(57)【要約】【課題】通気装置を運送車両上に取付けることにより窒素ガスを該ウェイファ・ボックスのキャリヤの閉合空間に充填する通気系統を提供する。【解決手段】ウェイファ・ボックスのキャリヤ１１の内部に対して通気する通気系統１０であって、少なくも一ウェイファ・ボックスを搭載するキャリヤ本体１２と、該キャリヤ本体１２に取付けられ、該ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成する閉合カバーと、運送車両上に取付けられ、該ウェイファ・ボックスの該キャリヤ本体１２内における安定上させるために、該閉合空間に通気して補充する通気装置とを備えてなる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一ウェイファ・ボックスを搭載するキャリヤ本体と、前記キャリヤ本体上に取付けられ、前記ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成する閉合カバーと、
運送車両上に取付けられ、前記ウェイファ・ボックスの前記キャリヤ本体内における安定性を向上させるために、該閉合空間に通気して補充する通気装置と、
を備えてなる通気系統。
【請求項２】
前記通気装置は該通気装置内の窒素ガス瓶の取替えを便ならしめるように引出式窒素ガスたんすを備え、この窒素ガス瓶には該窒素ガス瓶内の安全窒素ガス含有量を検出する圧力センサが取付けられており、
前記ウェイファ・ボックスは運送用のウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ；ＦＯＳＢ）であり、そして該通気装置は前記窒素ガス瓶から該窒素ガスを閉合空間に輸送する輸送ホースを備え、
前記ウェイファ・ボックスのキャリヤはプッシング・カーであり、
前記通気装置の該輸送ホースは車内の継手及びプッシング・カー上の継手に接続することで車内の管路及び該プッシング・カーに接続され、及び、
前記キャリヤ本体の前記閉合空間は気密空間であり、且つプッシング・カー上の継手にはガス逆止進入口が取付けられており、これにより前記通気装置が前記気密空間において逆行するのを防止する、
請求項１記載の通気系統。
【請求項３】
前記キャリヤ本体には前記ウェイファ・ボックスのキャリヤの気密機能を補強するために発泡樹脂条が貼付けられており、そして該運送車両はトラックである、
請求項１記載の通気系統。
【請求項４】
キャリヤの内部を通気する通気系統であって、
キャリヤ本体と、
前記キャリヤ本体上に取付けられ、前記キャリヤ本体内に閉合空間が形成される閉合部材と、
窒素ガスを前記閉合空間に充填して前記キャリヤ本体内の物件の安定性を向上させる通気装置と、
を備えてなる充気系統。
【請求項５】
前記キャリヤ本体は少なくとも一ウェイファ・ボックスを搭載するためにあり、そして前記閉合部材は閉合カバーであり、
前記閉合空間は該閉合カバーと該ウェイファ・ボックスとの間に形成され、そして前記通気装置は一運送車両上に取付けられ、該物件は該ウェイファ・ボックスである、
請求項４記載の通気系統。
【請求項６】
少なくとも一ウェイファ・ボックスを搭載するキャリヤ本体と、前記キャリヤ本体上に取付けられ、前記ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成する閉合カバーと
運送車両上に取付けられ、前記ウェイファ・ボックスの前記キャリヤ本体内における安全性を向上させるために該閉合空間に通気して充填する通気装置と、を備えてなる通気系統。
【請求項７】
前記ウェイファ・ボックスのキャリヤ内部に対して通気する通気系統である請求項６に記載の通気系統。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はキャリヤ本体と、閉合カバーと、通気等を備えてなり、ウェイファ・ボックスのキャリヤ内部に対して通気する通気系統に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に１２”（１２インチ）前開式ウェイファ・ボックスは室内製造プロセスに使用される前開式統一制ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｔｅｄ  Ｐｏｄ；ＦＯＵＰ）と、室外に運搬される運送用ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ；ＦＯＳＢ）に大別される。このＦＯＳＢは通常先ずキャリヤ（例えば、プッシング・カー）上に置かれ、次に、該キャリヤをトラック内に置いて甲地から乙地に運送されている。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら該キャリヤはいずれも直接トラック内に入れられているので外部と全体的に隔絶しておらず、ウェイファ・ボックス(ＦＯＳＢ)はややもすれば一般の空気に直接暴露されてしまう。こうなると、容易にウェイファ・ボックス内のウェイファに変質を発生させ、甚だしくは極度に変質して使用できず、全部廃棄しなければならないことがある。したがって、このようなウェイファ・ボックスのトラック運送方式は極めて理想的でない。
【０００４】
したがって、トラック内でのウェイファ・ボックスの運送安定性を向上して、該ウェイファ・ボックスの運送過程において品質不安定の現象を克服するために、本考案人による鋭意研究、実験、テストの結果終に、効果的に従来のウェイファ・ボックスが運送過程に直接空気中に置かれた欠点を解決した外、ウェイファ・ボックスのトラック運送の過程をより安定に実行することが出来た。
【０００５】
本考案の主たる目的は通気装置を運送車両上に取付けることにより窒素ガスを該ウェイファ・ボックスのキャリヤの閉合空間に充填することにある。
【０００６】
本考案の次の目的は閉合カバーをキャリヤ本体上に取付けることにより、該閉合カバーとウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成させることにある。
【０００７】
本考案の又の目的は引出式窒素ガスタンスの方便を利用することにより随時該ウェイファ・ボックス内の安全窒素ガス含有量を補充することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本考案により提供された通気系統は、少なくとも一ウェイファ・ボックスを搭載するキャリヤ本体と、該キャリヤ本体上に取付けられ、該ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成する閉合カバーと、運送車両上に取付けられ、該ウェイファ・ボックスの該キャリヤ本体内に安定性を向上させるために、該閉合空間に通気して補充する。（請求項１に対応）
上記本考案に係る通気系統において、
該通気装置は該通気装置内の窒素ガス瓶の取替えを便ならしめるように引出式窒素ガスたんすを備え、この窒素ガス瓶には該窒素ガス瓶内の安全窒素ガス含有量を検出する圧力センサが取付けられており、
該ウェイファ・ボックスは運送用のウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ；ＦＯＳＢ）であり、そして該通気装置は該窒素ガス瓶から該窒素ガスを閉合空間に輸送する輸送ホースを備え、
該ウェイファ・ボックスのキャリヤはプッシング・カーであり、該通気装置の該輸送ホースは車内の継手及びプッシング・カー上の継手に接続することで車内の管路及び該プッシング・カーに接続され、及び、
該キャリヤ本体の該閉合空間は気密空間であり、且つプッシング・カー上の継手にはガス逆止進入口が取付けられており、これにより該通気装置が該気密空間に逆行するのを防止する。（請求項２に対応）
また本考案に係る通気系統において、
該キャリヤ本体には該ウェイファ・ボックスのキャリヤの気密機能を補強するために発泡樹脂条が貼付けられており、そして該運送車両はトラックである。（請求項３に対応）
さらには上記目的を達成するために本考案により提供された、キャリヤの内部に対して通気する通気系統は、
キャリヤ本体と、該キャリヤ本体内に閉合空間が形成される閉合部材と、窒素ガスを該閉合空間に充填して該キャリヤ本体内の物件の安定性を向上させる通気装置と、を備えてなる。（請求項４に対応）
上記本考案に係る通気系統において、
該キャリヤ本体は少なくとも該一ウェイファ・ボックスを搭載するためにあり、そして該閉合部材は閉合カバーであり、該閉合空間は該閉合カバーと該ウェイファ・ボックスとの間に形成され、そして該通気装置は一運送車両上に取付けられ、該物件は該ウェイファ・ボックスである。（請求項５に対応）
上記本考案に係る通気系統において、
該通気装置は該通気装置内の窒素ガス瓶の取替えを便ならしめるように引出式窒素ガスたんすを備え、この窒素ガス瓶には該窒素ガス瓶内の安全窒素ガス含有量を検出する圧力センサが取付けられており、
該ウェイファ・ボックスは運送用のウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ；ＦＯＳＢ）であり、そして該通気装置は該窒素ガス瓶から該窒素ガスを閉合空間に輸送する輸送ホースを備え、
該ウェイファ・ボックスのキャリヤはプッシング・カーであり、該通気装置の該輸送ホースは車内の継手及びプッシング・カー上の継手に接続することで車内の管路及び該プッシング・カーに接続され、及び、
該キャリヤ本体の該閉合空間は気密空間であり、且つプッシング・カー上の継手には逆止ガス進入口が取付けられており、これにより該通気装置が該気密空間において逆行するのを防止する。
【０００９】
さらには上記目的を達成するために本考案により提供された通気系統は、
少なくとも一ウェイファ・ボックスを搭載するキャリヤ本体と、
該キャリヤ本体上に取付けられ、前記ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成する閉合カバーと、
運送車両上に取付けられ、該ウェイファ・ボックスの該キャリヤ本体内における安全性を向上させるために該閉合空間に通気して充填する通気装置とを備えてなる。（請求項６に対応）
また上記本考案において、
該通気系統は該ウェイファ・ボックスのキャリヤ内部に対して通気する系統である。（請求講７に対応）
上記本考案の通気系統において、
該通気装置は該通気装置内の窒素ガス瓶の取替えを便ならしめるように引出式窒素ガスたんすを備え、この窒素ガス瓶には該窒素ガス瓶内の安全窒素ガス含有量を検出する圧力センサが取付けられており、
該ウェイファ・ボックスは運送用のウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ；ＦＯＳＢ）であり、そして該通気装置は該窒素ガス瓶から該窒素ガスを閉合空間に輸送する輸送ホースを備え、
該ウェイファ・ボックスのキャリヤはプッシング・カーであり、該通気装置の該輸送ホースは車内の継手及びプッシング・カー上の継手に接続することで車内の管路及び該プッシング・カーに接続され、及び
該キャリヤ本体の該閉合空間は気密空間であり、且つプッシング・カー上の継手には逆止ガス進入口が取付けられており、これにより該通気装置が該気密空間において逆行を防止する。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は上記アイディアの解説から分るように、運用された通気系統を観察すると、確に通気装置を運送車両に取付けることにより、窒素ガスを該ウェイファ・ボックスのキャリヤの閉合空間に充填することが出来ると共に、閉合カバーと該ウェイファ・ボックスとの間に閉合空間を形成して使用する特色を有する。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
先ず図１ないし図３は本考案の通気系統のウェイファ・ボックスのキャリヤが車ボックス空間内において仕事する好適実施形態の立体見取図である。図において通気系統１０はウェイファ・ボックスのキャリヤ１１の内部に対して通気するための系統であり、このキャリヤの内部に通気するために少なくとも一ウェイファ・ボックス２０を搭載するキャリヤ本体１２と、キャリヤ本体上に取付けられた閉合カバー２１と、閉合カバー２１とウェイファ・ボックス２０との間に形成される閉合空間２２と、運送車両上に取付けられ、ウェイファ・ボックス２０のキャリヤ本体１２の安定性を向上させるために、該閉合空間２２に通気補充する通気装置３０とを備えている。
【００１２】
通気系統１０の通気装置３０は通気装置３０の窒素ガス瓶３３の取替に便ならしめるように引出式窒素ガスたんす３２を有し、かつ窒素ガス瓶３３内の安全窒素ガス含有量を検出するための圧力センサ５０が設けられている（図５参照）。キャリヤ本体１２は車ボックス空間１６内部に置かれている。ウェイファ・ボックス２０は運送用のウェイファ・ボックス（ＦＯＳＢ）であり、且つ通気装置３０は窒素ガス瓶３３から該窒素を閉合空間２２（図２参照）に輸送する輸送ホース１３を有する。ウェイファ・ボックス２０のキャリヤ１１はプッシング・カー（押車）であり、通気装置３０の輸送ホース１３が車内の継手１４及びプッシング・カー上の継手１５に接続することにより車内管路（図示せず）及び該プッシング・カー（キャリヤ１１）に接続する。キャリヤ本体１２の閉合空間２２は気密空間であり、且つプッシング・カー上の継手１５には逆止ガス進入口４０（図４参照）が設けられており、通気装置３０の該気密空間における逆行を防止する。又、図２に示すようにキャリヤ本体１２には発泡樹脂条２３が貼られており、ウェイファ・ボックスのキャリヤ１１の気密機能を補強する。又運送車両３１はトラックである。
【００１３】
また、他に実施可能な通気系統によれば、本考案の通気系統はキャリヤ（例えばウェイファ・ボックス２０のキャリヤ１１）の内部に対して通気するための系統であり、キャリヤ本体１２と、キャリヤ本体１２上に取付けられ、該キャリヤ本体１２内に閉合空間２２が形成される閉合部材（例えば閉合カバー２１）と窒素ガスを閉合空間２２に充填してキャリヤ本体１２内の物件の安定性を向上させる通気装置３０とを備えている。当然として、この場合の通気系統１０のキャリヤ本体１２は少なくとも一ウェイファ・ボックス２０を搭載し、そして該閉合部材は閉合カバー２１であり、閉合空間２２が閉合カバー２１とウェイファ・ボックス２０との間に形成され、かつ通気装置３０は運送車両３１上に取付けられ、そして物件そのものはウェイファ・ボックス２０である。
【００１４】
また他に実施可能な通気系統によれば、本考案の通気系統１０は少なくとも一ウェイファ・ボックス２０を搭載するキャリヤ本体１２と、このキャリヤ本体１２上に取付けられ、ウェイファ・ボックス２０との間に閉合空間２２を形成する閉合カバー２１と、運送車両３１上該ウェイファ・ボックス２０のキャリヤ本体１２内における安定性を向上させるために閉合空間に通気して充填する通気装置３０とを備えてなる。当然としてこの場合の通気系統１０はウェイファ・ボックス２０のキャリヤ１１の内部に対して通気することに使用されることが出来る。これら実施形態中の通気系統１０は必ずしもウェイファのキャリヤ１１の他の細節部分に用いられるとは限らないのは前段に記載したとおりであり、よってより詳細な説明を省略する。
【００１５】
要するに本考案は確実に一新式な方式で運送車両上に取付けられた通気装置を利用すれば、窒素ガスを該ウェイファ・ボックスのキャリヤの閉合空間に充填できると共に、運用された閉合カバーを該キャリヤ本体上に取付けると、効果的に該閉合カバーとウェイファ・ボックスとの間に閉合空間が形成され、工業上の生産に極めて適合する。
【００１６】
また上記実施形態は本考案の技術的手段をより具体的に説明するために挙げたもので、当然本考案の技術的思想はこれに限定されるべきでなく、添付クレームの範囲を逸脱しない限り、当業者による単純な設計変更、付加、修飾、置換等はいずれも本考案の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の通気系統のウェイファ・ボックスのキャリヤが車ボックス空間内において仕事する好適な実施形態の立体見取図である。
【図２】本考案の好適な実施形態の通気系統の発泡樹脂条を貼付けた位置の立体見取図である。
【図３】本考案に係る通気系統の引出式窒素ガスたんすの実施形態の立体見取図である。
【図４】図１におけるウェイファ・ボックスのキャリヤの逆止ガス進入口の立体見取図である。
【図５】図３の窒素ガス瓶に圧力センサが設けられた立体見取図である。
【符号の説明】
【００１８】
１０…通気系統、１２…キャリヤ本体、２０…ウェイファ・ボックス、２１…閉合カバー，２２…閉合空間、３０…通気装置，３１…運送車両。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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