(57)【要約】【課題】ＬＤチップのハンドリング時間を短縮する。【解決手段】粘着シート２に粘着された複数のＬＤチップ３Ａを剥離して金属製の検査治具２０に載置した後、ＬＤチップ３Ａ上にプローブを接触させてレーザ発光させ、良否判別を行うＬＤチップ検査方法において、粘着シート２上に複数のＬＤチップ３Ａを一方向に所定のピッチで配列し、次に、検査治具２０には前記所定ピッチと同じピッチで一方向に、複数のＬＤチップ３Ａの大きさより小さい形状の複数の穴部２２を形成してあって、複数の穴部２２を真空引きした状態で複数の穴部２２に、複数のＬＤチップ３Ａが対応するようにして、粘着シート２を検査治具２０上に密着配置し、次に、前記真空引きによる剥離力により複数のＬＤチップ３Ａを粘着シート２から一括剥離し、複数のＬＤチップ３Ａを検査治具２０上に移動した後、前記プローブを各ＬＤチップ３Ａに接触させて複数のＬＤチップ３Ａの良否判別を行う。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シートに粘着された複数のレーザダイオードチップを剥離して金属製の検査治具に載置した後、前記レーザダイオードチップ上にプローブを接触させてレーザ発光させ、良否判別を行うレーザダイオードチップ検査方法において、
前記粘着シート上に前記複数のレーザダイオードチップを一方向に所定のピッチで配列し、次に、前記検査治具には前記所定ピッチと同じピッチで一方向に、前記複数のレーザダイオードチップの大きさより小さい形状の複数の真空引き穴を形成してあって、前記複数の真空引き穴を真空引きした状態で前記複数の真空引き穴に、前記複数のレーザダイオードチップが対応するようにして、前記粘着シートを前記検査治具上に密着配置し、次に、前記真空引きによる剥離力により前記複数のレーザダイオードチップを前記粘着シートから一括剥離し、前記複数のレーザダイオードチップを前記検査治具上に移動した後、前記プローブを各レーザダイオードチップに接触させて前記複数のレーザダイオードチップの良否判別を行うことを特徴とするレーザダイオードチップ検査方法である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザーダイオードチップ検査方法に係り、特に、搬送パレットに収納された劈開後のレーザダイオードチップを、ハンドリング時間を短縮してレーザーダイオードチップ検査装置に効率良く移載するのに好適なレーザーダイオードチップ検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザーダイオード（素子）は、周知の製造方法で、多数一括して半導体基板（ウェハ）に形成される。その後、ウェハを切断して、レーザーダイオード（素子）が複数個１列に配列されたバーを得る。このバーを劈開することによって、個々のレーザーダイオード（素子）に分離し、レーザーダイオードチップを得る（以下、単に、チップとも、ＬＤチップともいう）。得られたレーザーダイオードチップは、所定数づつ、搬送用の粘着性のあるパレット又はシートの所定の位置に配置・収容される。
得られたレーザーダイオードチップの全数は、複数の特性について測定評価され、検査・選別される。
【０００３】
図５は、搬送用パレットに配置された劈開後の複数のレーザーダイオードチップを示す図である。ここで、図５の（ａ）は正面図を、図５の（ｂ）は断面図をそれぞれ示す。
同図に示すように、例えば、本出願人が先に特願２０００−３４０４６６号で提案した劈開装置により、バー３を劈開して、複数のレーザーダイオードチップ３Ａを得る。劈開された複数のバー３は、搬送用パレット１８の粘着性樹脂シート（粘着シートとも、粘着性シートともいう）２の面上の所定位置に配置されている。搬送パレット１８は、劈開装置に着脱できるようになっており、劈開終了後、レーザーダイオードチップ移載装置（後述する）に送られる。粘着性樹脂シート２においてバー３が配置される面には粘着材が塗布されており、バー３（複数のレーザーダイオードチップ３Ａ）はこの面に付着しており、自重で落下することはない。粘着性樹脂シート２の外周部は搬送フレーム１に取り付けられている。粘着性樹脂シート２は、伸長性を有している。
【０００４】
搬送用パレットエキスパンド装置では、この粘着性シート２を伸長させて、レーザーダイオードチップ（以下、単にチップともいう）３Ａ間に間隙をつくり、個々のレーザーダイオードチップ３Ａを、後述するレーザーダイオードチップ検査装置１９の試料台１２に容易に移載出来るようにする。
図６は、従来例のレーザーダイオードチップ検査方法におけるエキスパンドされた搬送用パレットを示す図である。
【０００５】
同図に示すように、搬送用パレットエキスパンド装置４０においては、搬送パレット１８の外周部の上側を押えリング５で押えて、搬送フレーム１の内側に粘着性樹脂シート２の下側からエキスパンドリング６を挿入し、エキスパンドリング６を矢印ｃに示すように上方に移動させて、レーザーダイオードチップ３Ａ間に間隙ができるように粘着性樹脂シート２を伸長させる。その後、伸長した粘着性シート２を外側からＯリング４でエキスパンドリング６に押し付けて固定する。これにより、粘着性樹脂シート２がエキスパンドされて、チップ３Ａ間に所定の間隔をあけた搬送用パレット１８Ａが得られる。
【０００６】
次に、従来のレーザーダイオードチップ検査方法を説明する。
図７は、従来例のレーザーダイオードチップ検査方法を説明するための図である。
同図に示すように、レーザーダイオードチップ移載装置（以下、単にチップ移載装置ともいう）２５は、概略ＸＹテーブル７、突上げピン９、吸着ヘッド１０、ＣＣＤカメラ１１及び制御部（図示しない）より構成される。
【０００７】
図中において前後左右方向に移動可能なＸＹテーブル７には、開口部８が設けられている。この開口部８内に、上下移動可能な突上げピン９が配置されている。　開口部８の大きさは、搬送用パレット１８ＡをＸＹテーブル７に載せることが出来るように、エキスパンドリング６の内径より小さく形成されている。突上げピン９の上方には、図中において上下左右移動可能で、チップ３Ａを真空吸着して保持移動できる吸着ヘッド１０がある。突上げピン９の上方で、吸着ヘッド１０の動きと干渉しない位置にＣＣＤカメラ１１が配置されている。
【０００８】
粘着性シート２がエキスパンドされた搬送用パレット１８Ａが、開口部８の上方のＸＹテーブル７上に配置される。このとき、突上げピン９は粘着性シート２に接触しない下方に位置する。吸着ヘッド１０は、ＣＣＤカメラ１１の視野外の位置にある。ＣＣＤカメラ１１で、粘着性シート２上の間隔を空けて配置されたチップ３Ａを認識し、チップ３Ａが、突上げピン９の真下に来るように、制御部がＸＹテーブル７を移動する。
【０００９】
チップ３Ａが突上げピン９の真下に来たら、吸着ヘッド１０は突上げピン９の真上の位置に移動する。次に、突上げピン９が上昇して、粘着性シート２を僅かに上方に持ち上げ、チップ３Ａを離れやすくすると同時に、吸着ヘッド１０が下降して、チップ３Ａに接触して吸着する。チップ３Ａを吸着した吸着ヘッド１０は、上方及び横方向に、後述する図８に示すレーザーダイオードチップ検査装置１９の試料台１２まで移動し、チップ３Ａを試料台１２の所定位置に所定の精度で配置する。チップ３Ａを配置後、チップ３Ａの検査が終了するまで、吸着ヘッド１０は所定の待機位置で、待機する。
【００１０】
次にレーザーダイオードチップ検査装置について説明する
図８は、レーザーダイオードチップ検査装置を示す概略構成図である。
同図に示すように、レーザーダイオードチップ検査装置（以下、単にチップ検査装置ともいう）１９は、ベース１４と、ベース１４の所定位置に配置された試料台１２及び検出部１３とから構成される。
チップ３Ａは、チップ移載装置２５により、搬送用パレット１８Ａから取り出され、試料台１２の所定の位置に所定の精度で配置され、図示しないプローブを通して、通電され、レーザ発光し、発光光１５を放射する。発光光１５は検出部１３に入射し、所定の特性が測定評価されて、良否が判定される。
【００１１】
チップの測定項目としては、ＦＦＰ（ファーフィールドパターン）、光出力、効率、電圧、動作抵抗、スペクトルなどがある。
例えば、ＦＦＰを測定するには、検出部１３には計測用カメラ（例えば、ＣＣＤカメラ）及び計測用カメラで得られる信号を処理し、特性として表示する信号処理部（例えば、専用のアダプタと所定の解析プログラムを搭載したパソコン）が用いられる。
【００１２】
例えば、光出力を測定するには、検出部１３にはレーザーパワーメータ（例えば、カロリーメータ）及びレーザーパワーメータで得られる信号を処理し、特性として表示する信号処理部（例えば、専用のアダプタと所定の解析プログラムを搭載したパソコン）が用いられる。
これらの測定において共通化できるのはパソコンであり、発光光１５を取り込む検出部１３はそれぞれの測定において専用のものが必要となる。
従って、チップ３Ａの検査にあたっては、測定項目毎に専用の検出部１３とそれに対応した試料台１２が必要となる（試料台上で、チップ３Ａを発光させる）。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
搬送用パレット１８Ａに収容されているチップ３Ａは、測定に際しては、上述したように搬送用パレット１８Ａからチップ移載装置２５の吸着ヘッド１０によって取り出され、チップ検査装置１９の試料台１２に所定の精度で配置され、通電発光されて、所定の測定検査が行われる。測定検査が終了すると、チップ３Ａは、チップ移載装置２５によって、試料台１２から、再び搬送用パレット１８Ａに戻される。搬送用パレット１８Ａに搭載された全てのチップ３Ａの測定検査が終了すると、次の測定検査のために、搬送用パレット１８Ａは、対応する次のチップ検査装置１９に送られる。
【００１４】
次のチップ検査装置１９において、チップ３Ａは、チップ移載装置２５によって、搬送用パレット１８Ａから取り出され、試料台１２に配置されて、所定の測定検査が行われる。測定検査終了後、チップ３Ａはチップ移載装置２５によって、試料台１２から、搬送用パレット１８Ａに戻される。搬送用パレット１８Ａに搭載された全てのチップ３Ａの測定検査が終了すると、次の次の検査のために搬送用パレット１８Ａは、対応するチップ検査装置１９に送られる。
このサイクルが、異なる測定項目毎に繰り返される。すなわち、ワンバイワン方式でチップ３Ａが試料台１２に供給される場合には、一個のチップ３Ａに注目すると、複数回の測定検査のために同じ複数回のハンドリングが行われることになる。
【００１５】
このように、複数の項目を複数のチップ検査装置１９により測定検査するレーザーダイオードチップ３Ａの検査においては、複数回のチップ３Ａのハンドリングが必要であり、検査に時間がかかるという問題があった。
【００１６】
一方、チップ３Ａのハンドリング時間を短縮して、検査の効率を上げるために、ロータリーインデックス等に多数のチップを搭載し、ロータリーインデックスの周囲に、検査項目毎にステーションを割り振っておいて、ロータリーインデックスを回転させることによって、それぞれの検査を行うようにして、チップ３Ａの搭載と排出を複数の測定において一回にする装置がある。この装置は、チップ３Ａのハンドリング時間を大幅に短縮できるものの、装置が大型且つ高価になリ、ステーションの位置がロータリーインデックスに対して固定されるので、検査項目が増加した場合に、容易に対応できないという問題があった。
【００１７】
そこで本発明は、上記問題を解決し、レーザーダイオードチップのハンドリング時間を短縮するレーザーダイオードチップ検査方法を提供することを目的とするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための手段として、本発明は、粘着シート２に粘着された複数のレーザダイオードチップ３Ａを剥離して金属製の検査治具（転写治具２０）に載置した後、前記レーザダイオードチップ３Ａ上にプローブを接触させてレーザ発光させ、良否判別を行うレーザダイオードチップ検査方法において、前記粘着シート２上に前記複数のレーザダイオードチップ３Ａを一方向に所定のピッチで配列し、次に、前記検査治具（転写治具）２０には前記所定ピッチと同じピッチで一方向に、前記複数のレーザダイオードチップの大きさより小さい形状の複数の真空引き穴（穴部２２）を形成してあって、前記複数の真空引き穴（穴部２２）を真空引きした状態で前記複数の真空引き穴（穴部２２）に、前記複数のレーザダイオードチップ３Ａが対応するようにして、前記粘着シート２を前記検査治具（転写治具）２０上に密着配置し、次に、前記真空引きによる剥離力により前記複数のレーザダイオードチップ３Ａを前記粘着シート２から一括剥離し、前記複数のレーザダイオードチップ３Ａを前記検査治具２０上に移動した後、前記プローブを各レーザダイオードチップ３Ａに接触させて前記複数のレーザダイオードチップ３Ａの良否判別を行うことを特徴とするレーザダイオードチップ検査方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、好ましい実施例により、図面を参照して説明する。
なお、各構成に付す参照符号については、従来例と同一の構成に対しては同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００２０】
＜第１実施例＞
図１は、本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第１実施例を説明するための図である。
図２は、本発明のレーザーダイオードチップ検査方法に係る転写治具を示す斜視図である。
【００２１】
図１に示すように、搬送用パレット１８において、劈開されてバー３状になったチップ３Ａが粘着性シート２上に貼付されている（劈開装置から取り外した状態である）。粘着性シート２は伸張性を有しており、外周部が搬送フレーム１に取り付けられている。押えリング１６を粘着性シート２を介して搬送フレーム１に固定することにより搬送パレット１８を所定の位置に配置・固定する。粘着性シート２の外周部も固定される。このとき、バー３は粘着性シート２の下側になるようにされている。
搬送用パレット１８の下方に、バー３に所定間隔に近接して転写治具（検査治具）２０を配置する。
【００２２】
図２に示すように、転写治具２０は、上面２６に対して段差を有する吸着面２４を有している。段差を形成する面は基準面２３である。吸着面２４には、複数の穴部（真空引き穴）２２が所定の間隙を有して形成されている。穴部２２は内部に形成されている中空部２２Ａに全て連結されており、この中空部２２Ａは、真空引き口２１を通して、真空排気装置（図示しない）に管（図示しない）によって接続されている。穴部２２の大きさは、チップ３Ａで塞ぐことが出来る程度に小さく、その間隔（配列ピッチ）は、チップ３Ａの間隔（配列ピッチ）と同じにされている。複数の穴部２２は、基準面２３に平行に形成されている。バー３の長手方向の側面３Ｓを基準面２３に当てて、吸着面２４にチップ３Ａの上面（シート２に接する面の反対側の面）を接して配置したとき、チップ３Ａがそれぞれ、穴部２２を塞ぐような配置になっている。
穴部２２は必要に応じて真空引きされ、大気圧より減圧される。
【００２３】
転写棒１７がシート２の上方に配置されている。転写棒１７は上下方向及び左右横方向に移動可能にされている。
シート２に貼り付けられたバー３が転写棒で転写治具２０に押し付けられるときに、チップ３Ａが吸着面に正しく配置され、穴部２２で吸着されるように、搬送パレット１８と転写治具２０とは、配置されている。
【００２４】
このような配置で、転写棒１７はバー３の一端側の上方に移動したら、下方に移動して、シート２を下方に押し込んで伸長させ、チップ３Ａを吸着面に接触させて吸着させる。転写棒１７は、バー３に沿って横方向に移動し、チップ３Ａを次々と吸着面２４に接触させて吸着させる。
転写棒１７の横方向の移動によって、転写棒１７の当たっていないシート２の部分は吸着面２４から遠ざかるが、チップ３Ａを穴部２２で吸着する吸着力の方が、シート２がチップ３Ａを粘着する粘着力よりも強いので、チップ３Ａは次々と転写治具２０の吸着面２４に移載される。
【００２５】
バー３を構成する全てのチップ３Ａが転写治具２０に移載されたあとは、転写棒１７は上昇して、シート２から離れる。
転写治具２０は、レーザダイオードチップ検査装置の試料台上にそのまま移動される。この試料台は転写治具２０の基準面２３方向に移動可能にされており、吸着面２４には、プローブが接続され、検査対象となるチップ３Ａの吸着面２４に接する面とは反対側の面（上面）にもプローブが接続されるようになっている。これらのプローブ間に所定の電圧が印加されて、チップ３Ａをレーザ発光させ、発光光を検出して、所定の検査が行われる。これを順次、転写治具２０上のチップ３Ａに対して行なう。全てのチップ３Ａの検査が終了すれば、プローブを転写治具２０から外し、この試料台から、次の検査装置の試料台に移載し、同様に検査を行う。
【００２６】
本第１実施例では、従来例のように、搬送パレットをエキスパンドされた搬送パレットにすることなく、チップ１個１個を検査装置の試料台に移載することなく、チップを複数個一括して移載するので、チップのハンドリング時間を大幅に短縮し、検査の効率を上げ、ロータリーインデックス方式のような大掛かりな装置を必要としない。
【００２７】
＜第２実施例＞
図３は、本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第２実施例を説明するための第１の図である。図３の（ａ）は搬送パレットの上面図であり、図３の（ｂ）は断面図を示す。
図４は、本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第２実施例を説明するための第２の図である。
【００２８】
図３の（ａ）、図３の（ｂ）に示すように、搬送用パレット１８において、劈開されてチップ３Ａに分離されたバー３が粘着性シート２上に貼付されている（劈開装置から取り外した状態である）。粘着性シート２は伸張性を有しており、外周部が搬送フレーム１に取り付けられている。搬送用パレット１８は、基板（図示しない）に、その搬送フレーム１を固定配置されている。
搬送用パレット１８の上方には、一括引き剥がしヘッド３０が配置される。一括引き剥がしヘッド３０は上下方向及び左右横方向に移動可能にされている。
【００２９】
一括引き剥がしヘッド３０は上述した転写治具２０と略同様の形状をしている。すなわち、一括引き剥がしヘッド３０は、下面３５に対して段差を有する吸着面３４を有している。段差を形成する面は基準面３６である。吸着面３４には、複数の穴部（真空引き穴）３２が所定間隙を有して形成されている。穴部３２は内部に形成されている中空部（図示しない）に全て連結されており、この中空部は、真空引き口３１を通して、真空排気装置（図示しない）に管３３（図４参照）によって接続されている。吸着面３４での穴部３２の大きさは、チップ３Ａで塞ぐことが出来る程度に小さく、その間隔（配列のピッチ）は、チップ３Ａの間隔（配列のピッチ）と同じにされている。複数の穴部３２は、基準面３６に平行に形成されている。バー３の長手方向の側面３Ｓを基準面３６に当てて、吸着面３４にチップ３Ａの上面（シート２に接する面の反対側の面）を接して配置したとき、チップ３Ａがそれぞれ、穴部３２を塞ぐような配置になっている。
【００３０】
穴部３２は、必要に応じて真空引きされて、大気圧より減圧される。
一括引き剥がしヘッド３０が、所定のバー３上に位置決めされると、下方に移動して、吸着面３４がバー３における全てのチップ３Ａの上面に接した後、全てのチップ３Ａを一括して吸着する。真空装置側に設けられた真空計が所定の真空度を示し、確実にチップ３Ａを吸着している状態で、一括引き剥がしヘッド３０は、矢印ｂの方向に移動する。これによって、バー３における全てのチップ３Ａは粘着性シート２より引き剥がされて、一括引き剥がしヘッド３０の吸着面３４上に保持される。
【００３１】
次に、図４の示されるように、所定位置に配置された転写治具２０の上方に、穴部２２にチップ３Ａが対応するように、一括引き剥がしヘッド３０が移動する。その後、一括引き剥がしヘッド３０は、チップ３Ａの全てが、転写治具２０の吸着面２４の所定位置に吸着するように下降する。次に、転写治具２０により、チップ３Ａを吸着し、一括引き剥がしヘッド３０に接続した真空装置は、真空引きを停止し、穴部３２を大気圧に開放し、吸着を停止する。一括引き剥がしヘッド３０は、搬送パレット１８上の所定の位置に戻り、転写治具２０は、第１実施例において上述したように、検査装置の試料台上に移動する。その後、第１実施例において上述のとおり、各チップ３Ａの検査が行われ、全チップ３Ａの検査が終了すれば、次の検査装置に、チップ３Ａは転写装置毎送られて次の検査がなされる。
【００３２】
本第２実施例においても、従来例のように、搬送パレットをエキスパンドされた搬送パレットにすることなく、チップ１個１個を検査装置の試料台に移載することなく、チップを複数個一括して移載するので、チップのハンドリング時間を大幅に短縮し、検査の効率を上げ、ロータリーインデックス方式のような大掛かりな装置を必要としない。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のレーザダイオードチップ検査方法は、粘着シート上に複数のレーザダイオードチップを一方向に所定のピッチで配列し、次に、検査治具には前記所定ピッチと同じピッチで一方向に、前記複数のレーザダイオードチップの大きさより小さい形状の複数の真空引き穴を形成してあって、前記複数の真空引き穴を真空引きした状態で前記複数の真空引き穴に、前記複数のレーザダイオードチップ３Ａが対応するようにして、前記粘着シートを前記検査治具上に密着配置し、次に、前記真空引きによる剥離力により前記複数のレーザダイオードチップを前記粘着シートから一括剥離し、前記複数のレーザダイオードチップを前記検査治具上に移動した後、前記プローブを各レーザダイオードチップ３Ａに接触させて前記複数のレーザダイオードチップの良否判別を行うことにより、レーザーダイオードチップのハンドリング時間を短縮するレーザーダイオードチップ検査方法を提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第１実施例を説明するための図である。
【図２】本発明のレーザーダイオードチップの検査方法に係る転写治具を示す斜視図である。
【図３】本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第２実施例を説明するための第１の図である。
【図４】本発明のレーザーダイオードチップ検査方法の第２実施例を説明するための第２の図である。
【図５】搬送用パレットに配置された劈開後の複数のレーザーダイオードチップを示す図である。
【図６】従来例のレーザーダイオードチップ検査方法におけるエキスパンドされた搬送用パレットを示す図である。
【図７】従来例のレーザーダイオードチップ検査方法を説明するための図である。
【図８】レーザーダイオードチップ検査装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…搬送フレーム、２…粘着性樹脂シート、３…バー、３Ａ…レーザーダイオードチップ、３Ｓ…側面、４…Ｏリング、５…押えリング、６…エキスパンドリング、７…ＸＹテーブル、開口部、９…突上げピン、１０…吸着ヘッド、１１…ＣＣＤカメラ、１２…試料台、１３…検出部、１４…ベース、１５…発光光（レーザー光）、１６…押えリング、１７…転写棒、１８，１８Ａ…搬送用パレット、１９…レーザーダイオードチップ検査装置、２０…転写治具、２１…真空引き口、２２…穴部（真空引き穴）、２３…基準面、２４…吸着面、２５…レーザーダイオードチップ移載装置、２６…上面、３０…一括引き剥がしヘッド、３１…真空引き口、３２…穴部、３３…ホース、３４…吸着面、３５…下面、３６…基準面、４０…搬送用パレットエキスパンド装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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