(57)【要約】      （修正有）【課題】ダイヤフラムをより均一な張力で取り付けることができ、ダイヤフラムの交換が容易な交換補助ユニットと、交換補助ユニットを備える処理装置を提供する。【解決手段】チャンバを形成する中空体と、チャンバに配設されるワークを押圧するダイヤフラムと、を備えた処理装置において、ダイヤフラムの交換時に、チャンバに配置される交換補助ユニットであって、ダイヤフラムが載置される平坦な載置面を形成する。【選択図】図４
0003174015.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
チャンバを形成する中空体と、前記チャンバに配設されるワークを押圧するダイヤフラムと、を備えた処理装置において、前記ダイヤフラムの交換時に、前記チャンバに配置される交換補助ユニットであって、
前記ダイヤフラムが載置される平坦な載置面を形成することを特徴とする交換補助ユニット。
【請求項２】
前記中空体は、分離可能な複数の構成部材からなり、
前記複数の構成部材が、
前記ダイヤフラムの周縁部に当接する第１の当接面を有する第１の構成部材と、
前記ダイヤフラムの前記周縁部に当接する第２の当接面を有し、前記第１及び第２の当接面を境界として前記第１の構成部材と分離可能な第２の構成部材と、を含み、
前記交換補助ユニットの前記載置面は、前記第２の当接面と同一平面の載置面を形成することを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項３】
前記交換補助ユニットは、前記ダイヤフラムの交換時に前記チャンバに複数配置され、全ての前記交換補助ユニットの前記載置面が、同一平面を形成することを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項４】
作業者が前記交換補助ユニットを把持するための開口部を有することを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項５】
前記載置面の高さ調整が可能であることを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項６】
前記載置面を形成する載置面形成部材と、
前記載置面形成部材から突出した複数の脚部と、を備え、
前記脚部の、前記載置面形成部材からの突出量が変更可能であることを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項７】
前記載置面を形成する載置面形成部材と、
前記載置面形成部材から突出した複数の脚部と、を備え、
前記載置面形成部材は、
前記脚部が着脱自在に取り付けられる取付部を有し、
前記取付部が複数部位に設けられ、
前記複数部位の数は、前記脚部の数よりも多いことを特徴とする請求項１に記載の交換補助ユニット。
【請求項８】
前記複数の構成部材が、
上側ケース部材と、
下側ケース部材と、
前記上側ケース部材の下端面と前記下側ケース部材の上端面との間に介在する枠体と、を備え、
前記第１の構成部材が前記上側ケース部材であり、
前記第２の構成部材が前記枠体であり、
前記第２の当接面は前記枠体の上端面であることを特徴とする請求項２に記載の交換補助ユニット。
【請求項９】
処理装置に配設可能な交換補助ユニットであって、
前記処理装置は、
減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、
平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、
前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、
前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、を備え、
前記交換補助ユニットは、
前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置されるユニットであって、
前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と面一な載置面を有する載置部、
を有することを特徴とする交換補助ユニット。
【請求項１０】
処理装置に配設可能な交換補助ユニットであって、
前記処理装置は、
減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、
平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、
前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、
前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、を備え、
前記交換補助ユニットは、
前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１上チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットであって、
前記保持体の内側に配置され、平坦な載置面を有する載置部と、
前記載置部に設けられ、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と前記載置面とが面一となるように前記載置部の位置調整を行うための脚部と、
を有することを特徴とする交換補助ユニット。
【請求項１１】
減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、
平板状のワークが配置されるワークは配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、
前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、
前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、
前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットと、
を備え、
前記交換補助ユニットは、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と面一な載置面を有する載置部を有することを特徴とする処理装置。
【請求項１２】
減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、
平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、
前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、
前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、
前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットと、
を備え、
前記交換補助ユニットは、
前記保持体の内側に配置され、平坦な載置面を有する載置部と、
前記載置部に設けられ、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と前記載置面とが面一となるように前記載置部の位置調整を行うための脚部と、
を有することを特徴とする処理装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ダイヤフラムを備えた処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラムを備えた処理装置として、例えば、ラミネータ装置が提案されている。ラミネータ装置は、例えば、太陽電池モジュールのラミネート加工に用いられる（特許文献１及び２）。ダイヤフラムは太陽電池モジュール等のワークを押圧するために用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２９３７８３号公報
【特許文献２】特開２０１０−０５２３８７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ダイヤフラムは、その使用に応じて劣化する消耗品であり、定期的に交換される。ダイヤフラムの交換の際、皺がついた状態でダイヤフラムがラミネータ装置に取り付けられると、ワークの押圧力にばらつきが生じて、製造品質に影響を与える。従来の一般的な交換方法としては、複数の作業者がダイヤフラムを引っ張って皺がつかないようにしているが、その交換作業には時間と多くの人手を要し、作業効率が悪い。特許文献２はダイヤフラムの交換作業に多くの人手を要しないことを目的としてダイヤフラムを部分的に吊ることを行っているが、部分的な張力が生じた状態（張力が均一でない状態）で固定すると、ダイヤフラムの膨張時にムラが発生し、均一なワーク加圧（押圧）ができない。
本考案の目的は、ダイヤフラムをより均一な張力で取り付けることができ、ダイヤフラムの交換が容易な交換補助ユニット及び処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案によれば、チャンバを形成する中空体と、前記チャンバに配設されるワークを押圧するダイヤフラムと、を備えた処理装置において、前記ダイヤフラムの交換時に、前記チャンバに配置される交換補助ユニットであって、前記ダイヤフラムが載置される平坦な載置面を形成することを特徴とする交換補助ユニットが提供される。
本考案の好適な実施形態では、前記中空体は、分離可能な複数の構成部材からなり、前記複数の構成部材が、前記ダイヤフラムの周縁部に当接する第１の当接面を有する第１の構成部材と、前記ダイヤフラムの前記周縁部に当接する第２の当接面を有し、前記第１及び第２の当接面を境界として前記第１の構成部材と分離可能な第２の構成部材と、を含み、前記交換補助ユニットの前記載置面は、前記第２の当接面と同一平面の載置面を形成する。
また、本考案の好適な実施形態では、前記交換補助ユニットは、前記ダイヤフラムの交換時に前記チャンバに複数配置され、全ての前記交換補助ユニットの前記載置面が、同一平面を形成する。
また、本考案の好適な実施形態では、作業者が前記交換補助ユニットを把持するための開口部を有する。
また、本考案の好適な実施形態では、前記載置面の高さ調整が可能である。
また、本考案の好適な実施形態では、前記載置面を形成する載置面形成部材と、前記載置面形成部材から突出した複数の脚部と、を備え、前記脚部の、前記載置面形成部材からの突出量が変更可能である。
また、本考案の好適な実施形態では、前記載置面を形成する載置面形成部材と、前記載置面形成部材から突出した複数の脚部と、を備え、前記載置面形成部材は、前記脚部が着脱自在に取り付けられる取付部を有し、前記取付部が複数部位に設けられ、前記複数部位の数は、前記脚部の数よりも多い。
また、本考案の好適な実施形態では、前記複数の構成部材が、上側ケース部材と、下側ケース部材と、前記上側ケース部材の下端面と前記下側ケース部材の上端面との間に介在する枠体と、を備え、前記第１の構成部材が前記上側ケース部材であり、前記第２の構成部材が前記枠体であり、前記第２の当接面は前記枠体の上端面である。
また、本考案によれば、処理装置に配設可能な交換補助ユニットであって、前記処理装置は、減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、を備え、前記交換補助ユニットは、前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置されるユニットであって、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と面一な載置面を有する載置部、を有することを特徴とする交換補助ユニットが提供される。
また、本考案によれば、処理装置に配設可能な交換補助ユニットであって、前記処理装置は、減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、を備え、前記交換補助ユニットは、前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１上チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットであって、前記保持体の内側に配置され、平坦な載置面を有する載置部と、前記載置部に設けられ、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と前記載置面とが面一となるように前記載置部の位置調整を行うための脚部と、を有することを特徴とする交換補助ユニットが提供される。
また、本考案によれば、減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、平板状のワークが配置されるワークは配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットと、を備え、前記交換補助ユニットは、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と面一な載置面を有する載置部を有することを特徴とする処理装置が提供される。
また、本考案によれば、減圧チャンバを形成する第１チャンバ部材と、平板状のワークが配置されるワーク配置部を有し、前記第１チャンバ部材と共に前記減圧チャンバを形成する第２チャンバ部材と、前記ワーク配置部に配置される前記ワークを押圧するダイヤフラムと、前記第１チャンバ部材における前記第２チャンバ部材との対向面の周縁部に着脱自在に設けられ、前記第１チャンバ部材の前記周縁部に沿って前記ダイヤフラムを保持する枠状の保持体と、前記ダイヤフラムを、前記保持体と共に前記第１チャンバ部材の前記周縁部に取り付ける際に、前記第２チャンバ部材に配置される交換補助ユニットと、を備え、前記交換補助ユニットは、前記保持体の内側に配置され、平坦な載置面を有する載置部と、前記載置部に設けられ、前記保持体における前記第１チャンバ部材との当接面と前記載置面とが面一となるように前記載置部の位置調整を行うための脚部と、を有することを特徴とする処理装置が提供される。
【考案の効果】
【０００６】
本考案によれば、ダイヤフラムをより均一な張力でに取り付けることができ、また、ダイヤフラムの交換作業を容易化な交換補助ユニット及び処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本考案の実施形態の係る処理装置の断面図。
【図２】上記処理装置の分解斜視図及び本考案の実施形態に係る交換補助ユニットの斜視図。
【図３】上記処理装置の動作説明図。
【図４】ダイヤフラムの交換作業の説明図。
【図５】ダイヤフラムの交換作業の説明図。
【図６】交換補助ユニットの他の実施形態の説明図。
【図７】交換補助ユニットの他の実施形態の説明図。
【図８】載置面の高さ調整機構の説明図。
【図９】載置面の、別の高さ調整機構の説明図。
【図１０】処理装置の他の実施形態の説明図。
【図１１】ダイヤフラムの交換作業の説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００８】
以下、本考案の複数の実施形態について説明するが、各実施形態は適宜組合せることが可能である。
【０００９】
＜第１実施形態＞
図１は本考案の実施形態の係る処理装置１の断面図、図２は処理装置１の分解斜視図及び本考案の実施形態に係る交換補助ユニットの斜視図である。処理装置１は、減圧チャンバ１０ａを形成する中空体１０と、チャンバ１０ａに配設されるワークを押圧するダイヤフラム１４と、を備える。本実施形態では、処理装置１が太陽電池モジュール等の平板状のワークに対して、ラミネート加工を行うラミネート装置である場合について説明する。しかし、本考案はダイヤフラムを備えてダイヤフラムによってワークを押圧する各種の処理装置であれば全て適用可能である。
【００１０】
中空体１０は分離可能な複数の構成部材から構成されている。詳細には、中空体１０はチャンバ１０ａを形成するチャンバ部材１１及び１２と、保持体１３と、を備える。なお、図１は、チャンバ部材１１についてはその略中央を通る切断面での断面を示し、チャンバ部材１１及び保持体１３については、収納空間１２ｆを通る切断面での断面を示す。
【００１１】
チャンバ部材１１は、全体として方形板状をなした上側のケース部材であり、チャンバ部材１２は、全体として方形板状をなした下側のケース部材である。保持体１３は、チャンバ部材１１の下端面１１ａとチャンバ部材１２の上端面１２ａとの間に設けられる、外形が方形の枠体である。
【００１２】
チャンバ部材１１は、排気通路１１ｄを形成する排気部１１ｃを備える。排気通路１１ｄはチャンバ部材１１を貫通して、チャンバ部材１１の下端面１１ａに開口している。排気通路１１ｄの下端面１１ａ側の端部には、金網Ｍが設けられている。この金網Ｍは排気時にダイヤフラム１４によって排気通路１１ｄが完全に塞がれてしまうことを防止する。下端面１１ａは、チャンバ部材１２との対向面であるとともに、ダイヤフラム１４の周縁部１４ａの上面に当接する当接面でもある。
【００１３】
ダイヤフラム１４は、伸縮性を有するシートであり、例えば、シリコンゴム製のシートである。保持体１３は、チャンバ部材１１の下端面１１ａの周縁部に着脱自在に設けられ、チャンバ部材１１の周縁部に沿ってダイヤフラム１４を保持する。本実施形態の場合、ボルト１５の締結により、ダイヤフラム１４を、チャンバ部材１１と保持体１３とで挟んで保持する。
【００１４】
詳細には、チャンバ部材１１の周縁部には、ボルト１５が通る貫通孔１１ｂが形成されている。また、ダイヤフラム１４の周縁部１４ａにも、ボルト１５が通る貫通孔１４ｂが形成されている。保持体１３には、ボルト１５と螺合するネジ孔１３ｂが形成されている。このネジ孔１３ｂは保持体１３の上端面１３ａに開口している。上端面１３ａはダイヤフラム１４の周縁部１４ａの下面に当接する当接面である。
【００１５】
そして、チャンバ部材１１の下端面１１ａと、保持体１３との間に、ダイヤフラム１４の周縁部１４ａを挟み、ボルト１５を貫通孔１１ｂ、１４ｂを通してネジ孔１３ｂに螺合して締結することで、チャンバ部材１１と保持体１３とが固定される。これにより、ダイヤフラム１４がチャンバ部材１１と保持体１３とで挟まれて保持される。ボルト１５を取り外すと、保持体１３及びダイヤフラム１４がチャンバ部材１１から分離される。このように本実施形態では、チャンバ部材１１と、保持体１３とが、チャンバ部材１１の下端面１１ａ及び保持体１３の上端面１３ａを境界として、互いに分離可能となっている。
【００１６】
なお、本実施形態では、ボルト１５による締結構造によって、チャンバ部材１１に保持体１３を固定するようにしたが、例えば、クランプ機構等、他の固定方法によって固定してもよい。
【００１７】
保持体１３は、チャンバ部材１２の上端面１２ａに当接する下端面１３ｃを有する。チャンバ１０ａの気密性を向上するため、チャンバ部材１２の上端面１２ａと、保持体１３の下端面１３ｃとの間には、シール材を設けてもよい。保持体１３には、また、図示しない搬送ロボットのハンドから移載、搬入されるワークが一時的に載置される４つのアーム部ＡＲが設けられている。
【００１８】
チャンバ部材１２は、その上端面１２ａの中央部が、ワークが配置されるワーク配置部ＷＰとなっている。チャンバ部材１２は不図示のヒータを内蔵しており、ワーク配置部ＷＰ上のワークを加熱することができる。
【００１９】
ワーク配置部ＷＰには、ワークが載置されるピン部材ＰＮが複数設けられている。ピン部材ＰＮはワーク配置部ＷＰに設けられた溝１２ｂ内に配置される。溝１２ｂの底部とピン部材ＰＮとの間には、コイルバネＳＰが設けられている。このコイルバネＳＰはピン部材ＰＮを常時上方へ押圧しており、ピン部材ＰＮの先端部は溝１２ｂ内に没入自在となっている。このため、ピン部材ＰＮの上部は、通常時にはワーク配置部ＷＰから突出している。
【００２０】
ワーク配置部ＷＰの側方にはアーム収納部１２ｅが形成されている。アーム収納部１２ｅは、アーム部ＡＲを収納する収納空間１２ｆを形成している。収納空間１２ｆは、上端面１２ａに開口している。チャンバ部材１２の四隅には、排気通路１２ｄを形成する排気部１２ｃが設けられている。排気通路１２ｄはチャンバ部材１２を貫通して、チャンバ部材１２の上端面１２ａに開口している。アーム収納部１２ｅは、アーム部ＡＲを収納できるものであれば、その形状は特に限定するものではない。
【００２１】
交換補助ユニット２は、直方体の載置部２０から構成されている。載置部２０は平坦な載置面２０ａをその上面に有する載置面形成部材である。載置部２０は中空体であっても、中実体であってもよい。本実施形態では、載置部２０は中実体である。
【００２２】
載置部２０には、作業者が交換補助ユニット２を把持するための開口部２０ｂが形成されている。この開口部２０ｂに作業者が指を入れて掴むこと等で、交換補助ユニット２は容易にハンドリングできる。開口部２０ｂは、本実施形態の場合、載置面２０ａに開口している。開口部２０ｂは、載置部２０を貫通する貫通孔でもよいし、有底の溝でもよい。
【００２３】
交換補助ユニット２は、ダイヤフラム１４の交換時に、チャンバ１０ａに配置される。ラミネート加工の際には交換補助ユニット２は使用されない。
【００２４】
図３を参照して、処理装置１によるラミネート加工例について説明する。図３は処理装置１の動作説明図である。チャンバ部材１１及びチャンバ部材１２の少なくともいずれか一方は、不図示の昇降装置によって昇降され、チャンバ部材１１及びチャンバ部材１２の開閉が行われる。ここでは、チャンバ部材１１を昇降する場合について説明する。また、排気通路１１ｄ、１２ｄには、不図示のバキュームポンプが接続可能になっており、チャンバ１０ａを減圧可能となっている。
【００２５】
状態ＳＴ１は、処理対象のワークＷを処理装置１へ搬入する状態を示す。処理装置１は、チャンバ部材１１が上昇した位置にあり、チャンバ部材１１とチャンバ部材１２とが離間している。ワークＷはハンド部ＦＧ上に載置されている。ハンド部ＦＧは、ワークＷを搬送する搬送ロボット（不図示）のハンド部である。
【００２６】
ワークＷはアーム部ＡＲの上方に搬送される。このとき、不図示のバキュームポンプによって排気通路１１ｄから空気を排気してダイヤフラム１４が下方へ垂れないようにする。また、チャンバ部材１２は既に加熱（予熱）状態にある。
【００２７】
次に、状態ＳＴ２に示すように、ハンド部ＦＧを降下させることで、ワークＷがアーム部ＡＲ上に移載される。ハンド部ＦＧは処理装置１から退避する。排気通路１１ｄからの排気は終了する。
【００２８】
次に、状態ＳＴ３に示すようにチャンバ部材１１を降下させ、チャンバ部材１１及び保持体１３がチャンバ部材１２上に搭載されるようにする。これにより気密なチャンバ１０ａが形成される。チャンバ部材１１の降下の過程で、ワークＷはピン部材ＰＮ上に移載される。アーム部ＡＲは収納空間１２ｆ内に進入する。コイルバネＳＰにより、ワークＷが載置されてもピン部材ＰＮがワーク配置部ＷＰ内に退避しない。したがって、ワークＷはワーク配置部ＷＰから僅かに離間した状態にある。この状態のまま一定時間ワークを加熱するとともに排気通路１１ｄ、１２ｄから排気を行う。
【００２９】
次に、状態ＳＴ４に示すように、排気通路１２ｄからチャンバ１０ａ内の空気を排気したまま、排気通路１１ｄを排気から給気に切り替える。チャンバ１０ａ内のうち、ダイヤフラム１４よりも下側は負圧、上側は大気圧となり、この差圧により、ダイヤフラム１４がワークＷをワーク配置部ＷＰ側へ押圧する。この押圧によって、コイルバネＳＰが押し縮められ、ピン部材ＰＮはワーク配置部ＷＰ内に退避すると共にワークＷがワーク配置部ＷＰ上に密着する。
【００３０】
ワークＷはワーク配置部ＷＰから加熱されながらダイヤフラム１４によって押圧される。こうしてワークＷはラミネート加工されることになる。以降、同様の手順により、複数のワークＷのラミネート加工が順次行われていくことになる。
【００３１】
本実施形態では、ワークＷを一旦ピン部材ＰＮ上に載置し、その後、ワーク配置部ＷＰ上に密着させるようにしている。これにより、ワークＷが急激に加熱されて、反りを生じることを防止できる。
【００３２】
図４及び図５を参照して、ダイヤフラム１４の交換作業について説明する。ラミネート加工を繰り返し行うことにより、ダイヤフラム１４は劣化する。よって、ダイヤフラム１４は定期的に交換する必要がある。
【００３３】
まず、図４の状態ＳＴ１１に示すように、チャンバ部材１１を降下させ、チャンバ部材１１及び保持体１３がチャンバ部材１２上に搭載されるようにする。続いて、図２に示したボルト１５を外して、チャンバ部材１１と保持体１３とを分離する。状態ＳＴ１２はチャンバ部材１１と保持体１３とを分離した状態を示す。これにより、保持体１３はチャンバ部材１２上に搭載させたまま、使用済みのダイヤフラム１４のみを取り外すことができる。
【００３４】
次に、状態ＳＴ１３に示すように交換補助ユニット２をチャンバ１０ａ内に配置する。載置部２０はチャンバ部材１２の上端面１２ａ上に載置され、保持体１３の内側に配置されている。コイルバネＳＰは載置部２０の自重によって押し縮められ、ピン部材ＰＮはワーク配置部ＷＰ内に退避すると共に載置部２０がワーク配置部ＷＰを含む上端面１２ａ上に載置される。交換補助ユニット２をチャンバ１０ａ内に配置する際、作業者は、図２に示した開口部２０ｂを利用して交換補助ユニット２を把持することができ、これにより交換補助ユニット２の配置作業が効率化される。
【００３５】
載置部２０の載置面２０ａは、保持体１３の上端面１３ａと同一平面Ｈ上に位置している。つまり、載置面２０ａと上端面１３ａとが面一となるように、載置面２０ａの高さ（載置部２０の上下の厚さ）が設計されている。
【００３６】
次に、図５の状態ＳＴ１４に示すように、新しいダイヤフラム１４Ｎを載置面２０ａ及び上端面１３ａ上に載せて広げる。このとき、載置面２０ａ及び上端面１３ａを利用して、ダイヤフラム１４Ｎに皺が付かないように、ダイヤフラム１４Ｎを広げる。
【００３７】
次に、状態ＳＴ１５に示すように、チャンバ部材１１を保持体１３上に降下させ、新しいダイヤフラム１４Ｎをチャンバ部材１１と保持体１３との間に挟む。続いて、図２に示したボルト１５を取り付けて、チャンバ部材１１と保持体１３とを互いに固定する。これにより、新しいダイヤフラム１４がチャンバ部材１１と保持体１３とで保持される。
【００３８】
次に、状態ＳＴ１６に示すようにチャンバ部材１１を上昇させる。そして、交換補助ユニット２をチャンバ部材１２から取り出す。以上により、使用済みのダイヤフラム１４と新しいダイヤフラム１４Ｎの交換作業が終了する。
【００３９】
本実施形態では、新しいダイヤフラム１４Ｎを取り付ける際、交換補助ユニット２の載置面２０ａ上にダイヤフラム１４Ｎを載せて広げることができる。このため、従来のように複数の作業者がダイヤフラム１４Ｎを引っ張らなくても、より均一な張力でダイヤフラム１４Ｎを広げることができ、また、ダイヤフラム１４Ｎに皺がつくことを防止できる。こうしてダイヤフラムの交換作業を容易化することができる。
【００４０】
載置面２０ａは、本実施形態のように、保持体１３の上端面１３ａと面一となることが好ましい（状態ＳＴ１３）。
【００４１】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、ダイヤフラム１４の交換に際して、１つの交換補助ユニット２をチャンバ部材１２に配置したが、複数配置してもよい。図６はその一例を示している。同図の例では、４つの交換補助ユニット２Ａがチャンバ部材１２上に配置される。図６の例において、上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明を省略する。
【００４２】
各交換補助ユニット２Ａは、上記第１実施形態の交換補助ユニット２とサイズが異なるだけである。全ての交換補助ユニット２Ａの載置面２０ａは、同一平面を形成する。ダイヤフラム１４の交換の際、新しいダイヤフラム１４Ｎは、４つの交換補助ユニット２Ａの載置面２０ａ上に載せて広げられることになる。
【００４３】
本実施形態のように、複数の交換補助ユニット２Ａを用いることで、個々の交換補助ユニット２Ａを小さくすることができる。これは、その持ち運びや配置作業において作業性を向上し、作業者が1人でもダイヤフラム１４、１４Ｎの交換が可能となる。。また、交換補助ユニット２Ａの数によって、チャンバ１０ａの大きさが異なる複数種類の処理装置１にも対応可能となる。
【００４４】
＜第３実施形態＞
上記第１及び第２実施形態では、交換補助ユニット２、２Ａを直方体形状（板状）の載置部２０から構成したが、脚部を設けてもよい。図７はその一例を示している。同図の例では交換補助ユニット２Ｂが図示されている。本実施形態も上記第２実施形態と同様、複数の交換補助ユニット２Ｂをチャンバ部材１２に配置する例であるが、上記第１実施形態のように一つの補助ユニットを配置するようにしてもよい。図７の例において、上記第１及び第２実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明を省略する。
【００４５】
交換補助ユニット２Ｂは、載置部２０と、載置部２０から突出した複数の脚部２１と、を備える。脚部２１は載置部２０の下面（載置面２０ａと反対側の面）に設けられた取付部２０ｃに取り付けられる。本実施形態の場合、脚部２１の取付構造はねじ構造として脚部２１が取付部２０ｃに着脱自在となっている。すなわち、脚部２１はロッド状をなしており、その一方端部にねじ２１ａが形成されている。取付部２０ｃはねじ２１ａと螺合するネジ穴である。脚部２１の取付構造はねじ構造以外の各種の構造を採用可能である。また、脚部２１の形状も、載置部２０を支持可能な形状であればどのような形状でもよい。
【００４６】
取付部２０ｃは複数部位に設けられており、本実施形態の場合、脚部２１の数は４つであるが、取付部２０ｃの数は脚部２１の数よりも多い９つとなっている。９つの取付部２０ｃの中から４つを選択して、脚部２１を取り付ける。このため脚部２１の取付部位を変更可能となっている。
【００４７】
図７に示すように、本実施形態の交換補助ユニット２Ｂは、脚部２１がチャンバ部材１２の上端面１２ａに接地して、配置される。交換補助ユニット２Ｂと上端面１２ａとの接触面積が小さいので、例えば、ピン部材ＰＮのような凹凸を避けて交換補助ユニット２Ｂを配置することができる。また、取付部２０ｃを複数部位に設けて脚部２１の取り付け位置を変更可能にしたので、ピン部材ＰＮのような凹凸を容易に避けることができる。このため、交換補助ユニット２Ｂを配設する部位の形状が異なる、複数種類の処理装置１にも対応可能となる。
【００４８】
＜第４実施形態＞
本実施形態では、載置面２０ａの高さが調整可能な交換補助ユニットについて説明する。載置面２０ａの高さを調整可能とすることで、保持体１３の上端面１３ａの位置が異なる複数種類の処理装置１にも対応可能となる。
【００４９】
図８は調整機構の一例を示す。同図の例は、上記第３実施形態の交換補助ユニット２Ｂにおける脚部２１の取付構造によって載置面２０ａの高さを調整するものである。すなわち、取付部２０ｃに対する脚部２１のねじ２１ａのねじ込み量を変えることで、載置部２０からの脚部２１の突出量を変更可能である。この結果、載置面２０ａの位置調整（高さ調整）を行うことができる。
【００５０】
図９は脚部が伸縮機能を有する例である。同図の脚部２１Ａは、大径の筒体２１ｂと、筒体２１ｂ内に挿入された小径の軸体２１ｃと、を備える。そして、筒体２１ｂに対する軸体２１ｃの挿入量を変更することで、脚部２１Ａの長さが変更可能となっている。この結果、載置面２０ａの位置調整（高さ調整）を行うことができる。
【００５１】
なお、載置面２０ａの高さ調整機構は、これらの機構以外にも様々な機構を採用可能である。
【００５２】
＜第５実施形態＞
上記第１実施形態の処理装置１では、チャンバ部材１１とチャンバ部材１２との間に、保持体１３が介在する構成としたが、他の構成も採用可能である。図１０は処理装置の他の例を示す。
【００５３】
図１０の処理装置１Ａは、減圧チャンバ１０ａを形成する中空体１０Ａと、チャンバ１０ａに配設されるワークＷを押圧するダイヤフラム１４と、を備えたラミネート装置である。上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明を省略する。
【００５４】
中空体１０Ａは分離可能な複数の構成部材から構成されている。詳細には、中空体１０Ａは、チャンバ１０ａを形成するチャンバ部材１１Ａ及び１２Ａと、保持体１３Ａと、を備える。
【００５５】
チャンバ部材１１Ａは、その下端面１１ａに凹部１１ｅを有する上側のケース部材であり、チャンバ部材１２Ａは、その上端面１２ａに凹部１２ｇを有する下側のケース部材である。保持体１３Ａは、チャンバ部材１１Ａの上面に取り付けられる方形の枠体であり、ねじやクランプ機構によって、チャンバ部材１１Ａに分離可能に取り付けられる。ダイヤフラム１４は、その周縁部の一部がチャンバ部材１１Ａの側面から上面へ回り込んでおり、保持体１３Ａとチャンバ部材１１Ａとに挟まれて保持されている。
【００５６】
本実施形態の場合、チャンバ部材１１Ａの下端面１１ａはダイヤフラム１４の周縁部の上面に当接する当接面であり、チャンバ部材１２Ａの上端面１２ａはダイヤフラム１４の周縁部の下面に当接する当接面である。そして、不図示の昇降装置によって、チャンバ部材１１Ａとチャンバ部材１２Ａの少なくともいずれか一方が昇降可能となっており、チャンバ部材１１Ａと、チャンバ部材１２Ａとが、チャンバ部材１１Ａの下端面１１ａ及びチャンバ部材１２ａの上端面１２ａとを境界として、互いに分離可能となっている。
【００５７】
チャンバ部材１２Ａの凹部１２ｇ内には加熱板１６が設けられている。加熱板１６の上面は、ワークＷが配置されるワーク配置部ＷＰとなっている。加熱板１６は不図示のヒータを内蔵しており、ワーク配置部ＷＰ上のワークＷを加熱することができる。また、加熱板１６は昇降装置１７によって昇降される。排気通路１２ｄを形成する排気部１２ｃは、チャンバ部材１２Ａの中央部に１つ設けられている。
【００５８】
次に、処理装置１Ａによるラミネート加工例について説明する。状態ＳＴ２１は、処理対象のワークＷを処理装置１Ａへ搬入する前の状態を示す。この状態では、チャンバ部材１１Ａが上昇した位置にあり、チャンバ部材１１Ａとチャンバ部材１２Ａとが離間している。また、加熱板１６も上昇した位置にある。
【００５９】
状態ＳＴ２１は、不図示の搬送ロボットによって、ワークＷがワーク配置部ＷＰ上に搬入された状態を示す。このとき、不図示のバキュームポンプによって排気通路１１ｄから空気を排気してダイヤフラム１４が下方へ垂れないようにする。また、加熱板１６は既に加熱状態にある。
【００６０】
次に、排気通路１１ｄからの排気は終了し、加熱板１６を降下させ、また、チャンバ部材１１Ａを降下する（状態ＳＴ２３）。これにより気密なチャンバ１０ａが形成される。そして、排気通路１２ｄからチャンバ１０ａ内の空気を排気し、排気通路１１ｄを大気解放する。チャンバ１０ａ内のうち、ダイヤフラム１４よりも下側は負圧、上側は加圧となり、ダイヤフラム１４がワークＷをワーク配置部ＷＰへ押圧する。ワークＷはワーク配置部ＷＰから加熱されながらダイヤフラム１４によって押圧される。こうしてワークＷはラミネート加工されることになる。以降、同様の手順により、複数のワークＷのラミネート加工が順次行われていくことになる。
【００６１】
次に、図１１を参照して、ダイヤフラム１４の交換作業について説明する。まず、保持体１３Ａをチャンバ部材１１Ａから取り外し、更に、チャンバ部材１１Ａを上昇させることで、使用済みのダイヤフラム１４を取り外す。次に、使用済みのダイヤフラム１４を取り除いた後、交換補助ユニット２Ｂをチャンバ部材１２Ａの凹部１２ｇ内に配置し、その上に新しいダイヤフラム１４Ｎを載せる。状態ＳＴ３１はこの状態を示す。
【００６２】
同図の例では、上記第３実施形態の交換補助ユニット２Ｂを１つ用いた交換作業を想定している。交換補助ユニット２Ｂの脚部２１は凹部１２ｇの底部に接地しているが、加熱板１６上に交換補助ユニットを載せる方法も採用可能である。
【００６３】
載置部２０の載置面２０ａは、チャンバ部材１２Ａの上端面１２ａと同一平面上に位置している。つまり、載置面２０ａと上端面１２ａとが面一となるように、載置面２０ａの高さが設計又は調整されている。載置面２０ａを利用して、ダイヤフラム１４Ｎに皺が付かないように、、かつ、より均一な張力でダイヤフラム１４Ｎを広げることができる。なお、上記第１実施形態で述べたとおり、載置面２０ａとチャンバ部材１２Ａの上端面１２ａとが面一でない構成も採用可能である。
【００６４】
次に、状態ＳＴ３２に示すように、チャンバ部材１１Ａをチャンバ部材１２Ａ上に降下させ、新しいダイヤフラム１４Ｎをチャンバ部材１１Ａとチャンバ部材１２Ａとの間に挟む。続いて、ダイヤフラム１４Ｎの周縁部の一部をチャンバ部材１１Ａの側面から上面へ回り込ませる。この部分を保持体１３Ａとチャンバ部材１１Ａとで挟みこみ、保持体１３Ａをチャンバ部材１１Ａに固定する。これにより、新しいダイヤフラム１４がチャンバ部材１１Ａと保持体１３Ａとに保持される。
【００６５】
次に、状態ＳＴ３３に示すようにチャンバ部材１１Ａを上昇させる。そして、交換補助ユニット２Ｂをチャンバ部材１２Ａから取り出す。以上により交換作業が終了する。このように、中空体の構成が異なる処理装置についても、交換補助ユニットによってダイヤフラムの交換作業を容易化できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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