(57)【要約】【課題】多種類の流体を混合して混合流体を調製するミキシングバルブにおいて、装置本体の小型化とともに、流体が流通する内部の流路の短縮を可能とし流体の清浄度維持を可能とするミキシングバルブを提供する。【解決手段】流体が流入する流体流入部１４ａに接続された流入室１５ａと、流体と他の流体が混合される混合流路部１２と、流入室と混合流路部とを接続し流体を混合流路部へ流通させる接続路１６ａと、接続路の流入室側の接続開口部に形成された弁座部１８ａと、流入室に接続された収容部１７ａがフッ素樹脂からなるベースブロック１１に形成され、進退駆動により弁座部に対し当接して流体の混合流路部への流入及び流入停止を行う、ダイヤフラム部２１ａを備える弁体部２０ａが収容部内に収容されており、収容部の収容開口部３７ａを螺合により封止する封止ブロック２５ａが備えられる。【選択図】図４
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
流体が流入する流体流入部に接続された流入室と、
前記流体と他の流体が混合される混合流路部と、
前記流入室と前記混合流路部とを接続し前記流体を前記混合流路部へ流通させる接続路と、
前記接続路の前記流入室側の接続開口部に形成された弁座部と、
前記流入室に接続された収容部がフッ素樹脂からなるベースブロックに形成され、
進退駆動により前記弁座部に対し当接して前記流体の前記混合流路部への流入及び流入停止を行う、ダイヤフラム部を備える弁体部が前記収容部内に収容されており、
前記収容部の収容開口部を螺合により封止する封止ブロックが備えられる
ことを特徴とするミキシングバルブ。
【請求項２】
前記弁体部の進退駆動が加圧気体の流出入により行われる請求項１に記載のミキシングバルブ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はミキシングバルブに関し、特に、複数種類の流体を混合と同時に供給する部位に用いられるミキシングバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体の製造等におけるシリコンウエハの洗浄やエッチング処理用の薬液等の流体には極めて高い清浄度が求められる。また、枚葉式の洗浄が主流である。これは、シリコンウエハを１枚ずつ洗浄することにより、他の洗浄物からの汚染等を受けることなく高い洗浄効果を得ることができるためである。この方式の場合、洗浄等の対象となるシリコンウエハに対して、各作業段階に対応した純水や薬液は逐次調製され供給される。そうすると、逐次の純水や薬液の調製に際し、清浄度の点から貯留部から使用部までの間隔は短いほど好ましい。
【０００３】
そこで、複数種類の流体を混合して、混合流体を供給するミキシングバルブが提案されている（特許文献１等参照）。例えば、特許文献１の図５等に開示のミキシングバルブについて、図６の概略模式図を用いその構造を説明する。このミキシングバルブは、混合流体の使用部の直前において複数の流体から混合流体を調製し、そのまま混合流体は供給される。
【０００４】
図６のミキシングバルブ１００では、平面視多角形状（図示は六角形）のベースブロック１０１の各辺部分に凹部が形成される。この凹部が弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６である。図示では、ベースブロック１０１を横断面として切り欠いて表示している。ベースブロック１０１の中心に混合流路部１０２が形成され、各弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６と混合流路部１０２は接続路１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８により接続される。各弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６には、個々の接続路１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８への流体の流入及び流入の停止を行う弁体部１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６が備えられる。図示では全ての弁体部１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６は着座状態であり、弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１から接続路１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８への流入は停止されている。符号１３１，１３２，１３３，１３４，１３５，１３６は、流体が個々の弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６内に流入する流入部であり、各弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６の直上位置に形成される。
【０００５】
各弁体部１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６を進退駆動させる弁機構部は、それぞれ１個ずつ収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６内に収容される。ベースブロック１０１は、耐食性や耐薬品性等を考慮してＰＴＦＥ等のフッ素樹脂から形成される。しかしながら、フッ素樹脂は、他の樹脂素材と比較して高い粘弾性を備えることから、クリープ現象と称される変形が生じやすい。そのため、ボルトを用いて収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６を直接ベースブロック１０１に固定することができない。ベースブロック１０１側に螺子溝を形成しても破損してしまうためである。そこで、収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６とベースブロック１０１の固定に際し、ベースブロック１０１内に縦穴部Ｈが形成され、この縦穴部Ｈ内にナット部材Ｎが挿入される。そして、収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６内を貫通する固定ボルトＢはナット部材Ｎと緊締され、収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６は固定される。
【０００６】
当該ミキシングバルブ１００の形態から理解されるように、流入する流体の種類を多くするべく収容ブロック、弁体部、及び弁室の数が増えるほど、ベースブロック１０１から収容ブロック１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６は大きく張り出した構造となる。また、ミキシングバルブ１００において、弁室１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６は中心から離れた位置に形成されるため、接続路１０３，１０４，１０５，１０６，１０７，１０８も長くなる。それゆえ、ミキシングバルブ１００の体積は大きくなることから小型化は容易ではなかった。
【０００７】
一連の経緯から、多種類の流体を混合して混合流体を調製するミキシングバルブにおいて、いっそうの小型化とともに、流路長も短くして流体の清浄度維持を可能とするミキシングバルブが求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−２８１４７６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
本考案は、前記の点に鑑みなされたものであり、多種類の流体を混合して混合流体を調製するミキシングバルブにおいて、装置本体の小型化とともに、流体が流通する内部の流路の短縮を可能とし流体の清浄度維持を可能とするミキシングバルブを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、請求項１の考案は、流体が流入する流体流入部に接続された流入室と、前記流体と他の流体が混合される混合流路部と、前記流入室と前記混合流路部とを接続し前記流体を前記混合流路部へ流通させる接続路と、前記接続路の前記流入室側の接続開口部に形成された弁座部と、前記流入室に接続された収容部がフッ素樹脂からなるベースブロックに形成され、進退駆動により前記弁座部に対し当接して前記流体の前記混合流路部への流入及び流入停止を行う、ダイヤフラム部を備える弁体部が前記収容部内に収容されており、前記収容部の収容開口部を螺合により封止する封止ブロックが備えられることを特徴とするミキシングバルブに係る。
【００１１】
請求項２の考案は、前記弁体部の進退駆動が加圧気体の流出入により行われる請求項１に記載のミキシングバルブに係る。
【考案の効果】
【００１２】
請求項１の考案に係るミキシングバルブによると、流体が流入する流体流入部に接続された流入室と、前記流体と他の流体が混合される混合流路部と、前記流入室と前記混合流路部とを接続し前記流体を前記混合流路部へ流通させる接続路と、前記接続路の前記流入室側の接続開口部に形成された弁座部と、前記流入室に接続された収容部がフッ素樹脂からなるベースブロックに形成され、進退駆動により前記弁座部に対し当接して前記流体の前記混合流路部への流入及び流入停止を行う、ダイヤフラム部を備える弁体部が前記収容部内に収容されており、前記収容部の収容開口部を螺合により封止する封止ブロックが備えられるため、装置本体の小型化とともに、流体が流通する内部の流路の短縮を可能とし流体の清浄度維持を実現することができる。また、耐食性、耐薬品性に優れる。
【００１３】
請求項２の考案に係るミキシングバルブによると、請求項１の考案において、前記弁体部の進退駆動が加圧気体の流出入により行われるため、機構を複雑にすることなく素早い応答が実現される。また、流体に腐食性の流体を使用する場合に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本考案のミキシングバルブの全体横断面図である。
【図２】弁機構部の一つの第１縦断面図である。
【図３】弁機構部の一つの第２縦断面図である。
【図４】ミキシングバルブの全体縦断面図である。
【図５】本考案のミキシングバルブを組み入れた基板処理装置の概略図である。
【図６】従来のミキシングバルブの概略横断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
本考案の実施形態のひとつとして図示するミキシングバルブ１０は主に半導体製造工場や半導体製造装置等の流体管路の最終末端部分に接続される。ミキシングバルブ１０は複数種類の流体の混合及び混合停止が行われる部位に用いられ、混合後の流体はそのまま使用部に対して供給される。図１の全体横断面図、加えて図２及び図３の部分縦断面図を用い、ミキシングバルブ１０の構造について説明する。当該ミキシングバルブ１０は、平面視において六角形の板状物であり、最大６種類の流体（被混合流体）の混合に対応可能である。そこで、各辺部分に流体の流通を制御する弁機構部Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄ，Ｖｅ，Ｖｆが設置される。各弁機構部はいずれも同一構造であるため、「ａ」、「ｂ」、「ｃ」、「ｄ」、「ｅ」、「ｆ」の符号を付して相互に区別する。以降、弁機構部Ｖａを代表として、その構造を説明する。弁機構部Ｖｂ以降の構造も同様である。
【００１６】
ミキシングバルブ１０の本体となるベースブロック１１には、流体流入のための流体流入部１４ａが備えられる。流体流入部１４ａは流入室１５ａと接続される。ミキシングバルブ１０の中心に混合流路部１２が形成される（図１、図４参照）。混合流路部１２において、流体（被混合流体）と他の流体（他の被混合流体）が混合される。流入室１５ａと混合流路部１２は接続路１６ａにより接続される。そこで、流体流入部１４ａからミキシングバルブ１０（ベースブロック１１）内に流入した流体は、流入室１５ａ、接続路１６ａを経由して混合流路部１２に到達する。そして、混合された流体は混合流路部１２からミキシングバルブ１０（ベースブロック１１）の外部に流出する。
【００１７】
ミキシングバルブ１０に供給される流体は、超純水、フッ酸、過酸化水素水、アンモニア水、塩酸、界面活性剤、その他各種の薬品である。これらの種類の流体に限られること無く、流体は必要に応じて選択される。
【００１８】
さらに図２からも理解されるように、接続路１６ａの流入室１５ａ側の接続開口部１３ａに弁座部１８ａは形成される。流入室１５ａに収容部１７ａは接続されている。ベースブロック１１は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、パーフルオロアルコキシアルカン等）等のフッ素樹脂から形成される。これらのフッ素樹脂は耐食性、耐薬品性に優れている。ＰＴＦＥ製の場合、ベースブロック１１は切削により所望の形状に加工される。ＰＦＡ製の場合、ベースブロック１１は切削加工に加えて溶融加工、成形も可能である。そこで、ベースブロック１１の各辺部分から中心に向けて、収容部１７ａ、流入室１５ａ、接続路１６ａの順に形成される。本実施形態において、ベースブロック１１においては切削により形成される。
【００１９】
流入室１５ａ内に弁体部２０ａは配置される。弁体部２０ａの弁部２３ａは弁座部１８ａに対して当接（着座）する。そこで、接続路１６ａは弁部２３ａにより塞がれ、流体の混合流路部１２への流入及び流入停止は行われる。さらに、弁体部２０ａを進退駆動（前進駆動及び後退駆動）させる駆動部３０ａが収容部１７ａ内に収容され、弁体部２０ａと接続されている。弁体部２０ａは、弁部２３ａ、ダイヤフラム部２１ａ（可動膜部）及びフランジ部２２ａ（固定縁部）から形成される。実施形態の弁体部２０ａも、耐食性を考慮してベースブロック１１と同様にＰＴＦＥ等のフッ素樹脂から形成される。ダイヤフラム部２１ａが流体の流体圧力を受けることにより、弁体部２０ａ（弁部２３ａ）の進退位置は適時変化可能となる。特に、ダイヤフラム部２１ａは正確な流体の圧力及び流量の制御に有効に作用する。
【００２０】
弁体部２０ａ及び駆動部３０ａの収容部１７ａ内への保持と固定に際し、封止ブロック２５ａが用いられる。さらに詳しく見ると、弁体部２０ａの弁部２３ａが流入室１５ａ内の所定位置に配置され、同時に流入室１５ａはダイヤフラム部２１ａ及びフランジ部２２ａにより塞がれる。そして、フランジ部２２ａは収容部１７ａの最奥部分の段部２８ａに設置される。次に、固定ブロック２４ａが収容部１７ａ内に挿入され、弁体部２０ａのフランジ部２２ａはベースブロック１１側の段部２８ａと固定ブロック２４ａにより挟持される。ベースブロック１１と固定ブロック２４ａには呼吸路１９ａが形成され、ダイヤフラム部２１ａの背面側（接液していない側）の空気の流通が確保される。
【００２１】
さらに、固定ブロック２４ａをベースブロック１１の中心側（混合流路部１２側）へ押し込むための固定筒部２６ａも装着される。図示では、固定筒部２６ａはベースブロック１１の段部２９ａ及び固定ブロック２４ａの段部３９ａに当接し、固定ブロック２４ａは固定される。その上で、固定筒部２６ａはベースブロック１１の中心側（混合流路部１２側）へ押し込まれ、かつ収容開口部３７ａの封止のため、封止ブロック２５ａが装着される。
【００２２】
収容部１７ａの収容開口部３７ａには雌ねじが形成され、封止ブロック２５ａには雄ねじが形成されている。そして螺合により封止ブロック２５ａは収容開口部３７ａに固定される。ベースブロック１１がＰＴＦＥ等の場合、クリープ現象により変形が生じさやすい材質である。しかしながら、収容部１７ａの収容開口部３７ａは十分な大きさであるため、収容開口部３７ａに封止ブロック２５ａを螺着すると、相互に緊締し固定は完了する。図中、符号Ｓａは収容開口部３７ａと封止ブロック２５ａの螺合部である。
【００２３】
次に駆動部３０ａの詳細も説明する。駆動部３０ａは軸部３１ａとピストン頭部３２ａから形成され、駆動部３０ａの軸部３１ａと弁体部２０ａの弁部２３ａは先端部３３ａを介して接続固定される。この例では、先端部３３ａに螺子溝が刻設されており、弁部２３ａと螺着する。駆動部３０ａの軸部３１ａは固定ブロック２４ａ内に挿通され進退は自在である。
【００２４】
封止ブロック２５ａには保持凹部３６ａが形成され、駆動部３０ａのピストン頭部３２ａと封止ブロック２５ａ（保持凹部３６ａ）の間に付勢ばね５５ａが装着される。そこで、ピストン頭部３２ａのばね受け面３４ａは、常時付勢ばね５５ａのばね弾性の付勢力を受ける。そして、ピストン頭部３２ａ及び軸部３１ａを通じて弁体部２０ａの弁部２３ａは弁座部１８ａに対して当接（着座）する。
【００２５】
ここで、図２の弁体部２０ａの弁部２３ａが弁座部１８ａから離れた状態（離座状態）とするためには、加圧気体（作動気体）が第１エアポート５１ａを通じて収容部１７ａ内のピストン空間３５ａ内に流入する。この加圧気体の圧力が付勢ばね５５ａの付勢力に抗することにより、ピストン頭部３２ａはベースブロック１１の中心側から離れるように動作する。従って、駆動部３０ａを駆動する駆動手段５０ａには付勢ばね５５ａと加圧気体が含められる。流体流入部１４ａからミキシングバルブ１０（ベースブロック１１）内に流入した流体は、流入室１５ａ、接続路１６ａを経由して混合流路部１２に到達する。そこで、当該弁機構部Ｖａ以外の弁機構部を流入した流体と混合流路部１２にて衝突し、混合流体が生成され、ミキシングバルブ１０から放出される。
【００２６】
逆に、図３の断面図に示すように、弁体部２０ａの弁部２３ａが弁座部１８ａに当接する状態（着座状態）とするためには、第１エアポート５１ａを通じての加圧気体の供給は停止される。あるいは、第２エアポート５２ａを通じて加圧気体は収容部１７ａ（保持凹部３６ａ）内に供給される。このとき、付勢ばね５５ａの付勢力により、ピストン頭部３２ａはベースブロック１１の中心側に向けて前進し、弁体部２０ａの弁部２３ａは弁座部１８ａに当接する。こうすると、流体流入部１４ａからミキシングバルブ１０（ベースブロック１１）内に流入した流体は流入室１５ａ内に留まり、流体の接続路１６ａ側への流出は止められる。むろん、図２の状態に復帰して流体の流通を再開する場合には、図２の説明と同様に第１エアポート５１ａを通じ加圧気体が供給される。
【００２７】
固定筒部２６ａには適宜の穴部分が形成されており、加圧気体は自由にピストン空間３５ａ内に流出入することができる。また、気密性確保のため、必要箇所にパッキンｐが装着される。これらのパッキンはウレタンゴム、ＮＢＲ、ＨＮＢＲ、シリコーンゴム、フッ素樹脂ゴム等の公知の耐久性素材から形成されるＯリング等である。これまでの説明から明らかなように、弁機構部Ｖａは開示のベースブロック１１の収容部１７ａ内に装着されて弁体部２０ａの進退動作を行う駆動部３０ａと、各部材を固定する封止ブロック２５ａ等の部材である。
【００２８】
図示実施形態において、弁体部２０ａの進退駆動（弁部２３ａの着座及び離座）は、加圧気体の流出入により行われるため、遠隔にて操作可能となる。加圧気体の流出入に際し、所定圧力以上の加圧気体はエアレギュレータから供給され、加圧気体の供給及び供給停止は電磁弁等の機器を通じて行われる。そのため、機構を複雑にすることなく、素早い応答を実現することができる。加えて、ベースブロック１１内に金属製部品等は使用されない。このため、被混合流体に腐食性の流体を使用する場合に好適である。
【００２９】
図４はミキシングバルブ１０の全体縦断面図である。同図を用い流体（被混合流体）の流通とその切り替えの様子について、流体流入部１４ａから弁機構部Ｖａに流入する流体と、流体流入部１４ｄから弁機構部Ｖｄに流入する流体に着目して説明する。流体は流体流入部１４ａからミキシングバルブ１０内の流入室１５ａに流入する。しかし、弁体部２０ａの弁部２３ａが弁座部１８ａに当接（着座）しているため、流体は流入室１５ａ内に留められる。つまり、流体流入部１４ａから流入した流体の混合流路部１２への供給は停止される。
【００３０】
これに対し、弁機構部Ｖｄ側では、弁体部２０ｄの弁部２３ｄは弁座部１８ｄから離れていている（離座状態）。従って、流体流入部１４ｄから流入室１５ｄに流入した流体は、そのまま流入室１５ｄ及び接続路１６ａを経由して混合流路部１２に到達し、ここよりミキシングバルブ１０の外に流出される。この状態では、１種類の流体のみの供給となる。次に、弁機構部Ｖａ側において、前述の図２のとおり、加圧気体の流出入により駆動部３０ａが進退駆動され、図４の弁機構部Ｖｄ側と同様に弁体部２０ａの弁部２３ａが弁座部１８ａから離れる場合、流体流入部１４ａから流入室１５ａに流入した流体も、そのまま流入室１５ａ及び接続路１６ａを経由して混合流路部１２に到達する（図示省略）。そうすると、混合流路部１２において両流体は衝突して混合され、混合流体としてミキシングバルブ１０の混合流路部１２のノズル１２ｎから流出する。
【００３１】
駆動部３０ａを通じての弁体部２０ａの進退駆動、駆動部３０ｄを通じての弁体部２０ｄの進退駆動に際し、接続路１６ａ、１６ｄや混合流路部１２からの流体の漏洩を防ぐため、適宜のサックバック機能も弁体部２０ａ、２０ｄ等に備えられる。
【００３２】
図１ないし図４から理解されるように、流体（被混合流体）の種類は２種類以上（図示では６種類）である。そこで、流体流入部、流入室、接続路、接続開口部、弁座部、弁体部、駆動部、及び封止ブロックは、いずれも流体の種類数と同数個備えられている。このように、混合流路部以外の部材は完全に独立しているため、供給停止状態の流体の不用意な混合は回避される。従って、混合流体及び混合しない状態の流体のいずれの清浄度も確保され、製品品質に大きく貢献する。加えて、本考案のミキシングバルブは、ベースブロック内にいずれの弁機構部も収容される構造であるため、全体に小型化可能であり、流入室と混合流路部を接続する接続路の長さも短く形成される。それゆえ、流体のベースブロック内の流通途中の清浄度低下も抑制される。
【００３３】
続いて、ミキシングバルブ１０の具体的な使用例を説明する。図５の概略図はシリコンウエハＷを１枚ずつ処理する枚葉方式の基板処理装置の例である。シリコンウエハＷはスピンチャック１の回転盤に載置される。シリコンウエハＷの直上に、ミキシングバルブ１０が配置される。ミキシングバルブ１０では流入する流体の混合と同時にノズル１２ｎからシリコンウエハＷに対して混合流体（１種類の流体も含まれる。）が供給される。流体は、種類毎に供給部９Ａ，９Ｂ，９Ｃに貯蔵され、それぞれの供給部に対応した流体配管３Ａ，３Ｂ，３Ｃを通じてミキシングバルブ１０に供給される。ミキシングバルブ１０は最大６種類の流体供給に対応できる。図示では３種類のみの配管等の開示としている。
【００３４】
各流体配管３Ａ，３Ｂ，３Ｃには、流量制御弁４と流体の流量検知部６が管路接続される。流量制御弁４は下流側流体の流量、流体圧力を一定化し、流体供給を安定化する定流量弁である。流量検知部６は公地の流量センサ、温度センサ、濃度センサであり、流通する流体はモニタリングされる。
【００３５】
流体はミキシングバルブ１０において必要により均一に混合されて混合流体となる。そして混合流体はノズル１２ｎからシリコンウエハＷに対し吐出される。なお、洗浄の場合には、温水や冷水のみが単独でシリコンウエハＷに対し吐出される。図示の場合、流体の供給及び供給停止、ミキシングバルブ１０における流体混合は、演算制御装置５により制御される。演算制御装置５には、演算部７と制御部８が備えられる。
【００３６】
演算部７はマイクロコンピュータやＰＬＣ（プログラマブル・ロジック・コントローラ）等の公知の演算装置である。外部からの指示、または流量検知部６により検出した被制御流体の流量計測値の変化に応じて流量制御弁４の流量制御のための信号を生成する。制御部８は、各流量制御弁４内の弁体の駆動部に必要な所定圧力に調整された加圧気体を供給する電空変換器である。流量制御弁４の駆動部がステッピングモータ、サーボモータ等の場合には、その駆動に必要なパルス発信器、コントローラ、ドライバ等である。流量制御弁４及び流量検知部６は、演算制御装置５（演算部７及び制御部８）は信号線ｓｇにより接続されている。信号線ｓｇには、電気信号の配線と加圧気体の供給配管も含まれる。図示の例では、ミキシングバルブ１０に対しては、加圧気体の供給配管が信号線ｓｇとして演算制御装置５との間で接続されている。
【００３７】
本考案のミキシングバルブの使用分野は、既述の半導体製造分野に留まらない。例えば、化学工業や医薬品製造における流体混合機器、薬剤を混合する生体医療機器、燃料供給制御機器等の分野にも活用される。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本考案のミキシングバルブは、弁体部の駆動に関連する部材を一括してベースブロック内に収容し、しかも安定して固定することができる。このため、装置全体の小型化が容易になるとともに、内部流路も短縮され流体の清浄度維持に都合よい。そこで、流体の種類が増加した複雑な混合において、流体の無駄の低減や混合流体の品質の安定化に貢献し得る。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ミキシングバルブ
１１  ベースブロック
１２  混合流路部
１３ａ  接続開口部
１４ａ  流体流入部
１５ａ  流入室
１６ａ  接続路
１７ａ  収容部
１８ａ  弁座部
２０ａ  弁体部
２１ａ  ダイヤフラム部
２２ａ  フランジ部
２３ａ  弁部
２４ａ  固定ブロック
２５ａ  封止ブロック
２６ａ  固定筒部
３０ａ  駆動部
３１ａ  軸部
３２ａ  ピストン頭部
３５ａ  ピストン空間
３７ａ  収容開口部
５０ａ  駆動手段
５１ａ  第１エアポート
５２ａ  第２エアポート
５５ａ  付勢ばね
Ｓａ  螺子溝部
Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄ，Ｖｅ，Ｖｆ  弁機構部
ｐ  パッキン
１  スピンチャック
３Ａ，３Ｂ，３Ｃ  流体配管
４  流量制御弁
５  制御装置
６  流量検知部
７  演算部
８  制御部
９Ａ，９Ｂ，９Ｃ  供給部
Ｗ  シリコンウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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