(57)【要約】【課題】軽量化、流路長の短縮化、メンテナンス性の向上が可能なガスコンポーネントモジュールおよび集積化装置を提供する。【解決手段】一列に配列される複数の流体制御機器２０は、制御機器本体２１と、制御機器本体から配列前後方向へ突出された接続配管２２，２３と、この接続配管の先端部に形成され先端面に環状の突起を有するフランジとを有する。流体制御機器の向かい合う接続配管を連結する管継手３０と、連結された複数の流体制御機器を載置するプレート１０と、複数の流体制御機器のうち、一端側および他端側に位置する流体制御機器をプレートに固定する固定手段５０とを備える。管継手は、対向するフランジの外周全体を覆う複数のセグメントを有し、ボルトの締め付けによって、フランジを接近させるクランプリングによって構成されている。【選択図】図２
0003175176.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一列に配列された複数の流体制御機器を通して流体を制御するガスコンポーネントモジュールにおいて、
前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体から前記配列前後方向へ突出された接続配管と、この接続配管の先端部に形成され先端面に環状の突起を有するフランジとを含んで構成され、
隣接配列された前記流体制御機器の向かい合う前記接続配管を連結する管継手と、
前記管継手によって連結された複数の流体制御機器を載置するプレートと、
前記連結された複数の流体制御機器のうち、一端側に位置する前記流体制御機器と他端側に位置する前記流体制御機器を前記プレートに固定する固定手段とを備え、
前記管継手は、向かい合う前記接続配管の前記フランジの突起によって両側から圧接される金属製のガスケットと、一続きに並べられ、隣り合うもの同士が互いに揺動可能に連結された複数のセグメントを有し、これら複数のセグメントのうち、一端側に位置するセグメントと他端側に位置するセグメントとが締結部材によって互いに締結されると、全てのセグメントにより前記ガスケットを挟んで対向する前記フランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成するクランプリングとを含んで構成され、
前記各フランジの突起が設けられた端面とは反対側の端面は、外周へ向かうに従って前記接続配管の端面方向へ傾斜する傾斜面を有し、
前記クランプリングの前記各セグメントの内周面は、前記フランジの傾斜面にそれぞれ対応する対応傾斜面を有している、
ことを特徴とするガスコンポーネントモジュール。
【請求項２】
請求項１に記載のガスコンポーネントモジュールにおいて、
前記流体制御機器の前記制御機器本体の底面が前記プレートの上面に密着するように、前記制御機器本体の底面と前記プレートの上面とが互いに平行に形成されている、
ことを特徴とするガスコンポーネントモジュール。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスコンポーネントモジュールにおいて、
前記複数の流体制御機器のうち、一端側に位置する前記流体制御機器と他端側に位置する前記流体制御機器の間に配列された前記流体制御機器の少なくとも１つは、前記プレートに固定手段を介して固定されている、
ことを特徴とするガスコンポーネントモジュール。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載のガスコンポーネントモジュールにおいて、
前記締結部材は、一端側に位置するセグメントと他端側に位置するセグメントとを締結するボルトによって構成されている、
ことを特徴とするガスコンポーネントモジュール。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の複数のガスコンポーネントモジュールと、
これら複数のガスコンポーネントモジュールを互いに平行に並設した状態において、各ガスコンポーネントモジュールのプレートの少なくとも両端側を支持する支持レールとを備えたことを特徴とする集積化装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一列に配列された複数の流体制御機器を通して流体を制御するガスコンポーネントモジュールおよびこれらを集積した集積化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備などにおいて、ガスなどの流体の供給を制御する装置として、複数の流体制御機器を一列に連結した集積化ガススティックや、この集積化ガススティックをベースプレート上に多数並設した集積化ガスパネルなどが知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、取付板上に複数の流体制御機器を一列に配列するとともに、流体制御機器と取付板との間に、隣接する流体制御機器間に跨って、内部にＶ字流路を有するＶ字流路ブロックを配置し、このＶ字流路ブロックを介して隣接する流体制御機器に流体を流通可能とするとともに、各流体制御機器からＶ字流路ブロックを通して取付板に複数本のボルトを螺合することによって、これら流体制御機器およびＶ字流路ブロックを取付板に固定した集積弁が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６５４６２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に示された集積弁では、次のような課題がある。
（ａ）隣接する流体制御機器を連通させるために、これら隣接する流体制御機器間に跨って、内部にＶ字流路を有するＶ字流路ブロックを配置する必要があるため、全体重量が増える。
（ｂ）Ｖ字流路ブロックはＶ字流路を有しているため、流路長が長くなる。
（ｃ）メンテナンス時において、各流体制御機器をラインから取り外すには、各流体制御機器毎に、複数本のボルトを外して各流体制御機器をラインから取り外す必要があるため、メンテナンス性が悪い。
【０００６】
本考案の目的は、軽量化ができるとともに、流路長も短縮でき、しかも、メンテナンス性にも優れたガスコンポーネントモジュールおよびこれらを集積した集積化装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のガスコンポーネントモジュールは、一列に配列された複数の流体制御機器を通して流体を制御するガスコンポーネントモジュールにおいて、前記流体制御機器は、制御機器本体と、この制御機器本体から前記配列前後方向へ突出された接続配管と、この接続配管の先端部に形成され先端面に環状の突起を有するフランジとを含んで構成され、隣接配列された前記流体制御機器の向かい合う前記接続配管を連結する管継手と、前記管継手によって連結された複数の流体制御機器を載置するプレートと、前記連結された複数の流体制御機器のうち、一端側に位置する前記流体制御機器と他端側に位置する前記流体制御機器を前記プレートに固定する固定手段とを備え、前記管継手は、向かい合う前記接続配管の前記フランジの突起によって両側から圧接される金属製のガスケットと、一続きに並べられ、隣り合うもの同士が互いに揺動可能に連結された複数のセグメントを有し、これら複数のセグメントのうち、一端側に位置するセグメントと他端側に位置するセグメントとが締結部材によって互いに締結されると、全てのセグメントにより前記ガスケットを挟んで対向する前記フランジの外周全体を覆って保持するリング形状を構成するクランプリングとを含んで構成され、前記各フランジの突起が設けられた端面とは反対側の端面は、外周へ向かうに従って前記接続配管の端面方向へ傾斜する傾斜面を有し、前記クランプリングの前記各セグメントの内周面は、前記フランジの傾斜面にそれぞれ対応する対応傾斜面を有している、ことを特徴とする。
【０００８】
この考案によれば、ガスコンポーネントモジュールを組み立てるには、複数の流体制御機器を一列に配列し、この隣接配列された流体制御機器の向かい合う接続配管を管継手によって連結したのち、連結された複数の流体制御機器のうち一端側に位置する流体制御機器と他端側に位置する流体制御機器を固定手段によってプレートに固定する。
この際、隣接配列された流体制御機器の向かい合う接続配管を管継手によって連結するには、管継手のセグメントのうち一端側に位置するセグメントと他端側に位置するセグメントとを締結部材によって互いに締結するだけでよく、また、連結された複数の流体制御機器をプレートに固定するにも、一端側に位置する流体制御機器と他端側に位置する流体制御機器とを固定手段によってプレートに固定するだけでよいから、組立、分解を極めて簡単に行うことができる。さらに、このガスコンポーネントモジュールは、プレートと一体として着脱できるから、メンテナンス性に優れる。
【０００９】
また、組み立てた状態において、複数の流体制御機器は、制御機器本体から配列前後方向へ突出された接続配管が管継手によって連結されるから、つまり、接続配管が直線的に接続されるから、従来の特許文献１に示された集積弁に比べ、Ｖ字流路ブロックを不要にでき、その結果、軽量化および流路長の短縮化が図れる。
【００１０】
本考案のガスコンポーネントモジュールにおいて、前記流体制御機器の前記制御機器本体の底面が前記プレートの上面に密着するように、前記制御機器本体の底面と前記プレートの上面とが互いに平行に形成されている、ことが好ましい。
この考案によれば、制御機器本体の底面とプレートの上面とが互いに平行に形成され、制御機器本体の底面がプレートの上面に密着しているから、管継手に負荷がかかるのを防げる。従って、取扱中における破損なども少なくできるから、長期に亘って安定した動作を補償できる。
【００１１】
本考案のガスコンポーネントモジュールにおいて、前記複数の流体制御機器のうち、一端側に位置する前記流体制御機器と他端側に位置する前記流体制御機器の間に配列された前記流体制御機器の少なくとも１つは、前記プレートに固定手段を介して固定されている、ことが好ましい。
この考案によれば、一列に配列された複数の流体制御機器を流れる流体の流れに起因する振動や、各流体制御機器の操作、特に、手動操作時の手動操作力が、管継手へ影響を及ぼす虞を少なくできる。つまり、流体制御機器の少なくとも１つは、プレートに固定手段を介して固定され、プレートと一体的になっているから、流体の流れに起因する振動や、手動操作力は、プレートで受けられ、管継手への影響を抑えることができる。
【００１２】
本考案のガスコンポーネントモジュールにおいて、前記締結部材は、一端側に位置するセグメントと他端側に位置するセグメントとを締結するボルトによって構成されている、ことが好ましい。
この考案によれば、締結部材がボルトによって構成されているから、ボルトの締付動作および外し動作によって、隣接配列された流体制御機器を連結、分解することができる。従って、連結、分解が簡単であるから、メンテナンス性をより向上させることができる。
【００１３】
本考案の集積化装置は、上述したいずれかに記載の複数のガスコンポーネントモジュールと、これら複数のガスコンポーネントモジュールを互いに平行に並設した状態において、各ガスコンポーネントモジュールのプレートの少なくとも両端側を支持する支持レールとを備えたことを特徴とする。
この考案によれば、上述した効果が期待できるほか、各ガスコンポーネントモジュール毎に支持レールから外して、つまり、各ガスコンポーネントモジュールをプレート毎着脱して、メンテナンス作業を行うことができるから、この点からもメンテナンス性に優れる。つまり、ガスコンポーネントモジュールが支持レールに取り付けられた状態では、隣接するガスコンポーネントモジュールによって作業空間が狭くなるが、ガスコンポーネントモジュールを支持レールから外すことによって、広い作業空間でメンテナンス作業を実行することができるから、メンテナンス性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本考案に係るガスコンポーネントモジュール集積化装置の実施形態を示す平面図。
【図２】同上実施形態を示す正面図。
【図３】同上実施形態の管継手を示す断面図。
【図４】同上実施形態の管継手を示す側面図。
【図５】同上実施形態の管継手に用いられるクランプリングを示す斜視図。
【図６】本考案に係る集積化装置の変形例を示す正面図。
【図７】本考案に係る集積化装置の他の変形例を示す正面図。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
本考案の一実施形態を図面に沿って説明する。
＜ガスコンポーネントモジュール集積化装置の構成＞
本実施形態のガスコンポーネントモジュール集積化装置は、図１に示すように、複数種の流体（ガス）を半導体製造装置などに供給するための装置であって、複数のガスコンポーネントモジュール１と、これら複数のガスコンポーネントモジュール１を所定間隔隔てて互いに平行に並設した状態において、これらのガスコンポーネントモジュール１に対して直交配置され、各ガスコンポーネントモジュール１の少なくとも両端側を支持する支持レール２と、この支持レール２に各ガスコンポーネントモジュール１を固定する固定手段としてのボルト４とを備えている。
なお、支持レール２の上面には、一定間隔毎にガスコンポーネントモジュール１を収納する収納溝３が形成され、この収納溝３にガスコンポーネントモジュール１の端部が位置決めされた状態で、ボルト４によって固定されている。
【００１６】
ガスコンポーネントモジュール１は、図２にも示すように、一定幅の帯板状のプレート１０と、このプレート１０の上に一列に配列され流体（ガス）を制御する複数の流体制御機器２０と、これら隣接配列された流体制御機器２０を連結する管継手３０と、この管継手３０によって連結された複数の流体制御機器２０のうち一端側に位置する流体制御機器２０Ａと他端側に位置する流体制御機器２０Ｆをプレート１０に固定する固定手段５０と、流体供給源からの配管（図示省略）を一端側に位置する流体制御機器２０Ａに接続する継手６０と、他端側に位置する流体制御機器２０Ｆを半導体製造設備などの配管（図示省略）に接続する継手７０とを備える。
なお、流体制御機器２０としては、本実施形態の場合、マニュアルバルブ２０Ａ、フィルタ２０Ｂ、圧力レギュレータ２０Ｃ、圧力計２０Ｄ、エアーバルブ２０Ｅおよびエアーバルブ２０Ｆであるが、これらに限られない。
【００１７】
流体制御機器２０は、内部に弁機構やフィルタ機構など制御機器の機能要素を内蔵した制御機器本体２１と、この制御機器本体２１から流体制御機器２０の配列前後方向（図１，２において左右方向）へ突出された接続配管２２，２３とを含んで構成されている。
制御機器本体２１の底面は、プレート１０の上面に密着するように、プレート１０の上面に対して平行になるように形成されている。つまり、制御機器本体２１の底面がプレート１０の上面に密着するように、制御機器本体２１の底面とプレート１０の上面とが互いに平行になるように形成されている。
接続配管２２，２３のうち、隣接配列された流体制御機器２０からの接続配管２２，２３は、互いに向かい合って配置されている。従って、接続配管２２，２３は、流体制御機器２０の配列方向に沿って直線的に配置されている。
【００１８】
互いに向かい合う接続配管２２，２３の先端、つまり、配列方向前方向（図１および図２において右側方向）へ突出された接続配管２２の先端および配列方向後方向（図１および図２において左側方向）へ突出された接続配管２３の先端には、図３に示すように、フランジ２４が形成されている。
フランジ２４の先端面（対向面）には、断面山形の突起２５が環状に形成されている。突起２５が設けられた先端面とは反対側端面は、外周へ向かうに従って先端面方向へ傾斜する傾斜面２６に形成されている。従って、両接続配管２２，２３の先端面が互いに対向するように近接配置されると、両傾斜面２６が外側に位置する台形部分（断面が台形である部分）が構成される。さらに、フランジ２４の外周面のうち、先端面側には外周面の外形寸法より小さい径の段部２７が形成されている。
【００１９】
管継手３０は、図３および図４に示すように、向かい合う接続配管２２，２３のフランジ２４の突起２５によって両側から圧接される金属製のガスケット３１と、向かい合う接続配管２２，２３の両フランジ２４の外周に嵌合されたセンターリング３３と、ガスケット３１を挟んで対向するフランジ２４およびセンターリング３３の外周全体を覆ってこれらを保持するリング形状を構成するクランプリング３４とを含んで構成されている。
【００２０】
ガスケット３１は、平らなリング状で、ホルダ３２を介して一方の接続配管２２に保持されている。
ホルダ３２は、筒状部３２Ａと、この筒状部３２Ａの一端に半径方向内側に伸びる爪状の係合部３２Ｂとを備える。筒状部３２Ａは、接続配管２２に形成された段部２７に嵌合可能な形状および寸法に形成されている。係合部３２Ｂの内径は、ガスケット３１の外径を保持できるように、ガスケット３１の外径よりも小さく形成されている。従って、係合部３２Ｂにガスケット３１を保持した状態において、筒状部３２Ａが接続配管２２に嵌合されると、ホルダ３２およびガスケット３１が接続配管２２に保持される。このとき、ガスケット３１は、一方の端面が係合部３２Ｂに係止され、他方の端面が接続配管２２の突起２５の先端に当接された状態となる。
【００２１】
センターリング３３は、互いに向かいあう接続配管２２，２３のフランジ２４の外周面を取り囲むように配置される。センターリング３３の内径は、フランジ２４の外径と略同じ寸法に形成される。これにより、センターリング３３は、フランジ２４の外周面に対して隙間なく嵌め込まれる。
【００２２】
クランプリング３４は、図５に示すように、一続きに並べられ、隣り合うもの同士が互いに揺動可能に連結された複数（本実施形態では３つ）のセグメント３５，３６，３７を有する。隣り合うセグメント３５，３６、３６，３７は、軸３８を中心として相対的に揺動可能にそれぞれ連結されている。各軸３８は互いに平行で、各セグメント３５，３６，３７の開閉動作方向に対して垂直である。具体的には、中央のセグメント３６が、一端のセグメント３５および他端のセグメント３７と、軸３８を中心として相対的に揺動可能にそれぞれ連結されている。従って、一端のセグメント３５と他端のセグメント３７とが接近するように、これらを揺動させると、図４に示すように、リング形状が構成される。
【００２３】
各セグメント３５，３６，３７の内周には、接続配管２２，２３の傾斜面２６に対応する対応傾斜面３９を有する溝４０が形成されている。溝４０は、両接続配管２２，２３が互いに対向するように近接配置されたときに、傾斜面２６によって構成される台形部分を収容する形状および寸法に形成されている。
一端のセグメント３５には、締結部材であるボルト４１のねじ部４１Ａが収容可能で、かつ、ボルト４１の頭部４１Ｂが通過不能な大きさの溝状の切欠部３５Ａが設けられている。他端のセグメント３７には、締結部材としてのボルト４１のねじ部４１Ａがねじ込まれるねじ穴３７Ａが形成されている。従って、ボルト４１のねじ部４１Ａを一端のセグメント３５の切欠部３５Ａを通して他端のセグメント３７のねじ穴３７Ａにねじ込むと、３つのセグメント３５，３６，３７がリング形状になって、フランジ２４が互いに接近する方向へ付勢される。
【００２４】
＜ガスコンポーネントモジュール集積化装置の組み立て、メンテナンス作業＞
まず、ガスコンポーネントモジュール１を組み立てるには、複数の流体制御機器２０を一列に配列し、この隣接配列された流体制御機器２０の向かい合う接続配管２２，２３を管継手３０によって連結する。
これには、隣接配列された流体制御機器２０の向かい合う接続配管２２，２３のうち一方の接続配管２２のフランジ２４にホルダ３２を介してガスケット３１を保持させたのち、両接続配管２２，２３のフランジ２４の外周を取り囲むように、センターリング３３を装着する。続いて、これらの外側に、クランプリング３４を装着する。このとき、クランプリング３４の溝４０内に、フランジ２４の傾斜面２６によって構成される台形部分が挿入されるようにする。そして、ボルト４１を切欠部３５Ａを通して他端のセグメント３７のねじ穴３７Ａにねじ込む。
【００２５】
すると、セグメント３５，３６，３７が構成するリング形状（溝４０が構成するリング形状）の内径が縮小されていくため、フランジ２４の傾斜面２６が互いに接近される。つまり、接続配管２２，２３の長手方向にみて、フランジ２４の間の間隔が小さくなる。そのため、ガスケット３１の両端面に突起２５が大きな接触圧力で圧接されることにより、流体の流通が遮断される結果、継手構造として十分な気密性が得られる。
従って、締結部材としてのボルト４１の締付動作および外し動作によって、隣接配列された流体制御機器２０を連結、分解することができるから、流体制御機器２０を極めて簡単に連結、分解できる。
【００２６】
続いて、隣接配列された流体制御機器２０の向かい合う接続配管２２，２３を管継手３０によって連結した複数の流体制御機器２０のうち、一端側に位置する流体制御機器２０Ａと他端側に位置する流体制御機器２０Ｆとを固定手段５０でプレート１０に固定して、ガスコンポーネントモジュール１を組み立てる。具体的には、流体制御機器２０Ａ，２０Ｆを固定手段５０としての２本のボルトで固定する。従って、ガスコンポーネントモジュール１の組立、分解を極めて簡単に行うことができる。
【００２７】
ガスコンポーネントモジュール１が組み立てられた状態において、複数の流体制御機器２０は、制御機器本体２１から配列前後方向へ突出された接続配管２２，２３が管継手３０によって連結されるから、つまり、接続配管２２．２３が直線的に接続されるから、従来で述べた集積弁などに比べ、Ｖ字流路ブロックを不要にでき、その結果、軽量化および流路長の短縮可が図れる。
また、各流体制御機器２０の制御機器本体２１の底面とプレート１０の上面とが互いに平行に形成され、制御機器本体２１の底面がプレート１０の上面に密着しているから、管継手３０に負荷がかかるのを防げる。従って、取扱中における破損なども少なくできるから、長期に亘って安定した動作を補償できる。
【００２８】
このようにして組み立てられた複数のガスコンポーネントモジュール１を所定間隔隔てて互いに平行に並設し、かつ、２本の支持レール２の収納溝３に位置決めしたのち、各ガスコンポーネントモジュール１の両端側を支持レール２にボルト４によって固定する。これによって、ガスコンポーネントモジュール集積化装置が構成される。
【００２９】
ガスコンポーネントモジュール集積化装置において、メンテナンス作業を行うには、各ガスコンポーネントモジュール１毎、ラインから外してメンテナンス作業を行う。
各ガスコンポーネントモジュール１をラインから外すには、ボルト４を外す。すると、ガスコンポーネントモジュール１が支持レール２から外れるから、この状態において、メンテナンス作業を行えばよい。従って、メンテナンス性にも優れる。つまり、ガスコンポーネントモジュール１が支持レール２に取り付けられた状態では、隣接するガスコンポーネントモジュール１によって作業空間が狭くなるが、ガスコンポーネントモジュール１を支持レール２から外すことによって、広い作業空間でメンテナンス作業を実行することができる。
【００３０】
＜変形例＞
本考案は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本考案の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本考案に含まれる。
前記実施形態では、６つの流体制御機器２０を一列に配列したガスコンポーネントモジュール１を例に説明したが、流体制御機器２０の数や機能、および、配列順については、前記実施形態に限られない。要は、少なくとも２つ以上の流体制御機器を一列に配列したガスコンポーネントモジュール１であれば、全てに適用できる。
【００３１】
前記実施形態において、一列に配列された流体制御機器２０の重量によって、プレート１０の中央が下方へ湾曲変形する虞がある場合には、プレート１０の厚みを厚くしてプレート１０の剛性を高めたり、あるいは、図６に示すように、プレート１０の中間部に１または複数の支持レール２を配置するようにしてもよい。
【００３２】
前記実施形態のガスコンポーネントモジュール１では、複数の流体制御機器２０のうち、一端側に位置する流体制御機器２０Aと他端側に位置する流体制御機器２０Ｆとをプレート１０に固定したが、図７に示すように、これらの間に配列された流体制御機器２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅについても、プレート１０に固定手段５１を介して固定するようにしてもよい。固定手段５１としては、例えば、プレート１０の底面側に形成された座ぐり穴付き長孔５１Ａと、この座ぐり付き長孔５１Ａにプレート１０の底面側から挿入され流体制御機器２０Ｂ〜２０Ｅの底面に螺合されたボルト５１Ｂとから構成されている。
このような構成によれば、一列に配列された複数の流体制御機器２０Ａ〜２０Ｆを流れる流体の流れに起因する振動や、各流体制御機器２０Ａ〜２０Ｆの操作、特に、手動操作時の手動操作力が、管継手３０へ影響を及ぼす虞を少なくできる。つまり、流体制御機器２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅが、プレート１０に固定手段５１を介して固定され、プレート１０と一体的になっているから、流体の流れに起因する振動や、手動操作力は、プレート１０で受けられるから、管継手３０への影響を抑えることができる。
なお、流体制御機器２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅの全てを、プレート１０に固定しなくてもよく、流体の流れや手動操作を行う流体制御機器の位置や数に応じて、少なくも１つをプレート１０に固定するようにすればよい。
【００３３】
前記実施形態では、複数のガスコンポーネントモジュール１を２本の支持レール２で支持するようにしたが、これに限られない。例えば、支持レール２に代えて、平板状のベースプレートを用い、このベースプレートの上に複数のガスコンポーネントモジュール１を並設するようにしてもよい。
【００３４】
前記実施形態において、連結された複数の流体制御機器２０をプレート１０に固定する固定手段５０や、複数のガスコンポーネントモジュール１を支持レール２に固定する固定手段については、ボルトに限らず、これらを両側から締め付けるクランプ機構などであってもよい。
【００３５】
前記実施形態では、半導体製造装置に供給するガスの供給を制御する装置について説明したが、これに限らず、液晶や太陽電池製造装置へのガス（流体）供給を制御するシステムにも適用できる。
また、流体としては、ガスに限らず、液体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本考案は、例えば、半導体製造設備などにおいて、流体の流量を制御する装置や、流体の圧力を制御する装置などに利用できる。
【符号の説明】
【００３７】
１…ガスコンポーネントモジュール、
２…支持レール、
１０…プレート、
２０…流体制御機器、
２０Ａ…マニュアルバルブ、
２０Ｂ…フィルタ、
２０Ｃ…圧力レギュレータ、
２０Ｄ…圧力計、
２０Ｅ…エアーバルブ、
２０Ｆ…エアーバルブ、
２１…制御機器本体、
２２，２３…接続配管、
２４…フランジ、
２５…突起、
２６…傾斜面、
３０…管継手、
３１…ガスケット、
３４…クランプリング、
３５，３６，３７…セグメント、
３９…対応傾斜面、
４１…ボルト（締結部材）、
５０，５１…固定手段。
【図１】
0003175176.tif 000003
【図２】
0003175176.tif 000004
【図３】
0003175176.tif 000005
【図４】
0003175176.tif 000006
【図５】
0003175176.tif 000007
【図６】
0003175176.tif 000008
【図７】
0003175176.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月20日(2012.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載のガスコンポーネントモジュールを複数備え、
これら複数のガスコンポーネントモジュールを互いに平行に並設した状態において、各ガスコンポーネントモジュールのプレートの少なくとも両端側を支持する支持レールを設けたことを特徴とする集化積装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本考案の集積化装置は、上述したいずれかに記載のガスコンポーネントモジュールを複数備え、これら複数のガスコンポーネントモジュールを互いに平行に並設した状態において、各ガスコンポーネントモジュールのプレートの少なくとも両端側を支持する支持レールを設けたことを特徴とする。
この考案によれば、上述した効果が期待できるほか、各ガスコンポーネントモジュール毎に支持レールから外して、つまり、各ガスコンポーネントモジュールをプレート毎着脱して、メンテナンス作業を行うことができるから、この点からもメンテナンス性に優れる。つまり、ガスコンポーネントモジュールが支持レールに取り付けられた状態では、隣接するガスコンポーネントモジュールによって作業空間が狭くなるが、ガスコンポーネントモジュールを支持レールから外すことによって、広い作業空間でメンテナンス作業を実行することができるから、メンテナンス性に優れる。