(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定方法であって、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により第二の基準器の傾きＳ２とを同時に測定し、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較し、前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定工程と、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させ、前記所定の範囲において複数回取得した前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定工程と、
前記真直度測定工程で得られた前記真直度に基づき、前記所定の範囲の真直度を許容範囲の真直度とするために、前記架台の前記所定の範囲の各部分の高さ調整量を算出する第一の算出工程を有する測定方法。
【請求項２】
請求項１記載の測定方法で算出された前記高さ調整量に合わせて、調整片を配置することで前記架台の高さを調整する高さの調整方法。
【請求項３】
免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定方法であって、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により第二の基準器の傾きＳ２とを同時に測定し、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較し、前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定工程と、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させ、前記所定の範囲において複数回取得した前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定工程と、を有し、
前記所定の範囲を、前記架台上に設けられた平行する第一の条部と第二の条部とを含む範囲とし、前記第一の条部と前記第二の条部の真直度を測定した分布図を得て、
前記所定の範囲内における、前記第一の条部の両端部および前記第二の条部の両端部の４つの端部から選択される３つの端部を頂点とする四角形の仮想平面を設け、
前記仮想平面に用いていない他の端部と前記仮想平面の頂点との高さの差と、前記第一の条部と前記第二の条部の前記分布図と前記仮想平面の辺との高さの差とを比較し、前記第一の条部と前記第二の条部との平面度Ｐｘを評価する平面度測定工程を有する測定方法。
【請求項４】
前記平面度測定工程で得られた前記平面度Ｐｘに基づき、前記所定の範囲の前記第一の条部と前記第二の条部とを辺とする平面において、前記辺を許容範囲の平面度の辺とするための前記架台の高さ調整量を算出する第二の算出工程を有する請求項３記載の測定方法。
【請求項５】
請求項４記載の測定方法の前記第二の算出工程で算出された前記高さ調整量に合わせて、調整片および／または調整板を配置することで前記架台の高さを調整する高さの調整方法。
【請求項６】
免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定をコンピュータに実現させるためのプログラムであり、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により測定された第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により測定された第二の基準器の傾きＳ２とに基づいて、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較した前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定ステップと、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させて取得された前記傾きＳ１と前記傾きＳ２とからそれぞれの位置の前記傾きＳｘを求め、前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定ステップと、
前記真直度測定ステップで得られた前記真直度に対して、前記所定の範囲の真直度を許容範囲の真直度とするために、前記架台の前記所定の範囲の各部分の高さ調整量を算出する第一の算出ステップを有するプログラム。
【請求項７】
免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定をコンピュータに実現させるためのプログラムであり、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により測定された第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により測定された第二の基準器の傾きＳ２とに基づいて、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較した前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定ステップと、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させて取得された前記傾きＳ１と前記傾きＳ２とからそれぞれの位置の前記傾きＳｘを求め、前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定ステップと、を有し、
前記所定の範囲を、前記架台上に設けられた平行する第一の条部と第二の条部とを含む範囲とし、前記第一の条部と前記第二の条部の真直度を測定した分布図を用いて、
前記の所定の範囲内における、前記第一の条部の両端部および前記第二の条部の両端部の４つの端部から選択される３つの端部を頂点とする四角形の仮想平面を設け、
前記仮想平面に用いていない他の端部と前記仮想平面の頂点との差と、前記第一の条部と前記第二の条部の前記分布図と前記仮想平面の辺との高さの差とを比較し、前記第一の条部と前記第二の条部との平面度Ｐｘを評価する平面度測定ステップを有するプログラム。
【請求項８】
前記平面度測定工程で得られた前記平面度Ｐｘに基づき、前記所定の範囲の前記第一の条部と前記第二の条部とを辺とする平面において、前記辺を許容範囲の平面度の辺とするための前記架台の高さ調整量を算出する第二の算出ステップを有する請求項７記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、架台の真直度測定方法および平面度測定方法に関する。また、測定された真直度や平面度に基づく、架台の高さ調整方法に関する。また、これらに対応するプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの薄型ディスプレイが大型化していることに伴い、これらに用いられる基板も大型化が進んでいる。近年では、１辺が２ｍを超えるような第８世代に対応できる大きさや、第１０世代などさらなる大型化も行われている。
【０００３】
基板のサイズが大きくなった場合においても、正確に塗工ノズルの移動軌跡の真直度を測定するものとして、引用文献１の真直度測定装置は、レーザ分光干渉計と、ミラーを有する。このミラーは、その反射面が主走査方向ガイド部と平行になる状態で、塗工ヘッドに配設されたレーザ分光干渉計と対向する位置に配置されている。このミラーの表面は、高い平面度を有する。この時のミラーの反射面とレーザ分光干渉計との距離は、１ｍｍ以下となっている。このミラーは、塗工ヘッドの主走査方向の移動に伴うノズルによる塗工液の塗工領域全域に配設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１７４５２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス基板の大型化が進み、近年では、第８世代（約２．４ｍ×約２．２ｍ）などが実用化されている。引用文献１において塗工ノズルの移動軌跡の真直度が測定されているように、大型化するとディスプレイ等の製造工程でコーティングムラ等が生じる場合がある。しかし、このコーティングムラ等の原因の特定は困難である。
【０００６】
引用文献１では、塗工液の塗工領域の測定にあたって、ガラス基板のサイズが大きくなった場合には、基板のサイズがレーザ光の照射距離の限界を超え測定ができなくなるという問題や、空気のゆらぎによりノイズが発生することから塗工ヘッドを高速で移動させて真直度を測定することができないという問題が発生することなど測定の問題点が指摘されている。
【０００７】
基板等の塗工を行うにあたっては、例えば、中央に載置される台の両端に平行な直線状のガイドを対として配置し、このガイドに沿って移動するコーターで基板に塗工液を塗工する。このガイドやコーター、台を載置するための架台が下部に設けられ、架台は揺れなどの影響を抑制するために免震台の上に置かれている。塗工液の塗工ムラを抑制するには、これらのいずれがその塗工ムラの要因なのかを特定することが求められる。
【０００８】
本発明は、このような塗工設備などに用いられる架台の真直度測定方法等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、下記の発明が上記目的に合致することを見出し、本発明に至った。すなわち、本発明は、以下の発明に係るものである。
【００１０】
＜１＞  免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定方法であって、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により第二の基準器の傾きＳ２とを同時に測定し、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較し、前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定工程と、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させ、前記所定の範囲において複数回取得した前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定工程とを有する測定方法。
＜２＞  前記真直度測定工程で得られた前記真直度に基づき、前記所定の範囲の真直度を許容範囲の真直度とするために、前記架台の前記所定の範囲の各部分の高さ調整量を算出する第一の算出工程を有する前記＜１＞記載の測定方法。
＜３＞  前記＜２＞記載の測定方法で算出された前記高さ調整量に合わせて、調整片を配置することで前記架台の高さを調整する高さの調整方法。
＜４＞  前記所定の範囲を、前記架台上に設けられた平行する第一の条部と第二の条部とを含む範囲とし、前記第一の条部と前記第二の条部の真直度を測定した分布図を得て、
前記所定の範囲内における、前記第一の条部の両端部および前記第二の条部の両端部の４つの端部から選択される３つの端部を頂点とする四角形の仮想平面を設け、
前記仮想平面に用いていない他の端部と前記仮想平面の頂点との高さの差と、前記第一の条部と前記第二の条部の前記分布図と前記仮想平面の辺との高さの差とを比較し、前記第一の条部と前記第二の条部との平面度Ｐｘを評価する平面度測定工程を有する前記＜１＞記載の測定方法。
＜５＞  前記平面度測定工程で得られた前記平面度Ｐｘに基づき、前記所定の範囲の前記第一の条部と前記第二の条部とを辺とする平面において、前記辺を許容範囲の平面度の辺とするための前記架台の高さ調整量を算出する第二の算出工程を有する前記＜４＞記載の測定方法。
＜６＞  前記＜５＞記載の測定方法の前記第二の算出工程で算出された前記高さ調整量に合わせて、調整片および／または調整板を配置することで前記架台の高さを調整する高さの調整方法。
【００１１】
＜７＞  免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定をコンピュータに実現させるためのプログラムであり、
前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により測定された第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により測定された第二の基準器の傾きＳ２とに基づいて、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較した前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定ステップと、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させて取得された前記傾きＳ１と前記傾きＳ２とからそれぞれの位置の前記傾きＳｘを求め、前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定ステップとを有するプログラム。
＜８＞  前記真直度測定ステップで得られた前記真直度に対して、前記所定の範囲の真直度を許容範囲の真直度とするために、前記架台の前記所定の範囲の各部分の高さ調整量を算出する第一の算出ステップを有する前記＜７＞記載のプログラム。
＜９＞  前記所定の範囲を、前記架台上に設けられた平行する第一の条部と第二の条部とを含む範囲とし、前記第一の条部と前記第二の条部の真直度を測定した分布図を用いて、
前記の所定の範囲内における、前記第一の条部の両端部および前記第二の条部の両端部の４つの端部から選択される３つの端部を頂点とする四角形の仮想平面を設け、
前記仮想平面に用いていない他の端部と前記仮想平面の頂点との差と、前記第一の条部と前記第二の条部の前記分布図と前記仮想平面の辺との高さの差とを比較し、前記第一の条部と前記第二の条部との平面度Ｐｘを評価する平面度測定ステップを有する前記＜７＞記載のプログラム。
＜１０＞  前記平面度測定工程で得られた前記平面度Ｐｘに基づき、前記所定の範囲の前記第一の条部と前記第二の条部とを辺とする平面において、前記辺を許容範囲の平面度の辺とするための前記架台の高さ調整量を算出する第二の算出ステップを有する前記＜９＞記載のプログラム。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、塗工設備などに用いられる架台の真直度などを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】塗工設備の構成の概要を説明するための平面図である。
【図２】塗工設備の構成の概要を説明するための正面図である。
【図３】本発明に係る架台の真直度測定を説明するための平面図である。
【図４】本発明に係る架台の真直度測定を説明するための正面図である。
【図５】本発明に係る架台の真直度測定を説明するための正面視の部分拡大図である。
【図６】本発明に係る架台の真直度測定方法のフローチャートである。
【図７】本発明に係る架台の高さ調整方法の一例を説明するための正面図である。
【図８】本発明の平面度測定を行うための仮想平面を説明するための概要図である。
【図９】本発明の仮想平面を用いた平面度測定に基づく高さ調整方法の一例を説明するための概要図である。
【図１０】本発明に係る架台の平面度測定方法のフローチャートである。
【図１１】本発明に係る架台の真直度測定の一例を示すフローチャートである。
【図１２】本発明に係る架台の平面度測定の一例を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の真直度測定方法により測定された架台の高さの測定結果を示すグラフである。
【図１４】本発明の真直度測定方法により測定された架台の高さの測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施態様の一例（代表例）であり、本発明はその要旨を変更しない限り、以下の内容に限定されない。なお、本明細書において「〜」という表現を用いる場合、その前後の数値を含む表現として用いる。
【００１５】
［本発明の真直度測定方法］
本発明の真直度の測定方法は、免震設備上に配置された架台の所定の範囲の真直度の測定方法であって、前記架台の基準位置に配置された第一の基準器により第一の基準器の傾きＳ１と、前記所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器により第二の基準器の傾きＳ２とを同時に測定し、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較し、前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定工程と、
前記所定の範囲で前記第二の基準器を複数回移動させ、前記所定の範囲において複数回取得した前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定工程とを有する。
【００１６】
本発明の真直度の測定方法によれば、バネ等の免震設備上に載置されている架台上に第一の基準位置を設けることで、バネによる揺れなどの影響を受けることなく第一の基準器と第二の基準器との傾きを比較し、第一の基準器の傾きを基準として第二の基準器を置いた測定位置の傾きを測定する。そして、この傾きを積算した分布とすることで、真直度や平面度のような、高さ情報を含む立体的な情報を得ることができる。
【００１７】
［塗工設備１０］
図１、２は、本発明に係る架台の真直度測定方法を行う対象となる代表例である塗工設備を説明するための概略図である。図１は、塗工設備１０の平面図である。図２は、塗工設備１０の正面図である。なお、図１に示す平面図における左から右方向をＸ方向、下から上方向をＹ方向とし、このＹ方向に向かって塗工設備１０を見たときを正面視として、図２は塗工設備１０を正面視したものであり、図２における下から上方向をＺ方向として説明する。
【００１８】
塗工設備１０は、架台１を用いて塗工する設備である。架台１は、平面視したとき長方形の基板１１と、基板１１上部にＹ方向の手前側に幅方向（Ｘ方向）に設けられた条部１２と、基板１１上部にＹ方向の奥側に幅方向（Ｘ方向）に設けられた条部１３とを有する。条部１２と条部１３とは平行に配置され、いずれも直線状である。条部１２、条部１３の上には、それぞれリニアガイド２１などが設けられる。塗工設備１０は、リニアガイド２１などに沿って移動でき、条部１２と条部１３とを架け渡すように取り付けられたガントリーに取り付けられたコーター２を有する。塗工設備１０は、コーター２が２機取り付けられている。架台１の中央には、塗工台３が設けられている、塗工台３には、適宜ガラス基板等の塗工対象物が配置される。コーター２は、条部１２、条部１３に取り付けられたリニアガイドに沿って移動するガントリーによって幅方向（Ｘ方向）に移動しながら、塗工台３に配置されている塗工対象物上に塗膜を形成する。架台１は、塗工中の揺れなどの影響を軽減するために、免震台４１上に配置されている。
【００１９】
［免震設備上の架台１の形状］
塗工設備１０で塗工台３に載置されたガラス基板等には、極めて薄い薄膜が設けられる。この薄膜は、適宜、積層もされる。この薄膜の厚みなどは、ディスプレイ等としたときの色や明るさなどの光学設計を達成するために、極めて厳しい条件で設定されている。ディスプレイの塗膜等に許容される厚みムラは、製品等にもよるが数十μｍ以下や、数μｍ以下のような条件とされている場合もある。このような厚みムラを達成するために、塗工設備１０を構成する各機器等もその高さや移動速度、傾きなどが厳しく管理されている。また、塗工液の塗工ムラを抑制するには、これらの機器のいずれがその塗工ムラの要因なのかを特定することが求められる。
【００２０】
塗工設備１０は、第８世代（約２．４ｍ×約２．２ｍ）などが実用化されており、これに対応する大きさの架台１や、コーター２、塗工台３、免震台４１、基礎架台４２などが用いられている。これらの各機器は、数トン〜数十トンの重さとなる場合もある。また、コーター２は、架台１上で、条部１２、条部１３に設けられているリニアガイドに沿って移動するガントリーなどによって移動するが、このガントリーやコーター２も非常に重いため、コーター２などの重さの影響を解消しながら用いることも行われている。
【００２１】
これらの塗工設備１０の基礎的な構造となる架台１も厳しい設計基準を満足するように製造されている。架台１も、単独で数トン〜数十トンの重さとなることもあり、専用の製造現場で床上に置いた状態で製造され、その状態で条部１２、条部１３の形状などが評価されている。そして架台１は、塗工設備１０として使用するときは、免震台４１に置いた状態で用いられる。
【００２２】
架台１は、非常に厚く鉄鋼等で製造されていることから、一般的には製造時の寸法精度等を維持していると考えられて用いられていた。しかし、本発明者らは、塗工設備１０の精度等を詳細に検討した結果、架台１が原因の精度の問題が生じている可能性に着目した。その結果、架台１は、それを単独で製造した時点では優れた寸法精度を達成していても、塗工設備１０としたときにごくわずかなひずみが生じている場合があることを見出した。
【００２３】
この架台１のひずみは、製造時点では検出されず、使用環境に持ち出し、免震台４１などに載置したときにはじめて生じるひずみと考えられ、従来、このひずみは認識されていなかった。これが認識されにくかった理由は、種々考えられるが、以下のようなものが考えられる。（１）架台１のひずみは数μｍ〜数十μｍ／ｍ程度しか生じず、ごくわずかなものであること。（２）塗工設備１０で用いられるような架台１は、一般的な真直度の測定装置等では検出範囲の上限を超える程度に大型となること。（３）架台１が免震台４１に載っているため測定中に外乱によるずれが生じやすいこと。（４）架台１は、製造時点の環境で優れた寸法精度を達成していること。（５）架台１は硬い鉄鋼等により製造されていることからも使用環境でひずむとの認識がされないこと。（６）架台１を免震台４１から降ろして安定な床上で単独で測定するとひずみがないことが改めて確認され、ひずみが解消すること。
【００２４】
このように塗工設備１０の使用環境での架台１については、ひずみの認識もされにくく、ひずみ自体も検出が難しいわずかな高さの差しか生じていない。また、免震台４１の影響に対する対策もできるものとして、架台１の高さを測定する手段とすることが求められる。さらには平行している条部１２、条部１３の間にもわずかな傾きの差が生じている場合がある。本発明の真直度測定方法等は、このような状況下、行われたものである。
【００２５】
［本発明の第一の実施形態］
図３は、本発明の第一の実施形態に係る真直度測定方法を説明するための架台１等を平面視した略概要図である。図４は、架台１等を正面視した略概要図である。図５は、架台１等を正面視し部分拡大した略概要図である。リニアガイド２１等を設け、ガントリーにより移動するコーター２を設置する前の架台１単独での高さの測定を説明するために、図３〜図５は、コーター２等を除いた状態での測定を例に説明する。ここでは、基礎架台４２上に設けられた免震台４１上で生じる架台１のひずみなどの影響を含む真直度を測定する。なお、塗工台３は架台１と一体化される場合もあり、通常、コーター２により塗工工程を行うとき、架台１上で移動する対象ではないため、上部に塗工台３を有する状態の架台１を例に説明する。
【００２６】
［架台１］
架台１は、免震台４１等の免震設備上に配置され用いられる台である。架台１は真直度を測定する対象となるものであれば限定されないが、特に、第６世代（１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）〜第８世代（２２００ｍｍ×２５００ｍｍ）程度の大きさのガラス基板を載置するための架台を対象とすることが好ましい。このため、架台１の大きさとしては、例えば、幅（Ｘ方向）や長さ（Ｙ方向）がおよそ２ｍ〜６ｍ程度のものを対象とすることができる。これよりも小さい場合、架台１自体の大きさも小さく自重によるひずみが生じにくく、本発明の真直度測定方法により測定する必要性が低下する。
【００２７】
架台１の条部１２、条部１３の上面は、コーター２を設置するリニアガイド２１を設ける部分となるため、この上面の真直度や平面度が低く、高さにずれがあるとその上に置かれたリニアガイド２１に沿って移動するコーター２の高さも上下する。このため、条部１２と条部１３の上面は、その高さにムラがある場合、そのムラの調整が求められる部分となる。この条部１２の真直度の測定を例に、架台の真直度測定を説明する。
【００２８】
架台１には、架台１上の塗工台３の任意の位置を基準位置として、第一の基準器５１が配置される。そして、条部１２の傾きを測定し、条部１２の真直度を得るために、測定位置に第二の基準器５２が配置される。図３、図４に示すように、第二の基準器５２は、左端近傍に設定された測定位置の端部の傾きを測定した後、Ｘ方向に順次移動させる第二の基準器５２´として配置され、それぞれの位置での第二の基準器５２（５２´）の傾きを検出する。
【００２９】
図３に示すように、本発明の真直度測定方法等を行うための傾き検出システムは、傾き検出手段６１と、高さ解析手段６２と、高さ調整量算出手段６３と、メモリ７と、モニタ８を有する。
【００３０】
第一の基準器５１と、第二の基準器５２とは、それぞれが無線通信したり、傾き検出手段６１と無線通信したりすることができる。
【００３１】
図５を例に説明すると、第一の基準器５１は、底部で距離Ｌ１離れた配置となる配置部５１１と配置部５１２を有する。第一の基準器５１は、配置部５１１と配置部５１２間での第一の基準器５１の傾きＳ１を測定することができる。
【００３２】
同様に、第二の基準器５２は、第一の基準器５１の距離Ｌ１と同じ長さ離れた配置となる配置部５２１と、配置部５２２とを有する。第二の基準器５２は、配置部５２１と配置部５２２間での第二の基準器５２の傾きＳ２を測定することができる。
【００３３】
図５において、第一の基準器５１は塗工台３上の基準位置に配置されたままの状態で、第二の基準器５２は測定範囲となる条部１２上を順次移動させながら測定する。すなわち、まず配置部５２１を測定位置のＡ１１上とし、配置部５２２を測定位置のＡ１２上として配置してＡ１１、Ａ１２間の傾きを測定する。これを終えると、第一の配置部５２１をＡ１２上に第二の配置部５２２をＡ１３上に移動させて次の測定位置の傾きを検出する。これを、測定位置のＡx、Ａx+1の位置に、随時移動させながら測定を行う。
【００３４】
真直度を求めるときの補正等の影響を抑制するために、第一の基準器５１の配置部５１１と配置部５１２とを結ぶ線の向きと、第二の基準器５２の配置部５２１と配置部５２２とを結ぶ線の向きとのＸ方向−Ｙ方向における向きは平行であることが好ましい。配置部５１１と配置部５１２とを結ぶ線がＸ方向に向く配置の場合、配置部５２１と配置部５２２とを結ぶ線もＸ方向±１度、好ましくは±０．５度や±０．１度となるように配置することが好ましい。
【００３５】
また、傾きについて、架台１の変位は角度として表示するとその変位が非常に小さな値となる可能性があることから、高さの表示によりその傾きを示してもよい。例えば、配置部５１１と配置部５１２について、いずれが高く、差がどの程度かを示すことで傾きを示してもよい。このとき、第一の基準器５１や第二の基準器５２の高低差で表す傾きの検出感度は、少なくとも０．０２ｍｍ／ｍ以上が好ましく、少なくとも０．０１ｍｍ／ｍ以上がより好ましく、少なくとも０．００５ｍｍ／ｍ以上がさらに好ましく、少なくとも０．００１ｍｍ／ｍ以上が特に好ましい。０．００１ｍｍ／ｍ以上の感度を有する場合、１ｍあたり１μｍ（０．００１ｍｍ）の変位であっても検出することができる。
【００３６】
また、第一の基準器５１（第二の基準器５２）の配置部５１１（５２１）と配置部５１２（５２）間の距離Ｌ１は、傾きの検出頻度に相当する。この距離Ｌ１は、使用する基準器の仕様や所定の範囲の大きさに対する測定回数、管理しようとする真直度の程度等を考慮して、適宜設定される。例えば、距離Ｌ１は、５ｃｍ〜５０ｃｍ程度とすることができ、１０ｃｍ〜３０ｃｍや、１５ｃｍ〜２５ｃｍとすることが好ましい。距離Ｌ１が短すぎる場合、測定頻度が多すぎて架台１の大きさも大きく測定回数が多くなりすぎたり、傾きの変位が小さく検出しにくい場合がある。距離Ｌ１が長すぎる場合、その間に生じている傾きのうねりなどを十分に検出できず、塗工条件の設定等に有用な真直度を得ることができない場合がある。
【００３７】
傾き検出手段６１は、第一の基準器５１と第二の基準器５２と通信して、第一の基準器５１の傾きＳ１と、第二の基準器の傾きＳ２として送信された情報を検出することができる。この傾きＳ１、傾きＳ２はいずれも高さ方向（Ｚ方向）の傾きである。これらの傾きは、高さ方向（Ｚ方向）の変位として測定したものを用いてもよい。これらの通信は、無線通信であることが好ましい。無線通信であれば、配線による傾きの影響を排除した測定を行うことができ、より信頼性が高い測定ができる。
【００３８】
そして第一の基準器５１の傾きＳ１と、第二の基準器５２の傾きＳ２とを比較し、傾きＳ１を基準とした第二の基準器５２を置いた場での傾きＳｘを求める。測定中にもわずかな振動等によって、架台１の傾きは変動する場合があるが、第一の基準器５１の傾きＳ１を求めてこれを基準とすることで、これらの変動の影響を解消した傾きＳｘを得ることができる。
【００３９】
傾きＳｘは、「傾きＳ１−傾きＳ２」の値をそのまま用いるか、これを変数とした補正等を行ったものとして得られる。このとき、第一の基準器５１と、第二の基準器５２の傾きや水平面内における互いの距離や方向も合わせて検出してもよい。
【００４０】
高さ解析手段６２は、検出された傾きを積算して、その分布図を作成するなどの解析を行う。この解析の結果は、高さの分布図に相当するものとして得ることもできる。高さ調整量算出手段６３は、高さの分布図に基づいて、架台１の条部１２のひずみを解消するための調整量を算出する。
【００４１】
メモリ７は、所定の位置で検出された傾きや、それらを解析した傾きや高さの分布図、分布図に基づいて算出された高さの調整量等の情報を適宜保存する。また、このメモリ７に保存された情報に基づいて各手段により解析や算出等が行われる。モニタ８は、これらの情報を適宜表示する。これらの各手段やメモリ、モニタは、これらとして機能するためのプログラムやアプリケーションソフト等を備えたパーソナルコンピュータやタブレット端末、スマートフォン、ディスプレイ等を組み合わせて、これらの構成とすることができる。
【００４２】
図５は、条部１２について、本発明の真直度測定方法の操作をより詳しく説明するための部分拡大図である。第一の基準器５１は塗工台３の上部に配置されている。第一の基準器５１の傾きＳ１を基準とする。
【００４３】
条部１２の上面は下に凸の凹状にわずかに湾曲している。条部１２の測定位置Ａ１１と測定位置Ａ１２にわたるように配置して、第二の基準器５２の傾きを測定することで測定位置Ａ１１−測定位置Ａ１２間での条部１２の傾きＳ２を測定する。この測定位置を、真直度を評価する範囲を所定の範囲として、架台１２上で移動させ、これらの測定位置の傾きＳｘを架台１２上で取得する。この傾きＳｘから、架台１２上での傾きや高さの分布図を作成することができる。ここで、第一の基準器５１が配置されている傾きＳ１に基づくものとして傾きＳｘを求めることで、免震台４１が揺れを解消等して床面からの高さに変位が生じても、相対的な傾きを正確に測定できる。
【００４４】
図６は、本発明に係る架台の真直度測定方法のフローチャートである。まず、架台の基準位置に第一の基準器を配置する（ステップＳ１１）。次に、架台の測定位置に第二の基準器を配置する（ステップＳ２１）。
【００４５】
次に、第一の基準器の傾きＳ１を測定する（ステップＳ３１）。次に、第二の基準器の傾きＳ２を測定する（ステップＳ３２）。次に、傾きＳ１と傾きＳ２を比較して第二の基準器が配置された場の傾きＳｘを求める（ステップＳ３３）。
【００４６】
次に、架台の測定位置として測定しようとする所定の範囲を測定したか判断する（ステップＳ３４）。所定の範囲を測定し終えていないとき、第二の基準器を次の測定位置に移動させる（ステップＳ３５）。そして、その移動させた位置で、第一の基準器の傾きＳ１と第二の基準器の傾きＳ２とを測定し、これらを比較してその場での傾きＳｘを測定する（ステップＳ３１〜Ｓ３３）。これを、所定の範囲を測定し終えるまで、繰り返す。
【００４７】
所定の範囲の測定を完了すると、得られた傾きＳｘを測定位置と対応させた分布図を作成する（ステップＳ４１）。この傾きＳｘの分布図は、高さの分布図として扱ってもよい。傾きＳｘの分布図は真直度を判断するための値とすることができる。
【００４８】
次に、傾きＳｘの分布図を、条部１２（条部１３）等にリニアガイド等を設けるときの管理基準とする高さと比較して、それぞれの測定位置における高さ調整量を計算する（ステップＳ５１）。これらの高さの分布図や高さ調整量の計算結果を、適宜ディスプレイに表示する（ステップＳ６１）。表示されたものを確認することで、使用者は傾きや高さの分布図や、高さ調整量を認識できるため、この表示により真直度測定方法の基本的なフローを終了する。
【００４９】
［高さの調整］
図７は、図３〜図５に示す第一の実施形態に準じて高さ調整量を算出し、その算出結果に合わせて高さを調整する状態を説明するための部分拡大した正面図である。架台１の条部１２の測定範囲１２ａについて、測定位置Ｂ１〜Ｂ１３を設定して、第一の基準器の傾きＳ１と第二の基準器の傾きＳ２高さを測定し、これらを比較して傾きＳ２を測定しそれらを積算することで傾きの分布図を得ることができる。この傾きの分布図の全体の傾きの有無を判断して、高さの分布図として扱うこともできる。
【００５０】
免震台４１等に載置すると、架台１は中央付近が凹む湾曲状のひずみが生じる場合がある。架台１について、高さの管理基準を高さｈｘのように真直度が高いものとするとき、実際の条部１２の上面の測定範囲１２ａが凹状となっている場合、高さｈｘとの差を調整する必要がある。この高さｈｘの調整には、高さｈｘと測定位置（Ｂ１〜Ｂ１３）における高さの差に対応する厚みの薄板を挟み込み調整することができる。
【００５１】
この高さの調整のために用いる薄板の枚数や厚みなどの高さ調整量を算出する算出工程を行う。図７は、その調整量に応じて調整片１４１を配置して、基準となる高さｈｘとの差を最小化した状態を示している。薄板の厚みは、１枚あたり５μｍや、１０μｍなど、薄板ごとに所定の厚みを有するものとして製造されている場合があるため、使用することができる薄板の種類の厚みに合わせて、基準となる高さｈｘとの差が最小化されるように、挟み込む薄板の枚数等を設定するものも高さ調整として採用するものに含まれる。そして薄板を挟んだ状態で、リニアガイドを設けることで、リニアガイドに沿ってコーターが移動しても、リニアガイドや架台の高さによる影響を受けにくいコーティングを行うことができる。
【００５２】
図８は、本発明の平面度測定を行うための仮想平面を説明するための概要図である。仮想平面を作成するにあたり、まず、架台１の条部１２の傾きの分布図１２ａを取得する。また、条部１３の傾きの分布図１３ａを取得する。これらの分布図１２ａと、分布図１３ａの双方を測定するとき、第一の基準器５１の位置は同じものとすることで、いずれの分布図も第一の基準器５１の傾きＳ１を基準としたものとした信頼性が高い利用を行う。
【００５３】
これらの分布図１２ａの端部１２１と端部１２２と、分布図１３ａの端部１３１と端部１３２の４つの端部から、任意の３つの端部を選択し、これらを頂点とする仮想平面を設ける。図８では、端部１２１、端部１２２、端部１３１を頂点とする仮想平面Ｐｖを想定したものである。この仮想平面Ｐｖは、端部１２１と端部１２２を結ぶ辺と、端部１２１と端部１３１とを結ぶ辺とを有する平行四辺形として設けている。
【００５４】
この分布図１２ａ、分布図１３ａを仮想平面Ｐｖと比較すると、それぞれの分布図が、仮想平面Ｐｖよりも低い位置となり、端部１３２も、仮想平面Ｐｖよりも高さ１３ｂ低いものとなっている。このような状態の条部１２、条部１３を用いると、これらをかけ渡すガントリーなどに取り付けられたコーター２も、これらの傾きの影響を受けて移動するため、塗工厚みもその影響を受けるものとなる。
【００５５】
図９は、仮想平面を用いた平面度測定に基づく高さ調整方法の一例を説明するための概要図である。ここでは、図８により設けた仮想平面Ｐｖと、分布図１２ａと、分布図１３ａとを比較して、仮想平面Ｐｖの頂点をＰｖ１、Ｐｖ２，Ｐｖ３、Ｐｖ４とし、端部１２１、１２２、１３１、１３２がそれぞれ対応するものとする。ここでは頂点Ｐｖ１は端部１２１の位置であり、頂点Ｐｖ２は端部１２２の位置であり、頂点Ｐｖ３は端部１３１の位置である。また、頂点Ｐｖ４は頂点Ｐｖ１〜Ｐｖ３を有する仮想平面内の点であり、端部１３２のほぼ直上の位置である。そして、分布図１２ａと、頂点Ｐｖ１および頂点Ｐｖ２とがなす辺との差を埋めるように調整片１４１を配置する。次に、分布図１３ａと、頂点Ｐｖ３および頂点Ｐｖ４とがなす辺との差を埋めるための調整を行う。
【００５６】
このとき、頂点Ｐｖ４と端部１３２には、高さ１３ｂの差が生じており、端部１３１から端部１３２にかけて仮想平面Ｐｖに対して全体としての傾きも生じている。このため、調整片１４１に組み合わせて、この全体の傾きに対応する厚みが端部１３２側から端部１３１側に向けて漸減する調整板１４２を用いて高さの調整をおこなうこともできる。これにより、個別の測定位置での傾きや高さの調整と、条部１２、条部１３との間の傾きや高さの調整とを行った高度な高さ調整を行うことができる。なお、調整板１４２に代え、頂点Ｐｖ４と端部１３２との高さの差に応じた厚さの調整片１４１を挟んで、高さの調整を行ってもよい。
【００５７】
なお、図７や図９に示すような真直度や平面度に基づく高さ調整を行うとき、調整片や調整板を挟み込むことで高さを調整するほうが、高さが高い部分を削って調整するよりも、使用する現場での調整を行いやすいため、これらの真直度や平面度との差を求めるにあたっては、真直度の基準高さ（例えば図７の高さｈｘ）や、仮想平面（例えば図９の仮想平面Ｐｖ）よりも、条部の辺や条部の端部が低いか同程度となる配置となるように、データ処理する条件を設定することが好ましい。
【００５８】
図１０は、本発明に係る架台の平面度測定方法のフローチャートである。本発明の架台の真直度を測定するためのプログラムは、このフローチャートに沿った処理をコンピュータに実現させるためのものとすることができる。まず、図１０のフローチャートなどに示す工程を準用し、例えば条部１２などを第一の条部としてその傾き分布図を作成する（ステップＳ７１）。次に、ステップＳ７１と同様に条部１３などを第二の条部としてその傾き分布図を作成する（ステップＳ７２）。
【００５９】
次に、第一の条部と第二の条部の傾き分布図に基づいて仮想平面を作成する（ステップＳ７３）。次に、仮想平面と、第一の条部と第二の条部の頂点との差を測定する。この差は、仮想平面の作成に用いなかった他の一端との差である（ステップＳ７４）。次に、第一の条部と第二の条部と対応する仮想平面の辺との差を測定する（ステップＳ７５）。次に、これらの仮想平面との差とから、高さ調整量を計算する（ステップＳ７６）。この高さ調整量は、個別の測定位置で長さが短い調整片により調整する量や、全体としての傾きが生じる側の条部に対しての長さが長い調整板により調整する量を適宜組み合わせて算出するものとしてもよい。これらの調整量は、適宜モニタ等に表示される（ステップＳ７７）。
【００６０】
図１１は、本発明に係る架台の真直度測定の一例を示すフローチャートである。例えば、条部１２（条部１３）のガントリーを配置して使用する範囲などを、真直度を求める所定の範囲として、第一の基準器５１を塗工台３上に固定して、条部１２（条部１３）に、第二の基準器５２を配置して、第二の基準器５２の距離Ｌ１毎に測定位置を設定し、傾きＳ１・傾きＳ２を測定したデータを得る。図１１のフローチャートは、このデータを用いた処理を行うプログラムで行うことができる。
【００６１】
条部１２（条部１３）に設定した所定の範囲を対象として得られた測定位置の傾きＳ１・傾きＳ２のデータを入力したデータ格納庫から、傾きＳ１・傾きＳ２のデータを取得する（ステップＳ８１）。次に、各測定位置における傾きＳ１と傾きＳ２を比較した値である傾きＳｘを算出する（ステップＳ８２）。
【００６２】
次に、傾きＳｘを所定の範囲の起点から測定位置ごとに順に積算した傾きの分布図を作成する（ステップＳ８３）。次に、傾きの分布図から真直度を算出する（ステップＳ８４）。次に、傾きの分布図に基づいて、使用できる調整片の大きさ・厚さ等に基づいて所定の真直度を達成するための高さ調整量を算出する（ステップＳ８５）。これらの傾きの分布図や、真直度、真直度を所定の範囲とするための調整片等を用いた高さ調整量を、表示部に表示して（ステップＳ８６）、終了する。これらの各ステップで処理したデータは逐次メモリ等に保存することができる。このような処理を行うことで、使用者に、傾きＳ１・傾きＳ２の測定値を基にした、真直度を判断するための情報や、高さ調整量を把握させることができる。
【００６３】
図１２は、本発明に係る架台の平面度の測定の一例を示すフローチャートである。架台１を用いて塗工を行うとき、条部１２と条部１３とを架け渡すガントリーに取り付けたコーター２により塗工を行う。このため条部１２と条部１３とは高い平行度を有することが求められる。この平行度を評価するにあたり、条部１２と条部１３とを平行する辺とする疑似的な平面度を参照することが有効である。条部１２と条部１３について、塗工台３等を第一の基準器５１を配置する部分として、それぞれの条部（１２、１３）を、傾きを測定する対象となる所定の範囲として傾きＳｘを測定したデータを得る。図１２のフローチャートは、この傾きＳｘのデータを用いた処理をコンピュータに実行させるプログラムで行うことができる。
【００６４】
条部１２を第一の条部、条部１３を第二の条部として、それぞれの傾きＳｘの分布図を得る（ステップＳ９１）。これは、例えば、前述した図１１に示すステップＳ８１〜ステップＳ８３により作成することができるデータを用いることができる。次に、第一の条部の両端と、第二の条部の両端から、３点を端部を選択し、それらを頂点とする仮想平面を作成する（ステップＳ９２）。この仮想平面に対して、仮想平面の作成に用いなかった端部や、第一の条部、第二の条部の傾きＳｘの分布図を比較して、仮想平面との差を算出する（ステップＳ９３）。次に、第一の条部と第二の条部を辺とする仮想平面の平面度を算出する（ステップＳ９４）。次に、仮想平面に対する第一の条部と第二の条部の辺や頂点との差に基づき、調整片や調整板を用いて調整する高さ調整量を算出する（ステップＳ９５）。これらの仮想平面や、仮想平面との差、平面度、高さ算出量を表示部などに表示して（ステップＳ９６）、終了する。これらの各ステップで処理したデータは逐次メモリ等に保存することができる。このような処理を行うことで、使用者に、第一の条部と第二の条部の傾きＳｘの分布図を基にした仮想平面や、仮想平面との差、平面度、高さ算出量を把握させることができる。
【実施例】
【００６５】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明は、その要旨を変更しない限り以下の実施例に限定されるものではない。
【００６６】
第８世代（約２．４ｍ×約２．２ｍ）に対応する図１等に準じる塗布設備に用いる架台（幅約６ｍ×奥行約４ｍ）の、両端に設けられている条部の傾きの分布を測定した。この架台は、床上に直接載置されている状態では高い真直度を達成しており、条部の高さムラは約１０μｍ以下である。この架台を塗布設備として使用するときの免震台（バネ）上に載置した状態で高さを測定した。
【００６７】
傾きを測定するための基準器として、ＷＩＬＥＲ社製の超精密電子水準器無線システムを用いた。この基準器は、２台の検出器（第一の基準器、第二の基準器）を使用し、これらの双方の傾きを測定することで、免震台に置いた状態で周囲に揺れ等が生じても、一方の基準器の傾きを基準として、２台の基準器間の傾きの差から、第二の基準器が置かれた測定位置の傾きを測定することができる。
【００６８】
架台の略中央に、第一の基準器として一方の検出器を配置し、正面視したとき手前側となる条部と、奥側となる条部について、それぞれ傾きＳｘの分布図を作成した。
【００６９】
各条部の左端から右端まで、２００ｍｍ置きに測定位置を設定し、各測定位置に第二の基準器として用いる検出器を配置して、それぞれの位置で測定された傾きを、同時に配置されているときの第一の基準器の傾きの測定値と比較して、第一の基準器の傾き（Ｓ１）と第二の基準器の傾き（Ｓ２）の差を傾きＳｘとして、傾きＳｘを積算して分布図としたものを図１３、図１４に示す。
【００７０】
また、高さ調整に用いる薄板としてＳＵＳ製のシム（厚み１０μｍ）を用いるものとして、それぞれの測定位置の高さに応じた調整量を求め、その調整を行った時の高さを合わせて表示する。
【００７１】
図１３に示すように、手前側の条部の上面は、その傾きを測定し分布図とした結果、中央に向かって下に凸の凹状のひずみを有していることが確認された。高低差は最大で約５５μｍ生じている。また、この真直度の測定結果をもとに、厚み１０μｍの薄板で高さ調整する高さと、その調整を行ったときの高さは、高低差が１０μｍ以下程度に抑えられるものとすることができた。
【００７２】
図１４に示すように、奥側の条部の上面は、その傾きを測定し分布図とした結果、中央をはさんで左右に下に向かって凸の凹状となるひずみを有していることが確認された。高低差は最大で約１８μｍ生じている。また、この真直度の測定結果をもとに、厚み１０μｍの薄板で高さ調整する高さと、その調整を行ったときの高さは、高低差が１０μｍ以下程度に抑えられるものとした。
【００７３】
このように、架台を免震台の上に載置すると、床上に載置している際にはなかったひずみが生じて、高さムラとなっていることが確認された。また、この高さムラは免震台上で測定する必要があるが、本発明の真直度測定方法によれば測定できることが確認された。また、この真直度測定結果に基づく高さ調整量を算出し、薄板を用いて調整することで、高さのムラを抑制できることを確認した。
なお、この高さムラを調整した後の架台を用いて、塗工設備を組み立て、塗工することで、架台のひずみ由来の塗工ムラが抑制された。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、塗工設備等に用いられる架台の真直度を測定することでこれらの高さ調整等に利用することができ、産業上有用である。
【符号の説明】
【００７５】
１  架台
１０  塗工設備
１１  基板
１２、１３  条部
１４１  調整片
１４２  調整板
２  コーター
２１  リニアガイド
３  塗工台
４１  免震台
４２  基礎架台
５１  第一の基準器
５２  第二の基準器
６１  高さ検出手段
６２  高さ解析手段
６３  調整量算出手段
７  メモリ
８  モニタ
【要約】
【課題】
塗工設備などに用いられる架台の真直度の測定方法等を提供する。
【解決手段】
免震設備（免震台４１）上に配置された架台１の所定の範囲（条部１２）の真直度の測定方法であって、
架台１の基準位置に配置された第一の基準器５１により第一の基準器５１の傾きＳ１と、所定の範囲の測定位置に配置された第二の基準器５２により第二の基準器５２の傾きＳ２とを同時に測定し、前記傾きＳ１と前記傾きＳ２を比較し、前記傾きＳ１を基準とする前記測定位置の傾きＳｘを求める傾き測定工程と、
前記所定の範囲で第二の基準器５２を複数回移動させ、前記所定の範囲において複数回取得した前記傾きＳｘを積算して前記所定の範囲の真直度を求める真直度測定工程とを有する測定方法。
【選択図】  図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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