(57)【要約】【目的】本発明の目的は、ＬＳＩチップの高集積化、微細化に対応することができる高精度の垂直型プローブユニット及びこれを用いた垂直型プローブカードを提供することにある。【構成】垂直型プローブユニットＡ１は、先端部がＬＳＩチップＢの電極パッド１０に接触する下側カンチレバー部１２０と、この下側カンチレバー部１２０の上側に配置される上側カンチレバー部１１０と、上側カンチレバー部１１０と下側カンチレバー部１２０とを連結する本体部１３０とを有しており、これらが一体的に形成された複数のプローブ１００と、このプローブ１００を電極パッド１０の配置に対応するように一列に並べた状態で当該プローブ１００の本体部１３０を相互に連結する絶縁性の固定部２００とを具備する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部が測定対象物の電極パッドに接触する下側カンチレバー部と、この下側カンチレバー部の上側に位置する上側カンチレバー部と、この上側カンチレバー部と前記下側カンチレバー部とを連結する本体部とを有しており、これらが一体的に形成された複数のプローブと、このプローブを前記電極パッドの配置に対応するように一列に並べた状態で当該プローブの本体部を相互に連結する絶縁性の固定部とを具備することを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項２】
請求項１記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記プローブの下側カンチレバー部は、前記本体部から前記プローブの配列方向と直交する方向に向けて延出された下側アーム部と、この下側アーム部から前記測定対象物の電極パッドに接触し得るように当該測定対象物の電極パッドに向けて折り曲げられた接触部とを有しており、前記下側アーム部は、少なくとも一部が湾曲していることを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項３】
請求項１又は２記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記固定部が挿入される開口を有する支持基板が設けられており、前記固定部は前記支持基板に絶縁性を有する取付樹脂によって取り付けられていることを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項４】
請求項３記載の垂直型プローブユニットにおいて、少なくとも両端に位置する前記プローブの本体部には、当該プローブの配列方向と直交する方向に張出部が設けられており、この張出部には、前記支持基板と係合する係合手段が設けられていることを特徴とするプローブユニット。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記プローブの上側カンチレバー部は、前記本体部から前記下側カンチレバー部の下側アーム部と同一又は反対方向に向けて延出された上側アーム部と、この上側アーム部から上向きに折り曲げられた接続部とを有しており、前記上側アーム部は、少なくとも一部が当該上側アーム部の延出方向と反対方向に湾曲していることを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項６】
請求項５記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記上側カンチレバー部は、前記接続部が千鳥配置されるように、前記上側アーム部の長さ寸法が各々異なっていることを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項７】
請求項５記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記上側カンチレバー部は、隣り合う前記上側アーム部が相互に逆方向に向けて延出されていることを特徴とする垂直型プローブユニット。
【請求項８】
請求項１、２、３又は４記載の垂直型プローブユニットと、この垂直型プローブユニットの上側カンチレバー部の接続部が取り付けられるガイド基板と、このガイド基板が取り付けられる前記主基板と、この主基板とガイド基板との間に介在し、この主基板に形成された導電パターンと前記上側カンチレバー部の前記接続部との間を電気的に接続する中間接続部とを具備することを特徴とする垂直型プローブカード。
【請求項９】
請求項５、６又は７記載の垂直型プローブユニットと、この垂直型プローブユニットの上側カンチレバー部の接続部が取り付けられるガイド基板と、このガイド基板が取り付けられる前記主基板とを具備することを特徴とする垂直型プローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、垂直型プローブユニット及びこれを用いたプローブカードに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の測定対象物であるＬＳＩチップの高集積化、微細化に伴って、このＬＳＩチップの電気的諸特性を測定するプローブカードは、高集積化、微細化が要求されている。このようなＬＳＩチップの高集積化、微細化に対応するプローブカードとして、垂直型プローブカードがある。
【０００３】
この種の垂直型プローブカードは、従来、中腹部に屈曲部が設けられた複数本の針状のプローブと、このプローブの屈曲部の下側で支持する支持部材を有するプローブ支持部材と、このプローブ支持部材によって支持されたプローブの上端に接続され、下面に露出する接触パッドを有する導電パターンが形成された中間基板と、前記接触パッドと接触する導電パターンが形成された主基板とを備えており、前記プローブの先端の接触部は測定対象物であるＬＳＩチップの電極パッドに垂直に接触するようになっている。
【０００４】
前記中間基板は、内部に中間パターンが設けられており、高密度に配置されたプローブと、プローブの配置ほどには高密度に形成されていない主基板の導電パターンとの間を接続するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２２１３７４号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記垂直型プローブカードは、複数本のプローブを一本ずつ手作業で取り付けるため、プローブの取付作業が極めて難しく、取付作業中にプローブが変形する恐れがある。また、破損したプローブの交換作業も同様に困難である。このため、プローブの位置精度や生産性の低下が悪く、ＬＳＩチップの高集積化、微細化の進行に対応しきなくなっている。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的は、ＬＳＩチップの高集積化、微細化に対応することができる高精度の垂直型プローブユニット及びこれを用いた垂直型プローブカードを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の垂直型プローブユニットは、先端部が測定対象物の電極パッドに接触する下側カンチレバー部とこの下側カンチレバー部の上側に位置する上側カンチレバー部とこの上側カンチレバー部と前記下側カンチレバー部とを連結する本体部とを有しており、これらが一体的に形成された複数のプローブと、このプローブを前記電極パッドの配置に対応するように一列に並べた状態で当該プローブの本体部を相互に連結する絶縁性の固定部とを具備することを特徴とする垂直型プローブユニット。
【０００９】
より好ましくは、前記プローブの下側カンチレバー部は、前記本体部から前記プローブの配列方向と直交する方向に向けて延出された下側アーム部と、この下側アーム部から前記測定対象物の電極パッドに接触し得るように当該測定対象物の電極パッドに向けて折り曲げられた接触部とを有しており、前記下側アーム部は、少なくとも一部が湾曲していることが望ましい。
【００１０】
より好ましくは、前記固定部が挿入される開口を有する支持基板が設けられており、前記固定部は、前記支持基板に絶縁性を有する取付樹脂によって取り付けられることが望ましい。
【００１１】
より好ましくは、少なくとも両端に位置する前記プローブの本体部には、当該プローブの配列方向と直交する方向に張出部が設けられており、この張出部には、前記支持基板に係止される係止手段が設けられていることが望ましい。
【００１２】
より好ましくは、前記プローブの上側カンチレバー部は、前記本体部から前記下側カンチレバー部の下側アーム部と同一又は反対方向に向けて延出された上側アーム部と、この上側アーム部から上向きに折り曲げられた接続部とを有しており、前記上側アーム部は、少なくとも一部が当該上側アーム部の延出方向と反対方向に湾曲していることが望ましい。
【００１３】
より好ましくは、前記上側カンチレバー部は、前記接続部が千鳥配置されるように、前記上側アーム部の長さ寸法が各々異なっていることが望ましい。
【００１４】
若しくは、前記上側カンチレバー部は、隣り合う前記アーム部が相互に逆方向に向けて延出されているようにしても良い。
【００１５】
本発明の垂直型プローブカードは、上記垂直型プローブユニットと、前記垂直型プローブユニットの上側カンチレバー部の接続部が取り付けられるガイド基板と、このガイド基板が取り付けられる前記主基板と、この主基板とガイド基板との間に介在し、この主基板に形成された導電パターンと前記上側カンチレバー部の前記接続部との間を電気的に接続する中間接続部とを具備することを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る垂直型プローブカードを図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態に係る垂直型プローブユニットの概略的断面図、図２は同ユニットのプローブの概略的斜視図、図３は同ユニットの概略的斜視図、図４は同ユニットのプローブの設計変更を説明するための概略的斜視図、図５は同ユニットのプローブの別の設計変更を説明するための概略的斜視図、図６は同ユニットのプローブの他の設計変更を説明するための概略的斜視図、図７は同ユニットの千鳥配置されたプローブの接続部のピッチ間隔を説明するための図、図８は同ユニットを下から見た概略的斜視図、図９は上向きの係止片を有するプローブが設けられた同ユニットを下から見た概略的斜視図、図１０は本発明の別の実施例に係る垂直型プローブユニットの概略的斜視図である。
【００１７】
ここに掲げる本発明の実施の形態に係る垂直型プローブユニットＡ１は、ＬＳＩチップＢ（測定対象物）の電極パッド１０に接触する複数のプローブ１００と、このプローブ１００を電極パッド１０の配置に対応するように一列に並べた状態で当該プローブ１００の本体部１３０を相互に連結する絶縁性の固定部２００とを備えている。以下、各部を詳しく説明する。
【００１８】
プローブ１００は、ＬＳＩチップＢの電極パッド１０に接触する下側カンチレバー部１２０と、この下側カンチレバー部１２０の上側に配置される上側カンチレバー部１１０と、上側カンチレバー部１１０と下側カンチレバー部１２０とを連結する本体部１３０とを有しており、これらが一体的に形成されたものである。
【００１９】
このプローブ１００の下側カンチレバー部１２０は、本体部１３０からプローブ１００の配列方向と直交する方向に延出された下側アーム部１２１を有している。この下側アーム部１２１は、図２の（ａ）又は３に示すように、側面視略逆つ字型をしており、一部分が当該下側アーム部１２１の延出方向と反対方向に湾曲している。この下側アーム部１２１の先端部は、下向きに折り曲げられており、この折り曲げられた部分がＬＳＩチップＢの電極パッド１０に接触する接触部１２２となっている。そして、この下側カンチレバー部１２０は、すべての下側アーム部１２１が同一方向に向けて延出されている。
【００２０】
なお、下側アーム部１２１は、側面視略く字型であるとしたが、図２の（ｃ）に示すように、側面視略し字型等に設計変更することが可能であり、少なくとも一部分が湾曲していれば良い。また、下側アーム部１２１は、延出方向と反対方向に湾曲しているとしたが、これに限定されず、延出方向と同一方向に湾曲するようにしても良い。
【００２１】
一方、上側カンチレバー部１１０は、図２の（ａ）、（ｂ）又は３に示すように、本体部１３０から下側カンチレバー部１２０の下側アーム部１２１と同一若しくは反対方向に延出された上側アーム部１１１を有している。この上側アーム部１１１は、側面視略く字型をしており、少なくとも一部分が当該上側アーム部１１１の延出方向と反対方向に湾曲している。上側アーム部１１１の先端部は、上向きに折り曲げられており、この折り曲げられた部分が後述する主基板５００（図７参照）に電気的に接続される接続部１１２となっている。そして、この上側カンチレバー部１１０は、すべての上側アーム部１１１が同一方向に向けて延出されている。
【００２２】
この上側アーム部１１１は、図４に示すように、接続部１１２が千鳥配置されるように、長さ寸法が各々異なるように設計変更することも可能である。また、図５に示すように、本体部１３０から延出された半円部１１１１と、半円部１１１１の先端から真っ直ぐに延出された延出部１１１２とを有するように設計変更することも可能であり、ここでは、隣り合う上側アーム部１１１が相互に反対方向に延出されている。さらには、図６に示すように、上側アーム部１１１は、本体部１３０から湾曲し且つ斜め上方にむけて延出されるように設計変更することも可能である。なお、これらを組み合わせて適宜設計変更可能であることは言うまでもない。このように設計変更すると、上側アーム部１１１の接続部１１２のピッチ間隔を図３に示すように一列に並べたときと比べて広く設定することができる。
【００２３】
例えば、図７の（ａ）に示すように、一列に並べた接続部１１２をａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５、ａ６とすると、そのピッチ間隔は、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６となる。図７の（ｂ）に示すように、上側アーム部１１１の長さ寸法をＨずつ異なるように設定し、接続部ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５、ａ６が千鳥配置されるようにすると、接続部ａ１とａ４とのピッチ間隔は、Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３となり、接続部ａ１とａ２とのピッチ間隔は、√Ｈ１２　＋Ｔ１２　となる。具体的には、図７の（ｃ）に示すように、一列に並べた接続部ａ１、ａ２・・・のピッチ間隔はそれぞれ１００μｍであったが、千鳥位置させると、接続部ａ１、ａ２のピッチ間隔は１８０μｍとすることができ、接続部ａ１、ａ４のピッチ間隔は３００μｍとすることができた。
【００２４】
本体部１３０は、図２に示すように、下側カンチレバー部１２０と上側カンチレバー部１１０とを連結する棒状体であり、下端部から下側アーム部１２１と同一、反対若しくはその両方向に向けて張出部１３３が延出されている。そして、両端に位置するプローブ１００の本体部１３０には、図３に示すように、下端部に設けられた張出部１３３の先端部から上方に向けて係合片１３４（係合手段）が設けられており、この係合片１３４は、後述する支持基板３００の係合孔３２０に係合される。
【００２５】
この張出部１３３は、本体部１３０の下端部に延出されているとしたが、本体部１３０に設けられていれば良く、少なくとも両端に位置するプローブ１００の本体部１３０に設けられていれば良い。また、係合片１３４は、ここでは、張出部１３３の先端部から上方に向けて設けられているとしたが、下方に向けて設けることも可能であり、両端に位置するプローブ１００の本体部１３０だけでなく、すべてプローブ１００の本体部１３０に設けるように設計変更することも可能である。なお、張出部１３３及び係合片１３４を設けることは任意である。
【００２６】
この本体部１３０を相互に連結する固定部２００は、プローブ１００をＬＳＩチップＢの電極パッド１０の配置に対応するように一列に並べた状態で、絶縁性の固定樹脂を流し込み、直方体に固めたものである。これにより、複数のプローブ１００は電極パッド１０の配置に対応するように予め固定される。なお、固定部の形状は、直方体だけに限定されず、円筒形等に適宜設計変更可能である。
【００２７】
このようなプローブ１００を支持する支持基板３００は、絶縁性を有する基板であって、複数のプローブ１００を固定した固定部２００が挿入される開口３１０が開設されている。この開口３１０の近傍には、両端に位置するプローブ１００の係合片１３４が係合される係合孔３２０が開設されている。図８に示すように、プローブ１００の係合片１３４が上向きに設けられている場合、支持基板３００の下面側から複数のプローブ１００を固定した固定部２００が挿入され、両端に位置するプローブ１００の係合片１３４が係合孔３２０される。一方、図９に示すように、プローブ１００の係合片１３４が下向きに設けられている場合、支持基板３００の上面側から複数のプローブ１００を固定した固定部２００が挿入され、両端に位置するプローブ１００の係合片１３４が係合孔３２０される。このようにして、プローブ１００がＬＳＩチップＢの電極パッド１０に接触し得る位置に位置決めされる。
【００２８】
なお、開口３１０は、図１０に示すように、複数のプローブ１００を固定した複数の固定部が挿入可能に設計変更することも可能である。このように設計変更すると、多数のプローブ１００を狭ピッチ間隔で配列することができる。
【００２９】
また、この支持基板３００の上面には、図１に示すように、開口３１０及び係合孔３２０を囲う枠部３３０が立設されている。この枠部３３０には、プローブ１００が支持基板３００の開口３１０に挿入された状態で絶縁性を有する取付樹脂３４０が流し込まれる。これにより、プローブ１００は支持基板３００に固定され支持される。
【００３０】
このような垂直型プローブユニットＡ１による場合、プローブ１００は固定部２００によって電極パッド１０の配置に対応するように予め固定されているので、従来例のように一本ずつ手で取り付けるよりも高精度に組み立てることができる。従って、ＬＳＩチップＢの高集積化、微細化に対応することができる。また、固定部２００によって固定された複数のプローブ１００を支持基板３００に取り付けるだけで良いことから、従来例と比べて取付作業が非常に簡単になるので、低コスト化を図る上でメリットがある。
【００３１】
このように構成された垂直型プローブユニットＡ１を用いた垂直型プローブカードＡについて図１１を参照しつつ説明する。なお、図１１は本発明の実施の形態に係る垂直型プローブカードの概略的断面図である。
【００３２】
垂直型プローブカードＡは、垂直型プローブユニットＡ１と、垂直型プローブユニットＡ１の上側カンチレバー部１１０の接続部１１２が取り付けられるガイド基板４００と、このガイド基板４００が取り付けられる主基板５００と、この主基板５００とガイド基板４００との間に介在し、この主基板５００に形成された導電パターン５１０と上側カンチレバー部１１０の接続部１１２との間を電気的に接続する中間接続部６００とを具備している。
【００３３】
主基板５００は、積層基板であって、内部に導電パターン５１０が形成されている。この主基板５００の上面には、導電パターン５１０の一端が露出しており、この導電パターン５１０の一端には、図外のテスト装置が電気的に接続されている。一方、主基板５００の下面には、導電パターン５１０の他端が露出しており、この導電パターン５１０の他端には、後述する中間接続部６００の下面側ターミナル６１２と電気的に接続される接触パッド５１１が接続されている。
【００３４】
この主基板５００に取り付けられるガイド基板４００は、絶縁性を有する板材であって、主基板５００から垂下されたガイド支持部７００によって保持されている。このガイド基板４００には、垂直型プローブユニットＡ１の上側カンチレバー部１１０の接続部１１２が嵌まり込む複数のスリット４１０が開設されている。したがって、この垂直型プローブカードＡでは、垂直型プローブユニットＡ１は、ガイド基板４００の裏面側からスリット４１１にプローブ１００の上側カンチレバー部１１０の接続部１１２が挿入される。
【００３５】
このガイド基板４００と主基板５００との間に介在する中間接続部６００は、積層基板であって、ガイド支持部７００に支持されている。中間接続部６００は、内部に中間パターン６１０が形成されており、上面に中間パターン６１０の一端が露出している。この中間パターン６１０の一端には、主基板５００の接触パッド５１１と電気的に接続される上面側ターミナル６２０が接続されている。なお、ガイド基板４００を設けず、垂直型プローブユニットＡ１の上側カンチレバー部１１０の接続部１１２を主基板５００の導電パターン５１０に直接接続するようにしても構わない。
【００３６】
一方、中間接続部６００の下面には、中間パターン６１０の他端が露出しており、この中間パターン６１０の他端には、垂直型プローブユニットＡ１の上側カンチレバー部１１０の接続部１１２と電気的に接続される下面側ターミナル６２０が接続されている。これにより、主基板５００の導電パターン５１０と垂直型プローブユニットＡ１のプローブ１００とが電気的に接続される。このように中間接続部６００を用いると、上側ターミナル６２０のピッチ間隔は、下側ターミナル６３０のピッチ間隔より広く設定することができる。なお、中間接続部６００を用いることは任意である。特に、プローブ１００の上側カンチレバー部１１０を、図４、５及び６に示すように設計変更した場合、上側カンチレバー部１１０の接続部１１２のピッチ間隔を広くすることができるので、中間接続部６００を省略することができる。このように設計変更すると、低コスト化を図る上でメリットがある。また、中間接続部６００の代わりに導線等を用いて主基板５００の導電パターン５１０と垂直型プローブユニットＡ１のプローブ１００とを電気的に接続するように設計変更することももちろん可能である。
【００３７】
そして、この中間接続部６００の下側に配置される垂直型プローブユニットＡ１は、支持基板３００がガイド支持部７００によって保持されている。
【００３８】
次に、垂直型プローブカードＡの動作について説明する。なお、この垂直型プローブカードＡによって電気的諸特性を測定されるＬＳＩチップＢは、個々のチップにダイシングされる前のウエハ状態のものである。
【００３９】
図示しない吸着テーブルに真空吸着されたウエハ状のＬＳＩチップＢは、前記吸着テーブルが左右及び前後に移動することによって、個々のＬＳＩチップＢを垂直型プローブカードＡのプローブ１００の真下に移動させられる。
【００４０】
その後、前記吸着テーブルが上方向に移動することによって、プローブ１００の下側カンチレバー部１２０の接触部１２２がＬＳＩチップＢの電極パッド１０に垂直方向から接触する。そして、接触部１２２が電極パッド１０に接触した後も、吸着テーブルが上方向に移動することによって、接触部１２２と電極パッド１０との間に所定の接触圧が確保される。なお、この接触部１２２が電極パッド１０に接触した後の吸着テーブルの上方への移動は、オーバードライブと称されている。
【００４１】
オーバードライブが行われると、下側カンチレバー部１２０の下側アーム部１２１は弾性変形し、変位する。この変位によって、下側カンチレバー部１２０の接触部１２２は、電極パッド１０の表面を滑る。これにより、電極パッド１０の表面に形成されていた絶縁皮膜（例えば、アルミナ膜）が除去されることと、接触部１２２に付着していた絶縁滓（例えば、アルミナ膜）が除去されることとにより、プローブ１００と電極パッド１０との確実な電気的接触が確保される。
【００４２】
この状態で、テスト装置との間で所定の信号を遣り取りすることによって、ＬＳＩＢの電気的諸特性の測定が行われる。
【００４３】
電気的諸特性の測定が完了したならば、吸着テーブルは下方に移動し、次のＬＳＩチップ６００の測定を行うために、前後左右に移動する。なお、吸着テーブルの下方向への移動によって、接触部１２２と電極パッド１０との接触は解除される。
【００４４】
このような垂直型プローブカードＡにによる場合、垂直型プローブユニットＡ１と同様の効果を得ることができる。また、中間接続部を用いたことにより、主基板５００に形成される導電パターン５１０のピッチ間隔を更に広く設定することができので、ＬＳＩチップＢの高集積化、微細化に対応する上でメリットがある。
【００４５】
【発明の効果】
本願の請求項１記載の垂直型プローブユニットは、先端部が測定対象物の電極パッドに接触する下側カンチレバー部とこの下側カンチレバー部の上側に位置する上側カンチレバー部とこの上側カンチレバー部と前記下側カンチレバー部とを連結する本体部とを有しており、これらが一体的に形成された複数のプローブと、このプローブを前記電極パッドの配置に対応するように一列に並べた状態で当該プローブの本体部を相互に連結する絶縁性の固定部とを具備することを特徴としている。
【００４６】
このような構成にによる場合、前記プローブは前記固定部によって電極パッドの配置に対応するように予め固定されているので、従来のように一本ずつ手で取り付けるよりも高精度に組み立てることができる。従って、測定対象物の高集積化、微細化に対応することができる。また、従来のように一本ずつ手で取り付ける必要がないので、取付作業が非常に簡単になり、低コスト化を図る上でメリットある。
【００４７】
本願の請求項２記載の垂直型プローブユニットは、請求項１記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記プローブの下側カンチレバー部は、前記本体部から前記プローブの配列方向と直交する方向に向けて延出された下側アーム部と、この下側アーム部から前記測定対象物の電極パッドに接触し得るように当該測定対象物の電極パッドに向けて折り曲げられた接触部とを有しており、前記下側アーム部は、少なくとも一部が湾曲している。このような構成による場合、下側アーム部は湾曲しているので、接触部と測定対象物の電極パッドとの間の所定の接触圧を確保することができるので、安定した接触を得ることができる。従って、高精度なプローブユニットを得ることができる。
【００４８】
本願の請求項３記載の垂直型プローブユニットは、請求項１又は２記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記固定部が挿入される開口を有する支持基板が設けられており、前記固定部は前記支持基板に絶縁性を有する取付樹脂によって取り付けられていることを特徴としている。このような構成による場合、複数のプローブが連結された固定部を支持するので、プローブがぐらつかない。その結果、測定対象物の電極パッドと安定した接触を得ることができるので、高精度のプローブユニットを得ることができる。
【００４９】
本願の請求項４記載の垂直型プローブユニットは、請求項３記載の垂直型プローブユニットにおいて、少なくとも両端に位置する前記プローブの本体部には、当該プローブの配列方向と直交する方向に張出部が設けられており、この張出部には、前記支持基板と係合する係合手段が設けられている。このような構成による場合、前記プローブの位置決めを簡単に行うことができる。よって、組み立てが容易になり、低コスト化を図る上でメリットがある。
【００５０】
本願の請求項５記載の垂直型プローブユニットは、請求項１、２、３又は４記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記プローブの上側カンチレバー部は、前記本体部から前記下側カンチレバー部の下側アーム部と同一又は反対方向に向けて延出された上側アーム部と、この上側アーム部から上向きに折り曲げられた接続部とを有しており、前記上側アーム部は、少なくとも一部が当該上側アーム部の延出方向と反対方向に湾曲している。このような構成による場合、前記上側カンチレバー部の接続部のピッチ間隔は、前記下側カンチレバー部の接触部のピッチ間隔より広く設定することができる。従って、測定対象物の高集積化、微細化に対応する上でメリットがある。
【００５１】
本願の請求項６記載の垂直型プローブユニットは、請求項５記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記上側カンチレバー部は、前記接続部が千鳥配置されるように、前記上側アーム部の長さ寸法が各々異なっていることを特徴としている。このような構成による場合、前記上側カンチレバー部の接続部のピッチ間隔を更に広く設定することができる。従って、測定対象物の高集積化、微細化に対応する上でメリットがある。
【００５２】
本願の請求項７記載の垂直型プローブユニットは、請求項５記載の垂直型プローブユニットにおいて、前記上側カンチレバー部は、隣り合う前記上側アーム部が相互に逆方向に向けて延出されている。このような構成による場合、前記上側カンチレバー部の接続部のピッチ間隔を更に広く設定することができる。従って、測定対象物の高集積化、微細化に対応する上でメリットがある。
【００５３】
本願の請求項８記載のプローブカードは、請求項１、２、３又は４記載の垂直型プローブユニットと、この垂直型プローブユニットの上側カンチレバー部の接続部が取り付けられるガイド基板と、このガイド基板が取り付けられる前記主基板と、この主基板とガイド基板との間に介在し、この主基板に形成された導電パターンと前記上側カンチレバー部の前記接続部との間を電気的に接続する中間接続部とを具備することを特徴としている。このような構成による場合、上記プローブユニットと同様の効果を得ることができる。また、中間接続部を用いることにより、主基板の導電パターンのピッチ間隔を広く設定することができる。従って、高集積化、微細化を図る上でメリットある。
【００５４】
本願の請求項８記載のプローブカードは、請求項５、６又は７記載の垂直型プローブユニットと、この垂直型プローブユニットの上側カンチレバー部の接続部が取り付けられるガイド基板と、このガイド基板が取り付けられる前記主基板とを具備することを特徴としている。このような構成による場合、請求項５、６又は７記載の垂直型プローブユニットと同様の効果を得ることができるので、前記中間接続部を省略することができる。従って、低コスト化を図る上でメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る垂直型プローブユニットの概略的断面図である。
【図２】同ユニットのプローブの概略的斜視図である。
【図３】同ユニットの概略的斜視図である。
【図４】同ユニットのプローブの設計変更を説明するための概略的斜視図である。
【図５】同ユニットのプローブの別の設計変更を説明するための概略的斜視図である。
【図６】同ユニットのプローブの他の設計変更を説明するための概略的斜視図である。
【図７】同ユニットの千鳥配置されたプローブの接続部のピッチ間隔を説明するための図である。
【図８】同ユニットを下から見た概略的斜視図である。
【図９】上向きの係止片を有するプローブが設けられた同ユニットを下から見た概略的斜視図である。
【図１０】本発明の別の実施例に係る垂直型プローブユニットの概略的斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る垂直型プローブカードの概略的断面図である。
【符号の説明】
Ａ　　　垂直型プローブカード
Ａ１　　垂直型プローブユニット
１００　プローブ
１１０　上側カンチレバー部
１２０　下側カンチレバー部
３００　本体部
２００　固定部
３００　支持基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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