(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボートによって縦方向に所定間隔で多段に保持された複数枚のウェハを処理する処理室を形成する縦方向の筒部と、前記筒部の外方に突出するように形成され内部が隔壁によって複数の区画に分割された供給バッファ室と、を有する反応管と、
前記供給バッファ室の前記複数の区画の１つに縦方向に挿通されて、前記ウェハが保持される領域に亘ってガスを供給する開口を有したノズルと、を備え、
前記ノズルの開口は、縦方向に長く形成され前記ウェハの中心を向いて開口したスリットであり、
前記筒部の内部と前記供給バッファ室は、前記供給バッファ室の内壁に設けられた横長形状のスリットによって通じており、
前記ノズルは、処理室の処理温度と略同じ若しくはより低い温度で熱分解するガスを供給し、
前記複数の区画の内の他の１つの区画には、先端部まで延びたスリットを有しない他のノズルが挿通され、前記他のノズルは、前記ウェハの処理温度では熱分解しないガスを供給する基板処理装置。
【請求項２】
前記スリットは複数に分割して形成され、
前記スリットの上端は、前記複数枚のウェハの内で最上段に保持されるウェハの位置よりも高い位置に形成され、
前記スリットの下端は、前記複数枚のウェハの内で最下段に保持されるウェハの位置よりも低い位置に形成される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記反応管は、前記供給バッファ室部に対面して、前記筒部の外方に突出するように形成される排気バッファ室と、前記排気バッファ室に連通する排気管と、を有し、
前記筒部の内部と前記排気バッファ室は、前記排気バッファ室の内壁に設けられた開口によって通じている請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記ノズルに供給される前記ガスの流量を制御する流量制御器を更に備え、
前記流量制御器の制御によって前記ガスが供給される間、前記ノズルの内の前記ガスの圧力を、前記ガスがノズル内で分解することを抑制するのに十分な程低く維持すると共に、前記ノズルに供給されるガス流量を変化させたときに、前記複数枚のウェハの面間の流速分布の形状が変化しないように、前記スリットの幅が設定された請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記ノズルの先端は、ドーム状に形成され、前記スリットは、前記ドームの頂点まで連続して形成されており、前記ノズルはその先端から上部に向けてガスを供給する請求項１又は２に記載の基板処理装置。
【請求項６】
ボートによって縦方向に所定間隔で多段に保持された複数枚のウェハを処理する処理室を形成する縦方向の筒部と、前記筒部の外方に突出するように形成され内部が隔壁によって複数の区画に分割された供給バッファ室と、を有する反応管と、
前記供給バッファ室内に縦方向に挿通されて、前記ウェハが保持される領域に亘ってガスを供給する開口を有したノズルと、を備え、
前記ノズルは、
折り返し部と、
前記折り返し部よりも上流側である上流部と、
前記折り返し部よりも下流側である下流部と、を有し、
前記ノズルの開口は、下流部の側面において縦方向に長く開口したスリットであり、
前記スリットは、流量制御器の制御によって前記ノズルが前記ガスを供給する間、前記ノズルの内の前記ガスの圧力を、前記ガスがノズル内で分解することを抑制するのに十分な程低く維持することが可能な幅を有し、前記スリットの上部よりも下部において、より分解の進んだ前記ガスを供給する基板処理装置。
【請求項７】
前記ノズルは、
前記上流部よりもさらに上流側に位置する基部と、
前記基部と前記上流部とを接続する傾斜部と、を有し、
前記下流部の先端は、ドーム状に形成され、
前記基部の中心線は、前記上流部の中心線と前記下流部の中心線との間に位置する請求項６に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記ノズルは、前記下流部の下端に近付くほど分解が進んだ前記ガスを、前記スリットの上端および下端の間で分圧の偏差が１０％以下となるように供給する請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記供給バッファ室は、内部が隔壁によって複数の区画に分割され、複数の区画の１つに前記ノズルが挿通され、他の１つの区画には、先端部まで延びたスリットを有しない他のノズルが挿通され、前記他のノズルは、前記ウェハの処理温度では熱分解しないガスを供給する請求項６に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記供給バッファ室に設置され、複数のガス供給孔を有する多孔ノズルと、をさらに有し、
前記ノズルは、前記ウェハの中心と前記多孔ノズルの前記ガス供給孔とを結ぶ線を半径とする仮想円上に前記スリットが位置するように前記供給バッファ室内に斜めに設置される請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記反応管の外周に設置されたヒータを更に備え、
前記ノズルは、上流部の方が下流部よりも前記ヒータに近く、下流部の方が上流部よりも前記ウェハに近くなるように、前記供給バッファ室内に設置され、複数枚の前記ウェハの中央に向けて前記ガスを供給する請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
複数枚のウェハを処理室内で処理する基板処理装置内に設置され、前記処理室内にガスを供給するノズルであって、
前記ノズルは、
折り返し部と、
前記折り返し部よりも上流側である上流部と、
前記折り返し部よりも下流側である下流部と、を有し、
前記上流部と前記下流部は、互いに平行に形成され、
ノズルの開口は、前記下流部の側面において縦方向に長く形成されたスリットであり、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下、もしくは前記ノズルの内径の０．０２〜０．２倍の範囲の幅を有し、流量制御器の制御によって前記ノズルが前記ガスを供給する間、前記ノズルの内の前記ガスの圧力を、前記ガスがノズル内で分解することを抑制するのに十分な程低く維持することが可能に構成され、
前記スリットの上部よりも下部において、より分解の進んだ前記ガスが供給されるように形成されているノズル。
【請求項１３】
前記ノズルは、
前記上流部よりもさらに上流側に位置する基部と、
前記基部と前記上流部とを接続する傾斜部と、を有し、
前記下流部の先端は、ドーム状に形成され、
前記上流部には、前記下流部の前記スリットの幅よりも狭い幅を有するスリット又は多孔が形成され、
前記スリットの上端は、前記ノズルが処理室内に設置された状態において、前記複数枚の前記ウェハの最上段のウェハの位置よりも低い位置となるように形成され、
前記スリットの下端は、複数枚の前記ウェハの最上段のウェハの位置よりも低い位置に形成され、
前記基部の中心線は、前記上流部の中心線と前記下流部の中心線との間に位置する請求項１２に記載のノズル。
【請求項１４】
ボートによって縦方向に所定間隔で保持された複数枚のウェハを、処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内に縦方向に挿通されて、ボートによってウェハが保持される領域に亘ってガスを供給する開口を有したノズルから、所定の温度に加熱された前記処理室内に、流量制御器によって制御された流量のガスを供給し、前記処理室内で前記ウェハを処理する工程と、を有し、
前記処理する工程では、折り返し部と、前記折り返し部よりも上流側である上流部と、前記折り返し部よりも下流側で前記上流部と平行に形成される下流部と、を有するノズルを用いて、前記ノズルの前記下流部の側面に、前記ノズルからガスが供給される間前記ノズルの内の前記ガスの圧力を前記ガスがノズル内で分解することを抑制するのに十分な程低く維持することが可能な幅で、複数枚の前記ウェハの最上段のウェハの位置よりも低い位置に形成された、縦方向に長いスリット状の前記開口から、前記ガスを供給し、前記スリットの上部よりも下部においてより分解の進んだ前記ガスを供給する半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置、ガスノズルおよび半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置（デバイス）の製造工程における基板処理では、例えば、複数枚の基板を一括して処理する縦型基板処理装置が使用されている。縦型基板処理装置では多孔ノズルを用いて基板に対しガスを供給することがある（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−６５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、多孔ノズルの形状とガスの種類によっては、多孔ノズル内でガスが過剰に分解してしまい、基板の面間均一性に悪影響を及ぼすことがある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板の面間均一性を向上させることが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、
複数枚の基板を処理する処理室と、
前記処理室内にガスを供給するノズルと、を備え、
前記ノズルは、
縦方向に開口したスリットを有し、
前記スリットは、前記ガスノズルの先端部の頂点まで形成されている技術が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、基板の面間均一性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の実施形態で好適に用いられる基板処理装置の一例を概略的に示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施形態で好適に用いられる処理炉の一例を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態で好適に用いられるノズルの一例を概略的に示す斜視図である。
【図４】各ノズル形状におけるガス流量とノズル内圧のシミュレーション結果を示す図である。
【図５】各ノズル形状におけるウエハ中央のガス流速のシミュレーション結果を示す図である。
【図６】各ノズル形状におけるウエハ中央のガス流速のシミュレーション結果を示す図である。
【図７】（Ａ）は本発明の一実施形態におけるノズルの変形例を、（Ｂ）は本発明の一実施形態における他のノズルの変形例を、（Ｃ）は本発明の一実施形態におけるノズルのさらに他の変形例を、（Ｄ）は本発明の一実施形態におけるノズルのさらに他の変形例をそれぞれ示す図である。
【図８】第２の実施形態で好適に用いられるノズルの一例を概略的に示す斜視図である。
【図９】第２の実施形態で好適に用いられる処理炉の一例を概略的に示す平面図である。
【図１０】第２の実施形態で好適に用いられるノズルのＳｉラジカル濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。
【図１１】第２の実施形態で好適に用いられるノズルのＳｉラジカル濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。
【図１２】（Ａ）は本発明の第２の実施形態におけるノズルの変形例を、（Ｂ）は本発明の第２の実施形態における他のノズルの変形例をそれぞれ示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、本発明の限定的でない例示の実施形態について説明する。全図面中、同一または対応する構成については、同一または対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
本実施形態において、基板処理装置は、半導体装置（デバイス）の製造方法における製造工程の一工程として熱処理等の基板処理工程を実施する縦型基板処理装置（以下、処理装置と称する）２として構成されている。図１に示すように、処理装置２は、円筒形状の反応管１０と、反応管１０の外周に設置された加熱手段（加熱機構）としてのヒータ１２とを備える。反応管は、例えば石英やＳｉＣにより形成される。反応管１０の内部には、基板としてのウエハＷを処理する処理室１４が形成される。
【００１０】
図２に示すように、反応管１０には、外方に突出するようにガス供給室としての供給バッファ室１０Ａと排気バッファ室１０Ｂが対面して形成されている。供給バッファ室１０Ａ内および排気バッファ室１０Ｂ内は、隔壁１０Ｃによって複数の空間に区画されている。供給バッファ室１０Ａ内の各区画には、後述するノズル４４ａ、４４ｂがそれぞれ設置される。供給バッファ室１０Ａおよび排気バッファ室１０Ｂの内壁側（処理室１４側）には、複数の横長形状のスリット１０Ｄがそれぞれ形成されている。反応管１０には、温度検出器としての温度検出部１６が設置される。温度検出部１６は、反応管１０の外壁に沿って立設されている。
【００１１】
図１に示すように、反応管１０の下端開口部には、円筒形のマニホールド１８が、Ｏリング等のシール部材２０を介して連結され、反応管１０の下端を支持している。マニホールド１８は、例えばステンレス等の金属により形成されている。マニホールド１８の下端開口部は円盤状の蓋部２２によって開閉される。蓋部２２は、例えば金属により形成されている。蓋部２２の上面にはＯリング等のシール部材２０が設置されており、これにより、反応管１０内と外気とが気密にシールされている。蓋部２２上には、中央に上下に亘って孔が形成された断熱部２４が載置されている。断熱部２４は、例えば石英により形成されている。
【００１２】
処理室１４は、複数枚、例えば２５〜１５０枚のウエハＷを垂直に棚状に支持する基板保持具としてのボート２６を内部に収納する。ボート２６は、例えば石英やＳｉＣより形成される。ボート２６は、蓋部２２および断熱部２４を貫通する回転軸２８により、断熱部２４の上方に支持される。蓋部２２の回転軸２８が貫通する部分には、例えば、磁性流体シールが設けられ、回転軸２８は蓋部２２の下方に設置された回転機構３０に接続される。これにより、回転軸２８は反応管１０の内部を気密にシールした状態で回転可能に構成される。蓋部２２は昇降機構としてのボートエレベータ３２により上下方向に駆動される。これにより、ボート２６および蓋部２２が一体的に昇降され、反応管１０に対してボート２６が搬入出される。
【００１３】
処理装置１０は、基板処理に使用されるガスを処理室１４内に供給するガス供給機構３４を備えている。ガス供給機構３４が供給するガスは、成膜される膜の種類に応じて換えられる。ここでは、ガス供給機構３４は、原料ガス供給部、反応ガス供給部および不活性ガス供給部を含む。
【００１４】
原料ガス供給部は、ガス供給管３６ａを備え、ガス供給管３６ａには、上流方向から順に、流量制御器（流量制御部）であるマスフローコントローラ（ＭＦＣ）３８ａおよび開閉弁であるバルブ４０ａが設けられている。ガス供給管３６ａはマニホールド１８の側壁を貫通するノズル４４ａに接続される。ノズル４４ａは、供給バッファ室１０Ａ内に上下方向に沿って立設し、ボート２６に保持されるウエハＷに向かって開口するガス供給口としての縦長形状のスリット４５ａが形成されている。ノズル４４ａのスリット４５ａを通して供給バッファ室１０Ａ内に原料ガスが拡散され、供給バッファ室１０Ａのスリット１０Ｄを介してウエハＷに対して原料ガスが供給される。ノズル４４ａの詳細については後述する。
【００１５】
以下、同様の構成にて、反応ガス供給部からは、供給管３６ｂ、ＭＦＣ３８ｂ、バルブ４０ｂ、ノズル４４ｂおよびスリット１０Ｄを介して、反応ガスがウエハＷに対して供給される。ノズル４４ｂには、ボート２６に保持されるウエハＷに向かって開口する複数のガス供給孔４５ｂが形成されている。不活性ガス供給部からは、供給管３６ｃ、３６ｄ、ＭＦＣ３８ｃ、３８ｄ、バルブ４０ｃ、４０ｄ、ノズル４４ａ、４４ｂおよびスリット１０Ｄを介して、ウエハＷに対して不活性ガスが供給される。
【００１６】
反応管１０には、排気バッファ室１０Ｂに連通するように、排気管４６が取り付けられている。排気管４６には、処理室１４内の圧力を検出する圧力検出器（圧力検出部）としての圧力センサ４８および圧力調整器（圧力調整部）としてのＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）バルブ５０を介して、真空排気装置としての真空ポンプ５２が接続されている。このような構成により、処理室１４内の圧力を処理に応じた処理圧力とすることができる。
【００１７】
回転機構３０、ボートエレベータ３２、ガス供給機構３４のＭＦＣ３８ａ〜ｄおよびバルブ４０ａ〜ｄ、ＡＰＣバルブ５０には、これらを制御するコントローラ１００が電気的に接続されている。コントローラ１００は、例えば、ＣＰＵを備えたマイクロプロセッサ（コンピュータ）からなり、処理装置２の動作を制御するよう構成されている。コントローラ１００には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置１０２が接続されている。
【００１８】
コントローラ１００には記憶媒体としての記憶部１０４が接続されている。記憶部１０４には、処理装置１０の動作を制御する制御プログラムや、処理条件に応じて処理装置２の各構成部に処理を実行させるためのプログラム（レシピとも言う）が、読み出し可能に格納される。
【００１９】
記憶部１０４は、コントローラ１００に内蔵された記憶装置（ハードディスクやフラッシュメモリ）であってもよいし、可搬性の外部記録装置（磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）であってもよい。また、コンピュータへのプログラムの提供は、インターネットや専用回線等の通信手段を用いて行ってもよい。プログラムは、必要に応じて、入出力装置１０２からの指示等にて記憶部１０４から読み出され、読み出されたレシピに従った処理をコントローラ１００が実行することで、処理装置２は、コントローラ１００の制御のもと、所望の処理を実行する。
【００２０】
次に、上述の処理装置２を用い、基板上に膜を形成する処理（成膜処理）について説明する。ここでは、ウエハＷに対して、原料ガスとしてＨＣＤＳ（Ｓｉ２Ｃｌ６ ：ヘキサクロロジシラン）ガスと、反応ガスとしてＮＨ３（アンモニア）ガスとを供給することで、ウエハＷ上にシリコン窒化（ＳｉＮ）膜を形成する例について説明する。なお、以下の説明において、処理装置２を構成する各部の動作はコントローラ１００により制御される。
【００２１】
（ウエハチャージおよびボートロード）
複数枚のウエハＷがボート２６に装填（ウエハチャージ）されると、ボート２６は、ボートエレベータ３２によって処理室１４内に搬入（ボートロード）され、反応管１０の下部開口は蓋部２２によって気密に閉塞（シール）された状態となる。
【００２２】
（圧力調整および温度調整）
処理室１４内が所定の圧力（真空度）となるように、真空ポンプ５２によって真空排気（減圧排気）される。処理室１４内の圧力は、圧力センサ４８で測定され、この測定された圧力情報に基づきＡＰＣバルブ５０がフィードバック制御される。また、処理室１４内のウエハＷが所定の温度となるように、ヒータ１２によって加熱される。この際、処理室１４が所定の温度分布となるように、温度検出部１６が検出した温度情報に基づきヒータ１２への通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構３０によるボート２６およびウエハＷの回転を開始する。
【００２３】
（成膜処理）
［原料ガス供給工程］
処理室１４内の温度が予め設定された処理温度に安定すると、処理室１４内のウエハＷに対してＨＣＤＳガスを供給する。ＨＣＤＳガスは、ＭＦＣ３８ａにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管３６ａ、ノズル４４ａおよびスリット１０Ｄを介して処理室１４内に供給される。
【００２４】
［原料ガス排気工程］
次に、ＨＣＤＳガスの供給を停止し、真空ポンプ５２により処理室１４内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部から不活性ガスとしてＮ２ガスを処理室１４内に供給しても良い（不活性ガスパージ）。
【００２５】
［反応ガス供給工程］
次に、処理室１４内のウエハＷに対してＮＨ３ガスを供給する。ＮＨ３ガスは、ＭＦＣ３８ｂにて所望の流量となるように制御され、ガス供給管３６ｂ、ノズル４４ｂおよびスリット１０Ｄを介して処理室１４内に供給される。
【００２６】
［反応ガス排気工程］
次に、ＮＨ３ガスの供給を停止し、真空ポンプ５２により処理室１４内を真空排気する。この時、不活性ガス供給部からＮ２ガスを処理室１４内に供給しても良い（不活性ガスパージ）。
【００２７】
上述した４つの工程を行うサイクルを所定回数（１回以上）行うことにより、ウエハＷ上に、所定組成および所定膜厚のＳｉＮ膜を形成することができる。
【００２８】
（ボートアンロードおよびウエハディスチャージ）
所定膜厚の膜を形成した後、不活性ガス供給部からＮ２ガスが供給され、処理室１４内の雰囲気がＮ２ガスに置換されると共に、処理室１４の圧力が常圧に復帰される。その後、ボートエレベータ３２により蓋部２２が降下されて、ボート２６が反応管１０から搬出（ボートアンロード）される。その後、処理済ウエハＷはボート２６より取出される（ウエハディスチャージ）。
【００２９】
ウエハＷにＳｉＮ膜を形成する際の処理条件としては、例えば、下記が例示される。
処理温度（ウエハ温度）：３００℃〜７００℃、
処理圧力（処理室内圧力）：１Ｐａ〜４０００Ｐａ、
ＨＣＤＳガス：１００ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、
ＮＨ３ガス：１００ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、
Ｎ２ガス：１００ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、
それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内の値に設定することで、成膜処理を適正に進行させることが可能となる。
【００３０】
次に、第１の実施形態におけるノズル４４ａの形状について説明する。
【００３１】
図３に示すように、ノズル４４ａは先端がドーム状に形成されたロングノズルであり、ノズル４４ａの側面（ウエハＷ側）には、ウエハ配列方向に沿ってガス供給口として細長形状のスリット４５ａが形成されている。スリット４５ａの長さは、好ましくは、ウエハＷの配列長よりも長くするのが良い。例えば、ウエハＷの配列長に、ウエハＷ間（ピッチ間）分の長さを上下に加えた長さが好ましい。すなわち、スリット４５ａの上端の位置がボート２６に保持される最上段のウエハＷの高さ位置より高くなるように、また、スリット４５ａの下端の位置がボート２６に保持される最下段のウエハＷの高さ位置より低くなるように形成することが好ましい。このような構成により、ウエハＷの配列方向において、均等な量でガスを供給することができる。
【００３２】
スリットの幅は、好ましくは、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下（０．５ｍｍ〜３ｍｍ）であり、より好ましくは、１〜２ｍｍである。言い換えれば、スリットの幅は、好ましくは、ノズル４４ａの内径の０．０２倍以上０．２倍以下（０．０２〜０．２倍）であり、より好ましくは、０．０４〜０．１３倍である。スリット幅が０．５ｍｍより狭い場合（ノズル４４ａの内径の０．０２倍未満の場合）、ノズル内圧が上昇してしまう。また、スリット幅が３ｍｍより広い場合（ノズル４４ａの内径の０．２倍より大きい場合）、ウエハＷの成膜均一性が悪化してしまう。よって、スリットの幅を０．５ｍｍ〜３ｍｍ（ノズル４４ａの内径の０．０２〜０．２倍）とすることにより、ノズル内圧の過剰な上昇を抑制でき、成膜均一性を向上させることができる。また、スリットの幅を１〜２ｍｍ（ノズル４４ａの内径の０．０４〜０．１３倍）とすることにより、より成膜均一性を向上させることができる。
【００３３】
ノズル４４ａのスリット４５ａは、先端部（ドーム状の天井部）の頂点まで形成されている。このような構成により、ノズル４４ａ内先端部のガス滞留を抑制することができる。また、ノズル４４ａ内の残留ガスを効率的にパージすることができ、生産性を向上させることができる。また、供給バッファ室１０Ａ内の上部に向けてガスを供給することにより、供給バッファ室１０Ａの上部におけるガスの滞留を抑制することができる。さらに、供給バッファ室１０Ａ内において、上下方向でガス拡散を均一化することができる。
【００３４】
次に、多孔ノズルおよび先端開放ノズルと第１の実施形態におけるノズル（スリットノズル）との比較結果について説明する。ここでは、処理室温度を６５０℃、処理室圧力を５Ｐａとし、ＨＣＤＳガスを各ノズルより流したものとしてシミュレーションを行った。
【００３５】
まず、図４を用いて、ノズル内圧のシミュレーション結果について説明する。図４に示すように、スリットノズルは多孔ノズルよりもノズル内圧を大幅に下げることができる。また、多孔ノズルは、ガス流量を２倍にすると、ノズル内圧も約２倍となり、さらに、ノズル内圧は高い圧力のままになっている。これに対し、スリットノズルは、ガス流量を２倍にしても、ノズル内圧は低いままである。すなわち、スリットノズルにおいては、ガス流量を増加させても、ノズルの内圧をガスがノズル内で分解する所定の圧力よりも低い圧力に維持することができることが分かる。また、スリットノズルのスリット幅が広いほど、ノズル内圧を低くさせることができる。
【００３６】
次に、図５および図６を用いて、ウエハ中央部でのガス流速のシミュレーション結果について説明する。図５に示すように、多孔ノズルとスリットノズルとの間で、流速の面間均一性に大きな差はない。すなわち、スリットノズルにおいては、流速の面間均一性を確保しつつ、ノズル内圧を低減させることができる。
【００３７】
図６に示すように、先端開放ノズルでは、ガス流量を２倍とすると、面間の流速分布が大きく変化する。すなわち、ガス流量を増やすと、下部のウエハの流速はほとんど変化しない一方で、上部のウエハの流速が速くなる。先端開放ノズルでは、ガス流量を増やすことにより、ガスの噴き上げ高さが高くなるため、上部のウエハではガスが大量に流れ込み、ガス流速が速くなる。一方で、下部のウエハではガスの流れ込み量に変化がないため、ガスの流速はほとんど変わらない。これに対し、スリットノズルでは面間の流速分布の形状はほとんど変化せずに、全体的に流速が速くなっている。すなわち、スリットノズルとすることにより、面間の流速分布を確保したままガス流量を変化させることができる。
【００３８】
＜本実施形態による効果＞
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果が得られる。
【００３９】
（１）スリットを天井部の頂上まで形成することにより、ノズル内のガス滞留を抑制することができる。ガスの滞留部があると、その部分でガスの分解が進むことにより、ガスの濃度が面間で不均一になってしまうことがある。また、ガス滞留を抑制することにより、ノズル内に残った原料ガスを不活性ガスによってパージするための時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
（２）ガス供給口をスリット形状とすることにより、ガス流量を増加させてもノズル内圧の上昇を抑制することができ、また、ガス流量を増加させることができるため、プロセスウインドウを広げることができ、成膜の品質を向上させることができる。また、ノズル内圧が上昇すると、ノズル内でガスが成膜してしまい、パーティクルの発生源となってしまうことがある。本発明のノズルによれば、ノズル内圧の上昇を抑制できるため、パーティクルの発生を抑制することができる。
（３）ガスを２段階で整流させることにより、面間の均一性を向上させることができる。ノズルから供給されたガスは、
ノズルスリットで整流されて均一に流れ、さらに供給バッファ室のスリットでもう一段階整流されることにより、上下方向に均一の濃度でウエハに供給することができる。
【００４０】
（変形例）
本実施形態におけるノズルは、上述の態様に限定されず、以下に示す変形例のような態様に変更することができる。
【００４１】
（変形例１）
図７（Ａ）に示すように、スリット４５ａは先端部の頂点までではなく、頂点を超えて後ろ側（反対側）まで形成しても良い。このような構成により、ガスが滞留しやすいバッファ室１０Ａの上部の角部へもガスを直接供給できるため、角部におけるガスの滞留を抑制することができ、膜の品質を向上させることができる。
【００４２】
（変形例２）
図７（Ｂ）に示すように、スリット４５ａの上方（例えば、スリット４５ａ上部の１／３程度）の幅を下方の幅よりも大きく形成しても良い。このような構成により、上部におけるガス流量を増加させることができ、面間均一性を向上させることができる。
【００４３】
（変形例３）
図７（Ｃ）に示すように、スリット４５ａの上端は開放されていても良い。このとき、スリット４５ａは上端まで形成されていなくても良い。このような構成により、上部におけるガス流量を増加させることができ、面間均一性を向上させることができる。また、ノズル内のガス滞留を抑制することができ、膜の特性を向上させることができる。
【００４４】
（変形例４）
図７（Ｄ）に示すように、スリットは複数に複数に分割されていても良い。このような構成により、ノズルの強度を向上させることができる。
【００４５】
次に、第２の実施形態のノズル４４ａについて説明する。ここで、スリット４５ａの形状は第１の実施形態と同様に構成される。
【００４６】
図８に示すように、ノズル４４ａは上方に立ち上がり、折り返し部７０で下方に折り返す逆Ｕ字形状に形成されている。折り返し部７０より下流側の下流部７２には、ガス供給口としてのスリット４５ａが形成されている。このような構成により、折り返し部７０より上流側の上流部７４において、ガスをヒータ１２より加熱させることができる。上流部７４においてガスを効率的に加熱することができるため、所望の分解状態でガスをウエハＷに供給することができる。例えば、ガスの分解状態は上下間でモル分率１０％以下とすることができる。ガスの分解状態が上下間でモル分率１０％よりも大きい場合、面間均一性に悪影響を及ぼしてしまう。
【００４７】
上流部７４の下方には、ガス供給管と接続する基部７８が形成される。また、基部７８と上流部７４とを接続するように傾斜部７６が形成される。上流部７４、下流部７２および基部７８は互いに平行に形成される。ノズル４４ａは、正面視において、基部７８の中心線Ｃ１が上流部７４の中心線Ｃ２と下流部７２の中心線Ｃ３との間に位置するように構成される。ここでは、例えば基部７８の中心線Ｃ１が上流部７４の内側の外壁に、上流部７４の中心線Ｃ２が基部７８の外側の外壁に位置するように構成されている。基部７８の中心線Ｃ１が上流部７４の中心線Ｃ２と下流部７２の中心線Ｃ３との中間に位置するように構成されていても良い。このような構成により、ノズル４４ａを安定して支持することができ、ノズル４４ａ内のガス流れをスムーズにすることができる。
【００４８】
正面視において、第２の実施形態におけるノズル４４ａのスリット４５ａの形成位置は、第１の実施形態におけるノズルのスリットの形成位置よりも、水平方向にずれている。すなわち、第１の実施形態においては、第２の実施形態における基部７８の中心線Ｃ１上にスリットが形成されている。これに対し、第２の実施形態においては、スリット４５ａは下流部７２の中心線Ｃ３上に形成されている。下流部７２は、ウエハ領域をカバーできる位置まで下方に延伸して形成されている。例えば、下流部７２の先端部は、ボート２６の下板と同じ高さ位置以下となるように形成されている。また、折り返し部７０は、ボート２６の上板と同じ高さ位置以上となるように形成される。このような構成により、スリット４５ａを、ウエハＷの配列長よりも長く形成することができる。
【００４９】
図９に示すように、スリット４５ａがウエハＷの中心を向くように、ノズル４４ａは供給バッファ室１０Ａ内で斜めに設置される。つまり、ノズル４４ａは、隣接するノズル４４ｂの中心とウエハＷの中心とを結ぶ線を半径ｒとした仮想円Ｒ上に、上流部７４の中心と下流部７２の中心とが位置するように設置される。好ましくは、平面視において、上流部７４の中心と下流部７２の中心とを結ぶ線Ｌ１と、基部７８の中心とウエハＷの中心を結ぶ線Ｌ２とのなす角（Ｌ１からＬ２へ反時計回りに向かう角）が０度〜９０度となるように配置される。線Ｌ１と線Ｌ２とのなす角が０度よりも小さい場合、または、９０度よりも大きい場合、供給バッファ室１０Ａの壁面に対して供給されるガスが多くなってしまい、ガスの流速や流量が抑制されてしまうことがある。よって、ノズル４４ａは、線Ｌ１と線Ｌ２とのなす角が０度〜９０度となるように配置されることが好ましい。言い換えれば、上流部７４の方が下流部７２よりもヒータ１２に近く、下流部７２の方が上流部７４よりもウエハＷに近くなるように設置されても良い。より好ましくは、線Ｌ１と線Ｌ２とのなす角が直角となるように配置される。このような構成により、ガスをウエハＷ中央に向けて供給することができる。また、ウエハＷと各ノズルのガス供給孔との距離を同一とすることができる。
【００５０】
スリット４５ａは、平面視において、線Ｌ１よりもウエハＷ側の領域に形成されることが好ましい。言い換えれば、スリット４５ａは、平面視において、線Ｌ１を基準として、反時計回りに０度〜１８０度の範囲（半円上）に形成されることが好ましい。すなわち、正面視において下流部７２の中心線Ｃ３上ではなく、中心線Ｃ３よりも上流部７４側（内側）または外側に片寄って形成されていても良い。このような構成により、上述のように、ノズル４４ａを、線Ｌ１と、線Ｌ２とのなす角が０度〜９０度となるように設置した場合においても、ウエハＷ中央に向けてガスを供給することができる。
【００５１】
次に、第１の実施形態におけるノズル（スリットノズル）と第２の実施形態におけるノズル（Ｕ形スリットノズル）のシミュレーション結果について説明する。ここでは、ＨＣＤＳガスを用いてシミュレーションを行った。
【００５２】
図１０に示すように、Ｕ形スリットノズルを用いることで、Ｓｉラジカル濃度の面間均一性をさらに向上させることができる。特に、ウエハの中心部分において、上下間のＨＣＤＳガスの分解状態をより揃えることができる。
【００５３】
また、Ｕ形スリットノズルの先端部において、多少の原料ガスの分解がみられるが、原料ガスの分解箇所がウエハ下部に位置しているため、面間の均一性に対する影響を少なくすることができる。すなわち、図１１に示すように、面間のＳｉラジカル濃度の分圧のばらつきをより平坦とすることができる。
【００５４】
一般に、多孔ノズル等の通常のノズル、すなわち、折り返し部と下流部を備えない上流部で構成されるノズル（ストレートノズル）内では、ノズル先端に行くほど、ノズル内におけるガスの滞留時間が長くなるため、ガスの分解が促進される。したがって、通常のノズルでは分解された成分は上部で多くなる。これに対し、Ｕ形スリットノズルでは、分解成分ガス濃度を通常のスリットノズルと上下逆転させることができ、分解成分ガス濃度をＵ形スリットノズルの下部で多くすることができる。すなわち、Ｕ形スリットノズルの下流部の下端（ノズルの先端）に近付くほどノズル内でのガス滞留時間が長くなるため、分解状態のガスを多く供給することができる。言い換えれば、Ｕ形スリットノズルはストレートノズルと比較して、ノズル内でのガス滞留時間を長くすることが可能となる。これにより、ウエハＷ中心部において、分解成分ガス濃度を面間で揃えることができ、面間均一性を向上させることができる。
【００５５】
第２の実施形態におけるノズルは、上述の態様に限定されず、以下に示す変形例のような態様に変更することができる。
（変形例５）
図１２（Ａ）に示すように、上流部７４にもスリットを形成しても良い。例えば、下流部７２のスリットの幅よりも上流部７４のスリットの幅を狭くしても良い。また例えば、上流部７４にスリットではなく多孔を形成しても良い。このような構成により、所望の分解状態でガスをウエハＷに供給することができる。
【００５６】
（変形例６）
図１２（Ｂ）に示すように、スリット４５ａの長さをウエハＷの配列長よりも短い長さで形成しても良い。例えば、スリット４５ａの上端の位置がボート２６に保持される最上段〜中段のウエハＷの高さ位置になるように、また、スリット４５ａの下端の位置がボート２６に保持される最下段のウエハＷの高さ位置より低くなるように形成しても良い。言い換えれば、スリット４５ａの長さは、下段〜中段に保持されたウエハＷの配列長をカバーする長さであっても良い。このような構成により、上段に保持されたウエハＷへのガスの過剰供給を抑制することができ、面間均一性を向上させることができる。
【００５７】
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５８】
例えば、上述の実施形態では、原料ガスとしてＨＣＤＳガスを用いる例について説明したが、本発明は、このような態様に限定されない。例えば、原料ガスの分解がウエハ面間の均一性に影響を与えるガスに本ノズルを用いることが望ましい。また例えば、原料ガスの分解温度とプロセス温度とが近い場合にも好適に用いられる。
【００５９】
また例えば、原料ガスとしては、ＨＣＤＳガスの他、ＤＣＳ（ＳｉＨ２Ｃｌ２：ジクロロシラン）ガス、ＭＣＳ（ＳｉＨ３Ｃｌ：モノクロロシラン）ガス、ＴＣＳ（ＳｉＨＣｌ３：トリクロロシラン）ガス等の無機系ハロシラン原料ガスや、３ＤＭＡＳ（Ｓｉ［Ｎ（ＣＨ３）２］３Ｈ：トリスジメチルアミノシラン）ガス、ＢＴＢＡＳ（ＳｉＨ２［ＮＨ（Ｃ４Ｈ９）］２：ビスターシャリブチルアミノシラン）ガス等のハロゲン基非含有のアミノ系（アミン系）シラン原料ガスや、ＭＳ（ＳｉＨ４：モノシラン）ガス、ＤＳ（Ｓｉ２Ｈ６：ジシラン）ガス等のハロゲン基非含有の無機系シラン原料ガスを用いることができる。
【００６０】
また例えば、本発明は、ウエハＷ上に、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）等の金属元素を含む膜、すなわち、金属系膜を形成する場合においても、好適に適用可能である。
【００６１】
また、上述の実施形態や変形例は、適宜組み合わせて用いることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１４  処理室
４４ａ  ノズル
４５ａ  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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