(57)【要約】【課題】操作が簡単に素早くでき、作業効率を高めることができる顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造の提供。【解決手段】光特性分析モジュール１０を含み、その下方には分析モジュール固定座１１が設けられ、その隣にはＣＣＤ（映像感知部品）撮影機１２が設けられ、前記ＣＣＤ（映像感知部品）撮影機１２は、顕微鏡レンズ１３と、レンズ固定座１４と、ＣＣＤ焦点距離微調整座１５と、ＣＣＤ角度固定部品１６を含み、その下方にはＣＣＤｘ―ｙ微調整座１７と、ＣＣＤ固定基座１８とが設けられ、もう一方の対応する場所にはＣＣＤ撮影機光源１９が設けられ、前記ＣＣＤ撮影機光源１９は光源固定座第一部品２０と、第二部品２１と、第三部品２２とを含み、以上の構造によって全体のシステムが構成され、検査測定器本体３０上に設けられ、ＬＥＤ、ＬＣＤやその他ウェーハの検査に使用することができる顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造。【選択図】  図１
0003108100.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造であり、
光特性分析モジュールを含み、その下方には分析モジュール固定座が設けられており、その隣にはＣＣＤ（映像感知部品）撮影機が設けられており、
前記ＣＣＤ（映像感知部品）撮影機は、顕微鏡レンズと、レンズ固定座と、ＣＣＤ焦点距離微調整座と、ＣＣＤ角度固定部品を含み、その下方にはＣＣＤｘ―ｙ微調整座と、ＣＣＤ固定基座とが設けられており、
もう一方の対応する場所にはＣＣＤ撮影機光源が設けられており、前記ＣＣＤ撮影機光源は光源固定座第一部品と、第二部品と、第三部品とを含み、
以上の構造によって全体のシステムが構成されており、検査測定器本体上に設けられていることを特徴とする顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造に関わり、主に一般の公知構造の欠点を改善したもので、特に、簡単に、素早く結晶粒の位置を測定することができる顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造に関わる。
【背景技術】
【０００２】
周知の通り、公知構造の検査システムは実施時に下記のような幾つかの欠点が発生する。
１  公知構造の検査機器の位置測定設備、即ち観察を行う顕微鏡撮影機において、即時に結晶粒やガラスモジュールの検査接点位置を観察することができず、切断後の結晶粒の誤った位置を検査してしまい、不都合をもたらしてしまう。
２  作動時、正確性に欠けることからスムーズな作動ができない。
３  以前の検査光学部品は、検査中に結晶粒やガラスモジュールの検査接点の映像を提供することができず、即ち、検査と同時に結晶粒の映像を観察することができない。
４  生産率を高めることができず、不良品が発生してしまい、経済効果がない。
【０００３】
本考案の考案者は上記欠点を鑑み、長年に渡る経験と、弛まない研究開発と、数限りない実験と試作によってついに実用性を有し、公知構造の欠点を改善した製品を考案し、この考案により産業レベルを高め、商工業の進歩を促すことが期待される。
【特許文献１】特開平８−２９２１６４号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の主な目的は、本考案の結晶粒測定構造の設計を利用することにより、操作が簡単に、素早くでき、作業効率を高めることであり、公知構造の欠点を改善したものであり、産業界における利用価値を有し、経済利益をもたらすことができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、  
請求項１の考案は、顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造であり、
光特性分析モジュールを含み、その下方には分析モジュール固定座が設けられており、その隣にはＣＣＤ（映像感知部品）撮影機が設けられており、
前記ＣＣＤ（映像感知部品）撮影機は、顕微鏡レンズと、レンズ固定座と、ＣＣＤ焦点距離微調整座と、ＣＣＤ角度固定部品を含み、その下方にはＣＣＤｘ―ｙ微調整座と、ＣＣＤ固定基座とが設けられており、
もう一方の対応する場所にはＣＣＤ撮影機光源が設けられており、前記ＣＣＤ撮影機光源は光源固定座第一部品と、第二部品と、第三部品とを含み、
以上の構造によって全体のシステムが構成されており、検査測定器本体上に設けられていることを特徴とする顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造である。
【考案の効果】
【０００６】
検査測定機がスポット検査を行うと同時に、ＣＣＤ撮影機１２の視覚システムによって検査される結晶粒の状況を観察することができ、さらにｘｙの位置をフィードバックさせ、対位修正の参考とし、スポット検査の正確度を高めることができ、公知構造よりも優れた構造を提供できた。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１から３に示すように、本考案は顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造であり、光特性分析モジュール１０を含み、その下方には分析モジュール固定座１１が設けられており、その隣にはＣＣＤ（映像感知部品）撮影機１２が設けられており、前記ＣＣＤ（映像感知部品）撮影機１２は、顕微鏡レンズ１３と、レンズ固定座１４と、ＣＣＤ焦点距離微調整座１５と、ＣＣＤ角度固定部品１６を含み、その下方にはＣＣＤｘ―ｙ微調整座１７と、ＣＣＤ固定基座１８とが設けられており、もう一方の対応する場所にはＣＣＤ撮影機光源１９が設けられており、前記ＣＣＤ撮影機光源１９は光源固定座第一部品２０と、第二部品２１と、第三部品２２とを含み、以上の構造によって全体のシステムが構成されており、検査測定器本体３０上に設けられていることを特徴とする顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造である。
【０００８】
本考案を組立てて実施する時、図１から３に示すように、本考案は主に検査測定機３０上に設置され、検査測定機がスポット検査を行うと同時に、ＣＣＤ撮影機１２の視覚システムによって検査される結晶粒の状況を観察することができ、さらにｘｙの位置をフィードバックさせ、対位修正の参考とし、スポット検査の正確度を高めることができ、公知構造よりも優れている。
【０００９】
そのため、本考案は公知構造の結晶測定装置の構造を改善しただけでなく、更なる実用性と正確性を有し、全体の実用性と進歩性が認められる。
【００１０】
本考案は新規性と実用性を有しており、公知構造の欠点を改善したもので、極めて優れた考案であり、実用新案の要件に符合したもので、法に基づき申請を行う。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案の立体分解図である。
【図２】本考案の組立て後の立体図である。
【図３】本考案の組立て後の部分拡大図である。
【符号の説明】
【００１２】
１０    光特性分析モジュール
１１    分析モジュール固定座
１２    ＣＣＤ（映像感知部品）撮影機
１３    顕微鏡レンズ
１４    レンズ固定座
１５    ＣＣＤ焦点距離微調整座
１６    ＣＣＤ角度固定部品
１７    ＣＣＤｘ―ｙ微調整座
１８    ＣＣＤ固定基座
１９    ＣＣＤ撮影機光源
２０    光源固定座第一部品
２１    第二部品
２２    第三部品
３０    検査測定器本体
【図１】
0003108100.tif 000003
【図２】
0003108100.tif 000004
【図３】
0003108100.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月30日(2004.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造であり、
光特性分析モジュールを含み、その下方には分析モジュール固定座が設けられており、その隣には映像感知部品撮影機が設けられており、
前記映像感知部品撮影機は、顕微鏡レンズと、レンズ固定座と、焦点距離微調整座と、角度固定部品を含み、その下方にはｘ―ｙ微調整座と、固定基座とが設けられており、
もう一方の対応する場所には撮影機光源が設けられており、前記撮影機光源は光源固定座第一部品と、第二部品と、第三部品とを含み、
以上の構造によって全体のシステムが構成されており、検査測定器本体上に設けられていることを特徴とする顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
前記課題を解決するために、
請求項１の考案は、顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造であり、
光特性分析モジュールを含み、その下方には分析モジュール固定座が設けられており、その隣には映像感知部品撮影機が設けられており、
前記映像感知部品撮影機は、顕微鏡レンズと、レンズ固定座と、焦点距離微調整座と、角度固定部品を含み、その下方にはｘ―ｙ微調整座と、固定基座とが設けられており、
もう一方の対応する場所には撮影機光源が設けられており、前記撮影機光源は光源固定座第一部品と、第二部品と、第三部品とを含み、
以上の構造によって全体のシステムが構成されており、検査測定器本体上に設けられていることを特徴とする顕微鏡撮影による即時位置測定検査構造である。