(57)【要約】【課題】優れた磁気特性を有すると共に、流動性が向上した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末及びその製造方法、並びに磁気特性に優れ、小型化が達成可能であり、生産性が向上した希土類・鉄・ボロン系永久磁石を提供する。【解決手段】希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷してなることを特徴とする希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料である。希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷させる工程を備えた製造方法である。前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料を主成分とする永久磁石である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷してなることを特徴とする希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項２】
前記金属溶湯が、コバルトをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項３】
最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ）が、１２ＭＧＯｅ以上であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項４】
タップ密度が、３．８ｇ／ｃｍ３以上であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項５】
平均粒径が、５〜２５μｍであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項６】
希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷させることを特徴とする希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項７】
前記金属溶湯が、コバルトをさらに含むことを特徴とする請求項６記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項８】
前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水圧を、７５０〜１２００ｋｇ／ｃｍ２の範囲で調整することを特徴とする請求項６または請求項７記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項９】
前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水量が、前記金属溶湯１ｋｇ当たり、２５リットル以上であることを特徴とする請求項５ないし請求項８のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項１０】
前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の温度を、２０℃以下の範囲で調整することを特徴とする請求項５ないし請求項９のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項１１】
前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水に、酸化防止剤を添加することを特徴とする請求項５ないし請求項１０のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法。
【請求項１２】
請求項６ないし請求項１１のいずれか一項に記載の製造方法により製造されてなることを特徴とする希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項５、請求項１１及び請求項１２のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を含んで構成されることを特徴とする希土類・鉄・ボロン系永久磁石。
【請求項１４】
前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を９０重量％以上含むことを特徴とする請求項１２または請求項１３記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石。
【請求項１５】
最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ）が、１２ＭＧＯｅ以上であることを特徴とする請求項１２または請求項１４のいずれか一項に記載の希土類・鉄・ボロン系永久磁石。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末、及びその製造方法、並びに希土類・鉄・ボロン系永久磁石に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、永久磁石は、一般家庭の各種電気製品から大型コンピュータの周辺端末機器に至る幅広い分野で使用されている重要な電気、電子材料の一つである。最近の電気製品の小型化、高効率化の要求に伴い、永久磁石にもますます高性能化が求められている。
【０００３】
前記永久磁石を構成するための材料は、強力な磁気特性を得るため、例えば、希土類・鉄・ボロンを含む金属溶湯を急冷して金属組織内に微細なＮｄ−Ｆｅ−Ｂの金属化合物を生成させる必要がある。この微細なＮｄ−Ｆｅ−Ｂの金属化合物を生成させるためには、前記金属溶湯を急冷することが必須条件であり、例えば、水冷したドラム内にノズルから前記金属溶湯を一定量注湯して急速に凝固させた板状体を製造することで、微細なＮｄ−Ｆｅ−Ｂの金属化合物を生成させている。そして、得られた板状体をボールミルやジョウクラッシャーで粉砕して希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を得ている。この粉砕により希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を得る方法としては、例えば、ストリップキャスティング法、ジェットキャスティング法、インゴットの粉砕法等がある。（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
また、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を得る方法としては、ガスアトマイズ粉末法等を用いるものもある。この製造方法としては、希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を不活性ガスアトマイズ法により急冷凝固して、平均結晶粒径１〜３０μｍの組織を有する平均粒径５００μｍ以下の球状粉末を得るものがある。（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
前記永久磁石は、前述した方法等により得られた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末と結合樹脂（有機バインダ）との混合物（コンパウンド）を所望の磁石形状に加圧成形して製造されるものであるが、その成形方法には、圧縮成形法、射出成形法および押出成形法が利用されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−３５６７１７号公報
【特許文献２】
特開平１１−２５１１２５号公報
【特許文献３】
特開平８−３１６０１６号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、粉砕により希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を得るストリップキャスティング法、ジェットキャスティング法、及びインゴットの粉砕法は、得られた粉末がガラスの破片状を呈している。したがって、良好な流動性を得ることが困難である。特に、インゴット粉砕法では、得られる粉末の粒度の制御が困難であり、必要とする粒度を有する粉末を製造する際の歩留りが悪いという問題がある。また、近年、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、益々微細化が要求されているが、粉砕により粉末を製造する方法では、微細化に限界がある。
【０００７】
また、永久磁石の成形方法には、前述したように、圧縮成形法、射出成形法および押出成形法が利用されているが、これらの方法で製造された永久磁石は、いずれも、粉末の充填性によってその性能や、生産性が左右される。したがって、この充填性に影響を与える粉末の流動性を向上することが要求されている。
【０００８】
そしてまた、ガスアトマイズ法により得られた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、良好な流動性を得ることはできるが、金属溶湯の冷却速度が低い（遅い）ため、金属が非晶質化せず、所望の磁気特性を得ることが困難である。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点を解決することを課題とするものであり、優れた磁気特性を有すると共に、流動性が向上した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
また、磁気特性に優れ、小型化を達成することが可能であり、生産性が向上した希土類・鉄・ボロン系永久磁石を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明は、希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷してなる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を提供するものである。
【００１２】
また、前記金属溶湯は、コバルトをさらに含んでもよい。
【００１３】
この構成を備えた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、微細な略球状を呈し、優れた流動性を提供することができる。したがって、この希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を用いて永久磁石を製造する際に、単位当たりの粉末充填量を増加させることができる。
【００１４】
ここで、同一の磁気特性を備えた粉末であれば、粉末の充填性が高いほど小型化が可能となる。また、同一の流動性であれば、充填量の高い粉末ほど生産性の向上や高性能化が図れる。さらに流動性の高い粉末は、射出成形や押し出し成形のサイクルタイムを短縮することができるので生産性の向上が図れる。従って成形機の台数が少なくて済むので設備投資を低減できる。
【００１５】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、水アトマイズ法により粉化及び急冷してなるため、金属組織が非晶質化し、優れた磁気特性を得ることができる。
【００１６】
前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ）を、１２ＭＧＯｅ以上とすることができる。
【００１７】
また、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、タップ密度を、３．８ｇ／ｃｍ３以上とすることができる。
【００１８】
そしてまた、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、平均粒径を、５〜２５μｍとすることができる。
【００１９】
また、本発明は、希土類元素、鉄、ボロンを含む金属溶湯を水アトマイズ法により粉化及び急冷させる工程を備えた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法を提供するものである。
【００２０】
この製造方法によれば、前記金属溶湯が水アトマイズ法によって、粉砕されると共に急冷されるため、金属組織が非晶質化し、かつ微細な略球状を呈し、優れた流動性を備えた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を得ることができる。したがって、この製造方法により得られた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、粉末自身が優れた磁気特性を備えていることに加え、永久磁石を製造する際に、単位当たりの粉末充填量を増加させることができるため、より一層永久磁石の磁気特性を向上できる。したがって、この希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末から製造される永久磁石を小型化、高性能化することができる。
【００２１】
また、前記金属溶湯の粉砕と冷却を一度に行うことができるため、工程の簡略化を行うことができ、生産性を向上させることもできる。
【００２２】
前記金属溶湯は、コバルトをさらに含むことができる。
【００２３】
前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水圧は、７５０〜１２００ｋｇ／ｃｍ２の範囲、より好ましくは９５０〜１１００ｋｇ／ｃｍ２の範囲で調整することができる。このように水圧を調整することにより、得られる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の平均粒径を制御することができるため、必要とする粒度を有する粉末を歩留り良く製造することができる。
【００２４】
また、前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水量は、前記金属溶湯１ｋｇ当たり、２５リットル以上、より好ましくは、２５〜４５リットル、さらに好ましくは、３０〜４０リットルの範囲で調整することができる。アトマイズ水の水量の上限については、特に限定されるものではないが、大量のアトマイズ水を用いることは効率的でないという理由から、アトマイズ水の水量の上限は、金属溶湯１ｋｇ当たり、４５リットル程度にすることがより好ましい。
【００２５】
そしてまた、前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の温度は、２０℃以下の範囲、より好ましくは、４〜２０℃、さらに好ましくは、４〜１０℃の範囲で調整することができる。つまり水温の上限を２０℃以下とすることで、急冷効果が得られ、磁気特性が向上する。水温の下限については、特に限定されるものではないが、大量のアトマイズ水を熱交換器等で冷却して用いることは効率的でないという理由から、水温の下限は、４℃程度にすることがより好ましい。
【００２６】
さらにまた、前記水アトマイズ法で使用するアトマイズ水には、酸化防止剤を添加することもできる。
【００２７】
また、本発明は、前述した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法により製造されてなる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を提供するものである。
【００２８】
これらの製造方法により得られた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、末自身が優れた磁気特性を備えていることに加え、永久磁石を製造する際に、単位当たりの粉末充填量を増加させることができるため、より一層永久磁石の磁気特性を向上できる。したがって、この希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末から製造される永久磁石を小型化、高性能化することができる。
【００２９】
また、前記金属溶湯の粉砕と冷却を一度に行うことができるため、工程の簡略化を行うことができ、生産性を向上させることもできる。
【００３０】
さらにまた、本発明は、前述した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を含んで構成される希土類・鉄・ボロン系永久磁石を提供するものである。
【００３１】
この構成を備えた希土類・鉄・ボロン系永久磁石は、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の充填比率が高いため、優れた磁気特性を備えることができる。したがって、小型化、高性能化を達成することができる。
【００３２】
本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石は、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を９０重量％以上、より好ましくは、９３重量％以上の範囲で含むことができる。
【００３３】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石は、最大磁気エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ）が、１２ＭＧＯｅ以上とすることができる。
【００３４】
なお、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の構成要素である希土類元素としては、としては、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、ミッシュメタルが挙げられ、これらを１種または２種以上含むことができる。特に、前記希土類元素は、Ｎｄ及び／またはＰｒを主とする希土類元素であるのが好ましい。その理由は、これらの希土類元素は、複合組織（特にナノコンポジット組織）を構成するハード磁性相の飽和磁化を高め、また磁石として良好な保磁力を実現するために有効だからである。
【００３５】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の構成要素であるＢ（ボロン）は、高い磁気特性を得るのに有効な元素であり、その好ましい含有量は、４．６〜８．０原子％とされる。Ｂが４．６原子％未満であると、Ｂ−Ｈ（Ｊ−Ｈ）ループにおける角型性が悪くなる。一方、Ｂが８．０原子％を超えると、非磁性相が多くなり、磁束密度が減少する。
【００３６】
そしてまた、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の構成要素として使用することができるＣｏ（コバルト）は、Ｆｅ（鉄）と同様の特性を有する遷移金属である。このＣｏを添加すること（Ｆｅの一部を置換すること）により、キュリー温度が高くなり、温度特性が向上するが、Ｆｅに対するＣｏの置換比率が０．３０を超えると、保磁力、磁束密度は共に低下する傾向を示す。Ｆｅに対するＣｏの置換比率が０．０５〜０．２０の範囲では、温度特性の向上のみならず、磁束密度自体も向上するので、さらに好ましい。
【００３７】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、所望により、Ｎｉ（ニッケル）を含んでもよい。
【００３８】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石は、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末と、結合樹脂（バインダ）との混合物を所望の磁石形状に加圧成形して製造される。
【００３９】
前記結合樹脂（バインダ）としては、主として熱可塑性樹脂が用いられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリアミド（例：ナイロン６、ナイロン４６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン６−１２、ナイロン６−６６）、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル等の液晶ポリマー、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。また、カルナバルワックスやパラフィンワックス等も混合することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の好適な実施の形態にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末、及びその製造方法、並びに希土類・鉄・ボロン系永久磁石について、詳細に説明する。
【００４１】
なお、なお、以下に記載される実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明をこれらの実施形態にのみ限定するものではない。したがって、本発明は、その要旨を逸脱しない限り、様々な形態で実施することができる。
（希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造）
重量％で、Ｎｄ：２６．５％、Ｂ：１％、Ｃｏ：５．０％、残部がＦｅの組成となるように、Ｎｄ、Ｂ、Ｃｏ、Ｆｅの単体物と、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ合金を、合計で３０ｋｇ、マグネシアるつぼに装入し、真空溶解法により溶解し、溶融金属を製造する。次に、水アトマイズ装置に設けられ、アトマイズ水をほぼ逆円錐状に噴射させるスリット状のノズルにより、当該水アトマイズ装置の噴霧チャンバ内に、アトマイズ水を約９８０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で噴射させる。次いで、溶融金属（以下、「金属溶湯」という）をほぼ逆円錐状に噴射されているアトマイズ水の焦点に向けて、直径５ｍｍのノズルから滴下する。このように、金属溶湯は、高圧水の噴射により粉化と急速冷却を同時に受けることになる。以上の製造方法により、微細で略球状の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末が得られた。このアトマイズ条件を表１に示す。また、この希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末（発明品）のＳＥＭ写真を図１に示す。
【００４２】
【表１】
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なお、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末が、製造時に使用する水によって酸化することを最大限抑制する目的で、アトマイズ水の温度は、１０℃以下に保持し、粉末の破砕と冷却に要するアトマイズ水は、金属溶湯１ｋｇ当たりに消費するアトマイズ水（比水量）換算で、鋳造量と使用水量の比から、３０リットル／ｋｇ以上に設定した。
【００４３】
次に、前記方法により製造した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末（発明品）の組成を表２に示す。
【００４４】
【表２】
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（比較品の製造）
次に、比較として、水アトマイズ法の代わりに、従来のジェットキャスター方式と、ガスアトマイズ方式を用いて、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末（比較品）を製造した。これらの組成を表２に示す。なお、従来のジェットキャスター方式により製造した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末（比較品）のＳＥＭ写真を図２に示す。
【００４５】
図１及び図２により、発明品は、比較品に比べて、微細な略球状を呈していることが判る。
（特性の比較）
次に、発明品と比較品について、粉末の充填性、粉末形状の均一性、磁気特性（最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性）を、以下の方法で測定した。
【００４６】
粉末の充填性は、「金属粉のタップ密度試験方法  ＪＰＭＡ  Ｐ  ０８−１９９２、１９９２年（平成４年）３月１日制定」に基づいてタップ密度を測定することにより測定した。
【００４７】
最大磁気エネルギー積は、東栄工業製、パルス励磁型磁気特性測定装置：ＴＰＭ２型機により測定した。
【００４８】
ＭＦＲ流動性は、過重押し出し型細管式レオメーター（島津フロテスター：ＣＦＴ−５００Ｄ／１００Ｄ）により測定した。
【００４９】
この結果を表３及び表４に示す。
【００５０】
【表３】
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【００５１】
【表４】
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表３及び表４から、発明品は、粉末の充填性、粉末形状の均一性、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性共に優れていることが判る。
【００５２】
次に、発明品と比較品について、バインダや樹脂が介在した場合の充填性を以下の方法で測定した。
【００５３】
先ず、発明品と比較品の各々に、結合樹脂（有機バインダ）としてカルナバルワックス、パラフィンワックス、及びポリプロピレンを加熱加圧混練したサンプルを作成する。このサンプルに対する結合樹脂（有機バインダ）の混合量は、前記各サンプルを、フローテスタ（ＣＦＴ−５００Ｄ／１００Ｄ：島津製作所製）を使用して、１７０℃の加熱状態で３０秒間に、１ｍｍのノズルから１０ｇ流出させるために必要な量として求めた。すなわち、各サンプルの流出速度を一定にするために必要なバインダ量を求めた。この結果を表５に示す。
【００５４】
【表５】
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なお、結合樹脂（有機バインダ）の混合量が多くなると、流出速度が速まり、粉末形状が不規則になるほど、同一バインダ量では流出速度が低下する。
【００５５】
表５から、発明品は流動性が高いために、ほぼ同一の最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘを有するジェットキャスター品と比較して、混合されるバインダ量を約半分に削減することができることが判る。すなわち、発明品は、ジェットキャスター品に対し、単位体積当たりの粉末重量を５．３％増やすことができるため、優れた磁気特性を備えた永久磁石を提供することができる。
【００５６】
次に、前記各サンプルの最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘを測定した。この結果を表６に示す。
【００５７】
【表６】
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表６から、発明品は、比較品に対し、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘが優れていることが判る。
【００５８】
次に、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造において、水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水温を、表７及び表８に示すように変化させた以外は、前記と同様の方法で希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を製造した。次に、各々の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末に対し、前記と同様の方法で、流動性、粉末形状の均一性、磁気特性（最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性）を測定した。この結果を、表７及び表８に示す。
【００５９】
【表７】
2004349364.tif 000009
【００６０】
【表８】
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表７及び表８から、アトマイズ水の水温が、４〜２０℃の範囲となるよう製造した発明品は、流動性、粉末形状の均一性、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性共に優れていることが判る。
【００６１】
次に、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造において、水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の水圧を、表９及び表１０に示すように変化させた以外は、前記と同様の方法で希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を製造した。次に、各々の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末に対し、前記と同様の方法で、流動性、粉末形状の均一性、磁気特性（最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性）を測定した。この結果を、表９及び表１０に示す。
【００６２】
【表９】
2004349364.tif 000011
【００６３】
【表１０】
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表９及び表１０から、アトマイズ水の水圧が、７５０〜１２００ｋｇ／ｃｍ２の範囲となるよう製造した発明品は、流動性、粉末形状の均一性、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性共に優れていることが判る。
【００６４】
次に、前記希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造において、水アトマイズ法で使用するアトマイズ水の金属溶湯１ｋｇ当たりの水量を、表１１及び表１２に示すように変化させた以外は、前記と同様の方法で希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を製造した。次に、各々の希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末に対し、前記と同様の方法で、流動性、粉末形状の均一性、磁気特性（最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性）を測定した。この結果を、表１１及び表１２に示す。
【００６５】
【表１１】
2004349364.tif 000013
【００６６】
【表１２】
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表１１及び表１２から、アトマイズ水の水量が、金属溶湯１ｋｇ当たり、２５リットル以上となるように製造した発明品は、流動性、粉末形状の均一性、最大磁気エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、ＭＦＲ流動性共に優れていることが判る。
【００６７】
以上説明したように、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末は、微細な略球状を呈し、優れた流動性及び磁気特性を提供することができる。したがって、この希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を用いて永久磁石を製造する際に、単位当たりの粉末充填量を増加させることができる結果、永久磁石の磁気特性を向上させることができる。このため、小型化が達成され、生産性が向上した希土類・鉄・ボロン系永久磁石を提供することができる。
【００６８】
また、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の製造方法によれば、金属溶湯が水アトマイズ法によって、粉砕されると共に急冷されるため、金属組織が非晶質化し、かつ微細な略球状を呈し、優れた流動性を備えた希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末を、優れた生産性で歩留り良く得ることができる。
【００６９】
そしてまた、本発明にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石は、希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末の充填比率が高いため、優れた磁気特性を備えることができる。したがって、小型化、高性能化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末のＳＥＭ写真である。
【図２】従来のジェットキャスター方式を用いて製造した希土類・鉄・ボロン系永久磁石材料粉末のＳＥＭ写真である。
【図１】
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【図２】
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