(57)【要約】【課題】金属部品を傷つけることなしに、少ない工数で研磨焼けの有無を検査でき、かつ、正確に金属部品の研磨焼きを検査できる金属部品の研磨焼けの検査方法を提供すること。【解決手段】Ｘ線管１から出射されたＸ線の光軸７と、Ｘ線管１から出射されて鋼製部品である内輪３で回折した回折Ｘ線の光軸８とが成す一般的な意味の回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅を求める。そして、半価幅が６°以下のときに、鋼製部品である内輪３に研磨焼けが生じていると判断する。【選択図】  図１
2004271355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線出射装置から金属部品にＸ線を出射するステップと、
上記金属部品で回折したＸ線の強度をＸ線検出装置で測定するステップと、
上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するステップと
を備えることを特徴とする金属部品の研磨焼けの検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の金属部品の研磨焼けの検査方法において、
上記回折角を、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度とし、
上記金属部品を、鋼製部品としたとき
上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅が６°以下で研磨焼けが生じていると判断することを特徴とする金属部品の研磨焼けの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を用いた金属部品の研磨焼けの検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属部品の研磨焼けの検査方法としては、ＪＩＳのＧ０５６１（非特許文献１）に規定されている方法がある。この金属部品の研磨焼けの検査方法は、金属部品を温湯で洗浄した後、硝酸（比重１．４２）５％と水９５％を混合して作成した第１液で、上記温湯で洗浄された金属部品を第１液が黒くなるまで（約３０〜６０秒間）エッチングして腐食させた後、この第１液で腐食した金属部品を温湯で洗浄して、この洗浄された金属部品を塩酸（比重１．１８）５０％と水５０％を混合して作成した第２液に３秒間浸す。そして、第２液から取出した金属部品を温湯で洗浄して微風で乾燥させて、この乾燥された金属部品の組織観察を行って、金属部品の研磨焼けを判断している。
【０００３】
【非特許文献１】
ＪＩＳのＧ０５６１
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記非特許文献１に示す金属部品の研磨焼けの検査方法では、上記第１液および第２液で金属部品をエッチングして腐食させて、金属部品の研磨焼けの有無を判断しなければならず、かつ、エッチング後に研磨焼け無しと判断された金属部品について、金属部品の再研磨を行って金属の腐食を取り除く必要があるので、金属部品の研磨焼けの検査に要する工数および金属部品を再使用する状態にするまでの工数が多くなるという問題がある。
【０００５】
また、上記非特許文献１に示す金属部品の研磨焼けの検査方法では、金属部品を腐食したときに生じる腐食のむらが、研磨焼けと類似した変色となって研磨焼けにみえることがあり、研磨焼けがなくて正常な金属部品を研磨焼けがある金属部品と判断する誤判断が生じるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、金属部品を傷つけることなしに、少ない工数で研磨焼けの有無を検査でき、かつ、正確に金属部品の有無を検査できる金属部品の研磨焼けの検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法は、
Ｘ線出射装置から金属部品にＸ線を出射するステップと、
上記金属部品で回折したＸ線の強度をＸ線検出装置で測定するステップと、
このＸ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するステップと
を有することを特徴としている。
【０００８】
尚、この明細書では、上記Ｘ線の強度とは、単位時間あたりにＸ線検出装置で測定されるＸ線光子の数、あるいは、それに相当する物理量（例えば、電圧、電流等）として定義される。
【０００９】
また、上記回折角とは、上記Ｘ線検出装置から出射されたＸ線の光軸と、上記Ｘ線検出装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸との角度という一般的な意味の角度の他に、この一般的な意味の角度に線形変換を施した角度（上記一般的な意味の角度を２θとすると、上記線形変換した角度θ’はθ’＝ａ（２θ）＋ｂ、ａは実数、ｂは任意の定数角度となる）も回折角に含めることにする。
【００１０】
本発明者は、Ｘ線出射装置で出射されて金属部品で回折した回折Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅と、金属部品の研磨焼けの有無との間に相関関係があり、上記回折Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅を測定することによって、金属部品の研磨焼けの有無を検査できることを発見した。
【００１１】
上記請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線出射装置から金属部品にＸ線を出射するステップと、上記金属部品で回折したＸ線の強度をＸ線検出装置で測定するステップと、このＸ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するステップとを用いて、Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するので、腐食液を用いて金属部品をエッチングして腐食させる上記非特許文献１の金属部品の研磨焼けの検査方法とは異なり、金属部品を傷つけることなしに金属部品の研磨焼けの有無を判断できる。したがって、金属部品の研磨焼けの有無を検査するときの工数、および、検査後に研磨焼け無しと判断された金属部品を再使用する状態にするまでの工数が大幅に少なくなる。
【００１２】
また、上記請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するので、腐食液を用いて金属部品をエッチングして腐食させる上記非特許文献１の金属部品の研磨焼けの検査方法のように腐食のむらを研磨焼けと判断することがなくて、正確に金属部品の研磨焼けの有無を検査できる。
【００１３】
また、請求項２の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法は、請求項１に記載の金属部品の研磨焼けの検査方法において、
上記回折角を、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度とし、
上記金属部品を、鋼製部品としたとき
上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅が６°以下で研磨焼けが生じていると判断することを特徴としている。
【００１４】
尚、この明細書では、Ｘ線の中心軸をＸ線の光軸ということにする。
【００１５】
また、上記Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度は、Ｘ線の回折で一般的に２θで表わされる一般的な意味の回折角とする（尚、この一般的な意味の回折角２θに任意の定数角度をたした角度θ’’（θ’’＝２θ＋β，βは０°でない任意の定数角度）も一般的な意味の回折角に含むものとする。）。
【００１６】
本発明者は、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸とＸ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度を回折角とした場合に、上記Ｘ線の回折角に対するＸ線強度分布の半価幅を用いる本発明の金属部品の研磨焼けの検査方法と、従来のエッチングを用いた金属部品の研磨焼けの検査方法の２通りの方法を用いて同じ鋼製部品の研磨焼けを検査し、金属部品が鋼製部品である場合に、本発明の金属部品の研磨焼けの検査方法で算出された上記半価幅の値で鋼製部品の研磨焼けの有無を判断できることを発見した。そして、金属部品として鋼製部品を用い、かつ、上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の上記一般的な意味の回折角に対する強度分布の半価幅が６°以下になった場合には、浸炭焼入の有無やショートピーニングの有無等、熱処理や機械加工の違いによる鋼製部品の硬さの違いに因らず、金属部品に例外無く研磨焼けが発生していることを発見した。
【００１７】
上記請求項２の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、上記回折角を、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度とし、かつ、上記金属部品を、鋼製部品としたときに、上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅が６°以下で研磨焼けが生じていると判断するので、鋼製部品の研磨焼けを正確に判断できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の金属部品の研磨焼けの検査方法の一実施形態としての玉軸受の内輪の軌道面の表層部（軌道面も含む）の研磨焼けの検査を行うときの計器類の配置を示す図である。
【００２０】
図１において、１はＸ線出射装置の一例としてのＸ線管、２はＸ線検出装置の一例としてのＸ線検出器、３は鋼製部品の一例としての内輪、４は上記内輪３の格子面、５は上記内輪３の軌道面を示している。尚、図１においては、内輪３の軌道面の局所部分を参照番号５で示しており、断面円弧状の曲面である内輪３の軌道面を近似的に平面で表わしている。
【００２１】
上記Ｘ線管１は、図１に示すように、Ｘ線管１から出射される出射Ｘ線の光軸７が、この光軸７が接触する軌道面５の部分の法線と一致するように配置されている。つまり、内輪３に入射するＸ線の光軸７が、光軸７が接触した内輪３の軌道面５の部分の法線と成す角度として定義されるψ角が０°に設定されており、入射Ｘ線が内輪３の軌道面５に垂直に入射して、安定した回折Ｘ線を得ることができるようになっている。
【００２２】
上記構成において、上記Ｘ線検出器２のＸ線検出面２ａを、出射Ｘ線の光軸７が内輪３の軌道面５と交わる点Ｐの方に向けた状態で、上記Ｘ線検出器２を、Ｘ線の光軸７を含む一つの平面（この実施形態では、この平面は図１の紙面になっている）における点ＰからＸ線検出器２のＸ線検出面２ａまでの距離が等しい円周上を金属部品の軌道面５からＸ線管１まで矢印Ａ方向に移動させて、Ｘ線管１から出射されて格子面４で回折した回折Ｘ線の強度を、上記円周上の各点で測定する。そして、出射Ｘ線の光軸７と回折Ｘ線の光軸８が成す角度である一般的な意味の回折角２θに対して回折Ｘ線のＸ線強度分布を求めて、回折角２θに対するＸ線強度分布の半価幅を求める。
【００２３】
図２は、上記Ｘ線検出器２が測定したＸ線の回折角２θに対する強度分布の一例である。図２に示すＸ線強度分布では、回折角２θがαの時に、Ｘ線強度がピーク値ａになっており、Ｘ線強度の値がピーク値ａの半分の値であるａ／２になるまでの幅であるＸ線の回折角２θに対する強度分布の半価幅がｂになっている。この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、上記ｂの値が６°以下の場合に、内輪の軌道面の表層部に研磨焼けが発生していると判断する。
【００２４】
尚、図１において、ηは、光軸７と格子面４の法線ｚとが成す角、あるいは、格子面４の法線ｚと回折Ｘ線の光軸８とが成す角であり、一般的な意味の回折角２θに線形変換を施すことによって導かれる角度であり、出射Ｘ線の光軸７と回折Ｘ線の光軸８との位置関係を特定できる回折角の一つである。
【００２５】
本発明者は、図３にＤで示す玉軸受の内輪３１の軌道面３２の表層部について、従来のエッチングを用いた研磨焼けの検査方法と、本発明の半価幅を用いた研磨焼けの検査方法の二通りの方法で研磨焼けの検査を行った。
【００２６】
図４（Ａ）は、ＪＩＳのＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品であり、かつ、回折角として一般的な意味の回折角２θを用いたときの上記半価幅が６．３０ｄｅｇである図３にＤで示す内輪の箇所を、従来のエッチングを用いた研磨焼けの検査方法で処理したときの顕微鏡組織図であり、図４（Ｂ）は、ＪＩＳのＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品であり、かつ、回折角として一般的な意味の回折角２θを用いたときの上記半価幅が５．００ｄｅｇである図３にＤで示す内輪の箇所を、従来のエッチングを用いた研磨焼けの検査方法で処理したときの顕微鏡組織図である。
【００２７】
図４（Ａ）に示すように、半価幅が６．３０の場合では、顕微鏡組織図において薄い黒い点が均一に万遍なく広がっている。このことから、表層部の組織が研磨を行った際の熱の影響を受けていないことがわかり、表層部の硬度が下がっていないことがわかる。一方、図４（Ｂ）に示すように、半価幅が５．００の場合には、顕微鏡組織図において表層部の表面付近に研磨を行う際の熱で組織変化している部分である濃い黒い部分が見られる。この濃い黒い部分では、組織が研磨を行う際の熱で変化してもろくなっており、組織の硬度も規定以下の値にまで下がっている。
【００２８】
図５に、上記表層部ＤをＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品とした場合における、一般的な意味の回折角２θに対するＸ線のＸ線強度分布の半価幅と、従来のエッチングを用いた方法で処理を行った表層部の顕微鏡組織観察による研磨焼けの合否結果を示す。
【００２９】
図５において、縦軸は半価幅、横軸は試料番号、白丸は顕微鏡組織観察で図４（Ａ）に示すように研磨焼けがみられなかった試料、黒丸は顕微鏡組織観察で図４（Ｂ）に示すように研磨焼けがみられた試料を示している。
【００３０】
図５に示すように、上記顕微鏡組織観察で不合格と判断された試料番号２，３，６および１０の内輪は、回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅が全て６ｄｅｇ以下となる一方、顕微鏡組織観察で合格と判断された試料番号１，４，５，７，８，９，１１，１２，１３，１４および１５の内輪は、回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅が全て６ｄｅｇよりも大きくなっている。このことから、ＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品を使用した内輪に研磨焼が生じているか否かを判断する一般的な意味の回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅の閾値を６ｄｅｇにすることができる。
【００３１】
図６に、上記表層部Ｄの材質を浸炭焼入を行ったＳＡＥ５１２０鋼とした場合における、一般的な意味の回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅と、従来のエッチングを用いた方法で処理を行った表層部の顕微鏡組織観察による研磨焼けの合否結果を示す。
【００３２】
図６においても、図５と同様に、縦軸は半価幅、横軸は試料番号、白丸は顕微鏡組織観察で図４（Ａ）に示すように研磨焼けがみられなかった試料、黒丸は顕微鏡組織観察で図４（Ｂ）に示すように研磨焼けがみられた試料を示している。
【００３３】
図６に示すように、上記顕微鏡組織観察で不合格と判断された試料番号２，４，６および９の内輪は、回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅が全て６ｄｅｇ以下となる一方、顕微鏡組織観察で合格と判断された試料番号１，３，５，７，８および１０の内輪は、回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅が全て６ｄｅｇよりも大きくなっている。このことから、浸炭焼入を行って表層部硬度を高くしたＳＡＥ５１２０鋼の内輪においても、ＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品である内輪と同様に、研磨焼が生じているか否かを判断する一般的な意味の回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅の閾値を６ｄｅｇにすることができる。
【００３４】
尚、本発明者は、ショートピーニングを行った鋼製部品においても、一般的な意味の回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の半価幅と、従来のエッチングを用いて処理を行った表層部の顕微鏡組織観察による研磨焼けの合否結果との関係を導き出した。そして、回折角として一般的な意味の回折角２θを用いた場合に、ショートピーニングを行った鋼製部品の研磨焼けの有無を判断する閾値が、普通焼入れを行った鋼製部品の研磨焼けの有無を判断する閾値や、浸炭焼入れを行った鋼製部品の研磨焼けの有無を判断する閾値と同じ値である６ｄｅｇであることを発見した。
【００３５】
上記実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線の回折角の一例としての２θに対するＸ線強度分布の半価幅に基づいて内輪３の表層部の研磨焼けを判断したので、腐食液を用いて金属部品をエッチングして腐食させる従来の金属部品の研磨焼けの検査方法と異なり、内輪３を傷つけることなしに内輪３の研磨焼けの有無を判断できる。したがって、研磨焼けの検査に要する工数と、検査後に研磨焼け無しと判断された内輪を再使用する状態にするまでの工数を大幅に少なくできる。
【００３６】
また、上記実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線の回折角の一例としての上記２θに対するＸ線強度分布の半価幅に基づいて内輪３の表層部の研磨焼けを判断するので、腐食液を用いて金属部品をエッチングして腐食させる従来の金属部品の研磨焼けの検査方法のように腐食のむらを研磨焼けと判断することがなくて、研磨焼けがなくて正常な内輪を研磨焼けがある内輪と判断する誤判断が生じることがない。
【００３７】
また、上記実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、回折角を、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度である一般的な意味の回折角２θとし、かつ、上記金属部品を、鋼製部品である内輪３としたときに、Ｘ線検出器２で測定されたＸ線の上記回折角２θに対する強度分布の半価幅が６°以下で内輪に研磨焼けが生じていると判断するので、内輪の研磨焼けを正確に判断できる。
【００３８】
尚、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、金属部品として、玉軸受の内輪を採用したが、この発明の金属部品の研磨焼けの検査方法では、金属部品として、玉軸受の外輪、玉、ころ軸受の外輪、内輪、ころ等、玉軸受の内輪以外の金属部品を採用しても良い。
【００３９】
また、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、金属部品として、鋼製部品である内輪３を採用したが、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、金属部品として、銅製部品やアルミニウム製部品やステンレス鋼部品等の鋼製部品以外の金属部品を採用しても良い。
【００４０】
また、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、Ｘ線管１から出射されるＸ線の光軸７が、光軸７が達する軌道面５の部分の法線方向と一致するように、Ｘ線出射装置の一例としてのＸ線管１を配置し、内輪３に入射するＸ線の光軸６が軌道面５の部分の法線と成す角度として定義されるψ角を０°に設定したが、この発明の金属部品の研磨焼けの検査方法では、内輪に入射するＸ線の光軸が、光軸が達する軌道面の部分の法線と成す角度として定義されるψ角が、０°以外の角度になるように、Ｘ線出射装置を配置しても良い。
【００４１】
また、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、Ｘ線出射装置の一例としてのＸ線管１を固定すると共に、Ｘ線検出装置の一例としてのＸ線検出器２を、図１に示す矢印Ａ方向に移動させて、一般的な意味の回折角２θに対するＸ線強度分布を導き出したが、この発明の金属部品の研磨焼けの検査方法では、Ｘ線検出装置を固定すると共に、Ｘ線出射装置を移動させて、一般的な意味の回折角２θに対するＸ線強度分布を導き出しても良い。
【００４２】
また、この実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法では、回折角として一般的な意味の回折角２θを採用して、回折角２θに対するＸ線強度分布の半価幅の値によって、内輪３の研磨焼けの有無を判定したが、この発明の金属部品の研磨焼けの検査方法では、上記一般的な意味の回折角２θに線形変換を施した角度（例えば、θ、（θ＋η）、ηまたは２η等）を回折角として、この回折角２θに線形変換を施した角度に対するＸ線強度分布の半価幅の値によって、内輪等の金属部品の研磨焼けの有無を判定しても良い（尚、一般的な意味の回折角２θに線形変換を施した角度を回折角として採用した場合、金属部品の研磨焼けの有無を判断する半価幅の閾値は、金属部品が鋼製部品であっても、必ずしも６°にならない。）。
【００４３】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線出射装置から金属部品にＸ線を出射するステップと、上記金属部品で回折したＸ線の強度をＸ線検出装置で測定するステップと、このＸ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するステップとを用いて、Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するので、金属部品を傷つけることなしに金属部品の研磨焼けの有無を判断できて、研磨焼けの検査に要する工数と、検査後に研磨焼け無しと判断された金属部品を再使用する状態にするまでの工数を大幅に少なくできる。
【００４４】
また、請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、Ｘ線の回折角に対する強度分布の半価幅に基づいて金属部品の研磨焼けを判断するので、金属部品を腐食させて金属部品の研磨焼けを判断する金属部品の研磨焼けの検査方法のように腐食のむらを研磨焼けと判断することがなくて、金属部品の研磨焼きを正確に判断できる。
【００４５】
また、請求項１の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、上記の如く被検査部品の腐食が不用で、被検査部品の再使用も容易であるため、金属部品の製造ラインや検査ラインに組み込まれる検査装置への適用が好ましい。さらに、自動ラインの自動検査装置への適用も好ましい。
【００４６】
また、請求項２の発明の金属部品の研磨焼けの検査方法によれば、回折角を、Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸と、Ｘ線出射装置から出射されて上記金属部品で回折した回折Ｘ線の光軸とが成す角度とし、かつ、上記金属部品を、鋼製部品としたときに、上記Ｘ線検出装置で測定されたＸ線の回折角に対する強度分布の半価幅が６°以下で研磨焼けが生じていると判断するので、鋼製部品の研磨焼けを正確に判断できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の金属部品の研磨焼けの検査方法を行うときの計器類の配置を示す図である。
【図２】回折角２θに対する回折Ｘ線の強度分布の一例を示す図である。
【図３】本発明の半価幅を用いる方法と、従来の腐食を用いる方法の２通りの方法で内輪の軌道面表層部の研磨焼けの有無を検査したときに内輪から抽出された軌道面の表層部の箇所を示す図である。
【図４】図４（Ａ）は、材質が普通焼入品であり、かつ、２θに対するＸ線強度分布の半価幅が６．３０ｄｅｇである図３に示す箇所の断面の顕微鏡による組織図であり、図４（Ｂ）は、材質が普通焼入品であり、かつ、２θに対するＸ線強度分布の半価幅が５．００ｄｅｇである図３に示す箇所の断面の顕微鏡による組織図である。
【図５】ＳＵＪ２軸受鋼の普通焼入品を使用した内輪における２θに対するＸ線強度分布の半価幅と、内輪の研磨焼けの有無との関係を示す図である。
【図６】浸炭焼入を行ったＳＡＥ５１２０鋼を使用している内輪における２θに対するＸ線強度分布の半価幅と、内輪の研磨焼けの有無との関係を示す図である。
【符号の説明】
１  Ｘ線管
２  Ｘ線検出器
３，３１  内輪
４  格子面
５，３２  軌道面
７  Ｘ線出射装置から出射されたＸ線の光軸
８  回折Ｘ線の光軸
ｂ  回折角２θに対するＸ線強度分布の半価幅
Ｄ  表層部
２θ  一般的な意味の回折角
【図１】
2004271355.tif 000003
【図２】
2004271355.tif 000004
【図３】
2004271355.tif 000005
【図４】
2004271355.tif 000006
【図５】
2004271355.tif 000007
【図６】
2004271355.tif 000008