(57)【要約】【課題】簡単な構造で、高速で効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供する。【解決手段】第１及び第２テーブル３，７においてその周面に切欠部３ａ，７ａを形成した。この切欠部３ａ，７ａのそれぞれに中心へ向けて吸引又は中心から排気可能な吸排気装置を設けた。微小物体（ワークＷ）は、切欠部３ａ，７ａで吸引されて安定した状態で位置しており、この状態のワークＷを第１及び第２テーブル３，７のそれぞれ表面又は裏面、及びそれぞれの周面に臨んで配置したカメラＣ１〜Ｃ６によって撮像し、外観を検査する。こうすることで、将来的にさらに小さい微小物体について、高速に外観検査を行っても確実に良品と不良品とを分別することができる。【選択図】　　　　図１
2004105809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小物体を外観検査して良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、円形とされると共に互いに回転可能で、その周面に中心へ向けて複数の切欠部が形成され、互いの外周が重ならないように周面を平行配置した円形の第１及び第２テーブルと、第１テーブルの下方部位近傍に配置した第１フィーダと、該第１テーブルの回転方向の所定位置で、前記第２テーブルの下方位置近傍に配置した第２フィーダと、前記切欠部のそれぞれに設けられた吸排気孔を介して中心に向けて吸引又は中心から排気する吸排気装置と、前記第１及び第２テーブルの表裏面及び周面に臨む位置に、前記切欠部に存する微小物体が撮像可能な位置に配置されたカメラと、これらカメラの撮像位置を各々照明するライトと、を備えたことを特徴とする微小物体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばコンデンサチップのような微小な物体の外観や寸法等を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
微小物体の検査装置は、フィーダから搬送される微小物体を整列させて１個ずつに分離して、下流側に吸引し、気流搬送によって微小物体を浮遊させて搬送する途中で、カメラにより微小物体を撮像し、この撮像データから微小物体の外観上の疵、寸法などを検査し、検査の結果に基づいて分別装置によって、微小物体が、良品の場合は良品貯蔵部へ、不良品の場合は不良品貯蔵部へ、各々分別されれる。
【０００３】
上記した検査装置は、良品と判定された微小物体と不良品と判定された微小物体とを分別するために、フィーダの微小物体の排出部となる先端から１本の気流搬送道が導設され、この気流搬送道における良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐位置に、良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐を切り替える閉塞板を設けている。
【０００４】
従って、検査装置は、良品貯蔵部及び不良品貯蔵部から空気を吸引して、良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、不良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じ、不良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じるのである。
【０００５】
このような検査装置は、良品貯蔵部と不良品貯蔵部とに分岐した各々の気流搬送道を閉塞板で閉じるようにしていたので、検査自体が非常に短時間で行え、また空気の吸引能力を高くすることができるにも拘わらず、順次気流搬送されてくる検査を終了した微小物体に対応してタイミング良く閉塞板の開閉操作を行うためには気流搬送速度を比較的低速とする必要が生じ、結果として大量の微小物体を短時間で効率よく処理することができないといった不具合があった。
【０００６】
そこで、本出願人は、例えば特願２０００−３７１１４３号において、２つの回転テーブル及び固定テーブル（以下、これらを第１テーブル、第２テーブルという）を用いて、微小物体が搬送される第１フィーダ側に設けた第１テーブルの直前で微小物体の上面、左右面を外観検査し、ここで良品と判断された微小物体をさらに第１テーブルの出口に設けた第２フィーダで受け取り、この第２フィーダにおいて微小物体の下面（このときは上面となっている）及び後面を外観検査し、第２テーブルにより良品と不良品を分別する微小物体検査装置を提案した。
【０００７】
上記した微小物体検査装置であれば、第１及び第２フィーダの搬送速度が、第１及び第２テーブルの回転速度に依存することになるから、微小物体の搬送速度を高速化した場合は、第１及び第２テーブルにおける微小物体の入口に挿入されないだけであってタイミングを考慮する必要がない。もっとも搬送速度を高速化した場合は、同様に第１及び第２テーブルの回転速度も高速化すればよいだけなので、結果として大量の微小物体を短時間で効率よく処理することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人が提案した微小物体検査装置は、上記したそれまでの気流輸送による諸問題を解決でき、実際上の使用には何ら差し支えないものであるが、将来的にさらに微小物体の寸法が小さくなったり、高速化した際には、次の不具合が生じる可能性があることを見出した。
【０００９】
すなわち、微小物体の寸法がさらに小さくなると、これと相対的に第１及び第２テーブルにおける微小物体の格納部位が大きくなり、微小物体が前記格納部位において安定した状態で格納されない場合が生じる。
【００１０】
結果として、第２テーブルへ搬送する第２フィーダ上では第１テーブルで反転された微小物体の下面が上面となるはずが、反転せず又は１回転して上面がそのまま上面となったまま第２フィーダ上を搬送される可能性がある。
【００１１】
また、適正状態で格納されないと、微小物体の長手部分が格納部位に引っ掛かり、第１及び第２テーブルの出口から微小物体が排出されない可能性もある。
【００１２】
さらに、将来的に高速化と共に装置自体のコンパクト化が進むと、当然に第１及び第２テーブル間のスペース（特に第２フィーダの搬送経路）が短くなる。よって、狭スペースを高速移動する微小物体について第１及び第２フィーダ上の微小物体を照明し撮像することが困難になる可能性がある。
【００１３】
本発明は、従来に本出願人が提案したものにおいて将来的に予測される不具合を予め解消し、かつ従来にあった諸問題をも包括的に解消するためになされたものであり、簡単な構造で、高速で効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、第１及び第２テーブルの周面に、その中心へ向けて切欠部を複数形成し、切欠部のそれぞれに、中心に向けて吸引又は中心から排気する吸排気装置を接続したのである。このようにすることで、将来的にさらに小さい微小物体について、高速に外観検査を行って確実に良品と不良品とを分別することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明は、微小物体を外観検査して良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、円形とされると共に互いに回転可能で、その周面に中心へ向けて複数の切欠部が形成され、互いの外周が重ならないように周面を平行配置した円形の第１及び第２テーブルと、第１テーブルの下方部位近傍に配置した第１フィーダと、該第１テーブルの回転方向の所定位置で、第２テーブルの下方位置近傍に配置した第２フィーダと、切欠部のそれぞれに設けられた吸排気孔を介して中心に向けて吸引又は中心から排気する吸排気装置と、第１及び第２テーブルの表裏面及び周面に臨む位置に、切欠部に存する微小物体が撮像可能な位置に配置されたカメラと、これらカメラの撮像位置を各々照明するライトと、を備えたものである。
【００１６】
本発明において、第１フィーダは、例えば先端部に至るまでの搬送経路を振動させて微小物体を整列する。第１フィーダの先端部は、微小物体の姿勢が崩れるのを防止するために無振動状態とされている。
【００１７】
そして、第１フィーダの先端部において僅かな間隔を存した上方に、第１テーブルの周面が位置する。第１テーブルは、周面に形成された複数の切欠部を第１フィーダの微小物体が整列状態で配置された個所に位置させるように回転し、ここで一旦（非常に短い間ではあるが）停止する。
【００１８】
このとき、第１フィーダの先端部に臨んだ切欠部において、吸排気装置が吸気作動し、第１フィーダの先端部に整列状態で配置された微小物体を該切欠部へ吸引し、その後、この状態を維持したまま、第１テーブルが再度回転する。
【００１９】
第１テーブルが回転すると、例えば第１フィーダが該第１テーブルにおける鉛直下端にある場合、第１テーブルが１８０°回転して当該切欠部が鉛直上端に回転するまでに、例えば該第１テーブルの表面及び周面に臨む２箇所に配置された計３台のカメラによって、微小物体の後面と切欠部と接触していない２面の計３面を撮像する。
【００２０】
このとき、第１テーブルが回転して鉛直上端に到達する間に、上記計３面が外観検査され、この結果、異常があった場合は、鉛直上端からさらに下流に回転した位置で、吸排気装置を排気作動させて微小物体を切欠部から所定の不良品収納部へ排除する。一方、異常がない微小物体は、第２テーブルに移動する。従って、第１テーブルが３６０°回転したときには、切欠部には微小物体が無い状態となる。
【００２１】
第１テーブルにおいて上記した例えば１８０°回転した鉛直上端には、第２フィーダが設けられている。第２フィーダへの微小物体の移動は、例えば第２フィーダにおける微小物体の搬送方向後方に設けた排出ユニットからの排気によって、例えば第２フィーダにおける微小物体の搬送方向前方に設けた吸引ユニットの吸気によって、あるいはこれら両方によって行う。
【００２２】
第２フィーダの先端部に移動した微小物体は、この位置で第２テーブルの鉛直下端まで回転し、一旦停止した切欠部に吸引される。第２テーブルの切欠部に移動した微小物体は、第１テーブルで切欠部に接触していた面が開放面とされ、つまり第１テーブルで切欠部に接触していなかった面（カメラで撮像され外観検査を終えた面）が第２テーブルの切欠部に接触する。そして第２テーブルの周面に臨む位置に配置された２台のカメラで上記第２テーブルの切欠部と接触していない２面を撮像し、第２テーブルの裏面に配置されたカメラで微小物体の前面を撮像する。
【００２３】
第２テーブルにおいて外観検査を経て異常がないと判断された微小物体は、６面全てに異常がないとして良品収納部へ、ここで異常があった場合は不良品収納部へ、それぞれ移動する。このとき、第２テーブルが回転移動して、当該切欠部が良品収納部、不良品収納部まで移動したときに、吸排気装置が排気作動して微小物体を各々の収納部へ排出する。従って、第２テーブルが３６０°回転したときには、切欠部には微小物体が無い状態となる。
【００２４】
本発明は、第１及び第２テーブルを互いの周面を平行に配置し、周面の複数の切欠部に微小物体を吸排気装置によって吸引して位置させているので、微小物体の寸法がさらに小さくなり、相対的に第１及び第２テーブルにおける切欠部が大きくなっても、微小物体を切欠部に正しく位置させることができ、また、引っ掛かったりして姿勢を崩すことなく排出することができる。
【００２５】
さらに、将来的に高速化と共に装置自体のコンパクト化が進んで、第１及び第２テーブル間のスペース（特に第１及び第２フィーダの搬送経路）が短くなっても、第１及び第２テーブルの周面に臨む位置や表裏面にカメラやライトを配置するので、高速移動する微小物体について確実な照明と撮像が可能で、分別精度が低下することがない。
【００２６】
【実施例】
以下に本発明の微小物体検査装置の実施例について図面を参照して説明する。図１及び図２は本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す。図３は本発明の微小物体検査装置における第１及び第２回転テーブルの周面を示す。なお、図では微小物体や構成等を拡大し、かつ誇張して示している。
【００２７】
図において、１は、例えばコンデンサチップのような微小物体Ｗ（以下、ワークＷという）の外観や寸法を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置（以下、検査装置という）であり、以下のように構成されている。
【００２８】
２は、図２に示されるように、例えば高周波振動を推力とする第１フィーダであり、この第１フィーダ２は、配置面に対して水平状とされ、例えば溝が形成された搬送路２ａに高周波振動を与えつつワークＷを整列して先端部の排出部２ｂに搬送する。排出部２ｂは、ワークＷの姿勢が崩れないように無振動状態とされている。
【００２９】
例えば本実施例では、矩形状のワークＷの外観検査を行うように設定され、排出部２ｂは、後述するにように第１テーブル３の切欠部３ａの形状に合わせて、ワークＷが載置される部分が９０°の谷状とされ、この谷部分が、鉛直に対して４５°傾斜した状態とされている。よってワークＷは排出部２ｂの谷にその２面が接触した状態で位置することとなる。
【００３０】
３は、図３に示すように、第１フィーダ２の排出部２ｂの上方にその周面が位置すると共に、配置面に対して垂直状に立設されてモータＭ１によって回転する第１テーブルである。この第１テーブル３は、その周面に、中心へ向かう例えば図３に示すような切欠部３ａが複数形成されている。
【００３１】
この切欠部３ａは、ワークＷの外形に沿って、中心線に対して例えば４５°傾斜すると共に谷部３ｂの壁面でなす角度が例えば９０°とされている。よってワークＷは、大きさに拘わらず、矩形状であれば谷部３ｂの壁面に沿った状態で密着状に格納されることとなり、姿勢が崩れることがなくなる。
【００３２】
谷部３ｂには、吸排気孔３ｃが形成されている。この吸排気孔３ｃは、第１テーブル３の内部でチューブに設けられた弁（参照番号無）を介して後述する吸排気装置４に接続している。
【００３３】
４は、上記した切欠部３ａの谷部３ｂに対して排気又は吸気する吸排気装置であり、吸排気装置４は、適宜、ワークＷを切欠部３ａから排出するときは弁を選択的に開いて排気し、ワークＷを切欠部３ａで保持するときは弁を選択的に開いて吸気する。
【００３４】
５は、第１フィーダ２の排出路２ｂの先端部にほぼ密着状に設けられた吸引ユニットであり、この吸引ユニット５は、第１フィーダ２の排出路２ｂ位置に整列されたワークＷを１個だけ分離して移動させるものである。吸引ユニット５は、図示しないが例えばその吸気孔にワークＷを吸入しないように微細な目の網がかけられている。
【００３５】
吸引ユニット５は、その吸引力が大きいと上記網にワークＷが衝突してこの時点でワークＷが損傷するため、１個分離して移動するだけの吸引力としている。そして、仮に吸引したワークＷが吸引ユニット５の網に当接したとしても、網によって衝撃が緩衝されるのでワークＷが損傷しないようになっている。
【００３６】
６は、例えば第１テーブル３の鉛直上端、つまり第１フィーダ２が設けられた位置から第１テーブル３が１８０°回転した位置における裏面に密着状に設けた第２フィーダである。
【００３７】
第２フィーダ６は、無振動状態とされ、上記第１フィーダ２と同じく第１テーブル３の切欠部３ａの形状に合わせて、ワークＷが載置される部分が９０°の谷状とされ、この谷部分が、鉛直に対して４５°傾斜した状態とされている。この第２フィーダ６に移動したワークＷは、第１テーブル３で外周に面した２面が、そのまま外側に面した状態で第２フィーダ６に移動する。
【００３８】
７は、第２フィーダ６の上方にその周面を位置させた第２テーブルである。第２テーブル７は、配置面に対して垂直状に立設されてモータＭ２によって回転する。第２テーブル７は、その周面に、中心へ向かう例えば図３に示すような切欠部７ａが複数形成されている。
【００３９】
この切欠部７ａは、第１テーブル３と同じく例えば本実施例で外観検査を行うワークＷが矩形状であるので、このワークＷの外形に沿って、中心線に対して例えば４５°傾斜すると共に谷部７ｂの壁面でなす角度が例えば９０°とされている。よってワークＷは、大きさに拘わらず、矩形状であれば谷部７ｂの壁面に沿った状態で密着状に格納されることとなり、姿勢が崩れることがなくなる。
【００４０】
谷部７ｂには、吸排気孔７ｃが形成されている。この吸排気孔７ｃは、第２テーブル７の内部でチューブに設けられた弁（参照番号無）を介して後述する吸排気装置８に接続している。
【００４１】
８は、上記した切欠部７ａの谷部７ｂに対して排気又は吸気する吸排気装置であり、この吸排気装置８は、適宜、ワークＷを切欠部７ａから排出するときは弁を選択的に開いて排気し、ワークＷを切欠部７ａで保持するときは弁を選択的に開いて吸気する。
【００４２】
９は、第２フィーダ６の先端部にほぼ密着状に設けられた吸引ユニットであり、この吸引ユニット９は、上端位置まで回転した第１テーブル３の切欠部３ａに位置するワークＷを第２フィーダ６に移動させるものである。吸引ユニット９は、図示しないが例えばその吸気孔にワークＷを吸入しないように微細な目の網がかけられている。
【００４３】
吸引ユニット９は、その吸引力が大きいと上記網にワークＷが衝突してこの時点でワークＷが損傷するため、ワークＷが移動するだけの吸引力としている。そして、仮に吸引したワークＷが吸引ユニット９の網に当接したとしても、網によって衝撃が緩衝されるのでワークＷが損傷しないようになっている。
【００４４】
１０は、第１テーブル３の表面側に設けられると共に吸引ユニット９と同一直線状に設けた排出ユニットである。この排出ユニット１０は、上端に回転した第１テーブル３の切欠部３ａに位置するワークＷを第２フィーダ６へ移動させるものである。よって本実施例では、この排出ユニット１０と吸引ユニット９とを設けた構成を示すが、どちらか一方だけ備えた構成でもよい。
【００４５】
Ｃ１〜Ｃ６は、ワークＷの６面を撮像するカメラであり、このカメラＣ１〜Ｃ６は、図示しないが各々の撮像位置を照明するためのライトが省スペース化を考慮して一体的に設けられている。そして、カメラＣ１〜Ｃ６は、それぞれ以下の位置において、配置面と平行、つまり水平状に配置して切欠部３ａの谷部３ｂに吸引状態にあるワークＷの各面を撮像する。
【００４６】
カメラＣ１は、図２に示すように例えば第１テーブル３の表面側において、例えば第１フィーダ２配置位置から第２フィーダ６配置位置までの回転方向の間で、例えば略鉛直上端に設けられ、ワークＷの後面を撮像する。カメラＣ２は、図２に示すように例えば第２テーブル７の裏面側において、例えば鉛直上端に設けられ、ワークＷのカメラＣ１で撮像した面とは別の前面を撮像する。
【００４７】
カメラＣ３は、例えば第１フィーダ２配置位置から第２フィーダ６配置位置までの間で回転方向において上流の周面に臨んで設けられ、切欠部３ａで吸引状態にあるワークＷの外周に面した１面を撮像する。カメラＣ４は、例えば第１フィーダ２配置位置から第２フィーダ６配置位置まで間で回転方向においてカメラＣ３より下流の周面に臨んで設けられ、切欠部３ａで吸引状態にあるワークＷの外周に面し、カメラＣ３で撮像した面と別の１面を撮像する。
【００４８】
カメラＣ５は、例えば第２テーブル７の鉛直上端に至るまでの回転方向において上流の周面に臨んで設けられ、切欠部３ａで吸引状態にあるワークＷの外周に面し、カメラＣ３，Ｃ４で撮像した面と別の１面を撮像する。カメラＣ６は、例えば第２テーブル７の鉛直上端に至るまでの回転方向においてカメラＣ５より下流の周面に臨んで設けられ、切欠部３ａで吸引状態にあるワークＷの外周に面し、カメラＣ３，Ｃ４，Ｃ５で撮像した面と別の１面を撮像する。
【００４９】
本発明の検査装置１は、上記したように、第１及び第２テーブル３，７で切欠部３ａ，７ａを、中心線に対して例えば４５°傾斜させると共に谷部７ｂの壁面が例えば９０°としているので、図１に示すように、矩形状のワークＷは、カメラＣ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６で撮像する位置では、谷部３ｂの壁面にワークＷの１面が当接して水平となった最も安定した状態で撮像することが可能となる。また、カメラＣ１，Ｃ２は、谷部３ｂの壁面にワークＷの２面が最も安定して密着した状態となる鉛直上端に配置しているので、ワークＷの前後面を確実に撮像することができる。
【００５０】
また、ライトは、本実施例ではカメラＣ１〜Ｃ６と一体的に設けているが、該カメラＣ１〜Ｃ６と同様で第１及び第２フィーダ２，６上のワークＷを撮像しないので、ライトの配置制約が少なくなる。
【００５１】
なお、検査装置１は、上記構成に加えて、不図示ではあるが、第１テーブル３において鉛直上端（第２フィーダ６を設けた位置）から回転方向の下流の周面に臨んで、第１テーブル３において検査したワークＷの３面中に不良があった場合に当該不良品のワークＷを排出する不良品収納部が設けられている。
【００５２】
また、検査装置１は、第２テーブル７において鉛直上端から回転方向の下流の周面に臨んで回転する順に、ワークＷが良品である場合に当該良品のワークＷを排出する良品収納部と、第２テーブル７において検査したワークＷの３面中に不良があった場合に当該不良品のワークＷを排出する不良品収納部とが設けられている。
【００５３】
次に上記構成の検査装置１の動作を説明する。
第１フィーダ２の搬送路２ａで振動により整列されつつ前進するワークＷは、吸引ユニット５によって１個だけ分離されて該吸引ユニット５に当接し、排出路２ｂの前端に位置する。第１テーブル３は、検査装置１の作動中は常に一旦停止しつつ回転しており、切欠部３ａが排出路２ｂに回転したときに僅かな時間だけ停止する。
【００５４】
第１テーブル３が停止したとき、吸排気装置４を吸気作動させると共に、いま排出路２ｂに臨んだ当該切欠部３ａに対応する弁を開いて、吸排気孔３ｃからワークＷを吸引する。第１フィーダ２の排出路２ｂに１個だけ分離されたワークＷは、第１テーブル３の切欠部３ａに吸引されたとき、該排出路２ｂの谷に接触した２面が第１テーブル３の外周に向くこととなる。
【００５５】
第１テーブル３が再度回転し、例えば次の一旦停止のタイミングで、まずカメラＣ３により谷部３ｂに密着していないワークＷの２面のうちの１面を撮像し、さらに２回後の一旦停止のタイミングでカメラＣ４により谷部３ｂに密着していないワークＷの２面のうち、カメラＣ３で撮像した面とは別の１面を撮像する。これら撮像データは、各々制御部に出力され、外観異常の判断に供される。
【００５６】
さらに第１テーブル３が回転して、当該切欠部３ａが略鉛直上端に達して、一旦停止したとき、カメラＣ１によりワークＷの第１フィーダ２における進行方向の後面を撮像する。この撮像データは、制御部に出力され、外観異常の判断に供される。
【００５７】
第１テーブル３が回転して、当該切欠部３ａが鉛直上端に達したときには、当該ワークＷについての３面の外観検査が終了している。ここで、いま外観検査したワークＷの３面のうち１面でも外観異常があれば、吸排気装置４の吸気作動を止めることなく、また、吸引ユニット９及び排出ユニット１０を作動させることなく、切欠部３ａにワークＷを吸引したまま第１テーブル３の鉛直上端より下流に設けられた不図示の不良品収納部で、吸排気装置４を排気作動してワークＷを切欠部３ａから排出する。
【００５８】
一方、外観検査したワークＷの３面ともに外観異常がなければ、吸排気装置４を排気作動させると共に、吸引ユニット９及び排出ユニット１０を作動させて、当該ワークＷを第２フィーダ６に移動させる。第２フィーダ６に移動したワークＷは、第１テーブル３で切欠部３ａの谷部３ｂに接触していた面がそのまま第２フィーダ６の谷に接触している。
【００５９】
そして、第１テーブル３と同じように回転している第２テーブル７は、切欠部３ａが第２フィーダ６に臨んだ位置で一旦停止したときに、吸排気装置８を吸気作動させると共に、当該切欠部７ａに対応する弁を開いて、吸排気孔７ｃからワークＷを吸引する。第２テーブル７の切欠部７ａに吸引されたとき、第２フィーダ６の谷に接触していた（第１テーブル３で切欠部３ａの谷部３ｂに接触していた）２面が第２テーブル７の外周に向くこととなる。そして、ワークＷの２つの外面は、吸引された状態で谷部７ｂの壁面のそれぞれに密着した状態となる。
【００６０】
第２テーブル７が回転し、例えば次の一旦停止のタイミングで、まずカメラＣ５により谷部７ｂに密着していないワークＷの２面のうちの１面を撮像し、さらに２回後の一旦停止のタイミングで、カメラＣ６により谷部７ｂに密着していないワークＷの２面のうち、カメラＣ５で撮像した面とは別の１面を撮像する。これら撮像データは、各々制御部に出力され、外観異常の判断に供される。
【００６１】
さらに第２テーブル７が回転して、当該切欠部７ａが鉛直上端に達して、一旦停止したとき、カメラＣ２によりワークＷの第２フィーダ６における進行方向の前面を撮像する。この撮像データは、制御部に出力され、外観異常の判断に供される。
【００６２】
第２テーブル７が回転して、カメラＣ２での撮像を終えると、当該ワークＷについて、第１テーブル３において検査していない残りの３面の外観検査が終了したことになる。ここで、いま外観検査したワークＷの３面のうち１面でも外観異常があれば、切欠部７ａにワークＷを吸引したまま第２テーブル７の鉛直上端より下流に設けられた不図示の不良品収納部で、吸排気装置８を排気作動してワークＷを切欠部７ａから排出する。
【００６３】
一方、外観検査したワークＷの３面ともに外観異常がなければ、すなわちワークＷの６面ともに外観異常がなければ、切欠部７ａにワークＷを吸引したまま第２テーブル７の回転方向における不良品収納部より下流に設けられた不図示の良品収納部で、吸排気装置８を排気作動してワークＷを切欠部７ａから排出する。
【００６４】
このように、本発明の検査装置１は、将来的にさらに微小物体の寸法が小さくなった際、矩形状のワークＷを、第１及び第２テーブル３，７の周面に中心方向に向けて形成された切欠部３ａの谷部３ｂに吸引するので、ワークＷの寸法に拘わらず、安定した状態で位置させることができ、また、引っ掛かったりすることなく速やかにかつ姿勢を崩すことなく排出することができる。
【００６５】
さらに、カメラＣ１〜Ｃ６（やライト）は、広いスペースでかつワークＷが安定して切欠部３ａ，７ａに位置する箇所に設けているので、将来的に高速化と共に装置自体のコンパクト化が進んでも、配置の制約を受けることがなく、適切な箇所で照明と撮像が行える。
【００６６】
なお、本発明は上記実施例に限らず、次のような変形も可能である。すなわち、上記実施例では谷部３ｂ，７ｂの傾斜角度は、第１及び第２テーブル３，７の中心線に対して４５°としていたが、カメラやライトの配置に応じて（１８０−谷部３ｂ，７ｂの壁面でなす角度）／２で算出した傾斜角度とすれば、ワークＷを安定させ、かつこの安定した状態のワークＷについて確実に照明したり撮像したりできる。
【００６７】
【発明の効果】
以上のように、本発明の微小物体検査装置は、第１及び第２テーブルの周面に形成した複数の切欠部に微小物体を位置させるので、さらに微小物体の寸法が小さくなっても、微小物体を切欠部において安定した状態で格納することができ、また、微小物体の移動時に姿勢が崩れることがないので、６面の適正な外観検査が行える。さらに、第１及び第２テーブルの周面に臨む位置や表裏面で微小物体が安定状態にある比較的広く配置の制約を受けない箇所にカメラやライトを配置したので、狭スペースを高速移動する微小物体について確実な照明と撮像が可能で、分別精度が低下することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示し、第１及び第２テーブルの表面方向から見た図である。
【図２】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示し、第１及び第２テーブルの周面方向から見た図である。
【図３】本発明の微小物体検査装置における第１及び第２テーブルの切欠部を示す図である。
【符号の説明】
１　（微小物体）検査装置
２　第１フィーダ
３　第１テーブル
３ａ　切欠部
３ｂ　谷部
３ｃ　吸排気孔
４　吸排気装置
６　第２フィーダ
７　第２テーブル
７ａ　切欠部
７ｂ　谷部
７ｃ　吸排気孔
８　吸排気装置
Ｃ１〜Ｃ６　カメラ（ライトを内蔵）
Ｗ　ワーク
【図１】
2004105809.tif 000003
【図２】
2004105809.tif 000004
【図３】
2004105809.tif 000005