(57)【要約】【課題】形式の異なる複数種類のキャリアに適合するロードポートであって、載置されたキャリアの種類を判別できるロードポートを提供する。【解決手段】基板処理装置にウェハを供給するマニピュレータを備えたロボット室に接続され、キャリア内のウェハを前記マニピュレータに引き渡すロードポート１において、形式の異なる複数のキャリアを結合できる結合手段を備えるとともに、前記キャリアの形式を識別するセンサ１１、１２を備える。また、センサ１１，１２を前記キャリアの形態的特徴部分を検出するセンサとする。センサ１１を前記キャリアを載置する載置台３に備える。また、前記キャリアと載置台３を結合するアダプタ２１を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置にウェハを供給するマニピュレータを備えたロボット室に接続され、キャリア内のウェハを前記マニピュレータに引き渡すロードポートにおいて、
形式の異なる複数のキャリアを結合できる結合手段を備えるとともに、前記キャリアの形式を識別するセンサを備えたことを特徴とするロードポート。
【請求項２】
前記センサは前記キャリアの形態的特徴部分を検出するセンサであることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項３】
前記センサを前記キャリアを載置する載置台に備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロードポート。
【請求項４】
前記キャリアと載置台を結合するアダプタを備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のロードポート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェハを収納したキャリアと結合して、前記キャリアを開放して、ウェハを搬出入するロードポートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハを一般にキャリアと呼ばれる密閉容器に格納して工程間の搬送あるいは工場間の輸送を行うことが知られている（例えば、特許文献１）。工程間の搬送にはＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれるキャリアが用いられる。工場間の輸送にはＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）と呼ばれるキャリアが用いられる。ＦＯＵＰもＦＯＳＢは内部空気の清浄度を高く保ってウェハの汚染を防止する機能を有している。
一方、ウェハの加工処理を行う基板処理装置には、フロントエンドモジュールと呼ばれるマニピュレータを内蔵した小区画が取り付けられ、フロントエンドモジュールの前面にはロードポートを介してキャリアが結合され、前記マニピュレータで、キャリア内のウェハを取り出して、基板処理装置に引渡し、また処理済みのウェハを前記マニピュレータが、基板処理装置から取り出し、再び、前記キャリアに収納する。
ロードポートは前記キャリアに格納したウェハを外気に曝すことなく、前記キャリアを前記フロントエンドモジュールに対して開放する開閉装置であり、前記キャリアをロードポートを前面に密着させて外気の侵入を防止する機能と前記キャリアの蓋を前記フロントエンドモジュール内に引き抜いて、前記キャリアを前記フロントエンドモジュールに対して開放する機能を有している（例えば、特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１２４３００号公報
【特許文献２】
特開２００３−６８８２５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特定のキャリアについて、専用のロードポートを設計し、専ら、そのキャリアを使う限りは何の問題も生じないのであるが、半導体の製造工程が複雑になるにしたがって、寸法・形式の異なるキャリアが製造ライン内を混流するようになってきた。例えば、図７に示すような８種類のキャリアが混流するような製造ラインが実在する。キャリアの種類によって、開閉動作のシーケンスが異なり、またキャリア内部のスロット配置等が異なるので、異種のキャリアが載置される度に、開閉動作シーケンスとロボットの動作プログラムを切り替える必要があるが、ロードポート自身でキャリアの種類を判別できないので、上位の制御システムからキャリアの種類についての情報を受け取る必要があった。
しかし、上位システムから通知されたキャリアと実際に載置されたキャリアの種類に齟齬があった場合には、キャリアの開放が出来なかった。また、不適切なシーケンスでキャリアを開放しようとするとキャリアの内部に外気が侵入して内部のウェハを汚染するという問題も生じる。
そこで、本発明は、形式の異なる複数種類のキャリアに適合するロードポートであって、載置されたキャリアの種類を判別できるロードポートを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、基板処理装置にウェハを供給するマニピュレータを備えたロボット室に接続され、キャリア内のウェハを前記マニピュレータに引き渡すロードポートにおいて、形式の異なる複数のキャリアを結合できる結合手段を備えるとともに、前記キャリアの形式を識別するセンサを備えるものである。また、前記センサを前記キャリアの形態的特徴部分を検出するセンサとするものである。前記センサを前記キャリアを載置する載置台に備えるものである。また、前記キャリアと載置台を結合するアダプタを備えるものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すロードポートの斜視図である。図において、１はロードポートであり、２はハウジングである。３はロードポート１に搬送されてきたキャリア（図示せず）を載置する載置台であり、ハウジング２上にあって前後にスライド。４はポッドオープナである。ポッドオープナ４はロードポート１の内外を仕切る扉であるとともに、前記キャリアの蓋と結合して、該蓋を前記キャリアから引き抜いて、前記キャリアを開放する装置でもある。
【０００７】
図２は、図１のＡ部の拡大図であり、ロードポート１のハウジング２付近の拡大図である。図において、１１は載置台の前端に配置された接触式のキャリア判別用センサであり、１２はハウジング２上に配置された非接触式のキャリア判別用センサである。また、１３は載置台の中央に配置された接触式のアダプタ判別用センサである。
【０００８】
図３、図４および図５は本発明の実施例を示すキャリアの外形図であり、それぞれ（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は底面図である。これらの図に示すように、キャリアの底面は種類によって形状がさまざまに異なる。本実施例ではキャリア底面前端の補強リブ等の配置の違いに着目し、前記補強リブ等の有無をキャリア判別センサ１１、１２で検出して、キャリアの種類を判別している。
【０００９】
図６は、本発明の実施例を示すアダプタの斜視図である。アダプタ２１は、ロードポート１の載置部３に直接載置できないキャリアを載置するために、載置部３とキャリアの間に挟む部品である。２２はアダプタセンサ用ドグであり、載置部上のアダプタ判別用センサと係合して、アダプタ２１が載置部３と結合したことをロードポート１に伝える仕掛けである。
【００１０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ロードポートに備えたセンサでキャリアの種類を判別するので、種類の異なるキャリアが混流するラインであっても、搬送ロボットの動作プログラム等を自動的に切り替えられ、動作プログラムとキャリアの種類の不一致に起因する事故を防止する効果がある。
また、キャリアの種類の判別にはキャリアが元々備えている形態的な特徴を利用しているので、キャリアに識別マーク等を付する必要がない。したがって、キャリアを管理する費用が安くなるという効果がある。また、アダプタを備えたので、結合部の形状の異なるキャリアであっても容易にロードポートと結合できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すロードポートの斜視図である。
【図２】ロードポートのハウジング付近の拡大図である。
【図３】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図４】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図５】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図６】本発明の実施例を示すアダプタの外形図である。
【図７】各種のキャリアの例を示す外形図である。
【符号の説明】
１：ロードポート  ２：ハウジング  ３：載置部  ４：ポッドドア
１１：キャリア判別用センサ  １２：キャリア判別用センサ  １３：アダプタ判別用センサ  ２１：アダプタ  ２２：アダプタセンサ用ドグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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