(57)【要約】【課題】表面形成材料を用いなくても、プラスチックの任意の表面部分に精密に形成された隆起構造からなるマイクロレンズ及びその製造方法を提供する。【解決手段】マイクロレンズは、微小隆起物により構成されたマイクロレンズであって、前記微小隆起物が下記の微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂであることを特徴とする。微小隆起物Ａ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に形成された、該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物；微小隆起物Ｂ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により作製された金型に、成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して形成された、微小隆起構造の転写による微小隆起物【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小隆起物により構成されたマイクロレンズであって、前記微小隆起物が下記の微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂであることを特徴とするマイクロレンズ。
微小隆起物Ａ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に形成された、該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物
微小隆起物Ｂ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により作製された金型に、成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して形成された、微小隆起構造の転写による微小隆起物
【請求項２】
微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂが、底面の直径０．３〜１００μｍ、高さ０．１〜５０μｍの微小の隆起物である請求項１記載のマイクロレンズ。
【請求項３】
微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂが、円錐状、釣り鐘状、カルデラ状、テラス状ないしは半球状の微小の隆起物である請求項１又は２記載のマイクロレンズ。
【請求項４】
微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂが、直径と同じかそれ以上の間隔を置いて複数個形成されている請求項１〜３の何れかの項に記載のマイクロレンズ。
【請求項５】
レーザーが、パルス幅が１０−１２秒以下の超短パルスのレーザーである請求項１〜４の何れかの項に記載のマイクロレンズ。
【請求項６】
レーザー照射前の状態のプラスチックが、４００〜８００ｎｍの可視光波長領域において１０％以上の透過率を有している請求項１〜５の何れかの項に記載のマイクロレンズ。
【請求項７】
レーザー照射前の状態のプラスチックが、１００℃以上のガラス転移温度を有するプラスチックである請求項１〜６の何れかの項に記載のマイクロレンズ。
【請求項８】
レーザー照射前の状態のプラスチックが、ポリマー材料と他の材料との複合体である請求項１〜７の何れかの項に記載のマイクロレンズ。
【請求項９】
請求項１〜８の何れかの項に記載のマイクロレンズを製造する方法であって、下記の工程Ａ又は工程Ｂを具備することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
工程Ａ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
工程Ｂ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を形成し、該微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により金型を作製し、さらに該金型に成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して、成形体表面に微小隆起構造の転写による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
【請求項１０】
プラスチック内部に外部よりパルス幅１０−１２秒以下の超短パルスのレーザーを、該超短パルスのレーザーの照射方向に対して垂直な方向に且つプラスチック表面に対して平行な方向に、超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させながら照射する請求項９記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１１】
超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させる際のラインが複数有り、各ライン同士が平行である請求項１０記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１２】
超短パルスのレーザーを、プラスチック表面から５〜１５０μｍの深さに焦点を合わせて照射する請求項９〜１１の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１３】
超短パルスのレーザーの照射エネルギーが、５００ｍＷ以下である請求項９〜１２の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１４】
プラスチック及び超短パルスのレーザー光源のうちいずれか一方を、他方に対して相対的に移動させることにより、超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させる請求項９〜１３の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１５】
ライン状に移動する超短パルスのレーザーの焦点の移動速度が、１０〜１，０００μｍ／秒である請求項９〜１４の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１６】
焦点をライン状に移動させながら照射された複数のラインにおいて、近接したライン間の間隔が、１０〜１００μｍである請求項９〜１５の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１７】
工程Ｂで用いられる金型材料が金属材料である請求項９〜１６の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１８】
工程Ｂで用いられる成形材料がプラスチック材料である請求項９〜１７の何れかの項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチック材料の高機能化・高性能化のためのレーザーによる加工、またはプラスチック部品の表面処理・表面機能化に関する技術分野に属し、プラスチック部品の任意の表面部分に、外部から表面形成材料を層として付加することなく、隆起物が形成されてなるマイクロレンズ及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
マイクロレンズは、光インターコネクションをはじめとする光システムにおいて、重要な要素部品である。このようなマイクロレンズの作製方法には、形状自由度及び形状精度が高いことが望まれる。従来の代表的なマイクロレンズの作製方法としては、ガラス中のイオンよりもイオン半径の大きいイオンを選択的に拡散させ、ガラスを膨張させてレンズを作製する技術である「ガラスへの選択的イオン交換法」や、レジストをパターニングした後、これを溶融してレジストの表面張力を利用してレンズを作製する技術である「レジストフロー法」、強度変調しながらレーザーを走査してレンズを作製する技術である「レジストへのレーザー直接描画法」、マスクを用いてのマイクロレンズの作製法などがある。また、一般的にマイクロレンズの基材としては無機ガラスが用いられており、実用化されている（非特許文献１〜非特許文献２参照）。
【０００３】
一方で、近年、ガラス材料の代わりとして、透明プラスチック材料が光学分野で用いられるようになってきた。プラスチック部品の表面や内部の高機能化の要求が高くなってきており、プラスチック材料自身をポリマーアロイ化したり複合化したりする材料面での技術対応と、要求に合わせて機能部品を組み込んだり構造の制御を行うなどの加工面での技術対応の２つの取り組みが行われている。プラスチック表面の高機能化・高性能化は、表面の化学的、電気的、光学的、物理的などの特性改良・改質を目的に、材料・加工両面から色々と技術的な取り組みがなされている。また、プラスチック内部（バルク）の高機能化・高性能化に関しても、電気・光伝導性、光透過性・遮断性、水分やガス透過性・遮断性、熱・光・応力などの外部刺激に対する応答性・記憶性など様々な特性要求に対応して材料・加工両面から色々と技術的な取り組みがなされてきている。
【０００４】
また、レーザー光源に対する技術進歩は著しく、特にパルスレーザーは、ナノ（１０−９）秒からピコ（１０−１２）秒と超短パルス化が進み、更に最近では、チタン・サファイア結晶などをレーザー媒質とするフェムト（１０−１５）秒パルスレーザーなどが開発されてきている。ピコ秒やフェムト秒などの超短パルスレーザーシステムは、通常のレーザーの持つ、指向性、空間的・時間的コヒーレンスなどの特徴に加えて、パルス幅が極めて狭く、同じ平均出力でも単位時間・単位空間当りの電場強度が極めて高いことから、物質中に照射して高い電場強度を利用して誘起構造を形成させる試みが、無機ガラス材料を主な対象物として行われてきている。また、本発明者らは、プラスチック材料を対象物とし、超短パルスのレーザーを用いて表面等の加工を行う方法を種々提案しているが、超短パルスのレーザーを用いたプラスチック材料の表面加工を利用した方法で、外部から表面形成材料を層として付加することなく、プラスチック部品の任意の表面部分にマイクロレンズ機能を有するプラスチック材料が得られることについては、未だ知られていない。
【０００５】
【非特許文献１】
「Ｏ　ＰＬＵＳ　Ｅ」（株）新技術コミュニケーションズ出版、２００２年７月号、ｐ７０７
【非特許文献２】
「Ｏ　ＰＬＵＳ　Ｅ」（株）新技術コミュニケーションズ出版、２００２年７月号、ｐ７５０
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、プラスチック材料を用いていても、精密に制御された隆起構造からなるマイクロレンズ及びその製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、外部から表面形成材料を層として付加することなく、プラスチック部品の任意の表面部分に精密に形成された隆起構造からなるマイクロレンズ及びその製造方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、プラスチック材料の他、各種成形材料が用いられていても、外部から表面形成材料を層として付加することなく、また複雑な工程を経ずに容易に製造され、しかも、優れた環境性で製造されるマイクロレンズ及びその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、プラスチック内部に１０−１２秒以下のパルスの超短パルスレーザーを照射すると、プラスチックの表面の任意の部位に、微小な隆起部を精密に制御して形成することができ、また、該微小隆起部を有するプラスチックを金型の原型として用いることにより、各種成形材料による複製物を製造することができ、さらに、これらの隆起部を利用するとマイクロレンズが得られることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、微小隆起物により構成されたマイクロレンズであって、前記微小隆起物が下記の微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂであることを特徴とするマイクロレンズを提供する。
微小隆起物Ａ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に形成された、該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物
微小隆起物Ｂ：プラスチック内部へのレーザーの照射によりプラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により作製された金型に、成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して形成された、微小隆起構造の転写による微小隆起物
【０００９】
微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂが、底面の直径０．３〜１００μｍ、高さ０．１〜５０μｍの微小の隆起物であってもよく、また、微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂが、円錐状、釣り鐘状、カルデラ状、テラス状ないしは半球状の微小の隆起物であってもよい。また、直径と同じかそれ以上の間隔を置いて複数個形成されていてもよい。レーザーとしては、パルス幅が１０−１２秒以下の超短パルスのレーザーを好適に用いることができる。
【００１０】
レーザー照射前の状態のプラスチックとしては、４００〜８００ｎｍの可視光波長領域において１０％以上の透過率を有していることが好ましい。また、１００℃以上のガラス転移温度を有するプラスチックが好ましく、さらにまた、ポリマー材料と他の材料との複合体を好適に用いることができる。
【００１１】
本発明は、また前記マイクロレンズを製造する方法であって、下記の工程Ａ又は工程Ｂを具備することを特徴とするマイクロレンズの製造方法を提供する。
工程Ａ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
工程Ｂ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を形成し、該微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により金型を作製し、さらに該金型に成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して、成形体表面に微小隆起構造の転写による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
【００１２】
前記マイクロレンズの製造方法では、プラスチック内部に外部よりパルス幅１０−１２秒以下の超短パルスのレーザーを、該超短パルスのレーザーの照射方向に対して垂直な方向に且つプラスチック表面に対して平行な方向に、超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させながら照射することができ、この際、超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させる際のラインが複数有り、各ライン同士が平行であることが好ましい。また、超短パルスのレーザーを、プラスチック表面から５〜１５０μｍの深さに焦点を合わせて照射することが好ましく、さらにまた、超短パルスのレーザーの照射エネルギーが、５００ｍＷ以下であることが好ましい。このような方法では、プラスチック及び超短パルスのレーザー光源のうちいずれか一方を、他方に対して相対的に移動させることにより、超短パルスのレーザーの焦点をライン状に移動させることができる。なお、ライン状に移動する超短パルスのレーザーの焦点の移動速度は、１０〜１，０００μｍ／秒であってもよく、また焦点をライン状に移動させながら照射された複数のラインにおいて、近接したライン間の間隔は、１０〜１００μｍであってもよい。
【００１３】
工程Ｂで用いられる金型材料としては金属材料が好適であり、成形材料としてはプラスチック材料が好適である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ説明する。
［マイクロレンズ］
本発明のマイクロレンズは、前記微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂにより構成されている。前記微小隆起物の形成に際して、プラスチックへのレーザー照射を利用しているので、微小な隆起物であっても、プラスチック表面又は成形材料表面の任意の部位に精密に制御して製造することができ、しかも、複雑な工程を経る必要がなく、容易に製造することができる。また、マイクロレンズはプラスチック内部からの隆起による微小隆起物、または該微小隆起物の複製物であり、研削や微粒子の塗布等の物理的に表面を凹凸状にする処理を行っていないので、製造時のゴミの発生が少なく、また、表面の汚染や後処理等の問題がなく、優れた環境性で製造することができる。
【００１５】
具体的には、微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂは、例えば、図１で示すことができる。図１は、微小隆起物により構成されたマイクロレンズの一例を模式的に示す概略鳥瞰図である。図１において、マイクロレンズ２は、釣り鐘状の隆起物２ａにより構成されている。隆起物２ａは、プラスチック１の表面に該プラスチックの内部から隆起して形成されたものである。なお、該隆起物２ａを有するプラスチック１を金型の原型として用いることにより、前記隆起物２ａを有するプラスチック１の複製物を、各種成形材料から作製することも可能である。
【００１６】
前記隆起物２ａは、該隆起物の直径と同じかそれ以上の間隔を置いて複数個形成されている。このような隆起物の底面の直径は０．３〜１００μｍ（好ましくは０．３〜３０μｍ、さらに好ましくは１〜２０μｍ）程度であり、高さは０．１〜５０μｍ（好ましくは０．１〜１０μｍ、さらに好ましくは０．５〜８μｍ）程度である。
【００１７】
隆起物の形状としては、特に制限されず、前記釣り鐘状の他、円錐状、カルデラ状、テラス状、半球状などが挙げられる。このように、隆起物としては、円錐状、釣り鐘状、カルデラ状、テラス状ないしは半球状の微小の隆起物であってもよいが、マイクロレンズとして効果的に利用するためには、半球状や釣り鐘状の形状の微小な隆起物であることが好ましい。なお、カルデラ状の隆起物とは、凸部の頂部が陥没している形状の隆起物を意味している。また、テラス状の隆起物とは、凸部の頂部が平面状になっている形状の隆起物を意味している。
【００１８】
また、隆起物の間隔（底面の円の中心間距離）は、特に制限されないが、好ましくは底面の直径と同じかそれ以上（例えば、直径〜直径の１０倍程度、好ましくは、直径〜直径の５倍程度）である。
【００１９】
図１では、隆起物２ａが複数個連続的に形成されており、プラスチック１は、一定の間隔で連続的に形成された複数個のマイクロレンズ２を有している。なお、マイクロレンズを構成する隆起物の数は、特に制限されず、目的とするマイクロレンズの性能等に応じて適宜選択することができる。
【００２０】
なお、前記微小隆起物をマイクロレンズとして利用可能であるとどうかの評価は、例えば、６３３ｎｍのヘリウム−ネオンレーザー（Ｈｅ−Ｎｅレーザー）などのレーザーを用いて、前記隆起物の中心部分への集光度合いを評価することにより行うことができる。Ｈｅ−Ｎｅレーザーを隆起物が形成されていない面側から照射した際に、隆起物の中心部分への集光点が確認されたら、マイクロレンズとして有効に利用することができる。
【００２１】
［製造方法］
このようなマイクロレンズは、プラスチック内部にレーザーを照射することにより、プラスチック表面に微小な隆起物を形成し、該隆起物を利用することにより、微小隆起物Ａ又は微小隆起物Ｂを形成して作製することができる。より具体的には、微小隆起物Ａにより構成されたマイクロレンズは、下記の工程Ａを具備する方法により作製することができ、微小隆起物Ｂにより構成されたマイクロレンズは、下記の工程Ｂを具備する方法により作製することができる。
工程Ａ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
工程Ｂ：プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部から隆起して形成された微小隆起物を有する構造体を形成し、該微小隆起物を有する構造体を金型の原型として金型材料の被覆により金型を作製し、さらに該金型に成形材料を充填し、この充填物を金型から離型して、成形体表面に微小隆起構造の転写による微小隆起物を形成することにより、マイクロレンズを形成する工程
【００２２】
前記工程Ｂには、下記の工程Ｂ１〜Ｂ５が含まれる。
工程Ｂ１：プラスチック内部にレーザーを照射することにより、プラスチック表面に該プラスチック内部から隆起した微小の隆起物を形成して金型の原型を形成する工程
工程Ｂ２：工程Ｂ１で形成された金型の原型の表面上に金型材料を被覆する工程
工程Ｂ３：工程Ｂ２で形成された金型材料被覆層を金型の原型から金型として分離する工程
工程Ｂ４：工程Ｂ３で作製された金型に、成形材料を充填する工程
工程Ｂ５：工程Ｂ４で金型に充填された充填物を、微小隆起物を有する構造体として、金型から離型する工程
【００２３】
なお、前記工程Ｂ１における金型の原型としての微小隆起物を有する構造体は、前記工程Ａにおける微小隆起物を有するプラスチックに相当している。すなわち、微小隆起物Ａにより構成されたマイクロレンズを有するプラスチックを、金型の原型として用いて金型を作製し、この金型を用いて、新たな微小隆起物を有する構造体を作製することにより、微小隆起物Ｂにより構成されたマイクロレンズを有する構造体を作製することができる。従って、この新たな微小隆起物を有する構造体は、前記レーザーの照射による微小隆起物を有するプラスチックにおける隆起物が転写された複製物であると言える。そのため、このような隆起物を転写する方法を利用すると、レーザー照射によっては、その表面に内部から隆起して形成される隆起物を作製することができない材料であっても、微小隆起物を有する構造体を容易に且つ精密に作製することができる。すなわち、各種の成形材料により、マイクロレンズを製造することができる。
【００２４】
また、工程Ｂを具備する方法では、マイクロレンズ又は該マイクロレンズを有する構造体を量産することが容易である。すなわち、レーザー（特に、パルス幅が１０−１２秒以下の超短パルスのレーザー）を利用して作製された微小隆起物を有するプラスチックと同一の形状を有するものを、容易に且つ精密に複製して、量産することができる。
【００２５】
さらにまた、工程Ｂを具備する方法では、金型の原型を製造するにあたり、製造時のゴミの発生が少なく、環境汚染やリサイクルなどの環境問題が生じない。従って、環境汚染やリサイクルなどの環境問題を生じさせることなく表面の所望の部位に微小な隆起物からなるマイクロレンズを得ることができる。
【００２６】
（レーザー照射による隆起物の形成方法）
工程Ａや工程Ｂ１における微小の隆起物は、プラスチック内部にレーザーを照射することにより形成することができ、具体的には、図２で示されるように、プラスチック内部にパルス幅が１０−１２秒以下の超短パルスのレーザー（以下、「超短パルスレーザー」又は「レーザー」と称する場合がある）を照射することにより、プラスチック表面に形成することができる。図２はプラスチック内部に超短パルスのレーザーを照射する一例を模式的に示す概略鳥瞰図である。図２において、レーザー３は、プラスチックシート１１に向けて、照射方向６の向きで、すなわちＺ軸と平行な方向で、照射している。なお、レーザー３はレンズ４を用いることにより焦点を絞って合わせることができる。また、プラスチックシート１１はシート状の形態を有しており、該プラスチックシート１１の上面１ａはＸ−Ｙ平面と平行な面となっているとともに、Ｚ軸と垂直となっている。
【００２７】
レーザー３は、その焦点５を移動方向７の向き（すなわちＹ軸と平行な向き）に、ライン状に移動させながら照射させている。従って、その結果として、焦点５をライン８上をライン状に移動方向７の向きに移動させながら、レーザー３が照射されていることになる。前記移動方向７は、照射方向６に対して垂直な方向であり、且つプラスチック１１の表面１ａに対して平行な方向である。従って、ライン８は、焦点５の移動方向７と平行であり、照射方向６とは垂直となっている。さらに、ライン８は、プラスチック１１の表面１ａに対して平行な方向となっている。なお、レーザー３の焦点５を移動方向７にライン状に移動させる際の該焦点５の移動速度としては、特に制限されず、例えば、１０〜１，０００μｍ／秒（好ましくは１００〜８００μｍ／秒）程度の範囲から選択してもよい。
【００２８】
ｄはプラスチックシート１１の表面１ａと、レーザー３の焦点５との距離である。従って、距離ｄは、プラスチックシート１１の表面１ａからの深さに相当する。すなわち、ライン８は、プラスチックシート１１の表面１ａからの深さがｄである位置となっている。該距離ｄとしては、特に制限されず、プラスチックシート１１の厚さＴに応じて適宜選択することができ、通常、５〜１５０μｍ程度の範囲から選択される。すなわち、超短パルスのレーザーを、プラスチック表面から、例えば、５〜１５０μｍの深さに焦点を合わせて照射することができる。距離ｄとしては、好ましくは１０〜１２０μｍ、さらに好ましくは２０〜１００μｍ程度である。なお、距離ｄは、もちろん、プラスチックシート１１の厚さＴよりも短く、通常、厚さＴの半分以下であるが、半分を越えていてもよい。
【００２９】
より具体的には、レーザー３を照射方向６の方向で、ライン８のうちいずれか１つのライン（ライン８１とする）の一方の末端部に焦点５を合わせて、照射し、この焦点５を移動方向７の方向にライン８１上をライン状にライン８１の他方の末端まで移動させる。その後、このライン８１上の焦点５の移動方法と同様の方法により、レーザー３の焦点５を他のライン（ライン８２とする）の一方の末端に合わせて他方の末端まで該ライン８２上をライン状に移動させる。さらに、このような焦点をライン８のうちいずれか１つのラインの一方の末端に合わせて他方の末端まで移動させることを必要なだけ繰り返すことにより、プラスチックの表面の隆起物（隆起部又は凸部）を形成することができる。隆起物の大きさは、例えば、レーザーの焦点の深さやその移動速度、レーザーの出力の大きさ、プラスチックを形成するポリマーの種類などにより制御することができる。
【００３０】
なお、超短パルスレーザーの焦点の移動は、超短パルスレーザー及びレンズと、プラスチックとの相対位置を動かせることにより、例えば、超短パルスレーザー及びレンズ、及び／又は照射されるプラスチックを移動させることにより、行うことができる。具体的には、超短パルスレーザーの照射は、例えば、照射サンプル（照射されるプラスチック）を、２次元又は３次元の方向に精密に動かすことができる精密なＸＹＺステージに載せ、３次元的に移動させることにより、サンプル任意の場所に行うことができる。また、ＸＹＺステージの移動を時間的に設定することにより、照射を３次元的な連続性を持って任意に行うことができる。
【００３１】
このように、レーザーをプラスチックの内部に外部から照射して、焦点をライン状に移動させることにより、プラスチックの表面に内部からの隆起による微小隆起物を形成することができ、その結果、微小隆起物を有する構造体（プラスチック）、すなわち、微小隆起物により構成されたマイクロレンズを有する構造体を作製することができる。
【００３２】
なお、レーザー照射により形成される隆起物は、通常、レーザーが照射される側の表面（図２では、表面１ａ）に形成される。また、プラスチックの表面において、隆起物が形成される位置としては、レーザーを照射するラインと対応した表面上の位置であり、例えば、図２で示されるように、レーザー３を表面１ａに垂直に且つライン８上をライン状に移動させながら照射する場合、隆起物は、該隆起物の中心部位（底面の円の中心部位）がライン８の垂直上の表面１ａ上にくるような位置に形成される。従って、１つのライン状に形成された隆起物は間隔をあけて形成されており、該隆起物間の間隔（すなわち、ライン８が形成された方向と平行な方向における間隔）としては、前述のように、隆起物の直径と同じかそれ以上の間隔となっている。このような１つのライン上における隆起物間の間隔（ライン上間隔）は特に制限されない。また、もちろん、１つのライン上における隆起物の数は特に制限されず、レーザーの照射条件やプラスチックの素材等に応じて適宜選択することができる。
【００３３】
また、複数のライン状に形成された隆起物の隣接するライン上における隆起物間の間隔（すなわち、ライン８が形成された方向に対して垂直な方向における間隔；ライン間間隔）としては、通常、ライン８の間隔Ｌと同等又はほぼ同等になる。
【００３４】
（レーザー照射前のプラスチック）
本発明では、レーザー（特に、超短パルスレーザー）のプラスチック内部への照射が有効に行われるためには、照射されるプラスチック（レーザー照射前の状態のプラスチック）は、波長４００ｎｍから８００ｎｍの可視光の波長領域で１０％以上の透過率を有することが望ましい。上記波長領域で著しい光吸収や散乱を起こす着色したプラスチックや散乱粒子を多量に含むプラスチックは望ましくない。
【００３５】
また、レーザー照射前の状態のプラスチックとしては、そのガラス転移温度は、常温（２３℃）以上であることが一般的に望ましいが、１００℃以上であることが最適である。１００℃以上のガラス転移温度を有しているプラスチック材料を用いることにより、表面に微小隆起物を有するプラスチック構造体を高い精度で作製することができる。なお、超短パルスレーザーの照射により前記のような隆起物が形成されるメカニズムは、まだ詳細には解析されていない。
【００３６】
レーザー照射前の状態のプラスチックにおいて、熱的性質は、隆起物を形成する時の形成因子として働くだけでなく、隆起物の形成後の安定性にも影響を与えるため重要である。隆起物の形成後の安定性については、プラスチックの緩和現象による構造変化が関係し、ガラス転移温度が低い材料では緩和が起こり易く生成した隆起物の構造が不安定になる。
【００３７】
このようなパルスレーザー照射に使用されるプラスチックとしては、共重合体を含めた単一化学構造のポリマー材料からなるものだけでなく、異なる化学構造を有する複数のポリマー材料からなるポリマーアロイやポリマーブレンドでもよい。
【００３８】
また、パルスレーザー照射に使用されるプラスチックとしては、無機化合物や金属などの他の材料を分散状態で含んだ複合体であってもよく、異なるプラスチックや他の材料からなる層を含んだ２以上の層構造からなる積層体であってもよい。
【００３９】
具体的には、前記ポリマー材料の代表的な例として、例えば、メタクリル樹脂（ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）など）、スチレン系樹脂（ポリスチレンの他、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、メチルメタクリレート−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン−メチルメタクリレート共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）など）、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリアリーレンエーテル（ポリフェニレンエーテルなど）、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン（ポリサルホン）、ポリエーテルスルホン（ポリエーテルサルホン）、ポリウレタン、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなど）、ポリエーテルエーテルケトン類（ポリエーテルエーテルケトンやポリエーテルケトンケトンなど）等の熱可塑性樹脂などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００４０】
また、本発明の効果が失われない範囲で、プラスチックには、着色剤（顔料、染料など）、耐候剤、酸化防止剤、安定剤、帯電防止剤、漂白剤、離型剤、相溶化剤などを添加・付与されていてもよい。
【００４１】
（レーザー）
レーザーとしては、通常、超短パルスレーザーが用いられる。超短パルスレーザーとしては、チタン・サファイア結晶を媒質とするレーザーや色素レーザーを再生・増幅して得られたフェムト秒パルスレーザーなどが好都合であり、使用されるパルス幅は１０−１２秒から１０−１５秒のオーダーのものが該当するが、通常は１００フェムト秒（１０−１３秒）程度のものが使用される。使用波長は、可視光領域の４００ｎｍから８００ｎｍ、繰り返しは１Ｈｚから８０ＭＨｚの範囲で、通常は１０Ｈｚから５００ｋＨｚ程度の条件で使用される。レーザーパルスの出力は、数ｍＷから数百ｍＷ程度で使用される。
【００４２】
なお、１０−１２秒以下の超短パルスレーザーを用いての照射では、２光子吸収反応等の多光子吸収反応が生じ、例えば、超短パルスレーザーのレーザー光源の波長が約８００ｎｍである場合、焦点付近のレーザー波長はあたかも約４００ｎｍの光であるような効果が観測される場合がある。
【００４３】
プラスチック材料に対して、内部における単位体積当たりに照射されるエネルギーは、超短パルスレーザーの照射エネルギー、プラスチック材料に照射する際に用いられる対物レンズの開口数（光源の絞り込み）、プラスチック材料への照射位置又は焦点の深さ、レーザーの焦点の移動速度などに応じて決められる。
【００４４】
また、本発明では、超短パルスレーザーの平均出力又は照射エネルギーとしては、特に制限されず、目的とする隆起物の大きさや形状等に応じて適宜選択することができ、例えば、５００ｍＷ以下（例えば、１〜５００ｍＷ）、好ましくは５〜３００ｍＷ、さらに好ましくは１０〜１００ｍＷ程度の範囲から選択することができる。
【００４５】
また、超短パルスレーザーの照射スポット径としては、特に制限されず、目的の隆起物の大きさやその形状、レンズの大きさや開口数又は倍率などに応じて適宜選択することができ、例えば、０．１〜１０μｍ程度の範囲から選択することができる。
【００４６】
なお、図２において、レンズ４は、レーザー３の光線の焦点を絞って合わせるために用いており、レーザーの焦点を絞って合わせる必要が無い場合は、レンズを用いる必要はない。レンズ４の開口数（ＮＡ）は、特に制限されず、対物レンズの倍率に応じて変更することができ、通常は、倍率としては１０〜５０倍、開口数としては０．３〜０．８程度の範囲から選択される。
【００４７】
このように、工程Ａと工程Ｂ１とは、同様の方法（すなわち、プラスチック内部にレーザーを照射して、プラスチック表面に該プラスチック内部からの隆起による微小隆起物を形成する方法）により行うことができる。
【００４８】
（金型材料被覆層の形成方法）
工程Ｂ２では、前記工程Ｂ１で形成された金型の原型の表面上に、金型材料を被覆している。該金型材料としては、有機系金型材料（例えば、プラスチック材料など）や、無機系金型材料（例えば、金属材料やその他の無機化合物など）を用いることができる。金型材料は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４９】
本発明では、金型材料としては、無機系金型材料、特に、金属材料を好適に用いることができる。該金属材料としては、特に制限されず、金型として用いて成形材料を成形することができるものであればよい。金属材料には、金属単体の他、その他の金属化合物が含まれる。なお、下記に示される無電解メッキ又は電解メッキにより金型材料被覆層（金属被覆層）を微小隆起物を有するプラスチック（金型の原型）の表面に形成する場合は、金属材料としては、前記無電解メッキ又は電解メッキを行うことができるものが好ましい。具体的には、金属材料としては、例えば、ニッケル、銅、銀、金、パラジウム、カドミウム、亜鉛、スズ、鉛、クロム、アルミニウム等の金属や、真ちゅう、ニッケル−クロム合金、銅−ニッケル合金、亜鉛−ニッケル合金、金−銅合金等の合金などが挙げられる。
【００５０】
なお、前記有機系金型材料としてのプラスチック材料としては、微小隆起物を有するプラスチックの溶融温度よりも低い溶融温度を有するプラスチック材料を用いてもよい。有機系金型材料としてのプラスチック材料としては、金型として用いることができるプラスチック材料であれば特に制限されない。具体的には、有機系金型材料としてのプラスチック材料としては、例えば、メタクリル樹脂（ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）など）、スチレン系樹脂（ポリスチレンの他、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、メチルメタクリレート−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン−メチルメタクリレート共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体など）、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリアリーレンエーテル（ポリフェニレンエーテルなど）、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン（ポリサルホン）、ポリエーテルスルホン（ポリエーテルサルホン）、ポリウレタン、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなど）、ポリエーテルエーテルケトン類（ポリエーテルエーテルケトンやポリエーテルケトンケトンなど）などの熱可塑性樹脂や、レジスト材料などが挙げられる。なお、有機系金型材料の使用に際して、金型の原型としての微小隆起物を有するプラスチックと有機系金型材料とが接合しないように、該微小隆起物を有するプラスチックの表面を表面処理してもよい。
【００５１】
微小隆起物を有するプラスチック表面上に金型材料を被覆する方法としては、前記プラスチック表面に金型材料を被覆することができる方法であれば特に制限されない。例えば、金型材料として金属材料を用いる場合は、金型の原型（微小隆起物を有するプラスチック）の表面上に金属材料を堆積させることにより、金属材料により金型の原型の表面を被覆させて、金属材料被覆層を形成することができる。より具体的には、金属材料の被覆方法としては、例えば、無電解メッキを行う方法や、予め、微小隆起物を有するプラスチック表面に蒸着などにより導電性の賦与を行った後に電解メッキを行う方法を好適に採用することができる。なお、無電解メッキを行った後に、電解メッキが行われてもよい。無電解メッキの後に、電解メッキを行うことにより、メッキ金属層の厚みを増加させることができる。
【００５２】
無電解メッキは、例えば、微小隆起物を有するプラスチックを、市販のニッケルメッキ浴に浸漬させることにより、前記プラスチックの全表面にメッキ金属を析出させて、金属被覆層を形成することができる。なお、無電解メッキを行う前にクロム酸処理などの前処理を行うことができる。
【００５３】
金型材料被覆層の厚みは特に制限されず、例えば、２００μｍ以上（例えば、０．２〜５ｍｍ）、好ましくは０．５〜３ｍｍ程度の範囲から選択することができる。金型材料被覆層の厚みが薄すぎると、金型としての強度が低下する。
【００５４】
このように、工程Ｂ２では、金型の原型（微小隆起物を有するプラスチック）の表面上に金型材料を被覆させて、金型材料からなる微小構造が転写された金型材料被覆層を金型の原型の表面上に形成しているので、該金型材料被覆層の内部側の面（微小隆起物を有するプラスチックの表面と接触している面）は、微小隆起物を有するプラスチックの表面の形状に対応している。すなわち、金型材料被覆層は、前記プラスチックの表面の微小隆起物に対応する形状の微小陥没部を有している。
【００５５】
（金型の分離方法）
工程Ｂ３では、前記工程Ｂ２で形成された金型材料被覆層を金型の原型から分離して、金型（微小隆起物を有する構造体形成用金型）を得ている。金型材料被覆層および金型の原型を分離させる方法としては、前記金型材料被覆層を、前記金型の原型（プラスチック部材）から分離させることができる方法であれば特に制限されず、例えば、金型材料被覆層からプラスチック部材を抜き取る方法、剥離させる方法またはエッチングにより除去する方法などを１種で又は２種以上組み合わせて採用することができる。
【００５６】
なお、前記工程Ｂ１〜工程Ｂ３を含む作製方法により作製された金型の形状を他の金型材料（例えば、プラスチック材料など）により写し取って、他の金型材料（プラスチック材料等）による金型を作製して、該金型を利用して、マイクロレンズを作製することもできる。例えば、前記工程Ｂ１〜工程Ｂ３を含む作製方法により得られた金属材料からなる金型（又は金属被覆層）の表面をプラスチック材料で被覆して、該被覆により形成されたプラスチック材料被覆層を、前記金属材料からなる金型（又は金属被覆層）から分離させて、プラスチック材料からなる金型を得ることができる。
【００５７】
（成形材料の充填方法）
工程Ｂ４では、前記工程Ｂ３で作製された金型に、成形材料を充填している。前記成形材料としては、特に制限されず、例えば、有機系成形材料、無機系成形材料のいずれであってもよいが、有機系成形材料を好適に用いることができる。成形材料は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００５８】
前記有機系成形材料としては、プラスチック材料が好ましく、該プラスチック材料のなかでも特に熱可塑性樹脂が好適である。熱可塑性樹脂などのプラスチック材料としては、例えば、メタクリル樹脂（ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）など）、スチレン系樹脂（ポリスチレンの他、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、メチルメタクリレート−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン−メチルメタクリレート共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体など）、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリアリーレンエーテル（ポリフェニレンエーテルなど）、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン（ポリサルホン）、ポリエーテルスルホン（ポリエーテルサルホン）、ポリウレタン、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなど）、ポリエーテルエーテルケトン類（ポリエーテルエーテルケトンやポリエーテルケトンケトンなど）などが挙げられる。このように、成形材料としては、前記レーザー照射前のプラスチックと同様のプラスチックを好適に用いることができる。
【００５９】
また、有機系成形材料としては、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、スチレン・ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、ニトリルゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、ノルボルネンゴム（ＮＯＲ）、エチレン・プロピレンゴム（ＥＰＭ）、エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、シリコーンゴム、ウレタンゴム、多硫化ゴム、フォスファゼンゴム等のゴム材料や、ポリエチレン系エラストマー等のオレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、スチレン系エラストマー、塩化ビニル系エラストマー、エステル系エラストマー、アミド系エラストマー、フッ素系エラストマー、ジエン系エラストマー等のエラストマー材料の他、導電性高分子などであってもよい。なお、有機系成形材料には、無機化合物や金属化合物などの各種材料等が含まれていてもよい。
【００６０】
また、無機系成形材料としては、金属化合物（金属単体を含む）やその他の無機化合物（ガラス材料など）などを適宜選択して用いることができる。なお、無機系成形材料を用いる場合、金型としては、プラスチック材料により作製された金型を用いることができる。
【００６１】
成形材料を金型に充填する方法としては、特に制限されず、例えば、成形材料が熱可塑性樹脂である場合、一般的に、溶融状態の熱可塑性樹脂を金型に流し込む方法が用いられる。金型に溶融状態の熱可塑性樹脂を流し込んだ後は、冷却することにより、熱可塑性樹脂を固化することができる。
【００６２】
（充填物の離型方法）
工程Ｂ５では、工程Ｂ４で金型に充填された充填物（成形材料からなる充填物）を金型から離型させることにより、微小構造が転写された微小隆起物により構成されたマイクロレンズを有する構造体（成形体）を得ている。例えば、成形材料として熱可塑性樹脂を用いた場合、冷却固化された熱可塑性樹脂を金型から抜き取ったり、剥離したりすることにより、離型することができる。
【００６３】
また、本発明では、工程Ｂ５で得られた、微小構造が転写された微小隆起物を有する構造体（成形体）を、金型の原型として用いて、前記工程Ｂ１〜Ｂ５を含む工程の方法と同様にして、新たな微小構造が転写された微小隆起物を有する構造体（成形体）を作製することも可能である。
【００６４】
本発明のマイクロレンズは、前述のような工程Ａ又は工程Ｂを具備する方法により作製することができる。このように、マイクロレンズを構成する微小隆起物の形成に際して、レーザー照射を利用しているので、隆起物（隆起部又は凸部）が微小な構造であっても、精密に制御された隆起物により構成されたマイクロレンズを容易に作製することができる。
【００６５】
微小隆起物により構成されたマイクロレンズを有する構造体は、通常、板状やシート状の形態（又は形状）で製造されるが、他の形態を有していてもよい。微小隆起物により構成されたマイクロレンズを有する構造体が板状又はシート状の形態を有する場合、その厚みとしては、特に制限されず、例えば、５μｍ〜１０ｍｍ（好ましくは１０μｍ〜５ｍｍ、さらに好ましくは２０〜１００μｍ）程度の範囲から選択することができる。このように、微小隆起物により構成されたマイクロレンズを有する構造体の厚みが薄くても、レーザー照射を利用しているので、容易に且つ精密に制御された微小隆起物からなるマイクロレンズを形成することができる。なお、マイクロレンズの厚みには、通常、微小隆起物の高さは含まれていない。
【００６６】
なお、マイクロレンズとして有効に利用するためには、マイクロレンズの素材（レーザー照射前のプラスチックや成形材料など）としては、集光させる光線等の利用する光線に対して透過性を有していることが重要である。
【００６７】
本発明のマイクロレンズ又は該マイクロレンズを有する構造体（プラスチックなど）は、光機能部材などの機能部材として応用可能である。
【００６８】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
【００６９】
実施例１
０．５ｍｍ厚さの、ガラス転移温度が１６０℃のポリカーボネート（ＰＣ）シート内部（深さ３０μｍ）に、照射波長８００ｎｍ、パルス幅１５０フェムト秒、繰り返し２００ｋＨｚのチタン・サファイア・フェムト秒パルスレーザーを、照射エネルギー３０ｍＷ、対物レンズの倍率１０倍で、照射スポット約３μｍ径、照射方向に対して直角方向のサンプルの移動速度５００μｍ／秒の条件で照射したところ、ＰＣシートの表面に隆起物が形成された。該隆起物について、電子顕微鏡を用いて、その形状の観察を行ったところ、直径２２μｍ、高さ１５μｍの釣り鐘形状の隆起物であり、該釣り鐘形状の隆起物は、２７μｍ間隔で複数形成されていることが観察された。
【００７０】
隆起物が形成されていない面側から、該面に垂直な方向で６３３ｎｍのヘリウム−ネオンレーザー（Ｈｅ−Ｎｅレーザー）を照射して、前記隆起物の中心部分への集光度合いを評価したところ、中心部分への集光点が確認された。従って、形成された隆起物（微小隆起物）は、マイクロレンズとしての機能を有していることが確認された。
【００７１】
実施例２
ＰＣシートに代えて、２ｍｍ厚さの、ガラス転移温度が２２０℃のポリイミド（ＰＩ）板を用いたこと以外は、実施例１と同様にしてチタン・サファイア・フェムト秒パルスレーザーを照射したところ、ＰＩ板の表面に隆起物が形成された。該隆起物について、実施例１と同様にして電子顕微鏡を用いて、その形状の観察を行ったところ、直径２２μｍ、高さ１５μｍの釣り鐘形状の隆起物であり、該釣り鐘形状の隆起物は、２７μｍ間隔で複数形成されていることが観察された。
【００７２】
また、６３３ｎｍのヘリウム−ネオンレーザー（Ｈｅ−Ｎｅレーザー）を用いて、前記隆起物の中心部分への集光度合いを実施例１と同様にして評価したところ、中心部分への集光点が確認された。従って、形成された隆起物（微小隆起物）は、マイクロレンズとしての機能を有していることが確認された。
【００７３】
実施例３
実施例１により得られた、表面に隆起物を有するＰＣシートを金型の原型として用いた。この金型の原型（表面に微小隆起物を有するプラスチック）を、濃度：９８重量％の硫酸（「９８％硫酸」と称する場合がある）、無水クロム酸及び９８％硫酸、純水、濃度：３５重量％の塩酸、純水、９８％硫酸、純水に、この順で、順次浸漬して、無電解メッキ前の前処理を行った後、ニッケルによる無電解メッキを行って、表面に微小隆起物を有するプラスチックの表面上にニッケルを０．８ｍｍの厚みまで堆積させた後、ニッケルにより被覆されたプラスチックを剥離させて、ニッケルからなる金型を得た。
【００７４】
このニッケルからなる金型に、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）をテトラヒドロフランに溶解したＡＳ樹脂溶液を流し込んで、乾燥して固化させた後、型から抜いて、厚み６５μｍで表面に隆起物が形成されているＡＳ樹脂シートを得た。該隆起物について、実施例１と同様にして電子顕微鏡を用いて、その形状の観察を行ったところ、直径２２μｍ、高さ１５μｍの釣り鐘形状の隆起物であり、該釣り鐘形状の隆起物は、２７μｍ間隔で複数形成されていることが観察された。
【００７５】
また、６３３ｎｍのヘリウム−ネオンレーザー（Ｈｅ−Ｎｅレーザー）を用いて、前記隆起物の中心部分への集光度合いを実施例１と同様にして評価したところ、中心部分への集光点が確認された。従って、形成された隆起物（微小隆起物）は、マイクロレンズとしての機能を有していることが確認された。
【００７６】
【発明の効果】
本発明によれば、プラスチック材料を用いていても、精密に制御された隆起構造からなるマイクロレンズを得ることができる。特に、外部から表面形成材料を層として付加することなく、プラスチック部品の任意の表面部分に精密に形成された隆起構造からなるマイクロレンズが得られる。また、プラスチック材料の他、各種成形材料が用いられていても、外部から表面形成材料を層として付加することなく、また複雑な工程を経ずに容易に、しかも、優れた環境性で、マイクロレンズを作製することができる。
【００７７】
従って、光機能部材などの機能部材として応用可能なマイクロレンズ機能を付与したプラスチックを、超短パルスレーザーを照射するという簡単な方法により、精密に制御して作製することができる。しかも、プラスチック表面に形成されたマイクロレンズはプラスチック表面の任意の部位に形成することができる。
【００７８】
さらに、マイクロレンズの製造に際して、製造時のゴミの発生が少なく、優れた環境性でマイクロレンズを製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】微小隆起物により構成されたマイクロレンズの一例を模式的に示す概略鳥瞰図である。
【図２】プラスチック内部に超短パルスのレーザーを照射する一例を模式的に示す概略鳥瞰図である。
【符号の説明】
１　　プラスチック
２　　マイクロレンズ
２ａ　　微小隆起物
１１　　　　プラスチックシート
１ａ　　　　プラスチックシート１１の表面（上面）
Ｔ　　　　プラスチックシート１１の厚さ
３　　　　パルス幅が１０−１２秒以下である超短パルスレーザー
４　　　　レンズ
５　　　　レーザー３の焦点
６　　　　レーザー３の照射方向
７　　　　レーザー３の焦点５の移動方向
８　　　　レーザー３の焦点５をライン状に移動させる際のライン
ｄ　　　　プラスチックシート１１の表面１ａと、レーザー３の焦点５との距離
Ｌ　　　　ライン８における近接したライン間の間隔
【図１】
2004133001.tif 000002
【図２】
2004133001.tif 000003