(57)【要約】【課題】高効率で安定して高出力が得られ、産業用に使用することが可能な深紫外波長域で動作できるようにする。【解決手段】赤外レーザ発振器１と、紫外光をシングルモード光で発振する紫外レーザ発振器２と、紫外レーザ発振器２から発振された紫外光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器４と、この共振器４内に設けられた非線形結晶３とを具備し、共振器４内に取込まれて共振される紫外光を非線形結晶３に通過させるとともに、赤外レーザ発振器１から発振された赤外線を非線形結晶３にシングルパスさせることにより和周波を発生させて深紫外光を出力する。【選択図】　　　　図１
2004055695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、
前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、
前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、
この共振器内に設けられた非線形結晶と
を具備し、
前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力することを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記第１のレーザ光は赤外光で、前記第２のレーザ光は紫外光で、前記第３のレーザ光は深紫外光であることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記紫外光の波長は２３８ｎｍから４００ｎｍまでであり、赤外光の波長は７５０ｎｍから１３００ｎｍであることを特徴とする請求項２記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記共振器は、前記第２のレーザ光を共振させる第１乃至第４のミラーを備え、
前記第１のミラーは前記第１のレーザ光を透過させるとともに、前記第２のレーザ光を反射させるもので、
前記第２のミラーは前記第２のレーザ光を反射させるとともに、前記第３のレーザ光を透過させるもので、
前記第３のミラーは前記第２のレーザ光を所定の透過率で透過させるもので、前記第４のミラーは第２のレーザ光を反射させるとともに可動することにより共振器長さを可変するものであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記非線形結晶は、前記第１及び第２のミラー間に位置して設けられたことを特徴とする請求項４記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記第１の発振器としてネオジムを活性物質とする固体レーザを用い、前記第２のレーザ光としてアルゴンイオンレーザの波長変換光を用いることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記第１の発振器としてネオジムを活性物質とする波長１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ発振器を用い、前記第２のレーザ光としてアルゴンイオンレーザ発振器の２倍高調波光である２４４ｍｍのコヒレント光を用いることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記第１の発振器としてネオジムを活性物質とする波長１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ発振器を用い、第２のレーザ光として単一周波数発振をするアルゴンイオンレーザの２倍高調波光である２４４ｍｍのコヒレント光を用いることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項９】
第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、
前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、
前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、
この共振器内に設けられた非線形結晶と
を具備し、
前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力するレーザ出力手段と、
このレーザ出力手段によって出力された第３のレーザ光を被検査パターンに照明する照明手段と、
この照明手段により照明されて被検査パターンから反射する反射光を受光して画像を読み取る読取手段と
を具備することを特徴とする画像読取装置。
【請求項１０】
第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、
前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、
前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、
この共振器内に設けられた非線形結晶と
を具備し、
前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力するレーザ出力手段と、
このレーザ出力手段によって出力された第３のレーザ光を被検査パターンに照明する照明手段と、
この照明手段により照明されて被検査パターンから反射する反射光を受光して画像を読み取る読取手段と、
この読取手段により読み取られた画像情報に基づいて前記被検査パターンの欠陥の有無を検査する検査手段と
を具備することを特徴とする画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ装置に関し、詳しくは、フォトマスク、ウエハなどの半導体の微細なパターンを高精度に検査、測定する連続出力のレーザ装置、画像読取装置及び画像検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の検査分野で、例えば、高精度なマスクパターンの欠陥を検出する場合には、深紫外域の検査波長が必要とされる。
【０００３】
一般的に、短波長のレーザー遷移ほど蛍光寿命が短く、基本波で発振する深紫外レーザ装置はほとんどがパルスレーザ装置である。最も短波長な連続出力レーザ装置としては、アルゴンイオンレーザ装置が知られているが、実用的には３５０．７ｎｍにとどまっている。
【０００４】
このため、検査に必要な深紫外領域で連続光源を得るためには、連続発振する長波長レーザ光を基本波としてこれを短波長側へ波長変換する必要がある。即ち、連続出力で所定の波長より長波長の複数のレーザーを基本波とした和周波発生を行なわなければならない。
【０００５】
ところで、レーザ光の波長変換は非線形過程であり、高電界が必要である。これに対し、レーザ光の連続発振は本質的に低電界を与えるので、その波長変換には特別な変換技術を要する。
【０００６】
非線形媒質中で電界強度を高めるためには、非線形結晶に基本波を閉じ込める共振器構成が採用されている。和周波発生のための共振器構成には、レーザ光増幅媒体を共振器内に設置する内部共振器による方法と、基本波発生源を和周波発生用の共振器と独立させた外部共振器による方法とがある。
【０００７】
以上のような方式による深紫外光発生装置については、いくつか公知例がある。
【０００８】
ひとつは、２００２年レーザー学会で報告された、シリコン原子のレーザー冷却と題した講演（レーザー学会学術講演会第２２回年次大会講演予稿集（２００２大阪）ｐ１３７）である。Ｓｉ原子冷却用の光源として開発された。
【０００９】
この方式は、図４に示すように、紫外レーザ発振器１０２から発振された波長３７３ｎｍの紫外光と、赤外レーザ発振器１０１から発振された波長７８０ｎｍの赤外光とを、非線形結晶１０３で混合し、波長２５４ｎｍの深紫外光を発生させるものである。
【００１０】
波長３７３ｎｍの深紫外光に関しては共振器長を制御することにより共振器１０４にロックし、波長７８０ｎｍの赤外光に関しては、発振周波数を共振器長に同調させ、ひとつの共振器１０４で２つの波長のコヒレント光を共鳴させている。
【００１１】
図５に示すものは、内部共振器の例であり、ＵＳＰ６，１９８，７５６に記載されたものである。
【００１２】
これは、一つのレーザー共振器１１１中に赤外レーザ媒体１１３を設置して赤外光を発振させ、この共振器１１１中に設置してある非線形結晶１１２に紫外レーザ発振器１１３から発振された紫外光を通過させることにより、和周波を発生させて短波長の深紫外光を出力する内部共振器形式のものである。
【００１３】
また、図６は、２００１年に米国シアトルの国際会議Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｓｏｌｉｄ−ＳｔａｔｅＬａｓｅｒｓで報告された（講演番号ＷＡ６）ものである。
【００１４】
これは紫外レーザ発振器１２１から発振された波長２６６ｎｍの紫外光と、赤外レーザ媒体１２２から発振された波長７８０ｎｍの赤外光の和周波を発生させ、これにより、深紫外波長領域の１９６．５ｎｍで２．３ｍＷの出力が得られた。
【００１５】
この例は、赤外レーザ媒体１２２として７８０ｎｍのチタニウムサファイアレーザ媒体を用い、この共振器１２３に非線形結晶１２４を置き、かつ、この非線形結晶１２４に対して、紫外光２６６ｎｍの外部共振器を組んだものである。
【００１６】
ところで、上記した非線形変換の構成において、外部共振器方式と内部共振器方式ではそれぞれ得失があり、目的にあう方式を選択する必要がある。
【００１７】
内部共振器による方式は、基本波の電界強度が低い高繰返しパルス出力や、連続波光の和周波発生には高効率な方式であり、マルチモード光の変換にも適する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マルチモード光の変換波後の出力はマルチモードであり、高精度な計測用光源として不適切である。
【００１９】
また、図４に示した一つの共振器１０４で二つの波長のコヒレント光の和周波を発生させる方法は、二つの基本波の電界強度をともに共振器１０４内で強調できる点で優れている。
【００２０】
しかしながら、波長変換によってより一層の短波長の和周波を得るためには、波長が短くなるほど共振器用のミラーの製造が困難で入手できなくなる。
【００２１】
即ち、図４に示すように、４種類の異なる反射率特性を持つ第１乃至第４のミラー１０５ａ〜１０５ｄが必要となる。第１のミラー１０５ａは、赤外光を共振器１０４に導入するもので、紫外光に対しては高反射で、かつ赤外光に対しては、共振器１０４の赤外光損失にちょうど合致する赤外光透過率を持つインピーダンス整合ミラーである。この赤外光に対する透過率が不適正であると、入射光を共振器１０４内に導入できない。
【００２２】
第２のミラー１０５ｂは、赤外光と紫外光のそれぞれに対し高反射であるとともに、共振器長を調整する可動ミラーである。
【００２３】
第３のミラー１０５ｃは、紫外光を共振器１０４に導入するもので、赤外光に対しては高反射で、紫外光に対しては共振器１０４の紫外光損失にちょうど合致する紫外光透過率を持つインピーダンス整合ミラーである。この紫外光に対する透過率が不適正であると、入射光を共振器１０４内に導入できない。
【００２４】
第４のミラー１０５ｄは、赤外光と紫外光をともに高反射させ、かつ発生した深紫外光に対しては高透過なミラーである。
これらすべてのミラー１５ａ〜１５ｄが入手できなければ、この方式は成立しない。
【００２５】
一方、図５に示した方式は、共振器１１１内に非線形結晶１１２と活性媒質１１３がともに設置されるため、レーザー発振する赤外光と和周波発生する深紫外光が相互作用し不安定なレーザー動作をもたらす。
【００２６】
また、一般的に、連続発振レーザーに関しては、赤外光は高出力が得やすいが、紫外光は高出力が得にくい。これは、レーザー発振に関わる蛍光寿命が波長の二乗に比例するからである。
【００２７】
しかしながら、この図５に示す方式は、高出力が得にくい紫外光を非線形結晶１１２に単光で入射させて赤外光と非線形相互作用させるため、十分な非線形効果が得にくい。
【００２８】
なお、高出力が得られるマルチモード光を紫外レーザ発振器１１４から発振させて非線形結晶１１２に入射させた場合には、ある程度出力を高めることができる。
【００２９】
しかしながら、マルチモード光はシングルモード光と異なり、共振器内で十分に共振させることができず、マルチモード光を用いてもシングルモード光を用いた場合と比較して４倍程度、即ち、９．２ｍＷ程度の出力しか得られないという問題がある。
【００３０】
図６に示した例では、非線形結晶１２４を中心に、赤外光に対しては内部共振器、紫外光に対しては外部共振器を構成し、複雑な光学系を構成しなければならない。このため、設置上の制約から、効果的な共振器構成をとることができず結果的に低出力しか得られないという不都合がある。
【００３１】
本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、簡単な構成で安定して高出力が得られ、産業用に使用することが可能な深紫外波長域で動作するレーザ装置、画像読取装置及び画像検査装置を提供することにある。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、この共振器内に設けられた非線形結晶とを具備し、前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力する。
【００３３】
請求項９記載の発明は、第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、この共振器内に設けられた非線形結晶とを具備し、前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力するレーザ出力手段と、このレーザ出力手段によって出力された第３のレーザ光を被検査パターンに照明する照明手段と、この照明手段により照明されて被検査パターンから反射する反射光を受光して画像を読み取る読取手段とを具備する。
【００３４】
請求項１０記載の発明は、第１の波長を有する第１のレーザ光を発振する第１のレーザ発振器と、前記第１の波長よりも短い第２の波長を有する第２のレーザ光をシングルモード光で発振する第２のレーザ発振器と、前記第２の発振器から発振された第２のレーザ光を所定の透過率で取込んで共振させる共振器と、この共振器内に設けられた非線形結晶とを具備し、前記共振器内に取込まれて共振される前記第２のレーザ光を前記非線形結晶に通過させるとともに、前記第１の発振器から発振された第１のレーザ光を前記非線形結晶にシングルパスさせることにより和周波を発生させて前記第２の波長よりも短い波長を有する第３のレーザ光を出力するレーザ出力手段と、このレーザ出力手段によって出力された第３のレーザ光を被検査パターンに照明する照明手段と、この照明手段により照明されて被検査パターンから反射する反射光を受光して画像を読み取る読取手段と、この読取手段により読み取られた画像情報に基づいて前記被検査パターンの欠陥の有無を検査する検査手段とを具備する。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態を参照して詳細に説明する。
【００３６】
図１は本発明の一実施の形態であるレーザ装置を示すものである。
【００３７】
このレーザ装置は第１のレーザ光としての赤外光（２３８ｎｍ〜４００ｎｍ）を発振する第１のレーザ発振器としての赤外レーザ発振器１、及び第２のレーザ光としての紫外光（７５０〜１３００ｎｍ）を発振する第２のレーザ発振器としての紫外レーザ発振器２を備えるとともに、共振器４を備えている。共振器４内には非線形結晶３が設けられている。
【００３８】
紫外レーザ発振器２は、アルゴンレーザ発振器で、紫外領域の基本波のひとつとして２４４ｎｍの２倍高調波光を発振する。この紫外レーザ発振器２は、４８８ｎｍの単一周波数出力を外部共振器で２倍高調波にしており、２４４ｎｍの出力としては０．５Ｗが得られている。
【００３９】
赤外レーザ発振器１はネオジムを活性物質とするＹＡＧレーザ発振器で、赤外領域の基本波として、波長１０６４ｎｍの赤外光を発振する。この実施例では、ＹＡＧレーザー出力として、単一周波数で１５Ｗが得られている。
【００４０】
これらの赤外レーザ発振器１と紫外レーザ発振器２から発振される赤外光と紫外光の和周波（１／（１／２４４＋１／１０６４）＝１９８５）から、波長１９８．５ｎｍの和周波が得られるようになっている。
【００４１】
共振器４は第１乃至第４のミラー５ａ〜５ｄによって構成されている。
【００４２】
第１のミラー５ａは赤外レーザ発振器１から発振された基本波となる赤外光を入射させる導入ミラーで、波長１０６４ｎｍの赤外光に対して高透過となっている。
【００４３】
第２乃至第４のミラー５ｂ〜５ｄは紫外光の波長２４４ｎｍに対して、９９．９９％の反射率をもち、低損失なミラーである。
【００４４】
第２のミラー５ｂは、波長２４４ｎｍの紫外光に対しては高反射であるが、波長１９８．５ｎｍの和周波発生光に対しては高透過であり、この共振器４の出力ミラーとなっている。
【００４５】
第３のミラー５ｃは、基本波となる紫外光の導入ミラーであり、所定の透過率で波長２４４ｎｍの紫外光を透過させる。
【００４６】
第４のミラー５ｄは、紫外光のモニター７の出力により、ミラー台座に設置されているピエゾ素子８、或いはスピーカーコイル状の素子がドライブされて紫外光の周波数と共振器長が整合するように帰還制御されるようになっている。
【００４７】
ところで、基本波となる紫外光を導入する第３のミラー５ｃは、波長２４４ｎｍの紫外光に対して共振器４を構成する非線形結晶３の内部損失および波長変換による損失さらに、第１乃至第４の各ミラー５ａ〜５ｄの光学損失分をあわせた損失、即ち、共振器４の内部損失にちょうど見合った透過率となっている。
【００４８】
これにより入射光と共振器４はインピーダンス整合し、波長２４４ｎｍの紫外光に対して高反射な共振器４でありながら、紫外光の周波数と共振器長が整合した場合に、共振器４を透過することができるようになっている。
【００４９】
即ち、この条件が揃ったときに、紫外光の基本波は共振器４内に取り込まれ、かつ、共振器４内の紫外光の電界強度は最大となる。
【００５０】
上記した構成において、紫外レーザ発振器２から発振された波長２４４ｎｍの紫外光は所定の透過率で第３のミラー５ｃを透過して共振器４内に導入される。この導入された紫外光は第４のミラー５ｄに送られて反射され、第１のミラー５ａに導かれる。この紫外光は第１のミラー５ａで反射され、非線形結晶３を通過したのち、第２のミラー５ｂに送られる。そして、この第２のミラー５ｂで紫外光は反射されて第３のミラー５ｃに導かれ、第３のミラー５ｃでさらに反射されて第４のミラー５ｄに導かれる。以後、紫外光は同様に反射が繰り返されて共振され、共振器４内の紫外光の電界強度は最大となる。
【００５１】
この共振される紫外光の周波数は紫外モニター７によってモニターされる。そして、このモニターに基づいて第４のミラー５ｄの反射角度が制御され、紫外光の周波数と共振器長さを整合させる。この整合により、紫外光が第２のミラー５を透過する。
【００５２】
一方、赤外レーザ発振器１から発振された波長１０６４ｎｍの赤外光は、第１のミラー（紫外光高反射、赤外光高透過特性）５ａから共振器４内に導入され、位相整合する条件下で非線形結晶３に入射する。これにより、共振器４内で強調された紫外光と非線形相互作用により和周波が発生し、波長１９８．５ｎｍの深紫外光（第３のレーザ光に相当）となる。この深紫外光は第４のミラー５ｄを透過して共振器４の外部に出力されることになる。
【００５３】
以上の構成で、既述のように０．５Ｗの波長２４４ｎｍの基本波と、１５Ｗの波長１０６４ｎｍの基本波により、深紫外出力として波長１９８．５ｎｍの出力が２００ｍＷ得られた。
【００５４】
この波長領域の出力としては、過去に１９５．６ｎｍ波長で２．３ｍＷが得られることが、国際会議であるＡｄｖａｎｃｅｄ　Ｓｏｌｉｄ−ＳｔａｔｅＬａｓｅｒｓで２００１年に発表されたのみである。本発明によれば、２．３ｍＷに対して８０倍以上の出力が得られたことになる。
【００５５】
また、本発明では、紫外レーザ発振器２から紫外光としてシングルモード光を発振させて共振器４に入射させて共振させるため、図５の従来例で示したように紫外レーザ発振器１１４から紫外光としてマルチモード光を入射させた場合と比較しても２０倍以上の高出力が得られる。
【００５６】
なお、上記一実施の形態では、紫外光としてアルゴンイオンレーザの２倍高調波光である２４４ｎｍのコヒレント光を用い、赤外光としてネオジムを活性物質とする波長１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ光を用いて説明したが、本発明の意図からこの波長に限定されるものではないことは明らかである。
【００５７】
図２は上記したように構成されたレーザ装置９を搭載する画像読取装置を持つ画像検査装置を示すものである。
【００５８】
この画像検査装置は７０ｎｍレベルのマスク欠陥を検査するものである。
【００５９】
レーザ装置９から出力される深紫外光の光路中には４５度の角度で傾斜する状態でハーフミラー（照明手段に相当）１０が設けられ、このハーフミラー１０の上方部には対物レンズ（照明手段に相当）１１及び被検査パターン１２が配置されている。ハーフミラー１０の下方部には投影レンズ１３及びセンサ（読取手段に相当）１４が配設されている。センサ１４には信号回路を介してプロセッサ（検出手段に相当）１５が接続されている。
【００６０】
被検査パターン１２を検査する場合には、レーザ装置９から高出力の深紫外光が発振され、この深紫外光はハーフミラー１０を介して被検査パターン１２に向かって案内され、対物レンズ１１を介して被検査パターン１２に照射される。被検査パターン１２に照射された深紫外光は被検査パターン１２から反射され、対物レンズ１１，ハーフミラー１０、投影レンズ１３を介してセンサ１４に受光されて被検査パターン１２の画像が読み取られる。この読取情報はプロセッサ１５に送信されて情報処理されてマスク欠陥の有無が検出されることになる。
【００６１】
この実施の形態によれば、高出力な深紫外光を照明光として用いるため、７０ｎｍ級のマスク欠陥検査を短時間で行うことが可能となる。
【００６２】
なお、本発明の画像読取装置と画像検査装置は、上記一実施の形態の構成に限定されるものではなく、他の光学系を用いた場合も含まれることは言うまでもない。
【００６３】
図３は本発明の第２の実施の形態であるレーザ装置を示すものである。
【００６４】
なお、上記した第１の実施の形態で示した部分と同一部分については同一願号を付してその説明を省略する。
【００６５】
上記した第１の実施の形態においては、赤外光の入射と深紫外光の出力を紫外光の共振器ミラー５ａ，５ｂを介して行っているが、この第２の実施の形態では、非線形結晶２１を水平面に対して傾斜して設けることにより、非線形結晶２１の分散を利用して、共振器ミラーを介さないでも赤外光の入射と深紫外光の出力を行うことができるようになっている。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、複雑な構成をとらずに、高出力な深紫外光を得ることができる。また、波長２００ｎｍ近辺の出力で従来の８０倍以上の値である２００ｍＷの高出力が得られた。さらに、この高出力な深紫外線を照明光として用いることにより、７０ｎｍ級のマスク欠陥検査を行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるレーザ装置を示す概略的構成図。
【図２】図１のレーザ装置を備える画像検査装置を示す概略的構成図。
【図３】本発明の第２の実施の形態であるレーザ装置を示す概略的構成図。
【図４】第１の従来例であるレーザ装置を示す概略的構成図。
【図５】第２の従来例であるレーザ装置を示す概略的構成図。
【図６】第３の従来例であるレーザ装置を示す概略的構成図。
【符号の説明】
１…赤外レーザ発振器（第１のレーザ発振器）
２…紫外レーザ発振器（第２のレーザ発振器）
３…非線形結晶
４…共振器
５ａ〜５ｄ…第１乃至第４のミラー
９…レーザ出力装置（レーザ出力手段）
１２…被検査パターン
１０…ハーフミラー（照明手段）
１１…対物レンズ（照明手段）
１４…センサ（読取手段）
１５…プロセッサ（検査手段）
【図１】
2004055695.tif 000003
【図２】
2004055695.tif 000004
【図３】
2004055695.tif 000005
【図４】
2004055695.tif 000006
【図５】
2004055695.tif 000007
【図６】
2004055695.tif 000008