(57)【要約】      （修正有）【課題】基板処理システム内で使用される搬送チャンバに関して、蓋及びそれに結合されたアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータアセンブリ２０２は、チャンバ本体２０４と蓋２０６の間に結合することができ、１以上の第１ブラケット２１４、１以上のアーム２１２、１以上の第１シャフト２２２、１以上のギアボックス２１６、１以上の第２シャフト、及びモータ２１８を含む。アクチュエータアセンブリ２０２は、蓋２０６を閉位置から開位置まで移動させるように構成され、開位置にある蓋２０６は、閉位置から約１００°〜約１８０°の間で回転させることができる。蓋２０６は、１以上の第１シャフト２２２によって画定される軸の周囲を回転させることができる。【選択図】図４
0003202297.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
蓋体と、
蓋体に結合された１以上のアームと、
１以上の第１シャフトによって１以上のアームに結合された１以上のギアボックスと、
１以上の第２シャフトによって１以上のギアボックスに結合されたモータを含むチャンバ蓋装置。
【請求項２】
蓋体は、矩形状のドーム状構造である、請求項１記載の装置。
【請求項３】
１以上のガセット部材が蓋体に結合され、ドーム状構造を構造的に強化するように構成される、請求項２記載の装置。
【請求項４】
蓋体は、アルミニウム材料を含む、請求項２記載の装置。
【請求項５】
１以上のブラケットが、１以上のアームを蓋体に結合する、請求項１記載の装置。
【請求項６】
１以上の第１シャフトは、１以上の第１シャフトに対して１以上のアームの回転を可能にするように構成されたベアリングアセンブリを含む、請求項１記載の装置。
【請求項７】
１以上のギアボックスは、１以上の第２シャフトと１以上の第１シャフトとの間で回転力を変換するように構成された複数のギアを含む、請求項１記載の装置。
【請求項８】
１以上のアームを貫通して配置された１以上のピン部材を含む、請求項１記載の装置。
【請求項９】
蓋体の周囲に結合されたインジケータピンブラケットを含む、請求項１記載の装置。
【請求項１０】
内部に容積を画定するチャンバ本体と、
チャンバ本体に回転自在に結合された蓋と、
蓋に隣接してチャンバ本体に結合された１以上のブレース部材と、
蓋及びチャンバ本体に結合された１以上のアームと、
１以上の第１シャフトによって１以上のアームに結合された１以上のギアボックスと、
１以上の第２シャフトによって１以上のギアボックスに結合されたモータを含む搬送チャンバ装置。
【請求項１１】
蓋は、アルミニウム材料を含む矩形状のドーム状構造である、請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
１以上の第１ブラケットは、１以上のアームを蓋に結合する、請求項１０記載の装置。
【請求項１３】
１以上の第２ブラケットは、１以上のアームをチャンバ本体に結合する、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
１以上のアームは、１以上のブレース部材の少なくとも１つに亘って１以上の第２ブラケットから１以上の第１ブラケットまで延びる、請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
チャンバ本体に結合されたセンサを含む、請求項１０記載の装置。
【請求項１６】
蓋体の周囲に結合されたインジケータピンを含み、インジケータピンは、センサとインターフェース接続し、センサに接触するように構成される、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
１以上のギアボックスは、１以上の第２シャフトと１以上の第１シャフトとの間で回転力を変換するように構成された複数のギアを含む、請求項１０記載の装置。
【請求項１８】
蓋は、チャンバ本体に接する第１位置から、第１位置から１５０°の第２位置まで回転するように構成される、請求項１０記載の装置。
【請求項１９】
１以上の第１シャフトは、蓋の回転軸を画定する、請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
蓋を持ち上げるための装置であって、
複数の第１ブラケット及び複数の第２ブラケットに結合された複数のアームと、
複数の第２ブラケットを貫通して複数のアームに結合された複数の第１シャフトと、
複数の第１シャフトに結合された複数のギアボックスと、
複数のギアボックスに結合された１以上の第２シャフトと、
１以上の第２シャフトに結合され、１以上の第２シャフトを回転するように構成されたモータを含む装置。
【考案の詳細な説明】
【考案の背景】
【０００１】
（分野）
本開示の実施形態は、概して、基板処理システム内で使用される搬送チャンバに関する。具体的には、本明細書で説明される実施形態は、搬送チャンバ蓋及びそれに結合されたアクチュエータに関する。
【０００２】
（関連技術の説明）
有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は、情報を表示するためのテレビのスクリーン、コンピュータのモニタ、携帯電話等の製造に使用される。典型的なＯＬＥＤは、個別に通電可能な画素を有するマトリックスディスプレイパネルを形成するようにすべてが基板上に堆積された２つの電極間に位置する有機材料の層を含むことができる。ＯＬＥＤは、一般的に、２つのガラスパネルの間に配置され、ガラスパネルの端部は、内部にＯＬＥＤを封止するためにシールされる。
【０００３】
フラットパネル技術の市場の受け入れとともに、より大型のディスプレイ、増加した生産、及びより低い製造コストに対する需要は、フラットパネルディスプレイ組立加工業者用のより大きなサイズのガラス基板を受け入れる新しいシステムを装置メーカーに開発させてきた。また、様々なシステムコンポーネントを効率的かつ高い費用対効果に維持する能力は、このような装置の運転に関連するコストを改善するのを助長することができる。しかしながら、大面積基板を処理するためのこのような大型の装置を採用すると、このようなシステムのアクセスおよびメンテナンスは、時間が掛かり、困難になる。例えば、清掃やメンテナンスのアクセスを提供するために、搬送チャンバの蓋を除去するために、クレーンが必要である。クレーンの必要性は、追加コストであり、しばしば製造設備を構築可能にする柔軟性を制限する。更に、機器の大型化は、クレーンの操作を妨げる可能性がある。
【０００４】
したがって、当該技術分野で必要とされるのは、搬送チャンバ用の改善された蓋及びアクチュエータアセンブリである。
【考案の概要】
【０００５】
一実施形態では、チャンバ蓋装置が提供される。チャンバ蓋装置は、蓋体と、蓋体に結合された１以上のアームと、１以上の第１シャフトによって１以上のアームに結合された１以上のギアボックスを含むことができる。モータをまた、１以上の第２シャフトによって１以上のギアボックスに結合することができる。
【０００６】
別の一実施形態では、搬送チャンバ装置が提供される。搬送チャンバ装置は、内部に容積を画定するチャンバ本体と、チャンバ本体に回転自在に結合された蓋を含むことができる。１以上のブレース部材は、蓋に隣接してチャンバ本体に結合されせることができ、１以上のアームは、蓋及びチャンバ本体に結合させることができる。１以上のギアボックスは、１以上の第１シャフトによって１以上のアームに結合させることができ、モータは、１以上の第２シャフトによって１以上のギアボックスに結合させることができる。
【０００７】
更に別の一実施形態では、蓋を持ち上げるための装置が提供される。装置は、複数の第１ブラケット及び複数の第２ブラケットに結合された複数のアームを含むことができる。複数の第１シャフトは、複数の第２ブラケットを介して複数のアームに結合させることができ、複数のギアボックスは、複数の第１シャフトに結合させることができる。１以上の第２シャフトは、複数のギアボックスに結合させることができ、モータは、１以上の第２シャフトに結合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本開示のより具体的な説明を、実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は典型的な実施形態を示しているに過ぎず、したがってこの範囲を制限していると解釈されるべきではなく、他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
【図１】処理システム内の搬送チャンバの概略平面図を示す。
【図２】搬送チャンバの平面図を示す。
【図３】図２の搬送チャンバの側面図を示す。
【図４】搬送チャンバ蓋及びアクチュエータアセンブリの部分側面図を示す。
【図５】図４の搬送チャンバ蓋の内部の斜視図を示す。
【図６】インジケータピン及びセンサの側面図を示す。
【０００９】
理解を促進するために、図面に共通する同一の要素を示す際には可能な限り同一の参照番号を使用している。一実施形態の要素及び構成を更なる説明なしに他の実施形態に有益に組み込んでもよいと理解される。
【詳細な説明】
【００１０】
本開示の実施形態は、蓋及びアクチュエータアセンブリを有する搬送チャンバに関する。蓋は、搬送チャンバに回転自在に結合させることができ、アクチュエータアセンブリは、搬送チャンバの内部へのアクセスを可能にするために蓋を開閉することができる。アクチュエータアセンブリは、一般的に、アームを蓋及びチャンバ本体に結合するブラケットを含む。複数のシャフト及びギアボックスが、アームとモータの間に結合されてもよい。モータは、シャフトを回転させ、これによって蓋を開閉することができる。蓋の位置を決定するためのセンサもまた、開示される。
【００１１】
図１は、処理システム１００内の搬送チャンバ１０２の概略平面図を示す。処理システム１００は、一般的に、ディスプレイタイプの基板上にＯＬＥＤデバイスを製造するように構成することができる。搬送チャンバ１０２は、処理システム１００内の中央に配置させることができ、複数の処理チャンバ１０８を、搬送チャンバ１０２に結合することができる。ロードロックチャンバ１０４もまた、搬送チャンバ１０２に結合することができ、ロードロックチャンバ１０４は、ファクトリインターフェース１０６に操作可能に結合されるように構成することができる。
【００１２】
ロードロックチャンバ１０４は、真空発生装置（図示せず）に結合され、搬送チャンバ１０２内で維持される環境に類似した圧力環境を生成することができる。動作中、基板は、ファクトリインターフェース１０６からロードロックチャンバ１０４へ、その後搬送チャンバ１０２内へ搬送させることができる。搬送チャンバ１０２内のロボットは、搬送チャンバ１０２に結合された１以上の処理チャンバ１０８へ、及び１以上の処理チャンバ１０８から基板を搬送することができる。一実施形態では、搬送チャンバ１０２は、八角形とすることができる。５つの処理チャンバ１０８が図示されているが、より多い又は少ない数の処理チャンバ１０８が、搬送チャンバ１０２に結合されてもよいことが理解される。特定の実施形態では、マスクチャンバ（図示せず）もまた、搬送チャンバ１０２に結合されてもよい。
【００１３】
図２は、搬送チャンバ１０２の平面図を示す。搬送チャンバ１０２は、内部に容積を画定するチャンバ本体２０４を含む。蓋２０６は、チャンバ本体２０４に回転自在に結合することができる。蓋２０６は、形状が主に矩形とすることができる。しかしながら、他の形状が利用されてもよいことが理解される。蓋２０６の少なくとも一部は、（図５に関してより詳細に示される）ドーム状とすることができ、ガセット部材２１０がドーム部に結合され、これによって蓋２０６の構造の完全性を改善することができる。一実施形態では、蓋２０６は、アルミニウム材料から製造することができる。しかしながら、他の材料（例えば、ステンレス鋼）が利用されてもよいことが理解される。一般的に、蓋２０６及びチャンバ本体２０４の製造のために選択される材料は、同じ材料とすることができる。
【００１４】
１以上のブレース部材２０８はまた、チャンバ本体２０４に結合することができる。ブレース部材２０８は、蓋２０６に隣接して直線的に配置することができる。一実施形態では、ブレース部材２０８は、蓋２０６の両側に配置されてもよい。例えば、ブレース部材２０８は、矩形状の蓋２０６の長辺に隣接して配置することができる。ブレース部材２０８は、特に、蓋２０６の開閉時に、チャンバ本体２０４の構造的完全性を向上させるように構成することができる。一実施形態では、ブレース部材２０８は、アルミニウム材料から形成することができるが、他の適切な材料が利用されてもよいことが理解される。
【００１５】
アクチュエータアセンブリ２０２は、チャンバ本体２０４と蓋２０６の間に結合することができる。アクチュエータアセンブリ２０２は、一般的に、１以上の第１ブラケット２１４、１以上のアーム２１２、１以上の第１シャフト２２０、２２２、１以上のギアボックス２１６、１以上の第２シャフト２２４、及びモータ２１８を含む。１以上の第１ブラケット２１４は、蓋２０６に結合することができる。第１ブラケット２１４は、複数の締結部材（例えば、ネジ又はボルト等）によって蓋２０６に結合することができる。第１ブラケット２１４は、１以上のアーム２１２にも結合することができる。アーム２１２は、任意の適切な装置によって（例えば、溶接などによって）、第１ブラケット２１４に固定することができる。アーム２１２は、第１ブラケット２１４から、図４を参照してより詳細に説明される１以上の第２ブラケット４０６まで延びることができる。アーム２１２は、１以上の第１シャフト２２０、２２２に回転自在に結合することができる。第１シャフト２２０、２２２は、アーム２１２を貫通して延びることができ、アーム２１２は、１以上の第１シャフト２２０、２２２に対して回転することができる。一実施形態では、第１シャフト２２０、２２２は、第１シャフト２２０、２２２の回転、したがって、第１シャフト２２０、２２２の中心線周りにアーム２１２が回転できるように構成されるベアリングとインターフェース接続することができる。
【００１６】
第１シャフト２２０、２２２はまた、１以上のギアボックス２１６に結合することができる。ギアボックス２１６は、チャンバ本体２０４及び／又はブレース２０８のうちの１つに結合することができる。ギアボックス２１６は、回転時に回転力を第１シャフト２２０、２２２に付与する複数のギアを収容することができる。ギアボックスはまた、１以上の第２シャフト２２４に結合することができる。第２シャフト２２４は、第２シャフト２２４を回転させるように構成されたモータ２１８に結合することができる。動作時に、モータ２１８は、第２シャフト２２４に回転力を発生させることができる。第２シャフト２２４の回転力は、ギアボックス２１６内に収容された複数のギアに変換することができる。ギアは、回転力を第１シャフト２２０、２２２に更に変換することができる。その後、第１シャフト２２０、２２２は、所望の動作に応じて、蓋２０６を開ける又は閉じるアーム２１２に回転力を変換することができる。
【００１７】
図３は、図２に示された搬送チャンバ１０２の側面図を示す。蓋２０６は、閉位置で示される。また、蓋２０６のドーム形状は、図３により明確に示される。閉位置の蓋２０６は、図４に示される開位置までアクチュエータアセンブリ２０２によって開くことができる。
【００１８】
図４は、蓋２０６が開位置にある蓋２０６及びアクチュエータアセンブリ２０２の部分側面図を示す。アクチュエータアセンブリ２０２は、蓋２０６を閉位置（図３に図示）から開位置まで移動させるように構成することができる。一実施形態では、開位置にある蓋２０６は、閉位置から約１００°〜約１８０°の間で（例えば、約１５０°）回転させることができる。蓋２０６は、１以上の第１シャフト２２０、２２２によって画定される軸の周囲を回転させることができる。蓋の閉位置に垂直な位置を越えて蓋２０６を回転可能であることは、施設クレーンからの改善されたクリアランスを提供する。このように、製造施設クレーンは、蓋２０６が開位置にあるときに、施設の周りを自由に移動することができる。
【００１９】
上記で参照した１以上の第２ブラケット４０６は、チャンバ本体２０４及び／又はブレース部材２０８に結合することができる。第１シャフト２２０、２２２は、第２ブラケット４０６を貫通して延びることができ、これによってアーム２１２は、第１シャフト２２０、２２２に結合させることができる。一実施形態では、第２ブラケット４０６は、停止部材４０４を含むことができる。停止部材４０４は、第２ブラケット４０６に結合することができ、アーム２１２に接触するように構成された少なくとも１つのベベル加工された又は面取りされたエッジを有することができる。一実施形態では、停止部材４０４は、蓋２０６が開位置にあるとき、アーム２１２が停止部材４０４に接触するように位置決めされる。
【００２０】
ピン部材４０２もまた、アーム２１２に結合することができる。ピン部材４０２は、第２ブラケット４０６を貫通して延びることができ、蓋２０６が開位置にあるときに所定の位置でアーム２１２をロックするように構成することができる。一実施形態では、ピン部材４０２は、蓋２０６が開位置にあるときに、ピン部材４０２が第２ブラケット４０６内に形成された孔（図示せず）に係合することができるように、ばねで留めることができる。ピン部材４０２は、第２ブラケットの孔を貫通して延び、所定の位置にアーム２１２をロックすることができる。ピン部材４０２は、アクチュエータアセンブリ２０２が蓋２０６を閉位置に戻すことを可能にするために、選択的に係合を外すことができる。
【００２１】
インジケータピンブラケット４０８もまた、蓋２０６に結合することができる。インジケータピンブラケット４０８は、各種カップリング装置（例えば、ねじ、ボルト／ナット、及び溶接）等によって蓋２０６の周囲に固定することができる。インジケータピンブラケット４０８は、蓋２０６の周囲を越えて延びることができ、これによってインジケータピン６０８（図６参照）は、センサアセンブリ６０２に係合することができる。
【００２２】
図５は、蓋２０６の内部の斜視図を示す。前述したように、蓋２０６は、蓋２０６の内面５０２によって画定することができるドーム状部分を含むことができる。一般的に、搬送チャンバ１０２は、基板の搬送及び処理の間に真空に維持される。このように、蓋２０６は、構造的に高真空度に耐えることができなければならない。複数のトラス部材５０４が、内面５０２に沿って蓋２０６の内部に架かっていてもよい。トラス部材５０４が、矩形状の蓋２０６の長辺間に延びてもよく、トラス部材５０４は、内面５０２に結合され、接触していてもよい。一実施形態では、トラス部材５０４は、内面５０２に溶接することができる。１以上の孔５０６を、トラス部材５０４の各々に形成してもよい。孔５０６は、蓋２０６の重量を減らすことができ、これは、アクチュエータアセンブリ２０２によって蓋２０６の改善された開閉のために提供することができる。
【００２３】
図６は、インジケータピンブラケット４０８及びセンサアセンブリ６０２の側面図を示す。前述したように、インジケータピンブラケット４０８は、蓋２０６に結合され、蓋２０６の周辺を越えて延びる。接合部材６０６は、インジケータピンブラケット４０８に結合することができ、インジケータピン６０８は、接合部材６０６から延びることができる。一実施形態では、接合部材６０６は、インジケータピン６０８に結合されたバネ（図示せず）を収容することができる。
【００２４】
ブロック部材６０４は、チャンバ本体２０４に結合することができ、センサアセンブリ６０２は、ブロック部材６０４に結合することができる。ブロック部材は、インジケータピン６０８を受け取るようにセンサアセンブリ６０２を位置決めするように構成することができる。センサアセンブリ６０２は、蓋２０６に対するインジケータピン６０８の位置を示す測定値を検知するように構成されたセンサ６１０（例えば、近接センサ）を含むことができる。図６に示されるように、蓋２０６は、閉じた位置に配置され、インジケータピン６０８は、完全にセンサ６１０内に配置される。インジケータピン６０８が、センサ６１０と係合するとき、信号を搬送チャンバ制御装置へ送信することができる。信号は、蓋２０６が真空操作を保証するために適切に位置決めされている兆候を提供することができる。蓋２０６は、アクチュエータアセンブリ２０２によって持ち上げられたとき、インジケータピン６０８は、センサ６１０から離れて移動することができる。また、蓋２０６が閉位置からわずかに変位する量もまた、センサ６１０によって検出することができる。このように、センサアセンブリ６０２は、蓋２０６が真空操作のために望ましい位置にあることを示す信号を搬送チャンバの制御装置に提供することができる。
【００２５】
要約すると、搬送チャンバアクチュエータアセンブリは、効率的な方法で搬送チャンバ蓋の開閉を可能にすることができる。蓋は、搬送チャンバへのメンテナンスアクセスを可能にするために開閉することができる。蓋は、クレーンのより効果的な使用を可能にする位置に開くことができる。このように、チャンバのダウンタイムを低減することができ、内部で搬送チャンバが利用される処理システムのスループットの向上に寄与することができる。
【００２６】
上記は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の他の及び更なる実施形態は本開示の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の実用新案登録請求の範囲に基づいて定められる。
【図１】
0003202297.tif 000003
【図２】
0003202297.tif 000004
【図３】
0003202297.tif 000005
【図４】
0003202297.tif 000006
【図５】
0003202297.tif 000007
【図６】
0003202297.tif 000008