(57)【要約】【課題】後工程での品質情報を前工程での装置通過情報で管理し、生産プロセスの全工程を一貫管理することが可能な品質情報管理システムを提供すること。【解決手段】複数の工程を経て製造される製品の処理情報を管理する品質情報管理システムであって、製品及び工程別の製造単位毎にユニークな認識コードを付与する第１手段と、所定のプロセス工程及び検査工程で前記認識コードを読み取る第２手段と、前記プロセス工程及び前記検査工程でのプロセス条件と処理結果を保持する処理データベースと、前記複数の工程とネットワークによって結ばれた管理サーバで構成され、後工程の検査工程での検査情報を前工程でのプロセス条件と処理結果との少なくとも一方を元に管理することで解決できる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の工程を経て製造される製品の処理情報を管理する品質情報管理システムであって、製品及び工程別の製造単位毎にユニークな認識コードを付与する第１手段と、所定のプロセス工程及び検査工程で前記認識コードを読み取る第２手段と、前記プロセス工程及び前記検査工程でのプロセス条件と処理結果を保持する処理データベースと、前記複数の工程とネットワークによって結ばれた管理サーバで構成され、後工程の検査工程での検査情報を前工程でのプロセス条件と処理結果との少なくとも一方を元に管理することを特徴とする品質情報管理システム。
【請求項２】
前記前工程での処理結果情報が、トラブルとメンテナンスの少なくとも一方を元に管理すること
を特徴とする請求項１記載の品質情報管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロセス系デバイス工場における全工程の品質情報を一貫管理するもので、後工程での品質情報を前工程での装置通過情報で管理する品質情報管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体や液晶に代表されるプロセス系デバイス工場において、歩留まりの向上が課題となっている。しかしながら、後工程の検査で前工程起因の不良が発見されることが多く、後工程の検査結果を前工程にフィードバック（以下「ＦＢ」と称す）することが非常に重要となっている。
【０００３】
反面、現在では、前工程、組立工程、最終工程とそれぞれに管理体形や通過荷姿が存在し、特に液晶、半導体などで多く採り入れられているジョブショップ型のモノづくりにおいては、装置通過順と最終検査における順番が異なる場合がほとんどである。また、工場自体が遠隔地に存在していることも多く、それぞれの工程で歩留まりや不良率などの品質情報を管理している。そのため、不良解析などの品質管理にかなりの労力を費やしているのが現状である。
【０００４】
例えば、特許文献１には、製造プロセスの各工程での工程進捗情報や品質情報などの管理情報をオンラインでリアルタイムに把握し、製造プロセス工程を監視して適確な生産管理システムを構築する旨の開示がある。
【０００５】
具体的には、特許文献１に記載された技術は、図５に示すように、製造プロセス工程に設けた測定検査装置５２ａ〜５２ｎにより、プロセス製造物５８の検査が行われ、得られた検査データがプロセス製造物５８の管理番号に対応して検査データ記憶手段に格納され、該記憶手段から検査データ及び管理番号データが読出され、測定データとしてホストコンピュータ５１に伝送されて、外部記憶装置５４に格納され、監視端末装置５５の指令により、該測定データに基づいて、工程での製造の進捗情報及び製品の品質情報を含む管理情報が作成され、管理情報が監視端末装置５５に取込まれて表示され、製造プロセス工程の監視と生産管理とが行われるように構成されている。
【０００６】
このように構成することで、ホストコンピュータに、製造プロセス工程により製造される製品の測定検査装置と監視端末装置とが通信回線を介して接続され、測定検査装置で得られる検査データと対応する製品の管理番号とに基づき、監視端末装置の指令によって、ホストコンピュータにより、製造の進捗情報及び製品の品質情報を含む管理情報が監視端末装置に取り込まれるので、監視端末装置では、高精度の管理情報をオンラインでリアルタイムに把握することができ、製造プロセス工程の監視と生産管理とを、オペレータの操作上の負担を低減して適確に行うことが可能になるとしている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−１７８６５４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
確かに、前述する従来技術には、プロセス製造物に管理番号を付与し、各工程でのプロセス製造物の状況をホストコンピュータで監視する旨の開示があるが、後工程での品質情報を前工程での装置通過情報で管理する旨の開示がないので、安定的に高品質の製品を製造することが難しいと考える。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、後工程での品質情報を前工程での装置通過情報で管理し、生産プロセスの全工程を一貫管理することが可能な品質情報管理システムを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載された品質情報管理システムは、複数の工程を経て製造される製品の処理情報を管理する品質情報管理システムであって、製品及び工程別の製造単位毎にユニークな認識コードを付与する第１手段と、所定のプロセス工程及び検査工程で前記認識コードを読み取る第２手段と、前記プロセス工程及び前記検査工程でのプロセス条件と処理結果を保持する処理データベースと、前記複数の工程とネットワークによって結ばれたホストサーバで構成され、後工程の検査工程での検査情報を前工程でのプロセス条件と処理結果との少なくとも一方を元に管理することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項２に記載された品質情報管理システムは、請求項１における品質情報管理システムにおいて、前工程での処理結果情報が、トラブルとメンテナンスの少なくとも一方を元に管理することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係る実施形態を図１〜図５を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明のプロセス工程管理方法を実施した工程の概念図である。本実施形態では、前工程１，前工程２，完成工程からなり、各々のプロセス装置４ａ、４ｂ、４ｃ、検査装置５ａ、５ｂ、５ｃで構成されている。以下、具体的な製造プロセスを説明する。
【００１４】
ワーク６はこれら装置にオペレーションを受け、製品が完成していく。ワーク６には、ユニークな認識コード７が付与されており、オペレーションの際には、プロセス装置４、検査装置５がそのワーク認識コード７を読み、装置プロセス条件と処理結果情報と共に、工場内ＬＡＮ８を介して工場管理サーバ９内の処理データベース１０へ蓄積される。
【００１５】
このとき、データベース１０には、各工程各装置における通過順序、品質情報が一元管理されている。例えば、検査装置５ｃでの検査情報を、プロセス装置４ａの通過順で管理可能となる。品質解析者はオペレーション端末１１を用いてこの一元管理された品質情報にアクセスする。
【００１６】
また、図２は本発明の第２の発明の概念図である。
【００１７】
本発明では、各工程におけるプロセス装置４と検査装置５では、ワーク６を処理したときに、認識コード７をコードリーダ１２で読み取り、装置プロセス条件や検査結果とともに、工場内ＬＡＮ８を介して工場管理サーバ９内の処理データベース１０へ蓄積される。
【００１８】
工場自体が遠隔地に存在している工程１３では、インターネット１４を介して、遠隔地サーバ１５より、ワーク情報や検査データを転送する。データベース内では、ワーク認識コード７と各工程での通過履歴、検査結果、製造データがひもづいており、後工程の検査結果を、前工程のプロセス装置の処理順で管理しているものに、その工程でのプロセス情報を重ね合わせて管理することが可能となる。
【００１９】
また、図３は本発明の第３の発明の概念図である。
【００２０】
図３に示すように、各工程のプロセス装置４で使用した材料情報と検査情報の管理である。ワーク６はプロセス装置４Ａで使用した材料ロットや通過情報と後工程での検査結果が処理データベース１０で紐付けてられており、後工程検査結果を装置通過情報で管理されることから、使用材料情報を重ね合わせて管理することが可能となる。
【００２１】
更に、図４は、本発明の第４の発明の概念図である。
【００２２】
図４に示すように、各工程のプロセス装置４で起こったトラブルやメンテナンスの情報と、検査結果の管理である。トラブルやメンテナンスの情報は、オペレーション端末１１で入力可能であるし、プロセス装置４から自動でも収集しており、処理データベース１０で一元管理されている。よって後工程検査結果を装置通過情報で管理されることから、プロセス装置におけるトラブルやメンテナンス情報を重ね合わせて管理することが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の品質情報管理システムによれば、前工程起因の不良が後工程に流れ込む、複雑な製造プロセスをもつ工場においてライン全体としての歩留り安定が図れ、また、プロセスの変更があった場合、その品質安定期間を大幅に短縮することが可能となる。更に、インターネットを用いた構成とすることで、少人数でも効率的に遠隔地にある複数の工程のプロセス条件管理を行うことも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１発明に係るプロセス工程管理システムの構成図
【図２】本発明の第２発明に係るプロセス工程管理システムの構成図
【図３】本発明の第３発明に係るプロセス工程管理システムの構成図
【図４】本発明の第４発明に係るプロセス工程管理システムの構成図
【図５】従来の製造プロセス工程の生産管理システムの概要図
【符号の説明】
１　前工程１
２　前工程２
３　完成工程
４ａ　前工程１のプロセス装置
４ｂ　前工程２のプロセス装置
４ｃ　後工程のプロセス装置
５ａ　前工程１の検査装置
５ｂ　前工程２の検査装置
５ｃ　後工程の検査装置
８　工場内ＬＡＮ
９　管理サーバ
１０　処理データベース
１１　オペレーション端末
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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