(57)【要約】【課題】専用ノズルや専用ヘッドを設けることなく、液材の量を高い精度で揃えることができるディスプレー製造装置を提供する。【解決手段】キャリッジ５には、供給された駆動パルスに応じた量の液滴を吐出する噴射ヘッド７と、フィルタ基体に着弾したインク量を画素領域毎に検出可能な液材センサ１７とを設ける。主制御部３１は、液材センサ１７からの検出信号のレベルに応じ、不足量の液滴を吐出可能な波形形状の駆動パルスを決定し、決定した駆動パルスの波形情報を駆動信号発生部３２に出力する。駆動信号発生部３２は、受信した波形情報によって駆動パルスを発生し、噴射ヘッド７に出力する。噴射ヘッド７は、不足量の液滴を対応する画素領域に打ち込み、当該画素領域のインク量を目標量に調整する。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通し液材を貯留可能な圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、駆動パルスの電気機械変換素子への供給に伴い圧力室内の液材を液滴状にしてノズル開口から吐出可能な噴射ヘッドと、
前記駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有し、
前記ノズル開口から吐出した液材をディスプレー基体表面の液材領域に着弾させるように構成したディスプレー製造装置において、
着弾した液材量を液材領域毎に検出可能な液材量検出手段と、
該液材量検出手段が検出した着弾液材量と目標液材量との差から当該液材領域の液材不足量を取得する不足量取得手段と、
駆動パルス発生手段が発生する駆動パルスの形状を設定するパルス形状設定手段とを設け、
該パルス形状設定手段は不足量取得手段が取得した液材不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定し、
該駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給することで、前記不足量の液材を液材領域に補充することを特徴とするディスプレー製造装置。
【請求項２】
前記液材量検出手段を、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とによって構成し、
発光素子からの光を液材領域に照射すると共に該液材領域からの光を受光素子に受光させ、受光した光の強度によって該液材領域の着弾液材量を検出することを特徴とする請求項１に記載のディスプレー製造装置。
【請求項３】
前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第１駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のディスプレー製造装置。
【請求項４】
前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、定常容積に対応した中間電位を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項５】
前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、膨張要素の時間幅を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項６】
前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、膨張ホールド要素の時間幅を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項７】
前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第２駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項８】
前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、定常容積に対応する中間電位を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項９】
前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第２吐出要素の終端電位を設定することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１０】
前記駆動パルス発生手段は、単位周期内に複数の駆動パルスを発生可能に構成され、
単位周期あたりの圧力発生素子への駆動パルスの供給数を可変することにより、液材の吐出量を調整可能としたことを特徴とする請求項１から請求項９の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１１】
前記液材は、発光材料を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項１から請求項１０までの何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１２】
前記液材は、正孔注入／輸送層形成材料を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項１から請求項１０までの何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１３】
前記液材は、導電性微粒子を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項１から請求項１０までの何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１４】
前記液材は、着色成分を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項１から請求項１０までの何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１５】
前記液材量検出手段が検出した着弾液材量とその液材領域における目標液材量との差から液材超過量を取得する超過量取得手段と、
液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段とを設け、
液材超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分の着色成分を分解することを特徴とする請求項１４に記載のディスプレー製造装置。
【請求項１６】
前記着色成分分解手段をエキシマーレーザー光を発生可能なエキシマーレーザー光源によって構成したことを特徴とする請求項１５に記載のディスプレー製造装置。
【請求項１７】
前記電気機械変換素子が圧電振動子であることを特徴とする請求項１から請求項１６の何れかに記載のディスプレー製造装置。
【請求項１８】
ノズル開口に連通した圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、電気機械変換素子の作動によって圧力室内の液材をノズル開口から吐出可能な噴射ヘッドと、上記電気機械変換素子へ供給するための駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有するディスプレー製造装置を用い、ディスプレー基体に設けられた複数の液材領域に前記ノズル開口から吐出した液材を着弾させることでディスプレーを製造するディスプレー製造方法において、
目標量の液材を吐出させるための駆動パルスを電気機械変換素子に供給することで各液材領域に液材を吐出する液材吐出工程と、
着弾した液材の量を液材量検出手段によって液材領域毎に検出し、検出された着弾液材量と液材領域に対する目標液材量との差から液材過不足量を取得する補正量取得工程と、
着弾液材量が目標液材量に対して不足している場合に、該不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定し、該設定した波形形状の駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給し、不足量の液材を補充する液材補充工程とを経ることを特徴とするディスプレー製造方法。
【請求項１９】
着弾液材量が目標液材量に対して超過している場合に、液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段を作動させて着色成分を分解する液材分解工程を、前記補正量取得工程よりも後に行うことを特徴とする請求項１８に記載のディスプレー製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルタやＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置等の各種ディスプレーを、液材を吐出させることで製造するディスプレー製造装置、及び、このディスプレーの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置用のカラーフィルタやＥＬ表示装置、或いはプラズマ表示装置等を製造するにあたり、液体状の材料（液材）を液滴状にして吐出可能な噴射ヘッド（例えば、インクジェットヘッド）が好適に用いられている。この噴射ヘッドを用いた製造装置では、例えば、カラーフィルタの製造において、ノズル開口から吐出させた液材を基体表面に設けた複数の画素領域に打ち込む。しかし、ノズル開口毎の特性ばらつき等により、画素領域に色むらや色抜けの不良が生じる場合がある。そして、この不良が生じた場合には、不良が生じた画素領域に対して液材を吐出して修復することがなされている。例えば、特許文献１には、カラーフィルタの色むら部分や色抜け部分に対して所定の色のインク滴を吐出することで不良を修復する技術が提案されている。
【０００３】
ところで、上記公報に開示された製造装置では、発熱素子を備えた噴射ヘッドが用いられている。このタイプの噴射ヘッドは、インク滴を吐出させるにあたり、発熱素子を発熱させて圧力室内のインク液を沸騰させる。即ち、沸騰で生じた気泡により液体状のインクを加圧してノズル開口から吐出させる。このため、吐出されるインクの量（インク滴の量）は、主に圧力室の容積と発熱素子の面積によって決まってしまう。そして、沸騰時に生じる気泡の体積を高い精度で制御することは困難であるため、供給電力量の調整による吐出量の高精度の制御も困難である。
【０００４】
従って、極く少量の液材を補充して色むら部分や色抜け部分に対する修復を行うには、例えば、特許文献２や特許文献３に開示されているように、専ら修復を行う専用ノズルや専用ヘッドを備える必要があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−３１８７２４号公報
【特許文献２】
特開平８−８２７０６号公報
【特許文献３】
特開平８−２９２３１１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、専用ノズルや専用ヘッドを別途設けてしまうと、装置構成が複雑化して部品点数の増加を招いてしまう。また、汎用性に乏しいという問題もある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、専用ノズルや専用ヘッドを設けることなく、液材の量を高い精度で揃えることができるディスプレー製造装置、及び、ディスプレー製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に連通し液材を貯留可能な圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、駆動パルスの電気機械変換素子への供給に伴い圧力室内の液材を液滴状にしてノズル開口から吐出可能な噴射ヘッドと、
前記駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有し、
前記ノズル開口から吐出した液材をディスプレー基体表面の液材領域に着弾させるように構成したディスプレー製造装置において、
着弾した液材量を液材領域毎に検出可能な液材量検出手段と、
該液材量検出手段が検出した着弾液材量と目標液材量との差から当該液材領域の液材不足量を取得する不足量取得手段と、
駆動パルス発生手段が発生する駆動パルスの形状を設定するパルス形状設定手段とを設け、
該パルス形状設定手段は不足量取得手段が取得した液材不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定し、
該駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給することで、前記不足量の液材を液材領域に補充することを特徴とする。
【０００９】
なお、「ディスプレー」の語は通常よりも広義に用い、表示装置そのものに加えて表示装置に用いられるカラーフィルタ等も含まれる。また、「液材」は、溶媒（又は分散媒）の他に染料や顔料その他の材料を含む液体であって、ノズル開口から吐出可能であれば固体物質が混入したものも含む意味で用いる。また、「液材領域」とは、液滴として吐出された液材の着弾領域を意味する。
【００１０】
上記構成によれば、着弾した液材の量を液材量検出手段によって液材領域毎に検出し、検出された着弾液材量と液材領域に対する目標液材量との差から液材過不足量を取得し、着弾液材量が目標液材量に対して不足している場合に、該不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定して駆動パルス発生手段から発生させて不足量の液材を補充するので、１つの噴射ヘッドで目標液材量に対応する量の液材と補充量に対応する量の液材とを吐出させることができる。これにより、各液材領域における着弾液材量が揃ったディスプレーを製造できる。
そして、専用の噴射ヘッドやノズルを設ける必要がないので、装置構成の簡素化が図れる。また、用途に応じて制御対象となる噴射ヘッドやノズルを切り替える必要もないので、制御の簡素化も図れる。
【００１１】
上記構成において、前記液材量検出手段を、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とによって構成し、
発光素子からの光を液材領域に照射すると共に該液材領域からの光を受光素子に受光させ、受光した光の強度によって該液材領域の着弾液材量を検出することが好ましい。
【００１２】
なお、「液材領域からの光」とは、液材領域で反射した反射光と液材領域を透過した透過光の両方を含む。
【００１３】
上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第１駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することが好ましい。
【００１４】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、定常容積に対応した中間電位を設定する構成とすることもできる。
【００１５】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、膨張要素の時間幅を設定する構成を採ることもできる。
【００１６】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第１駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、膨張ホールド要素の時間幅を設定する構成を採ることもできる。
【００１７】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第２駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定する構成を採ることができる。
【００１８】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、定常容積に対応する中間電位を設定する構成を採ることもできる。
【００１９】
また、上記構成において、前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第２膨張要素と、圧力室を収縮させることで第２膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第２吐出要素とを含む第２駆動パルスであり、
パルス形状設定手段は、第２吐出要素の終端電位を設定する構成を採ることもできる。
【００２０】
さらに、上記構成において、前記駆動パルス発生手段は、単位周期内に複数の駆動パルスを発生可能に構成し、単位周期あたりの圧力発生素子への駆動パルスの供給数を可変することにより、液材の吐出量を調整可能とする構成を採ることもできる。
【００２１】
上記各構成によれば、補充する液材の量を極めて高い精度で制御できるので、各液材領域における着弾液材量を高いレベルで揃えることができる。また、吐出される液材の飛行速度も制御できるので、噴射ヘッドを走査しつつ液材を吐出させても、液材の着弾位置を正確に制御することができる。また、異なる吐出量の液材であっても飛行速度を揃えることができる。さらに、空気の粘性抵抗の影響を大きく受けてしまう極く少量の液材についても対応することができる。
【００２２】
また、上記構成において、前記液材として、発光材料を含む液体状の材料、正孔注入／輸送層形成材料を含む液体状の材料、又は、導電性微粒子を含む液体状の材料を用いることができる。
【００２３】
また、上記構成において、前記液材として、着色成分を含む液体状の色材を用いることもできる。そして、この構成において、前記液材量検出手段が検出した着弾液材量とその液材領域における目標液材量との差から液材超過量を取得する超過量取得手段と、液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段とを設け、液材超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分の着色成分を分解する構成とするのが好ましい。また、この構成において、前記着色成分分解手段をエキシマーレーザー光を発生可能なエキシマーレーザー光源によって構成することができる。
【００２４】
さらに、上記各構成において、前記電気機械変換素子を圧電振動子とする構成を採ることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。まず、図１及び図２に基づいて、ディスプレー製造装置１（以下、製造装置１という。）の基本構成について説明する。
【００２６】
図１（ａ）に例示した製造装置１は、カラーフィルタ（本発明におけるディスプレーの一種）２の基体であるフィルタ基体２´（本発明におけるディスプレー基体の一種）を載置可能な載置面を有する矩形状の載置基台３と、載置基台３の一側の辺（主走査方向）に沿って移動可能なガイドバー４と、このガイドバー４に取り付けられ、ガイドバー４の長手方向（副走査方向）に沿って移動可能なキャリッジ５と、ガイドバー４及びキャリッジ５を移動させる際の駆動源となるキャリッジモータ６（図２参照）と、噴射ヘッド７に供給する液材を貯留可能な液材貯留部８と、この液材貯留部８と噴射ヘッド７との間に接続され、液材の流路を形成する供給チューブ９と、噴射ヘッド７等の作動を電気的に制御する制御装置１０とを有している。本実施形態においては、液材の一種としてインク液（染料又は顔料等の着色成分を含む液体状の材料）が液材貯留部８に貯留される。
【００２７】
上記のフィルタ基体２´は、例えば図１（ｂ）に示すように、基板１１と、この基板１１の表面に積層された被着色層１２とから概略構成されている。本実施形態においては、基板１１としてガラス基板を用いるが、透明性及び機械的強度を満足するものであればガラス以外の材料を用いることもできる。被着色層１２は、例えば感光性樹脂によって形成され、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の何れかの色に着色される画素領域１２ａ（フィルタエレメントとも呼ばれ、本発明の液材領域の一種）を複数備える。本実施形態では、この画素領域１２ａを平面視矩形状に構成し、各画素領域１２ａを千鳥格子状に設けている。
【００２８】
そして、噴射ヘッド７は、液材、即ち、上記各色のインク液を液滴（インク滴）として所望の画素領域１２ａに対して選択的に吐出可能である。なお、本実施形態では、各画素領域１２ａへの液滴の吐出に先立ち、隣り合う画素領域１２ａ，１２ａを区画する区画壁部１２ｂを基板１１上に形成している。なお、この区画壁部１２ｂは、ブラックマトリクス７２及びバンク７３（何れも図２０参照）により構成されている。
なお、カラーフィルタ２の製造工程についての詳細は、図１９及び図２０を用いて後述する。
【００２９】
上記の載置基台３は、載置面３ａが光反射面によって構成された略長方形の板状部材である。この載置基台３の大きさは、フィルタ基体２´の大きさに基づいて規定され、少なくともこのフィルタ基体２´よりも一回り大きく設定される。また、ガイドバー４は平たい棒状部材であり、載置基台３の短辺方向（Ｙ軸，副走査方向に相当）に平行に架設され、載置基台３の長辺方向（Ｘ軸，主走査方向に相当）に移動可能に取り付けられている。
【００３０】
上記のキャリッジ５は、図２に示すように、上記の噴射ヘッド７と液材センサ１７とが取り付けられたブロック状部材である。
【００３１】
液材センサ１７は、本発明の液材量検出手段の一種であり、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とを備えている。本実施形態では、発光素子としてレーザー発光素子１８を用い、受光素子としてレーザー受光素子１９を用いている。そして、図３に示すように、レーザー発光素子１８からのレーザー光線Ｌｂを液材領域（画素領域１２ａ）に向けて照射し、画素領域１２ａからの反射レーザー光線Ｌｂをレーザー受光素子１９に受光させている。この液材センサ１７では、受光光量（受光強度）に応じた電圧の信号をレーザー受光素子１９が出力する。この受光光量は画素領域１２ａに着弾した液材量（本実施形態においてはインク量）に応じて変化するので、即ち、画素領域１２ａに着弾した液材量が多くなる程に受光光量が減少し、液材量が少なくなる程に受光光量が増加するので、液材センサ１７から出力される信号の電圧を検出することで画素領域１２ａに着弾した着弾液材量を取得できる。
【００３２】
噴射ヘッド７は、例えば、図４に示すように、複数の圧電振動子２１を有する振動子ユニット２２と、この振動子ユニット２２を収納可能なケース２３と、ケース２３の先端面に接合される流路ユニット２４とを備えている。この噴射ヘッド７は、流路ユニット２４のノズル開口２５を下側（載置基台３側）に向けた状態で取り付けられており、液材をノズル開口２５から液滴の状態で吐出することができる。本実施形態では、Ｒ，Ｇ，Ｂからなる３色のインク液を個別に吐出可能である。なお、この噴射ヘッド７については、後で詳しく説明する。
【００３３】
上記の液材貯留部８は、噴射ヘッド７に供給する液材が個別に貯留される。本実施形態では、上記したように、Ｒ，Ｇ，Ｂからなる３色のインク液を個別に貯留している。また、供給チューブ９も噴射ヘッド７に供給するインク液の種類に応じた複数本配設される。
【００３４】
上記の制御装置１０は、ＣＰＵ・ＲＯＭ・ＲＡＭ等（何れも図示せず）を含んで構成された主制御部３１と、噴射ヘッド７に供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生部３２と、レーザー受光素子１９からの出力電圧（電圧レベル）をデジタルデータに変換するアナログデジタル変換器３３（以下、Ａ／Ｄ変換器３３という。）とを備えている。このＡ／Ｄ変換器３３からの信号は駆動信号発生部３２に入力されている。
【００３５】
上記の主制御部３１は、この製造装置１における制御を行う主制御手段として機能し、例えば、液滴の吐出制御に関する吐出データ（ＳＩ）を生成したり、キャリッジモータ６を制御するための移動制御情報（ＤＲＶ１）を生成したりする。また、主制御部３１は、噴射ヘッド７の制御用信号（ＣＫ，ＬＡＴ，ＣＨ）を生成したり、駆動信号発生部３２へ出力する波形情報（ＤＡＴ）を生成したりする。従って、主制御部３１は、本発明におけるパルス形状設定手段としても機能する。さらに、主制御部３１は、後述するように本発明における不足量取得手段や超過量取得手段としても機能する。
【００３６】
上記の吐出データは、液滴を吐出するか否か、及び吐出する場合の吐出量を示すデータであり、本実施形態では２ビットのデータで構成される。この吐出データは、１つの吐出周期当たりの吐出状態を４段階に分けて表す。例えば、液滴を吐出しない「非吐出」、少量の液滴を吐出する「吐出１」、中量の液滴を吐出する「吐出２」、及び、多量の液滴を吐出する「吐出３」の４段階の吐出量を表す。そして、「非吐出」は吐出データ［００］で表され、「吐出１」は吐出データ［０１］で表される。また、「吐出２」は吐出データ［１０］で表され、「吐出３」は吐出データ［１１］で表される。
【００３７】
噴射ヘッド７の制御用信号は、例えば、動作クロックとしてのクロック信号（ＣＫ）、吐出データのラッチタイミングを規定するラッチ信号（ＬＡＴ）、及び、駆動信号内の各駆動パルスの供給開始タイミングを規定するチャンネル信号（ＣＨ）によって構成される。従って、主制御部３１は、これらのクロック信号，ラッチ信号，チャンネル信号を噴射ヘッド７に対して適宜出力する。
【００３８】
波形情報（ＤＡＴ）は、駆動信号発生部３２が発生する駆動信号の波形形状を規定する。本実施形態では、この波形情報を、単位更新時間あたりの電圧増減量を示すデータによって構成している。そして、主制御部３１は、Ａ／Ｄ変換器３３からの電圧情報（即ち、液材量検出手段が検出した着弾液材量）に応じて駆動パルスの波形形状を設定する（後述する）。
【００３９】
駆動信号発生部３２は、本発明における駆動パルス発生手段の一種である。即ち、主制御部３１からの波形情報に基づき、駆動信号及びこの駆動信号に含まれる駆動パルスの波形形状を設定し、この波形形状の駆動パルスを発生する。この駆動信号発生部３２が発生する駆動信号は、例えば、図７に示す信号であり、所定量の液滴を噴射ヘッド７のノズル開口２５から吐出させるための駆動パルス（ＰＳ１〜ＰＳ３）を、吐出周期Ｔ内に複数含んでいる。そして、駆動信号発生部３２は、この駆動信号を吐出周期Ｔ毎に繰り返し発生する。なお、この駆動信号については、後で詳しく説明する。
【００４０】
次に、上記の噴射ヘッド７について詳細に説明する。まず、噴射ヘッド７の機械的構成について説明する。
【００４１】
上記の圧電振動子２１は、本発明の電気機械変換素子、即ち、電気エネルギーを運動エネルギーに変換可能な素子の一種であり、圧力室４７の容積を変動させる。この圧電振動子２１は、例えば、３０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられている。例示した圧電振動子２１は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子２１であって、電界方向に直交する素子長手方向に伸縮可能な縦振動モードの圧電振動子２１である。そして、各圧電振動子２１は、基端側部分が固定板４１の上に接合されており、自由端部を固定板４１の縁よりも外側に突出させた片持ち梁の状態で取り付けられている。
また、各圧電振動子２１の先端面は、流路ユニット２４の島部４２に当接状態で固定されており、フレキシブルケーブル４３は、固定板４１とは反対側となる振動子群の側面で、各圧電振動子２１と電気的に接続されている。
【００４２】
流路ユニット２４は、図５に示すように、流路形成基板４４を間に挟んでノズルプレート４５を流路形成基板４４の一方の表面に配置し、弾性板４６をノズルプレート４５とは反対側となる他方の表面に配置して積層することで構成されている。
【００４３】
ノズルプレート４５は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口２５を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、９０ｄｐｉのピッチで４８個のノズル開口２５を列設し、これらのノズル開口２５によってノズル列を構成する。
【００４４】
流路形成基板４４は、ノズルプレート４５の各ノズル開口２５に対応させて圧力室４７となる空部を形成するとともに、液体供給口および共通液室となる空部を形成した板状の部材である。
【００４５】
圧力室４７は、ノズル開口２５の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室であり、偏平な凹室で構成されている。そして、圧力室４７の一端と共通液室４８との間には、流路幅が圧力室４７よりも十分に狭い液体供給口４９が形成されている。また、共通液室４８から最も離れた圧力室４７の他端には、ノズル開口２５と圧力室４７とを連通するノズル連通口５０を板厚方向に貫通させて設ける。
【００４６】
弾性板４６は、ステンレス製の支持板５１上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム５２をラミネート加工した二重構造である。そして、圧力室４７に対応した部分の支持板５１を環状にエッチング加工して島部４２を形成し、共通液室４８に対応する部分の支持板５１をエッチング加工で除去して樹脂フィルム５２だけにしている。
【００４７】
上記の構成を有する噴射ヘッド７では、充放電によって圧電振動子２１が素子長手方向に伸縮する。即ち、放電によって圧電振動子２１は伸長し、島部４２がノズルプレート４５側に押圧される。一方、充電によって圧電振動子２１は収縮し、島部４２がノズルプレート４５から離隔する方向に移動する。そして、圧電振動子２１の伸長により、島部周辺の樹脂フィルム５２が変形して圧力室４７が収縮する。また、圧電振動子２１の収縮によって圧力室４７が膨張する。このように、圧力室４７の膨張や収縮を制御することで圧力室４７内の液材の圧力（液体圧力）に変化を与えることができ、ノズル開口２５から液滴を吐出することができる。
【００４８】
次に、この噴射ヘッド７の電気的構成について説明する。図６に示すように、この噴射ヘッド７は、吐出データがセットされるシフトレジスタ６１，６２と、シフトレジスタ６１，６２にセットされた吐出データをラッチするラッチ回路６３，６４と、ラッチ回路６３，６４でラッチされた吐出データをパルス選択データに翻訳するデコーダ６５と、タイミング信号を出力する制御ロジック６６と、電圧増幅器として機能するレベルシフタ６７と、圧電振動子２１に対する駆動信号の供給を制御するスイッチ回路６８と、圧電振動子２１とを備えている。
【００４９】
シフトレジスタ６１，６２は、第１シフトレジスタ６１及び第２シフトレジスタ６２から構成される。そして、第１シフトレジスタ６１には、全てのノズル開口２５に関する下位ビット（ビット０）の吐出データがセットされ、第２シフトレジスタ６２には、全てのノズル開口２５に関する上位ビット（ビット１）の吐出データがセットされる。
【００５０】
ラッチ回路６３，６４は、第１ラッチ回路６３及び第２ラッチ回路６４から構成される。そして、第１ラッチ回路６３は第１シフトレジスタ６１に電気的に接続され、第２ラッチ回路６４は第２シフトレジスタ６２に電気的に接続されている。従って、これらのラッチ回路６３，６４にラッチ信号が入力されると、第１ラッチ回路６３は第１シフトレジスタ６１にセットされた下位ビットの吐出データをラッチし、第２ラッチ回路６４は第２シフトレジスタ６２にセットされた上位ビットの吐出データをラッチする。
【００５１】
ラッチ回路６３，６４でラッチされた吐出データはデコーダ６５に入力される。このデコーダ６５は、パルス選択データ生成手段として機能し、２ビットの吐出データを翻訳して複数ビットのパルス選択データを生成する。本実施形態では、図７や図１４に示すように、駆動信号発生部３２は、吐出周期Ｔ内に３つの駆動パルス（ＰＳ１〜ＰＳ３，ＰＳ４〜ＰＳ６）が含まれた駆動信号を生成するので、デコーダ６５は３ビットのパルス選択データを生成する。
【００５２】
即ち、液滴を吐出しない吐出データ［００］を翻訳してパルス選択データ［０００］を生成し、少量の液滴を吐出する吐出データ［０１］を翻訳してパルス選択データ［０１０］を生成する。同様に、中量の液滴を吐出する吐出データ［１０］を翻訳してパルス選択データ［１０１］を生成し、多量の液滴を吐出する吐出データ［１１］を翻訳してパルス選択データ［１１１］を生成する。
【００５３】
制御ロジック６６は、主制御部３１からのラッチ信号（ＬＡＴ）やチャンネル信号（ＣＨ）を受信する毎にタイミング信号を生成し、生成したタイミング信号をデコーダ６５に供給する。そして、デコーダ６５は、このタイミング信号を受信する毎に、３ビットのパルス選択データを上位ビット側から順にレベルシフタ６７に入力する。
【００５４】
レベルシフタ６７は、電圧増幅器として機能し、パルス選択データが［１］の場合には、スイッチ回路６８を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の電圧に昇圧された電気信号を出力する。レベルシフタ６７で昇圧された［１］のパルス選択データは、スイッチ回路６８に供給される。このスイッチ回路６８の入力側には、駆動信号発生部３２からの駆動信号（ＣＯＭ）が供給されており、スイッチ回路６８の出力側には圧電振動子２１が接続されている。印字データは、スイッチ回路６８の作動を制御する。例えば、スイッチ回路６８に加わるパルス選択データが［１］である期間中は、駆動信号が圧電振動子２１に供給され、この駆動信号に応じて圧電振動子２１は変形する。一方、スイッチ回路６８に加わるパルス選択データが［０］の期間中は、レベルシフタ６７からはスイッチ回路６８を作動させる電気信号が出力されず、圧電振動子２１へは駆動信号が供給されない。なお、圧電振動子２１はコンデンサの様に振る舞うので、圧電振動子２１の電位は、パルス選択データが［０］の期間中において遮断直前の電位を保持し続ける。
【００５５】
次に、駆動信号発生部３２が発生する駆動信号について説明する。図７に例示した駆動信号は、比較的多い量の液滴を吐出可能な標準駆動信号である。この標準駆動信号は、吐出周期Ｔ内に３つの標準駆動パルス、即ち、第１標準駆動パルスＰＳ１（Ｔ１），第２標準駆動パルスＰＳ２（Ｔ２），第３標準駆動パルスＰＳ３（Ｔ３）を含み、これらの各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３を所定間隔毎に発生している。
【００５６】
これらの標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３は、本発明の第１駆動パルスの一種であり、何れも同じ波形形状のパルス信号によって構成されている。例えば、図８に示すように、これらの標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３は、中間電位ＶＭから最大電位ＶＨまで液滴を吐出させない程度の一定勾配で電位を上昇させる膨張要素Ｐ１と、最大電位ＶＨを所定時間保持する膨張ホールド要素Ｐ２と、最大電位ＶＨから最低電位ＶＬまで急勾配で電位を下降させる吐出要素Ｐ３と、最低電位ＶＬを所定時間保持する収縮ホールド要素Ｐ４と、最低電位ＶＬから中間電位ＶＭまで電位を上昇させる制振要素Ｐ５とからなる複数の波形要素によって構成されている。
【００５７】
これらの標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３を圧電振動子２１に供給すると、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３が供給される毎に所定量（例えば１５ｎｇ）の液滴がノズル開口２５から吐出される。
【００５８】
即ち、膨張要素Ｐ１の供給に伴って圧電振動子２１が大きく収縮し、圧力室４７は、中間電位ＶＭに対応する定常容積から最大電位ＶＨに対応する最大容積まで、液滴を吐出させない程度の速度で膨張する。この膨張に伴って圧力室４７内が減圧され、共通液室４８の液材が液体供給口４９を通って圧力室４７内に流入する。この圧力室４７の膨張状態は膨張ホールド要素Ｐ２の供給期間に亘って保持される。その後、吐出要素Ｐ３が供給されて圧電振動子２１が大きく伸長し、圧力室４７は最小容積まで急激に収縮する。この収縮に伴い、圧力室４７内の液材が加圧されてノズル開口２５から所定量の液滴が吐出される。吐出要素Ｐ３に続いて収縮ホールド要素Ｐ４が供給されるので、圧力室４７の収縮状態が維持される。そして、圧力室４７の収縮状態において、メニスカス（ノズル開口２５で露出している液材の自由表面）は、液滴の吐出の影響を受けて大きく振動する。その後、メニスカスの振動を抑制し得るタイミングで制振要素Ｐ５が供給され、圧力室４７が定常容積まで膨張復帰する。即ち、圧力室４７内の液材に生じた圧力を相殺すべく、圧力室４７を膨張させて液体圧力を減圧する。これにより、メニスカスの振動を短時間で抑制することができ、次の液滴の吐出を安定させることができる。
【００５９】
なお、上記の定常容積は、中間電位ＶＭに対応する圧力室４７の容積である。そして、標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３が供給されない場合、圧電振動子２１にはこの中間電位ＶＭが供給されるので、液滴を吐出しない状態（定常状態）において、圧力室４７はこの定常容積となる。
【００６０】
そして、１つの吐出周期Ｔ内に供給する標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３の数を変えることで、液滴の吐出量を吐出周期Ｔ毎に設定できる。例えば、吐出周期Ｔに第２標準駆動パルスＰＳ２のみを圧電振動子２１に供給することで、例えば１５ｎｇの液滴を吐出させることができる。また、吐出周期Ｔ内において第１標準駆動パルスＰＳ１と第３標準駆動パルスＰＳ３とを圧電振動子２１に供給することで、例えば３０ｎｇの液滴を吐出させることができる。さらに、吐出周期Ｔ内において各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３を圧電振動子２１に供給することで、例えば４５ｎｇの液滴を吐出させることができる。
なお、本明細書では、液材量を重量（ｎｇ）で表し、重量による制御を説明しているが、容量（ｐＬ）によって制御してもよいことは勿論である。
【００６１】
この液滴の吐出制御は、上記のパルス選択データに基づいて行われる。即ち、パルス選択データが［０００］の場合には、第１標準駆動パルスＰＳ１に対応する第１発生期間Ｔ１、第２標準駆動パルスＰＳ２に対応する第２発生期間Ｔ２、及び、第３標準駆動パルスＰＳ３に対応する第３発生期間Ｔ３の何れにおいてもスイッチ回路６８はＯＦＦ状態とされる。このため、圧電振動子２１には何れの標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３も供給されない。そして、パルス選択データが［０１０］の場合には、第２発生期間Ｔ２においてスイッチ回路６８がＯＮ状態となり、第１発生期間Ｔ１、及び、第３発生期間Ｔ３においてはスイッチ回路６８がＯＦＦ状態となる。このため、圧電振動子２１には第２標準駆動パルスＰＳ２のみが供給される。また、パルス選択データが［１０１］の場合には、第１発生期間Ｔ１、及び、第３発生期間Ｔ３においてスイッチ回路６８がＯＮ状態となり、第２発生期間Ｔ２においてはスイッチ回路６８がＯＦＦ状態となる。このため、圧電振動子２１には第１標準駆動パルスＰＳ１と第３標準駆動パルスＰＳ３とが供給される。同様に、パルス選択データが［１１１］の場合には、第１発生期間Ｔ１〜第３発生期間Ｔ３の各期間においてスイッチ回路６８がＯＮ状態となり、圧電振動子２１には各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３が供給される。
【００６２】
また、液滴の吐出制御では、駆動パルスの種類を変更することにより、吐出される液滴の量を変更することができる。例えば、図１４に例示したマイクロ駆動信号ＰＳ４〜ＰＳ６では、これらのマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６が供給される毎に所定量（例えば５．５ｎｇ）の液滴がノズル開口２５から吐出される。
【００６３】
これらのマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６は、本発明の第２駆動パルスの一種であり、何れも同じ波形形状のパルス信号によって構成されている。例えば、図１５に示すように、これらのマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６は、中間電位ＶＭから最大電位ＶＨまで比較的急峻な勾配で電位を上昇させる第２膨張要素Ｐ１１と、最大電位ＶＨを極く短時間保持する第２膨張ホールド要素Ｐ１２と、最大電位ＶＨから吐出電位ＶＦまで急勾配で電位を下降させる第２吐出要素Ｐ１３と、吐出電位ＶＦを極く短時間に亘って保持する吐出ホールド要素Ｐ１４と、吐出電位ＶＦから最低電位ＶＬまで第２吐出要素Ｐ１３よりも緩やかな勾配で電位を下降させる収縮制振要素Ｐ１５と、最低電位ＶＬを所定時間に亘って保持する制振ホールド要素Ｐ１６と、最低電位ＶＬから中間電位ＶＭまで比較的緩やかな勾配で電位を上昇させる膨張制振要素Ｐ１７とからなる複数の波形要素によって構成されている。
【００６４】
これらのマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６を圧電振動子２１に供給すると、圧力室４７やこの圧力室４７内の液材の状態が次のように変化し、ノズル開口２５から液滴が吐出される。
【００６５】
即ち、第２膨張要素Ｐ１１の供給に伴って定常容積の圧力室４７が急激に膨張し、メニスカスを圧力室４７側に大きく引き込む。そして、第２膨張ホールド要素Ｐ１２が極く短時間に亘って供給されると、引き込まれたメニスカスの中心部分の移動方向が表面張力によって反転する。その後、第２吐出要素Ｐ１３が供給されて、圧力室４７は最大容積から吐出容積まで急激に収縮する。このとき、吐出方向に向けて柱状に伸長したメニスカスの中心部分がちぎれ、液滴状になって吐出される。
【００６６】
第２吐出要素Ｐ１３の供給後、吐出ホールド要素Ｐ１４と収縮制振要素Ｐ１５とが順に供給される。収縮制振要素Ｐ１５の供給により、圧力室４７は吐出容積から最小容積まで収縮するが、その収縮速度は液滴吐出後におけるメニスカスの振動を抑制し得る速度に設定される。この収縮制振要素Ｐ１５に続いて制振ホールド要素Ｐ１６が供給されるので圧力室４７の収縮状態は維持される。その後、メニスカスの振動を打ち消し得るタイミングで膨張制振要素Ｐ１７が供給され、メニスカスの振動を抑制すべく圧力室４７が定常容積まで膨張復帰する。
【００６７】
このマイクロ駆動信号においても、１つの吐出周期Ｔ内に供給するマイクロ駆動パルスの数を変えることで、液滴の吐出量を制御することができる。例えば、吐出周期Ｔ内において第２マイクロ駆動パルスＰＳ５のみを圧電振動子２１に供給することで、例えば５．５ｎｇの液滴を吐出させることができる。また、吐出周期Ｔ内において第１マイクロ駆動パルスＰＳ４と第３マイクロ駆動パルスＰＳ６とを圧電振動子２１に供給することで、例えば１１ｎｇの液滴を吐出させることができる。さらに、吐出周期Ｔ内にて各マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６を圧電振動子２１に供給することで、例えば１６．５ｎｇの液滴を吐出させることができる。
【００６８】
この液滴の吐出制御も、上記したパルス選択データに基づいて行われる。なお、パルス選択データに基づく吐出制御は、上記の標準駆動信号における制御と同じであるので、その説明は省略する。
【００６９】
さらに、液滴の吐出量や飛行速度は、これらの標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３やマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６の波形形状を変更することによっても変更することができる。即ち、駆動パルスの種類を変更することで液滴の吐出量等を大きく変えることができ、さらに、駆動パルスの種類（全体的な形状）はそのままに各波形要素の始終端電位（電位差）や時間幅を設定することで液滴の吐出量等を細かく（即ち、高精度に）変えることができる。
【００７０】
以下、各波形要素の設定変更に伴う液滴の吐出量や飛行速度の変化について、駆動パルス毎に説明する。
【００７１】
まず、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３について、駆動電圧（最大電位ＶＨから最低電位ＶＬまでの電位差）と液滴の吐出特性の関係について説明する。ここで、図９は、駆動電圧を調整した場合の液滴の吐出特性の変化であり、（ａ）は駆動電圧を変化させた際の飛行速度の変化を示し、（ｂ）は駆動電圧を変化させた際の重量の変化を示す。
【００７２】
なお、駆動電圧を設定するにあたり、最低電位ＶＬと各波形要素（Ｐ１〜Ｐ５）の時間幅は変えず、最大電位ＶＨを変更した。また、中間電位ＶＭは駆動電圧に対応させて変更した。また、図９（ａ）において、黒丸を付した実線がメイン液滴を示し、白丸を付した点線がサテライト液滴（メイン液滴に付随して飛行する液滴）を示す。また、三角を付した一点鎖線が第２サテライト液滴（サテライト液滴に付随して飛行する液滴）を示す。
【００７３】
この図９から判るように、駆動電圧の大きさと液滴の飛行速度及び重量とは、互いに正比例（係数は正）の関係にあるといえる。即ち、駆動電圧を大きくすると液滴の飛行速度は速くなり、液滴の重量も増える（つまり、液滴の吐出量が増える）。例えば、駆動電圧が２０Ｖの場合、メイン液滴の飛行速度は約３ｍ／ｓであり、重量は約９ｎｇである。また、駆動電圧が２９Ｖの場合、飛行速度は約７ｍ／ｓであり、重量は約１５．５ｎｇである。さらに、駆動電圧が３５Ｖの場合、飛行速度は約１０ｍ／ｓであり、重量は約２０．５ｎｇである。
【００７４】
これは、駆動電圧の増減により圧力室容積の変化幅が変わったためと考えられる。即ち、駆動電圧を基準電圧よりも高めると、膨張時と収縮時との容積差が基準時よりも大きくなる。このため、基準時よりも多くの液材を圧力室４７内から排除することができ、吐出量が増える。また、吐出要素Ｐ３の時間幅は変わらないので、液滴吐出時における圧力室４７の収縮速度が基準時よりも高まり、液滴を高速で吐出できる。反対に、駆動電圧を基準電圧よりも低く設定すると、膨張時と収縮時との容積差が基準時よりも小さくなる。このため、圧力室４７内から排除される液材の量が基準時よりも少なくなって、液滴の吐出量が減る。また、圧力室４７の収縮速度も基準時よりも低くなるので、液滴の飛行速度も低くなる。
【００７５】
なお、図９（ａ）を見ると、駆動電圧が２６Ｖ以上になると、液滴は、メイン液滴とサテライト液滴とに分かれて飛行する。さらに、駆動電圧が３２Ｖ以上になると、上記のサテライト液滴に加えて第２サテライト液滴が出現する。これらのサテライト液滴及び第２サテライト液滴の飛行速度は、図９（ａ）の測定範囲では、駆動電圧の大きさにあまり影響を受けない。例えば、サテライト液滴の飛行速度は、駆動電圧を２６Ｖに設定すると約５ｍ／ｓであり、駆動電圧を２９Ｖ，３２Ｖに設定すると約４ｍ／ｓである。さらに、駆動電圧を３５Ｖに設定すると約６ｍ／ｓとなる。第２サテライト液滴については、駆動電圧を３２Ｖ，３５Ｖに設定した場合において略等しく、何れも約４ｍ／ｓである。
【００７６】
以上から、駆動電圧の設定により、吐出する液滴の飛行速度と重量を同時に増減できることが判る。また、サテライト液滴や第２サテライト液滴の発生を制御できることも判る。
【００７７】
次に、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３における中間電位ＶＭと液滴の吐出特性の関係について説明する。
【００７８】
上記したように、この中間電位ＶＭは、圧力室４７の定常容積を規定するものである。そして、上記の圧電振動子２１は、電位の上昇（充電）に伴って収縮して圧力室４７を膨張させ、電位の下降（放電）に伴って伸長して圧力室４７を収縮させるので、基準よりも中間電位ＶＭを高く設定すると、定常容積は基準容積（基準の中間電位ＶＭに対応する圧力室容積）よりも膨張する。一方、基準よりも中間電位ＶＭを低く設定すると、定常容積は基準容積よりも収縮する。
【００７９】
ここで、中間電位ＶＭだけを変更した場合には、最大電位ＶＨは中間電位ＶＭの変更前と変更後とで同じである。このため、中間電位ＶＭを基準よりも高く設定すると、中間電位ＶＭから最大電位ＶＨまでの電位差が基準の中間電位ＶＭに設定した場合よりも小さくなり、圧力室４７の膨張代も少なくなる。一方、中間電位ＶＭを基準よりも低く設定すると、中間電位ＶＭから最大電位ＶＨまでの電位差が基準の中間電位ＶＭに設定した場合よりも大きくなり、圧力室４７の膨張代も多くなる。この膨張代は、圧力室４７内への液材の流入量を規定する。即ち、膨張代が基準よりも多いと共通液室４８から圧力室４７内に流入する液材の量が基準量よりも多くなり、膨張代が基準よりも少ないと共通液室４８から圧力室４７内に流入する液材の量が基準量よりも少なくなる。
【００８０】
また、中間電位ＶＭだけを変更した場合には、膨張要素Ｐ１の時間幅（供給時間）も中間電位ＶＭの変更前後で同じとなる。このため、基準よりも中間電位ＶＭを高く設定すると、膨張要素Ｐ１を圧電振動子２１に供給した際において、圧力室４７の膨張速度が遅くなる。一方、基準よりも中間電位ＶＭを低く設定すると、圧力室４７の膨張速度は速くなる。
【００８１】
圧力室４７の膨張代は、膨張要素Ｐ１の供給直後における圧力室４７内の液材圧力（液体圧力）に影響を及ぼす。即ち、膨張代が基準よりも少ない程、膨張要素Ｐ１の供給直後において圧力室４７内の液体圧力は定常状態の圧力に近くなるので、液材の流入量は基準よりも少なくなり、流入速度も遅くなる。その結果、圧力室４７内の液材の圧力変動は比較的小さくなる。反対に、膨張代が基準よりも多ければ、膨張要素Ｐ１の供給直後において圧力室４７内の液体圧力は大きく低下する。このため、液材の流入量が多くなると共に流入速度が速くなり、圧力室４７内の液材の圧力変動が大きくなる。
【００８２】
ここで、圧力室４７は音響管と見なせるため、膨張要素Ｐ１の供給によって生じた液材の圧力変動のエネルギーは、圧力室４７内で保存されて圧力振動となる。そして、この圧力振動が正圧になるタイミングに合わせて吐出要素Ｐ３が供給されて圧力室４７が収縮する。このとき、圧力室４７内で保存されているエネルギーが圧力室４７の膨張代（即ち、中間電位ＶＭの大きさ）に応じて相違するので、吐出要素Ｐ３の電位差や傾きが同じであっても液滴の飛行速度や吐出量が変化する。
【００８３】
この場合において、中間電位ＶＭの変化に対する飛行速度の変化度合いと、吐出量の変化度合いとには差がある。即ち、感度に差がある。例えば、飛行速度は中間電位ＶＭの変化に対して比較的大きく変化するが、液滴の重量は中間電位ＶＭの変化に対する変化が比較的小さい。これは、液滴の重量は、駆動電圧（吐出要素Ｐ３の電位差）、即ち、圧力室４７の収縮量によって強く支配されるためと考えられる。
【００８４】
従って、上記の駆動電圧と中間電位ＶＭとを組み合わせて適宜設定することで、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。
【００８５】
例えば、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定すると、駆動電圧及び中間電位ＶＭと液滴の重量との関係は、図１０（ａ）に示すようになる。この図１０（ａ）より、駆動電圧を３１．５Ｖに、中間電位ＶＭを駆動電圧の２０％（つまり、最低電位ＶＬから６．３Ｖ高い電位）にそれぞれ設定すると、約１６．５ｎｇの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を２９．７Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の４０％にそれぞれ設定すると、約１５．３ｎｇの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を２８．０Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の６０％にそれぞれ設定すると、約１３．６ｎｇの液滴を吐出できることが判る。
【００８６】
また、駆動電圧と中間電位ＶＭとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。
【００８７】
例えば、液滴の重量を１５ｎｇに設定すると、駆動電圧及び中間電位ＶＭと液滴の飛行速度との関係は、図１０（ｂ）に示すようになる。この図１０（ｂ）より、駆動電圧を２９．２Ｖに、中間電位ＶＭを駆動電圧の２０％（つまり、最低電位ＶＬから５．９Ｖ高い電位）にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．１ｍ／ｓに設定できることが判る。また、駆動電圧を２９．０Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の４０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．８ｍ／ｓに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を３０．６Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の６０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約８．１ｍ／ｓに設定できることが判る。
【００８８】
次に、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３の膨張要素Ｐ１の時間幅（Ｐｗｃ１）と液滴の吐出特性との関係について説明する。
【００８９】
この膨張要素Ｐ１の時間幅は、圧力室４７の定常容積から最大容積への膨張速度を規定する。そして、膨張要素Ｐ１の時間幅に拘わらず、膨張要素Ｐ１の始端電位を中間電位ＶＭに、終端電位を最大電位ＶＨにそれぞれ定めると、基準よりも時間幅を短く設定することで膨張要素Ｐ１の勾配が急峻になり、圧力室４７の膨張速度は基準よりも速くなる。一方、基準よりも時間幅を長く設定すると膨張要素Ｐ１の傾斜が緩やかになり、圧力室４７の膨張速度は基準よりも遅くなる。
【００９０】
この膨張速度の違いは、膨張要素Ｐ１の供給直後における圧力室４７内の液体圧力に影響を及ぼす。即ち、膨張速度が基準よりも遅ければ、膨張要素Ｐ１の供給直後において液体圧力の変動は小さくなり、液材の圧力室４７内への流入速度も遅くなる。一方、膨張速度が基準よりも速ければ、膨張要素Ｐ１の供給直後において圧力室４７内の液体圧力は大きく低下して圧力振動が大きくなり、液材の圧力室４７内への流入速度も速くなる。
従って、膨張要素Ｐ１の時間幅を変えることにより、吐出要素Ｐ３の電位差や傾きが同じであっても液滴の飛行速度や液滴の重量を変化させることができる。
【００９１】
なお、この場合においても中間電位ＶＭを変化させた場合と同様に、飛行速度は膨張要素Ｐ１の時間幅の変化に対して比較的大きく変化するが、液滴の重量は膨張要素Ｐ１の時間幅の変化に対する変化量が比較的小さい。従って、上記の駆動電圧と膨張要素Ｐ１の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。
【００９２】
例えば、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定すると、駆動電圧及び膨張要素Ｐ１の時間幅と液滴の重量との関係は、図１１（ａ）に示すようになる。この図１１（ａ）より、駆動電圧を２７．４Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を２．５マイクロ秒（μｓ）にそれぞれ設定すると、約１５．３ｎｇの液材を吐出できることが判る。また、駆動電圧を２９．５Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を３．５μｓにそれぞれ設定すると、約１６．０ｎｇの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を２５．０Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を６．５μｓにそれぞれ設定すると、約１１．８ｎｇの液滴を吐出できることが判る。
【００９３】
また、駆動電圧と膨張要素Ｐ１の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。
【００９４】
例えば、液滴の重量を１５ｎｇに設定すると、駆動電圧及び膨張要素Ｐ１の時間幅と液滴の飛行速度との関係は、図１１（ｂ）に示すようになる。この図１１（ｂ）より、駆動電圧を２６．８Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を２．５μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．７ｍ／ｓに設定できることが判る。また、駆動電圧を２７．８Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を３．５μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．３ｍ／ｓに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を３１．７Ｖに、膨張要素Ｐ１の時間幅を６．５μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約１０．８ｍ／ｓに設定できることが判る。
【００９５】
次に、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３の膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅（Ｐｗｈ１）と液滴の吐出特性との関係について説明する。
【００９６】
この膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅は、吐出要素Ｐ３の供給開始タイミング、つまり、圧力室４７の収縮開始タイミングを規定する。この圧力室４７の収縮開始タイミングの違いもまた、液滴の飛行速度と吐出量に影響を及ぼす。これは、膨張要素Ｐ１によって励起された圧力振動の位相と吐出要素Ｐ３によって励起される圧力振動の位相の差に応じて、合成圧力が変化するためと考えられる。
【００９７】
即ち、膨張要素Ｐ１の供給によって圧力室４７が膨張すると、上記したように、この膨張に伴って圧力室４７内の液材には圧力振動が励起される。そして、圧力室４７内の液体圧力が正圧になるタイミングに合わせて圧力室４７の収縮を開始すると、定常状態で吐出させた場合よりも、液滴を高速で飛行させることができる。反対に、圧力室４７内の液体圧力が負圧になるタイミングに合わせて圧力室４７の収縮を開始すると、定常状態で吐出させた場合よりも液滴を低速で飛行させることができる。また、液滴の重量に関し、この重量は、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅に対応して変化するが、その変化量は比較的小さい。これは、上記の各ケース２３と同様であり、液滴の重量は、主に駆動電圧の大きさによって支配されるためと考えられる。
【００９８】
このことを図１２に基づいて説明する。ここで、図１２は、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を調整した場合の吐出特性の変化であり、（ａ）は時間幅を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示し、（ｂ）は時間幅を変化させた際の液滴の重量の変化を示す。なお、これらの図において、実線は駆動電圧を２０Ｖに設定した場合の特性であり、一点鎖線は駆動電圧を２３Ｖに設定した場合の特性であり、点線は駆動電圧を２６Ｖに設定した場合の特性である。また、最低電位ＶＬと膨張ホールド要素Ｐ２以外の各波形要素の時間幅は基準値で一定とし、中間電位ＶＭは駆動電圧に対応させて変更した。
【００９９】
図１２（ａ）から判るように、この測定範囲において、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅が長くなる程、液滴の飛行速度は遅くなる。例えば、駆動電圧を２０Ｖに設定した場合、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると飛行速度は約６．５ｍ／ｓとなり、時間幅を３μｓに設定すると飛行速度は約４ｍ／ｓとなる。また、駆動電圧を高くすると飛行速度は速くなる。例えば、駆動電圧を２３Ｖに設定した場合には、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると飛行速度は約８．７ｍ／ｓとなり、時間幅を３μｓに設定すると飛行速度は約５．２ｍ／ｓとなる。同様に、駆動電圧を２６Ｖに設定した場合には、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると飛行速度は約１０．７ｍ／ｓとなり、時間幅を３μｓに設定すると飛行速度は約７ｍ／ｓとなる。
【０１００】
そして、図１２（ｂ）から判るように、この測定範囲において、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅が長くなる程、液滴の重量は減少する（つまり、吐出量が減少する）。例えば、駆動電圧を２０Ｖに設定した場合、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると液滴の重量は約１１．５ｎｇとなり、時間幅を３μｓに設定すると重量は約１０．５ｎｇとなる。また、駆動電圧を高くすると液滴の重量が増える（つまり、吐出量が増える）。例えば、駆動電圧を２３Ｖに設定した場合には、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると液滴の重量は約１３．２ｎｇとなり、時間幅を３μｓに設定すると重量は約１２．１ｎｇとなる。同様に、駆動電圧を２６Ｖに設定した場合には、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２μｓに設定すると飛行速度は液滴の重量は約１５．０ｎｇとなり、時間幅を３μｓに設定すると重量は１３．８ｎｇとなる。
【０１０１】
そして、この場合においても、駆動電圧と膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。
【０１０２】
例えば、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定すると、駆動電圧及び膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅と液滴の吐出重量との関係は、図１３（ａ）に示すようになる。この図１３（ａ）より、駆動電圧を２０．５Ｖに、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を２．０マイクロ秒（μｓ）にそれぞれ設定すると、約１１．８ｎｇの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を２６．２Ｖに、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を３．０μｓにそれぞれ設定すると、約１３．８ｎｇの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を２９．８Ｖに、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を３．５μｓにそれぞれ設定すると、約１５．９ｎｇの液滴を吐出できることが判る。
【０１０３】
また、駆動電圧と膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。
【０１０４】
例えば、液滴の重量を１５ｎｇに設定すると、駆動電圧及び膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅と液滴の飛行速度との関係は、図１３（ｂ）に示すようになる。この図１３（ｂ）より、駆動電圧を２６．２Ｖに膨張要素Ｐ１の時間幅を２．０μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約１０．８ｍ／ｓに設定できることが判る。また、駆動電圧を２８．０Ｖに膨張要素Ｐ１の時間幅を３．０μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約８．０ｍ／ｓに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を２８．０Ｖに膨張要素Ｐ１の時間幅を３．５μｓにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．３ｍ／ｓに設定できることが判る。
【０１０５】
このように、各標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３に関し、駆動電圧、中間電位ＶＭ、膨張要素Ｐ１の時間幅、及び、膨張ホールド要素Ｐ２の時間幅を適宜設定することにより、液滴の飛行速度や重量を制御することができる。従って、所望量の液滴を所望速度で吐出させることができる。これにより、液滴の着弾位置の正確性と吐出量の正確性とを高いレベルで両立させることができる。
【０１０６】
次に、各マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６について説明する。
【０１０７】
まず、駆動電圧を変化させた際の吐出特性の変化について説明する。ここで、図１６は、駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化であり、（ａ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示し、（ｂ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量変化を示す。なお、図１６（ａ）において、黒丸を付した実線がメイン液滴を示し、白丸を付した点線がサテライト液滴を示す。また、三角を付した破線が第２サテライト液滴を示す。
【０１０８】
この図１６から判るように、測定範囲において、駆動電圧の大きさと液滴の飛行速度及び重量とは、互いに正比例（係数は正）の関係にあるといえる。即ち、駆動電圧を大きくすると液滴（メイン液滴）の飛行速度は速くなり、液滴の重量も増える。例えば、駆動電圧が１８Ｖの場合、メイン液滴の飛行速度は約４ｍ／ｓであり、重量は約４．４ｎｇである。また、駆動電圧が２４Ｖの場合、飛行速度は約９．０ｍ／ｓであり、重量は約６．８ｎｇである。さらに、駆動電圧が３３Ｖの場合、飛行速度は約１６ｍ／ｓであり、重量は約１０．２ｎｇである。これは、上記した標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３と同じ理由、即ち、駆動電圧の増減によって、圧力室容積の変化幅が変わったためと考えられる。従って、このマイクロ駆動パルスにおいても、駆動電圧の設定により、吐出する液滴の飛行速度と量を同時に増減できることが判る。
【０１０９】
なお、図１６（ａ）を見ると、駆動電圧が１８Ｖの状態で液滴はメイン液滴とサテライト液滴とに分かれて飛行している。さらに、駆動電圧が２４Ｖ以上になると、上記のサテライト液滴に加えて第２サテライト液滴が出現する。このマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６において、サテライト液滴は駆動電圧の上昇に伴って速度を増すが、第２サテライト液滴は駆動電圧上昇に拘わらず略一定の飛行速度（６〜７ｍ／ｓ）である。
【０１１０】
次に、各マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６の中間電位ＶＭと液滴の吐出特性との関係について説明する。
【０１１１】
このマイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６においても中間電位ＶＭは、圧力室４７の定常容積を規定する。従って、中間電位ＶＭの変更により、定常容積から最大容積までの膨張代を設定できる。そして、膨張代が変更できることで、第２膨張要素Ｐ１１の供給時におけるメニスカスの圧力室４７側への引き込み量を設定できる。また、第２膨張要素Ｐ１１の時間幅が一定であるので、膨張代が変更されるとメニスカスの圧力室４７側への引き込み速度も変化する。
【０１１２】
メニスカスの引き込み量と引き込み速度は、液滴の吐出量に影響を及ぼすと考えられる。即ち、メニスカスの引き込み量が基準よりも多いと液滴として吐出される液材の量が基準よりも少なくなり、引き込み量が基準よりも少ないと液滴として吐出される液材の量が基準よりも多くなる。また、メニスカスの引き込み速度が基準よりも高いと、その反動によってメニスカスの中心部分の移動速度も基準より高くなり、液滴の飛行速度が基準より高くなる。一方、メニスカスの引き込み速度が基準よりも低いとその反動も小さくメニスカスの中心部分の移動速度及び液滴の飛行速度が基準よりも低くなる。
【０１１３】
従って、上記の駆動電圧と中間電位ＶＭとを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。例えば、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定すると、駆動電圧及び中間電位ＶＭと液滴の重量との関係は、図１７（ａ）に示すようになる。この図１７（ａ）より、駆動電圧を１９．５Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の０％（つまり、最低電位ＶＬと同電位）にそれぞれ設定すると、約５．６ｎｇの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を２２．５Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の３０％にそれぞれ設定すると、約５．９ｎｇの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を２４．５Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の５０％にそれぞれ設定すると、約７．５ｎｇの液滴を吐出できることが判る。
【０１１４】
また、駆動電圧と中間電位ＶＭとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。例えば、液滴の重量を５．５ｎｇに設定すると、駆動電圧及び中間電位ＶＭと液滴の飛行速度との関係は、図１７（ｂ）に示すようになる。この図１７（ｂ）より、駆動電圧を１９．０Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．９ｍ／ｓに設定できることが判る。また、駆動電圧を２１．５Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の３０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約６．２ｍ／ｓに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を２０．２Ｖに中間電位ＶＭを駆動電圧の５０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約４．５ｍ／ｓに設定できることが判る。
【０１１５】
次に、各マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６の吐出電位ＶＦ（第２吐出要素Ｐ１３の終端電位）と液滴の吐出特性との関係について説明する。
【０１１６】
上記の吐出電位ＶＦは、圧力室４７の吐出容積（第２吐出要素Ｐ１３の供給終了時の容積）を規定する。従って、吐出電位ＶＦの変更により、最大容積から吐出容積までの収縮量を設定できる。また、第２吐出要素Ｐ１３の時間幅が一定であることから、この吐出電位ＶＦの変更により収縮速度も変化する。即ち、吐出電位ＶＦを基準よりも低く設定すると収縮速度が高くなり、基準よりも高く設定すると収縮速度が低くなる。
【０１１７】
圧力室４７の収縮量と収縮速度は、液滴の吐出量に影響を及ぼすと考えられる。即ち、圧力室４７の収縮量が基準よりも多いと液滴の吐出量が基準より多くなり、収縮量が基準よりも少ないと液滴の吐出量が基準より少なくなる。また、圧力室４７の収縮速度が高いと液滴の飛行速度が高くなり、収縮速度が低いと飛行速度も低くなる。
【０１１８】
なお、この場合において、吐出電位ＶＦの変化に対する飛行速度の変化量と吐出量の変化量は、駆動電圧を変化させた際の変化量と相違する。従って、上記の駆動電圧と吐出電位ＶＦとを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、吐出重量を変えることができる。
【０１１９】
例えば、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定すると、駆動電圧及び吐出電位ＶＦと液滴の重量との関係は、図１８（ａ）に示すようになる。この図１８（ａ）より、駆動電圧を２７．０Ｖに設定し、第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の５０％（つまり、吐出電位ＶＦが最大電位ＶＨから１３．５Ｖ低い電位）に設定すると、約３．６ｎｇの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を２１．３Ｖに、第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の７０％にそれぞれ設定すると、約５．６ｎｇの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を１６．６Ｖに設定し、第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の１００％（つまり、吐出電位ＶＦが最低電位ＶＬと同電位）に設定すると、約７．６ｎｇの液滴を吐出できることが判る。なお、第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の１００％に設定した場合には、収縮制振要素Ｐ１５は設けない。
【０１２０】
また、駆動電圧と吐出電位ＶＦとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。
【０１２１】
例えば、液滴の重量を５．５ｎｇに設定すると、駆動電圧及び吐出電位ＶＦと液滴の飛行速度との関係は、図１８（ｂ）に示すようになる。この図１８（ｂ）より、駆動電圧を３２．０Ｖに第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の５０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約１１．２ｍ／ｓに設定できることが判る。また、駆動電圧を１９．５Ｖに第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の７０％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約５．５ｍ／ｓに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を１２．０Ｖに第２吐出要素Ｐ１３の電位差を駆動電圧の１００％にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約３．０ｍ／ｓに設定できることが判る。
【０１２２】
このように、各マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６についても、その駆動電圧、中間電位ＶＭ、吐出電位ＶＦを適宜設定することにより、液滴の吐出量や飛行速度を制御できる。
【０１２３】
従って、主制御部３１（パルス形状設定手段）からの波形情報により、各駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ６の波形形状を設定でき、設定された駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ６を圧電振動子２１へ供給することで、所望量の液滴を所望の飛行速度で吐出させることができる。従って、各画素領域１２ａに対する所定量（目標量）の液滴の吐出と、不足量の液滴の吐出とを同一の噴射ヘッド７（同一のノズル開口２５）によって行うことができる。
【０１２４】
また、液滴の飛行速度も設定できるので、量が異なる液滴を同じ速度で飛行させることができる。これにより、噴射ヘッド７の走査速度は一定のまま液滴の着弾位置を揃えることができる。従って、複雑な制御を行わなくても液滴の着弾位置を正確に制御できる。
【０１２５】
さらに、１滴が４ｎｇ前後の極めて少量の液滴は、空気の粘性抵抗の影響を受け易いので、この粘性抵抗に起因する失速分を考慮した方がより高い精度で着弾位置を制御できる場合もある。この点に関し、本実施形態では、駆動パルスの波形形状を設定することで、液滴の量を一定にしつつも飛行速度を変更できる。このため、上記の極く少量の液滴であっても、波形形状の設定により１滴が１０ｎｇ以上の液滴と同じように吐出を制御でき、制御の容易化を図ることができる。
【０１２６】
次に、カラーフィルタ２の製造方法について説明する。図１９は、カラーフィルタ製造工程を示すフローチャート、図２０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ２（フィルタ基体２´）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図２０（ａ）に示すように、基板１１上にブラックマトリクス７２を形成する。ブラックマトリクス７２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス７２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス７２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１２７】
続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス７２上に重畳する状態でバンク７３を形成する。即ち、まず図２０（ｂ）に示すように、基板１１及びブラックマトリクス７２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層７４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム７５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図２０（ｃ）に示すように、レジスト層７４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層７４をパターニングして、バンク７３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク７３とその下のブラックマトリクス７２は、各画素領域１２ａを区画する区画壁部１２ｂとなり、後の着色層形成工程において噴射ヘッド７により着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂを形成する際にインク滴の着弾領域を規定する。
【０１２８】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体２´が得られる。
なお、本実施形態においては、バンク７３の材料として、塗膜表面が疎インク性となる樹脂材料を用いている。そして、ガラス基板（基板１１）表面が親インク性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク７３（区画壁部１２ｂ）に囲まれた各画素領域１２ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１２９】
次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図２０（ｄ）に示すように、噴射ヘッド７によってインク滴を吐出して区画壁部１２ｂで囲まれた各画素領域１２ａ内に着弾させる。その後、乾燥処理を経て３色の着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂを順次形成する。この着色層形成工程の詳細については、図２１を用いて後述する。
【０１３０】
着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図２０（ｅ）に示すように、基板１１、区画壁部１２ｂ、および着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂの上面を覆うように保護膜７７を形成する。
即ち、基板１１の着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜７７が形成される。
そして、保護膜７７を形成した後、基板１１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ２が得られる。
【０１３１】
次に、上記着色層形成工程についてより詳細に説明する。着色層形成工程は、図２１に示すように、液材吐出工程（Ｓ１１）と、着弾量検出工程（Ｓ１２）と、補正量取得工程（Ｓ１３）と、液材補充工程（Ｓ１４）とからなり、これらの各工程が順に行われる。
【０１３２】
液材吐出工程（Ｓ１１）では、基板１１上の各画素領域１２ａに所定色、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの何れかの液滴（インク滴）を所定量打ち込む。この工程では、パルス形状設定手段としての主制御部３１は標準駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３を発生させるための波形情報（ＤＡＴ）を生成し、駆動パルス発生手段としての駆動信号発生部３２はこの波形情報に基づいて標準駆動パルスを発生する。そして、主制御部３１（主制御手段）は、移動制御情報（ＤＲＶ１）を生成してキャリッジモータ６に出力し、噴射ヘッド７の制御用信号を生成して噴射ヘッド７に出力する。これにより主走査がなされる。即ち、キャリッジモータ６が作動してガイドバー４が主走査方向（Ｘ軸方向）に移動し、このガイドバー４の移動に同期して噴射ヘッド７のノズル開口２５から所定色のインク滴が吐出される。
【０１３３】
この場合において、本実施形態では、上記したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、インク滴の吐出量や飛行速度が最適化され、所定の画素領域１２ａに所定量のインク滴を着弾させることができる。
【０１３４】
１回の主走査が終了したならば、噴射ヘッド７を副走査方向に所定量移動させ、次の主走査を行う。以後は、上記の動作を繰り返して実行し、基板１１の全面、即ち全ての画素領域１２ａに液滴を打ち込む。
【０１３５】
なお、この液材吐出工程において、主制御部３１（パルス形状設定手段）は、温度センサや湿度センサ等の環境状態検出手段（図示せず）からの検出信号（環境情報）を加味して波形情報（ＤＡＴ）を生成してもよい。このように構成すると、製造装置１の設置環境（温度や湿度等）が変化しても液滴の吐出特性を揃えることができる。
【０１３６】
また、主制御部３１（パルス形状設定手段）は、使用する液材の種類情報例えば、粘度や密度等の物性を示す物性情報を取得し、この種類情報を加味して波形情報（ＤＡＴ）を生成してもよい。このように構成すると、異なる種類の液材を用いたとしてもその液材に適した波形形状の駆動パルスを発生させることができ、汎用性に優れる。
【０１３７】
着弾量検出工程（Ｓ１２）では、上記の液材吐出工程において着弾したインク量を、液材量検出手段としての液材センサ１７によって画素領域１２ａ毎に検出する。即ち、この着弾量検出工程では、各ノズル開口２５の特性差やインク滴の吐出不良等によってばらつきが生じ得る着弾インク量（本発明の着弾液材量の一種）を画素領域１２ａ毎に検出する。
【０１３８】
この工程では、主制御部３１（主制御手段）は、移動制御情報（ＤＲＶ１）をキャリッジモータ６に出力してキャリッジ５を移動させ、発光制御情報（ＤＲＶ２）をレーザー発光素子１８に出力して所望の画素領域１２ａにレーザー光線Ｌｂを照射させる。このレーザー光線Ｌｂは、光反射面としての載置面３ａで反射するなどしてレーザー受光素子１９に受光される。そして、反射レーザー光線Ｌｂを受光したレーザー受光素子１９は、受光量（受光強度）に応じた電圧レベルの検出信号を主制御部３１に出力する。主制御部３１は、レーザー受光素子１９からの検出信号（レーザー受光素子１９での受光量）から着弾インク量を判定する。
【０１３９】
この着弾インク量の判定は、全ての画素領域１２ａについて行われる。即ち、１つの画素領域１２ａに対する着弾インク量を検出したならば、次の画素領域１２ａに対する着弾インク量を検出する。そして、全ての画素領域１２ａについて着弾インク量を検出したならば、この工程を終了する。なお、取得した各着弾インク量は、主制御部３１のＲＡＭ（着弾液材量記憶手段，図示せず）に画素領域１２ａの位置情報と関連づけた状態で記憶される。
【０１４０】
補正量取得工程（Ｓ１３）では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域１２ａ毎の着弾インク量をその画素領域１２ａについての目標インク量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、着弾インク量と目標インク量の差を補正量として取得する。ここで、本実施形態における目標インク量は、最も着弾インク量の多い画素領域１２ａの着弾インク量とされる。即ち、着弾量検出工程で検出した着弾インク量の最大値が目標インク量として設定され、例えば、主制御部３１のＲＡＭ（目標液材量記憶手段，図示せず）に記憶される。なお、目標インク量は、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）で共通に設定してもよく、各色毎に個別に設定してもよい。
【０１４１】
この工程では、主制御部３１は、本発明の不足量取得手段の一種として機能する。例えば、主制御部３１は、ＲＡＭに記憶された各着弾インク量と目標インク量とを読み出し、目標インク量と着弾インク量との差を演算によって取得する。そして、取得したインク量差の情報は、不足量情報（本発明の液材過不足量の一種）として、主制御部３１のＲＡＭ（過不足量記憶手段に相当，図示せず）に液材領域（画素領域１２ａ）の位置情報と関連づけた状態で記憶される。
【０１４２】
液材補充工程（Ｓ１４）では、着弾インク量が目標インク量に対して不足している画素領域１２ａ上に噴射ヘッド７を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルス（例えば、マイクロ駆動パルスＰＳ４〜ＰＳ６）を圧電振動子２１に供給し、その画素領域１２ａにインクを補充する。
【０１４３】
即ち、この工程では、まず、主制御部３１は、ＲＡＭから不足量情報を読み出してインクの補充が必要な画素領域１２ａを認識する。次に、補充が必要とされた画素領域１２ａについて、不足量を吐出させるための駆動パルスを設定する。即ち、波形情報を設定する。そして、設定された波形情報は、補充パルス設定情報として主制御部３１のＲＡＭ（補充パルス設定情報記憶手段に相当，図示せず）に画素領域１２ａの位置情報と関連づけた状態で記憶される。
【０１４４】
インクの補充が必要な全ての画素領域１２ａについて補充パルス設定情報を記憶したならば、主制御部３１はインクの補充を制御する。即ち、キャリッジモータ６を制御して補充対象となる画素領域１２ａ上に噴射ヘッド７を位置付ける。そして、駆動信号発生部３２に波形情報（補充パルス設定情報）を出力し、不足量の液滴を吐出させて当該画素領域１２ａに着弾させる。
この画素領域１２ａに対するインクの補充が終了したならば、噴射ヘッド７を次の画素領域１２ａに移動させ、この画素領域１２ａに対するインクの補充を同様の手順で行う。そして、補充対象となる全ての画素領域１２ａについてインクの補充が終了したならば、この工程を終了する。
【０１４５】
そして、上記した一連の工程（即ち、着色層形成工程）が終了したならば、加熱等の処理を施して画素領域１２ａ内にインク液を定着させて着色層７６を形成する。その後、定着後のフィルタ基体２´を次工程（即ち、保護膜形成工程）に移送する。
なお、本実施形態では、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のインクを同一の噴射ヘッド７で吐出するようにしたが、各色に対応した複数（３つ）の噴射ヘッドを製造ライン上に配置し、それぞれ個別に吐出するように構成してもよい。この場合には、第一色の描画（吐出）後、乾燥工程を経て、第二色の描画へ移行する。第一色目と同様、乾燥工程を経て、第三色目の描画へ移行する。第三色目の描画後、乾燥工程を経て、最後に本乾燥を行う。本乾燥により各色のカラーフィルターを完全に乾燥させる。
【０１４６】
ところで、上記では、着弾インクの不足量を補充するように構成した例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、着弾インク量の設計値を目標インク量とし、設計値を越えた量のインクが着弾した場合には超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分のインク（着色成分）を分解するようにしてもよい。以下、このように構成した変形例について説明する。
【０１４７】
図２２及び図２３はこの変形例を説明する図であり、図２２は着色層形成工程を説明するフローチャート、図２３は着色成分分解手段の一種であるエキシマーレーザー光源８０を説明する模式図である。なお、この変形例の製造装置１における基本的な構成は、上記した例と同様であるので、ここではその詳細な説明は省略する。
【０１４８】
この変形例の特徴は、着色成分分解手段としてエキシマーレーザー光源を備えている点である。ここで、「エキシマー」とは、同種の原子・分子で基底状態にあるものと励起状態にあるもの１個ずつで形成される不安定な二量体であり、「エキシマーレーザー光」とは、このエキシマーが解離して基底状態へ遷移するときの発光を利用するレーザー光である。
【０１４９】
このエキシマーレーザー光は高エネルギーを有する紫外光でインク液中の着色成分（色素）の分子結合を断つ作用を有するため、着色成分を分解することができ色濃度を薄くすることができる。また、インクの飛散やフィルタ基板の損傷が生じ難いという作用をも有する。さらに、このエキシマーレーザー光では、その出力と照射パルス数（時間）を制御することで、分解される着色成分の量を調整することもできる。
【０１５０】
このエキシマーレーザー光は、例えば、エキシマーレーザー光源８０から照射された後にプリズム８１等を介して各画素領域１２ａに照射される。また、このエキシマーレーザー光源８０は、主制御部３１に電気的に接続されてその作動が制御可能である。即ち、主制御部３１はエキシマーレーザー光の出力と照射パルス数を制御する。
【０１５１】
以下、本変形例における塗布工程を説明する。なお、以下の説明は上記の例との違いを中心に行い、上記例と同じ内容についての詳細な説明は省略する。
【０１５２】
図２２に例示するように、この塗布工程は、液材吐出工程（Ｓ１１）と、着弾量検出工程（Ｓ１２）と、補正量取得工程（Ｓ１３´）と、液材補充工程（Ｓ１４）と、液材分解工程（Ｓ１５）とからなり、これらの各工程が順に行われる。
【０１５３】
液材吐出工程（Ｓ１１）では、基板１１上の各画素領域１２ａに所定色のインク滴を所定量打ち込む。この工程は、上記例の場合と同様にしてなされる。即ち、キャリッジモータ６が作動してガイドバー４が主走査方向（Ｘ軸方向）に移動し、このガイドバー４の移動に同期して噴射ヘッド７のノズル開口２５から所定色の液滴を吐出させる。
【０１５４】
着弾量検出工程（Ｓ１２）では、着弾インク量を画素領域１２ａ毎に検出する。この工程も上記例の場合と同様にしてなされ、例えば液材センサ１７を用いて行う。そして、取得された各着弾インク量は、主制御部３１のＲＡＭ（着弾インク量記憶手段に相当，図示せず）に画素領域１２ａの位置情報と関連づけた状態で記憶される。なお、この例においても液材センサ１７は液材量検出手段の一種として機能する。
【０１５５】
補正量取得工程（Ｓ１３´）では、上記の着弾量検出工程で検出した画素領域１２ａ毎の着弾インク量をその画素領域１２ａについての目標インク量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、着弾インク量と目標インク量の差を補正量として取得する。ここで、この例における目標インク量は着弾インク量の設計値とされ、例えば主制御部３１のＲＡＭ（目標インク量記憶手段に相当，図示せず）に記憶される。
【０１５６】
この工程では、主制御部３１（本発明の不足量取得手段の一種であって、超過量取得手段の一種）は、ＲＡＭに記憶された各着弾インク量と目標インク量とを読み出し、目標インク量と着弾インク量との差を演算によって取得する。そして、取得したインク量差の情報は、過不足量情報（本発明の液材過不足量の一種）として、主制御部３１のＲＡＭ（過不足量記憶手段に相当，図示せず）に画素領域１２ａの位置情報と関連づけた状態で記憶される。
【０１５７】
液材補充工程（Ｓ４）は、上記例と同様の工程であり、着弾インク量が目標インク量に対して不足している画素領域１２ａ上に噴射ヘッド７を位置付けた状態で、不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子２１に供給し、その画素領域１２ａにインクを補充する。
【０１５８】
液材分解工程（Ｓ５）では、着弾インク量が目標インク量に対して超過している画素領域１２ａにエキシマーレーザー光を照射し、超過量に応じた量の着色成分を分解する。この場合において、主制御部３１は、レーザー光照射制御手段としても機能し、上記のプリズム８１を移動させる等して所望の画素領域１２ａにレーザー光を照射させる。また、主制御部３１は、分解量制御手段としても機能し、超過量に応じてレーザー光の出力や照射パルス数を制御し、必要量の着色成分を分解する。
【０１５９】
そして、上記した一連の工程（即ち、塗布工程）が終了したならば、加熱等の処理を施し、塗布したインク液を定着させる。その後、フィルタ基体２´を次工程に移送する。
なお、インク液に対する加熱定着後に上記エキシマーレーザーによる液材分解工程を実施しても良い。
【０１６０】
以上説明したように、この製造装置１においては、着弾したインク量を画素領域１２ａ毎に検出し、着弾インク量と目標インク量の差から求めた過不足量に応じてインクを補充するのか、分解するのか、或いは補充も分解も行わないのかを判定する。そして、補充する場合には、不足量に応じて設定された駆動パルスを圧電振動子２１に供給する。一方、分解する場合には、その画素領域１２ａにエキシマーレーザー光を照射すると共に、超過量に応じてエキシマーレーザー光の出力や照射パルス数を制御し、必要量の着色成分を分解する。
その結果、画素領域１２ａ毎のインク濃度が設計値で揃い、高品位なカラーフィルタ２を製造することができる。
なお、上記では、インクの着色成分を分解する例を示したが、エキシマーレーザー光により含有成分（含有材料）を分解可能であれば、他の液材の場合にも上記変形例を適用することができる。
【０１６１】
図２４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ２を用いた液晶装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置８５に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ２は図２０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１６２】
この液晶装置８５は、カラーフィルタ２、ガラス基板等からなる対向基板８６、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ　Ｔｗｉｓｔｅｄ　Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶組成物からなる液晶層８７により概略構成されており、カラーフィルタ２を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板８６およびカラーフィルタ２の外面（液晶層８７側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設されている。
【０１６３】
カラーフィルタ２の保護膜７７上（液晶層側）には、図２４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極８８が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極８８のカラーフィルタ２側とは反対側の面を覆うように第１配向膜９０が形成されている。
一方、対向基板８６におけるカラーフィルタ２と対向する面には、カラーフィルタ２の第１電極８８と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極８９が所定の間隔で複数形成され、この第２電極８９の液晶層８７側の面を覆うように第２配向膜９１が形成されている。これらの第１電極８８および第２電極８９は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電材料により形成されている。
【０１６４】
液晶層８７内に設けられたスペーサ９２は、液晶層８７の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材９３は液晶層８７内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極８８の一端部は引き回し配線８８ａとしてシール材９３の外側まで延在している。
そして、第１電極８８と第２電極８９とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ２の着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂが位置するように構成されている。
【０１６５】
図２５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ２を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置８５´が上記液晶装置８５と大きく異なる点は、カラーフィルタ２を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置８５´は、カラーフィルタ２とガラス基板等からなる対向基板８６´との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層８７´が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板８６´およびカラーフィルタ２の外面には偏光板がそれぞれ配設されている。
【０１６６】
カラーフィルタ２の保護膜７７上（液晶層８７´側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極８８´が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極８８´の液晶層８７´側の面を覆うように第１配向膜９０´が形成されている。
対向基板８６´のカラーフィルタ２と対向する面上には、カラーフィルタ側の第１電極８８´と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極８９´が所定の間隔で形成され、この第２電極８９´の液晶層８７´側の面を覆うように第２配向膜９１´が形成されている。
【０１６７】
液晶層８７´には、この液晶層８７´の厚さを一定に保持するためのスペーサ９２´と、液晶層８７´内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材９３´が設けられている。
そして、上記した液晶装置８５と同様に、第１電極８８´と第２電極８９´との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ２の着色層７６Ｒ、７６Ｇ、７６Ｂが位置するように構成されている。
【０１６８】
図２６は、本発明を適用したカラーフィルタ２を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置８５”は、カラーフィルタ２を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１６９】
この液晶装置８５”は、カラーフィルタ２と、これに対向するように配置された対向基板８６”と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ２の上面側（観測者側）に配置された偏光板９６と、対向基板８６”の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ２の保護膜７７の表面（対向基板８６”側の面）には液晶駆動用の電極９７が形成されている。この電極９７は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極１００が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極９７の画素電極１００とは反対側の面を覆った状態で配向膜９８が設けられている。
【０１７０】
対向基板８６”のカラーフィルタ２と対向する面には絶縁層９９が形成されており、この絶縁層９９上には、走査線１０１及び信号線１０２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線１０１と信号線１０２とに囲まれた領域内には画素電極１００が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極１００上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１７１】
また、画素電極１００の切欠部と走査線１０１と信号線１０２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ１０３が組み込まれて構成されている。そして、走査線１０１と信号線１０２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ１０３をオン・オフして画素電極１００への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１７２】
なお、上記の各例の液晶装置８５，８５´，８５”は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１７３】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図２７は、本発明におけるディスプレーの一種である有機ＥＬ表示装置の表示領域（以下、単に表示装置１０６と称する）の要部断面図である。
【０１７４】
この表示装置１０６は、回路素子部１０７、発光素子部１０８及び陰極１０９が基板１１０上に積層された状態で概略構成されている。
この表示装置１０６においては、発光素子部１０８から基板１１０側に発した光が、回路素子部１０７及び基板１１０を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部１０８から基板１１０の反対側に発した光が陰極１０９により反射された後、回路素子部１０７及び基板１１０を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１７５】
回路素子部１０７と基板１１０の間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜１１１が形成され、この下地保護膜１１１上（発光素子部１０８側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜１１２が形成されている。この半導体膜１１２の左右の領域には、ソース領域１１２ａ及びドレイン領域１１２ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域１１２ｃとなっている。
【０１７６】
また、回路素子部１０７には、下地保護膜１１１及び半導体膜１１２を覆う透明なゲート絶縁膜１１３が形成され、このゲート絶縁膜１１３上の半導体膜１１２のチャネル領域１１２ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極１１４が形成されている。このゲート電極１１４及びゲート絶縁膜１１３上には、透明な第１層間絶縁膜１１５ａと第２層間絶縁膜１１５ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜１１５ａ、１１５ｂを貫通して、半導体膜１１２のソース領域１１２ａ、ドレイン領域１１２ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール１１６ａ，１１６ｂが形成されている。
【０１７７】
そして、第２層間絶縁膜１１５ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極１１７が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極１１７は、コンタクトホール１１６ａを通じてソース領域１１２ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜１１５ａ上には電源線１１８が配設されており、この電源線１１８は、コンタクトホール１１６ｂを通じてドレイン領域１１２ｂに接続されている。
【０１７８】
このように、回路素子部１０７には、各画素電極１１７に接続された駆動用の薄膜トランジスタ１１９がそれぞれ形成されている。
【０１７９】
上記発光素子部１０８は、複数の画素電極１１７上の各々に積層された機能層１２０と、各画素電極１１７及び機能層１２０の間に備えられて各機能層１２０を区画するバンク部１２１とにより概略構成されている。
これら画素電極１１７、機能層１２０、及び、機能層１２０上に配設された陰極１０９によって発光素子が構成されている。なお、画素電極１１７は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極１１７の間にバンク部１２１が形成されている。
【０１８０】
バンク部１２１は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層１２１ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層１２１ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層１２１ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部１２１の一部は、画素電極１１７の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部１２１の間には、画素電極１１７に対して上方に向けて次第に拡開した開口部１２２が形成されている。
【０１８１】
上記機能層１２０は、開口部１２２内において画素電極１１７上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層１２０ａと、この正孔注入／輸送層１２０ａ上に形成された発光層１２０ｂとにより構成されている。なお、この発光層１２０ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層１２０ａは、画素電極１１７側から正孔を輸送して発光層１２０ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層１２０ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（本発明の液材の一種に相当）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【０１８２】
発光層１２０ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（本発明の液材の一種に相当）を吐出することで形成される。発光層形成材料としては、例えば、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン係色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、またはこれらの高分子材料にルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等を添加したものを用いることができる。
また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層１２０ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層１２０ａを再溶解させることなく発光層１２０ｂを形成することができる。
【０１８３】
そして、発光層１２０ｂでは、正孔注入／輸送層１２０ａから注入された正孔と、陰極１０９から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１８４】
陰極１０９は、発光素子部１０８の全面を覆う状態で形成されており、画素電極１１７と対になって機能層１２０に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極１０９の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１８５】
次に、本実施形態における表示装置１０６の製造工程を図２８〜３６を参照して説明する。
この表示装置１０６は、図２８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１８６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２９に示すように、第２層間絶縁膜１１５ｂ上に無機物バンク層１２１ａを形成する。この無機物バンク層１２１ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層１２１ａの一部は画素電極１１７の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層１２１ａを形成したならば、図３０に示すように、無機物バンク層１２１ａ上に有機物バンク層１２１ｂを形成する。この有機物バンク層１２１ｂも無機物バンク層１２１ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部１２１が形成される。また、これに伴い、各バンク部１２１間には、画素電極１１７に対して上方に開口した開口部１２２が形成される。この開口部１２２は、画素領域（本発明の液材領域の一種に相当）を規定する。
【０１８７】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層１２１ａの第１積層部１２１ａ´及び画素電極１１７の電極面１１７ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極１１７であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層１２１ｂの壁面１２１ｓ及び有機物バンク層１２１ｂの上面１２１ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、噴射ヘッド７を用いて機能層１２０を形成する際に、液材を画素領域により確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した液材が開口部１２２から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１８８】
そして、以上の工程とを経ることにより、表示装置基体１０６´（本発明のディスプレー基体の一種に相当）が得られる。この表示装置基体１０６´は、図１（ａ）に示した製造装置１の載置基台３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１８９】
正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、噴射ヘッド７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である開口部１２２内に吐出する。その後に乾燥処理及び熱処理を行い、画素電極１１７上に正孔注入／輸送層１２０ａを形成する。
この正孔注入／輸送層形成工程は、上記第１の実施形態における着色層形成工程と同様に、図２１に示した液材吐出工程（Ｓ１１）、着弾量検出工程（Ｓ１２）、補正量取得工程（Ｓ１３）、及び液材補充工程（Ｓ１４）を順に経て行われる。なお、以下、Ｓ１１〜Ｓ１４の各工程の詳細については上記第１の実施形態において説明したので適宜省略する。
【０１９０】
液材吐出工程（Ｓ１１）では、図３１に示すように、表示装置基体１０６´上の画素領域（即ち、開口部１２２内）に正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を液滴として所定量打ち込む。この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、画素領域内に所定量の第１組成物を着弾させることができる。
【０１９１】
全ての画素領域内に第１組成物を着弾させたならば、着弾量検出工程（Ｓ１２）において、上記の液材吐出工程において着弾した第１組成物量（本発明の着弾液材量の一種）を、液材量検出手段としての液材センサ１７によって画素領域毎に検出する。即ち、各画素領域毎にレーザー光線Ｌｂを照射させると共に画素領域からの光をレーザー受光素子１９で受光させ、受光量（受光強度）に応じて第１組成物の着弾量を判定する。そして、全ての画素領域について第１組成物の着弾量を検出したならば、次の工程に移行する。
【０１９２】
補正量取得工程（Ｓ１３）では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域毎の第１組成物の着弾量をその画素領域についての第１組成物の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。
【０１９３】
液材補充工程（Ｓ１４）では、第１組成物の着弾量が目標量に対して不足している画素領域上、即ち、開口部１２２上に噴射ヘッド７を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子２１に供給し、その画素領域に第１組成物を補充する。そして、補充対象となる全ての画素領域について第１組成物の補充が終了したならば、この工程を終了する。
【０１９４】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第１組成物を乾燥処理し、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、図３２に示すように、画素電極１１７の電極面１１７ａ上に正孔注入／輸送層１２０ａが形成される。
以上のようにして、各画素領域毎に正孔注入／輸送層１２０ａが形成されたならば、正孔注入／輸送層形成工程を終了する。
【０１９５】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層１２０ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層１２０ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層１２０ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層１２０ａと発光層１２０ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層１２０ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層１２０ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層１２０ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層１２０ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層１２０ａに均一に塗布することができる。
【０１９６】
そして、この発光層形成工程においても、図２１に示した液材吐出工程（Ｓ１１）、着弾量検出工程（Ｓ１２）、補正量取得工程（Ｓ１３）、及び液材補充工程（Ｓ１４）を順次経ることにより発光層１２０ｂが形成される。
即ち、液材吐出工程（Ｓ１１）では、図３３に示すように、各色のうちの何れか（図３３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を液滴として画素領域（開口部１２２）内に所定量打ち込む。この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、正孔注入／輸送層１２０ａ上に所定量の第２組成物を着弾させることができる。
画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層１２０ａ上に広がって開口部１２２内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部１２１の上面１２１ｔ上に着弾した場合でも、この上面１２１ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部１２１内に転がり込み易くなっている。
【０１９７】
対応する画素領域内に第２組成物を着弾させたならば、着弾量検出工程（Ｓ１２）において、上記の液材吐出工程において着弾した第２組成物量を、液材量検出手段としての液材センサ１７によって画素領域毎に検出する。即ち、各画素領域毎にレーザー光線Ｌｂを照射させると共に画素領域からの光をレーザー受光素子１９で受光させ、受光量（受光強度）に応じて第２組成物の着弾量を判定する。そして、第２組成物の着弾量を検出したならば、次の工程に移行する。
【０１９８】
補正量取得工程（Ｓ１３）では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域毎の第２組成物の着弾量をその画素領域についての第２組成物の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。
【０１９９】
液材補充工程（Ｓ１４）では、第２組成物の着弾量が目標量に対して不足している画素領域上、即ち、開口部１２２上に噴射ヘッド７を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子２１に供給し、その画素領域に第２組成物を補充する。そして、補充対象となる全ての画素領域について第２組成物の補充が終了したならば、この工程を終了する。
【０２００】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３４に示すように、正孔注入／輸送層１２０ａ上に発光層１２０ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層１２０ｂが形成されている。
そして、図３５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層１２０ｂの場合と同様の工程を順次用い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層１２０ｂを形成する。なお、発光層１２０ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。
各画素領域毎に発光層１２０ｂが形成されたならば、発光層形成工程を終了する。
【０２０１】
以上のようにして、画素電極１１７上に機能層１２０、即ち、正孔注入／輸送層１２０ａ及び発光層１２０ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０２０２】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図３６に示すように、発光層１２０ｂ及び有機物バンク層１２１ｂの全面に陰極１０９（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極１０９は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極１０９の上部には、Ａｌ膜、Ａｇ膜や、酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０２０３】
このようにして陰極１０９を形成した後、この陰極１０９の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置１０６が得られる。
【０２０４】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図３７は、本発明におけるディスプレーの一種であるプラズマ型表示装置（以下、単に表示装置１２５と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置１２５を一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置１２５は、互いに対向して配置された第１基板１２６、第２基板１２７、及びこれらの間に形成される放電表示部１２８を含んで概略構成される。放電表示部１２８は、複数の放電室１２９により構成されている。これらの複数の放電室１２９のうち、赤色放電室１２９（Ｒ）、緑色放電室１２９（Ｇ）、青色放電室１２９（Ｂ）の３つの放電室１２９が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０２０５】
第１基板１２６の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極１３０が形成され、このアドレス電極１３０と第１基板１２６の上面とを覆うように誘電体層１３１が形成されている。誘電体層１３１上には、各アドレス電極１３０の間に位置し、且つ各アドレス電極１３０に沿うように隔壁１３２が立設されている。この隔壁１３２は、図示するようにアドレス電極１３０の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極１３０と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁１３２によって仕切られた領域が放電室１２９となっている。
【０２０６】
放電室１２９内には蛍光体１３３が配置されている。蛍光体１３３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室１２９（Ｒ）の底部には赤色蛍光体１３３（Ｒ）が、緑色放電室１２９（Ｇ）の底部には緑色蛍光体１３３（Ｇ）が、青色放電室１２９（Ｂ）の底部には青色蛍光体１３３（Ｂ）が各々配置されている。
【０２０７】
第２基板１２７の図中下側の面には、上記アドレス電極１３０と直交する方向に複数の表示電極１３５が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層１３６、及びＭｇＯなどからなる保護膜１３７が形成されている。
第１基板１２６と第２基板１２７とは、アドレス電極１３０と表示電極１３５が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極１３０と表示電極１３５は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極１３０，１３５に通電することにより、放電表示部１２８において蛍光体１３３が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０２０８】
本実施形態においては、上記アドレス電極１３０、表示電極１３５、及び蛍光体１３３を、図１（ａ）に示した製造装置１を用い、図２１に示した製造工程に基づいて形成することができる。以下、第１基板１２６におけるアドレス電極１３０の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６が本発明のディスプレー基体の一種に相当する。そして、この第１基板１２６が載置基台３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液材吐出工程（Ｓ１１）では、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（本発明の液材の一種に相当）を液滴としてアドレス電極形成領域（本発明の液材領域の一種に相当）に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、アドレス電極形成領域に所定量の液体材料を着弾させることができる。
【０２０９】
第１基板１２６上のアドレス電極形成領域に液体材料を着弾させたならば、着弾量検出工程（Ｓ１２）において、上記の液材吐出工程において着弾した液体材料量（本発明の液材量の一種）を、液材量検出手段としての液材センサ１７によってアドレス電極形成領域毎に検出する。即ち、アドレス電極形成領域毎にレーザー光線Ｌｂを照射させると共にアドレス電極形成領域からの光をレーザー受光素子１９で受光させ、受光量（受光強度）に応じて液体材料の着弾量（着弾液材量）を判定する。そして、液体材料の着弾量を検出したならば、次の工程に移行する。
【０２１０】
補正量取得工程（Ｓ１３）では、上記の着弾量検出工程で検出したアドレス電極形成領域毎の液体材料の着弾量をそのアドレス電極形成領域についての液体材料の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。
【０２１１】
液材補充工程（Ｓ１４）では、液体材料の着弾量が目標量に対して不足しているアドレス電極形成領域上に噴射ヘッド７を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子２１に供給し、そのアドレス電極形成領域に液体材料を補充する。そして、補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、この工程を終了する。
その後、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極１３０が形成される。
【０２１２】
ところで、上記においてはアドレス電極１３０の形成を例示したが、上記表示電極１３５及び蛍光体１３３についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極１３５の形成の場合、アドレス電極１３０の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（本発明の液材の一種に相当）を液滴として表示電極形成領域（本発明の液材領域の一種に相当）に着弾させる。
また、蛍光体１３３の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（本発明の液材の一種）を噴射ヘッド７から液滴として吐出し、対応する色の放電室１２９（本発明の液材領域の一種に相当）内に着弾させる。
【０２１３】
以上説明したように、上記製造装置１においては、着弾した液材量を液材領域毎に検出し、着弾液材量と目標液材量の差から求めた不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定する。そして、この設定した駆動パルスを圧電振動子２１に供給することで不足量の液材を液材領域に着弾させるので、専用のノズルや噴射ヘッド７を用いることなく、個々の液材領域に対して最適な量の液材を補充することができる。
【０２１４】
また、液滴の量に加えて液滴の飛行速度も制御可能であるため、着弾位置の正確な制御も実現できる。即ち、噴射ヘッド７を走査しながらにして液滴を所望の液材領域に正確に打ち込むことができる。これにより、製造時間の短縮化が図れる。
【０２１５】
さらに、この製造装置１では、一滴の液材量及び飛行速度を広範囲で変化させることができるので、１つの液材領域の大きさが異なる種々のディスプレーを製造することもできる。即ち、液材領域のサイズが異なれば必要な液材量も異なるが、この製造装置１では、駆動パルスの種類や駆動パルスの供給数によって広範囲で液滴の吐出量を制御でき、駆動パルスの波形形状（各波形要素の設定）を変更することで極めて高い精度で一滴の液材についての量や飛行速度を変更できる。従って、専用のノズルや専用の噴射ヘッドを用いることなく、同じ噴射ヘッド７によって異なる複数種類のディスプレーを製造可能な汎用製造装置として使用することができる。
【０２１６】
なお、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づき種々の変形が可能である。
【０２１７】
まず、本発明の液材量検出手段に関し、上記各実施形態に示した反射型の液材センサ１７に限られない。
【０２１８】
例えば、液材量検出手段を透過型の液材センサ１７´によって構成してもよい。この透過型の液材センサ１７´では、ディスプレー基体の一方の表面側からレーザー光線Ｌｂを照射し、照射側とは反対の他方の表面側に透過した透過レーザー光線Ｌｂの強度（光量）をレーザー受光素子１９によって検出する。このように構成しても上記実施形態と同様に着弾液材量を各画素領域１２ａ毎に検出できる。
なお、この構成において、図３８に示すように、レーザー発光素子１８とレーザー受光素子１９とを、ディスプレー基体（図３８の場合、フィルタ基体２´）を挟むように配置してレーザー発光素子１８とレーザー受光素子１９とを同時に走査しても良い。また、プリズム等によってレーザー光線Ｌｂを適宜反射させ、レーザー発光素子１８からのレーザー光線Ｌｂを画素領域１２ａに照射し、画素領域１２ａを透過した後のレーザー光線Ｌｂをレーザー受光素子１９に案内しても（入射させても）よい。
【０２１９】
また、図３９に示すように、液材量検出手段をＣＣＤアレイ１４０によって構成してもよい。この構成では、載置基台３の載置面３ａを例えば面発光体によって構成し、均一光量で発光可能とする。そして、ガイドバー４における載置基台３との対向面にＣＣＤアレイ１４０を配設し、画素領域１２ａを透過した光を受光させてインクの着弾量を検出する。なお、この構成において、ＣＣＤアレイ１４０の分解能は画素領域１２ａの大きさよりも高い（細かい）ことが検出精度向上の観点から好ましい。
この構成では、複数の液材領域（この場合、画素領域１２ａ）における液材の着弾量を検出可能であるため、検出時間の短縮化が図れ作業効率の向上が図れる。
【０２２０】
なお、液滴として吐出させる材料に関し、光透過性を有するとは限らない。この場合、着弾した液体状液材の表面高さを検出することで、着弾液材量を知ることができる。従って、液材量検出手段を、注入されたインク液の液面高さを検出可能な液面検出センサによって構成してもよい。
【０２２１】
また、上記では、一表示単位に対応する狭い範囲の液材領域（例えば、画素領域１２ａ）に液材を吐出する場合を例示したが、例えば、図２０に示した保護膜７７を形成する場合のように、広範囲な液材領域に液材を吐出（基体全面に塗布）する場合にも本発明を適用することができる。
【０２２２】
また、上記第３の実施形態においては、プラズマ型表示装置における電極１３０，１３５の形成を例示したが、これに限らず、その他の回路基板における電極等の金属配線にも本発明を適用することができる。
【０２２３】
また、電気機械変換素子は上記の圧電振動子２１に限らず、磁歪素子や静電アクチュエータによって構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】ディスプレー製造装置の一例を説明する図であり、（ａ）は製造装置の平面図、（ｂ）はカラーフィルタの部分拡大図である。
【図２】ディスプレー製造装置の主要構成を説明するブロック図である。
【図３】液材センサを説明する模式図である。
【図４】噴射ヘッドの断面図である。
【図５】流路ユニットの拡大断面図である。
【図６】噴射ヘッドの電気的構成を説明するブロック図である。
【図７】駆動信号発生部が発生する標準駆動信号を説明する図である。
【図８】標準駆動信号に含まれる標準駆動パルスを説明する図である。
【図９】標準駆動パルスにおいて駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化を示し、（ａ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、（ｂ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。
【図１０】（ａ）は、標準駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の重量との関係を示した図、（ｂ）は、液滴の重量を１５ｎｇに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の飛行速度との関係を示した図である。
【図１１】（ａ）は、標準駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定した際の駆動電圧及び膨張要素の時間幅と液滴の重量との関係を示した図、（ｂ）は、液滴の重量を１５ｎｇに設定した際の駆動電圧及び膨張要素の時間幅と液滴の飛行速度との関係を示した図である。
【図１２】標準駆動パルスにおいて膨張ホールド要素の時間幅を調整した場合の吐出特性の変化を示し、（ａ）は時間幅を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、（ｂ）は時間幅を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。
【図１３】（ａ）は、標準駆動パルスにおいて、液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定した際の駆動電圧及び膨張ホールド要素の時間幅と液滴の重量との関係を示した図、（ｂ）は、液滴の重量を１５ｎｇに設定した際の駆動電圧及び膨張ホールド要素の時間幅と液滴の飛行速度との関係を示した図である。
【図１４】駆動信号発生部が発生するマイクロ駆動信号を説明する図である。
【図１５】マイクロ駆動信号に含まれるマイクロ駆動パルスを説明する図である。
【図１６】マイクロ駆動パルスにおいて駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化であり、（ａ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、（ｂ）は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。
【図１７】（ａ）は、マイクロ駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の重量との関係を示す図、（ｂ）は、液滴の重量を５．５ｎｇに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の飛行速度との関係を示した図である。
【図１８】（ａ）は、マイクロ駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を７ｍ／ｓに設定した際の駆動電圧及び吐出電位と液滴の重量との関係を示す図、（ｂ）は、液滴の重量を５．５ｎｇに設定した際の駆動電圧及び吐出電位と液滴の飛行速度との関係を示す図である。
【図１９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図２０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２１】着色層形成工程を説明するフローチャートである。
【図２２】着色層形成工程の変形例を説明するフローチャートである。
【図２３】エキシマーレーザー光源を説明する模式図である。
【図２４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２７】第２の実施形態における表示装置の要部断面図である。
【図２８】第２の実施形態における表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２９】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図３０】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図３１】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３２】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３３】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３４】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３５】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３６】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３７】第３の実施形態における表示装置の要部分解斜視図である。
【図３８】液材量検出手段を透過型の液材センサによって構成した例を説明する模式図である。
【図３９】液材量検出手段をＣＣＤアレイによって構成した例を説明する模式図である。
【符号の説明】
１…ディスプレー製造装置，２…フィルタ基体，３…載置基台，４…ガイドバー，５…キャリッジ，６…キャリッジモータ，７…噴射ヘッド，８…液材貯留部，９…供給チューブ，１０…制御装置，１１…基板，１２…被着色層，１７…液材センサ，１８…レーザー発光素子，１９…レーザー受光素子，２１…圧電振動子，２２…振動子ユニット，２３…ケース，２４…流路ユニット，２５…ノズル開口，３１…主制御部，３２…駆動信号発生部，３３…Ａ／Ｄ変換器，４１…固定板，４２…島部，４３…フレキシブルケーブル，４４…流路形成基板，４５…ノズルプレート，４６…弾性板，４７…圧力室，４８…共通液室，４９…液体供給口，５０…ノズル連通口，５１…支持板，５２…樹脂フィルム，６１…第１シフトレジスタ，６２…第２シフトレジスタ，６３…第１ラッチ回路，６４…第２ラッチ回路，６５…デコーダ，６６…制御ロジック，６７…レベルシフタ，６８…スイッチ回路，７２…ブラックマトリクス，７３…バンク，７４…レジスト層，７５…マスクフィルム，７６…着色層，７７…保護膜，８０…エキシマーレーザー光源，８１…プリズム，８５…液晶装置，８６…対向基板，８７…液晶層，８８…第１電極，８９…第２電極，９０…第１配向膜，９１…第２配向膜，９２…スペーサ，９３…シール材，９６…偏光板，９７…電極，９８…配向膜，９９…絶縁層，１００…画素電極，１０１…走査線，１０２…信号線，１０３…薄膜トランジスタ，１０６…表示装置，１０７…回路素子部，１０８…発光素子部，１０９…陰極，１１０…基板，１１１…下地保護膜，１１２…半導体膜，１１３…ゲート絶縁膜，１１４…ゲート電極，１１５…層間絶縁膜，１１６…コンタクトホール，１１７…画素電極，１１８…電源線，１１９…薄膜トランジスタ，１２０…機能層，１２１…バンク部，１２２…開口部，１２５…表示装置，１２６…第１基板，１２７…第２基板，１２８…放電表示部，１２９…放電室，１３０…アドレス電極，１３１…誘電体層，１３２…隔壁，１３３…蛍光体，１３５…表示電極，１３６…誘電体層，１３７…保護膜，１４０…ＣＣＤアレイ
【図１】
2004055520.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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