(57)【要約】【課題】信頼性の高い検知を行うことのできる小型のオパシメータを提供すること。【解決手段】オパシメータは、その長さ方向に検査対象ガスが流通するガス流路を画成する筒状のガス流路形成材と、このガス流路形成材の互いに対向する対向壁の一方に形成された少なくとも２個の光通過用窓および他方に形成された少なくとも１個の光通過用窓と、ガス流路形成材における対向壁の外周に沿ってパージエアを流通させるパージエア流通機構と、パージエア流路を介してガス流路形成材における対向壁の一方と対向するよう配置された光源と、当該対向壁の他方と対向するよう配置された反射鏡と、光源から放射された光が反射鏡を介して入射する光検出センサとを備えてなり、光源から放射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して反射鏡によって反射され、反射鏡によって反射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して光検出センサに入射することを特徴とする。【選択図】    図２
2004184119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その長さ方向に検査対象ガスが流通するガス流路を画成する筒状のガス流路形成材と、このガス流路形成材の互いに対向する対向壁の一方に形成された少なくとも２個の光通過用窓および他方に形成された少なくとも１個の光通過用窓と、ガス流路形成材における対向壁の外周に沿ってパージエアを流通させるパージエア流通機構と、パージエア流路を介してガス流路形成材における対向壁の一方と対向するよう配置された光源と、当該対向壁の他方と対向するよう配置された反射鏡と、光源から放射された光が反射鏡を介して入射する光検出センサとを備えてなり、
光源から放射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して反射鏡によって反射され、反射鏡によって反射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して光検出センサに入射することを特徴とするオパシメータ。
【請求項２】
ガス流路形成材における対向壁の一方と対向するよう配置された反射鏡を備えており、光源から放射された光が複数の反射鏡を介して光検出センサに入射する構成を有することを特徴とする請求項１に記載のオパシメータ。
【請求項３】
パージエアー流通機構が、ガス流路形成材と連結するよう対向壁の各々と平行に設けられた、パージエア流路を画成する合計２個の筒状のパージエア流路形成材を有しており、光源、反射鏡および光検出センサが、パージエア流路形成材の各々における、ガス流路形成材における対向壁に対向する壁上に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のオパシメータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車に積載されるディーゼルエンジンなどの排気ガス中における微粒子濃度を検知する装置として好適に用いられるオパシメータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車に積載されるディーゼルエンジンなどの排気ガス中に、黒煙（煤）として含まれる微粒子の濃度を測定する装置（例えば、特許文献１〜特許文献３）の或る種のものとしては、光源から放射された光が、検査対象ガス（以下、「被検査ガス」ともいう。）である排気ガスが流通するガス流路を通過して光検出センサに入射する構成を有するオパシメータが用いられている。
【０００３】
このような構成のオパシメータは、光源から放射された光が排気ガスが流通している状態のガス流路を通過する過程において、当該排気ガス中に存在する微粒子の遮光作用によって光の進行が阻害され、排気ガス中における微粒子濃度に対応して光検出センサに入射する光量が減少することを利用し、光源から放射された光の光量に対する光検出センサに入射する光の光量を測定することによって検知対象体（以下、「被検知体」ともいう。）である微粒子の濃度（密度）を検知するものである。
【０００４】
具体的に、オパシメータとしては、光源から放射された光を直接光検出センサに入射させる構成を有する直光式のものと、光源から放射された光を反射鏡を介して光検出センサに入射させる構成を有する反射光式のものとが用いられている。
【０００５】
直光式のオパシメータの一例として、図４に示すように、その長さ方向の中央位置に被検査ガスである排気ガスを導入するためのガス導入口５３Ａが形成されており、一端（図４において左端）および他端（図４において右端）にガス排出口５３Ｂ、５３Ｃが形成された、排気ガスが流通するガス流路５１を画成する筒状のガス流路形成材５３と、当該ガス流路形成材５３の一端のガス排出口（以下、「一端ガス排出口」ともいう。）５３Ｂの外方に設けられた光源５４と、当該光源５４とガス流路５１を介して対向するよう、ガス流路形成材５３の他端のガス排出口（以下、「他端ガス排出口」ともいう。）５３Ｃの外方に設けられた光検出センサ５５とを備えてなり、一端ガス排出口５３Ｂおよび他端ガス排出口５３Ｃから排出される排気ガスによって光源５４および光検出センサ５５が汚染されることを防止するよう、一端ガス排出口５３Ｂと光源５４との間の間隙および他端ガス排出口５３Ｃと光検出センサ５５との間の間隙の各々には、ガス流路形成材５３の伸びる方向に垂直な方向（図４において上下方向）にパージエアが流通される構成のものが用いられている。
図４において、一点鎖線は、光源５４から放射された光が光検出センサ５５に入射するまでの経路を示す。
【０００６】
反射光式オパシメータの一例として、図５に示すように、上記の直光式オパシメータにおけるガス流路形成材５３と同様の構成を有するガス流路形成材６３と、当該ガス流路形成材６３の一端（図５において右端）における一端ガス排出口６３Ｂの外方に設けられた光源６５Ａおよび光検出センサ６５Ｂを有する光学系ユニット６５と、当該光学系ユニット６５とガス流路６１を介して対向するよう、ガス流路形成材６３の他端（図５において左端）における他端ガス排出口６３Ｃの外方に設けられた反射鏡６７とを備えてなり、ガス導入口６３Ａから導入された排気ガスによって光源６５Ａ、光検出センサ６５Ｂおよび反射鏡６７が汚染されることを防止するよう、一端ガス排出口６３Ｂと光学系ユニット６５との間の間隙および他端ガス排出口６３Ｃと反射鏡６７との間の間隙の各々には、ガス流路形成材６３の伸びる方向に垂直な方向（図５において上下方向）にパージエアが流通される構成のものが用いられている。
このような反射光式オパシメータは、ガス流路６１内に、複数の光路（図５においては、合計２つ）を形成することによって有効光路の長さを大きくしつつガス流路形成材６３の全長を小さくすることができることから、直光式のオパシメータに比して装置自体の小型化を図ることができる。
図５において、一点鎖線は、光源６５Ａから放射された光が反射鏡６７を介して光検出センサ６５Ｂに入射するまでの経路を示す。
【０００７】
しかしながら、いずれの形式のオパシメータも、ガス流路形成材における一端ガス排出口および他端ガス排出口からの排気ガスが、光学系部材（光源、光検出センサおよび反射鏡）に向かって吹き出される構成を有するものであって排気ガスによる光学系部材に対する汚染度が大きいことから、光学系部材の排気ガスによる汚染を確実に防止するために、一端ガス排出口および他端ガス排出口の各々と光学系部材との間隙を大きくすることが必要であり、特にこの間隙を通常より小さくする場合には、パージエアの流量を一層大きくする必要があることから、装置自体が大型のものとなってしまう。
【０００８】
また、直光式のオパシメータにおいては、排気ガス中における微粒子濃度を高い精度で検知するために、排気ガス雰囲気中を通過する光に係る光路部分（以下、「有効光路」ともいう。）の長さを大きくすることが必要とされることから、必然的にガス流路形成材の全長が大きくなり、一層装置自体が大型のものとなってしまう、という問題がある。
【０００９】
反射光式のオパシメータにおいては、小型化を図ることができるものの、光源から放射された光が微粒子に反射されて散乱する後方散乱によって発生する散乱光が光検出センサに入射してしまう場合があるため、高い精度で微粒子濃度を検知することができない、という問題がある。
【００１０】
【特許文献１】
特開平５−３４０８７４号公報
【特許文献２】
特開平１１−１８３３７９号公報
【特許文献３】
特開２００１−７４６４８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、信頼性の高い検知を行うことのできる小型のオパシメータを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のオパシメータは、その長さ方向に検査対象ガスが流通するガス流路を画成する筒状のガス流路形成材と、このガス流路形成材の互いに対向する対向壁の一方に形成された少なくとも２個の光通過用窓および他方に形成された少なくとも１個の光通過用窓と、ガス流路形成材における対向壁の外周に沿ってパージエアを流通させるパージエア流通機構と、パージエア流路を介してガス流路形成材における対向壁の一方と対向するよう配置された光源と、当該対向壁の他方と対向するよう配置された反射鏡と、光源から放射された光が反射鏡を介して入射する光検出センサとを備えてなり、
光源から放射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して反射鏡によって反射され、反射鏡によって反射された光が光通過用窓およびガス流路を通過して光検出センサに入射することを特徴とする。
【００１３】
本発明のオパシメータは、ガス流路形成材における対向壁の一方と対向するよう配置された反射鏡を備えており、光源から放射された光が複数の反射鏡を介して光検出センサに入射する構成を有するものであることが好ましい。
【００１４】
本発明のオパシメータは、パージエアー流通機構が、ガス流路形成材と連結するよう対向壁の各々と平行に設けられた、パージエア流路を画成する合計２個の筒状のパージエア流路形成材を有しており、光源、反射鏡および光検出センサが、パージエア流路形成材の各々における、ガス流路形成材における対向壁に対向する壁上に配置されているものであってもよい。
【００１５】
【作用】
本発明のオパシメータによれば、光源から放射された光が反射鏡を介して光検出センサに入射し、この光の経路がガス流路を通過する複数の光路によって構成されることから、ガス流路形成材の全長が小さくとも大きな有効光路長を得ることができると共に、光学系部材が検査対象ガスの排出口外方以外の位置に配置されることによって検査対象ガスによる光学系部材への汚染度が小さくなり、これにより、パージエア流通機構を小さくすることができることから、装置自体の小型化を図ることができる。また、光源から反射鏡に伸びる光路と、反射鏡から光検出センサに伸びる光路とが、ガス流路成形材の対向壁の一方に形成された異なる光通過用窓を通過するよう形成されることから、後方散乱が発生することに起因する弊害を抑制することができる。
従って、本発明のオパシメータによれば、信頼性の高い検知を行うことができると共に、装置自体の小型化を図ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明のオパシメータの構成の一例を示す説明図であり、図２は、図１のオパシメータの縦断面形状を示す説明図である。
このオパシメータ１０は、光源１１から放射された光が、検査対象ガス（被検査ガス）が流通するガス流路１７を通過すると共に複数（図の例においては５個）の反射鏡を介して光検出センサ１２に入射する構成を有しており、自動車に搭載されたディーゼルエンジンの排気ガスを被検査ガスとし、この排気ガス中における被検知体である微粒子の濃度を検知する装置として好適に用いられるものである。
【００１７】
オパシメータ１０は、一端（図１および図２において上端）に被検査ガスを導入するためのガス導入口２１Ａおよび他端（図１および図２において下端）にガス排出口２１Ｂが形成された、ガス流路１７を画成する角筒状のガス流路形成材２１と、当該ガス流路形成材２１における対向する第１の壁２２および第２の壁２３の各々に形成された貫通孔よりなる光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄおよび２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃとを備えており、当該ガス流路形成材２１に連結するよう平行に設けられており、光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄを介してガス流路１７に連通すると共にパージエアが流通する第１のパージエア流路１８を画成する角筒状の第１のパージエア流路形成材２６と、ガス流路形成材２１に連結するよう平行に設けられており、光通過用窓２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃを介してガス流路１７に連通すると共にパージエアが流通する第２のパージエア流路１９を画成する角筒状の第２のパージエア流路形成材２８と、第１のパージエア流路１８および第２のパージエア流路１９の各々において、第１の壁２２および第２の壁２３の外周に沿ってパージエアを流通するための２つのパージエア流路に共通のエア供給装置（図示せず）とを有するパージエア流通機構が設けられている。
【００１８】
第１のパージエア流路形成材２６には、ガス流路形成材２１における第１の壁２２に対向する壁２７上に、光源１１、合計２個の反射鏡１３Ａ、１３Ｂおよび光検出センサ１２がこの順に等間隔に配置されており、また、第２のパージエア流路形成材２８には、ガス流路部２１における第２の壁２３に対向する壁２９上に、合計３個の反射鏡１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃがこの順に等間隔で配置されている。
この図の例において、光源１１および光検出センサ１２は、各々、壁２７に形成されている貫通孔に挿入され、その一端部が外方に突出した状態で設けられている。
【００１９】
第１のパージエア流路形成材２６および第２のパージエア流路形成材２８には、各々、一端（図１および図２において上端）に、ガス流路形成材２１のガス導入口２１Ａと隣接する、パージエアを導入するためのエア導入口２６Ａ、２８Ａが形成されており、また、他端（図１および図２において下端）に、ガス流路形成材２１のガス排出口２１Ｂと隣接する、パージエアを排出するためのエア排出口２６Ｂ、２８Ｂが形成されている。
この図の例において、第１のパージエア流路形成材２６および第２のパージエア流路形成材２８は、ガス流路形成材２１の全長と同一の全長を有するものである。
【００２０】
このオパシメータ１０においては、光源１１から放射された光は、下記の放射光路３１、第１反射光路３２〜第４反射光路３５および入射光路３６がこの順に連続してなる経路に沿って光検出センサ１２に入射する。
そして、放射光路３１、入射光路３６および第１反射光路３２〜第４反射光路３５の各々は、ガス流路形成材２１におけるガス導入口２１Ａからガス排出口２１Ｂに向かって排気ガスが流通している状態のガス流路１７内において、排気ガスの流動方向（図１および図２において上下方向）に交差し、また、放射光路３１と、入射光路３６とが異なる光通過用窓を通過するよう形成されている。
【００２１】
「放射光路３１」とは、光源１１から光通過用窓２２Ａおよび光通過用窓２３Ａをこの順に通過して反射鏡１４Ａに向かって伸びる光路、
「第１反射光路３２」とは、反射鏡１４Ａから光通過用窓２３Ａおよび光通過用窓２２Ｂをこの順に通過して反射鏡１３Ａに向かって伸びる光路、
「第２反射光路３３」とは、反射鏡１３Ａから光通過用窓２２Ｂおよび光通過用窓２３Ｂをこの順に通過して反射鏡１４Ｂに向かって伸びる光路、
「第３反射光路３４」とは、反射鏡１４Ｂから光通過用窓２３Ｂおよび光通過用窓２２Ｃをこの順に通過して反射鏡１３Ｂに向かって伸びる光路、
「第４反射光路３５」とは、反射鏡１３Ｂから光通過用窓２２Ｃおよび光通過用窓２３Ｃをこの順に通過して反射鏡１４Ｃに向かって伸びる光路、
「入射光路３６」とは、反射鏡１４Ｃから光通過用窓２３Ｃおよび光通過用窓２２Ｄをこの順に通過して光検出センサ１２に向かって伸びる光路である。
【００２２】
光源１１としては、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）、レーザ照射装置などを用いることができ、また、光検出センサ１２としては、フォトダイオードなどを用いることができる。
【００２３】
ガス流路形成材２１としては、被検査ガスである排気ガスが高温なものであることから、例えばアルミニウム、ステンレスなどの耐熱性を有する材料よりなるものを好適に用いることができる。
また、第１のパージエア流路形成材２６および第２のパージエア流路形成材２８としては、ガス流路形成材２１と同一の材料よりなるものを用いることが好ましい。
【００２４】
光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄが形成されている第１の壁２２と、第１のパージエア流路形成材２６の壁２７に配置されている光学系部材（具体的には、光源１１、反射鏡１３Ａ、１３Ｂおよび光検出センサ１２）の各々との離間距離および光通過用窓２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃが形成されている第２の壁２３と、第２のパージエア流路形成材２８の壁２９に配置されている光学系部材（具体的には、反射鏡１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ）の各々との離間距離は、通常、５〜１００ｍｍであることが好ましい。
【００２５】
光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、および２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃの各々は、光源１１、反射鏡１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃおよび光検出センサ１２が配置される位置によって定められる光の経路を構成する各光路に適合する位置に形成され、また、通過する光路に適合した大きさを有するものである。
ここに、光通過用窓は、１つの光路が通過するものであってもよく、２つ以上の光路が通過するものであってもよい。
この図の例においては、光通過用窓２２Ａは、放射光路３１に専用のものであり、また光通過用窓２２Ｄは、入射光路３６に専用のものであるが、それ以外の光通過用窓２２Ｂ、２２Ｃ、および２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃの各々は、２つの光路に兼用のものである。
【００２６】
ガス流路形成材２１におけるガス流路１７内に形成される光路部分の長さ、具体的には、放射光路３１、第１反射光路３２〜第４反射光路３５および入射光路３６において、排気ガスが流通している状態のガス流路１７を通過する、すなわち排気ガス雰囲気中を通過する光に係る光路部分（有効光路）の総和長（以下、「総有効光路長」ともいう。）は、高い精度の微粒子濃度の検知を行うために、４００ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２７】
このような構成を有するオパシメータ１０は、検知動作中においては、光源１１から光が放射されており、また、ガス流路１７内には、ガス導入口２１Ａから被検査ガスである排気ガスが導入され、ガス排気口２１Ｂに向かって流通している状態となっており、光源１１から放射された光は、放射光路３１、第１反射光路３２〜第４反射光路３５、入射光路３６をこの順に経ることによって光検出センサ１２に入射するが、この光源１１から放射された光がガス流路１７を通過する過程において、排気ガス中に存在する微粒子の遮光作用によってその進行が阻害され、排気ガス中における微粒子濃度に対応して光検出センサ１２に入射する光量が減少することを利用し、光源１１から放射された光の光量に対する光検出センサ１２に入射する光の光量を測定することによって微粒子の濃度を検知することができる。
【００２８】
このような検知動作中においては、エア供給装置から第１のパージエア流路形成材２６における第１のパージエア流路１８および第２のパージエア流路形成材２８におけるパージエア流路１９に、各々、エア導入口２６Ａ、２８Ａを介して適宜の流量によってパージエアが流通され、エア排気口２６Ｂ、２８Ｂに向かって流通している。これにより、ガス流路１７を流通している状態の排気ガスの一部が貫通孔よりなる光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、および２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃの各々を介して外方に向かって流れ出すが、パージエアによってエアカーテンが形成されるため、光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、および２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃから流れ出す排気ガスが光学系部材に接触することを防止することができる。
ここに、パージエアの流動方向は、排気ガスの流動方向と同一方向であることが好ましい。
【００２９】
被検査ガスである排気ガスの流量は、例えばガス流路１７の大きさなどによって異なるものである。
【００３０】
パージエアの流量は、例えば形成されている光通過用窓の個数およびその大きさ、第１の壁２２および第２の壁２３と光学系部材との離間距離、排気ガスの流量などによって異なるが、通常、１〜５リットル／分であることが好ましい。
なお、第１のパージエア流路１８と、第２のパージエア流路１９との形状および大きさが同一である場合には、第１のパージエア流路１８におけるパージエアの流量と、第２のパージエア流路１９におけるパージエアの流量とは、同一であることが好ましい。
【００３１】
以上のオパシメータ１０によれば、下記（１）〜（３）の構成を有することから、装置自体の小型化を図ることができると共に、後方散乱が発生することに起因する弊害を抑制することができるため、信頼性の高い検知を行うことができると共に、装置自体の小型化を図ることができる。
【００３２】
（１）光源１１から放射された光が合計５個の反射鏡１３Ａ、１３Ｂ、および１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃを介して光検出センサ１２に入射し、その光の経路がガス流路１７を通過する合計６つの光路（放射光路３１、第１反射光路３２〜第４反射光路３５および入射光路３６）によって構成されていることから、当該オパシメータ１０における総有効光路長がガス流路形成材２１の全長のみに依存しないため、ガス流路形成材２１の全長が小さくとも大きな総有効光路長を得ることができる。
従って、ガス流路形成材２１の設計の自由度が大きくなり、ガス流路形成材２１の全長を小さくすることができる。
【００３３】
（２）光源１１、反射鏡１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃおよび光検出センサ１２などの光学系部材を、排気ガスが吹き出されるガス排出口２１Ｂの外方以外の位置であって、ガス流路形成材２１の第１の壁２２および第２の壁２３の各々に対向する位置に配置することができ、また、ガス流路形成材２１における光通過用窓２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄおよび２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃの各々から外方に流れ出す排気ガスの流量がガス排出口２１Ｂにおける排気ガスの流量に比して極めて小さいことから、排気ガスによる光学系部材への汚染度が小さくなるため、例えばパージエアの流量を小さくすること、または、第１の壁２２および第２の壁２３と光学系部材との離間距離を小さくすることなどによって第１のパージエア流路形成材２６および第２のパージエア流路形成材２８を小さくすることができる。
また、第１のパージエア流路１８および第２のパージエア流路１９の各々に、共通のエア供給装置によってパージエアを供給することにより、オパシメータ１０におけるパージエア流通機構を小型化することができる。
従って、パージエア流通機構の設計の自由度が大きくなり、パージエア流通機構を小さくすることができる。
【００３４】
（３）放射光路３１と、入射光路３６とが、各々、互いに異なる光通過用窓を通過するよう形成されており、これらの２つの光路が交差することがないため、光源１１から放射された光が後方散乱することによって発生した散乱光が光検出センサ１２に入射することを確実に抑制することができる。
また、入射光路３６と、当該入射光路３６と隣り合う第４反射光路とにおいても、これらの２つの光路が光源１１および光検出センサ１２と対向するガス流路形成材２１の第１の壁２２に形成された異なる光通過用窓を通過するものであることから、反射鏡１３Ｂに係る反射光によって後方散乱が発生することに起因する弊害を抑制することができる。
【００３５】
実際上、オパシメータ１０は、例えば４８０ｍｍの総有効光路長を有するものであっても、その外観形状を、例えば縦Ｓ１  １２０〜２００ｍｍ、横Ｓ２  １０〜５０ｍｍ、高さＳ３  ９０〜１５０ｍｍの寸法を有する小型のものとすることができることから、取り扱いが容易なものとなる。
【００３６】
このオパシメータ１０は、排気ガス中における微粒子濃度の検知の他、例えば吸光性微粒子のエアロゾル濃度の検知などに用いることができる可能性がある。
【００３７】
以上、本発明のオパシメータについて具体的に説明したが、本発明は以上の例に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えばオパシメータは、必要とされる総有効光路長を確保しつつガス流路形成材の全長を小さくすることができることから、反射鏡を複数用いてなる構成のものであることが好ましいが、１個の反射鏡を用いてなる構成のものであってもよい。この場合には、放射光路と、入射光路とは、少なくとも光源および光検出センサと対向する対向壁の一方に形成された異なる光通過用窓を通過するものであればよい。
【００３８】
また、オパシメータは、例えば図３に示すように、円筒状のガス流路形成材４２と、当該ガス流路形成材４２における対向する対向壁の各々に形成された貫通孔よりなる複数の光通過用窓４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ、４３Ｅおよび４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄと、ガス流路形成材４２における対向壁の各々に平行に設けられた、ガス流路形成材４２の全長より小さい全長を有する合計２個の半円筒状のパージエア流路形成材４５、４６とを備えてなるものであってもよい。
このオパシメータにおいては、光源１１から放射された光が合計７個の反射鏡４７Ａ、４７Ｂ、４７Ｃ、および４８Ａ、４８Ｂ、４８Ｃ、４８Ｄを介して光検出センサ１２に入射する。
図３において、４２Ａはガス導入口、４２Ｂはガス排出口、４５Ａおよび４６Ａはエア導入口、４５Ｂおよび４６Ｂはエア排出口を示し、一点鎖線は、光源１１から放射された光が光検出センサ１２に入射するまでの経路を示す。
【００３９】
【発明の効果】
本発明のオパシメータによれば、光源から放射された光が反射鏡を介して光検出センサに入射し、この光の経路がガス流路を通過する複数の光路によって構成されることから、ガス流路形成材の全長が小さくとも大きな有効光路長を得ることができると共に、光学系部材が検査対象ガスの排出口外方以外の位置に配置されることによって検査対象ガスによる光学系部材への汚染度が小さくなり、これにより、パージエア流通機構を小さくすることができることから、装置自体の小型化を図ることができる。また、光源から反射鏡に伸びる光路と、反射鏡から光検出センサに伸びる光路とが、ガス流路成形材の対向壁の一方に形成された異なる光通過用窓を通過するよう形成されることから、後方散乱が発生することに起因する弊害を抑制することができる。
従って、本発明のオパシメータによれば、信頼性の高い検知を行うことができると共に、装置自体の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のオパシメータの構成の一例を示す説明図である。
【図２】図１のオパシメータの縦断面形状を示す説明図である。
【図３】本発明のオパシメータの構成の他の例を示す説明用断面図である。
【図４】従来のオパシメータの構成の一例を示す説明用断面図である。
【図５】従来のオパシメータの構成の他の例を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
１０    オパシメータ
１１    光源
１２    光検出センサ
１３Ａ、１３Ｂ    反射鏡
１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ    反射鏡
１７    ガス流路
１８    第１のパージエア流路
１９    第２のパージエア流路
２１    ガス流路形成材
２１Ａ    ガス導入口
２１Ｂ    ガス排出口
２２    第１の壁
２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ    光通過用窓
２３    第２の壁
２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ    光通過用窓
２６    第１のパージエア流路形成材
２６Ａ    エア導入口
２６Ｂ    エア排出口
２７    壁
２８    第２のパージエア流路形成材
２８Ａ    エア導入口
２８Ｂ    エア排出口
２９    壁
３１    放射光路
３２    第１反射光路
３３    第２反射光路
３４    第３反射光路
３５    第４反射光路
３６    入射光路
４２    ガス流路形成材
４２Ａ    ガス導入口
４２Ｂ    ガス排出口
４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄ、４３Ｅ    光通過用窓
４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄ    光通過用窓
４５、４６    パージエア流路形成材
４５Ａ、４６Ａ    エア導入口
４５Ｂ、４６Ｂ    エア排出口
４７Ａ、４７Ｂ、４７Ｃ、４８Ａ、４８Ｂ、４８Ｃ、４８Ｄ    反射鏡
５１    ガス流路
５３    ガス流路形成材
５３Ａ    ガス導入口
５３Ｂ、５３Ｃ    ガス排出口
５４    光源
５５    光検出センサ
６１    ガス流路
６３    ガス流路形成材
６３Ａ    ガス導入口
６３Ｂ、６３Ｃ    ガス排出口
６５    光学系ユニット
６５Ａ    光源
６５Ｂ    光検出センサ
６７    反射鏡
【図１】
2004184119.tif 000003
【図２】
2004184119.tif 000004
【図３】
2004184119.tif 000005
【図４】
2004184119.tif 000006
【図５】
2004184119.tif 000007