(57)【要約】【課題】  形状精度が高く、良好な仕上げ面が得られ、長時間加工することができるＰＶＤ被覆切削工具を提供する。【解決手段】  本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、超硬質合金またはサーメットを母材とし、母材をコーティング層でＰＶＤ法により被覆した切削工具であり、母材は、表面粗さＲａが０．３μｍ以下であり、母材の硬質粒子の平均粒径が０．３〜１．５μｍであり、切れ刃がポジ形状のシャープエッジである。また、コーティング層は、内層と外層とを有し、内層と外層の厚さの合計が２．０μｍ以下であり、内層は、４ａ族、５ａ族、６ａ族、ＡｌおよびＳｉからなる群より選ばれる少なくとも１種と、炭素、窒素および酸素からなる群より選ばれる少なくとも１種とからなり、外層は、硼素、珪素、炭素および窒素からなる群より選ばれる少なくとも１種と、Ｔｉとからなることを特徴とする。【選択図】        図１
2004345078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超硬質合金またはサーメットを母材とし、該母材をコーティング層でＰＶＤ法により被覆した切削工具であって、
前記母材は、表面粗さＲａが０．３μｍ以下であり、前記母材の硬質粒子の平均粒径が０．３〜１．５μｍであり、切れ刃がポジ形状のシャープエッジであり、
前記コーティング層は、内層と外層とを有し、内層と外層の厚さの合計が２．０μｍ以下であり、
前記内層は、４ａ族、５ａ族、６ａ族、ＡｌおよびＳｉからなる群より選ばれる少なくとも１種と、炭素、窒素および酸素からなる群より選ばれる少なくとも１種とからなり、
前記外層は、硼素、珪素、炭素および窒素からなる群より選ばれる少なくとも１種と、Ｔｉとからなる
ことを特徴とするＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項２】
前記ＰＶＤ被覆切削工具は、精密加工用に用いられることを特徴とする請求項１に記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項３】
前記コーティング層は、内層が外層より高硬度であることを特徴とする請求項１または２に記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項４】
前記コーティング層は、内層が外層より厚く、内層と外層の厚さの合計が０．５μｍ〜１．５μｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項５】
前記コーティング層は、外層がＴｉＮからなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項６】
前記コーティング層は、母材との界面に厚さ０．５μｍ以下のＴｉＮまたはＣｒＮからなる最下層を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項７】
前記コーティング層は、−３．０ＧＰａ〜０ＧＰａの圧縮残留応力を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項８】
前記コーティング層の表面に存在する直径５μｍ以上のマクロパーティクルが、１０個／ｍｍ2以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項９】
前記母材を構成する超硬質合金は、Ｃｏを３質量％〜１２質量％含み、ビッカース硬度が１４ＧＰａ〜２２ＧＰａであることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項１０】
前記母材を構成するサーメットは、Ｃｏを５質量％〜１２質量％含み、ビッカース硬度が１４ＧＰａ〜２２ＧＰａであることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項１１】
前記切削工具は、旋削加工用スローアウェイチップであることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項１２】
前記切削工具は、内径加工用スローアウェイチップであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【請求項１３】
前記切削工具は、ハードディスク関連部品加工用の工具であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のＰＶＤ被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切れ味に優れ、良好な加工面を有し、形状精度が高い加工品を得ることができるＰＶＤ被覆切削工具に関する。特に、電子機器部品などのように、高い精度が要求される加工分野で使用されるＰＶＤ被覆切削工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子機器、時計およびカメラ部品などの旋削加工では、形状精度や加工面の表面粗さなどにおいて、高い精度が求められる。また、近年の電子機器などの小型化に伴い、それらの部品については、さらに高い形状精度や表面粗さが要求されるようになっている。従来より、このような高精度部品の加工用工具には、ＴｉＡＩＮまたはＴｉＣＮなどが被覆されたコーティングチップが広く使用されている。一般的なコーティングチップでは、厚さ３〜５μｍ程度のコーティング層が被覆されるが、高精度部品加工では加工送りおよび切込みが小さい場合が多く、コーティング層がチッピングしやすい。一旦、チッピングが発生すると、加工面粗さが低下したり、工具補正量が増加するため、使用できなくなる場合が多く、高精度加工用工具として使用することは難しい。
【０００３】
このような問題を解決するために、母材の表面粗さを小さくした上で、２μｍ以下のＴｉＣＮ系コーティング層で母材を被覆する方法が知られている（特許文献１参照）。かかる方法により、安定な構成刃先を発生させ、刃先を構成刃先で保護することで、加工寸法の安定化を図ることができるとしている。一方、高硬度なＴｉＡｌＮ系コーティングでシャープエッジ形状を被覆する場合、被膜の高い残留圧縮応力により、コーティング層が剥離しやすくなり、わずかな衝撃で剥離してしまう。かかる問題を解決するために、切れ刃に幅０．１〜２０μｍのホーニングＲまたはチャンファを設けることにより、ＴｉＡｌＮ系コーティング層を安定して成膜する方法が知られている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２７７００４号公報
【特許文献２】特開２００２−１６０１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、コーティング層のチッピングを防止するために、２μｍ以下のＴｉＣＮ系コーティング層を形成し、刃先を構成刃先で保護する方法では、構成刃先を利用するため、構成刃先の脱落時に工具が欠ける虞がある。また、ＴｉＡＩＮ系などと比較して硬度が低いＴｉＣＮ系コーティングのため、コーティング層が早期に摩耗して母材が露出し、必要以上に構成刃先が成長して寸法精度が低下するなどの問題がある。一方、ＴｉＡｌＮ系コーティング層の剥離を防止するために、切れ刃にホーニングＲまたはチャンファを設けると、切削抵抗が高くなり、被削材が溶着して加工面が白濁したり、表面粗さの低下および寸法バラツキが生じやすい。
【０００５】
本発明の課題は、形状精度が高く、良好な仕上げ面が得られ、長時間加工することができるＰＶＤ被覆切削工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、超硬質合金またはサーメットを母材とし、母材をコーティング層でＰＶＤ法により被覆した切削工具であり、母材は、表面粗さＲａが０．３μｍ以下であり、母材の硬質粒子の平均粒径が０．３〜１．５μｍであり、切れ刃がポジ形状のシャープエッジである。また、コーティング層は、内層と外層とを有し、内層と外層の厚さの合計が２．０μｍ以下であり、内層は、４ａ族、５ａ族、６ａ族、ＡｌおよびＳｉからなる群より選ばれる少なくとも１種と、炭素、窒素および酸素からなる群より選ばれる少なくとも１種とからなり、外層は、硼素、珪素、炭素および窒素からなる群より選ばれる少なくとも１種と、Ｔｉとからなることを特徴とする。このため、本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、精密加工用具として好適である。
【０００７】
コーティング層は、内層が外層より高硬度で、内層が外層より厚く、内層と外層の厚さの合計が０．５〜１．５μｍであり、外層がＴｉＮからなる態様が好ましい。また、コーティング層は、母材との界面に厚さ０．５μｍ以下のＴｉＮまたはＣｒＮからなる最下層を備えるものが好適である。また、コーティング層は、−３．０〜０ＧＰａの圧縮残留応力を有することが好ましい。さらに、コーティング層の表面に存在するマクロパーティクルが少なく、直径５μｍ以上のマクロパーティクルが１０個／ｍｍ2以下であることが好ましい。
【０００８】
母材が超硬質合金により構成されるときは、超硬質合金は、Ｃｏを３〜１２質量％含み、ビッカース硬度が１４〜２２ＧＰａであるものが望ましい。一方、母材がサーメットにより構成されるときは、サーメットは、Ｃｏを５〜１２質量％含み、ビッカース硬度が１４ＧＰａ〜２２ＧＰａであるものが望ましい。
【０００９】
本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、旋削加工用スローアウェイチップ、たとえば、内径加工用スローアウェイチップとして好適であり、ハードディスク関連部品加工用の工具として有用である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のＰＶＤ被覆切削工具によれば、寸法バラツキが小さく、高精度で、白濁のない良好な仕上げ面で長時間加工することができる。このため、精密加工用の工具として有用であり、特に、μｍ単位の高い精度が要求される電子機器、時計およびカメラ部品などの旋削加工に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、図１に示すように、超硬質合金またはサーメットを母材１とし、母材１上にＰＶＤ法により被覆したコーティング層２を備える。コーティング層２は、外層２ａと内層２ｂを有し、内層と外層の厚さの合計が２．０μｍ以下である。内層は、４ａ族、５ａ族、６ａ族、ＡｌおよびＳｉからなる群より選ばれる少なくとも１種と、炭素、窒素および酸素からなる群より選ばれる少なくとも１種とからなる。外層は、硼素、珪素、炭素および窒素からなる群より選ばれる少なくとも１種と、Ｔｉとからなる。一方、母材は、表面粗さＲａが０．３μｍ以下であり、母材の硬質粒子の平均粒径が０．３〜１．５μｍであり、切れ刃がポジ形状のシャープエッジである。
【００１２】
図４は、切れ刃の底面４３を水平に保持したときの刃先４０の断面図を示す。ポジ形状とは、図４に示すように、刃先４０のくさび角θが９０°より小さいことを表す。特に、すくい面４１のすくい角ａが０°以上であり、逃げ面４２の逃げ角ｂが５°以上であり、くさび角θが８０°以下である態様が好ましい。また、ここでいうシャープエッジとは、刃先の半径が０．０１ｍｍ以下の非常に鋭利な刃先形状を表すが、すくい面４１および逃げ面４２を研磨加工する際に発生する刃先先端の欠けまたはチッピングが発生した非鋭利な刃先もシャープエッジに含まれる。
【００１３】
かかる特徴を有することにより、本発明のＰＶＤ被覆切削工具は、耐チッピング性、耐摩耗性、加工面粗さおよび形状精度に優れる。したがって、精密加工用の切削工具として好ましく使用することができる。
【００１４】
コーティング層は、母材の切れ刃がポジ形状で、シャープエッジの場合でも、コーティング層が剥離することなく形成できる点で、内層と外層の厚さの合計は２．０μｍ以下とし、好ましくは１．５μｍ以下とする。一方、良好な加工面と優れた形状精度を得る点で、内層と外層の厚さの合計は、０．５μｍ以上とするのが好ましい。一方、コーティング層は、切削開始初期に外層が正常摩耗することで、コーティング層の異常チッピングを抑え、加工面粗さの低下および工具補正量の増加を抑制する点で、内層が外層より厚いものが好ましい。具体的には、内層が外層より、０．１〜０．８μｍ厚い態様が好ましい。
【００１５】
また、切削開始初期に外層が正常摩耗することにより同様の効果を奏する点で、内層が外層より高硬度であるコーティング層が好ましい。高硬度な内層が耐摩耗性を高めるため、工具寿命が大幅に向上するという効果も発揮する。具体的には、内層の硬度が、外層の硬度の１．０５〜２倍程度であることが好ましく、１．１〜１．５倍がより好ましい。このような外層の材質としては、たとえば、ＴｉＮが好適である。
【００１６】
コーティング層は、ＰＶＤ法により形成する。ＰＶＤ法によりコーティングすると、コーティング層に圧縮残留応力が加わるため、母材がシャープエッジ形状であっても、刃先の強度を低下させることなく、良好な切削性能が得られる。ＰＶＤ法としては、たとえばアークイオンプレーティング法などが好適である。コーティング層の圧縮残留応力は、コーティング層が自己破壊することなく、良好な密着性を有する点で、−３．０〜０ＧＰａに制御することが好ましく、−２．８〜−０．５ＧＰａがより好ましい。また、コーティング層の密着性を高める点で、図１に示すように、コーティング層２は母材１との界面に、厚さ０．５μｍ以下のＴｉＮもしくはＣｒＮからなる最下層２ｃを備える構成が好ましく、最下層２ｃの厚さは０．３μｍ以下がより好ましい。
【００１７】
アークイオンプレーティング法により形成したコーティング層の表面には、マクロパーティクルと呼ばれる硬質粒子が存在する。このコーティング層の表面に存在するマクロパーティクルの大きさが小さく、密度が小さいほど、切削抵抗が下がり、被削材の溶着を防ぐことができるため、工具寿命および被削材の加工面品位が向上する。マクロパーティクルの密度は、直径５μｍ以上のものが１０個／ｍｍ2以下が好ましい。直径５μｍ以上のマクロパーティクルの密度が１０個／ｍｍ2より大きいと、被削材がマクロパーティクルに溶着して切削抵抗を上げるために、工具寿命が短くなり、被削材の加工面品位を低下させるため、好ましくない。
【００１８】
マクロパーティクルの密度は、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）観察によって評価することができる。少なくとも１０００倍以上の倍率で試料表面の写真撮影を行ない、写真上でマクロパーティクルの数を数えることにより密度を求めることができる。
【００１９】
図５は、マクロパーティクル５１が生成する過程を、コーティング層の断面で模式的に示したものである。工具の刃先５２にコーティング層５３を被覆する過程で、ターゲットから溶着粒子５４が飛散し、コーティング層表面に付着する。コーティング層の表面をＳＥＭで観察すると、いろいろの外径の丸い溶着粒子が確認できる。しかし、このような溶着粒子は、本発明において望ましいものではない。溶着粒子５４は、コーティング層の成長過程で飛散してくるので、図５に示すように、溶着粒子５４は、コーティング層５３のいろいろな厚さの所に存在しているものと推定される。
【００２０】
本発明の切削工具は、超硬質合金またはサーメットを母材とする。超硬質合金またはサーメットの組成は、特に限定されるものではなく、超硬質合金としては、Ｋ種超硬質合金（ＷＣ−Ｃｏ系）またはＰ種超硬質合金（ＷＣ−β−Ｃｏ系）のいずれも使用することができる。また、サーメットとしては、たとえば、ＴｉＣ−Ｎｉ−Ｍｏ2Ｃ系サーメットを使用することができる。母材の表面粗さＲａは、被削材の溶着を少なくし、加工精度が高まる点で、０．３μｍ以下とし、０．２μｍ以下が好ましい。また、母材の硬質粒子は、粒子の脱落による加工面粗さの低下を防止するとともに、表面粗さＲａを０．３μｍ以下に制御しやすい点で、微粒子とする。具体的には、硬質粒子の平均粒径は０．３〜１．５μｍとし、０．５〜１．３μｍが好ましい。
【００２１】
本発明における硬質粒子の平均粒径は、つぎのようにして算出する。まず、基材切断面をラッピングし、ＳＥＭにて１００００倍の倍率で写真撮影を行なう。図６に、基材切断面のＳＥＭ写真を模式的に例示する。図６に示すように、写真上に任意の直線を描き、その直線によってヒットされる単位長さ当りの硬質粒子の数をＮＬとし、任意の単位面積内に含まれる硬質粒子の数をＮＳとすると、平均粒径ｄｍは、つぎのＦｕｌｌｍａｎの式を用いて求めることができる。
ｄｍ＝（４／π）・（ＮＬ／ＮＳ）
母材が超硬質合金からなるときは、超硬質合金は、脆化を防止する点で、Ｃｏを３質量％以上含有するものが好ましく、５質量％以上が含有するものがより好ましい。一方、硬度を高める点で、Ｃｏは１２質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましい。また、超硬質合金のビッカース硬度は、母材露出後の耐摩耗性を維持する点で、高硬度のものが好ましい。具体的には、１４〜２２ＧＰａが好ましく、１５〜２２ＧＰａがより好ましい。同様に、母材がサーメットからなるときは、サーメットは、脆化を防止する点で、Ｃｏを５質量％以上含有するものが好ましく、８質量％以上が含有するものがより好ましい。一方、硬度を高める点で、Ｃｏは１２質量％以下とするのが好ましく、１０質量％以下がより好ましい。また、サーメットのビッカース硬度は、母材露出後の耐摩耗性を維持する点で、高硬度のものが好ましい。具体的には、１４〜２２ＧＰａが好ましく、１５〜２２ＧＰａがより好ましい。
【００２２】
このような母材とコーティング層からなる本発明の切削工具を使用すると、加工面の表面粗さＲａが０．１５μｍ以下となり、白濁のない良好な加工面品位が得られ、被削材の寸法変化も小さくなる。したがって、たとえば、内径加工用スローアウェイチップなどの旋削加工用スローアウェイチップとして好ましく使用することができる。特に、高精度な加工が要求されるハードディスク関連部品の加工用切削工具として好適である。
【実施例】
【００２３】
実施例１〜１２
本発明の効果を実証するために、１２種類の試料（実施例１〜１２）を作成した。試料に用いた母材は、ＷＣの平均粒径が１．０μｍ、Ｃｏの含有量が１０質量％、ビッカース硬度が１５ＧＰａである超硬質合金とした。この母材を用いて、図２に示す形状の刃先交換チップを作成した。刃先交換チップは、頂角５５°の菱形形状をなし、逃げ面には７°の逃げ角を形成し、すくい面には２０°のすくい角を形成した。また、高精度な加工を行なうために、研磨された母材の切れ刃は、ポジ形状で切れ味のよいシャープエッジとし、すくい面と逃げ面の表面粗さＲａは、０．２μｍとした。つぎに、母材の上に、ＰＶＤ法として通常のアークイオンプレーティング法により、表１に示すコーティング層を形成した後、一般的に用いられるホルダに刃先交換チップを取り付け、外径旋削加工を行ない、切削評価を行なった。
【００２４】
【表１】
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切削評価は、直径１２ｍｍ、長さ１０ｍｍの丸材であり、ＳＵＳ４３０Ｆからなる被削材に対して、切削速度５０ｍ／分、切り込み量０．１ｍｍ、送り速度０．０５ｍｍ／回で、不水溶性油剤を用いた湿式条件で行ない、１０００個加工して、１０個、１００個、５００個および１０００個毎に、加工面品位および寸法バラツキを評価した。加工面品位は、加工した被削材を目視により判定し、特に良好な加工面である場合に◎、良好な加工面である場合に○、また、白濁した加工面である場合に×と評価した。加工面品位の評価結果を表２に示す。一方、寸法バラツキは、１０００個加工し、１０個、１００個、５００個および１０００個加工する毎に、終了直前の１０個の被削材について、外径を測定し、最大のものと最小のものとの直径の差を測定し、直径の差が５μｍ以下である場合に◎、５μｍを越えて２０μｍ未満である場合に○、２０μｍ以上である場合に×と評価した。寸法バラツキの結果を表３に示す。
【００２５】
【表２】
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【００２６】
【表３】
2004345078.tif 000005
表２の結果から明らかなとおり、実施例１〜１２のいずれの試料も、１０００個加工しても、良好な加工面が維持されていた。さらに、本発明品の中でも、コーティング層における内層と外層の厚さの合計が０．５〜１．５μｍであり、母材との界面にＴｉＮまたはＣｒＮの最下層を備え、かつ、外層がＴｉＮである実施例１、３および７の試料は、１０００個加工した後も、特に良好な加工面を有していた。また、表３の結果から明らかなとおり、寸法バラツキが小さく、特に、コーティング層における内層と外層の厚さの合計が０．５〜１．５μｍであり、母材との界面にＴｉＮまたはＣｒＮの最下層を備え、かつ外層がＴｉＮである実施例１、３および７では、１０００個加工しても、直径の差が５μｍ以下であり、寸法バラツキが小さいことがわかった。
【００２７】
比較例１〜６
表１に示すコーティング層を形成した。また、比較例６についてのみ、刃先交換チップを、すくい角０°、逃げ角０°、くさび角９０°のネガ形状とした。これらの点以外は、実施例１〜１２と同様にして、加工面品位および寸法バラツキを評価した。加工面品位の結果を表２に示す。また、寸法バラツキの結果を表３に示す。表２の結果から明らかなとおり、外層が形成されていない比較例１と、外層がＴｉＡｌＮである比較例３では、初期にコーティング層がチッピングを起こし、加工面が白濁した。また、コーティング層がＴｉＮの単層からなる比較例２では、耐摩耗性不足のため初期にコーティング層が摩耗してしまい、超硬質合金が露出して加工面が白濁した。一方、内層と外層の厚さの合計が２．０μｍよりも厚い比較例４と比較例５では、チッピングするため、５００個加工時には、加工面は既に白濁していた。また、刃先がネガ形状である比較例６では、切削抵抗高く、加工初期から加工面が白濁し、寸法バラツキも大きかった。
【００２８】
一方、比較例における寸法バラツキは、加工面品位と同様に、加工数量が少ないときは良好であったが、加工数量が増大するにつれて、コーティング層のチッピングおよび超硬質合金の露出などが発生し、寸法バラツキが増大した。したがって、本発明によれば、工具の切れ味を確保したまま、摩耗による母材の露出を防ぐことができるため、良好な加工面品位が長時間にわたり維持され、寸法バラツキも小さくなることがわかった。
【００２９】
実施例１３〜１５
母材である超硬質合金が切削性能に及ぼす影響を確認するため、表４に示す超硬質合金を用いた以外は、実施例１と同様にして、刃先交換チップを作成した。作製後、１０００個加工し、加工面の品位と寸法バラツキを調査した。調査した結果を表４に示す。加工面品位および寸法バラツキの評価方法は、実施例１と同様である。
【００３０】
【表４】
2004345078.tif 000006
表４の結果から明らかなように、実施例１３〜１５では、白濁のない美しい加工面が得られ、寸法バラツキは小さかった。
【００３１】
比較例７〜９
表４に示す超硬質合金を用いた以外は、実施例１と同様にして、刃先交換チップを作成した。作製後、１０００個加工し、加工面の品位と寸法バラツキを調査した。調査した結果を表４に示す。加工面品位および寸法バラツキの評価方法は実施例１と同様である。比較例７〜９では、母材である超硬質合金における硬質粒子の平均粒径が１．５μｍより大きいため、加工面品位が悪く、寸法バラツキも大きかった。
【００３２】
実施例１６，１７
母材であるサーメットが切削性能に及ぼす影響を確認するため、サーメットとして、表５に示すＴｉＣＮを用いた以外は、実施例１と同様にして、刃先交換チップを作成した。作製後、１０００個加工し、加工面の品位と寸法バラツキを調査した。調査した結果を表５に示す。加工面品位および寸法バラツキの評価方法は実施例１と同様である。
【００３３】
【表５】
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表５の結果から明らかなとおり、実施例１６，１７では、白濁のない美しい加工面が得られ、寸法バラツキも小さかった。
【００３４】
比較例１０
母材であるサーメットとして、表５に示すＴｉＣＮを用いた以外は、実施例１と同様にして、刃先交換チップを作成した後、１０００個加工し、加工面の品位と寸法バラツキを調査した。調査した結果を表５に示す。加工面品位および寸法バラツキの評価方法は実施例１と同様である。比較例１０では、硬質粒子の平均粒径が２．５μｍと大きく、母材硬度が低いため、工具の摩耗が初期に進展しやすく、加工面品位が悪く、寸法バラツキも大きかった。
【００３５】
以上の実施例および比較例では、外径旋削加工を行ない、切削評価を行なった。しかしながら、図２に示すような刃先交換チップを取り付けた外径および端面旋削加工用工具だけではなく、図３に示すような刃先交換チップを取り付けた内径旋削加工用工具、さらには、溝入れ加工用工具、ねじ切り加工用工具といった旋削加工用工具全般で同様の効果が得られた。特に、本発明の切削工具は、ハードディスク関連部品のような高精度な加工が必要な分野で優れた性能を発揮した。なお、図３に示す刃先交換チップは、先端に切れ刃３を有し、ホルダ取付け部４により保持されて、内径旋削加工用工具として使用される。
【００３６】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明のＰＶＤ被覆切削工具の表面付近の構造を示す拡大断面図である。
【図２】本発明のＰＶＤ被覆切削工具を構成する刃先交換チップの斜視図である。
【図３】本発明のＰＶＤ被覆切削工具を構成する内径旋削加工用刃先交換チップの斜視図である。
【図４】切れ刃の底面を水平に保持したときの刃先の断面図である。
【図５】マクロパーティクルが生成する過程を、模式的に示した断面図である。
【図６】基材切断面のＳＥＭ写真を模式的に示したものである。
【符号の説明】
【００３８】
１  母材、２  コーティング層、２ａ  外層、２ｂ  内層、２ｃ  最下層、３  切れ刃、４  ホルダ取付け部。
【図１】
2004345078.tif 000008
【図２】
2004345078.tif 000009
【図３】
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【図４】
2004345078.tif 000011
【図５】
2004345078.tif 000012
【図６】
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