(57)【要約】【課題】セラミックトランスを用いたオゾン発生装置で、オゾン発生を微細に調整でき安定に保ち制御すること。【解決手段】発振器・高電圧電源となるセラミックトランスと、オゾン発生用電極を一体化した構造とし、オゾン発生用電極を構成する９本の針電極がセラミックトランスの２次側平板電極側端面と水平に相対して並設され、かつ前記各針電極のギャップ長を異なる構成にすることで、オゾン発生濃度を高めかつ発生量を安定的にし、セラミックトランスの１次側電圧を変化させることで、２次側電圧を調整し、これにより微細なオゾン発生を調整できるものとした構成である。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
高電圧電源（２）とオゾン発生用電極（１０）を一体的に備えたオゾン発生装置（１）であって、高電圧電源（２）はセラミックトランス（４）からなり、オゾン発生用電極（１０）は前記セラミックトランス（４）の２次側電極(７)を平板電極に共用し、相対して設けられた複数本の針電極（９）からなることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
高電圧電源（２）とオゾン発生用電極（１０）を基台に一体的に備えたオゾン発生装置（１）であって、高電圧電源（２）は発振器（３）とセラミックトランス（４）からなり、前記セラミックトランス（４）は厚み方向に相対して１次側電極（５）がそれぞれ形成された駆動部（６）と側端面に２次側電極（７）が形成された発電部（８）とからなり、かつ前記セラミックストランス（４）は緩衝部材で基台に支持され、前記オゾン発生用電極（１０）は複数本の針電極（９）として構成し前記２次側電極（７）の側端面と相対して設けたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項３】
前記セラミックトランス（４）は板状で、ジルコンチタン酸鉛で生成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のオゾン発生装置。
【請求項４】
前記複数本の針電極（９）は、前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）である側端面と一直線で水平に相対して構成されたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のオゾン発生装置。
【請求項５】
前記針電極（９）は１番針乃至９番針からなる９本の針が並んで配置され、９本の針幅の合計は前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）の側端面の幅とほぼ等しいことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のオゾン発生装置。
【請求項６】
前記針電極（９）と前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）を相対して配置した構成のギャップの長さは、両端側の前記針電極（９）が中央部に比較して離れていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のオゾン発生装置。
【請求項７】
前記針電極（９）と２次側電極（７）のギャップの長さは、１番針＝９番針＜２番針＝８番針＜３番針＝４番針＝５番針＝６番針＝７番針であることを特徴とする請求項６に記載のオゾン発生装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、針対セラミックトランス電極を使用したオゾン発生装置に関する。
具体的には、発振器とセラミックトランスからなる高電圧電源及び針電極を用いた高周波放電により空気からオゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の環境問題の焦点は、身近な生活空間の問題だけでなく、地球規模の環境問題へと広がりつつある。
その中でオゾンについては、オゾンホールやオゾン層修復といった成層圏のオゾンを対象にした言葉をよく耳にする。フロンガスなどの溶媒が大気の上層部に達し、地上２０〜３０ｋｍの所に安定しているオゾン層を破壊して、いわゆるオゾンホールを形成する。
この領域のオゾンは、太陽からの紫外線によって酸素から生成してオゾン層を形成し、太陽からの有害な紫外線をカットして地球上の生物を守っている。
【０００３】
ところでこのオゾンは、自然界ではフッ素に次ぐ２番目に強い酸化性を備えている。
この化学的に活性な性質を利用して、殺菌、脱色、脱臭等多くの用途にオゾンが用いられている。
オゾンは常温で自然分解し酸素に戻る性質がある。
従っていつまでも残留して害をもたらす恐れがないから、塩素に代わる次世代の殺菌、酸化剤として注目を集めている。
もっとも化学的に活性な性質であることは、保存、管理乃至調整の難しさを伴っている。更に大量のオゾンは人間や生物の呼吸器を破壊する作用もあるなど危険な物質である。従って、その使用にあたって衛生上や安全上の配慮を十分にする必要がある。
生活空間でオゾンを使用するためには、オゾンを適量、適所で用いることが必要で、その条件を守ることにより、快適で健康な生活空間を創り出すことができる。
【０００４】
特に最近では、小事業所や一般の家庭においても簡便に脱臭、カビ防止等を行えるように、オゾンの発生量を簡単に適量調整できる、小型で、安全なオゾン発生装置の開発が期待されている。
【０００５】
基本的なオゾンの発生方法には電解法、光化学反応法、紫外線照射法、放射線照射法、プラズマ放電法、無声放電法、コロナ放電法、高周波放電法、等があるが、本考案は高圧電源を用いた高周波放電法によるものである。
本考案では、高電圧電源として電磁形の巻線トランスを用いないで、自己昇圧型放電電極である急峻な周波数特性を有するセラミックトランスと、針電極を用いている。
オゾン発生装置で用いるセラミックトランスは小型化が可能な点で絶対的に有用であり、セラミックの本質的な非爆性（防爆性）による安全性の高さもまた技術的優位性がある。
更にセラミックトランスは、人体に有害な外部ノイズの少なさでも有用である。
急峻な周波数特性のあるセラミックトランスを用いて、なおオゾン制御性の高いオゾン発生装置の開発が求められていた。
因みに、針電極を用いた小型のオゾン発生装置には、次のような先例技術がある。
【特許文献１】特開２００１−８９１０９  オゾン発生装置
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、セラミックトランスを用いたオゾン発生装置にすると、セラミックトランスの持つ急峻な昇圧比特性により、オゾン発生を、適当に排出、抑制制御することが容易にはできない点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案は、セラミックトランスとオゾン発生用電極を基台に一体化した構造で、前記の課題に対応するものである。
更には、オゾン発生装置のオゾン発生用電極を針電極として、その構成について考察を行い、最適な電極構成、配置、ギャップ構成にしたことを特徴とする。
そして、セラミックトランスの１次側電圧を変化させることで、オゾンの発生制御を微細に調整できるものであることを特徴とする。
【考案の効果】
【０００８】
後述するように、本考案のセラミックトランスを用いたオゾン発生装置は、非常にコンパクトに構成することができ、小事業所や一般の家庭において用いることが可能になり、トイレ、車内等狭い場所でも使用することができるようになる。
更には、オゾンの発生制御を微細に調整でき、しっかりと制御管理できるだけでなく、必要なときに必要なだけ発生させることができる。
より具体的にはセラミックトランスの１次側電圧を変化させることによりオゾン発生量を０．０２〜１００〔ｐｐｍ〕まで調整できるようになる。
更には、２４時間の連続運転によってもオゾン発生量が変化しないという利点がある。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００９】
本考案に係るオゾン発生装置（１）を実施するための最良の形態は、まずセラミックトランス（４）をスポンジゴム等によって２点支持する形態である。
これによってオゾン発生用電極（１０）を構成する２次側電極（７）の側端面と相対して設けられた針電極（９）との間に高電圧を安定的にかけることが可能になる。
更に、この２次側電極（７）と針電極（９）との間に生じる電界をより均一に保つように針電極（９）を水平に保ち、かつ個別針ごとにそのギャップ長を変化させることによってオゾン濃度を高めることを実現した。
具体的には、高電圧電源（２）とオゾン発生用電極（１０）を基台に一体的に備えたオゾン発生装置（１）であって、高電圧電源（２）は発振器（３）とセラミックトランス（４）からなり、前記セラミックトランス（４）は厚み方向に相対して１次側電極（５）がそれぞれ形成された駆動部（６）と側端面に２次側電極（７）が形成された発電部（８）とからなり、かつ前記セラミックストランス（４）はスポンジゴム等の緩衝部材で基台に最小接点で支持され、前記オゾン発生用電極（１０）は複数本の針電極（９）として構成し前記２次側電極（７）の側端面と相対して設けたことを特徴とするオゾン発生装置である。
前記セラミックトランス（４）は、共振周波数は略５４ＫＨｚ〜５８ＫＨｚであり、長さ６１ミリ、幅１３ミリ、厚さ２ミリ等の板状であって、ジルコンチタン酸鉛で作成されている。
前記複数本の針電極（９）は、前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）である側端面とギャップをもって配置されるが、一直線で水平に相対して構成されている、
又、前記針電極（９）は１番針乃至９番針からなる９本の針が並んで配置され、９本の針幅の合計は前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）の側端面の幅とほぼ等しい。
更に、前記針電極（９）と前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）を相対して配置した構成のギャップの長さは、両端側の前記針電極（９）が中央部に比較して離れていること
換言すれば両端側の前記針電極（９）が平面視で略放物線状に離れて長くなるように配置される。
【実施例１】
【００１０】
図３におけるセラミックトランス（４）は圧電性物質を焼結、成形したもので、寸法は、長さ６１ミリ、幅１３ミリ、厚さ２ミリで、材質はジルコンチタン酸鉛で板状の素子である。
本素子の駆動部（６）は、上下面に１次側電極（５）を付け、厚み方向に分極処理し、発電部（８）は右端面に２次側電極（７）を付け、長さ方向に分極処理したものである。
セラミックトランス（４）の動作は、駆動部（６）に電圧を印加すると圧電効果により電気振動から機械振動に変換され、セラミックトランス（４）中を伝播する。
電界は厚み方向に加えられるが、ポアソン結合により全体が長さ方向に共振する。
セラミックトランス（４）の長さ方向で決まる共振周波数を印加した場合、定在波が生じ伝搬された振動が振幅変換され、その振動が大きくなる。
圧電効果により、機械振動から電気振動に変換され電気的に振幅の大きくなった振動が得られる。
【００１１】
セラミックトランス（４）は板全体で振動しているため、なるべく振動を阻害しないように支持する必要がある。
セラミックトランス（４）を支持する方法は、セラミックトランス（４）をなるべく小さい接触面積で、スポンジゴムなどの中にはさみこむか、あるいは塩ビ等の緩衝部材により基台に支持する方法がある。図1・図２の実施例では、基台に前後２つの枠を立設して、その枠にセラミックトランス（４）を橋架している。
振動を阻害しない支持手段は、振幅最小地点での最小限度の接触面積での支持になる。
【００１２】
図４に示した形状のセラミックトランス（４）は、トランスとして実用上十分な昇圧比を得ることが出来る振動モードをもつ。
１つは、素子の中心で振幅が最小になる１／２波長である。
もう１つが、振幅が最小になる地点が２つある１波長である。
本考案において、セラミックトランス（４）の振動モードは、λ振動モードを採用している。
その理由は、支持方法が容易になるからである。セラミックトランス（４）を支持する場合は、振幅が最小になる位置を塩ビ等を用いて支持する。
図４の右図のように振幅が最小になる地点が２つある場合はその地点の支持で、安定して2点支持をすることができる。
この２点で支持すればセラミックトランス（４）の振動を阻害しない。
振動を阻害すると昇圧比が低下する。
【００１３】
セラミックトランス（４）の動作は、共振周波数に依存する。
共振周波数特性を測定することによりトランスとして実用上十分な昇圧比を得ることができる共振周波数を選ぶことができる。
【００１４】
本考案に係るオゾン発生装置の回路の構成を図５に示す。
負荷抵抗を１０〔ＭΩ〕とし、セラミックトランス（４）の１次側に正弦波電圧２〔Ｖ〕を印加し、共振周波数を２０〜７０〔ｋＨｚ〕まで１〔ｋＨｚ〕づつ変化させ、２次側電圧を測定した。
【００１５】
測定結果を図６に示す。横軸は共振周波数〔ｋＨｚ〕、縦軸は昇圧比〔倍〕とする。
セラミックトランス（４）の１次側電圧とセラミックトランス（４）の２次側電圧により、昇圧比を次式により計算した。
昇圧比〔倍〕＝２次側電圧Ｖｓ〔Ｖ〕／１次側電圧Ｖｐ〔Ｖ〕
測定結果から、セラミックトランスとして実用上高い昇圧比を得るためには、セラミックトランス（４）の振動モードが半波長共振および１波長共振であることが確かめられた。
１次側電圧を２〔Ｖ〕、負荷抵抗を１０〔ＭΩ〕とした場合の昇圧比は、セラミックトランス（４）の長さ６１ミリの半波長共振では７５倍、１波長共振では１４０倍となることが確かめられた。そしてまた、セラミックトランス（４）の長さが長い方が高い昇圧比を得られることがわかった。
【００１６】
共振周波数はセラミックトランス（４）の長さにより異なり、セラミックトランス（４）の長さが６１ミリの半波長共振では２６．５０〔ｋＨｚ〕、１波長共振では５３．５４〔ｋＨｚ〕となった。また、共振点の幅が非常に狭いことがわかる。
可聴域を避けるため共振周波数として５４〔ｋＨｚ〕の周波数をえらんだ。
【００１７】
一般的に、セラミックトランス（４）は２次側負荷抵抗の値が減少すると、１次側の入力インピーダンスが増加し、昇圧比が下がる特徴をもつ。
そこで、負荷抵抗の大きさの違いによるセラミックトランス（４）の挙動を調べるために以下のような実験を行った。
図５に示す回路を使用し、セラミックトランス（４）の１次側に２〔Ｖ〕一定の正弦波電圧を印加させ、負荷抵抗を１０〜１０００〔ＭΩ〕の範囲で変化させ、２次側電圧を測定し昇圧比を求めた。
図７に示した測定結果から、負荷抵抗が１０〜１０００〔ＭΩ〕時で、昇圧比が最大となる条件は、負荷抵抗が１０００〔ＭΩ〕時で、昇圧比は６７６倍、入力インピーダンスは１４６〔Ω〕であることが確かめられた。
【００１８】
本考案は以上のような知見に基づき、セラミックトランス（４）を使用しオゾン発生装置を作成したものである。
図８に示すように、本考案の基本は、セラミックトランス（４）の２次側電極（７）と、複数の針を針先が一直線になるように配置した針電極（９）とでオゾン発生用電極（１０）を構成したものである。
高電圧電源（２）としてセラミックトランス（４）の有効性を実証して、高電圧電源（２）とオゾン発生用電極（１０）とを一体化した構成であり、小型で簡単な構造である。
実施例のセラミックトランス（４）の材質は、ジルコチタン酸鉛で共振周波数は５８〔ｋＨｚ〕で、寸法は長さ６１ミリ、幅１３ミリ、厚さ２ミリである。
オゾン発生用電極（１０）は、横１３ミリ、縦２ミリのセラミックトランス（４）の２次側電極（７）の側端面を平板電極とし、それと対向させた複数のレコード針からなる、針対平板電極構成とした。側端面をそのままオゾン発生用電極(１０)とするか或いは別の平板電極を接続するかは、自由に設計できる。
レコード針を９本並べるとちょうど両端の針先がセラミックトランス（４）の２次側電極（７）の左右はじの位置になる。複数の針幅の合計は前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）の側端面の幅とほぼ等しい。
針電極（９）は、（針先曲率半径：７５μｍ）レコード針で構成し、セラミックトランス（４）の共通電極に接続した。
【００１９】
図９は、２次側電極（７）に対する針電極（９）の対向角度の位置を示している。
1つは、セラミックトランス（４）の２次側電極（７）の面に対して、複数の針を針先が一直線になるように配置し、セラミックトランス（４）と同一平面に置いたものを０°とした。
この位置から４５°傾けたもの、セラミックトランス（４）に対して９０°（垂直）にした３つのタイプについて比較検討した。
ここで、針の位置を明確にするために、図１０に示すように番号を付けた。
針の位置の決め方は、セラミックトランス（４）の２次側電極（７）にむかって左のはじを１番とし、順番に番号を付け、右のはじを９番とした。また、複数の針を置く場合には、必ず中心の針の位置を５番とした。例えば、針３本の場合は４番、５番、６番の位置に針を置くことにして検証した。
【００２０】
印加電圧は最大電圧を越えると電極間の放電が火花放電となり、オゾン収率が減少する。
【００２１】
更に電極の構造を決めるためにセラミックトランス（４）の２次側電極（７）に対する針電極（９）の相対的位置（傾き０°、４５°、９０°）を変えてオゾン発生の様子を観測した。
図１１は、セラミックトランス（４）の駆動部（６）に５〔Ｖ〕の正弦波電圧を加え、セラミックトランス（４）の２次側電極と針先とのギャップ長を２ミリ一定としたときの、各位置の針数に対するオゾン濃度を示したものである。
図１１に示した測定結果から、傾き０°の場合は、針の本数が増加するとオゾン濃度も増加するが、傾き４５°、９０°のときは、針の本数が増加してもオゾン濃度は増加しない。これは、複数の針が火花放電を生じたためと考えられる。
この結果を受けて電極構造は、針の傾き０°とすることにした。すなわち針の傾き０°で、針先端がセラミックトランス（４）の平板電極の面と正対に位置することが最適構造であることが判明した。
側端面と相対するという意味は、正対位置をメインにする意味である。
【００２２】
図１２は、針の数に対する（最小１次側電圧とそのときのオゾン濃度）および（最大電圧とそのときのオゾン濃度）の関係を示したものである。横軸に針数、縦軸に電圧をとった図である。
図１２からわかるように、針１本の場合は、１次側電圧は、１．７〜７．０〔Ｖ〕でそのときのオゾン濃度は０．０３〜１０〔ｐｐｍ〕であるが、針９本の場合は、１次側電圧は２．４〜５．５〔Ｖ〕でそのときのオゾン濃度は、０．０６〜６０〔ｐｐｍ〕となった。
針の数を増加したとき、最小１次側電圧の上昇はみられたが、針数５本以上の場合には、火花放電への移行する直前の電圧（最大電圧）の上昇はみられなかった。
この原因として考えられることは、セラミックトランス（４）の２次側電極（７）が小さいため、針の本数が増えると、両端の針が低い電圧で火花放電に移行するためと考えられる。
【００２３】
次に、図１３に示すように１本の針を用い、針電極（９）の位置を１〜９番の位置に変化させ、それぞれの位置でセラミックトランス（４）の１次側にかけられる最大電圧を調べた。その結果を図１４に示す。
図１４からわかるように、セラミックトランス（４）の２次側電極の中心部に対応する５番の位置のときの最大電圧が７〔Ｖ〕、１番の位置（左端）のときの最大電圧が３．５〔Ｖ〕であった。
そこで、針全体から均一に放電させるために、図１５に示すような両端のギャップを広げた電極の構成としたときのオゾン濃度を測定した。（複数の針を並べる場合は、両端の針を０．２５ミリ広げて、２．２５ミリとした。針９本の場合は、１番と９番の針を０．２５ミリ広げ、さらに２番と８番の針を０．１ミリ広げた。）
図１５の針電極の配置は、両端側の前記針電極（９）が平面視で放物線状に離れて長くなるように配置される。
針電極（９）の位置でギャップの長さを異なるものとして、火花放電のレベルを平準化している。
その結果を図１６に示す。この図は、針の数に対する１次側電圧とオゾン濃度の関係を示したものである。
この測定結果から、針電極（９）のギャップの長さを変えることにより、針５本の場合は、１次側電圧１．８〜１０．５〔Ｖ〕でオゾン濃度は０．０３〜７５〔ｐｐｍ〕、針９本の場合は、２〜１２〔Ｖ〕でオゾン濃度は０．０６〜１００〔ｐｐｍ〕となった。
この一連の実験により、両端の針電極のギャップ長を０．２５ミリ広げることにより、針９本の場合は、かけられる電圧（最大電圧）は６．５〔Ｖ〕上がり、オゾン濃度は４０〔ｐｐｍ〕増加することができた。
これは、両端の針のギャップを広げることにより、各針の電界が均一になり、オゾン濃度を増加することができたと考えられる。
この結果、前記針電極（９）と前記セラミックトランス（４）の２次側電極（７）を相対して配置した構成のギャップの長さは、両端側の針電極（９）が平面視で放物線状に離れて長い形態が、オゾン濃度を増加するのに良い配置であることが得られた。
前記針電極（９）と２次側電極（７）のギャップの長さは、１番針＝９番針＜２番針＝８番針＜３番針＝４番針＝５番針＝６番針＝７番針であることが好ましい。
【００２４】
図１７は、針数３、５、９本のときの１次側電圧とオゾン濃度の関係を示している。
測定結果から、１次側電圧６〔Ｖ〕付近までは、各電極タイプともにオゾン濃度は、単調増加している。
オゾン濃度は１次側電圧で決まり、１次側電圧が増加するとオゾン濃度は増加することがわかる。
この特性を活用することにより、オゾン濃度を微細に調節できる装置が提供できる。
最後に、セラミックトランス（４）を使用したオゾン発生器がセラミックトランス（４）の１次側電圧により、オゾン発生濃度を設定でき、その後もオゾン濃度を一定に保ちうるかどうかを調べた。
実験ではセラミックトランスの１次側電圧を１２〔Ｖ〕一定に設定し、オゾンを発生させその発生濃度が安定した時点を０時とし、２４時間の経時特性を測定した。
電極構造は図１５に示す針９本、１番と９番の針を０．２５ミリ広げ、さらに２番と８番の針を０．１ミリ広げた電極ユニットを使用し、周波数は５８．２２５〔ｋＨｚ〕一定とした。
その結果を図１８に示す。
図１８で明らかなように、実験をおこなった２４時間以内においては、オゾン濃度は安定していることがわかった。
【００２５】
以上のようなオゾン発生装置（１）は
１．セラミックトランス（４）とオゾン発生用電極（１０）を一体化したコンパクトな構造のため、小事業所や一般の家庭においても簡便に脱臭、カビ防止等を行えるように、小型化できる。
２．オゾン発生装置（１）の針電極（９）の構成について検討を行い、最適な電極構成を見出すことで、安定したオゾン発生を可能にするばかりではなく、不必要なオゾンを排出しないようにすることができる。
３．セラミックトランス（４）の１次側電圧を変化させることにより、オゾン発生量を０．０２〜１００〔ｐｐｍ〕まで調節できる。
４．２４時間の連続運転によりオゾン発生量が変化しない。
という技術的効果が確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本考案のオゾン発生装置は、発振器・高電圧電源となるセラミックトランスと、オゾン発生用電極を一体化した構造とし、オゾン発生用電極を構成する９本の針電極がセラミックトランスの平板電極側端面と水平に相対して並設され、かつギャップ長が異なる構成にすることで、オゾン発生濃度を高めかつ発生量を安定的にし、セラミックトランスの１次側電圧を変化させることで、２次側電圧を調整し、これにより微細なオゾン発生を調整できるものとした構成である。
小型で、微細なオゾン発生制御ができるものであるので、医療分野・食品分野、ナノ分野においての用途が期待される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】オゾン発生装置の一実施例を示した平面図。
【図２】同じ実施例の斜視図。
【図３】セラミックトランスの説明図。
【図４】セラミックトランスの振動モード説明図。
【図５】セラミックトランスの周波数特性の回路構成図。
【図６】共振周波数の特性図。
【図７】セラミックトランスの負荷抵抗に対する昇圧比及び入力インピーダンスとの関係図。
【図８】発振器、１次側電極並びに２次側電極及び針電極からなるオゾン発生用電極の関連説明図。
【図９】２次側電極に対する針電極の側面位置説明図。
【図１０】２次側電極に対する針電極の平面位置説明図。
【図１１】各位置の針数に対するオゾン濃度関係図。
【図１２】針数に対する１次側電圧およびオゾン濃度関係図。
【図１３】針位置説明図。
【図１４】針の位置に対する１次側電圧の関係図。
【図１５】針電極の構成図。
【図１６】各位置の針数に対するオゾン濃度関係図。
【図１７】１次側電圧に対するオゾン濃度関係図。
【図１８】経過時間に対するオゾン濃度関係図。
【符号の説明】
【００２８】
１    オゾン発生装置（本体）
２    高電圧電源
３    発振器
４    セラミックトランス
５    １次側電極
６    駆動部
７    ２次側電極
８    発電部
９    針電極
１０  オゾン発生用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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