(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が磁歪材から形成され、内側を流れる流体の圧力で変形する筒体と、
前記筒体の延在方向に直交する磁束を発生させる磁束発生部と、
前記磁束発生部を、前記筒体との間に間隙を設けた位置に保持する第１保持部と、
前記筒体の歪みによる当該筒体周辺の磁束の変化を検出する検出部と、
前記検出部を、前記筒体との間に間隙を設け、且つ前記磁束発生部との間で前記筒体を挟む位置に保持する第２保持部と、
前記筒体の周方向を囲み、前記第１保持部及び前記第２保持部を内周面又は内側に設けられた内側壁部に取り付ける筐体と、
前記筒体の両端に設けられて前記筒体を支持し前記筐体に着脱可能に設けられる連結部と、を備える
圧力センサ。
【請求項２】
前記筐体は、圧力の測定対象の通路と前記筒体とを接続する上流側流路と前記筒体を通過した流体を排出する排気流路とを有し、
一方の前記連結部は、前記上流側流路と前記筒体とを連通する流路を有し、
他方の前記連結部は、前記筒体と前記排気流路とを連通する流路を有する
請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記第１保持部及び前記第２保持部の少なくとも一方は、前記磁束発生部により発生する磁束を集磁するヨークを兼ねる
請求項１又は２に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁歪式の圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁歪式の圧力センサは、磁歪材の歪みによって磁歪材の磁化の方向が変化する逆磁歪効果を利用するセンサである。この種のセンサとして、磁歪材からなり、軸部材に嵌め合わされる磁歪リングを備えた磁気センサ装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この磁気センサ装置は、磁歪リングの一側方に設けられた１対の磁気センサと、ヨークとを備える。各磁気センサは、軸部材に作用するトルクに応じて変化する磁歪リングからの漏れ磁束を検知する。磁気センサ装置は、磁気センサの検出結果に基づき、軸部材に作用するトルクを検知する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５６４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の磁気センサ装置は、軸部材に磁歪リングが嵌め合わされる構成であるため、測定対象となる軸部材毎に、軸部材の外径に応じた内径を有する磁歪リングを形成する必要がある。すなわち、上記の磁気センサ装置においては、磁歪リングを、外径が互いに異なる複数の軸部材に適用することまでは考慮されておらず、その汎用性についてはなお改善の余地を残すものとなっている。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、磁歪材の周辺の磁束の変化を検出する圧力センサについて、その汎用性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する圧力センサは、少なくとも一部が磁歪材から形成され、内側を流れる流体の圧力で変形する筒体と、前記筒体の延在方向に直交する磁束を発生させる磁束発生部と、前記磁束発生部を、前記筒体との間に間隙を設けた位置に保持する第１保持部と、前記筒体の歪みによる当該筒体周辺の磁束の変化を検出する検出部と、前記検出部を、前記筒体との間に間隙を設け、且つ前記磁束発生部との間で前記筒体を挟む位置に保持する第２保持部と、を備える。
【０００７】
上記構成によれば、圧力センサは、磁歪材からなる筒体を、圧力の測定対象となる測定対象に接続し、筒体の周辺の磁束の変化を検出することで測定対象を流れる流体の圧力を検出する。すなわち、筒体は測定対象に連通すればよく、その構成は測定対象の構成による制約を受けない。このため、多様な測定対象に対して圧力センサを取り付けることができる。また、磁束発生部及び検出部は、筒体を挟み、筒体との間に間隙を設けた位置に配置されている。これにより、磁束発生部及び検出部の間に、異なる外径の筒体を配置することが可能である。したがって、筒体の構成の自由度が高められるため、測定対象の流量等の条件に応じて筒体を選択することができる。そのため、圧力センサの汎用性を向上することができる。
【０００８】
上記圧力センサについて、前記筒体の周方向を囲む筐体を備え、前記第１保持部、及び前記第２保持部は、前記筐体の内周面に設けられることが好ましい。
上記構成によれば、筒体を囲む筐体の内周面に、磁束発生部及び検出部が設けられる。このため、圧力センサを取り付ける際には、磁束発生部及び検出部の位置調整が行われた筐体を用いればよい。したがって、測定対象に対する圧力センサの取付が容易となる。
【０００９】
上記圧力センサについて、前記筒体の周方向を囲む筐体を備え、前記第１保持部、及び前記第２保持部は、前記筐体の内側に設けられた内側壁部に設けられることが好ましい。
上記構成によれば、筒体を囲む筐体の内周面に、磁束発生部及び検出部が設けられる。このため、圧力センサを取り付ける際には、磁束発生部及び検出部の位置調整が行われた筐体を用いればよい。したがって、測定対象に対する圧力センサの取付が容易となる。また、磁束発生部及び検出部が内側壁部に設けられるので、磁束発生部及び検出部の保護機能を高めつつ、筐体の内周面に取り付けられる場合よりも検出部の位置での磁束密度が高められる。これにより、検出精度の向上を図ることができる。
【００１０】
上記圧力センサについて、前記筒体の両端には、前記筐体に連結し前記筒体を支持する連結部がそれぞれ設けられ、前記連結部は、前記筐体に対して着脱可能に設けられることが好ましい。
【００１１】
上記構成によれば、筒体の両端に連結部が設けられているので、筒体の外径が変更されても、筐体を共通して使用することができる。また、筐体を共通して用いることで、測定対象毎に筐体を設計及び製造する必要がないため、コストを低減することができる。
【００１２】
上記圧力センサについて、前記第１保持部及び前記第２保持部の少なくとも一方は、前記磁束発生部により発生する磁束を集磁するヨークを兼ねることが好ましい。
上記構成によれば、集磁だけのために設けられるヨークを省略することが可能である、部品点数の低減を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁歪材の周辺の磁束の変化を検出する圧力センサについて、その汎用性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】圧力センサの第１実施形態について、その構成を模式的に示す図。
【図２】圧力センサの第２実施形態について、その構成を模式的に示す図。
【図３】第２実施形態の圧力センサの断面図。
【図４】圧力センサの第３実施形態について、その構成を模式的に示す図。
【図５】第３実施形態の圧力センサの断面図。
【図６】圧力センサの第４実施形態について、その構成を模式的に示す図。
【図７】第４実施形態の圧力センサの断面図。
【図８】圧力センサの他の実施形態について、その構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１実施形態）
以下、図１を参照して圧力センサの第１実施形態を説明する。本実施形態の圧力センサは、エンジンの排気通路、又は排気通路に接続する流路に設けられ、排気通路内の圧力を検出する。
【００１６】
図１に示すように、圧力センサは、内側を流れる排気の圧力で変形する筒体１０を備えている。筒体１０は、応力を受けることによって磁化の方向が変化する磁歪材からなる。磁歪材としては、例えば、希土類元素と遷移金属元素とを含む希土類‐遷移金属系合金、複数の遷移金属元素を含む遷移金属系合金などが挙げられるが、磁歪材の組成は特に限定されない。また、筒体１０を構成する磁歪材は、弾性を有するとともに、測定対象の流体に対する耐熱性および耐食性を有する。
【００１７】
筒体１０は、直線状に延在している。また、筒体１０の壁部１１の厚さは一定である。筒体１０は、その一方の端部に、排気通路内の排気が導入される導入口１２を備えている。筒体１０の他方の端部は、閉塞されているか、又は別の配管に接続されている。筒体１０が別の配管に接続される場合は、当該配管のうち、筒体１０と接続される端部と反対側の端部が閉塞される。エンジンから送られる排気は高温であるため、筒体１０の温度は、例えば３００℃等、数百度に達することがある。エンジンの排気通路内の圧力が上昇したときには、筒体１０内の圧力も上昇し、排気通路内の圧力が低下したときには、筒体１０内の圧力も低下する。
【００１８】
筒体１０の外側には、筒体１０の延在方向に直交する磁束を発生させる磁束発生部２０が設けられている。磁束発生部２０は、筒体１０との間に間隙を設けた位置に保持する第１保持部４０に設けられている。筒体１０は、磁束発生部２０により発生する磁束により磁化される。磁束発生部２０は、永久磁石、又は電流が供給されることによって磁場を発生させる励磁コイルからなる。
【００１９】
また、筒体１０の外側には、筒体１０の歪みによる磁束の変化を検出する検出部３０が設けられている。検出部３０は、例えば、ホール効果を利用して、磁束の変化を電気信号に変換して出力するホールＩＣや、ガウスメータである。検出部３０は、検出部３０からの出力電圧の大きさ等を検出する検出回路に接続されている。検出部３０は、筒体１０との間に間隙を設けた位置に保持する第２保持部４５に設けられている。筒体１０は、第１保持部４０に設けられた磁束発生部２０、及び第２保持部４５に設けられた検出部３０の間に挟まれている。磁束発生部２０及び検出部３０は、筒体１０の中心軸Ｚ１に対して対称となる位置に設けられている。
【００２０】
第１保持部４０、及び第２保持部４５は、磁束発生部２０や検出部３０を保護する筐体の内側に設けられていてもよい。また、第１保持部４０及び第２保持部４５の少なくとも一方は、排気通路周辺に設けられた部材であってもよい。さらに、エンジンを構成する部材の一部が、第１保持部４０及び第２保持部４５の少なくとも一方として機能してもよい。磁束発生部２０及び検出部３０は、検出部３０が、筒体１０を通過した磁束の変化を検出できるように位置調整されている。
【００２１】
次に、圧力センサの作用について説明する。排気通路の圧力が上昇することによって筒体１０内の圧力が上昇すると、筒体１０が拡径する方向に等方的に膨張する。また、筒体１０は、中心軸Ｚ１に沿った方向にも伸張する。壁部１１は、主にその周方向に沿った引っ張り応力を受ける。これにより、各矢印１００で模式的に示すように、筒体１０の磁化の方向が、筒体１０の導入口１２側又はその反対側に曲がるように変化する。
【００２２】
検出部３０では、磁束の方向の変化に応じた電気信号を検出回路に出力する。検出回路は、検出部３０から入力した電気信号に基づき、筒体１０内の圧力を演算する。
筒体１０が膨張した後に排気通路内の圧力が低下すると、筒体１０は径方向に収縮して、応力が作用していない自然状態に近くなる。これにより、筒体１０が径方向に膨張したときとは逆に磁化（磁束）の方向が変化する。検出回路は、検出部３０から入力した電気信号に基づき、筒体１０内の圧力を演算する。
【００２３】
また、筒体１０及び磁束発生部２０の間、筒体１０及び検出部３０の間には、間隙が設けられている。このため、筒体１０の外径が、磁束発生部２０と検出部３０との間の相対距離未満であるといった条件を満たせば、その条件を満たす筒体１０をそれらの間に配置することができる。このため、筒体１０の外径が変更される際も、上記の条件を満たす場合であれば、第１保持部４０及び第２保持部４５の構成を変更することなく利用することができる。
【００２４】
さらに、筒体１０は、磁束発生部２０及び検出部３０と接触していないため、着脱が容易である。また、圧力センサを測定対象に取り付ける際に、磁束発生部２０及び検出部３０の位置調整を再度行う必要がないので、測定対象に応じた筒体１０を有する圧力センサを容易に取り付けることができる。
【００２５】
以上説明したように、第１実施形態によれば、以下の効果が得られるようになる。
（１）圧力センサは、磁歪材からなる筒体１０を、圧力の測定対象となる排気通路に接続し、筒体１０の周辺の磁束の変化を検出することで排気通路の圧力を検出する。すなわち、筒体１０は排気通路に連通すればよく、その構成は排気通路の構成による制約を受けない。このため、多様な排気通路に対して圧力センサを取り付けることができる。また、磁束発生部２０及び検出部３０は、筒体１０を挟み、筒体１０との間に間隙を設けた位置に配置されている。これにより、磁束発生部２０及び検出部３０の間に、異なる外径の筒体１０を配置することが可能である。したがって、筒体１０の構成の自由度が高められるため、排気通路の流量等の条件に応じて筒体１０を選択することができる。そのため、圧力センサの汎用性を向上することができる。
【００２６】
（第２実施形態）
次に図２及び図３を参照して、圧力センサの第２実施形態を、第１実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本実施形態にかかる圧力センサも、その基本的な構成は第１実施形態と同等であり、図面においても第１実施形態と実質的に同一の要素にはそれぞれ同一の符号を付して示し、重複する説明は割愛する。
【００２７】
第２実施形態の圧力センサは、第１保持部４０及び第２保持部４５を有する筐体を備える点で、第１実施形態の圧力センサと相違する。
図２に示すように、圧力センサは、筒体１０を囲む筐体５０を備えている。第１保持部、及び第２保持部は、筐体５０の内周面に設けられる。筐体５０は、筒体１０、磁束発生部２０及び検出部３０を内部に収容することによって、それらを保護している。
【００２８】
筐体５０は、保持部５１と、保持部５１に対して着脱可能に設けられる取付部５２とを備える。取付部５２は、排気通路、又は排気通路に接続する部材等に取り付けられる。取付部５２は、排気通路又は排気通路に接続する流路５２Ａを有している。また、流路５２Ａの内周面には、螺子部６１が形成されている。螺子部６１には、筒体１０の端部のうち取付部５２側の端部に設けられた連結部５４が螺合される。連結部５４は、筒体１０と別の部材であって、筒体１０の外径に合わせた内径を有している。連結部５４は、その内側に、筒体１０内の流路と接続する流路５４Ａが形成されている。
【００２９】
取付部５２の外周面のうち、測定対象に取り付けられる端部には、螺子部６０が形成されている。螺子部６０を測定対象に設けられた雌螺子部に螺合させることによって、圧力センサが測定対象に取り付けられる。
【００３０】
保持部５１は、円筒状に形成された本体５１Ｃと、蓋部５３とを備える。本体５１Ｃは、本体５１Ｃの外周面側から螺子止めされる構造などによって、取付部５２に対して固定される。蓋部５３は、取付部５２と反対側の開口に設けられ、螺子５１Ｂによって本体５１Ｃに固定される。蓋部５３は、筒体１０を通過した排気を外部に排出する排出部５３Ａを備えている。排出部５３Ａは、筒体１０内の流路と連通する流路５３Ｂを有している。また、蓋部５３には、保持部５１側に突出した突出部５３Ｃが設けられている。突出部５３Ｃには、筒体１０の端部のうち、蓋部５３側の端部に設けられた連結部６２が連結される。連結部６２は、筒体１０と別の部材であって、筒体１０の外径に合わせた内径を有している。連結部６２は、その内側に、筒体１０内の流路と接続する流路６２Ａを有している。これにより、筒体１０は、連結部５４，６２を介して保持部５１と蓋部５３とに支持される。また、筒体１０には、連結部５４の流路５４Ａを介して排気が流入し、筒体１０を通過した排気は、連結部６２の流路６２Ａを介して排出される。
【００３１】
また、筒体１０の外側であって、検出部３０及び磁束発生部２０に対向する位置には、断熱材７０が設けられる。断熱材７０は、ガラス繊維からなり、筒体１０の外周に巻かれるように取り付けられている。なお、断熱材７０はセラミックスなど熱伝導しにくい材質であっても構わない。
【００３２】
図３に示すように、保持部５１の内周面５５は、第１保持部４０及び第２保持部４５として機能する。第１保持部４０は、保持部５１の内周面５５の一つの領域と、磁束発生部２０が固定されたベース５６と、ベース５６を内周面５５に固定する固定部５７とから構成される。磁束発生部２０が固定されたベース５６は、集磁効果を有するヨーク材からなる。保持部５１の内周面５５には、ベース５６を設ける平面を有する突出部５１Ａが設けられている。
【００３３】
第２保持部４５は、保持部５１の内周面５５の一つの領域と、検出部３０が固定されたベース５８と、ベース５８を内周面５５に固定する固定部５９とから構成される。ベース５８には、一対の検出部３０が設けられている。各検出部３０は、筒体１０の中心軸Ｚ１と平行な方向にずれた位置にそれぞれ設けられ、検出回路に接続されている。
【００３４】
検出回路は、各検出部３０から検出結果を入力して、検出結果の差分に基づき、圧力を演算する。検出部３０が固定されたベース５８は、集磁効果を有するヨーク材からなる。保持部５１の内周面には、ベース５８を設ける平面を有する突出部５１Ａが設けられている。
【００３５】
磁束発生部２０及び検出部３０は、蓋部５３を外した状態の保持部５１の開口部から内周面５５へ固定される。また、磁束発生部２０及び検出部３０は、筒体１０が内部の圧力の上昇に伴い周方向θ及びその反対方向に等方的に膨張したときに、検出部３０が筒体１０を通過した磁束の変化を検出できるように位置調整されている。
【００３６】
次に、圧力センサを測定対象に取り付ける際の作用について説明する。
測定対象である排気通路に応じた外径及び内径等の筒体１０を準備し、筒体１０の外径に合わせた連結部５４，６２を準備する。すなわち、連結部５４，６２は、筒体１０の外径に合わせた内径を有する必要がある。また、連結部５４，６２を、筒体１０の各端部に取付け、連結部５４を保持部５１に螺合し、連結部６２を蓋部５３に連結させる。また、連結部６２を連結した状態で、蓋部５３を保持部５１に対し螺子止めする。そして、取付部５２の螺子部６０を、排気通路又はそれに接続する流路の螺子部に螺合させる。このように、圧力センサを測定対象に取り付ける際に、磁束発生部２０及び検出部３０の位置調整が予め行われた保持部５１を用いればよいため、磁束発生部２０及び検出部３０の位置調整を再度行う必要がない。また、筒体１０の変更に応じて、取付部５２を取り替える必要もない。このため、測定対象に応じた筒体１０を有する圧力センサを容易に取り付けることができる。
【００３７】
以上説明したように、第２実施形態によれば、上記の（１）の効果が得られるとともに、さらに以下の効果が得られるようになる。
（２）筒体１０を囲む筐体５０の内周面５５に、磁束発生部２０及び検出部３０が設けられる。このため、圧力センサを取り付ける際には、磁束発生部２０及び検出部３０の位置調整が行われた筐体５０を用いればよい。したがって、測定対象である排気通路に対する圧力センサの取付が容易となる。
【００３８】
（３）第１保持部を構成するベース５６及び第２保持部を構成するベース５８は、ヨークを兼ねる。そのため、集磁だけのために設けられるヨークを省略することが可能であるため、部品点数の低減を図ることができる。
【００３９】
（４）筒体１０の外径に応じて準備される連結部５４，６２と、磁束発生部２０及び検出部３０を保持する保持部５１とが別体として設けられ、連結部５４，６２は筐体５０に対して着脱可能に設けられる。そのため、保持部５１は、筒体１０の外径によらず、共通して用いることができるので、測定対象の排気通路毎に、磁束発生部２０及び検出部３０の位置決めを行う必要がない。また、保持部５１を共通して用いることで、排気通路毎に保持部５１を設計及び製造する必要がないため、コストを低減することができる。
【００４０】
（第３実施形態）
次に図４及び図５を参照して、圧力センサの第３実施形態を、第２実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本実施形態にかかる圧力センサも、その基本的な構成は第２実施形態と同等であり、図面においても第１実施形態と実質的に同一の要素にはそれぞれ同一の符号を付して示し、重複する説明は割愛する。
【００４１】
第３実施形態の圧力センサは、筐体５０が二重構造である点で、第２実施形態の圧力センサと相違する。
図４に示すように、保持部５１は、外側壁部８０及び内側壁部８１を備える。外側壁部８０及び内側壁部８１は、円筒状に形成され、外側壁部８０の内側に内側壁部８１が設けられる。内側壁部８１は、梁部８２によって外側壁部８０に連結され、補強されている。
【００４２】
図５に示すように、磁束発生部２０及び検出部３０は、内側壁部８１に設けられる。すなわち、第１保持部４０は、内側壁部８１の一つの領域と、ベース５６及び固定部５７から構成される。第２保持部４５は、内側壁部８１の一つの領域と、ベース５８及び固定部５９から構成される。このように、磁束発生部２０及び検出部３０は、内側壁部８１に設けられるので、磁束発生部２０及び検出部３０を保護する効果が高められる。また、磁束発生部２０及び検出部３０の相対距離を短くすることができる。このため、検出部３０を通る磁束の密度が高められるので、検出精度を向上することができる。
【００４３】
以上説明したように、第３実施形態によれば、上記の（１），（３），（４）の効果が得られるとともに、さらに以下の効果が得られるようになる。
（５）筒体１０を囲む筐体５０の内周面５５に、磁束発生部２０及び検出部３０が設けられる。このため、圧力センサを取り付ける際には、磁束発生部２０及び検出部３０の位置調整が行われた筐体５０を用いればよい。したがって、測定対象である排気通路に対する圧力センサの取付が容易となる。また、磁束発生部２０及び検出部３０が内側壁部８１に設けられるので、磁束発生部２０及び検出部３０の保護機能を高めるとともに、筐体５０内であって内側壁部８１の外側に設ける場合よりも検出部３０の位置での磁束密度が高められる。これにより、検出精度の向上を図ることができる。
【００４４】
（第４実施形態）
次に図６及び図７を参照して、圧力センサの第４実施形態を、第２実施形態との相違点を中心に説明する。なお、本実施形態にかかる圧力センサも、その基本的な構成は第２実施形態と同等であり、図面においても第２実施形態と実質的に同一の要素にはそれぞれ同一の符号を付して示し、重複する説明は割愛する。
【００４５】
第４実施形態の圧力センサは、磁束発生部２０及び検出部３０の取付構造が、第２実施形態の圧力センサと相違する。
図６に示すように、保持部５１内には、上側枠部９０及び下側枠部９１が設けられている。上側枠部９０及び下側枠部９１には、磁束発生部２０が固定されたベース５６及び検出部３０が固定されたベース５８が取り付けられている。磁束発生部２０及び検出部３０は、ベース５６，５８のうち筒体１０側とは反対側の面にそれぞれ設けられている。
【００４６】
また、取付部５２は、保持部５１に形成された螺子部６１に螺合されるようになっている。また、筒体１０は、保持部５１の孔５１Ｄに挿通されるとともに、取付部５２に挿通されている。取付部５２は、筒体１０の外径に合わせた内径を有している。そのため、筒体１０に応じて取付部５２を準備する必要がある。また、筒体１０は、蓋部５３の孔５３Ｄに挿通されている。
【００４７】
図７に示すように、筒体１０には、例えばガラス繊維等、熱伝導率の低い材料からなる断熱材７０が巻き付けられている。磁束発生部２０が固定されたベース５６は、断熱材７０側にベース５６が向けられた状態で上側枠部９０及び下側枠部９１に固定されているので、筒体１０から磁束発生部２０に伝わる熱量を低減することができる。このため、磁束発生部２０の熱による減磁を抑制することができる。また、検出部３０が固定されたベース５８は、断熱材７０側にベース５８が向けられた状態で上側枠部９０及び下側枠部９１に固定されているので、筒体１０から検出部３０へ伝わる熱量を低減することができる。このため、検出部３０の検出精度が熱により低下することを抑制することができる。
【００４８】
以上説明したように、第４実施形態によれば、上記の（１）〜（４）の効果が得られるとともに、さらに以下の効果が得られるようになる。
（６）ベース５６のうち、筒体１０側の面と反対側の面には、磁束発生部２０が設けられる。ベース５８のうち、筒体１０側と反対側の面には、検出部３０が設けられる。このため、ベース５６，５８の厚みの分、磁束発生部２０及び検出部３０の相対距離を大きくすることができるので、筒体１０から伝わる熱量を低減することができる。
【００４９】
（他の実施形態）
なお、上記各実施形態は、以下のような形態をもって実施することもできる。
・図８に示すように、第１保持部及び第２保持部は、磁束発生部２０及び検出部３０を接続するヨーク９５であってもよい。磁束発生部２０及び検出部３０は、筒体１０の中心軸Ｚ１に対して対称となる位置に配置されている。ヨーク９５は、磁束発生部２０及び検出部３０を接続する環状の磁路を形成している。このようにすると、ヨーク９５によって、検出部３０に入る磁束の密度の増大が図られるため、検出精度の向上を図ることができる。
【００５０】
・上記第２，３実施形態では、連結部５４，６２によって筒体１０を支持し、第４実施形態では取付部５２によって筒体１０を支持したが、これ以外の構成によって筒体１０を支持してもよい。例えば、筒体１０の一方の端部を取付部５２に直接連結する構成であってもよい。又は、筒体１０の他方の端部を、蓋部５３に直接連結させる構成であってもよい。
【００５１】
・上記各実施形態において、筒体１０は排気通路に接続されるとしたが、排気通路の一部が筒体１０であってもよい。このようにすると、排気通路の近傍に圧力センサを設けるためのスペースを別途確保しなくてもよい。
【００５２】
・上記第２実施形態〜第４実施形態において、第１保持部４０及び第２保持部４５をそれぞれ構成し、ヨーク材を兼ねる部材を、ベース５６，５８とした。これ以外に、保持部５１の壁部の一部又は全部をヨーク材としてもよい。このようにすると、ヨークの集磁効果を調整しやすくなる。
【００５３】
・筐体５０は、筒体１０の全周を囲む構成としたが、第１保持部４０及び第２保持部４５を備える構成であれば、筒体１０の周方向の一部を囲む構成であってもよい。
・上記各実施形態において、筒体１０はその全体が磁歪体からなる構成としたが、筒体１０のうち少なくとも一部が磁歪材からなる構成であればよい。この場合、検出部３０は、筒体１０の磁歪部分の近傍に配置される。
【００５４】
・上記各実施形態において、筒体１０の壁部１１の厚さを一定とした。この態様以外に、壁部１１の厚さを不均一としてもよい。例えば、筒体１０の剛性を確保しつつ、薄肉部を設けて、薄肉部における圧力変化に伴う歪み量を大きくするようにしてもよい。これによれば、圧力センサの検出精度の向上を図ることができる。
【００５５】
・上記各実施形態において、磁束発生部２０は、磁束発生部２０側から筒体１０側へ向かう磁束を発生させるようにしたが、その反対の向き、すなわち筒体１０側から磁束発生部２０側へ向かう磁束を発生させるものであってもよい。
【００５６】
・上記各実施形態の圧力センサにおいて、磁束発生部２０を１つ設けたが、複数設けてもよい。これにより、磁束密度を高めることができる。
・上記第１実施形態において、圧力センサは１つの検出部３０を備え、第２実施形態〜第４実施形態において、圧力センサは１対の検出部３０を備えるようにした。圧力センサは、筒体１０の逆磁歪効果の大きさに応じて適宜変更すればよく、１つでもよく複数でもよい。
【００５７】
・上記各実施形態では、圧力センサを、測定対象であるエンジンの排気通路に対して設けられ、排気の圧力を検出するものとして説明したが、これ以外の測定対象に設けられてもよい。また、筒体１０の内側を流れる流体も、排気等の気体に限らず、液体でもよく、ゾルやゲルであってもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１０…筒体、１１…壁部、１２…導入口、２０…磁束発生部、３０…検出部、４０…第１保持部、４５…第２保持部、５０…筐体、５１…保持部、５１Ｂ…螺子、５１Ｃ…本体、５１Ｄ…孔、５２…取付部、５３…蓋部、５４Ａ…流路、５３Ｄ…孔部、５５…内周面、５６…ベース、５７…固定部、５８…ベース、５９…固定部、６０…螺子部、６１…螺子部、７０…断熱材、８０…外側壁部、８１…内側壁部、８２…梁部、９０…上側枠部、９１…下側枠部、９５…ヨーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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