(57)【要約】【課題】ダイヤフラムの劣化をなくし、かつ、そのダイヤフラムの交換の必要性を事実上皆無とし、ダイヤフラムケーシング（シリンダ）の内壁面の精密加工や給油を不要とし、製造コスト，メンテナンス費，ランニングコストを低減する。【解決手段】ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム固定板１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、かつ、そのダイヤフラム１５，１５′が、ダイヤフラムケース１０と同カバー１１のフランジ１０′，１１′による挟持部分とダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、このダイヤフラム体Ｂの往復動時における、上記ダイヤフラム１５，１５′の伸縮が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなる。【選択図】  図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラムケースと同カバーとからなるダイヤフラムケーシング内に、ダイヤフラムステムを備えたダイヤフラム体を、その外周縁部を、上記ケースとカバーのフランジ間に挟持することによって内装してなるダイヤフラムアクチュエーターにおいて、  
上記ダイヤフラム体が、ダイヤフラム固定板の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダイヤフラムを同心にして重合し、かつ、そのダイヤフラムが、ダイヤフラムケーシングを形成するダイヤフラムケースと同カバーのフランジによる挟持部分とダイヤフラム押さえ板との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、ダイヤフラム体の往復動時における、上記ダイヤフラムの伸縮が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板の外周縁とダイヤフラムケーシングの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなることを特徴とするダイヤフラムアクチュエーター。
【請求項２】
上記ダイヤフラム体のダイヤフラムが、ポリウレタンエラストマー製であることを特徴とする請求項１記載のダイヤフラムアクチュエーター。
【請求項３】
上記ダイヤフラム体は、上記ダイヤフラム固定板の直径を、上記ダイヤフラムケーシングの内径より略上記ダイヤフラム２枚の厚さを引いた寸法にして、上記隙間ｃを形成してなることを特徴とする請求項１または２記載のダイヤフラムアクチュエーター。
【請求項４】
上記ダイヤフラム体は、ダイヤフラムの両側に気室を気密に区画していることを特徴とする請求項１，２または３記載のダイヤフラムアクチュエーター。
【請求項５】
上記ダイヤフラム体は、そのダイヤフラムの上記の伸縮する領域ｔ内であって、かつ、ダイヤフラム固定板の側面すなわち平坦面に対応する部分に、波状部を成型してなることを特徴とする請求項１，２，３または４記載のダイヤフラムアクチュエーター。
【請求項６】
請求項１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュエーターを備えたことを特徴とする玉形弁。
【請求項７】
請求項１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュエーターを備えたことを特徴とするシリンダ弁。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はダイヤフラムアクチュエーターとそれを備えた弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイヤフラム弁では、図１０に例示するように、ダイヤフラム１に、それより小径のダイヤフラム固定板２，２を同心円状に重合し、その中心にダイヤフラムステム３を配設するとともに、そのダイヤフラム１の周辺部分を、ダイヤフラムケーシングａを構成するダイヤフラムケース４とダイヤフラムカバー５との間に挟持している。
【０００３】
ダイヤフラム１は、通常、設定する耐圧度や運動量に応じ、補強布（カンバス等）を二重、三重に積層埋設したゴム製のもので、殆ど伸縮性を有していない（たとえば、特許文献１参照。）。
したがって、そのダイヤフラム１は、上記ケース４とカバー５による挟持部と上記ダイヤフラム固定板２，２の外周縁部との間に、所定の弛みｓを持たせた状態で張架されていて、空気圧により、その弛みｓの範囲内で往復動し、同時に往復動する上記ダイヤフラムステム３を介して所定の仕事をする。
【０００４】
上記ダイヤフラム１は、補強布を積層埋設しているとはいえ、繰り返される上記往復動によって、上記弛みｓの部分に発生する材質疲労等の劣化に起因し、その往復動が設計どおり正確には行われなくなり、その場合には、適宜新たなものと交換しなければならないという欠点があった。
【０００５】
また、従来公知のシリンダ弁においては、シリンダに往復自在に組み込んだ弁体の外周に嵌着しているＯリングを、該シリンダの内壁面に圧迫摺動させながら当該流体の漏洩を防止しているものである。
そのために、上記シリンダの内壁面は、精密に加工されていなければならず、また、その摺動内壁面に所要の給油を必要とするという欠点があった。
【特許文献１】実開平7-32259号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案の目的は、これらダイヤフラム弁またはシリンダ弁等のダイヤフラムアクチュエーターのダイヤフラムを、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製とすることによって、劣化を起こりにくいものとし、該ダイヤフラムの交換の必要性を事実上皆無、または少なくとも、従来に比べ極端に少なくするとともに、シリンダの内壁面の精密加工や給油を不要とし、これによって、従来の上記欠点を解消するとともに、製造コスト，メンテナンス費またはランニングコストを低減できるダイヤフラムアクチュエーターを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の本考案ダイヤフラムアクチュエーターは、
（１）ダイヤフラムケース１０と同カバー１１とからなるダイヤフラムケーシングＡ内に、ダイヤフラムステムＣを備えたダイヤフラム体Ｂを、その外周縁部を、上記ケース１０とカバー１１のフランジ１０′，１１′間に挟持することによって内装してなるダイヤフラムアクチュエーターにおいて、  
（２）上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム固定板１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、かつ、そのダイヤフラム１５，１５′が、ダイヤフラムケーシングＡを形成するダイヤフラムケース１０と同カバー１１のフランジ１０′，１１′による挟持部分とダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、このダイヤフラム体Ｂの往復動時における、上記ダイヤフラム１５，１５′の伸縮が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなる。
【０００８】
請求項２記載の本考案は、上記ダイヤフラム体Ｂのダイヤフラム１５，１５′が、ポリウレタンエラストマー製である請求項１記載のダイヤフラムアクチュエーターである。
【０００９】
請求項３記載の本考案は、上記ダイヤフラム体Ｂが、上記ダイヤフラム固定板１４の直径を、上記ダイヤフラムケーシングＡの内径より略上記ダイヤフラム１５，１５′２枚の厚さを引いた寸法にして、上記隙間ｃを形成してなる請求項１または２記載のダイヤフラムアクチュエーターである。
【００１０】
請求項４記載の本考案は、上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム１５，１５′の両側に気室１２，１３を気密に区画してなる請求項１，２または３記載のダイヤフラムアクチュエーターである。
【００１１】
請求項５記載の本考案は、上記ダイヤフラム体Ｂが、そのダイヤフラム１５，１５′の上記の伸縮する領域ｔ内であって、かつ、ダイヤフラム固定板１４の側面すなわち平坦面に対応する部分に、波状部１８を成型してなる請求項１，２，３または４記載のダイヤフラムアクチュエーターである。
【００１２】
請求項６記載の本考案玉形弁は、請求項１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュエーターを備えものである。
【００１３】
請求項７記載の本考案シリンダ弁は、請求項１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュエーターを備えたものである。
【考案の効果】
【００１４】
本考案によれば、ダイヤフラムを伸縮性と強靱性に富むエラストマー製としたので、従来のカンバスで補強した合成ゴム製のものとは相違し、劣化が起こりにくく、該ダイヤフラムの交換の必要性が、事実上皆無であるか、少なくとも従来に比べ極端に少なくなる。したがってまた、メンテナンス費またはランニングコストを低減することができる。
【００１５】
上記エラストマーとしては、ポリウレタンエラストマーが、伸縮性や強靱性等の諸点において、特に好適であると認められる。
【００１６】
さらにまた、ダイヤフラム体は、ダイヤフラム固定板の両面に同心にして重合したエラストマー製のダイヤフラムの、ダイヤフラムケーシングを形成するダイヤフラムケースと同カバーのフランジによる挟持部分とダイヤフラム押さえ板との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、そのダイヤフラム体の往復動時における、上記ダイヤフラムの伸縮が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板の外周縁とダイヤフラムケーシングの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなるから、従来公知のシリンダ弁におけるように、シリンダに往復自在に組み込んだ弁体の外周に嵌着しているＯリングを、該シリンダの内壁面に圧迫摺動させながら当該流体の漏洩を防止しているものと相違し、ダイヤフラムケーシングの内壁面の精密加工や給油を不要にでき、その製造コストはもちろんメンテナンス費またはランニングコストを低減できるものである。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１７】
（１）ダイヤフラムケース１０と同カバー１１とからなるダイヤフラムケーシングＡ内に、ダイヤフラムステムＣを備えたダイヤフラム体Ｂを、その外周縁部を、上記ケース１０とカバー１１のフランジ１０′，１１′間に挟持することによって内装してなるダイヤフラムアクチュエーターにおいて、  
（２）上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム固定板１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、かつ、そのダイヤフラム１５，１５′が、ダイヤフラムケーシングＡを形成するダイヤフラムケース１０と同カバー１１のフランジ１０′，１１′による挟持部分とダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、このダイヤフラム体Ｂの往復動時における、上記ダイヤフラム１５，１５′の伸縮が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなるダイヤフラムアクチュエーター。
【実施例１】
【００１８】
先ず、本考案の実施例１に係るダイヤフラムアクチュエーターを図１〜４により説明する。
Ａはダイヤフラムケース１０とダイヤフラムカバー１１とからなるダイヤフラムケーシング、Ｂはダイヤフラム体、Ｃはダイヤフラムステムである。
【００１９】
ダイヤフラム体Ｂは、その外周縁部（後出のダイヤフラム１５，１５′の外周縁部）を、上記ケース１０とカバー１１のフランジ１０′，１１′間に挟持することによってダイヤフラムケーシングＡ内に張架され、その両側に気室１２と１３を気密に区画している。
【００２０】
ダイヤフラムステムＣは、ダイヤフラム体Ｂの中心に貫通固着し、かつ、その両側所要長さを上記ケース１０とカバー１１の外方に突出させている（もちろん一方端部をダイヤフラム体Ｂに固着し、他方だけをケース１０またはカバー１１の外方に突出させることもある）。
【００２１】
上記ダイヤフラム体Ｂは、円形のダイヤフラム固定板１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製、例えばポリウレタンエラストマー製の円形のダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、さらに、その両側に、同じく円形のダイヤフラム押さえ板１６，１６を重合し、これらをボルト締めしてなるものであり、中央にダイヤフラムステムＣを嵌着する貫通孔Ｂ′を設けている。
【００２２】
これをさらに詳しく述べると、第１に、ダイヤフラム体Ｂは、その直径、すなわち、ダイヤフラム１５，１５′の直径を、上記ダイヤフラムケーシングＡのフランジ１０′，１１′を含む外径とほぼ同じにしている。
【００２３】
第２に、上記ダイヤフラム固定板１４は、その直径を、上記ダイヤフラムケーシングＡの内径より少し小さくしている。具体的には、ダイヤフラムケーシングＡの内径から少なくとも２枚のダイヤフラム１５，１５′の厚さを引いた寸法にしている。
【００２４】
第３に、上記ダイヤフラム押さえ板１６，１６は、その直径を、上記ダイヤフラム１５，１５′の直径に比べ比較的小さく、例えば６分の１としている。
【００２５】
第４に、したがって、ダイヤフラム１５，１５′が自由に伸縮できる範囲は、ダイヤフラムケーシングＡの上記フランジ１０′，１１′による挟持部分と上記ダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する領域ｔということになる（図４）。
【００２６】
そして、ダイヤフラム体Ｂは、ダイヤフラム１５，１５′の外周縁部を、上記ケース１０とカバー１１のフランジ１０′，１１′間に挟持させることにより、ダイヤフラムケーシングＡ内に張架され、上記のように、その両側に気室１２，１３を気密に区画しているものである（図１）。
【００２７】
図１の状態において、気室１２に圧縮空気を導入し同時に気室１３の圧縮空気を排出すると、ダイヤフラム体Ｂは、原位置から気室１３側に移動し、また、気室１３に圧縮空気を導入し同時に気室１２の圧縮空気を排出すると、ダイヤフラム体Ｂは、原位置から気室１２側に移動する。
このようにして、ダイヤフラム体Ｂが往復動するのにともなって、上記ダイヤフラムステムＣにより所定の仕事が行われる。
【００２８】
このダイヤフラム体Ｂの往復動時における、ダイヤフラム１５，１５′の挙動を見ると、気室１２または１３に圧縮空気が導入され、ダイヤフラム体Ｂが気室１３または１２側に移動するとき、ダイヤフラム１５，１５′はその移動方向側に伸長し、また、その移動伸長したダイヤフラム１５，１５′は、原位置に戻るとき収縮する。
【００２９】
また、このダイヤフラム１５，１５′の伸長と収縮は、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との間の隙間ｃを通じて行われる。
【００３０】
このように、本実施例のダイヤフラム体Ｂのダイヤフラム１５，１５′は、ポリウレタンエラストマー製で、伸縮性と強靱性に富み、これを伸縮させて往復動するものであるから、従来のカンバスで補強した合成ゴム製のものと相違し、繰り返される往復動によっては、劣化することが少なく、長期にわたり使用できるので、メンテナンス費またはランニングコストを低減でき、経済的である。
【００３１】
なお、上記ダイヤフラム体Ｂと同じ直径にしたダイヤフラム体において、その往復動距離すなわちストロークを大きくできるようにするためのダイヤフラム１７を、図５，６に示す。
このダイヤフラム１７は、上記のように、伸縮する領域ｔ内であって、かつ、ダイヤフラム固定板１４の側面すなわち平坦面に対応する部分に、波状部１８を成型してなる。
このダイヤフラム１７によれば、上記波状部１８の分だけ伸縮長さが大きくなり、当該ダイヤフラム体の往復動距離すなわちストロークを大きくできること明らかである。
【００３２】
図７は、上記実施例１の変形例に係るダイヤフラムアクチュエーターを示す。
この変形例のものは、ダイヤフラム体Ｂの原位置が、通常、一側のストロークエンドに偏倚していることにおいて、その構造を、上記実施例１のものと異にするだけで、その他の点は同一である。
そこで重複を避けるため、同一部分に同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。
なお、上記原位置すなわちストロークエンド位置への復帰移動は、ダイヤフラム１５，１５′自体の伸縮性と強靱性に基づく復元力によるが、必要に応じ、復帰用スプリングを装架してもよいこと明らかである。
【００３３】
図８は、上記実施例１に係るダイヤフラムアクチュエーターを、いわゆる玉形弁に応用した例を示すものである。
すなわち、公知の玉形弁Ｄの本体１９の上に、上記実施例１にかかるものと同様のダイヤフラムアクチュエーターを乗載設置し、そのダイヤフラム体ＢのダイヤフラムステムＣの下端に、玉形弁Ｄの弁口２０を開閉する弁体２１を備えている。その作動状況は自明と認められるので、その説明は省略する。
【実施例２】
【００３４】
次に、図９に示した本考案の実施例２に係るダイヤフラムアクチュエーターについて説明する。
この実施例２は、いわゆるシリンダ弁に係るもので、そのシリンダ弁Ｅにおいて、２２は一側に弁座２３を内装した筒状の弁本体、２４は同じく筒状のキャップケースである。
２５，２６は、上記弁本体２２とキャップ２４の各対向端部に形成した、ダイヤフラムケース２５とダイヤフラムカバー２６で、これらのケース２５とカバー２６によりダイヤフラムケーシングＦを構成している。
【００３５】
Ｇはダイヤフラム体で、それは、外周縁部（後出のダイヤフラム３０，３０′の外周縁部）を、上記ケース２５とカバー２６のフランジ２５′，２６′間に挟持することによって上記ダイヤフラムケーシングＦ内に張架され、その両側に気室２７と２８を気密に区画している。
Ｈは筒状のダイヤフラムステムで、それは、ダイヤフラム体Ｇの中心に貫通固着し、かつ、その両側所要長さを上記弁本体２２とキャップケース２４に挿入している。
【００３６】
上記ダイヤフラム体Ｇは、円形のダイヤフラム固定板２９の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製、例えばポリウレタンエラストマー製の円形のダイヤフラム３０，３０′を同心にして重合し、さらに、その両側に、同じく円形のダイヤフラム押さえ板３１，３１を重合し、これらをボルト締めしてなるものであり、中央に上記ダイヤフラムステムＨを嵌着する貫通孔Ｇ′を設けている。  したがって、ダイヤフラム体Ｇは、中央に貫通孔Ｇ′を有する円環状体をなしているということもできる。
【００３７】
このダイヤフラム体Ｇをさらに詳しく述べると、上記実施例１のダイヤフラム体Ｂと同様次のとおりである。
第１に、ダイヤフラム体Ｇは、その外径、すなわち、ダイヤフラム３０，３０′の外径を、上記ダイヤフラムケーシングＦのフランジ２５′，２６′を含む外径とほぼ同じにしている。
【００３８】
第２に、上記ダイヤフラム固定板２９は、その外径を、上記ダイヤフラムケーシングＦの内径より少し小さくしている。具体的には、ダイヤフラムケーシングＦの内径から少なくとも２枚のダイヤフラム３０，３０′の厚さを引いた寸法にしている。
【００３９】
第３に、ダイヤフラム３０，３０′が自由に伸縮できる範囲は、ダイヤフラムケーシングＦの上記フランジ２５′，２６′による挟持部分と上記ダイヤフラム押さえ板３１，３１との間に展延する領域ということになる。
【００４０】
そして、ダイヤフラム体Ｇは、ダイヤフラム３０，３０′の外周縁部を、上記ケース２５とカバー２６のフランジ２５′，２６′間に挟持させることにより、ダイヤフラムケーシングＦ内に張架され、その両側に気室２７，２８を気密に区画しているものである。
【００４１】
図９では、ダイヤフラムステムＨが弁座２３から離隔し開弁している状態を上半部に示し、ダイヤフラムステムＨが弁座２３に当接し閉弁している状態を下半部に示している。
上記開弁状態は、気室２８に圧縮空気を導入し同時に気室２７の圧縮空気を排出すると、ダイヤフラム体Ｇが、原位置から気室２７側に移動することにより実現する。
また、上記閉弁状態は、気室２７に圧縮空気を導入し同時に気室２８の圧縮空気を排出すると、ダイヤフラム体Ｇが、原位置から気室２８側に移動することにより実現する。
【００４２】
ダイヤフラム体Ｇの往復動時における、ダイヤフラム３０，３０′の挙動は、実施例１におけるダイヤフラム１５，１５′の場合と同じで、気室２７または２８に圧縮空気が導入され、ダイヤフラム体Ｇが気室２８または２７側に移動するとき、ダイヤフラム３０，３０′はその移動方向側に伸長し、また、その移動伸長したダイヤフラム３０，３０′は、原位置に戻るとき収縮する。
【００４３】
また、このダイヤフラム３０，３０′の伸長と収縮は、上記領域の範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板２９の外周縁とダイヤフラムケーシングＦの内壁面との間の隙間を通じて行われることも、実施例１のダイヤフラム１５，１５′の場合と同じである。
【００４４】
このように、本実施例のダイヤフラム体Ｇのダイヤフラム３０，３０′は、ポリウレタンエラストマー製で、伸縮性と強靱性に富み、これを伸縮させて往復動するものであるから、従来のカンバスで補強した合成ゴム製のものと相違し、繰り返される往復動によって、劣化することが少なく、長期にわたり使用でき、製造コスト，メンテナンス費またはランニングコスト等を低減でき、経済的である。
【００４５】
さらに、上記ダイヤフラム３０，３０′は、従来公知のシリンダ弁におけるように、シリンダ（本実施例におけるダイヤフラムケーシングＦ）に往復動自在に組み込んだ弁体（本実施例におけるダイヤフラムステムＨ）の外周に嵌着しているＯリングを、該シリンダの内壁面に圧迫摺動させながら当該流体の漏洩を防止するのと相違し、ダイヤフラムケーシングＦの内壁面を圧迫摺動しながら当該流体の漏洩防止をするものではない。
【００４６】
したがって、上記ダイヤフラムケーシングＦの内壁面を、上記従来公知のシリンダ弁のシリンダの内壁面の場合のように、精密に加工することも、給油をすることも必要がなく、少なくともその分、メンテナンス費またはランニングコストを低減できるものである。
【００４７】
なお、上記実施例１，２または変形例において、２枚のダイヤフラム１５，１５′（または１７，１７）、３０，３０′の間に生じる空気溜まりが、ダイヤフラム体Ｂ，Ｇの往復動等にとって支障になるのを避ける必要がある場合は、当該２枚のダイヤフラムを、例えば、通気孔付き相フランジを介して重合し、それを、ダイヤフラムケースと同カバーの各フランジ間に挟持することにより、上記空気溜まりを大気開放状態になる構成にするとよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本考案の実施例１に係るダイヤフラムアクチュエーターの断面図である。
【図２】同上のアクチュエーターのダイヤフラム体が一側に移動した状態の断面図である。
【図３】同上のアクチュエーターのダイヤフラム体が他側に移動した状態の断面図である。
【図４】同上のアクチュエーターのダイヤフラムの平面図である。
【図５】ダイヤフラムの他の例の平面図である。
【図６】同上のダイヤフラムの断面図である。
【図７】本考案の上記実施例１の変形例に係るダイヤフラムアクチュエーターの断面図である。
【図８】本考案の上記実施例１に係るダイヤフラムアクチュエーターを応用した玉形弁の断面図である。
【図９】本考案の実施例２に係るダイヤフラムアクチュエーターを応用したシリンダ弁の断面図である。
【図１０】従来公知のダイヤフラム弁の要部の断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
Ａ，Ｆ        ダイヤフラムケーシング
Ｃ，Ｈ        ダイヤフラムステム
Ｂ，Ｇ        ダイヤフラム体
Ｂ′，Ｇ′    貫通孔
Ｄ            玉形弁
Ｅ            シリンダ弁
ｃ            隙間
ｔ            領域
１０          ダイヤフラムケース
１１          ダイヤフラムカバー
１０′，１１′フランジ
１２，１３    気室
１４          ダイヤフラム固定板
１５，１５′  ダイヤフラム
１６，１６    ダイヤフラム押さえ板
１７          ダイヤフラム
１８          波状部
１９          本体
２０          弁口
２１          弁体
２２          弁本体
２３          弁座
２４          キャップケース
２５          ダイヤフラムケース
２６          ダイヤフラムカバー
２５′，２６′フランジ
２７，２８    気室
２９          ダイヤフラム固定板
３０，３０′  ダイヤフラム
３１，３１    ダイヤフラム押さえ板
【図１】
0003108567.tif 000003
【図２】
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【図３】
0003108567.tif 000005
【図４】
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【図５】
0003108567.tif 000007
【図６】
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【図７】
0003108567.tif 000009
【図８】
0003108567.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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