(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄の中断やサンプリングバッグの破裂等を防ぎ、安定してサンプリングバッグを洗浄することのできるサンプリングバッグ用自動洗浄装置を提供する。【解決手段】サンプリングバッグ用自動洗浄装置は、洗浄用ガスを供給用配管を通じてサンプリングバッグに供給するガス供給手段と、サンプリングバッグ内のガスを排出用配管を通じて排出するガス排出手段と、ガス供給手段、ガス排出手段の動作を制御し、サンプリングバッグの洗浄動作を順次実行する制御部と、を有する。供給用配管のガス供給弁よりもサンプリングバッグ側、又は、排出用配管のガス排出弁よりもサンプリングバッグ側に設けられた、供給用配管内又は排出用配管内の圧力が所定値以上の時に開となる圧力逃がし弁を有する。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
洗浄用ガスを供給用配管を通じてサンプリングバッグに供給するガス供給手段と、サンプリングバッグ内のガスを排出用配管を通じて排出するガス排出手段と、前記ガス供給手段、前記ガス排出手段の動作を制御し、前記サンプリングバッグの洗浄動作を順次実行する制御部と、を有するサンプリングバッグ用自動洗浄装置であって、
前記供給用配管のガス供給弁よりもサンプリングバッグ側、又は、前記排出用配管のガス排出弁よりもサンプリングバッグ側に設けられた、前記供給用配管内又は前記排出用配管内の圧力が所定値以上の時に開となる圧力逃がし弁を有することを特徴とするサンプリングバッグ用自動洗浄装置。
【請求項２】
前記圧力逃がし弁は、前記供給用配管又は前記排出用配管の外周に設けた環状溝の底部に設けた通気孔と、該環状溝に装着した、弾性部材から成るＯリングで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のサンプリングバッグ用自動洗浄装置。
【請求項３】
内管と外管とからなる内外二重構造の取付具を備え、
前記排出用配管は前記取付具の内管を通して前記サンプリングバッグに接続され、前記供給用配管は前記取付具の外管を通して前記サンプリングバッグに接続され、
前記圧力逃がし弁が該取付具の外管の外周に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のサンプリングバッグ用自動洗浄装置。
【請求項４】
前記圧力逃がし弁は、前記取付具の外管の外周に設けた環状溝の底部に設けた通気孔と、該環状溝に装着した、弾性部材から成るＯリングで構成されていることを特徴とする請求項３に記載のサンプリングバッグ用自動洗浄装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、環境分析や自動車部品の分析等の用途で使用されるサンプリングバッグの自動洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シックカー症候群は、自動車の内装材や車内に取り付けられる部品から放散される揮発性有機化合物（Volatile Organic Compounds; ＶＯＣ）やホルムアルデヒド等の化学物質が車内に充満することにより引き起こされる。このような化学物質の放散を低減するために、どの内装材や部品からどのような成分がどれだけ車内に放散されるかを分析することが、近年、重要になってきている。
【０００３】
この種の分析では、フッ素樹脂やポリエチレン等の樹脂製のサンプリングバッグ内に内装材や部品等のサンプルを封入し、サンプリングバッグごとサンプルを加熱することにより、サンプルからガスを放散させ、これによりサンプリングバッグ内に溜まったガスをクロマトグラフ分析や質量分析等により測定するという方法が多く用いられている。
【０００４】
この方法では、サンプルから放散されるガスとは別のガスがサンプリングバッグ内に存在していたり、サンプリングバッグ自体からガスが放散されたりすると、サンプルから放散されるガスを正確に測定することができない。そこで、サンプリングバッグからこれらのガスを取り除くための洗浄処理が、予め行われる。サンプリングバッグの洗浄は、以下のように行われる。まず、窒素等の洗浄用ガスをサンプリングバッグに充填する。次に、洗浄用ガスが充填されたサンプリングバッグを、恒温槽内にて一定時間、一定温度で加熱し、サンプリングバッグ自体からのガスの放散を促進させる。その後、サンプリングバッグ内を吸引することにより、サンプリングバッグ内から洗浄用ガスと共に、サンプリングバッグ内に存在していたガスやサンプリングバッグ自体から放散されたガスを排出する。必要に応じて、以上の一連の工程を繰り返す。
【０００５】
例えば特許文献１に、上記工程を自動で行うサンプリングバッグ用自動洗浄装置が記載されている。このサンプリングバッグ用自動洗浄装置は、洗浄用ガスを恒温槽内のサンプリングバッグに供給するガス供給手段と、サンプリングバッグ内のガスを排出するガス排出手段と、装置各部の動作を制御する制御部と、を備えている。ユーザは、加熱時間（洗浄用ガスを供給してから排出するまでの時間）、サンプリングバッグへの洗浄用ガスの供給量（又はサンプリングバッグの容量）、繰り返し回数等の条件を設定するようになっており、制御部は設定された条件に従って、ガス供給手段およびガス排出手段を動作させる。これによりサンプリングバッグを洗浄するための各工程が順次実行される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１９６８２９号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、ユーザが誤って洗浄用ガスの供給量を多く設定してしまった場合、洗浄用ガスが過剰にサンプリングバッグに供給され、サンプリングバッグ内の圧力が過度に上昇してしまう。また、恒温槽内で加熱されることによりサンプリングバッグ内に充填されたガスが膨張し、サンプリングバッグの内部圧力は更に上昇する。これにより、供給用配管とサンプリングバッグの接続が外れて洗浄が中断されたり、更にはサンプリングバッグが内部圧力の上昇に耐えきれずに破裂したりするという問題があった。
【０００８】
本考案が解決しようとする課題は、洗浄の中断やサンプリングバッグの破裂等を防ぎ、安定してサンプリングバッグを洗浄することのできるサンプリングバッグ用自動洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために成された本考案は、
洗浄用ガスを供給用配管を通じてサンプリングバッグに供給するガス供給手段と、サンプリングバッグ内のガスを排出用配管を通じて排出するガス排出手段と、前記ガス供給手段、前記ガス排出手段の動作を制御し、前記サンプリングバッグの洗浄動作を順次実行する制御部と、を有するサンプリングバッグ用自動洗浄装置であって、
前記供給用配管のガス供給弁よりもサンプリングバッグ側、又は、前記排出用配管のガス排出弁よりもサンプリングバッグ側に設けられた、前記供給用配管内又は前記排出用配管内の圧力が所定値以上の時に開となる圧力逃がし弁を有することを特徴とする。
【００１０】
本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、供給用配管のガス供給弁よりもサンプリングバッグ側、又は、前記排出用配管のガス排出弁よりもサンプリングバッグ側に圧力逃がし弁を設けたことにより、サンプリングバッグ内の圧力が所定値以上になると、サンプリングバッグ内のガスが圧力逃がし弁を通して逃げる。この所定値は、予め、供給用配管や排出用配管とサンプリングバッグの接続部の耐圧、及び、サンプリングバッグ自体の耐圧よりも低い値に設定しておく。これにより、誤って過剰量の洗浄用ガスが供給されることによりサンプリングバッグ内の圧力が過大となっても、供給用配管や排出用配管とサンプリングバッグの接続が外れたり、サンプリングバッグが破裂したりすることが防止される。
【００１１】
前記圧力逃がし弁は、供給用配管又は排出用配管の外周に設けた環状溝の底部に設けた通気孔と、該環状溝に装着した、弾性部材から成るＯリングで構成することができる。前記弾性部材には、フッ素樹脂系のゴムを好適に用いることができる。
【００１２】
本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置は、恒温槽等の加熱手段でサンプリングバッグを加熱し、該サンプリングバッグ自体からのガスの放散を促進させるようにしても良い。この場合、本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置がサンプリングバッグを加熱する加熱手段を備えていても良いが、自動洗浄装置とは別に設けられた加熱手段を利用してもよい。
【００１３】
洗浄用ガスが充填されたサンプリングバッグを加熱手段で加熱する際に加熱時間や加熱温度の設定を誤ってしまった場合、サンプリングバッグ内のガスが過度に膨張することがあるが、このような場合にもサンプリングバッグ内のガスを圧力逃がし弁を通して逃がすことができる。
【００１４】
なお、サンプリングバッグによってはガス供給口とガス排出口が１つになっているものがある。このような場合は、内管と外管とからなる内外二重構造の取付具を用い、前記排出用配管を、前記取付具の内管を通して前記サンプリングバッグに接続し、前記供給用配管を、前記取付具の外管を通して前記サンプリングバッグに接続し、前記圧力逃がし弁を該取付具の外管の外周に設けるという構成を用いることができる。
【００１５】
排出用配管の途中には、洗浄用ガス以外のガスを捕集する捕集管を設けることが望ましい。この捕集管に捕集されたガスを分析することにより、どのような成分がサンプリングバッグに残留していたかを調べたり、サンプリングバッグが十分に洗浄されたか否かを確認したりすることができる。また、上記加熱手段を用いてサンプリングバッグを加熱する場合、加熱によって気化した物質が、洗浄用ガスと共に排出用配管を通過するうちに温度が低下して凝縮すると、上記分析を正確に行うことができなくなる。従って、このような場合には、排出用配管と捕集管の間に、排出用配管を保温する保温手段を設けることが望ましい。なお、排出用配管の保温は、排出用配管を保温材で覆うことにより行っても良いし、ヒータ等で加熱することにより行っても良い。
【考案の効果】
【００１６】
本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置によれば、洗浄用ガスがサンプリングバッグに過剰に供給される等によりサンプリングバッグ内の圧力が大きく上昇しても、供給用配管とサンプリングバッグの接続が外れたり、サンプリングバッグが破裂したりすることがない。そのため、装置を安定的に動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置を用いたサンプリングバッグ洗浄システムの一実施例を示す概略構成図。
【図２】圧力逃がし弁が設けられた取付具の構成を示す概略構成図であり、(a)は該取付具からＯリングを外した状態を示す図、(b)は該取付具に供給用配管及び排出用配管を接続し、Ｏリングを装着した状態を示す図、(c)は(b)の縦断面図、(d)は(c)のＡ−Ａ’線における圧力逃がし弁近傍の縦断面図。
【図３】サンプリングバッグへのガスの供給が開始される状態を示す説明図(a)、取付具に設けられた圧力逃がし弁からガスがリークする状態を示す説明図(b)、及び、サンプリングバッグからガスが排出される状態を示す説明図(c)。
【図４】サンプリングバッグのガス供給口とガス排出口が異なる場合の供給用配管及び排出用配管の接続例を示す図。
【図５】サンプリングバッグ洗浄システムの変形例を示す概略構成図。
【図６】排出用配管に捕集管を着脱する捕集管着脱部の構成を示す概略図であり、(a)は捕集管を排出用配管に装着する前の状態を示す上面図、(b)は(a)のＢ−Ｂ’線における縦断面図、(c)は捕集管を排出用配管に装着した状態を示す上面図、(d)は(c)のＣ−Ｃ’線における縦断面図。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
本考案に係るサンプリングバッグ用自動洗浄装置を用いたサンプリングバッグ洗浄システムの一実施例を、図１〜図４を参照して説明する。図１は、本実施例のサンプリングバッグ洗浄システムの概略構成図である。このサンプリングバッグ洗浄システムはサンプリングバッグ用自動洗浄装置とサンプリングバッグ加熱手段からなる。サンプリングバッグ用自動洗浄装置は、大別して、供給用配管３を通じて洗浄用ガスをサンプリングバッグ６に供給するガス供給手段と、サンプリングバッグ６内のガスを排出用配管７を通じて排出するガス排出手段と、前記ガス供給手段、前記ガス排出手段、前記排出用配管加熱手段の動作を制御し、サンプリングバッグ６の洗浄動作を順次実行する制御部１６を有する。
【００１９】
ガス供給手段は、窒素（Ｎ２）等の洗浄用ガスの供給源であるガス供給源１と、供給用配管３に設けられた、ガス供給源１から供給される洗浄用ガスの流量を一定に保つマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２と、ＭＦＣ２より下流側の供給用配管３に設けられたガス供給弁（ソレノイドバルブ）４を備える。
【００２０】
サンプリングバッグ加熱手段は、サンプリングバッグ６を収容する恒温槽１１と、恒温槽１１内を加熱するヒータ１２と、恒温槽１１内の温度を測定する温度センサ１３と、ヒータ１２に流す加熱電流を調整する温調部１４を備える。
【００２１】
ガス排出手段は、排出用配管７を通してサンプリングバッグ６内のガスを吸引する真空ポンプ１５と、排出用配管７に設けられたガス排出弁（ソレノイドバルブ）８と、ガス排出弁８の下流側の排出用配管７に設けられた、サンプリングバッグ６から吸引されるガスの流量を検出するマスフローメータ（ＭＦＭ）１０を備える。
【００２２】
また、ガス排出弁８とＭＦＭ１０の間の排出用配管７には、活性炭等の吸着剤が充填された捕集管９が着脱可能に設けられている。
【００２３】
恒温槽１１の外部且つ捕集管９の上流の排出用配管７には、排出用配管７を温調するテープヒータ１８が該排出用配管７に巻き付けられている。このテープヒータ１８が、上記保温手段に相当する。なお、保温手段は、テープヒータ１８に限らず、排出用配管７を保温することができるものであれば、どのようなものであっても良い。例えば、排出用配管７を断熱チューブや保温チューブ等でカバーする形態であっても良い。
【００２４】
供給用配管３と排出用配管７は、取付具５を介してサンプリングバッグ６に接続される。この取付具５には、本考案の特徴的な構成である圧力逃がし弁が備わっている。図２は、取付具５と該取付具５に設けられた圧力逃がし弁の構成を示す概略図である。取付具５は第１開口２１と第２開口２２と第３開口２３の３つの開口を有するＴ字状の内部通路２４を有しており（図２(a)中の破線）、その第１開口２１において供給用配管３が、内部通路２４に導通するように接続されている（図２(b)及び(c)）。また、排出用配管７は端部が第３開口２３の端面に位置するように第２開口２２側から内部通路２４に挿入されている（図２(b)〜(d)）。このように供給用配管３及び排出用配管７を取付具５に接続することにより、取付具５の第２開口２２と第３開口２３の間では、排出用配管７を内管とし、内部通路２４を外管とする二重管構造となる。上記のように第１開口２１において供給用配管３が、内部通路２４に導通するように接続されているため、外管側からは供給用配管３を通して洗浄用ガスが供給される。
【００２５】
取付具５の第３開口２３は、タイゴン（登録商標）チューブ３０を介してサンプリングバッグ６の接続口１７と接続される（図３）。供給用配管３及び排出用配管７は、キャップ２８によりそれぞれ第１開口２１と第２開口２２に固定される。また、第１開口２１と第２開口２２は、供給用配管３とキャップ２８の間、キャップ２８と取付具５の間、排出用配管７と内部通路２４の壁面の間に設けられたシール部材２９によりシールされている。（図２(c)）。
【００２６】
取付具５の外周には環状溝２５が設けられている。また、取付具５には内部通路２４と該環状溝２５の底面を連通する通気孔２６が設けられている（図２(a)〜(d)）。環状溝２５には、フッ素樹脂系のゴム（例えばバイトン（登録商標））で構成されるＯリング２７が装着される（図２(b)〜(d)）。
【００２７】
本実施例において、供給用配管３から供給される洗浄用ガスは、取付具５の内部通路２４を通してサンプリングバッグ６に送られる（図２(c)）。サンプリングバッグ６の内部圧力が低い状態では、Ｏリング２７は自らの弾性力により通気孔２６をシールするため、取付具５の内部通路２４と外部を連通する通気孔２６からガスが流出することが妨げられる（図３(a)）。しかしながら、洗浄用ガスの過剰供給等により、サンプリングバッグ６の内部圧力が所定値以上になると、Ｏリング２７が変形して通気孔２６から押し上げられ、通気孔２６からガスがリークする（図３(b)）。
【００２８】
Ｏリング２７には、取付具５とサンプリングバッグ６の接続部の耐圧、及び、サンプリングバッグ６自体の耐圧よりも低い圧力で通気孔２６からガスがリークするように弾性率が調整された材料のものを用いる。これにより、誤って過剰量の洗浄用ガスが供給されたり、加熱によりサンプリングバッグ６内のガスが膨張して圧力が過大となっても、取付具５とサンプリングバッグ６の接続が外れたり、サンプリングバッグ６が破裂したりすることが防止される。
【００２９】
サンプリングバッグ６内のガスを排出する際には、ガスは取付具５の内部通路２４を通らずに直接、排出用配管７を通して排出される（図３(c)）。従って、取付具５の内部通路２４がサンプリングバッグ６自体から放散されるガスによって汚染されることがなく、取付具５を清浄に保つことができる。これにより、あるサンプリングバッグの洗浄が終了し、次のサンプリングバッグの洗浄を行う際に、取付具５を逐一交換する必要がなくなる。
【００３０】
以下、本実施例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置によるサンプリングバッグの洗浄動作について説明する。なお、恒温槽１１内の温度は既に、温度センサ１３から出力される検出信号に基づき温調部１４がヒータ１２を制御することによって、所定の温度に加熱されているものとする。
【００３１】
制御部１６は、まず、テープヒータ１８の加熱を開始し、排出用配管７を十分に（例えば恒温槽１１内の温度と同程度に）温める。ガス供給弁４及びガス排出弁８は、初期の状態では共に閉鎖されている。制御部１６は、この状態から、まずガス供給弁４を開放すると共に、ＭＦＣ２を制御して、洗浄用ガスを所定の流量に調整する。そして、洗浄用ガスの供給量がユーザにより設定された値に達すると、制御部１６はガス供給弁４を閉鎖して、洗浄用ガスの供給を中断する。
【００３２】
なお、洗浄用ガスの供給量が設定値に達したか否かの判断は、例えば、供給量の設定値を流量で除すことによって、該設定値まで洗浄用ガスが供給されるのに必要な時間を算出し、該算出した時間を制御部１６が計時することにより行うことができる。
【００３３】
ガス供給弁４を閉鎖した後、ユーザにより設定された加熱時間が経過すると、制御部１６は、ガス排出弁８を開放すると共に、真空ポンプ１５を駆動させる。これにより、サンプリングバッグ６内のガスが、排出用配管７を通じて吸引される。排出用配管７はテープヒータ１８により恒温槽１１内と同程度の温度に加熱されているため、ガスが排出用配管７を通過する間に、該ガスの温度は低下しない。従って、サンプリングバッグ６を加熱することにより、サンプリングバッグ６内で気化した物質は、途中で凝縮することなく捕集管９まで到達し、ここで捕集される。
【００３４】
ＭＦＭ１０は排出用配管７を通過するガスの流量を測定し、測定結果を制御部１６に送る。制御部１６は、測定されたガスの流量が予め設定された閾値以下になった時点で真空ポンプ１５の駆動を停止し、ガス排出弁８を閉鎖する。
【００３５】
以上の一連の動作により、サンプリングバッグ６の１回の洗浄動作が終了する。ここで、洗浄動作の繰り返し回数が２回以上に設定されていれば、上記の洗浄動作を設定された回数だけ繰り返す。これにより、サンプリングバッグ６の全ての洗浄動作が終了する。
【００３６】
サンプリングバッグ６のガス供給口とガス排出口が異なる（接続口１７が２つある）場合、供給用配管３と排出用配管７は、取付具５を介さずにそれぞれの口に接続すれば良い。この場合、圧力逃がし弁は、図４(a)に示すように供給用配管３に設けても良いし、図４(b)に示すように排出用配管７に設けても良い。また、一方の口をキャップ等により閉ざし、もう一方の口に取付具５を介して供給用配管３と排出用配管７をサンプリングバッグ６に接続しても良い。
【００３７】
洗浄後は、捕集管９を排出用配管７から取り外し、熱脱離装置により捕集管９に捕集されたガス成分を脱離させる。そして、該ガス成分をクロマトグラフ装置や質量分析装置等の分析装置に送り、分析する。これにより、どのような成分がサンプリングバッグに残留していたかを調べることができる。捕集管９はまた、以下の用途にも用いることができる。例えば所定回数の洗浄動作が終了した後に捕集管９を新しいものに取り替え、洗浄動作をもう１回行う。そして、新しい捕集管９に捕集されたガス成分を、クロマトグラフ装置や質量分析装置で分析する。これにより、サンプリングバッグ６内が十分に洗浄されたか（すなわち、サンプリングバッグ６内から余分な成分が検出されないか）を確認することができる。
【００３８】
なお、上記実施例では１枚のサンプリングバッグを対象に洗浄を行ったが、図５に示すように、複数のサンプリングバッグ（図中では３枚）を同時に洗浄する構成とすることもできる。以下、複数のサンプリングバッグを洗浄する場合の動作について説明する。なお、図５に示す変形例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、説明の簡単化のため、排出用配管に保温手段を設けていないが、もちろん、本変形例においても保温手段を設けても良い。また、上記実施例と同様、恒温槽１１内は既にヒータ１２によって所定の温度に加熱されているものとする。
【００３９】
図５に示すサンプリングバッグ洗浄システムでは、恒温槽１１内に３つのサンプリングバッグ６Ａ、６Ｂ、６Ｃが収容されている。これに対応して、本変形例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、ＭＦＣ２の下流で供給用配管が３つに分岐しており、ガス供給弁が、分岐した後の供給用配管３Ａ、３Ｂ、３Ｃにそれぞれ設けられている（図中の４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）。供給用配管３Ａ、３Ｂ、３Ｃは、圧力逃がし弁が設けられた取付具５を介して、サンプリングバッグ６Ａ、６Ｂ、６Ｃにそれぞれ接続されている。各取付具５にはまた、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃがそれぞれ接続されている。
【００４０】
ガス排出弁は、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃのそれぞれに設けられている。これらガス排出弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃの下流で、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃが合流している。この合流点とガス排出弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃの間の排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃには、捕集管着脱部４０により捕集管９がそれぞれ接続されている。また、合流点の下流には、ＭＦＭ１０が設けられている。
【００４１】
ガス供給弁４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、ガス排出弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃは、初期状態ではすべて閉鎖されている。制御部１６は、まず、ガス供給弁４Ａを開放すると共にＭＦＣ２を制御して、サンプリングバッグ６Ａに、該サンプリングバッグ６Ａに対して設定された量の洗浄用ガスを供給する。それが終了すると、ガス供給弁４Ａを閉鎖し、次にガス供給弁４Ｂを開放して、サンプリングバッグ６Ｂに、該サンプリングバッグ６Ｂに対して設定された量の洗浄用ガスを供給する。それが終了すると、ガス供給弁４Ｂを閉鎖し、ガス供給弁４Ｃを開放して、サンプリングバッグ６Ｃに、該サンプリングバッグ６Ｃに対して設定された量の洗浄用ガスを供給する。それが終了すると、ガス供給弁４Ｃを閉鎖する。
【００４２】
恒温槽１１内で所定の時間、サンプリングバッグ６Ａ、６Ｂ、６Ｃを加熱した後は、ガス排出弁８Ａを開放し、真空ポンプ１５を駆動させて、サンプリングバッグ６Ａ内のガスを吸引する。そして、ＭＦＭ１０により、サンプリングバッグ６Ａから吸引されるガスの流量を測定する。この流量が所定の閾値以下になった時点で、制御部１６は、真空ポンプ１５を停止し、ガス排出弁８Ａを閉鎖する。次に、ガス排出弁８Ｂを開放し、真空ポンプ１５を駆動させて、サンプリングバッグ６Ｂ内のガスを吸引する。そして、ＭＦＭ１０により測定された流量が所定値以下になった時点で、制御部１６により真空ポンプ１５を停止させると共に、ガス排出弁８Ｂを閉鎖する。最後に、ガス排出弁８Ｃを開放し、真空ポンプ１５を駆動させることにより、サンプリングバッグ６Ｃ内のガスを吸引する。そして、ＭＦＭ１０により測定された流量が所定値以下になった時点で、制御部１６により真空ポンプ１５を停止させると共に、ガス排出弁８Ｃを閉鎖する。
【００４３】
以上で、１回目の洗浄動作が終了する。複数回の洗浄動作が設定されている場合は、上記の動作を設定された回数だけ繰り返す。
【００４４】
図６は、本変形例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置における捕集管着脱部４０の構成を示す上面図及び縦断面図である。この捕集管着脱部４０は、レール４４上に設けられた、活性炭等の吸着剤４７が充填された捕集管９が載置される載置台４３と、レール４４を挟んで対向する第１支持台４１及び第２支持台４２を有する。
【００４５】
載置台４３及び第２支持台４２はそれぞれ、レール４４に沿ってスライド可能である。また、第１支持台４１と第２支持台４２のそれぞれには、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃに対応する貫通孔４５が３つ設けられており、該３つの貫通孔４５の両端にはＯリング４６がそれぞれ装着されている。また、第１支持台４１と第２支持台４２の各貫通孔４５には、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃの上流側と下流側がそれぞれ接続され、上記Ｏリング４６により接続部がシールされている。
【００４６】
捕集管９を排出用配管に接続する方法を説明する。まず、第１支持台４１と第２支持台４２の間の距離を、捕集管９の長手方向の長さ以上に離した状態で、捕集管９を載置台４３上に載置する（図６(a)及び(b)）。この状態から第２支持台４２をレール４４に沿って第１支持台４１側にスライドさせると、第２支持台４２によって捕集管９が押され、捕集管９の一方の端部が第１支持台４１側の貫通孔４５の開口に導かれ、もう一方の端部が第２支持台４２側の貫通孔４５の開口に導かれ、捕集管９が各開口に装着されたＯリング４６に嵌合される（図６(c)及び(d)）。これにより、捕集管９が排出用配管に接続されると共に、捕集管９と排出用配管の接続部がＯリング４６によってシールされる。この構成により、本変形例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、捕集管９を排出用配管から容易に着脱することができる。
【００４７】
なお、ガス成分を吸着させる必要がない場合は、吸着剤４７が充填されていない、捕集管９と同形の管を捕集管着脱部４０にセットすれば良い。
【００４８】
捕集管９は、熱脱離装置に使用される捕集管と同形であることが望ましい。熱脱離装置は、サンプリングバッグを用いたＶＯＣの検査に用いられることが多く、サンプリングバッグ用自動洗浄装置の近くに配設されていることが多い。そのため、同形とすることにより、サンプリングバッグ用自動洗浄装置から取り出した捕集管９をそのまま熱脱離装置に取り付けることができる。捕集管９には、例えば熱脱離装置で最も多く採用される外径１／４インチ、長さ８９ｍｍの管を採用することができる。
熱脱離装置により吸着剤から脱離された成分は、該熱脱離装置に接続されたクロマトグラフ装置や質量分析装置等の分析装置に送られ、分析される。
【００４９】
なお、本変形例のサンプリングバッグ用自動洗浄装置では、捕集管９を、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃの各流路にそれぞれ設けているが、これは、サンプリングバッグ６Ａ、６Ｂ、６Ｃの各々からどのような成分が検出されるかを、洗浄が終了した後にクロマトグラフ装置や質量分析装置等の分析装置により分析するためである。このような個別の分析を必要としない場合は、排出用配管７Ａ、７Ｂ、７Ｃの合流点の下流に捕集管着脱部４０を設け、捕集管９を１つだけセットする構成としても良い。
【符号の説明】
【００５０】
１…ガス供給源
２…マスフローコントローラ（ＭＦＣ）
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ…供給用配管
４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ…ガス供給弁
５…取付具
６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ…サンプリングバッグ
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ…排出用配管
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ…ガス排出弁
９…捕集管
１０…マスフローメータ（ＭＦＭ）
１１…恒温槽
１２…ヒータ
１３…温度センサ
１４…温調部
１５…真空ポンプ
１６…制御部
１７…サンプリングバッグの接続口
１８…テープヒータ
２１…第１開口
２２…第２開口
２３…第３開口
２４…内部通路
２５…環状溝
２６…通気孔
２７、４６…Ｏリング
２８…キャップ
２９…シール部材
３０…チューブ
４０…捕集管着脱部
４１…第１支持台
４２…第２支持台
４３…載置台
４４…レール
４５…貫通孔
４７…吸着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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