(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にめっきを行うめっき処理部と、
基板又はアノードを保持するように構成されるホルダを収納可能に構成された複数のストッカと、を有し、
前記複数のストッカの少なくとも一つは、前記めっき装置の内外に移動可能に構成され、
前記複数のストッカの少なくとも一つが前記めっき装置の外に移動したとき、前記複数のストッカの一つ以上がめっき装置の中に配置されている、めっき装置。
【請求項２】
請求項１に記載されためっき装置において、
前記ストッカを前記めっき装置の外部へ取り出すための開口部を有し、
前記ストッカは、前記めっき装置の内部と前記めっき装置の外部とを仕切るように前記開口部の少なくとも一部を覆う隔壁をその側面に有する、めっき装置。
【請求項３】
請求項２に記載されためっき装置において、
前記ストッカを挟んで前記隔壁の逆側に配置され、前記開口部の少なくとも一部を覆うように構成された背面隔壁を有し、
前記背面隔壁は、前記ストッカと共に移動可能に構成され、
前記めっき装置は、前記開口部に移動した前記背面隔壁を停止させるストッパを有する、めっき装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカを前記めっき装置の内外にガイドするためのガイド部材を有する、めっき装置。
【請求項５】
請求項４に記載されためっき装置において、
前記ガイド部材は、前記ストッカを摺動可能に支持する摺動体を有する、めっき装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記めっき装置内に配置される前記ストッカを固定するための固定部材を有する、めっき装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記めっき装置内部の所定位置に前記ストッカが存在するか否かを検知するストッカセンサを有する、めっき装置。
【請求項８】
請求項２又は３に記載されためっき装置において、
前記開口部に障害物が存在するか否かを検知する障害物センサを有する、めっき装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカは、前記ストッカと前記ストッカの移動方向に隣接した他のストッカとを脱着可能に連結するように構成された連結部を有する、めっき装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカを摺動可能に支持する支持面を有する、めっき装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択し、
前記選択された前記ストッカに前記ホルダを収納するように前記搬送機に指示するように構成される、めっき装置。
【請求項１２】
請求項１から１０のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記ホルダに異常が生じたことを示す信号を受信し、
前記信号を受信したときに前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択し、
前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻すように前記搬送機に指示するように構成される、めっき装置。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載されためっき装置において、
前記制御部は、前記選択されたストッカ以外のストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される、めっき装置。
【請求項１４】
請求項１１から１３のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記制御部は、
前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定し、
前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される、めっき装置。
【請求項１５】
請求項１２に記載されためっき装置において、
前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである、めっき装置。
【請求項１６】
請求項１１から１５いずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカをめっき装置外に移動させる移動装置を有し、
前記制御部は、
前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定し、
前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたとき、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出すように、前記移動装置を制御するように構成される、めっき装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載されためっき装置において、
前記移動装置は、前記ストッカをめっき装置内に移動させるように構成される、めっき装置。
【請求項１８】
基板にめっきを行うめっき処理部と、基板又はアノードを保持するホルダを収納可能に構成された複数のストッカと、を備えためっき装置を用いためっき方法であって、
前記複数のストッカの各々は、前記めっき装置の内外に移動可能に構成され、
前記複数のストッカの一つ以上を前記めっき装置の中に残しつつ前記複数のストッカの少なくとも一つを、前記めっき装置の外に移動させる取り出し工程と、
前記めっき装置に残されたストッカを使用してめっき処理を行う工程と、を有する、めっき方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載されためっき方法において、
前記めっき装置の外に移動したストッカ又は当該ストッカとは別のストッカを、めっき装置の中に移動させる格納工程を有する、めっき方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載されためっき方法において、
前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択する工程と、
前記選択されたストッカにホルダを戻す工程と、を有し、
前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む、めっき方法。
【請求項２１】
請求項１８又は１９に記載されためっき方法において、
ホルダに異常が生じたことを検知する工程と、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択する工程と、
前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻す工程と、を有し、
前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む、めっき方法。
【請求項２２】
請求項２０又は２１に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカ以外のストッカに収納されるホルダを使用して基板にめっきを行う工程を有する、めっき方法。
【請求項２３】
請求項２０から２２のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定するホルダ有無判定工程を有し、
前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程は、前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたと判定されたときに実行される、めっき方法。
【請求項２４】
請求項２０から２３のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記めっき装置の外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定するストッカ有無判定工程と、
前記めっき装置外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカがめっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して基板にめっきを行う工程と、を有する、めっき方法。
【請求項２５】
請求項２１に記載されためっき方法において、
前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである、めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置及びめっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、めっき液を収納しためっき槽に、基板ホルダに保持された基板を鉛直方向に差し入れて電解めっきを行う装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなめっき装置においては、基板ホルダは、装置の運転前には基板ホルダを収納するためのストッカに収納される。基板ホルダは、装置の運転が開始されたときにストッカから取り出され、処理されるウェハ等の基板を保持する。基板を保持した基板ホルダは、基板ホルダ搬送機によりめっき槽及びめっき処理に必要な各処理槽に搬送され、順次必要な処理が行われる。例えば、給電不良が発見された基板ホルダは、ストッカに戻され、メンテナンスの完了まで使用が制限される。
【０００３】
このようなめっき装置においては、基板ホルダを収納するストッカは、めっき装置の一部として分離困難に組み込まれている。したがって、めっき装置から基板ホルダを収納するストッカそのものを取り出すことはできないので、ストッカに収納された基板ホルダのメンテナンスが必要となった場合には、基板ホルダは、手作業や専用のホイストでストッカから取り出されていた。或いは、基板ホルダを、外部からアクセス可能なめっき装置内のデリバリ槽やサービスエリアにストッカから搬送して、同様に手作業や専用のホイストで取り出すといった方法が用いられていた。
【０００４】
そこで、このような基板ホルダをめっき装置から取り出す作業の負担を軽くし、基板ホルダのメンテナンスを容易に行うことができるように、めっき装置の外に引き出すことができる基板ホルダを収納するワゴンを備えためっき装置が提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３９７９８４７号公報
【特許文献２】特許第５６４２５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２に開示されためっき装置では、単一のストッカ（ワゴン）のみを有しているので、メンテナンスのためにストッカをめっき装置から引き出すと、めっき装置内にはストッカが無くなり、使用中の基板ホルダを戻す場所が無くなる。したがって、ストッカをめっき装置から引き出した状態ではめっき装置の連続運転をすることができないので、装置の運転を停止せざるを得なかった。また、ストッカがアノードホルダを収納するように構成されている場合も、同様の問題が生じ得る。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、ストッカをめっき装置から引き出している間も連続運転することができるめっき装置及びめっき方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一形態によれば、めっき装置が提供される。このめっき装置は、基板にめっきを行うめっき処理部と、基板又はアノードを保持するように構成されるホルダを収納可能
に構成された複数のストッカと、を有し、前記複数のストッカの少なくとも一つは、前記めっき装置の内外に移動可能に構成される。
【０００９】
この一形態によれば、複数のストッカを有し、そのストッカの少なくとも一つがめっき装置外に取り出し可能であるので、メンテナンスが必要になったホルダを収納したストッカをめっき装置外に取り出して、ホルダのメンテナンスを行うことができる。また、メンテナンスの間は、他のストッカがめっき装置内に配置された状態になる。これにより、ホルダのメンテナンス中もめっき装置の運転を継続することができるので、従来のようにめっき装置を停止していた場合に比べて、生産量を向上させることができる。また、基板ホルダ及びアノードホルダには、ホルダ自身には構造的な不具合が生じていないものの、めっき処理を継続していく中で、めっき処理を行う際にエラーが発生する回数が多いホルダと、当該回数が少ないホルダが生じてくることが判明した。この一形態では、めっき装置にストッカが複数設けられているので、例えば、エラーを発生させた履歴があるホルダを第１のストッカに収納し、それ以外のホルダを第２のストッカに収納することで、第１のストッカをメンテナンスの対象としてめっき装置の外に移動させることもできる。さらに、この一形態では、めっき装置にストッカが複数設けられているので、例えば、引出したストッカにめっき装置内に残ったホルダと違う仕様のホルダを格納することができる。その結果、異なる仕様の基板を混在させて処理したとしてもホルダを交換するために装置全体を停止させなく生産が続けられるので、装置の生産性を向上することができる。
【００１０】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記ストッカを前記めっき装置の外部へ取り出すための開口部を有し、前記ストッカは、前記めっき装置の内部と前記めっき装置の外部とを仕切るように前記開口部の少なくとも一部を覆う隔壁をその側面に有する。
【００１１】
この一形態によれば、ストッカが備える隔壁がめっき装置の内部と外部とを仕切るので、ストッカがめっき装置内部に配置されているときは、作業者が開口部からめっき装置内部に入り込むことを防止することができる。したがって、ストッカがめっき装置内部に配置されて、めっき装置が運転している間は、作業者が誤ってめっき装置内部に入りこむことを防止することができ、作業者の安全を確保することができる。なお、特許文献２に開示されためっき装置では、めっき装置内部とストッカとを仕切るシャッタが、シャッタ回転機構により跳ね上げ式に構成されている。このため、特許文献２に開示されためっき装置では、シャッタ回転機構に故障が生じた場合には、シャッタの開閉ができないので、シャッタが閉じたまま又は開いたままになってしまう。シャッタが閉じたままでは、めっき装置内に作業者が入ることができないし、シャッタが開いたままでは、ストッカ（ワゴン）を作業者が取り出す際に作業者の安全性が劣る。これに対して、この一形態によれば、移動可能なストッカが隔壁を有するので、この隔壁を移動させるための特別な機構が不要になり、装置構成が簡素化される。ひいては、装置の故障リスクを低減することができ且つシャッタ回転機構のような機構を設置するスペースを不要とすることができる。
【００１２】
本発明の一形態において、前記めっき装置は、前記ストッカを挟んで前記隔壁の逆側に配置され、前記開口部の少なくとも一部を覆うように構成された背面隔壁を有し、前記背面隔壁は、前記ストッカと共に移動可能に構成され、前記めっき装置は、前記開口部に移動した前記背面隔壁を停止させるストッパを有する。
【００１３】
この一形態によれば、ストッカを移動させたときに背面隔壁も移動し、開口部に背面隔壁が移動したときに、ストッパにより背面隔壁が開口部で停止する。これにより、ストッカを装置外に取り出したときでも、開口部で停止した背面隔壁により開口部の少なくとも一部が覆われるので、ストッカに収納されたホルダのメンテナンス中に、作業者が誤ってめっき装置内部に入りこむことを防止することができ、作業者の安全を確保することができる。
【００１４】
本発明の一形態において、前記ストッカを前記めっき装置の内外にガイドするためのガイド部材を有する。
【００１５】
この一形態によれば、ストッカの出し入れ作業を容易にすることができる。
【００１６】
本発明の一形態において、前記ガイド部材は、前記ストッカを摺動可能に支持する摺動体を有する。
【００１７】
この一形態によれば、摺動体によってストッカが摺動可能に支持されるので、ストッカをめっき装置の内外に移動させるとき、ストッカの出し入れに要する力が少なく済み、作業を容易にすることができる。また、ガイド部材が摺動体を有するので、ストッカに移動用のキャスタ等を取り付ける必要がない。
【００１８】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記めっき装置内に配置される前記ストッカを固定するための固定部材を有する。
【００１９】
この一形態によれば、めっき装置から取り出されたストッカをめっき装置内に戻したときに、適切な位置にストッカを固定することができる。
【００２０】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記めっき装置内部の所定位置に前記ストッカが存在するか否かを検知するストッカセンサを有する。
【００２１】
この一形態によれば、ストッカがめっき装置から取り出された状態か否かを検知することができる。これにより、めっき装置は、使用可能なストッカを認識することができ、取り出されたストッカは使用せず、めっき装置内に配置されたストッカのみでめっき処理を行うことができる。
【００２２】
本発明の一形態において、前記開口部に障害物が存在するか否かを検知する障害物センサを有する。
【００２３】
この一形態によれば、開口部に障害物が存在するか否かを検知することができる。本めっき装置において、開口部に存在する可能性がある障害物は、隔壁、ストッカ、背面隔壁等が考えられる。開口部にこれらの障害物のいずれかが存在していれば、作業者は容易にめっき装置内に入り込むことができない。したがって、開口部に障害物が存在するか否かを検知することで、作業者の安全を確保することができる。
【００２４】
本発明の一形態において、前記ストッカは、前記ストッカと前記ストッカの移動方向に隣接した他のストッカとを脱着可能に連結するように構成された連結部を有する。
【００２５】
この一形態によれば、第１のストッカが第２のストッカと連結部により連結された状態で第１のストッカをめっき装置の外へ移動させたときに、第２のストッカも移動させることができる。これにより、第２のストッカを第１のストッカとともにめっき装置の外へ移動させることもできるし、第２のストッカが第１のストッカの存在した場所に位置したときに連結を解除することで、第２のストッカを第１のストッカが存在した場所に移動させることもできる。
【００２６】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記ストッカを摺動可能に支持する支持面を有する。
【００２７】
この一形態によれば、ストッカが支持面により摺動可能に支持されるので、ストッカを任意の方向に容易に移動させることができる。これにより、支持面上に例えば予備のストッカを配置しておくことで、一のストッカをめっき装置から取り出した後、予備のストッカをめっき装置にすぐに格納することができ、基板ホルダの入れ替えを迅速に行うことができる。
【００２８】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、制御部と、を有する。前記制御部は、前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択し、前記選択された前記ストッカに前記ホルダを収納するように前記搬送機に指示するように構成される。
【００２９】
基板ホルダ又はアノードホルダに異常が生じた場合や定期的なメンテナンス時期が到来した場合等は、これらのホルダの使用を停止して、メンテナンスする必要がある。この一形態によれば、例えば使用を停止する必要があるホルダが収納されることになるストッカを選択することで、使用を停止する必要があるホルダをストッカに収納してめっき装置外に取り出すことができる。
【００３０】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、制御部と、を有する。前記制御部は、前記ホルダに異常が生じたことを示す信号を受信し、前記信号を受信したときに前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択し、前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻すように前記搬送機に指示するように構成される。
【００３１】
この一形態によれば、ホルダに異常が生じたときに異常が生じたホルダが収納されることになるストッカを選択し、異常が生じたホルダを選択されたストッカに収納してめっき装置外に取り出すことができる。
【００３２】
本発明の一形態において、前記制御部は、前記選択されたストッカ以外のストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される。
【００３３】
この一形態によれば、選択されたストッカ以外のストッカに収納されるホルダを使用してめっき処理を行うので、ストッカをめっき装置から引き出している間も連続運転することができる。
【００３４】
本発明の一形態において、前記制御部は、前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定し、前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される。
【００３５】
この一形態によれば、ストッカがめっき装置に格納されたときに、当該ストッカを含むすべてのストッカに収納されるホルダを使用してめっき処理を行うことができる。したがって、ストッカがめっき装置に戻された後は、通常と同じように、全てのホルダを使用してめっき処理を行うので、めっき装置の生産量の低下を防止することができる。
【００３６】
本発明の一形態において、前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである。
【００３７】
この一形態によれば、異常が生じたホルダはメンテナンス専用ストッカに収納される。ここで、メンテナンス専用ストッカとは、通常のめっき処理時には使用されず、メンテナンスされるホルダを収納するためのストッカである。したがって、メンテナンス専用ストッカをメンテナンスのためにめっき装置外に移動させても、通常のめっき処理に使用されるストッカの数は変わらない。このため、メンテナンス中であっても、使用可能なストッカの数を維持することができるので、めっき装置の生産量の低下を抑制することができる。
【００３８】
本発明の一形態において、めっき装置は、前記ストッカをめっき装置外に移動させる移動装置を有し、前記制御部は、前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定し、前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたとき、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出すように、前記移動装置を制御するように構成される。
【００３９】
この一形態によれば、選択されたストッカにホルダが戻されたときに、自動的にストッカを取り出すことができるので、作業者の作業量を低減することができる。
【００４０】
本発明の一形態において、前記移動装置は、前記ストッカをめっき装置内に移動させるように構成される。
【００４１】
この一形態によれば、自動的にストッカをめっき装置内に格納することができるので、作業者の作業量を低減することができる。
【００４２】
本発明の一形態によれば、基板にめっきを行うめっき処理部と、基板又はアノードを保持するホルダを収納可能に構成された複数のストッカと、を備えためっき装置を用いためっき方法が提供される。このめっき方法は、前記複数のストッカの少なくとも一つを、前記めっき装置の外に移動させる取り出し工程を有する。
【００４３】
この一形態によれば、メンテナンスが必要になったホルダを収納したストッカをめっき装置外に取り出して、ホルダのメンテナンスを行うことができる。また、メンテナンスの間は、他のストッカがめっき装置内に配置された状態になる。これにより、ホルダのメンテナンス中もめっき装置の運転を継続することができるので、従来のようにめっき装置を停止していた場合に比べて、生産量を向上させることができる。また、基板ホルダ及びアノードホルダには、ホルダ自身には構造的な不具合が生じていないものの、めっき処理を継続していく中で、めっき処理を行う際にエラーが発生する回数が多いホルダと、当該回数が少ないホルダが生じてくることが判明した。この一形態では、めっき装置にストッカが複数設けられているので、例えば、エラーを発生させた履歴があるホルダを第１のストッカに収納し、それ以外のホルダを第２のストッカに収納することで、第１のストッカをメンテナンスの対象としてめっき装置の外に移動させることもできる。さらに、この一形態では、めっき装置にストッカが複数設けられているので、例えば、第１の仕様の基板を保持するための基板ホルダを第１のストッカに収納し、それ以外の基板ホルダを第２のストッカに収納することができる。これにより、異なる仕様の基板が同時または連続的にめっき装置に搬送されたとしても、装置を停止させることなく、めっき処理を継続することができる。その結果、異なる仕様の基板に対しても、装置全体の単位時間当たりのスループットを低下させることなくめっき処理を行うことができる。
【００４４】
本発明の一形態において、めっき方法は、前記めっき装置の外に移動したストッカ又は当該ストッカとは別のストッカを、めっき装置の中に移動させる格納工程を有する。
【００４５】
この一形態によれば、めっき装置の外に移動したストッカを元に戻すこともできるし、めっき装置の外に移動したストッカとは別のストッカをめっき装置の中に移動させることもできる。したがって、メンテナンスのためにストッカをめっき装置の外に取り出した後、ストッカの数を元に戻すことができる。また、めっき装置の外に移動したストッカとは別のストッカをめっき装置の中に移動させる場合は、めっき装置の外に移動したストッカに収納されるホルダのメンテナンスが終わる前に、めっき装置に別のストッカを戻すことができる。したがって、メンテナンスの間、めっき装置に備えられるストッカの数が減ることがないので、めっき装置の生産量の低下を抑制することができる。
【００４６】
本発明の一形態において、めっき方法は、前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択する工程と、前記選択されたストッカにホルダを戻す工程と、を有し、前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む。
【００４７】
基板ホルダ又はアノードホルダに異常が生じた場合や定期的なメンテナンス時期が到来した場合等は、これらのホルダの使用を停止して、メンテナンスする必要がある。この一形態によれば、例えば使用を停止する必要があるホルダが収納されることになるストッカを選択することで、使用を停止する必要があるホルダをストッカに収納してめっき装置外に取り出すことができる。
【００４８】
本発明の一形態において、めっき方法は、ホルダに異常が生じたことを検知する工程と、前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択する工程と、前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻す工程と、を有し、前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む。
【００４９】
この一形態によれば、ホルダに異常が生じたときに異常が生じたホルダが収納されることになるストッカを選択し、異常が生じたホルダをストッカに収納してめっき装置外に取り出すことができる。
【００５０】
本発明の一形態において、めっき方法は、前記選択されたストッカ以外のストッカに収納されるホルダを使用して基板にめっきを行う工程を有する、めっき方法。
【００５１】
この一形態によれば、選択されたストッカ以外のストッカに収納されるホルダを使用してめっき処理を行うので、ストッカをめっき装置から引き出している間も連続運転することができる。
【００５２】
本発明の一形態において、めっき方法は、前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定するホルダ有無判定工程を有し、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程は、前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたと判定されたときに実行される。
【００５３】
この一形態によれば、選択されたストッカにホルダが戻されたか否かを判定するので、ホルダがストッカに確実に戻された後に、当該ストッカをめっき装置外に取り出すことができる。
【００５４】
本発明の一形態において、めっき方法は、前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記めっき装置の外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定するストッカ有無判定工程と、前記めっき装置外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカがめっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して基板にめっきを行う工程と、を有する。
【００５５】
この一形態によれば、ストッカがめっき装置に格納されたときに、当該ストッカを含むすべてのストッカに収納されるホルダを使用してめっき処理を行うことができる。したがって、ストッカがめっき装置に戻された後は、通常と同じように、全てのホルダを使用してめっき処理を行うので、めっき装置の生産量の低下を防止することができる。
【００５６】
本発明の一形態において、前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである。
【００５７】
この一形態によれば、異常が生じたホルダはメンテナンス専用ストッカに収納される。ここで、メンテナンス専用ストッカとは、通常のめっき処理時には使用されず、異常が生じたホルダのみを収納するためのストッカである。したがって、メンテナンス専用ストッカをメンテナンスのためにめっき装置外に移動させても、通常のめっき処理に使用されるストッカの数は変わらない。このため、メンテナンス中であっても、使用可能なストッカの数を維持することができるので、めっき装置の生産量の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。
【図２】めっき装置で使用される基板ホルダの例を示す概略図である。
【図３】めっき装置のストッカが配置されるストッカ設置部の斜視図である。
【図４Ａ】ストッカの正面斜視図である。
【図４Ｂ】ストッカの背面斜視図である。
【図４Ｃ】ストッカの底面斜視図である。
【図５】ストッカと他のストッカとが連結した状態を示す部分斜視図である。
【図６Ａ】ストッカと他のストッカとが連結した状態を示す連結部分の側面図である。
【図６Ｂ】ストッカと他のストッカとの連結が解除された状態を示す連結部分の側面図である。
【図７】ストッカ設置部の設置面の拡大斜視図である。
【図８】ストッカ設置部の概略側面図である。
【図９Ａ】めっき装置からストッカを取り出すプロセスを示す図である。
【図９Ｂ】めっき装置からストッカを取り出すプロセスを示す図である。
【図９Ｃ】めっき装置からストッカを取り出すプロセスを示す図である。
【図９Ｄ】めっき装置からストッカを取り出すプロセスを示す図である。
【図１０】めっき装置におけるストッカの取り出し・格納制御フローの一例を示す図である。
【図１１】めっき装置におけるストッカの取り出し・格納制御フローの他の一例を示す図である。
【図１２】めっき装置におけるストッカの取り出し・格納制御フローの他の一例を示す図である。
【図１３】第２実施形態に係るめっき装置の全体側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５９】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図１は、第１実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置は、基板ホルダ１１に基板をロードし、又は基板ホルダ１１から基板をアンロードするロード／アンロード部１７０Ａと、基板を処理する処理部１７０Ｂとに大きく分
けられる。
【００６０】
ロード／アンロード部１７０Ａは、２台のカセットテーブル１０２と、基板のオリフラ（オリエンテーションフラット）やノッチなどの位置を所定の方向に合わせるアライナ１０４と、めっき処理後の基板を高速回転させて乾燥させるスピンリンスドライヤ１０６とを有する。カセットテーブル１０２は、半導体ウェハ等の基板を収納したカセット１００を搭載する。スピンリンスドライヤ１０６の近くには、基板ホルダ１１を載置して基板の着脱を行う基板着脱部１２０が設けられている。これらのユニット１００，１０４，１０６，１２０の中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置１２２が配置されている。
【００６１】
基板着脱部１２０は、レール１５０に沿って横方向にスライド自在な平板状の載置プレート１５２を備えている。２個の基板ホルダ１１は、この載置プレート１５２に水平状態で並列に載置され、一方の基板ホルダ１１と基板搬送装置１２２との間で基板の受渡しが行われた後、載置プレート１５２が横方向にスライドされ、他方の基板ホルダ１１と基板搬送装置１２２との間で基板の受渡しが行われる。
【００６２】
めっき装置の処理部１７０Ｂは、複数のストッカ２０と、プリウェット槽１２６と、プリソーク槽１２８と、第１洗浄槽１３０ａと、ブロー槽１３２と、第２洗浄槽１３０ｂと、めっき槽１０（めっき処理部の一例に相当する）と、を有する。ストッカ２０では、基板ホルダ１１の保管及び一時仮置きが行われる。ストッカ２０が設置されるめっき装置内の場所を、本明細書においてはストッカ設置部という。本実施形態では、ストッカ２０は基板ホルダ１１を収納するように構成されるが、めっき槽１０で使用されるアノードホルダを収納するように構成されていてもよい。めっき装置の処理部１７０Ｂには、ストッカ２０をめっき装置から出し入れするための開口部２１が形成される。プリウェット槽１２６では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽１２８では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。第１洗浄槽１３０ａでは、プリソーク後の基板が基板ホルダ１１と共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽１３２では、洗浄後の基板の液切りが行われる。第２洗浄槽１３０ｂでは、めっき後の基板が基板ホルダ１１と共に洗浄液で洗浄される。ストッカ２０、プリウェット槽１２６、プリソーク槽１２８、第１洗浄槽１３０ａ、ブロー槽１３２、第２洗浄槽１３０ｂ、及びめっき槽１０は、この順に配置されている。
【００６３】
めっき槽１０は、例えば、オーバーフロー槽５４を備えた複数のめっきセル５０を有する。各めっきセル５０は、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。例えば、ＴＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｖｉａ）用めっきプロセスの場合のめっき液の場合、以下の表１に記載されためっき液を用いることができる。即ち、表１に記載された濃度のＣｕ、Ｈ２ＳＯ４、及びＣｌをＴＳＶ用基本液とし、表１に記載された濃度の添加剤Ａ（サプレッサ；抑制剤）、添加剤Ｂ（アクセラレータ；促進剤）、及び添加剤Ｃ（レベラ）を有機添加剤とすることができる。
【００６４】
【表１】
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【００６５】
また、めっき液としては、Ｃｕ配線を有する基板の表面に金属膜を形成するためのＣｏＷＢ（コバルト・タングステン・ホウ素）やＣｏＷＰ（コバルト・タングステン・リン）等を含むめっき液が用いられてもよい。また、絶縁膜中にＣｕが拡散することを防止するため、Ｃｕ配線が形成される前に基板の表面や基板の凹部の表面に設けられるバリア膜を形成するためのめっき液、例えばＣｏＷＢやＴａ（タンタル）を含むめっき液が用いられてもよい。
【００６６】
めっき装置は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダ１１を基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置１４０（搬送機の一例に相当する）を有する。この基板ホルダ搬送装置１４０は、第１トランスポータ１４２と、第２トランスポータ１４４を有している。第１トランスポータ１４２は、基板着脱部１２０、ストッカ２０、プリウェット槽１２６、プリソーク槽１２８、第１洗浄槽１３０ａ、及びブロー槽１３２との間で基板ホルダ１１を搬送するように構成される。第２トランスポータ１４４は、第１洗浄槽１３０ａ、第２洗浄槽１３０ｂ、ブロー槽１３２、及びめっき槽１０との間で基板ホルダ１１を搬送するように構成される。他の実施形態では、めっき装置は、第１トランスポータ１４２及び第２トランスポータ１４４のいずれか一方のみを備えるようにしてもよい。
【００６７】
オーバーフロー槽５４の両側には、各めっきセル５０の内部に位置してめっきセル５０内のめっき液を攪拌する掻き混ぜ棒としてのパドルを駆動する、パドル駆動装置１９が配置されている。
【００６８】
以上のように構成されるめっき装置は、上述した各部を制御するように構成されたコントローラ１７５を有する。このコントローラ１７５は、図１に示すめっき装置を複数の含むめっき処理システム全体を制御することもできる。コントローラ１７５は、所定のプログラムを格納したメモリ１７５Ｂと、メモリ１７５Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１７５Ａと、ＣＰＵ１７５Ａがプログラムを実行することで実現される制御部１７５Ｃ（制御部の一例に相当する）とを有する。制御部１７５Ｃは、例えば、基板搬送装置１２２の搬送制御、基板ホルダ搬送装置１４０の搬送制御、並びにめっき槽１０におけるめっき電流及びめっき時間の制御等を行うことができる。また、コントローラ１７５は、めっき装置及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラと通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとデータのやり取りをすることができる。ここで、メモリ１７５Ｂは、各種の設定データや後述するめっき処理プログラム等の各種のプログラムを格納している。メモリ１７５Ｂとしては、コンピュータで読み取り可能なＲＯＭ、ＲＡＭ、及びハードディスク
、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、並びにフレキシブルディスク等のディスク状記憶媒体等の公知のものが使用され得る。
【００６９】
基板ホルダ１１は、めっき処理前にストッカ２０に収納され、めっき処理時には基板ホルダ搬送装置１４０により基板着脱部１２０の載置プレート１５２と各槽との間を移動し、基板がめっきされた後にストッカ２０へと再び収納される。基板にめっきをするときは、基板ホルダ１１に保持された基板を、めっき槽１０のめっきセル５０に収納されためっき液に鉛直方向に浸漬する。基板をめっき液に浸漬させた状態で、めっき液をめっきセル５０の下方から導入してオーバーフロー槽５４にオーバーフローさせながら、めっきが行われる。
【００７０】
めっき槽１０を構成するめっきセル５０の各々は、１つの基板を保持した１つの基板ホルダを収納して、基板にめっきを行うように構成される。めっきセル５０の各々は、基板ホルダ１１への通電部、アノードホルダに保持されるアノード、パドル駆動装置１９、及び遮蔽板を備えていることが好ましい。アノードホルダに保持されたアノードの露出面は基板と同心円状に形成される。基板ホルダ１１に保持された基板は、各槽内の処理流体で処理される。
【００７１】
図２は、本実施形態に係るめっき装置で使用される基板ホルダの例を示す概略図である。図２に示すように、基板ホルダ１１は、その一端にハンドルバー１１１を備える。ハンドルバー１１１は、図１に示した基板ホルダ搬送装置１４０により保持される。ハンドルバー１１１は、基板ホルダ１１が鉛直状態から水平状態または水平状態から鉛直状態へ姿勢を変換する際に基板ホルダ１１が回転可能であるように、丸棒形状である。ハンドルバー１１１は、めっき液が付着した場合に腐食し難いように、腐食に強いステンレス製であることが望ましい。また、めっき液の種類や濃度によって、ステンレスがめっき液による腐食に耐えられない場合がある。この場合は、ステンレスの表面にクロムめっきやＴｉＣ等のコーティングをして腐食耐性を高めることが好ましい。なお、ハンドルバー１１１には、腐食耐性の高いチタンを用いることもできるが、チタンは一般に表面の摩擦抵抗が大きいので、摺動に適した仕上げが必要である。
【００７２】
また、基板ホルダ１１の上部両端には、直方体形状または立方体形状のハンガー部１１２が設けられる。ハンガー部１１２は、基板ホルダ１１を各槽内に配置する際に、各槽のハンガー受け部材の上に配置することにより、基板ホルダ１１を懸架するための支持部として機能する。なお、めっき槽が電解めっき槽である場合は、ハンガー部１１２に設けられた給電接点１１４と、ハンガー受け部材に設けられた電気接点が互いに接触することにより、外部電源から基板Ｗの被めっき面に電流が供給される。給電接点１１４は、ハンガー受け部材に基板ホルダ１１が懸架された際に、めっき槽のめっき液に接触しない箇所に設けられる。また、ハンガー部１１２は、基板ホルダ１１をストッカ２０に収納する際、ストッカ２０の後述するハンガー受け部材２２に支持される。
【００７３】
ハンガー部１１２は、図２に示す矢印Ａ１の方向から基板ホルダ搬送装置１４０により力が加えられることにより、基板ホルダ１１の移動時の振れが防止されるよう設計されてもよい。
【００７４】
図２に示す基板ホルダ１１は、基板Ｗの外周端部をシールし且つ被めっき面を露出させるように基板Ｗを保持する。これにより、基板Ｗの外周端部及び裏面にめっき液が付着しない。また、基板ホルダ１１は、基板Ｗの被めっき面の周縁部と接触し、給電接点１１４を介して外部電源からの電流を基板Ｗ上のシード層に流すための図示しない電気接点を備えてもよい。なお、本発明において「基板ホルダ」は、めっき液と基板Ｗを接触させてめっき処理を行う前に基板Ｗを保持し、めっき処理の前後で基板Ｗを搬送する際に用いる部
材のことをいい、具体的な構成は図２の例に限られない。
【００７５】
図３は、図１に示しためっき装置のストッカ２０が配置されるストッカ設置部の斜視図である。上述したように、本実施形態に係るめっき装置は、複数のストッカ２０を有する。図３では２つのストッカ２０が示されている。また、図１にも示したように、めっき装置は、ストッカ２０をめっき装置から出し入れするための開口部２１を有する。また、めっき装置は、めっき装置内部を、作業者が外部から視認するための覗き窓２４を有する。
【００７６】
本実施形態における複数のストッカ２０は、それらの少なくとも一つがめっき装置の内外に独立して移動可能に構成される。言い換えれば、複数のストッカ２０の各々が、それぞれ独立してめっき装置の内外に移動可能であるか、或いは、複数のストッカ２０の一部はめっき装置内部に固定され、残りのストッカ２０の各々が独立してめっき装置の内外に移動可能である。
【００７７】
具体的に、めっき装置は、ストッカ２０をめっき装置の内外にガイドするためのレール２３（ガイド部材の一例に相当する）を有する。レール２３は、その上面に、ストッカ２０を摺動可能に支持するボールベアリング等の摺動体３５を複数有する。ストッカ２０は、摺動体３５に支持されながらレール２３上を摺動することで、めっき装置の内外に移動する。これにより、ストッカ２０をめっき装置の内外に移動させるとき、ストッカ２０の出し入れ作業を容易にすることができる。また、レール２３が摺動体３５を有するので、ストッカ２０に移動用のキャスタ等を取り付ける必要がない。
【００７８】
また、めっき装置は、ストッカ２０を摺動可能に支持する支持面３６を有する方法でもよい。支持面３６は、その上面に、ストッカ２０を摺動可能に支持する摺動体３５を複数有する。支持面３６上に配置されたストッカ２０は、摺動体３５に支持されながら支持面３６上を摺動することで、水平方向の任意の方向に移動することができる。これにより、支持面３６上に例えば予備のストッカ２０を配置しておくことで、一のストッカ２０をめっき装置から取り出した後、予備のストッカ２０をめっき装置にすぐに格納することができ、基板ホルダ１１の入れ替えを迅速に行うことができる。
【００７９】
ストッカ２０は、その正面側に、開口部２１の少なくとも一部を覆うように構成された隔壁部材２７ａを有する。隔壁部材２７ａの構造については後に詳述する。また、めっき装置は、ストッカ２０の開口部２１とは逆側、即ち隔壁部材２７ａとストッカ２０を挟んで逆側に配置される背面隔壁２５を有する。背面隔壁２５は、ストッカ２０と共に移動可能に構成され、開口部２１の少なくとも一部を覆うように構成される。めっき装置は、レール２３付近に、開口部２１に移動した背面隔壁２５を開口部２１の付近で停止させるストッパ３７を有する。ストッパ３７は、開口部２１に移動した背面隔壁２５の一部と接触するように構成される。これにより、背面隔壁２５がストッパ３７を超えてめっき装置の外へ移動することが防止される。なお、ストッパ３７は、ストッカ２０には接触しないように構成されており、ストッカ２０のめっき装置内外への移動には干渉しない。また、ストッパ３７は、開口部２１に移動した背面隔壁２５を停止させることができ且つストッカ２０の移動には干渉しない任意の位置に設けることができる。本実施形態によれば、ストッカ２０を取り出したときには、背面隔壁２５により開口部２１の少なくとも一部が覆われるので、ストッカ２０に収納された基板ホルダ１１のメンテナンス中に、作業者が誤ってめっき装置内部に入りこむことを防止することができ、作業者の安全を確保することができる。
【００８０】
次に、ストッカ２０の詳細について説明する。図４Ａはストッカ２０の正面斜視図である。図４Ｂはストッカ２０の背面斜視図である。図４Ｃはストッカ２０の底面斜視図である。本明細書において、ストッカ２０の正面とは、ストッカ２０がめっき装置内に配置さ
れた状態における開口部２１側の面をいい、背面とはその逆側の面をいう。図４Ａ及び図４Ｂに示すように、ストッカ２０は、基板ホルダ１１を収納する開口２８を有する略ボックス状のストッカ本体２６を有する。ストッカ２０は、ストッカ本体２６に収納される基板ホルダ１１のハンガー部１１２を下方から支持するハンガー受け部材２２を有する。ストッカ本体２６の正面部には、取手３１が設けられる。ストッカ２０を手動で移動させるときは、作業員は取手３１を把持してストッカ２０を操作することができる。
【００８１】
また、ストッカ２０は、ストッカ本体２６の正面から上方に延在する隔壁部材２７ａを有する。隔壁部材２７ａは、ストッカ本体２６の正面と共に隔壁２７を構成する。隔壁２７は、図３に示した開口部２１の少なくとも一部を覆い、ストッカ２０がめっき装置内に配置された状態で、めっき装置の内部と外部とを仕切るように構成される。隔壁２７の構成は、図４Ａ及び図４Ｂに示されるものに限らず、開口部２１の少なくとも一部を覆うことができる任意の部材であり得る。ストッカ２０が隔壁２７を有することにより、ストッカ２０がめっき装置内部に配置されているときは、作業者が開口部２１からめっき装置内部に入り込むことを防止することができる。したがって、ストッカ２０がめっき装置内部に配置されて、めっき装置が運転している間は、作業者が誤ってめっき装置内部に入りこむことを防止することができ、作業者の安全を確保することができる。また、本実施形態では、移動可能なストッカ２０が隔壁２７を有するので、この隔壁２７を移動させるための特別な機構が不要になり、装置構成が簡素化される。ひいては、めっき装置の故障リスクを低減することができ且つ隔壁２７を移動させる機構を設置するスペースを不要とすることができる。
【００８２】
図４Ｃに示すように、ストッカ２０は、ストッカ本体２６の底部に、図３に示したレール２３上又は支持面３６上を摺動するスライド部３０を有する。また、図４Ａから図４Ｃに示すように、ストッカ２０は、一対の側面に、かぎ型の先端を備えた係止部２９ａ及び被係止部２９ｂを有する。ストッカ２０の係止部２９ａは、ストッカ２０の移動方向に隣接した他のストッカ２０の被係止部２９ｂと脱着可能に係止する。したがって、係止部２９ａ及び被係止部２９ｂは、ストッカ２０とストッカ２０の移動方向に隣接した他のストッカ２０とを脱着可能に連結するように構成された連結部を形成する。
【００８３】
図４Ｃに示すように、ストッカ２０は、ストッカ２０の正面側から背面側に延在し、係止部２９ａの端部と連結した操作バー３２をその底面に有する。操作バー３２は、その長手方向（軸方向）に移動可能に構成され、ストッカ２０の正面側に操作端部３２ａを有する。作業員が操作端部３２ａを操作バー３２の軸方向に押すことで操作バー３２は軸方向に移動する。また、ストッカ２０は、係止部２９ａを回動可能に支持する支持軸３３を有する。
【００８４】
なお、上述したように、本実施形態のめっき装置は、複数のストッカ２０を有し、それらの少なくとも一つがめっき装置の内外に独立して移動可能に構成される。ここで、図４Ａから図４Ｃに示したストッカ２０は、単一のストッカ本体２６を有するものとして説明している。言い換えれば、図４Ａから図４Ｃに示したストッカ２０は、基板ホルダ１１又はアノードホルダを収納する単一の収納部を有するものとして説明している。しかしながら、これに限らず、ストッカ２０が複数のストッカ本体２６から構成されていてもよい。即ち、本明細書において、「ストッカ」とは、基板ホルダ１１又はアノードホルダが収納される収納部を一つ以上有するユニットを意味する。このようなユニットであるストッカ２０が、本実施形態のめっき装置に複数設けられ、それらの少なくとも一つがめっき装置の内外に移動可能に構成されている。
【００８５】
次に、ストッカ２０の連結構造について詳細に説明する。図５は、ストッカ２０と他のストッカ２０とが連結した状態を示す部分斜視図である。図６Ａは、ストッカ２０と他の
ストッカ２０とが連結した状態を示す連結部分の側面図である。図６Ｂは、ストッカ２０と他のストッカ２０との連結が解除された状態を示す連結部分の側面図である。図５に示すように、開口部２１（図３参照）に近いストッカ２０の係止部２９ａが、隣接するストッカ２０の被係止部２９ｂと係止している。背面隔壁２５は、ストッカ２０と同様の被係止部２９ｂを有し、隣接するストッカ２０の係止部２９ａに係止される。これにより、二つのストッカ２０と背面隔壁２５が列をなして連結する。
【００８６】
図６Ａに示すように、ストッカ２０と他のストッカ２０が連結した状態では、係止部２９ａのかぎ型の先端が被係止部２９ｂのかぎ型の先端に係止する。図示しないが、ストッカ２０と背面隔壁２５とが連結した状態も同様に、係止部２９ａのかぎ型の先端が被係止部２９ｂのかぎ型の先端に係止する。
【００８７】
図４Ｃに示した操作バー３２の操作端部３２ａを操作バー３２の軸方向に押すと、図６Ｂに示すように、係止部２９ａが支持軸３３を中心に回動し、係止部２９ａのかぎ型の先端が持ち上がる。これにより、係止部２９ａと被係止部２９ｂとの係止が解除され、ストッカ２０と他のストッカ２０又は背面隔壁２５との連結が解除される。
【００８８】
図５、図６Ａ、及び図６Ｂに示したように、ストッカ２０は、他のストッカ２０と脱着可能に連結するので、一のストッカ２０を他のストッカ２０とともにめっき装置の外へ移動させることもできるし、他のストッカ２０が一のストッカ２０の存在した場所に位置したときに連結を解除することで、他のストッカ２０を一のストッカ２０が存在した場所に移動させることもできる。
【００８９】
次に、めっき装置内部にストッカ２０が配置されていることを検知する構成等について説明する。図７は、ストッカ設置部の設置面の拡大斜視図である。上述したように、本実施形態においては、複数のストッカ２０の少なくとも一つがめっき装置の内外に独立して移動可能に構成される。このため、めっき装置の運転中にストッカ２０が取り出されたとき、ストッカ２０が取り出されたことがめっき装置のコントローラ１７５に通知されなければ、めっき装置はストッカ２０が存在するものとして運転し、基板ホルダ１１を誤って搬送してしまう虞がある。したがって、めっき装置は、めっき装置内部のストッカ設置部にストッカ２０が存在するか否かを検知できることが好ましい。そこで、本実施形態では、ストッカ設置部の設置面に、ストッカセンサ３８を有する。ストッカセンサ３８は、めっき装置内部の所定位置にストッカ２０が存在するか否かを検知することができる。また、ストッカセンサ３８は、この検知結果を図１に示した制御部１７５Ｃに送信するように構成される。制御部１７５Ｃは、受信した検知結果に基づいて基板ホルダ搬送装置１４０の搬送制御等を行う。これにより、めっき装置は、使用可能なストッカ２０を認識することができ、取り出されたストッカ２０は使用せず、めっき装置内に配置されたストッカ２０のみでめっき処理を行うことができる。
【００９０】
また、めっき装置内にストッカ２０が存在することを検知しても、ストッカ２０が所望の位置からずれて設置された場合、図１に示した基板ホルダ搬送装置１４０が、ストッカ２０から基板ホルダ１１を取り出したり、ストッカ２０に基板ホルダ１１を収納したりすることができなくなる虞がある。したがって、ストッカ２０は、めっき装置内部の所望の位置（ストッカ設置部）に設置された状態で固定されることが好ましい。そこで、本実施形態では、ストッカ設置部の設置面に、ストッカ２０を固定する固定ピン３９（固定部材の一例に相当する）を有する。固定ピン３９は鉛直方向に可動であり、ストッカ２０の底面に設けられる穴に挿入されるように構成される。ストッカ２０がめっき装置内に存在することをストッカセンサ３８が検知すると、固定ピン３９が上昇して、ストッカ２０の底面に設けられる穴に挿入され、ストッカ２０の位置が固定される。これにより、めっき装置から取り出されたストッカ２０をめっき装置内に戻したときに、適切な位置にストッカ
２０を固定することができる。なお、固定ピン３９は、その先端が先細となるようにテーパ状に形成されることが好ましい。この場合、めっき装置内に配置されたストッカ２０が所望の位置から多少ずれていても、固定ピン３９でストッカ２０を固定するときに、テーパ状の固定ピン３９の先端が、ストッカ２０を所望の位置にガイドすることができる。
【００９１】
図８は、ストッカ設置部の概略側面図である。図示のように、めっき装置は、固定ピン３９を鉛直方向に移動させるためのピストン・シリンダ機構等の駆動機構４２を有する。また、この駆動機構４２は、固定ピン３９の位置を検知する位置センサ４１を有する。ストッカ２０がめっき装置内に配置されていることをストッカセンサ３８が検知しても、ストッカ２０が所望の位置からずれて設置された場合、固定ピン３９がストッカ２０の底部に設けられた穴に入らない虞がある。この場合、固定ピン３９を上昇させても、固定ピン３９がストッカ２０の底面に接触し、固定ピン３９の位置が固定位置まで上昇することができない。位置センサ４１は、固定ピン３９が駆動機構４２によって上昇させられたときに、固定ピン３９の位置が固定位置（例えば最上位置）まで上昇していないことを検知した場合、その検知結果を制御部１７５Ｃに送信することができる。この検知結果を制御部１７５Ｃが受信した場合、制御部１７５Ｃは、ストッカ２０が所望の位置に配置されていないと判断し、例えばディスプレイ、スピーカ等の装置により、作業者に警告を発することができる。
【００９２】
また、めっき装置は、開口部２１付近に設けられ、開口部２１に障害物が存在するか否かを検知する障害物センサ４０を有する。本めっき装置において、開口部２１に存在する可能性がある障害物は、隔壁２７、ストッカ２０、背面隔壁２５等が考えられる。開口部２１にこれらの障害物のいずれかが存在していれば、作業者は容易にめっき装置内に入り込むことができない。したがって、開口部２１に障害物が存在するか否かを検知することで、作業者の安全を確保することができる。なお、本実施形態のストッカ２０は、互いに連結する構造を有しているので、連結部分に微小な隙間ができる場合がある。障害物センサ４０が１つの場合、このような微小な隙間を障害物センサ４０が検知すると、開口部２１にストッカ２０が存在するにもかかわらず、障害物センサ４０は開口部２１に障害物が存在しないと誤検知することになる。開口部２１に障害物が存在するか否か、即ち開口部２１から作業者がめっき装置内に入り込むことができる状態か否かは、作業者の安全に関わることであるので、誤検知をできる限り低減することが好ましい。このため、障害物センサ４０は、図８に示すように、誤検知を低減するために、ストッカ設置部の設置面に２つ以上設けられることが好ましい。
【００９３】
次に、めっき装置からストッカ２０を取り出すプロセスの一例を説明する。図９Ａから図９Ｄは、めっき装置からストッカ２０を取り出すプロセスを示す図である。図９Ａから図９Ｄに示す例では、めっき装置は、ストッカ移動装置４５（移動装置の一例に相当する）を有する。ストッカ移動装置４５は、制御部１７５Ｃからの指令により、ストッカ２０をめっき装置外に移動させ、又はめっき装置内に移動させる。ストッカ移動装置４５は、例えば、背面隔壁２５を移動させるように構成されたアクチュエータ等である。なお、ストッカ２０を自動で移動させる手段は、ストッカ移動装置４５に限らず、ストッカ設置部の設置面に駆動ローラ等を設けてストッカ２０を搬送するように構成してもよいし、ストッカ２が自走するように構成してもよい。また、ストッカ移動装置４５は必須ではなく、作業員が手作業でストッカ２０を出し入れしてもよい。
【００９４】
図９Ａに示すように、まず、取り出したストッカ２０を乗せるための台車４４をめっき装置に隣接するように配置しておく。続いて、ストッカ移動装置４５は、背面隔壁２５を押して、連結された２つのストッカ２０ａ，２０ｂをめっき装置外へ押し出す。このとき、１つのストッカ２０ａのみを開口部２１（図示省略されている）の外へ位置させる。この状態で、ストッカ２０ａとストッカ２０ｂとの連結を解除し、図９Ｂに示すように、ス
トッカ２０ａのみを台車４４に載せる。
【００９５】
続いて、図９Ｃに示すように、ストッカ移動装置４５は、さらに背面隔壁２５を押して、連結されたストッカ２０ｂを開口部２１の外へ位置させる。この状態で、ストッカ２０ｂと背面隔壁２５との連結を解除し、図９Ｄに示すように、ストッカ２０ｂを台車４４に載せる。このようにして、ストッカ２０ａ，２０ｂはめっき装置の外へ取り出される。また、このとき、図９Ｄに示すように、背面隔壁２５は、図示しないストッパ３７により開口部２１の外へ出ることが防止され、開口部２１の少なくとも一部が背面隔壁２５により覆われる。これにより、開口部２１から作業員が入り込むことを防止することができる。
【００９６】
次に、ストッカ２０の取り出し・格納制御について説明する。図１０は、本実施形態に係るめっき装置におけるストッカ２０の取り出し・格納制御フローの一例を示す図である。本実施形態のめっき装置では、複数のストッカ２０のうちメンテナンスの対象とするストッカ２０を選択することができる。
【００９７】
まず、めっき装置の制御部１７５Ｃは、複数のストッカ２０から、メンテナンスを実施する対象となる基板ホルダ１１を収納する少なくとも一つのストッカ２０（メンテナンスストッカという）に取り出し予約をする（ステップＳ１００１）。ここで、取り出し予約とは、制御部１７５Ｃが複数のストッカ２０から少なくとも一つのストッカ２０を取り出される対象として選択することをいう。具体的には、例えば作業者がめっき装置のコントローラ１７５を操作し、ストッカ２０を選択することにより、ストッカ２０の取り出し予約がされる。本明細書では、取り出し予約されたストッカを予約ストッカという。なお、上述したように、ストッカ２０にはメンテナンス対象となるアノードホルダを収納するようにすることもできる。制御部１７５Ｃは、予約ストッカに対応する基板ホルダ１１、即ち予約ストッカに収納されることになる基板ホルダ１１の使用を停止し、予約ストッカに基板ホルダ１１を戻すように基板ホルダ搬送装置１４０を制御する（ステップＳ１００１）。
【００９８】
制御部１７５Ｃは、予約ストッカに収納されることになる基板ホルダ１１の全てが予約ストッカに戻ったか否かを判定する（ステップＳ１００２）。基板ホルダ１１の全てが予約ストッカに戻ったと判定されたとき（ステップＳ１００２，Ｙｅｓ）、制御部１７５Ｃは、例えばコントローラ１７５に設けられる図示しないランプを点灯させる（ステップＳ１００３）。ランプの点灯は、予約ストッカをめっき装置から取り出してもよいことを示す。なお、予約ストッカに対応する全ての基板ホルダ１１ではなく、少なくともメンテナンスが必要な基板ホルダ１１を予約ストッカに戻すようにしてもよい。
【００９９】
制御部１７５Ｃは、予約ストッカ以外の残りのストッカ２０を使用してめっき装置の運転を継続する（ステップＳ１００４）。具体的には、制御部１７５Ｃは、予約ストッカ以外のストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用して基板Ｗにめっき処理を行うように、処理部１７０Ｂ（図１参照）及び基板ホルダ搬送装置１４０を制御する。一方で、予約ストッカは、めっき装置から引き出される（ステップＳ１００５）。このとき、図９Ａから図９Ｄに示したようなストッカ移動装置４５で自動的に予約ストッカをめっき装置から引き出すようにしてもよいし、作業員が手動で予約ストッカを引き出してもよい。
【０１００】
続いて、めっき装置から取り出された予約ストッカに収納された基板ホルダ１１のメンテナンスを行う（ステップＳ１００６）。基板ホルダ１１のメンテナンスが終了した後、基板ホルダ１１は予約ストッカに収納された状態で、めっき装置に戻される（ステップＳ１００７）。予約ストッカがめっき装置に戻され、図７及び図８に示したストッカセンサ３８で予約ストッカが検知され、且つ固定ピン３９で予約ストッカが固定されたことが位置センサ４１により検知されると、制御部１７５Ｃは予約ストッカの取り出し予約を解除
する。取り出し予約が解除されると、制御部１７５Ｃは、図示しないランプを消灯し、全てのストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用してめっき処理を再開する（ステップＳ１００８）。
【０１０１】
本実施形態のめっき装置では、基板ホルダ１１又はアノードホルダに異常が生じた場合や定期的なメンテナンス時期が到来した場合等は、これらのホルダの使用を停止して、メンテナンスする必要がある。図１０に示したプロセスフローによれば、例えば使用を停止する必要があるホルダが収納されることになるストッカ２０に取り出し予約をすることで、使用を停止する必要がある基板ホルダ１１又はアノードホルダをストッカ２０に収納してめっき装置外に取り出すことができる。また、本実施形態によれば、取り出し予約がされたストッカ２０以外のストッカ２０に収納されるホルダを使用してめっき処理を行うので、ストッカ２０をめっき装置から引き出している間も連続運転することができる。
【０１０２】
また、図１０に示したプロセスフローによれば、取り出されたストッカ２０がめっき装置に戻されたときに、このストッカ２０を含むすべてのストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うことができる。したがって、ストッカ２０がめっき装置に戻された後は、通常と同じように、全ての基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うので、めっき装置の生産量の低下を防止することができる。なお、図１０に示したプロセスフローでは、予約ストッカを取り出してメンテナンスした後に、この予約ストッカをめっき装置に戻すようにしているが、これに限らず、予備の基板ホルダ１１を収納した予備のストッカ２０を準備しておき、予約ストッカを取り出した後すぐに予備のストッカ２０をめっき装置に格納してもよい。これにより、基板ホルダ１１のメンテナンス中も予備の基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うことができ、メンテナンス中のめっき装置の生産量の低下を防止することができる。
【０１０３】
次に、基板ホルダ１１又はアノードホルダに異常が生じた場合のストッカ２０の取り出し・格納制御について説明する。図１１は、本実施形態に係るめっき装置におけるストッカ２０の取り出し・格納制御フローの他の一例を示す図である。本実施形態のめっき装置では、異常が生じた基板ホルダ１１又はアノードホルダが収納されるストッカ２０をめっき装置から取り出すことができる。図１１では、説明の便宜上、基板ホルダ１１に異常が生じた場合のストッカ２０の取り出し・格納制御について説明する。
【０１０４】
まず、コントローラ１７５の制御部１７５Ｃは、基板ホルダ１１の異常を検出する（ステップＳ１１０１）。具体的には、例えば、基板着脱部１２０において基板ホルダ１１に基板Ｗを装着したときに、通電確認をし、基板Ｗに通電されるか否かを検出する。また、例えば、基板ホルダ１１の基板Ｗの周縁部へのシールに異常が生じていることを検出したり、めっき時の電気抵抗をモニタして、電気抵抗値の変化によりシール内部にめっき液が入り込んだことを検出したりすることもできる。このような基板ホルダ１１の異常の検知手段として、公知の方法を採用することができる。制御部１７５Ｃは、めっき装置の各部から基板ホルダ１１に異常が生じたことを示す信号を受信すると、異常が生じた基板ホルダ１１に対応するストッカ２０、即ち異常が生じた基板ホルダ１１が収納されることになるストッカ２０に基板ホルダ１１を戻すように基板ホルダ搬送装置１４０を制御する（ステップＳ１１０１）。このとき、異常が生じた基板ホルダ１１のみをストッカ２０に戻してもよいし、ストッカ２０に対応する異常が生じた基板ホルダ１１を含むすべての基板ホルダ１１を戻すようにしてもよい。制御部１７５Ｃは、異常が生じた基板ホルダ１１が収納されることになるストッカ２０の使用を停止して、自動的に取出し予約をする（ステップＳ１１０１）。
【０１０５】
制御部１７５Ｃは、予約ストッカに収納されることになる基板ホルダ１１の全てが予約ストッカに戻ったか否かを判定する（ステップＳ１１０２）。なお、ステップＳ１１０２
においては、少なくとも異常が生じた基板ホルダ１１が予約ストッカに戻ったか否かを判定するようにしてもよい。基板ホルダ１１の全て、又は少なくとも異常が生じた基板ホルダ１１が予約ストッカに戻ったと判定されたとき（Ｓ１１０２，Ｙｅｓ）、制御部１７５Ｃは、予約ストッカ以外の残りのストッカ２０を使用してめっき装置の運転を継続する（ステップＳ１１０３）。具体的には、制御部１７５Ｃは、予約ストッカ以外のストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用して基板Ｗにめっき処理を行うように、処理部１７０Ｂ（図１参照）及び基板ホルダ搬送装置１４０を制御する。一方で、予約ストッカは、めっき装置から引き出される（ステップＳ１１０４）。このとき、図９Ａから図９Ｄに示したようなストッカ移動装置４５等により、自動的に予約ストッカが引き出される。なお、作業員が手動で予約ストッカを引き出してもよい。この場合、作業員の安全上の観点から、図１０で説明したようなランプ等を点灯させて、作業員が予約ストッカを引き出してもよいことを作業員に知らせることが好ましい。
【０１０６】
続いて、めっき装置から取り出された予約ストッカに収納された基板ホルダ１１のメンテナンスを行う（ステップＳ１１０５）。基板ホルダ１１のメンテナンスが終了した後、基板ホルダ１１は予約ストッカに収納された状態で、めっき装置に戻される（ステップＳ１１０６）。予約ストッカがめっき装置に戻され、図７及び図８に示したストッカセンサ３８で予約ストッカが検知され、且つ固定ピン３９で予約ストッカが固定されたことが位置センサ４１により検知されると、制御部１７５Ｃは予約ストッカの取り出し予約を解除する（ステップＳ１１０７）。取り出し予約が解除されると、制御部１７５Ｃは、全てのストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用してめっき処理を再開する（ステップＳ１１０７）。
【０１０７】
図１１に示したプロセスフローによれば、基板ホルダ１１に異常が生じたときに異常が生じた基板ホルダ１１が収納されることになるストッカ２０に取り出し予約がされるので、異常が生じた基板ホルダ１１をストッカ２０に収納してめっき装置外に取り出すことができる。また、本実施形態によれば、取り出し予約がされたストッカ２０以外のストッカ２０に収納されるホルダを使用してめっき処理を行うので、ストッカ２０をめっき装置から引き出している間も連続運転することができる。
【０１０８】
また、図１１に示したプロセスフローによれば、取り出されたストッカ２０がめっき装置に戻されたときに、このストッカ２０を含むすべてのストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うことができる。したがって、ストッカ２０がめっき装置に戻された後は、通常と同じように、全ての基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うので、めっき装置の生産量の低下を防止することができる。なお、図１１に示したプロセスフローでは、予約ストッカを取り出してメンテナンスした後に、この予約ストッカをめっき装置に戻すようにしているが、これに限らず、予備の基板ホルダ１１を収納した予備のストッカ２０を準備しておき、予約ストッカを取り出した後すぐに予備のストッカ２０をめっき装置に格納してもよい。これにより、基板ホルダ１１のメンテナンス中も予備の基板ホルダ１１を使用してめっき処理を行うことができ、メンテナンス中のめっき装置の生産量の低下を防止することができる。
【０１０９】
次に、めっき装置がメンテナンス専用のストッカ２０を有する場合のストッカ２０の取り出し・格納制御について説明する。めっき装置は、複数のストッカ２０のうち少なくとも１つを、通常のめっき処理時には使用せず、メンテナンスが必要になった基板ホルダ１１又はアノードホルダのみを収納するためのストッカ２０（メンテナンス専用ストッカという）として使用してもよい。図１２は、本実施形態に係るめっき装置におけるストッカ２０の取り出し・格納制御フローの他の一例を示す図である。本実施形態のめっき装置では、異常が生じた基板ホルダ１１又はアノードホルダをメンテナンス専用ストッカに収納し、このメンテナンス専用ストッカをめっき装置から取り出すことができる。図１２では
、説明の便宜上、基板ホルダ１１に異常が生じた場合のメンテナンス専用ストッカの取り出し・格納制御について説明する。
【０１１０】
まず、コントローラ１７５の制御部１７５Ｃは、基板ホルダ１１の異常を検出する（ステップＳ１２０１）。具体的には、例えば、基板着脱部１２０において基板ホルダ１１に基板Ｗを装着したときに、通電確認をし、基板Ｗに通電されるか否かを検出する。また、例えば、基板ホルダ１１の基板Ｗの周縁部へのシールに異常が生じていることを検出したり、めっき時の電気抵抗をモニタして、電気抵抗値の変化によりシール内部にめっき液が入り込んだことを検出したりすることもできる。このような基板ホルダ１１の異常の検知手段として、公知の方法を採用することができる。制御部１７５Ｃは、めっき装置の各部から基板ホルダ１１に異常が生じたことを示す信号を受信すると、メンテナンス専用ストッカに基板ホルダ１１を戻すように基板ホルダ搬送装置１４０を制御する（ステップＳ１２０１）。なお、メンテナンス専用ストッカは、取出し対象として制御部１７５Ｃにより予め選択されたストッカ２０である。
【０１１１】
制御部１７５Ｃは、メンテナンス専用ストッカ以外の残りのストッカ２０を使用してめっき装置の運転を継続する（ステップＳ１２０２）。具体的には、制御部１７５Ｃは、メンテナンス専用ストッカ以外のストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用して基板Ｗにめっき処理を行うように、処理部１７０Ｂ（図１参照）及び基板ホルダ搬送装置１４０を制御する。言い換えれば、制御部１７５Ｃは、異常が生じた基板ホルダ１１以外の全ての基板ホルダを使用してめっき処理を行う。
【０１１２】
一方で、メンテナンス専用ストッカは、めっき装置から引き出される（ステップＳ１２０３）。このとき、図９Ａから図９Ｄに示したようなストッカ移動装置４５等により、自動的に予約ストッカが引き出される。なお、作業員が手動で予約ストッカを引き出してもよい。この場合、作業員の安全上の観点から、図１０で説明したようなランプ等を点灯させて、作業員が予約ストッカを引き出してもよいことを作業員に知らせることが好ましい。なお、図１２に示すプロセスフローでは、図１０及び図１１に示したストッカ２０に基板ホルダ１１が戻ったか否かを判定するプロセス（ステップＳ１００２及びステップＳ１１０２）は行わない。これは、図１２に示すプロセスフローでは、基板ホルダ１１に異常が生じたことを検知したときにその基板ホルダ１１のみがメンテナンス専用ストッカに直ちに戻されるので、このような判定プロセスが不要だからである。ただし、このような判定プロセスを行ってもよい。
【０１１３】
続いて、めっき装置から取り出されたメンテナンス専用ストッカに収納された基板ホルダ１１のメンテナンスを行う（ステップＳ１２０４）。基板ホルダ１１のメンテナンスが終了した後、基板ホルダ１１はメンテナンス専用ストッカに収納された状態で、めっき装置に戻される（ステップＳ１２０５）。メンテナンス専用ストッカがめっき装置に戻され、図７及び図８に示したストッカセンサ３８でメンテナンス専用ストッカが検知され、且つ固定ピン３９でメンテナンス専用ストッカが固定されたことが位置センサ４１により検知されると、制御部１７５Ｃはメンテナンス専用ストッカ内の基板ホルダ１１を元のストッカ２０に戻すように基板ホルダ搬送装置１４０を制御する（ステップＳ１２０６）。基板ホルダ１１が元のストッカ２０に戻されると、制御部１７５Ｃは、全てのストッカ２０に収納される基板ホルダ１１を使用してめっき処理を再開する（ステップＳ１２０７）。
【０１１４】
図１２に示したプロセスフローによれば、異常が生じた基板ホルダ１１又はアノードホルダはメンテナンス専用ストッカに収納される。したがって、メンテナンス専用ストッカをメンテナンスのためにめっき装置外に移動させても、通常のめっき処理に使用されるストッカ２０の数は変わらない。このため、メンテナンス中であっても、使用可能なストッカ２０の数を維持することができるので、めっき装置の生産量の低下を抑制することがで
きる。
【０１１５】
以上で説明したように、第１実施形態に係るめっき装置は、複数のストッカ２０を有し、そのストッカ２０の少なくとも一つがめっき装置外に取り出し可能であるので、メンテナンスが必要になった基板ホルダ１１又はアノードホルダを収納したストッカ２０をめっき装置外に取り出して、基板ホルダ１１又はアノードホルダのメンテナンスを行うことができる。また、メンテナンスの間は、他のストッカ２０がめっき装置内に配置された状態になる。これにより、基板ホルダ１１又はアノードホルダのメンテナンス中もめっき装置の運転を継続することができるので、従来のようにめっき装置を停止していた場合に比べて、生産量を向上させることができる。また、基板ホルダ１１及びアノードホルダには、ホルダ自身には構造的な不具合が生じていないものの、めっき処理を継続していく中で、めっき処理を行う際にエラーが発生する回数が多い基板ホルダ１１又はアノードホルダと、当該回数が少ない基板ホルダ１１又はアノードホルダが生じてくることが判明した。第１実施形態では、めっき装置にストッカ２０が複数設けられているので、例えば、エラーを発生させた履歴がある基板ホルダ１１又はアノードホルダを第１のストッカ２０に収納し、それ以外のホルダを第２のストッカ２０に収納することで、第１のストッカ２０をメンテナンスの対象として選択し、めっき装置の外に移動させることもできる。さらに、めっき装置にストッカ２０が複数設けられているので、例えば、第１の仕様の基板Ｗを保持するための基板ホルダ１１を第１のストッカ２０に収納し、それ以外の基板ホルダ１１を第２のストッカ２０に収納することができる。これにより、異なる仕様の基板Ｗが同時または連続的にめっき装置に搬送されたとしても、装置を停止させることなく、めっき処理を継続することができる。その結果、異なる仕様の基板Ｗに対しても、装置全体の単位時間当たりのスループットを低下させることなくめっき処理を行うことができる。
【０１１６】
＜第２実施形態＞
以下、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。図１３は、第２実施形態に係るめっき装置の全体側面図である。第２実施形態に係るめっき装置は、第１実施形態のめっき装置と比べて、各部の配置構成が異なるのみであり、各部の具体的構成及び機能は同一である。即ち、第２実施形態のめっき装置は、図３から図９に示したストッカ２０の具体的構成及び機能を有するストッカ２０を備え、図１０から図１２で説明したストッカ２０の取り出し・格納制御を実行することができる。
【０１１７】
図１３に示すように、このめっき装置は、めっき装置フレーム１０５に、基板Ｗを収納したカセット１００と、基板搬送装置１２２と、スピンリンスドライヤ１０６と、基板着脱部１２０と、載置プレート１５２と、処理部１７０Ｂと、走行軸１４３に沿って走行可能な基板ホルダ搬送装置１４０と、複数のストッカ２０と、ストッカ設置部１２５と、図示しないアライナとを備える。なお、図１３では複数のストッカ２０のうち一つのみが示される。
【０１１８】
この例では、処理部１７０Ｂは、カセット１００側から見て順に、ブロー槽、リンス槽、第２めっき槽、リンス槽、第１めっき槽、リンス槽、前処理槽、及び前水洗槽を有する。これに限らず、第１実施形態のめっき装置と同様の構成の処理部１７０Ｂを有してもよいし、別の構成の処理部１７０Ｂを有してもよい。即ち、処理部１７０Ｂの、槽の種類、槽の数、槽の配置は、基板Ｗの処理目的により自由に選択可能である。各槽の配置順序は工程順にしたがって図中ＸからＸ’に向かう方向に配置することが、基板ホルダ１１の搬送経路を短縮する上で好ましい。
【０１１９】
第２実施形態では、複数のストッカ２０がめっき装置の後段に配置される点が、第１実施形態のめっき装置と大きく異なる。このような構成のめっき装置であっても、複数のストッカ２０の少なくとも一つをめっき装置の内外に独立して移動させることができる。
【０１２０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
１０…めっき槽
１１…基板ホルダ
１８…パドル
１９…パドル駆動装置
２０…ストッカ
２１…開口部
２３…レール
２５…背面隔壁
２７…隔壁
２７ａ…隔壁部材
２９ａ…係止部
２９ｂ…被係止部
３５…摺動体
３６…支持面
３７…ストッパ
３８…ストッカセンサ
３９…固定ピン
４０…障害物センサ
４５…ストッカ移動装置
１１４…給電接点
１２２…基板搬送装置
１２５…ストッカ設置部
１４０…基板ホルダ搬送装置
１７５…コントローラ
【図１】
0006675257.tif 000003
【図２】
0006675257.tif 000004
【図３】
0006675257.tif 000005
【図４Ａ】
0006675257.tif 000006
【図４Ｂ】
0006675257.tif 000007
【図４Ｃ】
0006675257.tif 000008
【図５】
0006675257.tif 000009
【図６Ａ】
0006675257.tif 000010
【図６Ｂ】
0006675257.tif 000011
【図７】
0006675257.tif 000012
【図８】
0006675257.tif 000013
【図９Ａ】
0006675257.tif 000014
【図９Ｂ】
0006675257.tif 000015
【図９Ｃ】
0006675257.tif 000016
【図９Ｄ】
0006675257.tif 000017
【図１０】
0006675257.tif 000018
【図１１】
0006675257.tif 000019
【図１２】
0006675257.tif 000020
【図１３】
0006675257.tif 000021