(57)【要約】      （修正有）【課題】少量生産の場合でも低コストで生産することができ、加工や組立てが簡単で、しかもケミカル仕様等の特殊な用途にも対応が可能な広い対応能力を持ったターボ分子ポンプの静翼段を提供する。【解決手段】外周リング２と内周リング３と複数の静翼４とからなるターボ分子ポンプの静翼段１において、前記静翼４を平板状に形成し、前記外周リング２の内周面部及び前記内周リング３の外周面部に複数のスリットをそれぞれ凹設すると共に前記外周リング２及び前記内周リング３の各一方の側端面部にこれらのスリットが開口部を有するように形成する。前記静翼４は、これら開口部から前記スリットに沿って嵌入されて前記外周リング２及び前記内周リング３に固定されている。【選択図】図１
0003175680.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
外周リングと内周リングと該外周リング及び該内周リングに接続する複数の静翼とからなるターボ分子ポンプの静翼段において、前記静翼を平板状に形成し、前記外周リングの内周面部及び前記内周リングの外周面部に前記静翼が嵌入可能な複数のスリットを所定の傾斜角度でそれぞれ凹設すると共に、前記外周リング及び前記内周リングの少なくとも一方の側端面部にこれらのスリットが開口部を有するように形成し、前記静翼は、これら開口部から前記各スリットに沿って嵌入されて前記外周リング及び前記内周リングに固定されているターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項２】
前記外周リングの側面の一方を環状に突出させて環状突出部を形成することにより、該外周リングの厚さを前記内周リングの厚さよりも厚く形成した請求項１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項３】
前記外周リングと前記内周リングとをリブで連結して一体構造の素材に形成し、該素材の外周リングの内周面部と該素材の内周リングの外周面部に前記スリットを凹設すると共に、これらスリットに前記静翼を嵌入して固定した請求項１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項４】
前記外周リングの内周面部及び前記内周リングの外周面部の前記スリットを円弧状に形成すると共に、前記平板状の静翼を弾性体により形成し、前記スリットに前記静翼を嵌入し、該静翼の弾性変形によって該静翼内に生じる弾発力により、該静翼が前記スリットに係止して固定されている請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項５】
前記外周リングと前記内周リングと前記静翼の３部品のうちの少なくとも静翼の材質を他とは異なる材質とした請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項６】
前記静翼の表面に耐腐蝕性能が高い表面処理を施した後、前記外周リング及び前記内周リングのスリットに該静翼を嵌入して固定した請求項１乃至請求項５のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【請求項７】
前記静翼段は、円周方向に少なくとも２分割可能な構造とした請求項１乃至請求項６のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は半導体製造装置等に用いられるターボ分子ポンプの静翼段に関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプは、高速回転をする動翼段と、固定翼（静翼）からなる静翼段とを多段に且つ交互に配置して形成されている。
【０００３】
然して前記静翼段では、外周リング（外輪）と内周リング（内輪）との間に複数の静翼（羽根）を放射状に配置した形状のものが一般的であり、これら外輪と内輪と羽根の３部品を一体の精密鋳造で製作した例が知られている（例えば特許文献１参照。）。
【０００４】
又、相隣る静翼段の間にそれぞれスペーサを配置して各静翼段の隙間を所定の距離に設定するようにした例がある（特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３０９２４５号公報
【特許文献２】特開２００３−２６９３６４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
前記特許文献１のターボ分子ポンプの静翼段を一体の精密鋳造で製造する方法は、高価な型が必要となるので少量生産には不向きであるという問題があった。
【０００７】
又、前記静翼段全体の削り出し等の方法での製造は、多大の加工時間がかかるので高コストとなるという問題があった。
【０００８】
更に又、前記特許文献２の各静翼段を隔てるのにスペーサを利用する方法は、部品点数が増大するために分子ポンプが高コストとなる問題があった。
【０００９】
本考案はこれらの問題点を解消し、低コストで製造ができて、しかも加工及び組立てが容易なターボ分子ポンプの静翼段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本考案は前記の目的を達成すべく、外周リングと内周リングと該外周リング及び該内周リングに接続する複数の静翼とからなるターボ分子ポンプの静翼段において、前記静翼を平板状に形成し、前記外周リングの内周面部及び前記内周リングの外周面部に前記静翼が嵌入可能な複数のスリットを所定の傾斜角度でそれぞれ凹設すると共に、前記外周リング及び前記内周リングの少なくとも一方の側端面部にこれらのスリットが開口部を有するように形成し、前記静翼は、これら開口部から前記各スリットに沿って嵌入されて前記外周リング及び前記内周リングに固定されている。
【考案の効果】
【００１１】
本考案によれば、加工及び組立てが容易で低コストで生産できるターボ分子ポンプの静翼段を提供することができ、しかも静翼段は内外周リングに設けたスリットへの静翼の嵌入による組立方式としたので、例えば腐蝕性ガスを排気する用途に使用する静翼段については、（Ａ）静翼の材質を耐腐蝕性能が高い材質に変更する、（Ｂ）静翼の表面に耐腐蝕性能が高い表面処理を施工する、等により、静翼段の耐腐蝕性能を容易に向上させることができ、また、腐蝕性ガスは全く排気しない用途に使用する静翼段については、静翼の材質を樹脂等に変更することにより、静翼段のコストを低減することがき、広い対応能力を持ったターボ分子ポンプの静翼段を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本考案の静翼段の実施例１の平面図である。
【図２】同上静翼段の図１におけるＡ−Ａ線截断面図である。
【図３】同上静翼段の外周リングの一部を内周側より見た展開図である。
【図４】同上静翼段の外周リングの一部を拡大して示した説明図である。
【図５】本考案の静翼段の実施例２の平面図である。
【図６】本考案の静翼段の実施例３の外周リングの一部を内周側より見た展開図である。
【考案を実施するための形態】
【００１３】
本考案を実施するための形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１４】
本考案のターボ分子ポンプの静翼段の実施例１を図１乃至図４により説明する。
【００１５】
図１は本実施例の静翼段１の平面図である。
【００１６】
静翼段１は外周リング２と内周リング３と複数の静翼４とからなり、該静翼段１は中心部を通るＸ−Ｘ線に沿って左右に分離可能に形成されている。
【００１７】
図１におけるＡ−Ａ線截断面図を図２に又、外周リング２の一部を内周側より見た展開図を図３に示した。
【００１８】
外周リング２は、その内周面部に直線状のスリット２ａが所定の傾斜角度に傾斜されて凹設されていると共に、該外周リング２の側面の一方が環状に突出されて環状突出部２ｂが形成されている。
【００１９】
この環状突設部２ｂはスペーサの役目を担っていて、外周リング２の厚さは内周リング３の厚さよりスペーサの厚さ分だけ厚くなっている（図２参照）。
【００２０】
このため、複数の静翼段を同じ向きに当接させることにより、隣接する静翼段の間には、そこに配置される動翼段のための空間を形成することができる。
【００２１】
又、内周リング３はその外周面部にスリット３ａが前記スリット２ａと同様の傾斜角度で直線状に凹設されている。
【００２２】
これらスリット２ａ、３ａは、それぞれ、その両端部の少なくとも一方が前記外周リング２及び前記内周リング３の各側端面部に、開口するように形成されている。
【００２３】
図４に、前記外周リング２の側端面部に開口したスリット２ａの開口部２ａ´を示す。
【００２４】
尚、前記内周リング３もこれに対応する側端面部にスリット３ａの開口部を有する。
【００２５】
静翼４は長方形の平板状に形成されており、その両端の短辺部をそれぞれ前記外周リング２のスリット２ａ及び前記内周リング３のスリット３ａに嵌入された後、嵌入部を接着剤又はかしめ等により固定するようにした。
【００２６】
尚、前記静翼４の前記外周リング２及び前記内周リング３への嵌入は、前記外周リング２及び前記内周リング３の各側端面部に開口している開口部から前記スリット２ａ、３ａに沿って静翼４を差し込むように嵌入する。
【００２７】
又、前記静翼段１を構成する３部品（外周リング・内周リング・静翼）の材質は同一素材（例えば、アルミ合金）とするのが一般的であるが、腐蝕性ガス等を排気する用途に使用するケミカル仕様の静翼段については、（Ａ）静翼４の材質を耐腐蝕性能が高い材質（ステンレス、セラミックス等）に変更する、又、（Ｂ）静翼４の表面に耐腐蝕性能が高い表面処理を施工する、等により、静翼段１の耐腐蝕性能を容易に向上させることができる。
【００２８】
又、腐蝕性ガスは全く排気しない用途に使用する静翼段については、静翼４の材質を樹脂等に変更することにより、静翼段１のコストを低減することができる。
【００２９】
尚、前記静翼段１を左右に２分割可能に形成したのは、分子ポンプ組立て時の便宜を図ったものであり、これは２分割以上に多分割可能な構造としてもよい。
【００３０】
以上、実施例１では、凹設する直線状のスリットの傾斜角は内外周リングで同一としたが、本考案はこの実施形態に限定されるものではない。すなわち、外周リングの内周面部と内周リングの外周面部にそれぞれ凹設する直線状のスリットの傾斜角は異なっても良い。この場合、嵌入された静翼はねじりの弾性変形に伴って発生する弾発力によって内外周リングの各スリットに固定されるため、接着剤やかしめ等による静翼の内外周リングへの固定作業が不要となり、組立てコストが低減する。
【実施例２】
【００３１】
本考案のターボ分子ポンプの静翼段の第２実施例を図５により説明する。
【００３２】
図５は本実施例の静翼段１１の半分部を示し、本実施例では外周リング１２及び内周リング１３は、一体に精密鋳造等で製作された静翼リング１６の一部となっている。
【００３３】
１５はリブで、複数のリブ１５が外周リング１２と内周リング１３とを連結して一体構造の静翼リング１６を形成している。
【００３４】
静翼１４は前記実施例１と同じ長方形の平板状で、外周リング１２の内周面部及び内周リング１３の外周面部にそれぞれ設けられているスリット２ａ、３ａに、これら外周リング１２及び前記内周リング１３の各側端面部に開口している開口部を通して嵌入された後、該嵌入部を接着剤又はかしめ等により固定して静翼段１１を形成する。
【００３５】
本実施例によれば外周リング１２と内周リング１３とが連結して一体となっているので、静翼１４の差し込みが容易となり、前記第１実施例の静翼段１よりも加工、組立てが容易となる利点を有する。
【実施例３】
【００３６】
本考案のターボ分子ポンプの静翼段の第３実施例を図６により説明する。
【００３７】
本実施例の静翼段は、前記第１実施例における外周リング２及び内周リング３に凹設したスリットが直線状であったのに対して、本実施例では外周リング２２の内周面部及び内周リングの外周面部に沿って各複数の円弧状のスリット２２ａを凹設した点が前記第１実施例の静翼段１とは異なっている。
【００３８】
本実施例の静翼段の外周リング２２を内周側より見た展開図を図６に示した。
【００３９】
２２ａが円弧状のスリットであり、２２ａ´は該スリット２２ａが外周リング２２の側端面部に開口した開口部を示す。
【００４０】
尚、前記内周リングの外周面部に凹設したスリットも同様の円弧状を有し、該内周リングの側端面部に開口している。
【００４１】
本実施例の静翼段に用いる静翼は、比較的弾性率の低い材料からなる長方形の平板状体であって容易に屈曲可能なため、該静翼は前記外周リング２２及び前記内周リングに凹設されている円弧状の各スリットに嵌入可能であり、また、平板状の該静翼が円弧状の各スリットに差し込まれた状態では、該静翼の弾性変形によって該静翼内に生ずる弾発力により、該静翼が外周リング２２及び内周リングに固定されるように作用する。
【００４２】
このため接着剤やかしめ等によって静翼を外周リング及び内周リングに固定する作業が不要となり、静翼段の組立てコストが低減する。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本考案のターボ分子ポンプの静翼段は、半導体製造装置等に使用されるターボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ部を有する複合分子ポンプに利用される。
【符号の説明】
【００４４】
１            静翼段
２            外周リング
２ａ          スリット
２ａ´        開口部
２ｂ          環状突出部
３            内周リング
３ａ          スリット
４            静翼
１１            静翼段
１２            外周リング
１３            内周リング
１４            静翼
１５            リブ
２２            外周リング
２２ａ          スリット
２２ａ´        開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003175680.tif 000006
【図５】
0003175680.tif 000007
【図６】
0003175680.tif 000008