(57)【要約】【課題】スプレー圧の低い安価な現像機で現像でき、かつ耐熱性、耐剤溶剤性に優れたカラーフィルター用感光性樹脂組成物とその形成方法を提供する。【解決手段】（Ａ）１分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有し、かつカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が２，０００〜１００，０００のカルボキシル基含有感光性樹脂、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）顔料、及び（Ｅ）有機溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、及びそれを用いたカラーフィルターの形成方法。【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）１分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有し、かつカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が２，０００〜１００，０００のカルボキシル基含有感光性樹脂、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）顔料、及び（Ｅ）有機溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１記載の感光性樹脂組成物を、ガラス基板に塗布・乾燥し、次いでパターン形成されたフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部をアルカリ水溶液により現像してパターンを形成し、その後少なくとも２００℃に加熱して熱硬化させる工程を含むことを特徴とするカラーフィルターの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶やＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）等のフラットパネルディスプレィに使用されるカラーフィルター又はブラックマトリックスに用いられる感光性樹脂組成物とそれを用いたカラーフィルターの形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶やＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）等のフラットパネルディスプレィに使用されるカラーフィルター及びブラックマトリックスは、高解像性、耐熱性、耐溶剤性が要求されている。
カラーフィルター用感光性樹脂組成物としては、特公平８−７２８２号に、非感光性のカルボキシル基含有樹脂、光重合性モノマー、顔料、光重合開始剤、希釈剤、及びエポキシ樹脂を組み合わせた組成のカラーフィルターが開示されている。
このようなカラーフィルター用感光性樹脂組成物には、感光性の無いカルボキシル基含有樹脂が使用されており、現像液に不溶の光重合性モノマーと顔料の含有量が多いため、アルカリ水溶液による現像時には画像が現れず、高圧のリンスにより画像を得ている。このような高圧のリンスができる現像機は、高価であり、高コスト化の原因となるという問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記のような問題に鑑みなされたものであり、その目的は、安価な低圧の現像機で現像できる現像性を有し、さらに、解像性、耐溶剤性に優れたカラーフィルター又はブラックマトリックスに用いられる感光性樹脂組成物とそれを用いたカラーフィルターの形成方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明によれば、（Ａ）１分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有し、かつカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が２，０００〜１００，０００のカルボキシル基含有感光性樹脂、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）顔料、及び（Ｅ）有機溶剤を含有することを特徴としたカラーフィルター又はブラックマトリックスに用いられる感光性樹脂組成物が提供される。
さらに、本発明の他の側面によれば、上記感光性樹脂組成物を、ガラス基板表面に塗布・乾燥し、選択的に活性エネルギー線により露光し、加熱後、未露光部をアルカリ水溶液により現像し、少なくとも２００℃に加熱して熱硬化することを特徴とするカラーフィルター及びブラックマトリックスの形成方法が提供される。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明者は、前記の課題を解決するため鋭意検討を重ねた結果、（Ａ）１分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有し、かつカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が２，０００〜１００，０００のカルボキシル基含有感光性樹脂、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）顔料、および（Ｅ）有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物が、より低いスプレー圧で現像でき、解像性に優れ、さらに十分な耐溶剤性があることを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。
【０００６】
即ち、本発明の組成物中の１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｂ）は、低分子量であるがために自由度が高く、又分子中のカルボキシル基の数も少ないため、アルカリ現像時、すばやくアルカリ水溶液で中和される。このようにすばやく中和された化合物は、界面活性剤として働き、高分子量である感光性樹脂（Ａ）のアルカリ水溶液への溶解速度を促進し、低いスプレー圧の現像機でも、現像が可能となる。
【０００７】
以下、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明する。
まず、本発明において用いる１分子中に感光性の不飽和二重結合を２個以上有し、かつカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が２，０００〜１００，０００のカルボキシル基含有感光性樹脂（Ａ）としては、具体的にはそれ自体が感光性の不飽和二重結合を有する公知慣用のカルボン酸含有の感光性樹脂が使用できる。
好適に使用できる樹脂（オリゴマー及びポリマーのいずれでも良い。）としては、以下のようなものが挙げられる。
（Ａ−１）不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、カルボキシル基との反応性を有する基と不飽和二重結合を有する化合物を、上記共重合体のカルボキシル基に部分的に付加させることによって得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
（Ａ−２）エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した第二級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
（Ａ−３）不飽和二重結合を有する酸無水物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
（Ａ−４）１分子中に２個以上のエポキシ基を有する化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した第二級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
（Ａ−５）水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、部分的にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物を、反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂などが挙げられる。
【０００８】
前記（Ａ−１）のカルボキシル基含有感光性樹脂は、不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物との共重合体のカルボキシル基の一部に、十分な光硬化性を得られる割合で、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基等の感光性の不飽和二重結合と、エポキシ基、酸クロライド基などのカルボキシル基との反応性を有する基を併せ持つ化合物、例えばグリシジル（メタ）アクリレートを反応させ、該化合物に感光性の不飽和二重結合を側鎖に導入した樹脂である。
このように、前記共重合体のカルボキシル基の一部に上記化合物を反応させることにより、一部のカルボキシル基が未反応のまま残存し、得られる樹脂は、アルカリ水溶液に対して可溶性となる。このため、上記樹脂を含有する組成物から形成した皮膜は、選択的露光後にアルカリ水溶液により安定した現像が可能となる。
なお、本明細書中で（メタ）アクリレートとは、アクリレートとメタアクリレートを総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
【０００９】
前記（Ａ−２）のカルボキシル基含有感光性樹脂は、分子中にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物、例えばグリシジル（メタ）アクリレート、α−メチルグリシジル（メタ）アクリレート等と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体のエポキシ基に、十分な光硬化性を得られる割合で不飽和カルボン酸のカルボキシル基を反応させ、該不飽和カルボン酸の不飽和二重結合を側鎖に導入し、さらに、上記付加反応で生成した第二級の水酸基に、多塩基酸無水物、例えば無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等を付加反応させ、側鎖にカルボキシル基を導入した樹脂である。
【００１０】
前記（Ａ−３）のカルボキシル基含有感光性樹脂は、不飽和二重結合を有する酸無水物、例えば無水マレイン酸、無水イタコン酸等と不飽和二重結合を有する化合物との共重合体の酸無水物基に、十分な光硬化性を得られる割合で水酸基と不飽和二重結合を有する化合物、例えばヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類、前記ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類にカプロラクトンを反応させたモノマー、前記ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類にポリカプロラクトンオリゴマーを反応させたマクロモノマー等の水酸基を反応させてハーフエステルとし、不飽和二重結合を側鎖に導入した樹脂である。
【００１１】
前記（Ａ−４）のカルボキシル基含有感光性樹脂は、１分子中に２個以上のエポキシ基を有する化合物、例えばビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ビフェノール型、ビキシレノール型、Ｎ−グリシジル型等の公知慣用エポキシ樹脂のエポキシ基に、十分な光硬化性を得られる割合で（メタ）アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基を反応させ、エポキシ樹脂骨格の不飽和基含有感光性樹脂を生成し、さらに上記付加反応で生成した第二級の水酸基に多塩基酸無水物を付加させ、側鎖にカルボキシル基を導入した樹脂である。
【００１２】
前記（Ａ−５）のカルボキシル基含有感光性樹脂は、水酸基含有ポリマー、例えばオレフィン系水酸基含有ポリマー、アクリル系ポリオール、ゴム系ポリオール、ポリビニルアセタール、スチレンアリルアルコール系樹脂セルロース類等に、多塩基酸無水物を反応させてカルボキシル基を生成させ、さらにそのカルボキシル基の一部に、十分な光硬化性を得られる割合で前記エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物のエポキシ基を反応させ、不飽和二重結合を側鎖に導入した樹脂である。
【００１３】
上記したようなカルボキシル基含有感光性樹脂（Ａ）は、単独又は２種類以上を混合して用いてもよいが、いずれの場合でもこれらの合計量は、組成物全量の１０〜８０質量％の割合で配合することが好ましい。これらの樹脂の配合量が上記範囲よりも少ない場合、形成する皮膜中の上記樹脂の分布が不均一になり易く、十分な光硬化性が得られ難く、選択的露光、現像によるパターン形成が困難となる。一方、上記範囲よりも多い場合、現像時間の増加や密着性不良を生じ易くなるので好ましくない。
【００１４】
また、上記カルボキシル基含有感光性樹脂（Ａ）としては、重量平均分子量が２，０００〜１００，０００、好ましくは５，０００〜２０，０００であり、酸価が２５〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇで、かつ、二重結合当量が２００〜２，０００ｇ／当量、好ましくは４００〜１，５００ｇ／当量であるものが用いられる。上記樹脂の重量平均分子量が２，０００未満の場合、指触乾燥性及び現像時の皮膜の密着性が低下するので好ましくない。一方、１００，０００を超えた場合、現像不良を生じ易いので好ましくない。また、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満の場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が不充分で現像不良を生じるので好ましくない。一方、２５０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えた場合、現像時アンダーカット（光硬化反応が進み難いレジスト下部が現像される現象）が生じやすく、又、耐現像性が低下するので好ましくない。さらに、感光性樹脂の二重結合当量が２００ｇ／当量未満の場合、硬化膜塗膜が脆くなり好ましくない。一方、２，０００ｇ／当量を超えた場合、感度が低く光硬化時に高露光量を必要とするので好ましくない。
【００１５】
前記１分子中にカルボキシル基を１個以上有する重量平均分子量が３００〜１，５００の感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｂ）としては、１分子中に１個以上のアルコール性水酸基を有する（メタ）アクリレート化合物に、多塩基酸無水物を反応せしめて得られる化合物を好適に用いることができる。
前記（メタ）アクリレート化合物の分子量が３００未満の場合、沸点が低く、仮乾燥時に揮発して感度低下を起こし、また臭気も強くなるため好ましくない。一方、分子量が１，５００を超えた場合、分子の自由度が低下し、アルカリ水溶液で中和しても界面活性剤としての効果が少なくなり、感光性樹脂（Ａ）の溶解速度を促進する効果が少なくなるため好ましくない。
【００１６】
前記１分子中に１個以上のアルコール性水酸基を有する（メタ）アクリレート化合物としては、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレートなどの公知慣用の（メタ）アクリレート化合物や、ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレートなどのモノエポキシ化合物の（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、及びこれらの水素添加エポキシ化合物の（メタ）アクリル酸エステルなどが挙げられるが、これらの中で、（メタ）アクリロイル基が２個以上ある化合物が高感度化にはより好ましい。これらの化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００１７】
上記アルコール性水酸基を有する（メタ）アクリレート化合物に付加する多塩基酸無水物としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、ドデセニル無水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、無水クロレンド酸などが挙げられるが、アルカリ水溶液への溶解性の面から、脂肪族又は脂環式の酸無水物が好ましい。これらの多塩基酸無水物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００１８】
上記感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｂ）の市販品としては、共栄社化学製のライトアクリレート　ＨＯＡ−ＭＳ、ＨＯＡ−ＭＰＬ、ライトエステル　ＨＯ−ＭＳ、ＨＯ−ＨＨ、新日本理化製のリカレジン　Ｙ−１００、新中村化学製のＮＫエステル　ＣＢ−１、ＣＢ−３、ＣＢ−２３、ＡＣＢ−３、大阪有機化学社製のビスコート　Ｖ−２０００、Ｖ−２０５０、Ｖ−２０８０、Ｖ−２１００、Ｖ−２１５０、Ｖ−２１８０、Ｖ−２４５０、Ｖ−２４８０、Ｖ−２５００などが挙げられる。
【００１９】
前記光重合開始剤（Ｃ）としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類；２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、Ｎ，Ｎ−　ジメチルアミノアセトフェノン等のアミノアセトフェノン類；２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン等のアントラキノン類；２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類；アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類；ベンゾフェノン、４，４´−　ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類又はキサントン類；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドや、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等のハロメチルオキサジアゾール系化合物；２，４―ビス（トリクロロメチル）―６―（ｐ―メトキシ−フェニルビニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メトキシスチリル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［１−（ｐ−ジメチルアミノ）フェニル−１，３−ブタジエニル］−ｓ−トリアジン等のトリハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物が挙げられる。
これら公知慣用の光重合開始剤は、単独で又は２種類以上の混合物として使用でき、さらにはＮ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の第三級アミン類などの光開始助剤を加えることができる。また可視光領域に吸収のあるＣＧＩ―７８４等（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）のチタノセン化合物等も、光反応を促進するために添加することができる。特にこれらに限られるものではなく、紫外光もしくは可視光領域で光を吸収し、感光性の不飽和二重結合をラジカル重合させるものであれば、光重合開始剤、光開始助剤に限らず、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００２０】
前記顔料（Ｄ）は、カラーフィルターとして特定の光を透過又は遮光するためのものであり、耐熱性及び光透過性の面から有機顔料が一般的に用いられる。
例えば、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料を、単独または、それらの少なくとも一種とジスアゾ系黄色顔料またはイソインドリン系黄色顔料との混合物が用いられる。緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を、単独又は、ジスアゾ系黄色顔料またはイソインドリン系黄色顔料との混合物が用いられる。青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を、単独又は、ジオキサジン系紫色顔料との混合物が用いられる。
また、ブラックマトリックス用の顔料としては、無機顔料であるカーボン、チタンカーボン、酸化鉄単独又は、これらの混合物が用いられる。
【００２１】
前記有機溶剤（Ｅ）は、前記感光性樹脂（Ａ）、感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｂ）及び光重合開始剤（Ｃ）を溶解させ、さらに組成物を塗布方法に適した粘度に調整するために用いられる。具体的な例としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類；酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類；エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類；オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素；石油エチル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で又は２種類以上の混合物として使用することができる。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて公知慣用の種々の添加剤を使用することができる。例えば、消泡剤、密着性付与剤、レベリング剤、顔料分散剤等の各種添加剤類を配合することができる。
さらに、耐熱性や耐溶剤性を向上させるために、必要に応じてエポキシ樹脂やオキセタン樹脂を添加することもできる。
【００２３】
以上の成分を配合して得られた本発明の組成物は、撹拌機、又は分散機、例えばロールミル、サンドミル、ボールミルあるいはアトライターのような分散機を使用して均一になるまで、混合・分散して調整する。また、顔料分散性を上げるために、感光性樹脂（Ａ）等に顔料を混合・分散した顔料ベースを調整してから、他の成分を混合・分散する方法も用いられる。
【００２４】
このように調整された本発明の組成物は、本発明の第二の態様である形成方法により、耐熱性、耐溶剤性に優れたカラーフィルターを形成することができる。
即ち、上記感光性樹脂組成物を、塗布方法に適した粘度に前記有機溶剤（Ｅ）で調整した後、例えばスリットコート法、バーコート法及びスピンコート法等の塗布方法により、ガラス基板に塗布し、６０〜９０℃で１〜３０分乾燥させ、タックフリーな塗膜を得る。次いで、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、必要ならば１００〜１５０℃で３０秒〜５分間加熱（露光後の加熱工程を、Ｐｏｓｔ　Ｅｘｐｏｕｓｕｒｅ　Ｂａｋｅと言い、ＰＥＢと略す。）し、アルカリ水溶液で現像し、２００〜２５０℃で熱硬化して、カラーフィルターを得ることができる。
【００２５】
前記アルカリ水溶液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、テトラメチルハイドロオキサイド、有機アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。
また、光硬化させるための照射光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプなどが用いられる。その他、レーザー光線なども活性エネルギー線として利用できる。
【００２６】
以下、本発明の実施例等により具体的に説明するが本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下において特に断りのない限り、「部」は質量部を意味するものとする。
【００２７】
【合成例１】
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔大日本インキ化学工業（株）社製、エポキシ当量＝２１２、軟化点８５℃〕２１２部、アクリル酸７２部（１．０モル）、メチルハイドロキノン０．２８部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１７４．２部を仕込み、９５℃に加熱し、上記混合物が均一に溶解したことを確認後、トリフェニルホスフィン１．１４部を仕込み、１００℃に加熱し、約２４時間反応させ、酸価が０．５ｍｇＫＯＨ／ｇの反応物を得た。これに、テトラヒドロ無水フタル酸３９．５部（０．２６モル）を仕込み、９０℃に加熱し約６時間反応させ、赤外吸光分析器にて１７７０ｃｍ−１の酸無水物の吸収がなくなったことを確認し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１４９．３部を加え、固形分酸価４５．１ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分濃度５０質量％の感光性樹脂を得た。この反応溶液をＡワニスと称す。
【００２８】
【合成例２】
合成例１に使用したアクリル酸を、プロピオン酸７４部（１．０モル）に変更して同様に合成し、固形分酸価４４．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分濃度５０質量％の樹脂を得た。この反応溶液をＢワニスと称す。
【００２９】
次の表１に示す配合成分を、サンドミルで８時間分散し、５μｍのフィルターで濾過し、カラーフィルター用感光性樹脂組成物を得た。
【００３０】
【表１】
2004133090.tif 000002
【００３１】
カラーフィルター用感光性樹脂組成物の実施例１と比較例１，２の評価結果を、次の表２に示す。
【００３２】
【表２】
2004133090.tif 000003
【００３３】
上記表２中の性能試験の評価方法は、以下の通りである。
【００３４】
（１）指触乾燥性
上記組成物を、スピンコーターで乾燥塗膜が１μｍになるようにガラス基板（コーニング社製１７３７　０．７ｍｍ厚）に塗布し、７０℃のホットプレート上で１分間乾燥し、冷却後ＰＥＴフィルムを押し当て、指触乾燥性を評価する。
○　；全く、べた付きの無いもの。
△　；ほんの僅かに、べた付きのあるもの。
×　；べた付きのあるもの。
【００３５】
（２）現像性
上記組成物を、スピンコーターで乾燥塗膜が１μｍになるようにガラス基板（コーニング社製１７３７　０．７ｍｍ厚）に塗布し、７０℃のホットプレート上で１分間乾燥した。冷却後、コダックＮｏ２ステップタブレットを使用し、超高圧水銀灯で裏面から４００ｍＪ／ｃｍ２露光した。次いで、１４０℃のホットプレート上で３０秒間ＰＥＢを行い、３０℃の１．０質量％テトラメチルハイドロオキサイド水溶液で、スプレー圧０．２ＭＰａで１分間現像し、３０℃の水道水で、スプレー圧０．２ＭＰａで１分間リンスし、画像が得られるかどうかで評価する。
【００３６】
（３）耐アセトン性
上記組成物を、ガラス基板（コーニング社製１７３７　０．７ｍｍ厚）にスピンコーターで乾燥塗膜が１μｍになるように塗布し、７０℃のホットプレート上で１分間乾燥した。冷却後、裏面から全面露光を行い、１４０℃のホットプレート上で３０秒間ＰＥＢを行い、ホットプレートにて２２０℃１０分間熱硬化させる。次いで上記硬化塗膜を、アセトンに浸漬したウエスで擦り、表面状態を評価する。
○；全く、変化無し。
×；表面が溶解、又は軟化してキズが付く。
【００３７】
次の表３に示す配合成分を、サンドミルで８時間分散し、５μｍのフィルターで濾過し、ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物を得た。
【００３８】
【表３】
2004133090.tif 000004
【００３９】
ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物の実施例２と比較例３，４を、前記カラーフィルターと同様に評価し、その結果を、次の表４に示す。
【００４０】
【表４】
2004133090.tif 000005
【００４１】
【発明の効果】
以上のように、本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルター及びブラックマトリックスに必要な高解像性、耐熱性、耐溶剤性を有し、かつスプレー圧の低い安価な現像機で現像が可能であり、さらに、指触乾燥性等の作業性に優れていることから、カラーフィルターの低コスト化が可能となる。