(57)【要約】【目的】  本考案は、圧縮空気を主とする流体圧力によってプレート上の物体を搬送する搬送機に関するものである。【構成】    密閉式箱体(1)に形成した流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)を複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記流体供給室(8)に流体供給口(7)を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を設置したた物体搬送機の構成。【選択図】      図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
密閉式箱体(1)に形成した流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)は複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を設置したことを特徴とする物体搬送機。
【請求項２】
密閉式箱体(1)に形成した流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)を複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート片に傾斜凹条溝(5)を成形し、且つ当該傾斜凹条溝を前進方向と後退方向に交互に向けて分割プレート(21)〜(2n)を密着し、前記の箱体(1)の内部を仕切体(12)で仕切って前進用分室(81)と後退用分室(82)を形成し、各分室に流体供給口(7)を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を設置したことを特徴とする流体搬送機。
【請求項３】
密閉式箱体(1)に形成した流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、その搬送物の搬送方向に直交する方向に沿って複数枚に傾斜して分割した分割プレート(21′)〜(2n′)を密着して形成し、その密着前の各分割プレート(21′)〜(2n′)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を設置したことを特徴とする物体搬送機。
【請求項４】
密閉式箱体(1)に形成した流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)は複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)又は垂直凹条溝(5′)を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)又は流体吐出用垂直小孔(4′)を形成し、上記の搬送物載置用プレート(2)の両側にガイド体(9)を設け、そのガイド体に流体吐出用傾斜孔(10)を設け、前記箱体に流体供給口(7)を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を設置したことを特徴とする物体搬送機。
【請求項５】
流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を無孔の遮蔽板とし、又は複数の小孔付きの遮蔽板(61)とし、又は水平方向に噴出孔を有する噴出キャップ(6′)とした請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４記載の物体搬送機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、圧縮空気を主とする流体圧力によって吐出孔付きプレート上の物体を搬送する搬送機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に台上の物体を流体圧力で搬送することは知られている。そして、最も本願に関連するものとして、ウエハ搬送機構の公開実用新案が存在する。その内容は、「所定の間隔でガス導入手段が配設されたアルミニウム板を可とする金属製台座の上面に所定の厚さのフッ素樹脂板を配設し、該フッ素樹脂板には前記ガス導入手段と同じ間隔で、該ガス導入手段に連通する貫通斜孔有する金属製の部材が埋設されていることを特徴とする構成」である。
【特許文献１】実開昭６４−５２３公報記載の考案
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、特許文献１の考案は、台座はアルミニウム板であり、その上面にフッ素樹脂を配設し、これに４５度位の斜孔をあけた金属製部材を埋設してあるが、当該金属製部材に４５度位の角度で孔明けするのは技術的に難しい。
また、その斜孔は０．４〜０．１ｍｍのきわめて小径であることにより、この考案を実施することは実際には技術的に不可能に近く現実的ではない。そして、仮に孔明け加工が可能であっても、小径孔が詰まったときの洗浄やメンテナンスが困難である。さらに、空気供給室内には遮蔽板がないため、斜孔からの均一な吐出ができないため、一部の小径孔から空気が多く吐出してスムーズな搬送ができない結果になる恐れがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
そこで、本考案は従来の課題を解決し、且つ考案の目的を達成するために提供するものである。
【０００５】
本考案の第１は、物体搬送機において、密閉式箱体に形成した流体供給室の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材を設置したものである.
【０００６】
本考案の第２は、物体搬送機において、密閉式箱体に形成した流体供給室の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート片に傾斜凹条溝を成形し、且つ当該傾斜凹条溝を前進方向と後退方向に交互に向けて分割プレートを密着し、前記の箱体の内部を仕切体で仕切って前進用分室と後退用分室を形成し、各分室に流体供給口を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材を設置したものである。
【０００７】
本考案の第３は、物体搬送機において、密閉式箱体に形成した流体供給室の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、その搬送物の搬送方向に直交する方向に沿って複数枚に傾斜して分割した分割プレートを密着して形成し、その密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを密着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材を設置したものである。
【０００８】
本考案の第４は、物体搬送機において、密閉式箱体に形成した流体供給室の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝又は垂直凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔又は流体吐出用垂直小孔を形成し、上記の搬送物載置用プレートの両側にガイド体を設け、そのガイド体に流体吐出用傾斜孔を設け、前記箱体に流体供給口を設け、且つその直上に流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材を設置したものである。
【０００９】
本考案の第５は、上記第１の考案又は第２の考案又は第３の考案又は第４の考案に係る物体搬送機において、流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材にプレート状の無孔遮蔽板を用い、又は小孔をあけた遮蔽板とし、又は水平方向に噴出孔を有する噴出キャップとしたものである。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は上記の構成であるから次のような効果がある。すなわち、プレート及びそのプレートに設けた流体吐出用傾斜孔は隣接する分割プレートを密着したことによって、その直径が最小０．１ｍｍから最大数１．０ｍｍ程度まで設定することができ、且つ流体導路となる流体吐出用傾斜孔を直線・円形・波形等の形状に加工できると共に、円形・楕円・多角形等の断面形状、孔加工の間隔（ピッチ）を１．５〜３．０ｍｍ程度の範囲で容易確実に加工できる。
【００１１】
次いで、流体吐出用傾斜孔が詰まった場合には、プレートを形成する分割プレートの密着を分離することによって流体吐出用傾斜孔を成形する凹条溝の清掃や洗浄が容易になる。続いて、プレートを形成する分割プレートをプラスチック成形で加工することにより、流体導入の傾斜孔を直線のほか、曲線や波形等自由に加工することができる。
【００１２】
さらに、箱体の流体供給室に遮蔽板を設けたことによって、当該室内に供給された流体は、流体均等供給部材にぶつかってから当該室内に均等の圧力で充満し、各傾斜細孔から均一の圧力で吐出させることができる。
なお、プレートに設ける流体吐出用傾斜孔の向きを、前進方向と後退方向に組み合わせ、且つ流体供給室を複数の分室に仕切って空気の供給を往動又は復動に切替えられるようにすることによって、搬送物の往復搬送させることが可能となる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１３】
本考案は、物体搬送機において、箱体を密閉式に製作し、その箱体の上部開口面に搬送物を載置するプレートを設けてある。そのプレートは搬送物の搬送方向に沿って複数枚に分割した分割プレートを密着して形成するようにしてある。そして、プレートを形成するための分割プレートを密着する前に各分割プレートの側面に傾斜凹条溝を成形する。この場合、分割プレートをプラスチック樹脂で製作するときは、成形時に凹条溝を同時に加工する。
また、分割プレートを金属材料で製作する場合は放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で行う。
【００１４】
そして、その凹条溝側の分割プレートの側面に隣接する分割プレートを密着することによって、流体吐出用傾斜孔が形成される。
箱体の流体供給室は、その底部に圧縮空気を可とする流体供給口を設けると共にその供給口の直上に流体の均流体均等供給部材を配置してある。
【実施例】
【００１５】
次に本考案の実施例を説明する。図において、１は密閉式箱体、２は密閉式箱体の開口面11に載置するプレート、２1〜２nはプレート２を形成する複数の分割プレートであり、図１・図９にあっては、搬送方向に方向に沿って分割してある。また、図６・図１０にあっては、搬送方向と直交する方向で且つ傾斜して分割してある。３はプレート２の開口面１1の周囲に設けたプレート成形枠である。
【００１６】
４はプレート２にあけた複数の流体吐出用傾斜孔であり、上記分割プレート２1〜２nの側面に凹条溝５を設け、隣接する分割プレートを密着することによって、形成する。
【００１７】
図９及び図１０において、プラスチック樹脂で分割板２1〜２n又は２1′〜２n′を成形するときに同時に直線形の傾斜凹条溝５を成形する。また、図８のように曲線又は波形の凹条溝５を成形する。そして、その凹条溝の断面形状は、図１５に示すように円形・半円・長円や四角・三角その他の多角形等任意に加工できる。なお円形の場合は、２枚一対の分割プレートに半円形凹条溝５を成形し、これを対面させることによって形成してある（図１５(a)）。
【００１８】
また、図９及び図１０において、金属材料で分割プレート２1〜２n又は２1′〜２n′を成形するときに、放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で凹条溝５を設ける。
【００１９】
上記の凹条溝５を搬送方向に分割した分割プレート２1〜２nに設ける場合は、所定の角度で傾斜させる。
【００２０】
また、搬送方向と直交する方向に分割した分割プレート２1〜２nに凹条溝５を設ける場合は、当該分割プレートを所定角度で傾斜して張設してプレート２を形成するから、凹条溝５は分割プレートの板面に沿って加工する。
【００２１】
６は流体均等供給部材であり、その一例とするのが無孔板状の遮蔽部材であり、箱体１の内部において流体供給口７の直上に配置して圧縮流体を均等にして、流体吐出用傾斜孔４から均一に吐出するように構成してある。また、図４における遮蔽板６1は、その板面に複数の小孔６nがあけられている。６′は流体噴出キャップであり、圧縮流体は当該キャップの水平方向の口６1′から噴出するようになっている。
７は箱体１の流体供給室に流体を送り込むための供給口、８は前記箱体１に形成した流体供給室、８1・８2は流体供給室８を仕切体で仕切った分室である。
【００２２】
図中９はプレート２における搬送方向の両側に設けたガイド体、１０はそのガイド体９に設けた流体吐出用傾斜孔であり、その吐出口は搬送方向に向けてあけられている。
【００２３】
１２は箱体１に形成した流体供給室８を複数に分割した仕切体であり、その半分の分室８1を搬送物体の前進用、他の半分の分室８2を後退用とする圧縮空気の供給口７を設けてある。この場合は図１１・図１２に示すように分割プレートに設けた流体吐出傾斜孔４の吐出口の向きを搬送物Ｗの前進用と後退用を適宜に組合わせてプレート２を形成する。
【００２４】
「具体的作業例（１）（図１〜図３及び図４・図５）」
（１）  搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nを密着してプレート２を形成する。
（２）  分割プレート２1〜２nを箱体１に形成した流体供給室８の開口面１1に配置し、且つこれを成形枠３で密着して１枚のプレート２にセットする。
（３）  図２において、プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（４）  箱体１の流体供給口７から流体供給室８に圧縮空気を供給する。
（５）  箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６又は小孔付き遮蔽板６1に当たってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら流体供給室８内を上昇する。又は図５にあっては、流体噴出キャップ６′に当たって水平方向の噴出孔６1′から外方に流動しながら流体供給室８内を上昇する。
（６）  流体供給室８において上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から搬送方向に吐出する。
（７）  プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって当該プレート面から浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。この場合、プレート平面の両側のガイド体９によって搬送物Ｗが経路から外れないようになっている。
【００２５】
「具体的作業例（２）（図６・図７）」
（１）  搬送方向と直交する方向に沿って複数に分割された分割プレート２1′・２2′〜２n′を張設してプレート２を形成する。
（２）  上記の段落「００２４」の（２）〜（７）の工程と同じ。
【００２６】
「具体的作業例（３）：流体吐出用傾斜細孔を前進用と後退用に組合せた構造（図１３・図１４）」
（１）  搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２4・２5・２6・２nに設けた傾斜凹条溝５が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される.
（２）  箱体１の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３）  その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４）  プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３でセットする。
（５）  プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６）  箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７）  箱流体供給室８に供給された圧縮空気は噴出キャップ６′に当たってそのその水平方向の噴出孔６1′から外方に噴出しながら当該流体供給室内を上昇する。
（８）  流体供給室８内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９）  プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10）  上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11）  流体供給室８に供給された圧縮空気は噴出キャップ６′に当たってそのその水平方向の噴出孔６1′から外方に噴出しながら当該流体供給室内を上昇する。
（12）  流体供給室８内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（13）  プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
【００２７】
「具体的作業例（４）：プレート両側のガイド体９に流体吐出用傾斜孔４を設けた構造（図１１・図１２）」
（１）  上記の段落「００２４」の（１）〜（７）の工程は同じである。
（８）  プレート２の平面における両側のガイド体９の室にノズルＮ等の噴射機構から噴射された圧縮空気が送られ、流体吐出用傾斜孔１０から吐出される。これによって、搬送物Ｗをプレート２から浮上させるような状態にすると共に、左右両側の圧縮空気で当該搬送物Ｗを前方に搬送する。なお、この場合は、プレート２に設ける流体吐出用の孔は傾斜孔４のほか垂直孔４′でも可能である（図１１・図１２）。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本考案は、搬送物としてウエハのような極く軽量のものから小荷物程度の立体物まで必要に応じて流体吐出用傾斜孔の口径を変え、また、圧縮空気の圧力を調節することによって実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本考案に係る物体搬送機の平面図。
【図２】図1の２−２線に沿う断面図。
【図３】図１の３−３線に沿う断面図。
【図４】図２の変形例の断面図。
【図５】図２の他の変形例の断面図。
【図６】図1の変形例の平面図。
【図７】図６の７−７線に沿う断面図。
【図８】分割プレートに曲線状の凹条溝を成形した分割板の側面図。
【図９】プレートの搬送方向に分割した分割プレートの斜視図。
【図１０】プレートの短辺方向に分割した分割板の斜視図。
【図１１】プレートの両側に流体吐出用傾斜孔を設けた平面図。
【図１２】図１１の１２−１２線に沿う縦断面図。
【図１３】搬送物を往復動させる機構のうち往動機構の縦断側面図。
【図１４】搬送物を往復動させる機構のうち復動機構の縦断側面図。
【図１５】(a)〜(e)は流体吐出用傾斜孔の実施例の断面図。
【符号の説明】
【００３０】
１…箱体
２…プレート
２1〜２n…分割プレート
３…プレート成形枠
４…流体吐出用傾斜孔
５…凹条溝
６…遮蔽板等の流体均等供給部材
６1…小孔(6n)付き遮蔽板
６′…流体噴出キャップ
７…流体供給口
８…流体供給室
８1・８2…流体供給室の分室
９…ガイド体
１０…ガイド体の流体吐出傾斜孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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