(57)【要約】【目的】板状体と合い紙を非接触把持具を装着した移動具により移載する。【構成】テーブル上に、積層され板状体と合い紙を搭載するポート、板状体を収納するキャリアを搭載するポート、合い紙を収納するケースを搭載するポート、および板状体および合い紙を非接触にて把持懸垂する非接触把持具を装着した移道具とにより構成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体および合い紙を、移動具に装着された非接触把持具により把持し、所定の箇所に移送する板状体移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体ウエハと合い紙とが積層されて収納されているケースから損傷無く順次取り出し、ウエハキャリアに収納する板状体移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、板状体、例えばウエハと合い紙を把持し移載する方法として、真空吸着パッドによる真空吸着方式が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら極薄いウエハ、あるいは脆いウエハでは真空吸着方式では、ウエハを破損させたりストレスを生じさせ、またパッド跡、傷、汚れを付着させるという問題がある。
【０００４】
また合い紙は通気性であるため、真空吸着方式で１枚ずつ吸着することは非常に困難である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、板状体および合い紙を、移動具に装着された非接触把持具により把持し、所定の箇所に移送する板状体移載装置により解決可能である。
【０００６】
すなわち移動具であるロボットに空気を噴出することにより負圧を生じ、板状体を非接触状態にて把持懸垂する非接触把持具を装着し、ウエハを非接触にて把持懸垂し、所定の箇所に搬送することが可能である。
【０００７】
ウエハを非接触にて把持搬送するため、薄いあるいは脆いウエハを破損、損傷あるいはストレスを生じさせることがなく、また汚したりすることもない。
【０００８】
また通気性の合い紙も前記非接触把持具にて１枚ずつ把持懸垂し、所定の箇所に搬送することが可能である
【０００９】
【実施例１】
図１に本発明の板状体移載装置Ａの実施例の側面図、図２はその上平面図を示す。
【００１０】
テーブル１４上中央前部には、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向移動可能なロボットＥ、ポートＫ、ポートＤおよびポートＦを設けている。
【００１１】
ポートＫには合い紙Ｈを挟んで積層されているウエハＧが収納されているケースＣを搭載されている。
【００１２】
ポートＤにはウエハＧをケースＣに収納する棚６を備えたキャリアＪを搭載する。
【００１３】
ポートＦには合い紙Ｈを収納するボックスＮが搭載されている。
【００１４】
ロボットアーム１８には非接触把持具Ｐが装着されている。
【００１５】
上記の構成により板状体移載装置Ａは形成されている。
【００１６】
非接触把持具Ｐは円柱状の基体１の内部に下方に開放する空間を設けてクッション室４となし、クッション室４の中央部に下端に向かって、空気供給口２を内蔵した柱体６を備え、柱体６下端にはウエハＧに角度をもって空気流Ｖを噴出するノズル３を設けている。
【００１７】
非接触把持具Ｐのノズル３よりウエハＧに向かって空気を噴出すると、ウエハＧとの間隙に負圧を発生しウエハＧを吸引し、ウエハＧとの距離が小になれば前記間隙が正圧になりウエハＧを引き離し、バランスした間隙を保持してウエハＧを非接触の状態にて懸垂把持する。
【００１８】
非接触把持具Ｐのノズル３は合い紙Ｈに対しても空気流Ｖを角度を持って噴出するため、通気性の高い合い紙Ｈでも懸垂把持が可能である。
【００１９】
上記の構成において、運転開始の指令により、ロボットＥに装着されている非接触把持具ＰがポートＫに搭載されているケースＣ内に積層され収納されているウエハＧに接近する。
【００２０】
非接触把持具Ｐの空気供給口２に高圧空気流Ｖが供給され、ノズル３より近接したウエハＧに向かって噴出し、ウエハＧを非接触状態にて懸垂把持する。
【００２１】
ウエハＧを把持した非接触把持具Ｐは、ポートＤに搭載されているキャリアＪの棚６に把持しているウエハＧを挿入し、空気の噴出を停止し、ウエハＧを脱着する。
【００２２】
次に再び非接触把持具ＰはケースＣにもどり、ケースＣ内に積層されている合い紙Ｈを前記ウエハＧの場合と同様に非接触状態にて懸垂把持し、ポートＦに搭載されている合い紙ケースＮ移載する。
【００２３】
以降、この操作をケースＣのウエハＧ、合い紙Ｈの移載が完了するまで続ける。
【００２４】
また前述の逆の操作として、ポートＤ上のキャリヤＪに収納されているウエハＧおよびポートＦ上のケースＮ内の合い紙Ｈを、ロボットＥに装着されている非接触把持具Ｐが順次取り出し、ポートＫ上のケースＣに順次積載することも可能である。
【００２５】
【実施例２】
図２には本発明の別の実施例の板状体移載装置Ｂの平面図である。
【００２６】
テーブル１５上にポートＤ、Ｋ、Ｆが設けられており、それぞれキャリアＪ、ケースＣ、合い紙ケースＮを搭載する。
【００２７】
また搭載されているロボットＲ、Ｓの２台が非接触把持具Ｐ、Ｑを装着している。
【００２８】
ロボットＲは装着されている非接触把持具Ｐにより、ケ−スＣとキャリアＪ間のウエハＧの移載を行う。
【００２９】
ロボットＳは装着されている非接触把持具Ｑにより、ケ−スＣとケースＮ間の合い紙Ｈの移載を行う。
【００３０】
本例は、ロボットＲ、Ｓの２台を使用することにより＜実施例１＞よりタクトタイムを短縮することが可能である。
【００３１】
２台のロボットには、同一の非接触把持具でなく種類の異なった非接触把持具、場合により真空吸着方式の把持具を装着可能のである。
【００３２】
実施例の移動具はロボットであるが、１軸移動具を組み合わせた２軸または３軸方向移動可能な移動具であればよい。
【００３４】
非接触把持具の例としては図７，８に示すように空気流Ｖの方向を偏向させ直接板状体に当たらないように偏向板８，９を備えた機構のものも好適であり、あるいは空気を噴出することにより負圧を発生させ板状体を吸引する機構のベルヌーイチャックであればよい。
【００３５】
板状体Ｇは、ガラス板，プラスチック板、鋼板、プリント基板も好適である。
【００３６】
合い紙Ｈは、紙類、フィルム、布も好適である。
【００３７】
ポートＦ、Ｄはコンベア、アライナーを設けることも可能である。
【００３８】
【発明の効果】
上述した発明により下記長所を有した板状体移載装置の提供が可能となった。
【００３９】
（１）板状体を非接触にて移載するため、破損、損傷、汚れを付着させない。
【００４０】
（２）板状体にストレスを生じさせない。
【００４１】
（３）通気性の合い紙を一枚ずつ移載が可能。。
【００４２】
（４）コストが低く、経済的である。
【００４３】
（５）タクトタイムが短い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の板状体移載装置Ａの側面図である。
【図２】本発明の実施形態の板状体移載装置Ａの平面図である。
【図３】本発明の実施形態の板状体移載装置Ｂの上平面図である。
【図４】ケースＣの側面断面図である。
【図５】キャリアＫの側面図である。
【図６】非接触把持具Ａの側面断面図である。
【図７】非接触把持具Ｕの側面断面図である
【図８】非接触把持具Ｔの側面断面図である
【符号の説明】
１    基体
２    空気供給口
３    ノズル
４    クッション室
５    作動面
７，８  偏向板
１４，１５  テーブル
１６  ガイド
１８  ロボットアーム
Ａ，Ｂ  板状体移載装置
Ｃ    ケース
Ｇ    板状体
Ｈ    合い紙
Ｊ    キャリア
Ｅ，Ｒ，Ｓ    ロボット
Ｄ、Ｆ、Ｋ、  ポート
Ｐ，Ｑ．Ｕ    非接触把持具
Ｖ  空気流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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