(57)【要約】      （修正有）【課題】容器本体と蓋体を切り離した後の蓋体の一時的な保管場所を兼ね、簡単かつ安定した操作で短時間に蓋体を開閉し、パーティクル（異物微粒子）のウェーハ輸送容器内への混入を低減させることを可能とする。【解決手段】ウェーハ輸送容器の蓋体２を把持する装置においては、蓋体２を把持するための蓋体把持アーム１１を有する。またウェーハ輸送容器を一定位置に置くための位置決めピン１５を具備した搭載ベース１３を有する。搭載ベース１３はウェーハ輸送容器を置く（取外す）位置と蓋体２を把持する位置の間をスライドレール１６によりガイドされ移動する。搭載ベース１３がウェーハ輸送容器を搭載し、蓋体２を把持する位置に移動して蓋体２を把持し、ウェーハ輸送容器のクランプ体３によるクランプを解除し、搭載ベース１３をウェーハ輸送容器を置く位置に移動し、容器本体１と蓋体２を切り離すことができる。【選択図】    図５
2004349659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手動操作でウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作中および容器本体１と蓋体２を切離した後も蓋体２を機械的に把持することを特徴とするウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置。
【請求項２】
手動操作でウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作中および容器本体１と蓋体２を切離した後も蓋体２を真空吸着により把持することを特徴とするウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置。
【請求項３】
請求項１または２の手動操作を一部または全部を自動化したことを特徴とするウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造で使用されるウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作中および容器本体と蓋体を切り離した後も把持するウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハを輸送するウェーハ輸送容器は、例えば、特開２０００−１５９２８８に詳細に記載されているが、容器本体１と蓋体２から構成されている。容器本体１と蓋体２は閉まっている状態ではクランプ板３によりクランプされている。クランプを解除する方法はウェーハ輸送容器の製造メーカによって異なるが、手動操作で解除できる。
手動で蓋体２を開閉する作業は多くの場合蓋体２を上方に向くようにウェーハ輸送容器を置いて行う。蓋体２を開ける場合はクランプ板３によるクランプを解除し蓋体２を取り去る。取り去られた蓋体２は一時的に保管する場所を設けて保管する。容器本体１はウェーハの装入または取出しを行うためウェーハ搬送機などの処理ステージ上に置かれる。蓋体２を閉じる場合はウェーハ搬送機などの処理ステージ上に置かれた容器本体１を取外し、蓋体２を容器本体１に嵌め、クランプ体３によるクランプを施錠する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の方法でウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作は、容器本体と蓋体を切り離した後、蓋体の一時的な保管場所を設ける必要があり、操作の安定性もよくない上、蓋体を開けた後容器本体を処理ステージに載置するまで時間と移動距離が長く、または容器本体を処理ステージから取外し蓋体を閉じるまでの時間と移動距離が長く、パーティクル（異物微粒子）がウェーハ輸送容器内に混入しやすいという問題点があった。
【０００４】
本発明は容器本体と蓋体を切り離した後の蓋体の一時的な保管場所を兼ね、簡単かつ安定した操作で短時間に蓋体を開閉し、パーティクル（異物微粒子）のウェーハ輸送容器内への混入を低減させることが可能となるウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置においては、蓋体を把持するための蓋体把持アームを有する。またウェーハ輸送容器を一定位置に置くための位置決めピンを具備した搭載ベースを有する。搭載ベースはウェーハ輸送容器を置く（取外す）位置と蓋体を把持する位置の間をスライドレールによりガイドされ移動する。搭載ベースがウェーハ輸送容器を搭載し、蓋体を把持する位置に移動して蓋体を把持し、ウェーハ輸送容器のクランプ体によるクランプを解除し、搭載ベースをウェーハ輸送容器を置く位置に移動し、容器本体と蓋体を切り離すことができる。蓋体を把持するには機械的に把持する方法と真空吸着による把持する方法が利用できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図３および図４に示される実施例ではベース板１４に前面プレート１０を垂直に固定し、前面プレート１０に蓋体把持アーム１１とアームガイド１２を上下各２組取付ける。上部の蓋体把持アーム１１と下部の蓋体把持アーム１１はアームガイド１２にガイドされ互いに逆方向に同時にスライドさせることで蓋体２を把持、開放できる構造とする。
【０００７】
図４の搭載ベース１３は位置決めピン１５を取付け、ベース板１４との間にスライドレール１６を取付け、前後（図４では左右）に移動できる構造とする。
【０００８】
図５（ａ）はウェーハ輸送容器載置の待機状態である。ウェーハ輸送容器の蓋体２を開けるには、ウェーハ輸送容器は搭載ベース１３上の位置決めピン１５に合わせて置く（図５（ｂ））。ついで搭載ベース１３を蓋体２を把持する位置に前進させる（図５（ｃ））。ついで蓋体把持アーム１１を操作して蓋体２を把持する（図５（ｄ））。ついでウェーハ輸送容器のクランプ板３を解除する（図５（ｅ））。ついで搭載ベース１３を後退させ容器本体１と蓋体２を切り離す（図５（ｆ））。容器本体１を取外した後も蓋体２を把持し続ける（図５（ｇ））。ウェーハ輸送容器の蓋体２を閉じるには、開ける操作の逆順に図５の（ｆ）、（ｅ）、（ｄ）、（ｃ）、（ｂ）の順に操作する。
【０００９】
【実施例】
図６は真空吸着パッド２０により蓋体２を把持する実施例である。
【００１０】
【発明の効果】
本発明によりウェーハ輸送容器の容器本体と蓋体を切り離した後の蓋体の一時的な保管場所が不要となり、簡単な操作で安定かつ短時間で開閉操作が可能となり、パーティクルのウェーハ輸送容器あるいは容器本体への混入を低減できる。さらに構造が簡単であり製造コストも安価である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ輸送容器の側面図である。
【図２】本発明に係るウェーハ輸送容器の従来の手動開閉操作を説明する側面図である。
【図３】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の正面図である。
【図４】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の側面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図６】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を真空吸着により把持する方法を示す側面図である。
【符号の説明】
１    容器本体
２    蓋体
３    クランプ板
４    ウェーハ
１０  前面プレート
１１  蓋体把持アーム
１２  アームガイド
１３  ベース板
１４  搭載ベース
１５  位置決めピン
１６  スライドレール
１７  ハンドル
１８  開口
２０  真空吸着パッド
【図１】
2004349659.tif 000003
【図２】
2004349659.tif 000004
【図３】
2004349659.tif 000005
【図４】
2004349659.tif 000006
【図５】
2004349659.tif 000007
【図６】
2004349659.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月28日(2003.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004349659.tif 000009
【図２】
2004349659.tif 000010
【図３】
2004349659.tif 000011
【図４】
2004349659.tif 000012
【図５−１】
2004349659.tif 000013
【図５−２】
2004349659.tif 000014
【図５−３】
2004349659.tif 000015
【図５−４】
2004349659.tif 000016
【図５−５】
2004349659.tif 000017
【図５−６】
2004349659.tif 000018
【図５−７】
2004349659.tif 000019
【図６】
2004349659.tif 000020
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ輸送容器の側面図である。
【図２】本発明に係るウェーハ輸送容器の従来の手動開閉操作を説明する側面図である。
【図３】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の正面図である。
【図４】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の側面図である。
【図５−１】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−２】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−３】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−４】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−５】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−６】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図５−７】図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図６】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を真空吸着により把持する方法を示す側面図である。
【符号の説明】
１    容器本体
２    蓋体
３    クランプ板
４    ウェーハ
１０  前面プレート
１１  蓋体把持アーム
１２  アームガイド
１３  ベース板
１４  搭載ベース
１５  位置決めピン
１６  スライドレール
１７  ハンドル
１８  開口
２０  真空吸着パッド


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
図５−１はウェーハ輸送容器載置の待機状態である。ウェーハ輸送容器の蓋体２を開けるには、ウェーハ輸送容器は搭載ベース１３上の位置決めピン１５に合わせて置く（図５−２）。ついで搭載ベース１３を蓋体２を把持する位置に前進させる（図５−３）。ついで蓋体把持アーム１１を操作して蓋体２を把持する（図５−４）。ついでウェーハ輸送容器のクランプ板３を解除する（図５−５）。ついで搭載ベース１３を後退させ容器本体１と蓋体２を切り離す（図５−６）。容器本体１を取外した後も蓋体２を把持し続ける（図５−７）。ウェーハ輸送容器の蓋体２を閉じるには、開ける操作の逆順に図５−６、図５−５、図５−４、図５−３、図５−２の順に操作する。