(57)【要約】【課題】  空気流速制御装置及びこれを利用した清浄室空調システムを提供する。【解決手段】  空気流速制御装置はフレーム１７０で固定されている複数個の第１バー１６２、複数個の第１バーに対して上下に動きそれぞれが互いに連結されて第１バーの下部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バー１６４、複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材１６５及び複数個の第２バーと制御部材とを連結するための連結部材１６８を具備する。複数個の第１バーに対する複数個の第２バーの上下運動により清浄室内に制御可能な速度で空気を供給する。【選択図】図４
2004286436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームで固定されている複数個の第１バーと
前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの下部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、
前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、
前記複数個の第２バーと前記制御部材を連結するための連結部材を備え、
前記複数個の第１バーに対する前記複数個の第２バーの上下運動により清浄室内に制御可能な速度で空気を供給することを特徴とする空気流速制御装置。
【請求項２】
前記第１バー及び第２バーは菱形、三角形、楕円形及び円形の群のうち選択されたいずれかの形態で形成されることを特徴とする請求項１記載の空気流速制御装置。
【請求項３】
前記制御部材は前記第２バーの上下運動を制御するためのハンドル及び前記ハンドルの動力を第２バーに伝達するためのギアを含むことを特徴とする請求項１記載の空気流速制御装置。
【請求項４】
前記制御部材はアルミニウム、鋼鉄またはプラスティックを含むことを特徴とする請求項１記載の空気流速制御装置。
【請求項５】
前記第２バーの上下運動を点検するために前記フレームの側面に形成された透明窓をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の空気流速制御装置。
【請求項６】
前記空気流速制御装置の内部と外部との圧力差異を点検するようにその側面に形成された圧力計をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の空気流速制御装置。
【請求項７】
フレームと、
前記フレームで固定されている複数個の第１バーと、
前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの上部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、
前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、
前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結させるための連結部材を備え、
前記複数個の第１バーに対する前記複数個の第２バーの上下運動により清浄室内に制御可能な速度で空気を供給することを特徴とする空気流速制御装置。
【請求項８】
前記第１バー及び第２バーは菱形、三角形、楕円形及び円形の群のうち選択されたいずれかの形態で形成されることを特徴とする請求項７記載の空気流速制御装置。
【請求項９】
前記制御部材は前記第２バーの上下運動を制御するためのハンドル及び前記ハンドルの動力を前記第２バーに伝達するためのギアを含むことを特徴とする請求項７記載の空気流速制御装置。
【請求項１０】
前記第２バーの上下運動を点検するために前記フレームの側面に形成された透明窓をさらに具備することを特徴とする請求項７記載の空気流速制御装置。
【請求項１１】
前記空気流速制御装置の内部と外部との圧力差異を点検するようにその側面に形成された圧力計をさらに具備することを特徴とする請求項７記載の空気流速制御装置。
【請求項１２】
清浄室内部に清浄化された空気を供給するための清浄室空調システムにおいて、
前記清浄室内部に流入された外気を濾過させて清浄化空気を供給するためのエアフィルターと、
前記エアフィルター上に実装され前記エアフィルターに対する前記清浄化空気の吐出流速を制御するための空気流速制御装置を備え、
前記空気流速制御装置は、
フレームと、
前記フレームで固定されている複数個の第１バーと、
前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの下部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、
前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、
前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結させるための連結部材と、を具備することを特徴とする清浄室空調システム。
【請求項１３】
前記エアフィルターはＵＬＰＡフィルターまたはＨＥＰＡフィルターであることを特徴とする請求項１２記載の清浄室空調システム。
【請求項１４】
前記第１バー及び第２バーは菱形、三角形、楕円形及び円形の群のうち選択されたいずれかで形成されることを特徴とする請求項１２記載の空気流速制御装置。
【請求項１５】
前記制御部材は前記第２バーの上下運動を制御するためのハンドル及び前記ハンドルの動力を前記第２バーに伝達するためのギアを含むことを特徴とする請求項１２記載の空気流速制御装置。
【請求項１６】
前記制御部材はアルミニウム、鋼鉄またはプラスティックを含むことを特徴とする請求項１２記載の空気流速制御装置。
【請求項１７】
前記第２バーの上下運動を点検するために前記フレームの側面に形成された透明窓をさらに具備することを特徴とする請求項１２記載の空気流速制御装置。
【請求項１８】
前記空気流速制御装置の内部と外部との圧力差異を点検するようにその正面または側面に形成された圧力計をさらに具備することを特徴とする請求項１２記載の空気流速制御装置。
【請求項１９】
清浄室内部に清浄化された空気を供給するための清浄室空調システムにおいて、
前記清浄室内部に流入された外気を濾過させて清浄化空気を供給するためのエアフィルターと、
前記エアフィルター上に実装され前記エアフィルターに対する前記清浄化空気の吐出流速を制御するための空気流速制御装置を備え、
前記空気流速制御装置は、
フレームと、
前記フレームで固定されている複数個の第１バーと、
前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの上部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、
前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、
前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結させるための連結部材と、を具備することを特徴とする清浄室空調システム。
【請求項２０】
前記エアフィルターはＵＬＰＡフィルターまたはＨＥＰＡフィルターであることを特徴とする請求項１９記載の清浄室空調システム。
【請求項２１】
前記第１バー及び第２バーは菱形、三角形、楕円形及び円形の群のうち選択されたいずれかの形態で形成されることを特徴とする請求項１９記載の空気流速制御装置。
【請求項２２】
前記制御部材は前記第２バーの上下運動を制御するためのハンドル及び前記ハンドルの動力を前記第２バーに伝達するためのギアを含むことを特徴とする請求項１９記載の空気流速制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空調システムに関し、より詳細には清浄室のエアフィルターに対して清浄化空気の吐出流速を自由に制御し得る空気流速制御装置及びこれを利用した清浄室空調システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を含む各種部品及び電子製品は空気の温・湿度及び室内圧力を一定にし、同時に空気中の浮遊粒子が限定された清浄度レベルで管理された環境、つまり、清浄室で製造される。前記清浄室は各種性能の空気フィルターを循環空調部に設置して清浄室内部の空気中粒子及び必要に応じては分子汚染を濾過させた後供給する層流により清浄度レベルを管理する方式で構成される。
【０００３】
前記した構成を有する清浄室は細部区画を工程領域及び歩行領域に区分しそれぞれの領域別に要求される清浄度によりエアフィルターの処理風量と微粒子捕集効率を調節してフィルター下端の最終清浄度を決定する。
【０００４】
図１に示すように、製造ラインの初期建設時には清浄度及び吐出流速量により工程領域１０と歩行領域１２とで構成されたフィルター区画１５及びサービス領域１４を分類する。即ち、それぞれの領域毎に互いに異なる捕集効率及び吐出流速を有するエアフィルターを設置することで、低清浄度領域と高清浄度領域とを区分して微粒子発生による清浄区域内の汚染拡散を抑制する。
【０００５】
例えば、ｃｌａｓｓ１の高清浄度が要求される工程領域１０には０．１μｍサイズの微粒子に対して９９．９９９９９％以上の捕集効率及び約０．４ｍ／ｓｅｃ以上の吐出流速を有するフィルターを設置し、ｃｌａｓｓ１０の清浄度が要求される歩行領域１２には０．１μｍサイズの微粒子に対して９９．９９９９％以上の捕集効率及び約０．２５ｍ／ｓｅｃ以上の吐出流速を有するフィルターを設置し、ｃｌａｓｓ１０００の低清浄度が要求されるサービス領域１４には０．１μｍサイズに対して９９．９９９％以上の捕集効率及び０．３５ｍ／ｓｅｃ以上の吐出流速を有するフィルターを設置する。フィルターの捕集効率はウェーハ状態の半製品及び完製品が作られる全過程が進行されるＦＡＢ内の清浄度保持と関連され、各領域に対して微粒子の流入を制限する区域を作るようにフィルターの吐出流速量を調節する。
【０００６】
しかし、時間がたつにつれて新しい設備の導入及び開発段階の変更などでフィルター区画１５の変更が発生し、これによって、図２に示したようにエアフィルターを増設するか、交替しなければならない領域１６が増えるようになる。このようにエアフィルターを増設したり交替したりするためには製造工程を中断するか清浄室をダウンさせなければならないので、製品の研究開発及び生産に大きい損失を被らせる。また、持続的なフィルター増設による工事費の追加が要求され、区画毎領域拡張による環境変化の制御が難しくなり、区画内の局部的な領域に対する空気の吐出流速及び温度調節が難しくなることで清浄度が低下される問題が発生する。例えば、新規設備が置かれる位置に速い吐出流速を有するエアフィルターが設置されているとしたら、エアフィルターを通過した清浄化空気が新規設備の上面とぶつかって乱気流を形成するようになり、この空間を速い速度で抜け出て下向気流の層流を防止することにより清浄度が低下される問題が発生する。
【０００７】
「特許文献１」には清浄室に流入される空気の流れを手動操作して空気の吐出流速量を調節することができる清浄室空調システムが開示されている。前記空気システムは孔が形成され固定されている第１平板、孔が形成され前記第１平板に対して並進運動をする第２平板及び前記第１平板と第２平板との間に介在され２つの平板の間の空気の流れを制限する第３平板を具備する。前記空気システムによると、第１平板に対して第２平板を移動させてその中の孔を選択的に開放または閉鎖することで清浄室に流入される空気の速度を制御する。しかし、構造の特性上前記孔の面積が全体面積の３０％以内に制限されるので空気の圧力損失が大きくなり、平板の振動による空気の摩擦抵抗が増加して磨耗による微粒子が発生する可能性がある。
【特許文献１】米国特許第５，２０７，６１４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明の第１目的は清浄室内に供給される空気の流速を自由に制御することができる空気流速制御装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の第２目的は清浄室内のエアフィルターに対して清浄化空気の吐出流速を自由に制御することができる清浄室空調システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した本発明の第１目的を達成するための本発明は、フレームで固定されている複数個の第１バーと、前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの下部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結するための連結部材を備え、前記複数個の第１バーに対する前記複数個の第２バーの上下運動により清浄室内に制御可能な速度で空気を供給することとを特徴とする空気流速制御装置である。
【００１１】
望ましくは、前記第１バー及び第２バーは菱形、三角形、楕円形及び円形の外形を有し、アルミニウム、鋼鉄またはプラスティックで形成される。望ましくは、前記制御部材は前記第２バーの上下運動を制御するためのハンドル及び前記ハンドルの動力を伝達するためのギアを含む。前記制御部材は手動で操作し、前記第１バーは手動操作及び圧力差圧による荷重を絶えられる材質で形成することが望ましい。
【００１２】
また、前述した本発明の第１目的はフレームで固定されている複数個の第１バーと、前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの上部で前記第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結させるための連結部材を具備し、前記複数個の第１バーに対する前記複数個の第２バーの上下運動により清浄室内に制御可能な速度に空気を供給することとを特徴とする空気流速制御装置により達成され得る。
【００１３】
前述した本発明の第２目的を達成するための本発明は、清浄室内部に清浄化された空気を供給するための清浄室空調システムにおいて、前記清浄室内部に流入される外気を濾過させて清浄化空気を供給するためのエアフィルターと、前記エアフィルター上に実装され前記エアフィルターに対する前記清浄化空気の吐出流速を制御するための空気流速制御装置を備え、前記空気流速制御装置はフレームで固定されている複数個の第１バーと、前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの下部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結するための連結部材とを具備することを特徴とする清浄室空調システムを提供する。
【００１４】
また、前述した第２目的は、前記清浄室内部に流入された外気を濾過させて清浄化空気を供給するためのエアフィルターと、前記エアフィルター上に実装され前記エアフィルターに対する前記清浄化空気の吐出流速を制御するための空気流速制御装置を具備し、前記空気流速制御装置はフレームで固定されている複数個の第１バーと、前記複数個の第１バーに対して上下に動き、それぞれが互いに連結されて前記第１バーの上部でそれぞれの第１バーと交合的に配置される複数個の第２バーと、前記複数個の第２バーを上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材と、前記複数個の第２バーと前記制御部材とを連結させるための連結部材とを備えることを特徴とする清浄室空調システムより達成され得る。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、清浄室内のエアフィルターに対して清浄化空気の吐出流速を自由に制御し得る空気流速制御装置を前記エアフィルターの上部に実装する。従って、エアフィルターの処理風量とは関係なしに前記空気流速制御装置により清浄化された空気の吐出流速値を調節することができるので、フィルターレイアウトを柔軟に変更して新規投資費用を節減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の望ましい一実施形態をより詳細に説明する。
【００１７】
図３は本発明による清浄室空調システムの構成図である。図３において、矢印（→）は空気の流れを示す。
【００１８】
図３に示すように、本発明による清浄室空調システムは大きく、外気処理空調器１００、循環空気処理空調器１３５、複数個のエアフィルター（即ち、清浄室フィルター）１５６、１５８及び空気流速制御装置１６０を含む。
【００１９】
清浄室１５０は清浄空気が流入される天井１５５、設備１５８が配置されるベイ１５２（ｂａｙ）、サービス領域１５４及び清浄空気が排出されるプレナム（ｐｌｅｎｕｍ）（即ち、廊下の下の空間）１５７で区画されている。
【００２０】
前記ベイ１５２は工程領域及び歩行領域を含み、ｃｌａｓｓ１の高清浄度が要求される工程領域には高性能エアフィルター１５６、例えばＵＬＰＡフィルターまたはＨＥＰＡフィルターが設置される。また、ｃｌａｓｓ１０００の低清浄度が要求されるサービス領域１５４には０．１μｍサイズの微粒子に対して９９．９９９％以上の捕集効率及び０．３５ｍ／ｓｅｃ以上の吐出流速を有するエアフィルター１５８が設置される。
【００２１】
前記外気処理空調器１００は清浄室１５０の外部に設置され、ハウジングの一端に開放されている外気導入口１０２からくもり除去器１０４、予熱コイル１０６、プリフィルター１０８、バックフィルター１１０、冷却コイル１１２、加熱コイル１１４、加湿気１１６、送風ファン１１８、最終高性能フィルター１１９が空気の進行方向に沿って順次的に配置された構造を有する。前記ハウジングの後端には導入管１２０が連結されている。
【００２２】
前記プリフィルター１０８は外気導入口１０２から流入された外気のうち比較的に大きい粒子の埃を濾し出す役割をし、前記バックフィルター１１０は全面で埃を捕集するので捕集容量が大きい長所を有する。
【００２３】
前記循環空気処理空調器１３５は前記プレナム１５７に連結されて清浄室１５０内部の清浄化空気を流入し、清浄室１５０内で発生した排出熱を冷却処理するか清浄室１５０内で発生した不純物成分を除去した後清浄化空気を清浄室１５０の内部に再び供給する役割をする。前記循環空気処理空調器１３５はバックフィルター１２２、冷却コイル１２４及び送風ファン１２６を含む。
【００２４】
前記空気流速制御装置１６０は清浄室１５０内のエアフィルターに対して個別または一括清浄化空気の吐出流速を自由に制御し得る装置として、ベイ１５２に使用されるすべてのエアフィルター１５６に設置するか特定領域、例えば工程領域のみに部分的に設置することができる。また、清浄室１５０内の全てのエアフィルターを高清浄度が要求される工程フィルターに代替し、全ての工程フィルターに前記空気流速制御装置１６０を実装することもできる。この場合、工程フィルターが高価であるため初期設置費が上昇するが、設備の搬入または搬出によるフィルターレイアウトを変更する必要がないので追加投資費を節減することができるという長所がある。
【００２５】
図４は図３のＡ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置１６０の断面図である。図５は前記空気流速制御装置１６０の細部図である。図４において、参照符号１７５は空気の流れ方向を示す。
【００２６】
図４及び図５に示すように、本発明の第１実施例による空気流速制御装置１６０はフレーム１７０で固定されている複数個の第１バー１６２、前記複数個の第１バー１６２に対して上下に動きそれぞれが互いに連結されて前記第１バー１６２の下部でそれぞれの第１バー１６２と交合的に配置される複数個の第２バー１６４、前記複数個の第２バー１６４を上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材１６５及び前記複数個の第２バー１６４と前記制御部材１６５とを連結させるための連結部材１６８を含む。
【００２７】
前記制御部材１６５は空気の流速を正確に調節するための操作バルブ／ハンドル１６６及び前記バルブ／ハンドル１６６の動力を伝達するためのギア１６７を含む。望ましくは、前記制御部材１６５は１０ｍｍ間隔で微細な調節をすることができるように要求され、手動で操作して電機に関連された安全事故を防止する。また、このような手動操作は誤動作及び機械的破損を減少させ空気流速制御装置１６０の設置及び撤去を容易にする長所がある。
【００２８】
前記制御部材１６５を手動で操作しようとすると、使用者が前記空気流速制御装置１６０上で直接作業しなければならないので、フレーム１７０に固定されている前記第１バー１６２は上部で加えられる荷重に絶えられる材質、例えばアルミニウムで形成されることが望ましい。勿論前記第１バー１６２をアルミニウムの代りにステインレス・スティールやプラスティックで形成してもよいのである。最も望ましくは、空気流速制御装置１６０の全体材質をアルミニウムで形成する。
【００２９】
前記空気流速制御装置１６０は清浄室１５０の天井１５５に設置されるので、望ましくは最大高さを１５０ｍｍ以下にし、総重量が２０ｋｇ以下になるように形成する。
【００３０】
前記空気流速制御装置１６０において、上部の第１バー１６２と下部の第２バー１６４は菱形、三角形、楕円形及び円形の外形を有するように形成する。本実施例において前記第１バー１６２を菱状で形成し前記第２バー１６４を三角形で形成した。また、空気の摩擦抵抗による振動を防止するために前記第１バー１６２及び第２バー１６４を全部楕円形で形成することもできる。
【００３１】
図示していないが、前記空気流速制御装置１６０は前記第２バー１６４の上下運動を点検し調整された空気の流速値を示すように前記フレーム１７０の側面に透明窓を形成することができる。
【００３２】
また、前記空気流速制御装置１６０は内部と外部との間の圧力差異を点検できるようにその正面または側面に圧力計、例えば定圧計または差圧計を設置することができる。
【００３３】
また、前記空気流速制御装置１６０はその内部の空気流速を測定するために流速センサーをさらに含むことができる。
【００３４】
以下、前記空気流速制御装置１６０の作動に対して図６及び図７を参照して詳細に説明する。
【００３５】
まず、外気処理空調器１００で埃除去及び冷却除湿処理された外気は循環空気処理空調器１３５を通じて各種汚染源が除去された後送風ファン１２６を通じて供給管１２８に排出される。
【００３６】
このような清浄化外気は供給管１２８を通じて清浄室１５０の天井１５５に流入された後、空気流速制御装置１６０及び清浄室フィルター１５６、１５８を経て清浄室１５０の内部にダウンフローされる。
【００３７】
具体的に、図６に示すように空気流速制御装置１６０の制御部材１６５をターンオンさせると、前記複数個の第２バー１６４が固定されている複数個の第１バー１６２に対して下の方に動き完全開放状態になる。この場合、清浄室１５０の天井１５５に流入された清浄化外気は約０．４５ｍ／ｓｅｃの速い流速でフィルター１５６を通過して清浄室１５０の内部にダウンフローされる。従って、新規設備の導入及び開発段階の変更で特定領域に高清浄度が要求される場合、前記領域のエアフィルター上に実装された空気流速制御装置１６０をオープンして前記エアフィルターの吐出流速量を増加させることによって所望する清浄度を得られる。
【００３８】
反面、図７に示すように前記制御部材１６５をターンオフさせると、前記複数個の第２バー１６４が固定されている複数個の第１バー１６２に対して上の方に動いて閉鎖状態となる。この場合、フィルター１５６を通過する空気の流速は０ｍ／ｓｅｃ程度になる。従って、高清浄度領域を低清浄度領域に変更しなければならない場合、エアフィルター上に実装された空気流速制御装置１６０を開閉して前記エアフィルターの吐出流速量を最適要求条件にすることができる。
【００３９】
このように複数個の第１バー１６２に対して複数個の第２バー１６４を上下に動かしてフィルター１５６に対する空気の吐出流速を自由に調節することができるので、新規設備の導入及び開発段階の変更などが発生するとき変更が要求される領域のエアフィルターを増設したり交替したりしなくても空気流速制御装置１６０のみを操作して使用者が所望する吐出流速を得られる。
【００４０】
図８は本発明の第２実施例による空気流速制御装置を示した断面図であり、固定された第１バー１６２と上下の動ける第２バー１６４の位置が変わったことを除いては前述した第１実施例と同一の効果を有する。
【００４１】
図８に示すように、本発明の第２実施例による空気流速制御装置１６０はフレーム１７０で固定されている複数個の第１バー１６２、前記複数個の第１バー１６２に対して上下に動きそれぞれが互いに連結されて前記第１バー１６２の上部でそれぞれの第１バー１６２と交合的に配置される複数個の第２バー１６４、前記複数個の第２バー１６４を上下に駆動して空気の流速を調節するための制御部材１６５及び前記複数個の第２バー１６４と前記制御部材１６５とを連結するための連結部材１６８を含む。
【００４２】
望ましくは、前記空気流速制御装置１６０の全体材質をアルミニウムで形成する。
【００４３】
前記制御部材１６５は空気の流速を正確に調節するための操作バルブ／ハンドル１６６及び前記バルブ／ハンドル１６６の動力を伝達するためのギア１６７を含む。
【００４４】
下部の第１バー１６２と上部の第２バー１６４は菱形、三角形、楕円形または円形の外形を有するように形成する。本実施例においては前記第１バー１６２を菱状で形成し、前記第２バー１６４を三角形で形成した。また、空気の摩擦抵抗による振動を防止するために前記第１バー１６２及び第２バー１６４を全部楕円形で形成することもできる。
【００４５】
図示していないが、前記空気流速制御装置１６０は前記第２バー１６４の上下運動を点検し調整された流速値を表すように前記フレーム１７０の側面に透明窓をさらに形成することができる。
【００４６】
また、前記空気流速制御装置１６０は内部と外部との間の圧力差異を点検できるようにその正面または側面に圧力計、例えば定圧計または差圧計を設置することができる。
【００４７】
また、前記空気流速制御装置１６０はその内部の空気流速を測定するために流速センサーをさらに含むことができる。
【００４８】
前述したように本発明によると、清浄室内のエアフィルターに対して清浄化空気の吐出流速を自由に制御し得る空気流速制御装置を前記エアまたは化学フィルターの上部及び中間層に実装する。
【００４９】
従って、エアフィルターの処理風量と関係なしに前記空気流速制御装置により清浄化空気の吐出流速量を調節することができるので、フィルターレイアウトを柔軟に変更して新規投資費用を節減することができる。
【００５０】
また、清浄化空気の吐出流速量を部分的に調節することができ、制御バルブを手動または自動化施設（例えば、モーター）を用いて遠隔操作することもできる。
【００５１】
また、それぞれのフィルター区画毎に空気差圧を効率的に調節することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】製造ラインの初期建設時及び建設後のフィルター区画及びサービス領域を示すレイアウトである。
【図２】製造ラインの初期建設時及び建設後のフィルター区画及びサービス領域を示すレイアウトである。
【図３】本発明による清浄室空調システムの構成図である。
【図４】図３のＡ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置を示す断面図である。
【図５】本発明の第１実施例による空気流速制御装置の細部図である。
【図６】本発明の第１実施例による空気流速制御装置の作動方式を示すための断面図である。
【図７】図４のＢ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置の作動方式を示すための断面図である。
【図８】図４のＢ部分を拡大したもので、本発明の第２実施例による空気流速制御装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００      外気処理空調器
１０２      外気導入口
１０４      くもり除去器
１１０、１２２      バックフィルター
１１２、１２４      冷却コイル
１１４      加熱コイル
１１６      加湿器
１１８、１２６    送風ファン
１２０      導入管
１２８      供給管
１３０      循環管
１３５      循環空気処理空調器
１５０      清浄室
１５２      ベイ（ｂａｙ）
１５４      サービス領域
１５５      天井
１５６、１５８      エアフィルター
１５７      プレナム
１６０      空気流速制御装置
１６２      第１バー
１６４      第２バー
１６５      制御部材
１６６      ハンドル
１６７      ギア
１６８      連結部材
１７０      フレーム
【図１】
2004286436.tif 000003
【図２】
2004286436.tif 000004
【図３】
2004286436.tif 000005
【図４】
2004286436.tif 000006
【図５】
2004286436.tif 000007
【図６】
2004286436.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成16年3月19日(2004.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【図１】製造ラインの初期建設時及び建設後のフィルター区画及びサービス領域を示すレイアウトである。
【図２】製造ラインの初期建設時及び建設後のフィルター区画及びサービス領域を示すレイアウトである。
【図３】本発明による清浄室空調システムの構成図である。
【図４】図３のＡ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置を示す断面図である。
【図５】本発明の第１実施例による空気流速制御装置の細部図である。
【図６】図４のＢ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置の作動方式を示すための断面図である。
【図７】図４のＢ部分を拡大したもので、本発明の第１実施例による空気流速制御装置の作動方式を示すための断面図である。
【図８】本発明の第２実施例による空気流速制御装置を示す断面図である。