(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液化天然ガス等を貯蔵する低温タンクの貫通部分で用いられる二重封止型ターミナルヘッダの製造方法において、
隔壁フランジ及びセラミックスリーブの形状を所定形状に加工する第１加工工程と、
第１の環状封着金具、第２の環状封着金具、第３の環状封着金具及び第４の環状封着金具、中空筒型保護金具を所定形状に加工する第２加工工程と、
第２の環状封着金具、中空筒型保護金具及び第４の環状封着金具をセラミックスリーブの所定位置に配置して位置決め後に、ロー付けする第１の処理工程と、
第１の環状封着金具を第２の環状封着金具に配置して位置決めするとともに、第３の環状封着金具を第４の環状封着金具に配置して位置決めし、かつ第１の環状封着金具と第２の環状封着金具との一端側面及び第３の環状封着金具と第４の環状封着金具との一端側面を溶接する第２の処理工程と、
第１の環状封着金具、第２の環状封着金具、第３の環状封着金具及び第４の環状封着金具が取り付けられた状態で、セラミックスリーブを隔壁フランジの透孔に配置した後、第１の環状封着金具の端部側面と隔壁フランジ及び第３の環状封着金具の端部側面と隔壁フランジをそれぞれ溶接する第３の処理工程とからなることを特徴とする二重封止型ターミナルヘッダの製造方法。
【請求項２】
前記第２加工工程は、第４の環状封着金具の一端側をその一端側の側面が他端側を向くように円形状に折り曲げて断面略Ｊ字形状に形成する加工工程と、
第３の環状封着金具の一端側が、第４の環状封着金具の折り曲げた部分に嵌まり合う形状に形成するとともに、第３の環状封着金具の一端側の折り曲げた部分が第４の環状封着金具の折り曲げた部分に嵌まり合ったときに、互いの折り曲げた部分の側面が揃う形状に形成する加工工程とからなることを特徴とする請求項１記載の二重封止型ターミナルヘッダの製造方法。
【請求項３】
第２の処理工程は、中空筒型保護金具の中空円筒体をセラミックスリーブの第３太円柱部に嵌合し、ロー付けする工程を含むことを特徴とする請求項１記載の二重封止型ターミナルヘッダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液化天然ガス等を貯蔵する低温タンクの貫通部分で用いられる二重封止型ターミナルヘッダの製造方法に関し、特に部品耐応力を高くしかつ製造過程での不具合を少なくし製造効率を高めた二重封止型ターミナルヘッダの製造方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＮＧ／ＬＰＧ等の低温液化ガスを貯蔵する低温タンク内部には、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の低温液化ガスをタンク外部に送り出すためサブマージドモータポンプが設置されている。このサブマージドモータポンプのモータは、低温タンク外部から電力を供給することにより駆動されている。
【０００３】
この低温タンク内部およびポンプ部は、低温高圧の状況にあるため、低温タンク内に電力を供給する際には、液漏れや低温による不具合が発生しないようにする必要がある。そのための貫通ブッシングとして、従来から、二重封止型ターミナルヘッダが用いられている。
この種の二重封止型ターミナルヘッダは、周知のとおり、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の液化天然ガスを貯蔵する低温タンク等の貫通部分に用いられている。この二重封止型ターミナルヘッダは、前記タンクの貫通部を塞ぐように固定される隔壁フランジと、前記隔壁フランジに設けた透孔に挿通固定されたセラミックスリーブと、前記セラミックスリーブの内部の中空部に挿通された導体とを備え、封止が必要な箇所を封止材にて封止してなるものが周知である。
【０００４】
図４は、従来の二重封止型ターミナルヘッダの要部を拡大して示す図である。この図４に示す二重封止型ターミナルヘッダは、特許第５８０１００８号公報から引用したものである。
図４において、１は隔壁フランジ、２はセラミックスリーブ、３は環状長尺封着管、４は中心導体、５は第１の環状封着金具、６は第２の環状封着金具、７は第３の環状封着金具、８は第４の環状封着金具、９は環状短尺封着管、１１は大径孔部、１２は小径孔部、１３及び２０は空間、２１は太円柱部、２２は細円柱部、２３は第１の凹部、２４は第２の凹部、２５は凸部である。
この二重封止型ターミナルヘッダを製造する方法において一部工程を次のようにしている。第１の環状封着金具５の一端と第２の環状封着金具６の一端を溶接した後、第２の環状封着金具６を第２の凹部２４にロー付けしている。また、第３の環状封着金具７の一端と第４の環状封着金具８の一端を溶接した後、第４の環状封着金具８を凸部２５にロー付けしている。
これらの終了後に、セラミックスリーブ２を隔壁フランジ１に大径孔部１１側から挿入して、第１の環状封着金具５の他端を隔壁フランジ１に、第３の環状封着金具７の他端を隔壁フランジ１にそれぞれ溶接している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５８０１００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の二重封止型ターミナルヘッダを製造する方法においては、第１の環状封着金具５や第３の環状封着金具７に施された溶接部が、ロー付け時の熱処理工程における温度の関係で劣化してしまう不具合が発生するという欠点があった。
また、第３の環状封着金具７の一端と第４の環状封着金具８の一端との溶接工程において、それら一端がセラミックスリーブ２の空間２０に入り込んだ構造を用いるため、構造上溶接がしにくいという欠点があった。
また、図４符号Ａの領域に示すように、大径孔部１１と小径孔部１２との境界Ｆの面と、太円柱部２１と細円柱部２２の境界面とが当接していることから、セラミックスリーブ２が高圧に晒されて応力を受けることになったときに、セラミックスリーブ２にひびが入ったり破損したりする欠点があった。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の欠点を解消し、溶接部の劣化をなくし、溶接作業を容易にし、かつ、セラミックスリーブの破損等を防止できる二重封止型ターミナルヘッダの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法は、
液化天然ガス等を貯蔵する低温タンクの貫通部分で用いられる二重封止型ターミナルヘッダの製造方法において、
隔壁フランジ及びセラミックスリーブの形状を所定形状に加工する第１加工工程と、
第１の環状封着金具、第２の環状封着金具、第３の環状封着金具及び第４の環状封着金具、中空筒型保護金具を所定形状に加工する第２加工工程と、
第２の環状封着金具、中空筒型保護金具及び第４の環状封着金具をセラミックスリーブの所定位置に配置して位置決め後に、ロー付けする第１の処理工程と、
第１の環状封着金具を第２の環状封着金具に配置して位置決めするとともに、第３の環状封着金具を第４の環状封着金具に配置して位置決めし、かつ第１の環状封着金具と第２の環状封着金具との一端側面及び第３の環状封着金具と第４の環状封着金具との一端側面を溶接する第２の処理工程と、
第１の環状封着金具、第２の環状封着金具、第３の環状封着金具及び第４の環状封着金具が取り付けられた状態で、セラミックスリーブを隔壁フランジの透孔に配置した後、第１の環状封着金具の端部側面と隔壁フランジ及び第３の環状封着金具の端部側面と隔壁フランジをそれぞれ溶接する第３の処理工程とからなることを特徴とするものである。
請求項２記載の発明の二重封止型ターミナルヘッダの製造方法は、前記第２加工工程が、第４の環状封着金具の一端側をその一端側の側面が他端側を向くように円形状に折り曲げて断面略Ｊ字形状に形成する加工工程と、
第３の環状封着金具の一端側が、第４の環状封着金具の折り曲げた部分に嵌まり合う形状に形成するとともに、第３の環状封着金具の一端側の折り曲げた部分が第４の環状封着金具の折り曲げた部分に嵌まり合ったときに、互いの折り曲げた部分の側面が揃う形状に形成する加工工程とからなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法によれば、次のように優れた作用効果がある。
（１）上記製造工程を採用することによりロー付け時の熱処理工程の影響をなくすことができたので、各環状封着金具の溶接部の劣化を防止することができる。
（２）第４の環状封着金具と第３の環状封着金具のそれぞれの一端側面がそれぞれの他端側を向いているため、溶接作業が著しく容易である。
（３）セラミックスリーブの太円柱部と細円柱部の境界部分において中空型保護金具の中空円筒体をセラミックスリーブの第２太円柱部に嵌合してロー付けしてある。セラミックスリーブと隔壁フランジとはセラミックスリーブとロー付けによって固定された中空円筒保護金具を介して当接しているため、セラミック部が直接隔壁フランジに接しないので、セラミックスリーブが高圧に晒されても、セラミック部分に応力集中が発生しないために、セラミックスリーブ２が破損したりひびが入ったりすることがなく、強度の強い二重封止型ターミナルヘッダを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法で製造された二重封止型ターミナルヘッダを示す断面図である。
【図２】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法で製造された二重封止型ターミナルヘッダの要部を拡大して示す断面図である。
【図３】本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法を説明するために示す工程図であって、図３（ａ）が第１の処理工程を、図３（ｂ）が第２の処理工程を、図３（ｃ）が第３の処理工程を、それぞれ示すものである。
【図４】従来の二重封止型ターミナルヘッダの要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２には、本発明の実施の形態に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法で製造された二重封止型ターミナルヘッダが示されている。
これらの図に示す二重封止型ターミナルヘッダＴＨも、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の液化天然ガスを貯蔵する低温タンク等の貫通部分に用いられるものである。なお、図１及び図２に示す各部材につける符号は、図４に示す部材と同一のものには同一の符号を基本的に付すものとする。
【００１２】
この二重封止型ターミナルヘッダＴＨは、隔壁フランジ１と、セラミックスリーブ２と、環状長尺封着管３と、中心導体４と、第１の環状封着金具５と、第２の環状封着金具６と、第３の環状封着金具７と、第４の環状封着金具８と、環状短尺封着管９と、端子Ｐａ、Ｐｂとを備え、封止が必要な箇所を封止材にて封止してなるものである。
【００１３】
隔壁フランジ１は、次のように構成されている。すなわち、前記隔壁フランジ１は、例えばＳＵＳ３１６Ｌからなる所定厚み（Ｌａ＋Ｌｂ）の板体で構成されており、この板体には透孔１０が穿設されている。前記隔壁フランジ１に穿設された透孔１０は、大径孔部１１と、小径孔部１２とから構成されている。
【００１４】
前記大径孔部１１は、低温高圧側に接する隔壁フランジ１の第１の側面Ｓａ側から常温大気圧側に接する隔壁フランジ１の第２の側面Ｓｂ側に向かって、所定の第１の長さＬａにわたって、中心軸Ｏから第１の半径Ｒａに保たれて穿設されている。
前記小径孔部１２は、前記第２の側面Ｓｂ側から前記第１の側面Ｓａ側に向けて前記大径孔部１１までの第２の長さＬｂにわたって、大径孔部１１の半径Ｒａより小さい半径であって前記中心軸Ｏから第２の半径Ｒｂに保たれて穿設されている。
隔壁フランジ１には、大径孔部１１と小径孔部１２の境界部Ｆから小径孔部１２側に向かって所定の長さＬｈで小径孔部１２の径Ｒｂよりも大きい半径Ｒｈに穿設することにより第２小径孔部１５を形成している。
【００１５】
次に、セラミックスリーブ２は、次のように構成されている。すなわち、前記セラミックスリーブ２は、例えばＨＡ−９２の材質からなるセラミック絶縁体から構成されていて、所定の長さＬｃの中空円柱形状体であって、太円柱部２１と細円柱部２２とからなる形状に形成されている。
【００１６】
前記太円柱部２１は、低温圧力側に接する部分が前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内径Ｒａよりやや小さい外径Ｒｃで所定長さＬｄに形成され前記隔壁フランジ１の大径孔部１１に所定の間隙Ｄａをもって嵌まり合える外形形状に形成されている。
【００１７】
前記細円柱部２２は、常温大気圧側と接する部分が前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内径よりやや小さい半径Ｒｄで所定の長さＬｅに形成され前記隔壁フランジ１の小径孔部１２に所定の間隙Ｄｂをもって嵌まり合える外形形状に形成されている。
【００１８】
また、前記セラミックスリーブ２は、太円柱部２１と細円柱部２２との境界Ｆの両側において所定の形状に構成されている。
【００１９】
前記セラミックスリーブ２の前記太円柱部２１と前記細円柱部２２との境界Ｆより低温圧力側であって前記セラミックスリーブ２の外周部分に、当該境界Ｆより低温圧力側に向かって所定の長さＬｊにわたって所定の半径Ｒｊで第２太円柱部２４と第３太円柱部２３を形成している。
また、前記セラミックスリーブ２にあって、太円柱部２１と細円柱部２２との境界Ｆの境界面（太円柱部２１の細円柱部２２側の境界面）は一部が平坦面となる所定の形状に形成されている。
【００２０】
さらに、前記セラミックスリーブ２であって前記太円柱部２１と前記細円柱部２２との境界Ｆより常温大気圧側の外周部分に、常温大気圧側の所定の位置であって前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２の半径Ｒｄよりは大きく前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の半径Ｒｂよりは小さな半径Ｒｇで一定長さに作成した凸部２５が形成されている。
【００２１】
なお、前記隔壁フランジ１にあっては、大径孔部１１と小径孔部１２との境界部分において、大径孔部１１側の境界部分から常温大気圧側に向かって図示のように半円状に空間１３が形成されている。
【００２２】
そして、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１に、前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１が図１および図２に示すように配置されており、その配置によって、当然、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２に、前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２が図１および図２に示すような配置にされている。
【００２３】
前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周面には、第１の環状封着金具５の一端が固定されている。前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１の所定部分には、第２の環状封着金具６の一端内周面が固定されている。また、第１の環状封着金具５と第２の環状封着金具６とは、それぞれの他端同士が固定されることにより、隔壁フランジ１の大径孔部１１と、セラミックスリーブ２の太円柱部２１とが連結されている。
【００２４】
前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周面には、第１の環状封着金具５の一端側外周面が例えばＴＩＧ溶接により固定されている。前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１の所定部分である第１の凹部２４の平面には、第２の環状封着金具６の一端側内周面が例えばロー付けにより固着されている。前記第１の環状封着金具５の内周面には、第２の環状封着金具６の他端側外周面が、例えばＴＩＧ溶接により固着されている。
【００２５】
前記第１の環状封着金具５は、例えばＳＵＳ３１６Ｌから構成されていて、隔壁フランジ１の熱膨張率とほぼ同じか、隔壁フランジ１の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。また、前記第２の環状封着金具６は、例えばコバールから構成されていて、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率とほぼ同じか当該セラミックスリーブの熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。
【００２６】
セラミックスリーブ２の第３太円柱部２３には、図２に示すように、中空筒型保護金具９０の中空円筒体９1部分が嵌め込まれている。中空筒型保護金具９０は、円板体９２の円縁端部に中空円筒体９１が設けられた断面凹形状をしたコバールで構成した当金具であって、当該中空円筒体９１の内側が第３太円柱部２３に嵌合できるように構成されている。また、中空筒型保護金具９０の円板体９２には中心から一定大きさの径Ｒｈ（第２小経孔部１５の経とほぼ同じ経Ｒｈ）の透孔９３が穿設された形状をしている。この中空筒型保護金具９０はコバールで構成されている。
【００２７】
前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内には、第３の環状封着金具７が配置されていて、第３の環状封着金具７の一端が隔壁フランジ１に固定されている。前記セラミックスリーブ２の小径孔部１２の凸部２５には、第４の環状封着金具８が固定されている。そして、第３の環状封着金具７と第４の環状封着金具８とはそれぞれの他端同士が固定されることにより、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２と前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２とが封止されることになる。
【００２８】
この実施形態では、第３の環状封着金具７と第４の環状封着金具８の形状に特徴を持たせた。まず、第４の環状封着金具８は、その一端側を、その一端側の側面が他端側を向くように円形状に折り曲げた形状をしている。
また、第３の環状封着金具７は、その一端側が、第４の環状封着金具８の折り曲げた部分に嵌まり合う形状に形成されている。
さらに、第３の環状封着金具７は、その一端側の折り曲げた部分が第４の環状封着金具８の折り曲げた部分に嵌まり合ったときに、互いの折り曲げた部分の側面が揃う形状に形成されている。
そして、第３の環状封着金具７の折り曲がった部分と第４の環状封着金具８の折り曲がった部分とが嵌まり合って互いの側面が揃った両面を溶接して両者を接合している。
【００２９】
前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内周面には、第３の環状封着金具７の一端側外周面が例えばＴＩＧ溶接により固定されている。前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２の所定部分としての凸部２５の平面には、第４の環状封着金具８の一端側内周面が例えばロー付けにより固着されている。第３の環状封着金具７の一端側側面と前記第４の環状封着金具８の一端側側面との両面は、例えばＴＩＧ溶接により固着されている。
【００３０】
前記第３の環状封着金具７は、例えばＳＵＳ３１６Ｌから構成されていて、前記隔壁フランジ１の熱膨張率とほぼ同じか当該隔壁フランジ１の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。前記第４の環状封着金具８は、例えばコバールから構成されていて、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率とほぼ同じか当該セラミックスリーブ２の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。
【００３１】
上述した構造の二重封止型ターミナルヘッダは、次の製造工程を含む製造方法により製造されることになる。
＜隔壁フランジ１及びセラミックスリーブ２の第１加工工程＞
【００３２】
本発明の実施の形態に係る製造方法では、まず、隔壁フランジ１の形状及びセラミックスリーブ２の形状を各部品が収納できるようにするため所定形状に加工する。具体的には、次の隔壁フランジ１の加工工程と、セラミックスリーブ２の加工工程で所定の形状を得ている。
［隔壁フランジ１の加工工程］
【００３３】
隔壁フランジ１は、この加工工程において、大径孔部１１と小径孔部１２の境界部Ｆから小径孔部１２側に所定の長さＬｈで小径孔部１２の径Ｒｂよりも大きい経Ｒｈで第２小径孔部１５を形成する。
［セラミックスリーブ２の加工工程］
【００３４】
セラミックスリーブ２は、この加工工程において、太円柱部２１と細円柱部２２との境界から太円柱部２１側に所定の長さＬｊで、太円柱部２１より所定経小さい半径Ｒｊで第２太円柱部２４と第３太円柱部２３を形成している。
＜第１〜４の環状封着金具と中空筒型保護金具の第２加工工程＞
【００３５】
本発明の実施の形態に係る製造方法では、次に、第１〜４の環状封着金具５〜８と中空筒型保護金具９０の各部品を上記構造に示すような所定の形状に加工する。つまり、第１の環状封着金具５、第２の環状封着金具６、第３の環状封着金具７及び第４の環状封着金具８と、中空筒型保護金具９０を所定形状に加工する。各部品の加工工程は、次に詳細に説明する。
［第１の環状封着金具５の加工工程］
【００３６】
第１の環状封着金具５は一端部から他端部までほぼ同一半径で円筒状に形成し、その一端側の外周面が隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周に嵌合する外経に、また、その他端の内周面が第２の環状封着金具６の他端の外周面に嵌合する内径に形成している。
［第２の環状封着金具６の加工工程］
【００３７】
第２の環状封着金具６は、一端側の一定長さ部分が第２太円柱部２４に嵌め込める内径に、他端側の一定長さ部分を第１の環状封着金具５の他端の内周面に嵌合する形状に形成されている。
［第４の環状封着金具８の加工工程］
【００３８】
第４の環状封着金具８は、この加工工程において、図１ないし図３に示すように、その一端側をその一端側の側面が他端側を向くように円形状に折り曲げて、断面略Ｊ字形状に形成する。
［第３の環状封着金具７の加工工程］
【００３９】
第３の環状封着金具７は、その一端側が、第４の環状封着金具８の折り曲げた部分に嵌まり合う形状に形成する。さらに、第３の環状封着金具７は、その一端側の折り曲げた部分が第４の環状封着金具８の折り曲げた部分に嵌まり合ったときに、互いの折り曲げた部分の側面が揃う形状に形成する。
図３は、本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法を説明するために示す工程図であって、図３（ａ）が第１の処理工程を、図３（ｂ）が第２の処理工程を、図３（ｃ）が第３の処理工程を、それぞれ示している。また、図３（ａ）〜（ｃ）では、中心線Ｏから図示上半分のみを示し、図示下半分を省略している。
＜第１の処理工程＞
【００４０】
次に、第１の処理工程において、第２の環状封着金具６、中空筒型当金具９０及び第４の環状封着金具８をセラミックスリーブ２の所定位置に配置して位置決め後に、ロー付けする。具体的には、次のようにする。
【００４１】
図３（ａ）は、第１の処理工程を説明するための図である。図３（ａ）において、第２の環状封着金具６をセラミックスリーブ２の第２太円柱部２４の所定位置に嵌込み図３（ａ）に示すように位置決めをする。
中空筒型保護金具９０の中空円筒体９２をセラミックスリーブ２の第３太円柱部２３に嵌合して図３（ａ）に示すように位置決めをする。
第４の環状封着金具８をセラミックスリーブ２に嵌め込み図３（ａ）に示すように位置決めをする。
次いで、第４の環状封着金具８とセラミックスリーブ２の凸部２５との間の領域１０１と、第２の環状封着金具６の内周面とセラミックスリーブ２の第２太円柱部２４の外周面との間の領域１０２と、中空筒型保護金具９０の中空円筒体９２の内周面とセラミックスリーブ２の第３太円柱部２３の外周面との間の領域１０３を、それぞれロー付けをする。
＜第２の処理工程＞
【００４２】
第２の処理工程において、第１の環状封着金具５を第２の環状封着金具６に配置して位置決めし、かつ第３の環状封着金具７を第４の環状封着金具８に配置して位置決めし、しかる後に、第１の環状封着金具５と第２の環状封着金具６との一端側面及び第３の環状封着金具７と第４の環状封着金具８との一端側面をそれぞれ溶接する。具体的には、次のようにする。
【００４３】
図３（ｂ）は、第２の処理工程を説明するための図である。図３（ｂ）において、第２の環状封着金具６に対して第１の環状封着金具５を嵌込み、第２の環状封着金具６と第１の環状封着金具５の両端面を位置決めした後、その両端面２０１を溶接する。
第３の環状封着金具７の一端側の折り曲げた部分を、第４の環状封着金具８の折り曲げた部分に嵌合して位置決めすると、第４の環状封着金具８の折り曲げた部分の側面と第３の環状封着金具７の一端側の側面とが面が揃うので、その揃った両側面２０２を溶接する。
＜第３の処理工程＞
【００４４】
第３の処理工程において、第１の環状封着金具５、第２の環状封着金具６、第３の環状封着金具７及び第４の環状封着金具８が取り付けられた状態で、セラミックスリーブ２を隔壁フランジ１の透孔に配置した後、第１の環状封着金具５の端部側面と隔壁フランジ１の部分を含む領域３０１を溶接するともに、第３の環状封着金具７の端部側面と隔壁フランジ１の部分を含む領域３０２を溶接する。具体的には次のようにする。
【００４５】
図３（ｃ）は、第３の処理工程を説明するための図である。図３（ｃ）において、これらが終了した段階で、第１の環状封着金具５、第２の環状封着金具６、第３の環状封着金具７及び第４の環状封着金具８が取り付けられた状態で、セラミックスリーブ２を、隔壁フランジ１の大径孔部１１側から嵌め込んで位置決めした後、第１の環状封着金具５の端部側面と隔壁フランジ１の面を含む領域３０１を溶接し、第３の環状封着金具７の端部側面と隔壁フランジ１の面を含む領域３０２を溶接する。
二重封止型ターミナルヘッダの製造方法は、上記各加工工程、処理工程を含んで構成されている。また、この製造方法により、図１及び図２に示す二重封止型ターミナルヘッダが製造されたことになる。
【００４６】
本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの製造方法によれば、次のように優れた作用効果を奏する。
（１）上記製造工程を採用することにより熱処理工程の影響をなくすことができたので、各環状封着金具の溶接部の劣化を防止することができる。
（２）第４の環状封着金具と第３の環状封着金具のそれぞれの一端側面がそれぞれの他端側を向いているため、溶接作業が著しく容易である。
（３）セラミックスリーブの太円柱部と細円柱部の境界部分において中空型保護金具の中空円筒体をセラミックスリーブの第２太円柱部に嵌合してロー付けしてある。セラミックスリーブと隔壁フランジとはセラミックスリーブとロー付けによって固定された中空円筒保護金具を介して当接しているため、セラミック部が直接隔壁フランジに接しないので、セラミックスリーブが高圧に晒されても、セラミック部分に応力集中が発生しないために、セラミックスリーブ２が破損したりひびが入ったりすることがなく、強度の強い二重封止型ターミナルヘッダを得ることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１  隔壁フランジ
２  セラミックスリーブ
３  環状長尺封着管
４  中心導体
５  第１の環状封着金具
６  第２の環状封着金具
７  第３の環状封着金具
８  第４の環状封着金具
１０  透孔
１１  大径孔部
１２  小径孔部
１５ 第２小径孔部
２１  太円柱部
２２  細円柱部
２３  第３太円柱部
２４  第２太円柱部
９０  中空筒型保護金具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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