(57)【要約】      （修正有）【課題】損傷等して交換の必要がある場合に、搬送機構に対する取り外しや取り付けを簡単に行うことができるグリッパーを提供する。【解決手段】グリッパー２は、搭載部材２２と、搬送機構のクロスバーに固定される固定部材２０とを備える。固定部材２０の底部に、隣接する２つのシュート２００を含む。搭載部材２２が有する凹溝２２０は、搭載部材２２のトップに位置して搭載部材２２の２つの対向側を連通し、突起２２０ｂを有する２つの内壁２２０ａを備える。搭載部材２２は、各突起２２０ｂが対応するシュート２００の入口２００ａからシュート２００に入ってシュート２００の係止部２００ｂに当接することによって固定部材２０に据え付けられる。搭載部材２２が有する第１の爪部２２２ａは、搭載部材２２の第１の側壁２２４ａに位置し、ウェハのエッジが搭載される。【選択図】図２Ｂ
0003172709.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを搬送することに用いられる搬送機構に取り付けられるグリッパーであって、
前記搬送機構が備えるクロスバーに固定される固定部材と、搭載部材とを備え、
前記固定部材は、前記固定部材の底部に隣接し、且つ前記底部の両側に平行するように設けられる２つのシュートを含み、各前記シュートは、その両端にそれぞれ位置する入口及び係止部を含み、
前記搭載部材は、凹溝と、前記搭載部材の第１の側壁に位置し、且つ前記ウェハのエッジが搭載される第１の爪部とを含み、
前記凹溝は、前記搭載部材のトップに位置して前記搭載部材の２つの対向側を連通し、且つ互いに平行な２つの内壁を有し、それぞれの内壁が突起を有し、
各前記突起が対応する前記入口から対応する前記シュートに入って対応する前記係止部に当接することによって、前記搭載部材が前記固定部材に据え付けられるグリッパー。
【請求項２】
前記固定部材は、その底部に設けられる位置決め素子を更に含み、前記搭載部材は、前記凹溝の底部に位置する凹部を有し、前記搭載部材が前記固定部材に据え付けられた状態で、各前記突起が対応する前記係止部に当接し、前記位置決め素子が、前記凹部に収容されて、前記凹溝の底部と締り嵌めになる請求項１に記載のグリッパー。
【請求項３】
前記位置決め素子は、
前記固定部材に取り付けられ、且つ前記固定部材の底部に位置する開口を有する収容溝を備える本体と、
前記収容溝に収容され、前記収容溝の底部に接続される弾性部材と、
前記弾性部材に接続され、前記開口から部分的に露出し、圧力を受けると前記弾性部材を前記収容溝の底部側へ押す位置決めボールと、
を含む請求項２に記載のグリッパー。
【請求項４】
前記位置決め素子は、位置決めボールねじ（Ｂａｌｌ‐Ｅｎｄｅｄ  Ｔｈｒｕｓｔ  Ｓｃｒｅｗ）である請求項３に記載のグリッパー。
【請求項５】
前記固定部材は、そのトップからその底部まで貫通する通路を有し、前記位置決め素子は、前記固定部材のトップから前記通路を介して前記固定部材の底部に据え付けられる請求項２に記載のグリッパー。
【請求項６】
前記固定部材は、ロック孔を含み、ロック素子によって前記ロック孔を介して前記クロスバーにロックされる請求項１に記載のグリッパー。
【請求項７】
前記シュートは、前記クロスバーに大体平行する請求項１に記載のグリッパー。
【請求項８】
前記搭載部材は、前記第１の側壁に平行する前記搭載部材の第２の側壁に位置する第２の爪部を更に含み、前記ウェハのエッジは、前記第２の爪部に搭載されることに適する請求項１に記載のグリッパー。
【請求項９】
前記第１の側壁と前記第２の側壁は、前記内壁に平行し、前記搭載部材は、前記第１の側壁が前記搬送機構側に向くように、又は前記第２の側壁が前記搬送機構側に向くように、選択的に前記固定部材に据え付けられる請求項８に記載のグリッパー。
【請求項１０】
前記固定部材の材料は、金属材料を含み、前記搭載部材の材料は、高分子材料を含む請求項１に記載のグリッパー。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、グリッパーに関し、特に、ウェハを挟み込むためのグリッパーに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽エネルギーは、無尽蔵であり、環境にやさしく、実用性が高い等の特性を有する。そのため、太陽エネルギーウェハは、更に注目されてきており、製造の大量化、迅速な分類・収納等の効率アップが追求され、これらの工程での瑕疵の発生率を減少させることも極めて大切になっている。
【０００３】
従来、市販の太陽エネルギースクリーン印刷設備の多数は、搬送機構にロックされたグリッパー（Ｇｒｉｐｐｅｒ）によって挟んで搬送することを搬送方式とし、その搬送方式では、１組の搬送機構がグリッパーを駆動してウォーキングビーム（Ｗａｌｋｉｎｇ  ｂｅａｍ）にあるウェハを挟ませて、もう１つのバックシェルフ（Ｓｈｅｌｖｅ）に置かせる。同時に、もう１組の搬送機構は、グリッパーを駆動してフロントシェルフにあるウェハを挟ませて、ウォーキングビームに置かせる。グリッパーを交換しようとする場合、グリッパーを搬送機構に固定するためのねじを取り外すことが必要となる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、グリッパーを交換しようとする場合、各組の搬送機構のウェハ挟み数を５枚で計算すれば、交換を必要とするグリッパーの数が２０本ほどに達する。なお、外側（即ち、サービスマンと向かい合う側）における搬送機構のグリッパーは簡単に取り外すことができるが、裏側（即ち、サービスマンに背を向ける側）における搬送機構のグリッパーは取り外しにくく、取り外しに時間がかかる場合が多い。つまり、従来のグリッパーは損傷して交換の必要があると、ツール（例えば、六角レンチやねじ回し）によって取り外したり、組み立てたりしなければならない。そのため、数多くのグリッパーを交換する場合、大量の労働力と時間を投入して、取り外しと取り付けを行わなければならない。なお、グリッパーを取り付ける場合、ネジがバカになったり、左右や前後に傾斜したり、上下の高さが不均一になったりする場合が多い。
【０００５】
そこで、上記事情を鑑みて、本考案は、損傷等して交換の必要がある場合に、搬送機構に対する取り外しや取り付けを簡単に行うことができるグリッパーを提案することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決する本考案は、搬送機構に取り付けられるグリッパーである。搬送機構は、ウェハを搬送することに用いる。搬送機構は、クロスバーを含む。グリッパーは、搬送機構が備えるクロスバーに固定される固定部材と、搭載部材とを備える。固定部材は、２つのシュートを含む。２つのシュートは、固定部材の底部に隣接して、それぞれ固定部材の両側に平行するように設けられる。各シュートは、その両端にそれぞれ位置する入口及び係止部を含む。搭載部材は、凹溝と、第１の爪部は、搭載部材の第１の側壁に位置し、且つウェハのエッジが搭載される第１の爪部とを含む。凹溝は、搭載部材のトップに位置して搭載部材の２つの対向側を連通する。凹溝は、互いに平行な２つの内壁を有する。それぞれの内壁は、突起を有する。各突起が対応する入口から対応するシュートに入って対応する係止部に当接することによって、搭載部材は固定部材に据え付けられる。
【０００７】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記固定部材は、位置決め素子を更に含む。位置決め素子は、固定部材の底部に設けられる。搭載部材は、凹部を有する。凹部は、凹溝の底部に位置する。搭載部材が固定部材に据え付けられた状態で、各突起が対応する係止部に当接し、位置決め素子は、凹部に収容されて、凹溝の底部と締り嵌めになる。
【０００８】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記位置決め素子は、本体と、弾性部材と、位置決めボールとを含む。本体は、固定部材に取り付けられ、収容溝を有する。収容溝は、開口を有する。開口は、固定部材の底部に位置する。弾性部材は、収容溝に収容され、収容溝の底部に接続される。位置決めボールは、弾性部材に接続され、開口から部分的に露出する。位置決めボールは、圧力を受けると弾性部材を収容溝の底部側へ押す。
【０００９】
また、本考案において、前記位置決め素子は、位置決めボールねじ（Ｂａｌｌ‐Ｅｎｄｅｄ  Ｔｈｒｕｓｔ  Ｓｃｒｅｗ）であることが好ましい。
【００１０】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記固定部材は、通路を有する。通路は、固定部材のトップから固定部材の底部まで貫通する。位置決め素子は、固定部材のトップから通路を介して固定部材の底部に据え付けられる。
【００１１】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記固定部材は、ロック孔を含む。固定部材は、ロック素子によってロック孔を介してクロスバーにロックされる。
【００１２】
また、本考案において、前記シュートは、クロスバーに大体平行することが好ましい。
【００１３】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記搭載部材は、第２の爪部を更に含む。第２の爪部は、搭載部材の第２の側壁に位置する。第２の側壁は、第１の側壁に平行する。ウェハのエッジは、第２の爪部に搭載されることに適する。
【００１４】
また、本考案において、以下の構成を備えることが好ましい。すなわち、前記第１の側壁と第２の側壁は、内壁に平行する。搭載部材は、第１の側壁が搬送機構側に向くように、又は第２の側壁が搬送機構側に向くように、選択的に固定部材に据え付けられる。
【００１５】
また、本考案において、前記固定部材の材料は、金属材料を含み、搭載部材の材料は、高分子材料を含むことが好ましい。
【考案の効果】
【００１６】
本考案は、搬送機構のクロスバーに固定される固定部材と、固定部材に対して快速に取り外しできる搭載部材とに分解されたグリッパーである。そのため、サービスマンは、摩損されて交換が必要となるグリッパーの搭載部材を素手だけで簡単に取り外して交換することができ、グリッパーを搬送機構に固定するための固定部材を搭載部材と一緒に取り外す必要がなく、従来のグリッパーを取り外す場合のようにツールでねじを取り外しなければならない手間及び長い労働時間をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】搬送機構に用いられる本考案の実施形態によるグリッパーを示す側面図である。
【図２Ａ】図１におけるグリッパーを示す立体組合せ図である。
【図２Ｂ】図２Ａにおけるグリッパーを示す立体分解図である。
【図３】図２Ａにおけるグリッパーの固定部材を示す側面図である。
【図４Ａ】図３における固定部材に設けられた位置決め素子を示す立体図である。
【図４Ｂ】図４Ａにおける位置決め素子を示す断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、本考案を明確にするために、図面を参照して、本考案の実施形態の一例を詳細に説明する。しかし、説明する実施形態の詳細な構成は、本考案を限定するものではないことは注意すべきである。つまり、本考案の一部の実施形態において、説明する実施形態の詳細な構成が必ずしも必要なものではない。なお、図面を簡略化するため、従来から慣用の構造と素子については、図面に簡単に表示する。
【００１９】
本考案の技術態様は、グリッパーである。より具体的に言うと、主にグリッパーを、搬送機構のクロスバーに固定される固定部材と、固定部材に対する快速な取り外し機能を達成できる搭載部材とに分解する。このようにツーピースのグリッパーとすることによって、サービスマンは、摩損されて交換が必要となるグリッパーの搭載部材を素手だけで簡単に取り外して交換することができ、グリッパーを搬送機構に固定するための固定部材を搭載部材と一緒に取り外す必要がない。そのため、本考案のツーピースのグリッパーによれば、従来のグリッパーを取り外す場合のようにツールでねじを取り外ししなければならない手間及び長い労働時間をなくすことができる。なお、本考案のグリッパーは、位置決め素子をさらに備えることによって、グリッパーの搭載部材を固定部材に確実に据え付けることができ、高い据え付け安定性を提供できる。
【００２０】
図１を参照する。図１は、搬送機構１０、１２に用いられる本考案の実施形態によるグリッパー２を示す側面図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態において、グリッパー２は、搬送機構１０と搬送機構１２に設けられる。搬送機構１０は、接続ボート１００及び２つのクロスバー１０２を含む。搬送機構１０の２つのクロスバー１０２は、それぞれ接続ボート１００の両端に平行に設けられる。同様に、搬送機構１２は、接続ボート１２０及び２つのクロスバー１２２を含む。搬送機構１２の２つのクロスバー１２２は、それぞれ接続ボート１２０の両端に平行に設けられる。ここで、搬送機構１０の方が、外側（即ち、図１の右側）に近く、搬送機構１２の方が、裏側（即ち、図１の左側）に近いように設置する。搬送機構１０の裏側に近い方のクロスバー１０２は、搬送機構１２の２つのクロスバー１２２の間に位置する。それに対して、搬送機構１２の外側に近い方のクロスバー１２２は、搬送機構１０の２つのクロスバー１０２の間に位置する。搬送機構１０の２つのクロスバー１０２に設けられた２つのグリッパー２はいずれも各クロスバー１０２の外側に設けられ、搬送機構１２の２つのクロスバー１２２に設けられた２つのグリッパー２はいずれも各クロスバー１２２の裏側に設けられている。また、搬送機構１０が裏側へ移動するか、搬送機構１２が外側へ移動すると、２つのクロスバー１０２の外側に設けられたグリッパー２と２つのクロスバー１２２の裏側に設けられたグリッパー２は、相対的に近寄ってウェハ３のエッジを挟み込むことができる。つまり、搬送機構１０と搬送機構１２との協力によって、ウェハ３を搬送する目的を達成することができる。しかしながら、本考案のグリッパー２の使用方式は、これに限定されない。サービスマンが外側にいる場合、搬送機構１０と搬送機構１２において外側に近いグリッパー２の取り外し・組立については、大した支障はないが、搬送機構１０と搬送機構１２において裏側に近いグリッパー２の取り外し・組立については、順調に行うことが難しい。以下、本実施形態のグリッパー２に含まれる各素子の構造配置を詳しく紹介する。
【００２２】
図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、図２Ａは、図１におけるグリッパー２を示す立体組合せ図である。図２Ｂは、図２Ａにおけるグリッパー２を示す立体取り外し図である。
【００２３】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、本実施形態において、グリッパー２は、固定部材２０及び搭載部材２２を備える。グリッパー２の固定部材２０は、搬送機構１０のクロスバー１０２の側壁又は搬送機構１２のクロスバー１２２の側壁に固定される。グリッパー２の固定部材２０は、２つのシュート２００を含む。固定部材２０の２つのシュート２００は、固定部材２０の底部に隣接して、それぞれ固定部材２０の両側に平行するように設けられる。固定部材２０の各シュート２００は、その両端にそれぞれ位置する入口２００ａ及び係止部２００ｂを含む。
【００２４】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、本実施形態において、グリッパー２の搭載部材２２は、凹溝２２０及び第１の爪部２２２ａを含む。搭載部材２２の凹溝２２０は、搭載部材２２のトップに位置して搭載部材２２の２つの対向側を連通する。搭載部材２２の凹溝２２０は、互いに平行な２つの内壁２２０ａを有し、凹溝２２０の各内壁２２０ａが突起２２０ｂを有する。グリッパー２の搭載部材２２は、各突起２２０ｂが対応する入口２００ａから対応するシュート２００に入って、それぞれのシュート２００に沿って摺動する。各突起２２０ｂがそれぞれのシュート２００に対して摺動して対応する係止部２００ｂに当接すると、グリッパー２の搭載部材２２の固定部材２０への据え付けプロセスが終わる。つまり、グリッパー２の搭載部材２２が固定部材２０に据え付けられた状態で、各突起２２０ｂは、全て対応するシュート２００に収容され、対応する係止部２００ｂに当接する。内壁２２０ａにおける突起２２０ｂの形状は、図２Ｂに示す形状に限定されなく、必要に応じて柔軟に調整してよい。なお、搭載部材２２の第１の爪部２２２ａは、搭載部材２２の第１の側壁２２４ａに位置する。ウェハのエッジは、搭載部材２２の第１の爪部２２２ａに搭載される。
【００２５】
図３を参照する。図３は、図２Ａにおけるグリッパー２の固定部材２０を示す側面図である。
【００２６】
図２Ａ〜図３に示すように、本実施形態において、グリッパー２の固定部材２０は、穿孔２０６ａ及びロック孔２０６ｂを含む。固定部材２０のロック孔２０６ｂは、穿孔２０６ａと連通する。サービスマンは、ロック素子（例えば、ねじ）を固定部材２０の穿孔２０６ａに通して、このロック素子を固定部材２０のロック孔２０６ｂを介して搬送機構１０のクロスバー１０２の側壁又は搬送機構１２のクロスバー１２２の側壁にロックすることができる。前記ロック素子のサイズは固定部材２０の穿孔２０６ａのサイズより小さいため、固定部材２０の穿孔２０６ａを通せる。また、ロック素子のサイズはロック孔２０６ｂのサイズより大きいため、固定部材２０のロック孔２０６ｂを介して固定部材２０をクロスバー１０２，１２２にロックできる。
【００２７】
図２Ｂを参照すると、本実施形態において、搬送機構１０のクロスバー１０２の側壁又は搬送機構１２のクロスバー１２２の側壁にロックされた状態で固定部材２０のシュート２００は、クロスバー１０２又はクロスバー１２２に大体平行する。つまり、グリッパー２の搭載部材２２の固定部材２０への据え付け方向も、クロスバー１０２又はクロスバー１２２に大体平行し、且つ搬送機構１０及び搬送機構１２の移動方向に垂直する。固定部材２０のシュート２００の設置方向を搬送機構１０及び搬送機構１２の移動方向に垂直するように設計することによって、搬送機構１０及び搬送機構１２がグリッパー２によってウェハ３を挟み込む過程において、グリッパー２の搭載部材２２を固定部材２０から外れさせる分力が働かないようになっている。
【００２８】
図２Ａと図２Ｂに示すように、本実施形態において、グリッパー２の搭載部材２２は、第２の爪部２２２ｂを更に含む。搭載部材２２の第２の爪部２２２ｂは、搭載部材２２の第２の側壁２２４ｂに位置する。搭載部材２２の第２の側壁２２４ｂは、第１の側壁２２４ａに平行する。ウェハ３のエッジは、搭載部材２２の第２の爪部２２２ｂに搭載されることに適する。また、搭載部材２２の第１の側壁２２４ａと第２の側壁２２４ｂは、固定部材２０における凹溝２２０の２つの内壁２２０ａに平行する。グリッパー２の搭載部材２２は、第１の側壁２２４ａが搬送機構１０側（外側）又は搬送機構１２側（裏側）のいずれかに向くように、選択的に固定部材２０に据え付けられてよい。つまり、グリッパー２の固定部材２０が搬送機構１０のクロスバー１０２の側壁又は搬送機構１２のクロスバー１２２の側壁にロックされ、且つグリッパー２の搭載部材２２が固定部材２０に据え付けられた状態で、搭載部材２２の第１の爪部２２２ａが裏側に向かい、且つ第２の爪部２２２ｂが外側に向かうか、あるいは搭載部材２２の第１の爪部２２２ａが外側に向かい、且つ第２の爪部２２２ｂが裏側に向かうかのいずれかを選択できる。これによって、搭載部材２２の第１の爪部２２２ａが、長期間の使用により摩損されて交換が必要となった場合に、第２の側壁２２４ｂが搬送機構１０側（外側）又は搬送機構１２側（裏側）に向くように搭載部材２２を固定部材２０に据え付けて、第２の爪部２２２ｂによってウェハ３を搭載するようにでき、本考案のグリッパー２の使用寿命を２倍に増加させることができる。
【００２９】
図４Ａを参照する。図４Ａは、図３における固定部材２０に設けられた位置決め素子２０２を示す立体図である。
【００３０】
図２Ｂ〜図４Ａに示すように、本実施形態において、グリッパー２の固定部材２０は、位置決め素子２０２を更に含む。固定部材２０の位置決め素子２０２は、固定部材２０の底部に設けられる。グリッパー２の搭載部材２２は、凹溝２２０の底部に位置する凹部２２０ｃを有する。搭載部材２２が固定部材２０に据え付けられた状態で、各突起２２０ｂが対応する係止部２００ｂに当接し、固定部材２０の位置決め素子２０２は、凹部２２０ｃに収容されて、凹溝２２０の底部と締り嵌めになる。これによって、グリッパー２の搭載部材２２を固定部材２０に確実に据え付けることができ、高い据え付け安定性を提供できる。
【００３１】
図４Ｂを参照する。図４Ｂは、図４Ａにおける位置決め素子２０２を示す断面図である。なお、図４Ｂにおいては、位置決め素子２０２の外周のねじ山の図示は省略している。
【００３２】
図４Ｂに示すように、本実施形態において、固定部材２０の位置決め素子２０２は、本体２０２ａと、弾性部材２０２ｂと、位置決めボール２０２ｃとを含む。位置決め素子２０２の本体２０２ａは、固定部材２０に取り付けられ、収容溝２０２ｄを有する。本体２０２ａの収容溝２０２ｄは、固定部材２０の底部に位置する開口２０２ｅを有する。位置決め素子２０２の弾性部材２０２ｂは、本体２０２ａの収容溝２０２ｄに収容され、収容溝２０２ｄの底部に接続される。位置決め素子２０２の位置決めボール２０２ｃは、弾性部材２０２ｂに接続され、収容溝２０２ｄの開口２０２ｅから部分的に露出する。位置決め素子２０２の位置決めボール２０２ｃは、力を受けると弾性部材２０２ｂを収容溝２０２ｄの底部側へ押す。搭載部材２２が固定部材２０に据え付けられた状態で、各突起２２０ｂが対応する係止部２００ｂに当接し、位置決め素子２０２の位置決めボール２０２ｃは、凹部２２０ｃに収容され、凹溝２２０の底部と締り嵌めになる。このように弾性部材２０２ｂを位置決め素子２０２に設けることによって、搭載部材２２が固定部材２０に据え付けられる際に、固定部材２０の位置決め素子２０２が弾性部材２０２ｂによって緩衝されて、位置決め素子２０２の位置決めボール２０２ｃと凹溝２２０の底部とが互いに摩損することを軽減させることができる。
【００３３】
図２Ｂに示すように、本実施形態において、グリッパー２の固定部材２０は、通路２０４を有する。固定部材２０の通路２０４は、固定部材２０のトップから固定部材２０の底部まで貫通している。位置決め素子２０２の本体２０２ａの外周及び固定部材２０の通路２０４内における固定部材２０の底部に近いところには、それぞれ互いに噛合うことが可能なねじ山を設けている。固定部材２０の位置決め素子２０２は、固定部材２０のトップから通路２０４を介して固定部材２０の底部まで挿入され、その底部にロックされて、位置決めボール２０２ｃを固定部材２０の底部から露出させる。通路２０４をグリッパー２の固定部材２０に設けることによって、位置決め素子２０２が据え付けやすくなるだけではなく、固定部材２０の材料とコストを減少させることもできる。本実施形態において、固定部材２０に設けられる位置決め素子２０２は、位置決めボールねじ（Ｂａｌｌ‐Ｅｎｄｅｄ  Ｔｈｒｕｓｔ  Ｓｃｒｅｗ）であるが、これに限定されない。
【００３４】
なお、上述した実施形態において、通路２０４を設けないで、固定部材２０の底部に、位置決め素子２０２の本体２０２ａの外周と互いに噛合うことが可能なねじ山を設け、位置決め素子２０２を下から上まで固定部材２０の底部にロックするようにしてもよい。又、上述した実施形態において、位置決め素子２０２の本体２０２ａは、固定部材２０と一体成形してもよく、位置決め素子２０２の本体２０２ａに設けられた収容溝２０２ｄを固定部材２０の底部に設けるように変え、その収容溝２０２ｄ内に位置決めボール２０２ｃに接続される弾性部材２０２ｂを収容するようにすることによっても、位置決めの効果を同様に達成できる。
【００３５】
本実施形態において、グリッパー２が搬送機構１０のクロスバー１０２の側壁又は搬送機構１２のクロスバー１２２の側壁にロックされた際の構造強度を維持するために、グリッパー２の固定部材２０の材料は、金属材料を含んでよいが、これに限定されない。また、ウェハ３を挟み込んだり搭載したりする場合にウェハ３が擦りむかないように、搭載部材２２の材料は、弾性のある高分子材料を含んでよいが、これに限定されない。
【００３６】
本考案の実施形態に対する以上の詳しい説明から明確に分かれるように、本考案のグリッパーは、主にグリッパーを、搬送機構のクロスバーに固定される固定部材と、固定部材に対する快速な取り外し機能を達成できる搭載部材とに分解した。このツーピースのグリッパーによって、サービスマンは、素手だけで摩損されて交換が必要となるグリッパーの搭載部材を取り外して交換することができ、グリッパーを搬送機構に固定するための固定部材を搭載部材と一緒に取り外す必要がない。そのため、従来のグリッパーを取り外す場合のようにツールでねじを取り外しなければならない手間及び長い労働時間をなくすことができる。なお、本考案のグリッパーは、位置決め素子をさらに備えることによって、グリッパーの搭載部材を固定部材に確実に据え付けることができ、高い据え付け安定性を提供できる。
【００３７】
本考案の実施形態を上記のように開示したが、これは本考案を限定するものではなく、本考案の精神及び範囲から逸脱しない限り、当業者なら誰でも、多様な変動や修正を加えることができ、従って、本考案の保護範囲は、請求の範囲によって限定される。
【符号の説明】
【００３８】
２  グリッパー
１０、１２  搬送機構
２０  固定部材
２２  搭載部材
１００、１２０  接続ボート
１０２、１２２  クロスバー
２００  シュート
２００ａ  入口
２００ｂ  係止部
２０２  位置決め素子
２０２ａ  本体
２０２ｂ  弾性部材
２０２ｃ  位置決めボール
２０２ｄ  収容溝
２０２ｅ  開口
２０４  通路
２０６ａ  穿孔
２０６ｂ  ロック孔
２２０  凹溝
２２０ａ  内壁
２２０ｂ  突起
２２０ｃ  凹部
２２２ａ  第１の爪部
２２２ｂ  第２の爪部
２２４ａ  第１の側壁
２２４ｂ  第２の側壁
【図１】
0003172709.tif 000003
【図２Ａ】
0003172709.tif 000004
【図２Ｂ】
0003172709.tif 000005
【図３】
0003172709.tif 000006
【図４Ａ】
0003172709.tif 000007
【図４Ｂ】
0003172709.tif 000008