(57)【要約】【課題】スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る技術を提供する。【解決手段】研磨体１０を構成する母材樹脂１２はアルキル鎖２２を介して主鎖１６に結合したキレート配位子２０を備えたキレート樹脂である為、立体構造障害の影響を受け難く研磨液中に遊離する微細な金属粒子乃至金属イオンを捕捉し易いことに加え、親水基１８を備えたものである為、かかるキレート配位子２０の周囲に潤沢な水がもたらされることにより優れたキレート形成能力が得られる。また、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満である研磨粒子１４を５重量％以上６０重量％未満の割合で含んでいる為、上記母材樹脂１２そのものに付与される研磨性能と相俟って十分な研磨能力が得られる。すなわち、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る研磨体１０を提供することができる。【選択図】　図２
2004055732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
母材樹脂および多数の研磨粒子を備えて円板状に形成され、専らＣＭＰ法による研磨加工に用いられる研磨体であって、
前記母材樹脂は親水基と、アルキル鎖を介して主鎖に結合したキレート配位子とを備えたキレート樹脂であり、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満である研磨粒子を５重量％以上６０重量％未満の割合で含んでいることを特徴とする研磨体。
【請求項２】
前記研磨体は酸化剤または還元剤を含むものである請求項１の研磨体。
【請求項３】
前記研磨体は酸化作用あるいは還元作用を有する光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものである請求項１または２の研磨体。
【請求項４】
定盤上に貼られた円板状の研磨体に被研磨体を押しつけて、それらの間に研磨液を供給しつつ相対回転させる形式の研磨加工方法であって、
前記研磨体として請求項１から３の何れかの研磨体を用い、常時機械的にあるいは化学的に前記母材樹脂を破壊しつつ、前記研磨体と被研磨体との間に供給されて研磨加工に用いられた研磨液を回収し且つ濾過して再び研磨液として供給することを特徴とする研磨加工方法。
【請求項５】
前記研磨体として請求項３の研磨体を用い、該研磨体に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光を照射するものである請求項４の研磨加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば半導体ウェハのＣＭＰ法による研磨加工などに好適に用いられる研磨体およびその研磨体を用いた研磨加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、超ＬＳＩの製造では半導体ウェハに多数のチップを形成し、最終工程で各チップサイズに切断するという製法が採られている。最近では超ＬＳＩの製造技術の向上に伴い集積度が飛躍的に向上し、配線の多層化が進んでいる為、各層を形成する工程においては、半導体ウェハ全体の平坦化（グローバルプラナリゼーション）が要求される。そのような半導体ウェハ全体の平坦化を実現する手法のひとつとして、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）法という研磨加工方法が挙げられる。このＣＭＰ法とは、定盤上に貼られた不織布あるいは発泡パッドなどの研磨パッドにウェハを押しつけて強制回転させ、そこに微細な研磨粒子（遊離砥粒）を含有したスラリ（細かい粉末がたとえば酸性水溶液などの液体中に分散している濃厚な懸濁液）を流して研磨をおこなうものである。かかるＣＭＰ法によれば、液体成分による化学的研磨と、遊離砥粒による機械的研磨との相乗効果によって精度の高い研磨加工がおこなわれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、そのような従来のＣＭＰ法では、定常的にスラリを研磨パッドに供給しつつ研磨加工をおこなうものであり、いきおいスラリの消費がかさむものであった。使用済みのスラリには産業廃棄物としての処理が求められる為、廃棄に無視できない費用がかかることに加え、環境保護の観点からも好ましくなかった。また、ＣＭＰ法による研磨加工において最もコストがかかるのは、スラリに含まれる研磨粒子であり、さらには、必ずしもスラリに含まれる研磨粒子のすべてが研磨加工に関与するわけではなく、多数の研磨粒子が無駄に廃棄される為、非経済的であるという不具合があった。その為、スラリを用いないＣＭＰ法による研磨加工を実現する技術の開発が求められるようになってきた。
【０００４】
本発明者は、スラリを用いないＣＭＰ法による研磨加工を実現する技術を開発すべく鋭意研究を継続する中で、所定の割合で研磨粒子を含むキレート樹脂を母材樹脂とした研磨体を用いることで、好適な研磨加工をおこない得るのではないかと考えるに至った。ＣＭＰ法による研磨加工に際して研磨液中に遊離する微細な金属粒子乃至金属イオンをキレート配位子により捕捉することで、そのキレート配位子を備えた母材樹脂そのものが研磨性能を呈することが期待されるのである。
【０００５】
これまでに、特開平１１−１８８６４７号公報に記載された研磨体のように、研磨材を可撓性支持体の上にキレート樹脂で固定した研磨体が提案されているが、かかる研磨体は研磨性能の向上を目的とするものではないことに加えて、キレート樹脂のキレート形成機能が比較的短時間で飽和してしまう為、帯状の研磨体を送りながら用いて研磨面を連続的に入れ替えつつ研磨加工をおこなえば研磨性能の向上も期待できるが、前述のように定盤上に貼られた状態で用いられる場合には直ぐに金属イオンを捕捉する機能が低下してしまう。また、研磨粒子の目潰れおよび目零れ、あるいは研磨体の目詰まりが発生し易く、そうした場合には研磨性能が低下したり被研磨体の表面性状が悪化したりといった不具合が生じる。さらに、使用後の上記帯状の研磨体には産業廃棄物としての処理が求められる為、廃棄コストが嵩むことに加えて環境保護の観点からも問題がある。
【０００６】
また、特開２００１−１３８２１３号公報に記載された金属用研磨布およびそれを用いた研磨方法のように、キレート樹脂そのものに研磨性能を付与するように金属イオンを捕捉するものも提案されているが、かかる金属用研磨布に関してもキレート樹脂のキレート形成機能が比較的短時間で飽和してしまう為、研磨加工を所定時間継続しておこなう場合には直ぐに研磨能率が低下してしまい実用に耐えない。また、キレート配位子が主鎖に直接結合したキレート樹脂を用いている為、立体構造障害の影響を受け易く研磨液中に遊離する微細な金属粒子乃至金属イオンを捕捉し難いことに加え、主鎖が疎水性である場合にはキレート配位子の周囲に水がもたらされない為、キレート形成能力が比較的弱く、キレート樹脂そのものに十分な研磨性能を付与できない。そのような理由から、結果的にスラリを併用しなければならなかった。すなわち、前記研磨体の母材樹脂としてキレート樹脂を用いた種々の研磨体が提案されているが、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工を実現する技術は未だ開発されていないのが現状である。
【０００７】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る技術を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための第１の手段】
かかる課題を解決する為に、本第１発明の要旨とするところは、母材樹脂および多数の研磨粒子を備えて円板状に形成され、専らＣＭＰ法による研磨加工に用いられる研磨体であって、前記母材樹脂は親水基と、アルキル鎖を介して主鎖に結合したキレート配位子とを備えたキレート樹脂であり、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満である研磨粒子を５重量％以上６０重量％未満の割合で含んでいることを特徴とするものである。
【０００９】
【第１発明の効果】
このようにすれば、前記研磨体を構成する母材樹脂はアルキル鎖を介して主鎖に結合したキレート配位子を備えたキレート樹脂である為、立体構造障害の影響を受け難く研磨液中に遊離する微細な金属粒子乃至金属イオンを捕捉し易いことに加え、親水基を備えたものである為、かかるキレート配位子の周囲に潤沢な水がもたらされることにより優れたキレート形成能力が得られる。また、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満である研磨粒子を５重量％以上６０重量％未満の割合で含んでいる為、前記母材樹脂そのものに付与される研磨性能と相俟って十分な研磨能力が得られる。すなわち、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る研磨体を提供することができる。なお、前記研磨粒子が５重量％以下である場合には十分な研磨能力が得られず、６０重量％以上である場合には被研磨体にスクラッチ傷が入り易くなる。
【００１０】
【第１発明の他の態様】
ここで、好適には、前記研磨体は酸化剤または還元剤を含むものである。このようにすれば、前記研磨体そのものに含まれた酸化剤または還元剤が研磨加工に際して供給される研磨液に溶け出すことにより、ＣＭＰ法における液体成分による化学的研磨に寄与するという利点がある。
【００１１】
また、好適には、前記研磨体は酸化作用あるいは還元作用を有する光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものである。このようにすれば、前記研磨体そのものに１重量％以上６０重量％未満の割合で含まれた光触媒が研磨加工に際して供給される研磨液に作用することにより、ＣＭＰ法において前記研磨体に光を照射することで液体成分による化学的研磨性能が向上し、研磨液として水を用いても十分な研磨性能が得られるという利点がある。なお、前記光触媒が１重量％以下である場合には酸化作用あるいは還元作用が生じ難く、６０重量％以上である場合には被研磨体にスクラッチ傷が入り易くなる。
【００１２】
【課題を解決するための第２の手段】
また、前記課題を解決するために、本第２発明の要旨とするところは、定盤上に貼られた円板状の研磨体に被研磨体を押しつけて、それらの間に研磨液を供給しつつ相対回転させる形式の研磨加工方法であって、前記研磨体として前記第１発明の研磨体を用い、常時機械的にあるいは化学的に前記母材樹脂を破壊しつつ、前記研磨体と被研磨体との間に供給されて研磨加工に用いられた研磨液を回収し且つ濾過して再び研磨液として供給することを特徴とするものである。
【００１３】
【第２発明の効果】
このようにすれば、前記研磨体として前記第１発明の研磨体を用いている為、研磨加工に際して前記母材樹脂そのものが優れた研磨能力を示すことに加え、常時機械的にあるいは化学的に前記母材樹脂を破壊しつつ研磨加工をおこなうものである為、前記研磨体に絶えず新しい研磨面が表出してその母材樹脂のキレート形成能力が低下せずに保たれる。また、前記研磨体と被研磨体との間に供給されて研磨加工に用いられた研磨液を回収し且つ濾過して再び研磨液として供給するものである為、廃棄コストが少なくて済むことに加えて環境保護の観点からも好ましい。すなわち、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る前記研磨体を用いた好適な研磨加工方法を提供することができる。
【００１４】
【第２発明の他の態様】
ここで、好適には、前記研磨体は酸化作用あるいは還元作用を有する光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものであり、その研磨体に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光を照射するものである。このようにすれば、前記研磨体そのものに１重量％以上６０重量％未満の割合で含まれた光触媒がＣＭＰ法による研磨加工に際して供給される研磨液に作用し、その研磨体に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光を照射することで液体成分による化学的研磨性能が向上し、研磨液として水を用いても十分な研磨性能が得られるという利点がある。
【００１５】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施例である研磨体１０を示す斜視図である。この図に示すように、かかる研磨体１０は、母材樹脂１２および多数の研磨粒子１４を備えてその寸法がたとえば４５０ｍｍφ×ｔ５ｍｍ程度の円板状に形成されたものであり、後述するように、図３に示す研磨加工装置１８の研磨定盤２０に貼り付けられて、専らＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）法による研磨加工に用いられるものである。
【００１７】
上記母材樹脂１２としては、たとえば６重量部のビスフェノール系エポキシ主剤と、２重量部の脂環式アミン系硬化剤と、２重量部の直鎖２官能エポキシおよびイミノ２酢酸とを混合して加熱することにより得られるキレート樹脂などが好適に用いられる。図２は、かかるキレート樹脂における一部の構成を模式的に示す図であり、（ａ）は親水基がアルキル鎖の中途に設けられた構成例、（ｂ）は親水基がアルキル鎖の側鎖を成す構成例、（ｃ）は親水基がアルキル鎖の中途に設けられた構成と、アルキル鎖の側鎖を成す構成とが組み合わされた構成例である。この図に示すように、上記キレート樹脂は親水基（静電的相互作用や水素結合などによって水分子と弱い結合をつくり、水に対して親和性を示すヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、カルボニル基、スルホ基などの官能基や、エステル、アミド、エーテル、ケトン構造）１８と、アルキル鎖（一般式ＣｎＨ２ｎで表わされる鎖状原子団）２２を介して主鎖１６に結合したキレート配位子（金属イオンなどとキレート結合を形成することができる官能基）２０とを備えたものであり、金属粒子乃至金属イオンをそのキレート配位子２０により捕捉することで、前記母材樹脂１２そのものに研磨性能が付与されるものと考えられる。ここで、好適には、上記母材樹脂１２はたとえば過酸化水素などの酸化剤または還元剤を含むものであり、さらに好適には、酸化作用あるいは還元作用を有するたとえば酸化チタンなどの光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものである。また、上記研磨粒子１４は、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満であるたとえば球状シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア、二酸化マンガンなどであり、上記研磨体１０に５重量％以上６０重量％未満の割合で含まれている。
【００１８】
前記研磨体１０は、たとえば次のようにして製造される。すなわち、先ずキレート樹脂の原料である上記所定の樹脂材料が混合および加熱されることにより、上記母材樹脂１２を構成するキレート樹脂が形成される。次にそのようにして形成されたキレート樹脂が硬化しないうちに上記酸化剤または還元剤、光触媒、および研磨粒子がそのキレート樹脂に投入されて混合および撹拌される。続いてその混合原料が所定の型に注型されて常温で硬化させられることにより、本実施例の研磨体１０が製造される。
【００１９】
図３は、前記研磨体１０が用いられるＣＭＰ法による研磨加工装置２４の大まかな構成を示す図であり、（ａ）は研磨定盤２６の軸心方向から見た平面図、（ｂ）は正面図である。この図に示すように、かかる研磨加工装置２４では、研磨定盤２６がその軸心まわりに回転可能に支持された状態で設けられており、その研磨定盤２６は、図示しない定盤駆動モータにより、図に矢印で示す１回転方向へ回転駆動されるようになっている。この研磨定盤２６の上面すなわち被研磨体が押しつけられる面には、本実施例の研磨体１０が貼り付けられている。一方、上記研磨定盤２６の近傍には、被研磨体を保持する為のワーク保持部材２８がその軸心まわりに回転可能、その軸心方向に移動可能に支持された状態で配置されており、そのワーク保持部材２８は、図示しないワーク駆動モータにより図に矢印で示す１回転方向へ回転駆動されるようになっている。かかるワーク保持部材２８の下面すなわち上記研磨体１０と対向する面には吸着層３０を介して被研磨体であるウェハ３２が吸着保持される。また、所定の弾性を備えた合成樹脂などから成る仕切板３４が、研磨体１０の中心を通り径方向に横断するように接触させられており、その仕切板３４を挟んでワーク保持部材２８側に第１ノズル３６が、反対側に第２ノズル３８がそれぞれ配置されている。また、前記研磨定盤２６の軸心に平行な軸心まわりに回転可能、その軸心方向および前記研磨定盤２６の径方向に移動可能に配置された調整工具保持部材４０と、その調整工具保持部材４０の下面すなわち前記研磨体１０と対向する面に取り付けられた研磨体調整工具４２とが設けられている。
【００２０】
図４は、前記研磨体１０を用いてＣＭＰ法による研磨加工をおこなう工程を示す工程図である。図３および図４に示すように、ＣＭＰ法による研磨加工に際しては、先ず研磨液供給工程Ｓ１において、上記研磨定盤２６およびそれに貼り付けられた研磨体１０と、ワーク保持部材２８およびそれに吸着保持されたウェハ３２とが、上記定盤駆動モータおよびワーク駆動モータによりそれぞれの軸心まわりに回転駆動された状態で、上記第１ノズル３６および第２ノズル３８から、たとえば酢酸水溶液などの研磨液が上記研磨体１０の表面上に供給されつつ、ワーク保持部材２８に吸着保持されたウェハ３２がその研磨体１０に押しつけられる。そうすることにより、上記ウェハ３２の被研磨面すなわち上記研磨体１０に対向する面が、かかる研磨液による化学的研磨作用と、上記研磨体１０により自己供給された研磨粒子１４および金属イオンを捕捉して研磨性能が付与された母材樹脂１２による機械的研磨作用とによって平坦に研磨される。
【００２１】
上記研磨液供給工程Ｓ１と前後して、研磨体微量破壊工程Ｓ２において、前記研磨体１０が微量ずつ破壊される。かかる微量破壊は、前記調整工具保持部材４０およびそれに取り付けられた研磨体調整工具４２が、図示しない調整工具駆動モータにより回転駆動された状態で前記研磨体１０に押しつけられ、必要に応じて前記研磨定盤２６の径方向に往復移動させられることにより機械的に、および前記第２ノズル３８から供給される研磨液によって化学的に破壊するものであり、研磨加工に際して常時継続しておこなわれる。ここで、図５に示すように、前記研磨加工装置２４には前記第１ノズル３６および第２ノズル３８からそれぞれ供給される研磨液のｐＨを調整するｐＨ調整器４４が備えられており、前記第１ノズル３６からは被研磨体であるウェハ３２の研磨加工に適したたとえばｐＨ４程度の研磨液が、前記第２ノズル３８からは前記研磨体１０の母材樹脂１２を化学的に微量ずつ破壊するのに適したたとえばｐＨ１程度の研磨液がそれぞれ供給されるようになっている。かかる研磨体微量破壊工程Ｓ２により、前記研磨体１０の母材樹脂１２が微量ずつ破壊される為、絶えず新しい研磨面が表出してその母材樹脂１２のキレート形成能力が低下せずに保たれるのである。
【００２２】
また、前記研磨液供給工程Ｓ１および研磨体微量破壊工程Ｓ２と前後して、光照射工程Ｓ３において、図３（ｂ）に示すように前記研磨体１０に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光が照射される。かかる研磨体１０は、前述のように、酸化作用あるいは還元作用を有するたとえば酸化チタンなどの光触媒を含むものである為、そのように照射される光は前記光触媒に酸化作用あるいは還元作用を生じさせて前記第１ノズル３０から供給される研磨液に作用し、ＣＭＰ法における液体成分による化学的研磨性能が向上する。
【００２３】
また、前記研磨液供給工程Ｓ１、研磨体微量破壊工程Ｓ２、および光照射工程Ｓ３と前後して、研磨液回収工程Ｓ４において、前記研磨体１０と被研磨体であるウェハ３２との間に供給されて研磨加工に用いられた研磨液が回収される。ここで、図５に示すように、前記研磨加工装置２４には回収された研磨液を濾過する為のたとえば孔径０．１μｍφ程度のフィルタ４６が備えられており、上記研磨液回収工程Ｓ４において回収された研磨液は、研磨液濾過工程Ｓ５において、かかるフィルタ４６により濾過されて研磨屑などの不要物が除去された後、前述のｐＨ調整器４４に送られる。そしてそのｐＨ調整器４４によりｐＨを調整されて前記第１ノズル３６および第２ノズル３８から供給されることにより、再び研磨加工に用いられるのである。
【００２４】
次に、本発明の効果を検証する為に本発明者がおこなった研磨試験について説明する。かかる研磨試験においては、６重量部のビスフェノール系エポキシ主剤と、２重量部の脂環式アミン系硬化剤と、２重量部の直鎖２官能エポキシおよびイミノ２酢酸とを混合して加熱することにより得られるキレート樹脂を４５重量％の割合で、平均粒径が０．３μｍの球状シリカを５５重量％の割合で含む本発明の実施例試料１と、６重量部のビスフェノール系エポキシ主剤と、２重量部の脂環式アミン系硬化剤と、２重量部の直鎖２官能エポキシおよびイミノ２酢酸とを混合して加熱することにより得られるキレート樹脂を４５重量％の割合で、平均粒径が０．３μｍの球状シリカを４０重量％の割合で、平均粒径が０．３μｍの酸化チタン粉末を１５重量％の割合で含む本発明の実施例試料２と、スラリを用いた従来のＣＭＰ法に使用される発泡ウレタンパッドである比較例試料とを用意し、それぞれの試料を用いて研磨加工をおこなった。それらの試料は外径４５０ｍｍφ×厚さｔ５ｍｍ程度の寸法を備えたものであった。以下にその研磨試験の試験条件および試験結果を示す。
【００２５】
［試験条件］
ルブリカント：過酸化水素１０重量％水溶液
スラリ：８０ｎｍシリカ１２重量％含有　過酸化水素１０重量％水溶液およびｐＨ３酢酸水溶液の混合液
ワーク１：銅板（１５０ｍｍφ×ｔ１．０ｍｍ）
ワーク２：０．５μｍの溝を銅鍍金で埋めたシリコンウェハ（１５０ｍｍφ×ｔ０．６ｍｍ）
ワーク回転数：６０ｒｐｍ［１ｓ−１］
研磨定盤回転数：６０ｒｐｍ［１ｓ−１］
加工面圧：３００ｇｆ／ｃｍ２［２９．４ｋＰａ］
研磨液量：５００ｍｌ／ｍｉｎ［８．３ｃｍ３／ｓ］
その他：比較例試料２には波長３６５ｎｍの光を照射しつつ研磨加工をおこなった
2004055732.tif 000003
【００２６】
かかる試験結果から、研磨液として水を用い且つ研磨体として実施例試料１を用いたもので若干研磨能率が劣る他は、本発明の実施例試料１または２を用いた研磨加工では、研磨液としてスラリを用い且つ研磨体として発泡ウレタンパッドを用いた従来のＣＭＰ法による研磨加工と同程度もしくはより優れた研磨能率を示すことが確認された。また、ワーク２のシリコンウェハに形成された０．５μｍの溝に埋められた銅鍍金の凹み量を示すディッシング量に関しては、本発明の実施例試料１または２を用いた研磨加工の何れも従来のＣＭＰ法による研磨加工より少なくて済み、より優れた表面性状が得られることが確認された。さらには、研磨体として実施例試料２を用い且つ波長３６５ｎｍの光を照射しつつ研磨加工をおこなったものでは、研磨液として水を用いても研磨能率、ディッシング量共に従来のＣＭＰ法による研磨加工より優れた結果が得られることが確認された。すなわち、本発明の研磨体およびその研磨体を用いた研磨加工方法によれば、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得ることが検証された。
【００２７】
このように、本実施例によれば、前記研磨体１０を構成する母材樹脂１２はアルキル鎖２２を介して主鎖１６に結合したキレート配位子２０を備えたキレート樹脂である為、立体構造障害の影響を受け難く研磨液中に遊離する微細な金属粒子乃至金属イオンを捕捉し易いことに加え、親水基１８を備えたものである為、かかるキレート配位子２０の周囲に潤沢な水がもたらされることにより優れたキレート形成能力が得られる。また、平均粒径が１ｎｍ以上１μｍ未満である研磨粒子１４を５重量％以上６０重量％未満の割合で含んでいる為、前記母材樹脂１２そのものに付与される研磨性能と相俟って十分な研磨能力が得られる。すなわち、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る研磨体１０を提供することができる。
【００２８】
また、前記研磨体１０は酸化剤または還元剤を含むものである為、前記研磨体１０そのものに含まれた酸化剤または還元剤が研磨加工に際して供給される研磨液に溶け出すことにより、ＣＭＰ法における液体成分による化学的研磨に寄与するという利点がある。
【００２９】
また、前記研磨体１０は酸化作用あるいは還元作用を有する光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものである為、前記研磨体１０そのものに１重量％以上６０重量％未満の割合で含まれた光触媒が研磨加工に際して供給される研磨液に作用することにより、ＣＭＰ法において前記研磨体１０に光を照射することで液体成分による化学的研磨性能が向上し、研磨液として水を用いても十分な研磨性能が得られるという利点がある。
【００３０】
また、本実施例によれば、前記研磨体１０を用いている為、研磨加工に際して前記母材樹脂１２そのものが優れた研磨能力を示すことに加え、研磨体微量破壊工程Ｓ２において常時機械的にあるいは化学的に前記母材樹脂１２を破壊しつつ研磨加工をおこなうものである為、前記研磨体１０に絶えず新しい研磨面が表出してその母材樹脂１２のキレート形成能力が低下せずに保たれる。また、研磨液供給工程Ｓ１において前記研磨体１０と被研磨体であるウェハ３２との間に供給されて研磨加工に用いられた研磨液を研磨液回収工程Ｓ４において回収し、続く研磨液濾過工程Ｓ５において濾過して、再び研磨液供給工程Ｓ１において研磨液として供給するものである為、従来のスラリを用いたＣＭＰ法による研磨加工に比べて廃棄物を１／１００〜１／１０に削減することができ、廃棄コストが少なくて済むことに加えて環境保護の観点からも好ましい。すなわち、スラリを用いずともＣＭＰ法による好適な研磨加工をおこない得る前記研磨体１０を用いた好適な研磨加工方法を提供することができる。
【００３１】
また、前記研磨体１０は酸化作用あるいは還元作用を有する光触媒を１重量％以上６０重量％未満の割合で含むものであり、光照射工程Ｓ３においてその研磨体に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光を照射するものである為、前記研磨体１０そのものに１重量％以上６０重量％未満の割合で含まれた光触媒がＣＭＰ法による研磨加工に際して供給される研磨液に作用し、その研磨体１０に波長が２００ｎｍ以上６００ｎｍ未満である光を照射することで液体成分による化学的研磨性能が向上し、研磨液として水を用いても十分な研磨性能が得られるという利点がある。
【００３２】
以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、さらに別の態様においても実施される。
【００３３】
たとえば、前述の実施例では、前記研磨体１０は半導体ウェハの研磨加工に用いられていたが、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば金属材料の表面超仕上加工など、様々な被研磨材のＣＭＰ法による研磨加工に広く用いられるものである。
【００３４】
また、前述の実施例では、前記母材樹脂１２の主鎖としてエポキシ系樹脂が用いられていたが、たとえば主鎖としてアクリル系樹脂などを用いたキレート樹脂であっても構わない。前記母材樹脂１２は、ビスフェノール系エポキシ主剤と、脂環式アミン系硬化剤と、直鎖２官能エポキシおよびイミノ２酢酸とを混合して加熱することにより得られるキレート樹脂であったが、これはあくまで本発明の好適な実施例に過ぎず、たとえば被研磨体の性状などに応じて様々なキレート樹脂が適宜選択されて用いられる。
【００３５】
また、前述の実施例では、前記研磨体１０は酸化剤として過酸化水素を含むものであったが、これはたとえば硝酸鉄またはヨウ素酸カリウムなどであっても構わない。すなわち、ＣＭＰ法による研磨加工に際して研磨液に溶け出してその化学的研磨に寄与する酸化剤または還元剤であればその種類は問わない。
【００３６】
また、前述の実施例では、前記研磨体１０は光触媒として酸化チタン粉末を含むものであったが、これはたとえばシリコン半導体またはジルコニアなどであっても構わない。すなわち、酸化作用あるいは還元作用を有し、ＣＭＰ法による研磨加工に際して研磨液の化学的研磨に寄与するものであればその種類は問わない。
【００３７】
また、前述の実施例では特に説明していないが、前記母材樹脂１２の主鎖１６は前記アルキル鎖２２のみならず、たとえば親水基を備えた他のアルキル鎖など様々な側鎖を備えたものであっても当然に構わない。
【００３８】
その他一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である研磨体を示す斜視図である。
【図２】図１の研磨体の母材樹脂における一部の構成を模式的に示す図であり、（ａ）は親水基がアルキル鎖の中途に設けられた構成例、（ｂ）は親水基がアルキル鎖の側鎖を成す構成例、（ｃ）は親水基がアルキル鎖の中途に設けられた構成と、アルキル鎖の側鎖を成す構成とが組み合わされた構成例である。
【図３】図１の研磨体が用いられるＣＭＰ法による研磨加工装置の大まかな構成を示す図であり、（ａ）は研磨定盤の軸心方向から見た平面図、（ｂ）は正面図である。
【図４】図１の研磨体を用いてＣＭＰ法による研磨加工をおこなう工程を示す工程図である。
【図５】図３の研磨加工装置を用いたＣＭＰ法による研磨加工における研磨液の循環を説明する図である。
【符号の説明】
１０：研磨体
１２：母材樹脂
１４：研磨粒子
１６：主鎖
１８：親水基
２０：キレート配位子
２２：アルキル鎖
２６：研磨定盤
３２：ウェハ（被研磨体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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