９ｒ，９ｂを所定の配列、例えば図５（ａ）のストライプ配列に並べて成るカラーフィルタが形成される。
【００７９】
次に、図６において基材２をカラーフィルタ形成用の製造装置２０１からオーバーコート層形成用の製造装置２０１に移し替える。そして、図４（ｋ）においてオーバーコート用バンク５で囲まれる領域内へオーバーコート層の材料を液滴として複数回、適宜の位置に吐出する。これにより、図４（ｌ）に示すように、バンク５によって囲まれる領域内に、全てのフィルタ要素９を覆うようにオーバーコート層１１が形成される。以上により、目標とするカラーフィルタ基板１が製造される。このカラーフィルタ基板１に対しては、必要に応じて、図４（ｌ）の紙面垂直方向へ延びる複数の線状電極６４ｂが形成される。
【００８０】
以上の説明から明らかなように、本実施形態のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、複数のカラーフィルタ要素９の周りにオーバーコート層用バンク５を形成した上で、液滴吐出技術によってオーバーコート層の材料を吐出するようにしたので、バンク５によってオーバーコート層１１の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層１１の基材２上での広がりを確実に抑えることができる。さらに、オーバーコート層１１の表面を正確に平坦にすることができる。
【００８１】
（変形例）
上記実施形態では、基材２から突出する部材であるバンク４及び５によって区分け要素を構成した。これに代えて、撥インク材料によって区分け要素を構成することもできる。この撥インク材料は、それ自体がインクをはじく性質、すなわち液状材料をはじく性質、より具体的にはフィルタ材料やオーバーコート材料をはじく性質を有するので、バンク４のように高く突出させなくても良い。
【００８２】
上記の実施形態では、カラーフィルタを構成するフィルタ要素としてＲ，Ｇ，Ｂの３色を考えた。しかしながら、フィルタ要素としては、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外にＣ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）とすることもできる。
【００８３】
また、上記の実施形態では、フィルタ要素９ｇ，９ｒ，９ｂの配列を図５（ａ）に示すストライプ配列とした。しかしながら、これに代えて、図５（ｂ）に示すモザイク配列や、図５（ｃ）に示すデルタ配列を採用することもできる。
【００８４】
（電気光学装置及びその製造方法の実施形態）
以下、本発明に係る電気光学装置及びその製造方法の一実施形態を電気光学装置の一例である液晶装置を例に挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。図１１は、液晶装置の一実施形態であって、スイッチング素子を用いない単純マトリクス方式であり、且つ、反射型表示と透過型表示を選択的に行うことができる半透過反射型の液晶装置を示している。
【００８５】
ここに示す液晶装置５１は、液晶パネル５２に照明装置５６及び配線基板５４を付設することによって形成されている。液晶パネル５２は、矢印Ａ方向から見て長方形状又は正方形状の第１基板５７ａと、矢印Ａ方向から見て同じく長方形状又は正方形状の第２基板５７ｂとを、矢印Ａ方向から見て環状のシール材５８によって貼り合わせることによって形成されている。
【００８６】
第１基板５７ａと第２基板５７ｂとの間には間隙、いわゆるセルギャップが形成され、そのセルギャップ内に液晶が注入されて液晶層５５を形成している。符号６９はセルギャップを維持するためのスペーサを示している。なお、観察者は矢印Ａ方向から液晶装置５１を観察する。
【００８７】
第１基板５７ａは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第１基材６１ａを有する。この第１基材６１ａの液晶側の表面には、反射膜６２が形成され、その上に絶縁膜６３が形成され、その上に第１電極６４ａが形成され、その上に配向膜６６ａが形成されている。また、第１基材６１ａの照明装置５６側の表面には第１偏光板６７ａが、例えば貼着によって装着されている。
【００８８】
第１基板５７ａに対向する第２基板５７ｂは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第２基材６１ｂを有する。この第２基材６１ｂの液晶側の表面には、カラーフィルタ６８が形成され、その上にオーバーコート層１１が形成され、その上に第２電極６４ｂが形成され、その上に配向膜６６ｂが形成されている。また、第２基材６１ｂの外側の表面には第２偏光板６７ｂが、例えば貼着によって装着されている。
【００８９】
第１基板５７ａ側の第１電極６４ａは図１１の左右方向へ延びる線状電極である。また、第１電極６４ａは複数本形成されていて、それらは紙面垂直方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第１電極６４ａは、矢印Ａ方向から見てストライプ状に形成されている。
【００９０】
また、第２基板５７ｂ側の第２電極６４ｂは、図１１の紙面垂直方向に延びる線状電極である。また、第２電極６４ｂは複数本形成されていて、それらは図１１の左右方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第２電極６４ｂは、第１電極６４ａに直交する方向へ延びるストライプ状に形成されている。
【００９１】
第１電極６４ａと第２電極６４ｂとは矢印Ａ方向から見て多数のマトリクス状に並ぶ点で交差しており、これらの交差点が表示のためのドット領域を構成している。Ｒ，Ｇ，Ｂの３色や、Ｃ，Ｍ，Ｙの３色のフィルタ要素から成るカラーフィルタ６８を用いてカラー表示を行う場合には、上記のドット領域の１つずつにそれら３色のうちの１つずつが対応して配置され、３色の集まりが１つのユニットになって１画素を構成する。そして、その画素の多数が矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことにより、有効表示領域Ｖが形成され、この有効表示領域Ｖの領域内に文字、数字、図形等といった像が表示される。
【００９２】
表示の最小単位である表示用ドット領域に対応して、反射膜６２に開口７１が形成されている。これらの開口７１は、照明装置５６から供給される面状の光を透過させて、透過型の表示を実現する。なお、透過型の表示を行うにあたっては、反射膜６２に開口７１を設けることだけに限られず、例えば、反射膜６２の膜厚を薄くすることによっても透過型の表示を実現できる。
【００９３】
第１基材６１ａは第２基材６１ｂを越えて外側へ張り出す張出し部７０を有している。第１基板５７ａ側の第１電極６４ａはシール材５８を横切ってその張出し部７０上に延び出て配線６５となっている。また、張出し部７０の辺縁には外部接続端子４９が形成されている。配線基板５４は、その外部接続端子４９に導電接続されている。第２基板５７ｂ側の第２電極６４ｂは、シール材５８の内部に分散された導通材５９を介して第１基板５７ａ側の配線６５に接続されている。なお、導通材５９は、図１１ではシール材５８の幅寸法とほとんど同じ寸法で描いてあるが、実際は、導通材５９はシール材５８の幅よりも小さくなっており、そのため、シール材５８の幅方向には複数の導通材５９が存在するのが普通である。
【００９４】
張出し部７０の表面において、配線６５と外部接続端子４９との間には駆動用ＩＣ５３がＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）４８によって接着されている。そして、このＡＣＦ４８により、駆動用ＩＣ５３のバンプが配線６５及び外部接続端子４９に導電接続している。この実装構造により、配線基板５４から駆動用ＩＣ５３へ信号及び電圧が供給される。一方、駆動用ＩＣ５３からの走査信号及びデータ信号が第１電極６４ａや第２電極６４ｂへ伝送される。
【００９５】
図１１において、照明装置５６は、観察側から見て液晶パネル５２の背面に緩衝材７８を挟んで配設され、バックライトとして機能する。この照明装置５６は、基板７７に支持された光源としてのＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）７６と、導光体７２とを有する。導光体７２の観察側の表面には拡散シート７３が設けられ、その反対側の面には反射シート７４が設けられる。ＬＥＤ７６を点状光源とする光は、導光体７２の受光面７２ａから導光体７２の内部に取り込まれ、その内部を伝播する間に光出射面７２ｂから面状光となって出射する。
【００９６】
上記構成より成る液晶装置５１において反射型の表示が行われる場合には、太陽光、室内光等といった外部光が第２基板５７ｂを通して液晶層５５の内部に取り込まれ、反射膜６２で反射した後、再び液晶層５５へ供給される。一方、透過型の表示が行われる場合には、照明装置５６のＬＥＤ７６が発光し、導光体７２の光出射面７２ｂから面状の光が出射し、反射膜６２に設けた複数の開口７１を通過した光が液晶層５５へ供給される。
【００９７】
液晶層５５に光が供給されたとき、第１電極６４ａ及び第２電極６４ｂの一方に走査信号が与えられ、それらの他方にデータ信号が与えられると、当該データ信号が与えられた部分の表示用ドットに所定電圧が印加されて液晶が駆動され、当該表示用ドットに供給された光が変調される。このような変調が、有効表示領域Ｖ内の表示用ドットごと、換言すれば画素ごとに行われ、文字、数字、図形等といった希望する像がその有効表示領域Ｖ内に形成され、観察者によって矢印Ａ方向から観察される。
【００９８】
本実施形態の液晶装置５１では、カラーフィルタ６８及びオーバーコート層１１が、図１及び図４（ｌ）に示すように構成される。つまり、複数の各色のカラーフィルタ要素９の周りをオーバーコート層用バンク５で取り囲んだ上で、その内部領域内に液滴吐出技術を用いてオーバーコート層１１を形成する。このように、バンク５によってオーバーコート層１１の形成範囲を規制するので、オーバーコート層１１の外周縁の形状を希望通りに制御できる。
【００９９】
また、バンク５によってオーバーコート層１１の形成範囲を規制するので、オーバーコート層１１の基材２、すなわち図１１の第２基材６１ｂ、上での広がりを確実に抑えることができる。さらに、オーバーコート層１１の表面を正確に平坦にすることができる。オーバーコート層１１の表面を正確に平坦にすることができるので、その上に電極６４ｂを形成したとき、その電極６４ｂの断線を防止でき、さらに電極６４ｂ及びそれにつながるな配線の電気抵抗値が徒に高くなることを防止できる。
【０１００】
本実施形態の液晶装置５１の製造方法を考えると、それに含まれるカラーフィルタ６８及びオーバーコート層１１が図６〜図１０に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図２〜図５に示した製造方法によって製造されることに特徴がある。図６に示した製造装置２０１を用いて行われるカラーフィルタ基板の製造工程においては、オーバーコート層１１を形成する際に図４（ｌ）に示すように、複数の各色のカラーフィルタ要素９の周りにオーバーコート層用バンク５を形成した上で、液滴吐出技術によってオーバーコート層の材料を吐出するようにしたので、バンク５によってオーバーコート層１１の外周縁の形状を希望通りに制御できる。また、オーバーコート層１１の基材２上での広がりを確実に抑えることができる。さらに、オーバーコート層１１の表面を正確に平坦にすることができる。
【０１０１】
（変形例）
図１１の実施形態では、半透過反射型で単純マトリクス方式の液晶装置に本発明を適用した。しかしながら、本発明は、これ以外に、反射型表示機能を持たない半透過型の単純マトリクス方式の液晶装置や、透過型表示機能を持たない反射型の単純マトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）等といった２端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等といった３端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置等といった各種の液晶装置に適用できる。
【０１０２】
（電子機器及びその製造方法の実施形態）
以下、電子機器及びその製造方法の実施形態を一例を挙げて説明する。図１２は電子機器の一例を示している。ここに示す電子機器は、表示情報出力源１４１、表示情報処理回路１４２、電源回路１４３、タイミングジェネレータ１４４及び液晶装置１４５によって構成される。液晶装置１４５は液晶パネル１４７及び駆動回路１４６を有する。
【０１０３】
表示情報出力源１４１は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等といったメモリや、各種ディスク等といったストレージユニットや、ディジタル画像信号を同調出力する同調回路等を備え、タイミングジェネレータ１４４により生成される各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等といった表示情報を表示情報処理回路１４２に供給する。
【０１０４】
次に、表示情報処理回路１４２は、増幅・反転回路や、ローテーション回路や、ガンマ補正回路や、クランプ回路等といった周知の回路を多数備え、入力した表示情報の処理を実行して、画像信号をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１４６へ供給する。ここで、駆動回路１４６は、走査線駆動回路（図示せず）やデータ線駆動回路（図示せず）と共に、検査回路等を総称したものである。また、電源回路１４３は、上記の各構成要素に所定の電源電圧を供給する。
【０１０５】
本実施形態の電子機器において、液晶装置１４５は、図６〜図１０に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図２〜図５に示した製造方法によって製造されたカラーフィルタ基板を有するところの、図１１に示す液晶装置５１によって構成できる。
【０１０６】
図１３は、本発明に係る電子機器のさらに他の例であるデジタルカメラであって、液晶装置をファインダとして用いるものを示している。このデジタルカメラ１５０におけるケース１５１の背面には液晶表示ユニット１５２が設けられる。この液晶表示ユニット１５２は、被写体を表示するファインダとして機能する。この液晶表示ユニット１５２は、図６〜図１０に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図２〜図５に示した製造方法によって製造されたところの、図１１に示す液晶装置５１によって構成できる。
【０１０７】
ケース１５１の前面側（図においては裏面側）には、光学レンズやＣＣＤ等を含んだ受光ユニット１５３が設けられている。撮影者が液晶表示ユニット１５２に表示された被写体像を確認して、シャッタボタン１５４を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１５５のメモリに転送されてそこに格納される。回路基板１５５上には制御回路が形成される。
【０１０８】
ケース１５１の側面には、ビデオ信号出力端子１５６と、データ通信用の入出力端子１５７とが設けられている。ビデオ信号出力端子１５６にはテレビモニタ１５８が必要に応じて接続され、また、データ通信用の入出力端子１５７にはパーソナルコンピュータ１５９が必要に応じて接続される。回路基板１５５のメモリに格納された撮像信号は、所定の操作によって、テレビモニタ１５８や、パーソナルコンピュータ１５９に出力される。
【０１０９】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るカラーフィルタ基板の一実施形態の平面図である。
【図２】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一実施形態の主要工程を示す工程図である。
【図３】図２に続く工程図である。
【図４】図３に続く工程図であり、特に（ｌ）は目標とするカラーフィルタ基板の一実施形態を示している。
【図５】複数のフィルタ要素の配列例を示す図であり、（ａ）はストライプ配列、（ｂ）はモザイク配列、（ｃ）はデルタ配列を示している。
【図６】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法を実施する装置の一例を示す斜視図である。
【図７】図６に示す製造装置の制御系を示す回路ブロック図である。
【図８】図６に示す製造装置の材料吐出部を示す斜視図である。
【図９】図８に示す材料吐出部の主要部の内部構造を一部破断して示す斜視図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ線に従った断面図である。
【図１１】本発明に係る電気光学装置の一実施形態である液晶装置の断面構造を示す断面図である。
【図１２】本発明に係る電子機器の一実施形態を示す回路ブロック図である。
【図１３】本発明に係る電子機器の他の実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１：カラーフィルタ基板、  ２：基材、  ３：遮光層、  ３ａ：金属膜、  ４：色インク用バンク（第１区分け要素）、  ４ａ：感光性樹脂、  ５：オーバーコート用バンク（第２区分け要素）、  ６，６ｇ，６ｒ，６ｂ：表示用ドット領域、  ７ａ：レジスト、  ８：液滴、  ９，９ｇ，９ｒ，９ｂ：フィルタ要素、１１：オーバーコート層、  ２０：ケーシング、  ２２：インクジェットヘッド、２７：ノズル（液滴吐出部）、  ３９：加圧体、  ４１：圧電素子、  ４２ａ，４２ｂ：電極、  ５１：液晶装置（電気光学装置）、  ５２：液晶パネル、  ５５：液晶層、  ５７ａ，５７ｂ：基板、  ６１ａ．６１ｂ：基材、  ６８：カラーフィルタ、  １５０：デジタルカメラ（電子機器）、２０１：カラーフィルタ基板の製造装置、  ２０２：フィルタ形成部、２０３：材料供給部、  ２１３：記録ヘッド、  Ｍ０：液状材料、  Ｓ０：波形、  Ｓ１：ビットマップデータ、  Ｓ２：吐出タイミング信号、  Ｓ３：位置情報、  Ｖ：有効表示領域、
【図１】
2004361494.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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