(57)【要約】【課題】塗布作業中、ガラス板のうねりや傾斜に合わせてスリットノズルのガラス板に対する傾きを調整して塗布ムラを軽減するガラス板の塗布装置を提供する。【解決手段】スリットノズル21を支持するフレーム31を水平方向に移動させると共に、フレーム31に対してスリットノズル全体を上下動させる第１上下駆動機構6及びスリットノズルの長手方向一端部を長手方向他端部を支点として上下に揺動させる第２上下駆動機構7が設けられた移動機構２を備える。スリットノズル21の近傍で長手方向両端部と中央部とに対応させてガラス板の表面までの距離を測定するノズルクリアランスセンサ8を設け、この検出結果に基づいて制御部はガラス板表面からスリットノズル下端までの距離を算出すると共にこの距離が設定距離となるようにガラス板の表面と略平行となるスリットノズルの高さと傾きを算出して第１上下駆動機構6及び第２上下駆動機構7を駆動させる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
保護ガラス板に塗布液を塗布するソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置であって、
前記保護ガラス板が載置される基台と、
前記基台に載置された前記保護ガラス板の表面に塗布液を吐出する幅広のスリットノズル及び前記スリットノズルを上下動可能に支持し前記基台上を股がって配置されるフレームを有し、前記フレームを前記スリットノズルの長手方向と直交する方向に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルの進行方向前方側近傍で、前記スリットノズルの長手方向両端部と中央部とに対応させて配置されるように前記フレームに取り付けられて前記保護ガラス板の表面までの距離を測定する非接触型のノズルクリアランスセンサと、
前記ノズルクリアランスセンサで検出した距離に基づいて、前記保護ガラス板の表面から前記スリットノズルの下端までの距離を算出する制御部とを備え、
前記移動機構は、前記フレームに対して前記スリットノズル全体を上下動させる第１上下駆動機構と、前記スリットノズルの長手方向一端部を長手方向他端部を支点として上下に揺動させる第２上下駆動機構とを備え、
前記制御部は、前記ノズルクリアランスセンサの検出結果に基づいて、前記保護ガラス板の表面と前記スリットノズル下端部との距離が設定した距離となり、前記保護ガラス板の表面と略平行となる前記スリットノズルの高さと傾きを算出し、算出結果に合わせて第１上下駆動機構及び第２上下駆動機構を駆動させることを特徴とするソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置において、
前記移動機構は、前記スリットノズルが取り付けられ、第１上下駆動機構によりフレームに対して上下動するノズル支持部を備え、第１上下駆動機構を構成する第１モータは前記フレームに固定され、第２上下駆動機構を構成する第２モータは前記ノズル支持部に固定され、前記スリットノズルの長手方向他端部が前記ノズル支持部に揺動可能に支持されているソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置において、
前記フレームにおける前記ノズルクリアランスセンサと対応する位置に、前記フレームの所定の位置から前記スリットノズルの所定位置までの距離を測定する確認用センサを設けているソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置において、
前記スリットノズルは、前記保護ガラス板の半分の長さを有し、
前記移動機構は、前記スリットノズルにより前記保護ガラス板を半分ずつ２回に分けて塗布するように構成されるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ソーラーパネルに用いられる保護ガラス板の表面に反射防止のための表面処理剤をコーティングするためのソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ソーラーパネル用の保護ガラス板は、その表面にフッ化マグネシウム、シリコン、二酸化ケイ素などの反射防止材をコーティングして反射防止膜を形成するＡＲコート（Anti Reflection Coating）を行なうことで、保護ガラス板の透過率を向上させ、ソーラーパネルの発電効率の低下を防ぐようにしている。
【０００３】
一般に、保護ガラス板の表面にＡＲコートを行なう処理は、スリット状の吐出部を有する幅広のスリットノズルを備えた塗布装置を用いて行なっている。この塗布装置は、保護ガラス板が載置される基台と、スリットノズルを上下動可能に支持し基台上に股がって配置されるフレームとを有し、このフレームを基台に対してスリットノズルの長手方向と直交する方向に移動させるようになっており、スリットノズルを移動させながら基台上に載置された保護ガラス板上に塗布材を塗布して、保護ガラス板表面全体に反射防止膜を形成する。
【０００４】
このような塗布装置では、反射防止膜の膜厚が均一となるように、基台上の保護ガラス板の表面とスリットノズルとの距離（ノズルクリアランス）を予め設定し、この距離が長手方向に対して一定になるようにスリットノズルの高さを調節しておいて、保護ガラス板の表面に塗布するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３０８２９６６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、保護ガラス板にうねりや反りがあったりして保護ガラス板が傾斜していたりすると、塗布工程中のノズルクリアランスを一定に確保できず、塗布ムラを生じさせることがあった。このように塗布ムラが生じると、所期のガラス透過率が得られないことがあった。
【０００７】
そこで、スリットノズルの長手方向両端部に保護ガラス板の表面とスリットノズルの下端との間の距離を測定するセンサを設け、塗布工程中に検出した距離が所定の許容範囲を超えた場合には異常状態であるとして塗布工程を停止するようにした塗布装置が提案されているが、許容範囲が広い場合には、依然として塗布ムラが生じるし、また、異常であると判断された場合には、塗布工程が停止されてしまうので、その製品は不良品となってしまう問題がある。
【０００８】
本考案は、上記事情に鑑みてなされたものであり、保護ガラス板にうねりや反りがあったり基台への配置不良で表面が傾斜したりしても、塗布作業を行いながらできるだけうねりや傾斜に合わせてスリットノズルの保護ガラス板に対する傾きを調整して塗布ムラを軽減するソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本考案に係るソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置は、
保護ガラス板に塗布液を塗布するソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置であって、
前記保護ガラス板が載置される基台と、
前記基台に載置された前記保護ガラス板の表面に塗布液を吐出する幅広のスリットノズル及び前記スリットノズルを上下動可能に支持し前記基台上を股がって配置されるフレームを有し、前記フレームを前記スリットノズルの長手方向と直交する方向に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルの進行方向前方側近傍で、前記スリットノズルの長手方向両端部と中央部とに対応させて配置されるように前記フレームに取り付けられて前記保護ガラス板の表面までの距離を測定する非接触型のノズルクリアランスセンサと、
前記ノズルクリアランスセンサで検出した距離に基づいて、前記保護ガラス板の表面から前記スリットノズルの下端までの距離を算出する制御部とを備え、
前記移動機構は、前記フレームに対して前記スリットノズル全体を上下動させる第１上下駆動機構と、前記スリットノズルの長手方向他端部を支点として長手方向一端部を上下に揺動させる第２上下駆動機構とを備え、
前記制御部は、前記ノズルクリアランスセンサの検出結果に基づいて、前記保護ガラス板の表面と前記スリットノズル下端部との距離が設定した距離となり、前記保護ガラス板の表面と略平行となる前記スリットノズルの高さと傾きを算出し、算出結果に合わせて第１上下駆動機構及び第２上下駆動機構を駆動させるように構成したものである。
【００１０】
このように、保護ガラス板への塗布工程中であっても、前記ノズルクリアランスセンサの検出結果に基づいて保護ガラス板の表面状態に合うように前記スリットノズルの高さと傾きを算出して、算出したノズルの高さと傾きとなるように第１上下駆動機構及び第２上下駆動機構を駆動させてスリットノズルの状態を調整するので、保護ガラス板表面とスリットノズル下端との距離を設定したノズルクリアランスに確保しながらコーティングできる。
その結果、本考案のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置によれば、保護ガラス板にうねりや反りがあったり保護ガラス板の配置不良で表面が傾いていたりしても、保護ガラス板上にほぼ均一に塗布材を塗布することができ、塗布ムラ少なく、透過率に優れたソーラーパネル用の保護ガラス板を歩留まり良く生産することができる。
【００１１】
また、本考案のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置は、前記移動機構が、前記スリットノズルが取り付けられ、第１上下駆動機構によりフレームに対して上下動するノズル支持部を備え、第１上下駆動機構を構成する第１モータは前記フレームに固定され、第２上下駆動機構を構成する第２モータは前記ノズル支持部に固定され、前記スリットノズルの長手方向他端部が前記ノズル支持部に揺動可能に支持されているように構成することが好ましい。
【００１２】
このような構成により、前記ノズル支持部に前記スリットノズルが取り付けるので、第１上下駆動機構により前記ノズル支持部を介して前記スリットノズル全体を算出した高さに調整でき、第２上下駆動機構により算出された高さ位置において前記スリットノズルの長手方向他端部を支点としてスリットノズルを揺動させて算出した傾きに調整することができる。このように、前記スリットノズルの高さ調整と傾きの調整を２つの上下駆動機構により個別に行なえるので、塗布工程中であっても、前記スリットノズルの傾き調整を容易に行なえる。
【００１３】
また、本考案のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置は、前記フレームにおける前記ノズルクリアランスセンサと対応する位置に、前記フレームの所定の位置から前記スリットノズルの所定位置までの距離を測定する確認用センサを設けることが好ましい。
【００１４】
このような構成によれば、前記確認用センサにより前記フレームの所定の位置から前記スリットノズルの所定位置までの距離を測定することで、前記ノズルクリアランスセンサの検出結果に基づいてスリットノズルの高さ及び傾きを調整した場合に、スリットノズルが算出した高さ及び傾きに第１上下駆動機構及び第２上下駆動機構によって動かされたか否かを確認することができる。
このように、前記確認用センサにより調整後のスリットノズルの動きが正しく動作したかを確認することができるので塗布不良を直ぐに発見できる。また、前記ノズルクリアランスセンサの検出位置が前記スリットノズルの下端位置と離れていることにより位相ズレがあるので、前記確認用センサの検出結果により、前記ノズルクリアランスセンサで検出した保護ガラス板の位置において算出した高さ及び傾きとなるように前記スリットノズルが動作するように動作タイミングを調整して塗布不良の発生を防ぐことができる。
【００１５】
また、本考案のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置は、前記スリットノズルの長さが前記保護ガラス板の半分の長さであり、前記移動機構が前記スリットノズルにより前記保護ガラス板を半分ずつ２回に分けて塗布するように構成してもよい。
このような構成により、保護ガラス板の傾きに対してノズルクリアランスの調整を精度良く行なうことができる。
【考案の効果】
【００１６】
以上のように、本考案のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置によれば、保護ガラス板への塗布工程中であっても、前記ノズルクリアランスセンサの検出結果に基づいて保護ガラス板の表面状態に合うように前記スリットノズルの高さ及び傾きを算出して、算出した高さと傾きとなるように第１上下駆動機構及び第２上下駆動機構を駆動させてスリットノズルの高さ及び傾きを調整するので、保護ガラス板にうねりがあったり、保護ガラス板の配置不良で表面が傾いていたりしても、保護ガラス板表面と前記スリットノズルの下端との距離を設定した距離に維持しながら保護ガラス板上にほぼ均一に塗布材を塗布することができるので、透過率に優れたソーラーパネル用の保護ガラス板を歩留まり良く生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の実施形態１によるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置の正面図である。
【図２】本考案の実施形態１によるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置の側面から見た断面図である。
【図３】本考案の実施形態１によるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置の平面図である。
【図４】本考案の実施形態１によるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置のノズル部分の拡大断面図である。
【図５】本考案の実施形態１のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置におけるノズルクリアランスセンサで検出した位置を座標で示した説明図である。
【図６】本考案の実施形態２によるソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置の正面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
［実施形態１］
以下に、本考案の実施形態１のソーラーパネル用保護ガラス板の塗布装置について添付の図１〜図４を参照しながら説明する。
実施形態１の保護ガラス板塗布装置１は、例えばソーラーパネルなどに用いられる保護ガラス板（以下、保護ガラス板という。）の表面に反射防止のための処理液（塗布材）を塗布する装置である。
【００１９】
保護ガラス板塗布装置１は、保護ガラス板１０が設置される基台１１と、基台１１に載置された保護ガラス板１０の表面に塗布材を吐出する幅広のスリットノズル２１を備える移動機構２とを備える。保護ガラス板１０は、太陽電池パネル用の保護ガラス板となる矩形ガラス板を使用している。スリットノズル２１は、長手方向の長さが保護ガラス板１０の幅と同一であり、スリットノズル２１の１回の走査で保護ガラス板１０の全面を塗布できるようになっている。塗布材は、フッ化マグネシウム、シリコン、二酸化ケイ素などの反射防止材を用いている。保護ガラス板１０の表面とスリットノズル２１の吐出口である下端との距離（ノズルクリアランスα）は、初期設定値として、例えば０．１〜０．２ｍｍに予め設定する。
【００２０】
基台１１は、保護ガラス板１０の載置面に多数の真空吸着口が開口されており、この真空吸着口に対して吸引部１２が設けられている。この吸引部１２によって基台１１に載置された保護ガラス板１０の裏面を吸引することで、保護ガラス板１０が基台１１に固定される。
【００２１】
移動機構２は、スリットノズル２１を上下動可能に支持する門型のフレーム３１を有しており、このフレーム３１は基台１１上を股がって配置される。さらに、移動機構２は、フレーム３１をスリットノズル２１の長手方向（本実施形態１ではＸ軸方向という。）と直交する方向（本実施形態１ではＹ軸方向という。）に移動させる水平駆動機構４を備える。
水平駆動機構４は、図３に示すように、Ｙ軸用サーボモータ４１とこのＹ軸用サーボモータ４１に接続されるＹ軸ボールねじ４２とを備える。さらに、水平駆動機構４は、図１に示すように、フレーム３１をＹ軸方向に案内するための水平ガイドレール４３ａとフレーム３１の下部に固定される支持ブロック４３ｂとを備え、水平ガイドレール４３ａは基台１１の側面に固定されている。
【００２２】
さらに、移動機構２は、スリットノズル２１が取り付けられるノズル支持部５１を備える。ノズル支持部５１は、Ｘ軸方向に長く、フレーム３１に固定される２つの上下ガイド部６５を介してフレーム３１に対して上下動可能に支持される共に、図４に示すように、上下ガイド部６５間において、後述する第１上下駆動機構６の第１ボールねじ６２の第１ねじ軸６３に配置される第１ナット６４に固定されている。ノズル支持部５１は、第１上下駆動機構６の第１ボールねじ６２の駆動に伴って２つの上下ガイド部６５によって案内されながらフレーム３１に対して上下動するようになっている。ノズル支持部５１に取り付けられるスリットノズル２１は、ノズル支持部５１の上下動に伴って全体が上下に移動するようになっている。
【００２３】
第１上下駆動機構６は、図４に示すように、第１ボールねじ６２と、第１ボールねじ６２を駆動させる第１サーボモータ６１を備え、第１サーボモータ６１は、スリットノズル２１の長手方向中央部に対応する位置においてフレーム３１に固定されている。第１ボールねじ６２の第１ねじ軸６３の上部と下部は、軸受け６６を介してフレーム３１に固定され、第１ねじ軸６３に螺合される第１ナット６４はノズル支持部５１に固定されている。
【００２４】
スリットノズル２１は、図１に示すように、長手方向一端部がクランク部材７５を介して後述する第２上下駆動機構７の第２ボールねじ７２の第２ねじ軸７３に配置される第２ナット７４に固定され、その長手方向他端部が揺動軸部７６を介してノズル支持部５１に揺動可能に支持されている。
【００２５】
第２上下駆動機構７は、図１及び図３に示すように、第２ボールねじ７２と、第２ボールねじ７２を駆動させる第２サーボモータ７１とを備え、第２サーボモータ７１は、ノズル支持部５１の揺動軸部７６とは反対側端部に固定されるモータ取付部材５２に固定されている。第２ボールねじ７２の第２ねじ軸７３の上部と下部は、軸受け７７を介してモータ取付部材５２に固定され、第２ねじ軸７３に螺合される第２ナット７４はクランク部材７５を介してスリットノズル２１に固定されている。第２ボールねじ７２の上下動はクランク部材７５によりスリットノズル２１の揺動運動に変換されるようになっており、スリットノズル２１は、第２上下駆動機構７の第２ボールねじ７２の駆動に伴って揺動軸部７６を支点としてノズル支持部５１に対して揺動する。
【００２６】
また、移動機構２のフレーム３１には、スリットノズル２１の進行方向前方側近傍で、スリットノズル２１の長手方向両端部と中央部とに配置されるように３つのノズルクリアランスセンサ８が取り付けられている。このノズルクリアランスセンサ８は、保護ガラス板１０の表面までの距離を測定するのであって、それぞれ支持部材８１を介してフレーム３１に固定されている。ノズルクリアランスセンサ８は、本実施形態１ではレーザセンサを用いている。レーザセンサは、簡単な構成で誤差の少ない測定を行うことができる。なお、ノズルクリアランスセンサ８としては、他に光センサや、静電容量センサ、磁気センサなども用いることができる。
【００２７】
さらに、フレーム３１におけるスリットノズル２１の長手方向両端部には、フレーム３１の所定の位置からスリットノズル２１の所定位置までの距離を測定する確認用センサ９を設けている。左右の確認用センサ９も本実施形態１ではレーザセンサを用いており、スリットノズル２１の上端に取付けた反射板９１に対してレーザ光を出射することにより、スリットノズル２１の高さ変位と傾き変位を確認することができる。即ち、これら変位のパターンと、ノズルクリアランスセンサ８の検出結果で算出されるスリットノズル２１の調整パターンとを対比することで、スリットノズル２１が所定タイミングで指示どおりに動いていたか確認することができる。このように、確認用センサ９により、調整後のスリットノズル２１の動きが正しく動作したかを確認することができるので、塗布不良を直ぐに発見でき、スリットノズル２１の動作タイミングを調整して塗布不良の発生を防ぐことができる。なお、確認用センサ９は、揺動軸部７６側に１つ配置するようにしてもよく、このように確認用センサ９を配置することでスリットノズル２１の高さは確認することができる。なお、図３において、確認用センサ９は省略している。
【００２８】
また、保護ガラス板塗布装置１は、図示していないが、ノズルクリアランスセンサ８で検出した距離に基づいて、保護ガラス板１０の表面からスリットノズル２１の下端までの距離を算出すると共に、水平駆動機構４のＹ軸用サーボモータ４１、第１上下駆動機構６の第１サーボモータ６１、そして、第２上下駆動機構７の第２サーボモータ７１の駆動を制御する制御装置を備える。
【００２９】
制御装置は、基台１１上に保護ガラス板１０が載置されて吸引部１２により吸引して固定されると、塗布が行われる前に、３つのノズルクリアランスセンサ８によって、保護ガラス板１０とスリットノズル２１の下端までの距離を算出して、保護ガラス板１０とスリットノズル２１との間の距離が予め設定された所定の値となるように第１上下駆動機構６及び第２上下駆動機構７を駆動させてスリットノズル２１の高さを調節する。そして、制御装置は、高さが調節された後、水平駆動機構４を駆動させてフレーム３１を移動させながらスリットノズル２１から塗布材を保護ガラス板１０表面に向けて塗布するように制御する。
【００３０】
また、制御装置は、塗布工程中において、ノズルクリアランスセンサ８の検出結果に基づいて、保護ガラス板表面とスリットノズル２１の下端部との距離が設定した距離となり、保護ガラス板表面と略平行となるスリットノズル２１の高さと傾きを算出し、算出結果に合わせて第１上下駆動機構６及び第２上下駆動機構７を駆動させる制御も行なう。
【００３１】
具体的には、制御装置は、ノズルクリアランスセンサ８で検出した３箇所のうち、図５に示すように、揺動支点近くをＡ点、長さ方向中間位置をＢ点、Ａ点とは反対側をＣ点としたとき、現時点でのＡ点、Ｂ点、Ｃ点におけるスリットノズル２１の下端位置のＸ軸とＺ軸との座標をＡ点（0，0）,Ｂ点（Ｘ2，Ｚ2）,Ｃ点（Ｘ3，Ｚ3）として、ノズルクリアランスセンサ８の検出結果に基づいて、スリットノズル２１の揺動支点近くであるＡ点（0，0）を基準として補正するＡ点の高さＺと、補正後のＡ点を基準とする傾斜角度θを以下の数式（１）及び数式（２）に基づいて算出して、算出後の高さＺと傾斜角度θとなるように第１上下駆動機構６と第２上下駆動機構７を駆動させるように制御する。なお、下記式（１）中、αはノズルクリアランスの初期設定値である。
Ｚ＝−（0+Ｚ2+Ｚ3）／３＋α  ・・・（１）
θ＝−tan-1[{(Ｚ2−0）／（Ｘ2−0)＋(Ｚ3−Ｚ2）／（Ｘ3−Ｘ2)}／２] ・・・（２）
【００３２】
このような計算式により、スリットノズル２１の高さ及び傾きを補正するためのスリットノズル２１の高さＺと傾斜角度θを算出することができるので、保護ガラス板表面の高さの平均値を算出することになり、保護ガラス板１０が傾斜している場合は勿論のこと、保護ガラス板１０にうねりがある場合でも、保護ガラス板全体に略均一に塗布材を塗布することができる。
【００３３】
本実施形態１では、ノズルクリアランスセンサ８をスリットノズル２１の近傍に配置させて保護ガラス板１０の表面とスリットノズル２１の下端との距離を求めているので、正確な距離を算出することができる。
【００３４】
また、第１サーボモータ６１の駆動に伴う第１ナット６４の位置、及び、第２サーボモータ７１の駆動に伴う第２ナット７４の位置は、それぞれのモータに対応して設けるロータリーエンコーダにより検出して制御装置に出力するようになっている。
【００３５】
本実施形態１によれば、ノズルクリアランスセンサ８及び第１サーボモータ６１がフレーム３１に固定されているので、ノズルクリアランスセンサ８で検出される距離は、常に高さが一定のフレーム３１の位置に対する距離であり、また、第１サーボモータ６１の駆動で上下動するノズル支持部５１の高さ位置は、フレーム３１の第１サーボモータ６１固定位置を基準とする第１ナット６４の位置で決定され、さらに、ノズル支持部５１に固定される第２サーボモータ７１の第２ナット７４の位置によりスリットノズル２１の傾きが決定されるので、ノズルクリアランスセンサ８の検出結果に基づいて、保護ガラス板１０の表面とスリットノズル２１の下端位置との距離を正確に算出できる。
【００３６】
以上のように、本実施の形態による保護ガラス板塗布装置１によれば、保護ガラス板１０への塗布工程中であっても、ノズルクリアランスセンサ８の検出結果に基づいて保護ガラス板１０の表面状態に合うようにスリットノズル２１の高さ及び傾きを算出して、算出した高さと傾きとなるように第１上下駆動機構６及び第２上下駆動機構７を駆動させてスリットノズル２１の高さ及び傾きを調整するので、保護ガラス板１０にうねりがあったり、保護ガラス板１０の配置不良で表面が傾いていたりしても、保護ガラス板表面とスリットノズル２１の下端との距離を設定した距離に維持しながら保護ガラス板１０上にほぼ均一に塗布材を塗布することができ、透過率に優れたソーラーパネル用の保護ガラス板を歩留まり良く生産することができる。
【００３７】
［実施形態２］
前記実施形態１の保護ガラス板塗布装置１は、スリットノズル２１の幅が保護ガラス板１０の全幅と同じ長さであったが、図６に示す本実施形態２の保護ガラス板塗布装置１のようにスリットノズル２２の幅を保護ガラス板１０の半分の長さとして、スリットノズル２２を基台上で２回走査させて塗布することにより、保護ガラス板１０の塗布材の塗布を完了するようにすることもできる。
【００３８】
本実施形態２の保護ガラス板塗布装置１では、スリットノズル２２を保護ガラス板１０の幅方向（Ｘ軸方向）へ移動させるＸ軸ボールねじ４４と、Ｘ軸用サーボモータ４５とが取付けられており、スリットノズル２２を支持するノズル支持部５３もスリットノズル２２の長さに合わせて短くなっている。
【００３９】
ノズルクリアランスセンサ８は、スリットノズル２２の長さが短くても、実施形態１と同様に３つ設けている。本実施形態２の保護ガラス板塗布装置１は、スリットノズル２２、ノズル支持部５３、Ｘ軸ボールねじ４４、そして、Ｘ軸用サーボモータ４５の構成を除き、その他の構成は、実施形態１の保護ガラス板塗布装置１と同じ構成であるので、同じ構成部分は同じ符号で示し、説明を省略する。
【００４０】
本実施形態２の保護ガラス板塗布装置１では、１回目の塗布で保護ガラス板１０の右半分を塗布し、そのままフレーム３１をバックさせ、Ｘ軸用サーボモータ４５を駆動してスリットノズル２２を保護ガラス板１０の左半分側へ移動させ、２回目の塗布で保護ガラス板１０の左半分を塗布するようになっている。
【００４１】
本実施形態２の保護ガラス板塗布装置１の構成によれば、スリットノズル２２の長さが保護ガラス板１０の半分の長さであるので、保護ガラス板１０の反りに対してより精度良くスリットノズル２２を位置調整することができ、厚みムラのない均一な膜厚の塗布が行える。本実施形態２にように、ノズル幅は、短く、数回に分けて塗布する方が保護ガラス板の反りに合わせて位置調整し易くなる。
【００４２】
なお、本考案は、上述の実施の形態のみに限定されず、本考案の範囲内で種々の変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１  保護ガラス板塗布装置
２  移動機構
４  水平駆動機構
６  第１上下駆動機構  
７  第２上下駆動機構
８  ノズルクリアランスセンサ
９  確認用センサ
１０  保護ガラス板
１１  基台
２１  スリットノズル
３１  フレーム
５１  ノズル支持部  
５２  モータ取付部材
６１  第１サーボモータ
６２  第１ボールねじ
６５  上下ガイド部
７１  第２サーボモータ
７２  第２ボールねじ
【図１】
0003177944.tif 000003
【図２】
0003177944.tif 000004
【図３】
0003177944.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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