(57)【要約】      （修正有）【課題】消耗材のコストを下げることができ、データ遺失の危険を減少させることができる機能を有するウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置を提供する。【解決手段】バーチャルモジュール６３は制御システム１０の識別データを提供し、制御システム１０はバーチャルモジュール６３を通じて作業ハードディスク４０とバックアップハードディスク５０への読み取りと書き込みを行い、読み取り書き込みモジュール６４は作業ハードディスクとバックアップハードディスクの読み取り書き込み作業の制御と監視を行い、制御システムはバーチャルモジュールと読み取り書き込みモジュールを通じて、作業ハードディスクからのデータの読み取りと、データを作業ハードディスクとバックアップハードディスクへ同時に書き込むことを行い、作業ハードディスクからの読み取りに失敗した時は直接バックアップハードディスクからの読み取りを行い、警告信号を制御システムに伝送する。【選択図】図２
0003107817.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置であり、
前記ウェーハ生産設備の機台内には制御システムと収容空間が設けられており、
前記保存、バックアップ装置は、棚体と、バーチャルモジュールと、読み取り書き込みモジュールとによって構成されており、
前記棚体は、前記収容空間に固定されており、前記棚体上には二つのハードディスク設置部が設けられており、それぞれ作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースを挿設することができ、前記作業ハードディスクケース内には作業ハードディスクが設けられており、前記バックアップハードディスクケース内にはバックアップハードディスクが設けられており、
前記バーチャルモジュールは、前記棚体上に設けられており、前記制御システムが必要とする識別データを提供することができ、
前記読み取り書き込みモジュールは、前記バーチャルモジュールと連結されており、前記作業ハードディスクとバックアップハードディスクの読み取り書き込み作業の制御と監視を行うことができることを特徴とするウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項２】
前記棚体の二つのハードディスク設置部の下方には固定具が設けられており、前記作業ディスクケースとバックアップディスクケースを前記ハードディスク設置部に固定していることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項３】
前記保存、バックアップ装置はさらに制御電気回路板を有しており、前記バーチャルモジュールと読み取り書き込みモジュールは前記制御電気回路板上に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項４】
前記制御システムにはＳＣＳＩフラットケーブルと電源ケーブルが設けられており、前記制御電気回路板上にはＳＣＳＩコネクタと電源コネクタが設けられており、それぞれに前記ＳＣＳＩフラットケーブルと電源ケーブルが挿接されていることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項５】
前記作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースの後側部にはそれぞれ接続プラグが設けられており、前記制御電気回路板上には二つの接続コネクタが設けられており、それぞれに作業ハードディスクケースの接続プラグとバックアップハードディスクケースの接続プラグとを挿接することができることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項６】
前記作業ハードディスクとバックアップハードディスクはどちらも２．５インチのＩＤＥハードディスクであることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項７】
前記作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースにはどちらにも角度を変えることができる取っ手が設けられており、ハードディスク設置部への抜き差しに便利になっていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【請求項８】
前記棚体のサイズは、幅３８ｍｍ〜４０ｍｍ、高さ１００ｍｍ〜１２８ｍｍ、長さ１５０ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置に係り、特に消耗材のコストを下げることができ、データ遺失の危険を減少させることができる機能を有するウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置に関わる。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体技術の急速な発達により、ウェーハのサイズは初期の５インチ、６インチ、８インチから現在の１２インチまであり、前記ウェーハサイズの増加に相対して、ウェーハ生産能力の向上とコストの低下を表しており、異なるウェーハサイズの発展に伴い、その時代のウェーハを製造する生産設備が作られる。前述の小さいサイズのウェーハの生産設備の生産能力を大きいサイズのウェーハの生産設備と比較することはできないが、両者の生産するチップには殆ど差がなく、その差は生産能力にあるのみであり、そのため、コストと経済効率から考えて小さい規格のウェーハの生産設備を一度に完全に淘汰することはできず、従って現在、半導体産業は１２インチウェーハの領域に踏み込んでいるが、業界内では未だに多くの８インチウェーハ生産設備が生産ライン上に投入されており、継続してその経済効果を発揮しているが、設備のメーカーは半導体技術の発展速度を高めることを基本とし、市場の需要やコストなど様々な理由から、大部分の人力と物資を新技術の開発、設計に投入しており、前述の旧型のじきに淘汰される設備に対しては更新するサービスを提供せず、そのために前述の旧型のウェーハ生産設備は通常経済効果がなくなるまで使用され、そのうち自然に淘汰されてしまい、前述の旧型のウェーハ生産設備に淘汰される前に如何に最大限の経済効果を発揮させ、さらなる利益を得るかが、業者が早急に解決させたい問題であった。
【０００３】
一般に旧型のウェーハ生産設備には更新やアップグレードするサービスが提供されていないために、通常は旧規格のソフトやハードしか使うことができないのであるが、コンピュータのソフト、ハードの発展と更新速度は非常に速く、そのために前述の旧規格のウェーハ生産設備は前述のアップグレードできないソフトやハードの制限を受けるために、その生産効率に影響を受け、特にハードにおいては、しばしば旧規格が生産されないことや市場において存在しないという状況が発生してしまい、例えば以前の８インチウェーハの生産設備の制御システムは全て１つの特定のモデルのＳＣＳＩハードディスク（例えばＳｅａｇａｔｅ  ＳＴ３４５２０Ｎ）だけに合わせて使用できるように設計されており、一旦異なるモデルのハードディスクを使用する時、エラーが発生して運転させることができないが、前述のモデルのハードディスクは現在生産が中止されており、市場においても見ることができず、従ってコストが非常に高くなってしまい、一旦前述のモデルのハードディスクが市場から完全に消え去った時、前述のウェーハ生産設備はたとえその機能や部品が正常でも使用することができず、さらに前述のモデルのハードディスク容量（約６ＧＢ）と現在のハードディスクの６０ＧＢ、８０ＧＢの容量とは全く比較することができず、さらに前述の旧型のウェーハ生産設備はただ１つのハードディスクを利用してその制御システムのパラメータの保存手段としているので、一旦前述のハードディスクが破損した時、パラメータデータが遺失してしまい、設備の使用者は莫大な時間を掛けて前述のパラメータデータを再建しなければならず、前述の生産設備が停止している期間、ウェーハ工場が被る損失は非常に大きく、前述の旧規格のハードディスクの数量は少なく、容量も小さいので、一般に一定の短い期間において内部のデータを削除し、再び利用する必要があり、そのためチップが問題を発見し、生産のパラメータを辿って探し出したい時、前述のパラメータはすでに削除されていたという状況がしばしば発生してしまい、問題を即座に解決することができない。
【０００４】
そこで、本考案の考案者は前述の問題に対して深く考え、さらに積極的に研究を行い長期に渡る努力と改良によって本考案を開発した。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主要な目的は、消耗材のコストを下げることができ、データ遺失の危険を減少させることができる機能を有するウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、
請求項１の考案は、ウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置であり、
前記ウェーハ生産設備の機台内には制御システムと収容空間が設けられており、
前記保存、バックアップ装置は、棚体と、バーチャルモジュールと、読み取り書き込みモジュールとによって構成されており、
前記棚体は、前記収容空間に固定されており、前記棚体上には二つのハードディスク設置部が設けられており、それぞれ作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースを挿設することができ、前記作業ハードディスクケース内には作業ハードディスクが設けられており、前記バックアップハードディスクケース内にはバックアップハードディスクが設けられており、
前記バーチャルモジュールは、前記棚体上に設けられており、前記制御システムが必要とする識別データを提供することができ、
前記読み取り書き込みモジュールは、前記バーチャルモジュールと連結されており、前記作業ハードディスクとバックアップハードディスクの読み取り書き込み作業の制御と監視を行うことができることを特徴とするウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【０００７】
請求項２の考案は、前記棚体の二つのハードディスク設置部の下方には固定具が設けられており、前記作業ディスクケースとバックアップディスクケースを前記ハードディスク設置部に固定していることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【０００８】
請求項３の考案は、前記保存、バックアップ装置はさらに制御電気回路板を有しており、前記バーチャルモジュールと読み取り書き込みモジュールは前記制御電気回路板上に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【０００９】
請求項４の考案は、前記制御システムにはＳＣＳＩフラットケーブルと電源ケーブルが設けられており、前記制御電気回路板上にはＳＣＳＩコネクタと電源コネクタが設けられており、それぞれに前記ＳＣＳＩフラットケーブルと電源ケーブルが挿接されていることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【００１０】
請求項５の考案は、前記作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースの後側部にはそれぞれ接続プラグが設けられており、前記制御電気回路板上には二つの接続コネクタが設けられており、それぞれに作業ハードディスクケースの接続プラグとバックアップハードディスクケースの接続プラグとを挿接することができることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【００１１】
請求項６の考案は、前記作業ハードディスクとバックアップハードディスクはどちらも２．５インチのＩＤＥハードディスクであることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【００１２】
請求項７の考案は、前記作業ハードディスクケースとバックアップハードディスクケースにはどちらにも角度を変えることができる取っ手が設けられており、ハードディスク設置部への抜き差しに便利になっていることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【００１３】
請求項８の考案は、前記棚体のサイズは、幅３８ｍｍ〜４０ｍｍ、高さ１００ｍｍ〜１２８ｍｍ、長さ１５０ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ生産設備の保存、バックアップ装置である。
【考案の効果】
【００１４】
バーチャルモジュールによって制御システムを各種規格やメーカーのハードディスクに使用できるようにさせることにより大幅にコストを節約でき、同時に読み取り書き込みモジュールの制御によってパラメータデータをそれぞれ作業ハードディスクとバックアップハードディスク内に保存することによりハードディスクの破損によるデータ遺失の危険を減少させることができた。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１、２、３、４は８インチウェーハの生産設備の保存、バックアップ装置であり、前述の８インチウェーハ生産設備の機台（１）には制御システム（１０）と収容空間（１１）が設けられており、前述の制御システム（１０）にはＳＣＳＩフラットケーブル（１２）と電源ケーブル（１３）が設けられており、公知構造のモデルがＳｅａｇａｔｅ  ＳＴ３４５２０ＮのＳＣＳＩハードディスクと接続するようになっており（本考案では前述のＳＣＳＩハードディスクは設けない）、前述の収容空間（１１）は元々公知構造のＳＣＳＩハードディスクを装着する空間である。
【００１６】
棚体（３）のおよそのサイズは幅３８ｍｍ〜４０ｍｍ、高さ１００ｍｍ〜１２８．５ｍｍ、長さ１５０ｍｍであり、ちょうど前述の機台（１）の収容空間（１１）内に固定され、前述の棚体（３）には二つのハードディスク設置部（３０）が設けられており、そこに作業ハードディスクケース（５）とバックアップハードディスクケース（６）が挿入され、前述の二つのハードディスク設置部（３０）の下方にはそれぞれ固定具（３１）が設けられており、前述の作業ハードディスクケース（５）とバックアップハードディスクケース（６）を前述のハードディスク設置部（３０）に固定している。
【００１７】
作業ハードディスクケース（４）は前述の棚体（３）の一方のハードディスク設置部（３０）内に挿設することができ、作業ハードディスクケース（４）内には作業ハードディスク（４０）が設けられており、前述の作業ハードディスク（４０）は２．５インチのＩＤＥハードディスクであり、前述の作業ハードディスクケース（４）の後側には接続プラグ（４１）が設けられており、さらに前述の作業ハードディスクケース（４）の前側には角度を変えられる取っ手（４２）が設けられており、ハードディスク設置部（３０）からの取り出しに便利になっている。
【００１８】
バックアップハードディスクケース（５）は前述の棚体（３）のもう一方のハードディスク設置部（３０）内に挿設することができ、バックアップハードディスクケース（５）内にはバックアップハードディスク（５０）が設けられており、前述のバックアップハードディスク（５０）は２．５インチのＩＤＥハードディスクであり、前述のバックアップハードディスクケース（５）の後側には接続プラグ（５１）が設けられており、さらに前述のバックアップハードディスクケース（５）の前側には角度を変えられる取っ手（５２）が設けられており、ハードディスク設置部（３０）からの取り出しに便利になっている。
【００１９】
制御電気回路板（６）は前述の棚体（３）のハードディスク設置部（３０）の底部に設けられており、後側面にはＳＣＳＩコネクタ（６０）が設けられており、前述の制御システム（１０）のＳＣＳＩフラットケーブル（１２）と接続されており、さらに電源コネクタ（６１）が設けられており、前述の制御システム（１０）の電源ケーブルが挿設されており、前述の制御電気回路板（６）の前側面の二つのハードディスク設置部（３０）に対応する底部には二つの接続コネクタ（６２）が設けられており、前述の二つの接続コネクタ（６２）には、それぞれ作業ハードディスクケース（４）の接続プラグ（４１）とバックアップハードディスクケース（５）の接続プラグ（５１）が挿設されており、前述の制御電気回路板（６）上にはさらにバーチャルモジュール（６３）と読み取り書き込みモジュール（６４）が設けられており、制御システム（１０）を作業ハードディスク（４０）とバックアップハードディスク（５０）とに連結させており、前述のバーチャルモジュール（６３）は主に前述の制御システム（１０）が必要とする識別データ（もとからあるＳＣＳＩハードディスク内に存在するモデルであるＳｅａｇａｔｅ  ＳＴ３４５２０Ｎや検証番号等）を提供し、上述の制御システム（１０）に前述の保存、バックアップ装置（２）のモデルがＳｅａｇａｔｅ  ＳＴ３４５２０ＮのＳＣＳＩハードディスクであると識別させ、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）は前述の作業ハードディスク（４０）とバックアップディスク（５０）の読み取り書き込み作業の制御と監視を行うことができ、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）が読み取りを行う時は１つのハードディスクのみを読み取り、書き込みを行う時は二つのハードディスク内に同時に書き込む。
【００２０】
図４に示すように、前述のウェーハ生産設備を運転させる時、前述のバーチャルモジュール（６３）は前述の制御システム（１０）に保存、バックアップ装置（２）が読み取り書き込みができる装置であると識別させ、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）は作業ハードディスク（４０）内のデータのみを読み取り、前述のデータを制御システム（１０）に伝送すると同時に、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）は制御システム（１０）のデータを同時に前述の作業ハードディスク（４０）とバックアップハードディスク（５０）内に書き込み、保存とバックアップを行い、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）が作業ハードディスク（４０）を読み取れない時、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）は直接バックアップディスク（５０）のデータを読み取り、継続してウェーハの生産作業を行い、同時に作業ハードディスク（４０）の読み取り不可の警告信号を制御システム（１０）に伝送し、操作する人に作業ハードディスク（４０）の交換の必要を知らせ、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）が作業ハードディスク（４０）或いはバックアップハードディスク（５０）内にデータを書き込めない時には、前述の読み取り書き込みモジュール（６４）は作業ハードディスク（４０）或いはバックアップハードディスク（５０）への書き込み不可の警告信号を制御システム（１０）に伝送し、操作する人に作業ハードディスク（４０）或いはバックアップハードディスク（５０）の交換の必要を知らせる。
【００２１】
本考案は上述のように特殊な構造を有しており、実際に実施して使用する時に以下のような優れた点を有している。
【００２２】
１  本考案は前述のバーチャルモジュール（６３）によって、もとからある８インチウェーハの生産設備の制御システム（１０）を規定以外のハードディスク（例えば一般の市場に見られるＩＤＥハードディスク）に使用できるようにすることができ、前述のＩＤＥハードディスクの価格はＳＣＳＩハードディスクよりはるかに安いので、大幅にコストを下げることができ、旧型機種の生産設備の使用を大幅に延長することができ、さらに高い経済効果を得ることができる。
【００２３】
２  本考案のハードディスクの規格は制限を受けないので新型の大容量のハードディスクを使用し、作業効率を大幅に高めることができる。
【００２４】
３  本考案のハードディスクの規格は制限を受けないので作業ハードディスク（４０）とバックアップハードディスク（５０）のサイズを比較的小さな２．５インチのＩＤＥハードディスクにし、保存、バックアップ装置（２）の体積を大幅に縮小することができ、もともと比較的大きなＳＣＳＩハードディスクが設置される収容空間（１１）において空間を占拠させないようにすることができる。
【００２５】
４  本考案は読み取り書き込みモジュール（６４）によってデータを作業ハードディスク（４０）とバックアップハードディスク（５０）内に同時に書き込むので、たとえ片方のハードディスクが破損してもデータはもう一方のハードディスクから読み取ることができ、データ遺失の危険を大幅に減少させることができる。
【００２６】
５  本考案の読み取り書き込みモジュール（６４）は作業ハードディスクが破損して読み取り書き込みが不可であることを発見した時、自動的にバックアップディスク（５０）からの読み取りを行うことができ、生産設備を停止させ修理を行う必要がなく、作業効率を大幅に上げることができる。
【００２７】
６  本考案の読み取り書き込みモジュール（６４）は一旦作業ハードディスク（４０）或いはバックアップハードディスク（５０）が破損して読み取り書き込み不可であることを発見した時、即座に警告信号を制御システム（１０）に伝送し、それにより操作する人は即座に故障に対応することができる。
【００２８】
上述のように本考案は産業上の利用性と進歩性を有しており、同類製品において未だに類似する製品或いは発表はなく、新規性を有しており、実用新案請求の要件に符合しており、法に基づき申請を行う。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本考案の使用実施例である。
【図２】本考案の立体分解図である。
【図３】本考案の後側部の立体図である。
【図４】本考案のシステムのブロック図である。
【符号の説明】
【００３０】
１    機台
１０  制御システム
１１  収容空間
１２  ＳＣＳＩフラットケーブル
１３  電源ケーブル
２    保存、バックアップ装置
３    棚体
３０  ハードディスク設置部
３１  固定具
４    作業ハードディスクケース
４０  作業ハードディスク
４１  接続プラグ
４２  取っ手
５    バックアップハードディスクケース
５０  バックアップハードディスク
５１  接続プラグ
５２  取っ手
６    制御電気回路板
６０  ＳＣＳＩコネクタ
６１  電源コネクタ
６２  接続コネクタ
６３  バーチャルモジュール
６４  読み取り書き込みモジュール
【図１】
0003107817.tif 000003
【図２】
0003107817.tif 000004
【図３】
0003107817.tif 000005
【図４】
0003107817.tif 000006