(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体ウェハカセット内のウェハ片を保護するウェハカセット搬送装置を提供する。【解決手段】立桿１１１及び横桿１１２を縦横に組み立てた装置フレーム１０の前後の横桿の間に左右平行に一対の横向移動機構２０を固定し、移動機構の間に該横向移動機構に沿って前後方向に移行可能に縱向移動機構を配置し、該縱向移動機構上端にウエハカセットを支持して移送する一対の差込腕３３２を備えた差込腕部品３３を昇降可能に設ける。該差込腕部品に支持されたウエハカセットは、装置フレーム左右に設けられた支持機構４０上の設置ラック４１に載置されて、装置フレーム底端のローラー１２により移送れる。設置ラックは防振機構５０を介して桿体上に設置されるためウエハカセットに対する移送中の振動が吸収される。【選択図】図１
0003177055.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ウェハカセット搬送装置において、
方形の枠組みを構成する桿体及び移送用の複数のローラーを具えた装置フレームと、
該フレーム内に支持されて前後水平にスライド移動可能な横向移動機構と
該横向移動機構に支持されて垂直方向にスライド可能な縱向移動機構と
上記縱向移動機構により昇降操作され、上記横向移動機構により前後水平移動して移送されたウエハカセットを載置する設置ラックを備えた支持機構とを具え、
該設置ラックに対してその荷重を受ける防振機構を設けたことを特徴とするウェハカセット搬送装置。
【請求項２】
前記ウェハカセット搬送装置は、更に該搬送装置を定位する定位機構を該桿体に具え、
該定位機構は差込台、ペダル操作器、挟持ブロック及び連桿を有し、
該差込台は該桿体の前側に固定し、該挟持ブロックは該差込台の内部に納置して、該ペダル操作器を該連桿で挟持ブロックと連結して、該ペダル操作器の操作により挟持ブロックを操作可能としたことを特徴とする請求項１記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項３】
前記方形の枠組みを構成する桿体は、複数の立桿、複数の横桿及び複数の斜桿からなり、
各該立桿は間隔を設けて四隅角端位置に配置し、各該横桿は隣接する二つの立桿の間を連結し、各該斜桿は対角をなす各該立桿の間に交差して連結することを特徴とする請求項１記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項４】
前記各該ローラーは、各該斜桿の隣接する各立桿の端部位置にそれぞれ設けたことを特徴とする請求項３記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項５】
前記桿体は、更に複数組のグリップを設け、各一組のグリップは各該立桿にそれぞれ固定して該桿体の異なる側辺上にそれぞれ位置することを特徴とする請求項４記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項６】
前記横向移動機構は、該桿体に固定された一対の第一案内レール及び第一案内レールに対してスライド嵌合する一対の第一案内台を具えることを特徴とする請求項１記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項７】
前記横向移動機構は、更に一対の直立板及び一移動台を具え、各該直立板はそれぞれ該桿体に架設し且つ各該第一案内レールを設置し、該移動台は各該第一案内台と相互に連結し、該移動台を該桿体上で水平方向に移動することを特徴とする請求項６記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項８】
前記縱向移動機構は、一対の第二案内レール及び該第二案内レールをスライド嵌合する第二案内台を有することを特徴とする請求項７記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項９】
前記縱向移動機構は、更に差込腕部品を具え、各第二案内レールは該移動台にそれぞれ固定されて、該差込腕部品は該第二案内台に固定されて垂直方向に移動することを特徴とする請求項８記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項１０】
前記差込腕部品は、連接桿及び該連接桿端部に固定する一対の差込腕を具え、該連接桿は該第二案内台に固定して設置することを特徴とする請求項９記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項１１】
前記ウェハカセット搬送装置は、更に昇降緩衝機構を具え、
該昇降緩衝機構は、回転桿、凸輪及び追動部品からなり、
該回転桿は、該横向移動機構に回動可能に枢設され、該凸輪は該回転桿に連結されて共にその回動操作に伴って回動可能とすると共に該凸輪には弧形スリットを設け、該追動部品の一端を該第二案内台に固定すると共に他端に凸柱を設けて該凸柱を該弧形スリット内に嵌入して凸輪の回動に伴って該弧形スリットに沿って移動させることにより、追動部品及び該追動部品に連結された第二案内台を昇降せしめるようにしたことを特徴とする請求項８記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項１２】
前記昇降緩衝機構は、更に空気圧シリンダー及びコントローラーを具え、
該空気圧シリンダーの一端を上記移動台の上端に固定すると共に他端を該第二案内台に連結し、該コントローラーを前記回転桿に配置してその操作によって該空気圧シリンダーを伸縮作動させることにより上記第二案内台を昇降せしめるようにしたことを特徴とする請求項１１記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項１３】
前記ウェハカセット搬送装置は、更に、前記移動台にロック機構を具え、
該ロック機構は、引金、ワイヤ及びストッパーを有し、
該引金は前記回転桿に配置されて該ワイヤにより該ストッパーに連結され、該ストッパーは前記第一案内レールに相対して配置されて、引金の操作により該移動台を停止させるようにしたことを特徴とする請求項１１記載のウェハカセット搬送装置。
【請求項１４】
前記防振機構は、支持板及び複数の減震器を具え、支持板は該桿体と該横向移動機構の間に接続し、各該減震器は該支持板上に固定されると共にその上に配置される設置ラックに相対して連結されて、設置ラックに対する振動を吸収することを特徴とする請求項１記載のウェハカセット搬送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、搬送装置に関するもので、特にウェハカセット搬送装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
公知のウェハ工場で製造する時、通常ウェハカセットにウェハ片を置き、運搬車で保存ケースとウェハカセット設置機間で運ぶ。但し、ウェハ片のサイズは益々大きくなるため、人の力だけで運ぶのは、作業員の障害になりやすく、且つ搬送過程中にウェハ片の破損等の問題が発生しやすい。
【０００３】
公知のウェハカセット搬送装置は、装置主体、水平運動ユニット、垂直運動ユニット、支持ユニット及びロック機構から構成される。装置主体は、複数個の支持フレームを組み立てて立体構造を形成し、装置主体の中段には水平フレームを形成し、下方には複数個の車輪を設置する。  水平運動ユニットは、水平フレーム上に設置される水平レール、水平レール上に設置して前後に滑動する水平滑動ブロック、及び水平ブロック上に設置する第一回転軸を具える。第一回転軸には水平操作桿を固定する。垂直運動ユニットは、水平滑動ブロック上に設置した垂直レール、垂直レール上に設置した垂直滑動ブロック、及び水平滑動ブロック上に設置する第二回転軸ユニットを具える。第二回転軸上には垂直操作桿及び一凸輪を固定する。支持ユニット上端は支持腕が二本水平に伸び、下端は支持フレームで垂直滑動ブロック上に固定し、凸輪の押さえによって上下移動する。ロック機構は第一回転軸と第二回転軸を相互に固定するのに用いる。（例として特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】台湾  実用新案登録公告  第４９１９１０号
【特許文献２】特開平０６−９７２６２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、公知のウェハカセット搬送装置が搬送過程に於いて、往々にして搬送路面が平坦でないことからウェハ片が振動に依って破損してしまう点であり、これらは改善しなければならない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、装置フレーム、横向移動機構、縱向移動機構、支持機構及び防振機構を具え、装置フレームは桿体及び複数のローラーを有する。横向移動機構は移動式で桿体をスライド嵌合する。縱向移動機構は移動式で横向移動機構をスライド嵌合し、縱向移動機構の移動方向は横向移動機構の移動方向と垂直を形成する。支持機構は該ウェハカセットを置く設置ラックを具える。設置ラックは防振機構を介して桿体上に設置し、各設置ラックと該ウェハカセットの荷重を吸収するのに用いることを最も主要な特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案のウェハカセット搬送装置は、ウェハカセット内のウェハ片を搬送過程に於いて良好に保護するのに役立ち、ウェハ片の破損率を下げるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本考案のウェハカセット搬送装置組立指示図である。
【図２】図１の別角度からの指示図である。
【図３】本考案をウェハカセット搬送に応用した組立指示図である。
【図４】本考案をウェハカセット搬送に応用した使用状態図一である。
【図５】図４の局部部品拡大指示図である。
【図６】本考案をウェハカセット搬送に応用した使用状態図二である。
【図７】図６の局部部品の拡大指示図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
防振機構を設置することによって、ウェハカセット内のウェハ片が搬送過程に於いて良好に保護され、ウェハ片の破損率を下げるウェハカセット搬送装置を提供することを本考案の主な目的とする。
【００１０】
上述の目的を達成するため、本考案はウェハカセット搬送装置を提供し、それは装置フレーム、横向移動機構、縱向移動機構、支持機構及び防振機構から構成される。該装置フレームは桿体及び該桿体に連接する複数のローラーを具える。該横向移動機構は、移動式で該桿体をスライド嵌合する。該縱向移動機構は移動式で該横向移動機構をスライド嵌合する。該縱向移動機構の移動方向は該横向移動機構の移動方向と相互に垂直を形成する。該支持機構はウェハカセットを置くための設置ラックを具える。該設置ラックは該防振機構を介して該桿体上に設置し、該設置ラックの荷重を吸収するのに用いる。
【００１１】
本考案は、定位機構を桿体前側に設置することに依って、保存ケースと連接した時の固定安定度を高める。昇降緩衝機構の設置によって、手動もしくは/及び空気作動両段式コントロールモジュールでウェハカセットに対して搬送を行う。
【実施例】
【００１２】
本考案の詳細説明と技術内容を図面を参照して説明する。しかしながら、図式は説明のための参考にすぎず、本考案を制限するものではない。
【００１３】
図１から図２に示すとおり、本考案は、そのウェハカセット搬送装置１は、装置フレーム１０、横向移動機構２０、縱向移動機構３０、支持機構４０及び防振機構５０から構成されるウェハカセット搬送装置である。
【００１４】
装置フレーム１０は桿体１１を具え、その桿体１１は四本の立桿１１１、五本の横桿１１２及び二本の斜桿１１３から構成されて組み立てる。各立桿１１１は間隔を設けて四隅角端位置に配置し、各横桿１１２はそれぞれ二つの隣接する立桿１１１の間に横向きに連結する。各斜桿１１３は、対角に位置する立桿１１１底端を交差して連結する。斜桿１１３に隣接する位置の各立桿１１１の端部にはそれぞれローラー１２を取り付ける。他に各立桿１１１の最上端には複数組のグリップ１３をそれぞれ隣接する桿体１１を連結して設置し、三方向からその桿体１１に対して押して移動するためのグリップを構成する。
【００１５】
横向移動機構２０は、一対の直立板２１、上下二対の第一案内レール２２、上下二対の第一案内台２３及び移動台２４から構成され、移動台２４上下に設けられた２対の案内台が上下二対の案内レール２２にスライド可能に嵌合することにより、移動台２４は該レールに沿ってスライド移動可能とされる。
各直立板２１は、各斜桿１１３の上方に位置して、桿体１１の前後側の左右の横桿１１２に固定され、第一案内レール２２がこれらの直立板２１を介してフレームに固定される。
各第一案内台２３は、それぞれ案内溝２３１を備え、案内溝２３１で第一案内レール２２と相互にスライド可能に嵌合する。  
移動台２４は、略矩形体で、各第一案内台２３を固定して上記スライド構造により、移動台２４を桿体１１上方で水平方向へ移動可能とする。
【００１６】
縱向移動機構３０は、前述の横向移動機構２０に対して垂直方向にスライド移動可能であり、一対の第二案内レール３１、第二案内台３２及び差込腕部品３３を具える。各第二案内レール３１は、前述の移動台２４背面に固定され、第二案内台３２には一対のガイド溝３２１を設けてそれぞれ各第二案内レール３１にスライド可能に嵌合される。この第二案内台３２の移動方向と横向移動機構２０の移動台２４移動方向は相互に垂直であって、第二案内台３２は移動台２４上で垂直方向に移動する。差込腕部品３３は、ほぼ水平なＵ字型を形成し、連接桿３３１及び連接桿３３１両端部に固定される一対の差込腕３３２からなり、連接桿３３１が第二案内台３２の前端部で固定されていることにより垂直方向のスライド移動する。
【００１７】
支持機構４０は、一対の設置ラック４１を具えるが、この設置ラック４１は左右一体でもよい。各設置ラック４１は、それぞれ差込腕部品３３の二本の差込腕３３２の内側位置に設置する。各設置ラック４１は防振機構５０を桿体１０上に設置する。防振機構５０は一対の支持板５１及び複数の減震器５２からなり、各支持板５１はそれぞれ桿体１１の横桿１１２と横向移動機構２０の直立板２１の間に架設し、各減震器５２は支持板５１上に固定されてそれぞれの対応する各設置ラック４１に相対して設置され、各設置ラック４１の荷重を吸収する。
【００１８】
この他、本考案のウェハカセット搬送装置１は、更に定位機構６０を具える。この定位機構６０は、装置フレーム１０上に設置され、差込台６１、ペダル操作器６２、挟持ブロック６３及び連桿６４からなる。差込台６１は、桿体１１の前側下方の横桿１１２に固定し、ペダル操作器６２は復位部品(図示せず)を備えて足で踏んだ後に自動的に復元するように斜桿１１３の上方位置に設置し、挟持ブロック６３は差込台６１の内部に納置して、連桿６４によりペダル操作器６２と連結する。足でペダル操作器６２を踏むと連桿６４及び挟持ブロック６３と共に下方向へ移動し、それによって差込台６１を対応して接続した保存ケース(図示せず)から出す。
【００１９】
更に、本考案のウェハカセット搬送装置１は、更に昇降緩衝機構７０を具える。
図５に示すとおり、この昇降緩衝機構７０は回転桿７１、凸輪７２、追動部品７３、空気圧シリンダー７４及びコントローラー７５から構成される。
回転桿７１は移動台２４背面に枢設し（図１参照）、凸輪７２は回転桿７１に連結されて共に回転する。この凸輪７２には弧形スリット７２１が成形され、追動部品７３の一端は第二案内台３２の他端に固定して凸柱７３１を連接する。この凸柱７３１は弧形スリット７２１内にスライド可能に嵌入し、空気圧シリンダー７４の一端は移動台２４の他端に固定して第二案内台３２上に連接し、コントローラー７５は回転桿７１に設けてその操作により空気圧シリンダー７４に伸縮動作を行う。
【００２０】
更に、本考案的ウェハカセット搬送装置１は、ロック機構８０を具える。図５に示すとおり、該ロック機構８０引金８１、ワイヤ８２及びストッパー８３を具え、引金８１は回転桿７１に固定し、ワイヤ８２は引金８１とストッパー８３を連結する。ストッパー８３は前述のその内の一つに対応する第一案内レール２２と合わせて設置し、該ストッパー８３は移動台２４を前後移動行程の所定位置で停止させる。
【００２１】
図３に示すように、上述の各機構及び部品を組み合わせた操作によって、ウェハカセット９（図３、４、６の破線参照。）を搬送する。
該ウェハカセット９の内部には多数のウェハ片(図示せず。)が重ねてセットされており、他にウェハカセット９の左右両側には前述の差込腕３３２を設置するための停止条がそれぞれ成形されている。使用時は差込腕３３２をウェハカセット９に差し込み、各設置ラック４１上に置く。
各設置ラック４１は、防振機構５０の各減震器５２を介して桿体１１上の支持板上に支持されるため、装置フレーム１０が移送される過程において、ウェハカセット９内の各ウェハ片に対する振動が抑制され、地面表面の凸凹などによる搬送時の揺れで震動することなく、各ウェハ片が損傷を受けることがない。
【００２２】
図４から図７に示すとおり、ウェハカセット搬送装置１が保存ケースもしくは次の作業場へ送られる時、差込台６１によって直接保存ケースで差し込むのに対応し、その時、挟持ブロック６３は連桿６４とペダル操作器６２の操作によって，安定して保存ケースに挟んで固定する。
【００２３】
本考案の昇降緩衝機構７０は、手動と空気作動両段式のコントロール機能を備え、手動方式のコントロールを選択した時、図５及び図７に示すように、回転桿７１を左側へ（図７）傾けて所定位置に至ると、凸輪７２が同時に移動して、該凸輪７２の弧形スリット７２１に嵌合する追動部品７３の凸柱７３１が凸輪７２の弧形スリット７２１に沿って下方向へ移動する。その時の縱向移動機構３０はちょうど最低点の位置(図７参照)にある。反対に、回転桿７１を右側へ傾けて所定位置に至ると、凸輪７２が共に移動して追動部品７３の凸柱７３１は凸輪７２の弧形スリット７２１に沿って上方向へ移動する。その時の縱向移動機構３０は最高点の位置(図５参照)にある。
この手動コントロールは、差込腕部品３３とウェハカセット９(図示せず。)に対して速やかな操作で昇降作動を行う。
同時に縱向移動機構３０が最高、最低或いはその他任意の位置で空気作動方式によるコントロール操作を行うことができる。コントローラー７５を操作して空気圧シリンダー７４によって縱向移動機構３０を上、下方向に移動させる。この種の空気作動コントロールは滑らかに上昇または下降する作用を備えるため、ウェハカセット９内に納置された各ウェハ片がこれ等の操作に伴う振動などに対して確実且つ適切に保護される。
更に、前記手動及び空気作動のコントロール方式は同時に操作する必要はなく、単独で空気作動方式でコントロールしてもよく、実施方式はこれに制限されない。
【００２４】
前述各項動作が完了後、足でペダル操作器６２を踏み、連桿６４及び挟持ブロック６３を下方向に移動させる。このようにして差込台６１を対応する保存ケース(図示略)内から出し、使用操作の便利性が更に高まる。
【００２５】
上述のとおり、本考案のウェハカセット搬送装置は、初期の使用目的を達成し、公知の欠点を改善し、また極めて新規性及び進歩性を備えている。拠って、実用新案の申請要件に合致する。
【符号の説明】
【００２６】
１        ウェハカセット搬送装置
１０        装置フレーム
１１        桿体
１１１        立桿
１１２        横桿
１１３        斜桿
１２        ローラー
１３        グリップ
２０        横向移動機構
２１        直立板
２２        第一案内レール
２３        第一案内台
２３１        案内溝
２４        移動台
３０        縱向移動機構
３１        第二案内レール
３２        第二案内台
３２１        ガイド溝
３３        差込腕部品
３３１        連接桿
３３２        差込腕
４０        支持機構
４１        設置ラック
５０        防振機構
５１        支持板
５２        減震器
６０        定位機構
６１        差込台
６２        ペダル操作器
６３        挟持ブロック
６４        連桿
７０        昇降緩衝機構
７１        回転桿
７２        凸輪
７２１        弧形スリット
７３        追動部品
７３１        凸柱
７４        空気圧シリンダー
７５        コントローラー
８０        ロック機構
８１        引金
８２        ワイヤ
８３        ストッパー
９        ウェハカセット
【図１】
0003177055.tif 000003
【図２】
0003177055.tif 000004
【図３】
0003177055.tif 000005
【図４】
0003177055.tif 000006
【図５】
0003177055.tif 000007
【図６】
0003177055.tif 000008
【図７】
0003177055.tif 000009