(57)【要約】【課題】光の回折による計測値への影響を軽減する。【解決手段】搬送中のワーク１０を透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象１２の計測を行なう際に、予め求めておいて実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線３６で計測値を補正して、光の回折による計測値への影響を軽減する。【選択図】　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送中のワークを透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう際に、
予め求めておいた実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線で計測値を補正して、光の回折による計測値への影響を軽減することを特徴とする画像計測方法。
【請求項２】
搬送中のワークを透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう画像計測装置において、
予め求めておいた実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線を記憶する手段と、
該検量線で計測値を補正して、光の回折による計測値への影響を軽減する手段と、
を備えたことを特徴とする画像計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像計測方法及び装置に係り、特に、搬送中のワーク（ガラス基板や透明フィルム等）を透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象（スリットパターン等）の計測を行なう際に用いるのに好適な、光の回折による計測値への影響を軽減することが可能な画像計測方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１に示す如く、搬送中のワーク１０を透過照明１４で照明し、カメラ１６により画像入力して、該画像から計測対象１２の計測を行なう画像計測技術が知られている。
【０００３】
このような透過画像入力系においては、背景の明るさが適切であれば、透過画像は図２（Ａ）に示す如くとなり、計測値が実寸と同程度となるが、背景が過度に明るい場合には、図２（Ｂ）に示す如く、光の回折により計測対象のエッジ付近が計測対象より明るくなり、計測値が実寸より小さくなる。又、逆に背景が過度に暗い場合には、図２（Ｃ）に示す如く、計測対象のエッジ付近が背景より暗くなり、計測値が実寸より大きくなるという問題点を有する。
【０００４】
このような問題点を解消するべく、従来は、検査画像入力前に計測対象の背景の明るさを検出して、照明１４の光量やカメラ１６のゲインを調節している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような検査画像入力前の照明光量やカメラゲインの調節は、静止状態のワークでは有効であるが、搬送中のワークでは、背景の明るさの検出位置と検査画像入力位置がずれるため、正確な調節が行なわれないという問題点を有していた。
【０００６】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、搬送中のワークであっても、光の回折による計測値への影響を軽減できるようにすることを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、搬送中のワークを透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう際に、予め求めておいた実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線で計測値を補正し、光の回折による計測値への影響を軽減するようにして、前記課題を解決したものである。
【０００８】
本発明は、又、搬送中のワークを透過照明で画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう画像計測装置において、予め求めておいた実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線を記憶する手段と、該検量線で計測値を補正して、光の回折による計測値への影響を軽減する手段とを備えることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【０００９】
光の回折による実寸と計測値の差は、背景の形状や背景の明るさにより決まる。従って、予め照明光量やカメラゲインを調節することで背景の明るさを変えて対象の計測を行って得られた、図３（Ａ）に示すような計測値に基づいて、図３（Ｂ）に示すような、実寸と計測値の差（補正量）と背景の明るさの検量線を作成しておく。
【００１０】
そして、検査画像から対象の計測処理を行なった後、背景の明るさに応じて、前記検量線に応じて計測値を補正すれば、正しい計測値が得られる。
【００１１】
なお、背景の明るさを上げ過ぎた場合、多方向から光が回折し、前記補正が適用不能となるため、計測対象の中央部に光の回折の影響が及ばない範囲で、検量線の作成、計測値の補正を行なう必要がある。
【００１２】
又、背景の明るさを下げ過ぎた場合、計測対象と背景が区別できなくなり、計測不能となるため、計測できる範囲で、検量線の作成、計測値の補正を行なう必要がある。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１４】
本実施形態は、図４（全体図）及び図５（ブロック図）に示す如く、計測対象１２を含むワーク１０を搬送するためのワーク搬送部２０と、該ワーク１０を透過照明するための照明部２２と、ワーク１０の画像を入力するためのカメラを含む画像入力部２４と、該画像入力部２４から入力される画像を処理する画像処理部３２及び本発明による補正を行なうための補正処理部３４を含む処理部３０と、該処理部３０による処理結果を表示するための出力部４０と、各構成機器を制御するための制御部４２とを含んで構成されている。
【００１５】
測定に際しては、図６に手順を示す如く、検量線を作成していない場合は、ステップ１００で、予め、照明光量やカメラゲインを調節することで背景の明るさを変え、対象の計測を行って得られた背景の明るさと計測値のデータ２８に基づいて、実寸と計測値の差（補正量）と背景の明るさの検量線３６を作成しておく。
【００１６】
なお、ステップ１００は、計測対象の計測の度に行わなくても、１度行えば良い。
【００１７】
ステップ１００終了後、又は、検量線を既に作成済みの場合は、ステップ１１０で、画像入力部２４は、任意のタイミングで、ワーク搬送部２０により搬送されているワーク１０の画像入力を行なう。
【００１８】
次いで、ステップ１２０で、画像処理部３２は、ステップ１１０で入力した検査画像からワーク内の計測対象１２の計測を行なう。
【００１９】
次いで、ステップ１３０で、補正処理部３４は、ステップ１００で作成した検量線３６と入力画像の背景の明るさから補正量を求め、ステップ１２０の計測結果を補正する。
【００２０】
次いで、ステップ１４０で、補正後の計測結果を出力部４０に出力する。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、背景の明るさが変動しても、光の回折による計測値への影響が少なく、実寸に近い計測値が得られる。
【００２２】
特に、背景の明るさに応じた照明光量やカメラゲインの調節の必要がないため、搬送中のワークを透過照明で画像入力し、該画像から対象の計測を行なう場合に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】透過画像入力系を示す斜視図
【図２】背景の明るさと透過画像の関係を示す図
【図３】本発明の原理を示す、実寸と計測値の差と背景の明るさの検量線を説明する線図
【図４】本発明の実施形態の全体構成を示す斜視図
【図５】同じくブロック図
【図６】同じく処理手順を示す流れ図
【符号の説明】
１０…ワーク
１２…計測対象
２０…ワーク搬送部
２２…照明部
２４…画像入力部
３０…処理部
３２…画像処理部
３４…補正処理部
３６…検量線
４０…出力部
４２…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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