(57)【要約】【課題】本発明は、検出対象の光信号強度に応じて設定を変更することで、複数の計測方法に対応することができ、さらに高い検出効率の蓄積型の計測で信号ノイズ比を高めた計測をも行うことができる使い勝手の良い高感度カメラを提供することを課題とする。【解決手段】高圧電源１１と高圧電源１２とによりＭＣＰ８とホスファー９とにかける電圧をそれぞれ独立に制御することができる構成となっている。高圧電源１１と高圧電源１２とを独立して制御することにより、１台の装置で、２枚のＭＣＰ８を使用したホトンカウンティング画像計測法と、１枚のＭＣＰ８を使用した計測方法と、高い検出効率の蓄積型の計測で信号ノイズ比を高めた計測方法とを行うことができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロチャンネルプレートによって入射された光電子を増倍させて電子を放出し、増倍された電子をホスファーによって光信号に変換させ、変換された光信号を計測する高感度カメラであって、
前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を制御する第１の電源手段と、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を制御する第２の電源手段とを具備し、
前記第１の電源手段による前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧の制御と、前記第２の電源手段による前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差の制御とは、互いに独立して制御されることを特徴とする高感度カメラ。
【請求項２】
前記第１の電源手段の出力と前記第２の電源手段の出力とを設定する電圧設定手段を具備し、
前記電圧設定手段は、異なる計測方法に対応する複数のモードが切換可能に設定されており、複数のモード毎に前記第１の電源手段の出力レンジと前記第２の電源手段の出力レンジとが定められていることを特徴とする請求項１記載の高感度カメラ。
【請求項３】
マイクロチャンネルプレートによって入射された光電子を増倍させて電子を放出し、増倍した電子をホスファーによって光信号に変換し、変換した光信号を計測する光計測方法であって、
前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧と、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差とを互いに独立して制御することを特徴とする光計測方法。
【請求項４】
前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差に設定する第１の測定方法と、
前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧未満に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差に設定する第２の測定方法と、
前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差よりも低い第２の電位差に設定する第３の測定方法とが切換可能であることを特徴とする請求項３記載の光計測方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イメージインテンシファイアを用いて微弱な光信号を増倍して検出する高感度カメラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、従来の高感度カメラの構成を示す図であり、図３は、１枚のマイクロチャンネルプレートと２枚のマイクロチャンネルプレートとのパルス波高分布を比較したグラフである。
図１は、光像増強型の像変換管であるイメージインテンシファイア１と光ファイバ付きＣＣＤ素子２とを使用した従来の高感度カメラを示しており、イメージインテンシファイア１は、光電面１０と、１枚のマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）８と、ホスファー９とからなる。光電面１０に光信号が入射されると、光電面１０からは、光信号の強度に比例した光電子が放出され、放出された光電子は、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射する。ＭＣＰ８に入射された光電子はＭＣＰ８で増幅され、増倍された電子が電子放出面から放出され、電子放出面から放出された電子がホスファー９に衝突し、ホスファー９で再び光信号に変換され、ホスファー９で変換された光信号は、光ファイバ付きＣＣＤ素子で検出される。
【０００３】
イメージインテンシファイア１は、２台の高圧電源３、４により制御されており、高圧電源３は、ＭＣＰ８の光電子入射面とＭＣＰ８の電子放出面およびホスファー９との間の電圧を制御し、高圧電源４は、光電面１０とＭＣＰ８の光電子入射面との間の電圧を制御する。高圧電源４は、シャッターの役割をはたしており、高圧電源４の出力を−２００Ｖにすると、抵抗５によって光電面１０とＭＣＰ８の光電子入射面との電位差は、−２００Ｖとになって光電面１０で変換された光電子がＭＣＰ８に送られる。
【０００４】
高圧電源３の出力は、通常６ＫＶ程度で、高圧電源３の出力を６ＫＶとした場合には、抵抗６と抵抗７とにより、ＭＣＰ８の光電子入射面とＭＣＰ８の電子放出面との電位差が１ＫＶになり、ＭＣＰ８の光電子入射面とホスファー９との電位差が６ＫＶになる。ＭＣＰ８に電子が入射すると、ＭＣＰ８にかけられている１ＫＶの電圧により、ＭＣＰ８の内壁で２次電子が発生し、電子増倍作用を起こし、入射される光電子が約１万倍程度の電子に増倍され、増倍された電子はホスファー９で光信号に変換され、光信号として出力される。光信号は光ファイバ付きＣＣＤ素子２に送られ、光信号の入射によって発生する光電子１つ当たり１００カウントの出力として、読み出されている。また、高圧電源３の出力を５ＫＶに下げると、ＭＣＰ８の内部の電圧が低下してＭＣＰ８による電子の増倍が抑えられるため、光信号の入射によって発生する光電子１つ当り１０カウントの出力として光ファイバ付きＣＣＤ素子２から出力される。このように高圧電源３の出力を変えることで、光信号の入射によって発生する光電子１つ当りのカウント値を変化させ、ゲインの調整として用いている。
【０００５】
また、イメージインテンシファイア１にＭＣＰ８が２枚付いている高感度カメラも存在し、ＭＣＰ８が２枚付きいている場合には、高圧電源３の出力は、通常ＭＣＰ８が１枚の場合よりも高い７ＫＶ程度に指定されている。高圧電源３の出力を７ＫＶにすると、ＭＣＰ８の光電子入射面とＭＣＰ８の電子放出面との間に２ＫＶの電位差がかかり、ＭＣＰ８の光電子入射面とホスファー９との間に７ＫＶの電位差がかかる。この状態で光ファイバ付きＣＣＤ素子２からは、光信号の入射によって発生する光電子１つ当り１０，０００カウントの出力として出力される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平０５−１８７９１４合公報（第８図、第９図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のＭＣＰ８が１枚付きいている高感度カメラでは、光信号の入射によって発生する光電子１つ当り１００カウントの出力が得られて十分に感度が高いが、図３に示す波高値分布の比較から明らかなように、ＭＣＰ８が１枚付きいている高感度カメラに比べて検出効率が低くなっており、感度は高いが、検出効率は十分ではないという問題点があった。なお、図３は、ＭＣＰ８による波高値（電子の増倍量：放出される電子の数）のバラツキを示し、所定量のイベント（光電子の入射）毎に得られる波高値分布をグラフ化したものであり、（ａ）は、ＭＣＰ８が１枚の場合の波高値分布を示し、（ｂ）は、ＭＣＰ８が２枚の場合の波高値分布を示している。
【０００８】
また、従来のＭＣＰ８が２枚付いている高感度カメラでは、指定通りの電圧をかけると、光信号の入射によって発生する光電子１つ当り１０，０００カウントと高くなりすぎてしまい、光ファイバ付きＣＣＤ素子２のダイナミックレンジが６５，０００カウントであるため、信号／ノイズ比が約６しか取れず、ダイナッミクレンジを失なってしまうという問題点があった。
【０００９】
さらに、従来のＭＣＰ８が１枚付いている高感度カメラと、従来のＭＣＰ８が２枚付きいている高感度カメラとは、別々の装置であり、検出対象の光信号強度に応じて別々の装置を使い分けする必要があり、交換作業等の余分な時間かかり、使い勝手が悪いという問題点があった。
【００１０】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検出対象の光信号強度に応じて設定を変更することで、複数の計測方法に対応することができ、さらに高い検出効率の蓄積型の計測で信号ノイズ比を高めた計測をも行うことができる使い勝手の良い高感度カメラを提供する点にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項１記載の発明の要旨は、マイクロチャンネルプレートによって入射された光電子を増倍させて電子を放出し、増倍された電子をホスファーによって光信号に変換させ、変換された光信号を計測する高感度カメラであって、前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を制御する第１の電源手段と、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を制御する第２の電源手段とを具備し、前記第１の電源手段による前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧の制御と、前記第２の電源手段による前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差の制御とは、互いに独立して制御されることを特徴とする高感度カメラに存する。
また請求項２記載の発明の要旨は、前記第１の電源手段の出力と前記第２の電源手段の出力とを設定する電圧設定手段を具備し、前記電圧設定手段は、異なる計測方法に対応する複数のモードが切換可能に設定されており、複数のモード毎に前記第１の電源手段の出力レンジと前記第２の電源手段の出力レンジとが定められていることを特徴とする請求項１記載の高感度カメラに存する。
また請求項３記載の発明の要旨は、マイクロチャンネルプレートによって入射された光電子を増倍させて電子を放出し、増倍した電子をホスファーによって光信号に変換し、変換した光信号を計測する光計測方法であって、前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧と、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差とを互いに独立して制御することを特徴とする光計測方法に存する。
また請求項４記載の発明の要旨は、前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差に設定する第１の測定方法と、前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧未満に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差に設定する第２の測定方法と、前記マイクロチャンネルプレートにかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、前記マイクロチャンネルプレートの電子放出面と前記ホスファーとの間の電位差を第１の電位差よりも低い第２の電位差に設定する第３の測定方法とが切換可能であることを特徴とする請求項３記載の光計測方法に存する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明に係る高感度カメラの実施の形態の構成を示す図である。
【００１４】
本実施の形態の高感度カメラであるＣＣＤ検出器は、図１を参照すると、イメージインテンシファイア１と光ファイバ付きＣＣＤ素子２とからなり、イメージインテンシファイア１は、光電面１０と、２枚のマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）８と、ホスファー９と、光電面１０とＭＣＰ８の光電子入射面との間の電圧を制御する高圧電源４と、ＭＣＰ８の光電子入射面とＭＣＰ８の電子放出面との間の電圧、すなわち２枚のＭＣＰ８にかかる電圧を制御する高圧電源１１と、ＭＣＰ８の光電子入射面とホスファー９との間の電圧を制御する高圧電源１２と、高圧電源４、１１、１２の出力を設定する電圧設定部２０とからなる。
【００１５】
光電面１０に光信号が入射されると、光電面１０からは、光信号の強度に比例した光電子が放出され、放出された光電子は、光電面１０とＭＣＰ８の光電子入射面との間の電位差によってＭＣＰ８の光電子入射面に入射する。ＭＣＰ８に入射された光電子は、ＭＣＰ８にかかる電圧に応じて増倍され、増倍された電子が電子放出面から放出され、電子放出面から放出された電子は、ＭＣＰ８の電子放出面（光電子入射面）とホスファー９との間の電位差によってホスファー９に入射して再び光信号に変換され、ホスファー９で変換された光信号は、光ファイバ付きＣＣＤ素子２で検出される。
【００１６】
ＭＣＰ８の内部で光電子増倍作用は、光電子がある程度以上増倍され、増倍された電子によって電流密度が高くなるそれ以上増倍過程が起こらなくなる。すなわち、ＭＣＰ８にかかる電圧が高いほど電子の増倍は促進されるが、所定の電圧以上では、電子の増倍量（電子放出面から放出される電子の数）は、頭打ちとなる（以下、電子の増倍量が頭打ちとなる電圧を増倍上限電圧と称す）。ＭＣＰ８に増倍上限電圧以上の電圧をかけることで、入射された１個の光電子に対する電子の増倍量を均一にすることができる。また、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９の間の電位差は、ホスファー９においる電子１つ当りの発生する光の量を制御する。従って、ホスファー９の出力明るさは、ホスファー９に入射される電子数と、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９の間の電位差とによって決まり、高圧電源１１によってＭＣＰ８にかかる電圧を制御することでＭＣＰ８の電子放出面から放出される電子数（ホスファー９に入射される電子数）を制御すると共に、高圧電源１２によってＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９の間の電位差を制御することで１光電子当りの光ファイバ付きＣＣＤ素子２のカウント値を制御する。
【００１７】
本実施の形態のように２枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラは、第１の計測方法として、イメージインテンシファイア１内部で発生するノイズおよび光ファイバ付きＣＣＤ素子２の読み出しノイズと、微弱な光現象からの単一光電子による信号とを明確に分離して、信号成分のみを高感度に検出するホトンカウンティング画像計測法に通常用いられる。ＭＣＰ８にかける電圧（高圧電源１１の出力）を増倍上限電圧以上の２ＫＶ程度に設定し、ホスファー９の電圧を、高圧電源１１により８ＫＶ程度に設定してＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差を６ＫＶ程度にする。この場合、波高値分布は図３（ｂ）に示す２枚ＭＣＰのものとなり、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射され１光電子に対して１０，０００〜１，０００カウントの出力が光ファイバ付きＣＣＤ素子２から出力され、１秒間に３光電子程度を光電面１０から放出される極微弱光の計測に用いられる。
【００１８】
イメージインテンシファイア１内部で発生するノイズおよび光ファイバ付きＣＣＤ素子２の読み出しノイズは、半導体内部から数千カウント分の放射線によるノイズが出ることがまれにあるので、これより大きければ、信号であることが確実となる。従って、閾値を９千カウントとすれば、この上の値のものをすべて１つの光信号として１つと数えることができる。光ファイバ付きＣＣＤ素子２の読み出しには１０２４×２５６素子の場合、１ＭＨＺで読み出すと０．３秒程度かかるが、３秒に１度読み出して９，０００カウント以上を１つとカウントし、表示画面上に１つを表示する。以後３秒毎に読み出して光の入ったところの表示をカウント値に合わせて強くしてゆけば、強度情報を画像化できる。
【００１９】
また、本実施の形態の２枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラは、高圧電源１１と高圧電源１２とによりＭＣＰ８とホスファー９とにかける電圧をそれぞれ独立に制御することができる構成となっているため、ＭＣＰ８にかける電圧を増倍上限電圧未満に設定すると、第２の計測方法である１枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラとして使用することができる。１枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラとして使用する場合には、ＭＣＰ８にかける電圧（高圧電源１１の出力）を増倍上限電圧未満の１．２ＫＶ程度に設定し、ホスファー９の電圧を、高圧電源１１により７．２ＫＶ程度に設定してＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差を６ＫＶ程度にする。この場合、波高値分布は図３（ａ）に示す１枚ＭＣＰのものとなり、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射され１光電子に対して１００カウント以下の出力が光ファイバ付きＣＣＤ素子２から出力され、比較的明るい光の計測に用いられる。
【００２０】
さらに、本実施の形態の２枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラは、高圧電源１１と高圧電源１２とによりＭＣＰ８とホスファー９とにかける電圧をそれぞれ独立に制御することができる構成となっているため、ＭＣＰ８にかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差を通常よりも低く設定することにより、第３の計測方法として、今までにない検出率の高い蓄積型の計測方法を実現することができる。
【００２１】
ＭＣＰ８にかける電圧（高圧電源１１の出力）を増倍上限電圧以上の２ＫＶ程度に設定し、ホスファー９の電圧を、高圧電源１１により７ＫＶ程度に設定してＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差を５ＫＶ程度にする。この場合、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射され１光電子に対して１００カウント以下の出力が光ファイバ付きＣＣＤ素子２から出力され、ホトンカウンティング画像計測法より計測される１秒間に３光電子程度を光電面１０から放出される極微弱光よりも少し明るい程度の微弱光の計測に用いられる。
【００２２】
ＭＣＰ８にかける電圧を２ＫＶにすると、図３（ｂ）に示す２枚ＭＣＰの波高値分布になり、１枚のＭＣＰ８を使用した高感度カメラよりも検出効率が高くなっているが、すでに十分な数の電子を発生させているので、ホスファー９の電位を下げて、ホスファー９の出力面から出力される光の量を、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射された１光電子あたり１００カウント分にする。従って光ファイバ付きＣＣＤ素子２には、１００カウント分の光信号を１つの光電子分として送ることが可能になり、光ファイバ付きＣＣＤ素子２のダイナミックレンジが６５，０００カウントであるとすると、信号ノイズ比が６５，０００／１００となり、約６５０個の光電子を１度で計測することが可能になる。なお、検出効率とは、計測にかかる光電子数の検出効率であり、ＭＣＰ８の光電子入射面に入射された光電子が光ファイバ付きＣＣＤ素子２によって計測される割合を意味する。
【００２３】
電圧設定部２０は、上述の第１〜３の計測方法における高圧電源１１および高圧電源１２の出力を図示しない入力手段からの入力によって設定するもので、図示しないモード切換スイッチによって第１〜３の計測方法毎の３つのモードを設定可能になっている。各モードは、設定できる高圧電源１１および高圧電源１２の出力レンジがそれぞれ定められており、モードを選択することによって第１〜３の計測方法のそれぞれの目的に沿った計測ができる。例えば、第１の計測方法に対応するモードでは、高圧電源１１の出力を増倍上限電圧以上の１．８〜２．０ＫＶの範囲、高圧電源１２の出力を７．８〜８ＫＶの範囲でそれぞれ設定可能にし、第２の計測方法に対応するモードでは、高圧電源１１の出力を増倍上限電圧未満の１〜１．２ＫＶの範囲、高圧電源１２の出力を７〜７．２ＫＶの範囲でそれぞれ設定可能にし、第３の計測方法に対応するモードでは、高圧電源１１の出力を増倍上限電圧未満の１．８〜２．０ＫＶの範囲、高圧電源１２の出力を第１および第２の計測方法におけるＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差により低くなる６．８〜７ＫＶの範囲でそれぞれ設定可能に構成される。
【００２４】
光ファイバ付きＣＣＤ素子２にゲイン調整機能が付いていると、光ファイバ付きＣＣＤ素子２での電子増倍が可能になり、ＣＣＤ素子側の感度が１００倍上昇することになる。するとイメージインテンシファイア１から光ファイバ付きＣＣＤ素子２への信号の転送過程で失われていた部分の光信号が検出可能になる。図２では、検出できない部分が１枚ＭＣＰの場合でも２枚ＭＣＰの場合でもグラフの左側に存在しているが、この部分の信号もある程度拾い出せるため、さらに感度が良くなる。また、像倍率を変化させると計測可能な閾値の変化と同等となるので、ホトンカウンティング画像計測法以外の使い方で使用している場合に、信号強度が不足してきた場合、この部分にゲインをかけると、さらに検出効率が上昇する。
【００２５】
なお、図２に示すパルス波高値分布は、ＭＣＰ８の枚数で通常決まるが、例えばカーブドＭＣＰ等の特殊なＭＣＰ８を使えば、１枚のＭＣＰ８でも電圧のかけ方によって２つの分布が切換可能になる。この場合も同様に本発明の２枚ＭＣＰとして扱える。
【００２６】
また、ＭＣＰが２枚以上になると、高圧電源１１と高圧電源１２の電圧を適切に制御する必要がある。この場合でも同様に上記３種類の使い方が可能になる。
【００２７】
なお、本実施の形態では、光ファイバ付きＣＣＤ素子２としては、インターレースＣＣＤ素子、フルフレームＣＣＤ素子等を想定しているが、ダイオードアレーやフォーカルプレーンアレーでも同様に対応可能である。
【００２８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、高圧電源１１と高圧電源１２とにより、２枚のＭＣＰ８にかける電圧と、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差とを独立に設定できるように構成することにより、検出対象の光信号強度に応じて設定を変更することで、複数の計測方法に対応することができるという効果を奏する。
【００２９】
さらに、本実施の形態によれば、ＭＣＰ８にかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差を通常よりも低く設定することにより、高い検出効率の蓄積型の計測で信号ノイズ比を高めた計測をも行うことができるという効果を奏する。
【００３０】
さらに、本実施の形態によれば、異なる複数の計測方法毎にモードを設け、当該モード毎に設定可能な高圧電源１１と高圧電源１２との出力レンジを定めることにより、モードを選択するだけで所望の計測方法を行うことができ、使い勝手が良くなるという効果を奏する。
【００３１】
なお、本発明が上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施の形態は適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の高感度カメラは、高圧電源１１と高圧電源１２とにより、２枚のＭＣＰ８にかける電圧と、ＭＣＰ８の電子放出面とホスファー９との間の電位差とを独立に設定できるように構成することにより、検出対象の光信号強度に応じて設定を変更することで、複数の計測方法に対応することができるという効果を奏する。
【００３３】
さらに、本発明の高感度カメラは、ＭＣＰにかける電圧を増倍上限電圧以上に設定し、ＭＣＰの電子放出面とホスファーとの間の電位差を通常よりも低く設定することにより、高い検出効率の蓄積型の計測で信号ノイズ比を高めた計測をも行うことができるという効果を奏する。
【００３４】
さらに、本発明の高感度カメラは、異なる複数の計測方法毎にモードを設け、当該モード毎に設定可能な高圧電源と高圧電源との出力レンジを定めることにより、モードを選択するだけで所望の計測方法を行うことができ、使い勝手が良くなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高感度カメラの実施の形態の構成を示す図である。
【図２】従来の高感度カメラの構成を示す図である。
【図３】１枚のＭＣＰと２枚のＭＣＰとのパルス波高分布を比較したグラフである。
【符号の説明】
１  イメージインテンシファイア
２  光ファイバ付きＣＣＤ素子
３、４、１１、１２  高圧電源
５、６、７  抵抗
８  ＭＣＰ
９  ホスファー
１０  光電面
２０  電圧設定部
【図１】
2004152634.tif 000003
【図２】
2004152634.tif 000004
【図３】
2004152634.tif 000005