(57)【要約】      （修正有）【課題】装着時の作業性を高め、簡単な構造であって、フィルムシートの損傷を防止することができる拡張リングを提供する。【解決手段】フィルムシートの周辺部を内外から挟持する内側拡張リング１及び外側拡張リング２からなる。少なくとも内側拡張リング１は、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
エキスパンダの拡張ステージの上面に配置されたフィルムシートをその半径方向の外側へ拡張することにより前記フィルムシートに載置されたダイシング済みのウエハを多数のチップに分離する際に、前記フィルムシートの周辺部を保持するために使用される拡張リングであって、前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持する内側拡張リング及び外側拡張リングからなる拡張リングにおいて、
少なくとも前記内側拡張リングは、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されていることを特徴とするエキスパンダ用拡張リング。
【請求項２】
請求項１に記載した拡張リングにおいて、
前記外側拡張リングは、前記内側拡張リングの外周面に適合する凹曲面状の内周面を備え、前記内側拡張リングの外周面と前記外側拡張リングの内周面とによって前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持することを特徴とするエキスパンダ用拡張リング。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体製造工程において、ダイシング済みのウエハをエキスパンダによりフィルムシート上で半径方向外側へ拡張して多数のチップに分離する際に、前記フィルムシートの周辺部を保持するために使用される拡張リングに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のエキスパンダとしては、特許文献１に記載されたものが知られている。図３は、特許文献１に記載されたエキスパンダの概略的な構成図である。
図３において、１０は環状のウェハーリング、１１は拡張ステージ１００の上に真空吸着されたフィルムシートであり、フィルムシート１１はウェハーリング１０により保持されている。また、フィルムシート１１の上面には、ダイシング済みのウェハ（チップ１３）が貼り付けられている。
【０００３】
また、２００は、拡張ステージ１００を昇降させる昇降装置、３００は、フィルムシート１１と拡張ステージ１００の外周面との間にエアを供給するエア供給装置、４００は、フィルムシート１１を真空吸着するためのエア排気装置、５００は、前記昇降装置２００、エア供給装置３００及びエア排気装置４００を制御する制御装置である。
更に、６００，７００は、ウェハーリング１００を上下から保持するためのロウアークランプ，アッパークランプである。
なお、図３は拡張ステージ１００を昇降装置２００により上昇させてフィルムシート１１を外側へ拡張させ、チップ１３を分離させた状態を示している。
【０００４】
ここで、拡張ステージ１００上でフィルムシート１１を確実に保持すると共に、フィルムシート１１を全周にわたって均一に拡張するため、図４に示すような拡張リング１０３が用いられている。
図４に示す拡張リング１０３は、内側拡張リング１０１及び外側拡張リング１０２によって構成されている。このうち、内側拡張リング１０１は、フィルムシート１１との当接部分の断面形状がアール状に加工されており、フィルムシート１１の上記当接部分が応力により損傷しないように工夫されている。
【０００５】
一方、図５は、特許文献２に記載された拡張リングであり、（ａ）に示す内側拡張リング１０５及び外側拡張リング１０６、（ｂ）に示す内側拡張リング１０７及び外側拡張リング１０８、（ｃ）に示す内側拡張リング１０９及び外側拡張リング１１０など、様々な断面形状の拡張リングが公知となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−５３２７７号公報（図１，図６等）。
【特許文献２】特開２０１０−１４７３４３号公報（図５等）。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
図４の従来技術では、内側拡張リング１０１の断面形状に上下があるため、拡張ステージ１００に対する取り付け方向を考慮して慎重に装着しなくてはならず、作業性が悪いという問題があり、場合によっては内側拡張リング１０１を上下逆向きに装着してしまうこともあった。
また、図５（ａ），（ｂ）の従来技術では、フィルムシート１１の端部を内外から断面円弧状の拡張リング１０５，１０６，１０８や断面Ｓ字状の拡張リング１０７により挟持することでフィルムシート１１における応力の集中を防ぐことは可能であるが、拡張リングの形状、構造が概して複雑である。更に、図５（ｃ）の従来技術では、外側拡張リング１１０の形状、構造は単純であるものの、フィルムシート１１の端部が鋭角状に２回折り曲げられる構造であり、応力の集中によってフィルムシート１１を損傷する恐れがある。
【０００８】
そこで本考案の解決課題は、装着時の作業性が良く、しかもフィルムシートを損傷する恐れが少ない拡張リングを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、請求項１に係る考案は、エキスパンダの拡張ステージの上面に配置されたフィルムシートをその半径方向の外側へ拡張することにより前記フィルムシートに載置されたダイシング済みのウエハを多数のチップに分離する際に、前記フィルムシートの周辺部を保持するために使用される拡張リングであって、前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持する内側拡張リング及び外側拡張リングからなる拡張リングにおいて、
少なくとも前記内側拡張リングは、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る考案は、請求項１に記載した拡張リングにおいて、前記外側拡張リングは、前記内側拡張リングの外周面に適合する凹曲面状の内周面を備え、前記内側拡張リングの外周面と前記外側拡張リングの内周面とによって前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持するものである。
【考案の効果】
【００１１】
本考案によれば、内側拡張リング及び外側拡張リングの断面形状に上下がないため、取り付けが容易であり、装着時の作業性を高めることができる。同時に、簡単な構造によって低コストにて提供することができる。
また、フィルムシートにおける応力の集中が起きにくい断面形状としたことにより、フィルムシートの損傷を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本考案の実施形態を示す断面図及び平面図である。
【図２】本考案の実施形態の主要部の断面図である。
【図３】特許文献１に記載された従来のエキスパンダの概略的な構成図である。
【図４】図３のエキスパンダに使用される拡張リングの一例を示す概略的な構成図である。
【図５】特許文献２に記載された拡張リングの概略的な構成図である。
【考案を実施するための形態】
【００１３】
以下、図に沿って本考案の実施形態を説明する。
図１は、本実施形態に係る拡張リング３の断面図及び平面図であり、内側拡張リング１と外側拡張リング２とを組み合わせた状態で図示している。
図１において、内側拡張リング１は、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されている。また、外側拡張リング２は、内側拡張リング１の外周面に適合する凹曲面状の内周面２ａ（図２を参照）を備え、内側拡張リング１の外周面と外側拡張リング２の内周面２ａとによってフィルムシート１１の周辺部を内外から挟持するように形成されている。
【００１４】
内側拡張リング１の材質としては、例えば硬質ゴム、プラスチック、金属等を用いることができる。また、外側拡張リング２の材質としては、内側拡張リング１との間にフィルムシート１１を大きな摩擦力で挟持できるように、例えば硬質ゴム等を用いることが望ましい。
【００１５】
図２は、本考案の実施形態の主要部の断面図であり、内側拡張リング１と外側拡張リング２との間にフィルムシート１１を挟持した状態を示している。
本考案の特徴は、内側拡張リング１を、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体を円環状に形成することにある。これに対し、他方の外側拡張リング２は、内側拡張リング１の外周面に適合する凹曲面状の内周面２ａを備えていれば良く、外側拡張リング２の断面形状は、図２に示した例に特に限定されるものではない。
【００１６】
図２（ａ）〜（ｃ）は、外側拡張リング２の断面形状が異なる例であり、図２（ａ）のように、外側拡張リング２の軸方向に沿った長さ（高さ）を内側拡張リング１の円形断面の直径と等しくしたり、あるいは図２（ｂ），（ｃ）のように、外側拡張リング２の軸方向に沿った長さを内側拡張リング１の円形断面の直径と異ならせても良い。
【００１７】
上記のように形成された拡張リング３は、内側拡張リング１及び外側拡張リング２の何れも断面形状に上下がないため、拡張ステージに対する取り付け方向を考慮する必要がない。すなわち、拡張ステージの外周面に内側拡張リング１を装着し、更にフィルムシート１１を拡張ステージの上面に被せてその周辺部を内側拡張リング１との間に挟み込むように外側拡張リング２を装着する際に、内側拡張リング１及び外側拡張リング２の上下方向を間違えて取り付けるおそれがなく、作業者の負担を大幅に軽減することができる。
【００１８】
また、フィルムシート１１の周辺部は、内側拡張リング１の円形断面とこれに適合した外側拡張リング２の内周面２ａによって内外から挟持されているので、応力が集中することもなく、拡張動作中にフィルムシート１１を損傷する心配もないものである。
【００１９】
以上のように、本考案によれば、構造が簡単で作業性に優れ、低コストにて製造可能な拡張リングを提供することができる。また、フィルムシートを周囲全方向にわたって均一に拡張させ、フィルムシート上で分離される多数のチップの歩留まり向上にも寄与することができる。
【符号の説明】
【００２０】
１：内側拡張リング
２：外側拡張リング
２ａ：内周面
３：拡張リング
１１：フィルムシート
１００：拡張ステージ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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