(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する装置であって、
圧力源と接続されるタンクと、
前記タンクと前記圧力源との間に介在されて、前記タンクの圧力を調節する圧力制御手段と、
前記タンクの圧力を測定する圧力測定手段と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断した後、前記タンクと前記検査空間とを連通する開閉手段と、
前記連通前における前記圧力測定手段による第１測定圧力と、前記連通後における前記圧力測定手段による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定手段と
を備え、前記圧力測定手段が、前記タンクに接続されて前記第１測定圧力を得る第１圧力計と、前記検査空間に接続されて前記第２測定圧力を得る第２圧力計とを含むことを特徴とする漏れ検査装置。
【請求項２】
検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する方法であって、
圧力源と接続されたタンクの圧力を、前記タンクと前記圧力源との間に介在された圧力制御手段によって調節する圧力調節工程と、
前記タンクの圧力を測定する測定工程と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断する遮断工程と、
前記遮断工程の後、前記タンクと前記検査空間とを連通する連通工程と、
前記連通前における前記測定工程による第１測定圧力と、前記連通後における前記測定工程による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定工程と
を備え、前記比較値に基準圧を乗じた補正後第２測定圧力に基づいて前記判定を行なうことを特徴とする漏れ検査方法。
【請求項３】
大気圧を測定する大気圧測定工程を更に含み、
前記第１測定圧力及び前記第２測定圧力がそれぞれ絶対圧力であり、
前記第１測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第１測定ゲージ圧力と、前記第２測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第２測定ゲージ圧力との比に基づいて、前記漏れ判定を行なうことを特徴とする請求項２に記載の漏れ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象からの圧力漏れを検知する漏れ検査装置及び方法に関し、特に、小さい検査対象における比較的大きな漏れを検査するのに適した漏れ検査装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
漏れ検査（リークテスト）は、密閉空間を有する検査対象からの圧力漏れを検知することで、密閉状態の良否を判定する技術として知られている。漏れのレベルには、比較的大きな欠陥によるものと、小さな欠陥によるものとがある。検査の精度を確保するために、漏れのレベルに応じた検査が別工程で行われる（特許文献１、２等参照）。特許文献１等に開示されているように、比較的大きな漏れを検査する工程では、例えば、エアコンプレッサや真空ポンプからなる正又は負の圧力源をタンクに接続して、タンクに正又は負のエア圧を溜めておく。タンクと圧力源との間には、圧力制御弁（レギュレータ）を設けることで、タンクの圧力（テスト圧）を所定に維持する。次に、圧力源とタンクを遮断し、かつタンクと検査対象を含む検査空間とを連通させる。そして、タンクないしは検査空間の圧力（直圧）を測定する。検査対象に大きな欠陥がある場合、その欠陥からの大漏れのために、タンクないしは検査空間の圧力が閾値を超える。これによって、大漏れの有無を検知できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−００２８１２号公報（［００３１］〜［００３２］、図１）
【特許文献２】特開２００７−２７８９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査空間との連通前のタンクの圧力（テスト圧）を設定圧から全く変動しないように保持するのは、圧力制御弁の性能上、困難である。厳密には、テスト圧は、設定圧を中心とする或る圧力範囲内で変動する。一般的な圧力制御弁の場合、制御圧力の変動範囲は、設定圧の０．５％（フルスケール）程度である。つまり、設定圧が例えば−１００ｋＰａ（ゲージ圧）とすると、テスト圧の変動幅はフルスケールで５００Ｐａ程度である。
【０００５】
検査対象が比較的大きい場合、大漏れが有ると、上記変動幅（例えば５００Ｐａ）よりも十分に大きな圧力漏れ（例えば数ｋＰａ〜数十ｋＰａ程度）が生じるから、特に支障はない。
一方、検査対象が小さいと、大漏れ品における圧力漏れの度合が上記変動幅以下（例えば１００Ｐａ程度）になる。このため、測定圧力が閾値を越えていても、それが圧力漏れに因るものであるのか、テスト圧の不可避的な変動に因るものであるのか不明であり、正確に漏れ判定できないという問題があった。圧力変動を小さく抑えられる高精度の圧力制御弁を用いることも考えられるが、そうすると、漏れ検査装置の製品コストが高くなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記問題点を解決するために、本発明装置は、検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する装置であって、
圧力源と接続されるタンクと、
前記タンクと前記圧力源との間に介在されて、前記タンクの圧力を調節する圧力制御手段と、
前記タンクの圧力を測定する圧力測定手段と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断した後、前記タンクと前記検査空間とを連通する開閉手段と、
前記連通前における前記圧力測定手段による第１測定圧力と、前記連通後における前記圧力測定手段による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする。
前記比較値を求めることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。したがって、検査対象が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。
【０００７】
本発明方法は、検査空間を画成する検査対象を漏れ検査する方法であって、
圧力源と接続されたタンクの圧力を、前記タンクと前記圧力源との間に介在された圧力制御手段によって調節する圧力調節工程と、
前記タンクの圧力を測定する測定工程と、
前記タンクと前記圧力源とを遮断する遮断工程と、
前記遮断工程の後、前記タンクと前記検査空間とを連通する連通工程と、
前記連通前における前記測定工程による第１測定圧力と、前記連通後における前記測定工程による第２測定圧力との比較値に基づいて前記検査空間からの漏れを判定する判定工程と
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記圧力測定手段が、前記タンクに接続されて前記第１測定圧力を得る第１圧力計と、前記検査空間に接続されて前記第２測定圧力を得る第２圧力計とを含むことが好ましい。これによって、各圧力計の測定レンジを狭くでき、測定感度を高めることができる。
【０００９】
前記比較値に基準圧を乗じた補正後第２測定圧力に基づいて前記判定を行なうことが好ましい。これによって、前記比較値を圧力換算でき、漏れの程度を把握しやすくできる。前記基準圧は、前記圧力制御手段の設定圧であってもよく、大漏れ無しの場合の補正後第２測定圧力が第２測定圧力の変動範囲の平均値付近となるような値であってもよい。
【００１０】
前記第１、第２測定圧力は、ゲージ圧でもよい。前記圧力測定手段は、ゲージ圧力計でもよい。その場合、前記第１測定圧力と前記第２測定圧力の比（比較値）を取ることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。
【００１１】
前記圧力測定手段の周辺の大気圧は、検査室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で変動することがある。通常、この変動は微小であるが、検査対象が小さいと、判定に影響を及ぼすおそれがある。そこで、大気圧変動をも考慮する場合は、大気圧を測定する大気圧測定工程を更に含むことが好ましい。前記圧力測定手段は、絶対圧力を測定する絶対圧力計であることが好ましい。
前記第１測定圧力及び前記第２測定圧力がそれぞれ絶対圧力であり、
前記第１測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第１測定ゲージ圧力と、前記第２測定圧力を前記大気圧の測定値によってゲージ圧に換算した第２測定ゲージ圧力との比に基づいて、前記漏れ判定を行なうことが好ましい。
これによって、検査室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。前記第１測定ゲージ圧力と第２測定ゲージ圧力との比（比較値）を取ることによって、前記連通前のタンクの圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。
前記タンクを大気解放し、かつ前記タンク用の前記圧力測定手段（絶対圧力計）を用いて、前記タンクの大気解放された内圧を測定することによって、前記大気圧測定値を求めてもよい。これによって、圧力計の数を減らすことができ、設備コストを削減できる。
前記タンク用の圧力測定手段とは別の絶対圧測定手段によって、前記大気圧測定値を求めてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、タンクの圧力の変動に拘わらず、検査対象が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。
【図２】図２は、前記漏れ検査装置による漏れ検査の手順を示すタイムチャートである。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。
【図４】図４は、本発明の第３実施形態に係る漏れ検査装置の回路図である。
【図５】図５は、前記第３実施形態における漏れ検査の手順を示すタイムチャートである。
【図６】図６は、本発明の実施例１の測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
＜第１実施形態＞
図１及び図２は、本発明の第１実施形態を示したものである。
図１に示すように、漏れ検査装置１は、検査回路１０と、カプセル２０（検査対象収容器）を備えている。カプセル２０に検査対象９が収容されている。検査対象９の内部に密閉空間９ａが形成されている。密閉空間９ａの内容積は、例えば数ｃｃ以下程度である。検査対象９としては、例えば錠剤用のＳＰ包装(strip package)やＰＴＰ包装(press through package)が挙げられるが、これに限定されるものではない。
カプセル２０の内壁と検査対象９との間に検査空間２９が画成されている。言い換えると、検査対象９が、カプセル２０と協働して検査空間２９を画成している。検査空間２９の内容積は、例えば数十ｃｃ程度である。
【００１５】
検査回路１０は、タンク圧調整路１１と、測定路１２と、小漏れ測定路１３を含む。
タンク圧調整路１１の端部に真空ポンプ２（圧力源）が接続されている。タンク圧調整路１１には、真空ポンプ２側から順に、真空レギュレータ３と、タンク弁Ｖ１と、タンク４（圧力槽）が配置されている。言い換えると、タンク４が、タンク圧調整路１１を介して真空ポンプ２と接続されている。真空ポンプ２の真空排気によってタンク４内が、ゲージ圧で例えば−数十ｋＰａ〜−１００ｋＰａ程度の真空圧（負の圧力）になる。タンク４の内容積は、好ましくは検査空間２９の内容積（正確には、検査空間２９に加えて、これに連なる測定路１２、小漏れ測定路１３ａ，１３ｃ、及び後記弁Ｖ４より上流側の後記残圧解放路１４、並びに後記被検室３１の合計容積）よりも小さい。
【００１６】
タンク４と真空ポンプ２の間に真空レギュレータ３（圧力制御手段）が介在されている。真空レギュレータ３は、調圧ばね３ａと、二次圧戻し路３ｂを含む。真空レギュレータ３によって、タンク４の内圧（テスト圧）が所定の負圧に略維持される。真空レギュレータ３とタンク４との間には、タンク弁Ｖ１が介在されている。タンク弁Ｖ１は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。タンク弁Ｖ１によって、タンク４と真空レギュレータ３とが連通・遮断され、ひいてはタンク４と真空ポンプ２とが連通・遮断される。
【００１７】
タンク４にゲージ圧力計４０（圧力測定手段）が接続されている。圧力計４０によって、タンク４内の圧力（ゲージ圧）が測定される。圧力計４０の分解能は、好ましくは数Ｐａ〜数十Ｐａである。
【００１８】
タンク圧調整路１１は、タンク４よりもタンク弁Ｖ１側とは反対側へ延び、測定弁Ｖ２を介して測定路１２と接続されている。測定路１２は、カプセル２０へ延び、検査空間２９に連なっている。測定弁Ｖ２は、常閉の空気作動開閉弁によって構成されている。測定弁Ｖ２によって、タンク圧調整路１１と測定路１２とが連通・遮断される。ひいては、タンク４と検査空間２９とが連通・遮断される。
【００１９】
測定路１２の中間部に小漏れ測定路１３の被検室路１３ａ及び被検側連通路１３ｃ及びが連なっている。小漏れ測定路１３には、差圧センサ３０（小漏れ測定手段）が設けられている。差圧センサ３０は、被検室３１と、基準室３２を含む。被検室３１が、被検室路１３ａを介して、測定路１２及び被検側連通路１３ｃと連なっている。基準室３２が、基準室路１３ｂを介して基準側連通路１３ｄと連なっている。被検側連通路１３ｃと基準側連通路１３ｄとの間に、小漏れ測定弁Ｖ３が介在されている。小漏れ測定弁Ｖ３は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。小漏れ測定弁Ｖ３によって、被検側連通路１３ｃと基準側連通路１３ｄとが連通・遮断される。
【００２０】
被検側連通路１３ｃから残圧解放路１４が延びている。残圧解放路１４には、残圧解放弁Ｖ４が設けられている。残圧解放弁Ｖ４は、常開の空気作動開閉弁によって構成されている。残圧解放路１４の端部は、大気解放されている。
【００２１】
基準室路１３ｂと基準側連通路１３ｄとの接続部に急速破壊路１５が連なっている。急速破壊路１５上に急速破壊弁Ｖ５が設けられている。急速破壊弁Ｖ５は、常閉の空気作動開閉弁によって構成されている。急速破壊路１５の端部には、コンプレッサ５が接続されている。
【００２２】
図示は省略するが、漏れ検査装置１には、コントローラ（制御手段）が更に備えられている。コントローラによって、弁Ｖ１〜Ｖ５の駆動や、圧力計４０及び差圧センサ３０の測定値の読み込み、演算処理等が実行される。
【００２３】
漏れ検査装置１によって、検査対象９を漏れ検査する方法を、図２のタイムチャートにしたがって説明する。
＜検査対象９の設置工程＞
カプセル２０を開けて、検査すべき検査対象９をカプセル２０内に収容した後、カプセル２０を密閉する。この段階の検査空間２９は、大気圧になっている。
漏れ検査装置１は、カプセル２０内の検査対象９に対して、先ず大漏れの有無の検査を行ない、続いて小漏れの有無の検査を行なう。
【００２４】
＜大漏れ検査＞
図１に示すように漏れ検査開始時には、タンク弁Ｖ１は開状態、測定弁Ｖ２は閉状態、小漏れ測定弁Ｖ３は開状態、残圧解放弁Ｖ４は開状態、急速破壊弁Ｖ５は閉状態になっている。
【００２５】
＜圧力調節工程＞
真空ポンプ２の駆動によって、タンク４内を真空圧にする。
さらに、真空レギュレータ３によって、タンク４の内圧（テスト圧）を設定圧になるように調節する。設定圧は、例えば−８０ｋＰａ〜−１００ｋＰａ（ゲージ圧）の範囲内で設定する。ここで、真空レギュレータ３の感度ないしは性能には限界があるために、タンク４の内圧（テスト圧）は、上記の設定圧と完全に一致する大きさに継続的に維持されるのではなく、厳密には、設定値の例えば０．５％程度の範囲で変動する。つまり、設定値を中心にして、フルスケールで４００Ｐａ〜５００Ｐａ程度の変動幅がある。
【００２６】
＜遮断工程＞
次に、タンク弁Ｖ１及び残圧解放弁Ｖ４を閉じる。タンク弁Ｖ１の閉止によって、タンク４が真空ポンプ２から遮断される。タンク４の内圧は、遮断時の値に維持される。
＜第１測定工程＞
このタンク４の内圧（ゲージ圧）を圧力計４０によって測定する。測定結果すなわち前記遮断後かつ後記連通前の第１測定圧力Ｐ１（第１測定ゲージ圧力）をコントローラのメモリに記憶しておく。なお、Ｐ１として記憶するデータは、圧力計４０の出力（電圧値又は電流値）を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計４０の出力値（電圧値又は電流値）そのものであってもよい。
【００２７】
＜連通工程＞
第１測定工程の後（ひいては遮断工程の後）、測定弁Ｖ２を開く。これによって、タンク４と検査空間２９とが連通され、互いに等圧になる。漏れが無い場合、連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、前記遮断後かつ連通前におけるタンク４の圧力と検査空間２９の圧力（大気圧）との間の値になる。具体的には例えば、−２０ｋＰａ〜−３０ｋＰａ（ゲージ圧）程度になる。この値は、前記遮断後かつ連通前のタンク４の圧力（Ｐ１）及び検査空間２９の圧力（大気圧）の他、タンク４の容積及び検査空間２９の容積等に応じて決まる。ここで、検査空間２９の圧力（大気圧）は略一定であり、かつタンク４の容積及び検査空間２９の容積は不変である。したがって、連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、前記遮断後かつ連通前のタンク４の圧力すなわち第１測定圧力Ｐ１と比例ないしは相関すると言える。
【００２８】
検査空間２９には、タンク４からの真空圧が導入される。したがって、検査対象９の密封状態に欠陥があるときは、その欠陥部を通して密閉空間９ａ内のガスが検査空間２９へ漏れ出る。上記欠陥が比較的大きなものであるときは、漏れの流量が大きく、短時間で圧力漏れが起きる。そのため、前記連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力が、密閉空間９ａの容積分だけ、大漏れの無い（良品又は小漏れ品の）検査対象９よりも大気圧に近い値になる。小型の検査対象９においては、密閉空間９ａの容積が小さいから、大漏れの有る場合と無い場合との圧力差が小さい。
【００２９】
具体的には、この実施形態においては、大漏れ有りの場合の前記連通後のタンク４及び検査空間２９の圧力は、大漏れ無しの場合よりも例えば１００Ｐａ程度、大気圧に近い値になる。この圧力差（１００Ｐａ程度）は、上記圧力調節工程におけるタンク４の内圧の変動幅（４００Ｐａ〜５００Ｐａ程度）よりも小さい。
【００３０】
＜第２測定工程＞
次いで、圧力計４０によって、前記連通後のタンク４（ひいては検査空間２９）の圧力（ゲージ圧）を測定する。測定結果すなわち第２測定圧力Ｐ２（第２測定ゲージ圧力）をコントローラのメモリに記憶する。なお、Ｐ２として記憶するデータは、圧力計４０の出力（電圧値又は電流値）を圧力値に換算したものである必要はなく、圧力計４０の出力値（電圧値又は電流値）そのものであってもよい。
【００３１】
＜判定工程＞
その後、コントローラにおいて、第１測定圧力Ｐ１と第２測定圧力Ｐ２との比（比較値）に基づいて、検査空間２９からの大漏れの有無を判定する。詳しくは、下式（１）の演算を行なう。
【数１】
0006695153.tif 000002
ここで、Ｐ'２は、検査空間２９の補正後第２測定圧力である。
ＰKは、基準圧力（Ｐａ）であり、具体的には、真空レギュレータ３によるタンク４の設定圧（テスト圧）付近の値であってもよく、大漏れ無しの場合の補正後第２測定圧力Ｐ'２が第２測定圧力Ｐ２の変動範囲の平均値付近となるような値であってもよい。
【００３２】
上述したように、圧力漏れが無ければ、第２測定圧力Ｐ２は第１測定圧力Ｐ１と略比例するから、第１測定圧力Ｐ１の変動に拘わらず、比（Ｐ２／Ｐ１）は略一定である。したがって、補正後第２測定圧力Ｐ'２も、略一定である。少なくとも、Ｐ'２の変動幅は、大漏れに因る圧力漏れ（例えば１００Ｐａ程度）よりも十分に小さく、例えば数十Ｐａ程度になる。
【００３３】
上記式（１）の演算後、補正後第２測定圧力Ｐ'２が、閾値以内であるか否かを判定する。閾値は、例えば、大漏れ無しの場合の第２測定圧力Ｐ２の平均値や変動幅、並びに大漏れに因る圧力漏れの度合（例えば１００Ｐａ程度）の他、基準圧Ｐｋに応じて設定しておく。
そして、補正後第２測定圧力Ｐ'２が閾値以内であれば、検査対象９を「大漏れ無し」と判定する。
補正後第２測定圧力Ｐ'２が閾値を越えていた（閾値よりも大気圧に近い値であった）ときは、検査対象９を「大漏れ有り（ＮＧ品）」と判定する。
【００３４】
この漏れ判定によれば、式（１）の補正演算を行なうことによって、圧力調節工程においてタンク４の圧力が時間的に変動したとしても、その変動を補償することができる。これによって、検査対象９が小型であっても、大漏れを確実に検出でき、漏れ検査の信頼性を高めることができる。
真空レギュレータ３を超高感度ないしは超高性能にする必要がなく、漏れ検査装置１の製品コストを抑えることができる。
「大漏れ有り」と判定された検査対象９については、この時点で漏れ検査を終了してもよい。
【００３５】
＜小漏れ検査＞
「大漏れ無し」と判定された検査対象９については、引き続いて、小漏れの検査を行なう。
詳しくは、測定弁Ｖ２を閉じるとともに、小漏れ測定弁Ｖ３を閉じることで、被検室３１と基準室３２とを遮断する。そして、平衡工程が経過した後、差圧センサ３０によって被検室３１と基準室３２との間の差圧を測定する。この測定差圧が小漏れの閾値以内であれば、「ＯＫ品」と判定し、閾値を越えていれば「小漏れ有り（ＮＧ品）」と判定する。
【００３６】
＜真空破壊工程＞
その後、タンク弁Ｖ１を開く。
また、小漏れ測定弁Ｖ３及び残圧解放弁Ｖ４を開けるとともに、急速破壊弁Ｖ５を開ける。そして、コンプレッサ５からエアを、急速破壊路１５、基準側連通路１３ｄ、被検側連通路１３ｃ、及び測定路１２を順次経て、検査空間２９へ強制導入する。これによって、検査空間２９を短時間で大気圧に戻すことができる。
【００３７】
＜交換工程＞
その後、カプセル２０を開けて、検査対象９を交換する。
そして、次の検査対象９の漏れ検査を同様の手順で行う。
【００３８】
次に、本発明の他の実施形態（変形例を含む）を説明する。以下の実施形態において、既述の形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態の漏れ検査装置１Ｂでは、タンク４に第１圧力計４１が接続されている。第１圧力計４１の測定レンジは、第１測定圧力Ｐ１を測定可能な範囲に設定されている。
測定路１２には第２圧力計４２が設けられている。第２圧力計４２の測定レンジは、第２測定圧力Ｐ２を測定可能な範囲に設定されている。
【００３９】
第１測定工程では、第１圧力計４１によってタンク４の圧力（第１測定圧力Ｐ１）を測定する。
一方、第２測定工程では、第２圧力計４２によって検査空間２９の圧力ひいてはタンク４の圧力（第２測定圧力Ｐ２）を測定する。
したがって、第１圧力計４１の測定レンジは、第１測定圧力Ｐ１だけに対応していればよい。また、第２圧力計４２の測定レンジは、第２測定圧力Ｐ２だけに対応していればよい。よって、各圧力計４１，４２の測定レンジを狭くでき、測定感度を高めることができる。
【００４０】
＜第３実施形態＞
図４に示すように、第３実施形態では、圧力測定手段としてゲージ圧力計４０に代えて、絶対圧力計４３（絶対圧力測定手段）が用いられている。タンク４に絶対圧力計４３が接続されている。
【００４１】
＜大気圧測定工程＞
図５のフローチャートに示すように、第３実施形態では、タンク４にテスト圧を導入するのに先立ち、次のような大気圧測定工程を実行する。すなわち、タンク弁Ｖ１を閉じ、かつ、測定弁Ｖ２を閉き、残圧解放弁Ｖ４を開く。また、急速破壊弁Ｖ５を閉じる。これによって、タンク４が、測定弁Ｖ２及び残圧解放弁Ｖ４を介して大気開放される。この状態で、絶対圧力計４３でタンク４の内圧（絶対圧）を測定する。つまりは、漏れ検査装置１の周辺の大気圧Ｐ０を測定する。測定した大気圧値Ｐ０をコントローラのメモリに記憶しておく。
【００４２】
続いて、測定弁Ｖ２を閉じ、かつタンク弁Ｖ１を開くことで、タンク４にテスト圧を導入する（圧力調節工程）。
次に、タンク弁Ｖ１及び残圧解放弁Ｖ４を閉じる（遮断工程）。
次に、タンク４の内圧（絶対圧）を絶対圧力計４３によって測定する（第１測定工程）。測定結果すなわち第１測定圧力Ｐ１Ａ（絶対圧）をコントローラのメモリに記憶しておく。
或いは、前記大気圧測定値Ｐ０と第１測定圧力Ｐ１Ａとから第１測定ゲージ圧力（Ｐ１Ａ−Ｐ０）を求め、この第１測定ゲージ圧力（Ｐ１Ａ−Ｐ０）をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。
【００４３】
次に、測定弁Ｖ２を開くことで、タンク４と検査空間２９とを連通させる（連通工程）。
次に、絶対圧力計４３によって、前記連通後のタンク４ひいては検査空間２９の圧力（絶対圧）を測定する（第２測定工程）。測定結果すなわち第２測定圧力Ｐ２Ａ（絶対圧）をコントローラのメモリに記憶する。
或いは、前記大気圧測定値Ｐ０と第２測定圧力Ｐ２Ａとから第２測定ゲージ圧力（Ｐ２Ａ−Ｐ０）を求め、この第２測定ゲージ圧力（Ｐ２Ａ−Ｐ０）をコントローラのメモリに記憶することにしてもよい。
【００４４】
その後、コントローラにおいて、第１測定圧力Ｐ１Ａと第２測定圧力Ｐ２Ａとの比較値に基づいて、検査空間２９からの漏れを判定する（判定手段）。詳しくは、下式（２）の演算を行なうことで、補正後第２測定圧力Ｐ'２を算出する。
【数２】
0006695153.tif 000003
この補正後第２測定圧力Ｐ'２に基づいて、検査空間２９からの大漏れの有無を判定する。要するに、第１測定圧力Ｐ１Ａを大気圧測定値Ｐ０によってゲージ圧換算した第１測定ゲージ圧力（Ｐ１Ａ−Ｐ０）と、第２測定圧力Ｐ２Ａを大気圧測定値Ｐ０によってゲージ圧換算した第２測定ゲージ圧力（Ｐ２Ａ−Ｐ０）との比に基づいて、漏れ判定を行なう。
これによって、試験室の開け閉め、人の出入り、風の有無等で漏れ検査装置１の周辺の大気圧が変動しても、正確に漏れ検査できる。第１測定ゲージ圧力（Ｐ１Ａ−Ｐ０）と第２測定ゲージ圧力（Ｐ２Ａ−Ｐ０）との比（比較値）を取ることによって、連通前のタンク４の圧力（テスト圧）の変動を補償することができる。
タンク４用の圧力計４３を用いて、タンク４の大気解放時の内圧を測定し、これを大気圧測定値Ｐ０とすることで、別途、大気圧測定手段を設ける必要がない。したがって、設備コストの上昇を抑えることができる。
【００４５】
本発明は、前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
例えば、テスト圧が正圧であってもよい。圧力源として、真空ポンプ２に代えてコンプレッサ等の圧縮エア供給手段を用いてもよい。圧力制御手段として、真空レギュレータ３に代えて正圧レギュレータを用いてもよい。この場合、急速破壊路１５の端部は大気解放されていてもよい。
式（１）に代えて、第１測定圧力Ｐ１と第２測定圧力Ｐ２との比（Ｐ２／Ｐ１）そのもので（基準圧力Ｐｋを乗じることなく）、漏れ判定を行なってもよい。つまり、比（Ｐ２／Ｐ１）の閾値を設定しておき、判定工程では、比（Ｐ２／Ｐ１）の値が上記閾値を越えているか否かを判定してもよい。逆数比（Ｐ１／Ｐ２）で判定してもよい。  
第１測定圧力Ｐ１は、必ずしもタンク４を圧力源２から遮断した後に限られず、圧力変動が僅少である範囲内において、遮断前（好ましくは遮断直前）における圧力計４０，４１による測定圧力であってもよい。
第２実施形態において、第２圧力計４２をカプセル２０に設けてもよい。
検査対象９の密閉空間９ａ自体が、検査空間２９であってもよい。測定路１２を密閉空間９ａに接続してもよい。
【００４６】
第３実施形態において、漏れ検査装置１の周辺の大気圧（絶対圧）を測定する圧力測定手段を、タンク４用の圧力計４３とは別に設けてもよい。
複数の実施形態を組み合わせてもよい。例えば、第３実施形態（図４〜図５）においても、第２実施形態（図３）と同様に、タンク４に接続されて第１測定圧力Ｐ１Ａ（絶対圧）を得る第１絶対圧力計と、検査空間２９に接続されて第２測定圧力Ｐ２Ａ（絶対圧）を得る第２絶対圧力計とを別々に設けてもよい。更に、漏れ検査装置１の周辺の大気圧（絶対圧）を測定する絶対圧力計を、第１、第２絶対圧力計とは別に設けてもよい。
本実施形態に記載した圧力値等の数値は、あくまでも例示であって、本発明が当該数値に限定されるものではない。
【実施例１】
【００４７】
実施例を説明する。なお、本発明は、当該実施例に限定されるものではない。
図１の漏れ検査装置１と同様の回路を有する装置を用いた。
真空レギュレータ３としては、株式会社フクダ製電空レギュレータＡＰＵを用いた。なお、この電空レギュレータ（ＡＰＵ）の圧力変動幅は、設定圧の０．１％程度であり、一般的なレギュレータ（０．５％程度）よりも小さい。
タンク４の容積は、２０ｃｃであった。
検査空間２９の容積（正確には、検査空間２９に加えて、これに連なる測定路１２、小漏れ測定路１３ａ，１３ｃ、及び弁Ｖ４より上流側の後記残圧解放路１４、並びに被検室３１の合計容積）は、５０ｃｃであった。
カプセル２０には、漏れの無い検査対象９を入れた。
タンク弁Ｖ１を開け、かつ測定弁Ｖ２を閉じた状態で、図６に示すように、電空レギュレータ（ＡＰＵ）の設定圧を変更することで、タンク４の内圧（テスト圧）の圧力変動を疑似的に作り出した。図６に示すように、テスト圧（第１測定圧力Ｐ１）の変動幅は、約１ｋＰａ程度とした。これは、一般的なレギュレータで設定圧を−１００ｋＰａ程度としたときの変動幅（５００Ｐａ（＝−１００ｋＰａ×０．５％））の約２倍である。
【００４８】
各設定圧において、遮断工程（タンク弁Ｖ１の閉止）、第１測定工程（第１測定圧力Ｐ１の取得）、連通工程（測定弁Ｖ２の開通）、第２測定工程（第２測定圧力Ｐ２の取得）を順次行った。
図６に示すように、タンク４の内圧（テスト圧）すなわち第１測定圧力Ｐ１が大きくなるほど、第２測定圧力Ｐ２も大きくなった。
次に、各設定圧において、式（１）の演算を行い、補正後第２測定圧力Ｐ'２を求めた。基準圧力ＰKは、ＰK＝７０．０ｋＰａとした。
図６から明らかな通り、補正後第２測定圧力Ｐ'２は、テスト圧の変動に拘わらず、概略一定の値を保った。
【００４９】
実施例１における取得データＰ２、Ｐ'２、（Ｐ２／Ｐ１）の平均値、最大値、最小値等を下表に示す。
【表１】
0006695153.tif 000004
【００５０】
上述したように、表１のデータは、一般的なレギュレータで設定圧を−１００ｋＰａ程度としたときの約２倍の圧力変動を起こさせて取得したものであり、同表の通り、補正後第２測定圧力Ｐ'２の変動幅は１３３Ｐａであった。したがって、実際に一般的なレギュレータを用いて設定圧を−７０ｋＰａ程度として、本発明の漏れ検査を実施すれば、補正後第２測定圧力Ｐ'２の変動幅を数十Ｐａ程度に抑えることができることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、例えば錠剤のＳＰ包装(strip package)やＰＴＰ包装(press through package)等の密封性試験に適用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１          漏れ検査装置
２          真空ポンプ（圧力源）
３          真空レギュレータ（圧力制御手段）
３ａ        調圧ばね
３ｂ        二次圧路
４          タンク
５          コンプレッサ
９          検査対象
９ａ        密閉空間
１０        検査回路
１１        タンク圧調整路
１２        測定路
１３        小漏れ測定路
１３ａ      被検室路
１３ｂ      基準室路
１３ｃ      被検側連通路
１３ｄ      基準側連通路
１４        残圧解放路
１５        急速破壊路
２０        カプセル
２９        検査空間
３０        差圧センサ（小漏れ測定手段）
３１        被検室
３２        基準室
４０        ゲージ圧力計（圧力測定手段）
４１        第１圧力計
４２        第２圧力計
４３        絶対圧力計（圧力測定手段）
Ｖ１        タンク弁
Ｖ２        測定弁
Ｖ３        小漏れ測定弁
Ｖ４        残圧解放弁
Ｖ５        急速破壊弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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