(57)【要約】【課題】光偏向器の小電力化を図る。【解決手段】外枠部１１ａ内に一対の梁部１１ｂ，１１ｃとミラー部１１ｄとを形成したミラー体１１をミラー体支持台１２上に取り付けた際、ミラー体支持台１２に形成した左右の傾斜面１２ａ，１２ｂに沿って固定電極１３Ａ，１３Ｂを取り付け、且つ、ミラー体１１内のミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとの間のギャップを絶縁層１４を介して小さく設定することで、非常に小さな電圧でミラー体１１内のミラー部１１ｄを傾斜した固定電極１３Ａ又は傾斜した固定電極１３Ｂに沿って吸引したままの状態を保持することができ、第１実施例の光偏向器１０Ａの小電力化を図ることができる。【選択図】　　　図１
2004133249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外枠部内から一対の梁部を互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、前記一対の梁部間にミラー部を該一対の梁部を中心に揺動可能に形成したミラー体と、
前記ミラー体内に形成した一対の梁部間の裏面と対応した位置に該一対の梁部間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側に下方に向かう傾斜面を形成し、且つ、他方側に下方に向かう傾斜面又は前記頂点と同じ高さの平坦面を形成し、更に、前記ミラー体の外枠部の裏面を支持するためのミラー体支持面を前記頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置に形成したミラー体支持台と、
前記ミラー体支持台に形成した一方側の前記傾斜面上と、他方側の前記傾斜面上又は前記平坦面上とにそれぞれ取り付けた一対の固定電極と、
前記ミラー体内のミラー部と前記一対の固定電極との短絡を防止するために該一対の固定電極上に膜付けした絶縁層と、
前記ミラー体内のミラー部を前記傾斜面上に取り付けた前記固定電極に沿って傾動させるミラー傾動手段と、
前記ミラー体内のミラー部を前記絶縁層を介して前記固定電極側に吸引した状態で保持させるミラー吸引保持手段とを備えたことを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
請求項１記載の光偏向器を適用し、且つ、それぞれ波長が異なるレーザー光を前記光偏向器に向けて選択的に出射するために少なくとも２種類以上の半導体レーザーを備えた光ピックアップであって、
前記光偏向器の前記ミラー体内に形成した前記一対の梁部と前記ミラー部とがベース台に対して４５°傾くように前記ミラー体支持台を前記ベース台に取り付けると共に、少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が４５°傾斜した前記ミラー部上で略交わるように各半導体レーザーを前記ベース台に対して平行で該ベース台上の所定の高さ位置に取り付けてなり、
少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が前記ミラー部で反射した後の各レーザー光の光軸が略一致するように前記ミラー体内のミラー部を揺動させることを特徴とする光偏向器を適用した光ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザー光などを偏向する光偏向器と、この光偏向器を適用して波長が異なる２種類以上のレーザー光を対物レンズ側に偏向できる光ピックアップとに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近の半導体プロセス技術と、最近のマイクロマシン技術とを利用して、シリコン基板を用いてマイクロミラーによる光偏向器が各種の機器に適用されている。この種の光偏向器は、レーザー光などを所望の方向に偏向できるため、レーザービームプリンタやバーコードリーダとか、光ディスクを記録及び／又は再生する光ピックアップなどへの応用が検討されている。
【０００３】
上記した光偏向器は、レーザー光などを所望の方向に偏向する際に、例えばＸ軸方向（又はＹ軸方向）のみ揺動させる１軸方向揺動型と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に揺動させる２軸方向揺動型とに大別できるが、本発明に係る光偏向器及びこの光偏向器を用いた光ピックアップ装置は１軸方向揺動型を適用しているために、以下、１軸方向揺動型について説明する。
【０００４】
ここで、１軸方向揺動型の光偏向器の従来例として、光偏向器のミラー体内に形成したミラー部を低電圧で駆動することができるものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−１８０４２８号公報（第３−第４頁、図２）
【０００６】
図７（ａ），（ｂ）は従来の光偏向器を説明するために示した平面図，断面図である。図７（ａ），（ｂ）に示した従来の光偏向器１００は、上記した特許文献１（特開平６−１８０４２８号公報）に開示されているものであり、ここでは特許文献１を参照して簡略に説明する。
【０００７】
図７（ａ），（ｂ）に示した如く、従来の光偏向器１００では、シリコン基板を用いて矩形状のミラー体１０１内の各部がエッチング加工により薄肉に一体的に形成されている。
【０００８】
即ち、ミラー体１０１内の外周部位に第１の静電吸引部１０１ａとこれと一体に第１の梁１０１ｂとが形成され、且つ、第１の静電吸引部１０１ａの内側に第２の静電吸引部１０１ｃとこれと一体に第２の梁１０１ｄとが形成され、更に、第２の静電吸引部１０１ｃの内側にミラー部１０１ｅとこれと一体にミラー部の梁１０１ｆとが形成されている。この際、ミラー体１０１内に形成した第１，第２の梁１０１ｂ，１０１ｄ及びミラー部の梁１０１ｆは一直線上に位置しているので、ミラー体１０１内に形成したミラー部１０１ｅは１軸方向揺動型に構成されている。
【０００９】
また、ミラー体１０１の下方には、ミラー体１０１を駆動するために複数の駆動電極１０３〜１０５を配置した電極基板１０２と、ミラー体１０１と電極基板１０２との間に介装されてミラー体１０１を支持する支持スペーサ１０６とが設けられている。
【００１０】
上記した電極基板１０２上には、ミラー体１０１の第１の静電吸引部１０１ａを駆動するための第１の静電吸引部駆動電極１０３と、第２の静電吸引部１０１ｃを駆動するための第２の静電吸引部駆動電極１０４と、ミラー部１０１ｅを駆動するためのミラー駆動電極１０５とが外周から内周に向かって左右対称に順に配置されている。
【００１１】
次に、上記のように１軸方向揺動型に構成した従来の光偏向器１００の動作を説明する。
【００１２】
まず、第１の静電吸引部駆動電極１０３に電圧を印加えると、ミラー体１０１内に形成した第１の静電吸引部１０１ａが吸引されて、第１の梁１０１ｂが変位することで第１の静電吸引部１０１ａが第１の静電吸引部駆動電極１０３に密着する。この時に、第２の静電吸引部１０１ｃ及びミラー部１０１ｅは、第１の静電吸引部１０１ａと同じだけ変位している。次に、第２の静電吸引部駆動電極１０４に電圧を印加えると、ミラー体１０１内に形成した第２の静電吸引部１０１ｃが吸引されて、第２の梁１０１ｄが変位することで第２の静電吸引部１０１ｃが第２の静電吸引部駆動電極１０４に密着する。この時に、ミラー部１０１ｅは、第２の静電吸引部１０１ｃと同じだけ変位している。更に、ミラー駆動電極１０５に電圧を印加えると、ミラー体１０１内に形成したミラー部１０１ｅが吸引されてミラー部の梁１０１ｆが変位することでミラー部１０１ｅがミラー駆動電極１０５に密着する。以上のように動作させることにより、ミラー部１０１ｅだけを単体で変位させるよりもミラー部１０１ｅを低電圧で駆動することができると開示されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように１軸方向揺動型に構成した従来の光偏向器１００によれば、ミラー体１０１内に形成した第１の静電吸引部１０１ａ，第２の静電吸引部１０１ｃ，ミラー部１０１ｅを順に変位させることにより、ミラー部１０１ｅだけを単体で変位させるよりもミラー部１０１ｅを低電圧で駆動することができるものの、ミラー体１０１内に第１，第２の梁１０１ｂ，１０１ｄ及びミラー部の梁１０１ｆを一直線上に形成しなければならず、しかも、ミラー体１０１内に形成した第１の静電吸引部１０１ａ，第２の静電吸引部１０１ｃ，ミラー部１０１ｅと対向して電極基板１０２上に第１の静電吸引部駆動電極１０３，第２の静電吸引部駆動電極１０４，ミラー駆動電極１０５を配置しなければならないために、従来の光偏向器１００の構造が複雑となるなどの問題が生じている。
【００１４】
そこで、ミラー体内に形成したミラー部だけを単体で変位させてもミラー部を低電圧で駆動することができる１軸方向揺動型の光偏向器が望まれていると共に、この光偏向器を適用して波長が異なる２種類以上のレーザー光を対物レンズ側に偏向できる光ピックアップも望まれている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、第１の発明は、外枠部内から一対の梁部を互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、前記一対の梁部間にミラー部を該一対の梁部を中心に揺動可能に形成したミラー体と、
前記ミラー体内に形成した一対の梁部間の裏面と対応した位置に該一対の梁部間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側に下方に向かう傾斜面を形成し、且つ、他方側に下方に向かう傾斜面又は前記頂点と同じ高さの平坦面を形成し、更に、前記ミラー体の外枠部の裏面を支持するためのミラー体支持面を前記頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置に形成したミラー体支持台と、
前記ミラー体支持台に形成した一方側の前記傾斜面上と、他方側の前記傾斜面上又は前記平坦面上とにそれぞれ取り付けた一対の固定電極と、
前記ミラー体内のミラー部と前記一対の固定電極との短絡を防止するために該一対の固定電極上に膜付けした絶縁層と、
前記ミラー体内のミラー部を前記傾斜面上に取り付けた前記固定電極に沿って傾動させるミラー傾動手段と、
前記ミラー体内のミラー部を前記絶縁層を介して前記固定電極側に吸引した状態で保持させるミラー吸引保持手段とを備えたことを特徴とする光偏向器である。
【００１６】
また、第２の発明は、上記した第１の発明の光偏向器を適用し、且つ、それぞれ波長が異なるレーザー光を前記光偏向器に向けて選択的に出射するために少なくとも２種類以上の半導体レーザーを備えた光ピックアップであって、
前記光偏向器の前記ミラー体内に形成した前記一対の梁部と前記ミラー部とがベース台に対して４５°傾くように前記ミラー体支持台を前記ベース台に取り付けると共に、少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が４５°傾斜した前記ミラー部上で略交わるように各半導体レーザーを前記ベース台に対して平行で該ベース台上の所定の高さ位置に取り付けてなり、
少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が前記ミラー部で反射した後の各レーザー光の光軸が略一致するように前記ミラー体内のミラー部を揺動させることを特徴とする光偏向器を適用した光ピックアップである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る光偏向器及びこの光偏向器を適用した光ピックアップの一実施例を図１乃至図６を参照して詳細に説明する。
【００１８】
＜第１実施例の光偏向器＞
図１は本発明に係る第１実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【００１９】
図１（ａ）に示した如く、本発明に係る第１実施例の光偏向器１０Ａでは、ミラー体１１が薄い厚みのシリコンなどの材料を用いて形成されている。
【００２０】
このミラー体１１は、外枠部１１ａ内に一対の梁部１１ｂ，１１ｃと、この一対の梁部１１ｂ，１１ｃに揺動可能に支持されたミラー部１１ｄとが一体的に形成されている。
【００２１】
具体的には、ミラー体１１は、外枠部１１ａ内で長手方向の中央部位に一対の梁部１１ｂ，１１ｃがそれぞれ内側に向かって幅狭く捩じりバネ性を持って延出され、且つ、一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間にミラー部１１ｄが一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にして図示左右方向に揺動可能に形成されている。この際、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの周辺及びミラー部１１ｄの周辺はエッチング処理により貫通してくりぬかれていると共に、ミラー部１１ｄは上面側が鏡面に形成されている。
【００２２】
次に、ミラー体１１を支持するためのミラー体支持台１２は、上記したミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間の裏面と対応した位置に一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側（左側）と他方側（右側）とに下方に向かう傾斜面１２ａ，１２ｂが略等辺で左右対称に形成され、且つ、傾斜面１２ａ，１２ｂの各下端部に連接して高さが低い平坦面１２ｃ，１２ｄが左右対称に形成され、更に、平坦面１２ｃ，１２ｄの両端から上方に向かってミラー体支持面１２ｅ，１２ｆが前記した頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置で左右対称に形成されている。
【００２３】
尚、この第１実施例では、ミラー体支持台１２の傾斜面１２ａ，１２ｂを左右対称に傾斜させて形成することで、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを傾斜面１２ａ，１２ｂに沿って左右対称に揺動させるようにしたが、これに限ることなく、傾斜面１２ａ，１２ｂの各傾斜角を異なって形成すればミラー体１１内のミラー部１１ｄも傾斜面１２ａ，１２ｂの各傾斜角に応じて左右に揺動可能である。
【００２４】
また、ミラー体支持台１２に形成した左右の傾斜面１２ａ，１２ｂには一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂが取り付けられており、これら一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂをミラー体１１内のミラー部１１ｄに対して接触による短絡を防止するための絶縁層１４が少なくとも一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂ上に薄く膜付けされている。
【００２５】
そして、ミラー体支持台１２のミラー体支持面１２ｅ，１２ｆ上にミラー体１１の外枠部１１ａの裏面を取り付けると、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは一対の梁部１１ｂ，１１ｃを支点として左右に揺動可能に支持される。
【００２６】
次に、図１（ｂ）に示した如く、ミラー体１１と、ミラー体支持台１２の左側の傾斜面１２ａ上に取り付けた固定電極１３Ａとの間には、スイッチ２１Ａ及びミラー傾動用大容量電源２２Ａ並びにコンデンサ２３Ａを直列に接続した大電圧回路Ｅ１Ａと、スイッチ２４Ａ及びミラー吸引保持用小容量電源２５Ａを直列に接続した小電圧回路Ｅ２Ａとが並列に接続されている。
【００２７】
また、ミラー体１１と、ミラー体支持台１２の右側の傾斜面１２ｂ上に取り付けた固定電極１３Ｂとの間にも、左側と同様に、スイッチ２１Ｂ及びミラー傾動用大容量電源２２Ｂ並びにコンデンサ２３Ｂを直列に接続した大電圧回路Ｅ１Ｂと、スイッチＳＷ２４Ｂ及びミラー吸引保持用小容量電源２５Ｂを直列に接続した小電圧回路Ｅ２Ｂとが並列に接続されている。
【００２８】
そして、上記した大電圧回路Ｅ１Ａ，Ｅ１Ｂは、ミラー体１１内のミラー部１１ｄをミラー体支持台１２の傾斜面１２ａ，１２ｂ上に取り付けた一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂに沿って傾動させるミラー傾動手段となっている。また、上記した小電圧回路Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂは、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを絶縁層１４を介してミラー体支持台１２の傾斜面１２ａ，１２ｂ上に取り付けた一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂ側に吸引した状態で保持させるミラー吸引保持手段となっている。
【００２９】
尚、上記した第１実施例では、ミラー体１１と左右の固定電極１３Ａ，１３Ｂとの間に、大電圧回路Ｅ１Ａ，１Ｂと、小電圧回路Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂとを左右それぞれ２系統切り換え可能に設けたが、これに限定されるものでもなく、左右それぞれ１系統で大電圧と小電圧とを順に印加できる大電圧・小電圧回路構成でも良い。
【００３０】
ここで、上記のように構成した本発明に係る第１実施例の光偏向器１０Ａの動作を説明する。
【００３１】
まず、第１実施例の光偏向器１０Ａが初期状態の時に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄはミラー体支持台１２上で略水平な姿勢を維持している。
【００３２】
次に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にしてミラー部１１ｄを反時計方向に揺動させる場合には、左側の大電圧回路Ｅ１Ａ内のスイッチ２１ＡをＯＮ状態にする。これにより、左側の大電圧回路Ｅ１Ａ内のミラー傾動用大容量電源２２Ａを介してコンデンサ２３Ａに蓄積された電荷が瞬間的に作用して、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に大電圧が一時的に印加されるので、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは大電圧印加時の静電力によって絶縁層１４を介して左側の固定電極１３Ａに吸引される。この時、左側の固定電極１３Ａは絶縁層１４によって保護されているために、左側の固定電極１３Ａはミラー体１１内のミラー部１１ｄによって短絡することなく、且つ、絶縁層１４がミラー部１１ｄに対してストッパーとなってミラー部１１ｄは傾斜面１２ａ上に取り付けた左側の固定電極１３Ａに沿って傾動する。
【００３３】
そして、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが左側の固定電極１３Ａに吸引された後に、小電圧回路Ｅ２Ａ内のスイッチ２４ＡをＯＮ状態にしてから大電圧回路Ｅ１Ａ内のスイッチ２１ＡをＯＦＦ状態にすると、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に小電圧回路Ｅ２Ａ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａによる小電圧が加えられたままになるので、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは小電圧印加時の静電力によって絶縁層１４を介して左側の固定電極１３Ａに吸引されたままの状態を保つことができる。
【００３４】
尚、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを反時計方向に揺動させる場合に、上記説明では、大電圧回路Ｅ１Ａを先に作動させた後に小電圧回路Ｅ２Ａを作動させているが、これに限ることなく、大電圧回路Ｅ１Ａと小電圧回路Ｅ２Ａとを略同時に作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後に大電圧回路Ｅ１ＡをＯＦＦしても良く、更に、小電圧回路Ｅ２Ａを先に作動させ後に大電圧回路Ｅ１Ａを作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後に大電圧回路Ｅ１ＡをＯＦＦしても良く、いずれの場合でも何等の支障も生じない。
【００３５】
更に、この後、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを元の初期状態に戻すには、小電圧回路Ｅ２Ａ内のスイッチ２４ＡをＯＦＦ状態に切り換えれば、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄは初期状態の位置に戻る。
【００３６】
一方、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にしてミラー部１１ｄを時計方向に揺動させる場合には、上記とは逆に、右側に設けた大電圧回路Ｅ１Ｂと小電圧回路Ｅ２Ｂとを上記と同様に作動させれば良い。
【００３７】
従って、第１実施例の光偏向器１０Ａでは、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置と、反時計方向に揺動させた位置と、時計方向に揺動させた位置との３方向に切り換えることができる。
【００３８】
ここで、上記した第１実施例の光偏向器１０Ａにおいて、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを左側の固定電極１３Ａ又は右側の固定電極１３Ｂに吸引する時の各静電力は、ミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとの間のギャップの２乗に反比例して大きくなるので、ミラー部１１ｄが傾動後にこのギャップは絶縁層１４の膜厚分であるために小電圧印加でも大き静電力が働き、ミラー部１１ｄを静止させることができる。
【００３９】
このように、ミラー体支持台１２に形成した左右の傾斜面１２ａ，１２ｂに沿って固定電極１３Ａ，１３Ｂを取り付け、且つ、ミラー体１１内のミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとの間のギャップを絶縁層１４を介して小さく設定することで、非常に小さな電圧でミラー体１１内のミラー部１１ｄを傾斜した固定電極１３Ａ又は傾斜した固定電極１３Ｂに沿って吸引したままの状態を保持することができ、第１実施例の光偏向器１０Ａの小電力化を図ることができる。
【００４０】
＜第２実施例の光偏向器＞
図２は本発明に係る第２実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はミラー体と一対の固定電極とを接続する電源回路を示した断面図である。
【００４１】
図２（ａ），（ｂ）に示した本発明に係る第２実施例の光偏向器１０Ｂは、先に図１（ａ），（ｂ）を用いて説明した第１実施例の光偏向器１０Ａの構成と一部を除いて同様の構成であり、ここでは説明の便宜上、先に第１実施例で示した構成部材に対しては同一の符号を付して必要に応じて適宜説明し、第１実施例と異なる構成部材に新たな符号を付して異なる点を中心にして説明する。
【００４２】
図２（ａ）に示した如く、本発明に係る第２実施例の光偏向器１０Ｂでは、ミラー体１１が薄い厚みのシリコンなどの材料を用いて形成されている。
【００４３】
このミラー体１１は、第１実施例と全く同じ形状であり、外枠部１１ａ内に一対の梁部１１ｂ，１１ｃと、この一対の梁部１１ｂ，１１ｃに揺動可能に支持されたミラー部１１ｄとが一体的に形成されている。
【００４４】
次に、ミラー体１１を支持するためのミラー体支持台１５は、第１実施例とは形状が一部異なっている。このミラー体支持台１５は、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間の裏面と対応した位置に一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側（左側）に下方に向かう傾斜面１５ａが形成され、且つ、この傾斜面１５ａに連接して他方側（右側）に平坦面１５ｂが前記した頂点と同じ高さで形成され、且つ、左側の傾斜面１５ａの下端部に連接して高さが低い平坦面１５ｃが形成され、更に、高さが低い平坦面１５ｃの端から上方に向かってミラー体支持面１５ｄが前記した頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置に形成されていると共に、右側で頂点と同じ高さの平坦面１５ｂの右方にミラー体支持面１５ｅが左側のミラー体支持面１５ｄと同じ高さで形成されている。
【００４５】
また、ミラー体支持台１５に形成した左側の傾斜面１５ａと、この傾斜面１５ａに連接した右側の平坦面１５ｂとに一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂが取り付けられており、これら一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂをミラー体１１内のミラー部１１ｄに対して接触による短絡を防止するための絶縁層１４が少なくとも一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂ上に薄く膜付けされている。この際、ミラー体支持台１５の右方に形成した平坦面１５ｂ上に取り付けた固定電極１３Ｂは、ミラー体１１内に形成したミラー部１１ｄが電圧を印加しない初期状態と同じ姿勢である時に小電圧を印加することで外部から予期しない振動などが加わってもミラー部１１ｄが揺動することなくしっかりと固定電極１３Ｂ側に吸引保持されるように必要に応じて設けたものである。
【００４６】
そして、ミラー体支持台１５のミラー体支持面１５ｄ，１５ｅ上にミラー体１１の外枠部１１ａの裏面を取り付けると、ミラー体１１内のミラー１１ｄは一対の梁部１１ｂ，１１ｃを支点として左方に揺動可能に支持される。
【００４７】
次に、図２（ｂ）に示した如く、ミラー体１１と、ミラー体支持台１５の左側の傾斜面１５ａ上に取り付けた固定電極１３Ａとの間には、第１実施例と同様に、スイッチ２１Ａ及びミラー傾動用大容量電源２２Ａ並びにコンデンサ２３Ａを直列に接続した大電圧回路Ｅ１Ａと、スイッチ２４Ａ及びミラー吸引保持用小容量電源２５Ａを直列に接続した小電圧回路Ｅ２Ａとが並列に接続されている。
【００４８】
また、ミラー体１１と、ミラー体支持台１５の右側の平坦面１５ｂ上に取り付けた固定電極１３Ｂとの間には、第１実施例と異なって大電圧回路Ｅ１Ｂ（図１）が接続されてなく、スイッチ２４Ｂ及びミラー吸引保持用小容量電源２５Ｂを直列に接続した小電圧回路Ｅ２Ｂのみが接続されている。
【００４９】
尚、上記した第２実施例では、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に大電圧回路Ｅ１Ａと、小電圧回路Ｅ２Ａとを２系統切り換え可能に設けたが、これに限定されるものでもなく、左側に対して１系統で大電圧と小電圧と印加できる大電圧・小電圧回路構成でも良い。
【００５０】
ここで、上記のように構成した本発明に係る第２実施例の光偏向器１０Ｂの動作を説明する。
【００５１】
まず、第２実施例の光偏向器１０Ｂが初期状態の時に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄは、この右端がミラー体支持台１５の平坦面１５ｂに取り付けた固定電極１３Ｂ側の絶縁層１４に当接しているために、略水平な姿勢を維持している。
【００５２】
次に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にしてミラー部１１ｄを反時計方向に揺動させる場合には、第１実施例と同様に、左側の大電圧回路Ｅ１Ａ内のスイッチ２１ＡをＯＮ状態にする。これにより、左側の大電圧回路Ｅ１Ａ内のミラー傾動用大容量電源２２Ａを介してコンデンサ２３Ａに蓄積された電荷が瞬間的に作用して、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に大電圧が一時的に印加されるので、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは大電圧印加時の静電力によって絶縁層１４を介して左側の固定電極１３Ａに吸引される。この時、左側の固定電極１３Ａは絶縁層１４によって保護されているために、左側の固定電極１３Ａはミラー体１１内のミラー部１１ｄによって短絡することなく、且つ、絶縁層１４がミラー部１１ｄに対してストッパーとなってミラー部１１ｄは傾斜面１５ａ上に取り付けた左側の固定電極１３Ａに沿って傾動する。
【００５３】
そして、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが左側の固定電極１３Ａに吸引された後に、小電圧回路Ｅ２Ａ内のスイッチ２４ＡをＯＮ状態にしてから大電圧回路Ｅ１Ａ内のスイッチ２１ＡをＯＦＦ状態とすると、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に小電圧回路Ｅ２Ａ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａによる小電圧が加えられたままになるので、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは小電圧印加時の静電力によって絶縁層１４を介して左側の固定電極１３Ａに吸引されたままの状態を保つことができる。
【００５４】
尚、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを左側に揺動させる場合に、上記説明では、大電圧回路Ｅ１Ａを先に作動させた後に小電圧回路Ｅ２Ａを作動させているが、これに限ることなく、大電圧回路Ｅ１Ａと小電圧回路Ｅ２Ａとを略同時に作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後に大電圧回路Ｅ１ＡをＯＦＦしても良く、更に、小電圧回路Ｅ２Ａを先に作動させ後に大電圧回路Ｅ１Ａを作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後に大電圧回路Ｅ１ＡをＯＦＦしても良く、いずれの場合でも何等の支障も生じない。
【００５５】
更に、この後、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを元の初期状態に戻すには、小電圧回路Ｅ２Ａ内のスイッチ２４ＡをＯＦＦ状態に切り換えれば、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄは初期状態の位置に戻る。
【００５６】
一方、第１実施例と異なって、ミラー体１１が初期状態に至っている時に右側の小電圧回路Ｅ２Ｂを作動させてミラー吸引保持用小容量電源２５Ｂによって小電圧をミラー体１１と右側の固定電極１３Ｂとの間に加え続けると、静電ギャップは絶縁層１４の膜厚分であるので小電圧でもミラー部１１ｄが初期状態と同じ姿勢で右側の固定電極１３Ｂに吸引される。この場合には、外部から予期しない振動などが加わってもミラー部１１ｄは絶縁層１４を介して右側の固定電極１３Ｂ側にしっかりと吸引されて略水平状態を保つことができる。
【００５７】
従って、第２実施例の光偏向器１０Ｂでは、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置又はこの初期状態と略同じ状態で小電圧を印加した位置と、反時計方向に揺動させた位置との２方向に切り換えることができる。
【００５８】
上記した第２実施例の光偏向器１０Ｂにおいて、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを左側の固定電極１３Ａ又は右側の固定電極１３Ｂに吸引する各静電力は、ミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとの間のギャップの２乗に反比例して大きくなるので、ミラー部１１ｄが傾動後にこのギャップは絶縁層１４の膜厚分であるために小電圧印加でも大き静電力が働き、ミラー部１１ｄを静止させることができる。
【００５９】
このように、ミラー体支持台１５に形成した左側の傾斜面１５ａ及び右側の平坦面１５ｂに沿って固定電極１３Ａ及び固定電極１３Ｂを取り付け、且つ、ミラー体１１内のミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとのギャップを絶縁層１４を介して小さく設定することで、非常に小さな電圧でミラー部１１ｄを傾斜した固定電極１３Ａ又は平坦な固定電極１３Ｂに沿って吸引したままの状態を保持することができ、第２実施例の光偏向器１０Ｂの小電力化を図ることができると共に、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを２方向に切り換える時には第１実施例の光偏向器１０Ａに比べて切り換え制御が簡単となる。
【００６０】
＜第３実施例の光偏向器＞
図３は本発明に係る第３実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はアクチュエータ駆動回路と、ミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【００６１】
図３（ａ），（ｂ）に示した本発明に係る第３実施例の光偏向器１０Ｃは、先に図２（ａ），（ｂ）を用いて説明した第２実施例の光偏向器１０Ｂの構成と一部を除いて同様の構成であり、ここでは説明の便宜上、先に第２実施例で示した構成部材に対しては同一の符号を付して必要に応じて適宜説明し、第２実施例と異なる構成部材に新たな符号を付して異なる点を中心にして説明する。
【００６２】
図３（ａ），（ｂ）に示した本発明に係る第３実施例の光偏向器１０Ｃでは、ミラー体１１と、ミラー体１１を支持するためのミラー体支持台１５と、ミラー体支持台１５の傾斜面１５ａ上及び平坦面１５ｂ上に取り付けた一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂと、ミラー体１１内に形成したミラー部１１ｄと一対の固定電極１３Ａ，１３Ｂとの短絡を防止するための絶縁層１４は先に説明した第２実施例と全く同じ構成である。
【００６３】
ここで、第３実施例の光偏向器１０Ｃにおいて、第２実施例と異なる点を説明すると、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にしてミラー部１１ｄを反時計方向に揺動させる場合に、第２実施例に設けた大電圧回路Ｅ１Ａ（図２）に代えて、位置変位可能なアクチュエーター１６を用いている。従って、第３実施例ではアクチュエーター１６がミラー体１１内のミラー部１１ｄをミラー体支持台１５の傾斜面１５ａ上に取り付けた固定電極１３Ａに沿って傾動させるミラー傾動手段となっている。
【００６４】
上記したアクチュエーター１６は、ミラー体１１の外枠部１５ａ上でミラー体支持台１５の傾斜面１５ａ側と対応した側に一端が片持ち状態で取り付けられ、他端がミラー体１１内のミラー部１１ｄの左端に接離自在になっている。
【００６５】
そして、この第３実施例では、アクチュエーター１６として変位可能な圧電素子を用い、スイッチ２６とアクチュエーター用電源２７とでアクチュエーター駆動回路Ｅ３を構成している。
【００６６】
尚、アクチュエーター１６は圧電素子に限られるものでもなく、この他に、電磁力による変形とか、熱膨張による変形とか、形状合金の変形などを適用した部材を用いても良い。
【００６７】
上記したアクチュエーター１６を用いた時に、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間にスイッチ２８Ａと共通のミラー吸引保持用小容量電源２９とによる小電圧回路Ｅ４Ａが設けられ、一方、ミラー体１１と右側の固定電極１３Ｂとの間にもスイッチ２８Ｂと共通のミラー吸引保持用小容量電源２９とによる小電圧回路Ｅ４Ｂが設けられている。
【００６８】
ここで、上記のように構成した本発明に係る第３実施例の光偏向器１０Ｃの動作を説明する。
【００６９】
まず、第３実施例の光偏向器１０Ｃが初期状態の時に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄは、この右端がミラー体支持台１５の平坦面１５ｂに取り付けた固定電極１３Ｂ側の絶縁層１４に当接しているために、略水平な姿勢を維持している。
【００７０】
次に、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にしてミラー部１１ｄを反時計方向に揺動させる場合には、第２実施例と異なって、アクチュエーター駆動回路Ｅ３内のスイッチ２６をＯＮ状態にする、これにより、アクチュエーター駆動回路Ｅ３内のアクチュエーター用電源２７が作動して、アクチュエーター１６の他端がミラー体１１内のミラー部１１ｄの左端に当接しながら下方に変位するために、ミラー体１１内のミラー部１１ｄはミラー体支持台１５の傾斜面１５ａ上に沿って取り付けた固定電極１３Ａ側に傾動する。
【００７１】
そして、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが左側の固定電極１３Ａ側に傾動した後に、小電圧回路Ｅ４Ａ内のスイッチ２８ＡをＯＮ状態にしてからアクチュエーター駆動回路Ｅ３内のスイッチ２６をＯＦＦ状態とすると、ミラー体１１と左側の固定電極１３Ａとの間に小電圧回路Ｅ４Ａ内のミラー吸引保持用小容量電源２９による小電圧が加えられたままになるので、ミラー体１１内のミラー部１１ｄは小電圧印加時の静電力によって絶縁層１４を介して左側の固定電極１３Ａに吸引されたままの状態を保つことができる。
【００７２】
尚、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを左側に揺動させる場合に、上記説明では、アクチュエーター駆動回路Ｅ３を先に作動させた後に小電圧回路Ｅ４Ａを作動させているが、これに限ることなく、アクチュエーター駆動回路Ｅ３と小電圧回路Ｅ４Ａとを略同時に作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後にアクチュエーター駆動回路Ｅ３をＯＦＦしても良く、更に、小電圧回路Ｅ４Ａを先に作動させ後にアクチュエーター駆動回路Ｅ３を作動させてミラー部１１ｄが傾動して固定電極１３Ａ側に吸引された後にアクチュエーター駆動回路Ｅ３をＯＦＦしても良く、いずれの場合でも何等の支障も生じない。
【００７３】
更に、この後、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを元の初期状態に戻すには、小電圧回路Ｅ４Ａ内のスイッチ２８ＡをＯＦＦ状態に切り換えれば、ミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃの捩じりバネ性による復元力でミラー部１１ｄは初期状態の位置に戻る。
【００７４】
一方、ミラー体１１が初期状態に至っている時に右側の小電圧回路Ｅ４Ｂを作動させてミラー吸引保持用小容量電源２９によって小電圧をミラー体１１と右側の固定電極１３Ｂとの間に加え続けると、ミラー部１１ｄは初期状態と同じ姿勢で右側の固定電極１３Ｂに吸引される。この場合には、外部から予期しない振動などが加わってもミラー部１１ｄは絶縁層１４を介して右側の固定電極１３Ｂ側にしっかりと吸引されて略水平状態を保つことができる。
【００７５】
従って、第３実施例の光偏向器１０Ｃでも、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置又はこの初期状態と同じ状態で小電圧を印加した位置と、反時計方向に揺動させた位置との２方向に切り換えることができる。
【００７６】
上記した第３実施例の光偏向器１０Ｃにおいても、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを左側の固定電極１３Ａ又は右側の固定電極１３Ｂに吸引する各静電力は、ミラー部１１ｄと固定電極１３Ａ又は固定電極１３Ｂとの間のギャップの２乗に反比例して大きくなるので、ミラー部１１ｄが傾動後にこのギャップは絶縁層１４の膜厚分であるために小電圧印加でも大き静電力が働き、ミラー部１１ｄを静止させることができ、第３実施例の光偏向器１０Ｃの小電力化を図ることができると共に、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを２方向に切り換える時には第１実施例の光偏向器１０Ａに比べて切り換え制御が簡単となる。
【００７７】
＜本発明に係る光偏向器を適用した光ピックアップ＞
本発明に係る光偏向器を適用した光ピックアップを説明する前に、この光ピックアップ内に備えた少なくとも２種類以上の半導体レーザーと光ディスクとについて説明する。
【００７８】
近年、音声信号，映像信号，データ信号などの各種の情報信号を高密度に記録及び／又は再生できる光ディスクは、光ディスクドライブ内に移動自在に設けた光ピックアップにより信号面上の所望の記録トラックを高速にアクセスできることから多用されている。
【００７９】
上記した光ピックアップは、半導体レーザーから出射したレーザー光を対物レンズにより絞り込んでレーザービームを得て、このレーザービームを光ディスクの信号面上の記録トラックにスポッ状に照射し、且つ、信号面の反射膜で反射された戻り光を光センサにより検出して情報信号を再生している。
【００８０】
尚、情報信号を光ディスクの信号面上に記録する場合にはレーザーパワーの強い記録用のレーザービームを信号面上に照射して、信号面上に成膜した記録層に情報信号を記録する一方、記録済みの情報信号を再生する場合にはレーザーパワーの弱い再生用のレーザービームを信号面上に照射して情報信号を読み取っている。
【００８１】
ところで、光ディスクへの高密度化の要求に伴って、周知のＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）より高密度なＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）とか、ＤＶＤより更に高密度なＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃなどの光ディスクでは、開口数（ＮＡ）の大きい対物レンズを使用することで、光ディスクに照射するレーザービームのスポット径を小さくできる。
【００８２】
具体的には、周知のＣＤでは波長が７８０ｎｍのレーザー光を開口数（ＮＡ）＝０．４５の対物レンズに入射させ、また、ＤＶＤでは波長が６３５ｎｍのレーザー光を開口数（ＮＡ）＝０．６の対物レンズに入射させ、更に、Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃでは波長が４００ｎｍ近傍のレーザー光を開口数（ＮＡ）＝０．７〜０．８５の対物レンズに入射させている。
【００８３】
この際、光ディスク装置内の光ピックアップを安価に製造するために、ＣＤとＤＶＤとを兼用できる光ピックアップとか、ＤＶＤとＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃとを兼用できる光ピックアップとが開発されている。
【００８４】
そこで、それぞれ波長が異なるレーザー光を選択的に出射する少なくとも２種類以上の半導体レーザーを光ピックアップ内に備え、少なくとも２種類の半導体レーザーからの各レーザー光を光偏向器のミラー体内に形成したミラー部で対物レンズ側に偏向できるように構成した光デバイスを本出願人は特願２００２−２４３８４８号（平成１４年８月２３日出願）にて提案した。
【００８５】
本発明では、上記した光デバイスの技術的思想を踏まえた上で、先に説明した第１〜第３実施例の光偏向器を適用して、より具体的な構成による光ピックアップについて図４〜図６を用いて以下順を追って説明する。
【００８６】
図４は本発明に係る第１実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図、
図５は本発明に係る第２実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図、
図６は本発明に係る第３実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【００８７】
まず、図４（ａ）に示した如く、本発明に係る第１実施例の光偏向器１０Ａを適用した光ピックアップ３０Ａでは、ベース台３１上に所定の高さのレーザー載置台３２が取り付けられ、且つ、レーザー載置台３２上に波長が異なる２種類のレーザー光を選択的に出射する第１，第２半導体レーザー３３，３４が載置されていると共に、第１，第２半導体レーザー３３，３４と対向して第１実施例の光偏向器１０Ａがベース台３１上に取り付けられている。
【００８８】
上記した光偏向器１０Ａは、前述したように、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置と、反時計方向に揺動させた位置と、時計方向に揺動させた位置との３方向に切り換えることができる。
【００８９】
また、光偏向器１０Ａは、ミラー体支持台１２に支持したミラー体１１内の一対の梁部１１ｂ，１１ｃ及びミラー部１１ｄがベース台３１に対して４５°傾くようにミラー体支持台１２のミラー体支持面１２ｅ，１２ｆが４５°傾斜した状態でミラー体支持台１２が形成されており、この状態でミラー体支持台１２がベース台３１上に取り付けられている。
【００９０】
一方、レーザー載置台３２上では、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光の光軸がミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心にして左右対称にそれぞれ角度α°を持つように“ハ字状”に載置されており、また、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光の光軸高さは同一で且つ各レーザー光はベース台３１に対して平行に出射されている。
【００９１】
上記した第１，第２半導体レーザー３３，３４は、いずれか一方がＣＤ用で他方がＤＶＤ用である組み合わせの場合と、いずれか一方がＤＶＤ用で他方がＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃ用である組み合わせの場合とがある。
【００９２】
更に、ここでの図示を省略するものの、３種類の半導体レーザーを用いる場合もあり、この場合にはＣＤ用の半導体レーザーとＤＶＤ用の半導体レーザーとを接近させて一方側とし、且つ、他方側をＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃ用の半導体レーザーとすることも可能である。
【００９３】
そして、レーザー載置台３２上に“ハ字状”に載置した第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光は、ベース台３１に対して４５°傾斜したミラー体１１内のミラー部１１ｄ上で一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間の略中間位置の入射点で略交わるように入射した後に反射されている。この際、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光の入射光線及び反射光線と、入射点に立てた法線とがなす角が共に４５°で上方に向かって直角に反射できるようにミラー部１１ｄを初期状態から一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心に左右にそれぞれ角度α°揺動させている。そして、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光に対してミラー部１１ｄをそれぞれ左右に角度α°揺動させた状態で各レーザー光がミラー部１１ｄで反射した後には各レーザー光の光軸が略一致し、この状態で各レーザー光を上方に設けた対物レンズ３５に選択的に入射して、対物レンズ３５で絞り込んだ各レーザービームを光ディスクＤの信号面にスポット状に照射している。
【００９４】
更に、図４（ｂ）に示したように、第１，第２半導体レーザー３３，３４を選択的に駆動するためのレーザー駆動用電源は、先に第１実施例の光偏向器１０Ａに設けた小電圧回路Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａ，２５Ｂを共用している。
【００９５】
そして、第１，第２半導体レーザー３３，３４を光ディスクＤの種類に対応して選択的に駆動するためには、事前に光ディスクＤの種類を判別する必要がある。この際、光ディスクＤの種類を判別する方法には、光ディスク装置内にディスク種類判別用の検出器（図示せず）を別に設ける方法と、第１，第２半導体レーザー３３，３４のうちで波長が長いレーザー光を出射する半導体レーザーを用いて光ディスクＤの信号面を再生して光ディスクＤの種類を判別する方法とがあるが、いずれの方法を用いても良いものである。
【００９６】
ここで、上記した光ピックアップ３０Ａの動作について説明するが、ミラー体１１の揺動動作は第１実施例の光偏向器１０Ａで述べているので詳述を省略する。
【００９７】
上記した光ピックアップ３０Ａが初期状態の時には、ミラー体１１内の一対の梁部１１ｂ，１１ｃ及びミラー部１１ｄがベース台３１に対して４５°傾いて静止している。
【００９８】
この後、光ディスクＤの種類を判別する。この実施例では、第１，第２半導体レーザー３３，３４のうちで波長が長いレーザー光を出射する半導体レーザーを用いて光ディスクＤの信号面を再生して光ディスクＤの種類を判別しており、このために例えば第２半導体レーザー３４側を波長（７８０ｎｍ）が長いＣＤ用として予め設定し、且つ、第１半導体レーザー３３側を波長（６３５ｎｍ）が短いＤＶＤ用として予め設定している。
【００９９】
ここで、光ディスクＤの種類を判別するために、第２半導体レーザー３４側に接続した大電圧回路Ｅ１Ｂと小電圧回路Ｅ２Ｂとを先に作動させて、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心に初期状態から時計方向にα°揺動させて、ミラー部１１ｄを固定電極１３Ｂ側に吸引保持させる。この時に、小電圧回路Ｅ２Ｂを作動させることで、小電圧回路Ｅ２Ｂ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ｂで第２半導体レーザー３４を駆動している。そして、第２半導体レーザー３４により光ディスクＤがＣＤであると判別された場合にはそのまま続けてＣＤを再生する。
【０１００】
一方、第２半導体レーザー３４により光ディスクＤがＤＶＤであると判別された場合には、第２半導体レーザー３４側に接続した小電圧回路Ｅ２ＢをＯＦＦして、第１半導体レーザー３３側に接続した大電圧回路Ｅ１Ｂと小電圧回路Ｅ２Ｂとを作動させれば、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが初期位置に戻った後に一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心に反時計方向に角度α°揺動する。この時にも、小電圧回路Ｅ２Ａを作動させることで、小電圧回路Ｅ２Ａ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａで第１半導体レーザー３３を駆動し、ＤＶＤを再生している。
【０１０１】
次に、図５（ａ）に示した如く、本発明に係る第２実施例の光偏向器１０Ｂを適用した光ピックアップ３０Ｂでは、ベース台３１上に所定の高さのレーザー載置台３２が取り付けられ、且つ、レーザー載置台３２上に波長が異なる２種類のレーザー光を選択的に出射する第１，第２半導体レーザー３３，３４が載置されていると共に、第１，第２半導体レーザー３３，３４と対向して第２実施例の光偏向器１０Ｂがベース台３１上に取り付けられている。
【０１０２】
上記した光偏向器１０Ｂは、前述したように、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置と、反時計方向に揺動させた位置との２方向に切り換えることができる。
【０１０３】
また、光偏向器１０Ｂは、ミラー体支持台１５に支持したミラー体１１内の一対の梁部１１ｂ，１１ｃ及びミラー部１１ｄがベース台３１に対して４５°傾くようにミラー体支持台１５のミラー体支持面１５ｄ，１５ｅが４５°傾斜した状態でミラー体支持台１５が形成されており、この状態でミラー体支持台１５がベース台３１上に取り付けられている。
【０１０４】
一方、レーザー載置台３２上では、第１半導体レーザー３３がミラー体１１内に形成した一対の梁部１１ｂ，１１ｃに対して左側に角度β°を持つように載置され、且つ、第２半導体レーザー３４が一対の梁部１１ｂ，１１ｃに対して角度０°を持つように載置されており、また、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光の光軸高さは同一で且つ各レーザー光はベース台３１に対して平行に出射されている。
【０１０５】
上記した第１，第２半導体レーザー３３，３４は、いずれか一方がＣＤ用で他方がＤＶＤ用である組み合わせの場合と、いずれか一方がＤＶＤ用で他方がＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃ用である組み合わせの場合とがある。
【０１０６】
更に、ここでも図示を省略するものの、３種類の半導体レーザーを用いる場合もあり、この場合にはＣＤ用の半導体レーザーとＤＶＤ用の半導体レーザーとを接近させて一方側とし、且つ、他方側をＢｌｕｅ−Ｒａｙ　Ｄｉｓｃ用の半導体レーザーとすることも可能である。
【０１０７】
そして、レーザー載置台３２上に載置した第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光は、ベース台３１に対して４５°傾斜したミラー体１１内のミラー部１１ｄ上で一対の梁部１１ｂ，１１ｃ間の略中間位置の入射点で略交わるように入射した後に反射されている。この際、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが初期状態に至っている時にこのミラー部１１ｄに対して第２半導体レーザー３４からのレーザー光の入射光線及び反射光線と、入射点に立てた法線とがなす角は共に４５°で上方に向かって直角に反射するようになっている。一方、第１半導体レーザー３３からのレーザー光の入射光線及び反射光線と、入射点に立てた法線とがなす角が共に４５°で上方に向かって直角に反射できるようにミラー部１１ｄを初期状態から一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心に左側に角度β°揺動させている。
【０１０８】
そして、第１半導体レーザー３３からのレーザー光に対してはミラー部１１ｄを左側に角度β°揺動させており、一方、第２半導体レーザー３４からのレーザー光に対してはミラー部１１ｄを初期状態に維持したままの状態としている。この際、第１，第２半導体レーザー３３，３４からの各レーザー光がミラー部１１ｄで反射した後には各レーザー光の光軸が略一致し、この状態で各レーザー光を上方に設けた対物レンズ３５に選択的に入射して、対物レンズ３５で絞り込んだ各レーザービームを光ディスクＤの信号面にスポット状に照射している。
【０１０９】
更に、図５（ｂ）に示したように、第１，第２半導体レーザー３３，３４を選択的に駆動するためのレーザー駆動用電源は、先に第２実施例の光偏向器１０Ｂに設けた小電圧回路Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａ，２５Ｂを共用している。
【０１１０】
ここで、上記した光ピックアップ３０Ｂの動作について説明するが、ミラー体１１の揺動動作は第２実施例の光偏向器１０Ｂで述べているので詳述を省略する。
【０１１１】
上記した光ピックアップ３０Ｂが初期状態の時には、ミラー体１１内の一対の梁部１１ｂ，１１ｃ及びミラー部１１ｄがベース台３１に対して４５°傾いて静止している。
【０１１２】
この後、光ディスクＤの種類を判別する。この実施例では、第１，第２半導体レーザー３３，３４のうちで波長が長いレーザー光を出射する半導体レーザーを用いて光ディスクＤの信号面を再生して光ディスクＤの種類を判別しており、このために例えば第２半導体レーザー３４側を例えば波長（７８０ｎｍ）が長いＣＤ用として予め設定し、且つ、第１半導体レーザー３３側を例えば波長（６３５ｎｍ）が短いＤＶＤ用として予め設定している。
【０１１３】
ここで、光ディスクＤの種類を判別するために、第２半導体レーザー３４側に接続したと小電圧回路Ｅ２Ｂを作動させて、ミラー体１１内のミラー部１１ｄを初期状態の位置で固定電極１３Ｂ側にしっかりと吸引保持させる。この時に、小電圧回路Ｅ２Ｂを作動させることで、小電圧回路Ｅ２Ｂ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ｂで第２半導体レーザー３４を駆動している。そして、第２半導体レーザー３４により光ディスクＤがＣＤであると判別された場合にはそのまま続けてＣＤを再生する。
【０１１４】
一方、第２半導体レーザー３４により光ディスクＤがＤＶＤであると判別された場合には、第２半導体レーザー３４側に接続した小電圧回路Ｅ２ＢをＯＦＦして、第１半導体レーザー３３側に接続した大電圧回路Ｅ１Ｂと小電圧回路Ｅ２Ｂとを作動させれば、ミラー体１１内のミラー部１１ｄが初期位置から一対の梁部１１ｂ，１１ｃを中心に反時計方向に角度β°だけ揺動する。この時にも、小電圧回路Ｅ２Ａを作動させることで、小電圧回路Ｅ２Ａ内のミラー吸引保持用小容量電源２５Ａで第１半導体レーザー３３を駆動し、ＤＶＤを再生している。
【０１１５】
次に、図６（ａ）に示した如く、本発明に係る第３実施例の光偏向器１０Ｃを適用した光ピックアップ３０Ｃでは、ベース台３１上に所定の高さのレーザー載置台３２が取り付けられ、且つ、レーザー載置台３２上に波長が異なる２種類のレーザー光を選択的に出射する第１，第２半導体レーザー３３，３４が載置されていると共に、第１，第２半導体レーザー３３，３４と対向して第３実施例の光偏向器１０Ｃがベース台３１上に取り付けられている。
【０１１６】
上記した光偏向器１０Ｃも、前述したように、ミラー体１１内のミラー部１１ｄにレーザー光を照射した際、このレーザー光の反射光路を、ミラー部１１ｄが初期状態の位置と、反時計方向に揺動させた位置との２方向に切り換えることができる。
【０１１７】
この光ピックアップ３０Ｃでは、先に説明した光ピックアップ３０Ｂ中の光偏向器１０Ｂ（図５）を光偏向器１０Ｃに代えることで、光偏向器１０Ｂ中で第１半導体レーザー３３側に接続した大電圧回路Ｅ１Ｂに代えてアクチュエーター１６を用い、且つ、第１，第２半導体レーザー３３，３４側に接続した小電圧回路Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂに代えて小電圧回路Ｅ４Ａ，Ｅ４Ｂを用いてミラー吸引保持用小容量電源２９で第１，第２半導体レーザー３３，３４を駆動しており、その他の構成及び第１半導体レーザー３３，３４のミラー体１１への配置関係は光ピックアップ３０Ｂと同じである。このため、光ピックアップ３０Ｃは光ピックアップ３０Ｂと同じように動作するので、詳述を省略する。
【０１１８】
上記したように第１〜第３実施例の光偏向器１０Ａ〜１０Ｃを適用した光ピックアップ３０Ａ〜３０Ｃによれば、波長が異なる第１，第２半導体レーザー３３，３４から選択的に出射された各レーザー光を各光偏向器１０Ａ〜１０Ｃのミラー体１１内に形成したミラー部１１ｄの揺動により各レーザー光の光軸を略一致させて対物レンズ側に偏向でき、且つ、ミラー部１１ｄを吸引保持するためのミラー吸引保持用小容量電源Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂ又はミラー吸引保持用小容量電源２９を第１，第２半導体レーザー３３，３４のレーザー駆動用電源として共用することで、光ピックアップ３０Ａ〜３０Ｃの小電力化を図れると共に部品点数の削減にも寄与できる。
【０１１９】
【発明の効果】
以上詳述した本発明に係る光偏向器によると、外枠部内から一対の梁部を互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、前記一対の梁部間にミラー部を該一対の梁部を中心に揺動可能に形成したミラー体と、前記ミラー体内に形成した一対の梁部間の裏面と対応した位置に該一対の梁部間に沿った頂点を設定し、この頂点を堺にして一方側に下方に向かう傾斜面を形成し、且つ、他方側に下方に向かう傾斜面又は前記頂点と同じ高さの平坦面を形成し、更に、前記ミラー体の外枠部の裏面を支持するためのミラー体支持面を前記頂点と同じ高さ位置又は該頂点よりも僅かに高い位置によりも僅かに高く形成したミラー体支持台と、前記ミラー体支持台に形成した一方側の前記傾斜面上と、他方側の前記傾斜面上又は前記平坦面上とにそれぞれ取り付けた一対の固定電極と、前記ミラー体内のミラー部と前記一対の固定電極との短絡を防止するために該一対の固定電極上に膜付けした絶縁層と、前記ミラー体内のミラー部を前記傾斜面上に取り付けた前記固定電極に沿って傾動させるミラー傾動手段と、前記ミラー体内のミラー部を前記絶縁層を介して前記固定電極側に吸引した状態で保持させるミラー吸引保持手段とを備えたため、ミラー体内のミラー部と一対の固定電極との間のギャップを絶縁層を介して小さく設定することで、ミラー吸引保持手段により小さな電圧でミラー体内のミラー部を傾斜面上に取り付けた固定電極又平坦面上に取り付けた固定電極に沿って吸引したままの状態を保持することができ、光偏向器の小電力化を図ることができる。
【０１２０】
また、本発明に係る光偏向器を適用した光ピックアップによれば、それぞれ波長が異なるレーザー光を前記光偏向器に向けて選択的に出射するために少なくとも２種類以上の半導体レーザーを備え、且つ、前記光偏向器の前記ミラー体内に形成した前記一対の梁部と前記ミラー部とがベース台に対して４５°傾くように前記ミラー体支持台を前記ベース台に取り付けると共に、少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が４５°傾斜した前記ミラー部上で略交わるように各半導体レーザーを前記ベース台に対して平行で該ベース台上の所定の高さ位置に取り付けてなり、少なくとも２種類以上の前記半導体レーザーから出射した各レーザー光が前記ミラー部で反射した後の各レーザー光の光軸が略一致するように前記ミラー体内のミラー部を揺動させているため、複数の半導体レーザーに対して光偏向器のミラー体内に形成したミラー部を共用できるので、光ピックアップ内のコスト低減に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【図２】本発明に係る第２実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はミラー体と一対の固定電極とを接続する電源回路を示した断面図である。
【図３】本発明に係る第３実施例の光偏向器を説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）はアクチュエータ駆動回路と、ミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【図４】本発明に係る第１実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【図５】本発明に係る第２実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【図６】本発明に係る第３実施例の光偏向器を適用した光ピックアップを説明するための図であり、（ａ）は外観形状を示した斜視図であり、（ｂ）は２種類の半導体レーザーとミラー体と一対の固定電極とを接続した電源回路を示した断面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は従来の光偏向器を説明するために示した平面図，断面図である。
【符号の説明】
１０Ａ〜１０Ｃ…第１〜第３実施例の光偏向器、
１１…ミラー体、
１１ａ…外枠部、１１ｂ，１１ｃ…一対の梁部、１１ｄ…ミラー部、
１２…ミラー体支持台、
１２ａ，１２ｂ…傾斜面、１２ｅ，１２ｆ…ミラー体支持面、
１３Ａ，１３Ｂ…一対の固定電極、
１４…絶縁層、
１５…ミラー体支持台、
１５ａ…傾斜面、１５ｂ…平坦面、１５ｄ，１５ｅ…ミラー体支持面、
１６…アクチュエーター、
２２Ａ，２２Ｂ…ミラー傾動用大容量電源、
２５Ａ，２５Ｂ…ミラー吸引保持用小容量電源、
２７…アクチュエーター用電源、
２９…ミラー吸引保持用小容量電源、
Ｅ１Ａ，Ｅ１Ｂ…大電圧回路、
Ｅ２Ａ，Ｅ２Ｂ…小電圧回路、
Ｅ３…アクチュエーター駆動回路、
Ｅ４Ａ，Ｅ４Ｂ…小電圧回路、
３０Ａ〜３０Ｃ…第１〜第３実施例の光偏向器を適用した光ピックアップ、
３１…ベース台、
３２…レーザー載置台、
３３，３４…第１，第２半導体レーザー、
３５…対物レンズ、
Ｄ…ディスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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