(57)【要約】【課題】ヒータユニットの製造方法において、発塵の虞がなく、簡単な構造且つ低コストで、エネルギー損失の少ないヒータユニットを製造できるようにする。【解決手段】本発明のヒータユニットの製造方法は、無機材料からなる多数のファイバを成型して断熱ハウジングブロックを形成するファイバ成型工程５０と、断熱ハウジングブロックに耐熱樹脂を含浸させる耐熱樹脂含浸工程５４と熱処理を施す熱処理工程５６と、熱処理を施した断熱ハウジングブロックの内側に発熱体を装着する発熱体埋設工程５８とからなる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機材料からなる多数のファイバを、加熱対象物の外形形状に合わせて断熱ハウジングブロックを形成する工程と、
該断熱ハウジングブロックに耐熱樹脂を含浸させて熱処理を施す工程と、
熱処理を施した前記断熱ハウジングブロックの内側に発熱体を装着する工程と、
からなることを特徴とするヒータユニットの製造方法。
【請求項２】
前記耐熱樹脂が、有機炭化ケイ素系塗料であることを特徴とする請求項１記載のヒータユニットの製造方法。
【請求項３】
前記熱処理の工程が、２００°Ｃから３００°Ｃの範囲で予備的に加熱される一次熱処理と、３５０°Ｃから５００°Ｃの範囲で最終的に加熱される二次熱処理とからなることを特徴とする請求項１または２記載のヒータユニットの製造方法。
【請求項４】
前記一次熱処理が、２４０°Ｃから２６０°Ｃの範囲でなされ、前記二次熱処理が、４４０°Ｃから４８０°Ｃの範囲でなされることを特徴とする請求項３記載のヒータユニットの製造方法。
【請求項５】
前記発熱体を装着した断熱ハウジングブロックの外面にシリコンの微細粉末を混入させた耐熱塗料を塗布する工程をさらに有することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載のヒータユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヒータユニットの製造方法に関し、特に加熱対象物として、例えば、配管およびバルブ等に装着されるヒータユニットの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、半導体製造装置のガス供給用配管等に取り付けられるバルブにおいては、バルブを通過する際にガスの温度が下がってバルブ内部で結露を生じる現象を防止する必要があった。また、液体搬送用の配管に取り付けるバルブにおいても、供給する液体が室温に近い温度で硬化するものである場合は、かかる硬化によるバルブの詰まりや、バルブ内部への付着物の発生を防止する必要がある。また、高温ガスや高温液体をその温度を保ったまま搬送したい場合においても、バルブ通過時における搬送流体の温度低下が問題となっていた。
【０００３】
そこで、これらの問題を解決すべく、従来から、流体バルブ内の流体が通過する部分等を加熱するために、流体バルブ等に内蔵されまたは取り付けられた種々のヒータ機構が提案されてきた。
【０００４】
その一例として、従来、配管およびバルブ等の加熱対象物をヒータを内蔵したファイバクロスで覆う、所謂、マントル・ヒータ型のものが知られている。このヒータユニットは、ニクロム線等のヒータ（発熱体）を断熱ブランケットに縫合し、ブランケットの外表面を耐熱クロスで被覆して製造される。そして、このような耐熱クロスで、前述のバルブやバルブに接続された配管を覆うとともに内蔵するヒータで加熱して、所定の温度を維持するようになっている。
【０００５】
また、他のヒータユニットとして、ガスを供給する流路を構成する開閉バルブ自体が、互いに組み合う２部品から構成され、その２つの部品の間にヒータが配置されているものが知られている（特許文献１、図１）。
【０００６】
さらに、断面矩形のバルブ本体の三側面に、各々ヒータが取り付けられた開閉バルブが知られている（特許文献２）。この各ヒータとバルブ本体との間には伝熱体が配置され、さらにヒータに隣接してサーミスタが取り付けられており、所定の温度にバルブを加熱し、および維持するようになっている。
【０００７】
他のヒータとしては、流路内にフラッパプレートを有する流体制御バルブが知られている（特許文献３）。この流路を開閉するフラッパプレートは、支持シャフトにより回動可能に支持されており、支持シャフト内には加熱手段が配置されている。そして、加熱手段による加熱は、支持シャフトおよびフラッパプレートを介して流体に伝達されるようになっている。
【０００８】
また、断熱材の製造方法としては、高温に曝される断熱材の製造方法が知られている（特許文献４）。この断熱材は、例えばロケットエンジンの噴射ノズルにライニング等により貼り付けられる布状のものであり、炭素布に樹脂母材を含浸させて製造される。炭素布の先駆物質としては、ビスコースレーヨン、連続フィラメントポリアクリロニトリル、セルロースフィラメント等が開示され、また、樹脂母材としては、フェノール樹脂が開示されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−７１６４８号公報（図１）
【００１０】
【特許文献２】
特開２００１−３４９４６８号公報（図３）
【００１１】
【特許文献３】
特表平１０−５０２９９５号公報（図２、図４）
【００１２】
【特許文献４】
特表２００２−５２３６６９号公報（図２）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術におけるヒータユニットは、加熱対象物となる、例えば、バルブそれ自体に内蔵されているか、バルブまたは配管等の外側から貼着するものであったり、また、例えばロケットエンジンの内部にライニングにより取り付けられる布状のものであったため、種々の問題が生じていた。
【００１４】
例えば、前述のマントル・ヒータ型のものにあっては、耐熱クロスの表面から発塵し易く、加熱対象物の周辺が埃っぽくなるという問題があった。この環境上、衛生上の問題に対処するために、発熱温度が低い場合には、耐熱クロスをプラスチックで覆ったり、或いは、高温の場合には金属ケースで覆って発塵を防止することが行われていた。しかし、このため構造が複雑になり、また、部品点数が多くなるため高価になるという問題があった。また、加熱対象物が複雑な形状の場合、耐熱クロスを対象物に完全に密着させて覆うことは困難であり、そのため、加熱が効果的に対象物に伝達されずにエネルギー損失が生じるという問題があった。
【００１５】
また、前述の特許文献１においては、加熱対象物である開閉バルブ自体を２つの本体に加工し、その中にヒータを配置しなければならないため、部品点数が多く、加工のための工数もかかるという問題がある。また、バルブに接続される配管まで加熱しようとした場合、別途ヒータを用意しなければならないという問題がある。
【００１６】
特許文献２においては、バルブの外周の複数箇所にヒータユニットを配置しなけれならないため、部品点数が多くなり、構造が複雑になるという問題がある。
【００１７】
さらに特許文献３においては、特定構造のバルブの内部にヒータユニットを設けるため、設計上の制約があり、どのような型式のバルブ即ち加熱対象物にも適用できるという訳にはゆかないという問題があった。
【００１８】
また、特許文献４においては、高温に曝される断熱材としてライニングにより対象物に貼着することはできても、加熱手段とともに複雑な形状の対象物を加熱保温することに、そのまま用いることができないという問題がある。
【００１９】
このように従来技術においては、発塵、部品点数の増大、構造が複雑になるという問題、および構造が複雑になることに伴うコスト増大の問題等があった。また、従来のヒータユニットの製造方法では、複雑な加熱対象物への加熱を均一に行うことができるヒータユニットを製造することが困難であった。特に、加熱対象物の周辺部分、例えば、バルブに接続された配管まで含んだ領域を効率的に加熱し、保温することが困難であった。また、保温する温度も２００°Ｃ以下が一般的であった。
【００２０】
本発明は、かかる事情に鑑み、塵埃が発生することのない簡単な構造且つ部品点数が少なく、低コストのヒータの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００２１】
また、本発明の他の目的は、複雑な形状の加熱対象物に対しても、一体的かつ均一に加熱して、高温に維持することのできるエネルギー損失の少ないヒータの製造方法を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明のヒータユニットの製造方法は、無機材料からなる多数のファイバを、加熱対象物の外形形状に合わせて断熱ハウジングブロックを形成する工程と、断熱ハウジングブロックに耐熱樹脂を含浸させて熱処理を施す工程と、熱処理を施した断熱ハウジングブロックの内側に発熱体を装着する工程とからなることを特徴とするものである。上記耐熱樹脂は、有機炭化ケイ素系塗料であることが好ましい。
【００２３】
無機材料からなるファイバとしてはセラミックファイバが好ましい。セラミックファイバは、アルミナを成分とする高純度の短繊維である。セラミックファイバの成分として、アルミナの他に、シリカ等の他の成分も含むことができ、その割合も適宜変えてもよい。ここでいう短繊維は、長さ２５０ｍｍ以下のものをいう。
【００２４】
また、熱処理の工程は、２００°Ｃから３００°Ｃの範囲で予備的に加熱される一次熱処理と、３５０°Ｃから５００°Ｃの範囲で最終的に加熱される二次熱処理とからなることが好ましい。
【００２５】
さらに、上記一次熱処理が、２４０°Ｃから２６０°Ｃの範囲でなされ、二次熱処理が、４４０°Ｃから４８０°Ｃの範囲でなされることが一層好ましい。
【００２６】
また、発熱体を装着した断熱ハウジングブロックの外面にシリコンの微細粉末を混入させた耐熱塗料を塗布する工程をさらに有することができる。
【００２７】
また、断熱ハウジングブロックに取り付けた発熱体に、高温耐熱表面硬化剤等を塗布し、硬化させて絶縁層としてもよい。
【００２８】
【発明の効果】
本発明のヒータユニットの製造方法は、無機材料からなる多数のファイバを、加熱対象物の外形形状に合わせて断熱ハウジングブロックを形成する工程と、断熱ハウジングブロックに耐熱樹脂を含浸させて熱処理を施す工程と、熱処理を施した断熱ハウジングブロックの内側に発熱体を装着する工程とからなるので、次の効果を奏する。
【００２９】
即ち、本発明のヒータユニットの製造方法によれば、ヒータユニットが、加熱対象物の外形形状に合わせて成型でき、また、耐熱樹脂の含浸および熱処理によりヒータユニットの外面が硬質化されるとともに、ヒータユニットの内部には多数のファイバと空気層からなる断熱層が形成される。この結果、断熱性を有しながら、ヒータユニットの表面からファイバが飛散するといった発塵がなくなり、環境および人体に悪影響を及ぼすことが防止される。従って、ヒータユニットを覆うプラスチックや金属の、発塵を防止するためのカバーも不要となる。さらに、加熱対象物の形状に合わせて、一体に成型することができ、その中に発熱体が配置されるので、部品点数が少なく、低コストのヒータユニットを製造することができる。また、どのような形状の加熱対象物に対しても、発熱体を加熱対象物に近接させて配置することができ、エネルギー効率のよい均一な加熱が可能となる。換言すると、加熱対象物の領域を比較的自由に設定でき、加熱対象物に密着できる形状に形成することも容易であるので、維持すべき温度の精度を高めることができる。
【００３０】
また、絶縁ハウジングブロックに含浸させる耐熱樹脂が、有機炭化ケイ素系塗料である場合には、約３５０°Ｃに高温に加熱できる耐熱性の高いヒータユニットを製造することができる。
【００３１】
また、熱処理の工程が、２００°Ｃから３００°Ｃの範囲で予備的に加熱される一次熱処理と、３５０°Ｃから５００°Ｃの範囲で最終的に加熱される二次熱処理とからなる場合は、一次熱処理で、含浸させた有機炭化ケイ素系塗料の低温の溶媒（バインダー）を除去し、二次熱処理で有機炭化ケイ素系塗料の含浸材をセラミック化するので、バインダーによる断熱ハウジングブロック表面の泡の発生が防止されるとともに、断熱ハウジングブロックの表面が強化され、表面研削等の機械加工が可能となる。これにより、一層対象物の形状に合致させた形状とすることができ、均一な加熱が可能となる。
【００３２】
また、一次熱処理が、２４０°Ｃから２６０°Ｃの範囲でなされ、二次熱処理が、４４０°Ｃから４８０°Ｃの範囲でなされる場合には、一層効率よく、表面強化層を形成することができる。
【００３３】
また、発熱体を装着した断熱ハウジングブロックの外面に、シリコンの微細粉末を混入させた耐熱塗料を塗布した場合は、表面の平滑度が向上した表面仕上げとすることができる。
【００３４】
以上の如く、本願発明のヒータユニットの製造方法によれば、加熱対象物がどのような形状であっても適用することが容易であるので、種々の用途のヒータユニットを製造することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のヒータユニットの製造方法（以下、単に製造方法という）の好ましい実施の形態について、添付図面を参照して以下、詳細に説明する。図１は、本発明の製造方法の各工程を示すフローチャートである。図２は、この製造方法によって製造された、ヒータユニットの一例を分解して示す分解斜視図である。図３は、図２のヒータユニットの加熱対象物の一例を示すバルブの斜視図である。図４は図３に示すバルブに図２のヒータユニットが取り付けられた状態を示す図である。
【００３６】
まず最初に、ヒータユニット１が取り付けられる、比較的複雑な外形形状を有する開閉式のバルブ１００について、図３を参照して説明する。このバルブ全体は参照番号１００で示されており、流体用の配管１０２に継手１０４を介して接続されている。バルブ１００は、直方形ブロック状のボディ１０６、内部にダイヤフラム機構（図示せず）を有するダイヤフラムケース１０８、円筒形のアクチュエータ１１０、および１対の接続部１１２からなる。各接続部１１２は、六角ナット形状の継手１０４およびスリーブ１１４を介して、配管１０２に接続されている。アクチュエータ１１０が作動すると、流体は、一方の接続部１１２からボディ１０６、ダイヤフラムケース１０８、再びボディ１０６、反対側の接続部１１２の内部を通って流れることになる。したがって、これらの部分が、バルブ１００の流路構成部となる。継手１０４を含む、この流路構成部が、適切に加熱、保温されないと、前述のような、結露、詰まり等の問題が発生する。このバルブ１００は、一般的に知られているものであるので、詳細な構造についての説明は省略する。
【００３７】
次に、図２を参照して、ヒータユニット１について説明する。なお、説明にあたり同じ部分については、同一参照番号を使用している。ヒータユニット１は、１対の互いに対照的な構造のハウジングハーフ１ａ、１ｂから構成されており、このハウジングハーフ１ａ、１ｂが互いに組み合うと、前述のバルブ１００を覆うヒータユニット１となる。１対のハウジングハーフ１ａおよび１ｂにはいずれも、前述のバルブ１００のボディ１０６を収容する凹所２を有している。ハウジングハーフ１ａ、１ｂは、凹所２に連通して外周が円形形状のダイヤフラムケース１０８を受容する円弧状の切欠４、およびこの切欠４に隣接して、アクチュエータ１１０を受容する円弧状の凹部６を有する。図４に示すように、ヒータユニット１がバルブ１００に装着されると、バルブ１００のダイヤフラムケース１０８が、切欠４の下に位置する段部８に着座し、アクチュエータ１１０が凹部６の底部１０に着座するように構成されている。
【００３８】
凹所２の側壁１２には、この側壁１２の略全域に渡って溝１４が蛇行して形成されている。そして、この溝１４に沿ってヒータ（発熱体）１６が配置されている。これらのヒータ１６は、両端が外部に引き出されたリード線１８と連通し、このリード線１８に電流を流すことにより発熱する。また、各ハウジングハーフ１ａ、１ｂのヒータ１６は、リード線２０によって連結されているが、この連結状態は、図では省略されている。ボディ１０６およびダイヤフラムケース１０８が、凹所２に収容されると、ヒータ１６はボディ１０６およびダイヤフラムケース１０８の両側に近接して、直接加熱するようになっている。ハウジングハーフ１ａ、１ｂの内面の、ヒータ１６以外の部分は、輻射加熱部を構成している。この輻射加熱部は、ヒータ１６の周囲に限定されるものではなく、凹所２の内壁２３や凹部６、後述する切欠３２等、ヒータ１６の熱が伝達される全ての部分が相当する。従って、これらの輻射加熱部でもバルブ１００は加熱される。
【００３９】
ハウジングハーフ１ａと１ｂとを組み合わせてヒータユニット１として一体化するために、ハウジングハーフ１ａ、１ｂには、ねじ止めするためのねじ孔２８、３０が設けられている。しかし、これらのねじ止めに限定されるものではなく、バンドで互いに固定するとか、ラッチ係合させるとか種々の任意の方法を採り得る。また、各ハウジングハーフ１ａ、１ｂに配置されたヒータ１６の電気的接続も、前述の方法に限定されるものではなく、任意の方法であってもよい。
【００４０】
また、対向する壁３４、３６に、凹所２と連通するように形成された半円形の切欠３２は、ハウジングハーフ１ａ、１ｂが合体すると円形の貫通孔３７（図４）となり、この貫通孔３７には、図４に示すように前述のスリーブ１１４が配置される。図４によく示すように、バルブ１００にヒータユニット１が装着されると、バルブ１００のアクチュエータ１１０の下部、ダイヤフラムケース１０８、ボディ１０６、継手１０４およびスリーブ１１４の一部が、ヒータユニット１のハウジングハーフ１ａ、１ｂにより密接状態に覆われる。これにより、バルブ１００は、接続部１１２や継手１０４までも含んだ広範囲を加熱されるとともに、所定の温度に維持されることが可能になる。なお、温度センサとしての、熱電対は省略している。
【００４１】
次に、このような構成のヒータユニット１を製造する製造方法について、図１を参照して説明する。ヒータユニット１を製造する原料としては、セラミックファイバが使用される。このセラミックファイバは、アルミナを成分とする高純度の原料を電気溶融し、高速の空気流で吹き飛ばして短繊維化したもの（登録商標イソウール）であり、１２６０°Ｃ以上の優れた耐熱性および充填性を有している。またセラミックファイバの成分として、アルミナの他に、シリカ等の他の成分も含むことができ、その割合も適宜変えることができる。このセラミックファイバの繊維は、直径約２．８μｍであり、長さは約２５０ｍｍ以下のものが使用される。本実施形態の場合は、数ミリ程度の長さのものが使用される。しかし、繊維長をこの程度の長さに一様に揃える必要はなく、数ミリより短い繊維、および長い繊維が混在していても差し支えない。ヒータユニット１の大きさにより、適切な寸法形状の繊維を主体にしたセラミックファイバが使用される。
【００４２】
このセラミックファイバは、成型工程５０で示すように、成型機（図示せず）で所定の形状、即ち、概ねハウジングハーフ１ａ、１ｂの形状をしている断熱ハウジングブロックに成型される。セラミックファイバ自体は、繊維状であるため、成型に際しては、セラミックファイバを水中に懸濁させ、これに無機質および有機質バインダーを加えスラリーとすることが行われる。そしてこれを成型し、乾燥させてハウジングハーフ１ａ、１ｂが得られる。この成型工程における成形方法は、圧縮成型等任意の手法で行うことができる。また、その手法によっては、手作業で行ってもよい。
【００４３】
これらの断熱ハウジングブロックのうち、ハウジングハーフ１ｂに対応する断熱ハウジングブロック３８を図５に示す。図５は、ヒータユニット１のハウジングハーフ１ｂを形成するための断熱ハウジングブロック３８の斜視図である。ハウジングハーフ１ａに対応する断熱ハウジングブロックの形状は、図５の断熱ハウジングブロック３８の形状と略対称となるので図示は省略する。断熱ハウジングブロック３８は、ハウジングハーフ１ｂと略同じ形状をしているが、凹所２の側壁１２には、ヒータ１６を配置する溝１４（図１）が形成されていないが、この後、切削加工により溝１４が形成される。溝１４は、必ずしも切削加工により形成する必要はなく、断熱ハウジングブロック３８の成型と同時に成型してももちろんよい。なお、図１において、左列は、各製造工程を示し、右側は、対応する工程によって製造される物品を示す。
【００４４】
次に、この断熱ハウジングブロック３８に、耐熱樹脂含浸工程５４で耐熱樹脂が含浸される。ここで使用される耐熱樹脂は、有機炭化ケイ素系塗料（商品名チラノコート）が使用される。この塗料は、炭化ケイ素長繊維（商品名チラノ繊維）の前駆体となる有機ケイ素ポリマー（チラノポリマー）を主バインダーとした、８００°Ｃ以上に耐えられるセラミックス超耐熱塗料である。この有機炭化ケイ素系塗料（商品名チラノコート）は、各種のものがあり、基本的な透明ワニスの他、このワニスに顔料を混入した色つきのものがあり、いずれを使用してもよい。
【００４５】
この有機炭化ケイ素系塗料のバインダーとなる前述の有機ケイ素ポリマーは、カルボシラン骨格の主鎖がチタン有機化合物によって架橋結合された網目状であり、融点が約２２０°Ｃの熱可塑性プラスチックである。そして、４００°Ｃから無機化を開始して７００°Ｃで完了し、１２００°Ｃ以上まで加熱減量がなく、安定した非晶質のセラミックス状態を維持するものである。そして、有機ケイ素ポリマーは、無機化後に、ケイ素、炭素、チタン、酸素からなる非晶質のセラミックスに転換する。
【００４６】
この含浸工程は、対象物となる断熱ハウジングブロック３８の形状、大きさ、量産形態等によって、刷毛、浸漬、スプレーなどの方法から適切なものが選択される。本実施形態においては、刷毛により含浸工程が実施された。刷毛で、前述の耐熱樹脂が断熱ハウジングブロック３８に塗装されると、耐熱樹脂は断熱ハウジングブロック３８の表面から内部に浸透する。この理由は、断熱ハウジングブロック３８は、多数の繊維が一体的に成型されたものであるので、これらの繊維の間を耐熱樹脂が浸透するからである。この浸透の程度は、塗料の量、塗装時間にもよるが、断熱ハウジングブロック３８の表面から約２ｍｍの深さまで内部に浸透する。ここで、注目すべき点は、それより深い部分は、多数のファイバが空気層を含んだ断熱層となっていることである。これにより、ヒータ１６は発生する熱を外部に逃さず、加熱に有効に利用することができ、また保温効果も有することとなる。
【００４７】
しかる後、断熱ハウジングブロック３８は、常温に放置され指触乾燥される。即ち指で触れても指に塗料が付かない程度まで乾燥される。
【００４８】
次に、乾燥された断熱ハウジングブロック３８は、熱処理工程５６に示されるように熱処理が施される。この熱処理工程５６では、まず２００°Ｃ〜３００°Ｃの範囲で、約２５分間一次熱処理がなされる。この一次熱処理は、後続の二次熱処理の前に予備的になされるものであり、含浸材の低温バインダーが、これにより除去される。次に、３５０°Ｃ〜５００°Ｃの範囲で、二次熱処理が約３０分間なされる。この二次熱処理で含浸材をセラミック化して、セラミックファイバーのバルク表面の含浸層が強化される。この表面強化層の厚さは約０．５ｍｍ〜約２ｍｍである。これにより、断熱ハウジングブロック３８の表面からファイバが剥離して発塵することが防止される。このときの、断熱ハウジングブロック３８の内部は、前述の断熱層の状態が維持されているので、この熱処理により断熱機能が損なわれることはない。
【００４９】
このようにして表面の含浸層が強化された断熱ハウジングブロック３８は、表面に凹凸がある。この理由は、セラミックファイバを一体的に成型したバルクが断熱ハウジングブロック３８の母材であるためである。しかし、表面が強化されているため、切削加工が可能となる。例えば、断熱ハウジングブロック３８の表面や必要な箇所を平滑にすることができる。
【００５０】
次に、発熱体埋設工程５８に移行する。この工程では、断熱ハウジングブロック３８の溝１４に、ニクロム線等のヒータ１６が配置される。
【００５１】
次に、発熱体の絶縁層形成工程６０で、このヒータ１６および溝１４の部分に粘度の高いペースト状の高温耐熱表面硬化剤等を塗布し、硬化させてヒータ１６を固定するとともに絶縁層を形成する。これによって、ヒータ１６と非加熱物との間に電気的な接触が生じて短絡することが防止される。この高温耐熱表面硬化剤は、次に述べるシリコンの超微細粉末を混入し所定の粘度にした耐熱塗料でもよい。
【００５２】
そして、最終工程としてのシリコンの微細粉末塗布工程６２では、シリコンの超微細粉末を混入し所定の粘度にした耐熱塗料で、塗装を行なうとともに表面を硬化させることが行われる。さらにこの表面を研削して表面平滑度を向上させて表面仕上げを行なう。この耐熱塗料の表面仕上げを複数回行ってもよい。
【００５３】
以上の工程により、ヒータユニット１を構成するハウジングハーフ１ａ、１ｂが製造される。これらのハウジングハーフ１ａ、１ｂから構成されるヒータユニット１は、断熱性と耐熱性を兼ね備えており、且つ軽量である。耐熱性に関しては、従来よりも相当高い温度に加熱保温することが可能である。例えば、本実施形態においては、上記のバルブ１００を３５０°Ｃに加熱、保温することができる。
【００５４】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明したが、前述の実施の形態に限定されるものではなく、当業者にとって種々の変形、変更が可能であることは言うまでもない。
【００５５】
例えば、成型工程５０で成型されるハウジングブロック３８の形状は、概ねハウジングハーフ１ａ、１ｂの形状に成型した後、上述したように切削加工を追加的に施してもよい。しかし、耐熱樹脂含浸工程５４の後における切削加工の深さは、含浸層を貫通しない程度の浅いものであることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のヒータユニットの製造方法の各工程を示すフローチャート
【図２】本発明のヒータユニットの製造方法によって製造されたヒータユニットの一例を分解して示す分解斜視図
【図３】本発明の製造方法によって製造されたヒータユニットの加熱対象物の一例となるバルブを示す斜視図
【図４】図３に示すバルブに、図２に示すヒータユニットが取り付けられた状態を示す図
【図５】ヒータユニットのハウジングハーフを形成するための断熱ハウジングブロックの斜視図
【符号の説明】
１    ヒータユニット
１ａ、１ｂ    ハウジングハーフ
１６    ヒータ（発熱体）
３８    断熱ハウジングブロック
５０    ファイバ成型工程
５４    耐熱樹脂含浸工程
５６    熱処理工程
５８    発熱体埋設工程
６０    発熱体の絶縁層形成工程
６２    シリコンの微細粉末塗布工程
【図１】
2004349196.tif 000003
【図２】
2004349196.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004349196.tif 000006
【図５】
2004349196.tif 000007