(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表されるフッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と、下記一般式（３）で表される親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）とを、質量比〔（Ａ）／（Ｂ）〕で１０／９０〜６０／４０となる割合で重合させて得られることを特徴とするフッ素系界面活性剤。
【化１】
0006628072.tif 000007
（式中Ｒｆはフッ素原子が直接結合した炭素原子の数が４〜６であるフッ素化アルキル基である。ｍは１〜６である。）
【化３】
0006628072.tif 000008
（式中、ｎは１〜６である。）
【請求項２】
前記一般式（１）のフッ素化アルキル基が直鎖状のフッ素化アルキル基である請求項１記載のフッ素系界面活性剤。
【請求項３】
前記一般式（３）のアルキレン基が直鎖状のアルキレン基である請求項１記載のフッ素系界面活性剤。
【請求項４】
前記フッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）が２−（パーフルオロヘキシル）エチルビニルエーテルである請求項１記載のフッ素系界面活性剤。
【請求項５】
前記親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）が、ヒドロキシエチルビニルエーテルである請求項１記載のフッ素系界面活性剤。
【請求項６】
水溶性である請求項１〜５のいずれか１項記載のフッ素系界面活性剤。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載のフッ素系界面活性剤を含有することを特徴とする組成物。
【請求項８】
水性のコーティング材である請求項７記載の組成物。
【請求項９】
フォトリソグラフィー用またはカラーフィルター製造用のリンス液である請求項７記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面平滑性が求められる各種塗料分野、あるいは精密塗工が要求されるコーティング分野の各種コーティング材、レジスト材料等のレベリング剤として好適に用いられ、また、フォトリソグラフィーによる半導体の製造に用いられる洗浄液（リンス液）等の水溶液へも好適に添加できるフッ素系界面活性剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種コーティング分野において、得られる塗膜の均質性及び平滑性を向上させる目的で界面活性剤が使用されている。具体的には、例えば、半導体の回路を形成する為に用いられるレジスト材料には界面活性剤がレベリング剤として添加されている。また、例えば、半導体の回路を形成する際に用いる洗浄剤（リンス液）は、形成された回路を良好に洗浄するために表面張力が低いことが要求されるが、この要求を満たすために洗浄剤（リンス液）には界面活性剤が添加されている。
【０００３】
界面活性剤には、フッ素系、炭化水素系、シリコン系等種々の種類がある。中でも、フッ素系の界面活性剤は、表面張力低下特性に優れるため、前記レジスト材料やリンス液に好適に添加される。
【０００４】
表面張力を低下させる能力に優れレベリング剤としての使用や、リンス液への添加が好適なフッ素系界面活性剤としては、例えば、炭素原子数が４〜６のフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有する単量体（Ａ）と、ポリオキシアルキレン鎖を有する単量体（Ｂ）とを共重合させて得られるフッ素系の界面活性剤が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。具体的には、該特許文献１には、炭素原子数が４〜６のフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有する単量体（Ａ）として該フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、ポリオキシアルキレン鎖を有する単量体（Ｂ）として、ポリオキシアルキレン鎖を有する（メタ）アクリル酸エステルとを共重合させて得られるフッ素系界面活性剤が開示されている。
【０００５】
近年、使用環境や自然環境を考慮して、各種コーティング材も水性化が進行中であり、これに伴い界面活性剤も水系の組成物にも使用できる界面活性剤の需要が高まりつつある。このような需要に対し、前記特許文献１で開示されたフッ素系界面活性剤は、主鎖骨格中にあるエステル結合が加水分解する。その為、特許文献１に開示されたフッ素系界面活性剤を用いて得られる水性のコーティング材や洗浄剤（リンス液）は、時間が経過するにつれて表面張力を低い状態で維持することが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０６２４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、水系の組成物にも使用でき、水中で加水分解されにくく、水性のコーティング材や洗浄剤（リンス液）等の水系の組成物を長期間にわたって表面張力を低い状態で維持することが可能なフッ素系界面活性剤、該フッ素系界面活性剤を含む組成物を提供する事にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、鋭意研究した結果、炭素原子の数が１〜６であるフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）とを重合させて得られるフッ素系界面活性剤は、エステル結合を含まないために、該結合の加水分解が起こりえない事、水性のコーティング材や洗浄剤（リンス液）等の水系の組成物に添加した際に、これらの表面張力を長期にわたって低い状態で維持できること等を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明は、フッ素原子が直接結合した炭素原子の数が１〜６であるフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と、親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）とを重合させて得られることを特徴とするフッ素系界面活性剤を提供するものである。
【００１０】
また、本発明は、前記フッ素系界面活性剤を含有することを特徴とする組成物を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のフッ素系界面活性剤は、加水分解の影響を受けることがない。その為、水性の溶液に添加することで長期にわたって表面張力を低い状態に維持することができる。従って、本発明のフッ素系界面活性剤は水性のコーティング材や、リンス液への添加剤として好適に使用できる。また、顔料を使用した水性インキに本発明のフッ素系界面活性剤を添加することで、顔料の分散性を向上させるだけでなく、樹脂フィルム等のインキ非浸透面で筆跡定着性が向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施例１で得られたフッ素系界面活性剤（１）の１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルのチャート図である。
【図２】図２は、実施例１で得られたフッ素系界面活性剤（１）のＩＲスペクトルのチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明のフッ素系界面活性剤はフッ素原子が直接結合した炭素原子の数が１〜６であるフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と、親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）とを共重合させて得られることを特徴とする。
【００１４】
前記ビニルエーテル化合物（Ａ）中のフッ素原子が直接結合した炭素原子の数が１〜６のフッ素化アルキル基を用いることで生体蓄積性の懸念が低いフッ素系界面活性剤が得られる。前記フッ素化アルキル基の中でも、表面張力低下特性に優れることから炭素原子の数が４〜６であるフッ素化アルキル基が好ましい。
【００１５】
前記フッ素化アルキル基はアルキル基が有する水素原子の一部がフッ素原子に置換された部分フッ素化アルキル基でも良いし、水素原子の全部がフッ素原子に置換されたパーフルオロアルキル基でも良い。またはフッ素化アルキレンエーテル基でも良い。更に、フッ素化アルキル基中の炭素原子が不飽和結合であるものでも良い。前記フッ素化アルキル基の中でも表面張力低下特性に優れるフッ素系界面活性剤となることからパーフルオロアルキル基が好ましい。
【００１６】
前記フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基は直鎖状のものでも、分岐状のものでも良い。中でも、水との親和性が高いことから直鎖状のフッ素化アルキル基が好ましい。
【００１７】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ａ）は、例えば、下記一般式（１）で表される化合物を好ましく例示することができる。
【００１８】
【化１】
0006628072.tif 000002
（式中Ｒｆはフッ素原子が直接結合した炭素原子の数が１〜６であるフッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基である。ｍは１〜６である。）
【００１９】
前記一般式（１）において、ｍは水中でも加水分解されにくく、水性のコーティング材や洗浄剤（リンス液）を長期間にわたって表面張力を低い状態で維持することが可能な界面活性剤が得られ、しかも、入手が容易なことから１〜３が好ましい。
【００２０】
前記一般式（１）において、Ｒｆは、例えば、下記の構造を好ましく例示することができる。
【００２１】
【化２】
0006628072.tif 000003
【００２２】
〔上記式（Ｒｆ−１）及び（Ｒｆ−２）中のｎは１〜６の整数を表す。上記式（Ｒｆ−３）中のｎは２〜６の整数を表す。上記式（Ｒｆ−４）中のｎは４〜６の整数を表す。上記式（Ｒｆ−５）中のｍは１〜５の整数であり、ｎは０〜４の整数であり、かつｍ及びｎの合計は１〜５である。上記式（Ｒｆ−６）中のｍは０〜４の整数であり、ｎは１〜４の整数であり、ｐは０〜４の整数であり、かつｍ、ｎ及びｐの合計は１〜５である。〕
【００２３】
前記一般式（１）で表される化合物としては、例えば、（パーフルオロヘキシル）メチルビニルエーテル、２−（パーフルオロヘキシル）エチルビニルエーテル、３−（パーフルオロヘキシル）プロピルビニルエーテル等を好ましく例示することができる。
【００２４】
前記一般式（１）で表される化合物の中でも、表面張力を低くする能力に優れるフッ素系界面活性剤が得られ、且つ、入手も容易であることから２−（パーフルオロヘキシル）エチルビニルエーテルがより好ましい。
【００２５】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ａ）は、単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００２６】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ｂ）は親水性である。本発明において、ビニルエーテル化合物が親水性か否かは、水に対する溶解度を根拠に判断する。具体的には、２５℃の水１００ｇに対して１０ｇ以上溶解できるビニルエーテル化合物を本発明では親水性のビニルエーテル化合物（B）として用いることができる。
【００２７】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ｂ）は、例えば、下記一般式（２）
【００２８】
【化３】
0006628072.tif 000004
（式中Ｒはアルキレン基である。）
で表される化合物を好ましく例示することができる。
【００２９】
前記一般式（２）中のアルキレン基は、例えば、直鎖状のアルキレン基、分岐状のアルキレン基、環状のアルキレン基等が挙げられる。アルキレン基の中でも、直鎖状のアルキレン基が好ましい。
【００３０】
前記一般式（２）で表され、且つ、直鎖状のアルキレン基を有するビニルエーテル化合物としては、例えば、下記一般式（３）
【００３１】
【化４】
0006628072.tif 000005
（式中、ｎは１〜６である。）
で表される化合物を好ましく例示することができる。
【００３２】
前記一般式（３）で表されるビニルエーテル化合物としては、例えば、２-ヒドロキシエチルビニルエーテル、３-ヒドロキシプロピルビニルエーテル、４-ヒドロキシブチルビニルエーテル、５-ヒドロキシペンチルビニルエーテル、６-ヒドロキシヘキチルビニルエーテル、が挙げられる。
【００３３】
前記一般式（２）で表され、且つ、分岐状のアルキレン基を有するビニルエーテル化合物としては、例えば、１-ヒドロキシプロピルビニルエーテル、２-ヒドロキシプロピルビニルエーテル、１-ヒドロキシブチルビニルエーテル、２-ヒドロキシブチルビニルエーテル、３-ヒドロキシブチルビニルエーテル、３-ヒドロキシ-２-メチルプロピルビニルエーテル、４-ヒドロキシ-２-メチルブチルビニルエーテル等が挙げられる。
【００３４】
前記一般式（２）で表され、且つ、環状のアルキレン基を有するビニルエーテル化合物としては、例えば、４-ヒドロキシシクロヘキシルビニルエーテル、シクロヘキサン-１，４-ジメタノールモノビニルエーテル等が挙げられる。
【００３５】
前記一般式（３）において、ｎは水との親和性が高いことから、１〜４が好ましい。
【００３６】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ｂ）の中でも、表面張力を低下させる能力に優れ、且つ、水溶性にも優れるフッ素系界面活性剤が得られることから２-ヒドロキシエチルビニルエーテルが好ましい。
【００３７】
本発明で用いるビニルエーテル化合物（Ｂ）は、単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。
【００３８】
本発明のフッ素系界面活性剤は、フッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）に加えて、本発明の効果を損なわない範囲でその他の重合性化合物（Ｃ）を用いて得ても良い。その他の重合性化合物（Ｃ）としては、例えば、アリル基含有化合物（Ｃ１）、前記ビニルエーテル化合物（Ａ）とビニルエーテル化合物（Ｂ）以外のビニルエーテル化合物（Ｃ２）等が挙げられる。
【００３９】
前記アリル基含有化合物（Ｃ１）としては、例えば、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、４−ヒドロキシブチルアリルエーテル、グリセロールモノアリルエーテルなどのアリルエーテル類等が挙げられる。
【００４０】
前記ビニルエーテル化合物（Ｃ２）としては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−ブチルビニルエーテル、ｎ−ペンチルビニルエーテル、ｎ−ヘキシルビニルエーテル、ｎ−オクチルビニルエーテル、ｎ−ドデシルビニルエーテル、２−エチルヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテルなどのアルキルビニルエーテルもしくはシクロアルキルビニルエーテル類等が挙げられる。
【００４１】
本発明のフッ素系界面活性剤を得るには、種々の重合法（例えば、特開昭６３−１１２６４２号、特開２００７−２３０９４７号、特開２００１−４００３７号、特開２００３−３１３３９７号等の記載の合成法）を利用することができる。中でもラジカル重合反応を用いたラジカル重合法が好ましく、フリーラジカル重合法が好ましい。
【００４２】
前記フリーラジカル重合法により本発明のフッ素系界面活性剤を得る場合は、例えば、ビニルエーテル化合物（Ａ）、ビニルエーテル化合物（Ｂ）及び（Ａ）（Ｂ）と共重合しうる化合物（Ｃ）を有機溶剤中、開始剤を使用して重合させる方法が挙げられる。ここで用いる有機溶媒としては、ケトン類、エステル類、アミド類、スルホキシド類、エーテル類、炭化水素類が好ましく、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらは、沸点、相溶性、重合性を考慮して適宜選択される。
【００４３】
前記開始剤としては、例えば、アゾ系開始剤、過酸化物系開始剤、イオン性開始剤およびレドックス開始剤等が挙げられる。
【００４４】
本発明のフッ素系界面活性剤は、水溶性の界面活性剤となることから、前記フッ素原子含有ビニルエーテル化合物（Ａ）と、親水性のビニルエーテル化合物（Ｂ）とを、質量比〔（Ａ）／（Ｂ）〕で１０/９０〜６０/４０となる割合で反応させることにより得られるものが好ましく、２０/８０〜５０/５０となる割合反応でさせることにより得られるものがより好ましい。
【００４５】
本発明のフッ素系界面活性剤の数平均分子量（Ｍｎ）は、コーティング材やリンス液等の水性溶液への溶解性に優れること、表面張力が小さい水性溶液が得られることから５００〜３０，０００が好ましく、５００〜１０，０００がより好ましい。また、重量平均分子量（Ｍｗ）は５００〜１００，０００が好ましく、１，０００〜３０，０００がより好ましい。なお、数平均分子量（Ｍｎ）及び重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲル浸透クロマトグラフィー（以下、「ＧＰＣ」と略記する。）測定に基づきポリスチレン換算した値である。なお、ＧＰＣの測定条件は以下の通りである。
【００４６】
［ＧＰＣ測定条件］
測定装置：東ソー株式会社製「ＨＬＣ−８２２０  ＧＰＣ」、
カラム：東ソー株式会社製ガードカラム「ＨＨＲ−Ｈ」（６．０ｍｍＩ．Ｄ．×４ｃｍ）＋東ソー株式会社製「ＴＳＫ−ＧＥＬ  ＧＭＨＨＲ−Ｎ」（７．８ｍｍＩ．Ｄ．×３０ｃｍ）＋東ソー株式会社製「ＴＳＫ−ＧＥＬ  ＧＭＨＨＲ−Ｎ」（７．８ｍｍＩ．Ｄ．×３０ｃｍ）＋東ソー株式会社製「ＴＳＫ−ＧＥＬ  ＧＭＨＨＲ−Ｎ」（７．８ｍｍＩ．Ｄ．×３０ｃｍ）＋東ソー株式会社製「ＴＳＫ−ＧＥＬ  ＧＭＨＨＲ−Ｎ」（７．８ｍｍＩ．Ｄ．×３０ｃｍ）
検出器：ＥＬＳＤ（オルテック製「ＥＬＳＤ２０００」）
データ処理：東ソー株式会社製「ＧＰＣ−８０２０モデルＩＩデータ解析バージョン４．３０」
測定条件：
カラム温度    ４０℃
展開溶媒      テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）
流速          １．０ｍｌ／分
試料：樹脂固形分換算で１．０質量％のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの（５μｌ）。
標準試料：前記「ＧＰＣ−８０２０モデルＩＩデータ解析バージョン４．３０」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
【００４７】
（単分散ポリスチレン）
東ソー株式会社製「Ａ−５００」
東ソー株式会社製「Ａ−１０００」
東ソー株式会社製「Ａ−２５００」
東ソー株式会社製「Ａ−５０００」
東ソー株式会社製「Ｆ−１」
東ソー株式会社製「Ｆ−２」
東ソー株式会社製「Ｆ−４」
東ソー株式会社製「Ｆ−１０」
東ソー株式会社製「Ｆ−２０」
東ソー株式会社製「Ｆ−４０」
東ソー株式会社製「Ｆ−８０」
東ソー株式会社製「Ｆ−１２８」
東ソー株式会社製「Ｆ−２８８」
東ソー株式会社製「Ｆ−５５０」
【００４８】
本発明の組成物は本発明のフッ素系界面活性剤を含有することを特徴とする。本発明の組成物の具体例としては、例えば、水性のコーティング材、フォトリソグラフィー用のリンス液、カラーフィルター製造用のリンス液等が挙げられる。中でも、本発明の組成物は、フォトリソグラフィー製造用のリンス液として、特に好適に使用できる。
【００４９】
また、本発明のフッ素系界面活性剤は、水性媒体中で顔料を分散させる効果も期待できるため水性インキに本発明のフッ素系界面活性剤を添加することで、顔料の分散性を向上させる効果が期待できる。加えて、本発明のフッ素系界面活性剤を用いた水性インキは樹脂フィルム等のインキ非浸透面で筆跡定着性が向上も期待できる。
【実施例】
【００５０】
以下、本発明を実施例に基づき更に具体的に説明する。例中の％は断りがない限り質量基準である。
【００５１】
実施例１
撹拌装置、コンデンサー、温度計を備えたガラスフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテル９ｇを加え、窒素気流中、撹拌しながら１２０℃に昇温した。ついで、２−(パーフルオロヘキシル)エチルビニルエーテル２７ｇ、ヒドロキシエチルビニルエーテル５４ｇおよびt−ブチルペルオキシ−２−エチルヘキサノエート１１ｇを混合した滴下液を滴下装置にセットし、フラスコ内を１２０℃に保ちながら２時間かけて滴下した。滴下終了後、１２０℃で２．５時間撹拌した。反応終了後、減圧下で溶媒と未反応モノマーとを留去し、本発明のフッ素系界面活性剤（１）を得た。フッ素系界面活性剤（１）の数平均分子量は７７０であり、重量平均分子量は２，９００であった。尚、フッ素系界面活性剤（１）の１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルのチャート図を図１に、ＩＲスペクトルのチャート図を図２にそれぞれ示す。
【００５２】
得られたフッ素系界面活性剤（１）を０．０１％及び１％となるように水に添加し、本発明の組成物（１−１）〜（１−２）を得た。これらの組成物を６５℃の環境下に静置し、静置した時点（０日）、３日後、６日後及び１０日後の組成物の表面張力を測定した。表面張力が小さい程界面活性効果（表面張力低下特性）に優れ、また、表面張力の経時的な変化が小さい程、水中でも加水分解されにくいことを表す。尚、それぞれの組成物の表面張力の測定値は２サンプルの平均値である。測定結果を第１表に表す。
【００５３】
本発明において表面張力の測定は、下記条件に従った。
＜表面張力の測定条件＞
測定器：自動平衡式エレクトロ表面張力計（協和科学株式会社製「ＥＳＢ−ＩＶ型」）  測定方法：環境温度２３℃で、白金板を用いたウィルヘルミー法にて静的表面張力を測定した。尚、上記測定条件において水の静的表面張力は、７２．３ｍＮ／ｍ２であった（参考例）。
【００５４】
比較例１
撹拌装置、コンデンサー、温度計を備えたガラスフラスコに、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）３００ｇを加え、窒素気流中、撹拌しながら８０℃に昇温した。ついで、２−(パーフルオロヘキシル)エチルアクリレート７０ｇ、メトキシポリエチレングリコールアクリレート（エチレングリコール平均繰り返し数＝９）１３０ｇを混合させた滴下液、ジメチル２，２´−アゾビスイソブチレート１０ｇをＭＥＫ１００ｇに溶解させた滴下液をそれぞれ滴下装置にセットし、フラスコ内を８０℃に保ちながら両滴下液を４時間かけて滴下した。滴下終了後、８０℃で１６時間攪拌した。反応終了後、減圧下で溶媒を留去し、比較対照用フッ素系界面活性剤（１´）を得た。比較対照用フッ素系界面活性剤（１´）の数平均分子量は１，５００、重量平均分子量は４，２００であった。
【００５５】
実施例１と同様にして比較対照用組成物（１´−１）〜（１´−２）を調整し、表面張力の測定を行った。測定結果を第１表に示す。組成物中のフッ素系界面活性剤をそれぞれ０．０１質量％と低い含有割合で含有する（１−１）と（１´−１）の結果によると、本願発明のフッ素系界面活性剤を含有する（１−１）では、表面張力低下能に優れ、且つ、長期間にわたって表面張力低下能を維持できているのに対し、比較対照用のフッ素系界面活性剤を含有する（１´−１）では、時間の経過と共に表面張力低下能が劣ってくることが分かる。
【００５６】
また、組成物中のフッ素系界面活性剤をそれぞれ１質量％含有する（１−２）と（１´−２）の結果によると、本願発明のフッ素系界面活性剤を含有する（１−２）は前記（１−１）に比べて更に表面張力低下能に優れ、且つ、長期間にわたって表面張力低下能を維持できていることが分かる。その一方で、比較対照用のフッ素系界面活性剤を含有する（１´−２）では、同濃度の本発明の界面活性剤を含有する（１−２）と比較して表面張力低下能が劣ることが分かる。
【００５７】
【表１】
0006628072.tif 000006
【図１】
0006628072.tif 000009
【図２】
0006628072.tif 000010