(57)【要約】【課題】導光ラインをガイドしてその損傷を防止することが可能なガイドユニット及び基板処理装置を提供する。【解決手段】ガイドユニット１００は、導光ライン６０の一部が挿入される貫通孔を有するコネクタ部材１０３と、コネクタ部材１０３から延びる導光ライン６０をガイドするガイド部材１０４と、を備える。ガイド部材１０４は、貫通孔の軸Ｘ方向に沿って延びる基部１３４と、基部１３４の一端に設けられており、コネクタ部材１０３に対して連結される連結部１３６と、基部１３４の他端に屈曲して設けられており、コネクタ部材１０３から延びる導光ライン６０を支持すると共に、軸Ｘ方向とは異なる方向にガイドするガイド部１３８と、を有する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導光ラインをガイドするためのガイドユニットであって、
前記導光ラインの一部が挿入される貫通孔を有するコネクタ部材と、
前記コネクタ部材から延びる前記導光ラインをガイドするガイド部材と、を備え、
前記ガイド部材は、
前記貫通孔の軸方向に沿って延びる基部と、
前記基部の一端に設けられており、前記コネクタ部材に対して連結される連結部と、
前記基部の他端に屈曲して設けられており、前記コネクタ部材から延びる前記導光ラインを支持すると共に、前記軸方向とは異なる方向にガイドするガイド部と、
を有することを特徴とするガイドユニット。
【請求項２】
前記コネクタ部材は、
径が可変な第１貫通孔を含む締結部材と、
前記第１貫通孔と同軸に設けられた第２貫通孔を含み、前記導光ラインを導入する部位に接続固定される接続部材と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のガイドユニット。
【請求項３】
基板の処理を行うためのチャンバと、
前記チャンバの上方に設けられた光源装置と、
前記光源装置から出射される光を前記チャンバ内に案内する導光ラインと、
前記導光ラインをガイドするための請求項１に記載のガイドユニットと、を備え、
前記ガイドユニットは、前記コネクタ部材を介して前記チャンバの側壁に接続されていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導光ラインのガイドユニット及び基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子ビームを利用した露光装置は、真空チャンバを備えている。真空チャンバは、容器本体とこの容器本体の上部開口を覆う上蓋とを有している。上蓋には電子ビームを照射する照射部が設けられており、容器本体内にはマスクや基板の位置決めを行うためのアライメント機構が設けられている（例えば、非特許文献１を参照）。
【０００３】
このような露光装置２００は、図１３に示すように、マスクＭと基板Ｗとの位置決めを行う際に利用する光を真空チャンバ２０２内に供給するための光源モジュール２０４を備えている。この光源モジュール２０４は、真空チャンバ２０２の下方に設置され、複数の光ファイバケーブル２０６が引き出されて、その一端が真空チャンバ２０２の側壁から真空チャンバ２０２内に導入されている。
【０００４】
【非特許文献１】
野末寛、外４名、「次世代電子線露光装置の開発」、２００２年、応用物理、第７１巻、第４号、ｐ．４２１−４２４
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の露光装置では、メンテナンス時などにおいて人が誤って光ファイバケーブル２０６を引っ掛けたり、あるいは光ファイバケーブル２０６の自重によりクリープしたりして、真空チャンバ２０２の側壁付近の導入部でファイバが折れるなどの損傷を被ることがあった。
【０００６】
この対策として、真空チャンバ２０２への導入部付近において、光ファイバケーブル２０６にテープを巻いて補強したり、針金をらせん状に巻いて補強したりすることが考えられるが、いずれも効果が十分ではなかった。
【０００７】
本発明は、上記した課題を解決するために為されたものであり、導光ラインをガイドしてその損傷を防止することが可能なガイドユニット及び基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る導光ラインのガイドユニットは、導光ラインをガイドするためのガイドユニットである。このガイドユニットは、導光ラインの一部が挿入される貫通孔を有するコネクタ部材と、コネクタ部材から延びる導光ラインをガイドするガイド部材と、を備え、ガイド部材は、貫通孔の軸方向に沿って延びる基部と、基部の一端に設けられており、コネクタ部材に対して連結される連結部と、基部の他端に屈曲して設けられており、コネクタ部材から延びる導光ラインを支持すると共に、軸方向とは異なる方向にガイドするガイド部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
このガイドユニットでは、コネクタ部材の貫通孔に導光ラインの一部が挿入され、コネクタ部材から延びる導光ラインがガイド部材のガイド部に支持されガイドされる。従って、導光ラインを導入したい部位にコネクタ部材を接続することで、貫通孔の軸方向に導光ラインを導入することができると共に、コネクタ部材から延びる導光ラインを貫通孔の軸方向とは異なる方向にガイドすることができる。このとき、導光ラインはガイド部に支持されガイドされているため、誤って導光ラインを引っ掛けた場合でも、導光ラインの導入部付近が許容屈曲半径以下に曲げられることが防止され、その損傷を防止することができる。
【００１０】
本発明に係るガイドユニットでは、コネクタ部材は、径が可変な第１貫通孔を含む締結部材と、第１貫通孔と同軸に設けられた第２貫通孔を含み、導光ラインを導入する部位に接続固定される接続部材と、を有することを特徴としてもよい。このようにすれば、導光ラインを導入する部位に接続部材を接続固定することで、導光ラインの導入位置が固定される。そして、導光ラインを第１及び第２貫通孔に挿入し、第１貫通孔を縮径することで、導光ラインを締め付けてその抜けを防止することができる。
【００１１】
本発明に係るガイドユニットでは、締結部材には、第１貫通孔に沿う方向に複数の雌ネジ部が設けられており、ガイド部材の連結部は基部の一端に屈曲して設けられ、連結部には孔が設けられており、ガイド部材は、連結部の孔を通して雄ネジを雌ネジ部に噛合させることで、締結部材に対して連結されていることを特徴としてもよい。このようにすれば、複数の雌ネジ部の中から、連結部の孔を通して雄ネジを噛合させる雌ネジ部を選択することで、貫通孔の軸の周りの所望の角度位置にガイド部材を連結することが可能となる。
【００１２】
本発明に係るガイドユニットでは、接続部材は、複数の雌ネジ部が設けられたフランジ部を含み、ガイド部材の連結部は基部の一端に屈曲して設けられ、連結部には孔が設けられており、ガイド部材は、連結部の孔を通して雄ネジを雌ネジ部に噛合させることで、接続部材に対して連結されていることを特徴としてもよい。このようにすれば、複数の雌ネジ部の中から、連結部の孔を通して雄ネジを噛合させる雌ネジ部を選択することで、貫通孔の軸の周りの所望の角度位置にガイド部材を連結することが可能となる。
【００１３】
本発明に係るガイドユニットでは、接続部材の第２貫通孔の途中に設けられており、光を透過させると共に第２貫通孔を閉塞する閉塞部材を備えることを特徴としてもよい。このようにすれば、ガイドユニットが接続される空間と外部空間とが遮断され、シール性が実現される。
【００１４】
本発明に係るガイドユニットでは、ガイド部は、貫通孔の軸から遠ざかる方向に、基部に対して屈曲されていることを特徴としてもよく、また貫通孔の軸に近づく方向に、基部に対して屈曲されていることを特徴としてもよい。
【００１５】
本発明に係るガイドユニットでは、基部に対するガイド部の曲げは修正可能であることを特徴としてもよい。このようにすれば、導光ラインをより望ましい方向にガイドすることが可能となる。
【００１６】
本発明に係るガイドユニットでは、ガイド部材のガイド部の側面の一部には窪み部が設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、ガイド部に支持された導光ラインをガイド部に対して紐のようなもので縛り付けるときに、窪み部を利用することで紐のズレをなくして確実に縛り付けることができる。
【００１７】
本発明に係る基板処理装置は、基板の処理を行うためのチャンバと、チャンバの上方に設けられた光源装置と、光源装置から出射される光をチャンバ内に案内する導光ラインと、導光ラインをガイドするための上記したガイドユニットと、を備え、ガイドユニットは、コネクタ部材を介してチャンバの側壁に接続されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る基板処理装置のように、チャンバの上方に設けられた光源装置から延びる導光ラインをチャンバの側壁に導入するときに、本発明に係るガイドユニットは好適に用いられる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２０】
図１は、本実施形態に係るガイドユニットが適用された基板処理装置としての、電子ビーム露光装置（以下、単に「露光装置」ともいう）の構成を示す斜視図である。また図２は、図１に示す露光装置の構成を説明するための一部断面図である。図１及び図２に示すように、露光装置１０は真空チャンバ１２を備えている。
【００２１】
真空チャンバ１２は、上端が開口した容器本体１４と、この容器本体１４の上部開口を塞ぐ上蓋１６とを有している。上蓋１６は、平断面が矩形状をなし、中央に電子ビームを照射するための電子ビーム照射部１８が設けられている。電子ビーム照射部１８は、図２に示すように、上壁部と側壁部とを含む電子鏡筒２０と、電子鏡筒２０内で上壁部に設けられた電子銃２２と、電子銃２２から出射された電子ビームをコリメートするレンズ２４と、偏光器２６とを有している。これら電子銃２２、レンズ２４、及び偏光器２６は、鉛直下方に向かってこの順に配置されており、電子銃２２から出射された電子ビームは、レンズ２４によりコリメートされ、偏光器２６により走査されて、マスクＭを通して半導体ウェハＷ（基板）上に照射される。
【００２２】
容器本体１４は、図１及び図２に示すように、平断面が矩形状をなす底壁部１４ａとこの底壁部１４ａの縁部に立設された２組の側壁部１４ｂとを有する。この容器本体１４内には、露光処理を行うための半導体ウェハＷを位置決め保持するウェハステージ２８が収容されている。ウェハステージ２８は、半導体ウェハＷの位置決めを行う位置決めステージ３０と、この位置決めステージ３０上に搭載され半導体ウェハＷを吸着して保持する静電チャック３２とを有している。位置決めステージ３０は、水平面内で直交する２軸方向（ＸＹ方向）の粗い位置決めを行う粗動ステージと、この粗動ステージに搭載されておりＸＹ方向、ＸＹ方向と直交する鉛直方向（Ｚ方向）、水平面内における回転方向（θ方向）、及び傾きを微細に調整する微動ステージとを含んでいる。そして、静電チャック３２はこの微動ステージに搭載されている。従って、半導体ウェハＷは静電チャック３２により吸着された状態で、位置決めステージ３０により位置決めがなされる。
【００２３】
また容器本体１４内には、図２に示すように、所望パターンが形成されたマスクＭを位置決め保持するためのマスクステージ３４が収容されている。マスクステージ３４は、水平面内における回転方向（θ方向）、鉛直方向（Ｚ方向）、及び傾きの細かい位置決めを行う。このマスクステージ３４は、真空チャンバ１２内に固定された基準ベース３６上に搭載されている。
【００２４】
また容器本体１６内には、マスクＭ上及び半導体ウェハＷ上にある図示しないアライメントマークによって散乱された光を検出する白色顕微鏡などの光検出器３８が設けられている。この光検出器３８は、基準ベース３６上に搭載されている。この光検出器３８により検出されたデータは、図示しない画像処理装置に送られて処理され、アライメントマークの重なり具合からマスクＭと半導体ウェハＷとの位置関係が求められる。そして、マスクＭと半導体ウェハＷとに位置ズレがあるときには、マスクＭ及び／又は半導体ウェハＷの位置を修正する信号が生成され、この信号に基づいてマスクＭ及び／又は半導体ウェハＷの位置が微修正される。このようにして、マスクＭと半導体ウェハＷとの精密な位置決めがなされる。なお本実施形態では、マスクＭは半導体ウェハＷに近接（マスクＭと半導体ウェハＷとの間隙が５０μｍ程度）して配置される。
【００２５】
この真空チャンバ１２は、図示しない真空ポンプにより内部空間が減圧される。この減圧環境下において、電子ビーム照射部１８から出射された電子ビームによりマスクＭの全面を走査することで、所望パターンが半導体ウェハＷ上のレジストに等倍で転写される。
【００２６】
この真空チャンバ１２は、図１及び図２に示すように、底壁部１４ａの下方に設けられた除震台４０上に搭載されている。そして、真空チャンバ１２の設置面と底壁部１４ａとの間の空間に、交流電圧から直流電圧を生成するための電源装置４２が設置されている。
【００２７】
また露光装置１０は、図１及び図２に示すように、後述する光源装置４４を支持するための枠体４６を備えている。この枠体４６は、鉛直方向に延びる４本の縦枠４８と、これら４本の縦枠４８の上端に横架された４本の上枠５０とを有する。これら上枠５０の間には、図示しない連結リブが複数横架されている。この枠体４６は、真空チャンバ１２を取り囲むように配置されている。
【００２８】
また露光装置１０は、図１及び図２に示すように、４つの光源装置４４を備えている。各光源装置４４は、図３に示すように、外形が直方体状をなす。この光源装置４４は、カートリッジ内にＸｅランプ５８が収容されたランプカートリッジ部５２と、Ｘｅランプ５８からの光をリキッドファイバ（導光ライン）６０の入射端に集光するための光学系５４と、これらランプカートリッジ部５２と光学系５４とを収容する筐体部５６とを含んでいる。光学系５４には、例えば透過型コードミラーやフィルタ、及びシャッタが含まれる。
【００２９】
この筐体部５６の前壁部からは、ランプカートリッジ部５２内のＸｅランプ５８から出射された光を案内するためのリキッドファイバ６０が引き出されており、後壁部からは給電のための電源ケーブル６２が引き出されている。リキッドファイバ６０は、樹脂製のチューブの中に透光性を有する液体を注入したものであり、高い光伝送効率を有する。このリキッドファイバ６０は、両端の口金部分の間が蛇腹状のアルミ筒により被覆されて可撓性を有するように構成されている。また、光源装置４４の後壁部からは、筐体部５６内で発生した熱を放出するための排熱ライン６４が引き出されている。そして、筐体部５６の後壁部とランプカートリッジ部５２との間には、筐体部５６内を冷却するためのファン５１が設けられている。なお、筐体部５６の底壁部にはランプカートリッジ部５２を取り出すための図示しない開口部が設けられており、この開口部には図示しない開閉扉が設けられている。これにより、開口部を通してランプカートリッジ部５２を筐体部５６内に着脱可能に取り付けられるようになっている。
【００３０】
このような構成の光源装置４４が、枠体４６が有する４本の上枠５０（図示しない上枠５０間の連結リブを含む）に吊り下げ支持されている。従って、Ｘｅランプ５８（ランプカートリッジ部５２）の交換などの作業が容易になり、メンテナンス性の向上が図られている。そして、これら光源装置４４の前壁部から引き出された４本のリキッドファイバ６０は、真空チャンバ１２の４つの側壁部１４ｂに案内されている。また、これら光源装置４４の後壁部から引き出された４本の給電ケーブル６２は、それぞれ縦枠４８を伝って、真空チャンバ１２下方に設置された電源装置４２に接続されている。
【００３１】
また露光装置１０は、図１及び図２に示すように、光源装置４４から発生する熱を排出するための排熱ダクト７０を備えている。この排熱ダクト７０は、真空チャンバ１２の上方で枠体４６の上枠５０に吊り下げ支持されている。そして、各光源装置４４の後壁部から引き出された排熱ライン６４が、排熱ダクト７０と接続されている。
【００３２】
また本実施形態に係る露光装置１０は、光源装置４４と真空チャンバ１２の側壁部１４ｂとの間で延びるリキッドファイバ６０をガイドするガイドユニット１００，１５０を備えている。光源装置４４側でリキッドファイバ６０をガイドするガイドユニット１００は、図４に示すように、コネクタ部材１０３とガイド部材１０４とを備えている。
【００３３】
コネクタ部材１０３は、締結部材１０６と接続部材１０７とを有している。締結部材１０６は、図５に示すように、リキッドファイバ６０の端部と嵌合する貫通孔（第１貫通孔）１１０を有する略円筒状の部材である。締結部材１０６の側壁部の一部は貫通孔１１０の軸Ｘ方向に切り欠かれており、この軸Ｘと直交する断面において断面Ｃ字型となっている。締結部材１０６の側壁部の一部が切り欠かれた部分には、図５（ｃ）に示すように、軸Ｘと直交する方向に雌ネジ部１１２が貫通形成されている。この雌ネジ部１１２に雄ネジ１１４を噛合させることで、側壁部の切り欠かれた部分を接近させたり離間させたりすることができ、これにより貫通孔１１０を拡径させたり縮径させたりできるようになっている。なお、締結部材１０６の側壁部の一部が切り欠かれた部分と対向するように、貫通孔１１０には軸Ｘ方向に溝１１６が形成されており、貫通孔１１０の拡径及び縮径が容易に行われるように構成されている。
【００３４】
また、締結部材１０６には、後述する中間接続部材１０９との連結を図るための雄ネジ１３２が挿通される３つの通し穴１１８が設けられている。これら通し穴１１８は、貫通孔１１０の軸Ｘの周りに１２０度の等角度間隔で、且つ軸Ｘ方向に沿って貫通形成されている。また、締結部材１０６の前面には、４つの雌ネジ部１２０が、貫通孔１１０の軸Ｘの周りに９０度の等角度間隔で、且つ軸Ｘ方向に沿って設けられている。
【００３５】
接続部材１０７は、図４に示すように、中間接続部材１０９と主接続部材１１１とを含んでいる。中間接続部材１０９は、図６に示すように、リキッドファイバ６０の端部と嵌合する貫通孔１１７を有する略円筒状の部材である。中間接続部材１０９の前面には、図６（ａ）に示すように、締結部材１０６との連結を図るための３つの雌ネジ部１１９が、貫通孔１１７の軸Ｘの周りに１２０度の等角度間隔で、且つ軸Ｘ方向に沿って設けられている。また、中間接続部材１０９の後端部は、図６（ｂ）に示すように、外径が縮径されて嵌合部１２１が形成されており、この嵌合部１２１の周面に雄ネジが設けられている。この嵌合部１２１が、後述する主接続部材１１１の嵌合部１２３にネジの噛合関係により嵌め込まれる。
【００３６】
主接続部材１１１は、図７に示すように、光源装置４４の光が通る貫通孔１２５を有する略円筒状の部材である。この貫通孔１２５は、前面に向かって徐々に縮径されており、前端部の内面には雌ネジが設けられて、上記した中間接続部材１０９の嵌合部１２１がネジの噛合関係により嵌め込まれる嵌合部１２３とされている。また、主接続部材１１１の後端部は、外径が縮径されて嵌合部１２７が形成されており、この嵌合部１２７の周面に雄ネジが設けられている。この嵌合部１２７が、図８に示すように、光源装置４４の前面に設けられた開口部４５の雌ネジにネジの噛合関係により嵌め込まれる。なお、中間接続部材１０９の貫通孔１１７と主接続部材１１１の貫通孔１２５とが、接続部材１０７の第２貫通孔を構成している。
【００３７】
上記した締結部材１０６と中間接続部材１０９とが、互いの貫通孔１１０，１１７が連通された状態で、雄ネジ１３２を通し穴１１８を通して雌ネジ部１１９に噛合させることで連結されている。また、上述した通り、中間接続部材１０９の嵌合部１２１が、主接続部材１１１の嵌合部１２３にネジの噛合関係により嵌め込まれて連結されている。このようにして連通された貫通孔１１０，１１７，１２５が、コネクタ部材１０２の貫通孔を構成している。
【００３８】
ガイド部材１０４は、図４に示すように、ステンレス鋼板等の材料からなる細長い板状部材を所望に屈曲して形成されており、基部１３４と連結部１３６とガイド部１３８とを有している。基部１３４は、コネクタ部材１０２の貫通孔の軸Ｘ方向に沿って延びている。連結部１３６は、基部１３４の起端を直角に屈曲して形成されている。この連結部１３６には、締結部材１０６の前面に沿うように、湾曲した細長い孔１４０が設けられている。そして、雄ネジ１３５がこの孔１４０に挿通された状態で、締結部材１０６の雌ネジ部１２０に噛合されることで、締結部材１０６に対してガイド部材１０４が連結されるようになっている。このとき、締結部材１０６に設けられた複数の雌ネジ部１２０の中から、連結部１３６の孔１４０を通して雄ネジを噛合させる雌ネジ部１２０を選択することで、貫通孔の軸Ｘの周りの所望の角度位置にガイド部材１０４を連結することができるようになっている。
【００３９】
ガイド部１３８は、貫通孔の軸Ｘから遠ざかる方向に、基部１３４の前端を屈曲させて形成されている。ガイド部１３８の湾曲の度合いは、リキッドファイバ６０をガイドしたい方向に基づいて調整されている。そして、ガイド部１３８の先端部分と中央部分との側面には、それぞれ窪み部１４２が設けられている。
【００４０】
図８は、上記した構成のガイドユニット１００により、光源装置４４からの光を伝搬させるリキッドファイバ６０がガイドされる様子を説明する一部断面図である。Ｘｅランプ５８からの光が出射される光源装置４４の開口部４５には、コネクタ部材１０３の主接続部材１１１がネジの噛合関係により嵌め込まれる。
【００４１】
リキッドファイバ６０の端部は、締結部材１０６及び中間接続部材１０９の貫通孔１１０，１１７に挿通されている。この状態で、締結部材１０６のボルト１１４はきつく締められており、貫通孔１１０が縮径されることで、リキッドファイバ６０の抜けが防止されている。
【００４２】
コネクタ部材１０３から導出されたリキッドファイバ６０は、所望長さだけ貫通孔の軸Ｘ方向に沿って延びた後、下方へ向けて湾曲されて延びている。このとき、リキッドファイバ６０はガイド部１３８の上面に支持されガイドされる。そして、ガイド部１３８の窪み部１４２が設けられた部位において、インシュロック（商標名）等の紐状部材１６０により、ガイド部材１０４に対して緊縛されている。
【００４３】
このガイド部１３８の基部１３４に対する曲がり具合は、修正可能で微調整できるようになっている。すなわち、現場でガイドユニット１００を用いてリキッドファイバ６０の敷設ルートの仮決めを行った後、リキッドファイバ６０の延伸方向をより望ましい方向に変えるため、基部１３４に対するガイド部１３８の曲がり具合は微調整可能に設けられている。ただし、基部１３４に対してガイド部１３８が容易に変形したのでは、作業者がリキッドファイバ６０及びガイド部材１６２を誤って引っ掛けたときに、ガイド部材１６２の変形を防止できない。従って、基部１６４に対するガイド部１６８の曲げ強度は、工具を使用した作業者の力で曲げられる程度であるが、誤って引っ掛けたときの衝撃力に耐えられる程度である必要がある。具体的には、曲げ応力が１００Ｎ／ｍｍ２〜６００Ｎ／ｍｍ２程度であると好ましく、１５０Ｎ／ｍｍ２〜５００Ｎ／ｍｍ２程度であるとより好ましい。更に、２００Ｎ／ｍｍ２〜３５０Ｎ／ｍｍ２程度であるとより一層好ましい。
【００４４】
一方、真空チャンバ１２側でリキッドファイバ６０をガイドするガイドユニット１５０は、図９に示すように、コネクタ部材１０２とガイド部材１６２とを備えている。コネクタ部材１０２は、締結部材１０６と接続部材１０８とを有している。締結部材１０６の構成は、光源装置４４側のガイドユニット１００と同一であるため、説明を省略する。
【００４５】
接続部材１０８は、図９に示すように、中間接続部材１０５と主接続部材１４４とを含んでいる。中間接続部材１０５は、図１０に示すように、リキッドファイバ６０の端部と嵌合する貫通孔１２２を有する略円筒状の部材である。この中間接続部材１０５の後端にはフランジ部１２４が設けられている。中間接続部材１０５の前面には、締結部材１０６との連結を図るための３つの雌ネジ部１２６が、貫通孔１２２の軸Ｘの周りに１２０度の等角度間隔で、且つ軸Ｘの方向に沿って設けられている。また、フランジ部１２４には、４つの通し穴１２８が軸Ｘの周りに９０度の等角度間隔で設けられている。更に、フランジ部１２４には、上記した通し穴１２８より小径の４つの通し穴１３０が、通し穴１２８の間で軸Ｘの周りに９０度の等角度間隔で設けられている。なお、図１０（ｂ）に示すように、中間接続部材１０５の貫通孔１２２は、後端側で拡径されており、ここに透明ガラス（閉塞部材）１３１が嵌め込まれるようになっている。
【００４６】
主接続部材１４４は、図１１に示すように、貫通孔１４６を有する筒状の部材であり、外面にはフランジ部１４８が設けられている。この貫通孔１４６には、真空チャンバ１２内で光をガイドするためのリキッドファイバ１７８の端部が嵌合される。フランジ部１４８には、図１１（ａ）に示すように、中間接続部材１０５の４つの通し穴１２８と対応する位置に、４つの通し穴１４９が貫通形成されている。また、このフランジ部１４８には、中間接続部材１０５の４つの通し穴１３０と対応する位置に、４つの雌ネジ部１５２が形成されている。従って、中間接続部材１０５と主接続部材１４４とは、雄ネジ（図９の１５４）が通し穴１３０を通して雌ネジ部１５２に噛合されることで、互いに連結される。なお、中間接続部材１０５の貫通孔１２２と主接続部材１４４の貫通孔１４６とにより、接続部材１０８の第２貫通孔が構成されている。そして、上記したように透明ガラス１３１が中間接続部材１０５と主接続部材１４４との間に挟持されることで、透光性を有した状態で上記第２貫通孔を閉塞している。
【００４７】
この主接続部材１４４の前面には、中間接続部材１０５の連通孔１２２の拡径された部分に嵌入される突起部１５１が設けられており、その角部は面取りされてＯリング溝１５３が設けられている。そして、中間接続部材１０５の貫通孔１２２内に透明ガラス１３１が嵌め込まれた状態で、貫通孔１２２内に主接続部材１４４の突起部１５１が嵌め込まれる。そして、突起部１５１のＯリング溝１５３にＯリング１５６が嵌められて真空シールがなされる。また、主接続部材１４４の後端部は、外径が縮径されて嵌合部１５５が形成されている。この嵌合部１５５が、図１２に示すように、真空チャンバ１２の側壁部１４ｂに設けられた開口部１７６に嵌め込まれる。そして、中間接続部材１０５のフランジ部１２４に設けられた４つの通し穴１２８及び主接続部材１４４の４つの通し穴１４９にそれぞれ雄ネジ（図９の１５８）を挿通し、真空チャンバ１２の側壁部１４ｂに設けられた雌ネジ部（図示しない）にネジ止めすることで、ガイドユニット１５０を接続固定するようになっている。
【００４８】
上記した締結部材１０６と中間接続部材１０５とが、互いの貫通孔１１０，１２２が連通された状態で、雄ネジ１３２を通し穴１１８を通して雌ネジ部１２６に噛合させることで連結されている。また、上記した中間接続部材１０５と主接続部材１４４とが、互いの貫通孔１２２，１４６が連通された状態で、雄ネジ１５４を通し穴１３０を通して雌ネジ部１５２に噛合させることで連結されている。このようにして連通された貫通孔１１０，１２２，１４６が、コネクタ部材１０２の貫通孔を構成している。そして、中間接続部材１０５と主接続部材１４４との間に透明ガラス１３１が配置されることで、透光性とシール性との両立が図られている。
【００４９】
ガイド部材１６２は、図９に示すように、ステンレス鋼板等の材料からなる細長い板状部材を所望に屈曲して形成されており、基部１６４と連結部１６６とガイド部１６８とを有している。基部１６４は、コネクタ部材１０２の貫通孔の軸Ｘ方向に沿って延びている。連結部１６６は、基部１６４の起端を直角に屈曲して形成されている。この連結部１６６には、２つの孔（図１２の１７０）が設けられている。そして、雄ネジ１５４がこの孔１７０に挿通された状態で、中間接続部材１０５の通し穴１３０を通して主接続部材１４４の雌ネジ部１５２に噛合されることで、接続部材１０８に対してガイド部材１６２が連結されるようになっている。このとき、フランジ部１２４，１４８に設けられた複数の通し穴１３０及び雌ネジ部１５２の中から、連結部１６６の孔１７０を通して雄ネジ１５４を噛合させる通し穴１３０及び雌ネジ部１５２を選択することで、貫通孔の軸Ｘの周りの所望の角度位置にガイド部材１６２を連結することができるようになっている。
【００５０】
ガイド部１６８は、貫通孔の軸Ｘに近づく方向に、基部１６４の前端を屈曲させて形成されている。ガイド部１６８の湾曲の度合いは、リキッドファイバ６０をガイドしたい方向に基づいて調整されている。そして、ガイド部１６８の先端部分と中央部分との側面には、それぞれ窪み部１７４が設けられている。
【００５１】
図１２は、上記した構成のガイドユニット１５０により、真空チャンバ１２から導出されたリキッドファイバ６０がガイドされる様子を説明する一部断面図である。リキッドファイバ６０が導出される真空チャンバ１２の開口部１７６に、主接続部材１４４の嵌合部が嵌め込まれる。中間接続部材１０５と主接続部材１４４とは、通し穴１３０を通して雌ネジ部１５２に雄ネジ１５４が噛合されることにより、互いに連結される。中間接続部材１０５の貫通孔１２２内と主接続部材１４４の突起部との間には透明ガラス１３１が嵌め込まれ、Ｏリング溝１５３にはＯリング１５６が嵌められて真空シールがなされている。この主接続部材１４４の貫通孔１４６内には、真空チャンバ１２内で光を案内するためのリキッドファイバ１７８の一端が挿入され、このリキッドファイバ１７８が光検出器３８まで延びている。
【００５２】
真空チャンバ１２側に設けられた本実施形態に係るガイドユニット１５０は、中間接続部材１０５のフランジ部１２４に設けられた４つの通し穴１２８、及び主接続部材１４４のフランジ部１４８に設けられた通し穴１４９を通し、雄ネジ１５８が真空チャンバ１２の側壁部１４ｂに噛合されることで、側壁部１４ｂに接続固定されている。このとき、主接続部材１４４の側壁部１４ｂと当接する面には凹部１５９が設けられており、この凹部１５９にＯリング１６１が嵌め込まれて真空シールがなされている。
【００５３】
リキッドファイバ６０の端部は、締結部材１０６及び中間接続部材１０５の貫通孔１１０，１２２に挿通されている。この状態で、締結部材１０６のボルト１１４はきつく締められており、貫通孔１１０が縮径されることで、リキッドファイバ６０の抜けが防止されている。
【００５４】
コネクタ部材１０２から導出されたリキッドファイバ６０は、所望長さだけ貫通孔の軸Ｘ方向に沿って延びた後、上方へ向けて湾曲されて延びている。このとき、リキッドファイバ６０はガイド部１６８の上面に支持されガイドされる。そして、ガイド部１６８の窪み部１７４が設けられた部位において、インシュロック（商標名）等の紐状部材１６０により、ガイド部材１６２に対して緊縛されている。
【００５５】
このガイド部１６８の基部１６４に対する曲がり具合は、修正可能とされて微調整できるようになっている。すなわち、現場でガイドユニット１５０を用いてリキッドファイバ６０の敷設ルートの仮決めを行った後、リキッドファイバ６０の延伸方向をより望ましい方向に変えるため、基部１６４に対するガイド部１６８の曲がり具合は微調整可能に設けられている。ただし、基部１６４に対してガイド部１６８が容易に変形したのでは、作業者がリキッドファイバ６０及びガイド部材１６２を誤って引っ掛けたときに、ガイド部材１６２の変形を防止できない。従って、基部１６４に対するガイド部１６８の曲げ強度は、工具を使用した作業者の力で曲げられる程度であるが、誤って引っ掛けたときの衝撃力に耐えられる程度である必要がある。具体的には、曲げ応力が１００Ｎ／ｍｍ２〜６００Ｎ／ｍｍ２程度であると好ましく、１５０Ｎ／ｍｍ２〜５００Ｎ／ｍｍ２程度であるとより好ましい。更に、２００Ｎ／ｍｍ２〜３５０Ｎ／ｍｍ２程度であるとより一層好ましい。
【００５６】
次に、本実施形態に係るガイドユニット１００，１５０が適用された露光装置１０の作用及び効果について説明する。
【００５７】
半導体ウェハＷ上のレジストへの所望パターンの転写では、図１及び図２に示すように、まず、真空チャンバ１２内に半導体ウェハＷが供給され、静電チャック３２上に吸着されて、位置決めステージ３０により仮の位置決めがなされる。また、真空チャンバ１２内に所望パターンを有するマスクＭが供給され、マスクステージ３４により仮の位置決めがなされる。この状態で、電源装置４２から電源ケーブル６２を通して光源装置４４に直流電圧が供給され、Ｘｅランプ５８から出射された光が、リキッドファイバ６０を通して真空チャンバ１２内に供給される。
【００５８】
リキッドファイバ６０の先端部から出射された光は、透明ガラス１３１を通して真空チャンバ１２内のリキッドファイバ１７８に入射される。このとき、リキッドファイバ６０はガイドユニット１５０の締結部材１０６及び中間接続部材１０５によりガイドされて、真空チャンバ１２の側壁部１４ｂに直交するように保持されている。また、リキッドファイバ１７８は主接続部材１４４によりガイドされて、真空チャンバ１２の側壁部１４ｂに直交するように保持されている。従って、これらリキッドファイバ６０，１７８は軸合わせされた状態にあり、光結合効率の向上が図られている。
【００５９】
真空チャンバ１２内のリキッドファイバ１７８に入射された光は、リキッドファイバ１７８内を伝搬し、光検出器３８に送られる。そして、光検出器３８において照射方向が調整された後、マスクＭ上及び半導体ウェハＷ上にある図示しないアライメントマークに光が照射される。そして、マスクＭ上及び半導体ウェハＷ上にあるアライメントマークによって散乱された光は、光検出器３８により検出される。光検出器３８により検出されたデータは、図示しない画像処理装置に送られて処理され、アライメントマークの重なり具合からマスクＭと半導体ウェハＷとの位置関係が求められる。そして、マスクＭと半導体ウェハＷとに位置ズレがあるときには、マスクＭ及び／又は半導体ウェハＷの位置を修正する信号が生成され、この信号に基づいてマスクステージ３４及び／又はウェハステージ２８が駆動されて、マスクＭ及び／又は半導体ウェハＷの位置が微修正される。これにより、マスクＭと半導体ウェハＷが近接した状態で精密に位置決めされる。このとき、光源装置４４において発生した熱は、排熱ライン６４を通して排熱ダクト７０に案内され、クリーンルーム外に放出される。
【００６０】
マスクＭと半導体ウェハＷとの位置決めを行った後、電子ビーム照射部１８からの電子ビームの照射を開始する。電子ビーム照射部１８の電子銃２２から出射された電子ビームは、レンズ２４によりコリメートされ、偏光器２６により走査されてマスクＭ全面が走査される。これにより、所望のマスクパターンが半導体ウェハＷ上のレジストに等倍で転写される。
【００６１】
所定期間だけ露光装置１０を運転した後、露光装置１０のメンテナンスが行われる。メンテナンスにおいては、真空チャンバ１２の上蓋１６を開放したり、側壁部１４ｂに設けられた扉１８０を開いたりして、真空チャンバ１２内部のクリーニングや機器の調整が行われる。このとき、従来の露光装置では、作業者がリキッドファイバを誤って引っ掛けたり、あるいはリキッドファイバの自重によりクリープしたりして、真空チャンバの側壁部付近の導入部でファイバが折れるなどの損傷を被ることがあった。
【００６２】
これに対し、本実施形態に係る露光装置１０では、リキッドファイバ６０はガイドユニット１００，１５０により支持されガイドされており、光源装置４４からのリキッドファイバ６０の導出部付近、及び真空チャンバ１２へのリキッドファイバ６０の導入部付近において、リキッドファイバ６０の敷設ルートが拘束されているため、作業者が誤ってリキッドファイバ６０を引っ掛けた場合でも、リキッドファイバ６０の端部付近が許容屈曲半径以下に曲げられることが防止され、その損傷を防止することができる。
【００６３】
また、寿命等によりリキッドファイバ６０を交換するときには、インシュロック等の紐状部材１６０による緊縛を解除すると共に、締結部材１０６の雄ネジ１１４を緩め、コネクタ部材１０２からリキッドファイバ６０を引き抜くだけでリキッドファイバ６０の交換を行うことができる。従って、交換作業が極めて簡単で、メンテナンス作業の効率化を図ることが可能となる。
【００６４】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されることなく種々の変形が可能である。例えば、上記した実施形態では、ガイドユニット１００，１５０によりリキッドファイバ６０をガイドする場合について説明したが、ガイドユニット１００，１５０によりガイドされる導光ラインはリキッドファイバ６０に限定されない。例えば、ガイドユニット１００，１５０は、導光ラインとしてガラスファイバやプラスチックファイバをガイドする場合にも適用することができる。なお、リキッドファイバの許容屈曲半径は１００ｍｍ程度であり、ガラスファイバの許容屈曲半径は１５０ｍｍ程度であるため、ガイドする導光ラインに応じてガイド部材１０４，１６２のガイド部１３８，１６８の屈曲具合を調整する必要がある。
【００６５】
また、上記した実施形態では、露光装置１０にガイドユニット１００，１５０を適用した場合ついて説明したが、これに限定されることなく、上記したような導光ラインをガイドする必要がある装置に広く適用することができる。
【００６６】
また、上記した実施形態では、ガイドユニット１００，１５０のガイド部材１０４，１６２を、細長い板状部材を所望に屈曲して一体形成していたが、連結部１３６，１６６やガイド部１３８，１６８は別部材で形成して、基部１３４，１６４に対して溶接等により接続するようにしてもよい。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によれば、導光ラインをガイドしてその損傷を防止することが可能なガイドユニット及び基板処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係るガイドユニットが適用された基板処理装置として、電子ビーム露光装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電子ビーム露光装置の構成を示す一部断面図である。
【図３】光源装置の構成を示す断面図である。
【図４】光源装置に取り付けられたガイドユニットの構成を示す斜視図である。
【図５】図４のガイドユニットの締結部材の構成を示す図である。図５（ａ）は前面から見た図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線断面図であり、図５（ｃ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】図４のガイドユニットの中間接続部材の構成を示す図である。図６（ａ）は前面から見た図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図４のガイドユニットの中間接続部材の構成を示す図である。図７（ａ）は前面から見た図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】図４のガイドユニットにリキッドファイバがガイドされている様子を示す一部断面図である。
【図９】真空チャンバの側壁に取り付けられたガイドユニットの構成を示す斜視図である。
【図１０】図９のガイドユニットの中間接続部材の構成を示す図である。図１０（ａ）は前面から見た図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】図９のガイドユニットの主接続部材の構成を示す図である。図１１（ａ）は前面から見た図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１２】図９のガイドユニットにリキッドファイバがガイドされている様子を示す一部断面図である。
【図１３】従来の電子ビーム露光装置の構成を示す一部断面図である。
【符号の説明】
１０…電子ビーム露光装置、１２…真空チャンバ、４４…光源装置、４６…枠体、６０…リキッドファイバ、１００，１５０…ガイドユニット、１０２，１０３…コネクタ部材、１０４，１６２…ガイド部材、１０６…締結部材、１０７，１０８…接続部材、１０９…中間接続部材、１１０…貫通孔、１１１…主接続部材、１１８…通し穴、１１９，１２０…雌ネジ部、１２２…貫通孔、１２４，１４８…フランジ部、１２６…雌ネジ部、１２８，１３０…通し穴、１３４，１６４…基部、１３６，１６６…連結部、１３８，１６８…ガイド部、１４０…孔、１４２，１７４…窪み部、１４９…通し穴、１５２…雌ネジ部、１５４…雄ネジ、１７０…孔、Ｗ…半導体ウェハ、Ｘ…軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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