(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置されたサヤを準備する準備工程と、
前記ワークが載置された複数の前記サヤを連続的に搬送して焼成炉内を通過させる搬送工程と、
を備えたワークの焼成方法において、
少なくとも一部の前記サヤは、
ＳｉＣを含む素体と、
前記素体の複数の面のうち、前記搬送工程において前記サヤの搬送方向に隣り合う前記サヤと対向する第１の面の少なくとも一部に形成された第１のセラミックコーティング層と、
を有し、
前記搬送工程において、前記搬送方向に互いに隣り合う複数の前記サヤを、前記第１のセラミックコーティング層を介して互いに接触させることを特徴とする、ワークの焼成方法。
【請求項２】
前記少なくとも一部の前記サヤは、
前記素体の前記複数の面のうち、前記搬送工程において前記搬送方向と直交する方向に前記サヤと対向する第２の面の少なくとも一部に形成された第２のセラミックコーティング層を、
さらに有し、
前記搬送工程において、前記搬送方向と直交する前記方向に互いに隣り合う複数の前記サヤを、前記第２のセラミックコーティング層を介して互いに接触させることを特徴とする、請求項１に記載のワークの焼成方法。
【請求項３】
前記第１のセラミックコーティング層は、アルミナ、ジルコニア、酸化マグネシウム、酸化イットリウムのうち、少なくとも１つを主成分とすることを特徴とする、請求項１又は２に記載のワークの焼成方法。
【請求項４】
前記第１のセラミックコーティング層の厚みが、５０μｍ以上であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一つに記載のワークの焼成方法。
【請求項５】
前記素体の前記第１の面に、それぞれ、複数の前記第１のセラミックコーティング層が、互いに間隔を設けて形成されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のワークの焼成方法。
【請求項６】
前記第１のセラミックコーティング層は、前記素体の前記第１の面の全体を覆うことを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のワークの焼成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの焼成方法に関し、詳しくは、ワークを連続的に焼成するワークの焼成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
未焼成のワークが載置された焼成用治具を連続的に搬送し、焼成炉内を通過させることによって、ワークを焼成する方法が知られている。
【０００３】
例えば特許文献１には、サヤと呼ばれる焼成用治具を用いるワークの焼成方法が開示されている。
【０００４】
図７は、サヤ１２０の組立斜視図である。図７に示すように、サヤ１２０は、四隅に略Ｌ字の突起１２２を備えたアルミナセラミック製の底板部材１２１と、各突起１２２に嵌まり込む略Ｌ字の切欠１２３を備えたアルミナセラミック製の枠部材１２４とから構成される。枠部材１２４の上面には、外と内との空気の流通を確保するための窓部１２５が設けられている。
【０００５】
図８は、サヤ搭載台車１３０の説明図である。図８に示すように、サヤ１２０の中に、例えば電子部品用、ガスセンサ素子用又はプラグ用に用いられるセラミックの未焼成の成形体を複数並べ、このサヤ１２０をセラミック製の台板１２６の上にコマ１２７を介して２段に積み重ね、サヤ搭載台車１３０とする。サヤ搭載台車１３０の台板１２６の側面をプッシャーで約３５分かけて焼成炉１１０の入口へ押し込む。サヤ搭載台車１３０の押し込みを繰り返すことによって、サヤ搭載台車１３０は焼成炉１１０内を移動し、所定時間経過後に焼成炉１１０の出口から出る。
【０００６】
また、特許文献２には、表面に、ムライト質を溶射して形成された多孔質コーティング層を有する、棚板と呼ばれる焼成用治具が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２１１３６３号公報
【特許文献２】特開２０１４−６０３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
焼成用治具を連続的に搬送し、焼成炉内を通過させることによってワーク（未焼成の成形体を含め、焼成用治具に並べる被焼成体）を焼成する場合、焼成炉内において焼成用治具の密度を高くすると、生産性を向上することができる。そこで、隣り合う焼成用治具が互いに接しているようにすることが考えられる。
【０００９】
しかしながら、隣り合う焼成用治具が互いに接していると、焼成用治具によっては、すなわち、ある種のサヤでは、繰り返し焼成に使用すると、互いに接しているサヤ同士がくっつく（互いに接着する）ことがある。サヤ同士がくっつくと、焼成炉内でサヤが詰まったり、サヤからのワークこぼれ等を引き起こす危険があり、多大な損害を生じさせる恐れがある。また、サヤ自体の寿命も短くなる。
【００１０】
本発明は、かかる実情に鑑み、互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができるワークの焼成方法を提供しようとするものである。なお、上述したサヤ同士のくっつきは、本願発明者が新たに見つけ出した現象であり、本発明の課題自体が新しい。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したワークの焼成方法を提供する。
【００１２】
ワークの焼成方法は、（ｉ）ワークが載置されたサヤを準備する準備工程と、（ii）前記ワークが載置された複数の前記サヤを連続的に搬送して焼成炉内を通過させる搬送工程と、を備える。少なくとも一部の前記サヤは、（ａ）ＳｉＣを含む素体と、（ｂ）前記素体の複数の面のうち、前記搬送工程において前記サヤの搬送方向に隣り合う前記サヤと対向する第１の面の少なくとも一部に形成された第１のセラミックコーティング層と、を有する。前記搬送工程において、前記搬送方向に互いに隣り合う複数の前記サヤを、前記第１のセラミックコーティング層を介して互いに接触させる。
【００１３】
上記方法の準備工程においてサヤに載置されるワークは、未焼成の成形体を含む被焼成体である。
【００１４】
サヤの素体がＳｉＣ（炭化珪素）を含んでいる場合、このサヤを焼成に繰り返し使用すると、素体が露出している部分にガラス質が形成され、このガラス質を介してサヤ同士がくっつくことがある。ガラス質は、焼成炉内を浮遊したり焼成炉内に堆積している金属かすや断熱材かす等から生じる不純物と、素体のＳｉ成分との反応に起因する。
【００１５】
上記方法によれば、第１のセラミックコーティング層は、ガラス質と接しても反応（融着）しないものにすることができる。これにより、第１のセラミックコーティング層がガラス質に接しても、第１のセラミックコーティング層を介して互いに接するサヤ同士がくっつかないようにすることができる。
【００１６】
また、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤの素体同士の間には、第１のセラミックコーティング層によって隙間が形成される。素体が露出している部分に形成されるガラス質の量は限られるので、互いに隣り合う素体の間の隙間が一定以上の間隔であれば、互いに隣り合う素体はガラス質を介してつながらない。これにより、互いに隣り合う素体同士がくっつくことがないようにすることができる。
【００１７】
したがって、搬送方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００１８】
好ましくは、前記少なくとも一部の前記サヤは、前記素体の前記複数の面のうち、前記搬送工程において前記搬送方向と直交する方向に前記サヤと対向する第２の面の少なくとも一部に形成された第２のセラミックコーティング層を、さらに有する。前記搬送工程において、前記搬送方向と直交する前記方向に互いに隣り合う複数の前記サヤを、前記第２のセラミックコーティング層を介して互いに接触させる。
【００１９】
この場合、搬送方向に互いに接するサヤと同様に、搬送方向と直交する方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００２０】
好ましくは、前記第１のセラミックコーティング層は、アルミナ、ジルコニア、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）のうち、少なくとも１つを主成分とする。
【００２１】
この場合、ガラス質と反応（融着）しない第１のセラミックコーティング層を形成することができる。なお、ジルコニアについては、安定化ジルコニアが好ましく、例えば、Ｙ安定化ジルコニア、Ｃａ安定化ジルコニアが好ましい。
【００２２】
好ましくは、前記第１のセラミックコーティング層の厚みが、５０μｍ以上である。
【００２３】
この場合、搬送方向に互いに隣り合うサヤの素体同士の間の隙間を十分に確保して、搬送方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを確実に防ぐことができる。また、第１のセラミックコーティング層が摩耗し厚みが減少しても、長期間、くっつき防止効果が得られる。
【００２４】
好ましい一態様において、前記サヤの前記素体の前記第１の面に、それぞれ、複数の前記第１のセラミックコーティング層が、互いに間隔を設けて形成されている。
【００２５】
この場合、素体の第１の面の全体を覆うように第１のセラミックコーティング層を形成する場合に比べ、第１のセラミックコーティング層を形成するためのコート材を少なくすることができる。
【００２６】
好ましい他の態様において、前記第１のセラミックコーティング層は、前記素体の前記第１の面の全体を覆う。
【００２７】
この場合、搬送方向に隣り合う他のサヤとのくっつきを確実に防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。反りの少ないＳｉＣを含む素体のサヤを用いて、焼成炉内で高密度にサヤを搬送できるため、生産性向上を図ることができる。また、サヤ自体の寿命も長くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は焼成炉の断面を模式的に示す説明図である。（実施例１）
【図２】図２は焼成炉を上から見た説明図である。（実施例１）
【図３】図３はサヤの説明図である。（比較例１）
【図４】図４はサヤの説明図である。（実施例１）
【図５】図５はサヤの説明図である。（実施例２）
【図６】図６はサヤの側面図である。（実施例２の変形例１〜４）
【図７】図７はサヤの組立斜視図である。（従来例１）
【図８】図８はサヤ搭載台車の説明図である。（従来例１）
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３１】
＜実施例１＞  実施例１のワークの焼成方法について、図１〜図４を参照しながら説明する。実施例１のワークの焼成方法では、素体の側面の全体にセラミックコーティング層が形成されたサヤを用いる。
【００３２】
図１は、ワークの焼成に用いる焼成炉１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は焼成炉１０を上から見た説明図である。
【００３３】
図１に示すように、焼成炉１０は、断熱材１４に囲まれた内部空間１２に、ヒーター１６が配置されている。焼成炉１０の内部空間１２と、入口１１ａ及び出口１１ｂの付近には、サヤ２０を支持するローラ１８が配置されている。
【００３４】
未焼成のワーク（図１及び図２では図示せず）が載せられたサヤ２０を、焼成炉１０の入口１１ａから内部空間１２に入れ、出口１１ｂから出す。サヤ２０が内部空間１２内を移動する間に、未焼成のワークを焼成する。
【００３５】
例えば、ローラ１８を回転自在に構成し、焼成炉１０の入口１１ａから次々とサヤ２０を押し込むことによって、サヤ２０を連続的に搬送する。ローラ１８をモータで回転駆動することによって、サヤ２０を連続的に搬送してもよい。
【００３６】
サヤ２０は、一列だけを搬送してもよいが、図２に示すように、複数列（図２では３列）を同時に搬送してもよい。焼成炉１０内においてサヤ２０の密度を高くすると生産性が向上するので、隣り合うサヤ２０が互いに接するようにする。
【００３７】
図３は、比較例１のサヤ２０ｇの説明図である。図３に示すように、サヤ２０ｇは、矩形平板状の素体２０ｋの互いに対向する一対の主面の全体が、セラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔで覆われている。素体２０ｋの互いに対向する一対の側面２０ｐ（一方のみ図示）と、互いに対向する他の一対の側面２０ｑ（一方のみ図示）は、外部に露出している。
【００３８】
素体２０ｋは、アルミナ系、ムライト系、ＳｉＣ系などのセラミックの基板を用いることできる。セラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔは、サヤ２０にチップ生素体などのワーク２を載置したときに反応（融着）を防ぐとともに、サヤ２０の反りが生じないようにするためのものである。セラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔは、アルミナコーテイング、ＹやＣａで部分安定化したジルコニア（ＺｒＯ２）コーテイング等である。
【００３９】
比較例１のサヤ２０ｇの素体２０ｋがＳｉＣ系のセラミックである場合には、サヤ２０ｇを繰り返し焼成に使用すると、素体２０ｋの側面２０ｐ，２０ｑに、図３において黒色の長円で模式的に示しているガラス質４が形成され、このガラス質４を介して、互いに隣り合い接しているサヤ２０ｇ同士がくっつく（互いに接着される）ことがある。
【００４０】
この現象は、本願発明者が新たに見つけ出した。本願発明者は、焼成炉１０の内部空間に浮遊したり堆積している金属かすや断熱材かす等から生じる不純物と、サヤ２０ｇの素体２０ｋに含まれるＳｉ成分とが反応することによりガラス質４が形成されることを解明し、以下に説明するように、ＳｉＣを含む素体２０ｋの側面にセラミックコーティング層を有するサヤを用いるワークの焼成方法を発明した。
【００４１】
図４は、サヤ２０ａの説明図である。図４に示すように、サヤ２０ａは、ＳｉＣを含む矩形平板状の素体２０ｋの互いに対向する矩形の一対の主面の全体をそれぞれ覆うセラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔに加え、素体２０ｋの互いに対向する一対の側面２０ｐ及び互いに対向する他の一対の側面２０ｑの全体を覆うセラミックコーティング層２０ｒが形成されている。
【００４２】
セラミックコーティング層２０ｒを形成する方法は、溶射する方法や、スプレーで塗布した後に焼き付ける方法など、特に限定されない。セラミックコーティング層２０ｒは、ガラス質４と反応（融着）しないもの、例えば、アルミナ、ジルコニア、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）のうち、少なくとも１つを主成分とするものを形成する。ジルコニアについては、安定化ジルコニアが好ましく、例えば、Ｙ安定化ジルコニア、Ｃａ安定化ジルコニアが好ましい。
【００４３】
次に、サヤ２０ａを用いるワークの焼成方法について、説明する。
【００４４】
まず、準備工程として、未焼成のワーク２が載置されたサヤ２０ａを準備する。
【００４５】
次いで、搬送工程として、未焼成のワーク２が載置された複数のサヤ２０ａを連続的に搬送して焼成炉１０（図１参照）内を通過させる。この搬送工程において、複数のサヤ２０ａを１列又は２列以上に並べて搬送し、サヤ２０ａの搬送方向に互いに隣り合う複数のサヤ２０ａを、セラミックコーティング層２０ｒを介して互いに接触させる。
【００４６】
セラミックコーティング層２０ｒのうち、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤ２０ａの素体２０ｋ同士の間に介在する部分、すなわち素体２０ｋの側面２０ｐ又は２０ｑに形成されている部分が、本実施例１において、「第１のセラミックコーティング層」に相当する。また、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤ２０ａの素体２０ｋ同士の互いに対向する側面２０ｐ又は２０ｑが、本実施例１において、素体２０ｋの「第１の面」に相当する。
【００４７】
上記の方法によれば、素体２０ｋが露出しないため、サヤ２０ａを繰り返し焼成に使用しても、素体２０ｋに含まれるＳｉ成分との反応に起因するガラス質４（図３参照）は形成されない。サヤ２０ａの間にガラス質４（図３参照）が介在することがないため、搬送方向に互いに接するサヤ２０ａ同士のくっつきを確実に防ぐことができる。
【００４８】
搬送工程において、図２のように複数のサヤ２０ａを２列以上に並べて搬送する場合には、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合う複数のサヤ２０ａを、セラミックコーティング層２０ｒを介して互いに接触させる。この場合、搬送方向に互いに接するサヤ２０ａと同様に、搬送方向と直交する方向に互いに接するサヤ２０ａ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００４９】
セラミックコーティング層２０ｒのうち、搬送工程において、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合うサヤ２０ａの素体２０ｋ同士の間に介在する部分、すなわち素体２０ｋの側面２０ｐ又は２０ｑに形成されている部分が、本実施例１において、「第２のセラミックコーティング層」に相当する。また、搬送工程において、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合うサヤ２０ａの素体２０ｋ同士の互いに対向する側面２０ｐ又は２０ｑが、本実施例１において、素体２０ｋの「第２の面」に相当する。
【００５０】
サヤ２０ａは、素体２０ｋの側面２０ｐ，２０ｑの全体を覆うセラミックコーティング層２０ｒによって、隣り合う他のサヤとのくっつきを確実に防ぐことができる。そのため、ワークの焼成に用いる複数のサヤの少なくとも一部が、サヤ２０ａであれば、互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００５１】
例えば、搬送工程において、図４のサヤ２０ａと図３のサヤ２０ｇとが交互に配置され互いに接するように搬送しても、互いに接するサヤ２０ａ，２０ｇ同士とのくっつきを防ぐことができる。サヤ２０ｇの素体２０ｋが露出している部分にガラス質４が形成されても、サヤ２０ａのセラミックコーティング層２０ｒはガラス質４と反応（融着）しないからである。
【００５２】
＜実施例２＞  素体２０ｋの側面２０ｐ，２０ｑの一部にセラミックコーティング層が形成されたサヤ２０ｂ〜２０ｆを用いる実施例２のワークの焼成方法について、図５及び図６を参照しながら説明する。実施例２は、実施例１と略同様である。以下では、実施例１と同じ構成部分には同じ符号を用い、実施例１との相違点を中心に説明する。
【００５３】
図５は、サヤ２０ｂの説明図である。図５に示すように、サヤ２０ｂは、ＳｉＣを含む矩形平板状の素体２０ｋと、素体２０ｋの互いに対向する矩形の一対の主面の全体をそれぞれ覆うセラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔと、素体２０ｋの互いに対向する一対の側面２０ｐ及び互いに対向する他の一対の側面２０ｑのそれぞれ２か所に互いに間隔を設けて形成されたセラミックコーティング層２０ｕ，２０ｖと、を有している。
【００５４】
図６は、実施例２のサヤ２０ｂの変形例１〜４のサヤ２０ｃ〜２０ｆの側面図である。図６に示すように、素体２０ｋの４つの側面の一部に形成されるセラミックコーティング層２０ｗ〜２０ｚは、位置、形状、数を適宜に選択することができる。
【００５５】
図６（ａ）に示すサヤ２０ｃは、素体２０ｋの側面の中間部分に、円形状の２つのセラミックコーティング層２０ｗが互いに間隔を設けて形成されている。
【００５６】
図６（ｂ）に示すサヤ２０ｄは、素体２０ｋの側面の両端に、矩形状の２つのセラミックコーティング層２０ｘが互いに間隔を設けて形成されている。
【００５７】
図６（ｃ）に示すサヤ２０ｅは、素体２０ｋの側面の中間部分に、矩形状の３つのセラミックコーティング層２０ｘが互いに間隔を設けて形成されている。
【００５８】
図６（ｄ）に示すサヤ２０ｆは、素体２０ｋの側面に、素体２０ｋの主面を覆うセラミックコーティング層２０ｓ，２０ｔとの間に間隔を設けて、円形状の３つのセラミックコーティング層２０ｚが互いに間隔を設けて形成されている。
【００５９】
サヤの素体の側面の一部に形成されるセラミックコーティング層は、矩形状、円形状以外の形状でもあってもよいし、非対称に形成してもよい。例えば、素体の側面の一方の端と中間部分とに、セラミックコーティング層を形成してもよい。また、素体の主面を覆うセラミックコーティング層の一方のみに接するように、素体の側面にセラミックコーティング層を形成してもよい。
【００６０】
素体の側面の一部にセラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚを形成する方法は、溶射する方法や、スプレーで塗布した後に焼き付ける方法など、特に限定されない。セラミックコーティング層２０ｒは、ガラス質４と反応（融着）しないもの、例えば、アルミナ、ジルコニア、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）のうち、少なくとも１つを主成分とするものを形成する。ジルコニアについては、安定化ジルコニアが好ましく、例えば、Ｙ安定化ジルコニア、Ｃａ安定化ジルコニアが好ましい。
【００６１】
次に、サヤ２０ｂ〜２０ｆを用いるワークの焼成方法について、説明する。
【００６２】
まず、準備工程として、未焼成のワーク２が載置されたサヤ２０ｂ〜２０ｆを準備する。
【００６３】
次いで、搬送工程として、未焼成のワーク２が載置された複数のサヤ２０ｂ〜２０ｆを連続的に搬送して焼成炉１０（図１参照）内を通過させる。この搬送工程において、複数のサヤ２０ｂ〜２０ｆを１列又は２列以上に並べて搬送し、サヤ２０ｂ〜２０ｆの搬送方向に互いに隣り合う複数のサヤ２０ｂ〜２０ｆを、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚを介して互いに接触させる。
【００６４】
セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚのうち、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤ２０ｂ〜２０ｆの素体２０ｋ同士の間に介在するもの、すなわち素体２０ｋの側面２０ｐ又は２０ｑに形成されているものが、本実施例２において、「第１のセラミックコーティング層」に相当する。また、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤ２０ｂ〜２０ｆの素体２０ｋ同士の互いに対向する側面２０ｐ又は２０ｑが、本実施例２において、素体２０ｋの「第１の面」に相当する。
【００６５】
上記の方法でサヤ２０ｂ〜２０ｆの使用を繰り返すと、サヤ２０ｂ〜２０ｆは、素体２０ｋが露出している部分にガラス質４が形成される。セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚは、ガラス質４と接しても反応（融着）しない。そのため、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚがガラス質４に接しても、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚを介して互いに接するサヤ２０ｂ〜２０ｆ同士はくっつかない。
【００６６】
また、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合うサヤ２０ｂ〜２０ｆの素体２０ｋ同士の間には、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚによって隙間が形成される。素体２０ｋが露出している部分に形成されるガラス質４の量は限られ、互いに隣り合う素体２０ｋの間の隙間が一定以上の大きさであれば、互いに隣り合う素体２０ｋはガラス質４を介してつながらない。そのため、互いに隣り合う素体２０ｋ同士がくっつかないようにすることができる。
【００６７】
したがって、搬送方向に互いに接するサヤ２０ｂ〜２０ｆ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００６８】
搬送工程において、図２のように複数のサヤ２０ｂ〜２０ｆを２列以上に並べて搬送する場合には、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合う複数のサヤ２０ｂ〜２０ｆを、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚを介して互いに接触させる。この場合、搬送方向に互いに接するサヤ２０ｂ〜２０ｆと同様に、搬送方向と直交する方向に互いに接するサヤ２０ｂ〜２０ｆ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００６９】
セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚのうち、搬送工程において、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合うサヤ２０ｂ〜２０ｆの素体２０ｋ同士の間に介在する部分、すなわち素体２０ｋの側面２０ｐ又は２０ｑに形成されているものが、本実施例２において、「第２のセラミックコーティング層」に相当する。また、搬送工程において、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合うサヤ２０ｂ〜２０ｆの素体２０ｋ同士の互いに対向する側面２０ｐ又は２０ｑが、本実施例２において、素体２０ｋの「第２の面」に相当する。
【００７０】
セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚの厚みをある程度以上の大きくすると、サヤ同士のくっつきを防止する効果が確実に得られる上、セラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚが摩耗し厚みが減少しても、長期間、くっつき防止効果が得られる。
【００７１】
また、素体の側面の一部にセラミックコーティング層２０ｕ〜２０ｚを形成したサヤ２０ｂ〜２０ｆは、素体の側面の全体にセラミックコーティング層２０ｒを形成したサヤ２０ａと比べると、コート材の使用量が少ないため、費用低減につながる。
【００７２】
焼成に用いる複数のサヤは、サヤ２０ｂ〜２０ｆのうち１種類だけでも複数種類でもよい。
【００７３】
また、ワークの焼成に用いる複数のサヤの少なくとも一部が、サヤ２０ｂ〜２０ｆであればよい。例えば、搬送工程において、サヤ２０ｂ〜２０ｆのうちいずれか１種類と、サヤ２０ｇ（図３参照）とが交互に隣り合い接するように搬送してもよい。この場合も、互いに接するサヤ２０ｂ〜２０ｆのうちいずれか１種類とサヤ２０ｇとのくっつきを防ぐことができる。
【００７４】
また、ワークの焼成に、実施例１のサヤ２０ａと実施例２のサヤ２０ｂ〜２０ｆとを組み合わせ用いてもよい。この場合、互いに隣り合い接している実施例１のサヤ２０ｂと実施例２のサヤ２０ｂ〜２０ｆとのくっつきを防ぐことができる。
【００７５】
実施例２のサヤ２０ｂ〜２０ｆのように、サヤの４つの側面に、それぞれ２つ以上のセラミックコーティング層を間隔を設けて形成すれば、サヤの向きや表裏を揃える必要がなくなり、作業が容易になる。
【００７６】
＜実施例３＞  サヤの素体の４つの側面のうち１つの側面のみに、２つ以上のセラミックコーティング層を間隔を設けて形成してもよい。サヤの素体の４つの側面のうち、互いに対向する一対の側面のみに、それぞれ、２つ以上のセラミックコーティング層を間隔を設けて形成してもよい。サヤの素体の４つの側面のうち１つの側面のみに、又は互いに対向する一対の側面のみに、それぞれの側面の全体を覆うセラミックコーティング層を形成してもよい。これらのサヤをワークの焼成方法に用いる場合、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合う複数のサヤを、セラミックコーティング層を介して互いに接触させることによって、搬送方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００７７】
＜実施例４＞  サヤの素体の４つの側面のうち、互いに隣り合う２つの側面のみに、又は３つの側面のみに、それぞれ、２つ以上のセラミックコーティング層を間隔を設けて形成してもよい。サヤの素体の４つの側面のうち、互いに隣り合う２つの側面のみに、又は３つの側面のみに、それぞれの側面の全体を覆うセラミックコーティング層を形成してもよい。これらのサヤをワークの焼成方法に用いる場合、搬送工程において、搬送方向に互いに隣り合う複数のサヤを、セラミックコーティング層を介して互いに接触させることによって、搬送方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。また、搬送工程において、搬送方向と直交する方向に互いに隣り合う複数のサヤを、セラミックコーティング層を介して互いに接触させることによって、搬送方向と直交する方向にに互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。
【００７８】
＜作製例＞  次に、サヤの作製例について説明する。作製例のサンプルは、すべて、厚さ２ｍｍ、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの矩形平板状のＳｉＣの素体の互いに対向する矩形の一対の主面に、それぞれ厚さ１００μｍのＹ安定化ＺｒＯ２のセラミックコーティング層が形成されている。
【００７９】
サンプルＡ〜Ｃは、図６（ｂ）のサヤ２０ｄと同じ構成であり、素体の４つの側面の両端に、それぞれ２ｍｍ×２．５ｍｍのＹ安定化ＺｒＯ２のセラミックコーティング層が形成されている。セラミックコーティング層の厚み（狙い値）は、サンプルＡでは５μｍ、サンプルＢでは５０μｍ、サンプルＣでは１００μｍである。
【００８０】
サンプルＸは、図３のサヤ２０ｇと同じ構成であり、素体の４つの側面にはセラミックコーティング層が形成されていない。サンプルＹは、図４のサヤ２０ａと同じ構成であり、素体の４つの側面に、それぞれの側面の全体を覆うＹ安定化ＺｒＯ２のセラミックコーティング層が形成されている。このセラミックコーティング層の厚み（狙い値）は、５０μｍである。
【００８１】
各サンプルを１００枚準備し、各サンプルに未焼成のチップ部品を載せ、搬送方向前後のサヤの側面が互いに接するようにサヤを流動し、ローラー式連続炉にて焼成を繰り返した。くっつきが生じたサヤは、それ以降、流動より外した。
【００８２】
次の表１に、流動回数と、くっつき枚数（流動から外したサヤの枚数の累積値）とを示す。
【表１】
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【００８３】
表１に示したように、素体の側面にセラミックコーティング層が形成されていないサンプルＸは、流動回数が２００回を越えると、くっつきが発生し始め、４５０回までに、７２％のサヤが、くっつきでＮＧとなった。サンプルＡ、サンプルＢ、サンプルＣ、サンプルＹともに、４００回の繰り返し使用まで、くっつきが発生しなかった。このことから、サヤの素体の側面にセラミックコーティング層を形成すると、互いに接するサヤ同士のくっつきを防止できることが分かる。
【００８４】
サンプルＡは、４００回を超えるとくっつきが発生し始めた。サンプルＢ，サンプルＣは、素体の側面の全体にコーティング層が形成されたサンプルＹと同様に、１０００回焼成を繰り返してもくっつきは発生しなかった。
【００８５】
このことから、素体の側面に形成されるセラミックコーティング層の厚みは、５０μｍ以上が好ましい。この場合、搬送方向に互いに隣り合う素体の間の隙間を十分に確保して、搬送方向に互いに接するサヤ同士のくっつきを確実に防ぐことができる。また、第１のセラミックコーティング層が摩耗し厚みが減少しても、長期間、くっつき防止効果が得られる。
【００８６】
＜まとめ＞  以上に説明したように、ＳｉＣを含む素体の側面にセラミックコーティング層が形成されたサヤを用いると、互いに接するサヤ同士のくっつきを防ぐことができる。反りの少ないＳｉＣからなる素体のサヤやＳｉＣ／Ｓｉ３Ｎ４（窒化物結合炭化珪素）からなる素体のサヤを用いて、焼成炉内で高密度にサヤを搬送できるため、生産性向上を図ることができる。また、サヤ自体の寿命も長くなる。
【００８７】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００８８】
例えば、正方形のサヤを例示したが、長方形や台形などでもよく、サヤの形状は限定するものではない。サヤの形状は、平板状に限られず、すり鉢状（側面にセラミックコーティング層を形成）のものでもよい。また、壁の有る形状でもよい。
【符号の説明】
【００８９】
２  ワーク
１０  焼成炉
２０，２０ａ〜２０ｇ  サヤ
２０ｋ  素体
２０ｐ，２０ｑ  側面（第１の面、第２の面）
２０ｒ  セラミックコーティング層（第１のセラミックコーティング層、第２のセラミックコーティング層）
２０ｓ，２０ｔ  セラミックコーティング層
２０ｕ〜２０ｚ  セラミックコーティング層（第１のセラミックコーティング層、第２のセラミックコーティング層）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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