(57)【要約】【課題】主として、制御装置としてのプリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置への転送データ量を低減することができ、これにより製造効率を低下させることなく各種デバイスを製造することができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出するヘッド１０と、ヘッド１０に対して駆動信号ＣＯＭ及び吐出データＳＩ等を転送する制御装置１１とを含んで構成される。ヘッド１０は、液滴吐出動作開始前に制御装置１１から転送される吐出データＳＩを記憶するメモリ３５を備える。液滴吐出時において、ヘッド１０はメモリ３５に記憶された吐出データＳＩと制御装置１１から転送される駆動信号ＣＯＭとに基づいて液滴の吐出を行う。【選択図】  図２
2004275921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出ヘッド装置と、当該液滴吐出ヘッド装置に対して、少なくとも前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データと前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形とを転送する制御装置とを備える液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッド装置は、前記記録データの一部又は全部を記憶する記憶部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記液滴吐出ヘッド装置は、前記制御装置から転送されてくる前記駆動波形と前記記憶部に記憶された記録データとに基づいて前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出制御を行うことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記液滴吐出ヘッド装置に前記液滴を吐出させる前に予め前記液滴吐出ヘッド装置に対して前記記録データの一部又は全部を転送して前記記憶部に記憶させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液滴吐出ヘッド装置は着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出ヘッド装置と、当該液滴吐出ヘッド装置に対して、少なくとも前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データと前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形とを転送する制御装置とを備える液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッド装置は、着脱可能に構成された記憶装置に対して前記記録データの一部又は全部の読出及び書込の少なくとも一方を行う記憶制御部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッド装置は、前記制御装置から転送されてくる前記駆動波形と前記記憶制御部が前記記憶装置から読み出した記録データとに基づいて前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出制御を行うことを特徴とする請求項５記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記制御装置は、前記液滴吐出ヘッド装置に前記液滴を吐出させる前に予め前記液滴吐出ヘッド装置に対して前記記録データの一部又は全部を転送し、当該記録データを前記記憶制御部により装着された前記記憶装置へ記憶させることを特徴とする請求項５又は請求項６記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドに対して前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データの一部又は全部を少なくとも記憶する記憶部と
を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド装置。
【請求項９】
液滴吐出ヘッド装置に設けられる液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出方法において、
液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形を前記液滴吐出ヘッド装置に転送する転送ステップと、
前記液滴吐出ヘッド装置に設けられた記憶装置から、前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データを読み出す読出ステップと、
前記駆動波形及び前記記録データに基づいて前記液滴吐出ヘッド装置を駆動する駆動ステップと
を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１０】
予め前記記憶装置に対して前記記録データを記憶させる書込ステップを含むことを特徴とする請求項９記載の液滴吐出方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液滴吐出装置又は請求項９若しくは請求項１０記載の液滴吐出方法を用いて前記液滴を吐出する工程をデバイス製造工程の１つとして含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１２】
請求項１１記載のデバイス製造方法を用いて製造されたデバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状樹脂等の液滴を吐出する液滴吐出装置、液滴吐出方法、及び液滴吐出ヘッド装置、並びに上記装置及び方法を用いて液滴を吐出する工程を１つの工程として含み、液晶表示装置、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置、カラーフィルタ基板、金属配線、マイクロレンズアレイ、コーティング層を有する光学素子、その他のデバイスを製造するデバイス製造方法及び当該方法によって製造されたデバイス関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、微細な構造を有する電子機器、光学機器、その他のデバイスを製造するために、微小液滴を吐出する液滴吐出装置が用いられる機会が多くなっている。例えば、電子機器の１つとしてのカラー液晶表示装置はカラーフィルタを備えるが、このカラーフィルタはガラス基板等の透明基板に対して液滴吐出装置を用いてＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の微小液滴をそれぞれ所定パターンで着弾させて形成される。また、光学機器の１つとしてのマイクロレンズアレイは、粘性の高い透明樹脂を微小液滴にして透明基板の複数箇所に対して複数滴着弾させて形成される。各レンズの大きさ及び曲率は、着弾数及び透明樹脂の粘性等により制御する。
【０００３】
かかる液滴吐出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出ヘッド装置と、基板上における液滴の着弾位置を規定する記録データを処理するとともに液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形を生成するプリントコントローラとを含んで構成される。液滴樹脂の吐出を行う場合には、プリントコントローラは処理を完了した記録データと生成した駆動波形とを同期させて順次液滴吐出ヘッド装置へ転送し、液滴吐出ヘッド装置は順次転送されてくる記録データ及び駆動波形に応じて液滴吐出ヘッドを駆動することで液滴の吐出制御を行っている。
【０００４】
ところで、近年において、例えば上記の液晶表示装置は大型化及び高精細化が要求されている。このため、プリントコントローラで処理すべき記録データのデータ量及びプリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へ転送すべき記録データのデータ量が飛躍的に増大している。かかる処理に要する負荷を低減するために、記録データの種類（カラー用の記録データ又はモノクロ用の記録データ）に応じて記録データを処理するか否かを制御する技術が以下の特許文献１に開示されている。また、記録データから印字に関与しない箇所を判別し、この箇所のデータ転送を省略することでプリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へのデータ転送量を低減する技術が以下の特許文献２，３に開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−４７６４６号公報
【特許文献２】
特開平８−３２４０３９号公報
【特許文献３】
特開平９−１６９１３１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年においてはプリントコントローラで取り扱う記録データのデータ量が益々増大しており、プリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へのデータ転送に要する時間が製造効率を左右する虞が生じている。つまり、プリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へのデータ転送に要する時間が液滴吐出ヘッドの液滴吐出に要する時間よりも短ければ液滴吐出ヘッドは常時動作しているが、データ転送に要する時間が液滴吐出に要する時間よりも長くなると液滴吐出ヘッドから液滴が吐出されず液滴吐出ヘッドが停止している時間が生じて製造効率が低下する虞がある。近時においては、データ量の増大によりかかる状況が生じつつある。
【０００７】
ところで、上記のカラーフィルタ、マイクロレンズアレイ等を製造する場合には、形成すべき対象物（例えば、画素、レンズ等）が規則的に配列されたものであるため、微小液滴を吐出する際にプリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へ転送される記録データは一定周期で繰り返されるものであることが多い。従来は、記録データの周期性の有無に拘わらず、液滴吐出を行っている最中に記録データを逐次プリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置へ転送するという非効率的なデータ転送を行っていた。また、データ転送速度が速くなるとノイズ等によりデータ化けが生じたり、輻射ノイズが増大するといった不具合も生ずる。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、制御装置としてのプリントコントローラから液滴吐出ヘッド装置への転送データ量を低減することができ、これにより製造効率を低下させることなく各種デバイスを製造することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及び液滴吐出ヘッド装置、並びに製造工程の１つとして当該装置及び方法を用いて液滴を吐出する工程を有するデバイス製造方法及び当該方法を用いて製造されたデバイスを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出ヘッド装置と、当該液滴吐出ヘッド装置に対して、少なくとも前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データと前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形とを転送する制御装置とを備える液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッド装置は、前記記録データの一部又は全部を記憶する記憶部を備えることを特徴としている。
この発明によれば、液滴吐出ヘッド装置が備える記憶部に記録データの一部又は全部を記憶させ、記憶部に記憶された記憶データを読み出して液滴を吐出させるようにしているため、液滴吐出時において制御装置から液滴吐出ヘッド装置への記録データの転送がなくなり、液滴吐出ヘッド装置への転送データ量を低減することができる。また、液滴吐出時において制御装置から液滴吐出ヘッド装置への記録データの高速転送が行われないため、転送時におけるノイズ等によるデータ化け、及び、輻射ノイズを防止することもできる。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッド装置が、前記制御装置から転送されてくる前記駆動波形と前記記憶部に記憶された記録データとに基づいて前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出制御を行うことを特徴としている。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記制御装置が、前記液滴吐出ヘッド装置に前記液滴を吐出させる前に予め前記液滴吐出ヘッド装置に対して前記記録データの一部又は全部を転送して前記記憶部に記憶させることを特徴としている。
この発明によれば、液滴吐出ヘッド装置から液滴を吐出させる前に制御装置から液滴ヘッド吐出装置に記録データを転送するようにしているため、記憶装置に予め記憶された一種類の記録データに応じた液滴吐出動作に限られるわけではなく、任意の記憶データに応じた液滴吐出動作を行わせることができる。
また、本発明の第１の観点による液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッド装置が着脱可能に構成されていることを特徴としている。
この発明によれば、液滴吐出ヘッド装置が着脱可能に構成されているため、予め異なる種類の記録データが記憶部に記憶された液滴吐出ヘッド装置を複数用意しておき、工程毎に液滴吐出ヘッド装置を交換するといった使用法が可能である。かかる使用法を用いることで、液滴吐出前における制御装置から液滴吐出ヘッド装置への記録データの転送が不必要になるため、製造効率を向上させることができる。
また、本発明の第２の観点による液滴吐出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出ヘッド装置と、当該液滴吐出ヘッド装置に対して、少なくとも前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データと前記液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形とを転送する制御装置とを備える液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッド装置は、着脱可能に構成された記憶装置に対して前記記録データの一部又は全部の読出及び書込の少なくとも一方を行う記憶制御部を備えることを特徴としている。
この発明によれば、液滴吐出ヘッド装置に対して記憶装置を着脱可能に構成するとともに、この記憶装置に対して記録データの読出及び書込の少なくとも一方を行う記憶制御部を設けたため、記憶装置を交換するだけで種々の記録データに応じた液滴吐出動作を行わせることができるという効果がある。また、予め異なる種類の記録データを記憶した記憶装置を複数用意しておき、工程毎に記憶装置を交換するような使用法をすることで、液滴吐出前における制御装置から液滴吐出ヘッド装置への記録データの転送が不必要になるため、製造効率を向上させることができる。
また、本発明の第２の観点による液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッド装置が、前記制御装置から転送されてくる前記駆動波形と前記記憶制御部が前記記憶装置から読み出した記録データとに基づいて前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出制御を行うことを特徴としている。
また、本発明の第２の観点による液滴吐出装置は、前記制御装置が、前記液滴吐出ヘッド装置に前記液滴を吐出させる前に予め前記液滴吐出ヘッド装置に対して前記記録データの一部又は全部を転送し、当該記録データを前記記憶制御部により装着された前記記憶装置へ記憶させることを特徴としている。
本発明の液滴吐出ヘッド装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対して前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データの一部又は全部を少なくとも記憶する記憶部とを備えることを特徴としている。
本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッド装置に設けられる液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出方法において、液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形を前記液滴吐出ヘッド装置に転送する転送ステップと、前記液滴吐出ヘッド装置に設けられた記憶装置から、前記液滴を吐出させるか否かを規定する記録データを読み出す読出ステップと、前記駆動波形及び前記記録データに基づいて前記液滴吐出ヘッド装置を駆動する駆動ステップとを含むことを特徴としている。
また、本発明の液滴吐出方法は、予め前記記憶装置に対して前記記録データを記憶させる書込ステップを含むことを特徴としている。
本発明のデバイス製造方法は、上記の何れかに記載の液滴吐出装置又は液滴吐出方法を用いて前記液滴を吐出する工程をデバイス製造工程の１つとして含むことを特徴としている。
本発明のデバイスは、上記のデバイス製造方法を用いて製造される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による液滴吐出装置及び方法、液滴吐出ヘッド装置、並びにデバイス製造方法及びデバイスについて詳細に説明する。
【００１１】
〔液滴吐出装置の全体構成〕
図１は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１は、吐出装置本体１Ａとコンピュータ１Ｂとを含んで構成されている。吐出装置本体１Ａは、Ｘ方向駆動モータ２、Ｙ方向駆動モータ３、Ｘ方向駆動軸４、Ｙ方向ガイド軸５、ステージ７、クリーニング機構部８、基台９、ヘッド１０、及び制御装置１１を備えている。
【００１２】
また、コンピュータ１Ｂは、キーボード１２、コンピュータ本体１３、及びＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）又は液晶表示装置等の表示装置１４とを含んで構成されている。キーボード１２は、吐出装置本体１Ａで液滴を吐出する対象物としての基板Ｗに対して何れの位置に液滴を吐出するか等の吐出条件を入力するためのものである。また、本体部１３はＣＰＵ（中央処理装置）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ハードディスク等の外部記憶装置等を含んで構成され、外部記憶装置には、キーボード１２又はＦＤ（フレキシブルディスク）等の記録媒体を介して入力された吐出条件が記録、保存される。外部記憶装置に記録されている吐出条件は、キーボード１２等を介して選択、指示可能である。
【００１３】
上記の吐出装置本体１Ａにおいて、ヘッド１０は、本発明にいう液滴吐出ヘッド装置に相当するものであり、液滴吐出ヘッド２８（図２参照）と液滴吐出ヘッド２８を駆動するヘッド駆動回路２９（図２参照）とを含んで構成される。ヘッド１０は、液状樹脂等が貯蔵されたタンク（図示省略）からパイプ（液供給路）を介して供給された液状樹脂を、そのノズルから液滴として吐出するためのものである。ヘッド１０は着脱可能に構成されており、必要があれば基板Ｗ及び上記タンクに貯蔵された液状樹脂の種類に応じて他のヘッドと交換される。
【００１４】
ステージ７は、液滴が吐出される対象物としての基板Ｗを載置するためのものであり。この基板Ｗを所定の基準位置に固定する機構を有している。Ｘ方向駆動軸４はボールねじ等から構成され、端部にＸ方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ２はステッピングモータ等であり、制御装置１１からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。このＸ方向駆動軸４が回転すると、ヘッド１０がＸ方向駆動軸４に沿ってＸ方向に移動する。
【００１５】
Ｙ方向ガイド軸５もボールねじ等から構成されているが、基台９上の所定位置に固定されている。このＹ方向ガイド軸５上にはステージ７が配置されており、このステージ７はＹ方向駆動モータ３を備えている。Ｙ方向駆動モータ３は、ステッピングモータ等であり、制御装置１１からＹ軸方向の駆動信号がＹ方向駆動モータ３に供給されると、ステージ７は、Ｙ方向ガイド軸５に案内されながらＹ方向に移動する。かかるＸ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３を用いて、ヘッド１０を基板Ｗ上の任意の場所に移動させるヘッド移動機構６が構成されている。
【００１６】
〔ヘッド１０及び制御装置１１〕
次に、ヘッド１０及び制御装置１１の構成について詳細に説明する。図２は、図１に示したヘッド１０と制御装置１１との構成を示すブロック図である。図２において、吐出装置本体１Ａに設けられた制御装置１１は、コンピュータ１Ｂから吐出条件等を受信するインターフェイス２１と、ＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ  ＲＡＭ）及びＳＲＡＭ（Ｓｔａｔｉｃ  ＲＡＭ）からなり、各種データの記録を行うＲＡＭ２２と、各種データ処理を行うためのルーチン等を記録したＲＯＭ２３と、ＣＰＵ等からなる制御部２４と、発振回路２５と、ヘッド１０に供給する駆動波形としての駆動信号ＣＯＭを発生させる駆動信号生成部２６と、インターフェイス２７とを備えている。インタ−フェイス２７は、ドットパターンデータに展開された記録データとしての吐出データをヘッド１０に転送するとともに、Ｘ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３を駆動するための駆動信号をヘッド移動機構６のそれぞれ出力する。
【００１７】
以上の構成の制御装置１１において、コンピュータ１Ｂから送られた吐出条件等はインターフェイス２１を介してＲＡＭ２２の一部として設けられた受信バッファ２２ａに保持される。受信バッファ２２ａに保持されたデータは、コマンド解析が行われてからＲＡＭ２２の一部として設けられた中間バッファ２２ｂへ送られる。中間バッファ２２ｂ内では制御部２４によって中間コードに変換された中間形式としてのデータが保持され、液滴の吐出位置等の情報を付加する処理が制御部２４によって実行される。次に、制御部２４は、中間バッファ２２ｂ内のデータを解析してデコード化した後、ドットパターンデータを出力バッファ２２ｃに展開し、記録させる。
【００１８】
ヘッド１０の１スキャン分に相当するドットパターンデータが得られると、このドットパターンデータは、インターフェイス２７を介してヘッド１０にシリアル転送される。出力バッファ２２ｃから１スキャン分に相当するドットパターンデータが出力されると、中間バッファ２２ｂの内容が消去されて、次の中間コード変換が行われる。
【００１９】
また、ヘッド１０に設けられた液滴吐出ヘッド２８を駆動するための駆動信号ＣＯＭが駆動信号生成部２６で生成され、インターフェイス２７を介してヘッド１０に転送されている。更に、ドットパターンデータに展開された吐出データＳＩが、発振回路２５からのクロック信号ＣＬＫに同期してインターフェイス２７を介してヘッド１０に設けられたヘッド駆動回路２９にシリアル出力される。以上の吐出データＳＩ、駆動信号ＣＯＭ、及びクロック信号ＣＬＫ以外に、後述するラッチ信号ＬＡＴ及びメモリ制御信号ＣＭがインターフェース２７からヘッド１０に設けられたヘッド駆動回路２９に出力される。
【００２０】
ヘッド１０に設けられるヘッド駆動回路２９は、シフトレジスタ３０、ラッチ回路３１、レベルシフタ３２、スイッチ回路３３、メモリ制御回路３４、及びメモリ３５を含んで構成されている。尚、図２においては図示を簡略化しているが、液滴吐出ヘッド２８はヘッド１０に複数個（例えば、１８０個）設けられており、スイッチ回路３３内には各々の液滴吐出ヘッド２８に対応させてスイッチ素子（図示省略）が複数設けられている。
【００２１】
上記シフトレジスタ３０は、制御装置１１から転送されてきた吐出データＳＩをシリアル／パラレル変換するものである。ラッチ回路３１は、制御装置１１からラッチ信号ＬＡＴが出力された時に、シフトレジスタ３０によってパラレル変換された吐出データＳＩをラッチする。レベルシフタ３２は、ラッチ回路３１から出力される吐出データＳＩをスイッチ回路３３を駆動することができる電圧、例えば数十ボルト程度の所定の電圧まで昇圧する。
【００２２】
スイッチ回路３３は、レベルシフタ３２から出力される吐出データＳＩに応じて、駆動信号ＣＯＭを液滴吐出ヘッド２８に供給するか否かを制御する。つまり、スイッチ回路３３内に設けられる各スイッチ素子に加わる吐出データＳＩの電圧レベルが「１」である期間中は、対応する液滴吐出ヘッド２８に駆動信号ＣＯＭを印加し、吐出データＳＩの電圧レベルが「０」である期間中は、対応する液滴吐出ヘッド２８への駆動信号ＣＯＭの印加を遮断する。
【００２３】
メモリ制御回路３４は、制御装置１１からヘッド駆動回路２９へ転送されてきてシフトレジスタ３０から出力される吐出データＳＩを本発明にいう記憶部としてのメモリ３５に記憶させる。吐出データＳＩをメモリ３５に記憶させるか否かは、メモリ制御信号ＣＭによって制御される。また、メモリ３５として一般的なメモリを用いる場合には、データの入出力端のビット幅が、例えば８ビット、１６ビット、又は３２ビットに固定される。このため、メモリ制御回路３４は、メモリ３５のデータ入出力端のビット幅とシフトレジスタ３０の出力端のビット幅とを整合させる制御も行う。
【００２４】
つまり、例えばメモリ３５のデータ入出力端のビット幅がシフトレジスタ３０の出力端のビット幅よりも狭い場合には、シフトレジスタ３０から取り込んだ吐出データＳＩをメモリ３５のデータ入出端のビット幅に合わせて分割し、分割した吐出データＳＩを複数回に亘ってメモリ３５に記憶させる。逆にメモリ３５からデータを読み出す場合には、分割された吐出データＳＩを複数回に亘って読み出し、シフトレジスタ３０の出力端のビットに合わせる処理を行うことで、分割した吐出データＳＩを復元してから出力する。尚、吐出データＳＩをメモリ３５に記憶させる場合には、インターフェイス２７からラッチ回路３１へのラッチ信号ＬＡＴの出力は行われない。
【００２５】
また、メモリ制御回路３４はメモリ制御信号ＣＭに基づいてメモリ３５に記憶された吐出データ３５を読み出して出力する。上記メモリ３５は、吐出データＳＩを記憶することができるものであれば限定はされず、ハードディスク等の記憶装置でも良いが、読み出し速度、寸法、及び重量を考慮すると、ＲＡＭ、ＰＲＯＭ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｒｏｍ）、ＯＴＰ（Ｏｎｅ  Ｔｉｍｅ  ＰＲＯＭ）等の記憶装置であることが好ましい。
【００２６】
ここで、ヘッド駆動回路２９にメモリ３５を設けて吐出データＳＩを記憶させるのは、液滴吐出時における制御装置１１からヘッド駆動回路２９へのデータ転送量を低減するとともに、データ転送速度を低下させるためである。つまり、液滴吐出時に吐出データＳＩの転送時間が液滴吐出に要する時間よりも長くなると、液滴吐出ヘッド２８から液滴が吐出されず液滴吐出ヘッドが停止している時間が生じて製造効率が低下する。これを防止するために、データ転送速度を速くするとノイズ等によりデータ化けが生じたり、輻射ノイズが増大するといった不具合も生ずる。これらの不具合を防止するため、本実施形態においては液滴吐出前に吐出データＳＩを予めヘッド１０のヘッド駆動回路２９に転送してメモリ３５に記憶させておき、液滴吐出時にはメモリ３５から吐出データＳＩを読み出して液滴吐出ヘッド２８の吐出動作を制御している。
【００２７】
メモリ３５に記憶させる吐出データＳＩは、基板Ｗに液滴を吐出する際に用いる全ての吐出データＳＩであっても良い。しかしながら、液晶表示装置（カラーフィルタ）、マイクロレンズ等を製造する場合には、吐出データＳＩは一定周期で繰り返されるものになる。このため、かかる場合には、一周期分の吐出データＳＩのみをメモリ３５に記憶させ、この一周期分の吐出データＳＩを繰り返し用いるようにすれば、制御装置１１からヘッド１０への吐出データＳＩの転送時間を更に短縮することができる。
【００２８】
尚、メモリ制御信号ＣＭによってメモリ制御回路３４のメモリ３５に対する書き込み及び読み出しを停止させれば、従来と同様に制御装置１１からヘッド１０へ吐出データＳＩを転送しつつ液滴吐出の動作も行わせることができる。このように、本実施形態では従来の液滴吐出装置の構成を大幅に変更することなく従来の制御装置１１をほぼそのまま使いつつも制御装置１１からヘッド１０への吐出データＳＩの転送量が低減される。このため、装置構成変更に伴う制御装置１１の廃棄が不要になり、環境へ悪影響を及ぼすこともない。
【００２９】
〔液滴吐出方法〕
以上説明したヘッド駆動回路２９において、制御装置１１からヘッド１０へ吐出データＳＩを転送しつつ液滴を吐出させるときの動作の概略は以下の通りである。つまり、制御装置１１からヘッド駆動回路２９へ吐出データＳＩがシリアル転送される。この吐出データＳＩはシフトレジスタ３０に入力されてシリアル／パラレル変換される。制御装置１１からラッチ回路３１へラッチ信号ＬＡＴが出力されると、ラッチ回路３１は、シフトレジスタ３０によってパラレル変換された吐出データＳＩをラッチする。
【００３０】
ラッチ回路３１でラッチされた吐出データＳＩは、レベルシフタ３２によって、スイッチ回路３３を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の所定の電圧値まで昇圧される。所定の電圧値まで昇圧された吐出データＳＩは、スイッチ回路３３に出力される。レベルシフタ３２から出力される吐出データＳＩに応じてスイッチ回路３３に設けられた複数のスイッチ素子がオン状態又はオフ状態となり、オン状態となったスイッチ素子に対応付けられている液滴吐出ヘッド２８に駆動信号ＣＯＭが供給されて液滴が吐出される。
【００３１】
液滴吐出前に制御装置１１からヘッド１０へ吐出データＳＩを転送してメモリ３５に記憶させるときは、まず、上記と同様に制御装置１１からヘッド駆動回路２９に吐出データＳＩをシリアル転送し、シフトレジスタ３０でシリアル／パラレル変換する。次に、制御装置１１からヘッド駆動回路２９へラッチ信号ＬＡＴを出力する代わりにメモリ制御信号ＣＭを出力してシフトレジスタ３０でパラレル変換された吐出データＳＩをメモリ制御回路３４に取り込ませ、取り込んだ吐出データＳＩをメモリ制御回路３４に書き込ませる。この動作を繰り返して吐出データＳＩを順次メモリ３５に記憶させる（書込ステップ）。
【００３２】
メモリ３５に記憶した吐出データＳＩを用いて液滴を吐出するときには、まず制御装置１１からヘッド駆動回路２９へメモリ制御信号ＣＭを出力し、メモリ制御回路３４にメモリ３５に記憶された吐出データＳＩを読み出させる（読出ステップ）。尚、メモリ３５で読み出される吐出データＳＩはパラレルのデータである。次に、制御装置１１からヘッド駆動回路２９にラッチ信号ＬＡＴを出力し、メモリ制御回路３４が読み出した吐出データＳＩをラッチ回路３１でラッチする。
【００３３】
ラッチ回路３１でラッチされた吐出データＳＩは、レベルシフタ３２によって、スイッチ回路３３を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の所定の電圧値まで昇圧されてスイッチ回路３３に供給される。また、スイッチ回路３３には制御装置１１から駆動信号ＣＯＭが供給される（転送ステップ）。スイッチ回路３３に設けられた複数のスイッチ素子は供給される吐出データＳＩに応じてオン状態又はオフ状態となり、オン状態となったスイッチ素子に対応付けられている液滴吐出ヘッド２８に駆動信号ＣＯＭが供給されて液滴吐出ヘッド２８が駆動されることで液滴が吐出される（駆動ステップ）。
【００３４】
液滴吐出中は制御装置１１から出力されるメモリ制御信号ＣＭによってメモリ３５から吐出データＳＩを読み出すタイミングが制御され、メモリ３５から吐出データが順次読み出されて上記の動作が行われる。また、吐出データＳＩが一定周期で繰り返されたものであり、メモリ３５に一周期分の吐出データＳＩのみが記憶されている場合には、液滴吐出中はこの吐出データＳＩをメモリ３５から繰り返して読み出す動作を行う。
【００３５】
〔液滴吐出ヘッド２８〕
次に、液滴吐出ヘッド２８の構成について簡単に説明する。図３は、液滴吐出ヘッド２８の構成を示す分解斜視図である。また、図４は、液滴吐出ヘッド２８を説明するための図であって、（ａ）は図３に示す液滴吐出ヘッド２８に形成されているアクチュエータの断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示したアクチュエータに設けられる圧力発生素子２８ａに印加される駆動信号の基本波形図である。
【００３６】
図３及び図４に示す通り、液滴吐出ヘッドヘッド１０は、ノズル形成板４０、圧力発生室形成板４１、及び振動板４２を備えている。圧力発生室形成板４１は、圧力発生室２８ｂ、側壁（隔壁）４３、リザーバ４４、及び導入路４５を備えている。圧力発生室形成板４１はシリコン等の基板をエッチングすることにより圧力発生室２８ｂ等が形成され、圧力発生室２８ｂは吐出直前の液滴を貯蔵する空間になっている。側壁４３は圧力発生室２８ｂ間を仕切るように形成され、リザーバ４４は液滴を各圧力発生室２８ｂに充たすための流路になっている。導入路４５は、リザーバ４４から各圧力発生室２８ｂに液滴を導入可能に形成されている。
【００３７】
ノズル形成板４０は、圧力発生室形成板４１に形成された圧力発生室２８ｂの各々に対応する位置にノズル２８ｃが位置するよう、圧力発生室形成板４１の一方の面に有機系又は無機系の接着剤で貼り合わされている。ノズル形成板４０を貼り合わせた圧力発生室形成板４１は、更に筐体４６に納められてヘッド１０を構成している。振動板４２は、弾性変形可能な薄板から構成され、圧力発生室形成板４１の他方の面に有機系又は無機系の接着剤で貼り合わされている。振動板４２の各圧力発生室２８ｂの位置に対応する部分には、圧力発生素子２８ａが設けられている、尚、圧力発生素子２８ａとしては、例えば圧電振動子（ＰＺＴ）を用いることができる。
【００３８】
ここで、圧力発生素子２８ａは、図４に示す縦振動横効果のＰＺＴに限らず、撓み振動型のＰＺＴでもよい。また、圧力発生素子２８ａとしては、圧電振動子に限らず、例えば磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。また、ヒータ等の熱源によって液滴を加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成でもよい。要するに、外部から与えられる信号に応じて、後述する圧力発生室内に圧力変動を生じさせる素子であれば用いることができる。
【００３９】
次に、図４（ｂ）を参照して駆動信号ＣＯＭを構成する駆動パルスの基本波形を説明する。図４（ｂ）において、圧力発生素子２８ａを作動させるための駆動信号ＣＯＭは、基本的には、その電圧値が中間電位Ｖｍからスタートした後（ホールドパルス５１）、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの間、最大電位ＶＰＳまで一定の傾きで上昇し（充電パルス５２）、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３までの間、最大電位ＶＰＳを所定時間だけ維持する（ホールドパルス５３）。次に、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４までの間に最低電位ＶＬＳまで一定の傾きで下降した後（放電パルス５４）、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５までの間、最低電位ＶＬＳを所定時間だけ維持する（ホールドパルス５５）。そして、時刻Ｔ５から時刻Ｔ６までの間、電圧値は中間電位Ｖｍまで一定の傾きで上昇する（充電パルス５６）。
【００４０】
以上説明した駆動信号ＣＯＭが液滴吐出ヘッド２８に供給されると、液滴吐出ヘッド２８は図５に示す動作を行って液滴を吐出する。図５は、液滴吐出ヘッド２８の液滴吐出時における動作を示す図である。まず、図４（ｂ）中の時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの間において、駆動信号ＣＯＭの電圧値が緩やかに上昇する充電パルス５２を圧力発生素子２８ａに印加すると、図５（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２８に設けられた圧力発生素子２８ａが緩やかに容積を膨張させる方に撓み圧力発生室２８ｂに負圧が発生する。これによって、液状樹脂が液状樹脂室２８ｄから圧力発生室２８ｂに供給される。また、図示のようにノズル２８ｃの開口近傍に位置する液状樹脂も僅かに圧力発生室２８ｂ内部方向へ引き込まれることで、メニスカスがノズル２８ｃ内に引き込まれる。
【００４１】
次に、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３の間において、駆動信号ＣＯＭの電圧値を最大電位ＶＰＳに保持するホールドパルス５３が圧力発生素子２８ａに印加された後、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４の間において、放電パルス５４を印加すると、圧力発生素子２８ａが急速に圧力発生室２８ｂの容積を収縮させる方向に撓み、圧力発生室２８ｂに正圧が発生する。これにより、図５（ｂ）に示す通り、ノズル２８ｃから液滴Ｄ１が吐出される。
【００４２】
液滴Ｄ１が吐出されると、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５までの間、最低電位ＶＬＳを維持するホールドパルス５５が印加され、その後時刻Ｔ５から時刻Ｔ６までの間に中間電位Ｖｍまで一定の傾きで上昇する充電パルス５６が圧力発生素子２８ａに印加される。充電パルス５６が圧力発生素子２８ａに印加されると、圧力発生素子２８ａは図５（ｃ）に示すように変形して圧力発生室２８ｂ内に負圧が発生する。これにより、液状樹脂が液状樹脂室２８ｄから圧力発生室２８ｂに供給されるとともに、ノズル２８ｃの開口近傍に位置する液状樹脂も僅かに圧力発生室２８ｂ内部方向へ引き込まれ、図５（ｃ）に示す通り、メニスカスが一定の状態に維持される。
【００４３】
〔その他の実施の形態〕
以上、本発明の一実施形態による液滴吐出装置及び方法並びに液滴吐出ヘッド装置について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内において自由に変更することができる。例えば、上記実施形態においては、ヘッド１０から液滴を吐出する前に制御装置１１からヘッド１０へ吐出データＳＩを転送するようにしていた。
【００４４】
しかしながら、ヘッド１０は交換可能に構成されているため、制御装置１１とは別途にヘッド１０に対して吐出データＳＩを転送する書き込み装置を設け、この装置からヘッド１０に対して吐出データＳＩを転送してメモリ３５に記憶させるようにしても良い。かかる構成とすることで、制御装置１１からヘッド１０への吐出データＳＩの転送を皆無にすることができる。ここで、制御装置１１とは別途に設けられる書き込み装置は、例えば図２に示す制御装置１１が備えるインターフェイス２７と同様のインターフェースを有するコンピュータが挙げられる。
【００４５】
尚、上記実施形態においては、吐出データＳＩを制御装置１１からヘッド１０へ転送するようにしていたため、制御装置１１は当然ながらヘッド１０内のメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を把握している状態であった。しかしながら、制御装置１１とは別途設けられた書き込み装置を用いてメモリ３５に吐出データＳＩを記憶させる場合には、制御装置１１はヘッド１０内のメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を把握することができない。
【００４６】
本実施形態においては、メモリ３５に記憶された吐出データＳＩを用いて液滴の吐出を行う場合であっても、液滴吐出時には制御装置１１からヘッド１０へ駆動信号ＣＯＭを転送しているため、制御装置１１がメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を把握しておく必要がある。
【００４７】
このため、メモリ３５に記憶させる吐出データＳＩの種類毎に一意に定まる識別記号を予め設定しておき、液滴吐出装置１に装着されたヘッド１０内のメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を表す識別番号を図１に示すコンピュータ１Ｂから制御装置１１の制御部２４へ送信することで、制御装置１１がヘッド１０内のメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を把握可能とすることが好ましい。制御部２４は、この識別番号に基づいて吐出データＳＩの種類に応じた駆動信号ＣＯＭを駆動信号生成部２６に生成させることが可能となる。
【００４８】
また、上記の書き込み装置を用いてヘッド１０内のメモリ３５に吐出データＳＩを記憶させるときに、吐出データＳＩとともにデータＳＩの種類を示す識別番号をメモリ３５に記憶させるようにしても良い。このときには、ヘッド１０が液滴吐出装置１に装着されたときに、制御装置１１内の制御部２４から装着されたヘッド１０内のメモリ制御回路３４にメモリ制御信号ＣＭが出力されるようにし、このメモリ識別信号ＣＭに基づいてヘッド１０内のメモリ制御回路３４がメモリ３５内に記憶されてた識別番号を読み出して制御装置１１の制御部２４へ転送するようにしても良い。かかる構成としても制御部２４がヘッド１０内のメモリ３５に記憶されている吐出データＳＩの種類を把握することが可能となる。
【００４９】
更に、上記実施形態においては、メモリ３５をヘッド１０内に備えた構成としていたが、メモリ３５をヘッド１０から着脱可能にした構成であっても良い。かかる構成の場合には、メモリ３５をヘッド１０から取り外して、上記の書き込み装置を用いて吐出データＳＩをメモリ３５に記憶させる。この場合には、ヘッド１０に設けられるメモリ制御回路３４と同様の回路を上記の書き込み装置に備える必要がある。
【００５０】
［液滴吐出装置の使用例１］
図６及び図７はそれぞれ、図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。液滴吐出装置１において、図６及び図７に示す透明基板からなる基板Ｗの所定の位置にヘッド１０から感光性の透明樹脂（液滴）を吐出した後、紫外線硬化させて、透明基板上の所定位置に所定の大きさのマイクロレンズＤを形成すれば、光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイ１００Ａ、１００Ｂを製造することができる。
【００５１】
ここで、図６に示すマイクロレンズアレイ１００Ａでは、マイクロレンズＤがＸ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列されている。また、図７に示すマイクロレンズアレイ１００Ｂでは、マイクロレンズＤがＸ方向及びＹ方向に不規則に分散して形成されている。尚、マクロレンズアレイは、光インタコネクション装置の他、液晶パネルにも用いられているが、この液晶装置用のマイクロレンズを製造するにあたっても、本発明を適用したインクジェット式装置を用いれば、フォトリソグラフィ技術を用いる必要がないので、マイクロレンズアレイの生産効率を向上することができる。
【００５２】
［液滴吐出装置の使用例２］
図８は、図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図であり、図９（ａ），（ｂ）はそれぞれ、カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。図８において、液晶装置２００では、例えば、カラーフィルタ基板２２０とＴＦＴアレイ基板２３０とが所定の間隙を介して貼り合わされ、かつ、これらの基板間には電気光学物質としての液晶２４０が封入されている。ＴＦＴアレイ基板２３０において、透明基板２３１の内側の面には、画素スイッチング用のＴＦＴ（図示せず）及び画素電極２３２がマトリクス状に配置され、その表面に配向膜２３３が形成されている。これに対して、カラーフィルタ基板２２０において、透明基板２２１には、画素電極２３２に対向する位置にＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂが形成され、その表面に平坦化膜２２３、対向電極２２４、及び配向膜２２５が形成されている。
【００５３】
カラーフィルタ基板２２０において、カラーフィルタ層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂは、周りが１段又は段付きのバンク２２２で囲まれ、このバンク２２２の内側に形成されている。ここで、カラーフィルタ層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂは、図９（ａ）に示すデルタ配列、又は図９（ｂ）に示すストライプ配列等、所定のレイアウトに配置される。
【００５４】
このような構成のカラーフィルタ基板２２０を製造するにあたっては、まず、透明基板２２１の表面にバンク２２２を形成した後、図１等を参照して説明した液滴吐出装置１を用いて、各バンク２２２の内側に所定色の樹脂（液滴）を供給した後、紫外線硬化又は熱硬化させて、カラーフィルタ層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂを形成する。従って、フォトリソグラフィ技術を用いずにカラーフィルタ層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂを形成できるので、カラーフィルタ基板２２０の生産性を向上することができる。
【００５５】
［液滴吐出装置の使用例３］
図１０は、図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造される有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を利用した表示装置の構成を模式的に示す断面図である。ＥＬ表示デバイスは、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子及び正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑及び青色の発光色を呈する材料を本発明のデバイス製造装置を用いて、例えばＴＦＴ等の素子基板上に液滴吐出パターニングすることで、自発光フルカラーＥＬ表示デバイスを製造することができる。
【００５６】
本発明におけるデバイスの範囲にはこのようなＥＬ表示デバイスの基板をも含むものである。図に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、及び封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線及び駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１及び発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には、封止用基板３７１が積層されている。
【００５７】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。上述した液滴吐出装置１は、例えばバンク部３４１及び発光素子３５１を形成する際に用いられる。
【００５８】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入／輸送層３５２及び発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入／輸送層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入／輸送層形成工程は、正孔注入／輸送層３５２を形成するための第１組成物（機能液）を各画素電極３３１上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（機能液）を正孔注入／輸送層３５２の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００５９】
上記の液晶装置、有機エレクトロルミネッセンス素子は、ノート型コンピュータ及び携帯電話等の電子機器に設けられる。だだし、本発明にいう電子機器は、上記のノート型コンピュータ及び携帯電話に限られる訳ではなく、種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示したヘッド１０と制御装置１１との構成を示すブロック図である。
【図３】液滴吐出ヘッド２８の構成を示す分解斜視図である。
【図４】液滴吐出ヘッド２８を説明するための図である。
【図５】液滴吐出ヘッド２８の液滴吐出時における動作を示す図である。
【図６】図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。
【図７】図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造した光インタコネクション装置用のマイクロレンズアレイの説明図である。
【図８】図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造したカラーフィルタ基板を用いた液晶装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図９】カラーフィルタ基板における各色の配置を示す説明図である。
【図１０】図１に示す液滴吐出装置１を用いて製造される有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を利用した表示装置の構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置
１０……ヘッド（液滴吐出ヘッド装置）
１１……制御装置
２８……液滴吐出ヘッド
３４……メモリ制御回路（記憶制御部）
３５……メモリ（記憶部、記憶装置）
ＣＯＭ……駆動信号（駆動波形）
ＳＩ……吐出データ（記録データ）
【図１】
2004275921.tif 000003
【図２】
2004275921.tif 000004
【図３】
2004275921.tif 000005
【図４】
2004275921.tif 000006
【図５】
2004275921.tif 000007
【図６】
2004275921.tif 000008
【図７】
2004275921.tif 000009
【図８】
2004275921.tif 000010
【図９】
2004275921.tif 000011
【図１０】
2004275921.tif 000012