(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を第１直線偏光と、前記第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有する第２直線偏光とに分離し、前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光を出射する光学部材と、
前記光学部材から出射された前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光を集光するレンズと、
前記レンズによって集光された前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出する検出部と、
を備え、
前記光学部材は、第１ビームスプリッタ部と、第１反射部と、第２反射部と、第３反射部と、を有し、
前記第１ビームスプリッタ部と前記第２反射部は、第１方向に並び、
前記第１ビームスプリッタ部と前記第１反射部は、前記第１方向に直交する第２方向に並び、
前記第２反射部と前記第３反射部は、前記第１方向に直交していて前記第２方向とは異なる第３方向に並び、
前記第１直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部を透過し、前記第２反射部で反射し、前記第３反射部で反射し、前記光学部材から出射され、
前記第２直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部で反射し、前記第１反射部で反射し、前記光学部材から出射される分光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の分光装置において、
前記光学部材は、
第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面の間にあって前記第１面及び前記第２面に対して斜めの第３面と、前記第３面とは反対側の第４面と、を有する第１光透過性部材と、
第１面と、前記第１面に対して斜めの第２面と、を有する第２光透過性部材と、
を有し、
前記第１光透過性部材の前記第３面と前記第２光透過性部材の前記第１面は、前記第１ビームスプリッタ部を挟んで互いに対向し、
前記第１光透過性部材の前記第１面と前記第２光透過性部材の前記第２面は、互いに反対側にあり、
前記第１反射部は、前記第１光透過性部材の前記第４面であり、
前記第２反射部は、前記第１光透過性部材及び前記第２光透過性部材の外側にあり、
前記第３反射部は、前記第１光透過性部材及び前記第２光透過性部材の外側にあり、
前記光学部材の外側からの光は、前記第１光透過性部材の前記第１面に入射し、前記第１ビームスプリッタ部に入射し、
前記第１直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部を透過し、前記第２光透過性部材の前記第１面に入射し、前記第２光透過性部材の前記第２面から出射され、
前記第２直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部で反射し、前記第１光透過性部材の前記第４面で反射し、前記第１光透過性部材の前記第２面から出射される分光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の分光装置において、
前記光学部材は、
第２ビームスプリッタ部と、
第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面の間にあって前記第１面及び前記第２面に対して斜めの第３面と、前記第３面とは反対側の第４面と、を有する第３光透過性部材と、
第１面と、前記第１面に対して斜めの第２面と、を有する第４光透過性部材と、
を有し、
前記第３光透過性部材の前記第３面と前記第４光透過性部材の前記第１面は、前記第２ビームスプリッタ部を挟んで互いに対向し、
前記第３光透過性部材の前記第１面と前記第４光透過性部材の前記第２面は、互いに反対側にあり、
前記第３光透過性部材の前記第１面は、前記第１光透過性部材の前記第２面及び前記第２光透過性部材の前記第２面に対向し、
前記第２反射部は、前記第２ビームスプリッタ部であり、
前記第３反射部は、前記第３光透過性部材の前記第４面であり、
前記第１直線偏光は、前記第３光透過性部材の前記第１面に入射し、前記第２ビームスプリッタ部で反射し、前記第３光透過性部材の前記第４面で反射し、前記第３光透過性部材の前記第２面から出射され、
前記第２直線偏光は、前記第３光透過性部材の前記第１面に入射し、前記第２ビームスプリッタ部を透過し、前記第４光透過性部材の前記第１面に入射し、前記第４光透過性部材の前記第２面から出射される分光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第３光透過性部材の前記第１面は、前記第１光透過性部材の前記第２面及び前記第２光透過性部材の前記第２面に接合している分光装置。
【請求項５】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第３光透過性部材の前記第１面は、前記第１光透過性部材の前記第２面及び前記第２光透過性部材の前記第２面から離間している分光装置。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか一項に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の形状は、平行四辺形の底面と、前記第１面である第１側面と、前記第２面である第２側面と、前記第３面である第３側面と、前記第４面である第４側面と、を有する直角柱であり、
前記第２光透過性部材の形状は、直角二等辺三角形の底面と、前記第１面である第１側面と、前記第２面である第２側面と、前記第２側面と直交する第３側面と、を有する直角柱であり、
前記第３光透過性部材の形状は、平行四辺形の底面と、前記第１面である第１側面と、前記第２面である第２側面と、前記第３面である第３側面と、前記第４面である第４側面と、を有する直角柱であり、
前記第４光透過性部材の形状は、直角二等辺三角形の底面と、前記第１面である第１側面と、前記第２面である第２側面と、前記第２側面と直交する第３側面と、を有する直角柱である分光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の形状と前記第３光透過性部材の形状は、互いに合同であり、
前記第２光透過性部材の形状と前記第４光透過性部材の形状は、互いに合同である分光装置。
【請求項８】
請求項２に記載の分光装置において、
前記第２反射部は、第１ミラーであり、
前記第３反射部は、第２ミラーであり、
前記第２直線偏光は、前記第２反射部及び前記第３反射部に入射しない分光装置。
【請求項９】
請求項１に記載の分光装置において、
前記光学部材は、第１光透過性部材を有し、
前記第１光透過性部材は、第１領域及び前記第１領域とは異なる第２領域を含む第１面と、第３領域及び前記第３領域とは異なる第４領域を含んでいて前記第１面とは反対側の第２面と、を有し、
前記第１ビームスプリッタ部は、前記第１光透過性部材の前記第１領域上にあり、
前記第１反射部は、前記第１光透過性部材の前記第３領域上にあり、
前記光学部材の外側からの光は、前記第１光透過性部材の前記第４領域に入射し、前記第１ビームスプリッタ部に入射し、
前記第２直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部で反射し、前記第１反射部で反射し、前記第１光透過性部材の前記第２領域から出射される分光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の分光装置において、
前記光学部材は、第２光透過性部材と、第２ビームスプリッタ部と、を有し、
前記第２光透過性部材は、第１領域及び前記第１領域とは異なる第２領域を含む第１面と、第３領域及び前記第３領域とは異なる第４領域を含んでいて前記第１面とは反対側の第２面と、を有し、
前記第２反射部は、前記第２光透過性部材の前記第１領域上にあり、
前記第３反射部は、前記第２光透過性部材の前記第３領域上にあり、
前記第２反射部は、前記第２ビームスプリッタ部であり、
前記第１直線偏光は、前記第２光透過性部材の前記第４領域に入射し、前記第２ビームスプリッタ部で反射し、前記第３反射部で反射し、前記第２光透過性部材の前記第２領域から出射され、
前記第２直線偏光は、前記第２光透過性部材の前記４領域に入射し、前記第２ビームスプリッタ部を透過する分光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の分光装置において、
前記光学部材は、第３ビームスプリッタ部と、第４ビームスプリッタ部と、を有し、
前記第１反射部は、前記第３ビームスプリッタ部であり、
前記第３反射部は、前記第４ビームスプリッタ部である分光装置。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の分光装置において、
前記光学部材は、第１反射防止部と、第２反射防止部と、第３反射防止部と、第４反射防止部と、を有し、
前記第１反射防止部は、前記第１光透過性部材の前記第２領域上にあり、
前記第２反射防止部は、前記第１光透過性部材の前記第４領域上にあり、
前記第３反射防止部は、前記第２光透過性部材の前記第２領域上にあり、
前記第４反射防止部は、前記第２光透過性部材の前記第４領域上にある分光装置。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の前記第１面と前記第２光透過性部材の前記第２面は、互いに対向しており、
前記第３方向から見た場合、前記第１光透過性部材の前記第２面は、前記第１光透過性部材の前記第４領域が前記第１光透過性部材の前記第３領域よりも前記第２光透過性部材から離れるように前記第２方向から第１角度傾いており、
前記第２方向から見た場合、前記第２光透過性部材の前記第１面は、前記第２光透過性部材の前記第２領域が前記第２光透過性部材の前記第１領域よりも前記第１光透過性部材から離れるように前記第３方向から第２角度傾いており、
前記第２角度は、前記第１角度の９９．５％以上１００．５％以下である分光装置。
【請求項１４】
請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の前記第２面は、前記第１光透過性部材の前記第１面から第１距離だけ離れており、
前記第２光透過性部材の前記第２面は、前記第２光透過性部材の前記第１面から第２距離だけ離れており、
前記第２距離は、前記第１距離の９９．５％以上１００．５％以下である分光装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の形状は、前記第１面の底面及び前記第２面の底面を有する直円柱であり、
前記第２光透過性部材の形状は、前記第１面の底面及び前記第２面の底面を有する直円柱である分光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の分光装置において、
前記第１光透過性部材の形状と前記第２光透過性部材の形状は、互いに合同である分光装置。
【請求項１７】
請求項９に記載の分光装置において、
前記第２反射部は、第１ミラーであり、
前記第３反射部は、第２ミラーであり、
前記第２直線偏光は、前記第２反射部及び前記第３反射部に入射しない分光装置。
【請求項１８】
光学部材により、光を第１直線偏光と、前記第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有する第２直線偏光とに分離し、前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光を前記光学部材から出射し、
前記光学部材から出射された前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光をレンズによって集光し、
前記レンズによって集光された前記第１直線偏光及び前記第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出部で検出し、
前記光学部材は、第１ビームスプリッタ部と、第１反射部と、第２反射部と、第３反射部と、を有し、
前記第１ビームスプリッタ部と前記第２反射部は、第１方向に並び、
前記第１ビームスプリッタ部と前記第１反射部は、前記第１方向に直交する第２方向に並び、
前記第２反射部と前記第３反射部は、前記第１方向に直交していて前記第２方向とは異なる第３方向に並び、
前記第１直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部を透過し、前記第２反射部で反射し、前記第３反射部で反射し、前記光学部材から出射され、
前記第２直線偏光は、前記第１ビームスプリッタ部で反射し、前記第１反射部で反射し、前記光学部材から出射される、分光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光装置及び分光方法に関し、とくに、マルチチャネルフーリエ変換分光に関する。
【背景技術】
【０００２】
マルチチャネルフーリエ変換分光では、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離することがある。第１直線偏光の振動方向と第２直線偏光の振動方向は、互いに直交している。特許文献１では、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離するために、サバール板を用いている。特許文献２では、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離するために、ウォラストンプリズムを用いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−２６８２３４号公報
【特許文献２】特開２００２−１６８６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１，２に記載されているように、マルチチャネルフーリエ変換分光では、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離するために、サバール板又はウォラストンプリズムを用いることがある。一般に、サバール板又はウォラストンプリズムは、複屈折結晶からなる。一般に、複屈折結晶は高価である。このため、サバール板又はウォラストンプリズムをマルチフーリエ変換分光に用いると、マルチフーリエ変換分光の費用が高くなる。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、マルチチャネルフーリエ変換分光において、安価で、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る分光装置は、光学部材及び検出部を備える。光学部材は、光を第１直線偏光と第２直線偏光に分離する。第２直線偏光は、第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有する。光学部材は、第１直線偏光及び第２直線偏光を出射する。検出部は、第１直線偏光及び第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出する。光学部材は、第１ビームスプリッタ部、第１反射部、第２反射部及び第３反射部を有する。第１ビームスプリッタ部と第２反射部は、第１方向に並んでいる。第１ビームスプリッタ部と第１反射部は、第１方向に直交する第２方向に並んでいる。第２反射部と第３反射部は、第１方向に直交していて第２方向とは異なる第３方向に並んでいる。第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部を透過し、第２反射部で反射し、第３反射部で反射し、光学部材から出射される。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部で反射し、第１反射部で反射し、光学部材から出射される。
【０００７】
本発明に係る分光方法では、光学部材により、光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分離する。第１直線偏光及び第２直線偏光を光学部材から出射する。第１直線偏光及び第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出部で検出する。光学部材は、第１ビームスプリッタ部、第１反射部、第２反射部及び第３反射部を有する。第１ビームスプリッタ部と第２反射部は、第１方向に並んでいる。第１ビームスプリッタ部と第１反射部は、第１方向に直交する第２方向に並んでいる。第２反射部と第３反射部は、第１方向に直交していて第２方向とは異なる第３方向に並んでいる。第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部を透過し、第２反射部で反射し、第３反射部で反射し、光学部材から出射される。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部で反射し、第１反射部で反射し、光学部材から出射される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マルチチャネルフーリエ変換分光において、安価で、光が第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る分光装置を側方から見た図である。
【図２】図１に示した光学部材の詳細を説明するための図である。
【図３】図２の第１の変形例を示す図である。
【図４】図２の第２の変形例を示す図である。
【図５】図２の第３の変形例を示す図である。
【図６】第２の実施形態に係る分光装置を側方から見た図である。
【図７】図６に示した光学部材の詳細を説明するための図である。
【図８】図７に示した第１ＰＢＳの詳細を説明するための図である。
【図９】図８に示した第１ＰＢＳの製造方法の一例を説明するための図である。
【図１０】図７の第１の変形例を示す図である。
【図１１】図７の第２の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る分光装置を側方から見た図である。図２は、図１に示した光学部材４０の詳細を説明するための図である。図２（ａ）は、光学部材４０を側方から見た図である。図２（ｂ）は、光学部材４０を上方から見た図である。図１に示すように、分光装置は、光学部材４０及び検出部７０を備えている。光学部材４０は、光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分離する。第２直線偏光は、第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有している。光学部材４０は、第１直線偏光及び第２直線偏光を出射する。本図に示す例において、第１直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動している。第２直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動している。検出部７０は、第１直線偏光及び第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出する。図２に示すように、光学部材４０は、第１ビームスプリッタ部４０２、第４面４１８（第１反射部）、第２ビームスプリッタ部４０４（第２反射部）及び第４面４３８（第３反射部）を有している。第１ビームスプリッタ部４０２と第２ビームスプリッタ部４０４は、第１方向（図中、Ｚ方向）に並んでいる。第１ビームスプリッタ部４０２と第４面４１８は、第２方向（図中、Ｘ方向）に並んでいる。第２ビームスプリッタ部４０４と第４面４３８は、第３方向（図中、Ｙ方向）に並んでいる。第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２を透過し、第２ビームスプリッタ部４０４で反射し、第４面４３８で反射し、光学部材４０から出射される。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２で反射し、第４面４１８で反射し、第２ビームスプリッタ部４０４を透過し、光学部材４０から出射される。以下、詳細に説明する。
【００１２】
図１に示すように、光源１０は、分光装置で測定される光を発する。この光は、例えば、試料を透過した光、試料で散乱した光、又は試料の発光である。この光は、例えば赤外線であるが、可視光又は紫外線であってもよい。
【００１３】
光源１０からの光は、レンズ２０を透過する。レンズ２０は、光源１０からの光をコリメート光に変換する。言い換えると、レンズ２０は、コリメートレンズである。
【００１４】
レンズ２０からの光は、偏光子３０に入射する。本図に示す例において、偏光子３０の透過軸は、偏光子３０に入射する光の光軸に垂直な平面（図中、ＸＹ平面）内において、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）から４５°傾いている。これにより、偏光子３０を透過した光は、偏光子３０の透過軸と同じ方向に振動する直線偏光となる。
【００１５】
偏光子３０からの光は、光学部材４０に入射する。光学部材４０は、偏光子３０からの光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分離する。第１直線偏光及び第２直線偏光は、光学部材４０から出射される。本図に示す例において、第１直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動している。第２直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動している。
【００１６】
図２を用いて光学部材４０の詳細について説明する。光学部材４０は、第１偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚｉｎｇ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）４２及び２偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚｉｎｇ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）４４を有している。第１ＰＢＳ４２は、第１ビームスプリッタ部４０２、第１プリズム４１０（第１光透過性部材）及び第２プリズム４２０（第２光透過性部材）を有している。第２ＰＢＳ４４は、第２ビームスプリッタ部４０４、第３プリズム４３０（第３光透過性部材）及び第４プリズム４４０（第４光透過性部材）を有している。第１ＰＢＳ４２の形状は、台形の底面を有する直角柱である。第１ＰＢＳ４２と同様にして、第２ＰＢＳ４４の形状は、台形の底面を有する直角柱である。
【００１７】
第１プリズム４１０の形状は、平行四辺形の底面を有する直角柱である。第１プリズム４１０は、第１面４１２、第２面４１４、第３面４１６及び第４面４１８を有している。第１面４１２、第２面４１４、第３面４１６及び第４面４１８の各々は、上記した直角柱の底面に直交しており、言い換えると、上記した直角柱の側面となっている。第１面４１２と第２面４１４は、互いに反対側にある。第３面４１６と第４面４１８は、互いに反対側にあり、第１面４１２及び第２面４１４に対して斜めである。
【００１８】
第２プリズム４２０の形状は、直角二等辺三角形の底面を有する直角柱である。第２プリズム４２０は、第１面４２２、第２面４２４及び第３面４２６を有している。第１面４２２、第２面４２４及び第３面４２６の各々は、上記した直角柱の底面に直交しており、言い換えると、上記した直角柱の側面となっている。第２面４２４と第３面４２６は、互いに直交している。第１面４２２は、第２面４２４と第３面４２６の間にある。
【００１９】
第１プリズム４１０の第３面４１６と第２プリズム４２０の第１面４２２は、第１ビームスプリッタ部４０２を挟んで互いに対向している。第１プリズム４１０の第３面４１６と第２プリズム４２０の第１面４２２は、例えば接着剤又はオプティカルコンタクトにより互いに接合している。ただし、第１プリズム４１０の第３面４１６と第２プリズム４２０の第１面４２２は、互いに接合されていなくてもよい。第１ビームスプリッタ部４０２は、例えばワイヤグリッド又は誘電体多層膜である。ワイヤグリッドは、例えば、第１プリズム４１０の第３面４１６及び第２プリズム４２０の第１面４２２の一方に金属膜を堆積することにより形成される。
【００２０】
本図（ｂ）に示すように、第１ＰＢＳ４２の高さ方向（図中、Ｙ方向）に垂直な断面において、第１プリズム４１０の第３面４１６の長さと第２プリズム４２０の第１面４２２の長さは互いに等しい。さらに、第１プリズム４１０の第２面４１４と第２プリズム４２０の第２面４２４は、同一面を構成している。なお、第１プリズム４１０の高さと第２プリズム４２０の高さは、互いに等しくてもよいし、又は互いに異なっていてもよい。
【００２１】
第３プリズム４３０の形状は、平行四辺形の底面を有する直角柱である。第３プリズム４３０は、第１面４３２、第２面４３４、第３面４３６及び第４面４３８を有している。第１面４３２、第２面４３４、第３面４３６及び第４面４３８の各々は、上記した直角柱の底面に直交しており、言い換えると、上記した直角柱の側面となっている。第１面４３２と第２面４３４は、互いに反対側にある。第３面４３６と第４面４３８は、互いに反対側にあり、第１面４３２及び第２面４３４に対して斜めである。
【００２２】
第４プリズム４４０の形状は、直角二等辺三角形の底面を有する直角柱である。第４プリズム４４０は、第１面４４２、第２面４４４及び第３面４４６を有している。第１面４４２、第２面４４４及び第３面４４６の各々は、上記した直角柱の底面に直交しており、言い換えると、上記した直角柱の側面となっている。第２面４４４と第３面４４６は、互いに直交している。第１面４４２は、第２面４４４と第３面４４６の間にある。
【００２３】
第３プリズム４３０の第３面４３６と第４プリズム４４０の第１面４４２は、第２ビームスプリッタ部４０４を挟んで互いに対向している。第３プリズム４３０の第３面４３６と第４プリズム４４０の第１面４４２は、例えば接着剤又はオプティカルコンタクトにより互いに接合している。ただし、第３プリズム４３０の第３面４３６と第４プリズム４４０の第１面４４２は、互いに接合されていなくてもよい。第２ビームスプリッタ部４０４は、例えばワイヤグリッド又は誘電体多層膜である。ワイヤグリッドは、例えば、第３プリズム４３０の第３面４３６及び第４プリズム４４０の第１面４４２の一方に金属膜を堆積することにより形成される。
【００２４】
本図（ａ）に示すように、第２ＰＢＳ４４の高さ方向（図中、Ｘ方向）に垂直な断面において、第３プリズム４３０の第３面４３６の長さと第４プリズム４４０の第１面４４２の長さは互いに等しい。さらに、第３プリズム４３０の第２面４３４と第４プリズム４４０の第２面４４４は、同一面を構成している。なお、第３プリズム４３０の高さと第４プリズム４４０の高さは、互いに等しくてもよいし、又は互いに異なっていてもよい。
【００２５】
第１ＰＢＳ４２と第２ＰＢＳ４４は、第３プリズム４３０の第１面４３２が第１プリズム４１０の第２面４１４及び第２プリズム４２０の第２面４２４に対向するように、第１方向（図中、Ｚ方向）に並んでいる。本図に示す例において、第３プリズム４３０の第１面４３２は、例えば接着剤により、第１プリズム４１０の第２面４１４及び第２プリズム４２０の第２面４２４に接合している。第１プリズム４１０と第２プリズム４２０は、第１方向に直交する第２方向（図中、Ｘ方向）に並んでいる。第３プリズム４３０と第４プリズム４４０は、第１方向に直交する第３方向（図中、Ｙ方向）に並んでいる。第２方向と第３方向は、互いに異なる方向であり、具体的には、互いに直交している。
【００２６】
偏光子３０（図１）からの光は、第１プリズム４１０の第１面４１２に入射し、第１プリズム４１０の内部を透過し、第１ビームスプリッタ部４０２において第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。本図に示す例では、第１ＰＢＳ４２は、第１ＰＢＳ４２の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光（第１直線偏光）が第１ビームスプリッタ部４０２を透過し、第１ＰＢＳ４２の高さ方向に垂直な平面（図中、ＺＸ平面）内で振動する直線偏光（第２直線偏光）が第１ビームスプリッタ部４０２で反射するように構成されている。これにより、第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２を透過し、第２プリズム４２０の第１面４２２に入射し、第２プリズム４２０の内部を透過し、第２プリズム４２０の第２面４２４から出射される。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２で反射し、第１プリズム４１０の第４面４１８で反射し、第１プリズム４１０の第２面４１４から出射される。
【００２７】
第１直線偏光及び第２直線偏光は、第３プリズム４３０の第１面４３２に入射し、第３プリズム４３０の内部を透過し、第２ビームスプリッタ部４０４に達する。本図に示す例では、第２ＰＢＳ４４は、第１ＰＢＳ４２と同様にして、第２ＰＢＳ４４の高さ方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光（第２直線偏光）が第２ビームスプリッタ部４０４を透過し、第２ＰＢＳ４４の高さ方向に垂直な平面（図中、ＹＺ平面）内で振動する直線偏光（第１直線偏光）が第２ビームスプリッタ部４０４で反射するように構成されている。これにより、第１直線偏光は、第２ビームスプリッタ部４０４で反射し、第３プリズム４３０の第４面４３８で反射し、第３プリズム４３０の第２面４３４から出射される。第２直線偏光は、第２ビームスプリッタ部４０４を透過し、第４プリズム４４０の第１面４４２に入射し、第４プリズム４４０の内部を透過し、第４プリズム４４０の第２面４４４から出射される。
【００２８】
なお、第１ＰＢＳ４２は、第１ＰＢＳ４２の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光が第１ビームスプリッタ部４０２で反射し、第１ＰＢＳ４２の高さ方向に垂直な平面（図中、ＺＸ平面）内で振動する直線偏光が第１ビームスプリッタ部４０２を透過するように構成されていてもよい。この場合、第２ＰＢＳ４４は、第１ＰＢＳ４２と同様にして、第２ＰＢＳ４４の高さ方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光が第２ビームスプリッタ部４０４で反射し、第２ＰＢＳ４４の高さ方向に垂直な平面（図中、ＹＺ平面）内で振動する直線偏光が第２ビームスプリッタ部４０４を透過するように構成される。
【００２９】
本図に示す例において、第１ＰＢＳ４２の設計と第２ＰＢＳ４４の設計は、互いに共通している。このため、光学部材４０を容易に作製することができる。詳細には、第１プリズム４１０の形状と第３プリズム４３０の形状は、互いに合同であり、第２プリズム４２０の形状と第４プリズム４４０の形状は、互いに合同である。さらに、第１プリズム４１０の材料と第３プリズム４３０の材料は同一であり、第２プリズム４２０の材料と第４プリズム４４０の材料は同一である。さらに、第１ビームスプリッタ部４０２は、第１ＰＢＳ４２の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光を透過し、第２ビームスプリッタ部４０４は、第２ＰＢＳ４４の高さ方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光を透過する。このように、第１ＰＢＳ４２の設計と第２ＰＢＳ４４の設計は、互いに共通している。
【００３０】
なお、第１プリズム４１０の高さと第３プリズム４３０の高さは、互いに異なっていてもよい。同様にして、第２プリズム４２０の高さと第４プリズム４４０の高さは、互いに異なっていてもよい。
【００３１】
第１プリズム４１０、第２プリズム４２０、第３プリズム４３０及び第４プリズム４４０は、例えば、非晶質固体、より具体的には、例えば光学ガラス又は石英ガラスからなる。他の例として、第１プリズム４１０、第２プリズム４２０、第３プリズム４３０及び第４プリズム４４０は、異方性を有しない樹脂からなる。このため、高価な材料（例えば、複屈折結晶）を用いることなく、光学部材４０を製造することができる。なお、第１プリズム４１０、第２プリズム４２０、第３プリズム４３０及び第４プリズム４４０は、例えば同じ材料からなる。これにより、第１プリズム４１０の屈折率、第２プリズム４２０の屈折率、第３プリズム４３０の屈折率及び第４プリズム４４０の屈折率が互いに等しくなる。
【００３２】
本図に示す例では、光学部材４０の内部で第１直線偏光が通過する光路長（第１光路長）と光学部材４０の内部で第２直線偏光が通過する光路長（第２光路長）が互いに等しくなるように、光学部材４０が配置されている。第１例として、第１ＰＢＳ４２が分光装置内のいずれかの領域に既に固定されている場合は、第１光路長と第２光路長が互いに等しくなるように、第１ＰＢＳ４２に対する第２ＰＢＳ４４の位置合わせが行われる。第２例として、第２ＰＢＳ４４が分光装置内のいずれかの領域に既に固定されている場合は、第１光路長と第２光路長が互いに等しくなるように、第２ＰＢＳ４４に対する第１ＰＢＳ４２の位置合わせが行われる。第３例として、光学部材４０を分光装置内のいずれかの領域に固定する前に第１ＰＢＳ４２と第２ＰＢＳ４４が既に互いに接合されている場合は、第１光路長と第２光路長が互いに等しくなるように、光学部材４０の位置合わせが行われる。
【００３３】
図１に戻る。第１直線偏光及び第２直線偏光は、光学部材４０から互いに平行に出射され、偏光子５０に入射する。偏光子５０の透過軸は、偏光子３０の透過軸と同じ方向を向いている。
【００３４】
偏光子５０からの光は、レンズ６０によって集光される。これにより、干渉縞が生成される。干渉縞は、検出部７０によって検出される。検出部７０は、行列状に配置された複数の光電変換素子を有するイメージセンサであり、より具体的には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサである。検出部７０によって検出された干渉縞の強度分布を示すデータは、信号処理部（不図示）によってフーリエ変換される。
【００３５】
図３は、図２の第１の変形例を示す図である。本図に示すように、第１ＰＢＳ４２と第２ＰＢＳ４４は、互いに接合していなくてもよく、互いに離間していてもよい。本図に示す例では、第１プリズム４１０の第２面４１４及び第２プリズム４２０の第２面４２４は、隙間を挟んで第３プリズム４３０の第１面４３２に対向している。第１直線偏光は、第２プリズム４２０の第２面４２４から出射し、上記した隙間を通過し、第３プリズム４３０の第１面４３２に入射する。第２直線偏光は、第１プリズム４１０の第２面４１４から出射し、上記した隙間を通過し、第３プリズム４３０の第１面４３２に入射する。
【００３６】
図４は、図２の第２の変形例を示す図である。本図に示す例では、第２ＰＢＳ４４（図２）に代えて、ミラー４５４（第２反射部）及びミラー４５６（第３反射部）が設けられている。第１直線偏光は、第２プリズム４２０の第２面４２４から出射し、ミラー４５４で反射し、ミラー４５６で反射し、偏光子５０（図１）に入射する。ミラー４５４及びミラー４５６は、第２直線偏光の光軸と交わらないように位置している。これにより、第２直線偏光は、ミラー４５４及びミラー４５６に入射しない。ミラー４５４及びミラー４５６は、例えば金属膜である。
【００３７】
図５は、図２の第３の変形例を示す図である。本図に示すように、第１ＰＢＳ４２は、キューブビームスプリッタであってもよい。第１ＰＢＳ４２は、第１プリズム４１０及び第２プリズム４２０を有している。第１プリズム４１０は、第１面４１２、第２面４１４及び第３面４１６を有している。第２プリズム４２０は、第１面４２２、第２面４２４及び第３面４２６を有している。第１プリズム４１０の第３面４１６と第２プリズム４２０の第１面４２２は、第１ビームスプリッタ部４０２を挟んで互いに接合している。第１ＰＢＳ４２の外部には、ミラー４５２（第１反射部）がある。第１ビームスプリッタ部４０２とミラー４５２は、第２方向（図中、Ｘ方向）に並んでいる。ミラー４５２は、例えば金属膜である。
【００３８】
偏光子３０（図１）からの光は、第１プリズム４１０の第１面４１２に入射し、第１プリズム４１０の内部を透過し、第１ビームスプリッタ部４０２において第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２を透過し、第２プリズム４２０の第１面４２２に入射し、第２プリズム４２０の内部を透過し、第２プリズム４２０の第２面４２４から出射され、ミラー４５４で反射し、ミラー４５６で反射する。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部４０２で反射し、第１プリズム４１０の第２面４１４から出射され、ミラー４５２で反射する。
【００３９】
以上、本実施形態によれば、光は、光学部材４０によって第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。光学部材４０は、安価な材料（例えば、光学ガラス又は石英ガラス）により製造することができる。言い換えると、高価な材料（例えば、複屈折結晶）を用いることなく、光学部材４０を製造することができる。このため、分光装置を安価で製造することができる。
【００４０】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態に係る分光装置を側方から見た図である。図７は、図６に示した光学部材４０の詳細を説明するための図である。図７（ａ）は、光学部材４０を側方から見た図である。図７（ｂ）は、光学部材４０を上方から見た図である。本実施形態に係る分光装置は、光学部材４０を備えている。光学部材４０は、第１ＰＢＳ４２、第２ＰＢＳ４４及びホルダ４６を有している。ホルダ４６は、第１ＰＢＳ４２及び第２ＰＢＳ４４を保持している。詳細には、第１ＰＢＳ４２及び第２ＰＢＳ４４は、光学接着剤を介してホルダ４６に固定されている。本実施形態に係る分光装置は、以下の点を除いて、第１の実施形態に係る分光装置と同様である。
【００４１】
図６に示すように、分光装置は、光学部材４０及び検出部７０を備えている。光学部材４０は、光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分離する。第２直線偏光は、第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有している。光学部材４０は、第１直線偏光及び第２直線偏光を出射する。本図に示す例において、第１直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動している。第２直線偏光は、光学部材４０から出射された後、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動している。検出部７０は、第１直線偏光及び第２直線偏光によって生成される干渉縞を検出する。図７に示すように、光学部材４０は、第１ビームスプリッタ部５０２、第３ビームスプリッタ部５０６（第１反射部）、第２ビームスプリッタ部５０４（第２反射部）及び第４ビームスプリッタ部５０８（第３反射部）を有している。第１ビームスプリッタ部５０２と第２ビームスプリッタ部５０４は、第１方向（図中、Ｚ方向）に並んでいる。第１ビームスプリッタ部５０２と第３ビームスプリッタ部５０６は、第２方向（図中、Ｘ方向）に並んでいる。第２ビームスプリッタ部５０４と第４ビームスプリッタ部５０８は、第３方向（図中、Ｙ方向）に並んでいる。第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部５０２を透過し、第２ビームスプリッタ部５０４で反射し、第４ビームスプリッタ部５０８で反射し、光学部材４０から出射される。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部５０２で反射し、第３ビームスプリッタ部５０６で反射し、第２ビームスプリッタ部５０４を透過し、光学部材４０から出射される。以下、詳細に説明する。
【００４２】
図８は、図７に示した第１ＰＢＳ４２の詳細を説明するための図である。図８（ａ）は、第１ＰＢＳ４２を示す断面図である。図８（ｂ）は、第１ＰＢＳ４２を第１基材５１０の第１面５１２側から見た図である。図８（ｃ）は、第１ＰＢＳ４２を第１基材５１０の第２面５１４側から見た図である。なお、図８（ａ）は、図８（ｂ）のＡ−Ａ´断面図である。第１ＰＢＳ４２は、第１基材５１０、第１ビームスプリッタ部５０２、第３ビームスプリッタ部５０６、第１反射防止部５３２及び第２反射防止部５３４を有している。
【００４３】
第１基材５１０（第１光透過性部材）は、光透過性を有しており、一例において、光学ガラス、より具体的には、ＢＫ７からなっている。他の例において、第１基材５１０は、光学異方性を有しない樹脂からなっていてもよい。
【００４４】
第１基材５１０は、第１面５１２及び第２面５１４を有している。第２面５１４は、第１面５１２とは反対側にある。本図に示す例において、第１基材５１０の形状は、第１面５１２の底面及び第２面５１４の底面を有する直円柱である。ただし、第１基材５１０の形状は、本図に示す例に限定されるものではない。
【００４５】
第１面５１２は、第１領域５１２ａ及び第２領域５１２ｂを含んでいる。第２領域５１２ｂは、第１領域５１２ａとは異なる領域であり、本図に示す例では、第１領域５１２ａの隣にある。第２面５１４は、第３領域５１４ａ及び第４領域５１４ｂを含んでいる。第４領域５１４ｂは、第３領域５１４ａとは異なる領域であり、本図に示す例では、第３領域５１４ａの隣にある。
【００４６】
第１ビームスプリッタ部５０２は、第１領域５１２ａ上にある。第１反射防止部５３２は、第２領域５１２ｂ上にある。第３ビームスプリッタ部５０６は、第３領域５１４ａ上にある。第２反射防止部５３４は、第４領域５１４ｂ上にある。第１ビームスプリッタ部５０２は、第１面５１２から第２面５１４に向かう方向（第１基材５１０の厚さ方向）において、第２反射防止部５３４と重なっている。第１反射防止部５３２は、第１面５１２から第２面５１４に向かう方向（第１基材５１０の厚さ方向）において、第３ビームスプリッタ部５０６と重なっている。
【００４７】
なお、第２ＰＢＳ４４（図７）の構成は、第１ＰＢＳ４２の構成と同様である。具体的には、第２ＰＢＳ４４は、第２基材５２０（第２光透過性部材）、第２ビームスプリッタ部５０４、第４ビームスプリッタ部５０８、第３反射防止部５３６及び第４反射防止部５３８を有している。第２基材５２０は、第１面５２２及び第２面５２４を有している。第１面５２２は、第１領域５２２ａ及び第２領域５２２ｂを含んでいる。第２面５２４は、第３領域５２４ａ及び第４領域５２４ｂを含んでいる。第２ＰＢＳ４４の第２基材５２０、第１面５２２、第１領域５２２ａ、第２領域５２２ｂ、第２面５２４、第３領域５２４ａ、第４領域５２４ｂ、第２ビームスプリッタ部５０４、第４ビームスプリッタ部５０８、第３反射防止部５３６及び第４反射防止部５３８は、それぞれ、第１ＰＢＳ４２の第１基材５１０、第１面５１２、第１領域５１２ａ、第２領域５１２ｂ、第２面５１４、第３領域５１４ａ、第４領域５１４ｂ、第１ビームスプリッタ部５０２、第３ビームスプリッタ部５０６、第１反射防止部５３２及び第２反射防止部５３４に対応している。
【００４８】
図９は、図８に示した第１ＰＢＳ４２の製造方法の一例を説明するための図である。この一例において、第１ＰＢＳ４２は、次のようにして製造される。
【００４９】
まず、本図（ａ）に示すように、第１基材５１０を準備する。
【００５０】
次いで、本図（ｂ）に示すように、第１基材５１０の第１面５１２上において第１領域５１２ａから第２領域５１２ｂに亘って、より具体的には第１基材５１０の第１面５１２の全面上に、第１反射防止部５３２を形成する。一例において、第１反射防止部５３２は、単層の誘電体層である。
【００５１】
次いで、本図（ｃ）に示すように、第１反射防止部５３２上かつ第１領域５１２ａ上に第１ビームスプリッタ部５０２を形成する。一例において、第１ビームスプリッタ部５０２は、ワイヤグリッドである。一例において、ワイヤグリッドは、金属膜を第１反射防止部５３２上に蒸着し、この金属膜をエッチングすることにより形成することができる。
【００５２】
次いで、本図（ａ）〜（ｃ）に示した方法と同様にして、第１基材５１０の第２面５１４上に第２反射防止部５３４及び第３ビームスプリッタ部５０６を形成する。このようにして、図８に示した第１ＰＢＳ４２が製造される。
【００５３】
図７に戻る。偏光子３０（図６）からの光は、第１基材５１０の第４領域５１４ｂ（第２反射防止部５３４）に入射し、第１基材５１０の内部を透過し、第１ビームスプリッタ部５０２において第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。本図に示す例では、第１ビームスプリッタ部５０２は、分光装置の高さ方向に垂直な平面（図中、ＺＸ平面）内で振動する直線偏光（第１直線偏光）が第１ビームスプリッタ部５０２を透過し、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光（第２直線偏光）が第１ビームスプリッタ部５０２で反射するように構成されている。これにより、第１直線偏光は、第１ビームスプリッタ部５０２を透過する。第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部５０２で反射する。
【００５４】
第２直線偏光は、第１ビームスプリッタ部５０２で反射し、第１基材５１０の内部を透過し、第３ビームスプリッタ部５０６に達する。本図に示す例では、第３ビームスプリッタ部５０６は、分光装置の高さ方向に垂直な平面（図中、ＺＸ平面）内で振動する直線偏光が第３ビームスプリッタ部５０６を透過し、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光が第３ビームスプリッタ部５０６で反射するように構成されている。これにより、第２直線偏光は、第３ビームスプリッタ部５０６で反射し、第１基材５１０の内部を透過し、第１基材５１０の第２領域５１２ｂ（第１反射防止部５３２）から出射される。
【００５５】
第１直線偏光及び第２直線偏光は、第２基材５２０の第４領域５２４ｂ（第４反射防止部５３８）に入射し、第２基材５２０の内部を透過し、第２ビームスプリッタ部５０４に達する。本図に示す例では、第２ビームスプリッタ部５０４は、分光装置の幅方向に垂直な平面（図中、ＹＺ平面）内で振動する直線偏光（第２直線偏光）が第２ビームスプリッタ部５０４を透過し、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光（第１直線偏光）が第２ビームスプリッタ部５０４で反射するように構成されている。これにより、第１直線偏光は、第２ビームスプリッタ部５０４で反射する。第２直線偏光は、第２ビームスプリッタ部５０４を透過する。
【００５６】
第１直線偏光は、第２ビームスプリッタ部５０４で反射し、第２基材５２０の内部を透過し、第４ビームスプリッタ部５０８に達する。本図に示す例では、第４ビームスプリッタ部５０８は、分光装置の幅方向に垂直な平面（図中、ＹＺ平面）内で振動する直線偏光が第４ビームスプリッタ部５０８を透過し、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光が第４ビームスプリッタ部５０８で反射するように構成されている。これにより、第２直線偏光は、第４ビームスプリッタ部５０８で反射し、第２基材５２０の内部を透過し、第２基材５２０の第２領域５２２ｂ（第３反射防止部５３６）から出射される。
【００５７】
なお、第１ＰＢＳ４２は、分光装置の高さ方向（図中、Ｙ方向）に振動する直線偏光が第１領域５１２ａ（第１ビームスプリッタ部５０２）から出射され、分光装置の高さ方向に垂直な平面（図中、ＺＸ平面）内で振動する直線偏光が第２領域５１２ｂ（第１反射防止部５３２）から出射されるように構成されていてもよい。この場合、第２ＰＢＳ４４は、分光装置の幅方向（図中、Ｘ方向）に振動する直線偏光が第１領域５２２ａ（第２ビームスプリッタ部５０４）から出射され、分光装置の幅方向に垂直な平面（図中、ＹＺ平面）内で振動する直線偏光が第２領域５２２ｂ（第３反射防止部５３６）から出射されるように構成される。
【００５８】
本図に示す例において、第１ＰＢＳ４２の設計と第２ＰＢＳ４４の設計は、互いに共通している。このため、光学部材４０を容易に作製することができる。詳細には、第１基材５１０の形状と第２基材５２０の形状は、互いに合同である。より詳細には、第１基材５１０の第２面５１４は、第１基材５１０の第１面５１２から第１距離だけ離れており、第２基材５２０の第２面５２４は、第２基材５２０の第１面５２２から第２距離だけ離れている。第２距離は、第１距離と実質的に等しく、例えば、第１距離の９９．５％以上１００．５％以下である。この場合、第２直線偏光が第１ビームスプリッタ部５０２で第１直線偏光から分離してから偏光子５０（図６）に入射するまでの光路長が、第１直線偏光が第１ビームスプリッタ部５０２で第２直線偏光から分離してから偏光子５０（図６）に入射するまでの光路長とほぼ等しくなる。
【００５９】
本図に示す例では、第１基材５１０の第１面５１２と第２基材５２０の第２面５２４は、互いに対向している。第３方向（図中、Ｙ方向）から見た場合、第１基材５１０の第２面５１４は、第４領域５１４ｂが第３領域５１４ａよりも第２基材５２０から離れるように第２方向（図中、Ｘ方向）から第１角度傾いている。第２方向（図中、Ｘ方向）から見た場合、第２基材５２０の第１面５２２は、第２領域５２２ｂが第１領域５２２ａよりも第１基材５１０から離れるように第３方向（図中、Ｙ方向）から第２角度傾いている。第２角度は、第１角度と実質的に等しく、例えば、第１角度の９９．５％以上１００．５％以下であり、本図に示す例では４５°である。
【００６０】
図１０は、図７の第１の変形例を示す図である。本図に示す例において、第１ＰＢＳ４２は、第３ビームスプリッタ部５０６（図７）に代えて反射部５４２（第１反射部）を有しており、第２ＰＢＳ４４は、第４ビームスプリッタ部５０８（図７）に代えて反射部５４４（第３反射部）を有している。反射部５４２及び反射部５４４は、例えば、金属膜である。本図に示す例では、第２直線偏光は、反射部５４２で反射し、第１基材５１０の内部を透過し、第１基材５１０の第２領域５１２ｂ（第１反射防止部５３２）から出射される。第１直線偏光は、反射部５４４で反射し、第２基材５２０の内部を透過し、第２基材５２０の第２領域５２２ｂ（第３反射防止部５３６）から出射される。
【００６１】
図１１は、図７の第２の変形例を示す図である。本図に示す例では、第２ＰＢＳ４４（図７）に代えて、ミラー５５４（第２反射部）及びミラー５５６（第３反射部）が設けられている。第１直線偏光は、第１基材５１０の第１面５１２（第１ビームスプリッタ部５０２）から出射し、ミラー５５４で反射し、ミラー５５６で反射し、偏光子５０（図６）に入射する。ミラー５５４及びミラー５５６は、第２直線偏光の光軸と交わらないように位置している。これにより、第２直線偏光は、ミラー５５４及びミラー５５６に入射しない。ミラー５５４及びミラー５５６は、例えば金属膜である。
【００６２】
以上、本実施形態によれば、光は、光学部材４０によって第１直線偏光と第２直線偏光に分離される。光学部材４０は、安価な材料（例えば、光学ガラス）により製造することができる。言い換えると、高価な材料（例えば、複屈折結晶）を用いることなく、光学部材４０を製造することができる。このため、分光装置を安価で製造することができる。
【００６３】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６４】
１０  光源
２０  レンズ
３０  偏光子
４０  光学部材
５０  偏光子
６０  レンズ
７０  検出部
４０２  第１ビームスプリッタ部
４０４  第２ビームスプリッタ部
４１０  第１プリズム
４１２  第１面
４１４  第２面
４１６  第３面
４１８  第４面
４２０  第２プリズム
４２２  第１面
４２４  第２面
４２６  第３面
４３０  第３プリズム
４３２  第１面
４３４  第２面
４３６  第３面
４３８  第４面
４４０  第４プリズム
４４２  第１面
４４４  第２面
４４６  第３面
４５２  ミラー
４５４  ミラー
４５６  ミラー
５０２  第１ビームスプリッタ部
５０４  第２ビームスプリッタ部
５０６  第３ビームスプリッタ部
５０８  第４ビームスプリッタ部
５１０  第１基材
５１２  第１面
５１２ａ  第１領域
５１２ｂ  第２領域
５１４  第２面
５１４ａ  第３領域
５１４ｂ  第４領域
５２０  第２基材
５２２  第１面
５２２ａ  第１領域
５２２ｂ  第２領域
５２４  第２面
５２４ａ  第３領域
５２４ｂ  第４領域
５３２  第１反射防止部
５３４  第２反射防止部
５３６  第３反射防止部
５３８  第４反射防止部
５４２  反射部
５４４  反射部
５５４  ミラー
５５６  ミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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