(57)【要約】【課題】装置またはラインまたは物件（物件等）の静電気障災害を防止する。【解決手段】物体の障災害発生力は、物体が物件等に放電したときに物件等が受ける放電電圧として定義され、静電気対策用資材の性能が、資材に静電気対策を施す前後における資材上の物体の障災害発生力の差として定義され、帯電防止資材の性能が、資材に帯電防止加工を施す前後における資材の障災害発生力の差として定義され、除電装置の除電能力が、除電装置により物体を除電する前後における物体の障災害発生力の差として定義され、関係する各要素が比較可能な同じ物理量で評価できるようにして、物件等に静電気障災害が発生したときに物体から物件等に入力する放電電圧として定義される物件等の正味の静電気耐性よりも、対策を実施した後の物体の障災害発生力が小さくなるように静電気対策用資材、帯電防止資材、除電装置を選択する。【選択図】図１
2004152722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件において、物体が帯びた電荷を地面に漏洩する経路を構成する静電気対策用資材と、前記装置またはラインまたは物件の帯電防止機能を有する帯電防止資材と、前記装置またはラインまたは物件の静電気を除電する除電装置とにより該装置またはラインまたは物件の静電気障災害を防止する静電気対策方法であって、
物体の障災害発生力が、該物体が前記装置またはラインまたは物件に放電したときに該装置またはラインまたは物件が受ける放電電圧値として定義され、
静電気対策用資材の静電気対策能力が、静電気対策を施す前の資材の上に位置する物体の障災害発生力と、静電気対策用資材の上に位置する物体の障災害発生力との差として定義され、
帯電防止資材の静電気対策能力が、帯電防止加工をする前の資材の障災害発生力と、帯電防止加工をした後の資材の障災害発生力との差として定義され、
除電装置の除電能力が、除電対象とする物体の障災害発生力と、除電装置が物体の静電気を除電した後の該物体の障災害発生力との差として定義され、
前記静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力により、前記装置またはラインまたは物件に静電気障災害が発生したときに物体から装置またはラインまたは物件に実際に入力する放電電圧として定義される装置またはラインまたは物件の正味の静電気耐性よりも、対策を施した後の物体の障災害発生力が小さくなるように、前記静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を選択することを特徴とする静電気対策方法。
【請求項２】
前記静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力と、物体の障災害発生力と、装置またはラインまたは物件の静電気耐性等の静電気対策に関係する各種要素を同じ物理量で評価し、それらを相互に比較選択することを特徴とする請求項１に記載の静電気対策方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、装置またはラインまたは物件の静電気障災害を防止することのできる静電気対策方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、自然現象、社会の様々な営み、各種産業等において、静電気による不具合について静電気障害・静電気災害・静電気障災害・静電気災障害と表現することがあるが、本明細書においては、一括して静電気障災害（ＥＳＤハザード：Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｈａｚａｒｄ）と呼ぶことにする。
【０００３】
最も簡単な例として帯電体となる物体（以下、帯電体と略す）とデバイスだけの系を例として説明する。ただし、本説明においては、静電気障災害を静電気障害と略記することもある。帯電体の静電気がデバイスに放電された場合に、デバイスに入力する放電エネルギーに相当する放電電圧が、該デバイスの正味の静電気耐性よりも大きいときに、静電気障害が生じることが知られている。デバイスの正味の静電気耐性とは、各メーカが公表しているＥＳＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）評価試験装置の電圧に対する耐性とは異なり、デバイスへ実際に入力する電圧である。また、デバイスが受ける放電電圧は、デバイスに静電気障害を発生させる根源となることがあり、デバイスに静電気障害が発生するか否かの指標となる。従って、本明細書では、以下、この放電電圧を障害発生力（または障災害発生力、またはＥＳＤハザードポテンシャル：ＥＳＤ  Ｈａｚａｒｄ  Ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）と呼ぶ。
【０００４】
デバイスが実際に置かれる環境によって静電気障害の発生の仕方は様々であり、例えば、デバイスを製造する工場内では、（１）導電性の床材を用いる、（２）作業者が特殊な作業服を着用し、リストストラップを身に付ける、（３）除電装置を設けるなどのＥＳＤハザード対策を施している。このようなＥＳＤハザード対策を効率よく行うためには、デバイスを取り巻く環境静電気の振舞いを正しく認識することが必要である。
【０００５】
従来、静電気の源である帯電体に関して、その電位を表面電位測定器などの静電気測定器で測定する方法がとられていた。この方法では、静電気測定器を帯電体に近づけることにより静電界の電位を測定する。この測定された電位は帯電体が潜在的に有する静電エネルギーに相当する。しかしながら、帯電体は放電により全ての静電エネルギーを放出することは少なく、通常、その一部を放出する。また、帯電体とデバイスが接触していないときには、放出されたエネルギーの一部が、帯電体とデバイスとの間の空気中で消費される。つまり、デバイスが実際に受ける放電エネルギーは、帯電体の静電エネルギーよりも小さく、両者は異なるものである。その結果、従来の静電気測定器では、静電気のＥＳＤハザードポテンシャルを測定することができなかった。これに対して本願出願人は、先に特願２００２−２９７１２３号公報において、ＥＳＤハザードポテンシャルを再現して測定する静電気放電測定器を考案した。この測定器は、帯電体の種類が金属でも絶縁物でもデバイスに実際に入力する電圧を測定することが可能である。
【０００６】
一方、デバイスの静電気耐性については、従来、ＥＳＤ評価試験装置の印加する電圧に対する耐性として求められている。しかし、従来の静電気耐性は、ＥＳＤ評価試験装置やそのメーカが異なると数値が異なり、実際の静電気放電の破壊力との関係が明らかではない。従って、これをみかけの静電気耐性と呼び、正味の静電気耐性と区別することにする。正味の静電気耐性は、ＥＳＤ評価試験装置の伝達関数を考慮して見かけの静電気耐性を正味の耐性に換算するか、非特許文献１に開示された方法でデバイスの損傷電圧を測定すれば求められる。
【０００７】
また、従来、静電気対策用資材や帯電防止資材には様々な評価指標がある。静電気対策用資材は、例えば導電性材料から構成された床材、履物、リストストラップなどであり、例えば人体が帯びた電荷を地面に漏洩する経路を提供する。静電気対策用資材の静電気対策能力は、従来、例えば、床材の表面抵抗率、床材の接地間抵抗、靴の接地間抵抗（人体＋靴）、人体の接地間抵抗（人体＋靴＋床）、および人体帯電電圧を測定し、人体電位の大きさと接地間抵抗で評価されている。また、帯電防止資材は、例えば導電性材料やシールド材から構成された布材・包装用資材等であり、帯電防止機能を有する。従来、布材や包装用資材等では、電荷の減衰速度または半減期により、また、包装用資材では摩擦帯電により静電気対策能力を評価している。
【０００８】
また、除電装置は、バータイプとブロワータイプの２種類に大別される。しかしながら、その除電能力については従来、様々な指標があり、ユーザを混乱させると共に実際の静電気放電にどのくらい効果があるのかが明確に定まっていない。例えば、バータイプの除電装置の除電能力については２通りの評価指標がある。１つは、直流高電圧を与えた擬似帯電板に対する除電電流、もう１つは、実際の使用場所での性能を静電気測定器で調べるというものである。また、ブロワータイプの装置の除電能力については以下の３通りの評価指標がある。（１）イオン吹き出し口の前面に置かれバイアス電圧が印加された測定電極に流入するイオン流、（２）充電した測定電極の電位の減衰時間、（３）直流で充電した金属電極を金網でシールドし、シールドに流入する電流。
【０００９】
上述のように、デバイスに実際に及ぼされる帯電体のＥＳＤハザードポテンシャル、デバイスの静電気耐性、静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力は、従来、統一的に扱われたことはなく、そのため、装置またはラインまたは物件に対して適切な静電気対策をシステムとして実施することができなかった。
【００１０】
【非特許文献１】
村崎憲雄、萩本安昭，「デバイスのＥＳＤ耐性評価の数量化」，信学技報，社団法人電子情報通信学会，平成１４年３月，ＳＳＳ２００１−３３
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる背景に鑑み、装置またはラインまたは物件の静電気障災害を防止するように静電気対策用資材と、帯電防止資材と、除電装置を効率よく配設できる静電気対策方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明の静電気対策方法は、静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件において、物体が帯びた電荷を地面に漏洩する経路を構成する静電気対策用資材と、前記装置またはラインまたは物件の帯電防止機能を有する帯電防止資材と、前記装置またはラインまたは物件の静電気を除電する除電装置とにより該装置またはラインまたは物件の静電気障災害を防止する静電気対策方法であって、物体の障災害発生力が、該物体が前記装置またはラインまたは物件に放電したときに該装置またはラインまたは物件が受ける放電電圧値として定義され、静電気対策用資材の静電気対策能力が、静電気対策を施す前の資材の上に位置する物体の障災害発生力と、静電気対策用資材の上に位置する物体の障災害発生力との差として定義され、帯電防止資材の静電気対策能力が、帯電防止加工をする前の資材の障災害発生力と、帯電防止加工をした後の資材の障災害発生力との差として定義され、除電装置の除電能力が、除電対象とする物体の障災害発生力と、除電装置が物体の静電気を除電した後の該物体の障災害発生力との差として定義され、前記静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力により、前記装置またはラインまたは物件に静電気障災害が発生したときに物体から装置またはラインまたは物件に実際に入力する放電電圧として定義される装置またはラインまたは物件の正味の静電気耐性よりも、対策を施した後の物体の障災害発生力が小さくなるように、前記静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を選択することを特徴とする。
【００１３】
かかる本発明によれば、静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件は、例えば、電子デバイス等の製造工程・組立工程・検査工程などの生産ライン、繊維・石油・化学・粉体・複写機・航空機等に係る物件を含む。また、帯電体となる物体には人体も含む。また、物体の障災害発生力は、物体が帯びた静電気の障災害発生力のことであり、該物体が装置またはラインまたは物件に放電したときに該装置またはラインまたは物件が受ける放電電圧値として定義される。物体の障災害発生力を測定するために使用される測定装置は、本願出願人が特願２００２−２９７１２３号公報に開示した静電気放電測定装置である。この装置では、電極から接地極に至る放電経路が、静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件の入力インピーダンスに略一致するように構成されている。従って、物体をこの装置の電極に接触させて物体から電極に放電させることにより、物体から、装置またはラインまたは物件への放電を再現できる。そして、このとき求めた電極の電圧値を、物体の障災害発生力とする。
【００１４】
また、静電気対策用資材は、物体が帯びた電荷を地面に漏洩する経路を構成するものであり、例えば床材、靴、リストストラップなどがこれにあたる。この静電気対策用資材の静電気対策能力を求めるには、まず、静電気対策を施す前の資材を帯電体となる物体に施したときの該物体の障災害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。次に、静電気対策用資材を該物体に施したときの該物体の障災害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。このとき、例えば、床材や靴ならば人体（被測定者）がその上に位置し、リストストラップならば、人体（被測定者）がそれを着用して測定する。そして、対策を施す前後の差を求め、静電気対策用資材の静電気対策能力とする。
【００１５】
また、帯電防止資材は、装置またはラインまたは物件の帯電防止機能を有するものであり、例えば作業服や包装用資材などがこれにあたる。この帯電防止資材の静電気対策能力を求めるには、まず、帯電防止加工をする前の資材の障災害発生力を上記静電気放電測定装置により測定する。次に、帯電防止資材を該装置またはラインまたは物件に施したときの帯電防止資材の障災害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。このとき、例えば、作業服ならば人がそれを着用し、包装用資材ならば、それでデバイスなどを包装して測定する。そして、資材を帯電防止加工をする前後の差を求め、帯電防止資材の静電気対策能力とする。また、除電装置の除電能力を求めるには、まず、除電対象とする物体の障災害発生力を上記静電気放電測定装置により測定する。次に、除電装置が物体の静電気を除電した後の物体の障災害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。そして、除電前と除電後の障災害発生力の差を求め、除電装置の除電能力とする。
【００１６】
また、装置またはラインまたは物件の正味の静電気耐性は、装置またはラインまたは物件に静電気障災害が発生したときに物体から、装置またはラインまたは物件に実際に入力する放電電圧として定義される。例えば、デバイスの正味の静電気耐性は、ＥＳＤ評価試験装置の電圧に対する耐性（見かけの静電気耐性）とは異なり、ＥＳＤ評価試験装置の伝達関数を考慮して見かけの静電気耐性を正味の耐性に換算するか、あるいはデバイスの損傷電圧を測定することにより求められる。
【００１７】
本発明の静電気対策方法では、静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力に基づいて、静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を選択し、装置またはラインまたは物件の正味の静電気耐性よりも、対策を施した後の物体の障災害発生力が小さくなるようにするものである。このとき、装置またはラインまたは物件に静電気障害が発生することがなくなる。
【００１８】
また、本発明の静電気対策方法は、前記静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力と、物体の障災害発生力と、装置またはラインまたは物件の静電気耐性等の静電気対策に関係する各種要素を同じ物理量で評価し、それらを相互に比較選択することを特徴とする。
【００１９】
前記静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力は、従来、抵抗値や電流値など様々な指標で評価されていたが、本発明の静電気対策方法によれば、静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、および除電装置の除電能力を、障災害発生力（電圧値）と同じ次元の電圧値として統一的に考慮することができる。さらに、装置またはラインまたは物件の正味の静電気耐性、物体の障災害発生力を含めて、システム全体の静電気対策の評価指標が電圧値に統一されるので、無用な混乱を防ぐことができると共に、静電気対策にかかる費用が見積り易くなる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本実施形態にかかる静電気対策方法は、静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件に対して、静電気対策用資材、帯電防止資材、除電装置を適宜配設するものである。ここで、静電気対策用資材とは、物体が帯びた電荷を地面に漏洩する経路を構成するものであり、例えば床材、靴、靴下、リストストラップなどがこれにあたる。また、帯電防止資材は、装置またはラインまたは物件の帯電防止機能を有するものであり、例えば作業服、包装用資材、作業台上の敷物などがこれにあたる。
【００２１】
まず、本実施形態の静電気対策方法で用いられる障災害発生力（以下、障害発生力と略記することがある）、静電気対策用資材の静電気対策能力、帯電防止資材の静電気対策能力、除電装置の除電能力の定義を以下に説明する。
【００２２】
（障害発生力の定義）物体の障害発生力（ＥＳＤハザードポテンシャル）とは、該物体が静電気対策を施す対象とする装置またはラインまたは物件に放電したときに該装置またはラインまたは物件が受ける放電電圧値として定義される。そして、この放電電圧値は、後述する静電気放電測定装置により測定されるものとする。また、ここで、物体とは、製造ラインまたは組立ライン等において存在するものであり、例えば、人体や製造装置などである。
【００２３】
（静電気対策用資材の静電気対策能力の定義）静電気対策用資材の静電気対策能力は、静電気対策を施す前の資材上の物体の障害発生力と、静電気対策用資材の上に位置する物体の障害発生力との差として定義される。この静電気対策用資材の静電気対策能力を求めるには、まず、所定の条件下で静電気対策を施す前の資材上で該物体の障害発生力を後述する静電気放電測定装置により測定する。そして、静電気対策用資材上の該物体の障害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。このとき、例えば、人体帯電を対象としている場合に、靴下やリストストラップなどが静電気対策用資材であれば、被測定者がそれを着用した状態で測定される。また、上記資材は接地されるものとする。そして、静電気対策を施す前の資材上の被測定者の障害発生力と、静電気対策用資材上の被測定者の障害発生力との差を求める。この差が、静電気対策用資材の静電気対策能力となる。
【００２４】
（帯電防止資材の静電気対策能力の定義）帯電防止資材には、例えば人体（被測定者）に着用される作業服と、デバイスを載置する敷物またはデバイスを包装する包装材等がある。人体着用型の帯電防止資材の静電気対策能力を求めるには、まず、帯電防止加工をする前の資材の障害発生力を後述の静電気放電測定装置により測定する。次に、例えば被測定者に着用された帯電防止資材の障害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。なお、上記資材は接地されるものとする。そして、帯電防止加工をする前の資材の障害発生力と、帯電防止資材の障害発生力との差が、帯電防止資材の静電気対策能力となる。一方、例えばデバイス用の帯電防止資材の静電気対策能力を求めるには、まず、帯電防止加工をする前の資材にデバイスを包装または載置し、該資材の障害発生力を後述の静電気放電測定装置により測定する。同様に、デバイスを包装または載置した帯電防止資材の障害発生力を上述の静電気放電測定装置により測定する。そして、両者の差が、帯電防止資材の静電気対策能力となる。
【００２５】
（除電装置の除電能力の定義）除電装置の除電能力は、除電対象とする物体の障害発生力と、除電装置により除電された後の該物体の障害発生力との差として定義される。物体の障害発生力を求めるには上記静電気放電測定装置が用いられる。
【００２６】
次に、図面を参照して本実施形態に係る静電気対策方法が適用される具体例としてクリーンルームでデバイスを扱う場合について説明する。図１は、クリーンルーム内におけるデバイスの組立工程を説明するための説明図である。クリーンルーム１内の作業台２上には、静電気対策を施す対象とするデバイス３が置かれている。デバイス３は、例えば半導体集積回路である。また、作業台２上には、デバイス３に静電気を放電する帯電体として、例えばデバイス３を組み立てる組立装置４が配設されている。さらに別の帯電体として、作業者５が存在するものとする。
【００２７】
静電気対策用資材は、例えば、静電気対策用床材８と、静電気対策用靴９と、リストストラップ１０から構成される。また、帯電防止資材は、例えば静電気対策用衣類である作業服１１から構成される。なお、ここでは、静電気対策用資材と帯電防止資材は、帯電体である作業者５による静電気の対策として設けられ、除電装置１２が、帯電体である組立装置４による静電気の対策として設けられるものとする。
【００２８】
以下、本実施形態の静電気対策方法を、（１）デバイスの製造メーカの対応、（２）静電気対策用資材と帯電防止資材の販売業者の対応、（３）除電装置のメーカの対応、（４）現場の静電気対策を行うユーザの対応、（５）現場の静電気対策手順、（６）静電気放電測定装置の構成および動作、（７）チェッカーの構成および動作、の各項目に分けて詳述する。
【００２９】
（１）デバイスの製造メーカの対応
デバイスの製造メーカは、デバイスの正味の静電気耐性を予め測定しておくものとする。このデバイスの正味の静電気耐性とは、ＥＳＤ評価試験装置の電圧に対する耐性（見かけの静電気耐性）とは異なるものであり、デバイスに静電気障災害が発生したときに帯電体からデバイスに実際に入力する放電電圧として定義されるものである。正味の静電気耐性は、ＥＳＤ評価試験装置の伝達関数を考慮して見かけの静電気耐性を正味の耐性に換算するか、あるいはデバイスの損傷電圧を測定することにより求められる。デバイスの製造メーカは、求めた正味の静電気耐性値（電圧値）をデバイスのカタログや仕様書等を通じてユーザに周知する。
【００３０】
（２）静電気対策用資材と帯電防止資材の販売業者の対応
販売業者は、静電気対策用資材のメーカから、静電気対策用床材、静電気対策用靴、リストストラップ等を仕入れ、帯電防止資材のメーカから、作業服等を仕入れ、各資材の組み合わせによる静電気対策能力を以下のようにして求めておく。例えば、販売業者は、後述する静電気放電測定装置を用意しておき、静電気対策を施す対象とするデバイスの入力インピーダンスに応じて静電気放電測定装置の電極を選択する。まず、被測定者（人体）が静電気対策加工を施していない靴を履き、静電気対策加工を施していない床面を歩行する。このとき、被測定者が静電気放電測定装置の電極に触れることにより、被測定者の障害発生力Ｖ１を測定する。次に、この人物が静電気対策用靴９を履いて静電気対策用床材８の上を歩行する。このとき、被測定者が静電気放電測定装置の電極に触れることにより、被測定者の障害発生力Ｖ２を測定する。静電気対策用床材８と静電気対策用靴９との組み合わせによる対策能力は、静電気対策を施す対象とするデバイスに対して、障害発生力の差Ｖ１−Ｖ２として求められる。同様に、帯電防止靴下、リストストラップ、作業服を着用した場合等の組み合わせによる対策能力も測定することができる。販売業者は、静電気対策用床材８や静電気対策用靴９等の組み合わせやデバイスの種類に応じて静電気対策用資材と帯電防止資材の対策能力を求めカタログに載せる。
【００３１】
なお、静電気対策用資材のメーカと帯電防止資材のメーカは個別に静電気放電測定装置を使用して各資材の対策能力を測定するようにしてもよい。
【００３２】
（３）除電装置のメーカの対応
除電装置１２のメーカは、後述する静電気放電測定装置を使用して除電装置１２の除電能力を測定する。その方法は例えば、次のようなものである。まず、サイズ、材質が一定の試験帯電体を試験電圧（例えば１０００Ｖ）にチャージしておく。そして、静電気放電測定装置の使用に際しては、静電気対策を施す対象とするデバイスの入力インピーダンスに応じて静電気放電測定装置の電極を選択する。そして、試験帯電体に静電気放電測定装置の電極を接触させて試験帯電体の障害発生力Ｖ３を測定する。次に、試験帯電体から所定距離（例えば３０ｃｍ）離れたところから除電装置１２を作動させる。そして、一定時間（例えば１０秒間）後に除電装置１２をオフする。次に、試験帯電体に静電気放電測定装置の電極を接触させて試験帯電体の障害発生力Ｖ４を測定する。除電装置１２の除電能力は、静電気対策を施す対象とするデバイスに対して、障害発生力の差Ｖ３−Ｖ４として求められる。同様にして、異なるサイズ・材質の試験帯電体やデバイスに応じて除電装置１２の除電能力を求め除電装置メーカのカタログに載せる。
【００３３】
（４）現場の静電気対策を行うユーザの対応
ユーザは、大きく分けて対策責任者（設計者）、施行者（管理者）、現場担当者に分類される。対策責任者（設計者）は、現場（例えばクリーンルーム１）において、帯電体となる物体の障害発生力が、静電気対策用資材や帯電防止資材の静電気対策能力、除電装置の除電能力によって、デバイスの正味の静電気耐性よりも小さくなるように、静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を選択するように設計する。この条件を満たす資材や装置の組み合わせは無数に存在すると考えられるが、対策責任者は、静電気対策能力や除電能力に基づいて、該物体の障害発生力を１［Ｖ］低下させるのに要する費用を算出し、費用対効果や費用対寿命等の評価を行い、適切な資材や装置の組み合わせを選択する。
【００３４】
施行者（管理者）は、対策責任者（設計者）により設計されたとおりに現場の作業が実施できるように、現場担当者の作業マニュアルを作成し、現場担当者の作業を監督する。現場担当者は、作業マニュアルに従って、静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を適宜配設する。例えば、除電装置等を配設する前に、後述の静電気放電測定装置を使用して、現場（クリーンルーム１）に存在している帯電体となる物体の障害発生力を測定する。また、除電装置等を配設した後には、後述のチェッカー４１を使用して、設計されたとおりに現場の該物体の障害発生力がデバイスの正味の静電気耐性よりも小さくなっているかどうか定期的にチェックする。
【００３５】
（５）現場の静電気対策手順
ユーザ（対策責任者）は、例えば、正味の静電気耐性＝５０［Ｖ］のデバイス３について、静電気対策を施すものとする。ユーザ（現場担当者）は、まず、デバイス３の入力インピーダンスに応じて、静電気放電測定装置の電極を選択し、帯電体としての組立装置４および作業者５の障害発生力を測定する。その結果、例えば、組立装置４の障害発生力の測定値＝１００［Ｖ］、作業者５（人体）の障害発生力の測定値＝２００［Ｖ］であったものとする。
【００３６】
ユーザ（対策責任者）は、静電気対策用資材と帯電防止資材による実際の効果が記載されているカタログと、除電装置のカタログとに基づいて、静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を調査する。このとき、ユーザ（対策責任者）は、静電気対策能力や除電能力に基づいて、帯電体となる物体の障害発生力を１［Ｖ］低下させるのに要する費用を算出し、費用対効果の評価を行う。そして、ユーザ（対策責任者）は、例えば、人体に対する対策能力＝１８０［Ｖ］の静電気対策用床材８と静電気対策用靴９と作業服１０の組み合わせを決定し、例えば、除電能力＝１００［Ｖ］の除電装置１２を選択するものとする。
【００３７】
ユーザ（現場担当者）は、現場（クリーンルーム１）に、静電気対策用床材８を敷き、除電装置１２を取り付ける。デバイス３の組立て作業を行う作業者５は、選択された作業服１０を着用し、静電気対策用靴９を履く。さらに、リストストラップ１１を着用してもよい。そして、再び、ユーザ（現場担当者）は、デバイス３の入力インピーダンスに応じて、静電気放電測定装置の電極を選択し、帯電体としての組立装置４と作業者５の障害発生力を測定する。その結果、例えば、略設計どおりに、組立装置４の障害発生力の測定値＝１［Ｖ］、作業者５（人体）の障害発生力の測定値＝２０［Ｖ］であったものとする。この値はいずれもデバイスの正味の静電気耐性＝５０［Ｖ］以下なので、こうしてデバイス３に対して静電気障害が発生しないような静電気対策を施すことができた。
【００３８】
（６）静電気放電測定装置の構成および動作
次に、静電気放電測定装置の構成および動作を以下に詳述する。図２は静電気放電測定装置１３（以下、単に測定装置１３と呼ぶ）の外観図であり、図３は測定装置１３の構成図である。図２を参照して、測定装置１３は、箱形の筐体２２の前面部に外部に露出して方向転換可能な例えば１２本の電極２３ｋ（ｋ＝１〜１２）と、筐体２２の上面部に外部に露出して固着された表示器２４と、筐体２２の内部に収納された回路部２５とを備える。
【００３９】
電極２３ｋの直径Ｄは、例えば、Ｄ＝１ｍｍ（ｋ＝１〜４）、５ｍｍ（ｋ＝５〜８）、１０ｍｍ（ｋ＝９〜１２）の３種類であり、それぞれ４本ずつ設けられている。表示器２４は、帯電体となる物体から電極２３が受ける放電電圧（障害発生力）の値を表示する。尚、筐体２２の外面部には、図示しない電源スイッチ等が取付けられている。
【００４０】
回路部２５は、電極２３ｋ及び表示器２４に接続されており、図３に示すように、電極２３ｋがそれぞれ接続された１２組の放電用回路２７ｋ（ｋ＝１〜１２）と、メータ２８と、算出部２９と、Ａ／Ｄ変換回路３０とを備えている。放電用回路２７ｋは、それぞれ、抵抗体３１ｋ（抵抗値Ｒ１ｋ）と、抵抗体３１ｋに接続された分圧回路３２ｋ（抵抗値Ｒ２ｋ）とにより構成される。抵抗体３１ｋは電極２３ｋに接続され、分圧回路３２ｋは接地極３３に接続されている。分圧回路３２ｋは、例えば、固定抵抗体から構成される。
【００４１】
電極２３ｋから放電用回路２７ｋを経て接地極３３に至る１２本の経路は、放電経路３４ｋ（ｋ＝１〜１２）を形成している。この放電経路３４ｋのインピーダンスは、静電容量が電極の直径Ｄで定まり、抵抗が接地間抵抗Ｒ即ち電極２３ｋと接地極３３間の抵抗で定まる。接地間抵抗Ｒは、例えば、１Ω、１００Ω、１ＭΩ、１００ＭΩの４種類である。
【００４２】
放電経路３４ｋの電極直径Ｄおよび接地間抵抗Ｒの具体的な組み合わせは、（Ｄ，Ｒ）＝（１ｍｍ，１Ω）、（１ｍｍ，１００Ω）、（１ｍｍ，１ＭΩ）、（１ｍｍ，１００ＭΩ）、（５ｍｍ，１Ω）、（５ｍｍ，１００Ω）、（５ｍｍ，１ＭΩ）、（５ｍｍ，１００ＭΩ）、（１０ｍｍ，１Ω）、（１０ｍｍ，１００Ω）、（１０ｍｍ，１ＭΩ）、（１０ｍｍ，１００ＭΩ）であり、それぞれｋ＝１〜１２の場合を示す。
【００４３】
メータ２８は、放電用回路２７ｋの抵抗体３１ｋと分圧回路３２ｋの中点にスイッチＳＷ１〜ＳＷ１２により切替え自在に接続され、分圧回路３２ｋ間に生じる電圧値Ｖａｋ（ｋ＝１〜１２）を測定する。算出部２９は、メータ２８の測定値Ｖａｋから電極２３ｋに生じる電位Ｖｂｋ（ｋ＝１〜１２）を算出する。尚、電位Ｖｂｋは、次式（１）で表される。また、回路部２５のＡ／Ｄ変換回路３０は、算出部２９の出力信号をＡ／Ｄ変換して表示器２４に表示せしめる。
【００４４】
Ｖｂｋ＝Ｖａｋ＊（Ｒ１ｋ＋Ｒ２ｋ）／Ｒ２ｋ・・・・・・・・・・（１）
【００４５】
次に、かかる測定装置１３の作動を説明する。静電気対策を施す対象とするデバイスの入力インピーダンスの設計値（メーカの公称値）に応じて電極２３ｋ（または放電経路３４ｋ）のうちのいずれかを選択しておく。そして、選択した電極を測定装置１３の前面に延設し、他の１１本の電極を測定装置１３の上面に向けて折り曲げておく。以降、選択した電極を代表して電極２３と記し、同様に、放電用回路２７、分圧回路３２、放電経路３４、抵抗値Ｒ１、Ｒ２、電圧値Ｖａ、Ｖｂのように添字ｋを略して説明する。
【００４６】
この測定装置１３により帯電体となる物体からデバイスが受ける障害発生力を測定する際には、まず、図示しない電源スイッチを投入した後に、電極２３を該物体に対向させた状態で、筐体２２を該物体に近づけ、電極２３を該物体に接触させる。電極２３を該物体に接触させると、該物体から放電経路３４に放電される。即ち、電極２３と放電用回路２７を介して接地極３３に放電され、電極２３には、接地極３３に対して所定の電位Ｖｂが生じる。
【００４７】
電極２３を該物体に接触させたときに、メータ２８は、分圧回路３２間に生じる電圧Ｖａを測定し、算出部２９はメータ２８の出力信号を電極２３に生じる電位Ｖｂに換算する。電位Ｖｂは、分圧回路３２に生じる電圧Ｖａと、分圧抵抗値Ｒ１、Ｒ２により前記の式（１）で表される。算出部２９の出力信号は、Ａ／Ｄ変換回路３０によりＡ／Ｄ変換され、さらに、その電圧値Ｖｂが表示器２４により、該物体によるデバイスに対する障害発生力Ｖｂとして表示され、これにより、該障害発生力Ｖｂが測定される。
【００４８】
（７）チェッカーの構成および動作
次に、チェッカーの構成と作動を詳述する。図４はチェッカー４１の外観を示す外観図であり、図５はチェッカー４１の構成を示す構成図である。なお、静電気放電測定装置１３と同一の構成には同一の参照番号を付与する。図４を参照して、チェッカー４１は、箱形の筐体２２の前面部に外部に露出して固着された電極２３と、筐体４２の内部に収納された回路部４５とを備える。回路部４５は、電極２３に接続されており、図５に示すように、電極２３が接続された放電用回路２７と、比較回路４６と、増幅器４７と、報知部４８とを備えている。
【００４９】
放電用回路２７は、抵抗体３１（抵抗値Ｒ１）と、抵抗体３１に接続された分圧回路３２（抵抗値Ｒ２）とにより構成される。抵抗体３１は電極２３に接続され、分圧回路３２は接地極３３に接続されている。
【００５０】
比較回路４６は、放電用回路２７の抵抗体３１と分圧回路３２の中点に接続され、分圧回路３２間に生じる電圧値Ｖａと所定の電圧値ＶＣを比較する。そして、電圧値Ｖａが所定の電圧値ＶＣ以上のときに信号を出力する。増幅器４７は、例えばバイポーラトランジスタから構成され、比較回路４６の出力信号を増幅し、増幅信号を報知部４８に供給する。報知部４８は、例えば、圧電体セラミックから成るピエゾブザーから構成され、入力信号に応じてブザー音を発する。
【００５１】
次に、かかるチェッカー４１の作動を説明する。このチェッカー４１により帯電体となる物体の障害発生力がデバイスに静電気障害を引き起こすか否かを弁別する際には、所定の電圧値ＶＣを設定しておく。電圧値ＶＣは静電気対策を施す対象とするデバイスの製造メーカの公称値により決定され、そのデバイス専属のチェッカー４１の製造段階で設定される。
【００５２】
まず、図示しない電源スイッチを投入した後に、電極２３を帯電体となる物体に対向させた状態で、筐体２２を該物体に近づけ、電極２３を該物体に接触させる。または、実際に静電気に曝される環境と同じようにして、デバイスが製造ライン上などで該物体に接近する方向から実際に近づく位置まで接近させる。
【００５３】
電極２３を該物体に接触又は接近させると、該物体から、電極２３と放電用回路２７を介して接地極３３に放電されるので、電極２３には、接地極３３に対して所定の電位Ｖｂが生じる。この場合、電極２３に生じる電位Ｖｂを分圧した分圧回路３２に生じる電圧Ｖａと、所定の電圧値ＶＣとの比較が比較回路４６により行われる。
【００５４】
比較回路４６は、電圧値Ｖａが所定の電圧値ＶＣ以上のときに信号を出力する。この出力信号は、増幅器４７により増幅されて、報知部４８はブザー音を発する。一方、電圧値Ｖａが所定の電圧値ＶＣよりも小さいときには、報知部４８はブザー音を発しない。従って、デバイスに該物体による静電気障害が発生すると弁別した場合にのみブザーを鳴らすことができる。
【００５５】
上記実施形態によれば、静電気対策を施す対象とするデバイスに対して、静電気対策を施して、帯電体となる物体の障害発生力をデバイスの正味の静電気耐性よりも小さくするように、適切な静電気対策用資材、帯電防止資材、および除電装置を選択することができる。このとき該デバイスの静電気障害を防止することができる。
【００５６】
上記実施形態では、クリーンルーム内のデバイスの静電気障害を防止するための静電気対策を説明したが、本発明の静電気対策方法は電子デバイスの静電気対策に限定されるものではなく、例えば、繊維、石油、化学、粉体、複写機、航空機等における静電気障災害を防止するための静電気対策に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルーム内のデバイス組立工程を説明するための説明図。
【図２】静電気放電測定装置の外観図。
【図３】静電気放電測定装置の構成図。
【図４】チェッカーの外観図。
【図５】チェッカーの構成図。
【符号の説明】
１・・・クリーンルーム、２・・・作業台、３・・・デバイス、４・・・組立装置、５・・・作業者、８・・・静電気対策用床材、９・・・静電気対策用靴、１０・・・リストストラップ、１１・・・作業服、１２・・・除電装置、１３・・・静電気放電測定装置、２２・・・筐体、２３・・・電極、２４・・・表示器、２５，４５・・・回路部、２７・・・放電用回路、２８・・・メータ、２９・・・算出部、３０・・・Ａ／Ｄ変換回路、３１・・・抵抗体、３２・・・分圧回路、３３・・・接地極、３４・・・放電経路、４１・・・チェッカー、４６・・・比較回路、４７・・・増幅器、４８・・・報知部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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