(57)【要約】      （修正有）【課題】基板保存容器の振動量を減らして、基板保存容器内の基板に回転が発生するのを防止し、並びに基板が回転して基板保存容器の内部装置と摩擦して複数の汚染微粒子を発生するのを防止できる基板保存容器の包装構造を提供する。【解決手段】包装ケース１０と少なくとも一つの緩衝パッド１２を包含し、該緩衝パッド１２は該包装ケース１０内に設置され、並びに基板保存容器の設置に供される。そのうち、該緩衝パッド１２の密度は７０ｋｇ／ｍ3より小さい。緩衝パッド１２は包装ケース１０及び基板保存容器を隔離でき、並びに包装ケース１０外部で発生する振動を吸収し、包装ケース１０外部で発生する振動が完全に基板保存容器に伝播するのを防止し、すなわち基板保存容器に伝播する振動量を減らす。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板保存容器の包装構造において、
包装ケースであって、開口と収容空間を具え、該開口と該収容空間は連通する、上記包装ケースと、
少なくとも一つの緩衝パッドであって、該包装ケース内に設置され、並びに該収容空間に位置し、且つ基板保存容器の設置に供され、該緩衝パッドの密度は７０ｋｇ／ｍ3より小さい、上記緩衝パッドと、
を包含することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項２】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、該緩衝パッドの総厚さは該基板保存容器の垂直高さに基づき、該基板保存容器の垂直高さと該緩衝パッドの総厚さの比の値は、１から５０の間とされることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項３】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、該緩衝パッドは第１表面と第２表面を具え、該第１表面は該包装ケースと接触し、該第２表面は該基板保存容器の設置に供されることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項４】
請求項３記載の基板保存容器の包装構造において、該第１表面と該第２表面はそれぞれ平面とされることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項５】
請求項３記載の基板保存容器の包装構造において、該第１表面と該第２表面の少なくとも一方は、パターン化表面とされ、該パターン化表面は、複数の幾何パターンを包含し、並びに波形状、水紋状或いは金字塔状を呈することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項６】
請求項３記載の基板保存容器の包装構造において、該緩衝パッドの該第２表面は、さらに、該基板保存容器を収容するのに供される収容溝を包含することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項７】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、該緩衝パッドの該包装ケースと接触する表面は、パターン化表面とされ、該パターン化表面は、複数の幾何パターンを包含し、並びに波形状、水紋状或いは金字塔状を呈することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項８】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、さらに、少なくとも一つの側方緩衝パッドを包含し、該側方緩衝パッドは該包装ケース内に設置され、並びに該基板保存容器の周縁を被覆することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項９】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、さらに、
第１衝突防止パッドであって、該基板保存容器の該緩衝パッドと接触する表面に取付けられ、並びに該緩衝パッドに設置される、上記第１衝突防止パッドを包含することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１０】
請求項９記載の基板保存容器の包装構造において、該第１衝突防止パッドは第１収容溝を具え、該基板保存容器は該第１収容溝に設置されることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１１】
請求項１０記載の基板保存容器の包装構造において、該第１衝突防止パッドの該第１収容溝にさらに少なくとも一つの第１貫通部が設けられることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１２】
請求項９記載の基板保存容器の包装構造において、さらに、
第２衝突防止パッドであって、該基板保存容器に設置され、並びに該第１衝突防止パッドと対向し、且つ該収容空間内に位置する、上記第２衝突防止パッドを包含したことを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１３】
請求項１２記載の基板保存容器の包装構造において、該第２衝突防止パッドは第２収容溝を具え、該基板保存容器は該第２収容溝に設置されることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１４】
請求項１３記載の基板保存容器の包装構造において、該第２衝突防止パッドの該第２収容溝にさらに少なくとも一つの第２貫通部が設けられることを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１５】
請求項１記載の基板保存容器の包装構造において、さらに、
保護パッドであって、該基板保存容器を被覆し、並びに該収容空間内に位置する上記保護パッドを包含することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【請求項１６】
基板保存容器の包装構造において、
包装ケースであって、開口と収容空間を具え、該開口と該収容空間は連通する、上記包装ケースと、
少なくとも一つの緩衝パッドであって、該包装ケース内に設置され、並びに該収容空間に位置し、且つ基板保存容器の設置に供され、該緩衝パッドは充填空間を具え、該充填空間に流体が充填される、上記緩衝パッドと、
を包含することを特徴とする、基板保存容器の包装構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は一種の包装構造に係り、特に一種の、基板保存容器の包装構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般のウエハー及び集積回路の製造価格は非常に高く、このため、ウエハーを運送する過程及び包装過程中には、いずれも非常に注意する必要がある。通常は、基板保存容器を利用してウエハーを包装し、運送工具を利用して基板保存容器を運送する時は、基板保存容器の外部をさらに包装材（たとえば硬性材料）を利用して包装する。
【０００３】
ただし、運送過程中に、運送工具には振動が発生し、その発生する振動が包装材と運送工具の接触表面から包装材内に基板保存容器に伝わり、基板保存容器内のウエハーを回転させ、回転したウエハーと基板保存容器内部の部品に摩擦を発生させ、複数の汚染微粒子を基板保存容器内に発生し、これにより半導体装置の歩留りを低下させる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の問題を鑑み、本考案は一種の、基板保存容器の包装構造を提供する。それは、基板保存容器の振動量を減らして、基板保存容器内の基板に回転が発生するのを防止し、並びに基板が回転して基板保存容器の内部装置と摩擦して複数の汚染微粒子を発生するのを防止できるものとする。
【０００５】
本考案の目的は、基板保存容器に用いられる保存構造を提供することにあり、それは、少なくとも一つの緩衝パッドを具え、緩衝パッドが包装ケースと基板保存容器を隔離し、包装ケースが直接基板保存容器に接触するのを防止して、包装ケース外部で発生する振動が完全に基板保存容器に伝播されるのを防止し、これにより、基板保存容器に振動が発生して基板保存容器の少なくとも一つの基板に回転が発生するのを防止し、並びに基板が回転することで基板保存容器の内部装置と摩擦して複数の汚染微粒子を発生するのを防止し、これにより、半導体装置の歩留りをアップする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は一種の基板保存容器の包装構造を提供し、それは、包装ケースであって、開口と収容空間を具え、該開口と該収容空間は連通する、上記包装ケースと、少なくとも一つの緩衝パッドであって、該包装ケース内に設置され、並びに該収容空間に位置し、且つ基板保存容器の設置に供され、該緩衝パッドの密度は７０ｋｇ／ｍ3より小さい、上記緩衝パッドと、を包含する。
【０００７】
本考案は一種の基板保存容器の包装構造を提供し、それは、包装ケースであって、開口と収容空間を具え、該開口と該収容空間は連通する、上記包装ケースと、少なくとも一つの緩衝パッドであって、それは該包装ケース内に設置され、並びに該収容空間に位置し、且つ基板保存容器の設置に供され、該緩衝パッドは充填空間を具え、該充填空間は流体の充填に供される、上記緩衝パッドと、を包含する。
【考案の効果】
【０００８】
本考案は一種の包装構造を提供し、それは、基板保存容器の包装に用いられ、包装構造は、包装ケースと包装ケースに設置される少なくとも一つの緩衝パッドを具え、基板保存容器が緩衝パッド上に設置される。本考案は緩衝パッドにより包装ケースと基板保存容器を隔離し、包装構造外部に発生した振動が直接基板保存容器に伝わるのを防止し、こうして基板保存容器内の少なくとも一つの基板に回転が発生するのを防止し、並びに基板が回転して基板保存容器内部の装置と摩擦するのを防止し、これにより、運送過程で基板の回転による汚染微粒子の発生の状況を有効に減少する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の第１実施例の包装構造の表示図である。
【図２】本考案の第１実施例の包装構造の使用状態図である。
【図３】本考案の第２実施例の包装構造の表示図である。
【図４】本考案の第３実施例の包装構造の表示図である。
【図５】本考案の第４実施例の包装構造の表示図である。
【図６】本考案の第５実施例の包装構造の表示図である。
【図７】本考案の第６実施例の包装構造の表示図である。
【図８】本考案の第７実施例の包装構造の表示図である。
【図９】本考案の第８実施例の包装構造の表示図である。
【図１０】本考案の第９実施例の包装構造の表示図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
本考案の技術内容、構造特徴、達成する目的を詳細に説明するため、以下に実施例を挙げ並びに図面を組み合わせて説明する。
【００１１】
周知の基板保存容器は包装ケースに設置され並びに各種運送工具により基板保存容器が設置された包装ケースが運送され、運送途中に、包装ケースに振動が発生し、振動が包装ケース内の基板保存容器に伝わり、並びに基板保存容器内の少なくとも一つの基板を回転させ、基板が回転により基板保存容器の内部装置と摩擦し、これにより複数の汚染微粒子が基板保存容器内に発生する。本考案は基板保存容器の包装構造を提供して、上述の問題を改善する。
【００１２】
図１を参照されたい。それは本考案の第１実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例は一種の包装構造１を提供し、包装構造１は、包装ケース１０及び緩衝パッド１２を包含する。包装ケース１０は収容空間１０１と該収容空間１０１と連通する開口１０２を具える。緩衝パッド１２は該包装ケース１０の底部に設置され、並びに収容空間１０１内に位置する。
【００１３】
緩衝パッド１２は第１表面１２１と該第１表面１２１に背向する第２表面１２２を具えている。該緩衝パッド１２が該包装ケース１０に設置される時、緩衝パッド１２の第１表面１２１は包装ケース１０の底部と接触する。そのうち、該緩衝パッド１２の密度は７０ｋｇ／ｍ3より小さい。
【００１４】
本実施例の開口１０２は包装ケース１０の上部に位置し、上開放式包装ケース１０を形成している。当然、本実施例の開口１０２は包装ケース１０の側辺に開設されて、側開放式包装ケース１０を形成し、並びに収容空間１０１と連通するものとされてもよい。これについては、これ以上説明しない。
【００１５】
図２も併せて参照されたい。それは本考案の第１実施例の包装構造の使用状態図である。図示されるように、本実施例の包装構造１は基板保存容器２を包装する時、基板保存容器２は包装構造１の包装ケース１０の開口１０２より包装ケース１０の収容空間１０１内に置き入れられ、並びに緩衝パッド１２の第２表面１２２上に置かれる。最後に包装ケース１０の開口１０２が密封され、基板保存容器２を収容した包装構造１が運送される。
【００１６】
基板保存容器２は少なくとも一つの基板２１を収容し、本実施例の基板保存容器２は前開放式ウエハポッドであり、その内部には複数のウエハー（上述の基板２１に相当する）が収容され、各基板２１は緩衝パッド１２の第２表面１２２と相互に垂直である。
【００１７】
そのうち、緩衝パッド１２は軟性パッドであり、本実施例の緩衝パッド１２は固体材料で硬性され、緩衝パッド１２の密度は７０ｋｇ／ｍ3より小さく、こうして緩衝パッド１２が基板保存容器２の重量を支持でき、すなわち、緩衝パッド１２は基板保存容器２の重量が重すぎて凹むことがない。
【００１８】
このほか、基板保存容器２を収容した包装構造１を運送する過程中に、運送工具に高周波の振動が発生し、振動は包装構造１の運送工具と接触する表面（主には包装構造１の底部）を介して包装構造１の内部に伝導される。
【００１９】
しかし、緩衝パッド１２が基板保存容器２と包装ケース１０を隔離し、基板保存容器２が直接包装ケース１０と接触しないため、包装構造１外部で発生した振動は直接基板保存容器２に伝わらない。
【００２０】
緩衝パッド１２と包装ケース１０及び基板保存容器２の接触はいずれも硬接触ではないため、包装構造１の外部で発生した振動は緩衝パッド１２を介して完全に基板保存容器２に伝導されず、すなわち、緩衝パッド１２が包装構造１外部の伝送する振動を吸収でき、これにより、基板保存容器２に伝わる振動量を減少し、こうして有効に基板保存容器２内の少なくとも一つの基板２１が回転を発生するのを防止でき、並びに基板２１が回転により基板保存容器２内の内部装置と摩擦するのを防止し、これにより有効に運送過程中に基板２１の回転により汚染微粒子が発生する状況を減少できる。
【００２１】
緩衝パッド１２の厚さも包装構造１外部より基板保存容器２に伝えられる振動量に影響し得て、たとえば、緩衝パッド１２の厚さｄが厚くなるほど、包装構造１外部に発生した振動の基板保存容器２への伝播の経路が長くなり、これにより、基板保存容器２に伝播される振動量が減らされ得る。
【００２２】
本実施例の緩衝パッド１２の最大厚さｄは包装ケース１０の深さＤから基板保存容器２の垂直高さＨを引いたものとされ得る。
【００２３】
このほか、緩衝パッド１２の厚さｄは、基板保存容器２の垂直高さＨに基づいてさだめられ、且つ基板保存容器２の垂直高さＨと緩衝パッド１２の厚さｄの比の値は、１から５０の間とされ、これにより、基板保存容器２の垂直高さＨは４８６ｍｍとされ、緩衝パッド１２の最大厚さｄは約９．７ｍｍとされる。
【００２４】
図３は、本考案の第２実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の第１実施例との異なるところは、本実施例の緩衝パッド１２の第２表面１２２は、収容溝１２３を具えていることである。
【００２５】
基板保存容器２が収容溝１２３に置かれる時、収容溝１２３の側壁は基板保存容器２の周縁を被覆し、基板保存容器２を緩衝パッド１２の第２表面１２２において固定して、運送過程中の基板保存容器２の緩衝パッド１２の第２表面１２２上での移動を防止できるほか、基板保存容器２の周縁の包装ケース１０との接触を防止でき、これにより、包装構造１外部に発生する振動の、基板保存容器２への伝播を防止する。
【００２６】
図４を参照されたい。それは本考案の第３実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の第１実施例との異なるところは、第１実施例の緩衝パッド１２の第１表面１２１及び第２表面１２２はいずれも平面とされるが（図２参照）、本実施例の緩衝パッド１２の第１表面１２１はパターン化された表面であり、パターン化表面は複数の幾何パターン１２１１により構成され、パターン化表面は波形状とされ、水紋状、或いは金字塔状とされ、これにより、緩衝パッド１２と包装ケース１０の接触面積を減らし、基板保存容器２に伝わる振動量を減らし、基板保存容器２内の少なくとも一つの基板２１に回転が発生し、基板保存容器２の内部装置と基板保存容器２内で汚染微粒子を発生する機会を減らす。
【００２７】
当然、本実施例の緩衝パッド１２の包装ケース１０と接触する表面はパターン化表面とされ得て（図５参照）、これにより緩衝パッド１２と包装ケース１０の接触面積を減らせる。或いは、緩衝パッド１２の第２表面１２２がパターン化表面とされ（図６参照）、これにより、緩衝パッド１２と基板保存容器２の接触面積を減らしても、上述の効果を達成できるが、これについてはこれ以上説明しない。或いは、緩衝パッド１２の第１表面１２１と第２表面１２２のいずれもがパターン化表面とされて、緩衝パッド１２と包装ケース１０及び基板保存容器２の接触面積が同時に減らされる。
【００２８】
図７は本考案の第６実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の、第１実施例との違いは、本実施例の包装構造１はさらに、包装ケース１０内の側壁１０３に設置された側方緩衝パッド１３を包含し、並びに基板保存容器２の周縁を被覆して、運送過程中の基板保存容器２の緩衝パッド１２の第２表面１２２上での移動と包装ケース１０の側壁１０３との衝突の発生を防止したことにある。且つまた基板保存容器２が直接包装ケース１０の側壁１０３と接触して、包装構造１の外部に発生する振動が側方緩衝パッド１３を介して基板保存容器２に伝わるのを防止する。側方緩衝パッド１３の密度も７０ｋｇ／ｍ3以下に制御される。
【００２９】
本実施例の包装構造１はさらに保護パッド１４を包含し、保護パッド１４は基板保存容器２の上部を被覆し、基板保存容器２の上部と包装ケース１０が衝突を発生して基板保存容器２が損壊するのを防止する。
【００３０】
図８を参照されたい。それは、本考案の第７実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の第１実施例との違いは、本実施例は、包装ケース１０において、複数の緩衝パッド１２が設置され、これら緩衝パッド１２は包装ケース１０の底部より上向きに積み重ねられる。
【００３１】
本実施例の包装構造１は第１緩衝パッド１２ａと第２緩衝パッド１２ｂを具え、第１緩衝パッド１２ａは第１表面１２１ａを具え、第１表面１２１ａは包装ケース１０の底部に接触する。第２緩衝パッド１２ｂは第１緩衝パッド１２ａの上に設置され、並びに第２表面１２２ｂを具え、第２表面１２２ｂは基板保存容器２の設置に供される。
【００３２】
本実施例の第１緩衝パッド１２ａ及び第２緩衝パッド１２ｂの最大厚さは、包装ケース１０の深さＤから基板保存容器２の垂直高さＨを引いたものとされ得る。このほか、第１緩衝パッド１２ａと第２緩衝パッド１２ｂの総厚さｄは、基板保存容器２の垂直高さＨにより定められ、且つ基板保存容器２の垂直高さＨと第１緩衝パッド１２ａ及び第２緩衝パッド１２ｂの総厚さの比の値は１から５０の間とされる。
【００３３】
これにより、基板保存容器２の垂直高さＨは４８６ｍｍとされ、第１緩衝パッド１２ａ及び第２緩衝パッド１２ｂの最小総厚さは約９．７ｍｍとされる。
【００３４】
第１緩衝パッド１２ａと第２緩衝パッド１２ｂの密度は、いずれも７０ｋｇ／ｍ3より小さく、第１緩衝パッド１２ａの密度は第２緩衝パッド１２ｂの密度と同じ或いは異なるものとされ得る。第１緩衝パッド１２ａの密度が第２緩衝パッド１２ｂの密度と異なる時、さらに包装構造１の外部に発生した振動の基板保存容器２への伝播を隔離できる。
【００３５】
第２実施例の収容溝は、本実施例の第２緩衝パッド１２ｂの第２表面１２２ｂに応用可能であり、或いは第３実施例のパターン化表面が本実施例の第１緩衝パッド１２ａの第１表面１２１ａに応用可能であり、或いは、第４実施例の側方緩衝パッド１３及び保護パッド１４は、本実施例の包装ケース１０に応用可能であり、上述の応用はいずれも基板保存容器２に伝送される振動量を減らすのに有効である。
【００３６】
図９は本考案の第８実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の上述の実施例と異なるところは、本実施例の包装構造１はさらに第１衝突防止パッド１５ａと第２衝突防止パッド１５ｂを包含することにある。
【００３７】
第１衝突防止パッド１５ａは緩衝パッド１２の第２表面１２２上に設置される。第１衝突防止パッド１５ａは第１収容溝１５１ａを具え、基板保存容器２の底部は第１収容溝１５１ａ内に収容される。第２衝突防止パッド１５ｂは基板保存容器２の上部に取付けられ、すなわち、第１衝突防止パッド１５ａに対向し、並びに包装ケース１０の収容空間１０１内に位置する。第２衝突防止パッド１５ｂはまた、第２収容溝１５１ｂを有し、第２収容溝１５１ｂは基板保存容器２の上部の設置に供される。
【００３８】
第１衝突防止パッド１５ａ及び第２衝突防止パッド１５ｂは、基板保存容器２が包装ケース１０の収容空間１０１内で移動して包装ケース１０と衝突するのを防止し、これにより、包装ケース１０が衝突により、基板保存容器２内に収容した基板２１を損壊させるのを防止する。
【００３９】
また、第１衝突防止パッド１５ａ及び第２衝突防止パッド１５ｂの周縁は直接包装ケース１０の側壁１０３と接触せず、包装構造１外部に発生する振動が第１衝突防止パッド１５ａ或いは第２衝突防止パッド１５ｂを介して基板保存容器２に伝わるのを防止する。緩衝パッド１２は第１衝突防止パッド１５ａの、その第２表面１２２上での移動を防止できる。
【００４０】
本実施例の第１衝突防止パッド１５ａの第１収容溝１５１ａ及び第２衝突防止パッド１５ｂの第２収容溝１５１ｂは、少なくとも一つの第１貫通部１５２ａと少なくとも一つの第２貫通部１５２ｂを具え、これにより基板保存容器２の第１衝突防止パッド１５ａ及び第２衝突防止パッド１５ｂとの接触面積を減らし、これにより、基板保存容器２に伝わる振動量を減らす。
【００４１】
図１０は本考案の第９実施例の包装構造の表示図である。図示されるように、本実施例の、第１実施例との違いは、本実施例の緩衝パッド１２は固体材料で構成されず、本実施例の緩衝パッド１２は、充填空間１２４を具え、使用者は流体３（たとえば、気体、液体）を充填空間１２４中に充填できる。本実施例の緩衝パッド１２も包装構造１外部より伝送される振動を吸収し、基板保存容器２に伝わる振動量を減らす効果を達成できる。
【００４２】
本考案は一種の包装構造を提供し、それは、基板保存容器２の包装に用いられ、包装構造は、包装ケース１０と包装ケース１０に設置される少なくとも一つの緩衝パッド１２を具え、基板保存容器２が緩衝パッド１２上に設置される。本考案は緩衝パッド１２により包装ケース１０と基板保存容器２を隔離し、包装構造外部に発生した振動が直接基板保存容器２に伝わるのを防止し、こうして基板保存容器２内の少なくとも一つの基板２１に回転が発生するのを防止し、並びに基板２１が回転して基板保存容器２内部の装置と摩擦するのを防止し、これにより、運送過程で基板の回転による汚染微粒子の発生の状況を有効に減少する。
【００４３】
ゆえに、本考案は新規性、進歩性を有し、産業上の利用に供され、実用新案登録の要件に符合する。
【００４４】
なお、以上述べたことは、本考案の実施例にすぎず、本考案の実施の範囲を限定するものではなく、本考案の実用新案登録請求の範囲に基づきなし得る同等の変化と修飾は、いずれも本考案の実用新案登録請求範囲のカバーする範囲内に属するものとする。
【符号の説明】
【００４５】
１  包装構造
１０  包装ケース
１０１  収容空間
１０２  開口
１０３  側壁
１２  緩衝パッド
１２ａ  第１緩衝パッド
１２ｂ  第２緩衝パッド
１２１、１２１ａ  第１表面
１２２、１２２ｂ  第２表面
１２３  収容溝
１２４  充填空間
１３  側方緩衝パッド
１４  保護パッド
１５ａ  第１衝突防止パッド
１５１ａ  第１収容溝
１５２ａ  第１貫通部
１５ｂ  第２衝突防止パッド
１５１ｂ  第２収容溝
１５２ｂ  第２貫通部
２  基板保存容器
２１  基板
ｄ  厚さ
Ｄ  深さ
Ｈ  垂直高さ
【図１】
0003180631.tif 000003
【図２】
0003180631.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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