(57)【要約】      （修正有）【課題】分解を簡易にし、メンテナンスを迅速かつ容易にする静電気除去器を提供する。【解決手段】静電気除去器は本体４、ろ過装置５、調整装置６、管ジョイント７、セラミック絶縁ジョイント８、側蓋９を備える。本体４には第一中空部４１を設置し、ろ過装置５は本体４に設置し、調整装置６は本体４に設置し、管ジョイント７は螺合固定部品７１により本体４の片側に設置し、セラミック絶縁ジョイント８は第一中空部４１に設置し、側蓋９には貫通孔９０を設置し、貫通孔９０にはセラミック絶縁ジョイント８を通して設置し、ろ過装置５、調整装置６、管ジョイント７を相互に組合せ本体４内に一体に形成し、本体４にはセラミック絶縁ジョイント８を設置する。【選択図】図３
0003180227.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
静電気除去器は、本体、ろ過装置、調整装置、管ジョイント、セラミック絶縁ジョイント、側蓋を備え、
前記本体には、第一中空部を設置し、前記第一中空部には、接触停止部を設置し、前記本体には、給気流道を設置し、前記本体には、第一凹槽を設置し、前記本体には、第二凹槽を設置し、前記第一凹槽と前記給気流道とは、相互に貫通し、前記第二凹槽と前記給気流道とは、相互に貫通し、前記本体内には、電極針台を設置し、前記電極針台には、電極針を設置し、前記電極針台は、第一中空部内に設置し、前記電極針台には、端子連接部を設置し、前記本体内には、給電板を設置し、
前記ろ過装置は、前記第一凹槽に設置し、前記ろ過装置には、カートリッジフィルターを設置し、
前記調整装置は、前記第二凹槽に設置し、前記調整装置の一端は、前記給気流道内に通して設置し、
前記管ジョイントには、螺合固定部品を設置し、前記管ジョイントと前記本体とは、前記螺合固定部品により相互に螺合固定し、前記本体4の片側に設置し、
前記セラミック絶縁ジョイントには、第一設置部と第二設置部とを設置し、前記第一設置部は、第一中空部内に設置し、前記第二設置部と接触停止部とは、相互に接触して停止し、前記セラミック絶縁ジョイントには、気体噴出口を設置し、前記気体噴出口内には、給電極針を通して設置し、前記セラミック絶縁ジョイントの一端には、連結部を設置し、
前記側蓋には、貫通孔を設置し、前記貫通孔には、前記セラミック絶縁ジョイントを通して設置し、前記側蓋と前記本体とは、数個の固定部品により相互に固定し、前記側蓋は、前記本体の片側に設置することを特徴とする静電気除去器。
【請求項２】
前記第二凹槽内には、定位槽を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項３】
前記調整装置には、定位板を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項４】
前記ろ過装置と前記調整装置には共に、密封リングを設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項５】
前記管ジョイントと前記第一設置部には共に、密封リングを設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項６】
前記セラミック絶縁ジョイントには、定位線を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項７】
前記セラミック絶縁ジョイントには、凹槽を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項８】
前記貫通孔周囲には、数個の定位点を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項９】
前記側蓋には、定位孔を設置することを特徴とする請求項１に記載の静電気除去器。
【請求項１０】
前記定位孔には、挿入部品を設置し、
前記挿入部品には、固定孔を設置することを特徴とする請求項９に記載の静電気除去器。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は静電気除去器に関し、特にろ過装置、調整装置、管ジョイントを相互に組合せ本体内に一体に形成し、本体にはセラミック絶縁ジョイントを設置し、耐熱及び耐オゾン腐蝕の効果を達成し、かつ当該機器の分解を簡易にし、メンテナンスを迅速かつ容易にする静電気除去器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示する静電気除去器は、半導体ウエハ、或いは液晶ガラス等の各種物件の処理製造プロセスにおいて、静電気により帯電した物件の静電気を除去するために使用する静電気除去器である。
【０００３】
この静電気除去器は、電極針に対してプラス/マイナスの高電圧を加えることで、コロナ放電を生じる。
【０００４】
この時発生するプラス/マイナスイオンは、空気により、負又は正に帯電された物体に噴き付けられ、静電気を中和する。
【０００５】
図１に示すように、従来の静電気除去器は本体1、電極針カートリッジ2を備える。
【０００６】
本体1の一端には、ジェットノズル10を設置し、ジェットノズル10内には、絶縁スリーブ101を設置する。
【０００７】
本体1の反対端には、管ジョイント11を設置し、管ジョイント11に外部のエアーパイプ110を連接して使用する。
【０００８】
本体1内には、給気流道12を設置し、給気流道12と管ジョイント11とは、連接して貫通し、給気流道12とジェットノズル10とは、連接して貫通する。
【０００９】
電極針カートリッジ2は、本体1内に設置し、電極針カートリッジ2内には、基板20を設置し、基板20の一端には、電極針台23を設置する。
【００１０】
電極針台23には、電極針231を設置し、基板20には、高電圧発生器201を設置する。
【００１１】
基板20には、給電板22を設置し、給電板22と高電圧発生器201とは、端子連接部202により連接され、給電板22と電極針台23とは相互に連接する。
【００１２】
こうして、電極針台23の電極針231は、プラス/マイナスイオン発生の目的を達成する。
【００１３】
基板20には、受電コネクター24を設置し、受電コネクター24は、給電コネクター241と相互に連接する。
【００１４】
給電コネクター241には、電源線242を設置し、図示しない電源からの電源供給の効果を達成する。
【００１５】
図２に示すように、使用者は別に、本体1のジェットノズル10外に気体送り出しパイプ3を設置する。
【００１６】
気体送り出しパイプ3上には、ろ過装置31及び調整装置32を設置する。
【００１７】
ろ過装置31内には、カートリッジフィルター311を設置し、これによりジェットノズル10が噴き出す気体は、気体送り出しパイプ3上のろ過装置31内のカートリッジフィルター311により、雑質或いはほこりをろ過され、また気体送り出しパイプ3上の調整装置32により、ジェットノズル10の出風量調整の効果を達成する。
【００１８】
上記した特許文献１の静電気除去器は、電極針台23の電極針231にプラス/マイナスイオンを発生させる目的を達成することができる。
【００１９】
図２に示すように、本体1の管ジョイント11と外部エアーパイプ110とを相互に連接後、外部エアーパイプ110の気体は、管ジョイント11により、給気流道12内に噴き入れられ、さらに給気流道12内の気体により、電極針231が発生するプラス/マイナスイオンは、ジェットノズル10外へと噴き出される。
【００２０】
さらに、ジェットノズル10の位置には、気体送り出しパイプ3を設置する。
【００２１】
しかし、ろ過装置31内に設置するカートリッジフィルター311は定期的に交換しなければならないため、その交換の際には、気体送り出しパイプ3上のろ過装置31を分解して取り外した後に交換し、交換後のろ過装置31を、気体送り出しパイプ3に戻す必要がある。
【００２２】
このため、カートリッジフィルター311の交換は非常に繁雑で、作業時間及び交換速度が遅くなるという欠点がある。
【００２３】
加えて、気体送り出しパイプ3のろ過装置31及び調整装置32を、本体1外に別に連接しなければ、空気のろ過、及び出気量調整の効果を達成することはできないが、気体送り出しパイプ3上のろ過装置31或いは調整装置32が損壊した時には、気体送り出しパイプ3と本体1とを分離後に交換を行わなければならず、メンテナンスにかかる時間が長くなってしまう。
【００２４】
さらに、ジェットノズル10内には、絶縁スリーブ101を設置するが、電極針231の使用時には、高温及びオゾンが発生しやすい。
【００２５】
ジェットノズル10の絶縁スリーブ101は、耐熱性能を備えるが、ジェットノズル10は絶縁性能を備えないため、オゾンにより腐蝕及び減衰が発生し易いという欠点がある。
【００２６】
本考案は、従来の静電気除去器の上記した欠点に鑑みてなされたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２７】
【特許文献１】中華民国特許公報第I357288号
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００２８】
本考案が解決しようとする課題は、ろ過装置、調整装置、管ジョイントを相互に組合せ本体内に一体に形成し、本体にはセラミック絶縁ジョイントを設置し、耐熱及び耐オゾン腐蝕の効果を達成し、当該機器の分解を簡易にし、メンテナンスを迅速かつ容易にすることで、交換が繁雑なため作業時間と交換速度が遅くなってしまうという欠点を解決することができる静電気除去器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
上記課題を解決するため、本考案の一態様は下記の静電気除去器を提供する。
【００３０】
本考案の一態様による静電気除去器は、本体、ろ過装置、調整装置、管ジョイント、セラミック絶縁ジョイント、側蓋を備え、前記本体には、第一中空部を設置し、前記第一中空部には、接触停止部を設置し、前記本体には、給気流道を設置し、前記本体には、第一凹槽を設置し、前記本体には、第二凹槽を設置し、前記第一凹槽と前記給気流道とは、相互に貫通し、前記第二凹槽と前記給気流道とは、相互に貫通し、前記本体内には、電極針台を設置し、前記電極針台には、電極針を設置し、前記電極針台は、第一中空部内に設置し、前記電極針台には、端子連接部を設置し、前記本体内には、給電板を設置し、前記ろ過装置は、前記第一凹槽に設置し、前記ろ過装置には、カートリッジフィルターを設置し、前記調整装置は、前記第二凹槽に設置し、前記調整装置の一端は、前記給気流道内に通して設置し、前記管ジョイントには、螺合固定部品を設置し、前記管ジョイントと前記本体とは、前記螺合固定部品により相互に螺合固定し、前記本体4の片側に設置し、前記セラミック絶縁ジョイントには、第一設置部と第二設置部とを設置し、前記第一設置部は、第一中空部内に設置し、前記第二設置部と接触停止部とは、相互に接触して停止し、前記セラミック絶縁ジョイントには、気体噴出口を設置し、前記気体噴出口内には、給電極針を通して設置し、前記セラミック絶縁ジョイントの一端には、連結部を設置し、前記側蓋には、貫通孔を設置し、前記貫通孔には、前記セラミック絶縁ジョイントを通して設置し、前記側蓋と前記本体とは、数個の固定部品により相互に固定し、前記側蓋は、前記本体の片側に設置する。
【考案の効果】
【００３１】
本考案の一態様の静電気除去器によれば、ろ過装置、調整装置、管ジョイントを相互に組合せ本体内に一体に形成し、本体にはセラミック絶縁ジョイントを設置し、耐熱及び耐オゾン腐蝕の効果を達成でき、かつ当該機器の分解を簡易にし、メンテナンスを迅速かつ容易にする目的を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】従来例の静電気除去器の構造の断面側視模式図である。
【図２】従来例の静電気除去器の構造と、外部気体送り出しパイプ、ろ過装置、及び調整装置を相互に組合せる様子の模式図である。
【図３】本考案の一実施形態の静電気除去器の立体分解模式図である。
【図４】本考案の一実施形態の静電気除去器の立体組合せ模式図である。
【図５】本考案の一実施形態の静電気除去器の断面側視模式図である。
【図６】本考案の一実施形態の静電気除去器のと外部エアーパイプ及び外部気体送り出しパイプを相互に組合せる様子の断面側視模式図である。
【図７】本考案の一実施形態の静電気除去器における調整装置の調整模式図である。
【図８】本考案の一実施形態の静電気除去器において、カートリッジフィルターの交換時に、ろ過装置を取り出す様子の模式図である。
【図９】本考案の一実施形態の静電気除去器において、カートリッジフィルター交換時の取り外し及び取り付けの動作模式図である。
【図１０】本考案の一実施形態の静電気除去器において、セラミック絶縁ジョイントに取り付けた外部気体送り出しパイプの定位調整の動作模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００３３】
以下に図面を参照しながら本考案を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【００３４】
［実施の形態］
図３、４に示すように、本考案の一実施形態の静電気除去器は、本体4、ろ過装置5、調整装置6、管ジョイント7、セラミック絶縁ジョイント8、側蓋を備える。
【００３５】
本体4には、第一中空部41を設置し、第一中空部41には、接触停止部42を設置し、本体4には、給気流道46を設置する。
【００３６】
図５に示すように、本体4には、第一凹槽44を設置し、本体4には、第二凹槽45を設置し、第二凹槽45内には、定位槽451を設置する。
【００３７】
第一凹槽44と給気流道46とは、相互に貫通し、第二凹槽45と給気流道46とは、相互に貫通する。
【００３８】
本体4内には、電極針台40を設置し、電極針台40には、電極針401を設置し、電極針台40は、第一中空部41内に設置する。
【００３９】
電極針台40には、端子連接部48を設置し、本体4内には、給電板47を設置し、給電板47により、端子連接部48と相互に連接し、電極針台40の電極針401は、プラス/マイナスイオン発生の効果を達成する。
【００４０】
ろ過装置5は、本体4の第一凹槽44に設置し、ろ過装置5には、カートリッジフィルター51を設置する。
【００４１】
ろ過装置5には、密封リング50を設置し、こうしてろ過装置5は本体4の第一凹槽44から脱落しにくくなり、第一凹槽44は、気密及び防塵の効果を達成する。
【００４２】
調整装置6は、本体4の第二凹槽45に設置し、調整装置6の一端は、給気流道46内に通して設置し、調整装置6には、定位板61を設置する。
【００４３】
定位板61は、第二凹槽45の定位槽451内に設置し、これにより調整装置6の第二凹槽45からの脱落を回避することができる。
【００４４】
調整装置6には、外ネジヤマを設置し、該外ネジヤマにより、省力回転と調整の効果を達成する。
【００４５】
調整装置6には、密封リング60を設置し、これにより調整装置6は本体4の第二凹槽45から脱落しにくくなり、第二凹槽45は、気密及び防塵の効果を達成する。
【００４６】
管ジョイント7には、螺合固定部品71を設置し、管ジョイント7と本体4とは、螺合固定部品71により相互に螺合固定し、本体4の片側に設置する。
【００４７】
管ジョイント7には、密封リング70を設置し、これにより管ジョイント7は本体4から脱落しにくくなる。
【００４８】
セラミック絶縁ジョイント8には、第一設置部82、第二設置部83、凹槽85を設置する。
【００４９】
図５に示すように、第一設置部82は、第一中空部41内に設置し、第一設置部82には、密封リング821を設置し、これによりセラミック絶縁ジョイント8は、本体4の第一中空部41から脱落しにくくなる。
【００５０】
第二設置部83と本体4の接触停止部42とは相互に接触して停止し、セラミック絶縁ジョイント8には、気体噴出口81を設置し、気体噴出口81内には、給電極針台40の電極針41を、通して設置する。
【００５１】
セラミック絶縁ジョイント8の一端には、連結部80を設置し、連結部80には、外部気体送り出しパイプ801の被連結部802を、連結して使用する。
【００５２】
図６に示すように、セラミック絶縁ジョイント8は、セラミック材質であるため、耐熱及び絶縁の効果を達成でき、こうしてセラミック絶縁ジョイント8は、オゾンが引き起こす腐蝕及び減衰に耐えることができる。
【００５３】
さらに、セラミック絶縁ジョイント8は、定位線84(図３参照)を備え、定位線84は、使用時に使用者に定位を指示する効果を備える。
【００５４】
側蓋9には、貫通孔90(図３参照)を設置し、貫通孔90には、セラミック絶縁ジョイント8を通して設置し、側蓋9と本体4とは、数個の螺合固定部品92により相互に固定する。
【００５５】
側蓋9は、本体4の片側に設置し、さらに側蓋9の貫通孔90周囲には、数個の定位点91を備える。
【００５６】
定位点91は、セラミック絶縁ジョイント8の定位線84と、相互に対応して定位する効果を達成し、側蓋9には、定位孔911を設置し、定位孔911と側蓋9とは相互に貫通する。
【００５７】
定位孔911と貫通孔90とは、相互に貫通し、定位孔911には、内ネジヤマを設置する。
【００５８】
定位孔911には、挿入部品912を設置でき、挿入部品912には、外ネジヤマを設置し、挿入部品912には、固定孔913を設置し、固定孔913には、外部工具を挿入して設置する。
【００５９】
挿入部品912の外ネジヤマは、定位孔911の内ネジヤマと相互に螺合して接続し、これにより挿入部品912と固定孔913とは、緊密結合の効果を達成する。
【００６０】
挿入部品912は、セラミック絶縁ジョイント8の凹槽85(図５参照)に挿入して設置し、接触停止し、これによりセラミック絶縁ジョイント8は、螺合定位の効果を達成し、こうして使用者は便利にセラミック絶縁ジョイント8の定位を識別することができる(図１０参照)。  
図１０に示すように、セラミック絶縁ジョイント8を回転させると、例えば４５°回転させると、外部気体送り出しパイプ801に設けた複数の気体噴出孔801aの噴出角度も４５°回転して、気体噴出方向を所望の方向に変えた後、挿入部品912で定位置に固定することができる。
【００６１】
図６に示すように、本考案に係るろ過装置5と調整装置6とは、同一本体4上に設置し、使用者が本考案に係る静電気除去器を使用する時には、管ジョイント7と外部エアーパイプ72とを、相互に嵌めて設置する。
【００６２】
セラミック絶縁ジョイント8と外部気体送り出しパイプ801とは連結し、これにより外部エアーパイプ72内の気体は、外部エアーパイプ72により、管ジョイント7内に送られる。
【００６３】
こうして、気体は、管ジョイント7を通して、本体4の給気流道46内で流動し、給気流道46内の気体は、給気流道46により、セラミック絶縁ジョイント8外へと送り出される。
【００６４】
こうして、本体4の電極針台40の電極針401が発生するプラス/マイナスイオンは、気体と一緒に、セラミック絶縁ジョイント8から送り出される。
【００６５】
図７に示すように、使用者が、外部気体送り出しパイプ801の気体送り出し量をコントロール可能とするために、本体4の第二凹槽45には、調整装置6を設置する。
【００６６】
調整装置6の一端は、給気流道46内に通して設置し、調整装置6には、外ネジヤマを設置するため、該外ネジヤマにより、調整装置6は、少ない力での省力回転と調整の効果を達成することができる。図７における一点鎖線は、調整装置6の調整量を大きくした状態を示している。
【００６７】
図８、９に示すように、本体4の第一凹槽44内には、ろ過装置5を設置し、ろ過装置5内には、カートリッジフィルター51を設置する。
【００６８】
よって、使用者が、カートリッジフィルター51を交換する時には、使用者は、ろ過装置5を回転させてろ過装置5を点線に示すように取り外すだけで、使用後のカートリッジフィルター51(点線にて示す)を、図９に示すように第一凹槽44内から取り出すことができる。
【００６９】
次に、新しいカートリッジフィルター51(実線にて示す)を、第一凹槽44内に入れれば、カートリッジフィルター51を迅速に交換する目的を達成でき、作業時間を短縮でき、こうして、当該機器の分解を簡易にし、メンテナンスを迅速かつ容易にする目的を達成する。
【００７０】
本考案の進歩性と実用性を明確にするため、以下に従来の技術と比較を行う。
【００７１】
従来の技術の欠点：
1.     カートリッジフィルターの交換が繁雑。
【００７２】
2.     作業時間及び交換速度が遅くなる。
【００７３】
3.     ジェットノズルはオゾンにより腐蝕及び減衰し易い。
【００７４】
本考案の長所：
1.     調整装置は省力回転と調整の効果を達成できる。
【００７５】
2.     カートリッジフィルターの交換速度を迅速にできる。
【００７６】
3.     オゾンが引き起こす腐蝕及び減衰に耐えることができる。
【００７７】
上記の本考案の名称と内容は、本考案の技術内容の説明に用いたのみで、本考案を限定するものではない。本考案の精神に基づく等価な応用或いは部品（構造）の転換、置換、数量の増減はすべて、本考案の保護範囲に含むものとする。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本考案は実用新案登録の要件である新規性を備え、従来の同類製品に比べ十分な進歩性を有し、実用性が高く、社会のニーズに合致しており、産業上の利用価値は非常に大きい。
【符号の説明】
【００７９】
1  本体
10  ジェットノズル
101  絶縁スリーブ
11  管ジョイント
110  エアーパイプ
12  給気流道
2  電極針カートリッジ
20  基板
201  高電圧発生器
202  端子連接部
22  給電板
23  電極針台
231  電極針
24  受電コネクター
241  給電コネクター
242  電源線
3  気体送り出しパイプ
31  ろ過装置
311  カートリッジフィルター
32  調整装置
33  給気口
4  本体        
40  電極針台
401  電極針
402  密封リング
41  第一中空部 
42  接触停止部
44  第一凹槽
45  第二凹槽
451  定位槽
46  給気流道
47  給電板
48  端子連接部
5  ろ過装置
50  密封リング
51  カートリッジフィルター
6  調整装置
60  密封リング
61  定位板
7  管ジョイント
70  密封リング
71  螺合固定部品
72  外部エアーパイプ
8  セラミック絶縁ジョイント
80  連結部
81  気体噴出口
82  第一設置部
801  外部気体送り出しパイプ
801a  気体噴出孔
821  密封リング
83  第二設置部
84  定位線
85  凹槽
9  側蓋
90  貫通孔
91  定位点
911  定位孔
912  挿入部品
913  固定孔
92  螺合固定部品
【図１】
0003180227.tif 000003
【図２】
0003180227.tif 000004
【図３】
0003180227.tif 000005
【図４】
0003180227.tif 000006
【図５】
0003180227.tif 000007
【図６】
0003180227.tif 000008
【図７】
0003180227.tif 000009
【図８】
0003180227.tif 000010
【図９】
0003180227.tif 000011
【図１０】
0003180227.tif 000012