(57)【要約】      （修正有）【課題】炉幅の拡張に伴う炉幅方向の温度ばらつきを低減することができる加熱炉を提供する。【解決手段】発熱部と非発熱部を有する棒状ＳｉＣヒータ５を、炉幅方向で炉壁を貫通して、炉長手方向に複数配置した加熱炉において、炉長手方向に複数配置された棒状ＳｉＣヒータ５間には、一方の炉壁４に保持されて該内壁面７近辺を加熱する補助ヒータを備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
発熱部と非発熱部を有する棒状ＳｉＣヒータを、炉幅方向で炉壁を貫通して、炉長手方向に複数配置した加熱炉において、
炉長手方向に複数配置された棒状ＳｉＣヒータ間には、一方の炉壁に保持されて該内壁面近辺を加熱する補助ヒータを備える
ことを特徴とする加熱炉。
【請求項２】
該棒状ＳｉＣヒータが貫通する炉壁の内壁面側に、切欠き部が形成され、
該棒状ＳｉＣヒータは、切欠き部内を非発熱部、内壁面から炉内側を発熱部とすることを特徴とする請求項１記載の加熱炉。
【請求項３】
補助ヒータを、炉長手方向で該棒状ＳｉＣヒータと交互に配置したことを特徴とする請求項１または２記載の加熱炉。
【請求項４】
補助ヒータは、棒形状を有し、炉壁からの突出部が、炉幅の１／２０〜１／５であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の加熱炉。
【請求項５】
補助ヒータは、コ字形状を有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の加熱炉。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、加熱炉の炉内ヒータ配置構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品用粉体の焼成技術として、粉末原料を匣鉢と呼ばれる耐熱容器内に収納し、高温の加熱炉内を搬送しながら高温で熱処理する方法が知られている。当該加熱処理方法においては、炉内でのコンタミ防止の観点から、セラミック製のヒータが使用されることが多く、特に、棒状のＳｉＣヒータが多く採用されている（特許文献１）。
【０００３】
該棒状ＳｉＣヒータの炉内配置に関し、従来、棒状ＳｉＣヒータが貫通する炉壁の内壁面側におけるヒータの過加熱およびこれに伴うヒータ劣化を回避する観点から、図５に示すように、棒状ヒータの発熱部が内壁面と５０ｍｍ程度離れた位置にくるように調整する方法が採用されていた。元来、炉壁付近の温度は、炉壁からの放熱により低くなる傾向が見られるが、前記のような棒状ヒータの発熱部配置を採用すると、内壁近辺における温度低下が更に顕著になる現象が観察される。
【０００４】
特に、近年、炉の生産性向上を目的として炉幅が拡張される傾向にあるが、これに伴って、炉幅方向における温度ばらつきも大きくなり、被焼成物の品質にバラつきが生じる問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１０３３３１号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案の目的は前記を解決し、炉幅の拡張に伴う炉幅方向の温度ばらつきを低減することができる加熱炉を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本考案の加熱炉は、発熱部と非発熱部を有する棒状ＳｉＣヒータを、炉幅方向で炉壁を貫通して、炉長手方向に複数配置した加熱炉において、炉長手方向に複数配置された棒状ＳｉＣヒータ間には、一方の炉壁に保持されて該内壁面近辺を加熱する補助ヒータを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２記載の考案は、請求項１記載の加熱炉において、該棒状ＳｉＣヒータが貫通する炉壁の内壁面側に、切欠き部が形成され、該棒状ＳｉＣヒータは、切欠き部内を非発熱部、内壁面から炉内側を発熱部とすることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３記載の考案は、請求項１または２記載の加熱炉において、補助ヒータを、炉長手方向で該棒状ＳｉＣヒータと交互に配置したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４記載の考案は、請求項１〜３の何れかに記載の加熱炉において、補助ヒータは、棒形状を有し、炉壁からの突出部が、炉幅の１／２０〜１／５であることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５記載の考案は、請求項１〜３の何れかに記載の加熱炉において、補助ヒータは、コ字形状を有することを特徴とするものである。
【考案の効果】
【００１２】
従来、ＳｉＣヒータが貫通する炉壁の内壁面側におけるヒータの過加熱およびこれに伴うヒータ劣化を回避する観点から、図５に示すように、ヒータの発熱部が内壁面と５０ｍｍ程度離れた位置にくるように調整する方法が採用されており、当該構造に起因して、内壁近辺では炉内温度が低くなる現象があったが、本考案に係る加熱炉は、炉幅方向で炉壁を貫通して配置した加熱炉において、一方の炉壁に保持されて内壁面近辺を加熱する補助ヒータを備える構成を合わせて採用することにより、従来、内壁近辺では炉内温度が低くなっていた現象を回避可能としている。
【００１３】
すなわち、本考案によれば、従来、内壁近辺では炉内温度が低くなっていた現象を回避することができるため、炉の生産性向上を目的として炉幅を拡張した場合であっても、炉幅方向における温度ばらつきを効果的に抑制することができる。
【００１４】
なお、更に、棒状ＳｉＣヒータが貫通する炉壁の内壁面側に、切欠き部を形成され、該棒状ＳｉＣヒータは、切欠き部内を非発熱部、内壁面から炉内側を発熱部とする構成を追加して備える構成によれば、より効果的に炉幅方向における温度ばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の加熱炉の炉幅方向拡大断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面図である。（補助ヒータに関する他の実施形態）
【図４】本実施形態の加熱炉に使用される棒状ＳｉＣヒータの構成説明図および炉内温度分布図である。
【図５】従来技術の加熱炉に使用される棒状ＳｉＣヒータの構成説明図および炉内温度分布図である。
【考案を実施するための形態】
【００１６】
以下に本考案の好ましい実施形態を示す。
【００１７】
図１には、本実施形態の加熱炉を示す炉幅方向の拡大断面図を示している。本実施形態における加熱炉は、ローラーハースキルンであり、炉体１は周知のトンネル構造であり、その内部に一定ピッチで多数の搬送用のローラ２が配置されている。各ローラ２は高温強度に優れたＳｉ−ＳｉＣ製であり、炉外に設置された駆動装置によって一定速度で駆動されている。なおＳｉ−ＳｉＣはＳｉを含浸させた緻密なＳｉＣであり、１３００℃において２５０ＭＮ/ｍ２という高強度を有する。また耐クリープ性、耐酸化性、赤外線の放射性にも優れる材質である。
【００１８】
被焼成物である粉体はセラミック製の匣鉢３に収納され、複数の匣鉢３を配列した状態でローラ２上を搬送され、５００〜１２００℃で熱処理される。
【００１９】
炉内６の上部および下部には、各々、炉幅方向で炉壁４を貫通して棒状ＳｉＣヒータ５が配置されている。また、図２に示すように、炉長手方向には、該棒状ＳｉＣヒータ５と補助ヒータ９とが交互に配置されている。棒状ＳｉＣヒータ５の炉壁からの突出部が、炉幅の１/２０未満の場合、壁面の温度補助をするためのヒータ出力が稼げず、炉幅の１/５超の場合 、炉の中心部分の温度が高くなりがちな領域へ補助ヒータが影響を及ぼす恐れがあるため、棒状ＳｉＣヒータ５の炉壁からの突出部は、炉幅の１／２０〜１／５とすることが好ましい。
【００２０】
ただし、補助ヒータは、一方の炉壁４に保持されて該炉壁４近辺を加熱する機能を奏すればよく、本実施形態では、棒状の補助ヒータ９を使用しているが、補助ヒータ９の形状等は特に限定されず、例えば、図３に示すようなコ字状のものを使用することもできる。
【００２１】
図３に示すように、棒状ＳｉＣヒータ５は、発熱を行う発熱部５１と、発熱を行わない非発熱部５２ｂを有している。
【００２２】
炉壁４の内壁面７側には、コーン形状の切欠き部８が形成されており、棒状ＳｉＣヒータ５は、切欠き部内を非発熱部５２ｂ、内壁面７から炉内６側を発熱部５１を有している。
【００２３】
従来、ＳｉＣヒータが貫通する炉壁４の内壁面７側におけるヒータの過加熱およびこれに伴うヒータ劣化を回避する観点から、図５に示すように、棒状ＳｉＣヒータ５の発熱部５１が内壁面７と５０ｍｍ程度離れた位置にくるように調整する方法が採用されており、当該構造に起因して、内壁面７近辺では炉内温度が低くなる現象があったが、本考案に係る加熱炉は、炉幅方向で炉壁を貫通して配置した加熱炉において、一方の炉壁に保持されて内壁面近辺を加熱する補助ヒータを備える構成を合わせて採用することにより、従来、内壁近辺では炉内温度が低くなっていた現象を回避可能としている。本実施形態では、棒状ＳｉＣヒータ５が貫通する炉壁４の内壁面７側に、切欠き部８を形成し、棒状ＳｉＣヒータの、切欠き部８内に配置される部分を非発熱部５２ｂ、内壁面から炉内側に配置される部分を発熱部５１とする構成、および、一方の炉壁４に保持されて内壁面７近辺を加熱する補助ヒータ９を備える構成を合わせて採用を採用することにより、当該現象を更に効果的に回避可能としている。
【００２４】
すなわち本考案によれば、従来、内壁近辺では炉内温度が低くなっていた現象を回避することができるため、炉の生産性向上を目的として炉幅を拡張した場合であっても、炉幅方向における温度ばらつきを効果的に抑制することができる。
【符号の説明】
【００２５】
１  炉体
２  ローラ
３  匣鉢
４  炉壁
５  棒状ＳｉＣヒータ
５１  発熱部
５２ｂ  非発熱部
６  炉内
７  内壁面
８  切欠き部
９  補助ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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