(57)【要約】【課題】　マイクロリアクターを高圧力で操作するための化学処理装置および方法を提供する。【解決手段】　圧力容器１２、および圧力容器１２内に配置されるマイクロリアクター２０を備える化学処理装置１０において、第１供給路２４を通して第１流体をマイクロリアクター２０に注入すると同時に、第１供給路２４から分岐する均圧路２６を通して圧力容器１２の内容積にも注入することにより、マイクロリアクター２０の内部圧力を高めると共に、マイクロリアクター２０の内容積と圧力容器１２の内容積との圧力差がマイクロリアクター２０の最大圧力限界を超えないようにする。次に、第２供給路３０を通して、第２流体をマイクロリアクターに注入して化学操作を実施する。圧力容器１２内において、マイクロリアクター２０に熱を伝達する、熱伝導媒体を更に備えることが好ましい。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
　化学処理装置であって、
　圧力容器、および
　前記圧力容器内に配置されるマイクロリアクターを備え、
　前記装置内において化学操作を行うとき、前記圧力容器が、該圧力容器およびマイクロリアクターを高圧力に保持するよう構成配置されることを特徴とする装置。
【請求項２】
　前記マイクロリアクターが、周期表のＩＩＩ、ＩＶ、およびＶ族の非金属元素、セラミック、ガラス、ガラス・セラミック、ポリマー、複合材料、シリコン、および金属のグループから選択される材料から成ることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
　前記圧力容器が圧力釜から成ることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項４】
　前記圧力容器内において、前記マイクロリアクターに熱を伝達する熱伝導媒体を更に備えることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項５】
　前記熱伝導媒体がＳｉＣから成ることを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項６】
　前記マイクロリアクターが、複数の化学操作に対応できるよう構成されることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項７】
　前記圧力容器を貫通し、前記マイクロリアクター内部に達する、該マイクロリアクター内部の圧力を高めるための第１流体供給路、および前記圧力容器内部に達する、該圧力容器内部の圧力を高めるための第２流体供給路を更に備えることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項８】
　マイクロリアクターを高圧力で操作する方法であって、
　前記マイクロリアクターを圧力容器内に配置するステップ、
　前記マイクロリアクターおよび圧力容器内部を加圧するステップ、および
　前記マイクロリアクターおよび圧力容器を高圧力に保持した状態で、前記圧力容器内において化学操作を行うステップ
　の各ステップを有して成ることを特徴とする方法。
【請求項９】
　前記加圧ステップおよび化学操作ステップを実行する間、前記マイクロリアクター内部と該マイクロリアクターを囲む前記圧力容器の内容積との圧力差を１５．０バール未満に保持するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
　前記加圧ステップおよび化学操作ステップを実行する間、前記マイクロリアクター内部と該マイクロリアクターを囲む前記圧力容器の内容積との圧力差を約０．０〜約５．０バールに保持するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１１】
　前記加圧ステップが、少なくとも１つの供給路を通して、前記マイクロリアクターおよび圧力容器内部に流体を供給するステップを有して成ることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１２】
　　前記加圧ステップが、第１供給路を通して、前記マイクロリアクター内部に第１流体を供給するステップ、および第２供給路を通して、前記圧力容器内部に前記第１流体とは異なる第２流体を供給するステップを有して成ることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１３】
　前記化学操作ステップに先立って、前記マイクロリアクター内部に対象とする流体を供給するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項１４】
　前記マイクロリアクター内部から前記圧力容器外部に伸びる排出路を通して、前記マイクロリアクター内部に供給した流体を、前記圧力容器の外部に排出するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
　前記マイクロリアクター内部に供給した流体を、前記圧力容器の内容積に流入させるステップ、および排出路を通して、前記流体を前記圧力容器の内容積から該圧力容器の外部に排出するステップを有して成ることを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１６】
　前記マイクロリアクターに熱を伝達するように、前記圧力容器内部に熱伝導媒体を配置するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１７】
　化学処理装置であって、
　圧力容器、
　前記圧力容器内に収容されるマイクロリアクター、および
　前記装置内において化学操作が行われる間、前記圧力容器と協働して、該圧力容器およびマイクロリアクターを高圧力に保持する封止機構
　を備えることを特徴とする装置。
【請求項１８】
　前記マイクロリアクターおよび圧力容器が、それぞれ内容積を画成し、前記マイクロリアクターの内容積が、前記圧力容器の内容積に開放されることを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
　前記マイクロリアクターおよび圧力容器が、それぞれ内容積を画成し、前記マイクロリアクターの内容積が、前記圧力容器の内容積に対し封止されることを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項２０】
　前記圧力容器内において、前記マイクロリアクターに熱を伝達する熱伝導媒体を更に備えることを特徴とする請求項１７記載の装置。
　
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、広義には小型処理装置および/または分析装置に関するものであり、具体的には、マイクロリアクターの高圧操作に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　化学物質の分析、処理、および/または製造を効果的かつ効率的に行うためには、一般に、温度、圧力、混合状態、および照射状態を含むが、これに限定されない幾つかの処理パラメータを正確に制御することが必要であり、ときにより、反応生成物を分離するための条件を正確に制御する必要がある。
【０００３】
　一般に、従来の化学処理装置は、材料を比較的大量に収容するので、体積対表面積の比が比較的大きくなる。前記のような従来型化学処理装置内で反応が起きると、一般に、装置内の反応体物質が場所によって異なる条件に晒される。例えば、従来のタンク型リアクターの場合、リアクター壁面の温度条件がうまく調整されていても、特に温度勾配が急な場合には、壁面から離れた位置にある反応体物質は異なる温度履歴を経る。前記のことは、化学反応が高い発熱を伴う場合に起こりやすい。反応体物質を高速で攪拌すれば、前記の異なる温度履歴の差異を小さくすることはできるが、差異を無くすることはできない。温度履歴が均一でないため、反応体物質が場所によって異なる化学反応を起こす可能性がある。更に、望ましい温度よりも高い温度履歴に晒された反応体物質は、好ましくない反応を起こす可能性がある。製品の廃棄処分という好ましくない結果を招いたり、ときにより製品が有害な廃棄物となったり、極端な場合には、反応速度が加速して制御不能となり、爆発の危険性などの危険な状態を招く。
【０００４】
　前記の短所に鑑み、化学処理業界では、マイクロ流体デバイス、およびマイクロリアクターという呼称で知られる、小型の化学処理装置の開発に注意を転換しつつある。前記のようなマイクロ流体デバイス、あるいはマイクロリアクターは、一般に表面積対体積の比が大きく、装置内で処理される反応体物質の温度履歴を均一にする調整精度を高めている。分析、有害廃棄物の汚染除去、研究レベルのテストに加え、マイクロリアクターは、様々な材料の他の材料への転換、および化学物質の連続生産にも使用することができる。
【０００５】
マイクロリアクターとしても知られる、マイクロ流体デバイスは、当業者によく知られている構造体であり、既に数多くの応用例が、特に非特許文献１および非特許文献２のような参考文献に記載されている。容積的には小さい（標準的な寸法は、一般に、１０．０〜１０，０００．０μｍ）前記のような構造体において、特に、流体を通過させ、分析し、混合し、および/または反応させることができる。
【特許文献１】米国特許出願第１０/１６３，２１５号明細書（出願日２００２年、６月４日、コーニング社共同所有）
【非特許文献１】Microreaction Technology, 3rd International Conference on Microreaction Technology, edited by W. Ehrfeld, published by Springer-Verlag, Berlin (2000)
【非特許文献２】Micro-total Analysis Systems 2000, edited by A. Van Den Berg, W. Olthius, and P. Bergveld, published by Kluwer Ac Publisher (2000)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
当業者周知のかかるデバイスには、各種材料、特にシリコン、ポリマー、セラミック、石英、および/またはガラスから成るマイクロ流体デバイスがある。前記のようなマイクロリアクターは、１つのデバイス、あるいはスタック、または流体が相互に流通されるように配置された、複数のデバイスを備えることができる。前記の材料には、それぞれ固有の欠点がある。例えば、ポリマー製デバイスは、２００℃を超える温度から３００℃の温度において長時間耐えることができない。更に、多くの場合、前記構造体においては、表面の状態を効果的に制御することができない。シリコン製デバイスは高価であり、特定の生物学的流体との相性が悪く、シリコンの半導体的性質のため、電気流体力学式ポンピング、電気浸透式ポンピングなど、一部のポンピング手法を導入にするのに問題がある。金属製デバイスは、腐食し易く、また特定の生物学的流体との相性が悪い。
【０００７】
ガラス、ガラス・セラミック、あるいはセラミック製マイクロリアクターは、一般に前記のような欠点を共有しておらず、特に絶縁特性、抵抗特性、あるいは化学物質による腐食に対する不活性、透明性、表面の均一性、および表面を化学的に容易に変化させることができるという点で評価されているが、他の周知のすべてのマイクロリアクターと共通する重要な欠点を有している。具体的には、本技術分野で現在周知のマイクロリアクターは、構造に関わりなく、比較的低圧力での操作に限定されている。一般に、既存のマイクロリアクターは、最高約１５．０バールの圧力で操作することができる。既存のマイクロリアクターを前記より高い圧力で操作すると、マイクロリアクターが破損および/または危険な状態に陥る可能性がある。
【０００８】
　従って、必要ではあるが、現在本技術分野で入手できないのは、マイクロリアクターの高圧操作に関連する前記欠点、およびその他の欠点を克服した化学処理装置と方法である。かかる装置は、１５．０〜１００．０バールの圧力で操作可能であって、一部の用途によっては、最高１,０００．０バールを超える圧力で操作可能でなければならず、化学、製薬、およびバイオテクノロジー分野の物質の処理にうまく適合していなければならない。本発明の装置は、広範囲に及ぶ薬品および化合物を連続的に製造するのにも非常に適している。本発明の主な目的は、かかる装置および方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の１つの態様は、化学処理装置に関するものである。前記化学処理装置は、圧力容器、および前記圧力容器内に配置されるマイクロリアクターを備える。前記圧力容器は、前記装置内において化学操作を行うとき、前記圧力容器およびマイクロリアクターを高圧力に保持するよう構成配置される。
【００１０】
　別の態様において、本発明はマイクロリアクターを高圧力で操作する方法に関連している。前記方法はマイクロリアクターを圧力容器内に配置するステップ、前記マイクロリアクターおよび前記圧力容器の内部を加圧するステップ、および前記圧力容器内において化学操作を行うステップを有している。
【００１１】
　更に別の態様において、本発明は化学処理装置に関連している。前記化学処理装置は、圧力容器、前記圧力容器内に収容されるマイクロリアクター、および前記圧力容器内において化学操作が行われる間、前記圧力容器と協働して、前記圧力容器およびマイクロリアクターを高圧力に保持する封止機構を備えている。
【発明の効果】
【００１２】
　本発明の化学処理装置および方法は、本技術分野で周知の別の化学処理装置および方法と比較して、幾つかの利点を有している。例えば、マイクロリアクター内外の圧力差を調整することができ、マイクロリアクター内部の圧力が１５．０バールを超えても、前記圧力差をほとんどのマイクロリアクターの標準的な操作限界の上限である１５．０バール以下に押さえることができる。従って、本発明に用いられるマイクロリアクターの材料は、特定の圧力要件を必要としない。また、本発明の方法に従って、前記マイクロリアクターを操作すれば、より安全に作業が行える。更に、マイクロリアクターの温度を直接制御するという厄介な作業を必要とせず、マイクロリアクターを収容する圧力容器の温度を制御することによって、マイクロリアクターの温度を制御することができる。
【００１３】
　本発明の更なる特徴および効果は、以下の詳細説明において明らかにされており、当業者にとってある程度容易に理解でき、また本発明を実行することにより、本発明の特徴および効果を認めることができる。
【００１４】
　本発明の前記概要および以下の詳細説明は、本発明の単なる例示であって、本特許請求の本質および特徴を理解するための概要、あるいは骨格として用意したものである。添付図面は本発明をより深く理解するためのものであり、本発明の実施の形態を図解したものである。前記図面と以下の詳細説明により、本発明の原理および機能が理解できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
　本発明の化学処理装置は、本技術分野で一般にマイクロリアクターと呼ばれる、微小規模の流体の操作、処理、および調査をするための微細構造体を幾つも組み込むことができる。本発明は、従来の技術的手法に改善を加え、前記のようなマイクロリアクターを高い圧力、即ち１０．０バールを超える圧力、１５．０バール、更には数１００バールの圧力で操作可能にしたものである。本発明に従って使用されるマイクロリアクターは、微量の１つ以上の流体（液体および/または気体）に対して行われる、あるいは前記流体を必要とする、電気泳動、クロマトグラフィー、および生合成手順を含むがこれに限定されない、分析過程、あるいは合成手順に適応させることができる。具体的には、本発明に従って使用されるマイクロリアクターは、どのような化学操作、あるいは化学処理も行うことができる。本明細書において、化学操作とは、凝縮、蒸発、圧縮、ポンピング、熱交換、膨張、あるいは化学転化もしくは化学分離などの化学過程を含みこれに限定されない、作業流体の状態（化学的および/または物理的状態を含む、熱力学的状態）を変化させる操作を意味する。化学反応は、吸熱性でも発熱性であってもよく、非触媒法、触媒法、光化学法、および/または電気化学法によるものであってよい。転化反応は、部分酸化、酸化、水素化、および燃焼を含むがこれに限定されない。一般に、化学分離には、化学製品および製品の担体を含む少なくとも１つの化学製品の混合物を受け取とり、前記製品を担体から分離する作業が伴う。前記のような分離方法の例には、電気泳動、蒸留、イオン交換、溶媒抽出などがあるが、これに限定されない。
【００１６】
　１つ以上の前記マイクロリアクターの他に、本発明の装置は、流量の操作および調整を行うための構成要素、ミキサー、分離装置、プロセス変量検出器とコントローラ、および、必要な場合には、マスタ・コントローラと通信するためのコンピュータ・インタフェース・モジュールを備えることが好ましい。流量調整構成要素には、ポンプ、流路、マニホールド、流量制限器、バルブ、および/またはその他、本技術分野で周知の前記と同様のデバイスが含まれる。流動系には取外し可能な静的もしくは超音波混合デバイスを含めることができる。前記分離用構成要素により、膜分離、並流抽出、向流抽出、クロマトグラフ分離、電気泳動分離、あるいは蒸留を行うことができる。検出器は電気機械式、分光式、あるいは蛍光式のものでよく、反応物質、中間物質、および最終製品のモニタに使用されることが好ましい。本発明による標準的な装置は、例えば、１つ以上の蛇行マイクロチャンネルを有するマイクロリアクター、フローミキサー、電気機械式反応チャンバ、電気泳動分離チャンバ、および電気化学式分析器を備えることができる。
【００１７】
　本発明の装置には、適切なサイズと形状を有し、圧力容器と協働することができる既存のどのようなマイクロリアクターでも用いることができるが、特許文献１に開示されている、ガラス、ガラス・セラミック、あるいはセラミック製のマイクロリアクターが、本発明の装置との関連において実行することができる化学操作に特に適している。前記引用により、前記特許文献１が本明細書に組み込まれたものとする。別に本明細書に特に記載してない限り、本発明の装置の構造および動作は、かかるマイクロリアクターとの関連において説明されるものとする。　
　一般に、また本発明の１つの態様において、圧力容器の壁を貫通する注入路を通して、処理すべき１つ以上の流体を圧力容器内に収容されているマイクロリアクターに注入することができる。１つ以上の流体のうちの少なくとも１つの流体を、同じ注入路または別の注入路を通して、圧力容器内のマイクロリアクターを取り囲む容積内にも注入して、圧力容器内の圧力をマイクロリアクター内部の圧力に近い圧力、あるいは同じ圧力になるまで高めることが好ましい。次に１つ以上の流体をマイクロリアクター内部に規定される１つ以上の蛇行マイクロチャンネルに注入することにより、そこを流れる１つ以上の流体に対し、１つ以上の化学操作を円滑に行うことが好ましい。必要があるときは、前記１つ以上の流体をマイクロリアクター内部に規定されるマイクロチャンネル内に流す前、流している間、あるいは流した後に、例えば、混合、熱交換、分離、触媒反応、非触媒反応、光化学反応、光触媒反応、および/または電気化学反応を含むがこれに限定されない１つ以上の単位操作を行うことができる。その後、処理済の１つ以上の流体を、圧力容器の壁を貫通する１つ以上の排出路を通して、圧力容器内部から回収して、更に処理、あるいは分析を行うことができる。
【００１８】
　前記各々の操作は、個別に実施するか、または同一あるいは別のデバイス内において、１つ以上の単位操作と連動して実施することができる。従って、本発明の装置は、同一構造、あるいは別構造の複数のマイクロリアクターを備えることができる。例えば、複数のマイクロリアクターを使用する場合には、それぞれのマイクロリアクターによって、異なる化学処理を行うことができる。更に、本技術分野で周知のように、マイクロリアクターをスタックするか、または直列あるいは並列に一体的に配置することができる。
【００１９】
　以下、添付図面にその例が示してある、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。添付図面において、同一もしくは同様の部品には、可能な限り同一参照符号が付してある。参照符号１０で示される本発明の化学処理装置の好ましい実施の形態が図１に示してある。
【００２０】
（実施の形態１）
　図１に示すように、化学処理装置１０は、壁１４と取外し可能なカバー１６とによって画成される内容積を有する圧力容器１２を備えることが好ましい。取外し可能なカバー１６は、圧力容器１２の壁１４との間を耐圧封止するステンレス・スチールのような金属、あるいはその他の適切な材料から成る、標準Ｏ−リングのような封止機構を備えることが好ましい。従来のＯ−リングをベースにした封止機構１８が、各々の図に示されているが、取外し可能なカバー１６に組み込まれていようが、圧力容器１２の壁１４に組み込まれていようが、耐圧封止が可能であれば、どのような機構でも、本発明の化学処理装置１０に関連して使用することができることを当業者は理解できる。高圧、一般に、約数１００バールの圧力に耐え得るものであれば、どのような容器でも、本発明の操作用件を満足するが、従来の圧力釜を用いることが好ましい。
【００２１】
　更に、化学処理装置１０は、熱伝導媒体２２により、あるいは別の方法によって圧力容器１２の内部に支持されるマイクロリアクター２０を備えることが好ましい。本発明の好ましい実施の形態においては、熱伝導媒体２２は、炭化珪素（ＳｉＣ）であってよい。前記ＳｉＣを微粒子状にしてマイクロリアクター２０の周囲に配置するのが好ましく、微粒子の大きさは、約５．０〜１０００．０μｍであることが好ましく、約１００．０〜５００．０μｍであることが更に好ましく、圧力容器１２内部の熱交換媒体として機能することが好ましい。ＳｉＣが各々の図に示されているが、適切な熱交換作用を有すれば、どのような媒体（例えば、他の固体、油、他の液体、気体、およびその他の媒体）でも本発明に有効であることを当業者は理解できる。
【００２２】
　図１に示す本発明の第１の好ましい実施の形態における操作において、好ましくは、水素、窒素、あるいは酸素のような流体を、第１流体供給路２４を通して、マイクロリアクター２０に注入すると同時に、第１流体供給路２４から分岐する均圧路２６を通して圧力容器１２の内容積にも注入する。流量調整バルブ２８を必要に応じて均圧路２６に設けて、圧力容器１２に注入される流体の量を調整してもよい。水素化反応の場合には、水素ガスをマイクロリアクター２０、および圧力容器１２に注入することにより、マイクロリアクター２０の内容積と圧力容器１２の内容積の圧力差が、マイクロリアクター２０の最大圧力限界を超えないようにする。使用するマイクロリアクター２０の種類および構造にもよるが、前記圧力差は、一般に、約１５．０バールより低く保持され、約５．０バールより低く保持することが更に好ましい。
【００２３】
　次に、気体もしくは液体である第２流体を、第２流体供給路３０を通して、マイクロリアクター２０内に注入する。その際、マイクロリアクター２０内において、希望する化学操作を開始する。次に、流体排出路３２を通して、前記化学操作によって生成された反応生成物、および液体もしくは気体であるその他すべての流体をマイクロリアクター２０から回収して、回収物の収集、分析、あるいは更なる処理を行うことができる。前記の反応が起きている間、熱伝導媒体２２、本実施の形態ではＳｉＣが熱交換を促進することにより、マイクロリアクター２０の温度、従って反応プロセスの温度を制御する。
【００２４】
　本発明の操作方法によれば、従来のバッチ・リアクターと異なり、マイクロリアクター内における化学反応の種類、反応速度、あるいはその他の化学処理において、高圧力に対する耐性がもはや制限要因ではなくなる。マイクロリアクター２０内部で高い圧力を受ける流体の量が微量であるため、本発明の化学処理装置１０の操作は非常に安全である。また、流体供給器/排出路２４、３０、３２が圧力容器１２の内部において、マイクロリアクター２０に接続されているので、圧力差が約１５バール未満であっても、前記接続が維持される。従って、従来のデバイスを使用して、流体供給路/排出路を容易に構成することができる。更に、従来の接続金具、シール、バルブ、およびその他のコネクタ、並びに流量調整機構を用いて、圧力容器１２のアップストリームおよびダウンストリームに対し、どのような流体路も構成することができる。
【００２５】
　図示してないが、ガスケット、あるいはその他の封止機構を用いて、流体供給路/排出路２４、３０、３２、および均圧路２６が圧力容器１２を貫通する位置に沿って、本実施の形態では、取外し可能なカバー１６に沿った位置を封止することが好ましいことを当業者は理解できる。
【００２６】
（実施の形態２）
　第２の好ましい実施の形態である、化学処理装置１０’が図２に示してある。化学処理装置１０’は、壁１４’を有する圧力容器１２’、取外し可能なカバー１６’、および取外し可能な底部１７を備えている。取外し可能なカバー１６’および底部１７はいずれも標準のＯ−リングのような封止機構１８’を備えている。マイクロリアクター２０’が、熱伝導媒体２２、好ましくはＳｉＣに囲まれるようにして圧力容器１２’内に配置されている。
【００２７】
　化学処理装置１０’の操作方法によれば、それぞれ流体供給路２４と３０、および均圧路２６を通して、１つ以上の流体をマイクロリアクター２０’、および圧力容器１２’内に供給する。本発明の第１の実施の形態である化学処理装置１０とは異なり、マイクロリアクター２０’のマイクロチャンネルの排出口３１は、流体排出路に封止可能に接続されていない。代わりに、マイクロリアクター２０’内のマイクロチャンネルは、圧力容器１２’の内容積に開放されている。その結果、マイクロリアクター２０’内で生成された反応生成物が、圧力容器１２’の取外し可能な底部１７を貫通する流体排出路３２’を通して回収されるのに先立ち、圧力容器１２’内に自由に流れる。
【００２８】
（実施の形態３）
　第３の好ましい実施の形態である、化学処理装置１０”が図３に示してある。本発明の別の実施の形態と同様に、化学処理装置１０”は、圧力容器壁１４”を有する圧力容器１２”、および標準のＯ−リングのような封止機構１８”を有する取外し可能なカバー１６”を備えている。マイクロリアクター２０が、圧力容器１２”内の熱伝導媒体２２、好ましくはＳｉＣ内に配置されている。
【００２９】
　化学処理装置１０”の操作方法によれば、反応流体が、第１流体供給路２４’および第２流体供給路３０を通して、マイクロリアクター２０に供給される。均圧流体、好ましくは不活性気体が、別の均圧路３４を通して、同時に圧力容器１２”の内容積に供給されることが好ましい。水素化反応のような化学操作を行った後、反応生成物およびその他の流体を、マイクロリアクター２０のマイクロチャンネル排出口に封止可能に接続されている流体排出路３２を通して、マイクロリアクター２０、および圧力容器１２”から排出する。圧力容器１２”およびマイクロリアクター２０の減圧、およびより正確な圧力調整を行うために、オプションの通気調整バルブ３８を有するオプションの通風路３６を設けることが好ましい。
【００３０】
　本発明を詳細に説明してきたが、当業者にとって、本発明の意図を逸脱することなく、本発明に修正を加えることができることは明白である。本発明の意図および範囲を逸脱することなく、本発明の形式、設計、および配置方法に様々な修正を加えることができる。例えば、本発明の別の実施の形態において、同じ流体供給路を使用して複数の流体をマイクロリアクターに送り込むことができる。更に別の実施の形態において、別の方法として、あるいは前記に加え、複数の流体出力路を設けることができる。従って、前記の説明は、限定的なものではなく、例示的なものであって、本発明の真の範囲は、特許請求の範囲において規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による化学処理装置の好ましい実施の形態を示す概略図。
【図２】本発明による化学処理装置の第２の好ましい実施の形態を示す概略図。
【図３】本発明による化学処理装置の第３の好ましい実施の形態を示す概略図。
【符号の説明】
【００３２】
　　　１０、１０’、１０”　　化学処理装置
　　　１２、１２’、１２”　圧力容器
　　　１４、１４’、１４”　圧力容器壁
　　　１６、１６’、１６”　圧力容器の取外し可能なカバー
　　　１７　　　　　　　　 圧力容器の取外し可能な底部
　　　１８、１８’、１８”　封止機構
　　　２０、２０’　　　　 マイクロリアクター
　　　２２　　　　　　　　 熱伝導媒体
　　　２４、２４’　　　　 第１流体供給路
　　　２６　　　　　　　　 均圧路
　　　２８　　　　　　　　 流量調整バルブ
　　　３０　　　　　　　　 第２流体供給路
　　　３１　　　　　　　　 マイクロチャンネルの排出口
　　　３２、３２’　　　　 流体排出路
【図１】
2004105962.tif 000003
【図２】
2004105962.tif 000004
【図３】
2004105962.tif 000005