(57)【要約】【課題】薄加工するウエハーが薄くなっても薄加工時のウエハー周辺部のめくれを防止でき、それによりウエハー周辺部の割れの発生を防止できるウエハー薄加工方法を提供すること。【解決手段】チップ回路を製作した表面側に保護テープ１４を貼付したウエハー１０を、保護テープ１４がウエハー１０と加工ステージ１６との間に介在するようにして加工ステージ１６上に載置し、そしてウエハー裏面側を研削して薄加工する方法であって、研削による薄加工の前に、ウエハー１０の表面側のベベル部（エッジ部）と保護テープ１４とを接着性材料１２で接着する工程を含む方法とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ回路を製作した表面側に保護テープを貼付したウエハーを、該保護テープがウエハーと加工ステージとの間に介在するようにして加工ステージ上に載置し、そしてウエハー裏面側を研削して薄加工する方法であって、研削による薄加工の前に、ウエハーの表面側のベベル部と保護テープとを接着する工程を含むことを特徴とするウエハー薄加工方法。
【請求項２】
前記接着を、ベベル部と保護テープとを接着した状態において０．１〜１００ＭＰａの弾性率を示す材料により行う、請求項１記載のウエハー薄加工方法。
【請求項３】
前記接着のための材料として、アクリル系ＵＶ硬化タイプの樹脂材料を使用する、請求項１又は２記載のウエハー薄加工方法。
【請求項４】
前記接着のための材料を前記ウエハーのベベル部に塗布してから前記保護テープに接着させる、請求項１から３までのいずれか１つに記載の方法。
【請求項５】
前記接着のための材料の塗布をインクジェット印刷又はディスペンサーを用いて行う、請求項４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハーの薄加工方法に関する。より詳しく言えば、本発明は、パターニング等の工程を経て所定のチップ回路の製作を終えたウエハーをチップにダイシングする前に、最終的なチップ製品の厚さとなるようウエハーを薄加工する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
チップ回路の製作を終えたウエハーの薄加工には、通常バックサイドグラインダーが使用される。バックサイドグラインダーは、ダイヤモンド等の砥粒を用いて製作された砥石であり、ウエハーはこの砥石の回転により所定の厚さに加工される（バックサイドグラインディングあるいは裏面研削と呼ばれる）。
【０００３】
ウエハーの通常のバックサイドグラインディング加工は、以下のようにして行われる。図２に示したように、枠部１０２ａの内側に多孔質の吸着部１０２ｂを有する吸着ステージ１０２の上に、チップ回路を製作した面（表面）に感圧タイプの保護テープ１０６を貼付したウエハー１０４を、保護テープ１０６を介して吸着部１０２ｂにより吸着されるように吸着ステージ１０２上に載置する。ウエハー１０４の周辺部は端面処理によりそれ以外の部分より一般に薄くなっており、この周辺部は図示のように保護テープ１０６に接着しない。
【０００４】
次に、ウエハー１０４の裏面（チップ回路を形成した表面を下にして吸着ステージ１０２に吸着された図２の状態では上側の面）に回転する砥石１０８を当てて、荒研削を行う。このときの研削条件は、６インチ（約１５ｃｍ）及び８インチ（約２０ｃｍ）のシリコンウエハーの場合に、例えば、砥石送り速度３μｍ／ｓ、砥石回転速度２４００ｒｐｍ、ステージ回転速度２００ｒｐｍである。続いて、例えば砥石送り速度１μｍ／ｓ、砥石回転速度２４００ｒｐｍ、ステージ回転速度２００ｒｐｍの条件で仕上げ研削を行い、更にポリッシュを行う。ポリッシュの条件は、例えば、圧力１５０ｇ／ｃｍ２（１４．７ｋＰａ）、バフ回転速度２８０ｒｐｍ、ステージ回転速度２４０ｒｐｍである。その後ウエハー１０２を吸着ステージから取り外し、保護テープ１０６を剥離する。
【０００５】
このような薄加工において、薄加工しようとするウエハーが厚い場合にはウエハー自体に剛性があるので問題にならないが、薄くなってくると研削時にウエハーが周辺部でめくれ上がり、割れやすくなってくる。これは、最終製品のチップの生産性を低下させる原因となり、好ましくない。
【０００６】
関連技術として、特許文献１には、ウエハー外周部の保護部材及びウエハーの研磨方法が記載されており、ウエハー外周部に取り外し可能に取り付けられて外周部を保護する保護部材を使ってウエハーを研磨する方法が示されている。保護部材は、保護層と接着剤層を有し、ウエハー外周部（外周端面とその近傍）にウエハーの直径方向に剥離可能に接着される。
【０００７】
特許文献２には、研磨終了後のウエハー外周部の厚さが薄くなること（「周辺ダレ」）を防止する方法として、保持プレートに貼着する際のウエハーに塗布する接着剤の厚さを、ウエハーの外周部においてその内側部より薄くなるようにする方法が記載されている。
【０００８】
特許文献３には、やはり研磨終了後のウエハーの周辺ダレを防止する方法が記載されており、この方法では、ウエハーに塗布するワックスの厚さを、外周部においてその内側部より薄くなるようにする方法が記載されている。
【０００９】
特許文献４にも、研磨終了後のウエハーの周辺ダレを防止する技術が記載されており、それによれば、研磨時にウエハーの外周部周辺にその内側部分に加わる以上の研磨圧が加わったときに、ウエハーの外周部が研磨圧の大きさに応じて湾曲変形するようにすることにより、ウエハーの周辺ダレを防止している。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−９３８６７号公報
【特許文献２】
特開２００１−１８９２９２号公報
【特許文献３】
特開２００２−１１０６０１号公報
【特許文献４】
特開２００２−２６４００８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、薄加工するウエハーが薄くなっても薄加工時のウエハー周辺部のめくれを防止でき、それによりウエハー周辺部の割れの発生を防止できるウエハー薄加工方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のウエハー薄加工方法は、チップ回路を製作した表面側に保護テープを貼付したウエハーを、該保護テープがウエハーと加工ステージとの間に介在するようにして加工ステージ上に載置し、そしてウエハー裏面側を研削して薄加工する方法であって、研削による薄加工の前に、ウエハーの表面側のベベル部（エッジ部）と保護テープとを接着する工程を含むことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のウエハー薄加工方法では、研削によるウエハーの薄加工の前に、チップ回路を形成したウエハーの表面側のベベル部を、この表面側に貼付する保護テープと接着させる。これにより、加工するウエハーが薄い場合においても、回転砥石による研削時のウエハー周縁部のめくれを防止でき、その部分におけるウエハーの割れを防止できる。
【００１４】
ウエハーベベル部の保護テープへの接着は、接着性材料を用いて行うことができる。接着性材料としては、任意の材料が使用可能であるが、ベベル部と保護テープとを接着した状態において０．１〜１００ＭＰａ程度、好ましくは１０ＭＰａ程度の弾性率を示す材料を使用するのが好適である。弾性率が０．１ＭＰａより低くなると、加工時にウエハーが動き易くなってウエハーにダメージが加り、１００ＭＰａより高くなると、加工時の応力を吸収できず、ウエハーにダメージが入り易くなるため好ましくない。
【００１５】
本発明の方法において使用するのに好適な接着性材料の一例は、アクリル系ＵＶ硬化タイプの樹脂材料である。アクリル系の熱硬化タイプの接着性材料も使用可能であるが、ＵＶ硬化タイプの方が硬化するのが簡単である。
【００１６】
接着性材料は、ウエハーベベル部又は保護テープの対応部分のいずれに塗布してもよい。とは言え、保護テープは場合により寸法変化を起こすことがあり、ウエハーベベル部との関係において接着性材料の位置がずれてしまう可能性があるので、接着性材料は一般にはウエハーベベル部に塗布する方が好ましい。
【００１７】
接着性材料は、利用可能な任意の方法で塗布することができる。例えばアクリル系材料のような有機の接着性材料を使用する場合、インクジェット印刷法、あるいはディスペンサーによる塗布方法などを利用することができる。
【００１８】
ウエハーの研削とポリッシュの終了後、保護テープを剥離する。このときに、接着性材料は保護テープとともにウエハーから除去されてもよく、あるいは一部分又は実質的に全部がウエハー側に残ってもよい。
【００１９】
本発明の方法で薄加工することができるウエハーの代表はシリコンウエハーであるが、この方法はそのほかの半導体ウエハーの薄加工に適用することも可能である。
【００２０】
ウエハーの表面側のベベル部と保護テープとを接着すること以外は、本発明のウエハー薄加工方法は従来のものと同様に実施することができ、それらについてここで詳しく説明するには及ばない。また、本発明をより具体的に例示するため、下記の実施例が提示される。
【００２１】
【実施例】
ここでは、６インチ（約１５ｃｍ、厚さ６２５μｍ）又は８インチ（約２０ｃｍ、厚さ７５０μｍ）のシリコンウエハーの薄加工の例を説明する。
【００２２】
図１（ａ）に示したように、ウエハー１０のチップ回路形成面のベベル部の全周に、硬化後の弾性率が約１０ＭＰａとなるアクリル系のＵＶ硬化タイプの接着性樹脂材料１２を、幅４０μｍ、高さ２０μｍ程度になるよう、インクジェット印刷法により塗布する。次に、図１（ｂ）に示したように、ウエハー１０のチップ回路形成面に感圧タイプの保護テープ１４を貼付し、このときにベベル部の樹脂材料１２を平らに延ばす。主波長３６５ｎｍの紫外光を１２００ｍＪ／ｃｍ２の照射量で照射して樹脂材料１２を硬化させる。
【００２３】
次いで、保護テープ１４を貼付した側を下にしてウエハー１０を吸着ステージ１６上に配置し、砥石１８により、砥石送り速度３μｍ／ｓ、砥石回転速度２４００ｒｐｍ、ステージ回転速度２００ｒｐｍの条件でウエハー１０の裏面側を荒研削する。続いて、砥石送り速度０．５μｍ／ｓ、砥石回転速度２４００ｒｐｍ、ステージ回転速度２００ｒｐｍの条件で仕上げ研削する。研削終了後、圧力１５０ｇ／ｃｍ２（１４．７ｋＰａ）、バフ回転速度２８０ｒｐｍ、ステージ回転速度２４０ｒｐｍの条件でポリッシュを行う。次いで、ウエハー１０をステージ１６から取り外し、保護テープ１４を剥離して、周辺部に割れのない、厚さ１０μｍに薄加工されたシリコンウエハーが得られる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、薄いウエハーに対しても周辺部で割れの生じない薄加工を施すことが可能になり、ウエハーから製作されるチップの生産性の向上に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるシリコンウエハーの薄加工を説明する図である。
【図２】シリコンウエハーの従来の薄加工を説明する図である。
【符号の説明】
１０…シリコンウエハー
１２…接着性樹脂材料
１４…保護テープ
１６…吸着ステージ
１８…砥石
１０２…吸着ステージ
１０４…ウエハー
１０６…保護テープ
１０８…砥石
【図１】
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【図２】
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