(57)【要約】【課題】取り付けスペースを必要とせずに、限られた空間にも容易に取り付けが可能であるコイル装置を提供する。【解決手段】基板１９上に接着剤層１８を形成する。接着剤層１８上に第１の絶縁膜１６を形成する。第１の絶縁膜１６上に、第１の複数本の線状の導電体１４ｂを、互いに分離して平行に形成し、その上に絶縁層１３を形成し、その絶縁層１３の上に、矩形形状の可撓性シート状磁性体１１を積層する。可撓性シート状磁性体１１上に、絶縁層１２を介して、第２の複数本の線状の導電体１４ａを、互いに分離して平行に形成する。第１および第２の複数本の線状の導電体１４ｂおよび１４ａは、スルーホールを介してそれぞれの端部において電気的に接続して、シート状磁性体１１を巻き芯とするコイル１４を形成する。第２の複数本の線状の導電体の上に第２の絶縁膜１５を形成する。【選択図】　　　　図１
2004055973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形形状の可撓性シート状磁性体と、
前記シート状磁性体の一面上に、前記シート状磁性体の対向する一方の辺から他方の辺に渡って、互いに分離された状態で被着形成されている第１の複数本の線状の導電体と、
前記シート状磁性体の前記一面とは反対側の面上に、前記シート状磁性体の対向する前記一方の辺から前記他方の辺に渡って、互いに分離された状態で形成され、かつ、前記第１の複数本の線状の導電体のそれぞれと、前記一方の辺および前記他方の辺の近傍において電気的に接続されて、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するようにする第２の複数本の線状の導電体と、
前記第１の複数本の線状の導電体を覆うように前記前記シート状磁性体の一面側に設けられた第１の絶縁膜と、
前記第２の複数本の線状の導電体を覆うように前記前記シート状磁性体の前記一面とは反対側の面側に設けられた第２の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜または第２の絶縁膜のいずれか一方を覆うように、接着剤層を介して設けられ、剥離可能とされている基板と、
を備えるコイル装置。
【請求項２】
前記シート状磁性体の一面上および前記一面とは反対側の面上には、第３および第４の絶縁膜が形成され、
前記第１および第２の複数本の線状の導電体は、前記第３および第４の絶縁膜上に形成される
ことを特徴とするコイル装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のコイル装置において、
前記第１の絶縁膜と第２の絶縁膜のうちの、前記基板が設けられた方とは反対側の絶縁膜を覆うように、磁気シールド性を有する膜が形成される
ことを特徴とするコイル装置。
【請求項４】
請求項１に記載のコイル装置において、
前記第１の複数本の線状の導電体のそれぞれと、前記第２の複数本の線状の導電体のそれぞれとは、前記一方の辺および前記他方の辺の近傍において、スルーホールを介して電気的に接続されている
ことを特徴とするコイル装置。
【請求項５】
請求項１に記載のコイル装置において、
前記シート状磁性体は、高透磁率の材料からなる
ことを特徴とするコイル装置。
【請求項６】
基板上に接着剤層を形成する工程と、
前記接着剤層上に第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上に、第１の複数本の線状の導電体を、互いに分離して平行に形成する第１の導電体形成工程と、
前記第１の複数本の線状の導電体が、矩形形状の可撓性シート状磁性体の一面側に配置されるように、前記可撓性シート状磁性体を積層する工程と、
前記可撓性シート状磁性体の前記一面側とは反対側に、第２の複数本の線状の導電体を、前記第１の複数本の線状の導電体と共に前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するような配置状態において、互いに分離して平行に形成する第２の導電体形成工程と、
前記第１の複数本の線状の導電体と、前記第２の複数本の線状の導電体とを、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するように、前記線状の導電体のそれぞれの端部において電気的に接続する工程と、
前記第２の複数本の線状の導電体の上に第２の絶縁膜を形成する工程と、
を備えるコイル装置の製造方法。
【請求項７】
基板上に接着性の第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記接着性の第１の絶縁膜上に、第１の複数本の線状の導電体を、互いに分離して平行に形成する第１の導電体形成工程と、
矩形形状の可撓性シート状磁性体の一面側に、前記第１の複数本の線状の導電体が配置されるように、前記可撓性シート状磁性体を積層する工程と、
前記可撓性シート状磁性体の前記一面側とは反対側に、第２の複数本の線状の導電体を、前記第１の複数本の線状の導電体と共に前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するような配置状態において、互いに分離して平行に形成する第２の導電体形成工程と、
前記第１の複数本の線状の導電体と、前記第２の複数本の線状の導電体とを、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するように、前記線状の導電体のそれぞれの端部において電気的に接続する工程と、
前記第２の複数本の線状の導電体の上に第２の絶縁膜を形成する工程と、
を備えるコイル装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載のコイル装置の製造方法において、
前記第１の導電体形成工程においては、前記第１の複数本の線状の導電体を形成すると共に、前記コイルの一端となる線状の導電体に接続される第１の導電体電極が形成され、
前記第２の導電体形成工程においては、前記第２の複数本の線状の導電体を形成すると共に、前記コイルの他端となる線状の導電体に接続される第２の導電体電極が形成される
ことを特徴とするコイル装置の製造方法。
【請求項９】
請求項６または請求項７に記載のコイル装置の製造方法において、
前記第２の絶縁膜の上に、磁気シールド性を有する膜を形成する工程を備える
ことを特徴とするコイル装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６または請求項７に記載のコイル装置の製造方法において、
前記第１の導電体形成工程および第２の導電体形成工程のそれぞれは、
導電層を絶縁膜上に形成する工程と、
形成した導電層を、リソグラフィにより形状を決め、エッチングにより線状に加工する工程と、
を備えることを特徴とするコイル装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項８に記載のコイル装置の製造方法において、
前記第１の導電体形成工程および第２の導電体形成工程のそれぞれは、
導電層を絶縁膜上に形成する工程と、
形成した導電層を、リソグラフィにより形状を決め、エッチングにより線状に加工すると共に、前記第１の導電体電極または第２の導電体電極を形成する工程と、
を備えることを特徴とするコイル装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項５または請求項６に記載のコイル装置の製造方法において、
前記第１の複数本の線状の導電体と、前記第２の複数本の線状の導電体とを、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するように、前記線状の導電体のそれぞれの端部において電気的に接続する工程は、
前記第２の複数本の線状の導電体を前記シート状磁性体の前記一面側とは反対側に形成する前に、前記シート状磁性体の前記一面側の前記第１の複数本の線状の導電体の端部までスルーホールを開ける工程と、
前記スルーホールに電気めっきにより結線導体を形成する工程と、
前記結線導体に端部が位置するように、前記第２の複数本の線状の導電体を形成する工程と、
からなることを特徴とするコイル装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、電灯線などの電線を流れる電流の値（交流の場合には実効値）に一意に対応する電流検出出力を得る場合などに適用して好適なコイル装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電線を流れる電流の値を検出する方法の一例として、図２４に示すように、当該電線を電流ｉが流れることにより、この電流ｉの流れる位置を中心とした同心円を描くように発生する磁束Ｂを検出する方法が知られている。これは、発生する磁束Ｂが電流値ｉに正確に比例するため、磁束Ｂを正確に検出することにより、電線を流れる電流ｉの値を正確に検出することができるからである。
【０００３】
この場合において、電線を流れる電流ｉの値を正確に検出するために、従来は、電流ｉが流れることにより発生する磁束Ｂのすべてを集めて、その磁束Ｂを検出する方法が通常用いられている。すなわち、漏れをなくすために閉磁路を形成するようにリング状にしたコアにコイルを巻回した、いわゆるトロイダルコイルを磁束センサとして用いる方法である。
【０００４】
図２５は、この従来の方法を説明するための図である。この図２５において、１は電線であり、通常は絶縁被覆２により覆われた被覆線３の構造とされている。そして、例えばフェライトなどの磁性材からなるリング状のコア４を巻芯として、そのリング状コア４の全周に渡ってコイル５を巻回したトロイダルコイル６の中空部内に被覆線３を挿通するようにして、トロイダルコイル６を、被覆線３に対して取り付ける。
【０００５】
すると、電線１を電流ｉが流れることにより発生する磁束Ｂは、図２６に示すように、トロイダルコイル６内にのみ存在し、トロイダルコイル６の外には存在しなくなる。このため、コイル５から得られる磁束に応じた誘導電流は、電線１を流れる電流ｉの値に正確に対応するものとなる。
【０００６】
したがって、コイル５から得られる電流ｉを、例えば利得一定のアンプ７で増幅したものから、電線１を流れる電流ｉに一意に対応する電流検出出力信号を得ることができる。この場合、電流ｉが交流の場合には、その検出電流値としては、通常、実効値（２乗平均平方根値）とされる。この電流検出出力信号により、例えば電流値を指し示すメータの指針を振らせるようにすれば、メータの指針は、正確な検出電流値を指示するものとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、トロイダルコイルは、リング状コアにコイルを巻回したものであるため、寸法が比較的大きく、そのため、このトロイダルコイルを用いた電流検出装置の場合には、比較的大きな取り付けスペースが必要となり、取り付け部位が限られてしまうという問題がある。
【０００８】
また、トロイダルコイルは、無端リング状の形状であるため、長い電線の途中において、その部位における電流を検出するために取り付けようとする場合には、当該取り付け部位において電線を切断してトロイダルコイルを装着した後、切断した電線を元のように接続する必要があり、取り付けに非常に手間がかかるという問題がある。
【０００９】
この発明は、以上の問題点にかんがみ、取り付けスペースを必要とせずに、限られた空間にも容易に取り付けが可能であると共に、取り付け作業も容易であるコイル装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明によるコイル装置は、
矩形形状の可撓性シート状磁性体と、
前記シート状磁性体の一面上に、前記シート状磁性体の対向する前記一方の辺から前記他方の辺に渡って、互いに分離された状態で被着形成されている第１の複数本の線状の導電体と、
前記シート状磁性体の前記一面とは反対側の面上に、前記シート状磁性体の対向する前記一方の辺から前記他方の辺に渡って、互いに分離された状態で形成され、かつ、前記第１の複数本の線状の導電体のそれぞれと、前記一方の辺および前記他方の辺の近傍において電気的に接続されて、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するようにする第２の複数本の線状の導電体と、
前記第１の複数本の線状の導電体を覆うように前記前記シート状磁性体の一面側に設けられた第１の絶縁膜と、
前記第２の複数本の線状の導電体を覆うように前記前記シート状磁性体の前記一面とは反対側の面側に設けられた第２の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜または第２の絶縁膜のいずれか一方を覆うように、接着剤層を介して設けられ、剥離可能とされている基板と、
を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、この発明によるコイル装置の製造方法は、
基板上に接着剤層を形成する工程と、
前記接着剤層上に第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上に、第１の複数本の線状の導電体を、互いに分離して平行に形成する工程と、
矩形形状の可撓性シート状磁性体の一面側に、前記第１の複数本の線状の導電体が配置されるように、前記可撓性シート状磁性体を積層する工程と、
前記可撓性シート状磁性体の前記一面側とは反対側に、第２の複数本の線状の導電体を、前記第１の複数本の線状の導電体と共に前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するような配置状態において、互いに分離して平行に形成する工程と、
前記第１の複数本の線状の導電体と、前記第２の複数本の線状の導電体とを、前記シート状磁性体を巻き芯とするコイルを形成するように、前記線状の導電体のそれぞれの端部において電気的に接続する工程と、
前記第２の複数本の線状の導電体の上に第２の絶縁膜を形成する工程と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
【作用】
上述の構成のコイル装置の発明においては、可撓性のシート状磁性体をコアとするようにして、シート状の薄型コイル装置が形成される。このコイル装置は、機械的な安定さを持つ基板上に形成されるが、使用に当たっては、この基板が接着剤層から剥離され、露呈された接着剤層により、任意の取り付け場所に接着固定されて取り付けられる。
【００１３】
基板が剥離されると、この発明によるコイル装置は、柔軟な曲げ性を呈する。このため、この発明によるコイル装置は、電線や被覆部分に、例えば巻き付けられるようにして、接着剤により固定されて装着可能である。
【００１４】
また、この発明によるコイル装置は、シート状磁性体の両面にコイルを構成する第１および第２の複数本の線状の導体を形成すると共に、第１および第２の複数本の線状の導体のそれぞれの側から、絶縁膜でサンドイッチした構造となっているので、機械的に弱いシート状磁性体を補強することができると共に、磁性体や導電体などの重要な部分が絶縁層などにより覆われるものとなるので、特性の安定した良特性のコイル装置が得られる。
【００１５】
また、上述のコイル装置の製造方法によれば、コイル装置製作後に剥離可能な厚い基板を用いてコイル装置を製造することができるので、柔軟な曲げ性を持つコイル装置を容易に製造することができる。また、上述のコイル装置の製造方法によれば、特性の揃った安価なコイル装置を量産することが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明によるコイル装置の実施形態を、図を参照しながら説明するが、まず、実施形態のコイル装置の構造およびその製法について説明する。
【００１７】
［実施形態のコイル装置の構造］
この実施形態のコイル装置は、基本的には、極薄い、所定の寸法の可撓性のシート状磁性体に、このシート状磁性体を巻き芯とするようにコイル導体が形成されたものである。この例では、シート状磁性体の磁性材としては、フェライトやアモルファス金属などを用いた透磁率が空気の透磁率（＝１）に対して十分に高く、鉄損が少ないものを用いる。
【００１８】
図１は、この例のコイル装置１０の構造の一例を示すものであり、また、図２は、その一部の拡大図を示すものである。図１（Ａ）は、このコイル装置１０の平面図であり、シート面（厚さ方向に直交する面）に直交する方向から見た図である。また、図１（Ｂ）は、このコイル装置１０の断面図を示すものである。また、図２（Ａ）は、コイル装置１０のコイル部分の説明のための図であり、図２（Ｂ）は、コイル装置１０のコイル部分における断面図である。
【００１９】
シート状磁性体１１の磁性材料としては、この例では、例えば日立金属株式会社製の商品名「ファインメット（登録商標）」が用いられる。これは、アモルファス金属からなるもので、透磁率が２００００と高く、厚さが２０μｍと薄く、軽量で可撓性があるシート状磁性体である。そして、この例では、このシート状磁性体１１は、矩形形状とされ、長さＬが、この例ではＬ＝２５（ミリメートル）とされ、幅Ｗは、Ｗ＝７（ミリメートル）とされている。
【００２０】
このシート磁性体１１を用いることにより、例えば磁束センサを構成するコイル装置として直線性の優れたものを実現できるが、このシート状磁性体１１は、非常にもろく、加工ひずみを受けやすい極めて薄い磁性薄膜である。そこで、この実施形態においては、シート状磁性体１１を、強度と耐熱性のある薄い樹脂などの薄膜で両側から挟み、シート状磁性体１１にひずみや損傷を与えることなく、全体を曲げられるように、伸縮性に富んだ構造とすることができるようにしている。
【００２１】
すなわち、このシート状磁性体１１のシート面の一面およびその反対側の面上には、絶縁層１２，１３が形成され、シート状磁性体１１がこれら絶縁層１２，１３により両側から挟まれるように構成されている。
【００２２】
そして、これら絶縁層１２，１３上の、シート状磁性体１１の長さ方向のほぼ中央部分の所定の範囲、例えば６〜１５ミリメートルの部分において、複数の線状の導電体からなるコイル１４が形成されている。コイル１４のターン数は、例えば１０〜１００ターンとされる。
【００２３】
このコイル１４は、絶縁層１２上に形成された複数の線状の導電体１４ａと、絶縁層１３上に形成された複数の線状の導電体１４ｂとが、図２（Ａ）に示すように、シート状磁性体１１の幅方向の両端においてスルーホール２０を通じて電気的に接続されて形成されているものである。
【００２４】
そして、コイル１４および絶縁層１２，１３上を覆うように絶縁層１５，１６が形成されている。さらに、絶縁層１５の上には、磁気シールド層１７が形成されて、シート面に直交する方向からの磁束を反射して、シート状磁性体１１には、シート面に平行な方向からのみ、つまり、シート状磁性体１１の厚さ部分にのみ、磁束が通るようにされている。
【００２５】
また、絶縁層１６の上には、接着性を持つ層（以下、接着層という）１８が形成され、さらに、この接着層１８の上に基板層１９が形成されている。なお、接着層１８が絶縁性材料で構成されている場合には、絶縁層１６は別個に設ける必要はなく、絶縁性の接着層１８のみを形成すればよい。
【００２６】
また、シート状磁性体１１が絶縁物からなるものであれば、絶縁層１３および絶縁層１２は、設けなくともよい。ただし、強度を得るためには、これらの絶縁層１３，１２を設けた方が良い。
【００２７】
基板層１９は、接着層１８をコイル装置１０側に残して、剥離可能とされている。後述するように、この例のコイル装置１０は、基板層１９が剥離されることにより露呈される接着層１８により、電線に接着されて装着することができるようにされている。
【００２８】
なお、図１に示すように、シート状磁性体１１の長手方向の一方の端部のシールド層１７が形成される側と、他方の端部の接着層１８が形成される側とでは、絶縁層１２や１３、１５，１６、また、シールド層１７、接着層１８は形成されない部分２３，２４とされている。したがって、これらの部分２３，２４は、シート状磁性体１１の表面が露呈するようにされている。この例では、これらの部分２３，２４は、それぞれ２．５ミリメートル程度とされている。
【００２９】
これらの部分２３，２４は、シート状磁性体１１をリング状にしたときに、閉磁路を形成することができるようにするためである。このようにするのは、コイル装置１０を、トロイダル状に閉リングを形成するように取り付けることができるようにするためと、コイル装置１０を校正する際には、閉磁路として校正した方が、校正が容易であるからである。この校正は、製造されたコイル装置１０のロット間のばらつきを考慮して行われるものである。なお、シート状磁性体１１は、透磁率が非常に高いので、部分２３と、部分２４との両方でシート状磁性体を露呈させる必要はなく、部分２３と、部分２４とのどちらか一方のみを設けるようにしてもよい。
【００３０】
なお、コイル装置１０の大きさは、図１に示したように、シート状磁性体１１よりも若干大きなものとされて、前記部分２３や２４を除き、シート状磁性体１１が完全に樹脂などの絶縁層により覆われている構成とされている。
【００３１】
そして、この例では、図１に示すように、コイル１４の一端および他端となる導電体１４ａの部分から、シート状磁性体１１部分を避けた位置に、電極２５，２６が形成されている。この電極２５，２６の部分は、この例では、絶縁層１５およびシールド層１７は除去されて露呈するようにされている。この電極２５，２６にリード線が接続される。リード線の接続方法としては、半田付けによる方法でも良いが、電極２５，２６に対応するような突型電極が形成され、その突型電極にリード線が接続されているクリップ型のコネクタを用いることもできる。すなわち、クリップ型のコネクタの電極２５，２６に対応する突型電極が、電極２５，２６に衝合するようにして、クリップ型コネクタにより、コイル装置１０を挟持するように取り付けることで、リード線の接続が可能である。
【００３２】
［コイル装置１０の製法］
次に、上述のような構造を有するこの例のコイル装置１０の製造方法について、図３および図４、図５を参照しながら説明する。なお、図４、図５は、コイル装置１０の１素子当たりを拡大した図であるが、この例のコイル装置１０の製造方法においては、図６に示すように、多数のコイル装置１０を同時に形成し、図６の縦、横の切断線２７に沿って切断することにより、個々のコイル装置１０を得るものである。
【００３３】
また、以下に説明する例においては、接着層１８として接着性絶縁物を用いることにより、絶縁層１６は省略されている。
【００３４】
図３（Ａ）および図４（Ａ）に示すように、最初に、やや厚く硬い基板１９を用意し、その上に接着性絶縁物からなる接着剤層１８を、例えばスプレイ付着して形成する。
【００３５】
次に、その絶縁性の接着剤層１８の上に、図４（Ｂ）に示すように、導電層２１を被着形成する。すなわち、銅薄膜を導電層２１として貼る。次に、この導電層２１について、リソグラフィによって形状を決め、化学エッチングによって、図３（Ｂ）および図４（Ｃ）に示すように、複数本の線状の導電体１４ｂを形成するように加工する。すなわち、複数本の線状の導電体１４ｂを、基板１９の一辺１９ａから、この一辺１９ａに対向する辺１９ｂにまで渡って、互いに分離した状態で平行に形成する。
【００３６】
次に、図４（Ｄ）に示すように、複数本の線状の導電体１４ｂの隙間に接着性絶縁物２７を充填させる。この接着性絶縁物２７の部分は、絶縁性接着剤層１８の一部となる。次に、図３（Ｃ）および図４（Ｅ）に示すように、この線状の導電体１４ｂおよび絶縁性接着剤層１８の上に絶縁層１３を積層し、その上にシート状磁性体１１の層を接着する。
【００３７】
そして、シート状磁性体１１について、リソグラフィによって位置と形状を決め、化学エッチングによって、図３（Ｄ）および図４（Ｅ）に示すように、幅Ｗ＝７ミリメートル、長さＬ＝２５ミリメートルの帯状に加工する。
【００３８】
次に、図４（Ｆ）に示すように、エッチングしたシート状磁性体１１の隙間に接着性絶縁物２８を充填する。次に、図３（Ｄ）および図５（Ａ）に示すように、シート状磁性体１１の層の上に、絶縁層１２を積層した後、線状の導電体１４ｂの、基板１９の一辺１９ａおよび１９ｂ近傍において、下層の線状の導電体１４ｂのそれぞれの表面まで貫通するスルーホール２０を設ける。
【００３９】
このスルーホール２０の形成に際しては、下側の複数個の導電体１４ｂのそれぞれの端部の位置に対応するように、スルーホール２０の位置決めを行うものである。そして、電気メッキにより、スルーホール２０内に結線導体を形成する。
【００４０】
次に、図３（Ｅ）に示すように、絶縁層１２の上に例えば銅薄膜からなる導電層２２を導電性接着剤で接着する。そして、リソグラフィによって、下側の複数個の線状の導電体１４ｂと共にコイル１４を形成させるように対応させるべく、位置と形状を決め、例えば化学エッチングによって、導電層２２を加工して、図３（Ｆ）および図５（Ｂ）に示すように、複数個の線状の導電体１４ａを形成する。この場合に、複数個の線状の導電体１４ａの端部は、スルーホール２０の金属メッキに接続される状態なるように、リソグラフィの形状が決められる。
【００４１】
このとき、図２（Ａ）に示すように、この例では、絶縁層１２の上には、電極２５および２６が形成されると共に、導電体１４ａの左端において、下側の導電体１４ｂとスルーホール２０を通じて接続される導電体１４ａＬから電極２５までのリード導体が形成され、また、導電体１４ａの右端の線状の導体１４ａＲの端部から電極２６までのリード導体が形成される。絶縁層１２上の銅薄膜についてのリソグラフィの形状は、複数個の線状の導電体１４ａのみでなく、電極２５，２６や前記リード導体をも含めた形状となるように決められるものである。
【００４２】
これにより、図５（Ｃ）に示すように、上側の導電体１４ａと、下側の導電体１４ｂとは、スルーホール２０の電気メッキにより形成された導体２９により、互いの端部において、電気的に接続されて、コイル１４が形成される。
【００４３】
次に、エッチングにより形成した複数本の線状の導電体１４ａの隙間に接着性絶縁物３０を充填する。次に、図５（Ｄ）および図３（Ｇ）に示すように、導電体１４ａおよび絶縁物３０の上に、薄い保護用の絶縁層１５を接着する。さらに、その絶縁層１５の上に、図３（Ｇ）および図５（Ｅ）に示すように、磁気シールド層１７を接着する。
【００４４】
そして、各コイル装置素子のコイル１４の端部から前述したようにして導出されている電極２５，２６を露呈するように、当該電極２５，２６近傍部分のシールド層１７および絶縁層１５を一部除去する。
【００４５】
以上にようにして形成されたシート状の中間品を、図６および図３（Ｇ）において、一点鎖線で示すような位置において基板１９と共に切断して、それぞれコイル１４を備えるコイル装置素子を分離する。その後、外部リード線を接着して、個々のコイル装置１０を完成させる。
【００４６】
なお、上述の実施形態では、電極２５および２６は、シート状磁性体１１の幅方向の、図２において上方側に導出するようにしたが、図２において下方側に導出するようにしても良い。また、電極２５，２６の一方を上方側に、他方を下方側に導出するようにしても良い。
【００４７】
さらに、電極２５，２６をシート状磁性体１１の幅方向に導出するのではなく、図７および図８に示すように、シート状磁性体１１の長手方向に導出することもできる。
【００４８】
この場合には、図７および図８に示すように、コイル装置１０の長手方向の長さは、電極２５，２６を形成する電極形成領域３１分だけ、前述の例のコイル装置１０よりも長くする。または、電極形成領域３１の分だけコイル装置１０より突出させるようにする。
【００４９】
そして、この例では、突出した部分の電極は、後述するように、露呈せずに形成するようにしているので、上述の例のように、電極２５，２６を露呈する必要が無く、製造工程が減少する。また、同時に電極が露出することが無いので、コイル装置素子の特性の耐久性、信頼性が向上する。
【００５０】
図７および図８の例では、下側の銅薄膜についてリソグラフィにより形状を決定してエッチングして複数個の導電体１４ｂを形成する際に、下側の導電体１４ｂのうちの一番左側の導電体１４ｂＬから、リード部３２を介して電極２５を形成するようにする。
【００５１】
また、上側の銅薄膜についてリソグラフィにより形状を決定してエッチングして複数個の導電体１４ａを形成する際に、上側の導電体１４ａのうちの一番右側の導電体１４ａＲの端部から、リード部３３を介して電極２６を形成するようにする。
【００５２】
図８（Ｂ）に示すように、この例の場合には、電極形成領域３１にはシート状磁性体１１に延長されるように、例えば常温硬化性ゴム質樹脂からなる磁性膜３４が塗布される。
【００５３】
そして、この例では、電極２５，２６に対するリード線３５，３６の接続は、針電極３７，３９を介して行なうようにする。この場合、針電極３７，３８は、絶縁物で構成される保持部３９，４０の内部で、図８に示すように、リード線３５，３６に接続されている。この場合に、針電極３７および針電極３８の長さは、下側の電極２５および上側の電極２６にそれぞれ接続されるような長さに選定されている。
【００５４】
そして、この針電極３７，３８を、電極２５，２６と電気的に接続するように、基板１９を剥離して露呈する接着層１８側からコイル装置１０に差し込む。差し込んだ状態では、保持部３９，４０が接着層１８に接着される状態になり、これにより針電極３７，３８が、それぞれ電極２５，２６に電気的に接続された状態で接着固定されるようになる。
【００５５】
この例の場合には、電極２５，２６を外部に露呈する工程が不要となるので、コイル装置の作成が容易になるものである。
【００５６】
なお、図７および図８では、電極２５および電極２６は、下側の導電体１４ｂおよび上側の導電体１４ａを形成する際に、それぞれ形成するようにしたが、前述の例と同様に、導電体１４ａまたは１４ｂの一方、例えば導電体１４ａの前述した左端導体１４ａＬおよび右側導電体１４ａＲからリード部３２，３３を介して、シート状磁性体１１の長手方向に、同時に形成するようにしても良いことは言うまでもない。その場合には、前述の針電極３７，３８の長さは、同じ長さでよい。
【００５７】
なお、以上の実施形態において、磁束センサのシート状磁性体１１の材料の例としては、アモルファス金属やフェライトなどに限らず、透磁率が高く、損失（鉄損）が少ないものであれば用いることができるものである。
【００５８】
以上説明したようなコイル装置によれば、以下のような効果を奏するものである。
【００５９】
集積回路に用いられているリソグラフィ技術を用いて、安価で特性の揃ったコイル装置を得るためには、位置合わせと取り扱いを容易にするために、必要な厚さと、機械的安定さを持つ基板が必要であるが、上述の実施形態では、コイル装置１０を製作後、基板１９を剥離可能な構成としたことにより、コイル装置１０の製造工程における要求を満足しながら、使用状態においては、基板１９が剥離されて、コイル装置１０に柔軟な曲げ性を持たせるようにすることができる。
【００６０】
また、非常にもろく、加工ひずみを受けやすい極めて薄い磁性薄膜であるシート状磁性体１１は、強度と耐熱性のある薄い樹脂などの絶縁薄膜で両側から挟み込まれ、シート状磁性体１１にひずみや損傷を与えることなく、コイル装置１０の全体が曲げられるようになる。
【００６１】
さらに、絶縁膜でサンドイッチした構造となっているので、機械的に弱いシート状磁性体を補強することができると共に、磁性体や導電体などの重要な部分が絶縁層などにより覆われるものとなるので、特性が良く、かつ、特性の揃ったコイル装置が得られるものである。
【００６２】
そして、このシート状のコイル装置１０は、従来のトロイダルコイルとは異なり、狭いところにある、小さな物体から発生する磁気をも、容易かつ正確に測定することができるようになる。
【００６３】
一般に、電流などから発生する磁気を測定するには、棒状の物体から発生する環状の磁気を、当該物体にできる限り接近して配置したコイル装置（センサ）で検出することが重要であるが、上述したこの実施形態のコイル装置１０は、容易に、磁気を測定しようとする物体に近接して装着することが可能である。
【００６４】
しかも、トロイダルコイルのような無端リングではなく、電線などにシート状コイル装置１０を巻き付けるように取り付けることができるという特徴を有するものである。
【００６５】
［実施形態のコイル装置１０を用いた電流検出方法の説明］
以下に説明する電流検出方法は、特定の径の電線または被覆部分に、上述のコイル装置１０を磁束センサとして取り付けて、電線を流れる電流値を検出する場合であり、交流電流のみならず、直流電流の場合も適用可能である。
【００６６】
この例においては、上述のようにして製造したコイル装置１０は、その基板層１９を剥離して接着層１８を露呈させて、その露呈した接着層１８によって図９に示すように、例えば、電線４１が絶縁被覆４２により覆われた被覆線４３の、絶縁被覆４２の部分に巻き付けるようにして取り付ける。なお、絶縁被覆が剥がされた電線４１の部分に巻き付けるようにして、コイル装置１０を取り付けるようにしても勿論よい。
【００６７】
この場合に、コイル装置１０は、被覆線４３に対して、シート状磁性体１１の長手方向、つまりコイル１４の巻き軸方向が、電線４１を流れる電流によって生じる磁束路に沿う方向となるように、コイル装置１０のシート状磁性体１１を、電線４１の被覆部分４２に巻き付けるようにして、取り付ける。なお、コイル装置１０は、被覆線４３に対して、接着層１８により接着されることにより、シート状磁性体１１のシート面が、検出対象の電流の流れる方向に平行になるようにされる。
【００６８】
そして、コイル装置１０のコイル１４から導出される外部リード線は、距離補正用増幅回路５１の入力端子に接続する。
【００６９】
この距離補正用増幅回路５１は、電線４１を流れる電流の位置（電線４１の断面の中心位置に相当）と、コイル装置１０との間の距離（電線４１の被覆４２を含めた径に相当）の２乗に反比例して、コイル装置１０で検出される磁束の強さが変わってしまうことを補正して、前記距離に関係なく、電線４１に流れる電流値に一意に対応した出力信号が得られるようにするためのものである。
【００７０】
距離補正用増幅回路５１の増幅利得（ゲイン）は、次のようにして決められる。
【００７１】
前述したように、トロイダルコイルのように、閉磁路を形成する場合には、電線４１を流れる電流の位置と、コイル装置１０との間の距離（以下、センサ距離という）に関係なく、電流により発生する磁束の全てはトロイダルコイル内に閉じ込められるので、距離補正用増幅回路５１のゲインは、センサ距離に関係なく一定でよい。つまり、センサ距離に応じた補正は不要である。
【００７２】
しかし、この実施形態におけるコイル装置１０は、閉磁路を常に形成するように、被覆線に対して取り付けられるわけではない。太い電線の場合には、電線の一部にしか、コイル装置１０のシート状磁性体１１は巻きつけられない。このため、センサ距離の２乗に応じた増幅利得で、コイル装置１０のコイル１４から得られる信号を増幅する必要がある。
【００７３】
この場合に、コイル装置１０のコイル１４から得られる信号出力（コイル出力電流）と、センサ距離との関係は、検出対象の電流ｉが流れる位置を中心Ｏｉとしてこの中心Ｏｉから、コイル装置１０のシート状磁性体１１の長手方向（磁束路に沿う方向）の長さ分を見たときの開き角θ（図１０参照）に応じて定まるものとなることを、この発明の発明者は確認した。
【００７４】
図１１は、コイル装置１０のコイル１４の出力電流と、センサ距離との関係を示す特性曲線である。この図１１に示されるように、センサ距離の２乗に反比例して、コイル１４の出力電流が減少する特性となるが、その減少の傾きが開き角θが大きいほど小さく、開き角θが小さいほど大きくなる。
【００７５】
すなわち、開き角θが大きく、３６０度に近いときには、トロイダルコイルと同様に、透磁率の高いシート状磁性体１１を備えるコイル装置１０のコイル１４内に殆どの磁束を通すようにすることができることから、図１１において曲線６１に示すように、センサ距離が大きくなっても、コイル１４の出力電流は減少が少ない。
【００７６】
これに対して、開き角θが小さくなってゆくと、コイル装置１０のコイル１４内を通る磁束が少なくなってゆくため、図１１において、曲線６２，６３，６４に示すように、開き角θが小さいほど、コイル１４の出力電流の減少カーブが急な傾斜となる特性となる。
【００７７】
この図１１の特性から、距離補正用増幅回路５１においては、開き角に応じたゲイン特性とすることにより、コイル装置１０のコイル１４を増幅補正して、常に、電線４１を流れる電流の値に一意に対応するセンサ出力が得られる。
【００７８】
すなわち、図１２は、距離補正用増幅回路５１のセンサ距離に対するゲイン特性を示すもので、センサ距離に対して指数関数的にゲインを上昇させる特性とするが、その上昇カーブの傾きが、開き角θが大きいほど緩やかで、開き角が小さいほど急峻になるような特性とする。
【００７９】
すなわち、開き角が大きく、コイルの出力電流対センサ距離の特性が曲線６１となるような場合に対しては、センサ距離に対するゲインの上昇カーブが緩やかな図１２の曲線７１となるような特性とする。そして、開き角θが小さくなって、曲線６２，６３，６４となるような場合に対しては、それらの特性曲線に対応させて、図１２において曲線７２，７３，７４で示すように、上昇カーブが開き角θが小さいほど急峻になるような特性とする。
【００８０】
以上のことから、コイル装置１０を電線あるいは被覆部分に取り付けたときの開き角θが既知となれば、距離補正用増幅回路５１では、図１２に示したようにして、ゲイン対センサ距離の特性曲線が決まる。そして、電線を流れる電流の位置から磁束センサまでの距離であるセンサ距離が判ると、距離補正用増幅回路５１で必要となるゲインが定まる。距離補正用増幅回路１４は、この定められたゲインを有するように設計する。
【００８１】
例えば、開き角θに対応するゲイン対センサ距離の特性曲線は、曲線７４であり、センサ距離、つまり、電線あるいは被覆線の径がＲａであった場合に必要となる距離補正用増幅回路５１のゲインはＧａとなる。
【００８２】
ところで、この例のコイル装置１０のシート状磁性体１１の長手方向の長さＬは、前述したように、一定のものとして定められているので、図１３に示すように、半径がそれぞれｒ１、ｒ２、ｒ３というように異なる被覆線にコイル装置１０が装着された場合には、被覆線の半径ｒ１、ｒ２、ｒ３、つまり、センサ距離に応じて、コイル装置１０の長手方向の長さ分を、電線４１を流れる電流の位置から見たときの開き角が、θ１、θ２、θ３というように変化するものとなる。
【００８３】
このように、この実施形態では、コイル装置１０のシート状磁性体１１の長手方向の長さＬは、定められたものとされているので、開き角θ１、θ２、θ３が算出されたときには、センサ距離は、ｒ１、ｒ２、ｒ３として定まることとなる。
【００８４】
したがって、この実施形態では、開き角θが算出されると、その開き角θに対応する図１２に示したようなゲイン対センサ距離の特性曲線が求まり、また、センサ距離も定まることから、求まった特性曲線から距離補正用増幅回路４１のゲインが求まる。すなわち、開き角θが算出されると、その開き角θから、距離補正用増幅回路５１のゲインが一元的に決定されるものである。
【００８５】
なお、コイル装置１０のシート状磁性体１１の長手方向の長さは、上述のように一定のものとして定めなくても、上述したことから明らかなように、開き角と、センサ距離が既知であれば、距離補正用増幅回路５１のゲインは、決定できることは言うまでもない。
【００８６】
以上のようにして、センサ距離に関係なく、電線４１に流れる電流の値に一意に対応する出力信号が、距離補正用増幅回路５１から得られる。この距離補正用増幅回路５１の出力信号は、周波数補正用増幅回路５２に供給される。
【００８７】
この周波数補正用増幅回路５２は、電線４１を流れる電流が交流電流の場合に、電流検出出力信号が、その交流電流の周波数に依存しないように補正するためのものである。したがって、電線４１を流れる電流が直流電流である場合には、この周波数補正用増幅回路５２は、省略することができる。
【００８８】
すなわち、前述もしたが、図１４に示すように、交流電流による磁束の強さは、その交流電流の周波数に反比例する。そこで、この周波数依存をなくすため、周波数補正用増幅回路５２は、図１５に示すように、ゲインが周波数に比例する特性のものを用いる。これは、いわゆる積分増幅回路の構成により実現できる。
【００８９】
図１５に示すようなゲイン対周波数特性の増幅回路を、周波数補正用増幅回路５２として用いれば、図１４のように、コイル装置１０のコイル１４から得られる交流電流の周波数に反比例する出力電流の周波数特性は、図１１のゲイン特性によりキャンセルされる。したがって、周波数補正用増幅回路５２からは、交流電流の周波数に関係なく、電線４１に流れる電流値に一意に対応した出力信号が得られる。
【００９０】
したがって、周波数補正用増幅回路５２の出力信号を、例えばドライブ回路を通じてメータの指針駆動回路に供給するようにすれば、メータの指針は、正確な検出電流値を指示するものとなる。
【００９１】
なお、距離補正用増幅回路５１と周波数補正用増幅回路５２では、それぞれ予め定めた特定の開き角のとき、また、特定の周波数のときに、出力信号がある特定の値を示すように、校正しておくようにするものである。
【００９２】
なお、上述した距離補正用増幅回路５１と周波数補正用増幅回路５２とからなる回路部分は、特定の径の電線や被覆線にコイル装置１０を装着するものであれば、ゲイン特性は、それぞれ予め定めることができるので、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ；集積回路）で構成することができる。
【００９３】
また、距離補正用増幅回路５１と周波数補正用増幅回路５２とからなる回路部分を、一つの増幅回路の構成として設計することもできる。そして、その一つの増幅回路をＩＣによって構成することもできる。
【００９４】
また、コイル装置１０のコイル１４の出力電流を電圧変換した後、デジタル信号に変換し、そのデジタル信号をマイクロプロセッサに供給して、上述の補正のための増幅動作と等価な処理を行うようにすることもできる。その場合には、当該マイクロプロセッサには、開き角θの情報が入力されると共に、交流電流の場合にはその周波数の情報が入力され、マイクロプロセッサは、それらの情報を元に必要なゲインを計算により求め、その求めたゲイン分の増幅動作と等価な処理を行う。
【００９５】
［電流検出方法の第２の例］
距離補正用増幅回路５１は、上述の電流検出方法の第１の例では、コイル装置１０を装着する電線の径から、コイル装置１０の開き角θを求め、その開き角θから必要なゲインを決定して、そのゲインを有するように設計する。しかし、それでは、径の異なる電線部分や被覆部分に装着するごとに、距離補正用増幅回路５１の設計をやり直さなければならず、余りにも汎用性に欠ける。
【００９６】
そこで、この電流検出方法の第２の例では、距離補正用増幅回路５１として、図１２に示した曲線７１，７２，７３，７４のような幾つかの開き角に対応したゲインに切り替え可能とし、算出した開き角に応じて、ゲインを切り替えるようにする。
【００９７】
このとき、距離補正用増幅回路５１においては、多数個の開き角に応じた多数個のゲインを用意しておく必要は無く、例えば４種類程度の開き角に対応したゲインを備えるようにするだけで、十分である。
【００９８】
なぜなら、この実施形態のコイル装置１０のシート状磁性体１１の透磁率は、前述したように、２００００というように、非常に高い値であるため、例えば図１６に示すように、４種類程度の開き角であっても、それぞれの開き角に対応するセンサ距離の位置に配置されたコイル装置１０では、その配置位置の前後のセンサ距離に存在するであろう磁束をも、そのシート状磁性体１１内に取り込むように働くと考えられるからである。
【００９９】
例えば、図１６の例であれば、半径ｒ１とｒ２との間では、ｒ１から、（ｒ１＋ｒ２）／２の範囲の磁束は、半径ｒ１に配置されたコイル装置１０のシート状磁性体１１内を通るようになり、また、（ｒ１＋ｒ２）／２からｒ２の範囲の磁束は、半径ｒ２に配置されたコイル装置１０のシート状磁性体１１内を通ると考えられるからである。
【０１００】
したがって、半径ｒ１から半径ｒ２の間のセンサ距離にコイル装置１０を配置することは不要であり、そのセンサ位置に対応する開き角を想定する必要がないのである。
【０１０１】
この電流検出方法の第２の例では、このように利得特性が切り替え可能とされた距離補正用増幅回路５１において、算出した開き角に応じてゲイン切り替えを行うようにすることにより、装着する電線あるいは被覆線の径に応じて、距離補正用増幅回路４１のゲインを切り替えることが可能である。
【０１０２】
例えば、開き角θ１〜θ２、θ２〜θ３、θ３〜θ４、θ４〜θ５のように、開き角の範囲として幾つか用意し、そのいずれの範囲に装着しようとする電線あるいは被覆線に対するコイル装置１０の開き角が存在するかを、例えば開き角選択つまみなどを通じて入力することにより、距離補正用増幅回路５１のゲインが切り替えられる構成とすることができる。
【０１０３】
［電流検出方法の第３の例］
上述の２つの電流検出方法の例では、使用者が装着しようとする電線あるいは被覆線に対する磁束センサ１０の開き角を求めて、距離補正用増幅回路５１のゲインの切り替えを行う必要があったが、この第３の例は、磁束センサ１０を電線あるいは被覆線に対して装着するだけで、自動的に距離補正用増幅回路５１のゲインが決定される例である。この例は、特に検出対象が交流電流の場合に適用される。
【０１０４】
なお、周波数補正用増幅回路５２は、前述もしたように、特定の周波数のときに、特定の値が出力されるようにゲインの校正を行っておけば、特に調整や切り替えが不要であることは上述の第１および第２の例と同様である。
【０１０５】
この第３の例は、この発明の発明者の研究結果に基づくものである。すなわち、この発明の発明者は、商用電源の電源線に対して磁束センサ１０を前述のように装着して、そのコイル１４から得られる信号を精査したところ、前述したように、この信号中には、電線を流れる電流の位置と磁束センサ１０との間の距離（つまり磁束の強さ）と、磁束センサ１０のシート状磁性体の寸法（長さ、幅、厚さ）とに応じた周波数の成分が含まれることを確認した。
【０１０６】
図１７は、５０Ｈｚの商用電源線に流れる交流電流を、磁束センサ１０を用いて検出したときの検出波形を示す図である。この図１７において、振幅の大きい波形は電圧波形であり、振幅の小さい波形が電流成分である。この図１７から、５０Ｈｚの電流成分に高周波の周波数成分が重畳されていることが判る。
【０１０７】
前述したように、この周波数成分は、シート状磁性体１１の材料と寸法および磁束の強さとによってシート状磁性体１１に発生する振動成分である。上述したように、この例のコイル装置１０のシート状磁性体１１の寸法は、定まっているので、この実施形態においては、コイル装置１０を電線あるいは被覆部分に装着したときの開き角は、電線を流れる電流の位置とコイル装置１０との間の距離（つまり磁束の強さ）に対応したものとなり、この開き角の大きさに対応して、前記振動成分の周波数が変化するものとなる。発明者は、このことを確認した。つまり、開き角と、前記振動成分の周波数とは１対１に対応するものである。
【０１０８】
図１８、図１９、図２０は、径の異なる電線にコイル装置１０を装着した状態で、コイル装置１０の出力信号に含まれる、この高周波数成分を、１０２．３ｋＨｚまでについてスペクトラム分析したものである。図１８は、直径が約５．３ミリメートルの電線、図１９は、直径が約６．３ミリメートルの電線、図２０は、直径が約６．６ミリメートルの電線のそれぞれにコイル装置１０を装着した場合の周波数スペクトル図である。したがって、開き角の大きさは、図１８の場合が最も大きく約２７０度、図１９の場合は２２７度、図２０の場合は２１７度となる。
【０１０９】
これら図１８〜図２０においては、主として３つのスペクトルのピークが立つことが観察されるが、これらのスペクトルが立つ周波数は、低い方から順にコイル装置１０の長さ方向、幅方向、厚さ方向の振動成分に対応したものとなる。
【０１１０】
図１８におけるそれぞれのスペクトルが立つ周波数は、
長さ方向に対応；２０．６ｋＨｚ、
幅方向に対応；４９．４ｋＨｚ
厚さ方向に対応；９８．７ｋＨｚ
であった。
【０１１１】
また、図１９におけるそれぞれのスペクトルが立つ周波数は、
長さ方向に対応；２２．０ｋＨｚ、
幅方向に対応；４９．６ｋＨｚ
厚さ方向に対応；９９．９ｋＨｚ
であった。
【０１１２】
また、図２０におけるそれぞれのスペクトルが立つ周波数は、
長さ方向に対応；２３．５ｋＨｚ、
幅方向に対応；５０．２ｋＨｚ
厚さ方向に対応；１００．５ｋＨｚ
であった。
【０１１３】
これにより、コイル装置１０のコイル１４からの出力信号には、コイル装置１０が電線あるいは被覆部分に装着されたときの開き角の大きさに応じた振動成分（高周波信号成分）が重畳されていることが判る。
【０１１４】
そこで、この第３の例においては、このコイル装置１０のコイル１４からの出力信号に含まれる前記振動成分を抽出して、その周波数を検出し、その検出した周波数に応じて、自動的に距離補正用増幅回路５１のゲインを決定するようにする。すなわち、検出した振動成分の周波数は、電線を流れる電流の位置とコイル装置１０との間の距離に対応しているので、当該距離に応じたゲインとなるように、距離補正用増幅回路５１のゲインを決定するものである。
【０１１５】
この場合、前記の長さ、幅、厚さの３つ方向の振動成分の周波数を全て検出する必要はなく、そのいずれか一つの方向の振動成分、例えば長さ方向の振動成分の周波数を検出することにより、距離補正用増幅回路５１のゲインを決定することができるものである。
【０１１６】
すなわち、前述の３種の径の電線の場合であれば、長さ方向の振動成分に対応するスペクトルは、図２１の拡大図に示すように観測することができる。この図２１のスペクトルは、径の異なる３種の電線にコイル装置１０を装着した場合において、磁束センサとしてのコイル装置１０のシート状磁性体１１の長さ方向の振動成分を、前記径の異なる３種の電線について比較可能なように示した場合であり、１０１のスペクトルは、３種の径のうちの、最小の径に対応するもの、１０２のスペクトルは、中間の径に対応するもの、１０３のスペクトルは最大の径に対応するものである。
【０１１７】
図２２は、この第３の例におけるコイル装置１０の出力に対する補正増幅回路の構成例を示すブロック図である。
【０１１８】
すなわち、この第３の例においては、前述した第１および第２の例と同様に、コイル装置１０のコイル１４からの信号は、距離補正用増幅回路５１と、周波数補正用増幅回路５２とを通じて補正するようにする。
【０１１９】
この場合に、距離補正用増幅回路５１としては、前述の第２の例と同様に、複数個の開き角θに対応したゲインに切り替え可能なものを用いる。そして、この第３の例の距離補正用増幅回路５１においては、ゲイン切り替え制御端子５１ｃを備え、このゲイン切り替え制御端子５１ｃに入力される利得制御信号により、ゲイン切り替えが行われる構成を備える。
【０１２０】
また、この第３の例においては、コイル１４からの信号は、ローパスフィルタ８１に供給されて、前述した例えば１０２．３ｋＨｚ以下の振動成分（高周波数成分）が抽出される。抽出された振動成分は、例えばＦＦＴ（Ｆａｓｔ　Ｆｏｕｒｉｅｒ　Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ；高速フーリエ変換）処理を行うスペクトル分析回路８２に供給される。そして、このスペクトル分析回路８２の出力が利得制御回路８３に供給される。
【０１２１】
この利得制御回路８３は、例えばＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｓｉｇｎａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）により構成される。この利得制御回路８３では、ピークが立つスペクトル成分を、最もレベルの大きいものから３個抽出する。抽出した３個のスペクトル成分は、コイル装置１０のシート状磁性体１１の長さ、幅、厚さに対応する振動成分である。
【０１２２】
利得制御回路８３は、これら３個のスペクトル成分のうち、この例では、最も低い周波数成分であるシート状磁性体１１の長さ方向の振動成分を選択して、その周波数を検出する。
【０１２３】
そして、その検出した周波数が、複数個の開き角の範囲の内の、どの開き角の範囲に属するかを判別し、その判別結果に応じた利得制御信号を生成する。そして、利得制御回路８３は、その生成した利得制御信号を距離補正用増幅回路５１に供給する。
【０１２４】
距離補正用増幅回路５１では、利得制御回路８３からの利得制御信号に対応するゲインとなるようにゲインを切り替える。そして、距離補正用増幅回路５１は、その出力を周波数補正用増幅回路５２に供給する。
【０１２５】
以上のようにして、この第３の例によれば、距離補正用増幅回路５１のゲインは、コイル装置１０が電線あるいは被覆線部分に装着されたときの開き角θに応じたものに自動的に設定される。したがって、単に、コイル装置１０を電線あるいは被覆線部分に装着すれば、その電線や被覆線部分の径に関係なく、その電線に流れる電流の値に一意に対応する出力信号を、周波数補正用増幅回路５２から得ることができる。
【０１２６】
なお、この第３の例では、各回路に供給する電源電圧も、コイル装置１０のコイル１４からの電流により生成して、各回路に供給するように構成している。すなわち、この第３の例においては、コイル１４からの電流は、電源電圧生成回路８４に供給される。この電源電圧生成回路８４では、コイル１４からの電流を整流すると共に、各回路に必要な電圧の直流電源電圧を生成する。そして、その生成した直流電源電圧を、各回路の電源ラインに供給する。
【０１２７】
したがって、この第３の例においては、距離補正用増幅回路５１、周波数補正用増幅回路５２、バンドパスフィルタ８１、スペクトル分析回路８２、利得制御回路８３のそれぞれの電源を供給する回路を別途必要としない。
【０１２８】
なお、図２２の回路は、ＩＣにより構成することができる。また、電源電圧生成回路８４とバンドパスフィルタ８１の部分を除く部分を、マイクロプロセッサで構成し、そのマイクロプロセッサに、バンドパスフィルタ８１からの信号をデジタル信号に変換したものを供給するようにして、上述した距離補正用増幅回路５１、周波数補正用増幅回路５２、スペクトル分析回路８２、利得制御回路８３のそれぞれにおける処理をデジタル処理として実行するように構成してもよい。
【０１２９】
また、上述の例では、利得制御回路８３では、コイル装置１０のシート状磁性体１１の厚さ方向に対応する振動成分の周波数を検出するようにしたが、利得制御回路８３では、レベルの大きい３個のスペクトルのうちの、最大レベルのものに着目し、それが、コイル装置１０のシート状磁性体１１の長さ、幅、厚さのいずれの方向の振動成分であるかを認識すると共に、その周波数を検出し、その検出した周波数が、複数個の開き角の範囲の内の、どの開き角の範囲に属するかを判別し、その判別結果に応じた利得制御信号を生成するようにしてもよい。
【０１３０】
［第３の実施形態の電流検出装置の実装例］
以上のように、この発明の実施形態に用いる磁束センサとしてのコイル装置１０は、薄いシート状のものであり、接着層１８により、狭いスペースにも、簡単に電線や被覆部分に装着することができる。
【０１３１】
図２３の例は、例えば家電製品などの負荷９０に接続された電源コード９２の先端に取り付けられるＡＣプラグ９１内にコイル装置１０が取り付けられる場合である。この図２３の例では、このＡＣプラグ９１の筐体に設けられた表示画面に電流値や電力量を表示することができるように構成されている。
【０１３２】
図２３は、ＡＣプラグ９１の筐体を下側ハーフ９１ａと、上側ハーフ９１ｂとに分けた状態の図である。９３および９４はプラグ導体であり、ＡＣプラグ９１の筐体の下側ハーフ９１ａと上側ハーフ９１ｂとにより挟持されて固定される。プラグ導体９３と９４とは、それぞれ電源コード９２の正側の電線９２ａと負側の電線９２ｂとにそれぞれ接続されている。
【０１３３】
そして、この例では、コイル装置１０は、電源コード９２の正側の電線９２ａの被覆部分に、図９に示したような態様で被着されている。そして、コイル装置１０のコイル１４からの出力信号は、ＩＣ９５に供給される。
【０１３４】
ＩＣ９５は、図２２に示した補正増幅回路の全ての構成を備えると共に、上側ハーフ９１ｂ側に設けられるＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）９６，９７のドライブ回路と、周波数補正用増幅回路５２からの出力信号から電流値および電力値を数値としてＬＣＤ９６，９７に表示するための回路とを含んでいる。なお、ＩＣ９５と、ＬＣＤ９６，９７との間の接続線は、図１９では省略してある。
【０１３５】
この図２３の例によれば、家電製品毎の負荷電流および電力値を簡単に知ることができ、非常に便利である。この場合に、コイル装置１０の装着スペースは殆ど無視できるほど小さいので、ＡＣプラグ９１の形状を大きくする必要はなく、小形のもののままでよいというメリットがある。
【０１３６】
なお、コイル装置１０として、図７および図８に示した例を用いる場合には、図２２の増幅補正回路の一部または全部は、図８の針電極３７，３８とリード線３５，３６との間において、例えば保持部３９，４０内において一体化して設けるようにすることができる。さらに、増幅補正された信号は、前記一体化された回路中に組み込まれた発信機およびアンテナにより外部に送信するように構成することもできる。このように、回路の一部または全部を、コイル装置に装着することにより、磁束センサとしてのコイル装置の装着場所の制限を著しく少なくすることができる。
【０１３７】
また、電源電圧生成回路８４としては、コイル１４をセンサコイルとして使用しないときに、回路８４内に設けた蓄電池に電圧を蓄えて、その蓄えた電圧を電源電圧として用いる回路構成とすることもできる。
【０１３８】
【発明の効果】
上述の構成のこの発明によるコイル装置は、シート状磁性体の両面にコイルを構成する第１および第２の複数本の線状の導体を形成すると共に、第１および第２の複数本の線状の導体のそれぞれの側から、絶縁膜でサンドイッチした構造となっているので、機械的に弱いシート状磁性体を補強することができると共に、磁性体や導電体などの重要な部分が絶縁層などにより覆われるものとなるので、特性のよいコイル装置が得られる。
【０１３９】
上述のコイル装置の製造方法によれば、コイル装置製作後に剥離可能な厚い基板を用いてコイル装置を製造することができるので、柔軟な曲げ性を持つコイル装置を容易に製造することができる。また、上述のコイル装置の製造方法によれば、特性の揃った安価なコイル装置を量産することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるコイル装置の実施形態を説明するための図である。
【図２】この発明によるコイル装置の実施形態の要部を説明するための図である。
【図３】この発明によるコイル装置の実施形態を製造する方法を説明するための図である。
【図４】この発明によるコイル装置の実施形態を製造する方法を説明するための図である。
【図５】この発明によるコイル装置の実施形態を製造する方法を説明するための図である。
【図６】この発明によるコイル装置の実施形態を製造する方法を説明するための図である。
【図７】この発明によるコイル装置の他の実施形態を説明するための図である。
【図８】この発明によるコイル装置の他の実施形態を説明するための図である。
【図９】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１０】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１１】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１２】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１３】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１４】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１５】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１６】この発明によるコイル装置を用いた電流値検出方法を説明するための図である。
【図１７】この発明によるコイル装置の実施の形態からの出力波形の例を示す図である。
【図１８】この発明によるコイル装置の実施の形態からの出力信号のスペクトル図である。
【図１９】この発明によるコイル装置の実施の形態からの出力信号のスペクトル図である。
【図２０】この発明によるコイル装置の実施の形態からの出力信号のスペクトル図である。
【図２１】この発明によるコイル装置の実施の形態からの出力信号のスペクトル図である。
【図２２】この発明によるコイル装置の実施形態を用いた電流値検出装置の例を示す図である。
【図２３】この発明によるコイル装置の取り付け例を示す図である。
【図２４】電流値の検出原理を説明するための図である。
【図２５】従来の電流値の検出方法を説明するための図である。
【図２６】従来の電流値の検出方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１０　コイル装置
１１　シート状磁性体
１２，１３　絶縁層
１４　コイル
１４ａ、１４ｂ　複数個の線状の導電体
１５，１６　絶縁層
１７　磁気シールド層
１８　接着層
１９　基板
２０　スルーホール
２５，２６　電極
１７，１８　磁気ヨーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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