(57)【要約】【課題】圧電フィルムを遮音材として用いる遮音装置において、負性容量回路と増幅回路とによって増幅される信号のノイズを簡単な構成に低減する。【解決手段】遮音装置１０は、第１圧電フィルム２１と、第２圧電フィルム２２と、制御回路３０とを備える。制御回路３０は、負性容量回路４０と増幅回路６０とを備える。負性容量回路４０は、第１圧電フィルム２１に電気的に接続され、音によって生じる第１圧電フィルム２１の歪みとは逆位相の歪みを第１圧電フィルム２１に生じさせる。増幅回路６０は、負性容量回路４０と第２圧電フィルム２２とに電気的に接続され、負性容量回路４０から第１圧電フィルム２１に出力される第１信号Ｖ１を増幅した第２信号Ｖ２を第２圧電フィルム２２に出力する。ここで増幅回路６０は、昇圧トランス回路６０Ａによって構成されている。【選択図】図３
2022003359.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電性を有し、遮音対象である音を受ける第１圧電フィルムと、
圧電性を有し、前記第１圧電フィルムに対して対向配置される第２圧電フィルムと、
前記第１圧電フィルムおよび前記第２圧電フィルムに電気的に接続された制御回路と、
を備え、
前記制御回路は、
前記第１圧電フィルムに電気的に接続され、前記音によって生じる前記第１圧電フィルムの歪みとは逆位相の歪みを前記第１圧電フィルムに生じさせる負性容量回路と、
前記負性容量回路と前記第２圧電フィルムとに電気的に接続され、前記負性容量回路から前記第１圧電フィルムに出力される第１信号を増幅した第２信号を前記第２圧電フィルムに出力する増幅回路と、
を備え、
前記増幅回路は、昇圧トランス回路によって構成されている、遮音装置。
【請求項２】
前記負性容量回路は、
前記第１信号の電圧値を変更可能な電圧変更部と、
前記第１圧電フィルムおよび前記第２圧電フィルムによる遮音効果が最も高くなる音の周波数を設定可能な周波数設定部と、を備え、
前記増幅回路は、前記第１信号に対する前記第２信号の増幅率を変更可能な構成である請求項１に記載の遮音装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される技術は、遮音装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、外部の騒音を遮音する遮音材として、圧電体を利用した遮音装置が知られている。例えば特許文献１には、２枚の圧電フィルムと、アナログの制御回路とを備える遮音装置が開示されている。特許文献１の制御回路は、負性容量回路とオペアンプによる増幅回路とから構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０２０−００８６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１の遮音装置を車両等のフロア等に設置すると、第２信号が多量のノイズを含んだ状態で第２圧電フィルムに出力されてしまい、第２圧電フィルムを遮音材として用いることが困難となるのが実情である。特許文献１に開示された制御回路には、コンデンサによるノイズ対策が施されているものの、制御回路内に紛れ込んだ微弱なノイズが負性容量回路と増幅回路とで増幅されて、第２圧電フィルムに出力されていると考えられる。このノイズを除去するには、制御回路にさらにフィルター回路を設けることが考えられるが、この場合、第２信号の位相がズレやすくなったり、回路が大型化して部品点数とコストの増大を招くために望ましくない。
【０００５】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、圧電フィルムを遮音材として用いる遮音装置において、負性容量回路と増幅回路とによって増幅される信号のノイズを簡単な構成によって低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための手段として、ここに開示される技術は、圧電性を有し、遮音対象である音を受ける第１圧電フィルムと、圧電性を有し、前記第１圧電フィルムに対して対向配置される第２圧電フィルムと、前記第１圧電フィルムおよび前記第２圧電フィルムに電気的に接続された制御回路と、を備えている。そして制御回路は、前記第１圧電フィルムに電気的に接続され、前記音によって生じる前記第１圧電フィルムの歪みとは逆位相の歪みを前記第１圧電フィルムに生じさせる負性容量回路と、前記負性容量回路と前記第２圧電フィルムとに電気的に接続され、前記負性容量回路から前記第１圧電フィルムに出力される第１信号を増幅した第２信号を前記第２圧電フィルムに出力する増幅回路と、を備えており、前記増幅回路は、昇圧トランス回路によって構成されていることを特徴としている。
【０００７】
上記構成によると、昇圧トランス回路の一次側コイルと二次側コイルとによって、第１圧電フィルムおよび負性容量回路と、第２圧電フィルムと、が分離されて絶縁される。このことにより、第１圧電フィルムおよび負性容量回路に侵入したノイズが昇圧トランス回路で増幅されたり、第２圧電フィルムから第１圧電フィルムおよび負性容量回路の側にノイズが侵入したりすることが防止される。その結果、第１信号をノイズの少ない状態で増幅して第２圧電フィルムに出力することができる。延いては、この遮音装置を様々なノイズが生じ得る環境に設置した場合でも、遮音性能を好適に発揮させることができる。
【０００８】
上記遮音装置の好適な一態様において、前記負性容量回路は、前記第１信号の電圧値を変更可能な電圧変更部と、前記第１圧電フィルムおよび前記第２圧電フィルムによる遮音効果が最も高くなる音の周波数を設定可能な周波数設定部と、を備えており、前記増幅回路は、前記第１信号に対する前記第２信号の増幅率を変更可能な構成を備えている。このように周波数設定部を備えることで、設定した周波数の音についてより確実に遮音することができる。ここで、第１信号の電圧値を大きくすると、第１圧電フィルムには、設定した周波数の音に対して特に遮音効果が高い特性（ピーキーな周波数特性）を持たせることができ、この第１信号を増幅した第２信号が入力される第２圧電フィルムについても同じ傾向の周波数特性を持たせつつ、第１圧電フィルムよりも高い遮音効果を発揮させることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、圧電フィルムを遮音材として用いる遮音装置において、負性容量回路と増幅回路とによって増幅される信号のノイズを簡単な構成によって低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態に係る遮音装置が取り付けられた車両を示す断面図
【図２】図１の遮音装置の構成を示す図
【図３】制御部に備えられる回路を示す回路図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施形態について、図１から図３を参照しつつ、車両１に搭載された遮音装置１０を例にして説明する。なお、各図に示した符号Ｆ，Ｒｒ，Ｕ，Ｄ，ＩＮ，ＯＵＴはそれぞれ、車両進行方向の前方，後方、鉛直方向（上下方向）の上方，下方，室内側，室外側を示す。ただし、上記方向は便宜的に定めたものに過ぎず、限定的に解釈すべきものではない。
【００１２】
図１に示されるように、車両１は、回転駆動されることで当該車両１を走行させるホイール２，２と、車両１の骨格の一部をなすとともに車室の床面を構成するフロアパネル３と、フロアパネル３に支持されるとともに乗員が着座可能なシート４，４と、を備えている。この車両１においては、運転や走行に伴って、ホイール２，２に装着されたタイヤが路面と接触することにより発生する接触音（ロードノイズ）やエンジン音等がノイズとしてフロアパネル３を伝わり、車室内空間に伝播する。そのため、車両１は、このようなノイズを低減するための遮音装置１０を備えている。
【００１３】
なお、ここに開示される技術において、「遮音」とは、音（音波）の透過を抑制し、透過損失を向上させる作用を意味する。つまり、「遮音」とは、音（音波）の透過を完全に遮断することのみを意味する用語ではない。
【００１４】
遮音装置１０は、例えば図１に示すように、車両前方のシート４の下方において、フロアパネル３の床面（室内側の面）に設置されている。遮音装置１０は、フロアパネル３に取り付けられる遮音部２０と、遮音部２０の駆動を制御する制御回路３０と、を備えている。したがって本実施形態においては、遮音装置１０に対して上方が室内側、遮音装置１０に対して下方が室外側に相当する。
【００１５】
遮音部２０は、第１圧電フィルム２１と、第２圧電フィルム２２と、第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２を張設状態で支持する筒状のフレーム２３と、を備えている。第１圧電フィルム２１は、相対的に室外側に配され、第２圧電フィルム２２は、相対的に車室内側に配されている。車両１の走行時に発生する騒音は主に車両１の足元側から発生することから、この遮音部２０において、遮音対象であるノイズは、主としてフロアパネル３の側、つまり第１圧電フィルム２１の側から入射することとなる。ここで、第１圧電フィルム２１はフロアパネル３に接触しないようにフロアパネル３からやや離間した配置でフレーム２３に固定されており、フロアパネル３を透過してきたノイズによる振動をフロアパネル３によって阻害されることなく受信（センシング）できるようになっている。また、第１圧電フィルム２１と第２圧電フィルム２２とは互いに接触せずに離間するようにフレーム２３に固定されている。そして、第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２は、互いに対向配置されつつ、近接する形で配されている。これら第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２については、両圧電フィルムによる音の位相差をより小さくするために、互いに可能な限り接近して配することが好ましい。
【００１６】
第１圧電フィルム２１と第２圧電フィルム２２とは、圧電効果および逆圧電効果を示す圧電性材料２１Ａ，２２Ａを主体として構成されている。すなわち、この圧電性材料２１Ａ，２２Ａは、フィルム状をなし、その厚み方向（フロアパネル３の板厚方向）について振動した際に、面方向に沿って応力および歪み（弾性歪み）が発生することで、厚み方向に分極が生じて電圧を発生する性質を有している。換言すれば、圧電性材料２１Ａ，２２Ａは、音（音波）を受けて厚み方向に振動することで、厚み方向に電圧を生じるものとなっている。また、圧電性材料２１Ａ，２２Ａは、厚み方向に電圧が加えられることで、面方向に沿って電圧の極性に応じた弾性領域での伸縮歪みが誘発される性質を有している。
【００１７】
このような圧電性材料２１Ａ，２２Ａとしては、高分子系圧電材料（例えば、ポリフッ化ビリニデン（ＰＶｄＦ）等）や、圧電セラミック（チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等）を例示することができる。なお、圧電性材料２１Ａ，２２Ａは、上述したものに限定されず適宜変更可能である。また、圧電性材料２１Ａ，２２Ａはそれぞれ、電圧を印加したり取り出したりするために、その両面にそれぞれ、一対の電極２１Ｅ，２１Ｅおよび電極２２Ｅ，２２Ｅを備えている。このような電極２１Ｅ，２１Ｅ，２２Ｅ，２２Ｅは、例えば圧電性材料２１Ａ，２２Ａに金属を蒸着したり、金属板を貼り合わせることで構成することができるが、これに限定されない。本実施形態において、第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２は、寸法や材質などの構成が同じであって、機械的性質及び電気的性質ならびに圧電特性が同一となるようにされている。
【００１８】
制御回路３０は、負性容量回路４０と、増幅回路６０と、を備えている。負性容量回路４０は、制御回路３０において負の容量を持つコンデンサと同様の動作をするように構成されている。例えば図３に示すように、本実施形態の負性容量回路４０は、オペアンプ４１と、可変抵抗４２と、コンデンサ４３と、半固定抵抗４４と、を備えている。オペアンプ４１の非反転入力端子には、第１圧電フィルム２１が接続されており、また、コンデンサ４３および半固定抵抗４４が正帰還ループを構成するように接続されている。換言すると、第１圧電フィルム２１はオペアンプ４１の非反転入力端子とアースに並列接続されており、制御回路３０において第１圧電フィルム２１は負性容量と並列接続されたことと等価になっている。また、オペアンプ４１の反転入力端子には、可変抵抗４２（抵抗４２Ｂの部分）を介して負帰還が掛けられている。このような負性容量回路４０は、例えば正の電圧が印加されると正の電荷を放出するものとして構成されている。
【００１９】
負性容量回路４０は、第１圧電フィルム２１に負性容量回路４０を結合した状態においては、第１圧電フィルム２１に音波が入射されることにより生じた正または負の電圧が負性容量回路４０に入力されると、負性容量回路４０から第１圧電フィルム２１に向けて正または負の電荷がそれぞれ放出される。これにより第１圧電フィルム２１内の分極が減少し、第１圧電フィルム２１の歪みが減少する。つまり、負性容量回路４０が放出した電荷によって弾性歪みとは逆位相の歪みが生じ、見かけの歪みは減少する。そのため、第１圧電フィルム２１については、外力と見かけの歪みの比として定義される見かけの弾性率が増加したと言うことができ、第１圧電フィルム２１はあたかも硬くなったかのようにふるまうこととなる。このことにより、音波の進行方向に生じる第１圧電フィルム２１の変位（振動）も減少され、音波の透過が抑制されるとともに、第１圧電フィルム２１を遮音材として機能させることができる。
【００２０】
ここで、負性容量回路４０においては、可変抵抗４２における抵抗４２Ａと抵抗４２Ｂのインピーダンスや、コンデンサ４３の容量、半固定抵抗４４の抵抗値等を調節することによって、負性容量回路４０の複素容量の実数部および虚数部を変化させられることが知られている。また、半固定抵抗４４を調節することによって、負性容量回路４０の損失係数（複素容量の虚数部と実数部の比）の周波数特性を変えられることが知られている。つまり、可変抵抗４２、コンデンサ４３、および半固定抵抗４４の構成を適切に設定することで、例えば、任意の周波数帯域で負性容量回路４０の損失係数を第１圧電フィルム２１の誘電的な損失係数とほぼ一致させることができる。その結果、第１圧電フィルム２１（ひいては第２圧電フィルム）による遮音効果が最も高くなる音の周波数（ピーク周波数）を、遮音対象とする騒音の周波数域に設定することができる。具体的には、負性容量回路４０における半固定抵抗４４の抵抗値を大きくすると、遮音効果が最も高くなる音の周波数を低くすることができ、半固定抵抗４４の抵抗値を小さくすると、遮音効果が最も高くなる音の周波数を高くすることができる。なお、好適例として、コンデンサ４３を第１圧電フィルム２１における圧電性材料２１Ａと同一の物質で構成すれば、温度や周波数によらず、容易に損失係数を第１圧電フィルム２１（より詳細には、圧電性材料２１Ａ）の損失係数と一致させることができる。
【００２１】
オペアンプ４１の出力端子からは、信号Ｖ１（第１信号）が出力されることとなる。負性容量回路４０においては、可変抵抗４２（電圧変更部）を構成する抵抗４２Ａと抵抗４２Ｂとの比を変えることで、信号Ｖ１の電圧値を変更することができる。具体的には、抵抗４２Ａの抵抗値をＲＡ、抵抗４２Ｂの抵抗値をＲＢ、オペアンプ４１の非反転入力端子に入力される信号Ｖ０の電圧値をＶＡ、信号Ｖ１の電圧値をＶＢとした場合において、ＶＢ＝ＶＡ＊（１＋ＲＢ／ＲＡ）の関係が得られる。ここで、抵抗４２Ａと抵抗４２Ｂとは、回路が発振して第１圧電フィルム２１自体からの音の放射が始まることのない範囲で最大の電圧が出力されるように設定するとよい。
【００２２】
なお、負性容量回路４０において、オペアンプ４１には、演算回路を駆動するための直流電源３１，３２が接続されている。また、負性容量回路４０は、ノイズを低減するための複数のコンデンサ３３を備える。なお、可変抵抗４２および半固定抵抗４４の代わりに、二つの抵抗を用いてもよい。
【００２３】
増幅回路６０は、図３に示すように、１次側コイル６１と、２次側コイル６２と、半固定抵抗６３と、を備えて構成されている。１次側コイル６１および２次側コイル６２の二つのコイルは、磁気的に結合されることで昇圧トランス回路６０Ａを構成している。昇圧トランス回路６０Ａにおいて、１次側コイル６１と２次側コイル６２とでは、１次側コイル６１の巻き数Ｎｐよりも、２次側コイル６２の巻き数Ｎｓの方が多くなるように構成されており、１次側コイル６１の電圧Ｖｐよりも２次側コイル６２の電圧Ｖｓの方が高くなる（昇圧される）ようになっている。負性容量回路４０の出力端子は、半固定抵抗６３を介して昇圧トランス回路６０Ａに接続され、１次側コイル６１には、オペアンプ４１の出力電圧が印加される。このことにより、２次側コイル６２の側において、負性容量回路４０からの出力電圧を増幅することができる。増幅回路６０においては、１次側コイル６１および２次側コイル６２の巻数比を変えることで、信号Ｖ１に対する信号Ｖ２の変圧比を変えることができる。具体的には、一般に、１次側コイル６１と２次側コイル６２とにおける巻数比と変圧比は等しく、Ｖｐ／Ｖｓ＝Ｎｐ／Ｎｓの関係がみられる。なお、この増幅回路６０において、１次側コイル６１と２次側コイル６２とで電力は大きくならないが、電圧を増幅している点において広義の増幅回路と呼んでいる。
【００２４】
なお、半固定抵抗６３は分圧抵抗として機能し、昇圧トランス回路６０Ａの前に付加的に介在させることができる。増幅回路６０において、半固定抵抗６３の抵抗を増減させることで、増幅回路６０の入力電圧に対する昇圧トランス回路６０Ａの入力電圧の割合を減増させることができる。したがって、増幅回路６０において、半固定抵抗６３を介在させたうえで昇圧トランス回路６０Ａの増幅率を大きく設定しておくことで、半固定抵抗６３の調整によって、昇圧トランス回路６０Ａ（延いては増幅回路６０）からの出力電圧を任意の大きさに調整することができる。また、昇圧トランス回路６０Ａの入力電圧は増幅回路６０において調整するため、例えば、容量回路４０から第１圧電フィルム２１への出力に対して影響を与えることがない点において好適である。
【００２５】
増幅回路６０の出力端子には、第２圧電フィルム２２が接続されている。具体的には、第２圧電フィルム２２の両面の電極２２Ｅ，２２Ｅには、２次側コイル６２の両端子が接続されており、負電位側の電極２２Ｅは接地されている。ここで、昇圧トランス回路６０Ａにおいては、１次側コイル６１側に入力された負性容量回路４０のオペアンプ４１からの信号Ｖ１が、上述の通り、１次側コイル６１および２次側コイル６２の巻数比に基づいて電圧が増幅され、同位相の信号Ｖ２（第２信号）として第２圧電フィルム２２に出力される。このため、第２圧電フィルム２２に対しては、第１圧電フィルム２１に生じさせたのと同位相の歪みを生じさせることができ、第２圧電フィルム２２に音が伝播することによって生じる歪みを、第２圧電フィルム２２に印加された電圧によって生じる圧電性に起因する歪みによって打ち消すことができる。これは、第２圧電フィルム２２の見かけの弾性率を増加させることとなり、音を遮音するのに有効となり得る。加えて、第２圧電フィルム２２については、印加される電圧が増幅されていることから、第１圧電フィルム２１よりも大きい力で駆動させることができる。これにより、第２圧電フィルム２２を、第１圧電フィルム２１よりも遮音効果（透過損失）の高い遮音材として機能させることができる。
【００２６】
ここで、制御回路３０においては、第２圧電フィルム２２と負性容量回路４０との間に、増幅回路６０が介在されている。増幅回路６０においては、昇圧トランス回路６０Ａによって１次側コイル６１と２次側コイル６２とが電気的に絶縁されていることから、第２圧電フィルム２２による負性容量回路４０の電気的特性への影響を抑制することができるとともに、第１圧電フィルム２１および負性容量回路４０に侵入したノイズが増幅回路６０で増幅されることを防止することができる。また、昇圧トランス回路６０Ａによると、１次側コイル６１と２次側コイル６２との間には、位相のズレが生じない。このような構成によって、フロアパネル３のような制御回路３０にノイズの混入しやすい環境に遮音装置１０が設置された場合であっても、ノイズの影響を抑制して、第２圧電フィルム２２の機能をより確実に発揮させることができる。また、ノイズを抑制しつつも、制御回路３０によって第１圧電フィルム２１と第２圧電フィルム２２とに印加される信号の位相にズレが発生することを抑制することができる。
【００２７】
次に本実施形態の効果について説明する。本実施形態によれば、第１圧電フィルム２１に負性容量回路４０を接続することで、第１圧電フィルム２１に入射する音によって生じる第１圧電フィルム２１の振動を低減させることができ、第１圧電フィルム２１を遮音材として用いることができる。また、負性容量回路４０から第１圧電フィルム２１に出力される信号Ｖ１を増幅して第２圧電フィルム２２に出力するに際しては、昇圧トランス回路６０Ａによって、制御回路３０を１次側コイル６１と２次側コイル６２との間で電気的に絶縁している。このことにより、第１圧電フィルム２１および負性容量回路４０に侵入したノイズがオペアンプ４１や増幅回路６０で増幅されたり、第２圧電フィルム２２から第１圧電フィルム２１および負性容量回路４０の側にノイズが侵入したりすることが防止される。その結果、ノイズが混入しやすい環境に遮音装置１０を設置した場合でも、ノイズの増幅と位相のズレを抑制しながら、負性容量回路４０から第１圧電フィルム２１に出力される信号Ｖ１を増幅して第２圧電フィルム２２に適切に出力することができる。延いては、第２圧電フィルム２２を第１圧電フィルム２１よりも大きい力で適切に駆動させつつ、第１圧電フィルム２１と同じ位相で歪ませることができ、第２圧電フィルム２２を第１圧電フィルム２１よりも高い遮音効果を有する遮音材として用いることができる。つまり、第１圧電フィルム２１で遮音しきれなかった騒音を、第２圧電フィルム２２によって効果的に遮音することができる。
【００２８】
なお、第１圧電フィルム２１の振動特性や負性容量回路４０の発信を抑制するとの観点から、信号Ｖ１の電圧値および負性容量回路４０の増幅率は比較的小さい範囲に限定され、第１圧電フィルム２１による遮音効果を顕著に大きくすることは困難である。しかしながら、ここに開示される技術によると、信号Ｖ１の電圧値や負性容量回路４０の増幅率が小さい場合であっても、昇圧トランス回路６０Ａによってノイズの増幅を抑えて信号Ｖ２の出力を大きく高めることができる。このことにより、主に第２圧電フィルム２２によって、効果的な遮音を実現することができる。
【００２９】
また、本実施形態では、周波数設定部である半固定抵抗４４を備えることで、遮音対象とする騒音の周波数と近接する周波数の音についてより確実に遮音することができる。そして、第２圧電フィルム２２は、信号Ｖ２（第１圧電フィルム２１を制御するための信号Ｖ１を増幅した信号）によって制御されることから、第１圧電フィルム２１の周波数特性と同じ傾向の周波数特性を持ちつつ、第１圧電フィルム２１よりも高い遮音効果を発揮することになる。つまり、狙った周波数の騒音をより効果的に遮音することができる。このことによっても、遮音対象とする騒音とは周波数帯域の異なるノイズの増幅を抑えて、信号Ｖ２の出力を大きく高めることができる。
【００３０】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述および図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、遮音部２０がフロアパネル３に取り付けられる構成を限定したが、これに限定されない。例えば、遮音部２０は、車両１のドアトリムやダッシュパネル等に設けてもよい。
（２）上記実施形態では、第１圧電フィルム２１、第２圧電フィルム２２、およびフロアパネル３は互いに離間されていた。しかしながら、第１圧電フィルム２１、第２圧電フィルム２２、およびフロアパネル３の間には、第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２の振動を阻害したり、互いの振動を伝播し合ったりしない程度に柔らかい材料を介在させてもよい。これにより、第１圧電フィルム２１および第２圧電フィルム２２が自重によって微小に撓むことを抑制することができ、ノイズによる振動をより精確に受信（センシング）できるとともに、フィルム全体が一様に振動することが可能となって遮音精度の向上を図ることができる。なお、このような材料としては、超軟質のポリウレタンフォームが好適例として挙げられる。
（３）また、制御回路３０には、ここに開示される技術の本質を損ねない範囲において、他の素子を接続してもよい。
【符号の説明】
【００３１】
１…車両、３…フロアパネル、１０…遮音装置、２１…第１圧電フィルム、２２…第２圧電フィルム、４０…負性容量回路、６０…増幅回路、６０Ａ…昇圧トランス回路、Ｖ１…信号（第１信号）、Ｖ２…信号（第２信号）
【図１】
2022003359.tif 000003
【図２】
2022003359.tif 000004
【図３】
2022003359.tif 000005