(57)【要約】【課題】ディスプレイ用ガラス基板の細かい傷を効果的に検出する噴霧装置を提供する。【解決手段】  検査基板３に向けて微細な霧を噴霧する噴気管１２を容器１の収容部１１下部に設け、蒸気入口１３から吹き込まれる水蒸気を該噴気管から検査基板に向けて吹き付けて傷の有無を検査する装置において、噴気管を固定する固定部と容器間の間隙に毛細管構造１１１１を設け、ルート１１１２に接続された真空吸引機により該毛細管構造に吸収された余剰の液滴を吸引することにより、これらの溜まった液滴が検査基板上に滴下することを防止する。【選択図】        図４
0003113429.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
容器、及び該容器内に形成された収容室、並びに該容器上方に設けられて高圧蒸気が注入される蒸気入口、及び複数の噴気管を穿設する該収容室底部の固定部、より構成されるガラス基板などの検査用噴霧装置において、
該収容室下方内壁と固定部外側との間には微小な隙間が形成され、該隙間中に毛細管構造を設け、且つ該毛細管構造には真空吸引装置を接続してなることを特徴とするガラス基板などの検査用噴霧装置。
【請求項２】
該固定部外縁と収容室内壁の間の隙間に設ける毛細管構造は、交錯する溝、或いは交錯して編織されてなる網状のものであることを特徴とする請求項１記載のガラス基板などの検査用噴霧装置。
【請求項３】
該固定部外縁と収容室内壁の間の隙間に設ける毛細管構造は、熱焼結による顆粒状のものであることを特徴とする請求項１記載のガラス基板などの検査用噴霧装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ガラス基板などに生じた傷の検査に用いる噴霧装置に係り、特に噴霧装置内部に結露した余剰の水分を吸収、除去して検査基板上に滴下することを防止し、検査効率を向上する噴霧装置に関わる。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータやエレクトロニクス技術が目覚しい発展を遂げる中、各種電子製品が個人の生活中においても欠かせない存在となっている。特にディスプレイ装置においては従来のCRTタイプのディスプレイでは輻射と電磁波による干渉の問題があったが、現在ではノートブック型パソコン等を始めとし、TFT（Thin−Film Transistor）フィルム液晶体等によるLCDが主流となっており、体積を小型化することに成功し、卓上タイプのパソコンなどのディスプレイ装置においても普及しつつある。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のような液晶ディスプレイにおいて、ガラス基板は工具や製造プロセスにおいて傷つき易く、特に指触、粉塵による傷、孔や引っ掻き傷等が生じ、こういった傷は即ち品質不良となる。
ガラス基板の製造プロセスにおいて、傷は目視によるチェックに頼っており、光学機械によるビジュアルチェックではガラス基板の厚さにばらつきがないか、色差、干渉縞、均一性などの項目をに関してチェックする機能に留まっている。また、上述のような方法では、基板表面の汚れを除去することはできず、傷のついた基板は生産ラインに戻されて、もう一度作り直されなければならないが、こうすることで生産コストが嵩み、光学機械及びこれに伴って必要な各種装置自体の価格も高く、不経済であることが言える。
そこでディスプレイのガラス基板の細かい傷を効果的に検出するべく、本考案の噴霧装置を提供する。
【特許文献１】特開平８−２６１９１８号公報
【課題を解決するための手段】
【０００４】
容器内に収容室を形成し、該収容室底部には複数の噴気管を穿設する固定部を設け、該固定部外縁と該容器内壁には微小の隙間を具有し、該隙間に毛細管構造を設け、該毛細管構造はあらかじめ設けた真空吸引装置と連結し、蒸気が蒸気入口から該収容室に絶えず進入すると、該水蒸気が該収容室内の底部にて水となって溜まり、また該噴気管出口で結露してしまう水はサイホン現象により該毛細管構造内に集められ、該真空吸引装置によって該毛細管構造内の水を抽出し、水滴が落ちて霧の状態を悪化させることなく、ガラス基板に微細な蒸気を噴霧する。
【考案の効果】
【０００５】
本考案によると、噴霧装置内部に結露した余剰水分の滴下により検査基板に対する噴霧効果が妨げられることなく、微細な蒸気の霧が吹き付けられることにより、低コストでディスプレイ用ガラス基板の細かな傷が検出され易くなり、また該ガラス基板上の汚れの粒子を取り除く効果が同時に提供される。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１から３に示すように、本考案の第一実施例では、容器１に収容室１１を具有し、且つ該容器１１底部には複数の噴気管１２を穿設するための固定部１１１が設けられており、且つ該固定部１１１両側外縁と該容器１１下方の内壁との間には微小の隙間が設けられ、該隙間内には毛細管構造１１１１が設けられる。該容器１１上方には高圧蒸気が注入される蒸気入口１３が設けられ、且つ該容器１下方にはルート１１１２が設けられ、該ルート１１１２は真空吸引装置２に連結される。
【０００７】
また図１から図４に示すように、本考案の第一実施例では、該真空吸引装置２が該容器１のルート１１１２に連結され、更に高圧蒸気が該蒸気入口１３より該容器１の収容室１１１２に進入する。且つ該高圧の蒸気は該噴気管１２により導引されて微細な霧状態の蒸気となってガラスの基板３表面に吹き付けられて、該ガラスの基板３の表面に傷があるかどうかを検査しやすくする。
該容器１内の収容室１１内においては、高圧蒸気が供給されて行くうちに、圧力や温度差によって水分が凝縮して結露し、該収容室１１の内壁上に附着し、水滴となって順に該収容室１１内壁から滴り落ちて溜まり、さらに、溜まった水が該噴気管１２から該基板３表面に滴下するなどして、検査効果が損われてしまう。
また、高圧の蒸気が該噴気管１２に導引されて微細な霧状態の蒸気となるとき、該蒸気は外界との温度差によって該噴気管１２の出口で結露しやすく、結露した水滴が該噴気管１２の出口から該ガラス基板３表面に落ちて、上述同様に検査効果を悪くする結果をもたらす。そこで、該固定部１１１両側と該収容室１１内壁の間に毛細管構造１１１１を設け、該収容室１１内に溜まった水と噴気管１２出口の結露による水が、該毛細管構造１１１１の提供する毛細管作用により吸収され、吸収された水がルート１１１２内に集まり、該真空吸引装置２によって該ルート１１１２内にたまった水を抽出し、これにて本考案の全体の働きが完成し、噴霧装置が微細な霧状態の蒸気を吹き続けて傷の検出を用意にすると同時に、該ガラス基板３上の汚れの粒子を除去する。
【０００８】
図５に示すように、本考案の第二実施例に示すように、該固定部１１１外縁と該収容室１１内壁の隙間に設けた毛細管構造１１１１は、交錯して編織される網状のものとしてもよい。
また図６に示すように、本考案の第三実施例に示すように、該固定部１１１外縁と該収容室１１内壁の間に設けた毛細管構造１１１１は、熱焼結による顆粒としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の第一実施例における実施例の立体外観図である。
【図２】本考案の第二実施例における断面図である。
【図３】本考案の第二実施例における局部立体断面図である。
【図４】本考案の第二実施例使用時のける断面図である。
【図５】本考案の第二実施例における局部立体断面図である。
【図６】本考案の第三実施例における局部立体断面図である。
【符号の説明】
【００１０】
１  容器
１１  収容室
１１１  固定部
１１１１  毛細管構造
１１１２  ルート
１２  噴気管
１３  蒸気入口
２  真空吸引装置
３  ガラスの基板
【図１】
0003113429.tif 000003
【図２】
0003113429.tif 000004
【図３】
0003113429.tif 000005
【図４】
0003113429.tif 000006
【図５】
0003113429.tif 000007
【図６】
0003113429.tif 000008