(57)【要約】【課題】マスター担体およびスレーブ媒体に影響を及ぼすアウトガス、発塵物質の発生量がそれらに影響を及ぼさない程度に抑えられたグリース、シーリング剤を用い、高品位の磁気転写を継続する磁気転写装置を提供する。【解決手段】情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う際に、装置の可動部分に使用するグリースおよびシール部に使用するシーリング剤は、発生するアウトガスに含まれる含金属化合物が０．５ｐｐｂ以下である。また、装置の可動部分に使用するグリースは、離油度が０〜５．１ｗｔ％、混和ちょう度が２００〜３１５、滴点が２００℃以上、蒸発量が２．０ｗｔ％以下である。【選択図】　　　　　図１
2004110904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置において、
該装置の可動部分に使用するグリースおよびシール部に使用するシーリング剤は、発生するアウトガスに含まれる含金属化合物が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記グリースは、離油度が０〜５．１ｗｔ％、混和ちょう度が２００〜３１５、滴点が２００℃以上、蒸発量が２．０ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体とスレーブ媒体とを密着させ磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
従来の磁気転写装置に使用されているグリース、シーリング剤は、クリーンルーム用のものであり、低発塵性に重点をおいていたが、記録密度の高密度化が進んだ結果、塵埃だけでなく、グリース、シーリング剤から発生するアウトガスが原因となり、マスター担体またはスレーブ媒体が侵されることにより、転写不良を起こしている例が見られる。
【０００５】
上記点より、磁気転写を行う際に、その雰囲気にイオウ系ガスが存在すると、これがスレーブ媒体に付着して磁気転写に悪影響を及ぼすことから、磁気転写装置に使用するグリースより発生するイオウ系ガス量を規制する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−３５７５２１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような磁気転写装置においては、その可動部分に使用するグリースに加え、シール部に使用するシーリング剤からもアウトガスが発生するものであり、また、前述のグリースからはイオウ系ガスのほかに発生したガス成分が、マスター担体およびスレーブ媒体に付着することにより、転写不良、ヘッドクラッシュを起こしている例も見られる。
【０００８】
例えば、グリース、シーリング剤より発生するアウトガスの有害成分としては、シロキサンガス等の有機シリコン成分、有機スズ成分などの含金属化合物成分である。これらのガス成分は、マスター担体およびスレーブ媒体に付着堆積し、密着面に介在することによって、マスター担体やスレーブ媒体の表面を損傷させ、転写信号品位の低下を招いたり、スレーブ媒体への付着堆積は、ヘッドクラッシュにつながり、品質低下を招く問題がある。
【０００９】
そして、上記現象の発生を防止し、磁気転写の品位を維持するために、マスター担体のクリーニングを頻繁に行う必要が生じ、生産性の低下、コストの上昇を招く問題がある。
【００１０】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体およびスレーブ媒体に影響を及ぼすアウトガス、発塵物質の発生量がそれらに影響を及ぼさない程度に抑えられたグリース、シーリング剤を用いた磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置は、情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置において、
該装置の可動部分に使用するグリースおよびシール部に使用するシーリング剤は、発生するアウトガスに含まれる含金属化合物が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、前記グリースは、離油度が０〜５．１ｗｔ％、混和ちょう度が２００〜３１５、滴点が２００℃以上、蒸発量が２．０ｗｔ％以下であることが好ましい。
【００１３】
また、前記グリースおよびシーリング剤は、発生するアウトガスに、硫酸イオン、硝酸イオン、塩化物イオン、燐酸イオン、有機化合物（ハイドロカーボン、ＤＯＰ、有機酸）などを含まないか、微量であるものを用いるのが望ましい。
【００１４】
【発明の効果】
本発明によれば、装置の可動部分に使用するグリースおよびシール部に使用するシーリング剤は、発生するアウトガスに含まれる含金属化合物が０．５ｐｐｂ以下であることにより、繰り返しての磁気転写によってもマスター担体およびスレーブ媒体への影響がなく、アウトガス成分によってマスター担体表面が侵されたり付着堆積することなく、マスター担体の品位が維持でき、良好な磁気転写が継続して行え、生産性の向上、コストの低減が図れる。特にスレーブ媒体へのダメージがないことで磁気転写後のスレーブ媒体の使用状態におけるヘッドクラッシュの発生を招くことなく信頼性が高まる。
【００１５】
また、前記グリースは、離油度が０〜５．１ｗｔ％、混和ちょう度が２００〜３１５、滴点が２００℃以上、蒸発量が２．０ｗｔ％以下であると、さらに、このグリースによるマスター担体およびスレーブ媒体への影響を抑制でき、高品質の磁気転写を継続できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施形態に係る磁気転写装置の平面配置図、図２は磁気転写装置の概略正面図である。
【００１７】
この実施形態の磁気転写装置１０は、磁気転写を受けるハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と前記初期磁化したスレーブ媒体とを密着させ、前記初期磁化の直流磁界方向と略反対方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行うものであり、前記スレーブ媒体の供給と排出を行う供給排出ユニットＡと、スレーブ媒体を初期磁化する初期化ユニットＢと、磁気転写を行う磁気転写ユニットＣと、前記スレーブ媒体を各ユニットＡ〜Ｃに搬送する搬送ユニットＤとを備えている。
【００１８】
供給排出ユニットＡは、搬送ユニットＤの一端部に設置されて、この供給排出ユニットＡでのみスレーブ媒体の供給（搬入）と排出（搬出）が行われる。搬送ユニットＤは、スレーブ媒体を収容したケース１１をパレット１２に搭載して搬送するものであり、供給排出ユニットＡより供給されたスレーブ媒体を直線的に搬送する往路と、他端部で折り返して供給排出ユニットＡに向けてパレット１２を直線的に搬送する復路とを備え、ローラコンベア等によって構成される。この搬送ユニットＤの往路に臨んで初期化ユニットＢおよび磁気転写ユニットＣが設置されてなる。初期化ユニットＢおよび磁気転写ユニットＣに対して搬送ユニットＤのパレット１２よりスレーブ媒体がマニピュレーターロボット等によって搬入され、処理後のスレーブ媒体が戻されて順次工程を移動して磁気転写の各処理工程が実行される。
【００１９】
前記供給排出ユニットＡ、初期化ユニットＢ、磁気転写ユニットＣ、搬送ユニットＤの上部には、図２に示すように、クリーンエアユニット１５が設置され、常時クリーンエアーがダウンフローに吹き付けられる。つまり、磁気転写装置１０は内部が周壁によって処理室に形成され、各ユニットＡ〜Ｄには上部のクリーンエアユニット１５よりクリーンエアが下方に向けて吹き出され、底面の開口より排出され、各ユニットＡ〜Ｄにおけるクリーン度を装置周辺よりさらに高める。また、磁気転写装置１０全体を設置した部屋と、磁気転写の前後の処理を行う他工程の部屋とは壁１６（仕切り）によって分離され、磁気転写装置１０の設備環境を他工程の部屋よりクリーン度が高い雰囲気とする。供給排出ユニットＡに対するスレーブ媒体を収容したケース１１の搬入出は不図示のドアの開閉により行い、制御システムの操作盤１７の操作も外部から行うようになっている。
【００２０】
また、供給排出ユニットＡと搬送ユニットＤとの間には不図示の開閉扉が設置され、この開閉扉をケース１１の受け渡しのために開ける場合には、供給排出ユニットＡの内圧を搬送ユニットＤより下げて、供給排出ユニットＡから搬送ユニットＤ側への塵埃の侵入を阻止する。
【００２１】
そして、上記のような磁気転写装置１０により磁気転写を行う際に、各ユニットＡ〜Ｄの装置における可動部分に使用するグリースおよびシール部に使用するシーリング剤は、発生するアウトガスに含まれる含金属化合物が０．５ｐｐｂ以下である。
【００２２】
また、上記グリースは、離油度が０〜５．１ｗｔ％、混和ちょう度が２００〜３１５、滴点が２００℃以上、蒸発量が２．０ｗｔ％以下である。
【００２３】
これらのグリースおよびシーリング剤を使用することにより、繰り返しての磁気転写によってもマスター担体およびスレーブ媒体へアウトガス成分による影響がなく、マスター担体表面が侵されたり付着堆積することなく、マスター担体の品位が維持でき、良好な磁気転写が継続して行える。また、ガス成分に起因する粒子状異物の密着面への付着も低減し、マスター担体やスレーブ媒体の表面の損傷、転写信号品位が低下することなく、高品質の磁気転写を継続でき、特にスレーブ媒体へのダメージがないことで磁気転写後のスレーブ媒体の使用状態におけるヘッドクラッシュの発生を招くことなく信頼性が高まる。
【００２４】
また、上記グリースおよびシーリング剤は、発生するアウトガスに、さらに、硫酸イオン、硝酸イオン、塩化物イオン、燐酸イオン、有機化合物（ハイドロカーボン、ＤＯＰ、有機酸）などを含まないか、微量であるものを用いるのが望ましい。
【００２５】
上記ガス成分の測定法は、アウトガスを含む空気を、例えば、吸着材捕集とガスクロマトグラフィー質量分析法（ＧＣ−ＭＳ）によって定量する。この測定法は、ポリマー吸着材や活性炭を充填した捕集管に試料空気を通過させてガス成分を捕集し、熱脱着法または溶剤脱着法によって捕集成分を脱離して、ガスクロマトグラフィー質量分析法によって定量する。また、原子発光式検出器（ＡＥＤ）を備えたガスクロマトグラフィー質量分析法を用いてもよい。その他の測定法の適用も可能である。
【００２６】
前記離油度の試験方法は、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ　Ｋ２２２０．５．７）により、円錐型の金網ろ過器中で１００℃に保った試料から、２４時間後に分離した油分の質量割合を求めるものである。混和ちょう度の試験方法は、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ　Ｋ２２０．５．３）により、グリースを規定の混和器に採取して、２５℃に保持し、さらに６０回混和した直後のちょう度を求めるものである。滴点の試験方法は、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ　Ｋ２２２．０５．４）により、試料を規定の装置で規定の条件により加熱した場合、半固体から液状になりかけてそのその初滴が落下したときの温度を求めるものである。蒸発量の試験方法は、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ　Ｋ２２２０．５．６Ｂ）により、試料を規定温度に保った浴中で、加熱空気を試料表面に２２時間通じ、試料の減量を求めるものである。
【００２７】
前述の離油度などの条件を満足するグリースの一例として市販のものは、日本精工社製の商品名ＬＧ２、ＮＯＫ社製の商品名ＢＡＲＲＩＥＲＴＡ　ＳＵＰＥＲ　ＩＳ／Ｖ、ＴＨＫ社製の商品名ＡＦＥ、ＡＦＦが挙げられる。
【００２８】
次に、磁気転写装置１０の各部を説明する。まず、全体装置において、磁気転写工程の基本形は、スレーブ供給→初期化→磁気転写→集積排出であるが、例えば、１つの初期化工程に対して２つの磁気転写工程を設置してもよい。
【００２９】
また、各工程の前後に一時的もしくは恒久的に、検査ユニット、クリーニングユニット等の付加機能を設置してもよい。例えば、スレーブ供給→初期化→クリーニング→磁気転写→検査→集積排出の工程を順に行うように設置する。また、クリーニング工程を初期化の前、つまり、スレーブ供給→クリーニング→初期化→磁気転写→検査→集積排出の工程順としてもよい。また、磁気転写工程の前にスレーブ媒体の検査工程を設置し、スレーブ供給→初期化→クリーニング→検査→磁気転写→集積排出の工程順としてもよい。これらの工程においても、クリーニング処理および検査処理に時間がかかる場合には、それらの工程数を増やしてもよい。
【００３０】
磁気転写においては、塵埃の介在が転写品位に影響するので、磁気転写装置１０を所定のクリーン度に保つが、この設備環境用とは別に、前述のように各ユニットＡ〜ＤにＵＬＰＡフィルターもしくはＨＥＰＡフィルターを有する専用のクリーンエアユニット１５を備え、各ユニットＡ〜Ｄでのスレーブ媒体位置では全てダウンフローの中にあり、かつ、滞留が起こらないエアフロー構造とする。
【００３１】
また、同様に塵埃対策の点から、磁気転写装置１０の各ユニットＡ〜Ｄにおける駆動部・シリンダー等には個別排気を設け、発生塵埃を排出する。排気手段はブロワー、個別エジェクターを設置して行う。
【００３２】
次に、供給排出ユニットＡにおいては、スレーブ媒体の供給および排出を同一のユニットで行うもので、スレーブ媒体の搬入出はこの供給排出ユニットＡだけで行う。
【００３３】
スレーブ媒体を収容するケース１１は、詳細は図示しないが、着脱自在な上蓋と下蓋を有する専用ケースとし、このケース１１に縦向きで円盤状スレーブ媒体を並列収容し、上蓋および下蓋を取り付けた状態で供給排出ユニットＡに供給・排出する。このケース１１の上蓋および下蓋の両方を供給排出ユニットＡで自動的に取り外して搬送ユニットＤに供給し、処理後に両蓋を装着する。各ユニットＡ〜Ｄでの処理中は前述のダウンフローがケース１１内を上下に流通して除塵し、内部に滞留しないようになっている。
【００３４】
供給排出ユニットＡとこれに続く搬送ユニットＤとは、前述のように開閉作動する扉で分離されており、ケース１１の受け渡し時は供給排出ユニットＡ側の内圧を搬送ユニットＤ側の内圧よりも下げた後に、扉を開けて受け渡し、扉を閉める。その後に供給排出ユニットＡの内圧を高め、他工程に対する受け渡しを行う。これにより、磁気転写装置１０内への塵埃の侵入を極力阻止する。
【００３５】
また、前記ケース１１を搬送ユニットＤへ移載機構等によって受け渡すときは、ケース１１を５゜〜２０゜傾けて行い、その後の搬送時においても同様に傾斜状態とする。これにより、搬送時等の揺れによりケース１１内でスレーブ媒体が振動するのを防止し、振動に伴うコスレに起因する発塵を阻止する。
【００３６】
次に、搬送ユニットＤにおいては、設定条件に従いケース１１を搭載したパレット１２を順次、初期化ユニットＢ、磁気転写ユニットＣ等に搬送する。搬送中はケース１１を専用のパレット１２に乗せて搬送する。パレット１２は、スレーブ媒体の品種変更、枚数変更、条件変更等に対し、パレット全体またはパレットの一部の部品（治具）を交換することで対応可能であり、搬送系を品種切り替え等に応じて変更する必要がない。搬送中はケース１１を５゜〜２０゜傾けるもので、傾斜作動機構を備える。同一のケース１１が、連続的に複数回工程内を流れることはなく、ケース１１への塵埃の蓄積を防止する。搬送機構としては、ローラコンベア（クリーンコンベア）を使用するほか、スライドテーブル、ＡＧＶ（コンピュータ制御の無人搬送車）、ロボット等で構成してもよい。
【００３７】
次に、初期化ユニットＢにおいては、搬送ユニットＤよりケース１１を受け取り、そのケース１１よりスレーブ媒体を１枚ずつ取り出し、順次直流磁界を印加して初期磁化する。ケース１１と初期化装置間のスレーブ媒体の供給と排出は、ロボットもしくは自動移載装置等を用いて自動で行う。ロボットもしくは自動移載装置等は１台とは限らず、機能別に分けて設置してもよい。
【００３８】
初期化用の磁界を印加する機構には、電磁石または永久磁石を使用する。初期磁化処理は、スレーブ媒体と磁石を近接させ、スレーブ媒体もしくは磁石を、設定された一定方向へ回転させてスレーブ媒体全面に初期磁化を施す。
【００３９】
初期化処理が終了したスレーブ媒体は同一または別のケース１１へ順次収納する。スレーブ媒体のチャック部位は内径部のみとし、チャックは１本〜３本の爪を用いて行う。ケース１１から取り出した後のスレーブ媒体の初期化処理においては、そのスレーブ媒体の記録再生面は基本的に垂直±１０゜とする。
【００４０】
次に、磁気転写ユニットＣにおいては、搬送ユニットＤよりケース１１を受け取り、そのケース１１よりスレーブ媒体を１枚ずつ取り出し、順次磁気転写を行う。この磁気転写ユニットＣは、回転テーブル式の４つ（またはそれ以上）のステーションを備えたインデックスユニットを有し、例えば、第１ステーションでは、スレーブ媒体をホルダーに供給し、マスター担体と位置決めしてから、内部空間の吸引によりマスター担体との１次密着を行うもので、第２ステーションでは、さらに外部から機械式加圧により２次密着を行って、接近移動した磁界印加装置により転写用磁界を印加して磁気転写を行うもので、第３ステーションでは、スレーブ媒体をマスター担体より剥離して取り出すもので、第４ステーションは予備ステーションに設定してなる。上記インデックスユニットには、１個もしくはステーション毎のホルダーとその開閉機構を有する。この開閉機構の駆動部はインデックスユニットの外部に設置される。
【００４１】
ケース１１とインデックスユニット間のスレーブ媒体の供給と排出はロボットで行う。ロボットは１台とは限らず、機能別に分けて設置してもよい。
【００４２】
また、インデックスユニットの第４ステーションをスレーブ媒体の交換ステーションに設定してもよい。
【００４３】
スレーブ媒体をホルダーへ供給する際の高精度位置決め手段は、画像処理と高精度ロボットを備え、スレーブ媒体位置を微調整して基準マークとの位置合わせを行うか、もしくはコンプライアンスヘッドを備え、ホルダーに設置した位置合わせピンにスレーブ媒体を装着して位置決めする。
【００４４】
転写用の磁界を印加する機構には、電磁石または永久磁石を使用する。転写磁界強度の条件は、電磁石使用の場合は、電磁石に印加する電流値、磁石とスレーブ媒体間の距離などで調整し、永久磁石の場合は、磁石とスレーブ媒体間の距離を調整して設定する。
【００４５】
磁気転写処理は、スレーブ媒体をマスター担体で挟み、周辺をホルダーで囲み、ホルダーに力を加えることにより、スレーブ媒体とマスター担体間を密着させ、この状態で磁石を両側から近接させ、ホルダーを設定の方向へ回転させてスレーブ媒体全面の磁気転写を行う。
【００４６】
密着圧は、ホルダー内部空間を減圧すること、これに加えてまたはこれに代えて、両側のホルダーをシリンダーにより加圧することにより得る。ホルダーの回転は、磁気転写位置で、駆動源を回転中心へ回転軸を接触または係合させて行う。シリンダー加圧は、磁気転写位置で、回転中心へ加圧軸を押し当てて加圧する。加圧軸と回転軸が同一であってもよい。
【００４７】
密着中以外はホルダーを開状態で維持する機構を有し、ダウンフロー内に放置し、マスター担体への塵埃付着を防止する。磁気転写処理が終了したスレーブ媒体は同一または別のケース１１へ順次収納する。スレーブ媒体のチャック部位は内径部のみとし、チャックは１本〜３本の爪を用いて行う。マスター担体はホルダーに吸着等により保持させた状態でホルダーごと交換する。ホルダーの交換はワンタッチで行える構造とする。
【００４８】
そして、上記のような各機構におけるグリースおよびシーリング剤が、前述のような特性を有するものを使用し、アウトガス、発塵物質の発生量がマスター担体およびスレーブ媒体に影響を及ぼさない程度に抑えられる。さらに、前述のクリーンエアーのダウンフローにより、アウトガスおよび発塵の影響を抑制している。
【００４９】
スレーブ媒体は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００５０】
マスター担体は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体は、基板上に形成された磁性層に微細凹凸パターン（転写パターン）が形成されてなり、この面がスレーブ媒体に密着される。マスター担体の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性層の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００５１】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダーの両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダーを回転させて、スレーブ媒体とマスター担体の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダーの両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダーを移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００５２】
本実施形態によれば、スレーブ媒体とマスター担体を密着させて磁気転写を行う際に、アウトガスに含まれる含金属化合物が少ないグリースおよびシーリング剤を用い、マスター担体およびスレーブ媒体への影響を解消することができ、高品質の磁気転写を継続できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態の磁気転写装置の平面配置図
【図２】図１の磁気転写装置の概略正面図
【符号の説明】
１０　　磁気転写装置
Ａ　　供給排出ユニット
Ｂ　　初期化ユニット
Ｃ　　磁気転写ユニット
Ｄ　　搬送ユニット
１１　　ケース
１２　　パレット
１５　　クリーンエアユニット
【図１】
2004110904.tif 000003
【図２】
2004110904.tif 000004