(57)【要約】【課題】基準側と押圧側とを容易に切り換え可能な位置決めテーブルを提供する。【解決手段】図における基板１２の位置決めをするための可動ピン１１６、１１６は共にその方向において移動可能に設けられるが、長孔１１８の端部まで移動させられた状態で移動を抑制されることによってその一方が基準側として機能させられると共に、リニアガイドによってその他方がその基準側の可動ピン１１６に向かって移動させられる。そのため、可動ピン１１６，１１６の一方を、基板１２の位置決めの基準となる辺の位置関係に応じて任意に基準側として、押圧側と基準側とを容易に切り換えることができる。【選択図】　　　　　　　　　　図１３
2004055597.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物が載せられる載置面を備え、その処理対象物をその載置面に平行且つ互いに交叉する第１方向および第２方向に沿って押圧してその押圧方向前方にそれぞれ設けられた第１基準部材および第２基準部材に押し当てることにより、その載置面上の所定位置に位置決めして固定するための位置決めテーブルであって、
前記第１方向において相互に所定距離隔てて前記載置面に突設され且つ各々その第１方向に沿って移動可能な第１位置決め部材および第２位置決め部材と、
前記第１基準部材として機能させるために前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方の前記第１方向の移動を抑制するための移動抑制装置と、前記処理対象物を前記第１基準部材に押し当てるために前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の他方をその第１基準部材に向かって移動させるための移動装置と
を、含むことを特徴とする位置決めテーブル。
【請求項２】
前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材は、前記第１方向において予め定められた可動範囲内で移動可能なものであり、
前記移動抑制装置は、前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方を前記可動範囲端で停止させることによってその移動を抑制するものである請求項１の位置決めテーブル。
【請求項３】
前記移動抑制装置は、前記第１基準部材として機能させられる前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方を他方に向かって付勢するための付勢力を相互に所定値以上異なる値とすることによってその一方の移動を抑制するものである請求項２の位置決めテーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に印刷を施す場合等において処理対象物を位置決めするために用いられる位置決めテーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、厚膜回路基板製造等のために用いられる厚膜スクリーン印刷装置においては、基板等の被印刷物の印刷面に順次に印刷される複数層が面方向において予め定められた相対位置関係に保たれる必要がある。そのため、印刷装置のセッタの載置面上には、位置を固定された複数本の固定ピンおよび面方向に沿って移動可能な複数本の可動ピンから成る位置決めピンが備えられている。厚膜スクリーン印刷を施すに際しては、載置された被印刷物を可動ピンで固定ピンに向かって押圧することにより、その被印刷物の２辺をその固定ピンに押し当てて、スクリーン製版に張設されたスクリーン上の印刷パターンと被印刷物とが一定の相対位置にあるようにその被印刷物を位置決めする。すなわち、上記のセッタは位置決めテーブルの機能を備えており、上記の固定ピンは位置決めの際に位置の基準となる基準部材として設けられているのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような位置決めでは、固定ピンに押し当てられる被印刷物の２辺がスクリーンとの相対位置を決定するための基準辺となる。しかしながら、例えば両面に厚膜パターンが設けられる被印刷物への印刷の場合には、表面側への印刷時と裏面側への印刷時とで２つの基準辺の一方と他方との平面的な位置関係が反対となる。そのため、それらで共通の位置決め機構を利用できないことから、従来は、それら２種類の基準辺の位置関係に応じた２つのセッタを用意して、セッタを変更すると共に固定ピン（基準側）および可動ピン（押圧側）の位置関係を変更することが行われており、それらの変更に多大な手間を必要とする問題があった。このような問題は、印刷装置に限られず、位置決めピンに押し当てることによって処理対象物を位置決めする種々の用途の位置決めテーブルにおいて、適宜に基準側と押圧側とを入れ換えたい場合に同様に生じ得る。
【０００４】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、基準側と押圧側とを容易に切り換え可能な位置決めテーブルを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するため、本発明の要旨とするところは、処理対象物が載せられる載置面を備え、その処理対象物をその載置面に平行且つ互いに交叉する第１方向および第２方向に沿って押圧してその押圧方向前方にそれぞれ設けられた第１基準部材および第２基準部材に押し当てることにより、その載置面上の所定位置に位置決めして固定するための位置決めテーブルであって、（ａ）前記第１方向において相互に所定距離隔てて前記載置面に突設され且つ各々その第１方向に沿って移動可能な第１位置決め部材および第２位置決め部材と、（ｂ）前記第１基準部材として機能させるために前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方の前記第１方向の移動を抑制するための移動抑制装置と、（ｃ）前記処理対象物を前記第１基準部材に押し当てるために前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の他方をその第１基準部材に向かって移動させるための移動装置とを、含むことにある。
【０００６】
【発明の効果】
このようにすれば、第１方向における処理対象物の位置決めをするための第１位置決め部材および第２位置決め部材は共にその第１方向において移動可能に設けられるが、移動抑制装置に移動を抑制されることによってその一方が第１基準部材として機能させられると共に、移動装置によってその他方がその第１基準部材に向かって移動させられる。そのため、第１位置決め部材および第２位置決め部材の一方を、処理対象物の位置決めの基準となる辺の位置関係に応じて任意に第１基準部材として、押圧側と基準側とを容易に切り換えることができる。したがって、例えば基板の両面印刷を行う場合にも、その表面と裏面とで位置決めピンの押圧側と基準側とを切り換えるためにセッタを変更する必要がないので、両面に順次に印刷する場合の手間が著しく少なくなり、製造工程が簡単になる利点がある。
【０００７】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材は、前記第１方向において予め定められた可動範囲内で移動可能なものであり、前記移動抑制装置は、前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方を前記可動範囲端で停止させることによってその移動を抑制するものである。このようにすれば、第１位置決め部材および第２位置決め部材が第１方向に移動させられた際にその可動範囲端でその移動を停止させるための機構を移動抑制に利用し得るので、可動範囲の中間位置で位置決め部材を固定する場合に比較して移動抑制のための機構を簡単に構成できる利点がある。
【０００８】
また、上記のように可動範囲端で停止させることで移動を抑制する場合において、好適には、前記移動抑制装置は、前記第１基準部材として機能させられる前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材の一方を他方に向かって付勢するための付勢力を相互に所定値以上異なる値とすることによってその一方の移動を抑制するものである。このようにすれば、第１位置決め部材および第２位置決め部材間に処理対象物が介在させられた状態で、それら第１位置決め部材および第２位置決め部材の付勢力を相互に異なる値にすると、相対的に付勢力の大きい一方から相対的に付勢力の小さい他方に向かう方向にそれらが移動させられる。そのため、その付勢力を所定値以上相違するものとすれば、処理対象物の大きさに応じて、相対的に付勢力の大きい一方が可動範囲端まで移動してそこに留まり、或いは、相対的に付勢力の小さい一方が可動範囲端まで移動してそこに留まる。この場合、可動範囲端まで移動する一方が基準側となり、他方が押圧側となる。したがって、付勢力を変更するだけで一層容易に基準側と押圧側とを切り換え得る利点がある。
【０００９】
また、好適には、前記付勢力は、油圧、空気圧、水圧等の流体圧に基づくものである。このようにすれば、弁操作等で容易に基準側と押圧側とを切り換え得る利点がある。
【００１０】
また、好適には、前記第１位置決め部材および前記第２位置決め部材は、前記第１方向に沿って伸びるように前記載置面に設けられた長孔内で移動させられる可動ピンである。
【００１１】
また、好適には、前記位置決めテーブルは、印刷装置に備えられた印刷テーブルである。このようにすれば、両面回路基板等の製造工程における基板の両面の各々への厚膜印刷が容易になる。
【００１２】
また、前記目的を達成するための位置決め方法の要旨とするところは、前記請求項１乃至請求項３の何れかの位置決めテーブルを用いて、その載置面上において処理対象物をその一面が上面側に位置する第１状態および下面側に位置する第２状態で順次に位置決めする方法であって、（ａ）前記第１状態で位置決めする際には、前記第１位置決め部材の移動を抑制して基準側に設定すると共に前記第２位置決め部材をその第１位置決め部材に向かって付勢し、（ｂ）前記第２状態で位置決めする際には、その第２位置決め部材の移動を抑制して基準側に設定すると共にその第１位置決め部材をその第２位置決め部材に向かって付勢することにある。このようにすれば、処理対象物の上下を反転させて順次に処理を施す場合にも、その反転に伴う基準辺の位置関係の変更に基準側と押圧側の切換えで対応できるため、セッタの変更等が無用となる利点がある。
【００１３】
なお、処理対象物と第１位置決め部材および前記第２位置決め部材との位置関係は、処理対象物の上下を反転させる際の回動軸が前記第１方向と交叉するように定めれば良い。
【００１４】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１、図２は、それぞれ本発明の一実施例の印刷方法が適用される印刷装置１０の全体構成を説明するための正面図および平面図である。図において、印刷装置１０は、基板１２にスクリーン印刷を施すための印刷部１４，その印刷部１４を通る経路で基板１２を搬送するための基板搬送部１６，基板１２上への印刷位置を既に印刷済のパターン等と合わせるための位置合わせ部１８、および印刷時等において基板１２が載せられる印刷テーブル２０等から構成されている。
【００１６】
上記の印刷部１４は、所定の印刷パターンが形成されたスクリーン２２を有するスクリーン製版２４と、その上で図における左右方向に移動させられるスキージ２６およびスコップ２８等とを備えたものである。スクリーン製版２４は、例えば金属製の版枠がその四隅において４本の支柱３０に保持されることによって一定の高さ位置に固定されている。また、スキージ２６およびスコップ２８は、図１における上下方向に移動可能な支持装置３２に取り付けられており、スクリーン製版２４に対して接近および離隔が可能となっている。その支持装置３２は、移動装置３４に取り付けられており、図１における左右方向においてスクリーン製版２４の略全長に亘る範囲で移動可能である。この移動装置３４は、例えばボールねじやエアシリンダ等で構成される。また、スキージ２６は支持装置３２に対して昇降可能に構成されており、スコップ２８との相対的な高さ位置も変更し得る。
【００１７】
そのため、それらスキージ２６およびスコップ２８は、所望の何れか一方がスクリーン２２に押し付けられつつ図の左右方向に移動させられることにより、そのスクリーン２２上に供給された厚膜印刷ペーストを基板１２上に塗布し、或いは余剰のペーストを掬い取ってスキージング開始位置まで送ること（ペースト返し）が可能となっている。なお、印刷部１４の構成の詳細については本実施例の理解に必要ではないので省略する。
【００１８】
また、基板搬送部１６は、図２における左右方向に沿って伸びる一対のレール３６，３６と、そのレール３６に取り付けられた図示しないプーリに巻き掛けられたベルトを駆動するためのモータ３８等とを備えたものである。モータ３８は、断続的な回転が可能なサーボ・モータやステッピング・モータであって、図示しない制御装置の指令に従ってその回転軸が回転駆動させられる。基板１２は、例えばそのモータ３８が間歇的に駆動されることによって図における右方から１枚ずつ順次に印刷部１４のスクリーン製版２４の下方に送られ、そこで厚膜印刷ペーストが塗布された後、モータ３８が再び間歇駆動させられることで図におけるその左方に送り出される。なお、基板搬送部１６の前後には図示しないロボット等がそれぞれ備えられており、前工程で処理された基板１２がそのロボットによってレール３６上に載せられると共に、印刷を施された基板１２がそのロボットによってレール３６上から取り上げられて次工程に送られるようになっている。
【００１９】
また、前記の印刷テーブル２０は、水平移動装置４０で支持されることによって図における左右方向すなわち図示の位置とスクリーン製版２０の下方の位置との間で移動可能に構成されたものである。水平移動装置４０にはＸ方向調節装置４２およびθ（傾き角度）調節装置４６が備えられており、その水平移動装置４０に対する印刷テーブル２０のＸ方向（後述するガイドレール５４に垂直な方向）およびθ方向（鉛直軸回りの回転角度＝傾き）における位置の微調節が可能となっている。これらＸ方向の位置およびθ方向の傾き角度は、何れも例えばロックナット等の固定機構でその調節された位置に固定されるようになっている。なお、Ｙ方向（ガイドレール５４に沿った方向すなわちＸ方向と直交する方向）は、例えばスクリーン製版２４のＹ方向位置を変化させることで微調節される。但し、印刷テーブル２０にＹ方向調節機構を設けてそれを用いても差し支えない。
【００２０】
また、前記の位置合わせ部１８は、一対のモニタ４８，４８と、基板１２上の所望の位置を撮影するためのＸ，Ｙ２方向に移動可能なカメラ５０，５０等とを備え、スクリーン製版２０と印刷テーブル２０上の所定位置に位置決めされる基板１２との相対位置を、所定の印刷精度が得られるように修正するためのものである。この位置合わせ部１８では、基板１２に印刷された位置合わせマーク（例えば十字状の「トンボ」と称されるもの）をカメラ５０で撮影してモニタ４８に拡大して映し出すことによって、前工程で形成された位置合わせマークと今回の工程で形成された位置合わせマークとの相対的なずれの大きさを確認し、前記の調節装置４２および４６を用いてそのずれの大きさに応じた量だけ、印刷テーブル２０のＸ、θ方向の位置を調節する。また、そのずれの大きさに応じた量だけスクリーン製版２０のＹ方向位置が調節される。すなわち、基板１２とスクリーン製版２０との相対位置は、Ｘ，θ方向においては印刷テーブル２０の位置を調節することで補正され、Ｙ方向においてはスクリーン製版２０の位置を調節することで補正される。
【００２１】
図３は、上記の印刷テーブル２０の水平移動装置４０による支持構造等を詳細に説明するための正面図であり、図４は、そのＩＶ−ＩＶ視断面図である。印刷装置１０の架台５２上には、一対のガイド・レール５４，５４が取り付けられており、水平移動装置４０は、そのレール５４上を図３に示す位置と左端に一点鎖線で印刷テーブル２０を示す位置の２位置間で滑動させられる基台５６を備えている。基台５６上には、複数個のガイド５８で相対移動可能に支持される調節台６０が載せられているが、そのＸ，θ方向における相対位置は前記調節装置４２、４６で調節される。なお、説明の便宜上、図３においては調節装置４２を省略した。
【００２２】
また、上記の調節台６０には、印刷テーブル２０を上下に移動させるための昇降装置６２が取り付けられている。図５は、調節台６０および昇降装置６２を平面視にて示す図である。図３および図５において、昇降装置６２は、調節台６０から下方に吊り下げられた一対の支持板６４，６４と、その支持板６４の内側にそれぞれ固着された複数個のガイド６６と、そのガイド６６で案内される一対のレール６８をそれぞれ備えた一対の昇降板７０，７０と、その昇降板７０，７０を下端部において相互に連結する連結板７２と、支持板６４，６４をその下端部において相互に連結する連結板７４の下面に取り付けられ且つ連結板７２にピストンロッド７６の先端部が取り付けられたシリンダ７８等とを備えている。
【００２３】
そのため、シリンダ７８からそのロッド７６が突き出させられると、連結板７２を介して昇降板７０，７０が押し上げられ、それによって支持されている印刷テーブル２０が上昇させられてスクリーン製版２４に接近させられる。反対にロッド７６が引き込まれると、連結板７２を介して昇降板７０，７０が引き下げられ、延いては印刷テーブル２０が下降させられてスクリーン製版２４から離隔させられる。ロッド７６が最も引き込まれたときには連結板７２が図３に一点鎖線で示す位置まで下降させられ、印刷テーブル２０は、実線で示す位置よりも下方において一点鎖線で示す位置すなわちレール３６の上面よりも僅かに下側の位置まで下降させられる。なお、図３、図４から明らかなように、印刷テーブル２０の下端に備えられている底板８０は、最も上昇させられた状態（上端位置）においてもレール３６より下側に位置させられており、それらが相互に干渉することはない。本実施例では、印刷テーブル２０の上端位置においてその上に載せられた基板１２へのペースト塗布が行われ、下端位置においてレール３６上を基板１２が搬送されるようになっている。
【００２４】
また、昇降板７０，７０の上端部は、前記の印刷テーブル２０の下端部に取り付けられていることから、基台５６がレール５４上を移動させられる際には、昇降装置６２および印刷テーブル２０全体が一体となって水平方向に移動させられる。このように、印刷テーブル２０は、図３における上下（昇降）方向および左右（水平）方向の両方向への移動が可能に構成されている。
【００２５】
なお、図３において左端部に一点鎖線で示す印刷テーブル２０は、前記の位置合わせ部１８で印刷位置合わせを実施する際のテーブル位置である。この場合は、図に矢印Ａで示すように、印刷テーブル２０を中間の高さ位置まで下降させた後、図における左方に移動させる。
【００２６】
ところで、上述したように、印刷テーブル２０がその上端位置においてレール３６と干渉することはないが、前記の図３に示したように下端位置では印刷テーブル２０の上面がレール３６の上面よりも下側に位置する。そのため、その状態では印刷テーブル２０とレール３６との相互干渉が生じ得るが、印刷テーブル２０はその基板載置面８２がシャッタ方式に構成されることによってその相互干渉を回避している。以下、印刷テーブル２０の詳細な構成を図６乃至図８を参照して説明する。
【００２７】
図６は印刷テーブル２０の平面図であり、図７は図６における右側面図、図８は正面図である。印刷テーブル２０は、図６において中段に位置する中央部ユニット８４と、その上下に位置する一対のシャッタ・ユニット８６，８６とを備えており、それら３つのユニットは何れも平面視において長方形を成している。載置面８２は、これら各ユニット８４，８６の載置面８２ａ、８２ｂで構成されているが、載置面８２ａ、８２ｂは何れも略平坦であって相互に同様な高さ位置に備えられていることから、載置面８２全体も略平坦である。
【００２８】
上記の中央部ユニット８４は、その長手方向における中央部に基板１２が載せられるものであって、その基板１２の大きさよりも僅かに大きい外周縁形状を備え且つ例えば０．８（ｍｍ）程度の僅かな深さ寸法だけ載置面８２よりも低くされた凹所８８を有するものである。この凹所８８は、基板１２をそこに載せた際に載置面８２からの突出し量が小さくなるように、すなわち基板１２が載せられた状態で載置面８２上に凹凸が十分に小さくなるように設けられている。また、その凹所８８の内側には、それよりも十分に深い６つの矩形の吸引室９０が備えられている。この吸引室９０は、図示しない吸引装置にその内部空間が接続されており、凹所８８に載せられた基板１２を吸引して固定し、或いはその基板１２に設けられているスルーホールから吸引するためのものである。例えばそのスルーホールが設けられた範囲よりも十分に広い大きさとされている。すなわち、図６において一点鎖線で示す基板１２の輪郭と吸引室９０との間の部分は、印刷ペーストが塗布されない基板１２のマージンに相当する。
【００２９】
また、上記の凹所８８の図６における右端部の一辺には、一対の固定ピン９２，９２が突設されており、その反対側の一辺の中央部には図における左右方向が長手方向に一致する長孔９４が凹所８８とその周囲の部分との境界部分に備えられている。中央部ユニット８４の載置面８２ａの裏側にはリニアガイド９６が備えられており、その可動ブロック（スライダ）の一端に取り付けられた可動ピン９８がこの長孔９４内において図における左右方向に移動させられるようになっている。リニアガイド９６は例えば空気圧や油圧等で作動させられ、可動ピン９８を図における右方向に移動させて、凹所８８内に載せられた基板１２を固定ピン９２，９２に向かって押圧するためのものである。
【００３０】
一方、シャッタ・ユニット８６，８６は、載置面８２の中央を通る法線回りにおいて略点対称に構成され、相互に略同一の構造を備えたものである。図７の側面図に示すように、前述した底板８０の上面には、一対の支持板１００，１００が立設されており、それら支持板１００の上面に一対のエア・シリンダ１０２，１０２が取り付けられている。図８に示すように、支持板１００はシャッタ・ユニット８６よりもやや小さい幅寸法を有しているが、エア・シリンダ１０２は、その一端（図８における右端）に配置されており、左端にはそのエア・シリンダ１０２と平行な向きでガイド１０４が取り付けられている。シャッタ・ユニット８６，８６の裏面にはそれらシリンダ１０２のガイド内およびガイド１０４内を摺動させられるそれぞれ一対のレール１０６および１０８，１０６および１０８が取り付けられている。そのため、エア・シリンダ１０２が作動させられると、シャッタ・ユニット８６は、ガイド１０４等に案内されつつ図７における左右方向に移動させられることとなる。
【００３１】
このため、印刷テーブル２０の載置面８２は、中央部ユニット８４上の部分８２ａとシャッタ・ユニット８６，８６上の部分８２ｂ，８２ｂが相互に離隔し得るように構成されている。エア・シリンダ１０２の作動によってそれらが相互に密接させられる図示の状態では、一体となって一つの載置面８２を構成する一方、それらが相互に離隔させられた状態では、載置面８２ａと載置面８２ｂ，８２ｂとの間に大きな空隙が生じる。この離隔状態では、図７における左側のユニット８６について一点鎖線で位置を示すように、シャッタ・ユニット８６の中央部ユニット８４側の端面が支持板１００の略内壁面上すなわちレール３６よりも外側に位置し、そのレール３６上が障害物の何ら存在しない開放状態とされる。そのため、このシャッタ開放状態で印刷テーブル２０を昇降させることにより、レール３６と載置面８２とを接触させることなく図３に実線で示す上端位置とその下方に一点鎖線で示す下端位置との間で印刷テーブル２０を昇降させ得るのである。また、シャッタ・ユニット８６のシャッタ開閉に係る可動部分は、図７に示されるように印刷テーブル２０が上端位置にあるときにはレール３６よりも十分に上方に位置するので、その開閉時にもレール３６との干渉は生じない。なお、シャッタ・ユニット８６の載置面８２ｂの載置面８２ａ側の端部には、凹所８８と同じ深さ寸法の凹所８８ｂが備えられており、載置面８２ａ，８２ｂの密接状態では、凹所８８と一体となって平面視において矩形をなす凹所を構成する。但し、シャッタ・ユニット８６内には吸引室９０は設けられていない。
【００３２】
また、支持板１００，１００の上面中央部すなわちエア・シリンダ１０２とガイド１０４との間の位置には、前記リニアガイド９６と同様に構成されたリニアガイド１１０，１１０がそれぞれ取り付けられている。図８の正面図に示すように、リニアガイド１１０は、レール１１２およびスライダ１１４を備えたものであるが、そのスライダ１１４上には可動ピン１１６が備えられている。この可動ピン１１６は、可動ピン９８と同様に、シャッタ・ユニット８６に設けられた長孔１１８内をその長手方向に沿って移動させられるものである。なお、固定ピン９２，可動ピン９８，１１６等は、載置面８２よりも上に突き出さないようにその高さ位置が設定されている。すなわち、印刷テーブル２０には、載置面８２より上に凸になった部分は存在せず、載置面８２よりも凹になった部分も、凹所８８，吸引室９０，可動ピン９８，１１６の移動させられる長孔９４，１１８だけで有って、全体として略平坦になっている。
【００３３】
また、上記のリニアガイド１１０，１１０は、何れもリニアガイド９６と同様に油圧或いは空気圧で作動させられるものであるが、その圧力媒体流路１２０，１２２は、切換弁１２４を介して高圧側（ＰＨ）流路１２６および低圧側（ＰＬ）流路１２８に接続されている。この切換弁１２４は、例えば印刷装置１０に備えられた制御装置１３０からの指令に従って作動させられる電磁弁であり、図示しない操作パネルに設けられた切換えスイッチを操作することによって、流路１２０が高圧側１２６に、流路１２２が低圧側１２８にそれぞれ接続された第１状態と、流路１２０が低圧側１２８に、流路１２２が高圧側１２６にそれぞれ接続された第２状態とを容易且つ瞬時に切換え得る。なお、上記高圧側流路１２６は、例えば図示しない圧力発生装置の元圧である０．５（ＭＰａ）程度に設定され、低圧側流路１２８は、例えばそれよりも十分に低い０．２（ＭＰａ）程度に設定されている。
【００３４】
以上のように構成された印刷装置１０は、例えば、図９（ａ）〜（ｃ）に示されるような例えば０．３〜１（ｍｍ）程度の厚さ寸法を有するアルミナ等のセラミック製基板１２の一面（被印刷面）１３２，１３４に回路パターン１３６を形成して厚膜回路基板を製造するに際して、その回路パターン１３６を構成する配線１３８、抵抗体１４０やそれらを適宜覆う厚膜絶縁層等を形成するための厚膜印刷ペーストを厚膜スクリーン印刷法を用いてそれら一面１３２，１３４に塗布するために用いられる。
【００３５】
なお、上記の配線１３８は、例えば銅を導体成分として含む厚膜導体であって、例えば厚さ寸法が５〜数十（μｍ）程度で幅寸法が数十（μｍ）〜１（ｍｍ）程度の厚膜導体により形成されたものである。また、抵抗体１４０は、酸化錫等を含む厚膜抵抗体であって、所望の特性値が得られるように適宜の寸法、例えば数十（μｍ）程度の厚さ寸法で一辺が１〜２（ｍｍ）程度の大きさに形成されたものである。これらは、何れも厚膜印刷ペーストを所定のパターンで塗布した後、そのペーストの種類に応じた所定の焼成温度で加熱処理を施すことによって設けられる。また、配線１３８の各々の端部や中間部には、電子部品の端子等を固着し、或いは上記の抵抗体１４０を設けるための円形或いは矩形のランド１４２や、表面１３２および裏面１３４にそれぞれ設けられた配線１３８を相互に接続するためのスルーホール・ランド１４４等が備えられている。このスルーホール・ランド１４４は、（ｂ）に拡大して示すように、表面１３２および裏面１３４間に貫通し開口形状が円形のスルーホール１４６の周囲に円環状に設けられたものである。なお、スルーホール１４６の内径は、例えば０．４（ｍｍ）程度である。
【００３６】
上記のスルーホール１４６は、（ｃ）に示すように、その内壁面１４８に例えば配線１３８と同様な厚膜導体から成る貫通導体１５０が表面１３２から裏面１３４に貫通して設けられている。この貫通導体１５０は、例えば厚膜スクリーン印刷法を用いてスルーホール１４６上に厚膜銅ペーストを塗布して焼成することによって形成されたものである。貫通導体１５０の内壁面１４８上における厚さ寸法は、例えば２０〜４０（μｍ）程度であり、その軸心方向における両端すなわち表面１３２および裏面１３４の各々においてスルーホール・ランド１４４に重なる。これにより、基板両面１３２、１３４にそれぞれ設けられている配線１３８が貫通導体１５０を介して相互に接続されている。
【００３７】
上記のようなスルーホール１４６を備えた基板１２を製造する際の前記印刷装置１０の作動を、印刷工程の要部を表す工程流れ図（図１０）および工程の各段階における印刷テーブル２０等の作動を模式的に表した図１１〜図１３、図１５および図１６等を参照して以下に説明する。
【００３８】
図１０に示す基板送込工程１５２においては、例えばレール３６の図１等における右端部に載せられた基板１２が印刷部１４に間歇的に送り込まれる。図１１（ａ）は、この段階を示している。このとき、同図に示すように、印刷テーブル２０は、レール３６よりも下方に位置させられている。そのため、この基板１２の送込み過程で基板１２と印刷テーブル２０とが接触することはない。なお、前記の図３に示したように、印刷テーブル２０は最も下降させられた状態でその載置面８２がレール３６の上面よりもやや下方に位置するように構成されているが、図１１以下の図においては説明の便宜上レール３６よりも下側に位置するように描いている。また、印刷テーブル２０が昇降させられる際には、中央部ユニット８４およびシャッタ・ユニット８６，８６が一体となって動くが、図１１および後述する図１６では便宜上レール３６の外側に位置するシャッタ・ユニット８６を省略した。
【００３９】
次いで、テーブル上昇行程１５４においては、図１１（ｂ）に示すように、基板１２が印刷テーブル２０の真上の位置で停止させられた状態でその印刷テーブル２０が前記の上端位置に向かって上昇させられる。このとき、印刷テーブル２０のシャッタ・ユニット８６は中央部ユニット８４から離隔させられた開放状態にあるため、その上昇過程においてレール３６に接触することは無い。この上昇過程において、基板１２が中央部ユニット８４に突き上げられ、その載置面８２に載せられることとなる。
【００４０】
印刷テーブル２０の上昇が完了すると、シャッタ閉工程１５６において、シャッタ・ユニット８６が中央部ユニット８４に向かって接近させられ、シャッタが閉じられて載置面８２ａ、８２ｂが一体となって一つの載置面８２を構成する。図１２（ａ）〜（ｃ）は、このシャッタ閉作動を説明する模式図である。（ａ）に示されるように基板１２が印刷テーブル２０上まで移動させられると、シャッタ・ユニット８６，８６が開いたまま印刷テーブル２０が上昇させられる。中央部ユニット８４で基板１２を突き上げつつ印刷テーブル２０が上端位置まで上昇すると、（ｂ）に示されるようにシャッタ・ユニット８６、８６が中央部ユニット８４に向かって移動させられる。印刷テーブル２０の上昇時においては、基板１２はその端縁（図における上下端）が中央部ユニット８４の載置面８２ａからはみ出しているが、このようにしてシャッタが閉じられて載置面８２ａ，８２ｂが密接させられることにより、（ｃ）に示すように平坦な載置面８２が形成され、基板１２の全体が載置面８２に載せられる。すなわち、本実施例では、印刷テーブル２０がシャッタ方式とされているので、レール３６上を基板１２が間歇的に送られるように構成されているにも拘わらず、図６に示されるような基板１２を載せるための凹所８８および位置決めのための長孔９４，１１８が備えられている他は実質的に平坦な載置面８２の中央部に基板１２が載せられた状態となる。
【００４１】
図１０に戻って、基板位置決め工程１５８では、基板１２を載置面８２の所定の位置に位置決めする。この位置決めは、図１３（ａ）に示すように、載置面８２に基板１２が載せられた後、可動ピン９８を固定ピン９２，９２に向かって、可動ピン１１６，１１６を互いに接近する方向に、それぞれ長孔９４，１１８内で移動させることによって行われる。前記の図６に示されるシリンダ９６を作動させることにより、可動ピン９８を移動させると、その可動ピン９８に押圧されることによって基板１２が固定ピン９２，９２に向かって移動させられ、その固定ピン９２，９２に基板１２の一辺が押し付けられる。本実施例においては、この固定ピンが第２基準部材に相当する。
【００４２】
一方、シリンダ１１０，１１０を作動させることによって可動ピン１１６，１１６を移動させると、基板１２はそれらによって両側（図１３（ａ）における上下）から押圧されるが、前述したように、これらシリンダ１１０，１１０には高圧側流路１２６および低圧側流路１２８が択一的に接続されるようになっているので、押圧力は相互に異なる。図においては、その押圧力の相違を矢印の大きさで表した。そのため、相対的に高圧を印加された一方の可動ピン１１６は、低圧を印加された他方の可動ピン１１６を基板１２を介して押し戻しつつ、その低圧側に向かって移動させられる。本実施例においては、高圧側は０．５（ＭＰａ）程度、低圧側は０．２（ＭＰａ）程度に設定されているので、図において下側に位置する高圧側の可動ピン１１６は、長孔１１８の先端部まで移動してその位置で停止することとなる。すなわち、高圧側の可動ピン１１６は、可動範囲である長孔１１８の一端まで移動してそこで停止させられることとなる。そして、低圧側の可動ピン１１６は、基板１２をその高圧側の可動ピン１１６に押し付ける位置まで移動させられる。この結果、基板１２は、全体として矢印で示すように右上に向かって移動させられ或いは押し付けられ、図１３（ｂ）に示される位置に位置決めされることとなる。
【００４３】
なお、本実施例では、一対の可動ピン１１６，１１６のうち高圧側の一方の移動量が大きくなるが、その位置は基板１２の大きさに拘わらず長孔１１８の先端部に固定されて一定である。他方、低圧側の可動ピン１１６は、基板１２の大きさに応じて、その一辺が高圧側の可動ピン１１６に押し付けられるまでの範囲で移動させられることとなる。したがって、本実施例においては、高圧側の可動ピン１１６に押し付けられる一辺は基板の大きさに拘わらず図１３（ｂ）に示される一定の位置に位置することとなるので、その高圧側の可動ピン１１６が位置決めの基準側（固定ピン９２に相当）に、低圧側の可動ピン１１６が位置決めの押圧側（可動ピン９８に相当）になる。すなわち、図１３の上下方向において基板１２を位置決めするための固定ピンは設けられていないが、２本の可動ピン１１６のうちの一方が固定ピンとして機能するので、位置決めに何ら支障はない。本実施例においては、基準側となる可動ピン１１６が第１基準部材に相当する。
【００４４】
上記の基準側（高圧側）と押圧側（低圧側）の設定は、基板１２の位置決めの基準となる辺が図１３における上下何れに位置するかに応じて定められる。一般に、基板１２に厚膜スクリーン印刷を施すに際しては、互いに直交する２辺が位置決めの基準辺に設定される。本実施例において、図の左右方向では右側に固定ピン９２すなわち基準ピンが固定的に位置するので、２つの基準辺のうちの一方は常に図における右側に位置しなければならない。ところが、スルーホール１４６を備えた本実施例の印刷対象となる基板１２では、その両面１３２，１３４の何れにもペーストが印刷されることから、被印刷面１３２が上側となる向きおよび被印刷面１３４が上側となる向きの２態様で載置面８２に載せられる。このように基板１２を裏返して載せる場合に、図における右側に一方の基準辺が常に位置するようにその向きを設定すると、残る一方の基準辺は、一方の面が上側に位置するときには下側に位置し、他方の面が上側に位置するときには上側に位置する。
【００４５】
このとき、本実施例では、前述したように切換弁１２４で切り換えることでリニアガイド１１０の高圧側と低圧側とを入れ換えて、可動ピン１１６の基準側と押圧側とを変更できるため、一方の面１３２に印刷する際に、例えば図６および図１３における下側に位置する可動ピン１１６を基準側とした場合には、他方の面１３４に印刷する際に切換弁１２４を操作して上側に位置する可動ピン１１６を基準側とすれば、印刷テーブル２０の交換等を何ら伴うことなく基板１２の両面に印刷することができる。本実施例では、可動ピン１１６の移動方向が第１方向に、可動ピン９８の移動方向が第２方向に、可動ピン１１６，１１６の一方が第１位置決め部材に、他方が第２位置決め部材にそれぞれ相当し、長孔１１８、切換弁１２４、および制御装置１３０が移動抑制装置を構成し、リニアガイド１１０，１１０が移動装置に相当する。また、可動ピン１１６の可動範囲は、長孔１１８の長さ寸法の範囲内であり、その可動範囲端は図６および図１３における上下方向における長孔１１８の内周縁である。また、本実施例において処理対象物は基板１２である。
【００４６】
因みに、図１４に示されるような従来の印刷用セッタ１６０では、基板１２の基準辺に対応する２辺にそれぞれ固定ピン１６２，１６４が備えられると共に、それらに対向する他の２辺にそれぞれ長孔１６６，１６８内で移動させられる可動ピン１７０，１７２が備えられていた。そのため、基板１２の基準辺が常に右側および下側に位置する必要があることから、基準辺の位置関係が異なる表面および裏面への印刷時にそれぞれ位置決めをするために、表面用および裏面用の２つの印刷セッタを用意し、印刷面に応じて印刷テーブル上のセッタを取り替えていたので、その取り替え作業が印刷効率を低下させていた。
【００４７】
上記のようにして基板１２を載置面８２の所定位置に位置決めした後、ペースト塗布工程１７４では、図１１（ｃ）に示すように、スキージ２６でスクリーン製版２４のスクリーン２２を押下げつつそのスキージ２６を図の矢印方向に摺動させる。これにより、前記の回路パターン１３６の構成要素のうち何れかを形成するための厚膜印刷ペーストが基板１２の被印刷面１３２（或いは１３４）に塗布される。
【００４８】
図１５は、上記のペースト塗布（印刷）中のスキージ２６の動きを説明するためのスクリーン製版２４の平面図である。スクリーン製版２４は、例えばその版枠が印刷テーブル２０の載置面８２よりも十分に大きく構成されている。基板１２は、印刷テーブル２０の中央部に載せられているが、図の矢印方向に摺動させられるスキージ２６は、基板１２の印刷範囲全体に可及的に一様な条件でペーストを塗布すべく、その基板１２の端縁よりも十分に外側までの広い範囲に亘ってそのスクリーン２２を押圧しつつ移動させられる。そのため、基板１２よりも外側の範囲では、スクリーン２２は載置面８２に押し付けられることなるが、このように印刷が施される際には、前述したように中央部ユニット８４に密接するようにシャッタ・ユニット８６が閉じられることによって載置面８２は実質的に平坦で凹凸無く構成されている。したがって、本実施例の印刷装置１０では、載置面８２に押し付けられることに起因するスクリーン２２の損傷は殆ど生じ得ない。
【００４９】
因みに、前記の図１４に示される従来の印刷セッタ１６０は、スクリーン製版２４の下側において一定の高さ位置に常時位置させられるものであって、基板１２を間歇搬送するためのレール３６上に跨るように配置されていた。基板１２は、レール３６上に設けられた図示しない爪で送られるようになっており、印刷セッタ１６０には、その爪が基板１２の載置位置まで進むことができるように切り込み１７６が設けられている。そのため、図１４および図１５を対比すれば明らかなように、この切り込み１７６は、スキージ２６が摺動させられる範囲内まで設けられていることから、そのスキージ２６で基板１２に向かって押圧されたスクリーン２２がその切り込み１７６内に押し込まれることにより、その稜部で損傷させられ易い問題があった。しかも、切り込み１７６が存在する部分には真空吸引のための吸引室９０を設けることができない不都合もあったのである。
【００５０】
図１０に戻って、基板１２が印刷部１４に順次に送り込まれる量産時においては、シャッタ開工程１７８において前述したシャッタ閉工程１５６とは反対の動作でシャッタ・ユニット８６が中央部ユニット８４から離隔させられ、レール３６上が開放される。次いで、テーブル下降工程１８０において、印刷テーブル２０が下端位置まで下降させられ、更に、基板送出工程１８２において、ペーストを塗布された基板１２が印刷部１４から送り出される。送り出された基板１２は、例えば図示しないロボット等によって乾燥工程に送られる。図１１（ｄ）は、印刷テーブル２０が下端まで下降させられた段階を示しており、右方には続いて送り込まれる基板１２が待機させられている。なお、レール３６は位置合わせ部１８に向かって伸びるように設けられているので、印刷を終えた基板１２はその位置合わせ部１８に向かって送られることとなる。しかしながら、その際には印刷テーブル２０が印刷部１４にあって位置合わせ部１８ではレール３６が露出させられた状態にあるので、ロボットが乾燥工程に送る際の作動には何ら支障はない。しかも、このように位置合わせ部１８と基板１２の送出先が空間的に共通の位置に設けられている結果、印刷装置１０全体は比較的小さくまとめられている。
【００５１】
一方、載置面８２上で位置決めされた基板１２とスクリーン製版２４との相対位置を所定の印刷精度が得られるように調節する位置合わせ時においては、前記の図１１（ｃ）に示されるようにペーストが塗布された後、テーブル下降Ａ工程１８４において、印刷テーブル２０がスクリーン製版２４とレール３６との中間の高さ位置まで下降させられる。図１６（ｄ）はこの段階を示している。このとき、印刷テーブル２０のシャッタ・ユニット８６は閉じられたまま、すなわち中央部ユニット８４に密接させられたままであるが、その状態においても、レール３６とシャッタ・ユニット８６との相対位置が前記の図７にレール３６を一点鎖線で示す位置関係となるまでは相互の接触（干渉）は生じ得ない。図１６（ｄ）に示される印刷テーブル２０はそのような高さ位置にある。
【００５２】
次いで、テーブル退避工程１８６においては、印刷テーブル２０が位置合わせ部１６まで退避すなわち水平移動させられる。図１６（ｅ）は退避完了後の位置を示しており、印刷テーブル２０の上方にスクリーン製版２４が位置しない状態となっている。検査・位置調節工程１８８においては、上記図１６（ｅ）に示される位置において、印刷テーブル２０の上方に位置させられているカメラ５０，５０をＸ方向およびＹ方向、すなわち互いに直交する２方向に移動させて基板１２上の所定の位置の印刷パターンを撮影し、モニタ４８，４８に表示させる。これにより、基板１２上に塗布形成された図示しないトンボの相対位置に基づいて、印刷部１４におけるスクリーン製版２４と基板１２との本来の相対位置からのずれの大きさを検査し、そのずれの大きさに応じて所定の相対位置精度が得られるように、前記の調節装置４２，４６等で印刷テーブル２０の基台５６に対する相対位置等を調節する。
【００５３】
上記のようにして位置調節が終了した後、テーブル復帰工程１９０では、図１６（ｄ）に示される方向とは反対方向に印刷テーブル２０を移動させて、スクリーン製版２４の直下の位置に復帰させる。図１６（ｆ）は、その復帰後の状態を示している。その後、シャッタ開工程１９２においてシャッタ・ユニット８６を中央部ユニット８４から離隔する方向に後退させてシャッタを開放し、テーブル下降Ｂ工程１９４において印刷テーブル２０を下端位置まで下降させることで、位置合わせ時の各機構の作動が完了する。
【００５４】
このように、本実施例においては、印刷テーブル２０は、量産時と位置合わせ時とで異なる動作をするように構成されており、量産時には昇降動作だけをさせられ、位置合わせ時には水平方向に移動させられる。なお、位置合わせに用いられた基板１２は、量産時と同様に印刷部１４から送り出しても良く、或いは、位置合わせ作業者の手作業で印刷部１４から除去してもよい。前述した量産時の印刷装置１０の作動は、実際にはこのような位置合わせを行った後に実施される。また、上記位置合わせ時の作動は、印刷精度の確認のために量産中に随時行っても良い。
【００５５】
ここで、本実施例によれば、図６、図１３における上下方向における基板１２の位置決めをするための可動ピン１１６、１１６は共にその方向において移動可能に設けられるが、長孔１１８の端部まで移動させられた状態で移動を抑制されることによってその一方が基準側として機能させられると共に、リニアガイド１１０によってその他方がその基準側の可動ピン１１６に向かって移動させられる。そのため、可動ピン１１６，１１６の一方を、基板１２の位置決めの基準となる辺の位置関係に応じて任意に基準側として、押圧側と基準側とを容易に切り換えることができる。
【００５６】
また、本実施例によれば、可動ピン１１６、１１６は、図６等における上下方向において予め定められた可動範囲内すなわち長孔１１８の長さ寸法の範囲内で移動可能なものであり、その移動の抑制は、その可動範囲端で停止させることによってその移動を抑制するものであるため、可動ピン１１６をその可動範囲端で停止させるための機構を移動抑制にそのまま利用し得るので、可動範囲の中間位置で可動ピン１１６を固定する場合に比較して移動抑制のための機構を簡単に構成できる利点がある。
【００５７】
また、本実施例においては、上記のように可動ピン１１６を可動範囲端で停止させる機構は、可動ピン１１６，１１６の付勢力すなわちそれらを駆動するためのリニアガイド１１０に供給される圧力を相互に異なる値とすることによって実現されているため、移動抑制を切換弁１２４の操作だけで行うことができる利点がある。なお、前述した説明においては、相対的に付勢力の大きい一方、すなわち高圧側の可動ピン１１６が長孔１１８の先端まで移動させられてそこで停止させられることによって基準側となったが、何れが基準側となるかは、長孔１１８，１１８の相互間隔と基板１２の大きさとの相対的な関係で決まる。すなわち、高圧側の可動ピン１１６が長孔１１８の先端まで移動する前に低圧側の可動ピン１１６が後端まで移動させられるような大きさの関係になっていれば、低圧側の可動ピン１１６が基板１２の大きさのばらつきに拘わらず常に一定の位置で停止することとなるので、これが基準側となる。
【００５８】
また、本実施例によれば、印刷テーブル２０を用いて基板１２に印刷を施すに際しては、基板１２の被印刷面１３２に印刷を施す際には、可動ピン１１６，１１６の一方が基準側とされ、その裏面すなわち被印刷面１３４に印刷を施す際には、可動ピン１１６，１１６の他方が基準側とされるので、基板１２の上下を工程途中で随時反転させるような両面印刷を伴う印刷工程を容易に実施できる利点がある。
【００５９】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００６０】
例えば、実施例においては、本発明が印刷装置１０の印刷テーブル２０に適用された場合について説明したが、基板１２のような基準辺を備えた処理対象物を位置決めして処理する必要のある装置において、基準辺の位置関係が変動し得るものであれば、露光装置その他の種々の装置に本発明は同様に適用される。
【００６１】
また、実施例においては、可動ピン１１６、１１６の移動方向に垂直な方向においては、第２基準部材に相当する固定ピン９２が備えられていたが、固定ピン９２に変えて可動ピン９８を設けて、両方向において可動ピンの基準側と押圧側とを切換え得るように構成しても良い。
【００６２】
また、実施例においては、可動ピン１１６，１１６の一方をその移動範囲端まで移動させることでその移動を抑制していたが、リニアガイド１１０を機械的に停止させる等、他の方法で基準側となる一方を停止させても差し支えない。
【００６３】
また、実施例においては、可動ピン１１６，１１６のうち基準側となる一方を０．５（ＭＰａ）程度の圧力に、押圧側となる他方を０．２（ＭＰａ）程度の圧力にそれぞれ設定していたが、これらの値は基準側と押圧側とを切換え得る範囲で適宜変更される。
【００６４】
また、実施例においては、図６等における上下方向で基準側と押圧側とを切り換えるように構成されていたが、上下方向と左右方向の何れを切換可能に構成する必要があるかは、基板１２の反転時の回転軸によって決定される。すなわち、実施例においては、可動ピン９８の移動方向に平行な回転軸回りに基板１２が回転させられることを前提としており、可動ピン１１６の移動方向に平行な回転軸回りに基板１２が回転させられる場合には、左右方向を切換可能に構成すれば良い。
【００６５】
また、実施例においては、第１位置決め部材および第２位置決め部材が可動ピン１１６、１１６で構成される場合について説明したが、第１位置決め部材および第２位置決め部材は、処理対象物の寸法および形状に応じて、例えば、ロッド状、板状、ブロック状等の適宜のものが用いられる。
【００６６】
また、実施例においては、可動ピン１１６、１１６が中央部ユニット８４に密接させられるシャッタ・ユニット８６、８６に設けられていたが、図１４に示されるように印刷テーブル２０の載置面８２が一つの部材で構成される場合にも、本発明は同様に適用される。
【００６７】
また、実施例においては、印刷テーブル２０が水平方向の移動と昇降動作とを工程に応じて使い分ける印刷装置１０に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、昇降動作のみが実施される間歇的に基板１２が送られる印刷装置や、印刷テーブル２０が基板１２の載置位置と印刷位置との間で往復させられる印刷装置等にも同様に適用される。
【００６８】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の位置決めテーブルの一実施例である印刷テーブルを備えた印刷装置を示す正面図である。
【図２】図１の印刷装置の平面図である。
【図３】図１の印刷装置の印刷テーブル駆動機構を説明するための正面図である。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ視断面を示す図である。
【図５】図３のテーブル駆動機構の平面図である。
【図６】図１の印刷装置に備えられている印刷テーブルの構成を詳細に説明する平面図である。
【図７】図６の印刷テーブルの右側面図である。
【図８】図６の印刷テーブルの正面図である。
【図９】（ａ）は図１の印刷装置で配線等が形成されたスルーホール基板の一例を示す斜視図であり、（ｂ）はその基板に備えられているスルーホールを拡大して示す図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるｃ−ｃ視断面図である。
【図１０】図９の基板に印刷を施す際の工程流れ図の一例である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）は図１の印刷装置を用いて多数の基板に順次に印刷処理を施す際の作動を説明するための模式図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は図１１に示される印刷処理を施す際の印刷テーブルの作動を説明するための模式図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は図１１に示される印刷処理を施す際の印刷テーブル上における基板の位置決め作動を説明するための模式図である。
【図１４】従来の印刷テーブルの一例の構造を説明する平面図である。
【図１５】図１１に示される印刷処理におけるスキージの動きを説明する模式図である。
【図１６】（ｄ）〜（ｆ）は印刷位置合わせをする場合において図１１（ｃ）に示す段階に続く印刷テーブルの作動を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１０：印刷装置
１２：基板
２０：印刷テーブル
１１０：リニアガイド
１１６：可動ピン
１１８：長孔
１２４：切換弁
１３０：制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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