(57)【要約】【課題】記録ヘッドへの液体の充填を過不足なく行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】液体吐出装置は、駆動素子と、駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、駆動素子を駆動する駆動回路と、圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、外部から液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、を有する。制御部は、駆動回路によって駆動素子を駆動した後に検出回路によって検出される信号に応じて、充填動作を終了させる。【選択図】図１０
2022002872.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動回路と、
前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、
外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動回路と、
前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、
外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
前記圧力室に液体を供給する供給流路と、
前記供給流路を加圧する加圧部と、を更に有し、
前記制御部は、前記充填動作において前記加圧部による加圧を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記圧力室から液体を排出する排出流路と、
前記排出流路を減圧する減圧部と、を更に有し、
前記制御部は、前記充填動作において前記減圧部による減圧を行うことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記加圧部による加圧を開始し、
前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させる
ことを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記加圧部による加圧を開始し、
前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始し、
前記減圧の開始後に前記充填動作を終了させる
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、
前記加圧部による加圧を開始し、
前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始し、
前記減圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させる
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記加圧部による加圧を開始し、
前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始するとともに前記加圧部による加圧の圧力を大きくし、
前記加圧の圧力を大きくした後に前記充填動作を終了させる
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記制御部は、
前記加圧部による加圧を開始し、
前記加圧の開始後に、前記加圧部による加圧の圧力を小さくし、
前記加圧の圧力を小さくした後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始するとともに前記加圧部による加圧の圧力を大きし、
前記加圧の圧力を大きくした後に前記充填動作を終了させる
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記駆動回路による前記駆動素子の駆動と前記検出回路による前記信号の検出とを交互に行わせることを特徴とする請求項１から９までのいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記検出回路によって検出される前記信号に変化が生じたことに応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする請求項１から１０までのいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示す残留振動の周期が、前回までの残留振動の周期よりも長い周期に変化したことに応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする、請求項１を引用する請求項１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示すあるタイミングにおける残留振動の周期と、他のタイミングにおける残留振動の周期と、が一致したことに応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする、請求項１を引用する請求項１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示す残留振動の波形と、予め記憶された充填動作が終了しているときの理想の残留振動の波形と、が合致したことに応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする、請求項１を引用する請求項１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動回路と、
前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、
を備える液体吐出装置において実行される液体充填方法であって、
外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする液体充填方法。
【請求項１６】
駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動回路と、
前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、
を備える液体吐出装置において実行される液体の液体充填方法であって、
外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする液体充填方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体吐出装置および液体充填方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置に関し、例えば、特許文献１には、ポンプを用いて記録ヘッドにインクを初期充填する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１９−１４２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された技術では、記録ヘッドへのインクの充填開始から、予め設定された時間、待機した後に、ポンプを停止させて充填を完了させている。しかし、充填する液体の種類や、環境温度、ポンプの性能誤差といった種々の要因によって、インクの充填が完了するまでの時間は変動する可能性がある。そのため、予め設定された時間、待機したとしても、液体の充填不足が生じて吐出不良が生じる場合や、必要以上に充填が行われて液体が不要に排出されてしまう場合があり得る。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の第１の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【０００６】
本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【０００７】
本開示の第３の形態によれば、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、を備える液体吐出装置において実行される液体充填方法が提供される。この液体充填方法は、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【０００８】
本開示の第４の形態によれば、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、を備える液体吐出装置において実行される液体の液体充填方法が提供される。この液体充填方法は、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】循環機構の概略構成を模式的に示す説明図である。
【図３】液体吐出装置の内部構成を示すブロック図である。
【図４】液体吐出ヘッドの主要な構成部材を分解視して示す説明図である。
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線に沿った液体吐出ヘッドの断面図である。
【図６】ヘッドユニットの電気的構成を示すブロック図である。
【図７】液体吐出装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図８】個別指定信号と接続状態指定信号との関係を示す図である。
【図９】インクの充填状態に応じた残留振動波形の例を示す図である。
【図１０】第１実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１１】第２実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１２】第３実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１３】第４実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１４】第５実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１５】第６実施形態における充填動作のフローチャートである。
【図１６】第７実施形態における液体吐出ヘッドの要部を示す断面図である。
【図１７】吐出部の温度変化を示すグラフである。
【図１８】第７実施形態における充填動作のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態における液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクの液滴を媒体１２に対して吐出することにより印刷を行うインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を採用可能である。図１において、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向のうち、Ｙ方向は後述のノズル列ＮｓにおいてノズルＮが並ぶ方向であり、Ｘ方向はノズル列Ｎｓが並ぶ方向であり、Ｚ方向は鉛直方向と平行な方向である。向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「−」として、方向表記に正負の符合を併用する。本実施形態において、Ｘ方向は、液体吐出ヘッド３２の移動方向である主走査方向である。Ｙ方向は、主走査方向と直交した媒体送り方向である副走査方向である。−Ｚ方向は、インクの吐出方向である。各方向を示す矢印は、後に参照する図においても図１に対応するように図示している。
【００１１】
液体吐出装置１００は、液体収容部１４と、媒体１２を送り出す搬送機構２２と、制御部８０と、ヘッド移動機構２４と、ヘッドユニット３とを備える。液体収容部１４は、ヘッドユニット３に供給される複数種のインクを個別に収容する。液体収容部１４としては、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パックや、インク補充が可能なインクタンク、脱着可能なインクカートリッジなどが利用可能である。
【００１２】
制御部８０は、１または複数のＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００全体の動作を制御する。制御部８０は、印刷処理を実行する機能や、外部からヘッドユニット３へのインクの充填動作を制御する機能を有する。
【００１３】
搬送機構２２は、制御部８０の制御下で動作し、媒体１２を＋Ｙ方向に搬送する。ヘッド移動機構２４は、媒体１２の印刷範囲に亘ってＸ方向に掛け渡された搬送ベルト２３と、ヘッドユニット３を収容して搬送ベルト２３に固定するキャリッジ２５とを備える。ヘッド移動機構２４は、制御部８０の制御下で動作し、ヘッドユニット３を主走査方向Ｘに沿ってキャリッジ２５ごと往復移動させる。キャリッジ２５の往復移動の際、キャリッジ２５は図示しないガイドレールにより案内される。なお、液体収容部１４は、ヘッドユニット３と共にキャリッジ２５に搭載されてもよい。
【００１４】
ヘッドユニット３は、インクを吐出するための複数のノズルＮを有する。ノズルＮは、Ｙ方向に沿って並んで配置されたノズル列Ｎｓを構成する。ノズルＮは、インクを吐出する吐出口を媒体１２に対向する位置に有する。ヘッドユニット３は、液体収容部１４が貯留するインクの色ごとに用意され、液体収容部１４から供給されるインクを、制御部８０の制御下で、複数のノズルＮから媒体１２に向けて吐出する。ヘッドユニット３の往復移動の間のノズルＮからの液体吐出により、媒体１２に画像等が印刷される。図１の破線で示す矢印は、液体収容部１４とヘッドユニット３との間のインクの移動を模式的に表している。液体吐出装置１００では、後述の循環機構２５０により、液体収容部１４とヘッドユニット３との間でインクを循環させて、インクの増粘や、インクに含まれる固形成分等の沈降を抑制している。
【００１５】
図２は、循環機構２５０の概略構成を模式的に示す説明図である。循環機構２５０は、ヘッドユニット３と液体収容部１４とを接続し、液体吐出装置１００の印刷動作の実行中にヘッドユニット３と液体収容部１４との間でインクを循環させて、再びヘッドユニット３に供給する。循環機構２５０は、供給流路２５１と、排出流路２５３と、加圧部１０と、減圧部１１とを備える。
【００１６】
供給流路２５１は、液体収容部１４とヘッドユニット３が備える後述の圧力室２１３とを接続し、液体収容部１４内のインクを圧力室２１３に供給する。排出流路２５３は、圧力室２１３と液体収容部１４とを接続し、圧力室２１３内のインクを液体収容部１４に回収する。以降の説明では、供給流路２５１において、液体収容部１４側を上流とし、ヘッドユニット３側を下流とする。排出流路２５３において、ヘッドユニット３側を上流とし、液体収容部１４側を下流とする。
【００１７】
加圧部１０は、供給流路２５１に設けられている。加圧部１０は、制御部８０の制御信号に応じて作動し、液体収容部１４から供給されるインクを圧力室２１３に送り出す。減圧部１１は、排出流路２５３に設けられている。減圧部１１は、制御部８０の制御信号に応じて作動し、圧力室２１３から排出されるインクを液体収容部１４に送り出す。本実施形態では、加圧部１０には正圧が、減圧部１１には負圧が、それぞれ付与されることにより、循環機構２５０においてインクが循環する。加圧部１０および減圧部１１は、容積式ポンプにより構成されている。加圧部１０および減圧部１１は、容積式ポンプに代えて、歯車ポンプやベーンポンプなどの回転式ポンプでもよいし、プランジャーポンプやピストンポンプなどの往復式ポンプでもよいし、ダイヤフラムポンプでもよい。
【００１８】
図３は、液体吐出装置１００の内部構成を示すブロック図である。液体吐出装置１００は、上記のとおり、制御部８０とヘッドユニット３とを備えており、更に、ヘッドユニット３に備えられた吐出部Ｄを駆動するための駆動信号Ｃｏｍを生成する駆動信号生成ユニット４を備える。
【００１９】
本実施形態では、液体吐出装置１００が、１または複数のヘッドユニット３と、１または複数のヘッドユニット３と１対１に対応する１または複数の駆動信号生成ユニット４と、を備える場合を想定する。但し、以下では、説明の便宜上、図３に示すように、１または複数のヘッドユニット３のうち一のヘッドユニット３と、一のヘッドユニット３に対応して設けられた一の駆動信号生成ユニット４と、に着目して説明する。
【００２０】
制御部８０には、液体吐出装置１００に接続されたコンピューターや各種記録媒体から、液体吐出装置１００が形成すべき画像を示す画像データＩｍｇが供給される。制御部８０は、供給された画像データＩｍｇの示す画像を媒体１２に形成する印刷処理を実行する。
【００２１】
制御部８０は、印刷信号ＳＩ、及び、波形指定信号ｄＣｏｍ等の、液体吐出装置１００の各部の動作を制御するための信号を生成する。波形指定信号ｄＣｏｍとは、駆動信号Ｃｏｍの波形を規定するデジタルの信号である。駆動信号Ｃｏｍとは、吐出部Ｄを駆動するためのアナログの信号である。なお、本実施形態では、駆動信号Ｃｏｍが、第１駆動信号Ｃｏｍ−Ａと、第２駆動信号Ｃｏｍ−Ｂとを含む。駆動信号生成ユニット４は、ＤＡ変換回路を含み、波形指定信号ｄＣｏｍにより規定される波形を有する駆動信号Ｃｏｍを生成する。印刷信号ＳＩとは、吐出部Ｄの動作の種類を指定するためのデジタルの信号である。具体的には、印刷信号ＳＩは、吐出部Ｄに対して駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを指定することで、吐出部Ｄの動作の種類を指定する信号である。
【００２２】
ヘッドユニット３は、液体吐出ヘッド３２と、駆動回路３１と、検出回路３３とを備える。
【００２３】
液体吐出ヘッド３２は、Ｍ個の吐出部Ｄを備える。ここで、値Ｍは、「Ｍ≧１」を満たす自然数である。なお、以下では、液体吐出ヘッド３２におけるＭ個の吐出部Ｄの各々を区別するために、順番に、１段、２段、…、Ｍ段と称する場合がある。また、以下では、液体吐出ヘッド３２に設けられたＭ個の吐出部Ｄのうち、ｍ段の吐出部Ｄを、吐出部Ｄ［ｍ］と称する場合がある。ここで、変数ｍは、「１≦ｍ≦Ｍ」を満たす自然数である。また、以下では、液体吐出装置１００の構成要素または信号等が、Ｍ個の吐出部Ｄのうち、吐出部Ｄ［ｍ］に対応する場合は、当該構成要素または信号等を表すための符号に、添え字［ｍ］を付すことがある。
【００２４】
図４は、液体吐出ヘッド３２の主要な構成部材を分解視して示す説明図である。図５は、図４におけるＶ−Ｖ線に沿った液体吐出ヘッド３２の断面図である。図５には、吐出部Ｄに対応する部分を破線で示している。吐出部Ｄは、駆動素子としての圧電素子ＰＺと、圧電素子ＰＺの駆動により内部のインクに圧力が付与される圧力室２１３と、圧力室２１３に連通するノズルＮと、振動板２１９と、を含む。
【００２５】
図４および図５に示すように、液体吐出ヘッド３２は、流路が形成された流路基板２１２と、圧力室２１３が形成された圧力室基板２１４と、圧電素子ＰＺを保護する保護基板２１６と、供給流路２５１に接続される第１入口２２３が設けられた導入流路基板２１７と、排出流路２５３に接続される第１出口２３１が設けられた導出流路基板２１８と、複数のノズルＮが形成されたノズル基板２２０と、第１コンプライアンス基板２２１と、第２コンプライアンス基板２２２とを備える。
【００２６】
図４に示すように、流路基板２１２は、Ｚ方向からの平面視においてＹ方向に長尺な板状部材である。流路基板２１２の＋Ｚ方向の面におけるＸ方向の両端部には、導入流路基板２１７と導出流路基板２１８とがそれぞれ取り付けられている。導入流路基板２１７と導出流路基板２１８との間の領域には、圧力室基板２１４と保護基板２１６とが積層されて固定されている。流路基板２１２の−Ｚ方向の面には、Ｘ方向の中央部にノズル基板２２０が接合され、ノズル基板２２０を挟んで＋Ｘ方向側には第１コンプライアンス基板２２１が接合され、−Ｘ方向側には第２コンプライアンス基板２２２が接合されている。
【００２７】
図５に示すように、導入流路基板２１７は、内部に導入液室２２４を有する。導入液室２２４は、導入流路基板２１７の−Ｚ方向の面に開口し、流路基板２１２に形成された第１液室２２７と連通する。第１液室２２７と導入液室２２４とが連通することにより、第１共通液室２３４が構成される。導入流路基板２１７の＋Ｚ方向の面には、Ｙ方向における中央部に第１入口２２３が設けられている。第１入口２２３は、供給流路２５１と連通する。白抜き矢印で示すように、液体収容部１４から供給流路２５１を介して供給されるインクは、第１入口２２３を介して第１共通液室２３４に流入する。
【００２８】
図４および図５に示すように、流路基板２１２は、＋Ｘ方向側から−Ｘ方向側に向かって順番に、上述の第１液室２２７、第１個別連通路２２８、ノズル連通路２２９、第２個別連通路２３０、および第２液室２３３を有する。第１液室２２７は、ノズルＮの列設方向であるＹ方向に沿って延在し、複数の圧力室２１３に連通する液室である。第１個別連通路２２８は、圧力室２１３と第１液室２２７とを個別に連通させる流路であり、各圧力室２１３に対応して設けられている。
【００２９】
図５に示すように、圧力室２１３は、Ｘ方向に長尺な液室であり、圧力室基板２１４の−Ｚ方向側の面に開口している。圧力室基板２１４が流路基板２１２の＋Ｚ方向の面に接合されることによって、開口が塞がれて圧力室２１３が画定される。圧力室基板２１４において、圧力室２１３に対応する位置には、可撓性を有する振動板２１９が設けられている。
【００３０】
振動板２１９は、圧電素子ＰＺの駆動に応じて変位する薄板部材である。振動板２１９において圧力室２１３に対応する部分には、圧電素子ＰＺが設けられている。
【００３１】
圧電素子ＰＺは、圧力室２１３に個別に対応して設けられている。圧電素子ＰＺは、上部電極Ｚｕと、下部電極Ｚｄと、上部電極Ｚｕ及び下部電極Ｚｄの間に設けられた圧電体Ｚｍと、を有する。下部電極Ｚｄは、図６に示す電位ＶＢＳに設定された給電線Ｌｂと電気的に接続される。そして、後述する駆動回路３１によって上部電極Ｚｕに供給駆動信号Ｖｉｎが供給されて、上部電極Ｚｕ及び下部電極Ｚｄの間に電圧が印加されると、当該印加された電圧に応じて圧電素子ＰＺが＋Ｚ方向または−Ｚ方向に変位し、その結果、圧電素子ＰＺが振動する。下部電極Ｚｄは、振動板２１９に接合されている。このため、圧電素子ＰＺが供給駆動信号Ｖｉｎにより駆動されて振動すると、振動板２１９も振動する。そして、振動板２１９の振動により圧力室２１３の容積及び圧力室２１３内の圧力が変化し、圧力室２１３内に充填されたインクがノズルＮより吐出される。
【００３２】
第１コンプライアンス基板２２１は、Ｚ方向からの平面視においてＹ方向に長尺な板状部材である。第１コンプライアンス基板２２１は、リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）や、芳香族ポリアミド等により形成された薄膜部材である。第１コンプライアンス基板２２１は、各ノズルＮからインク滴を吐出させる際の各圧力室２１３から第１共通液室２３４内に伝播する圧力振動を吸収する。
【００３３】
ノズル連通路２２９は、流路基板２１２をＺ方向に貫通する流路である。ノズル連通路２２９は、ノズルＮと、ノズルＮに対応する圧力室２１３とを連通させる。
【００３４】
ノズル基板２２０は、流路基板２１２の−Ｚ方向の面に接合されて、ノズル連通路２２９および第２個別連通路２３０の開口を閉塞する。ノズル基板２２０は、例えば、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板に対しドライエッチングやウェットエッチング等が施されることにより、複数のノズルＮが並設される。ノズルＮは、ノズル基板２２０をＺ方向に貫通する略円形状の貫通孔である。
【００３５】
第２個別連通路２３０は、ノズルＮごとに対応して形成されている。第２個別連通路２３０は、流路基板２１２に対してウェットエッチング等が施されることによって溝状に形成される。第２個別連通路２３０の＋Ｘ方向側の端部は、ノズル連通路２２９に連通し、−Ｘ方向側の端部は、第２液室２３３に連通している。
【００３６】
図４に示すように、第２液室２３３は、Ｙ方向に沿って延在する液室である。図５に示すように、第２液室２３３は、第２個別連通路２３０を介して複数のノズルＮに連通している。第２液室２３３の−Ｘ方向側における＋Ｚ方向を向く開口は、導出流路基板２１８の導出液室２３５と連通する。第２液室２３３の−Ｚ方向側の開口は、第２コンプライアンス基板２２２によって閉鎖されている。
【００３７】
導出流路基板２１８は、内部に導出液室２３５を有する。導出液室２３５は、導出流路基板２１８の−Ｚ方向側の面に開口し、流路基板２１２の第２液室２３３と連通する。第２液室２３３と導出液室２３５とが連通することにより、第２共通液室２３６が構成される。ハッチング付きの矢印で示すように、第２共通液室２３６内のインクは、第１出口２３１から排出流路２５３に送り出され、液体収容部１４に戻される。
【００３８】
第２コンプライアンス基板２２２は、第１コンプライアンス基板２２２と同様の材料によって形成された、Ｙ方向に長尺な板状部材である。第２コンプライアンス基板２２２は、各ノズルＮからインク滴が吐出される際に各圧力室２１３から第２共通液室２３６に伝播する圧力振動を吸収する。
【００３９】
保護基板２１６は、振動板２１９上に設けられた各圧電素子ＰＺの形成領域に対応して形成されている。保護基板２１６は、内部に収容空部２３８を有する。収容空部２３８には、圧電素子ＰＺが収容されて、圧力室基板２１４の＋Ｚ方向側の面に接合されている。保護基板２１６は、圧電素子ＰＺから引き出されたリード電極２４０と、保護基板２１６のＺ方向に貫通する貫通口２３９を有する。
【００４０】
説明を図３に戻す。ヘッドユニット３に備えられた駆動回路３１は、印刷信号ＳＩに基づいて、駆動信号Ｃｏｍを、吐出部Ｄ［ｍ］が具備する圧電素子ＰＺ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］に供給するか否かを切り替える。なお、以下では、駆動信号Ｃｏｍのうち、吐出部Ｄ［ｍ］に供給される駆動信号Ｃｏｍを、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］と称する場合がある。また、駆動回路３１は、印刷信号ＳＩに基づいて、Ｍ個の吐出部Ｄ［１］〜Ｄ［Ｍ］のうち、吐出部Ｄ［ｍ］が具備する圧電素子ＰＺ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］の電位を示す検出電位信号ＶＸを、検出回路３３に供給するか否かを切り替える。以下では、吐出部Ｄ［ｍ］から検出回路３３に対して検出電位信号ＶＸが供給される場合、当該吐出部Ｄ［ｍ］を、判定対象吐出部ＤＳと称する。また、吐出部Ｄ［ｍ］が、判定対象吐出部ＤＳに該当しない場合、当該吐出部Ｄ［ｍ］を、判定対象外吐出部ＤＰと称する。
【００４１】
検出回路３３は、検出信号生成部３３１と、測定情報生成部３３２とを有する。検出信号生成部３３１は、判定対象吐出部ＤＳから駆動回路３１を介して供給される検出電位信号ＶＸに基づいて、検出信号ＳＫを生成する。具体的には、検出回路３３は、例えば、検出電位信号ＶＸを増幅しノイズ成分を除去することで検出信号ＳＫを生成する。検出信号ＳＫは、「駆動回路３１によって駆動素子を駆動した後に検出回路３３によって検出される信号」に相当する。そして、測定情報生成部３３２は、検出信号ＳＫから、検出信号ＳＫの周期ＮＴＣを表す測定情報ＪＳを生成する。周期ＮＴＣとは、例えば電圧０から上昇していき、その後正の値ピークに到達した後下降し、その後負の値ピークに到達した後上昇し、その後電圧０に到達するまでの時間である。測定情報生成部３３２は、例えば、検出信号ＳＫに含まれる各周期の平均値を検出信号ＳＫの周期ＮＴＣとして算出する。なお、測定情報生成部３３２は、検出信号ＳＫに含まれる各周期の平均値ではなく、最長値や中央値などの代表値を検出信号ＳＫの周期ＮＴＣとして算出してもよい。
【００４２】
制御部８０は、後述する充填動作において、充填状態判定処理を実行する。充填状態判定処理とは、吐出部Ｄ［ｍ］を判定対象吐出部ＤＳとして駆動し、判定対象吐出部ＤＳとして駆動される吐出部Ｄ［ｍ］におけるインクの充填状態を判定する処理である。この充填状態判定処理では、制御部８０は、吐出部Ｄ［ｍ］が、判定対象吐出部ＤＳとして駆動されるように、駆動回路３１に対して印刷信号ＳＩを供給する。次に、制御部８０は、判定対象吐出部ＤＳとして駆動される吐出部Ｄ［ｍ］から検出回路３３に対して検出電位信号ＶＸが供給されるように、駆動回路３１に対して印刷信号ＳＩを供給する。そして、検出回路３３が、判定対象吐出部ＤＳから駆動回路３１を介して供給される検出電位信号ＶＸに基づいて、検出信号ＳＫを生成し、更に、検出信号ＳＫに基づき、検出信号ＳＫの周期ＮＴＣを表す測定情報ＪＳを生成する。制御部８０は、検出回路３３から供給される測定情報ＪＳに基づいて、吐出部Ｄにおけるインクの充填状態を判定する。
【００４３】
図６は、ヘッドユニット３の電気的構成を示すブロック図である。上述のとおり、液体吐出ヘッド３２は、駆動回路３１と、液体吐出ヘッド３２と、検出回路３３と、を備える。図６では、一例として、液体吐出ヘッド３２に４個の吐出部Ｄが設けられる場合、つまり、「Ｍ＝４」の場合を例示している。
【００４４】
ヘッドユニット３は、駆動信号生成ユニット４から第１駆動信号Ｃｏｍ−Ａが供給される第１配線Ｌｃ１と、駆動信号生成ユニット４から第２駆動信号Ｃｏｍ−Ｂが供給される第２配線Ｌｃ２と、検出電位信号ＶＸを検出回路３３に供給するための第３配線Ｌｓと、を備える。
【００４５】
駆動回路３１は、Ｍ個の吐出部Ｄ［１］〜Ｄ［Ｍ］と１対１に対応するＭ個の第１スイッチＷａ［１］〜Ｗａ［Ｍ］と、Ｍ個の吐出部Ｄ［１］〜Ｄ［Ｍ］と１対１に対応するＭ個の第２スイッチＷｂ［１］〜Ｗｂ［Ｍ］と、Ｍ個の吐出部Ｄ［１］〜Ｄ［Ｍ］と１対１に対応するＭ個の第３スイッチＷｓ［１］〜Ｗｓ［Ｍ］と、各スイッチの接続状態を指定する接続状態指定回路３１０と、を備える。接続状態指定回路３１０は、制御部８０から供給される印刷信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、期間指定信号Ｔｓｉｇ、及び、チェンジ信号ＣＨの、少なくとも一部の信号に基づいて、第１スイッチＷａ［ｍ］のオンオフを指定する第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］と、第２スイッチＷｂ［ｍ］のオンオフを指定する第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］と、第３スイッチＷｓ［ｍ］のオンオフを指定する第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］と、を生成する。
【００４６】
第１スイッチＷａ［ｍ］は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］に基づいて、第１配線Ｌｃ１と、吐出部Ｄ［ｍ］に設けられた圧電素子ＰＺ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］との、導通及び非導通を切り替える。本実施形態において、第１スイッチＷａ［ｍ］は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］がハイレベルの場合にオンし、ローレベルの場合にオフする。第１スイッチＷａ［ｍ］がオンする場合、第１配線Ｌｃ１に供給される第１駆動信号Ｃｏｍ−Ａが、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］として、吐出部Ｄ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］に供給される。
【００４７】
第２スイッチＷｂ［ｍ］は、第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］に基づいて、第２配線Ｌｃ２と、吐出部Ｄ［ｍ］に設けられた圧電素子ＰＺ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］との、導通及び非導通を切り替える。本実施形態において、第２スイッチＷｂ［ｍ］は、第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］がハイレベルの場合にオンし、ローレベルの場合にオフする。第２スイッチＷｂ［ｍ］がオンする場合、第２配線Ｌｃ２に供給される第２駆動信号Ｃｏｍ−Ｂが、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］として、吐出部Ｄ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］に供給される。
【００４８】
第３スイッチＷｓ［ｍ］は、第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］に基づいて、第３配線Ｌｓと、吐出部Ｄ［ｍ］に設けられた圧電素子ＰＺ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］との、導通及び非導通を切り替える。本実施形態において、第３スイッチＷｓ［ｍ］は、第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］がハイレベルの場合にオンし、ローレベルの場合にオフする。第３スイッチＷｓ［ｍ］がオンする場合、吐出部Ｄ［ｍ］の上部電極Ｚｕ［ｍ］の電位Ｖｏｕｔ［ｍ］が、検出電位信号ＶＸとして、第３配線Ｌｓを介して検出回路３３に供給される。
【００４９】
検出回路３３は、第３配線Ｌｓから供給される検出電位信号ＶＸに基づいて、検出電位信号ＶＸの波形に応じた波形を有する検出信号ＳＫを生成する。
【００５０】
図７は、単位期間ＴＰにおける液体吐出装置１００の動作を示すタイミングチャートである。液体吐出装置１００が、印刷処理または後述する充填動作を実行する場合、液体吐出装置１００の動作期間として、１または複数の単位期間ＴＰが設定される。液体吐出装置１００は、各単位期間ＴＰにおいて、印刷処理や充填動作のために各吐出部Ｄを駆動することができる。
【００５１】
図７に示すように、制御部８０は、パルスＰＬＬを有するラッチ信号ＬＡＴを出力する。これにより、制御部８０は、パルスＰＬＬの立ち上がりから次のパルスＰＬＬの立ち上がりまでの期間として、単位期間ＴＰを規定する。
【００５２】
制御部８０は、単位期間ＴＰにおいて、パルスＰＬＣを有するチェンジ信号ＣＨを出力する。そして、制御部８０は、単位期間ＴＰを、パルスＰＬＬの立ち上がりからパルスＰＬＣの立ち上がりまでの制御期間ＴＱ１と、パルスＰＬＣの立ち上がりからパルスＰＬＬの立ち上がりまでの制御期間ＴＱ２と、に区分する。
【００５３】
制御部８０は、単位期間ＴＰにおいて、パルスＰＬＴ１及びパルスＰＬＴ２を有する期間指定信号Ｔｓｉｇを出力する。そして、制御部８０は、単位期間ＴＰを、パルスＰＬＬの立ち上がりからパルスＰＬＴ１の立ち上がりまでの制御期間ＴＴ１と、パルスＰＬＴ１の立ち上がりからパルスＰＬＴ２の立ち上がりまでの制御期間ＴＴ２と、パルスＰＬＴ２の立ち上がりからパルスＰＬＬの立ち上がりまでの制御期間ＴＴ３と、に区分する。
【００５４】
本実施形態に係る印刷信号ＳＩは、Ｍ個の吐出部Ｄ［１］〜Ｄ［Ｍ］と１対１に対応するＭ個の個別指定信号Ｓｄ［１］〜Ｓｄ［Ｍ］を含む。個別指定信号Ｓｄ［ｍ］は、液体吐出装置１００が印刷処理または充填動作を実行する場合に、各単位期間ＴＰにおける吐出部Ｄ［ｍ］の駆動の態様を指定する。
【００５５】
制御部８０は、図７に示すように、各単位期間ＴＰに先立って、個別指定信号Ｓｄ［１］〜Ｓｄ［Ｍ］を含む印刷信号ＳＩを、クロック信号ＣＬに同期させて接続状態指定回路３１０に供給する。そして、接続状態指定回路３１０は、当該単位期間ＴＰにおいて、個別指定信号Ｓｄ［ｍ］に基づいて、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］、第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］、及び、第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］を生成する。
【００５６】
本実施形態では、吐出部Ｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて、大ドットと、大ドットよりも小さい中ドットと、中ドットよりも小さい小ドットとのうち、何れかのドットを形成可能である場合を想定する。そして、本実施形態では、個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて、吐出部Ｄ［ｍ］を、大ドットに相当する量のインクを吐出する判定対象外吐出部ＤＰである大ドット形成吐出部ＤＰ−１として指定する値「１」と、中ドットに相当する量のインクを吐出する判定対象外吐出部ＤＰである中ドット形成吐出部ＤＰ−２として指定する値「２」と、小ドットに相当する量のインクを吐出する判定対象外吐出部ＤＰである小ドット形成吐出部ＤＰ−３として指定する値「３」と、インクを吐出しない判定対象外吐出部ＤＰであるドット非形成吐出部ＤＰ−Ｂとして指定する値「４」と、判定対象吐出部ＤＳとして指定する値「５」との、５つの値のうち、何れか１つの値をとることができる場合を想定する。
【００５７】
図７に示すように、本実施形態において、第１駆動信号Ｃｏｍ−Ａは、制御期間ＴＱ１に設けられた波形ＰＰ１と、制御期間ＴＱ２に設けられた波形ＰＰ２と、を有する。このうち、波形ＰＰ１は、基準電位Ｖ０から、基準電位Ｖ０よりも低電位の電位ＶＬ１、及び、基準電位Ｖ０よりも高電位の電位ＶＨ１を経て、基準電位Ｖ０に戻る波形である。波形ＰＰ１を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］が吐出部Ｄ［ｍ］に供給される場合に、吐出部Ｄ［ｍ］から、インク量Ｄ１に相当するインクが吐出されるように、波形ＰＰ１が定められる。また、波形ＰＰ２は、基準電位Ｖ０から、基準電位Ｖ０よりも低電位の電位ＶＬ２、及び、基準電位Ｖ０よりも高電位の電位ＶＨ２を経て、基準電位Ｖ０に戻る波形である。波形ＰＰ２を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］が吐出部Ｄ［ｍ］に供給される場合に、吐出部Ｄ［ｍ］から、インク量Ｄ２に相当するインクが吐出されるように、波形ＰＰ２が定められる。本実施形態において、インク量Ｄ１は、中ドットに相当するインク量である。また、インク量Ｄ２は、インク量Ｄ１よりも少ないインク量であって、小ドットに相当するインク量である。また、インク量Ｄ１とインク量Ｄ２との合計は、大ドットに相当するインク量である。
【００５８】
本実施形態では、一例として、吐出部Ｄ［ｍ］に供給される供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］の電位が高電位の場合に、低電位の場合と比較して、吐出部Ｄ［ｍ］の備える圧力室２１３の容積が小さくなる場合を想定する。このため、吐出部Ｄ［ｍ］が波形ＰＰ１または波形ＰＰ２を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動される場合、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］の電位が低電位から高電位に変化することで、吐出部Ｄ［ｍ］内のインクがノズルＮから吐出される。
【００５９】
図７に示すように、本実施形態において、第２駆動信号Ｃｏｍ−Ｂは、単位期間ＴＰに設けられた波形ＰＳを有する。ここで、波形ＰＳは、制御期間ＴＴ１において、基準電位Ｖ０から、基準電位Ｖ０よりも高電位の電位ＶＳ１を経て、基準電位Ｖ０よりも低電位の電位ＶＳ２に変化し、制御期間ＴＴ２において、電位ＶＳ２を維持し、制御期間ＴＴ３において、電位ＶＳ２から基準電位Ｖ０に変化する波形である。
【００６０】
本実施形態では、一例として、波形ＰＳを有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］が吐出部Ｄ［ｍ］に供給される場合に、吐出部Ｄ［ｍ］からインクが吐出されないように、波形ＰＳが定められている場合を想定する。例えば、本実施形態では、一例として、吐出部Ｄ［ｍ］が波形ＰＳを有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動される場合、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］の電位が電位ＶＳ１である場合の吐出部Ｄ［ｍ］の圧力室２１３の容積が、供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］の電位が電位ＶＳ２である場合の吐出部Ｄ［ｍ］の圧力室２１３の容積よりも小さくなるように、波形ＰＳが定められている場合を想定する。
【００６１】
図８は、個別指定信号と接続状態指定信号との関係を示す図である。図８に示すように、個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて吐出部Ｄ［ｍ］を大ドット形成吐出部ＤＰ−１として指定する値「１」を示す場合、接続状態指定回路３１０は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］を、制御期間ＴＱ１及び制御期間ＴＱ２に亘りハイレベルに設定する。この場合、第１スイッチＷａ［ｍ］が単位期間ＴＰに亘りオンする。このため、吐出部Ｄ［ｍ］は、単位期間ＴＰにおいて、波形ＰＰ１及び波形ＰＰ２を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動され、大ドットに相当する量のインクを吐出する。
【００６２】
個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて吐出部Ｄ［ｍ］を中ドット形成吐出部ＤＰ−２として指定する値「２」を示す場合、接続状態指定回路３１０は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］を、制御期間ＴＱ１においてハイレベルに設定する。この場合、第１スイッチＷａ［ｍ］が制御期間ＴＱ１においてオンする。このため、吐出部Ｄ［ｍ］は、単位期間ＴＰにおいて、波形ＰＰ１を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動され、中ドットに相当する量のインクを吐出する。
【００６３】
個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて吐出部Ｄ［ｍ］を小ドット形成吐出部ＤＰ−３として指定する値「３」を示す場合、接続状態指定回路３１０は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］を、制御期間ＴＱ２においてハイレベルに設定する。この場合、第１スイッチＷａ［ｍ］が制御期間ＴＱ２においてオンする。このため、吐出部Ｄ［ｍ］は、単位期間ＴＰにおいて、波形ＰＰ２を有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動され、小ドットに相当する量のインクを吐出する。
【００６４】
個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて吐出部Ｄ［ｍ］をドット非形成吐出部ＤＰ−Ｂとして指定する値「４」を示す場合、接続状態指定回路３１０は、第１接続状態指定信号Ｑａ［ｍ］、第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］、及び、第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］を、単位期間ＴＰに亘りローレベルに設定する。この場合、第１スイッチＷａ［ｍ］、第２スイッチＷｂ［ｍ］、及び、第３スイッチＷｓ［ｍ］が、単位期間ＴＰに亘りオフする。このため、単位期間ＴＰにおいて、吐出部Ｄ［ｍ］には供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］が供給されず、吐出部Ｄ［ｍ］からはインクが吐出しない。
【００６５】
個別指定信号Ｓｄ［ｍ］が、単位期間ＴＰにおいて吐出部Ｄ［ｍ］を判定対象吐出部ＤＳとして指定する値「５」を示す場合、接続状態指定回路３１０は、第２接続状態指定信号Ｑｂ［ｍ］を、制御期間ＴＴ１及び制御期間ＴＴ３においてハイレベルに設定し、第３接続状態指定信号Ｑｓ［ｍ］を、制御期間ＴＴ２においてハイレベルに設定する。この場合、第１スイッチＷａ［ｍ］が、制御期間ＴＴ１及び制御期間ＴＴ３においてオンし、第３スイッチＷｓ［ｍ］が、制御期間ＴＴ２においてオンする。このため、判定対象吐出部ＤＳとして指定された吐出部Ｄ［ｍ］が、制御期間ＴＴ１において、波形ＰＳを有する供給駆動信号Ｖｉｎ［ｍ］により駆動された結果として、吐出部Ｄ［ｍ］に振動が生じ、その直後の制御期間ＴＴ２においても当該振動は残留する。そして、制御期間ＴＴ２において、吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動により、吐出部Ｄ［ｍ］に設けられた上部電極Ｚｕ［ｍ］の電位が変化する。よって、制御期間ＴＴ２において、上部電極Ｚｕ［ｍ］の電位Ｖｏｕｔ［ｍ］が、第３スイッチＷｓ［ｍ］を介して、検出電位信号ＶＸとして検出回路３３に供給される。制御期間ＴＴ２において吐出部Ｄ［ｍ］から検出される検出電位信号ＶＸの波形は、制御期間ＴＴ２において吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の波形を示す。そして、制御期間ＴＴ２において吐出部Ｄ［ｍ］から検出される検出電位信号ＶＸに基づいて生成される検出信号ＳＫの波形は、制御期間ＴＴ２において吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の波形を示す。
【００６６】
検出回路３３は、検出信号ＳＫの波形が有する周期ＮＴＣを測定し、当該測定された周期ＮＴＣを示す測定情報ＪＳを生成する。
【００６７】
図９は、インクの充填状態に応じた残留振動波形の例を示す図である。上述のとおり、検出信号ＳＫの波形は、判定対象吐出部ＤＳとして駆動された吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の波形を示す。一般的に、吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動は、吐出部Ｄ［ｍ］の有するノズルＮの形状、吐出部Ｄ［ｍ］の有する圧力室２１３に充填されたインクの重量、及び、吐出部Ｄ［ｍ］の有する圧力室２１３に充填されたインクの粘度、等により決定される固有振動周期を有する。そのため、図９に示すように、吐出部Ｄ［ｍ］の圧力室２１３にインクが充填されていない場合において吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の周期Ｐ１は、インクが充填されている場合において吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の周期Ｐ２と比較して、一般的に短くなる。上述のとおり、検出信号ＳＫの波形は、判定対象吐出部ＤＳとして駆動された吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の波形を示す。すなわち、検出信号ＳＫの波形が有する周期ＮＴＣは、判定対象吐出部ＤＳとして駆動された吐出部Ｄ［ｍ］に残留する振動の周期となる。よって、制御部８０は、測定情報ＪＳの示す周期ＮＴＣに基づいて、判定対象吐出部ＤＳとして駆動された吐出部Ｄ［ｍ］におけるインクの充填状態を判定することができる。
【００６８】
図１０は、第１実施形態における液体充填方法を実現する充填動作のフローチャートである。充填動作とは、制御部８０によって実行される動作であり、インクの充填されていない吐出部Ｄに対してインクを初期充填する動作である。充填動作は、例えば、液体吐出装置１００の初回動作時に実行される。本実施形態では、液体吐出ヘッド３２に含まれるＭ個全ての吐出部Ｄに対して、充填動作が実行される。充填動作開始時には、加圧部１０および減圧部１１は、駆動されていない状態であるものとする。
【００６９】
この充填動作の実行が開始されると、まず、制御部８０は、ステップＳ１００において、加圧部１０を用いて供給流路２５１を加圧することにより液体収容部１４から吐出部Ｄへインクの供給を開始する。
【００７０】
インクの供給を開始した後、ステップＳ１１０において、制御部８０は、上述した充填状態判定処理を開始する。この充填状態判定処理では、制御部８０は、駆動回路３１による圧電素子ＰＺの駆動と、検出回路３３による残留信号の検出とを交互に繰り返し行わせることにより、吐出部Ｄの残留振動に応じた検出信号ＳＫの波形の周期を示す測定情報ＪＳを検出回路３３から単位期間ＴＰ毎に取得する。
【００７１】
ステップＳ１２０において、制御部８０は、検出回路３３から取得した測定情報ＪＳに基づき、検出信号ＳＫの周期が変化したか否かを判定する。検出信号ＳＫの周期が変化していないと判定した場合、制御部８０は、吐出部Ｄは未充填状態であると判断し、処理をステップＳ１２０に戻し、引き続き、充填状態判定処理を実行する。
【００７２】
ステップＳ１２０において、検出信号ＳＫの周期が変化したと判定した場合、より具体的には、検出信号ＳＫの周期が、それ以前の検出信号ＳＫの周期よりも長くなったと判定した場合、制御部８０は、吐出部Ｄが充填状態であると判断し、ステップＳ１３０において、減圧部１１を制御して、排出流路２５３の減圧を開始し、充填動作を終了させる。減圧部１１による減圧の圧力は、加圧部１０による加圧の圧力とのバランスに応じて定められており、減圧の圧力と加圧の圧力との差圧によってノズルＮからインクが排出されない程度の圧力に設定されている。ステップＳ１２０では、例えば、前回の検出信号ＳＫの周期、あるいは、前回までの所定回数の検出信号ＳＫの周期の平均値よりも、今回の検出信号ＳＫの周期が、所定の割合以上長くなった場合に、検出信号ＳＫの周期が長くなったと判断することができる。
【００７３】
本実施形態では、充填動作の終了後には、加圧部１０および減圧部１１を駆動させた状態、すなわち、インクを循環させる状態とするが、加圧部１０および減圧部１１を停止させることにより、インクの循環を停止させた状態としてもよい。
【００７４】
以上で説明した第１実施形態によれば、駆動回路３１によって圧電素子ＰＺを駆動した後に検出回路３３によって検出される検出信号に応じて液体吐出ヘッド３２に対するインクの充填動作を終了させる。そのため、液体吐出ヘッド３２に対するインクの充填を過不足なく行うことができる。特に本実施形態では、駆動回路３１による駆動と検出回路３３による検出を交互に行わせるため、駆動波形と検出波形とを分離することができ、これにより、検出信号ＳＫの検出精度を高めることができる。また、検出回路３３によって検出される信号に変化が生じたこと、より具体的には、検出信号が示す残留振動の周期が、より長い周期に変化したことに応じて充填動作を終了させるので、液体吐出ヘッド３２にインクが充填されたことを精度よく検出できる。
【００７５】
また、本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室２１３にインクを供給する供給流路２５１と、供給流路２５１を加圧する加圧部１０とを有しており、制御部８０は、充填動作において加圧部１０による加圧を行う。そのため、液体吐出ヘッド３２に効率的にインクを充填できる。
【００７６】
また、本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室２１３からインクを排出する排出流路２５３と、排出流路２５３を減圧する減圧部１１とを有しており、制御部８０は、充填動作において減圧部１１による減圧を行う。そのため、液体吐出ヘッド３２からインクが漏れることを抑制することができる。特に、本実施形態では、圧力室２１３の減圧を、液体吐出ヘッド３２へのインクの充填が完了した後に行うため、ノズルＮから異物が吸引されることを抑制できる。また、圧力室２１３の減圧を、液体吐出ヘッド３２へのインクの充填が完了した後に行うため、インクの充填速度を高めることができ、また、インクの充填完了後にノズルＮからインクが垂れることを効果的に抑制できる。
【００７７】
Ｂ．第２実施形態：
図１１は、第２実施形態における充填動作のフローチャートである。第２実施形態における液体吐出装置１００の構成は第１実施形態と同じである。図１１に示すフローチャートにおいて、図１０に示した第１実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。
【００７８】
図１１に示すように、第２実施形態における充填動作のステップＳ１００〜Ｓ１３０の処理は、図１０に示した第１実施形態における充填動作と同じである。そのため、これらのステップの詳細な説明は省略する。第２実施形態では、ステップＳ１３０において、減圧部１１を用いて排出流路２５３の減圧を開始した後に、ステップＳ１４０において、制御部８０は、吐出部Ｄが完全に充填されたか否かを判定する。具体的には、制御部８０は、検出信号ＳＫの周期を示す測定情報ＪＳに基づき、検出信号ＳＫの周期が、吐出部Ｄに気泡が含まれていない周期に対応する周期、すなわち、完全に吐出部Ｄが充填された場合の周期になった場合に、吐出部Ｄが完全に充填されたと判定する。
【００７９】
制御部８０は、吐出部Ｄが完全に充填されたと判定されなかった場合、ステップＳ１４０における判定処理を繰り返す。これに対して、吐出部Ｄが完全に充填されたと判定された場合、制御部８０は、充填動作を終了させる。
【００８０】
以上で説明した第２実施形態によれば、検出信号ＳＫの周期が変化した後に、排出流路２５３の減圧を開始し、更に、その後に検出された検出信号ＳＫに応じて液体吐出ヘッド３２が完全に充填されたか否かを判定した上で、充填動作を完了させる。そのため、液体吐出ヘッド３２へのインクの充填をより確実に行うことができる。
【００８１】
Ｃ．第３実施形態：
図１２は、第３実施形態における充填動作のフローチャートである。第３実施形態における液体吐出装置１００の構成は第１実施形態と同じである。図１２に示すフローチャートにおいて、図１０に示した第１実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。
【００８２】
図１２に示すように、第３実施形態における充填動作のステップＳ１００〜Ｓ１２０の処理は、図１０に示した第１実施形態における充填動作と同じである。そのため、これらのステップの詳細な説明は省略する。第２実施形態では、制御部８０は、ステップＳ１３０ｃにおいて、減圧部１１を用いて排出流路２５３の減圧を開始するとともに、加圧部１０による供給流路２５１の加圧の圧力を上昇させた上で、充填動作を終了させる。ステップＳ１３０ｃにおける減圧の圧力および加圧の圧力は、これらの差圧によってノズルＮからインクが排出されない程度の圧力に設定されている。
【００８３】
以上で説明した第３実施形態によれば、液体吐出ヘッド３２にインクが充填された後に、排出流路２５３を減圧するだけではなく、同時に供給流路２５１の加圧の圧力を高める。そのため、排出流路２５３を減圧するだけよりも、充填後の液体吐出ヘッド３２内の圧力を早期に安定させることができる。
【００８４】
Ｄ．第４実施形態：
図１３は、第４実施形態における充填動作のフローチャートである。第４実施形態における液体吐出装置１００の構成は第１実施形態と同じである。図１３に示すフローチャートにおいて、図１２に示した第３実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。
【００８５】
第４実施形態の充填動作では、制御部８０は、ステップＳ１００において供給流路２５１の加圧を開始した後に、ステップＳ１０２において、所定時間が経過したか否かを判定する。所定時間は、吐出部Ｄの充填が終了するまでの時間よりも短い時間であり、予め設定された時間である。所定時間経過していないと判定した場合、制御部８０は、所定時間経過するまでステップＳ１０２の判定処理を繰り返す。所定時間経過したと判定した場合、制御部８０は、ステップＳ１０４において、供給流路２５１を加圧するための圧力をステップＳ１００における圧力よりも低下させる。そして、ステップＳ１１０〜Ｓ１３０ｃにおいて、第３実施形態と同様の処理を実行する。
【００８６】
以上で説明した第４実施形態によれば、充填動作の開始直後において、供給流路２５１の加圧のための圧力を一時的に高めるため、液体吐出ヘッド３２へのインクの充填速度を速めることができる。
【００８７】
なお、本実施形態のステップＳ１３０ｃでは、第３実施形態と同様に、加圧部１０による加圧の圧力を上昇させるが、第１実施形態や第２実施形態と同様に、加圧の圧力を上昇させなくてもよい。
【００８８】
Ｅ．第５実施形態
図１４は、第５実施形態における充填動作のフローチャートである。第５実施形態では、検出回路３３は、測定情報ＪＳとして、検出信号ＳＫに含まれる各周期の値を出力する。第５実施形態における液体吐出装置１００の他の構成は第１実施形態と同じである。図１４に示すフローチャートにおいて、図１０に示した第１実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。
【００８９】
第５実施形態の充填動作では、制御部８０は、検出回路３３から取得した測定情報ＪＳに基づき、検出信号ＳＫに含まれる周期１と周期２が一致するかを判定する。本実施形態において、周期１とは、あるタイミングにおける残留振動の１周期（例えば電圧０から上昇していき、その後正の値ピークに到達した後下降し、その後負の値ピークに到達した後上昇し、その後電圧０に到達するまでの周期。図９のＰ１、Ｐ２を参照のこと）である。また、周期２とは、周期１と異なるタイミングにおける残留振動の１周期であり、好ましくは周期１の後の周期、更に好ましくは周期１の直後の周期である。例えば、図９のＰ１を周期１とすると、Ｐ１直後の１周期が周期２となる。
【００９０】
ここで、図９からわかるように、インク未充填時は残留振動の周期がタイミングごとに異なってくるのに対し、インク充填時は残留振動の周期がタイミングによらずほぼ一定である。これは、インク未充填時には、吐出部Ｄにインクと空気が混在しているため、空気振動の影響がインクの残留振動に対してノイズとして働き、残留振動が規則的な周期とならないのである。これに対し、インク充填時は、吐出部Ｄはインクで満たされているため、残留振動の周期はほとんど変わらず、規則的なものとなる。
【００９１】
この点を鑑み、第５実施形態の充填動作では、ステップＳ１２０ｅにおいて、制御部８０は、周期１と周期２が一致する場合、つまり残留振動の周期が規則的である場合に、吐出部Ｄが充填状態にあると判断し、ステップＳ１３０に進む。一方で、周期１と周期２が一致しない場合、つまり残留振動の周期が規則的でない場合には、制御部８０は、吐出部Ｄが未充填状態にあると判断し、処理をステップＳ１２０ｅに戻す。なお、ここで「周期１と周期２が一致する」とは、必ずしも周期１と周期２が完全に一致しなくとも良く、周期１と周期２が略一致していれば良い。例えば周期１がＡであった場合、周期２がＡ±Ａ×１／１０の範囲に含まれていれば、周期１と周期２が略一致すると判断しても良い。なお、その他の処理については、第１実施形態と同様である。
【００９２】
Ｆ．第６実施形態
図１５は、第６実施形態における充填動作のフローチャートである。第６実施形態では、検出回路３３は、測定情報ＪＳとして、検出信号ＳＫをそのまま出力する。第６実施形態における液体吐出装置１００の他の構成は第１実施形態と同じである。図１５に示すフローチャートにおいて、図１０に示した第１実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。
【００９３】
第６実施形態の充填動作では、ステップＳ１２０ｆにおいて、制御部８０は、検出回路３３から取得した検出信号ＳＫに基づいて得られた残留振動の波形自体と、予め記憶回路に記憶されたインク充填時に想定される残留振動の理想波形と、を比較し、得られた残留振動波形が記憶された理想波形と合致するかを判定する。なお、ここで「残留振動波形と理想波形が一致する」とは、必ずしも残留振動波形と理想波形が完全に一致しなくとも良く、残留振動波形と理想波形が略一致していれば良い。例えば、それぞれの波形の各タイミングにおける電圧等のパラメータが、１０％以内の範囲で合致していれば、残留振動波形と理想波形が略一致すると判断しても良い。そして、残留振動波形が理想波形と合致すればステップＳ１３０に進み、残留振動波形が理想波形と合致しなければステップＳ１２０ｆに戻す。その他の処理については、第１実施形態と同様である。
【００９４】
Ｇ．第７実施形態：
図１６は、第７実施形態における液体吐出ヘッド３２ｇの要部を示す断面図である。第１実施形態における液体吐出ヘッド３２は、駆動素子として圧電素子ＰＺを備えている。これに対して、第７実施形態の液体吐出ヘッド３２ｇは、駆動素子として、ヒーターＨＴを備えている。ヒーターＨＴは、圧力室２１３において、ノズルＮに対向する位置に配置されている。第７実施形態の液体吐出ヘッド３２ｇは、更に、温度センサーＴＳを備えている。検出回路３３は、温度センサーＴＳを用いて、圧力室２１３での温度に関する信号を検出する。なお、図１６では、圧力室２１３よりも下流に位置する排出流路２５３側の構成を省略している。
【００９５】
液体吐出ヘッド３２ｇは、ノズルＮに対向する位置にＳｉ基板３２１を備えている。Ｓｉ基板３２１の−Ｚ方向側には、熱酸化膜ＳｉＯ２等からなる蓄熱層３２２を介して、Ａｌ、Ｐｔ、Ｔｉ等の薄膜抵抗体で形成される温度センサーＴＳが備えられている。更に、Ｓｉ基板３２１の−Ｚ方向側には、層間絶縁膜３２３を介して、ヒーターＨＴ、駆動回路３１に接続される配線３２４、ＳｉＮ等からなるパッシベーション膜３２５、Ｔａ等からなる耐キャビテーション膜３２６が積層されている。
【００９６】
本実施形態における駆動回路３１は、インクの吐出時やインクの充填状態を確認する際に、単位期間ＴＰにおいて、ヒーターＨＴに対して、単発の矩形波を供給する。すると、ヒーターＨＴによって吐出部Ｄ内のインクが加熱されて耐キャビテーション膜３２６の直下に気泡が生成される。その気泡の成長によってインクがノズルＮから押し出される。
【００９７】
図１７は、温度センサーＴＳによって検出される圧力室２１３内の温度変化を示すグラフである。吐出部Ｄにインクが充填されている場合には、図１７において実線で示すように、温度センサーＴＳによる検出温度が最高温度に到達した時間から一定時間後のタイミングＴ１において降温速度が急激に高まる。これは、気泡成長後の気泡の収縮に伴って、耐キャビテーション膜３２６とインクとが再び接触してヒーターＨＴの冷却が進行するためである。一方、吐出部Ｄにインクが充填されておらず、ヒーターＨＴから熱がインクに伝わらない場合には、図１７において破線で示すように、降温過程において傾きの急激な変化は発生しない。そのため、制御部８０は、温度センサーＴＳによって測定された温度に関する信号を検出回路３３から取得し、単位期間ＴＰにおいて、降温速度が急激に高まるタイミングが存在するか応じて、吐出部Ｄにインクが充填されたか否かを判断できる。
【００９８】
図１８は、第７実施形態における充填動作のフローチャートである。図１８に示すフローチャートにおいて、図１０に示した第１実施形態の充填動作と同じ処理内容については、同じステップ番号を付した。まず、ステップＳ１００において、制御部８０は、加圧部１０を用いて供給流路２５１を加圧することにより液体収容部１４から吐出部Ｄへインクの供給を開始する。
【００９９】
インクの供給を開始した後、ステップＳ１１０ｇにおいて、制御部８０は、充填状態判定処理を開始する。本実施形態における充填状態判定処理では、制御部８０は、単位期間ＴＰ毎に、駆動回路３１を用いてヒーターＨＴに単発の矩形波を供給する。この矩形波の振幅は、ノズルＮからインクが吐出されない程度の振幅に設定されている。更に、制御部８０は、検出回路３３を用いて、温度センサーＴＳによって測定された吐出部Ｄの温度を取得する。
【０１００】
ステップＳ１２０ｇにおいて、制御部８０は、吐出部Ｄの温度変化の降温過程において、傾きが大きく変化するタイミングが所定の期間内に現れたか否かを判定する。所定の期間は、吐出部Ｄにインクが正常に充填された状態において、温度変化の傾きが大きく変化するまでの時間を予め測定あるいは実験によって求めることによって設定されている。
【０１０１】
ステップＳ１２０ｇにおいて、傾きが大きく変化するタイミングが所定の期間内に現れたと判定されない場合、制御部８０は、吐出部Ｄは未充填状態であると判定し、処理をステップＳ１２０ｇに戻し、引き続き、充填状態判定処理を実行する。
【０１０２】
ステップＳ１２０ｇにおいて、傾きが大きく変化するタイミングが所定の期間内に現れたと判定された場合、制御部８０は、吐出部Ｄが充填状態であると判断し、ステップＳ１３０において、減圧部１１を制御して、排出流路２５３の減圧を開始し、充填動作を終了させる。
【０１０３】
以上で説明した第７実施形態のように、インクを吐出させる駆動素子としてヒーターＨＴを用いる場合であっても、第１実施形態と同様に、液体吐出ヘッド３２ｇに対するインクの充填を過不足なく行うことができる。
【０１０４】
なお、本実施形態では、層間絶縁膜３２３を介してヒーターＨＴの直上に温度センサーＴＳが設けられているため、吐出部Ｄにインクが充填されていない場合には、ヒーターＨＴの熱がインクに伝わらず、温度センサーＴＳによって測定される温度は高くなる。これに対して、吐出部Ｄにインクが充填されている場合には、インクに熱が伝わり、温度センサーＴＳによって測定される温度は低くなる。そのため、上記ステップＳ１２０ｇでは、温度センサーＴＳによって測定された最高温度が、高い温度から低い温度に変化したことを検出することによっても、吐出部Ｄにインクが充填されたか否かを判定できる。
【０１０５】
また、第７実施形態では、図１８に示したステップＳ１１０ｇおよびステップＳ１２０ｇの処理が第１実施形態〜第４実施形態のステップＳ１１０およびステップＳ１２０の処理と異なるだけであり、ステップＳ１１０ｇおよびステップＳ１２０ｇ以外の処理については、第１実施形態〜第４実施形態と同様の処理を適用可能である。
【０１０６】
また、第７実施形態では、温度センサーＴＳをヒーターＨＴの近傍に配置しているが、圧力室２１３内におけるインクの充填状態に応じた温度変化が検出可能であれば、温度センサーＴＳをヒーターＨＴから離間させて配置してもよい。
【０１０７】
Ｈ．他の実施形態：
（Ｈ−１）上記実施形態の液体吐出装置１００は、減圧部１１および排出流路２５３を備えている。これに対して、液体吐出装置１００は、減圧部１１および排出流路２５３を備えていなくてもよい。つまり、液体吐出装置１００は、インクを循環させないものであってもよい。この場合、上述した各実施形態における充填動作では、排出流路２５３の減圧が実行されることなく充填動作が終了される。
【０１０８】
（Ｈ−２）上記実施形態の液体吐出装置１００は、加圧部１０を備えている。これに対して、液体吐出装置１００は、加圧部１０を備えていなくてもよい。この場合、液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド３２と液体収容部１４との水頭差によって、液体収容部１４からインクを液体吐出ヘッド３２に供給してもよい。
【０１０９】
（Ｈ−３）上記実施形態の液体吐出装置１００は、排出流路２５３から排出されたインクを液体収容部１４に回収することで循環させている。これに対して、液体吐出装置１００は、排出流路２５３から排出されたインクを回収しないものであってもよい。
【０１１０】
（Ｈ−４）上記各実施形態における充填動作では、液体吐出ヘッド３２がインクで充填された状態となった後に、排出流路２５３を減圧させている。これに対して、制御部８０は、充填動作開始直後に、供給流路２５１の加圧と同時に排出流路２５３の減圧も開始してもよい。ただし、減圧の圧力は、吐出部Ｄにインクが供給可能な程度の圧力に設定する。
【０１１１】
（Ｈ−５）上記第１実施形態〜第４実施形態では、圧力室２１３に振動を加える素子と、残留振動を検出する素子は、同一の圧電素子ＰＺである。これに対して、圧力室２１３に振動を加える圧電素子と、残留振動を検出する圧電素子は、異なる位置に配置された異なる素子であってもよい。
【０１１２】
Ｉ．他の形態：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、以下に記載する各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【０１１３】
（１）本開示の第１の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
このような形態によれば、駆動回路によって駆動素子を駆動した後に検出回路によって検出される信号に応じて充填動作を終了させるので、液体吐出ヘッドに対する液体の充填を過不足なく行うことが可能になる。
【０１１４】
（２）本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
このような形態によれば、駆動回路によって駆動素子を駆動した後に検出回路によって検出される信号に応じて充填動作を終了させるので、液体吐出ヘッドに対する液体の充填を過不足なく行うことが可能になる。
【０１１５】
（３）上記形態において、前記圧力室に液体を供給する供給流路と、前記供給流路を加圧する加圧部と、を更に有し、前記制御部は、前記充填動作において前記加圧部による加圧を行ってもよい。このような形態であれば、加圧部を用いることにより効率的に液体を充填できる。
【０１１６】
（４）上記形態において、前記圧力室から液体を排出する排出流路と、前記排出流路を減圧する減圧部と、を更に有し、前記制御部は、前記充填動作において前記減圧部による減圧を行ってもよい。このような形態であれば、圧力室を減圧しつつ、液体吐出ヘッドに対して液体を充填させることができる。
【０１１７】
（５）上記形態において、前記制御部は、前記加圧部による加圧を開始し、前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、効率的に液体を充填できる。
【０１１８】
（６）上記形態において、前記制御部は、前記加圧部による加圧を開始し、前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始し、前記減圧の開始後に前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、減圧部を用いることにより、液体吐出ヘッドから液体が漏れることを抑制できる。
【０１１９】
（７）上記形態において、前記制御部は、前記加圧部による加圧を開始し、前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始し、前記減圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、減圧の開始後に検出回路によって検出される信号に応じて充填動作を終了させるため、より確実に液体を充填することができる。
【０１２０】
（８）上記形態において、前記制御部は、前記加圧部による加圧を開始し、前記加圧の開始後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始するとともに前記加圧部による加圧の圧力を大きくし、前記加圧の圧力を大きくした後に前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、減圧開始後における圧力室内の圧力を早期に安定させることができる。
【０１２１】
（９）上記実施形態において、前記制御部は、前記加圧部による加圧を開始し、前記加圧の開始後に、前記加圧部による加圧の圧力を小さくし、前記加圧の圧力を小さくした後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記減圧部による減圧を開始するとともに前記加圧部による加圧の圧力を大きし、前記加圧の圧力を大きくした後に前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、充填開始直後の加圧力を大きくすることができるので、液体の充填速度を速めることができる。
【０１２２】
（１０）上記形態において、前記制御部は、前記駆動回路による前記駆動素子の駆動と前記検出回路による前記信号の検出とを交互に行わせてもよい。このような形態であれば、信号の検出精度を高めることができる。
【０１２３】
（１１）上記形態において、前記制御部は、前記検出回路によって検出される前記信号に変化が生じたことに応じて、前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、液体吐出ヘッドに液体が充填されたことを精度よく検出できる。
【０１２４】
（１２）上記形態において、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示す残留振動の周期が、前回までの残留振動の周期よりも長い周期に変化したことに応じて、前記充填動作を終了させてもよい。このような形態であれば、液体吐出ヘッドに液体が充填されたことを精度よく検出できる。
【０１２５】
（１３）上記形態において、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示すあるタイミングにおける残留振動の周期と、他のタイミングにおける残留振動の周期と、が一致したことに応じて、前記充填動作を終了させてもよい。
【０１２６】
（１４）上記形態において、前記制御部は、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に、前記検出回路によって検出される前記信号が示す残留振動の波形と、予め記憶された充填動作が終了しているときの理想の残留振動の波形と、が合致したことに応じて、前記充填動作を終了させてもよい。
【０１２７】
（１５）本開示の第３の形態によれば、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での残留振動に関する信号を検出する検出回路と、を備える液体吐出装置において実行される液体充填方法が提供される。この液体充填方法は、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【０１２８】
（１６）本開示の第４の形態によれば、駆動素子と、前記駆動素子の駆動により液体に圧力が付与される圧力室と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動回路と、前記圧力室での温度に関する信号を検出する検出回路と、を備える液体吐出装置において実行される液体の液体充填方法が提供される。この液体充填方法は、外部から前記液体吐出ヘッドへの液体の充填動作を開始した後に、前記駆動回路によって前記駆動素子を駆動した後に前記検出回路によって検出される信号に応じて、前記充填動作を終了させることを特徴とする。
【符号の説明】
【０１２９】
３…ヘッドユニット、４…駆動信号生成ユニット、１０…加圧部、１１…減圧部、１２…媒体、１４…液体収容部、２２…搬送機構、２３…搬送ベルト、２４…ヘッド移動機構、２５…キャリッジ、３１…駆動回路、３２…液体吐出ヘッド、３３…検出回路、８０…制御部、１００…液体吐出装置、２１２…流路基板、２１３…圧力室、２１４…圧力室基板、２１６…保護基板、２１７…導入流路基板、２１８…導出流路基板、２１９…振動板、２２０…ノズル基板、２２１…第１コンプライアンス基板、２２２…第２コンプライアンス基板、２２３…第１入口、２２４…導入液室、２２７…第１液室、２２８…第１個別連通路、２２９…ノズル連通路、２３０…第２個別連通路、２３１…第１出口、２３３…第２液室、２３４…第１共通液室、２３５…導出液室、２３６…第２共通液室、２３８…収容空部、２３９…貫通口、２４０…リード電極、２５０…循環機構、２５１…供給流路、２５３…排出流路、３１０…接続状態指定回路、３２１…Ｓｉ基板、３２２…蓄熱層、３２３…層間絶縁膜、３２４…配線、３２５…パッシベーション膜、３２６…耐キャビテーション膜、３３１…検出信号生成部、３３２…測定情報生成部、Ｄ…吐出部、ＨＴ…ヒーター、Ｎ…ノズル、Ｎｓ…ノズル列、ＰＺ…圧電素子、ＴＳ…温度センサー、Ｚｕ…上部電極、Ｚｍ…圧電体、Ｚｄ…下部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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