(57)【要約】【課題】カンチレバーの不所望な変形を低減する、カンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを提供する。【解決手段】カンチレバー湿式処理用コンテナー１００は下蓋１１０と上蓋１４０とで構成され、これらは、カンチレバーチップ１８０を収容して、はめ合いにより結合され得る。下蓋１１０は、カンチレバーチップ１８０を収容し得る凹部１１２と、凹部１１２から広がりながら互いに逆方向に延びている凹部１１４と凹部１１６とを有している。下蓋１１０は更に、凹部１１２から対称的に延びている三対の溝と、一対の窪み１２７と１２８とを有している。上蓋１４０は、下蓋１１０の溝１２１と１２２と窪み１２７と１２８にそれぞれはまり得る突出部を有している。上蓋１４０は、カンチレバーチップ１８０の向きを示すための目印１４８を有している。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型プローブ顕微鏡で用いられるカンチレバーチップのカンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用コンテナーであり、
カンチレバーチップを収容する収容空間と、
収容空間に収容されたカンチレバーチップの動きを規制するガイド部と、
カンチレバーチップのカンチレバーの接触を防止する逃げ部と、
収容空間と外部空間との間の流体の移動を可能にする、収容空間と外部空間を連絡する複数の流路とを有している、カンチレバー湿式処理用コンテナー。
【請求項２】
請求項１において、カンチレバー湿式処理用コンテナーは、それに収容されたカンチレバーチップのカンチレバーの面に立てた法線に沿って見たときに、略円形の外観を有しており、ガイド部は、カンチレバーが略円形の略中心に位置するように、カンチレバーチップの動きを規制している、カンチレバー湿式処理用コンテナー。
【請求項３】
請求項１において、嵌め合いにより結合される二つの部品から構成される、カンチレバー湿式処理用コンテナー。
【請求項４】
走査型プローブ顕微鏡で用いられるカンチレバーチップのカンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用ユニットであり、
請求項１に記載のカンチレバー湿式処理用コンテナーと、
カンチレバー湿式処理用コンテナーと流体とを収容し得る空間を有する容器とから構成される、カンチレバー湿式処理用ユニット。
【請求項５】
請求項４において、容器は流体を排出するための貫通穴を有しており、さらに、容器の貫通孔を適宜塞ぐための栓を含んでいる、カンチレバー湿式処理用ユニット。
【請求項６】
請求項４において、容器は、カンチレバー湿式処理用コンテナーと流体とを収容し得る複数の空間を有し、複数の空間は一定の間隔を置いて並んでいる、カンチレバー湿式処理用ユニット。
【請求項７】
請求項１に記載のカンチレバー湿式処理用コンテナーを用いて、カンチレバーチップのカンチレバーを流体により処理するカンチレバーの湿式処理方法であり、カンチレバーチップは、チップ基板と、チップ基板から延出するカンチレバーとを有しており、
カンチレバーチップと流体とを、カンチレバーの反対側から接触させて行き、最終的にカンチレバーの全体と流体とを接触させる流体接触工程と、
カンチレバーチップと流体との接触を、カンチレバーの反対側から解除して行く接触解除工程とを有している、カンチレバーの湿式処理方法。
【請求項８】
請求項７において、流体接触工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを流体に近づけて行くことにより成される、カンチレバーの湿式処理方法。
【請求項９】
請求項７において、接触解除工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを流体から取り出すことにより成される、カンチレバーの湿式処理方法。
【請求項１０】
請求項７において、流体接触工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを収容した容器に流体を供給することにより成される、カンチレバーの湿式処理方法。
【請求項１１】
請求項７において、接触解除工程は、容器から流体を排出することにより成される、カンチレバーの湿式処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型プローブ顕微鏡で用いられるカンチレバーチップのカンチレバーの流体による処理に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、原子間力顕微鏡では片持ちに支持された板バネ状のレバー部の先端にある探針が設けられたカンチレバーを用いて、探針と試料表面の間に作用する相互作用力に応じて生じるレバー部のたわみ量の変化を検出し、その変化量が一定となるようにカンチレバーの試料への押し込み量を制御しながら、その制御信号をコンピュータに取り込むことで試料の凹凸をｎｍ以下の分解能で画像化を行なっている。また探針と試料表面の間に作用する相互作用力に応じて生じるレバー部のたわみ量を検出し、レバー部のバネ定数に基づいて、探針と試料の間に働く力の測定を行なっている。検出される力は、試料の粘弾性特性や吸着力・接着力など、試料表面近傍の特性が反映される。
【０００３】
原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバーは、通常、試料の凹凸や物理量を高い分解能で検出することを可能にするために、先端の曲率半径が小さい探針すなわち尖鋭化された探針を有していることが求められ、市販されているカンチレバーではその探針先端の曲率半径はおよそ２ｎｍから５０ｎｍ程度である。また、その微小なカンチレバーは、３．５ｍｍ×１．５ｍｍ×０．５ｍｍ程度の大きさのガラスもしくはシリコン製のチップ基板の端部から延出している。
【０００４】
原子間力顕微鏡は、当初、比較的固い試料の測定に主に用いられてきたが、最近では、生体分子や高分子などの比較的柔らかい試料に対しても用いられるようになっており、高分子膜の面内粘弾性分布の測定や生体分子間の相互作用力の測定や細胞の硬さの測定や細胞表面の受容体の分布の解析などにも利用されるようになってきている。この用途で用いられるカンチレバーは試料が柔らかいことから、前述の画像化に用いられるカンチレバーと比べて柔らかく、０．０５〜０．５Ｎ／ｍ程度のバネ定数をもつ。最近では、０．００６Ｎ／ｍという極めて柔らかいカンチレバーが市販されるようになった。このような市販されている柔らかいカンチレバーは、高精度で膜厚を制御できる半導体プロセスの膜堆積プロセスにより作製されている。具体的には窒化シリコン膜をＬＰ−ＣＶＤ（化学気相蒸着）法により基板状に堆積しフォトリソグラフィによりパターニングして作製される。
【０００５】
生体分子間の相互作用の測定では、生体分子試料とカンチレバー探針の間に生物物理的あるいは生物化学的な反応がおこる状態を実現するように、表面処理もしくは表面修飾がなされた探針が用いられることも多い。例えばポリスチレンビーズは生物、化学の分野では表面修飾を施す部材として良く知られている。表面修飾を予め施したポリスチレンビーズをカンチレバーに接着したり、ポリスチレンビーズをカンチレバーに接着して探針としたうえでポリスチレンビーズに表面修飾を施したりするという試みがされている。このような用途で使われるカンチレバーについては例えば特開平１０−７３６０８号公報に開示されている。例えばタンパク質などの機能性分子でポリスチレンビーズ表面を修飾して試料となる細胞と機能性分子とを接触・反応させた上で、両者に働く相互作用力をカンチレバーを引き上げた時のカンチレバーのたわみ量の変化を検出することで生体分子間に働く力が見積もられる。また市販されているほとんどのカンチレバーには探針がついているので、ポリスチレンビーズをつけることなく、そのままカンチレバーの探針に表面修飾を施すことも行なわれている。例えば、探針に金がコートされているカンチレバーを用い、その金を反応層として、さらに第２の反応層として金の上にチオール基（−ＳＨ基）を修飾すれば、タンパク質などの生体機能性分子を探針表面に修飾できる。測定に用いればそのような表面修飾分子を試料に接触させた時の反応力を測定することができる。また、窒化シリコンが露出している探針であってもシランカプラーをコートすることにより、その上に多様な物質を表面修飾することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−７３６０８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
バネ定数が０．０５Ｎ／ｍより小さな極めて柔らかい窒化シリコン製のカンチレバーの表面修飾を行なおうとすると、それより硬いカンチレバーを用いる場合と比べ、表面処理を行なう際にカンチレバーがチップ基板に巻き付いたり折れたりする割合が急に高くなり問題となっている。上述のような表面処理は、水、水溶液、有機溶媒を用いた湿式の化学的な処理を伴う。その処理液にカンチレバーを入れたり取り出したりする際に柔らかいカンチレバーがそのチップ基板に巻き付いてしまい、最悪の場合は破損に到るということが問題となっている。特に、水を使ったリンスの際にその現象が現れることが多い。これは水の表面張力が他の溶液に比べて著しく高いことに因っている。水によるリンス作業は生体試料の測定に用いられる探針の化学表面修飾処理を行なうプロセスで不可欠であり、水を使用する化学表面修飾処理プロセスにおいて、このような問題を回避する必要性が改めて認識されている。
【０００８】
図１３は、スライドガラス上に配置されたカンチレバーチップに対して、流体によるカンチレバーの処理を施す様子を示している。図１３に示されるように、カンチレバーチップ５００をスライドガラス５０４の上に置き、カンチレバー５０２あるいはその自由端に形成された探針５０３の近くに溶液を滴下して液滴５０５を作る。さらに、その液滴５０５が大きくなるように、シリンジなどを用いて溶液を注入する。液滴５０５がカンチレバー５０２の先端にふれるようになると、例えば溶液が水の場合、カンチレバー５０２の下に回り込んだ水はその大きな表面張力のため、メニスカス５０６を形成し、液滴の表面積を小さくしょうとする。この結果、カンチレバー５０２はスライドガラス５０４側に引き込まれ曲がってしまう。
【０００９】
図１４は、容器に入れられた流体にカンチレバーチップを沈めて、カンチレバーを流体により処理する様子を示している。図１４に示されるように、容器５０７に入れられた水５０８に、カンチレバーチップ５００を水面に対して傾けカンチレバーを５０２を下に向けて浸そうとすると、カンチレバー５０２が水面と接触した時、水面近くでは水のなかにカンチレバー５０２の先端が吸い込まれるようにして、曲がってしまう。
【００１０】
図１５は、容器に入れられた流体からカンチレバーチップを取り出す際の様子を示している。図１５に示されるように、容器５０７に入れられた水５０８の中にあるカンチレバーチップ５００をカンチレバー５０２を上にして上に持ち上げ水から取り出そうとすると、カンチレバー５０２が水面のところで曲がりチップ基板５０１の方に巻き付いてしまう。
【００１１】
また、表面修飾用の溶液の中には高価なものがあり、その使用量を最小限に抑えたいというニーズがある。特にカンチレバーを購入した測定者が自らその処理をする場合は、チップをひとつずつ処理するためムダになる溶液の量も多く、これを改善する工夫が求められている。
【００１２】
さらに、これまではカンチレバーに表面修飾処理を施す際、裸のカンチレバーチップをピンセットを用いてチップ基板を取り扱うため、例えば処理液にカンチレバーを入れたり取り出したりする際に、ミスハンドリングなどにより露出しているカンチレバーを溶液を入れたシャーレなどの容器の底面や側壁に接触させて折ってしまうこともある。溶液の使用量を少なくするために小さな容器を使用するとカンチレバーの接触を避けるためにカンチレバーチップの取り扱いには注意を十分払って行なう必要があり、作業性が極端に悪くなるという問題もある。従って表面修飾処理を行なうためにカンチレバーチップのハンドリングのし易さを向上させるよう工夫が求められている。
【００１３】
本発明は、この様な実状を考慮して成されたものであり、その主な目的は、カンチレバーチップのカンチレバーを流体により処理する際にカンチレバーの不所望な変形を抑える技術を提供することである。そのため、副次的な目的は、ひとつには、カンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを提供することである。また、ひとつには、そのカンチレバー湿式処理用コンテナーを含むカンチレバー湿式処理用ユニットを提供することである。また、ひとつには、カンチレバー湿式処理用コンテナーを用いたカンチレバーの湿式処理方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ひとつには、走査型プローブ顕微鏡で用いられるカンチレバーチップのカンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用コンテナーに向けられており、以下の各項に列記するカンチレバー湿式処理用コンテナーを含んでいる。
【００１５】
１．  本発明のカンチレバー湿式処理用コンテナーは、カンチレバーチップを収容する収容空間と、収容空間に収容されたカンチレバーチップの動きを規制するガイド部と、カンチレバーチップのカンチレバーの接触を防止する逃げ部と、収容空間と外部空間との間の流体の移動を可能にする、収容空間と外部空間を連絡する複数の流路とを有している。
【００１６】
このカンチレバー湿式処理用コンテナーにおいては、カンチレバーを処理する際のハンドリングの難しさが解消される。
【００１７】
２．  本発明の別のカンチレバー湿式処理用コンテナーは、第１項のカンチレバー湿式処理用コンテナーにおいて、カンチレバー湿式処理用コンテナーは、それに収容されたカンチレバーチップのカンチレバーの面に立てた法線に沿って見たときに、略円形の外観を有しており、ガイド部は、カンチレバーが略円形の略中心に位置するように、カンチレバーチップの動きを規制している。
【００１８】
このカンチレバー湿式処理用コンテナーにおいては、カンチレバー湿式処理用コンテナーを約２／３の高さまで流体と浸すことにより略確実にカンチレバーを流体と接触させることができる。
【００１９】
３．  本発明の別のカンチレバー湿式処理用コンテナーは、第１項のカンチレバー湿式処理用コンテナーにおいて、嵌め合いにより結合される二つの部品から構成される。
【００２０】
このカンチレバー湿式処理用コンテナーにおいては、カンチレバーチップの収容を容易に行なえる。
【００２１】
本発明は、ひとつには、走査型プローブ顕微鏡で用いられるカンチレバーチップのカンチレバーの流体による処理に使用されるカンチレバー湿式処理用ユニットに向けられており、以下の各項に列記するカンチレバー湿式処理用ユニットを含んでいる。
【００２２】
４．  本発明のカンチレバー湿式処理用ユニットは、第１項に記載のカンチレバー湿式処理用コンテナーと、カンチレバー湿式処理用コンテナーと流体とを収容し得る空間を有する容器とから構成される。
【００２３】
このカンチレバー湿式処理用ユニットにおいては、容器に収容された流体にカンチレバー湿式処理用コンテナーを浸すことにより、カンチレバーの処理が行なわれる。
【００２４】
５．  本発明の別のカンチレバー湿式処理用ユニットは、第４項のカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、容器は流体を排出するための貫通穴を有しており、さらに、容器の貫通孔を適宜塞ぐための栓を含んでいる。
【００２５】
このカンチレバー湿式処理用ユニットにおいては、流体の自然な排出によってカンチレバーから流体が取り除かれるため、カンチレバーの不所望な変形が安定性して抑えられる。
【００２６】
６．  本発明の別のカンチレバー湿式処理用ユニットは、第４項のカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、容器は、カンチレバー湿式処理用コンテナーと流体とを収容し得る複数の空間を有し、複数の空間は一定の間隔を置いて並んでいる。
【００２７】
このカンチレバー湿式処理用ユニットにおいては、複数のカンチレバーの処理を同時に行なうことが可能となる。
【００２８】
本発明は、ひとつには、第１項に記載のカンチレバー湿式処理用コンテナーを用いて、カンチレバーチップのカンチレバーを流体により処理するカンチレバーの湿式処理方法に向けられており、以下の各項に列記するカンチレバーの湿式処理方法を含んでいる。なお、カンチレバーチップは、チップ基板と、チップ基板から延出するカンチレバーとを有している。
【００２９】
７．  本発明の湿式処理方法は、カンチレバーチップと流体とを、カンチレバーの反対側から接触させて行き、最終的にカンチレバーの全体と流体とを接触させる流体接触工程と、カンチレバーチップと流体との接触を、カンチレバーの反対側から解除して行く接触解除工程とを有している。
【００３０】
この湿式処理方法においては、カンチレバーチップが、カンチレバーの反対側から、流体と接触されて行き、また、カンチレバーの反対側から、流体との接触が解除されるので、カンチレバーの不所望な変形が良好に抑えられる。
【００３１】
８．  本発明の別の湿式処理方法は、第７項の湿式処理方法において、流体接触工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを流体に近づけて行くことにより成される。
【００３２】
９．  本発明の別の湿式処理方法は、第７項の湿式処理方法において、接触解除工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを流体から取り出すことにより成される。
【００３３】
１０．  本発明の別の湿式処理方法は、第７項の湿式処理方法において、流体接触工程は、カンチレバー湿式処理用コンテナーを収容した容器に流体を供給することにより成される。
【００３４】
１１．  本発明の別の湿式処理方法は、第７項の湿式処理方法において、接触解除工程は、容器から流体を排出することにより成される。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００３６】
第一実施形態
図１は、本発明の第一実施形態のカンチレバー湿式処理用コンテナーの分解斜視図である。図２は、図１に示される上蓋の斜視図であり、図１とは上下を反転されて描かれている。図３は、図１に示される下蓋の斜視図である。図４は、図１に示される上蓋の平面図である。図５は、図１に示される下蓋の平面図である。図６は、図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーの側面図である。
【００３７】
図１に示されるように、本実施形態のカンチレバー湿式処理用コンテナー１００は下蓋１１０と上蓋１４０とで構成されている。下蓋１１０と上蓋１４０は、カンチレバーチップ１８０を収容して、はめ合いにより互いに結合され得る。
【００３８】
カンチレバーチップ１８０は、チップ基板１８２と、チップ基板１８２から延出するカンチレバー１８４とを有している。カンチレバー１８４は、その自由端部に探針を備えている。探針は、図１において、カンチレバー１８４から三角形の面から上方に突出している。
【００３９】
図３に示されるように、下蓋１１０は、カンチレバーチップ１８０を収容し得る凹部１１２と、凹部１１２から軸Ｌに沿って広がりながら側面まで延びている凹部１１４と、凹部１１２から軸Ｌに沿って凹部１１４とは反対側に広がりながら側面まで延びている凹部１１６とを有している。また、下蓋１１０は、凹部１１２から軸Ｔに沿って対称的に側面まで延びている三対の溝、すなわち、溝１２１と１２２、溝１２３と１２４、溝１２５と１２６、を有している。下蓋１１０は、さらに、軸Ｌに対して対称的に位置する一対の窪み１２７と１２８を有している。
【００４０】
三つの凹部１１２と１１４と１１６と六つの溝１２１と１２２と１２３と１２４と１２５と１２６は共に同一平面上に位置する底面を有している。これらは、軸Ｌに対して軸対称に位置する四対の壁部、すなわち、壁部１３１と１３２、壁部１３３と１３４、壁部１３５と１３６、壁部１３７と１３８、を規定している。
【００４１】
これら八つの壁部１３１と１３２と１３３と１３４と１３５と１３６と１３７と１３８は、凹部１１２に配置されたカンチレバーチップ１８０の横方向の動き（凹部１１２の底面に沿った動き）を規制するガイド部として作用する。
【００４２】
図２に示されるように、上蓋１４０は、中央から軸Ｌに沿って広がりながら側面まで延びている凹部１４４と、中央から軸Ｌに沿って凹部１４４とは反対側に延びている矩形の凹部１４２と、凹部１４２から広がりながら側面まで延びている凹部１４６と、中央から軸Ｔに沿って対称的に側面まで延びている一対の溝１５５と１５６とを有している。
【００４３】
上蓋１４０は、さらに、軸Ｌに対して軸対称に位置する三対の突出部、すなわち、突出部１５１と１５２、突出部１５３と１５４、突出部１５７と１５８、を有している。突出部１５１と１５２は、それぞれ、下蓋１１０の溝１２１と１２２にはまり得る。また、突出部１５７と１５８は、それぞれ、下蓋１１０の窪み１２７と１２８にはまり得る。
【００４４】
上蓋１４０は、図１に示されるように、カンチレバーチップ１８０の向きを示すための目印１４８を有している。目印１４８は、上蓋１４０の中心を外れた位置に形成されている。上蓋１４０は、下蓋１１０に対して特定の一つの姿勢で、下蓋１１０にはまり得る。このため、目印１４８は、後述するように下蓋１１０と上蓋１４０の間の空間に収容されたカンチレバーチップ１８０のおよその向きの情報を与え得る。
【００４５】
下蓋１１０と上蓋１４０は、次の様にして、カンチレバーチップ１８０を収容して組み立てられる。
【００４６】
まず、下蓋１１０の凹部１１２にカンチレバーチップ１８０を配置する。次に、下蓋１１０と上蓋１４０とを、上蓋１４０の図２に見える面と下蓋１１０の図３に見える面とを向き合わせ、（例えば軸Ｌの）向きを揃えて配置する。さらに、上蓋１４０の突出部１５１と１５２をそれぞれ下蓋１１０の溝１２１と１２２に、上蓋１４０の突出部１５７と１５８をそれぞれ下蓋１１０の窪み１２７と１２８に挿入して、下蓋１１０と上蓋１４０とをはめ合わせる。
【００４７】
図６に示されるように下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態においては、上蓋１４０の突出部１５３と１５４は、カンチレバーチップ１８０のチップ基板１８２の近くに位置する。上蓋１４０の突出部１５３と１５４と下蓋１１０の凹部１１２の底面は、凹部１１２に収容されているカンチレバーチップ１８０の縦方向の動き（凹部１１２の底面に直交する軸に沿った動き）を規制するガイド部として作用する。
【００４８】
図４と図５から分かるように、下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態において、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００、言い換えれば、下蓋１１０と上蓋１４０は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００に収容されたカンチレバーチップ１８０のカンチレバー１８４の面に立てた法線に沿って見たときに、略円形の外観を有している。ここで、略円形とは、円形および円に近い任意の形状をいう。また、円に近い任意の形状は、楕円形や１８０度より大きい内角を持たない多角形を含む。
【００４９】
また、下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態において、ガイド部（下蓋１１０の壁部１３１と１３２と１３３と１３４と１３５と１３６と１３７と１３８、上蓋１４０の突出部１５３と１５４、下蓋１１０の凹部１１２の底面）は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の外観形状である前述の略円形の略中心にカンチレバー１８４が位置するように、カンチレバーチップ１８０の動きを規制している。
【００５０】
つまり、ガイド部は、カンチレバーチップ１８０が前後左右上下に僅かに移動することを許容するが、カンチレバー１８４からカンチレバー湿式処理用コンテナー１００の中心近くから外れるほど大きく移動することは許容しない。
【００５１】
さらに、下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態において、下蓋１１０の凹部１１４と、上蓋１４０の中央の凹部（凹部１４４、凹部１５５、凹部１５６）は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００に収容されたカンチレバーチップ１８０の極めて柔らかい部分であるカンチレバー１８４とその自由端部にある探針とが、下蓋１１０や上蓋１４０と接触するのを防止する空間を与える逃げ部として作用する。
【００５２】
下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態において、下蓋１１０の凹部１１４と上蓋１４０の凹部１４４は、共働して、凹部１１２すなわちカンチレバーチップ１８０を収容している空間とカンチレバー湿式処理用コンテナー１００の外部空間とを連絡する流路を形成している。この流路は、カンチレバー１８４の処理において使用される流体が、カンチレバーチップ１８０を収容している空間とカンチレバー湿式処理用コンテナー１００の外部空間との間を移動することを可能にする働きをする。
【００５３】
同様に、下蓋１１０の凹部１１６と上蓋１４０の凹部１４６も共働して同様の流路を形成している。さらに、下蓋１１０の溝１２５と１２６と上蓋１４０の溝１５５と１５６もそれぞれ共働して同様の流路を形成している。加えて、下蓋１１０の溝１２３と１２４もそれぞれ同様の流路を形成している。さらには、下蓋１１０の溝１２１と１２２もそれぞれ同様の流路を形成している。
【００５４】
カンチレバー湿式処理用コンテナー１００は、下蓋１１０と上蓋１４０とがはめ合わされた状態において、これに限定されないが、例えば、直径１２ｍｍ、厚さ５ｍｍの大きさを有している。もちろん、これよりも小さい大きさであってもよい。例えば、直径は、カンチレバーチップの長さの２．５倍程度の大きさ（カンチレバーチップの長さが３．５ｍｍであれば、８．７５ｍｍ）であってもよい。しかし、好ましくは、下蓋１１０と上蓋１４０をはめ合わせる作業を比較的容易に行なえる程度の大きさであるとよい。
【００５５】
下蓋１１０と上蓋１４０の材料は、有機・無機の酸・アルカリや有機溶媒に対して高い耐性を有するものが好ましく、例えば、化学処理で良く使用されるプラスティックスやガラスや高純度金属などが適用可能である。金属で元部材を作製した上でプラスティックスやガラスをコーティングしたものも適用可能である。プラスティックスは、成型法による加工法が応用できるので、低コスト化の観点からも優れている。例えば、ポリプロピレンなどは、その代表的な材料であり、広い温度範囲で低い湿潤性と高い寸法安定を示すため好適である。そのほか、使用される溶液に応じて、ポリカーボネートやポリエチレンテレフタレートやポリエチレンなど、あるいはシリコーンゴム、樹脂、もちろんアクリル他のプラスチック材が適用されてもよい。
【００５６】
以下、このようなカンチレバー湿式処理用コンテナーを含むカンチレバー湿式処理用ユニットと、カンチレバー湿式処理用コンテナーを用いたカンチレバーの湿式処理方法について説明する。
【００５７】
図７は、図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを含む、本発明の第一実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニットを示している。
【００５８】
図７に示されるように、本実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニット２００は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００に加えて、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００とカンチレバー１８４の処理において使用される流体２３６とを収容し得る空間を有する容器２１０を有している。流体２３６は、表面修飾用の溶液やリンス用の水などである。容器２１０は、好ましくは、流体２３６の液面が見えるように光学的に透明であるとよい。
【００５９】
容器２１０は、収容した流体２３６を排出するための貫通穴（ドレイン）２１４を有している。これに伴い、カンチレバー湿式処理用ユニット２００は、さらに、容器２１０の貫通穴２１４を適宜塞ぐための栓（ピン）２２０を有している。
【００６０】
また、図７は、カンチレバーと流体とを接触させるひとつの手法を示している。この手法においては、カンチレバー１８４は、以下のようにして、流体２３６と接触させられる。つまり、カンチレバー１８４が流体２３６に浸される。
【００６１】
図７において、カンチレバーチップ１８０を収容したカンチレバー湿式処理用コンテナー１００を、目印１４８を利用して、カンチレバー１８４を上に向けた状態で、容器２１０の中に置く。また、容器２１０の貫通穴２１４を栓（ピン）２２０で閉じる。
【００６２】
このような容器２１０に、シリンジ２３０からチューブ２３２を介して流体２３６を供給する。流体２３６を供給するにつれて、流体２３６の液面は徐々に上昇して行く。その間、流体２３６は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の流路を通って、カンチレバーチップ１８０が収容されている空間に速やかに流れ込む。このため、流体２３６の液面の高さは、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の内部でも外部でも等しく保たれる。これにより、カンチレバーチップ１８０は流体２３６に浸されて行く。
【００６３】
流体２３６の液面の上昇に伴って、流体２３６の液面はカンチレバーチップ１８０のチップ基板１８２の側からカンチレバー１８４の側に移動して行く。つまり、カンチレバーチップ１８０はチップ基板１８２の側から流体２３６に浸されて行く。このため、カンチレバー１８４が流体２３６と接触する際に、カンチレバー１８４の不所望な曲がりが発生し難い。
【００６４】
流体２３６は、最終的に、その液面がカンチレバー湿式処理用コンテナー１００の約２／３の高さまで注ぎ込まれれば十分である。この液面の高さであれば、処理されるべきカンチレバー１８４は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の略中心に位置しているので、確実に流体２３６に浸されている。これは、使用する流体２３６の節約に有用である。
【００６５】
ここでは、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００に対して流体２３６の液面を上昇させて行くことにより、カンチレバー１８４と流体２３６とを接触させる例を述べたが、容器２１０に必要量の流体２３６を予め入れておき、その流体２３６の中に、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００を、目印１４８を参照して、カンチレバー１８４を上に向けた状態で、近づけて行くことにより、カンチレバー１８４と流体２３６とを接触させてもよい。
【００６６】
図８は、図７に示されるカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、カンチレバーと流体の接触を解除するひとつの手法を示している。この手法においては、カンチレバー１８４は、以下のようにして、流体２３６との接触が解除される。つまり、カンチレバー１８４から流体２３６が取り除かれる。
【００６７】
カンチレバー１８４と流体２３６との接触を解除するに先立ち、まず、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００を回転させて、目印１４８を利用して、図８に示されるように、カンチレバー１８４を下に向ける。
【００６８】
続いて、栓（ピン）２２０を抜き、容器２１０から流体２３６を貫通穴２１４を通して排出する。流体２３６の排出に伴い、流体２３６の液面は徐々に下降して行く。その間、カンチレバーチップ１８０が収容されている空間内の流体２３６は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の流路を通って速やかに流れ出る。このため、流体２３６の液面の高さは、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の内部でも外部でも等しく保たれる。
【００６９】
流体２３６の液面の下降に伴って、流体２３６の液面はカンチレバーチップ１８０のチップ基板１８２の側からカンチレバー１８４の側に移動して行く。つまり、カンチレバーチップ１８０から流体２３６がチップ基板１８２の側から取り除かれて行く。このため、カンチレバー１８４が流体２３６から離れる際に、カンチレバー１８４の不所望なチップ基板１８２への巻き付きやそれに伴う折れが発生し難い。
【００７０】
この手法においては、流体２３６の自然な排出によって、カンチレバー１８４から流体２３６が取り除かれるので、カンチレバー１８４の不所望な変形が安定性して抑えられる。
【００７１】
図９は、図７に示されるカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、カンチレバーと流体の接触を解除する別の手法を示している。この手法においては、カンチレバー１８４は、以下のようにして、流体２３６との接触が解除される。つまり、カンチレバー１８４が流体２３６から取り出される。
【００７２】
カンチレバー１８４と流体２３６との接触を解除するに先立ち、まず、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００を回転させて、目印１４８を利用して、図９に示されるように、カンチレバー１８４を下に向ける。
【００７３】
続いて、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００を上方に移動させて流体２３６から取り出して行く。これにより、カンチレバーチップ１８０は流体２３６から外に出て行く。その間、カンチレバーチップ１８０が収容されている空間内の流体２３６は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の流路を通って速やかに流れ出る。このため、流体２３６の液面の高さは、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の内部でも外部でも等しく保たれる。
【００７４】
カンチレバー湿式処理用コンテナー１００の移動に伴って、カンチレバーチップ１８０はチップ基板１８２の側から流体２３６を出て行く。つまり、流体２３６からカンチレバーチップ１８０がチップ基板１８２の側から取り出されて行く。このため、カンチレバー１８４が流体２３６から離れる際に、カンチレバー１８４の不所望なチップ基板１８２への巻き付きやそれに伴う折れが発生し難い。
【００７５】
これまでの説明から分かるように、本実施形態においては、裸のカンチレバーチップ１８０を取り扱うのではなく、カンチレバーチップ１８０を収容したカンチレバー湿式処理用コンテナー１００を取り扱うので、ハンドリングの難しさが解消される。つまり、ハンドリングの難しさに起因する不用意な接触から、カンチレバーチップ１８０のカンチレバー１８４を変形させたり折ったりしてしまうことを低減させることが可能となる。
【００７６】
第二実施形態
本実施形態は、第一実施形態のカンチレバー湿式処理用コンテナーを含む別のカンチレバー湿式処理用ユニットに向けられている。
【００７７】
図１０は、図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを含む、本発明の第二実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニットを示している。図１１は、図１０に示される容器を上から見た様子を示している。図１２は、図１１に示されるＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った容器の縦断面を示している。
【００７８】
図１０〜図１２に示されるように、本実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニット３００は、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００に加えて、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００とカンチレバー１８４の処理において使用される流体とを収容し得る複数の空間（タブ）３１２を有する容器（マルチタブカセット）３１０を有している。容器３１０は、好ましくは、流体２３６の液面が見えるように光学的に透明であるとよい。
【００７９】
容器３１０は、それぞれの空間（タブ）３１２に収容した流体を排出するための貫通穴（ドレイン）３１４を有している。これに伴い、カンチレバー湿式処理用ユニット３００は、さらに、容器３１０の貫通穴３１４を適宜塞ぐための栓（ピン）３２０を有している。
【００８０】
処理において使用される流体（表面修飾用の溶液やリンス用の水）は、これに限定されないが、例えばピペッター３３０によって、空間（タブ）３１２に供給される。ピペッター３３０は、複数のピペッターが一体化された多連ピペッター、例えば三連ピペッターが使用される。
【００８１】
複数の空間（タブ）３１２は一定の間隔Ｐを置いて（一定のピッチＰで）並んでいる。空間（タブ）３１２の間隔Ｐは、好ましくは、使用する多連ピペッター３３０の流体を吐出するピペッターチップの間隔に略等しいとよい。これにより、一回の多連ピペッター３３０の操作によって、複数の空間（タブ）３１２に同時に流体を供給することが可能となる。
【００８２】
図１１に示されるように、空間（タブ）３１２はそれぞれ流体導入溝３１６を有し、流体導入溝３１６は、図１２に示されるように、供給された流体が激しく混ざるのを回避するために、なだらかなスロープを有している。
【００８３】
また、空間（タブ）３１２にはそれぞれ流体排出溝３１８が設けられている。流体排出溝３１８は、空間（タブ）３１２に収容されるカンチレバー湿式処理用コンテナー１００の約２／３の高さを有している。
【００８４】
本実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニット３００においては、第一実施形態で説明したのと同様の手法に従って、カンチレバー１８４の処理が行なわれる。
【００８５】
すなわち、カンチレバーチップ１８０を収容したカンチレバー湿式処理用コンテナー１００を、カンチレバー１８４を上に向けた状態で、容器３１０の空間（タブ）３１２の中に配置し、空間（タブ）３１２の貫通穴３１４を栓（ピン）３２０で閉じる。ピペッター３３０により流体を流体導入溝３１６を介して空間（タブ）３１２に供給する。
【００８６】
本実施形態においては、図１２に示されるように、余剰の流体は、容器３１０から流体排出溝３１８を介して流れ落ち、容器３１０が入れられている受け皿３４０によって回収される。言い換えれば、流体が容器３１０の流体排出溝３１８から流れ落ちるのを確認して、流体の供給を停止すればよい。
【００８７】
続いて、カンチレバー湿式処理用コンテナー１００を回転させて、カンチレバー１８４を下に向ける。栓（ピン）３２０を抜き、容器３１０の空間（タブ）３１２から流体を貫通穴３１４を通して排出する。排出された流体は、受け皿３４０により回収される。
【００８８】
受け皿３４０に回収された流体は、可能であれば、再利用されてもよい。
【００８９】
本実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニット３００を用いたカンチレバー１８４の処理方法においても、第一実施形態と同じ理由から、カンチレバー１８４の不所望なチップ基板１８２への巻き付きやそれに伴う折れが発生し難い。また、一度に複数のカンチレバーチップ１８０を同時に処理できるので、処理作業効率を格段に向上させることも可能となる。
【００９０】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【００９１】
【発明の効果】
本発明によれば、カンチレバーの流体による処理の際のカンチレバーの不所望な曲がりや巻き付きや折れの発生が軽減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態のカンチレバー湿式処理用コンテナーの分解斜視図である。
【図２】図１に示される上蓋の斜視図であり、図１とは上下を反転されて描かれている。
【図３】図１に示される下蓋の斜視図である。
【図４】図１に示される上蓋の平面図である。
【図５】図１に示される下蓋の平面図である。
【図６】図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーの側面図である。
【図７】図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを含む、本発明の第一実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニットを示している。
【図８】図７に示されるカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、カンチレバーと流体の接触を解除するひとつの手法を示している。
【図９】図７に示されるカンチレバー湿式処理用ユニットにおいて、カンチレバーと流体の接触を解除する別の手法を示している。
【図１０】図１に示されるカンチレバー湿式処理用コンテナーを含む、本発明の第二実施形態のカンチレバー湿式処理用ユニットを示している。
【図１１】図１０に示される容器を上から見た様子を示している。
【図１２】図１１に示されるＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った容器の縦断面を示している。
【図１３】スライドガラス上に配置されたカンチレバーチップに対して、流体によるカンチレバーの処理を施す様子を示している。
【図１４】容器に入れられた流体にカンチレバーチップを沈めて、カンチレバーを流体により処理する様子を示している。
【図１５】容器に入れられた流体からカンチレバーチップを取り出す際の様子を示している。
【符号の説明】
１００…カンチレバー湿式処理用コンテナー、１１０…下蓋、１１２…凹部、１１４…凹部、１１６…凹部、１２１と１２２…溝、１２３と１２４…溝、１２５と１２６…溝、１３１と１３２…壁部、１３３と１３４…壁部、１３５と１３６…壁部、１３７と１３８…壁部、１４０…上蓋、１４２…凹部、１４４…凹部、１４６…凹部、１４８…目印、１５１と１５２…突出部、１５３と１５４…突出部、１５５と１５６…溝、１５７と１５８…突出部、２００…カンチレバー湿式処理用ユニット、２１０…容器、２１４…貫通穴、２２０…栓、３００…カンチレバー湿式処理用ユニット、３１０…容器、３１２…空間、３１４…貫通穴、３１６…流体導入溝、３１８…流体排出溝、３２０…栓。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004361181.tif 000009
【図８】
2004361181.tif 000010
【図９】
2004361181.tif 000011
【図１０】
2004361181.tif 000012
【図１１】
2004361181.tif 000013
【図１２】
2004361181.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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