(57)【要約】      （修正有）【課題】複合ウエハーの圧入に適合し、かつ大気圧と圧入膜を利用して均一の温度と圧力の作用力を生じることができる複合シート材の圧入装置を提供する。【解決手段】プラットホーム１、圧入プラットホーム２、膜嵌入台ユニット３および加熱器４を有する。プラットホーム１には載置面１１が含まれ、圧入プラットホーム２はプラットホーム１の載置面１１に向かって往復して変位するように形成され、膜嵌入台ユニット３はプラットホーム１の相対する両側に跨るように設けられ、かつ圧入膜３１を架設するのに用いられる。圧入膜３１はプラットホーム１と圧入プラットホーム２の間に位置され、さらに圧入プラットホーム２とは気体を充填するための空気室Ｒが形成され、加熱器４は圧入プラットホーム２に設けられ、かつ空気室Ｒの内に収容され、さらに加熱器４と圧入膜３１の間には間隔が形成されるように構成されている。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一個のプラットホーム（１）、一個の圧入プラットホーム（２）、膜嵌入台ユニット（３）および加熱器（４）を有する複合シート材の圧入装置において、プラットホーム（１）には一個の載置面（１１）が含まれ、圧入プラットホーム（２）はプラットホーム（１）の載置面（１１）に向かって往復して変位するように形成され、膜嵌入台ユニット（３）はプラットホーム（１）の相対する両側に跨るように設けられ、かつ一個の圧入膜（３１）を架設するのに用いられ、圧入膜（３１）はプラットホーム（１）と圧入プラットホーム（２）の間に位置され、さらに圧入プラットホーム（２）とは気体を充填するための一個の空気室（Ｒ）が形成され、加熱器（４）は圧入プラットホーム（２）に設けられ、かつ空気室（Ｒ）の内に収容され、さらに加熱器（４）と圧入膜（３１）の間には一個の間隔が形成されることを特徴とする複合シート材の圧入装置。
【請求項２】
膜嵌入台ユニット（３）には二個の相対する巻上げ車輪支持台（３ａ、３ａ’）が含まれ、二個の巻上げ車輪支持台（３ａ、３ａ’）はプラットホーム（１）の相対する両側に設けられ、その内の一個の巻上げ車輪支持台（３ａ）は圧入膜（３１）を巻上げるのに用いられ、さらにもう一個の巻上げ車輪支持台（３ａ’）を連動して圧入膜（３１）を引っ張ることを特徴とする請求項１に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項３】
膜嵌入台ユニット（３）には他に二個の相対する補助車輪支持台（３ｂ、３ｂ’）が含まれ、二個の補助車輪支持台（３ｂ、３ｂ’）はプラットホーム（１）の相対する両側に設けられ、さらにそれぞれプラットホーム（１）と二個の巻上げ車輪支持台（３ａ、３ａ’）の間に位置されて圧入膜（３１）を当接するのに用いられることを特徴とする請求項２に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項４】
プラットホーム（１）には他に一個の環状リング（１２）が設けられ、環状リング（１２）はプラットホーム（１）の載置面（１１）の外周縁に巻き付けるように設けられることを特徴とする請求項１、２または３に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項５】
圧入プラットホーム（１）には一個の圧入板（２１）と一個の接合部材（２２）が含まれ、圧入板（２１）にはプラットホーム（１）に向かう一個の空気受け面（２１１）が含まれ、接合部材（２２）は圧入板（２１）の空気受け面（２１１）に設けられ、かつプラットホーム（１）の環状リング（１２）と互いに対応するように形成されることを特徴とする請求項４に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項６】
他に一個のサポートバー（５）が含まれ、サポートバー（５）は圧入プラットホーム（２）の圧入板（２１）を移動自在に貫穿するように形成され、かつサポートバー（５）が圧入板（２１）を貫穿する一端は空気室（Ｒ）に伸び入れるように形成されることを特徴とする請求項５に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項７】
サポートバー（５）は圧入板（２１）の中央部位を貫穿するように形成され、かつプラットホーム（１）の載置面（１１）の中心位置に当接するように形成されることを特徴とする請求項６に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項８】
加熱器（４）は圧入板（２１）が圧入膜（３１）に向かう側に設けられることを特徴とする請求項５に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項９】
圧入板（２１）には一個の注入孔（２１２）が開設され、注入孔（２１２）は空気室（Ｒ）と互いに連通するように形成され、注入孔（２１２）は一個の送風管（Ｔ）を挿設するのに用いられ、送風管（Ｔ）には一個の空気弁（Ｖ）と一個の送風ポンプ（Ｐ）が連接されることを特徴とする請求項５に記載の複合シート材の圧入装置。
【請求項１０】
圧入プラットホーム（２）とサポートバー（５）にはそれぞれ一個の駆動部材（Ｍ、Ｍ’）が連接され、駆動部材（Ｍ、Ｍ’）によって圧入プラットホーム（２）とサポートバー（５）が変位するのを連動することを特徴とする請求項６に記載の複合シート材の圧入装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、圧入装置に関するもので、特に、複合ウエハーの圧入に適合し、かつ大気圧と圧入膜を利用して均一の温度と圧力の作用力を生じることができる複合シート材の圧入装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハーを圧入するのに用いられる複合シート材の圧入装置としては、例えば、中華民国公告第Ｍ３５９７８８号（特許文献１を参照）において、複合ウエハーの圧入装置が提案されており、主に、底座の載置面において複数個の凹室が形成されることにより、上記載置面において一個の仮設のエリアが定義され、それによって、基座のウエハーを載置するようにしたものがある。
【０００３】
また、現在、多くの業者は依然として図４に示すような複合シート材の圧入装置９を採用している。この複合シート材の圧入装置９には一個のプラットホーム９１、一個の金属圧入板９２および一個の挟圧部材９３が含まれる。金属圧入板９２はプラットホーム９１に相対して縦方向に変位するように構成される。挟圧部材９３は移動自在にプラットホーム９１に設置され、かつ圧入しようとするウエハー９４を固定するのに用いられる。その中、プラットホーム９１には一個の載置面９１１が含まれ、載置面９１１は圧入しようとするウエハー９４を載置するのに用いられる。金属圧入板９２には一個の開口溝９２１が設けられる。開口溝９２１は金属圧入板９２の外側に環設され、かつ挟圧部材９３に位置合わせするように形成される。金属圧入板９２には他に一個の駆動部材９５が連接される。駆動部材９５は金属圧入板９２がプラットホーム９１に相対して縦方向に変位するのを連動するように用いられる。
【０００４】
このような従来の複合シート材の圧入装置９を実際に使用する時、圧入装置９を一つの真空環境に置き入れ、先ず挟圧部材９３を利用して圧入しようとするウエハー９４の位置合わせを行うことにより、ウエハー９４は金属圧入板９２に面するように形成され、かつ同時に二個のウエハー９４の間のスペースパッド（図示せず）を移動して除去する。それから、再び駆動部材９５によって金属圧入板９２を図１に示すような矢印の方向に変位するように、かつ金属圧入板９２がウエハー９４の表面に当接するまで駆動し続け、さらに同時に開口溝９２１が挟圧部材９３を覆うようになるまで駆動する。このようにして、熱を受けた金属圧入板９２とプラットホーム９１によって同時に上、下のウエハー９４を加熱することにより、二個のウエハー９４の間の接着剤９４１が溶けた後、真空の操作環境下で金属圧入板９２の圧入作用力により、二個のウエハー９４の間の圧入と貼接の作業を完成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】中華民国公告第Ｍ３５９７８８号
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような従来の複合シート材の圧入装置９の操作では、一般的に種々の問題が生じ易く、それについて図５を参照して以下説明する。金属圧入板９２には微視的に依然として不揃いの接触面９２２（図５を参照）が存在しているため、金属圧入板９２の接触面９２２がウエハー９４の表面に当接される時、完全な密閉した貼接を獲得することができない。このため、金属圧入板９２によってウエハー９４に対して圧入の作用力を施す時、ウエハー９４の表面が受ける力は不均一になり易く、ウエハー９４の間の貼接が不均一となって、ウエハー９４の貼接の品質が低くなるばかりでなく、ウエハー９４の製造ロスも高くなるという問題があった。
【０００７】
また、ウエハー９４は貼接の過程において５００℃以上の高温を受けなければならないため、金属圧入板９２が直接ウエハーに接触して熱膨張を受ける状況下では、ややもすればその接触面９２２の平坦度はさらに粗くなる。このため、金属圧入板９２とウエハー９４の表面との接触によって生じる隙間が増えてしまうだけではなく、さらに金属圧入板９２の熱伝導効率が制限され、二個のウエハー９４の間の接着剤９４１が受ける熱の分布は不均一になって、ウエハー９４の間の貼接の効果が低くなるとともに、ウエハー生産の歩留まりも悪くなるという問題があった。
【０００８】
さらに、金属圧入板９２は挟圧部材９３に対応すべく、通常、外側に適当なサイズを有する開口溝９２１を環設しなければならず、このような状態では開口溝９２１において生じる圧入の作用力は明らかに不足になるため、製造されるウエハー９４貼接の品質が悪くなり、最終的にウエハーの生産量が減り、歩留まりが悪くなるという問題があった。そのため、上述したような従来の複合シート材の圧入装置をさらに改良することが希求されていた。
【０００９】
本考案はこのような問題点に鑑みて考案されたものであって、その第一の目的とするところは、大気圧で均一な圧入の作用力を提供することにより、貼接しようとするシート材の表面が受ける力を確実に均一し、さらにシート材がよりよい圧入の品質を維持することができる複合シート材の圧入装置を提供することにある。
【００１０】
本考案の第二の目的とするところは、気体を熱伝導の媒体とすることにより、シート材間の接着剤が受ける熱を均一となるように維持し、さらに相対的にシート材の貼接の歩留まりを高めることができる複合シート材の圧入装置を提供することにある。
【００１１】
本考案の第三の目的とするところは、シート材間における位置合わせの精確度を維持し、シート材の表面に全て同じ圧入力を獲得するのを確保することにより、生産量を高めるとともに、製品の歩留まりを高めることができる複合シート材の圧入装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本考案による複合シート材の圧入装置は、一個のプラットホーム、一個の圧入プラットホーム、膜嵌入台ユニットおよび加熱器を有する。プラットホームには一個の載置面が含まれる。圧入プラットホームはプラットホームの載置面に向かって往復して変位するように形成される。膜嵌入台ユニットはプラットホームの相対する両側に跨るように設けられ、かつ一個の圧入膜を架設するのに用いられ、圧入膜はプラットホームと圧入プラットホームの間に位置され、さらに圧入プラットホームとは気体を充填するための一個の空気室が形成される。加熱器は圧入プラットホームに設けられ、かつ空気室内に収容され、さらに加熱器と圧入膜の間には一個の間隔が形成される。
【００１３】
また、膜嵌入台ユニットには二個の相対する巻上げ車輪支持台が含まれ、二個の巻上げ車輪支持台はプラットホームの相対する両側に設けられ、その内の一個の巻上げ車輪支持台は圧入膜を巻上げるのに用いられ、さらにもう一個の巻上げ車輪支持台を連動して圧入膜を引っ張ることもできる。また、膜嵌入台ユニットには他に二個の相対する補助車輪支持台が含まれ、二個の補助車輪支持台はプラットホームの相対する両側に設けられ、さらにそれぞれプラットホームと二個の巻上げ車輪支持台の間に位置されて圧入膜を当接するのに用いられることもできる。また、プラットホームには他に一個の環状リングが設けられ、環状リングはプラットホームの載置面の外周縁に巻き付けるように設けられることもできる。また、圧入プラットホームには一個の圧入板と一個の接合部材が含まれ、圧入板にはプラットホームに向ける一個の空気受け面が含まれ、接合部材は圧入板の空気受け面に設けられ、かつプラットホームの環状リングとは互いに対応するように形成されることもできる。また、他に一個のサポートバーが含まれ、サポートバーは移動自在に圧入プラットホームの圧入板を貫穿するように形成され、かつサポートバーが圧入板を貫穿する一端は空気室に伸び入れるように形成されることもできる。また、サポートバーは圧入板の中央部位を貫穿するように形成され、かつプラットホームの載置面の中心位置に当接するように形成されることもできる。また、加熱器は圧入板が圧入膜に向ける一方に設けられることもできる。また、圧入板には一個の注入孔が開設され、注入孔は空気室と互いに連通するように形成され、注入孔は一個の送風管が挿設するのに用いられ、送風管には一個の空気弁と一個の送風ポンプが連接されることもできる。また、圧入プラットホームとサポートバーにはそれぞれ一個の駆動部材が連接され、駆動部材によって圧入プラットホームとサポートバーが変位するのを連動することもできる。
【考案の効果】
【００１４】
本考案の複合シート材の圧入装置によれば、大気圧で均一な圧入の作用力を提供することにより、貼接しようとするシート材の表面が受ける力は均一になるのを確保し、さらにシート材がよりよい圧入の品質を維持することができるという利点がある。
【００１５】
また、本考案の複合シート材の圧入装置によれば、気体を熱伝導の媒体とすることにより、シート材間の接着剤が受ける熱は均一になるように維持され、さらに相対的にシート材の貼接の歩留まりを高めることができるという利点がある。
【００１６】
さらに、本考案の複合シート材の圧入装置によれば、シート材間における位置合わせの精確度を維持し、シート材の表面に全て同じ圧入力を獲得するのを確保することにより、生産量を高めるとともに、製品の歩留まりを高めることができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本考案の複合シート材の圧入装置の断面説明図である。
【図２】図２は、本考案の複合シート材の圧入装置の作動説明図一である。
【図３】図３は、本考案の複合シート材の圧入装置の作動説明図二である。
【図４】図４は、従来の複合シート材の圧入装置の断面説明図である。
【図５】図５は、従来の複合シート材の圧入装置の圧入過程における局部拡大説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
本考案の実施の形態について、以下、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は本考案の複合シート材の圧入装置の断面説明図である。図１を参照すると、複合シート材の圧入装置には一個のプラットホーム１、一個の圧入プラットホーム２、一個の膜嵌入台ユニット３および一個の加熱器４が含まれる。圧入プラットホーム２はプラットホーム１に向かって往復して変位するように形成される。加熱器４は圧入プラットホーム２がプラットホーム１に向かう側に結合され、かつ膜嵌入台ユニット３はプラットホーム１の相対する両側に跨るように設けられる。
【００２０】
プラットホーム１は加熱するための載置用の台からなり、好ましくは、プラットホーム１の温度が完全に塗料を溶かして貼接することができたり、または金属が直接貼接することができたりするように維持することができるもので、かつ貼接するための塗料または金属材質の異なる特性に従って変更することができるものであれば、プラットホーム１の方式は制限を受けることがない。例えば、本実施形態においては、選択的にプラットホーム１内には一個の加熱部材（図示なし）が嵌設され、この加熱部材によってプラットホーム１が必要とする温度を調整することができる。
【００２１】
プラットホーム１には一個の載置面１１が含まれる。載置面１１はプラットホーム１が圧入プラットホーム２に向かう側の表面を指し、かつ載置面１１は貼接しようとするシート材を載置するのに用いられる。その他に、本実施形態におけるプラットホーム１には一個の環状リング１２が設けられる。環状リング１２はプラットホーム１の載置面１１の外周縁に設けられ、かつ環状リング１２の直径は好ましくは貼接しようとするシート材のサイズより大きくなるように形成されることにより、圧入プラットホーム２に一種の緩衝力を提供することができる。
【００２２】
図２は本考案の複合シート材の圧入装置の作動説明図一である。図２を参照すると、圧入プラットホーム２はプラットホーム１の載置面１１に向かって往復して変位するように形成される。本実施形態における圧入プラットホーム２には一個の駆動部材Ｍが連接されており、駆動部材Ｍによって圧入プラットホーム２の変位を連動する。圧入プラットホーム２には一個の圧入板２１と一個の接合部材２２が含まれ、接合部材２２は圧入板２１がプラットホーム１に向かう一個の空気受け面２１１に設けられ、特に圧入板２１の空気受け面２１１の外周面を囲むように形成され、かつプラットホーム１の環状リング１２と互いに対応するように形成される。その中、圧入板２１と接合部材２２は全て金属材料によって製造される一個の板体からなり、それにより、シート材が圧入される時の高温を受け取ることができる。本実施形態において、接合部材２２は特に一個の金属製の薄片からなる。
【００２３】
その他に、本実施形態の圧入板２１には一個の注入孔２１２が開設される。注入孔２１２は圧入板２１を貫穿し、特に圧入板２１の空気受け面２１１に開設され、かつ、注入孔２１２は一個の送風管Ｔが挿設するのに用いられる。送風管Ｔは一個の送風ポンプＰと一個の空気弁Ｖと連接するように形成され、送風ポンプＰから送風管Ｔを経由して外部の気体を導入する。さらに、空気弁Ｖによって気体が注入孔２１２を経由して送風するか否かを制御することができる。
【００２４】
膜嵌入台ユニット３はプラットホーム１の相対する両側に跨るように設けられ、かつ一個の圧入膜３１が架設される。圧入膜３１はプラットホーム１と圧入プラットホーム２の間に位置され、さらに圧入プラットホーム２とは気体を充填するための一個の空気室Ｒが形成される（詳しくは図３を見る）。その中、圧入膜３１は弾性材料により製造される薄膜からなり、かつ圧入膜３１は特に約１５０℃以上の操作温度を受けられるようにするのが望ましい。
【００２５】
本実施形態において、膜嵌入台ユニット３には二個の相対する巻上げ車輪支持台３ａ、３ａ’が含まれる。二個の巻上げ車輪支持台３ａ、３ａ’は、好ましくは図１に示すように、プラットホーム１の相対する左右両側に設けられ、その内の一個の巻上げ車輪支持台３ａは圧入膜３１を巻上げるのに用いられ、同時にもう一個の巻上げ車輪支持台３ａ’を連動して圧入膜３１を引っ張ることにより、プラットホーム１と圧入プラットホーム２の間に圧入膜３１を位置するように維持することができ、かつプラットホーム１と圧入プラットホーム２には全て適当な隙間を有するように形成されるのが望ましい。
【００２６】
また、膜嵌入台ユニット３には他に二個の相対する補助車輪支持台３ｂ、３ｂ’が含まれる。二個の補助車輪支持台３ｂ、３ｂ’は、好ましくは図１に示すように、プラットホーム１の相対する左右両側に設けられ、さらにそれぞれプラットホーム１と二個の巻上げ車輪支持台３ａ、３ａ’の間に位置されて圧入膜３１を当接するのに用いられることにより、圧入膜３１は貼接しようとするシート材と平らに接触し合うことができる。
【００２７】
加熱器４は圧入プラットホーム２に設けられ、かつ空気室Ｒの内に収容され、さらに加熱器４と圧入膜３１の間には一個の間隔が形成される。本実施形態において、加熱器４は特に圧入板２１が圧入膜３１に向かう側に設けられる。実際に使用する時、加熱器４は圧入膜３１と互いに接触しないよう形成されるのが望ましく、特に約５ミリ以下の間隔を有するように維持され、それにより、空気室Ｒ内で流通する気体によって均一な熱伝導効果を達成することができる。
【００２８】
また、本考案の複合シート材の圧入装置にはさらに一個のサポートバー５が含まれる。サポートバー５は圧入プラットホーム２の圧入板２１を移動自在に貫穿するように形成され、かつサポートバー５が圧入板２１を貫穿する一端は空気室Ｒに伸び入るように形成される。本実施形態において、サポートバー５は特に圧入板２１の中央部位を貫穿するように形成されることにより、使用時において、好ましくはプラットホーム１の載置面１１の中心位置に当接するように形成されるため、貼接しようとするシート材の位置を合わせるように用いることができる。また、サポートバー５にはもう一個の駆動部材Ｍ’が連接される。駆動部材Ｍ’は圧入プラットホーム２を連動する駆動部材Ｍと同期して作動するように構成されるため、サポートバー５は圧入プラットホーム２に従ってプラットホーム１の載置面１１に向かって往復して変位するように構成される。その中、サポートバー５は金属、セラミックまたは熱塑性材料により製造された棒から形成される。
【００２９】
ここで注意しなければならないことは、本考案の複合シート材の圧入装置を実際に使用する時、特に本考案の圧入装置を一個のキャビティー６の中に置き入れ、かつ通常の方式によって貼接しようとするシート材（以下の説明では、選択的に、ウエハーを貼接しようとするシート材であるため、以下、これを「ウエハー７」と記述する。）を送り込み、さらに上下のウエハー７の位置を合わせるように修正した後、再び一個のスペースパッド８によって互いを隔てさせ（図２を参照）、後続の圧入作業を待つ。その中、二個のウエハー７の送り込みと位置合わせの修正方式は当該技術を熟知する者には容易に想到でき、かつ本考案の主たる特徴ではないため、以下では本考案の複合シート材の圧入装置の作動に併せて簡単に説明する。
【００３０】
再び図１を参照すると、キャビティー６には一個の収容空間６１が含まれる。収容空間６１は本考案の複合シート材の圧入装置を配置するのに用いられる。本実施形態において、キャビティー６には一個の投入口６２と一個の排気口６３が開設される。投入口６２と排気口６３は全て収容空間６１と互いに連通するように形成される。実際の使用時では、二個のウエハー７を貼接しようとする時、例えば図２に示すように、先ず投入口６２から一個のウエハー７を送り込み、さらにウエハー７の位置を修正して合わせた後、定位置（通常、プラットホーム１の中央位置、すなわち上述した載置面１１を指す。）まで移動させ、再びスペースパッド８によってウエハー７を持ち上げる。
【００３１】
それから、同様に投入口６２からもう一個のウエハー７を送り込み、さらに同じ方式で位置を合わせた後、プラットホーム１の載置面１１まで移動させ、かつ二個のウエハー７を互いに重なり合うように配置し、それからスペースパッド８によって隔離させる。この時、プラットホーム１を二個のウエハー７を貼接するのに必要とする温度まで予熱することにより、熱がウエハー７に均一に分布するように伝導することができる。
【００３２】
それから、先ず排気口６３に連接されるもう一個の真空ポンプＰ’からキャビティー６に対して真空排気を行なうことにより、キャビティー６の収容空間６１を真空の作業環境下に維持する。次いで、図２に示すように、再び駆動部材Ｍによって圧入プラットホーム２を連動して図面に示される矢印の方向に移動させ、さらに接合部材２２を圧入膜３１に当接させる。また、もう一個の駆動部材Ｍ’によってサポートバー５を同期して駆動し、圧入プラットホーム２に従って同じ方向に向かって、サポートバー５が空気室Ｒの一端に伸び入れてウエハー７の中心位置に当接するまで変位させ、そして二個のウエハー７に相対的な滑動が生じないのを確保できた時、その中のスペースパッド８を離れるように移動することができる。
【００３３】
図３は本考案の複合シート材の圧入装置の作動説明図二である。図３を参照すると、この時に接合部材２２は圧入膜３１を押し付けると同時に、環状リング１２に当接するように形成される。圧入膜３１は緊密かつ完全にウエハー７の表面に貼接することができるため、圧入膜３１と圧入板２１の間には空気室Ｒが形成され、かつ二個のウエハー７の間は接着剤のみで互いに貼接するように形成されるかまたは二個の金属材質のウエハー７が互いに貼接するように形成される。この情況では空気弁Ｖは開かれ、かつ送風ポンプＰによって気体は注入され、さらに気体は送風管Ｔ内に流通されて、図面に示される矢印の方向に向かって注入孔２１２から充分な量の気体が空気室Ｒの内に送り込まれる。この送り込まれる気体の圧力によってウエハー７の表面に均一に作用することができるため、二個のウエハー７は互いに均一な圧力下で貼接するように形成される。同時に、加熱器４は空気室Ｒの内の気体に対して加熱することにより、気体は熱を均一にウエハー７の表面まで伝導し、さらにウエハー７の間に塗布される接着剤が熱を受けて溶けたり、或いは二個の金属材質のウエハー７が互いに貼接したりすることにより、ウエハー７の貼接の作業を完成することができる。
【００３４】
上述したように、本考案の複合シート材の圧入装置の主な特徴は、圧入膜３１と圧入板２１の間に形成される空気室Ｒにより、圧入の過程において空気室Ｒ内に充填される気体の圧力を利用して均一にウエハー７の表面に圧力を施すことができるため、従来におけるような金属表面が不揃いになる問題点を解決することができる。このようにして、ウエハー７の圧入を行なおうとする時、圧入膜３１は緊密かつ完全にウエハー７の表面に貼接されるため、ウエハー７の表面の貼接具合は均一になり、ウエハー７の表面が受ける力は均一になるように確保することができるため、ウエハー７が貼接過程におけるロスの発生率を低く抑えることができ、さらにウエハー７の圧入品質を高めることができる。また、空気室Ｒの内に充填される気体を熱伝導の媒体とすることにより、ウエハー７の間の接着剤が受ける熱の均一性を維持することができるため、ウエハーの貼接の歩留まりを高めることができる。
【００３５】
さらに、圧入膜３１が使用された後は膜嵌入台ユニット３のその内の一個の巻上げ車輪支持台３ａによって巻上げを行なうことができると同時に、もう一個の巻上げ車輪支持台３ａ’によって新しい圧入膜３１を引っ張ることにより、圧入膜３１はプラットホーム１と圧入プラットホーム２の間に位置するように形成されるため、次回に圧入しようとする例えばウエハー７などのシート材の時に使用することができる。このように、圧入膜３１の交替式の引っ張りを経て、圧入膜３１が長時間に渡って熱を受けることによって縮んだり、破損したりするのを有効に避けることができるため、また毎回の圧入の過程における圧入膜３１の品質を均一に確保することができるため、さらにウエハー７の表面に平らに貼接することができ、シート材の圧入の品質を高めることができる。
【００３６】
その他に、本考案の複合シート材の圧入装置によれば、他にサポートバー５を利用してウエハー７の位置を合わせる精確度を維持することができ、さらにウエハー７の表面は全て同じ圧入の作用力を獲得するのを有効に確保することができ、それにより、余分な処理に必要とする時間とコストを低く抑えることができ、さらにウエハーの圧入の効率を高めることができる。
【００３７】
本考案は、その精神及び必須の特徴事項から逸脱することなく他のやり方で実施することもできる。従って、本明細書に記載した好ましい実施形態は例示的なものであり、限定のなものではない。
【符号の説明】
【００３８】
１    プラットホーム
１１    載置面
１２    環状リング
２    圧入プラットホーム
２１    圧入板
２１１    空気受け面
２１２    注入孔
２２    接合部材
３    膜嵌入台ユニット
３ａ    巻上げ車輪支持台
３ａ’    巻上げ車輪支持台
３ｂ    補助車輪支持台
３ｂ’    補助車輪支持台
３１    圧入膜
４    加熱器
５    サポートバー
６    キャビティー
６１    収容空間
６２    投入口
６３    排気口
７    ウエハー
８    スペースパッド
９    複合シート材の圧入装置
９１    プラットホーム
９１１    載置面
９２    金属圧入板
９２１    開口溝
９２２    接触面
９３    挟圧部材
９４    ウエハー
９４１    接着剤
９５    駆動部材
Ｒ    空気室
Ｔ    送風管
Ｖ    空気弁
Ｐ    送風ポンプ
Ｐ’    真空ポンプ
Ｍ    駆動部材
Ｍ’    駆動部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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