(57)【要約】【課題】銅を内部配線に用いる半導体装置において、銅の表面酸化膜によるボンディング性低下を抑えて良好なワイヤボンディングを可能とすることである。【解決手段】ＬＳＩチップ１０は、半導体ウエファの状態で、能動素子等が形成された後、銅を主成分とした材料で内部配線１９が行われ、その後表面保護膜（パシベーション膜）２４が形成され、適当なエッチング技術を用いて、外部接続用電極１４の領域に対応する開口部が設けられる。外部接続用電極１４の領域の部分を開口したメタルマスクで覆い、次にＣＶＤ法またはＰＶＤ法により厚みがおよそ１ｎｍから１０ｎｍの錫のごく薄の薄膜層を形成する。このようにして外部接続用電極領域の下地銅層の表面に、厚みがおよそ１ｎｍから１０ｎｍの錫のごく薄の薄膜層２６を付着させた外部接続用電極１４を得ることができる。【選択図】　　　　図３
2004055783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部接続用電極を備える半導体装置であって、
前記外部接続用電極は、
銅を主成分とする下地金属層と、
前記下地金属層の表面に配設され、厚みが１ナノメートル以上１０ナノメートル以下の低融点金属薄膜層と、
を含むことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記低融点金属薄膜層は、厚みが１ナノメートル以上５０ナノメートル以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の半導体装置において、
前記低融点金属薄膜層は、前記下地金属層の表面に点在する薄膜層であることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１に記載の半導体装置において、
前記低融点金属薄膜層は、融点が１１０度以上２４０度以下の低融点材料からなることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体装置において、
前記低融点金属薄膜層は、錫またはインジウムを主成分とすることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、特に該半導体装置の外部接続用電極に特徴を有する半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩチップ等の半導体装置においては、所定の機能を発揮するよう能動素子、受動素子等を内部配線で接続し、内部配線の途中から入出力端子等用に配線を引き出し、ＬＳＩチップ等の周辺に外部と接続できるように外部接続用電極が設けられる。そして、ワイヤボンディング技術を用いて、この外部接続用電極と、ＬＳＩチップ等が搭載されるパッケージあるいは回路基板の端子（ボンディングリード）との間が細い金属ワイヤで接続される。
【０００３】
ボンディング用ワイヤとしては、例えば金ワイヤが用いられる。ＬＳＩチップ等の内部配線材料はアルミが一般的であるので、外部接続用電極もその内部配線を引き出して用いることから、外部接続用電極におけるワイヤボンディングは、金−アルミ間で行われている。
【０００４】
外部接続用電極と金ワイヤの接合は、押し付け圧と加熱温度と加える超音波エネルギを適正条件にすることで、所定のワイヤボンディング強度、例えば剥離強度を得ることができる。加熱による熱エネルギは、接合に必要な超音波エネルギを少なくできる機能を持ち、例えば加熱が十分高温にできるときは、超音波エネルギを与えなくても接合することが可能となる。アルミ外部接続用電極と金ワイヤの接合のメカニズムは諸説あるが、例えば、加えられたエネルギにより、アルミの表面酸化膜が破られ、その下のアルミの新生面と金とが一種の共晶により接合する、と考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のワイヤボンディングは、アルミの外部接続用電極に金ワイヤをボンディングすることが一般的であった。ところで、近年、ＬＳＩの超微細化の進展に伴い、半導体チップ内の配線抵抗を低下できる銅配線技術が注目されている。ちなみに、銅の比導電率は、アルミの約６２％である。この場合、工程的にも材料的にも外部接続用電極は銅材料を使用するのが好ましい。
【０００６】
しかし、銅の外部接続用電極に金ワイヤを接合するには以下の問題がある。すなわち、銅の外部接続用電極の表面には、銅の酸化膜が形成されていて、この銅表面の酸化膜は、アルミの外部接続用電極の表面の酸化膜に比して、ボンディング性がきわめて悪い。例えば、金ワイヤを銅の外部接続用電極の表面に押し付け、超音波エネルギを相当強く加えても、金ワイヤに数条の破断が生ずるのみで、銅と金との間での接合は起こらない。また、銅表面を加熱すると表面の金属色が著しく変化するほど酸化が激しく起こる。したがって、加熱による熱エネルギを利用することが困難となる。
【０００７】
この問題は、銅の酸化の様子と、アルミの酸化の様子が異なることに起因する。すなわち、アルミの表面は周知のように酸化しやすいが、その酸化膜は緻密で、一定の膜厚まで成長するとそれ以上はほとんど酸化が進行しない。また、アルミの表面酸化膜は化学的にも安定で、さらにどの酸化膜もほぼ一定の物質的特性を有する。したがって、アルミの外部接続用電極の表面酸化膜を破るための押し付け圧、加熱温度、超音波エネルギ等のワイヤボンディング条件を再現性よく設定することが可能なのである。
【０００８】
これに対し、銅の酸化は銅の内部にむけてどんどん進行し続ける。また、銅の酸化膜は、その酸化の程度により膜厚も物質的性質もばらつきが大きい。したがって、銅の外部接続用電極の表面には、アルミの外部接続用電極の表面酸化膜と比較にならないほどの、分厚く、物質的性質等のばらつきの大きい銅酸化膜が存在する。そして、この銅外部接続用電極の表面酸化膜の存在が、ワイヤボンディングにとり、大きな妨げになっているのである。
【０００９】
このような銅の酸化を抑制するために、アメリカ合衆国特許ＵＳ６，３２９，７２２Ｂ１号においては、外部接続用電極において、内部配線材料である銅の上に１ないし２ミクロンの錫を分厚くコーティングし、金ワイヤを押し付け、錫の融点近傍の約２００度に加熱し、超音波エネルギを加えて、金ワイヤと外部接続用電極との接合を行うことを開示している。
【００１０】
しかし、錫の比抵抗は銅の約６．５倍と高い。したがって、外部接続用電極上に、銅の厚みと同程度の厚みの錫を積層することは、せっかくの銅パッドの低抵抗性能を大幅に減殺してしまう。
【００１１】
本発明はかかる従来技術の課題を解決し、銅を内部配線に用いる半導体装置において、銅の表面酸化膜によるボンディング性低下を抑え、良好な接合を可能とする外部接続用電極を有する半導体装置を提供することである。本発明の他の目的は、銅を内部配線に用いる半導体装置において、銅パッドと同等の電気特性の外部接続用電極を有する半導体装置を提供することである。本発明のさらに他の目的は、銅を内部配線に用いる半導体装置において、常温下のワイヤボンディングを可能とする外部接続用電極を有する半導体装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
１．本発明の基礎となる知見
本発明は、銅の表面に低融点の材料をごく薄く付着させることで、その外部接続用電極に金ワイヤを容易に接合できるとの知見を得たことに基づく。以下に、下地金属が銅で、その表面に低融点の材料をごく薄く付着させた外部接続用電極と、金ワイヤとの間の接合実験の内容を説明する。
【００１３】
最初に、内部配線材料が銅であるＬＳＩウエファを周知の銅配線技術で製作する。そして、パッシベーション層をエッチングして、外部接続用電極を開口させる。このとき、外部接続用電極には銅が露出する。そして、その表面に、一般的な成膜法であるＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学的気相成長法）あるいは　ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理的気相成長法）により、錫をごく薄く付着させた。付着した錫の様子を観察すると、所々薄い個所あるいは空孔部があり、いわば点在に近い状態で下地銅の表面に薄膜層が形成されている。その付着した部分の平均的な厚みは１〜１０ｎｍ（１０〜１００オングストローム）の厚みであった。
【００１４】
このようにして得た、下地金属が銅で、その表面に低融点の材料をごく薄く付着させた外部接続用電極を有するＬＳＩチップを、回路基板に搭載し、一般的な超音波方式のボンディング装置のボンディングテーブルに、その回路基板をセットした。ボンディング装置のキャピラリに直径が２０ミクロン（μｍ）の金ワイヤを挿通し、周知のようにキャピラリから突き出たワイヤの先端を放電により溶融して丸め、イニシャルボールを形成する。そして、イニシャルボールを保持したキャピラリを移動させ、さきほどの表面に錫がおよそ１〜１０ｎｍ付着している下地金属が銅の外部接続用電極に押し付け、超音波エネルギ供給手段により、このイニシャルボールと外部接続用電極とに超音波エネルギを与えた。なお、ＬＳＩチップを搭載した回路基板等に対し加熱は行わず、常温下での接合を試みた。
【００１５】
押し付け力は４００ｍＮ（およそ４０グラム重）で、この押し付け力によりイニシャルボールが変形した後の平面寸法である圧着径は、およそ５０ミクロン（μｍ）の直径であった。超音波エネルギの大きさは、通常のアルミの外部接続用電極への金ワイヤのワイヤボンディングに用いる大きさと同じとした。その結果、金ワイヤと外部接続用電極との間が接合され、その剥離強度は実用上十分であった。
【００１６】
このように、表面に錫が１〜１０ｎｍ付着している下地金属が銅の外部接続用電極に金ワイヤを押し付け、超音波エネルギを加えることで、下地金属が銅の外部接続用電極と金ワイヤとの間で、常温下で、十分な剥離強度（およそ２００ｍＮ、２０グラム重）を有する接合を得ることができた。
【００１７】
接合のメカニズムとしては、例えば、超音波エネルギによって低融点の錫が溶融し、溶融した錫に超音波が作用してキャビテーション現象、すなわち真空状態の泡を生じさせるモデルを考えることができる。すなわち、このモデルによれば、真空状態の泡が破裂するときに衝撃波が発生し、その衝撃波により、厚い銅の酸化膜が破壊され、その下の銅の新生面とイニシャルボールとの間で接合が行われることになる。なお、超音波エネルギにより、金属固体中に熱を生ずることはよく知られており、また、超音波エネルギにより、液体中にキャビテーションが発生することがあることも周知である。
【００１８】
このように、表面に錫が１〜１０ｎｍ付着している下地金属が銅の外部接続用電極を用いることで、厚い銅の酸化膜があっても、ＬＳＩチップを搭載した回路基板を加熱することなく、金ワイヤと下地金属が銅の外部接続用電極とを接合することができることがわかった。
【００１９】
２．課題解決手段
本発明に係る半導体装置は、外部接続用電極を備える半導体装置であって、前記外部接続用電極は、銅を主成分とする下地金属層と、前記下地金属層の表面に配設され、厚みが１ナノメートル以上１０ナノメートル以下の低融点金属薄膜層と、を含むことを特徴とする。
【００２０】
この構造の外部接続用電極を備えることにより、本発明に係る半導体装置は、基礎となる知見の項で説明したように、低融点金属薄膜層は、ワイヤボンディング時の超音波エネルギにより溶融し、銅の表面酸化膜によるボンディング性低下を抑えて良好なワイヤボンディングが可能となる。また、低融点金属薄膜層はごく薄いので、これを付着した外部接続用電極は、銅パッドと同等の電気特性を備えることができる。
【００２１】
また、好ましくは、前記低融点金属薄膜層は、厚みが１ナノメートル以上５０ナノメートル以下がよい。また、前記低融点金属薄膜層は、前記下地金属層の表面に点在する薄膜層であることを特徴とする。
【００２２】
また、前記低融点金属薄膜層は、融点が１１０度以上２４０度以下の低融点材料からなることが好ましい。また、前記低融点金属薄膜層は、錫またはインジウムを主成分とすることが好ましい。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明に係る実施の形態につき、詳細に説明する。図１は、ＬＳＩチップ１０が回路基板１２に搭載され、ＬＳＩチップ１０の外部接続用電極１４と、回路基板１２のボンディングリード１６との間が金ワイヤ１８で接続される様子を示す図である。ＬＳＩチップ１０が、半導体装置に対応する。
【００２４】
ＬＳＩチップ１０の１つの外部接続用電極１４の周辺を拡大した様子を図２に平面図、図３に断面模式図で示す。これらの図を用いて、銅の内部配線を行うＬＳＩチップにおいて、下地銅の表面にごく薄の低融点金属薄膜層を付着させる工程を説明する。
【００２５】
ＬＳＩチップ１０は、半導体ウエファの状態で、能動素子等が形成された後、周知の銅配線技術を用いて、銅を主成分とした材料で内部配線１９が行われる。内部配線１９は途中から引き出され、ＬＳＩチップ１０の周辺部においておよそ１００ミクロン角の大きさに配置される。この後周知のように、表面保護膜（パシベーション膜）２４が形成され、このおよそ１００ミクロン角の銅配線エリアの上にも表面保護膜２４が積層される。適当なエッチング技術を用いて、このおよそ１００ミクロン角の銅配線エリア内に、やや小さ目の面積で表面保護膜が除去されて開口部が設けられる。この開口部がワイヤボンディングにおいて金ワイヤを接合するための外部接続用電極１４の領域に対応する。
【００２６】
この状態の半導体ウエファの上面を、例えば外部接続用電極１４の領域の部分を開口したメタルマスクで覆い、次に上面全体に厚みがおよそ１ｎｍから１０ｎｍの錫のごく薄の薄膜層を形成する。薄膜層の形成は、ＣＶＤ法により錫化合物の反応を用いて行うこともでき、ＰＶＤ法によりスパッタ、蒸着、イオンプテーティング等を用いて行うこともできる。成膜時に、半導体ウエファは加熱しないほうが望ましい。
【００２７】
その後メタルマスクを除去すれば、外部接続用電極１４の領域において下地銅層の表面に、厚みがおよそ１ｎｍから１０ｎｍの錫のごく薄の薄膜層２６を付着させた外部接続用電極を得ることができる。
【００２８】
つぎに、所定のダイシングラインに沿ってダイシングを行うことにより、下地銅層２０の表面に錫のごく薄の薄膜層２６を配設した外部接続用電極１４を有するＬＳＩチップ１０を得ることができる。
【００２９】
図４は、このようにして得られた下地銅層２０の表面に錫のごく薄の薄膜層２６を付着させた外部接続用電極１４を有するＬＳＩチップ１０に、金ワイヤ１８を押し付け、接合する様子を示す図である。キャピラリを介し、錫のごく薄の薄膜層２６が付着した下地銅層２０の外部接続用電極１４と、金ワイヤ１８とに超音波エネルギを供給することで、基礎となる知見の項で説明した接合メカニズムにより、良好な接合を得ることができる。
【００３０】
下地銅層の表面に配設する薄膜層の材料は、融点が約２３０度の錫を主成分とする低融点材料を用いることができる。他に、融点が約１５０度のインジウムを主成分とする低融点材料を用いることができる。
【００３１】
下地銅層の表面に配設する薄膜層の厚みは、ワイヤボンディングに用いる超音波エネルギの大きさに応じて設定することができる。たとえば１ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲で設定することもできる。
【００３２】
下地銅層の表面に配設する薄膜層の下地銅層の表面への付着状態は、膜厚により変化する。膜厚が１ｎｍ程度の薄さのときは、所々薄い個所あるいは空孔部が増え、いわば点在に近い状態に近くなる。逆に膜厚を厚くし５０ｎｍ程度に近くなると、薄い個所あるいは空孔部が減り、いわば連続あるいは均一の状態に近くなる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明に係る銅を内部配線に用いる半導体装置によれば、銅の表面酸化膜によるボンディング性低下を抑え、良好な接合が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＬＳＩチップと回路基板との間のワイヤボンディングを説明する平面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態のＬＳＩチップにおいて、外部接続用電極の周辺を拡大した平面図である。
【図３】本発明に係る実施の形態のＬＳＩチップにおいて、外部接続用電極の周辺を拡大した断面模式図である。
【図４】本発明に係る実施の形態のＬＳＩチップにおいて、外部接続用電極に、金ワイヤを押し付け、接合する様子を示す図である。
【符号の説明】
１０　ＬＳＩチップ（半導体装置）
１２　回路基板
１４　外部接続用電極
１６　ボンディングリード、
１８　金ワイヤ
１９　内部配線
２０　下地銅層
２４　表面保護膜
２６　錫の薄膜層（低融点金属薄膜層）
【図１】
2004055783.tif 000003
【図２】
2004055783.tif 000004
【図３】
2004055783.tif 000005
【図４】
2004055783.tif 000006