(57)【要約】【課題】平坦な透過域で、かつ低透過損失のアレイ導波路型波長分波素子を提供すること。【解決手段】導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路は、シングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０は、マルチモード型導波路で構成されている。このような構成により、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができる。【選択図】        図１
2004361660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導波路基板上に、入力ポートに接続された複数本の入力チャネル導波路と、該入力チャネル導波路に接続された入力スラブ導波路と、該入力スラブ導波路に接続され、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるチャネル導波路アレイと、該チャネル導波路アレイに接続された出力スラブ導波路と、該出力スラブ導波路に接続された複数本の出力チャネル導波路とが順次従属接続され、前記入力チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイとがシングルモード型導波路であるとともに、前記出力チャネル導波路がマルチモード型導波路であることを特徴とするアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項２】
前記出力チャネル導波路からの出力光を前記導波路基板の上面方向に反射する光路変換用ミラーと、前記導波路基板の上面に前記光路変換用ミラーからの光信号を電気信号に変換する受光素子とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項３】
前記導波路基板の端面に形成された前記出力チャネル導波路の出射端に、該出力チャネル導波路からの光信号を電気信号に変換する受光素子を備えたことを特徴とする請求項１に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項４】
前記導波路基板の上面に形成された前記出力チャネル導波路の出射端に、該出力チャネル導波路からの光信号を電気信号に変換する端面受光型受光素子を備えたことを特徴とする請求項１に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項５】
前記受光素子又は前記端面受光型受光素子に近接して、該受光素子又は該端面受光型受光素子からの信号を増幅する前置増幅器を設けたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項６】
前記受光素子又は前記端面受光型受光素子に隣接する他の受光素子又は端面受光型受光素子との間に電気的遮蔽物を設けたことを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項７】
前記受光素子がアレイ状の受光素子であることを特徴とする請求項２又は３に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項８】
前記アレイ状の受光素子と同じチップ上に構成されたアレイ状の前置増幅器とを備えたことを特徴とする請求項７に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項９】
前記端面受光型受光素子がアレイ状の端面受光型受光素子であることを特徴とする請求項４に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１０】
前記アレイ状の端面受光型受光素子と同じチップ上に構成されたアレイ状の前置増幅器とを備えたことを特徴とする請求項９に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１１】
前記出力チャネル導波路と前記端面受光型受光素子との間に屈折率整合剤が充填されていることを特徴とする請求項４，５，６，９又は１０に記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１２】
前記出力チャネル導波路の出射端の間隔を拡開させることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１３】
前記導波路基板上の同一方向に配置された前記出力チャネル導波路の隣接する出射端の位置が、同一平面上でずれるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１４】
前記導波路基板上の出力チャネル導波路の出射端をレンズ状に加工したことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【請求項１５】
前記導波路基板上の出力スラブ導波路において、前記導波路基板上のチャネル導波路アレイおよび出力チャネル導波路と接続する両端辺のうち、該チャネル導波路アレイに接続する端辺の中央を起点として、前記出力チャネル導波路に接続する端辺の両端点を通る２つの直線に挟まれる領域外に、前記出力チャネル導波路の出射端が配置されていることを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載のアレイ導波路型波長分波素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に適用されるアレイ導波路型波長分波素子に関し、より詳細には、出力チャネル導波路のみがマルチモード型導波路であるアレイ導波路型波長分波素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、波長分割多重伝送システムに適用する光受信機では、多くの異なる波長の光信号を分波する波長分波素子が必要不可欠である。この波長分波素子としては、量産性や安定性の点からアレイ導波路型波長分波素子が最も多く使われている。
【０００３】
図３０は、従来のアレイ導波路型波長分波素子の概略構成図で、図中符号８１は導波路基板、８２は入力ポート、８３は入力導波路、８４は入力スラブ導波路、８５はアレイ導波路、８６は出力スラブ導波路、８７は出力チャネル導波路、８８は出力ポート、８９はシングルモード型光ファイバアレイを示している。
【０００４】
導波路基板８１に入力ポート８２と出力ポート８８が設けられ、入力ポート８２から順次、入力導波路８３、入力スラブ導波路８４、アレイ導波路８５、出力スラブ導波路８６、出力チャネル導波路８７、出力ポート８８へと接続されている。出力ポート８８には、シングルモード型光ファイバアレイ８９が接続されて波長分波素子からの出力光が出力される。入力導波路８３とアレイ導波路８５及び出力チャネル導波路８７の各導波路は、シングルモード型導波路で構成されている。
【０００５】
アレイ導波路８５を構成する複数のチャネル導波路は、隣のチャネル導波路間で光路長が一定値だけ異なるように配置されている。入力導波路８３と入力スラブ導波路８４との接続部、アレイ導波路８５と入力スラブ導波路８４との接続部は互いに向き合った円弧上に配置され、同様に出力チャネル導波路８７と出力スラブ導波路８６との接続部、アレイ導波路８５と出力スラブ導波路８６との接続部も互いに向き合った円弧上に配置されている。
【０００６】
アレイ導波路８５の光路長差による光信号の位相遅延差が波長によって異なることを利用し、各波長に応じて光信号を異なる出力チャネル導波路８７に分波することができる。その結果、アレイ導波路型波長分波素子は波長分波機能を有することとなる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−２１１２３７号公報
【非特許文献１】
”Ａｒｒａｙｅｄ−ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  ｇｒａｔｉｎｇ  ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ  ｗｉｔｈ  ｆｌａｔ  ｓｐｅｃｔｒａｌ  ｒｅｓｐｏｎｓｅ，”  Ｏｐｔｉｃｓ  ｌｅｔｔｅｒｓ，  ｖｏｌ．  ２０，  ｎｏ．  １，  ｐｐ．  ４３−４５，  １９９５．
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来、アレイ導波路型波長分波素子は、合波器の機能も併用していたため、出力チャネル導波路８７は、シングルモード型導波路で構成されていた。しかしながら、出力チャネル導波路８７をシングルモード型導波路で構成すると、分波する光の波長において平坦な透過域で、かつ低透過損失とすることは困難であった（例えば、非特許文献１参照）。
【０００９】
図３１及び図３２は、従来のアレイ導波路型波長分波素子の特性を示す図である。いずれの図においても、横軸は波長を表わし、縦軸は透過損失を表わしている。この特性例では、８波長の波長分波素子の特性を示している。図３１に示すように、波長分波特性の透過域を平坦にすると透過損失が大きくなる。一方、図３２に示すように、透過損失を小さくすると、透過域が狭くなるという欠点があった。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、平坦な透過域で、かつ低透過損失のアレイ導波路型波長分波素子を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、導波路基板上に、入力ポートに接続された複数本の入力チャネル導波路と、該入力チャネル導波路に接続された入力スラブ導波路と、該入力スラブ導波路に接続され、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるチャネル導波路アレイと、該チャネル導波路アレイに接続された出力スラブ導波路と、該出力スラブ導波路に接続された複数本の出力チャネル導波路とが順次従属接続され、前記入力チャネル導波路と前記チャネル導波路アレイとがシングルモード型導波路であるとともに、前記出力チャネル導波路がマルチモード型導波路であることを特徴とする。（全実施形態に対応）
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記出力チャネル導波路からの出力光を前記導波路基板の上面方向に反射する光路変換用ミラーと、前記導波路基板の上面に前記光路変換用ミラーからの光信号を電気信号に変換する受光素子とを備えたことを特徴とする。（図１〜図３の実施形態に対応）
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記導波路基板の端面に形成された前記出力チャネル導波路の出射端に、該出力チャネル導波路からの光信号を電気信号に変換する受光素子を備えたことを特徴とする。（図４及び図５の実施形態に対応）
【００１４】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記導波路基板の上面に形成された前記出力チャネル導波路の出射端に、該出力チャネル導波路からの光信号を電気信号に変換する端面受光型受光素子を備えたことを特徴とする。（図６及び図７の実施形態に対応）
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項２乃至４のいずれかに記載の発明において、前記受光素子又は前記端面受光型受光素子に近接して、該受光素子又は該端面受光型受光素子からの信号を増幅する前置増幅器を設けたことを特徴とする。（図８〜図１１の実施形態に対応）
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、請求項２乃至５のいずれかに記載の発明において、前記受光素子又は前記端面受光型受光素子に隣接する他の受光素子又は端面受光型受光素子との間に電気的遮蔽物を設けたことを特徴とする。（図１２及び図１３に実施形態に対応）
【００１７】
また、請求項７に記載の発明は、請求項２又は３に記載の発明において、前記受光素子がアレイ状の受光素子であることを特徴とする。（図１４及び図１５の実施形態に対応）
【００１８】
また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、前記アレイ状の受光素子と同じチップ上に構成されたアレイ状の前置増幅器とを備えたことを特徴とする。（図１６の実施形態に対応）
【００１９】
また、請求項９に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記端面受光型受光素子がアレイ状の端面受光型受光素子であることを特徴とする。（図１７の実施形態に対応）
【００２０】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明において、前記アレイ状の端面受光型受光素子と同じチップ上に構成されたアレイ状の前置増幅器とを備えたことを特徴とする。（図１８の実施形態に対応）
【００２１】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項４，５、６，９又は１０に記載の発明において、前記出力チャネル導波路と前記端面受光型受光素子との間に屈折率整合剤が充填されていることを特徴とする。（図１９の実施形態に対応）
【００２２】
また、請求項１２に記載の発明は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の発明において、前記出力チャネル導波路の出射端の間隔を拡開させることを特徴とする。（図２０の実施形態に対応）
【００２３】
また、請求項１３に記載の発明は、請求項１乃至１２のいずれかに記載の発明において、前記導波路基板上の同一方向に配置された前記出力チャネル導波路の隣接する出射端の位置が、同一平面上でずれるように配置されていることを特徴とする。（図２１及び図２２に実施形態に対応）
【００２４】
また、請求項１４に記載の発明は、請求項１乃至１３のいずれかに記載の発明において、前記導波路基板上の出力チャネル導波路の出射端をレンズ状に加工したことを特徴とする。（図２３〜図２７の実施形態に対応）
【００２５】
また、請求項１５に記載の発明は、請求項１乃至１４のいずれかに記載の発明において、前記導波路基板上の出力スラブ導波路において、前記導波路基板上のチャネル導波路アレイおよび出力チャネル導波路と接続する両端辺のうち、該チャネル導波路アレイに接続する端辺の中央を起点として、前記出力チャネル導波路に接続する端辺の両端点を通る２つの直線に挟まれる領域外に、前記出力チャネル導波路の出射端が配置されていることを特徴とする。（図２８，図２９の実施形態に対応）
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
［実施形態１］
図１は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１について説明するための構成図で、広帯域、低損失の分波特性を実現できるアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。図中符号１１は導波路基板、１２は入力ポート、１３は入力チャネル導波路、１４は入力スラブ導波路、１５はアレイ導波路（チャネル導波路アレイ）、１６は出力スラブ導波路、２０は出力チャネル導波路、３１は受光素子を示している。
【００２７】
この実施形態１のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００２８】
図２は、アレイ導波路の各導波路間で、光路長差が小さい場合に好適なアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。この配置構成は、上述した出力スラブ導波路１６の出力端に形成される分波スペクトルの波長範囲を広くし、広い波長範囲で分波動作をさせるような場合に適用できる。この構成は、アレイ導波路１５の曲がりを小さくできるので、回路面積が小さくなる点で有利である。
【００２９】
図１及び図２において、導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は受光素子３１で受光される。アレイ導波路１５の光路長による光信号の位相遅延差が波長によって異なるため、出力スラブ導波路１６の出力端には、各波長に応じて連続的に集光位置が変化する分波スペクトルが得られる。
【００３０】
従って、出力スラブ導波路１６の出力端に任意の開口を設定すれば、中心波長と透過域が任意に設定された波長特性を得ることができる。ここで、開口とは、例えば、出力スラブ導波路１６に密着した導波路又は光ファイバであり、あるいは一部に光透過部を有するスリットでもよい。さらに、シングルモード型導波路からなるアレイ導波路によって形成される像より大きな開口を用いれば、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性が得られることになる。
【００３１】
出力スラブ導波路１６の出力端には、出力チャネル導波路２０が接続されている。出力チャネル導波路２０をシングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード型導波路とし、そのコアサイズを選べば、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができる。
【００３２】
本実施形態１のアレイ導波路型波長分波素子において、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力光を直接、受光素子３１で受光させている。そのため、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子３１との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００３３】
また、本実施形態１における複数の入力ポート１２は、その入力ポート１２に応じて光信号の透過中心波長を微調整できる機能がある。そのために出力スラブ導波路１６に接続する光ファイバアレイの配置を、入力スラブ導波路１４に接続する入力チャネル導波路１３の間隔よりわずかに広くすれば（例えば、特許文献１参照）、入力ポート１２の選択により、分波される光信号の透過中心波長を微調整することができる。微調整が不要な場合は、入力チャネル導波路１３は１本だけでも十分である。後述する各実施形態の場合も同様である。
【００３４】
図３は、アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための構成図で、出力チャネル導波路２０の出力光を直接、受光素子３１で受光させる構成を示している。図中符号３２は受光部、３３は光路変換用ミラーを示している。
【００３５】
光路変換用ミラー３３は、出力チャネル導波路２０の途中に溝を設けて、反射板を設置するか、斜めにした溝に反射膜をコーティングすることによって得られる。受光素子３１の受光部３２は、光路変換用ミラー３３に向くように設置する。このような配置にすると、出力チャネル導波路２０からの出力光は、光路変換用ミラー３３によって上方（紙面の上方向）に光路変換され、受光素子３１の受光部３２で受光される。
【００３６】
従って、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力光を直接、受光素子３１で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子３１との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００３７】
［実施形態２］
図４は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態２について説明するための構成図で、広帯域、低損失の分波特性を実現できるアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。なお、図１と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。この実施形態２のアレイ導波路型波長素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からあるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００３８】
導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は、受光素子３１で受光される。アレイ導波路１５は、シングルモード型導波路で構成されているのに対し、出力チャネル導波路２０は、シングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード型導波路としたので、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができた。
【００３９】
図５は、アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための構成図で、出力チャネル導波路２０の出力光を直接、受光素子３１で受光させる構成を示している。
【００４０】
基本構成は、上述した実施形態１とほぼ同じである。実施形態１と異なる構成は、受光素子３１の設置場所である。本実施形態２においては、受光素子３１は導波路基板１１の端面に形成されたマルチモード型出力チャネル導波路２０の出射端に設置されている。このような配置にすると、出力チャネル導波路２０からの出力光は直接、受光素子３１の受光部３２で受光される。
【００４１】
従って、図４において、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力を直接、受光素子３１で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子３１との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００４２】
［実施形態３］
図６は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態３について説明するための構成図で、広帯域、低損失の分波特性を実現できるアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。図中符号１７はテラス、３４は端面受光型受光素子を示している。なお、図１と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００４３】
この実施形態３のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００４４】
導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は、テラス１７上に配置された端面受光型受光素子３４で検出される。アレイ導波路１５は、シングルモード型導波路で構成されているのに対し、出力チャネル導波路２０は、シングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード方導波路としたので、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができた。
【００４５】
図７は、アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための構成図で、出力チャネル導波路２０の出力を直接、端面受光型受光素子３４で受光させる構成を示している。なお、図中符号３５は受光層を示している。
【００４６】
基本構成は、上述した実施形態１とほぼ同じである。実施形態１と異なる構成は、受光素子として、端面受光型受光素子３４を採用していることと、端面受光型受光素子３４の設置場所である。本実施形態３においては、端面受光型受光素子３４は、導波路基板１１に形成されたテラス１７上に設置されている。端面受光型受光素子３４は、テラス１７上に設置されている。このような配置にすると、出力チャネル導波路２０からの出力光は直接、端面受光型受光素子３４の受光層３５で受光される。
【００４７】
従って、図６において、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力を直接、受光素子３１で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、端面受光型受光素子３４との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００４８】
［実施形態４］
図８は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態４について説明するための構成図で、広帯域、低損失の分波特性を実現できるアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。図中符号３６は前置増幅器を示している。なお、図１と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００４９】
この実施形態４のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００５０】
導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は、受光素子３１で検出される。アレイ導波路１５は、シングルモード型導波路で構成されているのに対し、出力チャネル導波路２０は、シングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード方導波路としたので、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができた。
【００５１】
図９は、アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子と前置増幅器の配置を説明するための構成図で、受光素子３１と前置増幅器３６の設置状態を示している。なお、図中符号３７は電気配線を示している。
【００５２】
基本構成は、上述した実施形態１とほぼ同じである。実施形態１と異なる構成は、受光素子３１からの信号を増幅する前置増幅器３６が受光素子３１に近接して設置されていることである。受光素子３１に近接して設置された前置増幅器３６が、電気配線３７を介して受光素子３１と接続されている。このため、受光素子３１からの微小な電気信号が妨害されることなく前置増幅器３６で増幅されることになる。
【００５３】
図１０は、図７に示した実施形態３を基にした他の実施形態を示す構成図で、基本構成は、上述した実施形態３とほぼ同じである。実施形態３と異なる構成は、端面受光型受光素子３４からの信号を増幅する前置増幅器３６が端面受光型受光素子３４に近接して配置されていることである。端面受光型受光素子３４に近接して配置された前置増幅器３６が、電気配線３７を介して端面受光型受光素子３４と接続されている。このため、端面受光型受光素子３４からの微小な電気信号が妨害されることなく前置増幅器３６で増幅されることになる。
【００５４】
図１１は、図５に示した実施形態２を基にした他の実施形態を示す構成図で、図中符号、４６は受光素子用キャリア、４７はプリント基板を示している。ここで出力チャネル導波路２０の数は８本である。受光素子３１は８つのフォトダイオードである。受光素子用キャリア４６はセラミックで構成されており、その一面に受光素子３１が接着されており、電気配線３７も配置されている。プリント基板４７上には、電気配線３７および８個の前置増幅器３６が設置されている。
【００５５】
基本構成は、上述した実施形態２とほぼ同じである。実施形態２と異なる構成は、受光素子３１が受光素子用キャリア４６に搭載され、かつ受光素子３１からの信号を増幅する前置増幅器３６が受光素子３１に近接して設置されていることである。ここで、受光素子３１と前置増幅器３６が電気配線３７を介して接続されている。このため、受光素子３１からの微小な電気信号が妨害されることなく前置増幅器３６で増幅されることになる。この実施形態において、受光素子３１は同一半導体基板に作製されたアレイ状の受光素子を用いてもよい。
【００５６】
従って、図８において、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力を直接、受光素子３１で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子３１との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができる。さらに、前置増幅器３６を受光素子３１に近接して配置することにより、雑音の影響を排除することができた。
【００５７】
［実施形態５］
図１２は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態５について説明するための構成図で、アレイ導波路型波長分波素子において、電気的遮蔽物の配置を説明するための図である。図中符号３８は電気的遮蔽物を示している。なお、図１と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００５８】
導波路基板１１に、出力チャネル導波路２０と、この出力チャネル導波路２０からの出力を受光する受光素子３１とが設けられている。受光素子３１は微小信号を扱うため、外部からの雑音の影響を受けやすい。そこで、それぞれの受光素子３１との間に電気的遮蔽物３８を設ける。この電気的遮蔽物３８により、受光素子３１は外部からの雑音や受光素子相互での干渉を防止することができた。
【００５９】
図１３は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の他の実施形態を示す構成図である。導波路基板１１に、出力チャネル導波路２０と、この出力チャネル導波路２０からの出力を受光する受光素子３１と、前置増幅器３６とが設けられている。受光素子３１や前置増幅器３６は微小信号を扱うため、外部からの雑音の影響を受けやすい。そこで、それぞれの受光素子３１及び前置増幅器３６との間に電気的遮蔽物３８を設ける。この電気的遮蔽物３８により、受光素子３１及び前置増幅器３６は外部からの雑音や受光素子３１及び前置増幅器３６相互での干渉を防止することができた。
【００６０】
［実施形態６］
図１４は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態６について説明するための構成図で、広帯域、低損失の分波特性を実現できるアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。図中符号３９はアレイ状の受光素子を示している。なお、図１と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００６１】
この実施形態６のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００６２】
導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は、アレイ状の受光素子３９で受光される。アレイ導波路１５は、シングルモード型導波路で構成されているのに対し、出力チャネル導波路２０は、シングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード型導波路としたので、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができた。
【００６３】
図１５は、アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための図で、出力チャネル導波路２０の出力光を直接、アレイ状の受光素子３９で受光させる構成を示している。
【００６４】
基本構成は、上述した実施形態１とほぼ同じである。実施形態１と異なる構成は、アレイ状の受光素子３９である。本実施形態６においては、個別の受光素子を並べて受光するのではなく、出力チャネル導波路２０からの出力光は、アレイ状の受光素子３９を配置して受光される。出力チャネル導波路２０からの出力光を受光する方法は、図３などで示されているように、光路変換用ミラーを利用する。アレイ状の受光素子を配置することにより、個別の受光素子を複数個配置するよりも、位置合わせが容易になるため、製造工程が簡易化される。
【００６５】
従って、図１４において、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力を直接、受光素子３１で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、アレイ状の受光素子３９との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００６６】
［実施形態７］
図１６は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態７について説明するための構成図で、アレイ状の受光素子とアレイ状の前置増幅器を一体構造にした図である。図中符号４０はアレイ状の受光素子、４１はアレイ状の前置増幅器を示している。
【００６７】
アレイ状の受光素子４０とアレイ状の前置増幅器４１の両者は、同一チップ上に搭載されている。アレイ状の受光素子４０のみならず、アレイ状の前置増幅器４１を受光素子と同一チップに搭載することによって、受光素子と前置増幅器との間の電気配線を不要とするため、電気配線をするためのボンディング工程が不要となるのみならず、外部から電気配線への妨害雑音を排除することができた。
【００６８】
［実施形態８］
図１７は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態８について説明するための構成図で、端面受光型受光素子をアレイ状とした図である。図中符号４２はアレイ状の端面受光型受光素子を示している。なお、図６と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００６９】
この実施形態８のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板１１に、入力チャネル導波路１３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路１４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路１５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路１６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路１３とアレイ導波路１５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路２０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００７０】
導波路基板１１の端面に設けられた入力チャネル導波路１３の入力ポート１２から入力された波長多重光信号は、入力チャネル導波路１３から入力スラブ導波路１４に入射して導波路基板１１に平行方向に広げられ、さらに、アレイ導波路１５の各導波路を伝搬し、出力スラブ導波路１６で干渉し、出力チャネル導波路２０で分波されて出力されることになる。分波されたそれぞれの出力光は、テラス１７に配置されたアレイ状の端面受光型受光素子４２で受光される。アレイ導波路１５は、シングルモード型導波路で構成されているのに対し、出力チャネル導波路２０は、シングルモード型導波路よりもコアサイズの大きいマルチモード方導波路としたので、平坦な透過域で、かつ低透過損失の分波特性とすることができた。
【００７１】
出力チャネル導波路２０からの出力光が端面受光型受光素子４２で直接、受光される構成は、実施形態３を示す図７の構成とほぼ同じである。異なる構成は、端面受光型受光素子４２がアレイ状になっていることである。この端面受光型受光素子４２をアレイ状にすることによって、個別の端面受光型受光素子を配置するよりも、位置合わせが容易になるため、製造工程が簡易化される。
【００７２】
従って、図１７において、出力スラブ導波路１６に接続させる出力チャネル導波路２０のコア径をアレイ導波路１５のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができた。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路２０の出力光を直接、アレイ状の端面受光型受光素子４２で受光させると、出力チャネル導波路２０と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができた。
【００７３】
［実施形態９］
図１８は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態９について説明するための構成図で、アレイ状の端面受光型受光素子とアレイ状の前置増幅器を一体構造とした図である。図中符号４３はアレイ状の端面受光型受光素子、４４はアレイ状の前置増幅器を示している。なお、図１７と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００７４】
アレイ状の端面受光型受光素子４３とアレイ状の前置増幅器４４は、同一チップ上に搭載されている。アレイ状の端面受光型受光素子４２のみならず、アレイ状の前置増幅器４４を受光素子と同一チップに搭載することによって、受光素子と前置増幅器との間の電気配線を不要とするため、電気配線をするためのボンディング工程が不要となるのみならず、外部から電気配線への妨害雑音を排除することができた。
【００７５】
［実施形態１０］
図１９は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１０について説明するための構成図で、端面受光型受光素子で出力チャネル導波路からの出力光を受光する際に、受光効率を高めるように構成した図である。図中符号１８は屈折率整合剤を示している。なお、図１０と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００７６】
端面受光型受光素子３４の受光層３５は、一般的には薄いため、出力チャネル導波路２０から受光層３５への出力光の結合効率は高くない。そこで、出力チャネル導波路２０からの出力光が空気中を伝搬することなく、受光層３５に接合するよう屈折率整合剤１８を出力チャネル導波路２０と端面受光型受光素子３４との間に充填する。屈折率整合剤の屈折率は、出力チャネル導波路２０の屈折率と同程度が好適である。屈折率整合剤１８により出力チャネル導波路２０からの出力光の拡散を少なくすることができ、出力チャネル導波路２０から受光層３５への結合効率を向上させることができた。また、アレイ状の端面受光型受光素子、アレイ状の前置増幅器を備えるアレイ状の端面受光型受光素子でも同様の効果が期待できる。
【００７７】
［実施形態１１］
図２０は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１１について説明するための構成図で、出力チャネル導波路の出力端の間隔を広げるように構成した図である。
【００７８】
出力スラブ導波路１６の出力端における出力チャネル導波路２０の配置は、アレイ導波路型波長分波素子の分波特性に依存するため、出力スラブ導波路１６の出力端における出力チャネル導波路２０の間隔を任意に設定することはできない。受光素子３１が出力チャネル導波路２０の間隔よりも大きいときや、受光素子相互の干渉が問題になるときは、出力チャネル導波路２０の出力端の間隔を広げることによって解決することができる。
【００７９】
そこで、図２０に示すように、出力チャネル導波路２０の導波路間隔を、出力スラブ導波路１６の出力端における出力チャネル導波路２０の導波路間隔よりも拡開させる。このような配置とすることにより、隣接する受光素子３１を接触することなく配置することができ、あるいは、受光素子相互の干渉を減少させることができた。アレイ状の受光素子の場合でも同様に、アレイ素子チップ内で受光部の配置設計の自由度が拡大できた。
【００８０】
［実施形態１２］
図２１は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１２について説明するための構成図で、出力チャネル導波路の出力端の位置を平面上でずれるように配置した構成図である。なお、図２０と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００８１】
出力スラブ導波路１６の出力端における出力チャネル導波路２０の配置は、アレイ導波路型波長分波素子の分波特性に依存するため、出力スラブ導波路１６の出力側における出力チャネル導波路２０の間隔を任意に設定することはできない。受光素子３１が出力チャネル導波路２０の間隔よりも大きいときや、受光素子相互の干渉が問題になるときは、出力チャネル導波路２０の出力端の位置がずれるように配置することによって解決することができる。
【００８２】
そこで、図２１に示すように、出力チャネル導波路２０の隣接する導波路間で出力端の位置が同一平面上でずれるように配置する。このような配置とすることにより、隣接する受光素子３１を接触することなく配置することができ、あるいは、受光素子相互の干渉を減少させることができた。アレイ状の受光素子の場合でも同様に、アレイ素子チップ内で受光部の配置設計の自由度が拡大できた。
【００８３】
図２２は、アレイ導波路型波長分波素子において、出力チャネル導波路の配置を説明するための図で、受光素子を導波路基板の端面に配置した場合の実施形態を示している。本実施形態では、出力チャネル導波路２０の隣接する導波路間で出力端の位置が同一平面上でずれるように、導波路基板１１の端面を出力チャネル導波路２０の方向に対して斜めに設ける。このような配置とすることにより、隣接する受光素子３１を接触することなく配置することができ、あるいは、受光素子相互の干渉を減少させることができた。
【００８４】
［実施形態１３］
図２３は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１３について説明するための構成図で、出力チャネル導波路の出射端をレンズ状に加工した構成図である。図中符号４５はレンズ状加工部、４８は出射ビームを示している。ここで受光素子３１はフォトダイオードである。レンズ状加工部４５は導波路基板１１をエッチングして作製した。
【００８５】
マルチモード導波路である出力チャネル導波路２０は、高次モードが励振されるため、従来のシングルモード導波路に比べてスポットサイズが大きく、導波路基板端出射後のビームの拡がり角も大きい。一方、高速信号を受信するためには受光素子３１の受光径３２は小さくする必要がある。よって、受光部３２の面積が小さい受光素子３１を使用する場合、出力チャネル導波路２０と受光素子３１間にレンズを挿入する必要があった。しかし、マルチモード導波路と受光素子３１間に挿入するレンズは、その直径が２０μｍ程度と極めて微小で、実装の際の取り扱いが極めて困難であるという問題があった。
【００８６】
そこで、図２４から図２６を用いてこの現象を具体的に説明する。
図２４は、出力チャネル導波路の出射端（レンズ状加工部は設けない）と受光素子の間にバルクの球レンズ（直径Ｄ）を配置した構成図で、図２５は、受光部におけるスポットサイズＷの計算例を示す図である。ここで出力チャネル導波路２０の導波路幅を２０μｍ、厚さを４．５μｍとし、入力光波長を１．３μｍとした。図２５において、図中の空白は、現実には取り得ない領域である。この計算で分かることは、受光部におけるスポットサイズを、５μｍから８μｍの範囲に集光させるためには、球レンズ４９の出射端と受光素子間の距離Ｌを０．１μｍ以上、２０μｍ以下に設定する必要があることがわかる。これは、マルチモード導波路端を出射した基本モードとマルチモードのビームウエストの位置がそれぞれ異なり、３０μｍ以上の距離ではビームを効率良く集光できないため生じるという、マルチモード導波路に特有の現象である。そしてこの時、球レンズ４９の直径Ｄは、当然、０．１μｍ以上、２０μｍ以下にしなければならない。しかし、この寸法は極めて微小であり、チャネル導波路２０の出力端と受光素子３１間にバルクのレンズを設置することは、レンズの取り扱いが困難であるため現実的ではなかった。
【００８７】
したがって、導波路基板１１にエッチングを行い、図２３に示すように、出力チャネル導波路２０の出射端にレンズ状加工部４５を作製する。そのため、エッチング等の簡単な工程により微小なレンズ加工を作製することができ、製造における低コスト化が可能となる。具体的には、直径Ｄが０．１μｍ以上、４０μｍ以下のレンズを作製でき、０．１μｍ以上、８μｍ以下の受光径を持つフォトダイオード（一般には、５０ＧＨｚ以上の帯域をもつ）と良好な結合を得ることができる。図２６に、出力チャネル導波路端を球面レンズ状に加工した場合の受光効率を示す。このとき、球面の半径は１４μｍ、球面レンズ端と受光素子３１間の距離を２０μｍとした。レンズを構成しない場合、モード次数が高次になるに従い、受光効率は大きく劣化する。一方、レンズを構成した場合は、４次、５次など高い次数においても基本モードとほぼ同等の、高い受光効率を得ることができた。
【００８８】
本実施形態１３では、レンズの加工方法を導波路基板１１のエッチングによって作製したが、ディスペンサによって樹脂を導波路端面に塗布し、マイクロレンズを作製してもレンズ加工部４５を作製できる。また、作製したレンズは球面レンズであったが、非球面レンズやフレネルレンズやシリンドリカルレンズでも良い。
【００８９】
図２７は、出力チャネル導波路端にレンズ状加工部を配置した導波路基板を用いたモジュールの構成例を説明するための構成図で、レンズ状加工部４５を設けた導波路基板１１を用いた受信器の構成例を示している。ここで出力チャネル導波路２０の数は８本であり、それぞれの端面にレンズ状加工部４５が設置されている。導波路受光素子３１は８つのフォトダイオードである。受光素子用キャリア４６はセラミックで構成されており、その一面に受光素子３１が接着されており、電気配線３７も配置されている。プリント基板４７上には電気配線３７および８個の前置増幅器３６が設置されている。
【００９０】
本形態形態は、上述した実施形態４における図１１の構成とほぼ同じである。図１１と異なる構成は、出力チャネル導波路２０の端面にレンズ加工部４５を設けたことである。このため、受光素子３１からの微小な電気信号が妨害されることなく前置増幅器３６で増幅されることになる。本実施形態１３において、受光素子３１は同一半導体基板に作製されたアレイ状の受光素子を用いてもよい。
【００９１】
［実施形態１４］
図２８は、本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１４について説明するための構成図である。図中符号、５１は導波路基板、５２は入力ポート、５３は入力チャネル導波路、５４は入力スラブ導波路、５５はアレイ導波路、５６は出力スラブ導波路、６０は出力チャネル導波路、６１は受光素子を示している。
【００９２】
この実施形態１４のアレイ導波路型波長分波素子は、導波路基板５１に、入力チャネル導波路５３と、入力光を導波路に対して平行方向に広げるための入力スラブ導波路５４と、隣接する導波路間で所定の長さだけ長くなっている導波路からなるアレイ導波路５５と、アレイ導波路の光を干渉させるための出力スラブ導波路５６とが、順次従属接続されている。入力チャネル導波路５３とアレイ導波路５５の各導波路はシングルモード型導波路で構成されているとともに、出力チャネル導波路６０はマルチモード型導波路で構成されている。
【００９３】
図２９は、アレイ導波路の各導波路間で、光路長差が小さい場合に好適なアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。この配置構成は、上述した出力スラブ導波路５６の出力端に形成される分波スペクトルの波長範囲を広くし、広い波長範囲で分波動作をさせるような場合に適用できる。この構成は、アレイ導波路５５の曲がりを小さくできるので回路面積が小さくなる点で有利である。
【００９４】
図２８及び図２９において、出力スラブ導波路５６の、アレイ導波路５５と接続する端辺をＰＱとし、出力チャネル導波路６０と接続する端辺をＳＴとしている。辺ＰＱの中央を点Ｒとし、点Ｒを起点として点Ｓ，Ｔそれぞれを通る２つの直線に挟まれる領域を斜線で示している。本実施形態１４においては、上述の斜線で示した領域外に受光素子６１が配置されている。図２８においては、出力チャネル導波路６０の直線部分を延長することにより、図２９においては、出力チャネル導波路６０を屈曲させることにより、前述の配置を実現している。
【００９５】
この受光素子６１の配置により、本発明のアレイ導波路型波長分波素子に入射した光のうち、出力チャネル導波路６０には伝播せず、出力スラブ導波路５６の端辺ＳＴより漏れる一部の光が、受光素子６１で受光され、分波スペクトルのクロストーク特性が劣化するのを抑制することができた。
【００９６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、出力スラブ導波路に接続させる出力チャネル導波路のコア径をアレイ導波路のコア径より大きく設定することにより、平坦な透過域で、かつ低透過損失の波長分波素子を得ることができる。さらに、光ファイバを通すことなく出力チャネル導波路の出力を直接、受光素子で受光させると、出力チャネル導波路と光ファイバとの接続光損失を排除でき、かつ、受光素子との接続用に光ファイバが不要となるため、装置実装上の点から小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１を説明するための構成図である。
【図２】アレイ導波路の各導波路間で、光路長差が小さい場合に好適なアレイ導波路型波長分波素子を示す図である。
【図３】アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための図である。
【図４】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態２を説明するための構成図である。
【図５】アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための図である。
【図６】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態３を説明するための構成図である。
【図７】アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための図である。
【図８】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態４を説明するための構成図である。
【図９】アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子と前置増幅器の配置を説明するための図である。
【図１０】実施形態３を基にした他の実施形態を示す構成図である。
【図１１】実施形態２を基にした他の実施形態を示す構成図である。
【図１２】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態５を説明するための構成図である。
【図１３】本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の他の実施形態を示す構成図である。
【図１４】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態６を説明するための構成図である。
【図１５】アレイ導波路型波長分波素子において、受光素子の配置を説明するための図である。
【図１６】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態７を説明するための構成図である。
【図１７】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態８を説明するための構成図である。
【図１８】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態９を説明するための構成図である。
【図１９】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１０を説明するための構成図である。
【図２０】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１１を説明するための構成図である。
【図２１】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１２を説明するための構成図である。
【図２２】アレイ導波路型波長分波素子において、出力チャネル導波路の配置を説明するための図である。
【図２３】本発明のアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１３を説明するための構成図である。
【図２４】出力チャネル導波路端と受光素子間にバルクの球レンズを配置した場合の構成を説明する図である。
【図２５】出力チャネル導波路端と受光素子間にバルクの球レンズを配置した場合の特性を説明するための図である。
【図２６】出力チャネル導波路端にレンズ状加工部を配置した場合の特性を説明するための図である。
【図２７】出力チャネル導波路端にレンズ状加工部を配置した導波路基板を用いたモジュールの構成例を説明するための図である。
【図２８】本発明に係るアレイ導波路型波長分波素子の実施形態１４について説明するための構成図である。
【図２９】アレイ導波路の各導波路間で、光路長差が小さい場合に好適なアレイ導波路型波長分波素子の構成図である。
【図３０】従来のアレイ導波路型波長分波素子の構成を説明するための図である。
【図３１】従来のアレイ導波路型波長分波素子の特性を説明するための図である。
【図３２】従来のアレイ導波路型波長分波素子の特性を説明するための図である。
【符号の説明】
１１  導波路基板
１２  入力ポート
１３  入力チャネル導波路
１４  入力スラブ導波路
１５  アレイ導波路
１６  出力スラブ導波路
１７  テラス
１８  屈折率整合剤
２０  出力チャネル導波路
２１  出力ポート
３１  受光素子
３２  受光部
３３  光路変換用ミラー
３４  端面受光型受光素子
３５  受光層
３６  前置増幅器
３７  電気配線
３８  電気的遮蔽物
３９，４０  アレイ状の受光素子
４１  アレイ状の前置増幅器
４２，４３  アレイ状の端面受光型受光素子
４４  アレイ状の前置増幅器
４５  レンズ状加工部
４６  受光素子用キャリア
４７  プリント基板
４８  出射ビーム
５１  導波路基板
５２  入力ポート
５３  入力チャネル導波路
５４  入力スラブ導波路
５５  アレイ導波路
５６出力スラブ導波路
６０  出力チャネル導波路
６１  受光素子
８１  導波路基板
８２  入力ポート
８３  入力導波路
８４  入力スラブ導波路
８５  アレイ導波路
８６  出力スラブ導波路
８７  出力チャネル導波路
８８  出力ポート
８９  シングルモード型光ファイバアレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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