(57)【要約】【課題】マイクロメートルサイズ以下の環境において広い温度範囲の温度測定に使用できる新しいナノ温度計を提供する。【解決手段】温度感知素子として連続した柱状のインジウムが内包されたカーボンナノチューブを有し、かつ環境温度の変化に伴って変化する温度感知素子中の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することによって環境温度を計測する温度計測部を有するナノ温度計とする。【選択図】          図３
2004184291.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続した柱状のインジウムが内包されたカーボンナノチューブからなり、環境温度の変化に伴ってカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さが変化することを特徴とする温度感知素子。
【請求項２】
カーボンナノチューブの軸方向の長さが１μｍ以上１０μｍ以下、直径が１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の温度感知素子。
【請求項３】
請求項１または２記載の温度感知素子を有し、かつ環境温度の変化に伴って変化する温度感知素子の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することによって環境温度を計測する温度計測部を有することを特徴とするナノ温度計。
【請求項４】
１７０℃以上４００℃以下の温度範囲の環境温度の計測を行うことを特徴とする請求項３記載のナノ温度計。
【請求項５】
計測される温度の誤差が±０．２３℃以内であることを特徴とする請求項３または４記載のナノ温度計。
【請求項６】
温度計測部において透過型電子顕微鏡を用いてカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することを特徴とする請求項３ないし５いずれかに記載のナノ温度計。
【請求項７】
請求項１または２いずれかに記載の温度感知素子の製造方法であって、酸化インジウム粉末と炭素粉末を均一に混合する工程と、その混合粉末を不活性ガス気流下で９００℃以上１４００℃以下の温度で加熱処理を行うことで混合物を蒸発させる工程と、さらに８００℃以上８５０℃以下の温度で反応させる工程とを含むことを特徴とする温度感知素子の製造方法。
【請求項８】
酸化インジウム粉末の炭素粉末に対する重量比が６：１から１５：１の間であることを特徴とする請求項７記載の温度感知素子の製造方法。
【請求項９】
炭素粉末が非晶質活性炭であることを特徴とする請求項７または８記載の温度感知素子の製造方法。
【請求項１０】
不活性ガスが窒素ガスであることを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の温度感知素子の製造方法。
【請求項１１】
縦型高周波誘導加熱炉を用いて加熱処理を行うことを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかに記載の温度感知素子の製造方法。
【請求項１２】
１２００℃以上１４００℃以下の温度で１時間以上加熱処理を行うことを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記載の温度感知素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、温度感知素子とその製造方法ならびにナノ温度計に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、インジウムが内包されたカーボンナノチューブからなる温度感知素子とその製造方法およびその温度感知素子を用いたマイクロメートルサイズの環境において広い温度範囲の温度測定を可能とする新規なナノ温度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
１９９１年にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）が発見されて以来、多くの研究者が数多くの研究を行ってきた結果、これまで様々な分野においてカーボンナノチューブの利用法が見出されてきた。
【０００３】
たとえば、カーボンナノチューブは、電界効果素子、走査プローブ顕微鏡用のプローブの先端、超伝導材料、高感度微量天秤、構造材料、ナノスケール操作用の微小鉗子、ガス検知器および水素エネルギー貯蔵装置などに用いることができる。また、カーボンナノチューブの中に充填物を内包した研究も行われてきている（非特許文献１および特許文献１）。
【０００４】
一方、最近では、多くの研究者が、少なくともマイクロメートルサイズ領域の研究分野に参入してきており、マイクロメートルサイズの環境の温度計測が可能なナノ温度計が必要になってきているが、これまでマイクロメートルサイズの環境において高精度で有用なナノ温度計は見出されていなかった。また他方で、従来より知られている温度計においては計測できる温度範囲が比較的狭いことから、広範囲の温度を計測する場合には計測する温度ごとに数種の温度計を準備する必要があり面倒かつコストがかかっていたため、単独で広範囲の温度を計測できる温度計が強く求められていた。
【０００５】
このような状況の中、この出願の発明の発明者等はこれまでにガリウムが内包されたカーボンナノチューブを用いたナノ温度計を作製した（非特許文献２）。このガリウムが内包されたカーボンナノチューブを用いたナノ温度計は、マイクロメートルサイズ環境において精度良く広範囲の温度を計測できるナノ温度計として期待できるが、この出願の発明者等はさらに精度良く広範囲の温度を計測できる新たなナノ温度計を見出すべく研究を重ねた。
【０００６】
【非特許文献１】
Ｐ．  Ａｊａｙａｎ  および  Ｓ．  Ｉｉｊｉｍａ，  ”Ｃａｐｉｌｌａｒｉｔｙ−ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｆｉｌｌｉｎｇ  ｏｆ  ＣａｒｂｏｎＮａｎｏｔｕｂｅｓ”  Ｎａｔｕｒｅ，３６１巻，  ｐｐ．  ３３３−３３４，１９９３年
【非特許文献２】
Ｙｉｈｕａ  Ｇａｏ，  Ｙｏｓｈｉｏ  Ｂａｎｄｏ  ”Ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｈｅｒｍｏｍｅｔｅｒ  ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ  ｇａｌｌｉｕｍ”  Ｎａｔｕｒｅ，４１５巻，ｐｐ．  ５９９，２００２年２月７日
【特許文献１】
特開平０６−２２７８０６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この出願の発明は、以上のとおりの事情に鑑みてなされたものであり、従来技術の問題点を解消し、マイクロメートルサイズの環境において広い温度範囲でかつ高精度な温度測定を可能とする新規なナノ温度計を提供することを課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、まず第１には、連続した柱状のインジウムが内包されたカーボンナノチューブからなり、環境温度の変化に伴ってカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さが変化することを特徴とする温度感知素子を提供する。第２には、この出願の発明は、第１の発明において、カーボンナノチューブの軸方向の長さが１μｍ以上１０μｍ以下、直径が１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることを特徴とする温度感知素子を提供する。
【０００９】
第３には、第１または２の発明の温度感知素子を有し、かつ環境温度の変化に伴って変化する温度感知素子の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することによって環境温度を計測する温度計測部を有することを特徴とするナノ温度計を提供する。
【００１０】
さらに、第４には、第３の発明において、１７０℃以上４００℃以下の温度範囲の環境温度の計測を行うことを特徴とするナノ温度計を提供し、第５には、第３または４の発明において、計測される温度の誤差が±０．２３℃以内であることを特徴とするナノ温度計をも提供する。また、第６には、第３ないし５のいずれかの発明において、温度計測部において透過型電子顕微鏡を用いてカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することを特徴とするナノ温度計をも提供する。
【００１１】
第７には、上記第１または２の温度感知素子の製造方法であって、酸化インジウム粉末と炭素粉末を均一に混合する工程と、その混合粉末を不活性ガス気流下で９００℃以上１４００℃以下の温度で加熱処理を行うことで混合物を蒸発させる工程と、さらに８００℃以上８５０℃以下の温度で反応させる工程とを含むことを特徴とする温度感知素子の製造方法を提供する。
【００１２】
第８には、第７の発明において、酸化インジウム粉末の炭素粉末に対する重量比が６：１から１５：１の間であることを特徴とする温度感知素子の製造方法を提供し、第９には、第７または８の発明において、炭素粉末が非晶質活性炭であることを特徴とする温度感知素子の製造方法を提供する。また、第１０には、第７ないし９のいずれかの発明において、不活性ガスが窒素ガスであることを特徴とするいずれかに記載の温度感知素子の製造方法を提供する。
【００１３】
第１１には、第７ないし１０のいずれかの発明において、縦型高周波誘導加熱炉を用いて加熱処理を行うことを特徴とする温度感知素子の製造方法を提供し、第１２には、第７ないし１１のいずれかの発明において、１２００℃以上１４００℃以下の温度で１時間以上加熱処理を行うことを特徴とする温度感知素子の製造方法を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
この出願の発明は上記のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。
【００１５】
この出願の発明の温度感知素子は、連続した柱状のインジウムが内包されたカーボンナノチューブからなり、環境温度の変化に伴ってカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さが変化することを特徴としている。
【００１６】
この出願の発明の温度感知素子はカーボンナノチューブの微細な構造を利用しているため、マイクロメートルサイズの非常に小さな温度感知素子とすることができる。なおこの出願において、「温度感知素子」とは温度を直接感知し温度の変化に伴い状態（体積や抵抗など）が変化する素子を意味する。
【００１７】
具体的には、たとえばカーボンナノチューブの軸方向長さが１μｍ以上１０μｍ以下、直径が１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下の温度感知素子とすることができ、それを用いることでマイクロメートルサイズの環境での温度を高精度に測定することが可能なナノ温度計を実現できるのである。
【００１８】
なお、この出願の発明の温度感知素子においてはカーボンナノチューブの内部の中空の円筒にインジウムが内包されているため、インジウムは連続した柱状体としての形状を有している。
【００１９】
また、この出願の発明のナノ温度計は、上記の温度感知素子を有し、かつその温度感知素子の環境温度の変化に伴って変化する柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することによって環境温度の計測を行う温度計測部を有することを特徴としている。
【００２０】
この出願の発明のナノ温度計の動作原理はカーボンナノチューブの内部に存在するインジウムの温度変化に伴う膨張特性に基づいており、周知である水銀温度計の柱状の水銀の膨張および収縮の変化と同様の変化がカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムにおいても見られ、カーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することで温度を測定することができ、その場合、温度計測部において透過型電子顕微鏡を用いてカーボンナノチューブ内の柱状のインジウムの軸方向の長さを測定することができる。
【００２１】
なお、この出願の発明においてカーボンナノチューブに内包される物質としてインジウムが選択される理由は、インジウムが比較的低い融点１５６．６℃を有する一方で沸点は２０５０℃と高く、その液相の温度範囲が広く高温においても蒸気圧が低いため、広い温度範囲の温度計に用いるのに適しているからである。
【００２２】
すなわちこの出願の発明のナノ温度計は水銀の液相の温度範囲（−３８．８７〜３５６．５８℃）よりも広いインジウムの液相の温度範囲（１５６．６〜２０５０℃）を利用した広範な測定温度範囲を有するものなのである。
【００２３】
またこの出願のナノ温度計において、柱状のインジウムの長さは１７０℃以上４００℃以下の温度範囲で温度を上昇させると直線的に増加し、また温度を下降させた場合にも直線的に減少する。したがって１７０〜４００℃の温度範囲においてはこの出願の発明のナノ温度計を用いることによって、環境温度をカーボンンナノチューブに内包されているインジウムの長さから簡単かつ高精度に計測することが可能となり、より具体的には、計測される温度の誤差が±０．２３℃以内で環境温度を計測することが可能となる。
【００２４】
したがって、この出願の発明のナノ温度計はマイクロメートルの環境における広い温度範囲の温度測定を伴う研究において好適に利用することができるのである。
【００２５】
またこの出願の発明の温度感知素子の製造方法は、酸化インジウム粉末と炭素粉末を均一に混合する工程と、その混合粉末を不活性ガス気流下で９００℃以上１４００℃以下の温度で加熱処理を行うことで混合物を蒸発させる工程と、８００℃以上８５０℃以下の温度で反応させる工程とを含むことを特徴としている。
【００２６】
そして温度感知素子に用いられるカーボンナノチューブの原料としては炭素粉末を使用することができ、この炭素粉末としては比較的純度の高い、たとえば純度９０％以上の炭素粉末を使用することができる。炭素粉末は活性炭であることが望ましく、非晶質の活性炭であることがより好ましい。また、カーボンナノチューブに内包される柱状のインジウムの原料としては酸化インジウムを好適に用いることができ、不活性ガスとしては窒素ガスを好適に用いることができる。
【００２７】
またこの出願の発明の方法においては酸化インジウムと炭素粉末の重量比を６：１から１５：１の間で調節することで良好な温度感知素子を形成することができ、さらに１１．６：１の重量比とすることがより好ましい。
【００２８】
酸化インジウム粉末および炭素粉末は均一に混合され、窒素ガスなどの不活性ガス気流下、９００℃以上１４００℃以下の温度で加熱処理されることによって酸化インジウムとカーボン粉末は蒸発させることができるのであるが、その際の加熱処理は、汎用的な装置であって対象物を高温に加熱するのに適した縦型高周波誘導加熱炉を用いて行うことができ、１２００〜１４００℃温度で１時間以上加熱処理を行うことでより良質な温度感知素子が形成される。蒸気は不活性ガス気流によって運ばれ、８００℃以上８５０℃以下の温度で反応し堆積する。
【００２９】
たとえば、縦型高周波誘導加熱炉のサセプターの底部に不活性ガス気流導入間および頂部に排出管が取り付けられている場合には、この出願の発明の温度感知素子は頂部排出管の内側表面に堆積物として得られるのである。
【００３０】
ここで、この出願の発明の温度感知素子の製造方法の原理を説明する。
【００３１】
一般にある種の材料が内包されたカーボンナノチューブを製造するには２つの方法が知られている。一つは既に存在しているカーボンナノチューブを利用して毛管現象法、溶融媒体法、湿式化学的溶解法によってカーボンナノチューブに内包物を内包させる方法であり、もう一つはカーボンナノチューブと内包物とを同時に製造する方法であるが、この出願の発明におけるインジウムが内包されたカーボンナノチューブからなる温度感知素子の製造方法は上記の方法のうち二番目の方法である。
【００３２】
この出願の発明では、インジウムが内包されたカーボンナノチューブの製造には二段階の化学反応が関わっている。まず約９００℃よりも高い温度でグラファイト製坩堝の中で酸化インジウム粉末と非晶質活性炭粉末とが次の式のように反応し、Ｉｎ２ＯとＣＯの蒸気を生成することができる。
【００３３】
Ｉｎ２Ｏ３（固体）＋２Ｃ（固体）→Ｉｎ２Ｏ（蒸気）＋２ＣＯ（蒸気）
１３６０℃で１モルのＩｎ２Ｏの蒸気を生成するための体積ギブスエネルギーの変化は−２５６ｋＪと計算され、非晶質活性炭粉末の高い表面ギブスエネルギーを考慮すると十分に上記の反応が起こると考えられる。
【００３４】
次にＩｎ２ＯおよびＣＯの蒸気がグラファイト製円筒の排出口の内側表面（約８００℃）に到達すると、蒸気・蒸気反応が以下のように起こり、インジウムとカーボンが生成する。
【００３５】
Ｉｎ２Ｏ（蒸気）＋３ＣＯ（蒸気）→２Ｉｎ（固体）＋Ｃ（固体）＋２ＣＯ２（蒸気）
この反応では１モルのカーボンを生成するためには−４２ｋＪのギブスエネルギーの減少を伴うことが計算される。
【００３６】
このようにして、インジウムが内包されたカーボンナノチューブからなる温度感知素子を二段階の化学反応により形成することができるのである。
【００３７】
以下、添付した図面に沿って実施例を示し、この出願の発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。もちろん、この発明は以下の例に限定されるものではなく、細部については様々な態様が可能であることは言うまでもない。
【００３８】
【実施例】
＜実施例１＞
まず、インジウムが内包されたカーボンナノチューブからなる温度感知素子を、縦型高周波誘導加熱炉を用いて製造した。この縦型高周波誘導加熱炉は長さ５０ｃｍ、直径１２ｃｍ、厚さ０．２５ｃｍの透明石英ガラス管で構成されている。この石英ガラス管の中に高純度のグラファイト製の円筒が取り付けられており、この円筒は長さ７ｃｍ、外径４．５ｃｍ、内径３．５ｃｍである。またこの円筒には底部にガス導入管、上部にガス排出管が設けてあり、さらにこの円筒の中に直径２ｃｍ、高さ２ｃｍのグラファイト製坩堝が配置されている。
【００３９】
この坩堝の中に重量比で１１．６：１の酸化インジウム粉末と非晶質活性炭粉末の均一な混合物を入れ、加熱炉の中に高純度の窒素ガス気流を導入し、混合物を１３６０℃で２時間加熱処理した。加熱処理後、グラファイト製坩堝内の原料混合物は消失し、上部の排出口の内側表面に若干の物質が堆積した。堆積した排出口付近の温度は約８００℃であった。
【００４０】
堆積した物質を採取してＸ線エネルギー拡散スペクトロメータが装着された３００ｋＶ電界放射分析高解像度透過型電子顕微鏡により分析を行った。その結果を図１に示す。図１（ａ）は採取した堆積物の一次元ナノスケールワイヤ（１）の透過型電子顕微鏡像の写真であり、この一次元ナノスケールワイヤの長さは約１０μｍ、直径が１００〜２００ｎｍである。
【００４１】
図１（ａ）の左上隅の図１（ｂ）は図１（ａ）の一次元ナノスケールワイヤ（１）の電子線の回折パターンの写真であり、外側の層がカーボンナノチューブ（２）でありその内側に内包されている物質がインジウム（３）であることを示している。図１（ｃ）は堆積物のＸ線エネルギー拡散スペクトルの測定結果を示したグラフであるが、同図よりインジウムと炭素からなる組成であることが分かった。なお、図１（ｃ）中のＣｕのピークは透過型電子顕微鏡測定に使う試料につける銅グリッドに由来するピークである。
【００４２】
次に図２（ａ）にインジウムが内包されたカーボンナノチューブにおいて、一方の端からもう一方の端まで完全な形態を保った透過型電子顕微鏡像の写真を示す。図２（ａ）の写真はインジウム（３）が内包されたカーボンナノチューブ（２）の２０℃における像であるが、この試料を３７７℃に加熱したときのカーボンナノチューブ（２）の先端部の透過型電子顕微鏡像の写真が図２（ｂ）であり、加熱後も同じ形状を保っており、この結果からこのカーボンナノチューブ（２）の先端は閉じていることが分かった。
【００４３】
また図２（ｃ）に、インジウム（３）を内包した、閉じた先端部も含めたカーボンナノチューブ（２）の透過型電子顕微鏡像の写真を示してあるが、図２（ａ）と同様、先端部と先端部から離れた部分の太さが同じである。一方、図２（ｄ）、（ｅ）には比較のためにガリウム（４）が内包されたカーボンナノチューブ（２）の先端部を含めた一部およびカーボンナノチューブの先端部の写真を示したが、図２（ａ）、（ｃ）と違ってカーボンナノチューブの先端部が球状になっており、先端部以外の部分よりも太くなっていることが分かる。
【００４４】
次に堆積物を顕微鏡内においてゲータン加熱ホルダーおよびそれに付随の加熱システムを用いて加熱した。図３（ａ）から図３（ｄ）の透過型電子顕微鏡像の写真はインジウムの融点よりも高い温度に上昇させた場合のインジウムの先端面の高さを示しており、それぞれの温度は図３（ａ）が１７０℃、図３（ｂ）が２７０℃、図３（ｃ）が３２２℃および図３（ｄ）が３７７℃である。インジウムの先端面は図３（ａ）〜（ｄ）から明らかなように高温になるほど上昇する。
【００４５】
図４にインジウムの先端面の高さと温度の関係を表したグラフを示したが、同図より明らかなようにインジウムの先端面の高さと温度の間において１７０℃以上４００℃以下においてほぼ直線関係が成り立っているのが分かる。ここで、インジウムが液体である場合、その膨張係数は０．１×１０−３／℃であり、カーボンナノチューブの成分であるグラファイト状カーボンの線膨張係数は２０〜４００℃の範囲で１×１０−６と非常に小さいため、温度を２０℃から４００℃まで変化させてもカーボンナノチューブの膨張がインジウムの先端面の高さに及ぼす影響は無視できる。
【００４６】
したがってインジウムの先端面の高さと温度との関係は柱状インジウムの環境温度の変化に伴う体積変化のみに依存する。
【００４７】
図４の結果から柱状のインジウムが内包されたカーボンナノチューブはインジウムが液体状態の１７０℃から４００℃の間の温度範囲で温度感知素子として使用することができ、この温度感知素子を有し、かつ環境温度の変化に伴って変化する温度感知素子の柱状のインジウムの長さを測定し環境温度を計測する温度計測部を有するナノ温度計とすることができるのである。
【００４８】
また、この出願の発明のナノ温度計においては以下のことが言える。
【００４９】
インジウムの先端面の変化量ΔＨは図４の直線の傾きから、
ΔＨ＝０．８５７（ｔ−１７０）
で表される。ここでΔＨは温度ｔ℃におけるインジウム先端面の高さと１７０℃におけるインジウム先端面の高さの差であり、ΔＨ（ｎｍ）が分かれば温度ｔ（℃）を測定することができる。そして温度計測部における透過型電子顕微鏡の解像度を０．２ｎｍとすることによってこの出願の発明のナノ温度計の温度測定の精度を０．２３℃とすることができる。
【００５０】
このように本願発明のナノ温度計は、マイクロメートルサイズの環境における温度測定に適用でき、マイクロメートルサイズの環境の温度測定を伴う様々な研究分野において重要な役割を果たすことができるのである。
【００５１】
【発明の効果】
以上詳しく説明したとおり、この出願の発明によって、マイクロメートルサイズ以下の環境において広い温度範囲の温度測定に使用できる新しいナノ温度計が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はインジウムが内包されたカーボンナノチューブの透過型電子顕微鏡像の写真である。
（ｂ）はインジウムが内包されたカーボンナノチューブのＸ線回折パターンの写真である。
（ｃ）はＸ線エネルギー拡散スペクトルのパターンを示す図である。
【図２】（ａ）は２０℃におけるインジウムが内包されたカーボンナノチューブの透過型電子顕微鏡像の写真である。
（ｂ）は３７７℃におけるインジウムが内包されたカーボンナノチューブの先端部の透過型電子顕微鏡像の写真である。
（ｃ）はインジウムが内包されたカーボンナノチューブの閉じた先端部を含む透過型電子顕微鏡像の写真である。
（ｄ）および（ｅ）はガリウムが内包された先端部が球状のカーボンナノチューブの透過型電子顕微鏡像の写真である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、１７０℃、２７０℃、３２２℃および３７７℃での柱状インジウムの高さを示す透過型電子顕微鏡像の写真である。
【図４】インジウム先端面の高さと温度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  一次元ナノスケールワイヤ
２  カーボンナノチューブ
３  インジウム
４  ガリウム
【図１】
2004184291.tif 000003
【図２】
2004184291.tif 000004
【図３】
2004184291.tif 000005
【図４】
2004184291.tif 000006