(57)【要約】【課題】  透過モード及び反射モードにおいて表示色の濃さが同じなるにように調整されたカラーフィルタを低コストで提供すること、製造工程の簡素化が可能なカラーフィルタの製造方法を提供すること、及び、上記のカラーフィルタを備えて視認性の高い表示装置並びにこの表示装置を備えた電子機器を提供すること。【解決手段】  基板２上の複数の領域５のそれぞれに着色部６が配置されたカラーフィルタ１１であって、複数の領域５はそれぞれ、着色部６に入射した光９２０を反射する光反射領域５Ｈと、着色部６に入射した光９１０を透過する光透過領域５Ｔとを有し、光透過領域５Ｔは、着色部６内における光路長を調整する凹部８を含むことを特徴とする。【選択図】  図２
2004184977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の複数の領域のそれぞれに着色部が配置されたカラーフィルタであって、
前記複数の領域はそれぞれ、前記着色部に入射した光を反射する光反射領域と、前記着色部に入射した光を透過する光透過領域とを有し、
前記光透過領域は、前記着色部内における光路長を調整する凹部を含むことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
前記着色部内における光路長が前記光反射領域と前記光透過領域とで同じになるように、前記光反射領域の反射面に対する前記凹部の深さが定められていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記光反射領域からの出射光と前記光透過領域からの出射光との光量の比率が所望の比率となるように、前記光反射領域の平面積と前記光透過領域の平面積との比率を設定したことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記複数の領域は、バンクによって区画されていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記バンクの表面は、撥液性を有していることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
前記着色部は、液滴吐出方式によって形成されることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項７】
前記光反射領域の反射面は、光散乱機能を有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項８】
液晶を挟持して対向する一対の基板のうち、一方の基板側にカラーフィルタが備えられてなる表示装置において、
請求項１に記載されたカラーフィルタを備えていることを特徴とする表示装置。
【請求項９】
請求項８に記載の表示装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
基板上の複数の領域のそれぞれに着色部が配置されたカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の領域はそれぞれ、前記着色部に入射した光を反射する光反射領域と、前記着色部に入射した光を透過する光透過領域とを有しており、
前記光透過領域となる凹部を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記着色部内における光路長が前記光反射領域と前記光透過領域とで同じになるように、前記光反射領域の反射面に対する前記凹部の深さが定められ、前記凹部を形成することを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記光反射領域からの出射光と前記光透過領域からの出射光との光量の比率が所望の比率となるように、前記光反射領域の平面積と前記光透過領域の平面積の比率が設定され、前記光反射領域と前記光透過領域を形成することを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
エッチング法によって前記凹部と前記光反射領域とを一括して形成することを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１４】
液滴吐出方式によって前記着色部を形成することを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法及び表示装置並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ノートパソコン、携帯電話機、電子手帳等の電子機器において、情報を表示する手段として、液晶装置が広く使用されている。このような液晶装置においては、内蔵した光源の光を利用して表示を行う透過型液晶装置と、太陽光等の外光を利用して表示を行う反射型液晶装置との利点を兼ね備えた半透過反射型液晶装置が知られている。半透過反射型液晶装置では、暗所でも表示を視認することができると共に、明所では外光を利用して表示を行うことができるため、常時光源を点灯する必要のある透過型液晶装置に比較して省電力化を図ることができる。
【０００３】
半透過反射型液晶装置は、液晶層を挟持して対向配置された一対の基板のうち、視認側と反対側に位置する基板の液晶層側表面に半透過反射層を具備して概略構成されている。半透過反射層は、例えば、ドット毎にスリット部状などの開口部を有する反射層により構成され、かかる構成の半透過反射層では、開口部が光透過部、それ以外の部分が光反射部として機能する。また、一方の基板にカラーフィルタを具備し、カラー表示が可能な半透過反射型液晶装置も知られている。以下、カラーフィルタを備えた基板のことを「カラーフィルタ基板」と称す。
カラーフィルタ基板の製造方法は、着色部の材料や製造プロセスによりいくつかに分類されるが、最近ではインクジェットヘッドの吐出ノズルから着色インクを吐出させることにより、基板状に多数の着色部を形成するインクジェット方式が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
図３４は、インクジェット方式によって製造したカラーフィルタ基板を示すものである。このカラーフィルタ基板は、基板９００上に、金属Ｃｒ等からなるブラックマトリックス（遮光層）９０１と、金属Ａｌ等からなる反射層９０２と、バンク部９０３と、着色部９０５Ｒ…と、Ｇ（緑）の着色部９０５Ｇ…と、Ｂ（青）の着色部９０５Ｂ…と、エポキシ樹脂等からなるオーバーコート層９０８とが設けられている。着色部９０５は、図示略のインクジェットヘッドが着色部構成材料である着色インクを吐出するとともに、この着色インクを乾燥させることで形成される。
また、基板９００側には図示しない光源が設けられ、この光源が点灯することにより、光源光９１０が基板９００、着色部９０５…、オーバーコート層９０８を経て観察者側に透過することで、いわゆる透過モードによる表示が行われる。また、観察者側の太陽光等の外光９２０は、オーバーコート層９０８、着色部９０５…を経て反射層９０２によって反射され、更に、着色部９０５…、オーバーコート層９０８を経て観察者側に透過することで、いわゆる反射モードによる表示が行われる。
【特許文献１】特開平８−１４６２１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、図３４に示すカラーフィルタ基板においては、透過モードで表示を行う際には、光源光９１０が着色部９０５を１回のみ透過して観察者側に出射されるのに対し、反射モードで表示を行う際には、外光９２０が反射層９０２により反射される前と、反射層９０２により反射された後の計２回、カラーフィルタ基板を透過して観察者側に出射されることになる。従って、着色部９０５…を透過した外光９２０の色の濃さは、光源光９１０の色よりも濃くなってしまうことで暗い表示色となり、即ち、透過モード及び反射モードは、同じ濃さの表示色を得ることができないという問題があった。
また、更に従来のカラーフィルタの製造方法では、ブラックマトリックス９０１及びバンク部９０３の形成のために、露光処理並びにエッチング処理を少なくとも２回ずつ行う必要があり、製造工程が煩雑になりやすいという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、透過モード及び反射モードにおいて表示色の濃さが同じなるにように調整されたカラーフィルタを低コストで提供することを目的とする。
また、本発明は、製造工程の簡素化が可能なカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
更に、本発明は、上記のカラーフィルタを備えて視認性の高い表示装置並びにこの表示装置を備えた電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明のカラーフィルタは、基板上の複数の領域のそれぞれに着色部が配置されたカラーフィルタであって、複数の領域はそれぞれ、着色部に入射した光を反射する光反射領域と、着色部に入射した光を透過する光透過領域とを有し、光透過領域は、着色部内における光路長を調整する凹部を含むことを特徴とする。
従って、本発明によれば、複数の領域は、光反射領域と光透過領域を有しているので、いわゆる透過モード及び反射モードを備えた半透過反射型液晶装置に対応したカラーフィルタを形成することが可能になる。
ここで、透過モードとは、バックライト等の照明光がカラーフィルタの一方の面に入射し、着色部を透過することで照明光が着色され、カラーフィルタの他方の面から着色された照明光が出射されることによって、表示面に像の表示を行うものである。また、反射モードとは、太陽光や室内光等の外光が表示面側に入射し、着色部を透過することで外光が着色され、反射面によって反射され、再び着色部を透過して表示面側に出射されることによって、表示面に像の表示を行うものである。
また、本発明によれば、凹部の深さを調整することによって、光透過領域の光路長を所望の長さに設定することができ、従って、透過光による表示色を所望の濃度にすることができる。
ここで、光透過領域の光路長とは、上述した透過モードにおける着色部を透過する照明光の光路長であって、光透過領域内の着色部の厚さと同じ距離を示すものである。
また、更に本発明によれば、光透過領域の凹部には着色部が埋め込まれる形となり、これによってカラーフィルタ基板を薄くすることができ、光透過率を向上させることが可能になる。
【０００８】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、着色部内における光路長が光反射領域と光透過領域とで同じになるように、光反射領域の反射面に対する凹部の深さが定められていることを特徴とする。
ここで、光反射領域の光路長とは、上述した反射モードにより着色部を透過する外光の光路長であって、光反射領域内の着色部の厚さの２倍にあたる距離を示すものである。
従って、本発明によれば、光反射領域の着色部を透過する外光と、光透過領域の着色部を透過する照明光との光路長を同じにすることが可能となり、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さを同じにすることができる。
【０００９】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、光反射領域からの出射光と光透過領域からの出射光との光量の比率が所望の比率となるように、光反射領域の平面積と光透過領域の平面積との比率を設定したことを特徴とする。
ここで、平面積の比率とは、表示面側からカラーフィルタを平面視した光反射領域と光透過領域との面積の比率を示すものである。
従って、本発明によれば、この平面積の比率を調整することによって、透過モード及び反射モードの表示色の明るさが調整され、所望の表示をするカラーフィルタを形成することができる。
例えば、外光が少ない環境下で使用する液晶装置を形成する際には、カラーフィルタの光透過領域の面積を光反射領域よりも大きくすることによって、バックライト等の照明光をできるだけ利用した表示装置を形成することができる。また、外光を利用した低消費電力の液晶装置を形成する際には、カラーフィルタの光反射領域の面積を光透過領域よりも大きくすることによって、外光をできるだけ利用した表示装置を形成することができる。
【００１０】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、複数の領域は、バンクによって区画されていることを特徴とする。
従って、本発明によれば、バンクによって区画された領域毎に対して、液滴吐出方式によって着色部構成材料である着色インクを吐出することで、領域内に着色部を形成することができる。また、この領域は、光透過領域と光反射領域とを有しているので、光透過領域と光反射領域に同色の着色部を同時に形成することができる。
ここで液滴吐出方式とは、着色インクの液滴を、液滴吐出ヘッドから基板上に吐出し、定着させるものである。液滴吐出方式によれば、微細な領域に着色インクの液滴を正確に吐出できるので、フォトリソグラフィを行うことなく、所望の着色領域に直接材料インクを定着させることができる。従って、材料の無駄も発生せず、製造コストの低減も図れ、非常に合理的な方法となる。
【００１１】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、バンクの表面は、撥液性を有していることを特徴とする。
従って、本発明によれば、バンクの表面が撥液性を示すので、着色インクが目標を誤って当該上面に吐出された場合でも、着色インクが当該上面に残ることがなく目標の被領域に転がり込むので、隣接する着色部同士で混色が起きるおそれがない。
【００１２】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、着色部は、液滴吐出方式によって形成されることを特徴とする。
従って、本発明によれば、フォトリソグラフィによる着色部の形成を行わないので、着色インクの材料及び製造工程の無駄が低減され、製造が簡素になり、製造コストを低減することができる。
【００１３】
また、本発明のカラーフィルタは、先に記載のカラーフィルタであり、光反射領域の反射面は、Ａｌ、Ａｇ等を含む金属によって構成され、光散乱機能を有することを特徴とする。
従って、本発明によれば、表示面側から入射した外光は、表示画面側に反射散乱するので、表示面に対して視野角が大きい表示装置、いわゆる広視野角液晶装置を提供することができる。
【００１４】
次に、本発明の表示装置は、先に記載のカラーフィルタを備えていることを特長とする。
従って、本発明によれば、光反射領域と光透過領域を有したカラーフィルタを備えた表示装置となり、いわゆる透過モード及び反射モードを備えた半透過反射型液晶装置を提供することが可能になる。
また、光透過領域の凹部の深さを調整することによって、光透過領域の光路長が所望の長さに設定されるので、透過光による表示色が所望の濃度にされた表示装置を提供することが可能になる。
また、光透過領域の凹部には着色部が埋め込まれる形となり、カラーフィルタ基板が薄くなるので、表示装置の光透過率を向上させることが可能になる。
また、着色部内における光路長が光反射領域と光透過領域とで同じになるように、光反射領域の反射面に対する凹部の深さを定めた場合には、光反射領域の着色部を透過する外光と、光透過領域の着色部を透過する照明光との光路長を同じにすることが可能であり、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さが同じになる表示装置を提供することができる。
また、着色部からの光が所望の光量を有するように、光反射領域の平面積と光透過領域の平面積との比率を所望に定めた場合には、透過モード及び反射モードの表示色の明るさが調整され、所望の表示をする表示装置を提供することができる。
【００１５】
次に、本発明の電子機器は、先に記載の表示装置を備えていることを特徴とする。
従って、本発明によれば、透過モード及び反射モードにおける表示色の濃さが調整された好適な半透過反射型液晶装置を提供することができる。
【００１６】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の領域のそれぞれに着色部が配置されたカラーフィルタの製造方法であって、複数の領域はそれぞれ、着色部に入射した光を反射する光反射領域と、着色部に入射した光を透過する光透過領域とを有しており、光透過領域となる凹部を形成することを特徴とする。
従って、本発明によれば、光反射領域と光透過領域を有しているカラーフィルタを製造できるので、いわゆる透過モード及び反射モードを備えた半透過反射型液晶装置に対応したカラーフィルタを形成することが可能になる。
また、凹部の深さを調整することによって、光透過領域の光路長を所望の長さに設定することができ、従って、透過光による表示色を所望の濃度のカラーフィルタを形成することができる。
また、光透過領域の凹部には着色部が埋め込まれる形となり、カラーフィルタ基板を薄くできるので、これによって光透過率が向上したカラーフィルタを形成することができる。
ここで、凹部を形成する方法としては、基板を削る方法や、基板上に凸部を形成する方法等が挙げられる。基板を削る方法によれば、削られた部分の底部と基板表面との段差が凹部となる。また、基板上に凸部を形成する方法によれば、凸部の上面と基板表面との段差が凹部となる。
また、更に基板を削る手段としては、エッチング法が好適に用いられ、エッチングとしては、エッチング液によるウエットエッチング、反応性イオンエッチング等のドライエッチングが採用される。この中でも特にウエットエッチングが好ましく、エッチング液としてはフッ化水素酸水溶液、フッ化水素−フッ化アンモニウム混合溶液等を用いることができる。また、エッチング以外にもサンドブラスト、ダイシング、レーザー加工等の手段を用いてもよい。
また、基板上に凸部を形成する手段としては、基板上に一様な膜を形成した後に、マスクを用いたフォトリソグラフィによってパターニングする方法や、液滴吐出方式等によってパターンを直接描画する方法等が採用される。一様な膜を形成する方法としては、真空装置を要するＣＶＤ法及びスパッタ法や、大気圧下での成膜が可能なスピンコート法、ディップコート法、スリットコート法等の種種の方法が採用され、後者は真空装置を用いないことから安価で成膜することが可能になる。また、液滴吐出方式を用いる方法においては、予め基板表面に対して、撥液処理及び親液処理を行うことが好ましい。  
【００１７】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先に記載の製造方法であり、着色部内における光路長が光反射領域と光透過領域とで同じになるように、光反射領域の反射面に対する凹部の深さが定められ、凹部を形成することを特徴とする。
従って、本発明によれば、光反射領域と光透過領域における着色部を透過する外光及び照明光の光路長が同じになる、即ち、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さを同じになったカラーフィルタを形成することができる。
【００１８】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先に記載の製造方法であり、光反射領域からの出射光と光透過領域からの出射光との光量の比率が所望の比率となるように、光反射領域の平面積と光透過領域の平面積の比率が設定され、光反射領域と光透過領域を形成することを特徴とする。
従って、本発明によれば、この平面積の比率を調整することによって、透過モード及び反射モードの表示色の明るさが調整され、所望の表示をするカラーフィルタを形成することができる。
【００１９】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先に記載の製造方法であり、エッチング法によって凹部と光反射領域とを一括して形成することを特徴とする。
ここで、光反射領域は、スパッタ法等によって基板一面に金属Ａｌ等の薄膜を形成した後に、フォトリソグラフィ及びエッチング法によって所望のパターンに形成されるものである。また、予め基板に表面凹凸の樹脂膜を形成し、その後に金属Ａｌ等の薄膜を形成することで、表面が凹凸に形成された光の反射散乱を生じさせる光反射領域を形成してもよい。
従って、本発明によれば、光透過領域となる凹部と光反射領域とを一括してエッチングにより形成するので、製造工程の簡素化が可能になる。
【００２０】
また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先に記載の製造方法であり、液滴吐出方式によって着色部を形成することを特徴とする。
ここで、着色部は、バンクによって区画された領域に形成されるものであり、また、この領域は、光透過領域と光反射領域とを有している。また、バンクの表面は、撥液性を有していることが好ましい。
従って、本発明によれば、液滴吐出方式によって着色部構成材料である着色インクを吐出することで、着色部を形成することができる。また、光透過領域と光反射領域に同色の着色部を同時に形成することができる。
また、更にフォトリソグラフィによる着色部の形成を行わないので、着色インクの材料及び製造工程の無駄が低減され、製造が簡素になり、製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、図１〜図２１において、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材に縮尺は実際のものとは異なるように表している。
【００２２】
［第１の実施形態］
以下、本発明の第１の実施形態であるカラーフィルタ及びその製造方法を、図面を参照して説明する。図１及び図２は本発明の第１の実施形態のカラーフィルタの一例を示す断面図であり、図２は図１の要部を示す断面図である。
図１、図２において、図２２の構成要素と同一部分については、同一符号を付している。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１１は、基板２と、基板の一面２ａ上に形成されたバンク３…と、反射層（反射面）４…と、着色部６…を覆うオーバーコート層７と、基板２の一面２ａに所定のパターンで形成された複数の凹部８…とを具備した構成されている。着色部６…は、基板２、バンク３…及び反射層４…に渡って設けられた領域５に着色インクを吐出し、乾燥させることにより形成したものである。
【００２４】
領域５…のそれぞれは、図１において基板２の２ｂ側から入射した光が凹部８…を経て着色部６…を透過する光透過領域５Ｔ…と、図１においてオーバーコート層７側から着色部６…に入射した光を反射層４…によって反射する光反射領域５Ｈ…とを有している。着色部６における光透過領域５Ｔ…は、凹部８…の深さを調整して削ることによって、光透過領域５Ｔ…の光路長を所定の長さに設定され、ここで、図１に示すように光透過領域５Ｔ…における着色部６の厚さｔ1が光反射領域５Ｈ…における着色部６の厚さｔ2の２倍になるように凹部８…の深さｔ３が設定することにより、光透過領域５Ｔ及び光反射領域５Ｈでの着色部６の光路長を同じにすることが好ましい。
【００２５】
基板２は、ガラスまたはプラスチックフィルム等からなる透明基板であり、凹部８…の加工性が優れ、また、凹部を形成することによる変質及び劣化が生じにくい好適な材料が好ましい。
反射層４…は、光反射領域５Ｈを経て入射する光を反射散乱させる光散乱膜であり、これは、予め基板２に表面凹凸の樹脂膜を形成し、その後に金属Ａｌ等の薄膜をスパッタ法によって基板一面に形成し、フォトリソグラフィ及びエッチング法によって所望のパターンに形成されたものである。これによって、反射層４…の表面は樹脂膜の表面形状に沿って形成された凹凸形状の表面となる。
バンク３…は、隣接する凹部８…同士の間に形成されることにより、少なくとも各凹部８…（凹部８…）を囲む領域に形成されるもので、図１では反射層４の上面に形成されている。このバンク３…は、透明感光性樹脂膜からなり、少なくともその上面が撥インク性を示すものである。透明感光性樹脂膜は例えば、撥インク性を発現させるヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、通常のフォトレジストに用いられるようなポジ型若しくはネガ型の感光性樹脂を少なくとも含み、更に可視光領域の光透過性に優れたものが好ましい。バンク３…の層厚は例えば０．５〜２μｍの範囲が好ましい。また、バンク３…に区画されて領域５…が形成されている。
【００２６】
領域５…には、着色部６…が形成されている。この着色部６…は前述したように、領域５…内に着色インクを吐出させて乾燥させることにより形成したものである。
着色部６…は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色にそれぞれ対応する赤色の着色部６Ｒ…、緑色の着色部６Ｇ…、青色の着色部６Ｂ…を具備してなるものである。着色部６…は、例えば、無機もしくは有機顔料により着色したアクリル樹脂やポリウレタン樹脂等からなる。
着色部６の厚さは、図１に示したように光透過領域５Ｔ…の着色部６の厚さｔ1が光反射領域５Ｈ…の着色部６の厚さｔ2の２倍になるように設定される。
【００２７】
着色部６…は、凹部８、バンク３…及び反射層４…からなる領域５…にインクジェット方式（液滴吐出方式）によって形成されることにより、少なくともその一部が基板２に埋め込まれた形となる。特に図１に示すカラーフィルタ１１では、基板２をｔ３分エッチングすることにより画素領域の総厚が薄くなるので、カラーフィルタ１１の光透過率を向上させることが可能になる。また、バンク３の表面は、撥インク性を示すので、着色インクを吐出させて着色部６…を形成する際に、吐出した着色インクが領域５…の外に広がるおそれがなく、また、隣接する着色部６…同士が接触して混色するおそれがない。
特に、バンク３…の上面が撥インク性なので、着色インクが目標を誤ってバンク３の上面に吐出された場合でも、着色インクがその上面に残ることなく目標の領域５に転がり込むので、隣接する着色部６…同士で混色が起きるおそれがない。
【００２８】
オーバーコート層７は、着色部６…を保護するとともにカラーフィルタ１１の表面を平坦化するものであり、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂からなるものである。なお、カラーフィルタ１１のオーバーコート層７の上に、ＩＴＯ膜（インジウム-酸化スズ膜）からなる透明電極膜や、配向膜を設けても良い。
【００２９】
このように構成されたカラーフィルタ１１においては、図示しない光源が基板２の他面２ｂから点灯させることによって、光源光９１０は、基板２を経て、光透過領域５Ｔの着色部６を透過することで光源光９１０は着色された後に、オーバーコート層７を経て、カラーフィルタ１１から出射する。また、太陽光や室内光等の外光９２０は、オーバーコート層７を経て、光反射領域５Ｈの着色部６を透過して着色され、反射層４によって反射散乱され、再び光反射領域５Ｈの着色部６を透過し、オーバーコート層７を経て、カラーフィルタ１１から出射する。
ここで、光透過領域５Ｔの着色部６の厚さｔ1が光反射領域５Ｈの着色部６の厚さｔ2の２倍になるように凹部８の深さｔ３が設定されているので、光透過領域５Ｔを透過する光源光９１０と、光反射領域５Ｈを透過する外光９２０との光路長が同じになり、光源光９１０と外光９２０による表示色の濃さは同じになる。
【００３０】
上記したようにカラーフィルタ１１では、領域５…は、光反射領域５Ｈ…と光透過領域５Ｔ…を有しているので、いわゆる透過モード及び反射モードを備えた半透過反射型液晶装置（表示装置）に対応したカラーフィルタを形成することが可能になる。
また、凹部８…の深さを調整して削ることによって、光透過領域５Ｔ…の光路長を所望の長さに設定することができ、従って、光源光９１０による表示色を所望の濃度にすることができる。ここで、着色部６…内における光路長が光反射領域５Ｈ…と光透過領域５Ｔ…とで同じになるように、光反射領域５Ｈ…の反射面に対する凹部８…の深さが定められているので、着色部６…を透過する外光９２０及び光源光９１０の光路長が同じになり、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さを同じにすることができる。
また、凹部８…には着色部６…が埋め込まれる形となり、これによってカラーフィルタ１１を薄くすることができ、光透過率を向上させることが可能になる。
また、反射層４…は、外光９２０を反射散乱するので、表示画面に対して視野角が大きい表示装置、いわゆる広視野角液晶装置を提供することができる。
【００３１】
次に、本実施形態のカラーフィルタの製造方法を、図１に示すカラーフィルタ１１を例にして、図３〜図１２を参照して説明する。
本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、基板２の一面２ａ上に、反射層４…を形成する反射層形成工程と、凹部８…を形成する工程と、バンク３を形成するバンク形成工程と、バンク３…により形成された領域５…に着色インクを吐出した後に着色インクを乾燥させることにより着色部６…を形成する乾燥工程とを具備してなるものであり、バンク３…を透明感光性樹脂膜で形成したものである。
【００３２】
まず、図３に示すように、ガラスまたはプラスチックからなる透明な基板２を用意し、次に、図４に示すように光反射領域５Ｈの反射層４を形成する。
まず、基板２の一面２ａの全面に反射層４の下層となる樹脂膜４ａを形成する。この樹脂膜４ａは、樹脂を溶媒に溶かして調製した樹脂組成物をスピンコート方式により一面２ａ上に塗布し、プリベークして溶媒を揮発することによって形成される。更に特殊なフォトマスクを用いて露光を行い、エッチングすることにより、樹脂膜４ａの表面は凹凸形状に形成される。
なお、樹脂膜４ａの形成においては、スピンコート方式に限定することなく、インクジェット方式等の塗布方法を採用してもよい。
続いて、反射層４の上層となる金属薄膜４ｂをスパッタ法を用いて形成する。この金属薄膜４ｂは、金属Ａｌによって形成されており、また、樹脂膜４ａの表面に沿って形成されるので、その表面は、樹脂膜４ａと同様に凹凸形状となる。
【００３３】
次に、図５に示すように、スピンコート方式などの塗布手段を用いて反射層４上にフォトレジストＲを塗布した後、所定のマトリックスパターン形状を描画したフォトマスクＭ１を反射層４上に配置し、紫外線光等を照射して露光を行う。
次に、図６に示すように、基板２を例えば酸性のエッチング液に浸漬して、反射層４のうちの露光部分を除去することにより孔４ｃを形成し、更にエッチング液の浸漬を続けることで、孔４ｃから露出した基板２（図中１点鎖線部分）がエッチングされ、基板２に凹部８…を形成する。
この際に、エッチング処理時間等の諸条件を調整することによって、前述の光透過領域５Ｔ…の着色部６の厚さｔ1が光反射領域５Ｈ…の着色部６の厚さｔ2の２倍になるように凹部８…の深さｔ３が設定される。
また、このような反射層４…及び凹部８…は、同一工程で一括して形成される。この後、残存しているフォトレジストＲは硫酸などを用いて剥離される。
【００３４】
次に、図７に示すように、バンク３…の材材となる透明性感光性樹脂を溶媒に溶かして調製した樹脂組成物を、スピンコート方式により反射層４及び凹部８に対して一様に塗布し、プリベークして溶媒を揮発させることで形成する。この透明性感光樹脂膜は、例えばヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、ネガ型の透明アクリル系感光性樹脂を含むものである。
なお、樹脂組成物の塗布においては、スピンコート方式に限定することなく、インクジェット方式等の塗布方法を採用してもよい。
次に、図８に示すように、スピンコート方式などの塗布手段を用いて樹脂組成物上にフォトレジストＲを塗布した後、所定のマトリックスパターン形状を描画したフォトマスクＭ２をバンク３…上に配置し、紫外線光等を照射して露光を行う。
上記透明感光性樹脂膜は撥インク性を示すので、インクジェット方式によって着色部を形成する際に、着色インク滴が目標を誤ってバンク３の上面に吐出された場合でも、着色インク滴が当該上面に残留することがなく目標の領域に転がり込むので、隣接する着色部同士で混色が起きるおそれがなく、好適な着色部６を形成することができる。
【００３５】
次に、図９に示すように、基板２を例えばアルカリ性の現像液に浸漬して、透明性感光性樹脂のうちの未露光部分を除去することにより、バンク３…を形成する。更に、バンク３…の形成後にアフターベークを行って、十分に硬化することが好ましい。
このように、凹部８…と、バンク３…と、反射層４とによって囲まれた、光反射領域５Ｈ及び光透過領域５Ｔからなる領域５が形成される。
【００３６】
次に、インクジェット方式を用いて着色部６Ｒを形成する。図１０に示すように、インクジェットヘッド２２に、アクリル樹脂を溶解した有機溶媒中に赤色の顔料を分散させて調製した赤色の着色インクを充填し、インクジェットヘッド２２の吐出ノズル２７を領域５に対向させ、インクジェットヘッド２２と基板２とを相対移動させながら、吐出ノズル２７から赤色の着色インクを、１滴当たりの液量が制御された着色インク滴として吐出し、この着色インク滴を領域５に吐出する。これによって光透過領域５Ｔと光反射領域５Ｈに同色の着色部６Ｒが同時に形成される。
【００３７】
着色インクとして用いられる材料としては、例えば、ポリウレタンオリゴマーあるいはポリメチルメタクリレートオリゴマーに赤色の無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整したものを用いる。
吐出後の着色インクをベーク等して乾燥することにより、赤色の着色部６Ｒが形成される。また、この際に光透過領域５Ｔ…の着色部６の厚さｔ1が凹部８…の深さｔ３の２倍になるように、もしくは、凹部８…の深さｔ３と光反射領域５Ｈ…の着色部６の厚さｔ2が同じになるようにインク吐出量を制御し、着色部６Ｒが形成される。
【００３８】
上記の着色インクの吐出においては、不図示のインクジェット装置（液滴吐出装置）が用いられ、インクジェットヘッド２２の駆動方式としては、ピエゾ方式とサーマル方式が有効である。
ここで、ピエゾ方式とは、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
また、サーマル方式とは、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。
上記液滴吐出技術のうち、ピエゾ方式は、材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００３９】
次に、図１０と同様にして、図１１に示すように緑色の着色部６Ｇを形成した後に、図１２に示すように青色の着色部６Ｂを形成することで、ＲＧＢの画素を形成することができる。
なお、本実施形態における着色部６の配色は、ＲＧＢ系を採用したが、ＲＧＢ系に限らず、ＹＭＣ系であっても構わない。なお、Ｙはイエロー、Ｍはマゼンタ、Ｃはシアンである。
【００４０】
続いて、着色部６…を形成した後に、着色部６…及びバンク３…を覆う樹脂製のオーバーコート層７をスピンコート方式により形成することにより、図１に示すようなカラーフィルタ１１が得られる。
なお、オーバーコート層７の形成においては、スピンコート方式に限定することなく、インクジェット方式等の塗布方法を採用してもよい。
【００４１】
上記のカラーフィルタの製造方法によれば、光反射領域５Ｈ…と光透過領域５Ｔ…とを有しているカラーフィルタ１１を製造できるので、いわゆる透過モード及び反射モードを備えた半透過反射型液晶装置に対応したカラーフィルタを形成することが可能になる。
また、凹部８…を形成する際のエッチング処理時間等の諸条件を調整することによって、光透過領域５Ｔ…の光路長を所望の長さに設定することができ、従って、光源光９１０による表示色を所望の濃度のカラーフィルタを形成することができる。ここで、着色部６…内における光路長が光反射領域５Ｈ…と光透過領域５Ｔ…とで同じになるように、凹部８…がエッチングされているので、着色部６…を透過する外光９２０及び光源光９１０の光路長が同じになり、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さを同じにすることができる。
また、光透過領域５Ｔ…の凹部８…には着色部６…が埋め込まれる形となり、カラーフィルタ基板の厚さを薄くできるので、これによって光透過率が向上したカラーフィルタを形成することができる。
また、反射層４…及び凹部８…は、同一工程で一括して形成されるので、製造工程の簡素化が可能になる。
また、インクジェット方式によって着色部構成材料である着色インクを吐出することで、着色部６…を形成することができる。また、光透過領域５Ｔ…と光反射領域５Ｈ…に同色の着色部６…を同時に形成することができる。
また、更にフォトリソグラフィによる着色部６…の形成を行わないので、着色インクの材料及び製造工程の無駄が低減され、製造が簡素になり、製造コストを低減することができる。
また、バンク３…が領域５…を囲む形となり、この領域５に向けて着色インクを吐出した場合でも、着色インクが領域５の外に広がるおそれがなく、隣接する着色部６…同士が接触して混色することがない。また、更に着色インクが目標を誤って当該上面に吐出された場合でも、着色インクが当該上面に残ることがなく目標の被領域に転がり込むので、隣接する着色部同士で混色が起きるおそれがない。
【００４２】
なお、本実施形態においては、バンク３…の材料として透明感光性樹脂膜を採用し、バンク３…表面が撥インク性となる構成とされているが、他の材料を採用し、当該材料に撥インク化処理を施してもよい。また、バンク３…上に撥インク膜を塗布してもよい。
【００４３】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態であるカラーフィルタを、図面を参照して説明する。図１３は本実施形態の一例を示す断面図である。なお、図１３に示すカラーフィルタの構成要素のうち、図１及び図２に示した第１の実施形態のカラーフィルタの構成要素と同一の構成要素には同一符号を付している。
図１３に示すように、本実施形態の一例のカラーフィルタ１１は、バンク３で区画された領域５のうち、光反射領域５Ｈの幅ＷＨ１と、幅ＷＨ２と、光透過領域５Ｔの幅ＷＴとが所定の寸法となるように光反射領域５Ｈと光透過領域５Ｔとを形成したものである。従って、光反射領域５Ｈの平面積と光透過領域５Ｔの平面積とが所定の比率となるように調整されたものである。
【００４４】
このように構成されたカラーフィルタ１１においては、先に記載した実施形態１と同様の効果を奏するとともに、光反射領域５Ｈの平面積と光透過領域５Ｔの平面積との比率が調整されることによって、透過モード及び反射モードの表示色の明るさが調整され、所望の表示をするカラーフィルタを形成することができる。
例えば、外光が少ない環境下で使用する液晶装置を形成する際には、カラーフィルタの光透過領域５Ｔの平面積を光反射領域５Ｈの平面積よりも大きくすることによって、光源の光をできるだけ利用した表示装置を形成することができる。
また、外光を利用した低消費電力の液晶装置を形成する際には、カラーフィルタの光反射領域５Ｈの平面積を光透過領域５Ｔの平面積よりも大きくすることによって、外光をできるだけ利用した表示装置を形成することができる。
【００４５】
なお、第１、第２の実施形態に示したカラーフィルタの着色部６…の配置は、図１４に示すように各種の配置のパターンを採用することができる。例えば、図１４（ａ）に示すようなストライプ配置や、図１４（ｂ）に示すようなモザイク配置や、図１４（ｃ）に示すようなデルタ配置とすることができる。
【００４６】
［第３の実施形態］
以下、本発明の第３の実施形態であるカラーフィルタの製造方法を、図面を参照して説明する。
図１５は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の一実施形態におけるインクジェットヘッド２２の用い方を示している。
この実施形態では、図１５（ａ）に示すように、１つ以上のインクジェットヘッド２２を所定の隣接間隔で配列してなるプリントヘッド２２ａを用いる。個々のインクジェットヘッド２２は、一定の配列ピッチＤで列状に配列された複数の吐出ノズル２７を有する。
【００４７】
プリントヘッド２２ａは、一定方向であるヘッド走査方向（図１５（ａ）では縦方向であるＸ方向）に基板２を主走査すると共に、当該ヘッド走査方向Ｘに直交するヘッド改行方向（図１５（ａ）では横方向であるＹ方向）に所定の移動ピッチＰで基板２を副走査する。
【００４８】
個々のインクジェットヘッド２２は、複数の吐出ノズル２７のそれぞれから着色インクを吐出し、この吐出された着色インクが基板２上の複数の領域５に選択的に供給される。さらに、必要に応じて、インクジェットヘッド２２の主走査及び副走査を複数回繰り返して、着色インクを基板２の領域５に所定形状及び所定厚さで付着させる。これにより、基板２上に所定形状及び所定厚さの着色部６が形成される。
【００４９】
本実施形態のように、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色に相当する着色部６を用いてカラー表示を行う場合は、１つの着色部６が１つの表示ドットを形成し、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の表示ドットが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。
【００５０】
本実施形態では、吐出ノズル２７の一定の配列ピッチを“Ｄ”とし、互いに隣り合うインクジェットヘッド２２のそれぞれに設けられた複数の吐出ノズル２７のうち最端部に位置していて互いに最近接するもの同士の間隔を“Ｗ”とするとき、Ｗ＝ｍＤ（但し、ｍは２以上の整数）に設定する。即ち、互いに隣り合うインクジェットヘッド２２の間において互いに隣り合う吐出ノズル２７同士の間隔Ｗは、吐出ノズル２７の配列ピッチＤの整数倍となるように構成される。
【００５１】
また、同時に、図１５（ｂ）に示すように、プリントヘッド２２ａのヘッド改行方Ｙの副走査移動ピッチを“Ｐ”とし、吐出ノズル２７の一定の配列ピッチを“Ｄ”とするとき、Ｐ＝ｎＤ（但し、ｎは１以上の整数）に設定する。即ち、インクジェットヘッド２２の副走査の移動ピッチＰは、吐出ノズル２７の配列ピッチＤの整数倍となるように構成される。
【００５２】
隣接するインクジェットヘッド間の吐出ノズル間隔Ｗ、副走査の移動ピッチＰ、及び吐出ノズルの配列ピッチＤの間に上記の関係を設定することにより、プリントヘッド２２ａの主走査及び副走査時に、吐出ノズル２７を全ての領域５に正確に対向させて、それらの上を通過させることができ、それ故、描画効率を高くすることができ、かつ適切な位置でインクを吐出できる。そしてこれにより、均一な平面形状及び均一な厚さの着色部６、従って画素を基板２上に形成できる。
【００５３】
［第４の実施形態］
以下、本発明の第４の実施形態であるカラーフィルタの製造方法を、図面を参照して説明する。
図１６は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の一実施形態におけるインクジェットヘッド２２の用い方を示している。この実施形態では、１つ以上のインクジェットヘッド２２が、ヘッド改行方向Ｙに対して、それぞれ、角度θだけ傾斜して配列される。但し、θは０°より大きく、１８０°より小さい角度である。
【００５４】
吐出ノズル２７の一定の配列ピッチを“Ｄ”とすれば、吐出ノズル２７のヘッド改行方向Ｙの配列ピッチは“Ｄｃｏｓθ”である。さらに、互いに隣り合うインクジェットヘッド２２のそれぞれに設けられた複数の吐出ノズル２７のうち最端部に位置していて互いに最近接するもの同士の間隔を“Ｗ”とするとき、Ｗ＝ｍＤｃｏｓθ（但し、ｍは２以上の整数）に設定する。即ち、互いに隣り合うインクジェットヘッド２２の間において互いに隣り合う吐出ノズル２７同士のヘッド改行方向の間隔Ｗは、吐出ノズル２７のヘッド改行方向の配列ピッチＤｃｏｓθの整数倍となるように構成される。
【００５５】
また、同時に、プリントヘッド２２ａのヘッド改行方向Ｙの副走査移動ピッチＰ（図１５（ｂ）参照）を、吐出ノズル２７のヘッド改行方向Ｙの配列ピッチＤｃｏｓθの整数倍となるように、即ち、Ｐ＝ｎＤｃｏｓθ（但し、ｎは１以上の整数）となるように構成する。
【００５６】
この構成により、着色部６（図１５（ａ）参照）間の間隔（即ち、着色部ピッチ）と吐出ノズル配列ピッチＤとが異なる場合であっても、インクジェットヘッド２２の全ての吐出ノズル２７が画素の形成される領域上を正確に通過するように設定でき、それ故、全ての吐出ノズル２７を使って基板２上の適切な位置にインクを吐出できる。そしてこれにより、カラーフィルタの画素形成効率、即ち描画効率を向上することができる。
【００５７】
なお、図１５又は図１６に示すプリントヘッド２２ａにおいて、１つ以上のインクジェットヘッド２２の両端部のそれぞれに位置する１つ以上の吐出ノズル２７、例えば、両端部のそれぞれにおける１０個の吐出ノズル２７は、基板２上の領域５に着色インクを吐出しないように構成してもよい。
【００５８】
こうすれば、インクジェットヘッド２２における吐出ノズル列２８に沿ったインク吐出分布特性が大きく変化する場合であっても、当該インクジェットヘッド２２から適切な量のインクを吐出することができ、基板２内のそれぞれの領域５に均一な平面形状及び厚さを有する着色部を配設することができる。
【００５９】
また、図１５又は図１６に示すプリントヘッド２２ａを用いて基板２上に着色部６を形成する場合であって、着色インクをＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の３種類のインクによって構成するときには、１つ以上のインクジェットヘッド２２を、それぞれに配列された複数の吐出ノズル２７の全てがＲ、Ｇ、Ｂの３種類のインクのうちの１種類のみを吐出して、対応する１色の着色部６を形成するように、３種類に区分けすることができる。
【００６０】
この場合には、１つ以上のインクジェットヘッド２２のそれぞれをプリントヘッド２２ａ内で所定の隣接間隔で配列すると共に、そのプリントヘッド２２ａによって基板２を走査することにより、１回の主走査でＲ、Ｇ、Ｂの各色に対応する着色部６を基板２上に同時に形成することができる。このため、画素形成効率、即ち描画効率を向上させることができる。
【００６１】
また、着色インクをＲ、Ｇ、Ｂの３種類のインクによって構成する場合、複数のインクジェットヘッド２２の少なくとも１つの内部に、複数の、例えば、３つの独立した流路を形成し、それらの流路のそれぞれに、Ｒ、Ｇ、Ｂの３種類のインクのうちの異なる１つずつをそれぞれに導入する、という構成を採用することもできる。
【００６２】
この場合には、同じインクジェットヘッド２２内の吐出ノズル２７から異なる色のインクを吐出することができ、この方法によっても、１回の主走査でＲ、Ｇ、Ｂの各色を同時に吐出して、各色に対応する着色部６を基板２上に同時に形成することができる。この方法によっても、画素形成効率、即ち描画効率を向上させることができる。
【００６３】
［第５の実施形態］
以下、本発明の第５の実施形態であるカラーフィルタの製造装置を、図面を参照して説明する。
【００６４】
図１７及び図１８は、カラーフィルタの製造装置の一実施形態を示している。ここに示すカラーフィルタ製造装置１６は、複数の吐出ノズル２７を備えたプリントヘッド２２ａ（図１５参照）と、複数の吐出ノズル２７へ着色インクを供給する着色インク供給手段（図示せず）と、プリントヘッド２２ａを移動させて基板２を主走査させる主走査駆動手段１９（図１６及び図１９参照）と、プリントヘッド２２ａを移動させて基板２を副走査させる副走査駆動手段２１（図１６及び図１９参照）と、吐出ノズル２７の動作を制御する吐出ノズル吐出制御手段（図示せず）と、主走査駆動手段１９の動作を制御する主走査制御手段（図示せず）と、副走査駆動手段２１の動作を制御する副走査制御手段（図示せず）とを備える。
【００６５】
上記構成において、プリントヘッド２２ａは、複数の吐出ノズル２７を一定の配列ピッチＤで列状に配列した１つ以上のインクジェットヘッド２２を所定の隣接間隔で配列することによって形成されている。また、着色インク供給手段（図示せず）は、プリントヘッド２２ａを構成する複数の吐出ノズル２７へ着色インクを供給する。供給されたこの着色インクは、これらの吐出ノズル２７から基板２上の領域５、従って画素形成領域へ選択的に吐出されて着色部６を形成する。
【００６６】
主走査駆動手段１９は、プリントヘッド２２ａを一定方向であるヘッド走査方向（即ち、図１５の縦方向Ｘ）へ移動させて基板２を走査させる。また、副走査駆動手段２１は、プリントヘッド２２ａをヘッド改行方向Ｙに所定の移動ピッチＰ（図１５（ｂ）参照）で移動させて基板２を副走査させる。また、図示しない上記の吐出ノズル吐出制御手段は、複数の吐出ノズル２７から吐出される着色インクの吐出量及び吐出時期を制御する。
【００６７】
本実施形態におけるカラーフィルタ製造装置１６では、プリントヘッド２２ａを一定方向であるヘッド走査方向（即ち、図１５（ａ）の縦方向Ｘ）に移動させて基板２を主走査する。そして、それと共に、ヘッド改行方向Ｙに所定の移動ピッチＰで移動させて基板２を副走査する。
【００６８】
これらの主走査及び副走査の間、１つ以上のインクジェットヘッド２２に配列した複数の吐出ノズル２７から着色インクを基板２上の領域５、従って画素形成領域に選択的に吐出する。また、必要に応じて、上記の主走査及び副走査を複数回繰り返して、着色インクを基板２の領域５、従って画素形成領域に所定形状及び所定厚さで付着させる。これにより、基板２上に所定形状及び所定厚さの着色部６を配設する。
【００６９】
また、カラーフィルタの製造装置１６では、図１５においてインクジェットヘッド２２のそれぞれの最端部に位置すると共に、最も近接するもの同士の相互間隔Ｗは、吐出ノズル２７の配列ピッチＤの整数倍となるように、即ちＷ＝ｍＤ（但し、ｍは２以上の整数）となるように構成される。そして同時に、プリントヘッド２２ａのヘッド改行方向Ｙの副走査移動ピッチＰは、吐出ノズル２７の一定の配列ピッチＤの整数倍となるように、即ちＰ＝ｎＤ（但し、ｎは１以上の整数）となるように構成されている。
【００７０】
図１９は、カラーフィルタ製造装置１６におけるプリントヘッド２２ａの一例を示す。この例では、プリントヘッド２２ａは、６個のインクジェットヘッド２２を有し、個々のインクジェットヘッド２２には、複数、例えば１２個の吐出ノズル２７によって形成された直線状の吐出ノズル列２８が形成されている。吐出ノズル２７の配設ピッチＰ３は、例えば１４１μｍであり、吐出ノズル２７の直径Ｄ１は、例えば２８μｍであり、着色部の形成ピッチは、例えば１４１μｍである。
【００７１】
なお、前述のように、インクジェットヘッド２２は、図１６に示すように、ヘッド改行方向Ｙに対してそれぞれθの角度の傾斜を設けて配列することができる。この角度θは、０°より大きく、１８０°より小さい角度である。そしてこの場合には、互いに隣り合うインクジェットヘッド２２の互いに隣り合う最端部における吐出ノズル２７の相互間隔Ｗは、吐出ノズル２２のヘッド改行方向Ｙの配列ピッチＤｃｏｓθの整数倍となるように、即ちＷ＝ｍＤｃｏｓθ（但し、ｍは２以上の整数）となるように構成できる。
【００７２】
そして同時に、プリントヘッド２２ａのヘッド改行方向Ｙの副走査移動ピッチＰ（図１５参照）は、吐出ノズル２７のヘッド改行方向Ｙの配列ピッチＤｃｏｓθの整数倍となるように、即ちＰ＝ｎＤｃｏｓθ（ｎは１以上の整数）となるように構成できる。
【００７３】
図２０は、カラーフィルタ製造装置１６におけるプリントヘッド２２ａの他の例を示す。この例では、プリントヘッド２２ａは、６個のインクジェットヘッド２２を有し、個々のインクジェットヘッド２２には複数、例えば１２個の吐出ノズル２７によって形成された吐出ノズル列２８が設けられている。インクジェットヘッド２２は角度θで傾斜して設けられ、この傾斜角度θは、例えば５７．９°に設定される。
【００７４】
また、吐出ノズル２７の配列ピッチは、例えば１４１μｍであり、吐出ノズル２７の直径は、例えば２８μｍであり、着色部（従って、画素）の形成ピッチは、例えば７５μｍである。
【００７５】
次に、図１７を参照して、カラーフィルタ製造装置１６が具備するインクジェット手段について詳述する。このインクジェット手段はＲ、Ｇ、Ｂのうちの１色、例えば、Ｒ色の着色インクをインクの液滴として、カラーフィルタ１１内の所定位置に吐出して付着させるための装置である。Ｇ色の着色インク及びＢ色の着色インクのためのインクジェット手段もそれぞれに用意されるが、それらの構造は、図１７に示す構造と同様のものとすることができる。
【００７６】
図１７において、カラーフィルタ製造装置１６は、１つ以上のインクジェットヘッド２２を所定の隣接間隔で配列してなるプリントヘッド２２ａ（図１５参照）を備えたヘッドユニット２６と、プリントヘッド２２ａの位置を制御するヘッド位置制御手段１７と、マザー基板１２の位置を制御する基板位置制御手段１８と、インクジェットヘッド２２をマザー基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段１９と、インクジェットヘッド２２をマザー基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段２１と、マザー基板１２をインクジェット手段内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、そしてインクジェット手段の全般の制御を司るコントロール装置２４とを備えている。
ここでいう、マザー基板とは、上記のカラーフィルタ１１が形成される基板２の母材となる大面積の基板である。このマザー基板を切り出すことによって、複数の上記基板２を形成することができる。具体的には、まず、マザー基板１２内に構成された複数のカラーフィルタ１１のそれぞれの表面にカラーフィルタ１１の１個分のパターンを形成し、それらのカラーフィルタ１１の周りに切断用の溝を形成し、さらに、それらの溝に沿ってマザー基板１２を切断することによって、個々のカラーフィルタ１１を形成することができる。
【００７７】
ヘッド位置制御手段１７、基板位置制御手段１８、主走査駆動手段１９、及び副走査駆動手段２１の各装置はベース９の上に設置される。また、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われている。
【００７８】
インクジェットヘッド２２は、例えば、図２１に示すように、複数の吐出ノズル２７を列状に並べることによって形成された吐出ノズル列２８を有する。吐出ノズル２７の数は、例えば１８０個であり、吐出ノズル２７の孔径Ｄ１は、例えば２８μｍであり、吐出ノズル２７間の吐出ノズルピッチＰ３は、例えば１４１μｍである。なお、カラーフィルタ１１及びマザー基板１２に対するヘッド走査方向（即ち、主走査方向）Ｘ及びそれに直交する副走査方向Ｙは、それぞれ、図２１におけるＸ方向及びＹ方向に対応している。
【００７９】
また、図２２に示すように、吐出ノズル列２８をヘッド走査方向Ｘに沿って２列設けることにより、同じ主走査ラインに載った２つの吐出ノズル２７によって１つの領域５に着色インクを供給してもよい。このとき、吐出ノズル２７の配列ピッチＰ３は１４１μｍ程度に設定できる。
【００８０】
また、図２３に示すように、吐出ノズル列２８をヘッド走査方向Ｘに沿って２列設け、さらに複数の吐出ノズル２７を千鳥状に設け、これらの吐出ノズル２７を通して領域５（図１５（ａ）参照）に着色インクを供給してもよい。なお、この場合に吐出ノズル２７の配列ピッチＤを１４１μｍとすれば、主走査方向Ｘに延びる複数の走査ライン間における実質的なピッチＰ５は、その半分の７０．５μｍになる。
【００８１】
また、図２４に示すように、ヘッド走査方向Ｘに沿って互いに隣り合う一対の吐出ノズル列２８を複数組設けると共に、上記一対の吐出ノズル列２８に含まれる複数の吐出ノズル２７は千鳥状に配列するようにインクジェットヘッド２２を構成し、これらの吐出ノズル２７によって領域５に着色インクを供給してもよい。なお、図２４では、千鳥状に配列された吐出ノズル２７を有する一対の吐出ノズル列２８が２組描かれている。また、吐出ノズル２７の配列ピッチＤは１４１μｍであるが、Ｘ方向に延びる主走査ラインにおける実質的なピッチＰ５はその半分の７０．５μｍになる。
【００８２】
また、図２５に示すように、吐出ノズル列２８をヘッド走査方向Ｘに沿って、１／３ピッチずつ、ずらして３列設けることにより、領域５に着色インクを供給してもよい。この場合、吐出ノズル２７の配列ピッチＤは１４１μｍであるが、Ｘ方向に延びる主走査ラインにおける実質的なピッチＰ５はその３分の１である４７μｍになる。
【００８３】
インクジェットヘッド２２は、図１５に示すように、その吐出ノズル列２８がヘッド走査方向Ｘと直交する方向に位置するように構成され、また場合によっては、図１６に示すように、ヘッド走査方向Ｘと直交する方向に対して所定の角度θの傾斜をもって設けられる。このインクジェットヘッド２２は、ヘッド走査方向Ｘへ平行移動する間に、着色インクを複数の吐出ノズル２７から選択的に吐出することにより、基板２内の領域５に着色インクを付着させる。また、インクジェットヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、インクジェットヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらすことができる。インクジェットヘッド２２は、例えば、図２６（ａ）及び図２６（ｂ）に示す内部構造を有する。具体的には、インクジェットヘッド２２は、例えば、ステンレス製の吐出ノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有する。吐出ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数のインク室３３と液溜り３４とが形成される。複数のインク室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００８４】
振動板３１の適所にはインク供給孔３６が形成され、このインク供給孔３６にインク供給装置３７が接続される。このインク供給装置３７は、Ｒ、Ｇ、Ｂのうちの１色、例えば、Ｒ色の着色インクをインク供給孔３６へ供給する。供給された着色インクは液溜り３４に充填され、さらに、通路３８を通ってインク室３３に充填される。
【００８５】
吐出ノズルプレート２９には、インク室３３から着色インクをジェット状に噴射するための吐出ノズル２７が設けられている。また、振動板３１のインク室３３を形成する面の裏面には、インク室３３に対応させてインク加圧体３９が取り付けられている。このインク加圧体３９は、図２６（ｂ）に示すように、圧電素子４１並びにこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は電極４２ａ、４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これによりインク室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する着色インクが液溜り３４から通路３８を通ってインク室３３へ流入する。
【００８６】
次に、圧電素子４１への通電を解除すると、圧電素子４１と振動板３１はともに元の形状へ戻る。これにより、インク室３３も元の容積に戻るためインク室３３の内部にある着色インクの圧力が上昇し、吐出ノズル２７から基板２へ向けて着色インクが液滴化して噴出する（図１０参照）。なお、吐出ノズル２７の周辺部には、液滴の飛行曲がりや吐出ノズル２７の孔詰まり等を防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥インク層４３を設けている。
【００８７】
図１８において、ヘッド位置制御手段１７は、プリントヘッド２２ａを面内回転させるαモータ４４と、プリントヘッド２２ａを副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、プリントヘッド２２ａをヘッド走査方向Ｘと平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、プリントヘッド２２ａを上下方向へ平行移動させるＺモータ４８を有する。
【００８８】
図１７に示す基板位置制御手段１８は、図１８に示すように、マザー基板１２を載置するテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを有する。また、図１７に示す主走査駆動手段１９は、図１８に示すように、ヘッド走査方向Ｘへ延びるガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダ５３とを有する。スライダ５３は内蔵するリニアモータが作動するときにガイドレール５２に沿ってヘッド走査方向Ｘへ平行移動する。
【００８９】
また、図１７に示す副走査駆動手段２１は、図１８に示すように、副走査方向Ｙへ延びるガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダ５６とを有する。スライダ５６は内蔵するリニアモータが作動するときにガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００９０】
スライダ５３やスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、スライダ５３に支持されたインクジェットヘッド２２のヘッド走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置等を高精細に制御することができる。
【００９１】
なお、プリントヘッド２２ａやテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御だけではなく、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法を用いたものであってもよい。
【００９２】
図１７に示す基板供給手段２３は、マザー基板１２を収容する基板収容部５７と、マザー基板１２を搬送するロボット５８とを有する。ロボット５８は、床、地面等の設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。吸着パッド６４は空気吸引等によってマザー基板１２を吸着することができる。
【００９３】
図１７において、主走査駆動手段１９によって駆動されて主走査移動するプリントヘッド２２ａの軌跡下であって副走査駆動手段２１の一方の脇位置に、キャッピング手段７６及びクリーニング手段７７が配設される。また、他方の脇位置に電子天秤７８が配設される。クリーニング手段７７は、インクジェットヘッド２２を洗浄するための手段である。電子天秤７８はインクジェットヘッド２２内の個々の吐出ノズル２７（図２１参照）から吐出されるインクの液滴の重量を吐出ノズルごとに測定する機器である。そして、キャッピング手段７６はインクジェットヘッド２２が待機状態にあるときに吐出ノズル２７（図２１参照）の乾燥を防止するための手段である。
【００９４】
プリントヘッド２２ａの近傍には、プリントヘッド２２ａと一体に移動する関係でヘッド用カメラ８１が配設される。また、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ８２がマザー基板１２を撮影できる位置に配置される。
【００９５】
図１７に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置としてのキーボード６７と、表示装置としてのＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイ６８とを有する。上記プロセッサは、図２７に示すように、演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）６９と、各種情報を記憶する情報記憶媒体としてのメモリ７１とを有する。
【００９６】
図１７に示すヘッド位置制御手段１７、基板位置制御手段１８、主走査駆動手段１９、副走査駆動手段２１、インクジェットヘッド２２内の圧電素子４１（図２６（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、図２７において、入出力インターフェース７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続される。また、基板供給装置２３、入力装置６７、ディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング手段７７及びキャッピング手段７６の各機器も入出力インターフェース７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続される。
【００９７】
メモリ７１は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体等といった外部記憶装置等を含む概念であり、機能的には、インクジェット手段の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、図１４に示すＲ、Ｇ、Ｂに関する各種の配列を実現するためのＲ、Ｇ、Ｂのうちの１色（例えば、Ｒ１色）に関するマザー基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図１８における副走査方向Ｙへのマザー基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する領域や、その他各種の記憶領域を有する。
【００９８】
ＣＰＵ６９は、メモリ７１内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板１２の表面の所定位置に、着色インクを吐出するための制御を行うものであり、具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、電子天秤７８（図１７参照）を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部と、インクジェットによって着色インクを描画するための演算を行う描画演算部とを有する。
【００９９】
描画演算部は、プリントヘッド２２ａを描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部と、プリントヘッド２２ａをヘッド走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部と、マザー基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査移動ピッチで副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部と、そして、インクジェットヘッド２２内の複数の吐出ノズル２７のうちのいずれを作動させて着色インクを吐出するかを制御するための演算を行う吐出ノズル吐出制御演算部等の各種の機能演算部を有する。
【０１００】
なお、上記の各機能の一部又は全部をＣＰＵ６９を用いてソフト的に実現することに代えて、ＣＰＵを用いない単独の論理回路又は電子回路によって実現できる場合は、ＣＰＵ６９に代えて又はＣＰＵ６９に加えてそのような電子回路等を用いることができる。
【０１０１】
以下、上記構成からなる図１７のインクジェット手段の動作を図２８に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１０２】
オペレータによる電源投入によってインクジェット手段が作動すると、まず、ステップＳ１において初期設定が実行される。具体的には、ヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４等が予め決められた初期状態にセットされる。
【０１０３】
次に、重量測定タイミングが到来すれば（ステップＳ２でＹＥＳ）、図１８に示すヘッドユニット２６を主走査駆動手段１９によって図１７に示す電子天秤７８の所まで移動させて（ステップＳ３）、吐出ノズル２７から吐出されるインクの量を電子天秤７８を用いて全ての吐出ノズル２７の個々に関して測定する（ステップＳ４）。そして、吐出ノズル２７のインク吐出特性に合わせて、各吐出ノズル２７に対応する圧電素子４１に印加する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【０１０４】
次に、クリーニングタイミングが到来すれば（ステップＳ６でＹＥＳ）、ヘッドユニット２６を主走査駆動手段１９によってクリーニング手段７７の所まで移動させて（ステップＳ７）、そのクリーニング手段７７によってインクジェットヘッド２２をクリーニングする（ステップＳ８）。
【０１０５】
重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合（ステップＳ２及びＳ６でＮＯ）、又はそれらの処理が終了した場合には、ステップＳ９において、図１７に示す基板供給装置２３を作動させてマザー基板１２をテーブル４９へ供給する。具体的には、基板収容部５７内のマザー基板１２を吸着パッド６４によって吸引して保持し、次に、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させてマザー基板１２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決めピン５０（図１８参照）に押し付ける。なお、テーブル４９上におけるマザー基板１２の位置ズレを防止するため、空気吸引等の手段によってマザー基板１２をテーブル４９に固定することが好ましい。
【０１０６】
次に、図１７に示す基板用カメラ８２によってマザー基板１２を観察しながら、図１８に示すθモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることによりテーブル４９を微小角度単位で面内回転させてマザー基板１２を位置決めする（ステップＳ１０）。次に、図８に示すヘッド用カメラ８１によってマザー基板１２を観察しながらインクジェットヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定し（ステップＳ１１）、そして、主走査駆動手段１９及び副走査駆動手段２１を適宜に作動させてインクジェットヘッド２２を描画開始位置へ移動する（ステップＳ１２）。
【０１０７】
このとき、プリントヘッド２２ａは、図１６に示すように、複数の吐出ノズル２７、従って吐出ノズル列２８がプリントヘッド２２ａの副走査方向Ｙに対して角度θで傾斜するように配設されることが好ましい。これは、通常のインクジェット手段の場合には、隣り合う吐出ノズル２７の間の間隔である吐出ノズル間ピッチＤと、隣り合う着色部６即ち領域５の間の間隔であるエレメントピッチとが異なることが多く、プリントヘッド２２ａをヘッド走査方向Ｘへ移動させるときに、吐出ノズル間ピッチＤの副走査方向Ｙの寸法成分がエレメントピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【０１０８】
図２８に示すステップＳ１２でインクジェットヘッド２２が描画開始位置に置かれ、その後、図２８に示すステップＳ１３でヘッド走査方向Ｘへの主走査が開始され、同時にインクの吐出が開始される。具体的には、図１８に示す主走査駆動手段１９が作動してプリントヘッド２２ａがヘッド走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動し、その移動中、インクを供給すべき領域５に対応する吐出ノズル２７が到達したときにその吐出ノズル２７から着色インクが吐出される。
【０１０９】
なお、このときのインク吐出量は、領域５の容積全部を埋める量ではなく、その全量の数分の１、具体的には、全量の１／４の量である。これは、後述するように、各領域５は吐出ノズル２７からの１回のインク吐出によって埋められるのではなくて、数回のインク吐出の重ね吐出によって、例えば、４回の重ね吐出によって、容積全部を埋めることが好ましいからである。
【０１１０】
プリントヘッド２２ａは、マザー基板１２に対する１ライン分の主走査が終了すると（ステップＳ１４でＹＥＳ）、反転移動して初期位置（１５（ａ）参照）へ復帰する（ステップＳ１５）。そしてさらに、プリントヘッド２２ａは、副走査駆動手段２１によって駆動されて副走査方向Ｙへ予め定められた副走査移動ピッチＰだけ移動する（ステップＳ１６）。
【０１１１】
図１５（ｂ）に示す位置へ副走査移動したプリントヘッド２２ａは、ステップＳ１３で主走査移動及びインク吐出を繰り返して実行する。さらに、その後、プリントヘッド２２ａは、副走査移動を繰り返しながら主走査移動及びインク吐出を繰り返し（ステップＳ１３〜ステップＳ１６）、これにより、マザー基板１２のカラーフィルタ１１の１列分のインク付着処理が完了する。
【０１１２】
なお、本実施形態では、複数回、例えば４回のインク吐出処理を受けて、その全容積内に所定量即ち所定膜厚の着色インクが全量供給される。
【０１１３】
また、吐出ノズル列２８は順次に副走査移動して行く際、各位置における吐出ノズル列２８が他の位置における吐出ノズル列２８と副走査方向Ｙに関して重なることがなく、しかし各位置間の吐出ノズル列２８が副走査方向Ｙに関して互いに連続するように副走査移動が実行される。従って、吐出された着色インクの厚さは均一となる。
【０１１４】
以上により、マザー基板１２内のカラーフィルタ１１の一列分のインク吐出が完了すると、インクジェットヘッド２２は副走査駆動手段２１によって駆動されて次列のカラーフィルタ１１の初期位置へ搬送され（ステップＳ１９）、列のカラーフィルタ１１に対して主走査、副走査及びインク吐出を繰り返して領域５内にフィルタエレメントを形成する（ステップＳ１３〜Ｓ１６）。
【０１１５】
その後、マザー基板１２内の全てのカラーフィルタ１１に関してＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の１色、例えば、Ｒ１色の着色部６が形成されると（ステップＳ１７及びＳ１８でＹＥＳ）、ステップＳ２０でマザー基板１２を基板供給装置２３によって、又は別の搬送機器によって、処理後のマザー基板１２が外部へ排出される。
【０１１６】
その後、オペレータによって処理終了の指示がなされない限り（ステップＳ２１でＮＯ）、ステップＳ２へ戻って別のマザー基板１２に対するＲ１色に関するインク吐着作業を繰り返して行う。
【０１１７】
オペレータから作業終了の指示があると（ステップＳ２１でＹＥＳ）、ＣＰＵ６９は図１７においてプリントヘッド２２ａをキャッピング手段７６の所まで搬送して、そのキャッピング手段７６によってプリントヘッド２２ａに対してキャッピング処理を施す（ステップＳ２２）。
【０１１８】
以上により、カラーフィルタを構成するＲ、Ｇ、Ｂの３色のうちの第１色、例えば、Ｒ色についてのパターニングが終了し、その後、マザー基板１２をＲ、Ｇ、Ｂの第２色、例えば、Ｇ色を着色インクとするインクジェット手段へ搬送してＧ色のパターニングを行い、さらに最終的にＲ、Ｇ、Ｂの第３色、例えば、Ｂ色を着色インクとするインクジェット手段へ搬送してＢ色のパターニングを行う。これにより、ストライプ配列等といった希望のＲ、Ｇ、Ｂのドット配列を有するカラーフィルタ１１が複数個形成されたマザー基板１２が製造される。
【０１１９】
なお、カラーフィルタ１１を液晶表示装置のカラー表示のために用いる場合には、カラーフィルタ１１の表面には電極や配向膜等がさらに積層されることになる。そのような場合、電極や配向膜等を積層する前にマザー基板１２を切断して個々のカラーフィルタ１１を切り出してしまうと、その後の電極等の形成工程が非常に面倒になる。よって、そのような場合には、マザー基板１２上でカラーフィルタ１１が完成した後に、直ぐにマザー基板１２を切断してしまうのではなく、電極形成や配向膜形成等の必要な付加工程が終了した後にマザー基板１２を切断することが好ましい。
【０１２０】
以上のように、カラーフィルタ１１内の個々の着色部６は、インクジェットヘッド２２によるＸ方向への１回の主走査によって形成されるのではなくて、各１個の着色部６は異なる吐出ノズルグループに属する複数の吐出ノズル２７によってｎ回、例えば４回、重ねてインク吐出を受けることにより所定の膜厚に形成される。このため、仮に複数の吐出ノズル２７間においてインク吐出量にバラツキが存在する場合でも、複数の着色部６間で膜厚にバラツキが生じることを防止でき、それ故、カラーフィルタの光透過特性及び光反射性を平面的に均一にすることができる。
【０１２１】
また、前述のように、インクジェットヘッド２２の吐出ノズル列２８を形成する複数の吐出ノズル２７のインク吐出量の分布が不均一になること、また、特に吐出ノズル列２８の両端部に存在する１つ以上（例えば、片端側１０個ずつ）の吐出ノズル２７が特にインク吐出量が大きくなることに対応して、図２９に示すように、インクジェットヘッド２２に形成された複数の吐出ノズル２７のうち吐出ノズル列２８の両端部Ｅに存在する１つ以上（例えば、１０個程度）は予めインクを吐出させないように構成しておくことが好ましい。例えば、吐出ノズル２７の数が１８０個である場合には、両端それぞれの１０個、合計で２０個の吐出ノズル２７からはインクを吐出しないように印加電圧等に条件付けをしておき、残りの中央部の１６０個を用いてインクを吐出することができる。
【０１２２】
［第６の実施形態］
次に、本発明の第６の実施形態の液晶装置（表示装置）を図面を参照して説明する。
図３０は、第６の実施形態であるパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す断面図である。この実施形態の液晶装置２００に、液晶駆動用ＩＣ２１１、配線類２１２、光源２１３、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての半透過反射型液晶表示装置が構成される。
この液晶装置２００は、カラーフィルタとして第１の実施形態で説明したカラーフィルタ１１を備えており、カラーフィルタ１１を下側（観測者側の反対側）に配置したものである。なお、本実施形態においてはカラーフィルタ１１について簡略的に説明することとする。
【０１２３】
図３０には液晶装置２００の要部を示しており、この液晶装置２００は、カラーフィルタ１１とガラス基板等からなる基板２０１との間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層２０３が挟持されて概略構成されている。またカラーフィルタ１１の周縁部と基板２０１の周縁部との間にはシール材２１０が配置されており、カラーフィルタ１１と基板２０１とシール材２１０とに区画された部分に液晶層２０３が封入されている。
カラーフィルタ１１は、第１の実施形態で説明したカラーフィルタと同じものであり、基板２と、基板の一面２ａ上に形成されたバンク３…と、反射層４…と、着色部６…と、バンク３…及び着色部６…を覆うオーバーコート層７と、基板２を所定のパターンでエッチングして形成された凹部８…とを具備して構成されている。着色部６…は、赤（Ｒ）の着色部６Ｒ、緑（Ｇ）の着色部６Ｇ、青（Ｂ）の着色部６Ｂの各色からなる。
【０１２４】
カラーフィルタ１１のオーバーコート層７の上（液晶層２０３側）には、複数の電極２０６が所定の間隔でストライプ状に形成され、さらにその上（液晶層２０３側）に配向膜２０９が形成されている。
同様に、基板２０１におけるカラーフィルタ１１との対向面にはカラーフィルタ側の電極２０６と直交する方向に延在する複数の電極２０５が所定の間隔でストライプ状に形成され、その下に配向膜２０７が形成されている。そして、電極２０５と電極２０６との交差位置に対応する位置に、カラーフィルタ１１の着色部６…が配置されている。
なお、電極２０５、２０６はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料を平面視ストライプ状に形成したものである。
また、基板２０１とカラーフィルタ１１の外面側には図示略の偏光板がそれぞれ設置されている。また、符号２０４は基板間の間隔（セルギャップという）を基板面内で一定に保持するためのスペーサである。
【０１２５】
この液晶装置２００によれば、先に記載したカラーフィルタ１１を備えているので、好適な透過モード及び反射モードを備えた視認性の高い半透過反射型液晶装置を形成することが可能になる。
また、凹部８…の深さを調整して削ることによって、光透過領域５Ｔ…の光路長を所望の長さに設定することができ、従って、光源光９１０による表示色を所望の濃度にすることができる。ここで、着色部６…内における光路長が光反射領域５Ｈ…と光透過領域５Ｔ…とで同じになるように、光反射領域５Ｈ…の反射面に対する凹部８…の深さが定められているので、着色部６…を透過する外光９２０及び光源光９１０の光路長が同じになり、透過モードと反射モードとにおける表示色の濃さを同じにすることができる。
また、凹部８…には着色部６…が埋め込まれる形となり、これによってカラーフィルタ１１を薄くすることができ、光透過率を向上させることが可能になる。
また、反射層４…は、外光９２０を反射散乱するので、表示画面に対して視野角が大きい表示装置、いわゆる広視野角液晶装置となる。
【０１２６】
［第７の実施形態］
次に、本発明の第７の実施形態の液晶装置（表示装置）を図面を参照して説明する。
図３１は、本発明の第７の実施形態である半透過半反射型のＴＦＤ型（Thin Film Diode 型）の液晶装置３００の分解斜視図である。
この実施形態の液晶装置３００に、液晶駆動用ＩＣ、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての反射型液晶表示装置が構成される。
この液晶装置３００は、カラーフィルタとして第１の実施形態で説明したカラーフィルタ１１を備えており、カラーフィルタ１１を下側（観測者側の反対側）に配置したものである。なお、本実施形態においてはカラーフィルタ１１について簡略的に説明することとする。
【０１２７】
図３１に示すように、この液晶装置３００は、アクティブマトリクス型のＴＦＤ（Thin Film Diode）型の液晶装置をなし、カラーフィルタ１１と基板３３８が所定の間隔で対向配置され、カラーフィルタ１１と基板３３８との間には図示略の液晶が介在されている。
なお、図面上では省略されているが、基板２、３３０の周辺部側にシール材が配置され、基板２、３３０が対向状態で接合、一体化され、両基板２、３３０間に液晶が封入されている。
基板３３８は素子基板となっていて、ガラス等からなる透明基板３３０の下面にマトリックス状に例えばＩＴＯ等の透明電極からなる複数の画素電極３３２及び画素電極３３２を制御するＴＦＤ素子３３６が設けられている。ＴＦＤ素子３３６は画素電極３３２の一隅に配設されている。またＴＦＤ素子３３６は走査線３３４に接続され、操作信号と後述するデータ線（対向電極）３２２に印加された信号に基づき、液晶を表示、非表示状態または中間状態に切り替えることが可能になっている。
【０１２８】
カラーフィルタ１１は、図３１に示すように、基板２と、基板２の一面（換言すると液晶層側の面）に形成されたバンク３と、反射層４…と、着色部６…と、バンク３…及び着色部６…を覆うオーバーコート層７と、基板２を所定のパターンでエッチングして形成された凹部８…とを具備して構成されている。オーバーコート層７上には、ＩＴＯから成りデータ線をなす短冊状の電極（対向電極）３２２が形成されている。
各着色部６…は、基板３３８の画素電極３３２に対向した位置にマトリクス状に形成され、青色の着色部（図示「Ｂ」）６Ｂ、緑色の着色部（図示「Ｇ」）６Ｇ、赤色の着色部（図示「Ｒ」）６Ｒから構成されている。各着色部６…は離間配置され、それらの間には、非画像表示領域（他方の基板３３８の画素電極３３２が形成されていない領域）に対応してバンク３が形成されている。
【０１２９】
この液晶装置３００によれば、第６の実施形態の液晶装置２００と同様な効果が得られる。
【０１３０】
［第８の実施形態］
次に、本発明の第８の実施形態の液晶装置（表示装置）を図面を参照して説明する。
図３２は、本発明の第８の実施形態である透過型のＴＦＴ型（Thin Film Transistor 型）の液晶装置４００の分解斜視図である。
この実施形態の液晶装置４００に、液晶駆動用ＩＣ、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての反射型液晶表示装置が構成される。
この液晶装置４００は、第１の実施形態で説明したカラーフィルタ１１を備えており、カラーフィルタ１１を上側（観測者側）に配置したものである。なお、本実施形態においてはカラーフィルタ１１について簡略的に説明することとする。
【０１３１】
この実施形態の液晶装置４００は、互いに対向するように配置されたカラーフィルタ１１及びガラス基板４１４と、これらの間に挟持された図示略の液晶層と、カラーフィルタ１１の上面側（観測者側）に付設された偏光板４１６と、ガラス基板４１４の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。また、ガラス基板４１４の外側に配設された光源４７０からの光源光９１０がこのガラス基板４１４側へ透過するようになっている。
カラーフィルタ１１は、観測者側に向いて設けられる表側の基板であって、図３２に示すように、基板２と、基板２の上面（換言すると液晶層側の面）に形成されたバンク３と、反射層４…と、着色部６…と、バンク３…及び着色部６…を覆うオーバーコート層７と、基板２を所定のパターンでエッチングして形成された凹部８…とを具備して構成されている。
更に、オーバーコート層７の下側（液晶層側）に駆動用の電極４１８が形成されており、電極４１８は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料をオーバーコート層７の全面に形成させたものである。
ガラス基板４１４は、その反対側、換言すると裏側に設けられる透明な基板である。
なお、実際の液晶装置においては電極４１８を覆って液晶層側に配向膜が設けられるが、図３２では省略してあるとともに、反対側のガラス基板４１４側の後述する電極４３２上にも配向膜が設けられるが、図３２では省略し、配向膜の説明も省略する。
【０１３２】
また、ガラス基板４１４上には絶縁層４２５が形成され、この絶縁層４２５の上には、ＴＦＴ型のスイッチング素子としての薄膜トランジスタＴと画素電極４３２が形成されている。
ガラス基板４１４上に形成された絶縁層４２５上には、マトリクス状に走査線４５１…と信号線４５２…とが形成され、これら走査線４５１…と信号線４５２…とに囲まれた領域毎に画素電極４３２が設けられ、各画素電極４３２のコーナ部分と走査線４５１と信号線４５２との間の部分に薄膜トランジスタＴが組み込まれており、走査線４５１と信号線４５２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタＴをオン・オフして画素電極４３２への通電制御を行うことができるように構成されている。また、対向側のカラーフィルタ１１側に形成された電極４１８はこの実施形態では画素電極形成領域全体をカバーする全面電極とされている。なお、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものがあり、本実施の形態では図３２に示すものを例示したが、他の形状のＴＦＴを備えた液晶装置に適用できるのはもちろんである。
【０１３３】
この液晶装置４００によれば、第６の実施形態の液晶装２００及び第７の実施形態の液晶装置３００と同様な効果が得られる。
【０１３４】
［第９の実施形態］
次に、前記の第６、第７、第８の実施形態の液晶装置２００、３００、４００いずれかを備えた電子機器の具体例について説明する。
図３３（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図３３（ａ）において、符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は前記の液晶装置２００、３００、４００のいずれかを用いた液晶表示部を示している。
図３３（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図３３（ｂ）において、符号７００は情報処理装置、符号７０１はキーボードなどの入力部、符号７０３は情報処理装置本体、符号７０２は前記の液晶装置２００、３００、４００のいずれかを用いた液晶表示部を示している。
図３３（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図３３（ｃ）において、符号８００は時計本体を示し、符号８０１は前記の液晶装置２００、３００、４００のいずれかを用いた液晶表示部を示している。
図３３（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、前記の液晶装置２００、３００、４００のいずれかを用いた液晶表示部を備えたものであり、先の第６から第８実施形態の液晶装置２００、３００、４００の特徴を有するので、いずれの液晶装置を用いても、好適な透過モード及び反射モードを備えた視認性の高い電子機器となる。
【図面の簡単な説明】
【０１３５】
【図１】本発明の第１の実施形態のカラーフィルタの断面図。
【図２】図１の要部を示す断面図。
【図３】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図４】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図５】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図６】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図７】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図８】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図９】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図１０】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図１１】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図１２】図１のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図。
【図１３】本発明の第２の実施形態のカラーフィルタの断面図。
【図１４】カラーフィルタの着色部の配置を示す平面模式図。
【図１５】本発明の第３の実施形態のカラーフィルタの製造方法を示す平面図。
【図１６】本発明の第４の実施形態のカラーフィルタの製造方法を示す平面図。
【図１７】本発明の第５の実施形態のカラーフィルタの製造装置を示す図。
【図１８】本発明の第５の実施形態のカラーフィルタの製造装置を示す図。
【図１９】カラーフィルタ製造装置で用いるプリントヘッドの一例を示す斜視図。
【図２０】カラーフィルタ製造装置で用いるプリントヘッドの一例を示す斜視図。
【図２１】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大斜視図。
【図２２】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大斜視図。
【図２３】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大平面図。
【図２４】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大平面図。
【図２５】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大平面図。
【図２６】インクジェットヘッドの内部構造の一例を示す図。
【図２７】カラーフィルタ製造装置に用いられる電気制御系を示すブロック図。
【図２８】図２７に示す制御系によって実行されるフローチャート図。
【図２９】カラーフィルタ製造装置で用いるインクジェットヘッドの拡大平面図。
【図３０】本発明の第６の実施形態の液晶装置の要部を示す断面図。
【図３１】本発明の第７の実施形態の液晶装置の要部を示す断面図。
【図３２】本発明の第８の実施形態の液晶装置の要部を示す断面図。
【図３３】本発明の第９の実施形態の電子機器を示す斜視図。
【図３４】従来のカラーフィルタの断面図。
【符号の説明】
【０１３６】
１１  カラーフィルタ
２  基板
３  バンク
４  反射層（反射面）
５  領域
５Ｔ  光透過領域
５Ｈ  光反射領域
６  着色部
８  凹部
２００、３００、４００  液晶装置（表示装置）
６００、７００、８００  電子機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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