(57)【要約】【課題】アニール処理を施した磁壁移動型光磁気記録媒体では、隣接する記録トラック間の磁性層の磁気的結合を分断し、ノイズの少ない良好な再生信号が得られるが、ランド及びグルーブがウォブリング形状であるとウォブリングによって磁区の拡大は直線的でなく、蛇行を反映したものになり、結果として磁壁移動の動作は不安定となる。【解決手段】記録トラック間にアニール領域を形成し、アニール領域はウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成し、且つ、アニール領域の幅は記録トラック間のランド又はグルーブのウォブリングした幅の最大より大きく形成する。【選択図】　　　　　図５
2004133989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
いずれか一方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体において、前記記録トラック間にアニール領域が形成され、前記アニール領域はウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成され、且つ、前記アニール領域の幅は記録トラック間のランド又はグルーブのウォブリングした幅の最大より大きく形成されていることを特徴とする光磁気記録媒体。
【請求項２】
両方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体において、前記記録トラック間のランドとグルーブの境界の側壁部にアニール領域が形成され、前記アニール領域はウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成され、且つ、前記アニール領域の幅は前記ランドとグルーブの境界の側壁部のウォブリングした幅の最大より大きく形成されていることを特徴とする光磁気記録媒体。
【請求項３】
前記記録媒体の磁性層は、少なくとも、磁壁が移動可能な第１の磁性層と、記録磁区を保持し前記第１の磁性層より磁壁抗磁力が大きな第３の磁性層と、前記第１の磁性層及び第３の磁性層よりもキュリー温度の低い、前記第１の磁性層と第３の磁性層間に配された第２の磁性層とを含むことを特徴とする請求項１、２に記載の光磁気記録媒体。
【請求項４】
いずれか一方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性層を成膜する工程と、前記磁性層上の記録トラック間に所定のアニールパワーの光ビームを照射し、アニール領域をウォブリングした記録トラックに対して直線状に、且つ、アニール領域の幅が記録トラック間のランド又はグルーブのウォブリングした幅の最大より大きくなるようにアニールする工程とを含むことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
両方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性層を成膜する工程と、前記磁性層上の記録トラック間のランドとグルーブの境界の側壁部に所定のアニールパワーの光ビームを照射し、アニール領域をウォブリングした記録トラックに対して直線状に、且つ、アニール領域の幅がランドとグルーブの境界の側壁部のウォブリングした幅の最大より大きくなるようにアニールする工程とを含むことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁性膜に磁区パターンとして情報を記録し、磁気光学効果を用いて情報を再生する光磁気記録媒体及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光磁気記録媒体の高記録密度化への要望が高まっており、それに応えるため、再生に用いる光の波長と再生光学系に光学的分解能を超えるような非常に微細な記録マークを再生する技術が開発されている。例えば、記録媒体の工夫によって実現する方法として磁気超解像再生法が知られている。
【０００３】
この方法では、磁性多層膜において再生用レーザのスポット径よりも狭い検出領域のみに記録マークが転写され、他の領域では磁気的に一方向に揃ってマスクされるため、信号検出領域が実質的に制限され、光学系の分解能を超えた再生が可能になる。しかし、磁気超解像再生法において再生分解能を向上させようとすると、有効に使用できる信号検出領域を狭くする必要があるので、再生信号振幅自体は低下するという欠点がある。
【０００４】
上記問題点を解決する方法として、信号検出領域を狭くするのではなく、記録マークを拡大して再生する方法が、例えば、特開平６−２９０４９６号公報に提案されている。同公報には、複数の磁性層からなる光磁気媒体に光スポットを照射し、垂直磁化として記録されている磁区を再生層に転写し、その再生層に転写された磁区の磁壁を移動させて記録層の磁区よりも大きくして再生する磁壁移動検出方式が記載されている。
【０００５】
次に、この磁壁移動検出方式について説明する。図９は磁壁移動検出方式に用いる光磁気記録媒体及びその再生方法を説明するための模式図である。まず、この例では、図９（ａ）示すように光磁気記録媒体は小さな磁壁抗磁力を有する第１の磁性層１１、相対的に低いキュリー温度Ｔｓを有する第２の磁性層１２、大きな磁壁抗磁力を有する第３の磁性層１３からなる交換結合３層膜で構成されている。各層中の矢印１４は原子スピンの向きを表わす。スピンの向きが相互に逆向きの領域の境界部には磁壁１５が形成されている。
【０００６】
ここで、記録膜面上を再生用のレーザービーム１６を走査して局所的に加熱すると、図９（ｂ）に示すように温度分布が形成され、これに伴い磁壁エネルギー密度の分布が図９（ｃ）に示すように形成される。磁壁エネルギー密度は一般的に温度が上昇するほど低下するので、ピーク温度の位置で磁壁エネルギー密度が最も低くなるような分布になる。この結果、位置Ｘに存在する第１の磁性層１１の磁壁をエネルギー密度の低い高温側へ移動させようとする磁壁駆動力Ｆが発生する。
【０００７】
媒体温度が第２の磁性層のキュリー温度Ｔｓよりも低い場所では、各磁性層は互いに交換結合しているため、前述の温度勾配による磁壁駆動力が作用しても第３の磁性層１３の大きな磁壁抗磁力に阻止されて磁壁移動は起こらない。ところが、媒体温度Ｔｓよりも高い場所では第１の磁性層１１と第３の磁性層１３との間の交換結合が切断されるため、磁壁抗磁力の小さな移動層中の磁壁は、温度勾配による磁壁駆動力で磁壁移動が可能となる。このため、媒体の走査に伴って磁壁が温度Ｔｓの位置を越えて結合切断領域に侵入した瞬間に移動層中で高温側へ磁壁移動が起こる。
【０００８】
記録膜中に信号に対応した間隔で形成されている磁壁が、媒体の走査に伴って温度Ｔｓの位置を通過する度に、移動層内で磁壁移動が発生する。媒体を一定速度で走査すると、記録されている磁壁の空間的間隔に対応した時間間隔で、この磁壁移動が発生することになる。従って、磁壁移動の発生を検知することにより記録信号を再生することができる。磁壁移動の発生は再生用のレーザービームにより、磁壁移動領域の磁化の向きに応じた偏光面の回転（カー効果）を利用して検知することができる。
【０００９】
信号振幅は磁壁移動距離で決まり、記録されている磁壁間の距離、即ち、磁区長には依存しない。また、再生スポットではなく、温度Ｔｓの等温線が記録パターンを弁別していくことになるので、光学系の分解能とは無関係に信号を再生することができる。
【００１０】
上記従来の磁壁移動検出方式を用いる光磁気記録媒体においてノイズの少ない良好な再生信号を得ようとすると、隣接する情報トラック間の磁性層の磁気的結合を分断する必要がある。これは、情報トラック間の磁性膜が物理的、物性的に連続した一様な膜である場合は、記録マークが閉じた磁壁で周囲を囲まれた磁区として存在するので、この記録マークを拡大する方向に磁壁移動させようとすると、必然的に磁壁面積が拡大して磁壁の有するエネルギーが大きくなるため、結果として磁壁移動の動作が不安定となるからであると考えられる。
【００１１】
磁気的結合を分断するために、上記公報では３つの方法が挙げられている。即ち、第１の方法として、情報トラックと情報トラックとの間に矩形の案内溝を設けて案内溝側面の磁性膜厚を薄くする方法、第２の方法として、情報トラックと情報トラックの間の案内溝部分の磁性膜を高出力レーザでアニール処理を施して磁気的性質を変質させる方法、第３の方法として、エッチング処理によってパターニングする方法である。
【００１２】
また、第１の方法の変形として、ランド部と矩形溝部を同一幅に構成し、ランドと矩形溝の両方を情報トラックに用いる方法（所謂ランド・グルーブ記録法）が考えられる。これらの方法は、すべて隣接する情報トラック同士を物理的形状、物性変化を伴う方法によって分断して、磁壁面積を増加させることなく記録マークを拡大しようとするものである。
【００１３】
ところで、磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体を用いれば、高密度に情報を記録できるようになるが、情報を磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体に記録する時にどの位置から書き始めるかの基準、或いは情報を磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体から読み出す時にどの位置から読み始めるかの基準となるアドレス情報をどのように記録しておくかについてが問題となる。
【００１４】
アドレス情報は、情報の読み出し位置、書き込み位置の基準を提供する重要な情報であり、確実且つ正確に読み出すことができなければならない。このため、通常、光磁気記録媒体においてアドレス情報は光磁気記録媒体にピットと呼ばれる微小な凹部を物理的に設けることにより記録されている。
【００１５】
しかし、アドレス情報をピットにより光磁気記録媒体に記録する場合には、ピット部では上述したように磁区拡大の技術が適用できず、ピットにより記録されるアドレス情報部分は従来の記録密度のままとなる。このため、情報の高密度記録が可能な光磁気記録媒体であっても光磁気記録媒体に記録すべき記録データ（主情報）に対するアドレス情報の占める割合が相対的に増え、高密度記録が可能であっても記録データの記録容量を減少させる一因となる。
【００１６】
このため、高密度記録が可能な光磁気記録媒体においては、どのようにアドレス情報を記録したら、記憶容量を少なくすることなく効率的に情報を記録することができ、また、アドレス情報と主情報との両方を正確に読み出して再生することができるかが重要な課題となっている。
【００１７】
上記課題を解決する手法として、主情報が記録されるトラックとしてのランド部分及びグルーブ部分を、少なくともアドレス情報を含む付加情報に応じて蛇行（ウォブリング）して形成することによって付加情報が予め記録する方法が、例えば、特開平１２−２７６８０９号公報に提案されている。同公報の方法は、例えば、ＭＤ等に利用されている。
【００１８】
上記公報によれば、アドレスデータを記録するためのトラックのウォブリング周波数は、主データの記録周波数帯域よりも低い周波数帯域に属するように設定されており、読み出された信号からウォブリング周波数及びその近傍の周波数の成分を抽出することによりアドレス情報を検出することができる。
【００１９】
従って、ランド及びグルーブのウォブリング形状と磁壁移動検出方式とを利用することにより、記録されている主情報の読み出しが可能であって、高密度記録が可能な光磁気記録媒体が本来持っているデータの記録容量を減少させることなく、アドレス情報等の付加情報を効率的に記録した光磁気記録媒体を実現することができる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
前述のようにアニール処理を施した磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体では、隣接する記録トラック間の磁性層の磁気的結合を分断し、ノイズの少ない良好な再生信号を得ることができる。しかしながら、従来のアニール処理された記録媒体では、ランド及びグルーブがウォブリング形状である場合、ウォブリングによって磁区の拡大は直線的でなく、蛇行を反映したものになるため、結果として磁壁移動の動作が不安定となる問題があった。
【００２１】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたもので、その目的は、記録トラック領域にてウォブリング形状に影響されない安定した磁壁移動が行われ、情報の記録或いは再生を安定して行うことが可能な光磁気記録媒体及びその製造方法を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光磁気記録媒体は、上記目的を達成するため、いずれか一方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体において、前記記録トラック間にアニール領域が形成され、前記アニール領域はウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成され、且つ、前記アニール領域の幅は記録トラック間のランド又はグルーブのウォブリングした幅の最大より大きく形成されていることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の光磁気記録媒体は、両方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体において、前記記録トラック間のランドとグルーブの境界の側壁部にアニール領域が形成され、前記アニール領域はウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成され、且つ、前記アニール領域の幅は前記ランドとグルーブの境界の側壁部のウォブリングした幅の最大より大きく形成されていることを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、いずれか一方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性層を成膜する工程と、前記磁性層上の記録トラック間に所定のアニールパワーの光ビームを照射し、アニール領域をウォブリングした記録トラックに対して直線状に、且つ、アニール領域の幅が記録トラック間のランド又はグルーブのウォブリングした幅の最大より大きくなるようにアニールする工程とを含むことを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、両方を情報の記録トラックとして使用するグルーブ及びランドを有し、且つ、前記記録トラックにはアドレス情報を示すウォブリング部が形成された磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性層を成膜する工程と、前記磁性層上の記録トラック間のランドとグルーブの境界の側壁部に所定のアニールパワーの光ビームを照射し、アニール領域をウォブリングした記録トラックに対して直線状に、且つ、アニール領域の幅がランドとグルーブの境界の側壁部のウォブリングした幅の最大より大きくなるようにアニールする工程とを含むことを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明による光磁気記録媒体の一実施形態の層構成を示す模式的断面図である。図中２６は透明基板であり、基板２６上には少なくとも誘電体層２５、第１の磁性層２１（再生層）、第２の磁性層２２（調整層）、第３の磁性層２３（記録層）、誘電体層２４が順次積層されている。
【００２７】
基板２６としては、例えば、ポリカーボネイト、アクリル、ガラス等を用いることができる。誘電体層２４や誘電体層２５としては、例えば、ＳｉＮ、ＡｉＮ、ＳｉＯ、ＺｎＳ、ＭｇＦ、ＴａＯ等の誘電体材料が使用できる。磁壁の移動を光学的に検出するのでなければ、必ずしも透光性材料である必要はない。磁性層以外の層は必須のものではない。また、磁性層の積層順序を逆にしても良い。
【００２８】
更に、この構成に、Ａｌ、ＡｌＴａ、ＡｌＴｉ、ＡｌＣｒ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ等からなる金属層を付加して、熱的な特性を調整しても良い。また、高分子樹脂からなる保護コートを付与しても良い。
【００２９】
これら各層は、例えば、マグネトロンスパッタ装置による連続スパッタリング、又は連続蒸着等によって被着形成できる。特に、各磁性層は真空を破ることなく連続成膜することで互いに交換結合をしている。
【００３０】
本実施形態の光磁気記録媒体は、第１の磁性層２１のキュリー温度をＴｃ１、第２の磁性層２２のキュリー温度をＴｃ２、第３の磁性層２３のキュリー温度をＴｃ３とする場合、これら磁性層のキュリー温度は、
Ｔｃ１＞Ｔｃ２
Ｔｃ３＞Ｔｃ２
の条件を満足する。
【００３１】
光磁気記録材料としては、様々考えられるが、例えば、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ等の希土類金属元素の１種類或いは２種類以上が１０〜５０原子％と、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の鉄族元素の１種類或いは２種類以上が９０〜５０原子％とで構成される希土類−鉄族非晶質合金によって構成することができる。また、耐食性向上等のために、これにＣｒ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｉｎ等の元素を少量添加しても良い。
【００３２】
更に、飽和磁化は希土類元素と鉄族元素との組成比により制御することが可能である。保磁力は飽和磁化の調整によって制御できるが、本質的には材料元素の選択により垂直磁気異方性を調整する。一般に、Ｔｂ、Ｄｙ等の系の材料は垂直磁気異方性が大きく保磁力も大きいのに対し、Ｇｄ系の材料は異方性が小さく保磁力も小さい。また、非磁性元素の添加により垂直磁気異方性は低下する。
【００３３】
キュリー温度も組成比により制御することが可能であるが、飽和磁化と独立に制御するためには、鉄族元素として、Ｆｅの一部をＣｏで置き換えた材料を用い、置換量を制御する方法がより好ましく利用できる。即ち、Ｆｅ１原子％をＣｏで置換することにより、６℃程度のキュリー温度上昇が見込めるので、この関係を用いて所望のキュリー温度となるようにＣｏの添加量を調整する。また、Ｃｒ、Ｔｉ等の非磁性元素を微量添加することにより、逆にキュリー温度を低下させることも可能である。或いは、２種類以上の希土類元素を用いてそれらの組成比を調整することでもキュリー温度を制御できる。
【００３４】
ここで、本実施形態による光磁気記録媒体の第１の磁性層２１の磁壁抗磁力は、第２の磁性層２２のキュリー温度Ｔｃ２以上の温度において第３の磁性層２３の磁壁抗磁力より小さい。第１の磁性層２１、即ち、再生層は、調整層の働きとレーザスポットによる温度勾配を利用して記録層に記録されている磁区を拡大して再生するものである。
【００３５】
また、本実施形態による光磁気記録媒体のような多層磁性膜では、隣接する磁性層間の同じ種類の副格子磁化の方向を同じ方向に揃えようとする交換力が働き、この隣接層間の磁気的な結合を交換結合と呼ぶが、本実施形態においては第３の磁性層２３から第２の磁性層２２を介して第１の磁性層２１に及ぼす交換結合力が働き、第１の磁性層２１の保磁力エネルギーを上回る温度が、周囲温度からＴｃ２の間の温度範囲内に存在する。そのため、昇温・降温動作中にこの温度を経由することにより、周囲温度又は周囲温度からＴｃ２の間の温度において、第１の磁性層２１及び第２の磁性層２２の磁化方向を第３の磁性層２３の磁化方向に揃えることができる。
【００３６】
また、第３の磁性層２３は磁区として記録された記録情報を安定に保持するために垂直磁気異方性が大きな垂直磁化膜が望ましい。第３の磁性層２３のキュリー温度Ｔｃ３は第２の磁性層２２のキュリー温度Ｔｃ２より高いことが必要であり、且つ、実用的な記録感度を有し、安定な再生動作を行うためには１２０℃以上３６０℃以下が望ましい。
【００３７】
図２は本発明の光磁気記録媒体の製造工程の一実施形態を示す図である。本実施形態では、光磁気記録媒体を製造する場合、基板成型（Ｓ２０１）、成膜（Ｓ２０２）、アニール工程（Ｓ２０３）、保護コート形成（Ｓ２０４）の順に行う。ここで、基板成型工程では、アドレス情報を示すためにウォブリングされ、少なくとも一方が情報の記録トラックとして利用されるグルーブ及びランドを有する溝が形成される。
【００３８】
また、成膜工程では図１に示す磁性膜を基板２６上に成膜するが、Ａｌ、ＡｌＴａ、ＡｌＴｉ、ＡｌＣｒ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ等からなる金属層を付加して、熱的な特性を調整する場合は、アニール工程の後に成膜しても良い。
【００３９】
次に、アニール工程について詳しく説明する。図３は本実施形態で用いる光磁気記録媒体のアニール処理装置の構成を示す図である。アニール処理装置はスピンドルモータ３０１、スピンドルサーボ回路３０２、ピックアップ３０３、サーボ回路３０４、レーザパワーコントロール回路３０５、コントローラ３０６から構成されている。
【００４０】
光磁気記録媒体は、スピンドルモータ３０１により駆動され、このスピンドルモータ３０１はスピンドルサーボ回路３０２により光磁気記録媒体が規定の線速度を保つように制御される。光磁気記録媒体は図４の矢印５６で示す方向に回転しているものとする。
【００４１】
ピックアップ３０３はサーボ回路３０４によりフォーカスサーボやトラッキングサーボ或いは半径方向への移動制御等の各種制御が行われ、ピックアップ３０３から出射されるレーザビームはレーザパワーコントロール回路３０５によって所定のアニールパワーとなるように制御される。
【００４２】
コントローラ３０６は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータであり、アニール処理装置の各部を制御する。ＣＰＵは再生アドレスデータにより走査している光磁気記録媒体上の位置を認識し、この再生アドレスデータを基準として光磁気記録媒体上の目的とするトラックを走査するようにサーボ回路３０４、スピンドルサーボ回路３０２等に供給する制御信号を作成し、これを各部に供給する。
【００４３】
サーボ回路３０４には、ピックアップ３０３からのフォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号等が供給されると共に、コントローラ３０６から、例えば、光磁気記録媒体上の位置を指示する情報等が供給される。また、スピンドルサーボ回路３０２やレーザパワーコントロール回路３０５にもピックアップ３０３からの情報や、コントローラ３０６からの制御信号が供給され、目的の制御を行うように構成されている。
【００４４】
特に、トラッキング制御に関してはピックアップ３０３は光磁気記録媒体に照射したレーザビームの反射光を受光するフォトディテクタ（図示せず）を備えており、このフォトディテクタの分割された各ディテクタによって受光された反射光の光量からプッシュプル信号を形成する。このプッシュプル信号はサーボ回路３０４に供給され、サーボ回路３０４ではコントローラ３０６からの制御信号に基づいてピックアップ３０３からのレーザビームが目的トラックを走査するようにトラッキング制御を行う。
【００４５】
次に、図４のアニール装置を用いてアニール処理を行う場合の方法について説明する。まず、光磁気記録媒体には最内周或いは最外周にレーザスポットが照射されるようにコントローラ３０６によって制御される。また、光磁気記録媒体はスピンドルサーボ回路３０２によりアニール用の線速度を保つように制御され、ピックアップ３０３から出射されるレーザビームはレーザパワーコントロール回路３０５によって所定のアニールパワーとなるように制御される。以上により各種アニール条件が設定される（図２のＳ２０３−１）。
【００４６】
次いで、サーボ回路３０４では不図示の機構によってフォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号を検出し、アニール処理を行うトラックの中心を走査するように制御を行う（Ｓ２０３−２）。また、このようにトラッキング制御を行いながら、ピックアップ３０３から光磁気記録媒体に対し最内周から最外周に向けて所定のアニールパワーのレーザビームを照射することによってアニール処理を行う（Ｓ２０３−３）。
【００４７】
図４はアニール処理時の光磁気記録媒体の一部を拡大して示す図である。図４における光磁気記録媒体はグルーブ部分即ちグルーブトラックに主データを記録するグルーブ記録のものとして説明する。また、光磁気記録媒体はスパイラルの基板を用いて作製され、光磁気記録媒体にスパイラル状にグルーブ（溝）を形成することによりグルーブ部５４とランド部５５が形成されている。このランド部分はグルーブとグルーブに挟まれるようにして形成された凸部分である。また、前述したようにアドレスデータはグルーブトラックのウォブリングによって予め記録されているものとする。
【００４８】
アニール処理を行う場合は、図４に示すように対物レンズ５２によって光磁気記録媒体の磁性層上にレーザスポット５３を集光し、光磁気記録媒体のランド部５５ａ、５５ｂ、５５ｃをこの順に走査していき、最内周から最外周に向かって一定パワーで連続的にアニール処理を行う。アニール処理を完了すると、媒体上に保護コートを形成して（Ｓ２０４）、光磁気記録媒体の製造が完了する。なお、基板側からレーザビームを照射してアニール処理を行う場合には、アニール工程の前に保護コートを形成しても良い。
【００４９】
図５は本実施形態による方法でアニール処理を施した場合の光磁気記録媒体を示している。図５（ａ）はアニール処理を施していない未アニール処理の場合の媒体を示しており、記録トラックとして利用するグルーブ部はウォブリングされている。
【００５０】
図５（ｂ）は本実施形態による方法によってアニール処理を施した場合の媒体を示す。図６に示す従来方法の場合とは異なり、ランド部のウォブリングの蛇行幅以上にアニール領域を幅広に形成し、アニール領域を記録トラックに対して直線状に形成している。従って、記録トラック領域にてウォブリング形状に影響されない安定した磁壁移動を行うことができ、安定した情報の記録・再生を行うことが可能となる。アニール領域の幅はアニールパワーの大きさによって調節することができる。
【００５１】
次に、比較のため従来方法でアニール処理された光磁気記録媒体を図６を参照して説明する。図６（ａ）はアニール処理が施されていない未アニール処理の場合の記録トラック、図６（ｂ）は従来方法でアニール処理が施された場合の記録トラックとアニール領域を示す。なお、図６ではグルーブ部を記録トラックとして使用する例を示している。
【００５２】
ここで、トラッキングサーボに使用する信号帯域はウォブルデータの信号帯域と異なり低域であるので、アニール領域はウォブリングに追従することなく、図６（ｂ）に示すように直線状に形成される。従って、ウォブリングされているランド部にはアニール領域と非アニール領域が形成されてしまうので、アニール領域に対して記録トラックは直線的でなくウォブリングしてしまう。そのため、前述のように磁区の拡大は蛇行を反映したものになり、結果として磁壁移動の動作が不安定となる。
【００５３】
なお、本発明はグルーブ記録の光磁気記録媒体に限定するものではなく、同様のアニール処理方法を用いてランド記録の光磁気記録媒体にも使用することが可能である。この場合は、ランド部を記録トラックとして用い、グルーブ部のウォブリングの蛇行幅以上にアニール領域を形成する。
【００５４】
更に、本発明はランドとグルーブ境界の側壁をアニール処理することにより、ランド及びグルーブの両方を記録トラックとして利用するランド・グルーブ記録の光磁気記録媒体にも使用することが可能である。このランド・グルーブ記録の場合の媒体を第２の実施形態として説明する。
【００５５】
図７はランド・グルーブ記録の場合のアニール処理時における光磁気記録媒体を拡大して示す斜視図である。光磁気記録媒体には、スパイラル状にグルーブ（溝）を形成することにより、グルーブ部７４とランド部７５が形成され、どちらも記録トラックとして使用可能である。また、アドレスデータはランド及びグルーブトラックのウォブリングによって予め記録されている。なお、光磁気記録媒体の層構成は図１と同様である。
【００５６】
また、本実施形態の光磁気記録媒体の製造は図２の工程で行い、アニール処理は図４の装置を用いて行う。アニール処理時には、図７に示すように対物レンズ７２によって光磁気記録媒体の磁性層上にレーザースポット７３を集光する。この場合には、レーザースポットを不図示の機構によってランドとグルーブ境界の側壁部分に照射し、光磁気記録媒体の側壁部上７６ａ、７６ｂ、７６ｃをこの順に走査していき、最内周から最外周に向かって一定パワーで連続的にアニール処理を行う。
【００５７】
図８はランド・グルーブ記録の場合のアニール処理を施した光磁気記録媒体を示す。図８（ａ）はアニール処理を施していない未アニール処理の媒体であり、記録トラックとして利用するランド及びグルーブ部は図８に示すようにウォブリングされている。
【００５８】
図８（ｂ）はアニール処理を施した場合の記録トラックとアニール領域を示しており、ランドとグルーブ境界の側壁部分にアニール領域が形成されている。図８に示すようにアニール領域はランド及びグルーブの記録トラックに対して直線状に形成され、アニール領域の幅はランドとグルーブ境界の側壁部分におけるウォブリングの蛇行幅以上に形成されている。
【００５９】
従って、ランド及びグルーブにてウォブリング形状に影響されない安定した磁壁移動が行われ、安定した情報の記録・再生が可能となる。アニール工程の後、同様に光磁気記録媒体上に保護コートを形成する。但し、基板側からレーザーを入射してアニール処理を行う場合は、アニール工程の前に保護コート形成を行っても良い。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、アニール領域をウォブリングした記録トラックに対して直線状に形成し、且つ、アニール幅をウォブリングした蛇行幅以上に形成することにより、記録トラック領域にて磁壁移動が安定して行われ、情報の記録・再生をウォブリング形状に影響されることなく、安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光磁気記録媒体の一実施形態の層構成を示す断面図である。
【図２】本発明による光磁気記録媒体の製造工程を示すフローチャートである。
【図３】本発明の光磁気記録媒体の製造に用いるアニール装置の一例を示す図である。
【図４】図３の装置を用いてのアニール処理時における光磁気記録媒体を一部を拡大して示す斜視図である。
【図５】本発明のアニール処理を施した場合の光磁気記録媒体（グルーブ記録）を示す図である。
【図６】従来方法でアニール処理した場合の光磁気記録媒体（グルーブ記録）を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のアニール処理時における光磁気記録媒体（ランド・グルーブ記録）を一部を拡大して示す図である。
【図８】本発明の第２の実施形態のアニール処理を施した場合の光磁気記録媒体を示す図である。
【図９】従来の磁壁移動再生方式を説明するための図である。
【符号の説明】
２１　第１の磁性層
２２　第２の磁性層
２３　第３の磁性層
２４、２５　誘電体層
２６　基板
５１　光磁気記録媒体
５２　対物レンズ
５３　レーザスポット
５４　グルーブ部
５５ａ〜５５ｃ　ランド部
７１　光磁気記録媒体
７２　対物レンズ
７３　レーザスポット
７４　グルーブ部
７５　ランド部
７６ａ〜７６ｃ　側壁部
３０１　スピンドルモータ
３０２　スピンドルサーボ回路
３０３　ピックアップ
３０４　サーボ回路
３０５　レーザパワーコントロール回路
３０６　コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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