(57)【要約】【課題】高密度化及び薄型化を意図した半導体装置を製造するにあたり、薄化された半導体基板の取扱いを容易に行えるようにすると共に、その半導体基板のダイシングを短時間で行えるようにする。【解決手段】半導体装置として分割されるべき各素子形成領域が画定されている側の面に保護フィルム２２が貼着された保護フィルム付半導体基板２０を治具１１〜１３に固定保持し、この保護フィルム付半導体基板２０の露出している側の全面に金属層２３，２４を形成した後、レーザにより、金属層２３，２４の、各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去し、さらにプラズマエッチング等により、金属層の除去された部分に沿って半導体基板２１を各半導体装置３０に分割（ダイシング）する。【選択図】　図４
2004055684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板のそれぞれ半導体装置として分割されるべき各素子形成領域が画定されている側の面に保護フィルムが貼着された保護フィルム付半導体基板を、該保護フィルムが貼着されている側と反対側の面のみを露出させて治具に固定保持する工程と、
前記治具によって固定保持された保護フィルム付半導体基板の露出している側の全面に金属層を形成する工程と、
レーザにより、前記金属層の、前記各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去する工程と、
ドライエッチング又はウエットエッチングにより、前記金属層の除去された部分に沿って前記半導体基板をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように各半導体装置に分割する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程において、各半導体装置を保持している前記保護フィルムが分割される前に前記ドライエッチング又はウエットエッチングを終了させることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記レーザにより前記金属層の所定の部分を除去する工程及び前記ドライエッチング又はウエットエッチングにより前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程に代えて、
レーザにより、前記金属層の、前記各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去し、さらに、該金属層の除去された部分に沿って前記半導体基板をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように各半導体装置に分割する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程において、各半導体装置を保持している前記保護フィルムが分割される前に前記レーザの照射を終了させることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程の後に、
レーザにより、各半導体装置の露出している各金属層をそれぞれ所要の回路素子の形状にパターニングする工程を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記金属層を形成する工程は、
前記治具に固定保持された保護フィルム付半導体基板を第１の無電解金属めっき液中に浸漬し、酸化還元反応により当該金属を析出させて第１の金属層を形成する工程と、
前記第１の金属層が形成された保護フィルム付半導体基板を第２の無電解金属めっき液中に浸漬し、前記第１の金属層の金属との置換による置換めっき処理によって第２の金属層を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記半導体基板は、前記各素子形成領域が一方の面に画定された比較的厚い半導体基板を、該各素子形成領域が画定されている側と反対側の面から研磨して所定の厚さに薄化することによって得られることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
半導体基板のそれぞれ半導体装置として分割されるべき各素子形成領域が画定されている面と反対側の面に金属層を形成する工程と、
該金属層の、前記各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去する工程と、
ドライエッチング又はウエットエッチングにより、前記金属層の除去された部分に沿って前記半導体基板をエッチングし、分割する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法によって製造されたことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に係り、特に、ＬＳＩチップ等の半導体装置を製造するにあたり薄化されたシリコンウエハ等の半導体基板の取扱いを容易に行うのに有用な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造においてその基板として用いられているシリコンウエハは、その厚さが２００μｍ程度以上と比較的厚かったため、その取扱い（めっき加工やスパッタリング、蒸着等による金属層の形成、各チップ単位に分割する処理（「ダイシング」ともいう。）など）も比較的容易であり、また、特定の用途（アンテナ効果を有するシリコンチップ等）に供する場合には、当該チップにシールド機能をもたせるためにシリコンウエハの裏面に金属層を形成した加工も可能であった。
【０００３】
その一方で、最近の半導体装置（デバイス）の高密度化及び薄型化の要求に伴い、これに応えるために様々な方法が提案されている。その１つの方法として、例えば、シリコンウエハのそれぞれデバイスとして分割されるべき各領域毎に、所要の深さで穴を明けてこの穴をめっき等により導体で充填し、さらにシリコンウエハの表面に、当該導体に電気的に接続されるように所望のデバイスパターン（回路パターン、配線パターン等を含む）を形成した後、当該デバイスパターンをポリイミド樹脂等からなる絶縁膜で被覆し、次にシリコンウエハの裏面をバックグラインド法等により研磨し、当該ウエハを所定の厚さ（５０μｍ程度）に薄化する一方で、当該導体を露出させた後、当該ウエハを各チップ単位にダイシングして個々のデバイスとする方法がある。この方法では、ダイシングを行う前の段階で、シリコンウエハの裏面（導体が露出している側の面）に金属バンプ等の外部接続端子が接合されたり、あるいは、当該デバイスにシールド機能をもたせるためにシリコンウエハの裏面に金属層が形成されたりする。
【０００４】
また、ダイシングを行うに際しては、通常、ダイサー等の機械的な手段が用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来のシリコンウエハの厚さは比較的厚かったためその取扱いも比較的容易であったが、最近の薄型化の要求に伴いシリコンウエハを薄化する処理が行われるようになってくると、薄化されたシリコンウエハをそのままの状態で取扱うことは、技術的に非常に難しい。薄化されたシリコンウエハの取扱い中にクラックが生じたり、場合によっては割れてしまったり、あるいはシリコンウエハが反ってしまったりするおそれがあるからである。
【０００６】
つまり、薄化されたシリコンウエハに損傷を与えることなくその取扱い（めっき加工等による金属層の形成や、各チップ単位のダイシングなど）を行うことが非常に困難であるといった課題があった。
【０００７】
また、従来の技術ではダイサー等の機械的な手段によってダイシングを行っていたため、例えばマイクロチップ等のサブミリオーダーの極小デバイスを製造する場合、そのシリコンウエハにおける各デバイス間のダイシング間隔が非常に狭いこともあって、ダイシングを完了するまでに相当の時間がかかり、またコストアップにつながるため、現実的ではなかった。
【０００８】
この場合、シリコンウエハの厚さが比較的厚ければ、その厚い分だけダイシングに要する時間が更に長くなるといった不利があり、一方、シリコンウエハが所定の厚さに薄化されていれば、ダイシングの最中にその機械的衝撃によってシリコンウエハにクラックが生じたり、あるいは割れてしまったりするおそれがあるため、ダイシングに際しては細心の注意を必要とし、技術的に難しいといった不利がある。
【０００９】
本発明の目的は、上記の従来技術における課題に鑑み、高密度化及び薄型化を意図した半導体装置を製造するにあたり、薄化された半導体基板の取扱いを容易に行えるようにすると共に、その半導体基板のダイシングを短時間で行えるようにすることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の従来技術の課題を解決するため、本発明の一形態によれば、半導体基板のそれぞれ半導体装置として分割されるべき各素子形成領域が画定されている側の面に保護フィルムが貼着された保護フィルム付半導体基板を、該保護フィルムが貼着されている側と反対側の面のみを露出させて治具に固定保持する工程と、前記治具によって固定保持された保護フィルム付半導体基板の露出している側の全面に金属層を形成する工程と、レーザにより、前記金属層の、前記各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去する工程と、ドライエッチング又はウエットエッチングにより、前記金属層の除去された部分に沿って前記半導体基板をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように各半導体装置に分割する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１１】
この形態に係る半導体装置の製造方法によれば、半導体基板の取扱い（裏面への金属層の形成や、各半導体装置（チップ）単位のダイシングなど）を行うに先立ち、半導体基板の各素子形成領域が画定されている側の面を保護フィルムで覆った保護フィルム付半導体基板を治具に固定保持しているので、その半導体基板が所定の厚さに薄化されている場合でも、その薄化された半導体基板に損傷を与えることなくその取扱いを容易に行うことができる。
【００１２】
また、各半導体装置（チップ）単位のダイシングを、従来の技術において用いられていたようなダイサー等の機械的な手段ではなく、レーザによって除去されていない部分（つまり、各チップ単位に分割されるべき各素子形成領域に対応する部分）の金属層をエッチングレジストとして用いたドライエッチングによって行っているので、短時間で一括ダイシングを行うことが可能となる。
【００１３】
このように、薄化された半導体基板を短時間で一括ダイシングすることが可能になることで、マイクロチップなど今後の新しい半導体チップ製造技術に拍車がかかることが期待される。
【００１４】
また、本発明の他の形態によれば、上述した形態に係る半導体装置の製造方法において、前記レーザにより前記金属層の所定の部分を除去する工程及び前記ドライエッチング又はウエットエッチングにより前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程に代えて、レーザにより、前記金属層の、前記各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を除去し、さらに、該金属層の除去された部分に沿って前記半導体基板をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように各半導体装置に分割する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１５】
この形態に係る半導体装置の製造方法によれば、上記の形態に係る半導体装置の製造方法によって得られた効果に加えて、更に、金属層の所定の部分を除去する処理と半導体基板のダイシング処理を１回の工程で行うようにしているので、プロセスの簡素化を図ることができる。
【００１６】
また、本発明の更に他の形態によれば、上述した各形態に係る半導体装置の製造方法において、前記半導体基板を各半導体装置に分割する工程の後に、レーザにより、各半導体装置の露出している各金属層をそれぞれ所要の回路素子の形状にパターニングする工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１７】
この形態に係る半導体装置の製造方法によれば、上記の各形態に係る半導体装置の製造方法によって得られた効果に加えて、更に、ダイシングを行った後にレーザにより各半導体装置の金属層をそれぞれ所要の形状にパターニングするようにしているので、パターニングする形状に応じてインダクタンスやアンテナ等として利用することができる。このことは、各半導体装置内に形成されるパターン面積を減らすことにつながる。
【００１８】
さらに、本発明の他の形態によれば、上述した各形態に係る半導体装置の製造方法によって製造されたことを特徴とする半導体装置が提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る半導体装置の製造方法を実施する際に使用する治具の一構成例を模式的に示したものである。
【００２０】
図示のように、治具１０は、処理対象物を載せて保持する下側パーツ１１と、この下側パーツ１１と協働して処理対象物を上方から押えて保持する上側パーツ１２と、処理対象物を挟み込んで保持する両パーツ１１，１２をその周面方向から固定する治具クランプ１３とから構成されている（図１（ｃ）参照）。
【００２１】
ここでいう処理対象物とは、後述するように、シリコンウエハ２１（図中、破線で示す部分）の回路パターン、配線パターン等のデバイスパターンが作り込まれている側の面（すなわち、最終的に半導体装置（チップ）として分割されるべき各々の素子形成領域が画定されている側の面）に保護フィルムを貼着したもの（以下、便宜上、「保護フィルム付ウエハ」という。）を指す。
【００２２】
下側パーツ１１及び上側パーツ１２は、それぞれステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなり、各々の表面はテフロン［登録商標］加工されている。下側パーツ１１は、図１（ａ）に示すように円形状に成形されており、その周面に沿って近傍にシリコーンゴムやテフロン等からなるパッキンＰ１がリング状に配設されている。このパッキンＰ１（リング）の大きさは、シリコンウエハ２１のサイズよりも若干大きめに選定されている。一方、上側パーツ１２は、図１（ｂ）に示すようにリング状に成形されており、そのリングの外径は下側パーツ１１の外径と同じであり、またリングの内径によって画定される開口部の大きさは、シリコンウエハ２１のサイズよりも小さめに選定されている。さらに、上側パーツ１２の内周面に沿って近傍に同様の材料からなるパッキンＰ２がリング状に配設されている。
【００２３】
このように構成された治具１０（１１〜１３）に保護フィルム付ウエハをセットする方法について、図２を参照しながら説明する。
【００２４】
先ず、図２（ａ）に示すように、下側パーツ１１のパッキンＰ１が形成されている側の面に粘着剤（図示せず）を塗布し、保護フィルム付ウエハ２０の保護フィルム２２が貼着されている側の面を下にして、粘着剤により下側パーツ１１の所定の位置に保護フィルム付ウエハ２０を固定化する。このように粘着剤を使用して保護フィルム付ウエハ２０を固定化することで、保護フィルム付ウエハ２０の両面（シリコンウエハ２１側と保護フィルム２２側）の熱膨張係数の違いに起因して当該ウエハが反ってしまう可能性を排除することができる。
【００２５】
次に、上側パーツ１２のパッキンＰ２がシリコンウエハ２１の周面に当接し、かつ、下側パーツ１１のパッキンＰ１が上側パーツ１２の周面に当接するように両パーツ１１，１２の位置合せを行った後、保護フィルム付ウエハ２０を保持した両パーツ１１，１２を周面方向から挟み込むようにして複数個（図２（ｂ）の例示では４個）の治具クランプ１３で堅固に固定保持する。これによって、保護フィルム付ウエハ２０は、シリコンウエハ２１の裏面（デバイスパターンが作り込まれている側の面と反対側の面）のみが外部に露出する。つまり、保護フィルム付ウエハ２０は、そのシリコンウエハ２１の裏面を除き、両パーツ１１，１２の各パッキンＰ１，Ｐ２によって外部から気密封止されたことになる。
【００２６】
以下、第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、その製造工程を順に示す図３及び図４を参照しながら説明する。
【００２７】
先ず最初の工程では（図３（ａ）参照）、５０μｍ程度の厚さに薄化されたシリコンウエハ２１のデバイスパターンが作り込まれている側の面（図示の例では下側の面）に、厚さが１００μｍ〜１ｍｍ程度の保護フィルム２２を貼着した保護フィルム付ウエハ２０を、図２を参照して説明した方法により治具１１〜１３にセットする。
【００２８】
保護フィルム２２には、例えば、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等からなる樹脂フィルム、あるいはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のプラスチックフィルムなどで構成されるシート状の支持体の片面に、アクリル系、ゴム系などの粘着剤（未硬化状態にある樹脂）を塗布したものが用いられる。あるいは、保護フィルム２２の別の形態として、１００μｍ〜３００μｍ程度の比較的厚いシリコンウエハをバックグラインド法等の機械研磨によって薄化する際にシリコンウエハを保護するためにその片面（研磨される側と反対側の面）に貼着されるバックグラインド保護テープ（以下、「ＢＧテープ」ともいう。）をそのまま用いてもよい。
【００２９】
この保護フィルム２２は、薄化されたシリコンウエハ２１の本工程以降での取扱いを行い易くするためのものであり、また、取扱い中のシリコンウエハ２１の破損を防ぐためのものである。
【００３０】
次の工程では（図３（ｂ）参照）、保護フィルム付ウエハ２０の露出しているシリコンウエハ２１の裏面に、無電解めっきにより、金属層２３を形成する。
【００３１】
すなわち、図示のようにめっき槽４１に無電解ニッケル（Ｎｉ）めっき液４２（Ｎｉイオンと還元剤を含む溶液）を入れたものを用意し、前の工程で治具１１〜１３にセットされた保護フィルム付ウエハ２０をめっき槽４１中に浸漬し、無電解Ｎｉめっき液４２の中で酸化還元反応を起こさせ、還元剤が酸化されると同時にＮｉイオンがＮｉに還元されるようにして、Ｎｉをシリコンウエハ２１の裏面上に析出させることで、無電解Ｎｉめっき層（金属層２３）を厚さ０．２μｍ〜０．４μｍ程度に形成する。無電解Ｎｉめっき液４２としては、例えば、メルテックス社製の無電解Ｎｉめっき液：メルプレートＮＩ−８６７が好適に用いられる。
【００３２】
なお、この無電解Ｎｉめっき層２３は、下地のシリコン（Ｓｉ）ウエハ２１と次の工程で形成する金属層との密着性を高めるために形成されるものである。
【００３３】
金属層２３（無電解Ｎｉめっき層）を形成した後、保護フィルム付ウエハ２０を治具にセットした状態でめっき槽４１から取り出す。
【００３４】
次の工程では（図３（ｃ）参照）、前の工程で形成された金属層２３（無電解Ｎｉめっき層）上に、無電解めっきにより、さらに金属層２４を形成する。この金属層２４の形成は、下地層の金属（この場合、Ｎｉ）との置換による「置換めっき」処理によって行う。
【００３５】
すなわち、図示のようにめっき槽４３に無電解金（Ａｕ）めっき液４４（Ａｕイオンと還元剤を含む溶液）を入れたものを用意し、前の工程で保護フィルム付ウエハ２０のシリコンウエハ２１の裏面に無電解Ｎｉめっき層２３を形成したものをめっき槽４３中に浸漬し、下地金属イオン（Ｎｉイオン）が酸化溶解するのと交換に、無電解Ａｕめっき液４４中のＡｕイオンがＡｕに還元されるようにして、Ａｕを無電解Ｎｉめっき層２３上に析出させることで、無電解Ａｕめっき層（金属層２４）をごく薄く（０．０５μｍ以下に）形成する。無電解Ａｕめっき液４４としては、例えば、メルテックス社製の無電解Ａｕめっき液：メルプレートＡＵ−６０１が好適に用いられる。
【００３６】
なお、この無電解Ａｕめっき層２４は、シリコンウエハ２１の裏面に形成する金属層（Ｎｉ／Ａｕ）全体としての電気抵抗を下げるために形成されるものである。
【００３７】
また、本工程では０．０５μｍ以下のごく薄い金属層２４（無電解Ａｕめっき層）を置換めっき処理によって形成しているが、さらに厚く形成する場合には、別途、図３（ｃ）の工程で行ったような無電解Ａｕめっき処理を施す。
【００３８】
金属層２４（無電解Ａｕめっき層）を形成した後、保護フィルム付ウエハ２０を治具にセットした状態でめっき槽４３から取り出す。
【００３９】
次の工程では（図４（ａ）参照）、レーザによるトリミングにより、２層構造の金属層（無電解Ｎｉめっき層２３／無電解Ａｕめっき層２４）のパターニングを行う。すなわち、レーザにより、金属層２３，２４の所定の部分を除去する。この除去すべき所定の部分は、最終的に半導体装置（チップ）として分割されるべきシリコンウエハ２１の各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分（図６（ｂ）においてＳＰで示す部分）である。レーザとしては、例えばＵＶ−ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等が用いられる。
【００４０】
次の工程では（図４（ｂ）参照）、ドライエッチング（本実施形態ではプラズマエッチング）により、前の工程で除去された金属層２３，２４の所定の部分、すなわち各素子形成領域を区分けする境界部分に沿ってシリコンウエハ２１をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように個々の半導体装置（チップ）単位に分割する（ダイシング）。プラズマ放電に供するガスとしては、主として酸素（Ｏ２　）、窒素（Ｎ２　）、水素（Ｈ２　）等が用いられるが、エッチングレートを上げるためには、上記のガスにＣＦ４　、ＳＦ６　等の反応性ガスを混合したものが用いられる。
【００４１】
これによって、各半導体装置（チップ）が保護フィルム２２に貼着された状態で分離されたことになる。
【００４２】
なお、本工程では各半導体装置単位のダイシングをプラズマエッチングによって行っているが、このプラズマエッチング以外にも、例えばアルゴン（Ａｒ）イオン等のイオンビームを用いたエッチング（イオンビームエッチング）によってダイシングを行うことも可能である。あるいは、かかるドライエッチングに代えて、酸、アルカリ、有機溶剤などの溶液を用いたウエットエッチングによってダイシングを行うことも可能である。
【００４３】
この場合、留意すべき点は、各半導体装置単位のダイシングを行うにあたり、各半導体装置を保持している保護フィルム２２が分割される前に（つまり、保護フィルム２２が完全に切断された状態となる前の段階で）、プラズマエッチング等の処理を終了させることである。
【００４４】
本工程の後、各半導体装置単位にダイシングされた保護フィルム付ウエハ２０を、治具１１〜１３から取り外す。
【００４５】
最後の工程では（図４（ｃ）参照）、各半導体装置単位にダイシングされた保護フィルム付ウエハ２０から保護フィルム２２を剥離する。つまり、保護フィルム２２から各半導体装置（チップ）３０を取り外す。各々の半導体装置３０は、それぞれ対応する素子形成領域を含むシリコン基板２１ａと、このシリコン基板２１ａの裏面に形成されたＮｉ／Ａｕの金属層２３ａ，２４ａとから構成されている。なお、シリコンウエハの周囲部分から作製された半導体装置（図中、３１で示す部分）については、不良チップとして取り除く。
【００４６】
以上説明したように、第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法によれば、薄化されたシリコンウエハ２１の取扱い（ウエハの裏面への金属層２３，２４の形成や、各半導体装置（チップ）３０単位のダイシングなど）を行うに先立ち、図３（ａ）に示したようにシリコンウエハ２１のデバイスパターンが作り込まれている側の面を保護フィルム２２で覆った保護フィルム付ウエハ２０を治具１１〜１３に固定保持しているので、その薄化されたシリコンウエハ２１に損傷を与えることなくその取扱いを容易に行うことができる。
【００４７】
また、各半導体装置（チップ）３０単位のダイシングを、従来の技術において用いられていたようなダイサー等の機械的な手段ではなく、図４（ａ），（ｂ）に示したようにレーザトリミングによって除去されていない部分（各チップ単位に分割されるべき各素子形成領域に対応する部分）の金属層２３，２４をエッチングレジストとして用いたプラズマエッチングによって行っているので、短時間で大量に一括ダイシングを行うことが可能となる。このように、薄化されたシリコンウエハ２１の大量一括ダイシングが可能になることで、マイクロチップなど今後の新しいシリコンチップ製造技術に拍車がかかることが期待される。
【００４８】
また、プラズマエッチングによってダイシングを行っているので、従来の機械的な手段によるダイシングでは行うことができなかった、曲線状のダイシング加工も可能となる。
【００４９】
また、保護フィルム２２として、シリコンウエハの薄化時に用いるバックグラインド保護テープ（ＢＧテープ）を剥がさずにそのまま用いた場合には、シリコンウエハ２１に新たに保護フィルムを貼着する必要が無くなるので、プロセスの簡素化を図ることができる。
【００５０】
また、シリコンウエハ２１の裏面に金属層２３，２４が存在することで、例えばアンテナ効果を有するシリコンチップ等に供する場合には、当該チップにシールド機能を持たせることができる。
【００５１】
また、レーザトリミングによって金属層２３，２４のパターニング（金属層２３，２４の所定の部分の除去）を行っているので、従来の技術において用いられていたようなパターニング用のレジスト（ドライフィルム等）を使用する必要が無くなり、またレジストの剥離を行う必要も無くなる。これによって、プロセスの簡素化を図ることができ、また、従来用いられていたようなレジスト剥離液によるＢＧテープへの損傷を無くすことができる。
【００５２】
さらに、保護フィルム付ウエハ２０を治具１１〜１３に固定保持することで、無電解めっき処理（図３（ｂ），（ｃ）参照）を行う際のめっき液４２，４４中での揺動等にも耐えることができる。
【００５３】
また、従来の技術ではシリコンウエハに金属層を形成するのに蒸着やスパッタリング等を行っており、このような処理は処理室内から空気を抜いて真空状態を維持しながら行われるため、このとき、シリコンウエハに貼着されたＢＧテープから好ましくないガスが発生する。
【００５４】
これに対し本実施形態では、無電解めっき処理（図３（ｂ），（ｃ）参照）によって金属層２３，２４を形成しており、しかも、保護フィルム２２（ＢＧテープ）は治具の各パーツ１１，１２のパッキンＰ１，Ｐ２によってめっき液４２，４４から完全に遮断されているので、この保護フィルム２２（ＢＧテープ）からガスが発生するのを防止することができる。
【００５５】
次に、第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、その製造工程の一部を示す図５を参照しながら説明する。
【００５６】
この第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法（図３，図４）と比べて、図４（ａ）及び（ｂ）の工程で行った処理に代えて、図５（ａ）に示すようにレーザ（ＵＶ−ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等）により、金属層２３，２４の所定の部分（シリコンウエハ２１の各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分）を除去し、さらに当該レーザにより、金属層２３，２４の除去された部分に沿ってシリコンウエハ２１をそれぞれ１つの素子形成領域が含まれるように個々の半導体装置（チップ）単位にダイシングするようにした点で相違する。他の工程については、第１の実施形態の場合と同じであるので、その説明は省略する。
【００５７】
このように本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、金属層２３，２４のパターニング処理とシリコンウエハ２１のダイシング処理とを１回の工程で行うようにしたことを特徴とする。
【００５８】
この第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法によれば、第１の実施形態において得られた効果に加えて、更に、金属層２３，２４のパターニング処理及びシリコンウエハ２１のダイシング処理を１回の工程（図５（ａ）参照）で行うようにしているので、プロセスの簡素化を図ることができる。
【００５９】
更に、シリコンウエハ２１の裏面に金属層２３，２４が形成されているので、レーザによるダイシングの際に、レーザによる熱を金属層２３，２４を介して有効に放散することができ、これによって、シリコンウエハ２１の回路への熱によるダメージを防止することができる。
【００６０】
次に、第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図６を参照しながら説明する。
【００６１】
図６において、（ａ）は本実施形態に係る半導体装置の製造工程の一部を示したものであり、（ｂ）は（ａ）の工程において形成されるパターンの一例を模式的に示したものである。
【００６２】
この第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、第１，第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法（図３，図４，図５）と比べて、図４（ｂ）の工程と図４（ｃ）の工程の間、又は図５（ａ）の工程と図５（ｂ）の工程の間に、図６（ａ）に示すようにレーザ（ＵＶ−ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等）によるトリミングにより、ダイシング後の各半導体装置の金属層２３，２４を所要の形状にパターニングする処理を追加した点で相違する。他の工程については、第１，第２の実施形態の場合と同じであるので、その説明は省略する。
【００６３】
このように本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、シリコンウエハ２１のダイシングを行った後に各半導体装置（チップ）の金属層２３，２４を所要の回路素子（図６（ｂ）においてＥＰで示す部分）の形状にパターニングするようにしたことを特徴とする。パターニングされる回路素子としては、図６（ｂ）に示すようなコイル状のインダクタンス素子ＥＰの他に、アンテナやＳＡＷフィルタなどがある。なお、ＳＰは、最終的に各チップ単位に分割されるべきシリコンウエハ２１の各素子形成領域を区分けする境界部分に対応する部分を示す。
【００６４】
この第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法によれば、第１，第２の実施形態において得られた効果に加えて、更に、各半導体装置（チップ）単位にダイシングを行った後で各々の金属層２３，２４を所要の回路素子の形状にパターニングするようにしているので、パターニングする形状に応じてインダクタンス、アンテナ、ＳＡＷフィルタ等として利用することができ、これによって、各チップ内に形成されるパターン面積を減らすことが可能となる。
【００６５】
なお、レーザトリミング（図６（ａ））をダイシング後に行っている理由は、ダイシングを行う前に金属層２３，２４を所要の回路素子の形状にパターニングしてしまうと、プラズマダイシング（図４（ｂ））またはレーザダイシング（図５（ａ））の際に金属層２３，２４をダイシング保護膜として活用できない（つまり、回路素子パターンが損傷を受けるおそれがある）からである。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、高密度化及び薄型化を意図した半導体装置を製造するにあたり、薄化された半導体基板の取扱いを容易に行うことができると共に、その半導体基板のダイシングを短時間で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体装置の製造方法を実施する際に使用する治具の一構成例を示す図である。
【図２】図１の治具に保護フィルム付ウエハをセットする方法を説明するための図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。
【図４】図３の製造工程に続く製造工程を示す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一部を示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一部と、当該工程において形成されるパターンの一例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１０…治具、
１１…下側パーツ、
１２…上側パーツ、
１３…治具クランプ、
２０…保護フィルム付ウエハ、
２１…シリコンウエハ（半導体基板）、
２１ａ…シリコン基板、
２２…保護フィルム（ＢＧテープ等）、
２３，２３ａ…無電解Ｎｉめっき層（第１の金属層）、
２４，２４ａ…無電解Ａｕめっき層（第２の金属層）、
３０…半導体装置（チップ）、
４１，４３…無電解めっき槽、
４２…無電解Ｎｉめっき液、
４４…無電解Ａｕめっき液、
ＥＰ…金属層のレーザトリミングによって形成されたパターン（回路素子）、
Ｐ１，Ｐ２…パッキン、
ＳＰ…各素子形成領域（半導体装置）を区分けする境界部分に対応する部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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