(57)【要約】【課題】半導体集積回路のマクロ配置のずれを、後工程のＤＲＣで確実に検出することを可能にすること。【解決手段】内部配線２，５が接続される外部端子を外周部に備えるとともに、隣接配置を行った際に外部端子相互を電気的に接続する複数のマクロ１，６と、これらの隣接する双方のマクロ１，６に、しかも各々が内部配線２，５に接して形成したチェックパターン７ａ，７ｂ及び８ａ，８ｂとを有し、隣接配置された際に双方のチェックパターン７ａ，７ｂ及び８ａ，８ｂも隣接配置される。【選択図】      図１
2004152803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部配線が接続される外部端子を外周部に備えるとともに、隣接配置を行った際に前記外部端子相互を電気的に接続する複数のマクロと、隣接する双方のマクロに且つ各々が前記内部配線に接して形成した少なくとも１個のチェックパターンとを有し、隣接配置された際に双方の前記チェックパターンも隣接配置されることを特徴とする半導体集積回路。
【請求項２】
前記チェックパターンは、矩形形状に形成され、その少なくとも一辺の長さがデザインルールで規定した所定の最小配線幅よりも短いことを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項３】
前記複数のマクロは、隣接配置した際に、隣接する前記チェックパターンの少なくとも一対を互いに同一レイヤに形成することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項４】
前記チェックパターンは、複数個形成し、それぞれ隣接配置されるチェックパターンの一対の接続を互いに逆になるように配置することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路。
【請求項５】
前記複数のマクロは、隣接配置した際に、前記チェックパターンが前記所定の最小配線幅を満たしていないとき、前記矩形形状の一辺を互いに接続することにより前記所定の最小配線幅を満たすことを特徴とする請求項２記載の半導体集積回路。
【請求項６】
内部配線が接続される外部端子を外周部に備えるとともに、隣接配置を行った際に前記外部端子相互を電気的に接続する複数のマクロと、隣接する双方のマクロに形成した配置検査用のチェックパターンとを有し、前記チェックパターン単体の少なくとも一個所がデザインルールで規定された所定の最小配線幅を満たしていない形状であり、そのマクロが隣接配置されることで各々のマクロが有する前記チェックパターンを互いに接続し、前記所定の最小配線幅の部分を補完して前記デザインルールの規定を満たすことを特徴とする半導体集積回路。
【請求項７】
前記チェックパターンの形状は、前記マクロの外周部に対して斜めに接していることを特徴とする請求項６記載の半導体集積回路。
【請求項８】
前記複数のマクロは、３個以上を順に隣接配置する際、隣接するマクロのチェックパターンの対毎に、前記チェックパターンのマクロ外周部に対する配置をずらすことを特徴とする請求項６記載の半導体集積回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体集積回路に関し、特に隣接する複数の回路部（以下、マクロと称す）の位置合わせ精度を向上させる半導体集積回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体集積回路のレイアウト設計においては、幾つかのマクロを配置した後、そのマクロのもつ配線端（端子）に対し、自動配線ツールを用いて配線を行うことが一般的に行われている。この際に、自動配線ツールは、マクロの配線が接続された配線端（端子）の配線幅中央に配置されたテキストデータを目標に配線を行うことにより、配線をマクロの配線端（端子）に接続することが可能となっている。
【０００３】
図９（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来の一例を説明するためのマクロの平面を表わす図である。図９（ａ）に示すように、従来のマクロ１からその外部に配線を取り出す際は、マクロ１の内部配線２の配線端（端子）に付加されたテキストデータ２０（場所のみ図示）を位置目標として、自動配線ツールにより配線３を接続する手法を採用している。
【０００４】
しかし、マクロ１の配線端（端子）にテキストデータ２０を付加する作業は、人手で行っているため、人為的ミスによりテキストデータ２０の位置が本来付加される場所からずれた場所に付加される可能性が生じる。
【０００５】
例えば、図９（ｂ）に示すように、マクロ１の配線２における配線端に付加するテキストデータ２１（場所のみ図示）の位置が、配線２の配線幅中央に付加されていないと、自動配線ツールは、そのテキストデータ２１を位置目標として配線を行うため、配線３のようにマクロ１の内部配線２とずれた形で配線されてしまう。その結果、配線２と配線３の電気的接続はなされているために、その後に通常行われる回路図とレイアウト図の照合テスト（ＬＶＳ）等のレイアウトデータの接続テストや、レイアウトのデザインルールを満たしているか否かをチェックするＤＲＣ（デザイン・ルール・チェック）等のテストにおいても、配線接続不良を検出することはない。
【０００６】
しかし、図９（ｂ）に示すように、マクロ内部配線２と自動配線ツールにより引かれる配線３との間の接続のずれが配線の細りとなっているため、経年変化に伴ない、そのデザインルールにおける配線寿命を満足できないという問題を生ずる。
【０００７】
その問題を解決するため、従来のマクロにチェックパターンを設けることが考えられる。
【０００８】
図１０（ａ）〜（ｃ）はそれぞれかかる従来の他の例を説明するためのマクロの平面図およびその一部の拡大状態図である。図１０（ａ）に示すように、従来のマクロ１の改善策は、マクロ１内の配線２の配線端（端子）両側に且つ配線２と同じレイヤ（層）に、突起状のチェックパターン４を設けたものである。これら２個所のチェックパターン４間に配線３が位置するように接続している。また、そのチェックパターン４の位置は、マクロ１の外周部からデザインルールで定められた配線同士の最小間隔幅ｍよりも短い距離ｙだけずらして設ける。
【０００９】
これにより、図１０（ｂ）に示すように、マクロ１内の配線２に付加したテキストデータ（図示せず）がＹ軸方向（図では、上下）にずれたことにより、自動配線ツールが引いた配線もＹ軸方向にずれるが、ずれた配線３の下部と下側のチェックパターン４の間に、点線で囲んだように、デザインルールで定められた配線同士の最小間隔幅ｍよりも短い距離ｙのスリットが生じることになる。
【００１０】
かかる状態は、図１０（ｃ）に拡大して示すとおりである。このスリットは、ＤＲＣにより容易に検出できるため、設計工程の早期にレイアウト設計の不具合として検出することが可能になる。
【００１１】
通常、マクロを用いる設計においては、上述したように、マクロの配置後に自動配線ツール等を用いることで複数のマクロ間の配線接続を実施していたが、近年の集積回路の高速化や多機能化に伴い、より一層の回路規模の縮小化が望まれている。そのために、隣接配置するマクロ間の配線を省略し、マクロを配置するだけでマクロ間の配線を結合する「タイルプレース」という技術が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
図１１（ａ），（ｂ）はそれぞれかかる従来の複数のマクロの接続状態を説明する配線図である。まず、図１１（ａ）に示すように、一般的には、例えばＩ／Ｏマクロ等によく見られる隣接配置された複数の同等な形状の各マクロ２２，２３，２４に対して複数の信号線を入出力する際、バス状に配線された配線束から信号線ａ，ｂ，ｃを１本づつ引き出して、マクロ２２，２３，２４に各々設けられた端子に接続する構成が取られている。
【００１３】
これに対し、上述した「タイルプレース」という技術は、図１１（ｂ）に示すように、あらかじめマクロ２２，２３，２４内に配線情報を仕込み、マクロ２２，２３，２４間の接続をマクロ２２，２３，２４を配置するだけで完了させるという技術がある。ここでの各信号が直流信号もしくはスピードの要求されない信号であれば、特に気を配る必要はないが、前記特許文献１に記載されているように、シリアルインタフェースの入出力マクロにおけるクロック信号等の場合には、設計品種毎にクロックスキューや各信号の遅延等に気を配った設計が必要になる。
【００１４】
しかし、前記タイルプレース技術を用いると、品種設計毎に特に気を配ること無く、マクロ２２，２３，２４を隣接配置させることのみで均一な品質の設計を実現することが出来る。
【００１５】
ところが、このタイルプレース技術においても、マクロの配置を行う際の配置座標の入力ミスや、ＣＡＤツールによりマクロをマニュアル作業で配置する際のマクロ配置ミスなどの人為的ミスが生ずる可能性は存在する。このような人為的なミスにより、隣接配置での配置不具合が予想されるため、上述した図１０（ａ）に代表されるチェックパターンを用いた検出方法が考えられる。すなわち、隣接配置された際に接続される内部配線の配線端（端子）の一方に、図１０（ａ）のマクロ１のように、チェックパターン４を設けることにより、自動配線ツールによる前記説明と同様にＹ軸方向のマクロ配置のずれが生じても、このずれをＤＲＣによって容易に検出する方法が考えられる。
【００１６】
しかし、これら従来の技術を組合わせても、ＤＲＣによって容易に不具合を検出できないケースがある。
【００１７】
図１２（ａ），（ｂ）はそれぞれ図１０の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図である。まず、図１２（ａ）に示すように、配置ミスによりマクロ１およびマクロ６間に隙間、すなわちマクロ１における配線２とマクロ６における配線５との間に隙間が生じてしまった場合、この隙間ｙの間隔がデザインルールにおける最小配線間隔ｍよりも大きかった場合、デザインルールは満たしているために、ＤＲＣで検出することは不可能である。
【００１８】
また、図１２（ｂ）に示すように、マクロ１，６が重なり合ってしまった場合は、配線２，５、チェックパターン４のどの個所についてもデザインルールを満たしているために、ＤＲＣでの検出は出来ない。
【００１９】
要するに、図１２（ａ）の例においては、接続されるべきマクロ１の配線２とマクロ６の配線５が電気的に接続されていないために、回路図とレイアウト図の照合テスト（ＬＶＳなど）などの後工程で検出することは可能である。しかし、図１２（ｂ）に示した例の場合、前記配線２，５は座標がずれているものの、電気的には接続されているために、後のＬＶＳ等によるテストにおいても検出することは出来ない。
【００２０】
このような場合、配線２，５の接続部分が、本来は設計時に考慮された、もしくはデザインルールによって規定された配線幅を満たしていないために、経年変化に伴い、設計時に考慮された配線寿命を満足できないことが問題となる。
【００２１】
【特許文献１】
特開２０００−２４３９３９号公報（第７頁〜８頁、図４）
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の半導体集積回路は、マクロ間の隙間やマクロ間の重なりによる不具合を確実に検出できず、配線寿命を満足できないという欠点がある。
【００２３】
本発明の目的は、タイルプレース等に見られるマクロの隣接配置によるマクロ間配線において、マクロの配置にどのようなずれが生じた場合にも、後工程のＤＲＣで確実に検出することが可能な半導体集積回路を提供するものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体集積回路は、内部配線が接続される外部端子を外周部に備えるとともに、隣接配置を行った際に前記外部端子相互を電気的に接続する複数のマクロと、隣接する双方のマクロに且つ各々が前記内部配線に接して形成した少なくとも１個のチェックパターンとを有し、隣接配置された際に双方の前記チェックパターンも隣接配置して構成される。
【００２５】
また、本発明における前記チェックパターンは、矩形形状に形成され、その少なくとも一辺の長さがデザインルールで規定した最小配線幅よりも短いように形成される。
【００２６】
また、本発明における前記複数のマクロは、隣接配置した際に、隣接する前記チェックパターンの少なくとも一対を互いに同一レイヤに形成される。
【００２７】
また、本発明における前記チェックパターンは、複数個形成し、それぞれ隣接配置されるチェックパターンの一対の接続を互いに逆になるように配置するように形成される。
【００２８】
また、本発明における前記複数のマクロは、隣接配置した際に、前記チェックパターンが前記デザインルールで示した最小配線幅を満たしていないとき、前記矩形形状の一辺を互いに接続することにより前記最小配線幅を満たすように形成される。
【００２９】
さらに、本発明の半導体集積回路は、内部配線が接続される外部端子を外周部に備えるとともに、隣接配置を行った際に前記外部端子相互を電気的に接続する複数のマクロと、隣接する双方のマクロに形成した配置検査用のチェックパターンとを有し、前記チェックパターン単体の少なくとも一個所がデザインルールで規定された最小配線幅を満たしていない形状であり、そのマクロが隣接配置されることで各々のマクロが有する前記チェックパターンを互いに接続し、前記デザインルールで規定された最小配線幅の部分を補完して前記デザインルールの規定を満たすように構成される。
【００３０】
また、本発明における前記チェックパターンの形状は、前記マクロの外周部に対して斜めに接して形成する。
【００３１】
また、本発明における前記複数のマクロは、３個以上を順に隣接配置する際、隣接するマクロのチェックパターンの対毎に、前記チェックパターンのマクロ外周部に対する配置をずらせて形成する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
本発明は、複数のマクロを互いに接して配置する際に、隣接するマクロ間で別途配線を行うこと無く配線同士を互いに接続するようなマクロ配置において、マクロ間の位置合わせを最低限のデザインルールチェックのみで確認可能とするものである。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３３】
図１（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の第１の実施の形態を説明するためのマクロの平面を表わす図である。まず、図１（ａ）に示すように、本実施の形態においては、内部に配線２およびその配線２の下側の線に接した第１のチェックパターン７ａを備える第１のマクロ１と、この第１のマクロ１の外部に且つ配線２の上側の線の延長線に接する位置に形成した第２のチェックパターン７ｂとを有する。これら第１，第２のチェックパターン７ａ，７ｂは、配線２が接する第１のマクロ１の配線端（端子）から所定の等距離に設けられる。
【００３４】
また、図１（ｂ）に示すように、本実施の形態においては、内部に配線５およびその配線５の上側の線に接した第１のチェックパターン８ａを備える第２のマクロ６と、この第２のマクロ６の外部に且つ配線５の下側の線の延長線に接する位置に形成した第２のチェックパターン８ｂとを有する。これら第１，第２のチェックパターン８ａ，８ｂは、配線５が接する第２のマクロ６の配線端（端子）から所定の等距離に設けられる。
【００３５】
これら第１，第２のマクロ１，６にそれぞれ形成する第１のチェックパターン７ａ，８ａおよびそれぞれマクロ１，６の外部に設ける第２のチェックパターン７ｂ，８ｂは、互いに異なる位置に形成される。
【００３６】
以下、上述したマクロ１，６等をより具体的に説明する。これらのマクロ１，６とも配線２及び配線５の接続部分のみを図示したものであり、マクロ１の内部配線２の配線端周辺に配線２の一方の側に接して、チェックパターン７ａを配置する。また、隣接配置されるべきマクロ６においても、チェックパターン７ａとは反対の側に、内部配線５のチェックパターン８ａを配置する。これらのチェックパターン７ａ、８ａは、所定の等距離として説明したが、マクロ外周部からの位置は任意位置に形成することができ、特に外周部近傍に配置することが望ましい。さらに、マクロ１とマクロ６が正常に隣接配置された際に、チェックパターン７ａ、８ａと隣接配置される位置に、７ａ、８ａと同一の形状を持つチェックパターン７ｂ、８ｂを配置する。これらチェックパターン７ｂ、８ｂは互いにマクロ１、及びマクロ６の領域外に配置される。これらチェックパターン７ａ，８ａ，７ｂ，８ｂの配線２，５と接する辺の長さは、デザインルールで規定された最小配線幅（配線２，５の幅ではない）ｎの１／２の長さとした長方形あるいは正方形の形状とする。また、配線２と配線５、及びチェックパターン７ａ，８ａ，７ｂ，８ｂはすべて同一レイヤ（層）とする。
【００３７】
さらに、図１（ｃ）に示すように、本実施の形態は、図１（ａ）に示したマクロ１と、図１（ｂ）に示したマクロ６とを隣接配置し、マクロ１内の配線２とマクロ６内の配線５を接続させる。各マクロ１，６には、配線に対して突起形状となるチェックパターン７ａ，８ａ先端の一辺の幅がデザインルールの最小配線幅ｎの１／２長となるように設けられるが、これらのチェックパターン７ａ、８ａはマクロ１，６の領域内の配線横に設けてあれば良い。しかも、２つのマクロ１，６が正常に隣接配置された際、隣接配置されるマクロ領域外の位置に設けられるチェックパターン７ｂ、８ｂも配線２，５と同方向の一辺がデザインルールの最小配線幅ｎの１／２長となるように形成される。
【００３８】
すなわち、配線２と配線５は互いの配線幅を保ったまま互いに接続されている。チェックパターン７ａとチェックパターン８ｂ、チェックパターン８ａとチェックパターン７ｂも互いに隣接接続されている。
【００３９】
図２は図１におけるチェックパターンの拡大図である。図２に示すように、図１（ｃ）において、マクロ１，６がずれなく正常に隣接配置されたとき、チェックパターン７ａは８ｂと、チェックパターン７ｂは８ａとずれなく隣接配置される。この結果、配線２，５と同方向のチェックパターン７ａ，８ｂによって形成される突起先端部の一辺Ｘは、デザインルールの最小配線幅ｎとなる。
【００４０】
一方、図１（ｃ）において、マクロ１とマクロ６が正常に隣接配置されなかった場合（縦方向、横方向、もしくはその両方にずれが生じた場合）には、チェックパターンの突起部分の一辺の長さがデザインルールの最小配線幅ｎを満たすことができないため、従来から行われているデザインルールチェックにより、マクロ隣接配置のエラーを正しく検出することが可能となる。
【００４１】
このように、チェックパターン７ａと８ｂが配線２と平行する一辺の長さｘは、デザインルールで規定された最小配線幅ｎと等しくなる。同様に、チェックパターン８ａと７ｂの配線５と平行する一辺の長さｘ′（図示略）も、デザインルールで規定された最小配線幅ｎと等しくなる。従って、この配置後にＤＲＣによるテストを行った際には、図１（ｃ）に示した配線２と配線５の接合部分にエラーを検出しない。つまり、チェックパターン７ａとチェックパターン８ｂは正常に隣接配置されることでのみ、設計ルール（最小配線幅ｎ）を満足できる一対のチェックパターンであると言える。また、チェックパターン８ａとチェックパターン７ｂについても同様である。
【００４２】
図３（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ図１（ｃ）の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図である。まず、図３（ａ）に示すように、この場合は、配置の際にマクロ１とマクロ６の間に隙間が生じてしまった不具合の例を示す。この生じた隙間がデザインルールで規定された最小配線間隔ｍよりも小さい場合には、隙間自体がＤＲＣによるテストで検出されることから、配置の不具合を見つけることは可能であるが、隙間がデザインルールで規定された最小配線幅ｎよりも大きかった場合には、隙間自体はＤＲＣではエラーとならない。しかし、この際には、チェックパターン７ａと８ｂ、また８ａと７ｂは互いに隣接配置されない。これらチェックパターン単体の配線と対面する一辺の長さは、デザインルールで規定された最小配線幅ｎを満たしていない。そのため、ＤＲＣによるテストを行うと、これらチェックパターン７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ自体がエラーとなり、配置不具合を検出することが出来る。
【００４３】
ついで、図３（ｂ）に示すように、この場合は、配置の際にマクロ１とマクロ６の配置がＹ軸方向にずれた例を示し、配線２と配線５は接続されてはいるものの、接続面が配線幅よりも狭くなってしまっている。この時には、チェックパターン７ａ，８ａ，７ｂ，８ｂとも互いに接触面全面で隣接接続はされず、Ｙ軸方向にずれて配置される。これにより、図３（ａ）の場合と同様に、チェックパターン単体の配線と対面する一辺の長さがデザインルールで規定された最小配線幅ｎを満たしていないため、チェックパターン自身がエラーとなり、ＤＲＣによって検出することが可能となる。なお、このとき、チェックパターン７ａとチェックパターン８ｂ、及びチェックパターン８ａとチェックパターン７ｂは対角上に配置される。相互のチェックパターンが接触（隣接接続）されるかどうかは、ずれの大きさ、及び各チェックパターンの、配線方向と直角を成す辺の長さに依存するが、効果に影響を及ぼすものではない。
【００４４】
ついで、図３（ｃ）に示すように、この場合は、配置の際にマクロ１とマクロ６がデザインルールの最小配線幅ｎの１／４程度が重なってしまった例を示す。この場合、配線２と配線５の接続のみに限っては、特に支障が生じることはないが、正規の配置個所からずれて配置されているために、マクロ１，６の他の個所に不具合が生じることが予想される。すなわち、チェックパターン８ａと７ｂは、それぞれ重なり合っている。そのため、チェックパターン７ａと８ｂ、及び８ａと７ｂの配線２、配線５の配線方向と対面する辺の長さｘは、デザインルールで規定された最小配線幅ｎを満たしていない。そのため、ＤＲＣによって検出することができる。
【００４５】
さらに、図３（ｄ）に示すように、この場合は、マクロ１とマクロ６間に隙間が生じる配置不具合のために、チェックパターン７ａの右隣にチェックパターン８ｂが接続されている例である。正常な配置時にはチップ上方から見てチェックパターン７ａの左隣に配置されるべきチェックパターン８ｂが右隣に配置されている。この場合は、配線方向と対面するチェックパターン７ａと８ｂの一辺の長さは、図１（ｃ）と同様に、デザインルールを満たしているために、ＤＲＣで検出することは出来ない。しかし、もう一組のチェックパターンである８ａと７ｂを配置しておけば、こちらのパターンは隣接されないため、チェックパターン８ａ、７ｂを不良として、ＤＲＣで検出することが出来る。
【００４６】
このように、マクロ１，６にそれぞれ２個所以上のチェックパターンを設けることにより、検出精度を高めることができる。
【００４７】
また、２個所にチェックパターンを配置する際には、正常配置時に隣り合うチェックパターンの並びを、互いに逆にすることが重要である。すなわち、図１（ｃ）に示すように、配線２に接しているチェックパターンは、マクロ１に属する７ａが右側に、マクロ６に属する８ｂが左側に配置されている。一方、配線５に接しているチェックパターンは、マクロ１に属する７ｂが左側に、マクロ２に属する８ａが右側に配置されている。このような配置関係になるよう、各マクロ１，６にチェックパターンを配置することが重要となる。この配置が各組とも同じ並びであった場合には、図３（ｄ）に示したような配置不具合は検出することが出来ない。
【００４８】
本実施の形態では、チェックパターンは配線２，配線５と同じレイヤの情報として持つとしたが、チェックパターンのみを実際の回路接続情報に用いないレイヤ（以下、疑似レイヤ）に持つことも有効である。
【００４９】
図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の第２の実施の形態を説明するためのマクロの平面図であり、チェックパターンの別の形状例を示す。
【００５０】
図４（ａ）に示すように、本実施の形態においては、第１のマクロ１内に第１のチェックパターン９を形成し、同様に図４（ｂ）に示すように、第２のマクロ６内に第２のチェックパターン１０を形成する。前述した第１の実施の形態においては、マクロ１，６の隣接配置により接続されるマクロ内配線２，５に接する形およびその延長線に接する形でチェックパターンを配置したが、本実施の形態においては、マクロ１，６の外周部にチェックパターン９，１０をそれぞれ独立配置するものである。すなわち、マクロ１の隣接配置される箇所に、Ｖ字（もしくはくの字）形状をした第１のチェックパターン９を配置する。このパターン９の幅ｓはデザインルールで示された最小配線幅、角度ｊは９０度をなすものである。また、第１のマクロ１に隣接配置される第２のマクロ６には、隣接配置された際に、第１のチェックパターン９と接続面を挟んで線対称になるようなＶ字（もしくは逆くの字）形状の第２のチェックパターン１０を配置する。
【００５１】
ついで、図４（ｃ）に示すように、このマクロの平面は、図４（ａ），（ｂ）に示す第１のマクロ１と第２のマクロ６が正常に隣接配置された例である。この場合、チェックパターン９及び１０は、デザインルールに違反する個所は存在しないため、ＤＲＣチェックを実施してもエラーは検出されない。
【００５２】
図５（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図４の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図およびチェックパターンの拡大状態の平面図である。まず、図５（ａ）に示すように、この場合は、第１のマクロ１と第２のマクロ６の配置間隔ｙがデザインルールで規定された最小配線間隔ｍよりも大きい例である。また、図５（ｂ）に示すように、この場合は、第１のマクロ１と第２のマクロ６の配置がＹ軸方向にずれた例である。
【００５３】
どちらの例においても、図５（ｃ）に示すように、チェックパターン１０の斜めにカットされた先端部分の幅ｈが、デザインルールで示された最小配線幅ｎを満たしていないため、デザイン・ルール・チェックで検出される。なお、チェックパターン９においても同様である。
【００５４】
本実施の形態では、チェックパターン９，１０の幅をデザインルールで示された最小配線幅としたが、実施においてはこの限りではなく、最小配線幅以上であれば良い。また、角度ｊについても任意であり、図５（ｃ）に示したチェックパターン１０のマクロ外周部に接する角度ｉが９０度よりも小さいことが満たされていれば良い。さらに、隣接配置の際に隣合うチェックパターン９，１０の形状がマクロ境界線に対して線対称である必要も無く、さらにはチェックパターン９，１０のマクロ外周部に接する２個所の角度が異なっていても良い。
【００５５】
図６は図４の応用例を示すマクロの平面図である。図６に示すように、この応用例では、図４のチェックパターンを用いて、３個のマクロを配置する例を示し、中央にマクロ１２が配置され、そのマクロ１２の左側にマクロ１３、右側にマクロ１４を隣接配置される。これらの位置関係は、必ず維持される必要があるとする。このとき、前述の独立配置形状のチェックパターンをそれぞれのマクロの外周部に設けるが、マクロ１２とマクロ１３の隣接配置により隣接するチェックパターン１５ａ，１５ｂのＹ軸方向の座標と、マクロ１２とマクロ１４の隣接配置により隣接するチェックパターン１６ａ，１６ｂのＹ軸方向の座標をずらして配置する。このようにすることで、マクロ１３とマクロ１４は同一外形であるが、機能の異なるマクロであり、マクロ１２に対する相対的な配置関係を限定されている場合であっても、マクロ１３とマクロ１４の配置を入れ替えてしまうようなミスをＤＲＣにより検出することが可能となる。
【００５６】
図７（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の第３の実施の形態を説明するためのマクロの平面図である。まず、図７（ａ），（ｂ）に示すように、本実施の形態は、前述した第１および第２の実施の形態とは異なるチェックパターンの形状例を示したものである。本実施の形態も第２の実施の形態と同様、マクロの外周部に独立配置する形態である。
【００５７】
まず、図７（ａ）に示すように、マクロ１の隣接配置する面に長方形の形状をしたチェックパターン１７を配置する。この長方形における長辺の長さは任意とし、短辺の幅ｏはデザインルールで示された最小配線幅ｎの１／２とする。
【００５８】
一方、図７（ｂ）に示すように、隣接配置されるマクロ６の隣接面には、Ｌ字型形状のチェックパターン１８を配置する。このＬ字形状の各辺の幅ｐ，ｑはいずれもデザインルールで示された最小配線幅ｎの１／２とする。また、Ｌ字型の長辺方向の長さｒは、隣接配置されるマクロ１に配置したチェックパターン１７の長さと等しいものとする。
【００５９】
これらのマクロ１，６は、正常に隣接配置されると、その隣接部分は、図７（ｃ）に示すように、さらに大きな長方形を形成する。このように、正常に配置された際には、この隣接部分においてデザインルールに違反する個所は無いため、配置後のＤＲＣによってエラーを検出することはない。
【００６０】
図８（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図７の配置において不具合を生じたときのマクロ平面図である。図８（ａ）に示すように、この配置は、マクロ１とマクロ６間にデザインルールで示された最小配線間隔ｍよりも大きな間隔ｙの隙間が生じた例を示す。この場合は、チェックパターン１８のＬ字形状の長辺の先端が飛び出てしまい、この個所がデザインルールで示された最小配線幅ｎを満たしていないため、ＤＲＣでエラー検出することが可能である。
【００６１】
また、図８（ｂ）に示すように、この配置は、マクロ１とマクロ６がＹ軸方向にずれた例を示している。この際には、逆にチェックパターン１８のＬ字形状の短辺の先端が飛び出てしまい、この個所がデザインルールで示された最小配線幅ｎを満たしていないため、ＤＲＣでエラー検出することが可能である。
【００６２】
かかるチェックパターン１８の形状をチェックパターン１７と同一な形状とすることでも、上述した図８（ａ），（ｂ）に示した配置エラーは、同様に検出可能である。
【００６３】
しかし、図８（ｃ）に示すように、チェックパターン１７，１８が正常配置時とは反対の側に隣接した場合、すなわち本来は、図７（ｃ）に示す通り、チェックパターン１８の下にチェックパターン１７が隣接されるべきであるが、逆にチェックパターン１８の上にチェックパターン１７が隣接すようにマクロ１，６の配置がずれてしまった場合、このような同一形状にしておくと、検出することができない。したがって、チェックパターン１８をＬ字形状とすることで、図８（ｃ）に示すようにずれた場合でも、片側が突出するため、ずれの検出精度を高めることが可能である。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体集積回路は、マクロ同士を隣接配置して各マクロ内の配線を接続するタイルプレースのような半導体集積回路技術において、隣接するマクロ内にそれぞれチェックパターンを配置し且つそれらのパターンの位置を判定することにより、デザイン・ルール・チェックおよび計算機を用いてマクロ配置の際のずれを自動的に且つ容易に検出することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するためのマクロの平面を表わす図である。
【図２】図１におけるチェックパターンの拡大図である。
【図３】図１の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を説明するためのマクロの平面を表わす図である。
【図５】図４の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面およびチェックパターンの拡大状態の平面を表わす図である。
【図６】図４の応用例を示すマクロの平面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を説明するためのマクロの平面を表わす図である。
【図８】図７の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図である。
【図９】従来の一例を説明するためのマクロの平面を表わす図である。
【図１０】従来の他の例を説明するためのマクロの平面およびその一部の拡大状態を表わす図である。
【図１１】従来の複数のマクロの接続状態を説明する配線図である。
【図１２】図１０の配置においてそれぞれ不具合を生じたときのマクロの平面図である。
【符号の説明】
１，６，１２〜１４    マクロ
２，５    配線
７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ，９，１０，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１７，１８    チェックパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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