(57)【要約】      （修正有）【課題】塗布対象物の曲面にスピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができるスリットノズル及び薬液塗布装置を提供する。【解決手段】スリットノズル１は、薬液を吐出するスリット状の吐出口が形成された下端面を有し、下端面は、湾曲ガラス板Ｇの凸面側の曲面Ｓ１と対向したときに、吐出口の全長にわたり湾曲ガラス曲面との間隔が均一となる形状を有している。また薬液塗布装置は、このスリットノズルと、スリットノズルを吐出口の延在方向と直交する走査方向Ｄ２に移動させる駆動装置２と、湾曲ガラス板の曲面方向と走査方向とが直交するように、湾曲ガラス板が載置される支持台３とを備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一方向に曲率を有する塗布対象物の曲面に薬液を塗布するためのスリットノズルであって、
薬液を吐出するスリット状の吐出口が形成された下端面を有し、前記下端面は、前記塗布対象物の前記曲面と対向したときに、前記一方向に沿った前記塗布対象物の前記曲面と前記吐出口の全長にわたる前記下端面との間隔が均一となる形状を有する
ことを特徴とする、スリットノズル。
【請求項２】
内部にマニホールドが形成され、
前記マニホールドは、前記吐出口の全長にわたって、前記吐出口に開口したスリットと連通し、かつ、前記吐出口の全長にわたって前記下端面から一定距離に形成されている
ことを特徴とする、請求項１記載のスリットノズル。
【請求項３】
一方向に曲率を有する塗布対象物の曲面に薬液を塗布するための薬液塗布装置であって、
請求項１又は２記載のスリットノズルと、
前記スリットノズルを前記吐出口の延在方向と直交する走査方向に移動させる駆動装置と、
前記塗布対象物の前記一方向と前記走査方向とが直交するように、前記塗布対象物が載置される支持台と
を備えることを特徴とする、薬液塗布装置。
【請求項４】
前記支持台は、枠部と当該枠部に嵌め込まれた支持台本体とから構成され、
前記支持台本体の上面は、前記支持台本体に載置された前記塗布対象物の前記曲面の反対側の裏面と当該裏面の全面で当接する形状を有する
ことを特徴とする、請求項３記載の薬液塗布装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、スリットノズル及び薬液塗布装置に係り、より詳細には、曲面形状を有する塗布対象物にスピンレス塗布法により薬液を塗布するスリットノズル及びこのスリットノズルを備えた薬液塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラス板等の塗布対象物の表面に薬液を均一に塗布する技術として、スピンコート法に代わり、スピンレス塗布法が普及している。スピンレス塗布法では、スリット形状の吐出口を形成したスリットノズルを、薬液を吐出させながら塗布対象物の表面に沿って移動させることによって、塗布対象物の表面に薬剤を均一に塗布している。スピンレス塗布法によれば、スピンコート法よりも薬液の無駄が少なく、かつ、広い塗布面に塗布膜を形成することができる。平坦なガラス板にスピンレス塗布法により薬液を塗布する薬液塗布装置の一例が、下記の特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１８７２３６号公報
【特許文献２】国際公開第２０１５／０１５８４２号パンフレット
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
モバイル機器等のディスプレイを備えた機器においては、ディスプレイの表面を湾曲させるデザインが提案されている。このため、ディスプレイを構成するガラス板も湾曲させることが要請されている。そのような湾曲したガラス板の一例が、上記の特許文献２に開示されている。
【０００５】
しかしながら、従来のスピンレス塗布法による薬液塗布装置では、平面ガラス板の表面ような平面に薬液を均一に塗布することはできても、湾曲表面に薬液を均一に塗布することは困難であった。
【０００６】
本考案は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、塗布対象物の曲面にスピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができるスリットノズル及び薬液塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案のスリットノズルは、一方向に曲率を有する塗布対象物の曲面に薬液を塗布するためのスリットノズルであって、薬液を吐出するスリット状の吐出口が形成された下端面を有し、前記下端面は、前記塗布対象物の前記曲面と対向したときに、前記一方向に沿った前記塗布対象物の前記曲面と前記吐出口の全長にわたる前記下端面との間隔が均一となる形状を有することを特徴としている。
【０００８】
また、本考案の薬液塗布装置は、一方向に曲率を有する塗布対象物の曲面に薬液を塗布するための薬液塗布装置であって、上記のスリットノズルと、前記スリットノズルを前記吐出口の延在方向と直交する走査方向に移動させる駆動装置と、前記塗布対象物の前記一方向と前記走査方向とが直交するように、前記塗布対象物が載置される支持台とを備えることを特徴としている。
【０００９】
このように、本考案のスリットノズル及び塗布装置によれば、塗布対象物の曲面とスリットノズルのスリット上の吐出口が形成された下端面との間隔が均一となるように、スリットノズルの下端面が形成されている。これにより、スリットノズルの吐出口から吐出された薬液は、吐出口と塗布対象物の曲面との間で、吐出口の全長にわたって途切れずに帯状に流れることができる。その結果、塗布対象物の曲面に、スピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができる。
【考案の効果】
【００１０】
本考案のスリットノズル及び薬液塗布装置によれば、塗布対象物の曲面にスピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案の第１実施形態による薬液塗布装置の斜視図である。
【図２】本考案の第１実施形態による薬液塗布装置の断面図である。
【図３】（Ａ）は、塗布対象物の凸面に薬液を塗布するための支持台本体の斜視図であり、（Ｂ）は、塗布対象物の凹面に薬液を塗布するための支持台本体の斜視図である。
【図４】（Ａ）は、本考案の第１実施形態によるスリットノズルの正面図であり、（Ｂ）はその底面図である。
【図５】（Ａ）は、図４（Ａ）のＡ−Ａに沿った断面図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＢ−Ｂに沿った断面図である。
【図６】本考案の第２実施形態による薬液塗布装置の断面図である。
【図７】（Ａ）は、本考案の第２実施形態によるスリットノズルの正面図であり、（Ｂ）は、その底面図である。
【図８】（Ａ）は、図７（Ａ）のＡ−Ａに沿った断面図であり、（Ｂ）は、図７（Ｂ）のＢ−Ｂに沿った断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本考案のスリットノズル及びそれを備えた薬液塗布装置の実施形態を説明する。
（第１実施形態）
図１に、本考案の第１実施形態による薬液塗布装置の斜視図を示す。本実施形態では、湾曲ガラス板Ｇを塗布対象物とする。この湾曲ガラス板Ｇは、均一な厚さを有し、一方向に一定の曲率を有する円柱面を有する。本実施形態では、この円柱面の凸面側の曲面Ｓ１に薬液を塗布する。
【００１３】
図1に示すように、本実施形態の薬液塗布装置は、スリットノズル１と、このスリットノズル１を移動させる駆動装置２と、湾曲ガラス板Ｇを載置した支持台３とを備えている。
【００１４】
駆動装置２は、支持台３を跨いで配置され、スリットノズル１が取り付けられたた門形の取付け部２１と、この取付け部２１を平行移動させる駆動部２２とから構成されている。駆動部２２は、例えばボールねじ機構で構成され、門形取付け部２１をスリットノズル１の延在方向と直交する走査方向Ａに沿って移動させる。
【００１５】
支持台３は、上面３ａに凹部３１ａが形成された枠部３１と、枠部３１の凹部３１ａに嵌め込まれた支持台本体３２とから構成されている。支持台本体３２の上面３２ａは、駆動装置２の駆動方向Ｄ２と直交する方向Ｄ１にのみ曲率を有する曲面が形成されている。
【００１６】
図２に支持台本体の斜視図を示す。図２（Ａ）は、湾曲ガラス板Ｇの凸面形の曲面Ｓ１に薬液を塗布するときに使用する支持台本体３２の斜視図を示し、図２（Ｂ）は、湾曲ガラス板Ｇの凹面側の曲面に薬液を塗布するための支持台本体３３の斜視図を示す。支持台本体３２及び３３は、湾曲ガラス板Ｇの薬液を塗布する曲面（凸面側又は凹面側）に応じて交換される。支持台本体３２及び３３は、交換に当たり、それらの底部を枠部３１の凹部３１ａに嵌め込むことにより、容易かつ正確に位置決めすることができ、上面の曲面の曲率方向も容易かつ正確に設定することができる。
【００１７】
図３に、本実施形態による薬液塗布装置の断面図を示す。図３では、駆動装置２の図示を省略している。支持台本体３２の上面３２ａには、湾曲ガラス板Ｇの曲率を有する方向Ｄ１と駆動装置の２の走査方向Ｄ２とが直交するように、湾曲ガラス板Ｇが凸面側の曲面Ｓ１を上にして載置されている。支持台本体３２の上面３２ａは、支持台本体３２に載置された湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ１の反対側の裏面（凹面側の曲面）Ｓ２と、裏面Ｓ２の全面で当接する形状を有する。湾曲ガラス板Ｇの凹面側の曲面Ｓ２を支持台本体３２の上面３２ａと密着させることにより、湾曲ガラス板Ｇの自重による不必要なたわみの発生を防止することができる。
なお、図３においては、便宜的に、湾曲ガラス板Ｇと支持体本体３２とを離間させて示している。
【００１８】
次に、図４を参照して、本実施形態のスリットノズル１を説明する。スリットノズル１は、図４（Ａ）に示すように、長尺状の形態を有し、図４（Ｂ）に示すように、スリットノズル１の下面には、スリットノズル１の長手方向に沿って、スリット状の吐出口１１が形成されている。吐出口１１は、リップ部１２によって画成されている。吐出口１１が形成された下端面１３、即ち、リップ部１２の先端を含む下端面１３は、図４（Ａ）に示すように、吐出口１１の延在方向に沿って中央部が凹んだ湾曲形状を有している。
【００１９】
図３に示すように、スリットノズル１の下端面１ａは、湾曲ガラス板Ｇの凸面側の曲面Ｓ１と対向したときに、この曲面Ｓ１が曲率を有する方向に沿って、この曲面Ｓ１と吐出口１１の全長にわたる下端面１ａとの間隔が均一となる形状を有している。これにより、スリットノズル１の吐出口１１から吐出された薬液は、吐出口１１と湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ１との間で、吐出口１１の全長にわたって途切れずに帯状に流れることができる。その結果、湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ１に、スピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができる。
【００２０】
図５に、スリットノズル１の断面図を示す。図５（Ａ）は、図４（Ａ）のＡ−Ａに沿った断面図を示し、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＢ−Ｂに沿った断面図を示す。図５（Ａ）に示すように、スリットノズル１は、２つのスリット部材１０ａ及び１０ｂを付き合わせて構成されており、スリット部材１０ａ及び１０ｂどうしは、不図示のボルトで連結されている。スリット部材１０ａ及び１０ｂ間には、スリット１３が形成されている。
【００２１】
さらに、スリットノズル１の内部には、図５（Ａ）に示すように、吐出口１１の全長にわたって、スリット１３と連通したマニホールド１４が形成されている。マニホールド１４は、図５（Ｂ）に示すように、吐出口１１の全長にわたって、下端面１ａから一定距離に形成されている。換言すれば、吐出口１１の全長にわたって、マニホールド１４と吐出口１１との間のスリット１３の長さは一定となっている。これにより、スリットノズル１の長手方向の中央でマニホールド１４に開口した薬液導入路１５からマニホールド１４に導入された薬液は、スリット１３を通り、吐出口１１の全長にわたって、吐出口１１から均一に吐出される。その結果、湾曲ガラス板Ｇの凸面側の曲面Ｓ１に、スピンレス塗布法により薬液をより均一に塗布することができる。
【００２２】
（第２実施形態）
図６に、本実施形態による薬液塗布装置の断面図を示す。本実施形態では、湾曲ガラス板Ｇの凹面側の曲面Ｓ２に薬液を塗布する。そのため、本実施形態では、図１に示した薬液塗布装置において、支持台本体３２の代わりに、図３（ｂ）に示した支持台本体３３が枠部３１の凹部３１ａに嵌め込まれ、支持台３’を構成している。
【００２３】
湾曲ガラス板Ｇが載置される支持台本体３３の上面３３ａには、湾曲ガラス板Ｇの曲率を有する方向Ｄ１と駆動装置２の走査方向２とが直交するように、湾曲ガラス板Ｇが凹面側の曲面Ｓ２を上にして載置されている。支持台本体３３の上面３３ａは、支持台本体３３に載置された湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ１の反対側の裏面（当面側の曲面）Ｓ１と、裏面Ｓ１の全面で当接する形状を有する。湾曲ガラス板Ｇの凸面側の曲面Ｓ１を支持台本体３３の上面３３ａと密着させることにより、湾曲ガラス板Ｇのたわみの発生を防止することができる。
【００２４】
次に、図７を参照して、本実施形態のスリットノズル４を説明する。スリットノズル４は、図７（Ａ）に示すように、長尺状の形態を有し、図７（Ｂ）に示すように、スリットノズル４の下面には、スリットノズル４の長手方向に沿って、スリット状の吐出口４１が形成されている。吐出口４１は、リップ部４２によって画成されている。吐出口４１が形成された下端面４３、即ち、リップ部４２の先端を含む下端面４３は、図７（Ａ）に示すように、吐出口４１の延在方向に沿って中央部が下方に凸となる湾曲形状を有している。
【００２５】
図６に示すように、スリットノズル４の下端面４ａは、湾曲ガラス板Ｇの凹面側の曲面Ｓ２と対向したときに、この曲面Ｓ２が曲率を有する方向に沿って、この曲面Ｓ２と吐出口４１の全長にわたる下端面４ａとの間隔が均一となる形状を有している。これにより、スリットノズル４の吐出口４１から吐出された薬液は、吐出口４１と湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ２との間で、吐出口４１の全長にわたって途切れずに帯状に流れることができる。その結果、湾曲ガラス板Ｇの曲面Ｓ２に、スピンレス塗布法により薬液を均一に塗布することができる。
【００２６】
図８に、スリットノズル４の断面図を示す。図８（Ａ）は、図７（Ａ）のＡ−Ａに沿った断面図を示し、図８（Ｂ）は、図７（Ｂ）のＢ−Ｂに沿った断面図を示す。図８（Ａ）に示すように、スリットノズル４は、２つのスリット部材４０ａ及び４０ｂを付き合わせて構成され、スリット部材４０ａ及び４０ｂ間には、スリット４３が形成されている。
【００２７】
さらに、スリットノズル４の内部には、図８（Ａ）に示すように、吐出口４１の全長にわたって、スリット４３と連通したマニホールド４４が形成されている。マニホールド４４は、図８（Ｂ）に示すように、吐出口４１の全長にわたって、下端面４ａから一定距離に形成されている。換言すれば、吐出口４１の全長にわたって、マニホールド４４と吐出口４１との間のスリット４３の長さは一定となっている。これにより、スリットノズル４の長手方向の中央でマニホールド４４に開口した薬液導入路４５からマニホールド４４に導入された薬液は、スリット４３を通り、吐出口４１の全長にわたって、吐出口４１から均一に吐出される。その結果、湾曲ガラス板Ｇの凹面側の曲面Ｓ２に、スピンレス塗布法により薬液をより均一に塗布することができる。
【００２８】
以上、本考案の実施形態を説明したが、本考案は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本考案の範囲で種々の変更実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、円柱面の凸面及び凹面を塗布対象とした例を説明したが、本稿何では、塗布対象物は、これらに限定されず、例えば、楕円柱面、双曲線柱面、及び放物線柱面の凸面及び凹面を塗布対象としてもよく、また、波形の表面を塗布対象としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本考案は、モバイル機器又は車載機器のディスプレイを構成するガラス基板、及び太陽電池パネルを構成するガラス基板への薬剤の塗布に利用して好適である。
【符号の説明】
【００３０】
１  スリットノズル
１ａ  下端面
１０ａ、１０ｂ  ノズル部材
１１  吐出口
１２  リップ部
１３  スリット
１４  マニホールド
１５  薬液導入路
２  駆動装置
２１  取付け部
２２  駆動部
３、３’  支持台
３１  枠部
３１ａ  凹部
３２、３３  支持台本体
３２ａ、３３ａ  支持台本体の上面
４  スリットノズル
４ａ  下端面
４０ａ、４０ｂ  ノズル部材
４１  吐出口
４２  リップ部
４３  スリット
４４  マニホールド
４５  薬液導入路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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