(57)【要約】      （修正有）【課題】安定した電気特性を有するトランジスタ及び半導体装置を提供する。【解決手段】トランジスタ１０は、基板１００上に形成された酸化物半導体１０６ｂと、その上面の少なくとも一部に接して形成された第１の導電体１０６ａと、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第２の導電体１０８ａ、ｂと、第１の導電体と第２の導電体の上に形成され、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の絶縁体１１２ａと、その上に形成された第２の絶縁体１１２ｂと、その上に形成され、第１の絶縁体及び第２の絶縁体を介して第１の導電体の少なくとも一部と重なり、且つ、第１の絶縁体及び第２の絶縁体を介して第２の導電体の少なくとも一部と重なる第３の導電体１１４と、その上に形成された第３の絶縁体１１６と、を有する。第１の絶縁体は酸素１３１を含み、第２の絶縁体及び第３の絶縁体は第１の絶縁体より酸素を透過させにくい。【選択図】図１
2022002326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された酸化物半導体と、
前記酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の導電体と、
前記酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第２の導電体と、
前記第１の導電体と前記第２の導電体の上に形成され、前記酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の絶縁体と、
前記第１の絶縁体の上に形成された第２の絶縁体と、
前記第２の絶縁体の上に形成され、前記第１の絶縁体及び前記第２の絶縁体を介して前記第１の導電体の少なくとも一部と重なり、且つ前記第１の絶縁体及び前記第２の絶縁体を介して前記第２の導電体の少なくとも一部と重なる第３の導電体と、
前記第３の導電体の上に形成された第３の絶縁体と、を有し、
前記第１の絶縁体は酸素を含み、
前記第２の絶縁体は、前記第１の絶縁体より酸素を透過させにくく、
前記第３の絶縁体は、前記第１の絶縁体より酸素を透過させにくい、半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、トランジスタおよび半導体装置に関する。または、本発明は、例え
ば、トランジスタおよび半導体装置の製造方法に関する。または、本発明は、例えば、表
示装置、発光装置、照明装置、蓄電装置、記憶装置、プロセッサ、電子機器に関する。ま
たは、表示装置、液晶表示装置、発光装置、記憶装置、電子機器の製造方法に関する。ま
たは、表示装置、液晶表示装置、発光装置、記憶装置、電子機器の駆動方法に関する。
【０００２】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明
の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発
明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション
・オブ・マター）に関するものである。
【０００３】
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装
置全般を指す。表示装置、発光装置、照明装置、電気光学装置、半導体回路および電子機
器は、半導体装置を有する場合がある。
【背景技術】
【０００４】
絶縁表面を有する基板上の半導体を用いて、トランジスタを構成する技術が注目されて
いる。当該トランジスタは集積回路や表示装置のような半導体装置に広く応用されている
。トランジスタに適用可能な半導体としてシリコンが知られている。
【０００５】
トランジスタの半導体に用いられるシリコンは、用途によって非晶質シリコンと多結晶
シリコンとが使い分けられている。例えば、大型の表示装置を構成するトランジスタに適
用する場合、大面積基板への成膜技術が確立されている非晶質シリコンを用いると好適で
ある。一方、駆動回路を一体形成した高機能の表示装置を構成するトランジスタに適用す
る場合、高い電界効果移動度を有するトランジスタを作製可能な多結晶シリコンを用いる
と好適である。多結晶シリコンは、非晶質シリコンに対し高温での熱処理、またはレーザ
光処理を行うことで形成する方法が知られる。
【０００６】
近年では、酸化物半導体（代表的にはＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物）を用いたトランジスタ
の開発が活発化している。酸化物半導体の歴史は古く、１９８８年には、結晶Ｉｎ−Ｇａ
−Ｚｎ酸化物を半導体素子へ利用することが開示されている（特許文献１参照。）。また
、１９９５年には、酸化物半導体を用いたトランジスタが発明されており、その電気特性
が開示されている（特許文献２参照。）。
【０００７】
酸化物半導体を用いたトランジスタは、非晶質シリコンを用いたトランジスタ、および
多結晶シリコンを用いたトランジスタとは異なる特徴を有する。例えば、酸化物半導体を
用いたトランジスタを適用した表示装置は、消費電力が低いことが知られている。酸化物
半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できるため、大型の表示装置を構成するト
ランジスタに用いることができる。また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、高い電
界効果移動度を有するため、駆動回路を一体形成した高機能の表示装置を実現できる。ま
た、非晶質シリコンを用いたトランジスタの生産設備の一部を改良して利用することが可
能であるため、設備投資を抑えられるメリットもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６３−２３９１１７
【特許文献２】特表平１１−５０５３７７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
安定した電気特性を有するトランジスタを提供することを課題の一とする。または、非
導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することを課題の一とする。または、高
い周波数特性を有するトランジスタを提供することを課題の一とする。または、オン電流
の大きいトランジスタを提供することを課題の一とする。または、ノーマリーオフの電気
特性を有するトランジスタを提供することを課題の一とする。または、サブスレッショル
ドスイング値の小さいトランジスタを提供することを課題の一とする。または、信頼性の
高いトランジスタを提供することを課題の一とする。
【００１０】
または、該トランジスタを有する半導体装置を提供することを課題の一とする。または
、該半導体装置を有するモジュールを提供することを課題の一とする。または、該半導体
装置、または該モジュールを有する電子機器を提供することを課題の一とする。または、
新規な半導体装置を提供することを課題の一とする。または、新規なモジュールを提供す
ることを課題の一とする。または、新規な電子機器を提供することを課題の一とする。
【００１１】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の
一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課
題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、
図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）本発明の一態様は、基板上に形成された酸化物半導体と、酸化物半導体の上面の少
なくとも一部に接して形成された第１の導電体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部
に接して形成された第２の導電体と、第１の導電体と第２の導電体の上に形成され、酸化
物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の絶縁体と、第１の絶縁体の上
に形成された第２の絶縁体と、第２の絶縁体の上に形成され、第１の絶縁体及び第２の絶
縁体を介して第１の導電体の少なくとも一部と重なり、且つ第１の絶縁体及び第２の絶縁
体を介して第２の導電体の少なくとも一部と重なる第３の導電体と、第３の導電体の上に
形成された第３の絶縁体と、を有し、第１の絶縁体は酸素を含み、第２の絶縁体は、第１
の絶縁体より酸素を透過させにくく、第３の絶縁体は、第１の絶縁体より酸素を透過させ
にくい、半導体装置である。
【００１３】
（１）に記載の半導体装置において、第２の絶縁体は、ガリウム及び酸素を有することが
好ましい。また、第３の絶縁体は、アルミニウム及び酸素を有することが好ましい。また
、第３の絶縁体は、酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用いて成膜されること
が好ましい。また、第１の絶縁体は、シリコン及び酸素を有することが好ましい。
【００１４】
（２）また、本発明の他の一態様は、基板上に形成された第１の絶縁体と、第１の絶縁体
の上に形成された酸化物絶縁体と、酸化物絶縁体の上面の少なくとも一部に接して形成さ
れた酸化物半導体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の導
電体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第２の導電体と、第１
の導電体と第２の導電体の上に形成され、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して
形成された第２の絶縁体と、第２の絶縁体の上に形成された第３の絶縁体と、第３の絶縁
体の上に形成され、第２の絶縁体及び第３の絶縁体を介して第１の導電体の少なくとも一
部と重なり、且つ第２の絶縁体及び第３の絶縁体を介して第２の導電体の少なくとも一部
と重なる第３の導電体と、第３の導電体の上に形成され、第１の絶縁体又は第２の絶縁体
の少なくとも一部と接する第４の絶縁体と、第４の絶縁体の上に接して形成された第５の
絶縁体と、を有し、酸化物絶縁体の伝導帯下端のエネルギー準位は、酸化物半導体の伝導
帯下端のエネルギー準位より真空準位に近く、第１の絶縁体、第２の絶縁体及び第４の絶
縁体は酸素を含み、第３の絶縁体は、第２の絶縁体より酸素を透過させにくく、第５の絶
縁体は、第４の絶縁体より酸素を透過させにくい、半導体装置である。
【００１５】
（３）また、本発明の他の一態様は、基板上に形成された第１の絶縁体と、第１の絶縁体
の上に形成された第１の酸化物絶縁体と、第１の酸化物絶縁体の上面の少なくとも一部に
接して形成された酸化物半導体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成さ
れた第１の導電体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第２の導
電体と、第１の導電体と第２の導電体の上に形成され、酸化物半導体の上面の少なくとも
一部に接して形成された第２の酸化物絶縁体と、第２の酸化物絶縁体の上に形成された第
２の絶縁体と、第２の絶縁体の上に形成された第３の絶縁体と、第３の絶縁体の上に形成
され、第２の絶縁体及び第３の絶縁体を介して第１の導電体の少なくとも一部と重なり、
且つ第２の絶縁体及び第３の絶縁体を介して第２の導電体の少なくとも一部と重なる第３
の導電体と、第３の導電体の上に形成され、第１の絶縁体又は第２の絶縁体の少なくとも
一部と接する第４の絶縁体と、第４の絶縁体の上に接して形成された第５の絶縁体と、を
有し、第１の酸化物絶縁体の伝導帯下端のエネルギー準位は、酸化物半導体の伝導帯下端
のエネルギー準位より真空準位に近く、第２の酸化物絶縁体の伝導帯下端のエネルギー準
位は、酸化物半導体の伝導帯下端のエネルギー準位より真空準位に近く、第１の絶縁体、
第２の絶縁体及び第４の絶縁体は酸素を含み、第３の絶縁体は、第２の絶縁体より酸素を
透過させにくく、第５の絶縁体は、第４の絶縁体より酸素を透過させにくい、半導体装置
である。
【００１６】
（２）又は（３）に記載の半導体装置において、第３の絶縁体は、ガリウム及び酸素を有
することが好ましい。また、第５の絶縁体は、アルミニウム及び酸素を有することが好ま
しい。また、第５の絶縁体は、酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用いて成膜
されることが好ましい。また、第１の絶縁体、第２の絶縁体及び第４の絶縁体は、シリコ
ン及び酸素を有することが好ましい。
【００１７】
（４）また、本発明の他の一態様は、基板上に形成された第１の絶縁体と、第１の絶縁体
の上に形成された酸化物絶縁体と、酸化物絶縁体の上面の少なくとも一部に接して形成さ
れた酸化物半導体と、酸化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第１の導
電体と、第１の導電体上に接して形成された第２の絶縁体と、酸化物半導体の上面の少な
くとも一部に接して形成された第２の導電体と、第２の導電体上に接して形成された第３
の絶縁体と、第２の絶縁体と第３の絶縁体の上面の少なくとも一部に接して形成され、酸
化物半導体の上面の少なくとも一部に接して形成された第４の絶縁体と、第４の絶縁体の
上に形成された第５の絶縁体と、第５の絶縁体の上に形成され、第２の絶縁体、第４の絶
縁体及び第５の絶縁体を介して第１の導電体の少なくとも一部と重なり、且つ第３の絶縁
体、第４の絶縁体及び第５の絶縁体を介して第２の導電体の少なくとも一部と重なる第３
の導電体と、第３の導電体の上に形成された第６の絶縁体と、を有し、酸化物絶縁体の伝
導帯下端のエネルギー準位は、酸化物半導体の伝導帯下端のエネルギー準位より真空準位
に近く、第６の絶縁体は、第１の絶縁体の上面の一部に接し、第２の絶縁体の上面の一部
に接し、且つ第３の絶縁体の上面の一部に接し、第１乃至第４の絶縁体は酸素を含み、第
５の絶縁体は、第４の絶縁体より酸素を透過させにくく、第６の絶縁体は、第１乃至第４
の絶縁体より酸素を透過させにくい、半導体装置である。
【００１８】
（４）に記載の半導体装置において、第５の絶縁体は、ガリウム及び酸素を有することが
好ましい。また、第６の絶縁体は、アルミニウム及び酸素を有することが好ましい。また
、第６の絶縁体は、酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用いて成膜されること
が好ましい。また、第１乃至第４の絶縁体は、シリコン及び酸素を有することが好ましい
。
【００１９】
（１）乃至（４）に記載の半導体装置において、酸化物半導体は、インジウム、元素Ｍ（
Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、ＳｎまたはＨｆ）、亜鉛および酸素を有する
ことが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
安定した電気特性を有するトランジスタを提供することができる。または、非導通時の
リーク電流の小さいトランジスタを提供することができる。または、高い周波数特性を有
するトランジスタを提供することができる。または、オン電流の大きいトランジスタを提
供することができる。または、ノーマリーオフの電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。または、サブスレッショルドスイング値の小さいトランジスタを提供す
ることができる。または、信頼性の高いトランジスタを提供することができる。
【００２１】
または、該トランジスタを有する半導体装置を提供することができる。または、該半導
体装置を有するモジュールを提供することができる。または、該半導体装置、または該モ
ジュールを有する電子機器を提供することができる。または、新規な半導体装置を提供す
ることができる。または、新規なモジュールを提供することができる。または、新規な電
子機器を提供することができる。
【００２２】
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の
一態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書
、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項
などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する上面図および断面図。
【図２】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する断面図。
【図３】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する断面図。
【図４】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する断面図。
【図５】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する断面図。
【図６】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する上面図および断面図。
【図７】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する断面図。
【図８】本発明の一態様に係るトランジスタを説明する上面図および断面図。
【図９】本発明の一態様に係るトランジスタの作製方法を説明する断面図。
【図１０】本発明の一態様に係るトランジスタの作製方法を説明する断面図。
【図１１】本発明の一態様に係るトランジスタの作製方法を説明する断面図。
【図１２】本発明の一態様に係るトランジスタの作製方法を説明する断面図。
【図１３】スパッタリング装置を説明する図。
【図１４】スパッタリング装置を説明する図。
【図１５】スパッタリング装置を説明する図。
【図１６】スパッタリング装置を説明する図。
【図１７】スパッタリング装置を説明する図。
【図１８】スパッタリング装置を説明する図。
【図１９】成膜装置の一例を示す上面図。
【図２０】成膜装置の一例を示す断面図。
【図２１】ＩｎＧａＺｎＯ４の計算モデルを示す図。
【図２２】ＩｎＧａＺｎＯ４中の酸素の移動経路を示す図。
【図２３】ＩｎＧａＺｎＯ４中の酸素の移動経路と当該移動経路におけるエネルギー変化を示す図。
【図２４】ＣＡＡＣ−ＯＳの断面におけるＣｓ補正高分解能ＴＥＭ像、およびＣＡＡＣ−ＯＳの断面模式図。
【図２５】ＣＡＡＣ−ＯＳの平面におけるＣｓ補正高分解能ＴＥＭ像。
【図２６】ＣＡＡＣ−ＯＳおよび単結晶酸化物半導体のＸＲＤによる構造解析を説明する図。
【図２７】ＣＡＡＣ−ＯＳの電子回折パターンを示す図。
【図２８】Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物の電子照射による結晶部の変化を示す図。
【図２９】本発明の一態様に係る半導体装置を示す回路図。
【図３０】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３１】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３２】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３３】本発明の一態様に係る記憶装置を示す回路図。
【図３４】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３５】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３６】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３７】本発明の一態様に係る半導体装置を示す回路図。
【図３８】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図３９】本発明の一態様に係る半導体装置を示す上面図。
【図４０】本発明の一態様に係る半導体装置を示すブロック図。
【図４１】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図４２】本発明の一態様に係る半導体装置を示す断面図。
【図４３】本発明の一態様に係る半導体装置を示す斜視図および断面図。
【図４４】本発明の一態様に係る半導体装置を示すブロック図。
【図４５】本発明の一態様に係る半導体装置を示す回路図。
【図４６】本発明の一態様に係る半導体装置を示す回路図、上面図および断面図。
【図４７】本発明の一態様に係る半導体装置を示す回路図および断面図。
【図４８】本発明の一態様に係る電子機器を示す斜視図。
【図４９】実施例で測定したＴＤＳ分析の結果を示すグラフ。
【図５０】実施例で測定したＴＤＳ分析の結果を示すグラフ。
【図５１】実施例で測定したＴＤＳ分析の結果を示すグラフ。
【図５２】実施例で測定したＥＳＲ分析の結果を示すグラフ。
【図５３】実施例で測定したＳＳＤＰ−ＳＩＭＳ分析の結果を示すグラフ。
【図５４】実施例で測定したＴＯＦ−ＳＩＭＳ分析の結果を示すグラフ。
【図５５】実施例で測定したＴＯＦ−ＳＩＭＳ分析の結果を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の
説明に限定されず、その形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易
に理解される。また、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるも
のではない。なお、図面を用いて発明の構成を説明するにあたり、同じものを指す符号は
異なる図面間でも共通して用いる。なお、同様のものを指す際にはハッチパターンを同じ
くし、特に符号を付さない場合がある。
【００２５】
以下の実施の形態に示す構成は、実施の形態に示す他の構成に対して適宜、適用、組み
合わせ、又は置き換えなどを行って、本発明の一態様とすることができる。
【００２６】
なお、図において、大きさ、膜（層）の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張され
ている場合がある。
【００２７】
なお、本明細書において、「膜」という表記と、「層」という表記と、を互いに入れ替
えることが可能である。
【００２８】
また、電圧は、ある電位と、基準の電位（例えば接地電位（ＧＮＤ）またはソース電位
）との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧を電位と言い換えることが可能であ
る。一般的に、電位（電圧）は、相対的なものであり、基準の電位からの相対的な大きさ
によって決定される。したがって、「接地電位」などと記載されている場合であっても、
電位が０Ｖであるとは限らない。例えば、回路で最も低い電位が、「接地電位」となる場
合もある。または、回路で中間くらいの電位が、「接地電位」となる場合もある。その場
合には、その電位を基準として、正の電位と負の電位が規定される。
【００２９】
なお、第１、第２として付される序数詞は便宜的に用いるものであり、工程順または積
層順を示すものではない。そのため、例えば、「第１の」を「第２の」または「第３の」
などと適宜置き換えて説明することができる。また、本明細書などに記載されている序数
詞と、本発明の一態様を特定するために用いられる序数詞は一致しない場合がある。
【００３０】
なお、半導体の不純物とは、例えば、半導体を構成する主成分以外をいう。例えば、濃
度が０．１原子％未満の元素は不純物である。不純物が含まれることにより、例えば、半
導体にＤＯＳ（Ｄｅｎｓｉｔｙ  ｏｆ  Ｓｔａｔｅ）が形成されることや、キャリア移動
度が低下することや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体が酸化物半
導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第１族元素、第２
族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、主成分以外の遷移金属などがあり
、特に、例えば、水素（水にも含まれる）、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、
リン、炭素、窒素などがある。酸化物半導体の場合、例えば水素などの不純物の混入によ
って酸素欠損を形成する場合がある。また、半導体がシリコン層である場合、半導体の特
性を変化させる不純物としては、例えば、酸素、水素を除く第１族元素、第２族元素、第
１３族元素、第１５族元素などがある。
【００３１】
なお、チャネル長とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトラ
ンジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重
なる領域、またはチャネルが形成される領域における、ソース（ソース領域またはソース
電極）とドレイン（ドレイン領域またはドレイン電極）との間の距離をいう。なお、一つ
のトランジスタにおいて、チャネル長が全ての領域で同じ値をとるとは限らない。即ち、
一つのトランジスタのチャネル長は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明
細書では、チャネル長は、チャネルの形成される領域における、いずれか一の値、最大値
、最小値または平均値とする。
【００３２】
チャネル幅とは、例えば、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中
で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重なる領域、またはチャネルが形成される
領域における、ソースとドレインとが向かい合っている部分の長さをいう。なお、一つの
トランジスタにおいて、チャネル幅がすべての領域で同じ値をとるとは限らない。即ち、
一つのトランジスタのチャネル幅は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明
細書では、チャネル幅は、チャネルの形成される領域における、いずれか一の値、最大値
、最小値または平均値とする。
【００３３】
なお、トランジスタの構造によっては、実際にチャネルの形成される領域におけるチャ
ネル幅（以下、実効的なチャネル幅と呼ぶ。）と、トランジスタの上面図において示され
るチャネル幅（以下、見かけ上のチャネル幅と呼ぶ。）と、が異なる場合がある。例えば
、立体的な構造を有するトランジスタでは、実効的なチャネル幅が、トランジスタの上面
図において示される見かけ上のチャネル幅よりも大きくなり、その影響が無視できなくな
る場合がある。例えば、微細かつ立体的な構造を有するトランジスタでは、半導体の側面
に形成されるチャネル領域の割合が大きくなる場合がある。その場合は、上面図において
示される見かけ上のチャネル幅よりも、実際にチャネルの形成される実効的なチャネル幅
の方が大きくなる。
【００３４】
ところで、立体的な構造を有するトランジスタにおいては、実効的なチャネル幅の、実
測による見積もりが困難となる場合がある。例えば、設計値から実効的なチャネル幅を見
積もるためには、半導体の形状が既知という仮定が必要である。したがって、半導体の形
状が正確にわからない場合には、実効的なチャネル幅を正確に測定することは困難である
。
【００３５】
そこで、本明細書では、トランジスタの上面図において、半導体とゲート電極とが互い
に重なる領域における、ソースとドレインとが向かい合っている部分の長さである見かけ
上のチャネル幅を、「囲い込みチャネル幅（ＳＣＷ：Ｓｕｒｒｏｕｎｄｅｄ  Ｃｈａｎｎ
ｅｌ  Ｗｉｄｔｈ）」と呼ぶ場合がある。また、本明細書では、単にチャネル幅と記載し
た場合には、囲い込みチャネル幅または見かけ上のチャネル幅を指す場合がある。または
、本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、実効的なチャネル幅を指す場合が
ある。なお、チャネル長、チャネル幅、実効的なチャネル幅、見かけ上のチャネル幅、囲
い込みチャネル幅などは、断面ＴＥＭ像などを取得して、その画像を解析することなどに
よって、値を決定することができる。
【００３６】
なお、トランジスタの電界効果移動度や、チャネル幅当たりの電流値などを計算して求
める場合、囲い込みチャネル幅を用いて計算する場合がある。その場合には、実効的なチ
ャネル幅を用いて計算する場合とは異なる値をとる場合がある。
【００３７】
本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置
されている状態をいう。したがって、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「略
平行」とは、二つの直線が−３０°以上３０°以下の角度で配置されている状態をいう。
また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態
をいう。したがって、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」とは、
二つの直線が６０°以上１２０°以下の角度で配置されている状態をいう。
【００３８】
また、本明細書において、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表
す。
【００３９】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置の構成について、図１乃至図８を
用いて説明する。
【００４０】
＜トランジスタの構成＞
以下では、本発明の一態様に係る半導体装置の一例としてトランジスタの構成について
説明する。
【００４１】
図１（Ａ）乃至（Ｃ）を用いてトランジスタ１０の構成について説明する。図１（Ａ）
はトランジスタ１０の上面図である。図１（Ｂ）は図１（Ａ）の一点鎖線Ａ１−Ａ２に対
応する断面図である。図１（Ｃ）は図１（Ａ）の一点鎖線Ａ３−Ａ４に対応する断面図で
ある。なお、一点鎖線Ａ１−Ａ２で示す領域では、トランジスタ１０のチャネル長方向に
おける構造を示しており、一点鎖線Ａ３−Ａ４で示す領域では、トランジスタ１０のチャ
ネル幅方向における構造を示している。なお、トランジスタのチャネル長方向とは、ソー
ス（ソース領域またはソース電極）及びドレイン（ドレイン領域またはドレイン電極）間
において、キャリアが移動する方向を意味し、チャネル幅方向は、基板と水平な面内にお
いて、チャネル長方向に対して垂直の方向を意味する。なお、図１（Ａ）において、煩雑
になることを避けるため、トランジスタ１０の構成要素の一部（保護絶縁膜として機能す
る絶縁膜等）を省略して図示している。なお、トランジスタの上面図においては、以降の
図面においても図１（Ａ）と同様に、構成要素の一部を省略して図示する場合がある。
【００４２】
トランジスタ１０は、基板１００上に形成された半導体１０６ｂと、半導体１０６ｂの
上面の少なくとも一部に接して形成された導電体１０８ａと、半導体１０６ｂの上面の少
なくとも一部に接して形成された導電体１０８ｂと、導電体１０８ａと導電体１０８ｂの
上に形成され、半導体１０６ｂの上面の少なくとも一部に接して形成された絶縁体１１２
ａと、絶縁体１１２ａの上に形成された絶縁体１１２ｂと、絶縁体１１２ｂの上に形成さ
れ、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂを介して導電体１０８ａの少なくとも一部と重な
り、且つ絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂを介して導電体１０８ｂの少なくとも一部と
重なる導電体１１４ｂと、導電体１１４ｂの上に形成された絶縁体１１８と、を有する。
【００４３】
例えば、図１（Ａ）乃至（Ｃ）に示すように、トランジスタ１０は、基板１００の上に
形成された絶縁体１０１及び絶縁体１０４と、絶縁体１０４の上に形成された絶縁体１０
６ａ及び半導体１０６ｂと、半導体１０６ｂの上に形成された導電体１０８ａ、導電体１
０８ｂ、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂと、半導体１０６ｂの上に形成された絶縁体
１１２ａ及び絶縁体１１２ｂと、絶縁体１１２ｂの上に形成された導電体１１４ａ乃至１
１４ｃと、導電体１１４ｃの上に形成された絶縁体１１６、絶縁体１１８と、を有する。
【００４４】
ここで、絶縁体１０１、絶縁体１０４、絶縁体１０６ａ、絶縁体１１２ａ、絶縁体１１
２ｂ、絶縁体１１６及び絶縁体１１８は、絶縁膜又は絶縁層ということもできる。また、
導電体１０８ａ、導電体１０８ｂ、導電体１０９ａ、導電体１０９ｂ及び導電体１１４ａ
乃至１１４ｃは、導電膜又は導電層ということもできる。また、半導体１０６ｂは、半導
体膜又は半導体層ということもできる。
【００４５】
基板１００上に形成された絶縁体１０１の上に絶縁体１０４が形成されている。絶縁体
１０４の上に絶縁体１０６ａが形成され、絶縁体１０６ａの上面の少なくとも一部に接し
て半導体１０６ｂが形成されている。ここで、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂは、酸
化物半導体を用いることが好ましい。また、絶縁体１０４は酸素を含む絶縁体を用いるこ
とが好ましい。また、絶縁体１０６ａ又は半導体１０６ｂなどの導電体１０８ａ又は導電
体１０８ｂと接する領域（図１（Ｂ）では点線で表示）に低抵抗領域１０７ａ及び低抵抗
領域１０７ｂが形成されることがある。また、図１（Ｂ）に示すように、半導体１０６ｂ
は、導電体１０８ａと導電体１０８ｂの間に導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂと重なっ
た領域より膜厚の薄い領域を有することがある。
【００４６】
半導体１０６ｂの上面の少なくとも一部に接して導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが
形成されている。導電体１０８ａと導電体１０８ｂは離間して形成されており、図１（Ａ
）（Ｂ）に示すように導電体１１４ａ乃至１１４ｃを間に挟んで対向して形成されている
ことが好ましい。また、図１（Ｂ）に示すように、導電体１０８ａの上に接して導電体１
０９ａを形成し、導電体１０８ｂの上に接して導電体１０９ｂを形成して、導電体を積層
構造としてもよい。ここで、導電体１０８ａ及び導電体１０９ａは、トランジスタ１０の
ソース電極またはドレイン電極の一方として機能し、導電体１０８ｂ及び導電体１０９ｂ
は、トランジスタ１０のソース電極またはドレイン電極の他方として機能する。なお、導
電体１０９ａと導電体１０９ｂのいずれか一方又は両方を設けない構成とすることもでき
る。
【００４７】
また、図１（Ｂ）に示す構成では、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの下面が、絶縁
体１０６ａ及び半導体１０６ｂの側面の一部、絶縁体１０４の上面の一部と接している。
このような構成とすることにより、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体
１０８ａ及び導電体１０８ｂと、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂとの接触面積を大き
くすることができるので、トランジスタ１０の導通時の電流（オン電流）を増加させるこ
とができる。ただし、本実施の形態に示す半導体装置の構成はこれに限られるものではな
い。例えば、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの下面が半導体１０６ｂの上面とだけ接
する構成としてもよい。言い換えると、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの端部が、半
導体１０６ｂの端部と一致する、または半導体１０６ｂの端部より内側に位置する構成と
してもよい。
【００４８】
半導体１０６ｂの上に絶縁体１１２ａが形成され、絶縁体１１２ａの上に絶縁体１１２
ｂが形成される。ここで、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂはトランジスタ１０のゲー
ト絶縁膜として機能する。絶縁体１１２ａは酸素を含む絶縁体を用い、絶縁体１１２ｂは
、絶縁体１１２ａより酸素を透過させにくい絶縁体を用いる。なお、図１（Ａ）乃至（Ｃ
）に示す構成では、絶縁体１１２ａ、絶縁体１１２ｂ、導電体１１４ａ乃至１１４ｃの端
部が一致しているが、本実施の形態に示す構成はこれに限られるものではない。
【００４９】
絶縁体１１２ｂの上に、導電体１０８ａと導電体１０８ｂの間に重なるように導電体１
１４ａ乃至１１４ｃが形成される。導電体１１４ａ乃至１１４ｃは、導電体１１４ａ、導
電体１１４ｂ、導電体１１４ｃの順番に積層される。導電体１１４ａ乃至１１４ｃは、絶
縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂを介して導電体１０８ａの少なくとも一部と重なり、且
つ絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂを介して導電体１０８ｂの少なくとも一部と重なる
。ここで、導電体１１４ａ乃至１１４ｃは、トランジスタ１０のゲート電極として機能す
る。なお、導電体１１４ａと導電体１１４ｃのいずれか一方又は両方を設けない構成とす
ることもできる。
【００５０】
導電体１１４ａ乃至１１４ｃ及び絶縁体１０４の上に絶縁体１１６が形成される。絶縁
体１１６は、絶縁体１１２ａの少なくとも一部と接していることが好ましい。また、絶縁
体１１６は、絶縁体１０４の少なくとも一部と接していることが好ましい。絶縁体１１６
の上に接して絶縁体１１８が形成される。ここで、絶縁体１１６及び絶縁体１１８は、ト
ランジスタ１０の保護絶縁膜として機能する。絶縁体１１６は酸素を含む絶縁体を用い、
絶縁体１１８は、絶縁体１１６より酸素を透過させにくい絶縁体を用いる。
【００５１】
また、絶縁体１１６と絶縁体１１８との界面近傍の領域（図１（Ｂ）及び図１（Ｃ）で
は点線で表示）に混合領域１３０が形成されることがある。混合領域１３０では、絶縁体
１１６を構成する成分と、絶縁体１１８を構成する成分の両方が含まれている。なお、図
１（Ｂ）及び図１（Ｃ）では絶縁体１１６と絶縁体１１８の両方に混合領域１３０が形成
されているが、本実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。例えば、
混合領域１３０が絶縁体１１６側に偏って形成されていてもよいし、絶縁体１１８側に偏
って形成されていてもよい。例えば、混合領域１３０が絶縁体１１８側に偏って形成され
ている場合、混合領域に含まれる絶縁体１１８を構成する成分は、絶縁体１１６を構成す
る成分より多くなる場合がある。
【００５２】
上述のように、導電体１０８ａと、導電体１１４ａ乃至１１４ｃとは、絶縁体１１２ａ
及び絶縁体１１２ｂを介して互いに重なり合う領域（以下、オーバーラップ領域と呼ぶ場
合がある。）を有している。同様に、導電体１０８ｂと、導電体１１４ａ乃至１１４ｃも
オーバーラップ領域を有している。このように、オーバーラップ領域を有する構造とする
ことで、半導体１０６ｂにおいて、導電体１０８ａと導電体１０８ｂに挟まれ、且つ導電
体１１４ａ乃至１１４ｃと重ならない領域（以下、オフセット領域と呼ぶ場合がある。）
が形成されなくなる。トランジスタにオフセット領域が形成されると、ゲート電極に電圧
を印加してチャネルを形成する際に、オフセット領域が抵抗として機能するため、オン電
流が低下してしまう。これに対して、本実施の形態に示す半導体装置のように、オーバー
ラップ領域を形成し、オフセット領域を設けないことにより、オン電流の大きいトランジ
スタを形成することができる。
【００５３】
＜半導体＞
以下、半導体１０６ｂの詳細な構成について説明する。
【００５４】
なお、本項目においては、半導体１０６ｂとともに絶縁体１０６ａの詳細な構成につい
ても説明する。
【００５５】
半導体１０６ｂは、例えば、インジウムを含む酸化物半導体である。半導体１０６ｂは
、例えば、インジウムを含むと、キャリア移動度（電子移動度）が高くなる。また、半導
体１０６ｂは、元素Ｍを含むと好ましい。元素Ｍは、好ましくは、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ
、Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、ＳｎまたはＨｆを表すとする。ただし、元素Ｍとして、前述の元素
を複数組み合わせても構わない場合がある。元素Ｍは、例えば、酸素との結合エネルギー
が高い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い元素である
。または、元素Ｍは、例えば、酸化物半導体のエネルギーギャップを大きくする機能を有
する元素である。また、半導体１０６ｂは、亜鉛を含むと好ましい。酸化物半導体は、亜
鉛を含むと結晶化しやすくなる場合がある。
【００５６】
ただし、半導体１０６ｂは、インジウムを含む酸化物半導体に限定されない。半導体１
０６ｂは、例えば、亜鉛スズ酸化物、ガリウムスズ酸化物などの、インジウムを含まず、
亜鉛を含む酸化物半導体、ガリウムを含む酸化物半導体、スズを含む酸化物半導体などで
あっても構わない。
【００５７】
絶縁体１０６ａは、半導体１０６ｂを構成する酸素以外の元素一種以上、または二種以
上から構成される。半導体１０６ｂを構成する酸素以外の元素一種以上、または二種以上
から絶縁体１０６ａが構成されるため、絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂとの界面におい
て、欠陥準位が形成されにくい。
【００５８】
絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂは、少なくともインジウムを含むと好ましい。なお
、絶縁体１０６ａがＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物のとき、ＩｎおよびＭの和を１００ａｔｏｍｉ
ｃ％としたとき、好ましくはＩｎが５０ａｔｏｍｉｃ％未満、Ｍが５０ａｔｏｍｉｃ％よ
り高く、さらに好ましくはＩｎが２５ａｔｏｍｉｃ％未満、Ｍが７５ａｔｏｍｉｃ％より
高いとする。また、半導体１０６ｂがＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物のとき、ＩｎおよびＭの和を
１００ａｔｏｍｉｃ％としたとき、好ましくはＩｎが２５ａｔｏｍｉｃ％より高く、Ｍが
７５ａｔｏｍｉｃ％未満、さらに好ましくはＩｎが３４ａｔｏｍｉｃ％より高く、Ｍが６
６ａｔｏｍｉｃ％未満とする。ただし、絶縁体１０６ａがインジウムを含まなくても構わ
ない場合がある。例えば絶縁体１０６ａが酸化ガリウムまたはＧａ−Ｚｎ酸化物であって
も構わない。なお、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに含まれる各元素の原子数が、簡
単な整数比にならなくても構わない。
【００５９】
例えば、スパッタリング法を用いて成膜する場合、絶縁体１０６ａに用いるターゲット
の金属元素の原子数比の代表例としては、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：２：４、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ
＝１：３：２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：４、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：６、Ｉｎ：Ｍ：
Ｚｎ＝１：３：８、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：４：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：４：４、Ｉｎ：
Ｍ：Ｚｎ＝１：４：５、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：４：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：３、Ｉ
ｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：４、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：５、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：６
、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：７、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６：８、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：６
：９等がある。また、絶縁体１０６ａに用いるターゲットの金属元素の原子数比をＭ：Ｚ
ｎ＝１０：１としてもよい。
【００６０】
また、例えば、スパッタリング法を用いて成膜する場合、半導体１０６ｂに用いるター
ゲットの金属元素の原子数比の代表例としては、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｍ
：Ｚｎ＝１：１：１．２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：１．５、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：
２．３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝３：１：２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝
４：２：４．１等がある。特に、スパッタリングターゲットとして、原子数比がＩｎ：Ｇ
ａ：Ｚｎ＝４：２：４．１を用いる場合、成膜される半導体１０６ｂの原子数比は、Ｉｎ
：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３近傍となる場合がある。
【００６１】
半導体１０６ｂは、例えば、エネルギーギャップが大きい酸化物を用いる。半導体１０
６ｂのエネルギーギャップは、例えば、２．５ｅＶ以上４．２ｅＶ以下、好ましくは２．
８ｅＶ以上３．８ｅＶ以下、さらに好ましくは３ｅＶ以上３．５ｅＶ以下とする。ここで
、絶縁体１０６ａのエネルギーギャップは、半導体１０６ｂのエネルギーギャップより大
きい。
【００６２】
半導体１０６ｂは、絶縁体１０６ａよりも電子親和力の大きい酸化物を用いる。例えば
、半導体１０６ｂとして、絶縁体１０６ａよりも電子親和力の０．０７ｅＶ以上１．３ｅ
Ｖ以下、好ましくは０．１ｅＶ以上０．７ｅＶ以下、さらに好ましくは０．１５ｅＶ以上
０．４ｅＶ以下大きい酸化物を用いる。なお、電子親和力は、真空準位と伝導帯下端のエ
ネルギーとの差である。言い換えると、絶縁体１０６ａの伝導帯下端のエネルギー準位は
、半導体１０６ｂの伝導帯下端のエネルギー準位より真空準位に近い。
【００６３】
このとき、ゲート電圧を印加すると、絶縁体１０６ａではなく、電子親和力の大きい半
導体１０６ｂにチャネルが形成される。
【００６４】
上記の通り、絶縁体１０６ａは、単独で用いる場合、導電体、半導体または絶縁体とし
て機能させることができる物質からなる。しかしながら、半導体１０６ｂと積層させてト
ランジスタを形成する場合、電子は半導体１０６ｂ及び、半導体１０６ｂと絶縁体１０６
ａの界面近傍を流れ、絶縁体１０６ａは当該トランジスタのチャネルとして機能しない領
域を有する。このため、本明細書などにおいては、絶縁体１０６ａを半導体と記載せず、
絶縁体と記載するものとする。なお、絶縁体１０６ａを絶縁体と記載するのは、あくまで
半導体１０６ｂと比較してトランジスタの機能上絶縁体に近い機能を有するためなので、
絶縁体１０６ａとして、半導体１０６ｂに用いることができる物質を用いる場合もある。
【００６５】
ここで、絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂとの間には、絶縁体１０６ａと半導体１０６
ｂとの混合領域を有する場合がある。混合領域は、欠陥準位密度が低くなる。そのため、
絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂの積層体は、それぞれの界面近傍において、エネルギー
が連続的に変化する（連続接合ともいう。）バンド図となる。なお、絶縁体１０６ａと半
導体１０６ｂは、それぞれの界面を明確に判別できない場合がある。
【００６６】
このとき、電子は、絶縁体１０６ａ中ではなく、半導体１０６ｂ中を主として移動する
。上述したように、絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂとの界面における欠陥準位密度を低
くすることによって、半導体１０６ｂ中で電子の移動が阻害されることが少なく、トラン
ジスタのオン電流を高くすることができる。
【００６７】
また、トランジスタのオン電流は、電子の移動を阻害する要因を低減するほど、高くす
ることができる。例えば、電子の移動を阻害する要因のない場合、効率よく電子が移動す
ると推定される。電子の移動は、例えば、チャネル形成領域の物理的な凹凸が大きい場合
にも阻害される。
【００６８】
トランジスタのオン電流を高くするためには、例えば、半導体１０６ｂの上面または下
面（被形成面、ここでは絶縁体１０６ａの上面）の、１μｍ×１μｍの範囲における二乗
平均平方根（ＲＭＳ：Ｒｏｏｔ  Ｍｅａｎ  Ｓｑｕａｒｅ）粗さが１ｎｍ未満、好ましく
は０．６ｎｍ未満、さらに好ましくは０．５ｎｍ未満、より好ましくは０．４ｎｍ未満と
すればよい。また、１μｍ×１μｍの範囲における平均面粗さ（Ｒａともいう。）が１ｎ
ｍ未満、好ましくは０．６ｎｍ未満、さらに好ましくは０．５ｎｍ未満、より好ましくは
０．４ｎｍ未満とすればよい。また、１μｍ×１μｍの範囲における最大高低差（Ｐ−Ｖ
ともいう。）が１０ｎｍ未満、好ましくは９ｎｍ未満、さらに好ましくは８ｎｍ未満、よ
り好ましくは７ｎｍ未満とすればよい。ＲＭＳ粗さ、ＲａおよびＰ−Ｖは、エスアイアイ
・ナノテクノロジー株式会社製走査型プローブ顕微鏡システムＳＰＡ−５００などを用い
て測定することができる。
【００６９】
また、信頼性を高くするためには、絶縁体１０６ａは厚いことが好ましい。例えば、１
０ｎｍ以上、好ましくは２０ｎｍ以上、さらに好ましくは４０ｎｍ以上、より好ましくは
６０ｎｍ以上の厚さの領域を有する絶縁体１０６ａとすればよい。絶縁体１０６ａの厚さ
を、厚くすることで、隣接する絶縁体と絶縁体１０６ａとの界面からチャネルの形成され
る半導体１０６ｂまでの距離を離すことができる。ただし、半導体装置の生産性が低下す
る場合があるため、例えば、２００ｎｍ以下、好ましくは１２０ｎｍ以下、さらに好まし
くは８０ｎｍ以下の厚さの領域を有する絶縁体１０６ａとすればよい。
【００７０】
例えば、酸化物半導体中のシリコンは、キャリアトラップやキャリア発生源となる場合
がある。したがって、半導体１０６ｂのシリコン濃度は低いほど好ましい。例えば、半導
体１０６ｂと絶縁体１０６ａとの間に、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄ
ａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）において、１×１０１６ａｔｏ
ｍｓ／ｃｍ３以上１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは１×１０１６ａｔｏ
ｍｓ／ｃｍ３以上５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６
ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下のシリコン濃度となる領域
を有する。
【００７１】
また、半導体１０６ｂの水素濃度を低減するために、絶縁体１０６ａの水素濃度を低減
すると好ましい。絶縁体１０６ａは、ＳＩＭＳにおいて、１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ
３以上２×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ
３以上５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１×１０１６ａｔｏｍｓ／
ｃｍ３以上１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６ａｔｏ
ｍｓ／ｃｍ３以上５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下の水素濃度となる領域を有する。
また、半導体１０６ｂの窒素濃度を低減するために、絶縁体１０６ａの窒素濃度を低減す
ると好ましい。絶縁体１０６ａは、ＳＩＭＳにおいて、１×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ３
以上５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは１×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ３
以上５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃ
ｍ３以上１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１５ａｔｏｍ
ｓ／ｃｍ３以上５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下の窒素濃度となる領域を有する。
【００７２】
また、図１（Ｂ）に示す低抵抗領域１０７ａ及び低抵抗領域１０７ｂは、主に、絶縁体
１０６ａ又は半導体１０６ｂが接した導電体１０８ａ又は導電体１０８ｂに酸素を引き抜
かれることにより形成される。または、低抵抗領域１０７ａ及び低抵抗領域１０７ｂは、
導電体１０８ａ又は導電体１０８ｂに含まれる導電材料が絶縁体１０６ａ又は半導体１０
６ｂ中の元素と結合することにより形成される。このような低抵抗領域１０７ａ及び低抵
抗領域１０７ｂが形成されることにより、導電体１０８ａ又は導電体１０８ｂと絶縁体１
０６ａ又は半導体１０６ｂとの接触抵抗を低減することが可能となるのでトランジスタ１
０のオン電流を増大させることができる。
【００７３】
また、図１（Ｂ）に示すように、半導体１０６ｂは、導電体１０８ａと導電体１０８ｂ
の間に導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂと重なった領域より膜厚の薄い領域を有するこ
とがある。これは、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂを形成する際に、半導体１０６ｂ
の上面の一部を除去することにより形成される。半導体１０６ｂの上面には、導電体１０
８ａ及び導電体１０８ｂとなる導電体を成膜した際に、低抵抗領域１０７ａ及び１０７ｂ
と同様の抵抗の低い領域が形成される場合がある。このように、半導体１０６ｂの上面の
導電体１０８ａと導電体１０８ｂの間に位置する領域を除去することにより、半導体１０
６ｂの上面の抵抗が低い領域にチャネルが形成されることを防ぐことができる。
【００７４】
なお、上述の絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂの２層構造は一例である。例えば、絶縁
体１０６ａのない単層構造としても構わない。または、半導体１０６ｂの上に絶縁体１０
６ａとして例示した絶縁体、半導体又は導電体のいずれか一を有する３層構造としても構
わない。または、絶縁体１０６ａの下、絶縁体１０６ａの上、半導体１０６ｂの上のいず
れか二箇所以上に、絶縁体１０６ａ又は半導体１０６ｂとして例示した絶縁体、半導体又
は導電体のいずれか一を有するｎ層構造（ｎは５以上の整数）としても構わない。
【００７５】
本実施の形態に示す絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ、特に半導体１０６ｂは、不純
物濃度が低く、欠陥準位密度の低い（酸素欠損の少ない）酸化物半導体であり、高純度真
性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶことができる。高純度真性または実質
的に高純度真性である酸化物半導体は、キャリア発生源が少ないため、キャリア密度を低
くすることができる。従って、該酸化物半導体にチャネル領域が形成されるトランジスタ
は、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性（ノーマリーオンともいう。）になることが
少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体は、欠陥準位密
度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。また、高純度真性または実質的
に高純度真性である酸化物半導体は、オフ電流が著しく小さく、チャネル幅Ｗが１×１０
６μｍでチャネル長Ｌが１０μｍの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧
（ドレイン電圧）が１Ｖから１０Ｖの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナ
ライザの測定限界以下、すなわち１×１０−１３Ａ以下という特性を得ることができる。
【００７６】
したがって、上記高純度真性、または実質的に高純度真性の酸化物半導体にチャネル領
域が形成されるトランジスタは、電気特性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタと
することができる。なお、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するま
でに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラ
ップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル領域が形成されるトランジスタは、電気特性
が不安定となる場合がある。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、またはアルカ
リ土類金属等がある。
【００７７】
絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応
して水になると共に、酸素が脱離した格子（または酸素が脱離した部分）に酸素欠損を形
成する。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。
また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する
ことがある。特に酸素欠損にトラップされた水素は、半導体のバンド構造に対して浅いド
ナー準位を形成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトラ
ンジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、絶縁体１０６ａ及び半導体１０
６ｂは水素ができる限り低減されていることが好ましい。具体的には、絶縁体１０６ａ及
び半導体１０６ｂにおいて、ＳＩＭＳ分析により得られる水素濃度を、２×１０２０ａｔ
ｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは
１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましく
は１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ
３以下、さらに好ましくは１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【００７８】
絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂにおいて、第１４族元素の一つであるシリコンや炭
素が含まれると、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂにおいて酸素欠損が増加し、ｎ型化
してしまう。このため、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂにおけるシリコンや炭素の濃
度と、絶縁体１０６ａ又は半導体１０６ｂとの界面近傍のシリコンや炭素の濃度（ＳＩＭ
Ｓ分析により得られる濃度）を、２×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×
１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とする。
【００７９】
また、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂにおいて、ＳＩＭＳ分析により得られるアル
カリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ま
しくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にする。アルカリ金属及びアルカリ土類金属
は、酸化物半導体と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流
が増大してしまうことがある。このため、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂのアルカリ
金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好ましい。
【００８０】
また、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに窒素が含まれていると、キャリアである電
子が生じ、キャリア密度が増加し、ｎ型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化
物半導体膜を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。従って、該酸化物
半導体膜において、窒素はできる限り低減されていることが好ましい、例えば、ＳＩＭＳ
分析により得られる窒素濃度は、５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にすることが好ま
しい。
【００８１】
なお、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに用いることのできる酸化物半導体の詳細に
ついては、実施の形態３で詳細に説明する。
【００８２】
＜基板、絶縁体、導電体＞
以下に、トランジスタ１０の半導体以外の各構成要素について詳細な説明を行う。
【００８３】
基板１００は、例えば、絶縁体基板、半導体基板または導電体基板を用いればよい。絶
縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア
基板（イットリア安定化ジルコニア基板など）、樹脂基板などがある。また、半導体基板
としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、または炭化シリコン
、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムな
どの半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導
体基板、例えばＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板などがある。
導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。また
は、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁
体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設け
られた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、こ
れらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容
量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
【００８４】
また、基板１００として、トランジスタ作製時の加熱処理に耐えうる可とう性基板を用
いてもよい。なお、可とう性基板上にトランジスタを設ける方法としては、非可とう性の
基板上にトランジスタを作製した後、トランジスタを剥離し、可とう性基板である基板１
００に転置する方法もある。その場合には、非可とう性基板とトランジスタとの間に剥離
層を設けるとよい。なお、基板１００として、繊維を編みこんだシート、フィルムまたは
箔などを用いてもよい。また、基板１００が伸縮性を有してもよい。また、基板１００は
、折り曲げや引っ張りをやめた際に、元の形状に戻る性質を有してもよい。または、元の
形状に戻らない性質を有してもよい。基板１００の厚さは、例えば、５μｍ以上７００μ
ｍ以下、好ましくは１０μｍ以上５００μｍ以下、さらに好ましくは１５μｍ以上３００
μｍ以下とする。基板１００を薄くすると、半導体装置を軽量化することができる。また
、基板１００を薄くすることで、ガラスなどを用いた場合にも伸縮性を有する場合や、折
り曲げや引っ張りをやめた際に、元の形状に戻る性質を有する場合がある。そのため、落
下などによって基板１００上の半導体装置に加わる衝撃などを緩和することができる。即
ち、丈夫な半導体装置を提供することができる。
【００８５】
可とう性基板である基板１００としては、例えば、金属、合金、樹脂もしくはガラス、
またはそれらの繊維などを用いることができる。可とう性基板である基板１００は、線膨
張率が低いほど環境による変形が抑制されて好ましい。可とう性基板である基板１００と
しては、例えば、線膨張率が１×１０−３／Ｋ以下、５×１０−５／Ｋ以下、または１×
１０−５／Ｋ以下である材質を用いればよい。樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポ
リオレフィン、ポリアミド（ナイロン、アラミドなど）、ポリイミド、ポリカーボネート
、アクリルなどがある。特に、アラミドは、線膨張率が低いため、可とう性基板である基
板１００として好適である。
【００８６】
絶縁体１０１は、水素又は水をブロックする機能を有する絶縁体を用いる。絶縁体１０
６ａ及び半導体１０６ｂ近傍に設けられる絶縁体中の水素や水は、酸化物半導体を含む絶
縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ中にキャリアを生成する要因の一つとなる。これにより
トランジスタ１０の信頼性が低下するおそれがある。特に基板１００としてスイッチ素子
などのシリコン系半導体素子を設けた基板を用いる場合、当該半導体素子のダングリング
ボンドを終端するために水素が用いられ、当該水素がトランジスタ１０まで拡散するおそ
れがある。これに対して水素又は水をブロックする機能を有する絶縁体１０１を設けるこ
とによりトランジスタ１０の下層から水素又は水が拡散するのを抑制し、トランジスタ１
０の信頼性を向上させることができる。
【００８７】
また、絶縁体１０１は酸素をブロックする機能も有することが好ましい。絶縁体１０１
が絶縁体１０４から拡散する酸素をブロックすることにより、絶縁体１０４から絶縁体１
０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することができる。
【００８８】
絶縁体１０１としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリ
ウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、
酸化窒化ハフニウム等を用いることができる。これらを絶縁体１０１として用いることに
より、酸素、水素又は水の拡散をブロックする効果を示す絶縁膜として機能することがで
きる。また、絶縁体１０１としては、例えば、窒化シリコン、窒化酸化シリコン等を用い
ることができる。これらを絶縁体１０１として用いることにより、水素、水の拡散をブロ
ックする効果を示す絶縁膜として機能することができる。なお、本明細書等において、窒
化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものを指し、酸化
窒化シリコンとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多いものを指す。
【００８９】
絶縁体１０４は酸素を含む絶縁体であり、過剰酸素を有することが好ましい。また、絶
縁体１０４は絶縁体１０１より酸素を透過させやすいことが好ましい。このような絶縁体
１０４を設けることにより、絶縁体１０４から絶縁体１０６ａ、半導体１０６ｂに酸素を
供給することができる。当該酸素により、酸化物半導体である絶縁体１０６ａ、半導体１
０６ｂの欠陥となる酸素欠損を低減することができる。これにより、絶縁体１０６ａ、半
導体１０６ｂの欠陥準位密度を低減し、半導体１０６ｂを安定な特性を有する酸化物半導
体とすることができる。
【００９０】
なお、本明細書などにおいて、過剰酸素とは、例えば、化学量論的組成を超えて含まれ
る酸素をいう。または、過剰酸素とは、例えば、加熱することで酸素が含まれる膜又は層
から放出される酸素をいう。過剰酸素は、例えば、膜や層の内部を移動することができる
。過剰酸素の移動は、膜や層の原子間を移動する場合や、膜や層を構成する酸素と置き換
わりながら玉突き的に移動する場合などがある。
【００９１】
絶縁体１０４としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、
アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウ
ム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単
層で、または積層で用いればよい。例えば、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを有す
ることが好ましい。
【００９２】
過剰酸素を有する絶縁体１０４は、昇温脱離ガス分光法（ＴＤＳ：Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄ
ｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、１００℃以上７００℃以下
または１００℃以上５００℃以下の表面温度の範囲で、酸素分子の脱離量が１．０×１０
１４ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以上１．０×１０１６ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以下
、より好ましくは、１．０×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以上５．０×１０１５
ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以下となる領域を有することが好ましい。
【００９３】
ＴＤＳ分析を用いた酸素の放出量の測定方法について、以下に説明する。
【００９４】
測定試料をＴＤＳ分析したときの気体の全放出量は、放出ガスのイオン強度の積分値に
比例する。そして標準試料との比較により、気体の全放出量を計算することができる。
【００９５】
例えば、標準試料である所定の密度の水素を含むシリコン基板のＴＤＳ分析結果、およ
び測定試料のＴＤＳ分析結果から、測定試料の酸素分子の放出量（ＮＯ２）は、下に示す
式で求めることができる。ここで、ＴＤＳ分析で得られる質量電荷比３２で検出されるガ
スの全てが酸素分子由来と仮定する。ＣＨ３ＯＨの質量電荷比は３２であるが、存在する
可能性が低いものとしてここでは考慮しない。また、酸素原子の同位体である質量数１７
の酸素原子および質量数１８の酸素原子を含む酸素分子についても、自然界における存在
比率が極微量であるため考慮しない。
【００９６】
ＮＯ２＝ＮＨ２／ＳＨ２×ＳＯ２×α
【００９７】
ＮＨ２は、標準試料から脱離した水素分子を密度で換算した値である。ＳＨ２は、標準
試料をＴＤＳ分析したときのイオン強度の積分値である。ここで、標準試料の基準値を、
ＮＨ２／ＳＨ２とする。ＳＯ２は、測定試料をＴＤＳ分析したときのイオン強度の積分値
である。αは、ＴＤＳ分析におけるイオン強度に影響する係数である。上に示す式の詳細
に関しては、特開平６−２７５６９７公報を参照する。なお、上記酸素の放出量は、電子
科学株式会社製の昇温脱離分析装置ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ／Ｗを用い、標準試料として
一定量の水素原子を含むシリコン基板を用いて測定する。
【００９８】
また、ＴＤＳ分析において、酸素の一部は酸素原子として検出される。酸素分子と酸素
原子の比率は、酸素分子のイオン化率から算出することができる。なお、上述のαは酸素
分子のイオン化率を含むため、酸素分子の放出量を評価することで、酸素原子の放出量に
ついても見積もることができる。
【００９９】
なお、ＮＯ２は酸素分子の放出量である。酸素原子に換算したときの放出量は、酸素分
子の放出量の２倍となる。
【０１００】
または、過剰酸素を有する絶縁体１０４は、過酸化ラジカルを含むこともある。具体的
には、過酸化ラジカルに起因するスピン密度が、５×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以上で
あることをいう。なお、過酸化ラジカルを含む絶縁体は、電子スピン共鳴法（ＥＳＲ：Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｉｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）にて、ｇ値が２．０１近傍に非対称の
信号を有することもある。
【０１０１】
また、絶縁体１０４は、基板１００からの不純物の拡散を防止する機能を有してもよい
。また、絶縁体１０４は、水素トラップを有する絶縁体としてもよい。
【０１０２】
また、上述の通り半導体１０６ｂの上面又は下面は平坦性が高いことが好ましい。この
ため、絶縁体１０４の上面に化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉ
ｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）法などによって平坦化処理を行って平坦性の向上を図って
もよい。
【０１０３】
導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂは、それぞれトランジスタ１０のソース電極または
ドレイン電極のいずれかとして機能する。
【０１０４】
導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂとしては、例えば、ホウ素、窒素、酸素、フッ素、
シリコン、リン、アルミニウム、チタン、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、銅、
亜鉛、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、銀、インジウ
ム、スズ、タンタルおよびタングステンを一種以上含む導電体を、単層で、または積層で
用いればよい。例えば、合金や化合物であってもよく、アルミニウムを含む導電体、銅お
よびチタンを含む導電体、銅およびマンガンを含む導電体、インジウム、スズおよび酸素
を含む導電体、チタンおよび窒素を含む導電体などを用いてもよい。
【０１０５】
導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂは、酸化反応のギブス自由エネルギーが高い物質を
用いることが好ましい。このような導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂを設けることによ
り、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの上面において、接する膜から酸素を引き抜くこ
とが抑制できる。これにより、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの一部が酸化して抵抗
率が増大することを抑制し、且つ絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供
給することができる。
【０１０６】
導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとしては、例えば、銀、銅、ルテニウム、イリジウ
ム、白金および金から選ばれた一種以上の元素を含む金属又は酸化物を、単層で、または
積層で用いればよい。なお、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとして酸化物を用いる場
合、導電率が高いため、ルテニウムまたはイリジウムを含む酸化物を用いると好ましい。
ルテニウムまたはイリジウムを含む酸化物の一例としては、ＲｕＯＸ（Ｘは０．５以上３
以下）、ＩｒＯＸ（Ｘは０．５以上３以下）、ＳｒＲｕＯＸ（Ｘは１以上５以下）などが
挙げられる。
【０１０７】
また、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとしては、例えば、窒化チタン、窒化タング
ステン、窒化タンタルなどの導電性を有する窒化物を、単層で、または積層で用いてもよ
い。このような導電体は酸素を透過させにくいので、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂ
の上面において、接する膜から酸素を引き抜くことが抑制できる。これにより、導電体１
０８ａ及び導電体１０８ｂの一部が酸化して抵抗率が増大することを抑制し、且つ絶縁体
１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することができる。
【０１０８】
なお、図１（Ｂ）において導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂが、導電体１０８ａ及び
導電体１０８ｂの上に形成されているが、本実施の形態に示す半導体装置の構成はこれに
限られるものではない。例えば、導電体１０９ａおよび導電体１０９ｂを形成せず、導電
体１０８ａ及び導電体１０８ｂのみの構成としてもよいし、導電体１０８ａ及び導電体１
０８ｂを形成せず、導電体１０９ａおよび導電体１０９ｂのみの構成としてもよい。また
、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの下に導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂを設ける
構成としてもよい。
【０１０９】
また、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂをソース電極及びドレイン電極として機能さ
せる場合、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂの代わりに、絶縁体１１２ａ又は絶縁体１
１６より酸素を透過させにくい絶縁体を設ける構成としてもよい。このような絶縁体とし
ては、後述する絶縁体１１２ｂとして用いることができる絶縁体を用いればよい。このよ
うな構成とすることにより、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂの一部が酸化して抵抗率
が増大することを抑制し、且つ絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給
することができる。
【０１１０】
絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂは、トランジスタ１０のゲート絶縁膜として機能す
る。絶縁体１１２ａは酸素を含む絶縁体であり、過剰酸素を有することが好ましい。また
、絶縁体１１２ａは絶縁体１１２ｂより酸素を透過させやすいことが好ましい。このよう
な絶縁体１１２ａを設けることにより、絶縁体１１２ａから絶縁体１０６ａ、半導体１０
６ｂに酸素を供給することができる。当該酸素により、酸化物半導体を含む、絶縁体１０
６ａ及び半導体１０６ｂの欠陥となる酸素欠損を低減することができる。これにより、絶
縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂの欠陥準位密度を低減し、半導体１０６ｂを安定な特性
を有する酸化物半導体とすることができる。
【０１１１】
絶縁体１１２ａとしては、酸素とシリコンを含む絶縁体、例えば、酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏｘ）または酸化窒化シリコンを用いることが好ましい。また、絶縁体１１２ａとしては
、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン
、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ラン
タン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用い
ればよい。
【０１１２】
絶縁体１１２ｂは、絶縁体１１２ａより酸素を透過させにくい絶縁体であり、酸素をブ
ロックする機能を有することが好ましい。このような絶縁体１１２ｂを設けることにより
、導電体１１４ａ乃至１１４ｃの酸化を防ぐ、言い換えると絶縁体１１２ａから導電体１
１４ａ乃至１１４ｃが酸素を引き抜くことを防ぐことができる。これにより、絶縁体１１
２ａから絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することができる。
【０１１３】
絶縁体１１２ｂとしては、酸素とガリウムを含む絶縁体、例えば、酸化ガリウム（Ｇａ
Ｏｘ）を用いることが好ましい。また、絶縁体１１２ｂとしては、例えば、ホウ素、アル
ミニウム、シリコン、スカンジウム、チタン、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、
インジウム、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウムまたはタリウムを有する酸化物
または窒化物を用いてもよい。
【０１１４】
また、絶縁体１１２ｂとして上述の絶縁体１０６ａとして用いることができる酸化物を
用いてもよい。
【０１１５】
また、絶縁体１１２ｂは、酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用いて成膜す
ることが好ましい。絶縁体１１２ｂを酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用い
て成膜することにより、後述する絶縁体１１８の成膜によって絶縁体１１６に酸素を添加
できることと同様に、絶縁体１１２ｂの成膜によって絶縁体１１２ａに酸素を添加するこ
とができる。さらに、絶縁体１１２ｂは、酸素をブロックする機能を有するため、絶縁体
１１２ａに添加した酸素を上方に拡散させず、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果
的に供給することができる。
【０１１６】
さらに、絶縁体１１２ａに加えて絶縁体１１２ｂを設けることにより、上述のオーバー
ラップ領域と重なる領域において、絶縁体１１２ｂの膜厚の分だけゲート―ソース間、及
びゲート―ドレイン間の距離を広げることができる。これにより、オーバーラップ領域に
おける寄生容量を低減することができる。寄生容量を低減することにより、トランジスタ
のスイッチング速度を向上させることができるので、高い周波数特性を有するトランジス
タを提供することができる。
【０１１７】
導電体１１４ａ乃至１１４ｃはトランジスタ１０のゲート電極として機能する。導電体
１１４ａ及び導電体１１４ｃとしては、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとして用いる
ことができる導電体を用いればよい。また、導電体１１４ｂとしては、導電体１０８ａ及
び導電体１０８ｂとして用いることができる導電体を用いればよい。このような構成にす
ることにより、導電体１１４ｂの上面及び下面において、接する膜から酸素を引き抜くこ
とが抑制できる。これにより、導電体１１４ｂの一部が酸化して抵抗率が増大することを
抑制し、且つ絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することができる
。
【０１１８】
ここで、図１（Ｂ）に示すように、導電体１１４ａ乃至１１４ｃの電界によって、半導
体１０６ｂを電気的に取り囲むことができる（導電体から生じる電界によって、半導体を
電気的に取り囲むトランジスタの構造を、ｓｕｒｒｏｕｎｄｅｄ  ｃｈａｎｎｅｌ（ｓ−
ｃｈａｎｎｅｌ）構造とよぶ。）。そのため、半導体１０６ｂの全体にチャネルが形成さ
れる場合がある。ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造では、トランジスタのソース−ドレイン間に大
電流を流すことができ、オン電流を高くすることができる。
【０１１９】
なお、トランジスタがｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造を有する場合、半導体１０６ｂの側面に
もチャネルが形成される。したがって、半導体１０６ｂが厚いほどチャネル領域は大きく
なる。即ち、半導体１０６ｂが厚いほど、トランジスタのオン電流を高くすることができ
る。また、半導体１０６ｂが厚いほど、キャリアの制御性の高い領域の割合が増えるため
、サブスレッショルドスイング値を小さくすることができる。例えば、１０ｎｍ以上、好
ましくは２０ｎｍ以上、さらに好ましくは４０ｎｍ以上、より好ましくは６０ｎｍ以上の
厚さの領域を有する半導体１０６ｂとすればよい。ただし、半導体装置の生産性が低下す
る場合があるため、例えば、３００ｎｍ以下、好ましくは２００ｎｍ以下、さらに好まし
くは１５０ｎｍ以下の厚さの領域を有する半導体１０６ｂとすればよい。なお、チャネル
形成領域が縮小していくと、半導体１０６ｂが薄いほうがトランジスタの電気特性が向上
する場合もある。よって、半導体１０６ｂの厚さが１０ｎｍ未満であってもよい。
【０１２０】
高いオン電流が得られるため、ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造は、微細化されたトランジスタ
に適した構造といえる。トランジスタを微細化できるため、該トランジスタを有する半導
体装置は、集積度の高い、高密度化された半導体装置とすることが可能となる。例えば、
トランジスタは、チャネル長が好ましくは４０ｎｍ以下、さらに好ましくは３０ｎｍ以下
、より好ましくは２０ｎｍ以下の領域を有し、かつ、トランジスタは、チャネル幅が好ま
しくは４０ｎｍ以下、さらに好ましくは３０ｎｍ以下、より好ましくは２０ｎｍ以下の領
域を有する。
【０１２１】
絶縁体１１６及び絶縁体１１８は、トランジスタ１０の保護絶縁膜として機能する。絶
縁体１１６は、酸素を含む絶縁体であり、過剰酸素を有することが好ましい。また、絶縁
体１１６は絶縁体１１８より酸素を透過させやすいことが好ましい。このような絶縁体１
１６を設けることにより、絶縁体１１６から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を
供給することができる。当該酸素により、酸化物半導体を含む絶縁体１０６ａ及び半導体
１０６ｂの欠陥となる酸素欠損を低減することができる。これにより、絶縁体１０６ａ及
び半導体１０６ｂの欠陥準位密度を低減し、半導体１０６ｂを安定な特性を有する酸化物
半導体とすることができる。
【０１２２】
絶縁体１１６としては、酸素とシリコンを含む絶縁体、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ
ｘ）または酸化窒化シリコンを用いることが好ましい。また、絶縁体１１６としては、例
えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リ
ン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン
、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いても
よい。
【０１２３】
過剰酸素を有する絶縁体１１６は、昇温脱離ガス分光法分析（ＴＤＳ分析）にて、１０
０℃以上７００℃以下または１００℃以上５００℃以下の表面温度の範囲で、酸素分子の
脱離量が１．０×１０１４ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以上１．０×１０１６ｍｏｌｅｃ
ｕｌｅｓ／ｃｍ２以下、より好ましくは、１．０×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２
以上５．０×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以下となる領域を有することが好まし
い。
【０１２４】
または、過剰酸素を有する絶縁体１１６は、過酸化ラジカルを含むこともある。具体的
には、過酸化ラジカルに起因するスピン密度が、５×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以上で
あることをいう。なお、過酸化ラジカルを含む絶縁体は、電子スピン共鳴法（ＥＳＲ：Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｉｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）にて、ｇ値が２．０１近傍に非対称の
信号を有することもある。
【０１２５】
絶縁体１１８は、絶縁体１１６より酸素を透過させにくい絶縁体であり、酸素をブロッ
クする機能を有することが好ましい。このような絶縁体１１８を設けることにより、絶縁
体１１６から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を供給する際に、当該酸素が絶縁
体１１６の上方に外部放出されてしまうことを防ぐことができる。これにより、絶縁体１
１６から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することができる。こ
こで絶縁体１１８の膜厚としては、例えば５ｎｍ以上、又は２０ｎｍ以上とすることがで
きる。また、詳細については後述するが、絶縁体１１８は、酸素を含む雰囲気においてス
パッタリング法を用いて成膜することが好ましい。
【０１２６】
絶縁体１１８しては、酸素とアルミニウムを含む絶縁体、例えば、酸化アルミニウム（
ＡｌＯｘ）を用いることが好ましい。酸化アルミニウムは、酸素、および水素、水分など
の不純物の両方に対して膜を透過させない遮断効果が高いので絶縁体１１８として用いる
のに好適である。
【０１２７】
また、絶縁体１１８としては、例えば、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、ア
ルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム
、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層
で、または積層で用いればよい。絶縁体１１８は酸素、水素、水、アルカリ金属、アルカ
リ土類金属等をブロックする効果を有することが好ましい。このような絶縁体としては、
例えば、窒化物絶縁膜を用いることができる。該窒化物絶縁膜としては、窒化シリコン、
窒化酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム等がある。なお、窒化物絶
縁膜の代わりに、酸素、水素、水等のブロッキング効果を有する酸化物絶縁膜を設けても
よい。酸化物絶縁膜としては、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム
、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化
窒化ハフニウム等がある。
【０１２８】
また、絶縁体１１８は、少なくとも絶縁体１１６より酸素を透過させにくい膜として機
能すればよく、上述の絶縁体１０６ａとして用いることができる酸化物を絶縁体１１８と
して用いることもできる。このような絶縁体１１８としては、Ｉｎを含む酸化絶縁物を用
いることが好ましく、例えば、Ｉｎ−Ａｌ酸化物、Ｉｎ−Ｇａ酸化物、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ
酸化物を用いればよい。Ｉｎを含む酸化絶縁物はスパッタリング法で成膜する際に発生す
るパーティクル数が少ないので、絶縁体１１８として用いるのに好適である。
【０１２９】
ここで、図１と、図２に示す絶縁体１１６と絶縁体１１８の界面近傍の拡大図を用いて
、絶縁体１１６を介して絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素が供給される過程につ
いて説明する。なお、以下の説明においては、絶縁体１１６として代表的にＳｉＯｘを用
い（以下、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）と記載する場合がある。）、絶縁体１１８として代
表的にＡｌＯｘを用いる（以下、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）と記載する場合がある。）。
【０１３０】
まず、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）上に絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）を成膜する（図２（Ａ
）参照）。ここで、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の成膜は、スパッタリング法を用いて行う
ことが好ましく、酸素を含む雰囲気下でスパッタリング法を用いて行うことがより好まし
い。スパッタリング法で絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の成膜をおこなうことにより、成膜と
同時に絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）の表面（絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）成膜後は絶縁体１１
６（ＳｉＯｘ）と絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の界面）近傍に酸素１３１が添加される。こ
こで、酸素１３１は、例えば、酸素ラジカルとして絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に添加され
るが、酸素１３１が添加されるときの状態はこれに限定されない。酸素１３１は、酸素原
子、又は酸素イオンなどの状態で絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に添加されてもよい。なお、
酸素１３１の添加に伴い、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中に酸素が化学量論的組成を超えて
含まれる場合があり、このときの酸素１３１を過剰酸素と呼ぶこともできる。
【０１３１】
また、トランジスタ１０が形成される基板にバイアスを印加しておくことにより、酸素
イオンの状態の酸素１３１を効果的に絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に添加することができる
場合がある。
【０１３２】
また、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）の絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）と接する領域に混合領域
１３０が形成されることがある。混合領域１３０では、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）を構成
する成分と、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）を構成する成分の両方が含まれており、代表的に
はＡｌＳｉｘＯｙで表すことができる。混合領域１３０は、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）と
絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）との界面近傍の領域に形成されるため、混合領域１３０では酸
素１３１の濃度が、混合領域１３０より下の層と比較して大きくなる場合がある。
【０１３３】
次に、加熱処理を行うことにより、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中に酸素１３１を拡散さ
せる（図２（Ｂ）参照）。少なくとも加熱処理中において、ＳｉＯｘは、酸素１３１の拡
散に対して十分に原子間距離が大きく、酸素１３１に対して多孔性を有しているようにみ
なすことができる。このため、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に対して加熱処理を行うことに
より、極めて容易に酸素１３１を拡散させることができる。ここで、加熱処理は、例えば
、２５０℃以上６５０℃以下、好ましくは３５０℃以上４５０℃以下で行えばよい。これ
により、酸素１３１の濃度が大きい混合領域１３０を中心に、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）
中に酸素１３１を拡散させることができる。
【０１３４】
ここで、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）は、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）より酸素を透過させ
にくい絶縁体であり、酸素をブロックするバリア膜として機能する。このような絶縁体１
１８（ＡｌＯｘ）が絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）上に形成されているので、絶縁体１１６（
ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１が絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）の上方に拡散せず、絶縁
体１１６（ＳｉＯｘ）を主に横方向又は下方向に拡散していく。
【０１３５】
ここで、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１１２ａを介し
て半導体１０６ｂに供給される（図１（Ｂ）及び図１（Ｃ）参照。）。このとき、酸素を
ブロックする機能を有する絶縁体１１２ｂ及び導電体１１４ａが導電体１１４ｂと絶縁体
１１２ａの間に設けられていることにより、絶縁体１１２ａ中に拡散した酸素１３１が導
電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる。また、酸素をブロックする機能を有
する導電体１１４ｃが導電体１１４ｂと絶縁体１１６の間に設けられていることにより、
絶縁体１１６中に拡散した酸素１３１が導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことがで
きる。また、酸素をブロックする機能を有する導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂが導電
体１０８ａ及び導電体１０８ｂと絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）及び絶縁体１１２ａとの間に
設けられていることにより、同様に酸素１３１が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂに引
き抜かれるのを防ぐことができる。
【０１３６】
または、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１０４を介して
絶縁体１０６ａに供給される（図１（Ｂ）及び図１（Ｃ）参照。）。このとき、酸素をブ
ロックする機能を有する絶縁体１０１が絶縁体１０４の下に設けられていることにより、
絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が絶縁体１０４より下層に拡散することを防ぐこと
ができる。
【０１３７】
このように導電体１１４ｂ、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが酸素１３１の絶縁体
１０６ａ及び半導体１０６ｂへの拡散を妨げないようにすることにより、絶縁体１０６ａ
及び半導体１０６ｂ、特に半導体１０６ｂでチャネルが形成される領域に酸素１３１を効
果的に供給することができる。さらに、絶縁体１０４より下層に酸素１３１が拡散するこ
とを防ぐことにより、酸素１３１をより効果的に供給することができる。
【０１３８】
ここで、酸化物半導体として代表的なＩｎＧａＺｎＯ４中で、酸素が移動する場合の挙
動について説明する。
【０１３９】
＜１．ＩｎＧａＺｎＯ４中の酸素＞
まず、ＩｎＧａＺｎＯ４中の過剰な酸素の状態を調べるために、ＩｎＧａＺｎＯ４に酸
素が添加されたモデルの計算を行った。具体的な計算内容を以下に示す。
【０１４０】
また、原子緩和計算には、第一原理電子状態計算パッケージＶＡＳＰ（Ｖｉｅｎｎａ  
ａｂ  ｉｎｉｔｉｏ  ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ  ｐａｃｋａｇｅ）を用いて行った。計算条
件を表１に示す。
【０１４１】
【表１】
2022002326.tif 000003
【０１４２】
ＩｎＧａＺｎＯ４結晶モデル（１１２原子）に対して、１個の酸素原子（Ｏ原子）を配
置し、原子緩和計算を行った。計算モデルを図２１に示す。図２１（Ａ）中の位置Ｈ１乃
至位置Ｈ８は、該酸素原子の初期配置を示す。なお、モデル全体の電荷は中性とした。
【０１４３】
位置Ｈ１、位置Ｈ２、位置Ｈ３、位置Ｈ４は、格子間を示す。例えば、図２１（Ａ）の
位置Ｈ１に酸素原子を配置すると、図２１（Ｂ）のようになる。
【０１４４】
また、位置Ｈ５、位置Ｈ６、位置Ｈ７、位置Ｈ８は、Ｏサイトを示す。例えば、図２１
（Ａ）の位置Ｈ５に酸素原子を配置すると、図２１（Ｃ）のようになる。なお、図２１（
Ｃ）の位置Ｈ５に示すように、Ｏサイトに２つの酸素原子を配置することをスプリット配
置とよぶ。
【０１４５】
電荷中性において、位置Ｈ５乃至位置Ｈ８に配置した酸素原子は、位置Ｈ１乃至位置Ｈ
４に配置した酸素原子よりも安定に存在した。つまり、Ｏサイトに２つの酸素原子をスプ
リット配置した状態は、格子間に酸素原子を配置した状態よりも安定していることがわか
った。
【０１４６】
次にＩｎＧａＺｎＯ４中における酸素原子の移動頻度Γについて説明する。
【０１４７】
＜２．ＩｎＧａＺｎＯ４中の酸素原子＞
＜２−（１）  酸素原子の移動＞
ここでは、ＩｎＧａＺｎＯ４結晶における酸素原子の移動の起こりやすさを、酸素の移
動経路上の活性化障壁の観点から評価した。
【０１４８】
酸素原子の移動経路を検討した単結晶ＩｎＧａＺｎＯ４（ｃ−ＩｎＧａＺｎＯ４）中の
領域区分の模式図を図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）に示す。なお、図２２（Ｂ）は、図２
２（Ａ）の模式図を、ｃ軸周りに９０度回転させた模式図である。ここでは、図２２（Ａ
）に示す、ＩｎＯ２領域内における移動経路Ａと、ＩｎＯ２−（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内に
おける移動経路Ｂと、（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における移動経路Ｃおよび移動経路Ｄと、
また、図２２（Ｂ）に示すＩｎＯ２領域内における移動経路Ｅと、における酸素原子の移
動について検討した。
【０１４９】
また、活性化障壁の評価は、第一原理電子状態計算パッケージＶＡＳＰを用いて行い、
原子緩和計算に、化学反応移動経路探索手法であるＮＥＢ（Ｎｕｄｇｅｄ  Ｅｌａｓｔｉ
ｃ  Ｂａｎｄ）法を援用した。ＮＥＢ法とは初期状態と最終状態からその２つの状態を結
ぶ状態の中で必要なエネルギーが最も低くなる状態を探しだす手法である。
【０１５０】
移動経路Ａにおける酸素原子の挙動を示す模式図と計算結果を、それぞれ図２３（Ａ）
および図２３（Ｂ）に示す。図２３（Ａ）は、ＩｎＯ２領域内における酸素の移動経路Ａ
の模式図を示す。また、図２３（Ｂ）には、移動経路Ａにおけるエネルギーの変化を示す
。ただし、移動経路上で最も安定な構造を基準とし、該構造のエネルギーを０とした。
【０１５１】
移動経路Ｂにおける酸素原子の挙動を示す模式図と計算結果を、それぞれ図２３（Ｃ）
および図２３（Ｄ）に示す。図２３（Ｃ）にはＩｎＯ２−（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内におけ
る酸素の移動経路Ｂを示す。また、図２３（Ｄ）には移動経路Ｂでのエネルギーの変化を
示す。ただし、移動経路上で最も安定な構造を基準とし、該構造のエネルギーを０とした
。
【０１５２】
移動経路Ｃにおける酸素原子の挙動を示す模式図と計算結果を、それぞれ図２３（Ｅ）
および図２３（Ｆ）に示す。図２３（Ｅ）には（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における移動経路
Ｃを示す。また図２３（Ｆ）には移動経路Ｃでのエネルギーの変化を示す。ただし、移動
経路上で最も安定な構造を基準とし、該構造のエネルギーを０とした。
【０１５３】
移動経路Ｄにおける斜め移動の模式図と計算結果を、それぞれ図２３（Ｇ）および図２
３（Ｈ）に示す。図２３（Ｇ）には（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における酸素の移動経路Ｄを
示す。また、図２３（Ｈ）に移動経路Ｄでのエネルギーの変化を示す。ただし、移動経路
上で最も安定な構造を基準とし、該構造のエネルギーを０とした。
【０１５４】
移動経路Ｅにおける斜め移動の模式図と計算結果を、それぞれ図２３（Ｉ）および図２
３（Ｊ）に示す。図２３（Ｉ）には（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における移動経路Ｅを示す。
また、図２３（Ｊ）に移動経路Ｅでのエネルギーの変化を示す。ただし、移動経路上で最
も安定な構造を基準とし、該構造のエネルギーを０とした。
【０１５５】
以上の結果より、活性化障壁の計算結果をまとめたものを表２に示す。
【０１５６】
【表２】
2022002326.tif 000004
【０１５７】
ここで、計算により得られた活性化障壁と以下の数式１より、室温、２５０℃、及び３
５０℃における移動頻度（Γ）を算出した。
【０１５８】
【数１】
2022002326.tif 000005
【０１５９】
ここで、Ｅａは活性化障壁、ｋＢはボルツマン定数、Ｔは絶対温度、Γ０は頻度因子を
示す。なお、頻度因子Γ０は、１．０×１０１３ｓ−１と仮定した。
【０１６０】
なお、ここで算出される移動頻度（Γ）は、１秒間に移動が起こる回数である。従って
、移動頻度（Γ）の値が大きいほど移動距離が長くなる。なお、１回の移動では、酸素原
子は、０．２ｎｍ程度移動する。
【０１６１】
各移動経路において、室温での移動頻度の計算結果を表３に示す。移動頻度（Γ）は、
移動経路Ｃにおいて、最も高い３．２７×１０回／秒となった。また、移動経路Ａにおい
て、最も低い９．２８×１０−１９回／秒となった。
【０１６２】
【表３】
2022002326.tif 000006
【０１６３】
各移動経路において、２５０℃における移動頻度の結果を表４に示す。移動頻度（Γ）
は、移動経路Ｃにおいて、最も高い２．１４×１０６回／秒となった。また、移動経路Ａ
において、最も低い１．５８×１０−１９回／秒となった。
【０１６４】
【表４】
2022002326.tif 000007
【０１６５】
各移動経路において、３５０℃における移動頻度の結果を表５に示す。移動頻度（Γ）
は、移動経路Ｃにおいて、最も高い２．５２×１０７回／秒となった。また、移動経路Ａ
において、最も低い１．１４×１０−２回／秒となった。
【０１６６】
【表５】
2022002326.tif 000008
【０１６７】
表３乃至表５から、移動経路Ａの移動、移動経路Ｄおよび移動経路Ｅの移動では、移動
経路Ｂおよび移動経路Ｃの移動よりも、大きな活性化障壁が存在することがわかる。従っ
て、酸素原子は、（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における移動経路Ｃを移動する速度は、他の移
動経路よりも大きい。また、ＩｎＯ２−（Ｇａ，Ｚｎ）Ｏ領域内における移動経路Ｂにお
いても、移動経路Ａ、移動経路Ｄ、移動経路Ｅよりも、活性化障壁が比較的小さいため、
酸素原子が移動する蓋然性は高い。一方、ＩｎＯ２領域（ｃ軸方向）では高い活性化障壁
のため、移動頻度が低い傾向にあることが分かった。すなわち、ＩｎＧａＺｎＯ４結晶内
における酸素原子の移動は、ＩｎＯ２領域とＩｎＯ２領域との間の領域をジグザグに移動
する。
【０１６８】
以上の計算により、ＩｎＧａＺｎＯ４酸化物半導体層において、酸素は層に平行な方向
に移動しやすいことが示された。これにより、例えば、図１（Ｃ）に示すように、絶縁体
１０６ａ、半導体１０６ｂの側面から酸素が入りやすく、入った酸素が層に平行な方向に
拡散しやすいことが推測される。また、絶縁体１０６ａ、半導体１０６ｂに入った酸素が
層の上面や下面から放出されにくいことが推測される。
【０１６９】
このようにして、図１に示す絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ中に酸素１３１を供給
して、酸素１３１で埋めて酸素欠損を低減することができる。酸素欠損を低減させること
により、酸素欠損に水素がトラップされることを低減することができるので、半導体１０
６ｂにおいて、浅いドナー準位が形成されることを低減することができる。このようにし
て、欠陥準位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体とするこ
とができる。
【０１７０】
なお、４００℃１時間の熱処理において、酸化シリコン中の酸素の拡散長は、３μｍ程
度に見積もられる。このため、混合領域１３０と絶縁体１０６ａ又は半導体１０６ｂとの
距離は３μｍ以下とするのが好ましく、１μｍ以下とするのがより好ましい。
【０１７１】
以上のような構成とすることにより、安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。または、非導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することが
できる。または、高い周波数特性を有するトランジスタを提供することができる。または
、オン電流の大きいトランジスタを提供することができる。または、ノーマリーオフの電
気特性を有するトランジスタを提供することができる。または、サブスレッショルドスイ
ング値の小さいトランジスタを提供することができる。または、信頼性の高いトランジス
タを提供することができる。
【０１７２】
＜トランジスタの変形例＞
以下、トランジスタ１０の変形例について図３乃至図８を用いて説明する。なお、図３
、図４、図７は、図１（Ｂ）（Ｃ）と同様に、トランジスタのチャネル長方向の断面図と
トランジスタのチャネル幅方向の断面図になる。なお、以下に示すトランジスタ１０の変
形例の各構成は互いに適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７３】
図３（Ａ）（Ｂ）に示すトランジスタ１２は、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂの上
に形成され、半導体１０６ｂの上面の少なくとも一部に接して形成された絶縁体１０６ｃ
が形成されている点においてトランジスタ１０と異なる。トランジスタ１２は、絶縁体１
０６ａ、半導体１０６ｂ及び絶縁体１０６ｃの３層が積層された構造である。また、絶縁
体１１２ａは、絶縁体１０６ｃの上に形成される。絶縁体１０６ｃは、絶縁体１０６ａと
同様の物質を用いることができる。つまり、絶縁体１０６ｃも絶縁体１０６ａと同様に、
単独で用いる場合、導電体、半導体または絶縁体として機能させることができる物質から
なる。しかしながら、絶縁体１０６ａ、半導体１０６ｂと積層させてトランジスタを形成
する場合、電子は半導体１０６ｂ、半導体１０６ｂと絶縁体１０６ａの界面近傍、及び半
導体１０６ｂと絶縁体１０６ｃの界面近傍を流れ、絶縁体１０６ｃは当該トランジスタの
チャネルとして機能しない領域を有する。このため、本明細書などにおいては、絶縁体１
０６ｃを半導体と記載せず、絶縁体と記載するものとする。なお、絶縁体１０６ｃを絶縁
体と記載するのは、あくまで半導体１０６ｂと比較してトランジスタの機能上絶縁体に近
い機能を有するためなので、絶縁体１０６ｃとして、半導体１０６ｂに用いることができ
る物質を用いる場合もある。
【０１７４】
なお、絶縁体１０６ｃは、インジウムガリウム酸化物を用いてもよい。インジウムガリ
ウム酸化物は、小さい電子親和力と、高い酸素ブロック性を有する。ガリウム原子割合［
Ｇａ／（Ｉｎ＋Ｇａ）］は、例えば、７０％以上、好ましくは８０％以上、さらに好まし
くは９０％以上とする。
【０１７５】
このように、絶縁体１０６ｃにインジウムの含有量の少ない金属酸化物を用いることに
より、絶縁体１０６ｃからトランジスタ１２のゲート絶縁膜として機能する絶縁体１１２
ａにインジウムが拡散することを低減できる。ここで、絶縁体１１２ａ中または絶縁体１
１２ａと絶縁体１０６ｃの界面にインジウムが拡散しているとトランジスタのリーク電流
が増大する要因となる。しかしながら、絶縁体１０６ｃにインジウムの含有量の少ない酸
化物半導体を用いることにより、絶縁体１１２ａ中または絶縁体１１２ａと絶縁体１０６
ｃの界面におけるインジウムを低減し、リーク電流の増大を抑制することができる。さら
にこのような構成とすることにより、リーク電流の増大を抑制しつつ、半導体１０６ｂ中
のインジウムの含有量を多くし、オン電流の増大を図ることができる。
【０１７６】
また、トランジスタ１２のオン電流を高くするためには、絶縁体１０６ｃの厚さは小さ
いほど好ましい。絶縁体１０６ｃの厚さは、絶縁体１０６ａの厚さより小さいことが好ま
しい。例えば、１０ｎｍ未満、好ましくは５ｎｍ以下、さらに好ましくは３ｎｍ以下の領
域を有する絶縁体１０６ｃとすればよい。一方、絶縁体１０６ｃは、チャネルの形成され
る半導体１０６ｂへ、隣接する絶縁体を構成する酸素以外の元素（水素、シリコンなど）
が入り込まないようブロックする機能を有することが好ましい。そのため、絶縁体１０６
ｃは、ある程度の厚さを有することが好ましい。例えば、０．３ｎｍ以上、好ましくは１
ｎｍ以上、さらに好ましくは２ｎｍ以上の厚さの領域を有する絶縁体１０６ｃとすればよ
い。
【０１７７】
また、信頼性を高くするためには、絶縁体１０６ａは厚く、絶縁体１０６ｃは薄いこと
が好ましい。例えば、１０ｎｍ以上、好ましくは２０ｎｍ以上、さらに好ましくは４０ｎ
ｍ以上、より好ましくは６０ｎｍ以上の厚さの領域を有する絶縁体１０６ａとすればよい
。絶縁体１０６ａの厚さを、厚くすることで、隣接する絶縁体と絶縁体１０６ａとの界面
からチャネルの形成される半導体１０６ｂまでの距離を離すことができる。ただし、半導
体装置の生産性が低下する場合があるため、例えば、２００ｎｍ以下、好ましくは１２０
ｎｍ以下、さらに好ましくは８０ｎｍ以下の厚さの領域を有する絶縁体１０６ａとすれば
よい。
【０１７８】
ここで、絶縁体１０６ａのエネルギーギャップは、半導体１０６ｂのエネルギーギャッ
プより大きい。また、絶縁体１０６ｃのエネルギーギャップは、半導体１０６ｂのエネル
ギーギャップより大きい。
【０１７９】
また、半導体１０６ｂは、絶縁体１０６ａおよび絶縁体１０６ｃよりも電子親和力の大
きい酸化物を用いる。例えば、半導体１０６ｂとして、絶縁体１０６ａおよび絶縁体１０
６ｃよりも電子親和力の０．０７ｅＶ以上１．３ｅＶ以下、好ましくは０．１ｅＶ以上０
．７ｅＶ以下、さらに好ましくは０．１５ｅＶ以上０．４ｅＶ以下大きい酸化物を用いる
。なお、電子親和力は、真空準位と伝導帯下端のエネルギーとの差である。言い換えると
、絶縁体１０６ａの伝導帯下端のエネルギー準位は、半導体１０６ｂの伝導帯下端のエネ
ルギー準位より真空準位に近い。また、絶縁体１０６ｃの伝導帯下端のエネルギー準位は
、半導体１０６ｂの伝導帯下端のエネルギー準位より真空準位に近い。
【０１８０】
このとき、ゲート電圧を印加すると、絶縁体１０６ａ、絶縁体１０６ｃではなく、電子
親和力の大きい半導体１０６ｂにチャネルが形成される。
【０１８１】
ここで、絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂとの間には、絶縁体１０６ａと半導体１０６
ｂとの混合領域を有する場合がある。また、半導体１０６ｂと絶縁体１０６ｃとの間には
、半導体１０６ｂと絶縁体１０６ｃとの混合領域を有する場合がある。混合領域は、欠陥
準位密度が低くなる。そのため、絶縁体１０６ａ、半導体１０６ｂ及び絶縁体１０６ｃの
積層体は、それぞれの界面近傍において、連続接合のバンド図となる。なお、絶縁体１０
６ａ、半導体１０６ｂ及び絶縁体１０６ｃは、それぞれの界面を明確に判別できない場合
がある。
【０１８２】
このとき、電子は、絶縁体１０６ａ中及び絶縁体１０６ｃ中ではなく、半導体１０６ｂ
中を主として移動する。上述したように、絶縁体１０６ａと半導体１０６ｂとの界面にお
ける欠陥準位密度、および半導体１０６ｂと絶縁体１０６ｃとの界面における欠陥準位密
度を低くすることによって、半導体１０６ｂ中で電子の移動が阻害されることが少なく、
トランジスタのオン電流を高くすることができる。
【０１８３】
また、例えば、導電体１１４ａが十分酸素を通しにくい場合などに、絶縁体１１２ｂを
設けない構成とすることもできる。
【０１８４】
図３（Ｃ）（Ｄ）に示すトランジスタ１４は、絶縁体１１２ｂの上に絶縁体１１２ｃが
形成されている点において、トランジスタ１０と異なる。トランジスタ１４では、絶縁体
１１２ａ乃至１１２ｃがゲート絶縁膜として機能する。また、絶縁体１１２ｃは、絶縁体
１１２ａと同様の絶縁体を用いることができる。
【０１８５】
絶縁体１１２ａ乃至絶縁体１１２ｃをゲート絶縁膜として用いることで、上述の通り、
絶縁体１１２ａから絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給し、且つ絶
縁体１１２ｃと導電体１１４ａとが接することで、ゲート電極に対してゲート絶縁膜のエ
ネルギーギャップを十分大きくすることができる。これにより、ゲート絶縁膜の絶縁性を
十分に保つことができる。
【０１８６】
また、絶縁体１１２ａ乃至１１２ｃにおいて、絶縁体１１２ｂが電子捕獲領域を有する
と好ましい。電子捕獲領域は、電子を捕獲する機能を有する。絶縁体１１２ａおよび絶縁
体１１２ｃが電子の放出を抑制する機能を有するとき、絶縁体１１２ｂに捕獲された電子
は、負の固定電荷のように振舞う。したがって、絶縁体１１２ｂはフローティングゲート
としての機能を有する。当該フローティングゲートによって、トランジスタ１４のゲート
電極（導電体１１４ａ乃至１１４ｃ）に印加された電圧が低い、例えば印加された電圧が
０Ｖ以下のときに、トランジスタ１４が導通状態となることを防ぐことができる。つまり
、トランジスタ１４の電気特性を、よりノーマリーオフの方向にシフトさせることが容易
になる。
【０１８７】
図４（Ａ）（Ｂ）に示すトランジスタ１６は、絶縁体１１２ａの端部が導電体１１４ａ
乃至１１４ｃ及び絶縁体１１２ｂの端部と一致していない点において、トランジスタ１０
と異なる。トランジスタ１６では、絶縁体１１２ａは、導電体１０９ａ及び導電体１０９
ｂを覆うように設けられており、絶縁体１０４の少なくとも一部と接していることが好ま
しい。また、絶縁体１１８は、導電体１１４ａ乃至１１４ｃと重なる領域を除いて、絶縁
体１１２ａの上に接して形成されることが好ましい。また、絶縁体１１２ａをこのような
構成とする場合、絶縁体１１２ａが絶縁体１１６の機能も含むため、絶縁体１１６を必ず
しも設ける必要はない。このとき、絶縁体１１２ａは、上述の絶縁体１１６と同様の絶縁
体を用いて形成されることが好ましい。
【０１８８】
また、トランジスタ１６ではトランジスタ１０と異なり、絶縁体１１２ａの表面（絶縁
体１１８成膜後は絶縁体１１２ａと絶縁体１１８の界面）近傍に酸素１３１が添加される
。また、絶縁体１１２ａの絶縁体１１８と接する領域に混合領域１３０が形成されること
がある。
【０１８９】
絶縁体１１６と同様に、加熱処理を行うことにより、絶縁体１１２ａ中に酸素１３１を
拡散させることができる。絶縁体１１２ａ中を拡散する酸素１３１は、半導体１０６ｂに
供給される。このとき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１１２ｂ、導電体１１４
ａが導電体１１４ｂと絶縁体１１２ａの間に設けられていることにより、絶縁体１１２ａ
中に拡散した酸素１３１が導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる。また、
酸素をブロックする機能を有する導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂが導電体１０８ａ及
び導電体１０８ｂと絶縁体１１２ａとの間に設けられていることにより、同様に酸素１３
１が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる。
【０１９０】
または、絶縁体１１２ａ中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１０４を介して絶縁体１０
６ａに供給される。このとき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１０１が絶縁体１
０４の下に設けられていることにより、絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が絶縁体１
０４より下層に拡散することを防ぐことができる。
【０１９１】
このように、導電体１１４ｂ、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが酸素１３１の拡散
を妨げないようにすることにより、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ、特に半導体１０
６ｂでチャネルが形成される領域に酸素１３１を効果的に供給することができる。このよ
うに絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を供給し、酸素欠損を低減させることによ
り、欠陥準位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体とするこ
とができる。
【０１９２】
図４（Ｃ）（Ｄ）に示すトランジスタ１８は、導電体１０９ａ上に接して絶縁体１１１
ａが形成され、導電体１０９ｂ上に接して絶縁体１１１ｂが形成されている点において、
トランジスタ１０と異なる。トランジスタ１８では、絶縁体１１２ａが絶縁体１１１ａと
絶縁体１１１ｂの上面の少なくとも一部に接して形成される。また、絶縁体１１８は、導
電体１１４ａ乃至１１４ｃと重なる領域を除いて、絶縁体１１１ａ、絶縁体１１１ｂ及び
絶縁体１０４の上に接して形成されることが好ましい。また、絶縁体１１１ａ、絶縁体１
１１ｂ及び絶縁体１０４をこのような構成とする場合、絶縁体１１１ａ、絶縁体１１１ｂ
及び絶縁体１０４が絶縁体１１６の機能も含むため、絶縁体１１６を必ずしも設ける必要
はない。このとき、絶縁体１１１ａ、絶縁体１１１ｂ及び絶縁体１０４は、上述の絶縁体
１１６と同様の絶縁体を用いて形成されることが好ましい。
【０１９３】
トランジスタ１８では、導電体１０９ａと導電体１１４ａの間に絶縁体１１１ａ、絶縁
体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂが設けられる。また、導電体１０９ｂと導電体１１４ａの
間に絶縁体１１１ｂ、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂが設けられる。つまり、上述の
オーバーラップ領域と重なる領域において、絶縁体１１１ａ又は絶縁体１１１ｂの膜厚の
分だけゲート―ソース間、及びゲート―ドレイン間の距離を広げることができる。これに
より、オーバーラップ領域における寄生容量を低減することができる。寄生容量を低減す
ることにより、トランジスタのスイッチング速度を向上させることができるので、高い周
波数特性を有するトランジスタを提供することができる。
【０１９４】
また、トランジスタ１８ではトランジスタ１０と異なり、主に絶縁体１１１ａ、絶縁体
１１１ｂ及び絶縁体１０４の表面（絶縁体１１８成膜後は絶縁体１１１ａ、絶縁体１１１
ｂ及び絶縁体１０４と絶縁体１１８との界面）近傍に酸素１３１が添加される。また、絶
縁体１１１ａ、絶縁体１１１ｂ及び絶縁体１０４の絶縁体１１８と接する領域に混合領域
１３０が形成されることがある。
【０１９５】
絶縁体１１６と同様に、加熱処理を行うことにより、絶縁体１１１ａ、絶縁体１１１ｂ
及び絶縁体１０４中に酸素１３１を拡散させることができる。絶縁体１１１ａ又は絶縁体
１１１ｂ中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１１２ａを介して半導体１０６ｂに供給され
る。このとき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１１２ｂ、導電体１１４ａが導電
体１１４ｂと絶縁体１１２ａの間に設けられていることにより、絶縁体１１２ａ中に拡散
した酸素１３１が導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる。また、酸素をブ
ロックする機能を有する導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂが導電体１０８ａ及び導電体
１０８ｂと絶縁体１１１ａ及び絶縁体１１１ｂとの間に設けられていることにより、同様
に酸素１３１が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる
。
【０１９６】
または、絶縁体１０４中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１０６ａに供給される。この
とき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１０１が絶縁体１０４の下に設けられてい
ることにより、絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が絶縁体１０４より下層に拡散する
ことを防ぐことができる。
【０１９７】
このように、導電体１１４ｂ、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが酸素１３１の拡散
を妨げないようにすることにより、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ、特に半導体１０
６ｂでチャネルが形成される領域に酸素１３１を効果的に供給することができる。このよ
うに絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を供給し、酸素欠損を低減させることによ
り、欠陥準位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体とするこ
とができる。
【０１９８】
図５（Ａ）（Ｂ）に示すトランジスタ１９は、絶縁体１１２ｂの端部が導電体１１４ａ
乃至１１４ｃの端部と一致していない点において、トランジスタ１６と異なる。トランジ
スタ１９においては、絶縁体１１２ａが導電体１１４ａ乃至１１４ｃと重ならない領域に
おいても、絶縁体１１２ｂの下面が絶縁体１１２ａの上面と接する。相対的に、絶縁体１
１８の下面と絶縁体１１２ａの上面とが接する領域が低減される。よって、上述のように
、絶縁体１１２ｂを酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を行って成膜し、絶縁体
１１２ａに酸素を添加することが好ましい。
【０１９９】
なお、図５では、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂが導電体１０８ａ及び導電体１０
８ｂなどを覆うように形成されており、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂは端部が一致
するようにパターン形成されている。また、絶縁体１１８が絶縁体１１２ｂを覆うように
設けられ、絶縁体１０４の上面の一部と接している。ただし、トランジスタ１９はこのよ
うな形状に限定されるものではない。例えば、絶縁体１１２ａおよび絶縁体１１２ｂのい
ずれか一方または両方をパターン形成することなく成膜してもよい。また、絶縁体１１２
ａおよび絶縁体１１２ｂのいずれか一方または両方の端部が、導電体１０９ａまたは導電
体１０９ｂの端部と一致するようにパターン形成してもよい。また、絶縁体１１２ｂが十
分に酸素をブロックする機能を有する場合、絶縁体１１８を設けない構成としてもよい。
【０２００】
図６（Ａ）乃至（Ｃ）を用いてトランジスタ２０の構成について説明する。図６（Ａ）
はトランジスタ２０の上面図である。図６（Ｂ）は図６（Ａ）の一点鎖線Ａ１−Ａ２に対
応する断面図である。図６（Ｃ）は図６（Ａ）の一点鎖線Ａ３−Ａ４に対応する断面図で
ある。なお、一点鎖線Ａ１−Ａ２で示す領域では、トランジスタ２０のチャネル長方向に
おける構造を示しており、一点鎖線Ａ３−Ａ４で示す領域では、トランジスタ２０のチャ
ネル幅方向における構造を示している。
【０２０１】
図６（Ａ）乃至図６（Ｃ）に示すトランジスタ２０は、絶縁体１０１の上に形成された
導電体１０２と、導電体１０２を覆うように形成された絶縁体１０３が設けられている点
において、トランジスタ１０と異なる。導電体１０２は、少なくとも一部が導電体１０８
ａと導電体１０８ｂに挟まれる領域において半導体１０６ｂと重なることが好ましい。こ
こで、導電体１０２はトランジスタ２０の第２のゲート電極として機能し、絶縁体１０３
及び絶縁体１０４はトランジスタ２０の第２のゲート絶縁膜として機能する。このような
構成とすることにより、導電体１０２によってトランジスタ２０のしきい値電圧の制御を
行うことができる。
【０２０２】
導電体１０２としては、導電体１１４ｂとして用いることができる導電体を用いればよ
い。また、絶縁体１０３としては、絶縁体１０１として用いることができる絶縁体を用い
ればよい。
【０２０３】
絶縁体１０３は導電体１０２を覆うように設けられる。絶縁体１０３は、酸素をブロッ
クする機能を有することが好ましい。このような絶縁体１０３を設けることにより、導電
体１０２の酸化を防ぐ、言い換えると絶縁体１０４から導電体１０２が酸素を引き抜くこ
とを防ぐことができる。これにより、絶縁体１０４から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６
ｂに効果的に酸素を供給することができる。また、絶縁体１０３の被覆性を高くすること
により、絶縁体１０４から引き抜かれる酸素をより低減し、絶縁体１０４から絶縁体１０
６ａ及び半導体１０６ｂにより効果的に酸素を供給することができる。なお、図６（Ｂ）
（Ｃ）に示す絶縁体１０４は、上面に平坦化処理を施された断面形状となっているが、本
実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。
【０２０４】
また、導電体１０２と同じ層に配線などの導電体を設ける場合、当該導電体も覆うよう
に絶縁体１０３を形成することが好ましい。
【０２０５】
図７（Ａ）（Ｂ）に示すトランジスタ２２は、絶縁体１０１上に絶縁体１２６が形成さ
れ、絶縁体１２６及び絶縁体１０１に形成された開口の中に、導電体１２２、導電体１０
２及び絶縁体１２４が設けられている点において、トランジスタ２０と異なる。ここで、
導電体１２２及び導電体１０２は、少なくとも一部が導電体１０８ａと導電体１０８ｂに
挟まれる領域において半導体１０６ｂと重なることが好ましい。ここで、導電体１２２及
び導電体１０２はトランジスタ２２の第２のゲート電極として機能し、絶縁体１０３及び
絶縁体１２４はトランジスタ２２の第２のゲート絶縁膜として機能する。このような構成
とすることにより、導電体１０２及び導電体１２２によってトランジスタ２２のしきい値
電圧の制御を行うことができる。
【０２０６】
導電体１２２としては、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとして用いることができる
導電体を用いればよい。また、絶縁体１２４としては、絶縁体１１２ｂとして用いること
ができる絶縁体を用いればよい。また、絶縁体１２６としては、絶縁体１０４として用い
ることができる絶縁体を用いればよい。
【０２０７】
絶縁体１２６には、絶縁体１０１まで貫通する開口が設けられ、当該開口と連続して絶
縁体１０１に開口の底部が形成される。当該開口の底部と側面部を覆って導電体１２２が
形成され、導電体１２２の内側を埋め込むように導電体１０２が形成される。導電体１２
２及び導電体１０２の上を覆って、絶縁体１２６の開口を埋めるように絶縁体１２４が形
成されている。
【０２０８】
このような構成にすることにより、導電体１０２は、下面、側面及び上面が酸素に対す
るブロック性が高い導電体１２２と、絶縁体１２４で囲まれているので、絶縁体１０４と
絶縁体１２６から導電体１０２が酸素を引き抜くことを防ぐことができる。これにより、
絶縁体１０４から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することがで
きる。
【０２０９】
図７（Ｃ）（Ｄ）に示すトランジスタ２４は、絶縁体１２６と絶縁体１０１に設けられ
た開口の底部と側面部を覆って絶縁体１２８が形成されている点において、トランジスタ
２２と異なる。トランジスタ２４では、絶縁体１２８の内側を埋め込むように導電体１０
２が形成され、導電体１０２の上を覆って、絶縁体１２６の開口を埋めるように絶縁体１
２４が形成されている。ここで、絶縁体１２８としては、絶縁体１２４として用いること
ができる絶縁体を用いればよい。
【０２１０】
このような構成にすることにより、導電体１０２は、下面、側面及び上面が酸素に対す
るブロック性が高い絶縁体１２８と、絶縁体１２４で囲まれているので、絶縁体１０４と
絶縁体１２６から導電体１０２が酸素を引き抜くことを防ぐことができる。これにより、
絶縁体１０４から絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に酸素を供給することがで
きる。
【０２１１】
図８（Ａ）乃至（Ｃ）を用いてトランジスタ２６の構成について説明する。図８（Ａ）
はトランジスタ２６の上面図である。図８（Ｂ）は図８（Ａ）の一点鎖線Ａ１−Ａ２に対
応する断面図である。図８（Ｃ）は図８（Ａ）の一点鎖線Ａ３−Ａ４に対応する断面図で
ある。なお、一点鎖線Ａ１−Ａ２で示す領域では、トランジスタ２６のチャネル長方向に
おける構造を示しており、一点鎖線Ａ３−Ａ４で示す領域では、トランジスタ２６のチャ
ネル幅方向における構造を示している。
【０２１２】
図８（Ａ）乃至図８（Ｃ）に示すトランジスタ２６は、導電体１０９ａ、導電体１０９
ｂ及び絶縁体１０４の上を覆って絶縁体１３２が形成され、絶縁体１３２に半導体１０６
ｂに達する開口が設けられ、当該開口に絶縁体１１２ａ、絶縁体１１２ｂ、導電体１１４
ａ乃至１１４ｃが埋め込まれるように設けられている点において、トランジスタ２０と異
なる。また、当該開口によって、導電体１０９ａと導電体１０９ｂ、導電体１０８ａと導
電体１０８ｂは、離間させられている。トランジスタ２６は、ゲート電極として機能する
領域が、絶縁体１３２などによって形成される開口部を埋めるように自己整合（ｓｅｌｆ
ａｌｉｇｎ）的に形成されるので、ＴＧＳＡ  ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ  ＦＥＴ（Ｔｒｅｎ
ｃｈ  Ｇａｔｅ  Ｓｅｌｆ  Ａｌｉｇｎ  ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ  ＦＥＴ）と呼ぶこともで
きる。
【０２１３】
ここで、絶縁体１３２は、絶縁体１０４に用いることができる絶縁体を用いて形成すれ
ばよい。また、絶縁体１３２の上面は化学的機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅ
ｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）などを行って平坦化すればよい。
【０２１４】
トランジスタ２６では、導電体１０９ａと導電体１１４ａの間に絶縁体１３２、絶縁体
１１２ａ及び絶縁体１１２ｂが設けられる。また、導電体１０９ｂと導電体１１４ａの間
に絶縁体１３２、絶縁体１１２ａ及び絶縁体１１２ｂが設けられる。つまり、上述のオー
バーラップ領域と重なる領域において、絶縁体１３２の膜厚の分だけゲート―ソース間、
及びゲート―ドレイン間の距離を広げることができる。これにより、オーバーラップ領域
における寄生容量を低減することができる。寄生容量を低減することにより、トランジス
タのスイッチング速度を向上させることができるので、高い周波数特性を有するトランジ
スタを提供することができる。
【０２１５】
また、トランジスタ２６ではトランジスタ２０と異なり、主に絶縁体１３２の表面（絶
縁体１１８成膜後は絶縁体１３２と絶縁体１１８との界面）近傍に酸素１３１が添加され
る。また、絶縁体１３２の絶縁体１１８と接する領域に混合領域１３０が形成されること
がある。
【０２１６】
絶縁体１１６と同様に、加熱処理を行うことにより、絶縁体１３２中に酸素１３１を拡
散させることができる。絶縁体１３２中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１１２ａを介し
て半導体１０６ｂに供給される。このとき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１１
２ｂ、導電体１１４ａが導電体１１４ｂと絶縁体１１２ａの間に設けられていることによ
り、絶縁体１１２ａ中に拡散した酸素１３１が導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐこ
とができる。また、酸素をブロックする機能を有する導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂ
が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂと絶縁体１３２との間に設けられていることにより
、同様に酸素１３１が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂに引き抜かれるのを防ぐことが
できる。
【０２１７】
または、絶縁体１３２中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１０４を介して絶縁体１０６
ａに供給される。このとき、酸素をブロックする機能を有する絶縁体１０３が導電体１０
２を覆ってもうけられていることにより、絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が導電体
１０２に引き抜かれるのを防ぐことができる。
【０２１８】
このように、導電体１１４ｂ、導電体１０２、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが酸
素１３１の拡散を妨げないようにすることにより、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ、
特に半導体１０６ｂでチャネルが形成される領域に酸素１３１を効果的に供給することが
できる。このように絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を供給し、酸素欠損を低減
させることにより、欠陥準位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物
半導体とすることができる。
【０２１９】
以上、本実施の形態で示す構成、方法は、他の実施の形態で示す構成、方法と適宜組み
合わせて用いることができる。
【０２２０】
（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法について、図９乃至図
１２を用いて説明する。
【０２２１】
＜トランジスタの作製方法＞
以下において、図９乃至図１１を用いてトランジスタ１０の作製方法について説明する
。
【０２２２】
まずは、基板１００を準備する。基板１００に用いる基板としては上述の基板を用いれ
ばよい。
【０２２３】
次に、絶縁体１０１を成膜する。絶縁体１０１としては上述の絶縁体を用いればよい。
【０２２４】
絶縁体１０１の成膜は、スパッタリング法、化学気相成長（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、分子線エピタキシー（ＭＢＥ：Ｍｏｌｅｃｕ
ｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法またはパルスレーザ堆積（ＰＬＤ：Ｐｕｌｓｅｄ
Ｌａｓｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、原子層堆積（ＡＬＤ：Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙ
ｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを用いて行うことができる。
【０２２５】
なお、ＣＶＤ法は、プラズマを利用するプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ：Ｐｌａｓｍａ  
Ｅｎｈａｎｃｅｄ  ＣＶＤ）法、熱を利用する熱ＣＶＤ（ＴＣＶＤ：Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｃ
ＶＤ）法、光を利用する光ＣＶＤ（Ｐｈｏｔｏ  ＣＶＤ）法などに分類できる。さらに用
いる原料ガスによって金属ＣＶＤ（ＭＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  ＣＶＤ）法、有機金属ＣＶＤ
（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  ＣＶＤ）法に分けることができる。
【０２２６】
ＰＥＣＶＤ法は、比較的低温で高品質の膜が得られる。また、ＴＣＶＤ法は、プラズマ
を用いないため、被処理物へのプラズマダメージを小さくすることが可能な成膜方法であ
る。例えば、半導体装置に含まれる配線、電極、素子（トランジスタ、容量素子など）な
どは、プラズマから電荷を受け取ることでチャージアップする場合がある。このとき、蓄
積した電荷によって、半導体装置に含まれる配線、電極、素子などが破壊される場合があ
る。一方、プラズマを用いないＴＣＶＤ法の場合、こういったプラズマダメージが生じな
いため、半導体装置の歩留まりを高くすることができる。また、ＴＣＶＤ法では、成膜中
のプラズマダメージが生じないため、欠陥の少ない膜が得られる。
【０２２７】
また、ＡＬＤ法も、被処理物へのプラズマダメージを小さくすることが可能な成膜方法
である。よって、ＡＬＤ法を用いることにより、欠陥の少ない膜が得られる。
【０２２８】
ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、ターゲットなどから放出される粒子が堆積する成膜方法と
は異なり、被処理物の表面における反応により膜が形成される成膜方法である。したがっ
て、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有する成膜方法である。特
に、ＡＬＤ法は、優れた段差被覆性と、優れた厚さの均一性を有するため、アスペクト比
の高い開口部の表面を被覆する場合などに好適である。またこれにより、成膜した膜にピ
ンホールなどが形成されにくくなる。ただし、ＡＬＤ法は、比較的成膜速度が遅いため、
成膜速度の速いＣＶＤ法などの他の成膜方法と組み合わせて用いることが好ましい場合も
ある。
【０２２９】
ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、原料ガスの流量比によって、得られる膜の組成を制御する
ことができる。例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、原料ガスの流量比によって、任意
の組成の膜を成膜することができる。また、例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、成膜
しながら原料ガスの流量比を変化させることによって、組成が連続的に変化した膜を成膜
することができる。原料ガスの流量比を変化させながら成膜する場合、複数の成膜室を用
いて成膜する場合と比べて、搬送や圧力調整に掛かる時間の分、成膜に掛かる時間を短く
することができる。したがって、半導体装置の生産性を高めることができる場合がある。
【０２３０】
従来のＣＶＤ法を利用した成膜装置は、成膜の際、反応のための原料ガスの１種または
複数種がチャンバーに同時に供給される。ＡＬＤ法を利用した成膜装置は、反応のための
原料ガス（プリカーサとも呼ぶ）と反応剤として機能するガス（リアクタントとも呼ぶ）
を交互にチャンバーに導入し、これらのガスの導入を繰り返すことで成膜を行う。なお、
導入ガスの切り替えは、例えば、それぞれのスイッチングバルブ（高速バルブとも呼ぶ）
を切り替えて行うことができる。
【０２３１】
例えば、以下のような手順で成膜を行う。まず、プリカーサをチャンバーに導入し、基
板表面にプリカーサを吸着させる（第１ステップ）。ここで、プリカーサが基板表面に吸
着することにより、表面化学反応の自己停止機構が作用し、基板上のプリカーサの層の上
にさらにプリカーサが吸着することはない。なお、表面化学反応の自己停止機構が作用す
る基板温度の適正範囲をＡＬＤ  Ｗｉｎｄｏｗとも呼ぶ。ＡＬＤ  Ｗｉｎｄｏｗは、プリ
カーサの温度特性、蒸気圧、分解温度などによって決まる。次に、不活性ガス（アルゴン
、或いは窒素など）などをチャンバーに導入し、余剰なプリカーサや反応生成物などをチ
ャンバーから排出する（第２ステップ）。また、不活性ガスを導入する代わりに真空排気
によって、余剰なプリカーサや反応生成物などをチャンバーから排出してもよい。次に、
リアクタント（例えば、酸化剤（Ｈ２Ｏ、Ｏ３など））をチャンバーに導入し、基板表面
吸着したプリカーサと反応させて、膜の構成分子を基板に吸着させたままプリカーサの一
部を除去する（第３ステップ）。次に、不活性ガスの導入または真空排気によって、余剰
なリアクタントや反応生成物などをチャンバーから排出する（第４ステップ）。
【０２３２】
このようにして、基板表面に第１の単一層を成膜することができ、第１乃至第４ステッ
プを再び行うことで、第１の単一層の上に第２の単一層を積層することができる。第１乃
至第４ステップを、ガス導入を制御しつつ、膜が所望の厚さになるまで複数回繰り返すこ
とで、段差被覆性に優れた薄膜を形成することができる。薄膜の厚さは、繰り返す回数に
よって調節することができるため、精密な膜厚調節が可能であり、微細なトランジスタを
作製する場合に適している。
【０２３３】
ＡＬＤ法は、熱エネルギーを用いてプリカーサを反応させて行う成膜方法である。さら
に、上記のリアクタントの反応において、プラズマを用いてリアクタントをラジカル状態
として処理を行うＡＬＤ法をプラズマＡＬＤ法と呼ぶことがある。またこれに対して、プ
リカーサ及びリアクタントの反応を熱エネルギーで行うＡＬＤ法を熱ＡＬＤ法と呼ぶこと
がある。
【０２３４】
ＡＬＤ法は、極めて薄い膜を均一な膜厚で成膜することができる。また、凹凸を有する
面に対しても、表面被覆率が高い。
【０２３５】
また、プラズマＡＬＤ法により成膜することで、熱ＡＬＤ法に比べてさらに低温での成
膜が可能となる。プラズマＡＬＤ法は、例えば、１００度以下でも成膜速度を低下させず
に成膜することができる。また、プラズマＡＬＤ法では、酸化剤だけでなく、窒素ガスな
ど多くのリアクタントを用いることができるので、酸化物だけでなく、窒化物、フッ化物
、金属など多くの種類の膜を成膜することができる。
【０２３６】
また、プラズマＡＬＤ法を行う場合には、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）などのように基板から離れた状態でプラズマを発生させることも
できる。このようにプラズマを発生させることにより、プラズマダメージを抑えることが
できる。
【０２３７】
次に、絶縁体１０４を成膜する。絶縁体１０４としては上述の絶縁体を用いればよい。
絶縁体１０４の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ
法などを用いて行うことができる。
【０２３８】
また、後で形成する半導体１０６ｂの上面又は下面は平坦性が高いことが好ましい。こ
のため、絶縁体１０４の上面に化学的機械研磨（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａ
ｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：ＣＭＰ）などの平坦化処理を行って平坦性の向上を図ってもよ
い。
【０２３９】
次に、後の工程で絶縁体１０６ａとなる絶縁体１３６ａを成膜する。絶縁体１３６ａと
しては上述の絶縁体１０６ａとして用いることができる絶縁体、半導体又は導電体を用い
ればよい。絶縁体１３６ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬ
Ｄ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。以下に、スパッタリング法による絶縁体
１３６ａの成膜に用いることができるスパッタリング装置について説明する。
【０２４０】
＜スパッタリング装置＞
以下では、本発明の一態様に係る平行平板型のスパッタリング装置および対向ターゲッ
ト式のスパッタリング装置について説明する。後述するが、対向ターゲット式のスパッタ
リング装置を用いた成膜では、被形成面へのダメージが小さくできるため、結晶性の高い
膜を得やすい。よって後述するＣＡＡＣ−ＯＳの成膜には、対向ターゲット式のスパッタ
リング装置を用いることが好ましい場合がある。なお、以下に示すスパッタリング装置で
は、理解を容易にするため、または成膜時における動作を説明するため、基板およびター
ゲットなどを配置した状態で示す。ただし、基板およびターゲットなどは、使用者が設置
する物であるため、本発明の一態様に係るスパッタリング装置が基板およびターゲットを
有さない場合もある。
【０２４１】
平行平板型スパッタリング装置を用いた成膜法を、ＰＥＳＰ（ｐａｒａｌｌｅｌ  ｅｌ
ｅｃｔｒｏｄｅ  ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）と呼ぶこともできる。また、対向ターゲット式
スパッタリング装置を用いた成膜法を、ＶＤＳＰ（ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  
ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）と呼ぶこともできる。
【０２４２】
図１３（Ａ）は、平行平板型のスパッタリング装置である成膜室２６０１の断面図であ
る。図１３（Ａ）に示す成膜室２６０１は、ターゲットホルダ２６２０と、バッキングプ
レート２６１０と、ターゲット２６００と、マグネットユニット２６３０と、基板ホルダ
２６７０と、を有する。なお、ターゲット２６００は、バッキングプレート２６１０上に
配置される。また、バッキングプレート２６１０は、ターゲットホルダ２６２０上に配置
される。また、マグネットユニット２６３０は、バッキングプレート２６１０を介してタ
ーゲット２６００下に配置される。また、基板ホルダ２６７０は、ターゲット２６００と
向かい合って配置される。なお、本明細書では、複数のマグネット（磁石）を組み合わせ
たものをマグネットユニットと呼ぶ。マグネットユニットは、カソード、カソードマグネ
ット、磁気部材、磁気部品などと呼びかえることができる。マグネットユニット２６３０
は、マグネット２６３０Ｎと、マグネット２６３０Ｓと、マグネットホルダ２６３２と、
を有する。なお、マグネットユニット２６３０において、マグネット２６３０Ｎおよびマ
グネット２６３０Ｓは、マグネットホルダ２６３２上に配置される。また、マグネット２
６３０Ｎは、マグネット２６３０Ｓと間隔を空けて配置される。なお、成膜室２６０１に
基板２６６０を搬入する場合、基板２６６０は基板ホルダ２６７０上に配置される。端子
Ｖ１、端子Ｖ２および端子Ｖ３に電位を印加することで、ターゲット２６００と基板２６
６０との間にプラズマ２６４０が生じる。
【０２４３】
ターゲットホルダ２６２０とバッキングプレート２６１０とは、ネジ（ボルトなど）を
用いて固定されており、等電位となる。また、ターゲットホルダ２６２０は、バッキング
プレート２６１０を介してターゲット２６００を支持する機能を有する。
【０２４４】
また、バッキングプレート２６１０には、ターゲット２６００が固定される。例えば、
インジウムなどの低融点金属を含むボンディング材によってバッキングプレート２６１０
とターゲット２６００とを固定することができる。
【０２４５】
図１３（Ａ）に、マグネットユニット２６３０によって形成される磁力線２６８０ａお
よび磁力線２６８０ｂを示す。
【０２４６】
磁力線２６８０ａは、ターゲット２６００の上面近傍における水平磁場を形成する磁力
線の一つである。ターゲット２６００の上面近傍は、例えば、ターゲット２６００から垂
直距離が０ｍｍ以上１０ｍｍ以下、特に０ｍｍ以上５ｍｍ以下の領域である。
【０２４７】
磁力線２６８０ｂは、マグネットユニット２６３０の上面から、垂直距離ｄにおける水
平磁場を形成する磁力線の一つである。垂直距離ｄは、例えば、０ｍｍ以上２０ｍｍ以下
または５ｍｍ以上１５ｍｍ以下である。
【０２４８】
このとき、強力なマグネット２６３０Ｎおよび強力なマグネット２６３０Ｓを用いるこ
とで、基板２６６０の上面近傍においても強い磁場を発生させることができる。具体的に
は、基板２６６０の上面における水平磁場の強度を１０Ｇ以上１００Ｇ以下、好ましくは
１５Ｇ以上６０Ｇ以下、さらに好ましくは２０Ｇ以上４０Ｇ以下とすることができる。
【０２４９】
なお、水平磁場の強度の測定は、垂直磁場の強度が０Ｇのときの値を測定すればよい。
【０２５０】
成膜室２６０１における磁場の強度を上述の範囲とすることで、密度が高く、結晶性の
高い酸化物を成膜することができる。また、得られる酸化物は、複数種の結晶相を含むこ
とが少なく、ほとんど単一の結晶相を含む酸化物となる。
【０２５１】
図１３（Ｂ）に、マグネットユニット２６３０の上面図を示す。マグネットユニット２
６３０は、円形または略円形のマグネット２６３０Ｎと、円形または略円形のマグネット
２６３０Ｓと、がマグネットホルダ２６３２に固定されている。そして、マグネットユニ
ット２６３０を、マグネットユニット２６３０の上面における中央または略中央の法線ベ
クトルを回転軸として回転させることができる。例えば、マグネットユニット２６３０を
、０．１Ｈｚ以上１ｋＨｚ以下のビート（リズム、拍子、パルス、周波、周期またはサイ
クルなどと言い換えてもよい。）で回転させればよい。
【０２５２】
したがって、ターゲット２６００上の磁場の強い領域は、マグネットユニット２６３０
の回転とともに変化する。磁場の強い領域は高密度プラズマ領域となるため、その近傍に
おいてターゲット２６００のスパッタリング現象が起こりやすい。例えば、磁場の強い領
域が特定の箇所となる場合、ターゲット２６００の特定の領域のみが使用されることにな
る。一方、図１３（Ｂ）に示すようにマグネットユニット２６３０を回転させることで、
ターゲット２６００を均一に使用することができる。また、マグネットユニット２６３０
を回転させることによって、均一な厚さおよび均一な質を有する膜を成膜することができ
る。
【０２５３】
また、マグネットユニット２６３０を回転させることにより、基板２６６０の上面にお
ける磁力線の向きも変化させることができる。
【０２５４】
なお、ここではマグネットユニット２６３０を回転させる例を示したが、本発明の一態
様はこれに限定されるものではない。例えば、マグネットユニット２６３０を上下または
／および左右に揺動させても構わない。例えば、マグネットユニット２６３０を、０．１
Ｈｚ以上１ｋＨｚ以下のビートで揺動させればよい。または、ターゲット２６００を回転
または移動させても構わない。例えば、ターゲット２６００を、０．１Ｈｚ以上１ｋＨｚ
以下のビートで回転または揺動させればよい。または、基板２６６０を回転させることで
、相対的に基板２６６０の上面における磁力線の向きを変化させても構わない。または、
これらの組み合わせても構わない。
【０２５５】
成膜室２６０１は、バッキングプレート２６１０の内部または下部などに水路を有して
もよい。そして、水路に流体（空気、窒素、希ガス、水、オイルなど）を流すことで、ス
パッタ時にターゲット２６００の温度の上昇による放電異常や、部材の変形による成膜室
２６０１の損傷などを抑制することができる。このとき、バッキングプレート２６１０と
ターゲット２６００とをボンディング材を介して密着させると、冷却性能が高まるため好
ましい。
【０２５６】
なお、ターゲットホルダ２６２０とバッキングプレート２６１０との間にガスケットを
有すると、成膜室２６０１内に外部や水路などから不純物が混入しにくくなるため好まし
い。
【０２５７】
マグネットユニット２６３０において、マグネット２６３０Ｎとマグネット２６３０Ｓ
とは、それぞれターゲット２６００側に異なる極を向けて配置されている。ここでは、マ
グネット２６３０Ｎをターゲット２６００側がＮ極となるように配置し、マグネット２６
３０Ｓをターゲット２６００側がＳ極となるように配置する場合について説明する。ただ
し、マグネットユニット２６３０におけるマグネットおよび極の配置は、この配置に限定
されるものではない。また、図１３（Ａ）の配置に限定されるものでもない。
【０２５８】
成膜時、ターゲットホルダ２６２０に接続する端子Ｖ１に印加される電位Ｖ１は、例え
ば、基板ホルダ２６７０に接続する端子Ｖ２に印加される電位Ｖ２よりも低い電位である
。また、基板ホルダ２６７０に接続する端子Ｖ２に印加される電位Ｖ２は、例えば、接地
電位である。また、マグネットホルダ２６３２に接続する端子Ｖ３に印加される電位Ｖ３
は、例えば、接地電位である。なお、端子Ｖ１、端子Ｖ２および端子Ｖ３に印加される電
位は上記の電位に限定されない。また、ターゲットホルダ２６２０、基板ホルダ２６７０
、マグネットホルダ２６３２の全てに電位が印加されなくても構わない。例えば、基板ホ
ルダ２６７０が電気的に浮いていても構わない。なお、図１３（Ａ）では、ターゲットホ
ルダ２６２０に接続する端子Ｖ１に電位Ｖ１を印加する、いわゆるＤＣスパッタリング法
の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、ターゲットホルダ２
６２０に、周波数が１３．５６ＭＨｚまたは２７．１２ＭＨｚなどの高周波電源を接続す
る、いわゆるＲＦスパッタリング法を用いても構わない。
【０２５９】
また、図１３（Ａ）では、バッキングプレート２６１０およびターゲットホルダ２６２
０と、マグネットユニット２６３０およびマグネットホルダ２６３２と、が電気的に接続
されない例を示したが、これに限定されない。例えば、バッキングプレート２６１０およ
びターゲットホルダ２６２０と、マグネットユニット２６３０およびマグネットホルダ２
６３２と、が電気的に接続されており、等電位となっていても構わない。
【０２６０】
また、得られる酸化物の結晶性をさらに高めるために、基板２６６０の温度を高くして
も構わない。基板２６６０の温度を高くすることで、基板２６６０の上面におけるスパッ
タ粒子のマイグレーションを助長させることができる。したがって、より密度が高く、よ
り結晶性の高い酸化物を成膜することができる。なお、基板２６６０の温度は、例えば、
１００℃以上４５０℃以下、好ましくは１５０℃以上４００℃以下、さらに好ましくは１
７０℃以上３５０℃以下とすればよい。
【０２６１】
また、成膜ガス中の酸素分圧が高すぎると、複数種の結晶相を含む酸化物が成膜されや
すいため、成膜ガスはアルゴンなどの希ガス（ほかにヘリウム、ネオン、クリプトン、キ
セノンなど）と酸素との混合ガスを用いると好ましい。例えば、全体に占める酸素の割合
を５０体積％未満、好ましくは３３体積％以下、さらに好ましくは２０体積％以下、より
好ましくは１５体積％以下とすればよい。
【０２６２】
また、ターゲット２６００と基板２６６０との垂直距離を、１０ｍｍ以上６００ｍｍ以
下、好ましくは２０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、さらに好ましくは３０ｍｍ以上２００ｍｍ
以下、より好ましくは４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下とする。ターゲット２６００と基板２
６６０との垂直距離を上述の範囲まで近くすることで、スパッタ粒子が、基板２６６０に
到達するまでの間におけるエネルギーの低下を抑制できる場合がある。また、ターゲット
２６００と基板２６６０との垂直距離を上述の範囲まで遠くすることで、スパッタ粒子の
基板２６６０への入射方向を垂直に近づけることができるため、スパッタ粒子の衝突によ
る基板２６６０へのダメージを小さくすることができる場合がある。
【０２６３】
図１４（Ａ）に、図１３（Ａ）とは異なる成膜室の例を示す。
【０２６４】
図１４（Ａ）に示す成膜室２６０１は、ターゲットホルダ２６２０ａと、ターゲットホ
ルダ２６２０ｂと、バッキングプレート２６１０ａと、バッキングプレート２６１０ｂと
、ターゲット２６００ａと、ターゲット２６００ｂと、マグネットユニット２６３０ａと
、マグネットユニット２６３０ｂと、部材２６４２と、基板ホルダ２６７０と、を有する
。なお、ターゲット２６００ａは、バッキングプレート２６１０ａ上に配置される。また
、バッキングプレート２６１０ａは、ターゲットホルダ２６２０ａ上に配置される。また
、マグネットユニット２６３０ａは、バッキングプレート２６１０ａを介してターゲット
２６００ａ下に配置される。また、ターゲット２６００ｂは、バッキングプレート２６１
０ｂ上に配置される。また、バッキングプレート２６１０ｂは、ターゲットホルダ２６２
０ｂ上に配置される。また、マグネットユニット２６３０ｂは、バッキングプレート２６
１０ｂを介してターゲット２６００ｂ下に配置される。
【０２６５】
マグネットユニット２６３０ａは、マグネット２６３０Ｎ１と、マグネット２６３０Ｎ
２と、マグネット２６３０Ｓと、マグネットホルダ２６３２と、を有する。なお、マグネ
ットユニット２６３０ａにおいて、マグネット２６３０Ｎ１、マグネット２６３０Ｎ２お
よびマグネット２６３０Ｓは、マグネットホルダ２６３２上に配置される。また、マグネ
ット２６３０Ｎ１およびマグネット２６３０Ｎ２は、マグネット２６３０Ｓと間隔を空け
て配置される。なお、マグネットユニット２６３０ｂは、マグネットユニット２６３０ａ
と同様の構造を有する。なお、成膜室２６０１に基板２６６０を搬入する場合、基板２６
６０は基板ホルダ２６７０上に配置される。端子Ｖ１、端子Ｖ２、端子Ｖ３および端子Ｖ
４に電位を印加することで、ターゲット２６００ａ、２６００ｂと基板２６６０との間に
プラズマ２６４０が生じる。
【０２６６】
ターゲット２６００ａ、バッキングプレート２６１０ａおよびターゲットホルダ２６２
０ａと、ターゲット２６００ｂ、バッキングプレート２６１０ｂおよびターゲットホルダ
２６２０ｂと、は部材２６４２によって離間されている。なお、部材２６４２は絶縁体で
あることが好ましい。ただし、部材２６４２が導電体または半導体であっても構わない。
また、部材２６４２が、導電体または半導体の表面を絶縁体で覆ったものであっても構わ
ない。
【０２６７】
ターゲットホルダ２６２０ａとバッキングプレート２６１０ａとは、ネジ（ボルトなど
）を用いて固定されており、等電位となる。また、ターゲットホルダ２６２０ａは、バッ
キングプレート２６１０ａを介してターゲット２６００ａを支持する機能を有する。また
、ターゲットホルダ２６２０ｂとバッキングプレート２６１０ｂとは、ネジ（ボルトなど
）を用いて固定されており、等電位となる。また、ターゲットホルダ２６２０ｂは、バッ
キングプレート２６１０ｂを介してターゲット２６００ｂを支持する機能を有する。
【０２６８】
バッキングプレート２６１０ａは、ターゲット２６００ａを固定する機能を有する。ま
た、バッキングプレート２６１０ｂは、ターゲット２６００ｂを固定する機能を有する。
【０２６９】
図１４（Ａ）に、マグネットユニット２６３０ａによって形成される磁力線２６８０ａ
および磁力線２６８０ｂを示す。
【０２７０】
磁力線２６８０ａは、ターゲット２６００ａの上面近傍における水平磁場を形成する磁
力線の一つである。ターゲット２６００ａの上面近傍は、例えば、ターゲット２６００ａ
から垂直距離が０ｍｍ以上１０ｍｍ以下、特に０ｍｍ以上５ｍｍ以下の領域である。
【０２７１】
磁力線２６８０ｂは、マグネットユニット２６３０ａの上面から、垂直距離ｄにおける
水平磁場を形成する磁力線の一つである。垂直距離ｄは、例えば、０ｍｍ以上２０ｍｍ以
下または５ｍｍ以上１５ｍｍ以下である。
【０２７２】
このとき、強力なマグネット２６３０Ｎ１、マグネット２６３０Ｎ２および強力なマグ
ネット２６３０Ｓを用いることで、基板２６６０の上面近傍においても強い磁場を発生さ
せることができる。具体的には、基板２６６０の上面における水平磁場の強度を１０Ｇ以
上１００Ｇ以下、好ましくは１５Ｇ以上６０Ｇ以下、さらに好ましくは２０Ｇ以上４０Ｇ
以下とすることができる。
【０２７３】
成膜室２６０１における磁場の強度を上述の範囲とすることで、密度が高く、結晶性の
高い酸化物を成膜することができる。また、得られる酸化物は、複数種の結晶相を含むこ
とが少なく、ほとんど単一の結晶相を含む酸化物となる。
【０２７４】
なお、マグネットユニット２６３０ｂもマグネットユニット２６３０ａと同様の磁力線
が形成される。
【０２７５】
図１４（Ｂ）に、マグネットユニット２６３０ａおよびマグネットユニット２６３０ｂ
の上面図を示す。マグネットユニット２６３０ａは、長方形または略長方形のマグネット
２６３０Ｎ１と、長方形または略長方形のマグネット２６３０Ｎ２と、長方形または略長
方形のマグネット２６３０Ｓと、がマグネットホルダ２６３２に固定されていることわか
る。そして、マグネットユニット２６３０ａを、図１４（Ｂ）に示すように左右に揺動さ
せることができる。例えば、マグネットユニット２６３０ａを、０．１Ｈｚ以上１ｋＨｚ
以下のビートで揺動させればよい。
【０２７６】
したがって、ターゲット２６００ａ上の磁場の強い領域は、マグネットユニット２６３
０ａの揺動とともに変化する。磁場の強い領域は高密度プラズマ領域となるため、その近
傍においてターゲット２６００ａのスパッタリング現象が起こりやすい。例えば、磁場の
強い領域が特定の箇所となる場合、ターゲット２６００ａの特定の領域のみが使用される
ことになる。一方、図１４（Ｂ）に示すようにマグネットユニット２６３０ａを揺動させ
ることで、ターゲット２６００ａを均一に使用することができる。また、マグネットユニ
ット２６３０ａを揺動させることによって、均一な厚さ、質を有する膜を成膜することが
できる。
【０２７７】
また、マグネットユニット２６３０ａを揺動させることにより、基板２６６０の上面に
おける磁力線の状態も変化させることができる。これは、マグネットユニット２６３０ｂ
においても同様である。
【０２７８】
なお、ここではマグネットユニット２６３０ａおよびマグネットユニット２６３０ｂを
揺動させる例を示したが、本発明の一態様はこれに限定されるものではない。例えば、マ
グネットユニット２６３０ａおよびマグネットユニット２６３０ｂを回転させても構わな
い。例えば、マグネットユニット２６３０ａおよびマグネットユニット２６３０ｂを、０
．１Ｈｚ以上１ｋＨｚ以下のビートで回転させればよい。または、ターゲット２６００を
回転または移動させても構わない。例えば、ターゲット２６００を、０．１Ｈｚ以上１ｋ
Ｈｚ以下のビートで回転または揺動させればよい。または、基板２６６０を回転させるこ
とで、相対的に基板２６６０の上面における磁力線の状態を変化させることができる。ま
たは、これらを組み合わせても構わない。
【０２７９】
成膜室２６０１は、バッキングプレート２６１０ａおよびバッキングプレート２６１０
ｂの内部または下部などに水路を有してもよい。そして、水路に流体（空気、窒素、希ガ
ス、水、オイルなど）を流すことで、スパッタ時にターゲット２６００ａおよびターゲッ
ト２６００ｂの温度の上昇による放電異常や、部材の変形による成膜室２６０１の損傷な
どを抑制することができる。このとき、バッキングプレート２６１０ａとターゲット２６
００ａとをボンディング材を介して密着させると、冷却性能が高まるため好ましい。また
、バッキングプレート２６１０ｂとターゲット２６００ｂとをボンディング材を介して密
着させると、冷却性能が高まるため好ましい。
【０２８０】
なお、ターゲットホルダ２６２０ａとバッキングプレート２６１０ａとの間にガスケッ
トを有すると、成膜室２６０１内に外部や水路などから不純物が混入しにくくなるため好
ましい。また、ターゲットホルダ２６２０ｂとバッキングプレート２６１０ｂとの間にガ
スケットを有すると、成膜室２６０１内に外部や水路などから不純物が混入しにくくなる
ため好ましい。
【０２８１】
マグネットユニット２６３０ａにおいて、マグネット２６３０Ｎ１およびマグネット２
６３０Ｎ２とマグネット２６３０Ｓとはそれぞれターゲット２６００ａ側に異なる極を向
けて配置されている。ここでは、マグネット２６３０Ｎ１およびマグネット２６３０Ｎ２
をターゲット２６００ａ側がＮ極となるように配置し、マグネット２６３０Ｓをターゲッ
ト２６００ａ側がＳ極となるように配置する場合について説明する。ただし、マグネット
ユニット２６３０ａにおけるマグネットおよび極の配置は、この配置に限定されるもので
はない。また、図１４（Ａ）の配置に限定されるものでもない。これは、マグネットユニ
ット２６３０ｂについても同様である。
【０２８２】
成膜時、ターゲットホルダ２６２０ａに接続する端子Ｖ１と、ターゲットホルダ２６２
０ｂに接続する端子Ｖ４と、の間で、交互に高低が入れ替わる電位を印加すればよい。ま
た、基板ホルダ２６７０に接続する端子Ｖ２に印加される電位Ｖ２は、例えば、接地電位
である。また、マグネットホルダ２６３２に接続する端子Ｖ３に印加される電位Ｖ３は、
例えば、接地電位である。なお、端子Ｖ１、端子Ｖ２、端子Ｖ３および端子Ｖ４に印加さ
れる電位は上記の電位に限定されない。また、ターゲットホルダ２６２０ａ、ターゲット
ホルダ２６２０ｂ、基板ホルダ２６７０、マグネットホルダ２６３２の全てに電位が印加
されなくても構わない。例えば、基板ホルダ２６７０が電気的に浮いていても構わない。
なお、図１４（Ａ）では、ターゲットホルダ２６２０ａに接続する端子Ｖ１と、ターゲッ
トホルダ２６２０ｂに接続する端子Ｖ４と、の間で、交互に高低が入れ替わる電位を印加
する、いわゆるＡＣスパッタリング法の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定さ
れない。
【０２８３】
また、図１４（Ａ）では、バッキングプレート２６１０ａおよびターゲットホルダ２６
２０ａと、マグネットユニット２６３０ａおよびマグネットホルダ２６３２と、は電気的
に接続されない例を示したが、これに限定されない。例えば、バッキングプレート２６１
０ａおよびターゲットホルダ２６２０ａと、マグネットユニット２６３０ａおよびマグネ
ットホルダ２６３２と、が電気的に接続されており、等電位となっていても構わない。ま
た、バッキングプレート２６１０ｂおよびターゲットホルダ２６２０ｂと、マグネットユ
ニット２６３０ｂおよびマグネットホルダ２６３２と、は電気的に接続されない例を示し
たが、これに限定されない。例えば、バッキングプレート２６１０ｂおよびターゲットホ
ルダ２６２０ｂと、マグネットユニット２６３０ｂおよびマグネットホルダ２６３２と、
が電気的に接続されており、等電位となっていても構わない。
【０２８４】
また、得られる酸化物の結晶性をさらに高めるために、基板２６６０の温度を高くして
も構わない。基板２６６０の温度を高くすることで、基板２６６０の上面におけるスパッ
タ粒子のマイグレーションを助長させることができる。したがって、より密度が高く、よ
り結晶性の高い酸化物を成膜することができる。なお、基板２６６０の温度は、例えば、
１００℃以上４５０℃以下、好ましくは１５０℃以上４００℃以下、さらに好ましくは１
７０℃以上３５０℃以下とすればよい。
【０２８５】
また、成膜ガス中の酸素分圧が高すぎると、複数種の結晶相を含む酸化物が成膜されや
すいため、成膜ガスはアルゴンなどの希ガス（ほかにヘリウム、ネオン、クリプトン、キ
セノンなど）と酸素との混合ガスを用いると好ましい。例えば、全体に占める酸素の割合
を５０体積％未満、好ましくは３３体積％以下、さらに好ましくは２０体積％以下、より
好ましくは１５体積％以下とすればよい。
【０２８６】
また、ターゲット２６００ａと基板２６６０との垂直距離を、１０ｍｍ以上６００ｍｍ
以下、好ましくは２０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、さらに好ましくは３０ｍｍ以上２００ｍ
ｍ以下、より好ましくは４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下とする。ターゲット２６００ａと基
板２６６０との垂直距離を上述の範囲まで近くすることで、スパッタ粒子が、基板２６６
０に到達するまでの間におけるエネルギーの低下を抑制できる場合がある。また、ターゲ
ット２６００ａと基板２６６０との垂直距離を上述の範囲まで遠くすることで、スパッタ
粒子の基板２６６０への入射方向を垂直に近づけることができるため、スパッタ粒子の衝
突による基板２６６０へのダメージを小さくすることができる場合がある。
【０２８７】
また、ターゲット２６００ｂと基板２６６０との垂直距離を、１０ｍｍ以上６００ｍｍ
以下、好ましくは２０ｍｍ以上４００ｍｍ以下、さらに好ましくは３０ｍｍ以上２００ｍ
ｍ以下、より好ましくは４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下とする。ターゲット２６００ｂと基
板２６６０との垂直距離を上述の範囲まで近くすることで、スパッタ粒子が、基板２６６
０に到達するまでの間におけるエネルギーの低下を抑制できる場合がある。また、ターゲ
ット２６００ｂと基板２６６０との垂直距離を上述の範囲まで遠くすることで、スパッタ
粒子の基板２６６０への入射方向を垂直に近づけることができるため、スパッタ粒子の衝
突による基板２６６０へのダメージを小さくすることができる場合がある。
【０２８８】
図１５（Ａ）に、図１３（Ａ）および図１４（Ａ）とは異なる成膜室の断面図の例を示
す。図１５（Ａ）は、対向ターゲット式スパッタリング装置である。
【０２８９】
図１５（Ａ）は、スパッタリング装置における成膜室の断面模式図である。図１５（Ａ
）に示す成膜室は、ターゲット２６００ａおよびターゲット２６００ｂと、ターゲット２
６００ａおよびターゲット２６００ｂをそれぞれ保持するバッキングプレート２６１０ａ
およびバッキングプレート２６１０ｂと、バッキングプレート２６１０ａおよびバッキン
グプレート２６１０ｂを介してターゲット２６００ａおよびターゲット２６００ｂの背面
にそれぞれ配置されるマグネットユニット２６３０ａおよびマグネットユニット２６３０
ｂと、を有する。また、基板ホルダ２６７０は、ターゲット２６００ａおよびターゲット
２６００ｂの間に配置される。なお、成膜室に基板２６６０を入れる場合、基板２６６０
は基板ホルダ２６７０によって固定される。
【０２９０】
また、図１５（Ａ）に示すように、バッキングプレート２６１０ａおよびバッキングプ
レート２６１０ｂには、電位を印加するための電源２６９０および電源２６９１が接続さ
れている。バッキングプレート２６１０ａに接続する電源２６９０と、バッキングプレー
ト２６１０ｂに接続する電源２６９１と、の間で、交互に電位の高低が入れ替わる電位を
印加する、いわゆるＡＣ電源を用いると好ましい。バッキングプレート２６１０ａおよび
バッキングプレート２６１０ｂに電位を印加することで、プラズマ２６４０が生じる。ま
た、図１５（Ａ）に示す電源２６９０および電源２６９１はＡＣ電源を用いた例を示して
いるが、これに限られない。例えば、電源２６９０および電源２６９１としてＲＦ電源、
ＤＣ電源などを用いてもよい。または、電源２６９０と電源２６９１とで、異なる種類の
電源を用いてもよい。
【０２９１】
また、基板ホルダ２６７０はＧＮＤに接続されていることが好ましい。また、基板ホル
ダ２６７０はフローティングの状態であってもよい。
【０２９２】
図１５（Ｂ）および図１５（Ｃ）は、図１５（Ａ）の一点鎖線Ａ−Ｂ間におけるプラズ
マ２６４０の電位分布を示している。図１５（Ｂ）に示す電位分布は、バッキングプレー
ト２６１０ａに高電位を印加し、バッキングプレート２６１０ｂに低電位を印加した状態
を示す。即ち、ターゲット２６００ｂに向けて陽イオンが加速される。図１５（Ｃ）に示
す電位分布は、バッキングプレート２６１０ａに低電位を印加し、バッキングプレート２
６１０ｂに高電位を印加した状態を示す。即ち、ターゲット２６００ａに向けて陽イオン
が加速される。図１５（Ｂ）と、図１５（Ｃ）と、の状態を交互に入れ替わるようにして
成膜することができる。
【０２９３】
また、基板２６６０の表面に、プラズマ２６４０が十分到達している状態で成膜するこ
とが好ましい。例えば、図１５（Ａ）に示すように、基板ホルダ２６７０および基板２６
６０がプラズマ２６４０中に配置された状態が好ましい。特にプラズマ２６４０中におけ
る陽光柱の領域に、基板ホルダ２６７０および基板２６６０が入るように配置することが
好ましい。プラズマ２６４０中の陽光柱の領域は、図１５（Ｂ）および図１５（Ｃ）に示
す電位分布において、電位分布の勾配が小さい領域である。つまり、図１５（Ａ）に示す
ように、プラズマ２６４０における陽光柱の領域に基板２６６０を配置することによって
、プラズマ２６４０下の強電界部に基板２６６０が曝されないため、基板２６６０はプラ
ズマ２６４０による損傷が少なく、欠陥を低減することができる。
【０２９４】
また、図１５（Ａ）に示すように、基板ホルダ２６７０および基板２６６０がプラズマ
２６４０中に配置された状態で成膜することにより、ターゲット２６００ａおよびターゲ
ット２６００ｂの使用効率が高くなるため好ましい。
【０２９５】
図１５（Ａ）に示すように、基板ホルダ２６７０と、ターゲット２６００ａと、の水平
距離をＬ１とし、基板ホルダ２６７０と、ターゲット２６００ｂと、の水平距離をＬ２と
する。Ｌ１およびＬ２の長さは同等の長さであることが好ましい。また、上述したように
、基板２６６０がプラズマ２６４０の陽光柱の領域に入るように、Ｌ１およびＬ２の距離
を適宜調節することが好ましい。例えば、Ｌ１およびＬ２は、それぞれ１０ｍｍ以上２０
０ｍｍ以下とすればよい。
【０２９６】
図１５（Ａ）に示す構成は、ターゲット２６００ａとターゲット２６００ｂとが平行に
向かい合って配置されている。また、マグネットユニット２６３０ａとマグネットユニッ
ト２６３０ｂとが、異なる極を向かい合わせるように配置されている。このとき、磁力線
は、マグネットユニット２６３０ｂからマグネットユニット２６３０ａに向かう。そのた
め、成膜時には、マグネットユニット２６３０ａとマグネットユニット２６３０ｂとで形
成される磁場にプラズマ２６４０が閉じ込められる。基板ホルダ２６７０および基板２６
６０は、ターゲット２６００ａとターゲット２６００ｂとが向かい合っている間の領域（
ターゲット間領域ともいう。）に配置される。なお、図１５（Ａ）では、ターゲット２６
００ａとターゲット２６００ｂとが向かい合う方向に平行に基板ホルダ２６７０および基
板２６６０を配置しているが、傾けて配置してもよい。例えば、基板ホルダ２６７０およ
び基板２６６０を３０°以上６０°以下（代表的には４５°）傾けることによって、成膜
時に基板２６６０に垂直入射するスパッタ粒子の割合を高くすることができる。
【０２９７】
図１６に示す構成は、ターゲット２６００ａとターゲット２６００ｂとが平行ではなく
、傾いた状態で向かい合って配置されている点が図１５（Ａ）に示した構成と異なる。よ
って、ターゲットの配置以外については、図１５（Ａ）の説明を参照する。また、マグネ
ットユニット２６３０ａとマグネットユニット２６３０ｂとが異なる極が向かい合うよう
に配置されている。基板ホルダ２６７０および基板２６６０は、ターゲット間領域に配置
される。ターゲット２６００ａおよびターゲット２６００ｂを、図１６に示すような配置
とすることで、基板２６６０に到達するスパッタ粒子の割合が高くなるため、堆積速度を
高くすることができる。
【０２９８】
また、図１５（Ａ）では、基板ホルダ２６７０および基板２６６０がプラズマ２６４０
中に配置された状態を示したが、これに限られない。例えば図１７に示すように、基板ホ
ルダ２６７０および基板２６６０が、プラズマ２６４０の外側に配置されていてもよい。
基板２６６０がプラズマ２６４０の高電界領域に曝されないことによって、プラズマ２６
４０による損傷を低減させることができる。ただし、プラズマ２６４０から基板２６６０
を離すほど、ターゲット２６００ａおよびターゲット２６００ｂの使用効率が低くなって
しまう。また、基板ホルダ２６７０の位置は、図１７に示すように可変とする構成が好ま
しい。
【０２９９】
また、基板ホルダ２６７０は、ターゲット間領域の上側に配置されるが、下側に配置さ
れても構わない。また、下側および上側に配置されても構わない。下側および上側に基板
ホルダ２６７０を配置することにより、二以上の基板を同時に成膜することができるため
、生産性を高めることができる。なお、ターゲット２６００ａとターゲット２６００ｂと
が向かい合う領域の上側または／および下側を、ターゲット２６００ａとターゲット２６
００ｂとが向かい合う領域の側方と言い換えることができる。
【０３００】
対向ターゲット式スパッタリング装置は、高真空であってもプラズマを安定に生成する
ことができる。例えば、０．００５Ｐａ以上０．０９Ｐａ以下でも成膜が可能である。そ
のため、成膜時に混入する不純物の濃度を低減することができる。
【０３０１】
対向ターゲット式スパッタリング装置を用いることによって、高真空での成膜が可能と
なるため、またプラズマによる損傷の少ない成膜が可能となるため、基板２６６０の温度
が低い場合でも結晶性の高い膜を成膜することができる。例えば、基板２６６０の温度が
、１０℃以上１００℃未満であっても結晶性の高い膜を成膜することができる。
【０３０２】
図１８（Ａ）に、対向ターゲット式スパッタリング装置の別の例を示す。
【０３０３】
図１８（Ａ）は、対向ターゲット式スパッタリング装置における成膜室の断面模式図で
ある。図１５（Ａ）に示す成膜室とは異なり、ターゲットシールド２６２２およびターゲ
ットシールド２６２３が設けられている。また、バッキングプレート２６１０ａおよびバ
ッキングプレート２６１０ｂと接続する電源２６９１を有する。
【０３０４】
また、図１８（Ａ）に示すように、ターゲットシールド２６２２およびターゲットシー
ルド２６２３は、ＧＮＤに接続されている。つまり、電源２６９１の電位が与えられたバ
ッキングプレート２６１０ａおよびバッキングプレート２６１０ｂと、ＧＮＤが与えられ
たターゲットシールド２６２２およびターゲットシールド２６２３と、の間に印加される
電位差によって、プラズマ２６４０が形成される。
【０３０５】
また、基板２６６０の表面に、プラズマ２６４０が十分到達している状態で成膜するこ
とが好ましい。例えば、図１８（Ａ）に示すように、基板ホルダ２６７０および基板２６
６０がプラズマ２６４０中に配置された状態が好ましい。特にプラズマ２６４０中におけ
る陽光柱の領域に、基板ホルダ２６７０および基板２６６０が入るように配置することが
好ましい。プラズマ中の陽光柱の領域は、電位分布の勾配が小さい領域である。つまり、
図１８（Ａ）に示すように、プラズマ２６４０における陽光柱の領域に基板２６６０を配
置することによって、プラズマ２６４０下の強電界部に基板が曝されないため、基板２６
６０はプラズマ２６４０による損傷が少なく、良好な膜質の酸化物を得ることができる。
【０３０６】
また、図１８（Ａ）に示すように基板ホルダ２６７０および基板２６６０がプラズマ２
６４０中に配置された状態で成膜することにより、ターゲット２６００ａおよびターゲッ
ト２６００ｂの使用効率が高くなるため好ましい。
【０３０７】
また、図１８（Ａ）に示すように、基板ホルダ２６７０と、ターゲット２６００ａと、
の水平距離をＬ１とし、基板ホルダ２６７０と、ターゲット２６００ｂと、の水平距離を
Ｌ２とする。Ｌ１およびＬ２の長さは同等の長さであることが好ましい。また、上述した
ように、基板２６６０がプラズマ２６４０の陽光柱の領域に入るように、Ｌ１およびＬ２
の距離を適宜調節することが好ましい。
【０３０８】
また、図１８（Ａ）では、基板ホルダ２６７０および基板２６６０がプラズマ２６４０
中に配置された状態を示したが、これに限られない。例えば図１８（Ｂ）に示すように、
基板ホルダ２６７０および基板２６６０が、プラズマ２６４０の外側に配置されていても
よい。基板２６６０がプラズマ２６４０の高電界領域に曝されないことによって、プラズ
マ２６４０による損傷を低減させることができる。ただし、プラズマ２６４０から基板２
６６０を離すほど、ターゲット２６００ａおよびターゲット２６００ｂの使用効率が低く
なってしまう。また、基板ホルダ２６７０の位置は、図１８（Ｂ）に示すように可変とす
る構成が好ましい。
【０３０９】
また、図１８（Ｂ）に示すように、基板ホルダ２６７０は、ターゲット２６００ａとタ
ーゲット２６００ｂとが向かい合う領域の上側に配置されるが、下側に配置されても構わ
ない。また、下側および上側に配置されても構わない。下側および上側に基板ホルダ２６
７０を配置することにより、二以上の基板を同時に成膜することができるため、生産性を
高めることができる。
【０３１０】
以上に示した対向ターゲット式スパッタリング装置は、プラズマがターゲット間の磁場
に閉じこめられるため、基板へのプラズマダメージを低減することができる。また、ター
ゲットの傾きによって、基板へのスパッタ粒子の入射角度を浅くすることができるため、
堆積される膜の段差被覆性を高めることができる。また、高真空における成膜が可能であ
るため、膜に混入する不純物の濃度を低減することができる。
【０３１１】
なお、成膜室に、平行平板型スパッタリング装置、イオンビームスパッタリング装置を
適用しても構わない。
【０３１２】
＜成膜装置＞
以下では、本発明の一態様に係るスパッタリング用ターゲットを設置することが可能な
成膜室を有する成膜装置について説明する。
【０３１３】
まずは、成膜時などに膜中に不純物の混入が少ない成膜装置の構成について図１９およ
び図２０を用いて説明する。
【０３１４】
図１９は、枚葉式マルチチャンバーの成膜装置２７００の上面図を模式的に示している
。成膜装置２７００は、基板を収容するカセットポート２７６１と、基板のアライメント
を行うアライメントポート２７６２と、を備える大気側基板供給室２７０１と、大気側基
板供給室２７０１から、基板を搬送する大気側基板搬送室２７０２と、基板の搬入を行い
、かつ室内の圧力を大気圧から減圧、または減圧から大気圧へ切り替えるロードロック室
２７０３ａと、基板の搬出を行い、かつ室内の圧力を減圧から大気圧、または大気圧から
減圧へ切り替えるアンロードロック室２７０３ｂと、真空中の基板の搬送を行う搬送室２
７０４と、基板の加熱を行う基板加熱室２７０５と、ターゲットが配置され成膜を行う成
膜室２７０６ａ、成膜室２７０６ｂおよび成膜室２７０６ｃと、を有する。なお、成膜室
２７０６ａ、成膜室２７０６ｂおよび成膜室２７０６ｃは、上述した成膜室の構成を参酌
することができる。
【０３１５】
また、大気側基板搬送室２７０２は、ロードロック室２７０３ａおよびアンロードロッ
ク室２７０３ｂと接続され、ロードロック室２７０３ａおよびアンロードロック室２７０
３ｂは、搬送室２７０４と接続され、搬送室２７０４は、基板加熱室２７０５、成膜室２
７０６ａ、成膜室２７０６ｂおよび成膜室２７０６ｃと接続する。
【０３１６】
なお、各室の接続部にはゲートバルブ２７６４が設けられており、大気側基板供給室２
７０１と、大気側基板搬送室２７０２を除き、各室を独立して真空状態に保持することが
できる。また、大気側基板搬送室２７０２および搬送室２７０４は、搬送ロボット２７６
３を有し、基板を搬送することができる。
【０３１７】
また、基板加熱室２７０５は、プラズマ処理室を兼ねると好ましい。成膜装置２７００
は、処理と処理の間で基板を大気暴露することなく搬送することが可能なため、基板に不
純物が吸着することを抑制できる。また、成膜や熱処理などの順番を自由に構築すること
ができる。なお、搬送室、成膜室、ロードロック室、アンロードロック室および基板加熱
室は、上述の数に限定されず、設置スペースやプロセス条件に合わせて、適宜最適な数を
設けることができる。
【０３１８】
次に、図１９に示す成膜装置２７００の一点鎖線Ｘ１−Ｘ２、一点鎖線Ｙ１−Ｙ２、お
よび一点鎖線Ｙ２−Ｙ３に相当する断面を図２０に示す。
【０３１９】
図２０（Ａ）は、基板加熱室２７０５と、搬送室２７０４の断面を示しており、基板加
熱室２７０５は、基板を収容することができる複数の加熱ステージ２７６５を有している
。なお、基板加熱室２７０５は、バルブを介して真空ポンプ２７７０と接続されている。
真空ポンプ２７７０としては、例えば、ドライポンプ、およびメカニカルブースターポン
プ等を用いることができる。
【０３２０】
また、基板加熱室２７０５に用いることのできる加熱機構としては、例えば、抵抗発熱
体などを用いて加熱する加熱機構としてもよい。または、加熱されたガスなどの媒体から
の熱伝導または熱輻射によって、加熱する加熱機構としてもよい。例えば、ＧＲＴＡ（Ｇ
ａｓ  Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌ）、ＬＲＴＡ（Ｌａｍｐ  Ｒａｐｉｄ
Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌ）などのＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎ
ｅａｌ）を用いることができる。ＬＲＴＡは、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、
キセノンアークランプ、カーボンアークランプ、高圧ナトリウムランプ、高圧水銀ランプ
などのランプから発する光（電磁波）の輻射により、被処理物を加熱する。ＧＲＴＡは、
高温のガスを用いて熱処理を行う。ガスとしては、不活性ガスが用いられる。
【０３２１】
また、基板加熱室２７０５は、マスフローコントローラ２７８０を介して、精製機２７
８１と接続される。なお、マスフローコントローラ２７８０および精製機２７８１は、ガ
ス種の数だけ設けられるが、理解を容易にするため一つのみを示す。基板加熱室２７０５
に導入されるガスは、露点が−８０℃以下、好ましくは−１００℃以下であるガスを用い
ることができ、例えば、酸素ガス、窒素ガス、および希ガス（アルゴンガスなど）を用い
る。
【０３２２】
搬送室２７０４は、搬送ロボット２７６３を有している。搬送ロボット２７６３は、各
室へ基板を搬送することができる。また、搬送室２７０４は、バルブを介して真空ポンプ
２７７０と、クライオポンプ２７７１と、接続されている。このような構成とすることで
、搬送室２７０４は、大気圧から低真空または中真空（０．１から数百Ｐａ程度）まで真
空ポンプ２７７０を用いて排気され、バルブを切り替えて中真空から高真空または超高真
空（０．１Ｐａから１×１０−７Ｐａ）まではクライオポンプ２７７１を用いて排気され
る。
【０３２３】
また、例えば、クライオポンプ２７７１は、搬送室２７０４に対して２台以上並列に接
続してもよい。このような構成とすることで、１台のクライオポンプがリジェネ中であっ
ても、残りのクライオポンプを使って排気することが可能となる。なお、上述したリジェ
ネとは、クライオポンプ内にため込まれた分子（または原子）を放出する処理をいう。ク
ライオポンプは、分子（または原子）をため込みすぎると排気能力が低下してくるため、
定期的にリジェネが行われる。
【０３２４】
図２０（Ｂ）は、成膜室２７０６ｂと、搬送室２７０４と、ロードロック室２７０３ａ
の断面を示している。
【０３２５】
ここで、図２０（Ｂ）を用いて、成膜室（スパッタリング室）の詳細について説明する
。図２０（Ｂ）に示す成膜室２７０６ｂは、ターゲット２７６６ａと、ターゲット２７６
６ｂと、ターゲットシールド２７６７ａと、ターゲットシールド２７６７ｂと、マグネッ
トユニット２７９０ａと、マグネットユニット２７９０ｂと、基板ホルダ２７６８と、電
源２７９１と、を有する。図示しないが、ターゲット２７６６ａおよびターゲット２７６
６ｂは、それぞれバッキングプレートを介してターゲットホルダに固定される。また、タ
ーゲット２７６６ａおよびターゲット２７６６ｂには、電源２７９１が電気的に接続され
ている。マグネットユニット２７９０ａおよびマグネットユニット２７９０ｂは、それぞ
れターゲット２７６６ａおよびターゲット２７６６ｂの背面に配置される。ターゲットシ
ールド２７６７ａおよびターゲットシールド２７６７ｂは、それぞれターゲット２７６６
ａおよびターゲット２７６６ｂの端部を囲うように配置される。なお、ここでは基板ホル
ダ２７６８には、基板２７６９が支持されている。基板ホルダ２７６８は、可変部材２７
８４を介して成膜室２７０６ｂに固定される。可変部材２７８４によって、ターゲット２
７６６ａとターゲット２７６６ｂとの間の領域（ターゲット間領域ともいう。）まで基板
ホルダ２７６８を移動させることができる。例えば、基板２７６９を支持した基板ホルダ
２７６８をターゲット間領域に配置することによって、プラズマによる損傷を低減できる
場合がある。また、基板ホルダ２７６８は、図示しないが、基板２７６９を保持する基板
保持機構や、基板２７６９を背面から加熱するヒーター等を備えていてもよい。
【０３２６】
また、ターゲットシールド２７６７によって、ターゲット２７６６からスパッタリング
される粒子が不要な領域に堆積することを抑制できる。ターゲットシールド２７６７は、
累積されたスパッタ粒子が剥離しないように、加工することが望ましい。例えば、表面粗
さを増加させるブラスト処理を行う、またはターゲットシールド２７６７の表面に凹凸を
設けてもよい。
【０３２７】
成膜室２７０６ｂは、ガス加熱機構２７８２を介してマスフローコントローラ２７８０
と接続され、ガス加熱機構２７８２はマスフローコントローラ２７８０を介して精製機２
７８１と接続される。ガス加熱機構２７８２により、成膜室２７０６ｂに導入されるガス
を４０℃以上４００℃以下に加熱することができる。なお、ガス加熱機構２７８２、マス
フローコントローラ２７８０、および精製機２７８１は、ガス種の数だけ設けられるが、
理解を容易にするため一つのみを示す。成膜室２７０６ｂに導入されるガスは、露点が−
８０℃以下、好ましくは−１００℃以下であるガスを用いることができ、例えば、酸素ガ
ス、窒素ガス、および希ガス（アルゴンガスなど）を用いる。
【０３２８】
なお、ガスの導入口の直前に精製機を設ける場合、精製機から成膜室２７０６ｂまでの
配管の長さを１０ｍ以下、好ましくは５ｍ以下、さらに好ましくは１ｍ以下とする。配管
の長さを１０ｍ以下、５ｍ以下または１ｍ以下とすることで、配管からの放出ガスの影響
を長さに応じて低減できる。さらに、ガスの配管には、フッ化鉄、酸化アルミニウム、酸
化クロムなどで内部が被覆された金属配管を用いるとよい。前述の配管は、例えばＳＵＳ
３１６Ｌ−ＥＰ配管と比べ、不純物を含むガスの放出量が少なく、ガスへの不純物の入り
込みを低減できる。また、配管の継手には、高性能超小型メタルガスケット継手（ＵＰＧ
継手）を用いるとよい。また、配管を全て金属で構成することで、樹脂等を用いた場合と
比べ、生じる放出ガスおよび外部リークの影響を低減できて好ましい。
【０３２９】
成膜室２７０６ｂは、バルブを介してターボ分子ポンプ２７７２および真空ポンプ２７
７０と接続される。
【０３３０】
成膜室２７０６ｂは、クライオトラップ２７５１が設けられる。
【０３３１】
クライオトラップ２７５１は、水などの比較的融点の高い分子（または原子）を吸着す
ることができる機構である。ターボ分子ポンプ２７７２は大きいサイズの分子（または原
子）を安定して排気し、かつメンテナンスの頻度が低いため、生産性に優れる一方、水素
や水の排気能力が低い。そこで、水などに対する排気能力を高めるため、クライオトラッ
プ２７５１が成膜室２７０６ｂに接続された構成としている。クライオトラップ２７５１
の冷凍機の温度は１００Ｋ以下、好ましくは８０Ｋ以下とする。また、クライオトラップ
２７５１が複数の冷凍機を有する場合、冷凍機ごとに温度を変えると、効率的に排気する
ことが可能となるため好ましい。例えば、１段目の冷凍機の温度を１００Ｋ以下とし、２
段目の冷凍機の温度を２０Ｋ以下とすればよい。なお、クライオトラップに替えて、チタ
ンサブリメーションポンプを用いることで、さらに高真空とすることができる場合がある
。また、クライオポンプやターボ分子ポンプに替えてイオンポンプを用いることでもさら
に高真空とすることができる場合がある。
【０３３２】
なお、成膜室２７０６ｂの排気方法は、これに限定されず、先の搬送室２７０４に示す
排気方法（クライオポンプと真空ポンプとの排気方法）と同様の構成としてもよい。もち
ろん、搬送室２７０４の排気方法を成膜室２７０６ｂと同様の構成（ターボ分子ポンプと
真空ポンプとの排気方法）としてもよい。
【０３３３】
なお、上述した搬送室２７０４、基板加熱室２７０５、および成膜室２７０６ｂの背圧
（全圧）、ならびに各気体分子（原子）の分圧は、以下の通りとすると好ましい。とくに
、形成される膜中に不純物が混入され得る可能性があるので、成膜室２７０６ｂの背圧、
ならびに各気体分子（原子）の分圧には注意する必要がある。
【０３３４】
上述した各室の背圧（全圧）は、１×１０−４Ｐａ以下、好ましくは３×１０−５Ｐａ
以下、さらに好ましくは１×１０−５Ｐａ以下である。上述した各室の質量電荷比（ｍ／
ｚ）が１８である気体分子（原子）の分圧は、３×１０−５Ｐａ以下、好ましくは１×１
０−５Ｐａ以下、さらに好ましくは３×１０−６Ｐａ以下である。また、上述した各室の
ｍ／ｚが２８である気体分子（原子）の分圧は、３×１０−５Ｐａ以下、好ましくは１×
１０−５Ｐａ以下、さらに好ましくは３×１０−６Ｐａ以下である。また、上述した各室
のｍ／ｚが４４である気体分子（原子）の分圧は、３×１０−５Ｐａ以下、好ましくは１
×１０−５Ｐａ以下、さらに好ましくは３×１０−６Ｐａ以下である。
【０３３５】
なお、真空チャンバー内の全圧および分圧は、質量分析計を用いて測定することができ
る。例えば、株式会社アルバック製四重極形質量分析計（Ｑ−ｍａｓｓともいう。）Ｑｕ
ｌｅｅ  ＣＧＭ−０５１を用いればよい。
【０３３６】
また、上述した搬送室２７０４、基板加熱室２７０５、および成膜室２７０６ｂは、外
部リークまたは内部リークが少ない構成とすることが望ましい。
【０３３７】
例えば、上述した搬送室２７０４、基板加熱室２７０５、および成膜室２７０６ｂのリ
ークレートは、３×１０−６Ｐａ・ｍ３／ｓ以下、好ましくは１×１０−６Ｐａ・ｍ３／
ｓ以下である。また、ｍ／ｚが１８である気体分子（原子）のリークレートが１×１０−
７Ｐａ・ｍ３／ｓ以下、好ましくは３×１０−８Ｐａ・ｍ３／ｓ以下である。また、ｍ／
ｚが２８である気体分子（原子）のリークレートが１×１０−５Ｐａ・ｍ３／ｓ以下、好
ましくは１×１０−６Ｐａ・ｍ３／ｓ以下である。また、ｍ／ｚが４４である気体分子（
原子）のリークレートが３×１０−６Ｐａ・ｍ３／ｓ以下、好ましくは１×１０−６Ｐａ
・ｍ３／ｓ以下である。
【０３３８】
なお、リークレートに関しては、前述の質量分析計を用いて測定した全圧および分圧か
ら導出すればよい。
【０３３９】
リークレートは、外部リークおよび内部リークに依存する。外部リークは、微小な穴や
シール不良などによって真空系外から気体が流入することである。内部リークは、真空系
内のバルブなどの仕切りからの漏れや内部の部材からの放出ガスに起因する。リークレー
トを上述の数値以下とするために、外部リークおよび内部リークの両面から対策をとる必
要がある。
【０３４０】
例えば、成膜室２７０６ｂの開閉部分はメタルガスケットでシールするとよい。メタル
ガスケットは、フッ化鉄、酸化アルミニウム、または酸化クロムによって被覆された金属
を用いると好ましい。メタルガスケットはＯリングと比べ密着性が高く、外部リークを低
減できる。また、フッ化鉄、酸化アルミニウム、酸化クロムなどによって被覆された金属
の不動態を用いることで、メタルガスケットから放出される不純物を含む放出ガスが抑制
され、内部リークを低減することができる。
【０３４１】
また、成膜装置２７００を構成する部材として、不純物を含む放出ガスの少ないアルミ
ニウム、クロム、チタン、ジルコニウム、ニッケルまたはバナジウムを用いる。また、前
述の部材を鉄、クロムおよびニッケルなどを含む合金に被覆して用いてもよい。鉄、クロ
ムおよびニッケルなどを含む合金は、剛性があり、熱に強く、また加工に適している。こ
こで、表面積を小さくするために部材の表面凹凸を研磨などによって低減しておくと、放
出ガスを低減できる。
【０３４２】
または、前述の成膜装置２７００の部材をフッ化鉄、酸化アルミニウム、酸化クロムな
どで被覆してもよい。
【０３４３】
成膜装置２７００の部材は、極力金属のみで構成することが好ましく、例えば石英など
で構成される覗き窓などを設置する場合も、放出ガスを抑制するために表面をフッ化鉄、
酸化アルミニウム、酸化クロムなどで薄く被覆するとよい。
【０３４４】
成膜室に存在する吸着物は、内壁などに吸着しているために成膜室の圧力に影響しない
が、成膜室を排気した際のガス放出の原因となる。そのため、リークレートと排気速度に
相関はないものの、排気能力の高いポンプを用いて、成膜室に存在する吸着物をできる限
り脱離し、あらかじめ排気しておくことは重要である。なお、吸着物の脱離を促すために
、成膜室をベーキングしてもよい。ベーキングすることで吸着物の脱離速度を１０倍程度
大きくすることができる。ベーキングは１００℃以上４５０℃以下で行えばよい。このと
き、不活性ガスを成膜室に導入しながら吸着物の除去を行うと、排気するだけでは脱離し
にくい水などの脱離速度をさらに大きくすることができる。なお、導入する不活性ガスを
ベーキングの温度と同程度に加熱することで、吸着物の脱離速度をさらに高めることがで
きる。ここで不活性ガスとして希ガスを用いると好ましい。また、成膜する膜種によって
は不活性ガスの代わりに酸素などを用いても構わない。例えば、酸化物を成膜する場合は
、主成分である酸素を用いた方が好ましい場合もある。なお、ベーキングは、ランプを用
いて行うと好ましい。
【０３４５】
または、加熱した希ガスなどの不活性ガスまたは酸素などを導入することで成膜室内の
圧力を高め、一定時間経過後に再び成膜室を排気する処理を行うと好ましい。加熱したガ
スの導入により成膜室内の吸着物を脱離させることができ、成膜室内に存在する不純物を
低減することができる。なお、この処理は２回以上３０回以下、好ましくは５回以上１５
回以下の範囲で繰り返し行うと効果的である。具体的には、温度が４０℃以上４００℃以
下、好ましくは５０℃以上２００℃以下である不活性ガスまたは酸素などを導入すること
で成膜室内の圧力を０．１Ｐａ以上１０ｋＰａ以下、好ましくは１Ｐａ以上１ｋＰａ以下
、さらに好ましくは５Ｐａ以上１００Ｐａ以下とし、圧力を保つ期間を１分以上３００分
以下、好ましくは５分以上１２０分以下とすればよい。その後、成膜室を５分以上３００
分以下、好ましくは１０分以上１２０分以下の期間排気する。
【０３４６】
また、ダミー成膜を行うことでも吸着物の脱離速度をさらに高めることができる。ダミ
ー成膜とは、ダミー基板に対してスパッタリング法などによる成膜を行うことで、ダミー
基板および成膜室内壁に膜を堆積させ、成膜室内の不純物および成膜室内壁の吸着物を膜
中に閉じこめることをいう。ダミー基板は、放出ガスの少ない基板が好ましい。ダミー成
膜を行うことで、後に成膜される膜中の不純物濃度を低減することができる。なお、ダミ
ー成膜はベーキングと同時に行ってもよい。
【０３４７】
次に、図２０（Ｂ）に示す搬送室２７０４、およびロードロック室２７０３ａと、図２
０（Ｃ）に示す大気側基板搬送室２７０２、および大気側基板供給室２７０１の詳細につ
いて以下説明を行う。なお、図２０（Ｃ）は、大気側基板搬送室２７０２、および大気側
基板供給室２７０１の断面を示している。
【０３４８】
図２０（Ｂ）に示す搬送室２７０４については、図２０（Ａ）に示す搬送室２７０４の
記載を参照する。
【０３４９】
ロードロック室２７０３ａは、基板受け渡しステージ２７５２を有する。ロードロック
室２７０３ａは、減圧状態から大気まで圧力を上昇させ、ロードロック室２７０３ａの圧
力が大気圧になった時に、大気側基板搬送室２７０２に設けられている搬送ロボット２７
６３から基板受け渡しステージ２７５２に基板を受け取る。その後、ロードロック室２７
０３ａを真空引きし、減圧状態としたのち、搬送室２７０４に設けられている搬送ロボッ
ト２７６３が基板受け渡しステージ２７５２から基板を受け取る。
【０３５０】
また、ロードロック室２７０３ａは、バルブを介して真空ポンプ２７７０、およびクラ
イオポンプ２７７１と接続されている。真空ポンプ２７７０、およびクライオポンプ２７
７１の排気系の接続方法は、搬送室２７０４の接続方法を参考とすることで接続できるた
め、ここでの説明は省略する。なお、図１９に示すアンロードロック室２７０３ｂは、ロ
ードロック室２７０３ａと同様の構成とすることができる。
【０３５１】
大気側基板搬送室２７０２は、搬送ロボット２７６３を有する。搬送ロボット２７６３
により、カセットポート２７６１とロードロック室２７０３ａとの基板の受け渡しを行う
ことができる。また、大気側基板搬送室２７０２、および大気側基板供給室２７０１の上
方にＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａ
ｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）等のゴミまたはパーティクルを清浄化するための機構を設けてもよ
い。
【０３５２】
大気側基板供給室２７０１は、複数のカセットポート２７６１を有する。カセットポー
ト２７６１は、複数の基板を収容することができる。
【０３５３】
ターゲットは、表面温度が１００℃以下、好ましくは５０℃以下、さらに好ましくは室
温程度（代表的には２５℃）とする。大面積の基板に対応するスパッタリング装置では大
面積のターゲットを用いることが多い。ところが、大面積に対応した大きさのターゲット
をつなぎ目なく作製することは困難である。現実には複数のターゲットをなるべく隙間の
ないように並べて大きな形状としているが、どうしても僅かな隙間が生じてしまう。こう
した僅かな隙間から、ターゲットの表面温度が高まることで亜鉛などが揮発し、徐々に隙
間が広がっていくことがある。隙間が広がると、バッキングプレートや、バッキングプレ
ートとターゲットとの接合に用いているボンディング材の金属がスパッタリングされるこ
とがあり、不純物濃度を高める要因となる。したがって、ターゲットは、十分に冷却され
ていることが好ましい。
【０３５４】
具体的には、バッキングプレートとして、高い導電性および高い放熱性を有する金属（
具体的には銅）を用いる。また、バッキングプレート内に水路を形成し、水路に十分な量
の冷却水を流すことで、効率的にターゲットを冷却できる。
【０３５５】
なお、ターゲットが亜鉛を含む場合、酸素ガス雰囲気で成膜することにより、プラズマ
ダメージが軽減され、亜鉛の揮発が起こりにくい酸化物を得ることができる。
【０３５６】
上述した成膜装置を用いることで、水素濃度が、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓ
ｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）において、２×１０
２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好
ましくは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは５×１０１８ａｔｏｍ
ｓ／ｃｍ３以下である酸化物半導体を成膜することができる。
【０３５７】
また、窒素濃度が、ＳＩＭＳにおいて、５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好まし
くは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃ
ｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である酸化物半導体を
成膜することができる。
【０３５８】
また、炭素濃度が、ＳＩＭＳにおいて、５×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好まし
くは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃ
ｍ３以下、さらに好ましくは５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である酸化物半導体を
成膜することができる。
【０３５９】
不純物および酸素欠損の少ない酸化物半導体は、キャリア密度の低い酸化物半導体であ
る。具体的には、キャリア密度を８×１０１１／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１１／
ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１０／ｃｍ３未満であり、１×１０−９／ｃｍ３
以上とすることができる。そのような酸化物半導体を、高純度真性または実質的に高純度
真性な酸化物半導体と呼ぶ。
【０３６０】
また、昇温脱離ガス分光法（ＴＤＳ）分析によるｍ／ｚが２（水素分子など）である気
体分子（原子）、ｍ／ｚが１８である気体分子（原子）、ｍ／ｚが２８である気体分子（
原子）およびｍ／ｚが４４である気体分子（原子）の放出量が、それぞれ１×１０１９個
／ｃｍ３以下、好ましくは１×１０１８個／ｃｍ３以下である酸化物半導体を成膜するこ
とができる。
【０３６１】
以上の成膜装置を用いることで、酸化物半導体への不純物の混入を抑制できる。さらに
は、以上の成膜装置を用いて、酸化物半導体に接する膜を成膜することで、酸化物半導体
に接する膜から酸化物半導体へ不純物が混入することを抑制できる。
【０３６２】
以上に示すスパッタリング装置を用いて、絶縁体１３６ａの成膜を行えばよい。絶縁体
１３６ａの成膜は、スパッタリング法を用いて行うことが好ましく、酸素を含む雰囲気下
でスパッタリング法を用いて行うことがより好ましい。スパッタリング法で絶縁体１３６
ａの成膜を行うことにより、成膜と同時に絶縁体１０４の表面（絶縁体１０６ａ形成後は
絶縁体１０６ａと絶縁体１０４の界面）近傍に酸素１３５が添加されることがある。ここ
で、酸素１３５は、例えば、酸素ラジカルとして絶縁体１０４に添加されるが、酸素１３
５が添加されるときの状態はこれに限定されない。酸素１３５は、酸素原子、又は酸素イ
オンなどの状態で絶縁体１０４に添加されてもよい。
【０３６３】
また、絶縁体１０４と絶縁体１３６ａの界面近傍の領域に混合領域１３４が形成される
ことがある。混合領域１３４では、絶縁体１０４を構成する成分と絶縁体１３６ａを構成
する成分が含まれている。混合領域１３４は、絶縁体１０４と絶縁体１３６ａとの界面近
傍に形成されるため、混合領域１３４では酸素１３５の濃度が、混合領域１３４より下の
層と比較して大きくなる場合がある。
【０３６４】
次に、後の工程で半導体１０６ｂとなる半導体１３６ｂを成膜する。半導体１３６ｂと
しては上述の半導体１０６ｂとして用いることができる半導体を用いればよい。半導体１
３６ｂの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法など
を用いて行うことができる。また、上記のスパッタ装置を用いてＰＥＳＰ法又はＶＤＳＰ
法で成膜することもできる。なお、絶縁体１３６ａの成膜と、半導体１３６ｂの成膜と、
を大気に暴露することなく連続で行うことで、膜中および界面への不純物の混入を低減す
ることができる。
【０３６５】
次に、加熱処理を行うことが好ましい（図９（Ａ）（Ｂ）参照）。加熱処理を行うこと
で、絶縁体１３６ａ及び半導体１３６ｂの水素濃度を低減させることができる場合がある
。また、絶縁体１３６ａ及び半導体１３６ｂの酸素欠損を低減させることができる場合が
ある。加熱処理は、２５０℃以上６５０℃以下、好ましくは３５０℃以上４５０℃以下で
行えばよい。加熱処理は、不活性ガス雰囲気、または酸化性ガスを１０ｐｐｍ以上、１％
以上もしくは１０％以上含む雰囲気で行う。加熱処理は減圧状態で行ってもよい。または
、加熱処理は、不活性ガス雰囲気で加熱処理した後に、脱離した酸素を補うために酸化性
ガスを１０ｐｐｍ以上、１％以上または１０％以上含む雰囲気で加熱処理を行ってもよい
。加熱処理によって、絶縁体１３６ａ及び半導体１３６ｂの結晶性を高めることや、水素
や水などの不純物を除去することなどができる。加熱処理は、ランプ加熱によるＲＴＡ装
置を用いることもできる。
【０３６６】
当該加熱処理により、絶縁体１０４から絶縁体１３６ａに酸素１３５を供給する（図９
（Ａ）（Ｂ）参照）。絶縁体１０４に対して加熱処理を行うことにより、極めて容易に酸
素１３５を絶縁体１３６ａに供給することができる。これにより、酸素１３５の濃度が大
きい混合領域１３４を中心として、絶縁体１０４から絶縁体１３６ａに酸素１３５を拡散
させることができる。
【０３６７】
ここで、絶縁体１０１は、絶縁体１０４より酸素を透過させにくい絶縁体であり、酸素
をブロックするバリア膜として機能する。絶縁体１０１が絶縁体１０４の下に設けられて
いることにより、絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が絶縁体１０４より下層に拡散す
ることを防ぐことができる。
【０３６８】
このように絶縁体１３６ａに酸素を供給し、酸素欠損を低減させることにより、欠陥準
位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体とすることができる
。
【０３６９】
また、高密度プラズマ処理などを行ってもよい。高密度プラズマは、マイクロ波を用い
て生成すればよい。高密度プラズマ処理では、例えば、酸素、亜酸化窒素などの酸化性ガ
スを用いればよい。または、酸化性ガスと、Ｈｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅなどの希ガスと、の
混合ガスを用いてもよい。高密度プラズマ処理において、基板にバイアスを印加してもよ
い。これにより、プラズマ中の酸素イオンなどを基板側に引き込むことができる。高密度
プラズマ処理は基板を加熱しながら行ってもよい。例えば、上記加熱処理の代わりに高密
度プラズマ処理を行う場合、上記加熱処理の温度より低温で同様の効果を得ることができ
る。高密度プラズマ処理は、絶縁体１３６ａの成膜前に行ってもよいし、絶縁体１１２ｂ
の成膜後に行ってもよいし、絶縁体１１８の成膜後などに行ってもよい。
【０３７０】
次に、半導体１３６ｂ上にレジストなどを形成し、該レジストなどを用いて加工し、絶
縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂを形成する（図９（Ｃ）（Ｄ）参照。）。なお、単にレ
ジストを形成するという場合、レジストの下に反射防止層を形成する場合も含まれる。
【０３７１】
レジストなどは、対象物をエッチングなどによって加工した後で除去する。レジストな
どの除去には、プラズマ処理または／およびウェットエッチングを用いる。なお、プラズ
マ処理としては、プラズマアッシングが好適である。レジストなどの除去が不十分な場合
、０．００１ｖｏｌｕｍｅ％以上１ｖｏｌｕｍｅ％以下の濃度のフッ化水素酸または／お
よびオゾン水などによって取り残したレジストなどを除去しても構わない。
【０３７２】
次に、後の工程で導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂとなる導電体１０８を成膜する。
導電体１０８としては上述の導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂとして用いることができ
る導電体を用いればよい。当該導電体の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法
またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０３７３】
また、ここで、絶縁体１０６ａ又は半導体１０６ｂの導電体１０８と接する領域におい
て、低抵抗領域１０７が形成されることがある。
【０３７４】
次に、後の工程で導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂとなる導電体１０９を成膜する（
図９（Ｅ）（Ｆ）参照）。導電体１０９としては上述の導電体１０９ａ及び導電体１０９
ｂとして用いることができる導電体を用いればよい。当該導電体の成膜は、スパッタリン
グ法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０３７５】
次に、これらの導電体上にレジストなどを形成し、該レジストなどを用いて加工し、導
電体１０８ａ、導電体１０８ｂ、導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂを形成する（図１０
（Ａ）（Ｂ）参照。）。また、低抵抗領域１０７が形成されている場合、当該加工により
、低抵抗領域１０７ａ及び低抵抗領域１０７ｂが形成されることがある。
【０３７６】
また、半導体１０６ｂは、導電体１０８ａと導電体１０８ｂの間に、導電体１０８ａ及
び導電体１０８ｂと重なった領域より膜厚の薄い領域が形成されることがある。これは、
導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂを形成する際に、半導体１０６ｂの上面の一部を除去
することにより形成される。このとき、当該領域に形成されていた低抵抗領域１０７が除
去されることにより、低抵抗領域１０７ａ及び低抵抗領域１０７ｂが形成される。
【０３７７】
次に、後の工程で絶縁体１１２ａとなる絶縁体を成膜する。後の工程で絶縁体１１２ａ
となる絶縁体としては上述の絶縁体１１２ａとして用いることができる絶縁体を用いれば
よい。絶縁体１１２ａとして用いることができる絶縁体の成膜は、スパッタリング法、Ｃ
ＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０３７８】
次に、後の工程で絶縁体１１２ｂとなる絶縁体を成膜する。後の工程で絶縁体１１２ｂ
となる絶縁体としては上述の絶縁体１１２ｂとして用いることができる絶縁体を用いれば
よい。絶縁体１１２ｂとして用いることができる絶縁体の成膜は、スパッタリング法、Ｃ
ＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０３７９】
また、絶縁体１１２ｂは、スパッタリング法を用いて成膜することが好ましく、特に酸
素を含む雰囲気においてスパッタリング法を用いて成膜することが好ましい。上述のよう
に、絶縁体１１２ｂを酸素を含む雰囲気においてスパッタリング法を行うことにより、絶
縁体１１２ａに酸素を添加することができる。さらに、絶縁体１１２ｂは、酸素をブロッ
クする機能を有するため、後述する加熱処理において、絶縁体１１２ａ中の酸素を上方に
拡散させず、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに効果的に供給することができる。
【０３８０】
次に、後の工程で導電体１１４ａ乃至１１４ｃとなる導電体を成膜する。後の工程で導
電体１１４ａ乃至１１４ｃとなる導電体としては、上述の導電体１１４ａ乃至１１４ｃに
用いることができる導電体を用いればよい。導電体１１４ａ乃至１１４ｃに用いることが
できる導電体の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ
法などを用いて行うことができる。
【０３８１】
次に、導電体１１４ａ乃至１１４ｃに用いることができる導電体上にレジストなどを形
成し、該レジストなどを用いて加工し、絶縁体１１２ａ、絶縁体１１２ｂ、導電体１１４
ａ乃至１１４ｃを形成する（図１０（Ｃ）（Ｄ）参照。）。
【０３８２】
次に、絶縁体１１６を成膜する（図１０（Ｅ）（Ｆ）参照。）。絶縁体１１６としては
上述の絶縁体を用いればよい。絶縁体１１６の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、Ｍ
ＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体１１６としては
、酸素とシリコンを含む絶縁体、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯｘ）または酸化窒化シリ
コンを用いることが好ましい。
【０３８３】
次に、絶縁体１１８を成膜する（図１１（Ａ）（Ｂ）参照。）。絶縁体１１８としては
上述の絶縁体を用いればよい。絶縁体１１８の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、Ｍ
ＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体１１８しては、
酸素とアルミニウムを含む絶縁体、例えば、酸化アルミニウム（ＡｌＯｘ）を用いること
が好ましい。酸化アルミニウムは、酸素、水素、水等に対してブロッキング効果を有する
。
【０３８４】
ここで、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の成膜は、プラズマを用いて行うことが好ましく、
スパッタリング法を用いて行うことがより好ましく、酸素を含む雰囲気下でスパッタリン
グ法を用いて行うことがさらに好ましい。このとき、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の成膜は
、例えば、成膜ガスの酸素の体積分率を１０体積％以上、好ましくは２０体積％以上、よ
り好ましくは５０体積％以上とすればよい。
【０３８５】
スパッタリング法としては、スパッタ用電源に直流電源を用いるＤＣ（Ｄｉｒｅｃｔ  
Ｃｕｒｒｅｎｔ）スパッタリング法、さらにパルス的にバイアスを与えるパルスＤＣスパ
ッタ法、スパッタ用電源に高周波電源を用いるＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）
スパッタリング法を用いてもよい。また、チャンバー内部に磁石機構を備えたマグネトロ
ンスパッタリング法、成膜中に基板にも電圧をかけるバイアススパッタリング法、反応性
ガス雰囲気で行う反応性スパッタリング法などを用いてもよい。また、上述のＰＥＳＰ又
はＶＤＳＰを用いてもよい。なお、スパッタリングの酸素ガス流量や成膜電力は、酸素の
添加量などに応じて適宜決定すればよい。
【０３８６】
スパッタリング法で絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の成膜をおこなうことにより、成膜と同
時に絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）の表面（絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）成膜後は絶縁体１１６
（ＳｉＯｘ）と絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の界面）近傍に酸素１３１が添加される。ここ
で、酸素１３１は、例えば、酸素ラジカルとして絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に添加される
が、酸素１３１が添加されるときの状態はこれに限定されない。酸素１３１は、酸素原子
、又は酸素イオンなどの状態で絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に添加されてもよい。なお、酸
素１３１の添加に伴い、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中に酸素が化学量論的組成を超えて含
まれる場合があり、このときの酸素１３１を過剰酸素と呼ぶこともできる。
【０３８７】
また、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）と絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）の界面近傍の領域に混合
領域１３０が形成されることがある。混合領域１３０は、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）と絶
縁体１１８（ＡｌＯｘ）との界面近傍の領域に形成されるため、混合領域１３０では酸素
１３１の濃度が、混合領域１３０より下の層と比較して大きくなる場合がある。
【０３８８】
なお、絶縁体１１８の成膜をスパッタリング法以外の方法で行う場合、絶縁体１１８の
成膜後に絶縁体１１８を貫通して、絶縁体１１６に酸素イオンなどを添加してもよい。酸
素イオンの添加はイオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオンイン
プランテーション法、などを用いることができる。
【０３８９】
また、絶縁体１１８は、少なくとも絶縁体１１６より酸素を透過させにくい膜として機
能すればよく、上述の絶縁体１０６ａとして用いることができる酸化物を絶縁体１１８と
して用いることもできる。このような絶縁体１１８としては、Ｉｎを含む酸化絶縁物を用
いることが好ましく、例えば、Ｉｎ−Ａｌ酸化物、Ｉｎ−Ｇａ酸化物、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ
酸化物を用いればよい。絶縁体１１８として、Ｉｎを含む酸化絶縁物をスパッタリング法
などで成膜することにより、上記と同様に絶縁体１１６に酸素１３１を添加することがで
きる。Ｉｎを含む酸化絶縁物はスパッタリング法で成膜する際に発生するパーティクル数
が少ないので、絶縁体１１８として用いるのに好適である。
【０３９０】
また、上記のようにスパッタリング法などにより酸素１３１を添加すると、導電体１１
４ｂ及び導電体１１４ｃの、絶縁体１１６側の表面近傍にも酸素１３１が添加される場合
がある。このとき、導電体１１４ｂ及び導電体１１４ｃの、絶縁体１１６側の表面近傍の
酸素濃度が、導電体１１４ａ及び導電体１１４ｂの、絶縁体１１２ｂ側の表面近傍の酸素
濃度より大きくなる場合がある。
【０３９１】
次に、加熱処理を行うことが好ましい（図１１（Ｃ）（Ｄ）参照）。加熱処理を行うこ
とにより、絶縁体１１６に添加した酸素を拡散させ、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ
に供給することができる。加熱処理は、２５０℃以上６５０℃以下、好ましくは３５０℃
以上４５０℃以下で行えばよい。加熱処理は、不活性ガス雰囲気、または酸化性ガスを１
０ｐｐｍ以上、１％以上もしくは１０％以上含む雰囲気で行う。加熱処理は減圧状態で行
ってもよい。加熱処理は、ランプ加熱によるＲＴＡ装置を用いることもできる。
【０３９２】
また、当該加熱処理は、半導体１３６ｂ成膜後の加熱処理よりも低い温度が好ましい。
半導体１３６ｂ成膜後の加熱処理との温度差は、２０℃以上１５０℃以下、好ましくは４
０℃以上１００℃以下とする。これにより、絶縁体１０４などから余分に過剰酸素（酸素
）が放出することを抑えることができる。なお、絶縁体１１８成膜後の加熱処理は、同等
の加熱処理を各層の成膜時の加熱によって兼ねることができる場合（例えば絶縁体１１８
の成膜で同等の加熱が行われる場合）、行わなくてもよい場合がある。
【０３９３】
当該加熱処理により、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中に酸素１３１を拡散させる（図１１
（Ｃ）（Ｄ）参照）。少なくとも加熱処理中において、ＳｉＯｘは、酸素１３１の拡散に
対して十分に原子間距離が大きく、酸素１３１に対して多孔性を有しているようにみなす
ことができる。このため、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）に対して加熱処理を行うことにより
、極めて容易に酸素１３１を拡散させることができる。これにより、酸素１３１の濃度が
大きい混合領域１３０を中心に、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中に酸素１３１を拡散させる
ことができる。
【０３９４】
ここで、絶縁体１１８（ＡｌＯｘ）は、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）より酸素を透過させ
にくい絶縁体であり、酸素をブロックするバリア膜として機能する。このような絶縁体１
１８（ＡｌＯｘ）が絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）上に形成されているので、絶縁体１１６（
ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１が絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）の上方に拡散せず、絶縁
体１１６（ＳｉＯｘ）を主に横方向又は下方向に拡散していく。
【０３９５】
ここで、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１１２ａを介し
て半導体１０６ｂに供給される（図１１（Ｃ）及び図１１（Ｄ）参照）。このとき、酸素
をブロックする機能を有する絶縁体１１２ｂ及び導電体１１４ａが導電体１１４ｂと絶縁
体１１２ａの間に設けられていることにより、絶縁体１１２ａ中に拡散した酸素１３１が
導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことができる。また、酸素をブロックする機能を
有する導電体１１４ｃが導電体１１４ｂと絶縁体１１６の間に設けられていることにより
、絶縁体１１６中に拡散した酸素１３１が導電体１１４ｂに引き抜かれるのを防ぐことが
できる。また、酸素をブロックする機能を有する導電体１０９ａ及び導電体１０９ｂが導
電体１０８ａ及び導電体１０８ｂと絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）及び絶縁体１１２ａとの間
に設けられていることにより、同様に酸素１３１が導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂに
引き抜かれるのを防ぐことができる。
【０３９６】
または、絶縁体１１６（ＳｉＯｘ）中を拡散する酸素１３１は、絶縁体１０４を介して
絶縁体１０６ａに供給される（図１１（Ｃ）及び図１１（Ｄ）参照）。このとき、酸素を
ブロックする機能を有する絶縁体１０１が絶縁体１０４の下に設けられていることにより
、絶縁体１０４中に拡散した酸素１３１が絶縁体１０４より下層に拡散することを防ぐこ
とができる。
【０３９７】
このように、導電体１１４ｂ、導電体１０８ａ及び導電体１０８ｂが酸素１３１の拡散
を妨げないようにすることにより、絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂ、特に半導体１０
６ｂでチャネルが形成される領域に酸素１３１を効果的に供給することができる。このよ
うに絶縁体１０６ａ及び半導体１０６ｂに酸素を供給し、酸素欠損を低減させることによ
り、欠陥準位密度の低い、高純度真性または実質的に高純度真性な酸化物半導体とするこ
とができる。
【０３９８】
なお、絶縁体１１８として、上記のＩｎを含む酸化絶縁物を用いた場合、上記加熱処理
の後で、Ｉｎを含む酸化絶縁物を、エッチングなどを用いて除去し、新しく絶縁体１１８
を成膜し直してもよい。
【０３９９】
以上の工程により、本発明の一態様に係るトランジスタ１０を作製することができる。
【０４００】
以上のような構成とすることにより、安定した電気特性を有するトランジスタを提供す
ることができる。または、非導通時のリーク電流の小さいトランジスタを提供することが
できる。または、高い周波数特性を有するトランジスタを提供することができる。または
、オン電流の大きいトランジスタを提供することができる。または、ノーマリーオフの電
気特性を有するトランジスタを提供することができる。または、サブスレッショルドスイ
ング値の小さいトランジスタを提供することができる。または、信頼性の高いトランジス
タを提供することができる。
【０４０１】
また、図１２を用いてトランジスタ２２の第２のゲート電極として機能する導電体１０
２及びその近傍の構成の作製方法について説明する。
【０４０２】
まず、基板１００上に絶縁体１０１を成膜し、絶縁体１０１上に、絶縁体１２６を成膜
する。絶縁体１２６としては上述の絶縁体１０４として用いることができる絶縁体を用い
ればよい。絶縁体１２６の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ
法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０４０３】
次に、絶縁体１２６に絶縁体１０１に達する開口を形成する（図１２（Ａ）（Ｂ）参照
）。また、絶縁体１０１に当該開口の底部が形成される。開口の形成はウェットエッチン
グを用いてもよいが、ドライエッチングを用いるほうが微細加工には好ましい。また、絶
縁体１０１は、絶縁体１２６をエッチングして開口を形成する際のエッチングストッパ膜
として機能する絶縁体を選択することが好ましい。例えば、開口を形成する絶縁体１２６
に酸化シリコンを用いた場合は、絶縁体１０１は窒化シリコン、または酸化アルミニウム
を用いるとよい。
【０４０４】
開口の形成後に、後の工程で導電体１２２となる導電体１４２を成膜する。導電体１４
２としては上述の導電体１２２として用いることができる導電体を用いればよい。導電体
１４２の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法など
を用いて行うことができる。
【０４０５】
次に、導電体１４２上に、後の工程で導電体１０２となる導電体１４０を成膜する（図
１２（Ｃ）（Ｄ）参照）。導電体１４０としては上述の導電体１０２として用いることが
できる導電体を用いればよい。導電体１４０の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、Ｍ
ＢＥ法またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０４０６】
次に、ＣＭＰ処理を行って、絶縁体１２６上の導電体１４２および導電体１４０を除去
する。その結果、絶縁体１２６及び絶縁体１０１に形成された開口の中のみに、導電体１
０２および導電体１２２が残存する（図１２（Ｅ）（Ｆ）参照）。
【０４０７】
導電体１２２の端部は、開口の端部において当該開口の高さと同じか低い位置となる。
また、導電体１０２の上面は、導電体１２２の端部の高さと同じか低い位置となる。これ
は、ＣＭＰの特性によって、導電体１２２と、導電体１０２との研磨速度の違いによって
形成される。
【０４０８】
導電体１０２上に、後の工程で絶縁体１２４となる絶縁体１４４を成膜する（図１２（
Ｇ）（Ｈ）参照）。絶縁体１４４としては上述の絶縁体１２４として用いることができる
絶縁体を用いればよい。絶縁体１４４の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法
またはＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【０４０９】
次に、ＣＭＰ処理を行って、導電体１０２上の絶縁体１４４を除去する。その結果、絶
縁体１２６及び絶縁体１０１に形成された開口の中のみに、絶縁体１２４が残存する（図
１２（Ｉ）（Ｊ）参照）。
【０４１０】
最後に絶縁体１２６及び絶縁体１２４上に絶縁体１０４を成膜する（図１２（Ｉ）（Ｊ
）参照）。
【０４１１】
以上、本実施の形態で示す構成、方法は、他の実施の形態で示す構成、方法と適宜組み
合わせて用いることができる。
【０４１２】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置に含まれる酸化物半導体の詳細につい
て、以下説明する。
【０４１３】
＜酸化物半導体の構造＞
以下では、酸化物半導体の構造について説明する。
【０４１４】
酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体とに分けら
れる。非単結晶酸化物半導体としては、ＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｃ  Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ
Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、多結晶酸化物
半導体、ｎｃ−ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄ
ｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ｌ
ｉｋｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、非晶質酸化物半導体などがある。
【０４１５】
また別の観点では、酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体と、それ以外の結晶性酸化物
半導体とに分けられる。結晶性酸化物半導体としては、単結晶酸化物半導体、ＣＡＡＣ−
ＯＳ、多結晶酸化物半導体、ｎｃ−ＯＳなどがある。
【０４１６】
非晶質構造の定義としては、一般に、準安定状態で固定化していないこと、等方的であ
って不均質構造を持たないことなどが知られている。また、結合角度が柔軟であり、短距
離秩序性は有するが、長距離秩序性を有さない構造と言い換えることもできる。
【０４１７】
逆の見方をすると、本質的に安定な酸化物半導体の場合、完全な非晶質（ｃｏｍｐｌｅ
ｔｅｌｙ  ａｍｏｒｐｈｏｕｓ）酸化物半導体と呼ぶことはできない。また、等方的でな
い（例えば、微小な領域において周期構造を有する）酸化物半導体を、完全な非晶質酸化
物半導体と呼ぶことはできない。ただし、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、微小な領域において周
期構造を有するものの、鬆（ボイドともいう。）を有し、不安定な構造である。そのため
、物性的には非晶質酸化物半導体に近いといえる。
【０４１８】
＜ＣＡＡＣ−ＯＳ＞
まずは、ＣＡＡＣ−ＯＳについて説明する。
【０４１９】
ＣＡＡＣ−ＯＳは、ｃ軸配向した複数の結晶部（ペレットともいう。）を有する酸化物
半導体の一つである。
【０４２０】
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒ
ｏｓｃｏｐｅ）によって、ＣＡＡＣ−ＯＳの明視野像と回折パターンとの複合解析像（高
分解能ＴＥＭ像ともいう。）を観察すると、複数のペレットを確認することができる。一
方、高分解能ＴＥＭ像ではペレット同士の境界、即ち結晶粒界（グレインバウンダリーと
もいう。）を明確に確認することができない。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳは、結晶粒界に
起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
【０４２１】
以下では、ＴＥＭによって観察したＣＡＡＣ−ＯＳについて説明する。図２４（Ａ）に
、試料面と略平行な方向から観察したＣＡＡＣ−ＯＳの断面の高分解能ＴＥＭ像を示す。
高分解能ＴＥＭ像の観察には、球面収差補正（Ｓｐｈｅｒｉｃａｌ  Ａｂｅｒｒａｔｉｏ
ｎ  Ｃｏｒｒｅｃｔｏｒ）機能を用いた。球面収差補正機能を用いた高分解能ＴＥＭ像を
、特にＣｓ補正高分解能ＴＥＭ像と呼ぶ。Ｃｓ補正高分解能ＴＥＭ像の取得は、例えば、
日本電子株式会社製原子分解能分析電子顕微鏡ＪＥＭ−ＡＲＭ２００Ｆなどによって行う
ことができる。
【０４２２】
図２４（Ａ）の領域（１）を拡大したＣｓ補正高分解能ＴＥＭ像を図２４（Ｂ）に示す
。図２４（Ｂ）より、ペレットにおいて、金属原子が層状に配列していることを確認でき
る。金属原子の各層の配列は、ＣＡＡＣ−ＯＳの膜を形成する面（被形成面ともいう。）
または上面の凹凸を反映しており、ＣＡＡＣ−ＯＳの被形成面または上面と平行となる。
【０４２３】
図２４（Ｂ）に示すように、ＣＡＡＣ−ＯＳは特徴的な原子配列を有する。図２４（Ｃ
）は、特徴的な原子配列を、補助線で示したものである。図２４（Ｂ）および図２４（Ｃ
）より、ペレット一つの大きさは１ｎｍ以上のものや、３ｎｍ以上のものがあり、ペレッ
トとペレットとの傾きにより生じる隙間の大きさは０．８ｎｍ程度であることがわかる。
したがって、ペレットを、ナノ結晶（ｎｃ：ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）と呼ぶこともでき
る。また、ＣＡＡＣ−ＯＳを、ＣＡＮＣ（Ｃ−Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒ
ｙｓｔａｌｓ）を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
【０４２４】
ここで、Ｃｓ補正高分解能ＴＥＭ像をもとに、基板５１２０上のＣＡＡＣ−ＯＳのペレ
ット５１００の配置を模式的に示すと、レンガまたはブロックが積み重なったような構造
となる（図２４（Ｄ）参照。）。図２４（Ｃ）で観察されたペレットとペレットとの間で
傾きが生じている箇所は、図２４（Ｄ）に示す領域５１６１に相当する。
【０４２５】
また、図２５（Ａ）に、試料面と略垂直な方向から観察したＣＡＡＣ−ＯＳの平面のＣ
ｓ補正高分解能ＴＥＭ像を示す。図２５（Ａ）の領域（１）、領域（２）および領域（３
）を拡大したＣｓ補正高分解能ＴＥＭ像を、それぞれ図２５（Ｂ）、図２５（Ｃ）および
図２５（Ｄ）に示す。図２５（Ｂ）、図２５（Ｃ）および図２５（Ｄ）より、ペレットは
、金属原子が三角形状、四角形状または六角形状に配列していることを確認できる。しか
しながら、異なるペレット間で、金属原子の配列に規則性は見られない。
【０４２６】
次に、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）によって解析したＣ
ＡＡＣ−ＯＳについて説明する。例えば、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−Ｏ
Ｓに対し、ｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による構造解析を行うと、図２６（Ａ）に示すよ
うに回折角（２θ）が３１°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、ＩｎＧａ
ＺｎＯ４の結晶の（００９）面に帰属されることから、ＣＡＡＣ−ＯＳの結晶がｃ軸配向
性を有し、ｃ軸が被形成面または上面に略垂直な方向を向いていることが確認できる。
【０４２７】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳのｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による構造解析では、２θが３１
°近傍のピークの他に、２θが３６°近傍にもピークが現れる場合がある。２θが３６°
近傍のピークは、ＣＡＡＣ−ＯＳ中の一部に、ｃ軸配向性を有さない結晶が含まれること
を示している。より好ましいＣＡＡＣ−ＯＳは、ｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による構造
解析では、２θが３１°近傍にピークを示し、２θが３６°近傍にピークを示さない。
【０４２８】
一方、ＣＡＡＣ−ＯＳに対し、ｃ軸に略垂直な方向からＸ線を入射させるｉｎ−ｐｌａ
ｎｅ法による構造解析を行うと、２θが５６°近傍にピークが現れる。このピークは、Ｉ
ｎＧａＺｎＯ４の結晶の（１１０）面に帰属される。ＣＡＡＣ−ＯＳの場合は、２θを５
６°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸（φ軸）として試料を回転させながら分析
（φスキャン）を行っても、図２６（Ｂ）に示すように明瞭なピークは現れない。これに
対し、ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶酸化物半導体であれば、２θを５６°近傍に固定してφ
スキャンした場合、図２６（Ｃ）に示すように（１１０）面と等価な結晶面に帰属される
ピークが６本観察される。したがって、ＸＲＤを用いた構造解析から、ＣＡＡＣ−ＯＳは
、ａ軸およびｂ軸の配向が不規則であることが確認できる。
【０４２９】
次に、電子回折によって解析したＣＡＡＣ−ＯＳについて説明する。例えば、ＩｎＧａ
ＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−ＯＳに対し、試料面に平行にプローブ径が３００ｎｍ
の電子線を入射させると、図２７（Ａ）に示すような回折パターン（制限視野透過電子回
折パターンともいう。）が現れる場合がある。この回折パターンには、ＩｎＧａＺｎＯ４
の結晶の（００９）面に起因するスポットが含まれる。したがって、電子回折によっても
、ＣＡＡＣ−ＯＳに含まれるペレットがｃ軸配向性を有し、ｃ軸が被形成面または上面に
略垂直な方向を向いていることがわかる。一方、同じ試料に対し、試料面に垂直にプロー
ブ径が３００ｎｍの電子線を入射させたときの回折パターンを図２７（Ｂ）に示す。図２
７（Ｂ）より、リング状の回折パターンが確認される。したがって、電子回折によっても
、ＣＡＡＣ−ＯＳに含まれるペレットのａ軸およびｂ軸は配向性を有さないことがわかる
。なお、図２７（Ｂ）における第１リングは、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の（０１０）面お
よび（１００）面などに起因すると考えられる。また、図２７（Ｂ）における第２リング
は（１１０）面などに起因すると考えられる。
【０４３０】
上述したように、ＣＡＡＣ−ＯＳは結晶性の高い酸化物半導体である。酸化物半導体の
結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、逆の見方をす
るとＣＡＡＣ−ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない酸化物半導体ともいえる。
【０４３１】
なお、不純物は、酸化物半導体の主成分以外の元素で、水素、炭素、シリコン、遷移金
属元素などがある。例えば、シリコンなどの、酸化物半導体を構成する金属元素よりも酸
素との結合力の強い元素は、酸化物半導体から酸素を奪うことで酸化物半導体の原子配列
を乱し、結晶性を低下させる要因となる。また、鉄やニッケルなどの重金属、アルゴン、
二酸化炭素などは、原子半径（または分子半径）が大きいため、酸化物半導体の原子配列
を乱し、結晶性を低下させる要因となる。
【０４３２】
酸化物半導体が不純物や欠陥を有する場合、光や熱などによって特性が変動する場合が
ある。例えば、酸化物半導体に含まれる不純物は、キャリアトラップとなる場合や、キャ
リア発生源となる場合がある。また、酸化物半導体中の酸素欠損は、キャリアトラップと
なる場合や、水素を捕獲することによってキャリア発生源となる場合がある。
【０４３３】
不純物および酸素欠損の少ないＣＡＡＣ−ＯＳは、キャリア密度の低い酸化物半導体で
ある。具体的には、８×１０１１個／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１１／ｃｍ３未満
、さらに好ましくは１×１０１０個／ｃｍ３未満であり、１×１０−９個／ｃｍ３以上の
キャリア密度の酸化物半導体とすることができる。そのような酸化物半導体を、高純度真
性または実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼ぶ。ＣＡＡＣ−ＯＳは、不純物濃度が低
く、欠陥準位密度が低い。即ち、安定な特性を有する酸化物半導体であるといえる。
【０４３４】
＜ｎｃ−ＯＳ＞
次に、ｎｃ−ＯＳについて説明する。
【０４３５】
ｎｃ−ＯＳは、高分解能ＴＥＭ像において、結晶部を確認することのできる領域と、明
確な結晶部を確認することのできない領域と、を有する。ｎｃ−ＯＳに含まれる結晶部は
、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下、または１ｎｍ以上３ｎｍ以下の大きさであることが多い。な
お、結晶部の大きさが１０ｎｍより大きく１００ｎｍ以下である酸化物半導体を微結晶酸
化物半導体と呼ぶことがある。ｎｃ−ＯＳは、例えば、高分解能ＴＥＭ像では、結晶粒界
を明確に確認できない場合がある。なお、ナノ結晶は、ＣＡＡＣ−ＯＳにおけるペレット
と起源を同じくする可能性がある。そのため、以下ではｎｃ−ＯＳの結晶部をペレットと
呼ぶ場合がある。
【０４３６】
ｎｃ−ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上
３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ−ＯＳは、異なるペ
レット間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。し
たがって、ｎｃ−ＯＳは、分析方法によっては、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳや非晶質酸化物半導
体と区別が付かない場合がある。例えば、ｎｃ−ＯＳに対し、ペレットよりも大きい径の
Ｘ線を用いた場合、ｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、結晶面を示すピークは
検出されない。また、ｎｃ−ＯＳに対し、ペレットよりも大きいプローブ径（例えば５０
ｎｍ以上）の電子線を用いる電子回折を行うと、ハローパターンのような回折パターンが
観測される。一方、ｎｃ−ＯＳに対し、ペレットの大きさと近いかペレットより小さいプ
ローブ径の電子線を用いるナノビーム電子回折を行うと、スポットが観測される。また、
ｎｃ−ＯＳに対しナノビーム電子回折を行うと、円を描くように（リング状に）輝度の高
い領域が観測される場合がある。さらに、リング状の領域内に複数のスポットが観測され
る場合がある。
【０４３７】
このように、ペレット（ナノ結晶）間では結晶方位が規則性を有さないことから、ｎｃ
−ＯＳを、ＲＡＮＣ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ）を有
する酸化物半導体、またはＮＡＮＣ（Ｎｏｎ−Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ
ｓ）を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
【０４３８】
ｎｃ−ＯＳは、非晶質酸化物半導体よりも規則性の高い酸化物半導体である。そのため
、ｎｃ−ＯＳは、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳや非晶質酸化物半導体よりも欠陥準位密度が低くな
る。ただし、ｎｃ−ＯＳは、異なるペレット間で結晶方位に規則性が見られない。そのた
め、ｎｃ−ＯＳは、ＣＡＡＣ−ＯＳと比べて欠陥準位密度が高くなる。
【０４３９】
＜ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ＞
ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、ｎｃ−ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物
半導体である。
【０４４０】
ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、高分解能ＴＥＭ像において鬆が観察される場合がある。また、
高分解能ＴＥＭ像において、明確に結晶部を確認することのできる領域と、結晶部を確認
することのできない領域と、を有する。
【０４４１】
鬆を有するため、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、不安定な構造である。以下では、ａ−ｌｉｋ
ｅ  ＯＳが、ＣＡＡＣ−ＯＳおよびｎｃ−ＯＳと比べて不安定な構造であることを示すた
め、電子照射による構造の変化を示す。
【０４４２】
電子照射を行う試料として、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ（試料Ａと表記する。）、ｎｃ−ＯＳ
（試料Ｂと表記する。）およびＣＡＡＣ−ＯＳ（試料Ｃと表記する。）を準備する。いず
れの試料もＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である。
【０４４３】
まず、各試料の高分解能断面ＴＥＭ像を取得する。高分解能断面ＴＥＭ像により、各試
料は、いずれも結晶部を有することがわかる。
【０４４４】
なお、どの部分を一つの結晶部と見なすかの判定は、以下のように行えばよい。例えば
、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の単位格子は、Ｉｎ−Ｏ層を３層有し、またＧａ−Ｚｎ−Ｏ層
を６層有する、計９層がｃ軸方向に層状に重なった構造を有することが知られている。こ
れらの近接する層同士の間隔は、（００９）面の格子面間隔（ｄ値ともいう。）と同程度
であり、結晶構造解析からその値は０．２９ｎｍと求められている。したがって、格子縞
の間隔が０．２８ｎｍ以上０．３０ｎｍ以下である箇所を、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶部と
見なすことができる。なお、格子縞は、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶のａ−ｂ面に対応する。
【０４４５】
図２８は、各試料の結晶部（２２箇所から４５箇所）の平均の大きさを調査した例であ
る。ただし、上述した格子縞の長さを結晶部の大きさとしている。図２８より、ａ−ｌｉ
ｋｅ  ＯＳは、電子の累積照射量に応じて結晶部が大きくなっていくことがわかる。具体
的には、図２８中に（１）で示すように、ＴＥＭによる観察初期においては１．２ｎｍ程
度の大きさだった結晶部（初期核ともいう。）が、累積照射量が４．２×１０８ｅ−／ｎ
ｍ２においては２．６ｎｍ程度の大きさまで成長していることがわかる。一方、ｎｃ−Ｏ
ＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳは、電子照射開始時から電子の累積照射量が４．２×１０８ｅ−
／ｎｍ２までの範囲で、結晶部の大きさに変化が見られないことがわかる。具体的には、
図２８中の（２）および（３）で示すように、電子の累積照射量によらず、ｎｃ−ＯＳお
よびＣＡＡＣ−ＯＳの結晶部の大きさは、それぞれ１．４ｎｍ程度および２．１ｎｍ程度
であることがわかる。
【０４４６】
このように、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、電子照射によって結晶部の成長が見られる場合が
ある。一方、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳは、電子照射による結晶部の成長がほとん
ど見られないことがわかる。即ち、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−
ＯＳと比べて、不安定な構造であることがわかる。
【０４４７】
また、鬆を有するため、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳと比
べて密度の低い構造である。具体的には、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳの密度は、同じ組成の単結
晶の密度の７８．６％以上９２．３％未満となる。また、ｎｃ−ＯＳの密度およびＣＡＡ
Ｃ−ＯＳの密度は、同じ組成の単結晶の密度の９２．３％以上１００％未満となる。単結
晶の密度の７８％未満となる酸化物半導体は、成膜すること自体が困難である。
【０４４８】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］を満たす酸化物半導体において、
菱面体晶構造を有する単結晶ＩｎＧａＺｎＯ４の密度は６．３５７ｇ／ｃｍ３となる。よ
って、例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］を満たす酸化物半導体におい
て、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳの密度は５．０ｇ／ｃｍ３以上５．９ｇ／ｃｍ３未満となる。ま
た、例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］を満たす酸化物半導体において
、ｎｃ−ＯＳの密度およびＣＡＡＣ−ＯＳの密度は５．９ｇ／ｃｍ３以上６．３ｇ／ｃｍ
３未満となる。
【０４４９】
なお、同じ組成の単結晶が存在しない場合がある。その場合、任意の割合で組成の異な
る単結晶を組み合わせることにより、所望の組成における単結晶に相当する密度を見積も
ることができる。所望の組成の単結晶に相当する密度は、組成の異なる単結晶を組み合わ
せる割合に対して、加重平均を用いて見積もればよい。ただし、密度は、可能な限り少な
い種類の単結晶を組み合わせて見積もることが好ましい。
【０４５０】
以上のように、酸化物半導体は、様々な構造をとり、それぞれが様々な特性を有する。
なお、酸化物半導体は、例えば、非晶質酸化物半導体、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ、ｎｃ−ＯＳ
、ＣＡＡＣ−ＯＳのうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
【０４５１】
以上、本実施の形態で示す構成、方法は、他の実施の形態で示す構成、方法と適宜組み
合わせて用いることができる。
【０４５２】
（実施の形態４）
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した半導体装
置の回路の一例について説明する。
【０４５３】
＜ＣＭＯＳインバータ＞
図２９（Ａ）に示す回路図は、ｐチャネル型のトランジスタ２２００とｎチャネル型の
トランジスタ２１００を直列に接続し、かつそれぞれのゲートを接続した、いわゆるＣＭ
ＯＳインバータの構成を示している。
【０４５４】
＜半導体装置の構造１＞
図３０は、図２９（Ａ）に対応する半導体装置の断面図である。図３０に示す半導体装
置は、トランジスタ２２００と、トランジスタ２１００と、を有する。また、トランジス
タ２１００は、トランジスタ２２００の上方に配置する。なお、トランジスタ２１００と
して、上述の実施の形態において記載したトランジスタを用いることができる。よって、
トランジスタ２１００については、適宜上述したトランジスタについての記載を参酌する
ことができる。
【０４５５】
図３０に示すトランジスタ２２００は、半導体基板４５０を用いたトランジスタである
。トランジスタ２２００は、半導体基板４５０中の領域４７２ａと、半導体基板４５０中
の領域４７２ｂと、絶縁体４６２と、導電体４５４と、を有する。
【０４５６】
トランジスタ２２００において、領域４７２ａおよび領域４７２ｂは、ソース領域およ
びドレイン領域としての機能を有する。また、絶縁体４６２は、ゲート絶縁体としての機
能を有する。また、導電体４５４は、ゲート電極としての機能を有する。したがって、導
電体４５４に印加する電位によって、チャネル形成領域の抵抗を制御することができる。
即ち、導電体４５４に印加する電位によって、領域４７２ａと領域４７２ｂとの間の導通
・非導通を制御することができる。
【０４５７】
半導体基板４５０としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、
または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜
鉛、酸化ガリウムなどの半導体基板などを用いればよい。好ましくは、半導体基板４５０
として単結晶シリコン基板を用いる。
【０４５８】
半導体基板４５０は、ｎ型の導電型を付与する不純物を有する半導体基板を用いる。た
だし、半導体基板４５０として、ｐ型の導電型を付与する不純物を有する半導体基板を用
いても構わない。その場合、トランジスタ２２００となる領域には、ｎ型の導電型を付与
する不純物を有するウェルを配置すればよい。または、半導体基板４５０がｉ型であって
も構わない。
【０４５９】
半導体基板４５０の上面は、（１１０）面を有することが好ましい。こうすることで、
トランジスタ２２００のオン特性を向上させることができる。
【０４６０】
領域４７２ａおよび領域４７２ｂは、ｐ型の導電型を付与する不純物を有する領域であ
る。このようにして、トランジスタ２２００はｐチャネル型トランジスタを構成する。
【０４６１】
なお、トランジスタ２２００は、領域４６０などによって隣接するトランジスタと分離
される。領域４６０は、絶縁性を有する領域である。
【０４６２】
図３０に示す半導体装置は、絶縁体４６４と、絶縁体４６６と、絶縁体４６８と、導電
体４８０ａと、導電体４８０ｂと、導電体４８０ｃと、導電体４７８ａと、導電体４７８
ｂと、導電体４７８ｃと、導電体４７６ａと、導電体４７６ｂと、導電体４７４ａと、導
電体４７４ｂと、導電体４７４ｃと、導電体４９６ａと、導電体４９６ｂと、導電体４９
６ｃと、導電体４９６ｄと、導電体４９８ａと、導電体４９８ｂと、導電体４９８ｃと、
絶縁体４８９と、絶縁体４９０と、絶縁体４９１と、絶縁体４９２と、絶縁体４９３と、
絶縁体４９４と、絶縁体４９５と、を有する。
【０４６３】
絶縁体４６４は、トランジスタ２２００上に配置する。また、絶縁体４６６は、絶縁体
４６４上に配置する。また、絶縁体４６８は、絶縁体４６６上に配置する。また、絶縁体
４８９は、絶縁体４６８上に配置する。また、トランジスタ２１００は、絶縁体４８９上
に配置する。また、絶縁体４９３は、トランジスタ２１００上に配置する。また、絶縁体
４９４は、絶縁体４９３上に配置する。
【０４６４】
絶縁体４６４は、領域４７２ａに達する開口部と、領域４７２ｂに達する開口部と、導
電体４５４に達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４８０ａ、
導電体４８０ｂまたは導電体４８０ｃが埋め込まれている。
【０４６５】
また、絶縁体４６６は、導電体４８０ａに達する開口部と、導電体４８０ｂに達する開
口部と、導電体４８０ｃに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電
体４７８ａ、導電体４７８ｂまたは導電体４７８ｃが埋め込まれている。
【０４６６】
また、絶縁体４６８は、導電体４７８ｂに達する開口部と、導電体４７８ｃに達する開
口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４７６ａまたは導電体４７６ｂが
埋め込まれている。
【０４６７】
また、絶縁体４８９は、トランジスタ２１００のチャネル形成領域と重なる開口部と、
導電体４７６ａに達する開口部と、導電体４７６ｂに達する開口部と、を有する。また、
開口部には、それぞれ導電体４７４ａ、導電体４７４ｂまたは導電体４７４ｃが埋め込ま
れている。
【０４６８】
導電体４７４ａは、トランジスタ２１００のゲート電極としての機能を有しても構わな
い。または、例えば、導電体４７４ａに一定の電位を印加することで、トランジスタ２１
００のしきい値電圧などの電気特性を制御しても構わない。または、例えば、導電体４７
４ａとトランジスタ２１００のゲート電極としての機能を有する導電体５０４とを電気的
に接続しても構わない。こうすることで、トランジスタ２１００のオン電流を大きくする
ことができる。また、パンチスルー現象を抑制することができるため、トランジスタ２１
００の飽和領域における電気特性を安定にすることができる。なお、導電体４７４ａは上
記実施の形態の導電体１０２に相当するため、詳細については導電体１０２の記載を参酌
することができる。
【０４６９】
また、絶縁体４９０は、導電体４７４ｂに達する開口部と、導電体４７４ｃに達する開
口部と、を有する。なお、絶縁体４９０は上記実施の形態の絶縁体１０３に相当するため
、詳細については絶縁体１０３の記載を参酌することができる。上記実施の形態に記載し
たように、開口部を除いて導電体４７４ａ乃至４７４ｃの上を覆うように絶縁体４９０を
設けることにより、絶縁体４９１から導電体４７４ａ乃至４７４ｃが酸素を引き抜くこと
を防ぐことができる。これにより、絶縁体４９１からトランジスタ２１００の酸化物半導
体に効果的に酸素を供給することができる。
【０４７０】
また、絶縁体４９１は、導電体４７４ｂに達する開口部と、導電体４７４ｃに達する開
口部と、を有する。なお、絶縁体４９１は上記実施の形態の絶縁体１０４に相当するため
、詳細については絶縁体１０４の記載を参酌することができる。
【０４７１】
また、絶縁体４９２は、トランジスタ２１００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ２１０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａに達する開口部と、トラ
ンジスタ２１００のゲート電極である導電体５０４に達する開口部と、導電体４７４ｃに
達する開口部と、を有する。なお、絶縁体４９２は上記実施の形態の絶縁体１１６に相当
するため、詳細については絶縁体１１６の記載を参酌することができる。
【０４７２】
また、絶縁体４９５は、トランジスタ２１００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ２１０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａに達する開口部と、トラ
ンジスタ２１００のゲート電極である導電体５０４に達する開口部と、導電体４７４ｃに
達する開口部と、を有する。なお、絶縁体４９５は上記実施の形態の絶縁体１１８に相当
するため、詳細については絶縁体１１８の記載を参酌することができる。
【０４７３】
また、絶縁体４９３は、トランジスタ２１００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ２１０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａに達する開口部と、トラ
ンジスタ２１００のゲート電極である導電体５０４に達する開口部と、導電体４７４ｃに
達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４９６ａ、導電体４９６
ｂ、導電体４９６ｃまたは導電体４９６ｄが埋め込まれている。ただし、それぞれの開口
部は、さらにトランジスタ２１００などの構成要素のいずれかが有する開口部を介する場
合がある。
【０４７４】
また、絶縁体４９４は、導電体４９６ａに達する開口部と、導電体４９６ｂおよび導電
体４９６ｄに達する開口部と、導電体４９６ｃに達する開口部と、を有する。また、開口
部には、それぞれ導電体４９８ａ、導電体４９８ｂまたは導電体４９８ｃが埋め込まれて
いる。
【０４７５】
絶縁体４６４、絶縁体４６６、絶縁体４６８、絶縁体４８９、絶縁体４９３および絶縁
体４９４としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミ
ニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジ
ルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、
または積層で用いればよい。
【０４７６】
絶縁体４６４、絶縁体４６６、絶縁体４６８、絶縁体４８９、絶縁体４９３または絶縁
体４９４の一以上は、水素などの不純物および酸素をブロックする機能を有する絶縁体を
有することが好ましい。トランジスタ２１００の近傍に、水素などの不純物および酸素を
ブロックする機能を有する絶縁体を配置することによって、トランジスタ２１００の電気
特性を安定にすることができる。
【０４７７】
水素などの不純物および酸素をブロックする機能を有する絶縁体としては、例えば、ホ
ウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素
、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジ
ム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。
【０４７８】
導電体４８０ａ、導電体４８０ｂ、導電体４８０ｃ、導電体４７８ａ、導電体４７８ｂ
、導電体４７８ｃ、導電体４７６ａ、導電体４７６ｂ、導電体４７４ａ、導電体４７４ｂ
、導電体４７４ｃ、導電体４９６ａ、導電体４９６ｂ、導電体４９６ｃ、導電体４９６ｄ
、導電体４９８ａ、導電体４９８ｂおよび導電体４９８ｃとしては、例えば、ホウ素、窒
素、酸素、フッ素、シリコン、リン、アルミニウム、チタン、クロム、マンガン、コバル
ト、ニッケル、銅、亜鉛、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニ
ウム、銀、インジウム、スズ、タンタルおよびタングステンを一種以上含む導電体を、単
層で、または積層で用いればよい。例えば、合金や化合物であってもよく、アルミニウム
を含む導電体、銅およびチタンを含む導電体、銅およびマンガンを含む導電体、インジウ
ム、スズおよび酸素を含む導電体、チタンおよび窒素を含む導電体などを用いてもよい。
【０４７９】
なお、図３１に示す半導体装置は、図３０に示した半導体装置のトランジスタ２２００
の構造が異なるのみである。よって、図３１に示す半導体装置については、図３０に示し
た半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図３１に示す半導体装置は、トランジスタ
２２００がＦｉｎ型である場合を示している。トランジスタ２２００をＦｉｎ型とするこ
とにより、実効上のチャネル幅が増大することによりトランジスタ２２００のオン特性を
向上させることができる。また、ゲート電極の電界の寄与を高くすることができるため、
トランジスタ２２００のオフ特性を向上させることができる。
【０４８０】
また、図３２に示す半導体装置は、図３０に示した半導体装置のトランジスタ２２００
の構造が異なるのみである。よって、図３２に示す半導体装置については、図３０に示し
た半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図３２に示す半導体装置は、トランジスタ
２２００がＳＯＩ基板である半導体基板４５０に設けられた場合を示している。図３２に
は、絶縁体４５２によって領域４５６が半導体基板４５０と分離されている構造を示す。
半導体基板４５０としてＳＯＩ基板を用いることによって、パンチスルー現象などを抑制
することができるためトランジスタ２２００のオフ特性を向上させることができる。なお
、絶縁体４５２は、半導体基板４５０を絶縁体化させることによって形成することができ
る。例えば、絶縁体４５２としては、酸化シリコンを用いることができる。
【０４８１】
図３０乃至図３２に示した半導体装置は、半導体基板を用いてｐチャネル型トランジス
タを作製し、その上方にｎチャネル型トランジスタを作製するため、素子の占有面積を縮
小することができる。即ち、半導体装置の集積度を高くすることができる。また、ｎチャ
ネル型トランジスタと、ｐチャネル型トランジスタとを同一の半導体基板を用いて作製し
た場合と比べて、工程を簡略化することができるため、半導体装置の生産性を高くするこ
とができる。また、半導体装置の歩留まりを高くすることができる。また、ｐチャネル型
トランジスタは、ＬＤＤ（Ｌｉｇｈｔｌｙ  Ｄｏｐｅｄ  Ｄｒａｉｎ）領域、シャロート
レンチ構造、歪み設計などの複雑な工程を省略できる場合がある。そのため、ｎチャネル
型トランジスタを、半導体基板を用いて作製する場合と比べて、生産性および歩留まりを
高くすることができる場合がある。
【０４８２】
＜ＣＭＯＳアナログスイッチ＞
また図２９（Ｂ）に示す回路図は、トランジスタ２１００とトランジスタ２２００のそ
れぞれのソースとドレインを接続した構成を示している。このような構成とすることで、
いわゆるＣＭＯＳアナログスイッチとして機能させることができる。
【０４８３】
＜記憶装置１＞
本発明の一態様に係るトランジスタを用いた、電力が供給されない状況でも記憶内容の
保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い半導体装置（記憶装置）の一例を図３
３に示す。
【０４８４】
図３３（Ａ）に示す半導体装置は、第１の半導体を用いたトランジスタ３２００と第２
の半導体を用いたトランジスタ３３００、および容量素子３４００を有している。なお、
トランジスタ３３００としては、上述のトランジスタ２１００と同様のトランジスタを用
いることができる。
【０４８５】
トランジスタ３３００は、オフ電流の小さいトランジスタが好ましい。トランジスタ３
３００は、例えば、酸化物半導体を用いたトランジスタを用いることができる。トランジ
スタ３３００のオフ電流が小さいことにより、半導体装置の特定のノードに長期にわたり
記憶内容を保持することが可能である。つまり、リフレッシュ動作を必要としない、また
はリフレッシュ動作の頻度が極めて少なくすることが可能となるため、消費電力の低い半
導体装置となる。
【０４８６】
図３３（Ａ）において、第１の配線３００１はトランジスタ３２００のソースと電気的
に接続され、第２の配線３００２はトランジスタ３２００のドレインと電気的に接続され
る。また、第３の配線３００３はトランジスタ３３００のソース、ドレインの一方と電気
的に接続され、第４の配線３００４はトランジスタ３３００のゲートと電気的に接続され
ている。そして、トランジスタ３２００のゲート、およびトランジスタ３３００のソース
、ドレインの他方は、容量素子３４００の電極の一方と電気的に接続され、第５の配線３
００５は容量素子３４００の電極の他方と電気的に接続されている。
【０４８７】
図３３（Ａ）に示す半導体装置は、トランジスタ３２００のゲートの電位が保持可能と
いう特性を有することで、以下に示すように、情報の書き込み、保持、読み出しが可能で
ある。
【０４８８】
情報の書き込みおよび保持について説明する。まず、第４の配線３００４の電位を、ト
ランジスタ３３００が導通状態となる電位にして、トランジスタ３３００を導通状態とす
る。これにより、第３の配線３００３の電位が、トランジスタ３２００のゲート、および
容量素子３４００の電極の一方と電気的に接続するノードＦＧに与えられる。即ち、トラ
ンジスタ３２００のゲートには、所定の電荷が与えられる（書き込み）。ここでは、異な
る二つの電位レベルを与える電荷（以下Ｌｏｗレベル電荷、Ｈｉｇｈレベル電荷という。
）のどちらかが与えられるものとする。その後、第４の配線３００４の電位を、トランジ
スタ３３００が非導通状態となる電位にして、トランジスタ３３００を非導通状態とする
ことにより、ノードＦＧに電荷が保持される（保持）。
【０４８９】
トランジスタ３３００のオフ電流が小さいため、ノードＦＧの電荷は長期間にわたって
保持される。
【０４９０】
次に情報の読み出しについて説明する。第１の配線３００１に所定の電位（定電位）を
与えた状態で、第５の配線３００５に適切な電位（読み出し電位）を与えると、第２の配
線３００２は、ノードＦＧに保持された電荷量に応じた電位をとる。これは、トランジス
タ３２００をｎチャネル型とすると、トランジスタ３２００のゲートにＨｉｇｈレベル電
荷が与えられている場合の見かけ上のしきい値電圧Ｖｔｈ＿Ｈは、トランジスタ３２００
のゲートにＬｏｗレベル電荷が与えられている場合の見かけ上のしきい値電圧Ｖｔｈ＿Ｌ
より低くなるためである。ここで、見かけ上のしきい値電圧とは、トランジスタ３２００
を「導通状態」とするために必要な第５の配線３００５の電位をいうものとする。したが
って、第５の配線３００５の電位をＶｔｈ＿ＨとＶｔｈ＿Ｌの間の電位Ｖ０とすることに
より、ノードＦＧに与えられた電荷を判別できる。例えば、書き込みにおいて、ノードＦ
ＧにＨｉｇｈレベル電荷が与えられていた場合には、第５の配線３００５の電位がＶ０（
＞Ｖｔｈ＿Ｈ）となれば、トランジスタ３２００は「導通状態」となる。一方、ノードＦ
ＧにＬｏｗレベル電荷が与えられていた場合には、第５の配線３００５の電位がＶ０（＜
Ｖｔｈ＿Ｌ）となっても、トランジスタ３２００は「非導通状態」のままである。このた
め、第２の配線３００２の電位を判別することで、ノードＦＧに保持されている情報を読
み出すことができる。
【０４９１】
なお、メモリセルをアレイ状に配置する場合、読み出し時には、所望のメモリセルの情
報を読み出さなくてはならない。例えば、情報を読み出さないメモリセルにおいては、ノ
ードＦＧに与えられた電荷によらずトランジスタ３２００が「非導通状態」となるような
電位、つまり、Ｖｔｈ＿Ｈより低い電位を第５の配線３００５に与えることで所望のメモ
リセルの情報のみを読み出せる構成とすればよい。または、例えば、情報を読み出さない
メモリセルにおいては、ノードＦＧに与えられた電荷によらずトランジスタ３２００が「
導通状態」となるような電位、つまり、Ｖｔｈ＿Ｌより高い電位を第５の配線３００５に
与えることで所望のメモリセルの情報のみを読み出せる構成とすればよい。
【０４９２】
なお、上記においては、２種類の電荷をノードＦＧに保持する例について示したが、本
発明に係る半導体装置はこれに限られるものではない。例えば、半導体装置のノードＦＧ
に３種類以上の電荷を保持できる構成としてもよい。このような構成とすることにより、
当該半導体装置を多値化して記憶容量の増大を図ることができる。
【０４９３】
＜記憶装置１の構造＞
図３４は、図３３（Ａ）に対応する半導体装置の断面図である。図３４に示す半導体装
置は、トランジスタ３２００と、トランジスタ３３００と、容量素子３４００と、を有す
る。また、トランジスタ３３００および容量素子３４００は、トランジスタ３２００の上
方に配置する。なお、トランジスタ３３００としては、上述したトランジスタ２１００に
ついての記載を参照する。また、トランジスタ３２００としては、図３０に示したトラン
ジスタ２２００についての記載を参照する。なお、図３０では、トランジスタ２２００が
ｐチャネル型トランジスタである場合について説明したが、トランジスタ３２００がｎチ
ャネル型トランジスタであっても構わない。
【０４９４】
図３４に示すトランジスタ３２００は、半導体基板４５０を用いたトランジスタである
。トランジスタ３２００は、半導体基板４５０中の領域４７２ａと、半導体基板４５０中
の領域４７２ｂと、絶縁体４６２と、導電体４５４と、を有する。
【０４９５】
図３４に示す半導体装置は、絶縁体４６４と、絶縁体４６６と、絶縁体４６８と、導電
体４８０ａと、導電体４８０ｂと、導電体４８０ｃと、導電体４７８ａと、導電体４７８
ｂと、導電体４７８ｃと、導電体４７６ａと、導電体４７６ｂと、導電体４７４ａと、導
電体４７４ｂと、導電体４７４ｃと、導電体４９６ａと、導電体４９６ｂと、導電体４９
６ｃと、導電体４９６ｄと、導電体４９８ａと、導電体４９８ｂと、導電体４９８ｃと、
絶縁体４８９と、絶縁体４９０と、絶縁体４９１と、絶縁体４９２と、絶縁体４９３と、
絶縁体４９４と、絶縁体４９５と、を有する。
【０４９６】
絶縁体４６４は、トランジスタ３２００上に配置する。また、絶縁体４６６は、絶縁体
４６４上に配置する。また、絶縁体４６８は、絶縁体４６６上に配置する。また、絶縁体
４８９は、絶縁体４６８上に配置する。また、トランジスタ３３００は、絶縁体４８９上
に配置する。また、絶縁体４９３は、トランジスタ３３００上に配置する。また、絶縁体
４９４は、絶縁体４９３上に配置する。
【０４９７】
絶縁体４６４は、領域４７２ａに達する開口部と、領域４７２ｂに達する開口部と、導
電体４５４に達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４８０ａ、
導電体４８０ｂまたは導電体４８０ｃが埋め込まれている。
【０４９８】
また、絶縁体４６６は、導電体４８０ａに達する開口部と、導電体４８０ｂに達する開
口部と、導電体４８０ｃに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電
体４７８ａ、導電体４７８ｂまたは導電体４７８ｃが埋め込まれている。
【０４９９】
また、絶縁体４６８は、導電体４７８ｂに達する開口部と、導電体４７８ｃに達する開
口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４７６ａまたは導電体４７６ｂが
埋め込まれている。
【０５００】
また、絶縁体４８９は、トランジスタ３３００のチャネル形成領域と重なる開口部と、
導電体４７６ａに達する開口部と、導電体４７６ｂに達する開口部と、を有する。また、
開口部には、それぞれ導電体４７４ａ、導電体４７４ｂまたは導電体４７４ｃが埋め込ま
れている。
【０５０１】
導電体４７４ａは、トランジスタ３３００のボトムゲート電極としての機能を有しても
構わない。または、例えば、導電体４７４ａに一定の電位を印加することで、トランジス
タ３３００のしきい値電圧などの電気特性を制御しても構わない。または、例えば、導電
体４７４ａとトランジスタ３３００のトップゲート電極である導電体５０４とを電気的に
接続しても構わない。こうすることで、トランジスタ３３００のオン電流を大きくするこ
とができる。また、パンチスルー現象を抑制することができるため、トランジスタ３３０
０の飽和領域における電気特性を安定にすることができる。
【０５０２】
また、絶縁体４９０は、導電体４７４ｂに達する開口部と、導電体４７４ｃに達する開
口部と、を有する。なお、絶縁体４９０は上記実施の形態の絶縁体１０３に相当するため
、詳細については絶縁体１０３の記載を参酌することができる。上記実施の形態に記載し
たように、開口部を除いて導電体４７４ａ乃至４７４ｃの上を覆うように絶縁体４９０を
設けることにより、絶縁体４９１から導電体４７４ａ乃至４７４ｃが酸素を引き抜くこと
を防ぐことができる。これにより、絶縁体４９１からトランジスタ３３００の酸化物半導
体に効果的に酸素を供給することができる。
【０５０３】
また、絶縁体４９１は、導電体４７４ｂに達する開口部と、導電体４７４ｃに達する開
口部と、を有する。なお、絶縁体４９１は上記実施の形態の絶縁体１０４に相当するため
、詳細については絶縁体１０４の記載を参酌することができる。
【０５０４】
また、絶縁体４９２は、トランジスタ３３００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ３３０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａと絶縁体５１１ａ及び絶
縁体５１１ｂを介して重なる導電体５１４に達する開口部と、トランジスタ３３００のゲ
ート電極である導電体５０４に達する開口部と、トランジスタ３３００のソース電極また
はドレイン電極の他方である導電体５１６ａを通って、導電体４７４ｃに達する開口部と
、を有する。なお、絶縁体４９２は上記実施の形態の絶縁体１１６に相当するため、詳細
については絶縁体１１６の記載を参酌することができる。
【０５０５】
また、絶縁体４９５は、トランジスタ３３００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ３３０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａと絶縁体５１１ａ及び絶
縁体５１１ｂを介して重なる導電体５１４に達する開口部と、トランジスタ３３００のゲ
ート電極である導電体５０４に達する開口部と、トランジスタ３３００のソース電極また
はドレイン電極の他方である導電体５１６ａを通って、導電体４７４ｃに達する開口部と
、を有する。なお、絶縁体４９５は上記実施の形態の絶縁体１１８に相当するため、詳細
については絶縁体１１８の記載を参酌することができる。
【０５０６】
また、絶縁体４９３は、トランジスタ３３００のソース電極またはドレイン電極の一方
である導電体５１６ｂを通って、導電体４７４ｂに達する開口部と、トランジスタ３３０
０のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａと絶縁体５１１ａ及び絶
縁体５１１ｂを介して重なる導電体５１４に達する開口部と、トランジスタ３３００のゲ
ート電極である導電体５０４に達する開口部と、トランジスタ３３００のソース電極また
はドレイン電極の他方である導電体５１６ａを通って、導電体４７４ｃに達する開口部と
、を有する。また、開口部には、それぞれ導電体４９６ａ、導電体４９６ｂ、導電体４９
６ｃまたは導電体４９６ｄが埋め込まれている。ただし、それぞれの開口部は、さらにト
ランジスタ３３００などの構成要素のいずれかが有する開口部を介する場合がある。
【０５０７】
また、絶縁体４９４は、導電体４９６ａに達する開口部と、導電体４９６ｂに達する開
口部と、導電体４９６ｃに達する開口部と、を有する。また、開口部には、それぞれ導電
体４９８ａ、導電体４９８ｂまたは導電体４９８ｃが埋め込まれている。
【０５０８】
絶縁体４６４、絶縁体４６６、絶縁体４６８、絶縁体４８９、絶縁体４９３または絶縁
体４９４の一以上は、水素などの不純物および酸素をブロックする機能を有する絶縁体を
有することが好ましい。トランジスタ３３００の近傍に、水素などの不純物および酸素を
ブロックする機能を有する絶縁体を配置することによって、トランジスタ３３００の電気
特性を安定にすることができる。
【０５０９】
トランジスタ３２００のソースまたはドレインは、導電体４８０ｂと、導電体４７８ｂ
と、導電体４７６ａと、導電体４７４ｂと、導電体４９６ｃと、を介してトランジスタ３
３００のソース電極またはドレイン電極の一方である導電体５１６ｂと電気的に接続する
。また、トランジスタ３２００のゲート電極である導電体４５４は、導電体４８０ｃと、
導電体４７８ｃと、導電体４７６ｂと、導電体４７４ｃと、導電体４９６ｄと、を介して
トランジスタ３３００のソース電極またはドレイン電極の他方である導電体５１６ａと電
気的に接続する。
【０５１０】
容量素子３４００は、トランジスタ３３００のソース電極またはドレイン電極の他方で
ある導電体５１６ａと、導電体５１４と、絶縁体５１１ａと、絶縁体５１１ｂと、を有す
る。なお、絶縁体５１１ａ及び絶縁体５１１ｂは、トランジスタ３３００のゲート絶縁体
として機能する絶縁体と同一工程を経て形成できるため、生産性を高めることができて好
ましい場合がある。また、導電体５１４として、トランジスタ３３００のゲート電極とし
て機能する導電体５０４と同一工程を経て形成した層を用いると、生産性を高めることが
できて好ましい場合がある。
【０５１１】
そのほかの構造については、適宜図３０などについての記載を参酌することができる。
【０５１２】
なお、図３５に示す半導体装置は、図３４に示した半導体装置のトランジスタ３２００
の構造が異なるのみである。よって、図３５に示す半導体装置については、図３４に示し
た半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図３５に示す半導体装置は、トランジスタ
３２００がＦｉｎ型である場合を示している。Ｆｉｎ型であるトランジスタ３２００につ
いては、図３１に示したトランジスタ２２００の記載を参照する。なお、図３１では、ト
ランジスタ２２００がｐチャネル型トランジスタである場合について説明したが、トラン
ジスタ３２００がｎチャネル型トランジスタであっても構わない。
【０５１３】
また、図３６に示す半導体装置は、図３４に示した半導体装置のトランジスタ３２００
の構造が異なるのみである。よって、図３６に示す半導体装置については、図３４に示し
た半導体装置の記載を参酌する。具体的には、図３６に示す半導体装置は、トランジスタ
３２００がＳＯＩ基板である半導体基板４５０に設けられた場合を示している。ＳＯＩ基
板である半導体基板４５０に設けられたトランジスタ３２００については、図３２に示し
たトランジスタ２２００の記載を参照する。なお、図３２では、トランジスタ２２００が
ｐチャネル型トランジスタである場合について説明したが、トランジスタ３２００がｎチ
ャネル型トランジスタであっても構わない。
【０５１４】
＜記憶装置２＞
図３３（Ｂ）に示す半導体装置は、トランジスタ３２００を有さない点で図３３（Ａ）
に示した半導体装置と異なる。この場合も図３３（Ａ）に示した半導体装置と同様の動作
により情報の書き込みおよび保持動作が可能である。
【０５１５】
図３３（Ｂ）に示す半導体装置における、情報の読み出しについて説明する。トランジ
スタ３３００が導通状態になると、浮遊状態である第３の配線３００３と容量素子３４０
０とが導通し、第３の配線３００３と容量素子３４００の間で電荷が再分配される。その
結果、第３の配線３００３の電位が変化する。第３の配線３００３の電位の変化量は、容
量素子３４００の電極の一方の電位（または容量素子３４００に蓄積された電荷）によっ
て、異なる値をとる。
【０５１６】
例えば、容量素子３４００の電極の一方の電位をＶ、容量素子３４００の容量をＣ、第
３の配線３００３が有する容量成分をＣＢ、電荷が再分配される前の第３の配線３００３
の電位をＶＢ０とすると、電荷が再分配された後の第３の配線３００３の電位は、（ＣＢ
×ＶＢ０＋Ｃ×Ｖ）／（ＣＢ＋Ｃ）となる。したがって、メモリセルの状態として、容量
素子３４００の電極の一方の電位がＶ１とＶ０（Ｖ１＞Ｖ０）の２つの状態をとるとする
と、電位Ｖ１を保持している場合の第３の配線３００３の電位（＝（ＣＢ×ＶＢ０＋Ｃ×
Ｖ１）／（ＣＢ＋Ｃ））は、電位Ｖ０を保持している場合の第３の配線３００３の電位（
＝（ＣＢ×ＶＢ０＋Ｃ×Ｖ０）／（ＣＢ＋Ｃ））よりも高くなることがわかる。
【０５１７】
そして、第３の配線３００３の電位を所定の電位と比較することで、情報を読み出すこ
とができる。
【０５１８】
この場合、メモリセルを駆動させるための駆動回路に上記第１の半導体が適用されたト
ランジスタを用い、トランジスタ３３００として第２の半導体が適用されたトランジスタ
を駆動回路上に積層して配置する構成とすればよい。
【０５１９】
以上に示した半導体装置は、酸化物半導体を用いたオフ電流の小さいトランジスタを適
用することで、長期にわたって記憶内容を保持することが可能となる。つまり、リフレッ
シュ動作が不要となるか、またはリフレッシュ動作の頻度を極めて低くすることが可能と
なるため、消費電力の低い半導体装置を実現することができる。また、電力の供給がない
場合（ただし、電位は固定されていることが好ましい）であっても、長期にわたって記憶
内容を保持することが可能である。
【０５２０】
また、該半導体装置は、情報の書き込みに高い電圧が不要であるため、素子の劣化が起
こりにくい。例えば、従来の不揮発性メモリのように、フローティングゲートへの電子の
注入や、フローティングゲートからの電子の引き抜きを行わないため、絶縁体の劣化とい
った問題が生じない。即ち、本発明の一態様に係る半導体装置は、従来の不揮発性メモリ
で問題となっている書き換え可能回数に制限はなく、信頼性が飛躍的に向上した半導体装
置である。さらに、トランジスタの導通状態、非導通状態によって、情報の書き込みが行
われるため、高速な動作が可能となる。
【０５２１】
＜記憶装置３＞
図３３（Ａ）に示す半導体装置（記憶装置）の変形例について、図３７に示す回路図を
用いて説明する。
【０５２２】
図３７に示す半導体装置は、トランジスタ４１００乃至トランジスタ４４００と、容量
素子４５００及び容量素子４６００と、を有する。ここでトランジスタ４１００は、上述
のトランジスタ３２００と同様のトランジスタを用いることができ、トランジスタ４２０
０乃至４４００は、上述のトランジスタ３３００と同様のトランジスタを用いることがで
きる。なお、図３７に示す半導体装置は、図３７では図示を省略したが、マトリクス状に
複数設けられる。図３７に示す半導体装置は、配線４００１、配線４００３、配線４００
５乃至４００９に与える信号又は電位に従って、データ電圧の書き込み、読み出しを制御
することができる。
【０５２３】
トランジスタ４１００のソース又はドレインの一方は、配線４００３に接続される。ト
ランジスタ４１００のソース又はドレインの他方は、配線４００１に接続される。なお図
３７では、トランジスタ４１００の導電型をｐチャネル型として示すが、ｎチャネル型で
もよい。
【０５２４】
図３７に示す半導体装置は、２つのデータ保持部を有する。例えば第１のデータ保持部
は、ノードＦＧ１に接続されるトランジスタ４４００のソース又はドレインの一方、容量
素子４６００の一方の電極、及びトランジスタ４２００のソース又はドレインの一方の間
で電荷を保持する。また、第２のデータ保持部は、ノードＦＧ２に接続されるトランジス
タ４１００のゲート、トランジスタ４２００のソース又はドレインの他方、トランジスタ
４３００のソース又はドレインの一方、及び容量素子４５００の一方の電極の間で電荷を
保持する。
【０５２５】
トランジスタ４３００のソース又はドレインの他方は、配線４００３に接続される。ト
ランジスタ４４００のソース又はドレインの他方は、配線４００１に接続される。トラン
ジスタ４４００のゲートは、配線４００５に接続される。トランジスタ４２００のゲート
は、配線４００６に接続される。トランジスタ４３００のゲートは、配線４００７に接続
される。容量素子４６００の他方の電極は、配線４００８に接続される。容量素子４５０
０の他方の電極は、配線４００９に接続される。
【０５２６】
トランジスタ４２００乃至４４００は、データ電圧の書き込みと電荷の保持を制御する
スイッチとしての機能を有する。なおトランジスタ４２００乃至４４００は、非導通状態
においてソースとドレインとの間を流れる電流（オフ電流）が低いトランジスタが用いら
れることが好適である。オフ電流が少ないトランジスタとしては、チャネル形成領域に酸
化物半導体を有するトランジスタ（ＯＳトランジスタ）であることが好ましい。ＯＳトラ
ンジスタは、オフ電流が低い、シリコンを有するトランジスタと重ねて作製できる等の利
点がある。なお図３７では、トランジスタ４２００乃至４４００の導電型をｎチャネル型
として示すが、ｐチャネル型でもよい。
【０５２７】
トランジスタ４２００及びトランジスタ４３００と、トランジスタ４４００とは、酸化
物半導体を用いたトランジスタであっても別層に設けることが好ましい。すなわち、図３
７に示す半導体装置は、図３７に示すように、トランジスタ４１００を有する第１の層４
０２１と、トランジスタ４２００及びトランジスタ４３００を有する第２の層４０２２と
、トランジスタ４４００を有する第３の層４０２３と、で構成されることが好ましい。ト
ランジスタを有する層を積層して設けることで、回路面積を縮小することができ、半導体
装置の小型化を図ることができる。
【０５２８】
次いで、図３７に示す半導体装置への情報の書き込み動作について説明する。
【０５２９】
最初に、ノードＦＧ１に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の書き込み動作（以下
、書き込み動作１とよぶ。）について説明する。なお、以下において、ノードＦＧ１に接
続されるデータ保持部に書きこむデータ電圧をＶＤ１とし、トランジスタ４１００の閾値
電圧をＶｔｈとする。
【０５３０】
書き込み動作１では、配線４００３をＶＤ１とし、配線４００１を接地電位とした後に
、電気的に浮遊状態とする。また配線４００５、４００６をハイレベルにする。また配線
４００７乃至４００９をローレベルにする。すると、電気的に浮遊状態にあるノードＦＧ
２の電位が上昇し、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流が流れることで、配線４
００１の電位が上昇する。またトランジスタ４４００、トランジスタ４２００が導通状態
となる。そのため、配線４００１の電位の上昇につれて、ノードＦＧ１、ＦＧ２の電位が
上昇する。ノードＦＧ２の電位が上昇し、トランジスタ４１００でゲートとソースとの間
の電圧（Ｖｇｓ）がトランジスタ４１００の閾値電圧Ｖｔｈになると、トランジスタ４１
００を流れる電流が小さくなる。そのため、配線４００１、ノードＦＧ１、ＦＧ２の電位
の上昇は止まり、ＶＤ１からＶｔｈだけ下がった「ＶＤ１−Ｖｔｈ」で一定となる。
【０５３１】
つまり、配線４００３に与えたＶＤ１は、トランジスタ４１００に電流が流れることで
、配線４００１に与えられ、ノードＦＧ１、ＦＧ２の電位が上昇する。電位の上昇によっ
て、ノードＦＧ２の電位が「ＶＤ１−Ｖｔｈ」となると、トランジスタ４１００のＶｇｓ
がＶｔｈとなるため、電流が止まる。
【０５３２】
次に、ノードＦＧ２に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の書き込み動作（以下、
書き込み動作２とよぶ。）について説明する。なお、ノードＦＧ２に接続されるデータ保
持部に書きこむデータ電圧をＶＤ２として説明する。
【０５３３】
書き込み動作２では、配線４００１をＶＤ２とし、配線４００３を接地電位とした後に
、電気的に浮遊状態とする。また配線４００７をハイレベルにする。また配線４００５、
４００６、４００８、４００９をローレベルにする。トランジスタ４３００を導通状態と
して配線４００３をローレベルにする。そのため、ノードＦＧ２の電位もローレベルにま
で低下し、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流が流れることで、配線４００３の
電位が上昇する。またトランジスタ４３００が導通状態となる。そのため、配線４００３
の電位の上昇につれて、ノードＦＧ２の電位が上昇する。ノードＦＧ２の電位が上昇し、
トランジスタ４１００でＶｇｓがトランジスタ４１００のＶｔｈになると、トランジスタ
４１００を流れる電流が小さくなる。そのため、配線４００３、ノードＦＧ２の電位の上
昇は止まり、ＶＤ２からＶｔｈだけ下がった「ＶＤ２−Ｖｔｈ」で一定となる。
【０５３４】
つまり、配線４００１に与えたＶＤ２は、トランジスタ４１００に電流が流れることで
、配線４００３に与えられ、ノードＦＧ２の電位が上昇する。電位の上昇によって、ノー
ドＦＧ２の電位が「ＶＤ２−Ｖｔｈ」となると、トランジスタ４１００のＶｇｓがＶｔｈ
となるため、電流が止まる。このとき、ノードＦＧ１の電位は、トランジスタ４２００、
４４００共に非導通状態であり、書き込み動作１で書きこんだ「ＶＤ１−Ｖｔｈ」が保持
される。
【０５３５】
図３７に示す半導体装置では、複数のデータ保持部にデータ電圧を書きこんだのち、配
線４００９をハイレベルにして、ノードＦＧ１、ＦＧ２の電位を上昇させる。そして、各
トランジスタを非導通状態として、電荷の移動をなくし、書きこんだデータ電圧を保持す
る。
【０５３６】
以上説明したノードＦＧ１、ＦＧ２へのデータ電圧の書き込み動作によって、複数のデ
ータ保持部にデータ電圧を保持させることができる。なお書きこまれる電位として、「Ｖ
Ｄ１−Ｖｔｈ」や「ＶＤ２−Ｖｔｈ」を一例として挙げて説明したが、これらは多値のデ
ータに対応するデータ電圧である。そのため、それぞれのデータ保持部で４ビットのデー
タを保持する場合、１６値の「ＶＤ１−Ｖｔｈ」や「ＶＤ２−Ｖｔｈ」を取り得る。
【０５３７】
次いで、図３７に示す半導体装置からの情報の読み出し動作について説明する。
【０５３８】
最初に、ノードＦＧ２に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の読み出し動作（以下
、読み出し動作１とよぶ。）について説明する。
【０５３９】
読み出し動作１では、プリチャージを行ってから電気的に浮遊状態とした、配線４００
３を放電させる。配線４００５乃至４００８をローレベルにする。また、配線４００９を
ローレベルとして、電気的に浮遊状態にあるノードＦＧ２の電位を「ＶＤ２−Ｖｔｈ」と
する。ノードＦＧ２の電位が下がることで、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流
が流れることで、電気的に浮遊状態の配線４００３の電位が低下する。配線４００３の電
位の低下につれて、トランジスタ４１００のＶｇｓが小さくなる。トランジスタ４１００
のＶｇｓがトランジスタ４１００のＶｔｈになると、トランジスタ４１００を流れる電流
が小さくなる。すなわち、配線４００３の電位が、ノードＦＧ２の電位「ＶＤ２−Ｖｔｈ
」からＶｔｈだけ大きい値である「ＶＤ２」となる。この配線４００３の電位は、ノード
ＦＧ２に接続されるデータ保持部のデータ電圧に対応する。読み出されたアナログ値のデ
ータ電圧はＡ／Ｄ変換を行い、ノードＦＧ２に接続されるデータ保持部のデータを取得す
る。
【０５４０】
つまり、プリチャージ後の配線４００３を浮遊状態とし、配線４００９の電位をハイレ
ベルからローレベルに切り替えることで、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流が
流れることで、浮遊状態にあった配線４００３の電位は低下して「ＶＤ２」となる。トラ
ンジスタ４１００では、ノードＦＧ２の「ＶＤ２−Ｖｔｈ」との間のＶｇｓがＶｔｈとな
るため、電流が止まる。そして、配線４００３には、書き込み動作２で書きこんだ「ＶＤ
２」が読み出される。
【０５４１】
ノードＦＧ２に接続されるデータ保持部のデータを取得したら、トランジスタ４３００
を導通状態として、ノードＦＧ２の「ＶＤ２−Ｖｔｈ」を放電させる。
【０５４２】
次に、ノードＦＧ１に保持される電荷をノードＦＧ２に分配し、ノードＦＧ１に接続さ
れるデータ保持部のデータ電圧を、ノードＦＧ２に接続されるデータ保持部に移す。ここ
で、配線４００１、４００３をローレベルとする。配線４００６をハイレベルにする。ま
た、配線４００５、配線４００７乃至４００９をローレベルにする。トランジスタ４２０
０が導通状態となることで、ノードＦＧ１の電荷が、ノードＦＧ２との間で分配される。
【０５４３】
ここで、電荷の分配後の電位は、書きこんだ電位「ＶＤ１−Ｖｔｈ」から低下する。そ
のため、容量素子４６００の容量値は、容量素子４５００の容量値よりも大きくしておく
ことが好ましい。あるいは、ノードＦＧ１に書きこむ電位「ＶＤ１−Ｖｔｈ」は、同じデ
ータを表す電位「ＶＤ２−Ｖｔｈ」よりも大きくすることが好ましい。このように、容量
値の比を変えること、予め書きこむ電位を大きくしておくことで、電荷の分配後の電位の
低下を抑制することができる。電荷の分配による電位の変動については、後述する。
【０５４４】
次に、ノードＦＧ１に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の読み出し動作（以下、
読み出し動作２とよぶ。）について説明する。
【０５４５】
読み出し動作２では、プリチャージを行ってから電気的に浮遊状態とした、配線４００
３を放電させる。配線４００５乃至４００８をローレベルにする。また、配線４００９は
、プリチャージ時にハイレベルとして、その後ローレベルとする。配線４００９をローレ
ベルとすることで、電気的に浮遊状態にあるノードＦＧ２を電位「ＶＤ１−Ｖｔｈ」とす
る。ノードＦＧ２の電位が下がることで、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流が
流れることで、電気的に浮遊状態の配線４００３の電位が低下する。配線４００３の電位
の低下につれて、トランジスタ４１００のＶｇｓが小さくなる。トランジスタ４１００の
Ｖｇｓがトランジスタ４１００のＶｔｈになると、トランジスタ４１００を流れる電流が
小さくなる。すなわち、配線４００３の電位が、ノードＦＧ２の電位「ＶＤ１−Ｖｔｈ」
からＶｔｈだけ大きい値である「ＶＤ１」となる。この配線４００３の電位は、ノードＦ
Ｇ１に接続されるデータ保持部のデータ電圧に対応する。読み出されたアナログ値のデー
タ電圧はＡ／Ｄ変換を行い、ノードＦＧ１に接続されるデータ保持部のデータを取得する
。以上が、ノードＦＧ１に接続されるデータ保持部へのデータ電圧の読み出し動作である
。
【０５４６】
つまり、プリチャージ後の配線４００３を浮遊状態とし、配線４００９の電位をハイレ
ベルからローレベルに切り替えることで、トランジスタ４１００に電流が流れる。電流が
流れることで、浮遊状態にあった配線４００３の電位は低下して「ＶＤ１」となる。トラ
ンジスタ４１００では、ノードＦＧ２の「ＶＤ１−Ｖｔｈ」との間のＶｇｓがＶｔｈとな
るため、電流が止まる。そして、配線４００３には、書き込み動作１で書きこんだ「ＶＤ
１」が読み出される。
【０５４７】
以上説明したノードＦＧ１、ＦＧ２からのデータ電圧の読み出し動作によって、複数の
データ保持部からデータ電圧を読み出すことができる。例えば、ノードＦＧ１及びノード
ＦＧ２にそれぞれ４ビット（１６値）のデータを保持することで計８ビット（２５６値）
のデータを保持することができる。また、図３７においては、第１の層４０２１乃至第３
の層４０２３からなる構成としたが、さらに層を形成することによって、半導体装置の面
積を増大させず記憶容量の増加を図ることができる。
【０５４８】
なお読み出される電位は、書きこんだデータ電圧よりＶｔｈだけ大きい電圧として読み
出すことができる。そのため、書き込み動作で書きこんだ「ＶＤ１−Ｖｔｈ」や「ＶＤ２
−Ｖｔｈ」のＶｔｈを相殺して読み出す構成とすることができる。その結果、メモリセル
あたりの記憶容量を向上させるとともに、読み出されるデータを正しいデータに近づける
ことができるため、データの信頼性に優れたものとすることができる。
【０５４９】
また、図３８に図３７に対応する半導体装置の断面図を示す。図３８に示す半導体装置
は、トランジスタ４１００乃至トランジスタ４４００と、容量素子４５００及び容量素子
４６００と、を有する。ここで、トランジスタ４１００は第１の層４０２１に形成され、
トランジスタ４２００、４３００、及び容量素子４５００は第２の層４０２２に形成され
、トランジスタ４４００及び容量素子４６００は第３の層４０２３に形成される。
【０５５０】
ここで、トランジスタ４２００乃至４４００としてはトランジスタ３３００の記載を、
トランジスタ４１００としてはトランジスタ３２００の記載を参酌することができる。ま
た、その他の配線、絶縁体等についても適宜図３４の記載を参酌することができる。
【０５５１】
なお、図３４に示す半導体装置の容量素子３４００では導電層を基板に対して平行に設
けて容量を形成する構成としたが、容量素子４５００、４６００では、トレンチ状に導電
層を設けて、容量を形成する構成としている。このような構成とすることで、同じ占有面
積であっても大きい容量値を確保することができる。
【０５５２】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いること
ができる。
【０５５３】
（実施の形態５）
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した撮像装置
の一例について説明する。
【０５５４】
＜撮像装置の構成＞
図３９（Ａ）は、本発明の一態様に係る撮像装置２００の例を示す平面図である。撮像
装置２００は、画素部２１０と、画素部２１０を駆動するための周辺回路２６０と、周辺
回路２７０、周辺回路２８０と、周辺回路２９０と、を有する。画素部２１０は、ｐ行ｑ
列（ｐおよびｑは２以上の整数）のマトリクス状に配置された複数の画素２１１を有する
。周辺回路２６０、周辺回路２７０、周辺回路２８０および周辺回路２９０は、それぞれ
複数の画素２１１に接続し、複数の画素２１１を駆動するための信号を供給する機能を有
する。なお、本明細書等において、周辺回路２６０、周辺回路２７０、周辺回路２８０お
よび周辺回路２９０などの全てを指して「周辺回路」または「駆動回路」と呼ぶ場合があ
る。例えば、周辺回路２６０は周辺回路の一部といえる。
【０５５５】
また、撮像装置２００は、光源２９１を有することが好ましい。光源２９１は、検出光
Ｐ１を放射することができる。
【０５５６】
また、周辺回路は、少なくとも、論理回路、スイッチ、バッファ、増幅回路、または変
換回路の１つを有する。また、周辺回路は、画素部２１０を形成する基板上に形成しても
よい。また、周辺回路の一部または全部にＩＣチップ等の半導体装置を用いてもよい。な
お、周辺回路は、周辺回路２６０、周辺回路２７０、周辺回路２８０および周辺回路２９
０のいずれか一以上を省略してもよい。
【０５５７】
また、図３９（Ｂ）に示すように、撮像装置２００が有する画素部２１０において、画
素２１１を傾けて配置してもよい。画素２１１を傾けて配置することにより、行方向およ
び列方向の画素間隔（ピッチ）を短くすることができる。これにより、撮像装置２００に
おける撮像の品質をより高めることができる。
【０５５８】
＜画素の構成例１＞
撮像装置２００が有する１つの画素２１１を複数の副画素２１２で構成し、それぞれの
副画素２１２に特定の波長域の光を透過するフィルタ（カラーフィルタ）を組み合わせる
ことで、カラー画像表示を実現するための情報を取得することができる。
【０５５９】
図４０（Ａ）は、カラー画像を取得するための画素２１１の一例を示す平面図である。
図４０（Ａ）に示す画素２１１は、赤（Ｒ）の波長域の光を透過するカラーフィルタが設
けられた副画素２１２（以下、「副画素２１２Ｒ」ともいう）、緑（Ｇ）の波長域の光を
透過するカラーフィルタが設けられた副画素２１２（以下、「副画素２１２Ｇ」ともいう
）および青（Ｂ）の波長域の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素２１２（以
下、「副画素２１２Ｂ」ともいう）を有する。副画素２１２は、フォトセンサとして機能
させることができる。
【０５６０】
副画素２１２（副画素２１２Ｒ、副画素２１２Ｇ、および副画素２１２Ｂ）は、配線２
３１、配線２４７、配線２４８、配線２４９、配線２５０と電気的に接続される。また、
副画素２１２Ｒ、副画素２１２Ｇ、および副画素２１２Ｂは、それぞれが独立した配線２
５３に接続している。また、本明細書等において、例えばｎ行目の画素２１１に接続され
た配線２４８および配線２４９を、それぞれ配線２４８［ｎ］および配線２４９［ｎ］と
記載する。また、例えばｍ列目の画素２１１に接続された配線２５３を、配線２５３［ｍ
］と記載する。なお、図４０（Ａ）において、ｍ列目の画素２１１が有する副画素２１２
Ｒに接続する配線２５３を配線２５３［ｍ］Ｒ、副画素２１２Ｇに接続する配線２５３を
配線２５３［ｍ］Ｇ、および副画素２１２Ｂに接続する配線２５３を配線２５３［ｍ］Ｂ
と記載している。副画素２１２は、上記配線を介して周辺回路と電気的に接続される。
【０５６１】
また、撮像装置２００は、隣接する画素２１１の、同じ波長域の光を透過するカラーフ
ィルタが設けられた副画素２１２同士がスイッチを介して電気的に接続する構成を有する
。図４０（Ｂ）に、ｎ行（ｎは１以上ｐ以下の整数）ｍ列（ｍは１以上ｑ以下の整数）に
配置された画素２１１が有する副画素２１２と、該画素２１１に隣接するｎ＋１行ｍ列に
配置された画素２１１が有する副画素２１２の接続例を示す。図４０（Ｂ）において、ｎ
行ｍ列に配置された副画素２１２Ｒと、ｎ＋１行ｍ列に配置された副画素２１２Ｒがスイ
ッチ２０１を介して接続されている。また、ｎ行ｍ列に配置された副画素２１２Ｇと、ｎ
＋１行ｍ列に配置された副画素２１２Ｇがスイッチ２０２を介して接続されている。また
、ｎ行ｍ列に配置された副画素２１２Ｂと、ｎ＋１行ｍ列に配置された副画素２１２Ｂが
スイッチ２０３を介して接続されている。
【０５６２】
なお、副画素２１２に用いるカラーフィルタは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に限定
されず、それぞれシアン（Ｃ）、黄（Ｙ）およびマゼンダ（Ｍ）の光を透過するカラーフ
ィルタを用いてもよい。１つの画素２１１に３種類の異なる波長域の光を検出する副画素
２１２を設けることで、フルカラー画像を取得することができる。
【０５６３】
または、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の光を透過するカラーフィルタが
設けられた副画素２１２に加えて、黄（Ｙ）の光を透過するカラーフィルタが設けられた
副画素２１２を有する画素２１１を用いてもよい。または、それぞれシアン（Ｃ）、黄（
Ｙ）およびマゼンダ（Ｍ）の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素２１２に加
えて、青（Ｂ）の光を透過するカラーフィルタが設けられた副画素２１２を有する画素２
１１を用いてもよい。１つの画素２１１に４種類の異なる波長域の光を検出する副画素２
１２を設けることで、取得した画像の色の再現性をさらに高めることができる。
【０５６４】
また、例えば、図４０（Ａ）において、赤の波長域の光を検出する副画素２１２、緑の
波長域の光を検出する副画素２１２、および青の波長域の光を検出する副画素２１２の画
素数比（または受光面積比）は、１：１：１でなくても構わない。例えば、画素数比（受
光面積比）を赤：緑：青＝１：２：１とするＢａｙｅｒ配列としてもよい。または、画素
数比（受光面積比）を赤：緑：青＝１：６：１としてもよい。
【０５６５】
なお、画素２１１に設ける副画素２１２は１つでもよいが、２つ以上が好ましい。例え
ば、同じ波長域の光を検出する副画素２１２を２つ以上設けることで、冗長性を高め、撮
像装置２００の信頼性を高めることができる。
【０５６６】
また、可視光を吸収または反射して、赤外光を透過するＩＲ（ＩＲ：Ｉｎｆｒａｒｅｄ
）フィルタを用いることで、赤外光を検出する撮像装置２００を実現することができる。
【０５６７】
また、ＮＤ（ＮＤ：Ｎｅｕｔｒａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタ（減光フィルタ）を用
いることで、光電変換素子（受光素子）に大光量光が入射した時に生じる出力飽和するこ
とを防ぐことができる。減光量の異なるＮＤフィルタを組み合わせて用いることで、撮像
装置のダイナミックレンジを大きくすることができる。
【０５６８】
また、前述したフィルタ以外に、画素２１１にレンズを設けてもよい。ここで、図４１
の断面図を用いて、画素２１１、フィルタ２５４、レンズ２５５の配置例を説明する。レ
ンズ２５５を設けることで、光電変換素子が入射光を効率よく受光することができる。具
体的には、図４１（Ａ）に示すように、画素２１１に形成したレンズ２５５、フィルタ２
５４（フィルタ２５４Ｒ、フィルタ２５４Ｇおよびフィルタ２５４Ｂ）、および画素回路
２３０等を通して光２５６を光電変換素子２２０に入射させる構造とすることができる。
【０５６９】
ただし、二点鎖線で囲んだ領域に示すように、矢印で示す光２５６の一部が配線２５７
の一部によって遮光されてしまうことがある。したがって、図４１（Ｂ）に示すように光
電変換素子２２０側にレンズ２５５およびフィルタ２５４を配置して、光電変換素子２２
０が光２５６を効率良く受光させる構造が好ましい。光電変換素子２２０側から光２５６
を光電変換素子２２０に入射させることで、検出感度の高い撮像装置２００を提供するこ
とができる。
【０５７０】
図４１に示す光電変換素子２２０として、ｐｎ型接合またはｐｉｎ型の接合が形成され
た光電変換素子を用いてもよい。
【０５７１】
また、光電変換素子２２０を、放射線を吸収して電荷を発生させる機能を有する物質を
用いて形成してもよい。放射線を吸収して電荷を発生させる機能を有する物質としては、
セレン、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、ヒ化ガリウム、テルル化カドミウム、カドミウム亜鉛合
金等がある。
【０５７２】
例えば、光電変換素子２２０にセレンを用いると、可視光や、紫外光、赤外光に加えて
、Ｘ線や、ガンマ線といった幅広い波長域にわたって光吸収係数を有する光電変換素子２
２０を実現できる。
【０５７３】
ここで、撮像装置２００が有する１つの画素２１１は、図４０に示す副画素２１２に加
えて、第１のフィルタを有する副画素２１２を有してもよい。
【０５７４】
＜画素の構成例２＞
以下では、シリコンを用いたトランジスタと、酸化物半導体を用いたトランジスタと、
を用いて画素を構成する一例について説明する。
【０５７５】
図４２（Ａ）、図４２（Ｂ）は、撮像装置を構成する素子の断面図である。図４２（Ａ
）に示す撮像装置は、シリコン基板３００に設けられたシリコンを用いたトランジスタ３
５１、トランジスタ３５１上に積層して配置された酸化物半導体を用いたトランジスタ３
５２およびトランジスタ３５３、ならびにシリコン基板３００に設けられたフォトダイオ
ード３６０を含む。各トランジスタおよびフォトダイオード３６０は、種々のプラグ３７
０および配線３７１と電気的な接続を有する。また、フォトダイオード３６０のアノード
３６１は、低抵抗領域３６３を介してプラグ３７０と電気的に接続を有する。
【０５７６】
また撮像装置は、シリコン基板３００に設けられたトランジスタ３５１およびフォトダ
イオード３６０を有する層３１０と、層３１０と接して設けられ、配線３７１を有する層
３２０と、層３２０と接して設けられ、トランジスタ３５２およびトランジスタ３５３を
有する層３３０と、層３３０と接して設けられ、配線３７２および配線３７３を有する層
３４０を備えている。
【０５７７】
なお図４２（Ａ）の断面図の一例では、シリコン基板３００において、トランジスタ３
５１が形成された面とは逆側の面にフォトダイオード３６０の受光面を有する構成とする
。該構成とすることで、各種トランジスタや配線などの影響を受けずに光路を確保するこ
とができる。そのため、高開口率の画素を形成することができる。なお、フォトダイオー
ド３６０の受光面をトランジスタ３５１が形成された面と同じとすることもできる。
【０５７８】
なお、酸化物半導体を用いたトランジスタのみを用いて画素を構成する場合には、層３
１０を、酸化物半導体を用いたトランジスタを有する層とすればよい。または層３１０を
省略し、酸化物半導体を用いたトランジスタのみで画素を構成してもよい。
【０５７９】
なおシリコンを用いたトランジスタのみを用いて画素を構成する場合には、層３３０を
省略すればよい。層３３０を省略した断面図の一例を図４２（Ｂ）に示す。
【０５８０】
なお、シリコン基板３００は、ＳＯＩ基板であってもよい。また、シリコン基板３００
に替えて、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコン、ヒ化ガリウム、ヒ化ア
ルミニウムガリウム、リン化インジウム、窒化ガリウムまたは有機半導体を有する基板を
用いることもできる。
【０５８１】
ここで、トランジスタ３５１およびフォトダイオード３６０を有する層３１０と、トラ
ンジスタ３５２およびトランジスタ３５３を有する層３３０と、の間には絶縁体３８０が
設けられる。ただし、絶縁体３８０の位置は限定されない。
【０５８２】
トランジスタ３５１のチャネル形成領域近傍に設けられる絶縁体中の水素はシリコンの
ダングリングボンドを終端し、トランジスタ３５１の信頼性を向上させる効果がある。一
方、トランジスタ３５２およびトランジスタ３５３などの近傍に設けられる絶縁体中の水
素は、酸化物半導体中にキャリアを生成する要因の一つとなる。そのため、トランジスタ
３５２およびトランジスタ３５３などの信頼性を低下させる要因となる場合がある。した
がって、シリコン系半導体を用いたトランジスタの上層に酸化物半導体を用いたトランジ
スタを積層して設ける場合、これらの間に水素をブロックする機能を有する絶縁体３８０
を設けることが好ましい。絶縁体３８０より下層に水素を閉じ込めることで、トランジス
タ３５１の信頼性を向上させることができる。さらに、絶縁体３８０より下層から、絶縁
体３８０より上層に水素が拡散することを抑制できるため、トランジスタ３５２およびト
ランジスタ３５３などの信頼性を向上させることができる。
【０５８３】
絶縁体３８０としては、例えば、酸素または水素をブロックする機能を有する絶縁体を
用いる。
【０５８４】
また、図４２（Ａ）の断面図において、層３１０に設けるフォトダイオード３６０と、
層３３０に設けるトランジスタとを重なるように形成することができる。そうすると、画
素の集積度を高めることができる。すなわち、撮像装置の解像度を高めることができる。
【０５８５】
また、図４３（Ａ１）および図４３（Ｂ１）に示すように、撮像装置の一部または全部
を湾曲させてもよい。図４３（Ａ１）は、撮像装置を同図中の一点鎖線Ｘ１−Ｘ２の方向
に湾曲させた状態を示している。図４３（Ａ２）は、図４３（Ａ１）中の一点鎖線Ｘ１−
Ｘ２で示した部位の断面図である。図４３（Ａ３）は、図４３（Ａ１）中の一点鎖線Ｙ１
−Ｙ２で示した部位の断面図である。
【０５８６】
図４３（Ｂ１）は、撮像装置を同図中の一点鎖線Ｘ３−Ｘ４の方向に湾曲させ、かつ、
同図中の一点鎖線Ｙ３−Ｙ４の方向に湾曲させた状態を示している。図４３（Ｂ２）は、
図４３（Ｂ１）中の一点鎖線Ｘ３−Ｘ４で示した部位の断面図である。図４３（Ｂ３）は
、図４３（Ｂ１）中の一点鎖線Ｙ３−Ｙ４で示した部位の断面図である。
【０５８７】
撮像装置を湾曲させることで、像面湾曲や非点収差を低減することができる。よって、
撮像装置と組み合わせて用いるレンズなどの光学設計を容易とすることができる。例えば
、収差補正のためのレンズ枚数を低減できるため、撮像装置を用いた電子機器などの小型
化や軽量化を実現することができる。また、撮像された画像の品質を向上させる事ができ
る。
【０５８８】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いること
ができる。
【０５８９】
（実施の形態６）
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタや上述した記憶装置など
の半導体装置を含むＣＰＵの一例について説明する。
【０５９０】
＜ＣＰＵの構成＞
図４４は、上述したトランジスタを一部に用いたＣＰＵの一例の構成を示すブロック図
である。
【０５９１】
図４４に示すＣＰＵは、基板１１９０上に、ＡＬＵ１１９１（ＡＬＵ：Ａｒｉｔｈｍｅ
ｔｉｃ  ｌｏｇｉｃ  ｕｎｉｔ、演算回路）、ＡＬＵコントローラ１１９２、インストラ
クションデコーダ１１９３、インタラプトコントローラ１１９４、タイミングコントロー
ラ１１９５、レジスタ１１９６、レジスタコントローラ１１９７、バスインターフェース
１１９８、書き換え可能なＲＯＭ１１９９、およびＲＯＭインターフェース１１８９を有
している。基板１１９０は、半導体基板、ＳＯＩ基板、ガラス基板などを用いる。ＲＯＭ
１１９９およびＲＯＭインターフェース１１８９は、別チップに設けてもよい。もちろん
、図４４に示すＣＰＵは、その構成を簡略化して示した一例にすぎず、実際のＣＰＵはそ
の用途によって多種多様な構成を有している。例えば、図４４に示すＣＰＵまたは演算回
路を含む構成を一つのコアとし、当該コアを複数含み、それぞれのコアが並列で動作する
ような構成としてもよい。また、ＣＰＵが内部演算回路やデータバスで扱えるビット数は
、例えば８ビット、１６ビット、３２ビット、６４ビットなどとすることができる。
【０５９２】
バスインターフェース１１９８を介してＣＰＵに入力された命令は、インストラクショ
ンデコーダ１１９３に入力され、デコードされた後、ＡＬＵコントローラ１１９２、イン
タラプトコントローラ１１９４、レジスタコントローラ１１９７、タイミングコントロー
ラ１１９５に入力される。
【０５９３】
ＡＬＵコントローラ１１９２、インタラプトコントローラ１１９４、レジスタコントロ
ーラ１１９７、タイミングコントローラ１１９５は、デコードされた命令に基づき、各種
制御を行なう。具体的にＡＬＵコントローラ１１９２は、ＡＬＵ１１９１の動作を制御す
るための信号を生成する。また、インタラプトコントローラ１１９４は、ＣＰＵのプログ
ラム実行中に、外部の入出力装置や、周辺回路からの割り込み要求を、その優先度やマス
ク状態から判断し、処理する。レジスタコントローラ１１９７は、レジスタ１１９６のア
ドレスを生成し、ＣＰＵの状態に応じてレジスタ１１９６の読み出しや書き込みを行なう
。
【０５９４】
また、タイミングコントローラ１１９５は、ＡＬＵ１１９１、ＡＬＵコントローラ１１
９２、インストラクションデコーダ１１９３、インタラプトコントローラ１１９４、およ
びレジスタコントローラ１１９７の動作のタイミングを制御する信号を生成する。例えば
タイミングコントローラ１１９５は、基準クロック信号を元に、内部クロック信号を生成
する内部クロック生成部を備えており、内部クロック信号を上記各種回路に供給する。
【０５９５】
図４４に示すＣＰＵでは、レジスタ１１９６に、メモリセルが設けられている。レジス
タ１１９６のメモリセルとして、上述したトランジスタや記憶装置などを用いることがで
きる。
【０５９６】
図４４に示すＣＰＵにおいて、レジスタコントローラ１１９７は、ＡＬＵ１１９１から
の指示に従い、レジスタ１１９６における保持動作の選択を行う。即ち、レジスタ１１９
６が有するメモリセルにおいて、フリップフロップによるデータの保持を行うか、容量素
子によるデータの保持を行うかを、選択する。フリップフロップによるデータの保持が選
択されている場合、レジスタ１１９６内のメモリセルへの、電源電圧の供給が行われる。
容量素子におけるデータの保持が選択されている場合、容量素子へのデータの書き換えが
行われ、レジスタ１１９６内のメモリセルへの電源電圧の供給を停止することができる。
【０５９７】
図４５は、レジスタ１１９６として用いることのできる記憶素子１２００の回路図の一
例である。記憶素子１２００は、電源遮断で記憶データが揮発する回路１２０１と、電源
遮断で記憶データが揮発しない回路１２０２と、スイッチ１２０３と、スイッチ１２０４
と、論理素子１２０６と、容量素子１２０７と、選択機能を有する回路１２２０と、を有
する。回路１２０２は、容量素子１２０８と、トランジスタ１２０９と、トランジスタ１
２１０と、を有する。なお、記憶素子１２００は、必要に応じて、ダイオード、抵抗素子
、インダクタなどのその他の素子をさらに有していてもよい。
【０５９８】
ここで、回路１２０２には、上述した記憶装置を用いることができる。記憶素子１２０
０への電源電圧の供給が停止した際、回路１２０２のトランジスタ１２０９のゲートには
ＧＮＤ（０Ｖ）、またはトランジスタ１２０９がオフする電位が入力され続ける構成とす
る。例えば、トランジスタ１２０９のゲートが抵抗等の負荷を介して接地される構成とす
る。
【０５９９】
スイッチ１２０３は、一導電型（例えば、ｎチャネル型）のトランジスタ１２１３を用
いて構成され、スイッチ１２０４は、一導電型とは逆の導電型（例えば、ｐチャネル型）
のトランジスタ１２１４を用いて構成した例を示す。ここで、スイッチ１２０３の第１の
端子はトランジスタ１２１３のソースとドレインの一方に対応し、スイッチ１２０３の第
２の端子はトランジスタ１２１３のソースとドレインの他方に対応し、スイッチ１２０３
はトランジスタ１２１３のゲートに入力される制御信号ＲＤによって、第１の端子と第２
の端子の間の導通または非導通（つまり、トランジスタ１２１３の導通状態または非導通
状態）が選択される。スイッチ１２０４の第１の端子はトランジスタ１２１４のソースと
ドレインの一方に対応し、スイッチ１２０４の第２の端子はトランジスタ１２１４のソー
スとドレインの他方に対応し、スイッチ１２０４はトランジスタ１２１４のゲートに入力
される制御信号ＲＤによって、第１の端子と第２の端子の間の導通または非導通（つまり
、トランジスタ１２１４の導通状態または非導通状態）が選択される。
【０６００】
トランジスタ１２０９のソースとドレインの一方は、容量素子１２０８の一対の電極の
うちの一方、およびトランジスタ１２１０のゲートと電気的に接続される。ここで、接続
部分をノードＭ２とする。トランジスタ１２１０のソースとドレインの一方は、低電源電
位を供給することのできる配線（例えばＧＮＤ線）に電気的に接続され、他方は、スイッ
チ１２０３の第１の端子（トランジスタ１２１３のソースとドレインの一方）と電気的に
接続される。スイッチ１２０３の第２の端子（トランジスタ１２１３のソースとドレイン
の他方）はスイッチ１２０４の第１の端子（トランジスタ１２１４のソースとドレインの
一方）と電気的に接続される。スイッチ１２０４の第２の端子（トランジスタ１２１４の
ソースとドレインの他方）は電源電位ＶＤＤを供給することのできる配線と電気的に接続
される。スイッチ１２０３の第２の端子（トランジスタ１２１３のソースとドレインの他
方）と、スイッチ１２０４の第１の端子（トランジスタ１２１４のソースとドレインの一
方）と、論理素子１２０６の入力端子と、容量素子１２０７の一対の電極のうちの一方と
、は電気的に接続される。ここで、接続部分をノードＭ１とする。容量素子１２０７の一
対の電極のうちの他方は、一定の電位が入力される構成とすることができる。例えば、低
電源電位（ＧＮＤ等）または高電源電位（ＶＤＤ等）が入力される構成とすることができ
る。容量素子１２０７の一対の電極のうちの他方は、低電源電位を供給することのできる
配線（例えばＧＮＤ線）と電気的に接続される。容量素子１２０８の一対の電極のうちの
他方は、一定の電位が入力される構成とすることができる。例えば、低電源電位（ＧＮＤ
等）または高電源電位（ＶＤＤ等）が入力される構成とすることができる。容量素子１２
０８の一対の電極のうちの他方は、低電源電位を供給することのできる配線（例えばＧＮ
Ｄ線）と電気的に接続される。
【０６０１】
なお、容量素子１２０７および容量素子１２０８は、トランジスタや配線の寄生容量等
を積極的に利用することによって省略することも可能である。
【０６０２】
トランジスタ１２０９のゲートには、制御信号ＷＥが入力される。スイッチ１２０３お
よびスイッチ１２０４は、制御信号ＷＥとは異なる制御信号ＲＤによって第１の端子と第
２の端子の間の導通状態または非導通状態を選択され、一方のスイッチの第１の端子と第
２の端子の間が導通状態のとき他方のスイッチの第１の端子と第２の端子の間は非導通状
態となる。
【０６０３】
トランジスタ１２０９のソースとドレインの他方には、回路１２０１に保持されたデー
タに対応する信号が入力される。図４５では、回路１２０１から出力された信号が、トラ
ンジスタ１２０９のソースとドレインの他方に入力される例を示した。スイッチ１２０３
の第２の端子（トランジスタ１２１３のソースとドレインの他方）から出力される信号は
、論理素子１２０６によってその論理値が反転された反転信号となり、回路１２２０を介
して回路１２０１に入力される。
【０６０４】
なお、図４５では、スイッチ１２０３の第２の端子（トランジスタ１２１３のソースと
ドレインの他方）から出力される信号は、論理素子１２０６および回路１２２０を介して
回路１２０１に入力する例を示したがこれに限定されない。スイッチ１２０３の第２の端
子（トランジスタ１２１３のソースとドレインの他方）から出力される信号が、論理値を
反転させられることなく、回路１２０１に入力されてもよい。例えば、回路１２０１内に
、入力端子から入力された信号の論理値が反転した信号が保持されるノードが存在する場
合に、スイッチ１２０３の第２の端子（トランジスタ１２１３のソースとドレインの他方
）から出力される信号を当該ノードに入力することができる。
【０６０５】
また、図４５において、記憶素子１２００に用いられるトランジスタのうち、トランジ
スタ１２０９以外のトランジスタは、酸化物半導体以外の半導体でなる膜または基板１１
９０にチャネルが形成されるトランジスタとすることができる。例えば、シリコン膜また
はシリコン基板にチャネルが形成されるトランジスタとすることができる。また、記憶素
子１２００に用いられるトランジスタ全てを、チャネルが酸化物半導体で形成されるトラ
ンジスタとすることもできる。または、記憶素子１２００は、トランジスタ１２０９以外
にも、チャネルが酸化物半導体で形成されるトランジスタを含んでいてもよく、残りのト
ランジスタは酸化物半導体以外の半導体でなる層または基板１１９０にチャネルが形成さ
れるトランジスタとすることもできる。
【０６０６】
図４５における回路１２０１には、例えばフリップフロップ回路を用いることができる
。また、論理素子１２０６としては、例えばインバータやクロックドインバータ等を用い
ることができる。
【０６０７】
本発明の一態様に係る半導体装置では、記憶素子１２００に電源電圧が供給されない間
は、回路１２０１に記憶されていたデータを、回路１２０２に設けられた容量素子１２０
８によって保持することができる。
【０６０８】
また、酸化物半導体にチャネルが形成されるトランジスタはオフ電流が極めて小さい。
例えば、酸化物半導体にチャネルが形成されるトランジスタのオフ電流は、結晶性を有す
るシリコンにチャネルが形成されるトランジスタのオフ電流に比べて著しく低い。そのた
め、当該トランジスタをトランジスタ１２０９として用いることによって、記憶素子１２
００に電源電圧が供給されない間も容量素子１２０８に保持された信号は長期間にわたり
保たれる。こうして、記憶素子１２００は電源電圧の供給が停止した間も記憶内容（デー
タ）を保持することが可能である。
【０６０９】
また、スイッチ１２０３およびスイッチ１２０４を設けることによって、プリチャージ
動作を行うことを特徴とする記憶素子であるため、電源電圧供給再開後に、回路１２０１
が元のデータを保持しなおすまでの時間を短くすることができる。
【０６１０】
また、回路１２０２において、容量素子１２０８によって保持された信号はトランジス
タ１２１０のゲートに入力される。そのため、記憶素子１２００への電源電圧の供給が再
開された後、容量素子１２０８によって保持された信号を、トランジスタ１２１０の状態
（導通状態、または非導通状態）に変換して、回路１２０２から読み出すことができる。
それ故、容量素子１２０８に保持された信号に対応する電位が多少変動していても、元の
信号を正確に読み出すことが可能である。
【０６１１】
このような記憶素子１２００を、プロセッサが有するレジスタやキャッシュメモリなど
の記憶装置に用いることで、電源電圧の供給停止による記憶装置内のデータの消失を防ぐ
ことができる。また、電源電圧の供給を再開した後、短時間で電源供給停止前の状態に復
帰することができる。よって、プロセッサ全体、もしくはプロセッサを構成する一つ、ま
たは複数の論理回路において、短い時間でも電源停止を行うことができるため、消費電力
を抑えることができる。
【０６１２】
記憶素子１２００をＣＰＵに用いる例として説明したが、記憶素子１２００は、ＤＳＰ
（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、カスタムＬＳＩ等のＬＳＩ、
ＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）デバイスにも応用可能である。また、ＦＰＧＡ
（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）やＣＰＬＤ（Ｃｏｍ
ｐｌｅｘ  ＰＬＤ）などのプログラマブル論理回路（ＰＬＤ：Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ
Ｌｏｇｉｃ  Ｄｅｖｉｃｅ）等のＬＳＩにも応用可能である。
【０６１３】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いること
ができる。
【０６１４】
（実施の形態７）
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した表示装置
について、図４６および図４７を用いて説明する。
【０６１５】
＜表示装置の構成＞
表示装置に用いられる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう。）、発光素
子（発光表示素子ともいう。）などを用いることができる。発光素子は、電流または電圧
によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃ
ｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、有機ＥＬなどを含む。以下では、表示装置の一例と
してＥＬ素子を用いた表示装置（ＥＬ表示装置）および液晶素子を用いた表示装置（液晶
表示装置）について説明する。
【０６１６】
なお、以下に示す表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルに
コントローラを含むＩＣなどを実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０６１７】
また、以下に示す表示装置は画像表示デバイス、または光源（照明装置含む）を指す。
また、コネクター、例えばＦＰＣ、ＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＣＰの先にプ
リント配線板を有するモジュールまたは表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が
直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０６１８】
図４６は、本発明の一態様に係るＥＬ表示装置の一例である。図４６（Ａ）に、ＥＬ表
示装置の画素の回路図を示す。図４６（Ｂ）は、ＥＬ表示装置全体を示す上面図である。
また、図４６（Ｃ）は、図４６（Ｂ）の一点鎖線Ｍ−Ｎの一部に対応するＭ−Ｎ断面であ
る。
【０６１９】
図４６（Ａ）は、ＥＬ表示装置に用いられる画素の回路図の一例である。
【０６２０】
なお、本明細書等においては、能動素子（トランジスタ、ダイオードなど）、受動素子
（容量素子、抵抗素子など）などが有するすべての端子について、その接続先を特定しな
くても、当業者であれば、発明の一態様を構成することは可能な場合がある。つまり、接
続先を特定しなくても、発明の一態様が明確であるといえる。そして、接続先が特定され
た内容が、本明細書等に記載されている場合、接続先を特定しない発明の一態様が、本明
細書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。特に、端子の接続先として
複数の箇所が想定される場合には、その端子の接続先を特定の箇所に限定する必要はない
。したがって、能動素子（トランジスタ、ダイオードなど）、受動素子（容量素子、抵抗
素子など）などが有する一部の端子についてのみ、その接続先を特定することによって、
発明の一態様を構成することが可能な場合がある。
【０６２１】
なお、本明細書等においては、ある回路について、少なくとも接続先を特定すれば、当
業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。または、ある回路について、少
なくとも機能を特定すれば、当業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。
つまり、機能を特定すれば、発明の一態様が明確であるといえる。そして、機能が特定さ
れた発明の一態様が、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。
したがって、ある回路について、機能を特定しなくても、接続先を特定すれば、発明の一
態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。また
は、ある回路について、接続先を特定しなくても、機能を特定すれば、発明の一態様とし
て開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【０６２２】
図４６（Ａ）に示すＥＬ表示装置は、スイッチ素子７４３と、トランジスタ７４１と、
容量素子７４２と、発光素子７１９と、を有する。
【０６２３】
なお、図４６（Ａ）などは、回路構成の一例であるため、さらに、トランジスタを追加
することが可能である。逆に、図４６（Ａ）の各ノードにおいて、トランジスタ、スイッ
チ、受動素子などを追加しないようにすることも可能である。
【０６２４】
トランジスタ７４１のゲートはスイッチ素子７４３の一端および容量素子７４２の一方
の電極と電気的に接続される。トランジスタ７４１のソースは容量素子７４２の他方の電
極と電気的に接続され、発光素子７１９の一方の電極と電気的に接続される。トランジス
タ７４１のドレインは電源電位ＶＤＤが与えられる。スイッチ素子７４３の他端は信号線
７４４と電気的に接続される。発光素子７１９の他方の電極は定電位が与えられる。なお
、定電位は接地電位ＧＮＤまたはそれより小さい電位とする。
【０６２５】
スイッチ素子７４３としては、トランジスタを用いると好ましい。トランジスタを用い
ることで、画素の面積を小さくでき、解像度の高いＥＬ表示装置とすることができる。ま
た、スイッチ素子７４３として、トランジスタ７４１と同一工程を経て作製されたトラン
ジスタを用いると、ＥＬ表示装置の生産性を高めることができる。なお、トランジスタ７
４１または／およびスイッチ素子７４３としては、例えば、上述したトランジスタを適用
することができる。
【０６２６】
図４６（Ｂ）は、ＥＬ表示装置の上面図である。ＥＬ表示装置は、基板７００と、基板
７５０と、シール材７３４と、駆動回路７３５と、駆動回路７３６と、画素７３７と、Ｆ
ＰＣ７３２と、を有する。シール材７３４は、画素７３７、駆動回路７３５および駆動回
路７３６を囲むように基板７００と基板７５０との間に配置される。なお、駆動回路７３
５または／および駆動回路７３６をシール材７３４の外側に配置しても構わない。
【０６２７】
図４６（Ｃ）は、図４６（Ｂ）の一点鎖線Ｍ−Ｎの一部に対応するＥＬ表示装置の断面
図である。
【０６２８】
図４６（Ｃ）には、トランジスタ７４１として、基板７００上の導電体７０４ａと、導
電体７０４ａ上の絶縁体７１２ａと、絶縁体７１２ａ上の絶縁体７１２ｂと、絶縁体７１
２ｂ上にあり導電体７０４ａと重なる半導体７０６ａおよび半導体７０６ｂと、半導体７
０６ａおよび半導体７０６ｂと接する導電体７１６ａおよび導電体７１６ｂと、半導体７
０６ｂ上、導電体７１６ａ上および導電体７１６ｂ上の絶縁体７１８ａと、絶縁体７１８
ａ上の絶縁体７１８ｂと、絶縁体７１８ｂ上の絶縁体７１８ｃと、絶縁体７１８ｃ上にあ
り半導体７０６ｂと重なる導電体７１４ａと、を有する構造を示す。なお、トランジスタ
７４１の構造は一例であり、図４６（Ｃ）に示す構造と異なる構造であっても構わない。
【０６２９】
したがって、図４６（Ｃ）に示すトランジスタ７４１において、導電体７０４ａはゲー
ト電極としての機能を有し、絶縁体７１２ａおよび絶縁体７１２ｂはゲート絶縁体として
の機能を有し、導電体７１６ａはソース電極としての機能を有し、導電体７１６ｂはドレ
イン電極としての機能を有し、絶縁体７１８ａ、絶縁体７１８ｂおよび絶縁体７１８ｃは
ゲート絶縁体としての機能を有し、導電体７１４ａはゲート電極としての機能を有する。
なお、半導体７０６ａ、７０６ｂは、光が当たることで電気特性が変動する場合がある。
したがって、導電体７０４ａ、導電体７１６ａ、導電体７１６ｂ、導電体７１４ａのいず
れか一以上が遮光性を有すると好ましい。
【０６３０】
なお、絶縁体７１８ａおよび絶縁体７１８ｂの界面を破線で表したが、これは両者の境
界が明確でない場合があることを示す。例えば、絶縁体７１８ａおよび絶縁体７１８ｂと
して、同種の絶縁体を用いた場合、観察手法によっては両者の区別が付かない場合がある
。
【０６３１】
図４６（Ｃ）には、容量素子７４２として、基板上の導電体７０４ｂと、導電体７０４
ｂ上の絶縁体７１２ａと、絶縁体７１２ａ上の絶縁体７１２ｂと、絶縁体７１２ｂ上にあ
り導電体７０４ｂと重なる導電体７１６ａと、導電体７１６ａ上の絶縁体７１８ａと、絶
縁体７１８ａ上の絶縁体７１８ｂと、絶縁体７１８ｂ上の絶縁体７１８ｃと、絶縁体７１
８ｃ上にあり導電体７１６ａと重なる導電体７１４ｂと、を有し、導電体７１６ａおよび
導電体７１４ｂの重なる領域で、絶縁体７１８ａおよび絶縁体７１８ｂの一部が除去され
ている構造を示す。
【０６３２】
容量素子７４２において、導電体７０４ｂおよび導電体７１４ｂは一方の電極として機
能し、導電体７１６ａは他方の電極として機能する。
【０６３３】
したがって、容量素子７４２は、トランジスタ７４１と共通する膜を用いて作製するこ
とができる。また、導電体７０４ａおよび導電体７０４ｂを同種の導電体とすると好まし
い。その場合、導電体７０４ａおよび導電体７０４ｂは、同一工程を経て形成することが
できる。また、導電体７１４ａおよび導電体７１４ｂを同種の導電体とすると好ましい。
その場合、導電体７１４ａおよび導電体７１４ｂは、同一工程を経て形成することができ
る。
【０６３４】
図４６（Ｃ）に示す容量素子７４２は、占有面積当たりの容量が大きい容量素子である
。したがって、図４６（Ｃ）は表示品位の高いＥＬ表示装置である。なお、図４６（Ｃ）
に示す容量素子７４２は、導電体７１６ａおよび導電体７１４ｂの重なる領域を薄くする
ため、絶縁体７１８ａおよび絶縁体７１８ｂの一部が除去された構造を有するが、本発明
の一態様に係る容量素子はこれに限定されるものではない。例えば、導電体７１６ａおよ
び導電体７１４ｂの重なる領域を薄くするため、絶縁体７１８ｃの一部が除去された構造
を有しても構わない。
【０６３５】
トランジスタ７４１および容量素子７４２上には、絶縁体７２０が配置される。ここで
、絶縁体７２０は、トランジスタ７４１のソース電極として機能する導電体７１６ａに達
する開口部を有してもよい。絶縁体７２０上には、導電体７８１が配置される。導電体７
８１は、絶縁体７２０の開口部を介してトランジスタ７４１と電気的に接続してもよい。
【０６３６】
導電体７８１上には、導電体７８１に達する開口部を有する隔壁７８４が配置される。
隔壁７８４上には、隔壁７８４の開口部で導電体７８１と接する発光層７８２が配置され
る。発光層７８２上には、導電体７８３が配置される。導電体７８１、発光層７８２およ
び導電体７８３の重なる領域が、発光素子７１９となる。
【０６３７】
ここまでは、ＥＬ表示装置の例について説明した。次に、液晶表示装置の例について説
明する。
【０６３８】
図４７（Ａ）は、液晶表示装置の画素の構成例を示す回路図である。図４７に示す画素
は、トランジスタ７５１と、容量素子７５２と、一対の電極間に液晶の充填された素子（
液晶素子）７５３とを有する。
【０６３９】
トランジスタ７５１では、ソース、ドレインの一方が信号線７５５に電気的に接続され
、ゲートが走査線７５４に電気的に接続されている。
【０６４０】
容量素子７５２では、一方の電極がトランジスタ７５１のソース、ドレインの他方に電
気的に接続され、他方の電極が共通電位を供給する配線に電気的に接続されている。
【０６４１】
液晶素子７５３では、一方の電極がトランジスタ７５１のソース、ドレインの他方に電
気的に接続され、他方の電極が共通電位を供給する配線に電気的に接続されている。なお
、上述した容量素子７５２の他方の電極が電気的に接続する配線に与えられる共通電位と
、液晶素子７５３の他方の電極に与えられる共通電位とが異なる電位であってもよい。
【０６４２】
なお、液晶表示装置も、上面図はＥＬ表示装置と同様として説明する。図４６（Ｂ）の
一点鎖線Ｍ−Ｎに対応する液晶表示装置の断面図を図４７（Ｂ）に示す。図４７（Ｂ）に
おいて、ＦＰＣ７３２は、端子７３１を介して配線７３３ａと接続される。なお、配線７
３３ａは、トランジスタ７５１を構成する導電体または半導体のいずれかと同種の導電体
または半導体を用いてもよい。
【０６４３】
トランジスタ７５１は、トランジスタ７４１についての記載を参照する。また、容量素
子７５２は、容量素子７４２についての記載を参照する。なお、図４７（Ｂ）には、図４
６（Ｃ）の容量素子７４２に対応した容量素子７５２の構造を示したが、これに限定され
ない。
【０６４４】
なお、トランジスタ７５１の半導体に酸化物半導体を用いた場合、極めてオフ電流の小
さいトランジスタとすることができる。したがって、容量素子７５２に保持された電荷が
リークしにくく、長期間に渡って液晶素子７５３に印加される電圧を維持することができ
る。そのため、動きの少ない動画や静止画の表示の際に、トランジスタ７５１をオフ状態
とすることで、トランジスタ７５１の動作のための電力が不要となり、消費電力の小さい
液晶表示装置とすることができる。また、容量素子７５２の占有面積を小さくできるため
、開口率の高い液晶表示装置、または高精細化した液晶表示装置を提供することができる
。
【０６４５】
トランジスタ７５１および容量素子７５２上には、絶縁体７２１が配置される。ここで
、絶縁体７２１は、トランジスタ７５１に達する開口部を有する。絶縁体７２１上には、
導電体７９１が配置される。導電体７９１は、絶縁体７２１の開口部を介してトランジス
タ７５１と電気的に接続する。
【０６４６】
導電体７９１上には、配向膜として機能する絶縁体７９２が配置される。絶縁体７９２
上には、液晶層７９３が配置される。液晶層７９３上には、配向膜として機能する絶縁体
７９４が配置される。絶縁体７９４上には、スペーサ７９５が配置される。スペーサ７９
５および絶縁体７９４上には、導電体７９６が配置される。導電体７９６上には、基板７
９７が配置される。
【０６４７】
なお、液晶の駆動方式としては、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、Ｓ
ＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎ
ｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉ
ｎｇ）モード、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅ
ｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）
モード、ＡＳＶ（Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｓｕｐｅｒ  Ｖｉｅｗ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａ
ｌｌｙ  Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ  ａｌｉｇｎｅｄ  Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ
（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード
、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎ
ｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）
モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａ
ｌ）モード、ＰＤＬＣ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓ
ｔａｌ）モード、ゲストホストモード、ブルー相（Ｂｌｕｅ  Ｐｈａｓｅ）モードなどを
用いることができる。ただし、これに限定されず、駆動方法として様々なものを用いるこ
とができる。
【０６４８】
上述した構造を有することで、占有面積の小さい容量素子を有する表示装置を提供する
ことができる、または、表示品位の高い表示装置を提供することができる。または、高精
細の表示装置を提供することができる。
【０６４９】
例えば、本明細書等において、表示素子、表示素子を有する装置である表示装置、発光
素子、および発光素子を有する装置である発光装置は、様々な形態を用いること、または
様々な素子を有することができる。表示素子、表示装置、発光素子または発光装置は、例
えば、白色、赤色、緑色または青色などの発光ダイオード（ＬＥＤ：Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉ
ｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）、トランジスタ（電流に応じて発光するトランジスタ）、電子
放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ（ＧＬＶ
）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、ＭＥＭＳ（マイクロ・エレクトロ・メカニ
カル・システム）を用いた表示素子、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）、ＤＭ
Ｓ（デジタル・マイクロ・シャッター）、ＩＭＯＤ（インターフェアレンス・モジュレー
ション）素子、シャッター方式のＭＥＭＳ表示素子、光干渉方式のＭＥＭＳ表示素子、エ
レクトロウェッティング素子、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブを用
いた表示素子などの少なくとも一つを有している。これらの他にも、電気的または磁気的
作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有していて
も良い。
【０６５０】
ＥＬ素子を用いた表示装置の一例としては、ＥＬディスプレイなどがある。電子放出素
子を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）ま
たはＳＥＤ方式平面型ディスプレイ（ＳＥＤ：Ｓｕｒｆａｃｅ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  
Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などがある。液晶素子を用いた表
示装置の一例としては、液晶ディスプレイ（透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディ
スプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ
）などがある。電子インクまたは電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペ
ーパーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現す
る場合には、画素電極の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにす
ればよい。例えば、画素電極の一部または全部が、アルミニウム、銀、などを有するよう
にすればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、ＳＲＡＭなどの記憶回路を設けるこ
とも可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
【０６５１】
なお、ＬＥＤを用いる場合、ＬＥＤの電極や窒化物半導体の下に、グラフェンやグラフ
ァイトを配置してもよい。グラフェンやグラファイトは、複数の層を重ねて、多層膜とし
てもよい。このように、グラフェンやグラファイトを設けることにより、その上に、窒化
物半導体、例えば、結晶を有するｎ型ＧａＮ半導体などを容易に成膜することができる。
さらに、その上に、結晶を有するｐ型ＧａＮ半導体などを設けて、ＬＥＤを構成すること
ができる。なお、グラフェンやグラファイトと、結晶を有するｎ型ＧａＮ半導体との間に
、ＡｌＮ層を設けてもよい。なお、ＬＥＤが有するＧａＮ半導体は、ＭＯＣＶＤで成膜し
てもよい。ただし、グラフェンを設けることにより、ＬＥＤが有するＧａＮ半導体は、ス
パッタリング法で成膜することも可能である。
【０６５２】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いること
ができる。
【０６５３】
（実施の形態８）
本実施の形態においては、本発明の一態様に係るトランジスタなどを利用した電子機器
について説明する。
【０６５４】
＜電子機器＞
本発明の一態様に係る半導体装置は、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を
備えた画像再生装置（代表的にはＤＶＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓ
ｃ等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置）に用いるこ
とができる。その他に、本発明の一態様に係る半導体装置を用いることができる電子機器
として、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯データ端末、電子書籍端末、ビデオカメ
ラ、デジタルスチルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ（ヘッドマウントディス
プレイ）、ナビゲーションシステム、音響再生装置（カーオーディオ、デジタルオーディ
オプレイヤー等）、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入
れ払い機（ＡＴＭ）、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図４８に
示す。
【０６５５】
図４８（Ａ）は携帯型ゲーム機であり、筐体９０１、筐体９０２、表示部９０３、表示
部９０４、マイクロフォン９０５、スピーカー９０６、操作キー９０７、スタイラス９０
８等を有する。なお、図４８（Ａ）に示した携帯型ゲーム機は、２つの表示部９０３と表
示部９０４とを有しているが、携帯型ゲーム機が有する表示部の数は、これに限定されな
い。
【０６５６】
図４８（Ｂ）は携帯データ端末であり、第１筐体９１１、第２筐体９１２、第１表示部
９１３、第２表示部９１４、接続部９１５、操作キー９１６等を有する。第１表示部９１
３は第１筐体９１１に設けられており、第２表示部９１４は第２筐体９１２に設けられて
いる。そして、第１筐体９１１と第２筐体９１２とは、接続部９１５により接続されてお
り、第１筐体９１１と第２筐体９１２の間の角度は、接続部９１５により変更が可能であ
る。第１表示部９１３における映像を、接続部９１５における第１筐体９１１と第２筐体
９１２との間の角度にしたがって、切り替える構成としてもよい。また、第１表示部９１
３および第２表示部９１４の少なくとも一方に、位置入力装置としての機能が付加された
表示装置を用いるようにしてもよい。なお、位置入力装置としての機能は、表示装置にタ
ッチパネルを設けることで付加することができる。または、位置入力装置としての機能は
、フォトセンサとも呼ばれる光電変換素子を表示装置の画素部に設けることでも、付加す
ることができる。
【０６５７】
図４８（Ｃ）はノート型パーソナルコンピュータであり、筐体９２１、表示部９２２、
キーボード９２３、ポインティングデバイス９２４等を有する。
【０６５８】
図４８（Ｄ）は電気冷凍冷蔵庫であり、筐体９３１、冷蔵室用扉９３２、冷凍室用扉９
３３等を有する。
【０６５９】
図４８（Ｅ）はビデオカメラであり、第１筐体９４１、第２筐体９４２、表示部９４３
、操作キー９４４、レンズ９４５、接続部９４６等を有する。操作キー９４４およびレン
ズ９４５は第１筐体９４１に設けられており、表示部９４３は第２筐体９４２に設けられ
ている。そして、第１筐体９４１と第２筐体９４２とは、接続部９４６により接続されて
おり、第１筐体９４１と第２筐体９４２の間の角度は、接続部９４６により変更が可能で
ある。表示部９４３における映像を、接続部９４６における第１筐体９４１と第２筐体９
４２との間の角度にしたがって切り替える構成としてもよい。
【０６６０】
図４８（Ｆ）は自動車であり、車体９５１、車輪９５２、ダッシュボード９５３、ライ
ト９５４等を有する。
【０６６１】
本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いること
ができる。
【０６６２】
なお、以上の実施の形態において、本発明の一態様について述べた。ただし、本発明の
一態様は、これらに限定されない。つまり、本実施の形態などでは、様々な発明の態様が
記載されているため、本発明の一態様は、特定の態様に限定されない。例えば、本発明の
一態様として、トランジスタのチャネル形成領域、ソースドレイン領域などが、酸化物半
導体を有する場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。場合によっ
ては、または、状況に応じて、本発明の一態様における様々なトランジスタ、トランジス
タのチャネル形成領域、または、トランジスタのソースドレイン領域などは、様々な半導
体を有していてもよい。場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一態様におけ
る様々なトランジスタ、トランジスタのチャネル形成領域、または、トランジスタのソー
スドレイン領域などは、例えば、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化
シリコン、ガリウムヒ素、アルミニウムガリウムヒ素、インジウムリン、窒化ガリウム、
または、有機半導体などの少なくとも一つを有していてもよい。または例えば、場合によ
っては、または、状況に応じて、本発明の一態様における様々なトランジスタ、トランジ
スタのチャネル形成領域、または、トランジスタのソースドレイン領域などは、酸化物半
導体を有していなくてもよい。
【実施例１】
【０６６３】
本実施例では、ＲＦスパッタリング法で成膜した酸化アルミニウム膜のＴＤＳの分析結
果について説明する。ＴＤＳ評価に用いた試料は、酸化アルミニウム膜を成膜していない
試料１Ａと、酸化アルミニウム膜をＲＦスパッタリング法で成膜した試料１Ｂと、酸化ア
ルミニウム膜をＲＦスパッタリング法で成膜し、その後酸化アルミニウム膜を除去した試
料１Ｃと、酸化アルミニウム膜をＲＦスパッタリング法で成膜し、さらに酸素雰囲気下で
熱処理を行った後で酸化アルミニウム膜を除去した試料１Ｄである。また、酸化アルミニ
ウム膜の成膜をＲＦスパッタリング法ではなく、ＡＬＤ法で行った試料１Ｅと試料１Ｆを
作製した。試料１Ｅ及び試料１Ｆは、酸化アルミニウム膜の成膜方法がＡＬＤ法であると
いう点で、試料１Ｃ及び試料１Ｄと異なるが、それ以外の作製方法は、試料１Ｃ及び試料
１Ｄと同じである。
【０６６４】
まず、シリコンウェハを熱酸化し、シリコンウェハ表面に１００ｎｍの酸化シリコン膜
を形成した。熱酸化の条件は９５０℃で４時間とし、熱酸化の雰囲気は、３体積％ＨＣｌ
を含む酸素雰囲気とした。
【０６６５】
次に、試料１Ｂ乃至１Ｄにおいて、酸化シリコン膜上に、ＲＦスパッタリング法を用い
て２０ｎｍの酸化アルミニウム膜を成膜した。なお、ターゲットは酸化アルミニウム（Ａ
ｌ２Ｏ３）とし、成膜ガスは酸素流量を２５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を２５ｓｃｃｍ（Ｏ
２＝５０体積％、Ａｒ＝５０体積％）とし、成膜圧力を０．４Ｐａとし、成膜電力を２５
００Ｗとし、基板温度を２５０℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。
【０６６６】
また、試料１Ｅ及び１Ｆにおいて、酸化シリコン膜上に、ＡＬＤ法を用いて２０ｎｍの
酸化アルミニウム膜を成膜した。なお、プリカーサとしてＴＭＡ（Ｔｒｉｍｅｔｈｙｌ  
Ａｌｕｍｉｎｕｍ）を用い、酸化剤としてオゾンを用い、基板温度を２５０℃として成膜
した。
【０６６７】
次に、試料１Ｄ及び試料１Ｆに、酸素雰囲気下で４００℃１時間の加熱処理を行った。
【０６６８】
次に、試料１Ｃ乃至試料１Ｆにおいて、８５℃でウェットエッチングを行って酸化アル
ミニウム膜を除去した。ウェットエッチングには、和光純薬工業株式会社製の混酸アルミ
液（２．０重量％の硝酸と、９．８重量％の酢酸と、７２．３重量％のリン酸と、を含有
する水溶液）を用いた。
【０６６９】
以上のようにして作製した試料１Ａ乃至試料１Ｆに、ＴＤＳ分析を行った結果を図４９
（Ａ）乃至（Ｆ）に示す。図４９（Ａ）乃至（Ｆ）で横軸はＳｕｂ．Ｔｅｍｐ．（基板温
度）［℃］をとり、縦軸は質量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量に比例するｉｎｔｅｎｓｉｔ
ｙ（電流強度）［Ａ］をとる。なお、当該ＴＤＳ分析においては、酸素分子に相当する質
量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量を測定した。また、ＴＤＳ測定は、電子科学株式会社製昇
温脱離分析装置（ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ／Ｗ）を用いた。
【０６７０】
図４９（Ａ）、図４９（Ｂ）に示すように、酸化アルミニウム膜を成膜しなかった試料
１Ａと、酸化アルミニウム膜を成膜したまま除去しなかった試料１Ｂでは、酸素分子はほ
とんど放出されなかった。これに対して、酸化アルミニウム膜を成膜して除去した試料１
Ｃ及び試料１Ｄでは、明確な酸素分子の放出が見られた。試料１Ｃの酸素分子放出量は２
．２×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料１Ｄの酸素分子放出量は１．３
×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となった。また、酸化アルミニウム膜の成膜をＡ
ＬＤ法でおこなった試料１Ｅ及び試料１Ｆでも酸素分子がほとんど放出されなかった。
【０６７１】
試料１Ａと試料１ＣのＴＤＳ分析の結果を比較すると、酸化シリコン膜上に酸化アルミ
ニウム膜をスパッタリング法で成膜することで、酸化シリコン膜に酸素を添加できること
が分かる。また、試料１Ｂと試料１ＣのＴＤＳ分析の結果を比較すると、酸化アルミニウ
ム膜によって、酸化シリコン膜に添加された酸素の外方拡散が防がれている、言い換える
と、酸化アルミニウム膜が酸素をブロックする機能があることが分かる。
【０６７２】
試料１Ｃと試料１Ｄから、酸化シリコン膜中に酸素が添加されており、上述の実施の形
態で示したように酸化アルミニウム膜と接する酸化シリコン膜において、ＴＤＳ分析にて
、酸素分子の脱離量が１．０×１０１４ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以上１．０×１０１
６ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以下、さらに、１．０×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃ
ｍ２以上５．０×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２以下となることが示唆される。
【０６７３】
また、酸化アルミニウム膜の成膜後、酸素雰囲気下４００℃で加熱処理を行った試料１
Ｄでも酸素分子の放出が見られたことから、熱処理を行っても酸化アルミニウム膜によっ
て酸素の外方拡散がブロックされることが分かった。
【０６７４】
また、試料１Ｅで酸素分子の放出がほとんどみられなかったことから、ＡＬＤ法で酸化
アルミニウム膜の成膜を行っても、原理的に酸化シリコン膜に酸素は添加されないと推測
される。さらに、試料１ＦよりＡＬＤ法で酸化アルミニウム膜の成膜を行った後で、加熱
処理を行った場合も同様であった。
【０６７５】
このことから、酸化アルミニウム膜を成膜して酸化シリコン膜中に酸素を添加するには
、プラズマを用いて成膜を行うことが好ましく、特にスパッタリング法を用いて成膜を行
うことが好ましいと思われる。
【実施例２】
【０６７６】
本実施例では、ＲＦスパッタリング法で酸化アルミニウム膜を成膜する際の酸素の体積
分率（酸素流量）に対する酸素添加量の依存性について、ＴＤＳ分析を用いて調査した。
本実施例では、試料２Ａ乃至試料２Ｇの計７サンプルを作製した。それぞれの酸素の体積
分率を０体積％、４体積％、１０体積％、２０体積％、５０体積％、８０体積％、１００
体積％として酸化アルミニウム膜を成膜した。
【０６７７】
以下に、試料２Ａ乃至試料２Ｇの作製方法について説明する。
【０６７８】
まず、シリコンウェハを熱酸化し、シリコンウェハ表面に１００ｎｍの酸化シリコン膜
を形成した。熱酸化の条件は９５０℃で４時間とし、熱酸化の雰囲気は、３体積％ＨＣｌ
を含む酸素雰囲気とした。
【０６７９】
次に、酸化シリコン膜上に、ＲＦスパッタリング法を用いて７０ｎｍの酸化アルミニウ
ム膜を成膜した。なお、ターゲットは酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）とし、成膜圧力を
０．４Ｐａとし、成膜電力を２５００Ｗとし、基板温度を２５０℃とし、ターゲット−基
板間距離を６０ｍｍとした。成膜ガスの流量については、試料２Ａでは、酸素流量を０ｓ
ｃｃｍ、アルゴン流量を５０ｓｃｃｍ（Ｏ２＝０体積％、Ａｒ＝１００体積％）とし、試
料２Ｂでは、酸素流量を２ｓｃｃｍ、アルゴン流量を４８ｓｃｃｍ（Ｏ２＝４体積％、Ａ
ｒ＝９６体積％）とし、試料２Ｃでは、酸素流量を５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を４５ｓｃ
ｃｍ（Ｏ２＝１０体積％、Ａｒ＝９０体積％）とし、試料２Ｄでは、酸素流量を１０ｓｃ
ｃｍ、アルゴン流量を４０ｓｃｃｍ（Ｏ２＝２０体積％、Ａｒ＝８０体積％）とし、試料
２Ｅでは、酸素流量を２５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を２５ｓｃｃｍ（Ｏ２＝５０体積％、
Ａｒ＝５０体積％）とし、試料２Ｆでは、酸素流量を４０ｓｃｃｍ、アルゴン流量を１０
ｓｃｃｍ（Ｏ２＝８０体積％、Ａｒ＝２０体積％）とし、試料２Ｇでは、酸素流量を５０
ｓｃｃｍ、アルゴン流量を０ｓｃｃｍ（Ｏ２＝１００体積％、Ａｒ＝０体積％）とした。
【０６８０】
次に、８５℃でウェットエッチングを行って酸化アルミニウム膜を除去した。ウェット
エッチングには、和光純薬工業株式会社製の混酸アルミ液（２．０重量％の硝酸と、９．
８重量％の酢酸と、７２．３重量％のリン酸と、を含有する水溶液）を用いた。
【０６８１】
以上のようにして作製した試料２Ａ乃至試料２Ｇに、ＴＤＳ分析を行った結果を図５０
（Ａ）乃至（Ｇ）に示す。図５０（Ａ）乃至（Ｇ）で横軸はＳｕｂ．Ｔｅｍｐ．（基板温
度）［℃］をとり、縦軸は質量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量に比例するｉｎｔｅｎｓｉｔ
ｙ（電流強度）［Ａ］をとる。なお、当該ＴＤＳ分析においては、酸素分子に相当する質
量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量を測定した。また、ＴＤＳ測定は、電子科学株式会社製昇
温脱離分析装置（ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ／Ｗ）を用いた。
【０６８２】
図５０（Ａ）乃至（Ｇ）より、試料２Ａではほぼ酸素分子の放出が見られなかったが、
試料２Ｂ乃至試料２Ｇでは酸素分子の放出が見られた。試料２Ｂの酸素分子放出量は８．
１×１０１４ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料２Ｃの酸素分子放出量は１．３×
１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料２Ｄの酸素分子放出量は１．８×１０
１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料２Ｅの酸素分子放出量は１．９×１０１５
ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料２Ｆの酸素分子放出量は２．２×１０１５ｍｏ
ｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料２Ｇの酸素分子放出量は２．１×１０１５ｍｏｌｅ
ｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となった。
【０６８３】
試料２Ａ乃至試料２ＧのＴＤＳ分析の結果を比較すると、酸化アルミニウム膜成膜時の
酸素の体積分率が高くなるほど、酸化シリコン膜に添加される酸素量が増加する傾向が見
られた。さらに、酸素の体積分率が２０体積％以上になると、酸化シリコン膜に添加され
る酸素量が飽和傾向を示すことが分かった。また、酸素の体積分率が０体積％では、酸化
シリコン膜に酸素がほぼ添加されないことが分かった。
【０６８４】
以上より、酸化アルミニウム膜を成膜して酸化シリコン膜中に酸素を添加するには、酸
素を含む雰囲気で成膜を行うのが好ましい。ただし、酸素の体積分率の増大に対して添加
される酸素量は、飽和傾向を示す。酸化シリコン膜中に多くの酸素を添加するには、例え
ば、酸化アルミニウム膜成膜時の酸素の体積分率を１０体積％以上、好ましくは２０体積
％以上、より好ましくは５０体積％以上とすればよい。ただし、スパッタ成膜において、
酸素の体積分率を大きくしすぎると、成膜速度が遅くなる傾向があるので、例えば、酸化
アルミニウム膜成膜時の酸素の体積分率を１０体積％以上８０体積％以下、好ましくは２
０体積％以上５０体積％以下とすればよい。
【実施例３】
【０６８５】
本実施例では、ＲＦスパッタリング法で酸化アルミニウム膜を成膜する際の膜厚に対す
る酸素添加量の依存性について、ＴＤＳ分析を用いて調査した。本実施例では、試料３Ａ
乃至試料３Ｆの計６サンプルを作製し、それぞれ酸化アルミニウム膜の膜厚は、１．４ｎ
ｍ、４．０ｎｍ、５．４ｎｍ、１１．４ｎｍ、２１．８ｎｍ、６７．２ｎｍであった。
【０６８６】
以下に、試料３Ａ乃至試料３Ｆの作製方法について説明する。
【０６８７】
まず、シリコンウェハを熱酸化し、シリコンウェハ表面に１００ｎｍの酸化シリコン膜
を形成した。熱酸化の条件は９５０℃で４時間とし、熱酸化の雰囲気は、３体積％ＨＣｌ
を含む酸素雰囲気とした。
【０６８８】
次に、酸化シリコン膜上に、ＲＦスパッタリング法を用いて酸化アルミニウム膜を成膜
した。なお、ターゲットは酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）とし、成膜ガスは酸素流量を
２５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を２５ｓｃｃｍ（Ｏ２＝５０体積％、Ａｒ＝５０体積％）と
し、成膜圧力を０．４Ｐａとし、成膜電力を２５００Ｗとし、基板温度を２５０℃とし、
ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。酸化アルミニウム膜の膜厚は、試料３Ａは１
．４ｎｍ、試料３Ｂは４．０ｎｍ、試料３Ｃは５．４ｎｍ、試料３Ｄは１１．４ｎｍ、試
料３Ｅは２１．８ｎｍ、試料３Ｆは６７．２ｎｍであった。
【０６８９】
次に、酸素雰囲気下で４００℃１時間の加熱処理を行った。
【０６９０】
次に、８５℃でウェットエッチングを行って酸化アルミニウム膜を除去した。ウェット
エッチングには、和光純薬工業株式会社製の混酸アルミ液（２．０重量％の硝酸と、９．
８重量％の酢酸と、７２．３重量％のリン酸と、を含有する水溶液）を用いた。
【０６９１】
以上のようにして作製した試料３Ａ乃至試料３Ｆに、ＴＤＳ分析を行った結果を図５１
（Ａ）乃至（Ｆ）に示す。図５１（Ａ）乃至（Ｆ）で横軸はＳｕｂ．Ｔｅｍｐ．（基板温
度）［℃］をとり、縦軸は質量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量に比例するｉｎｔｅｎｓｉｔ
ｙ（電流強度）［Ａ］をとる。なお、当該ＴＤＳ分析においては、酸素分子に相当する質
量電荷比Ｍ／ｚ＝３２の放出量を測定した。また、ＴＤＳ測定は、電子科学株式会社製昇
温脱離分析装置（ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ／Ｗ）を用いた。
【０６９２】
図５１（Ａ）乃至（Ｆ）より、試料３Ａではほぼ酸素分子の放出が見られなかったが、
試料３Ｂ乃至試料３Ｆでは酸素分子の放出が見られた。試料３Ｂの酸素分子放出量は１．
３×１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料３Ｃの酸素分子放出量は１．８×
１０１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料３Ｄの酸素分子放出量は２．２×１０
１５ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料３Ｅの酸素分子放出量は２．５×１０１５
ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となり、試料３Ｆの酸素分子放出量は２．５×１０１５ｍｏ
ｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ２となった。
【０６９３】
試料３Ａ乃至試料３ＦのＴＤＳ分析の結果を比較すると、酸化アルミニウム膜の膜厚が
厚くなるほど、酸化シリコン膜に添加される酸素量が増加する傾向が見られた。さらに、
酸化アルミニウム膜の膜厚が２０ｎｍ程度以上になると、酸化シリコン膜に添加される酸
素量が飽和傾向を示すことが分かった。また、酸化アルミニウム膜の膜厚が２ｎｍ程度以
下では、酸化シリコン膜に酸素がほぼ添加されないことが分かった。
【０６９４】
以上より、酸化アルミニウム膜を成膜して酸化シリコン膜中に酸素を添加するには、酸
化アルミニウム膜の膜厚を厚くすることが好ましい。ただし、酸化アルミニウム膜の膜厚
の増大に対して添加される酸素量は飽和傾向を示す。酸化シリコン膜中に多くの酸素を添
加するには、例えば、酸化アルミニウム膜の膜厚を５ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上
より好ましくは２０ｎｍ以上とすればよい。
【実施例４】
【０６９５】
本実施例では、酸化物半導体膜上に酸化窒化シリコン膜を成膜し、さらにその上に酸化
アルミニウム膜を成膜する各工程における酸素欠損の定量を行った。当該工程は、上記実
施の形態のトランジスタ作製工程に相当している。工程の各ステップに対応して試料４Ａ
乃至試料４Ｆを作製し、各工程に対応する試料に対して電子スピン共鳴（ＥＳＲ：Ｅｌｅ
ｃｔｒｏｎ  Ｓｐｉｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）分析を行った。
【０６９６】
以下に、試料４Ａ乃至試料４Ｆの作製方法について説明する。
【０６９７】
まず、試料４Ａとして、石英基板上にＤＣスパッタリング法によって厚さが５０ｎｍの
Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を成膜した。なお、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物の成膜には、Ｉｎ：
Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］ターゲットを用い、成膜ガスとしてアルゴンガス３
０ｓｃｃｍおよび酸素ガス１５ｓｃｃｍを用い、成膜圧力を０．７Ｐａ（キャノンアネル
バ製ミニチュアゲージＭＧ−２によって計測した。）とし、成膜電力を５００Ｗとし、基
板温度を３００℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。当該工程は、上記実
施の形態のトランジスタの酸化物半導体を形成する工程に対応している。
【０６９８】
次に、試料４Ｂとして、試料４Ａと同じ工程を行った試料に、窒素雰囲気下で４５０℃
１時間の加熱処理を行い、さらに酸素雰囲気下で４５０℃１時間の加熱処理を行った。
【０６９９】
次に、試料４Ｃとして、試料４Ｂと同じ工程を行った試料の上に、ＤＣスパッタリング
法によって厚さが５ｎｍのＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を成膜した。なお、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ
酸化物の成膜には、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：２［原子数比］ターゲットを用い、成膜
ガスとしてアルゴンガス３０ｓｃｃｍおよび酸素ガス１５ｓｃｃｍを用い、成膜圧力を０
．４Ｐａ（キャノンアネルバ製Ｂ−ＡゲージＢＲＧ−１Ｂによって計測した。）とし、成
膜電力を５００Ｗとし、基板温度を２００℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍと
した。当該工程は、上記実施の形態の図３（Ａ）（Ｂ）に示すトランジスタのゲート絶縁
膜と酸化物半導体の間の絶縁体を形成する工程に対応している。
【０７００】
次に、試料４Ｄとして、試料４Ｃと同じ工程を行った試料の上に、ＰＥＣＶＤ法によっ
て厚さが１３ｎｍの酸化窒化シリコンを成膜した。成膜ガスとしてシラン１ｓｃｃｍ及び
亜酸化窒素８００ｓｃｃｍを用い、成膜圧力を２００Ｐａとし、成膜電力（ＲＦ，６０Ｍ
Ｈｚ）を１５０Ｗとし、基板温度を３５０℃とし、電極間距離を２８ｍｍとした。当該工
程は、上記実施の形態のトランジスタのゲート絶縁膜を形成する工程に対応している。
【０７０１】
次に、試料４Ｅとして、試料４Ｄと同じ工程を行った試料の上に、ＲＦスパッタリング
法によって厚さが４０ｎｍの酸化アルミニウムを成膜した。なお、酸化アルミニウムの成
膜には、Ａｌ２Ｏ３ターゲットを用い、成膜ガスとしてアルゴンガス２５ｓｃｃｍおよび
酸素ガス２５ｓｃｃｍを用い、成膜圧力を０．４Ｐａ（キャノンアネルバ製Ｂ−Ａゲージ
ＢＲＧ−１Ｂによって計測した。）とし、成膜電力を２５００Ｗとし、基板温度を２５０
℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。当該工程は、上記実施の形態のトラ
ンジスタの保護絶縁膜を形成する工程に対応している。
【０７０２】
次に、試料４Ｆとして、試料４Ｅと同じ工程を行った試料に、酸素雰囲気下で４００℃
１時間の加熱処理を行った。
【０７０３】
以上のようにして作製した試料４Ａ乃至試料４Ｆに、ＥＳＲ分析を行い、ｇ＝１．９３
のＥＳＲシグナルに対応するスピン密度を計算した結果を図５２に示す。図５２では、横
軸に各試料をとり、縦軸にスピン密度［ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３］をとる。ここで、ｇ＝１．
９３のＥＳＲシグナルは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１［原子数比］ターゲットで成膜
したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物中の伝導電子と対応している。伝導電子はＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ
酸化物中の酸素欠損にトラップされた水素（以下、Ｖｏ（Ｈ）と呼ぶ場合がある）によっ
て生じる。つまり、ｇ＝１．９３に対応するスピン密度が大きいと、当該試料に含まれる
Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物中のＶｏ（Ｈ）の量が多いということになる。
【０７０４】
図５２に示すように、試料４Ａ乃至試料４Ｃではスピン密度は検出下限（２．５×１０
１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３）以下となり、試料４Ｄでは４．５×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ
３となり、試料４Ｅでは３．５×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３となり、試料４Ｆでスピン
密度は検出下限以下となった。よって、本実施例の試料において、酸化窒化シリコンを成
膜することでＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物中のＶｏ（Ｈ）の量が増加し、酸化アルミニウムの
成膜によりＶｏ（Ｈ）の量が減少し、さらに加熱処理を行うことによって検出下限以下に
Ｖｏ（Ｈ）の量が減少したことが分かる。
【０７０５】
Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物中のＶｏ（Ｈ）の量が減少しているということは、その元とな
る酸素欠損が低減しているということである。つまり、試料４Ｅで行った酸化アルミニウ
ムの成膜、及び試料４Ｆで行った加熱処理によりＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物中の酸素欠損が
低減していることが示唆される。
【０７０６】
以上により、上記実施の形態に示すように、酸化アルミニウム（保護絶縁膜）をスパッ
タリング法で成膜することで、当該酸化アルミニウム（保護絶縁膜）と接する酸化窒化シ
リコン（保護絶縁膜、ゲート絶縁膜または下地絶縁膜）に酸素が添加され、当該酸素が酸
化物半導体に供給され、酸化物半導体中の酸素欠損を低減することが推察される。さらに
、酸化アルミニウム（保護絶縁膜）の成膜後に加熱処理を行うことで、より多くの酸素が
酸化物半導体に供給され、酸化物半導体中の酸素欠損を低減することが推察される。
【実施例５】
【０７０７】
本実施例では、酸化窒化シリコン膜上に酸化アルミニウム膜を成膜した試料において、
ＳＩＭＳ分析を用いて酸素の拡散について調査した。本実施例では、試料５Ａと試料５Ｂ
の計２サンプルを作製した。試料５Ａでは、酸化窒化シリコン膜上に酸化アルミニウム膜
を成膜し、試料５Ｂではさらに加熱処理を行った。また、ＳＩＭＳ分析としては、基板側
から測定を行う、ＳＳＤＰ−ＳＩＭＳ法（Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｓｉｄｅ  Ｄｅｐｔｈ  
Ｐｒｏｆｉｌｅ  Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）
を用いた。
【０７０８】
以下に、試料５Ａ及び試料５Ｂの作製方法について説明する。
【０７０９】
まず、シリコンウェハを熱酸化し、シリコンウェハ表面に１００ｎｍの酸化シリコン膜
を形成した。熱酸化の条件は９５０℃で４時間とし、熱酸化の雰囲気は、３体積％ＨＣｌ
を含む酸素雰囲気とした。
【０７１０】
次に、ＰＥＣＶＤ法によって厚さが３００ｎｍの酸化窒化シリコン膜を成膜した。成膜
ガスとしてシラン２．３ｓｃｃｍ及び亜酸化窒素８００ｓｃｃｍを用い、成膜圧力を４０
Ｐａとし、成膜電力（ＲＦ，２７ＭＨｚ）を５０Ｗとし、基板温度を４００℃とした。
【０７１１】
次に、加熱処理を行った。加熱処理は真空で、４５０℃で１時間行った。
【０７１２】
次に、酸化窒化シリコン膜上に、ＲＦスパッタリング法を用いて膜厚７０ｎｍの酸化ア
ルミニウム膜を成膜した。なお、ターゲットは酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）とし、成
膜ガスは酸素流量を２５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を２５ｓｃｃｍ（Ｏ２＝５０体積％、Ａ
ｒ＝５０体積％）とし、成膜圧力を０．４Ｐａとし、成膜電力を２５００Ｗとし、基板温
度を２５０℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。なお、スパッタリングガ
スに使用する酸素ガスとして、質量数１８の酸素原子からなる酸素分子（１８Ｏ２）の酸
素ガスを用いた。
【０７１３】
次に、試料５Ｂのみに酸素雰囲気下で４００℃１時間の加熱処理を行った。
【０７１４】
以上のようにして作製した試料５Ａ及び試料５Ｂに、ＳＳＤＰ−ＳＩＭＳ分析を行って
１８Ｏを検出した結果を図５３（Ａ）に示す。図５３（Ａ）で横軸はｄｅｐｔｈ（酸化ア
ルミニウム膜の表面を基準とする深さ）［ｎｍ］をとり、縦軸は１８Ｏ  ｃｏｎｃｅｎｔ
ｒａｔｉｏｎ（１８Ｏの濃度）［ａｔｏｍｓ／ｃｍ３］をとる。なお、ＳＩＭＳ測定は、
アルバック・ファイ社製四重極型質量分析装置（ＡＤＥＰＴ１０１０特型）を用いた。
【０７１５】
図５３（Ａ）より、試料５Ａ及び試料５Ｂで表面の酸化アルミニウム膜から酸化窒化シ
リコン膜に酸素が拡散している様子が見られる。酸化アルミニウム膜の成膜後に加熱処理
を行った試料５Ｂでは、酸化窒化シリコン膜中の深い領域（酸化アルミニウム膜表面から
１００ｎｍ以上）において試料５Ａより１８Ｏの濃度が高くなっていた。
【０７１６】
さらに、試料５Ａ及び試料５ＢではＳＩＭＳ分析を行い、１６Ｏの検出も行った。ここ
で、１６Ｏ、１８Ｏのイオン強度をそれぞれの天然同位体比率（１６Ｏ：９９．７５７％
、１８Ｏ：０．２０５％）で換算し、１６Ｏ及び１８Ｏが天然同位体比率で存在する場合
にプロファイルが重なるように図示したものを図５３（Ｂ）（Ｃ）に示す。ここで、図５
３（Ｂ）に試料５Ａの結果を示し、図５３（Ｃ）に試料５Ｂの結果を示す。図５３（Ｂ）
（Ｃ）では、横軸はｄｅｐｔｈ（酸化アルミニウム膜の表面を基準とする深さ）［ｎｍ］
をとり、縦軸はｉｎｔｅｎｓｉｔｙ（任意強度）［ａ．ｕ．］をとる。
【０７１７】
図５３（Ｂ）より試料５Ａでは、酸化アルミニウム膜と酸化窒化シリコン膜の界面から
約１００ｎｍ程度の深さで１６Ｏと１８Ｏのプロファイルが一致し始めている様子が見ら
れる。つまり、試料５Ａで酸化アルミニウム膜の成膜により添加された酸素は、酸化アル
ミニウム膜と酸化窒化シリコン膜の界面から約１００ｎｍ程度の深さまで拡散しているこ
とが分かる。
【０７１８】
また、図５３（Ｃ）より試料５Ｂでは、酸化アルミニウム膜と酸化窒化シリコン膜の界
面から約１５０ｎｍ以上の深さでも１６Ｏと１８Ｏのプロファイルが一致していない様子
が見られる。つまり、試料５Ｂで酸化アルミニウム膜の成膜により添加された酸素は、そ
の後の加熱処理によって酸化アルミニウム膜と酸化窒化シリコン膜の界面から１５０ｎｍ
以上の深さまで拡散していることが分かる。
【０７１９】
以上により、酸化窒化シリコン膜上に酸化アルミニウム膜をスパッタリング法で成膜す
ることにより、酸化窒化シリコン膜中に酸素を添加させられることが示された。さらに、
酸化アルミニウム膜の成膜後に加熱処理を行うことにより、酸化窒化シリコン膜中のより
広範囲に酸素を拡散できることが示された。
【実施例６】
【０７２０】
本実施例では、酸化シリコン膜上に酸化アルミニウム膜を成膜した試料において、酸化
シリコン膜と酸化アルミニウム膜の界面近傍に形成される混合領域について、ＳＩＭＳ分
析を用いて測定した。なお、ＳＩＭＳ分析としては、飛行時間型二次イオン質量分析法（
ＴｏＦ−ＳＩＭＳ：Ｔｉｍｅ−ｏｆ−ｆｌｉｇｈｔ  ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  ｉｏｎ  ｍａ
ｓｓ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）を用いた。
【０７２１】
本実施例では、試料６Ａと試料６Ｂの計２サンプルを作製した。試料６Ａでは酸化アル
ミニウム膜の成膜をＲＦスパッタリング法で行い、試料６Ｂでは酸化アルミニウム膜の成
膜をＡＬＤ法で行った。実施例１で示した通り、酸化アルミニウム膜の成膜をＡＬＤ法で
行っても酸化シリコン膜への酸素の添加はほとんど行われない。この実験結果と、ＡＬＤ
法の成膜原理からＡＬＤ法で成膜した酸化アルミニウム膜と酸化シリコン膜との界面には
ほとんど混合領域の形成は行われないと考えられる。つまり、試料６Ｂは、混合領域が形
成される試料６Ａに対して、ほとんど混合領域が形成されない比較例として挙げている。
【０７２２】
以下に、試料６Ａ及び試料６Ｂの作製方法について説明する。
【０７２３】
まず、シリコンウェハを熱酸化し、シリコンウェハ表面に１００ｎｍの酸化シリコン膜
を形成した。熱酸化の条件は９５０℃で４時間とし、熱酸化の雰囲気は、３体積％ＨＣｌ
を含む酸素雰囲気とした。
【０７２４】
次に、試料６Ａにおいて、酸化シリコン膜上に、ＲＦスパッタリング法を用いて膜厚５
０ｎｍの酸化アルミニウム膜を成膜した。なお、ターゲットは酸化アルミニウム（Ａｌ２
Ｏ３）とし、成膜ガスは酸素流量を２５ｓｃｃｍ、アルゴン流量を２５ｓｃｃｍ（Ｏ２＝
５０体積％、Ａｒ＝５０体積％）とし、成膜圧力を０．４Ｐａとし、成膜電力を２５００
Ｗとし、基板温度を２５０℃とし、ターゲット−基板間距離を６０ｍｍとした。
【０７２５】
また、試料６Ｂにおいて、酸化シリコン膜上に、ＡＬＤ法を用いて５０ｎｍの酸化アル
ミニウム膜を成膜した。なお、プリカーサとしてＴＭＡ（Ｔｒｉｍｅｔｈｙｌ  Ａｌｕｍ
ｉｎｕｍ）を用い、酸化剤としてオゾンを用い、基板温度を２５０℃として成膜した。
【０７２６】
以上のようにして作製した試料６Ａ及び試料６Ｂに、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ分析を行って、
二次イオンの強度を検出した。二次イオンの検出は負イオン、正イオンについて行い、負
イオンとしてＳｉ、ＡｌＳｉＯ４を検出し、正イオンとしてＳｉ、ＡｌＳｉＯを検出した
。なお、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ測定は、ＩＯＮ−ＴＯＦ社製のＴＯＦ．ＳＩＭＳ５を用いて、
一次イオン源をＢｉとし、スパッタイオン源をフラーレン（Ｃ６０）として行った。
【０７２７】
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ分析の結果を図５４及び図５５に示す。図５４（Ａ）には負イオンの
Ｓｉを検出したプロファイルを、図５４（Ｂ）には負イオンのＡｌＳｉＯ４を検出したプ
ロファイルを、図５５（Ａ）には正イオンのＳｉを検出したプロファイルを、図５５（Ｂ
）には正イオンのＡｌＳｉＯを検出したプロファイルを示す。図５４及び図５５で横軸は
ｄｅｐｔｈ（ＡｌＳｉＯのプロファイルのピークトップが深さ約５０ｎｍとなるように換
算した深さ）［ｎｍ］をとり、縦軸は各イオンのｉｎｔｅｎｓｉｔｙ（任意強度）［ａ．
ｕ．］をとる。
【０７２８】
図５４（Ａ）（Ｂ）及び図５５（Ａ）（Ｂ）に示すように、検出した４種のイオン全て
で、酸化アルミニウム膜と酸化シリコン膜の界面近傍において、試料６Ｂのプロファイル
に対して試料６Ａのプロファイルが、酸化アルミニウム膜側の方向に裾を引くように広が
っていた。特に図５４（Ａ）及び図５５（Ａ）に示す負のＳｉイオン及び正のＳｉイオン
では、プロファイルの裾の広がりが顕著であった。酸化アルミニウム膜と酸化シリコン膜
の界面近傍の試料６Ａのプロファイルの試料６Ｂに対する広がりは、約３ｎｍ以上約１０
ｎｍ以下、例えば約５ｎｍ程度に見える。
【０７２９】
上述の通り、ＡＬＤ法で成膜した試料６Ｂでは混合領域はほとんど形成されないと考え
られる。つまり、試料６Ｂのプロファイルに対して試料６Ａのプロファイルが酸化アルミ
ニウム膜側に広がっている領域が、試料６Ａ中に形成された混合領域と考えられる。よっ
て、試料６Ａ中に形成された酸化アルミニウムと酸化シリコンの混合領域は、約３ｎｍ以
上約１０ｎｍ以下、例えば約５ｎｍ程度に見積もることができる。
【０７３０】
また、実施例１の試料１Ｃ及び試料１Ｄと試料１Ｅ及び試料１Ｆを比較すると、スパッ
タリング法で成膜した酸化アルミニウム膜は酸素添加でき、ＡＬＤ法で成膜した酸化アル
ミニウム膜はほとんど酸素添加ができない。このことから、酸化シリコン膜上にスパッタ
リング法で酸化アルミニウム膜を成膜し、酸化アルミニウムと酸化シリコンの混合領域を
形成することにより、酸素の添加が促進されていると推察される。
【０７３１】
また、本実施例においては、特に図５４（Ａ）及び図５５（Ａ）に示すプロファイルで
顕著に、酸化アルミニウム膜と酸化シリコン膜の界面の酸化アルミニウム膜側に試料６Ａ
のプロファイルの裾が広がっている。つまり、試料６Ａでは酸化アルミニウム膜と酸化シ
リコン膜の界面の酸化アルミニウム膜側にシリコンが含まれるように混合領域が形成され
ている。よって、試料６Ａの酸化アルミニウムと酸化シリコンの混合領域では、アルミニ
ウムの濃度がシリコンの濃度より高い領域が形成されやすいと考えられる。
【符号の説明】
【０７３２】
１０    トランジスタ
１２    トランジスタ
１４    トランジスタ
１６    トランジスタ
１８    トランジスタ
１９    トランジスタ
２０    トランジスタ
２２    トランジスタ
２４    トランジスタ
２６    トランジスタ
１００    基板
１０１    絶縁体
１０２    導電体
１０３    絶縁体
１０４    絶縁体
１０６ａ    絶縁体
１０６ｂ    半導体
１０６ｃ    絶縁体
１０７    低抵抗領域
１０７ａ    低抵抗領域
１０７ｂ    低抵抗領域
１０８    導電体
１０８ａ    導電体
１０８ｂ    導電体
１０９    導電体
１０９ａ    導電体
１０９ｂ    導電体
１１１ａ    絶縁体
１１１ｂ    絶縁体
１１２ａ    絶縁体
１１２ｂ    絶縁体
１１２ｃ    絶縁体
１１４ａ    導電体
１１４ｂ    導電体
１１４ｃ    導電体
１１６    絶縁体
１１８    絶縁体
１２２    導電体
１２４    絶縁体
１２６    絶縁体
１２８    絶縁体
１３０    混合領域
１３１    酸素
１３２    絶縁体
１３４    混合領域
１３５    酸素
１３６ａ    絶縁体
１３６ｂ    半導体
１４０    導電体
１４２    導電体
１４４    絶縁体
２００    撮像装置
２０１    スイッチ
２０２    スイッチ
２０３    スイッチ
２１０    画素部
２１１    画素
２１２    副画素
２１２Ｂ    副画素
２１２Ｇ    副画素
２１２Ｒ    副画素
２２０    光電変換素子
２３０    画素回路
２３１    配線
２４７    配線
２４８    配線
２４９    配線
２５０    配線
２５３    配線
２５４    フィルタ
２５４Ｂ    フィルタ
２５４Ｇ    フィルタ
２５４Ｒ    フィルタ
２５５    レンズ
２５６    光
２５７    配線
２６０    周辺回路
２７０    周辺回路
２８０    周辺回路
２９０    周辺回路
２９１    光源
３００    シリコン基板
３１０    層
３２０    層
３３０    層
３４０    層
３５１    トランジスタ
３５２    トランジスタ
３５３    トランジスタ
３６０    フォトダイオード
３６１    アノード
３６３    低抵抗領域
３７０    プラグ
３７１    配線
３７２    配線
３７３    配線
３８０    絶縁体
４５０    半導体基板
４５２    絶縁体
４５４    導電体
４５６    領域
４６０    領域
４６２    絶縁体
４６４    絶縁体
４６６    絶縁体
４６８    絶縁体
４７２ａ    領域
４７２ｂ    領域
４７４ａ    導電体
４７４ｂ    導電体
４７４ｃ    導電体
４７６ａ    導電体
４７６ｂ    導電体
４７８ａ    導電体
４７８ｂ    導電体
４７８ｃ    導電体
４８０ａ    導電体
４８０ｂ    導電体
４８０ｃ    導電体
４８９    絶縁体
４９０    絶縁体
４９１    絶縁体
４９２    絶縁体
４９３    絶縁体
４９４    絶縁体
４９５    絶縁体
４９６ａ    導電体
４９６ｂ    導電体
４９６ｃ    導電体
４９６ｄ    導電体
４９８ａ    導電体
４９８ｂ    導電体
４９８ｃ    導電体
５０４    導電体
５１１ａ    絶縁体
５１１ｂ    絶縁体
５１４    導電体
５１６ａ    導電体
５１６ｂ    導電体
７００    基板
７０４ａ    導電体
７０４ｂ    導電体
７０６ａ    半導体
７０６ｂ    半導体
７１２ａ    絶縁体
７１２ｂ    絶縁体
７１４ａ    導電体
７１４ｂ    導電体
７１６ａ    導電体
７１６ｂ    導電体
７１８ａ    絶縁体
７１８ｂ    絶縁体
７１８ｃ    絶縁体
７１９    発光素子
７２０    絶縁体
７２１    絶縁体
７３１    端子
７３２    ＦＰＣ
７３３ａ    配線
７３４    シール材
７３５    駆動回路
７３６    駆動回路
７３７    画素
７４１    トランジスタ
７４２    容量素子
７４３    スイッチ素子
７４４    信号線
７５０    基板
７５１    トランジスタ
７５２    容量素子
７５３    液晶素子
７５４    走査線
７５５    信号線
７８１    導電体
７８２    発光層
７８３    導電体
７８４    隔壁
７９１    導電体
７９２    絶縁体
７９３    液晶層
７９４    絶縁体
７９５    スペーサ
７９６    導電体
７９７    基板
９０１    筐体
９０２    筐体
９０３    表示部
９０４    表示部
９０５    マイクロフォン
９０６    スピーカー
９０７    操作キー
９０８    スタイラス
９１１    筐体
９１２    筐体
９１３    表示部
９１４    表示部
９１５    接続部
９１６    操作キー
９２１    筐体
９２２    表示部
９２３    キーボード
９２４    ポインティングデバイス
９３１    筐体
９３２    冷蔵室用扉
９３３    冷凍室用扉
９４１    筐体
９４２    筐体
９４３    表示部
９４４    操作キー
９４５    レンズ
９４６    接続部
９５１    車体
９５２    車輪
９５３    ダッシュボード
９５４    ライト
１１８９    ＲＯＭインターフェース
１１９０    基板
１１９１    ＡＬＵ
１１９２    ＡＬＵコントローラ
１１９３    インストラクションデコーダ
１１９４    インタラプトコントローラ
１１９５    タイミングコントローラ
１１９６    レジスタ
１１９７    レジスタコントローラ
１１９８    バスインターフェース
１１９９    ＲＯＭ
１２００    記憶素子
１２０１    回路
１２０２    回路
１２０３    スイッチ
１２０４    スイッチ
１２０６    論理素子
１２０７    容量素子
１２０８    容量素子
１２０９    トランジスタ
１２１０    トランジスタ
１２１３    トランジスタ
１２１４    トランジスタ
１２２０    回路
２１００    トランジスタ
２２００    トランジスタ
２６００    ターゲット
２６００ａ    ターゲット
２６００ｂ    ターゲット
２６０１    成膜室
２６１０    バッキングプレート
２６１０ａ    バッキングプレート
２６１０ｂ    バッキングプレート
２６２０    ターゲットホルダ
２６２０ａ    ターゲットホルダ
２６２０ｂ    ターゲットホルダ
２６２２    ターゲットシールド
２６２３    ターゲットシールド
２６３０    マグネットユニット
２６３０ａ    マグネットユニット
２６３０ｂ    マグネットユニット
２６３０Ｎ    マグネット
２６３０Ｎ１    マグネット
２６３０Ｎ２    マグネット
２６３０Ｓ    マグネット
２６３２    マグネットホルダ
２６４０    プラズマ
２６４２    部材
２６６０    基板
２６７０    基板ホルダ
２６８０ａ    磁力線
２６８０ｂ    磁力線
２６９０    電源
２６９１    電源
２７００    成膜装置
２７０１    大気側基板供給室
２７０２    大気側基板搬送室
２７０３ａ    ロードロック室
２７０３ｂ    アンロードロック室
２７０４    搬送室
２７０５    基板加熱室
２７０６ａ    成膜室
２７０６ｂ    成膜室
２７０６ｃ    成膜室
２７５１    クライオトラップ
２７５２    ステージ
２７６１    カセットポート
２７６２    アライメントポート
２７６３    搬送ロボット
２７６４    ゲートバルブ
２７６５    加熱ステージ
２７６６    ターゲット
２７６６ａ    ターゲット
２７６６ｂ    ターゲット
２７６７    ターゲットシールド
２７６７ａ    ターゲットシールド
２７６７ｂ    ターゲットシールド
２７６８    基板ホルダ
２７６９    基板
２７７０    真空ポンプ
２７７１    クライオポンプ
２７７２    ターボ分子ポンプ
２７８０    マスフローコントローラ
２７８１    精製機
２７８２    ガス加熱機構
２７８４    可変部材
２７９０ａ    マグネットユニット
２７９０ｂ    マグネットユニット
２７９１    電源
３００１    配線
３００２    配線
３００３    配線
３００４    配線
３００５    配線
３２００    トランジスタ
３３００    トランジスタ
３４００    容量素子
４００１    配線
４００３    配線
４００５    配線
４００６    配線
４００７    配線
４００８    配線
４００９    配線
４０２１    層
４０２２    層
４０２３    層
４１００    トランジスタ
４２００    トランジスタ
４３００    トランジスタ
４４００    トランジスタ
４５００    容量素子
４６００    容量素子
５１００    ペレット
５１２０    基板
５１６１    領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【手続補正書】
【提出日】令和3年10月15日(2021.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶性を有するシリコンを含む第１の半導体を有する第１のトランジスタと、
ソース又はドレインの一方が、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続された、酸化物半導体を含む第２の半導体を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置であって、
前記第１のトランジスタは、第１の酸化物絶縁体上の前記第１の半導体と、前記第１の半導体上の第１のゲート絶縁膜と、前記第１のゲート絶縁膜上の第１のゲート電極と、を有し、
前記第１のゲート電極上の第１の窒化物絶縁体と、前記第１の窒化物絶縁体上の第２の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２のトランジスタは、前記第２の酸化物絶縁体上の前記第２の半導体と、前記第２の半導体上の酸素を含む第２のゲート絶縁膜と、前記第２のゲート絶縁膜上の第２のゲート電極と、を有し、
前記第２のゲート電極上の、前記第２のゲート絶縁膜と接する領域と、前記第２の半導体を覆う領域と、前記第２の酸化物絶縁体と接する領域と、を有する第３の酸化物絶縁体と、を有する半導体装置。
【請求項２】
結晶性を有するシリコンを含む第１の半導体を有する第１のトランジスタと、
ソース又はドレインの一方が、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続された、酸化物半導体を含む第２の半導体を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置であって、
前記第１のトランジスタは、第１の酸化物絶縁体上の前記第１の半導体と、前記第１の半導体上の第１のゲート絶縁膜と、前記第１のゲート絶縁膜上の第１のゲート電極と、を有し、
前記第１のゲート電極上の第１の窒化物絶縁体と、前記第１の窒化物絶縁体上の第２の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２のトランジスタは、前記第２の酸化物絶縁体上の前記第２の半導体と、前記第２の半導体上の酸素を含む第２のゲート絶縁膜と、前記第２のゲート絶縁膜上の第２のゲート電極と、を有し、
前記第２のゲート電極上の、前記第２のゲート絶縁膜と接する領域と、前記第２の半導体を覆う領域と、前記第２の酸化物絶縁体と接する領域と、を有する第３の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２の半導体は、前記第１の半導体と重なる領域を有する半導体装置。
【請求項３】
結晶性を有するシリコンを含む第１の半導体を有する第１のトランジスタと、
ソース又はドレインの一方が、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続された、酸化物半導体を含む第２の半導体を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置であって、
前記第１のトランジスタは、第１の酸化物絶縁体上の前記第１の半導体と、前記第１の半導体と接する領域を有する第１のソース電極又は第１のドレイン電極と、前記第１の半導体上の第１のゲート絶縁膜と、前記第１のゲート絶縁膜上の第１のゲート電極と、を有し、
前記第１のゲート電極上の第１の窒化物絶縁体と、前記第１の窒化物絶縁体上の第２の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２のトランジスタは、前記第２の酸化物絶縁体上の前記第２の半導体と、前記第２の半導体と接する領域を有する第２のソース電極又は第２のドレイン電極と、前記第２の半導体上の酸素を含む第２のゲート絶縁膜と、前記第２のゲート絶縁膜上の第２のゲート電極と、を有し、
前記第２のゲート電極上の、前記第２のゲート絶縁膜と接する領域と、前記第２のソース電極又は前記第２のドレイン電極を覆う領域と、前記第２の酸化物絶縁体と接する領域と、を有する第３の酸化物絶縁体と、を有する半導体装置。
【請求項４】
結晶性を有するシリコンを含む第１の半導体を有する第１のトランジスタと、
ソース又はドレインの一方が、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続された、酸化物半導体を含む第２の半導体を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置であって、
前記第１のトランジスタは、第１の酸化物絶縁体上の前記第１の半導体と、前記第１の半導体と接する領域を有する第１のソース電極又は第１のドレイン電極と、前記第１の半導体上の第１のゲート絶縁膜と、前記第１のゲート絶縁膜上の第１のゲート電極と、を有し、
前記第１のゲート電極上の第１の窒化物絶縁体と、前記第１の窒化物絶縁体上の第２の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２のトランジスタは、前記第２の酸化物絶縁体上の前記第２の半導体と、前記第２の半導体と接する領域を有する第２のソース電極又は第２のドレイン電極と、前記第２の半導体上の酸素を含む第２のゲート絶縁膜と、前記第２のゲート絶縁膜上の第２のゲート電極と、を有し、
前記第２のゲート電極上の、前記第２のゲート絶縁膜と接する領域と、前記第２のソース電極又は前記第２のドレイン電極を覆う領域と、前記第２の酸化物絶縁体と接する領域と、を有する第３の酸化物絶縁体と、を有し、
前記第２の半導体は、前記第１の半導体と重なる領域を有する半導体装置。