(57)【要約】【課題】最上段のウェーハの表面のパーティクルレベルを悪化させない密閉収納容器を提供する。【解決手段】ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えた密閉収納容器であって、前記容器本体の内部には、前記ウェーハが載置されて収納される溝部が上下方向に複数段設けられているとともに、該複数段の溝部のうちの最上段の溝部と前記容器本体の上壁との間に、該上壁と離間してダスト付着防止板が配設されており、該ダスト付着防止板は切り欠き部を有しており、該切り欠き部が前記容器本体の奥壁側に位置するように配設されているものである密閉収納容器。【選択図】図１
2022000890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えた密閉収納容器であって、
前記容器本体の内部には、
前記ウェーハが載置されて収納される溝部が上下方向に複数段設けられているとともに、
該複数段の溝部のうちの最上段の溝部と前記容器本体の上壁との間に、該上壁と離間してダスト付着防止板が配設されており、
該ダスト付着防止板は切り欠き部を有しており、該切り欠き部が前記容器本体の奥壁側に位置するように配設されているものであることを特徴とする密閉収納容器。
【請求項２】
前記ダスト付着防止板は、前記切り欠き部を有する円盤状の板であることを特徴とする請求項１に記載の密閉収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は密閉収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン等の半導体ウェーハ（以下、単に、ウェーハとも言う）を製造する工程で使用される装置のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）におけるロードボートや半導体ウェーハを収納する密閉収納容器（以下、単に、収納容器とも言う）であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）などの位置関係はＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって規定されている。
【０００３】
ここで、ロードポートによってＦＯＵＰの蓋が開いた際に、ＦＯＵＰ内がロードポートなどの装置やＦＯＵＰのパッキンなどから発塵したダストを含む外気の流入によって汚染されることがある。これらダストは、ＦＯＵＰに収納された半導体ウェーハの欠陥の原因となるため、装置などの設備導入時や定期的なＦＯＵＰ保管品質評価時などに、ＦＯＵＰの蓋を開けた際にＦＯＵＰ内にどの程度のダストが流入するかを評価するダストの流入（発塵）評価や、蓋の開閉時の収納容器の急激な圧力の変化を生じないように、蓋の開閉動作のスピードや押圧の条件調整のためのダストの流入（発塵）評価、ＦＯＵＰの密閉用パッキンの劣化状態を評価するダストの流入（発塵）評価が実施されている。
【０００４】
ダスト流入評価結果を見ると、上記のようなダストが原因と見られるウェーハへの汚染が生じていた。例えば特許文献１−５にはこのようなダストのウェーハへの付着を防止するための手段がとられているが、不十分であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−１１２１３２号公報
【特許文献２】特表２０１４−５１３４４２号公報
【特許文献３】特開２００１−０１５５８２号公報
【特許文献４】特開２０１０−０５６２９６号公報
【特許文献５】特開２０１９−０２９５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述したように、ＦＯＵＰなどの密閉収納容器にウェーハを特には上側から下側まで全て充填した場合に、これらウェーハのうち、最上段に位置するウェーハ（一般に例えば最大２５枚のウェーハを収納することができる。ここでは最上段のウェーハとは下側から数えて２５枚目のウェーハを言う。）の表面において、密閉収納容器の蓋を開ける際に流入する空気（外気）によって、塵埃（ダスト、あるいはパーティクルとも言う）の付着による汚染が発生し、その２５枚目の表面のパーティクルレベルが悪化するという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、最上段のウェーハの表面のパーティクルレベルを悪化させない密閉収納容器を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハを収納する容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋とを備えた密閉収納容器であって、
前記容器本体の内部には、
前記ウェーハが載置されて収納される溝部が上下方向に複数段設けられているとともに、
該複数段の溝部のうちの最上段の溝部と前記容器本体の上壁との間に、該上壁と離間してダスト付着防止板が配設されており、
該ダスト付着防止板は切り欠き部を有しており、該切り欠き部が前記容器本体の奥壁側に位置するように配設されているものであることを特徴とする密閉収納容器を提供する。
【０００９】
このような本発明の密閉収納容器であれば、密閉収納容器の蓋を開ける際に流入する空気に含まれる塵埃が、最上段の溝部に載置されるウェーハ（例えば２５枚目のウェーハ）のさらに上に配設された、切り欠き部を有するダスト付着防止板の上を流れることで、気流が最上段の２５枚目のウェーハの上面（表面）に接触するのを抑制することができ、該２５枚目のウェーハの上面に塵埃の付着が発生するのを極めて抑制することができる。したがって、最上段のウェーハ表面のパーティクルレベルの悪化を防ぐことができる。
【００１０】
また、前記ダスト付着防止板は、前記切り欠き部を有する円盤状の板であるものとすることができる。
【００１１】
このように円盤状の板であれば、円盤状のウェーハと同様の形状とすることができ、最上段のウェーハをより確実に覆い、上記気流が最上段のウェーハと接触するのを一層防止できる。そして、ウェーハへの塵埃の付着をより効果的に防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の密閉収納容器であれば、密閉収納容器にウェーハを全て充填した状態で、最上段に位置するウェーハの上面において、密閉収納容器の蓋を開けた際などに流入する空気に含まれる塵埃の付着を抑制することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の密閉収納容器（ウェーハを収納していない状態）の一例を示す側面図である。
【図２】本発明の密閉収納容器（ウェーハを収納した状態）の一例を示す側面図である。
【図３】本発明の密閉収納容器（ウェーハを収納した状態）の一例を示す上面図である。
【図４】実施例と比較例における最上段のウェーハ上面のパーティクル個数の評価結果を示すグラフである。
【図５】一般的な密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置の一例を示す説明図である。
【図６】一般的な密閉収納容器の一例を示す説明図である。
【図７】一般的な密閉収納容器（ウェーハを収納していない状態）の一例を示す側面図である。
【図８】一般的な密閉収納容器（ウェーハを収納した状態）の一例を示す側面図である。
【図９】一般的な密閉収納容器（ウェーハを収納した状態）の一例を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明についてより詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
まず本発明者らが本発明を見出すに至った経緯について説明する。
本発明者らは密閉収納容器の蓋を開けた際にＦＯＵＰ内に侵入する外気の流れについて調査した。なお、ここではＦＯＵＰを例に挙げて説明するが、ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）などの他の密閉収納容器についても同様である。
その結果、ＦＯＵＰ内に全てウェーハが載置された状態でロードポートのロードポートドアによりＦＯＵＰの蓋を開けると、容器本体と蓋の隙間から外気が流れ込む。しかし、ウェーハが下側から上側まで、水平且つ均等に載置されていることから、ＦＯＵＰの上壁（天板）と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から奥壁（最奥部の側壁）に向かって外気が導入されることが確認された。これと同時にＦＯＵＰの下壁（底面）と、最も下側に位置するウェーハとの間の空間を通って、奥壁に向かって外気が導入されることが確認された。
【００１５】
ＦＯＵＰの蓋開閉機構や搬送室内の搬送ロボット、ロードポートの扉や開閉機構など各所から発塵する可能性があり、ＦＯＵＰの蓋を開けた際に、容器本体内に流れ込む外気にダストが含まれることが多く、上側の外気の流れや下側の外気の流れにダストが含まれていた場合に、最上段のウェーハの上面や最下段のウェーハの下面にダストが付着する場合があった。これらを鑑みて、最上段のウェーハの上面や、最下段のウェーハの下面にダストが付着する原因は、密閉収納容器の壁とウェーハ間の空間に流れる外気（ダストを含む）であることわかった。
また、ＦＯＵＰの最上段のウェーハと容器本体の上壁との間には、最下段のウェーハと下壁との間に比べてやや広めの空間があることを見出した。
【００１６】
これらのことより、ウェーハへのダストの付着防止のため、密閉収納容器に収納するウェーハと密閉収納容器の壁との間の空間に、切り欠き部を有するダスト付着防止板を設けることに想到した。より具体的には、ウェーハが載置されて収納される最上段の溝部と容器本体の上壁との間に、上壁と離間してダスト付着防止板が配設されており、該ダスト付着防止板は切り欠き部を有しており、該切り欠き部が容器本体の奥壁側に位置するように配設されている密閉収納容器に想到した。この場合、蓋を開けた際に流れ込む外気は、従来では最上段のウェーハと容器本体の上壁との間の空間を流れていたのに対し、上記のダスト付着防止板の配設により、ダスト付着防止板と容器本体の上壁との間の空間を流れて、最上段のウェーハに塵埃が付着しにくくなることがわかった。本発明者らはこれらを見出し、本発明を完成させた。
【００１７】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
本発明の密閉収納容器を説明するにあたって、まず、一般的な密閉収納容器とウェーハ移載装置の関係性について説明する。
図５に一般的な密閉収納容器を配置したウェーハ移載装置１０の一例を示す。なお、一般的な密閉収納容器１０１と、処理装置２０を併せて図示している。ここでは密閉収納容器１０１の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。
ウェーハ移載装置１０の搬送（移載）対象のウェーハは特に限定されず、例えば半導体シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハなど各種半導体ウェーハが挙げられ、特には研磨されたシリコンウェーハやエピタキシャル成長にて成膜した、シリコンウェーハとすることができる。
その他、ガラス基板などのウェーハ状のものも移載搬送可能な装置である。
【００１８】
ここで、一般的なＦＯＵＰ１０１について図６を参照して説明する。
ＦＯＵＰ１０１はウェーハを収納する密閉収納容器である。ＦＯＵＰ１０１は、容器本体１０２と蓋１０３とを備える。容器本体１０２は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に開口部（ウェーハ搬出入口）を有する。この開口部からウェーハの出し入れが行われる。図６において、容器本体１０２の前面は右側の面である。蓋１０３は容器本体１０２の前面の開口部を開閉するためのものである。蓋１０３が閉まると容器本体１０２の内側は密閉される。
ＦＯＵＰ１０１内にウェーハＷを収納して搬送する場合、通常、ウェーハＷはフル充填されている。
【００１９】
なお、図７のウェーハを収納していない状態の側面図に示すように、ＦＯＵＰ１０１の容器本体１０２の内部においては、上下方向に溝部１０４が複数段設けられており、各々の溝部１０４にウェーハを１枚ずつ載置して収納できるようになっている。一般的なＦＯＵＰでは２５段の溝部１０４が設けられており、フル充填の状態で２５枚のウェーハを収納可能である。ここでは簡便のため、図面において７段の溝部１０４しか描いていない。最下段を１段目、最上段を２５段目（図面上では７段目）と呼ぶこととする。
【００２０】
次に、図５を参照してウェーハ移載装置１０について説明する。
まずウェーハ移載装置１０はＥＦＥＭ１１を有している。このＥＦＥＭ１１はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを、ＦＯＵＰ１０１から処理装置２０まで、ミニエンバイロメント方式で搬送する。ＥＦＥＭ１１は、搬送ロボット１２と、搬送室１３、ロードポート１４とを備える。
搬送ロボット１２はＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを取り出して搬送するものである。
搬送室１３は搬送ロボット１２を格納する。搬送ロボット１２によりＦＯＵＰ１０１より取り出されたウェーハＷは搬送室１３を介して処理装置２０に搬送される。
【００２１】
ロードポート１４はＦＯＵＰ１０１とＥＦＥＭ１１との間でウェーハＷを受け渡すためのインターフェースである。ロードポート１４は、ロードポート架台（架台）１５と、ロードポートドア（ドア）１６とを備える。架台１５は、ＦＯＵＰ１０１を載置する箇所である。ドア１６は、ウェーハ出入り口（基板搬出入口）となる開口部を開閉するためのものであり、ラッチキー機構が組み込まれている。ＦＯＵＰ１０１のドア１６が閉まると搬送室１３の内側は密閉される。
【００２２】
ＦＯＵＰ１０１から処理装置２０までウェーハＷを搬送する場合、まず、ＦＯＵＰ１０１は架台１５の所定の位置に、ＦＯＵＰ１０１の蓋１０３とロードポート１４のドア１６とが対向するように配置される。この際、ＦＯＵＰ１０１の蓋１０３とロードポート１４のドア１６が嵌合し、ラッチキーを回転させた後に蓋１０３を開く。そして、ＦＯＵＰ１０１に収納されたウェーハＷを搬送ロボット１２によって処理装置２０まで搬送する。これにより、ウェーハＷのミニエンバイロメント方式の搬送が行われる。
【００２３】
上述の通り、ＦＯＵＰ１０１は蓋１０３によって密閉されているため、例えば蓋１０３が開くと内側が負圧となる。ＦＯＵＰ１０１の内側が負圧になると、外気が流れ込み、空気中のダストが容器本体１０２内に侵入する。
このようにウェーハＷの搬出または搬入に伴う蓋１０３の開放または閉塞時には、容器本体１０２内の圧力変動やダストの流入が生じ得る。
【００２４】
以下、本発明の密閉収納容器の各構成について説明する。
図１に本発明の密閉収納容器（ウェーハを収納していない状態）の側面図を示す。また、図２、図３に本発明の密閉収納容器（ウェーハを収納した状態）の側面図および上面図を示す。なお、図２、図３には、蓋を開けたときなどに流入してくる外気の流れを併せて記載している。
ここでは本発明の密閉収納容器の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。ＦＯＳＢのタイプとすることもできる。
密閉収納容器（ＦＯＵＰとも呼ぶ）１は、容器本体２と蓋３とを備える。
容器本体は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に関口部（ウェーハ搬出入口）を有する。この開口部からウェーハＷの出し入れが可能である。なお、蓋３は、一般的なＦＯＵＰと同様にロードポートのドアと嵌合し、ラッチキー機構によって蓋３の開閉が可能である。
【００２５】
また、容器本体２の内部においては、上下方向に溝部４が複数段設けられており（ここでは一般的な２５段の場合を例に挙げて説明する。なお、図面上では７段しか描いていないのは前述した通り簡便のためである）、各々の溝部４にウェーハを１枚ずつ載置して収納できるようになっている。各々、均等な間隔をあけて設けられている。
【００２６】
ここまでは一般的な密閉収納容器（ＦＯＵＰ）１０１と同様の構成であるが、本発明の密閉収納容器（ＦＯＵＰ）１では、さらに、切り欠き部６を有するダスト付着防止板５が容器本体２内に配設されている。
このダスト付着防止板５の配設位置は、複数段の溝部４のうちの最上段（２５段目）の溝部４Ｔと容器本体２の上壁７との間である。上壁７と離して設けられており、上壁７との間に空間ができている。
また、ダスト付着防止板５は、切り欠き部６が容器本体２の奥壁８の側に位置するように配設されている。すなわち、切り欠き部６と奥壁８とが向かい合うような向きで配設されている。ダスト付着防止板５の一部と奥壁８とが接触するように配設されていたとしても、この切り欠き部６が存在しているため、それらの間には必ず隙間が設けられることになり、蓋３を開けた場合に容器本体２内に流入してくる外気が、ダスト付着防止板５と上壁７（また奥壁８）との間を流れるのを妨げないようにすることができる。また、元々それらが接触することなく離れて配設されている場合は、この切り欠き部６によって、より一層スムーズに外気を流すことができる。切り欠き部という部分的な穴により、流入してくる外気を、簡便かつ効果的に、最上段の溝部４Ｔに載置された最上段のウェーハＷＴの上ではなく、ダスト付着防止板５の上を通して流すことができる。その結果、従来のように最上段のウェーハＷＴの上をダストを含む空気が流れるのを防ぎ、ダストがウェーハＷＴの上面に付着してしまうことを防ぐことができる。したがって、ウェーハＷＴの上面のパーティクルレベルを従来に比べて著しく低減することができる。
【００２７】
なお、上記配設位置へのダスト付着防止板５の載置又は固定の仕方は特に限定されない。例えば、ウェーハＷの載置用の最上段の２５段目の溝部４Ｔの上で、かつ、溝部４同士の間隔と同様の間隔をあけた箇所に、ダスト付着防止板５の専用溝部を新たに設け、該専用溝部にダスト付着防止板５を載置することで位置固定されたものとすることができる。または、容器本体２の内壁に接着等により固定されたものとすることも可能である。
【００２８】
さらには、ダスト付着防止板５の形状や大きさは特に限定されない。例えば、収納するウェーハＷが円盤状のウェーハの場合、それと同じ大きさの円盤状の板に切り欠き部６を形成したものとすることができる。その他、平面視における容器本体２の内壁面に沿った形状の板に切り欠き部を形成したものなどとしても良い。
また切り欠き部６の形状や大きさも特に限定されない。例えば図３のように、円盤状のダスト付着防止板５の外周に沿って、所定の幅を有するほぼ矩形状の切り欠き部とすることができる。
これらは容器本体２や収納するウェーハＷの形状や大きさ等に応じて適宜決定することができる。
【００２９】
次に、本発明のＦＯＵＰ１の有効性についてさらに示すため、図２、図３を参照して、ＦＯＵＰ１にウェーハを収納して、ロードポートにて蓋を開けた時に流入する外気（空気）の流れを説明する。
ＦＯＵＰ１に、例えばウェーハＷがフル充填されている場合（あるいはそれに近い状態の場合）、ウェーハＷは基本的に水平且つ均等な間隔で載置されていることから、流入する外気は、このウェーハＷに沿った水平な流れとなって流入する。これは大きく分けて２つの流れが存在する。それらの流れは側面から見た場合は図２に、上面から見た場合は図３に示した通りである。
第１の流れは、ＦＯＵＰ１の上壁（天板）７と、最上段に位置するウェーハＷＴのさらに上側に配設されたダスト付着防止板５（ここでは、切り欠き部６を有する円盤状の板）との間の隙間を通って外気が流入する。そしてこの第１の流れは、ＦＯＵＰ１の上壁７と、ダスト付着防止板５の円盤状の板との間の隙間を通って奥まで流れ、その後、奥壁８に沿って下側へと流れる。第２の流れは、ＦＯＵＰ１の下壁９と、最下段に位置するウェーハＷＢとの間の空間を通って奥まで流れ、その後、奥壁８に沿って上側へと流れる。
【００３０】
このように、比較的スペースのある最上段の溝部４Ｔ（最上段のウェーハＷＴ）と上壁７との間に、切り欠き部６が奥壁８と対向するような向きでダスト付着防止板５が配設されていることで、流入してくる外気を極めてスムーズにダスト付着防止板５の上を通すことができる。これにより、従来生じていた、最上段のウェーハＷＴの上面における外気の流入・接触によるダストの付着を低減することが可能となった。
たとえ同様の位置にダスト付着防止板５の代わりに何らかの板状部材が配設されていたとしても、上記のような切り欠き部６を有していない場合は、上壁７と板状部材との間の隙間において、外気を奥壁８まで、さらにはその奥壁８に沿って下側へと流しにくくなる恐れがある。この場合、その下の隙間、すなわち、板状部材と最上段のウェーハＷＴとの間の隙間にも外気が流入し易くなり、ウェーハＷＴの上面へのダストの付着が発生しやすくなってしまう。
一方で本発明では、上記のように切り欠き部６を有しているため、そのような問題が発生するのを抑制できる。
【００３１】
なお、上記はウェーハＷをＦＯＵＰ１から搬出する際の蓋３の開放時の影響を説明したものであるが、これに限定されず、逆にウェーハＷをＦＯＵＰ１に搬入する場合や、蓋３を閉塞する場合についても同様にダストの付着を防止することができる。
【実施例】
【００３２】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
後述する実施例、比較例の各種のＦＯＵＰに、各々、ウェーハをフル充填（２５枚収納）し、図５に示すようなウェーハ移載装置のロードポートを用いてＦＯＵＰの蓋を開放し、最上段（２５枚目）のウェーハ上面についてダストの付着の評価を行った。
（実施例）
図１と同様の本発明のＦＯＵＰを用意した。これは、容器本体の最上段に位置するウェーハ（溝部）のさらに上側に、ダスト付着防止板の円盤状の板（切り欠き部が容器本体の奥壁と対向する向きで配設）を備えている。ウェーハは上側から下側まで全ての溝部に載置されている。
【００３３】
（比較例）
図７と同様の従来の一般的なのＦＯＵＰを用意した。すなわち、容器本体の最上段に位置するウェーハの上側には、本発明におけるダスト付着防止板のような円盤状の板は備えてない。それ以外は実施例と同じＦＯＵＰである。ウェーハは上側から下側まで全ての溝部に載置されている。
【００３４】
（結果）
実施例と比較例の密閉収納容器ＦＯＵＰの蓋の開閉時のダスト評価用に、それぞれ直径３００ｍｍのポリッシュドウェーハを２５枚収納した状態で、蓋の開閉を１００回繰り返し、最上段（２５枚目）のウェーハついて、ＫＬＡ製パーティクルカウンターＳＰ２を用いて４６ｎｍサイズ以上のパーティクルを測定した。そして、そのパーティクル個数を規格化して実施例と比較例で比較した。
図４のように、実施例では最上段（２５枚目）のウェーハの上面側のパーティクルレベルは０．５程度であるのに対して、比較例ではその倍近い１程度であった。このように実施例は比較例より顕著に低いことから、本発明における密閉収納容器のように、上側に配設された、ダスト付着防止板の円盤状の板（切り欠き部有り）には、塵埃の付着抑制効果が大いにあることが分かった。
【００３５】
実施例の場合には、図２、図３に示すように、第１の流れによる最上段のウェーハへのダストの影響を防止することができたと考えられる。
一方、比較例の場合には、図８、図９のウェーハを収納した状態のように、容器本体の最上段に位置するウェーハの上面と第１の流れが接触することから、ダストの影響が発生したと考えられる。
【００３６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００３７】
１…本発明の密閉収納容器（ＦＯＵＰ）、  ２…容器本体、
３…蓋、  ４…溝部、  ４Ｔ…最上段の溝部、  ５…ダスト付着防止板、
６…切り欠き部、  ７…上壁、  ８…奥壁、  ９…下壁、
１０…ウェーハ移載装置、  １１…ＥＦＥＭ、  １２…搬送ロボット、
１３…搬送室、  １４…ロードポート、  １５…ロードポート架台、
１６…ロードポートドア、  ２０…処理装置、
１０１…一般的な密閉収納容器（ＦＯＵＰ）、  １０２…容器本体、
１０３…蓋、  １０４…溝部、
Ｗ…ウェーハ、  ＷＴ…最上段のウェーハ、  ＷＢ…最下段のウェーハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2022000890.tif 000006
【図５】
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【図６】
2022000890.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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