(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オペレータに情報を伝えるための表示手段と、
オペレータの操作を受けるための入力手段と、
設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが前記入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させる操作機能手段と、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機手段と、
前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理手段と、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理手段と、
加熱制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、
前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、
前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理手段とを備えることを特徴とする操作装置。
【請求項２】
オペレータに情報を伝えるための表示手段と、
オペレータの操作を受けるための入力手段と、
設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが前記入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させる操作機能手段と、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機手段と、
前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理手段と、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理手段と、
冷却制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、
前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、
前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きいときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理手段とを備えることを特徴とする操作装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の操作装置において、
前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用される場合に、
前記操作機能手段は、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させることを特徴とする操作装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の操作装置において、
前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用され、前記操作機能手段が、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させる場合に、
さらに、オペレータが前記△ボタンに触れることで前記待機状態になった後も前記△ボタンを押し続け、オペレータが前記△ボタンに連続して触れた経過時間が規定時間以上になったときに、オペレータから変更確認操作があったものと見なす変更確認入力手段を備えることを特徴とする操作装置。
【請求項５】
設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を表示手段に表示させるマニュアル入力機能ステップと、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機ステップと、
前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理ステップと、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理ステップと、
加熱制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得ステップと、
前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得ステップと、
前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理ステップとを含むことを特徴とする操作方法。
【請求項６】
設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を表示手段に表示させるマニュアル入力機能ステップと、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機ステップと、
前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理ステップと、
オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理ステップと、
冷却制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得ステップと、
前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得ステップと、
前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きいときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理ステップとを含むことを特徴とする操作方法。
【請求項７】
請求項５または６記載の操作方法において、
前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用される場合に、
前記マニュアル入力機能ステップは、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させるステップを含むことを特徴とする操作方法。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれか１項に記載の操作方法において、
前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用され、前記マニュアル入力機能ステップが、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させるステップを含む場合に、
さらに、オペレータが前記△ボタンに触れることで前記待機状態になった後も前記△ボタンを押し続け、オペレータが前記△ボタンに連続して触れた経過時間が規定時間以上になったときに、オペレータから変更確認操作があったものと見なす変更確認入力ステップを含むことを特徴とする操作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、調節計に対するオペレータの操作を受け付けて、オペレータの操作に応じた情報を調節計に渡す操作装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
１個または複数の制御ループを備える装置を扱うために、多機能の汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。複数の制御ループを扱うマルチループ系の調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図９、図１０に示す。
【０００３】
図９の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図９に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００４】
また、図１０に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図１０に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。
【０００５】
調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行う製造装置においては、オペレータに情報を伝えると同時にオペレータからの操作を受け付けるために、タッチパネル機能付きの液晶表示器が使用される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０４８３７０号公報
【特許文献２】特開２００１−１５４７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
小型の製造装置に表示器を実装する場合は、小型の表示器が使用される。多機能を扱う場合、タッチパネル機能付きの液晶表示器は多様な操作処理に向くので便利であるが、多様な操作知識もオペレータに求められることになるので、記憶違いなどによる操作ミスが発生する可能性が高くなり、安全性が損なわれる可能性があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、調節計に対するオペレータの操作を受け付ける操作装置において、特に制御の安全性を改善することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の操作装置は、オペレータに情報を伝えるための表示手段と、オペレータの操作を受けるための入力手段と、設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが前記入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させる操作機能手段と、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機手段と、前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理手段と、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理手段と、加熱制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の操作装置は、オペレータに情報を伝えるための表示手段と、オペレータの操作を受けるための入力手段と、設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが前記入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させる操作機能手段と、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機手段と、前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理手段と、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理手段と、冷却制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きいときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の操作装置の１構成例において、前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用される場合に、前記操作機能手段は、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させることを特徴とするものである。
また、本発明の操作装置の１構成例は、前記表示手段および前記入力手段として、タッチパネル機能付き表示素子が使用され、前記操作機能手段が、操作量ＭＶの値を前記表示手段に表示させると共に、操作量ＭＶを上昇させるための△ボタンと操作量ＭＶを下降させるための▽ボタンとを前記表示手段に表示させる場合に、さらに、オペレータが前記△ボタンに触れることで前記待機状態になった後も前記△ボタンを押し続け、オペレータが前記△ボタンに連続して触れた経過時間が規定時間以上になったときに、オペレータから変更確認操作があったものと見なす変更確認入力手段を備えることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の操作方法は、設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を表示手段に表示させるマニュアル入力機能ステップと、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機ステップと、前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理ステップと、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理ステップと、加熱制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得ステップと、前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得ステップと、前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理ステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の操作方法は、設定値ＳＰと制御量ＰＶに基づき操作量ＭＶを算出して制御対象に出力するオートモードとオペレータが前記操作量ＭＶを直接的に指示するマニュアルモードとを備えた調節計がオペレータの操作により前記マニュアルモードになったときに、オペレータが入力手段を操作して変更した操作量ＭＶの値を表示手段に表示させるマニュアル入力機能ステップと、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機ステップと、前記待機状態においてオペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る上昇変更処理ステップと、オペレータが前記入力手段を操作して操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を即時受け付けて確定値として前記調節計に送る下降変更処理ステップと、冷却制御の前記調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得ステップと、前記調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得ステップと、前記待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きいときに、前記変更確認操作無しに操作量ＭＶの変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として前記調節計に送る判定変更処理ステップとを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、オペレータが入力手段を操作して操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする上昇変更待機手段と、待機状態においてオペレータが入力手段を操作して操作量ＭＶの変更を確認する変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計に送る上昇変更処理手段とを設けることにより、安全性が損なわれる側に操作量ＭＶが変更される場合は表示値の変更操作後に確認操作を必要とする受付処理動作になるので、制御の安全性を改善することができる。
【００１３】
また、本発明では、加熱制御の調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計に送る判定変更処理手段とを設けることにより、加熱制御において特に危険ではない状態での操作量ＭＶの上昇側への変更を、オペレータからの変更確認操作無しに確定させるので、オペレータにとっての操作の効率性を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明では、冷却制御の調節計から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得手段と、調節計から制御量ＰＶを取得する制御量取得手段と、待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きいときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計に送る判定変更処理手段とを設けることにより、冷却制御において特に危険ではない状態での操作量ＭＶの上昇側への変更を、オペレータからの変更確認操作無しに確定させるので、オペレータにとっての操作の効率性を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明では、オペレータが△ボタンに触れることで待機状態になった後も△ボタンを押し続け、オペレータが△ボタンに連続して触れた経過時間が規定時間以上になったときに、オペレータから変更確認操作があったものと見なすことにより、オペレータにとっての操作の効率性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の参考例に係る操作装置の構成を示すブロック図である。
【図２】調節計と一体化された操作装置の例を示す図である。
【図３】本発明の参考例に係る操作装置の動作を説明するフローチャートである。
【図４】本発明の参考例におけるマニュアル入力用の画面の表示例を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る操作装置の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る操作装置の動作を説明するフローチャートである。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る操作装置の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る操作装置の動作を説明するフローチャートである。
【図９】複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。
【図１０】複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［発明の原理１］
例えば、ヒータ出力を直接的に指示するパラメータである操作量ＭＶを、マニュアル操作（マニュアルモード）により変更する場合、操作量ＭＶの表示値の変更操作後に確認操作をすると変更が確定するような操作手順をオペレータが好む場合と、表示値を変更すると即時確定するような操作手順をオペレータが好む場合とがある。オペレータが、どちらの操作手順に従って操作すべきかを記憶違いしていると、不本意な処理動作が発生することになる。
【００１８】
このようなケースにおいて、発明者は、制御の安全性が重視されるべきであることに着眼した。すなわち、制御の安全性が損なわれる側に操作量ＭＶを敢えて変更する場合は慎重な処理が好ましく、緊急時に安全側に操作量ＭＶを変更する場合は早急な処理が好ましい。
【００１９】
そして、発明者は、安全性が損なわれる側（例えばヒータによる加熱制御であればヒータ出力を上昇させる側）に操作量ＭＶを変更するのか、安全側（例えばヒータによる加熱制御であればヒータ出力を下降させる側）に操作量ＭＶを変更するのかに依存して、受付処理が異なるものとすることに想到した。具体的には、安全性が損なわれる側に操作量ＭＶを変更する場合は、表示値の変更操作後に確認操作を必要とする受付処理動作とし、安全側に操作量ＭＶを変更する場合は、表示値の変更を即時受け付けて確定する受付処理動作とする。
【００２０】
［発明の原理２］
特にヒータによる加熱制御を想定した場合、制御量ＰＶが設定値ＳＰよりも高い場合（あるいは過昇温によるアラーム発生時）において、さらに上げ下げで受付処理が合理的に異なるモードにできる。すなわち、単純にヒータ出力を上昇させる側を安全性が損なわれる側とするのではなく、ＰＶ≧ＳＰ時あるいは過昇温アラーム発生時においてヒータ出力を上昇させる側を安全性が損なわれる側とする。これにより、特に危険ではない状態でのヒータ出力上昇操作は、安全側と見なされる。
【００２１】
［発明の原理３］
操作量ＭＶを下げる場合に即受付するのであれば、わざわざ確認操作の表示などを増やすのは非効率が生じる。そこで、発明者は、入力装置を押し続ける操作を応用することに想到した。
例えば、操作量ＭＶの現在値が５０％のとき、十の位を５→４と下げるようにすれば、操作量ＭＶの表示値が４０％に変化すると共に、操作量ＭＶを５０％→４０％に下げる変更が即時確定する。
【００２２】
一方、操作量ＭＶの現在値が５０％のとき、十の位を５→６と上げたときに、操作量ＭＶの表示値は６０％に変化するが、変更は確定せず、十の位を５→６と上げた際のタップ操作が規定時間以上継続すると、操作量ＭＶを５０％→６０％に上げる変更を確定させる。
【００２３】
［参考例］
以下、本発明の参考例について図面を参照して説明する。図１は本発明の参考例に係る操作装置の構成を示すブロック図である。本参考例は、上記発明の原理１に対応する例である。本参考例では、図２に示すように、操作装置１の例として、調節計（コントローラ）２が備えるタッチパネル機能付きの液晶表示器を例に挙げて説明する。
【００２４】
操作装置１は、オペレータが調節計２をマニュアルモード（ＰＩＤ演算によるオートモードの操作量ＭＶを採用せずにオペレータが操作量ＭＶを直接入力するモード）にしたときに、操作量ＭＶのマニュアル入力用の操作を実行可能にする操作機能部１０と、オペレータによってなされた操作量ＭＶの上昇指示を受け付ける上昇指示入力部１１と、オペレータによってなされた操作量ＭＶの下降指示を受け付ける下降指示入力部１２と、操作量ＭＶを上昇させる変更操作があったときに、この操作量ＭＶの変更の確定を一旦保留にして待機状態にする上昇変更待機部１３と、待機状態において入力される変更確認操作を識別するための変更確認入力部１４と、待機状態において変更確認操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る上昇変更処理部１５と、操作量ＭＶを下降させる変更操作があったときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る下降変更処理部１６と、オペレータに情報を伝える表示手段であると同時にオペレータからの操作を受け付ける入力手段であるタッチパネル機能付き表示素子１７とを備えている。
【００２５】
図３は本参考例の操作装置の動作を説明するフローチャートである。まず、操作機能部１０は、オペレータがタッチパネル機能付き表示素子１７を操作して調節計２（コントローラ）をマニュアルモードにしたとき（図３ステップＳ１００においてＹＥＳ）、操作量ＭＶのマニュアル入力用の操作を実行可能にする。
【００２６】
具体的には、操作機能部１０は、図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示すようにマニュアル入力用の画面をタッチパネル機能付き表示素子１７に表示させる（図３ステップＳ１０１）。図４（Ａ）は、調節計２と一体化された操作装置のタッチパネル機能付き表示素子１７にマニュアル入力用の画面が表示された様子を示し、図４（Ｂ）は、タッチパネル機能付き表示素子１７の画面のみを示している。
【００２７】
次に、オペレータは、操作量ＭＶを手動で上昇させたい場合、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示された当該操作量ＭＶの変更したい数値の上部に表示されている△ボタン１８の箇所に触れることで数値を変更する。図４（Ａ）、図４（Ｂ）の例では、１つの制御ループの操作量ＭＶ１の値として「０３３．３％」という数値が表示されており、△ボタン１８の箇所に触れることで操作量ＭＶ１を上昇させることが可能である。
上昇指示入力部１１は、オペレータによってなされた操作量ＭＶの上昇指示（△ボタン１８へのタップ操作）を受け付ける。
【００２８】
操作機能部１０は、上昇指示入力部１１がオペレータから操作量ＭＶの上昇指示を受けると（図３ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値をオペレータから指示を受けた分だけ上昇させる（図３ステップＳ１０３）。
【００２９】
上昇変更待機部１３は、上昇指示入力部１１がオペレータから操作量ＭＶの上昇指示を受けると、操作量ＭＶの変更の確定を保留にして待機状態にする（図３ステップＳ１０４）。なお、操作機能部１０は、待機状態において、操作量ＭＶの変更が確定していないことを明示するために、操作量ＭＶの値を点滅表示させてもよい。
【００３０】
この待機状態において、オペレータは、操作量ＭＶの変更を確定させたい場合、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示されている確認ボタン１９の箇所に触れる。変更確認入力部１４は、オペレータによってなされた操作量ＭＶの変更確認操作（確認ボタン１９へのタップ操作）を受け付ける。
【００３１】
上昇変更処理部１５は、待機状態において変更確認入力部１４がオペレータからの変更確認操作を受けると（図３ステップＳ１０５）、待機状態を終えて、操作量ＭＶを上昇させる今回の変更を確定させ、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図３ステップＳ１０６）。
調節計２による制御の実行中であれば、調節計２は、制御対象に出力中の操作量ＭＶの値を、操作装置１の上昇変更処理部１５から送られた値に変更することになる。
【００３２】
なお、待機状態のままオペレータからの変更確認操作を待ち続けてもよいが、上昇変更待機部１３は、待機状態になってからの経過時間が所定時間を超えた場合、待機状態を解除して、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値を変更前の値に戻してもよい。
【００３３】
また、上昇変更待機部１３は、オペレータからの戻り操作（例えばタッチパネル機能付き表示素子１７に表示されている戻るボタンに触れる操作）に応じて待機状態を解除して、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値を変更前の値に戻してもよい。
【００３４】
一方、オペレータは、操作量ＭＶを手動で下降させたい場合、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示された当該操作量ＭＶの変更したい数値の下部に表示されている▽ボタン２０の箇所に触れることで数値を変更する。
下降指示入力部１２は、オペレータによってなされた操作量ＭＶの下降指示（▽ボタン２０へのタップ操作）を受け付ける。
【００３５】
操作機能部１０は、下降指示入力部１２がオペレータから操作量ＭＶの下降指示を受けると（図３ステップＳ１０７においてＹＥＳ）、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値をオペレータから指示を受けた分だけ下降させる（図３ステップＳ１０８）。
【００３６】
そして、下降変更処理部１６は、下降指示入力部１２がオペレータから操作量ＭＶの下降指示を受けると、操作量ＭＶを下降させる今回の変更を即時確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図３ステップＳ１０９）。
これにより、調節計２は、制御対象に出力中の操作量ＭＶの値を、下降変更処理部１６から送られた値に変更する。
【００３７】
以上のように、本参考例では、安全性が損なわれる側に操作量ＭＶを変更する場合は表示値の変更操作後に確認操作を必要とする受付処理動作になり、安全側に操作量ＭＶを変更する場合は表示値の変更を即時受け付けて確定する受付処理動作になる。こうして、本参考例では、制御の安全性を改善することができる。
【００３８】
［第１の実施の形態］
次に、本発明の第１の実施の形態について説明する。図５は本実施の形態に係る操作装置の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する例である。本実施の形態では、単に操作量ＭＶを上昇させる場合を一律に安全性が損なわれる側とするのではなく、ＰＶ≧ＳＰ時に上昇させる場合を安全性が損なわれる側として処理する例で説明する。
【００３９】
本実施の形態の操作装置１は、操作機能部１０と、上昇指示入力部１１と、下降指示入力部１２と、上昇変更待機部１３と、変更確認入力部１４と、上昇変更処理部１５と、下降変更処理部１６と、タッチパネル機能付き表示素子１７と、調節計２から制御の設定値ＳＰを取得する設定値取得部２１と、調節計２から制御量ＰＶを取得する制御量取得部２２と、待機状態において制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であるときに、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る判定変更処理部２３とを備えている。
【００４０】
図６は本実施の形態の操作装置の動作を説明するフローチャートである。図６のステップＳ２００〜Ｓ２０４の処理は、図３のステップＳ１００〜Ｓ１０４と同じなので、説明は省略する。
【００４１】
次に、設定値取得部２１は、調節計２から制御の設定値ＳＰ（温度設定値）を取得する（図６ステップＳ２０５）。
制御量取得部２２は、調節計２から制御量ＰＶ（温度計測値）を取得する（図６ステップＳ２０６）。
【００４２】
周知のとおり、調節計２は、制御量ＰＶが設定値ＳＰと一致するように操作量ＭＶを算出し制御対象に出力する。加熱制御の場合であれば、ヒータに電力を供給する電力調整器が操作量ＭＶの実際の出力先となる。
【００４３】
次に、判定変更処理部２３は、待機状態においてＰＶ≧ＳＰ、すなわち制御量ＰＶが設定値ＳＰ以上か否かを判定し（図６ステップＳ２０７）、制御量ＰＶが設定値ＳＰ未満であれば（ステップＳ２０７においてＮＯ）、操作量ＭＶを上昇させる今回の変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図６ステップＳ２０８）。
【００４４】
制御量ＰＶが設定値ＳＰ以上であれば、待機状態を継続する。この場合は参考例と同様に、上昇変更処理部１５は、変更確認入力部１４がオペレータからの変更確認操作を受けると（図６ステップＳ２０９）、操作量ＭＶを上昇させる今回の変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図６ステップＳ２１０）。
【００４５】
参考例で説明したとおり、上昇変更待機部１３は、待機状態になってからの経過時間が所定時間を超えた場合、またはオペレータによる戻り操作があった場合、待機状態を解除して、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値を変更前の値に戻してもよい。
図６のステップＳ２１１〜Ｓ２１３の処理は、図３のステップＳ１０７〜Ｓ１０９と同じなので、説明は省略する。
【００４６】
本実施の形態では、単に操作量ＭＶを上昇させる場合を一律に制御の安全性が損なわれる側とするのではなく、ＰＶ≧ＳＰ時において操作量ＭＶを上昇させる場合を安全性が損なわれる側とする。これにより、オペレータにとっての操作の効率性を向上させることができる。
【００４７】
なお、調節計２からアラームの種別を示すアラームコードを取得するアラーム取得部を図５の操作装置１に設け、アラームコードに基づいて過昇温アラームが発生しているか否かを判定変更処理部２３で判定し、判定変更処理部２３は、待機状態において過昇温アラームが発生していないときにステップＳ２０８と同様に操作量ＭＶの変更を確定するようにしてもよい。
【００４８】
また、本実施の形態では、ヒータによる加熱制御を想定したが、冷却器による冷却制御に本発明を適用することも可能である。この場合は、オペレータから操作量ＭＶの上昇指示があり、待機状態になったときに例えばＰＶ≦ＳＰ、すなわち制御量ＰＶが設定値ＳＰ以下か否かを判定し、制御量ＰＶが設定値ＳＰより大きければ、判定変更処理部２３は、ステップＳ２０８と同様に操作量ＭＶを上昇させる変更を確定させるようにすればよい。調節計２は、冷却器に出力中の操作量ＭＶの値を操作装置１の上昇変更処理部１５から送られた値に変更することになる。
【００４９】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図７は本実施の形態に係る操作装置の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態は、上記発明の原理３に対応する例である。
【００５０】
本実施の形態の操作装置１は、操作機能部１０と、上昇指示入力部１１と、下降指示入力部１２と、上昇変更待機部１３と、上昇変更処理部１５と、下降変更処理部１６と、タッチパネル機能付き表示素子１７と、待機状態においてオペレータがタッチパネル機能付き表示素子１７に表示されている△ボタン１８に連続して触れた経過時間が規定時間以上になったときに、変更確認操作があったものと見なす変更確認入力部１４ａとを備えている。
【００５１】
図８は本実施の形態の操作装置の動作を説明するフローチャートである。図８のステップＳ３００〜Ｓ３０４の処理は、図３のステップＳ１００〜Ｓ１０４と同じなので、説明は省略する。
【００５２】
次に、変更確認入力部１４ａは、オペレータがタッチパネル機能付き表示素子１７に表示された△ボタン１８の箇所に触れることで待機状態になった後も△ボタン１８を押し続けるロングタップ操作を行い、オペレータが△ボタン１８に連続して触れた経過時間が規定時間以上になった場合（図８ステップＳ３０５においてＹＥＳ）、オペレータから変更確認操作があったものと見なす。
【００５３】
上昇変更処理部１５は、オペレータからの変更確認操作があった場合、待機状態を終えて、操作量ＭＶを上昇させる今回の変更を確定させ、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図８ステップＳ３０６）。
【００５４】
なお、参考例および第１の実施の形態の場合には、△ボタン１８または▽ボタン２０を押し続けるロングタップ操作をしたときに操作量ＭＶの表示値が連続的に変化する処理を採用してもよいが、本実施の形態の場合には、ロングタップ操作をしても、操作量ＭＶの表示値が変わり続けることはない。
【００５５】
本実施の形態の場合、オペレータが△ボタン１８または▽ボタン２０に１回触れるタップ操作をしたときに、この△ボタン１８または▽ボタン２０に対応する位の値が１上昇または１下降するだけである。例えば図４（Ａ）、図４（Ｂ）の例で、オペレータが「０３３．３％」と表示されている操作量ＭＶ１の一の位の△ボタン１８に触れると、表示値が「０３４．３％」に変わるが、このまま△ボタン１８を押し続けても表示値は変わらない。操作量ＭＶ１の表示値を更に上げるためには、指先を△ボタン１８から一旦離して、再度△ボタン１８に触れる必要がある。
【００５６】
オペレータが△ボタン１８に連続して触れた経過時間が規定時間未満の場合、待機状態を継続する。この場合は参考例と同様に、上昇変更処理部１５は、変更確認入力部１４ａがオペレータからの変更確認操作を受けると（図８ステップＳ３０７）、操作量ＭＶを上昇させる今回の変更を確定させて、変更された操作量ＭＶの値を確定値として調節計２に送る（図８ステップＳ３０８）。
【００５７】
参考例で説明したとおり、上昇変更待機部１３は、待機状態になってからの経過時間が所定時間を超えた場合、またはオペレータによる戻り操作があった場合、待機状態を解除して、タッチパネル機能付き表示素子１７に表示させている操作量ＭＶの値を変更前の値に戻してもよい。
【００５８】
図８のステップＳ３０９〜Ｓ３１１の処理は、図３のステップＳ１０７〜Ｓ１０９と同じなので、説明は省略する。
こうして、本実施の形態では、オペレータにとっての操作の効率性を向上させることができる。なお、本実施の形態では、発明の原理１と発明の原理３を組み合わせる例について説明しているが、発明の原理２（第１の実施の形態）と発明の原理３を組み合わせるようにしてもよい。
【００５９】
また、参考例および第１、第２の実施の形態では、オペレータに情報を伝える表示手段とオペレータからの操作を受け付ける入力手段とが一体となったタッチパネル機能付き表示素子１７を用いたが、これに限るものではなく、表示手段と入力手段とを別々に設けるようにしてもよい。
【００６０】
参考例で説明した操作装置のうち、操作機能部１０と上昇指示入力部１１と下降指示入力部１２と上昇変更待機部１３と変更確認入力部１４と上昇変更処理部１５と下降変更処理部１６とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。同様に、第１の実施の形態で説明した操作装置のうち、操作機能部１０と上昇指示入力部１１と下降指示入力部１２と上昇変更待機部１３と変更確認入力部１４と上昇変更処理部１５と下降変更処理部１６と設定値取得部２１と制御量取得部２２と判定変更処理部２３とは、コンピュータによって実現することができる。同様に、第２の実施の形態で説明した操作装置のうち、操作機能部１０と上昇指示入力部１１と下降指示入力部１２と上昇変更待機部１３と変更確認入力部１４ａと上昇変更処理部１５と下降変更処理部１６とは、コンピュータによって実現することができる。これらのコンピュータのＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って参考例および第１、第２の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、調節計に使用される操作装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１…操作装置、２…調節計、１０…操作機能部、１１…上昇指示入力部、１２…下降指示入力部、１３…上昇変更待機部、１４，１４ａ…変更確認入力部、１５…上昇変更処理部、１６…下降変更処理部、１７…タッチパネル機能付き表示素子、２１…設定値取得部、２２…制御量取得部、２３…判定変更処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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