(57)【要約】【課題】十分な容量を有する液体窒素溜めを有し、冷却すべき試料を十分長時間低温度に保持することができる試料ホルダーを提供する。【解決手段】呼び径40mmのフランジ１１と、このフランジに接続する呼び径40mmのパイプ１２と、このパイプ１２に溶接した呼び径16mmの3つのフランジ１３と、前記呼び径40mmのパイプの上部中央に溶接した300mlの容量を持つ液体窒素溜め１４と、この液体窒素溜めの先端に配置されたシリコンウェハ試料固定部１５とから試料ホルダー１０を構成する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
呼び径40mmのフランジと、このフランジに接続する呼び径40mmのパイプと、このパイプに溶接した呼び径16mmの3つのフランジと、前記呼び径40mmのパイプの上部中央に溶接した100ml以上の容量を持つ液体窒素溜めと、この液体窒素溜めの先端に配置された試料固定部とを具えることを特徴とする、試料ホルダー。
【請求項２】
前記呼び径16mmのフランジの１つに試料加熱用電流導入端子を接続したことを特徴とする、請求項１に記載の試料ホルダー。
【請求項３】
前記呼び径16mmのフランジの１つに試料電流測定用電流導入端子を接続したことを特徴とする、請求項１又は２のいずれかに記載の試料ホルダー。
【請求項４】
前記呼び径16mmのフランジの１つに試料温度測定用熱電対導入端子を接続したことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の試料ホルダー。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
試料ホルダーとしては、呼び径40mmのフランジ、呼び径40のパイプ、呼び径16mmの3つのフランジ、100ml未満の容量を持つ液体窒素溜め、試料固定部から構成される試料ホルダーが提案されていた[小林英一、漁剛志、森正信、間瀬一彦、奥平幸司、田中健一郎、上野信雄：真空，47 (2004) 14．]。
【０００３】
しかしながら、上述した試料ホルダーでは液体窒素溜めが小さく、前記液体窒素溜め内に貯蔵しておける液体窒素量が微量であるために、冷却すべき試料を十分長時間低温度に保持することができず、例えば液体窒素が蒸発して温度が上昇するまでの時間が１時間程度と短いという問題がある。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案は、十分な容量を有する液体窒素溜めを有し、冷却すべき試料を十分長時間低温度に保持することができる試料ホルダーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく、本考案は、
呼び径40mmのフランジと、このフランジに接続する呼び径40mmのパイプと、このパイプに溶接した呼び径16mmの3つのフランジと、前記呼び径40mmのパイプの上部中央に溶接した100ml以上の容量を持つ液体窒素溜めと、この液体窒素溜めの先端に配置された試料固定部とを具えることを特徴とする、試料ホルダーに関する。
【０００６】
前記液体窒素溜めは100ml以上という大きな容量を有し、前記液体窒素溜め内に十分な量の液体窒素を保持することができるとともに、前記液体窒素溜めの先端に試料固定部を配置するようにしているので、冷却すべき試料を前記液体窒素により十分かつ効率的に冷却することができるようになる。例えば、5mm×30mm×0.5mmのシリコンウェハを試料として用いた場合には、前記シリコンウエハを100Kまで冷却することができる。また、液体窒素の供給なしに、100Kに2時間以上保持できる。
【０００７】
前記試料ホルダー、具体的には、前記呼び径16mmのフランジに試料加熱用の電流導入端子を取り付けることができる。この電流導入端子を介して所定の電流を導入することにより、例えば5mm×30mm×0.5mmのシリコンウェハを試料として用いた場合には、前記シリコンウエハを1250℃まで加熱することができる。
【０００８】
また、前記試料ホルダー、具体的には、前記呼び径16mmのフランジに試料電流測定用の電流導入端子を取り付けることができる。これによって、冷却及び加熱に伴って前記試料中に生じる電流量を、簡易に計測することができる。
【０００９】
さらに、前記試料ホルダー、具体的には、前記呼び径16mmのフランジに前記試料温度測定用の熱電対導入端子を取り付けることができる。これによって、冷却及び加熱に伴う前記試料の実際の温度を、簡易に計測することができる。
【考案の効果】
【００１０】
以上説明したように、本考案によれば、簡易かつ廉価に試料の冷却ができ、必要に応じて加熱、試料電流モニター、試料温度モニターも行なうことができる、新規な試料ホルダーを提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本考案のその他の特徴及び利点について詳細に説明する。
【００１２】
図1は、本考案の試料ホルダーの一例を示す図である。図1に示す試料ホルダー１０は、呼び径40mmのフランジ１１と、このフランジに接続する呼び径40mmのパイプ１２と、このパイプ１２に溶接した呼び径16mmの3つのフランジ１３と、前記呼び径40mmのパイプの上部中央に溶接した300mlの容量を持つ液体窒素溜め１４と、この液体窒素溜めの先端に配置されたシリコンウェハ試料固定部１５とを具えている。冷却に供すべき試料（シリコンウエハ）は、試料固定部１５に取り付ける。
【００１３】
図1に示す試料ホルダー１０によれば、液体窒素溜め１４は300mlという大きな容量を有し、液体窒素溜め１４内に十分な量の液体窒素を保持することができるとともに、液体窒素溜め１４の先端に試料固定部１５を配置するようにしているので、冷却すべき試料を前記液体窒素により十分かつ効率的に冷却することができるようになる。例えば、5mm×30mm×0.5mmのシリコンウェハを試料として用いた場合には、前記シリコンウエハを100Kまで冷却することができる。また、液体窒素の供給なしに、100Kに2時間以上保持できる。
【００１４】
試料ホルダー１０、具体的には、呼び径16mmのフランジ１３には試料加熱用の電流導入端子を取り付けることができる。この電流導入端子を介して所定の電流を導入することにより、例えば5mm×30mm×0.5mmのシリコンウェハを試料として用いた場合には、前記シリコンウエハを1250℃まで加熱することができる。
【００１５】
また、試料ホルダー１０、具体的には、呼び径16mmのフランジ１３には試料電流測定用の電流導入端子を取り付けることができる。これによって、冷却及び加熱に伴って前記試料中に生じる電流量を、簡易に計測することができる。
【００１６】
さらに、試料ホルダー１０、具体的には、呼び径16mmのフランジ１３には試料温度測定用の熱電対導入端子を取り付けることができる。これによって、冷却及び加熱に伴う前記試料の実際の温度を、簡易に計測することができる。
【００１７】
以上、具体例を示しながら考案を実施するための最良の形態に則して本考案を説明してきたが、本考案は上記内容に限定されるものではなく、本考案の範疇を逸脱しない範囲において、あらゆる変形や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本考案の試料ホルダーの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０  試料ホルダー
１１  呼び径40mmのフランジ
１２  呼び径40mmのパイプ
１３  呼び径16mmのフランジ
１４  液体窒素溜め
１５  試料固定部
【図１】
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