(57)【要約】【課題】浮上量の変動や製品間のばらつきにもかかわらず安定したデータの読み書きを可能にし、かつ、パーティクルの侵入を抑制することのできる改良型ヘッドスライダを提供する。【解決手段】ヘッドスライダ１１０は、ディスク対向面２００と支承平面とを有する。ディスク対向面に、支承平面より低い面を有する第一凹陥部２４０と第二凹陥部２９０とが設置される。さらに、ディスク対向面２００には、ダム２１４と溝２７４を有するレール２３０とが配置される。溝２７４は、溝底面２８６、後部壁２３５、内側壁２３４、および外側壁２３３により形成される。内側壁は後部壁からダムまで延在する。外側壁は後部壁からダムに向って延在して後部壁とダムとの間に隙間２３９を形成する。溝２７４は、第一凹陥部には連通しないが、第二凹陥部には開かれている。前縁に隣接して、突起２２２，２２４，２２６が配置される。【選択図】　　　図３
2004055127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダにおいて、支承平面を備えるディスク対向面を有するスライダ本体と、前記ディスク対向面に配置され、前記支承平面より低い面上にある第一凹陥部および第二凹陥部と、前記ディスク対向面に配置され、前記第一凹陥部に近接する第一側縁および前記第二凹陥部に近接する第二側縁とを含み、前記第一凹陥部には連通しないが、前記第二凹陥部には開かれている溝を有するレールとを含むヘッドスライダ。
【請求項２】
前記ディスク対向面に配置されるダムを含み、かつ前記溝が、前記第二凹陥部からの流体の流れに開かれている溝先端と、前記流体の流れに閉ざされている溝後端と、前記支承平面に含まれ、前記溝後端の後方に延在する支承表面と、前記第一側縁に沿って前記溝後端から前記ダムまで延在する第一側壁と、前記第二側縁に沿って前記溝後端から前記ダムに向って延在して前記ダムから離れた位置にある第二側壁とを有し、かつ収斂溝である請求項１に記載されたヘッドスライダ。
【請求項３】
前記第一凹陥部が、流体の流れ方向に対して前記ダムの後方に配置される減圧凹陥部である請求項２に記載されたヘッドスライダ。
【請求項４】
前記第一側壁および前記第二側壁が、前記支承平面と同一平面にある請求項２に記載されたヘッドスライダ。
【請求項５】
前記第一側壁および前記第一凹陥部に沿って配置される段差部をさらに含む請求項２に記載されたヘッドスライダ。
【請求項６】
前記ディスク対向面に第三凹陥部とレールとを含み、前記レールが第一凹陥部に近接する第一側縁と、第三凹陥部に近接する第二側縁とを含む溝を有し、前記溝が前記第一凹陥部には連通しないが、前記第三凹陥部には開かれている請求項２に記載されたヘッドスライダ。
【請求項７】
前記両レール間に配置される中央レールをさらに含む請求項６に記載されたヘッドスライダ。
【請求項８】
前記第一凹陥部が、前記スライダ本体の側縁に沿って配置される請求項１に記載されたヘッドスライダ。
【請求項９】
前記レールが、前記第一凹陥部に近接する第一側縁と前記第二凹陥部に近接する第二側縁とを含み、かつ前記第二凹陥部には連通しないが、前記第一凹陥部には開かれている溝を含む請求項１に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記ディスク対向面に配置されるダムをさらに含み、前記レールが、外側壁、内側壁、中央壁、および後部壁を含み、前記中央壁が前記後部壁から前記ダムまで延在し、前記外側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記第二凹陥部に開放部を形成し、さらに前記内側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記第一凹陥部に開放部を形成する請求項９に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１１】
少なくとも一つの段差部が、前記溝から前記ダムまで延在する請求項９に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記溝の両方から前記ダムまで延在する段差部を含む請求項９に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１３】
前記溝が、前記支承平面から約０．１〜０．５ミクロンの範囲で低くなっている請求項１に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１４】
前記溝から前記ダムまで延在する段差部をさらに含む請求項１に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１５】
ヘッドスライダにおいて、前縁、後縁、側縁、および支承平面を備えるディスク対向面を有するスライダ本体と、
前記ディスク対向面に配置されるダムと、
前記ディスク対向面に配置され、かつ溝底面、後部壁、第一側壁、および第二側壁によって画成される溝を有するレールとを含み、
前記第一側壁が前記後部壁から前記ダムまで延在し、前記第二側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記後部壁と前記ダムとの間に開放部を形成しているヘッドスライダ。
【請求項１６】
前記ダムが、亞大気圧凹陥部を画成し、前記第一側壁が前記亞大気圧凹陥部から溝を隔離している請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１７】
前記第一側壁および前記第二側壁が、前記支承平面と同一平面にある請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１８】
前記溝が、前記支承平面から約０．１〜０．５ミクロンの範囲で低くなっている請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項１９】
前記スライダ本体に配置され、かつ溝底面、後部壁、第一側壁、および第二側壁で構成され、前記第一側壁が前記後部壁から前記ダムまで延在し、前記第二側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記後部壁と前記ダムとの間に開放部を形成する溝を有するレールをさらに含む請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項２０】
前記両レール間に配置され、前記ダムから前記後縁に向って延在する中央レールをさらに含む請求項１９に記載されたヘッドスライダ。
【請求項２１】
前記レールが第二溝を更に含み、
該第二溝が、第二溝底面と、後部壁と、第一側壁と、前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記後部壁と前記ダムとの間に開放部を形成する第三側壁とによって画成されている請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項２２】
前記レールが、前記ダムから前記後部壁に向って延在して前記開放部をさらに作する前方外壁を含む請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項２３】
前記第一側壁が、前記側縁の少なくとも一方に対して傾斜する屈折部を含む請求項１５に記載されたヘッドスライダ。
【請求項２４】
ディスクドライブにおいて、ハウジングと、前記ハウジング内で主軸の周りを回転可能なディスクと、前記ハウジングに装着されるアクチュエータと、前記アクチュエータにより前記ディスク上に支持され、さらに支承平面を備えるディスク対向面を有するスライダ本体、前記ディスク対向面に配置され、かつ前記支承平面より低い面上にある第一凹陥部および第二凹陥部、前記ディスク対向面に配置され、前記第一凹陥部に近接する第一側縁および前記第二凹陥部に近接する第二側縁を含み、前記第一凹陥部には連通しないが、前記第二凹陥部には開かれている溝を有するレールを備えたヘッドスライダとを含むディスクドライブ。
【請求項２５】
前記ディスク対向面に配置されるダムをさらに含み、前記溝が、前記第二凹陥部からの流体の流れに開かれている溝先端と、前記流体の流れに閉ざされている溝後端と、前記支承平面に含まれ、前記溝後端の後方に延在する支承表面と、前記第一側縁に沿って前記溝後端から前記ダムまで延在する第一側壁と、前記第二側縁に沿って前記溝後端から前記ダムに向って延在し、かつ前記ダムから離れた位置にある第二側壁とを有し、かつ収斂溝である請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【請求項２６】
前記第一凹陥部が、流体の流れ方向に対して前記ダムの後方に配置される亞大気圧凹陥部である請求項２５に記載されたディスクドライブ。
【請求項２７】
前記第一側壁および前記第二側壁が、前記支承平面と同一平面にある請求項２５に記載されたディスクドライブ。
【請求項２８】
前記第一側壁および前記第一凹陥部に沿って配置される段差部をさらに含む請求項２５に記載されたディスクドライブ。
【請求項２９】
前記ヘッドスライダが、前記ディスク対向面に第三凹陥部とレールとを含み、前記レールが第一凹陥部に近接する第一側縁と、第三凹陥部に近接する第二側縁とを含む溝を有し、前記溝が前記第一凹陥部には連通しないが、前記第三凹陥部には開かれている請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【請求項３０】
前記両レール間に配置される中央レールをさらに含む請求項２９に記載されたディスクドライブ。
【請求項３１】
前記第一凹陥部が、前記ヘッドスライダ本体の側縁に沿って配置される請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【請求項３２】
前記レールが、前記第一凹陥部に近接する第一側縁と前記第二凹陥部に近接する第二側縁とを含み、かつ前記第二凹陥部には連通しないが、前記第一凹陥部には開かれている溝を含む請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【請求項３３】
前記ヘッドスライダが、前記ディスク対向面に配置されるダムをさらに含み、前記レールが、外側壁、内側壁、中央壁、および後部壁を含み、前記中央壁が前記後部壁から前記ダムまで延在し、前記外側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記第二凹陥部に開放部を形成し、さらに前記内側壁が前記後部壁から前記ダムに向って延在して前記第一凹陥部に開放部を形成する請求項３２に記載されたディスクドライブ。
【請求項３４】
少なくとも一つの段差部が、前記溝から前記ダムまで延在する請求項３２に記載されたディスクドライブ。
【請求項３５】
前記ヘッドスライダが、前記溝の両方から前記ダムまで延在する段差部を含む請求項３２に記載されたディスクドライブ。
【請求項３６】
前記溝が、前記支承平面から約０．１〜０．５ミクロンの範囲で低くなっている請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【請求項３７】
前記溝から前記ダムまで延在する段差部をさらに含む請求項２４に記載されたディスクドライブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスクドライブに係り、とりわけ記録媒体とのデータ授受用ヘッドスライダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウィンチェスター型および光学式ディスクドライブは、当業界ではよく知られている。それらのドライブには不撓性ディスクが使用され、複数の環状同心データトラックにデジタルデータを記録するための磁性媒体が塗膜されている。スピンドルモータに装着されたディスクは高速回転し、ディスク面が、流体（例えば空気）により支承された各々のディスク用ヘッドスライダの下方を通過する。スライダは読み書きヘッドを担持し、ディスク面へのデータ書込み、およびディスク面からのデータ読取りを実行する。
【０００３】
電子制御のもとアクセス機構により、ヘッドスライダは、ディスク面を横断するようにトラックからトラックへと移動する。アクセス機構は、各々のヘッドジンバル組立体毎にアクセスアームおよびサスペンションを有する。サスペンションは、ロードビームとジンバルとを含む。ロードビームは、スライダをディスク面方向に押付ける負荷を加える。ジンバルは、スライダとロードビームの間に配置されるか、あるいはロードビームと一体形成されて弾発性結合部を構成し、ヘッドスライダがディスクのトポグラフィに追従する際の横揺れおよび縦揺れを可能にする。
【０００４】
ヘッドスライダは支承表面を有し、ディスク面に対向している。ディスクは回転する時、ヘッドスライダ下方を支承表面に沿い、ディスクの接線にほぼ並行方向に空気を導入する。空気は、支承表面下方を通過する時に流路に沿って圧縮され、ディスクと支承表面間の圧力が上昇し、発生した流体力学的浮上力が前記負荷と平衡し、ヘッドスライダは浮上し、ディスク面上またはそれに近接して飛行する。
【０００５】
ヘッドスライダの一つのタイプは自動装填式浮上型ヘッドスライダで、前縁段差部（またはテーパー部）、一対の隆起したレール、ダム（凹陥部用堰）、および第一凹陥部を含む。前縁段差部は、典型的には書込ヘッドと反対側のスライダ端部にラッピングまたはエッチングにより形成される。前縁段差部を配置することにより、空気は、ディスク面によってヘッドスライダ下方に導入される時に加圧される。さらに、前縁段差部は、段差（またはテーパー）の傾斜角を大きくし、圧縮比を高めるようにした前縁段差部端の近くにヘッドスライダ下方の圧力分布の第一のピークを発生させ、磁気的書込みを効率的に行うために浮上量が小さくされている書込端または後縁の近くに第二のピークを発生させるように作用する。このようにピーク圧力を二点に分散することにより、比較的高いピッチ剛性を有する支承部を形成することが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
書込ヘッド部におけるディスク面からのヘッドスライダの浮上量は、ディスクドライブの性能に影響を与える重要なパラメーターである。平均浮上量が低減され続けるなかで、浮上量の変動および製品間のばらつきに起因する浮上量の喪失が、読み書きエラーを発生させるヘッド接触および変調損失の原因となる傾向が高まっている。さらに、ヘッドスライダの形状（すなわち、クラウン方向および横方向湾曲）のばらつきが、ヘッドとディスクの不要な接触を引起こす。さらに、パーティクル（粒状物）もヘッドスライダとディスク面間に侵入すると損傷を与える可能性がある。
【０００７】
それゆえ、浮上量の変動、製品間のばらつき、および不要なパーティクルの侵入に対する感度が最小に押えられた改良型ヘッドスライダが求められている。本発明の実施例ではこれらの課題と関連する問題に着目し、先行技術より優れるヘッドスライダを提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施例は、ディスク対向面と支承平面とを備えたスライダ本体を有するヘッドスライダに関する。支承平面より低い面上にある第一凹陥部と第二凹陥部とが、ディスク対向面に設置される。ディスク対向面に配置されるレールは、第一凹陥部に近接する第一側縁と第二凹陥部に近接する第二側縁とを含む溝を有する。溝は、第一凹陥部には連通しないが、第二凹陥部には開かれている。
【０００９】
本発明の別の実施例は、スライダ本体を有するヘッドスライダに関する。スライダ本体は、前縁、後縁、側縁、および支承平面を備えたディスク対向面を含む。ディスク対向面にダムが設置される。ディスク対向面に、さらに、溝を有するレールが配置される。溝は、溝底面、後部壁、第一側壁、および第二側壁により形成される。第一側壁は後部壁からダムまで延在する。第二側壁は後部壁からダムに向って延在して後部壁とダムとの間に開放部を形成する。
【００１０】
さらに別の実施例は、ハウジング、ハウジング内で主軸の周りを回転可能なディスク、ハウジング内に装着されるアクチュエータ、およびアクチュエータによりディスク上に支持されるヘッドスライダを備えるディスクドライブを含む。ヘッドスライダは、ディスク対向面と支承平面とを有するスライダ本体を含む。第一凹陥部および第二凹陥部が、ディスク対向面に設置され、それらは支承平面より低い面上にある。また、ヘッドスライダはディスク対向面に溝を備えたレールを含み、溝は第一凹陥部に近接する第一側縁と第二凹陥部に近接する第二側縁とを含む。溝は、第一凹陥部には連通しないが、第二凹陥部には開かれている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明が有用なディスクドライブ１００の斜視図である。ディスクドライブ１００は、たとえば従来型の磁気ディスクドライブ、光磁気ディスクドライブ、または光ディスクドライブでよい。ディスクドライブ１００は、基台と上部カバー（図示せず）とを備えたハウジング１０２を含む。ディスクドライブ１００は、さらに、ディスクパック１０６を含み、ディスク押え１０８でスピンドルモータ（図示せず）に装着されている。ディスクパック１０６は、複数のディスク１０７を含み、主軸１０９の周りを同時回転するように装着される。ディスクドライブ１００には各々のディスク面に対応するスライダが装着され、ディスク面とのデータ授受用読み書きヘッドを担持する。
【００１２】
図１の例では、ヘッドスライダ１１０はサスペンション１１２に保持され、サスペンション１１２はアクチュエータ１１６のアクセスアーム１１４に装着される。図１に示すアクチュエータ１１６は、コイル揺動形アクチュエータとして知られているタイプで、全体を符号１１８で示すボイスコイルモータを含む。ボイスコイルモータ１１８は、ヘッドスライダ１１０が接続されたアクチュエータ１１６を枢軸１２０を中心にして回動させ、ヘッドスライダ１１０を内周１２４と外周１２６間の経路１２２に沿った所望のデータトラックに位置決めする。ボイスコイルモータ１１８の作動は、内部回路１３０によって制御される。リニアアクチュエータのような他のタイプのアクチュエータを使用することも可能である。
【００１３】
以下でさらに詳しく説明するが、ヘッドスライダ１１０は、流体（たとえば空気）による支承部を有することにより、浮上量の変動、スライダ形状のばらつき、およびディスク面上のパーティクルがもたらす悪影響を低減することができる。とりわけ、支承部には第一凹陥部には連通しないが、第二凹陥部には開かれている溝があり、ヘッドスライダが種々の高さにおいて安定した飛行特性を維持することを可能にする。さらに、ヘッドスライダに設置されたレールは、製品間のばらつきに起因するスライダ形状の変動の影響、ならびにヘッドスライダとディスクとの間に侵入するパーティクルの量を最低限に抑えるように設計されている。
【００１４】
図２は、図１のヘッドスライダ１１０の底部平面図で、本発明の一実施例によるディスク１０７面側から見ている。図３は、ディスク１０７面側から見たヘッドスライダ１１０の斜視図である。ヘッドスライダ１１０は、支承表面２０２を含むディスク対向面２００を有する。支承表面２０２は、ディスク対向面２００にとっての基準面となり、他の面は、そこより低い（または高い）と判断される。ディスク対向面２００は、前縁２０４、後縁２０６、および側縁２０８，２１０を含み、中心線２１２が図２には表示してある。ダム２１４は、側縁２０８，２１０間を、全体としては前縁２０４に沿って延在する。一実施例では、ダム２１４の上面は、全体として支承表面２０２と同一平面にあり、支承表面２０２の一部を形成する。ダム２１４は、前縁２１６と後縁２１８とを有する。
【００１５】
前縁段差部２２０は、ダム２１４の前縁２１６に沿って形成される。前縁段差部２２０は、支承表面２０２からほぼ一定の深さ、例えば約０．１〜０．３ミクロンの範囲で低くなっており、支承表面に高圧部を発生させる。異なる段差を採用することも可能である。別の実施例では、前縁段差部２２０は、前縁２０４からダム２１４の前縁２１６にかけて支承平面に対する深さが漸減するように形成されている。前縁段差部２２０は、イオンミリング、反応性イオンエッチング、またはラッピングなど種々の方法で形成することができる。一実施例では、単一のマスクで異なる深さのエッチングを可能にするグレースケールフォトマスクを使用したイオンミリングにより前縁段差部２２０は形成される。前縁段差部２２０は、ディスク面が空気をヘッドスライダ下方に導入する時に加圧する機能を有する。さらに前縁段差部２２０は、前縁２０４の近くに第一のピークが発生するようなヘッドスライダ１１０下方の圧力分布を生成させるという機能も有する。前縁段差部２２０には突起２２２，２２４，２２６があり、パーティクルがディスクとディスク対向面２２０との間に侵入するのを防止する。
【００１６】
レール２３０は側縁２０８に沿って配置され、レール２３２は側縁２１０に沿って配置される。レール２３０は、外側壁２３３、内側壁２３４、および後部壁２３５を含む。同様に、レール２３２は、内側壁２３６、外側壁２３７、および後部壁２３８を含む。内側壁２３４は、後部壁２３５からダム２１４まで延在するが、外側壁２３３は、後部壁２３５からダム２１４に向って延在して後部壁２３５とダム２１４との間に開放部２３９を形成する。内側壁２３６は、後部壁２３８からダム２１４まで延在するが、外側壁２３７は、後部壁２３８からダム２１４に向って延在して後部壁２３８とダム２１４との間に開放部２４１を形成する。
【００１７】
ヘッドスライダ１１０は、クラウン方向および横方向湾曲を有するように形成される。形成時の曲率変動が、スライダ形状のばらつきをもたらす。レール２３０，２３２の面積を低減するとともに、レール２３０，２３２を後縁２０６から離すことにより、ヘッドスライダ１１０の形状変動が浮上量の安定化に及ぼす影響を最低限に抑えることができる。とりわけ、形状変動の影響は後縁２０６の近くで低減される。
【００１８】
第一凹陥部２４０は、ダム２１４とレール２３０，２３２とで画定される。第一凹陥部２４０は、凹陥部底面２４２を有する段差面で、前縁段差部２２０の深さより大きい凹陥部深さだけ支承表面２０２より低くなっている。一実施例では、凹陥部底面２４２の深さは約１ミクロン〜３ミクロンの範囲にある。異なる深さを採用することも可能である。
【００１９】
第一凹陥部２４０は、前縁２０４から後縁２０６への空気の流れに対してダム２１４の後方にある。レール２３０，２３２は小さい面積しか占めないが、第一凹陥部２４９を画定し、側縁２０８，２１０に沿う大気圧部から第一凹陥部２４０を隔離している。
【００２０】
ヘッドスライダ１１０は、後縁２０６に沿って配置される孤立した中央パッド２５０をさらに含む。中央パッド２５０は、中心線２１２に沿って配置される。別の実施例では、中央パッド２５０は、中心線２１２に対してスキュー、あるいは偏角することもできる。
【００２１】
中央パッド２５０は、中央側部段差面２６０、支承表面２６２、および溝（または堀）２６４を有する。支承表面２６２は、ダム２１４の上面および支承表面２０２と概ね同一平面にある。中央側部段差面２６０は、支承表面２６２と概ね平行な平面で、例えば０．１ミクロン〜０．３ミクロンの段差ほど低くなっており、第一凹陥部２４０から流出する空気流により支承表面２６２に高圧部を発生する。中央パッド２５０は、後縁２０６に沿う読み書きヘッド２６６を担持する。別の実施例では、読み書きヘッド２６６をヘッドスライダ１１０の異なる位置に配置することもできる。しかし、後縁２０６またはそれに近接して配置された場合に、読み書きヘッド２６６は、ヘッドスライダ１１０が正のピッチ角を持って飛行する際にディスク１０７（図１参照）の表面に最接近した位置に配置されていることになる。正のピッチ角の場合に、後縁２０６は、前縁２０４よりディスク１０７の表面にさらに接近するからである。
【００２２】
同様に、レール２３０，２３２は、各々支承表面２７０，２７２と溝２７４，２７６とを含む。支承表面２７０，２７２は、ダム２１４の上面および支承表面２０２と概ね同一平面にある。
【００２３】
溝２６４，２７４，２７６は、各々溝先端（または導入部）２８０、溝後端（または流出部）２８２、側壁２８４、および溝底面２８６を有する。溝２６４，２７４，２７６は、たとえばイオンミリング、化学腐食法、または反応性イオンエッチングのようなフォトリソグラフィーで形成される。あるいは、レール２３０，２３２および中央パッド２０５とともにＣＶＤなどのアディティブ法で、溝２６４，２７４，２７６を形成することもできる。
【００２４】
図２に示す一実施例では、溝底面２８６は、前記段差深さほど支承平面より低くなっている。別の実施例では、溝底面２８６は、支承表面２６２，２７０，２７２と等高になっていて、たとえば、溝底面２８６の深さが溝先端２８０から溝後端２８２にかけての全長または部分的に支承表面２６２，２７０，２７２に対して漸減するよう、テーパーを切る、あるいは断面形状にすることができる。断面形状を直線的、曲線的、またはこれらの複合形にすることができる。また、複数の段差面を取入れて溝底面２８６をテーパーに近似させることもできる。その他のテーパーを有する断面形状も採用できる。
【００２５】
溝２６４の溝先端２８０は、第一凹陥部２４０からの流体の流れに開かれている。溝２７４，２７６の溝先端２８０は、開放部２３９，２４１を通過する大気圧の流体の流れに開かれている。溝後端２８２は流体の流れに閉ざされている。流体の流れは、溝２６４，２７４，２７６に一旦流入すると、側壁２８４および溝後端２８２によりほぼ拘束され、溝後端２８２を乗越えるように強制され、もって流れを細くする収斂溝を形成している。このため、溝後端２８２に隣接する支承表面２６２，２７０，２７２上に不連続で分散した高圧部が生成される。一実施例では、これらの不連続な領域は溝後端２８２の後方に支承平面を有し、側壁２８４の両壁間で計測すると少なくとも溝幅と同じ長さを有する。この結果、分散した高圧部が作用するための十分な大きさの面積が得られる。溝２６４，２７４，２７６は、中心線２１２方向に対して対称でもよいし、あるいは非対称にし、スライダが持つあるスキュー角に対して特別な高圧部が生成されるようにしてもよい。側壁２８４の両壁は、互いに平行でも、そうでなくてもよい。
【００２６】
支承表面２６２，２７０，２７２に沿って生成され、かつ分散された高圧部は、ヘッドスライダ１１０のピッチングおよびローリング剛性を高めるように作用するとともに、ヘッドスライダ振動時のエネルギー発散機構としても作用し、ヘッドスライダの固有共振振動数での前縁のピッチング振動およびローリング振動を緩和する。前縁のピッチング振動とは、ヘッドスライダ前縁に近接した回転軸周りの回動を意味し、後縁のピッチング振動とは、ヘッドスライダ後縁に近接した回転軸周りの回動を意味する。ローリング振動とは、ヘッドスライダの中心線２１２周りの回動を意味する。
【００２７】
第二凹陥部２９０は側縁２０８に沿って配置され、第三凹陥部２９２は側縁２１０に沿って配置される。レール２３０，２３２は、それぞれの溝２７４，２７６が全体として第二凹陥部２９０および第三凹陥部２９２と連通するように設計されている。このため、より多くの空気流が溝２７４，２７６に流入し、支承表面２７０，２７２にはより高い圧力が生成される。内側壁２３４，２４６がダム２１４まで延在しているので、レール２３０，２３２が溝２７４，２７６を第一凹陥部２４０から隔離することになる。
【００２８】
図２に示すヘッドスライダ１１０は、内周１２４と外周１２６との間における種々のスキュー角において、不要なパーティクルがヘッドスライダ１１０とディスク１０７との間に侵入するのを防止するように設計されていることを理解されよう。パーティクルの第一凹陥部２４０への侵入を防止しているのはその大部分が、各々の後部壁２３５，２３８からダム２１４へと延在し、第二凹陥部２９０と第三凹陥部２９２とを第一凹陥部２４０から隔離している内側壁２３４，２３６の効果である。図４と図５は、ヘッドスライダ１１０と同様のレールを有するヘッドスライダ１１０のそれぞれ内周１２４と外周１２６における質量流量を図示したものである。領域２９８においては、パーティクルが側縁２０８，２１０からヘッドスライダ１１０とディスク１０７との間に侵入することが困難であることを示している。
【００２９】
当業者にはよく理解できるとおり、本発明によって別の形態のヘッドスライダを提供することができる。図６〜図１４は、本発明による別の実施例を、平面図を用いて示している。
【００３０】
図６は、ディスク対向面６０１と支承表面６０２とを有するヘッドスライダ６００を示す。ヘッドスライダ６００は、前縁６０４、後縁６０６、および側縁６０８，６１０を有する。ディスク対向面６０１は、ダム６１４、レール６１６，６１８、および中央パッド６２０を含む。第一凹陥部６２２は、ダム６１４後方で、レール６１６，６１８の間に配置される。第二凹陥部６２４は側縁６０８に沿って延在し、第三凹陥部６２６は側縁６１０に沿って延在する。
【００３１】
レール６１６は、溝６３０，６３２を含む。溝６３０は第二凹陥部６２４に隣接して配置され、溝６３２は第一凹陥部６２２に隣接して配置される。レール６１６は、さらに外側壁６３４、内側壁６３６、中央壁６３８、および後部壁６４０を含む。外側壁６３４は、後部壁６４０からダム６１４に向って延在して第二凹陥部６２４に開放部６４２を形成する。内側壁６３６は、後部壁６４０からダム６１４に向って延在して第一凹陥部６２２に開放部６４４を形成する。中央壁６３８は、後部壁６４０からダム６１４まで延在する。このため、溝６３０は、第一凹陥部６２２には連通しないが、第二凹陥部６２４には開かれている。溝６３２は、第一凹陥部６２２には開かれているが、第二凹陥部６２４には連通しない。
【００３２】
レール６１８もレール６１６と同様に構成され、溝６５０，６５２、外側壁６５４、内側壁６５６、中央壁６５８、および後部壁６６０を含む。外側壁６５４は、後部壁６６０からダム６１４に向って延在して第三凹陥部６２６に開放部６６２を形成する。内側壁６５６は、後部壁６６０からダム６１４に向って延在して第一凹陥部６２２に開放部６６４を形成する。中央壁６５８は、後部壁６６０からダム６１４まで延在する。このため、溝６５０は、第一凹陥部６２２には連通しないが、第三凹陥部６２６には開かれている。溝６５２は、第一凹陥部６２２には開かれているが、第三凹陥部６２６には連通しない。
【００３３】
もし必要なら、ヘッドスライダ６００に角切欠面６７０，６７２を形成することもできる。角切欠面６７０，６７２は、支承表面６０２から約１ミクロン〜５ミクロンだけ低い段差面で、作動中にヘッドスライダ６００がディスクと接触することを防止する役目をする。
【００３４】
図７は、図６のヘッドスライダ６００に類似したヘッドスライダ７００を示す。ヘッドスライダ６００とヘッドスライダ７００との共通要素については、同じ符号を使用している。ヘッドスライダ７００は、さらに段差部７０２，７０４，７０６，７０８を含む。段差部７０２は、支承平面より低い段差面を有し、溝６３０からダム６１４まで延在する。その他の各々の段差部も同様に構成され、段差部７０４は溝６３２から、段差部７０６は溝６５０から、段差部７０８は溝６５２からそれぞれダム６１４まで延在する。
【００３５】
図８は、ディスク対向面８０１と支承表面８０２とを有するヘッドスライダ８００を示す。ヘッドスライダ８００は、前縁８０４、後縁８０６、および側縁８０８，８１０を有する。ディスク対向面８０１は、ダム８１４、レール８１６，８１８、および中央パッド８２０を含む。第一凹陥部８２２は、ダム８１４後方で、レール８１６，８１８の間に配置される。中央パッド８２０がダム８１４まで延在して第一凹陥部８２２を二分割する。第二凹陥部８２４は側縁８０８に沿って延在し、第三凹陥部８２６は側縁８１０に沿って延在する。
【００３６】
レール８１６は、溝８３０を含む。レール８１６は、さらに外側壁８３４、内側壁８３６、および後部壁８３８を含む。外側壁８３４は、後部壁８３８からダム８１４まで延在する。内側壁８３６は、後部壁８３８からダム８１４に向って延在して第一凹陥部８２２に開放部８４２を形成する。このため、溝８３０は、第一凹陥部８２２には開かれているが、第二凹陥部８２４には連通しない。
【００３７】
レール８１８もレール８１６と同様に構成され、溝８５０、外側壁８５２、内側壁８５４、および後部壁８５６を含む。外側壁８５２は、後部壁８５６からダム８１４まで延在する。内側壁８５４は、後部壁８５６からダム８１４に向って延在して第一凹陥部８２２に開放部８５８を形成する。このため、溝８５０は、第一凹陥部８２２には開かれているが、第三凹陥部８２６には連通しない。
【００３８】
図９は、ディスク対向面９０１と支承表面９０２とを有するヘッドスライダ９００を示す。ヘッドスライダ９００は、前縁９０４、後縁９０６、および側縁９０８，９１０を有する。ディスク対向面９０１は、ダム９１４、レール９１６，９１８、および中央パッド９２０を含む。第一凹陥部９２２は、ダム９１４後方で、レール９１６，９１８の間に配置される。第二凹陥部９２４は側縁９０８に沿って延在し、第三凹陥部９２６は側縁９１０に沿って延在する。
【００３９】
レール９１６は、溝９３０，９３２を含む。溝９３０は、第二凹陥部９２４に隣接して配置され、溝９３２は第一凹陥部９２２に隣接して配置される。レール９１６は、さらに外側壁９３４、内側壁９３６、中央壁９３８、および後部壁９４０を含む。外側壁９３４は、後部壁９４０からダム９１４に向って延在して第二凹陥部９２４に開放部９４２を形成する。内側壁９３６は、後部壁９４０からダム９１４に向って延在して第一凹陥部９２２に開放部９４４を形成する。中央壁９３８は、後部壁９４０からダム９１４まで延在する。このため、溝９３０は、第一凹陥部９２２には連通しないが、第二凹陥部９２４には開かれている。溝９３２は、第一凹陥部９２２には開かれているが、第二凹陥部９２４には連通しない。
【００４０】
レール９１８もレール９１６と同様に構成され、溝９５０，９５２、外側壁９５４、内側壁９５６、中央壁９５８、および後部壁９６０を含む。外側壁９５４は、後部壁９６０からダム９１４に向って延在して第三凹陥部９２６に開放部９６２を形成する。内側壁９５６は、後部壁９６０からダム９１４に向って延在して第一凹陥部９２２に開放部９６４を形成する。中央壁９５８は、後部壁９４０からダム９１４まで延在する。このため、溝９５０は、第一凹陥部９２２には連通しないが、第三凹陥部９２６には開かれている。溝９５２は、第一凹陥部９２２には開かれているが、第三凹陥部９２６には連通しない。
【００４１】
段差部９６６，９６８は、それぞれ溝９３２，９５２と同一平面で、かつ溝９３２，９５２の流体の流れ方向前方に配置される。段差部９６６，９６８は、溝９３２，９５２からダム９１４まで延在する。第二凹陥部９２４と第三凹陥部９２６は、凹陥部深さを保って溝９５０，９５２それぞれの溝先端まで延在する。
【００４２】
図１０は、ディスク対向面１００１と支承表面１００２とを有するヘッドスライダ１０００を示す。ヘッドスライダ１０００は、前縁１００４、後縁１００６、および側縁１００８，１０１０を有する。ディスク対向面１００１は、ダム１０１４、レール１０１６，１０１８、および中央パッド１０２０を含む。第一凹陥部１０２２は、ダム１０１４後方で、レール１０１６，１０１８の間に配置される。第二凹陥部１０２４は側縁１００８に沿って延在し、第三凹陥部１０２６は側縁１０１０に沿って延在する。
【００４３】
レール１０１６は、溝１０３０を含む。レール１０１６は、さらに外側壁１０３４、内側壁１０３６、および後部壁１０４０を含む。外側壁１０３４は、後部壁１０４０からダム１０１４に向って延在して第二凹陥部１０２４に開放部１０４２を形成する。内側壁１０３６は、後部壁１０４０からダム１０１４まで延在する。このため、溝１０３０は、第一凹陥部１０２２には連通しないが、第二凹陥部１０２４には開かれている。レール１０１６は、さらに内側壁１０３６と第一凹陥部１０２２に隣接して配置される段差部１０４４を含む。一実施例では、段差部１０４４は、内側壁１０３６より０．１ミクロン〜０．５ミクロンだけ低くなっている。
【００４４】
レール１０１８もレール１０１６と同様に構成され、溝１０５０、外側壁１０５２、内側壁１０５４、および後部壁１０５６を含む。外側壁１０５２は、後部壁１０５６からダム１０１４に向って延在して第三凹陥部１０２６に開放部１０５８を形成する。内側壁１０５４は、後部壁１０６０からダム１０１４まで延在する。このため、溝１０５０は、第一凹陥部１０２２には連通しないが、第三凹陥部１０２６には開かれている。さらに、内側壁１０５４に沿う段差部１０６０が、内側壁１０５４と第一凹陥部１０２２に隣接して配置される。一実施例では、段差部１０６０は、内側壁１０５４より０．１ミクロン〜０．５ミクロンだけ低くなっている。
【００４５】
図１１は、図１０のヘッドスライダ１０００に類似したヘッドスライダ１１００を示す。ヘッドスライダ１０００とヘッドスライダ１１００との共通要素については、同じ符号を使用している。ヘッドスライダ１１００は、さらにダム１０１４に沿い、かつダム１０１４と第一凹陥部１０２２に隣接する段差部１１０２を含む。さらに、ダム１０１４後方には中央レール１１０４があり、後縁１００６に向って延在する。中央レール１１０４は、第一凹陥部１０２２を凹陥部１１０６、１１０８に分割する。
【００４６】
図１２は、ディスク対向面１２０１と支承表面１２０２とを有するヘッドスライダ１２００を示す。ヘッドスライダ１２００は、前縁１２０４、後縁１２０６、および側縁１２０８，１２１０を有する。ディスク対向面１２０１は、ダム１２１４、レール１２１６，１２１８、および中央パッド１２２０を含む。第一凹陥部１２２２は、ダム１２１４後方で、レール１２１６，１２１８の間に配置される。第二凹陥部１２２４は側縁１２０８に沿って延在し、第三凹陥部１２２６は側縁１２１０に沿って延在する。
【００４７】
レール１２１６は、溝１２３０を含む。レール１２１６は、さらに前方外壁１２３２、外側壁１２３４、内側壁１２３６、および後部壁１２４０を含む。前方外壁１２３２は、ダム１２１４から後部壁１２４０に向って延在する。外側壁１２３４は、後部壁１２４０からダム１２１４に向って延在する。前方外壁１２３２と外側壁１２３４とが一緒になって、第二凹陥部１２２４に開放部１２４２を形成する。内側壁１２３６は、後部壁１２４０からダム１２１４まで延在する。このため、溝１２３０は、第一凹陥部１２２２には連通しないが、第二凹陥部１２２４には開かれている。
【００４８】
レール１２１８もレール１２１６と同様に構成され、溝１２５０、前方外壁１２５２、外側壁１２５４、内側壁１２５６、および後部壁１２５８を含む。前方外壁１２５２と外側壁１２５４とが一緒になって、第三凹陥部１２２６に開放部１２６０を形成する。内側壁１２５６は、後部壁１２５８からダム１２１４まで延在する。このため、溝１２５０は、第一凹陥部１２２２には連通しないが、第三凹陥部１２２６には開かれている。
【００４９】
図１３は、ディスク対向面１３０１と支承表面１３０２とを有するヘッドスライダ１３００を示す。ヘッドスライダ１３００は、前縁１３０４、後縁１３０６、および側縁１３０８，１３１０を有する。ディスク対向面１３０１は、ダム１３１４、レール１３１６，１３１８、および中央パッド１３２０を含む。第一凹陥部１３２２は、ダム１３１４後方で、レール１３１６，１３１８の間に配置される。第二凹陥部１３２４は側縁１３０８に沿って延在し、第三凹陥部１３２６は側縁１３１０に沿って延在する。
【００５０】
レール１３１６は、溝１３３０を含む。レール１３１６は、さらに外側壁１３３４、内側壁１３３６、および後部壁１３４０を含む。外側壁１３３４は、後部壁１３４０からダム１３１４に向って延在して第二凹陥部１３２４に開放部１３４２を形成する。内側壁１３３６は、後部壁１３４０からダム１３１４まで延在する。内側壁１３３６は、壁前部１３４４、屈折部１３４６、および壁後部１３４８を含む。屈折部１３４６は、側縁１３０８に対して傾斜している。溝１３３０は、内側壁１３３６により第一凹陥部１３２２からは隔離され、第二凹陥部１３２４には開かれている。
【００５１】
レール１３１８もレール１３１６と同様に構成され、溝１３５０、外側壁１３５２、内側壁１３５４、および後部壁１３５６を含む。外側壁１３５２は、後部壁１３５６からダム１３１４に向って延在して第三凹陥部１３２６に開放部１３５８を形成する。内側壁１３５４は、後部壁１３５６からダム１３１４まで延在する。内側壁１３５４は、壁前部１３６０、屈折部１３６２、および壁後部１３６４を含む。屈折部１３６２は、側縁１３１０に対して傾斜している。溝１３５０は、内側壁１３５２により第一凹陥部１３２２からは隔離され、第三凹陥部１３２６には開かれている。
【００５２】
図１４は、図１３のヘッドスライダ１３００に類似したヘッドスライダ１４００を示す。ヘッドスライダ１３００とヘッドスライダ１４００との共通要素については、同じ符号を使用している。ヘッドスライダ１４００は、内側壁１４１０，１４１２を含み、これら内側壁は、第一凹陥部（亞大気圧凹所）１３２２から溝１３３０，１３５０をそれぞれ分離する。内側壁１４１０は、壁前部１４１４、屈折部１４１６、および壁後部１４１８を含む。屈折部１４１６は、図１３に示す屈折部１３４６同様側縁１３０８に対して傾斜しているが、それより長い。内側壁１４１２は、壁前部１４２０、屈折部１４２２、および壁後部１４２４を含む。屈折部１４２２も同様に、図１３に示す屈折部１３６２より長い。
【００５３】
要約すると、ヘッドスライダ１１０，６００，７００，８００，９００，１０００，１２００，１３００，１４００は、ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１と支承平面とを有する。第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２と第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６とが、ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１に配置され、支承平面より低くなっている。ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１に配置されるレール２３０，２３２，６１６，６１８，８１６，８１８，９１６，９１８，１０１６，１０１８，１２１６，１２１８，１３１６，１３１８には溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０があり、第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２に近接する第一側縁と第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６に近接する第二側縁とを含む。溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０は、第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２には連通しないが、第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６には開かれている。
【００５４】
本発明の別の実施例は、スライダ本体を有するヘッドスライダ１１０，６００，７００，８００，９００，１０００，１２００，１３００，１４００に関する。スライダ本体は、前縁２０４，６０４，８０４，９０４，１００４，１２０４，１３０４、後縁２０６，６０６，８０６，９０６，１００６，１２０６，１３０６、側縁２０８，２１０，６０８，６１０，８０８，８１０，９０８，９１０，１００８，１０１０，１２０８，１２１０，１３０８，１３１０、および支承平面を備えるディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１を含む。ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１にダム２１４，６１４，８１４，９１４，１０１４，１２１４，１３１４が設置される。ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１に、さらに、溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０を有するレール２３０，２３２，６１６，６１８，８１６，８１８，９１６，９１８，１０１６，１０１８，１２１６，１２１８，１３１６，１３１８が配置される。溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０は、溝底面２８６、後部壁２３５，２３８，６４０，６６０，８３８，８５６，９４０，９６０，１０４０，１０５６，１２４０，１２５８，１３４０，１３５６、第一側壁２３４，２３６，６３８，６５８，８３４，８５２，９３８，９５８，１０３６，１０５４，１２３６，１２５６，１３３６，１３５４、および第二側壁２３３，２３７，６３４，６３６，６５４，６５６，８３６，８５４，９３４，９３６，９５４，９５６，１０３４，１０５２，１２３４，１２５４，１３３４，１３５２により形成される。第一側壁２３４，２３６，６３８，６５８，８３４，８５２，９３８，９５８，１０３６，１０５４，１２３６，１２５６，１３３６，１３５４は後部壁２３５，２３８，６４０，６６０，８３８，８５６，９４０，９６０，１０４０，１０５６，１２４０，１２５８，１３４０，１３５８からダム２１４，６１４，８１４，９１４，１０１４，１２１４，１３１４まで延在する。第二側壁２３３，２３７，６３４，６３６，６５４，６５６，８３６，８５４，９３４，９３６，９５４，９５６，１０３４，１０５２，１２３４，１２５４，１３３４，１３５２は後部壁２３５，２３８，６４０，６６０，８３８，８５６，９４０，９６０，１０４０，１０５６，１２４０，１２５８，１３４０，１３５６からダム２１４，６１４，８１４，９１４，１０１４，１２１４，１３１４に向って延在して後部壁２３５，２３８，６４０，６６０，８３８，８５６，９４０，９６０，１０４０，１０５６，１２４０，１２５８，１３４０，１３５８とダム２１４，６１４，８１４，９１４，１０１４，１２１４，１３１４との間に開放部を形成する。
【００５５】
さらに別の実施例は、ハウジング１０２、ハウジング１０２内で主軸１０９の周りを回転可能なディスク１０７、ハウジング１０２内に装着されるアクチュエータ１１６、およびアクチュエータ１１６によりディスク１０７上に支持されるヘッドスライダ１１０，６００，７００，８００，９００，１０００，１２００，１３００，１４００を備えるディスクドライブ１００を含む。ヘッドスライダ１１０，６００，７００，８００，９００，１０００，１２００，１３００，１４００は、ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１と支承平面とを有するスライダ本体を含む。第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２および第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６が、ディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１に設置され、それらは支承平面より低い面上にある。また、ヘッドスライダ１１０，６００，７００，８００，９００，１０００，１２００，１３００，１４００はディスク対向面２００，６０１，８０１，９０１，１００１，１２０１，１３０１に溝を備えたレール２３０，２３２，６１６，６１８，８１６，８１８，９１６，９１８，１０１６，１０１８，１２１６，１２１８，１３１６，１３１８を含み、溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０は第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２に近接する第一側縁と第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６に近接する第二側縁とを含む。溝２７４，２７６，６３０，６３２，６５０，６５２，８３０，８５０，９３０，９３２，９５０，９５２，１０３０，１０５０，１２３０，１２５０，１３３０，１３５０は、第一凹陥部２４０，６２２，８２２，９２２，１０２２，１２２２，１３２２には連通しないが、第二凹陥部２９０，２９２，６２４，６２６，８２４，８２６，９２４，９２６，１０２４，１２２４，１２２６，１３２４，１３２６には開かれている。
【００５６】
本発明の種々の実施例が有する数々の特徴と優位点を、これら種々の実施例の構造と機能の詳細とともに以上説明したが、本開示は例示に過ぎず、前記クレームが記述されている用語の広い一般的な意味においても本発明の原理から逸脱することなく、とりわけ構成配置などの細部について変更を加えうる、と了解されるものとする。たとえば、特定の要素は、ヘッドスライダに適用する際の特定の要請により変化するものの、本質的には同様の機能を有し、本発明の範囲および精神を逸脱するものではない。さらに、ここで説明した選好実施例はハードディスクドライブ装置用のヘッドスライダに関するものであるが、本発明の教えが、本発明の範囲と精神から逸脱することなくフロッピーディスクドライブのような他の記録装置に適用可能であることは当業者には理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が有用なディスクドライブの斜視図である。
【図２】本発明の一実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図３】図２に示したヘッドスライダの斜視図である。
【図４】ディスク内周に沿って飛行中のヘッドスライダ下方における質量流量図である。
【図５】ディスク外周に沿って飛行中のヘッドスライダ下方における質量流量図である。
【図６】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図７】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図８】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図９】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１０】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１１】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１２】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１３】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１４】本発明の別の実施例であるヘッドスライダの平面図である。
【図１】
2004055127.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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