(57)【要約】【課題】真空系を備えた真空装置の真空制御において、開発環境に依存せず、またソフトウェア言語を知らないソフトウェア開発未経験者でも簡単に真空制御アルゴリズムを設計し、オブジェクトを作成できる真空制御処理装置を提供することにある。【解決手段】インタプリタ手段４４は、端末装置５０によって中間語コード化された真空制御アルゴリズムを解釈し、実行する。端末装置５０のワークシート作成手段５２は、真空制御アルゴリズムをワークシート形式で、簡易言語コードで作成する。ワークシート作成手段５２は、画面中に表示された処理概要コメントを参考にして、制御項目を選択することにより、制御命令コードが自動的に入力する。【選択図】  図１
2004152560.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空系を備えた真空装置を制御する真空制御処理装置において、
入出力を行う機能を有する端末装置によって中間語コード化された真空制御アルゴリズムを解釈し、実行するインタプリタ手段を備えたことを特徴とする真空制御処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の真空制御処理装置において、
上記端末装置は、上記真空制御アルゴリズムをワークシート形式で、簡易言語コードで作成するワークシート作成手段を備えることを特徴とする真空制御処理装置。
【請求項３】
請求項２記載の真空制御処理装置において、
上記ワークシート作成手段は、画面中に表示された処理概要コメントを参考にして、制御項目を選択することにより、制御命令コードが自動的に入力することを特徴とする真空制御処理装置。
【請求項４】
請求項１記載の真空制御処理装置において、
上記端末装置は、作成された簡易言語による真空制御アルゴリズムを中間語コードに変換するトランスレータ変換手段を備えることを特徴とする真空制御処理装置。
【請求項５】
真空系を備えた真空装置を制御する真空制御処理装置において、
バルブの動作状況を計測する計測手段と、
この計測手段によって計測されたバルブの動作状況に基づいて、バルブの動作履歴情報を求める統計処理手段を備えることを特徴とする真空制御処理装置。
【請求項６】
請求項５記載の真空制御処理装置において、
上記統計処理手段によって処理された上記バルブの動作履歴情報として、真空系配管部を構成するバルブの開閉動作の動作時間若しくは動作リトライ回数の動作履歴を表示することを特徴とする真空制御処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査電子顕微鏡あるいは真空部を備えた半導体製造装置などの真空装置の真空制御を行う真空制御処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の真空制御処理装置では、例えば、特開平８−２２７９０号公報や特公平７−５４６８２号公報に記載されているように、真空装置の真空室大気，真空室排気といった真空制御を行う真空制御アルゴリズムに従って、真空制御するようにしている。ここで、真空装置の真空室大気，真空室排気といった真空制御を行う真空制御アルゴリズムは、オブジェクトとして真空制御処理装置に組み込まれている。
【特許文献１】
特開平８−２２７９０号公報
【特許文献２】
特公平７−５４６８２号公報
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のオブジェクトを真空制御処理装置に組み込む方式においては、オブジェクトを作成する開発環境に依存されるため、作成する開発環境が製造中止等の諸事情により無くなった場合（アッセンブラによるオブジェクト作成装置の製造中の場合など）には、オブジェクトを作成することができなくなる問題がある。更に、オブジェクトは、真空装置の真空制御が解釈、実行できる機械言語レベルであり、ある特定のソフトウェア言語で記述して作成しなければならず、また、真空制御アルゴリズムに変更が生じた場合においては、特定のソフトウェア言語を理解し、アルゴリズムを構築可能な人材に限定されるという問題があった。更に、殆どの場合、真空制御アルゴリズムを考案し設計する人とソフトウェア言語を記述しオブジェクトを作成する人が異なるため、設計仕様を誤って解釈したり、また設計仕様を解釈するまでの個人差があるなどの問題があった。
【０００４】
また、真空系配管部を構成する各種バルブの動作寿命は、ある一定の動作回数が仕様として示されているだけであったため、動作エラーの発生頻度により判断しなければならず、動作寿命の判定が容易でないという問題があった。
【０００５】
本発明の第１の目的は、真空系を備えた真空装置の真空制御において、開発環境に依存せず、またソフトウェア言語を知らないソフトウェア開発未経験者でも簡単に真空制御アルゴリズムを設計し、オブジェクトを作成できる真空制御処理装置を提供することにある。
【０００６】
本発明の第２の目的は、バルブの動作寿命の判定を容易に行える真空制御処理装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
（１）上記第１の目的を達成するために、本発明は、真空系を備えた真空装置を制御する真空制御処理装置において、入出力を行う機能を有する端末装置によって中間語コード化された真空制御アルゴリズムを解釈し、実行するインタプリタ手段を備えるようにしたものである。
かかる構成により、開発環境に依存せず、またソフトウェア言語を知らないソフトウェア開発未経験者でも簡単に真空制御アルゴリズムを設計し、オブジェクトを作成することができる。
【０００８】
（２）上記（１）において、好ましくは、上記端末装置は、上記真空制御アルゴリズムをワークシート形式で、簡易言語コードで作成するワークシート作成手段を備えるようにしたものである。
【０００９】
（３）上記（２）において、好ましくは、上記ワークシート作成手段は、画面中に表示された処理概要コメントを参考にして、制御項目を選択することにより、制御命令コードが自動的に入力するようにしたものである。
【００１０】
（４）上記（１）において、好ましくは、上記端末装置は、作成された簡易言語による真空制御アルゴリズムを中間語コードに変換するトランスレータ変換手段を備えるようにしたものである。
【００１１】
（５）上記第２の目的を達成するために、本発明は、真空系を備えた真空装置を制御する真空制御処理装置において、バルブの動作状況を計測する計測手段と、この計測手段によって計測されたバルブの動作状況に基づいて、バルブの動作履歴情報を求める統計処理手段を備えるようにしたものである。
かかる構成により、バルブの動作寿命の判定を容易に行えるものとなる。
【００１２】
（６）上記（５）において、好ましくは、上記統計処理手段によって処理された上記バルブの動作履歴情報として、真空系配管部を構成するバルブの開閉動作の動作時間若しくは動作リトライ回数の動作履歴を表示するようにしたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１１を用いて、本発明の一実施形態による真空制御処理装置の構成および動作について説明する。
最初に、図１を用いて、本実施形態による真空制御処理装置を用いる真空装置の全体構成について説明する。
図１は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置を用いる真空装置の全体構成を示すブロック図である。
【００１４】
例えば、走査電子顕微鏡等の真空装置１０は、試料室２０及び搬送室３０を備えている。試料室２０及び搬送室３０などの真空室は、真空／大気される。真空制御処理装置４０は、真空装置１０，試料室２０や搬送室３０の真空／大気状態に制御する。端末装置５０は、真空制御処理装置４０が実行する真空制御アルゴリズムの作成や、保持された各種バルブの動作履歴データの画面表示を行い、作成された真空制御アルゴリズムや動作履歴データを保持するメモリ６０を備えている。
【００１５】
次に、図２を用いて、本実施形態による真空制御処理装置の制御対象の真空系の配管部の構成について説明する。
図２は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置の制御対象の真空系の配管部の構成図である。なお、図１と同一符号は同一部分を示している。
【００１６】
図１に示した搬送室３０は、図２に示す例では、２つの搬送室３０Ａ，３０Ｂから構成されている。搬送室３０Ａを大気開放する配管ＰＩ１には、２段のリークバルブＶＡ１，ＶＡ２が設けられている。搬送室３０Ｂを大気開放する配管ＰＩ２には、２段のリークバルブＶＡ３，ＶＡ４が設けられている。搬送室３０Ａを真空排気する配管ＰＩ３には、真空バルブＶＢ１が設けられ、搬送室３０Ｂを真空排気する配管ＰＩ４には、真空バルブＶＢ２が設けられている。搬送室３０Ａ，３０Ｂを真空排気する配管ＰＩ５には、粗引きのためのロータリーポンプＰ１及び気圧を測定するための気圧センサＳＡ１が設けられている。
【００１７】
また、搬送室３０Ａを真空排気する配管ＰＩ６には、バルブＶＢ３，ＶＢ４及び高真空に排気するためのターボポンプＰＴ１が設けられ、搬送室３０Ｂを真空排気する配管ＰＩ７には、バルブＶＢ５，ＶＢ６及び高真空に排気するためのターボポンプＰＴ２が設けられている。試料室２０を真空排気する配管ＰＩ８には、バルブＶＢ７及び高真空に排気するためのターボポンプＰＴ３が設けられている。搬送室３０Ａ，３０Ｂ及び試料室２０を真空排気する配管ＰＩ９には、粗引きするためのロータリーポンプＰＲ２及び気圧を測定するための気圧センサＳＡ２が設けられている。
【００１８】
走査電子顕微鏡の鏡筒のような真空装置１０には、それぞれ内部を高真空に排気するためのイオンポンプＰＮ１，ＰＮ２，ＰＮ３が設けられている。
【００１９】
搬送室３０Ａには、内部の真空度を測定するためのペニングゲージＳＢ１，ピイラニーゲージＳＣ１，大気圧センサＳＤ１が設けられている。搬送室３０Ｂにも、内部の真空度を測定するためのペニングゲージＳＢ２，ピイラニーゲージＳＣ２，大気圧センサＳＤ２が設けられている。試料室２０には、内部の真空度を測定するためのペニングゲージＳＢ３，ピイラニーゲージＳＣ３が設けられている。
【００２０】
真空装置１０と試料室２０の間には、両者の間を開放したり遮断するための真空バルブＶＣ１が設けられている。試料室２０と搬送室３０Ａの間には、両者の間を開放したり遮断するための真空バルブＶＣ２が設けられている。試料室２０と搬送室３０Ｂの間には、両者の間を開放したり遮断するための真空バルブＶＣ３が設けられている。搬送室３０Ａと外部の間には、両者の間を開放したり遮断するための真空バルブＶＣ４が設けられている。搬送室３０Ｂと外部の間には、両者の間を開放したり遮断するための真空バルブＶＣ５が設けられている。
【００２１】
真空制御処理装置４０は、予め設定されたアルゴリズムに従って、リークバルブＶＡ１，…，ＶＡ４の開閉や、真空バルブＶＢ１，…，ＶＢ７の開閉や、真空バルブＶＣ１，…，ＶＣ５の開閉を制御する。また、真空制御処理装置４０は、予め設定されたアルゴリズムに従って、各ポンプＰＲ１，ＰＲ２，ＰＴ１，ＰＴ２，ＰＴ３，ＰＮ１，ＰＮ２，ＰＮ３の起動／停止を制御する。さらに、真空制御処理装置４０は、試料室２０や搬送室３０Ａ，３０Ｂの真空度や大気圧や配管ＰＩ５，ＰＩ９の真空度を各センサＳＡ１，ＳＡ２，ＳＢ１，ＳＢ２，ＳＢ３，ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３，ＳＤ１，ＳＤ２によって検出する。
【００２２】
次に、図３〜図９を用いて、本実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズムの作成方法について説明する。
最初に、図３を用いて、本実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置及び真空制御処理装置の構成について説明する。
図３は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置及び真空制御処理装置の構成を示すブロック図である。
【００２３】
端末装置５０は、ワークシート作成手段５２と、トランスレータ変換手段５４とを備えている。ワークシート作成手段５２は、図５を用いて後述するように、簡易言語を用いてワークシート形式で、真空排気制御アルゴリズムを作成する。トランスレータ変換手段５４は、図７を用いて後述するように、ワークシート作成手段５２によって作成された真空排気制御アルゴリズムを、簡易言語から中間語コードに変換する。
【００２４】
真空制御処理装置４０は、不揮発性メモリ４２と、インタプリタ手段４４とを備えている。不揮発性メモリ４２は、プログラム領域４２Ａと、中間語コード書込領域４２Ｂとを備えている。端末装置５０と真空制御処理装置４０とは通信機構及び通信回線を用いて接続されており、トランスレータ変換手段５４によって変換された中間語コードの真空制御アルゴリズムは、端末装置５０からダウンロードされ、中間語コード書込領域４２Ｂに書込記憶される。インタプリタ手段４４は、図９を用いて後述するように、中間語コード書込領域４２Ｂに記憶された中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを読み出して、オブジェクトを実行する。
【００２５】
次に、図４を用いて、真空排気制御の一例について説明する。
図４（Ａ）は、真空排気制御の対象の真空装置の概念図であり、図４（Ｂ）は、真空排気制御アルゴリズムの一例のフローチャートである。
【００２６】
図４（Ａ）に示すように、真空室Ｒに接続された配管には、バルブＬＶ１，ＡＶ１が設けられている。また、真空室Ｒを真空引きするための吸引ポンプＴＭＰが設けられている。バルブＬＶ１，ＡＶ１の開閉（オン・オフ）や、吸引ポンプＴＭＰの起動（オン）・停止（オフ）は、真空制御処理装置１００によって制御される。真空室Ｒの内部の気圧は、真空センサＰＥ１によって測定される。測定された真空度は、真空制御処理装置１００に取り込まれる。
【００２７】
真空室Ｒの内部を所定の高真空レベルにするための真空制御アルゴリズムは、図４（Ｂ）のフローチャートによって表すことができる。すなわち、ステップｓ１０において、真空制御処理装置は、吸引ポンプＴＭＰを起動（オン）し、吸引ポンプ起動を確認後、ステップｓ２０において、バルブＬＶ１を閉じる。ステップｓ３０において、バルブＬＶ１が完全に閉じたことを確認し、確認されると、ステップｓ４０において、バルブＡＶ１を開き、真空室Ｒの内部の大気吸引を開始する。ステップｓ５０において、バルブＡＶ１が完全に開いたことが確認されると、ステップｓ６０において、真空センサーＰＥ１による室内真空度監視を開始し、真空度が高真空レベルに到達したかチェックして高真空レベルに到達したならば真空排気制御終了となる。
【００２８】
図４（Ｂ）に示した制御アルゴリズムは、各パーツに分けると、以下の６つのパーツに展開される。
（１）吸引ポンプ１３０を起動する。
（２）バルブ１００を閉じる。
（３）バルブ１００の動作状態をチェックする。（閉じたか？）
（４）バルブ１１０を開ける。
（５）バルブ１１０の動作状態をチェックする。（開いたか？）
（６）真空センサー１２０で室内の真空レベルをチェックする。
【００２９】
これらの６つの各パーツが、真空制御処理のオブジェクトとなる。これらのオブジェクトは、予め真空制御処理装置内に組み込まれている。各オブジェクトには、オブジェクト番号が割り付けられている。また、オブジェクトの種類によっては、オブジェクトを制御するためのパラメータが用いられる場合もある。例えば、「（３）バルブの動作状態チェック」というオブジェクトに対しては、バルブの閉じ動作の指令後、バルブが閉じるまでの時間を監視するタイムアウト時間が設けられており、このタイムアウト時間が制御パラメータとなる。従って、真空排気制御アルゴリズムは、オブジェクト番号と、パラメータの集合体として表現できる。そして、以下の説明では、オブジェクト番号と、パラメータの集合体を、「中間語コード」と称する。
【００３０】
真空排気制御の制御アルゴリズムを設計する設計者は、中間語コードには不慣れであり、中間語コードで制御アルゴリズムを設計することは困難であるため、本実施形態では、端末装置５０を用いて、中間語コードよりも簡便でわかりやすい簡易言語を用いて、ワークシート形式で、制御アルゴリズムを設計できるようにしている。
【００３１】
次に、図５を用いて、本実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段の動作について説明する。
図５は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段によって作成されるワークシートの表示例の説明図である。
【００３２】
端末装置５０の表示部には、図５に示されるようなワークシートが表示される。制御アルゴリズムの設計者は、このワークシート内に、例えば、図４（Ｂ）に示したフローチャートの制御アルゴリズムを、簡易言語仕様で記入する。
【００３３】
ここで、図５を用いて、ワークシートの構成について説明する。
ワークシートは、大きく分けて３つの行（図中、第１行と、第２行と、第３〜１２行以下）から構成されている。第１行目には、真空制御の種類を選択するコンボボックス２００と、作成した簡易言語コードを中間語コードに変換する機能を有する変換ボタン２０１と、変換した中間語コードをファイル形式で保存する機能を有する保存ボタン２０２とが配置される。
【００３４】
第２行目には、第１カラムから第４カラムまでのコメントを表し、第２行目の第１カラムの「ラベル」は、次のＡ）〜Ｃ）に示すような役割を果たす。
【００３５】
Ａ）アドレスシンボル：データの格納場所、分岐先などのアドレスを表す。
【００３６】
Ｂ）定数シンボル：定数を表す。
【００３７】
Ｃ）セクションシンボル：セクションの名称を表す。
【００３８】
例えば、第３行第１カラムの「ＴＥＶＡＣ」は、セクションシンボルであり、排気制御の制御アルゴリズムであることを示している。第７行第１カラムの「ＳＬＥ１」はアドレスシンボルであり、第６行目第３カラムで指定されたアドレスのジャンプ先を示している。
【００３９】
第２カラムの「オペレーション」は、オペレーションコードを示し、簡易言語コードで、制御命令を記述する。第３行第２カラムの「ＥＱＵ」は、イコール（Ｅｑｕａｌ）を表している。第４行目は、図４（Ｂ）のステップｓ１０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第４行第２カラムの「ＳＴＭＰＮ」は、吸引ポンプＴＭＰを起動（オン）することを表している。第５行目は、図４（Ｂ）のステップｓ２０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第５行第２カラムの「ＬＶ１Ｃ」は、パルブＬＶ１を閉止（クローズ＝Ｃ）することを表している。第６行目は、図４（Ｂ）のステップｓ３０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第６行第２カラムの「ＳＬＶ１ＣＪＧ」は、パルブＬＶ１が閉止（クローズ＝Ｃ）したか否かを判定（ジャッジ＝ＪＧ）することを表している。第８行目は、図４（Ｂ）のステップｓ４０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第８行第２カラムの「ＡＶ１Ｎ」は、パルブＡＶ１を開放（オープン＝Ｎ）することを表している。第９行目は、図４（Ｂ）のステップｓ５０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第９行第２カラムの「ＳＡＶ１ＮＪＧ」は、パルブＡＶ１が開放（オープン＝Ｎ）したか否かを判定（ジャッジ＝ＪＧ）することを表している。第１１行目は、図４（Ｂ）のステップｓ６０の制御アルゴリズムに対応するものであり、第１１行第２カラムの「ＳＰＥ１ＨＪＧ」は、真空センサＰＥ１によって検出された真空度が、所定レベル以上（ハイ＝Ｈ）であるか否かを判定（ジャッジ＝ＪＧ）することを表している。
【００４０】
第３カラムの「オペランド」は、オブジェクト内での処理に使用される制御パラメータを記述する。例えば、第５行第３カラムの制御パラメータ「２５」は、パルブＬＶ１の閉止完了までのタイムアウト時間が２５秒であることを表している。第５行第２カラムのオペレーション「ＬＶ１Ｃ」を実行した後、２５秒経過しても、次の第６行第２カラムのオペレーション「ＳＬＶ１ＣＪＧ」がＹｅｓとならない場合には、バルブＬＶ１の動作不良が考えられるため、オペレーション「ＬＶ１Ｃ」がタイムアウトされる。第６行第３カラムの制御パラメータ「ＳＬＥ１」は、条件分岐オペレーション「ＳＬＶ１ＣＪＧ」の判定がＹｅｓとなった場合のジャンプ先のアドレスを表している。この場合、第７行第１カラムの「ＳＬＥ１」のアドレスにジャンプすることになる。
【００４１】
第４カラムの「コメント」には、第２カラムで記述した制御命令の処理概要のコメントが自動的に表示される。例えば、第４行第２カラムの「ＳＴＭＰＮ」が、「吸引ポンプの起動」であるというコメントが記載される。第２カラムにオペレーションを記入すると、ワークシード作成手段５２は、その内容を示すコメントを、第４カラムに自動的に表示する。
【００４２】
第３行目以降では真空制御アルゴリズムを簡易言語コードにより記述する。
【００４３】
簡易言語コードをよく知っている設計者は、簡易言語コードによる制御命令コードを、直接ワークシート内のオペレーションコード入力欄に入力することによって、制御アルゴリズムを簡易言語コードにより設計することができる。ただし、簡易言語コードに精通していない設計者のために、ワークシート作成手段５２は、簡易言語コードによる入力の補助ツールを備えている。
【００４４】
ここで、図６を用いて、本実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段における簡易言語コード入力補助ツールの動作について説明する。
図６は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段における簡易言語コード入力補助ツールの動作の説明図である。
【００４５】
図６（Ａ）は、図５に示したワークシートの一部を示している。なお、ラベル「ＴＥＶＡＣ」およびオペレーション「ＥＱＵ」は既に入力されているが、他のオペレーションやオペランドは未入力の状態とする。
【００４６】
設計者が、オペレーションコード入力欄の右脇のコンボボックス３００Ａを端末装置５０のマウスでクリックすると、図６（Ｂ）に示すように、簡易言語入力補助画面３０１が表示される。ここで、画面中に表示された処理概要コメントを参考にして、例えば、吸引ポンプの起動を行いたい場合には、「オン／オフ」をマウスクリックすると、図６（Ｃ）に示す簡易言語入力補助画面３０２が表示される。そこで、制御項目として、例えば、「吸引ポンプ起動」を選択すると、図６（Ａ）のオペレーションの項目には、制御命令コードである「ＳＴＭＰＮ」が自動的に入力され、コメント欄に自動的に制御命令に対する処理概要コメント（例えば、「吸引ポンプ起動」）が表示される。
【００４７】
同様にして、設計者が、オペレーションコード入力欄の右脇のコンボボックス３００Ｂを端末装置５０のマウスでクリックすると、図６（Ｂ）に示すように、簡易言語入力補助画面３０１が表示される。ここで、画面中に表示された処理概要コメントを参考にして、例えば、バルブの開閉を行いたい場合には、「オープン／クローズ」をマウスクリックすると、図６（Ｄ）に示す簡易言語入力補助画面３０３が表示される。そこで、制御項目として、例えば、「ＬＶ１をオープン」を選択すると、図６（Ｅ）に示す簡易言語入力補助画面３０４が表示される。この画面では、バルブ動作のタイムアウト時間を入力するため、数字入力欄（図中の四角枠）に数字を入力する。なお、数字は、予めデフォルトの数字が表示されるので、変更無い場合はこのままとして、必要に応じて、数値を変更する。数値入力が終了すると、図６（Ａ）のオペレーションの項目には、制御命令コードである「ＬＶ１Ｃ」が自動的に入力され、オペランドにはタイムアウト時間の「２５」が表示され、コメント欄に自動的に制御命令に対する処理概要コメント（例えば、「ＬＶ１  ＣＬＯＳＥ」）が表示される。
【００４８】
従って、簡易言語コードによる入力の補助ツールを用いることにより、簡易言語仕様を覚えておく必要が無くなり、簡易言語に精通して無くても、容易に、制御アルゴリズムを設計することができる。
【００４９】
次に、図７を用いて、本実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置における簡易言語仕様を基に作成された真空制御アルゴリズムを中間語コードに変換するトランスレータ手段５４の動作について説明する。
図７は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置における簡易言語仕様を基に作成された真空制御アルゴリズムを中間語コードに変換するトランスレータ手段の動作説明図である。
【００５０】
トランスレータ変換手段５４は、図５，図６において説明した方法によりワークシート上に作成された簡易言語を１行ずつ読み出し、読み出した簡易言語を基にコード変換情報５４Ａから一致する簡易言語を検索し、一致したオブジェクト登録番号と制御パラメータを抽出して中間語コードに変換する。
【００５１】
すなわち、図５に示したオペレーション２１１のカラムのオペランド「ＳＴＭＰＮ」，「ＬＶ１Ｃ」，「ＳＶＬ１ＣＪＧ」等を、図７（Ｂ）に示すように、順次読み出す。例えば、「ＳＴＭＰＮ」が読み出されると、図７（Ｃ）に示すように、トランスレータ変換手段５４は、その内部に記憶されているコード変換情報５４Ａに基づいて、「ＳＴＭＰＮ」に対応する登録情報として、「０ｘ０００５」に変換する。また、「ＬＶ１Ｃ」が読み出されると、図７（Ｃ）に示すように、トランスレータ変換手段５４は、その内部に記憶されているコード変換情報５４Ａに基づいて、「ＬＶ１Ｃ」に対応する登録情報として、「０ｘ０００５」に変換し、制御パラメータとして「０ｘ０１Ｆ４」に変換する。変換された中間語コードは、図７（Ｄ）に示すようになる。
【００５２】
トランスレータ変換手段５４によって変換された中間語コードの真空制御アルゴリズムは、図３に示したように、端末装置５０からダウンロードされ、中間語コード書込領域４２Ｂに書込記憶されることにより、真空制御処理装置に実装される。
【００５３】
簡易言語から中間語コードに変換するに際して、トランスレータ変換に各種指示を与えるトランスレート制御命令機能，条件によってトランスレート機能を切替えたり、繰り返しトランスレートする条件付トランスレート機能，一連の処理に名前を付加し、１つの命令として定義するマクロ機能を有し、各機能をトランスレータが実行することにより、効率の良いオブジェクト生成を可能としている。
【００５４】
本実施形態による方法では、真空系を備えた真空装置において、真空装置を構成する各種バルブ，センサー類の配置数または用途に違いがある場合においても各処理登録テーブルに該当する処理分けを行うことで真空制御オブジェクトを作成することに対応可能である。
【００５５】
次に、図８及び図９を用いて、本実施形態による真空制御処理装置における中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを実行するインタプリタ手段４４の動作について説明する。
図８は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置における中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを実行するインタプリタ手段４４の動作を示すフローチャートである。図９は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置における中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを実行するインタプリタ手段４４の動作説明図である。
【００５６】
ステップｓ１１０において、図９に示すインタプリタ手段４４は、図３に示した中間語コード書込領域４２Ｂに書き込まれている中間語コードを読み出す。図９に示すように、中間語コードは、オブジェクト番号と、必要に応じて制御パラメータとから構成されている。インタプリタ手段４４は、読み出した中間語コードから、オブジェクト番号を取り出す。
【００５７】
次に、ステップｓ１２０において、インタプリタ手段４４は、内部に備えられた変換配列テーブル４４Ａを用いて、取り出されたオブジェクト番号に一致するオブジェクト番号を検索する。変換配列テーブル４４Ａは、図９に示すように、オブジェクト番号とオブジェクトアドレスが対応した一覧表である。
【００５８】
次に、ステップｓ１３０において、インタプリタ手段４４は、一致するオブジェクト番号があるか否か判断し、一致している場合には、ステップｓ１４０に進む。
【００５９】
ステップｓ１４０において、インタプリタ手段４４は、検索したオブジェクトを中間語コード内オブジェクト制御パラメータを基に実行する。
【００６０】
例えば、中間語コードとして、「０ｘ０００５」が読み出されると、このオブジェクトに対応するオブジェクトアドレス「０ｘ０Ｃ０１００００」が実行され、吸引ポンプＴＭＰが起動される。また、中間語コードとして、「０ｘ０００４」が読み出されると、このオブジェクトに対応するオブジェクトアドレス「０ｘ０Ｃ０１００２０」が実行され、バルブＬＶ１を閉じるとともに、このとき、制御パラメータとして「０ｘ０１Ｆ４」が設定されているので、バルブＬＶ１の閉動作のタイムアウト時間が２５秒と設定される。
【００６１】
さらに、ステップｓ１５０において、処理が終了か否かを判定し、終了しない場合には、ステップｓ１６０において、インタプリタ手段４４は、次の中間語コードの読み出し位置を決定し、ステップｓ１１０に戻り、処理を繰り返す。
【００６２】
以上のように、簡易言語作成、及びトランスレータ変換機能による中間語コード作成手法は、端末装置画面上のワークシート上の簡易言語入力域にプログラマが簡易言語入力補助画面上に表示されている簡易言語に対応した処理概要コメントを選択することにより自動的に記述され、予めプログラマが設計した真空制御アルゴリズムに従い、順次前記簡易言語入力域に簡易言語を記述していき、トランスレータ解釈用の簡易言語を列記した真空制御アルゴリズムの設計が成され、設計完了後にプログラマによりインタプリタエンジンが解釈する中間語コードに変換される。
【００６３】
次に、図１０及び図１１を用いて、本実施形態による真空制御処理装置におけるバルブの動作寿命の判定方法について説明する。
図１０は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置におけるバルブの動作寿命の判定装置に構成を示すブロック図である。図１１は、本発明の一実施形態による真空制御処理装置におけるバルブの動作寿命の判定方法の説明図である。
【００６４】
図１０に示すように、真空制御処理装置４０は、動作時間計測手段４６Ａと、リトライ回数計測手段４６Ｂとを備えている。動作時間計測手段４６Ａは、各バルブに対して、開指令を出してからバルブ開と判定されるまでの時間や、閉指令を出してからバルブ閉と判定されるまでの時間を計測する。リトライ回数計測手段４６Ｂは、バルブに対する開指令若しくは閉指令が出された後、タイムアウト時間が経過したことにより、再度開指令若しくは閉指令を発するリトライ回数を計測する。端末装置５０は、統計処理手段５６と、表示手段５８とを備えている。統計処理手段５６は、複数のバルブについて、動作時間計測手段４６Ａやリトライ回数計測手段４６Ｂが計測した計測値を統計処理し、結果を、表示手段５８に表示する。
【００６５】
図９にて説明したように、インタプリタ手段４４は、中間語コードを読み出して、オブジェクトを実行する。実行されるオブジェクトは、例えば、図４（Ｂ）のフローチャートに示したような処理内容となる。ここで、動作時間計測手段４６Ａは、図４（Ｂ）のステップｓ２０のバルブＬＶ１が閉じるとの命令が実行されてから、ステップｓ３０における判定が「はい」となるまでの時間を計測する。また、図５の第５行第３カラムにて説明したように、バルブＬＶ１の閉指令に対しては、２５秒のタイムアウト時間が設定されている。ステップｓ３０における判定が「いいえ」の時間が２５秒経過すると、タイムアウトとなる。すなわち、バルブＬＶ１の閉指令が出されたにも拘わらず所定時間経過してもバルブ閉とならない場合には、バルブＬＶ１の不具合と判定して、再度ステップｓ２０に戻り、バルブＬＶ１の閉指令を実行することにより、再度バルブ閉動作を実行するリトライ動作を行う。リトライ回数計測手段４６Ｂは、このバルブＬＶ１に対する閉指令が出された後、タイムアウト時間が経過したことにより、再度開指令若しくは閉指令を発するリトライ回数を計測する。
【００６６】
動作時間計測手段４６Ａが計測した動作時間及びリトライ回数計測手段４６Ｂが計測したリトライ回数のデータは、通信回線を介して、統計処理手段５６に送られる。統計処理手段５６は、受信した計測データを基に統計処理（最大動作時間、最小動作時間、総動作回数）し、図１１（Ａ）に示すように、表示手段５８の画面５００に表示する。更にグラフ表示部５０１には、画面５００で選択したバルブの動作時間の履歴が表示される。
【００６７】
従来は、バルブの総動作回数の仕様のみが示されているため、動作エラーの発生頻度等により判定していたが、発生頻度では、バルブの寿命が的確に判断するのが難しいものであった。それに対して、図１１（Ａ）のグラフ表示部５０１には、端末装置画面上で選択されたバルブの統計データが縦軸に動作時間、横軸に動作回数が表示され、動作回数が増えるにつれ１回の動作に要する時間が増えていく傾向が示される。バルブの規格仕様によりバルブの動作回数に対する耐久限度は示されてはいるが、実際に装置上で使用した場合には諸条件等の違い等により老朽化による部品交換時期には多少のずれが生じる場合があり、動作履歴データを表示し動作最大時間と動作最小時間との差が大きく動作リトライ回数の総数が多いバルブを選択し統計データをグラフに表示することにより、表示される動作時間の推移を見ると、例えば、動作回数Ｎｘの時点のように、途中から急に動作時間が長くなっている場合、バルブが寿命になっていると容易に判断することができる。
【００６８】
また、図１１（Ｂ）に示すように、動作時間の推移に代えて、リトライ回数をグラフ表示部５０２に表示するようにしてもよいものである。リトライ回数の推移によっても、急にリトライ回数が増えている等の状況からバルブが寿命になっていると容易に判定することができる。
【００６９】
更に、工場出荷時において、基本となる各種バルブの動作履歴データを取得し保持しておくことにより、各装置ごとにある一定の基準を設けて、例えば六ヶ月ごとに保守・点検作業を行うとした時に予め取得しておいた装置の基本動作履歴データと保守・点検時に取得した動作履歴データの数値を比較し、差分を画面に表示可能であれば装置稼動中のまま作業が行えるためＭＴＢＦ（平均故障間隔）及びＭＴＴＲ（平均修理時間）を低減できるため、装置稼働率を向上させることに繋がり、装置の信頼性が向上しエンドユーザに信頼性が高く評価されうる。
【００７０】
従来の真空装置を制御するの真空制御オブジェクトは、各種バルブ、各種センサー類の用途、配置される数により真空制御アルゴリズムオブジェクトが異なるため、各装置ごとに真空制御アルゴリズムを設計し、真空制御処理装置が解釈実行できる１つのオブジェクトとしてを作成し、真空制御ＣＰＵ装置に実装していた。しかしながら、本実施形態では、真空制御アルゴリズム自体をオブジェクトとして組み込まないため、オブジェクトを作成する環境に依存しなくなる。また、真空制御アルゴリズム自体は、簡単な簡易言語により作成できるため端末装置によりソフトウエア言語、中間語等に依存しない形式にて、真空制御アルゴリズムが作成できるため、作成者が特定の人に限定されなくなり、仕様作成内容を誤って解釈したり、内容を理解するまでに個人差がでるという問題が解消される。この結果、真空制御アルゴリズムを開発する低コスト、高信頼性のの低減と信頼性の高い真空制御アルゴリズムを提供できる。
【００７１】
更に、バルブの動作履歴が一括画面表示されるため、前もって保守、およびメンテナンス時期が特定できる。各種バルブ、センサー類の保守点検作業，不具合原因究明（解析）を行うためには、装置内に大気を入れ装置を開放する必要があり即時対応困難をきたしていたが、真空制御オブジェクトをインタプリタ方式にすることにより真空装置の各種バルブ、センサー類の用途、配置される数に違いがある、または装置稼動中で装置内が高真空状態のままの真空装置にも即時対応でき、真空室内の真空度および各種バルブの状態をリアルタイムで画面表示でき一目で装置状態が認識できるため不具合原因究明（解析）が容易となり、更に、本方式は真空装置および装置制御室内に新たに各種バルブ，センサー類が設置させることを除けば、真空装置に実装された真空制御オブジェクトを修正、変更しオブジェクトを再実装することなく真空制御オブジェクトを組み直すことが可能である。
【００７２】
【発明の効果】
本発明によれば、真空系を備えた真空装置の真空制御において、開発環境に依存せず、またソフトウェア言語を知らないソフトウェア開発未経験者でも簡単に真空制御アルゴリズムを設計し、オブジェクトを作成できる。
【００７３】
また、バルブの動作寿命の判定を容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による真空制御処理装置を用いる真空装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による真空制御処理装置の制御対象の真空系の配管部の構成図である。
【図３】本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置及び真空制御処理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】（Ａ）は、真空排気制御の対象の真空装置の概念図であり、（Ｂ）は、真空排気制御アルゴリズムの一例のフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段によって作成されるワークシートの表示例の説明図である。
【図６】本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置のワークシート作成手段における簡易言語コード入力補助ツールの動作の説明図である。
【図７】本発明の一実施形態による真空制御処理装置で用いる真空排気制御アルゴリズム作成のための端末装置における簡易言語仕様を基に作成された真空制御アルゴリズムを中間語コードに変換するトランスレータ手段の動作説明図である。
【図８】本発明の一実施形態による真空制御処理装置における中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを実行するインタプリタ手段４４の動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の一実施形態による真空制御処理装置における中間語コードの真空排気制御アルゴリズムを実行するインタプリタ手段４４の動作説明図である。
【図１０】本発明の一実施形態による真空制御処理装置におけるバルブの動作寿命の判定装置に構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明の一実施形態による真空制御処理装置におけるバルブの動作寿命の判定方法の説明図である。
【符号の説明】
１０…真空装置
２０…試料室
３０…搬送室
４０…真空制御処理装置
４２…不揮発性メモリ
４２Ａ…プログラム領域
４２Ｂ…中間語コード書込領域
４４…インタプリタ手段
４６Ａ…動作時間計測手段
４６Ｂ…リトライ回数計測手段
５０…端末装置
５２…ワークシート作成手段
５４…トランスレータ変換手段
５６…統計処理手段
５８…表示手段
６０…メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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