(57)【要約】【課題】従来より少ないスペースでエッチング装置の近傍への設置が可能なセンサを提供する。【解決手段】エッチング装置の近傍に配置され、使用されるセンサにおいて、センサ本体はセンサ保護カバー内に収納され、その開口部を通してエッチング工程において使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバーの内部に入り込まないようにエアパージ法によってセンサ保護カバーの内部が保護されている。センサ本体には圧縮空気供給及び配線用チューブが接続され、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は圧縮空気供給及び配線用チューブ内の配線部を経てセンサ本体に電気的に接続され、圧縮空気は圧縮空気源から前記圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を経てセンサ保護カバーの内部に導かれている。【選択図】　図２
2004055635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
腐食性液体を使用する装置の近傍に配置され、使用されるセンサであり、センサ本体はセンサ保護カバー内に収納され、前記センサ本体の被測定物と連絡しなければならない領域に対応するセンサ保護カバーの部分には開口部が形成されており、前記開口部を通して腐食性液体を使用する工程において使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバーの内部に入り込まないようにセンサ保護カバー内に圧縮空気が送られてセンサ保護カバー内が陽圧にされ、エアパージ法によってセンサ保護カバーの内部が保護されているセンサにおいて、センサ本体にはエアチューブとその内部を通る配線からなる、圧縮空気の供給と配線に共用される圧縮空気供給及び配線用チューブが接続され、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は圧縮空気供給及び配線用チューブ内の配線部を経てセンサ本体に電気的に接続され、圧縮空気は圧縮空気源から前記圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を経てセンサ保護カバーの内部に導かれ、センサ保護カバーの開口部を通してセンサ保護カバーの外に放出されるように構成されていることを特徴とするセンサ。
【請求項２】
更に圧縮空気源に接続された圧縮空気供給用チューブ、該圧縮空気供給用チューブ及び圧縮空気供給及び配線用チューブにそれぞれ接続された中継ボックス並びにこの中継ボックスに接続された、電源またはプログラマブルコントローラにつながり、堅牢な配線保護カバーにより保護された配線部を備え、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は、堅牢な配線保護カバーにより保護された配線部及び中空ボックスの内部を通って配線された配線部を経て圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を通る配線部につながっており、圧縮空気源は圧縮空気供給用チューブ、中継ボックス及び圧縮空気供給及び配線用チューブを通ってセンサ保護カバー内に連絡していることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエッチング装置等の腐食性液体を使用する装置の近傍に配置され、加工されるワークの厚さ、フラットネーネス、そり等を検出するセンサや、ワークその物を検出するセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体の製造過程において、エッチング装置等の腐食性液体を使用する装置のそばに配置され、使用されるセンサであり、センサ本体はセンサ保護カバー内に収納され、前記センサの被測定物と連絡しなければならない領域、たとえば光電センサの被測定物にレーザビーム、赤外ビーム等を投光する投光部及び被測定部よりの反射光を受光する受光部に対応する保護カバーの部分には開口部がそれぞれ形成されており、前記開口部を通してエッチング工程等の腐食性液体を使用する工程に使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバーの内部に入り込まないようにセンサ保護カバー内に圧縮空気が送られ、センサ保護カバー内が陽圧にされ、エアパージ法によってセンサ保護カバーの内部が保護されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のセンサにおいては、電気配線は、腐食液またはその液滴が電気配線に触れないように堅牢な配線保護カバーで保護されていた。また、前述したようにセンサ本体も堅牢なセンサ保護カバーで保護されていた。そのため、エッチング装置等の腐食性液体を使用する装置の近傍にセンサを設置するために、配線及びセンサ本体の数十倍のスペースが必要であるのみならず圧縮空気供給用配管のためのスペースが必要であった。
【０００４】
本発明の目的は、従来より少ないスペースでエッチング装置等の腐食性液体を使用する装置の近傍への設置が可能なセンサを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、上記の課題を解決するもので、腐食性液体を使用する装置の近傍に配置され、使用されるセンサであり、センサ本体はセンサ保護カバー内に収納され、前記センサの被測定物と連絡しなければならない領域に対応するセンサ保護カバーの部分には開口部が形成されており、前記開口部を通して腐食性液体を使用する工程において使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバーの内部に入り込まないようにセンサ保護カバー内に圧縮空気が送られてセンサ保護カバー内が陽圧にされ、エアパージ法によってセンサ保護カバーの内部が保護されているセンサにおいて、センサ本体にはエアチューブとその内部を通る配線からなる、圧縮空気の供給と配線に共用される圧縮空気供給及び配線用チューブが接続され、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は圧縮空気供給及び配線用チューブ内の配線部を経てセンサ本体に電気的に接続され、圧縮空気は圧縮空気源から前記圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を経てセンサ保護カバーの内部に導かれ、センサ保護カバーの開口部を通してセンサ保護カバーの外に放出されるように構成されていることを特徴とする。
【０００６】
本発明の好ましい実施の形態において、センサは、更に圧縮空気源に接続された圧縮空気供給用チューブ、該圧縮空気供給用チューブ及び圧縮空気供給及び配線用チューブに接続された中継ボックス並びにこの中継ボックスに接続された、電源またはプログラマブルコントローラにつながり、堅牢な配線保護カバーにより保護された配線部を備え、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は、堅牢な配線保護カバーにより保護された配線部及び中空ボックスの内部を通って配線された配線部を経て圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を通る配線部につながっており、圧縮空気源は圧縮空気供給用チューブ、中継ボックス及び圧縮空気供給及び配線用チューブを通ってセンサ保護カバー内に連絡している。
【０００７】
本発明によれば、圧縮空気供給及び配線用チューブは、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるだけでなく、配線保護カバーにより保護された配線部に比してより少ない径で構成することができるので、従来より少ないスペースで腐食性液体を使用する装置の近傍へセンサを設置することを可能とする。また、圧縮空気供給及び配線用チューブ内の配線部は圧縮空気のクッション効果により保護される。更にまた、圧縮空気供給及び配線用チューブは、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるので、従来のように圧縮空気供給路と配線用路をそれぞれ独立して設ける場合に比して安価にセンサを設置することができる。
【０００８】
本発明のセンサは光電方式のセンサ、超音波方式のセンサとうに適用し得る。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のセンサ本体及び該本体を保護するセンサ保護カバーの一例の略斜視図である。また図２はセンサ本体が電源に接続され且つ圧縮空気源に接続された状態を示す略図である。
【００１０】
本発明のセンサは、エッチング装置の近傍に配置され、使用されるセンサである。センサ本体１はセンサ保護カバー３に収納され、センサ本体１の被測定物と連絡しなければならない領域、たとえば光電方式のセンサのレーザービーム、赤外ビームなどを投光する投光部１ａ及び被測定物からの反射光を受光する受光部１ｂに対応するセンサ保護カバー３の部分には開口部２がそれぞれ形成されており、開口部２を通してエッチング工程において使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバー３の内部に入り込まないようにセンサ保護カバー３内に圧縮空気が送られてセンサ保護カバー３内が陽圧にされ、エアパージ法によってセンサ保護カバー３の内部が保護されている。センサ本体１にはエアチューブ４とその内部を通る配線８ｃからなる、圧縮空気の供給と配線に共用される圧縮空気供給及び配線用チューブ９が接続され、電源またはプログラマブルコントローラ等（図示せず）への配線は圧縮空気供給及び配線用チューブ９内の配線部８ａを経てセンサ本体１に電気的に接続されている。圧縮空気は、圧縮空気源（図示せず）から前記圧縮空気供給及び配線用チューブ９の内部を経てセンサ保護カバー３の内部に導かれ、センサ保護カバー３の開口部２を通してセンサ保護カバー３の外に放出される。
【００１１】
本発明のセンサは、更に圧縮空気源に接続された圧縮空気供給用チューブ１０、前記圧縮空気供給用チューブ１０及び圧縮空気供給及び配線用チューブ９にそれぞれ継ぎ手７を介して接続された中継ボックス５並びにこの中継ボックス５に接続された、電源またはプログラマブルコントローラにつながり、堅牢な配線保護カバー６により保護された配線部８ａを備える。尚、配線保護カバー６の中空ボックス５への接続は、配線カバー入口６ａを介して行われ、この配線カバー入口６ａは密閉され、中空ボックス５内の圧縮空気が漏れないように構成されている。電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は、堅牢な配線保護カバー６により保護された配線部８ａ及び中空ボックス５の内部を通って配線された配線部８ｂを経て圧縮空気供給及び配線用チューブ９の内部を通る配線部８ｃにつながっている。圧縮空気源は圧縮空気供給用チューブ１０、中継ボックス５及び圧縮空気供給及び配線用チューブ９を通ってセンサ保護カバー３内に連絡している。
【００１２】
圧縮空気供給及び配線用チューブ９のエアチューブ４及び圧縮空気供給用チューブ１０は耐薬品性の高いフッ素樹脂からなるものを適用し得る。
【００１３】
エッチング工程において、本発明のセンサを用いて食刻深さを検知してウェーハを適切にエッチングすることができる。
【００１４】
本発明によれば、圧縮空気供給及び配線用チューブ９は、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるだけでなく、配線保護カバー６により保護された配線部に比してより少ない径で構成することができるので、従来より少ないスペースで腐食性液体を使用する装置の近傍へセンサを設置することを可能とする。また、圧縮空気供給及び配線用チューブ９は、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるので、従来のように圧縮空気供給路と配線用路をそれぞれ独立して設ける場合に比して安価にセンサを設置することができる。
【００１５】
また、本発明は光電方式に限ることなく、超音波方式のセンサにも適用し得る。
【００１６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明のセンサは、エッチング装置等の腐食性液体を使用する装置の近傍に配置され、使用されるセンサであり、センサ本体はセンサ保護カバー内に収納され、前記センサ本体の被測定物と連絡しなければならない領域に対応するセンサ保護カバーの部分には開口部が形成されており、前記開口部を通してエッチング工程等の腐食性液体を使用する工程において使用される腐食液またはその液滴または腐食性ガスがセンサ保護カバーの内部に入り込まないようにセンサ保護カバー内に圧縮空気が送られてセンサ保護カバー内が陽圧にされ、エアパージ法によってセンサ保護カバーの内部が保護されているセンサにおいて、センサ本体にはエアチューブとその内部を通る配線からなる、圧縮空気の供給と配線に共用される圧縮空気供給及び配線用チューブが接続され、電源またはプログラマブルコントローラ等への配線は圧縮空気供給及び配線用チューブ内の配線部を経てセンサ本体に電気的に接続され、圧縮空気は圧縮空気源から前記圧縮空気供給及び配線用チューブの内部を経てセンサ保護カバーの内部に導かれ、センサ保護カバーの開口部を通してセンサ保護カバーの外に放出されるように構成されていることを特徴とするもので、圧縮空気供給及び配線用チューブ９は、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるだけでなく、配線保護カバー６により保護された配線部に比してより少ない径で構成することができるので、従来より少ないスペースでエッチング装置等の腐食性液体を使用する装置の近傍へセンサを設置することを可能とする。また、圧縮空気供給及び配線用チューブ９は、圧縮空気供給路と配線用路が複合化したものであるので、従来のように圧縮空気供給路と配線用路をそれぞれ独立して設ける場合に比して安価にセンサを設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセンサ本体及び該本体を保護するセンサ保護カバーの一例の略斜視図である。
【図２】センサ本体が電源に接続され且つ圧縮空気源に接続された状態を示す略図である。
【符号の説明】
１　　　　センサ本体
１ａ　　　投光部
１ｂ　　　受光部
３　　　　保護カバー
４　　　　エアチューブ
５　　　　中空ボックス
６　　　　配線保護カバー
６ａ　　　配線カバー入口
７　　　　継ぎ手
８ａ　　　配線部
８ｂ　　　配線部
８ｃ　　　配線部
９　　　　圧縮空気供給及び配線用チューブ
１０　　　圧縮空気供給用チューブ
【図１】
2004055635.tif 000003
【図２】
2004055635.tif 000004