(57)【要約】【課題】  共存ＣＯ２による影響を除去したＶＯＣを測定することができるＶＯＣ計を提供する。【解決手段】  酸化炉２１により試料ガス１２中のＶＯＣを酸化してＣＯ２を発生しつつ通過させる測定流路２０、試料ガス１２をそのまま通過させる比較流路３０、ＣＯ２を含まない基準ガスを導入する基準ガス導入部７０、測定流路２０、比較流路３０、基準ガス導入部７０からのガスについてＣＯ２の赤外線吸収を検出する赤外線ガス分析計５１、比較流路３０からの流出ガスおよび基準ガスについての検出信号の強度差に基づいて共存ＣＯ２濃度を算出する共存ＣＯ２濃度算出部５７、測定流路２０からの流出ガスおよび基準ガスについての検出信号の強度差に基づいてＶＯＣ由来のＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とを加えた全ＣＯ２濃度を算出する全ＣＯ２濃度計測部５８、全ＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とに基づいてＶＯＣ濃度を算出するＶＯＣ濃度計測部５９とを備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
試料ガス導入部と、酸化炉を有し導入された試料ガス中の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を酸化してＣＯ２を発生しつつ通過させる測定流路と、導入された試料ガスをそのまま通過させる比較流路と、ＣＯ２を含まない基準ガスを導入する基準ガス導入部と、前記測定流路からの流出ガス、前記比較流路からの流出ガス、前記基準ガス導入部から導入された基準ガスについてＣＯ２の赤外線吸収を検出する赤外線ガス分析計と、
比較流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の共存ＣＯ２濃度を算出する共存ＣＯ２濃度算出部と、
測定流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の揮発性有機化合物濃度（ＶＯＣ）由来のＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とを加えた全ＣＯ２濃度を算出する全ＣＯ２濃度計測部と、
全ＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とに基づいて揮発性有機化合物濃度を算出するＶＯＣ濃度計測部とを備えたことを特徴とする揮発性有機化合物測定装置。
【請求項２】
基準ガス導入部は、流路上にＣＯ２吸収部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物測定装置。
【請求項３】
基準ガス導入部は、ゼロ点校正用ガスと、ゼロ点校正用ガスをそのまま通過させる比較流路とにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、工場から採取した排出ガス等の試料ガス中に含まれる揮発性有機化合物（Volatile Organic Compounds:  以下、ＶＯＣともいう）の測定を行う揮発性有機化合物測定装置（以下、ＶＯＣ計ともいう）に関し、さらに詳細には、ＶＯＣをＣＯ２（二酸化炭素）に変換したときのＣＯ２量を測定することにより、ＣＯ２量からＶＯＣ量を測定する揮発性有機化合物測定装置に関する。
ここで、ＶＯＣとは、大気中に排出され、又は飛散したときに気体である有機化合物をいい、例えばトルエン、キシレン、ベンゼン、スチレン等の有機溶剤がＶＯＣに含まれる。
【背景技術】
【０００２】
大気汚染を防ぐには、工場等から発生する粉塵、煤煙などの排出規制を行うことが必要であり、大気汚染防止法等による大気環境の法的規制がなされている。近年、世界各国ではＶＯＣ全体に対する規制が始められており、日本でもＶＯＣの排出量を削減するため、ＶＯＣの法規制がなされようとしている。
例えば、有機溶剤を用いる塗装工場、接着工場、印刷工場、洗浄工場等あるいは化学製品貯蔵所等の施設は、屋外に排出する排出ガスにＶＯＣが含まれるために排出規制の対象となる。そのためＶＯＣを排出する施設では、ＶＯＣの排出量を測定することが必要となる。
【０００３】
ＶＯＣ量を測定する揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）として、これまでに液体中のＶＯＣをキャリアガスでバブリングすることにより抽出し、抽出したＶＯＣを酸化によってＣＯ２に変換したときのＣＯ２増加量を、非分散型赤外線ガス分析計を用いて測定することにより、ＣＯ２増加量からＶＯＣ量を測定するＶＯＣ計が用いられている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
ここで非分散型赤外線ガス分析計は、測定対象ガス（ここではＣＯ２）をガスセルに導入し、測定対象ガス固有の吸収波長の光を含む赤外光源をガスセルの一端側に取り付けてガスセルに照射し、他端側に設けた検出器によりその吸収波長の光の吸収強度を測定することにより、ガスセル内の測定対象ガスの濃度を計測する。
【０００５】
図４は、従来の非分散型赤外線ガス分析計を用いたＶＯＣ計１００の構成を説明するブロック図である。このＶＯＣ計１００は、ガス導入部１０、測定流路２０、比較流路３０、共通流路４０、ガス分析部５０とからなる。
ガス導入部１０には、ガス導入口１１が設けてあり、サンプリング容器に採取した分析対象の試料ガス１２、あるいはスパン校正用ガス１３（スパン校正のため有機化合物を含有する標準ガス）、あるいはゼロ点校正用ガス１４（ゼロ点校正のためのＣＯ２および有機化合物を含まない標準ガス）が適宜に導入される。ガス導入口１１の出口側は、測定流路２０および比較流路３０のそれぞれの入口側に接続してある。
【０００６】
測定流路２０は、白金等の酸化触媒が充填された酸化炉２１、酸化炉２１から流出するガスに含まれる塩化水素、フッ化水素等のハロゲンガスを除去してＣＯ２を通過させるためのハロゲンスクラバ２２が設けられ、流路を切り換える三方電磁弁４１に接続してある。
比較流路３０は、ガス導入口１１と三方電磁弁４１とを配管で接続してあり、ガス導入口１１から流出するガスを、酸化炉２１を通過させずそのまま三方電磁弁４１に送ることができるようにしてある。三方電磁弁４１の出口側は共通流路４０に接続してある。
共通流路４０は、三方電磁弁４１から流出するガスに含まれる水分を除去する電子クーラ２３、ガスを送り出すポンプ２４が接続されている。共通流路４０の出口側はガス分析部５０に接続してある。
【０００７】
ガス分析部５０は、赤外線ガス分析計５１と、赤外線ガス分析計５１の検出信号を演算処理するＶＯＣ濃度計測部５２とからなる。
赤外線ガス分析計５１は流通型のガスセルＳからなる単セル型ガスセルを有しており、ガスセルＳには共通流路４０から流出するガスが送り込まれる。赤外線ガス分析計５１は、ガスセルＳの赤外線吸収強度を、周知技術である回転セクタによる時分割制御によって検出し、強差信号を生成し、ＶＯＣ濃度計測部５２に送るようにしてある。
【０００８】
このＶＯＣ計１００の計測動作を説明する。試料ガス１２がガス導入口１１から導入され測定が開始されると、試料ガス１２は分析流路２０と比較流路３０とに分岐する。
三方電磁弁４１が測定流路２０側を開成した状態に切り換わると、測定流路２０を流れるガスは、酸化触媒が充填された酸化炉２１を通過する際に、ガス中のＶＯＣが酸化されてＣＯ２に変換され、その後、ハロゲンスクラバ２２でハロゲンガスが除去され、電子クーラ２３で水分が除去されて赤外線ガス分析計５１のガスセルＳに送られる。このときのガスセルＳでは、試料ガス１２中に元々含まれていたＣＯ２とＶＯＣ由来のＣＯ２とを合わせたＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出され、ＶＯＣ濃度計測部５２に送られることになる。
【０００９】
一方、三方電磁弁４１が比較流路３０側を開成した状態に切り換わると、比較流路３０を流れるガスは、そのまま三方電磁弁４１を通過し、電子クーラ２３で水分が除去されて赤外線ガス分析計５１のガスセルＳに送られる。このときガスセルＳには、ガス中のＶＯＣが酸化されることなくそのまま送られてきているので、試料ガス１２中に元々含まれていたＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出され、ＶＯＣ濃度計測部５２に送られることになる。
【００１０】
そして、ＶＯＣ濃度計測部５２は、交互に検出された測定流路２０と比較流路３０との流出ガスによる信号の強度差を求めることにより、試料ガス１２中に含まれるＶＯＣ量を炭素数に換算した量として計測する。このようにして計測されたＶＯＣ量は、炭素数が１の揮発性有機化合物の容量に換算した容量比百万分率「ｐｐｍＣ」として表される。
【００１１】
図５は、他の従来例である非分散型赤外線ガス分析計を用いたＶＯＣ計２００の構成を説明するブロック図である。このＶＯＣ計２００は、ガス導入部１０、測定流路２０ａ、比較流路３０ａ、ガス分析部５０ａとからなる。なお、図において、図４と同じものは同符号を付すことにより説明の一部を省略する。
【００１２】
測定流路２０ａには、酸化炉２１、ハロゲンスクラバ２２、電子クーラ２３、ポンプ２４が接続され、ガスを送り出すポンプ２４が接続されている。
比較流路３０ａは、電子クーラ２３と同一の電子クーラ３３と、ポンプ２４と同一のポンプ３４が接続されている。
【００１３】
ガス分析部５０ａは、赤外線ガス分析計５５と、赤外線ガス分析計５５の検出信号を演算処理するＶＯＣ濃度計測部５６とからなる。
この赤外線ガス分析計５５は比較流通型ガスセルを有しており、一方のガスセルＳには測定流路２０ａから流出するガスが送り込まれ、他方のガスセルＲには比較流路３０ａから流出するガスが送り込まれるようにしてある。
【００１４】
このＶＯＣ計２００の計測動作を説明する。試料ガス１２がガス導入口１１から導入され測定が開始されると、試料ガス１２が分析流路２０ａと比較流路３０ａとに分岐する。
測定流路２０ａを流れるガスは、酸化触媒が充填された酸化炉２１を通過する際に、ガス中のＶＯＣが酸化されてＣＯ２に変換され、ハロゲンスクラバ２２でハロゲンガスが除去され、電子クーラ２３で水分が除去されて赤外線ガス分析計５５のガスセルＳに送られる。このときのガスセルＳでは、試料ガス１２中に元々含まれていたＣＯ２とＶＯＣ由来のＣＯ２とを合わせたＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出されることになる。
【００１５】
一方、比較流路３０ａを流れるガスは、電子クーラ３３で水分が除去されて赤外線ガス分析計５５のガスセルＲに送られる。このときガスセルＲには、ガス中のＶＯＣが酸化されることなくそのまま送られてきているので、試料ガス１２中に元々含まれていたＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出されることになる。
赤外線ガス分析計５５は、回転セクタによる時分割制御によって、交互に測定流路２０ａと比較流路３０ａとのそれぞれの赤外線吸収信号を検出し、その強度差信号を生成し、ＶＯＣ濃度計測部５２に送る。
そして、ＶＯＣ濃度計測部５６は、赤外線ガス分析計５５から送られてきた強度差信号に基づいて、試料ガス１２中に含まれるＶＯＣ量の炭素数に換算した量を計測する。
【特許文献１】特開平８−１０１１８７号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【００１６】
ＶＯＣ計では、上述したように、測定流路２０（２０ａ）と比較流路３０（３０ａ）との２つの流路を通過するガスそれぞれに含まれるＣＯ２濃度を、赤外線ガス分析計５１（５５）により測定する。このうち、測定流路２０（２０ａ）を通過するガスからは、試料ガス中に元々含まれていたＣＯ２（以後、共存ＣＯ２という）とＶＯＣ由来のＣＯ２とを加えたＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出されることになる。一方、比較流路３０（３０ａ）を通過するガスからは、試料ガス中に元々含まれていた共存ＣＯ２濃度に応じた赤外線吸収信号が検出されることになる。そして、これら２つの赤外線吸収信号の強度差から、ＶＯＣ由来のＣＯ２濃度を算出し、炭素量換算のＶＯＣ濃度として計測結果を出力するようにしている。
【００１７】
ところで、非分散型赤外線ガス分析計を用いて大気中のＣＯ２濃度等の測定を行う場合、共存ＣＯ２濃度の影響が問題となる。この点について図を用いて説明する。
図２は、ＣＯ２濃度と非分散型赤外線ガス分析計の検出信号（測定値）との関係を説明する図である。このうち、図２（ａ）は実際の関係を示す図であり、図２（ｂ）はＣＯ２濃度が低い場合のみ適用しうる近似的な関係を示す図である。図２（ａ）に見られるように、実際の関係はランベルトベールの式に従う対数関数を示している。これに対し、ＣＯ２濃度が低い領域（すなわち図２（ａ）の原点近傍）は、図２（ｂ）に見られるように、直線関係として扱うこともできる。
【００１８】
図において、比較側ＣＯ２濃度（Ｘ０）は共存ＣＯ２濃度に対応し、測定側ＣＯ２濃度（Ｘ１）は、共存ＣＯ２濃度に実際のＶＯＣ濃度（正確にはＶＯＣから変換されたＣＯ２濃度）を加えた共存ＣＯ２濃度＋ＶＯＣ濃度に対応する。
【００１９】
もしも、図２（ｂ）のように直線的な関係が常に成立するのであれば、共存ＣＯ２濃度が変動しても（すなわちＸ０がＸ２にシフトし、Ｘ１がＸ３にシフトしても）、ＶＯＣ測定値（Ｓ１＝Ｙ１−Ｙ０）は一定（Ｓ１＝Ｓ２＝Ｙ３−Ｙ２）あり、共存ＣＯ２濃度による差は生じない。
【００２０】
これに対し、図２（ａ）のように対数的な関係の場合には、共存ＣＯ２濃度が変動すると（Ｘ０がＸ２にシフトし、その結果Ｘ１がＸ３にシフトすると）、ＶＯＣ測定値（Ｓ１＝Ｙ１−Ｙ０）は一定ではなくなり（Ｓ１≠Ｓ２＝Ｙ３−Ｙ２）、共存ＣＯ２濃度に依存してＶＯＣ測定値に差が発生することになる。より具体的には、共存ＣＯ２濃度が高いほど、ＶＯＣ測定値は低くなり測定誤差が増大する傾向がある。
【００２１】
このような測定誤差は、特許文献１に記載するような水中の揮発性有機炭素をキャリアガス中に抽出して行う測定においては、共存ＣＯ２を含まないキャリアガスを用いているので、問題にならならなかった。
また、共存ＣＯ２を含む試料ガスについて測定する場合であっても、これまではその影響は無視し、共存ＣＯ２濃度が零であるときと同様の演算処理による計測を行っていた。
【００２２】
しかしながら、試料ガスとして大気を含む気体を採取する場合は、元々大気中にＣＯ２が含まれているため、共存ＣＯ２だけを除去して試料ガスを採取することは困難であり、大気に含まれる共存ＣＯ２濃度に起因する誤差を生じることになる。
ましてや、煙道や排気ガス等の燃焼後の気体を試料ガスとして採取する場合は、通常の大気よりも共存ＣＯ２を高濃度で含有する場合もあり、さらに大きな測定誤差を発生することになりかねない。
【００２３】
そこで、本発明は、簡単な方法で共存ＣＯ２による影響を除去してＶＯＣを測定するようにしたＶＯＣ計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記課題を解決するためになされた本考案に係る揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）は、試料ガス導入部と、酸化炉を有し導入された試料ガス中の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を酸化してＣＯ２を発生しつつ通過させる測定流路と、導入された試料ガスをそのまま通過させる比較流路と、ＣＯ２を含まない基準ガスを導入する基準ガス導入部と、前記測定流路からの流出ガス、前記比較流路からの流出ガス、前記基準ガス導入部から導入された基準ガスについてＣＯ２の赤外線吸収を検出する赤外線ガス分析計と、比較流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の共存ＣＯ２濃度を算出する共存ＣＯ２濃度算出部と、測定流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の揮発性有機化合物濃度（ＶＯＣ）由来のＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とを加えた全ＣＯ２濃度を算出する全ＣＯ２濃度計測部と、全ＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とに基づいて揮発性有機化合物濃度を算出するＶＯＣ濃度計測部とを備えるようにしている。
【００２５】
この考案によれば、ＶＯＣ計は、測定流路からの流出ガスと、比較流路からの流出ガスと、ＣＯ２を含まない基準ガスとの３種類のガスについて赤外線吸収を検出する。そして、共存ＣＯ２濃度算出部が、比較流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の共存ＣＯ２濃度（絶対値）を算出する。また、全ＣＯ２濃度計測部が、測定流路からの流出ガスおよび基準ガスについての赤外線ガス分析計による検出信号の強度差に基づいて試料ガス中の揮発性有機化合物濃度（ＶＯＣ）由来のＣＯ２濃度と共存ＣＯ２濃度とを加えた全ＣＯ２濃度（絶対値）を算出する。
そして、ＶＯＣ濃度計測部が、算出された全ＣＯ２濃度（絶対値）と算出された共存ＣＯ２濃度（絶対値）の差を算出することにより、揮発性有機化合物濃度（ＶＯＣ濃度）を算出する。
共存ＣＯ２濃度算出部で算出された共存ＣＯ２濃度（絶対値）、および、全ＣＯ２濃度計測部で算出された全ＣＯ２濃度（絶対値）は、測定流路、比較流路それぞれのＣＯ２濃度を個別に測定したものであり、ランベルトベールの関係における直線性の曲がりによるＶＯＣ測定への影響を除去することができる。
【考案の効果】
【００２６】
本考案の揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）によれば、共存ＣＯ２に起因する測定誤差を除去した測定を行うことができ、正確な揮発性有機化合物濃度（ＶＯＣ濃度）を算出することができる。
【００２７】
（その他の課題を解決するための手段及び効果）
上記考案において、基準ガス導入部は、流路上にＣＯ２吸収部材を備えるようにしてもよい。
これにより、大気ガスを利用して基準ガスを生成することができる。特に、試料ガスが大気とともに採取したガスの場合には、同じ大気ベースの基準ガスを生成することにより、正確な計測が可能となる。
【００２８】
また、上記考案において、基準ガス導入部は、ゼロ点校正用ガスと、ゼロ点校正用ガスをそのまま通過させる比較流路とにより構成されるようにしてもよい。
これによれば、揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）で、校正用に準備しているゼロ点校正ガスを転用し、しかも、新たな配管を引くことなく既存の比較流路を兼用して基準ガス導入部とすることができるので、装置部品点数を増やすことなく、コスト的にも有利に基準ガス導入部を設けることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本考案にかかる揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）について、図面を用いて詳細に説明する。なお、本考案は以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００３０】
（実施形態１）
図１は、本考案の第１の実施形態であるＶＯＣ計１の概略構成を示すブロック図である。ＶＯＣ計１は、図４の単セル型ガスセルを用いたＶＯＣ計１００を基本構造としてこれを改良したものであり、ガス導入部１０、測定流路２０、比較流路３０、共通流路４０、ガス分析部５０、流路選択部６０、基準ガス導入部７０とからなる。図１において、図４と同じものについては同符号を付すことにより、説明を一部省略する。
ガス導入部１０は、ガス導入口１１が設けてあり、サンプリング容器に採取した分析対象の試料ガス１２（サンプリングチューブにより連続的に採取する試料ガスであってもよい）、あるいはスパン校正用ガス１３（スパン校正のため有機化合物を含有する標準ガス）、あるいはゼロ点校正用ガス１４（ゼロ点校正のためのＣＯ２および有機化合物を含まない標準ガス）が電磁バルブ群１５の開閉により適宜に導入される。電磁バルブ群１５は流路選択部６０により切換制御される。
流路選択部６０は、後述する共存ＣＯ２濃度算出部５７、全ＣＯ２濃度算出部５８、ＶＯＣ濃度算出部５９とともに、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力装置等のハードウェアと、制御用ソフトウェアとからなるコンピュータ（このコンピュータは装置全体の制御も行う）により構成され、制御用ソフトウェアによる処理が行われる。ガス導入口１１の出口側は、測定流路２０および比較流路３０のそれぞれの入口側に接続してある。
【００３１】
測定流路２０は、酸化炉２１、ハロゲンスクラバ２２が設けられ、流路を切り換える三方電磁弁４１に接続してある。三方電磁弁４１は流路選択部６０により切換制御される。
比較流路３０は、ガス導入口１１と三方電磁弁４１とを配管で接続してあり、ガス導入口１１から流出するガスを、酸化炉２１を通過させずそのまま三方電磁弁４１に送ることができるようにしてある。三方電磁弁４１の出口側は共通流路４０に接続してある。
共通流路４０は、三方電磁弁４１から流出するガスに含まれる水分を除去する電子クーラ２３、ガスを送り出すポンプ２４が接続されている。共通流路４０の出口側はガス分析部５０に接続してある。
【００３２】
ガス分析部５０は、図４と同様の単セル型ガスセルを有する赤外線ガス分析計５１を備えている。また、赤外線ガス分析計５１の検出信号から共存ＣＯ２濃度を算出する共存ＣＯ２濃度算出部５７、赤外線ガス分析計５１の検出信号から共存ＣＯ２濃度とＶＯＣ濃度とを加えた全ＣＯ２濃度を算出する全ＣＯ２濃度算出部５８、ＶＯＣ濃度を算出するＶＯＣ濃度計測部５９を備えている。
【００３３】
基準ガス導入部７０は、基準ガス流路７１、ＣＯ２吸収部材７２、三方電磁弁７３を備えている。この基準ガス導入部７０の位置は、ＣＯ２を含まないガスを赤外線ガス分析計５１に送ることができる流路位置であれば特に限定されないが、本実施例では、三方電磁弁４１の後の共通流路４０上に、三方電磁弁７３を取り付け、これに基準流路７１が接続するようにしてある。基準ガス流路７１にはＣＯ２吸収部材７２が設けてあり、基準ガス流路７１を通過する大気ガスからＣＯ２を除去するようにしている。ＣＯ２吸収部材には、例えばソーダライムを用いることができる。
【００３４】
次に、ＶＯＣ計１による計測動作について説明する。流路選択部６０の制御により、バルブ群１５のうち、試料ガス１２のバルブが開かれて、試料ガス１２がガス導入口１１から導入され測定が開始されると、試料ガス１２は分析流路２０と比較流路３０とに分岐する。
【００３５】
まず、全ＣＯ２濃度（ＶＯＣ由来のＣＯ２濃度＋共存ＣＯ２濃度）を測定するために、流路選択部６０の制御により、三方電磁弁４１は測定流路２０側が開成される。そして、三方電磁弁７３が測定流路２０側と基準ガス流路側７１とを交互（例えば１０秒間隔）に開成することにより、測定流路２０から流出するガスのＣＯ２と、基準ガス流路７１から流出するガスのＣＯ２とが交互に赤外線ガス分析計５１に送られて赤外線吸収信号が検出され、検出結果が全ＣＯ２濃度算出部５８に送られる。全ＣＯ２濃度算出部５８は検出信号の強度差を求め、ランベルトベールの関係（図２）に基づいて全ＣＯ２濃度（絶対値）を算出する。算出結果はＶＯＣ濃度算出部５９に送られる。
【００３６】
続いて、共存ＣＯ２濃度を測定するために、流路選択部６０の制御により、三方電磁弁４１は比較流路３０側が開成される。そして、三方電磁弁７３が比較流路３０側と基準ガス流路側７１とを交互（例えば１０秒間隔）に開成することにより、比較流路３０から流出するガスのＣＯ２と、基準ガス流路７１から流出するガスのＣＯ２とが交互に赤外線ガス分析計５１に送られて赤外線吸収信号が検出され、検出結果が共存ＣＯ２濃度算出部５７に送られる。共存ＣＯ２濃度算出部５７は検出信号の強度差を求め、ランベルトベールの関係（図２）に基づいて共存ＣＯ２濃度（絶対値）を算出する。算出結果はＶＯＣ濃度算出部５９に送られる。
【００３７】
続いて、ＶＯＣ濃度算出部５９は、全ＣＯ２濃度（絶対値）と共存ＣＯ２濃度（絶対値）の差を計算して、炭素量換算のＶＯＣ濃度（単位ｐｐｍＣ）を求める。
このように、全ＣＯ２濃度、共存ＣＯ２濃度の絶対値からＶＯＣ濃度を求めることにより、正確なＶＯＣ濃度を算出することができる。
【００３８】
（実施形態２）
上述した実施形態１では、別途に基準ガス導入部７０を設けて基準ガスを導入するようにしたが、これに代えて、図３に示すように、ガス導入部１０に接続されているＣＯ２を含まないゼロ点校正用ガス１４を基準ガスとして用いてもよい。すなわち、ガス導入部１０のゼロ点校正用ガス１４の流路と比較流路３０とにより、基準ガス導入部７０ａが構成されることになる。この場合、試料ガス１２とゼロ点校正用ガス１４（基準ガス）とを、交互に比較流路３０を通過させて赤外線ガス分析計５１に送ることにより、共存ＣＯ２濃度を計測することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本考案は、揮発性有機化合物測定装置（ＶＯＣ計）に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本考案に係るＶＯＣ計の第１の実施例を示す概略的な構成図。
【図２】ＣＯ２濃度と検出信号との関係を説明する図。
【図３】本考案に係る本考案に係るＶＯＣ計の第２の実施例を示す概略的な構成図。
【図４】従来のＶＯＣ計（単セル型）の概略構成図。
【図５】従来のＶＯＣ計（比較流通セル型）の概略構成図。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ガス導入部
１２  試料ガス
１４  ゼロ点校正用ガス
１５  電磁バルブ群
２０、２０ａ  測定流路
２１  酸化炉
２２  ハロゲンスクラバ
３０  比較流路
４０  共通流路
４１  三方電磁弁
５０  ガス分析部
５１  赤外線ガス分析計（単セル型）
５５  赤外線ガス分析計（比較流通型）
５７  共存ＣＯ２濃度算出部
５８  全ＣＯ２濃度算出部
５９  ＶＯＣ濃度計測部
５４  共存ＣＯ２情報入力部
６０  流路選択部
７０  基準ガス導入部
７１  基準ガス流路
７２  ＣＯ２吸収部材
７３  三方電磁弁
【図１】
0003113919.tif 000003
【図２】
0003113919.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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