(57)【要約】【課題】クリーンルームなどで使用される高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材であり、クリーンルームなどへの塵埃の進入を防ぐと共に、クリーンルームなどへの汚染ガスの進入を軽減し、またケミカルフィルタの汚染ガス除去寿命を延ばし、フィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与する。【解決手段】計数法による粒子捕集効率が９０％以上の性能を有し、メルトブロー法による繊維を５重量％以上含み、熱接着性繊維によって結合しており、発生する総有機物質の量が、それらの繊維の面密度に換算して、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタ用濾材を提供する。メルトブロー法による繊維と熱接着性繊維を含むウェブを加熱接着処理の後に加熱除去処理を行い、アウトガスの発生を少なくする。【選択図】　図１
2004000926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合しており、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
前記エアフィルタ用濾材の計数法による粒子捕集効率が９８％以上であることを特徴とする請求項１に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
前記エアフィルタ用濾材の計数法による粒子捕集効率が９９．９７％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のエアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていることを特徴とするエアフィルタユニット。
【請求項５】
エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項４に記載のエアフィルタユニット。
【請求項６】
メルトブロー法による平均繊維径１μｍ未満の極細有機繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ平均繊維径５〜１００μｍの熱接着性繊維を含む繊維ウェブを、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同士接着した後、さらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフィルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法。
【請求項８】
メルトブロー法による平均繊維径１μｍ未満の極細有機繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ平均繊維径５〜１００μｍの熱接着性繊維を含む繊維ウェブを、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同士接着し、エアフィルタ用素材とした後、該エアフィルタ用素材を用いてエアフィルタユニット中間体とし、該エアフィルタユニット中間体を８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法。
【請求項９】
計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタ用濾材包装体。
【請求項１０】
計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、フィルタ枠に装着されたエアフィルタユニットが、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタユニット包装体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶の生産施設などのクリーンルームなどにおいて、クリーンルーム内に流入する外気や、クリーンルーム内の空気中に含まれる粉塵を除去する有機質繊維からなるエアフィルタ用濾材であり、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタやＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタとして用いる、アウトガス発生の少ないエアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット、及びその製造方法、並びにその包装体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶の生産施設、または半導体や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルームなどでは、該生産施設内または該クリーンルーム内の空気や雰囲気に対して高い清浄度が要求される。しかし、これら空気や雰囲気中には粉塵や有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚染物質が含まれているのみならず、クリーンルーム構成部材や作業員などからも粉塵や有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚染物質が発生するため、このような粉塵やガス状汚染物質を除去するフィルタシステムが図１に例示するように設置されている。外気空気は外調機１の粗塵除去用のプレフィルタ２、中性能フィルタ３、エアワッシャー４、ＨＥＰＡフィルタ６の順に通過した後、さらに循環系のＨＥＰＡフィルタ８やＵＬＰＡフィルタ８’を通過して、空気中の塵埃が除去される。また、クリーンルーム内に流入するガス状汚染物質は必要に応じて循環系に設置されたケミカルフィルタ７によって除去される。特に、外気中にガス状汚染物質が多く含まれる場合は、外調機１のＨＥＰＡフィルタ６と中性能フィルタ３の間に更にケミカルフィルタ５が設置されている。
【０００３】
前記ガス状汚染物質には、有機系ガス状汚染物質や、無機系ガス状汚染物質が含まれるが、特に有機系ガス状汚染物質は、半導体基板であるシリコンウェハ表面上に付着すると、シリコンウェハ表面上に形成される絶縁酸化膜の絶縁耐圧が低下したり、空気中に浮遊する微粒子が静電吸着し易くなり、絶縁破壊が起こり易くなるなど、半導体や液晶の製造に悪影響を及ぼす。これら、有機系ガス状汚染物質のウェハ表面への吸着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の該有機物質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなければならない。このような管理濃度は次のようにして求めることができる。すなわち、１９９９年版ＳＩＡ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ　Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）ロードマップによれば、西暦２０００年のウェハ表面上での有機物質管理レベルは６．６×１０１３Ｃａｔｏｍｓ／ｃｍ２と言われている。これをトルエン換算すると１４．４μｇ／ｍ２となる。これらウェハ表面上での管理レベルの値と、一般に知られている付着確率から、下記の算出式１によりクリーンルーム空気中での管理レベルの推定値を算出すると、総有機物質は４１．７μｇ／ｍ３の管理濃度となる。
算出式１：Ｎ＝Ａｓ／（ｖ・ｔ・γ）
Ｎ；空気中の汚染物質濃度（空気中の管理濃度）（μｇ／ｍ３）
Ａｓ；ウェハ表面の汚染物質濃度（ウェハ表面上での管理レベル）　（μｇ／ｍ２）
ｖ；クリーンルーム空気の流速（０．４ｍ／ｓｅｃ）
ｔ；ウェハの空気中暴露時間（８６４００ｓｅｃ）
γ；付着確率　（芳香族炭化水素類の付着確率１×１０−５）
【０００４】
このような汚染物質を吸着除去するケミカルフィルタには、例えば活性炭、活性炭繊維、ゼオライト、イオン交換樹脂、その他化学吸着材などの吸着材が利用されており、これら吸着材が単独で用いられたり、ネット状物や不織布などの基材に吸着材などが担持されている。そして該ケミカルフィルタは前記フィルタシステム中の循環系に設置され、また必要に応じて外調機にも設置されている。
【０００５】
しかし、ガス状汚染物質の中でも有機系のガス状汚染物質は、外気中のみならず、ケミカルフィルタの下流位置に配置される計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタやＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ（以下、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタとＨＥＰＡフィルタとＵＬＰＡフィルタとを総称して高性能フィルタということがある）自体からも発生していることが判ってきた。しかもこのような高性能フィルタはクリーンルームでは多用され、濾材の使用面積が非常に多いため、高性能フィルタからの発生ガスの防止が課題とされてきた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１０４４１７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、高性能フィルタとして従来より使用されてきたガラス繊維製フィルターはホウ素を含むことが多いが、半導体工業などでは、このホウ素が無機系ガス状汚染物質となり悪い影響を与えるため問題となっていた。また、一方、ガラス繊維を使用しない高性能フィルターとして、ポリテトラフルオロエチレンの微孔膜を利用したフィルターが知られているが、このフィルターは高価であった。また、ガラス繊維製フィルターは焼却による廃棄ができず、ポリテトラフルオロエチレンの微孔膜を利用したフィルターは焼却時に有害ガスが発生するなど環境に悪い影響を与えるという問題があった。そこで、有機質繊維からなる高性能フィルターとしてメルトブロー法などにより得られる平均繊維径数μｍのポリプロピレン繊維からなるフィルターを検討したが、このような不織布は高性能フィルタとしては繊維が太いため、高い面密度が必要であり、その結果、通風時に圧力損失が高くなり、濾過寿命も短くなってしまった。そこで、繊維径を細くして、低い面密度でも高い粒子捕集効率が得られるようにして、更にプリーツ加工などのユニット加工を容易にするため、熱接着性繊維によって繊維同士を接着固定した高性能フィルタを検討した。そして、その接着のために接着剤を使用すると有機質のガス状汚染物質の発生が著しいため、接着剤は使用せず、繊維の固定には熱接着性の有機質繊維を用いるようにした。しかし、これらのメルトブロー法による極細繊維や熱接着性の有機質繊維は、繊維形成時や熱溶融時の繊維の分解生成物や、酸化防止剤などの添加剤を多く含むため有機系のガス状汚染物質が多くなることを見出した。
【０００８】
しかも、クリーンルーム内の管理基準は年々厳しくなる一方であり、上記のように高性能フィルタから有機系のガス状汚染物質が多量に発生すると、クリーンルーム内に有機質のガス状汚染物質が多量に進入したり、循環系にケミカルフィルタが設置されている場合はケミカルフィルタの寿命を縮めてしまい、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転経費が大きくかかってしまうという問題があることを見出した。そこで、有機質のガス状汚染物質の発生量が少ない高性能フィルタとしてのエアフィルタ用濾材や、そのエアフィルタ用濾材を成型してフィルタ枠に装着したエアフィルタユニットを検討することを課題とした。
【０００９】
すなわち、本発明は、クリーンルームなどで使用される高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材であり、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタやＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタとして用いる、アウトガス発生の少ないエアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット、及びその製造方法、並びにその包装体を提供することよって、クリーンルームなどへの塵埃の進入を防ぐと共に、クリーンルームなどへの汚染ガスの進入を軽減し、またケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段は、請求項１の発明では、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合しており、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材による。
【００１１】
請求項２の発明では、前記エアフィルタ用濾材の計数法による粒子捕集効率が９８％以上であることを特徴とする請求項１に記載のエアフィルタ用濾材による。
【００１２】
請求項３の発明では、前記エアフィルタ用濾材の計数法による粒子捕集効率が９９．９７％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のエアフィルタ用濾材による。
【００１３】
請求項４の発明では、請求項１〜３の何れかに記載のエアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていることを特徴とするエアフィルタユニットによる。
【００１４】
請求項５の発明では、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする請求項４に記載のエアフィルタユニットによる。
【００１５】
請求項６の発明では、メルトブロー法による平均繊維径１μｍ未満の極細有機繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ平均繊維径５〜１００μｍの熱接着性繊維を含む繊維ウェブを、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同士接着した後、さらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法による。
【００１６】
請求項７の発明では、請求項６に記載の製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフィルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法による。
【００１７】
請求項８の発明では、メルトブロー法による平均繊維径１μｍ未満の極細有機繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ平均繊維径５〜１００μｍの熱接着性繊維を含む繊維ウェブを、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同士接着し、エアフィルタ用素材とした後、該エアフィルタ用素材を用いてエアフィルタユニット中間体とし、該エアフィルタユニット中間体を８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法による。
【００１８】
請求項９の発明では、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタ用濾材包装体による。なお、該エアフィルタ用濾材の単位面積とは、該エアフィルタ用濾材を使用する場合の通風面の見かけの表面の単位面積（１ｍ２）のことをいう。
【００１９】
請求項１０の発明では、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、フィルタ枠に装着されたエアフィルタユニットが、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタユニット包装体による。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかるエアフィルタ用濾材、エアフィルタユニット及びその製造方法、並びにその包装体の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００２１】
本発明のエアフィルタ用濾材は、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合しており、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であることを特徴とする高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材である。
【００２２】
また、本発明のエアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されている本発明のエアフィルタユニットは、図１に例示するように、半導体や液晶の生産施設などのクリーンルーム９などにおいて、クリーンルーム内に流入する外気や、クリーンルーム内の空気中に含まれる粉塵を除去する、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタやＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタとして用いられるエアフィルタユニットである。
【００２３】
上記エアフィルタユニットは計数法による粒子捕集効率が９０％以上の高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材を、ジグザグ状の形状にプリーツ加工して通風面積を増やしてからフィルタ枠に装着したり、又は袋状に加工して通風面積を増やしてからフィルタ枠に装着したものであり、外気中又は室内空気中の微塵を捕捉して、クリーンルームなどの塵埃濃度を低く保つことを主目的とする。
【００２４】
本発明のエアフィルタ用濾材は高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材であり、ＪＩＳＢ９９０８形式１の試験法において、計数法による０．３μｍの粒子に対する粒子捕集効率（以下、単に計数法による粒子捕集効率ということがある。）が９０％以上の性能であって、好ましくは計数法による粒子捕集効率が９８％以上の性能を有し、更に好ましくは計数法による粒子捕集効率が９９．９７％以上の性能を有する。計数法による粒子捕集効率が９０％以下である場合は微塵除去が不十分であり、高性能フィルタとして使用することができない。
【００２５】
本発明のエアフィルタ用濾材の構造はメルトブロー法を含む方法によって形成された不織布であり、乾式法、エアレイ法、スパンボンド法など他の不織布の製法とメルトブロー法とを組み合わせた方法によって得られる不織布である。このようにメルトブロー法を含む方法によって形成された不織布であるため、繊維は極細繊維を含み、微塵に対する捕集効率が高い。また、例えばメルトブロー法とエアレイ法を組み合わせて得られる不織布としては、乾式法で用いるカード機などで開繊した短繊維ウェブを空気流で送るエアレイ法により、その短繊維ウェブをメルトブローの繊維ウェブ形成中に混入させて得られる不織布がある。このような不織布であれば、微塵に対する捕集効率が高く、厚みも高いので、濾過寿命の長い高性能エアフィルタ用濾材として好適である。すなわち、メルトブロー法とエアレイ法を組み合わせることで、短繊維が厚み方向に多数配向するので、厚みが出易くなり嵩高となり、且つ厚みがつぶれ難くなるのである。このように本発明のエアフィルタ用濾材は、メルトブロー法による繊維の重量が不織布全体の５重量％以上であり、３０重量％以上が好ましく、５０重量％以上が更に好ましい。５重量％未満の場合は高性能フィルタとしての微塵に対する捕集効率を十分に得ることができない。
【００２６】
本発明のエアフィルタ用濾材の繊維は、不織布の製造で一般的に用いられる合成繊維、半合成繊維、無機繊維、天然繊維などである。例えば、メルトブロー法による極細繊維には、ポリプロピレン系、ポリエチレン系などのポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリウレタン系樹脂などの繊維形成性重合体から形成された繊維が使用されるが、細い繊維が得やすいポリプロピレン系樹脂から形成された繊維がとくに好ましい。また、熱接着性繊維には、例えば他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる低融点成分を繊維表面に有する複合繊維がある。このような複合繊維には、その横断面形状が例えば、低融点成分を繊維表面に有する芯鞘型やサイドバイサイド型などの複合繊維があり、またその材質は例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、共重合ポリプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリアミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステルなどの繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊維がある。また、該熱接着性繊維の全体の繊維に占める割合は好ましくは５重量％以上であり、更に好ましくは１０重量％以上であり、最も好ましくは２０重量％以上である。熱接着性繊維の割合が５重量％未満であると熱接着による結合力が弱く、エアフィルタ用濾材として使用しても、風圧で容易に厚みがつぶれてしまい、不具合を生じる場合がある。また、本発明のエアフィルタ用濾材の繊維はメルトブロー法による繊維の場合、幾何算術平均繊維径は０．０５〜１μｍが好ましく、０．１〜０．６μｍがより好ましく、メルトブロー法以外の繊維の場合、幾何算術平均繊維径は５〜１００μｍが好ましく、１０〜５０μｍが更に好ましい。
【００２７】
本発明のエアフィルタ用濾材は上記の熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維とが、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理されることにより結合している。（以下、接着による結合を目的とした加熱処理を加熱接着処理ということがある。）この加熱接着処理には、例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いる方法や、エアスルー型の乾燥機を用いる方法がある。
【００２８】
本発明のエアフィルタ用濾材の面密度は５０〜３００ｇ／ｍ２の面密度が好ましく、８０〜２００ｇ／ｍ２が更に好ましい。また、本発明のエアフィルタ用濾材の厚さは、０．１〜５０ｍｍであることが好ましく、プリーツ加工する場合は０．１〜５ｍｍであることが好ましく、０．５〜３ｍｍが更に好ましい。
【００２９】
本発明のエアフィルタ用濾材は、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上３（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である。このように、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量を少なくするには、前記熱接着性繊維によって、熱接着性繊維同士、又は熱接着性繊維と他の繊維とが、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱接着処理されることにより結合しているエアフィルタ用素材をさらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することによって得ることができる。（以下、総有機物質の量を少なくする目的の加熱処理を加熱除去処理ということがある。）この加熱除去処理には、例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いる方法や、エアスルー型の乾燥機を用いる方法がある。また、この加熱除去処理は減圧下でも可能である。減圧下で加熱除去処理すれば、加熱温度を常圧時より低下させることができ、エアフィルタ用素材の熱変形などを防ぐことができる場合がある。
【００３０】
本発明では、有機質ガス状汚染物質の定量には、ダイナミックヘッドスペース法によって、加熱状態で促進試験を行ない、発生ガス量を定量した後、その値を発生ガス推測法によって、室温時の値に換算した値を使用している。
【００３１】
次に、ダイナミックヘッドスペース法を説明する。図２はこの方法に用いる発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス（株）製　ＭＳＴＤ−２５８Ｍ）の説明図である。まず、測定したい素材を直径７ｃｍの円形に切り、試料１４を作成する。試料１４をチャンバー１０内の中央のガス吹き出し口１３の上に設置する。次に、清浄なヘリウムガス１１をチャンバー内に流速１２０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させながら所定の温度（６０℃または８０℃）で加熱する。ヘリウムガス１１は試料１４と接触する際、試料１４から発生する汚染物質がヘリウムガス中に混入するので、気体濃度が平衡になった後、捕集速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１２（成分；２，６−ｄｉｐｈｅｎｙｌｅｎｅ　ｏｘｉｄｅ）に捕集する。次いで、固体吸着材１２に捕集した物質をガスクロマトグラフ質量分析計で分析する。（（株）島津製作所製　ＱＰ−５０５０を使用）加熱の温度は６０℃と８０℃の２条件で測定する。
【００３２】
次に、発生ガス推測法とは、高温下で発生ガスの促進試験を行ない、実験式を用いて、室温での結果を推測する方法であり、以下、発生ガス推測法について具体的に説明する。実際のクリーンルームの室温２３℃での発生ガスは極微量なので実測では分析感度の点で長時間の測定が必要になるなど、現実的には測定困難なため、前述のダイナミックヘッドスペース法により、試験条件を例えば６０℃、８０℃の高温下に設定して、試料から発生する有機物質の量を定性定量的に測定した結果から下記の式を用いて室温２３℃での結果を推測する。（株）住化分析センターの竹田らによれば、試験温度と発生ガスの関係については、経験則として下記の式が成り立つことがわかっている。（平成１１年第１７回コンタミネーションコントロール研究大会予稿集などに記載）
ｌｎ（Ｍ／Ａ・ｈ）＝−Ｃ１／Ｔ＋Ｃ２
Ｍ；トルエン換算の発生ガス量（μｇ）
Ａ；測定試料面積（ｍ２）
ｈ；捕集に要した時間（ｈ）
Ｔ；試験温度（絶対温度Ｋ）
Ｃ１およびＣ２；定数
【００３３】
また、本発明のエアフィルタ用濾材はコロナ放電加工などによりエレクトレット化処理がなされていることも可能である。また、本発明のエアフィルタ用濾材は上記のエアフィルタ用濾材と同じもの又は異なるものが複数積層していても構わない。また、上記のエアフィルタ用濾材と他の通気性を有するシート状物が積層していても構わない。このような通気性を有するシート状物には、例えば織物、編物、ネット、不織布、ろ紙などがあるが、ガス状汚染物質を多く発生しないものが好ましい。
【００３４】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ用濾材がフィルタ枠に装着されていることを特徴とするエアフィルタユニットである。このようなエアフィルタユニットの形態には、エアフィルタ用濾材がプリーツ折の型、エアフィルタ用濾材が袋形状の型などがある。プリーツ折の型の場合、エアフィルタ用濾材の面積はユニットの間口面積あたり最大１００倍程度まで、また袋形状の型の場合、エアフィルタ用濾材の面積は最大３０倍程度まで増加できる。また、エアフィルタユニットに用いる枠体としては、有機質ガス状汚染物質の発生が少ない合成樹脂の板や、該汚染物質の発生がほとんど無いアルミなどの金属であることが好ましい。
【００３５】
本発明のエアフィルタユニットは、前述のような本発明のエアフィルタ用濾材を用いているため、要求される塵埃に関する濾過性能に応じて適宜使用面積を変えたとしても、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましくは該総有機物物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上７５０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタユニットとすることができる。
【００３６】
次に、一例として本発明の請求項４に係るエアフィルタユニットをクリーンルームに使用した場合の効果を示す。例えば、ユニット間口を通過する風速を０．３ｍ／ｓｅｃに設定したとすると、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量が１０００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である場合、空気中の汚染物質濃度は１０００μｇ／ｍ２・ｈｒ÷０．３ｍ／ｓｅｃ＝０．９２μｇ／ｍ３となり、前述の管理基準値の４１．７μｇ／ｍ３を十分に満足できる。
【００３７】
なお、本発明のエアフィルタユニットがクリーンルームの循環系で使用される場合は、エアフィルタ用濾材から発生する有機物質が循環系に設置されているケミカルフィルタによって除去される。しかし、本発明によるエアフィルタ用濾材からの発生ガス量は、従来タイプのエアフィルタ用濾材からの発生ガス量と比較して、極めて少なく、ケミカルフィルタへの負担を格段に軽減して、ケミカルフィルタの寿命を大きく延ばすことができる。このように、本発明によるエアフィルタ用濾材およびエアフィルタユニットによって、クリーンルームなどへの塵埃の進入を防ぐと共に、クリーンルームなどへの汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することができる。なお、本発明のエアフィルタ用濾材またはエアフィルタユニットからの発生ガスは従来タイプより極めて少ないため、例えばケミカルフィルタなどを配置しなくても良いような管理基準のあまり厳しくない室内用途にも用いることができる。
【００３８】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法は、メルトブロー法による平均繊維径１μｍ未満の極細有機繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ平均繊維径５〜１００μｍの熱接着性繊維を含む繊維ウェブを、該熱接着性繊維の融点以上の温度で加熱処理して繊維同士接着した後、さらに８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱処理することを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法である。
【００３９】
上記繊維ウェブの形成法は不織布の製法のうちメルトブロー法と例えば乾式法、エアレイ法、スパンボンド法など他の不織布の製法とを組み合わせた方法を用いることができる。このように、メルトブロー法によれば、繊維を極細繊維とすることができ、微塵に対する捕集効率が向上する。また、乾式法で用いるカード機などで開繊した短繊維ウェブを空気流で送るエアレイ法により、その短繊維ウェブをメルトブローの繊維ウェブ形成中に混入させて、混合ウェブとすることもできる。このようなメルトブロー法とエアレイ法とを組み合わせた方法によれば、微塵に対する捕集効率を高くしながら、厚みも高く出せるので濾過寿命の長い高性能エアフィルタ用濾材を得ることができる。すなわち、エアレイ法を組み合わせることで、短繊維が厚み方向に多数配向するので、厚みが出易くなり嵩高となり、且つ厚みがつぶれ難くなるのである。
【００４０】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法で用いる繊維は、不織布の製造で一般的に用いられる合成繊維、半合成繊維、無機繊維、天然繊維などがある。例えば、メルトブロー法による極細繊維には、ポリプロピレン系、ポリエチレン系などのポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリウレタン系樹脂などの繊維形成性重合体から形成された繊維を使用することができるが、細い繊維が得やすいポリプロピレン系樹脂から形成された繊維をとくに好ましく用いることができる。また、熱接着性繊維としては、例えば他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる単一樹脂成分からなる繊維や、他の繊維よりも融点が低く他の繊維を熱接着することのできる低融点成分を繊維表面に有する複合繊維がある。このような複合繊維には、その横断面形状が例えば、低融点成分を繊維表面に有する芯鞘型やサイドバイサイド型などの複合繊維があり、またその材質は例えば、共重合ポリエステル／ポリエステル、共重合ポリプロピレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリアミド、ポリエチレン／ポリプロピレン、ポリプロピレン／ポリエステル、ポリエチレン／ポリエステルなどの繊維形成性重合体の組み合わせからなる複合繊維がある。また、該熱接着性繊維の配合比率は５重量％以上が好ましく、更に好ましくは１０重量％以上であり、最も好ましくは２０重量％以上である。熱接着性繊維の配合比率が５重量％未満であると熱接着による結合力が弱く、エアフィルタ用濾材として使用しても、風圧で容易に厚みがつぶれてしまい、不具合を生じてしまう場合がある。
【００４１】
上記繊維ウェブの形成に際しては、繊維ウェブに含まれるメルトブロー法による繊維の幾何算術平均繊維径を１μｍ未満とすることが必要であり、０．０５〜１μｍが好ましく、０．１〜０．６μｍが更に好ましい。また、メルトブロー法以外の繊維の幾何算術平均繊維径は５〜１００μｍが好ましく、１０〜５０μｍが更に好ましい。また、メルトブロー法以外の繊維のうち熱接着性繊維の幾何算術平均繊維径は５〜１００μｍであることが必要であり、１０〜５０μｍが好ましい。また、繊維ウェブの面密度は５０〜３００ｇ／ｍ２の面密度が好ましく、８０〜２００ｇ／ｍ２が更に好ましい。また、メルトブロー法による繊維ウェブの面密度は繊維ウェブ全体の５重量％以上であり、３０重量％以上が好ましく、５０重量％以上が更に好ましい。５重量％未満の場合は高性能フィルタとしての微塵に対する捕集効率を十分に得ることができない。
【００４２】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、次に上記繊維ウェブに対して該繊維ウェブに含まれている熱接着性繊維の低融点成分の融点以上の温度で加熱接着処理を行う。この加熱接着処理は、例えば熱風吹き出し型乾燥機を用いて、コンベアー上にある繊維ウェブの上から熱風を静かに吹きつけ、風圧で厚みがあまりつぶれないようにして、熱接着繊維同士接着するか、または熱接着繊維と他の繊維とを接着する方法や、エアースルー型の乾燥機を用いて、網状コンベアー上にある繊維ウェブの上から該コンベア−の下へ熱風を通して接着する方法などがある。
【００４３】
しかし、上記の加熱接着処理を行うだけでは、上記熱接着性繊維の表面にガス状汚染物質となる有機物質が生成してしまい、上記融点以上の温度から室温まで徐々に温度が降下しても、その間の加熱状態においては、生成した該有機物質が除去されないことが判った。そこで本発明による製造方法では、上記の加熱接着処理の次に、加熱接着処理した繊維ウェブに対して８０℃以上の温度で、且つ熱接着性繊維の低融点成分の融点より１０℃以下、より好ましくは２０℃以下の気体中で加熱除去処理を行う。この加熱除去処理は、例えば上記熱風吹き出し型乾燥機を用いて、上記と同様に、コンベアー上にある繊維ウェブの上から熱風を吹きつける方法によって行うことができる。そして、この加熱除去処理によって該熱接着性繊維の表面に生成した該有機物質を除去することができる。また、メルトブロー法によって形成された繊維の表面に、ガス状汚染物質となる有機物質が生成された場合もこの有機物質を除去することができる。なお、加熱除去処理は減圧下でも可能である。減圧下で加熱除去処理すれば、加熱温度を常圧時より低下させることができ、エアフィルタ用素材の熱変形などを防ぐことができる場合がある。
【００４４】
上記加熱除去処理に要する時間は５分間以上が好ましい。また、この加熱除去処理温度が８０℃未満であるならば、該有機物質を十分に除去することができない。また、上記低融点成分の融点よりも低い温度であり、該融点との差が１０℃未満である場合には、熱接着性繊維の表面やメルトブロー法によって形成された繊維の表面から該有機物質を除去するどころか、かえって熱接着性繊維などの表面に新たにガス状汚染物質となる有機物質を生成してしまい、有機物質の発生量が少ないエアフィルタ用濾材を得ることはできない。なお、熱接着性繊維の低融点成分の融点近くの温度で加熱することによって、熱接着性繊維の表面にガス状汚染物質となる有機物質が生成する理由としては、該融点成分の一部が分解することによるか、低融点成分に含まれていた繊維の可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤などの添加剤が繊維表面に溶出することなどが考えられる。
【００４５】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、上記の加熱接着処理を行った後に引き続いて上記の加熱除去処理を行うことができるが、加熱接着処理を行った後に一旦繊維ウェブを室温近くまで冷却してから加熱除去処理を行うこともできる。また別法として、加熱接着処理によってエアフィルタ用素材とした後、該エアフィルタ用素材にプリーツ加工やユニット加工を行い、次に例えばフィルタ枠に装着して一旦エアフィルタユニット中間体として、その後に該エアフィルタユニット中間体を８０℃以上で、且つ該熱接着性繊維の融点より１０℃以下の温度の気体中で加熱除去処理することもできる。プリーツ加工やユニット加工した後に加熱除去処理する場合は、加熱処理対象全体を上記所定の温度の乾燥機中に放置するか、ユニットに上記所定の温度の熱風を通過させるなどの方法で行うことができる。このように、プリーツ加工やユニット加工した後に加熱除去処理した場合は、熱接着によって熱接着繊維表面に生成した有機物質のみならず、該プリーツ加工や該ユニット加工までに、大気中よりエアフィルタ用素材やエアフィルタユニット中間体に付着した有機物質をも除去することができる。
【００４６】
このようにして得られるエアフィルタ用濾材の厚さは、０．１〜５０ｍｍであることが好ましく、プリーツ加工する場合は０．１〜５ｍｍであることが好ましく、０．５〜３ｍｍが更に好ましい。
【００４７】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法では、上記のように加熱除去処理を行うことによって、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上３（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタ用濾材を得ることができる。
【００４８】
本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をフィルタ枠に装着してエアフィルタユニットとすることを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法である。
【００４９】
本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法によって得られたエアフィルタ用濾材をプリーツ状に多数折り曲げてからフィルタ枠に装着することによって、或いは得られたエアフィルタ用素材をプリーツ状に多数折り曲げてからフィルタ枠に装着してから前述の加熱除去処理を行うことにより、プリーツ折型の本発明のエアフィルタユニットとすることができる。後者の方法によれば、ユニット加工した後にエアフィルタ用素材に付着する有機物質やフィルタ枠に付着した有機物質をも除去することができる。また、エアフィルタユニットの形態には、プリーツ折型の外に、濾材を袋形状に形成してフィルタ枠に装着した袋形状型なども可能である。このようにして、エアフィルタ用濾材の面積はユニットの間口面積あたり最大１００倍程度まで、また袋形状に加工するとエアフィルタ用濾材の面積は最大３０倍程度まで増加することができる。また、エアフィルタユニットに用いる枠体としては、有機質ガス状汚染物質の発生が少ない合成樹脂の板や、該汚染物質の発生がほとんど無いアルミなどの金属や、該汚染物質の発生の少ないシール剤を用いることが好ましい。また、本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法で得られたエアフィルタ用濾材を、要求される塵埃に関する濾過性能に応じて適宜使用面積を定めて用いることにより、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上１０００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上７５０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下である、更に好ましくは該総有機物質の量が１．０（ｐｇ／ｍ２・ｈｒ）以上５００（μｇ／ｍ２・ｈｒ）以下であるエアフィルタユニットを得ることができる。
【００５０】
本発明のエアフィルタ用濾材包装体は、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタ用濾材包装体であり、該エアフィルタ用濾材を使用するまでに、該エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付着するのを防ぐことができる。なお、該エアフィルタ用濾材の単位面積とは、該エアフィルタ用濾材を使用する場合の通風面の見かけの表面の単位面積（１ｍ２）のことをいう。
【００５１】
また、本発明のエアフィルタユニット包装体は、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のエアフィルタ用濾材であって、該エアフィルタ用濾材はメルトブロー法による繊維を少なくとも５重量％以上含み、且つ該エアフィルタ用濾材に含まれる繊維が熱接着性繊維によって結合してなるエアフィルタ用濾材が、フィルタ枠に装着されたエアフィルタユニットが、通気性を有しないシート状物によって包装されてなる包装体であって、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量が、該エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量より少ないことを特徴とするエアフィルタユニット包装体であり、該エアフィルタユニットを使用するまでに、該エアフィルタユニットにガス状汚染物質が付着するのを防ぐことができる。このような包装体としては、例えば、該エアフィルタユニットのエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）が、１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である場合、該シート状物から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）が１０（μｇ／ｍ２・ｈｒ）未満の該シート状物によって、該エアフィルタユニットが包装されているエアフィルタユニット包装体がある。
【００５２】
上記のシート状物としては、アルミ箔などの金属箔、ポリエステル樹脂などの樹脂フィルム、アルミ蒸着樹脂フィルムなどがあり、通気性を有しないシート状のものが適している。また、包装体の形態としては、対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタユニットをシート状物で包みこんだ形態や、シート状物からなる袋に対象となるエアフィルタ用濾材やエアフィルタユニットを入れて、袋の口を止める形態など、該エアフィルタ用濾材や該エアフィルタユニットが直接外気に触れないようにすればよい。また、必ずしも密封している必要はないが、密封すれば該エアフィルタ用濾材や該エアフィルタユニットに大気中のガス状汚染物質が付着するのをより効果的に防ぐことができる。また、該シート状物の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、該総有機物質の量（トルエン換算重量）が、該エアフィルタ用濾材の単位面積あたり（１ｍ２あたり）から発生する、単位時間（１ｈｒ）における、総有機物質の量（トルエン換算重量）より少ないので、該シート状物によって包装されている該エアフィルタ用濾材や該エアフィルタユニットに対して、該シート状物から発生するガス状汚染物質が付着することがないか、又は付着することがあっても、その量は極めて少ない。
【００５３】
以下、本発明の実施例につき説明するが、これは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではない。
【００５４】
（実施例１）
芯成分が融点１６０℃のポリプロピレン、鞘成分が融点１３０℃のポリエチレンからなる、幾何算術平均繊維径が１６μｍ、繊維長が５１ｍｍの複合繊維である熱接着性繊維１００％からなる繊維を開繊した後、空気流で送りながら、ポリプロピレンのメルトブローの幾何算術平均繊維径が０．５μｍの極細有機繊維からなるウェブを形成中に混入させて、メルトブロー法とエアレイ法の組み合わせによる混合ウェブを形成した。この混合ウェブの混合比率は熱接着性繊維が４３重量％、メルトブローによる繊維が５７重量％であった。次に、この混合ウェブに１４５℃の乾燥機で３分間加熱接着処理を行ない、鞘成分のポリエチレンを溶融して、その混合ウェブの繊維交点で繊維接着を行ない、面密度１０５ｇ／ｍ２、厚さ８ｍｍのエアフィルタ用素材を作製した後、引き続きスリットを設けた１１０℃の加熱ロールの間に通して厚さを０．８ｍｍに調整して、そのまま空冷した。次に、このエアフィルタ用素材に、１１０℃の乾燥機で１０分間加熱除去処理を行ない、面密度１０５ｇ／ｍ２、厚さ０．８ｍｍのエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．１２（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であった。次に、このエアフィルタ用濾材１５ｍ２を用いてプリーツ折りを行い、外寸法が６１０ｍｍ×６１０ｍｍの間口で奥行きが２９０ｍｍのフィルタ枠に装着して、特開平１１−１９７４２３号公報の図１のような形状のエアフィルタユニットを得た。このエアフィルタユニットは、風量３１．２ｍ３／ｍｉｎの試験条件で、計数法によるＤＯＰ０．３μｍ粒子の粒子捕集効率は９９．９８％であり、ＨＥＰＡフィルタとしての性能を満足するものであった。また、エアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出すると、エアフィルタユニットの間口面積の単位面積あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量は４７．４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、クリーンルーム用フィルタシステムに取り付けるＨＥＰＡフィルタとして好適であった。
【００５５】
（比較例１）
エアフィルタ用素材に加熱除去処理を行なわなかったこと以外は実施例１と同様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を実施例１と同様にして算出すると、１２．４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、クリーンルーム用フィルタシステムの外調機に取り付ける高性能フィルタとして、有機質のガス状汚染物質が多く不適であった。
【００５６】
（比較例２）
エアフィルタ用素材に１５０℃で３分間加熱除去処理を行なったこと以外は実施例１と同様にしてエアフィルタ用濾材を得た。このエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を実施例１と同様にして算出すると、該総有機物質の量が３０．８（μｇ／ｍ２・ｈｒ）であり、クリーンルーム用フィルタシステムの外調機に取り付ける高性能フィルタとして、有機質のガス状汚染物質が多く不適であった。
【００５７】
以上のように、実施例１では、本発明による加熱除去処理を行うことによって得られたエアフィルタ用濾材から発生する総有機物質の量（トルエン換算重量）を発生ガス推測法により２３℃において算出して、次に該エアフィルタ用濾材に含まれる熱接着性繊維とメルトブロー法による繊維合計の繊維の面密度１００ｇ／ｍ２あたりから発生する、単位時間における、該総有機物質の量を算出すると、１．１２（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。これに対して、加熱接着処理しか行わなかった従来タイプの比較例１では１２．４（μｇ／ｍ２・ｈｒ）である。このように本発明のエアフィルタ用濾材は該総有機物質の発生量が従来タイプのエアフィルタ用濾材の約１１分の１と極めて少ない。従って、本発明のエアフィルタ用濾材によって、クリーンルームなどへの塵埃の進入を防ぐと共に、クリーンルームなどへの汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することができる。また、比較例２において、総有機物質の量が多くなった理由としては、比較例２ではポリエチレンの融点１３０℃以上の温度での加熱除去処理であったため、エアフィルタ用濾材表面のガス状汚染物質となる有機物質が除去されるよりは、むしろエアフィルタ用濾材表面にガス状汚染物質となる有機物質が新たに生成したためと考えられる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によるエアフィルタ用濾材、エアフィルタユニット、及びその製造方法によって、アウトガス発生量の少ない、計数法による粒子捕集効率が９０％以上のフィルタやＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタ用のエアフィルタ用濾材を提供することができ、このエアフィルタ用濾材又はエアフィルタユニットをクリーンルームなどで使用することにより、クリーンルームなどへの塵埃の進入を防ぐと共に、クリーンルームなどへの汚染ガスの進入を軽減し、また該ケミカルフィルタの汚染ガス除去に関する負担を少なくして寿命を延ばし、クリーンルームなどのフィルタシステムの運転維持経費の削減に寄与することができる。また、本発明によるエアフィルタ用濾材包装体により、エアフィルタ用濾材を使用するまでに、該エアフィルタ用濾材にガス状汚染物質が付着するのを防ぐことができる。更にまた、本発明によるエアフィルタユニット包装体により、エアフィルタユニットを使用するまでに、該エアフィルタユニットにガス状汚染物質が付着するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルームなどのフィルタシステム
【図２】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガス捕集装置の説明図
【符号の説明】
１　　外調機
２　　プレフィルタ
３　　中性能フィルタ
４　　エアワッシャ−
５　　ケミカルフィルタ
６　　ＨＥＰＡフィルタ
７　　ケミカルフィルタ
８　　ＨＥＰＡフィルタ
８’　ＵＬＰＡフィルタ
９　　クリーンルーム
１０　チャンバー
１１　ヘリウムガス
１２　固体吸着剤
１３　ガス吹出し口
１４　試料
【図１】
2004000926.tif 000003
【図２】
2004000926.tif 000004