(57)【要約】　　　（修正有）【課題】基板収納容器の識別が容易で、作業ミスの生じない基板収納容器及びカードケースホルダを提供する。【解決手段】基板の識別情報を収納するカードケースを前記基板収納容器の一側壁１６に保持するために設けられるカードケースホルダ１０であって、前記カードケースホルダ１０が向き合う一組の保持部材からなり、前記一組の保持部材が平板部１８と、基板収納容器１と係合する少なくとも一箇所の取り付け部１５と、直交する２つの方向に開口部１９を有するように平板部１８の一端に形成されるカードケース保持部と、平板部１８の他端に設けられるカードケースに接触するリブ１４とから形成した。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器に収納される基板の識別情報を収納したカードケースを前記基板収納容器の一側壁に保持するために設けられるカードケースホルダであって、前記カードケースホルダが向き合う一組の保持部材からなり、前記一組の保持部材が平板部と、基板収納容器と係合する少なくとも一箇所の取り付け部と、直交する２つの方向に開口部を有するように平板部の一端に形成されるカードケース保持部と、平板部の他端に設けられるカードケースに接触するリブとを有することを特徴とする基板収納容器のカードケースホルダ。
【請求項２】
前記平板の保持部周辺には、カードケースの一端と係合する角穴が形成され、前記他端に設けられるリブによってカードケースを撓ませて保持することを特徴とする請求項１記載の基板収納容器のカードケースホルダ。
【請求項３】
一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器であって、請求項１又は２記載の何れか一項に記載のカードケースホルダが着脱自在に取り付け可能な取り付け部を有する基板収納容器。
【請求項４】
前記基板収納容器が容器本体と異なる色に着色された少なくとも一つの部品が取り付けられていることを特徴とする請求項３記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等の基板を収納する基板収納容器に関し、特には基板の識別情報を有するカードを保持するカードケースとカードケースホルダを有し識別が容易な基板収納容器に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、基板の識別情報を有する工程管理用カードを識別可能に基板収納容器の一端に保持させるには、基板収納容器の一側壁に断面Ｌ字状をしたリブを複数設けて、リブとリブとの間の開口部に工程管理用のカードを保持する方法が特開平４−２２５２５７の公報で提案されていた。
【０００３】
こうした工程管理用のカードには、収納する基板のロット情報や工程内における作業者の伝達事項、例えば加工条件等の注意事項や申し送りなどが書き込まれて使用されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の方法では、工程管理用のカードを２つ折りにして、ホルダに収納していたので、内容を確認するには、カードを取り出して記載内容を確認する必要があった。また、紙製の工程管理用カードを直接側壁に露呈させて保持しているので、基板収納容器を使用中にカードが汚れたり破損し易かった。
【０００５】
従来のカードホルダは、基板を収納するキャリアと呼ばれる治具の一側壁に一体に形成されているので、保持可能なカードのサイズが１種類に制限されていた。こうしたキャリアを使用する工場で、異なるサイズの識別情報カードを使用していた場合は、それぞれの工程管理カードの寸法に合わせてキャリアも作り直す必要があった。
【０００６】
一般に、基板の加工や処理を行う工場では、基板の加工や処理の工程に合わせて工場内をいくつかに区画していた。（例えば、半導体ウェーハの加工工程では金属薄膜の形成の前工程と金属薄膜形成後の後工程）そのため、そこで使用される基板収納容器も収納する基板の加工工程や基板の種類によっていくつかに区分して使用した方が、相互汚染が少なく洗浄も容易であることから、工場の区画毎に区別して他の区画に混入しないように管理されていた。
この場合、従来の工程管理カードだけでは、人為的な見落としや勘違いによるミスが起こりやすく、これと併用してより簡単な方法で、一目で基板収納容器を区別可能な手段が望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、請求項１記載の発明は、基板収納容器に収納される基板の識別情報を収納したカードケースを前記基板収納容器の一側壁に保持するために設けられるカードケースホルダであって、前記カードケースホルダが向き合う一組の保持部材からなり、前記一組の保持部材が平板部と、基板収納容器と係合する少なくとも一箇所の取り付け部と、直交する２つの方向に開口部を有するように平板部の一端に形成されるカードケース保持部と、平板部の他端に設けられるカードケースに接触するリブとを有することを特徴とする基板収納容器のカードケースホルダであり、請求項２の発明は、前記平板の保持部周辺には、カードケースの一端と係合する角穴が形成され、前記他端に設けられるリブによってカードケースを撓ませて保持することを特徴とする基板収納容器のカードケースホルダである。
【０００８】
また、請求項３の発明は、一端に開口を有する容器本体と前記開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器であって、請求項１又は２記載の何れか一項に記載のカードケースホルダが着脱自在に取り付け可能な取り付け部を有する基板収納容器であり、請求項４の発明は、前記基板収納容器が容器本体と異なる色に着色された少なくとも一つの部品が取り付けられていることを特徴とする請求項３記載の基板収納容器である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明のカードケースホルダ１０を表す正面図であり、図２はカードケースホルダ１０の背面図であり、図３は図１のＡ−Ａ線部の断面図である。本発明のカードケースホルダ１０は、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂、ポリプロピレン樹脂などの熱可塑性樹脂、好ましくは透明材料を原材料として、左右対称な一組のホルダ部品１１として形成される。ホルダ部品１１は、平坦な基材１２と、基材１２の一端に設けられる断面Ｌ字状に形成される収納部１３と、基材１２の他端に前記収納部１３と相対するように、基材１２の表面に突出するように設けられるリブ１４と、収納部１３の側壁１６の上部外側（収納部と逆側）と下部外側（収納部と逆側）の２箇所に取り付けられる取り付け部１５とからなる。
【００１０】
収納部１３は、基材１２から一体に形成される側壁１６と側壁１６と直交する下端壁１７と、側壁１６と下端壁１７とに囲まれた部分を覆う平板部１８とを有し、側壁１６と下端部１７のそれぞれに相対する方向には開口１９が形成されている。図２、図３から明らかなようにカードケースホルダ１０の平板が投影される部分には、平板とほぼ同形状をした角穴２０が形成されている。
【００１１】
基材１２の他端に設けられるリブ１４は、収納部１３と平行になるように細長く形成されていて、リブ１４の両端部は中央部に向かって徐々に高さが高くなるような傾斜面が形成されていて、中央部は同一高さからなる。リブの先端部は断面略半円形に状に形成されている。
【００１２】
収納部１３の上下方向のそれぞれに平面視円形ボスとして設けられる取り付け部１５は、収納部１３の開口１９よりも外側に設けられており、中央に基板収納容器１に固定するときに螺刻部品を収納する貫通穴と螺刻部品の頭部を収納する凹部が形成されている。
【００１３】
次に、本発明のカードケースホルダ１０の使用状態について説明する。図４は、本発明のカードケースホルダ１０が取り付けらえる基板収納容器１の展開図であり、基板収納容器１は、一端に開口を有し、向き合う内側壁に基板を一定間隔で水平状態で収納する支持部４を有する容器本体２と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体３とからなる。容器本体の上面と外側壁には、基板収納容器１を自動又は手動で搬送するときに使用される各種の搬送用のハンドル７，８が取り付けられる。蓋体３の内面には、基板の端部と接触し保護する押さえ部材が着脱自在に取り付けられている。また蓋体３の側壁には開口部を気密に閉鎖する為にエンドレス形状に形成されるシール部材５が取り付けられている。
【００１４】
こうした容器本体と蓋体３は、収納した基板に静電気による埃付着や性能劣化等の障害や損傷が起こらないように静電気消散性の材料から形成することが好ましい。例えば、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの樹脂に、炭素繊維やカーボンナノチューブあるいは、チタン酸バリウムなどの導電材料を添加したり、ポリアミドブロックとポリエーテルブロックおよび／又はポリエーテルブロックからなりこれらのブロックがエステル結合又はエステルアミド結合により結合されたブロックコポリアミド樹脂を使用するなど導電樹脂材料とのアロイ処方によって静電気消散性を有する材料から形成されるのが好ましい。
【００１５】
カードケースホルダ１０は、外部から確認し易い位置に取り付けられる事が好ましく、図５に示すように基板収納容器１の背面に固定ボルトを介して取り付けられる。このため、容器本体２の背面には、螺刻部を有する複数のカードケースホルダ１０の取り付け部１５が、カードケースホルダ１０の固定部２６のそれぞれと合致するように一定間隔で設けられている。相対するカードケースの収納部１３には、例えば、ＪＩＳで定められるＢ５やＢ６など所定のサイズに形成される透明なカードケース２１に収納された工程管理用の識別シート２２が挿入されて使用される。
【００１６】
図６は図５のＢ−Ｂ断面であり、カードケースホルダ１０に挿入される透明ケースは、カードケースホルダ１０に形成されたリブ１４によって、透明窓６の曲面と略平行になるように撓まされて動かないように保持される。このとき、収納部の裏側と相対する基材に角穴２０を設けておくことで、カードケース２１の角部の接触を逃がすことになるので撓ませて保持するのが容易となる。
これにより、工程管理シートの確認が容易になるほか、リブ１４と収納部１３によって透明ケースをしっかり保持することができ、搬送中に透明ケースが脱落したり位置ずれしたりする事を防止できる。さらに透明窓６が透明ケースによって傷ついたり擦れてパーティクルを発生することを防止できる。
【００１７】
図７は、本発明の別の実施形態であり、基板収納容器１に異なるサイズのカードケース２１を収納可能なカードケースホルダ１０の取り付け構造を示している。なお、カードケースホルダ１０は先の実施形態で説明したものをそのまま使用することができる。この場合、異なるサイズのカードケース２１を保持するための容器本体２とカードケースホルダ１０の間には、取り付け寸法調整アダプタ２３を介在させて、異なる寸法のカードケースホルダ１０に対応することができる。寸法調整アダプタ２３は、カードケースホルダ１０固定用の螺刻部２４と容器本体２への固定用の長穴２５を備え、長穴２５の任意の位置で容器本体２に固定できるようにしておくことで、一つのカードケースホルダ１０で異なる寸法のカードケースを保持できるようになる。
【００１８】
カードケースホルダ１０の固定は、これに限らず、磁気を利用して固定するものでも良く、容器本体２とカードケースホルダ１０のそれぞれの所定の位置にマグネット部品を埋め込んでおくと良い。この場合、容器本体２の複数の位置にマグネット部品を埋め込んでおくことでカードケース２１のサイズ違いにも容易に対応可能となる。
【００１９】
図８（ａ）〜（ｃ）は、本発明のさらに別の実施形態であり、基板収納容器１に着脱自在に取り付けられる搬送部品や、蓋体表面プレート９の色を容器本体２と異なるようにしたものである。図８（ａ）は、容器ほんたいの側壁１６に取り付けられるマニュアルハンドル７を容器本体２の色（例えば黒色）と異なる色（例えば、白色、黄色、青色、赤色、緑色）にした例である。図８（ｂ）は、前記したマニュアルハンドル７と同様に容器本体２の天面に取り付けられるロボティックハンドル８を色分けした例である。さらに、図８（ｃ）は、断面コの字状をした蓋体３の表面に取り付けられる表面プレート９を同様に色分けした例である。また基板収納容器１を区分したい数が多い場合は、これらの３つの部品の色の組み合わせ行って使用することもできる。また、こうした色分けは、これらだけに止まらず、他の部品や容器本体２や蓋体３の色そのものを色分けしても良い。
【００２０】
このように基板収納容器１を色分けすることで、工程内で作業をしている作業員が使用している基板収納容器１の分類を一目で確認できるので、別の工程や別の種類のものを誤って他の工程に投入したりする作業ミスを未然に防止できる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明のカードケースホルダは、外部からの確認が容易で識別カードが汚れたり、カードケースホルダが脱落したりすることがない。また一種類のカードケースホルダで複数のカードケースを収納可能とある。さらに基板収納容器１に複数の異なる色をした部品を取り付けることで、区別が容易となり作業ミスを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカードケースホルダの実施形態を表す正面図。
【図２】本発明のカードケースホルダの実施形態を表す背面図。
【図３】図１のＡ−Ａ断面図。
【図４】本発明のカードケースホルダが取り付けられる基板収納容器を表す展開斜視図。
【図５】本発明のカードケースホルダが取り付けられた基板収納容器を表す背面図
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図
【図７】本発明のカードケースホルダに取り付けられる寸法調整アダプタを取り付けた基板収納容器を表す背面図。
【図８】（ａ）本発明の基板収納容器の天面に色による識別部材を取り付けた側面図。
（ｂ）本発明の基板収納容器の側壁に色による識別部材を取り付けた正面図。
（ｃ）本発明の基板収納容器の蓋体表面に色による識別部材を取り付けた正面図。
【符号の説明】
１　基板収納容器　、２　容器本体　、３　蓋体　、４　支持部　、５　シール部材　、６　透明窓　、７　マニュアルハンドル　、８　ロボティックハンドル、９　蓋体表面プレート　１０　カードケースホルダ　、１１　ホルダ部品　、１２　基材　、１３　収納部　、１４　リブ　、１５　取り付け部　、１６　側壁　、１７　下端壁　、１８　平板部　、１９　開口　、２０　角穴　２１　カードケース　、２２　識別シート　、２３　寸法調整アダプタ　、２４　螺刻部　、２５　長穴　、２６　固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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