(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械式アクチュエータ（１０）を製造するための製造方法であって、
積層体（１４）の長手方向軸線（２０）に沿って交互に上下に積層された複数の圧電セラミック層（１６）と複数の電極層（１８）とから形成され、積層体（１４）として構成された電気的構成要素（１２）を準備するステップであって、前記電極層（１８）は長手方向軸線（２０）に対して平行に配置された前記積層体（１４）の少なくとも２つの相対向する側面（２２）において、該積層体（１４）の表面（２８）に突出している、ステップと、
前記２つの側面（２２）の予め定められた部分領域（３２）に、絶縁材料（３０）を被着させるステップであって、前記積層体（１４）の前記長手方向軸線（２０）に対して垂直方向の前記絶縁材料（３０）の層厚さ（Ｄ）が、前記長手方向軸線（２０）に対して平行に延在する、前記各部分領域（３２）の長手方向中心軸線（６０）から、長手方向軸線（２０）に対して平行に延びる、各部分領域（３２）の縁部（３８）に向かって連続的に減少するように被着される、ステップと、
を含み、
前記２つの側面（２２）の各々に、前記予め定められた部分領域（３２）に対応する予め定められた開口部（４２）を有するマスク（４０）が、前記積層体（１４）の表面（２８）から所定の距離（ａ）に配置され、前記絶縁材料（３０）は、前記積層体（１４）とは反対側のマスク側（４８）から前記開口部（４２）を通って前記積層体（１４）の表面（２８）の前記予め定められた部分領域（３２）に被着され、前記マスク（４０）は、前記積層体（１４）の表面（２８）から特に０．１ｍｍ〜４ｍｍの距離（ａ）に配置され、前記マスク（４０）は、好ましくは前記積層体（１４）の表面（２８）上に懸架される、製造方法。
【請求項２】
前記絶縁材料（３０）は、前記長手方向中心軸線（６０）から前記各部分領域（３２）の縁部（３８）までの前記絶縁材料（３０）の層厚さ（Ｄ）の勾配が５％〜１００％の間の範囲で形成されるように、該部分領域（３２）に被着され、および／または、前記積層体（１４）の長手方向軸線（２０）に平行方向の前記絶縁材料（３０）の前記層厚さ（Ｄ）は、前記各部分領域（３２）の中心から、前記長手方向軸線（２０）に対して垂直に延びる、前記部分領域（３２）の縁部（３８）に向かって連続的に減少する、請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記絶縁材料（３０）が前記２つの側面（２２）のそれぞれの上で前記積層体（１４）の表面（２８）に被着される場合に、前記積層体（１４）の表面（２８）に突出する各電極層（１８）が、前記絶縁材料（３０）で少なくとも領域毎に覆われるように、開口部（４２）が配置されたマスク（４０）が準備され、および／または、マスク（４０）は、特に連続テープ（５０）の使い捨てマスク（５１）として準備され、該準備されるマスク（４０）は、耐熱性及び耐溶剤性ポリマー、特に繊維強化プラスチックから形成される、請求項１または２記載の製造方法。
【請求項４】
前記絶縁材料（３０）は、溶液（４６）として準備され、前記積層体（１４）の表面（２８）に噴霧され、前記溶液（４６）の粘度は、特に４Ｐａ・ｓ〜８Ｐａ・ｓの間の範囲にある、請求項１から３までのいずれか１項記載の製造方法。
【請求項５】
前記絶縁材料（３０）が前記２つの側面（２２）において前記積層体（１４）の表面（２８）に被着された後で、前記絶縁材料（３０）の層厚さ（Ｄ）が、特に光学的測定および／または秤量によって測定され、該測定は特に乾燥ステップおよび／または硬化ステップの前に実施される、請求項１から４までのいずれか１項記載の製造方法。
【請求項６】
前記絶縁材料（３０）を乾燥させるための乾燥ステップが実施され、前記絶縁材料（３０）は、特に４０℃〜８０℃の間の温度および３０％の最大相対大気湿度で乾燥される、請求項１から５までのいずれか１項記載の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁材料（３０）を硬化させるための硬化ステップが実施され、前記絶縁材料（３０）は、特に空気中で２８０℃〜３６０℃の温度で硬化され、特に５０℃／分の最大温度勾配が使用される、請求項１から６までのいずれか１項記載の製造方法。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか１項記載の製造方法を用いて製造される電気機械式アクチュエータ（１０）であって、
積層体（１４）の長手方向軸線（２０）に沿って交互に上下に積層された複数の圧電セラミック層（１６）と複数の電極層（１８）とから形成され、積層体（１４）として構成された電気的構成要素（１２）を備え、
前記電極層（１８）は、長手方向軸線（２０）に対して平行に配置された前記積層体（１４）の少なくとも２つの相対向する側面（２２）において、該積層体（１４）の表面（２８）に突出しており、
前記積層体（１４）は、前記２つの側面（２２）の予め定められた部分領域（３２）に、絶縁材料（３０）を有しており、前記積層体（１４）の長手方向軸線（２０）に対して垂直方向の前記絶縁材料（３０）の層厚さ（Ｄ）が、長手方向軸線（２０）に対して平行に延在する、各部分領域（３２）の長手方向中心軸線（６０）から、長手方向軸線（２０）に対して平行に延びる、各部分領域（３２）の縁部（３８）に向かって連続的に減少するように構成されていることを特徴とする、電気機械式アクチュエータ。
【請求項９】
前記積層体（１４）の長手方向軸線（２０）に対して垂直方向の各部分領域（３２）の断面は、平坦領域（５６）を備えた台形状の断面形態を有している、請求項８記載の電気機械式アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械式アクチュエータを製造するための製造方法、および特にそのような製造方法を用いて製造された電気機械式アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気機械式のアクチュエータは、例えば圧電積層体の形態で操作要素として、例えば自動車用の様々なエンジンタイプの噴射弁に頻繁に使用される。
【０００３】
そのような電気機械式のアクチュエータは、大抵の場合、電界の印加に反応する複数の圧電セラミック層と、複数の電極層とを有している。これらの圧電セラミック層および電極層は、長手方向軸線に沿って交互に上下に積層されて配置されている。大抵の場合、そのような積層体は、この積層体内の電極層を駆動制御することができるようにするために、２つの相対向する側面において電気的に接触接続され、これによって電界が積層体の内部で形成され、その後、この電界に圧電セラミック層が伸長によって反応する。
【０００４】
電界を形成できるようにするため、２つの隣接する電極層が異なる電位で駆動制御される。すなわち、外向きの接触接続部が、異なる接触接続端子で終端している。この異なる接触接続部を実現することができるようにするために、例えば、各第２の電極層だけを各側面の表面まで案内し、これに対してそれぞれ別の電極層は各側面の表面まで延在させないことが公知である。しかしながら、全ての電極層を全面にわたって積層体の側面の表面まで案内することも公知であり、これによって電極層が突出する。このことは、電気機械式アクチュエータの操作、空間要求および全ての動作特性に関して大きな利点を有している。しかしながら、そのような配置構成では、各電極層の電気的な接触接続がより困難である。なぜならば、積層体の表面における２つの直接隣接する電極層間の閃絡を回避しなければならないからである。
【０００５】
独国特許発明第１０２００６００３０７０号明細書には、例えば、電極層の接触接続のために、絶縁層が積層体の全表面に被着され、その後でこの絶縁層が所定の位置で除去されることが記載されている。
【０００６】
しかしながら、絶縁層による積層体の完全な被覆は最適ではないことが判明している。なぜならば、例えば積層体の端面は、所望の動力伝達のために露出させたままにすべきであり、また積層体の大気シールも望ましくないからである。加えて、積層体の完全な被覆において、頻繁に縁部被覆が十分でないことも判明している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の課題は、絶縁層による積層体の完全な被覆を省くことができ、それにもかかわらず所定の電極層の確実な絶縁が可能である、電気機械式アクチュエータを製造するための製造方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は、請求項１の組み合わされた特徴を有する製造法によって解決される。
【０００９】
特に、そのような製造方法によって製造された電気機械式アクチュエータは、対等な関係にある独立請求項の態様である。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態は、従属請求項の態様である。
【００１１】
電気機械式アクチュエータを製造するための製造方法では、まず、積層体の長手方向軸線に沿って交互に上下に積層された電界の印加に反応する複数の圧電セラミック層と複数の電極層とから形成され、積層体として構成された電気的構成要素が準備される。電極層は、長手方向軸線に対して平行に配置された積層体の少なくとも２つの相対向する側面において、積層体の表面に突出している。次に、２つの側面の予め定められた部分領域に、絶縁材料が被着され、詳細には、積層体の長手方向軸線に対して垂直方向の絶縁材料の層厚さが、長手方向軸線に対して平行に延在する、各部分領域の長手方向中心軸線から、長手方向軸線に対して平行に延びる、各部分領域の縁部に向かって連続的に減少するように被着される。
【００１２】
したがって、積層体が絶縁材料によって完全に被覆される公知の方法とは対照的に、予め定められた部分領域のみを絶縁材料で覆うことが提案される。これらの予め定められた部分領域は、電極層が表面に突出する側面の表面の領域に相応する。これにより、積層体の長手方向軸線に沿って、各電極層が確実に絶縁材料によって覆われる。予め定められた部分領域の被覆の際、絶縁材料は、層厚さが積層体の長手方向軸線の方向に延在する縁部に向かって連続的に減少するように表面に被着される。これにより、被覆の付着が機械的または熱的に誘起された応力下で保証される。
【００１３】
好ましくは、絶縁材料として、良好な温度安定性を有するポリイミドコーティングが使用される。
【００１４】
表面に絶縁材料を被着した後の、各部分領域の中心における層厚さは、５μｍ〜５０μｍの間の範囲の厚さを有する。
【００１５】
連続的な減少により、絶縁材料の層厚さは、各部分領域の中心から連続的に０まで減少する。
【００１６】
好ましくは、絶縁材料は、絶縁材料の層厚さの勾配が中心から各部分領域の縁部に向かって５％〜１００％の間の範囲内で形成されるように、部分領域に被着される。これにより好ましくは、絶縁材料の特に良好な安定性が得られる。
【００１７】
好ましくは、積層体の長手方向軸線に平行な絶縁材料の層厚さも同様に、各部分領域の中心から長手方向軸線に垂直に延びる部分領域の縁部に向かって、連続的に減少する。これにより、絶縁層材料の安定性が、積層体の長手方向軸線に平行な方向でも得られる。
【００１８】
好ましい実施形態では、２つの側面の各々に、予め定められた部分領域に対応する予め定められた開口部を有するマスクが、積層体の表面から所定の距離に配置され、その後で、絶縁材料が、積層体とは反対側のマスク側からこれらの開口部のうちの１つ以上を貫通して積層体の表面の予め定められた部分領域に被着される。
【００１９】
積層体の表面からマスクまでの好ましい距離は、０．１ｍｍ〜４ｍｍの範囲内である。
【００２０】
マスクは、好ましくは積層体の表面上に懸架され、所定の距離を維持するために、例えばスペーサおよび相応のガイドが使用される。
【００２１】
好ましくは、絶縁材料が２つの側面のそれぞれの上で積層体の表面に被着される場合に、積層体の表面に突出する各電極層が、絶縁材料で少なくとも領域毎に確実に覆われるように、開口部が配置されたマスクが準備される。
【００２２】
特に好ましくは、特に連続テープで準備される使い捨てマスクの形態のマスクが使用される。
【００２３】
好ましくは、マスクは使い捨てマスクとして使用される。なぜなら、これにより絶縁材料を使い捨てマスクから除去する必要がなくなるからである。
【００２４】
準備されるマスクは、特に、耐熱性および耐溶剤性のあるポリマーから、特にアラミド４１０などの繊維強化プラスチックから形成される。
【００２５】
積層体の表面上に懸架されたマスクの使用によって、好ましくは、予め定められた箇所にある表面の部分領域だけを被覆することが容易に実現可能となる。それと同時に、被着された絶縁材料の層厚さを、積層体の表面からの所定の距離の設定によって制御することが可能となる。離間されているマスクの使用により、マスクが積層体の表面と直接接触している場合に起こり得るような絶縁材料の縁部のくずれが起きないようにすることが達成されるか、または絶縁材料が未制御のままマスクの下で変形することが回避される。
【００２６】
したがって、マスクを所定の距離で使用することにより、電極層の制御された被覆を達成することができる。
【００２７】
好ましくは、絶縁材料は、溶液として準備され、積層体の表面に噴霧される。この溶液の粘度は、特に４Ｐａ・ｓ〜８Ｐａ・ｓの間の範囲にある。ここでの好適な溶媒は、Ｎ−エチルピロリドン（ＮＥＰ）、ジメチルプロピレン尿素（ＤＭＰＵ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）またはＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）である。
【００２８】
絶縁材料の溶液の噴霧は、例えば、このようにして絶縁材料で表面の規定された被覆を実現するために、例えば所定の経路パターン上を移動する可動噴霧ヘッドによって実現される。
【００２９】
溶液の粘度は、好ましくは溶液中のそれぞれの溶媒の割合によって設定される。これによって、濡れ性を噴霧過程において適合化させることができる。というのも、粘度が高すぎると、溶液を噴霧によって表面に被着させることがもはやできなくなるからである。ただし、粘度が低すぎると、層の厚さが薄くなりすぎて、絶縁材料が電気機械式アクチュエータの後続の製造ステップで損傷する可能性がある。
【００３０】
好ましくは、絶縁材料が２つの側面において積層体の表面に被着された後で、絶縁材料の層厚が特に光学的測定および／または秤量によって測定される。この測定は、特に乾燥ステップおよび／または硬化ステップの前に実施される。
【００３１】
したがって、この測定により、十分な量の絶縁材料が積層体の表面に被着されたかどうかを検出することができ、それゆえに、表面に突出する各電極層の絶縁が確実に保証される。
【００３２】
その際、秤量の場合には、被覆される積層体は、絶縁材料を被着する前と絶縁材料を被着した後とで容易に計量される。
【００３３】
代替的に、層厚さの光学的測定の場合には、電磁ビームの光路長が測定できるように電磁ビームを積層体の表面に照射するオートフォーカスシステムを使用することが可能である。
【００３４】
好ましくは、電磁ビームの波長は、絶縁材料が透明である範囲内で選択される。そうすれば、絶縁材料の既知の屈折率に基づき、絶縁材料内の光路長を測定することによって層厚さを決定することができる。
【００３５】
電気機械式アクチュエータの製造において可能な限り欠陥を回避するためには、層厚さが、さらなるステップの前に既に測定されることが好ましく、そのようにしてインラインでの被覆測定または被覆検査を実施することができる。
【００３６】
好ましくは、絶縁材料を乾燥させるための乾燥ステップが実施され、この場合絶縁材料は、特に４０℃〜８０℃の間の温度および３０％の最大相対大気湿度で乾燥される。乾燥ステップは、好ましくは乾燥炉内で、所定の相対大気湿度と所定の温度のもとで実行される。温度が過度に低い場合には、不均一な層が形成されるリスクが存在し、それに対して相対大気湿度は、絶縁層の生じ得る化学分解に影響を及ぼす。
【００３７】
好ましい実施形態では、絶縁材料を硬化させるための硬化ステップが実施され、この場合絶縁材料は、特に空気中で２００℃〜３６０℃の間の温度で硬化される。好ましくはこの硬化ステップは、乾燥ステップの後で実施される。ここでは、特に応力亀裂の形成を回避するために、５０℃／分の最大温度勾配が使用される。この硬化は、１時間〜２．５時間の間の期間内で実施される。
【００３８】
好ましくは、製造方法の終了時において、ここでは部分領域の絶縁材料の下方に配置され、長手方向軸線縦軸に沿って配置された各第２の電極層が、所定のトレンチの形成により、例えば絶縁材料の局所的なレーザー剥離によって露出される。この場合、トレンチは、好ましくは長手方向軸線に対して平行に延在する各部分領域の縁部からそれぞれ離間されるように形成される。これにより、一方では各電極層の良好な接触接続が達成され、他方では接触接続された電極層の良好な絶縁が達成される。
【００３９】
特に上述の製造方法によって製造された電気機械式アクチュエータは、積層体の長手方向軸線に沿って交互に上下に積層された複数の圧電セラミック層と複数の電極層とから形成され、積層体として構成された電気的構成要素を備え、電極層は、長手方向軸線に対して平行に配置された積層体の少なくとも２つの相対向する側面において、積層体の表面に突出している。この積層体は、２つの側面の予め定められた部分領域に、絶縁材料を有しており、詳細には、積層体の長手方向軸線に対して垂直方向の絶縁材料の層厚さが、長手方向軸線に対して平行に延在する、各部分領域の長手方向中心軸線から、長手方向軸線に対して平行に延びる、各部分領域の縁部に向かって減少するように構成されている。
【００４０】
表面上の絶縁材料の乾燥および硬化後には、電極層が表面に突出している表面領域において、約５μｍ〜５０μｍの層厚さを有する絶縁材料が形成される。これは、電極層を確実に絶縁するのに十分である。機械的に安定した絶縁材料を実現するために、部分領域は、直線状の縁部、すなわち長手方向軸線に対して垂直方向の縁部を有するのではなく、縁部において減少するように構成されており、それによって縁部における層厚さが連続的に層厚さ０まで低減する。これにより、積層体の表面における絶縁材料の付着性が、機械的または熱的に誘起された応力の下でも保証される。
【００４１】
好ましくは、各部分領域は、積層体の長手方向軸線に対して垂直方向の断面が、平坦領域を有する台形状の縦断面形態を有する。これは、長手方向中心軸線周りの領域において、各部分領域が、一定の層厚さを提供するために平坦に構成されていることを意味する。連続的な減少は、縁部において初めて開始され、これによって台形状の断面形態が生じる。したがって、各部分領域において、長手方向中心軸線に対して対称的に構成された２つの減少領域がそこでは生じる。
【００４２】
したがって、総体的に、積層体の表面に電極層が突出している領域における電極層の被覆は、例えば適切な粘度のポリイミドコーティングの噴霧を用いて、懸架された使い捨てマスクを通して実現される。この目的のために特殊な乾燥および硬化過程が用いられ、これによって生じた部分領域は、機械的ストレスまたは熱的ストレスに対する良好な対抗力をもたらすことができる。
【００４３】
以下では本発明の好ましい実施形態を、添付の図面に基づいてより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】完全アクティブ型積層体として構成され、複数の圧電セラミック層と複数の電極層とからなる電気的構成要素を備えた電気機械式アクチュエータの斜視図
【図２】２つの相対向する側面において電極層がそれぞれ積層体の表面に突出している図１の電気的構成要素の縦断面図
【図３】図１に対応する電気機械式アクチュエータを製造するための製造方法の複数のステップの概略図
【図４】図２に示した構成要素の電極層を通る断面図であって、マスクを通した表面の部分領域への絶縁材料の被着が示されている
【図５】図４に示したマスクが準備される連続テープの斜視図
【図６】図４または図５のマスクの上方からの平面図
【図７】乾燥ステップおよび硬化ステップ後の図４の電気的構成要素を示した図
【図８】絶縁材料内に各第２の電極層と接触接続するためのトレンチが形成された後での図７の電気的構成要素（電子部品）の斜視図
【図９】図３で説明した方法によって作成された圧電ブロックの第１の実施形態の斜視図
【図１０】図３で説明した方法によって作成された圧電ブロックの第２の実施形態の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００４５】
図１は、積層体１４として構成された電気的構成要素１２を備えた電気機械式アクチュエータ１０を示しており、電界の印加に反応する複数の圧電セラミック層１６と複数の電極層１８とが交互に長手方向軸線２０に沿って、各電極層１８が２つの圧電セラミック層１６の間に配置されるように上下に積層されている。積層体１４の側面２２には、外側電極２４の形態の少なくとも１つの接触接続部が被着されており、これは接触接続ピン２６と電気的に接続されている。この接触接続ピン２６を介して、接触接続された各電極層１８に電位を通すことが可能になる。それぞれ相互に隣接する電極層１８には異なる電位を印加することが可能であり、それによって電界が積層体１４内部で生成される。圧電セラミック層１６は、長手方向軸線２０に沿ってその長さが変化できるようにするために、２つの接触接続ピン２６が存在しており、これらのピンを介してそれぞれ異なる電位が積層体１４に導かれる。
【００４６】
図１の本発明の実施形態では、積層体１４は、いわゆる「完全アクティブ型圧電積層体」として構成されており、すなわち複数の電極層１８が、全面にわたって積層体１４の表面２８まで延在している。複数の電極層１８が全面にわたって側面２２の表面２８まで案内されている完全アクティブ型圧電積層体は、完全アクティブ型ではない圧電積層体、すなわち複数の電極層１８が交互に積層体１４の表面２８から飛び出したり積層体１４内に引っ込んだりするようにずらされて配置されている圧電積層体に比べて、より少ない空間要求のもとで、少なくとも同等の伸長特性かまたはそれどころかさらにより大きな伸長特性を達成することができるという利点を有している。
【００４７】
図２は、図１の電気的構成要素１２の縦断面図を示しており、外側電極２４は、積層体１４の２つの相対向する側面２２に配置されている。
【００４８】
２つの接触接続ピン２６と２つの外側電極２４とを介してもたらされる異なる電位の間の閃絡を回避するためには、外側電極２４が固定される側面２２において、積層体１４の表面２８に絶縁材料３０を被着させ、それによって長手方向軸線２０に沿って各第２の電極層１８を外側電極２４から絶縁させることが必要である。したがって、以下で図３を参照して説明するように、表面２８における予め定められた部分領域３２には、詳細には複数の電極層１８が積層体１４の表面２８に突出しているところに、絶縁材料３０が被着される。
【００４９】
絶縁材料３０を機械的および熱的応力に対して安定化させるために、利点となるのは、部分領域３２が、長手方向軸線２０に対して少なくとも垂直方向で、一定の層厚さＤを有するのではなく、長手方向軸線２０に対して垂直方向で、長手方向軸線２０に対して平行に延びる、各部分領域３２の長手方向中心軸線６０から、長手方向軸線２０に対して平行に延在する、各部分領域３２の縁部３８まで、連続的に減少している場合である。
【００５０】
ここでは、そのような部分領域３２を形成することができる対応する方法を、図３に示されたフローチャートを参照して説明する。このフローチャートには、製造方法の個々のステップが示されている。
【００５１】
まず第１のステップでは、複数の圧電セラミック層１６と複数の電極層１８とを有する電気的構成要素１２が準備される。複数の電極層１８は、全面にわたって側面２２まで、積層体１４の表面２８に突出している。
【００５２】
それに続く次のステップでは、それぞれ絶縁材料３０で被覆すべき側面２２において、マスク４０が積層体１４の表面２８上の所定の距離ａに配置される。この目的のために、例えば、表面２８に対して所定の距離ａを維持できるようにするためのスペーサおよび案内装置が使用される。マスク４０は、図６のマスク４０平面図から見て取れるように、予め定められた開口部４２を有しており、この開口部４２は、これによって構造化される絶縁材料３０が後に予め定められた部分領域３２を形成するようにマスク４０上に配置されている。したがって、マスク４０内の予め定められた開口部４２は、予め定められた部分領域３２に相応する。
【００５３】
マスク４０が積層体１４の表面２８から距離ａにどのように配置されるかは、図４の電気的構成要素１２の詳細図に示されている。
【００５４】
溶媒中に絶縁材料３０の溶液４６を有する噴霧ヘッド４４は、積層体１４とは反対側のマスク側４８の予め定められた経路を進み、溶液４６を、開口部４２を通じて積層体１４の表面２８上に噴霧する。この場合、マスク４０は、表面２８上で０．１ｍｍ〜４ｍｍの間の範囲で変化する予め定められた距離ａに懸架される。これにより、絶縁材料３０の縁部３８のくずれまたはマスク４０下の溶液４６の広がりなどの影響が回避される。
【００５５】
マスク４０は、好ましくは、図５に示されている連続テープ５０で準備され、使い捨てマスク５１を形成する。この使い捨てマスク５１は、ただ１回の被覆ステップのためにだけ使用されて、その後廃棄される。
【００５６】
したがって、マスク４０が表面２８上の所定の距離ａに配置された後では、絶縁材料３０が、次のステップにおいて、溶液４６の形態で噴霧ヘッド４４を介して表面２８に被着される。このことは図４に示されている。
【００５７】
図３に示されている製造方法の次のステップでは、被着された絶縁材料３０の層厚さＤが、例えば積層体１４の秤量かまたは光学的測定方法の実施により測定される。
【００５８】
層厚さＤを測定した後で、乾燥ステップが、約３０％の最大相対大気湿度を有する乾燥炉内で、４０℃〜８０℃の間の温度のもとで実施される。
【００５９】
その後硬化ステップが行われ、絶縁材料３０が空気中で２８０℃〜３６０℃の温度で硬化される。その際には、絶縁材料３０内の応力亀裂を回避するために、５０℃／分の最大温度勾配が使用されることに注意すべきである。
【００６０】
製造方法の最後では、例えばレーザー剥離によって、絶縁材料３０内にトレンチ５２が形成され、このトレンチ５２は、長手方向軸線２０に沿って絶縁材料３０によって覆われた各第２の電極層１８を露出させる。これらのトレンチ５２は、長手方向軸線２０に対して垂直方向に配置された各部分領域３２の幅にわたって完全に延在するのではなく、両側が部分領域３２の縁部３８から離間されて配置される。これにより、一方では接触接続されるべき電極層１８の確実な絶縁が、同時に良好な接触接続の可能性のもとで提供される。
【００６１】
図７は、絶縁材料３０が硬化した後の、図２の電気的構成要素１２の詳細図を示す。
【００６２】
電極層１８を電気的に絶縁する部分領域３２は、長手方向中心軸線６０周りの直近領域では平坦に構成されており、縁部３８では連続的に減少していることが見て取れる。この部分領域３２の長手方向中心軸線６０周りの平坦な構成によって、電極層１８の確実な絶縁を保証する平坦領域５６が生じる。
【００６３】
図８は、部分領域３２内にトレンチ５２が形成された後の、図７の電気的構成要素の斜視図を示す。ここでは、部分領域３２が、長手方向軸線２０に対して平行に延びている積層体縁部５８からそれぞれ離間されて配置されていることが見て取れる。部分領域３２はこの場合、部分領域３２の長手方向中心軸線６０を中心として対称的に構成されている。
【００６４】
図９および図１０は、図３による製造方法を用いて生成された圧電ブロック６２を示す。図９の第１の実施形態では、圧電ブロック６２が縁部領域まで連続して被覆されていることが示されている。これに対して、図１０による第２の実施形態の圧電ブロック６２は、絶縁材料３０において隙間を有していることが示されており、ここでは、後からの圧電ブロック６２の分離が個々の積層体１４において行われる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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