(57)【要約】【課題】バーコーダーの表面に撓みがあったとしても、その撓みにステンレス製スクリーンメッシュが追従して、バーコーダーとフィルムマスクの表面を均一な面で接触させることにより、フィルムマスクに保護液を均一に塗布することができる。【解決手段】バーコーダーをフィルムマスク３の表面に接触させつつ移動することにより、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置である。フィルムマスク３を支持する支持台におけるフィルムマスク支持領域を、ステンレス製の糸をメッシュ状に織り上げたステンレス製スクリーンメッシュ部４２としている。【選択図】  図８
2004184683.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
原版を支持する支持台における原版支持領域を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属製スクリーンメッシュ部としたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記金属製の糸は、ステンレス製の糸であること特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
原版を覆うことにより保護する保護カバーと、
前記均一化部材により保護液を均一化しつつ塗布した後に、前記保護カバーを原版を覆う位置に移動させる保護カバー移動手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
前記保護カバーは、少なくとも一部を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属性スクリーンメッシュ部としたことを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
原版を支持する支持台における、均一化部材の移動方向の先端側に、余剰の保護液を吸収する吸収部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
前記吸収部材は、前記均一化部材の移動方向に対し垂直方向において原版の幅全体に亘って形成されていることを特徴とする請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
円柱状の均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
前記均一化部材の両端部近傍に、保護液が前記均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散することを規制する規制部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
前記規制部材における原版との接触部に溝を形成したことを特徴とする請求項７に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記均一化部材及び前記規制部材を支持する支持手段と、
前記支持手段を移動する支持手段移動手段と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からプリント基板、電子部品等を製造するために使用されるフィルムマスク等の原版を保護する技術が知られている。
即ち、例えば、いわゆるエルマルジョンタイプのフィルムマスクにおいてはＰｅｔフィルム上に感光性の乳剤が塗布され、その表面を露光することにより画像を形成する。そして、画像が形成されたフィルムマスクの下にプリント基板原版等を置いた状態でフィルムマスクに光照射をして、プリント基板等を製造している。しかし、フィルムマスクにおけるＰｅｔフィルム上に塗布される乳剤は水分や瑕に弱く、変性しやすい。変性したフィルムマスクを原版として製造したプリント基板等は使用できないため、フィルムマスクを再度、製造する必要が生じる。
このような問題点を解決するため、従来、フォトマスク等を収容するものであり、プラスチックにより成形した収納ケースが知られている。
（例えば、特許文献１参照）。
また、フィルムマスクの変性を防止すべく、フィルムマスクの表面に糊等で、ラミネートフィルムを付けることも考えられる。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１４２７７３号公報（第１−４頁、図５）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フィルムマスク等の原版にラミネートフィルムを付ける場合、一般にラミネートフィルムの厚さが８μｍ程あり、プリント基板等を製造するために原版に光照射をした場合、ラミネートフィルムの厚さにより光が拡散し、製品レベルの高いプリント基板等を製造することが困難であった。
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、製品レベルの高いプリント基板等を製造することが可能なフィルムマスク等の原版を提供するため、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以上の目的のため、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、原版を支持する支持台における原版支持領域を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属製スクリーンメッシュ部としたことを特徴とする塗布装置である。
この発明によれば、均一化部材に撓みがあったとしても、その撓みに金属製スクリーンメッシュが追従して、均一化部材と原版の表面を均一な面で接触させることにより、原版に保護液を均一に塗布することができる。
また、この発明によれば、金属製スクリーンメッシュであるので、支持部材がポリエステル製スクリーンメッシュである場合やクッション上にポリエステル系ファイルを設けた場合と比較して、静電気が生じにくく、塵などを呼び込んで原版に付着させることを防止できる。更に、支持台で原版を支持した状態で紫外線照射（ＵＶ照射）する場合には、紫外線照射の透過率を高くすることができる（例えば、支持台がポリエステル製スクリーンメッシュである場合より、紫外線照射の透過率が約３０％大きいとの実験結果が得られている。）。
更に、本発明では、金属製の糸は、ステンレス製の糸であること特徴としているので、錆びにくく、耐薬品性を高くすることができる。
更に、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、原版を覆うことにより保護する保護カバーと、均一化部材により保護液を均一化しつつ塗布した後に、保護カバーを原版を覆う位置に移動させる保護カバー移動手段と、を備えたことを特徴とする塗布装置である。
この発明によれば、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布した後に保護カバーにより原版を覆うので、原版に塵などが付着して原版が使用できなくなることを防止できる。
更に、保護カバーは、少なくとも一部を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属性スクリーンメッシュ部としたことを特徴としている。この場合は、保護カバーにより原版を覆った状態で、保護液中の溶剤の乾燥をすること、又は、紫外線照射をすることができる。
更に、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
原版を支持する支持台における、均一化部材の移動方向の先端側に、余剰の保護液を吸収する吸収部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置である。
この発明によれば、均一化部材が原版の表面に接触しつつ移動した後に、均一化部材の移動方向の先端側に余った保護液を吸収するので、余った保護液が、例えば金属製スクリーンメッシュの支持台の裏面に付着したり、支持台の下に垂れてしまうことを防止できる。
また、吸収部材は、均一化部材の移動方向に対し垂直方向において原版の幅全体に亘って形成されている場合には、確実に、余剰の保護液を吸い取ることができる。
更に、本発明は、円柱状の均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、均一化部材の両端部近傍に、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散することを規制する規制部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置である。
この発明によれば、規制部材により、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散して、原版の両端部に厚く塗られてしまうことを規制できる。
また、規制部材における原版との接触部に溝を形成した場合には、規制部材と原版との接触部に浸入してきた保護液が一旦、溝に溜まるので、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散することを有効に規制できる。
また、均一化部材及び規制部材を支持する支持手段と、支持手段を移動する支持手段移動手段とを備えた場合には、円柱状の均一化部材と共に規制部材が移動するので、均一化部材により保護液を均一化しつつ塗布しながら、規制部材により保護液の拡散を有効に規制できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面にそって説明する。
図１は、本発明の実施の形態による塗布装置１の正面図であり、図２は、本発明の実施の形態による塗布装置１の側面図である。
図１、図２におけるように、本発明の実施の形態による塗布装置１は、塗布装置本体２と、フィルムマスク３を支持する支持台４と、支持台４上面を覆うことによりフィルムマスク３を保護する保護カバー５と、を備えている。
【０００７】
塗布装置本体２は、フィルムマスク３表面に保護液を供給する供給手段６と、供給手段６によりフィルムマスク３表面に塗布された保護液を、均一化しつつフィルムマスク３表面に塗布する均一化手段７と、供給手段６や均一化手段７等を支持する支持フレーム８と、塗布装置本体２を操作する操作手段９と、塗布装置本体２上に置かれた保護カバー５を移動する保護カバー移動手段１０と、フィルムマスク３表面に保護液を塗布した後に、フィルムマスク３を乾燥させる乾燥手段１１と、を備えている。
【０００８】
図１、図２におけるように、供給手段６は、保護液をフィルムマスク３上に供給する４つの塗布部１２と、内部に保護液を蓄え、４つの塗布部１２に保護液を供給する４つのタンク１３と、４つのタンク１３から４つの塗布部１２へ保護液を供給するために介在する４つ保護液供給管１４と、４つの塗布部１２を一体として支持する塗布部支持板１５と、塗布部１２を移動させる塗布部移動手段１６と、を備えている。
【０００９】
４つの塗布部１２は、略等間隔を置いて、塗布部移動方向に対し垂直方向に並んで配列されている。４つの塗布部１２による塗布量は、夫々、６ｃｃ必要であるが、６ｃｃの塗布では、先端部まで保護液が載らないことがあり得るため、８ｃｃ〜１０ｃｃの保護液が各々の塗布部１２から塗布される。
４つのタンク１３は、４つの塗布部１２に夫々対応して設けられていて、各々が支持フレーム８に固定して取り付けられている。
【００１０】
４つ保護液供給管１４は、夫々、その両端部が塗布部１２及びタンク１３に連結されるものであり、４つのタンク１３から夫々対応する４つの塗布部１２へ保護液を供給するための管である。
塗布部移動手段１６は棒状であって、塗布部支持板１５を接続しており、塗布領域方向に移動することにより、塗布部支持板１５を移動させて、塗布部１２をホームポジションと塗布位置間で移動させる。
保護液の材質は、ウレタンアクリレートからなる樹脂と溶媒である。
【００１１】
図３、図４におけるように、均一化手段７は、保護液を均一化するバーコーダー（均一化部材）１７と、保護液がバーコーダー１７の長手方向に拡散するのを規制する２つの規制手段１８と、バーコーダー１７の両端部を支持するものであり、又、２つの規制手段１８を支持する２つの支持部材１９と、２つの支持部材１９の各々を水平方向に位置決めした状態で固定する支持部材固定棒２０と、支持部材固定棒２０の両端部を夫々支持する２つの移動片２２と、２つの移動片２２を夫々、上方へ持ち上げる２つのシリンダー２３と、塗布装置本体２の両端部に夫々設けられ、塗布装置本体２の前後方向に延びて、２つの移動片２２が移動する際の案内となるスライド棒２１と、移動片２２を移動させるタイミングベルト（図示せず）と、を備えている。
【００１２】
バーコーダー１７は、円柱状のスチールであって、周面全体に斜め型の溝（図示せず）が多数、設けらている。また、バーコーダー１７は、回転せずに静止状態を保ったままで、バーコーダー１７の長手方向に対して垂直方向に移動する。
バーコーダー１７に設けられた溝の深さ分だけ保護液がフィルムマスク３上に塗布される。バーコーダー１７に設けられた溝のピッチと深さにより、フィルムマスク３上への保護液の塗布量が決定される。保護液により形成される皮膜が４μｍとなるように、塗布量が決定されている。
図３、図４、図５におけるように、２つの規制手段１８は、保護液の拡散を規制する２つのブロック部材（規制部材）２４と、２つのブロック部材２４を夫々、支持する２つのブロック支持棒２５と、ブロック支持棒２５に対するブロック部材２４の位置を規制するブロック位置規制部材２６と、を備えている。
【００１３】
図６におけるように、２つのブロック部材２４は、夫々、アルミ製ブロック２７と、アルミ製ブロック２７をボルト４７で固定して支持するブロック支持材２９とを備えている。
２つのアルミ製ブロック２７は、夫々、バーコーダー１７両端部から２５ｍｍ内側に位置している。２つのアルミ製ブロック２７は、バーコーダー１７の移動方向に対して、バーコーダー１７より突出して、設けられている。
図７におけるように、アルミ製ブロック２７は、バーコーダー１７に対する接触部がバーコーダー１７外周に密着するように凹状曲面４８である。アルミ製ブロック２７は、バーコーダー１７に対して接離可能な状態で保持されている。アルミ製ブロック２７がバーコーダー１７に対して自由に接離できるように、ブロック支持材２９は、ブロック支持棒２５に遊びをもたせて緩やかに支持されている。
図５におけるように、アルミ製ブロック２７は、フィルムマスク３と接触する底面に３つの溝２８が設けられており、この溝２８は、ブロック部材２４の移動方向に向かって延びるように形成されている。
【００１４】
図１、図２におけるように、支持フレーム８は、乾燥手段１１の左右の両側面に夫々固定されている複数の垂直フレーム３０と、垂直フレーム３０に固定されるものであり、水平方向に延びる水平フレーム３１とを備えている。操作手段９、供給手段６、均一化手段７、支持台３２、保護カバー移動手段１０を支持している。
【００１５】
図１におけるように、操作手段９は、塗布スタートボタン、乾燥スタートボタン等を有する液晶パネルの操作表示部３３と、非常ストップボタン３４と、乾燥炉内温度表示部３５と、を備えている。
図１、図２におけるように、保護カバー移動手段１０は、保護カバー５の支持と支持解除が可能な保護カバー支持部３６と、保護カバー支持部３６を上下方向へ移動させる支持部移動部３７とを備えている。モータ（図示せず）により、支持部移動部３７は上下方向へ移動する。
【００１６】
図１、図２におけるように、乾燥手段１１は、操作者が手動でフィルムマスク３を入れる乾燥炉３８と、フィルムマスク３に塗布された保護液のうち溶剤を乾燥させる熱源（図示せず）と、フィルムマスク３を乾燥炉３８へ出し入れする際に開閉される開閉カバー３９と、開閉カバー３９に取り付けられており、開閉カバー３９を開閉するためのハンドル４０を備えている。
【００１７】
図８におけるように、支持台４は、長方形状のアルミフレーム４１と、アルミフレーム４１に張られるものであり、ステンレス製の縦糸と横糸とが交互に編まれたスクリーンメッシュ部４２と、を備えている。スクリーンメッシュ部４２は、フィルムマスク３を支持するフィルムマスク支持領域となっている。
スクリーンメッシュ部４２は、上から押圧すると弾力性があるものであり、１インチ当たり３００メッシュに形成されている。スクリーンメッシュ部４２は、１インチ当たり２５０〜３００メッシュにすることが望ましい。
その理由は、メッシュ数が少なすぎると、目が粗くて線が太くなるため凹凸が出てしまい、保護膜を形成した際に保護膜に粗さが出てしまうためである。また、メッシュ数が多すぎると、強度が弱くなり、また、ステンレスは高価でありコスト高となってしまうためである。
【００１８】
スクリーンメッシュ部４２の張力は、テンションゲージＳＴＧ８０Ｂで測定している。
スクリーンメッシュ部４２の張力は、０．３〜０．６が望ましい。その理由は、張力が小さすぎると、皮膜厚にバラツキが発生し、張力が大きすぎると、板のようになり、弾力性が失われ、バーコーダー１７の歪みに支持体が対応できなくなるためである。
尚、スクリーンメッシュ部４２の張力測定は、スクリーンメッシュ部４２上に、テンションゲージを置いて、そのときの落ち込み量を読むことで行っている。
支持台３２における、バーコーダー１７の移動方向の先端側に、余剰の保護液を吸収する吸い取り紙（吸収部材）４３を備えている。吸い取り紙４３は、バーコーダー１７の移動方向と垂直方向においてフィルムマスク３の幅全体に亘って形成されている。
【００１９】
図９におけるように、保護カバー５は、支持台４と同じ形状とされている。保護カバー５は、長方形状のアルミフレーム４４と、アルミフレーム４４に張られるものであり、ステンレス製の縦糸と横糸とが交互に編まれた保護カバースクリーンメッシュ部４６と、を備えている。
保護カバー５は、支持台４上にフィルムマスク３が支持されている状態で、上方から支持台４上に載せられて、フィルムマスク３を覆っている。
【００２０】
次に、本発明の実施の形態による塗布装置１の動作を説明する。
まず、塗布装置本体２とは別の場所で、支持台４のスクリーンメッシュ部４２に、フィルムマスク３を置く。それから、支持台４上に、フィルムマスク３を覆うように保護カバー５を載せる。
保護カバー５でフィルムマスク３を覆った状態の支持台４を、塗布装置本体２に載せる。
【００２１】
操作手段９における塗布スタートボタンを押す。
まず、保護カバー移動手段１０が、上方の待機位置から下方へ移動してきて、保護カバー支持部３６により保護カバー５を保持し、保持した状態で、上方の待機位置へ戻る。
フィルムマスク固定手段（図示せず）が、フィルムマスク３上に移動して、フィルムマスク３の位置がずれないように固定する。
塗布部移動手段が移動することにより、塗布部が待機位置から塗布位置へ移動する。
【００２２】
タイミングベルト（図示せず）により、移動片２２がスライド棒２１に嵌合した状態で移動することによって、支持部材固定棒２０、支持部材１９が移動して、バーコーダー１７及び規制手段１８が待機位置から均一化開始位置へ移動し、均一化開始位置へ移動した後、シリンダー２３によるバーコーダー１７の支持が解除され、バーコーダー１７は自重でフィルムマスク３上に載る。
供給手段６における４つのタンク１３から４つの塗布部１２に夫々保護液が供給され、４つの塗布部１２から保護液がフィルムマスク３上に供給される。
【００２３】
保護液の供給を終了した後、塗布部移動手段１６が移動することにより、塗布部１２が待機状態へ戻る。
フィルムマスク３上に供給された保護液が、毛細現象によりバーコーダー１７の移動方向に対する垂直方向全体に広がるのを待って、タイミングベルトにより、移動片２２がスライド棒２１に嵌合した状態で移動することによって、支持部材固定棒２０、支持部材１９が移動する。これにより、バーコーダー１７が、回転せずに静止状態を保ったままで、且つ、バーコーダー１７の自重によりフィルムマスク３を押し付けつつ、均一化開始位置から移動し始める。
【００２４】
ブロック部材２４も支持部材１９に支持されているため、バーコーダー１７の移動と共にブロック部材２４も移動する。
バーコーダー１７がフィルムマスク３上の保護液を均一化する終点までくると、シリンダー２３により、バーコーダー１７が再び持ち上げられる。バーコーダー１７は、持ち上げられた状態で、バーコーダー１７移動方向の更に前方にある前方退避位置へ移動する。
【００２５】
尚、フィルムマスク３における、バーコーダー１７による保護液の均一化する終点付近で余剰となった保護液は、終点付近に設けられた吸い取り紙４３により、吸い取られる。
バーコーダー１７が前方退避位置へ移動した後に、保護カバー移動手段１０が、保護カバー５を保持した状態で、上方の退避位置から下方に降りてきて、保護カバー５の保持を解除して保護カバー５を支持台４上に載せる。
【００２６】
操作者が、支持台４、フィルムマスク３、保護カバー５を共に、手動で、塗布装置本体２から取り去る。
バーコーダー１７は、一番、初めの待機位置へ移動して、塗布作業は終了する。
その後、操作者は、乾燥手段１１のハンドル４０を操作することにより、開閉カバー３９を開けて、支持台４、フィルムマスク３、保護カバー５を乾燥炉３８の内に入れ、開閉カバー３９を閉じる。その後に、操作手段９の乾燥スタートボタンを押して、溶媒の乾燥を開始する。
乾燥手段１１による乾燥を終了した後、操作者が手動で、支持台４、フィルムマスク３、保護カバー５を共に、図示しない紫外線照射器の中に入れて、紫外線を照射させて、保護液を硬化させる。
【００２７】
本発明の実施の形態においては、外周に溝が設けられたバーコーダー１７をフィルムマスク３の表面に接触させつつ移動することにより、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置１において、フィルムマスク３を支持する支持台４におけるフィルムマスク支持領域を、ステンレス製の糸をメッシュ状に織り上げたステンレス製スクリーンメッシュ部４２としたので、バーコーダー１７に撓みがあったとしても、その撓みにステンレス製スクリーンメッシュが追従して、バーコーダー１７とフィルムマスク３の表面が均一な面で接触することにより、フィルムマスク３に保護液を均一に塗布することができる。また、本発明によれば、ステンレス製スクリーンメッシュであるので、支持台４がポリエステル製スクリーンメッシュである場合やクッション上にポリエステル系ファイルを設けた場合と比較して、静電気が生じにくく、塵などを呼び込んでフィルムマスク３に付着させることを防止できる。更に、支持台４でフィルムマスク３を支持した状態で紫外線照射する場合には、紫外線照射の透過率を高くすることができる。例えば、支持部材がポリエステル製スクリーンメッシュである場合より、紫外線照射の透過率が約３０％大きいとの実験結果が得られている。
【００２８】
更に、本発明の実施の形態では、外周に溝が設けられたバーコーダー１７をフィルムマスク３の表面に接触させつつ移動することにより、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置１において、フィルムマスク３を保護する保護カバー５と、前記保護カバー５を、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化した後にフィルムマスク３を覆う位置に移動させる保護カバー移動手段１０と、を備えたことを特徴とする塗布装置１であるので、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布した後に保護カバー５によりフィルムマスク３を覆うので、フィルムマスク３に塵などが付着してフィルムマスク３が使用できなくなることを防止できる。
【００２９】
更に、保護カバー５は、少なくとも一部を、ステンレス製の糸をメッシュ状に織り上げたステンレス性スクリーンメッシュ部４６としたことを特徴としているので、保護カバー５によりフィルムマスク３を覆った状態で、保護液中の溶剤の乾燥をすること、又は、紫外線照射をすることができる。
更に、本発明は、外周に溝が設けられたバーコーダー１７をフィルムマスク３の表面に接触させつつ移動することにより、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置１において、フィルムマスク３を支持する支持台４における、バーコーダー１７の移動方向の先端側に、余剰の保護液を吸収する吸い取り紙４３を備えたので、バーコーダー１７がフィルムマスク３の表面に接触しつつ移動した後に、バーコーダー１７の移動方向の先端側に余った保護液を吸収するので、余った保護液が、ステンレス製スクリーンメッシュの支持台４の裏面に付着したり、支持台４の下に垂れてしまうことを防止できる。
【００３０】
また、吸い取り紙４３がバーコーダー１７の移動方向に対し垂直方向においてフィルムマスク３よりも長く形成されている場合には、確実に、余剰の保護液を吸い取ることができる。
更に、本発明は、外周に溝が設けられた円柱状のバーコーダー１７をフィルムマスク３の表面に接触させつつ移動することにより、フィルムマスク３の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置１において、バーコーダー１７の両端部近傍に、保護液がバーコーダー１７の移動方向に対し垂直方向に拡散することを規制するブロック部材２４を備えたので、ブロック部材２４により、保護液がバーコーダー１７の移動方向と垂直方向に拡散することを規制できる。
【００３１】
また、ブロック部材２４におけるフィルムマスク３との接触部に溝２８を形成したので、ブロック部材２４とフィルムマスク３との接触部に浸入してきた保護液が溝２８に溜まるので、保護液がバーコーダー１７の移動方向に対し垂直方向に拡散することを有効に規制できる。
また、円柱状のバーコーダー１７及びブロック部材２４を支持する支持手段（支持部材１９、支持部材固定棒２０、移動片２２）と、支持手段を移動する支持手段移動手段（スライド棒２１、タイミングベルト）と、を備えた場合には、棒状のバーコーダー１７と共にブロック部材２４が移動するので、ブロック部材２４により保護液の拡散を有効に規制できる。
また、２つのアルミ製ブロック２７を、バーコーダー１７の移動方向に対して、バーコーダー１７より突出して設けた場合には、保護液の拡散を更に有効に規制できる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、原版を支持する支持台における原版支持領域を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属製スクリーンメッシュ部としたことを特徴とする塗布装置であるので、均一化部材に撓みがあったとしても、その撓みに金属製スクリーンメッシュが追従して、均一化部材と原版の表面を均一な面で接触させることにより、原版に保護液を均一に塗布することができる。
【００３３】
また、この発明によれば、金属製スクリーンメッシュであるので、支持部材がポリエステル製スクリーンメッシュである場合やクッション上にポリエステル系ファイルを設けた場合と比較して、静電気が生じにくく、塵などを呼び込んで原版に付着させることを防止できる。更に、支持台で原版を支持した状態で紫外線照射（ＵＶ照射）する場合には、紫外線照射の透過率を高くすることができる（例えば、支持台がポリエステル製スクリーンメッシュである場合より、紫外線照射の透過率が約３０％大きいとの実験結果が得られている。）。
【００３４】
更に、本発明では、金属製の糸は、ステンレス製の糸であること特徴としているので、錆びにくく、耐薬品性を高くすることができる。
【００３５】
更に、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、原版を覆うことにより保護する保護カバーと、均一化部材により保護液を均一化しつつ塗布した後に、保護カバーを原版を覆う位置に移動させる保護カバー移動手段と、を備えたことを特徴とする塗布装置であるので、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布した後に保護カバーにより原版を覆うので、原版に塵などが付着して原版が使用できなくなることを防止できる。
【００３６】
更に、保護カバーは、少なくとも一部を、金属製の糸をメッシュ状に織り上げた金属性スクリーンメッシュ部としたことを特徴としている。この場合は、保護カバーにより原版を覆った状態で、保護液中の溶剤の乾燥をすること、又は、紫外線照射をすることができる。
【００３７】
更に、本発明は、均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、
原版を支持する支持台における、均一化部材の移動方向の先端側に、余剰の保護液を吸収する吸収部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置であるので、均一化部材が原版の表面に接触しつつ移動した後に、均一化部材の移動方向の先端側に余った保護液を吸収するので、余った保護液が、例えば金属製スクリーンメッシュの支持台の裏面に付着したり、支持台の下に垂れてしまうことを防止できる。
また、吸収部材は、均一化部材の移動方向に対し垂直方向において原版の幅全体に亘って形成されている場合には、確実に、余剰の保護液を吸い取ることができる。
【００３８】
更に、本発明は、円柱状の均一化部材を原版の表面に接触させつつ移動することにより、原版の表面に供給された保護液を均一化しつつ塗布する塗布装置において、均一化部材の両端部近傍に、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散することを規制する規制部材を備えた、ことを特徴とする塗布装置であるので、規制部材により、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散して、原版の両端部に厚く塗られてしまうことを規制できる。
【００３９】
また、規制部材における原版との接触部に溝を形成した場合には、規制部材と原版との接触部に浸入してきた保護液が一旦、溝に溜まるので、保護液が均一化部材の移動方向に対し垂直方向に拡散することを有効に規制できる。
また、均一化部材及び規制部材を支持する支持手段と、支持手段を移動する支持手段移動手段とを備えた場合には、円柱状の均一化部材と共に規制部材が移動するので、均一化部材により保護液を均一化しつつ塗布しながら、規制部材により保護液の拡散を有効に規制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による塗布装置の正面図である。
【図２】本発明の実施の形態による塗布装置の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態による均一化手段を示す正面図である。
【図４】本発明の実施の形態による均一化手段を示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態による規制手段を示す底面図である。
【図６】本発明の実施の形態によるブロック部材を示す側面図である。
【図７】本発明の実施の形態によるブロック部材につき、アルミ製ブロックをバーコーダーから離間させた状態を示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態による支持台を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態による支持台を保護カバーで覆った状態を示す図である。
【符号の説明】
１          塗布装置
３          フィルムマスク
４          支持台
５          保護カバー
１０        保護カバー移動手段
１７        バーコーダー
２４        ブロック部材
４２        スクリーンメッシュ部
４３        吸い取り紙
４６        スクリーンメッシュ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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