(57)【要約】【課題】多数の製造装置から構成される製造工程における製造装置を的確に監視する。【解決手段】監視システムは、製造装置４２００から情報を受信するＦＡコンピュータ４１００と、ＦＡコンピュータ４１００からＬＡＮ１１００を介して情報を受信し、受信した情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する情報収集コンピュータ６０００と、受信した情報に基づいてデータベースを構築するとともに、構築されたデータベースに従って管理者に情報を表示する設備稼働監視ホストコンピュータ１０００とを含む。設備稼働監視ホストコンピュータ１０００には複数のデータベースが構築されるとともに、複数のデータベースに構築された情報が、互いに関連付けられた形態にてモニタに表示される。【選択図】　　　　図２
2004133620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の製造装置から構成される製造ラインを監視するシステムであって、
各前記製造装置から情報を収集するための収集手段と、
前記収集した情報を記憶するための第１の記憶手段と、
前記記憶された情報に基づいて、各前記製造装置による製造の実績に関する第１の情報を作成するための第１の作成手段と、
前記第１の情報に基づいて、前記実績の変動に関する第２の情報を作成するための第２の作成手段と、
前記第１の情報および前記第２の情報を互いに関連付けて出力するための第１の出力手段と、
前記第１の情報および前記第２の情報のいずれかに基づいて、警報情報を発信するための第１の発信手段とを含む、製造ライン監視システム。
【請求項２】
前記製造ライン監視システムは、前記第１の情報に基づいて、各前記製造装置の間における実績の差異に関する第３の情報を作成するための第３の作成手段をさらに含み、
前記第１の出力手段は、前記第１の情報、前記第２の情報および前記第３の情報を互いに関連付けて出力するための手段を含む、請求項１に記載の製造ライン監視システム。
【請求項３】
前記第１の出力手段は、予め定められた間隔に対応させて、情報を出力するための手段を含む、請求項１または２に記載の製造ライン監視システム。
【請求項４】
前記予め定められた間隔は、秒、分、時間、日、週および月のいずれかである、請求項３に記載の製造ライン監視システム。
【請求項５】
前記第１の出力手段は、各前記製造装置の配置場所についての予め定められた条件に対応させて、情報を出力するための手段を含む、請求項１〜３のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項６】
前記予め定められた条件は、同じ建物に配置されているという条件、同じフロアに配置されているという条件および同じエリアに配置されているという条件のいずれかである、請求項５に記載の製造ライン監視システム。
【請求項７】
前記情報は、各前記製造装置における現在の稼働状態に関する情報を含む、請求項１〜６のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項８】
前記第１の発信手段は、前記現在の稼働状態が予め定められた条件を満足したことに応答して、警報情報を発信するための手段を含む、請求項７に記載の製造ライン監視システム。
【請求項９】
前記予め定められた条件は、前記現在の稼働状態が故障状態であるという条件である、請求項８に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１０】
前記情報は、各前記製造装置における単位時間あたりの処理数に関する情報を含む、請求項１〜６のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１１】
前記第１の発信手段は、前記単位時間あたりの処理数が予め定められた条件を満足したことに応答して、警報情報を発信するための手段を含む、請求項１０に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１２】
前記予め定められた条件は、前記単位時間あたりの処理量が予め定められたしきい値を下回ったという条件である、請求項１１に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１３】
前記情報は、各前記製造装置において製造された製品の品質に関する情報を含む、請求項１〜６のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１４】
前記第１の発信手段は、前記製品の品質が予め定められた条件を満足したことに応答して、警報情報を発信するための手段を含む、請求項１３に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１５】
前記予め定められた条件は、前記製品の品質が予め定められた不良な品質であるという条件である、請求項１４に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１６】
前記製造ライン監視システムは、
各前記製造装置の保守計画に関する保守計画情報を記憶するための第２の記憶手段と、
前記記憶された情報に基づいて、各前記製造装置による保守の実績に関する第４の情報を作成するための第４の作成手段と、
前記保守計画情報および前記第４の情報を互いに関連付けて出力するための第２の出力手段とをさらに含む、請求項１〜１５のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項１７】
前記製造ライン監視システムは、前記保守計画情報と前記第４の情報との比較により作成された警報情報を発信するための第２の発信手段をさらに含む、請求項１６に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１８】
前記警報情報は、前記保守計画と前記保守の実績とが合致しないことに関する警報情報である、請求項１７に記載の製造ライン監視システム。
【請求項１９】
前記発信手段は、公衆回線網を用いて、前記警報情報を発信するための手段を含む、請求項１〜１８のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２０】
前記発信手段は、前記警報情報を無線通信端末に発信するための手段を含む、請求項１９に記載の製造ライン監視システム。
【請求項２１】
前記出力手段は、前記製造装置毎に、人の視覚を刺激する値を変更して、情報を出力するための手段を含む、請求項１〜２０のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【請求項２２】
前記出力手段は、前記製造装置から収集された情報の種類毎に、人の視覚を刺激する値を変更して、情報を出力するための手段を含む、請求項１〜２０のいずれかに記載の製造ライン監視システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の製造装置を含む生産工場における装置の監視システムに関し、特に、製造装置の稼働状況を監視したり製造装置で製造される製品の品質を監視したりするシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップなどを製造する生産工場においては、その集積度の向上、機能の向上等に伴い、製品の複合化および高集積化が図られている。それに伴い、そのような製品を製造する工程も多数に分かれ、その多数の工程に配置された製造装置における処理が行なわれて、製品が製造される。このような生産工場においては、製造効率の向上、品質管理の強化等のため、工程を監視する必要がある。従来から、このような工程における監視制御を実行するためのシステムが多数実現されている。
【０００３】
特開平８−５５０８６号公報（特許文献１）は、監視システムの高速化、情報の共有化および拡張性の向上を目的としたグラフィックス表示システムを開示する。このシステムは、プラントの情報をモニタに表示してプラントの監視制御を実行する。このシステムは、プラントの状態などのオンライン情報を管理するオンラインサーバと、プラント設備の種類や配置などの設備に関する情報を管理する設備サーバと、プラント設備の状態などをグラフィックス表示するためのシンボルや色定義などのグラフィックス情報を管理するグラフィックスサーバと、これら３つのサーバの管理する情報を関連付けて、それぞれのＤＢサーバで管理されているデータをあたかも１つの情報として統合化するグラフィックスサーバとを含む。
【０００４】
特許文献１に開示されたシステムによると、データベースや処理機能を分散化するとともに、データベースをオブジェクト指向化し、さらに、グラフィックスサーバによるデータベースの統一的な操作を実現できる。このため、データベースの高速化技術が最大限活用でき、かつ、データの透過性を実現できる。その結果、処理の高速化と計算機資源の有効活用ができ、システムの拡張性、情報の共有化、信頼性の向上を実現できる。
【０００５】
特開平１０−５５２９１号公報（特許文献２）は、プラントの保守情報の入力および更新を容易にできるとともに、世界中の保守対象機器と接続する保守システムを開示する。このシステムは、保守対象機器とＷＷＷサーバとから構成される。保守対象機器は、その機器の自己診断を行なうインテリジェント・アラーム回路と、このインテリジェント・アラーム回路による診断結果に基づいてメッセージを作成するメッセージ作成回路と、作成されたメッセージをインターネットを介して発信するメッセージ発信回路とを含む。ＷＷＷサーバは、保守対象機器から発信されたメッセージを受信するメッセージ受信回路と、受信したメッセージを解読するメッセージ解読回路と、解読されたメッセージを処理するメッセージ処理回路と、保守対象機器に関する保守に必要な情報を格納した情報格納回路とを含む。このシステムにおいては、保守対象機器からのメッセージに応答してＷＷＷサーバから保守用端末が呼び出され、呼び出された保守用端末は、メッセージおよびＷＷＷサーバ内に格納された保守情報を参照しつつインターネットを介して保守対象機器の保守を実行する。
【０００６】
特許文献２に記載されたシステムによると、保守対象機器は、自己診断してその診断結果に基づいたメッセージをインターネットを介して迅速に発信する。インターネットを介してメッセージを受信したＷＷＷサーバは、そのメッセージ内容に基づいた迅速かつ適切な保守処理を保守用端末に実行させることできる。保守用端末による保守情報の入力およびＷＷＷサーバ側の保守情報の更新を容易に実行できる。さらに、世界中の保守対象機器とインターネットを介して接続しているので、公衆網による接続に比較して低い通信コストを実現できる。
【０００７】
特開２０００−９９５４２公報（特許文献３）は、データベースからユーザの必要とするデータをユーザ自身が容易に抽出したり加工したり表示したりできるシステムを開示する。このシステムは、ユーザの必要とする情報をデータベースより引き出す際の問い合わせにおいて、ユーザが取り出したい情報およびその表示形式を設定する設定回路と、その情報に基づいて、スキーマ定義情報を検索する検索回路と、問い合わせ文を作成する作成回路と、ユーザが必要とするデータをデータベースから取得できない場合には、スキーマを変更する変更回路と、問い合わせの結果得られたデータを表示形式にて表示する表示回路とを含む。
【０００８】
特許文献３に開示されたシステムによると、ユーザはデータベースから引き出したい項目、表示形式および条件を設定すると、検索回路はその情報に基づいてスキーマ定義情報を検索する。作成回路は、検索されて得られたデータベースのデータ構造の情報を用いて、問い合わせ文を作成する。表示回路は、データベースから取り出された情報をユーザが設定した表示形式に従って整形して表示する。これにより、膨大な時系列データを含む製造実績データ等をデータベースを利用するユーザが、自分の必要なデータを容易に抽出して加工して表示することできる。
【０００９】
特開平１１−３４５２１３号公報（特許文献４）は、過去の詳細なプロセスデータを、後に利用し易い形式で保存するとともに、コンピュータの負荷を低減させることができるシステムを開示する。このシステムは、プロセスコンピュータと、プロセスコンピュータに記憶されたプロセスデータを適当なデータ量のデータ群に分割し、キー情報を付加するという前処理を実行するとともに、クライアント端末からの要求に応じてデータベースサーバからのプロセスデータの取出しを制御するアプリケーションサーバと、前処理が実行されたプロセスデータに基づいてデータベースを構築するデータベースサーバと、アプリケーションサーバにアクセスして、アプリケーションサーバからプロセスデータを受信するクライアント端末とを含む。
【００１０】
特許文献４に開示されたシステムによると、プロセスデータのすべてを、前処理して後に利用しやすい形式にする。このようにして、すべてのプロセスデータを記録しておくことにより、後に、例えば出荷された製品に品質上の問題が生じた場合には、その製品が製造された時点でのきめ細かい各種データを取り出して参照できる。その結果、品質問題が生じた原因をより的確に究明することが可能になる。
【００１１】
特開平６−２６６６３４号公報（特許文献５）は、膨大な数の端末装置のトータルな予防的保守管理を適正に実行できるシステムを開示する。このシステムは、複数の端末装置と複数の端末装置を集中監視する監視装置とを含む。端末装置は、情報の入力とその情報の入力に基づく異常発生とを検出する検出回路と、その検出した情報を時系列的に順次監視装置に送信する送信回路とを含む。監視装置は、複数の端末装置から時系列的に送信された情報を統計処理して端末装置毎の異常発生予測度数および異常保守緊急度予測度数を予測する予測回路と、予測回路により予測された端末装置毎の異常発生予測度数および異常保守緊急度予測度数に基づき、複数の端末装置の保守を管理する管理回路とを含む。
【００１２】
特許文献５に開示されたシステムによると、各端末装置において、情報の入力とその情報の入力に基づく異常発生とがそれぞれ検出されて、その検出情報が時系列的に順次監視装置に送信される。監視装置では、複数の端末装置から時系列的に送信された検出情報を集計し、これを統計処理する。このとき、予測回路により、端末装置毎の異常発生予測度数および異常保守緊急予測度数が予測され、管理回路により、予測した端末装置毎の異常発生予測度数および異常保守緊急度予測度数に基づき複数の端末装置の保守が管理される。その結果、膨大な数の端末装置のトータルな予防的保守管理を適正に実行することができる。
【００１３】
【特許文献１】
特開平８−５５０８６号公報
【００１４】
【特許文献２】
特開平１０−５５２９１号公報
【００１５】
【特許文献３】
特開２０００−９９５４２公報
【００１６】
【特許文献４】
特開平１１−３４５２１３号公報
【００１７】
【特許文献５】
特開平６−２６６６３４号公報
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
複雑な工程を経て製造される半導体チップなどの品質を監視するためには、その工程、その工程の中の製造装置、その製造装置における製造条件の経時的な変化、その工程の中に配置された複数の製造装置の間における製造条件の差異、その製造装置におけるメンテナンス状況などの複雑で多岐におよぶ要因を、的確に把握する必要がある。しかしながら、上述した特許文献１〜５のいずれかに記載されたシステム単独でも、特許文献１〜５をどのように組合せても、複雑で多岐におよぶ要因を、的確に把握して、監視者に速やかに知らせることができない。その結果、品質トラブルが発生しても、その要因を特定するために多大の時間を必要とする。要因を特定するまでは、製造装置を停止させなければならず、高額の設備の稼働率が著しく低下するとともに、製造性も著しく低下する。
【００１９】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであって、多数の製造装置から構成される製造工程における製造装置の監視、製造装置により製造される製品の監視を、容易にかつ的確に実行することができる、製造ライン監視システムを提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る製造ライン監視システムは、複数の製造装置から構成される製造工程を監視する。このシステムは、各製造装置から情報を収集するための収集手段と、収集した情報を記憶するための第１の記憶手段と、記憶された情報に基づいて、各製造装置による製造の実績に関する第１の情報を作成するための第１の作成手段と、第１の情報に基づいて、実績の変動に関する第２の情報を作成するための第２の作成手段と、第１の情報および第２の情報を互いに関連付けて出力するための第１の出力手段と、第１の情報および第２の情報のいずれかに基づいて、警報情報を発信するための第１の発信手段とを含む。
【００２１】
好ましくは、この発明に係る製造ライン監視システムは、第１の情報に基づいて、各製造装置の間における実績の差異に関する第３の情報を作成するための第３の作成手段をさらに含む。第１の出力手段は、第１の情報、第２の情報および第３の情報を互いに関連付けて出力するための手段を含む。
【００２２】
さらに好ましくは、この発明に係る製造ライン監視システムは、各製造装置の保守計画に関する保守計画情報を記憶するための第２の記憶手段と、記憶された情報に基づいて、各製造装置による保守の実績に関する第４の情報を作成するための第４の作成手段と、保守計画情報および第４の情報を互いに関連付けて出力するための第２の出力手段とをさらに含む。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがってそれらについての詳細な説明は繰返さない。
【００２４】
図１を参照して、本実施の形態に係る設備稼働監視システムの全体構成について説明する。図１に示すように、設備稼働監視システム１００は、各生産拠点毎に設けられる。また各生産拠点には、複数の設備稼働監視システムを設けることもできる。各生産拠点毎に設けられた設備稼働監視システム１００は、インターネット２００を介して互いに接続される。したがって、１の生産拠点の設備稼働監視システム１００から他の生産拠点の設備稼働監視システム１００の情報を取得することができる。
【００２５】
設備稼働監視システム１００は、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００と、各製造装置に接続されて、製造装置との通信を行なうＦＡコンピュータ４１００と、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に記憶された情報を管理者が閲覧するための管理端末５０００と、ＦＡコンピュータ４１００から製造装置の情報を収集する情報収集コンピュータ６０００と、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００からの要求に応答して管理者にアラーム情報を発信するアラーム発信コンピュータ７０００とを含む。ＦＡコンピュータ４１００、管理端末５０００、情報収集コンピュータ６０００およびアラーム発信コンピュータ７０００は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ　Ａｒｅａ　Ｎｅｔｗｏｒｋ）１１００により設備稼働監視ホストコンピュータ１０００と接続されている。また、インターネット２００により、複数の設備稼働監視ホストコンピュータ１０００が接続されている。
【００２６】
図２を参照して、設備稼働監視システムの構成について説明する。図２に示すように、設備稼働監視システム１００は、各生産拠点毎に、ＬＡＮ１１００で接続された設備稼働監視ホストコンピュータ１０００を中心として、複数のコンピュータにより構成されている。製造装置４２００は、複数の建屋のフロア毎に設けられたエリア単位で管理される。１つの生産拠点は、複数の建屋により構成される。１つの建屋の同一建屋領域２０００の中に、複数の同一フロア領域３０００を含む。１つの同一フロア領域３０００の中に、複数の同一エリア領域４０００を含む。１つの同一エリア領域４０００は、少なくとも１台のＦＡコンピュータ４１００と複数の製造装置４２００とから構成される。
【００２７】
ＦＡコンピュータ４１００および製造装置４２００は、ＬＡＮ１１００により接続される。製造装置４２００は、ＦＡコンピュータ４１００に対して、稼働情報や品質情報を送信する。ＦＡコンピュータ４１００は、ＬＡＮ１１００を介して情報収集コンピュータ６０００に、製造装置４２００から受信した工程完了情報や稼働情報や品質情報等を送信する。情報収集コンピュータ６０００は、複数のＦＡコンピュータ４１００から受信した情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する。
【００２８】
設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は、予め定められたプログラムに従って動作し、情報収集コンピュータ６０００から受信した情報に基づいて、各種データベースを構築する。設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は、アラーム発信コンピュータ７０００に対してアラーム情報の発信を指示する。アラーム発信コンピュータ７０００は、ＰＢＸ（Ｐｒｉｖａｔｅ　Ｂｒａｎｃｈ　Ｅｘｃｈａｎｇｅ）接続ライン９０００により接続されたＰＢＸ８０００を介して管理者のポケベルおよびＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｈａｎｄｙ−ｐｈｏｎｅ　Ｓｙｓｔｅｍ）電話などにアラーム情報を送信する。
【００２９】
管理端末５０００は、たとえば、タッチパネル方式のモニタを有し、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００の内部に記憶されたデータベースを管理者が閲覧するための端末である。
【００３０】
図３を参照して、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００のブロック図について説明する。図３に示すように、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は、設備稼働監視システムを制御するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）１００２と、各種の情報を出力するモニタ１００４と、ＬＡＮ１１００に接続されネットワークを制御するネットワークインターフェイス１００６と、ＣＰＵ１００２で実行されるプログラムおよびそのプログラムの実行途中の演算結果などを記憶するメモリ１００８と、各種データベースを記憶する固定ディスク１０１０とを含む。
【００３１】
固定ディスク１０１０に記憶されるデータベースには、製造装置４２００の現在状況を記憶するステータスデータベース１０２０と、ステータスデータベース１０２０に格納されたデータに基づいて作成される建屋別データベース１０２２と、フロア別データベース１０２４およびエリア別データベース１０２６とがある。さらに、固定ディスク１０１０に記憶されるデータベースには、製品をロット別に管理するロット管理データベース１０３０、製品の品質を管理する品質管理データベース１０４０、製造装置４２００の故障状態を管理する故障管理データベース１０５０がある。さらに、固定ディスク１０１０に記憶されるデータベースには、製造設備４２００の現在稼働状況を表わすステータス情報に基づいて作成される稼働状況データベース１０６０と、稼働状況データベースに格納されたデータに基づいて作成される日報データベース１０６２、週報データベース１０６４および月報データベース１０６６がある。さらに、固定ディスク１０１０に記憶されるデータベースには、アラーム発信コンピュータ７０００を介して管理者にアラーム情報を発信するためのアラーム管理データベース１０７０、生産計画を格納する生産計画データベース１０８０、定期メンテナンスの計画および実績を格納する定期メンテナンスデータベース１０９０がある。
【００３２】
ＣＰＵ１００２、モニタ１００４、ネットワークインターフェイス１００６、メモリ１００８、固定ディスク１０１０およびこれらのデータベースは、バス１０９８により接続されている。また、ネットワークインターフェイス１００６は、ＬＡＮ１１００に接続される。
【００３３】
図４〜図１９を参照して、図３に示す各データベースに記憶される内容について説明する。
【００３４】
図４に、固定ディスク１０１０に記憶される管理マスタデータベースの内容を示す。この管理マスタデータベースに記憶される内容は、製造装置４２００を識別するための管理番号と、その製造装置４２００が設置された建屋の番号を表わす建屋番号と、その製造装置４２００が設置されたフロアの番号を表わすフロア番号と、その製造装置４２００が設置されたエリアの番号を表わすエリア番号と、その装置の番号を示す装置ＩＤである装置番号と、装置名称と、装置機能とである。たとえば、管理番号が「１０３８４１３２」のキーデータで管理される製造装置４２００は、建屋番号が「ＤＫ」で表わされる建屋の１階のフロアの「ＳＰＸ」エリアに装置番号「１０２」として設置されている。この装置は減圧めっき装置であって、その機能はフルＦＡの機能を有する。なお、装置機能の種類には、「フルＦＡ」、「セミＦＡ」、「セミオート」、「マニュアル」の４種類がある。「フルＦＡ」とは、ベイ内における製品の搬送を全て自動で行なうモードである（装置自動、搬送自動）。「セミＦＡ」とは、ベイ内における製品の搬送を人が行なうモードである（装置自動、搬送手動）。「セミオート」とは、ベイ内における製品の搬送を人が行ない、装置への条件入力を上位システムから行なうモードである（装置半自動、搬送手動）。「マニュアル」とは、ベイ内における製品の搬送を人が行ない、装置への条件入力も人が手動で行なうモードである（装置オフライン、搬送手動）。
【００３５】
図５を参照して、ステータスデータベース１０２０に記憶される内容について説明する。図５に示すように、ステータスデータベース１０２０に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、第１の受信ステータス、第２の受信ステータス、第Ｎの受信ステータス、現在のステータス、現在の装置モード、処理中ロット一覧および処理待ちロット一覧である。第１の受信ステータスは、最も直近に設備稼働監視ホストコンピュータ１０００が受信した製造装置４２００のステータスを表わす情報である。
【００３６】
第１の受信ステータスとして、受信したステータスの内容および受信日時を記憶する。たとえば、管理番号が「６７４３２９８２」で識別される製造装置４２００は、最も直近にステータスが「稼働」状態である情報を受信している。そのため、現在のステータスとして「稼働」を記憶する。なおこの管理番号「６７４３２９８２」で識別される製造装置４２００の現在の装置モードは「全自動」であって、この製造装置４２００において処理されているロットの一覧と、処理待ちとなっているロットの一覧としてロット番号が記憶される。ステータスの種類には、「稼働」、「待ち」、「故障」、「定期メンテナンス」、「計画休止」の５種類がある。なお、以下の説明では、「定期メンテナンス」を「定メン」または「定メ」と記す場合がある。
【００３７】
図６を参照して、建屋別データベース１０２２に記憶される内容について説明する。図６に示すように、建屋別データベース１０２２に記憶される内容は、建屋番号、フロア番号およびエリア番号毎の、それぞれのステータスの状態である製造装置４２００の台数である。ステータス集計の結果台数が記憶されるのは、「稼働台数」、「待ち台数」、「故障台数」、「定期メンテナンス台数」、「計画休止台数」の５種類の台数である。
【００３８】
図７を参照して、フロア別データベース１０２４に記憶される内容について説明する。図７に示すように、フロア別データベース１０２４に記憶される内容は、建屋番号、フロア番号およびエリア番号毎の、それぞれのステータス状態である製造装置４２００の管理番号である。前述の建屋別データベース１０２２が、それぞれのステータスの製造装置４２００の台数のみを記憶したのに対して、図７に示すフロア別データベース１０２４においては、台数のみではなくそれぞれのステータスの状態である製造装置４２００の管理番号が格納される。
【００３９】
図８を参照して、エリア別データベース１０２６に記憶される内容について説明する。図８に示すように、エリア別データベース１０２６に記憶される内容は、建屋番号、フロア番号、およびエリア番号毎の、製造装置４２００の管理番号に対するステータス、装置機能、処理中ロット数または待ちロット数である。
【００４０】
図９を参照して、ロット管理データベース１０３０に記憶される内容について説明する。図９に示すように、ロット管理データベース１０３０に記憶される内容は、ロットを識別するためのロット管理番号毎の、そのロットが現在仕掛っている工程、そのロットの製造方式、ロットに含まれる半導体ウェハなどの処理枚数、ロットの数である。
【００４１】
図１０を参照して、品質管理データベース１０４０に記憶される内容について説明する。図１０に示すように、品質管理データベース１０４０に記憶される内容は、ロットを識別するロット管理番号毎の、品質履歴、品質トラブル、品質トラブルが発生した発生工程、品質トラブルが発生した発生装置の管理番号、トラブル情報である。
【００４２】
図１１を参照して、故障管理データベース１０５０に記憶される内容について説明する。図１１に示すように、故障管理データベース１０５０に記憶される内容は、製造装置４２００の管理番号毎の、故障を識別するためのエラーコード、エラーコードに対応するエラー名称、故障に対応した処理者の氏名、故障要因、故障原因、アラーム情報を発信したことを示すアラーム発信フラグ、アラーム情報である。
【００４３】
図１２を参照して、稼働状況データベース１０６０に記憶される内容について説明する。図１２に示すように、稼働状況データベース１０６０に記憶される内容は、製造装置４２００の管理番号毎の、複数の日数分の稼働集計と、実績集計とである。たとえば、２００２年９月１日の稼働集計は、製造装置４２００のステータスが稼働状況であった時間を示す一覧と待ち状態であった時間を示す一覧と、故障状態であった時間を示す一覧と、定期メンテナンスが実行されていた時間を示す一覧と、計画休止が実行された時間を示す一覧とが記憶される。たとえば、２００２年９月１日において、管理番号が「６７４３２７６」で識別される製造装置４２００は、０時５０分から１時４５分まで、２時４５から６時３０分まで、１１時から１６時３０分まで稼働していたという情報を記憶する。この稼働集計は、図５に示すステータスデータベース１０２０に記憶された受信ステータスに基づいて行なわれる。
【００４４】
また、実績集計は、時間帯毎にそれぞれの製造装置４２００における出来高と仕掛り数とを記憶する。たとえば、２００２年９月１日の０時から１時の間に管理番号が「６７４３２７６」で識別される製造装置４２００における製品の出来高は「２１２」、仕掛り数は「２６１８」であることが記憶されている。
【００４５】
このようにして、稼働集計および実績集計が、予め定められた日数分だけ稼働状況データベース１０６０に格納される。
【００４６】
図１３を参照して、日報データベース１０６２に記憶される内容について説明する。図１３に示すように、日報データベース１０６２に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、予め定められた日数分の稼働集計と実績集計とである。このとき、図１３に示すように、稼働集計は、稼働時間累計、待ち時間累計、故障時間累計、定期メンテナンス時間累計および計画休止累計を記憶する。また、実績集計は、夜勤、早番、遅番毎の出来高および仕掛り数を記憶する。この図１３に示す日報データベース１０６２に記憶される内容は、前述の図１２の稼働状況データベース１０６０に記憶される内容に基づいて作成される。
【００４７】
図１４を参照して、週報データベース１０６４に記憶される内容について説明する。図１４に示すように、週報データベース１０６４に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、１週間単位の稼働集計および実績集計である。この図１４に示す週報データベース１０６４に記憶される内容は、前述の図１３に示す日報データベース１０６２に記憶される内容に基づいて作成される。
【００４８】
図１５を参照して、月報データベース１０６６に記憶される内容について説明する。図１５に示すように、月報データベース１０６６に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、月毎の稼働集計および実績集計である。この図１５に示す月報データベース１０６６に記憶される内容は、前述の図１４に示す週報データベース１０６４に記憶される内容に基づいて作成される。
【００４９】
図１６を参照して、アラーム管理データベース１０７０に記憶される内容について説明する。図１６に示すように、アラーム管理データベース１０７０に記憶される内容は、設備故障（システムやネットワークや装置等の故障を含む）によるデータベースと品質異常によるデータベースとが統合されている。アラーム管理データベースにおける装置故障データベースは、製造装置４２００を識別する管理番号毎に、装置の故障を示すエラーコード、エラー名称、発生工程、発生時刻、アラーム発信時刻、アラーム情報を記憶する。このアラーム管理データベースの装置の故障データベースに記憶される内容は、前述の図１１に示した故障管理データベース１０５０に記憶される内容に基づいて作成される。
【００５０】
また、図１６に示すように品質異常データベースは、ロットを識別するロット管理番号毎に、品質トラブルコード、品質トラブル名称、発生工程、管理番号、アラーム発信時刻、アラーム情報を記憶する。このアラーム管理データベースの品質異常データベースに記憶される内容は、前述の図１０に示した品質管理データベース１０４０に記憶される内容に基づいて作成される。
【００５１】
図１７を参照して、生産計画データベース１０８０に記憶される内容について説明する。図１７に示すように、生産計画データベース１０８０に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、日毎の生産計画数である。
【００５２】
図１８を参照して、固定ディスク１０１０に記憶されるメンテナンスマスタデータベースに記憶される内容について説明する。図１８に示すように、メンテナンスマスタデータベースに記憶される内容は、メンテナンスコード毎の、メンテナンスの項目名、メンテナンスの周期、その周期の単位である。
【００５３】
図１９を参照して、定期メンテナンスデータベース１０９０に記憶される内容について説明する。図１９に示すように、定期メンテナンスデータベース１０９０に記憶される内容は、製造装置４２００を識別する管理番号毎の、メンテナンスコード、現在周期、メンテナンスの実績を表わす実績日、メンテナンスの予定を表わす予定日、実績日が予定日を経過しているとして警告した警告日、日程変更データ、遅れデータ、作業内容データである。
【００５４】
図２０を参照して、製造装置４２００のコントローラにて実行されるプログラムの制御構造について説明する。
【００５５】
ステップ（以下ステップをＳと略す）９００にて、製造装置４２００のコントローラは、停止操作を検知したか否かを判断する。停止操作を検知すると（Ｓ９００にてＹＥＳ）、処理はＳ１０００へ移される。もしそうでないと、この処理は終了して製造装置４２００が停止する。Ｓ１０００にて、製造装置４２００のコントローラは、ステータス送信時間に到達したか否かを判断する。ステータス送信時間に到達すると（Ｓ１０００にてＹＥＳ）、処理はＳ１００２へ移される。もしそうでないと、処理はＳ１００４へ移される。
【００５６】
Ｓ１００２にて、製造装置４２００のコントローラは、ステータス情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する。
【００５７】
Ｓ１００４にて、製造装置４２００のコントローラは、故障発生を検知したか否かを判断する。故障発生を検知すると（Ｓ１００４にてＹＥＳ）、処理はＳ１００６へ移される。もしそうでないと（Ｓ１００４にてＮＯ）、処理はＳ１００８へ移される。
【００５８】
Ｓ１００６にて、製造装置４２００のコントローラは、故障情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する。
【００５９】
Ｓ１００８にて、製造装置４２００のコントローラは、メンテナンス情報の入力を検知したか否かを判断する。メンテナンス情報としてたとえば、メンテナンス実行者がメンテナンスの実行の入力を行なうと、メンテナンス情報の入力を検知する。メンテナンス情報の入力が検知されると（Ｓ１００８にてＹＥＳ）、処理はＳ１０１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ１００８にてＮＯ）、処理はＳ１０１２へ移される。
【００６０】
Ｓ１０１０にて、製造装置４２００のコントローラは、メンテナンス情報を、ＦＡコンピュータ４１００送信する。
【００６１】
Ｓ１０１２にて、製造装置４２００のコントローラは、品質情報の入力を検知したか否かを判断する。品質情報がオペレータにより製造装置４２００に設けられた入力装置から入力されると品質情報の入力が検知される。品質情報の入力を検知すると（Ｓ１０１２にてＹＥＳ）、処理はＳ１０１４へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０１２にてＮＯ）、処理はＳ１０００へ戻される。
【００６２】
Ｓ１０１４にて、製造装置４２００のコントローラは、品質トラブル情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する。その後、処理はＳ１０００に戻される。
【００６３】
このようにして、製造装置４２００のコントローラにおいては、ステータス情報の送信、故障情報の送信、メンテナンス情報の送信および品質トラブル情報の送信が繰返し実行される。
【００６４】
図２１を参照して、製造装置４２００のコントローラおよびＦＡコンピュータ４１００にて実行されるプログラムは、通信処理に関し、以下のような制御構造を有する。
【００６５】
Ｓ１１００にて、製造装置４２００のコントローラは、通信回路関連の異常が発生したか否かを判断する。通信回路関連の異常が発生すると（Ｓ１１００にてＹＥＳ）、処理はＳ１１０６へ移される。もしそうでないと（Ｓ１１００にてＮＯ）、処理はＳ１１０２へ移される。
【００６６】
Ｓ１１０２にて、製造装置４２００のコントローラは、ＦＡコンピュータ４１００から通信機能問合せデータを受信したか否かを判断する。通信機能問合せデータを受信すると（Ｓ１１０２にてＹＥＳ）、処理はＳ１１０４へ移される。もしそうでないと（Ｓ１１０２にてＮＯ）、処理はＳ１１００へ戻される。
【００６７】
Ｓ１１０４にて、製造装置４２００のコントローラは、ＡＣＫ信号をＦＡコンピュータ４１００に送信する。その後、処理はＳ１１００へ戻される。
【００６８】
Ｓ１１０６にて、製造装置４２００のコントローラは、通信回路の作動を停止させる。その後、処理はＳ１１００へ戻される。
【００６９】
Ｓ２０００にて、ＦＡコンピュータ４１００は、通信問合せ時間に到達したか否かを判断する。通信問合せ時間に到達すると（Ｓ２０００にてＹＥＳ）、処理はＳ２００２へ移される。もしそうでないと（Ｓ２０００にてＮＯ）、処理はＳ２０００へ戻される。
【００７０】
Ｓ２００２にて、ＦＡコンピュータ４１００は、通信機能問合せデータを製造装置４２００のコントローラに送信する。
【００７１】
Ｓ２００４にて、ＦＡコンピュータ４１００は、ＡＣＫ信号を製造装置４２００のコントローラから受信したか否かを判断する。ＡＣＫ信号を受信すると（Ｓ２００４にてＹＥＳ）、処理はＳ２０００に戻される。もしそうでないと（Ｓ２００４にてＮＯ）、処理はＳ２００６へ移される。
【００７２】
Ｓ２００６にて、ＦＡコンピュータ４１００は、通信機能問合せデータを製造装置４２００のコントローラに送信してから予め定められた時間が経過したか否かを判断する。予め定められた時間が経過すると（Ｓ２００６にてＹＥＳ）、処理はＳ２００８へ移される。もしそうでないと（Ｓ２００６にてＮＯ）、処理はＳ２００４へ戻され、製造装置４２００のコントローラからのＡＣＫ信号の受信を待つ。
【００７３】
Ｓ２００８にて、ＦＡコンピュータ４１００は、リトライするか否かを判断する。リトライする場合には（Ｓ２００８にてＹＥＳ）、処理はＳ２００２へ戻されるる。もしそうでないと（Ｓ２００８にてＮＯ）、処理はＳ２０１０へ移される。
【００７４】
Ｓ２０１０にて、ＦＡコンピュータ４１００は、通信回路に関する故障情報を作成する。その後処理はＳ２０００へ戻される。
【００７５】
図２２を参照して、ＦＡコンピュータ４１００および情報収集コンピュータ６０００にて実行されるプログラムは、通信処理に関し、以下のような制御構造を有する。
【００７６】
Ｓ２１００にて、ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラからステータス情報を受信したか否かを判断する。製造装置４２００のコントローラからステータス情報を受信すると（Ｓ２１００にてＹＥＳ）、処理はＳ２１０２へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１００にてＮＯ）、処理はＳ２１００４へ移される。
【００７７】
Ｓ２１０２にて、ＦＡコンピュータ４１００は、ステータス情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する。
【００７８】
Ｓ２１０４にて、ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラから故障情報を受信したか否かを判断する。製造装置４２００のコントローラから故障情報を受信すると（Ｓ２１０４にてＹＥＳ）、処理はＳ２１０６へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１０４にてＮＯ）、処理はＳ２１０８へ移される。
【００７９】
Ｓ２１０６にて、ＦＡコンピュータ４１００は、故障情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する。
【００８０】
Ｓ２１０８にて、ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラからメンテナンス情報を受信したか否かを判断する。製造装置４２００のコントローラからメンテナンス情報を受信すると（Ｓ２１０８にてＹＥＳ）、処理はＳ２１１０へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１０８にてＮＯ）、処理はＳ２１１２へ移される。
【００８１】
Ｓ２１１０にて、ＦＡコンピュータ４１００は、メンテナンス情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する。
【００８２】
Ｓ２１１２にて、ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラから品質情報を受信したか否かを判断する。製造装置４２００のコントローラから品質情報を受信すると（Ｓ２１１２にてＹＥＳ）、処理はＳ２１１４へ移される。もしそうでないと（Ｓ２１１２にてＮＯ）、処理はＳ２１００へ戻される。
【００８３】
Ｓ２１１４にて、ＦＡコンピュータ４１００は、品質が正常範囲内であるか否かを判断する。品質が製造範囲内であると（Ｓ２１１４にてＹＥＳ）、処理はＳ２１００へ戻される。もしそうでないと（Ｓ２１１４にてＮＯ）、処理はＳ２１１６へ移される。
【００８４】
Ｓ２１１６にて、ＦＡコンピュータ４１００は、品質トラブル情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する。
【００８５】
Ｓ３０００にて、情報収集コンピュータ６０００は、ＦＡコンピュータ４１００から情報を受信したか否かを判断する。ＦＡコンピュータ４１００から情報を受信すると（Ｓ３０００にてＹＥＳ）、処理はＳ３００２へ移される。もしそうでないと（Ｓ３０００にてＮＯ）、処理はＳ３００４へ移される。
【００８６】
Ｓ３００２にて、情報収集コンピュータ６０００は、予め定められたデータベースに受信した情報を記憶する。
【００８７】
Ｓ３００４にて、情報収集コンピュータ６０００は、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００への送信時刻であるか否かを判断する。設備稼働監視ホストコンピュータ１０００への送信時刻であると（Ｓ３００４にてＹＥＳ）、処理はＳ３００６へ移される。もしそうでないと（Ｓ３００４にてＮＯ）、処理はＳ３０００へ戻される。
【００８８】
Ｓ３００６にて、情報収集コンピュータ６０００は、データベースのアップデート情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する。その後、処理はＳ３０００に戻される。
【００８９】
図２３を参照して、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００およびアラーム発信コンピュータ７０００にて実行されるプログラムは、アラーム発信処理に関し、以下のような制御構造を有する。
【００９０】
Ｓ３１００にて、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００のＣＰＵ１００２は、情報収集コンピュータ６０００からアップデート情報を受信したか否かを判断する。情報収集コンピュータ６０００からアップデート情報を受信すると（Ｓ３１００にてＹＥＳ）、処理はＳ３１０２へ移される。もしそうでないと（Ｓ３１００にてＮＯ）、処理はＳ３１００へ戻される。
【００９１】
Ｓ３１０２にて、ＣＰＵ１００２は、故障情報を分析する。
Ｓ３１０４にて、ＣＰＵ１００２は、故障についてのアラーム発信条件を満足するか否かを判断する。このアラーム発信条件は、故障の重要度などに基づいて予め設定され固定ディスク１０１０に記憶されている。故障についてのアラーム発信条件を満足すると（Ｓ３１０４にてＹＥＳ）、処理はＳ３１０６へ移される。もしそうでないと（Ｓ３１０４にてＮＯ）、処理はＳ３１１０へ移される。
【００９２】
Ｓ３１０６にて、ＣＰＵ１００２は、製造装置４２００の故障を報知するアラームの発信指示をアラーム発信コンピュータ７０００に送信する。
【００９３】
Ｓ３１０８にて、ＣＰＵ１００２は、故障管理データベース１０５０およびアラーム管理データベース１０７０にアラーム発信情報を記憶させる。
【００９４】
Ｓ３１１０にて、ＣＰＵ１００２は、品質情報を分析する。Ｓ３１１２にて、ＣＰＵ１０２２は、品質についてのアラーム発信条件を満足しているか否かを判断する。品質についてのアラーム発信条件を満足していると（Ｓ３１１２にてＹＥＳ）、処理はＳ３１１４へ移される。もしそうでないと（Ｓ３１１２にてＮＯ）、処理はＳ３１００へ戻される。
【００９５】
Ｓ３１１４にて、ＣＰＵ１００２は、品質の異常を報知するアラームの発信指示をアラーム発信コンピュータ７０００に送信する。
【００９６】
Ｓ３１１６にて、ＣＰＵ１００２は、品質管理データベース１０４０およびアラーム管理データベース１０７０に品質情報を記憶させる。
【００９７】
Ｓ４０００にて、アラーム発信コンピュータ７０００は、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００からアラーム発信指示を受信したか否かを判断する。設備稼働監視ホストコンピュータ１０００からアラーム発信指示を受信すると（Ｓ４０００にてＹＥＳ）、処理はＳ４００２へ移される。もしそうでないと（Ｓ４０００にてＮＯ）、処理はＳ４０００へ戻され、次のアラーム発信指示の受信を待つ。
【００９８】
Ｓ４００２にて、アラームは発信コンピュータ７０００はアラーム発信処理を行なう。このＳ４００２における処理は、アラーム発信コンピュータ７０００がＰＢＸ接続ライン９０００を用いて、ＰＢＸ８０００にアラーム発信情報の送信要求を指示する。
【００９９】
図２４を参照して、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００で実行されるプログラムは、管理処理に関し、以下のような制御構造を有する。
【０１００】
Ｓ３２００にて、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００のＣＰＵ１００２は、ユーザから管理機能の実行要求を検知したか否かを判断する。ユーザから管理機能の実行要求を検知すると（Ｓ３２００にてＹＥＳ）、処理はＳ３２０２へ移される。もしそうでないと（Ｓ３２００にてＮＯ）、処理はＳ３２００へ戻される。
【０１０１】
Ｓ３２０２にて、ＣＰＵ１００２は、検知した実行要求に基づいて、管理機能を実行する情報をデータベースから読出す。Ｓ３２０４にて、ＣＰＵ１００２は、データベースから読出した情報に基づいて管理機能を実行するための管理情報を作成する。
【０１０２】
Ｓ３２０６にて、ＣＰＵ１００２は、作成された管理情報に基づいて管理機能を実行させる。たとえば、ユーザの要求に基づいて必要な情報をモニタ１００４に表示させる。
【０１０３】
図２５を参照して、管理端末５０００および設備稼働監視ホストコンピュータ１０００で実行されるプログラムは、管理処理に関し、以下のような制御構造を有する。
【０１０４】
Ｓ５０００にて、管理端末５０００は、ユーザから管理機能の実行の要求が入力されたことを検知したか否かを判断する。ユーザから管理機能の実行要求が入力されたことを検知すると（Ｓ５０００にてＹＥＳ）、処理はＳ５００２へ移される。もしそうでないと（Ｓ５０００にてＮＯ）、処理はＳ５０００へ戻される。
【０１０５】
Ｓ５００２にて、管理端末５０００は、実行要求を表わす要求情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する。
【０１０６】
Ｓ５００４にて、管理端末５０００は、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００から管理情報を受信したか否かを判断する。設備稼働監視ホストコンピュータ１０００から管理情報を受信すると（Ｓ５００４にてＹＥＳ）、処理はＳ５００６へ移される。もしそうでないと（Ｓ５００４にてＮＯ）、処理はＳ５０００へ戻される。
【０１０７】
Ｓ５００６にて、管理端末５０００は、受信した管理情報に基づいて管理機を実行する。このＳ５００６における処理では、ユーザの要求に応じてモニタに情報が開示されたりする。
【０１０８】
Ｓ３３００にて、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００のＣＰＵ１００２は、管理端末５０００から要求情報を受信したか否かを判断する。管理端末５０００から要求情報を受信すると（Ｓ３３００にてＹＥＳ）、処理はＳ３３０２へ移される。もしそうでないと（Ｓ３３００にてＮＯ）、処理はＳ３３００へ戻される。
【０１０９】
Ｓ３３０２にて、ＣＰＵ１００２は、受信した要求情報に基づいて、管理機能を実行する情報をデータベースから読出す。Ｓ３３０４にて、ＣＰＵ１００２は、データベースから読出した情報に基づいて、管理機能を管理端末５０００で実行するための管理情報を作成する。
【０１１０】
Ｓ３３０６にて、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は、作成された管理情報を管理端末５０００に送信する。その後、処理はＳ３３００へ戻される。
【０１１１】
図２６を参照して、図２４に示すＳ３２０６および図２５に示すＳ５００６において実行される表示画面の遷移状態について説明する。図２６に、設備稼働監視システムにおける装置の状態表示機能と統計機能とを示す。
【０１１２】
Ｓ３４００にて、メインメニュー画面が表示される。Ｓ３４５０にて機能選択画面が表示される。ユーザは、この機能選択画面に従って、装置の状態表示機能、統計機能、定期メンテナンス管理機能および故障管理機能のいずれかを選択する。装置の状態表示機能を選択した場合であって、Ｓ３５００にて建屋指定入力を行なうと、Ｓ３５０２にて指定した建屋の現在の表示画面が表示される。Ｓ３５０４にてフロア指定入力をすると、Ｓ３５０６にて指定したフロアの現在表示画面が表示される。Ｓ３５０８にてエリア指定入力を行なうと、Ｓ３５１０にて指定したエリアの現在表示画面が表示される。Ｓ３５１２にて、装置指定入力を行なうと、Ｓ３５１４にて指定された装置の現在表示画面が表示される。Ｓ３５１６にて統計機能を入力すると画面はＳ３６０４のエリア別履歴表示画面に移る。
【０１１３】
統計機能を選択した場合、Ｓ３６００にてエリア指定画面が表示され、Ｓ３６０２にてエリア指定入力を行なうと、Ｓ３６０４にて指定されたエリアの履歴表示画面が表示される。Ｓ３６０６にて装置指定入力を行なうと、Ｓ３６０８にて指定した装置の履歴表示画面（日）が表示される。Ｓ３６１０にて週表示の入力を行なうと、Ｓ３６１２にて装置別履歴表示画面（週）が表示される。
【０１１４】
Ｓ３６１４にて月表示入力を行なうと、Ｓ３６１６にて装置別履歴表示画面（月）が表示される。Ｓ３６１８にて装置比較入力を行なうと、Ｓ３６２０にて装置比較履歴表示画面（月）が表示される。Ｓ３６３０にて定期メンテナンス分析入力を行なうと、Ｓ３６３２にて装置別定期メンテナンス分析表示画面（月）が表示される。Ｓ３６４０にて、出来高分析入力を行なうと、Ｓ３６４２にて、出来高分析表示画面（日）が表示される。Ｓ３６４４にて、分析日指定入力を行なうと、Ｓ３６４６にて出来高分析画面（時間）が表示される。
【０１１５】
なお、装置の状態表示機能のＳ３５０２、Ｓ３５０６、Ｓ３５１０およびＳ３５１４はＳ３５００の建屋指定入力画面に戻ることができる。また、統計機能のＳ３６０４、Ｓ３６０８、Ｓ３６１２、Ｓ３６１６、Ｓ３６３２、Ｓ３６４２、Ｓ３６４６の各画面は、Ｓ３６００のエリア指定画面に戻ることができる。
【０１１６】
図２７を参照して、機能選択画面において定期メンテナンス管理機能または故障管理機能を選択した場合の表示画面の遷移状態について説明する。Ｓ３７００にて選択項目入力画面が表示される。Ｓ３７０２にて、装置別定期メンテナンススケジュール表示画面が表示される。Ｓ３７０４にて実績指定入力を行なうと、Ｓ３７０６にて装置別定期メンテナンス実績表示画面が表示される。
【０１１７】
機能選択画面で故障管理機能を選択すると、Ｓ３８００にて装置別故障入力画面が表示される。Ｓ３８０２にて、分析要求入力を行なうと、Ｓ３８０４にて装置別故障分析表示画面が表示される。
【０１１８】
なお、定期メンテナンス管理機能におけるＳ３７０２、Ｓ３７０６の画面はＳ３７００の選択項目入力画面に戻ることができる。また、故障管理機能のＳ３８０４の画面はＳ３８００の装置別故障入力画面に戻ることができる。
【０１１９】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、本実施の形態に係る設備稼働監視システムの動作について説明する。
【０１２０】
製造装置４２００のコントローラにおいてステータス送信時間に到達したことが検知されると（Ｓ１０００にてＹＥＳ）、製造装置４２００のコントローラはステータス情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する（Ｓ１００２）。製造装置４２００のコントローラが故障の発生を検知すると（Ｓ１００４にてＹＥＳ）、故障情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する（Ｓ１００６）。
【０１２１】
製造装置４２００のコントローラがメンテナンス情報の入力を検知すると（Ｓ１００８にてＹＥＳ）、メンテナンス情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する（Ｓ１０１０）。製造装置４２００のコントローラが品質情報の入力を検知すると（Ｓ１０１２にてＹＥＳ）、製造装置４２００のコントローラは品質トラブル情報をＦＡコンピュータ４１００に送信する（Ｓ１０１４）。
【０１２２】
製造装置４２００のコントローラが通信回路関係の異常が発生したことを検知すると（Ｓ１１００にてＹＥＳ）、通信回路の作動を停止させる（Ｓ１１０６）。ＦＡコンピュータ４１００は通信問合せ時間に到達すると（Ｓ２０００にてＹＥＳ）、通信機能問合せデータを製造装置４２００のコントローラに送信する（Ｓ２２０２）。このとき、製造装置４２００のコントローラが通信回路の動作を停止させていると（Ｓ１１０６）、通信機能問合せデータを受信したことに応答してＡＣＫ信号をＦＡコンピュータ４１００に送信できない。そのため、ＦＡコンピュータ４１００は、ＡＣＫ信号の受信を待つが（Ｓ２００４）、予め定められた時間が経過しても（Ｓ２００６にてＹＥＳ）、ＡＣＫ信号を受信することができない。そのような処理を予め定められた回数だけリトライしてもＡＣＫを受信することができないと、ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００との間の通信回路に関する故障情報を作成する（Ｓ２０１０）。
【０１２３】
ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラからステータス情報を受信すると（Ｓ２１００にてＹＥＳ）、ステータス情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する（Ｓ２１０２）。ＦＡコンピュータ４１００は製造装置４２００のコントローラから故障情報を受信すると（Ｓ２１０４にてＹＥＳ）、故障情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する（Ｓ２１０６）。ＦＡコンピュータ４１００は製造装置４２００のコントローラからメンテナンス情報を受信すると（Ｓ２１００にてＹＥＳ）、メンテナンス情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する（Ｓ２１１０）。ＦＡコンピュータ４１００は、製造装置４２００のコントローラから品質情報を受信し（Ｓ２１１２にてＹＥＳ）、品質情報は正常範囲内でないと（Ｓ２１１４にてＮＯ）、品質トラブル情報を情報収集コンピュータ６０００に送信する（Ｓ２１１６）。
【０１２４】
ＦＡコンピュータ４１００のＳ２１０２、Ｓ２１０６、Ｓ２１１０およびＳ２１１６の各処理に対応して、情報収集コンピュータ６０００はＦＡコンピュータ４１００から情報を受信したことを検知する（Ｓ３０００にてＹＥＳ）。情報収集コンピュータ６０００は、予め定められたデータベースにＦＡコンピュータ４１００から受信した情報を記憶させる（Ｓ３００２）。情報収集コンピュータ６０００は、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００への送信時刻に到達したと判断すると（Ｓ３００４にてＹＥＳ）、データベースのアップデート情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する（Ｓ３００６）。
【０１２５】
設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は情報収集コンピュータ６０００からアップデート情報を受信すると（Ｓ３１００にてＹＥＳ）、故障情報を分析する（Ｓ３１０２）。故障についてのアラーム発信情報を満足していると（Ｓ３１０４にてＹＥＳ）、製造装置４２００の故障を報知するアラームの発信指示をアラーム発信コンピュータ７０００に送信する（Ｓ３１０６）。
【０１２６】
設備稼働監視ホストコンピュータ１０００は情報収集コンピュータ６０００から受信したアップデート情報に基づいて品質情報を分析する（Ｓ３１１０）。品質についてのアラーム発信条件を満足していると（Ｓ３１１２にてＹＥＳ）、品質の異常を報知するアラームの発信指示をアラーム発信コンピュータ７０００に送信する（Ｓ３１１４）。
【０１２７】
設備稼働監視ホストコンピュータ１０００におけるＳ３１０６およびＳ３１１４における処理に応答して、アラーム発信コンピュータ７０００は設備稼働監視ホストコンピュータ１０００からアラーム発信情報を受信したことを検知する（Ｓ４０００にてＹＥＳ）。アラーム発信コンピュータ７０００は、アラーム発信処理をＰＢＸ接続ライン９０００に接続されたＰＢＸ８０００を用いて実行する（Ｓ４００２）。なお、アラーム発信コンピュータ７０００がアラーム発信処理（Ｓ４２００）を実行するのは、製造装置４２００に故障が発生した場合、製造装置４２００において製造される製品の品質情報が異常である場合に加えて、製造装置４２００における処理量が著しく低下した場合を加えるようにしてもよい。
【０１２８】
設備稼働監視ホストコンピュータ１０００において、ユーザが管理機能の実行要求を入力すると（Ｓ３２００にてＹＥＳ）、検知と実行要求に基づいて、管理機能を実行する情報が図４〜図１９に示すいずれかのデータベースから読出される（Ｓ３２０２）。データベースから読出された情報に基づいて管理機能を実行するための管理情報が作成され（Ｓ３２０４）、作成された管理情報に基づいて管理機能が実行される（Ｓ３２０６）。
【０１２９】
また、管理機能の実行については、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００のみで実行されるものではなく、管理端末５０００からの要求に応答して設備稼働監視ホストコンピュータ１０００が作成した管理情報を管理端末５０００に送信し、管理端末５０００にて受信した管理情報に基づいて、管理機能を実現することができる。
【０１３０】
管理端末５０００はユーザから管理機能の実行要求を検知すると（Ｓ５０００にてＹＥＳ）、実行要求を表わす要求情報を設備稼働監視ホストコンピュータ１０００に送信する（Ｓ５００２）。設備稼働監視コンピュータ１０００は管理端末５０００から要求情報を受信する（Ｓ３３００にてＹＥＳ）、受信した要求情報に基づいて管理機能を実行する情報を図４〜図１９に示すデータベースから読出し（Ｓ３３０２）、読出された情報に基づいて管理機能を実行するための管理機能を作成し（Ｓ３３０４）、作成された管理情報を管理端末５０００に送信する（Ｓ３３０６）。
【０１３１】
管理端末５０００においては、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００から管理情報を受信すると（Ｓ５００４にてＹＥＳ）、受信した管理情報に基づいて管理機能を実行する（Ｓ５００６）。
【０１３２】
図２８〜図４３を参照して、設備稼働監視ホストコンピュータ１０００および管理端末５０００で表示される表示例について説明する。メインメニュー画面の表示後（Ｓ３４００）、機能選択画面（Ｓ３４５０）が表示される。装置の状態表示機能（現在ステータス表示機能）を選択し、建屋指定入力を行なうと（Ｓ３５００）、図２８に示す建屋別現在表示画面が表示される（Ｓ３５０２）。図２８に示す画面例において、マウスカーソルを移動させてクリックすることによりフロア指定入力を行なうと（Ｓ３５０４）、フロア別現在表示画面が表示される（Ｓ３５０６）。
【０１３３】
図２８に示す画面例においてエリア指定入力を行なうと（Ｓ３５０８）、図２９に示すエリア別現在表示画面が表示される（Ｓ３５１０）。図２９に示すエリア別現在表示画面が表示されている状態において装置指定入力を行なうと（Ｓ３５１２）、図３０に示す装置別現在表示画面が表示される（Ｓ３５１４）。図３０に示す画面が表示されている場合において、「戻る」ボタンを押すと建屋指定入力画面（Ｓ３５００）に戻る。「統計機能」ボタンを押すと統計機能（ステータス履歴表示機能）のエリア別履歴表示画面（図３１）が表示される（Ｓ３６０４）。
【０１３４】
図３１に示すエリア別履歴表示画面が表示されている場合において装置指定入力を行なうと（Ｓ３６０６）、図３２に示す装置別履歴表示画面（日）が表示される（Ｓ３６０８）。図３２に示す画面が表示されている場合において、「出来高分析」ボタンを押すと（Ｓ３６４０）、図３３に示す出来高分析画面（日）が表示される（Ｓ３６４２）。図３３に示す画面が表示されている場合において分析日指定入力を行なうと（Ｓ３６４４）、図３４に示す出来高分析画面（時間）が表示される（Ｓ３６４６）。
【０１３５】
図３２に示す装置別履歴表示画面（日）が表示されている場合において（Ｓ３６０８）、週表示入力を行なうと（Ｓ３６１０）、図３５に示す装置別履歴表示画面（週）が表示される（Ｓ３６１２）。図３５に示す画面が表示されている場合において月表示入力を行なうと（Ｓ３６１４）、図３６に示す装置別履歴表示画面（月）が表示される（Ｓ３６１６）。
【０１３６】
図３５に示す装置別履歴表示画面（週）が表示されている場合において（Ｓ３６１２）、「定期メンテナンス分析」ボタンを押すと（Ｓ３６３０）、図３７に示す装置別定期メンテナンス分析表示画面（月）が表示される（Ｓ３６３２）。
【０１３７】
図３６に示す装置別履歴表示画面（月）が表示されている場合において（Ｓ３６１６）、装置比較入力を行なうと（Ｓ３６１８）、図３８に示す装置比較履歴表示画面（月）が表示される（Ｓ３６２０）。
【０１３８】
機能選択画面において定期メンテナンス管理機能を選択すると図３９に示す選択項目入力画面が表示される（Ｓ３７００）。選択項目の入力後、図４０に示す装置別定期メンテナンススケジュール表示画面が表示される（Ｓ３７０２）。図４０に示す装置別定期メンテナンススケジュール表示画面が表示されている場合において（Ｓ３７０２）、実績指定入力を行なうと（Ｓ３７０４）、図４１に示す装置別定期メンテナンス実績表示画面（Ｓ３７０６）が表示される。
【０１３９】
機能選択画面において故障管理機能を選択すると、図４２に示す装置別故障入力画面が表示される（Ｓ３８００）。図４２に示す装置別故障入力画面が表示されている場合において（Ｓ３８００）、分析要求入力を行なうと（Ｓ３８０２）、図４３に示す装置別故障分析表示画面（Ｓ３８０４）が表示される。
【０１４０】
これらの表示においては、図２９、図３１、図３２、図３４〜図３８に示すように、製造装置のステータス（「稼働」、「待ち」、「故障」、「定メン」、「計画休止」）や製造装置の機能（「フルＦＡ」、「セミオート」、「セミＦＡ」、「マニュアル」）が、管理者の視覚で一見して判別できるように表示される。さらに、図３に示すように、勤務時間帯（「夜勤」、「早番」、「遅番」）が、管理者の視覚で一見して判別できるように表示される。
【０１４１】
以上のようにして、本実施の形態に係る設備稼働監視システムによると、たとえば、半導体チップを製造する製造装置から設備の稼働情報、出来高情報、品質情報をＦＡコンピュータおよび情報収集コンピュータを経由して設備稼働監視ホストコンピュータが収集する。設備稼働監視ホストコンピュータは、種々のデータベースに情報収集コンピュータから受信した情報を記憶し、必要に応じてアラーム発信コンピュータにアラーム情報の発信を指示する。また、設備稼働監視ホストコンピュータおよび管理端末を用いて、管理者は、装置の状態表示機能、統計機能、定期メンテナンス管理機能および故障管理機能を実行することができる。このとき、モニタには、製造装置が設置されち場所、予め定められた時間のレンジ毎に、情報が集約されて表示される。また、表示される情報は互いにリンクが設定されており、容易に画面間を移動させることができる。これにより、多数の製造装置から構成される製造工程における製造装置の監視、製造装置により製造された製品の監視を、容易かつ的確に実行することができる。
【０１４２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【０１４３】
【発明の効果】
この発明によると、各製造装置は、製造装置における処理量を表わす情報や製造装置により製造された製品の品質を表わす情報をこのシステムに送信する。送信された情報は、収集手段により収集されて、第１の記憶手段に記憶される。第１の作成手段は、各製造装置による製造の実績であるたとえば処理量を表わす第１の情報を作成する。第２の作成手段は、その処理量の経時的な変化を表わす第２の情報を作成する。出力手段は、第１の情報および第２の情報を互いに関連付けて出力する。このとき、たとえば、各製造装置毎に処理量とその製造装置における処理量の経時的変化とを関連付けて（リンクさせて）表示される。第１の発信手段は、第１の情報および第２の情報のいずれかに基づいて、警報情報を発信する。このとき、たとえば、処理量が予め定められたしきい値を下回るほど低下したり、処理量が低下した状態が予め定められた期間継続したりすると、警報情報を発信する。これにより、このシステムから警報を受けた管理者は、出力手段に出力された第１の情報および第１の情報に関連付けて表示された第２の情報を見ることができる。このとき、関連性の高い情報を互いに関連付けて出力するので、管理者は容易に製造装置の現状を知ることができる。その結果、多数の製造装置から構成される製造工程における製造装置の監視、製造装置により製造される製品の監視を、容易にかつ的確に実行することができる、製造ライン監視システムを提供することができる。
【０１４４】
さらに、この発明によると、各製造装置による製造の実績に関する第１の情報（たとえば、処理量）の製造装置の間の差異に関する第３の情報が作成される。この第３の情報は、第１の情報、第２の情報と関連付けられて出力される。これにより、管理者は、同じ処理を実行する異なる製造装置の間における処理量の差異を容易にかつ的確に知ることができる。
【０１４５】
さらに、この発明によると、製造装置における保守計画（保守点検の予定日）が記憶されるとともに、保守の実績（保守点検の実施日）が作成される。第２の出力手段は、これらの保守計画と保守実績とを関連付けて出力する。これにより、管理者は、保守点検が実行済みであるのか否か、保守点検がいつ行なわれるのかを速やかに知ることができる。
【０１４６】
なお、上述した実施の形態においては、時間帯毎、日毎、週毎および月毎の統計機能について説明したが、本発明はこれに限定されない。リアルタイムに（すなわち秒単位で）情報を収集して、分毎の統計機能を出力してもよいし、リアルタイムに設備の稼働状況を出力するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る設備稼働監視システムの全体構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る設備稼働監視システムの構成図である。
【図３】設備稼働監視ホストコンピュータの制御ブロック図である。
【図４】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される管理マスタデータベースを示す図である。
【図５】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるステータスデータベースを示す図である。
【図６】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される建屋別ステータスデータベースを示す図である。
【図７】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるフロア別ステータスデータベースを示す図である。
【図８】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるエリア別ステータスデータベースを示す図である。
【図９】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるロット管理データベースを示す図である。
【図１０】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される品質管理データベースを示す図である。
【図１１】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される故障管理データベースを示す図である。
【図１２】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される稼働状況データベースを示す図である。
【図１３】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される稼働状況データベース（日報）を示す図である。
【図１４】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される稼働状況データベース（週報）を示す図である。
【図１５】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される稼働状況データベース（月報）を示す図である。
【図１６】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるアラーム管理データベースを示す図である。
【図１７】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶される製造計画データベースを示す図である。
【図１８】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるメンテナンスマスタデータベースを示す図である。
【図１９】設備稼働監視ホストコンピュータの固定ディスクに記憶されるメンテナンス計画データベースを示す図である。
【図２０】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおける製造装置コントローラにおける制御の手順を示すフローチャートである。
【図２１】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおける通信異常検知処理の制御の手順を示すフローチャートである。
【図２２】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおける情報収集処理の制御の手順を示すフローチャートである。
【図２３】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるアラーム発信処理の制御の手順を示すフローチャートである。
【図２４】本実施の形態に係る設備稼働監視システムのホストコンピュータにおける管理情報表示処理の制御の手順を示すフローチャートである。
【図２５】本実施の形態に係る設備稼働監視システムの管理端末における管理情報表示処理の制御の手順を示すフローチャートである。
【図２６】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される画面の遷移を示す第１のフローチャートである。
【図２７】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される画面の遷移を示す第２のフローチャートである。
【図２８】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される建屋別およびフロア別現在表示画面を示す図である。
【図２９】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示されるエリア別現在表示画面を示す図である。
【図３０】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される装置別現在表示画面を示す図である。
【図３１】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示されるエリア別履歴表示画面を示す図である。
【図３２】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示されるエリア別履歴表示画面（日報）を示す図である。
【図３３】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される出来高分析画面（日報）を示す図である。
【図３４】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される出来高分析画面（時間帯報）を示す図である。
【図３５】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される装置別履歴表示画面（週報）を示す図である。
【図３６】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される装置別履歴表示画面（月報）を示す図である。
【図３７】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される定期メンテナンス分析表示画面を示す図である。
【図３８】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される装置比較履歴表示画面（月報）を示す図である。
【図３９】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される選択項目入力画面を示す図である。
【図４０】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される定期メンテナンススケジュール表示画面を示す図である。
【図４１】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される定期メンテナンス実績表示画面を示す図である。
【図４２】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される故障入力画面を示す図である。
【図４３】本実施の形態に係る設備稼働監視システムにおけるモニタに表示される故障分析表示画面を示す図である。
【符号の説明】
１００　設備稼働監視システム、２００　インターネット、１０００　設備稼働監視ホストコンピュータ、１００２　ＣＰＵ、１００４　モニタ、１００６　ネットワークインターフェイス、１００８　メモリ、１０１０　固定ディスク、１０２０　ステータスデータベース、１０２２　建屋別ステータスデータベース、１０２４　フロア別ステータスデータベース、１０２６　エリア別ステータスデータベース、１０３０　ロット管理データベース、１０４０　品質管理データベース、１０５０　故障管理データベース、１０６０　稼働状況データベース、１０６２　日報データベース、１０６４　週報データベース、１０６６　月報データベース、１０７０　アラーム管理データベース、１０８０　生産計画データベース、１０９０　定期メンテナンスデータベース、１０９８　バス、１１００ＬＡＮ、２０００　同一建屋領域、３０００　同一フロア領域、４０００　同一エリア領域、４１００　ＦＡコンピュータ、４２００　製造装置、５０００　管理端末、６０００　情報収集コンピュータ、７０００　アラーム発信コンピュータ、８０００　ＰＢＸ、９０００　ＰＢＸ接続ライン。
【図１】
2004133620.tif 000003
【図２】
2004133620.tif 000004
【図３】
2004133620.tif 000005
【図４】
2004133620.tif 000006
【図５】
2004133620.tif 000007
【図６】
2004133620.tif 000008
【図７】
2004133620.tif 000009
【図８】
2004133620.tif 000010
【図９】
2004133620.tif 000011
【図１０】
2004133620.tif 000012
【図１１】
2004133620.tif 000013
【図１２】
2004133620.tif 000014
【図１３】
2004133620.tif 000015
【図１４】
2004133620.tif 000016
【図１５】
2004133620.tif 000017
【図１６】
2004133620.tif 000018
【図１７】
2004133620.tif 000019
【図１８】
2004133620.tif 000020
【図１９】
2004133620.tif 000021
【図２０】
2004133620.tif 000022
【図２１】
2004133620.tif 000023
【図２２】
2004133620.tif 000024
【図２３】
2004133620.tif 000025
【図２４】
2004133620.tif 000026
【図２５】
2004133620.tif 000027
【図２６】
2004133620.tif 000028
【図２７】
2004133620.tif 000029
【図２８】
2004133620.tif 000030
【図２９】
2004133620.tif 000031
【図３０】
2004133620.tif 000032
【図３１】
2004133620.tif 000033
【図３２】
2004133620.tif 000034
【図３３】
2004133620.tif 000035
【図３４】
2004133620.tif 000036
【図３５】
2004133620.tif 000037
【図３６】
2004133620.tif 000038
【図３７】
2004133620.tif 000039
【図３８】
2004133620.tif 000040
【図３９】
2004133620.tif 000041
【図４０】
2004133620.tif 000042
【図４１】
2004133620.tif 000043
【図４２】
2004133620.tif 000044
【図４３】
2004133620.tif 000045