(57)【要約】【課題】従来の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置においては、ポッド本体部は洗浄室内で全体を洗浄しているのに対し、前記ポッド蓋部は前記ポッド内部に露出する部分のみが前記洗浄室内に露出して洗浄されていたため、ポッド蓋部の全体を洗浄することができない課題があった。【解決手段】ポッドをポッド本体部５２とポッド蓋部５１に分離した状態で洗浄し乾燥するための洗浄液とドライエアを噴出するノズル１４，１６，１７，２１を備えた半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置であって、前記ポッド本体部５２を収納して洗浄する洗浄室８を前記ポッド蓋部５１を収納して洗浄する洗浄室蓋体９により密閉して洗浄し乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。【選択図】　　　　　　　図３
2004055709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポッドをポッド本体部とポッド蓋部に分離した状態で洗浄し乾燥するための洗浄液とドライエアを噴出するノズルを備えた半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置であって、前記ポッド本体部を収納して洗浄する洗浄室を前記ポッド蓋部を収納して洗浄する洗浄室蓋体により密閉して洗浄し乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部に前記ポッド本体部を係止する回転台を回転自在に設け、前記洗浄室の側面には前記ポッド本体部の外側に洗浄液又はドライエアを噴出するノズルを備えた外側洗浄体を固定して設け、また、前記洗浄室の中心部には前記ポッド本体部の内側に前記ノズルを備えた内側洗浄体を前記回転台の固定支軸と一体に固定して設け、洗浄時に前記回転台の回転により、前記ポッド本体部を回転させながら前記外側洗浄体と前記内側洗浄体により洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室蓋体が洗浄室の上部に密着する筒状蓋部と該洗浄室蓋体の上端側に位置して設けた上蓋部とからなり、前記筒状蓋部にはノズルを上下両向きに設けると共に、前記上蓋部には回転板を回転自在に設け、該回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止する係止部を設け、洗浄時に前記回転板の回転により前記ポッド蓋部を回転させながら前記ノズルにより洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部にドライエア又は洗浄液を負圧をかけて吸引する吸引手段を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記吸引手段に、吸引されたドライエアとドライエアに含まれる洗浄液を分離して排出するためのサイクロン装置を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、洗浄液の供給源に超音波装置を設け、前記ノズルから噴出する洗浄液に超音波を付与するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室及び前記洗浄室蓋体内部の水蒸気を吸引するための水蒸気吸引手段を前記筒状蓋部に設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項８】
請求項３乃至７のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ポッド蓋部を係止した前記回転板の回転速度を制御するモータを設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、装置本体の近傍に、ポッド載置部を設け、載置されたポッドのポッド蓋部を着脱自在に係止すると共に、洗浄前において前記ポッド載置部のポッドからポッド本体部を把持して分離し装置本体の洗浄室内に搬送し係止させ、次いでポッド載置部から前記ポッド蓋部を把持して装置本体の上蓋部に搬送し係止させる一方、洗浄乾燥後において上蓋部からポッド蓋部を把持して分離しポッド載置部に搬送し、次いで洗浄室からポッド本体部を把持してポッド載置部に搬送し、ポッド蓋部にポッド本体部を装着してポッドを組立てるロボットを設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室に前記ポッド本体部を収納する際に前記洗浄室に前記ロボットのロボットアームが入る拡張部を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【請求項１１】
請求項３乃至１０のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止するための吸着部を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハ等は、ポッド本体部とポッド蓋部とからなるポッドに収容して搬送しており、その洗浄装置としては、特開平１１−３４０３１１に記載のように、前記ポッドをポッド本体部とポッド蓋部に分離して、それぞれ洗浄する洗浄装置が知られている。
この従来装置は、前記ポッド本体部を収容し洗浄するための洗浄室を密閉するための蓋体に、前記ポッド蓋部の内面のみが露出するように一体に取り付けて洗浄するように構成してある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来装置においては、ポッド本体部は洗浄室内で全体を洗浄しているのに対し、前記ポッド蓋部は前記ポッド内部に露出する部分のみが前記洗浄室内に露出して洗浄されていたため、ポッド蓋部の全体を洗浄することができない課題があった。
【０００４】
また、従来の洗浄液又はドライエアを噴出するノズルを設けた回転式の洗浄体では回転連結部の構造を有するため、前記ノズルから高圧の洗浄液又はドライエアを噴出することが困難であった。
また、従来の前記洗浄装置は前記ポッド蓋部と前記ポッド本体部を固定して洗浄するため、全体を満遍なく確実に洗浄し乾燥するには前記洗浄ノズルを多方向に設ける必要があり、これにより前記ノズルの構造が複雑化する課題があった。
【０００５】
また、乾燥時においては、前記洗浄室に負圧をかける吸引手段がないため、前記ポッドを乾燥させるのに時間がかかる課題があった。
また、従来の前記ノズルから噴出する洗浄液では洗浄力が弱く完全に洗浄できるまでに時間がかかる課題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、請求項１に記載のように、ポッドをポッド本体部とポッド蓋部に分離した状態で洗浄し乾燥するための洗浄液とドライエアを噴出するノズルを備えた半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置であって、前記ポッド本体部を収納して洗浄する洗浄室を前記ポッド蓋部を収納して洗浄する洗浄室蓋体により密閉して洗浄し乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【０００７】
本発明によれば、従来は、洗浄時にポッド蓋部を洗浄室外に配置していたため、ポッド蓋部の全体を洗浄することができなかったが、本装置では、前記洗浄室内に前記ポッド蓋部を収納しているから、前記ポッド蓋部全体を前記ノズルにより満遍なく洗浄し乾燥することができる。
また前記洗浄室蓋体で前記洗浄室を密閉していることにより内部に収納した前記ポッド本体部と前記ポッド蓋部を確実に洗浄し乾燥することができる。
【０００８】
また、本発明は、請求項２に記載のように、請求項１に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部に前記ポッド本体部を係止する回転台を回転自在に設け、前記洗浄室の側面には前記ポッド本体部の外側に洗浄液又はドライエアを噴出するノズルを備えた外側洗浄体を固定して設けてあり、また、前記洗浄室の中心部には前記ポッド本体部の内側に前記ノズルを備えた内側洗浄体を前記回転台の支軸と一体に固定して設け、洗浄時に前記回転台の回転により、前記ポッド本体部を回転させながら前記外側洗浄体と前記内側洗浄体により洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【０００９】
本発明によれば、前記回転台の回転により前記回転台に載置した前記ポッド本体部を回転させることで、前記内側洗浄体及び前記外側洗浄体を一定方向に固定的に設けるだけで前記ポッド本体部の内側面に満遍なく洗浄液を吹きつけ洗浄し、ドライエアを吹きつけ乾燥することができる。
また、前記内側洗浄体が固定されているため、回転式の洗浄体に比べ、回転連結部のない構造で洗浄液又はドライエアを前記ノズルから確実に噴出することができる。
【００１０】
また、本発明は、請求項３に記載のように、請求項１又は２に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室蓋体が洗浄室の上部に密着する筒状蓋部と該洗浄室蓋体の上端側に位置して設けた上蓋部とからなり、前記筒状蓋部にはノズルを上下両向きに設けると共に、前記上蓋部には回転板を回転自在に設け、該回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止する係止部を設け、洗浄時に前記回転板の回転により、前記係止部に係止した前記ポッド蓋部を回転させながら前記ノズルにより洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
本発明によれば、前記回転板の回転によりポッド蓋部が回転するから、従来のノズルを回転して洗浄する方法に比べ、ノズルの回転構造を不要にすることができる。
【００１１】
また、本発明は、請求項４に記載のように、請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部にドライエア又は洗浄液を吸引して負圧をかけるための吸引手段が設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
本発明によれば、前記吸引手段で洗浄室に弱い負圧をかけることで洗浄と乾燥を効果的に行うことができる。
また、本発明は、請求項５に記載のように、請求項４に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記吸引手段にドライエアとドライエアに含まれる洗浄液を分離して排出するサイクロン装置を設けてなる構成を半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【００１２】
本発明によれば、前記吸引手段により同時に吸引されたドライエアと洗浄液を前記サイクロン装置により排気と排水に分離することができる。
また、本発明は、請求項６に記載のように、請求項１乃至５のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、洗浄液の供給源に超音波装置を設け、前記ノズルから噴出する洗浄液に超音波を付与するようになした半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
本発明によれば、超音波を洗浄液に付与する前記超音波装置を供給源に一箇所設けるだけで多数の前記ノズルから超音波を付与した洗浄液を噴出させることができる。
【００１３】
また、本発明は、請求項７に記載のように、請求項１乃至６のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室及び前記洗浄室蓋体内部の水蒸気を吸引するための水蒸気吸引手段を前記筒状蓋部に設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
本発明によれば、洗浄後に前記洗浄室と前記洗浄室蓋体内部の水蒸気を吸引することによって、前記洗浄室と前記洗浄室蓋体内部の湿気を排除し、負圧を付与することにより前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部を迅速に乾燥させることができる。
また、本発明は、請求項８に記載のように、請求項３乃至７のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ポッド蓋部を係止した前記回転板の回転速度を制御する手段を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【００１４】
本発明によれば、洗浄時には前記ポッド蓋部を低速回転に維持し前記ポッド蓋部を満遍なく確実に洗浄することができ、また乾燥時には前記ポッド蓋部を急速に高速回転させ、前記ポッド蓋部に付着した水分を遠心力で飛ばした後に高速回転を低速回転へ移行し前記ポッド蓋部を乾燥させることができる。
また、本発明は、請求項９に記載のように、請求項１乃至８のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、装置本体の近傍に、ポッド載置部を設け、載置されたポッドのポッド蓋部を着脱自在に係止すると共に、洗浄前において前記ポッド載置部のポッドからポッド本体部を把持して分離し装置本体の洗浄室内に搬送し係止させ、次いでポッド載置部から前記ポッド蓋部を把持して装置本体の洗浄室蓋体に搬送し係止させる一方、洗浄乾燥後において洗浄室蓋体からポッド蓋部を把持して分離しポッド載置部に搬送し、次いで洗浄室からポッド本体部を把持してポッド載置部に搬送し、ポッド蓋部にポッド本体部を装着してポッドを組立てるロボットを設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【００１５】
本発明によれば、ロボットによって、ポッド載置部で前記ポッドの分離又は組立作業を行うことができると共に、装置本体の洗浄室及び洗浄室蓋体にポッド本体部及びポッド蓋部を搬送し着脱することができる。
また、本発明は、請求項１０に記載のように、請求項９に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室に前記ポッド本体部を収納する際に前記洗浄室に前記ロボットのロボットアームが入る拡張部を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
【００１６】
本発明によれば、前記洗浄室に前記ロボットアームが入る前記拡張部を設けることで、前記ロボットが前記ポッド本体部の側面を把持した状態で前記洗浄室に搬送しても前記洗浄室と接触せずに搬送し収納することができる。
また、本発明は、請求項１１に記載のように、請求項３乃至１０のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止するための吸着部を設けてなる半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置を提供するものである。
なお、ポッド蓋部を係止する回転板は、静止位置が一定になるように制御され、事前に設定してある取付位置でポッド蓋部を狂いなくロボットにより取り付けられるように制御されている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下図示する実施例により、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置の実施の形態を説明する。
本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置１は、図１又は図２は示すように、ポッド洗浄乾燥システム１０に含まれて設けてあり、その周囲に半導体ウエハ等のポッド５０を収納するストッカー４と、ポッド５０の分離又は組立作業を行うためのポッド載置部２と、ポッド５０の分離、組立又は搬送作業を行うロボット３等が設けてある。９４は操作状況を表示し操作するためシステム１０の隅角部に角度調整自在に設けた操作パネルである。
【００１８】
ポッド５０は、図３に記載のように、ポッド本体部５２とポッド蓋部５１からなり、図５又は図６に示すように、ポッド洗浄乾燥装置１は、ポッド本体部５２を収納して洗浄する洗浄室８と、ポッド蓋部５１を収納して洗浄する洗浄室蓋体９とからなる。
洗浄室８は、図６に記載のように、支持脚部８３により固定して設けてあり、図３に示した実施例の場合、洗浄室８の底部中央を貫通して固定支軸２０を設けてあり、この固定支軸２０に軸受部８５、８６によって回転台１３の回転軸部３２を回転自在に支持してある。
【００１９】
また、回転軸部３２の外周部は、洗浄室８の底部に一体に設けた軸受部材３３により軸受されている。
回転軸部３２には軸受部材３３の下部に位置してプーリー３０が設けてあり、側方に設けたモータ２６の駆動軸２８のプーリー２９との間に設けたタイミングベルト３１により回転駆動するように構成してある。モータ２６は固定支軸２０の側方に位置して洗浄室８の底部の下面に位置して設けたステータ２７に一体に固定してあり、固定支軸２０と平行に上方に向かって設けた前記駆動軸２８にプーリー２９が設けてある。
【００２０】
回転台１３は、モータ２６により回転速度を制御されて回転し、回転軸部３２の回転静止位置を検出制御する原点センサ２５により、予め設定した原点にて静止するように制御され、事前に設定されているロボットの取り付け位置で確実にポッド本体部５２を取り付けることができるように構成してある。
回転台１３には、図４に記載のように、４方に伸びた保持部８４が設けてあって、その先端に位置して設けた４つの係止部２４によって開口部を下にしたポッド本体部５２の開口部の隅角部を着脱自在に係止することができるように構成してある。
【００２１】
固定支軸２０の上部には、ポッド本体部５２の内側を洗浄し乾燥させるべく、ノズル１６を上方向に備えた内側洗浄体１８と、ノズル１７を横向きに備えた内側洗浄体１９を１８０度の角度間隔でそれぞれ２ヶ所に設けてある。固定支軸２０の中心部には中空管８０が貫通して設けてあり、図１０に示した実施例の場合、本装置の外部に設けた供給源と中空管８０を管８１により連結してあり、供給源から中空管８０を経由して内側洗浄体１８、１９にそれぞれ洗浄液又はドライエアが送られるように構成してある。
【００２２】
また、洗浄室８の内側面には、ポッド本体部５２の外側を洗浄し乾燥させるべく、ノズル１４を内向きに備えた外側洗浄体１５を洗浄室８の底部８７に６ヶ所立設してあり、図１０に示した実施例の場合、本装置の外部に設けた供給源と外側洗浄体１５を管８２により連結して、ノズル１４に洗浄液又はドライエアが送られるように構成してある。
図１０に示した通り、管７５、８１、８２は洗浄液管８８とドライエア管８９とをそれぞれ切り替えて連結するように構成してあり、洗浄液管８８は供給源から管７５、８１、８２にそれぞれ洗浄液を送ることができ、ドライエア管８９は供給源から管７５、８１、８２にそれぞれドライエアを送ることができるように構成してある。
【００２３】
ポッド本体部５２を洗浄する場合には、モータ２６の駆動回転により、係止部２４により回転台１３に逆さに係止したポッド本体部５２をゆっくり回転させながら、ノズル１４、１６、１７、２１から洗浄液を噴出してポッド本体部５２の内外周面全体に吹き付けて洗浄することができる一方、乾燥時には、切り替えて、前記ノズル１４、１６、１７、２１からドライエアを噴出してポッド本体部５２を確実に乾燥させることもできるように構成してある。
【００２４】
また、洗浄室８の底部８７には、図４に記載のように、排気排水口７を設けてあり、図１又は図２に示すように、排水は配水管９３から排気は排気管６５から排出されると共に、排気管６５からの排気中に含まれている水分は、後述する吸引手段により吸引する際に分離するように構成してある。
排気排水口７の吸引手段は、図１２に記載のように、本装置の外部に吸引ポンプ６６を設けてあると共に、ポンプ６６の手前にサイクロン装置６０を設けてあり、そのサイクロン装置６０の吸引口６１と前記排気排水口７を前記排気管６５により連結し、吸引ポンプ６６により吸引口６１から洗浄乾燥装置１内のドライエア又は混在する洗浄液をサイクロン装置６０を介して吸引する際に分離することができるように構成してある。また、洗浄乾燥装置１の内部に弱い負圧をかけて排水と乾燥を促進することができるように構成してある。
【００２５】
６７はサイクロン装置６０の制御部であり、サイクロン部６２では、吸引に伴って洗浄液とドライエアを回転させ、そのとき生じる遠心力により両者を遠心分離することができ、分離されたドライエアを上部の排気口６３から排出し、洗浄液はサイクロン部６２の下部に設けた排水タンク９０に一時的に貯められて、逆止弁９２付きの排水管６４から排水することができるように構成してある。９１はポンプ６６の下部に設けたドレインである。
【００２６】
次に、洗浄室蓋体９は、洗浄室８の上部に密着する筒状蓋部６と、筒状蓋部６の上端側に密着する上蓋部５とからなり、筒状蓋部６は洗浄室８に対してヒンジ３７を中心に回動自在で、上蓋部５は筒状蓋部６に対してヒンジ３６を中心に回動自在に設けてある。
洗浄室８の外側面には、図５、６に示す実施例の場合、筒状蓋部６と上蓋部５を自動で開閉するためエアシリンダ３４、３５それぞれを略垂直に設けてあり、エアシリンダ３４の伸縮軸３８は、上蓋部５をヒンジ３６を中心に開閉する操作片部７６に設けた開閉用ヒンジ４０に連結してあると共に、エアシリンダ３５の伸縮軸３９は、筒状蓋部６をヒンジ３７を中心に開閉する操作片部７７に設けた開閉用ヒンジ４１に連結してある。
【００２７】
従って、エアシリンダ３４の伸縮軸３８の伸縮により上蓋部５が開閉し、エアシリンダ３５の伸縮軸３９の伸縮により筒状蓋部６が開閉する。この際の上蓋部５の開いた状態の位置を図５の５ｂに、閉じた状態の位置を図５の５ａに示し、また、筒状蓋部６の開いた状態の位置を図６の６ｂに、閉じた状態の位置を図６の６ａに示してある。
なお、エアシリンダ３４、３５は、上蓋部５及び筒状蓋体６の円滑なヒンジ回転が可能なように、それぞれ洗浄室８の外側面に設けた支軸６８、６９により揺動可能に支持して設けてある。
【００２８】
上蓋部５には、図８に示した実施例の場合、中央部を貫通して回転駆動軸４４を設けてあり、この回転駆動軸４４の下端と一体に回転板２２を設けてある。４８は回転駆動軸４４を回転自在に支持するため上蓋部５の下面に一体に固定した軸受部材である。
回転駆動軸４４の上部には、上蓋部５の上面に位置してプーリー４５が設けてあり、モータ４２の駆動軸４３のプーリー４６との間に設けたタイミングベルト４７により回転駆動するように構成してある。モータ４２は回転駆動軸４４の側方に位置して上蓋部５の上面に設けた支持台７８に一体に固定してあり、回転駆動軸４４と平行に下方に向かって設けた前記駆動軸４３に前記プーリー４６が設けてある。
【００２９】
回転板２２はモータ４２により回転速度を制御されて回転し、回転駆動軸４４の回転静止位置を検出制御する原点センサ７９により、予め設定した原点の静止位置に静止するように制御され、回転板２２が予め設定した静止位置に確実に静止することにより、事前に設定されている取付位置でポッド蓋部５１を狂いなくロボットにより取り付け取り外し制御するように構成してある。
また、回転板２２には、図９に記載のように、ポッド蓋部５１を着脱自在に係止する６個の係止部２３と４個の吸着部４９を所定間隔で配設してあり、係止部２３はポッド蓋部５１を外側から把持するように係止し、吸着部４９は後述する吸引手段によりポッド蓋部５１を吸着して係止するように構成してある。
【００３０】
なお、係止部２３は、ポッド蓋部５１を外側から把持するように係止することにより急速回転時に遠心力で外れないように保持することができ、吸着部４９は、ポッド蓋部５１の天板部を吸着して係止部２３間にポッド蓋部５１を確実に保持することができる。
実施例の場合、吸着部４９の吸引手段は、図８に記載のように、回転駆動軸４４の中心に設けた中空管部７１と本装置の外部に設けた吸引チューブ７３を回転駆動軸４４の上端に位置して固定的に設けたロータリージョイント７２により連結してあると共に、中空管部７１の下端部から放射状に配設した分岐部分７４とエアチューブ７０により吸着部４９に連結してあり、回転板２２の回転中においても吸引チューブ７３によって吸着部４９に吸引力が作用するように構成してある。
【００３１】
次に、回転板２２を内部に収容すべき筒状蓋部６には、図３に記載のように、洗浄室８との境界に位置して上方のポッド蓋部５１と下方のポッド本体部５２を洗浄し、また、乾燥させるノズル２１をそれぞれ上下向きに備えたノズル部材５４を一体に設けてある。
実施例の場合、ノズル２１はポッド蓋部５１とポッド本体部５２が回転するから上下それぞれに中心付近を含めて一半径方向に一列に設けてあるが、適宜な角度間隔で複数箇所に設けることは勿論である。
【００３２】
図１０に示した実施例の場合、前記ノズル部材５４には、本装置の外部に設けた供給源と管７５により連結してあり、供給源からノズル部材５４に洗浄液又はドライエアが送られるように構成してある。
ポッド蓋部５１の洗浄時には、モータ４２の駆動回転により、係止部２３と吸着部４９により回転板２２に係止したポッド蓋部５１を回転させ、ノズル２１から洗浄液を噴出し、ポッド蓋部５１の全面に吹き付けて洗浄することができ、乾燥時には、先ず、洗浄直後にポッド蓋部５１を瞬時に高速回転させて洗浄時に付着した洗浄液を遠心力で吹き飛ばしてから、回転を低速にしてノズル２１からドライエアを噴出してポッド蓋部５１を確実に乾燥させることもできるように構成してある。
【００３３】
また、筒状蓋部６には、図６に記載のように、吸引口５５を設けてあり、洗浄又は乾燥時に洗浄乾燥装置１内の水蒸気を後述する吸引手段により吸引するように構成してある。
吸引口５５の吸引手段は、図１１に示す実施例の場合、本装置の外部に設けたエジェクタ５６からなり、その吸引口部５９と吸引口５５をチューブ等により連結し、エジェクタ５６の入り口５７から排出口５８の方向に高圧空気を流すことで、吸引口５５から洗浄乾燥装置１内部に充満した水蒸気を外部に排出することができ、洗浄乾燥装置１の内部に弱い負圧をかけて乾燥を促進することができるように構成してある。
【００３４】
また、洗浄室蓋体９内部及び洗浄室８には、それぞれの内部を暖めるヒータ手段を設けてあり、洗浄又は乾燥時に洗浄乾燥装置１内部を適当な温度に加熱してポッド蓋部５１とポッド本体部５２の洗浄又は乾燥を促進させることができるように構成してある。
また、洗浄乾燥装置１の近傍には、前記ノズル１４、１６、１７、２１のそれぞれから噴出するドライエアの温度を調整する加熱手段を設けてあり、乾燥時にノズル１４、１６、１７、２１から噴出するドライエアを適当な温度に加熱してポッド蓋部５１とポッド本体部５２に吹きつけ乾燥を促進させることができるように構成してある。
【００３５】
また、洗浄乾燥装置１の近傍には、純水等からなる洗浄液の供給源に洗浄時に使用する純水等の洗浄液を暖める手段を設けてあると共に、薬液を注入する手段を設けてあり、洗浄時にノズル１４、１６、１７、２１からポッド蓋部５１とポッド本体部５２に吹きつけることで効果的に洗浄することができるように構成してある。
また、図１０に記載のように、洗浄液管８８には超音波装置５３を設けてあり、ノズル１４、１６、１７、２１のそれぞれから噴出する洗浄液に超音波を付与し、ポッド蓋部５１とポッド本体部５２に吹きつけることで効果的に洗浄することができるように構成してある。
【００３６】
頭書のように、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置１は、図１又は図２は示すように、ポッド洗浄乾燥システム１０に含まれて設けてあり、その周囲にポッド５０を収納するストッカー４と、ポッド５０をポッド本体部５２とポッド蓋部５１に分離又は組立作業を行うためのポッド載置部２と、ポッド５０の分離、組立又は搬送作業を行うロボット３等が設けてある。
上記実施例の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、ロボット３によりストッカー４からポッド載置部２にポッド５０を搬送し、ポッド載置部２にポッド蓋部５１が下になるようにポッド本体部５２をロボットアーム１２で把持して載置し、ポッド載置部２でポッド蓋部５１を着脱自在に係止し、ロボット３によりポッド本体部５２のみを把持して持ち上げて、本発明装置本体に搬送する。
【００３７】
次に、エアシリンダ３４、３５により、上蓋部５と筒状蓋部６を開き、ポッド本体部５２を収納できる状態し、ロボット３により把持したポッド本体部５２を洗浄室８の回転台１３に係止する。このとき、図２に示すように、洗浄室８の側部に設けた拡張部１１により、ロボット３のロボットアーム１２が洗浄室８に接触することなくポッド本体部５２を回転台１３に設けた係止部２４に係止することができる。
次に、前記ポッド載置部２に係止したポッド蓋部５１をロボット３により把持し、洗浄室蓋体９の回転板２２に搬送し、回転板２２に設けた係止部２３と吸着部４９によりポッド蓋部５１を回転板２２に係止する。ここで、エアシリンダ３４、３５により、筒状蓋部６と上蓋部５を順次に閉じ、洗浄乾燥装置１内にポッド蓋部５１とポッド本体部５２を密閉状態で収納する。
【００３８】
次いで、洗浄室８及び洗浄室蓋体９でポッド蓋部５１及びポッド本体部５２を洗浄液で洗浄し、ドライエアで乾燥させた後、再度エアシリンダ３４、３５により上蓋部５と筒状蓋部６を開き、上蓋部５の回転板２２に係止されたポッド蓋部５１をロボットアーム１２により把持して取り外し、ポッド載置部２に搬送し係止し、次に、洗浄室８内の回転台１３に係止されたポッド本体部５２をロボットアーム１２により把持して取り外し、ポッド載置部２に搬送し先のポッド蓋部５１と重ねて係合させ、ポッド５０を組立てることができ、組立てたポッド５０をロボット３により把持してストッカー４に搬送し、洗浄、乾燥工程が完了する。
【００３９】
なお、本発明おいては、上記実施例の記載から理解されるように、次のような実施の形態を列挙することができる。
本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、洗浄液の供給源に洗浄時に使用する洗浄液を暖める手段を設けてなる構成を有することにより、洗浄時において使用する洗浄液を暖めることで前記ポッド内の洗浄効果を向上させることができる。
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、洗浄液の供給源に洗浄液に薬液を注入する手段を設けてなる構成を有することにより、洗浄時において使用する洗浄液に薬液を注入することで前記ポッド内の洗浄効果を向上させることができる。
【００４０】
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ノズルから噴出する洗浄液に超音波を付与する手段を設けてなる構成を有することにより、前記ポッド内の洗浄効果を向上させることができる。
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、水蒸気の吸引手段を有するエジェクタを前記洗浄室外部に設けてなる構成を有することにより、簡単な構造を有するエジェクタにより洗浄室内に比較的弱い負圧をかけることができる。
【００４１】
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ノズルからドライエアを噴出し前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部を乾燥させるようになした構成を有することにより、前記ノズルからドライエアを噴出することで、洗浄時に前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部に付着した水分を吹き飛ばし、前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部を乾燥させることができる。
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ノズルから噴出するドライエアの温度を調整する手段を設けてなる構成を有することにより、前記ノズルから温度を調整した気体を前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部に吹き付けることで、前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部に付着した水分の乾燥を促進することができる。
【００４２】
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室蓋体内部及び前記洗浄室に内部を暖める手段を設けてなる構成を有することにより、洗浄及び乾燥工程において、前記洗浄室蓋体内部及び前記洗浄室内部を暖めることで、前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部の洗浄と乾燥を促進することができる。
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、装置本体の近傍に前記ポッドの分離又は組立作業を行うポッド載置部を設けると共に、分離、組立又は搬送作業を行うロボットを設けてなる構成を有することにより、分離又は組立作業を一箇所の前記ポッド載置部でロボットにより自動的に行える効果がある。
【００４３】
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ポッド載置部に前記ポッド蓋部を吸着して係止する吸着部を設けてなる構成を有することにより、前記ポッドを前記ポッド蓋部と前記ポッド本体部に分離する際に、前記ロボットが前記ポッド本体部を把持し前記ポッド載置部に載置して、前記ポッド蓋部を前記吸着部に固定した状態で、再度持ち上げると前記ポッド蓋部と前記ポッド本体部を容易に分離することができる。
また、本発明の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ロボットの近傍に前記ポッドを収納したストッカーを設け、前記ロボットにより前記ストッカーから前記ポッド載置部に搬送するようになした構成を有することにより、前記ストッカーに前記ポッドを載置することで、前記ロボットに前記ポッドを円滑に受け渡すことができ、前記ポッド載置部に自動的に搬送することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上の通り、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項１に記載のように、ポッドをポッド本体部とポッド蓋部に分離した状態で洗浄し乾燥するための洗浄液とドライエアを噴出するノズルを備えた半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置であって、前記ポッド本体部を収納して洗浄する洗浄室を前記ポッド蓋部を収納して洗浄する洗浄室蓋体により密閉して洗浄し乾燥するようになした構成を有することにより、従来は、洗浄時にポッド蓋部を洗浄室外に配置していたため、ポッド蓋部の全体を洗浄することができなかったが、本装置では、前記洗浄室内に前記ポッド蓋部を収納しているから、前記ポッド蓋部全体を前記ノズルにより満遍なく洗浄し乾燥することができる効果がある。
【００４５】
また前記洗浄室蓋体で前記洗浄室を密閉していることにより内部に収納した前記ポッド本体部と前記ポッド蓋部を確実に洗浄し乾燥することができる効果がある。
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項２に記載のように、請求項１に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部に前記ポッド本体部を係止する回転台を回転自在に設け、前記洗浄室の側面には前記ポッド本体部の外側に洗浄液又はドライエアを噴出するノズルを備えた外側洗浄体を固定して設けてあり、また、前記洗浄室の中心部には前記ポッド本体部の内側に前記ノズルを備えた内側洗浄体を前記回転台の支軸と一体に固定して設け、洗浄時に前記回転台の回転により、前記ポッド本体部を回転させながら前記外側洗浄体と前記内側洗浄体により洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした構成を有することにより、前記回転台の回転により前記回転台に載置した前記ポッド本体部を回転させることで、前記内側洗浄体及び前記外側洗浄体を一定方向に固定的に設けるだけで前記ポッド本体部の内側面に満遍なく洗浄液を吹きつけ洗浄し、ドライエアを吹きつけ乾燥することができる効果がある。
【００４６】
また、前記内側洗浄体が固定されているため、回転式の洗浄体に比べ、回転連結部のない構造で洗浄液又はドライエアを前記ノズルから確実に噴出することができる効果がある。
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項３に記載のように、請求項１又は２に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室蓋体が洗浄室の上部に密着する筒状蓋部と該洗浄室蓋体の上端側に位置して設けた上蓋部とからなり、前記筒状蓋部にはノズルを上下両向きに設けると共に、前記上蓋部には回転板を回転自在に設け、該回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止する係止部を設け、洗浄時に前記回転板の回転により、前記係止部に係止した前記ポッド蓋部を回転させながら前記ノズルにより洗浄液で洗浄しドライエアで乾燥するようになした構成を有することにより、前記回転板の回転によりポッド蓋部が回転するから、従来のノズルを回転して洗浄する方法に比べ、ノズルの回転構造を不要にすることができる効果がある。
【００４７】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項４に記載のように、請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室の底部にドライエア又は洗浄液を吸引して負圧をかけるための吸引手段が設けてなる構成を有することにより、前記吸引手段で洗浄室に弱い負圧をかけることで洗浄と乾燥を効果的に行うことができる効果がある。
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項５に記載のように、請求項４に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記吸引手段にドライエアと洗浄液を分離して排出するサイクロン装置を設けてなる構成を有することにより、前記吸引手段により同時に吸引されたドライエアと洗浄液を前記サイクロン装置により排気と排水に分離することができる効果がある。
【００４８】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項６に記載のように、請求項１乃至５のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、洗浄液の供給源に超音波装置を設け、前記ノズルから噴出する洗浄液に超音波を付与するようになした構成を有することにより、超音波を洗浄液に付与する前記超音波装置を供給源に一箇所設けるだけで多数の前記ノズルから超音波を付与した洗浄液を噴出させることができる効果がある。
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項７に記載のように、請求項１乃至６のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室及び前記洗浄室蓋体内部の水蒸気を吸引するための水蒸気吸引手段を前記筒状蓋部に設けてなる構成を有することにより、洗浄後に前記洗浄室と前記洗浄室蓋体内部の水蒸気を吸引することによって、前記洗浄室と前記洗浄室蓋体内部の湿気を排除し、負圧を付与することにより前記ポッド蓋部又は前記ポッド本体部を迅速に乾燥させることができる効果がある。
【００４９】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項８に記載のように、請求項３乃至７のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記ポッド蓋部を係止した前記回転板の回転速度を制御する手段を設けてなる構成を有することにより、洗浄時には前記ポッド蓋部を低速回転に維持し前記ポッド蓋部を満遍なく確実に洗浄することができ、また乾燥時には前記ポッド蓋部を急速に高速回転させ、前記ポッド蓋部に付着した水分を遠心力で飛ばした後に高速回転を低速回転へ移行し前記ポッド蓋部を乾燥させることができる効果がある。
【００５０】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項９に記載のように、請求項１乃至８のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、装置本体の近傍に、ポッド載置部を設け、載置されたポッドのポッド蓋部を着脱自在に係止すると共に、洗浄前において前記ポッド載置部のポッドからポッド本体部を把持して分離し装置本体の洗浄室内に搬送し係止させ、次いでポッド載置部から前記ポッド蓋部を把持して装置本体の洗浄室蓋体に搬送し係止させる一方、洗浄乾燥後において洗浄室蓋体からポッド蓋部を把持して分離しポッド載置部に搬送し、次いで洗浄室からポッド本体部を把持してポッド載置部に搬送し、ポッド蓋部にポッド本体部を装着してポッドを組立てるロボットを設けてなる構成を有することにより、ロボットによって、ポッド載置部で前記ポッドの分離又は組立作業を行うことができると共に、装置本体の洗浄室及び洗浄室蓋体にポッド本体部及びポッド蓋部を搬送し着脱することができる効果がある。
【００５１】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項１０に記載のように、請求項９に記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記洗浄室に前記ポッド本体部を収納する際に前記洗浄室に前記ロボットのロボットアームが入る拡張部を設けてなる構成を有することにより、前記洗浄室に前記ロボットアームが入る前記拡張部を設けることで、前記ロボットが前記ポッド本体部の側面を把持した状態で前記洗浄室に搬送しても前記洗浄室と接触せずに搬送し収納することができる効果がある。
【００５２】
また、本発明に係る半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置によれば、請求項１１に記載のように、請求項３乃至１０のいずれかに記載の半導体ウエハ等のポッド洗浄乾燥装置において、前記回転板に前記ポッド蓋部を着脱自在に係止するための吸着部を設けてなる構成を有することにより、前記ポッド蓋部を自在に着脱することができると共に、前記回転板が傾斜している場合でも前記ポッド蓋部を固定させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施例の使用態様を示す概略平面図。
【図２】その実施例の使用態様を示す概略側面図。
【図３】本発明装置の一実施例の一部縦断概略正面図。
【図４】その実施例の概略平面図。
【図５】本発明装置の一実施例の全体の一使用態様を示す概略正面図。
【図６】その実施例の概略側面図。
【図７】その実施例の要部の概略正面図。
【図８】その実施例の他の要部の概略正面図。
【図９】その実施例の他の要部の概略平面図。
【図１０】本発明装置の一実施例の概略配管説明図。
【図１１】その実施例の要部の概略説明図。
【図１２】その実施例の他の要部の概略説明図。
【符号の説明】
１　　　　　ポッド洗浄乾燥装置
２　　　　　ポッド載置部
３　　　　　ロボット
４　　　　　ストッカー
５　　　　　上蓋部
６　　　　　筒状蓋部
７　　　　　排気排水口
８　　　　　洗浄室
９　　　　　洗浄室蓋体
１０　　　　ポッド洗浄乾燥装置
１１　　　　拡張部
１２　　　　ロボットアーム
１３　　　　回転台
１４　　　　ノズル
１５　　　　外側洗浄体
１６　　　　ノズル
１７　　　　ノズル
１８　　　　内側洗浄体
１９　　　　内側洗浄体
２０　　　　固定支軸
２１　　　　ノズル
２２　　　　回転板
２３　　　　係止部
２４　　　　係止部
２５　　　　原点センサ
２６　　　　モータ
２７　　　　ステータ
２８　　　　駆動軸
２９　　　　プーリー
３０　　　　プーリー
３１　　　　タイミングベルト
３２　　　　回転軸部
３３　　　　軸受部材
３４　　　　エアシリンダ
３５　　　　エアシリンダ
３６　　　　ヒンジ
３７　　　　ヒンジ
３８　　　　伸縮軸
３９　　　　伸縮軸
４０　　　　開閉用ヒンジ
４１　　　　開閉用ヒンジ
４２　　　　モータ
４３　　　　駆動軸
４４　　　　回転駆動軸
４５　　　　プーリー
４６　　　　プーリー
４７　　　　タイミングベルト
４８　　　　軸受部材
４９　　　　吸着部
５０　　　　ポッド
５１　　　　ポッド蓋部
５２　　　　ポッド本体部
５３　　　　超音波装置
５４　　　　ノズル部材
５５　　　　吸引口
５６　　　　エジェクタ
５７　　　　入り口
５８　　　　排出口
５９　　　　吸引口部
６０　　　　サイクロン装置
６１　　　　吸引口
６２　　　　サイクロン部
６３　　　　排気口
６４　　　　排水口
６５　　　　排気管
６６　　　　ポンプ
６７　　　　制御部
６８　　　　支軸
６９　　　　支軸
７０　　　　エアチューブ
７１　　　　中空管部
７２　　　　ロータリージョイント
７３　　　　吸引チューブ
７４　　　　分岐部分
７５　　　　管
７６　　　　操作片部
７７　　　　操作片部
７８　　　　支持台
７９　　　　原点センサ
８０　　　　中空管
８１　　　　管
８２　　　　管
８３　　　　支持脚部
８４　　　　保持部
８５　　　　軸受部
８６　　　　軸受部
８７　　　　底部
８８　　　　洗浄液管
８９　　　　ドライエア管
９０　　　　排水タンク
９１　　　　ドレイン
９２　　　　逆止弁
９３　　　　排水管
９４　　　　操作パネル
【図１】
2004055709.tif 000003
【図２】
2004055709.tif 000004
【図３】
2004055709.tif 000005
【図４】
2004055709.tif 000006
【図５】
2004055709.tif 000007
【図６】
2004055709.tif 000008
【図７】
2004055709.tif 000009
【図８】
2004055709.tif 000010
【図９】
2004055709.tif 000011
【図１０】
2004055709.tif 000012
【図１１】
2004055709.tif 000013
【図１２】
2004055709.tif 000014