(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーンルーム工場内でメタルマスクを収納し、クリーンルーム工場外に運搬するためのケースであって、構造が簡単で重量が軽く、持ち運びに便利であり、ケースの積み上げが容易であり、しかもメタルマスクがずれ落ちたりしないメタルマスク用ケースを提供する。【解決手段】２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた底板２と側板３と天板４とを有し、底板と側板と天板は、それぞれ長辺がヒンジ７、８によって結合されており、底板と天板の、メタルマスク１３に面する側のプラスチック段ボールには、メタルマスクの有効部分１４より大きく、メタルマスクの外形より小さい貫通孔５、６が設けられており、それぞれの貫通孔を覆うように、白色のフィルムと、透明のフィルムを貼り合せたメタルマスク保持フィルム１１が固定されており、天板の貫通孔の短辺の外縁部には、小面積のスペーサー１２が取り付けられていることを特徴とするメタルマスク用ケース１である。【選択図】図１
0003207895.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
メタルマスクの収納に適したケースであって、
２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた底板と側板と天板とを有し、
底板と側板、および側板と天板とは、それぞれ長辺がヒンジによって結合されており、
前記２枚のプラスチック段ボールのうち底板と天板の、メタルマスクに面する側のプラスチック段ボールには、メタルマスクの有効部分より大きく、メタルマスクの外形より小さい貫通孔が設けられており、
それぞれの貫通孔を覆うように、白色のフィルムと、透明のフィルムを貼り合せたメタルマスク保持フィルムが固定されており、
前記天板の貫通孔の短辺の外縁部には、天板とメタルマスク保持フィルムの間に、小面積のスペーサーが取り付けられていることを特徴とするメタルマスク用ケース。
【請求項２】
前記２枚のプラスチック段ボールは、筋目の方向が直交するように貼り合せたものであることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスク用ケース。
【請求項３】
前記底板と天板は、短辺の断面形状が台形形状に、長辺の断面形状が逆台形形状になるように、それぞれ端部が斜めに切断されていることを特徴とする請求項１または２に記載のメタルマスク用ケース。
【請求項４】
前記底板と側板と天板は、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた１枚の板が、溶着加工によってヒンジと共に一体として成形されたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のメタルマスク用ケース。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、微細加工用に用いられるメタルマスクの収納に適したケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
塗装、印刷、蒸着等の加工において、それぞれ塗料、インキ、蒸発物等が不必要な部分に付着しないようにするために、それぞれ専用のマスクが用いられている。中でも蒸着法を用いた加工においては、基盤上に薄膜を微細に形成することが可能であるため、例えば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルを製造する工程において、金属薄膜を用いたメタルマスクが用いられている。
【０００３】
このようなメタルマスクは、非常に微細な開口部を有し、取り扱いに当たっては、細心の注意が必要であるが、フォトマスク等とは異なり、被蒸着物の付着が避けられないため、定期的な交換、洗浄等に当たって、取り付け、取り外し、移動等の取り扱い操作が頻繁に求められる。
【０００４】
工場内で、メタルマスクを取り扱うためには、何らかの収納ケースが必要であるが、従来クリーンルーム内で使用できる適当なものがなかった。特許文献１に記載された防塵収納ケースは、フォトリソグラフィ工程において用いられるフォトマスクを収納するための防塵ケースである。フォトマスクは、寸法的にメタルマスクに比較して小さく、剛性もあるため、周辺部を保持する構造が採用できるが、メタルマスクはサイズも大きく、剛性がないため、全面で保持する構造が必要である。
【０００５】
特許文献２に記載された大型フォトマスク用ケースは、大型液晶パネル等の製造に用いる大型フォトマスクを収納するためのケースであるが、前述と同じ理由の他に、ケース自体の重量が重くて取り扱いに不便であり、採用することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−３０４０６８号公報
【特許文献２】特開２００６−１８４４１４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
本考案の解決しようとする課題は、クリーンルーム工場内でメタルマスクを収納し、クリーンルーム工場外に運搬するためのケースであって、構造が簡単で重量が軽く、持ち運びに便利であり、ケースの積み上げが容易であり、しかもメタルマスクがずれ落ちたりしないメタルマスク用ケースを提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の考案は、メタルマスクの収納に適したケースであって、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた底板と側板と天板とを有し、底板と側板、および側板と天板とは、それぞれ長辺がヒンジによって結合されており、前記２枚のプラスチック段ボールのうち底板と天板の、メタルマスクに面する側のプラスチック段ボールには、メタルマスクの有効部分より大きく、メタルマスクの外形より小さい貫通孔が設けられており、それぞれの貫通孔を覆うように、白色のフィルムと、透明のフィルムを貼り合せたメタルマスク保持フィルムが固定されており、前記天板の貫通孔の短辺の外縁部には、天板とメタルマスク保持フィルムの間に、小面積のスペーサーが取り付けられていることを特徴とするメタルマスク用ケースである。
【０００９】
本考案に係るメタルマスク用ケースは、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた構造であるため、軽量で、かつ剛性があり、しかも発塵性がないため、クリーンルーム内でメタルマスクを運搬する目的にかなうものである。
【００１０】
また、請求項２に記載の考案は、前記２枚のプラスチック段ボールが、筋目の方向が直交するように貼り合せたものであることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスク用ケースである。
【００１１】
また、請求項３に記載の考案は、前記底板と天板が、短辺の断面形状が台形形状に、長辺の断面形状が逆台形形状になるように、それぞれ端部が斜めに切断されていることを特徴とする請求項１または２に記載のメタルマスク用ケースである。
【００１２】
また、請求項４に記載の考案は、前記底板と側板と天板が、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた１枚の板が、溶着加工によってヒンジと共に一体として成形されたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のメタルマスク用ケースである。
【考案の効果】
【００１３】
本考案に係るメタルマスク用ケースは、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた構造であるため、軽量でありながら十分な剛性をもち、しかも発塵性がないので、クリーンルーム内においても使用できる。
【００１４】
また、底板と側板、および側板と天板とは、それぞれ長辺がヒンジによって結合されているので、開閉が極めて容易である。
【００１５】
また、２枚のプラスチック段ボールのうち底板と天板の、メタルマスクに面する側のプラスチック段ボールには、メタルマスクの有効部分より大きく、メタルマスクの外形より小さい貫通孔が設けられているので、メタルマスクの有効部分には直接押圧がかからない。このため、万一異物が混入したような場合であっても、メタルマスクに損傷が生じることがない。
【００１６】
またさらに、貫通孔を覆うように、白色のフィルムと、透明のフィルムを貼り合せたメタルマスク保持フィルムが固定されているが、白色フィルムは、メタルマスクの状態を容易に目視することを可能としている。白色フィルムは、顔料が混入されているため、表面が滑り易いものであるが、透明のフィルムを貼り合せたことにより、メタルマスクが滑り落ちるのを防止する効果がある。
【００１７】
また、天板の貫通孔の短辺の外縁部に、天板とメタルマスク保持フィルムの間に、小面積のスペーサーが取り付けられているので、ケースを閉じた時に、この部分に圧力が集中し、メタルマスクが滑落しないように保持する効果がある。
【００１８】
また、請求項２に記載の考案のように、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せる際に、筋目の方向が直交するように貼り合せることにより、さらに剛性が増すと共に、強度の方向性が均一化される。
【００１９】
請求項３に記載の考案のように、底板と天板の、短辺の断面形状が台形形状に、長辺の断面形状が逆台形形状になるように、それぞれ端部が斜めに切断されている場合には、ケースの開閉に当たって指が掛かり易く、開閉が容易にできる。
【００２０】
請求項４に記載の考案のように、底板と側板と天板が、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた１枚の板を、溶着加工によってヒンジと共に一体として成形されたものである場合においては、加工が容易であり、安価に供給できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本考案に係るメタルマスク用ケースを開いた状態を示した平面説明図である。
【図２】図２は、図１に示したメタルマスク用ケースを裏面から見た状態を示した平面説明図である。
【図３】図３は、図１のＡ−Ａ´断面を示した断面説明図である。
【図４】図４は、本考案に係るメタルマスク用ケースを閉じた状態を示した断面説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本考案に係るメタルマスク用ケースについて詳細に説明する。図１は、本考案に係るメタルマスク用ケースを開いた状態を示した平面説明図である。また図３は、図１のＡ−Ａ´断面を示した断面説明図である。
【００２３】
本考案に係るメタルマスク用ケース１は、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた底板２と側板３と天板４とを有する。底板２と側板３、および側板３と天板４とは、それぞれ長辺がヒンジ７、８によって結合されている。このため、本考案に係るメタルマスク用ケースは、図４に示したように、容易に折り畳むことができる。
【００２４】
プラスチック段ボールとしては、一般的に用いられている筋目に対して垂直な方向から見た厚さ方向の断面形状が波状に形成された段（フルート）であるストロー状の構造であれば、好適に用いることが可能である。また、ストロー状の構造よりも縦折にも横折にも強い構造であるハニカム構造を有したプラスチック段ボールであることがより好ましい。ハニカム構造である場合には、ストロー状の構造を有したプラスチック段ボールと比較して、強度が向上するため、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せる際に、筋目を考慮して張り合わせる必要がなくなる。そのため、加工性が向上する。さらに、衝撃吸収能力が高く、緩衝性に優れるため、収納されるメタルマスクを外部の衝撃から守る能力が向上するため、より好ましい。
【００２５】
２枚のプラスチック段ボールのうち底板２と天板４の、メタルマスク１３に面する側のプラスチック段ボールに、メタルマスクの有効部分１４より大きく、メタルマスクの外形より小さい貫通孔５、６が設けられている。このため、メタルマスク１３の有効部分１４には、直接押圧が掛かることがない。このため、万一異物が混入したような場合であっても、メタルマスクの有効部分１４に損傷を与えることはない。
【００２６】
また、それぞれの貫通孔を覆うように、白色のフィルム９と、透明のフィルム１０を貼り合せたメタルマスク保持フィルム１１が固定されている。白色フィルム９は、メタルマスク１３を載置した時に、メタルマスクの状態を目視で瞬時に把握することを可能とするが、反面、顔料が配合されている関係で、メタルマスクが直接接触した場合、滑りやすい傾向がある。
【００２７】
白色フィルム９の上に透明フィルム１０を貼り合せたことにより、この滑り易さを防ぎ、メタルマスクが滑落するのを防止する効果が生じた。白色フィルムとしては、白色のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂フィルムが好ましい。さらに、帯電防止性能を有する白色フィルムが好ましい。特に表面抵抗値が１．０×１０１０Ω／□以上９．０×１０１４Ω／□以下であると、蓄積静電気を低減できることにより、静電気による塵や埃の付着を抑えることが出来る。また、電子機器不具合を防止することが出来るため、より好ましい。また、透明フィルムとしては、同じＰＥＴ樹脂透明フィルムが好ましく、ＪＩＳ  Ｋ７１０５による全光線透過率が８５％以上であることが好ましく、特に８９％以上９５％以下であることで、白色フィルムと重ねた際にも、メタルマスクの状態を目視で瞬時に把握することが可能となるため好ましい。帯電防止性能を有する白色フィルムの上に、滑り止めとして透明フィルムを添付することで、塵や埃の付着を抑え、且つ滑り易さを防ぐ優れた効果を有する。
【００２８】
本考案においては、天板４の貫通孔６の短辺の外縁部に、天板４とメタルマスク保持フィルム１１の間に、小面積のスペーサー１２が取り付けられている。スペーサー１２は、ケースを閉じた時に、メタルマスク１３にかかる圧力が、このスペーサー１２の部分だけに集中することを目的としている。こうすることにより、メタルマスクの滑落を防止する効果がさらに高まる。
【００２９】
スペーサー１２の面積は、メタルマスク１３のサイズによって適当な寸法が異なるが、目安としては、幅１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下、長さ５０ｍｍ以上３５０ｍｍ以下である。スペーサーの長さは、メタルマスクの枠部幅方向を全長押さえられるようであれば良い。目安としては、メタルマスク保持フィルムの幅の半分もあれば、十分な余裕を持って、メタルマスクを保持することが可能となる。
【００３０】
スペーサー１２の材質としては、発泡倍率が１．３以上３以下、密度が０．３ｇ／ｃｍ３以上０．７ｇ／ｃｍ３以下の低発泡のポリプロピレン樹脂板であれば、メタルマスクを保持する上での適度なクッション性が得られ、好適に用いられる。厚さが１００μｍ以上３０００μｍ以下であることが実用上好ましい。
【００３１】
図１〜４に示した例では、底板２と天板４が、短辺の断面形状が台形形状に、長辺の断面形状が逆台形形状になるように、それぞれ端部が斜めに切断されている。このようにしたことで、図４で分かるように、開閉時に指が掛かり易く、手袋を着用した手でも開閉が容易にできる。
【００３２】
本考案に係るメタルマスク用ケースは、構造が簡単であるため、２枚のプラスチック段ボールを貼り合せた１枚の板を、溶着加工によってヒンジと共に一体として成形することにより、容易に製造することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１・・・メタルマスク用ケース
２・・・底板
３・・・側板
４・・・天板
５・・・貫通孔
６・・・貫通孔
７・・・ヒンジ
８・・・ヒンジ
９・・・白色フィルム
１０・・・透明フィルム
１１・・・メタルマスク保持フィルム
１２・・・スペーサー
１３・・・メタルマスク
１４・・・メタルマスクの有効部分
【図１】
0003207895.tif 000003
【図２】
0003207895.tif 000004
【図３】
0003207895.tif 000005
【図４】
0003207895.tif 000006