(57)【要約】【課題】平面空間を節約して複数のセルユニットが配置され、かつ、複数セルユニットの個々の調整・保守が容易な複数セル透過量測定装置を得る。【解決手段】複数のセルアッセンブリー３、複数の真空接続口２７を有する真空マニュホールド（２６）、制御装置から構成され、セルアッセンブリー３は、透過量を測定する被試験膜を間に挟みこむ上部セル１１と下部セル１４からなるセルユニット９、下部セル下面から下向きに伸びる導通管１５、導通管の他方端部に順に下方向に配列接続された第１の開閉弁１６、圧力センサー１７、第２の開閉弁１８と真空継手２８から構成され、真空接続口２７に真空継手２８を着脱自在に接続したものであり、制御装置が、第１の開閉弁１６と第２の開閉弁１８の開閉を制御する複数セル透過量測定装置である。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
複数のセルアッセンブリー、複数の真空接続口を有する真空マニュホールド、制御装置から構成され、
前記セルアッセンブリーは、透過量を測定する被試験膜を間に挟みこむ上部セルと下部セルからなるセルユニット、前記下部セル下面から下向きに伸びる導通管、前記導通管の他方端部に順に下方向に配列接続された第１の開閉弁、圧力センサー、第２の開閉弁と真空継手から構成され、
前記真空接続口に前記真空継手を着脱自在に接続し、
前記制御装置が、第１の開閉弁、第２の開閉弁の開閉を制御する複数セル透過量測定装置。
【請求項２】
複数のガス供給接続口を有するガス供給マニュホールド、複数のガス排出接続口を有するガス排出マニュホールドを有し、
前記上部セルはガス導入継手とガス導出継手を有し、
前記ガス供給接続口に前記ガス導入継手を着脱自在に接続し、
前記ガス排出接続口に前記ガス導出継手を着脱自在に接続した請求項１に記載の複数セル透過量測定装置。
【請求項３】
前記複数のセルアッセンブリーを配置する基台であって、前記真空マニュホールドが配設され、前記真空マニュホールドの上部空間に水平方向に配置された基板を有し、
前記基板に、基板の一の縁に開口し、前記導通管が通過可能な主幹スリットを設け、前記主幹スリットから分岐し、前記導通管が通過可能な複数の枝幹スリットを設け、
前記開口部から前記主幹スリットに前記セルアッセンブリーの前記導通管部分を通して前記枝幹スリットを通過して前記枝幹スリットの先端まで前記導通管を送り込んでその位置に前記セルアッセンブリーを配置するものであり、
前記セルユニットは円柱形状であり、
前記枝幹スリットの先端部は、互いに前記セルユニットの直径以上の距離を離して配置され、また、前記枝幹スリットの先端部は前記主幹スリットの中心線から前記セルユニットの直径以上の距離を離して配置されるものである基板を有する基台に、前記複数のセルアッセンブリーが配置され、
さらに、前記複数のセルアッセンブリーが配置された状態から、前記複数のセルアッセンブリー中の、個々のセルアッセンブリーを、残余の複数のセルアッセンブリーと接触することなく、前記枝幹スリットと前記主幹スリットを通過して、前記基板の一の縁から取り出すことが可能な状態に前記複数のセルアッセンブリーが配置された請求項１乃至２いずれか記載の複数セル透過量測定装置。
【請求項４】
前記真空マニュホールドは、ｎ個の真空接続口（ｎは２以上１０以下の正の整数）を有し、分岐点に開閉弁を設けたサブ真空マニュホールドに分岐されている請求項１乃至３いずれか記載の複数セル透過量測定装置。
【請求項５】
前記セルユニットに温調手段を有する請求項１乃至４いずれか記載の複数セル透過量測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、フィルムなどを透過する気体・液体の透過量を測定する薄膜の透過量測定装置に関するものであり、複数の測定セルを備え、同時に複数の被試験膜の透過量測定が可能な装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックフィルムなどの気体・液体の透過度を測定する方法として差圧法が採用されている。差圧法は試験気体の導入口を備えた上部セルと、圧力検出器に接続された下部セルとの間に被試験膜を挟み、被試験膜を透過した試験気体などの量を圧力変化により検知する測定法である（例えば、非特許文献１参照）。
従来差圧法による測定を行う透過量測定装置が知られている。この装置は通常単一の測定セルを具備している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】登録実用新案第３０９６６０９号公報
【非特許文献１】ＪＩＳ  Ｋ  ７１２６  プラスチックフィルム及びシートの気体透過度試験方法
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
差圧法による透過度の測定では、透過量が一定になった時点（定常化時点）以降に、透過量の測定をおこなう。定常化までに要する時間は、被試験膜の透過性、その他の特性により異なるが、透過度の小さい膜ほど定常化に要する時間が長くなり、定常化に数週間を必要とする被試験膜もある。従って多数の被試験膜の測定を行う場合には測定セルを多くすることが望まれる。
【０００４】
しかし、単一の測定セルを具備する透過量測定装置を多数準備するのは広い空間が必要であり、また、費用も嵩む。一方、単一の透過量測定装置に具備する測定セル数を多くすると試験ガス配管や真空配管が複雑化する。
また、差圧法では、透過側の配管・部品類からのガスのリークに起因して真空度が安定しない不具合が発生し易い。さらに透過体として、試験ガスに替えて有機溶媒などの液体を使用する場合があり、測定中に被試験膜が破損すると、当該液体が透過側の配管や部品類中の経路に入り込み、洗浄が必要となる。このような場合には、特定の１の測定セル系を取り外して調整や洗浄を行う必要がある。
さらに複数の測定セルをコンパクトに配置する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の問題を解決するため、本考案の複数セル透過量測定装置は、複数のセルアッセンブリー、複数の真空接続口を有する真空マニュホールド、制御装置から構成され、前記セルアッセンブリーは、透過量を測定する被試験膜を間に挟みこむ上部セルと下部セルからなるセルユニット、前記下部セル下面から下向きに伸びる導通管、前記導通管の他方端部に順に下方向に配列接続された第１の開閉弁、圧力センサー、第２の開閉弁と真空継手から構成され、前記真空接続口に前記真空継手を着脱自在に接続し、前記制御装置が、第１の開閉弁、第２の開閉弁の開閉を制御する複数セル透過量測定装置である。
【０００６】
セルユニット、導通管、開閉弁などを順に垂直方向に配置してこれらから構成されるセルアッセンブリーを全体として垂直方向に並ぶ構成としたので、平面空間が節約された複数セル透過量測定装置を得ることが出来る。かつ、真空マニュホールドとの接続部分を着脱自在に接続したので、単一のセルアッセンブリーの取り外しが容易となる。
【０００７】
本考案において、複数のセルアッセンブリーの個数は２以上であれば特に限定されないが、本考案の特徴がよりよく発揮されるためには、個数は好ましくは５以上１００以下、より好ましくは、１０以上１００以下である。
「下方向に配列」とは、第１の開閉弁、圧力計、第２の開閉弁をその中心を上下方向に一致させて配列することのみならず、その中心は必ずしも上下方向に一致せず、互い違いに上下に位置付けられた配置や、第１の開閉弁、圧力計の接続部分、第２の開閉弁が上下に配列される状態（すなわち、圧力計の接続管が折り曲げられており、圧力計の本体部分は第１、第２の開閉弁のいずれかよりも上又は下に位置付けられた配置）を含む。
【０００８】
上部セルにはガス導入継手を設けてもよく、また前記ガス導入継手に加えてガス導出継手を設けてもよい。また、単一の上部セルに、前記ガス導入継手及び／又はガス導出継手を複数設けてもよい。ガス導入継手は、通常導管を介して試験気体供給器に接続される。試験気体が、常温常圧で気体（例えば、酸素、二酸化炭素など）の場合には、試験気体供給器は通常、一定容積のチャンバーである。試験気体が、常温常圧で液体（例えば、有機溶媒（エタノール、メタノールなど）、水蒸気など）の場合には、試験気体供給器は通常、一定容積の液体溜め部と上部空間を有するチャンバーである。
さらに、上部セルは液溜め部を有するものであってもよい。すなわち、試験気体が、常温常圧で液体の場合に、当該液溜めに液体を保持し、上部セル内で試験気体を発生させて、測定を行う形式であってもよい。
【０００９】
複数のセルアッセンブリーの第１の開閉弁と第２の開閉弁は、単一のセルアセンブリー毎にその開閉が独立に制御されることが好ましい。しかし、複数のセルアッセンブリーを適宜の数のサブセルアッセブリー群に分割して、当該サブセルアッセンブリー群に属する複数のセルアッセンブリー毎に、第１の開閉弁群と第２の開閉弁群の開閉を同時に連動して行ってもよい。
【００１０】
本考案の好ましい実施態様にあっては、複数セル透過量測定装置は、複数のガス供給接続口を有するガス供給マニュホールド、複数のガス排出接続口を有するガス排出マニュホールドを有し、前記上部セルはガス導入継手とガス導出継手を有し、前記ガス供給接続口に前記ガス導入継手を着脱自在に接続し、前記ガス排出接続口に前記ガス導出継手を着脱自在に接続してもよい。
本実施形態によれば、特に、試験気体が常温常圧で気体である場合に、より操作性がすぐれた複数セル透過量測定装置となる。
【００１１】
本考案の好ましい実施態様にあっては、複数セル透過量測定装置は、前記複数のセルアッセンブリーを配置する基台であって、前記真空マニュホールドが配設され、前記真空マニュホールドの上部空間に水平方向に配置された基板を有し、前記基板に、基板の一の縁に開口し、前記導通管が通過可能な主幹スリットを設け、前記主幹スリットから分岐し、前記導通管が通過可能な複数の枝幹スリットを設け、前記開口部から前記主幹スリットに前記セルアッセンブリーの前記導通管部分を通して前記枝幹スリットを通過して前記枝幹スリットの先端まで前記導通管を送り込んでその位置に前記セルアッセンブリーを配置するものであり、前記セルユニットは円柱形状であり、前記枝幹スリットの先端部は、互いに前記セルユニットの直径以上の距離を離して配置され、また、前記枝幹スリットの先端部は前記主幹スリットの中心線から前記セルユニットの直径以上の距離を離して配置されるものである基板を有する基台に、前記複数のセルアッセンブリーが配置され、さらに、前記複数のセルアッセンブリーが配置された状態から、前記複数のセルアッセンブリー中の、個々のセルアッセンブリーを、残余の複数のセルアッセンブリーと接触することなく、前記枝幹スリットと前記主幹スリットを通過して、前記基板の一の縁から取り出すことが可能な状態に前記複数のセルアッセンブリーが配置されてもよい。
【００１２】
透過量測定セルユニットは重量があり、複数のセルユニットを単一の基板により支持するためには、基板は切断部分が少なく可能な限り連続していることが好ましい。スリットを設けた本実施態様にかかる基板はこのような複数のセルユニットを支持するに相応しい。
また、複数のセルアッセンブリーが配置されていても、特定の一のセルアッセンブリーを、残りのセルアッセンブリーを配置状態から移動させることなく、取り外すことが可能となり、さらに調整・保守に適したものとなる。
【００１３】
本考案の他の好ましい実施態様にあっては、前記真空マニュホールドは、ｎ個の真空接続口（ｎは２以上１０以下の正の整数）を有し、分岐点に開閉弁を設けたサブ真空マニュホールドに分岐されていてもよい。
本実施態様によれば一のセルアッセンブリーにおいて、真空保持状態などの不具合が発生した場合に、その不具合の影響が、一のサブ真空マニュホールドに接続されているセルアッセンブリー群のみに止まる利点がある。また、不具合の発生しているセルアッセンブリーの発見が容易となる（全てのセルアッセンブリーを点検する手間が省略できる）効果もある。
【００１４】
本考案の更なる他の好ましい実施態様にあっては、前記セルユニットに温調手段を有していてもよい。
一般に、薄膜は温度により、透過量が変わる特性を持つため、透過セルユニットの温度を一定にして測定を行う必要がある。セルユニットの温度を変更して測定するためには、透過量の定常化に加えてセルユニット温度の定常化を待つ必要があり、さらに測定までに長時間が必要となる。よって、複数セルユニットに温度調整手段を有する本実施態様では、複数セル透過量測定装置の利点がさらに高まる効果がある。
【考案の効果】
【００１５】
本考案によれば、平面空間を節約して複数のセルユニットが配置され、かつ、複数セルユニットの個々の調整・保守が容易な複数セル透過量測定装置が得られる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照しながら、本考案にかかる複数セル透過量測定装置をさらに説明する。この考案の実施例に記載されている部材や部分の寸法、材質、形状、その相対位置などは、とくに特定的な記載のない限りは、この考案の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではなく、単なる説明例にすぎない。
【００１７】
図１は複数セル透過量測定装置の部分断面説明図、図２は表面説明図であり、図３は基台の斜視説明図である。
図１には、複数セル透過量測定装置内で配列接続された５個のセルアッセンブリー３が図示されている。セルユニット９は試験ガスを供給する上部セル１１と下部セル１４より構成され、被試験膜は、上部セル１１と下部セル１４の間に挟みこまれる。上部セル１１はガス導入継手１２とガス導出継手１３を持ち、試験ガスがガス導入継手１２から上部セル内に導入され、ガス導出継手１３から排出される。
【００１８】
図２を参照して、ガス供給マニュホールド２１は、複数のガス供給接続口２２を有し、各々、個々のガス導入継手１２に接続される。ガス排出マニュホールド２３は、複数のガス排出接続口２４を有し、各々、個々のガス排出継手１３に接続される。ガス供給接続口２２とガス排出接続口２４は、例えば外径１．５ｍｍのＳＵＳ３０４製チューブである。ガス導入継手１２、ガス排出継手１３はネジ穴である。チューブにブッシュネジを通して、該ブッシュネジをネジ穴に取り付けることにより、着脱自在に取り付けられる。ガス供給マニュホールド２１の他方端部は、図示しない試験気体供給器に接続されている。なお、図２において紙面上部１０個のセルユニット９に接続されるガス排出マニュホールドは、図示を省略している。
【００１９】
図１中２０は温度調節器である。下部セル１４はヒーターと温度センサーを内蔵しており、これらは温度調節器２０に接続され、セルユニットを一定温度に保つことができる。温度調節器２０は接続線３７を介してバスライン３２に接続され、バスライン３２は、図示しない制御装置と接続されている。これにより、制御装置（例えばコンピューター）から個々のセルユニット９の温度を制御することが出来る。下部セル１４に内蔵するヒーターと温度センサーは、セルを一定温度に保つ機能があればよく、電子冷却素子（例えばペルチェ素子）を内蔵してもよく、また、温度制御された水を循環させる構造であってもよい。
また、下部セル１４と基板５間での熱交換を少なくするために、下部セル１４及び／又は基板５に台部分を設け、下部セル１４と基板５の接触面積を小さくしてもよい。
【００２０】
図４はセルアッセンブリー３の斜視説明図である。
図１と図４を参照して、下部セル１４の下面中央には、導通管１５が下向きに開口し、その先端下側に電磁弁である第１開閉弁１６が取り付けられている。第１開閉弁１６の下方には管を介してジョイント２９が取り付けられ、ジョイント２９の側方には管を介して圧力センサー１７が取り付けられている。さらにジョイント２９の下方には電磁弁である第２開閉弁１８が取り付けられ、さらにその下方に真空継手２８が取り付けられている。
【００２１】
第１開閉弁１６は導通管１５とジョイント２９間の導通を開閉する。第２開閉弁１８はジョイント２９と真空継手２８間の導通を開閉する。
【００２２】
第１開閉弁１６と第２開閉弁１８は、開閉動作が遠隔操作可能であればよく、例えば圧縮空気により駆動される空気駆動弁であってもよく、油圧駆動の弁であってもよい。
圧力センサー１７は、経時的に圧力測定が可能な圧力センサー、例えば圧電素子を用いた真空計、隔膜型電子センサー、熱伝導の変化を利用する真空計などを用いることができる。
【００２３】
真空継手２８は真空接続口２７と着脱自在に接続される。サブ真空マニュホールド２６は、複数の真空接続口２７を持つ。真空接続口２７は上方に突出した円柱状であり、外周にネジが螺設されている。真空継手２８は外径９ｍｍのＳＵＳ３０４製フレキシブルチューブである。真空継手２８に袋ナットを挿入し、当該袋ナットを真空接続口２７にネジ止めすることにより、真空接続口２７と真空継手２８が着脱自在に接続される。
【００２４】
セルユニット９、導通管１５、第１開閉弁１６、圧力センサー１７、第２開閉弁１８、真空継手２８がセルアッセンブリー３を構成する。
本実施例に使用したセルユニットの直径は１１０ｍｍであり、圧力センサー本体の大きさは、直径６５ｍｍ、高さ６０ｍｍの円柱形状である。圧力センサーは、ジョイント２９から最大１６０ｍｍ外側にはみ出している。
【００２５】
図１を参照して、サブ真空マニュホールド２６の一方端部は開閉弁４１、真空マニュホールドを介して図示しない真空ポンプに接続される。真空ポンプは、下部セル１４から真空マニュホールドに至る管内の気体を０．００X  ＫＰｓ程度の圧力に排気できるポンプであり、ターボ分子ポンプ、油回転ポンプなどを用いることができる。
【００２６】
第１開閉弁１６、圧力センサー１７、第２開閉弁１８は、それぞれ接続線３４、３５、３６でバスライン３１に接続され、バスライン３１は前述の制御装置に接続されている。よって、制御装置は全ての第１開閉弁１６と第２開閉弁１８の開閉を独立に制御することができ、また、圧力センサー１７の計測値をモニターし、さらに計測値から被試験片の透過量を算出することができる。複数の開閉弁や圧力センサー計測値のモニターを一台の制御装置で行うには、例えば、ソフトウェアで、タイムシェアリング法で行えばよい。また、ハードウエアによるスイッチング回路を介在させて行ってもよい。
接続線３４、３５、３６とバスライン３１間及び接続線３７とバスライン３２間の接続には、プラグとソケットを用いて着脱自在に接続することが好ましい。
【００２７】
図３を参照して、基台４は、直方体の１側板を取り除いた形状であり、鉄製である。基板５には、主幹スリット６と主幹スリット６から分岐する枝幹スリット７が形成されている。主幹スリット６は、基板５の一の縁１０に開口している。主幹スリット６と枝幹スリット７の幅は、セルアッセンブリー３の導通管１５が通過可能な幅に定められる。
図２を参照して、一の枝幹スリットの先端部５１は、隣り合う枝幹スリットの先端５２、５３とセルユニットの直径以上の距離を離して設けられる。さらに、枝幹スリットの先端部５１は、主幹スリット６を挟んで反対側にある枝幹スリットの先端部５４とセルユニットの直径の、２倍以上の距離を離して設けられる。すなわち、枝幹スリットの先端部は、主幹スリットの中心線からセルユニットの直径以上の距離を離して配置される。線６９は主幹スリット６の中心線である。
【００２８】
さらに、全ての複数セルアッセンブリーが基板５に取り付けられた状態で、１のセルアッセンブリーを、枝幹スリット７と主幹スリット６を通過して、一の縁１０から取り出すために、１のセルアッセンブリーが他のセルアッセンブリーと接触しないように配置されている。このような接触しない配置は、枝幹スリットの各先端部を十分な距離離して配置することにより達成される。また、以下に述べるような枝幹スリット先端部の間隔を空けたり、スリット交差点の形状を採用することにより達成することもできる。
【００２９】
図５と図６を参照して、このような接触しない配置について説明する。
図５は、主幹スリット６を挟んで両側に位置する枝幹スリットの先端部（５１、５４）の間隔を、セルユニットの直径の２倍よりも大きく離した一例である。枝幹スリットの先端部５１に配置されるセルアッセンブリーのなかで、導通管１５ａ、ジョイント２９ａと圧力センサー１７ａを破線で示している。また、枝幹スリットの先端部５２に配置されるセルアッセンブリーのなかで、圧力センサー１７ａに接触する可能性の大きいジョイント２９ｂを破線で示している。通常に配置された状態で、枝幹スリット７ａの先端部５１に位置するセルアッセンブリー（すなわち導通管１５ａ）を枝幹スリット７ａから主幹スリット６の交差点を通り過ぎて反対側の枝幹スリット７ｂまで移動させる。そしてセルアッセンブリーを矢印６５方向に回転させると、当該セルアッセンブリーは、他のセルアッセンブリーと接触することなく回転することができる。そして、導通管１５ａを主幹スリット６に戻す。圧力センサー１７ａを紙面横方向にした状態で、セルアッセンブリーは、主幹スリット６を通過して取り外すことが出来る。
【００３０】
図６は、主幹スリット６と枝幹スリットの分岐点の角を切り込んだ一例である。図５と同様に、枝幹スリットの先端部５１に配置されるセルアッセンブリーのなかで、導通管１５ａ、ジョイント２９ａと圧力センサー１７ａを破線で示している。また、枝幹スリットの先端部５２に配置されるセルアッセンブリーのなかで、圧力センサー１７ａに接触する可能性の大きいジョイント２９ｂを破線で示している。通常に配置された状態で、枝幹スリット７ａの先端部５１に位置するセルアッセンブリー（すなわち導通管１５ａ）を枝幹スリット７から主幹スリット６の交差点まで移動させる。そして導通管１５ａを切り込んだ角部（紙面左下側）に位置付け、セルアッセンブリーを矢印６６方向に回転させると、当該セルアッセンブリーは、他のセルアッセンブリーと接触することなく回転することができる。そして、圧力センサー１７ａを紙面横方向にした状態で、セルアッセンブリーは、主幹スリット６を通過して取り外すことが出来る。
【００３１】
本実施例では、主幹スリット６と枝幹スリット７はそれぞれ９０度の角度で交差しているが、任意の角度で交差することができる。さらに、主幹スリット６と枝幹スリット７は直線に限られず、任意の曲線にすることも出来る。
【００３２】
図３を参照して、基台４の底面上面には４本のサブ真空マニュホールド２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄが取り付けられている。それぞれのサブ真空マニュホールドは、開閉弁４１、４２、４３、４４を介して真空マニュホールド２５に接続され、その先端４５は図示しない真空ポンプに接続されている。４本のサブ真空マニュホールド２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄは、開閉弁４１、４２、４３、４４の開閉により、それぞれ独立に真空引き状態にすることが可能となっている。
４本のサブ真空マニュホールドは、それぞれ５個の円柱形状の真空接続口２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、２７ｅを有するが、サブ真空マニュホールド２６ｂ、２６ｃと２６ｄについては図示を省略している。
【００３３】
本考案にかかる複数セル透過量測定装置を使用した透過量の測定は通常次のように行う。複数のセルアッセンブリーを基台に取り付ける。セルユニットの温度調節を開始する。第１開閉弁１６と第２開閉弁１８を閉状態にして真空ポンプを作動させ、真空マニュホールド２５とサブ真空マニュホールド２６を真空引きする。
【００３４】
上部セル１１を取り外し、下部セル１４に被試験膜を位置付け、上部セル１１と下部セル１４間に被試験膜を取り付け固定する。第１開閉弁１６と第２開閉弁１８を開状態にして、下部セル１４、圧力センサー１７などの内部を真空引きする。ガス供給マニュホールド２１から上部セル１１に試験ガスまたは試験液を供給する。
【００３５】
圧力計の計測値が一定になった時点で、第２開閉弁１８を閉じる。被試験膜を透過したガスが下部セル１４に移行し圧力センサー１７の計測値が上昇するので、その値を時間の関数として、透過曲線を求める。当該透過曲線が直線になるまで、そのままで測定を継続し、当該透過曲線の直線部分の傾きを用いて、計算式から透過度、透過計数、透湿度などを求める。このような計算は、予め入力されたソフトウェアにより制御装置が行う。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本考案にかかる複数セル透過量測定装置は、フィルムなどを透過する気体・液体の透過量を測定する装置として用いることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】複数セル透過量測定装置の部分断面説明図である。
【図２】複数セル透過量測定装置の表面説明図である。
【図３】複数セル透過量測定装置の基台の斜視説明図である。
【図４】セルアッセンブリー３の斜視説明図である。
【図５】主幹スリット６と枝幹スリット７の拡大表面説明図である。
【図６】主幹スリット６と枝幹スリット７の分岐点の形状を説明する拡大表面説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
３    セルアッセンブリー
４    基台
５    基板
６    主幹スリット
７    柄幹スリット
９    セルユニット
１１  上部セル
１４  下部セル
１５  導通管
１６  第１の開閉弁
１７  圧力センサー
１８  第２の開閉弁
２０  温度調節器
２１  ガス供給マニュホールド
２３  ガス排出マニュホールド
２５  真空マニュホールド
２６  サブ真空マニュホールド
２８  真空継手
【図１】
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【図２】
0003106379.tif 000004
【図３】
0003106379.tif 000005
【図４】
0003106379.tif 000006
【図５】
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【図６】
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