(57)【要約】      （修正有）【課題】テスト装置における複数本の弾性接触構造をおおよそ同じ方向に振れさせて安定に接触させるテスト装置を提供する。【解決手段】複数の上貫通開口を有する上ガイド板１１０と、複数の下貫通開口を有し、上ガイド板の一側に位置する下ガイド板１２０と、上ガイド板と下ガイド板との間に設けられ、それぞれ順次に接触構造先端部１３２、接触構造ボディー部１３４と接触構造テール部１３６を有し、それぞれ単独で各上貫通開口と各下貫通開口を貫通し、各接触構造先端部と各接触構造テール部との間にそれぞれ弾性接触構造オフセット量を有する複数の弾性接触構造１３０と、を含むテスト装置であり、ｄ１を目標弾性接触構造オフセット量とし、ｄ２を上ガイド板と下ガイド板との間のテスト装置オフセット量とした時、ｄ２＝ｄ１±５０〜２００μｍの関係式を満足する。【選択図】図１
0003203043.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
テスト設備に用いられるテスト装置であって、
複数の上貫通開口を有する上ガイド板と、
前記上ガイド板の一側に位置し、複数の下貫通開口を有し、前記上ガイド板との間にテスト装置オフセット量ｄ2を有する下ガイド板と、
前記上ガイド板と前記下ガイド板との間に設けられ、それぞれ順次に接触構造先端部、接触構造ボディー部と接触構造テール部を有し、それぞれ単独で各前記上貫通開口と各前記下貫通開口を貫通し、前記接触構造先端部と前記接触構造テール部との間にそれぞれ弾性接触構造オフセット量を有し、それぞれ目標弾性接触構造オフセット量ｄ1を有し、前記目標弾性接触構造オフセット量ｄ1と前記テスト装置オフセット量ｄ2との関係がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍ（μｍ）の関係式を満足する複数の弾性接触構造と、
を含むテスト装置。
【請求項２】
最小の弾性接触構造オフセット量を有する前記弾性接触構造における最小の弾性接触構造オフセット量は、ｄ1から２５μｍを引いたものであり、最大の弾性接触構造オフセット量を有する前記弾性接触構造における最大の弾性接触構造オフセット量は、ｄ1に２５μｍを加えたものである請求項１に記載のテスト装置。
【請求項３】
前記上ガイド板と前記下ガイド板との間の前記テスト装置オフセット量は、各前記上貫通開口の中心軸と対応する各前記下貫通開口の中心軸との距離であり、且つ前記上ガイド板と前記下ガイド板との間の前記テスト装置オフセット量が相対的に設置される請求項１に記載のテスト装置。
【請求項４】
各前記弾性接触構造における弾性接触構造オフセット量は、それぞれ前記接触構造先端部の接触構造先端より中心軸から引き出された第１の仮想線と、前記接触構造ボディー部と前記接触構造テール部との交点から垂直に引き出される前記接触構造先端部と平行する中心軸から引き出された第２の仮想線との間の距離である請求項１に記載のテスト装置。
【請求項５】
複数の前記弾性接触構造の各々の前記接触構造ボディー部は、弾性部を有する請求項１に記載のテスト装置。
【請求項６】
前記目標弾性接触構造オフセット量と前記テスト装置オフセット量との関係がｄ2＝ｄ1−５０〜２００μｍの関係式を満足する場合、前記テスト装置オフセット量は、前記最小の弾性接触構造オフセット量よりも小さい請求項２に記載のテスト装置。
【請求項７】
前記目標弾性接触構造オフセット量と前記テスト装置オフセット量との関係がｄ2＝ｄ1＋５０〜２００μｍの関係式を満足する場合、前記テスト装置オフセット量は、前記最大の弾性接触構造オフセット量よりも大きい請求項２に記載のテスト装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、テスト装置に関し、特に、テスト設備のテスト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のテスト設備は、回路基板と、空間転換板と、テスト装置とを含んでもよい。テスト装置は、複数の弾性接触構造と、弾性接触構造の位置決め用の上ガイド板と、下ガイド板を有する。弾性接触構造の両端がそれぞれ上ガイド板と下ガイド板から通過して延出し、下ガイド板から通過して延出した一端が、パッド（ｐａｄ）又はバンプ（ｂｕｍｐ）のような被試験デバイス（ｄｅｖｉｃｅ  ｕｎｄｅｒ  ｔｅｓｔ；ＤＵＴ）における接触接点への接触に用いられるが、上ガイド板から通過して延出した一端が、空間転換板を介して回路基板と電気的接続する。下ガイド板における貫通孔の何れも、被試験デバイスにおける接触接点に対応して配列される。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
一般的に、テスト装置の組立ては、まず弾性接触構造を下ガイド板に固定してから上ガイド板を設けるが、組立終了後、テスト装置におけるこれらの弾性接触構造に左右に振れる方向ズレがよくあるため、テスト装置におけるこれらの弾性接触構造が被試験デバイスと安定的に接触できなくなるという問題が発生しやすい。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本考案は、効果的にテスト装置における複数本の弾性接触構造をおおよそ同じ方向に振れさせるテスト装置を提供する。
【０００５】
本考案の一実施例は、テスト設備に用いられるテスト装置であって、複数の上貫通開口を有する上ガイド板と、上ガイド板の一側に位置し、複数の下貫通開口を有し、前記上ガイド板との間にテスト装置オフセット量ｄ2を有する下ガイド板と、上ガイド板と下ガイド板との間に設けられ、それぞれ順次に接触構造先端部、接触構造ボディー部と接触構造テール部を有し、それぞれ単独で各上貫通開口と各前記下貫通開口を貫通し、各接触構造先端部と各接触構造テール部との間にそれぞれ弾性接触構造オフセット量を有し、それぞれ目標弾性接触構造オフセット量ｄ1を有し、前記目標弾性接触構造オフセット量ｄ1と前記テスト装置オフセット量ｄ2との関係がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの関係式を満足する複数の弾性接触構造と、を含むテスト装置を提供する。
【考案の効果】
【０００６】
本考案は、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1とテスト装置オフセット量ｄ2との関係がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの関係式を満足するように設計することで、更にテスト装置の組立終了後、テスト装置におけるこれらの弾性接触構造をおおよそ同じ方向に振れさせる目的を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本考案のテスト装置の一実施例に係る断面模式図である。
【図２】本考案の弾性接触構造の模式図である。
【図３】本考案のテスト装置における上、下ガイド板の模式図である。
【図４Ａ】本考案のテスト装置の１つのテスト装置オフセット量によるテスト結果を示す折れ線グラフである。
【図４Ｂ】本考案のテスト装置の別のテスト装置オフセット量によるテスト結果を示す折れ線グラフである。
【図５Ａ】本考案のテスト装置のまた別のテスト装置オフセット量によるテスト結果を示す折れ線グラフである。
【図５Ｂ】本考案のテスト装置の更に１つのテスト装置オフセット量によるテスト結果を示す折れ線グラフである。
【図６】図４Ａ〜図５Ｂに示すテスト装置オフセット量のテスト結果を標準偏差で示す折れ線グラフである。
【考案を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面及び詳細な説明で本考案の精神を明らかに説明し、当業者であれば、本考案の好適な実施例を理解した上で、本考案の教示した技術に基づいて、本考案の精神と範囲から逸脱せずに、変更や修飾を加えることができる。また、図面を簡略化するために、従来慣用の構造及び素子は、図面において概略で模式的に示される。
【０００９】
従来の技術に示すように、テスト装置における弾性接触構造は、組立終了後、左右振れの方向ズレの問題があるため、被試験デバイスと安定的に接触できなくなる。
【００１０】
これに鑑みて、本考案は、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1とテスト装置オフセット量ｄ2との関係がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの関係式を満足するように設計することで、テスト装置の組立終了後、テスト装置におけるこれらの弾性接触構造をおおよそ同じ方向に振れさせ、更に被試験デバイスと安定的に接触する目的を実現するテスト装置を提供する。
【００１１】
図１を参照されたい。図１は、本考案のテスト装置の一実施例に係る断面模式図である。テスト装置１００は、上ガイド板１１０と、上ガイド板１１０の一側に位置する下ガイド板１２０と、上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間に位置する複数の弾性接触構造１３０と、を含む。上ガイド板１１０及び下ガイド板１２０は、それぞれ弾性接触構造１３０を収容し固定するための複数の上貫通開口１１２と下貫通開口１２２を有する。
【００１２】
弾性接触構造１３０は、それぞれ順次に接触構造先端部１３２と、接触構造ボディー部１３４と、接触構造テール部１３６と、を含む。接触構造先端部１３２は、下ガイド板１２０の下貫通開口１２２から通過して延出し、且つ接触構造先端部１３２の接触構造先端１３２１が被試験デバイス（図示せず）と接触することに用いられる。接触構造テール部１３６は、上ガイド板１１０の上貫通開口１１２の中に収容され、上ガイド板１１０の上貫通開口１１２から通過して延出し、更に、空間転換板（図示せず）又は回路基板（図示せず）の接点（ｐａｄ）に当接されてもよい。接触構造ボディー部１３４は、上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間に位置する。接触構造先端１３２１が被試験デバイスに接触する場合、上ガイド板１１０及び下ガイド板１２０により弾性接触構造１３０の変位が制限される。より具体的には、弾性接触構造１３０が上貫通開口１１２と下貫通開口１２２を貫通した後で少なくとも部分的に上ガイド板１１０又は下ガイド板１２０に当接されて位置決められるように、上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間にテスト装置オフセット量ｄ2を有し、即ち、上ガイド板１１０の上貫通開口１１２は下ガイド板１２０の下貫通開口１２２に位置合わせされない。
【００１３】
本実施例において、弾性接触構造１３０は、例えば、垂直座屈接触構造（Ｃｏｂｒａ接触構造とも言う）のような弾性変形可能な金属構造であってもよい。そのため、接触構造ボディー部１３４は、接触構造テール部１３６に近接する位置に弾性部１３４１を有する、ほぼ曲がった接触構造ボディーである。弾性部１３４１は、弾性接触構造１３０が外力を受けると座屈原理により変形して弾力を発生させるための座屈構造とされる。
【００１４】
次に、図２及び図３を参照されたい。図２は、本考案の弾性接触構造の一実施例の模式図である。図３は、本考案のテスト装置における上、下ガイド板の一実施例の模式図である。まず、図２に示すように、弾性接触構造１３０が自然状態にある場合、即ち、外力による影響を受けていない場合、接触構造先端部１３２が垂直に下を指向する（即ち、接触構造先端１３２１の方向に向かう）と見なされる。接触構造テール部１３６と接触構造ボディー部１３４との間に交点Ｐを有し、交点Ｐの位置において、接触構造ボディー部１３４と接触構造テール部１３６とがそれぞれ異なる方向へ延長する。接触構造ボディー部１３４は、接触構造テール部１３６に近接する位置に弾性部１３４１を有し、接触構造ボディー部１３４の弾性部１３４１における曲率が、接触構造先端部１３２に近接する接触構造ボディー部１３４の部分における曲率よりも大きい。接触構造ボディー部１３４と接触構造先端部１３２との間にも交点Ｏを有し、交点Ｏの位置において、接触構造ボディー部１３４と接触構造先端部１３２とがおおよそ同じ方向へ延長する。弾性接触構造１３０において、接触構造先端部１３２の接触構造先端１３２１の中心軸から第１の仮想線ｌ1が引き出されることに対応して、接触構造ボディー部１３４と接触構造テール部１３６との交点Ｐの位置から接触構造先端部１３２と平行する第２の仮想線ｌ2が垂直に引き出され、第１の仮想線ｌ1と第２の仮想線ｌ2との間の距離は弾性接触構造１３０の接触構造先端部１３２と接触構造テール部１３６との間の弾性接触構造オフセット量ｄ（ｏｆｆｓｅｔ）である。上記の通り、接触構造テール部１３６が接触構造先端部１３２と平行しないため、接触構造テール部１３６と第２の仮想線ｌ2との間には、非ゼロの夾角θが形成される。
【００１５】
理想的な状態において、１つのテスト装置１００におけるこれらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０は、同じ目標弾性接触構造オフセット量ｄ1を有するはずであり、即ち、これらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０の弾性接触構造オフセット量ｄも同様に同じはずである。しかし、これらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０に製作公差があるため、複数の弾性接触構造１３０の各々の実際の弾性接触構造オフセット量ｄと理想的な状態（即ち、製作公差を無視する状態）における目標弾性接触構造オフセット量ｄ1との間に±２５μｍの範囲にあるまちまちな差異がある。つまり、１つのテスト装置１００には、最小の弾性接触構造オフセット量を有するこれらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０における実際の弾性接触構造オフセット量ｄ、即ち、これらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０における最小の弾性接触構造オフセット量は、おおよそ目標弾性接触構造オフセット量ｄ1から２５μｍを引いたものとなるはずである。最大の弾性接触構造オフセット量を有するこれらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０における実際の弾性接触構造オフセット量ｄ、即ち、これらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０における最大の弾性接触構造オフセット量は、おおよそ目標弾性接触構造オフセット量ｄ1に２５μｍを加えたものとなるはずである。より具体的には、１つのテスト装置には、これら／同じバッチの弾性接触構造における目標弾性接触構造オフセット量ｄ1が５００μｍである弾性接触構造を例とすると、その各弾性接触構造における実際の弾性接触構造オフセット量ｄは、４７５μｍ〜５２５μｍの範囲にあり、まちまちである。
【００１６】
特に注意すべきなのは、引き続き図２を参照されたい。ここに記載の「交点Ｐ」とは、接触構造テール部１３６の中心軸から引き出された第３の仮想線ｌ3と接触構造ボディー部１３４の弾性部１３４１の中心軸から引き出された第４の仮想線ｌ4との交点である。
【００１７】
引き続き図３を参照されたい。上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間にテスト装置オフセット量ｄ2を持たせて、上ガイド板１１０のこれらの上貫通開口１１２の位置が下ガイド板１２０のこれらの下貫通開口１２２の位置と対向しないようにすることによって、弾性接触構造１３０の変位を制限する。上ガイド板１１０の１つの上貫通開口１１２及びこの上貫通開口１１２に対向する下ガイド板１２０の１つの下貫通開口１２２を例とすると、上ガイド板１１０のこの上貫通開口１１２が中心軸Ｘ1を有し、下ガイド板１２０のこの下貫通開口１２２も中心軸Ｘ2を有し、隣接する２つの中心軸Ｘ1、Ｘ2の間の距離は、上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間のテスト装置オフセット量ｄ2である。上ガイド板１１０と下ガイド板１２０との間のテスト装置オフセット量ｄ2が相対的に設置される。即ち、上ガイド板１１０を基準とすると、下ガイド板１２０が上ガイド板１１０に相対して左へ又は右へテスト装置オフセット量ｄ2を偏移するが、逆の場合も同様である。
【００１８】
図１〜図３を同時に参照されたい。テスト装置１００の組立終了後、これらの弾性接触構造１３０がおおよそ同じ方向に振れるように、弾性接触構造１３０の目標弾性接触構造オフセット量ｄ1と上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2とは、一定の関係式を満足することが好ましい。注意すべきなのは、弾性接触構造１３０が上ガイド板１１０と下ガイド板１２０の中に振れた後で、接触構造テール部１３６及び／又は接触構造先端部１３２がそれぞれ上、下ガイド板１１０、１２０に当接されてわずかに変形するため、以下に言及する弾性接触構造１３０の弾性接触構造オフセット量ｄ又は目標弾性接触構造オフセット量ｄ1の何れも、図２に示すように、弾性接触構造１３０の自然状態における弾性接触構造オフセット量ｄ又は目標弾性接触構造オフセット量ｄ1を意味することは、事前に説明しておく。
【００１９】
より具体的には、テスト装置１００を組立てる場合、まず弾性接触構造１３０の接触構造先端部１３２をそれぞれ下ガイド板１２０の下貫通開口１２２に入れ、次に、弾性接触構造１３０の接触構造テール部１３６をそれぞれ上ガイド板１１０の上貫通開口１１２に入れることを含んでもよい。この場合、上ガイド板１１０の上貫通開口１１２の中心軸と対応する下ガイド板１２０の下貫通開口１２２の中心軸との間の距離（即ち、テスト装置オフセット量ｄ2）は、弾性接触構造１３０の目標弾性接触構造オフセット量ｄ1にほぼ等しい。しかしながら、この場合、弾性接触構造１３０の左右振れの方向ズレの問題がある。従って、本考案は、組立終了後のテスト装置１００におけるこれらの弾性接触構造１３０がおおよそ同じ方向に振れるように、更に、テスト装置１００における上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように調整する。
【００２０】
具体的には、弾性接触構造１３０を上ガイド板１１０と下ガイド板１２０に入れた後で、下ガイド板１２０を基準とすると、上、下ガイド板１１０、１２０のＸ軸方向における距離を大きくし、即ち、ｄ2＝ｄ1＋５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、更に上ガイド板１１０を左へ引いてもよいし、上、下ガイド板１１０、１２０のＸ軸方向における距離を小さくし、即ち、ｄ2＝ｄ1−５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、更に上ガイド板１１０を右へ引いてもよい。このように、弾性接触構造１３０を上、下ガイド板１１０、１２０に逐一入れた後で、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、上ガイド板１１０を横に引くことで、組立終了後のテスト装置１００におけるこれらの弾性接触構造１３０をおおよそ同じ方向に振れさせる。もちろん、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2は、相対的に設置されるものであるため、上ガイド板１１０を基準として、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、更に下ガイド板１２０を右へ又は左へ引いてもよいが、本考案を制限するものではない。
【００２１】
ここに特に注意すべきなのは、本考案における「テスト装置の組立終了後」とは、１つのテスト装置１００におけるこれらの又は同じバッチの弾性接触構造１３０を上、下ガイド板１１０、１２０に入れた後で、更に、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、上ガイド板１１０又は下ガイド板１２０を（上、下ガイド板１１０、１２０の１つを基準とすることに応じて）左へ又は右へ引く必要がある。
【００２２】
本考案において、１つのテスト装置１００におけるこれら／同じバッチの弾性接触構造１３０の目標弾性接触構造オフセット量ｄ1と上、下ガイド板１１０、１２０のテスト装置オフセット量ｄ2との関係をｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍとなるように設計する。つまり、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2の関係がｄ2＝ｄ1＋５０〜２００μｍ、即ち、ｄ2＝ｄ1＋５０μｍ〜ｄ1＋２００μｍの間にあるように設計される場合、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2が少なくともこれら／同じバッチの弾性接触構造１３０における最大の弾性接触構造オフセット量を有するものよりも大きい。この場合、これらの弾性接触構造１３０の何れも、テスト装置１００の組立終了後おおよそ同じ方向に振れることに加え、テストの場合、更に、これらの弾性接触構造１３０と被試験デバイスとの間の接触力を低下させ、これらの被試験デバイスが接触される時の完全性を向上させることもできる。
【００２３】
又は、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2の関係がｄ2＝ｄ1−５０〜２００μｍ、即ち、ｄ2＝ｄ1−２００μｍ〜ｄ1−５０μｍの間にあるように設計される場合、上、下ガイド板１１０、１２０の間のテスト装置オフセット量ｄ2が少なくともこれらの弾性接触構造１３０における最小の弾性接触構造オフセット量を有するものよりも小さい。この場合、これらの弾性接触構造１３０の何れも、テスト装置１００の組立終了後おおよそ同じ方向に振れることに加え、テストの場合、更に、これらの弾性接触構造１３０と被試験デバイスとを安定的に接触させることができる。
【００２４】
図４Ａ〜図５Ｂを参照されたい。図４Ａ〜図５Ｂは、それぞれ本考案のテスト装置の異なるテスト装置オフセット量によるテスト結果を示す折れ線グラフである。図４Ａ〜図５Ｂに示す折れ線は、異なるテスト装置補償量におけるテスト装置の組立終了後の結果を示し、図面における縦軸はテスト装置の組立終了後のその中の弾性接触構造の振れ幅（単位μｍ）を示し、図面における横軸はこの１０本の弾性接触構造の弾性接触構造番号を示す。
【００２５】
ここで、「テスト装置補償量」とは、毎度のテストの場合、上、下ガイド板の間の距離を次第に大きく又は小さくした変化量である。即ち、上記の通り、弾性接触構造を上、下ガイド板に入れた後で、上、下ガイド板の間のテスト装置オフセット量ｄ2が目標弾性接触構造オフセット量ｄ1にほぼ等しく、テスト装置補償量が０μｍとなる場合、テスト装置オフセット量ｄ2が目標弾性接触構造オフセット量ｄ1にほぼ等しいことを示す。テスト装置補償量が＋２５μｍとなる場合、テスト装置オフセット量ｄ2は目標弾性接触構造オフセット量ｄ1に２５μｍを加えたものにほぼ等しいことを指す。テスト装置補償量が−２５μｍとなる場合、テスト装置オフセット量ｄ2が目標弾性接触構造オフセット量ｄ1から２５μｍを引いたものにほぼ等しいことを示す。
【００２６】
図４Ａと図４Ｂにおけるテスト装置補償量が正の値であることは、テスト装置における上ガイド板と下ガイド板との間のテスト装置オフセット量ｄ2、即ち、上ガイド板と下ガイド板が図３におけるＸ方向との距離が大きく設計されることを示す。テスト装置オフセット量ｄ2は、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1（この時のテスト装置補償量が０μｍであり、即ち、関係式がｄ2＝ｄ1＋０μｍであるべきである）にほぼ等しいものから、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1  ２００μｍ（この時のテスト装置補償量が２００μｍであり、即ち、関係式がｄ2＝ｄ1＋２００μｍであるべきである）よりも大きいものまでの範囲にある。図４Ａは、テスト装置補償量が０μｍ、２５μｍ、５０μｍ、７５μｍであるテスト結果を示す。図４Ｂは、テスト装置補償量が１００μｍ、１２５μｍ、１５０μｍ、１７５μｍ、２００μｍであるテスト結果を示す。このテスト結果は、主に、上記弾性接触構造番号１〜１０の１０本の弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向を検査する。
【００２７】
図４Ａと図４Ｂから分かるように、テスト装置補償量が０μｍ及び２５μｍとなる場合、これらの弾性接触構造（即ち、上記弾性接触構造番号１〜１０の１０本の弾性接触構造）がテスト装置の組立終了後の振れ幅が正の値も負の値もあり、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向が同じ方向に向かわないことを示す。テスト装置補償量が５０μｍ〜２００μｍとなる場合、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ幅全体が正の値となり、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向がおおよそ同じ方向に向かうことを示す。
【００２８】
これに対して、図５Ａと図５Ｂに示すテスト装置補償量が負の値であり、テスト装置における上ガイド板と下ガイド板の間のテスト装置オフセット量ｄ2、即ち、上ガイド板と下ガイド板が図３におけるＸ方向の距離が小さく設計されることを示す。テスト装置オフセット量ｄ2は、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1（この時のテスト装置補償量が０であり、即ち、関係式がｄ2＝ｄ1−０μｍであるべきである）にほぼ等しいことから、目標弾性接触構造オフセット量ｄ1  ２００μｍ（この時のテスト装置補償量が−２００μｍであり、即ち、関係式がｄ2＝ｄ1−２００μｍであるべきである）よりも小さいまでの範囲にある。図５Ａはテスト装置補償量が０μｍ、−２５μｍ、−５０μｍ、−７５μｍであるテスト結果を示す。図５Ｂはテスト装置補償量が−１００μｍ、−１２５μｍ、−１５０μｍ、−１７５μｍ、−２００μｍであるテスト結果を示す。このテスト結果は、主に、上記弾性接触構造番号１〜１０の１０本の弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向を検査する。
【００２９】
図５Ａと図５Ｂから分かるように、テスト装置補償量が０μｍ及び−２５μｍとなる場合、これらの弾性接触構造（即ち、上記弾性接触構造番号１〜１０の１０本の弾性接触構造）の振れ幅が正の値も負の値もあり、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向が同じ方向に向かわないことを示す。テスト装置補償量が−５０μｍ〜―２００μｍとなる場合、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ幅全体が正の値となり、これらの弾性接触構造がテスト装置の組立終了後の振れ方向がおおよそ同じ方向に向かうことを示す。
【００３０】
更に、表１と図６を同時に参照されたい。図６は、図４Ａ〜図５Ｂに示すテスト装置オフセット量のテスト結果を標準偏差で示す折れ線グラフである。同様に、図６と表１から、テスト装置補償量が＋／−５０μｍ（５０μｍを含む）以上で＋／−２００μｍを超えない場合、何れも優れた変異があることが判明される。
【表１】
0003203043.tif 000003
表１、異なるテスト装置補償量の振れ幅に対する標準偏差
【００３１】
以上をまとめると、弾性接触構造における目標弾性接触構造オフセット量ｄ1と上、下ガイド板のテスト装置オフセット量ｄ2との関係をｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍとなるように設計すると、つまり上、下ガイド板の間のテスト装置オフセット量ｄ2がｄ2＝ｄ1±５０〜２００μｍの本考案の関係式を満足するように、弾性接触構造を上、下ガイド板に逐一入れた後で、上ガイド板又は下ガイド板（上、下ガイド板の１つを基準とすることに応じて）を横に引くことで、テスト装置の組立終了後、テスト装置におけるこれらの弾性接触構造がおおよそ同じ方向に振れ、更に被試験デバイスと安定的に接触する目的が実現される。
【００３２】
本考案を実施形態で前述の通り開示したが、これは本考案を限定するためのものではなく、当業者であれば、本考案の精神と範囲から逸脱しない限り、各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の保護範囲は、実用新案登録請求の範囲で指定した内容を基準とするものである。
【符号の説明】
【００３３】
１００  テスト装置
１１０  上ガイド板
１１２  上貫通開口
１２０  下ガイド板
１２２  下貫通開口
１３０  弾性接触構造
１３２  接触構造先端部
１３２１  接触構造先端
１３４  接触構造ボディー部
１３４１  弾性部
１３６  接触構造テール部
Ｏ、Ｐ  交点
θ  夾角
ｌ1  第１の仮想線
ｌ2  第２の仮想線
ｌ3  第３の仮想線
ｌ4  第４の仮想線
ｄ  弾性接触構造オフセット量
ｄ1  目標弾性接触構造オフセット量
ｄ2  テスト装置オフセット量
Ｘ1、Ｘ2  中心軸
【図１】
0003203043.tif 000004
【図２】
0003203043.tif 000005
【図３】
0003203043.tif 000006
【図４Ａ】
0003203043.tif 000007
【図４Ｂ】
0003203043.tif 000008
【図５Ａ】
0003203043.tif 000009
【図５Ｂ】
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【図６】
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