(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
採取部により部品を採取し該採取された部品を基材に配置する実装処理を行う実装装置に用いられる部品供給装置であって、
複数の部品に分割され貼着されたウエハから該部品を採取する際に該部品を押し上げる押上部と、
前記押上部に配設され前記部品を押し上げる際の荷重を計測する荷重計測部と、
前記計測された荷重に基づいて前記押上部の実行動作量を設定する制御部と、を備え、
前記制御部は、実装処理前に行われる事前の条件設定処理において前記計測された荷重が前記部品を採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重に至らないときには次の部品においてより大きな前記押上部の実行動作量を設定する、
部品供給装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記計測された荷重が前記部品を採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重の上限を超えたときにはより小さな前記押上部の実行動作量を設定する、請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記部品の実装処理前に行われる事前処理において、前記計測された荷重が前記部品を採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重に至らないときにはより大きな前記押上部の動作量を設定し次の部品において該設定した動作量で前記押上部を制御する処理を行い前記部品を押し上げる際の荷重を計測するとの一連の処理を繰り返し、前記計測された荷重が前記採取荷重を満たす前記動作量を前記実行動作量に設定する、請求項１又は２に記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記部品の実装処理において、設定されている実行動作量で前記部品を押し上げた際に、前記計測された荷重が前記部品を採取可能に引き剥がす所定の採取荷重に至らないときには前記計測された荷重が前記採取荷重を満たすまで前記押上部の動作量をより大きくし、前記計測された荷重が前記採取荷重を満たした動作量を次回以降の部品採取の実行動作量に設定する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品供給装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記計測された荷重に基づいて前記実行動作量としての前記押上部の実行移動量を設定し、前記押上部により押し上げられ前記採取部により採取されたあとの部品の状態に基づいて前記実行動作量としての前記押上部の実行移動速度を設定する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の部品供給装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記押上部の種別及び前記部品を貼着する貼着部材の種別のうち１以上と、前記部品を採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重と、を対応付けた対応情報の複数のうちの１つを、前記実行動作量で前記部品を押し上げたときに計測された荷重に基づいて選択する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の部品供給装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の部品供給装置と、
前記部品供給装置から供給された前記部品を採取し該採取した部品を基材に配置する採取部と、
を備えた実装装置。
【請求項８】
採取部により部品を採取し該採取された部品を基材に配置する実装処理に用いられる部品供給方法であって、
（ａ）複数の部品に分割され貼着されたウエハから該部品を採取する際に該部品を押上部により押し上げるステップと、
（ｂ）前記部品を押し上げる際の荷重を前記押上部に配設された荷重計測部で計測するステップと、
（ｃ）前記計測された荷重に基づいて前記押上部の実行動作量を設定するステップと、を含み、
前記ステップ（ｃ）では、実装処理前に行われる事前の条件設定処理において前記計測された荷重が前記部品を採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重に至らないときには次の部品においてより大きな前記押上部の実行動作量を設定する、
部品供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給装置、実装装置及び部品供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品を基板に実装処理する実装装置としては、複数のダイに分割されたウエハが貼着されたシートからダイを採取するものにおいて、採取動作ごとに突き上げピンの突き上げ高さを所定量ずつ高くし、吸着ノズルでダイを採取できたと判定できた高さを適正な突き上げ高さと判定するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、部品を基板に実装処理する実装装置としては、複数のダイに分割されたウエハが貼着されたシートからダイを採取するものにおいて、突き上げ動作時の突き上げピンの上端の高さ位置を自動的に計測するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０６４７５２号公報
【特許文献２】特開２０１３−２４７３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この特許文献１、２に記載された実装装置では、突き上げピンの高さは考慮されているが、部品の採取に関してはまだ十分でなく、貼着された部品を更に確実に採取することが求められていた。【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、貼着された部品をより確実に採取することができる部品供給装置、実装装置及び部品供給方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。【０００７】
本発明の部品供給装置は、
採取部により部品を採取し該採取された部品を基材に配置する実装処理を行う実装装置に用いられる部品供給装置であって、
複数の部品に分割され貼着されたウエハから該部品を採取する際に該部品を押し上げる押上部と、
前記押上部に配設され前記部品を押し上げる際の荷重を計測する荷重計測部と、
前記計測された荷重に基づいて前記押上部の実行動作量を設定する制御部と、
を備えたものである。【０００８】
一般的に、ウエハを分割した部品（ダイ）は、シートに貼着されており、下方から押し上げることにより採取を行う。このとき、下方からの押上によって十分な荷重がかからない場合には、貼着された部品が剥がれず、採取できないことが起こりうる。この装置では、複数の部品に分割され貼着されたウエハから部品を採取する際にこの部品を押上部で押し上げ、部品を押し上げる際の荷重を押上部に配設された荷重計測部で計測し、計測された荷重に基づいて押上部の実行動作量を設定する。この装置では、荷重計測部の計測により十分な荷重をかけることができるため、貼着された部品をより確実に採取することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実装装置１１の構成の概略の一例を表す概略説明図。
【図２】記憶部４２に記憶されたシートデータベース４４の一例を表す説明図。
【図３】条件設定処理ルーチンの一例を表すフローチャート。
【図４】条件設定処理の概略を模式的に表す説明図。
【図５】部品供給処理ルーチンの一例を表すフローチャート。
【図６】部品供給時の動作量を変更する処理を模式的に表す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は、実装システム１０の実装装置１１の構成の概略の一例を表す説明図である。図２は、制御部４０の記憶部４２に記憶されたシートデータベース４４の一例を表す説明図である。実装システム１０は、例えば、図１に示すように、ウエハＷを分割したダイである部品Ｐなどを基材（基板Ｓや他の部品など）上に配置する実装処理を実行するシステムである。この実装システム１０は、実装装置１１と、管理コンピュータ（ＰＣ）５０とを備えている。実装システム１０は、部品Ｐを基板Ｓに実装する実装処理を実施する複数の実装装置１１が上流から下流に配置されている。図１では、説明の便宜のため実装装置１１を１台のみ示している。管理ＰＣ５０は、実装装置１１での処理条件を含む実装ジョブ情報などを管理する。実装ジョブ情報には、例えば、部品Ｐの実装順、実装する部品Ｐの種別、サイズ、用いるユニット、基板Ｓのサイズ、生産枚数などの情報が含まれている。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は図１に示した通りとする。
【００１１】
実装装置１１は、基板搬送ユニット１２と、実装ユニット１３と、部品供給ユニット１４と、パーツカメラ１５と、ウエハ供給ユニット３０と、制御部４０とを備えている。基板搬送ユニット１２は、基板Ｓの搬入、搬送、実装位置での固定、搬出を行うユニットである。基板搬送ユニット１２は図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に架け渡された１対のコンベアベルトを有している。基板Ｓはこのコンベアベルトにより搬送される。
【００１２】
実装ユニット１３は、部品を部品供給ユニット１４やウエハ供給ユニット３０から採取し、基板搬送ユニット１２に固定された基板Ｓへ配置する採取部である。実装ユニット１３は、ヘッド移動部２０と、実装ヘッド２２と、吸着ノズル２４とを備えている。ヘッド移動部２０は、ガイドレールに導かれてＸＹ方向へ移動するスライダと、スライダを駆動するモータとを備えている。実装ヘッド２２は、スライダに取り外し可能に装着されており、ヘッド移動部２０によりＸＹ方向へ移動する。実装ヘッド２２の下面には、１以上の吸着ノズル２４が取り外し可能に装着されている。吸着ノズル２４は、圧力を利用して部品Ｐを採取する採取部材であり、実装ヘッド２２に取り外し可能に装着される。実装ヘッド２２は、Ｚ軸モータを内蔵しており、このＺ軸モータによってＺ軸に沿って吸着ノズル２４の高さを調整する。また、実装ヘッド２２は、図示しない駆動モータによって吸着ノズル２４を回転（自転）させる回転装置を備え、吸着ノズル２４に吸着された部品Ｐの角度を調整可能となっている。この実装ヘッド２２は、１以上の吸着ノズル２４を装着する。部品供給ユニット１４は、リールを備えた複数のフィーダを有しており、ダイ以外の電子部品などを実装ユニット１３へ供給する。
【００１３】
パーツカメラ１５は、基板搬送ユニット１２と部品供給ユニット１４との間に配設されている。このパーツカメラ１５の撮像範囲はパーツカメラ１５の上方である。パーツカメラ１５は、部品Ｐを吸着した吸着ノズル２４がパーツカメラ１５の上方を通過する際、吸着ノズル２４に吸着された部品Ｐを下方から撮像し、その画像を制御部４０へ出力する。
【００１４】
ウエハ供給ユニット３０は、ウエハＷを分割した部品Ｐ（ダイ）を実装ヘッド２２の採取位置に供給する装置であり、ウエハパレット３１と、マガジン部３２と、押上ピン３４（押上部）と、ポット３５とロードセル３６（荷重計測部）とを備えている。ウエハパレット３１は、部品Ｐを貼着した貼着部材であるダイシート３８を固定する部材である。ウエハパレット３１は、マガジン部３２に複数収容されている。このウエハパレット３１は、実装ヘッド２２が部品Ｐを採取する際にマガジン部３２から引き出される。押上ピン３４は、複数に分割されダイシート３８に貼着されたウエハＷから部品Ｐを採取する際に部品Ｐを下方から押し上げる押上部である。押上ピン３４は、引き出されたウエハパレット３１の下方に配置されたポット３５の内部に収容されている。この押上ピン３４は、その太さなど先端の形状が異なるものが複数種類あり、部品Ｐのサイズなどに応じて使い分けられる。このウエハ供給ユニット３０では、種類の異なる押上ピン３４を有するポット３５を５つ備えており、部品Ｐに応じていずれかのポット３５が選択され、部品供給に用いられる。ポット３５は、その上面に吸引口が設けられている。ポット３５は、ダイシート３８を下面側から吸引支持し、その際に押上ピン３４を突き上げることにより、採取する部品Ｐだけをダイシート３８から剥離させる。ロードセル３６は、押上ピン３４に配設されており、部品Ｐを押し上げる際の荷重を計測する荷重計測部である。このロードセル３６は、交換可能にポット３５に装着されている。
【００１５】
制御部４０は、ＣＰＵ４１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶する記憶部４２などを備えている。この制御部４０は、基板搬送ユニット１２や実装ユニット１３、部品供給ユニット１４、パーツカメラ１５、ウエハ供給ユニット３０へ制御信号を出力し、実装ユニット１３や部品供給ユニット１４、パーツカメラ１５、ウエハ供給ユニット３０からの信号を入力する。記憶部４２には、シートデータベース（ＤＢ）４４と、設定プログラム４６とが記憶されている。シートＤＢ４４は、図２に示すように、ダイシート３８の種別と、部品Ｐのサイズと、押上ピン３４の種別と、そのダイシート３８から部品Ｐを採取可能に剥離させる所定の採取荷重とを対応づけた対応情報４５をダイシート３８の種別に応じて複数含んでいる。採取荷重は、上限値（例えば、１５Ｎなど）及び下限値（例えば１０Ｎなど）の範囲として対応情報４５に含まれている。この採取荷重は、例えば、押上ピン３４の動作量（移動量や移動速度など）と荷重との関係を経験的に求め、破損などの異常を生じずに部品の少なくとも一部がダイシート３８から剥離し、吸着ノズル２４により採取可能になる荷重の範囲に定められるものとしてもよい。設定プログラム４６は、詳しくは後述するが、シートＤＢ４４に基づいて、押上ピン３４の動作量を設定するものである。制御部４０は、シートＤＢ４４を用い設定プログラム４６を実行することによって、ロードセル３６で計測された荷重に基づいて押上ピン３４の実行動作量（移動量や移動速度など）を設定する。
【００１６】
次に、こうして構成された本実施形態の実装システム１０の動作、まず、部品Ｐの実装処理前に事前にウエハ供給ユニット３０の動作条件を設定する処理を説明する。図３は、制御部４０のＣＰＵ４１が実行する条件設定処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。図４は、条件設定処理の概略を表す説明図である。条件設定処理ルーチンは、作業者による設定プログラム４６の開始指示により実行される。
【００１７】
このルーチンを開始すると、制御部４０のＣＰＵ４１は、まず、実装条件を取得する（ステップＳ１００）。この実装条件には、ダイシート３８の種別、実装処理に用いる押上ピン３４の種別、部品Ｐのサイズのうち２以上としてもよい。この実装条件の取得は、例えば、作業者の入力により取得してもよいし、実装ジョブ情報から所得するものとしてもよい。次に、ＣＰＵ４１は、記憶部４２に記憶されているシートＤＢ４４から、条件設定に用いる対応情報４５を選択する（ステップＳ１１０）。ウエハ供給ユニット３０では、その厚さや粘着力が異なる複数種類のダイシート３８が利用される。シートＤＢ４４には、ダイシート３８及び押上ピン３４の種別に応じて採取荷重の範囲が含まれている。ここでは、ステップＳ１００で取得した情報に基づいて、実装処理で用いるダイシート３８及び押上ピン３４に応じた対応情報４５をＣＰＵ４１が選択する。ＣＰＵ４１は、選択した対応情報４５によって、採取荷重の範囲を定めることができる。なお、ＣＰＵ４１は、作業者の入力した対応情報４５を選択するものとしてもよいし、作業者が入力した採取荷重を採用してもよい。
【００１８】
次に、ＣＰＵ４１は、ウエハＷの中で押し上げる部品Ｐを設定し、その下方に押上ピン３４が配置されるように、ウエハパレット３１及び押上ピン３４の相対位置を移動させる（ステップＳ１２０）。部品Ｐの設定は、例えば、ウエハＷの左上から右方向、上段から下段へ、最後の右下に向かって順番に定めるものとしてもよい。次に、ＣＰＵ４１は、押上ピン３４の押上の動作量として移動量を設定する（ステップＳ１３０）。この移動量の設定は、予め定められた初期値に設定してもよいし、作業者の入力値に設定するものとしてもよい。この最初の移動量の設定では、押上ピン３４の突き上げにおいて動作が許容される処理動作範囲の下限値に設定するものとしてもよい。
【００１９】
次に、設定された押上ピン３４の移動量は、処理動作範囲内であるか否かを判定し（ステップＳ１４０）、押上ピン３４の移動量が処理動作範囲内であるときには、ＣＰＵ４１は、設定された移動量で押上ピン３４を押し上げる処理を実行させると共に、ロードセル３６により押上荷重を計測する（ステップＳ１５０）。なお、ＣＰＵ４１は、ここでの押上ピン３４の移動速度として、実装処理の生産サイクルが低下しないよう予め経験的に定められた所定の初期値を用いる。続いて、ＣＰＵ４１は、計測された荷重がステップＳ１１０で選択した対応情報４５に対応する所定の採取荷重の範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１６０）。計測された荷重が採取荷重に至らないとき（未満であるとき）には、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１２０以降の処理を行う。即ち、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１２０で、次の部品を設定してその下方に押上ピン３４を移動し、ステップＳ１３０でより大きな移動量を設定し、ステップＳ１５０で押し上げを行い荷重を計測する。ここで、ステップＳ１３０では、例えば、ＣＰＵ４１は、処理動作範囲を多数に分割した長さである所定量だけ増加するものとする。この処理は、ステップＳ１４０の判定で処理動作範囲を超えない範囲内で、計測された荷重が採取荷重に至るまで繰り返される。
【００２０】
一方、ステップＳ１６０で、計測された荷重が採取荷重を超えてしまったとき（初回で採取荷重を超えたとき）、あるいはステップＳ１４０で、設定した動作量が処理動作範囲を超えたとき（最大に動作させても採取荷重に届かなかったとき）には、ＣＰＵ４１は、シートＤＢ４４の選択が適正でなかったものとして、ステップＳ１１０以降の処理を実行する。具体的には、ステップＳ１１０で現在と異なる対応情報４５を選択し、ステップＳ１２０で次の部品Ｐを設定し押上ピン３４をその下に移動させ、ステップＳ１３０で押し上げの動作量を新たに設定し、押し上げ、荷重計測を繰り返し行う。ステップＳ１１０でのシートＤＢ４４での再選択では、ＣＰＵ４１は、例えば、粘着力や強度がより強いダイシート３８の対応情報４５を選択するものとしてもよい。なお、ＣＰＵ４１は、メッセージを表示して作業者に新たな対応情報４５を選択させてもよい。
【００２１】
一方、ステップＳ１６０で、計測された荷重が採取荷重の範囲内であるときには、ＣＰＵ４１は、押し上げた部品Ｐを吸着ノズル２４で吸着させ、パーツカメラ１５で撮像する（ステップＳ１７０）。次に、ＣＰＵ４１は、撮像画像に基づいて採取した部品Ｐが正常であるか、即ち、破損などはないかを判定する（ステップＳ１８０）。例えば、粘着力の強いダイシート３８に部品Ｐが貼着されている場合、大きな移動量で且つ大きな移動速度で部品Ｐを突き上げると、部品Ｐの一部に破損が生じる場合がある。ここでは、ＣＰＵ４１は、例えば、撮像画像の部品Ｐと正常な部品Ｐの画像とのマッチングなどを行うことにより、このような破損を判定するのである。部品Ｐが正常であるときには、ＣＰＵ４１は、現在の動作量（移動量及び移動速度）を実装処理に用いる実行動作量に設定し、実行ジョブ情報の実行条件に記憶させて（ステップＳ１９０）、このルーチンを終了する。ＣＰＵ４１は、上記求めた移動量を実行移動量に設定し、上記求めた移動速度を実行移動速度に設定する。
【００２２】
一方、ステップＳ１８０で部品が正常でない、即ち部品に異常があるときには、ＣＰＵ４１は、押し上げの移動速度を所定量減少させて設定し（ステップＳ２００）、押し上げる次の部品Ｐを設定し、その下方に押上ピン３４が配置されるように、ウエハパレット３１及び押上ピン３４の相対位置を移動させる（ステップＳ２１０）。ステップＳ２１０の処理は、ステップＳ１２０と同様である。続いて、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１８０以降の処理を実行する。即ち、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１８０で部品Ｐが正常であると判定されるまで、押し上げの移動速度を徐々に減少させ、新たな部品Ｐを押し上げて採取する処理を繰り返す。そして、ステップＳ１８０で部品Ｐが正常であると判定されると、ステップＳ１９０で、現在の動作量（移動量及び移動速度）を実装処理に用いる実行動作量に設定し、実行ジョブ情報の実行条件に記憶させて、このルーチンを終了する。
【００２３】
図４は、条件設定処理の概略を模式的に表す説明図である。ＣＰＵ４１は、ステップＳ１００、１１０で、シートＤＢ４４の対応情報４５を選択し、ダイシート３８から部品Ｐが採取可能に剥離される採取荷重の範囲を取得する。次に、ＣＰＵ４１は、押し上げの移動量を設定し、部品Ｐを押上ピン３４により押し上げ、そのときの荷重をロードセル３６により計測する（図４の一番左側）。計測された荷重が採取荷重に至らないときには、より大きな移動量を設定し、次の部品Ｐを押し上げるという処理を繰り返す（図４の左から２、３番目）。計測された荷重が採取荷重の範囲内になると、部品Ｐが正常であるか否かを判定し（ステップＳ１８０）、部品Ｐが正常でないときには、移動速度を徐々に減少し、部品Ｐに破損などのない状態で採取できる押上ピン３４の押し上げの移動量及び移動速度を求める（図４の左から４、５番目）。このように、実装装置１１では、ＣＰＵ４１が、自動でウエハ供給ユニット３０の実行動作量の条件を求めるのである。
【００２４】
次に、こうして設定されたウエハ供給ユニット３０の実行条件を用いて部品Ｐを供給する処理について説明する。図５は、制御部４０のＣＰＵ４１により実行される部品供給処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。このルーチンは、制御部４０の記憶部４２に記憶され、作業者による開始指示により実行される。このルーチンを開始すると、制御部４０のＣＰＵ４１は、まず、上述した条件設定処理で更新された実装ジョブ情報を読み出して取得する（ステップＳ３００）。次に、実装処理に用いる部品Ｐを設定し、その部品Ｐの下方に押上ピン３４が配置されるように、ウエハパレット３１及び押上ピン３４の相対位置を移動させる（ステップＳ３１０）。
【００２５】
次に、ＣＰＵ４１は、設定されている押上ピン３４の実行動作量を実装ジョブ情報から取得し（ステップＳ３２０）、その動作量で押上ピン３４の押し上げ処理を実行する（ステップＳ３２０）。この押し上げ処理の継続中に、ＣＰＵ４１は、ロードセル３６によって荷重を計測し（ステップＳ３３０）、設定された移動量まで押上ピン３４が移動したときに計測された荷重が採取荷重の範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ３４０）。計測された荷重が採取荷重の範囲内でないときには、ＣＰＵ４１は、押し上げの移動量を変更して、押し上げ処理を継続し（ステップＳ３５０）、ステップＳ３３０以降の処理を実行する。即ち、ＣＰＵ４１は、計測された荷重が採取荷重の範囲内に入るまで、このような処理を継続する。
【００２６】
図６は、部品供給時の動作量を変更する処理を模式的に表す説明図である。ダイシート３８では、その粘着力などが場所によって異なることがある。図６に示すように、ＣＰＵ４１は、実行動作量で押上ピン３４を押し上げた際に、計測された荷重が採取荷重に満たないときには、荷重を計測しながら、そのまま所定の移動量を追加し、押上ピン３４を更に押し上げる。あるいは、ＣＰＵ４１は、計測された荷重が採取荷重の上限を超えたときには、荷重を計測しながら、そのまま所定の移動量を減少させ、押上ピン３４を微量下げる。ＣＰＵ４１は、計測された荷重が採取荷重の範囲に入るまで、このような処理を継続する。なお、ＣＰＵ４１は、この特異的に採取荷重外である結果を次回以降の実行動作量に反映させてもよい。事前の条件設定処理により、計測された荷重が採取荷重の範囲内に入る条件であるはずなので、今回の計測荷重は、特異的なものである可能性がある。このため、ＣＰＵ４１は、所定回数このような採取荷重外である判定が継続した際に、その後の実行動作量に今回の変更内容を反映させるものとしてもよい。
【００２７】
一方、ステップＳ３４０で、計測された荷重が採取荷重の範囲内であるときには、ＣＰＵ４１は、押し上げた部品Ｐを採取するよう吸着ノズル２４の吸着処理を実行し（ステップＳ３６０）、吸着された部品Ｐをパーツカメラ１５により撮像し、撮像した画像を取得する（ステップＳ３７０）。続いて、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１８０と同様の処理により、部品Ｐが正常であるか否かを判定する（ステップＳ３８０）。部品Ｐが正常でないときには、ＣＰＵ４１は、押上ピン３４の押し上げの移動速度を変更して記憶部４２に記憶する。ＣＰＵ４１は、次回の押上ピン３４の押し上げの際に変更した移動速度で押上ピン３４を押し上げるものとしてもよい。事前の条件設定処理により、部品Ｐが破損しない条件であるはずなので、今回の部品Ｐの破損は、特異的なものである可能性がある。したがって、部品Ｐが正常でない状態が所定回数（例えば３回や５回など）継続したあとに変更した移動速度で押上ピン３４を押し上げるものとしてもよい。
【００２８】
一方、ステップＳ３８０で部品Ｐが正常であるときには、部品Ｐの供給処理が終了したか否かを実装処理の進捗状況に基づいて判定する（ステップＳ４００）。部品Ｐの供給処理が終了していないときには、ＣＰＵ４１は、ステップＳ３１０以降の処理を繰り返し実行する一方、部品Ｐの供給処理が終了したときには、そのままこのルーチンを終了する。
【００２９】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の押上ピン３４が本発明の押上部に相当し、ロードセル３６が荷重計測部に相当し、制御部４０が制御部に相当し、対応情報４５が対応情報に相当し、実装ユニット１３が採取部に相当する。なお、本実施形態では、ウエハ供給ユニット３０の動作を説明することにより本発明の部品供給方法の一例も明らかにしている。
【００３０】
以上説明した実施形態のウエハ供給ユニット３０は、ウエハＷを分割した部品Ｐ（ダイ）を押上ピン３４（押上部）で押し上げ、部品Ｐを押し上げる際の荷重を押上ピン３４に配設されたロードセル３６（荷重計測部）で計測し、計測された荷重に基づいて押上ピン３４の実行動作量を設定する。一般的に、ウエハＷを分割したダイは、ダイシート３８に貼着されており、下方から押し上げることにより採取を行う。このとき、下方からの押し上げによって十分な荷重がかからない場合には、貼着された部品Ｐが剥がれず、採取できないことが起こりうる。このウエハ供給ユニット３０では、ロードセル３６の計測により十分な荷重をかけることができるため、貼着された部品Ｐをより確実に採取することができる。
【００３１】
また、制御部４０は、ロードセル３６によって計測された荷重が部品Ｐを採取可能に引き剥がすのに要する所定の採取荷重に至らないときにはより大きな押上ピン３４の実行動作量を設定するため、部品Ｐを押し上げる際に所定の採取荷重に至ることができる。なお、採取荷重は、押上ピン３４の種別及びダイシート３８（貼着部材）の少なくとも一方と対応づけられた対応情報４５に含まれており、制御部４０は、対応情報４５から採取荷重を取得する。更に、制御部４０は、ロードセル３６によって計測された荷重が採取荷重の上限を超えたときには、より小さな押上ピン３４の実行動作量を設定するため、部品Ｐを押し上げる際に部品Ｐの破損などをより抑制することができる。
【００３２】
更に、制御部４０は、部品Ｐの実装処理前に行われる事前の条件設定処理において、計測された荷重が採取荷重に至らないときにはより大きな動作量を設定し、次の部品Ｐにおいて、この設定した動作量で押上ピン３４を制御する処理を行い、部品Ｐを押し上げる際の荷重を計測する、との一連の処理を繰り返し、計測された荷重が採取荷重を満たす動作量を実行動作量に設定する。この装置では、実装処理前に適正な実行動作量を設定することができるため、ダイシート３８に貼着された部品Ｐをより確実に採取する条件を予め準備することができる。更にまた、制御部４０は、部品Ｐの実装処理において、設定されている実行動作量で部品Ｐを押し上げた際に、計測された荷重が採取荷重に至らないときには計測された荷重が採取荷重を満たすまで押上ピン３４の動作量（移動量）をより大きくし、計測された荷重が採取荷重を満たした動作量を次回以降の部品採取の実行動作量に設定する。この装置では、実装処理中に適正な実行動作量を設定することができるため、実装処理中に継続して、貼着された部品をより確実に採取することができる。
【００３３】
更にまた、制御部４０は、計測された荷重に基づいて実行動作量としての押上ピン３４の実行移動量を設定し、押上ピン３４により押し上げられ実装ユニット１３により採取されたあとの部品Ｐの状態に基づいて実行動作量としての押上ピン３４の実行移動速度を設定する。この装置では、荷重に基づいて移動量を設定することによって、貼着された部品Ｐをより確実に採取することができると共に、部品Ｐの状態に基づいて移動速度を設定することによって、部品の破損などをより抑制することができる。そして、制御部４０は、押上ピン３４の種別及び部品Ｐを貼着するダイシート３８（貼着部材）の種別のうち１以上と、採取荷重と、を対応付けた対応情報４５の複数のうちの１つを、実行動作量で部品Ｐを押し上げたときに計測された荷重に基づいて選択する。この装置では、対応情報４５が適切に選択されるため、作業者の負担をより低減することができる。
【００３４】
また、実装装置１１では、押上ピン３４の実行動作量の設定を自動で制御部４０が行うため、作業者が手動で設定するなどの煩わしい作業がなくなり、生産性をより向上することができる。
【００３５】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３６】
例えば、上述した実施形態では、実装処理前に行う事前の条件設定処理と、実装処理中とにおいて押上ピン３４の実行動作量の設定を行うものとしたが、いずれか一方を省略するものとしてもよい。例えば、作業者が事前処理を行い、実装処理中に制御部４０が自動で修正するものとしてもよい。この装置では、実装処理中に部品Ｐをより確実に採取することができる。一方、制御部４０が事前処理を行い、実装処理中に押上ピン３４の動作量が適正でないときには作業者がその実行動作量を調整するものとしてもよい。この装置では、基本的には、事前に設定した条件により、貼着された部品Ｐをより確実に採取することができる。
【００３７】
上述した実施形態では、制御部４０は、押上ピン３４の実行動作量として、移動量と移動速度とを設定するものとして説明したが、特にこれに限定されず、いずれか一方を省略するものとしてもよい。あるいは、ロードセル３６により測定した荷重を用いて押上ピン３４の動作量を設定するものとすれば、移動量、移動速度以外のパラメータを設定するものとしてもよい。この装置においても、貼着された部品Ｐをより確実に採取することができる。
【００３８】
上述した実施形態では、制御部４０は、実装ジョブ情報に基づいて、対応情報４５を選択するものとしたが、特にこれに限定されず、作業者からの入力に基づいて対応情報４５を選択するものとしてもよい。また、制御部４０は、ステップＳ１４０やＳ１６０のあと、対応情報４５を再選択するものとしたが、作業者へエラーを通知するものとしてもよい。また、対応情報４５は、シートＤＢ４４に含まれているものとして説明したが特にこれに限定されず、対応情報４５は、シートＤＢ４４に含まれずに存在していてもよい。
【００３９】
上述した実施形態では、実装装置１１が備える制御部４０により実行動作量を設定するものとして説明したが、特にこれに限定されない。例えば、ウエハ供給ユニット３０に配設された制御部が実行動作量を設定するものとしてもよいし、管理コンピュータ５０の制御部が実行動作量を測定するものとしてもよい。
【００４０】
上述した実施形態では、本発明を実装装置１１として説明したが、例えば、ウエハ供給ユニット３０としてもよいし、部品供給方法としてもよいし、上述した処理をコンピュータが実行するプログラムとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、部品を基板上に配置する実装処理を行う装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  実装システム、１１  実装装置、１２  基板搬送ユニット、１３  実装ユニット、１４  部品供給ユニット、１５  パーツカメラ、２０  ヘッド移動部、２２  実装ヘッド、２４  吸着ノズル、３０  ウエハ供給ユニット、３１  ウエハパレット、３２  マガジン部、３４  押上ピン（押上部）、３５  ポット、３６  ロードセル（荷重計測部）、３８  ダイシート、４０  制御部、４１  ＣＰＵ、４２  記憶部、４４  シートデータベース（ＤＢ）、４５  対応情報、４６  設定プログラム、５０  管理コンピュータ（ＰＣ）、Ｐ  部品、Ｓ  基板、Ｗ  ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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