(57)【要約】      （修正有）【課題】天井板に設ける移動装置に接続して物品搬送に用いる可動式キャリアにおいて、使用の利便性と、柔軟性とを向上させる。【解決手段】可動式キャリアは、可動の第１部分２２と、第２部分３４とを含む。第１部分は、移動装置に接続する第１端部２６と、ボルトを有する第２端部２８とを有する第１柱体２４を含み、第２部分は、物品のベース部３６と、連結単元３８とを載置する水平面を有し、連結単元は、第１柱体を収容する凹み溝４２を有する第２柱体４０を含み、第３端部４６はベース部に接続され、第４端部４４が垂直方向に沿って第２端部に延在していて、かつ、ボルトを通すためのとおり孔４８が開けられている。ボルトを締め付けるかまたは緩めることによって、第１部分と第２部分とを緊密に結合させるかまたは相対に移動させる。【選択図】図２
0003206801.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
第１部分と、第２部分と、を備える天井板に設ける移動装置に接続して物品搬送に用いる可動式キャリアであって、
前記第１部分は、第１柱体を有し、前記第１柱体は、移動装置に接続する第１端部と、ボルトを有する第２端部とを含み、
前記第２部分は、物品の載置に用いられ、前記第２部分と、前記第１部分は可動式設計であり、前記可動式キャリアの高さ調整または前記第２部分と前記第１部分とを分離させることができ、前記第２部分は、
物品を取り付ける水平面を有するベース部と、
第２柱体を有し、前記第２柱体は前記第１柱体を収容するための凹部を有し、第３端部を前記ベース部に接続され、第４端部が水平面の垂直方向に沿って、第２端部に延在していて、かつ、前記ボルトを通すためのとおり孔を開ける連結単元と、を含み、
前記第１部分と前記第２部分は、前記ボルトを締め付けるかまたは緩めることによって、相対に移動するか、または互いに分離することができることを特徴とする、可動式キャリア。
【請求項２】
前記とおり孔は第１区域と、第２区域とを有し、前記第１区域は、前記ボルトのボルトヘッド部を通す第１穴径を有し、前記第２区域は、前記ボルトの直径と、前記ボルトのボルトヘッド部の直径の間の第２穴径を有することを特徴とする、請求項１記載の可動式キャリア。
【請求項３】
第１方向に沿って延在していて、かつ、前記連結単元に接続する底板つなぎプレートと、
前記第１方向と垂直する第２方向に沿って延在していて、かつ、前記第１方向に沿って、互いに間隔置きに、前記底板つなぎプレートに固定され、第２ホールダーと、第３ホールダーが第１ホールダーと、第４ホールダーの間に位置し、第１ホールダー、第２ホールダー、第３ホールダーと、第４ホールダーと前記第１方向にそって延在し、その両端をそれぞれ前記第２ホールダーと、前記第３ホールダーとを接続する第５ホールダーと、を含み、
そのうち、前記第１ホールダー、前記第２ホールダー、前記第３ホールダーと、前記第４ホールダー、前記第５ホールダーによって、水平面を構成して物品を取り付けることを特徴とする、請求項１記載の可動式キャリア。
【請求項４】
前記第２ホールダーと、前記第３ホールダーに、物品を固定するための固定単元を有することを特徴とする、請求項３記載の可動式キャリア。
【請求項５】
前記第１ホールダー、前記第２ホールダー、前記第３ホールダーと、前記第４ホールダー、前記第５ホールダーの部材は、アルミ押出形材を含むことを特徴とする、請求項３記載の可動式キャリア。
【請求項６】
前記連結単元の周りに位置していて、かつ、前記連結単元の変形を防ぐため、前記ベース部と第１距離を形成する第１保護柵を有する第１条板と、
それぞれ前記連結単元の対向する両側に位置していて、かつ、前記ベース部との距離が前記第１距離より小さい第２距離と、第３距離を有する第２条板と、第３条板と、
前記ベース部の末端部に位置し、底部と、前記ベース部と接続され、その最上部が水平面と垂直する方向にそって延在していて、かつ、前記ベース部と前記第１距離より小さい第４距離を有する側枠と、を含み、
前記側枠と、前記第２条板と、前記第３条板によって、物品の落下を防ぐ、第２保護柵をさらに含むことを特徴とする、請求項１記載の可動式キャリア。
【請求項７】
前記第２距離が前記第３距離より大きいことを特徴とする、請求項６記載の可動式キャリア。
【請求項８】
前記第４距離が第２距離と、前記第３距離との間にあることを特徴とする、請求項６記載の可動式キャリア。
【請求項９】
前記ベース部に位置する反射体ホールダーをさらに含むことを特徴とする、請求項１記載の可動式キャリア。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はキャリアに関し、特に調整や分離可能の可動式キャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体産業は継続に発展しており、超大規模集積回路（Ｕｌｔｒａ  Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ；ＵＬＳＩ）は複数の複雑な処理プロセスを施さなければならない。例えば、エッチング、研磨、拡散、沈着等のプロセスを経って生産される。そして、同じロットのウエハーは、ウエハー投入による生産から出荷するまでには、複数の機器の間で繰り返しの受け渡し伝送によって、各ステーションの製造プロセスを経て完成させなければならない。一例として、図１に示すように、現在は天井板１０に移動装置１４を設けて、移動装置１４に結合されたキャリア１６によって、ウエハーのウエハーケース１８を載置して、ウエハーケース１８を機器１２間で搬送し、ウエハーを機器１２に投入して、各種の製造プロセスが行われる。
【０００３】
しかしながら、移動装置１４と、キャリア１６の取り付けは一般として、機器１２を取り付ける前に行われるため、機器１２を取り付けるときに、スペースの都合で、キャリア１６をいったん取り外して置き、機器１２の取り付けを完了してから、キャリア１６を再び移動装置１４に取り付けることになる。一方、公知のキャリア１６のサイズは固定していて、可動な配置になっていない。さらに、キャリア１６が複数の固定ユニット（例えば、ボルト）１５と、移動装置１４によって接続されているため、キャリア１６の取り外しまたは取り付け工事には、キャリア１６ごと移動装置１４から取り外すか、またはキャリア１６ごと移動装置１４に取り付けて行われる。換言すれば、キャリア１６を取り外すときには、まず複数の固定ユニット１５を天井板１０にある移動装置１４より取り外さなければならない。これに対して、キャリア１６を移動装置１４に取り付ける場合には、複数の固定ユニット１５をキャリア１６と、天井板１０にある移動装置１４とを釣り合って固定して置かなければならない。この作業において、キャリア１６の下方に支承物を取り付けて、キャリア１６が落下することを避ける。さらに、固定ユニット１５を取り外しまたは固定のときに、キャリア１６が受ける力量の不均衡により変形する恐れがある。キャリア１６のサイズは約２  ×  ０．５  ×１．１メートルのため、キャリア１６の取り外しまたは取り付けのときに、キャリア１６の不用意による落下または変形を避けるために、大量な人力と時間を費やしてしまい、とっても不便である。この他に、機器１２を取り付けるときに、その高さにずれが生じたり、または後日に機器１２を改修する、あるいは調整することによって、機器１２の高さがずれると、キャリア１６の寸法が固定されているため、キャリア１６の高さを調整することは出来ず、キャリア１６をそのまま継続的に使用しなければならず、キャリア１６使用の柔軟性が制限される。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の目的は、可動式キャリアを提供することである。
【０００５】
本考案の次の目的は、調整及び分離可能なキャリアを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、天井板に設ける移動装置に接続して物品搬送に用いる可動式キャリアは、第１部分と、第２部分とを含む。第２部分と、第１部分は可動式設計であり、可動式キャリアの高さ調整または第２部分と第１部分とを分離させることができる。係る第１部分は、移動装置に接続する第１端部と、ボルトを有する第２端部とを有する第１柱体を含む。係る第２部分は、係る物品のベース部と、連結単元とを載置する水平面を有し、係る連結単元は、第１柱体を収容する凹み溝を有する第２柱体を含む、第３端部を係るベース部に接続され、第４端部が係る水平面の垂直方向に沿って第２端部に延在していて、かつ、係るボルトを通すためのとおり孔を開けられている。係る第１部分と第２部分は、ボルトを締め付けるかまたは緩めることによって、相対に移動するか、または互いに分離することができ、これにより、使用の利便性と、柔軟性とを向上させる。
【考案の効果】
【０００７】
本考案は、ボルトを締め付けるかまたは緩めることによって、相対に移動するか、または互いに分離することができ、これにより、使用の利便性と、柔軟性とを向上させる。キャリアの落下または変形に関わる人力と、時間を大幅に軽減し、使用の利便性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】公知のキャリアと、移動装置との接続を示す図である。
【図２】本考案の可動式キャリアの第１部分と、第２部分との分離を示す図である。
【図３】本考案の可動式キャリアの第１部分と、第２部分との組み合わせを示す図である。
【図４】図２によるベース部の平面を示す図である。
【図５】ベース部と、連結単元との接続を示す図である。
【図６】本考案の可動式キャリアと、移動装置との接続を示す図である。
【図７】ボルトを緩める態様図である。
【図８】ボルトを抜き出す態様図である。
【図９】とおり孔の直径が大きい区域をボルトの位置へ移動する図である。
【図１０】ボルトをとおり孔より取り出す態様図である。
【図１１】第１部分と、第２部分との分離を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
本考案の技術内容、構造特徴、達成する目的を詳細に説明するため、以下に実施例を挙げ並びに図面を組み合わせて説明する。
【００１０】
図２、可動式キャリア２０の第１部分２２と、第２部分３４分離の態様図。図３、可動式キャリア２０の第１部分２２と、第２部分３４との組み合わせを示す図。図２と、図３を参照する。可動式キャリア２０は、可動の第１部分２２と、第２部分３４とを含む。第１部分２２は柱体２４を有し、柱体２４は図１に示す移動装置１４に接続する端部２８を有しており、係る端部２８はボルト３０を有する。一例として、ボルト３０を端部２８に締付ける場合、第２部分３４は、物品を載置する水平面を有するベース部３６を有する。一例として、ウエハーを載置するウエハーケースと、連結単元３８である。連結単元３８は柱体４０を有し、柱体４０は凹部４２と、２つの端部４４、４６を有する。凹部４２の内径は柱体２４のパイプ形よりやや大きく、凹部４２の形状が柱体２４の外形に合わせて、柱体２４を収容する。好ましくは、柱体４０と、柱体２４に類似する外観が良い。例えば、柱体２４が矩形パイプの場合、柱体４０は逆Ｕ字を形成して、柱体２４を逆Ｕ字の凹部４２に収容し、柱体２４を凹部４２にて移動させる。柱体４０の端部４６はベース部３６に接続されている。例えば端部４６をボルト、リベットまたは溶接によって、ベース部３６に接続する場合、端部４４はベース部３６の水平面の垂直方向に沿って、柱体２４の端部２８に延在していて、かつ、ボルト３０を通すためのとおり孔４８を有する。ボルト３０を締め付けることによって、第１部分２２と、第２部分３４とを緊密に結合し、ボルト３０を緩めることによって、第１部分２２と、第２部分３４とを相対に移動させて、可動式キャリア２０の高さを調節するか、または第１部分２２と、第２部分３４とを互いに分離させる。本実施例において、連結単元３８は、４つの矩形を形成する柱体４０が配置され、第１部分２２は、４つの柱体２４を有し、それぞれ柱体４０に対応されている。
【００１１】
図２を参照する。柱体４０の端部４４のとおり孔４８は区域６０、６２を有し、区域６０にボルト３０のボルトヘッド部３２を通すための穴径Ｄ１を有し、区域６２はボルト３０の直径と、ボルト３０のボルトヘッド部３２の直径の間の穴径Ｄ２を有する。ボルトヘッド部３２を区域６０に通して、ボルト３０を区域６２に取り付けた後に、ボルト３０を締め付けることによって、可動式キャリア２０の第１部分２２と、第２部分３４とを緊密に結合させて、図３に示す組み合わせ図が形成される。他の実施例において、例えば区域６２の長さまたは形状を改変して、図１の機器１２の高さにずれがあった場合には、ボルト３０が区域６２の位置を改変することによって、可動式キャリア２０の高さを調節し、可動式キャリア２０を引き続き適用させて、可動式キャリア２０の使用の柔軟性を向上できる。これに対して、ボルト３０が緩むときに、重力の働きにより、第２部分３４が下へ移動され、ボルト３０が区域６２に退避し、可動式キャリア２０の第２部分３４の落下による損傷を避けられる。
【００１２】
引き続き図２と、図３とを参照する。本実施例において、可動式キャリア２０は、柱体２４を有する第１単元２２、ベース部３６と、柱体４０を有する連結単元３８の他に、反射体ホールダー５８と、側枠５６と、条板５０、５２、５４とが含まれている。反射体ホールダー５８がベース部３６に取り付けられている。例えばボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、反射体ホールダー５８と、ベース部３６とが接合される。条板５０は連結単元３８の周りに位置する。例えばボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、条板５０と、連結単元３８とが接合される。ベース部３６と距離Ｈ１を有した第１保護柵を形成して、連結単元３８の変形を避ける。側枠５６がベース部３６の末端部３７に位置する。側枠５６の底部５５をベース部３６に接合する。例えば、ボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、側枠５６の底部５５と、ベース部３６の末端部３７とを接合する。側枠５６の最上部５７がベース部３６の水平面の垂直方向に沿って延在し、ベース部３６を引き離すと共に、ベース部３６と距離Ｈ４を形成し、条板５２、５４はそれぞれ末端部３７に隣接するベース部３６の２つの側面に位置していて、かつ、ベース部３６と距離Ｈ２を形成し、距離Ｈ３にて連結単元３８と接続される。例えば、ボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、条板５２、５４を連結単元３８に接合させる。条板５２、５４、５６は第２防護柵を形成して、ベース部３６に載置した物品の落下を避ける。そのうち、距離Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４は距離Ｈ１より小さい。好ましくは、距離Ｈ２は距離Ｈ３より大きく、Ｈ４距離はＨ２、Ｈ３の間にあると良い。
【００１３】
図４は、ベース部３６の平面図であり、図５は、ベース部３６と、連結単元３８との接続を示す図である。図４と、図５を参照する。ベース部３６は、Ｙ方向に沿って延在していて、かつ、連結単元３８と接続する底板つなぎプレート６４を有し、ホールダー６６、６８、７０、７２がＹ方向と垂直するＸ方向に沿って延在していて、かつ、Ｙ方向に沿って、それぞれ間隔置きに底板つなぎプレート６４に固定される。例えば、ホールダー６６、６８、７０、７２をボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、底板つなぎプレート６４に取り付け、ホールダー６８、７０がホールダー６６、７２との間に位置し、ホールダー７４がＹ方向に沿って延在し、ホールダー７４の両端をそれぞれホールダー６８、７０に接続する。例えば、ホールダー７４をボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、ホールダー６８、７０に接合される。そのうち、ホールダー６６、６８、７０、７２、７４によって、水平面（すなわち、Ｘ−Ｙ平面）を形成して、物品を取り付ける。ホールダー６８、７０に係る物品を固定するための固定ユニット７６を有する。好ましくは、ホールダー６６、６８、７０、７２、７４はアルミ押出部材が良い。本実施例において、ベース部３６に２つの底板つなぎプレート６４と、３つのホールダー７４とを有し、底板つなぎプレート６４とホールダー７４がそれぞれＸ方向に沿って、間隔置きに配置され、各底板つなぎプレート６４の一端がホールダー７２より突き出して区域６５を形成し、もう一端は、ホールダー６６の外側と面一する。ホールダー６６、６８の間に区域６３を形成し、柱体４０の端部４６が区域６３、６５と連結することによって、連結単元３８と、ベース部３６とを接続される。例えば、柱体４０の端部４６をボルト、リベットまたは溶接等の方法によって、区域６３、６５と接合することによって、連結単元３８と、ベース部３６とを接合させる。
【００１４】
図６に示すように、可動式キャリア２０と、天井板１０に設ける移動装置１４とを接続されている。例えば、可動式キャリア２０を固定ユニット（例えば、ボルト）１５と、移動装置１４とを接合して、ウエハーを取り付けたウエハーケース１８を搬送させ、ウエハーケース１８を機器１２の間で搬送することによって、製造プロセスが行われる。可動式キャリア２０を取り外すときは、可動式キャリア２０の第２部分３４と、第１部分２２とを分離すれば良く、可動式キャリア２０ごと移動装置１４から取り外す必要はない。
図７と、図８に示すように、可動式キャリア２０の第２部分３４と、第１部分２２とを分離させるには、まず第１部分２２と、第２部分３４を固定するボルト３０を緩めてからボルト３０を取り出す。このときは、重力の働きにより、第２部分３４が下方に移動し、ボルト３０をとおり孔４８の穴径が小さい区域に退避させて、可動式キャリア２０の第２部分３４が落下し損傷を避けられる。引き続き、図９に示すように、第２部分３４を上方に移動して、とおり孔４８の穴径が大きい区域をボルト３０の位置に移動させる。さらに、図１０に示すように、第２部分３４を水平に移動して、ボルト３０をとおり孔４８の穴径が大きい区域から取り出す。最後に、図１１に示すように、第２部分３４を下ろして、第２部分３４と、第１部分２２とを分離して、可動式キャリア２０を取り外す目的を達成する。同じく、可動式キャリア２０を取り付ける場合には、第２部分３４を引き上げて、ボルト３０をとおり孔４８に通し、ボルト３０を締め付けて、可動式キャリア２０の第１部分２２と、第２部分３４とを緊密に結合させることによって達成できる。本考案の可動式キャリア２０はボルト３０を緩めた後に、とおり孔４８の穴径が小さい区域に退避されるため、可動式キャリア２０の取り外しまたは取り付けの際に、可動式キャリア２０の落下を防止し、可動式キャリア２０の下方に支承物をあらたに用意する必要はない。この他に、可動式キャリア２０の第２部分３４を移動させる前に、ボルト３０は緩む状態であるため、第２部分３４を移動するときに可動式キャリア２０は、受ける力量が釣り合わないことによって変形されない。キャリアの落下または変形に関わる人力と、時間を大幅に軽減し、使用の利便性を向上できる。
【００１５】
上記の本考案名称と内容は、本考案技術内容の説明に用いたのみで、本考案を限定するものではない。本考案の精神に基づく等価応用或いは部品（構造）の転換、置換、数量の増減はすべて、本考案の保護範囲に含むものとする。
【符号の説明】
【００１６】
１０            天井板
１２            機器
１４            移動装置
１５            固定ユニット
１６            キャリア
１８            ウエハーケース
２０            可動式キャリア
２２            第１部分
２４            柱体
２６            端部
２８            端部
３０            ボルト
３２            ボルトヘッド
３４            第２部分
３６            ベース部
３７            末端部
３８            連結単元
４０            柱体
４２            凹部
４４            端部
４６            端部
４８            とおり孔
５０            条板
５２            条板
５４            条板
５５            底部
５６            側枠
５７            最上部
５８            反射体ホールダー
６０            区域
６２            区域
６３            区域
６４            底板つなぎプレート
６５            区域
６６            ホールダー
６８            ホールダー
７０            ホールダー
７２            ホールダー
７４            ホールダー
７６            固定ユニット
【図１】
0003206801.tif 000003
【図２】
0003206801.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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