(57)【要約】【目的】平面基準板とコリメータレンズとの間の位置に、防塵用光透過板を平行光束の軸方向と斜交するように配置して、コリメータレンズ等の光学部品に塵埃等が付着するのを防止する。【解決手段】第１の光束射出／撮像光学系３は、コリメータレンズ３４の前方に位置する光射出用の開口部を有する筐体３０と、この開口部を塞ぐように、かつ光軸Ｌと斜交するように配置された防塵用光透過板３６とにより、周囲の空間に対して防塵密閉されている。同様の態様で、第２の光束射出／撮像光学系４は、筐体４０と防塵用光透過板４６とにより、また、反射鏡６およびその移動機構は、筐体６０と防塵用光透過板６１とにより、それぞれ周囲の空間に対して防塵密閉されている。【選択図】　　　図１
2004102117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部と、該光源部からの光を平行光束とするコリメータレンズと、該コリメータレンズからの前記平行光束を反射光束と透過光束とに分割する基準面を有してなる平面基準板とを備えた干渉計装置において、
前記平面基準板と前記コリメータレンズとの間の位置において、前記光源部および前記コリメータレンズを有してなる光学系を前記平面基準板側の空間に対して防塵密閉する一方で、前記平行光束は透過させる防塵用光透過板を備え、該防塵用光透過板を前記平行光束の軸方向と斜交するように配置してなることを特徴とする干渉計用光学系の防塵装置。
【請求項２】
請求項１記載の干渉計用光学系の防塵装置を備えてなることを特徴とする干渉計装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、干渉計装置内の光学系を構成するレンズ、ミラー等の光学部品に、塵埃等が付着するのを防止するための干渉計用光学系の防塵装置、およびこのような防塵装置を備えた干渉計装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光波干渉に用いるレーザ光等の光を出力する光源部と、この光源部から出力された光を平行光束とするコリメータレンズと、このコリメータレンズから出力された平行光束を反射光束と透過光束とに分割する平面もしくは球面基準板とを備えた干渉計装置が知られている。このような干渉計装置においては、上記コリメータレンズや、このコリメータレンズに上記光源部からの光を導く反射鏡などの光学部品の表面に塵埃等が付着するのを防止するため、これら光学部品により構成された光学系を周囲の空間に対して防塵密閉しておく必要がある。
【０００３】
従来、光源部やコリメータレンズを有する光学系を、この光学系から出力される光の通路となる開口部を有する筐体で囲むと共に、その開口部を上記平面もしくは球面基準板が塞ぐような状態に配置することにより、光学系全体を周囲の空間に対して防塵密閉するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２２５６１２号公報（第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した防塵構造のものは、基準板が防塵用の窓の役目を果たしていることになるが、このような基準板は、定期的なメンテナンス等のため干渉計装置から取り外されることがあり、その際に塵埃等が光学系内の光学部品の表面に付着する虞があった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、定期的なメンテナンス等のため平面基準板が干渉計装置から取り外される場合においても、コリメータレンズ等の光学部品の表面に塵埃が付着することを防止し得る干渉計用光学系の防塵装置、およびこのような防塵装置を備えた干渉計装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の干渉計用光学系の防塵装置は、光源部と、該光源部からの光を平行光束とするコリメータレンズと、該コリメータレンズからの前記平行光束を反射光束と透過光束とに分割する基準面を有してなる平面基準板とを備えた干渉計装置において、前記平面基準板と前記コリメータレンズとの間の位置において、前記光源部および前記コリメータレンズを有してなる光学系を前記平面基準板側の空間に対して防塵密閉する一方で、前記平行光束は透過させる防塵用光透過板を備え、該防塵用光透過板を前記平行光束の軸方向と斜交するように配置してなることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の干渉計装置は、上記特徴を備えた干渉計用光学系の防塵装置を備えてなることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
【００１０】
〈干渉計装置概要〉
図１は、本発明の一実施形態に係る干渉計用光学系の防塵装置を備えた干渉計装置を示す図である。なお、説明を分かりやすくするため、図１においては、各光学部品間の距離やそれら個々の大きさを、適宜変更して示している。
図１に示す干渉計装置１は、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（デジタルバーサタイルディスク）、ＬＤ（レーザディスク）等の各種の光ディスクに対し、信号の記録／再生を行なうための光ディスク用ピックアップレンズの検査用、特に、ＣＤ・ＤＶＤ共用のコンパチブルプレーヤ装置において用いられる互換型のピックアップレンズの検査用に構成されたものであり、光学定盤２の下面側に設置された第１の光束射出／撮像光学系３および第２の光束射出／撮像光学系４と、光学定盤２の上面側に設置された干渉光学系５とを備えてなる。
【００１１】
第１の光束射出／撮像光学系３は、ＤＶＤ記録／再生用の単色レーザ光（例えば波長が６５０ｎｍ）と同じ波長の単色レーザ光を出力するレーザ光源を内蔵する光源部３１、発散レンズ３２、半透鏡３３、コリメータレンズ３４、および撮像用のＣＣＤ３５を備えており、光源部３１から射出されたレーザ光を発散レンズ３２、半透鏡３３、およびコリメータレンズ３４を介し、平行な第１の単色光束として第１の光束射出／撮像光学系３の外部（図中右方）に向けて出力するように構成されている。
【００１２】
第２の光束射出／撮像光学系４は、ＣＤ記録／再生用の単色レーザ光（例えば波長が７８０ｎｍ）と同じ波長の単色レーザ光を出力するレーザ光源を内蔵する光源部４１、発散レンズ４２、半透鏡４３、コリメータレンズ４４、および撮像用のＣＣＤ４５を備えており、光源部４１から射出されたレーザ光を発散レンズ４２、半透鏡４３、およびコリメータレンズ４４を介し、平行な第２の単色光束として第２の光束射出／撮像光学系４の外部（図中上方）に向けて出力するように構成されている。
【００１３】
第１の光束射出／撮像光学系３の右方には、第１の光束射出／撮像光学系３から出力された第１の単色光束を上方に向け直角に反射する反射鏡６が配置されている。この反射鏡６は、図示せぬミラー保持移動機構によって、第１の単色光束の光路と第２の単色光束の光路とが交差する第１の位置と、第２の単色光束の光路外の第２の位置との間を移動可能に保持されており、この保持移動機構によって、第１の単色光束が出力される場合には第１の位置に配置され、第２の単色光束が出力される場合には第２の位置に移動されるように構成されている。
【００１４】
これら第１の光束射出／撮像光学系３、第２の光束射出／撮像光学系４、および反射鏡６を備えていることにより、複数光束干渉計装置１は、ＤＶＤ記録／再生用の単色レーザ光と同じ波長の第１の単色光束と、ＣＤ記録／再生用の単色レーザ光と同じ波長の第２の単色光束とを、必要に応じて選択的に切替えて干渉光学系５の下端部にある光束導入開口に向けて出力することが可能となっている。
【００１５】
一方、干渉光学系５は、基準面５１を有する平面基準板５２と、ピックアップレンズ７を載置するレンズ載置台５３とを備えており、これら平面基準板５２およびレンズ載置台５３は、光学定盤２に対してそれぞれ独立に、その軸の傾きを調整可能に支持されている。
【００１６】
また、干渉光学系５は、５軸調整ステージ８に支持された球面反射部５４を備えており、この球面反射部５４は、鏡胴５５に保持された反射型基準球面５６と、鏡胴５５に取り付けられた、反射型基準球面５６の押さえ環５７とを備えている。さらに、ピックアップレンズ７と反射型基準球面５６との間の光路上には、光ディスクの信号記録面を保護するために形成されている保護層の光学特性を補償する補正板５８が、押さえ環５７に取り付けられた補正板ケース９内に保持されて配置されている。
【００１７】
〈防塵装置概要〉
上述した第１の光束射出／撮像光学系３は、コリメータレンズ３４の前方に位置する光射出用の開口部を有する筐体３０と、この開口部を塞ぐように配された防塵用光透過板３６とにより、周囲の空間に対して防塵密閉されている。この防塵用光透過板３６は、例えば一般的な光学ガラス等で形成され、その面が光軸Ｌと直交する面に対して傾いた状態となるように（斜交するように）配置されている。
【００１８】
一方、上述した第２の光束射出／撮像光学系４は、コリメータレンズ４４の前方に位置する光射出用の開口部を有する筐体４０と、この開口部を塞ぐように配された防塵用光透過板４６とにより、上記第１の光束射出／撮像光学系３と同様に、周囲の空間に対して防塵密閉されている。この防塵用光透過板４６は、上記防塵用光透過板３６と同様な部材で形成され、その面が光軸Ｌと直交する面に対して傾くように配置されている。
【００１９】
また、上述した反射鏡６およびその移動機構は、上記平面基準板５２に対向する光射出用の開口部を有する筐体６０と、この開口部を塞ぐように配された防塵用光透過板６１とにより、上記第１および第２の光束射出／撮像光学系３，４と同様に、周囲の空間に対して防塵密閉されている。この防塵用光透過板６１についても、上記防塵用光透過板３６，４６と同様な部材で形成され、その面が光軸Ｌと直交する面に対して傾くように配置されている。
【００２０】
このように本実施形態では、第１および第２の光束射出／撮像光学系３，４と、反射鏡６とが共に周囲の空間に対して防塵密閉されているため、平面基準板５２がメンテナンス等により干渉計装置１から取り外された場合でも、コリメータレンズ３４，４４や反射鏡６等の光学部品に塵埃等が付着するのを防止することが可能となっている。さらに、各防塵用光透過板３６，４６，６１は、光軸Ｌと直交する面に対して傾くように配置されているので、これらの防塵用光透過板３６，４６，６１で反射した光は、光軸Ｌの方向からそれた方向に向かうようになっており、この防塵用光透過板３６，４６，６１の表裏面と光軸Ｌに対して直交する他の面（例えば基準面５１）との間で光波干渉は生ぜず、この防塵用光透過板３６，４６，６１の表裏面からの反射光が光波干渉のノイズとなることを防止できるようになっている。なお、光波干渉に悪影響を及ぼさないように、上記防塵用光透過板６１の傾き方向は、上記防塵用光透過板３６，４６の傾き方向とは互いに異なる傾きにセットされている。
【００２１】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の態様の変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、第１の光束射出／撮像光学系３、第２の光束射出／撮像光学系４、および反射鏡６が、それぞれ別の筐体および防塵用光透過板により防塵密閉されているが、これらを共通の１つの筐体および防塵用光透過板により防塵密閉することも可能である。
【００２２】
また、上記実施形態において、例えば反射鏡６に関しては防塵密閉せずに、第１および第２の光束射出／撮像光学系３，４のみを防塵密閉することも可能である。
【００２３】
さらに、上記実施形態では、２つの光源部を切替えることにより波長の異なる単色光束を互いに切替えて出力する干渉計装置に本発明を適用しているが、１つの光源部のみを備えた一般的な干渉計装置に対しても、本発明を適用することが可能である。
【００２４】
また、上記実施形態では、フィゾー型の干渉光学系を備えた干渉計装置に、本発明を適用しているが、その他の干渉計装置、例えば、マイケルソン型あるいはトワイマン―グリーン型等の干渉計装置にも適用が可能である。
【００２５】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の干渉計用光学系の防塵装置によれば、平面基準板とコリメータレンズとの間の位置において、光源部およびコリメータレンズを有してなる光学系を平面基準板側の空間に対して防塵密閉する一方で、コリメータレンズからの平行光束は透過させる防塵用光透過板を、光軸と斜交するように配置しているので、次のような効果を奏する。
すなわち、光学系が周囲の空間に対して防塵密閉されているため、平面基準板がメンテナンス等により干渉計装置から取り外された場合でも、コリメータレンズ等の光学部品に塵埃等が付着するのを防止することが可能である。
【００２６】
また、防塵用光透過板が、光軸に対して斜交するように配置されているので、防塵用光透過板で反射した光は、光軸方向とは異なる方向に向かうようになっており、この防塵用光透過板の表裏面と光軸に対して直交する他の面との間で光波干渉は生ぜず、この防塵用光透過板の表裏面からの反射光が光波干渉のノイズとなることを防止することが可能である。
【００２７】
また、本発明の干渉計装置によれば、本発明の干渉計用光学系の防塵装置を備えたことにより、光学系内の光学部品に塵埃等が付着し難い。このため、塵埃等により光波干渉に悪影響が及ぶ虞が少なくなるので、高精度な測定を行える環境を維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る干渉計用光学系の防塵装置を備えた干渉計装置の図
【符号の説明】
１　　　　　　　　干渉計装置
２　　　　　　　　光学定盤
３　　　　　　　　第１の光束射出／撮像光学系
４　　　　　　　　第２の光束射出／撮像光学系
５　　　　　　　　干渉光学系
６　　　　　　　　反射鏡
７　　　　　　　　ピックアップレンズ
８　　　　　　　　５軸調整ステージ
９　　　　　　　　補正板ケース
１１　　　　　　　　位置調整ステージ
３０，４０，６０　　筐体
３１，４１　　　　　光源部
３２，４２　　　　　発散レンズ
３３，４３　　　　　半透鏡
３４，４４　　　　　コリメータレンズ
３５，４５　　　　　ＣＣＤ
３６，４６，６１　　防塵用光透過板
５１　　　　　　　　基準面
５２　　　　　　　　平面基準板
５３　　　　　　　　レンズ載置台
５４　　　　　　　　球面反射部
５５　　　　　　　　鏡胴
５６　　　　　　　　反射型基準球面
５７　　　　　　　　押さえ環
５８　　　　　　　　補正板
Ｌ　　　　　　　　干渉計装置の光軸
【図１】
2004102117.tif 000003