(57)【要約】【課題】作業者の拘束時間を低減して確認作業の効率化を図ることができる欠陥確認方法を提供することを目的とする。【解決手段】欠陥確認作業において、不良判定された欠陥候補Ｄが存在する個片内の他の欠陥候補Ｄの確認作業を省くことと、予め、全ての欠陥候補Ｄ位置に移動して検査画像を登録しておいて、作業者は登録された画像のみを確認して良否判定を行うので、確認作業を効率化することが可能となる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施するに際し、
欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認を実行して、製品の良品／不良品を判定する
欠陥確認方法。
【請求項２】
製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施するに際し、
欠陥候補位置を順に撮影カメラで撮影して検査画像を得てこれを記録する工程と、
記録されている検査画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行する工程と
を有する欠陥確認方法。
【請求項３】
欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認を実行して、製品の良品／不良品を判定する
請求項２記載の欠陥確認方法。
【請求項４】
製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施する欠陥確認装置であって、
検査対象における多面取りされた各製品の特定されている欠陥候補位置を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶位置を撮影するように撮影カメラを移動させる移動制御部と、
撮影カメラで撮影した検査画像を記録する検査画像記憶部と、
検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示する表示部と
を設けた欠陥確認装置。
【請求項５】
検査対象における多面取りされた各製品の全ての欠陥候補位置の検査画像を記録した後に、検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示部が表示している状態において、欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認に移動させるように前記移動制御部を構成した
請求項４記載の欠陥確認装置。
【請求項６】
検査対象における多面取りされた各製品の全ての欠陥候補位置の検査画像を記録した後に、検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示部が表示している状態において、再検査指示を検出して前記撮影カメラを再検査位置に移動させるように前記移動制御部を構成した
請求項４記載の欠陥確認装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板，プリント基板，液晶表示パネル，プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の配線パターン、印刷・捺印パターンなどの自動検査において検出された欠陥を、最終的に、良品か不良かを確認判定する欠陥確認方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記の欠陥確認作業においては、検査装置によって自動検出された欠陥位置に、欠陥確認装置の確認用カメラが自動で移動して各位置を撮影し、この各位置の映像を係員が、その都度に良品か不良かを判定している（特許文献１）（特許文献２）  。
【０００３】
図５は一次検査で使用される検査装置を示す。
この検査装置は、検査対象のワーク１を撮影する一次検査カメラ２と、この一次検査カメラ２をワーク１の上で移動させる移動テーブル３と、一次検査カメラ２が順に移動してワーク１の決められた範囲を撮影するように移動テーブル３を駆動する移動制御部４と、一次検査カメラ２の画像を処理して欠陥候補を検出する欠陥候補検出部５と、欠陥候補検出部５が欠陥候補であると判定したときの前記一次検査カメラ２の撮影位置を欠陥候補位置として記憶する欠陥候補位置記憶部６となどから構成され、欠陥候補位置情報が出力される。
【０００４】
なお、ワーク１が例えば、図６に示すように製品としての個片Ｓ１〜Ｓ４の４枚取りされたパネルの場合には、検査装置は個片Ｓ１〜Ｓ４を含む範囲Ｅを撮影するように一次検査カメラ２を移動させて、欠陥候補検出部５が欠陥候補を抽出している。
【０００５】
移動テーブル３は、例えばＸテーブル３ＸとＹテーブル３Ｙとで構成されており、移動制御部４はＸテーブル３Ｘの駆動モータ３ＡとＹテーブル３Ｙの駆動モータ３Ｂを駆動して一次検査カメラ２を目的位置に移動させている。
【０００６】
図７は二次検査で使用される欠陥確認装置を示す。
欠陥確認装置は、一次検査の完了したワーク１を撮影する二次検査カメラ７と、移動テーブル３と同様の移動テーブル８と、二次検査カメラ７の画像を表示する表示部９と、移動制御部１０とで構成されている。
【０００７】
移動テーブル８は、Ｘテーブル８ＸとＹテーブル８Ｙとで構成されており、移動制御部１０はＸテーブル８Ｘの駆動モータ８ＡとＹテーブル８Ｙの駆動モータ８Ｂを駆動して二次検査カメラ７を目的位置に移動させている。
【０００８】
検査装置で得られた欠陥候補位置情報に応じて、欠陥候補の位置に二次検査カメラ７を移動させ、そのときに表示部９に表示された画像を作業者１１が目視して、欠陥か、欠陥ではないのかを判定している。
【０００９】
【特許文献１】
特開昭６２−１４８８３９号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開昭６２−１５０１４３号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ワーク１が上記のように多面取りをしていても、従来の欠陥確認方法では、欠陥候補が製品としての何れの個片に属している欠陥候補であるのかを意識せずに一つのワークの全ての欠陥候補位置について、上記のように表示部９に表示された画像を作業者１１が目視して、欠陥か、欠陥ではないのかを判定した後に、その結果に基づいて、作業者１１の目視によって欠陥であると判定された欠陥候補を有している前記個片が不良品であると言う関連づけによって処理されているのが現状である。
【００１２】
具体例を図６に基づいて説明する。
この例では、個片Ｓ１〜個片Ｓ４の４面取りしたワーク１の場合を示している。各個片に×印で示す位置に欠陥候補Ｄ１〜Ｄ７があると一次検査で抽出された場合を示している。
【００１３】
従来では、二次検査カメラ７の撮影個所と撮影順序が決められており、欠陥候補Ｄ１は「欠陥でない」，欠陥候補Ｄ２は「欠陥でない」，欠陥候補Ｄ３は「欠陥でない」，欠陥候補Ｄ４の画像を観た作業員が「欠陥である」と判定した場合であっても、続けて欠陥候補Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７を同様に係員が目視作業によって「欠陥でない」／「欠陥である」を確認するものであって、「欠陥である」と判定した欠陥候補Ｄ４が属する個片Ｓ２の欠陥候補Ｄ５，Ｄ６の作業員による欠陥確認作業は効率が悪い。
【００１４】
さらに、上記のように欠陥候補Ｄ１〜Ｄ７を決められた順に二次検査カメラ７を移動させての欠陥確認作業は、欠陥候補Ｄ７の位置に二次検査カメラ７の撮影個所が到着するまで待たなければならないものである。
【００１５】
具体的には、欠陥候補Ｄ１〜Ｄ７での画像からの作業者が「欠陥でない」／「欠陥である」の判定を下すのに要する時間をｔ、欠陥候補Ｄ１から欠陥候補Ｄ２の位置に二次検査カメラ７が移動するのにようする時間をＴ１、欠陥候補Ｄ２から欠陥候補Ｄ３，欠陥候補Ｄ３から欠陥候補Ｄ４，欠陥候補Ｄ４から欠陥候補Ｄ５，欠陥候補Ｄ５から欠陥候補Ｄ６，欠陥候補Ｄ６から欠陥候補Ｄ７へ二次検査カメラ７が移動するのにようする時間をそれぞれＴ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔ５，Ｔ６とすると、
（ｔ×７）＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４＋Ｔ５＋Ｔ６
にわたって作業者が欠陥確認装置に拘束され、特に、欠陥間の移動時間も作業者が拘束されることになり、効率が悪い。
【００１６】
そこで本発明は、作業者の拘束時間を低減して確認作業の効率化を図ることができる欠陥確認方法と装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の欠陥確認方法は、製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施するに際し、欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認を実行して、製品の良品／不良品を判定することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の欠陥確認方法は、製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施するに際し、欠陥候補位置を順に撮影カメラで撮影して検査画像を得てこれを記録する工程と、記録されている検査画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行する工程とを有することを特徴とする。
【００１９】
また、前記欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認を実行して、製品の良品／不良品を判定することを特徴とする。
【００２０】
本発明の欠陥確認装置は、製品が多面取りされた検査対象を一次検査して自動検出された欠陥候補位置に撮影カメラを移動させ、前記撮影カメラから得た画像から良品／不良品を判定する二次検査を実施する欠陥確認装置であって、検査対象における多面取りされた各製品の特定されている欠陥候補位置を記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶位置を撮影するように撮影カメラを移動させる移動制御部と、撮影カメラで撮影した検査画像を記録する検査画像記憶部と、検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示する表示部とを設けたことを特徴とする。
【００２１】
また、検査対象における多面取りされた各製品の全ての欠陥候補位置の検査画像を記録した後に、検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示部が表示している状態において、欠陥候補の画像から「欠陥である」／「欠陥でない」の欠陥確認を実行し、「欠陥である」と判定された欠陥候補が属する製品のその他の欠陥候補については、欠陥候補の欠陥確認を実行せずに残りの欠陥候補の欠陥確認に移動させるように前記移動制御部を構成したことを特徴とする。
【００２２】
また、検査対象における多面取りされた各製品の全ての欠陥候補位置の検査画像を記録した後に、検査画像記憶部から検査画像を読み出して表示部が表示している状態において、再検査指示を検出して前記撮影カメラを再検査位置に移動させるように前記移動制御部を構成したことを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の欠陥確認方法を具体的な実施の形態に基づいて説明する。
図１は本発明の欠陥確認方法を実施する欠陥確認装置を示す。
【００２４】
この欠陥確認装置は、図５に示した検査装置によって一次検査されたワーク１を作業者が目視による二次検査の際に使用する装置であって、図７と同一のものには同じ符号を付けて説明する。
【００２５】
欠陥確認装置は、一次検査の完了したワーク１を撮影する二次検査カメラ７と、移動テーブル８と、一次検査によって抽出された欠陥候補を入力するための教示手段１２と、教示手段１２によって入力されたデータを記憶する位置記憶部１３と、位置記憶部１３から順に読み出した欠陥候補の位置に二次検査カメラ７を移動させる移動制御部１４と、移動制御部１４によって指示されて二次検査カメラ７が欠陥候補位置に到着するたびに二次検査カメラ７の画像データを欠陥候補位置と対応させて記憶する検査画像記憶部１５と、検査画像記憶部１５から読み出した画像を表示する表示部９とで構成されている。
【００２６】
なお、移動制御部１４または位置記憶部１３には、ワーク１における個片Ｓ１〜Ｓ４の個々の範囲が登録されている。
ワーク１には図６のように製品としての個片Ｓ１〜Ｓ４の４面取りされており、一次検査によって個片Ｓ１に欠陥候補Ｄ１が検出され、個片Ｓ２に欠陥候補Ｄ２〜Ｄ６が検出され、個片Ｓ３に欠陥候補Ｄ７が検出され、個片Ｓ４に欠陥候補が検出されなかった場合を例に挙げて説明する。なお、ここでは欠陥候補Ｄ３だけが「欠陥である」場合を例とする。
【００２７】
確認開始指示１６を移動制御部１４に与えると、これを検出した移動制御部１４は、二次検査カメラ７を順に欠陥候補の位置に移動させて、欠陥候補の位置に到着するごとに到着信号１７を検査画像記憶部１５に与える。到着信号１７を検出した検査画像記憶部１５は、二次検査カメラ７のそのときの画像を欠陥候補位置と対応させて記憶する。
【００２８】
図２の（ステップ１）〜（ステップ３）のルーチンがこの際の移動制御部１４と検査画像記憶部１５の繰り返し動作である。このようにして欠陥候補Ｄ１〜Ｄ７の検査画像が検査画像記憶部１５に自動的に登録される。
【００２９】
次いで、図２の（ステップ４）で作業者による目視による欠陥確認作業が実施される。
（ステップ４）の工程ａでは、概ね図３のフローが実施される。
【００３０】
検査画像記憶部１５から欠陥候補Ｄ１の検査画像が読み出されて表示部９に表示される。これを目視で確認した作業者は、「欠陥ではない」と判定してスイッチ１８を操作して検査画像記憶部１５に知らせる。欠陥候補Ｄ１は「欠陥ではない」と知らされた検査画像記憶部１５は、欠陥候補Ｄ１の検査画像に対応して「欠陥ではない」を記憶する。
【００３１】
欠陥候補Ｄ１の目視確認が終了したと認識した検査画像記憶部１５は、欠陥候補Ｄ２の検査画像を読み出して表示部９に表示する。これを目視で確認した作業者は、「欠陥ではない」と判定してスイッチ１８を操作して検査画像記憶部１５に知らせる。欠陥候補Ｄ２は「欠陥ではない」と知らされた検査画像記憶部１５は、欠陥候補Ｄ２の検査画像に対応して「欠陥ではない」を記憶する。
【００３２】
欠陥候補Ｄ２の目視確認が終了したと認識した検査画像記憶部１５は、欠陥候補Ｄ３の検査画像を読み出して表示部９に表示する。これを目視で確認した作業者は、「欠陥である」と判定してスイッチ１９を操作して検査画像記憶部１５に知らせる。欠陥候補Ｄ３は「欠陥である」と知らされた検査画像記憶部１５は、欠陥候補Ｄ３の検査画像に対応して「欠陥である」を記憶する。
【００３３】
欠陥候補Ｄ３の検査画像に対応して「欠陥である」と認識した検査画像記憶部１５は、移動制御部１４または位置記憶部１３に照会して欠陥候補Ｄ３が属する個片は個片Ｓ１〜Ｓ４の何れかであって、残りの欠陥候補Ｄ４〜Ｄ７のうちで欠陥候補Ｄ３と同じ個片に属する欠陥候補は存在するかをチェックする。
【００３４】
ここでは、欠陥候補Ｄ３は個片Ｓ２に属していて欠陥候補Ｄ４〜Ｄ６も個片Ｓ２に属すると判定される。この判定に基づいた検査画像記憶部１５は、「欠陥である」と確認された欠陥候補Ｄ３の次には、欠陥候補Ｄ４〜Ｄ６を飛ばして欠陥候補Ｄ７を読み出して表示部９に表示させて欠陥確認を実施し、ここでは  スイッチ１８が操作されて欠陥候補Ｄ７に対応して検査画像記憶部１５に「欠陥ではない」と登録される。
【００３５】
このように欠陥候補Ｄ１〜Ｄ７の検査画像を検査画像記憶部１５に蓄積してから、これを読み出して作業者が目視による欠陥確認を実施できるため、二次検査カメラ７の移動に要する時間（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４＋Ｔ５＋Ｔ６）は作業員の検査拘束時間を従来に比べて少なくとも短縮できると共に、「欠陥である」と確認された欠陥候補Ｄ３の次には、欠陥候補Ｄ４〜Ｄ６を飛ばして欠陥候補Ｄ７を読み出して表示部９に表示させて欠陥確認を実施するので、欠陥候補Ｄ４〜Ｄ６を実施した場合に消費される（ｔ×３）も削減でき、作業員の検査拘束時間を（ｔ×４）とさらに短縮できる。
【００３６】
さらに、実際の欠陥確認作業では、欠陥候補Ｄ３の検査画像を見ただけでは判断が付きにくいような場合に、欠陥候補Ｄ３の再検査を実施する必要がある。そこで、この実施の形態では、（ステップ４）の工程ｂでは、表示部９に欠陥候補Ｄ３の検査画像が表示されている状態で、再検査を指示するスイッチ２０を操作すると、これを認識した移動制御部１４は、検査画像記憶部１５が読み出し中の検査画像が欠陥候補Ｄ３の検査画像であることから、再検査位置が欠陥候補位置で有ることを認識して、二次検査カメラ７を欠陥候補Ｄ３の位置に移動させる。この際の二次検査カメラ７の撮影倍率を図４（ａ）から（ｂ）へ上げるように制御することが好ましい。
【００３７】
再検査の欠陥候補Ｄ３の画像は検査画像記憶部１５を介して表示部９に再表示され、作業者が目視確認してスイッチ１８またはスイッチ１９が操作されて、結果が検査画像記憶部１５に登録される。この際に、再検査の欠陥候補Ｄ３の画像を検査画像記憶部１５に登録したり、再検査の欠陥候補Ｄ３の画像を欠陥候補Ｄ３の最初の検査画像に上書きするなどの処理をすることもできる。
【００３８】
なお、上記の実施の形態では一次検査で抽出された欠陥候補の検査画像を全て検査画像記憶部１５に登録してから、これを読み出して作業者の目視による欠陥確認処理を実施したが、検査画像をその都度に作業者の目視による欠陥確認処理を実施する場合であっても、図３に示したように、欠陥候補Ｄ３が「欠陥である」と判定された場合のように、その欠陥候補Ｄ３が属する個片Ｓ２のその他の欠陥候補Ｄ４〜Ｄ６は欠陥確認処理を実施しないように移動制御部１４ならびに検査画像記憶部１５を構成することによって、上記の実施の形態と同様な形式で表現すると、従来の検査拘束時間が
（ｔ×７）＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４＋Ｔ５＋Ｔ６
であったものが、
ｔ＋Ｔ１＋ｔ＋Ｔ２＋ｔ＋Ｔ３〜７＋ｔ
＝（ｔ×４）＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３〜７
に短縮できる。なお、Ｔ３〜７は二次検査カメラ７が欠陥候補Ｄ３の位置から欠陥候補Ｄ７に直接に移動するに必要な時間である。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように本発明の欠陥確認方法によれば、欠陥確認作業において、「欠陥である」判定された欠陥候補が存在する個片内の他の欠陥候補の確認作業を省くことと、全ての欠陥候補の位置に移動して撮影した検査画像を登録しておいて、作業者は、欠陥の画像のみを確認して良否判定を行うことにより、従来に比べて確認作業を効率化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の欠陥確認方法を実現する欠陥確認装置の構成図
【図２】同実施の形態の要部のフローチャート図
【図３】同実施の形態の別の要部のフローチャート図
【図４】二次検査カメラ７の再検査の場合の撮影倍率の変化の前後の検査画像
【図５】欠陥候補を抽出する検査装置の構成図
【図６】検査対象のワークの平面図と検査装置で抽出された欠陥候補の説明図
【図７】従来の欠陥確認装置の構成図
【符号の説明】
１    ワーク（検査対象）
７    二次検査カメラ
８    移動テーブル
９    表示部
１２    教示手段
１３    位置記憶部
１４    移動制御部
１５    検査画像記憶部
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４    個片（製品）
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７    欠陥候補
【図１】
2004184243.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004184243.tif 000007
【図６】
2004184243.tif 000008
【図７】
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