(57)【要約】      （修正有）【課題】天蓋開閉を円滑に行うダンパー付リアクタを提供する。【解決手段】天蓋開閉ダンパー付リアクタ１１は、略直方体形状の容器であって、開口部を有するリアクタ本体１２、ヒンジ軸部１５により開口部を開閉する天蓋１３、天蓋に一端を枢支され他端をリアクタ本体に枢支される第１ダンパー１６（１７）、これに並列配置され天蓋に一端を枢支され他端をリアクタ本体１２にスライド可能に枢支される第２ダンパー１８（１９）を備える。第１、第２ダンパーは天蓋が開口部を閉じたときに付勢力作用に枢支され、天蓋が開蓋途中角度まで開くとき第１、第２ダンパーの伸張により付勢力が作用され、開蓋途中角度から開蓋完了角度まで開くとき第２ダンパーはスライド移動し、第１ダンパーが付勢力を作用する。【選択図】図１
0003176179.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
天蓋の開閉補助部材付き容器であって、
上部に開口部を有する容器本体と、
該容器本体にヒンジ軸部を介して回動可能に装着され、前記開口部を開閉する天蓋と、
該天蓋の外側面に一端を枢支され、他端を前記容器本体の外側面に枢支される第１の開閉補助部材と、
第１の開閉補助部材と並列に配置され、前記天蓋の外側面に一端を枢支され、他端を前記容器の外側面に、前記天蓋の開く方向に向けてスライド移動可能に枢支される、１以上の第２の開閉補助部材とを備え、
第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材は、前記天蓋が前記開口部を閉じたときに、伸張により天蓋を開く方向に付勢力を作用するように枢支され、
前記天蓋が、前記開口部を閉じた位置から開蓋動作の途中である所定の開蓋途中角度の位置まで開くときには、第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材の伸張により前記天蓋に開く方向の付勢力が作用され、
前記所定の開蓋途中角度の位置からこれを超えた開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置まで開くときには、第２の開閉補助部材は前記所定の開蓋途中角度の位置での伸張の完了により前記他端がスライド移動し、第１の開閉補助部材の伸張により前記天蓋に開く方向の付勢力が作用することを特徴とする天蓋の開閉補助部材付き容器。
【請求項２】
第２の開閉補助部材が２以上のときは、第２の開閉補助部材ごとに対応する所定の開蓋途中角度がそれぞれ設定され、第２の開閉補助部材はそれぞれ、天蓋が閉じた位置から対応する所定の開蓋途中角度の位置まで伸張することを特徴とする請求項１に記載の天蓋の開閉補助部材付き容器。
【請求項３】
第１の開閉補助部材と第２の開閉補助部材の一端及び他端は、それぞれ前記天蓋の外側面及び前記容器本体の外側面に枢支された取付具に装着され、第２の開閉補助部材の他端が装着される取付具には、第２の開閉補助部材の他端がスライド移動可能な長孔が形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の天蓋の開閉補助部材付き容器。
【請求項４】
第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材は、前記ヒンジ軸部の回動軸線と直交する、天蓋の両側の外側面及び容器本体の両側の外側面に、一端及び他端がそれぞれ枢支されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の天蓋の開閉補助部材付き容器。
【請求項５】
前記容器が半導体製造装置のリアクタであり、第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材がガスダンパー又は油圧ダンパーからなるダンパー部材であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の天蓋の開閉補助部材付き容器。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、天蓋の開閉補助部材付き容器に関し、特に、天蓋の開閉補助部材としてダンパー部材が装着されたリアクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板を成膜処理する半導体製造装置のリアクタは、例えば、半導体基板を載置するサセプタを備えた、上部が開口する容器のリアクタ本体と、シャワーヘッドを内部に装着した、リアクタ本体の上部開口を封止する天蓋とで構成されるものがある。上記リアクタは、リアクタ内の点検、清掃、部品交換等のために、天蓋がリアクタ本体に対して開閉可能に枢着され、さらにシャワーヘッドを装着した天蓋の開閉負荷を軽減するために、開閉補助部材として、天蓋の開く方向に反力を付勢するダンパー部材が、リアクタの側面に装着されている。
【０００３】
ダンパー部材を装着したリアクタの天蓋が閉じた状態及び開いた状態の側面模式図と、天蓋の開き角度と天蓋の開閉負荷の関係についてのグラフ図とを、図２（ａ）〜図２（ｃ）に示す。図２（ａ）は、従来のダンパー部材付きリアクタの天蓋が閉じた状態の側面模式図、図２（ｂ）は同リアクタの天蓋が開いた状態の側面模式図、図２（ｃ）は同リアクタの天蓋の開き角度と、天蓋の開き角度に対する天蓋の開閉負荷及び開閉補助にダンパー部材を使用した天蓋の開閉に要する負荷を示すグラフ図である。
【０００４】
図２（ａ）に示すように、天蓋の開閉補助装置であるダンパー部材を装着したリアクタ６１は、成膜処理される半導体基板を載置するサセプタ（不図示）を内蔵する、上部が開口する容器であるリアクタ本体６２と、内側にシャワーヘッド（不図示）が装着され、リアクタ本体６２の上部開口部を回動可能に開閉する天蓋６３と、天蓋６３をリアクタ本体６２に対して回動可能に装着するヒンジ軸部６５と、天蓋６３の回動による開閉動作を補助するために、天蓋６３の開く方向に反力を付勢するダンパー部材６６（６７）とを備えて成る。なお、ダンパー部材（６７）は、ダンパー部材６６に対して、リアクタ６１の反対側の側面に位置するため、図面上に現われないことから符号に括弧を付けて示す（図面に現われない他の構成要素についても同様）。
【０００５】
ダンパー部材６６（６７）は、ヒンジ軸部６５の回動軸方向と直交する方向にある、リアクタ６１の両側面にそれぞれ設けられ、ダンパー部材の６６（６７）の一端が天蓋６３の側面に枢支される取付具７１ａ（７２ａ）にそれぞれ装着され、他端がリアクタ本体６２の側面に枢支される取付具７１ｂ（７２ｂ）にそれぞれ装着されている。
【０００６】
ダンパー部材６６（６７）は、筒状のシリンダー６６ａ（６７ａ）と、シリンダー６６ａ（６７ａ）に対して伸縮可能なロッド６６ｂ（６７ｂ）と、ロッド６６ｂ（６７ｂ）の先端に設けられ、シリンダー６６ａ（６７ａ）内を摺動するピストン（不図示）とで構成されており、シリンダー６６ａ（６７ａ）内部に封入された高圧の窒素ガス等によるピストン両面に作用する圧力差によって、ロッド６６ｂ（６７ｂ）が伸張する方向へ付勢力（反力）が常時作用する。
【０００７】
天蓋６３が開いた状態の模式図である図２（ｂ）に示すように、天蓋６３を開くときには、ロッド６６ｂ（６７ｂ）が伸張して、天蓋６３を開く方向に付勢力が作用するので、天蓋６３を開く負荷の低減を図ることができる。また、天蓋６３を閉じるときには、ロッド６６ｂ（６７ｂ）による付勢力の作用により天蓋６３の急激な閉止動作を抑えることができる。
【０００８】
図２（ｃ）に示すグラフ図では、横軸が天蓋６３の開き角度を示し、縦軸が天蓋６３の開閉方向に作用する負荷を示し、曲線Ａは天蓋６３の開き角度に対する天蓋の開閉負荷、曲線Ｂは天蓋６３の開き角度に対する、ダンパー部材使用の天蓋の開閉に要する負荷を示す。
【０００９】
図２（ａ）に示す天蓋６３の閉じた位置から図２（ｂ）に示す天蓋６３の開いた位置へ向かう過程では、天蓋６３の重心が天蓋６３の回動軸の鉛直方向に近づくに連れて、天蓋６３の閉じ方向への負荷が著しく減少するのに対し、ダンパー部材６６（６７）による付勢力は直線的な減少であることから、天蓋６３の開閉に要する負荷は、図２（ｃ）の曲線Ｂに示すように、天蓋６３が鉛直方向に開くにつれて放物線的な状態で急激に減少する。
【００１０】
したがって、天蓋６３を閉じた状態から開く際には、天蓋の開きに要する負荷は比較的大きなものとなるのに対し、天蓋６３が鉛直方向に向けて開いていくと、天蓋の開きに要する負荷は急激に減少し、その変動が著しいものとなる。
【００１１】
上記の過程とは逆に、図２（ｂ）に示す天蓋６３の開いた状態から図２（ａ）に示す天蓋の閉じた状態に向かう過程においては、天蓋６３が水平方向に近づくと、天蓋６３の閉じ方向への負荷が著しく増加するのに対し、ダンパー部材６６（６７）による反力は直線的な増加であるから、天蓋６３の急激な閉止動作を抑えるためには天蓋６３の閉じに要する負荷は急激に増加することになる。
【００１２】
したがって、天蓋の開閉に要する負荷は、天蓋の開き角度の位置の違いによる変動が大きく、ダンパーによる開閉補助が円滑に行われていないことになる。
【００１３】
天蓋等の開閉補助に関する装置として、天蓋の開閉に複数のダンパー等の装置を設けることで、天蓋等の開閉動作を円滑に行うことを目的とする装置が考案されている（特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００７−１１３２７９公報
【特許文献２】特開２００９−７９４６３公報
【特許文献３】実開昭６１−１２７２８７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、特許文献１、２にそれぞれ開示される天蓋開閉装置は、複数のダンパーを使用して天蓋の開閉を行うものであるが、複数のダンパーはそれぞれ一端が蓋の裏面に回動軸方向に付勢力を作用するように装置内部に配置されているものであり、各種の装置類を格納する容器の場合、その有効容積の減少を招き、特に成膜処理を行う半導体製造装置のリアクタの天蓋には、その裏側にシャワーヘッドが装着されることから、天蓋内にダンパーを設置することは困難である。また、リアクタの内部に天蓋開閉用のダンパーを設置することはリアクタ内部の雰囲気からも困難である。
【００１６】
特許文献３に記載の天窓の開閉装置は、ピストン形空気ばねの付勢装置の強力な付勢力による天窓の急激な屋根への衝突等を、ダンパー部材からなる緩衝装置により抑制する装置であり、天蓋の開閉に要する負荷の変動を抑える装置に関するものではなく、さらに上記付勢装置及び緩衝装置とも特許文献１、２の装置同様、天窓内に設置されており、リアクタ等の容器の天蓋開閉補助への使用は困難である。
【００１７】
本考案は、容器内に設置することなく、容器の天蓋の開閉に要する負荷の変動を抑え、開閉補助を円滑に行うことが可能な天蓋の開閉補助部材付き容器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するために、本考案が提供するのは、天蓋の開閉補助部材付き容器であって、上部に開口部を有する容器本体と、該容器本体にヒンジ軸部を介して回動可能に装着され、前記開口部を開閉する天蓋と、該天蓋の外側面に一端を枢支され、他端を前記容器本体の外側面に枢支される第１の開閉補助部材と、第１の開閉補助部材と並列に配置され、前記天蓋の外側面に一端を枢支され、他端を前記容器の外側面に、前記天蓋の開く方向に向けてスライド移動可能に枢支される、１以上の第２の開閉補助部材とを備え、第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材は、前記天蓋が前記開口部を閉じたときに、伸張により天蓋を開く方向に付勢力を作用するように枢支され、前記天蓋が、前記開口部を閉じた位置から開蓋動作の途中である所定の開蓋途中角度の位置まで開くときには、第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材の伸張により前記天蓋に開く方向の付勢力が作用され、前記所定の開蓋途中角度の位置からこれを超えた開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置まで開くときには、第２の開閉補助部材は前記所定の開蓋途中角度の位置での伸張の完了により前記他端がスライド移動し、第１の開閉補助部材の伸張により前記天蓋に開く方向の付勢力が作用することを特徴とする天蓋の開閉補助部材付き容器である。
【００１９】
このように、上記構成の天蓋の開閉補助部材付き容器によれば、天蓋の開閉負荷が比較的大きい範囲である、天蓋が閉じた位置から開蓋動作の途中である所定の開蓋途中角度の位置までの範囲では、第１の開閉部材及び第２の開閉補助部材の伸張により天蓋の開く方向に付勢力が作用し、天蓋の開きにかかる負荷が急激に減少する範囲である、所定の開蓋途中角度の位置からこれを超えた開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置までは第１の開閉補助部材のみの伸張により天蓋に開く方向の付勢力が作用するので、天蓋の開き開始の位置から開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置までの天蓋の開閉に要する負荷の変動を抑え、開閉動作を円滑にして開閉補助を適切に行うことが可能となる。
【００２０】
また、第２の開閉補助部材が２以上のときは、第２の開閉補助部材ごとに対応する所定の開蓋途中角度がそれぞれ設定され、第２の開閉補助部材はそれぞれ、天蓋が閉じた位置から対応する所定の開蓋途中角度の位置まで伸張する。
【００２１】
第２の開閉補助部材を２以上設けることで、より荷重の大きい天蓋の場合でも、天蓋の開閉に要する負荷の変動を抑え、開閉動作を円滑にして開閉補助を適切に行うことが可能となる。例えば、天蓋の開き開始の位置から最初の開蓋途中角度の位置までは、第１の開閉補助部材の伸張と、２以上ある第２の開閉補助部材の全ての伸張により天蓋に付勢力を作用させ、最初の開蓋途中角度の位置から次の開蓋途中角度の位置までは、第２の開閉補助部材の一つは伸張せずに他端がスライド移動を行い、第１の開閉補助部材の伸張と、個数を一つ減じた第２の開閉補助部材の伸張とにより天蓋に付勢力を作用させるようにして順に伸張する第２の開閉補助部材の個数を一つ減じて、最後に、開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置を含む範囲では、第２の開閉補助部材は全て伸張せずに他端がスライド移動を行い、第１の開閉補助部材のみの伸張により天蓋に付勢力を作用させることで、天蓋の開閉に要する負荷の変動を抑え、開閉動作を円滑にして開閉補助を適切に行うことが可能となる。
【００２２】
第１の開閉補助部材と第２の開閉補助部材の一端及び他端は、それぞれ前記天蓋の外側面及び前記容器本体の外側面に枢支された取付具に装着され、第２の開閉補助部材の他端が装着される取付具には、第２の開閉補助部材の他端がスライド移動可能な長孔が形成される。
【００２３】
第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材は、前記ヒンジ軸部の回動軸線と直交する、天蓋の両側の外側面及び容器本体の両側の外側面に、一端及び他端がそれぞれ枢支される。
【００２４】
前記容器は半導体製造装置のリアクタであり、第１の開閉補助部材及び第２の開閉補助部材が、ガスダンパー又は油圧ダンパーからなるダンパー部材あることが好ましい。
【考案の効果】
【００２５】
本考案によれば、閉じ方向の負荷が大きい範囲となる、天蓋が閉じた位置から開蓋動作の途中である所定の開蓋途中角度の位置までの範囲では第１の開閉部材及び第２の開閉補助部材により天蓋の開く方向に付勢力が作用し、天蓋の閉じ方向の負荷が急激に減少する範囲である、開蓋動作の途中である所定の開蓋途中角度の位置からこれを超えた開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置までは第１の開閉補助部材のみの伸張により天蓋に開く方向の付勢力が作用するので、天蓋の開きに要する負荷の変動を抑えるようになり、開閉動作を円滑にし、開閉補助を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１（ａ）は、本考案に係る天蓋の開閉補助部材付き容器である、ダンパー部材付きリアクタの天蓋が閉じた状態の側面模式図、図１（ｂ）は同リアクタの天蓋が開いた状態の側面模式図、図１（ｃ）は同リアクタの天蓋の開き角度に対する、天蓋の開閉負荷及び第１、第２のダンパー部材を使用する天蓋の開閉に要する負荷を示すグラフ図である。
【図２】図２（ａ）は従来の天蓋の開閉補助部材付き容器である、ダンパー部材付きリアクタの天蓋が閉じた状態の側面模式図、図２（ｂ）は同リアクタの天蓋が開いた状態の側面模式図、図２（ｃ）は同リアクタの天蓋の開き角度に対する、天蓋の開閉負荷及びダンパー部材を使用する天蓋の開閉に要する負荷を示すグラフ図である。
【考案を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面を参照して本考案の好ましい実施形態を説明する。
【００２８】
本考案に係る天蓋の開閉補助部材付き容器である、天蓋開閉用のダンパー付きリアクタタの側面模式図が、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示される。
【００２９】
天蓋開閉用のダンパー付きリアクタ１１は、略直方体形状の容器であって、成膜処理される半導体基板を載置するサセプタ（不図示）を内蔵する上部開口容器のリアクタ本体１２と、内部にシャワーヘッド（不図示）が装着され、リアクタ本体１２の上部開口部を回動可能に開閉する天蓋１３と、天蓋１３をリアクタ本体１２に対して回動可能に装着するヒンジ軸部１５と、シャワーヘッドが装着された天蓋１３の開閉に要する負荷を軽減するために、天蓋１３の開く方向に反力を付勢する第１のダンパー部材１６（１７）と、第２のダンパー部材１８（１９）とを備えて成る。
【００３０】
第１のダンパー部材（１７）及び第２のダンパー部材（１９）は、第１のダンパー部材１６及び第２のダンパー部材１８に対して、リアクタ１１の反対側の側面に設けられ、図１（ａ）、図１（ｂ）の図に現われないことから、符号に括弧を付けて示す（図面に現われない他の構成要素についても同様）。
【００３１】
第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）は、ヒンジ軸部６５の回動軸方向と直交する方向にある、リアクタ１１の側面１１ａ（１１ｂ）にそれぞれ設けられ、その一端が天蓋１３の側面に枢支される取付具２１ａ（２２ａ）、２３ａ（２５ａ）にそれぞれ装着され、他端がリアクタ本体１２の側面に枢支される取付具２１ｂ（２２ｂ）、２３ｂ（２５ｂ）にそれぞれ装着される。これにより、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）の一端は天蓋１３の側面にそれぞれ回動可能に取り付けられ、他端はリアクタ本体１２の側面にそれぞれ回動可能に取り付けられている。
【００３２】
第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）は、筒状のシリンダー１６ａ（１７ａ）、１８ａ（１９ａ）と、シリンダー１６ａ（１７ａ）、１８ａ（１９ａ）に対して伸縮可能なロッド１６ｂ（１７ｂ）、１８ｂ（１９ｂ）と、ロッド１６ｂ（１７ｂ）、１８ｂ（１９ｂ）の先端に設けられ、シリンダー１６ａ（１７ａ）、１８ａ（１９ａ）内を摺動するピストン（不図示）とで構成されており、シリンダー１６ａ（１７ａ）、１８ａ（１９ａ）内部に封入された高圧の窒素ガス等によるピストン両面への圧力差によって、収縮されたロッド１６ｂ（１７ｂ）、１８ｂ（１９ｂ）が伸張する方向へ付勢力である反力を常時作用させることができる。
【００３３】
第１のダンパー部材１６（１７）は、図１（ａ）に示す天蓋１３を閉じた位置から、図１（ｂ）に示す点検、清掃、交換に必要な開蓋動作の完了点である、開蓋完了角度の位置まで、ロッド１６ｂ（１７ｂ）が伸張して天蓋１３に付勢力である反力を作用するように、シリンダー及びロッドの長さが形成されている。
【００３４】
第２のダンパー部材１８（１９）は、図１（ａ）に示す天蓋を閉じた状態から、図１（ｂ）に示す開蓋完了角度よりも小さい開き角度である、所定の開蓋途中角度（図示せず）の位置まで、ロッド１８ｂ（１９ｂ）が伸張して天蓋１３に付勢力である反力を作用し、所定の開蓋途中角度の位置ときにシリンダー及びロッドのストロークが最長となるように形成されている。
【００３５】
第２のダンパー部材１８（１９）は、天蓋１３が開蓋動作の途中である開蓋途中角度から、開蓋動作の完了点である開蓋完了角度まで開くときは、そのストロークが既に最長ゆえにそれ以上の伸張はなく、他端が装着された取付具２３ｂ（２５ｂ）に形成された長孔２７を、他端が天蓋の開き方向にスライド移動するように、取付具２３ｂ（２５ｂ）に装着されている。
【００３６】
したがって、天蓋１３の閉じた位置から所定の開蓋途中角度の位置までは、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）が天蓋１３に対して開き方向に付勢力を作用させ、所定の開蓋途中角度から開蓋完了角度までは、第１のダンパー部材１６（１７）のみが天蓋１３に対して開きの付勢力を作用させ、第２のダンパー部材１８（１９）はそのストロークの伸張はなく、その他端が取付具２３ｂ（２５ｂ）に形成された長孔２７を、天蓋１３方向にスライド移動が可能なように取付具２３ｂ（２５ｂ）に装着されている。
【００３７】
開蓋動作の完了点である開蓋完了角度は、図１（ｂ）に示すように、リアクタ本体１２の内部及び天蓋１３内部の点検、清掃、交換に必要な最終の開き角度である。また、開蓋途中角度は、天蓋１３の閉じた位置から開蓋完了角度までの途中の所定の開き角度であり、天蓋１３の閉じ方向の負荷が比較的大きく、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）による付勢力の補助が必要な範囲の上限角度として設定することができる。
【００３８】
次に、図１（ａ）〜図１（ｃ）を参照して、本考案に係る天蓋の開閉補助部材付き容器である、ダンパー部材付きリアクタ１１の天蓋１３の開閉動作を説明する。
【００３９】
図１（ａ）に示すように、天蓋１３がリアクタ本体１２の上部開口部を閉じた位置にあるときは、リアクタの側面１１ａ（１１ｂ）に取り付けられた第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）は、ロッド１６ｂ（１７ｂ）、１８ｂ（１９ｂ）がシリンダー１６ａ（１７ａ）、１８ａ（１９ａ）内に押し込められ、ストロークが収縮された状態で、それぞれ並列に配置されている。このとき、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）は、ロッド１６ｂ（１７ｂ）、１８ｂ（１９ｂ）の伸張する方向に付勢力が作用する状態にある。
【００４０】
天蓋１３を開く負荷の大きい範囲である、天蓋１３を閉じた位置から所定の開蓋途中角度の位置まで開くときは、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）が伸張して、天蓋１３に対して開く方向に付勢力を作用させる。これにより、天蓋１３の開きに要する負荷を減ずることができ、天蓋の開閉を円滑にし、開閉補助を適切に行える。
【００４１】
さらに、天蓋１３の閉じ方向の負荷が減少する範囲である、所定の開蓋途中角度の位置から開蓋完了角度の位置まで天蓋１３を開くときは、第１のダンパー部材１６（１７）のみが天蓋１３に対して開き方向の付勢力を作用させ、第２のダンパー部材１８（１９）はそのストロークが最長となっているので伸張せず、その他端が取付具２３ｂ（２５ｂ）に形成された長孔２７を、天蓋１３方向に向けてスライド移動するので、天蓋１３の開きに要する負荷の変動を抑え、開閉動作を円滑に行うことが可能となる。
【００４２】
天蓋１３を開きが完了した角度である開蓋完了角度の位置から、所定の開蓋途中角度の位置を経て、リアクタ本体１２の開口部を閉じる位置まで回動させる際においても、開蓋完了角度の位置から所定の開蓋途中角度の位置までの範囲では、第１のダンパー部材１６（１７）による付勢力が開き方向に作用し、所定の開蓋途中角度の位置から閉じた位置までの範囲では、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）による付勢力が天蓋１３に作用するので、天蓋１３を閉じる際に要する負荷の変動を少なくすることができ、開閉動作を円滑にし、適切な開閉補助を行うことが可能となる。
【００４３】
図１（ｃ）に示すグラフ図では、横軸が天蓋１３の開き角度を示し、縦軸が開閉方向に作用する負荷を示し、曲線Ｅは天蓋１３の開き角度に対する天蓋の開閉負荷、曲線Ｆは天蓋の開き角度に対する、第１のダンパー部材１６（１７）、第２のダンパー部材１８（１９）を使用する天蓋の開閉に要する負荷を示す。
【００４４】
図１（ａ）に示す天蓋１３が閉じた位置から図１（ｂ）に示す天蓋１３が開いた位置へ向かう過程では、図１（ｃ）の曲線Ｅにより、天蓋１３の重心が天蓋１３の回動軸の鉛直方向に近づくに連れて、天蓋１３の閉じ方向への負荷が著しく減少することが示されている。
【００４５】
曲線Ｅに示すように、天蓋の閉じた状態から開蓋途中角度（図１（ｃ）の点Ｐで示す角度）までは、天蓋の閉じ方向への負荷が比較的大きいものとなるが、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）による付勢力が天蓋１３の開き方向に作用するので、曲線Ｆに示すように天蓋１３の開閉に要する負荷は、図２（ｃ）に示す従来の単一ダンパー使用の天蓋の開閉に要する負荷に比べて、その変動が抑えられたものとなっている。
【００４６】
天蓋１３の閉じた位置から開蓋途中角度（図１（ｃ）の点Ｐで示す角度）に近づくと、曲線Ｅに示すように天蓋の開き方向の負荷が著しく減少するので、曲線Ｆに示すように天蓋１３の開閉に要する負荷は、第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）による付勢力により、閉じ方向から開き方向に変化し、さらに、開蓋途中角度（図１（ｃ）の点Ｐで示す角度）を超えると、第２のダンパー部材１８（１９）による付勢力が作用しないことから、再度開き方向から閉じ方向への負荷に変化している。
【００４７】
このように、本考案に係る天蓋の開閉補助部材付き容器である、ダンパー付きリアクタは、両側面にストロークの異なる第１のダンパー部材１６（１７）と第２のダンパー部材１８（１９）とを並列に配置し、天蓋の開閉負荷の大きい範囲である、天蓋の閉じた位置から開蓋途中角度の位置までは第１のダンパー部材１６（１７）及び第２のダンパー部材１８（１９）により天蓋１３に付勢力を作用させ、開蓋途中角度から開きの完了点である開蓋完了角度までの範囲では、第１のダンパー部材１６（１７）のみで天蓋１３に付勢力を作用させるので、天蓋１３の開閉の際に作用する負荷の変動をより抑えることができ、天蓋１３の開閉に際し円滑、適切な開閉補助をすることができる。
【００４８】
上述の実施形態では、第１のダンパー部材及び第２のダンパー部材は、リアクタの両側面にそれぞれ１個ずつ設けられているが、例えば、比較的荷重の大きな天蓋を開閉する場合には、天蓋の開きに要する負荷の変動を抑えるために、リアクタの両側面にそれぞれ２以上の第２のダンパー部材を設けることもできる。
【００４９】
２以上の第２のダンパー部材を設けることで、荷重の大きな天蓋の場合、開き開始位置付近の開蓋の負荷が大きい範囲において２以上の第２のダンパー部材の伸張による付勢力を作用させることで、天蓋の開閉の際に作用する負荷の変動をより抑えることができ、天蓋の開閉に際し円滑、適切な開閉補助をすることができる。
【００５０】
例えば、天蓋の開き開始の位置から最初の開蓋途中角度（第１の開蓋途中角度）の位置までは、第１のダンパー部材の伸張と、２以上ある第２のダンパー部材の全ての伸張により天蓋に付勢力を作用させ、最初の開蓋途中角度（第１の開蓋途中角度）の位置から開蓋完了角度に向けた次の開蓋途中角度（第２の開蓋途中角度）の位置までは、第２のダンパー部材の一つは伸張せずに他端がスライド移動を行い、第１のダンパー部材の伸張と、個数を一つ減じた第２のダンパー部材の伸張とにより天蓋に付勢力を作用させるようにして、順に伸張する第２の開閉補助部材の個数を一つ減じ、最後に伸張開蓋動作の完了点である開蓋完了角度の位置を含む範囲では第１の開閉補助部材のみの伸張により天蓋に付勢力を作用させることで、天蓋の荷重が大きな場合でも開閉に要する負荷の変動を抑え、開閉動作を円滑にして開閉補助を適切に行うことが可能となる。
【符号の説明】
【００５１】
１１    リアクタ
１１ａ（１１ｂ）  リアクタの側面
１２    リアクタ本体
１３    天蓋
１５    ヒンジ軸部
１６、１７  第１のダンパー部材
１８、１９  第２のダンパー部材
１６ａ、１７ａ  シリンダー
１６ｂ、１７ｂ  ロッド
１８ａ、１９ａ  シリンダー
１８ｂ、１９ｂ  ロッド
２１ａ、２２ａ、２１ｂ、２２ｂ  取付具
２３ａ、２５ａ、２３ｂ、２５ｂ  取付具
２７    長孔
【図１】
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【図２】
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