(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の制御ループ分の温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとに基づいて複数の制御ループの制御対象を温度制御する汎用調節計からの情報を表示する表示装置において、
画像表示のための表示素子と、
前記制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、
アラーム順位を決める規定を予め記憶する順位規定情報記憶手段と、
前記汎用調節計から全ての制御ループの情報を定期的に取得する情報取得手段と、
アラーム順位の規定を前記順位規定情報記憶手段から取得し、この規定と前記制御対象の装置におけるアラーム情報と前記情報取得手段が取得した情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定するアラーム順位決定手段と、
前記表示対象の制御ループのうち、前記アラーム順位決定手段がアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に表示させるアラーム順位表示制御手段と、
前記ループ情報表示制御手段が１ループ分の情報のみを表示させている状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループに前記アラーム順位の規定の対象となるアラームが発生したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に追加表示させるアラーム順位追加表示制御手段とを備え、
前記アラーム順位を決める規定は、温度計測値ＰＶのアラームについて、温度設定値ＳＰの周辺に予め設定された許容温度範囲に対する高温側への前記温度計測値ＰＶの逸脱幅を基にアラーム順位を決める規定であり、前記逸脱幅が大きいほどアラーム順位が高くなり、前記逸脱幅が同じ場合には温度設定値ＳＰが高温になるほどアラーム順位が高くなる規定であることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１記載の表示装置において、
さらに、前記表示素子の画面に対する操作が可能な入力手段と、
前記ループ情報表示制御手段が１ループ分の情報のみを表示させ、かつ表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を前記アラーム順位追加表示制御手段が追加表示させた状態で、この追加表示されたアラーム順位の箇所をオペレータが操作したときに、操作されたアラーム順位に対応する制御ループの表示対象の情報のみを表示するよう画面を切り替えるアラーム対応移行制御手段とを備えることを特徴とする表示装置。
【請求項３】
複数の制御ループ分の温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとに基づいて複数の制御ループの制御対象を温度制御する汎用調節計からの情報を表示する表示方法において、
前記制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、
前記汎用調節計から全ての制御ループの情報を定期的に取得する情報取得ステップと、
アラーム順位を決める規定を記憶する順位規定情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、取得した規定と前記制御対象の装置におけるアラーム情報と前記情報取得ステップで取得した情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定するアラーム順位決定ステップと、
前記表示対象の制御ループのうち、前記アラーム順位決定ステップでアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に表示させるアラーム順位表示制御ステップと、
前記ループ情報表示制御ステップで１ループ分の情報のみを表示させている状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループに前記アラーム順位の規定の対象となるアラームが発生したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に追加表示させるアラーム順位追加表示制御ステップとを含み、
前記アラーム順位を決める規定は、温度計測値ＰＶのアラームについて、温度設定値ＳＰの周辺に予め設定された許容温度範囲に対する高温側への前記温度計測値ＰＶの逸脱幅を基にアラーム順位を決める規定であり、前記逸脱幅が大きいほどアラーム順位が高くなり、前記逸脱幅が同じ場合には温度設定値ＳＰが高温になるほどアラーム順位が高くなる規定であることを特徴とする表示方法。
【請求項４】
請求項３記載の表示方法において、
さらに、前記ループ情報表示制御ステップで１ループ分の情報のみを表示させ、かつ表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を前記アラーム順位追加表示制御ステップで追加表示させた状態で、この追加表示したアラーム順位の箇所をオペレータが操作したときに、操作されたアラーム順位に対応する制御ループの表示対象の情報のみを表示するよう画面を切り替えるアラーム対応移行制御ステップを含むことを特徴とする表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の制御ループを備えた装置を制御する汎用調節計から、表示対象の制御ループに関わる情報とアラーム情報とを受け取って表示する表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の制御ループを備える装置（マルチループ系）を扱うために、汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。マルチループ系の調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図１１、図１２に示す。
【０００３】
図１１の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図１１に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００４】
また、図１２に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図１２に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００５】
調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行う製造装置においては、オペレータに情報を伝えるために、液晶ディスプレイなどの表示装置が使用される（特許文献２参照）。また、特許文献３に開示された技術では、画面にアラームなどの多数の情報を表示するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０４８３７０号公報
【特許文献２】特開２００１−１５４７８６号公報
【特許文献３】特開２００８−２５６６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
小型の製造装置に表示装置を実装する場合は、小型の表示装置が使用される。しかしながら、図１１、図１２で説明したようなマルチループ系を扱う場合、小型の表示装置では画面の大きさが十分とは限らず、表示が見難くなり、利便性に支障が生じるという問題点があった。
【０００８】
特に、図１３に示すように、汎用調節計３００と一体化され、汎用目的で画面の仕様が設計される小型の表示装置３０１では、個々の制御対象（図１３のＮｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される制御対象）に固有の性質を反映した表示を効率的に行なうことに限界があった。このようにマルチループ系の情報表示に使用される小型の表示装置には、利便性の改善が求められている。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、マルチループ系で汎用的に使用される表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の制御ループ分の温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとに基づいて複数の制御ループの制御対象を温度制御する汎用調節計からの情報を表示する表示装置において、画像表示のための表示素子と、前記制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、アラーム順位を決める規定を予め記憶する順位規定情報記憶手段と、前記汎用調節計から全ての制御ループの情報を定期的に取得する情報取得手段と、アラーム順位の規定を前記順位規定情報記憶手段から取得し、この規定と前記制御対象の装置におけるアラーム情報と前記情報取得手段が取得した情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定するアラーム順位決定手段と、前記表示対象の制御ループのうち、前記アラーム順位決定手段がアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に表示させるアラーム順位表示制御手段と、前記ループ情報表示制御手段が１ループ分の情報のみを表示させている状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループに前記アラーム順位の規定の対象となるアラームが発生したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に追加表示させるアラーム順位追加表示制御手段とを備え、前記アラーム順位を決める規定は、温度計測値ＰＶのアラームについて、温度設定値ＳＰの周辺に予め設定された許容温度範囲に対する高温側への前記温度計測値ＰＶの逸脱幅を基にアラーム順位を決める規定であり、前記逸脱幅が大きいほどアラーム順位が高くなり、前記逸脱幅が同じ場合には温度設定値ＳＰが高温になるほどアラーム順位が高くなる規定であることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の表示装置の１構成例は、さらに、前記表示素子の画面に対する操作が可能な入力手段と、前記ループ情報表示制御手段が１ループ分の情報のみを表示させ、かつ表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を前記アラーム順位追加表示制御手段が追加表示させた状態で、この追加表示されたアラーム順位の箇所をオペレータが操作したときに、操作されたアラーム順位に対応する制御ループの表示対象の情報のみを表示するよう画面を切り替えるアラーム対応移行制御手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明は、複数の制御ループ分の温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとに基づいて複数の制御ループの制御対象を温度制御する汎用調節計からの情報を表示する表示方法において、前記制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、前記汎用調節計から全ての制御ループの情報を定期的に取得する情報取得ステップと、アラーム順位を決める規定を記憶する順位規定情報記憶手段を参照して記憶されている情報を取得し、取得した規定と前記制御対象の装置におけるアラーム情報と前記情報取得ステップで取得した情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定するアラーム順位決定ステップと、前記表示対象の制御ループのうち、前記アラーム順位決定ステップでアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に表示させるアラーム順位表示制御ステップと、前記ループ情報表示制御ステップで１ループ分の情報のみを表示させている状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループに前記アラーム順位の規定の対象となるアラームが発生したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に追加表示させるアラーム順位追加表示制御ステップとを含み、前記アラーム順位を決める規定は、温度計測値ＰＶのアラームについて、温度設定値ＳＰの周辺に予め設定された許容温度範囲に対する高温側への前記温度計測値ＰＶの逸脱幅を基にアラーム順位を決める規定であり、前記逸脱幅が大きいほどアラーム順位が高くなり、前記逸脱幅が同じ場合には温度設定値ＳＰが高温になるほどアラーム順位が高くなる規定であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、順位規定情報記憶手段と、情報取得手段と、アラーム順位決定手段と、アラーム順位表示制御手段とを設けることにより、表示中の情報に、アラーム順位を把握し易くする表示を追加することができ、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。
【００１４】
また、本発明では、アラーム順位追加表示制御手段を設けることにより、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位をオペレータに知らせることができる。
【００１５】
また、本発明では、アラーム対応移行制御手段を設けることにより、表示中の制御ループよりもアラーム順位が高いアラームが発生している制御ループがある場合に、簡単な操作で、アラーム順位が高い制御ループの情報を表示する状態に移行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】表示装置の画面に４つの制御ループ分の情報を表示させる例を示す図である。
【図２】表示装置の画面に１つの制御ループ分の情報を拡大表示させる例を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図５】本発明の第１の実施の形態における表示例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態における他の表示例を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。
【図９】本発明の第２の実施の形態における表示例を示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態における他の表示例を示す図である。
【図１１】複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。
【図１２】複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。
【図１３】汎用調節計と一体化された表示装置の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［発明の原理１］
図１に示すように表示装置の画面１に例えば４つの制御ループ分の情報を表示しているときに、複数の制御ループで異なる種類のアラームが発生した場合、緊急性を要するものから対応するのが好ましい。汎用的なコントローラ（例えばマルチループ温調計）であれば、複数の制御ループで同時にアラームが発生したときの緊急性の順位を把握し易くする表示機能を、コントローラメーカからの標準的な出荷段階で可能な限り規定しておかなければならない。
【００１８】
温度制御の場合、過熱（過剰な温度上昇）は特に重要なアラームである。管理範囲（通常は設定値ＳＰ周辺の許容温度範囲）から逸脱した過熱温度幅が大きい順に、アラームの緊急性の順位を割り付けるのが妥当である。このように考えれば、アラーム順位を付ける標準的な機能として、過熱温度幅を利用するように規定できる。管理幅を利用すれば温度以外でも適用可能である。
【００１９】
そこで、発明者は、アラーム順位を把握し易くする表記を追加することに想到した。具体的には、アラームの緊急性の順位を、数値で明確に表示するものである。なお、実用としては、設定値ＳＰよりも低温度側に逸脱した温度幅を同様に採用したり、設定値ＳＰが高温度側になる制御ループほど過熱温度幅を重視したりするなどの拡張も有効である。
【００２０】
［発明の原理２］
特に小型の表示装置で想定される操作として、１ループ分の情報のみを拡大表示する状態がある（図２）。この場合には、表示されている制御ループよりもアラーム順位が高いアラームが発生している制御ループがあれば、その制御ループを操作できる表示状態に、簡潔な操作で移行できるようにする機能を付加することが好ましい。
【００２１】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図３は本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理１に対応する例である。本実施の形態では、図１１、図１２に示したように４制御ループ（装置としては４制御ゾーン）の製造装置を汎用調節計で温度制御する事例とする。ただし、４制御ループよりも少ない３制御ループや、４制御ループよりも多い５制御ループ、６制御ループであっても、本発明の本質部分であるアラーム順位表示は適用可能である。
【００２２】
本実施の形態の表示装置は、アラーム順位を決める規定を予め記憶する順位規定情報記憶部１０と、アラーム順位の規定を順位規定情報記憶部１０から取得し、この規定と制御対象の装置におけるアラーム情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定するアラーム順位決定部１１と、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を後述する表示素子に表示させるループ情報表示制御部１２と、表示対象の制御ループのうち、アラーム順位決定部１１がアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、ループ情報表示制御部１２が表示させた画像中に表示させるアラーム順位表示制御部１３と、情報出力装置（例えば汎用調節計）から全ての制御ループの情報を定期的に取得する情報取得部１４と、画像表示のための液晶パネル等の表示素子１５とから構成される。
【００２３】
図４は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１２は、図示しない情報出力装置（例えば汎用調節計）から渡された表示すべき情報を予め定められた規則に従って表示素子１５に表示させる（図４ステップＳ１００）。汎用調節計は、予め定められた規則に従って自動的に選択した表示すべき情報、若しくはオペレータの操作に応じて選択した表示すべき情報をループ情報表示制御部１２に渡す。
【００２４】
例えば４制御ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、制御対象の装置（例えば加熱装置）における各制御ループに対応する制御情報や操作情報と、各制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１２に渡す。ループ情報表示制御部１２は、予め定められた規則に従って、図１のように各制御ループに対応する情報（図１の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）とを縦２×横２のマトリクス状に配置した画像を表示素子１５に表示させる。
【００２５】
また、１制御ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、対象となる制御ループに対応する制御情報や操作情報と、当該制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１２に渡す。ループ情報表示制御部１２は、予め定められた規則に従って、図２のように制御ループに対応する情報（図２の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大して配置した画像を表示素子１５に表示させる。この場合は、ループ番号Ｎｏ１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．４の制御ループの情報は表示されないことになる。
【００２６】
なお、以上のステップＳ１００の処理は、従来から汎用調節計で行われている処理と同じである。
また、汎用調節計は、アラームが発生したときに、アラームの内容を示すアラーム情報と、このアラームが発生した制御ループを特定するループ番号とを表示装置に渡す。なお、アラーム情報には、アラームの種別を示すアラームコードが含まれる。
【００２７】
情報取得部１４は、情報出力装置（例えば汎用調節計）から全ての制御ループの情報を定期的に取得する（図４ステップＳ１０１）。このとき、情報取得部１４は、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループについて、後述するアラーム順位の決定に必要な、制御動作に関わる物理量（本実施の形態では、温度計測値ＰＶと温度設定値ＳＰ）を取得すればよい。
【００２８】
次に、順位規定情報記憶部１０には、アラーム順位を決める規定が予め記憶されている。ここでは、温度計測値ＰＶが温度設定値ＳＰの周辺に予め設定された許容温度範囲から高温側に逸脱した過熱温度幅（逸脱幅）が大きいほどアラーム順位が高くなるという規定が記憶されているものとする。許容温度範囲の上限値をＴＨとすれば、過熱温度幅はＰＶ−ＴＨである。
【００２９】
アラーム順位決定部１１は、アラーム順位の規定を順位規定情報記憶部１０から取得し、この規定と汎用調節計から受け取ったアラーム情報と情報取得部１４が取得した各制御ループの最新の情報とを基に、アラームが発生している制御ループのうち、アラーム順位の規定の対象となる制御ループを抽出し、抽出した制御ループのアラーム順位を前記規定に従って決定する（図４ステップＳ１０２）。ここでは、過熱温度幅が大きいほどアラーム順位が高くなるという規定が順位規定情報記憶部１０に記憶されているので、温度計測値ＰＶが許容温度範囲よりも高温になった制御ループがアラーム順位の規定の対象となる。前述のとおり、アラーム順位の決定に必要な温度計測値ＰＶと温度設定値ＳＰとは情報取得部１４によって取得される。
【００３０】
アラーム順位表示制御部１３は、ループ情報表示制御部１２が表示対象とした制御ループのうち、アラーム順位決定部１１がアラーム順位の規定の対象とした制御ループのアラーム順位を、ループ情報表示制御部１２が表示させた画像中に表示させる（図４ステップＳ１０３）。
【００３１】
このとき、アラーム順位表示制御部１３は、ループ情報表示制御部１２が表示素子１５に表示させた画像が、図１のように複数の制御ループの情報を画面上の分割された区画に１制御ループ分ずつ表示する画像になっている場合、アラーム順位の規定の対象となった制御ループのアラーム順位をこの制御ループに対応する区画に表示させる。
以上のようなステップＳ１００〜Ｓ１０３の処理を、表示装置の動作が終了するまで（図４ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。
【００３２】
図５は本実施の形態の表示例を示す図である。図５の例は、図１と同様に、表示素子１５の画面１に、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとが画面上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示されている状態で、ループ番号Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の制御ループに緊急性を要するアラームが発生した例である。アラーム順位表示制御部１３は、緊急性を要するアラームが発生したループ番号Ｎｏ．２，Ｎｏ．３の制御ループに対応する区画の背景色を変化させ、アラーム発生を表す△印２の中にアラーム順位を示す数字を表示させる。図５の例では、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループのアラーム順位が１位、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位が２位である。
【００３３】
また、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４が、同一の値１００℃に設定されているとする。そして、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４が、ＰＶ１＝１０１℃，ＰＶ２＝１０６℃，ＰＶ３＝１０４℃，ＰＶ４＝１０５℃になったとする。
【００３４】
温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４を中心として設定される許容温度範囲を±３℃とすると、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの温度計測値ＰＶ２が許容温度範囲ＳＰ２±３℃から高温側に逸脱していることになり、その過熱温度幅は３℃である。また、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度計測値ＰＶ３が許容温度範囲ＳＰ３±３℃から高温側に逸脱しており、その過熱温度幅は１℃である。同様に、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ４が許容温度範囲ＳＰ４±３℃から高温側に逸脱しており、その過熱温度幅は２℃である。したがって、ループ番号Ｎｏ．２〜Ｎｏ．４の制御ループに緊急性を要するアラームが発生し、アラーム順位決定部１１は、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位を１位、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム順位を２位、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループのアラーム順位を３位とする。この結果、図６のような表示になる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態では、表示中の情報に、アラーム順位を把握し易くする表示を追加することができる。すなわち、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。
【００３６】
なお、本実施の形態では、過熱温度幅が大きいほどアラーム順位が高くなるという規定を順位規定情報記憶部１０に記憶させていたが、温度計測値ＰＶが許容温度範囲から低温側に逸脱した不足温度幅（逸脱幅）が大きいほどアラーム順位が高くなるという規定を順位規定情報記憶部１０に記憶させるようにしてもよい。許容温度範囲の下限値をＴＬとすれば、不足温度幅はＴＬ−ＰＶである。このような規定が記憶されている状態で、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４が、同一の値１００℃に設定されているとする。そして、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４が、ＰＶ１＝１０１℃，ＰＶ２＝９４℃，ＰＶ３＝９６℃，ＰＶ４＝９５℃になったとする。
【００３７】
上記と同様に、温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４を中心として設定される許容温度範囲を±３℃とすると、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの温度計測値ＰＶ２が許容温度範囲ＳＰ２±３℃から低温側に逸脱していることになり、その不足温度幅は３℃である。また、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度計測値ＰＶ３が許容温度範囲ＳＰ３±３℃から低温側に逸脱しており、その不足温度幅は１℃である。同様に、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ４が許容温度範囲ＳＰ４±３℃から低温側に逸脱しており、その不足温度幅は２℃である。したがって、ループ番号Ｎｏ．２〜Ｎｏ．４の制御ループに緊急性を要するアラームが発生し、アラーム順位決定部１１は、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位を１位、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム順位を２位、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループのアラーム順位を３位とする。この結果、図６と同様の表示になる。
【００３８】
また、過熱温度幅が大きいほどアラーム順位が高くなり、過熱温度幅が同じ場合には温度設定値ＳＰが高温になるほどアラーム順位が高くなるという規定を順位規定情報記憶部１０に記憶させるようにしてもよい。このような規定が記憶されている状態で、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４が、ＳＰ１＝１００℃，ＳＰ２＝１０５℃，ＳＰ３＝１１０℃，ＳＰ４＝１０７℃に設定されているとする。そして、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４が、ＰＶ１＝１０１℃，ＰＶ２＝１１０℃，ＰＶ３＝１１５℃，ＰＶ４＝１１２℃になったとする。
【００３９】
上記と同様に、温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４を中心として設定される許容温度範囲を±３℃とすると、ループ番号Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４の制御ループの温度計測値ＰＶ２，ＰＶ３，ＰＶ４がそれぞれ許容温度範囲ＳＰ２±３℃，ＳＰ３±３℃，ＳＰ４±３℃から高温側に逸脱していることになり、その過熱温度幅は全て２℃である。したがって、ループ番号Ｎｏ．２〜Ｎｏ．４の制御ループに緊急性を要するアラームが発生するが、過熱温度幅が全て２℃なので、アラーム順位決定部１１は、温度設定値ＳＰ２，ＳＰ３，ＳＰ４の高低を重視して、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループのアラーム順位を１位、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム順位を２位、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位を３位とする。
【００４０】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する例である。図７は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の表示装置は、順位規定情報記憶部１０と、アラーム順位決定部１１と、ループ情報表示制御部１２と、アラーム順位表示制御部１３と、情報取得部１４ａと、タッチパネル機能付きの表示素子１５ａと、ループ情報表示制御部１２が１ループ分の情報のみを表示させている状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループにアラーム順位の規定の対象となるアラームが発生したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、ループ情報表示制御部１２が表示させた画像中に追加表示させるアラーム順位追加表示制御部１６と、ループ情報表示制御部１２が１ループ分の情報のみを表示させ、かつ表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位をアラーム順位追加表示制御部１６が追加表示させた状態で、この追加表示されたアラーム順位の箇所をオペレータが操作したときに、操作されたアラーム順位に対応する制御ループの表示対象の情報のみを表示するよう画面を切り替えるアラーム対応移行制御部１７とから構成される。タッチパネル機能付きの表示素子１５ａは、画面に対する操作が可能な入力手段を構成している。
【００４１】
図８は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１２の動作は、第１の実施の形態で説明したとおりである（図８ステップ１００）。ここでは、図２に示したように特定の制御ループに対応する情報とループ番号とを１画面に拡大して表示素子１５ａに表示させている状態とする。
【００４２】
情報取得部１４ａは、第１の実施の形態の情報取得部１４と同様にアラーム順位の決定に必要な情報を取得すると共に、全ての制御ループの情報として、現在表示されている表示項目と同種の表示項目の情報を情報出力装置（例えば汎用調節計）から取得する（図８ステップＳ１０１ａ）。例えばループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを現在表示しているとすれば、ループ番号Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを取得すればよい。
順位規定情報記憶部１０とアラーム順位決定部１１とアラーム順位表示制御部１３の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである（図８ステップＳ１０２，Ｓ１０３）。
【００４３】
アラーム順位追加表示制御部１６は、ループ情報表示制御部１２が１ループ分の情報を拡大表示させている状態で（図８ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、表示中の制御ループ以外の制御ループにアラーム順位の規定の対象となるアラームが発生している場合（図８ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位を、ループ情報表示制御部１２が表示させた画像中に追加表示させる（図４ステップＳ１０７）。
【００４４】
図９は本実施の形態の表示例を示す図である。図９の例は、図２と同様に、１ループ分の情報（図９の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大表示している状態で、図６の場合と同じアラーム発生状態になったときの例である。上記のとおり、アラーム順位決定部１１は、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位を１位、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム順位を２位、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループのアラーム順位を３位としたので、アラーム順位表示制御部１３は、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報を表示中の画面１の背景色を変化させ、アラーム発生を表す△印２の中にアラーム順位が３位であることを表示させる。
【００４５】
また、アラーム順位追加表示制御部１６は、表示中の制御ループ以外の制御ループ（ループ番号Ｎｏ．２，Ｎｏ．４の制御ループ）にアラームが発生しているので、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム発生を表す△印３−１の中にアラーム順位が１位であることを表示させると共に、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム発生を表す△印３−２の中にアラーム順位が２位であることを表示させる。
【００４６】
図１０は本実施の形態の他の表示例を示す図である。この図１０の例は、図２と同様に、１ループ分の情報（図１０の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大表示している状態であるが、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループにはアラームが発生しておらず、他の制御ループにアラームが発生したときの例である。
【００４７】
例えばループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム順位を１位、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム順位を２位とすれば、アラーム順位追加表示制御部１６は、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループのアラーム発生を表す△印３−１の中にアラーム順位が１位であることを表示させると共に、ループ番号Ｎｏ．４の制御ループのアラーム発生を表す△印３−２の中にアラーム順位が２位であることを表示させる。
【００４８】
一方、アラーム対応移行制御部１７は、ループ情報表示制御部１２が１ループ分の情報を拡大表示させ、かつ表示中の制御ループ以外の制御ループのアラーム順位をアラーム順位追加表示制御部１６が追加表示させている状態で、このアラーム順位追加表示制御部１６が追加表示させたアラーム順位の箇所をオペレータが操作したとき（図８ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、操作されたアラーム順位に対応する制御ループの表示対象の情報のみを表示するよう画面を切り替える（図８ステップＳ１０９）。
【００４９】
タッチパネル機能付きの表示素子１５ａを使用する場合、オペレータは、画面１上のアラーム順位が表示されている箇所に触れるようにすればよい。例えば図９に示したような状態で、オペレータが△印３−１の箇所に触れたとすれば、アラーム対応移行制御部１７は、アラーム順位１に対応する制御ループ（例えばループ番号Ｎｏ．２の制御ループ）の表示対象の情報のみを拡大表示するよう画面を切り替える。
【００５０】
このとき、表示対象の情報としては、画面を切り替える前の表示項目と同種の表示項目とすればよい。例えば画面を切り替える前にループ番号Ｎｏ．３の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを表示していたとすれば、切り替え後の画面では、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを表示すればよい。
【００５１】
ただし、ループ番号Ｎｏ．３の制御ループの情報を表示していた状態では、アラーム対応移行制御部１７は、切り替え後の画面に表示する情報を有していないので、切り替え後の画面に表示する制御ループについて、切り替え前の画面に表示されている制御ループの表示項目と同種の表示項目の最新の情報を情報取得部１４ａから取得する必要がある。
以上のようなステップＳ１００，Ｓ１０１ａ，Ｓ１０２，Ｓ１０３，Ｓ１０５〜Ｓ１０９の処理を、表示装置の動作が終了するまで（図８ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。
【００５２】
こうして、本実施の形態では、表示中の制御ループよりもアラーム順位が高いアラームが発生している制御ループがある場合に、簡単な操作で、アラーム順位が高い制御ループの情報を表示する状態に移行することができる。
【００５３】
なお、第１、第２の実施の形態では、制御動作に関わる物理量として制御量ＰＶ、特に温度を例に挙げて説明しているが、これに限るものではなく、汎用調節計が検出する物理量のアラームについて、所定の管理範囲に対する物理量の逸脱幅が大きいほどアラーム順位が高くなるという規定を順位規定情報記憶部１０に登録しておき、アラーム順位決定部１１が順位規定情報記憶部１０から取得した規定と汎用調節計が検出した物理量を基にアラーム順位を決定すれば、温度以外の制御量ＰＶ、または制御量ＰＶ以外の物理量（例えば設定値ＳＰと制御量ＰＶとの偏差など）にも本発明を適用することが可能である。
また、第１、第２の実施の形態では、汎用調節計と分離した表示装置として説明しているが、汎用調節計と一体化された表示装置に本発明を適用してもよいことは言うまでもない。
【００５４】
第１の実施の形態で説明した表示装置のうち、順位規定情報記憶部１０とアラーム順位決定部１１とループ情報表示制御部１２とアラーム順位表示制御部１３と情報取得部１４とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。同様に、第２の実施の形態で説明した表示装置のうち、順位規定情報記憶部１０とアラーム順位決定部１１とループ情報表示制御部１２とアラーム順位表示制御部１３と情報取得部１４ａとアラーム順位追加表示制御部１６とアラーム対応移行制御部１７とは、コンピュータによって実現することができる。これらのコンピュータのＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１、第２の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、マルチループ系で使用される表示装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１０…順位規定情報記憶部、１１…アラーム順位決定部、１２…ループ情報表示制御部、１３…アラーム順位表示制御部、１４，１４ａ…情報取得部、１５，１５ａ…表示素子、１６…アラーム順位追加表示制御部、１７…アラーム対応移行制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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