(57)【要約】【課題】プローブカードにおいて１個の集積回路チップに対応するプローブ群をチャンネルと呼ぶと、複数のチップを同時に測定する複数のチャンネルの配列あるいはチャンネルの識別番号の並びがどのようであっても容易に対応できるようにすること。【解決手段】各チャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に複数配列して表示部に表示し、この中からチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群をマウスで指定し、チャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、識別番号に従ってマウスで順次番号付けし、識別番号の番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータ構造として、チャンネルのレイアウトと識別番号とを対応づけたチャンネル情報を得るようにプログラムを作成する。そしてプローブ装置側では各種のプローブカードに対して共通の検査用のプログラムを用意し、このチャネル情報を用いて検査を行う。【選択図】　図１７
2004055910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードを支持する支持機構と、載置台とを備え、集積回路チップが複数形成された被検査基板を前記載置台に載置し、複数のチャンネルを夫々複数の集積回路チップの電極パッドに同時に接触させてテスタにより集積回路チップの検査を行うプローブ装置において、
使用されるプローブカードのチャンネルのレイアウトと識別番号とを含むチャンネル情報を入力する手段と、
入力されたチャンネル情報を記憶するチャンネル情報記憶部と、
検査される被検査基板の集積回路チップのレイアウトを記憶するチップレイアウト記憶部と、
前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報及びチップレイアウト記憶部に記憶された集積回路チップのレイアウトに基づいて、被検査基板の検査を行うことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
チャンネル情報は、プローブカードの複数のチャンネルの中で識別番号毎にチャンネルの相対座標が対応付けられているデータであることを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
チャンネル情報は、プローブカードの複数のチャンネルの中で識別番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータであることを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウト及びチップレイアウト記憶部に記憶された集積回路チップのレイアウトに基づいて、被検査基板をプローブに接触させるときの載置台の位置を制御するためのアライメントプログラムを備えたことを特徴とする請求項１、２または３記載のプローブ装置。
【請求項５】
被検査基板の集積回路チップの配列のイメージが表示される表示部と、テスタから送られた各集積回路チップの検査結果と前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報とに基づいて各集積回路チップの検査結果を、前記表示部にイメージで表示された集積回路チップに重ねて表示するための表示プログラムと、を備えた請求項１ないし４のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報をテスタに送信するための送信プログラムを備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項７】
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動自在に設けられ、プローブの先端を撮像するための撮像手段と、前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウトに基づいて前記撮像手段の位置を制御してプローブの先端を撮像し、各チャンネルのプローブが適切か否かを判定するためのプログラムとを備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項８】
集積回路チップの電極パッドにおけるプローブの接触跡を撮像するための撮像手段と、前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報に基づいてこの撮像手段に対する載置台の相対位置を制御してプローブの接触跡を撮像し、各チャンネルの接触跡が適切か否かを判定するためのプログラムとを備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項９】
前記載置台に載置された研磨体と、前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウトに基づいて、載置台の位置を制御してプローブを研磨体に接触させて研磨するためのプログラムとを備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項１０】
チャンネル情報を入力する手段は、外部のコンピュータからチャンネル情報を取り込むための手段であることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項１１】
チャンネル情報を入力する手段は、画像を指定することによりチャンネル情報を入力するための表示部を備えたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項１２】
チャンネル情報を入力する手段は、マトリックス状にチャンネル領域群を表示する表示部と、この表示部の表示画像の中から使用するプローブカードに対応したチャンネルのレイアウトを指定する手段を含むものであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかまたは請求項１１に記載のプローブ装置。
【請求項１３】
チャンネル情報を入力する手段は、使用するプローブカードに対応したチャンネルのレイアウトを表示する表示部と、表示されたチャンネルのレイアウトに対して識別番号を指定する手段を含むものであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかまたは請求項１１あるいは１２に記載のプローブ装置。
【請求項１４】
チャンネル情報を入力する手段は、自動でチャンネルの識別番号を指定する手段を含むものであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかまたは請求項１１ないし１３のいずれかに記載のプローブ装置。
【請求項１５】
被検査基板に形成された集積回路チップを、１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードにより検査するときに用いられるチャンネル情報を作成するプログラムにおいて、
各チャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に複数配列して表示部に表示する第１のステップと、
マトリックス状に表示されたチャンネル領域群の中からプローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群が指定されたときに、指定されたチャンネル領域群を前記表示部に表示する第２のステップと、
指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号が指定されたときに、チャンネルのレイアウトと各チャンネルの識別番号とを対応づけたチャンネル情報を作成する第３のステップと、
を実行するためのものであることを特徴とするプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項１６】
第１のステップは、プローブカードのチャンネルのレイアウトにおいて横方向に並ぶチャンネルの最大数ｎと縦方向に並ぶチャンネルの最大数ｍの入力を受け付けて、チャンネルが横にｎ個、縦にｍ個並ぶマトリックス状の配列を表示部に表示するステップであることを特徴とする請求項１５記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項１７】
プローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群の指定は、マウスのポインタをチャンネル領域上を移動させて行われることを特徴とする請求項１５または１６記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項１８】
チャンネルの識別番号の指定は、表示されているチャンネル領域群の中の各チャンネル領域に対してオペレータが入力手段を用いて順番に指定して行われることを特徴とする請求項１５ないし１７のいずれかに記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項１９】
チャンネルの識別番号の指定は、マウスを用いて行われ、ポインタが位置するチャンネル領域に対応するチャンネル番号が表示されることを特徴とする請求項１８記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項２０】
番号が付けられたチャンネル領域は、番号が付けられていないチャンネル領域とは異なる表示がされることを特徴とする請求項１５ないし１９のいずれかに記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項２１】
第３のステップにて記憶部に格納されるチャンネル情報は、複数のチャンネルの中で識別番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータであることを特徴とする請求項１５ないし２０のいずれかに記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項２２】
第２のステップと第３のステップとの間に、指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号を自動設定モード及び任意設定モードのいずれのモードで指定するのかを選択させるステップが介在し、
自動設定モードは、識別番号が１番目のチャンネルに対応するチャンネル領域と識別番号が順番に並ぶ方向とを設定することにより自動的にチャンネル領域に番号が付けられるモードであり、
任意設定モードは、表示されているチャンネル領域群の中の各チャンネル領域に対してオペレータが入力手段を用いて１番づつ番号付けを行うモードであることを特徴とする請求項１５ないし２１のいずれかに記載のプローブカードのチャンネル情報作成プログラム。
【請求項２３】
被処理基板に形成された集積回路チップを、１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードにより検査するときに用いられるチャンネル情報を作成する装置において、
各チャンネルに対応するチャンネル領域を表示するための表示部と、
各チャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に複数配列して表示部に表示する手段と、
マトリックス状に表示されたチャンネル領域群の中からプローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群を指定する手段と、
指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号を指定する手段と、
前記チャンネル領域群の指定及びチャンネルの識別番号の指定に基づいて、チャンネルのレイアウトと各チャンネルの識別番号とを対応づけたチャンネル情報が記憶されるチャンネル情報記憶部と、を備えたことを特徴とするプローブカードのチャンネル情報作成装置。
【請求項２４】
プローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群を指定する手段は、マウスであることを特徴とする請求項２３記載のプローブカードのチャンネル情報装置。
【請求項２５】
チャンネルの識別番号を指定する手段は、表示されているチャンネル領域群の中の各チャンネル領域に対して１番づつ番号付けを行うための入力手段であるを特徴とする請求項２３または２４に記載のプローブカードのチャンネル情報作成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハなどに形成された複数の集積回路チップの電気的特性をプローブカードを用いて検査するプローブ装置、及びプローブカードのチャンネル情報作成プログラム並びにプローブカードのチャンネル情報作成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程においては、ウエハ製造プロセスが終了して半導体ウエハ（以下ウエハという）内に集積回路素子が完成した後、各集積回路素子の電気的特性を調べるためにプローブ装置によるプローブテストと呼ばれる検査が行われ、ウエハの状態で集積回路素子の良否が判定される。その後ウエハはチップとして分断され、良品のチップについてはパッケージングされる。なお本明細書においては、ウエハ上の集積回路素子を集積回路チップと呼ぶものとする。
【０００３】
プローブ装置は、図２４に示すように多数のプローブ例えばプローブ針１１と各プローブ針１１に対応する接点１２とを有するプローブカード１３を用い、プローブ針１１をウエハＷ上の各チップ１４における電極パッドに接触させ、このプローブ針１１を通じて図示しないテスタから検査信号をチップ１４に供給して各チップ１４の電気的特性を検査するようにしている。
一方複数のチップに同時に接触するマルチプローブカードも用いられている。マルチプローブカードは、１チップに対応するプローブ群をチャンネルと呼ぶことにすると、複数チャンネルを備えたものである。例えば図２５の点線枠は３個のチップ１４を、またこの中に描かれた小さな丸はプローブ針１１を夫々示しており、これらプローブ針１１の群は、３チャンネル（ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３）を構成していて３チップ同時にコンタクトする。このようなプローブカードを用いれば、ウエハＷとプローブカードとのコンタクトの回数が少なくなるので、検査時間を短縮できる利点がある。
【０００４】
そして最近ではプローブ針に代わってバンプをプローブとして用いるものも開発されつつあり、バンプを用いることによりチャンネルのレイアウトつまり複数のチャンネルの配列形状についての自由度が大きくなる。プローブ針を用いる場合には一列にチャンネルが並ぶ形状が一般的であったが、バンプを用いる場合には複数列並ぶ形状、あるいは縦横にチャンネルが並ぶ全体が四角形状のもの、更には一辺が階段状になるように配列された特殊な形状のプローブカードを作成することが可能である。図２４ではウエハＷ上のチップ１４の配列は簡略化されているが、実際にはウエハＷを有効に利用するためにチップ領域の外縁部分はウエハＷの周縁に沿って階段形状になっており、このため本発明者はプローブカード側のチャンネルのレイアウトを工夫することにより、プローブとチップとのコンタクトの回数を減らすことができる点に着目している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでテスタにより各チャンネルを通じてチップ１４の検査を行うためには、プローブカード側のチャンネルとテスタ側のチャンネルとを整合させる必要がある。即ちテスタ側のチャンネルには番号が割り当てられており、例えばこの番号順にデータを取り込んでその番号に応じたメモリアドレスにデータが書き込まれるが、テスタからプローブカードのチャンネルを通じてチップに信号を送信し、そのチップからプローブカードのチャンネルを通じて応答信号を受信するためにはテスタ側のどのチャンネルとプローブカード側のどのチャンネルとが接続されるのかを決める必要がある。またこのようにチャンネルの接続を決めておかないと、プローブ装置がテスタから検査結果を受け取ったときにどのチップの検査結果かが分からないことになる。
【０００６】
一方従来のプローブ装置は、テスタに設定されたチャンネルとプローブカードのチャンネルと合わせるためにプローブカードの種類毎に検査用プログラムを作成していたので、チャンネル群のレイアウトが変わる場合には検査用プログラムを入れ替えなければならない。またチャンネルの識別番号（プローブカード側のチャンネルに割り当てられる番号）については、プローブとチップとがコンタクトした後、従来は例えばチャンネルの並びの端から順番に既定されていた。しかし本発明者はチャンネルの識別番号の並び（識別番号順序）を定型化すると、テスタ側における信号路の使用順序をプローブカード側のチャンネルの識別番号の並びに合わせ込む必要があることから、チャンネルの識別番号の並びについても定型的でない場合を想定している。このようにチャンネルの識別番号の並びが特殊なプローブカードを用いる場合にも検査用プログラムを入れ替えなければならない。従って従来の手法では、プローブカードのチャンネルのレイアウトや識別番号の並びが変わる度に検査用プログラムを変更しなければならず、プログラムの作成の手間がかかるし、また検査現場においても作業が煩わしいという課題がある。
【０００７】
本発明はこのような背景の下になされたものであり、本発明の目的は、プローブカードのチャンネルのレイアウトや識別番号の並びが変わっても、対応が容易なプローブ装置を提供することにある。また本発明の他の目的は、プローブカードのチャンネルのレイアウトや識別番号の並びが変わったときに、プローブ装置側での対応が容易になるプローブカードのチャンネル情報作成プログラム及びプローブカードのチャンネル情報作成装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードを支持する支持機構と、載置台とを備え、集積回路チップが複数形成された被検査基板を前記載置台に載置し、複数のチャンネルを夫々複数の集積回路チップの電極パッドに同時に接触させてテスタにより集積回路チップの検査を行うプローブ装置において、
使用されるプローブカードのチャンネルのレイアウトと識別番号とを含むチャンネル情報を入力する手段と、
入力されたチャンネル情報を記憶するチャンネル情報記憶部と、
検査される被検査基板の集積回路チップのレイアウトを記憶するチップレイアウト記憶部と、
前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報及びチップレイアウト記憶部に記憶された集積回路チップのレイアウトに基づいて、被検査基板の検査を行うことを特徴とする。チャンネル情報を入力する手段は、例えば外部のコンピュータからチャンネル情報を取り込むための手段として構成してもよいし、プローブ装置にチャンネル情報を作成するプログラムを入れておいて、直接プローブ装置内のメモリ（記憶部）に入力するための入力装置例えばキーボードやマウスなどにより構成してもよい。
【０００９】
本発明のプローブ装置によれば、プローブカードのチャンネルのレイアウト及び識別番号を含むチャンネル情報を入力しているので、今まで使用していたプローブカードとは種類の異なるプローブカード、即ちチャンネルのレイアウト及び識別番号の少なくとも一方が異なるプローブカードにより被検査基板の検査を行うときには、チャンネル情報の書き換えを行うことで対応できる。
【００１０】
チャンネル情報は、例えば識別番号毎にチャンネルの相対座標が対応づけられているデータとして構成され、この場合プローブカードの複数のチャンネルの中で識別番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータとすることが好ましく、このようにすればデータ構造が簡単であるし、解読も容易である。またプローブ装置にチャンネル情報を作成するプログラムを入れておく構成においては次のような構成とすることができる。
【００１１】
チャンネル情報を入力する手段は、画像を指定することによりチャンネル情報を入力するための表示部を備えた構成
チャンネル情報を入力する手段は、マトリックス状にチャンネル領域群を表示する表示部と、この表示部の表示画像の中から使用するプローブカードに対応したチャンネルのレイアウトを指定する手段とを含む構成
チャンネル情報を入力する手段は、使用するプローブカードに対応したチャンネルのレイアウトを表示する表示部と、表示されたチャンネルのレイアウトに対して識別番号を指定する手段とを含む構成
チャンネル情報を入力する手段は、自動でチャンネルの識別番号を指定する手段を含む構成
また本発明のプローブ装置は、次のような構成とすることができる。
【００１２】
チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウト及びチップレイアウト記憶部に記憶された集積回路チップのレイアウトに基づいて、被検査基板をプローブに接触させるときの載置台の位置を制御するためのアライメントプログラムを備えた構成
被検査基板の集積回路チップの配列のイメージが表示される表示部と、テスタから送られた各集積回路チップの検査結果と前記記憶部に記憶されたチャンネル情報とに基づいて各集積回路チップの検査結果を、前記表示部にイメージで表示された集積回路チップに重ねて表示するための表示プログラムと、を備えた構成前記記憶部に記憶されたチャンネル情報をテスタに送信するための送信プログラムを備えた構成
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動自在に設けられ、プローブの先端を撮像するための撮像手段と、前記記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウトに基づいて前記撮像手段の位置を制御してプローブの先端を撮像し、各チャンネルのプローブが適切か否かを判定するためのプログラムとを備えた構成
集積回路チップの電極パッドにおけるプローブの接触跡を撮像するための撮像手段と、前記チャンネル情報記憶部に記憶されたチャンネル情報に基づいてこの撮像手段に対する載置台の相対位置を制御してプローブの接触跡を撮像し、各チャンネルの接触跡が適切か否かを判定するためのプログラムとを備えた構成
前記載置台に載置された研磨体と、前記記憶部に記憶されたチャンネルのレイアウトに基づいて、載置台の位置を制御してプローブを研磨体に接触させて研磨するためのプログラムとを備えた構成
他の発明のチャンネル情報作成プログラムは、被検査基板に形成された集積回路チップを、１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードにより検査するときに用いられるチャンネル情報を作成するプログラムにおいて、
各チャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に複数配列して表示部に表示する第１のステップと、
マトリックス状に表示されたチャンネル領域群の中からプローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群が指定されたときに、指定されたチャンネル領域群を前記表示部に表示する第２のステップと、
指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号が指定されたときに、チャンネルのレイアウトと各チャンネルの識別番号とを対応づけたチャンネル情報を作成する第３のステップと、
を実行するためのものであることを特徴とする。
【００１３】
このようなプログラムによれば、チャンネルのレイアウトを任意に設定することができ、四角形でない複雑なレイアウトであっても簡単に設定することができる。またチャンネルの識別番号を任意に設定でき、不規則な識別番号であっても容易に対応できる。
【００１４】
第１のステップは、プローブカードのチャンネルのレイアウトにおいて横方向に並ぶチャンネルの最大数ｎと縦方向に並ぶチャンネルの最大数ｍの入力を受け付けて、チャンネルが横にｎ個、縦にｍ個並ぶマトリックス状の配列を表示部に表示するステップとしてもよい。プローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群の指定は、マウスのポインタをチャンネル領域上を移動させて行われるようにしてもよい。チャンネルの識別番号の指定は、表示されているチャンネル領域群の中の各チャンネル領域に対してオペレータが入力手段を用いて順番に指定して行われるようにしてもよい。またチャンネルの識別番号の指定は、マウスを用いて行われ、ポインタが位置するチャンネル領域に対応するチャンネル番号が表示されるようにしてもよい。番号が付けられたチャンネル領域は、番号が付けられていないチャンネル領域とは異なる表示がされるようにしてもよい。第３のステップにて記憶部に格納されるチャンネル情報は、複数のチャンネルの中で識別番号の番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータとすることが好ましい。また第２のステップと第３のステップとの間に、指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号を自動設定モード及び任意設定モードのいずれのモードで指定するのかを選択させるステップが介在し、
自動設定モードは、識別番号が１番目のチャンネルに対応するチャンネル領域と識別番号が番号順に並ぶ方向とを設定することにより自動的にチャンネル領域に番号が付けられるモードであり、
任意設定モードは、表示されているチャンネル領域群の中の各チャンネル領域に対してオペレータが入力手段を用いて１番づつ番号付けを行うモードであるようにしてもよい。
【００１５】
更に他の発明は、被処理基板に形成された集積回路チップを、１個の集積回路チップに対応するプローブ群であるチャンネルを複数備えたプローブカードにより検査するときに用いられるチャンネル情報を作成する装置において、
各チャンネルに対応するチャンネル領域を表示するための表示部と、
各チャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に複数配列して表示部に表示する手段と、
マトリックス状に表示されたチャンネル領域群の中からプローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域群を指定する手段と、
指定されたチャンネル領域群の中のチャンネル領域の各々に対して、集積回路チップの検査時におけるチャンネルの識別番号を指定する手段と、
前記チャンネル領域群の指定及びチャンネルの識別番号の指定に基づいて、チャンネルのレイアウトと各チャンネルの識別番号とを対応づけたチャンネル情報が記憶される記憶部と、を備えたことを特徴とするプローブカードのチャンネル情報作成装置である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態であるプローブ装置及びプローブカードのチャンネル情報作成装置を組み合わせたプローブシステムを示す概略図である。図中１００はプローブ装置、２００はテスタ、３００はプローブカードのチャンネル情報作成装置である。初めにこのプローブシステムについて簡単に説明しておくと、プローブカードのチャンネルのレイアウトと識別番号とを定めたチャンネル情報をチャンネル情報作成装置３００によりプローブカードの種類毎に作成し、このチャンネル情報を通信でプローブ装置１００に送信する。一方プローブ装置１００は、ウエハとプローブとの位置合わせのためのアライメントプログラム、テスタ２００からの検査結果を表示するための表示プログラムなど、各プローブカードに共通なプログラムを備えており、これらプログラムと前記チャンネル情報とに基づいて種々の処理を行い、こうすることによりプローブカードの種類が変わってもプログラムの入れ替えを行わなくても済むようにしたものである。
【００１７】
以下に上記システムの詳細について説明する。図１及び図２において、２１は装置の外装体をなす筐体であり、この筐体２１の中には載置台２２が設けられている。この載置台２２はボールネジ、ガイド機構、パルスモータなどを含むＸ方向駆動部２２ａ、Ｙ方向駆動部２２ｂ及びＺ方向駆動部２２ｃによりＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動できるように、またθ方向駆動部２２ｄにより鉛直軸の回りに回転できるように構成されている。
【００１８】
筐体２１の上面部には支持機構であるリング体２３が設けられ、このリング体２３の下部にプローブカード３が水平に取り付けられている。プローブカード３は図２に示すようにカード本体３１の下面にプローブ３２が設けられ、またカード本体３１の上面には、前記プローブ３２に夫々電気的に接続されている電極３０が配列されている。プローブ３２としては例えば金バンプ電極などのバンプ電極であってもよいし、プローブ針であってもよいが、この例ではバンプ電極により構成されている。図３は、ウエハＷに形成されている一部の集積回路チップ（以下単に「チップ」という）４０を点線で示し、チップ４０に対応してプローブカード３に設けられたプローブ３２を微少な丸印で示している。点線からなる１個の四角部分は、電極パッドを含む１個のチップ４０を表しており、この例ではチップ４０が縦、横に２個づつ配列された合計４個のチップ４０を表している。プローブ３２は各チップ４０に対応して配列されており、つまり各チップ４０の電極パッドの配列に夫々対応して配列されており、１個のチップ４０に対応するプローブ群をチャンネルと呼ぶことにすると、このプローブカード３は、チャンネルが縦、横に２個づつ配列されたものである。
【００１９】
一方図２には、載置台２２に関連する部分を詳しく記載してある。２２ｅで示す部分はＺ方向駆動部２２ｃにより昇降する昇降部であり、この昇降部２２ｃには第１の撮像手段２４と、この第１の撮像手段２４の合焦面に対して光軸と交差する方向に進退機構２５により進退自在なターゲット２６とが設けられている。更に載置台２２とプローブカード３との間の領域には例えば横方向に移動自在な第２の撮像手段２７が設けられている。これら撮像手段２４、２７は例えばＣＣＤカメラ及び光学系などをから構成される。
【００２０】
筐体２１の上部には、プローブカード３を通じてウエハＷ上のチップ４０に検査信号を供給し、チップ４０から戻ってきた信号に基づいて各チップ４０の電気的特性を測定して、その良否を判定するためのテスタ２００がヒンジ機構３３により水平軸の回りに回動自在に支持されている。プローブカード３とテスタ２００との間には、コンタクトリング３４が介在し、このコンタクトリング３４によりプローブカード３の上面の電極３０（図１参照）とテスタ２００側の電極とが接続される。
【００２１】
筐体２１の上部には、オペレータが操作し、装置の運転条件の設定や制御を行う例えばコンピュータからなる制御部４が設けられている。図４は制御部４を示す構成図であり、４１はバス、４２はＣＰＵ（中央処理部）、４３はプローブカード３のチャンネル情報、ウエハＷ上のチップ４０のレイアウト、及び後述するチップ４０群に対するチャンネルの割り振りパターンを記憶する第１の記憶部（メモリ）、４４はテスタ２００から送信された各チップ４０の検査結果を格納する第２の記憶部（メモリ）、４５は液晶パネルなどの表示部である。なお各プログラムについては便宜上ブロックで示している。この例では第１の記憶部４３は、チャンネル情報を記憶するチャンネル情報記憶部とチップのレイアウトを記憶するチップレイアウト記憶部とを含んでいる。
【００２２】
チャンネル情報とは、チャンネルのレイアウトと識別番号とを定めたものであり、チャンネルのレイアウトとは、チャンネル同士がどのように配列されているかを定めるものであって、例えば図３に示す例では、チャンネルが横に２個並ぶ列が２列配列された（Ｘ方向に２個並ぶ列がＹ方向に２列に並ぶ）四角形状であり、具体的には各チャンネルの相対位置関係を規定した情報である。
【００２３】
そしてチャンネルの識別番号とは、「発明が解決しようとする課題」の項目で既に説明したが、テスタ２００とプローブ装置１００との間でデータの送受信を行う際の整合性を取るための番号であり、テスタ２００が各チャンネルを通じてチップ４０について検査するときに識別番号に基づいて検査信号を送信しまたチップ４０から応答信号を受け取るときに識別番号に応じて応答信号を受信するものである。即ちプローブカード３の各チャンネルに識別番号が指定されることにより、テスタ２００はテスタ２００側のどのチャンネルをプローブカード３側のどのチャンネルと接続するのかが分かる。例えばテスタ２００のチャンネル１に対して、プローブカード３のチャンネルの中で識別番号１を指定されたチャンネルと信号の授受を行うことになる。
【００２４】
図５（ａ）に示す例では、４個のチャンネルのうち右下のチャンネルが１番、左上のチャンネルが２番、右上のチャンネルが３番、左下のチャンネルが４番であり、１番から４番までのチャンネルは夫々ＣＨ１〜ＣＨ４で表わされている。
【００２５】
チャンネル情報のデータは、図５（ｂ）に示すように４個のチャンネルの中で識別番号の番号順にチャンネルのオフセット座標（相対座標）が配列されたものである。オフセット座標とはこの例では１番目のチャンネルＣＨ１の座標をＸ＝０、Ｙ＝０とし、チャンネル１個分にＸ、Ｙで決まる１個の座標を割り当て、Ｘ、Ｙの正の方向に離れているときには「＋」を、またＸ、Ｙの負の方向に離れているときには「−」を割り当てたときの他のチャンネルＣＨ２〜ＣＨ４のＸ、Ｙ座標の位置を指すものである。そしてこの例ではデータの先頭にプローブカード３に設けられたチャンネルの総数（マルチ数）が配置されており、その後にチャンネルＣＨ１から順番にオフセット座標が記載されている。より具体的にはチャンネル情報は図５（ｃ）に示すようにマルチ数、チャンネルＣＨ１のオフセットＸ座標、チャンネルＣＨ１のオフセットＹ座標、………チャンネルＣＨ４のオフセットＹ座標の各々が１６ビットのデータとして第１の記憶部４３内にこの順のアドレスに書き込まれる。
【００２６】
チャンネル情報をこのように構成することにより、チャンネルのレイアウト及び識別番号を任意にかつ簡単なデータ構造で設定することができ、例えば図６、図７に示すようなレイアウトであっても設定が容易である。
【００２７】
またチップ４０のレイアウト（ウエハマップ）とは、ウエハＷ上にチップ４０がどのように並んでいるか例えばウエハＷの中心に対する各チップ４０の相対座標を示すデータである。更にまたチップ４０群に対するチャンネルの割り振りパターンとは、チップ４０群に対してチャンネルをどのように割り振ってコンタクトさせるかを決めるものであり、その一例を図８に模式的に示す。図８（ａ）はチップ４０のレイアウトを示し、図８（ｂ）はチャンネルが割り振られた状態を示し、実線の四角は４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４からなるチャンネル群つまり同時にコンタクトされるチャンネル群を示している。
【００２８】
この例ではチャンネル情報、チップ４０のレイアウト及びチャンネルの割り振り情報は、例えば後述する外部のコンピュータからなるチャンネル情報作成部３００により設定され、通信ケーブル例えばＬＡＮケーブル４６を介して第１の記憶部４３に取り込まれる。なおチャンネル情報作成部３００にて作成されたチャンネル情報などの情報をプローブ装置１００に入力する手法は非接触による通信例えば赤外線による通信、あるいはフレキシビルディスクなどのメモリ媒体を利用して行ってもよい。特許請求の範囲に記載した「チャンネル情報を入力する手段」及び「チップのレイアウトを入力する手段」とは、ＬＡＮケーブル４６を用いた場合には、プローブ装置１００側に設けられた、通信を行うためのハード構成、プログラムなどが相当し、メモリ媒体を利用する場合には、例えばフレキシビルディスクドライブなどのデータ取り込み機器、データ読み込みプログラムなどが相当する。
【００２９】
更に制御部４は、互いに異なるプローブカードに共通な種々のプログラムを備えている。図４を参照すると、Ｐ１は情報取り込みプログラムであり、ＬＡＮケーブル４６から送信されたチャンネル情報等を第１の記憶部４３に書き込むためのものである。Ｐ２は画像処理プログラムであり、前記第１の撮像手段２４、第２の撮像手段２７により撮像された画像データを処理するためのものである。Ｐ３はアライメントプログラムであり、画像データにより求められたプローブ３２の位置及びウエハＷ上のチップ４０の位置とチャンネル情報とチップ４０のレイアウト（ウエハマップ）と後述するチップ４０群に対するチャンネルの割り振りパターンとに基づいてウエハＷとプローブカード３との位置合わせ、つまりウエハＷ上のチップ４０群に対してプローブ３２を接触（コンタクト）させるための動作を制御するプログラムである。
【００３０】
Ｐ４は送受信プログラムであり、第１の記憶部４３内のチャンネル情報をテスタ２００に送信し、またプローブ３２とウエハＷとの１回のコンタクト毎に、この例では４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４と４個のチップ４０とが接触する毎にテスタ２００から各チップ４０の検査結果を取り込んで第２の記憶部４４に書き込むためのプログラムである。Ｐ５は表示プログラムであり、表示部４５にウエハＷ上のチップ４０の配列のイメージを表示した後、プローブ３２をウエハＷに接触させる度毎に、テスタ２００から送信されるチップ４０の検査結果（良否）をチャンネル情報を参照しながら、前記チップに重ねて表示するためのプログラムである。Ｐ６、Ｐ７、ｐ８はプローブ３２としてプローブ針を用いる場合に使用されるプログラムであり、夫々チップ４０の電極パッドに刺さったプローブ針の針跡を検査するためのプログラム、針先を検査するためのプログラム、及び針先を研磨するためのプログラムである。これらプログラムＰ１〜Ｐ８は、図には示されていないメモリ内に記憶されている。なお図４において４７は、載置台２２を駆動する既述の各駆動部（２２ａ〜２２ｄ）を１個のブロックでまとめて示したものである。
【００３１】
次に上述のプローブシステムの作用について説明する。初めに、使用するプローブカード３のチャンネル情報、チップ４０のレイアウト（ウエハマップ）及びチップ４０群に対するチャンネルの割り振りパターンとをチャンネル情報作成装置３００により作成し、ＬＡＮケーブル４６を介して情報取り込みプログラムＰ１によりプローブ装置１００の第１の記憶部４３内に書き込む。チャンネル情報等の作成については後述する。このチャンネル情報は送受信プログラムＰ４によりテスタ２００に送信する。チャンネル情報がチャンネル情報作成装置３００からプローブ装置１００に送信され、またプローブ装置１００からテスタ２００に送信されるときの通信データは、図５（ｃ）に示すデータ構造とされる。そしてオペレータが制御部４を操作することにより図示しないウエハキャリアから図示しないアームによりウエハＷが取り出されて載置台２２に載置される。次いでアライメントプログラムＰ２により次のようにして一連のアライメントを行う。
【００３２】
次いで図９（ａ）に示すように第２の撮像手段２７の焦点がターゲット２６に位置するように既述の駆動部２２ａ〜２２ｃにより載置台２２を移動する。第１の撮像手段２４の焦点は前記ターゲット２６上に位置するように設定されているので、このときの載置台２２の位置を把握しておくことにより、いわば共通の撮像手段でウエハＷ及びプローブ３２を撮像できることになる。
【００３３】
続いて図９（ｂ）に示すように第２の撮像手段２７によりウエハＷ上の特定点例えばウエハＷの中心点及び周方向に等間隔に付した４つの特定点を撮像し、この撮像結果に基づいてウエハＷ上の各チップ４０の位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ座標の座標位置）を正確に割り出す。また図９（ｃ）に示すように第１の撮像手段２４によりプローブカード３のプローブ３２を撮像してその位置（Ｘ、Ｙ、Ｚ座標の座標位置）を正確に求める。プローブ３２の位置の求め方については、例えば第１列左端のプローブ３２に対して特定の位置関係となるようにプローブカード３に設けられたターゲットマークを捜し、そのターゲットマークの位置と第１の記憶部４３に記憶されているチャンネル情報とに基づいて各チャンネルの概ねの位置を把握して第１の撮像手段２４により撮像を行い、その撮像結果に基づいて各チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４の位置を正確に求める。ウエハＷは予めアライメントされてから載置台２２上に搬入されるので、プローブカード３のチャンネルの並びとウエハＷ上のチップ４０の並びとは概ね合っているが、撮像結果に基づいて両者の並ぶ方向が正確に一致するように載置台２２が回転する。
【００３４】
既述のようにチップ配列に対するチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４の割り振り（図８（ｂ）参照）が決まっており、各チップ４０及び各チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４の正確な位置が分かったので、チップ４０とプローブ３２つまりチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４とが一括して正確にコンタクトするように駆動部４６を介して載置台２２の位置を制御できることになる。テスタ２００側では既にチャンネル情報が送られているのでチャンネルの数（マルチ数）を把握しており、チップ４０とチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４とがコンタクトすると、４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４に対してテスタ２００から検査信号が順次送られ、その後チップ４０から応答信号がテスタ２００に送られる。テスタ２００ではこの応答信号に基づいてチップ４０の良否を判定し、チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４に対応させて検査結果を制御部４に送る。するとプローブ装置１００側では図１０に示すように検査結果が第２の記憶部４４に記憶される。
【００３５】
表示プログラムＰ５は、第２の記憶部４４に記憶されている検査結果を表示部４５に表示されているチップ配列のイメージに重ねて表示する処理を行うが、検査結果からのみでは各チップ４０とチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４との対応関係が分からないので表示できない。そこで第１の記憶部４３に記憶されているチャンネル情報を参照することにより、４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４がどこに位置しているかが分かるので、即ち４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４に一括コンタクトされている４個のチップ４０のどのチップがどのチャンネルに対応しているかが分かるので、各チップ４の良否をチップ配列のイメージに重ねて表示することができる。図１０では、例えば３回目のコンタクトが行われているときの４個のチップ４０の良否を表示している状態を示している。チップ４０の良否の表示は、例えば良品であるチップ４０と不良品であるチップ４０との色を分けることにより行われる。
【００３６】
なおこの例ではチップ配列の１列目と２列目とをコンタクトした後、３列目と４列目とをコンタクトしているが、例えば２列目と３列目とをコンタクトするような場合には測定エリアが重なってしまう。そこで測定エリアが重なることとなるチャンネルについては、何回目のコンタクトを有効にするか（測定状態とするか）をチャンネル情報作成部３００で作成して第１の記憶４３内に取り込んでおくようにしてもよい。
【００３７】
ここで第１の記憶部４３内のチャンネル情報は次の処理を行うときにも使用される。例えばプローブ３２がプローブ針である場合に、例えば予め設定された設定枚数の検査が終了したとき、その設定枚数の最後のウエハＷのチップ４０の電極パッドの接触跡である針跡の位置が適切であるか否かについて、針跡チェックプログラムＰ６を用いて検査を行う。この検査は図８に示すように割り振られた各コンタクトに係るチャンネルに対応する４個のチップ４０の組み合わせの中から予め選択された４個のチップ４０の電極パッドを第２の撮像手段２７により撮像することにより行う。図１１はチップ４０の群の中から選択されたチャンネルに対応する４個のチップ４０を電極パッド４００も含めて記載した図であり、これら電極パッド４００の１個づつについて針跡４０１を観察する。その観察結果と第１の記憶部４３内のチャンネル情報とに基づいて、各チャンネルの接触状態の良否が判定できる。例えば針跡４０１の位置が電極パッド４００の中心から所定の距離だけ離れている場合には、その電極パッド４００がチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４のうちのどのチャンネルに対応するのかを把握でき、そのチャンネルにより測定されたチップ４０を割り出して、それらチップ４０について再検査を行う。なおそのときまで使用されていたプローブカード３は新しいプローブカードと交換する。
【００３８】
また例えば予め設定された設定枚数の検査が終了したとき、プローブ３２の先端が適切な状態であるかを検査する。例えばプローブ針を用いる場合には針先チェックプログラムＰ７により針先が適切な状態であるか否かを検査する。この検査は第１の撮像手段２４により針先を観察することにより行われ、その観察結果と第１の記憶部４３内のチャンネル情報とに基づいて、各チャンネルの状態の良否が判定できる。この場合も不良なチャンネルにより検査されたチップ４０について再検査を行う。
【００３９】
更にまた例えばプローブ３２がプローブ針である場合に、例えば予め設定された設定枚数の検査が終了したとき、針先研磨プログラムＰ８により針先を研磨する。この研磨は載置台２２に研磨体例えば研磨板を載置し、この研磨板の表面にプローブ３２の先端を押し当て、また載置台２２を動かすことにより行われる。図１２は研磨板５の表面を示す図であり、５１は既にプローブ３２の研磨が行われた使用済み領域である。針先研磨プログラムＰ８は図示しないメモリ内の情報に基づいてこの研磨板５における使用済み領域５１の座標を把握しており、第１の記憶部４３内のチャンネル情報に基づいてこのチャンネルのレイアウトが分かるので、未使用済み領域にどのように４個のチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４（図１２では便宜上符号５２で示してある）を割り当てるかを判断し、割り当てた領域にてチャンネルＣＨ１〜ＣＨ４が研磨されるように載置台２２を制御する。
【００４０】
上述のプローブ装置によれば、アライメントプログラムＰ３などの各プログラムを互いに種類の異なるプローブカード３に対して共通化し、プローブカード３のチャンネルのレイアウト及び識別番号を含むチャンネル情報を外部のコンピュータであるチャンネル情報作成装置３００から取り込んでいるので、今まで使用していたプローブカード３とはチャンネルのレイアウト及び識別番号の少なくとも一方が異なるプローブカード３によりウエハＷの検査を行うときには、一連のプログラム例えば上記のプログラムＰ３〜Ｐ８を交換せずにチャンネル情報の書き換えを行うことで対応できる。従って迅速に次の検査に移行することができるし、またプローブカード３の種類毎にプログラムを用意しなくて済むのでプログラムの作成の手間が軽減でき、更にプログラムの管理の手間がかからない。
【００４１】
そしてチャンネル情報を図５（ｂ）にしたように識別番号の番号順ににチャンネルのオフセット座標（相対座標）が配列されたデータとして管理しているので、チャンネルのレイアウト及び識別番号を任意にかつ簡単なデータ構造で設定することができ、従って任意のレイアウト、識別番号を容易に設定できる。また各プログラムはそのチャンネル情報を容易に解読できるので、各プログラムをチャンネル情報の異なるプローブカード３に対して共通化できる。
【００４２】
次に図１に示したプローブカードのチャンネル情報作成装置３００及びこれに用いられる本発明のチャンネル情報作成プログラムの実施の形態について説明する。このチャンネル情報作成装置３００はコンピュータ例えばパーソナルコンピュータが用いることができ、制御系の構成を図１３にてブロック図で示す。６１はバス、６２はＣＰＵ、６３は例えばＬＣＤ画面などからなる表示部、６４はキーボードやマウスなどからなる入力手段である。７は記憶部であるプログラムメモリであり、チャンネル情報作成プログラム７１、及びチップ配列の表示等を行うプログラム７２が格納されている。６５はプログラム７１、７２で作成されたチャンネル情報などを格納する記憶部である。
【００４３】
このチャンネル情報作成装置３００を用いてチャンネル情報を作成する様子について図１４を参照しながら説明する。先ず表示部６３の画面により「特殊任意マルチ設定」のボタンを選択すると（ステップＳ１）、図１５に示す画面が表示され、使用するプローブカードのチャンネルのレイアウトにおいて、Ｘ方向の最大のチャンネル数とＹ方向の最大チャンネル数を設定する（ステップＳ２）。今ここではＸ＝１２、Ｙ＝８を入力するものとして進める。この設定を行った後、「マルチレイアウト設定」のボタンを押すと（ステップＳ３）、図１６に示すように各チャンネルに対応するチャンネル領域８１がマトリックス状に複数配列されて表示され（ステップＳ４）、この例では１２×８個のマトリックスが表示される。なお「チャンネル領域８１がマトリックス状に複数配列され」とは、Ｘ＝１を設定してチャンネル領域８１が縦に１列に並ぶ場合、Ｙ＝１を設定してチャンネル領域８１が横に１列に並ぶ場合のいずれをも含むものとする。
【００４４】
続いて図１７に示すようにマトリックス状に表示されたチャンネル領域８１群の中から、使用するプローブカードのチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域８１群を入力手段６４により指定、例えばマウスにより指定する（ステップＳ５）。これにより、指定されたチャンネル領域８１群が指定されない領域群と区別されて表示される（ステップＳ６）。なお「チャンネル有効」ボタンを押すと指定された領域が有効になり、「最終位置解除」ボタンを押すと直前に指定されたチャンネル領域８１が無効になり、「全解除」ボタンを押すと指定領域が全て初期化される。チャンネル領域８１を指定後、「チャンネル有効」ボタンを押し、「設定」ボタンを押すことにより（ステップＳ７）画面が図１５の状態に戻る。
【００４５】
次いでチャンネルの識別番号を設定するが、チャンネル情報作成プログラム７１には、自動設定モードと任意設定モードとが用意されており、オペレータはこのいずれかを図１５の画面により選択する（ステップＳ８）。任意設定モードを選択し、「チャンネル任意設定」ボタンを押すと、図１８に示すように既に指定したチャンネル領域８１のレイアウトが表示され、これらチャンネル領域８１群の中からチャンネルの識別番号に対応する順番にチャンネル領域８１を指定する。例えばマウスにより、識別番号が１番のチャンネルに対応するチャンネル領域８１から順次クリックすることにより識別番号を指定する（ステップＳ９）。このような操作を行うと、クリックされたチャンネル領域８１は、指定されない領域と区別されるように異なる表示がされ、例えば青色の枠が表示される。また既に識別番号が指定されたチャンネル領域８１において、マウスポインタの下のチャンネル領域８１に対応するチャンネル番号が画面の左下の「マウスポインタ下のチャンネル番号」の欄に表示される（ステップＳ１０）。従って例えば６番まで指定し、１番に対応するチャンネル領域８１の位置にマウスポインタを移動させると、前記欄に「１」が表示される。図１９は左端上のチャンネル領域８１から右下斜めに順番に６個のチャンネル領域８１を指定した様子を概念的に示すが、この例に係る装置においては実際に各チャンネル領域８１内に番号は表示されない。なおチャンネル領域８１を指定した順に例えば図１９のようにクリックした順にチャンネル領域８１内にチャンネル番号が表示されるようにしてもよい。
【００４６】
全てのチャンネルについてチャンネル番号の設定が終了した後、「設定」ボタンを押すことにより設定が確定し（ステップＳ１１）、こうして設定された各チャンネルの識別番号が既に設定したチャンネルのレイアウトと対応づけられてチャネル情報として図示しないワークメモリに一旦記憶され、そして図示しない画面上のメニューバーから「ファイル」→「保存」を選択して保存先の記憶部６５に、設定したデータ即ちチャンネル情報を記憶する（ステップＳ１２）。図１３に示す記憶部６５は例えばハードディスク、フレキシビルなディスクなどが相当する。また「最終位置解除」ボタンを押すと、直前に設定されたチャンネル領域のチャンネル番号が解除され、「全解除」のボタンを押すと、全てのチャンネル番号が解除される。
【００４７】
一方ステップＳ８の後、図１５に示す画面により自動設定モードを選択すると、この場合同画面により「スタート位置」を設定し（ステップＳ１３）、更に「方向」を設定する（ステップＳ１４）ことにより自動的に規則的に識別番号（番号）が設定される。ここで「スタート位置」とは、図１８に表示されているチャンネル領域８１のうちの第１番目のチャンネルに相当する位置であり、「方向」とは第１番目のチャンネルに相当するチャンネル領域から縦、横のうちのどの方向にその後に続く番号列が並ぶのかを決めるパラメータである。「スタート位置」及び「方向」を設定したときの第１番目のチャンネルＣＨ１の位置は図２０に示す通りである。また「スタート位置」を左上に設定したときに、「方向」を横に設定した場合のチャネルの順番の並びの例を図２１（ａ）に、「方向」を縦に設定した場合のチャネルの順番の並びの例を図２１（ｂ）に夫々示す。チャンネル番号の設定が終了した後、「設定」ボタンを押すことにより設定が確定し（ステップＳ１５）、既述の任意設定モードのときと同様に、設定したデータ（チャンネル情報）を記憶部６５に記憶する（ステップＳ１２）。
【００４８】
このチャネル情報のデータは既に図１２により説明したように複数のチャンネルの中で識別番号の番号順にチャンネルの相対座標が配列されているデータ構造となって保存される。
【００４９】
更に記憶部６５内には、チャンネル情報の他に、検査するウエハのチップのレイアウトの情報とチップのレイアウトに対するチャンネルのコンタクトエリアの割り振りの情報が保存され、この情報は図１３に示すプログラム７２を用いて作成される。例えば画面の図示しないメニューバー内の設定メニューから品種設定のダイアログを選択することにより図２２に示す画面が表示され、チップサイズ即ちＸ方向及びＹ方向のサイズを入力し、ウエハサイズを選択し、ウエハの位置合わせ部がオリエンテーションフラット（オリフラ）なのかノッチなのかを入力し、オリフラの場合にはその位置を入力する。相互に隣接するチップ間の離間距離は予め分かっているので、これらの入力情報により図２３に示すようにウエハＷのイメージにチップ４０の配列のイメージを重ねて表示することができる。ウエハＷの周縁から一定の距離だけ内側に位置するチップ４０の配列がチップのレイアウトに相当し、例えばウエハＷの中心に対する各チップ４０の座標位置が求まり、そのデータが記憶部６５内に保存される。なお図２３中黒丸の付したチップは測定対象のチップから外れる。この例では記憶部６５は、チャンネル情報記憶部及びチップレイアウト記憶部とを兼用している。
【００５０】
またチップのレイアウトが決まると、予め決められた規則に基づいてチャンネルの割り振り（例えば図８参照）が決められ、各回のコンタクト時においてどのチップ群にチャンネルがコンタクトするのかを決めるデータ、即ちチャンネルとチップ群との対応関係のデータが記憶部６５に記憶される。この割り振りはオペレータが任意に設定するようにしてもよい。また既述のように、例えば２列目と３列目とをコンタクトするような場合には測定エリアが重なってしまうが、このように測定エリアが重なることとなるチャンネルについては、何回目のコンタクトを有効にするか（測定状態とするか）を決める情報を記憶部６５に記憶しておくようにしてもよい。
【００５１】
この実施の形態では、チャンネル情報作成装置３００はプローブ装置１００とは別個に用意したコンピュータにより構成している。この理由はプローブ装置１００に対する負荷が大きくならないようにするためであるが、プローブ装置１００と一体化しても、つまり上述のチャンネル情報作成プログラムをプローブ装置１００にロードして用いてもよい。
【００５２】
このようなチャンネル情報作成プログラム７１をチャンネル情報作成装置３００にロードしてチャンネル情報を作成すれば次のような効果がある。即ちチャンネルに対応するチャンネル領域をマトリックス状に配列して表示し、この中からチャンネルのレイアウトに対応する領域を指定しているのでレイアウトを任意に設定することができ、四角形でない複雑なレイアウトであっても簡単に設定することができる。またレイアウトが指定されたチャンネル領域に対して例えばマウスにより識別番号を指定できるので、識別番号を任意に設定でき、不規則な識別番号の並びであっても容易に対応できる。従って新たなレイアウトのプローブカードが作成された場合、そのプローブカード用の新規なソフトウエアを開発しなくても、チャンネル情報を新たに作成すればよいので、ソフトウエハの開発にかかる手間やコストを削減できる。
【００５３】
チャンネル領域に識別番号を指定するときに指定された領域と指定されない領域とが例えば色枠の表示により区別しているので指定操作がやりやすいし、指定ミスを起こしにくい。また任意設定モードと自動設定モードのいずれかを選択できるようにしているので、チャンネルの識別番号の並びが規則的なプローブカードに対しては自動設定モードを、またチャンネルの識別番号の並びが不規則なプローブカードに対しては任意設定モードを選択するなど、柔軟な対応がとれる。
【００５４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、プローブカードのチャンネルのレイアウトや識別番号の並びが変わっても、容易に対応できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ装置を含むプローブシステムの全体構成図である。
【図２】上記プローブ装置を示す縦断側面図である。
【図３】プローブカードのプローブの配列をウエハ上のチップに対応させて示す説明図である。
【図４】上記プローブ装置の制御部の一例を示す構成図である。
【図５】チャンネル情報及びそのデータ構造をイメージとして示す説明図である。
【図６】チャンネル情報及びそのデータ構造をイメージとして示す説明図である。
【図７】チャンネル情報及びそのデータ構造をイメージとして示す説明図である。
【図８】ウエハ上のチップの配列とプローブカードのチャンネルのコンタクトの割り振りの様子とを示す説明図である。
【図９】第１、第２の撮像手段によりチップとプローブとを撮像する様子を示す側面図である。
【図１０】表示部においてチップの配列イメージに検査結果を重ねて表示する様子を示す説明図である。
【図１１】チップの針跡を検査する様子を示す平面図である。
【図１２】プローブ針の研磨を行う研磨体の表面と研磨領域とを対応して示す説明図である。
【図１３】本発明のチャンネル情報作成装置の実施の形態で用いられる制御系の構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の実施の形態であるチャンネル情報作成プログラムを用いてチャンネル情報作成装置が実行するステップを示すフロー図である。
【図１５】チャンネル情報を作成するときの最初の画面を示す説明図である。
【図１６】チャンネル領域がマトリックス状に配列された画面を示す説明図である。
【図１７】マトリックス状に配列されたチャンネル領域を用いてチャンネルのレイアウトを指定する様子を表す画面を示す説明図である。
【図１８】指定されたチャンネルのレイアウトに対応するチャンネル領域を表示する画面を示す説明図である。
【図１９】レイアウトが指定されたチャンネル領域対してチャンネルの識別番号を指定する様子を表示する画面を示す説明図である。
【図２０】チャンネルの識別番号を自動設定モードで設定するときのパラメータの内容を示す説明図である。
【図２１】チャンネルの識別番号を自動設定モードで設定したときの番号付けの一例を示す説明図である。
【図２２】ウエハ上のチップ配列を設定するための入力用画面を示す説明図である。
【図２３】ウエハとチップ配列をイメージで示す画面を示す説明図である。
【図２４】従来のプローブ装置においてプローブカードとウエハとを示す斜視図である。
【図２５】従来のプローブカードのチャネルとチップとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１００　　　　　　　プローブ装置
２００　　　　　　　テスタ
３００　　　　　　　チャンネル情報作成装置
２１　　　　　　　　筐体
２２　　　　　　　　載置台
２４　　　　　　　　第１の撮像手段
２７　　　　　　　　第２の撮像手段
３　　　　　　　　　プローブカード
３２　　　　　　　　プローブ
４　　　　　　　　　制御部
４０　　　　　　　　チップ
４２　　　　　　　　ＣＰＵ
４３　　　　　　　　第１の記憶部
４４　　　　　　　　第２の記憶部
４５　　　　　　　　表示部
Ｐ３　　　　　　　　アライメントプログラム
Ｐ４　　　　　　　　送受信プログラム
Ｐ５　　　　　　　　表示プログラム
Ｐ６　　　　　　　　針跡チェックプログラム
Ｐ７　　　　　　　　針先チェックプログラム
Ｐ８　　　　　　　　針先研磨プログラム
５　　　　　　　　　研磨板
５１　　　　　　　　研磨が行われた使用済み領域
６２　　　　　　　　ＣＰＵ
６３　　　　　　　　表示部
６５　　　　　　　　記憶部
７　　　　　　　　　プログラムメモリ
７１　　　　　　　　チャンネル除法作成部
７２　　　　　　　　プログラム
８１　　　　　　　　チャンネル領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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