(57)【要約】      （修正有）【課題】電子デバイスの有無にかかわらず取っ手（ハンドリング機構）を高さ制限ラインＬ内で確実に取り付けることができるプローブカードのハンドリング機構を提供する。【解決手段】検査対象部材の電極や端子に接触する複数のプローブと、当該各プローブを支持する基板１３とを少なくとも備えたプローブカード１１に取り付けられて、当該プローブカードを持ち上げて運搬するためのハンドリング機構１５であって、指を引っかけるための取っ手部１７と、当該取っ手部をスライド可能に支持する支柱１８とを備えて構成される。また、上記支柱に取り付けられて上記取っ手部を待機位置に付勢するスプリング１９を備える。【選択図】図９
0003178542.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
検査対象部材の電極や端子に接触する複数のプローブと、当該各プローブを支持する基板とを少なくとも備えたプローブカードに取り付けられて、当該プローブカードを持ち上げて運搬するためのハンドリング機構であって、
指を引っかけるための取っ手部と、当該取っ手部をスライド可能に支持する支柱とを備えて構成されたことを特徴とするプローブカードのハンドリング機構。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブカードのハンドリング機構において、
上記支柱に取り付けられて上記取っ手部を待機位置に付勢するスプリングを備えたことを特徴とするプローブカードのハンドリング機構。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプローブカードのハンドリング機構において、
上記取っ手部が、指を引っかけて持ち上げる把持部と、上記支柱に支持されて上記把持部を上下にスライド可能に支持する支持用フランジ部とを備えて構成されたことを特徴とするプローブカードのハンドリング機構。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のプローブカードのハンドリング機構において、
上記支柱が、当該支柱を上記プローブカードに固定するネジ棒部と、上記取っ手部に挿入されて当該取っ手部をスライド可能に支持する案内棒部と、上記スプリングを支持する頭部とを備えて構成されたことを特徴とするプローブカードのハンドリング機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブカードのハンドリング機構において、
上記プローブカードに、上記支柱を取り付ける収納凹部を設けたことを特徴とするプローブカードのハンドリング機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、プローブを複数備えたプローブカードの持ち運び等に用いるハンドリング機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プローブカードは、その下側面に複数のプローブが設けられ、上側面に種々の電子デバイスや検査装置と電気的接続をするためのコネクタ等が設けられた円板状等の機器である。プローブカードは、作業者によって持ち運ばれ、検査装置等に取り付けられる。このため、プローブカードには、作業者が持ち運ぶための取っ手が取り付けられている。
【０００３】
このような取っ手の一例を図１に示す。図１の取っ手１は、角ばったＣ字型に折り曲げられた状態の棒材で構成されている。この取っ手１は、プローブカード２の上側面にネジ３で固定されている。
【０００４】
一方、プローブカード２は、検査装置等に取り付けられる際には、その上側面が取り付けられる面になる。このため、プローブカード２の上側面には、高さ制限ラインＬ（図１では３０ｍｍ）が設定される。即ち、プローブカード２の上側面には、上記高さ制限ラインＬを超える部材を取り付けることができない。
【０００５】
この場合、図１のように、高さ制限ラインＬに余裕があると、取っ手１を作業者の指４が入る高さにすることができる。しかし、高さ制限ラインＬに余裕がないと、取っ手としての機能を果たし得なくなる。即ち、図２のように、高さ制限ラインＬに余裕がないと、取っ手１を指４が入る高さにすることができず（図２では２６ｍｍ）、取っ手としての機能を果たし得なくなる。
【０００６】
このような場合に、高さ制限ラインＬの要件を満たした上で、指４を確実に入れることができるようにするために、取っ手を折り畳み式にしたものもある。
【０００７】
この折り畳み式取っ手５の例を図３，４に示す。この折り畳み式取っ手５は主に、基部６と、回動部７とから構成されている。
【０００８】
基部６は、回動部７を支持した状態でプローブカード２の上側面に直接固定される部分である。２つの基部６が、プローブカード２にねじ込まれている。回動部７は、角ばったＣ字型に折り曲げられた状態の棒材で構成されて、２つの基部６にヒンジピン８で回動可能に取り付けられている。そして、通常は回動部７を図４の実線の状態のように横にして高さ制限ラインＬ（２６ｍｍ）内に収まるようにしておき、使用するときに図３のように立てる。
【０００９】
作業者は、回動部７に指を引っかけてプローブカード２を持ち上げて運搬する。
【００１０】
このようなハンドリング機構の例としては、特許文献１、２に記載のものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８―１６４５９１号公報
【特許文献２】特開２００９―２０４３２６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１２】
上述のような折り畳み式取っ手５の場合、その回動部７が折り畳まれたときの収納スペースが必要になる。この場合、収納スペースを設ける位置が、図５，６に示すように、電子デバイス９を設けるエリア９Ａと重なると、この収納スペースを設けることができなくなる。
【００１３】
この場合、折り畳み式取っ手５の回動部７を図６のようにプローブカード２の上側面から浮かせておくことも考えられる。しかし、回動部７ををプローブカード２の上側面から浮かせておく場合でも、この回動部７がプローブカード２の上側面の電子デバイス９に接触することがある。これ解消するために、回動部７と電子デバイス９との間に余裕を持たせた状態で回動部７を浮かせると、折り畳み式取っ手５が高さ制限ラインＬを超えてしまうことがあるという問題がある。
【００１４】
本考案はこのような問題点に鑑みてなされたもので、電子デバイスの有無にかかわらず取っ手（ハンドリング機構）を高さ制限ラインＬ内で確実に取り付けることができるプローブカードのハンドリング機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本考案には、上記課題を解決するためになされたもので、検査対象部材の電極や端子に接触する複数のプローブと、当該各プローブを支持する基板とを少なくとも備えたプローブカードに取り付けられて、当該プローブカードを持ち上げて運搬するためのハンドリング機構であって、指を引っかけるための取っ手部と、当該取っ手部をスライド可能に支持する支柱とを備えて構成されたことを特徴とする。また、上記支柱に取り付けられて上記取っ手部を待機位置に付勢するスプリングを備えたことを特徴とする。
【考案の効果】
【００１６】
上記構成により、ハンドリング機構を高さ制限内で確実に取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来のプローブカードに設けられる取っ手を示す要部断面図である。
【図２】従来の取っ手であって高さ制限が厳しい場合の取っ手を示す要部断面図である。
【図３】他の従来例に係る取っ手を示す要部断面図である。
【図４】図３の側面断面図である。
【図５】図３の取っ手の周囲に電子デバイスが装着された状態を示す要部平面図である。
【図６】図５の側面断面図である。
【図７】プローブカードの一例を示す平面図である。
【図８】図７のプローブカードの正面図である。
【図９】本考案の実施形態に係るハンドリング機構を示す要部断面図である。
【図１０】図９のハンドリング機構において指を外した状態を示す要部断面図である。
【図１１】本考案の実施形態に係るハンドリング機構を示す斜視図である。
【図１２】本考案の実施形態に係るハンドリング機構の取っ手部を示す斜視図である。
【図１３】本考案の実施形態に係るハンドリング機構の支柱を示す斜視図である。
【図１４】本考案の実施形態に係るハンドリング機構のスプリングを示す斜視図である。
【図１５】本考案の変形例に係るハンドリング機構を示す要部断面図である。
【図１６】図１５のハンドリング機構において指を外した状態を示す要部断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、本考案の実施形態に係るプローブカードのハンドリング機構について説明する。
【００１９】
プローブカードは、半導体ウエハの検査装置等に組み込まれる機器である。プローブカードとしては種々の形状のものがあるが、その一例を図７，８に基づいて概説する。図中のプローブカード１１は主に、半導体ウエハ等の検査対象部材の電極や端子に接触する複数のプローブ１２と、各プローブ１２を支持する基板１３と、この基板１３を補強するスティフナー１４と、プローブカード１１を持ち上げて運搬するためのハンドリング機構１５とから構成されている。基板１３の上側面には、各プローブ１２に接続される回路等の種々の電子デバイスや、検査装置と電気的に接続するためのコネクタ等が設けられる。
【００２０】
本実施形態のハンドリング機構１５は、スティフナー１４の上側面に２つ設けられている。作業者がこの２つのハンドリング機構１５を手で掴んで、プローブカード１１を持ち上げたり運搬したりする。ハンドリング機構１５は、基板１３に設けられる場合もある。図７，８の構成のプローブカード１１では、スティフナー１４の上側面が、ハンドリング機構１５の取付け面として最適であるため、スティフナー１４の上側面に設けられている。しかし、スティフナー１４が設けられない場合や、スティフナー１４が小さい場合もある。そのような場合は、ハンドリング機構１５は基板１３側に設けられる。ハンドリング機構１５は、いずれにも設けられるが、以下では基板１３に設けられる場合を例に説明する。
【００２１】
ハンドリング機構１５は、スライドして高さを調整する機能を備えている。ハンドリング機構１５は、具体的には図９，１０に示すように、作業者が指１６を引っかける取っ手部１７と、この取っ手部１７をスライド可能に支持する支柱１８と、この支柱１８に取り付けられて取っ手部１７を待機位置に付勢するスプリング１９とから構成されている。
【００２２】
取っ手部１７は、プローブカード１１を持ち上げたり運搬したりする時に上方へスライドするようになっている。取っ手部１７は、図９〜１２に示すように、把持部２１と、支持用フランジ部２２とから構成されている。把持部２１は、角ばったＣ字型に形成され、下方が開いている。作業者は指１６をこの把持部２１に引っかけてプローブカード１１を持ち上げる。
【００２３】
支持用フランジ部２２は、把持部２１を上下にスライド可能に支持するための部分である。支持用フランジ部２２は、把持部２１の両側にこの把持部２１と一体的にそれぞれ設けられている。各支持用フランジ部２２には、支柱１８を通すスライド穴２２Ａがそれぞれ設けられている。各スライド穴２２Ａの内径は、後述する支柱１８の案内棒部２６の外径よりも僅かに大きく設定されている。これにより、取っ手部１７が２本の支柱１８に支持されて、上下にスライドするようになっている。
【００２４】
支柱１８は、取っ手部１７を上下にスライド可能に支持するための部材である。支柱１８は、図９〜１１，１３に示すように、ネジ棒部２５と、案内棒部２６と、頭部２７とから構成されている。これらネジ棒部２５と、案内棒部２６と、頭部２７とが一体となって支柱１８を構成している。
【００２５】
ネジ棒部２５は、支柱１８をプローブカード１１に固定するための部分である。ネジ棒部２５は、基板１３のネジ穴１３Ａにねじ込んで固定するための部分である。案内棒部２６は、取っ手部１７の支持用フランジ部２２のスライド穴２２Ａに挿入されて、取っ手部１７をスライド可能に支持する部分である。さらに、案内棒部２６は、スプリング１９を支持する部分である。このスプリング１９によって、取っ手部１７が待機位置（最下端位置）に付勢されている。頭部２７は、スプリング１９を支持するための部材である。スプリング１９は、案内棒部２６に装着された状態で、取っ手部１７の支持用フランジ部２２と頭部２７とに当接している。
【００２６】
スプリング１９は、取っ手部１７を支柱１８の最下端位置（待機位置）に押しやるための部材である。スプリング１９は、図９〜１１，１４に示すように、支柱１８の案内棒部２６に装着されている。これにより、スプリング１９は、その一端部が頭部２７に支持されて他端部が取っ手１７の支持用フランジ部２２に接触した状態で、この取っ手１７を下方（基板１３の上側面側）へ常時付勢している。これにより、スプリング１９は、取っ手部１７を待機位置（最下端位置）で支持している。
【００２７】
以上のように構成されたハンドリング機構１５は、次のようにして使用される。
【００２８】
通常は、ハンドリング機構１５の取っ手部１７は、支柱１８に支持された状態でスプリング１９によって待機位置に付勢されている。これにより、取っ手部１７は、図１０に示すように、高さ制限ラインＬ（本実施形態では基板１３を含めて２６ｍｍ）以内に収まっている。
【００２９】
プローブカード１１を持ち上げて運搬する場合は、作業前が指１６を取っ手部１７の把持部２１に引っかけて、図９に示すように、取っ手部１７を引き上げる。これにより、指１６が取っ手部１７の把持部２１に完全に引っかかる。
【００３０】
作業者は、両手の指１６を取っ手部１７の把持部２１に引っかけてプローブカード１１を持ち上げて、所定位置に設置する。その後、指１６を把持部２１から離すと、スプリング１９により、取っ手部１７が待機位置に押し戻される。これにより、取っ手部１７は、待機状態になって、高さ制限ラインＬ内に収まる。次いで、プローブカード１１を検査装置等に組み込む。
【００３１】
以上のように構成されたハンドリング機構１５では、作業者が手を触れない通常状態では、スプリング１９が取っ手部１７を待機位置に付勢しているため、取っ手部１７が高さ制限ラインＬ内に収まり、取っ手部１７が障害になることがない。
【００３２】
一方、プローブカード１１の設置等の際には、作業者は、両手の指１６を各取っ手部１７の把持部２１に引っかけて取っ手部１７を引き上げるため、把持部２１を掴みやすくなる。
【００３３】
プローブカード１１の設置等に支障を来すことなく、作業者が、両手の指１６で各取っ手部１７の把持部２１を容易にかつ確実に掴むことができるようになる。この結果、作業性が向上する。
【００３４】
[変形例]
上記実施形態では、ハンドリング機構１５を、プローブカード１１の基板１３の平坦な上側面に取り付けたが、図１５，１６に示すように、ハンドリング機構１５を収納凹部３０に取り付けてもよい。即ち、高さ制限が厳しい上にプローブカード１１が肉厚の場合は、ハンドリング機構１５を取り付けるための収納凹部３０を設ける。この収納凹部３０は、基板１３の上側面の２カ所に設けられる。なお、収納凹部３０は、スティフナー１４の上側面に設けてもよい。
【００３５】
そして、各収納凹部３０にハンドリング機構１５の支柱１８を取り付ける。これにより、上記実施形態と同様に、ハンドリング機構１５の取っ手部１７は、高さ制限ラインＬ（図１５，１６では３０ｍｍ）以内に収まっている。
【００３６】
この構成により、上記実施形態と同様の作用、効果を奏すると共に、プローブカード１１が肉厚の場合にも、確実にハンドリング機構１５を設けることができる。
【００３７】
また、上記実施形態では、ハンドリング機構１５を、基板１３の平坦な上側面に取り付けたが、電子デバイス３１が実装された領域にハンドリング機構１５を取り付けてもよい。この場合、図１５，１６では、プローブカード１１の厚さに対応して、収納凹部３０を設け、取っ手部１７の上下動する長いストロークを確保したが、収納凹部３０を設けない場合もある。
【００３８】
これにより、上記実施形態と同様の作用、効果を奏すると共に、ハンドリング機構１５を限られたスペースに確実に装着することができる。即ち、プローブカード１１の上側面に多数の電子デバイス３１が実装されて、ハンドリング機構１５の設置スペースが限られている場合でも、ハンドリング機構１５の支持用フランジ部２２及び支柱１８を固定するスペースを確保できれば、ハンドリング機構１５を確実に装着することができる。
【００３９】
上記実施形態では、図７，８の形状のプローブカード１１にハンドリング機構１５を設けた場合を例に説明したが、本考案のハンドリング機構１５は、高さ制限が設けられているすべてのプローブカードに適用することができる。これにより、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００４０】
上記実施形態では、スプリング１９を設けたが、スプリング１９を設けない場合もある。具体的には、支柱１８が常時縦方向に配置されて、取っ手部１７が常時待機位置に位置する状態になるような使用態様の場合は、スプリング１９を設けなくてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００４１】
なお、本考案の態様は、上述した実施形態及び各変形例に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形も含むものである。本考案の効果も上述した内容に限定されない。すなわち、実用新案登録請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本考案の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除等が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１１：プローブカード、１２：プローブ、１３：基板、１３Ａ：ネジ穴、１４：スティフナー、１５：ハンドリング機構、１６：指、１７：取っ手部、１８：支柱、１９：スプリング、２１：把持部、２２：支持用フランジ部、２２Ａ：スライド穴、２５：ネジ棒部、２６：案内棒部、２７：頭部、３０：収納凹部、３１：電子デバイス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003178542.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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