(57)【要約】【課題】投影型ロータリエンコーダにおいて、検出信号の出力低下およびＳ／Ｎ比の低下を防止できるように、各格子の形状を決定すること。【解決手段】光源と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のオブジェクト格子が配列されたオブジェクト格子板と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のスケール格子が配列されたロータリスケール板と、一定の角度間隔で円周方向に略扇形のホトダイオード受光格子が配列されたホトダイオード格子板とを有する投影型ロータリエンコーダにおいて、ロータリスケール板には、当該表面に照射されるオブジェクト格子３１Ａの光像に対応する形状および大きさのスケール格子３２Ａが形成されている。ホトダイオード格子板には、当該表面に照射されるスケール格子３２Ａの光像に対応する形状および大きさのホトダイオード受光面格子３３Ａが形成されている。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のオブジェクト格子が配列されたオブジェクト格子板と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のスケール格子が配列されたメインスケール板と、一定の角度間隔で円周方向に略扇形のホトダイオード受光面格子が配列されたホトダイオード格子板とを有し、前記光源からの射出光が前記オブジェクト格子および前記メインスケール板を通過して前記ホトダイオード受光面格子により受光される投影型ロータリエンコーダにおいて、
前記メインスケール板には、当該表面に照射される前記オブジェクト格子の光像に対応する形状および大きさの前記スケール格子が形成されており、
前記ホトダイオード格子板には、当該表面に照射される前記スケール格子の光像に対応する形状および大きさの前記ホトダイオード受光面格子が形成されていることを特徴とする投影型ロータリエンコーダ。
【請求項２】
請求項１において、
前記メインスケール板の中心を通る１本の放射線を引き、
前記オブジェクト格子の外周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の外側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の外周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の外周側の辺を位置させ、
前記オブジェクト格子の内周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の内側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の内周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の内周側の辺を位置させたことを特徴とする投影型ロータリエンコーダ。
【請求項３】
光源と、一定の角度間隔で円周方向に光反射用の略扇形の反射格子であるスケール格子が配列されたメインスケール板と、これら光源およびメインスケール板の間に配置された格子板とを有し、
この格子板における前記スケール格子に対峙している部分には、一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形の光透過用のオブジェクト格子が形成されており、このオブジェクト格子の半径方向の外側位置において一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形のホトダイオードの受光面格子、および／または、前記オブジェクト格子の半径方向の内側位置において一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形のホトダイオードの受光面格子が形成されている反射式の投影型ロータリエンコーダにおいて、
前記メインスケール板には、当該表面に照射する前記オブジェクト格子の光像に対応する形状および大きさの前記スケール格子が形成されており、
前記格子板には、当該表面に照射する前記スケール格子の反射光像に対応する形状および大きさの前記ホトダイオード受光面格子が形成されていることを特徴とする反射式の投影型ロータリエンコーダ。
【請求項４】
請求項３において、
前記メインスケール板の中心を通る１本の放射線を引き、
前記オブジェクト格子の外周側辺を、前記放射線に沿って半径方向の外側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の外周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の外周側の辺を位置させ、
前記オブジェクト格子の内周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の内側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の内周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の内周側の辺を位置させたことを特徴とする投影型ロータリエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は３枚格子理論に基づく投影型ロータリエンコーダに関し、特に、各格子の形状を適切に設定することにより、検出信号の出力低下およびＳ／Ｎ比の低下を防止可能な投影型ロータリエンコーダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学式エンコーダとしては、平行スリット型のものと、３枚格子理論に基づく投影型のものとが知られている。平行スリット型のエンコーダ、例えば透過型エンコーダは、図１に示すように、光源１と、メインスケール板２と、ホトダイオード格子板３とがこの順序に配列され、メインスケール板２とホトダイオード格子板３の相対変位に基づき、メインスケール２のスケール格子２ａおよびホトダイオード格子板３の受光面格子３ａを通過する光量が変化し、ホトダイオード格子板３に作り込まれた各ホトダイオードから近似正弦波の電気信号が出力される。高分解能化を図るために、格子ピッチを狭くすると、光は回折の影響を受けて直進しなくなるので、メインスケール板２とホトダイオード格子板３の間隔ｇを狭くする必要がある。
【０００３】
これに対して、投影型のエンコーダは、レーザのようなコヒーレント光ではなく、インコヒーレント光で、回折、干渉現象を利用している。このため、光学素子、光学系に高精度な構造を必要としないで、高分解能化を実現できる。投影型のエンコーダ、例えば透過型のエンコーダは、図２に示すように、光源４と、オブジェクト格子板５と、メインスケール板６とホトダイオード格子板７がこの順序に配置された構成となっており、オブジェクト格子板５とメインスケール板６の距離が、メインスケール板６とホトダイオード格子板７の距離と等しくなるように設定される。この投影型エンコーダの特徴は、オブジェクト格子板５とメインスケール板６の間隔ｇが大きくなっても、オブジェクト格子板５に形成したオブジェクト格子５ａおよびメインスケール板６の形成したスケール６ａを通過した光像のピッチが変化しないことである。
【０００４】
すなわち、平行スリット式の場合には、透過型、反射型のいずれの場合においても、格子間のギャップｇが大きくなると、メインスケール板２を通過後の光の像が広がり、ホトダイオード格子板３に映る像のピッチも大きくなるので、ホトダイオード格子板３の受光面格子３ａに映る像のピッチはメインスケール板２の格子２ａのピッチに一致しなくなる。しかるに、投影型の場合には、透過型、反射型のいずれの場合においても、ギャップが大きくなってもホトダイオード格子板７の受光面格子７ａに映る像のピッチは、オブジェクト格子５ａ、メインスケール格子６ａのピッチと等しい。
【０００５】
一方、光学式エンコーダとしては、移動物の直線移動距離あるいは速度を検出するためのリニア型のものと、移動物の回転角度位置あるいは回転速度を検出するためのロータリ型のものがある。図３には、従来から知られている平行スリット型で透過型のロータリエンコーダの構成を示してある。ＬＥＤなどの光源１１から射出した光は、回転軸１２に同軸状態に固定したメインスケール板１３および当該スケール格子板１３のスケール格子１３ａに対向配置したインデックス格子板１４を通過してホトダイオードなどの受光素子１５に到る。スケール格子１３ａの回転に伴い、スケール格子１３ａとインデックス格子１４ａの重なり具合が変化し、これによって格子間を通過する光量が略正弦波状に変化するので、この光量変化を受光素子で検出することにより、回転角の変化を知ることができる。
【０００６】
ここで、図４に示すように、ロータリ型の光学式エンコーダでは、平行スリット型および投影型のいずれの場合においても、メインスケール板２１のスケール格子２１ａの形状はメインスケール板２１の輪郭が円である場合には、その中心からの放射線を基準とする扇形に設計するのが一般的である。また、インデックス格子板２２のインデックス格子２２ａは、スケール格子２１ａをその面の鉛直方向に投影した形状とされている。なお、実際のインデックス格子はＡ、Ｂの２相信号を差動検出するために４組の格子を１／４ピッチずらして配置してあるが、図４にはそのうちの１組のみを模式的に示してある。
【０００７】
なお、投影型エンコーダは例えば次の特許文献に開示されている。
【０００８】
【特許文献】
特開２０００―３２１０９７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、投影型のロータリエンコーダにおいて、平行スリット型の場合と同様に各格子を同一の扇形として同一角度間隔で形成すると、検出信号の出力が低下し、あるいは、Ｓ／Ｎ比が低下する惧れがある。
【００１０】
詳細に説明すると、投影型ロータリエンコーダにおいては、光源が点光源に近く拡散光を射出するものであれば、光像のピッチは変わらなくても、各格子を通過した光像は上下および左右に広がる。図５にはこの様子を示してある。図５（ａ）に示すように、リニア型の場合には、メインスケール板の長方形のスケール格子のピッチｐが格子のどの部分においても一定であるので、ここを通過する光像は同一幅の長方形になり、ピッチｐは各部分において同一になる。しかし、ロータリエンコーダの場合は、格子が扇形であるので、格子ピッチは、外周側の辺が最もピッチが大きく、内周側に向かうと徐々にピッチが狭まり、内周側の辺が最もピッチが狭くなる。
【００１１】
図５（ｂ）に示すように、投影型エンコーダにおいては、光源から射出した光がオブジェクト格子板およびメインスケール板を通過してホトダイオード格子に到るまで、それぞれを通過した光像３１、３２、３３のピッチが等しい。なお、格子が扇形であるので、ピッチは、外周側の辺のピッチｐ１が最も大きく、中心側に向かうと徐々にピッチが狭まり、内周側の辺のピッチｐ２が最も狭くなる。この結果、オブジェクト格子を通過する光像３１の半径は、メインスケール格子を通過する光像３２の半径よりも小さく、ホトダイオード格子に照射する光像３３の半径はメインスケール格子を通過する光像３２の半径よりも大きくなる。
【００１２】
従来の投影型ロータリエンコーダにおいては、この点については何ら考慮することなく、各格子の形状を同一の扇形とすると共に同一角度間隔で配列している。このために、オブジェクト格子およびメインスケール格子が完全に重なった回転角度状態になってもオブジェクト格子を通過した光像がメインスケール格子を通過する際にその一部が欠落してしまい、また、メインスケール格子を通過した光像の一部がホトダイオード格子によって受光されない事態が発生する。この結果、ホトダイオードによる受光量が低下してしまうので、検出信号の出力低下を招き、Ｓ／Ｎ比も低下してしまう。
【００１３】
図６に示す反射型の投影型のロータリエンコーダにおいても同様な現象が発生する。すなわち、光源４１からの光は格子板４２の中央に形成されたオブジェクト格子４２ａを経てスケール格子板４３のスケール格子４３ａで反射して、格子板４２におけるオブジェクト格子４２ａの上下に形成されているホトダイオード受光面格子４４ａに結像する。従って、スケール格子４３の中心から見ると、光の通過方向は半径方向に沿って、中心側から外周側、若しくは外周側から中心側に向かって進む。このため、オブジェクト格子４２ａ、スケール格子４３ａ、ホトダイオード格子４４ａのそれぞれを、同一形状で同一の角度間隔の扇形にすると、光の漏れによって検出信号の低下や、Ｓ／Ｎ比の低下を招く。
【００１４】
図７には、オブジェクト格子４２ａを扇形とした場合に、スケール格子板４３上に形成される光像、およびホトダイオード受光面格子４４ａ上に形成される光像を示してある。この図において、光源４１から出た光は、オブジェクト格子４２ａを経てスケール格子４３ａで反射され、ホトダイオード格子４４ａに結像する。この時、オブジェクト格子４２ａのｂ１点、ｂ２点を経た光はａ１’点、ａ２’点に到る。同様に、ｃ１点、ｃ２点を経た光はｂ１’点、ｂ２’点に到り、ｄ１点、ｄ２点を出た光はｅ１’点、ｅ２’点に到り、ｅ１点、ｅ２点を出た光はｆ１’点、ｆ２’点に到る。これによって分かる通り、オブジェクト格子４２ａを扇形にすると、ホトダイオード格子板４４に結ぶ像はａ１’、ｂ１’、ｂ２’、ａ２’、ｅ１’、ｆ１’、ｆ２’およびｅ２’で囲まれた形状となり、スケール格子４３ａの中心から放射状に延びる扇形にはならない。この結果、信号低下やＳ／Ｎ比の低下を招くことにある。なお、図においては、光源を放射角をもった発散光で示しているが、結像状態は説明を平易にするために平行光で示してある。
【００１５】
本発明の課題は、かかる点に鑑みて、各格子の形状を適切に設定することにより、検出信号の出力、およびＳ／Ｎ比の低下を防止あるいは抑制できるようにした投影型ロータリエンコーダを提案することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光源と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のオブジェクト格子が配列されたオブジェクト格子板と、一定の角度間隔で円周方向に光透過用の略扇形のスケール格子が配列されたメインスケール板と、一定の角度間隔で円周方向に略扇形のホトダイオード受光面格子が配列されたホトダイオード格子板とを有し、前記光源からの射出光が前記オブジェクト格子および前記メインスケール板を通過して前記ホトダイオード受光面格子により受光される投影型ロータリエンコーダにおいて、
前記メインスケール板には、当該表面に照射される前記オブジェクト格子の光像に対応する形状および大きさの前記スケール格子が形成されており、
前記ホトダイオード格子板には、当該表面に照射される前記スケール格子の光像に対応する形状および大きさの前記ホトダイオード受光面格子が形成されていることを特徴としている。
【００１７】
このように各格子の形状および形成位置を決定するためには、例えば、次のように行えばよい。
【００１８】
まず、前記メインスケール板の中心を通る１本の放射線を引く。次に、前記オブジェクト格子の外周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の外側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の外周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の外周側の辺を位置させる。
【００１９】
次に、前記オブジェクト格子の内周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の内側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の内周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の内周側の辺を位置させる。
【００２０】
このようにして決定した各格子の辺の左右の端を相互に結ぶことにより、格子形状および位置が決まる。
【００２１】
次に、本発明は反射型の投影型ロータリエンコーダに適用することができる。すなわち、光源と、一定の角度間隔で円周方向に光反射用の略扇形の反射格子であるスケール格子が配列されたメインスケール板と、これら光源およびメインスケール板の間に配置された格子板とを有し、
この格子板における前記スケール格子に対峙している部分には、一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形の光透過用のオブジェクト格子が形成されており、このオブジェクト格子の半径方向の外側位置において一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形のホトダイオードの受光面格子、および／または、前記オブジェクト格子の半径方向の内側位置において一定の角度間隔で円周方向に配列された略扇形のホトダイオードの受光面格子が形成されている反射式の投影型ロータリエンコーダにおいて、
前記メインスケール板には、当該表面に照射する前記オブジェクト格子の光像に対応する形状および大きさの前記スケール格子が形成されており、
前記格子板には、当該表面に照射する前記スケール格子の反射光像に対応する形状および大きさの前記ホトダイオード受光面格子が形成されていることを特徴としている。
【００２２】
この場合においても各格子の形状および位置は次のように決定することができる。まず、前記メインスケール板の中心を通る１本の放射線を引く。次に、前記オブジェクト格子の外周側辺を、前記放射線に沿って半径方向の外側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の外周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の外周側の辺を位置させる。
【００２３】
次に、前記オブジェクト格子の内周側の辺を、前記放射線に沿って半径方向の内側に向けて、所定の距離だけ平行移動させた場所、および当該距離の２倍の距離だけ平行移動させた場所に、それぞれ、同一幅の前記スケール格子の内周側の辺、および同一幅の前記ホトダイオード受光面格子の内周側の辺を位置させる。
【００２４】
このように決定した各格子の辺の両端を相互に結ぶことにより、各格子の形状および位置を決定することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した投影型ロータリエンコーダの実施の形態を説明する。
【００２６】
（透過型の投影型ロータリエンコーダ）
本実施の形態に係る透過型の投影型ロータリエンコーダの基本構造は、図２に示す従来における透過型の投影型ロータリエンコーダと同一であるので、オブジェクト格子５、スケール格子６ａおよびホトダイオード受光面格子７ａの形状および配置関係についてのみ説明する。
【００２７】
本実施の形態では、各格子の形状および配置を図５（ｂ）に示すように設定してある。まず、円板状のメインスケール板の中心から引いた放射線を基準として、当該メインスケール板に所定角度間隔で扇形のスケール格子３２Ａを形成する。
【００２８】
次に、メインスケール板の中心を通る１本の放射線Ｌ１を選択し、これに平行となるように、各スケール格子３２Ａの外周側の辺３２１を外周側に一定距離Ｄ１だけ平行移動させて、ホトダイオード格子板の受光面格子３３Ａの外周側の辺３３１を決定する。また、各スケール格子３２Ａの内周側の辺３２２を放射線Ｌ１に沿って内周側に同一距離Ｄ１だけ平行移動させて、受光面素子３３Ａの内周側の辺３３２を決定する。これらの辺３３１の両端と辺３３２の両端とを結ぶことにより、各受光面格子３３Ａを形成する。
【００２９】
同様に、放射線Ｌ１に沿って、各スケール格子３２Ａの外周側の辺３２１を内周側にＤ１／２だけ平行移動させて、オブジェクト格子３１Ａの外周側の辺３１１を決定する。また、各スケール格子３２Ａの内周側の辺３２２を放射線Ｌ１に沿って外周側に同一距離だけ平行移動させて、オブジェクト格子３２Ａの内周側の辺３１２を決定する。これらの辺３１１の両端と辺３１２の両端とを結ぶことにより、各オブジェクト格子３１Ａを形成する。
【００３０】
このようにして、スケール格子３２Ａ、ホトダイオードの受光面格子３３Ａおよびオブジェクト格子３１Ａが形成された投影型のロータリエンコーダにおいては、各格子を通過して得られる光像に対応した形状の格子が対応した位置に形成されている。よって、ホトダイオードにおける受光量が低下することがないので、検出信号の出力低下、Ｓ／Ｎ比の低下を防止あるいは抑制できる。
【００３１】
（反射型の投影型ロータリエンコーダ）
次に、本発明を反射型の投影型ロータリエンコーダに適用した実施の形態を説明する。
【００３２】
反射型の投影型ロータリエンコーダの全体構成は図６に示す従来のものと同一であり、オブジェクト格子４２ａ、上下のホトダイオード受光面格子４４ａ（上）、４４ａ（下）は図８に示すように形成されている。
【００３３】
次に、図９および図１０を参照して、各格子の設計方法の一例を以下に示す。まず、メインスケール板４３の半径Ｒを決める（図９（ａ））。次に、ホトダイオードの受光面格子４４ａ（上）、４４ａ（下）の縦幅およびオブジェクト格子４２ａの縦幅をそれぞれ決める（図９（ｂ））。図１０における円Ｃ１〜Ｃ４が外周側および内周側の受光面格子４４ａ（上）、４４ａ（下）を規定しており、円Ｃ１１、１２がオブジェクト格子４２ａを規定している。
【００３４】
次に、図１０に示すように、メインスケール板４３に形成すべきスケール格子４３ａの幅に合わせて、当該メインスケール板４３の中心から放射状に一定の角度間隔でスケール線を引き、隣接する１組のスケール線Ｌ１１（１）、Ｌ１１（２）の中心線Ｌ１０（放射線）を引く。
【００３５】
次に、スケール線Ｌ１１（１）上に、オブジェクト格子４２ａの外周側の円Ｃ１と上側のホトダイオード受光面格子４４ａ（上）の外周側の円Ｃ１１との間の中点Ｂを取る。
【００３６】
この中点Ｂから中心線Ｌ１０と平行な線分Ｌ１３を引き、受光面格子の外周側の円Ｃ１との交点をＣとし、オブジェクト格子の外周側の円Ｃ１１との交点をＡとする。同様にして、各中点Ｅ、Ｋ、Ｈからそれぞれ平行線を引き、点Ｄ、Ｆ、Ｌ、Ｊ、Ｇ、Ｉを規定する。
【００３７】
次に、点Ｃから点Ｊに線分Ｌ１４を引く。同様に点Ｄから点Ｉに線分Ｌ１５を引く。また、点Ａから点Ｌに線分Ｌ１６を引き、点Ｆから点Ｇに線分Ｌ１７を引く。このようにして、点Ａ、Ｆ、Ｇ、Ｌによりオブジェクト格子４２ａの形状が規定され、点Ｂ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｋ、Ｌ、Ａによってスケール格子４３ａの形状が規定され、点Ｃ、Ｄ、Ｆ、Ａによって外周側の受光面格子４４ａ（上）の形状が規定され、点Ｇ、Ｉ、Ｊ、Ｌによって内周側の受光面格子４４ａ（下）の形状が規定される。
【００３８】
中心線Ｌ１０の左右に、同様にして必要個数分のオブジェクト格子４２ａおよび上下の受光面格子４４ａ（上）、４４ａ（下）を形成する。この結果、図８に示すような格子形状が得られる。
【００３９】
本実施の形態に係る反射型の投影型ロータリエンコーダにおいても、各格子を通過して得られる光像に対応した形状の格子を対応した位置に形成してあるので、ホトダイオードにおける受光量損失を無くすことができる。よって、検出信号の出力低下、Ｓ／Ｎ比の低下を防止あるいは抑制できる。
【００４０】
（その他の実施の形態）
なお、反射型の投影型ロータリエンコーダにおいて、光源として平行光を射出するものを用いる場合には、オブジェクト格子、スケール格子およびホトダイオード受光面格子の形状が一致するので、図１１に示すように、メインスケール板の中心を通る１本の中心線Ｌ１０に沿って、同一の扇形図形を外周側および内周側に平行移動させることにより各格子を形成すればよい。
【００４１】
また、上記の各実施の形態では、メインスケール板に形成した扇形のスケール格子を基準として、オブジェクト格子および受光面格子を規定している。この代わりに、オブジェクト格子あるいは受光面格子を最初に決定して、残りの格子をこれに従って形成してもよい。
【００４２】
さらに、スケール格子を図１０に示す形状とする代わりに、当該形状を包含する、より単純な扇形で近似するようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の投影型ロータリエンコーダにおいては、オブジェクト格子、スケール格子およびホトダイオードの受光面格子を、実際に光像が形成される位置に、実際に形成される光像に対応した形状となるように形成してある。
【００４４】
従って、平行スリット型の場合と同様に同一形状の扇形の格子を各板の対応する位置に形成する場合とは異なり、ホトダイオードでの受光量の損失を防止あるいは抑制できるので、検出信号の出力低下、Ｓ／Ｎ比の低減を防止あるいは抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の平行スリット型の光学式エンコーダを示す説明図である。
【図２】従来の投影型の光学式エンコーダを示す説明図である。
【図３】従来の平行スリット型のロータリエンコーダを示す説明図である。
【図４】ロータリエンコーダに形成される格子形状を示す説明図である。
【図５】（ａ）は投影型のリニアエンコーダにおける光像を示す説明図であり、（ｂ）は投影型のロータリエンコーダにおける光像を示す説明図である。
【図６】反射型の投影型ロータリエンコーダを示す説明図である。
【図７】図６の投影型ロータリエンコーダにおけるホトダイオードで受光される光像の形状を示す説明図である。
【図８】本発明を適用した反射型の投影型ロータリエンコーダにおける各格子の形状を示す説明図である。
【図９】図８の投影型ロータリエンコーダにおける各格子の形状を決定するための手順を示す説明図である。
【図１０】図８の投影型ロータリエンコーダにおける各格子の形状を決定するための手順を示す説明図である。
【図１１】光源が平行光源である場合における投影型ロータリエンコーダにおける各格子の形状を示す説明図である。
【符号の説明】
３１  オブジェクト格子を通過する光
３１Ａ  オブジェクト格子
３２  メインスケールを通過する光
３２Ａ  スケール格子
３３  ホトダイオードでの受光像
３３Ａ  受光面格子
Ｌ１  放射線
４１  光源
４２  格子板
４２ａ  オブジェクト格子
４３  メインスケール
４３ａ  スケール格子
４４ａ、４４ａ（上）、４４ａ（下）  受光面格子
Ｌ１０  中心線
Ｌ１１（１）、Ｌ１１（２）  放射線
ｐ１、ｐ２  ピッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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