(57)【要約】【課題】研削回転軸と研磨回転軸との傾き関係を確認する際の作業性を高める。【解決手段】確認治具１をチャックテーブル２０５に取り付けて、確認治具１の平坦な上面１２を用いて、研磨回転軸３５１の調整が実施される。すなわち、チャックテーブル２０５を取り外すことなく、研削回転軸と研磨回転軸３５１とが互いに平行であるか否かを確認する傾き確認、および、これらを互いに平行とする傾き調整を実施することができる。これにより、傾き確認および傾き調整の作業性を向上することができる。【選択図】図７
2022001395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心を頂点とする円錐面の保持面によってウェーハを保持し、該保持面の中心を通るテーブル回転軸で該保持面を回転させるチャックテーブルと、
該テーブル回転軸の傾きを変更するテーブル回転軸傾き変更手段と、
環状の研削砥石の中心を通る研削回転軸で該研削砥石を回転させウェーハを研削する研削手段と、
環状円板の研磨パッドの中心を通る研磨回転軸で該研磨パッドを回転させる研磨手段と、を備える研削研磨装置において、該研削回転軸と該研磨回転軸とが互いに平行であることを確認するための確認治具であって、
測定面としての上面を有するプレートと、
該プレートの下面に配置され、該測定面の中心を囲む少なくとも３つの外周接触部と、を備え、
該プレートは、該保持面の外周に該外周接触部を接触させることによって、該保持面を覆うように構成されている、
確認治具。
【請求項２】
請求項１記載の確認治具を用いて、該研削回転軸と該研磨回転軸とが平行であるか否かを確認するとともに、該研削回転軸に対し該研磨回転軸を平行に調整する回転軸傾き調整方法であって、
該保持面の外周に該外周接触部を接触させ、該プレートによって該チャックテーブルの該保持面を覆うように、該確認治具を配置する治具配置工程と、
該確認治具の該プレートの該測定面が該研削回転軸に対して垂直となるよう、該チャックテーブルの該テーブル回転軸の傾きを調整するテーブル回転軸傾き調整工程と、
該研磨手段がウェーハを研磨する研磨位置に、該テーブル回転軸傾き調整工程において該テーブル回転軸が調整された、該確認治具が配置されている該チャックテーブルを位置づける位置づけ工程と、
該チャックテーブルに配置されている該確認治具の該プレートの該測定面に対して、該研磨回転軸が垂直であるか否かを確認する研磨回転軸傾き確認工程と、
該研磨回転軸傾き確認工程において、該測定面に対して該研磨回転軸が垂直でないことが確認された場合、該研磨回転軸の傾きを該測定面に対し垂直にする研磨回転軸傾き調整工程と、を備え、
該研削回転軸に対し該研磨回転軸を平行にする、回転軸傾き調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、確認治具、および、回転軸傾き調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、環状の研削砥石を装着した研削手段と、円環状の研磨パッドを装着した研磨手段とを備える研削研磨装置がある。この装置では、ウェーハを保持する複数のチャックテーブルが配置されたターンテーブルを回転させることによって、研削砥石によって研削可能な研削位置と、研磨パッドによって研磨可能な研磨位置とにウェーハを位置づけることを可能とし、チャックテーブルに保持されたウェーハを、研削加工に続いて研磨加工することを可能にしている。
【０００３】
研削加工におけるインフィード研削では、環状の研削砥石を、チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハの中心を通るように位置づける。そして、環状の研削砥石を、その中心を研削回転軸として回転させるとともに、保持面の中心を軸にチャックテーブルを回転させる。そして、保持面に保持されたウェーハの半径エリアに、円弧状に研削砥石を接触させて、ウェーハを研削する。
【０００４】
ここで、チャックテーブルの保持面は、保持面の中心を頂点とする円錐面として形成されている。したがって、研削加工では、円錐面の半径斜面に研削砥石を接触させることによって、ウェーハを研削している。
【０００５】
また、研磨加工では、保持面の直径よりも大きい外径の研磨面を備える研磨パッドを用いる。この研磨パッドを、保持面に保持されたウェーハの上面全面を覆うように位置づける。研磨パッドの中心を研磨回転軸として研磨パッドを回転させるとともに、チャックテーブルを回転させながら、ウェーハの半径斜面に研磨面を押し付けて、乾式または湿式で、ウェーハを研磨する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１５３０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような研削研磨装置では、研削回転軸と研磨回転軸とは、互いに平行となるように設定されている。しかし、研磨パッドの研磨面が接触する半径斜面は、研削砥石の軌跡の円弧である。したがって、研削加工と研磨加工とが施されたウェーハの被研磨面に、研削痕が残ることがある。
【０００８】
研削痕の発生要因のひとつは、研磨パッドの研磨面に付着した研磨屑のために、研磨不足が発生することにあると考えられる。この場合、砥石によって研磨面をドレッシングすることが有効となる場合がある。
【０００９】
もうひとつの要因として、研磨回転軸の傾きが、当初の研削回転軸と研磨回転軸とが平行な状態から変わってしまったことが考えられる。この場合、研磨面をドレッシングしたとしても、研磨パッドの研磨面の形状は正常に戻らない。そのため、ウェーハが、正常な面形状ではない研磨面によって研磨加工されるので、ウェーハに研削痕が残ったり、研磨量が少なくなるなど、研磨量にばらつきが生じたりすることがある。この場合、研磨後のウェーハを、均一な厚みの均一なウェーハ形状にすることが困難となる。
【００１０】
上記のように、保持面は円錐面となっていて、研磨パッドの研磨面が接触する半径斜面は、研削砥石の軌跡に接触させているが、研削砥石の軌跡の円弧中心と研磨回転軸とが一致していないため、研磨回転軸に装着したダイヤルゲージ（上面高さ測定器）は、ウェーハにおける研削砥石の軌跡の高さを測定する事が困難である。
【００１１】
そのため、従来、チャックテーブルを取り外したチャックベースの上面を研削回転軸に対し垂直にして、そのチャックベースの上面に対し研磨回転軸が垂直（鉛直）になっているか否かを確認することで、研磨回転軸の傾きが正常か否かを確認している。
【００１２】
つまり、この方法では、チャックベースの上面を介して、研磨回転軸が研削回転軸と平行であるか否かを確認している。しかし、チャックテーブルの脱着作業が必要となるため、作業効率が悪い。
【００１３】
したがって、本発明の目的は、研削研磨装置において、研削回転軸と研磨回転軸との傾き関係を確認する際の作業性を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の確認治具（本確認治具）は、中心を頂点とする円錐面の保持面によってウェーハを保持し、該保持面の中心を通るテーブル回転軸で該保持面を回転させるチャックテーブルと、該テーブル回転軸の傾きを変更するテーブル回転軸傾き変更手段と、環状の研削砥石の中心を通る研削回転軸で該研削砥石を回転させウェーハを研削する研削手段と、環状円板の研磨パッドの中心を通る研磨回転軸で該研磨パッドを回転させる研磨手段と、を備える研削研磨装置において、該研削回転軸と該研磨回転軸とが互いに平行であることを確認するための確認治具であって、測定面としての上面を有するプレートと、該プレートの下面に配置され、該測定面の中心を囲む少なくとも３つの外周接触部と、を備え、該プレートは、該保持面の外周に該外周接触部を接触させることによって、該保持面を覆うように構成されている。
【００１５】
本発明の回転軸傾き調整方法は、本確認治具を用いて、該研削回転軸と該研磨回転軸とが平行であるか否かを確認するとともに、該研削回転軸に対し該研磨回転軸を平行に調整する回転軸傾き調整方法であって、該保持面の外周に該外周接触部を接触させ、該プレートによって該チャックテーブルの該保持面を覆うように、該確認治具を配置する治具配置工程と、該確認治具の該プレートの該測定面が該研削回転軸に対して垂直となるよう、該チャックテーブルの該テーブル回転軸の傾きを調整するテーブル回転軸傾き調整工程と、該研磨手段がウェーハを研磨する研磨位置に、該テーブル回転軸傾き調整工程において該テーブル回転軸が調整された、該確認治具が配置されている該チャックテーブルを位置づける位置づけ工程と、該チャックテーブルに配置されている該確認治具の該プレートの該測定面に対して、該研磨回転軸が垂直であるか否かを確認する研磨回転軸傾き確認工程と、該研磨回転軸傾き確認工程において、該測定面に対して該研磨回転軸が垂直でないことが確認された場合、該研磨回転軸の傾きを該測定面に対し垂直にする研磨回転軸傾き調整工程と、を備え、該研削回転軸に対し該研磨回転軸を平行にする。
【発明の効果】
【００１６】
本確認治具を用いた回転軸傾き調整方法では、本確認治具をチャックテーブルに取り付けて、本確認治具のプレートにおける平坦な上面を用いて、研磨回転軸の調整が実施される。すなわち、プレートの上面が研削回転軸に対して垂直となるようテーブル回転軸の傾きを調整すること、プレートの上面に対して研磨回転軸が垂直であるか否かを確認すること、および、研磨回転軸の傾きを上面に対して垂直にすること、が実施される。したがって、チャックテーブルを取り外すことなく、研削回転軸と研磨回転軸とが互いに平行であるか否かを確認する傾き確認、および、これらを互いに平行とする傾き調整を実施することができる。これにより、傾き確認および傾き調整の作業性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】研削研磨装置の構成を示す上面図である。
【図２】研削手段の構成を示す説明図である。
【図３】研磨手段の構成を示す説明図である。
【図４】研削軌跡を示す説明図である。
【図５】確認治具の構成を示す斜視図である。
【図６】回転軸傾き調整方法を示す説明図である。
【図７】回転軸傾き調整方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１に示す研削研磨装置２００は、粗研削手段２３０、仕上げ研削手段２３１、研磨手段２３２および制御手段２０１を備え、制御手段２０１による制御によって、いずれかのチャックテーブル２０５上に保持されたウェーハ１００が、粗研削手段２３０、仕上げ研削手段２３１および研磨手段２３２により、研削および研磨される。
【００１９】
研削研磨装置２００では、装置ベース２１０の正面側（−Ｙ方向側）に、第１のカセット１５０および第２のカセット１５１が配置されている。第１のカセット１５０には、加工前のウェーハ１００が収容される。第２のカセット１５１には、加工後のウェーハ１００が収容される。
【００２０】
第１のカセット１５０および第２のカセット１５１の開口（図示せず）は、＋Ｙ方向側を向いている。これらの開口の＋Ｙ方向側には、ロボット１５５が配設されている。ロボット１５５は、加工後のウェーハ１００を第２のカセット１５１に搬入する。また、ロボット１５５は、第１のカセット１５０から加工前のウェーハ１００を取り出して、ウェーハ１００を仮置きするためのテーブルである仮置きテーブル１５２に載置する。
【００２１】
仮置きテーブル１５２の上方には、搬入機構１５３が取り付けられている。搬入機構１５３は、仮置きテーブル１５２に載置されているウェーハ１００を保持し、チャックテーブル２０５の保持面２５０に搬送して載置する。
【００２２】
チャックテーブル２０５は、保持手段の一例であり、ウェーハ１００を保持する保持面２５０を備えている。保持面２５０は、中心を頂点とする円錐面であり、図示しない吸引源に連通されて、ウェーハ１００を吸引保持することが可能である。チャックテーブル２０５は、保持面２５０によってウェーハ１００を保持した状態で、保持面２５０の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸であるテーブル回転軸２５１（図２参照）を中心として回転することにより、保持面２５０を回転させることが可能である。
【００２３】
本実施形態では、装置ベース２１０上に配設されたターンテーブル２０６の上面に、４つのチャックテーブル２０５が、周方向に等間隔を空けて配設されている。ターンテーブル２０６の中心には、ターンテーブル２０６を自転させるための回転軸が配設されている。ターンテーブル２０６は、この回転軸によって、Ｚ軸方向に延びる軸心を中心に自転することができる。ターンテーブル２０６が自転することで、４つのチャックテーブル２０５が公転される。これにより、チャックテーブル２０５を、仮置きテーブル１５２の近傍、粗研削手段２３０の下方である粗研削位置、仕上げ研削手段２３１の下方である仕上げ研削位置、および、研磨手段２３２の下方である研磨位置に、順次、位置づけることができる。
【００２４】
粗研削位置および仕上げ研削位置は、それぞれ、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１によってウェーハ１００を研削することが可能となるような、チャックテーブル２０５の位置である。また、研磨位置は、研磨手段２３２によってウェーハ１００を研磨することが可能となるような、チャックテーブル２０５の位置である。
【００２５】
装置ベース２１０上の後方（＋Ｙ方向側）には、第１のコラム２１２が立設されている。第１のコラム２１２の前面には、ウェーハ１００を粗研削する粗研削手段２３０、および、粗研削手段２３０をＺ軸方向に研削送りする粗研削送り手段２２０が配設されている。粗研削手段２３０は、比較的に大きい砥粒を含む砥石によって、ウェーハ１００を研削する。また、粗研削手段２３０の近傍には、粗研削されているウェーハ１００の厚みを計測する第１厚みセンサ２４０が設けられている。
【００２６】
また、装置ベース２１０上の後方には、第２のコラム２１３が、Ｘ軸方向に沿って第１のコラム２１２に隣接するように立設されている。第２のコラム２１３の前面には、ウェーハ１００を仕上げ研削する仕上げ研削手段２３１、および、仕上げ研削手段２３１をＺ軸方向に研削送りする仕上げ研削送り手段２２１が配設されている。仕上げ研削手段２３１は、比較的に小さな砥粒を含む砥石によって、ウェーハ１００を研削する。また、仕上げ研削手段２３１の近傍には、仕上げ研削されているウェーハ１００の厚みを計測する第２厚みセンサ２４１が設けられている。
【００２７】
装置ベース２１０上の片側（＋Ｘ方向側）には、第３のコラム２１４が立設されている。第３のコラム２１４の前面には、ウェーハ１００の被研削面を研磨する研磨手段２３２、研磨手段２３２をＺ軸方向に研磨送りする研磨送り手段２２２、ならびに、研磨手段２３２および研磨送り手段２２２をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段（図示せず）が配設されている。
【００２８】
研磨後のウェーハ１００は、ウェーハ１００を保持する吸引パッドを備えた搬出機構１５４によって、チャックテーブル２０５から搬出され、スピンナ洗浄ユニット１５６のスピンナテーブル１５７に載置される。
【００２９】
スピンナ洗浄ユニット１５６は、ウェーハ１００を保持するスピンナテーブル１５７、および、スピンナテーブル１５７に向けて洗浄水および乾燥エアを噴射するノズル１５８を備えており、ウェーハ１００を洗浄する。
【００３０】
スピンナ洗浄ユニット１５６によって洗浄されたウェーハ１００は、ロボット１５５により、第２のカセット１５１に搬入される。
【００３１】
図２に、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１の構成を示す。この図２に示すように、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１は、図示しないモータによって回転されるスピンドル３００、スピンドル３００の下端に取り付けられたホイールマウント３０１、および、ホイールマウント３０１の下面に着脱可能に接続された研削ホイール３０３を備えている。
【００３２】
スピンドル３００は、Ｚ軸方向に延びる研削回転軸３５０を中心として回転する。スピンドル３００は、図示しないスピンドルハウジングに保持されており、上述した粗研削送り手段２２０あるいは仕上げ研削送り手段２２１によって、Ｚ軸方向に移動されることが可能である。
【００３３】
ホイールマウント３０１は、円板状に形成されており、スピンドル３００の下端（先端）に固定されている。ホイールマウント３０１は、研削ホイール３０３を支持している。
【００３４】
研削ホイール３０３は、ホイールマウント３０１と略同径を有するように形成されている。研削ホイール３０３は、ホイールマウント３０１に取り付けられているホイール基台３０４を含む。
【００３５】
ホイール基台３０４の下面には、全周にわたって、略直方体形状の複数の研削砥石３０５が、環状に配置および固定されている。この環状の研削砥石３０５は、チャックテーブル２０５の保持面２５０に保持されたウェーハ１００を研削する。粗研削手段２３０の研削砥石３０５は、比較的に大きな砥粒を含む砥石である。一方、仕上げ研削手段２３１の研削砥石３０５は、比較的に小さな砥粒を含む砥石である。研削回転軸３５０は、この環状の研削砥石３０５の中心を通る。すなわち、これら粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１は、環状の研削砥石３０５の中心を通る研削回転軸３５０で研削砥石３０５を回転させてウェーハ１００を研削する研削手段の一例である。
【００３６】
なお、図２に示すように、チャックテーブル２０５には、チャックテーブル２０５のテーブル回転軸２５１の傾きを変更するテーブル回転軸傾き変更手段２５２が取り付けられている。
【００３７】
また、図３に示すように、研磨手段２３２は、図示しないモータによって回転されるスピンドル３１０、スピンドル３１０の下端に取り付けられたホイールマウント３１１、および、ホイールマウント３１１の下面に着脱可能に接続された研磨パッド部材３１３を備えている。
【００３８】
スピンドル３１０は、Ｚ軸方向に延びる研磨回転軸３５１を中心として回転する。スピンドル３１０は、図示しないスピンドルハウジングに保持されており、上述した研磨送り手段２２２によって、Ｚ軸方向に移動されることが可能である。
【００３９】
ホイールマウント３１１は、円板状に形成されており、スピンドル３１０の下端（先端）に固定されている。ホイールマウント３１１は、研磨パッド部材３１３を支持している。
【００４０】
研磨パッド部材３１３は、ホイールマウント３１１に取り付けられているホイール基台３１４と、ホイール基台３１４の下面に接着される研磨パッド３１５とを備えている。この研磨パッド３１５は、環状円板状に形成されており、その下面は、チャックテーブル２０５の保持面２５０の直径よりも大きい外径の研磨面となっている。研磨パッド３１５の下面がウェーハ１００に接触することにより、ウェーハ１００が研磨される。
【００４１】
研磨回転軸３５１は、この環状円板状の研磨パッド３１５の中心を通る。すなわち、研磨手段２３２は、環状円板の研磨パッド３１５の中心を通る研磨回転軸３５１で研磨パッド３１５を回転させる。
【００４２】
また、本実施形態では、研磨手段２３２は、研磨回転軸調整機構２５３を備えている。研磨回転軸調整機構２５３は、スピンドル３１０の傾きを調整することにより、研磨手段２３２における研磨回転軸３５１の傾きを調整する機能を有している。
【００４３】
本実施形態における研削加工では、図４に示すように、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１の研削砥石３０５を、チャックテーブル２０５の保持面２５０に保持されたウェーハ１００の中心を通るように位置づける。そして、環状の研削砥石３０５を、研削回転軸３５０を中心として回転させるとともに、保持面２５０の中心であるテーブル回転軸２５１を軸に、チャックテーブル２０５を回転させる。この状態で、保持面２５０に保持されたウェーハ１００に研削砥石３０５を接触させて、ウェーハ１００を研削する。なお、図４では、環状の研削砥石３０５を、その外径を表す円を用いて簡略化して示している。
【００４４】
ここで、チャックテーブル２０５の保持面２５０は、図２に示したように、保持面２５０の中心を頂点とする円錐面として形成されている。したがって、研削加工では、円錐面である保持面２５０の半径斜面に研削砥石３０５を接触させることによって、ウェーハ１００を研削する。このため、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１では、ウェーハ１００上に、図４に示すような研削軌跡２５５が形成される。
【００４５】
また、研磨加工では、図４に示すように、保持面２５０の直径よりも大きい外径の研磨パッド３１５を、保持面２５０に保持されたウェーハ１００の全面を覆うように位置づける。そして、研磨パッド３１５を、研磨回転軸３５１を中心として回転させるとともに、保持面２５０の中心であるテーブル回転軸２５１を軸に、チャックテーブル２０５を回転させる。この状態で、保持面２５０に保持されたウェーハ１００に研磨パッド３１５を接触させて、ウェーハ１００を研磨する。なお、図４では、研磨パッド３１５を、その外径を表す円を用いて簡略化して示している。
【００４６】
以下に、本実施形態にかかる回転軸傾き調整方法について説明する。この回転軸傾き調整方法では、粗研削手段２３０および仕上げ研削手段２３１の研削回転軸３５０と、研磨手段２３２の研磨回転軸３５１とが平行であるか否かを確認するとともに、研削回転軸３５０に対し研磨回転軸３５１を平行に調整する。
【００４７】
まず、図５に、この方法を実施するために用いられる確認治具１を示す。この確認治具１は、研削回転軸３５０と研磨回転軸３５１とが互いに平行であることを確認するための治具である。
【００４８】
図５に示すように、確認治具１は、測定面としての上面１２を有するプレート１１と、プレート１１の下面１３に配置され、測定面としての上面１２の中心を囲む３つの外周接触部１５と、を備えている。
【００４９】
外周接触部１５は、その先端に段部１６を備えている。これに関し、図６に示すように、確認治具１では、各外周接触部１５の段部１６を、チャックテーブル２０５における保持面２５０の外周（保持面２５０の外側の部分）に係合させることができる。そして、プレート１１は、このように保持面２５０の外周に外周接触部１５を接触させることによって、保持面２５０を覆うように構成されている。
【００５０】
次に、回転軸傾き調整方法の各工程について説明する。
【００５１】
［治具配置工程］
この工程では、１つのチャックテーブル２０５に対して、確認治具１を配置する。すなわち、図６に示すように、外周接触部１５の段部１６をチャックテーブル２０５における保持面２５０の外周に係合させることにより、保持面２５０の外周に外周接触部１５を接触させて、プレート１１によって保持面２５０を覆う。
【００５２】
［テーブル回転軸傾き調整工程］
この工程では、プレート１１の上面１２が研削回転軸３５０に対して垂直となるよう、テーブル回転軸２５１の傾きを調整する。
【００５３】
この工程では、まず、図６に示すように、粗研削手段２３０あるいは仕上げ研削手段２３１における研削ホイール３０３のホイール基台３０４に、上面高さ測定器２０を取り付ける。
【００５４】
上面高さ測定器２０は、ダイヤルゲージ型の測定器であり、円柱状の基体２１を備えている。基体２１は、研削回転軸３５０に沿うように、ホイール基台３０４の下面の中心に取り付けられている。これにより、上面高さ測定器２０は、全体として、ホイール基台３０４の回転とともに、研削回転軸３５０を中心に回転することが可能となっている。
【００５５】
さらに、上面高さ測定器２０は、基体２１から水平方向に延びるアーム２２、および、アーム２２に対して上下動可能に取り付けられた測定子２３を備えている。測定子２３は、被測定物に接触して、被測定物の高さの変化に応じて上下方向に動くように構成されている。
【００５６】
テーブル回転軸傾き調整工程では、図６に示すように、上面高さ測定器２０の測定子２３を、チャックテーブル２０５に取り付けられた確認治具１のプレート１１における上面１２に接触させる。この状態で、スピンドル３００を回転させることにより、研削回転軸３５０を中心にホイール基台３０４を回転させる。これにより、測定子２３が、プレート１１の上面１２に接触した状態で、研削回転軸３５０の軸周りに周回される。
【００５７】
そして、制御手段２０１（図１参照）は、ホイール基台３０４が回転しても、測定子２３によって測定される上面１２の高さが実質的に変化しなくなるように、テーブル回転軸傾き変更手段２５２を制御して、チャックテーブル２０５のテーブル回転軸２５１を調整する。これにより、プレート１１の上面１２が、研削回転軸３５０に対して垂直な状態となる。
【００５８】
［位置づけ工程］
この工程では、テーブル回転軸傾き調整工程においてテーブル回転軸２５１が調整された、確認治具１が配置されているチャックテーブル２０５を、研磨手段２３２がウェーハ１００を研磨する研磨位置に位置づける。
【００５９】
［研磨回転軸傾き確認工程］
この工程では、チャックテーブル２０５に配置されている確認治具１のプレート１１の上面１２に対して、研磨手段２３２の研磨回転軸３５１が垂直であるか否かを確認する。
【００６０】
まず、図７に示すように、研磨手段２３２のホイール基台３１４に、上述した上面高さ測定器２０を取り付ける。上面高さ測定器２０の基体２１は、研磨回転軸３５１に沿うように、ホイール基台３１４の下面の中心に取り付けられている。これにより、上面高さ測定器２０は、全体として、ホイール基台３１４の回転とともに、研磨回転軸３５１を中心に回転することが可能となっている。
【００６１】
研磨回転軸傾き確認工程では、図７に示すように、上面高さ測定器２０の測定子２３を、チャックテーブル２０５に取り付けられた確認治具１のプレート１１における上面１２に接触させる。この状態で、スピンドル３１０を回転させることにより、研磨回転軸３５１を中心にホイール基台３１４を回転させる。これにより、測定子２３が、プレート１１の上面１２に接触した状態で、研磨回転軸３５１の軸周りに周回される。なお、このとき、プレート１１の上面１２は、図６に示した研削回転軸３５０に対して垂直な状態となっている。
【００６２】
そして、制御手段２０１は、ホイール基台３１４の回転に応じて、測定子２３によって測定される上面１２の高さが実質的に変化するか否か、を確認する。
【００６３】
制御手段２０１は、測定子２３によって測定される上面１２の高さが実質的に変化しないと判断した場合、上面１２に対して研磨回転軸３５１が垂直であり、かつ、研削回転軸３５０と研磨回転軸３５１とは、互いに平行であると判断する。
【００６４】
一方、制御手段２０１は、測定子２３によって測定される上面１２の高さが実質的に変化していると判断した場合、上面１２に対して研磨回転軸３５１が垂直ではなく、研削回転軸３５０と研磨回転軸３５１とは、互いに平行な状態にはない、と判断する。この場合、以下の研磨回転軸傾き調整工程が実施される。
【００６５】
［研磨回転軸傾き調整工程］
この工程では、研磨回転軸傾き確認工程において確認治具１のプレート１１における上面１２に対して研磨回転軸３５１が垂直でないことが確認された場合、研磨回転軸３５１の傾きを上面１２に対して垂直にする。
【００６６】
この工程では、制御手段２０１が、図７に示した研磨回転軸調整機構２５３を制御して、ホイール基台３１４が回転しても、測定子２３によって測定される上面１２の高さが実質的に変化しなくなるように、研磨手段２３２の研磨回転軸３５１を調整する。これにより、研磨回転軸３５１の傾きがプレート１１の上面１２に対して垂直になるとともに、研削回転軸３５０と研磨回転軸３５１とが互いに平行となる。
【００６７】
以上のように、本実施形態では、確認治具１をチャックテーブル２０５に取り付けて、確認治具１のプレート１１における平坦な上面１２を用いて、研磨回転軸３５１の調整が実施される。すなわち、上面１２が研削回転軸３５０に対して垂直となるようテーブル回転軸２５１の傾きを調整すること、上面１２に対して研磨回転軸３５１が垂直であるか否かを確認すること、および、研磨回転軸３５１の傾きを上面１２に対して垂直にすること、が実施される。
【００６８】
このように、本実施形態では、チャックテーブル２０５を取り外すことなく、研削回転軸３５０と研磨回転軸３５１とが互いに平行であるか否かを確認する傾き確認、および、これらを互いに平行とする傾き調整を実施することができる。これにより、傾き確認および傾き調整の作業性を向上することができる。
【００６９】
なお、本実施形態では、確認治具１が、３つの外周接触部１５を有している。これに関し、確認治具１は、少なくとも３つの外周接触部１５を有していればよく、４つ以上の外周接触部１５を有していてもかまわない。
【符号の説明】
【００７０】
１：確認治具、
１１：プレート、１２：上面、１３：下面、１５：外周接触部、１６：段部、
２０：上面高さ測定器、２１：基体、２２：アーム、２３：測定子、
１００：ウェーハ、
２００：研削研磨装置、
１５０：第１のカセット、１５１：第２のカセット、１５２：仮置きテーブル、
１５３：搬入機構、１５４：搬出機構、１５５：ロボット、
２０１：制御手段、
２０６：ターンテーブル、２０５：チャックテーブル、２５０：保持面、
２５１：テーブル回転軸、２５２：テーブル回転軸傾き変更手段、
２２０：粗研削送り手段、２３０：粗研削手段、
２２１：仕上げ研削送り手段、２３１：仕上げ研削手段、２５５：研削軌跡、
３００：スピンドル、３０１：ホイールマウント、３０３：研削ホイール、
３０４：ホイール基台、３０５：研削砥石、３５０：研削回転軸、
２２２：研磨送り手段、２３２：研磨手段、２５３：研磨回転軸調整機構、
３１０：スピンドル、３１１：ホイールマウント、３１３：研磨パッド部材、
３１４：ホイール基台、３１５：研磨パッド、３５１：研磨回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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