(57)【要約】【課題】効率よく有機発光装置を検査し、修復することができる検査修復システム及び検査修復方法を提供する。【解決手段】検査修復システム１は、光学顕微鏡１１、映像取出し装置１２、光子検知器１３、データ処理コントローラ１４、及び高エネルギービーム発生装置１５を備える。検査修復システム１により欠陥位置を検知する場合、有機発光装置３の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器１３により拡大映像における微光現象が発生する欠陥位置を検知し、高エネルギービーム発生装置１５により欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成する。【選択図】図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機発光装置（device）を検査、修復する検査修復システムであって、
前記有機発光装置の検査待ち区域の映像を拡大する光学顕微鏡と、
前記光学顕微鏡に連結され、該光学顕微鏡により拡大された映像を取出す映像取出し装置と、
前記光学顕微鏡に連結され、該光学顕微鏡により拡大された映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知する光子検知器と、
それぞれ前記映像取出し装置と前記光子検知器に電気的に接続され、前記映像取出し装置により取出された拡大映像と、前記光子検知器により検知された欠陥位置を保存し、且つ、保存された前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータに基づいて第１コントロール信号を生成するデータ処理コントローラと、
前記データ処理コントローラと電気的に接続され、且つ、前記光学顕微鏡に連結され、前記第１コントロール信号に基づいて前記欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成し、該高エネルギービームを前記光学顕微鏡を介して照射する高エネルギービーム発生装置と、を備えることを特徴とする検査修復システム。
【請求項２】
前記データ処理コントローラは、保存された前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータに基づいて第２コントロール信号を生成することを特徴とする請求項１に記載の検査修復システム。
【請求項３】
前記光子検知器により微光現象を検知する際に前記有機発光装置に負バイアスをかけるための電源を有し、且つ、前記データ処理コントローラによる第２コントロール信号に基づいて動作する検査ステージを備えることを特徴とする請求項２に記載の検査修復システム。
【請求項４】
前記検査ステージは、３座標軸方向へ移動して位置決めをするステージであることを特徴とする請求項３に記載の検査修復システム。
【請求項５】
前記データ処理コントローラと電気的に接続され、該データ処理コントローラにより出力される画面を表示するディスプレイを備えることを特徴とする請求項１に記載の検査修復システム。
【請求項６】
前記映像取出し装置はＣＣＤカメラであり、前記データ処理コントローラはコンピュータであることを特徴とする請求項１に記載の検査修復システム。
【請求項７】
有機発光装置（device）を検査、修復する検査修復方法であって、
光学顕微鏡により前記有機発光装置の検査待ち区域の映像を拡大するステップと、
映像取出し装置により拡大映像を取出すステップと、
前記有機発光装置の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器により前記拡大映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知するステップと、
データ処理コントローラにより前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータを保存し、保存された前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータに基づいて第１コントロール信号を生成するステップと、
高エネルギービーム発生装置により前記第１コントロール信号に基づいて前記欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成するステップと、を含むことを特徴とする検査修復方法。
【請求項８】
前記データ処理コントローラは保存された前記拡大映像及び前記欠陥位置などのデータに基づいて第２コントロール信号を生成することを特徴とする請求項７に記載の検査修復方法。
【請求項９】
前記映像取出し装置はＣＣＤカメラであり、前記データ処理コントローラはコンピュータであることを特徴とする請求項７に記載の検査修復方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査修復システム及び検査修復方法に関し、特に、有機発光パネル又は有機発光素子の欠陥を検査、修復するための検査修復システム及び検査修復方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報通信産業は現今の産業の主流であって、特に、携帯式の各種、通信表示機器の発展が注目されている。特に、平面ディスプレイは人と情報の間のコミュニケーションを担うインターフェイスであるため、その発展はより一層重要だと考えられている。現在、平面ディスプレイに応用される技術は、プラズマディスプレイ（Plasma Display）、液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display）、無機エレクトロルミネセンスディスプレイ（Inorganic Electroluminescence Display）、発光ダイオード（Light Emitting Diode）、蛍光表示管（Vacuum Fluorescence Display）、電界放射ディスプレイ（Field Emission Display）、及びエレクトロクロミックディスプレイ（Electro-Chromic Display）等がある。
【０００３】
他の平面ディスプレイとの比較において、有機発光パネル又は有機発光素子は、自己発光、全視野角、省エネルギー、低コスト、広範な操作温度、速い応答速度及びフルカラーなどの利点により高い潜在能力を有するため、次世代平面ディスプレイの主流になると期待されている。
【０００４】
有機発光パネル又は有機発光素子は、有機機能材料（Organic functional materials）の自己発光特性により表示効果を達成するものである。発光構造は一対の電極と、有機機能材料層により構成され、電流が透明陽極及び金属陰極の間を流れることによって電子とホールが有機機能材料層において結合し、この結合の際に生ずるエネルギーによって有機機能材料層はその材料特性により異なる色の光を発生する。
【０００５】
ところで、有機発光パネル又は有機発光素子（以下、有機発光装置と総称する）を製造する場合において、コーティング待ちの有機発光装置の画素表面に若干の粒子が付着していると、コーティング後の有機発光装置の画素表面に異常積層が発生し、更に、有機発光装置の画素の陽極と陰極の間に短絡が生じるため、パネル全体の輝度が低下し、有機発光パネルの品質及び信頼性に影響を与える。従って、出荷時の品質を確保するために、製品を検査、修復することは無視できないほど重要な課題であると考えられる。
【０００６】
上記問題を解決するために、製造業者は一般的に光学顕微鏡が装着される検査機台及び高エネルギービーム発生装置が装着される修復機台により検査及び修復作業を実行する。
【０００７】
従来の検査方式は、光学顕微鏡が装着された検知機台で走査方式により有機発光装置の画素に欠陥があるかを検査し、欠陥のある場所を特定するものである。その後、欠陥のある有機発光装置を高エネルギービーム発生装置が装着された修復機台に移し、欠陥を修復する。その修復原理は、高エネルギービーム発生装置により生成した高エネルギービームを、検知された欠陥に照射し、その欠陥を非接触方式で隔離するものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した検査、修復方式では、有機発光装置の画素に欠陥が検知されると有機発光装置を検査機台から修復機台へ移動し、修復作業を行う。しかし、実際の作業においては、有機発光装置が検査機台から修復機械台へ移っても、有機発光装置の欠陥は即時修復されるわけではなく、また最初から欠陥位置を検索し、位置決めをした後、検知された欠陥位置について修復を開始する必要があった。
【０００９】
また、コーティング待ちの有機発光装置の画素表面に粒子が付着している場合、コーティング後の有機発光装置の画素表面に異常積層が発生し、更に、有機発光装置の画素の陽極と陰極の間に短絡が発生するが、粒子が極めて小さい場合には、有機発光装置の画素表面に異常積層は発生するが、有機発光装置の画素の陽極と陰極の間に短絡は発生しない。このような欠陥は実際上、修復する必要がなく、放置してもよい。しかし、従来の検査方式は、光学顕微鏡による走査方式で有機発光パネルに欠陥があるかを検査するだけであって、検知された欠陥により陽極と陰極の間に短絡が発生しているか否かを判断することができなかったため、修復段階では、検知された全ての欠陥について修復しなければならなかった。言い換えれば、従来の技術により、存在する全ての欠陥に対して走査、位置決め、再走査、再位置決め、修復などのステップを実行すると、製造上のコストの負担が大きくなる。
【００１０】
従って、本発明の主な目的は、効率よく有機発光装置を検査し、修復することができる検査修復システム及び検査修復方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述目的を達成するため、本発明による検査修復システムは、光学顕微鏡、映像取出し装置、光子検知器、データ処理コントローラ、及び高エネルギービーム発生装置を備えるものである。光学顕微鏡は有機発光装置の検査待ち区域の映像を拡大し、映像取出し装置は光学顕微鏡により拡大された映像を取出し、光子検知器は光学顕微鏡により拡大された映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知し、データ処理コントローラは映像取出し装置により取出された拡大映像と、光子検知器により検知された欠陥位置とを保存し、且つ、保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータにより第１コントロール信号を生成し、高エネルギービーム発生装置は第１コントロール信号に基づいて欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成し、生成された高エネルギービームは光学顕微鏡を介して照射される。
【００１２】
本発明による検査修復方法は、光学顕微鏡により有機発光装置の検査待ち区域の映像を拡大するステップと、映像取出し装置により拡大映像を取出すステップと、有機発光装置の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器により拡大映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知するステップと、データ処理コントローラにより拡大映像及び欠陥位置などのデータを保存し、保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータにより第１コントロール信号を生成するステップと、高エネルギービーム発生装置により第１コントロール信号に基づいて欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成するステップと、を含むものである。
【発明の効果】
【００１３】
上述したように、本発明による検査修復システム及び検査修復方法は、欠陥位置を検知する場合、有機発光装置の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器により拡大映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知し、且つ、高エネルギービーム発生装置により欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成し、２台の機械を使用せず、検査、修復を達成することができるため、有機発光装置の欠陥を効率的に検査、修復することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態により例示される有機発光装置は、有機発光パネル又は有機発光素子である。
【００１５】
図１に示されるように、本実施形態における検査修復システム１は、光学顕微鏡１１、映像取出し装置１２、光子検知器１３、データ処理コントローラ１４、及び高エネルギービーム発生装置１５を備えるものである。
【００１６】
光学顕微鏡１１は、有機発光装置３（図３参照）の検査待ち区域の映像を拡大する。映像取出し装置１２は、光学顕微鏡１１と光学的に連結され、光学顕微鏡１１により拡大された映像（図２のＰ１に示す）を取出す。本実施形態では映像取出し装置１２はＣＣＤカメラでもあってもよい。
【００１７】
光子検知器１３は、光学顕微鏡１１と光学的に連結され、光学顕微鏡１１により拡大された映像について微光現象が発生する欠陥位置（図２のＰ２に示す）を検知する。データ処理コントローラ１４は、それぞれ映像取出し装置１２と光子検知器１３に電気的に接続され、映像取出し装置１２により取出された拡大映像と、光子検知器１３により検知された欠陥位置を保存し、且つ、保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータに基づいて第１コントロール信号を生成する。本実施形態ではデータ処理コントローラ１４はコンピュータでもあってもよい。
【００１８】
高エネルギービーム発生装置１５は、データ処理コントローラ１４と電気的に接続され、光学顕微鏡１１と光学的に連結され、第１コントロール信号に基づいて欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成し、生成された高エネルギービームは光学顕微鏡１１を介して欠陥位置に照射される。このようにすることにより、検査修復システム１は、有機発光装置３の検査待ち区域における欠陥を修復することができる（図２のＰ３に示す）。
【００１９】
また、図３に示されるように、本実施形態による検査修復システム１は、更に検査ステージ１６を備え、有機発光装置３はこの検査ステージ１６上に載置される。検査ステージ１６上には電源１６１が設けられており、図３に示されるように、電源１６１は、それぞれプラス電源端子１６１１とマイナス電源端子１６１２とを備えている。光子検知器１３により微光現象があるか否かを検知しようとする場合、有機発光装置３は電源１６１により負バイアスがかけられ、この負バイアスにより短絡欠陥の場所に微光現象（図３の破線によって示す）が発生する。このとき、注目すべき点は、データ処理コントローラ１４は保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータに基づいて第２コントロール信号を生成し、検査ステージ１６はデータ処理コントローラ１４により生成された第２コントロール信号に基づいて作動することである。本実施形態では、検査ステージ１６は３座標軸方向に移動し、位置決めをすることができるステージでもあってもよい。
【００２０】
また、本実施形態による検査修復システム１は、データ処理コントローラ１４と電気的に接続され、データ処理コントローラ１４により出力される画面を表示するディスプレイ（図示せず）を備える。
【００２１】
次に、本発明のー実施形態による検査修復方法について図４に基づいて説明する。説明の便宜をはかるために、本実施形態では上記実施形態における符号の説明を引き続き引用する。
【００２２】
図４に示されるように、本実施形態による検査修復方法は以下のステップを含むものである。ステップＳ２１では、光学顕微鏡１１により有機発光装置３の検査待ち区域の映像を拡大する。ステップＳ２２では映像取出し装置１２により拡大映像を取出し、その後、ステップＳ２３では有機発光装置３の検査待ち区域に負バイアスをかけ、光子検知器１３により拡大映像において微光現象が発生する欠陥位置を検知する。そして、ステップＳ２４ではデータ処理コントローラ１４により拡大映像及び欠陥位置などのデータを保存し、保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータに基づいて第１コントロール信号を生成する。さらに、ステップＳ２５では、高エネルギービーム発生装置１５は第１コントロール信号に基づいて欠陥位置を隔離するための高エネルギービームを生成する。
【００２３】
高エネルギービーム発生装置１５により生成された高エネルギービームを有機発光装置３の欠陥箇所に正確に照射させるために、データ処理コントローラ１４は、保存された拡大映像及び欠陥位置などのデータに基づいて第２コントロール信号を生成すると共に、データ処理コントローラ１４により生成された第２コントロール信号に基づいて検査ステージを作動させる。有機発光装置３はこの検査ステージ１６上に載置される。
【００２４】
上述のように本実施形態による検査修復方法によれば、映像取出し装置１２及び光子検知器１３により短絡欠陥の箇所を正確に位置決めし、次に、高エネルギービーム発生装置１５により短絡欠陥を修復するものであるため、有機発光装置３の欠陥を修復する場合、検査待ちの有機発光装置３を機台間で搬送する必要がないだけでなく、検査待ちの有機発光装置３の欠陥の走査、位置決め、再走査、再位置決め、修復するステップを繰り返す必要がない。また、本実施形態による検査修復方法は、欠陥を検知する場合、有機発光装置３に負バイアスをかける。欠陥が短絡欠陥である場合には微光現象が発生するため、有機発光装置３を検査する際に、修復する必要がある欠陥を直接、判別することができ、且つ、修復する必要ない欠陥を余計に修復することがないため、検査修復方法の全体を簡易にするだけでなく、検査修復のコストを節約することが可能である。
【００２５】
以上、本発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成は、これらの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更などがあっても、本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態による検査修復システムの構成を示すブロック図である。
【図２】同検査修復システムにより検査、修復を実行する場合の特定区域の画素状態を示す図である。
【図３】同検査修復システムの主な構成を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による検査修復方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００２７】
１        検査修復システム
３        有機発光装置
１１      光学顕微鏡
１２      映像取出し装置
１３      光子検知器
１４      データ処理コントローラ
１５      高エネルギービーム発生装置
１６      検査ステージ
１６１    電源
１６１１  プラス電源端子
１６２２  マイナス電源端子
Ｐ１      映像取出し装置（ＣＣＤカメラ）により取出された映像
Ｐ２      光子検知器により微光現象の発生が検知された欠陥の映像
Ｐ３      高エネルギービームにより隔離処理が実行された後の映像
Ｓ２１〜Ｓ２５  検査修復方法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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