(57)【要約】      （修正有）【課題】駆動機構を収容するケーシングの開口部を壁状蓋部材で閉塞するにあたり、当該閉塞の構造に工夫を凝らし、ケーシングの開口部側端面と当該端面に対する壁状蓋部材の対応部位との間で係止し合うようにしたダイヤフラム式弁装置を提供する。【解決手段】駆動機構を収容する四角筒状周壁２０ａを壁状蓋部材３０と組み付ける構成として、両係止部２５が、四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１の開口端面上に突設され、一方、両被係止部３５が、壁状蓋部材３０に形成されている。そして、各係止部２５を各被係止部３５の厚さ方向挿入開口部３５ａ内に挿入した後、互いに重畳してなる上側ケーシング及び壁状蓋部材３０を相対的に回動させて、各係止部２５の折れ曲がり部２５ｂを各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂ内に挿入する。【選択図】図７
0003205155.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
筒状周壁を有し、かつ当該筒状周壁と共に樹脂でもって一体的に形成されて前記筒状周壁の軸方向一側開口部を閉塞する端壁を一側端壁として有する一側ケーシングと、
当該一側ケーシングの前記筒状周壁をその軸方向他側開口部にて閉塞するように前記一側ケーシングに組み付けられる壁状蓋部材と、
前記一側ケーシングにその前記軸方向他側開口部にて前記壁状蓋部材を介し支持される軸方向一側開口部を有して、当該軸方向一側開口部にて、前記一側ケーシングの前記軸方向他側開口部に前記壁状蓋部材を介し同軸的に組み付けられる筒状周壁と、当該筒状周壁の軸方向他側開口部を閉塞するように当該筒状周壁と共に前記樹脂でもって一体的に形成される他側端壁とを有する他側ケーシングと、
前記一側ケーシングの筒状周壁の中空部内に軸動可能に収容されて当該中空部を前記一側端壁側及び前記壁状蓋部材側の各領域に区画して一側室及び他側室を形成するピストンと、当該ピストンから前記壁状蓋部材を通り前記他側ケーシングの内部に軸動可能に延出するピストンロッドと、前記一側室或いは前記他側室内に収容されて前記ピストンをその一側軸方向或いは他側軸方向に付勢するスプリングとを有する駆動機構と、
前記他側ケーシングの内部に延出する前記ピストンロッドの延出端部に同軸的に支持される弁体と、前記他側ケーシング及び前記壁状蓋部材の境界部と前記弁体の外壁部との間に連結されて前記他側ケーシングの前記中空部を、前記弁体を収容する弁体室及び前記壁状蓋部材を通り外部に開放される空気室に区画するように、前記弁体と共に前記樹脂でもって一体的に形成してなる環状膜部を有するダイヤフラムとを備えており、
前記他側ケーシングは、その筒状周壁に形成されて前記弁体室内に開口する一側流路と、前記弁体室内にて前記弁体と共に弁部を構成するように前記他側端壁に形成してなる環状弁座と、当該環状弁座を介し前記弁体室内に開口するように前記他側端壁に形成してなる他側流路とを備えて、薬液その他の液体を、前記弁部及び前記弁体室を介し、前記一側及び他側流路の一方から他方に向けて流動させるようにしたダイヤフラム式弁装置において、
前記一側ケーシングは、その筒状周壁の前記軸方向他側開口部の開口端面に、複数の係止部を円周方向に沿い間隔をおいて配設してなり、
前記壁状蓋部材は、その外周部にて、複数の被係止部を前記複数の係止部に対応するように配設してなり、
前記複数の係止部の各々は、その前記一側ケーシングの前記筒状周壁の前記軸方向他側開口部の前記開口端面に対する配設部位から前記壁状蓋部材に向けて軸方向に突出する突出部と、当該突出部から前記円周方向に沿い同一の向きにてＬ字状に折れ曲がるように延出する折れ曲がり部とでもって構成されており、
前記複数の被係止部の各々は、前記壁状蓋部材の前記各係止部に対する各対応部位にて、当該各係止部を前記折れ曲がり部から前記壁状蓋部材の厚さ方向に挿入可能なように厚さ方向挿入開口部を形成するとともに、前記壁状蓋部材を前記一側ケーシングに対し前記折れ曲がり部の延出方向とは逆方向に相対回動させたとき当該折れ曲がり部を挿入可能なように前記厚さ方向挿入開口部から前記壁状蓋部材の面に沿い前記折れ曲がり部の延出方向に延出するように形成される面方向挿入開口部を形成してなり、
前記一側ケーシングが、その筒状周壁の軸方向開口端部にて、前記複数の係止部をその各折れ曲がり部から前記複数の被係止部の各対応の前記厚さ方向挿入開口部内に挿入するようにして前記壁状蓋部材に重畳された状態にて、前記各折れ曲がり部を各対応の前記面方向挿入開口部内に挿入するように前記壁状蓋部材を前記一側ケーシングに対し相対回動することで、前記一側ケーシング及び前記壁状蓋部材の組み付けを行うようにしたことを特徴とするダイヤフラム式弁装置。
【請求項２】
前記各被係止部の前記面方向挿入開口部は、その前記厚さ方向挿入開口部に対する延出方向中間部位にて、前記折れ曲がり部に向け開口するように溝部を形成してなり、
前記各係止部の折れ曲がり部は、その延出端部にて、各対応の前記被係止部の前記面方向挿入開口部の前記溝部内に係合するように当該溝部側に向けて突出する突部を形成してなり、
前記各係止部がその各折れ曲がり部にて各対応の前記面方向挿入開口部内に挿入されたとき、前記各折れ曲がり部がその突部にて各対応の前記被係止部の前記面方向挿入開口部の前記溝部内に係合するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム式弁装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体素子や液晶パネルの製造に用いられる薬液の流れを制御するに適したダイヤフラム式弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のダイヤフラム式弁装置に類似する弁装置においては、例えば、下記特許文献１により開示された流体制御弁がある。当該流体制御弁は、アクチュエータ部、ボディ及び取り付け板を重ね合わせてボルトで固定することで組み立てられている。
【０００３】
当該流体制御弁において、アクチュエータ部は、シリンダ、当該シリンダ内に収容される駆動部及びシリンダの開口部を閉塞するカバーでもって構成されている。ここで、駆動部は、ピストンロッドと、当該ピストンロッドの軸方向中間部位に支持されるピストンと、ピストンのカバー側にてピストンロッドに嵌装されてピストンとカバーの間に挟持されるバネとでもって構成されている。
【０００４】
また、当該アクチュエータ部において、シリンダは係止部を有しており、当該係止部は、シリンダの内壁に対し、径内側に突出するとともに当該内壁の周方向に円弧状に形成されている。一方、カバーは、突出部を有しており、当該突出部は、カバーの円環部に対し径外側に突出するとともに円環部の周方向に係止部の形状に対応した円弧状に形成されている。
【０００５】
しかして、カバーでシリンダの開口部を閉塞するにあたっては、カバーを、バネを圧縮しながらシリンダの開口部に重ね合わせた後、カバーを、その突出部にてシリンダの係止部に達する位置まで、シリンダに対し相対回転させることで、カバーをその突出部にてシリンダの係止部に係留させて、シリンダの開口部を閉塞する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１５３６５１号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述の流体制御弁においては、係止部がシリンダの径内側へ突出するように形成されるとともに、突出部が、カバーの径外側へ突出するように形成されている。このことは、係止部及び突出部が、それぞれ、シリンダ及びカバーの半径方向に突出するように形成されていることを意味する。
【０００８】
しかしながら、シリンダ及びカバーがそれぞれ樹脂成形される場合、上述のように、係止部及び突出部が、それぞれ、シリンダ及びカバーの半径方向に突出するように形成されているために、シリンダ及びカバーの成形が複雑になるという不具合が生ずる。
【０００９】
そこで、本考案は、このようなことに対処するため、駆動機構を収容するケーシングの開口部を壁状蓋部材で閉塞するにあたり、当該閉塞の構造に工夫を凝らし、ケーシングの開口部側端面と当該端面に対する壁状蓋部材の対応部位との間で係止し合うようにしたダイヤフラム式弁装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題の解決にあたり、本考案に係るダイヤフラム式弁装置は、請求項１の記載によれば、
筒状周壁（２０ａ）を有し、かつ当該筒状周壁と共に樹脂でもって一体的に形成されて上記筒状周壁の軸方向一側開口部を閉塞する端壁を一側端壁（２０ｂ）として有する一側ケーシング（２０）と、
当該一側ケーシングの上記筒状周壁をその軸方向他側開口部（２１）にて閉塞するように一側ケーシングに組み付けられる壁状蓋部材（３０）と、
一側ケーシングにその上記軸方向他側開口部にて壁状蓋部材を介し支持される軸方向一側開口部を有して、当該軸方向一側開口部にて、一側ケーシングの上記軸方向他側開口部に壁状蓋部材を介し同軸的に組み付けられる筒状周壁（４０ａ）と、当該筒状周壁の軸方向他側開口部を閉塞するように当該筒状周壁と共に上記樹脂でもって一体的に形成される他側端壁（４０ｂ）とを有する他側ケーシング（４０）と、
一側ケーシングの筒状周壁の中空部内に軸動可能に収容されて当該中空部を上記一側端壁側及び壁状蓋部材側の各領域に区画して一側室（２２ｃ）及び他側室（２２ｄ）を形成するピストン（５０）と、当該ピストンから壁状蓋部材を通り他側ケーシングの内部に軸動可能に延出するピストンロッド（５０ａ）と、上記一側室或いは上記他側室内に収容されて上記ピストンをその一側軸方向或いは他側軸方向に付勢するスプリング（６０）とを有する駆動機構（Ｄ）と、
他側ケーシングの内部に延出する上記ピストンロッドの延出端部に同軸的に支持される弁体（７０ａ）と、他側ケーシング及び壁状蓋部材の境界部と上記弁体の外壁部との間に連結されて他側ケーシングの上記中空部を、上記弁体を収容する弁体室（Ｒｂ）及び壁状蓋部材を通り外部に開放される空気室（Ｒａ）に区画するように、上記弁体と共に上記樹脂でもって一体的に形成してなる環状膜部（７０ｂ、７０ｃ）を有するダイヤフラム（７０）とを備えており、
他側ケーシングは、その筒状周壁に形成されて上記弁体室内に開口する一側流路（４３ａ、４４）と、上記弁体室内にて上記弁体と共に弁部を構成するように上記他側端壁に形成してなる環状弁座（４０ｃ）と、当該環状弁座を介し上記弁体室内に開口するように上記他側端壁に形成してなる他側流路（４３ｂ、４５）とを備えて、薬液その他の液体を、上記弁部及び上記弁体室を介し、上記一側及び他側流路の一方から他方に向けて流動させる。
【００１１】
当該ダイヤフラム式弁装置において、
一側ケーシングは、その筒状周壁の上記軸方向他側開口部の開口端面に、複数の係止部（２５）を円周方向に沿い間隔をおいて配設してなり、
壁状蓋部材は、その外周部にて、複数の被係止部（３５）を上記複数の係止部に対応するように配設してなり、
上記複数の係止部の各々は、その一側ケーシングの上記筒状周壁の上記軸方向他側開口部の上記開口端面に対する配設部位から壁状蓋部材に向けて軸方向に突出する突出部（２５ａ）と、当該突出部から上記円周方向に沿い同一の向きにてＬ字状に折れ曲がるように延出する折れ曲がり部（２５ｂ）とでもって構成されており、
上記複数の被係止部の各々は、壁状蓋部材の上記各係止部に対する各対応部位にて、当該各係止部を上記折れ曲がり部から壁状蓋部材の厚さ方向に挿入可能なように厚さ方向挿入開口部（３５ａ）を形成するとともに、壁状蓋部材を一側ケーシングに対し上記折れ曲がり部の延出方向とは逆方向に相対回動させたとき当該折れ曲がり部を挿入可能なように上記厚さ方向挿入開口部から壁状蓋部材の面に沿い上記折れ曲がり部の延出方向に延出するように形成される面方向挿入開口部（３５ｂ）を形成してなり、
一側ケーシングが、その筒状周壁の軸方向開口端部にて、上記複数の係止部をその各折れ曲がり部から上記複数の被係止部の各対応の上記厚さ方向挿入開口部内に挿入するようにして壁状蓋部材に重畳された状態にて、上記各折れ曲がり部を各対応の上記面方向挿入開口部内に挿入するように壁状蓋部材を一側ケーシングに対し相対回動することで、一側ケーシング及び壁状蓋部材の組み付けを行うようにしたことを特徴とする。
【００１２】
これによれば、一側ケーシング及び壁状蓋部材を相互に組み付けるにあたっては、壁状蓋部材により一側ケーシング内に駆動機構をスプリングに抗して押し込むようにして、各係止部を各対応の被係止部の厚さ方向挿入開口部内に挿入しながら一側ケーシングと壁状蓋部材とを相互に捻じれた重畳状態にした後、当該重畳状態を解消するように一側ケーシング及び壁状蓋部材を相対回動させて、各係止部の折れ曲がり部を各対応の被係止部の面方向挿入開口部内に挿入するようにして一側ケーシング及び壁状蓋部材を相互に組み付ける。
【００１３】
従って、コイルスプリングの反発力が強くても、容易に一側ケーシングと壁状蓋部材との間の組み付けを達成することができる。
【００１４】
また、上述のように、各係止部は、一側ケーシングの筒状周壁の軸方向開口部の開口端面上に軸方向に突出され、一方、各被係止部は、壁状蓋部材において各対応の係止部により軸方向に係止されるように形成されている。従って、一側ケーシング及び壁状蓋部材の樹脂による形成が簡単になる。
【００１５】
また、各係止部の各被係止部との係止状態が、壁状蓋部材に対する他側ケーシングの組み付けによって、壁状蓋部材と下側ケーシングの筒状周壁との間に隠れるので、当該ダイヤフラム式弁装置の見栄えを損なうことがない。
【００１６】
また、上述のように壁状蓋部材の一側ケーシングに対する組み付けによって、駆動機構がしっかりと一側ケーシング内に収容保持され得ることで、一側ケーシング及び壁状蓋部材に対するダイヤフラムや他側ケーシングの組み付けが、弁体や環状弁座に傷をつけることなく行われ得る。従って、弁装置の組み立てによるパーティクルの発生が良好に抑制され得る。
【００１７】
また、本考案は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載のダイヤフラム式弁装置において、
上記各被係止部の上記面方向挿入開口部は、その上記厚さ方向挿入開口部に対する延出方向中間部位にて、上記折れ曲がり部に向け開口するように溝部（３５ｃ）を形成してなり、
上記各係止部の折れ曲がり部は、その延出端部にて、各対応の上記被係止部の上記面方向挿入開口部の上記溝部内に係合するように当該溝部側に向けて突出する突部（２５ｃ）を形成してなり、
上記各係止部がその各折れ曲がり部にて各対応の上記面方向挿入開口部内に挿入されたとき、上記各折れ曲がり部がその突部にて各対応の上記被係止部の上記面方向挿入開口部の上記溝部内に係合するようにしたことを特徴とする。
【００１８】
これによれば、一側ケーシングと壁状蓋部材との組み付けにあたり、壁状蓋部材により一側ケーシング内に駆動機構をスプリングに抗して押し込むようにして、各係止部を各対応の被係止部の厚さ方向挿入開口部内に挿入しながら一側ケーシングと壁状蓋部材とを相互に捻じれた重畳状態にした後、当該重畳状態を解消するように一側ケーシング及び壁状蓋部材を相対回動させて、各係止部の折れ曲がり部を各対応の被係止部の面方向挿入開口部内に挿入する。
【００１９】
このとき、各係止部の折れ曲がり部は、その突部の面方向挿入開口部の内面との接触に基づき生ずる弾力に抗して、溝部とは反対側へ緩やかに湾曲しながら各面方向挿入開口部内に挿入される。然る後、各折れ曲がり部がその弾力に基づきその突部にて各面方向挿入開口部の溝部内に係合する。
【００２０】
このため、各折れ曲がり部が各面方向挿入開口部内にしっかりと挿入保持され得る。その結果、一側ケーシングと壁状蓋部材との間の組み付けをより一層強固にし得ることで、請求項１に記載の考案の作用効果がより一層向上され得る。
【００２１】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本考案の第１実施形態に係るダイヤフラム式弁装置を表す斜視図である。
【図２】図１の２−２線に沿うダイヤフラム式弁装置の縦断面図である。
【図３】図１の３−３線に沿うダイヤフラム式弁装置の縦断面図である。
【図４】上記第１実施形態において一側ケーシング及び壁状蓋部材を分解した状態にて示す分解斜視図である。
【図５】図４にて駆動機構を壁状蓋部材により一側ケーシングの筒状周壁内に押し込んだ状態を示す分解斜視図である。
【図６】図５において壁状蓋部材を一側ケーシングに対し捩じった状態でその筒状周壁に当接させた状態を示す分解斜視図である。
【図７】図６にて符号Ｃにより示す部分の拡大破断斜視図である。
【図８】図６にて壁状蓋部材の一側ケーシングの筒状周壁に対する捩じれを解消した状態にて示す斜視図である。
【図９】図８にて符号Ｃ１より示す部分の拡大破断斜視図である。
【図１０】本考案の第２実施形態の要部を示す拡大破断斜視図である。
【図１１】図１０にて示す係止部がその折れ曲がり部の突部にて、被係止部の面方向挿入開口部の溝部内に係合した状態を示す破断斜視図である。
【考案を実施するための形態】
【００２３】
以下、本考案の各実施形態を図面により説明する。
（第１実施形態）
図１は、本考案に係るダイヤフラム式弁装置の第１実施形態を示している。当該ダイヤフラム式弁装置（以下、ダイヤフラム式弁装置Ｖともいう）は、図１〜図３のいずれにて示すごとく、ケーシング２０（以下、上側ケーシング２０ともいう）と、当該上側ケーシング２０内に収容される駆動機構Ｄと、上側ケーシング２０の中空部を閉塞する壁状蓋部材３０と、下側ケーシング４０とを備えている。なお、本第１実施形態では、上側ケーシング２０、壁状蓋部材３０及び下側ケーシング４０は、後述するダイヤフラム７０と共に、ポリテトラフルオロエチレンその他の樹脂でもって形成されている。
【００２４】
上側ケーシング２０は、図２或いは図３に示すごとく、四角筒状周壁２０ａと、上壁２０ｂとを備えており、上壁２０ｂは、四角筒状周壁２０ａの上端開口部を閉塞するように当該四角筒状周壁２０ａと一体的に形成されて上側ケーシング２０を構成している。
【００２５】
四角筒状周壁２０ａは、その中空部にて、段付き内孔部２２として形成されており、当該段付き内孔部２２は、大径内孔部２２ａ及び小径内孔部２２ｂでもって構成されている。
【００２６】
ここで、これら大径内孔部２２ａ及び小径内孔部２２ｂは、上側ケーシング２０の軸方向開口端部２１から当該上側ケーシング２０の上壁２０ｂにかけて、同軸的に形成されている。
【００２７】
また、上側ケーシング２０は、その四角筒状周壁２０ａにて、流入孔部２３及び排出孔部２４を有しており、流入孔部２３は、四角筒状周壁２０ａの下側部位に貫通状に形成した連通路部２３ａを介し当該四角筒状周壁２０ａ内に連通している。これにより、空気流供給源（図示せず）からの高圧の空気流は、上側ケーシング２０の四角筒状周壁２０ａの下側室２２ｄ（後述する）内に流入孔部２３及び連通路部２３ａを通り流入する。なお、排出孔部２４は、四角筒状周壁２０ａの上側部位に貫通状に形成してなる連通路部２４ａを通り四角筒状周壁２０ａ内の上側室２２ｃ（後述する）の内部に連通して、当該上側室２２ｃ内の空気を外部に排出する役割を果たす。
【００２８】
壁状蓋部材３０は、図２、図３或いは図４にて示すごとく、四角形状壁部３１と、当該壁部３１からピストン５０（後述する）側へ同軸的に突出する上側突壁部３２とを有しており、当該壁状蓋部材３０は、上側突壁部３２にて、四角筒状周壁２０ａ内にその軸方向開口部２１からＯリング３２ａを介し嵌装されるとともに、四角形状壁部３１にて、四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１に当接している。これにより、壁状蓋部材３０は、四角筒状周壁２０ａの中空部を閉塞する役割を果たす。
【００２９】
また、壁状蓋部材３０は、四角形状壁部３１から上側突壁部３２とは反対側へ同軸的に突出する下側突部３３を備えており、当該下側突部３３は、その小径突部３４にて、下側ケーシング４０内に突出している。
【００３０】
下側ケーシング４０は、四角筒状周壁４０ａと、底壁４０ｂとを備えており、底壁４０ｂは、四角筒状周壁４０ａの下端開口部を閉塞するように当該四角筒状周壁４０ａとともに一体的に形成されて、下側ケーシング４０を構成している。
【００３１】
四角筒状周壁４０ａは、図２にて示すごとく、その中空部にて、段付き内孔部４２として形成されており、当該段付き内孔部４２は、小径内孔部４２ａ及び大径内孔部４２ｂでもって構成されている。
【００３２】
小径内孔部４２ａは、底壁４０ｂ側に位置しており、大径内孔部４２ｂは、図２にて示すごとく、四角筒状周壁４０ａの開口部側に位置するように小径内孔部４２ａと同軸的に形成されている。
【００３３】
また、下側ケーシング４０は、図２にて示すごとく、環状弁座４０ｃを有しており、当該環状弁座４０ｃは、小径内孔部４２ａの底壁中央部にて開口するように形成されて、後述する弁体７０ａに対向している。
【００３４】
また、下側ケーシング４０は、流入路部４３ａ、流出路部４３ｂ、流入筒４４及び流出筒４５を備えている。流入路部４３ａは、下側ケーシング４０の底壁４０ｂの内部にて、環状弁座４０ｃと流入筒４４の内端開口部との間に形成されており、当該流入路部４３ａは、その内端開口部にて、段付き内孔部４２の小径内孔部４２ａ内に環状弁座４０ｃの中空部を通り連通している。
【００３５】
一方、流出路部４３ｂは、下側ケーシング４０の内部にて、小径内孔部４２ａの周壁開口部と流出筒４５の内端開口部との間に形成されており、当該流出路部４３ｂは、小径内孔部４２ａの内部を流出筒４５の内部に連通させる。
【００３６】
流入筒４４は、その内端開口部にて、流入路部４３ａの外端開口部に連結されており、この流入筒４４は、その外端開口部にて、第１配管（図示せず）の流出端開口部に連結されている。しかして、当該第１配管からの薬液は、流入筒４４、連通路４３及び環状弁座４０ｃを通り小径内孔部４２ａ内に流入可能となっている。
【００３７】
流出筒４５は、その内端開口部にて、流出路部４３ｂの外端開口部に連結されており、当該流出筒４５は、その外端開口部にて、第２配管（図示せず）の流入端開口部に連結されている。しかして、小径内孔部４２ａ内の薬液は、流出路部４３ｂ及び流出筒部４５を通り当該第２配管内に流入可能となっている。
【００３８】
駆動機構Ｄは、円柱状ピストン５０、ピストンロッド５０ａ及びコイルスプリング６０を備えており、ピストン５０は、四角筒状周壁２０ａの中空部内にＯリング５１ａを介し軸動可能に収容されて当該中空部を上壁側及び壁状蓋部材側の各領域に区画して上側室２２ｃ及び下側室２２ｄを形成する。ピストンロッド５０ａは、ピストン５０からＯリング５４を介し壁状蓋部材３０の中空部を通り下側ケーシング４０の内部に軸動可能に延出している。
【００３９】
コイルスプリング６０は、上壁２０ｂから四角筒状周壁２０ａの小径内孔部２２ｂ内に延出する円柱部２０ｃに巻装されており、当該コイルスプリング６０は、上壁２０ｂとピストン５０との間に挟持されている。これにより、コイルスプリング６０は、ピストン５０を下側室２２ｄ側に付勢する役割を果たす。
【００４０】
このように構成した駆動機構Ｄによれば、ピストン５０が、その下動端に位置するとき、弁体７０ａは、環状弁座４０ｃに着座して弁体室Ｒｂを下側ケーシング４０の流入路部４３ａから遮断する。このことは、弁装置Ｖは、その弁部の閉弁により、上記第１配管から上記第２配管への薬液の流出を遮断することを意味する。
【００４１】
また、ピストン５０が上動すると、弁体７０ａは、環状弁座４０ｃから解離して、弁体室Ｒｂを下側ケーシング４０の流入路部４３ａ内に連通させる（図２参照）。このことは、弁装置Ｖは、その弁部の開弁により、上記第１配管からの薬液を上記第２配管内に流出させることを意味する。
【００４２】
また、当該弁装置Ｖは、図２にて示すごとく、ダイヤフラム７０を備えており、当該ダイヤフラム７０は、弁体７０ａ、環状薄膜部７０ｂ及び環状厚膜部７０ｃでもって構成されている。弁体７０ａは、その雌ねじ穴部にて、ピストンロッド５０ａの延出端部に形成してなる雄ねじ部５３ｂに同軸的に螺着されている。ここで、当該弁体７０ａは、環状弁座４０ｃに対向して、当該環状弁座４０ｃと共に弁装置Ｖの弁部を構成する。
【００４３】
また、当該ダイヤフラム７０は、その環状厚膜部７０ｃにて、壁状蓋部材３０の下側突部３３と段付き内孔部４２の大径内孔部４２ａと小径内孔部４２ｂとの環状境界段部との間に挟持されている。また、環状薄膜部７０ｂは、環状厚膜部７０ｃと弁体７０ａの基端部との間に連結形成されている。
【００４４】
しかして、ダイヤフラム７０は、段付き内孔部４２を区画して、壁状蓋部材３０の下側突部３３及び四角形状壁部３１の各内部に亘り形成してなる連通路３７を通り外部に連通する空気室Ｒａ及び弁体７０ａを収容する弁体室Ｒｂを形成する。
【００４５】
これにより、ダイヤフラム７０は、コイルスプリング６０の付勢力に基づくピストン５０の下方への軸動に伴い、下方へ湾曲しながら、弁体７０ａにて環状弁座４０ｃに着座して上記弁部を閉じる。一方、当該ダイヤフラム７０は、コイルスプリング６０に抗した上方への軸動に伴い、上方へ湾曲しながら、弁体７０ａにて環状弁座４０ｃから離れて上記弁部を開く。
【００４６】
次に本考案の要部の構成について説明すると、上側ケーシング２０は、図４〜図９のいずれかにて示すごとく、その四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１の開口端面に、両係止部２５を円周方向に沿い等間隔にて配設してなるもので、当該両係止部２５の各々は、その四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１の開口端面に対する配設部位から壁状蓋部材３０に向けて軸方向に突出する突出部２５ａと、当該突出部２５ａから上記円周方向に沿い同一の向きにてＬ字状に折れ曲がるように延出する折れ曲がり部２５ｂとでもって構成されている。なお、折れ曲がり部２５ｂは、後述する面方向挿入開口部３５ｂと同様に緩やかな円弧状にて延出されている。
【００４７】
一方、壁状蓋部材３０は、図４〜図９のいずれかにて示すごとく、その外周部にて、両被係止部３５を両係止部２５に対応するように配設してなるもので、当該両被係止部３５の各々は、壁状蓋部材３０の各係止部２５に対する各対応部位にて、当該各係止部２５をその折れ曲がり部２５ｂから壁状蓋部材３０の厚さ方向に挿入可能なように厚さ方向挿入開口部３５ａを形成する。
【００４８】
さらに、当該両被係止部３５の各々は、図７或いは図９にて示すごとく、壁状蓋部材３０を上側ケーシング２０に対し折れ曲がり部２５ｂの延出方向とは逆方向に相対回動させたとき、当該折れ曲がり部２５ｂを挿入可能に厚さ方向挿入開口部３５ａから壁状蓋部材３０の面に沿い折れ曲がり部２５ｂの延出方向に延出するように形成される面方向挿入開口部３５ｂを形成してなる。
【００４９】
ここで、本第１実施形態では、被係止部３５は、厚さ方向挿入開口部３５ａにて、壁状蓋部材３０のうち対応の係止部２５に対する対向部位にて貫通状に形成されている。また、当該被係止部３５は、面方向挿入開口部３５ｂにて、厚さ方向挿入開口部３５ａから対応の折れ曲がり部２５ｂの延出方向に延出するように、壁状蓋部材３０をその下側ケーシング４０側から凹状にかつ壁状蓋部材３０の中心を基準として円弧状に切り欠くことで形成されている。
【００５０】
以上のように構成した本第１実施形態において、上側ケーシング２０及び壁状蓋部材３０を相互に組み付けるにあたっては、上側ケーシング２０が、その四角筒状周壁２０ａの軸方向開口端部２１にて、両係止部２５をその各折れ曲がり部２５ｂから両被係止部３５の各対応の厚さ方向挿入開口部３５ａ内に挿入するようにして壁状蓋部材３０に対し相対的に軸周りに捩じれた状態で重畳される。
【００５１】
この重畳は、壁状蓋部材３０を、コイルスプリング６０を四角筒状周壁２０ａ内に押し込みながら行われる（図４〜図６参照）。このとき、各係止部２５は、突出部２５ａにて、各対応の被係止部３５の厚さ方向開口部３５ａ内に位置する（図７参照）。ここで、各折れ曲がり部２５ｂは、各対応の面方向挿入開口部３５ｂに対向して位置する。
【００５２】
上述のような押し込み状態において、各折れ曲がり部２５ｂを各対応の面方向挿入開口部３５ｂ内に挿入するように壁状蓋部材３０を上側ケーシング２０に対し上記捩じれを解消するように相対回動すると、各係止部２５が、その折れ曲がり部２５ｂにて、各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂに挿入されるとともに、突出部２５ａにて、各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂの厚さ方向挿入開口部３５ａからの延出基端部に係止する（図７及び図９参照）。
【００５３】
これにより、一側ケーシング４０及び壁状蓋部材３０が相互に組み付けられる（図８参照）。このような組み付け後、ダイヤフラム７０及び下側ケーシング４０を上述のように壁状蓋部材３０を介し上側ケーシング２０に複数のボルトでもって締着することで、ダイヤフラム式弁装置Ｖの組み立てが完了する。
【００５４】
以上説明したように、本第１実施形態では、駆動機構Ｄを収容する上側ケーシング２０を壁状蓋部材３０と組み付ける構成として、両係止部２５が、上述のような構成にて、ケーシング２０の四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１の開口端面上に突設され、一方、両被係止部３５が、上述のような構成にて、壁状蓋部材３０に形成されている。
【００５５】
そして、壁状蓋部材３０により上側ケーシング２０内に駆動機構Ｄを押し込むようにして、上述のように、各係止部２５を各対応の被係止部３５の厚さ方向挿入開口部３５ａ内に挿入しながら上側ケーシング２０と壁状蓋部材３０とを相互に捻じれた重畳状態にした後、当該重畳状態を解消するように上側ケーシング２０及び壁状蓋部材３０を相対回動させて、各係止部２５の折れ曲がり部２５ｂを各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂ内に挿入し、各突出部２５ａを各面方向挿入開口部３５ｂの各厚さ方向挿入開口部３５ａからの延出基端部に係止させるようにした。
【００５６】
従って、コイルスプリング６０の反発力が強くても、上側ケーシング２０と壁状蓋部材３０との間の組み付けを容易に達成することができる。
【００５７】
また、上述のように、各係止部２５は、四角筒状周壁２０ａの軸方向開口部２１の開口端面上に軸方向に突出され、一方、各被係止部３５は、壁状蓋部材３０において各対応の係止部２５により軸方向に係止されるように形成されている。従って、本明細書の冒頭にて述べたように流体制御弁において係止部及び突出部が、それぞれ、シリンダ及びカバーの半径方向に突出するように形成されている場合に比べて、上側ケーシング２０及び壁状蓋部材３０の金型による樹脂成形が簡単になる。
【００５８】
また、両係止部２５の両被係止部３５との係止状態が、壁状蓋部材３０に対する下側ケーシング４０の組み付けによって、壁状蓋部材３０と下側ケーシング４０の四角筒状周壁４０ａとの間に隠れるので、当該ダイヤフラム式弁装置の見栄えを損なうことがない。
【００５９】
また、上述のように壁状蓋部材３０の上側ケーシング２０に対する組み付けによって、駆動機構Ｄがしっかりと上側ケーシング２０内に収容保持され得る。従って、上側ケーシング２０及び壁状蓋部材３０に対するダイヤフラム７０や下側ケーシング４０の組み付けが、弁体７０ａや環状弁座４０ｃに傷をつけることなく行われ得る。その結果、弁装置Ｖの組み立てによるパーティクルの発生が良好に抑制され得る。
【００６０】
（第２実施形態）
図１０及び図１１は、本考案に係るダイヤフラム式弁装置の第２実施形態の要部を示している。当該第２実施形態においては、上記第１実施形態にて述べた壁状蓋部材３０の各被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂは、その厚さ方向挿入開口部３５ａに対する延出方向中間部位にて、上記第１実施形態にて述べた上側ケーシング２０の四角筒状周壁２０ａに設けた各係止部２５の折れ曲がり部２５ｂに向け開口するように溝部３５ｃを形成している。
【００６１】
一方、四角筒状周壁２０の各係止部２５の折れ曲がり部２５ｂは、その延出端部にて、各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂの溝部３５ｃ内に係合するように当該溝部３５ｃ側に向けて突出する突部２５ｃを形成している。その他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００６２】
このように構成した本第２実施形態においては、上側ケーシング２０と壁状蓋部材３０との組み付けにあたり、上記第１実施形態と同様に、壁状蓋部材３０により上側ケーシング２０内に駆動機構Ｄを押し込むようにして、図１０にて例示するごとく、各係止部２５を各対応の被係止部３５の厚さ方向挿入開口部３５ａ内に挿入しながら上側ケーシング２０と壁状蓋部材３０とを相互に捻じれた重畳状態にする。
【００６３】
然る後、当該重畳状態を解消するように上側ケーシング２０及び壁状蓋部材３０を相対回動させて、各係止部２５の折れ曲がり部２５ｂを各対応の被係止部３５の面方向挿入開口部３５ｂ内に図１１にて示すごとく挿入する。このとき、各係止部２５は、その折れ曲がり部２５ｂにて、突部２５ｃの面方向挿入開口部３５ｂの内面との接触に基づき生ずる弾力に抗して、溝部３５ｃとは反対側へ緩やかに湾曲しながら各面方向挿入開口部３５ｂ内に挿入される。
【００６４】
ついで、各折れ曲がり部２５ｂをその弾力に基づきその突部２５ｃにて各面方向挿入開口部３５ｂの溝部３５ｃ内に係合させるとともに、各係止部２５の突出部２５ａを各面方向挿入開口部３５ｂの各厚さ方向挿入開口部３５ａからの延出基端部に係止させる。
【００６５】
これにより、各折れ曲がり部２５ｂを各面方向挿入開口部３５ｂ内にしっかりと挿入保持することができる。その結果、上側ケーシング２０と壁状蓋部材３０との間の組み付けをより一層強固にすることができる。その他の作用効果は上記第１実施形態と同様である。
【００６６】
なお、本考案の実施にあたり、上記各実施形態に限ることなく、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）本考案の実施にあたり、上側ケーシング２０の係止部２５及び壁状蓋部材３０の被係止部３５の各数は、上記各実施形態とは異なり、それぞれ、３個以上にしてもよい。
（２）本考案の実施にあたり、弁装置Ｖにおいて、コイルスプリング６０は、上記各実施形態とは異なり、下室部２２ａ内にてピストン５０と壁状蓋部材３０との間に同軸的に介装するようにしてもよい。これにより、弁装置Ｖは、ダイヤフラム式常開型弁装置として機能する。
（３）本考案の実施にあたり、両係止部２５の各折れ曲がり部２５ｂは、上記各実施形態とは逆の方向へ各突出部２５ａから延出するようにしてもよい。この場合には、両被係止部３５の各面方向挿入開口部３５が、上記各実施形態とは逆の方向へ各厚さ方向開口部３５ａから延出するようにすればよい。
【符号の説明】
【００６７】
１０…ダイヤフラム弁、２０…上側ケーシング、
２０ａ、４０ａ…四角筒状周壁、２０ｂ…上壁、２１…軸方向開口端部、
２２、４２…段付き内孔部、２２ｃ…上側室、２２ｄ…下側室、２３…流入孔部、
２３ａ、２４ａ、３７…連通路、２５…係止部、２５ａ…突出部、
２５ｂ…折れ曲がり部、３０…壁状蓋部材、３５…被係止部、
３５ａ…厚さ方向挿入開口部、３５ｂ…面方向挿入開口部、３５ｃ…溝部、
４０…下側ケーシング、４０ｂ…底壁、４０ｃ…環状弁座、４３ａ…流入路部、
４３ｂ…流出路部、４４…流入筒、４５…流出筒、５０…ピストン、
５０ａ…ピストンロッド、６０…コイルスプリング、７０…ダイヤフラム、
７０ａ…弁体、Ｒａ…空気室、Ｒｂ…弁体室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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