(57)【要約】      （修正有）【課題】コストを減らし、加工設備が占める作業空間を少なくすることができるウェハー加工設備を提供する。【解決手段】本ウェハー加工設備は、ウェハー切断加工及び研磨加工プロセスのいずれにも使用することができるとともに、駆動装置１と少なくとも一つのロック片２とからなる。駆動装置は延伸して駆動軸１１を形成し、駆動軸には螺合部材１２がはめられる。また、ロック片には穿孔２１が設けられ、それにより、駆動装置の駆動軸をロック片の穿孔に貫設するとともに、螺合部材を駆動軸に嵌め込んでロック片の外側面の位置に配置させ、ロック片を駆動軸に固定することができる。なお、ロック片は、切断片或いは研磨片に設定することができる。【選択図】図１
0003175419.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
駆動装置と、少なくとも一つのロック片とからなる、ウェハー加工設備であって、
前記駆動装置は、所定の作業機台上に設けられ、前記駆動装置は延伸して駆動軸を形成し、前記駆動軸には螺合部材が嵌められ、
前記少なくとも一つのロック片は、前記駆動装置の駆動軸に結合して固定され、前記ロック片には穿孔が設けられ、駆動装置の駆動軸は前記ロック片の穿孔に貫設され、前記螺合部材が駆動軸に嵌め込まれ、それにより、ロック片は駆動軸に固定されることを特徴とする、ウェハー加工設備。
【請求項２】
前記ロック片は、切断片に交換されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハー加工設備。
【請求項３】
前記ロック片は、研磨片に交換されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハー加工設備。
【請求項４】
前記ウェハー加工設備片は、更に、固定メカニズムを備え、前記固定メカニズムは、駆動装置の駆動軸に結合され、前記固定メカニズムは、第一挟片と、第二挟片と、蓋体とからなり、駆動装置の駆動軸は、前記第一挟片、ロック片、第二挟片、及び、蓋体に順番に貫設され、それにより、ロック片は第一挟片と第二挟片の間に配置され、前記螺合部材は駆動軸に嵌められ、それにより、固定メカニズム及びロック片は、それぞれ駆動軸に固定されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハー加工設備。
【請求項５】
前記第一挟片には、凸部が凸設されるとともに、第一挟片及び凸部を貫通する螺合孔が設けられ、駆動装置の駆動軸は第一挟片の螺合孔に貫設され、前記ロック片の穿孔には第一挟片の凸部が嵌められることを特徴とする、請求項４に記載のウェハー加工設備。
【請求項６】
前記第二挟片には螺合孔が設けられ、駆動装置の駆動軸は、第二挟片の螺合孔に貫設されることを特徴とする、請求項４に記載のウェハー加工設備。
【請求項７】
前記蓋体には螺合孔が設けられ、駆動装置の駆動軸は蓋体の螺合孔に貫設されることを特徴とする、請求項４に記載のウェハー加工設備。
【請求項８】
前記ウェハー加工設備は、さらに、冷却装置を備え、冷却装置は、所定の作業機台上に設けられ、前記冷却装置は、入水管と排水管とを備え、排水管はロック片の周囲に隣接し、冷却装置の入水管は液体導管に連結され、液体導管内の液体は、入水管から流入し、排水管から流出することを特徴とする、請求項１に記載のウェハー加工設備。
【請求項９】
前記液体導管内の液体は冷却水であることを特徴とする、請求項８に記載のウェハー加工設備。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はウェハー加工設備に関し、特にウェハーに対して切断或いは研磨加工プロセスを行う時の必要に応じて、切断片或いは研磨片形式を切り換えることが可能な複合式ウェハー加工設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
生産コストを下げ、廃棄ウェハーの数量を減らすために、再生ウェハー業界が次第に発展してきている。回収したウェハーを切断して複数のダイ（ｄｉｅ）にした後、それらのダイ（ｄｉｅ）は、新しい規格が必要とする厚みに合わせるために、研磨加工プロセスを経なければならず、再生ウェハーのパッケージング加工メーカーは、研磨加工設備を購入必要がある。このように、新しい研磨加工設備を購入することで、必要コストが増すだけでなく、増設した研磨加工設備は、加工工場の限られたスペースを占めてしまう。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで、本考案は、コストを減らし、加工設備が占める作業空間を少なくすることができるウェハー加工設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述した従来の技術の問題と欠点を解決するため、本考案によるウェハー加工設備は、ウェハー切断加工及び研磨加工プロセスのいずれにも使用することができるとともに、駆動装置と少なくとも一つのロック片とからなる。駆動装置は延伸して駆動軸を形成し、駆動軸には螺合部材がはめられる。また、ロック片には穿孔が設けられ、それにより、駆動装置の駆動軸をロック片の穿孔に貫設するとともに、螺合部材を駆動軸に嵌め込んでロック片の外側面の位置に配置させ、ロック片を駆動軸に固定することができる。なお、ロック片は、切断片或いは研磨片に設定することができる。以上の構造により、ウェハーに対して切断或いは研磨加工プロセスを行う時の必要に応じて、切断片或いは研磨片形式を切り換えることが可能になり、それにより、加工業者は、ウェハー加工設備を購入するだけで、ウェハー５に対して切断或いは研磨加工プロセスを行うことができる。従って、コストを減らせるとともに、加工設備が占める作業スペースを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】本考案のウェハー加工設備の実施例１の分解図である。
【図２】本考案のウェハー加工設備の実施例２の分解図である。
【図３】本考案のウェハー加工設備の実施例３の分解図である。
【図４】本考案のウェハー加工設備の実施例３の組合せ図である。
【図５】本考案のウェハー加工設備の実施例３の別の実施状態を示した説明図である。
【図６】本考案のウェハー加工設備の操作の実施例を示した説明図である。
【考案を実施するための形態】
【０００６】
図１と図２に示すように、本考案によるウェハー加工設備は、ウェハー５切断加工及び研磨加工プロセスのいずれにも使用することができる。また、前記複合式のウェハー加工設備は、駆動装置１と、少なくとも一つのロック片２とからなる。
【０００７】
駆動装置１は、所定の作業機台上に設けられる。また、駆動装置１は延伸して駆動軸１１を形成するとともに、駆動軸１１には螺合部材１２が嵌め込まれる。
【０００８】
ロック片２は駆動装置１の駆動軸１１に結合して固定され、ロック片２には穿孔２１が設けられ、ロック片２は切断片或いは研磨片である。
【０００９】
また、本考案のウェハー加工設備は、さらに、冷却装置４を備える。冷却装置４は、所定の作業機台上に設けられる。冷却装置４には、入水管４１と排水管４２とが設けられ、排水管４２はロック片２の周囲に隣接する。冷却装置４の入水管４１は、液体（例えば、冷却水）導管に連結させることで、液体導管内の液体（例えば、冷却水）を入水管４１から流入させて排水管４２から流出させることができる。
【００１０】
以上の構造により、駆動装置１の駆動軸１１をロック片２の穿孔２１に貫設し、さらに、螺合部材１２を駆動軸１１に嵌め込むとともに、ロック片２の外側面の位置に配置させ、螺合部材１２でロック片２を挟み込むと、ロック片２を駆動軸１１に固定することができる。また、駆動軸１１にはねじ山が設けられ、螺合部材１２はナットであり、それにより、螺合部材１２を駆動軸１１にきつく螺合させることができる。
【００１１】
ウェハー５に対して切断加工プロセスを行う時は（図２と図６を併せて参照する）、ロック片２を切断片に設定し、ウェハー５に対して横向き及び縦向きに切断することにより、ウェハー５から複数のチップを形成させることができる。また、ウェハー５或いはチップを研磨加工するプロセスの時は、ロック片２を、もともとの切断片形式から研磨片形式に交換し（図１に図示）、ウェハー５或いはチップに対して研磨を行うことで、ウェハー５或いはチップを必要な厚さに合わせることができる。ウェハー５を切断或いは研磨加工するプロセスに合わせて、ロック片２を切断片或いは研磨片に交換することにより、加工業者は、ウェハー加工設備を購入するだけで、ウェハー５に対して切断或いは研磨加工プロセスを行うことができ、それにより、コストを減らせるとともに、加工設備が占める作業スペースを少なくすることができる。また、ロック片２を切断片或いは研磨片形式に交換する時には、まず、螺合部材１２を取り外し、切断片或いは研磨片形式のロック片２を交換した後、さらに、螺合部材１２を駆動装置１の駆動軸１１に螺合するだけで、ロック片２を駆動軸１１に固定することができるため、ロック片２を素早く交換する効果を達成することができる。
【００１２】
また、冷却装置４の排水管４２はロック片２の周囲に隣接し、ウェハー５に対して切断或いは研磨加工プロセスを行う際に、冷却装置４の排水管４２から流出する液体（例えば、冷却水）によって、ウェハー５を切断或いは研磨する時に生じる高温を冷却することができる。
【００１３】
図３と図４に示すように、本考案のウェハー加工設備は、更に、固定メカニズム３を備える。固定メカニズム３は、駆動装置１の駆動軸１１に結合されるとともに、第一挟片３１と、第二挟片３２と、蓋体３３とからなる。また、第一挟片３１には、凸部３１１が凸設されるとともに、第一挟片３１及び凸部３１１を貫設する螺合孔３１２が設けられる。また、第二挟片３２には螺合孔３２１が設けられ、蓋体３３には螺合孔３３１が設けられる。組み立てる時は、駆動装置１の駆動軸１１を、まず、第一挟片３１の螺合孔３１２に貫設し、ロック片２の穿孔２１を第一挟片３１の凸部３１１に嵌め込み、さらに、駆動装置１の駆動軸１１を、第二挟片３２及び蓋体３３の螺合孔３２１、３３１に順番に貫設にし、ロック片２を第一挟片３１と第二挟片３２の間に配置させる。最後に、螺合部材１２を駆動軸１１に嵌め込むとともに、蓋体３３の外側面の位置に配置させると、螺合部材１２により固定メカニズム３及びロック片２を挟い込むことができ、ロック片２を駆動軸１１にきつく固定することができる。
【００１４】
図５を同時に参照する。本考案の冷却装置４は、切断或いは研磨加工の必要に応じて、取り付けることもできるし（図１から図４に図示）取り外すこともできる（図５に図示）。
【符号の説明】
【００１５】
１        駆動装置
１１      駆動軸
１２      螺合部材
２        ロック片
２１      穿孔
３        固定メカニズム
３１      第一挟片
３１１    凸部
３１２    螺合孔
３２      第二挟片
３２１    螺合孔
３３      蓋体
３３１    螺合孔
４        冷却装置
４１      入水管
４２      排水管
５        ウェハー
【図１】
0003175419.tif 000003
【図２】
0003175419.tif 000004
【図３】
0003175419.tif 000005
【図４】
0003175419.tif 000006
【図５】
0003175419.tif 000007
【図６】
0003175419.tif 000008