(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被噴射物に向けて順次圧縮空気を噴射するエア噴射機構であって、
圧縮空気源に接続され、開閉量を連続的に変更可能な切替弁を有する流量調整手段と、
被噴射物の種類に適したパラメータを出力するパラメータ出力手段と、
前記パラメータ出力手段から出力される前記パラメータに基づき前記パラメータ毎の印加電圧または印加電流を設定し、指令信号が指令入力部に入力されると前記印加電圧または印加電流に基づき、前記切替弁の開閉量を電気的に比例制御する比例制御手段と、を備えることを特徴とするエア噴射機構。
【請求項２】
前記切替弁が、圧電バルブであることを特徴とする請求項１に記載のエア噴射機構。
【請求項３】
搬送路に沿って搬送されるワークのうち不良ワークに所定の処理位置で圧縮空気を噴射するパーツフィーダに適用されるものであって、
不良ワークが前記処理位置に到達するタイミングを求めるタイミング取得手段を備えるとともに、前記パラメータ出力手段が、搬送させるワークの種類に適したパラメータを出力するよう構成され、
前記比例制御手段は、前記タイミング取得手段が求めたタイミングで、前記パラメータに対応する電圧を前記切替弁に印加するよう構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のエア噴射機構。
【請求項４】
搬送路に沿って搬送されるワークのうち不良ワークに所定の処理位置で圧縮空気を噴射するパーツフィーダに適用されるものであって、
不良ワークが前記処理位置に到達するタイミングを求めるタイミング取得手段を備えるとともに、前記パラメータ出力手段が、搬送させるワークの種類に関するデータを入力可能な入力部を有し、前記入力部に入力されたデータに基づいて前記パラメータを生成して出力するよう構成され、
前記比例制御手段は、前記タイミング取得手段が求めたタイミングで、前記パラメータに対応する電圧を前記切替弁に印加するよう構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のエア噴射機構。
【請求項５】
前記切替弁が、圧縮空気源に通ずる第１ポートと、前記搬送路に形成されるエア給排路に通ずる第２ポートとを少なくとも備え、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通状態にする連通位置と、前記第１ポートと前記第２ポートとを非連通状態にする非連通位置との間で切替可能な２ポート以上の切替弁であることを特徴とする請求項３または４に記載のエア噴射機構。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１つに記載のエア噴射機構を用いて、搬送路に沿って搬送される不良ワークに圧縮空気を噴射し、当該不良ワークを前記搬送路から排除あるいは前記搬送路上で反転させて姿勢変更するよう構成されることを特徴とするパーツフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮空気の流量や圧力をデジタル制御可能なエア噴射機構およびパーツフィーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、搬送路上で電子部品等のワーク（チップ）の姿勢判別を行い、不適切な姿勢のワークを搬送路上から排除または搬送路上で反転させて姿勢矯正しつつ、それ以外の適正姿勢のワークを所定の供給先に搬送可能なパーツフィーダが知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
この種のパーツフィーダでは、例えば、図７に示すように、圧縮空気源１１に接続されるレギュレータ１２と、レギュレータ１２の下流に配置される３ポート弁７００と、３ポート弁７００の下流に配置されるチェック弁付きニードル弁（スピードコントローラ、以下「スピコン」とも記載する）５０とを備えるエア噴射機構１５を適用して、不適切な姿勢のワークＷ（不良ワークＷ´）の排除または姿勢矯正を行うことが通例である。
【０００４】
レギュレータ１２は、圧縮空気源１１から供給される圧縮空気の圧力を一定に調整（減圧）するものである。
【０００５】
３ポート弁７００は、レギュレータ１２の出口に通ずる第１ポート１０７ａと、チェック弁付きニードル弁５０を介してパーツフィーダ２のエア給排路２１に通ずる第２ポート１０７ｂと、大気域に通ずる第３ポート１０７ｃとを備える。３ポート弁７００は、非通電時において、スプール１７０内の通路１７１を介して第２ポート１０７ｂと第３ポート１０７ｃとを連通させるとともに、第１ポート１０７ａと第２ポート１０７ｂとを遮断し、レギュレータ１２から供給される圧縮空気を第１ポート１０７ａ付近で閉止する。一方、通電時ではスプール１７０が変位し、スプール１７０内の通路１７３を介して第１ポート７ａと第２ポート１０７ｂとを連通させて、レギュレータ１２から供給される圧縮空気をチェック弁付きニードル弁（以下単に「ニードル弁」とも記載する）５０に供給する。
【０００６】
チェック弁付きニードル弁５０は、圧縮空気の流量を調整し、所定流量の圧縮空気をパーツフィーダ２のエア給排路２１に供給する。また、チェック弁付きニードル弁５０は、３ポート弁７００への通電がＯＦＦに切り替わり、圧縮空気の逆向きの流れが生じた場合に、チェック弁５１側で自由流を生じさせ、３ポート弁７００に向けて圧縮空気を流すことができる。
【０００７】
このようなエア噴射機構１５を用いるパーツフィーダ２では、センサ６５でワークＷを検知するとともに、判定機能付きのセンサアンプ６８から、不良ワークＷ´が所定の処理位置Ｐに到達するタイミングで信号が出力され、３ポート弁７００の電磁ソレノイド１７２に電圧を印加して３ポート弁７００を開閉（ＯＮ・ＯＦＦ）させてエア給排路２１から処理位置Ｐにある不良ワークＷ´に圧縮空気を噴射し、それにより不良ワークＷ´を搬送路２０上から排除、あるいは搬送路２０上で反転させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１５−３０５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、パーツフィーダ２では、ワークＷのサイズにより、反転または排除に最適な圧縮空気の流量や圧力が異なるので、対象となるワークＷおよび３ポート弁７００の開放時間にマッチした流量および圧力になるようニードル弁５０を調整することが考えられる。
【００１０】
このとき、ニードル弁５０の調整では、ダイヤル式スピコンや、流量センサまたは圧力センサを使い、デジタル管理による再現可能なものとすることが望ましいが、微細な調整のため、ダイヤル式スピコンでは適切に調整しきれない。また、近年のワークＷの微小化に伴って、最適な圧縮空気の流量や圧力も微小化（低下）しており、流量センサや圧力センサでは測定値が小さすぎて正確に検知できない（流量センサや圧力センサなどでのセンシングが難しい）。
【００１１】
そのため、対象となるワークＷの動きによる現合合わせを行うためにニードル弁５０を手動によって調整することが一般的であるが、手動で微調整を行うと、感覚で調整することになるので同一設定への再現性が低い。そのため、ワークＷの品種毎にニードル弁５０を再調整しても、もとの設定値には戻せず、圧縮空気の流量や圧力を正確に管理できないという問題がある。
【００１２】
さらに、複数種類（品種）のワークＷを同一のパーツフィーダ２で流す多品種対応があるが、エア噴射機構１５を適用する構成では、搬送するワークＷの品種を変更する度に、予め品種ごとに調整したニードル弁５０に交換するか、都度ニードル弁５０を再調整する必要があり、作業効率が悪いという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような課題を有効に解決することを目的としており、圧縮空気の流量や圧力をデジタル管理可能で、かつ作業効率の低下を防止できるエア噴射機構およびパーツフィーダを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は以上のような問題点を鑑み、次のような手段を講じたものである。
【００１５】
すなわち、本発明のエア噴射機構は、複数の被噴射物に向けて順次圧縮空気を噴射するものであって、圧縮空気源に接続され、開閉量を連続的に変更可能な切替弁を有する流量調整手段と、被噴射物の種類に適したパラメータを出力するパラメータ出力手段と、前記パラメータ出力手段から出力される前記パラメータに基づき前記パラメータ毎の印加電圧または印加電流を設定し、指令信号が指令入力部に入力されると前記印加電圧または印加電流に基づき、前記切替弁の開閉量を電気的に比例制御する比例制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
このような構成であると、パラメータ出力手段から出力されるパラメータに基づき、流量調整手段が有する切替弁への印加電圧または印加電流が設定され、その印加電圧または印加電流で比例制御手段により切替弁の開閉量を比例制御できるので、切替弁から出力される圧縮空気の流量や圧力を被噴射物の種類に適したものに設定できる。そのため、切替弁から出力される圧縮空気の流量を適切に微調整できるとともに、同一設定への再現性を有し、エア噴射機構から噴射される圧縮空気の流量や圧力を正確にデジタル管理できる。また、多品種対応の場合に、搬送させる被噴射物の種類を変更する毎に、異なる設定がなされた切替弁に付け替える必要がなく、作業効率の低下を防止できる。
【００１７】
とりわけ、圧縮空気の噴射の応答性を良好にするためには、前記切替弁が、圧電バルブであることが好適である。
【００１８】
特に、搬送路に沿って搬送されるワークのうち不良ワークに所定の処理位置で圧縮空気を噴射するパーツフィーダに適用される場合に、ワークの種類に適した流量や圧力の圧縮空気を適切なタイミングで不良ワークに噴射するためには、不良ワークが前記処理位置に到達するタイミングを求めるタイミング取得手段を備えるとともに、前記パラメータ出力手段が、搬送させるワークの種類に適したパラメータを出力するよう構成され、前記比例制御手段は、前記タイミング取得手段が求めたタイミングで、前記パラメータに対応する電圧を前記切替弁に印加するよう構成されることが好ましい。
【００１９】
あるいは、不良ワークが前記処理位置に到達するタイミングを求めるタイミング取得手段を備えるとともに、前記パラメータ出力手段が、搬送させるワークの種類に関するデータを入力可能な入力部を有し、前記入力部に入力されたデータに基づいて前記パラメータを生成して出力するよう構成され、前記比例制御手段は、前記タイミング取得手段が求めたタイミングで、前記パラメータに対応する電圧を前記切替弁に印加するよう構成されることが好ましい。
【００２０】
圧縮空気を噴射するためには、前記切替弁が、圧縮空気源に通ずる第１ポートと、前記搬送路に形成されるエア給排路に通ずる第２ポートとを少なくとも備え、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通状態にする連通位置と、前記第１ポートと前記第２ポートとを非連通状態にする非連通位置との間で切替可能な２ポート以上の切替弁であることが必要である。特に、圧縮空気の立下がりを早めて圧縮空気の噴射の応答性を一層良好にするためには、前記切替弁が、大気域に通じる第３ポートをさらに備え、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通させる連通位置と、前記第２ポートと前記第３ポートとを連通させる非連通位置としての大気開放位置との間で切替可能な３ポートの切替弁であることが好適である。
【００２１】
さらに、噴射される圧縮空気の流量や圧力を正確にデジタル管理できるとともに、多品種対応の場合に作業効率の低下を防止できるパーツフィーダを実現するためには、上記エア噴射機構を用いて、搬送路に沿って搬送される不良ワークに圧縮空気を噴射し、当該不良ワークを前記搬送路から排除あるいは前記搬送路上で反転させて姿勢変更するよう構成されることが好適である。
【発明の効果】
【００２２】
以上、説明した本発明によれば、１つの切替弁で圧縮空気の流量や圧力を微調整できるとともに、同一設定への再現性を有し、噴射される圧縮空気の流量や圧力を正確にデジタル管理可能で、さらに多品種対応の場合に被搬送物の種類毎に異なる設定がなされた切替弁に交換する必要がなく、作業効率が低下することを防止できるエア噴射機構およびパーツフィーダを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るエア噴射機構をパーツフィーダに適用した状態で示す模式図。
【図２】圧縮空気の噴射時のエア噴射機構を部分的に示す模式図。
【図３】本発明の変形例を示す図。
【図４】本発明の他の変形例を示す図。
【図５】本発明のさらに他の変形例を示す図。
【図６】本発明のさらに他の変形例を示す図。
【図７】従来の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２５】
図１に示すように、本発明の一実施形態であるエア噴射機構１は、パーツフィーダ２に適用される。パーツフィーダ２は、搬送路２０に沿って複数の被搬送物としてのワークＷを搬送するものであり、搬送されるワークＷを撮像するカメラ６５により得られる画像データに基づいてワークＷの姿勢等を判別して良否を判別し、不良と判別された不良ワークＷ´をカメラ６５よりも搬送方向下流側に設定された処理位置Ｐで搬送路２０上から排除または搬送路２０上で反転させて姿勢矯正するものである。搬送路２０にはエア給排路２１が側壁２０ａを貫通して形成されており、エア噴射機構１は、エア給排路２１を介して処理位置Ｐに向けて圧縮空気を噴射するが、このとき、本実施形態では、搬送させるワークＷの種類、具体的にはワークＷの品種に適した流量や圧力の圧縮空気で不良ワークＷ´を処理する。
【００２６】
エア噴射機構１は、エア回路１０と、上位コントローラ４と、画像処理装置６と、圧電バルブドライバ５とを備える。
【００２７】
エア回路１０は、圧縮空気源１１（工場設備）に接続され、圧縮空気源１１から供給された圧縮空気を一定値に減圧するレギュレータ１２と、レギュレータ１２の下流に配置され、レギュレータ１２で減圧された圧縮空気の流量を調整する２ポート弁３とを備える。圧縮空気源１１とレギュレータ１２とは第１エア配管経路１３ａで接続され、レギュレータ１２と２ポート弁３とは第２エア配管経路１３ｂで接続され、２ポート弁３とエア給排路２１とは第３エア配管経路１３ｃで接続される。本実施形態では２ポート弁３が流量調整手段３Ａを構成する。
【００２８】
切替弁としての２ポート弁３は、第２エア配管経路１３ｂすなわちレギュレータ１２の出口に通ずる第１ポート３ａと、第３エア配管経路１３ｃすなわちパーツフィーダ２のエア給排路２１に通ずる第２ポート３ｂとを備える。２ポート弁３は、第１ポート３ａおよび第２ポート３ｂをそれぞれ閉止させる図１に示す非連通位置としての閉塞位置Ｌと、作動部３０の切替部３３を介して第１ポート３ａと第２ポート３ｂとを内部で連通させる図２に示す連通位置Ｒとの間で切替え可能に構成される。
【００２９】
この切替えは、２ポート弁３に備わる電気的入力部３２への通電（電圧印加）により、作動部３０が変位することで行われ、電気的入力部３２への非通電時には、図１に示す閉塞位置Ｌとなり、レギュレータ１２から２ポート弁３に供給された圧縮空気が第１ポート３ａ付近で閉止される。一方、電気的入力部３２への通電時には、作動部３０が変位して図２に示す連通位置Ｒとなり、レギュレータ１２から供給された圧縮空気を第１ポート３ａから入力させて切替部３３を介して第２ポート３ｂより出力させ、エア給排路２１に給気する。これによりエア給排路２１から処理位置Ｐに向けて圧縮空気が噴射される。そして、電気的入力部３２への通電が停止されると、作動部３０が元の位置に向けて変位して図１に示す閉塞位置Ｌに戻り、エア噴射回路１０からの噴射が停止される。
【００３０】
また、作動部３０の変位量すなわち２ポート弁３の開閉量（開放量）は、電気的入力部３２に印加される電圧に応じて連続的に変更可能であり、印加電圧に対して開閉量が一義的に決まるので、エア給排路２１から供給する圧縮空気の流量および圧力を微調整できる。また、２ポート弁３は駆動源にピエゾ素子を用いた弁である圧電バルブであり、例えば電磁弁や比例弁に比べて電圧が印加されてからの応答性が素早い（高速応答）。
【００３１】
パラメータ出力手段としての上位コントローラ４は、ワークＷの種類、具体的にはワークＷの品種に適したドライバ設定の種々のパラメータを保持しており、搬送路２０を搬送させるワークＷの品種に最適なパラメータを画像処理装置６に出力する。
【００３２】
画像処理装置６は、上位コントローラ４から出力されたパラメータを圧電バルブドライバ５の通信入出力部５１に送信するドライバ設定部６４と、カメラ６５を用いて得られた画像データを処理する画像処理部６１と、画像処理部６１で処理したデータに基づきワークＷの姿勢等の良否を判別する画像判別部６２と、画像判別部６２が不良と判別したワークＷである不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングに係るデータ（タイミングデータ）を排除反転指令として圧電バルブドライバ５の指令入力部５４に出力する指令部６３とを備える。不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングは、例えば前記画像データを用いて算出される不良ワークＷ´の搬送速度等から求められ、画像処理装置６は、不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングを求めるタイミング取得手段としても機能する。
【００３３】
比例制御手段としての圧電バルブドライバ５は、通信入出力部５１を介してパラメータが入力されると、パラメータ毎の比例制御に関する種々のデータ、例えばパラメータ毎の印加電圧を予め保持する印加電圧設定部５３から対応する印加電圧を取り出して、２ポート弁３への印加電圧（比例制御）を設定する。同様に、印加電圧設定部５３を介して、指令入力部５４の信号に対し同期出力・ワンショット出力の切替、立ち上がり、立ち下り等の電圧出力波形の設定、ワンショットパルス時間の設定、指令入力部５４や２ポート弁３の機構に合わせたノーマルクローズ・ノーマルオープンの切替等もパラメータ毎に設定する。
【００３４】
また、圧電バルブドライバ５は、指令入力部５４を介して指令部６３から入力されたタイミングデータに基づき、出力制御部５５および電圧出力回路５６を介して、印加電圧設定部５３で設定された電圧を２ポート弁３の電気的入力部３２に印加する。このように同一の品種のワークＷが搬送されている間は、圧縮空気の噴射毎に印加電圧のフィードバック制御を行わず、印加電圧を決め打ちすることで、噴射の応答性を早くすることができる。
【００３５】
このような構成では、ワークＷの搬送が開始されると、上位コントローラ４からワークＷの品種に適したパラメータがドライバ設定部６４を介して圧電バルブドライバ５に出力され、印加電圧設定部５３でワークＷの品種に最適な印加電圧等が設定される。画像処理装置６は、カメラ６５を用いて得た画像データに基づいて画像判定部６２でワークＷの姿勢等の良否を判別するとともに不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングを求め、指令部６３を介してタイミングデータを圧電バルブドライバ５に出力する。圧電バルブドライバ５は、タイミングデータが指令入力部５４を介して入力されるたびに、印加電圧設定部５３で設定されたワンショットパルス時間の間、印加電圧を２ポート弁３の電気的入力部３２に与える。または、同期出力に設定されている場合は、画像処理装置６の指令部６３から信号が出力されている間、印加電圧を入力部３２に与える。
【００３６】
２ポート弁３は、印加電圧に応じて作動部３０が連続的に変位し、ワークＷの品種に最適な流量および圧力で圧縮空気を出力させる。２ポート弁３から出力された圧縮空気は、エア給排路２１を介して不良ワークＷに到達し、不良ワークＷを搬送路２０上から適切に排除または搬送路２０上で適切に反転させて姿勢変更させる。このようにワークＷの品種に最適な流量および圧力で圧縮空気を噴射することで、例えばパーツフィーダ２の整列能力を好適な状態に維持することができる。
【００３７】
以上のように本実施形態のエア噴射機構１は、複数の被噴射物としてのワークＷに向けて順次圧縮空気を噴射するものであって、圧縮空気源１１に接続され、開閉量を連続的に変更可能な切替弁としての２ポート弁３を有する流量調整手段３Ａと、ワークＷの種類、具体的には品種に適したパラメータを出力するパラメータ出力手段としての上位コントローラ４と、パラメータに対応する印加電圧に基づき、２ポート弁３の開閉量を比例制御する比例制御手段としての圧電バルブドライバ５と、を備えるよう構成される。
【００３８】
このような構成であると、上位コントローラ４から出力されるパラメータに基づき、流量調整手段３Ａが有する２ポート弁３への印加電圧が設定され、その印加電圧で圧電バルブドライバ５により２ポート弁３の開閉量を比例制御できるので、２ポート弁３から出力される圧縮空気の流量や圧力をワークＷの品種に適したものに設定できる。そのため、２ポート弁３から出力される圧縮空気の流量を適切に微調整できるとともに、同一設定への再現性を有し、エア噴射機構１から噴射される圧縮空気の流量や圧力を正確にデジタル管理できる。また、多品種対応（多品種共用パーツフィーダ時）の場合に、搬送させるワークＷの品種を変更する毎に、異なる設定がなされた２ポート弁３に付け替える必要がなく、切換作業を効率化でき、作業効率の低下を防止できる。
【００３９】
特に、２ポート弁３が圧電バルブであることから、圧縮空気の噴射の応答性を良好にできる。
【００４０】
さらに、搬送路２０に沿って搬送されるワークＷのうち不良ワークＷ´に所定の処理位置Ｐで圧縮空気を噴射するパーツフィーダ２に適用されるものであって、不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングを求めるタイミング取得手段としての画像処理装置６を備えるとともに、上位コントローラ４が、搬送させるワークＷの品種に適したパラメータを出力するよう構成され、圧電バルブドライバ５は、画像処理装置６が求めたタイミングで、パラメータに対応する電圧を２ポート弁３に印加するよう構成されることから、上位コントローラ４から出力されるパラメータに基づいて２ポート弁３の開閉量を比例制御でき、圧電バルブドライバ５により、ワークＷの品種に適した流量および圧力の圧縮空気を適切なタイミングで不良ワークＷ´に噴射することが可能となる。
【００４１】
切替弁は、圧縮空気源１１に通ずる第１ポート３ａと、搬送路２０に形成されるエア給排路２１に通ずる第２ポート３ｂとを備え、第１ポート３ａと第２ポート３ｂとを連通状態にする連通位置Ｒと、第１ポート３ａと第２ポート３ｂとを非連通状態にする非連通位置としての閉塞位置Ｌとの間で切替可能な２ポート弁３であるように２ポート以上の切替弁であることが必要である。さらに後述するように、前記切替弁が、大気域に通じる第３ポート弁をさらに備え、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通させる連通位置と、前記第２ポートと前記第３ポートとを連通させる非連通位置としての大気開放位置とに切替可能な３ポートの切替弁であることで、圧縮空気の圧力の立ち下がりを早めて圧縮空気の噴射の応答性を一層良好にする。
【００４２】
また、パーツフィーダ２は、本実施形態のエア噴射機構１を用いて、搬送路２０に沿って搬送される不良ワークＷ´に圧縮空気を噴射し、当該不良ワークＷ´を搬送路２０から排除あるいは搬送路２０上で反転させて姿勢変更するよう構成されることから、１つの２ポート弁３を用いて噴射される圧縮空気の流量や圧力を微調整可能で、同一設定への再現性を有し、噴射される圧縮空気の流量および圧力を正確に管理できるとともに、多品種対応の場合に、搬送させるワークＷの品種を変更する毎に、異なる設定がなされた２ポート弁３に交換する必要がなく、作業効率が低下することを防止できる。
【００４３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。以下、前述した構成と同様のものについては同じ符号を付して説明を省略する。
【００４４】
例えば、本実施形態では上位コントローラ４からワークＷの品種毎に異なるパラメータが出力されたが、図３に示すように、上位コントローラ４から搬送させるワークＷの品種データが出力される構成であってもよい（上位コントローラ４は品種指定のみ）。この場合、画像処理装置６が、品種データ毎に適したパラメータを保持するパラメータ設定部６６を備え、パラメータ設定部６６によって、上位コントローラ４から出力された品種データに適したパラメータをドライバ設定部６４を介して圧電バルブドライバ５に出力する構成とすることが考えられる。なお、この構成では、画像処理装置６がパラメータ出力手段を構成する。
【００４５】
また、上位コントローラ４からパラメータを出力する構成に限定されず、図４に示すように、圧電バルブドライバ５が備える入力部としての設定入力部５２から、搬送させるワークＷの品種に関するデータを手動で入力可能とし（パネル入力）、設定入力部５２に入力されたデータから品種毎に適したパラメータを生成して、印加電圧設定部５３で印加電圧等を設定する構成としてもよい。なお、この構成では、圧電バルブドライバ５がパラメータ出力手段を構成する。また、カメラ６５および画像処理装置６の代わりに、センサ６７および判定機能付きのセンサアンプ６８を用いる構成であってもよい。図４に示す構成では、センサ６７がワークＷを検知するとともに、センサ６７の検知結果に基づいて、不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングを求めるタイミング取得手段としてのセンサアンプ６８が排除反転指令を指令入力部５４に出力するよう構成され、排除反転指令が指令入力部５４に入力されるたび、印加電圧設定部５３を介して設定された印加電圧が２ポート弁３に印加される。
【００４６】
このように、搬送路２０に沿って搬送される不良ワークＷ´に所定の処理位置Ｐで圧縮空気を噴射するパーツフィーダ２に適用されるものであって、不良ワークＷ´が処理位置Ｐに到達するタイミングを求めるタイミング取得手段としてのセンサアンプ６８を備えるとともに、パラメータ出力手段としての圧電バルブドライバ５が、搬送させるワークＷの品種に関するデータを入力可能な入力部としての設定入力部５２を有し、設定入力部５２に入力されたデータに基づいて前記パラメータを生成して出力するよう構成され、圧電バルブドライバ５は、センサアンプ６８が求めたタイミングで、前記パラメータに対応する電圧を２ポート弁３に印加するよう構成されることから、設定入力部５２に入力されたデータに基づいて２ポート弁３の開閉量を比例制御できるとともに、圧電バルブドライバ５により、ワークＷの品種に適した流量や圧力の圧縮空気を適切なタイミングで不良ワークＷ´に噴射することが可能になる。
【００４７】
なお、図４に示す構成において、判定機能付きのセンサアンプ６８に代えて、判定機能を有さないセンサアンプおよびプログラマブルコントローラを用いてもよい。
【００４８】
さらに、上記実施形態では流量調整手段３Ａの有する切替弁として２ポート弁３が用いられたが、図５に示すような３ポート弁７が用いられてもよい。あるいは、４ポート以上の弁が用いられてもよい。
【００４９】
３ポート弁７は、第２エア配管経路１３ｂすなわちレギュレータ１２の出口に通ずる第１ポート７ａと、第３エア配管経路１３ｃすなわちパーツフィーダ２のエア給排路２１に通ずる第２ポート７ｂと、大気域に通ずる第３ポート７ｃとを備える。３ポート弁７は、電気的入力部３２への通電時に、作動部７０の切替部７３を介して第１ポート７ａと第２ポート７ｂを内部で連通させる図５（ｂ）に示す連通位置Ｒと、電気的入力部３２への非通電時に、作動部７０の切替部７１を介して第２ポート７ｂと第３ポート７ｃとを内部で連通させるとともに第１ポート７ａと第２ポート７ｂとを非連通状態にする同図（ａ）に示す非連通位置としての大気開放位置Ｎとの間で切替え可能に構成される。
【００５０】
図５（ａ）に示す大気開放位置Ｎでは、レギュレータ１２から３ポート弁７に供給された圧縮空気が第１ポート７ａ付近で閉止されるとともに、第２ポート７ｂが大気開放される。一方、同図（ｂ）に示す連通位置Ｒでは、レギュレータ１２から供給された圧縮空気を第１ポート７ａから入力させて切替部７３を介して第２ポート７ｂより出力させ、エア給排路２１に給気する。これによりエア給排路２１から処理位置Ｐに向けて圧縮空気が噴射される。
【００５１】
そして、電気的入力部３２への通電が停止されると、作動部７０が元の位置に向けて変位して同図（ａ）に示す大気開放位置Ｎに戻り、このときの第３エア配管経路１３ｃ内の残圧は、エア給排路２１から大気中に開放されるとともに、３ポート弁７の第２ポート７ｂから切替部７１を介して第３ポート７ｃより大気開放される。そのため、３ポート弁７を図５（ｂ）に示す連通位置Ｒから同図（ａ）に示す大気開放位置Ｎに戻した直後には、３ポート弁７とパーツフィーダ２のエア給排路２１との間の第３エア配管経路１３ｃ内の残圧が、エア給排路２１および３ポート弁７の両方から適切に大気開放されるので、圧縮空気の圧力の立ち下がりを早めることができる。
【００５２】
このように、切替弁が、圧縮空気源１１に通ずる第１ポート７ａと、搬送路２０に形成されるエア給排路２１に通ずる第２ポート７ｂと、大気域に通ずる第３ポート７ｃとを少なくとも備え、第１ポート７ａと第２ポート７ｂとを連通させる連通位置Ｒと、第２ポート７ｂと第３ポート７ｃとを連通させるとともに第１ポート７ａと第２ポート７ｂとを非連通状態にする非連通位置としての大気開放位置Ｎとの間で切替可能な３ポート以上の３ポート弁７であることから、噴射後の第３エア配管経路１３ｃ内の残圧が、エア給排路２１から大気中に開放されるとともに、３ポート弁７の第２ポート７ｂから切替部７１を介して第３ポート７ｃより大気開放されるので、噴射後の排気をエア給排路２１および３ポート弁７の両方から行うことができ、圧縮空気の噴射の立ち下がりを早めて圧縮空気の圧力の応答性をより一層良好にできる。
【００５３】
なお、上記実施形態では上述のように電気的入力部３２への非通電時に大気開放されるノーマルクローズタイプの３ポート弁７が使用されるが、電気的入力部３２への非通電時に閉止状態となるノーマルオープンタイプの３ポート弁７が使用されてもよい。ノーマルオープンとノーマルクローズとの切替は、図４等に示す印加電圧設定部５３で行われる。
【００５４】
また、上記実施形態では上位コントローラ４からワークＷの品種毎に異なるパラメータを出力するが、上位コントローラ４から品種およびロット毎に異なるパラメータを出力する構成としてもよい。ワークＷは同品種であっても、ロット毎に外形、表面摩擦が若干異なるので、同一の設定であっても、反転の動き、排除の動きに違いが生じ、パーツフィーダ２の整列能力の低下を招くおそれがあるが、ワークＷの品種およびロット毎に異なるパラメータを出力可能な構成であることで、噴射する圧縮空気の流量や圧力を一層最適にすることができる。
【００５５】
また、上記実施形態では２ポート弁３あるいは３ポート弁７の代わりに、図６に示すような切替弁としての比例弁７５およびエア配管経路１３ｄを介して比例弁７５に接続される高速の電磁弁７６が用いられてもよい。すなわち、流量調整手段３Ｂが比例弁７５と電磁弁７６とで構成されてもよい。この構成では、上記圧電バルブドライバ５とほぼ同様の構成である比例制御手段としての電磁バルブドライバ５´から比例弁７５の図示しないコイルに印加される電流で比例弁７５の開閉量を比例制御して、比例弁７５から出力される圧縮空気の流量や圧力をデジタル管理するとともに、タイミング取得手段が求めたタイミングで電磁バルブドライバ５´により電磁弁７６を開閉させて圧縮空気を噴射する。
【００５６】
さらに、本実施形態のエア噴射機構１はパーツフィーダ２に適用されたが、これに限定されず、外観検査機、測定分別機およびテーピング機などに適用されてもよい。
【００５７】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１・・・エア噴射機構
２・・・パーツフィーダ
３・・・２ポート弁（切替弁、圧電バルブ）
３ａ・・・第１ポート
３ｂ・・・第２ポート
３Ａ，３Ｂ・・・流量調整手段
４・・・上位コントローラ（パラメータ出力手段）
５・・・圧電バルブドライバ（比例制御手段、パラメータ出力手段）
５´・・・電磁バルブドライバ（比例制御手段）
６・・・画像処理装置（タイミング取得手段、パラメータ出力手段）
７・・・３ポート弁（切替弁、圧電バルブ）
７ａ・・・第１ポート
７ｂ・・・第２ポート
７ｃ・・・第３ポート
１０・・・エア回路
１１・・・圧縮空気源
１２・・・レギュレータ
１３ａ・・・第１エア配管経路
１３ｂ・・・第２エア配管経路
１３ｃ・・・第３エア配管経路
２０・・・搬送路
２０ａ・・・側壁
２１・・・エア給排路
３０・・・作動部
３２・・・電気的入力部
３３・・・切替部
５１・・・通信入出力部
５２・・・設定入力部（入力部）
５３・・・印加電圧設定部
５４・・・指令入力部
５５・・・出力制御部
５６・・・電圧出力回路
６１・・・画像処理部
６２・・・画像判別部
６３・・・指令部
６４・・・ドライバ設定部
６５・・・カメラ
６８・・・センサアンプ（タイミング取得手段）
Ｐ・・・処理位置
Ｒ・・・連通位置
Ｌ・・・閉塞位置（非連通位置）
Ｎ・・・大気開放位置（非連通位置）
Ｗ・・・ワーク（被噴射物）
Ｗ´・・・不良ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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