(57)【要約】【課題】正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を提供する。【解決手段】各絵素容量４に検査用映像信号を書き込み、その書き込みから一定時間経過した後、アナログスイッチ１７を一つだけオフにし残りをオンにすることで、映像信号線８Ｒ、８Ｇ、及び８Ｂのうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を定電圧源１２の正極電位にする。そして、その状態で、選択された映像信号線と接続されるデータ信号線に絵素ＴＦＴ３を介して接続されている各絵素容量４に保持されている映像信号を順に読み出し、読み出した映像信号に基づいて不良の有無を判定する。【選択図】　　　図２
2004102013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板の検査方法であって、
前記サンプリング回路が順次映像信号のサンプリングを行うことによって、映像信号線と接続されるデータ信号線に前記スイッチング素子を介して接続されている各絵素容量に所定の映像信号を書き込み、
その書き込みから一定時間経過した後、前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にした状態で、選択された映像信号線と接続されるデータ信号線に前記スイッチング素子を介して接続されている各絵素容量に保持されている映像信号を順に読み出し、
読み出した映像信号に基づいて不良の有無を判定することを特徴とするアクティブマトリクス基板の検査方法。
【請求項２】
各走査信号線における映像信号の読み出しを行う前の水平ブランキング期間に前記複数のデータ信号線の電位を所定の電位にリセットする請求項１に記載のアクティブマトリクス基板の検査方法。
【請求項３】
複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板において、
前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にする検査回路を有することを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項４】
複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板を検査する検査装置において、
前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にする検査回路を有することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置、ＥＬ表示装置、プラズマ表示装置などの表示装置の構成部品であるアクティブマトリクス基板の検査方法に関する。特に、複数のデータ信号線から複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶表示装置を製造する場合、液晶を介してアクティブマトリクス基板と対向基板とを対向させて組み合わせる組立工程後にアクティブマトリクス基板の検査を行うと、不良と判断された場合に不良箇所の修正が不可能となり、しかも上記組立工程が無駄になってしまう。このため、アクティブマトリクス基板の検査は上記組立工程前に実施されている。上記組立工程前に実施される従来のアクティブマトリクス基板の検査方法として、特許文献１で開示されているアクティブマトリクス基板の検査方法が挙げられる。
【０００３】
アクティブマトリクス基板には種々の構成のものがあり、その一つに複数のデータ信号線から複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板がある。そして、かかるアクティブマトリクス基板には、赤、緑、青色用の３本の映像信号線を有する構成のものと表示装置の動作周波数低減のために複数の映像信号線を有する構成のものがある。
【０００４】
ここでは、サンプリング回路及び赤、緑、青色用の３本の映像信号線を有するアクティブマトリクス基板の構成について図３を参照して説明する。
【０００５】
図３のアクティブマトリクス基板は、基板面に縦横に多数形成されたゲートバスライン（走査信号線）１とソースバスライン（データ信号線）２を有する。そして、ゲートバスライン１とソースバスライン２とが交差する各箇所に絵素のスイッチ用の薄膜トランジスタ（以下、絵素ＴＦＴという）３と絵素容量４とが形成される。
【０００６】
この絵素ＴＦＴ３のソースはソースバスライン２と接続され、ドレインは絵素容量４の一端と接続され、ゲートはゲートバスライン１と接続される。そして、絵素容量４の他端は共通接続される。なお、絵素容量４の他端は、液晶表示装置を形成したときに、液晶を介してアクティブマトリクス基板と対向する対向基板上に設けられる共通電極に接続される。
【０００７】
ゲートドライバ回路５は各ゲートバスライン１を介して絵素ＴＦＴ３のＯＮ／ＯＦＦを制御する。（３×ｎ−２）番目のソースバスライン２はアナログスイッチ７を介して赤色用の映像信号線８Ｒに接続され、（３×ｎ−１）番目のソースバスライン２はアナログスイッチ７を介して緑色用の映像信号線８Ｇに接続され、（３×ｎ）番目のソースバスライン２はアナログスイッチ７を介して青色用の映像信号線８Ｂに接続される。ただし、ｎは自然数である。
【０００８】
ソースドライバ回路６はアナログスイッチ７をＯＮ／ＯＦＦ制御する。上記ｎが同一であるソースバスライン２に接続される３つのアナログスイッチが共通の制御信号で制御される。すなわち、１〜３番目のソースバスライン２に接続される３つのアナログスイッチが共通の制御信号で制御され、４〜６番目のソースバスライン２に接続される３つのアナログスイッチが共通の制御信号で制御され、７番目以降のソースバスライン２に接続されるアナログスイッチも同様に３つずつ共通の制御信号で制御される。
【０００９】
プリチャージ回路９は、コントラスト比の向上、データバスライン２の電位レベルの安定、表示画面上のラインむらの低減等を目的として、映像信号線８から供給される映像信号に先行するタイミングで、データバスライン２に対してプリチャージ信号を供給することにより、映像信号を絵素容量４に書き込む際の負荷を軽減する回路である。
【００１０】
続いて、図３のアクティブマトリクス基板が表示装置に組み込まれ、その表示装置が映像を表示するときにおける図３のアクティブマトリクス基板の動作を説明する。ゲートドライバ回路５は、各ゲートバスライン１に順にＯＮ信号を出力し、このＯＮ信号が出力されたゲートバスライン１上の全ての絵素ＴＦＴ３をＯＮにする。一つのゲートバスライン１にＯＮ信号が出力されている期間（１水平走査期間）に、ソースドライバ回路６が３つで一組のアナログスイッチ７に順にＯＮ信号を出力する。それぞれ異なる映像信号線に接続されている３つで一組のアナログスイッチ７がソースドライバ回路６から出力される１つのＯＮ信号により、３つ同時にＯＮになる。アナログスイッチ７がＯＮになると、そのＯＮになったアナログスイッチ７を介して映像信号線８Ｒ、８Ｇ、又は８Ｂはソースバスライン２と接続され、絵素ＴＦＴ３を介して絵素容量４に映像信号レベルに応じた電荷が書込まれる。このようにして書込まれた電荷は、他のゲートバスライン１にＯＮ信号が供給されているときは、絵素ＴＦＴ３がＯＦＦになるので、映像信号に相当する電荷が絵素容量４に保持される。そして、ゲートドライバ回路５が全てのゲートバスライン１にＯＮ信号を供給した後は、最初のゲートバスライン１に戻り、同じ動作を繰り返す。
【００１１】
【特許文献１】
特開平５−５８６６号公報　（第４−６頁、第２図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
図３のアクティブマトリクス基板を特許文献１で開示されたアクティブマトリクス基板の検査方法によって検査した場合、検査のために絵素容量４に書込まれた電荷を読み出すときも、上述した表示装置に映像を表示するときと同様に、ソースドライバ回路６からの１つのＯＮ信号によってそれぞれ異なる映像信号線に接続されている３つで一組のアナログスイッチ７が３つ同時にＯＮになるので、同時に複数の絵素容量４から電荷が読み出されていた。
【００１３】
しかしながら、このような検査方法によって図３のアクティブマトリクス基板を検査すると、ある絵素に欠陥があり、その検出信号のレベルが大きいような場合（例えば絵素容量４の電極どうしが導通しているような場合）に、この欠陥絵素からの検出信号が正常な絵素からの検出信号と比べて大きな電流が流れるため、この欠陥絵素と同時に絵素ＴＦＴがＯＮする二つの絵素が正常な絵素であっても、電磁誘導あるいは線間容量によるカップリングなどにより、悪影響を受けてしまい、不良と判定されてしまうという問題があった。
【００１４】
本発明は、上記の問題点に鑑み、複数のデータ信号線から複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板の検査方法において、正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るアクティブマトリクス基板の検査方法は、複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板の検査方法であって、前記サンプリング回路が順次映像信号のサンプリングを行うことによって、映像信号線と接続されるデータ信号線に前記スイッチング素子を介して接続されている各絵素容量に所定の映像信号を書き込み、その書き込みから一定時間経過した後、前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にした状態で、選択された映像信号線と接続されるデータ信号線に前記スイッチング素子を介して接続されている各絵素容量に保持されている映像信号を順に読み出し、読み出した映像信号に基づいて不良の有無を判定する。
【００１６】
このような検査方法では、所定の映像信号を書き込んだ後絵素容量に保持されている映像信号を読み出すときにおいて、選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にしているので、選択された映像信号線以外の映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥があっても、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることはない。したがって、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることによって生じる電磁誘導あるいは線間容量によるカップリングなどにより、選択された映像信号線に送出される映像信号が悪影響を受けてしまい、映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥がなくても不良と判定されてしまうという不具合が起こらなくなる。これにより、正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を実現することができる。
【００１７】
また、上記検査方法において、各走査信号線における映像信号の読み出しを行う前の水平ブランキング期間に前記複数のデータ信号線の電位を所定の電位にリセットするようにしてもよい。
【００１８】
これにより、１つ前の１水平走査期間に読み出した絵素の影響を取り除いたのちに次の１水平走査期間での読み出しを行うことができるので、欠陥絵素のためにデータ信号線等の配線容量が充電されて欠陥絵素を有するデータ信号線の電位が読み出し電位より高くなってしまい、その結果欠陥絵素と同じバスライン上にあって欠陥絵素より後に読み出される絵素の検査が正確に行えないという不具合が生じなくなる。そして、かかる不具合が生じないため軽微な欠陥をも判定できるようになり、アクティブマトリクス基板の品質を精度良く判定することができる。
【００１９】
また、上記検査方法を実施する際に用いるアクティブマトリクス基板を、複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路と、前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にする検査回路を有する構成にしてもよい。
【００２０】
このようなアクティブマトリクス基板を用いることで上記検査方法を実現することができる。
【００２１】
また、上記検査方法を実施する際に用いる検査装置を、複数の走査信号線及び複数のデータ信号線と、走査信号線とデータ信号線との各交差部にそれぞれスイッチング素子を介して接続される複数の絵素容量と、映像信号を伝送する複数の映像信号線と、前記複数のデータ信号線から前記複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と前記複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板を検査する検査装置であって、前記複数の映像信号線のうち１本のみを選択し、その選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にする検査回路を有する構成としてもよい。
【００２２】
このような検査装置を用いることで上記検査方法を実現することができる
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係る検査方法を実施する際に用いられるアクティブマトリクス基板及び検査装置の概略構成を図１に示す。なお、図１において図３と同一の部分には同一の符号を付し説明を省略する。
【００２４】
本発明に係る検査方法はアクティブマトリクス基板１００及び検査装置２００を用いて実施される。アクティブマトリクス基板１００は図３のアクティブマトリクス基板と同一の構造である。検査装置２００は、映像信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂと、リレースイッチ１１と、定電圧源１２と、マルチプレクサ１３と、アンプ１４と、Ａ／Ｄコンバータ１５と、コンピュータ１６とによって構成される。信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂはそれぞれ異なるリレースイッチ１１を介して定電圧源１２の正極に接続される。定電圧源１２の負極は接地される。また、信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂはそれぞれマルチプレクサ１３の入力側及びコンピュータ１６に接続される。マルチプレクサ１３の出力側がアンプ１４を介してＡ／Ｄコンバータ１５の入力側に接続され、Ａ／Ｄコンバータ１５の出力側がコンピュータ１６に接続される。
【００２５】
マルチプレクサ１３は、複数のリレー（図示せず）を組み合わせて構成されており、複数の入力信号から１つの信号を選択して出力したり、入力信号を全て出力しなかったりする機能を有する。また、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３の動作及びリレースイッチ１１を駆動させるリレーコイル（図示せず）に流れる電流を制御する。
【００２６】
映像信号線８Ｒと１０Ｒ、映像信号線８Ｇと１０Ｇ、映像信号線８Ｂと１０Ｂがそれぞれ接続され、絵素容量４とコンピュータ１６とが接続され、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６とコンピュータ１６とが接続されることによって、アクティブマトリクス基板１００と検査装置２００とが接続される。なお、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６とコンピュータ１６との接続線は図示を省略している。
【００２７】
続いて、検査を実施する際の動作について説明する。コンピュータ１６は全てのリレースイッチ１１をオフにする。また、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３を入力信号のいずれも選択しない非選択状態に設定する。この状態で、コンピュータ１６は、映像信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂに検査用映像信号を出力する。そして、コンピュータ１６は、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６に通常の一画面分の走査動作をさせて、絵素容量４に検査用映像信号を書き込む。
【００２８】
検査用映像信号が書き込まれてから一定時間経過した後に、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３が映像信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂの中から一つの映像信号線（例えば映像信号線１０Ｒ）を選択するように設定する。また、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３が選択している映像信号線（例えば映像信号線１０Ｒ）に接続されているリレースイッチ１１をオフにして、他のリレースイッチ１１をオンにする。このとき、選択されなかった他の映像信号線（例えば映像信号線１０Ｇ及び１０Ｂ）は定電圧源１２の出力電圧によって定まる所定の直流電位となる。そして、コンピュータ１６は、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６に通常の一画面分の走査動作をさせる。これにより、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６が走査を行う毎に、選択された映像信号線（例えば映像信号線１０Ｒ）に映像信号線（例えば映像信号線８Ｒ）及びアナログスイッチ７を介して接続されているソースバスライン２上の各絵素容量４に保持されていた検査用映像信号が出力され、マルチプレクサ１３を経由し、アンプ１４で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１５でディジタル信号に変換されたのち、コンピュータ１６に取り込まれる。コンピュータ１６は、このようにして読み込んだ検査用映像信号を内部メモリ（図示せず）に記憶する。
【００２９】
不良判定の方法としては、例えば、選択する映像信号線を順に変更して上記書き込み動作及び読み込み動作を繰り返して、すべての映像信号線が選択されると、コンピュータ１６は読み込んだ検査用映像信号と予め内部メモリに記憶している所定の信号パターンとを比較して、アクティブマトリクス基板１００の不良判定を行う方法が挙げられる。
【００３０】
このような検査方法では、所定の映像信号を書き込んだ後絵素容量に保持されている映像信号を読み出すときにおいて、選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にしているので、選択された映像信号線以外の映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥があっても、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることはない。したがって、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることによって生じる電磁誘導あるいは線間容量によるカップリングなどにより、選択された映像信号線に送出される映像信号が悪影響を受けてしまい、映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥がなくても不良と判定されてしまうという不具合が起こらなくなる。これにより、正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を実現することができる。また、かかる検査方法によって欠陥絵素の位置を正確に特定することができるので、欠陥の状況の正確な管理が行え、その管理結果を解析に迅速かつ正確にフィードバックすることができる。
【００３１】
なお、上記検査方法では読み込み動作時にゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６が通常の一画面分の走査動作、すなわちアクティブマトリクス基板１００が表示装置に組み込まれて当該表示装置が画像を表示する際の一画面分の走査動作と同様の動作を行っているが、検査の読み込み動作において、ＯＮ信号を供給するゲートバスラインを走査する際に設けられる水平ブランキング期間を上記通常の一画面分の走査動作を行う場合より長く設定し、水平ブランキング期間にプリチャージ回路９が各ソースバスライン２の電位を所定の電位にリセットするように、コンピュータ１６がプリチャージ回路９を制御するようにしてもよい。
【００３２】
これにより、１つ前の１水平走査期間に読み出した絵素の影響を取り除いたのちに次の１水平走査期間での読み出しを行うことができるので、欠陥絵素のためにソースバスライン等の配線容量が充電されて欠陥絵素を有するソースバスラインの電位が読み出し電位より高くなってしまい、その結果欠陥絵素と同じバスライン上にあって欠陥絵素より後に読み出される絵素の検査が正確に行えないという不具合が生じなくなる。そして、かかる不具合が生じないため軽微な欠陥をも判定できるようになり、アクティブマトリクス基板の品質を精度良く判定することができる。
【００３３】
次に、本発明に係る検査方法を実施する際に用いられるアクティブマトリクス基板及び検査装置の他の概略構成を図２に示す。なお、図２において図１と同一の部分には同一の符号を付し適宜説明を省略する。
【００３４】
本発明に係る検査方法はアクティブマトリクス基板１０１及び検査装置２０１を用いて実施される。アクティブマトリクス基板１０１は、アクティブマトリクス基板１００（図１参照）にアナログスイッチ１７、デコーダ１８、及びカウンタ１９を新たに設けた構成である。映像信号線８Ｒ、８Ｇ、及び８Ｂは、検査装置２０１の定電圧源１２に接続される外部端子にそれぞれ異なるアナログスイッチ１７を介して接続される。各絵素容量４の他端は検査装置２０１のコンピュータ１６に接続される外部端子に接続される。そして、カウンタ１９の出力側がデコーダ１９の入力側に接続され、デコーダ１８の出力信号が各アナログスイッチ１７をオン／オフ制御する。また、検査装置２０１は、検査装置２００（図１参照）からリレースイッチ１１を除いた構成である。
【００３５】
映像信号線８Ｒと１０Ｒ、映像信号線８Ｇと１０Ｇ、映像信号線８Ｂと１０Ｂがそれぞれ接続され、アナログスイッチ１７と定電圧源１２の正極とが接続され、絵素容量４とコンピュータ１６とが接続され、カウンタ１９とコンピュータ１６とが接続され、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６とコンピュータ１６とが接続されることによって、アクティブマトリクス基板１０１と検査装置２０１とが接続される。なお、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６とコンピュータ１６との接続線は図示を省略している。
【００３６】
続いて、検査を実施する際の動作について説明する。カウンタ１９はコンピュータ１６から出力される制御信号に応じた出力信号をデコーダ１８に出力する。デコーダ１８はカウンタ１９の出力信号をデコードし、デコードした信号を各アナログスイッチ１７に出力することで各アナログスイッチ１７をオン／オフ制御する。コンピュータ１６は、全てのアナログスイッチ１７がオフになるような制御信号をカウンタ１９に出力する。また、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３を入力信号のいずれも選択しない非選択状態に設定する。この状態で、コンピュータ１６は、映像信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂに検査用映像信号を出力する。そして、コンピュータ１６は、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６に通常の一画面分の走査動作をさせて、絵素容量４に検査用映像信号を書き込む。
【００３７】
検査用映像信号が書き込まれてから一定時間経過した後に、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３が映像信号線１０Ｒ、１０Ｇ、及び１０Ｂの中から一つの映像信号線（例えば映像信号線１０Ｒ）を選択するように設定する。また、コンピュータ１６は、マルチプレクサ１３が選択している映像信号線（例えば映像信号線１０Ｒ）に接続されている映像信号線（例えば映像信号線８Ｒ）に接続されているアナログスイッチ１７がオフになり、他のアナログスイッチ１７がオンになるような制御信号をカウンタ１９に出力する。このとき、選択されなかった他の映像信号線（例えば映像信号線８Ｇ及び８Ｂ）は定電圧源１２の出力電圧によって定まる所定の直流電位となる。そして、コンピュータ１６は、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６に通常の一画面分の走査動作をさせる。これにより、ゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６が走査を行う毎に、選択された映像信号線（例えば映像信号線８Ｒ）にアナログスイッチ７を介して接続されているソースバスライン２上の各絵素容量４に保持されていた検査用映像信号が出力され、マルチプレクサ１３を経由し、アンプ１４で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１５でディジタル信号に変換されたのち、コンピュータ１６に取り込まれる。コンピュータ１６は、このようにして読み込んだ検査用映像信号を内部メモリ（図示せず）に記憶する。
【００３８】
不良判定の方法としては、例えば、選択する映像信号線を順に変更して上記書き込み動作及び読み込み動作を繰り返して、すべての映像信号線が選択されると、コンピュータ１６は読み込んだ検査用映像信号と予め内部メモリに記憶している所定の信号パターンとを比較して、アクティブマトリクス基板１０１の不良判定を行う方法が挙げられる。
【００３９】
このような検査方法では、所定の映像信号を書き込んだ後絵素容量に保持されている映像信号を読み出すときにおいて、選択された映像信号線以外の映像信号線を一定の電位にしているので、選択された映像信号線以外の映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥があっても、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることはない。したがって、選択された映像信号線以外の映像信号線に大きな電流が流れることによって生じる電磁誘導あるいは線間容量によるカップリングなどにより、選択された映像信号線に送出される映像信号が悪影響を受けてしまい、映像信号線に映像信号を送出する絵素に欠陥がなくても不良と判定されてしまうという不具合が起こらなくなる。これにより、正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を実現することができる。また、かかる検査方法によって欠陥絵素の位置を正確に特定することができるので、欠陥の状況の正確な管理が行え、その管理結果を解析に迅速かつ正確にフィードバックすることができる。
【００４０】
なお、上記検査方法では読み込み動作時にゲートドライバ回路５及びソースドライバ回路６が通常の一画面分の走査動作、すなわちアクティブマトリクス基板１０１が表示装置に組み込まれて当該表示装置が画像を表示する際の一画面分の走査動作と同様の動作を行っているが、検査の読み込み動作において、ＯＮ信号を供給するゲートバスラインを変更する際に設けられる水平ブランキング期間を上記通常の一画面分の走査動作を行う場合より長く設定し、水平ブランキング期間にプリチャージ回路９が各ソースバスライン２の電位を所定の電位にリセットするように、コンピュータ１６がプリチャージ回路９を制御するようにしてもよい。
【００４１】
これにより、１つ前の１水平走査期間に読み出した絵素の影響を取り除いたのちに次の１水平走査期間での読み出しを行うことができるので、欠陥絵素のためにソースバスライン等の配線容量が充電されて欠陥絵素を有するソースバスラインの電位が読み出し電位より高くなってしまい、その結果欠陥絵素と同じバスライン上にあって欠陥絵素より後に読み出される絵素の検査が正確に行えないという不具合が生じなくなる。そして、かかる不具合が生じないため軽微な欠陥をも判定できるようになり、アクティブマトリクス基板の品質を精度良く判定することができる。
【００４２】
また、上述した実施形態ではアクティブマトリクス基板に設けられるスイッチング素子として薄膜トランジスタを用いたが、ＭＩＭ（ｍｅｔａｌ−ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−ｍｅｔａｌ）素子、ＭＯＳ（ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ−ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）トランジスタ素子、ダイオード、バリスタその他のスイッチング素子を用いても構わない。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によると、複数のデータ信号線から複数の映像信号線と同数のデータ信号線を順次選択し、その選択したデータ信号線と複数の映像信号線とを一対一対応させ、対応する対同士を同時に接続して映像信号のサンプリングを行うサンプリング回路を有するアクティブマトリクス基板の検査方法において、正常な絵素が不良と判定されないアクティブマトリクス基板の検査方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査方法を実施する際に用いられるアクティブマトリクス基板及び検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明に係る検査方法を実施する際に用いられるアクティブマトリクス基板及び検査装置の他の概略構成を示す図である。
【図３】従来のアクティブマトリクス基板の一構成例を示す図である。
【符号の説明】
１　　ゲートバスライン
２　　ソースバスライン
３　　絵素ＴＦＴ
４　　絵素容量
５　　ゲートドライバ回路
６　　ソースドライバ回路
７、１７　　アナログスイッチ
８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ　　映像信号線
９　　プリチャージ回路
１０　　映像信号線
１１　　リレースイッチ
１２　　定電圧源
１３　　マルチプレクサ
１４　　アンプ
１５　　Ａ／Ｄコンバータ
１６　　コンピュータ
１８　　デコーダ
１９　　カウンタ
【図１】
2004102013.tif 000003
【図２】
2004102013.tif 000004
【図３】
2004102013.tif 000005