(57)【要約】【課題】微細構造物の設計、製作及び応用技術であるＭＥＭＳ技術を利用して小型化が可能で、且つ製造費用を節減し得る光記録再生装置の光ピックアップヘッド及びその製造方法、並びに潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド及びその潤滑剤コーティング方法を提供する。【解決手段】光ディスク１０の表面に沿って移動できるように設置され、光を集束させる集束レンズ１１１ａが一端部側に設置されるスライダー１１０と、前記集束レンズ１１１ａの光軸角度を微細に調整するために、前記スライダー１１０と積層されて設置される微細駆動手段と、を含んで光記録再生装置の光ピックアップヘッドを構成する。【選択図】図１
2004152478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスクの表面に沿って移動できるように設置され、光を集束させる集束レンズが一端部側に設置されるスライダーと、
前記集束レンズの光軸角度を微細に調整するために、前記スライダーと積層されて設置される微細駆動手段とを備えることを特徴とする光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項２】
前記微細駆動手段は、
前記スライダーの上部に位置されて、内周面に複数の下部固定電極が所定間隔に形成される下部固定基板と、
該下部固定基板の形状と相互に対応するように前記下部固定基板の上部に設置され、内周面に複数の上部固定電極が所定間隔に形成される上部固定基板と、
それら下部固定基板と上部固定基板間に介在される絶縁層と、
光軸方向に駆動するように前記下部固定基板及び上部固定基板に対応して設置され、前記下部固定電極と上部固定電極間に交互に配列される可動電極が形成される可動基板と、
該可動基板を駆動させるために、前記下部固定基板、前記上部固定基板及び前記可動基板に電力をそれぞれ供給する複数の電極パッドと、から構成されることを特徴とする請求項１記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項３】
前記下部固定電極、前記上部固定電極及び前記可動電極は、櫛目状に互い違いに配列されることを特徴とする請求項１記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項４】
前記スライダーは、透明材質により形成されることを特徴とする請求項１記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項５】
前記光ディスクと対応する前記スライダーの下面には、エアベアリング面が形成されることを特徴とする請求項４記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項６】
前記スライダーには、前記光ディスクを磁化させるマグネチックコイルが形成されることを特徴とする請求項１記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項７】
前記マグネチックコイルは、前記スライダーの下面に形成された挿入溝部に埋め込まれることを特徴とする請求項６記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項８】
前記マグネチックコイルの回りには、ＳｉＯ2及びＳｉ3Ｎ4中、少なくとも何れか一つを含む充填材が充填されることを特徴とする請求項７記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項９】
前記可動基板を弾性的に支持するように、一方側は前記上部固定基板に、他方側は前記可動基板に連結される弾性支持部を更に含んで構成されることを特徴とする請求項９記載の光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１０】
絶縁層を間に置いて、両側にシリコン層が積層された母材を準備する第１段階と、
一連の半導体素子の一貫製造工程技術を利用して、前記母材の一方側に下部固定電極を有する下部固定基板を形成し、他方側に上部固定電極を有する上部固定基板を形成し、それら上下部固定電極に交互に配列される可動電極を有し、前記上下部固定電極の間で移動自在に設置される可動基板を形成する第２段階と、
第２段階で製造された基板をスライダーに接合する第３段階と、
前記可動基板に集束レンズを結合する第４段階とを備えていることを特徴とする光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造方法。
【請求項１１】
光ディスクの表面に沿って移動できるように設置されて、光を集束させる集束レンズが一方側に設置され、下面に潤滑剤コーティング膜のエアベアリング面が形成されるスライダーと、
前記集束レンズの光軸角度を微細に調整するために、前記スライダーと積層されて設置される微細駆動手段と、を含んで構成される潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１２】
前記微細駆動手段は、
前記スライダーの上部に位置されて、内周面に潤滑剤がコーティングされた下部固定電極が所定間隔に形成される下部固定基板と、
該下部固定基板の形状と相互に対応するように前記下部固定基板の上部に設置され、内周面に複数の潤滑剤がコーティングされた上部固定電極が所定間隔に形成される上部固定基板と、
それら下部固定基板と上部固定基板間に介在される絶縁層と、
光軸方向に駆動するように前記下部固定基板及び上部固定基板に対応して設置され、それら下部固定電極と上部固定電極間に交互に配列される可動電極が形成される可動基板と、
該可動基板を駆動させるために、前記下部固定基板、前記上部固定基板及び前記可動基板に電力をそれぞれ供給する複数の電極パッドと、から構成されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１３】
前記下部固定電極、前記上部固定電極及び前記可動電極は、櫛目状に互い違いに配列されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１４】
前記スライダーは、透明材質により形成されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１５】
前記可動基板を弾性的に支持するために、一方側は前記上部固定基板に連結され、他方側は前記可動基板に連結される弾性支持部を含んで構成されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１６】
前記潤滑剤は、ジクロロジメチルシランであることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１７】
前記潤滑剤は、
トルエン溶媒にジクロロジメチルシランが希釈されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１８】
前記潤滑剤は、
トルエン溶媒にイソオクタンジクロロジメチルシランが希釈されることを特徴とする請求項１１記載の潤滑剤がコーティングされた光記録再生装置の光ピックアップヘッド。
【請求項１９】
光ピックアップヘッドをディッピングして、前記光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第１段階と、
前記潤滑剤コーティング工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去するために、トルエン溶媒に前記光ピックアップヘッドをディッピングする第２段階とを備えていることを特徴とする光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法。
【請求項２０】
潤滑剤が流れる流路内に光ピックアップヘッドを設置して、前記光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第１段階と、
前記潤滑剤コーティング工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去するために、前記流路にトルエン溶媒を流す第２段階とを備えていることを特徴とする光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法。
【請求項２１】
光ピックアップヘッドを過酸化水素にディッピングして、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にシリコン酸化膜を形成する第１段階と、
前記シリコン酸化膜形成工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている過酸化水素を除去するために、前記光ピックアップヘッドをトルエン溶媒にディッピングする第２段階と、
前記光ピックアップヘッドを潤滑剤にディッピングして、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第３段階と、
前記潤滑剤コーティング工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、前記光ピックアップヘッドを溶媒にディッピングする第４段階とを備えていることを特徴とする光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法。
【請求項２２】
過酸化水素が流れる流路内に光ピックアップヘッドを設置して、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に過酸化水素膜を形成する第１段階と、
前記過酸化水素膜形成工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている過酸化水素を除去するために、前記流路にトルエン溶媒を流す第２段階と、
前記光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングするために、前記流路中に潤滑剤を流す第３段階と、
前記潤滑剤コーティング工程の時、前記上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、前記流路にトルエン溶媒を流す第４段階とを備えていることを特徴とする光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録再生装置の光ピックアップヘッド及びその製造方法、並びに光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッド及びその潤滑剤コーティング方法に係るもので、詳しくは、光学系から照射される光を光ディスク表面に投射して、光ディスクに格納された情報を読み出す光記録再生装置の光ピックアップヘッド及びその製造方法、並びに光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッド及びその潤滑剤コーティング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
既存の磁気記録方式は、磁気記録媒体からヘッドを浮上させるスライダーと、ヘッドを支持するサスペンションと、磁気力を発生するコイルとを用いて行われていた。
【０００３】
然るに、従来の磁気記録方式においては、このような一連の構成部品により相対的に大きく且つ重くなるため、小型化を実現するのに限界があった。
【０００４】
又、回転する光ディスクを記録媒体として利用する光記録再生装置の場合、光ディスク自体の扁平度、光ディスクを回転駆動する駆動部による機械的振動及び偏心誤差によって、光学系の対物レンズ間の距離が絶え間なく変化し、記録及び再生するための光信号の信号対雑音比が悪化し、判読及び記録可能な単位ビットの大きさが制約されるだけでなく、誤読及び誤記録の原因になるという不都合な点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたもので、微細構造物の設計、製作及び応用技術であるＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical System)技術により小型化が可能で、且つ製造費用を節減し得る光記録再生装置の光ピックアップヘッド及びその製造方法、並びに光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッド及びその潤滑剤コーティング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するため、本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドは、光ディスクの表面に沿って移動できるように設置され、光を集束させる集束レンズが一端部側に設置されるスライダーと、集束レンズの光軸角度を微細に調整するようにスライダーと積層されて設置される微細駆動手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
又、本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造方法は、絶縁層を間に置いて両側にシリコン層が積層された母材を準備する第１段階と、一連の半導体素子の一貫製造工程技術を利用して、前記母材の一方側に下部固定電極を有する下部固定基板を形成し、他方側に上部固定電極を有する上部固定基板を形成し、それら上下部固定電極に交互に配列される可動電極を有し、前記上下部固定電極の間で移動自在に設置される可動基板を形成する第２段階と、第２段階で製造された基板をスライダーに接合する第３段階と、可動基板に集束レンズを結合する第４段階とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
又、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドは、光ディスクの表面に沿って移動できるように設置されて、光を集束させる集束レンズが一端部側に設置され、下面に潤滑剤コーティング膜のエアベアリング面が形成されるスライダーと、集束レンズの光軸角度を微細に調整するためにスライダーと積層されて設置される微細駆動手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング方法の第１実施態様は、光ピックアップヘッドをディッピングして、光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第１段階と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去するために、トルエン溶媒に光ピックアップヘッドをディッピングする第２段階とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング方法の第２実施態様は、潤滑剤が流れる流路内に光ピックアップヘッドを設置して、光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第１段階と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去するために、流路にトルエン溶媒を流す第２段階とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング方法の第３実施態様は、光ピックアップヘッドを過酸化水素にディッピングして、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にシリコン酸化膜を形成する第１段階と、シリコン酸化膜形成工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている過酸化水素を除去するために、光ピックアップヘッドをトルエン溶媒にディッピングする第２段階と、光ピックアップヘッドを潤滑剤にディッピングして、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第３段階と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、光ピックアップヘッドを溶媒にディッピングする第３段階とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング方法の第４実施態様は、過酸化水素が流れる流路内に光ピックアップヘッドを設置して、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に過酸化水素膜を形成する第１段階と、過酸化水素膜形成工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている過酸化水素を除去するために、流路にトルエン溶媒を流す第２段階と、光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングするために、流路内に潤滑剤を流す第３段階と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、流路にトルエン溶媒を流す第４段階とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明においては、スライダーの表面に潤滑剤がコーティングされることで、ヘッドの特性を損傷させずに潤滑作用を行い、摩擦力及びスクラッチ発生を防止することができ、ヘッド及び記録媒体の寿命を増加し得るという効果がある。
【００１４】
又、ＭＥＭＳ技術により製作された可動電極と上下部固定電極との粘着現象を防止し得るという効果がある。
【００１５】
又、ＤＤＭＳ単層膜は、熱的安全性に優れているため、温度が３００〜４００゜まで上昇するパッケージ工程を経た後でも、潤滑作用を円滑に行い得るという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態に対し、図面に基づいて説明する。
図１〜図１０は本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドに関するもので、図１は光ピックアップヘッドを示した分解斜視図、図２は光ピックアップヘッドを示した断面図、図３は光ピックアップヘッドを示した平面図、図４は図３のＡ−Ａ線断面図、図５は配線連結の第１実施形態を示した底面斜視図、図６は配線連結の第２実施形態を示した底面斜視図、図７は弾性支持部の第１実施形態を示した図、図８は弾性支持部の第２実施形態を示した図、図９は弾性支持部の第３実施形態を示した図、図１０は焦点距離の誤差を補償する状況を示した図である。
【００１７】
図示されたように、本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッド１００は光ディスク１０の表面に沿って移動できるように設置されており、ディスク１０の表面に沿って移動するスライダー１１０と、スライダー１１０の上にあり、光を集束させる集束レンズ１１１ａの位置を微細に調整するように、後述の可動基板１５０設置部の内周面に複数の下部固定電極１２１が所定間隔に形成される下部固定基板１２０と、下部固定基板１２０の形状と相互に対応するように下部固定基板１２０の上に設置されて、可動基板１５０設置個所に対応させて開口を形成させその内周面に複数の上部固定電極１３１を所定間隔で形成させた上部固定基板１３０と、下部固定基板１２０と上部固定基板１３０間に介在させた絶縁層１４０と、光軸方向に駆動されるように下部固定基板１２０の設置部に設けられ、下部固定電極１２１の間に交互に配列される可動電極１５１を有し、下部固定基板１２０から上部固定基板１３０の方に又その逆方向に駆動させられる可動基板１５０と、可動基板１５０を駆動させるために下部固定基板１２０、上部固定基板１３０及び可動基板１５０に電力をそれぞれ供給する複数の電極パッド１３７、１３８、１３９とを備えている。
【００１８】
スライダー１１０は、光が透過されるように透明材質の板状に形成されている。スライダー１１０の下面、すなわち光ディスク１０と向き合う側の面には、光ディスク１０の回転時（駆動時）、光ディスク１０の表面から浮上させるエアベアリング面１１１が形成されている。
【００１９】
スライダー１１０の下面には、さらに、挿入溝部１１２が形成され、その挿入溝部１１２に光ディスク１０を磁化させるマグネチックコイル１１３が設けられている。マグネチックコイル１１３が配置された挿入溝部１１２内にＳＩＯ2及びＳＩ3Ｎ4の少なくとも何れか一つを含む充填材１１５が充填されている。また、マグネチックコイル１１３は側面電極パッド１１６と電気的に連結されている。
【００２０】
以上説明したように、本発明実施形態に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッド１００は、上下の固定基板１３０、１２０、絶縁層１４０、それらの固定基板１３０、１２０と絶縁層１４０に対して上下方向（光軸方向）に移動自在に設置される可動基板１５０と、下部固定基板１２０の下側に接合されるスライダー１１０とを備えている。可動基板１５０は、その周辺部を下部固定基板１２０に連結するようにしているが、図３に詳しく示すように、可動基板外周部の一部と、固定基板の可動基板設置部の内周部の一部とをそれぞれを櫛目状に形成して、それぞれの歯が互いに入り込むように形成されている。そして、固定基板１２０と可動基板１５０とは後述の弾性支持部１５５で連結されている。
【００２１】
下部固定基板１２０の内周部と可動基板の外周部とに櫛目状に配列され、互いに入れ込むように形成されている歯が下部固定電極１２１と可動電極１５１を構成しており、また上部固定基板１３０にも同様に固定電極１３１が形成されている。下部固定電極と上部固定電極とは図４に示すように同一の形状に形成され、可動電極１５１がそれらの電極の間に入れ込まれている。なお、図４は可動基板１３０を上部固定基板１３０側に移動した状態を示している。
【００２２】
下部固定基板１２０の上面、可動基板１５０を形成させた箇所に、集束レンズ１１１ａを載置させるレンズ載置部１１７が形成され、そのレンズ載置部１１７の中央には、光を通過させるための光通過孔１１８が形成されている。上部基板１３０にはレンズ載置部１１７と一体となる開口部が形成されており、その内周に前記したように固定電極１３１が形成されている。このように、本実施形態では集束レンズ１１１ａは、下部固定基板のレンズ載置部１１７の箇所に形成させた可動基板１５０に取り付けられ、また、下部固定基板１２０に支持され、可動基板１５０と共に上下動させられる。
【００２３】
上部固定基板１３０に光ピックアップヘッドを支持するためのサスペンション１３５が連結されている。サスペンション１３５の図示しない一方側は固定構造物（図示せず）に固定され、他方側はソルダーボール接合方式により外部電力連結パッド１３６と電気的に連結されている。
【００２４】
上部固定基板１３０の上側に、下部固定基板１２０、上部固定基板１３０及び可動基板１５０にそれぞれ電力を供給するための下部固定基板の電極パッド１３７、上部固定基板の電極パッド１３８及び可動基板の電極パッド１３９が形成されている。電極パッド１３７と１３９は共通の一つのパッドとしても良い。
【００２５】
下部固定基板の電極パッド１３７及び上部固定基板の電極パッド１３８は、外部電力連結パッド１３６と電気的に連結されるが、それらの下部固定基板の電極パッド１３７、上部固定基板の電極パッド１３８を外部電力連結パッド１３６と連結する方式としては、図５に示したソルダーボール（Ｂ）によるソルダーボール接合方式と、図６に示したワイヤー（Ｗ）による接合方式とがある。
【００２６】
上述したように、可動基板１５０を固定基板に弾性的に支持するために、下部固定基板１２０と可動基１５０板の間には弾性支持部１５５が形成されている。後述のように可動基板１５０は下部固定基板１２０に弾性支持部１５５で連結されそれぞれの櫛目状の歯の部分で分離するように一体に形成されている。
【００２７】
このとき、弾性支持部１５５は、図７に示したように、幅（Ｗ）を持たせるように形成することもでき、図８に示したように、その部分を薄い厚さ（ｔ）として形成することもでき、さらには、図９に示したように、数回折れ曲がった形状とすることもできる。
【００２８】
このように構成された本実施形態に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドは、電力がオンされて光ディスク１０が回転すると、スライダー１１０はエアベアリング面１１１によって光ディスク１０の表面に浮上する。このとき、マグネチックコイル１１３は、光ディスク１０の表面を磁化させ、光学系（図示せず）から照射された光は、集束レンズ１１１ａを通して光ディスク１０の表面に照射及び反射されて、光ディスク１０に記録された情報を読み出す。
【００２９】
一方、本実施形態に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドは、光ディスク駆動部（図示せず）の振動、光ディスク表面の扁平度及び各構成部品の組立公差によって、集束レンズ１１１ａと光ディスク１０間の焦点距離の誤差が発生すると、上下の固定基板と可動基板の電力パッド１３８、１３７、１３９を通して上下の固定基板１３０、１２０と可動基板１５０に電圧を供給することで静電気力を発生させ、その静電気力により可動基板１５０を動かして焦点距離の誤差を補償する。上記のように下部固定基板と可動基板とは一体であるので同一電圧が印加される。
【００３０】
以下、焦点距離誤差の補償に対し、図１０に基づいて説明する。
図１０は本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの焦点距離の誤差を補償するのを説明する図である。図示されたように、光ディスク１０と集束レンズ１１１ａ間の焦点距離が非常に近くなりすぎた場合、下部固定基板１２０、上部固定基板１３０及び可動基板１５０に電圧をそれぞれ加え、下部固定電極１２１と可動電極１５１間に発生する静電気力より上部固定電極１３１と可動電極１５１間に発生する静電気力を大きくして、可動基板１５０の全体を同じ高さに上昇させて、焦点距離の誤差を補償する。
【００３１】
以下、本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造方法に対し、図面に基づいて説明する。
図１１は本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造工程を示したフローチャートで、図示されたように、本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造方法は、絶縁層を間に置いて両側にシリコン層が積層された母材を準備する第１段階（Ｓ１０）と、一連の半導体素子の一貫製造工程技術を利用して、母材の一方側に上部固定電極を有する基板を、他方側に下部固定電極を有する下部基板を形成させ、それら上下部固定電極に交互に配列される可動電極を有して、前記上下部固定電極の間で移動自在に設置される可動基板を形成する第２段階（Ｓ１１）と、第１段階で製造された基板をスライダーに接合する第３段階（Ｓ１２）と、基板に集束レンズを結合させる第４段階（Ｓ１３）とを備えている。第２段階をさらに詳細に説明すると、母材の一方側（下部固定基板側）のレンズ載置部に位置する部分に、弾性支持部で支持すると共に櫛目状の電極の部分で分離させた可動基板を形成させるように加工しながら下部固定電極を有する下部固定基板を形成し、他方側（上部固定基板側）には開口を形成させると共にその内周部に下部固定電極と同一の上部固定電極を有する上部固定基板を形成する。
【００３２】
以下、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドに対し、図１２〜図１４に基づいて説明する。
図１２〜図１４は本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドに関するもので、図１２は光ピックアップヘッドを示した分解斜視図、図１３（Ａ）は弾性支持部の一実施形態を示した図、図１３（Ｂ）は本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドを示した断面図、図１４は潤滑剤がコーティングされたスライダーの表面を示した図である。
【００３３】
図示されたように、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッド２００は、光ディスク１０の表面に沿って移動できるように設置され、光を集束させる集束レンズ２１１ａが一端部側に設置され、下面に潤滑剤コーティング膜のエアベアリング面２１１が形成されるスライダー２１０と、集束レンズ２１１ａの光軸角度を微細に調整するようにスライダー２１０の上部に位置され、内周面に潤滑剤がコーティングされた下部固定電極２２１が所定間隔に形成される下部固定基板２２０と、該下部固定基板２２０の形状と相互に対応するように前記下部固定基板２２０の上に設置されて、開口を形成させてその内周面に複数の潤滑剤がコーティングされた上部固定電極２３１が所定間隔に形成される上部固定基板２３０と、それらの下部固定基板２２０と上部固定基板２３０間に介在される絶縁層２４０と、下部固定基板２２０と上部固定基板２３０の内周面に挟まれて光軸方向に駆動自在に設置され、下部固定電極２２１と上部固定電極２３１間に交互に配列される潤滑剤がコーティングされた可動電極２５１が形成された可動基板２５０と、可動基板２５０を駆動させるために、下部固定基板２２０、上部固定基板２３０及び可動基板２５０に電力をそれぞれ供給する複数の電極パッド２３７、２３８、２３９とを含んでいる。２つのパッドだけでいいのは先の例と同じである。
【００３４】
このとき、下部固定電極２２１、上部固定電極２３１及び可動電極２５１は、櫛目状に互い違いに配列されている。
【００３５】
光ディスク１０と対応するスライダー２１０の下面には、潤滑剤がコーティングされたエアベアリング面２１１が形成されている。
【００３６】
可動基板２５０を弾性的に支持するために、上部固定基板２３０と下部固定基板２２０間に弾性支持部２５５が形成されている。
【００３７】
下記の化学式１に示したように、潤滑剤は、ジクロロジメチルシラン（Dichlorodimethylsilane：ＤＤＭＳ）をトルエン、イソオクタンなどの溶媒に１〜１０ｍＭＯＬの濃度で混合して製造されるが、１ｍＭＯＬの濃度が最も好ましい。
化学式１
（ＣＨ3）ＣＬ2ＳＩ
【００３８】
図１４に示したように、スライダーのエアベアリング面２１１に単層コーティングされたＤＤＭＳ（Ｄ）の化学的構造を考察してみると、透明なガラス材質により構成されたスライダーのエアベアリング面２１１は、その特性上、親水性を帯びているため、ＤＤＭＳ（Ｄ）が容易に単層コーティングされる。
【００３９】
ＤＤＭＳ（Ｄ）のヘッドグループ（Ｄ１）は、共有結合によりエアベアリング面２１１に不動化（immobilization）され、ヘッドグループ（Ｄ１）と化学的に結合されたメチル基（Ｄ２）は、疎水性及び他の物質と結合しない性質を有するため、スライダー２１０のエアベアリング面２１１に数Å程度の厚さに形成された単層膜が形成され、このように形成された単層膜は、光ディスクとの摩擦力を減少する役割をする。
【００４０】
図面に示してないが、シリコンにより構成された上下部固定電極及び可動電極にＤＤＭＳをコーティングするためには、エアベアリング面とは異なり、親水性を有するように過酸化水素によりシリコン材質の上下部固定電極及び可動電極の表面に複数のＯＨグループを形成させた後、上下部固定電極及び可動電極にＤＤＭＳ（Ｄ）をコーティングさせる。
【００４１】
以下、本発明実施形態に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング装置及びその方法に対し、図１５〜図１９に基づいて説明する。
【００４２】
図１５は本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第１実施形態を示したフローチャートで、図示されたように、本実施形態に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法の第１実施形態は、光ピックアップヘッドをディッピングして、光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第１段階（Ｓ２０）と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去するために、トルエン溶媒に光ピックアップヘッドをディッピングする第２段階（Ｓ２１）とを備えている。
【００４３】
図１６は潤滑剤コーティング装置を示した図で、図１７は本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第２実施形態を示したフローチャートである。
まず、図１６に示したように、本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング装置３００は、酸化剤を貯蔵する酸化剤貯蔵タンク３１０と、潤滑剤を貯蔵する潤滑剤貯蔵タンク３２０と、溶媒を貯蔵する溶媒貯蔵タンク３３０と、酸化剤貯蔵タンク３１０、潤滑剤貯蔵タンク３２０及び前記溶媒貯蔵タンク３３０にそれぞれ連結される潤滑剤コーティング容器３４０とを備えている。
【００４４】
酸化剤貯蔵タンク３１０には酸化剤貯蔵タンク調節バルブ３１１が、潤滑剤貯蔵タンク３２０には潤滑剤貯蔵タンク調節バルブ３２１が、溶媒貯蔵タンク３３０には溶媒貯蔵タンク調節バルブ３３１がそれぞれ連結され、潤滑剤コーティング容器３４０には吐出バルブ３４１が設置されている。
【００４５】
図１６及び図１７に示したように、本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング方法の第２実施形態は、潤滑剤が流れるコーティング容器の流路内に光ピックアップヘッドを設置した後、潤滑剤貯蔵タンク調節バルブ３２１を開放して、流路を流れる潤滑剤を光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングする第１段階（Ｓ３０）と、潤滑剤貯蔵タンク調節バルブ３２１を閉めて、溶媒貯蔵タンク調節バルブ３３１を開放して流路に流れるトルエン溶媒を流し、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている潤滑剤を除去する第２段階（Ｓ３１）とを備えている。
【００４６】
図１８は本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第３実施形態を示したフローチャートで、図示されたように、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法の第３実施形態は、光ピックアップヘッドを過酸化水素にディッピングして、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にシリコン酸化膜を形成する第１段階（Ｓ４０）と、シリコン酸化膜形成工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている過酸化水素を除去するために、光ピックアップヘッドをトルエン溶媒にディッピングする第２段階（Ｓ４１）と、光ピックアップヘッドを潤滑剤にディッピングして、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングする第３段階（Ｓ４２）と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、光ピックアップヘッドを溶媒にディッピングする第３段階（Ｓ４３）とを備えている。
【００４７】
図１９は本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第４実施形態を示したフローチャートで、示されたように、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの潤滑剤コーティング方法の第４実施形態は、過酸化水素が流れる流路内に光ピックアップヘッドを設置して、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に過酸化水素膜を形成する第１段階（Ｓ５０）と、過酸化水素膜形成工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面にコーティングされずに残っている過酸化水素を除去するために、流路にトルエン溶媒を流す第２段階（Ｓ５１）と、光ピックアップヘッドの上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に潤滑剤をコーティングするために、流路内に潤滑剤を流す第３段階（Ｓ５２）と、潤滑剤コーティング工程の時、上下部固定電極、可動電極及びスライダーのエアベアリング面に残っている潤滑剤を除去するために、流路にトルエン溶媒を流す第４段階（Ｓ５３）とを備えている。
【００４８】
前記のように、スライダーの表面に数Åに過ぎない単層潤滑剤がコーティングされることで、スライダーによって光ディスクの表面が損傷されることなく、スライダーと光ディスク間の摩擦力及び光ディスクのスクラッチ発生を減少し、光記録再生装置のヘッド寿命を延長させることができる。
【００４９】
又、待機中の水分によって、ＭＥＭＳ技術により製造された上下部固定電極と可動電極とが相互粘着されて微細駆動機能を行うが、上下部固定電極及び可動電極に潤滑剤がコーティングされることで、それら上下部固定電極及び可動電極の粘着を防止し、微細駆動を円滑に行うことができる。
【００５０】
このとき、ＤＤＭＳに付着されているメチル基が疏水性の特性を有しているため、上下部固定電極及び可動電極の水分を吸収することで、それら上下部固定電極と可動電極との粘着を防止する。
【００５１】
又、ＤＤＭＳ単層膜は、熱的安全性に優れているため、３００〜４００゜でも潤滑作用を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドを示した分解斜視図である。
【図２】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドを示した断面図である。
【図３】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドを示した平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの配線連結の第１実施形態を示した下面斜視図である。
【図６】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの配線連結の第２実施形態を示した下面斜視図である。
【図７】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの弾性支持部の第１実施形態を示した図である。
【図８】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの弾性支持部の第２実施形態を示した図である。
【図９】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの弾性支持部の第３実施形態を示した図である。
【図１０】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの焦点距離誤差を補償することを示した図である。
【図１１】本発明に係る光記録再生装置の光ピックアップヘッドの製造工程を示したフローチャートである。
【図１２】本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドを示した分解斜視図である。
【図１３】（Ａ）（Ｂ）、  （Ａ）は、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドの弾性支持部の一実施形態を示した図で、（Ｂ）は、本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドを示した断面図である。
【図１４】本発明に係る光記録生成装置の潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのスライダー表面を示した図である。
【図１５】本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第１実施形態を示したフローチャートである。
【図１６】本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の潤滑剤コーティング装置を示した図である。
【図１７】本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第２実施形態を示したフローチャートである。
【図１８】本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第３実施形態を示したフローチャートである。
【図１９】本発明に係る潤滑剤がコーティングされた光ピックアップヘッドのコーティング工程の第４実施形態を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
１０：光ディスク、１１０、２１０：スライダー、１１１、２１１：エアベアリング面、
１１１ａ、２１１ａ：集束レンズ、１１２：挿入溝部、１１３：マグネチックコイル、
１１６：側面電極パッド、１１７：レンズ載置部、１１８：光通過孔、１２０、２２０：下部固定基板、１３０、２３０：上部固定基板、１４０、２４０：絶縁層、１５０、２５０：可動基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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