(57)【要約】【課題】安定化した特性検査を精度良く行うことが可能なレーザダイオードモジュールの特性検査装置を提供すること。【解決手段】レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、底面温度センサ２０ａを通じて取得した温度に基づいて、下部温度制御ユニット４０によってレーザダイオードモジュール固定部２０に内蔵されたサーモモジュールを駆動するとともに、上面温度センサ３０ａを通じて取得した温度に基づいて、上部温度制御ユニット５０によって上部接触保持部３０に内蔵されたサーモモジュールを駆動するようにしている。【選択図】　　　　図１
2004055693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、
レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて前記レーザダイオードモジュールの温度制御を行う第１の温度制御手段と、
前記レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて前記レーザダイオードモジュールの温度制御を行う第２の温度制御手段と
を備えたことを特徴とするレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項２】
前記第１の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行い、かつ前記第２の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行うことを特徴とする請求項１に記載のレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項３】
レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、
少なくともレーザダイオードモジュールを内部に収容し、かつ内部を気密状態に保持する気密容器と、
前記気密容器内の気体を排出する排気手段と
を備えたことを特徴とするレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項４】
前記気密容器内の気圧を測定する気圧測定手段をさらに備え、前記排気手段は、前記気圧測定手段の測定結果に基づいて前記気密容器内の気圧を制御することを特徴とする請求項３に記載のレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項５】
レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、
少なくともレーザダイオードモジュールを内部に収容し、かつ内部を気密状態に保持する気密容器と、
前記気密容器内の気体を置換する気体置換手段と
を備えたことを特徴とするレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項６】
前記気体置換手段は、前記気密容器に供給する気体の温度を制御する気体温度制御手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載のレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【請求項７】
レーザダイオードモジュールから延在する光ファイバの光コネクタを、特性検査機器に接続された外部光ファイバの光コネクタに接続するためのコネクタ接続部と、
前記レーザダイオードモジュールから前記コネクタ接続部に至る間において前記光ファイバを所定の曲げ半径で巻回した状態に保持するファイバ固定部と
をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のレーザダイオードモジュールの特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザダイオードの発光特性は、レーザダイオードの温度によって大きく変動する。しかしながら、レーザダイオードは、その内部に設けられたレーザダイオードチップに電流が流れて発光すると、発熱して温度が上昇するのが一般的である。従って、レーザダイオードの発光特性を安定化して検査するためには、レーザダイオードの温度を一定に維持する必要がある。
【０００３】
パッケージ化されたレーザダイオードモジュールの場合には、内部にレーザダイオードの温度制御を行うための機器が設けられ、レーザダイオードの発光時における温度を一定に維持可能に構成してある。しかしながら、パッケージ自体の温度もレーザダイオードの発光特性に影響を及ぼすため、レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する際には、パッケージの温度制御も併せて行っている。
【０００４】
図４は、こうしたレーザダイオードモジュールの特性検査装置を例示する説明図である。図４の特性検査装置では、パッケージ１ａの一方の外表面である底面１ｂをレーザダイオードモジュール固定部２（以下、ＬＤモジュール固定部２と称する）の上面に当接した状態でパッケージ１ａの温度制御が行われる。ＬＤモジュール固定部２は、温度センサ２ａ、図示しないサーモモジュールおよび放熱器を内蔵している。より詳細には、ＬＤモジュール固定部２において、パッケージ１ａの底面１ｂに近接する部位に温度センサ２ａを設けるとともに、その下部にサーモモジュール、並びに放熱器を設けてある。なお、サーモモジュールとしては、例えばペルチエ素子を適用することができる。
【０００５】
温度制御ユニット３は、温度センサ２ａにより測定される温度が所望の値となるように、サーモモジュールを駆動して、パッケージ１ａの温度制御を行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した方法では、パッケージ１ａの底面１ｂについては、温度を所望の値とすることができるが、パッケージ１ａの上面については、必ずしも所望の値とはならない。つまり、パッケージ１ａの上面側では、周囲の空気との間で伝熱が行われ、パッケージ１ａの底面１ｂとの間に予測困難な温度差が生じる場合があるため、所望の値とすることが困難となる。
【０００７】
この結果、パッケージ１ａの上下に温度差が生じた状態でレーザダイオードモジュール１の発光特性が検査されることになり、発光特性が安定化しないばかりか、検査した発光特性の精度的にも問題が生じる虞れがある。
【０００８】
一方、雰囲気温度に対してパッケージ１ａの温度が低い条件下で発光特性検査を実施する場合には、パッケージ１ａの温度が周囲の空気に対する露点以下になると、パッケージ１ａの周囲に結露した水滴が付着するようになる。この際、結露した水滴がパッケージ１ａにおいて露出している電極部に付着すると、内部のレーザダイオードが破損する等の問題を生じる虞れがあり、仮にレーザダイオードが破損してしまうと、発光特性を安定化できなくなるので、検査した発光特性の精度に影響を及ぼすことになる。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みて、安定化した特性検査を精度良く行うことが可能なレーザダイオードモジュールの特性検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて前記レーザダイオードモジュールの温度制御を行う第１の温度制御手段と、前記レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて前記レーザダイオードモジュールの温度制御を行う第２の温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
この請求項１の発明によれば、第１の温度制御手段によって一方の外表面を通じて温度制御するとともに、第２の温度制御手段によって他方の外表面を通じて温度制御することが可能になる。
【００１２】
また、請求項２に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上記の発明において、前記第１の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行い、かつ前記第２の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行うことを特徴とする。
【００１３】
この請求項２の発明によれば、前記第１の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行い、かつ前記第２の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行うことが可能になる。
【００１４】
また、請求項３に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、少なくともレーザダイオードモジュールを内部に収容し、かつ内部を気密状態に保持する気密容器と、前記気密容器内の気体を排出する排気手段とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
この請求項３の発明によれば、排気手段によって気密容器内の気体を排出することが可能になる。
【００１６】
また、請求項４に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上記の発明において、前記気密容器内の気圧を測定する気圧測定手段をさらに備え、前記排気手段は、前記気圧測定手段の測定結果に基づいて前記気密容器内の気圧を制御することを特徴とする。
【００１７】
この請求項４の発明によれば、気圧測定手段の測定結果に基づいて気密容器内の気圧を制御することが可能になる。
【００１８】
また、請求項５に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、レーザダイオードモジュールの特性検査を実施する装置であって、少なくともレーザダイオードモジュールを内部に収容し、かつ内部を気密状態に保持する気密容器と、前記気密容器内の気体を置換する気体置換手段とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
この請求項５の発明によれば、気体置換手段によって気密容器内の気体を置換することが可能になる。
【００２０】
また、請求項６に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上記の発明において、前記気体置換手段は、前記気密容器に供給する気体の温度を制御する気体温度制御手段を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この請求項６の発明によれば、気体温度制御手段によって気密容器内に供給する気体の温度を制御することが可能になる。
【００２２】
また、請求項７に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、レーザダイオードモジュールから延在する光ファイバの光コネクタを、特性検査機器に接続された外部光ファイバの光コネクタに接続するためのコネクタ接続部と、前記レーザダイオードモジュールから前記コネクタ接続部に至る間において前記光ファイバを所定の曲げ半径で巻回した状態に保持するファイバ固定部とをさらに備えたことを特徴とする。
【００２３】
この請求項７の発明によれば、ファイバ固定部によって光ファイバが予め設定された所定の曲げ半径で巻回した状態で保持される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、本発明に係るレーザダイオードモジュールの特性検査装置の好適な実施の形態について説明する。
【００２５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。図１に示したレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、パッケージ化されたレーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施するためのものであり、測定対象となるレーザダイオードモジュール１０は、本体であるパッケージ１０ａにコネクタ部１０ｅ付きの光ファイバ１０ｄが接続されたものである。
【００２６】
図１のレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、レーザダイオードモジュール固定部２０（以下、ＬＤモジュール固定部２０と称する）、上部接触保持部３０、下部温度制御ユニット４０、上部温度制御ユニット５０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０を備えている。
【００２７】
ＬＤモジュール固定部２０は、特性検査の対象となるレーザダイオードモジュール１０のパッケージ１０ａを取り付ける基台となるもので、その上面にパッケージ１０ａの底面１０ｂを固定することが可能である。
【００２８】
このＬＤモジュール固定部２０は、底面温度センサ２０ａ、図示しないサーモモジュールおよび放熱器を内蔵している。より詳細には、ＬＤモジュール固定部２０の上部に底面温度センサ２０ａを設けるとともに、その下部にサーモモジュール、並びに放熱器を設けてある。なお、サーモモジュールとしては、例えばペルチエ素子を適用することができる。
【００２９】
上部接触保持部３０は、パッケージ１０ａの上面１０ｃに接触させるためのもので、上面温度センサ３０ａ、図示しないサーモモジュールおよび放熱器を内蔵している。より詳細には、上部接触保持部３０の下部に上面温度センサ３０ａを設けるとともに、その上部にサーモモジュール、並びに放熱器を設けてある。なお、サーモモジュールとしては、例えばペルチエ素子を適用することができる。
【００３０】
下部温度制御ユニット４０は、底面温度センサ２０ａを通じて取得した温度情報に基づいてＬＤモジュール固定部２０のサーモモジュールを駆動することにより温度制御を行うものである。
【００３１】
上部温度制御ユニット５０は、上面温度センサ３０ａを通じて取得した温度情報に基づいて上部接触保持部３０のサーモモジュールを駆動することにより温度制御を行うものである。
【００３２】
コネクタ接続部６０は、一側面部に光ファイバ１０ｄのコネクタ部１０ｅを着脱可能、かつ反対側面部に外部光ファイバ６１のコネクタ部６１ａを着脱可能に構成したものである。光ファイバ１０ｄおよび外部光ファイバ６１がそれぞれのコネクタ部１０ｅ，６１ａを介してコネクタ接続部６０に装着されると、光ファイバ１０ｄおよび外部光ファイバ６１が相互に接続されるようになる。ここで、外部光ファイバ６１とは、レーザダイオードモジュール１０を特性検査するための各種測定機器に接続させるためのものである。なお、コネクタ接続部６０、あるいはコネクタ接続部６０におけるコネクタ部１０ｅとの挿着部は、ＬＤモジュール固定部２０との間の距離が変更可能となるように、例えば図１中、左右方向にスライド移動可能となるように構成する。これにより、光ファイバ１０ｄのコネクタ部１０ｅと、パッケージ１０ａを取り付けられたＬＤモジュール固定部２０との間の距離を適宜変更することによって、光ファイバ１０ｄが張り過ぎたり、逆に必要以上に弛み過ぎる事態を防止することができる。
【００３３】
ファイバ固定部７０は、パッケージ１０ａからコネクタ接続部６０に至る間において、パッケージ１０ａから延在する光ファイバ１０ｄを所定の曲げ半径で巻回した状態に保持するものである。ファイバ固定部７０としては、例えば、円筒状本体の外周に光ファイバ１０ｄを巻回するようにしたもの、あるいは円筒状本体の内部に光ファイバ１０ｄを収納しながら巻回するようにしたものを適用することができる。ここで、光ファイバ１０ｄを巻回させる曲げ半径は、光ファイバ１０ｄの曲げ損失が特性検査に影響しない程度の大きさ、具体的には、光ファイバ１０ｄの種類に応じた最小曲げ半径以上となるように設定する。さらに、ファイバ固定部７０としては、円筒状本体の内部に最小曲げ半径以上の半径を有する円筒を設け、光ファイバ１０ｄをその円筒に巻回して円筒状本体の内部に収納するようにしたものであっても良い。
【００３４】
上記のように構成した特性検査装置では、レーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施する際、底面１０ｂを介してパッケージ１０ａをＬＤモジュール固定部２０の上面に固定するとともに、パッケージ１０ａの上面１０ｃに上部接触保持部３０の底面を接触させた状態に保持する。また、パッケージ１０ａから延在する光ファイバ１０ｄのコネクタ部１０ｅをコネクタ接続部６０に挿着させることにより、該光ファイバ１０ｄを外部光ファイバ６１に接続させる。また、パッケージ１０ａから延在する光ファイバ１０ｄの余長部分をファイバ固定部７０に巻回保持させる。
【００３５】
さらに、上述した状態から下部温度制御ユニット４０によってパッケージ１０ａの温度制御を行うとともに、上部温度制御ユニット５０によってパッケージ１０ａの温度制御を行う。このとき、下部温度制御ユニット４０は、底面温度センサ２０ａを通じて温度情報を取得し、該取得した温度情報に基づいてＬＤモジュール固定部２０のサーモモジュールを駆動することにより、底面１０ｂを通じてパッケージ１０ａが所望の温度となるように制御を行う。一方、上部温度制御ユニット５０は、上面温度センサ３０ａを通じて温度情報を取得し、該取得した温度情報に基づいて上部接触保持部３０のサーモモジュールを駆動することにより、上面１０ｃを通じてパッケージ１０ａが所望の温度となるように制御を行う。
【００３６】
従って、本実施の形態１であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置においては、下部温度制御ユニット４０および上部温度制御ユニット５０によってパッケージ１０ａを同一の温度となるように温度制御を行えば、周囲の空気との間で行われる伝熱の影響を受けることなく、パッケージ１０ａの全体を均一の温度にした状態で発光特性の検査を行うことが可能になる。この結果、レーザダイオードモジュール１０の発光特性が安定化し、かつ検査した発光特性に高い精度を期待することができるようになる。
【００３７】
さらに、本実施の形態１であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、パッケージ１０ａから延在する光ファイバ１０ｄの余長部分が、ファイバ固定部７０によって保持されるため、曲げ損失の影響を受けることなくレーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施することが可能になる。
【００３８】
なお、本実施の形態１であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、パッケージ１０ａの上面１０ｃと底面１０ｂとが互いに異なる温度となるように温度制御を行うことも可能であり、例えば上面１０ｃの温度に対して底面１０ｂの温度を高くするといった様々な温度条件下でレーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施することも可能になる。
【００３９】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。図２に示したレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上述した実施の形態１と同様に、パッケージ化されたレーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施するためのものである。
【００４０】
図２のレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上述した実施の形態１に対して、レーザダイオードモジュール１０を気密性のある容器に収容し、かつその容器内の気体を外部に排出可能に構成してある。
【００４１】
すなわち、本実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、ＬＤモジュール固定部２０、上部接触保持部３０、下部温度制御ユニット４０、上部温度制御ユニット５０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０に加え、気密容器８０、気圧測定手段９０および排気手段１００を備えている。なお、ＬＤモジュール固定部２０、上部接触保持部３０、下部温度制御ユニット４０、上部温度制御ユニット５０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０は、上述した実施の形態１のものと同様の構成を有したものであるため、同一符号を付してそれぞれの詳細な説明を省略する。
【００４２】
気密容器８０は、図２に示すように、固定された状態のレーザダイオードモジュール１０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０をそれぞれ内部に収容し、かつ内部を気密状態に保持するものである。この気密容器８０には、その一側壁から外部光ファイバ６１の一端が外部に延在して、レーザダイオードモジュール１０を特性検査するための各種測定機器に接続されるようになっている。また、この気密容器８０には、その内部に気圧測定手段９０が設けてある一方、その上壁面から外部に延在して排気手段１００に通じる中空配管１００ａが設けてある。
【００４３】
気圧測定手段９０は、気密容器８０内の気圧を測定するためのもので、排気手段１００に接続してある。
【００４４】
排気手段１００は、気圧測定手段９０の測定結果に基づいて、中空配管１００ａ内の管路を通じて気密容器８０内の気体を排出して、気密容器８０内の気圧を制御するものである。
【００４５】
上記のように構成した特性検査装置では、図２に示すように、レーザダイオードモジュール１０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０を気密容器８０によって覆い、かつ気密容器８０の内部を気密する。その後、気圧測定手段９０の測定結果に基づいて、排気手段１００によって中空配管１００ａ内の管路を通じて気密容器８０内の気体を排出して、気密容器８０内の気圧を所望の値に制御する。
【００４６】
従って、本実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置においては、排気手段１００によって気密容器８０内の気体を排出することにより、パッケージ１０ａの周囲から伝熱対象となる気体を減少させた状態、つまりパッケージ１０ａの温度制御特性を向上させた状態とすることができる。こうして温度制御特性を向上させた状態では、パッケージ１０ａと周囲の空気との間で行われる伝熱の影響が抑えられるので、下部温度制御ユニット４０および上部温度制御ユニット５０のいずれか一方によってパッケージ１０ａの温度制御を行う場合であっても、パッケージ１０ａの全体を均一の温度にした状態で発光特性の検査を行うことが可能になる。この結果、レーザダイオードモジュール１０の発光特性が安定化し、かつ検査した発光特性に高い精度を期待することができるようになる。
【００４７】
また、本実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、パッケージ１０ａの周囲から結露の源となる水分が減少した状態で発光特性検査を実施することができるので、パッケージ１０ａの周囲における結露を防止することにより、結露に起因するレーザダイオードの破損等の問題を確実に防止して、安定化した発光特性検査を精度良く行うことが可能になる。
【００４８】
さらに、本実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、レーザダイオードモジュール１０を気密容器８０の内部に収容するようにしているので、レーザダイオードモジュール１０に向かって周囲から粉塵が飛来あるいは拡散するといった特性検査を行う上で好ましくない事態を防止することもできる。
【００４９】
なお、本実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置においても、上述した実施の形態１と同様に、下部温度制御ユニット４０および上部温度制御ユニット５０によってパッケージ１０ａの温度制御を行うようにしているので、同様の効果を奏することは勿論である。
【００５０】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。図３に示したレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上述した実施の形態１、２と同様に、パッケージ化されたレーザダイオードモジュール１０の発光特性検査を実施するためのものである。
【００５１】
図３のレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、上述した実施の形態１に対して、レーザダイオードモジュール１０を気密性のある容器に収容し、かつその容器内の気体を置換可能に構成してある。
【００５２】
すなわち、図３のレーザダイオードモジュールの特性検査装置は、ＬＤモジュール固定部２０、上部接触保持部３０、下部温度制御ユニット４０、上部温度制御ユニット５０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０に加え、気密容器８０、気圧測定手段９０および気体置換手段１１０を備えている。なお、ＬＤモジュール固定部２０、上部接触保持部３０、下部温度制御ユニット４０、上部温度制御ユニット５０、コネクタ接続部６０、ファイバ固定部７０、気密容器８０および気圧測定手段９０は、上述した実施の形態１、２のものと同様の構成を有したものであるため、同一符号を付してそれぞれの詳細な説明を省略する。
【００５３】
気体置換手段１１０は、排気用配管１１０ａ内の管路を通じて気密容器８０の気体を排出し、かつ供給用配管１１０ｂ内の管路を通じて所定の気体を気密容器８０内に供給して、気密容器８０内の気体を置換するものである。この気体置換手段１１０は、パッケージ１０ａの周囲温度が所望の温度となるように、気密容器８０内に供給する気体を温度制御する気体温度制御手段（図示せず）を備えている。また、この気体置換手段１１０は、気圧測定手段９０の測定結果に基づいて気体の排出および供給の切り替えを行う機能を有している。なお、気密容器８０内に供給するための気体としては、窒素等の単体気体や、窒素とヘリウム等の単体気体を２つ以上混合した混合気体といった不活性気体を適用することができる。
【００５４】
上記のように構成した特性検査装置では、図３に示すように、レーザダイオードモジュール１０、コネクタ接続部６０およびファイバ固定部７０を気密容器８０によって覆い、かつ気密容器８０の内部を気密する。その後、気体置換手段１１０は、排気用配管１１０ａ内の管路を通じて気密容器８０内の気体を排出し、気圧測定手段９０により測定される気圧が所定の値まで下がったら、供給用配管１１０ｂ内の管路を通じて上述した気体を気密容器８０内に供給する。ここで、気圧の所定の値として、気密容器８０内の気体の大部分が排出された状態のものを適用すれば、気密容器８０内の気体の大部分が置換されることになる。このとき、気体置換手段１１０は、パッケージ１０ａの周囲温度が所望の温度となるように、気密容器８０内に供給する気体の温度制御を行う。
【００５５】
従って、本実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、気体置換手段１１０は、気密容器８０内の気体を置換する際に、パッケージ１０ａの周囲温度が所望の温度となるように、気密容器８０内に供給する気体の温度制御を行うことができるので、様々な周囲温度条件下でレーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になる。
【００５６】
また、本実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、気密容器８０内に供給するための気体として、単体気体や混合気体といった不活性気体を適用しているので、気密容器８０内において結露の源となる水分が減少した状態になる。従って、パッケージ１０ａの周囲から結露の源となる水分が減少した状態で発光特性検査を実施することができるので、パッケージ１０ａの周囲における結露を防止することにより、結露に起因するレーザダイオードの破損等の問題を確実に防止して、安定化した発光特性検査を精度良く行うことが可能になる。
【００５７】
さらに、本実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置によれば、レーザダイオードモジュール１０を気密容器８０の内部に収容するようにしているので、レーザダイオードモジュール１０に向かって周囲から粉塵が飛来あるいは拡散するといった特性検査を行う上で好ましくない事態を防止することもできる。
【００５８】
なお、本実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置においても、上述した実施の形態１と同様に、下部温度制御ユニット４０および上部温度制御ユニット５０によってパッケージ１０ａの温度制御を行うようにしているので、同様の効果を奏することは勿論である。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、第１の温度制御手段によって一方の外表面を通じて温度制御するとともに、第２の温度制御手段によって他方の外表面を通じて温度制御することにより、レーザダイオードモジュールの温度を所望の温度に維持した状態で特性検査を実施することが可能になるので、安定化した特性検査を精度良く行うことが可能になる。
【００６０】
また、本発明の請求項２によれば、前記第１の温度制御手段は、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行い、かつ前記第２の温度制御手段は、前記レーザダイオードモジュールの他方の外表面を通じて取得した温度に基づいて温度制御を行うことが可能になる。従って、レーザダイオードモジュールの一方の外表面と他方の外表面とが同一の温度となるように温度制御を行えば、前記レーザダイオードモジュールの温度を一層正確に所望の温度に維持した状態で発光特性の検査を行うことが可能になる。また、レーザダイオードモジュールの一方の外表面と他方の外表面とが互いに異なる温度となるように温度制御を行えば、様々な温度条件下で前記レーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になる。
【００６１】
また、本発明の請求項３によれば、排気手段によって気密容器内の気体を排出することにより、レーザダイオードモジュールの周囲から伝熱対象となる気体を減少させることができるので、前記レーザダイオードモジュールの温度制御特性が向上する。従って、レーザダイオードモジュールの一方の外表面を通じて前記レーザダイオードモジュールの温度制御を行う場合であっても、前記レーザダイオードモジュールの温度を所望の温度に維持した状態で特性検査を実施することが可能になるので、安定化した特性検査を精度良く行うことが可能になる。しかも、レーザダイオードモジュールの周囲において結露の源となる水分が減少した状態となることにより、結露の発生自体を防止することが可能になるので、結露に起因して前記レーザダイオードモジュールが不安定化する事態を確実に防止することも可能になり、一層安定化した特性検査を精度良く行うことが可能になる。
【００６２】
また、本発明の請求項４によれば、気圧測定手段の測定結果に基づいて気密容器内の気圧を制御することができるので、所望の気圧下でレーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になる。
【００６３】
また、本発明の請求項５によれば、気体置換手段によって気密容器内の気体を湿度が低い気体に置換することにより、レーザダイオードモジュールの周囲における湿度が低下した状態で特性検査を実施することができるので、前記レーザダイオードモジュールの周囲における結露を確実に防止することが可能になる。従って、結露の発生自体を防止することが可能になるので、結露に起因して前記レーザダイオードモジュールが不安定化する事態を確実に防止することも可能になり、安定化した特性検査を精度良く行うことが可能になる。
【００６４】
また、本発明の請求項６によれば、気体温度制御手段によって気密容器内に供給する気体の温度を制御することにより、所望の周囲温度下でレーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になるので、様々な周囲温度条件下で前記レーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になる。
【００６５】
また、本発明の請求項７によれば、ファイバ固定部によって光ファイバが予め設定された所定の曲げ半径で巻回した状態でレーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になるので、曲げ損失の影響を受けることなく前記レーザダイオードモジュールの特性検査を実施することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。
【図２】本発明の実施の形態２であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態３であるレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。
【図４】従来のレーザダイオードモジュールの特性検査装置を示す説明図である。
【符号の説明】
１０　　　レーザダイオードモジュール
１０ａ　　パッケージ
１０ｂ　　底面
１０ｃ　　上面
１０ｄ　　光ファイバ
１０ｅ　　コネクタ部
２０　　　レーザダイオードモジュール固定部
２０ａ　　底面温度センサ
３０　　　上部接触保持部
３０ａ　　上面温度センサ
４０　　　下部温度制御ユニット
５０　　　上部温度制御ユニット
６０　　　コネクタ接続部
６１　　　外部光ファイバ
６１ａ　　コネクタ部
７０　　　ファイバ固定部
８０　　　気密容器
９０　　　気圧測定手段
１００　　排気手段
１００ａ　中空配管
１１０　　気体置換手段
１１０ａ　排気用配管
１１０ｂ　供給用配管
【図１】
2004055693.tif 000003
【図２】
2004055693.tif 000004
【図３】
2004055693.tif 000005
【図４】
2004055693.tif 000006