(57)【要約】【目的】実用的な厚さにおいて、高容量を有し、かつ高出力のキャパシタ用正極及びその製造方法を提供する。【手段】キャパシタ用正極は、リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を、分散、成形することにより得られ、厚さ２０μｍ以上である。リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物は、バナジウム系酸化物であることが好ましく、導電性粉末は、比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末であることが好ましい。リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物／導電性粉末の重量比は、７／３〜１／９であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を、分散、成形する事により得られる厚さ２０μｍ以上のキャパシタ用正極。
【請求項２】
リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物がバナジウム系酸化物である事を特徴とする請求項１に記載のキャパシタ用正極。
【請求項３】
導電性粉末が比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末である事を特徴とする請求項１または２に記載のキャパシタ用正極。
【請求項４】
リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物／導電性粉末の重量比が７／３〜１／９である事を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のキャパシタ用正極。
【請求項５】
１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）導電材に、または導電材及びバインダーに混合し、該担持炭素材料を分散した後、成形する事により得られるキャパシタ用正極。
【請求項６】
１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）解砕した後、導電材に、または導電材及びバインダーに混合し該混合物をロールを用いて分散した後、成形する事により得られるキャパシタ用正極。
【請求項７】
バナジウム系酸化物／炭素材料粉末の重量比が７／３〜１／９である事を特徴とする請求項５または６に記載のキャパシタ用正極。
【請求項８】
１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）導電材に、または導電材及びバインダーに混合し、該担持炭素材料を分散した後、成形する事を特徴とするキャパシタ用正極の製造方法。
【請求項９】
１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）解砕した後、導電材に、または導電材及びバインダーに混合し該混合物をロールを用いて分散した後、成形する事を特徴とするキャパシタ用正極の製造方法。
【請求項１０】
バナジウム系酸化物／炭素材料粉末の重量比を７／３〜１／９とする事を特徴とする請求項８または９に記載のキャパシタ用正極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高容量と高出力とを兼ね備えたキャパシタ用正極及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、地球環境の保全および省資源を目指したエネルギーの有効利用の観点から、深夜電力貯蔵システム、太陽光発電技術に基づく家庭用分散型蓄電システム、電気自動車用の蓄電システムなどが注目を集めている。
【０００３】
その中、高効率エンジンと蓄電システムとの組み合わせ（例えば、ハイブリッド電気自動車）、あるいは燃料電池と蓄電システムとの組み合わせ（例えば、燃料電池電気自動車）において、エンジンあるいは燃料電池が最大効率で運転するためには、一定出力での運転が必須であり、負荷側の出力変動あるいはエネルギー回生に対応するために、蓄電システムにおける高出力放電特性および／または高率充電受け入れ特性が要求されている。
【０００４】
現在、高出力蓄電デバイスとしては、電極に活性炭を用いた電気二重層キャパシタがあり、２ｋＷ／ｌを超える出力特性を有する大型キャパシタが開発されている。しかしながら、そのエネルギー密度は、１〜５Ｗｈ／ｌ程度に過ぎないので、単独で上述の蓄電システムを構成することは難しく、エネルギー密度の向上が望まれている。
【０００５】
エネルギー密度の向上には、電気二重層キャパシタそのものの性能を向上させるアプローチのほかに、エネルギー密度的に圧倒的に有利な電気化学反応に伴う擬似容量を積極的に利用しようとするコンセプトがあり、その材料として、例えば、酸化ルテニウム、バナジウム系酸化物が検討されている。
【０００６】
例えば、バナジウム系酸化物は容量も大きく、安価である為、有望なキャパシタ用正極材料の１つであり、Ｖ２Ｏ５ゾルと炭素材料とを混合し、これに発泡金属化ニッケルを浸し、乾燥する事により得られる電極は１００Ｃレベルの出力で２５０ｍＡｈ／ｇ（Ｖ２Ｏ５ベース）の容量が得られている（例えば、非特許文献１参照）。しかし、この方法を用いて実用的な厚さの電極を試作した場合、出力が低下する問題が残されていた。また、活性炭に前記疑似容量を生じる金属酸化物（例えば、リチウムバナジウム酸化物）を混合すると、活性炭単独で用いた場合に比べ、容量が大きく、また、充電電圧が低電圧のときにキャパシタの容量が大きくなるという新規な特性が得られる事が報告されているが、その実用的な観点からの出力特性に関しては何ら記載されていない。（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【非特許文献１】
日比野光宏他、スーパーキャパシタ正極を目指した酸化バナジウムゲルとカーボン粒子の複合化、「生産研究」、２００１年９月、第５３巻、９・１０月号、ｐ２−８
【特許文献１】
特開２０００−１３８１４２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明は、実用的な厚さにおいて、高容量を有し、かつ高出力のキャパシタ用正極及びその製造方法を提供することを主な目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の様な従来技術の問題点に留意しつつ、研究を進めた結果、リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を、分散、成形する事により得られる厚さ２０μｍ以上のキャパシタ用正極を得ることに成功した。
【００１０】
すなわち、本発明は、下記のキャパシタ用正極及びその製造方法を提供する：
１．リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を、分散、成形する事により得られる厚さ２０μｍ以上のキャパシタ用正極。
【００１１】
２．リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物がバナジウム系酸化物である事を特徴とする請求項１に記載のキャパシタ用正極。
【００１２】
３．導電性粉末が比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末である事を特徴とする請求項１または２に記載のキャパシタ用正極。
【００１３】
４．リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物／導電性粉末の重量比が７／３〜１／９である事を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のキャパシタ用正極。
【００１４】
５．１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）導電材に、または導電材及びバインダーに混合し、該担持炭素材料を分散した後、成形する事により得られるキャパシタ用正極。
【００１５】
６．１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）解砕した後、導電材に、または導電材及びバインダーに混合し該混合物をロールを用いて分散した後、成形する事により得られるキャパシタ用正極。
【００１６】
７．バナジウム系酸化物／炭素材料粉末の重量比が７／３〜１／９である事を特徴とする請求項５または６に記載のキャパシタ用正極。
【００１７】
８．１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）導電材に、または導電材及びバインダーに混合し、該担持炭素材料を分散した後、成形する事を特徴とするキャパシタ用正極の製造方法。
【００１８】
９．１）Ｖ２Ｏ５ゾルと比表面積１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を、２）解砕した後、導電材に、または導電材及びバインダーに混合し該混合物をロールを用いて分散した後、成形する事を特徴とするキャパシタ用正極の製造方法。
【００１９】
１０．バナジウム系酸化物／炭素材料粉末の重量比を７／３〜１／９とする事を特徴とする請求項８または９に記載のキャパシタ用正極の製造方法。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき詳細に説明する。
本発明のキャパシタ用正極はリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を、分散、成形する事により得られる厚さ２０μｍ以上の電極である。
【００２１】
本発明におけるリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物としては、リチウムが可逆的に吸蔵・放出可能な材料であれば特に限定するものではないが、本発明の出力特性を発現させる為には、導電性粉末上に数ｎｍ〜数百ｎｍの厚さ（導電性粉末粒子上に被覆担持させる場合、被覆層の厚さ、微粒子で担持させる場合、その粒子半径）で担持させる事が好ましく、例えば、バナジウム系酸化物が好適である。
【００２２】
本発明における導電性粉末とは、炭素材料粉末、金属材料粉末、金属酸化物粉末等、電子伝導性を有する粉末であれば特に限定されるものではないが、好ましくは比表面積が１０ｍ２／ｇ以上、更に好ましくは５０ｍ２／ｇ以上の炭素材料であり、例えば、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、活性炭等の炭素材料が好ましい。この理由として、上述のリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を担持させる場合、かつ、これら導電性粉末の比表面積が低い場合、酸化物の担持可能な表面が少なく、充分な担持量が得られ難い、あるいは、担持させる酸化物の厚さが大きくなる傾向にあり、本発明の特徴である容量と出力特性を両立させる事が難しい。
【００２３】
本発明のキャパシタ用正極の厚さは２０μｍ以上、好ましくは３０μｍ以上、更に好ましくは４０μｍ以上である。厚さ２０μｍ未満の場合、出力特性は比較的得やすいが、実際のキャパシタを設計した場合、集電体、セパレータの比率が高くなり、充分な容量が得られない。
【００２４】
本発明のキャパシタ用正極は上記酸化物を上記導電性粉末に担持した材料を、分散、成形する事により得られる。例えば、上記、非特許文献１の様にＶ２Ｏ５ゾルと炭素材料とをアセトン−水の混合溶媒中で混合し、バナジウム系酸化物をアセチレンブラックに担持させた材料を電極化する場合、２つの方法が考えられる。第一のケースはＶ２Ｏ５ゾルと炭素材料とをアセトン−水の混合溶媒中で混合して得られるスラリーを直接集電体に塗布した後、乾燥させる方法であり、第２のケースはＶ２Ｏ５ゾルと炭素材料とをアセトン−水の混合溶媒中で混合して得られるスラリーを乾燥し、得られた担持材料をバインダーを用いて成形し電極とする方法である。
【００２５】
第一のケースの場合、バナジウム系酸化物を均一に炭素材料へ担持する事が難しく、塊状のバナジウム系酸化物と炭素材料表面に担持されたバナジウム系酸化物の混合体で得られる事が多く、バナジウム系酸化物／炭素材料の重量比が大きくなるにつれ、塊状のバナジウム系酸化物の割合が増加する傾向にあり、特に、厚さ２０μｍ以上で容量と出力特性を両立させる事が難しい。
【００２６】
本発明のキャパシタ用正極は、第２のケースにおいて製造可能であるが、Ｖ２Ｏ５ゾルと炭素材料とをアセトン−水の混合溶媒中で混合して得られるスラリーを乾燥した段階で、炭素材料表面に担持されたバナジウム系酸化物の凝集が見られる為、電極化の過程で、この担持材料を電極中に分散させる必要がある。ここでは、バナジウム系酸化物を炭素材料に担持させた材料も用いる場合を例に説明したが、リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物あるいは導電性粉末を限定するものではない。
【００２７】
本発明のキャパシタ用正極におけるリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物／導電性粉末の重量比は７／３〜１／９が好ましく、特に好ましくは６／４〜２／８、更に好ましくは６／４〜３／７である。この重量比はリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物及び導電性粉末の比重、比表面積、粒径等により適宜決定されるが、導電性粉末状に数ｎｍ〜数百ｎｍの厚さ（導電材粒子上に被覆担持させる場合、被覆層の厚さ、微粒子で担持させる場合、その粒子半径）で担持させる事が肝要である。
【００２８】
本発明のキャパシタ用正極の好ましい製造例を、Ｖ２Ｏ５ゾルと炭素材料粉末とを混合後、乾燥する事により得られるバナジウム系酸化物担持炭素材料を用いる場合を例にして説明する。
Ｖ２Ｏ５ゾルについては、例えば、非特許文献１に記載の様にバナジウム粉末と過酸化水素から得る事ができる。このＶ２Ｏ５ゾルとアセチレンブラック等の比表面積が１０ｍ２／ｇ以上の炭素材料とを混合する。
【００２９】
この混合において、水あるいはアセトン等の有機溶剤を適宜加える事も可能である。Ｖ２Ｏ５ゾルと炭素材料の混合物は水等の液体成分を除去し、７０℃〜１５０℃程度の温度で乾燥する事によりバナジウム系酸化物担持炭素材料が得られる。
【００３０】
キャパシタ電極は該担持炭素材料と導電材、バインダーを用いて電極に成形する事により得られるが、該担持炭素材料は凝集している為、この電極化の過程で分散する事が重要である。
【００３１】
分散には、例えば、該担持炭素材料の凝集をボールミル等の粉砕機で解砕した後、導電材、あるいは導電材とバインダーと分散・混合する方法、凝集した該担持炭素材料と導電材、あるいは導電材とバインダーと混合し、ボールミル等を用いて凝集を解砕しながら分散させる方法等が挙げられる。特に、凝集した該担持炭素材料を例えば粒度５００μｍ以下に解砕した後、導電材、あるいは導電材とバインダーを混合し、該混合物をロールを用いて分散する方法が好ましい。バインダーについては分散時に混合する場合、該担持炭素材料と導電材を分散した後に混合する場合があるが、バインダーの種類、分散方法に応じて決定する事ができる。本発明のキャパシタ用正極は、上記、分散の後、塗布成形、プレス成形、ロール成形等、一般的な電極成形法を用いて製造する事が可能である。
【００３２】
本発明における導電材は電極の電子伝導性を向上させる目的以外に、リチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料を分散させる為の媒体としての役割も果たす。導電材量は担持材料の分散が可能であれば特に限定されるものではないが、例えば担持材料に対し、重量比で２〜２００％、好ましくは１０〜１００％混合する事が望ましい。導電材としては、好ましくは比表面積が１０ｍ２／ｇ以上、更に好ましくは５０ｍ２／ｇ以上の炭素材料が挙げられる。導電材として、例えば、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、活性炭等の炭素材料を用いる場合、良好な導電性、分散が得られる。
【００３３】
本発明におけるバインダーの種類は、特に限定されるものではないが、ポリフッ化ビニリデン、ポリ四フッ化エチレンなどのフッ素系樹脂類、フッ素ゴム、ＳＢＲ、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン類などが例示される。
【００３４】
ロール成形する場合、バインダーとしてはポリ四フッ化エチレンが少量で強度のある電極が得られる為、好ましく用いる事ができる。バインダー量は、特に限定されず、例えば、通常本発明のリチウムを吸蔵・放出可能な酸化物を導電性粉末上に担持させた材料と導電材を合わせた重量の１〜３０％程度の割合とすることが好ましい。
【００３５】
本発明のキャパシタ用正極の形状は、厚さ２０μｍ以上のシート状が好ましく、集電体上に形成する、あるいは、シート状に成形された電極を集電体に圧着あるいは導電層を介して接着する事が可能である。この集電体の材質などは、特に限定されず、ステンレス鋼箔、アルミ箔などが使用できる。さらに、金属箔上あるいは金属の隙間に電極が形成可能である構造体、例えば、エキスパンドメタル、網材などを集電体として用いることもできる。
【００３６】
本発明のキャパシタ用正極は、リチウムを吸蔵・放出可能な炭素材料、金属材料、あるいは酸化物材料等の負極、リチウム塩を含む非水系電解液と組合せ、キャパシタとする事が可能であり、負極、電解液については、正極の容量、出力を考慮し、適宜組合せる事が可能である。
【００３７】
【実施例】
以下に、実施例を示し、本発明の特徴とするところをさらに明確にするが、本発明は、実施例により何ら限定されるものではない。
【００３８】
＜比表面積測定方法＞
比表面積は、窒素を吸着質とし、等温線の測定を行い、得られた等温線からＢＥＴ法により比表面積値を求めた。測定装置として、ユアサアイオニクス社製“ＮＯＶＡ１２００”を用いた。
【００３９】
〔実施例１〕
（１）Ｖ２Ｏ５ゾルについては非特許文献１等に記載の公知の方法で、すなわち、バナジウム粉末と過酸化水素とを用いて合成した。Ｖ２Ｏ５ゾルを乾燥し、ゾル中のＶ２Ｏ５量を求めたところ、Ｖ２Ｏ５ゾル中重量に対し、２．１％であった。得られたＶ２Ｏ５ゾル、導電性粉末（炭素材料粉末）であるアセチレンブラック（以下ＡＢと記す：比表面積６５ｍ２／ｇ）、アセトン及び蒸留水を高速攪拌機にて混合した（３５００ｒｐｍ×１時間）。混合比はＶ２Ｏ５ゾル：ＡＢ：アセトン：蒸留水＝１００（バナジウム成分２．１）：２．７：１００：１００であった。熱風乾燥機で分散液から水，アセトンを除去、乾燥した。得られたＶ２Ｏ５（バナジウム系酸化物）担持アセチレンブラック（以下、担持材料）のＶ２Ｏ５／アセチレンブラックの重量比は０．７８であった。次に、該担持材料を、乳鉢を用いて解砕し、粒径５００μｍ以下の粉末とした。該担持材料粉末１００部にバインダーであるポリ４弗化エチレン８部、導電材としてのアセチレンブラック５０重量部を混合、ローラー用いて、混練する事により、担持材料粉末を充分に分散させた後、ロール成形する事により厚さ６０μｍのシート電極（キャパシタ用正極）を得た。
【００４０】
電極の電子顕微鏡写真を図１（倍率；×３００００，図中の白線は１μｍを示す。）に示す。凝集物はほとんど見られず、担持材料粉末が均一に分散されている事が判る。
（２）上記で得られたシート電極を３０μｍのアルミ箔に黒鉛系導電性接着剤ではりつけたものを作用極として使用し、活性炭電極を対極、金属リチウムを参照極とし、エチレンカーボネートとジエチルカーボネートを３：７重量比で混合した溶媒に１ｍｏｌ／ｌの濃度にＬｉＰＦ６を溶解した溶液を電解液として使用して、アルゴンドライボックス中で電気化学セルを作成した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して３００ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ−１．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）で充放電を２回行い、２回目の放電容量を測定した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対し３４０ｍＡｈ／ｇであった。
【００４１】
続いて、作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して３００ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）まで充電を行い、３００００ｍＡ／ｇの速度で放電したところ、２３０ｍＡｈ／ｇの容量が得られた。この時の放電時間は２８秒であり、３０秒レベルの非常に早い放電においても充分な容量が得られた。
【００４２】
〔比較例１〕
（１）実施例１同様Ｖ２Ｏ５ゾル、ＡＢ、アセトン及び蒸留水を高速攪拌機にて混合した（３５００ｒｐｍ×１時間）。混合比はＶ２Ｏ５ゾル：ＡＢ：アセトン：蒸留水＝１００（バナジウム成分２．１）：２．７：１００：１００である。得られたスラリーを厚さ３０μｍのアルミ箔上に塗布、１昼夜風乾後、１５０℃の乾燥機で乾燥、プレスし、厚さ４５μｍ（アルミ箔の厚さを除く）の電極を得た。電極の電子顕微鏡写真（倍率；×２００００，図中の白線は１μｍを示す。）を図２に示す。図１と異なり塊状の部分が多く見られる。
【００４３】
（２）上記で得られた電極を作用極として使用し、活性炭電極を対極、金属リチウムを参照極とし、エチレンカーボネートとジエチルカーボネートを３：７重量比で混合した溶媒に１ｍｏｌ／ｌの濃度にＬｉＰＦ６を溶解した溶液を電解液として使用して、アルゴンドライボックス中で電気化学セルを作成した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して３００ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ−１．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）で充放電を２回行い、２回目の放電容量を測定した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対し２５０ｍＡｈ／ｇであった。
【００４４】
続いて、作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して３００ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）まで充電を行い、３００００ｍＡ／ｇの速度で放電したところ、３０ｍＡｈ／ｇであり、高出力時、実施例の１／１０程度の容量しか得られなかった。
【００４５】
〔比較例２〕
（１）比較例１と同様の方法で厚さ１０μｍ（アルミ箔の厚さを除く）の電極を得た。電極の電子顕微鏡写真を図３（倍率；×１００００，図中の白線は３μｍを示す。）に示す。図２と同様塊状の部分が多く見られる。
【００４６】
（２）上記で得られた電極を作用極として使用し、活性炭電極を対極、金属リチウムを参照極とし、エチレンカーボネートとエチルカーボネートを３：７重量比で混合した溶媒に１ｍｏｌ／ｌの濃度にＬｉＰＦ６を溶解した溶液を電解液として使用して、アルゴンドライボックス中で電気化学セルを作成した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して３００ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ−１．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）で充放電を２回行い、２回目の放電容量を測定した。容量は作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対し３４０ｍＡｈ／ｇであった。
【００４７】
続いて、作用極中（キャパシタ用正極）に含まれるＶ２Ｏ５に対して２９５ｍＡ／ｇの速度で、３．５Ｖ（ｖｓ  Ｌｉ／Ｌｉ＋）まで充電を行い、３００００ｍＡ／ｇの速度で放電したところ、１００ｍＡｈ／ｇであり、高出力時、比較例１に比べ容量は大きいが、実施例の１／２以下である。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、実用的な厚さにおいて、高容量を有し、かつ高出力のキャパシタ用正極及びその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るキャパシタ用正極の電子顕微鏡写真である。
【図２】比較用のキャパシタ用正極の電子顕微鏡写真である。
【図３】比較用のキャパシタ用正極の電子顕微鏡写真である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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