(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
主電源のオンとオフとを切り替えるための主電源スイッチと、
該筐体内に形成され、メンテナンスの時に作業者がアクセスするメンテナンス領域と、
該メンテナンス領域を覆うための開閉扉と、
該主電源がオンになるオン位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該筐体に固定され、該主電源がオフになるオフ位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該筐体から取り外すことのできるパネルと、
一端が該パネルで押止されるロッドと、
該開閉扉に形成され、該ロッドの他端側が挿入される貫通穴を有する貫装部と、を備え、
該開閉扉を閉じた状態で該パネルを該筐体に固定し該ロッドの一端の位置を規制することで、該ロッドは、他端側が該貫通穴に挿入される貫装位置に位置付けられ、
該主電源スイッチを該オフ位置に合わせて該パネルを該筐体から取り外すことで、該ロッドは、他端側が該貫通穴から抜去される抜去位置に位置付けられることを特徴とする廃液処理装置、切削装置、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、及び洗浄装置のいずれかであるメンテナンス領域を有する装置。
【請求項２】
該パネルは、該主電源がオンになるオン位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該主電源スイッチを囲むように該筐体に固定され、
該主電源スイッチを該オフ位置に合わせて該パネルを該筐体から取り外すことで、該ロッドは、一端側が該パネルに接触した状態で他端側が該貫通穴から抜去される抜去位置に位置付けられることを特徴とする請求項１に記載のメンテナンス領域を有する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メンテナンスの際に作業者がアクセスするメンテナンス領域を有する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを加工等する際に用いられる各種装置の筐体には、様々な構成要素が収容されている。筐体は、例えば、装置の概形を形作る骨格と、骨格を覆うカバーとで構成されており、内部の構成要素をメンテナンス等する際には、カバーの一部が作業者によって取り外される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３３１０５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、メンテナンスの度に筐体のカバーを取り外すのでは、作業の効率を必ずしも十分に高めることができない。また、この場合、装置を設置するための設置スペースとは別に、取り外したカバーを一時的に保管するための保管スペースを確保しなくてはならないという問題もあった。
【０００５】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、筐体のカバーを取り外さなくてもメンテナンスできるメンテナンス領域を有する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、筐体と、主電源のオンとオフとを切り替えるための主電源スイッチと、該筐体内に形成され、メンテナンスの時に作業者がアクセスするメンテナンス領域と、該メンテナンス領域を覆うための開閉扉と、該主電源がオンになるオン位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該筐体に固定され、該主電源がオフになるオフ位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該筐体から取り外すことのできるパネルと、一端が該パネルで押止されるロッドと、該開閉扉に形成され、該ロッドの他端側が挿入される貫通穴を有する貫装部と、を備え、該開閉扉を閉じた状態で該パネルを該筐体に固定し該ロッドの一端の位置を規制することで、該ロッドは、他端側が該貫通穴に挿入される貫装位置に位置付けられ、該主電源スイッチを該オフ位置に合わせて該パネルを該筐体から取り外すことで、該ロッドは、他端側が該貫通穴から抜去される抜去位置に位置付けられることを特徴とする廃液処理装置、切削装置、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、及び洗浄装置のいずれかであるメンテナンス領域を有する装置が提供される。本発明の一態様において、該パネルは、該主電源がオンになるオン位置に該主電源スイッチを合わせた状態で該主電源スイッチを囲むように該筐体に固定され、該主電源スイッチを該オフ位置に合わせて該パネルを該筐体から取り外すことで、該ロッドは、一端側が該パネルに接触した状態で他端側が該貫通穴から抜去される抜去位置に位置付けられても良い。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様に係るメンテナンス領域を有する装置では、筐体に形成されているメンテナンス領域を覆うための開閉扉を備えるので、この開閉扉を開くだけでメンテナンス領域にアクセスできる。つまり、筐体のカバーを取り外さなくても装置をメンテナンスできる。
【０００８】
また、本発明の一態様に係るメンテナンス領域を有する装置では、開閉扉を開く際に、主電源がオフになるオフ位置に主電源スイッチを合わせてパネルを筐体から取り外し、他端側が貫通穴に挿入されているロッドを抜去位置に位置付けて、このロッドの他端側を貫通穴から抜去しなくてはならない。つまり、主電源がオンの状態では開閉扉を開くことができないので、メンテナンスの際の安全性も高くなる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】筐体に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。
【図３】開閉扉のロック機構について説明するための一部断面平面図である。
【図４】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、安全機構について説明するための側面図である。
【図５】開閉扉のロックが解除された状態を模式的に示す一部断面平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、半導体ウェーハの加工時に発生する廃液等を処理するための廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。なお、本実施形態では、メンテナンス領域を有する装置として廃液処理装置を例に挙げて説明するが、本発明に係る装置は、切削装置、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、洗浄装置等でも良い。
【００１１】
図１に示すように、廃液処理装置（メンテナンス領域を有する装置）２は、複数の構成要素が収容、搭載される筐体４を備えている。筐体４は、代表的には、廃液処理装置２の概形を形作る骨格（不図示）と、骨格を覆う複数のカバー６とで構成される。筐体４の内部には、構成要素を収容するための収容空間が形成されている。
【００１２】
図２は、筐体４に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。筐体４の収容空間には、図２に示すように、配管８を通じて切削装置等の加工装置（不図示）に接続される廃液タンク１０が収容されている。この廃液タンク１０は、配管８を通じて加工装置から受け取った廃液を貯留する。
【００１３】
廃液タンク１０の上部には、廃液タンク１０に貯留されている廃液を後段に送り出すための廃液ポンプ１２が設けられている。廃液ポンプ１２によって廃液タンク１０から送り出された廃液は、配管１４、電磁弁１６等を通じて濾過ユニット１８へと供給される。濾過ユニット１８は、廃液タンク１０から供給される廃液を濾過するためのフィルタ２０を備えている。
【００１４】
フィルタ２０の下方には、濾過後の液体（濾液）を受ける濾液受けパン２２が設置されている。この濾液受けパン２２には、配管２４等を介して濾液タンク２６が接続されており、廃液をフィルタ２０で濾過して得られた濾液は、濾液受けパン２２を通じて濾液タンク２６に貯留される。
【００１５】
なお、濾過ユニット１８へと廃液を供給する配管１４には、廃液の圧力を検出するための圧力センサ２８が設けられている。圧力センサ２８は、制御ユニット（不図示）に接続されており、圧力センサ２８で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。
【００１６】
制御ユニットは、例えば、圧力センサ２８で検出した廃液の圧力が閾値よりも大きくなると、フィルタ２０の機能が低下していると判断して作業者にその旨を通知する。このような通知は、警告灯（不図示）の発光、通知音の発生、モニタ６８（図１）への表示等の方法で行うことができる。
【００１７】
濾液タンク２６には、貯留されている濾液を後段に送り出すための濾液ポンプ３０が接続されている。濾液ポンプ３０によって濾液タンク２６から送り出された濾液は、配管３２等を通じて純水生成ユニット３４へと供給される。純水生成ユニット３４は、濾液タンク２６から供給される濾液に紫外線（紫外光）を照射するための紫外線光源３６を備えている。
【００１８】
紫外線光源３６から照射される紫外線で殺菌された濾液は、配管３８等を通じて第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２に供給される。第１イオン交換器４０は、電磁弁４４を介して配管３８に接続されており、第２イオン交換器４２は、電磁弁４６を介して配管３８に接続されている。これら２つの電磁弁４４，４６を制御することで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の一方に濾液を供給できる。
【００１９】
第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に供給された濾液は、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に含まれるイオン交換樹脂でイオン交換され、純水となる。一方、このような方法で生成された純水には、イオン交換樹脂から発生する微細な樹脂片等の屑が混入していることもある。そこで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の後段に配管４８を介して接続された精密フィルタ５０でこの屑を除去する。
【００２０】
なお、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の圧力を検出するための圧力センサ５２が設けられている。圧力センサ５２は、制御ユニットに接続されており、圧力センサ５２で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、圧力センサ５２で検出した純水の圧力が閾値よりも大きくなると、精密フィルタ５０の機能が低下していると判断して作業者にその旨を通知する。
【００２１】
また、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の比抵抗を検出するための比抵抗計５４が設けられている。比抵抗計５４は、制御ユニットに接続されており、比抵抗計５４で検出した比抵抗の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、比抵抗計５４で検出した純水の比抵抗が閾値よりも低くなると、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２の機能が低下していると判断して作業者にその旨を通知する。
【００２２】
純水生成ユニット３４で生成された純水は、配管５６等を通じて温度調整ユニット５８へと送られる。温度調整ユニット５８で所定の温度に調整された純水は、配管６０等を通じて加工装置に供給される。
【００２３】
図１に示すように、筐体４の上部前面側には、収容空間に通ずる第１開口部４ａが形成されている。第１開口部４ａ内には、例えば、上述した濾過ユニット１８が配置されている。また、筐体４の上面には、この第１開口部４ａを閉じるための蓋６２が取り付けられている。蓋６２を開くことで、作業者は、第１開口部４ａを通じて濾過ユニット１８のフィルタ２０を交換できる。
【００２４】
また、筐体４の前面には、第１開口部４ａに隣接して、収容空間に通ずる第２開口部４ｂが形成されている。廃液処理装置２をメンテナンス等する際には、例えば、作業者は、第２開口部４ｂを通じて収容空間の一部にアクセスできる。すなわち、この収容空間の一部は、メンテナンスの際に作業者がアクセスするメンテナンス領域となる。
【００２５】
メンテナンス領域には、例えば、メンテナンスの頻度が高い電装部品や配管等の構成要素が収容される。ただし、メンテナンス領域に収容される構成要素に制限はない。第２開口部４ｂの前方側には、メンテナンス領域を覆うための開閉扉６４が設けられている。開閉扉６４の一方の側部は、蝶番等で筐体４に連結されており、開閉扉６４は、この側部を中心に回転する。
【００２６】
開閉扉６４の上部前面には、制御ユニットへの指示等を入力するための入力パッド６６が設けられている。入力パッド６６に隣接する位置には、各種の情報を表示するためのモニタ６８が設置されている。
【００２７】
筐体４の側面には、廃液処理装置２が備える主電源（不図示）のオンとオフとを切り替えるための回転式の主電源スイッチ７０が配置されている。主電源スイッチ７０の周囲には、主電源スイッチ７０を囲むパネル７２が固定されている。このパネル７２は、開閉扉６４をロックするためのロック機構の一部となる。
【００２８】
図３は、開閉扉６４のロック機構について説明するための一部断面平面図である。図３では、開閉扉６４をロックした状態が示されている。図３に示すように、パネル７２の裏面側（筐体４のカバー６側）には、ロック機構を構成する円柱状のロッド７４の一端側（基端側）が接触する。このロッド７４は、例えば、カバー６に形成された貫通穴（不図示）を通じて、筐体４の内部に挿入されている。
【００２９】
また、ロッド７４は、例えば、筐体４の上部等に固定された第１保持部７６及び第２保持部７８によってスライド可能な状態で保持されている。第１保持部７６及び第２保持部７８には、それぞれ貫通穴（不図示）が形成されており、ロッド７４は、この貫通穴に挿入されている。
【００３０】
ロッド７４の一端側には、ロッド７４の側面から径方向に張り出す第１フランジ部７４ａが設けられている。第１フランジ部７４ａと第１保持部７６との間に位置するロッド７４の周囲には、コイルばね８０が配置されている。このコイルばね８０によって、ロッド７４は、パネル７２の裏面側に向けて付勢される。すなわち、開閉扉６４をロックした状態では、ロッド７４の一端側がパネル７２で押さえつけるように止められている（押止される）。
【００３１】
ロッド７４の他端側（先端側）には、ロッド７４の側面から径方向に張り出す第２フランジ部７４ｂが設けられている。この第２フランジ部７４ｂによって、第２保持部７８からのロッド７４の抜けが防止される。なお、第２フランジ部７４ｂは、ロッド７４の他端から一端側に離れた位置に配置されており、ロッド７４の他端の側面は、露出している。
【００３２】
開閉扉６４の内側には、ロッド７４の他端側と係合する貫装部８２が設けられている。貫装部８２には、ロッド７４の他端側を挿入できる貫通穴８２ａが形成されている。よって、開閉扉６４を閉じた状態でロッド７４をスライドさせ、他端側が貫通穴８２ａに挿入される貫装位置にロッド７４を位置付ければ、開閉扉６４をロックできる。
【００３３】
上述のように、ロッド７４の一端側は、パネル７２の裏面側で押さえつけるように止められており、ロッド７４の一端側の位置は、パネル７２によって規制される。例えば、開閉扉６４がロックされる貫装位置にロッド７４を位置付けるには、図３に示すように、パネル７２を筐体４（カバー６）に固定してロッド７４の一端側の位置を規制すれば良い。
【００３４】
パネル７２の筐体４（カバー６）への固定は、例えば、４個の螺子８４によって行われる。一方で、開閉扉６４のロックを解除するには、パネル７２を筐体４（カバー６）から取り外し、他端側が貫通穴８２ａから抜去される抜去位置にロッド７４を位置付ければ良い。
【００３５】
なお、このロック機構には、主電源がオフになるオフ位置に主電源スイッチ７０を合わせることでロックを解除できるようにする安全機構が設けられている。つまり、主電源スイッチ７０をオフ位置に合わせない限り、螺子８４を緩めてもパネル７２を筐体４（カバー６）から取り外すことはできない。
【００３６】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、安全機構について説明するための側面図である。なお、図４（Ａ）では、主電源がオンになるオン位置に主電源スイッチ７０を合わせた状態を示しており、図４（Ｂ）では、主電源がオフになるオフ位置に主電源スイッチ７０を合わせた状態を示している。
【００３７】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、安全機構は、例えば、主電源スイッチ７０の回転軸に連結、固定された棒状の回転部７０ａを含む。この回転部７０ａは、主電源スイッチ７０の回転に伴い回転する。一方で、回転部７０ａの先端に対応する位置には、パネル７２側に固定された受け部７２ａが配置されている。
【００３８】
図４（Ａ）に示すように、受け部７２ａは、主電源スイッチ７０をオン位置に合わせた状態で回転部７０ａの先端が係合する位置に配置されている。よって、主電源スイッチ７０をオン位置に合わせた状態では、回転部７０ａの先端が受け部７２ａに係合し、主電源スイッチ７０とパネル７２との位置関係が固定される。すなわち、この状態では、パネル７２を筐体４（カバー６）から取り外すことはできない。
【００３９】
一方、図４（Ｂ）に示すように、主電源スイッチ７０を回転させてオフ位置に合わせると、回転部７０ａも回転し、回転部７０ａの先端と受け部７２ａとの係合は解除される。これにより、主電源スイッチ７０とパネル７２との位置関係が固定されなくなるので、パネル７２を筐体４（カバー６）から取り外して、開閉扉６４のロックを解除できる。
【００４０】
図５は、開閉扉６４のロックが解除された状態を模式的に示す一部断面平面図である。図５に示すように、主電源スイッチ７０をオフ位置に合わせた状態で螺子８４を緩めれば、パネル７２を筐体４（カバー６）から取り外すことができる。
【００４１】
パネル７２を筐体４（カバー６）から取り外すと、ロッド７４は抜去位置に位置付けられ、ロッド７４の他端側は貫通穴８２ａから抜去される。これにより、作業者は、開閉扉６４を開いてメンテナンス領域にアクセスできるようになる。なお、この状態では、主電源がオフになっているので、安全性が高い。
【００４２】
以上のように、本実施形態に係る廃液処理装置（メンテナンス領域を有する装置）２では、筐体４に形成されているメンテナンス領域を覆うための開閉扉６４を備えるので、この開閉扉６４を開くだけでメンテナンス領域にアクセスできる。つまり、筐体４のカバー６を取り外さなくても廃液処理装置２をメンテナンスできる。
【００４３】
また、本実施形態に係る廃液処理装置２では、開閉扉６４を開く際に、主電源がオフになるオフ位置に主電源スイッチ７０を合わせてパネル７２を筐体４（カバー６）から取り外し、他端側が貫通穴８２ａに挿入されているロッド７４を抜去位置に位置付けて、このロッド７４の他端側を貫通穴８２ａから抜去しなくてはならない。つまり、主電源がオンの状態では開閉扉６４を開くことができないので、メンテナンスの際の安全性も高くなる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、回転式の主電源スイッチ７０に対応する安全機構の一例について説明しているが、安全機構の構成に特段の制限はない。例えば、プッシュ式の主電源スイッチに連動して、電気的に回転部を回転させる安全機構等を用いることもできる。もちろん、回転式の主電源スイッチに、電気的に動作する安全機構等を組み合わせても良い。
【００４５】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４６】
２  廃液処理装置（メンテナンス領域を有する装置）
４  筐体
４ａ  第１開口部
４ｂ  第２開口部
６  カバー
８  配管
１０  廃液タンク
１２  廃液ポンプ
１４  配管
１６  電磁弁
１８  濾過ユニット
２０  フィルタ
２２  濾液受けパン
２４  配管
２６  濾液タンク
２８  圧力センサ
３０  濾液ポンプ
３２  配管
３４  純水生成ユニット
３６  紫外線光源
３８  配管
４０  第１イオン交換器
４２  第２イオン交換器
４４  電磁弁
４６  電磁弁
４８  配管
５０  精密フィルタ
５２  圧力センサ
５４  比抵抗計
５６  配管
５８  温度調整ユニット
６０  配管
６２  蓋
６４  開閉扉
６６  入力パッド
６８  モニタ
７０  主電源スイッチ
７０ａ  回転部
７２  パネル
７２ａ  受け部
７４  ロッド
７４ａ  第１フランジ部
７４ｂ  第２フランジ部
７６  第１保持部
７８  第２保持部
８０  コイルばね
８２  貫装部
８２ａ  貫通穴
８４  螺子
【図１】
0006695625.tif 000002
【図２】
0006695625.tif 000003
【図３】
0006695625.tif 000004
【図４】
0006695625.tif 000005
【図５】
0006695625.tif 000006