(57)【要約】【課題】安価な構成でもって、ガラス板などの比較的大きい被浮上物を浮上させ得る空気浮上装置を提供する。【解決手段】空気が供給される空気室５が形成された箱状体６の上壁板２として、空気噴出穴９が所定間隔でもって多数形成されるとともに被浮上物を支持し得る強度を有する支持用板材、例えばパンチングメタルを用い、且つこの上壁板２の空気室５側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材７として、例えば多孔質のセラミック板を配置したものである。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気が供給される空気室を形成する所定の壁面部材として、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されるとともに被浮上物を支持し得る支持用板材を用い、且つこの支持用板材の空気室側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したことを特徴とする空気浮上装置。
【請求項２】
空気分散部材の空気室側の内表面に、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成された中間支持用板材を配置するとともに、支持用板材と当該中間支持用板材とに形成される空気噴出穴の位置を互いにずらせたことを特徴とする請求項１に記載の空気浮上装置。
【請求項３】
請求項１に記載の空気浮上装置の両側方に、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の両側縁部に接触して所定方向に移動させる移動装置を配置したことを特徴とする空気浮上式搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の空気浮上装置の一側方に、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の一側縁部に接触して所定方向に移動させる移動装置を配置するとともに、他側方に被搬送物の他側縁部を案内する案内装置を配置したことを特徴とする空気浮上式搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の空気浮上装置を、一側縁部が下方位置となるように傾斜させるとともに、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の一側縁部に接触して当該被搬送物を所定方向に移動させる移動装置を具備したことを特徴とする空気浮上式搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気浮上装置およびこの空気浮上装置を用いた空気浮上式搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、表面のクリーン度が要求されるウエハなどの被搬送物を搬送する装置として、空気の噴出を利用した非接触方式のもの、すなわち空気浮上式のものがある。
【０００３】
この空気浮上式搬送装置は、搬送面に小径の空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されるとともに、これらの空気噴出穴から空気を噴出させてウエハを浮上させた状態で搬送するようにしたものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１００８９６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、フラットパネルディスプレイの大型化が進み、それに伴い、ディスプレイに用いられるガラス板または樹脂パネルにおいても、大型化されるとともに軽量化のために薄くなっており、したがって撓みによる変形が搬送時の大きい問題となっており、このため、空気浮上式の搬送が望まれている。
【０００６】
しかし、上述したように、従来の空気浮上式搬送装置は、搬送面上に、小径の空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されたものであり、例えば大型のガラス板を浮上させるためには、かなりの勢いでもって空気を噴出させる必要がある。
【０００７】
このような装置を例えばクリーンルーム内で使用すると、多数の空気噴出穴から勢いよく空気が噴出するため、塵埃を巻上げてしまうという問題が生じるとともに、例えば被搬送物であるガラス板が空気噴出穴からずれた場合には、空気が逃げてしまい、ガラス板を充分に浮上させることができなくなるという問題もある。
【０００８】
なお、空気が逃げるのを防止するために、空気噴出穴を非常に小さく、すなわち微細なものにすると、製造工程に多くの手間と時間を要し、製造コストの増大に繋がってしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、安価な構成でもって、ガラス板などの比較的大きい被浮上物を浮上させ得る空気浮上装置、および比較的大きい被搬送物を空気浮上式にて確実に搬送し得る空気浮上式搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る空気浮上装置は、空気が供給される空気室を形成する所定の壁面部材として、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されるとともに被浮上物を支持し得る支持用板材を用い、且つこの支持用板材の空気室側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したものである。
【００１１】
また、請求項２に係る空気浮上装置は、請求項１に記載の装置における空気分散部材の空気室側の内表面に、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成された中間支持用板材を配置するとともに、支持用板材と当該中間支持用板材とに形成される空気噴出穴の位置を互いにずらせたものである。
【００１２】
上記の各空気浮上装置の構成によると、被浮上物が載置される壁面部材として支持用板材を用いるとともに、この板材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したので、すなわち被浮上物を支持する部材と空気を噴出させる部材とを別個に設けたので、被浮上物がガラス板などのように重たいもの、特に比較的広い面積で平面の精度が要求されるものであっても、支持用板材に強度および精度を持たせることにより、空気分散部材の強度や精度を心配することなく、充分に支持することができ、したがって安価なものが得られる。また、壁面部材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したので、空気を支持面全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることができ、したがって例えばクリーンルーム内でガラス板を浮上させる際に、塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、ガラス板から外れた空気噴出穴から、空気が逃げて浮上力が不足するような心配はない。
【００１３】
また、本発明の請求項３に係る空気浮上式搬送装置は、請求項１に記載の空気浮上装置の両側方に、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の両側縁部に接触して所定方向に移動させる移動装置を配置したものである。
【００１４】
また、請求項４に係る空気浮上式搬送装置は、請求項１に記載の空気浮上装置の一側方に、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の一側縁部に接触して所定方向に移動させる移動装置を配置するとともに、他側方に被搬送物の他側縁部を案内する案内装置を配置したものである。
【００１５】
さらに、請求項５に係る空気浮上式搬送装置は、請求項１に記載の空気浮上装置を、一側縁部が下方位置となるように傾斜させるとともに、当該空気浮上装置により浮上された被搬送物の一側縁部に接触して当該被搬送物を所定方向に移動させる移動装置を具備したものである。
【００１６】
上記の各空気浮上式搬送装置の構成によると、上記空気浮上装置の少なくとも一側方部に、空気により浮上された被搬送物を移動させる移動装置を配置したので、または一側方部に空気により浮上された被搬送物を移動させる移動装置を配置するとともに他側方部に被搬送物を案内する案内装置を配置したので、安価な構成でありながら、被搬送物を容易に且つ確実に搬送させることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る空気浮上装置およびこの空気浮上装置を用いた空気浮上式搬送装置を、図面に基づき説明する。
【００１８】
まず、空気浮上装置について説明するが、この装置は、物体を支持する支持面（または載置面）から空気を噴出させることにより、当該支持面上に載置された物体を空中に浮上させるものである。
【００１９】
図１および図２に示すように、この空気浮上装置１は、平面視が矩形状にされるとともに、上壁板２、下壁板３およびこれら両壁板２，３の周縁部間に配置されたスペーサ４により、内部に所定高さの空気室５が形成された箱状体６と、上記上壁板２の空気室５側の内表面に配置された（例えば、貼着された）空気分散部材７と、上記下壁板３の中央に形成された空気供給口３ａから所定圧力でもって空気を供給するための空気供給機（図示しないが、例えば送風機が用いられる）とから構成されている。なお、両壁板２，３およびスペーサ４は、ボルト・ナット８により一体化される。
【００２０】
そして、上記上壁板（所定の壁面部材であり、より具体的には支持用板材でもある）２としては、被浮上物を支持し得る強度を発揮し得る厚さで且つ小径［板厚の１／２程度以上の穴径で（プレス加工可能な径であればよい、プレス加工を用いることにより安価に製作し得る）、例えば、１〜１０ｍｍ程度］の空気噴出穴９が所定間隔（例えば、穴径の２〜５倍程度が好ましい）でもって千鳥状に多数形成された金属板が用いられるとともに（例えば、アルミ製、ステンレス製または鋼製のパンチングメタルが用いられるが、場合によっては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリアミド（ナイロン）などの合成樹脂を用いてもよい）、空気分散部材７としては、例えば微細な孔が無数に形成された多孔質（多孔性）の樹脂板（多孔質材料の一例で、例えばポリテトラフルオロエチレン、ポリビニルアルコールなど）が用いられる。
【００２１】
上記構成において、空気供給口３ａより、空気室５内に所定圧力の空気を供給すれば、空気は空気分散部材７内に形成された無数の孔を通過して、表面全体から均一に且つ少量ずつ噴出し、そして上壁板２に形成された空気噴出穴９を経て噴出して、上壁板２上に載置された被浮上物、例えばガラス板Ｗを浮上させることになる。勿論、浮上したガラス板Ｗは、例えば人手、または他の移動装置にて、容易に移動させることができる。
【００２２】
なお、被浮上物が存在しない空気噴出穴９からの空気の逃げを少なくして、被浮上物の下方に位置する空気噴出穴９からも充分な空気量を噴出させるためには、多孔質材料における空気抵抗は大きい方が良いが、あまり大きくすると供給する空気圧力も高くなるため、無闇に大きくすることはできない。そこで、多孔質の樹脂板である空気分散部材７による空気抵抗ΔＰ（空気噴出穴９から噴出される空気圧力Ｐ１と、空気室５に供給される空気圧力Ｐ０との差に等しい）の上限について説明しておくと、被浮上物の接地面圧の１０倍以下の範囲であれば、効率的にはそれ程問題は生じない。
【００２３】
上記空気浮上装置１の構成によると、被浮上物が載置される上壁板２として、小径の穴が所定間隔でもって多数形成され且つ所定厚さの金属板を用いているので、被浮上物がガラス板などのように比較的重たくまた広い面積（大面積）を有するものであっても、充分に支持することができ、したがって被浮上物を支持する支持面（載置面）での平面度を確保することができる。また、上壁板２の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材７を配置したので、空気を上壁板２全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることができ、したがってクリーンルーム内でガラス板を浮上させる際に、従来のように、塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、被浮上物から外れた空気噴出穴９から、空気が逃げて浮上力が不足するような心配はない。また、空気分散部材７として多孔質材料を用いたので、わざわざ微細で且つ多数の孔を形成するものに比べて、安価なものが得られる。
【００２４】
さらに、空気分散部材７は、被浮上物を直接支持することはないので、多孔質の樹脂板を用いた場合でも、その表面の平面度を精度良く維持する必要がないとともに、強度についてもそれ程要求されないため、さらに言えば、広い一枚ものではなく、狭いものを並べて用いることもできるため、安価に且つ容易に製造することができる。
【００２５】
なお、空気分散部材７として樹脂製の板材を説明したが、例えばセラミック製、ガラス製、金属製の多孔質材料を用いてもよく、その他、通気の機能が発揮し得る繊維材料（例えば布または紙など）を使用してもよい。
【００２６】
ところで、上記実施の形態においては、箱状体として、上壁体と下壁体との間にスペーサを挟むものを説明したが、例えば上壁体の周囲にスペーサに相当するフランジ部を一体的に形成（突設）したものであってもよい。
【００２７】
また、上記実施の形態においては、上壁体の内表面に空気分散部材を配置したものについて説明したが、例えば図３および図４に示すように、空気分散部材７の空気室５側の内表面に、さらに上壁体２と同一の材料、すなわち小径の空気噴出穴１０が所定間隔でもって多数千鳥状に形成された金属製の中間支持用板材１１を配置するようにしてもよい。
【００２８】
但し、この場合、上壁板２に形成される空気噴出穴９と、中間支持用板材１１側に形成される空気噴出穴１０との位置が、互いにずれるようにされる。
このように、両空気噴出穴９，１０同士の位置がずれると、図４の矢印にて示すようにて通過する空気の経路が長くなり、その分、抵抗が増加するため、空気室５から抜ける空気量が少なくなる。
【００２９】
次に、上記空気浮上装置を用いた空気浮上式搬送装置について説明する。
まず、第１の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図５および図６に基づき説明する。
【００３０】
この空気浮上式搬送装置は、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定の搬送経路に沿って搬送するためのもので、上述した空気浮上装置が用いられる。
すなわち、図５および図６に示すように、この空気浮上式搬送装置２１は、上面に空気噴出穴が多数形成されるとともに内部に空気室が設けられてなる複数個の箱状体２２と、これら各箱状体２２に空気供給ダクト２３を介して空気を供給する空気供給機（図示しないが、例えば送風機が用いられる）と、例えば２列でもって３個ずつ、合計６個の箱状体２２で形成された搬送経路の両側方に配置されて被搬送物Ｗを移動させるための移動装置２４とから構成されている。
【００３１】
勿論、箱状体２２としては、上述した空気浮上装置にて説明したものと同一構成のものが用いられており、具体的に説明すると、上壁板（上面）３１に空気噴出穴３２が多数形成されるとともに内部に空気室が形成され且つ上壁板３１の内面に空気分散部材（図示せず）が配置されたものである。なお、以下に示す第２の実施の形態以降の説明に係る箱状体についても、同じ構成のものであるため、その説明を省略する。
【００３２】
また、上記移動装置２４は、２列でもって配置されて搬送経路を形成する両箱状体２２の外側の側縁部に沿って所定間隔置きに且つ水平方向で配置された複数個の搬送用ローラ３３により構成されている。勿論、この搬送用ローラ３３としては、回転駆動式（例えば、電動機により駆動される）のものが用いられるが、遊転自在にされたものであってもよい（この場合は、手動にて移動させることができる）。
【００３３】
上記構成において、被搬送物（例えば、ガラス板で、以下に示す第２の実施の形態以降の説明においても、ガラス板として説明する）Ｗを搬送する場合には、各箱状体２２の空気室内に空気を供給してガラス板Ｗを当該箱状体２２上に浮上させた状態で両側の搬送用ローラ３３により支持させておき、そして搬送用ローラ３６を回転させることにより、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重いガラス板Ｗを容易且つ確実に移動させる、すなわち搬送することができる。
【００３４】
なお、被搬送物としてガラス板について説明したが、これは、本実施の形態に係る空気浮上式搬送装置が、ガラス板のように、重たく且つ平面度を維持する必要があるような物を搬送するのに適しているためで、勿論、これ以外のものであってもよい。
【００３５】
次に、第２の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図７および図８に基づき説明する。
この空気浮上式搬送装置は、上記第１の実施の形態と同様に、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定方向に搬送するためのもので、やはり、上述した空気浮上装置が用いられる。
【００３６】
簡単に言えば、上記第１の実施の形態においては、６個（２列×３個）の箱状体で形成された搬送経路の両側に設けられるとともに被搬送物を支持して移動させる移動装置として、搬送用ローラを用いたが、本第２の実施の形態では、ベルトを用いたものである。
【００３７】
すなわち、図７および図８に示すように、この空気浮上式搬送装置４１においては、箱状体２２で形成された搬送経路の各側方に（両側に）且つ当該搬送経路に沿って所定間隔おきにそれぞれ配置された複数個のベルト駆動用ローラ（例えば、電動機により駆動される）４２と、各側における駆動用ローラ４２にそれぞれ無端状に巻回された搬送用ベルト４３とからなる移動装置４４が具備されている。また、上記搬送用ベルト４３の外端縁部には、上方（搬送面側）への折返し部４３ａが設けられて、被搬送物の水平面内での姿勢が崩れる（方向がずれる）のを防止している。なお、駆動用ローラ４２については、全て駆動する必要はない。
【００３８】
この場合も、上記第１の実施の形態と同様に、被搬送物であるガラス板Ｗを箱状体２２から噴出される空気により浮上させた状態で、駆動用ローラ４２の回転により搬送経路に沿って移動させることができ、やはり、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重いガラス板Ｗを容易且つ確実に搬送（移動）させることができる。特に、搬送用ベルト４３にて両側を支持して搬送するため、その搬送動作はより確実に行われる。
【００３９】
次に、第３の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図９および図１０に基づき説明する。
この空気浮上式搬送装置は、上記各実施の形態と同様に、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定方向に搬送するためのもので、やはり、上述した空気浮上装置が用いられる。
【００４０】
簡単に言えば、上記第２の実施の形態においては、６個の箱状体で形成された搬送経路の両側に被搬送物を移動させる移動装置を配置したが、本第３の実施の形態では、搬送経路の一側方に移動装置を配置するとともに、他側方に被搬送物を案内するための案内装置を配置したものである。
【００４１】
すなわち、図９および図１０に示すように、この空気浮上式搬送装置５１においては、箱状体２２で形成された搬送経路の一側方で且つ当該搬送経路の前後端部に配置された一対の駆動用ローラ５２と、これら駆動用ローラ５２に無端状に巻回された搬送用ベルト５３とからなる移動装置５４が具備されるとともに、搬送経路の他側方には、当該搬送経路に沿って所定間隔おきに鉛直軸心回りで遊転自在に支持された複数個の案内用ローラ５５からなる案内装置５６が具備されている。なお、上記駆動用ローラ５２については、少なくとも、一方が電動機などにより回転駆動されるものであればよい。
【００４２】
また、上記搬送用ベルト５３は箱状体２２の表面上に配置されており、このため、箱状体２２の上壁板３１には、その分だけ凹状部３１ａが形成されており、さらに搬送用ベルト５３の外端縁部には上方（搬送面側）への折返し部５３ａが設けられて、被搬送物の水平面内での姿勢が崩れる（方向がずれる）のを防止している。
【００４３】
この場合も、上記第１の実施の形態と同様に、被搬送物であるガラス板Ｗを箱状体２２から噴出される空気により浮上させた状態で、しかもその一方の端縁部を案内用ローラ５５により案内させた状態で、他方の端縁部を搬送用ベルト５３により移動させてガラス板Ｗを搬送させるようにしているので、やはり、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重量のあるガラス板Ｗを容易に且つ確実に搬送（移動）させることができる。特に、搬送用ベルト５３にて他方の側縁部を支持するとともに、一方の側縁部を案内用ローラ５５にて案内して搬送するため、その搬送動作はより確実に行われる。
【００４４】
次に、第４の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図１１および図１２に基づき説明する。
この空気浮上式搬送装置は、上記各実施の形態と同様に、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定方向に搬送するためのもので、やはり、上述した空気浮上装置が用いられる。
【００４５】
本第４の実施の形態においても、第３の実施の形態にて示したように、基本的には、箱状体で形成された搬送経路の一側方に移動装置を配置するとともに、他側方に被搬送物を案内するための案内装置を配置したものであるが、移動装置および案内装置とも、ローラを用いたものである。
【００４６】
すなわち、図１１および図１２に示すように、この空気浮上式搬送装置６１においては、箱状体２２で形成された搬送経路の一側方で且つ当該搬送経路に沿って所定間隔おきに配置されて鉛直軸心回りで回転駆動（例えば、電動機により駆動される）される複数個の移動用ローラ６２により構成された移動装置６３が具備されるとともに、搬送経路の他側方には、当該搬送経路に沿って配置された細長い取付用板材６４と、この取付用板材６４に所定間隔おきで且つ鉛直軸心回りで回転自在に設けられた複数個の案内用ローラ６５と、上記取付用板材６４を被搬送物側に付勢して当該案内用ローラ６５を被搬送物の端縁に押し付けるための付勢部材例えばばね体６６とからなる案内装置６７が具備されている。
【００４７】
この場合も、上記第３の実施の形態と同様に、被搬送物であるガラス板Ｗを箱状体２２から噴出される空気により浮上させた状態で、しかも案内用ローラ６５によりガラス板Ｗを移動用ローラ６２に押し付けて当該移動用ローラ６２の回転駆動力にてガラス板Ｗを搬送させるようにしているので、やはり、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重量のあるガラス板Ｗを容易に且つ確実に搬送（移動）させることができる。
【００４８】
次に、第５の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図１３〜図１５に基づき説明する。
この空気浮上式搬送装置は、上記各実施の形態と同様に、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定方向に搬送するためのもので、やはり、上述した空気浮上装置が用いられる。
【００４９】
簡単に言えば、上記第４の実施の形態においては、箱状体にて形成される搬送経路の他側方に配置される案内装置として、案内用ローラを用いたが、本第５の実施の形態においては、空気にて被搬送物の側縁部を案内するようにしたものである。
【００５０】
すなわち、図１３および図１４に示すように、この空気浮上式搬送装置７１においては、箱状体２２により形成される搬送経路の一側方で且つ当該搬送経路に沿って所定間隔おきに配置されて鉛直軸心回りで回転駆動（例えば、電動機により駆動される）される複数個の移動用ローラ７２からなる移動装置７３が具備されるとともに、搬送経路の他側方で且つ箱状体２２に対応する位置には、被搬送物であるガラス板Ｗの端縁部を空気にて支持案内する空気式の案内装置７４が具備されている。
【００５１】
この案内装置７４は、図１５に示すように、ガラス板Ｗの端縁部を三方から包み込むような凹状部７７ａが形成され且つこの凹状部７７ａ表面に空気噴出穴７５が多数形成されるとともに内部に空気室７６が設けられた側部空気噴出箱７７と、上記空気噴出穴７５に対応する凹状部７７ａの空気室７６側の内表面に配置された（貼着された）空気分散部材（空気浮上装置にて説明したものと同じものが用いられる）７８と、上記側部空気噴出箱７７に空気を供給する空気供給機（図示しないが、例えば送風機が用いられる）とから構成されている。
【００５２】
念のために説明しておくと、凹状部７７ａの最奥部の端面にも、当該凹状部７７ａに案内されたガラス板Ｗを移動用ローラ７２側に押し付けるための空気噴出穴７５が形成されている。
【００５３】
この場合も、上記第４の実施の形態と同様に、被搬送物であるガラス板Ｗを箱状体２２から噴出される空気により浮上させた状態で、しかも側部空気噴出箱７７から噴出される空気によりガラス板Ｗを移動用ローラ７２に押し付けて当該移動用ローラ７２の回転駆動力にてガラス板Ｗを搬送させるようにしているので、やはり、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重量のあるガラス板Ｗを容易に且つ確実に搬送（移動）させることができる。
【００５４】
次に、第６の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置を、図１６および図１７に基づき説明する。
この空気浮上式搬送装置は、上記各実施の形態と同様に、被搬送物を空気により浮上させた状態で、所定方向に搬送するためのもので、やはり、上述した空気浮上装置が用いられる。
【００５５】
簡単に説明すれば、上記第４および第５の実施の形態においては、箱状体にて形成される搬送経路の一側方に被搬送物を移動させる移動装置を配置するとともに、他側方に被搬送物を移動装置側に付勢するための案内装置を配置したが、本第６の実施の形態においては、案内装置を省略したものである。
【００５６】
すなわち、図１６および図１７に示すように、この空気浮上式搬送装置８１においては、搬送経路を形成する複数個（２列×３個）の箱状体２２の表面を同一水平上となるように真っ直ぐに配置するのではなく、搬送経路の幅方向にて、一側方が他側方よりも下位となるように水平面に対して所定角度θでもって傾斜させるとともに、その傾斜した一側方にだけ、当該搬送経路に沿って所定間隔おきに配置されて鉛直軸心回りで回転駆動（例えば、電動機により駆動される）される複数個の移動用ローラ８２からなる移動装置８３が具備されたものである。
【００５７】
この場合も、被搬送物であるガラス板Ｗを箱状体２２から噴出される空気によりその幅方向で傾斜した状態で浮上させるとともに、その傾斜した方の端縁部を移動用ローラ８２に支持案内させて当該移動用ローラ８２の回転駆動力にてガラス板Ｗを搬送させるようにしているので、やはり、広い面積で平面度を維持する必要があり且つ比較的重量のあるガラス板Ｗを容易に且つ確実に搬送（移動）させることができる。特に、ガラス板Ｗを搬送させる際に、搬送経路に設けられるローラ群については、片方に設置すればよいため経済的となる。
【００５８】
なお、上記第３〜第５の実施の形態にて説明した空気浮上式搬送装置においては、被搬送物であるガラス板を移動させる移動装置と、ガラス板を移動装置側に押し付けると案内装置とを具備したものとして説明したが、案内装置を移動装置の一部として捉えることもでき、この場合、例えば移動用ローラ（または搬送用ベルト）と案内用ローラ（または空気噴出箱）とからなる移動装置が具備されたものとなる。
【００５９】
ところで、上述した各実施の形態に係る空気浮上装置および空気浮上式搬送装置においては、表面から空気を噴出させて被浮上物を浮上、または被搬送物を浮上させて搬送するように説明したが、逆に、箱状体の下面に、空気噴出穴を配置することにより、当該装置自体を例えば床面に対して浮上させ、または浮上して移動させることもできる。
【００６０】
さらに、上述した各実施の形態に係る空気浮上装置および空気浮上式搬送装置においては、空気を用いて被浮上物または被搬送物を浮上させるように説明したが、場合によっては、空気以外の気体、または水などの流体を用いることもできる。
【００６１】
【発明の効果】
以上のように本発明の空気浮上装置の構成によると、被浮上物が載置される壁面部材として支持用板材を用いるとともに、この板材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したので、すなわち被浮上物を支持する部材と空気を噴出させる部材とを別個に設けたので、被浮上物がガラス板などのように比較的広い面積で平面精度が要求されるものであっても、支持用板材に強度および精度を持たせることにより、空気分散部材の強度や精度を心配することなく、充分に支持することができ、したがって被浮上物を支持する支持面（載置面）での平面度を確保することができる。また、壁面部材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したので、空気を支持面全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることができ、したがって例えばクリーンルーム内でガラス板を浮上させる際に、従来のように、塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、ガラス板から外れた空気噴出穴から、空気が逃げて浮上力が不足するような心配はない。また、空気分散部材は、被浮上物を直接支持することはないので、例えば多孔質のセラミック板を用いた場合でも、その表面の平面度を精度良く維持する必要がないとともに、強度についてもそれ程要求されないため、したがって安価に且つ容易に製造することができる。
【００６２】
さらに、本発明の各空気浮上式搬送装置の構成によると、上記空気浮上装置の少なくとも一側方部に、空気により浮上された被搬送物を移動させる移動装置を配置したので、または一側方部に空気により浮上された被搬送物を移動させる移動装置を配置するとともに他側方部に被搬送物を案内する案内装置を配置したので、安価な構成でありながら、被搬送物を容易に且つ確実に搬送させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る空気浮上装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】同空気浮上装置の概略構成を示す断面図である。
【図３】同空気浮上装置の変形例の概略構成を示す断面図である。
【図４】図３の要部拡大図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ矢視図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ断面図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図１２】図１１の一部省略Ｅ−Ｅ矢視図である。
【図１３】本発明の第５の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図１４】図１３のＦ−Ｆ矢視図である。
【図１５】図１４のＧ部拡大図である。
【図１６】本発明の第６の実施の形態に係る空気浮上式搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図１７】図１６のＨ−Ｈ矢視図である。
【符号の説明】
１      空気浮上装置
２      上壁板
３      下壁板
３ａ    空気供給口
５      空気室
６      箱状体
７      空気分散部材
９      空気噴出穴
１０      空気噴出穴
１１      中間支持用板材
２１      空気浮上式搬送装置
２２      箱状体
２３      空気供給ダクト
２４      移動装置
３１      上壁板
３２      空気噴出穴
３３      搬送用ローラ
３４      駆動用ローラ
３５      搬送用ベルト
４１      空気浮上式搬送装置
４２      駆動用ローラ
４３      搬送用ベルト
４４      移動装置
５１      空気浮上式搬送装置
５２      駆動用ローラ
５３      搬送用ベルト
５４      移動装置
５５      案内用ローラ
５６      案内装置
６１      空気浮上式搬送装置
６２      移動用ローラ
６３      移動装置
６５      案内用ローラ
６６      ばね体
６７      案内装置
７１      空気浮上式搬送装置
７２      移動用ローラ
７３      移動装置
７４      案内装置
７５      空気噴出穴
７６      空気室
７７      側部空気噴出箱
７８      空気分散部材
８１      空気浮上式搬送装置
８２      移動用ローラ
８３      移動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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