(57)【要約】【課題】本発明はヘッドに設けられた複数のノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で実現し保持姿勢検査時間の短縮、精度向上を図る。【解決手段】少なくとも１本以上のノズルを並べたノズル列を少なくとも２列以上並べて配置したヘッド６と、このヘッド６で搬送された部品を実装する基板５を保持する基板保持部４と、ヘッド６の供給部２から基板保持部４への移動経路に配置されて、ヘッド６のノズルに保持された部品の保持姿勢を検査しノズル列ごとに独立した姿勢検査用のセンサ１３，１４を有する検査部７とを備える構成とした。【選択図】  図３
2004349279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を供給する供給部と、この供給部から供給された部品を取り出して搬送するノズルをＸ方向に少なくとも１本以上並べたノズル列をＸ方向と直交するＹ方向に少なくとも２列以上並べて配置した構成からなるヘッドと、このヘッドで搬送された部品を実装する基板を保持する基板保持部と、前記ヘッドの前記供給部から前記基板保持部への移動経路に配置されて、前記ノズルに保持された部品の保持姿勢を検査する検査部と、この検査部には、前記ヘッドに配置された前記ノズルのノズル列ごとに独立した姿勢検査用のセンサと、姿勢検査の際に前記ヘッドに向けて光線を照射する照明部と、前記ノズルに保持された部品の画像取り込みのための光情報の入射口を有する構成とした部品実装機。
【請求項２】
検査部の各センサごとに独立した入射口と照明部を設けた請求項１に記載の部品実装機。
【請求項３】
検査部の各センサの視野中心をＸ方向にそろえて並べて配置した請求項２に記載の部品実装機。
【請求項４】
検査部の各センサの視野中心をＸ方向にずらして並べて配置した請求項２に記載の部品実装機。
【請求項５】
ヘッドに設けられたノズル列がＹ方向に３列以上並べられた場合に検査部の各センサの視野中心をＸ方向にジグザグにずらして並べて配置した請求項４に記載の部品実装機。
【請求項６】
検査部の全センサに対して、共通の入射口と照明部を設け、各センサの視野中心をＸ方向にずらして並べて配置した請求項１に記載の部品実装機。
【請求項７】
入射口とセンサの間にミラーを始めとする反射体を設けセンサを検査部の側面側に配置した請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の部品実装機。
【請求項８】
入射口とセンサの間にハーフミラーもしくはプリズムを始めとする反射・透過体を設け、入射口から入射するノズルに吸着された部品の光情報の反射・透過体における反射光側と透過光側に検査部のセンサを交互に並べて配置した請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の部品実装機。
【請求項９】
反射・透過体と検査部のセンサの間にレンズを配置した請求項８に記載の部品実装機。
【請求項１０】
入射口とセンサの間にハーフミラーもしくはプリズムを始めとする反射・透過体を設け、前記反射・透過体の透過光側の画像取り込み可能な任意位置にセンサを追加配置した請求項１から請求項６のいずれか１項に記載に部品実装機。
【請求項１１】
検査部のセンサ中に視野角の異なるセンサを含む請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の部品実装機。
【請求項１２】
検査部のセンサ中に分解能の異なるセンサを含む請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回路基板を始めとする基板に電子部品を始めとする部品を実装する部品実装機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電子部品実装機は、供給部から供給された部品をヘッドのノズルで吸着し取り出して基板保持部に保持された基板上へと搬送し、その後、この基板に部品を実装するようになっていた。そして、このヘッドの移動経路に設けられた検査部により、ノズルに吸着保持された部品の保持姿勢を検査し、この検査結果に基づいて部品の姿勢を必要に応じて補正して実装動作を行うようになっていた。
【０００３】
そして、ヘッドには複数のノズルが設けられており、検査部にてこのノズルに吸着された部品の保持姿勢を検査する際には、複数のノズルに吸着された部品の画像情報を１つづつ取り込み検査を行うのでなく、一度に複数のノズルの画像情報を、すなわち複数の部品の画像情報を検査部に設けられた１台のセンサにて取り込んで検査を行うことにより、保持姿勢検査に要する時間短縮を図るようになっていた。
【０００４】
また、ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査の際には、ヘッドが検査部の上方を移動するのであるが、検査部のセンサとしてラインセンサやシャッタ機能付きのエリアセンサを用いることにより、ヘッドを検査部の上方で一旦停止させることなく移動させたままノズルに吸着された部品の保持姿勢検査を行い（以下、このヘッドを検査部上方で停止させることなく移動させたままノズルに吸着された部品の画像情報を取り込み、保持姿勢検査を行う動作をスキャン動作と呼ぶ）保持姿勢検査に要する時間短縮を図るようになっていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１８６４９２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電子部品実装機には次のような課題があった。
【０００７】
すなわち、検査部によりヘッドに設けられた複数のノズルに吸着された部品の保持姿勢の検査を行う際に複数の部品の画像情報を検査部の１個のセンサにより一度に取り込むのであるが、この画像情報の取り込みを行うセンサの視野範囲の外周に配置された照明部から照射される光線により保持姿勢検査を行うため、すなわち同一の照明部により複数の部品に対して同一のタイミングで同一に設定された光量の光線を照射するので、部品の表面状態・材質・色等によっては部品の形状の画像情報が鮮明に得られず、１回のスキャン動作では保持姿勢検査にて検査精度がでない部品の組み合わせや、保持姿勢検査自体ができない部品の組み合わせの場合が存在し、その際は照明部から照射される光線の設定を変更して、検査精度がでない、もしくは検査自体ができない部品の姿勢検査のために画像情報を再度取り込む必要があり、複数回のスキャン動作を行うこととなり保持姿勢検査に要する時間が増え、その結果として電子部品実装機の生産性が落ちてしまう場合があった。
【０００８】
また、  検査部に設けられた１つのセンサにて、複数のノズルに吸着された部品の保持姿勢情報を一度に取り込むため、センサの視野範囲すなわち視野角が大きくなりセンサ１画素あたりの分解能が荒くなり十分な検査精度が得られず、その結果として電子部品実装機の生産性が落ちてしまう場合があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、部品を供給する供給部と、この供給部から供給された部品を取り出して搬送するノズルをＸ方向に少なくとも１本以上並べたノズル列をＸ方向と直交するＹ方向に少なくとも２列以上並べて配置した構成からなるヘッドと、このヘッドで搬送された部品を実装する基板を保持する基板保持部と、前記ヘッドの前記供給部から前記基板保持部への移動経路に配置されて、前記ノズルに保持された部品の保持姿勢を検査する検査部と、この検査部には、前記ヘッドに配置された前記ノズルのノズル列ごとに独立した姿勢検査用のセンサと、姿勢検査の際に前記ヘッドに向けて光線を照射する照明部と、前記ノズルに保持された部品の画像取り込みのための光情報の入射口を有する構成としたものであって、前記ヘッドに設けられたノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で実現することにより保持姿勢検査に要する時間の短縮を図るとともに、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として電子部品実装機の生産性を向上することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、部品を供給する供給部と、この供給部から供給された部品を取り出して搬送するノズルをＸ方向に少なくとも１本以上並べたノズル列をＸ方向と直交するＹ方向に少なくとも２列以上並べて配置した構成からなるヘッドと、このヘッドで搬送された部品を実装する基板を保持する基板保持部と、前記ヘッドの前記供給部から前記基板保持部への移動経路に配置されて、前記ノズルに保持された部品の保持姿勢を検査する検査部と、この検査部には、前記ヘッドに配置された前記ノズルのノズル列ごとに独立した姿勢検査用のセンサと、姿勢検査の際に前記ヘッドに向けて光線を照射する照明部と、前記ノズルに保持された部品の画像取り込みのための光情報の入射口を有する構成とした部品実装機であって、ヘッドに設けられた複数のノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で実現することにより保持姿勢検査に要する時間の短縮を図るとともに、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、検査部の各センサごとに独立した入射口と照明部を設けた請求項１に記載の部品実装機であって、各センサごとすなわちヘッドに設けられた各ノズル列に吸着された部品ごとに照明部から照射される光線の設定を独立して行うことができ、各ノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で行うことが可能となるので姿勢検査に要する時間の短縮を図り、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の発明は、検査部の各センサの視野中心をＸ方向にそろえて並べて配置した請求項２に記載の部品実装機であって、ヘッドに設けられた複数のノズル列に吸着された部品の画像情報の取り込みを同一のタイミングで行うことができるためノズルに吸着された部品の保持姿勢検査に要する時間の短縮を図り、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。また、検査部のＸ方向に占めるスペースを小さくコンパクトにすることができ、その結果コンパクトな部品実装機を構成することができる。
【００１３】
本発明の請求項４に記載の発明は、検査部の各センサの視野中心をＸ方向にずらして並べて配置した請求項２に記載の部品実装機であって、ヘッドに設けられた複数のノズル列の間隔が狭い場合、検査部の各センサの視野をＸ方向にそろえて並べて配置した状態では十分な照明部の設置スペースが得られず、照明部から照射される光線の光量が不足するためにノズルに吸着された部品の保持姿勢検査精度が確保できない部品が存在する場合でも、各センサの視野をＸ方向にずらして並べて配置することにより、ノズルに保持された部品の姿勢検査の精度を確保するために十分な光線の光量を照射する照明部の設置スペースを確保する事ができ、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。
【００１４】
本発明の請求項５に記載の発明は、ヘッドに設けられたノズル列がＹ方向に３列以上並べられた場合に検査部の各センサの視野中心をＸ方向にジグザグにずらして並べて配置した請求項４に記載の部品実装機であって、各センサの視野中心をＸ方向に順次ずらして並べて配置した場合に比べＸ方向に占めるスペースが小さくなるので、ヘッドに設けられた複数のノズル列に吸着された部品の保持姿勢の画像情報の取り込みに要する時間の短縮が図れ、その結果として部品実装機の生産性を向上することができると共に検査部をコンパクトにでき、その結果コンパクトな部品実装機を構成することができる。
【００１５】
本発明の請求項６に記載の発明は、検査部の全センサに対して、共通の入射口と照明部を設け、各センサの視野中心をＸ方向にずらして並べて配置した請求項１に記載の部品実装機であって、検査部の全センサに対して共通の入射口と照明部を設けることにより、ヘッドに設けられた複数のノズル列の間隔に関係なく照明部の設置スペースを確保することができるため、ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査の検査精度を得るために必要な光線光量を得るための照明部を容易に構成できノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上が容易に図れるとともに、各センサの視野中心をＸ方向にずらして並べて配置することによりセンサごとすなわちヘッドに設けられた各ノズル列に吸着された部品ごとに照明部から照射される光線の光量設定を行うことができ、各ノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で行うことが可能になるので、姿勢検査に要する時間の短縮を図れ、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。
【００１６】
本発明の請求項７に記載の発明は、入射口とセンサの間にミラーを始めとする反射体を設けセンサを検査部の側面側に配置した請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の部品実装機であって、入射口から入射するノズルに吸着された部品の光情報を反射体により検査部の側面側に配置されたセンサ方向に反射させる構成にすることにより、検査部の高さ寸法を低くすることができ、その分検査部としての剛性が高くなりノズルに吸着された部品の保持姿勢検査の精度を向上を図ることができ、その結果として部品実装機の生産性を向上することができる。また、センサを検査部側面に配置することによりセンサの調整および交換等のメンテナンスが容易にするものになる。
【００１７】
本発明の請求項８に記載の発明は、入射口とセンサの間にハーフミラーもしくはプリズムを始めとする反射・透過体を設け、入射口から入射するノズルに吸着された部品の光情報の反射・透過体における反射光側と透過光側に検査部のセンサを交互に並べて配置した請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の部品実装機であって、センサを検査部の下面や側面の同一面に並べて配置した場合に、センサの外形寸法の影響によりヘッドに配置されたノズル列の間隔が必要以上に広くなってしまう場合でも、反射・透過体を入射口とセンサの間に設けこの反射・透過体における反射光側と透過光側に検査部のセンサを交互に配置することにより、前記ヘッドに配置されたノズル列の間隔を狭くすることができ、その結果ヘッドをコンパクトにできるものとなる。また、検査部のＹ方向に占めるスペースを小さくできるので検査部をコンパクトにできるものとなる。
【００１８】
本発明の請求項９に記載の発明は、反射・透過体と検査部のセンサの間にレンズを配置した請求項８に記載の部品実装機であって、ヘッドに設けられた複数のノズル列の間隔が狭くすなわち検査部の各センサを検査部の下面や側面の同一面に並べて配置した状態では各センサの間隔が狭く、センサのための十分な明るさのレンズ経を確保できずにセンサに取り込まれる光情報の明るさが不足してノズルに吸着された部品の保持姿勢検査精度が確保できない場合でも、反射・透過体を入射口とセンサの間に設けこの反射・透過体における反射光側と透過光側に検査部のセンサを交互に配置し、この反射・透過体と検査部の各センサの間にレンズを配置することにより、このレンズ径を大きくすることができるため、前記ヘッドに配置されたノズルに吸着された部品の保持姿勢検査精度の向上が図れ、その結果として部品実装機の生産性向上を図ることができる。
【００１９】
本発明の請求項１０に記載の発明は、入射口とセンサの間にハーフミラーもしくはプリズムを始めとする反射・透過体を設け、反射・透過体の透過光側の画像取り込み可能な任意位置にセンサを追加配置した請求項１から請求項６にいずれか１項に記載に部品実装機であって、検査部の複数のセンサの内、各ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査に最適なセンサにて部品の画像情報を取り込むことにより保持姿勢検査の精度向上を図ることができるとともに、センサ数を増やしたことによりノズルに吸着された部品の姿勢検査精度の向上を図ることができるとともに検査対象部品の拡充を図ることができ、その結果として部品実装機の生産性向上を図ることができる。
【００２０】
本発明の請求項１１に記載の発明は、検査部のセンサ中に視野角の異なるセンサを含む請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の部品実装機であって、検査部の複数のセンサの内、各ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査に最適な視野角のセンサにて部品の画像情報を取り込むことにより保持姿勢検査の精度向上を図ることができるとともに、視野角の異なるセンサを含むことによりノズルに吸着された部品の姿勢検査精度の向上を図ることができるとともに検査対象部品の拡充を図ることができ、その結果として部品実装機の生産性向上を図ることができる。
【００２１】
本発明の請求項１２に記載の発明は、検査部のセンサ中に分解能の異なるセンサを含む請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の部品実装機であって、検査部の複数のセンサの内、各ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査に最適な分解能センサにて部品の画像情報を取り込むことにより保持姿勢検査の精度向上を図ることができるとともに、分解能の異なるセンサを含むことによりノズルに吸着された部品の姿勢検査精度の向上を図ることができるとともに検査対象部品の拡充を図ることができ、その結果として部品実装機の生産性向上を図ることができる。
【００２２】
以下に各実施の形態について、部品実装機の事例として電子部品実装機について説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
以下本発明の第一の実施の形態を図１から図６を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明の第一の実施形態の電子部品実装機を示す概略平面図であり、図２は同電子部品実装機のヘッドを示す斜視図であり、図３から図６は同電子部品実装機の検査部の平面図、検査部におけるノズルに吸着された部品の画像情報取り込み（以下、撮像と呼ぶ）のタイミングチャート図、検査部の断面図、検査部の側面図である。
【００２５】
図１に示すように、供給部２は部品（図１には図示せず）を供給する供給体３を複数個搭載し、この供給部２によって供給される部品は、ＸＹ方向に移動可能なヘッド６に設けられ複数のノズル（後述）により吸着保持され、基板保持部４に保持された基板５上に実装されるようになっている。この基板保持部４は前記基板５を保持するだけでなく、基板５をＸ方向に搬送および位置決めする役割もかねている。
【００２６】
前記ヘッド６には、図２に示すようにノズル列１ノズル８ａから８ｅおよびノズル列２ノズル９ａから９ｅとして、それぞれＸ方向に５本並列された二つのノズル列がＹ方向に２列に計１０本のノズルが配置されている。このノズル列１ノズル８ａから８ｅおよびノズル列２ノズル９ａから９ｅの各ノズル列の５本のノズルの配置間隔は前記供給部２の供給体３の配置間隔に対応して設定され、一度に複数の部品を吸着できるように構成されている。また、このノズル列１ノズル８ａから８ｅとノズル列２ノズル９ａから９ｅの２列のノズル列の間隔は、それぞれのノズル列のノズルが吸着する部品の外形寸法を考慮して、吸着された部品が接触・干渉しない距離以上の間隔があけられている。また、１０はノズル列１ノズル８ａから８ｅ、ノズル列２ノズル９ａから９ｅの軸芯回りの回転位置を補正するためのモータであり、このモータ１０を回転させることにより、ノズル列１ノズル８ａから８ｅ，およびノズル列２ノズル９ａから９ｅの各ノズルの回転位置を調整できるように構成されている。
【００２７】
前記供給部２と基板保持部４の間には検査部７が配置され、この検査部７により前記ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａから８ｅ，ノズル列２ノズル９ａから９ｅに吸着された部品の保持姿勢検査を行う。
【００２８】
図示していないが、この電子部品実装機１には前記各部の動作を制御する制御部を設けている。この制御部は、基板５に実装される部品の種類、実装される位置や角度などの実装位置情報を記憶している。前記検査部７は、撮像された部品の画像情報からヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａから８ｅ，ノズル列２ノズル９ａから９ｅに保持された部品の保持姿勢を検査する。そして部品の保持姿勢が所定のものに対してずれていた場合に、前記制御部は、このずれを補正するために前記ヘッド６のＸＹ移動量とヘッド６のモータ１０の回転角度、すなわちノズル列１ノズル８ａから８ｅ，ノズル列２ノズル９ａから９ｅの回転角度を演算しながら、制御部により各部の動作を制御して部品の基板５への実装を行う。
【００２９】
なお、本実施の形態の電子部品実装機１は、生産性の向上を図るため図１に示すとおり左右対称の２ステージ構成となっており、それぞれのステージが独立して実装動作可能なものである。
【００３０】
次に、ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａから８ｅ，ノズル列２ノズル９ａから９ｅに吸着された部品の検査部７における保持姿勢検査について詳細な説明をする。
【００３１】
図３の１１ａ，１１ｂは前記ヘッド６（図３には図示せず）に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着保持された第一の部品で、１２ａ，１２ｂはノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着保持された第二の部品である。なお、各ノズル列の３本目以降のノズル８ｃ，８ｄ，８ｅ，９ｃ，９ｄ，９ｅ、およびこれらのノズルに吸着された部品は省略して図３には図示しておらず、以下の説明においても省略するものとする。１３はノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着保持された第一の部品１１ａ，１１ｂの保持姿勢を撮像するための第一のセンサであり、１５はその撮像の際に第一の部品１１ａ，１１ｂに向けて光線を照射する第一の照明部であり、１７はその撮像の際に光情報を取り込むための第一の入射口である。同様に１４はノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着保持された第二の部品１２ａ，１２ｂを撮像するための第二のセンサ、１６はその撮像の際に第二の部品１２ａ，１２ｂに向けて光線を照射する第二の照明部、１８はその撮像の際に光情報を取り込むための第二の入射口である。第一，第二の照明部１５，１６はそれぞれ第一，第二の入射口１７，１８の外周部に沿って設置されている。ここで、第一のセンサ１３の視野中心と第二のセンサ１４の視野中心の間隔はヘッド６に配置されたノズル列の間隔、すなわちノズル列１ノズル８ａの中心とノズル列２のノズル９ａの中心の間隔と一致するように配置されている。また、第一の入射口１７の中心と第一の照明部１５の中心と第一のセンサ１３の視野中心は一致するように配置され、同様に第二の入射口１８の中心と第二の照明部１６の中心と第二のセンサ１４の視野中心も一致するように配置されている。また、第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心はＸ方向にずらさずに並べられて配置されており、ヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのＹ方向に対応する各ノズル中心を結ぶ線すなわちノズル列１のノズル８ａの中心とノズル列２ノズル９ａの中心を結ぶ線と第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心を結ぶ線は平行になるように配置されている。
【００３２】
前記ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂ，ノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂ，第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査を行う際には、まずヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂ，ノズル列２ノズル９ａ，９ｂの各ノズル列と検査部７の第一，第二のセンサ１３，１４の各視野中心のＹ方向位置が一致するようにヘッド６をＹ方向に移動させた後（図３は、既にＹ方向への移動は終えた状態）、図３の矢印に示すようにヘッド６をＸ方向に移動させて検査部７上を通過させ、第一，第二のセンサ１３，１４によりそれぞれ第一，第二の部品８ａ，８ｂと９ａ，９ｂの撮像を一部品ごとに行う。この第一，第二の部品８ａ，８ｂと９ａ，９ｂの撮像は第一，第二のセンサ１３，１４がエリアセンサの場合はエリアセンサのシャッタ機能を使用することにより、ヘッド６が検査部７の上方を通過する際にヘッド６を検査部７の第一，第二の入射口１７，１８上で一旦停止させることなく行っている。具体的には、図４のタイミングチャートに示すように、ヘッド６が検査部７上をＸ方向に移動してノズル列１ノズル８ａ，ノズル列２ノズル９ａがそれぞれ第一，第二の入射口１７，１８の中心、すなわち第一，第二のセンサ１３，１４の視野中心を通過する瞬間に第一，第二のセンサ１３，１４のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ａに吸着された第一の部品１１ａと第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ａに吸着された第二の部品１２ａの撮像を同時に行う。さらにヘッド６をＸ方向に移動させ続け、ノズル列１ノズル８ｂ，ノズル列２ノズル９ｂがそれぞれ第一，第二のセンサ１３，１４の視野中心を通過する瞬間に第一，第二のセンサ１３，１４のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ｂに吸着された第一の部品１１ｂと、第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ｂに吸着された第二の部品１２ｂの撮像を同時に行う。以下、図示していないが同様にしてヘッド６に配置された１０本のノズルに吸着された全部品の撮像を行う。なお、この第一，第二のセンサ１３，１４によるシャッタ機能を使用した撮像の瞬間には、前記制御部の制御により撮像する部品に対して第一，第二の照明部１５，１６により部品ごとに設定される光線の照射を行っている。なお、第一，第二のセンサ１３，１４としてラインセンサを用いた場合には、前記エリアセンサを使用した場合の説明において、センサのシャッタ機能を用いるのではなく撮像対象部品が第一，第二のセンサ１３，１４の視野内を通過している間第一，第二のセンサ１３，１４による画像情報の取り込みをし続ける点、および撮像対象部品が第一，第二のセンサ１３，１４の視野内を通過している間すなわち、第一，第二のセンサ１３，１４により画像情報の取り込みをし続けている間第一，第二の照明部１５，１６により光線の照射をし続けている点が異なるだけで撮像の順序は同様のものとなる。
【００３３】
このような構成にすることにより、検査部７上をＹ方向に並んで通過する第一の部品１１ａと第二の部品１２ａ，および第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂに対して第一，第二の照明部１７，１８から照射される光線設定を独立して行うことができるため、第一の部品１１ａと第二の部品１２ａおよび第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂが、同一の光線設定では見え方が異なり姿勢検査の精度が不十分または姿勢検査自体ができない部品の存在する組み合わせの場合でも、ヘッド６がＸ方向に移動して検査部７上を一回通過するだけで、すなわち一回のスキャン動作で全ての部品の撮像および姿勢検査が可能となると共に、第一，第二のセンサ１３，１４の視野中心をＸ方向にずらさずに並べて配置しているので、同一のタイミングで２つの部品の撮像が可能となるので全部品の撮像に要する時間の短縮が図れ、その結果、保持姿勢検査に要する時間の短縮が図れる。
【００３４】
また、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂの１本のノズルごとすなわち第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂの１個の部品ごとにそれぞれ第一，第二のセンサ１３，１４を用いて撮像を行うので、従来の技術のように１個のセンサで視野を大きくして複数の部品の撮像を行う場合に比べセンサの１画素当たりの分解能が荒くなることがなく保持姿勢検査の精度向上を図ることができる。
【００３５】
また、図５，図６の１９はミラー等の反射体であり、検査部７上方に配置されている前記第一，第二の入射口１７、１８から入射する第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの画像の光情報を反射させ検査部７の側面に撮像のための第一，第二のセンサ１３，１４を配置する構成としている。このような構成とすることにより、第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面に設置して第一，第二の入射口１７，１８からの光情報を直接受け取る構成とした場合と比較して検査部７の高さ寸法を低くすることができ、その分検査部７としての剛性が高くなり部品の保持姿勢検査精度の向上を図ることができるとともに、第一，第二のセンサ１３，１４を側面に配置することにより反射体１９を配置せず第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面すなわち内部に配置した場合と比べ第一，第二のセンサ１３，１４の調整および交換等のメンテナンスを容易にするものである。
【００３６】
なお、図示していないが第一のセンサ１３と第二のセンサ１４は同一の視野角、分解能である必要はなく、異なる組み合わせのセンサを配置することにより保持姿勢検査対象の部品拡充、すなわち電子部品実装機１としての対応部品の拡充を図り生産性の向上を図ることができる。具体例として、第一のセンサ１３の視野角を８ｍｍ角にして保持姿勢検査対象部品を外形寸法が横６ｍｍ縦３ｍｍの角チップ部品から外形寸法６ｍｍ角までの異型部品とし、第二のセンサ１４の視野角を６ｍｍ角にして保持姿勢検査対象部品を外形寸法が横４ｍｍ縦２ｍｍの角チップ部品から外形寸法が４ｍｍ角までの異型部品としたり、第一，第二のセンサ１３，１４ともに視野角を８ｍｍ角としてセンサ１３の分解能を３０万画素、センサ１４の分解能を８０万画素として、第一のセンサ１３よりも第二のセンサ１４の保持姿勢検査対象部品をより微小部品まで対応可能とすることが可能である。ただし、第一，第二のセンサ１３，１４の視野角、分解能を異なる組み合わせとした場合には、ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着される第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂは、それぞれ第一のセンサ１３および第二のセンサ１４の保持姿勢検査対象部品に限定されるため、供給部２の供給体３の配置順序や供給体３からの部品吸着順を工夫する必要がある。
【００３７】
また、本実施の形態では、ヘッドに備えたノズルは２列で各列のノズルが５本としたが、これに限定するものではなく、３列以上であっても構わないし、１列のノズルの本数は５本以外であっても構わない。これに対応したセンサ、照明部、入射口の数も３個以上であっても構わない。これは、第２の実施の形態以降でも同様である。
【００３８】
（実施の形態２）
次に、本発明の第二の実施の形態について図７と図８を用いて説明を行う。
【００３９】
本発明の第二の実施の形態は、前記実施の形態１とは反射体１９の替わりに反射・透過体２０を第一，第二の入射口１７，１８と第一，第二センサ１３，１４の間に配置して、この反射・透過体２０の透過光側に別途予備センサを配置した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００４０】
図７と図８において、２０はハーフミラーもしくはプリズムを始めとする反射・透過体であり、１３はこの反射・透過体２０の反射光側に、２１は反射・透過体２０の透過光側に設けられたヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの撮像を行うための第一のセンサと第一の予備センサであり、１４は反射・透過体２０の反射光側に、２２は反射・透過体２０の透過光側に設けられたヘッド６のノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの撮像を行うための第二のセンサと第二の予備センサである。ここで、第一のセンサ１３の視野中心と第一の予備センサ２１の視野中心および、第二のセンサ１４の視野中心と第二の予備センサ２２の視野中心は、それぞれ一致するように配置されている。また、第一のセンサ１３と第一の予備センサ２１、および第二のセンサ１４と第二の予備センサ２２は、それぞれ分解能または視野角が異なるものであるか、あるいは分解能および視野角両方ともに異なるものである。
【００４１】
このように、ヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂと第二の部品１２ａ，１２ｂの各部品の保持姿勢検査のために、分解能もしくは視野角のどちらかが、あるいはその両方が異なる２種のセンサが存在する構成として、この２種のセンサを撮像の際に撮像対象である部品に応じて選択的に使用することにより保持姿勢の検査精度の向上もしくは姿勢検査対象部品の拡充を図ることができる。
【００４２】
なお、本実施の形態２ではノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂと第二の部品１２ａ，１２ｂに対して、保持姿勢検査のために分解能もしくは視野角のどちらかが、あるいはその両方が異なる２種のセンサが存在する構成としているが、電子部品実装機１としての必要に応じて第一の予備センサ２１あるいは第二の予備センサ２２のどちらか一個の予備センサのみを検査部７に配置して、第一の部品１１ａ，１１ｂあるいは第二の部品１２ａ，１２ｂの一方の部品に対してのみ保持姿勢検査のために分解能もしくは視野角のどちらかが、あるいはその両方が異なる２種のセンサが存在する構成とするも可能である。
【００４３】
（実施の形態３）
次に、本発明の第三の実施の形態について図９から図１１を用いて説明を行う。
【００４４】
本発明の第三の実施の形態は、前記実施の形態１とは反射体１９の替わりに反射・透過体２０を入射口とセンサの間に配置して、検査部７の側面に配置されていたノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査のために撮像を行う第二のセンサ１４を反射・透過体２０の透過光側に配置した点、および反射・透過体２０と第一，第二のセンサ１３，１４の間に第一，第二のセンサ１３，１４のためのレンズを配置することを限定した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００４５】
図９から図１１において２０は第一，第二の入射口１７，１８と第一，第二のセンサ１３，１４の間に設けられたハーフミラー等の反射・透過体であり、２３はヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの保持姿勢検査用の第一のセンサ１３の第一のレンズであり前記反射・透過体２０と第一のセンサ１３の間に設置される。２４はノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査用の第二のセンサ１４の第二のレンズであり前記反射・透過体２０と第二のセンサ１４の間に設置される。
【００４６】
このような構成とすることにより、第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した場合に、第一，第二のセンサ１３，１４の外形寸法が大きく第一，第二の入射口１７と１８の間隔を必要以上に広くせざるをえない場合、すなわちヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔が必要以上に広くなってしまう場合でも、反射・透過体２０を第一，第二の入射口１７，１８と第一，第二のセンサ１３，１４の間に設け、この反射・透過体２０における反射光側と透過光側に検査部７のセンサを交互に配置、すなわち反射光側に第一のセンサ１３を透過光側に第二のセンサ１４を配置することにより、ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔を狭くすることができヘッド６をコンパクトにできるものとなる。また、検査部７の第一の入射口１７と第二の入射口１８の間隔を狭くできるので検査部７のＹ方向の寸法をコンパクトにできるものなる。
【００４７】
また、反射・透過体２０と第一，第二のセンサ１３，１４の間に第一，第二のレンズ２３，２４を配置することにより、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂの間隔が狭く第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した状態では、第一，第二のセンサ１３，１４のための十分な明るさのレンズ経を確保できず第一，第二のセンサ１３，１４に取り込まれる光情報の明るさが不足してノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査精度が確保できない場合でも、このレンズ径を大きくすることができるため、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査精度の向上を図ることができる。
【００４８】
（実施の形態４）
次に、本発明の第四の実施の形態について図１２から図１５を用いて説明を行う。
【００４９】
本発明の第四の実施の形態は、前記実施の形態１とはヘッド６にノズルがＸ方向に５本並列されたノズル列が一列追加されＹ方向に３列並列に配置されて全部で１５本のノズルを設け、この３列のノズル列に吸着された部品の保持姿勢検査を行うために検査部７にセンサが１個追加され計３個のセンサを設け、この三つのセンサの視野中心をＸ方向にジグザクにずらして並べて配置した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００５０】
図１２の２６ａ，２６ｂはヘッド６に配置されたノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着保持された第三の部品である。なお、ノズル列３ノズルの３本目から５本目のノズル、およびこれらのノズルに吸着された部品は省略して図１２には図示しておらず、以下の説明のおいても省略するものとする。また、図示していないが、ヘッド６にはＸ方向に５本のノズルが並んだノズル列１，２，３がＹ方向に３列並べられ、計１５本のノズルを有する構成からなるものである。
【００５１】
図１２から図１５において、２９はノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着保持された第三の部品２６ａ，２６ｂの保持姿勢を撮像するための第三のセンサであり、２７はその撮像の際に第三の部品２６ａ，２６ｂに向けて光線を照射する第三の照明部であり、２８はその撮像の際に光情報を取り込むための第三の入射口であり、前記第三の照明部２７はこの第三の入射口２８の外周部沿って設置されている。ここで、第一のセンサ１３の視野中心と第二のセンサ１４の視野中心のＹ方向の間隔、および第二のセンサ１４の視野中心と第三のセンサ２９の視野中心のＹ方向の間隔は、それぞれヘッドに配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔およびノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂのノズル列の間隔、すなわちノズル列１ノズル８ａの中心とノズル列２のノズル９ａの中心の間隔およびノズル列２ノズル９ａの中心とノズル列３ノズル２５ａの中心の間隔と一致するように配置されている。また、第一の入射口１７の中心と第一の照明部１５の中心と第一のセンサ１３の視野中心は一致するように配置され、同様に第二の入射口１８の中心と第二の照明部１６の中心と第二のセンサ１４の視野中心も一致するように配置され、同様に第三の入射口２８の中心と第三の照明部２７の中心と第三のセンサ２９の視野中心も一致するように配置されている。また、第一の入射口１７の中心と第三の入射口２８の中心はＸ方向にずらさずに並べられて配置されており、すなわちヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂのＹ方向に対応する各ノズル中心を結ぶ線、例えばノズル列１のノズル８ａの中心とノズル列３ノズル２６ａの中心を結ぶ線と第一の入射口１７の中心と第三の入射口２８の中心を結ぶ線は平行になるように配置されている。また、第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心はＸ方向にずらして並べられ、第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８の中心位置すなわち第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の各視野中心がＸ方向にジグザグになるように配置されている。
【００５２】
次に、ヘッド６に配置されたノズルに吸着された部品の検査部７における保持姿勢検査について詳細な説明をする。
【００５３】
前記ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂおよび第三の部品２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査を行う際には、まずヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２６ａ，２６ｂの各ノズル列と検査部７の第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の各視野中心のＹ方向位置が一致するようにヘッドをＹ方向に移動させた後、図１２の矢印に示すようにヘッドをＸ方向に移動させて検査部７上を通過させ、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９によりそれぞれ第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの撮像を一部品ごとに行う。第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９がエリアセンサの場合には、この第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの撮像は第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９のシャッタ機能を使用することにより、ヘッドが検査部７の上方を通過する際にヘッドを検査部７の第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８上で一旦停止させることなく行っている。具体的には、図１３のタイミングチャートに示すように、ヘッドが検査部７上をＸ方向に移動してノズル列１ノズル８ａ，ノズル列３ノズル２５ａがそれぞれ第一，第三の入射口１７，２８の中心、すなわち第一，第三のセンサ１３，２９の視野中心を通過する瞬間に第一，第三のセンサ１３，２９のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ａに吸着された第一の部品１１ａと第三のセンサ２９によりノズル列３ノズル２５ａに吸着された第三の部品２６ａの撮像を同時に行う。さらにヘッドをＸ方向に移動させつづけ、ノズル列２ノズル９ａが第二の入射口１８の中心すなわち第二のセンサ１４の視野中心を通過する瞬間に第二のセンサ１４のシャッタを開き露光を行い、第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ａに吸着された第二の部品１２ａの撮像を行う。さらにヘッドをＸ方向に移動させ続け、ノズル列１ノズル８ｂ，ノズル列３ノズル２５ｂがそれぞれ第一，第三のセンサ１３，２９の視野中心を通過する瞬間に第一，第三のセンサ１３，２９のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ｂに吸着された第一の部品１１ｂと、第三のセンサ１４によりノズル列３ノズル２５ｂに吸着された第三の部品２６ｂの撮像を同時に行う。さらにヘッドをＸ方向に移動させつづけ、ノズル列２ノズル９ｂが第二のセンサ１４の視野中心を通過する瞬間に第二のセンサ１４のシャッタを開き露光を行い、第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ｂに吸着された第二の部品１２ｂの撮像を行う。以下、図示していないが同様にしてヘッドに配置された１５本のノズルに吸着された全部品の撮像を行う。なお、この第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９によるシャッタ機能を使用した撮像の瞬間には、前記制御部の制御により、撮像する部品に対して第一，第二，第三の照明部１５，１６，２７により部品ごとに設定される光線の照射を行っている。なお、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９としてラインセンサを用いた場合には、前記エリアセンサを使用した場合の説明において、センサのシャッタ機能を用いるのではなく撮像対象部品が第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野内を通過している間第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９による画像情報の取り込みをし続ける点、および撮像対象部品が第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野内を通過している間すなわち、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９により画像情報の取り込みをし続けている間第一，第二，第三の照明部１５，１６，２７により光線の照射をし続けている点が異なるだけで撮像の順序は同様のものとなる。
【００５４】
なお、前記の保持姿勢検査の詳細説明におけるノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂおよび第三の部品２６ａ，２６ｂの第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９による撮像順序は、前記ヘッドに設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂの各ノズル列におけるノズル間隔すなわちノズル列１ノズル８ａの中心とノズル列１ノズル８ｂの中心の間隔が第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心のＸ方向の間隔よりも大きい構成の電子部品実装機１の場合の例であり、ノズル列１ノズル８ａの中心とノズル列１ノズル８ｂの中心の間隔が第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心のＸ方向の間隔よりも小さい場合に撮像される部品の順番は図示していないが、まずノズル列１ノズル８ａおよびノズル列３ノズル２５ａに吸着された第一，第三の部品１１ａ，２６ａの撮像がそれぞれ第一，第三のセンサ１３，２９により同時に行われ、次にノズル列１ノズル８ｂおよびノズル列３ノズル２５ｂに吸着された第一，第三の部品１１ｂ，２６ｂの撮像がそれぞれ第一，第三のセンサ１３，２９により同時に行われ、次にノズル列２ノズル９ａに吸着された第二の部品１２ａの撮像が第二のセンサ１４により行われ、次にノズル列２ノズル９ｂに吸着された第二の部品１２ｂの撮像が第二のセンサ１４により行われる。また、ノズル列１ノズル８ａの中心とノズル列１ノズル８ｂの中心の間隔が第一の入射口１７の中心と第二の入射口１８の中心のＸ方向の間隔と一致する場合に撮像される部品の順番は図示していないが、まずノズル列１ノズル８ａおよびノズル列３ノズル２５ａに吸着された第一，第三の部品１１ａ，２６ａの撮像がそれぞれ第一，第三のセンサ１３，２９により同時に行われ、次にノズル列１ノズル８ｂおよびノズル列２ノズル９ａおよびノズル列３ノズル２５ｂに吸着された第一，第二，第三の部品１１ｂ，１２ａ，２６ｂの撮像がそれぞれ第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９により同時に行われ、次にノズル列２ノズル９ｂに吸着された第二の部品１２ｂの撮像が第二のセンサ１４により行われる。
【００５５】
このような構成にすることにより、検査部７上をＹ方向に並んで通過する第一の部品１１ａと第二の部品１２ａと第三の部品２６ａおよび第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂと第三の部品２６ｂに対して第一，第二，第三の照明部１７，１８，２７から照射される光線設定を独立して行うことができるため、第一の部品１１ａと第二の部品１２ａと第三の部品２６ａおよび第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂと第三の部品２６ｂが、同一の光線設定では見え方が異なり姿勢検査の精度が不十分または姿勢検査自体ができない部品が存在する組み合わせの場合でも、ヘッドがＸ方向に移動して検査部７上を一回通過するだけで、すなわち一回のスキャン動作で全ての部品の撮像および姿勢検査が可能となる。
【００５６】
また、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂの１本のノズルごとすなわち第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂおよび第三の部品２６ａ，２６ｂの１個の部品ごとにそれぞれ第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９を用いて撮像を行うので、従来の技術のように一つのセンサで視野を大きくして複数の部品の撮像を行う場合に比べセンサの１画素当たりの分解能が荒くなることがなく保持姿勢検査の精度向上を図ることができる。
【００５７】
また、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野中心をＸ方向にずらして並べて配置した構成とすることにより、ヘッドに設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂのノズル列間隔が狭く、検査部７の第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の各視野中心をＸ方向にそろえて並べて配置した状態では、第一，第二，第三の照明部１５，１６，２７の十分な照明設置スペースが得られず、第一，第二，第三の照明部１５，１６，２７から照射される光線の光量が不足するためにノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査精度が確保できない場合があっても、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野中心をＸ方向にずらして並べて配置することにより、姿勢検査の精度を確保するために十分な光線を照射する第一，第二，第三の照明部１５，１６，２７の照明設置スペースを確保する事ができ、姿勢検査の精度向上を図ることができる。
【００５８】
また、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野中心をＸ方向にジグザグにずらして並べて配置した構成とすることにより、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の視野をＸ方向に順次ずらして並べて配置した場合に比べ、検査部７のＸ方向に占めるスペースを小さくできるため、検査部７をコンパクトにできると共に、ヘッドに設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査のための撮像の際に検査部７の第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８上を移動しなければならない距離が短くなるので、第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの撮像に要する時間すなわち保持姿勢検査に要する時間の短縮を図ることができる。
【００５９】
なお、図示していないが第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９は同一の視野角、分解能である必要はなく、異なる組み合わせのセンサを配置し、ヘッドのノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂおよびノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着される第一の部品１１ａ，１１ｂおよび，第二の部品１２ａ，１２ｂおよび第三の部品２６ａ，２６ｂとして、それぞれ第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の各視野角、各分解能を考慮して姿勢検査に最適な形状の部品を供給部２の供給体３から吸着させることにより保持姿勢検査対象の部品拡充および姿勢検査精度の向上を図ることが可能である。
【００６０】
（実施の形態５）
次に、本発明の第五の実施の形態について図１６と図１７を用いて説明を行う。
【００６１】
本発明の第五の実施の形態は、前記実施の形態四とは反射体１９の替わりに反射・透過体２０を第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間に配置して、この反射・透過体２０の透過光側に別途予備センサを配置した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００６２】
図１６と図１７において、２０はハーフミラー等の反射・透過体であり、１３はこの反射・透過体２０の反射光側に、２１は反射・透過体２０の透過光側に設けられたヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの撮像を行うための第一のセンサと第一の予備センサである。同様に１４は反射・透過体２０の反射光側に、２２は反射・透過体２０の透過光側に設けられたヘッド６のノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの撮像を行うための第二のセンサと第二の予備センサである。同様に２９は反射・透過体２０の反射光側に、３０は反射・透過体２０の透過光側に設けられたヘッド６のノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第三の部品２６ａ，２６ｂの撮像を行うための第三のセンサと第三の予備センサである。ここで、第一のセンサ１３の視野中心と第一の予備センサ２１の視野中心および、第二のセンサ１４の視野中心と第二の予備センサ２２の視野中心および、第三のセンサ２９の視野中心と第三の予備センサ３０の視野中心は、それぞれ一致するように配置されている。また、第一のセンサ１３と第一の予備センサ２１、および第二のセンサ１４と第二の予備センサ２２、および第三のセンサ２９と第三の予備センサ３０は、それぞれ分解能または視野角が異なる組み合わせ、あるいは分解能および視野角両方が異なる組み合わせのものである。
【００６３】
このように、ヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂにそれぞれ吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂと第二の部品１２ａ，１２ｂと第三の部品２６ａ，２６ｂの各部品の保持姿勢検査のために分解能もしくは視野角のどちらかが、あるいはその両方が異なる２種のセンサが存在する構成として、この２種のセンサを撮像の際に撮像対象である部品に応じて選択的に使用することにより保持姿勢の検査精度の向上もしくは姿勢検査対象部品の拡充を図ることができる。
【００６４】
（実施の形態６）
次に、本発明の第六の実施の形態について図１８から図２０を用いて説明を行う。
【００６５】
本発明の第六の実施の形態は、前記実施の形態四とは、反射体１９の替わりに反射・透過体２０を第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間の配置して、検査部７の側面に配置されていたノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査のために撮像を行う第二のセンサ１４を反射・透過体２０の透過光側に配置した点、および反射・透過体２０と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間に第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９のためのレンズを配置することを限定した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００６６】
図１８から図２０において２０は第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間に設けられたハーフミラー等の反射・透過体であり、２３はヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの保持姿勢検査用の第一のセンサ１３の第一のレンズであり前記反射・透過体２０と第一のセンサ１３の間に設置される。２４はノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査用の第二のセンサ１４の第二のレンズであり前記反射・透過体２０と第二のセンサ１４の間に設置される。３１はノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第三の部品２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査用の第三のセンサ２９の第三のレンズであり前記反射・透過体２０と第三のセンサ２９の間に設置される。
【００６７】
このような構成とすることにより、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した場合に、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の外形寸法が大きく第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８の間隔を必要以上に広くせざるをえない場合、すなわちヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂの各ノズル列の間隔が必要以上に広くなってしまう場合でも、反射・透過体２０を第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間に設け、この反射・透過体２０における反射光側と透過光側に検査部７の第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９を交互に配置することにより、すなわち反射光側に第一，第三のセンサ１３，２９を透過光側に第二のセンサ１４を配置することにより、ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂの各ノズル列の間隔を狭くすることができヘッド６をコンパクトにできるものとなる。また、検査部７の第一，第二，第三の入射口１７，１８，２８の各入射口の間隔を狭くできるので検査部７のＹ方向の寸法をコンパクトにできるものなる。
【００６８】
また、反射・透過体２０と第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９の間に第一，第二，第三のレンズ２３，２４，３１を配置することにより、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂの各ノズル列の間隔が狭く第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した状態では、第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９のための十分な明るさのレンズ経を確保できず第一，第二，第三のセンサ１３，１４，２９に取り込まれる光情報の明るさが不足してノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査精度が確保できない場合でも、このレンズ径を大きくすることができるため、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂとノズル列３ノズル２５ａ，２５ｂに吸着された第一，第二，第三の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂと２６ａ，２６ｂの保持姿勢検査精度の向上を図ることができる。
【００６９】
（実施の形態７）
次に、本発明の第七の実施の形態について図２１から図２４を用いて説明を行う。
【００７０】
本発明の第七の実施の形態は、前記実施の形態一とは検査部７の第一，第二のセンサ１３，１４に対して共通の照明部と入射口を設け、第一のセンサ１３の視野中心と第二のセンサ１４の視野中心をＸ方向にずらして配置した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００７１】
図２１において、３２は検査部７の第一，第二のセンサ１３，１４がそれぞれヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂ、ノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの撮像を行う際に第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂに対して光線を照射する共通の照明部である。３３は第一，第二のセンサ１３，１４がそれぞれ第一の部品１１ａ，１１ｂ、第二の部品１２ａ，１２ｂの撮像を行う際に光情報を取り込むための共通の入射口であり、前記照明部３２は入射口３３の外周部に沿って設置されている。３４は第一のセンサ１３の画像取り込み範囲を示す第一の視野であり、３５は第二のセンサ１４の画像取り込み範囲を示す第二の視野である。第一の視野３４の中心と第二の視野３５の中心はＸ方向にずらして配置されており、第一，第二のセンサ１３，１４がラインセンサの場合には、第一の視野３４の範囲のＸ方向に占める端から端までの位置と第二の視野３５の範囲のＸ方向に占める端から端までの位置が重ならないように、第一の視野３４と第二の視野３５をＸ方向にずらして配置するものである。また、第一，第二のセンサ１３，１４がエリアセンサの場合には、第一，第二のセンサ１３，１４が撮像の際にシャッタを開いている間、すなわち第一，第二のセンサ１３，１４の露光時間の間にヘッド６が検査部７上を移動する距離以上の間隔をあけて、第一の視野３４と第二の視野３５をＸ方向にずらして配置するものである。
【００７２】
次に、ヘッドに配置されたノズルに吸着された部品の検査部７における保持姿勢検査について詳細な説明をする。
【００７３】
ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよび第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査を行う際には、まずヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂの各ノズル列と検査部７の第一，第二の視野３４，３５の各視野中心のＹ方向位置が一致するようにヘッド６をＹ方向に移動させた後、図２１の矢印に示すようにヘッド６をＸ方向に移動させて検査部７上を通過させ、第一，第二のセンサ１３，１４によりそれぞれ第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの撮像を一部品ごとに行う。第一，第二のセンサ１３，１４がエリアセンサの場合には、この第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの撮像は第一，第二のセンサ１３，１４のシャッタ機能を使用することにより、ヘッド６が検査部７の上方を通過する際にヘッド６を検査部７の第一，第二の視野３４，３５上で一旦停止させることなく行っている。具体的には、図２２のタイミングチャートに示すように、ヘッド６が検査部７上をＸ方向に移動してノズル列１ノズル８ａが第一のセンサ１３の第一の視野３４の中心を通過する瞬間に第一のセンサ１３のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ａに吸着された第一の部品１１ａの撮像を行う。さらにヘッド６をＸ方向に移動させつづけ、ノズル列２ノズル９ａが第二のセンサ１４の第二の視野３５の中心を通過する瞬間に第二のセンサ１４のシャッタを開き露光を行い、第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ａに吸着された第二の部品１２ａの撮像を行う。さらにヘッド６をＸ方向に移動させ続け、ノズル列１ノズル８ｂが第一の視野３４の視野中心を通過する瞬間に第一のセンサ１３のシャッタを開き露光を行い、第一のセンサ１３によりノズル列１ノズル８ｂに吸着された第一の部品１１ｂの撮像を行う。さらにヘッド６をＸ方向に移動させつづけ、ノズル列２ノズル９ｂが第二の視野３５の視野中心を通過する瞬間に第二のセンサ１４のシャッタを開き露光を行い、第二のセンサ１４によりノズル列２ノズル９ｂに吸着された第二の部品１２ｂの撮像を行う。以下、図示していないが同様にしてヘッド６に配置された１０本のノズルに吸着された全部品の撮像を行う。なお、この第一，第二のセンサ１３，１４によるシャッタ機能を使用した撮像の瞬間には、撮像する部品に対して照明部３２により部品ごとに設定される光線の照射を行っている。なお、第一，第二のセンサ１３，１４としてラインセンサを用いた場合には、前記エリアセンサを使用した場合の説明において、センサのシャッタ機能を用いるのではなく撮像対象部品がそれぞれ第一，第二の視野３４，３５の視野内を通過している間第一，第二のセンサ１３，１４による画像情報の取り込みをし続ける点、および撮像対象部品が第一，第二，第三の視野３４，３５の視野内を通過している間すなわち、第一，第二のセンサ１３，１４により画像情報の取り込みをし続けている間照明部３２により光線の照射をし続けている点が異なるだけで撮像の順序は同様のものとなる。
【００７４】
このように第一，第二のセンサ１３，１４に対して共通の入射口３３とこの入射口３３の外周部に沿って共通の照明部３２を設けることにより、第一，第二のセンサ１３，１４ごとに照明部を設置し、かつ第一，第二のセンサ１３，１４の視野中心をＸ方向にずらさずそろえて並べて配置した場合に依存するヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔に関係なく照明部３２の設置スペースを確保することができるため、ノズルに吸着された部品の保持姿勢検査の検査精度を得るために必要な光線光量を得るための照明部３２を容易に構成できノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査の精度向上を容易に図ることができる。
【００７５】
また、第一のセンサ１３の第一の視野３４と第二のセンサ１４の第二の視野３５をＸ方向にずらして並べて配置することにより第一，第二のセンサ１３，１４の撮像ごと、すなわち検査部７上をＹ方向に並んで通過する第一の部品１１ａと第二の部品１２ａ，および第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂに対して照明部３２から照射される光線設定を独立して行うことができるため、第一の部品１１ａと第二の部品１２ａおよび第一の部品１１ｂと第二の部品１２ｂが、同一の光線設定では見え方が異なり姿勢検査の精度が不十分または姿勢検査自体ができない部品の存在する組み合わせの場合でも、ヘッド６がＸ方向に移動して検査部７上を一回通過するだけで、すなわち一回のスキャン動作で全ての部品の撮像および姿勢検査が可能となり姿勢検査に要する時間の短縮を図ることができる。
【００７６】
（実施の形態８）
次に、本発明の第八の実施の形態について図２５から図２７を用いて説明を行う。
【００７７】
本発明の第八の実施の形態は、前記実施の形態七とは反射体１９の替わりに反射・透過体２０を入射口３３と第一，第二センサ１３，１４の間に配置して、この反射・透過体２０の透過光側に別途予備センサを配置した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００７８】
図２５から図２７において、２０は入射口３３と第一，第二センサ１３，１４の間に設けられたハーフミラー等の反射・透過体であり、１３はこの反射・透過体２０の反射光側に設けられたヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの撮像を行うための第一のセンサであり、１４は反射・透過体２０の反射光側に設けられたヘッド６のノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの撮像を行うための第二のセンサであり、３６は反射・透過体２０の透過光側に設けられた第四の予備センサである。３７は第四のセンサ３６の画像取り込み範囲を示す第四の視野である。この第四の視野３７の視野中心は入射口３３の中心と一致するように配置されている。また、この第四の視野３７は第一のセンサ１３の画像取り込み範囲を示す第一の視野３４および第二のセンサ１４の画像取り込み範囲を示す第二の視野３５よりも大きいものとし、第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品の外形寸法を第一，第二のセンサ１３，１４の姿勢検査対象部品の外形寸法よりも大きなものとしている。具体的な例として、第一の視野３４および第二の視野３５の視野角を８ｍｍ角程度に設定し、外形寸法が横６ｍｍ縦３ｍｍ程度の角チップ部品から外形寸法が６ｍｍ角程度の小型の異形部品までの電子部品を姿勢検査対象とし、第四の視野３７の視野角を２５ｍｍ角あるいは３５ｍｍ角程度に設定し外形寸法が２２ｍｍ角あるいは３２ｍｍ角程度までの中型から大型の異形部品を姿勢検査対象とするような構成である。
【００７９】
次に、検査部７における第四のセンサ３６を使用した部品の保持姿勢検査についての説明をする。ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂと第二の部品１２ａ，１２ｂのうち、第四のセンサ３６の姿勢検査対象となる部品がある場合、まずヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂあるいはノズル列２ノズル９ａ，９ｂのどちらかの姿勢検査を行うノズル列と検査部７の第四のセンサ３６の視野中心のＹ方向位置が一致するようにヘッド６をＹ方向に移動させた後、ヘッド６をＸ方向に移動させて検査部７上を通過させ、第四のセンサ１６により、撮像を一部品ごとに行う。この第四のセンサ３６がエリアセンサの場合には、第四のセンサ３６による撮像は第四センサ３６のシャッタ機能を使用することにより、ヘッド６が検査部７の上方を通過する際にヘッド６を検査部７の第四の入射口３７上で一旦停止することなく行っている。また、この第四のセンサ３６による撮像の際には、前記制御部の制御により、撮像する部品に対して照明部３２により部品ごとに設定される光線の照射を行っている。
【００８０】
この撮像における具体的動作説明すると（タイミングチャートは図示せず）、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品９ａ，９ｂが第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品である場合、まず、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂのノズル列と検査部７の第四のセンサ３６の画像取り込み範囲である第四の視野３７の中心とのＹ方向位置が一致する位置にヘッド６をＹ方向に移動さる。次に、ヘッド６を検査部７に向かってＸ方向に移動させ、ノズル列１ノズル８ａが第四のセンサ３６の第四の視野３７の中心を通過する瞬間に第四のセンサ３６のシャッタを開き露光を行いノズル列１ノズル８ａに吸着された第一の部品１１ａ撮像を行い、さらにヘッド６をＸ方向に移動させつづけノズル列１ノズル８ｂが第四のセンサ３６の第四の視野３７の中心を通過する瞬間に第四のセンサ３６のシャッタを開き露光を行いノズル列１ノズル８ｂに吸着された第一の部品１１ｂの撮像を行う。ノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂが第四のセンサ３６の検査対象部品である場合も同様の動作により撮像を行う（動作説明は省略）。なお、第一，第二のセンサ１３，１４としてラインセンサを用いた場合には、前記エリアセンサを使用した場合の説明において、センサのシャッタ機能を用いるのではなく撮像対象部品が第一，第二のセンサ１３，１４の視野内を通過している間第一，第二のセンサ１３，１４による画像情報の取り込みをし続ける点、および撮像対象部品が第一，第二のセンサ１３，１４の視野内を通過している間すなわち、第一，第二のセンサ１３，１４，２９により画像情報の取り込みをし続けている間第一，第二の照明部１５，１６により光線の照射をし続けている点が異なるだけで撮像の順序は同様のものとなる。
【００８１】
なお、第四のセンサ３６の検査対象となる部品が、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの両ノズル列の吸着部品に存在する場合には、ノズル列１およびノズル列２のそれぞれのノズル列に対する第四のセンサ３６によるスキャン動作が必要になる（動作説明は省略）。
【００８２】
また、ヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂに第一，第二のセンサ１３，１４の姿勢検査対象部品および第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品が混在する場合には、第一の部品１１ａ，１１ｂ，第二の部品１２ａ，１２ｂすべての姿勢検査を行うために、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂ，ノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂのうち第一，第二のセンサ１３，１４による姿勢検査対象部品のためのヘッド６のＸ方向移動による検査部７上を通過するスキャン動作、および、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂのうち第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品に対する第四のセンサ３６による姿勢検査のためのスキャン動作、およびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂのうち第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品に対する第四のセンサ３６による姿勢検査のためのスキャン動作がそれぞれ必要になる（動作説明は省略）。
【００８３】
このように、反射・透過体２０の透過光側に第一，第二のセンサ１３，１４とは視野角の異なる第四のセンサ３６を設け、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの部品外形寸法に応じて、第一，第二のセンサ１３，１４を使用してスキャン動作を行うか、第四のセンサ３６を使用してスキャン動作を行う構成とすることにより、姿勢検査対象となる部品の拡充を図ることができる。
【００８４】
また、このような構成の場合、ノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂおよびノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂ中に第一，第二のセンサ１３，１４の姿勢検査対象部品および第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品が混在する場合に複数回のスキャン動作が必要になり姿勢検査に要する時間がかかってしまうが、電子部品実装機１として角チップ部品から小型の異形部品の実装が大部分を占め、頻度は低いが中型から大型の異形部品の実装も必要な場合、すなわち第一，第二のセンサ１３，１４による姿勢検査対象部品が大部分を占めるが第四のセンサ３６による姿勢検査対象部品も検査頻度は低いが必要な場合には有効な構成となる。
【００８５】
なお、第四のセンサ３６と第一，第二のセンサ１３，１４との分解能の違いについては記述しなかったが、第一，第二のセンサ１３，１４の画像取り込み範囲である第一，第二の視野３４，３５よりも広い第四の視野３７を画像取り込み範囲とする第四のセンサ３６の分解能を第一，第二のセンサ１３，１４の分解能よりも高解像度のものにして、第四のセンサ３６の姿勢検査対象部品の姿勢検査精度の向上を図る構成とすることも可能である。
【００８６】
なお、本実施の形態では反射・透過体の透過光側に１個のセンサすなわち第四のセンサ３６を１個設ける構成としたが、反射・透過体２０の透過光側に設置可能な範囲で任意位置に視野角もしくは分解能の異なる、あるいはその両方の異なる複数個のセンサを設けることも可能である。具体的には、実施の形態２，５に示したように第一のセンサ１３の画像取り込み範囲である第一の視野３４の視野中心および第二のセンサ１４の画像取り込み範囲である第二の視野３５の視野中心と、それぞれ視野中心が一致するように反射・透過体２０の透過光側にセンサを２個設置し、撮像の際に２台のセンサを選択的に使用する構成とし姿勢検査対象部品の拡充あるいは姿勢検査精度の向上を図るような構成とすることも可能である。
【００８７】
（実施の形態９）
次に、本発明の第九の実施の形態について図２８から図３０を用いて説明を行う。
【００８８】
本発明の第九の実施の形態は、前記実施の形態七とは反射体１９の替わりに反射・透過体２０を入射口３３と第一，第二のセンサ１３，１４の間の配置して、検査部７の側面に配置されていたノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査のために撮像を行う第二のセンサ１４を反射・透過体２０の透過光側に配置した点、および反射・透過体２０と第一，第二のセンサ１３，１４の間に第一，第二のセンサ１３，１４のためのレンズを配置することを限定した点だけが異なり、その他の点については同様な構成のものであるので、同様な構成部分については同一の番号を付しその詳細な説明は省略する。
【００８９】
図２８から図３０において、２０は入射口３３と第一，第二のセンサ１３，１４の間に設けられたハーフミラー等の反射・透過体であり、２３はヘッド６のノズル列１ノズル８ａ，８ｂに吸着された第一の部品１１ａ，１１ｂの保持姿勢検査用の第一のセンサ１３の第一のレンズであり前記反射・透過体２０と第一のセンサ１３の間に設置される。２４はノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第二の部品１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査用の第二のセンサ１５の第二のレンズであり前記反射・透過体２０と第二のセンサ１４の間に設置される。
【００９０】
このような構成とすることにより、第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した場合に、第一，第二のセンサ１３，１４の外形寸法が大きく第一の視野３４と第二の視野３５の間隔を必要以上に広くせざるをえない場合、すなわちヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔が必要以上に広くなってしまう場合でも、反射・透過体２０を入射口３３第一，第二のセンサ１３，１４の間に設け、この反射・透過体２０における反射光側と透過光側に検査部７のセンサを交互に配置することにより、すなわち反射光側に第一のセンサ１３を透過光側に第二のセンサ１４を配置することにより、ヘッド６に配置されたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂのノズル列の間隔を狭くすることができヘッド６をコンパクトにできるものとなる。また、検査部７の第一の視野３４と第二視野３５の間隔を狭くできるので検査部７のＹ方向の寸法をコンパクトにできるものなる。
【００９１】
また、反射・透過体２０と第一，第二のセンサ１３，１４の間に第一，第二のレンズ２３，２４を配置することにより、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂの間隔が狭く第一，第二のセンサ１３，１４を検査部７の下面や側面の同一面に並べて配置した状態では、第一，第二のセンサ１３，１４のための十分な明るさのレンズ経を確保できず第一，第二のセンサ１３，１４に取り込まれる光情報の明るさが不足してノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査精度が確保できない場合でも、このレンズ径を大きくすることができるため、ヘッド６に設けられたノズル列１ノズル８ａ，８ｂとノズル列２ノズル９ａ，９ｂに吸着された第一，第二の部品１１ａ，１１ｂと１２ａ，１２ｂの保持姿勢検査精度の向上を図ることができる。
【００９２】
【発明の効果】
以上のように本発明は、検査部に、ヘッドに配置されたノズル列ごとに独立した姿勢検査用のセンサと、姿勢検査の際にヘッドに向けて光線を照射する照明部と、光情報の入射口を有する構成としたことにより、ヘッドに設けられた複数のノズル列に吸着された複数の部品の保持姿勢検査を１回のスキャン動作で実現することができ保持姿勢検査に要する時間の短縮を図るとともに、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、電子部品実装機の生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態の部品実装機を示す概略平面図
【図２】本発明の第一の実施形態のヘッドを示す斜視図
【図３】本発明の第一の実施形態の検査部を示す平面図
【図４】本発明の第一の実施形態の検査部でのセンサ撮像のタイミングチャート
【図５】本発明の第一の実施形態の検査部を示す断面図
【図６】本発明の第一の実施形態の検査部を示す側面図
【図７】本発明の第二の実施形態の検査部を示す断面図
【図８】本発明の第二の実施形態の検査部を示す側面図
【図９】本発明の第三の実施形態の検査部を示す平面図
【図１０】本発明の第三の実施形態の検査部を示す断面図
【図１１】本発明の第三の実施形態の検査部を示す側面図
【図１２】本発明の第四の実施形態の検査部を示す平面図
【図１３】本発明の第四の実施形態の検査部でのセンサ撮像のタイミングチャート
【図１４】本発明の第四の実施形態の検査部を示す断面図
【図１５】本発明の第四の実施形態の検査部を示す側面図
【図１６】本発明の第五の実施形態の検査部を示す断面図
【図１７】本発明の第五の実施形態の検査部を示す側面図
【図１８】本発明の第六の実施形態の検査部を示す平面図
【図１９】本発明の第六の実施形態の検査部を示す断面図
【図２０】本発明の第六の実施形態の検査部を示す側面図
【図２１】本発明の第七の実施形態の検査部を示す平面図
【図２２】本発明の第七の実施形態の検査部でのセンサ撮像のタイミングチャート
【図２３】本発明の第七の実施形態の検査部を示す断面図
【図２４】本発明の第七の実施形態の検査部を示す側面図
【図２５】本発明の第八の実施形態の検査部を示す平面図
【図２６】本発明の第八の実施形態の検査部を示す断面図
【図２７】本発明の第八の実施形態の検査部を示す側面図
【図２８】本発明の第九の実施形態の検査部を示す平面図
【図２９】本発明の第九の実施形態の検査部を示す断面図
【図３０】本発明の第九の実施形態の検査部を示す側面図
【符号の説明】
１  電子部品実装機
２  供給部
３  供給体
４  基板保持部
５  基板
６  ヘッド
７  検査部
８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ  ノズル列１ノズル
９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ  ノズル列２ノズル
１０  モータ
１１ａ，１１ｂ  第一の部品
１２ａ，１２ｂ    第二の部品
１３  第一のセンサ
１４  第二のセンサ
１５  第一の照明部
１６  第二の照明部
１７  第一の入射口
１８  第二の入射口
１９  反射体
２０  反射・透過体
２１  第一の予備センサ
２２  第二の予備センサ
２３  第一のレンズ
２４  第二のレンズ
２５ａ，２５ｂ  ノズル列３ノズル
２６ａ，２６ｂ  第三の部品
２７  第三の照明部
２８  第三の入射口
２９  第三のセンサ
３０  第三の予備センサ
３１  第三のレンズ
３２  照明部
３３  入射口
３４  第一の視野
３５  第二の視野
３６  第四のセンサ
３７  第四の視野
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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