(57)【要約】      （修正有）【課題】カバーとキャリア本体との間に一収納空間を形成させて該ウェイファ・ボックスを収納し、キャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることができるウェイファ・ボックスのキャリアを提供する。【解決手段】少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、キャリア本体上に設けられ、キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、キャリア本体上に取付けられ、斜方向にショック・アブソーバを有し、これによりキャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備える。【選択図】図１
0003107515.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に設けられ、該キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、
前記キャリア本体上に取付、斜方向にショック・アブソーバを有し、これにより該キャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項２】
前記カバーは前記キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せる第一及び第二のカバー・プレートを有すると共に、このカバーは淡黄色の透明カバーである請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項３】
前記ウェイファ・ボックスはＦｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ（ＦＯＳＢ）であり、そして前記第一のカバープレートは第二のカバープレートの開閉を固定する固定部材を有しており、
前記第一及び第二のカバープレートには、該第一及び第二のカバープレートを第一及び第二の開閉位置に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸が取付けられてあり、
前記第二のカバープレートには、前記第二のカバープレートを接続する接続板片が取付けられてあり、前記第二の開閉位置は水平位置であり、
前記第一及び前記第二のカバープレートは該第一及び該第二のカバープレートの開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドルを備え、
前記第一カバープレートは該第一のカバープレートを支持するための支持気圧棒を備え、前期キャリア本体は該第二のカバープレートが滑入して隠されるように収容される収容底槽を備え、
前記キャリア本体は該第二のウェイファ・ボックスが該キャリア本体に置き易いように活動隔板を備え、及び、
前記キャリア本体は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッドを有しており、かつ該第一及び第二のカバー・プレートはいずれも抗静電処理が施されている請求項２記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項４】
前記ショック・プルーフ装置はローラを備え、斜方向ショック・アブソーバは第一の位置決軸と該ローラとの間に固定的に設置され、
そして、斜方向ショック・アブソーバは該第一の位置決軸を第一の回転軸とし、
前記ショック・プルーフ装置には１固定基座及び２回動板片があり、該２回動板片は前記固定基座と前記ローラとの間に固定的に設置され、該回動板片は該固定基座に設けられてある第二の位置決軸を第二の回転軸心とし、そして該ローラには該回動板片を連接するローラ軸が設けられてあり、
前記ショック・プルーフ装置の前記２回動板片には該２回動板片の運動強度を補強する補強リングが設けられていると共に、該固定基座には前記第一の位置決軸を固定する位置決軸板が設けられてあり、及び、
前記ローラには前記斜方向ショック・アブソーバを固定的に設置する延長軸心が備えられてある請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項５】
前記キャリアはプッシング・カーであり、該キャリア本体は該キャリアを運送車両上に固定させる位置決機構を備え、及び、
前記キャリア本体には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条が取付けられてある請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項６】
少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に設けられ、キャリア本体との間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、
前記キャリアに耐震効果を得らさせるよう該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、
を備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項７】
前記ショック・プルーフ装置は耐震効果が得られるように、斜方向ショック・アブソーバを備えている請求項６記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項８】
少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、
該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバと、
を備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。
【請求項９】
前記ウェイファ・ボックスのキャリアはさらに、前記キャリア本体上に取付けられ、前記カバーと前記キャリア本体との間に該ウェイファ・ボックスのキャリアを収容するための収納空間が形成されている請求項８記載のウェイファ・ボックスのキャリア。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、キャリア本体と、カバーと、ショック・プルーフ装置とを備えてなるウェイファ・ボックスのキャリアである。本考案により提供されたウェイファ・ボックスのキャリアを利用すれば、ウェイファ・ボックスのキャリアをより安全かつ便利にウェイファ・ボックスを運送することができる。
【背景技術】
【０００２】
一般に１２”前開式ウェイファ・ボックスは、半導体前段の製造プロセスに使用された統一制ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  ｐｏｄ、Ｆｏｕｐ）で、ウェイファ・ボックスが比較的傷を受けて瑕疵を生ずるようなことが容易でないのが利点であり、また他に室外から半導体後段の封測工場に搬送する過程において外界と接触しなければならず、そしてチップへの切片プロセス及び封装テストに用いられる運送用ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ：ＦＯＳＢ）があり、その中ＦＯＳＢは室外に搬送する時に通常プッシング・カーに置く必要があるが、一般のプッシング・カーの車両部分は防震の設計があるにもかかわらず効果が悪く、たとえ市場に既に存在している既存の防震キャスタを使用しても、なお震動方向が僅かに単一の垂直方向のみに局限されている問題が存在している。
【０００３】
図１は先行技術の耐震キャスタの側面見取図である。この図に示すようにこの耐震キャスタ１０には、ショック・アブソーバ１１とローラ１２とが備えてあり、ローラ１２の軸心１３は挟長凹溝において、プッシング・カーを搭載した時の耐震効果に到達するように単一の垂直方向ＶＤ移動を進行する。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、該プッシング・カーに対して水平移動を行った時、必ず水平方向の震動が起こる。従って、単一の垂直方向ＶＤのショック・アブソーバ１１の設計は極めて理想的でない。
【０００５】
また、一般にトラックを利用して後段の製造プロセスに運送する場合、通常不透明な薄黒色の金属真空袋でウェイファ・ボックスを封装し、緩衝材に合わせて紙箱に装入されるので、運送して来たウェイファに破片が発生すると、この破片は前段結束後の運送前に既に破れたものか、又は工人が不当の方式で搬送したための破片であるか見当がつかない。
【０００６】
即ち、如何なる過程においてもすべてウェイファの状況をはっきり見るのが容易でないばかりでなく、このよく保護されていない品質のいくつかの問題についてどうしてよいか見当がつかない。また後段工場内に使用されているプッシング・カーにおいては、トラックを利用して該プッシング・カーを運送すると、該プッシング・カー上に前記耐震効果の情況が発生しており、改善しなければならない所である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案の主たる目的は、カバーを該キャリア本体上に取付けることにより、該カバーと該キャリア本体との間に一収納空間を形成させて該ウェイファ・ボックスを収容することにある。
【０００８】
本考案の次の目的は、ショック・プルーフ装置の一斜方向ショック・アブソーバを使用することにより該キャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることにある。
【０００９】
本考案の又次の目的は、カバーの第一及び第二のカバー・プレートを運用して該キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せることにある。
【００１０】
上記目的を達成するために提供される本考案のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、このキャリア本体上に設けられ、該キャリアとの収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、該キャリア本体上に取付けられ、傾斜方向にショック・アブソーバを有し、これにより該キャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備えてなる（請求項1に対応）。
【００１１】
上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該キャリアのカバーは、該キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せる第一及び第二のカバー・プレートを有すると共に、このカバーは淡黄色の透明カバーである（請求項２に対応）。
【００１２】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ウェイファ・ボックスはＦｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ：ＦＯＳＢであり、そして該第一のカバープレートは該第二のカバープレートの開閉を固定する固定部材を有しており、該第一及び該第二のカバープレートには、該第一及び第二のカバープレートを第一及び第二の開閉位置に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸が取付けられてあり、前記第二のカバープレートには、該第二のカバープレートを接続する接続板片が取付けられてあり、前記第二の開閉位置は水平位置であり、該第一及び前記第二のカバープレートは該第一及び該第二のカバープレートの開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドルを備え、該カバープレートは該第一のカバープレートを支持するための支持気圧棒を備え、該キャリア本体は該第二のカバープレートが滑入して隠されるように収容される収容底槽を備え、該キャリア本体は該第二のウェイファ・ボックスが該キャリア本体に置き易いように活動隔板を備え、及び、該キャリア本体は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッドを有しており、かつ該第一及び第二のカバー・プレートはいずれも抗静電処理が施されている（請求項３に対応）。
【００１３】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ショック・プルーフ装置はローラを備え、該斜方向ショック・アブソーバは第一の位置決軸と該ローラとの間に固定的に設置され、そして、当該斜方向ショック・アブソーバは該第一の位置決軸を第一の回転軸とし、該ショック・プルーフ装置には１固定基座及び２回動板片があり、該２回動板片は該固定基座と該ローラとの間に固定的に設置され、該回動板片は該固定基座に設けられてある第二の位置決軸を第二の回転軸心とし、そして該ローラには該回動板片を連接するローラ軸が設けられてあり、前記ショック・プルーフ装置の該２回動板片には該２回動板片の運動強度を補強する補強リングが設けられていると共に、該固定基座には前記第一の位置決軸を固定する位置決軸板が設けられてあり、及び、該ローラには前記斜方向ショック・アブソーバを固定的に設置する延長軸心が備えられてある（請求項４に対応）。
【００１４】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該キャリアはプッシング・カーであり、このキャリア本体は該キャリアを運送車両上に固定させる位置決機構を備え、及び、該キャリア本体には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条が取付けられてある（請求項５に対応）。
【００１５】
また上記本考案のウェイファ・ボックスは、少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、該キャリア本体上に設けられ、当該キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、を備えてなる（請求項６に対応）。
【００１６】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、前記ショック・プルーフ装置は耐震効果が得られるように、斜方向ショック・アブソーバを備えている（請求項７に対応）。
【００１７】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバと、を備えてなる（請求項８に対応）。
【００１８】
また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ウェイファ・ボックスのキャリアはさらに、該キャリア本体上に取付けられ、該カバーと該キャリア本体との間に該ウェイファ・ボックスのキャリアを収容するための収納空間が形成されている（請求項９に対応）。
【考案の効果】
【００１９】
したがって、ウェイファ・ボックスのキャリアがウェイファ・ボックスを運送する時の安定性及び透明化を向上させて、単一垂直方向の耐震の局限及びテープ緊縛の情況を克服するために考案人により実験及び研究を重ねた結果、ついに効果的に前記問題、即ち、ウェイファ・ボックスのプッシング・カーが単一の垂直方向のみに防震できる欠点を解消した他、ウェイファ・ボックスのキャリアが同時に垂直方向及び水平方向の耐震機能を同時に兼備することができた。
【考案を実施するための最良の形態】
【００２０】
本考案は上記アイディアの解説から判るように、運用されたウェイファ・ボックスのキャリアを観察すると、確かにカバーを該キャリア本体上に取付けることにより、該カバーと該キャリア本体との間に収納空間が形成されて該ウェイファ・ボックスを収容できる。かつ、斜方向ショック・アブソーバを具備していることにより、キャリアの垂直方向及び水平方向への耐震効果を得ることができる。
以下、実施例を挙げて添付図面を参照しながら、その技術的手段を詳細に説明する。
【００２１】
図２は、本考案に係るウェイファ・ボックスのキャリアの好適な実施例の立体見取図である。この図２に示すように、該ウェイファ・ボックスのキャリア２０は、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に取付けられ、キャリア２１との間にウェイファ・ボックス２２を収容するための収納空間２４が形成されているカバー２３と、キャリア本体２１上に取付けられ、キャリア２０に耐震効果を得させるように斜方向ショック・アブソーバ２６が取付けられているショック・プルーフ装置２５とを備えてなる。
【００２２】
図３は、図2のウェイファ・ボックスのキャリアの活動隔板を反転した立体見取図である。この図３に示すように、キャリア２０のカバー２３は、キャリア２０内の第一及び第二のウェイファ・ボックス２２、２３を被せるための第一及び第二のカバー３０、３１を有し、そして淡黄色透明カバーをなしている。この淡黄色透明カバーにより、破片の有否及び適当に数え上げた数量をはっきり見極めることができる。また、この黄色透明カバーの使用により、金属真空袋、ポリロン及び紙箱等の材料の消耗を最小限に低限することができる。
【００２３】
ウェイファ・ボックス２２はＦｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ：ＦＯＳＢであり、第一のカバー３０には第二のカバープレート３１の開閉を固定する固定部材３３が備えられている。
【００２４】
図４は、図２のウェイファ・ボックスのキャリアのカバーが閉合を完成した後の立体見取図である。この図４に示すように、第一及び第二のカバープレート３０、３１を第一及び第二の開閉位置３４、３５に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸４０、４１が取付けられている。第二のカバープレート３１は、第二のカバープレート軸４１を接続する接続板片４２が取付けられており、第二の開閉位置は水平位置である。第一及び第二のカバープレート３０、３１の開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドル４３、４４を備えている。
【００２５】
キャリア２０の第一のカバープレートには第一のカバープレート３０を支持する支持気圧棒３６（図３参照）が取付けられている。キャリア本体２１は第二のカバープレート３１が滑入して隠されるように収容される収容底槽３７を備え、該キャリア本体２１は又第二のウェイファ・ボックス３２が下層に位置する第二のウェイファ・ボックスがキャリア本体２１に置き易いように４個の活動隔板３８を備えている。キャリア本体２１は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッド３９を有しており、かつ、第一及び第二のカバー・プレート３０、３１はいずれも抗静電処理が施されている。
【００２６】
図５は、図２におけるショック・アブソーバ装置を分解した見取図である。キャリア２０のショック・プルーフ装置２５はローラ５０を備え、斜方向ショック・アブソーバ２６は第一の位置決軸５１とローラ５０との間に固定的に設置され、そして、斜方向ショック・アブソーバ２６は該第一の位置決軸５１を第一の回転軸心としている。ショック・プルーフ装置２５には１固定基座５２及び２回動板片５３があり、該２回動板片５３は固定基座とローラとの間に固定的に設置されている。回動板片５２には第二の位置決軸５４が取付けられてあり、回動板片５３は固定基座５２に設けられてある第二の位置決軸５４を第二の回転軸心とし、そして該ローラ５０には該回動板片５３を連接するローラ軸５５が設けられている。
【００２７】
キャリア２０のショック・プルーフ装置の２回動板片５３には該２回動板片５３の運動強度を補強する補強リング５６が設けられていると共に、固定基座５２には第一の位置決軸５１を固定する位置決軸板５７が設けられてある。また、ローラ５０には斜方向ショック・アブソーバ２６を固定的に設置する延長軸心５８が備えられてある。
【００２８】
図６は、図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの位置決機構の立体見取図である。図６に示すように、キャリア２０はプッシング・カーであり、そして該キャリア本体２１は、該キャリア２０を一運送車両上に固定させる２位置決機構６０を備えている。キャリア本体２０には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条４５、４６が取付けられてある。また、該固定基座５２には、第一及び第二の回転方向Ｔ１、Ｔ２がある。
【００２９】
なお、本考案の他のアスペクトによれば、本考案に係る他のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に設けられ、当該キャリア本体２１との間に収納空間を形成してウェイファ・ボックス２２を収容するカバー２３と、該キャリア２０に耐震効果を得らさせるようキャリア本体２１上に取付けられたショック・プルーフ装置２５とを備えてなる。当然として、この場合のキャリア２０のショック・プルーフ装置２５は耐震効果を得る斜方向ショック・アブソーバ２６を備えている。
【００３０】
なお、本考案の他のアスペクトによれば、本考案に係る他のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に取付けられたショック・プルーフ装置２５と、キャリア２０に耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置２５上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバ２６とを備えてなる。当然として、この場合のキャリア２０はキャリア本体２１に取付けられたカバー２３を備えてもよく、このカバー２３とキャリア本体２１との間に収納空間２４を形成させてウェイファ・ボックスを収容することができる。
【００３１】
要するに本考案は確実に一新規の方式で、該キャリア本体上に取付けられたカバーを利用すれば、該カバーとキャリア本体との間に収納空間を形成することにより該ウェイファ・ボックスを収容することができる。同時に、運用されたショック・プルーフ装置の一斜方向のショック・アブソーバは十分にキャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることができ、工業上の生産に極めて適合する。
【００３２】
また上記実施例は、本考案の技術的手段をより具体的に説明するために挙げたもので、当然本考案の技術的思想はこれに限定されるべきでなく、添付クレームの範囲を逸脱しない限り、当業者による単純な設計変更、付加、修飾、置換等はいずれも本考案の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】従来技術の耐震キャスタの側面見取図である。
【図２】本考案に係るウェイファ・ボックスのキャリアの好適な実施例の立体見取図である。
【図３】図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの活動隔片が反転された立体見取図である。
【図４】図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアのカバー閉合完成後の立体見取図である。
【図５】図２におけるショック・プルーフ装置の分解見取図である。
【図６】図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの位置決機構の立体見取図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０  キャスタ
１１  ショックアブゾーバ
１２  ローラ
２０  キャリア
２２,  ３２  ウエイファ  ボックス
３０,  ３１  第１、第２のカバー
４０,  ４１  第１、第２のカバプレート軸
【図１】
0003107515.tif 000003
【図２】
0003107515.tif 000004
【図３】
0003107515.tif 000005
【図４】
0003107515.tif 000006
【図５】
0003107515.tif 000007
【図６】
0003107515.tif 000008