(57)【要約】【課題】可撓性に富み、しかも配線の自由度が大きいフレキシブル光学接続部品を提供すること。【解決手段】本体１０及び本体１０に連結されたタブ１１〜１８を有するフレキシブル光配線基板１と、タブ１１〜１８に取り付けられた光コネクタ２０とを備えるフレキシブル光学接続部品において、タブ１１〜１８の一部を構成するタブ形成部３１〜３８に切込み３ａ，３ｂを入れた。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体及びこの本体に連らなるタブを有するフレキシブル光配線基板と、前記タブに設けられた光コネクタとを備え、
前記フレキシブル光配線基板は、下側本体形成部及びこの下側本体形成部に連らなる下側タブ形成部を有する下側可撓性基板と、この下側可撓性基板上に形成された第１の接着剤層と、この第１の接着剤層によって前記下側可撓性基板に固定されるとともに前記光コネクタに接続された光ファイバと、この光ファイバの上に形成された第２の接着剤層と、上側本体形成部及びこの上側本体形成部に連らなる上側タブ形成部を有し、前記第２の接着剤層によって前記光ファイバに固定された上側可撓性基板とを有しているフレキシブル光学接続部品において、
前記下側及び上側タブ形成部のうちの少なくとも一方のタブ形成部の一部を削除することによって形成される複数の削除部を有していることを特徴とするフレキシブル光学接続部品。
【請求項２】
前記削除部が切込みであることを特徴とする請求項１記載のフレキシブル光学接続部品。
【請求項３】
前記切込みが前記下側及び上側タブ形成部の幅方向へ延びていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル光学接続部品。
【請求項４】
前記切込みが前記下側及び上側タブ形成部の幅方向に対して斜めに延びていることを特徴とする請求項２記載のフレキシブル光学接続部品。
【請求項５】
前記削除部が穴であることを特徴する請求項１記載のフレキシブル光学接続部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は光学素子を有する回路基板間や光学部品間等における光学的な接続を行うフレキシブル光学接続部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光伝送技術は高速、大容量の情報伝送に適することから、通信ネットワークに利用されているが、近年、この光伝送技術を光通信用等の装置内で利用することが提案されている。このような装置を構成する主要部品として、部品間やボード間の接続を担う光ファイバで信号路を形成し、この光ファイバを可撓性基板の間に配置し、光ファイバの末端に光コネクタ等を設けた光学接続部品がある。そのような従来例として、光ファイバを下側可撓性基板（可撓性のある基板）上に接着剤（感圧接着剤）を用いて固定し、その表面を上側可撓性基板（カバー層）でカバーし、光ファイバの末端に光コネクタ（Ｖ溝を有する一対のシリコンチップ等の光ファイバ終端手段）を取り付けてなる光学接続部品（光学相互接続装置）が知られている。
【０００３】
【特許文献】
特許公報第２５７４６１１号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
光ファイバ同士を接続する場合、通常光コネクタを介して行うが、この接続は手作業で行われている。しかし、近年の光・電子装置の小型化の要求から、装置内には必要最小限のスペースしかなく、光ファイバ同士を接続する作業がしにくいので、光学接続部品の光コネクタに近い部分を充分に柔らかくして作業し易くしたいという要求があった。このような要求に対しては、可撓性基板や接着剤層の厚さを薄くする方法で対応できるが、可撓性基板や接着剤層を薄くすると光ファイバの保護が不充分になるおそれがあり、この方法を採用することもできない。
【０００５】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は可撓性に富み、しかも配線の自由度が大きいフレキシブル光学接続部品を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため請求項１の発明のフレキシブル光学接続部品は、本体及びこの本体に連らなるタブを有するフレキシブル光配線基板と、前記タブに設けられた光コネクタとを備え、前記フレキシブル光配線基板は、下側本体形成部及びこの下側本体形成部に連らなる下側タブ形成部を有する下側可撓性基板と、この下側可撓性基板上に形成された第１の接着剤層と、この第１の接着剤層によって前記下側可撓性基板に固定されるとともに前記光コネクタに接続された光ファイバと、この光ファイバの上に形成された第２の接着剤層と、上側本体形成部及びこの上側本体形成部に連らなる上側タブ形成部を有し、前記第２の接着剤層によって前記光ファイバに固定された上側可撓性基板とを有しているフレキシブル光学接続部品において、前記下側及び上側タブ形成部のうちの少なくとも一方のタブ形成部の一部を削除することによって形成される複数の削除部を有していることを特徴とする。
【０００７】
上述のように下側及び上側タブ形成部のうちの少なくとも一方のタブ形成部に削除部が形成されているので、可撓性に富む。削除部はタブ形成部の一部を削除することによって形成されるので、配線にあたって削除部を避ける必要がない。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載のフレキシブル光学接続部品において、前記削除部が切込みであることを特徴とする。
【０００９】
上述のように削除部が切込みであるので、その深さ、長さ、方向等を簡単に設定することができる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２記載のフレキシブル光学接続部品において、前記切込みが前記下側及び上側タブ形成部の幅方向へ延びていることを特徴とする。
【００１１】
上述のように切込みが下側及び上側タブ形成部の幅方向へ延びているので、タブが厚さ方向へ撓み易い。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２記載のフレキシブル光学接続部品において、前記切込みが前記下側及び上側タブ形成部の幅方向に対して斜めに延びていることを特徴とする。
【００１３】
上述のように切込みが下側及び上側タブ形成部の幅方向に対して斜めに延びているので、タブが捩じれ易い。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項１記載のフレキシブル光学接続部品において、前記削除部が穴であることを特徴する。
【００１５】
上述のように削除部が穴であるので、タブが厚さ方向及び捩じれ方向に曲がり易い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１はこの発明の第１の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の底面図、図２は図１に示すフレキシブル光学接続部品の平面図、図３は図１に示すフレキシブル光学接続部品の第２タブの断面図、図４は図１に示すフレキシブル光学接続部品の第５タブの断面図、図５は第２タブの平面図、図６は第５タブの平面図、図７は第２タブの接続状態を示す断面図、図８は第５タブの接続状態を示す断面図である。
【００１８】
このフレキシブル光学接続部品はフレキシブル光配線基板１と複数の光コネクタ２０とからなる。
【００１９】
フレキシブル光配線基板１は本体１０と第１〜第８タブ１１〜１８とを有する。本体１０は矩形である。第１及び第２タブ１１，１２はテープ状であり、本体１０の一側縁に連設されている。第３及び第４タブ１３，１４はテープ状であり、本体１０の他側縁に連設されている。第５及び第６タブ１５，１６はテープ状であり、本体１０の一側縁に連設されている。第７及び第８タブ１７，１８はテープ状であり、本体１０の他側縁に連設されている。
【００２０】
第１〜第８タブ１１〜１８の先端部にはそれぞれ光コネクタ２０が設けられている。タブ１１〜１８の形状は後述する光ファイバ５の本数、並べ方、フレキシブル光学接続部品が収容される装置内のスペース等に応じて決められるが、一般的には幅が５ｍｍ以上、２０ｍｍ以下、長さは５０ｍｍ以上である。
【００２１】
フレキシブル光配線基板１は、図３に示すように、フレキシブル基材（下側可撓性基板）３と光ファイバ５とフレキシブル保護シート（上側可撓性基板）７とを備える。
【００２２】
フレキシブル基材３は、図３に示すように、本体形成部（下側本体形成部）３０と第１〜第８タブ形成部（下側タブ形成部）３１〜３８とを有する。フレキシブル基材３としては、プリント基板用のＰＥＴフィルム、ＰＰＳフィルム、ポリイミドフィルム等が適する。本体形成部３０は矩形である。第１及び第２タブ形成部３１，３２はテープ状であり、本体形成部３０の一側縁に連設されている。第３及び第４タブ形成部３３，３４はテープ状であり、本体形成部３０の他側縁に連設されている。第５及び第６タブ形成部３５，３６はテープ状であり、本体形成部３０の一側縁に連設されている。第７及び第８タブ形成部３７，３８はテープ状であり、本体形成部３０の他側縁に連設されている。
【００２３】
第１〜第４タブ形成部３１〜３４には第１〜第４タブ１１〜１４の厚さ方向の可撓性を高めるため切込み（削除部）３ａが設けられている。切込み３ａはタブ形成部３１〜３４の幅方向へ延びている。
【００２４】
第５〜第８タブ形成部３５〜３８には第５〜第８タブ１５〜１８の捩じり方向の可撓性を高めるため切込み（削除部）３ｂが設けられている。切込み３ｂはタブ形成部３１〜３４の幅方向に対して斜め（４５度）に延びている。
【００２５】
切込み３ａ，３ｂはフレキシブル基材３にレーザー光線を照射することにより形成されている。
【００２６】
第５〜第８タブ１５〜１８の可撓性をより高めるため後述する第１の接着剤層４に第５〜第８タブ形成部３５〜３８の切込み３ｂと同様の切込み４ｂを設けてもよい（図４参照）。
【００２７】
光ファイバ５は、図３，４に示すように、光ファイバ芯線５１と、この光ファイバ芯線５１を覆う被覆５２とからなる。光ファイバ５は第１の接着剤層４を介してフレキシブル基材３上に敷設されている。光ファイバ５の端部はタブ形成部３１〜３８の先端部から突出している。タブ形成部３１〜３８の先端部から突出した光ファイバ５の端部には光コネクタ２０が接続されている。
【００２８】
光ファイバ５としては一般に市販されているものを使用できる。例えば、ガラス製光ファイバでは、日立電線社製ＳＭ−１００５等のシングルモード光ファイバ、或いはコーニング社製５０／１２５ＣＰＣ、日立電線社製ＧＩ−５０／１２５、ＱＳＩ−８５／１２５、ＳＩ−８５／１５０等のマルチモード光ファイバが挙げられる。
【００２９】
フレキシブル保護シート７は、図２に示すように、本体形成部（上側本体形成部）７０と第１〜第８タブ形成部（上側タブ形成部）７１〜７８とを有する。フレキシブル保護シート７としては、プリント基板用のＰＥＴフィルムやポリイミドフィルム等が適する。本体形成部７０は矩形である。第１及び第２タブ形成部７１，７２はテープ状であり、本体形成部７０の一側縁に連設されている。第３及び第４タブ形成部７３，７４はテープ状であり、本体形成部７０の他側縁に連設されている。第５及び第６タブ形成部７５，７６はテープ状であり、本体形成部７０の一側縁に連設されている。第７及び第８タブ形成部７７，７８はテープ状であり、本体形成部７０の他側縁に連設されている。フレキシブル保護シート７は第２の接着剤層６を介して光ファイバ５を覆うようにフレキシブル基材３に貼着されている。
【００３０】
第１及び第２の接着剤４，６としては、シート状のものでは、日東電工製Ｎｏ．５００、ニチバン社製両面粘着シートＮｏ．８００シリーズ、パナック社製粘着フィルムＹタイプ、Ｆタイプ、Ｈタイプ、Ｋタイプ、ＯＬタイプ、ＲＳタイプ、住友スリーエム社製Ｆ−９４７３ＰＣ等があり、液状のものでは、ＧＥ東芝シリコーン社製ＹＲ３２８６、ＴＳＲ１５２１、ダウコーニング社製ＤＫＱ９−９０００シリーズ等がある。
【００３１】
光コネクタ２０として多芯タイプのＭＴ型光コネクタ，ＭＵ，ＳＣ，ＦＣ，ＳＴ，ＭＴ−ＲＪ等の一般に市販されている光コネクタやＶ溝基板等が用いられている。第１〜第４のタブ１１〜１４に設けられた光コネクタ２０は、図７に示すように、光コネクタ２０の幅方向とプリント基板２１の実装面２１ａとが平行になる状態で、相手側光コネクタ２２に接続されている。このとき、第１〜第４タブ１１〜１４はＳ字状に折り曲げられる。第５〜第８のタブ１５〜１８に設けられた光コネクタ２０は、図８に示すように、光コネクタ２０の幅方向とプリント基板２１の実装面２１ａとが直角になる状態で、相手側光コネクタ２２に接続される。このとき、第５〜第８タブ１５〜１８は９０度捩じられる。
【００３２】
第１〜第４タブ１１〜１４に設けられた光コネクタ２０をそれぞれ相手側光コネクタ２２に接続するとき、上述のように第１〜第４タブ１１〜１４はその厚さ方向でほぼＳ字状に曲げられるが、第１〜第４タブ１１〜１４にはそれぞれ切込み３ａが設けられているので、厚さ方向へ無理無くＳ字状に曲がる。
【００３３】
第５〜第８タブ１５〜１８に設けられた光コネクタ２０をそれぞれ相手側光コネクタ２２に接続するとき、上述のように第５〜第８タブ１５〜１８は長さ方向の中心線を軸にして捩じられるが、第５〜第８タブ１５〜１８にはそれぞれ斜めの切込み３ｂが設けられているので、無理無く捩じられる。
【００３４】
第１の実施形態のフレキシブル光学接続部品のタブ１１〜１８は切込み３ａ，３ｂを有するので、可撓性に富む。しかも、光ファイバ５を切込み３ａ，３ｂを避けるようにして敷設する必要が無い。
【００３５】
タブ１１〜１８における可撓性の向上は、光コネクタの接続がしやすくなるとともに断線しにくくなるということだけに留まらず、タブ１１〜１８の先端部分に不要な反力が加わらなくなるので、その先端部分の折損などの問題が解消され、フレキシブル光学接続部品の信頼性向上にも寄与する。
【００３６】
図９はこの発明の第２の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の第２タブの平面図である。
【００３７】
第２の実施形態のフレキシブル光学接続部品は一部を除いて第１の実施形態のフレキシブル光学接続部品と同じであるので、同じ部分には同一符号を付してその説明を省略する。以下、第１の実施形態と構成の異なる部分についてだけ説明する。
【００３８】
第１の実施形態では、フレキシブル光学接続部品の第２タブ１２に設けられた光コネクタ２０はその幅方向とプリント基板２１の実装面２１ａとが平行な状態で相手側光コネクタ２２に接続されると予め決められている。しかし、第２の実施形態では、フレキシブル光学接続部品の第２タブ２１２に設けられた光コネクタ２０がその幅方向とプリント基板２１の実装面２１ａとが平行な状態で相手側光コネクタに接続されるか、光コネクタ２０の幅方向と実装面２１ａとが直角な状態で相手側光コネクタに接続されるかは定まっていない。このため第２タブ２１２は厚さ方向及び捩じり方向の両方に十分な可撓性を求められる。この要求に応えるために、第２タブ形成部２３２には複数のドット形状の穴（削除部）３ｃが設けられている。これらの穴３ｃは格子状に配置されている。これらの穴３ｃによって得られるタブ２１２の厚さ方向の可撓性はタブ１２の厚さ方向の可撓性よりも劣るが、タブ１５を厚さ方向へ曲げたときの可撓性よりも優れる。同様に、タブ２１２の捩じり方向の可撓性はタブ１５の捩じり方向の可撓性よりも劣るが、タブ１２を捩じったときの可撓性よりも優れる。
【００３９】
第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、タブ２１２の厚さ方向及び捩じり方向の両方の可撓性を高めることができる。
【００４０】
図１０はこの発明の第３の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の第２タブの平面図である。
【００４１】
第３の実施形態のフレキシブル光学接続部品は一部を除いて第１の実施形態のフレキシブル光学接続部品と同じであるので、同じ部分には同一符号を付してその説明を省略する。以下、第１の実施形態と構成の異なる部分についてだけ説明する。
【００４２】
第３の実施形態では第２の実施形態と同様に第２タブ３１２の厚さ方向及び捩じり方向の両方の可撓性を高めた。このために第３の実施形態では、第３タブ形成部３３２に複数の三角形の穴（削除部）３ｄが設けられている。これらの穴３ｄは面心格子状に配置されている。
【００４３】
このように、三角形（多角形）の穴３ｄを面心格子状に配置することにより、穴３ｄの配列密度を第２実施形態よりも高めることができる。
【００４４】
第３実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、穴３ｄの配置密度を第２実施形態よりも上げることができるので、第２の実施形態よりも更に厚さ方向及び捩じり方向の可撓性を高めることができる。
【００４５】
なお、切込み３ａ，３ｂの形状、切込み３ａ，３ｂの個数及び切込み３ａ，３ｂの配列等は第１の実施形態のものに限定されず、可撓性の程度、曲げや捩じりの方向等によって決められる。但し、切込み３ａ，３ｂの幅は０．０５ｍｍ〜１．０ｍｍの間が好ましい。この値より小さいと切込みの効果が出にくく、この値よりも大きいと光ファイバ５の精密な配置に悪い影響がでる虞がある。一般に、切込み３ａ，３ｂの幅は０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度が好適である。
【００４６】
また、光コネクタ２０としてＭＴ型光コネクタが用いられているが、光コネクタ２０はこれに限らず、一般に市販されている光コネクタを用いることができる。一般に市販されている光コネクタには、単心タイプでは、ＭＵ型、ＬＣ型、ＦＣ型、ＳＣ型、ＳＭＡ型、ＰＣ型等があり、多心タイプでは、ＭＰＯ型等がある。
【００４７】
なお、第２及び第３実施形態のように、削除部として穴３ｃ，３ｄを設けた場合、可撓性の多少は円或いは多角形（三角形、四角形等）といった穴の形状や大きさで決まる。穴が大きすぎると光ファイバの敷設に悪い影響を及ぼす虞があるので、直径（多角形の場合は外接円の直径）は、０．０５ｍｍ〜１．０ｍｍの間であることが好ましい。特に、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の直径の穴が好ましい。
【００４８】
また、第１の実施形態では削除部として切込み３ａ，３ｂがフレキシブル基材３に設けられ、第２及び第３の実施形態では削除部として穴３ｃ，３ｄが設けられているが、削除部はこれらに限らず、溝等でもよい。
【００４９】
なお、第１〜第３実施形態では、レーザー光線をフレキシブル基材３に照射することによって切込み３ａ，３ｂ、穴３ｃ，３ｄを形成したが、切込み３ａ，３ｂ、穴３ｃ，３ｄをカッター等によって機械的に形成してもよいし、エッチング等によって化学的に形成してもよい。
【００５０】
また、第１〜第３実施形態では、フレキシブル基材３に切込み３ａ，３ｂや穴３ｃ，３ｄを設けたが、フレキシブル保護シート７の方に切込みや穴を設けてもよいし、フレキシブル基材３とフレキシブル保護シート７との両方に切込みや穴を設けてもよい。この場合、フレキシブル基材３側の切込みや穴とフレキシブル保護シート７側の切込みや穴とを、タブの長さ方向へずらした方がよい。
【００５１】
【実施例】
以下、図１〜図８に示すフレキシブル光学接続部品の実施例について説明する。
【００５２】
フレキシブル基材３にポリイミドフィルムのカプコン２００Ｈ（５０μｍ厚、東レ・デュポン社製）、第１及び第２の接着剤４，６にＤＫＱ９−９００９（１００μｍ厚、ダウコーニング社製）、光ファイバ５に４心のＭＴ光コネクタを用いた。タブ１１〜１８の形状は、幅３ｍｍ、長さ８０ｍｍの矩形である。タブ１１〜１８にはそれぞれ４本の光ファイバ５を配列ピッチ０．２５ｍｍでフレキシブル基材３に敷設してある。
【００５３】
タブ１１〜１４には図５に示す切込み３ａが形成されているが、切込み３ａの幅は０．１ｍｍ、ピッチは１ｍｍ、長さは１０ｍｍである。この切込み３ａを形成してあるタブ１２の一端（本体１０側）を固定し、タブ１２の他端（光コネクタ２０側）に１ｇの下方向の荷重を与え、曲がり量（下側に撓んだ長さ）を測った。その結果、この実施例では曲がり量が約１６ｍｍであるのに対して切込みが無いもの（切込み３ａが無い以外同構成）では曲がり量が８ｍｍであり、切込み３ａの効果を確認できた。
【００５４】
以下、図９に示すフレキシブル光学接続部品の実施例について説明する。
【００５５】
フレキシブル基材３にポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムのトレリナ３０００（７５μｍ厚、東レ製）、第１及び第２の接着剤４，６に接着シートＮｏ．５００（１００μｍ厚、日東電工製）、光ファイバ５にシングルモード光ファイバであるＳＭ１００５（ＵＶ）（日立電線製）、光コネクタ２０に４心のＭＴ光コネクタを用いた。タブ２１２の形状は、幅３ｍｍ、長さ８０ｍｍの矩形である。各タブにはそれぞれ４本の光ファイバ５を配列ピッチ０．２５ｍｍでフレキシブル基材３に敷設してある。タブ形成部２３２には図９に示す穴３ｃが形成してある。穴３ｃの直径は０．５ｍｍ、ピッチは１ｍｍ、配列は正方格子状である。この穴３ｃを形成してあるタブ２１２の一端（本体１０側）を固定し、タブ２１２の他端（光コネクタ２０側）に１ｇの下方向の荷重を与え、曲がり量を測った。その結果、この実施例では曲がり量が約１０ｍｍであるのに対して切込みが無いもの（切込み３ｃが無い以外同構成）では曲がり量が４ｍｍであり、切込み３ｃの効果を確認できた。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１の発明のフレキシブル光学接続部品によれば、可撓性に富み、配線の自由度が大きい。しかも、光ファイバの配線にあたって削除部を避ける必要がないので、第１側可撓性基板に配線を簡単に敷設することができる。
【００５７】
請求項２の発明のフレキシブル光学接続部品によれば、削除部の切込みの深さ、長さ、方向等を簡単に設定することができるので、削除部が設けられる箇所に最も適切な可撓性を与えることができる。
【００５８】
請求項３の発明のフレキシブル光学接続部品によれば、切込みによってタブが厚さ方向へ撓み易くなっているので、フレキシブル光学接続部品の厚さ方向の可撓性を高めることができる。
【００５９】
請求項４の発明のフレキシブル光学接続部品によれば、切込みによってタブが捩じれ易くなっているので、フレキシブル光学接続部品の捩じれ方向の可撓性を高めることができる。
【００６０】
請求項５の発明のフレキシブル光学接続部品によれば、穴によってタブが厚さ方向及び捩じれ方向に曲がり易くなっているので、フレキシブル光学接続部品の厚さ方向及び捩じれ方向の可撓性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はこの発明の第１の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の底面図である。
【図２】図２は図１に示すフレキシブル光学接続部品の平面図である。
【図３】図３は図１に示すフレキシブル光学接続部品の第２タブの断面図である。
【図４】図４は図１に示すフレキシブル光学接続部品の第５タブの断面図である。
【図５】図５は第２タブの平面図である。
【図６】図６は第５タブの平面図である。
【図７】図７は第２タブの接続状態を示す断面図である。
【図８】図８は第５タブの接続状態を示す断面図である。
【図９】図９はこの発明の第２の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の第２タブの平面図である。
【図１０】図１０はこの発明の第３の実施形態に係るフレキシブル光学接続部品の第２タブの平面図である。
【符号の説明】
１  フレキシブル光配線基板
１０  本体
１１〜１８  タブ
３  フレキシブル基材（第１側可撓性基板）
３ａ，３ｂ  切込み（削除部）
３ｃ，３ｄ  穴（削除部）
３０  本体形成部
３１〜３８  第１〜第８タブ形成部（第１側タブ形成部）
４  第１の接着剤層
５  光ファイバ（配線）
６  第２の接着剤層
７  フレキシブル保護シート（第２側可撓性基板）
７１〜７８  第１〜第８タブ形成部（第２側タブ形成部）
２０  光コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004271714.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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