(57)【要約】【課題】  軽量、コンパクトで低廉な材料構成からなるレーザー光遮断装置を提供する。【解決手段】  レーザー光Ｌを照射させてコンクリート２、鋼材３の複合構造からなる切断部材１を切断する際に、切断部材１の切断部を貫通したレーザー光Ｌを、その進行方向の後方で減衰、遮断するように、切断部材１から所定距離離れた位置に、照射されたレーザー光Ｌを内部で拡散、散乱させてパワー面密度を低下させるフッ素樹脂板１３と、フッ素樹脂板１３を通過した通過光Ｌｐをさらに散乱させて、通過光Ｌｐの後方への進行を減衰、遮断する鋼製パネル１４あるいベントナイト懸濁液槽を備えるようにした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を照射させて対象部材を切断する際に、前記切断対象部材の切断部を貫通したレーザー光を、その進行方向の後方で減衰、遮断するレーザー光遮断装置であって、
前記切断対象部材から所定距離離れて設置され、前記切断部を貫通して照射された前記レーザー光を内部で拡散、散乱させてパワー面密度を低下させるレーザー光拡散部と、
該レーザー光拡散部を通過した通過光をさらに散乱させて、前記通過光の後方への進行を減衰、遮断する通過光遮断部と
を備えたことを特徴とするレーザー光遮断装置。
【請求項２】
前記通過光遮断部は、前記レーザー光拡散部の後方に所定距離離れて設置された鋼板である請求項１に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項３】
前記通過光遮断部は、前記レーザー光拡散部の下方に設置された、懸濁液が貯液された液槽である請求項１に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項４】
前記液槽は、前記レーザー光拡散部を蓋とし、該液槽内に上部空間を形成して前記懸濁液が貯液された請求項３に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項５】
前記懸濁液は、ベントナイト懸濁液である請求項３または請求項４に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項６】
請求項１に記載されたレーザー光遮断装置の前記レーザー光拡散部の前段位置に更に前記レーザー光が通過する散水区画が形成されたレーザー光遮断装置。
【請求項７】
前記散水区画は、水密性を有する箱状体からなり、散水により前記箱状体内に霧状領域あるいは水流領域が形成された請求項６に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項８】
前記散水区画の一面が前記レーザー光拡散部で構成され、前記レーザー光拡散部表面が前記散水により洗浄される請求項６または請求項７に記載のレーザー光遮断装置。
【請求項９】
前記レーザー光拡散部は、フッ素樹脂パネルである請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のレーザー光遮断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高出力レーザーを用いて鋼材、コンクリートなどの構造部材を切断する作業において、切断した部材を貫通したレーザー光を遮断するために用いられるレーザー光遮断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザーを利用した各種部材の切断作業では、切断後の部材を貫通したレーザーを、材料の後方位置で受け止めて遮断する、たとえばビームダンプ等と呼ばれるレーザー光遮断装置を設置する必要がある。一般に市販されているレーザー光遮断装置は、出力が１ｋＷ程度のレーザーにおいて、一時的なレーザー減衰のみが可能であった。また、連続的なレーザー照射で使用された場合、装置が高温になるため、レーザー照射時間、すなわち作業可能時間に制約があった。それを解消するために、装置の冷却を行うヒートシンクを設けたり、水冷機構を付加する等の対策がなされていた。
【０００３】
また、同様の目的の装置として、高出力レーザービームの終端処理のために、水冷方式等を用いないコンパクトなビームダンプが提案されている（特許文献１）。このビームダンプはレーザー吸収材として、複数枚の屈曲加工した耐熱性を有する金属板を細かい間隔で並べて設置した箱状体からなる。このビームダンプに入射したレーザービームは、入射角に対して所定角度傾斜して設置されたレーザー吸収材間の狭い隙間を繰り返し反射しながら進行する間にエネルギーが散乱、減衰するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２ー２４３８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
鋼材やコンクリートを切断する場合のレーザー出力は１０ｋＷを超える必要があり、従来市販のレーザー光遮断装置では遮断性能が不足する。そのため、１０ｋＷを超えるレーザーを減衰遮断するためには、レーザーを受け止める材料を冷却するシステムを組み込むか、十分な耐熱性と熱容量を有する重厚な材料や、特許文献１に示されたようなレーザーを拡散、散乱させる反射材を精度よく所定形状に加工する必要がある。このため、レーザー光遮断装置は、システムとして重厚あるいは高価なものとなるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は上述した従来の技術が有する問題点を解消し、軽量、コンパクト、あるいは低廉な材料構成からなるレーザー光遮断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のレーザー光遮断装置は、レーザー光を照射させて対象部材を切断する際に、前記切断対象部材の切断部を貫通したレーザー光を、その進行方向の後方で減衰、遮断するレーザー光遮断装置であって、前記切断対象部材から所定距離離れて設置され、前記切断部を貫通して照射された前記レーザー光を内部で拡散、散乱させてパワー面密度を低下させるレーザー光拡散部と、該レーザー光拡散部を通過した通過光をさらに散乱させて、前記通過光の後方への進行を減衰、遮断する通過光遮断部とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記通過光遮断部は、前記レーザー光拡散部の後方に所定距離離れて設置された鋼板であることが好ましい。
【０００９】
前記通過光遮断部は、前記レーザー光拡散部の下方に設置された、懸濁液が貯液された液槽であることが好ましい。
【００１０】
前記液槽は、前記レーザー光拡散部を蓋とし、該液槽内に上部空間を形成して前記懸濁液が貯液されることが好ましい。
【００１１】
前記懸濁液は、ベントナイト懸濁液であることが好ましい。
【００１２】
前記レーザー光遮断装置の前記レーザー光拡散部の前段位置に更に前記レーザー光が通過する散水区画が形成されることが好ましい。
【００１３】
前記散水区画は、水密性を有する箱状体からなり、散水により前記箱状体内に霧状領域あるいは水流領域が形成されることが好ましい。
【００１４】
前記散水区画の一面が前記レーザー光拡散部で構成され、前記レーザー光拡散部表面が前記散水により洗浄されることが好ましい。
【００１５】
前記レーザー光拡散部は、フッ素樹脂パネルであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、比較的簡単な構造からなる軽量安価な装置として、遮断効果の高いレーザーの遮断を実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のレーザー光遮断装置を用いた切断部材の切断作業状態および用いられる各装置の構成を模式的に示した説明図。
【図２】本発明のレーザー光遮断装置の第１実施形態に係る装置およびレーザー光遮断部の種々の構成を示した側面図。
【図３】本発明のレーザー光遮断装置の第２実施形態に係る通過光遮断部の構成を示した側断面図。
【図４】本発明のレーザー光遮断装置の第３実施形態に係る装置および散水ボックスの構成を示した側断面図および平断面図。
【図５】図５に示した散水ボックスの変形例を示した側断面図および平断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のレーザー光遮断装置の各実施形態について、添付図を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一例として、以下の第１実施形態のレーザー光遮断装置１０が用いられた複合材料の切断作業の一例を示した説明図である。同図には、コンクリート２と鋼板３との複合材料からなる切断部材１の一例として、鋼板と内張コンクリートとからなる合成構造の壁状構造物の解体時に、レーザー切断装置５０を用いて壁状構造物（以下、切断部材１と記す。）を解体するための切断作業が模式的に示されている。
【００２０】
レーザー切断装置５０のレーザーヘッド５１は、図示しない架台の駆動機構上に設置され、切断作業の進行に合わせて走行レール６１，６２に沿って半径方向、円周方向に、図示しない昇降機構により上下方向に移動することができる。これにより、たとえばレーザーヘッド５１が水平移動して切断部材１を水平切断した後に、水平に輪切りにされた切断部材１をさらに鉛直方向に切断して、小割のブロックに解体することができる。なお、レーザー切断装置５０の機器構成を示すために、切断部材１の一部のみが描かれている。
【００２１】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態のレーザー光遮断装置１０は、図１に示したように、レーザー光Ｌが切断部材１の切断部位を貫通した後方位置に、所定面積のレーザー遮断面を構成するように設置されている。レーザー光遮断装置は、自在キャスター１１ａを有する支持架台１１と、支持架台１１上に設置されたレーザー光遮断部とから構成されている。
【００２２】
支持架台１１は、自在キャスターを有し、図示しない駆動機構によって走行可能な部材で、レーザー光Ｌによる切断動作、すなわちレーザーヘッド５１の運転動作に同期させ、切断部材１のレーザーヘッド５１に対しての背面側に切断部材１から所定距離を保持して設定速度で切断部材１の長手方向に沿って移動することができる。なお、レーザー光遮断装置１０の移動は、駆動機構による運転の他、人力による移動等も可能である。
【００２３】
レーザー光遮断部１２は、図示したように、切断部材１を貫通したレーザー光Ｌが照射され背面側へ通過する際に、レーザー光を部材内で拡散、散乱させ、パワー面密度を低下させる、レーザー光拡散部としてのレーザー光拡散パネル１３（以下、拡散パネル１３と記す。）と、拡散パネル１３の後方に所定の距離をあけて位置し、パワー面密度が低下した通過光Ｌｐの散乱を図るとともに、通過光Ｌｐがパネル１３，１４に集中して回折、散乱しないように無害化して散乱拡散する、通過光遮断部としての通過光遮断パネル１４（以下、遮断パネル１４と記す。）の２枚のパネルからなる。このように、レーザー光遮断部１２は、それぞれの役割を果たす拡散パネル１３，遮断パネル１４を所定距離だけ離して配置することで、切断部材１を貫通してきたレーザー光Ｌの有するパワー面密度を減衰させて遮断を果たす。
【００２４】
レーザー光遮断部１２の前面側のレーザー光拡散部としての拡散パネル１３には、レーザー光Ｌの照射に耐えうる耐熱性を有するとともに、切断部材１を貫通した、所定の光径に集束しているレーザー光Ｌを部材内で拡散、散乱させることが可能な合成樹脂板が用いられている。後面側の通過光遮断部としての遮断パネル１４には、反射率が小さく、遮光性、耐熱性、熱伝導性を有する金属板が用いられている。拡散パネル１３内を通過する際に部材内での拡散、散乱によりパワー面密度が低下した通過光Ｌｐは、十分な耐熱性を有する遮断パネル１４で、さらに散乱、一部吸収されて熱エネルギーとなり、結果遮断パネル１４の温度が上昇する。このとき遮断パネル１４は十分な熱伝導性と面積とを有するため、当初のレーザー光Ｌの散乱、減衰、遮断が実現する。
【００２５】
図２（ａ）は、第１実施形態のレーザー光遮断装置の性能確認を行うための公知のレーザー切断装置５０（図１）のレーザーヘッド５１と、レーザーヘッド５１から照射されたレーザー光Ｌによって切断される切断部材１と、切断部材１の切断箇所を貫通したレーザー光Ｌを後方で遮断するために設置されたレーザー光遮断装置の構成および位置関係を示した模式図である。
【００２６】
図２（ａ）に示された各装置の構成について説明する。レーザーヘッド５１の本体としてのレーザ−切断装置（図示せず）のレーザー出力は１５ｋＷである。本実施形態における切断部材１は、厚さ約８ｃｍのモルタル板２と、モルタル板２の背面側で一体化した厚さ１ｃｍの鋼板３とからなる厚さ９ｃｍの複合材料である。切断部材１の後方には、切断部材１を貫通したレーザー光Ｌを遮断する、本発明のレーザー光遮断装置１０が設置されている。各装置の位置関係として、レーザーヘッド５１先端と切断部材１のモルタル表面との距離（スタンドオフ）は約２ｍｍ、レーザーヘッド５１先端とレーザー光遮断装置１０との距離は約７５０ｍｍに設定されている。なお、図２各図は構成の説明図であり、各部の縮尺は合致していない。
【００２７】
本実施形態の拡散パネル１３には厚さ３ｍｍのフッ素樹脂板が使用されている。フッ素樹脂としてはＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）が使用されている。このＰＴＦＥは十分な耐熱性、機械的強度を有し、本実施形態における出力のレーザー光Ｌの照射においても溶融、変形等がなく、レーザー光Ｌが通過する際、パネル内でレーザー光Ｌが効果的に拡散、散乱し、通過する際、レーザー光Ｌの光径が拡大してパワー面強度が低下する。拡散パネル１３の厚さは３ｍｍが好適であるが、レーザー光Ｌの出力によって１〜１０ｍｍ程度に設定することができる。拡散パネル１３を構成する樹脂板は、１枚で所望の厚さとすることが好ましい。なお、本実施形態の場合、レーザー光Ｌは切断部材１に対して水平に照射されるため、拡散パネル１３はレーザー光Ｌの進路と略直交するように、略鉛直面をなして設置されている。
【００２８】
本実施形態の遮断パネル１４には厚さ２ｍｍの耐熱鋼（ＳＵＨ）鋼板が使用されている。この耐熱性鋼板は、拡散パネル１３を通過した通過光Ｌｐが照射された際に、通過光Ｌｐをさらに散乱させて十分に低いパワー面密度の状態にして遮断する。通過光Ｌｐに対して所定の耐熱性、機械的強度を有する鋼板であれば、種々の板材、たとえばステンレス鋼（ＳＵＳ）や一般構造用圧延鋼材（ＳＳ）も用いることができる。鋼板以外の耐熱性を有する各種金属板、プレキャストコンクリートパネル等も使用可能である。
【００２９】
拡散パネル１３と遮断パネル１４との距離は、本実施形態では１００ｍｍとしたが、レーザー光Ｌの出力に応じて設定できる。下限は拡散パネル１３を通過後のパワー面密度が低下した通過光Ｌｐによっても遮断パネル１４が過熱状態とならず、遮断パネル１４の輻射熱による拡散パネル１３への影響が過大とならずに遮断パネル１４へ照射された際に遮断パネル１４によって光が散乱できる程度の距離とし、上限は拡散した通過光Ｌｐをカバー可能な範囲の距離、たとえば２００ｍｍ程度までの距離を適宜設定することができる。
【００３０】
図２（ｂ）〜（ｅ）は、レーザー光遮断装置における拡散パネル１３と遮断パネル１４の各種の設置手段を、それぞれ側面から示した説明図である。図２（ｂ）に示した設置手段は、支持架台１１に拡散パネル１３、遮断パネル１４をそれぞれを差し込み可能な支持溝を形成し、対応する位置の支持溝に各パネルの下端を差し込んで、自立させるようになっている。図２（ｃ）に示した設置手段は、支持架台１１上面にＬ形鋼１５を取り付けて支持架台１１上面に、所定の距離をあけた２列の支持スリットを形成し、各支持スリットに各パネルを差し込んで、自立させるようになっている。図２（ｄ）、（ｅ）は支持架台１１に立設された遮断パネル１４で拡散パネル１３を支持する構造の設置手段を示している。これらの設置手段では、拡散パネル１３はレーザー光Ｌが照射される面積のみをカバーすればよく、小さな面積のパネルを適用することができる。図２（ｄ）の設置手段では、遮断パネル１４の下端近くと上端近くとに所定長さの支持ロッド１６が切断部材１に向いて水平をなして取り付けられている。拡散パネル１３は、各支持ロッド１６の先端のネジ部に、通過したレーザー光Ｌの進行方向と直交するようにナット１７締めされている。図２（ｅ）に示した設置手段は、鋼板製の遮断パネル１４を一部とする鋼製フレーム１８のホルダ１９で拡散パネル１３を保持する構造からなる。
【００３１】
［第２実施形態］
第２実施形態のレーザー光遮断装置２０は、図３に示したように、支持架台１１と、支持架台１１上に設置された、懸濁液槽２１からなるレーザー光遮断部２２とから構成されている。
【００３２】
支持架台１１の構成は第１実施形態とほぼ同様であるが、架台上に設置される遮断液槽の重量に耐える構造となっている。
【００３３】
レーザー光遮断部２２は、第１実施形態と同様に、切断部材１を貫通してきたレーザー光Ｌのパワー面密度を低下・分散させて、高いパワー面密度のレーザー光Ｌをその背後に通過しないように完全遮断する役割を果たす。レーザー光遮断部２２は、図３に示したように、切断部材１の下方位置に配置された支持架台１１上に設置された懸濁液槽２１からなる。この懸濁液槽２１は、十分な肉厚を有する透明アクリル樹脂製の側壁２４ｗからなる直方体槽で、液槽の蓋として、第１実施形態で利用されたのと同じ機能を果たすフッ素樹脂製のレーザー光拡散パネル２３（以下、拡散パネル２３と記す。）が配置されている。
【００３４】
本実施形態の懸濁液槽２１内には、ベントナイト懸濁液２５が液槽の上端から１００ｍｍ程度の上部空間２１ａを確保した状態で貯液されている。ベントナイト懸濁液２５は、遮光性を有し、ゲル化しない程度の濃度の仕様で製造されている。
【００３５】
このレーザー光遮断部２２において、切断部材１を貫通したレーザー光Ｌは、懸濁液槽２１の蓋としての拡散パネル２３に当たる。レーザー光Ｌは拡散パネル２３内を通過する際、パネル内で拡散、散乱してパワー面密度が低下した通過光Ｌｐとして液槽２１の上部空間２１ａを通過して懸濁液２５内に入射する。この懸濁液２５は、遮光性を有し、高比重なため熱容量が高く、冷却性を有する。よって、通過光Ｌｐはこの懸濁液２５を通過できず液中でパワー面密度がゼロとなり、熱吸収されて完全に遮断される。
【００３６】
槽内に収容される懸濁液としては、十分な遮光性を有していれば、ベントナイト等の粘土、シルト粒子懸濁液の他、各種のコロイド溶液、クーラント液等を利用してもよい。
【００３７】
［第３実施形態］
第３実施形態のレーザー光遮断装置３０は、図４（ａ）に示したように、支持架台１１と、支持架台１１上に設置された第１の実施形態で開示されたレーザー光遮断部３２と、レーザー光遮断部３２の拡散パネル３３の前面位置に設置された散水ボックス３１とから構成されている。
【００３８】
支持架台１１の構成は第１実施形態とほぼ同様であるが、台上に設置される散水ボックス３１の総重量、および内部に一時的に溜まる洗浄水（後述する。）の重量に耐える構造となっている。また、支持架台１１を作業に伴って移動させる駆動機構は、上述した相当重量を移動させる可搬能力を備えている。
【００３９】
レーザー光遮断部３２は、第１実施形態と同じく、切断部材１側に位置する前面側のレーザー光拡散パネル３３（拡散パネル３３）と、前面側の拡散パネル３３と所定距離をあけて配置された後方側の通過光遮断パネル３４（遮断パネル３４）との２枚の板構造からなる。
【００４０】
散水ボックス３１は、水密性を有する鋼製箱体で、レーザー光Ｌの分散、拡散パネル３３の冷却、洗浄、切断コンクリートから発生した溶融かすや微小物質の捕集、除去のために設けられた装置で、図４（ａ）、（ｂ）に示したように、支持架台１１上のレーザー光遮断部３２の前段に拡散パネル３３と一体的に設置され、散水によってボックス内に霧状領域Ｍを形成するための水密空間を構成している。なお、散水ボックス３１は、散水ボックス３１本体、付帯設備等、洗浄水の重量に耐えうる強度を有し、水密性を備えた合成樹脂製箱体等も可能である。
【００４１】
切断部材１を切断したレーザー光Ｌは、散水ボックス３１内の霧状領域Ｍ内を通過することにより、レーザー光Ｌの分散が図られるとともに、拡散パネル表面に散水されることで拡散パネル３３が洗浄、冷却される。これにより、コンクリート部材の切断作業に伴って発生した溶融かすなどの不純物が付着した箇所にレーザー光Ｌが当たってエネルギー集中が起こって拡散パネル３３が破損する等の事故を防止できる。これにより、レーザー光遮断部３２としての耐久性が確保される。
【００４２】
さらに、散水ボックス３１の付加的な機能として、微小物質の捕集機能がある。コンクリート切断作業では、コンクリートの切断時に、粉塵や煙等の微小物質が発生し、切断作業エリアで浮遊する。この浮遊する微小物質を吸入することは健康障害の恐れがある。そこで、散水ボックス３１をレーザー光遮断部３２の前段に設け、散水ボックス３１内での散水によって微小物質を捕集できるようにした。
【００４３】
散水ボックス３１の概略形状について説明する。散水ボックス３１は、切断部材１に面する前面側に小径のレーザー入射口３１ａが設けられ、レーザー入射口３１ａから底面部３１ｂにかけて低くなる前面傾斜部３１ｃが形成され、ボックス３１内で散水された洗浄水Ｗが底面部３１ｂに溜まるようになっている。さらにレーザー光遮断部３２の拡散パネル３３が背面側の側壁３１ｄとして構成されている。天井部３１ｅの内面には図４各図に示したように、レーザー光Ｌの進行方向に平行して２列の給水パイプ列３５が形成されており、各給水パイプ列３５には一例として３個の散水ノズル３６が設けられている。これらの構成数は装置の大きさに合わせて適宜設定できる。
【００４４】
本実施形態の散水ノズル３６は噴霧タイプからなり、図４（ａ）に示したように、下方に向けてレーザー光Ｌの進行方向に沿って重なりをもって並ぶ円錐形状の霧状領域Ｍを形成させることができる。また最も拡散パネル３３側に近い散水ノズル３６の向きは、下方および拡散パネル３３の表面に向くように設定されている。また、散水ノズル３６をシャワーノズルに代えて、散水ノズル３６から噴射された水流が、下方を向いて円錐状に広がるシャワー状の水流領域となるようにしてもよい。なお、散水ノズルから噴霧、噴射された水は、霧状領域Ｍを形成するとともに、拡散パネル３３の表面を洗浄し、溶融かす、粉塵、煙などの物質を捕集、除去するために利用されるため、散水に利用される水を洗浄水と呼ぶこととする。
【００４５】
散水ボックス３１内に供給される洗浄水は、所定の循環経路を介して利用される循環水である。洗浄水の循環経路の構成について、図４（ａ）を参照して説明する。本実施形態の洗浄水は通常の水道水で、レーザー光Ｌによる切断部材１の切断作業の間、ポンプＰを介して散水ボックス３１の給水パイプ列３５に送られ、給水パイプ列３５に設けられている散水ノズル３６から散水ボックス３１内に連続供給することができる。洗浄水は、散水ボックス３１内で霧状に散水され、また拡散パネル３３表面に噴霧され、表面に付着した汚染物質が除去される。さらに、霧状雰囲気において微小物質が捕集される。このため、洗浄水は捕集された溶融かすや粉塵等の物質を含んだ汚染水となり散水ボックス３１の底面部３１ｂから排水され、回収タンク３７に貯水される。その後、汚染水は濾過工程を備えた水処理装置３８を介して浄化され、再びポンプＰを介して洗浄水として散水ボックス３１に送られ、循環利用される。なお、本実施形態のレーザー光遮断装置の設置場所に給水栓等がある場合には、洗浄水を循環利用することなく、装置に連続して供給し、排水する構成としてもよい。この場合にも適当な浄化装置等によって汚染水を浄化して排水することが好ましい。
【００４６】
図５各図は、散水ボックス３１内の洗浄水の供給方法の変形例を示している。この例の洗浄水のノズルは、レーザー光Ｌの進行方向に直交するように、所定間隔をあけて配置された４列の帯状のシャワーノズル３９からなる。これらのシャワーノズル３９からは帯状のシャワーによる複数の帯状の水流領域Ｆが形成されるように洗浄水が所定水圧で噴射される。よって、レーザー光Ｌは、散水ボックス３１内で複数の帯状の水流領域Ｆ内を通って背面側の拡散パネル３３に当たる。この間、溶融かすや粉塵等の物質は複数のシャワー状の水流領域Ｆの洗浄水に捕集される。同様に拡散パネル３３表面の汚染物質も、水流領域Ｆの一部が拡散パネルに当たることで洗い流されて洗浄される。
【００４７】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、各請求項に示した範囲内での種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲内で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態も、本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４８】
１  切断部材
１０，２０，３０  レーザー光遮断装置
１１  支持架台
１２，２２，３２  レーザー光遮断部
１３，２３，３３  レーザー光拡散パネル（拡散パネル）
１４，３４  通過光遮断パネル（遮断パネル）
２１  懸濁液槽
２１ａ  上部空間
２５  懸濁液
３１  散水ボックス
Ｆ  水流領域
Ｍ  霧状領域
Ｌ  レーザー光
Ｌｐ  通過光
【図１】
2022000309.tif 000003
【図２】
2022000309.tif 000004
【図３】
2022000309.tif 000005
【図４】
2022000309.tif 000006
【図５】
2022000309.tif 000007