(57)【要約】【課題】パネル１と塗布液受体４０とを回転させるスピンモータ２４を共用し、回転時におけるヘッド２２の振動を抑制できる陰極線管の製造装置を提供する。【解決手段】ヘッド２２のスピンモータ２４で回転駆動するキャリアヘッド２６に、塗布液を塗布したパネル１を保持する。パネル１の回転時に放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体４０、この塗布液受体４０に受けた塗布液を回収する塗布液回収体４１を備える。塗布液受体４０は、回転支持手段４５によりキャリアヘッド２６と同心軸上で回転可能に支持する。ヘッド２２へ向けて塗布液受体４０を移動させ、パネル１を塗布液受体４０で包囲し、キャリアヘッド２６と塗布液受体４０とを連結手段３１で一体に連結する。ヘッド２２のスピンモータ２４で、キャリアヘッド２６と一体にパネル１及び塗布液受体４０を回転させる。キャリアヘッド２６を塗布液受体４０で支え、パネル１の回転時におけるヘッド２２の振動を抑制する。【選択図】        図１
2004349062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液が塗布されたパネルを回転部に保持したヘッドと、パネルの回転時にパネルから放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体との相対的な移動によって、パネルを塗布液受体で包囲させるとともに、ヘッドの回転部と塗布液受体とを一体に連結させ、
ヘッドの回転駆動部で回転部を回転駆動し、回転部と一体にパネル及び塗布液受体を回転させる
ことを特徴とする陰極線管の製造方法。
【請求項２】
塗布液が塗布されたパネルを回転部に保持したヘッドへ向けて、パネルの回転時にパネルから放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体をヘッドの回転部と同心軸上で回転可能に支持するとともにこの塗布液受体を包囲して塗布液受体に受けた塗布液を回収する塗布液回収体を支持した移動部を移動させ、
パネルを塗布液受体で包囲させるとともに、ヘッドの回転部と塗布液受体とを一体に連結させ、
ヘッドの回転駆動部で回転部を回転駆動し、回転部と一体にパネル及び塗布液受体を回転させる
ことを特徴とする陰極線管の製造方法。
【請求項３】
ヘッドの回転部と塗布液受体との連結は、回転部及び塗布液受体のいずれか一方に設けられた回転可能な回転体を先端に有する連結体が、回転部及び塗布液受体のいずれか他方で前記連結体の先端の回転体が当接したときに転動可能とするガイド面に設けられた連結孔に連結する
ことを特徴とする請求項１または２記載の陰極線管の製造方法。
【請求項４】
塗布液が塗布されたパネルを保持する回転部、及びパネルを保持した回転部を回転駆動する回転駆動部を有するヘッドと、
このヘッドの回転部と同心軸上で回転可能とし、パネルの回転によってパネルから放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体と、
前記ヘッドの回転部に保持したパネルを塗布液受体が包囲する塗布液回収位置に対しヘッドと塗布液受体とを相対的に移動させる移動手段と、
この移動手段で塗布液回収位置に移動するヘッドの回転部と塗布液受体とを一体回転可能に連結する連結手段と
を具備していることを特徴とする陰極線管の製造装置。
【請求項５】
塗布液が塗布されたパネルを保持する回転部、及びパネルを保持した回転部を回転駆動する回転駆動部を有するヘッドと、
このヘッドによるパネルの回転によってパネルから放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体と、
この塗布液受体を包囲し、塗布液受体に受けた塗布液を回収する塗布液回収体と、
前記塗布液受体及び塗布液回収体を支持し、前記ヘッドの回転部に保持したパネルを塗布液受体が包囲する塗布液回収位置に移動させる移動手段と、
この移動手段に対し塗布液受体をヘッドの回転部と同心軸上で回転可能に支持する回転支持手段と、
前記移動手段で塗布液回収位置に移動する塗布液受体とヘッドの回転部とを一体回転可能に連結する連結手段と
を具備していることを特徴とする陰極線管の製造装置。
【請求項６】
連結手段は、回転部及び塗布液受体のいずれか一方に回転可能な回転体を先端に有する連結体が設けられ、回転部及び塗布液受体のいずれか他方に前記連結体の先端の回転体が当接したときに転動可能とするガイド面及びこのガイド面に連結体の先端側が連結される連結孔が設けられた
ことを特徴とする請求項４または５記載の陰極線管の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パネルの内面に塗布された塗布液を所定の膜厚にするとともに余剰な塗布液を除去する陰極線管の製造方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般に、テレビジョン受像機や各種画像モニタに用いられる陰極線管の管体（ブラウン管）は、ガラス製のパネルとガラス製のファンネルとがフリットガラスによって接合されている。
【０００３】
図５に示すように、パネル１は、矩形状のフェース面１ａ及びこのフェース面１ａの外周の側壁１ｂを有し、このパネル１の側壁１ｂで囲まれる内面１ｃには、図６に示すように、画面に入射する外光の反射率を下げてコントラストを向上させる目的で設けられる円形パターンやストライプパターンの黒色膜２、電子ビームの照射により発光する赤色、緑色、青色の蛍光膜３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ、及びカラーフィルタのフィルム膜を含む複数の膜が積層形成され、さらに、プライマル中間層を介してメタルバック層が形成され、これらによって蛍光面４が形成されている。メタルバック層は、ミラー効果によって画面の明るさを増加させ、イオンスポットの発生を防止し、蛍光面電位を安定化する目的で設けられている。プライマル中間層は、メタルバック層のミラー効果を上げ、画面の輝度を向上させるために設けられているが、メタルバック層が形成された後にパネル１がファンネルにフリットシールされる際の加熱処理によってパネル１に溶着される。
【０００４】
パネル１の内面１ｃに黒色膜２、蛍光膜３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ及びフィルム膜などの膜を形成するには、一般に、パネル１を保持して膜成形工程の各ポジションに順次移動させるようにしたロータリー式の膜形成装置が使用されている。この膜形成装置では、図４に示すように、図示しない膜形成装置の主機の周囲に複数のキャリアヘッド保持具１１が取り付けられ、このキャリアヘッド保持具１１にスピンモータ１２を介してパネル１を保持するキャリアヘッド１３が取り付けられている。
【０００５】
そして、パネル１は、膜形成装置の主機に対してパネル１の内面１ｃが外向きになる状態でローディングされてキャリアヘッド１３に保持され、主機により膜形成工程の各ポジションに間欠移動され、各ポジションにて現像、乾燥、各膜の塗布液のチャージ、塗布液の回転塗布、余剰な塗布液の回収、乾燥などの工程がなされて蛍光面４が形成され、主機からアンローディングされる。
【０００６】
パネル１の内面１ｃに膜を形成するには、パネル１の内面１ｃを上向きにし、スピンモータ１２によってパネル１を回転させながら、パネル１の内面１ｃに塗布液をチャージし、パネル１の内面１ｃ全体に塗布液を塗布する。その後、パネル１の内面１ｃを下向きにし、サルベージパン１５を昇降機構１６によって上昇させてパネル１を包囲するように被せ、スピンモータ１２によってパネル１を高速回転させる。パネル１の高速回転による遠心力によって、パネル１の内面１ｃに塗布されている塗布液が薄く引き伸ばされて所定の膜厚に形成されるとともに余剰な塗布液がパネル１の側壁１ｂを伝わってパネル１の外に放出される。パネル１から放出された余剰な塗布液は、サルベージパン１５に受けて回収され、このサルベージパン１５から外部に配設された図示しない回収装置に回収される。
【０００７】
なお、図４はパネル１の内面１ｃを下向きにしてパネル１の内面１ｃに塗布された塗布液を所定の膜厚にするとともに余剰な塗布液を回収する工程を示すが、キャリアヘッド１３はキャリアヘッド保持具１１に対してチルト軸１７を中心に揺動可能とし、パネル１を任意の角度に揺動させ、パネル１の内面１ｃの上向きでの塗布液のチャージや、下向きでの膜厚の調整及び余剰な塗布液の回収などが可能となっている。
【０００８】
しかし、このような膜形成装置でパネル１の内面１ｃに膜を形成する際に、欠陥が発生する場合がある。その代表的な欠陥の例が、図７（ａ）に示すような跳ねと称する欠陥Ｐ１、及び図７（ｂ）に示すようなパネル１の側壁１ｂの外面に塗布液が付着する欠陥Ｐ２などがある。これらはパネル１を高速で回転させて塗布液を所定の膜厚にするとともに余剰な塗布液を回収するときに、パネル１の側壁１ｂのコーナー部から放出された余剰な塗布液が、停止状態にあって高速回転するパネル１との相対的な速度差があるサルベージパン１５の内側壁や底面に衝突した際の衝撃で跳ね、この跳ねた塗布液がパネル１の内面１ｃや側壁１ｂに付着して欠陥Ｐ１，Ｐ２が生じる。特に、パネル１の内面１ｃに塗布液が跳ねて付着した場合、所望の膜が形成されなかったり、塗布液が異物として付着したままとなり、歩留まりを低下させている原因となっている。
【０００９】
そこで、サルベージパン１５を、パネル１を包囲して余剰な塗布液を受ける内槽である塗布液受体と、この塗布液受体を包囲して塗布液受体に受けた余剰な塗布液を回収する外槽である塗布液回収体とで構成し、塗布液受体を専用のモータでパネルと同速度となるように回転させることにより、パネル１から放出された余剰な塗布液をパネル１と同速度で回転する塗布液受体に受けたときの衝撃を緩和して跳ねを低減し、余剰な塗布液の跳ねに起因する欠陥Ｐ１，Ｐ２の発生を低減している（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
しかし、パネル１と同速度で塗布液受体を回転させる場合、パネル１を回転駆動するスピンモータ１２と塗布液受体を回転駆動するモータとが必要で、構成が複雑化する問題がある。
【００１１】
また、近年、パネル１はフェース面１ａがフラット形状でかつ大型化し、パネル１の外形の長辺側と短辺側との比率が例えば４：３から１６：９といった横長形状ものが普及している。フラット形状のパネル１に関しては、真空チューブ状態でのガラス強度を確保するため、パネル１の内面１ｃを曲面形状にする必要があり、従来のフェース面１ａが曲面形状のものに対し質量が増す傾向がある。
【００１２】
パネル１の内面１ｃに膜を形成する際において、スピンモータ２に直結するキャリアヘッド１３にパネル１を保持させ、高速回転させるが、大型化重量化するパネル１及び外形辺の比率差が大きい形状のパネル１においては、キャリアヘッド１３への保持状態での重心の偏りが顕著に現れ、高速回転時にキャリアヘッド１３のチルト軸１７で揺動方向に振動が発生する。これは、キャリアヘッド１３のチルト軸１７を中心にしてパネル１の角度を設定する機構において若干のバックラッシュを有するためである。
【００１３】
ロータリー型の膜形成装置においては、主機に複数のキャリアヘッド１３が連結された構成であるため、パネル１を高速回転させたときに発生するキャリアヘッド１３の振動が他のキャリアヘッド１３にも伝わって共振し、キャリアヘッド１３の揺動の振幅が大きくなる傾向がある。そのため、キャリアヘッド１３の振動の影響で、キャリアヘッド１３に対するパネル１の保持位置がずれたり、キャリアヘッド１３からパネル１が外れる問題がある。
【００１４】
【特許文献１】
特開２００１−８４９０１号公報（第１頁）
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、パネルと同速度で塗布液受体を回転させる場合、パネルと塗布液受体とをそれぞれ回転駆動する個別のモータが必要で、構成が複雑化する問題がある。また、パネルを高速回転させたときに発生する振動が製造工程に影響する問題がある。
【００１６】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、パネルと塗布受体とを回転させる回転駆動部を共用して構成を簡素化し、さらに、パネルの回転時におけるヘッドの振動を抑制できる陰極線管の製造方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、塗布液が塗布されたパネルを回転部に保持したヘッドと、パネルの回転時にパネルから放出される余剰な塗布液を受ける塗布液受体との相対的な移動によって、パネルを塗布液受体で包囲させるとともに、ヘッドの回転部と塗布液受体とを一体に連結させ、ヘッドの回転駆動部で回転部を回転駆動し、回転部と一体にパネル及び塗布液受体を回転させるものである。
【００１８】
そして、パネルを回転部に保持したヘッドと塗布液受体との相対的な移動によって、パネルを塗布液受体で包囲させるとともに、ヘッドの回転部と塗布液受体とを一体に連結させるため、ヘッドの回転部を回転駆動する回転駆動部を共用して回転部と一体にパネル及び塗布液受体の回転が可能で、構成が簡素化され、さらに、ヘッドの回転部を塗布液受体で支え、パネルの回転時におけるヘッドの振動が抑制される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図１ないし図３を参照して説明する。
【００２０】
なお、図５及び図６に示したパネル１の構成については同一符号を用いてその説明を省略する。
【００２１】
図１及び図２に示すように、陰極線管の製造装置は、パネル１の内面１ｃに黒色膜２、蛍光膜３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ及びフィルム膜などの膜を形成して蛍光面４を形成する膜形成装置である。この膜形成装置は、図示しない主機を有し、この主機の周囲に複数のキャリアヘッド保持具２１が配置され、これら各キャリアヘッド保持具２１にヘッド２２が取り付けられている。
【００２２】
ヘッド２２は、キャリアヘッド保持具２１のチルト軸２３を中心として揺動可能に支持された回転駆動部としてのスピンモータ２４、及びこのスピンモータ２４の回転軸２５に連結されて回転駆動される回転部としてのキャリアヘッド２６を有している。
【００２３】
キャリアヘッド２６には、パネル１のフェース面１ａに当接して位置決めする複数の当接部２７、パネル１の側壁１ｂの長辺の両面を一対のチャック部２８で把持してパネル１を位置決め保持する保持手段としてのチャック機構２９が取り付けられている。さらに、キャリアヘッド２６には回転軸２５と交差する方向に突出する棒状または円板状の連結支持部３０が取り付けられ、この連結支持部３０の端部または周縁に複数の連結手段３１の一部の構成が設けられている。
【００２４】
また、膜形成装置の主機の周囲には膜形成の各工程のポジションが設定されていて、図１には、パネル１の内面１ｃに塗布された塗布液を所定の膜厚にするとともに余剰な塗布液を回収する工程（以下、塗布液を所定の膜厚に形成する工程という）のポジションを示している。
【００２５】
この塗布液を所定の膜厚に形成する工程のポジションには、パネル１の回転によってパネル１から放出される余剰な塗布液を受けて回収するサルベージパン３４、及びサルベージパン３４をこのサルベージパン３４でパネル１を包囲する塗布液回収位置とパネル１より下方に退避する退避位置との間で昇降させる移動手段３５が配設されている。
【００２６】
移動手段３５は、床面に設置される基台３６を有し、この基台３６上に複数のガイドロッド３７が立設され、これらガイドロッド３７にサルベージパン３４を搭載した移動部としての保持フレーム３８が上下方向にスライド可能に支持されている。さらに、基台３６上には保持フレーム３８を上下方向に移動させる昇降駆動部としての複数のシリンダ３９が立設され、これらシリンダ３９の作動によってサルベージパン３４を塗布液回収位置と退避位置との間で昇降させる。
【００２７】
サルベージパン３４は、パネル１の回転によってパネル１から放出される余剰な塗布液を受ける内槽である塗布液受体４０と、この塗布液受体４０を包囲して塗布液受体４０に受けた塗布液を回収する外槽である塗布液回収体４１との２槽構造で構成されている。これら塗布液受体４０及び塗布液回収体４１はその中心がヘッド２２の回転軸２５と同心軸上に配置され、塗布液受体４０は保持フレーム３８側に対しヘッド２２の回転軸２５と同心軸上で回転可能に支持され、塗布液回収体４１は保持フレーム３８に固定的に支持されている。
【００２８】
塗布液受体４０は、上下面が開口した円筒形に形成され、底部側には塗布液受体４０の内径より小径の底面部４２が配置され、この底面部４２の周囲の複数箇所が連結部材４３によって塗布液受体４０の内面に連結されている。塗布液受体４０の内面と底面部４２の外周と連結部材４３との間に上下方向に連通する開口部４４が形成され、この開口部４４を通じて塗布液受体４０に受けた塗布液の排出及び気流の通過が可能となっている。
【００２９】
塗布液受体４０の上端部及び底面部４２は、回転支持手段４５によって保持フレーム３８側に対し回転可能に支持されている。塗布液受体４０の上端部における回転支持手段４５は、保持フレーム３８の上面に環状の取付フレーム４６が取り付けられ、この取付フレーム４６上に環状のスライドレール４７が取り付けられ、このスライドレール４７にスライド部材４８がスライド可能に係合され、このスライド部材４８が塗布液受体４０の上端の外周縁に取り付けられる環状のガイド体としてのガイドレール４９に連結されている。また、塗布液受体４０の底面部４２における回転支持手段４５は、底面部４２の下面中央に回転体５０が取り付けられ、塗布液回収体４１に回転体５０を回転可能に支持する軸受５１が取り付けられている。
【００３０】
塗布液回収体４１は、上面が開口した槽状で、塗布液を回収する図示しない回収装置に連通される塗布液回収口５２が形成されている。
【００３１】
また、塗布液受体４０の上端部のガイドレール４９には、移動手段３５で塗布液回収位置に移動する塗布液受体４０とヘッド２２のキャリアヘッド２６とを一体回転可能に連結する連結手段３１の一部の構成が設けられている。
【００３２】
図１及び図２に示すように、連結手段３１は、キャリアヘッド２６側において、連結支持部３０に取り付けられた軸受５５によって連結体としての位置決めピン５６が回転軸２５の軸方向と平行にスライド可能に支持されている。この位置決めピン５６の先端側及び基端側に位置決めピン５６のスライド範囲を規制するストッパ５７，５８がそれぞれ取り付けられ、位置決めピン５６の先端側のストッパ５７と連結支持部３０との間に位置決めピン５６の先端側が突出する方向に付勢するコイルスプリングなどの弾性体５９が装着されている。位置決めピン５６の先端には球状の回転体６０が回転可能に取り付けられている。
【００３３】
連結手段３１は、塗布液受体４０側において、塗布液受体４０の周縁に沿って配置される環状のガイドレール４９の上面に、位置決めピン５６の先端の回転体６０が当接したときに転動可能とするガイド面６１が形成され、このガイド面６１に各位置決めピン５６の先端側が嵌り込む複数の連結孔６２が設けられている。
【００３４】
また、サルベージパン３４には、塗布液受体４０の内側面を伝わって底面から塗布液受体４０の外部に流れる気流Ｓを発生させる気流発生手段６５が設けられている。この気流発生手段６５は、回転体５０に設けられた羽根６６を有し、この羽根６６を包囲するように円筒状の隔壁体６７が塗布液回収体４１の底面から立設されている。この隔壁体６７の上端は塗布液受体４０の底面部４２と離間され、塗布液回収体４１内であって隔壁体６７の外側に塗布液を回収する塗布液回収領域６８が形成されているとともに、隔壁体６７の内側に塗布液の侵入を規制して気流Ｓのみ流通可能とする通気領域６９が形成されている。隔壁体６７の内側の通気領域６９に配置される軸受５１には図示しない通気口が設けられ、この通気口が塗布液回収体４１の外部に設けられる排気口７０に連通されている。そして、塗布液受体４０の回転時に羽根６６が塗布液受体４０と一体に回転して気流Ｓを発生し、この気流Ｓは、キャリアヘッド２６側から、塗布液受体４０とパネル１との間を通じて塗布液受体４０の内側面を伝わりながら、塗布液受体４０の底面の開口部４４を通じて塗布液回収体４１内における隔壁体６７の外側の塗布液回収領域６８に流れ、この塗布液回収領域６８から隔壁体６７の内側の通気領域６９に流れ、排気口７０から排気される。
【００３５】
次に、膜形成装置の動作について説明する。
【００３６】
パネル１は、膜形成装置の主機に対してパネル１の内面１ｃが外向きになる状態でローディングされてキャリアヘッド２６に保持され、主機により膜形成工程の各ポジションに間欠移動し、各ポジションにて現像、乾燥、各膜の塗布液のチャージ、塗布液の回転塗布、余剰な塗布液の回収、乾燥などの工程がなされて蛍光面４が形成され、主機からアンローディングされる。
【００３７】
図１に示す所定の膜厚に形成する工程のポジションより上流工程のポジションにおいて、まず、ヘッド２２に保持したパネル１の内面１ｃが上向きの状態で、このパネル１の内面１ｃに塗布液をチャージする。
【００３８】
次のポジションでは、パネル１を回転させ、パネル１の内面１ｃ全体に塗布液を一様に塗布する。その後、主機による次の工程つまり所定の膜厚に形成する工程のポジションへの間欠移動とともに、キャリアヘッド保持具２１のチルト軸２３を中心としてパネル１の内面１ｃを下向きになるようにヘッド２２を揺動させ、パネル１の内面１ｃに塗布された余剰な塗布液の大半を図示しない外部の回収パンに排出させる。
【００３９】
次に、図１に示す所定の膜厚に形成する工程のポジションでは、ヘッド２２に保持したパネル１の内面１ｃが下向きの状態で、予めパネル１より下方に退避させていたサルベージパン３４を移動手段３５のシリンダ３９の作動によって塗布液回収位置まで上昇させ、塗布液受体４０でパネル１を包囲する。
【００４０】
サルベージパン３４を塗布液回収位置まで上昇させる際、例えば、複数の連結手段３１のキャリアヘッド２６側の位置決めピン５６と塗布液受体４０側の連結孔６２との位置が一致していた場合には、位置決めピン５６と連結孔６２とが嵌合し、キャリアヘッド２６と塗布液受体４０とが一体回転可能に連結される。また、複数の連結手段３１のキャリアヘッド２６側の位置決めピン５６と塗布液受体４０側の連結孔６２との位置が一致していない場合には、位置決めピン５６の回転体６０とガイドレール４９の上面のガイド面６１とが当接し、弾性体５９の付勢に抗して位置決めピン５６が押し上げられる。この状態で、スピンモータ２４によりキャリアヘッド２６を回転させることにより、位置決めピン５６の回転体６０がガイドレール４９のガイド面６１上を転動し、位置決めピン５６と連結孔６２とが一致することで、位置決めピン５６が連結孔６２に嵌まり込み、キャリアヘッド２６と塗布液受体４０とが一体回転可能に連結される。このように、位置決めピン５６と連結孔６２との位置が一致していなくても確実に連結できる。
【００４１】
そして、図３に示すスピンモータ２４の回転制御に基づき、スピンモータ２４を回転させるとともに徐々に回転数を上昇させ、キャリアヘッド２６とパネル１と塗布液受体４０とを一体に高速回転させる。
【００４２】
パネル１が高速回転することで発生する遠心力により、パネル１の内面１ｃに塗布されている塗布液が引き伸ばされながらその膜厚が徐々に薄くなって所定の膜厚に形成されるとともに、パネル１の内面１ｃの余剰な塗布液がパネル１の側壁１ｂから外方の塗布液受体４０へ放出される。
【００４３】
このとき、パネル１と塗布液受体４０とは一体に同速度で回転しているため、パネル１から放出された余剰な塗布液をパネル１と同速度で回転する塗布液受体４０に受けたときの衝撃が緩和され、塗布液受体４０からの塗布液の跳ねを低減できる。
【００４４】
しかも、塗布液受体４０の高速回転時には、塗布液受体４０と一体に気流発生手段６５の羽根６６が回転して気流Ｓを発生させる。この気流Ｓは、キャリアヘッド２６側から、塗布液受体４０とパネル１との間を通じて塗布液受体４０の内側面を伝わりながら、塗布液受体４０の底面の開口部４４を通じて塗布液回収体４１内における隔壁体６７の外側の塗布液回収領域６８に流れ、この塗布液回収領域６８から隔壁体６７の内側の通気領域６９に流れ、排気口７０から排気される。そのため、この気流Ｓで、塗布液受体４０の内側面に衝突して飛散する塗布液や、塗布液受体４０の内側面に付着した塗布液を、パネル１から離反する下方つまり塗布液受体４０の底面の開口部４４から外部へ流出する方向へ向けて規制し、パネル１側への塗布液の跳ねを低減し、この塗布液の跳ねに起因する蛍光面４の欠陥の発生を低減できる。
【００４５】
塗布液受体４０の開口部４４から放出された塗布液は塗布液回収体４１の塗布液回収領域６８に受け取り、この塗布液回収体４１に受け取った塗布液を塗布液回収口５２から図示しない回収装置に回収する。
【００４６】
図３に示すようにスピンモータ２４の所定の高速回転後には、徐々に回転数を下げて停止させる。その後、移動手段３５のシリンダ３９の作動によってサルベージパン３４をパネル１より下方の退避位置に下降させ、パネル１の次のポジションへの間欠移動を許容する。
【００４７】
このように、膜形成装置では、パネル１をキャリアヘッド２６に保持したヘッド２２に対して塗布液受体４０を移動させ、パネル１を塗布液受体４０で包囲させるとともに、キャリアヘッド２６と塗布液受体４０とを一体に連結させるため、キャリアヘッド２６を回転駆動するスピンモータ２４を共用してキャリアヘッド２６と一体にパネル１及び塗布液受体４０を回転できて、構成を簡素化できる。
【００４８】
さらに、保持フレーム３８に対し回転支持手段４５で塗布液受体４０を回転可能に支持し、この塗布液受体４０で連結されたキャリアヘッド２６を支えるため、パネル１の高速回転時におけるヘッド２２の振動の発生を抑制できる。そのため、膜形成装置の主機に設けられた他のヘッド２２に伝わる振動も抑制でき、キャリアヘッド２６に対してパネル１の位置がずれたり、キャリアヘッド２６からパネル１が外れるのを防止できる。
【００４９】
なお、所定の膜厚に形成する工程のポジションでは、パネル１の内面１ｃが下向きで処理したが、横向きでも、上向きでも、適応できる。
【００５０】
また、キャリアヘッド２６側に対してサルベージパン３４側を移動させて連結したが、サルベージパン３４側に対してキャリアヘッド２６側を移動させて連結してもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、パネルを回転部に保持したヘッドと塗布液受体との相対的な移動によって、パネルを塗布液受体で包囲させるとともに、ヘッドの回転部と塗布液受体とを一体に連結させるため、ヘッドの回転部を回転駆動する回転駆動部を共用して回転部と一体にパネル及び塗布液受体を回転できて、構成を簡素化でき、さらに、ヘッドの回転部を塗布液受体で支え、パネルの回転時におけるヘッドの振動を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す陰極線管の製造装置の断面図である。
【図２】同上製造装置の連結手段の断面図である。
【図３】同上製造装置によるパネルの回転制御の説明図である。
【図４】従来の陰極線管の製造装置の断面図である。
【図５】一般的なパネルを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図６】一般的なパネルの内面に形成される蛍光面を示し、（ａ）は円形パターンの蛍光面の説明図、（ｂ）はストライプパターンの蛍光面の説明図である。
【図７】パネルに生じる欠陥を示し、（ａ）はパネルの蛍光面に生じる欠陥の説明図、（ｂ）はパネルの側壁の外面に塗布液が付着する欠陥の説明図である。
【符号の説明】
１    パネル
２２    ヘッド
２４    回転駆動部としてのスピンモータ
２６    回転部としてのキャリアヘッド
３１    連結手段
３５    移動手段
３８    移動部としての保持フレーム
４０    塗布液受体
４１    塗布液回収体
４５    回転支持手段
５６    連結体としての位置決めピン
６０    回転体
６１    ガイド面
６２    連結孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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