(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間導体の両側に、過電流が流れることにより溶融するヒューズ導体がそれぞれ接続された溶断エレメントの両側に板状の固定電極がそれぞれ接続され、それぞれの前記固定電極の板面が筒状の誘電体の基台の内面に固定材により固定されていることを特徴とする電流遮断素子。
【請求項２】
前記固定電極を３個以上有し、隣り合う前記固定電極の間にそれぞれ前記溶断エレメントが接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電流遮断素子。
【請求項３】
前記固定電極と前記溶断エレメントとの接続体である金属部材を一枚の金属板により形成したことを特徴とする請求項１または２に記載の電流遮断素子。
【請求項４】
電圧印加電極と接地金属電極の間に誘電体を介して放電ギャップを有する放電管を複数備え、前記放電ギャップを酸素を含むガスが流れるとともに、前記電圧印加電極と前記接地金属電極との間に交流電源からの交流電圧が印加されることにより、前記酸素を含むガスが放電してオゾン化ガスとなるよう構成されたオゾン発生装置において、
前記交流電源から複数の前記放電管のそれぞれの前記電圧印加電極に給電する途中に請求項１から３のいずれか１項に記載の電流遮断素子がそれぞれ接続されていることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項５】
前記ヒューズ導体が溶融した場合、前記中間導体が重力により落下して前記固定電極との距離が、落下する前よりも大きくなる位置に前記固定電極が固定されるように、前記電流遮断素子が取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載のオゾン発生装置。
【請求項６】
前記電流遮断素子は、前記基台の、前記固定電極が固定されている部分における少なくとも一部の面から当該固定電極が固定されている側に向く法線ベクトルが、重力方向の成分を有するように設置されていることを特徴とする請求項５に記載のオゾン発生装置。
【請求項７】
内部に電圧印加電極が配置された誘電体管と、内面が前記誘電体管の外面と放電ギャップを有するように配置された接地金属電極とで構成された放電管を複数備え、前記放電ギャップに酸素を含むガスが流れるとともに、前記電圧印加電極と前記接地金属電極との間に交流電源からの交流電圧が印加されることにより、前記酸素を含むガスが放電してオゾン化ガスとなるよう構成されたオゾン発生装置において、
複数の前記放電管は、前記交流電源から複数の前記放電管のそれぞれの前記電圧印加電極に給電する途中に請求項１から３のいずれか１項に記載の電流遮断素子がそれぞれ接続されており、
それぞれの前記電流遮断素子は、前記誘電体管が前記基台を構成し、前記固定電極が、前記誘電体管の内面であって前記電圧印加電極が配置されない部分に固定されていることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項８】
前記電流遮断素子における前記固定電極と前記溶断エレメントとの接続体である金属部材を一枚の金属板により形成したことを特徴とする請求項７に記載のオゾン発生装置。
【請求項９】
前記ヒューズ導体が溶融した場合、前記中間導体が重力により落下して前記固定電極との距離が、落下する前よりも大きくなる位置に前記固定電極が固定されるように、前記電流遮断素子が取り付けられていることを特徴とする請求項７または８に記載のオゾン発生装置。
【請求項１０】
前記誘電体管は前記誘電体管の管軸方向が水平方向となるよう設置されており、前記電流遮断素子は、前記固定電極が固定されている前記誘電体管の内面の少なくとも一部の面から当該固定電極が固定されている側に向く法線ベクトルが、重力方向の成分を有するように設置されていることを特徴とする請求項９に記載のオゾン発生装置。
【請求項１１】
前記誘電体管は円筒形状であり、管軸方向が水平方向となるよう設置されており、前記固定電極は、前記誘電体管の内面の上側半分のいずれかの位置に固定されていることを特徴とする請求項９に記載のオゾン発生装置。
【請求項１２】
前記放電管の管軸方向が重力方向となるよう、前記放電管が設置されていることを特徴とする請求項９に記載のオゾン発生装置。
【請求項１３】
電圧印加電極と接地金属電極の間に誘電体を介して放電ギャップを有する放電管を複数備え、前記放電ギャップを酸素を含むガスが流れるとともに、前記電圧印加電極と前記接地金属電極との間に交流電源からの交流電圧が印加されることにより、前記酸素を含むガスが放電してオゾン化ガスとなるよう構成されたオゾン発生装置において、
前記交流電源から複数の前記放電管のそれぞれの前記電圧印加電極に給電する途中に電流遮断素子がそれぞれ接続されており、
前記電流遮断素子は、中間導体の両側に、過電流が流れることにより溶融するヒューズ導体がそれぞれ接続された溶断エレメントの両側に板状の固定電極がそれぞれ接続され、それぞれの前記固定電極の板面が誘電体の基台の面に固定材により固定されて構成されており、
前記電流遮断素子は、前記ヒューズ導体が溶融した場合、前記中間導体が重力により落下して前記固定電極との距離が、落下する前よりも大きくなる位置に前記固定電極が固定されるように、
前記基台の、前記固定電極が固定されている部分における少なくとも一部の面から当該固定電極が固定されている側に向く法線ベクトルが、重力方向の成分を有するように設置されていることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１４】
前記電流遮断素子は、前記固定電極を３個以上有し、隣り合う前記固定電極の間にそれぞれ前記溶断エレメントが接続されていることを特徴とする請求項１３に記載のオゾン発生装置。
【請求項１５】
前記電流遮断素子は、前記溶断エレメントを有する前記基台が、筒状の誘電体の内部に設置されたことを特徴とする請求項１３または１４に記載のオゾン発生装置。
【請求項１６】
前記交流電源は、運転中に前記放電管が絶縁破壊したことを検出した場合、予め設定した時間の間出力を停止した後、再び出力を開始するように制御することを特徴とする請求項４から１５のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。
【請求項１７】
前記交流電源は、出力電圧が予め設定した閾値以下に低下したことを検出した場合に、前記放電管が絶縁破壊したと判断することを特徴とする請求項１６に記載のオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、酸素を含むガスを放電によりオゾン化するオゾン発生装置に関し、特に運転保護のために備えられる電流遮断素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大容量のオゾン発生装置では、電源に接続される負荷として放電管が１００本以上用いられている。このようなオゾン発生装置において、放電管のばらつきにより、１本の放電管に短絡放電が生じてその放電管でアーク放電が生じた場合でも、その放電管のみ電源から切り離して、装置全体の運転を継続できるように、各放電管にヒューズを備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
装置運転中に、ある放電管を構成する誘電体管が絶縁破壊し、誘電体管に穴が開き、高電圧電極から穴を通じて接地金属電極との間にアーク放電が発生すると、その結果、高電圧電極と接地金属電極の間に大電流の短絡電流が流れる。短絡電流が流れ続けると、接地金属電極に穴が開き、冷却水漏れが発生する場合がある。これを防ぐために、特許文献１では、高電圧電極の入口にヒューズを取り付け、短絡大電流が流れた際にはヒューズが大電流を遮断し、絶縁破壊した放電管を電源から切り離す。絶縁破壊した放電管以外の放電管には電力が供給されるので、放電が発生しオゾン発生を続けることができる。特許文献１に示されるオゾン発生装置においては、ガラスで構成した誘電体管の内部の給電部にガラス管から離してヒューズを配置していた。【０００４】
図１１は、高電圧用に使用されるヒューズの一般的な構成を示す断面図である。磁器管３１の中にヒューズエレメント３０を通し、その両端は磁器管３１の両端につけられたキャップ１４ａ、１４ｂに電気的に接続固定されている。短絡大電流が流れるとヒューズエレメント３０が溶融・蒸発し、短絡大電流の流れる経路にアーク放電が発生する。アーク放電を強制的に消すため、ヒューズエレメントの周囲にけい砂３２を充填し、けい砂によりアークの熱を吸収しアークプラズマ密度を薄くし、キャップ間にかかる電圧を上昇させることにより、アークを消滅させている。アークが消滅すると、ヒューズ両端には高電圧が印加されるが、キャップ１４ａ、１４ｂ間の距離を十分離しているので高電圧に対して絶縁を保ち、再度ヒューズ内に電流が流れることはない。このようにして、絶縁破壊した電極はヒューズにより電源から電気的に切り離される。【０００５】
特許文献２では、一般的なヒューズの代わりに用いる、オゾン発生装置に適した電流遮断素子が提案されている。図１２は、特許文献２に示された電流遮断素子の一例である。３つのヒューズ接続板３５と両端の電極３３、３４の間に、４つのヒューズ導体３６を電気接続して電流遮断素子を構成している。正常運転時に流れる電流でヒューズ導体が発熱するので、ヒューズ導体３６の両側に空冷可能な表面積を持つヒューズ接続板３５を接続し、ヒューズ導体３６での発熱をヒューズ接続板３５から周囲のガス雰囲気に逃がし、ヒューズ導体３６の温度上昇を抑制している。短絡大電流が流れると、４つのヒューズ導体３６が溶融するので、３つのヒューズ接続板３５は落下する。この構成の場合は、図１１のヒューズとは異なりヒューズ導体の周囲にはけい砂を充填していないため、高電圧で使用する場合や、１０Ａ以上の短絡電流が流れる場合にアーク放電を消滅させることが難しい。そこで、誘電体管が絶縁破壊したときの電源電圧の低下、もしくは電流上昇を検出することで誘電体管の絶縁破壊を検出し、電源の出力を低下もしくは停止することでアークを消滅させる。アーク消滅後は、電極３３と電極３４間は十分大きな絶縁距離を確保できるため、絶縁破壊した電極は電気的に切り離すことができる。特許文献２に記載された電流遮断素子は、誘電体管（ガラス管）の内部にガラス管から離して配置されている。また、ヒューズ導体の材料としてステンレス材料を使用することで、オゾン発生器内部の高酸化雰囲気中でも安定した電流遮断素子を構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開２０１６／０８４１８１号
【特許文献２】特開２０１１−２４３４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のオゾン発生装置において、図１１に示すヒューズを使用する場合は、ヒューズの寸法が大きかった。オゾン発生器に印加される代表的な電圧は３〜７ｋＶ、電流は０．２〜１Ａである。電圧が高いため電力用ヒューズを適用する必要があり、ヒューズ寸法は外径が20〜40mm、長さ110〜200mmとサイズが大きくなるという課題があった。一方、ガラス管外径を小さくするとオゾン発生器本体容器内へのガラス管装填密度を高くできるので、同一のオゾン発生量を発生する場合のオゾン発生器本体容器を小さくできる。このため、コスト低減の観点から、オゾン発生器本体容器を小さくするために、ガラス管径を小さくしたいという要求があった。しかしヒューズを使用する場合は、ヒューズ外径が大きいのでガラス管外径を小さくできないため、オゾン発生器本体容器内へのガラス管装填密度を高くできず、結果としてオゾン発生器本体容器を小さくしてコスト低減できないという問題点があった。【０００８】
また、図１２に示すような、特許文献２に記載されている電流遮断素子を使用する場合は、ヒューズ導体の発熱を効率よく周囲の雰囲気ガス中に放散するにはヒューズ接続板３５の面積を大きくする必要があった。ヒューズ接続板の面積を大きくすると重くなり、細いヒューズ導体に力がかかる。このため装置を輸送する際の振動によりヒューズ導体が断線しやすくなるという問題があった。またヒューズ導体は装置の運転ＯＮ・ＯＦＦ動作により温度上昇と冷却を繰り返すのでヒューズ導体には熱応力がかかり、細いヒューズ導体にヒューズ接続板から常時かかる機械応力とあいまって、ヒューズ導体が破損しやすく電流遮断素子の寿命が短いという問題があった。また、オゾン発生器のように高電圧を電極に印加する場合には、電流遮断素子が溶断した後の絶縁距離を確保するためにはヒューズ導体の長さを長くする必要があり、この結果、正常運転時の通電電流でヒューズ導体の発熱が大きく、ヒューズ導体の温度が上昇するため、電流遮断素子の寿命が短いという問題があった。【０００９】
電流遮断素子の寿命が短いと、オゾン発生器の中で運転可能な放電管の本数が減り、オゾン発生量が低下する。オゾン発生量の低下が少ない間は電源から放電管に注入する電力を増やせばオゾン発生量が増えるが、電源の余裕がなくなると定格のオゾン発生量を出せなくなるため、この場合はオゾン発生器本体を開放点検し電極管を交換する必要がある。このように電流遮断素子寿命が短いと、発生器の開放点検周期が短くなりメンテナンスコストがアップするという問題がある。【００１０】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、細い放電管を使用でき、オゾン発生器を小型化できる、信頼性の高い電流遮断素子を備えたオゾン発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に係る電流遮断素子は、中間導体の両側に、過電流が流れることにより溶融するヒューズ導体がそれぞれ接続された溶断エレメントの両側に板状の固定電極がそれぞれ接続され、それぞれの固定電極の板面が筒状の誘電体の基台の内面に固定材により固定されているものである。
【００１２】
また、この発明に係るオゾン発生装置は、電圧印加電極と接地金属電極の間に誘電体を介して放電ギャップを有する放電管を複数備え、放電ギャップを酸素を含むガスが流れるとともに、電圧印加電極と接地金属電極との間に交流電源からの交流電圧が印加されることにより、酸素を含むガスが放電してオゾン化ガスとなるよう構成されたオゾン発生装置において、交流電源から複数の放電管のそれぞれの電圧印加電極に給電する途中に、中間導体の両側に、過電流が流れることにより溶融するヒューズ導体がそれぞれ接続された溶断エレメントの両側に板状の固定電極がそれぞれ接続され、それぞれの固定電極の板面が筒状の誘電体の基台の内面に固定材により固定された電流遮断素子が接続されているものである。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、機械応力によるヒューズ導体の断線発生が抑制されるとともに、細い放電管を使用することができる電流遮断素子を備えたオゾン発生装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の実施の形態１によるオゾン発生装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１によるオゾン発生装置の、電流遮断素子を備えた誘電体管の要部を示す拡大断面図である。
【図３】この発明の実施の形態１によるオゾン発生装置の動作を説明するための線図である。
【図４】この発明の実施の形態１によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子のヒューズ導体が溶融して消滅した状態を示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態２によるオゾン発生装置の、電流遮断素子を備えた誘電体管の要部を示す拡大断面図である。
【図６】この発明の実施の形態２によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子のヒューズ導体が溶融して消滅した状態を示す断面図である。
【図７】この発明の実施の形態３によるオゾン発生装置の、電流遮断素子を備えた誘電体管の要部を示す拡大断面図である。
【図８】この発明の実施の形態４によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子の構成を示す拡大断面図である。
【図９】この発明の実施の形態５によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子の構成を示す拡大断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態６による電流遮断素子の構成部材を示す平面図である。
【図１１】従来のヒューズの構成を示す断面図である。
【図１２】特許文献２に記載された電流遮断素子の構成の一例を示す図である。
【図１３】特許文献２に記載された電流遮断素子の動作を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるオゾン発生装置の概略構成を示す断面図である。図１において、オゾン発生器本体容器１２の内部に、円筒形状の誘電体管１と接地金属電極１１が対となって１本の放電管を構成している。図１では放電管の詳細を説明するため、放電管は２本のみ図示されているが、大容量のオゾン発生装置では一つのオゾン発生器本体容器１２の内部に数百本の放電管が設置されている。例えば、誘電体管１は円筒形状のガラス管で構成され、接地金属電極１１はステンレスからなるパイプで構成され、図示していないスペーサを介して、誘電体管１と接地金属電極１１は同心状に配置され、誘電体管１と接地金属電極１１の間には狭い放電ギャップ２５が形成されている。誘電体管１の片端（右端）は封じられ、他端（左端）は開口形状となっている。誘電体管１の内部に電圧印加電極２が配置されている。ここでは、電圧印加電極２は誘電体管１の内面に蒸着などで形成された金属膜により構成されている。内面に電圧印加電極２が形成された誘電体管１と接地金属電極１１で放電管を構成する。電圧印加電極２は、電気接続部材９、電流遮断素子７、給電部材８、給電リード線１４を経由して交流電源１６内の交流電圧発生部２１の出力端に接続されている。交流電圧発生部２１の他端は接地され、オゾン発生器本体容器１２も接地されている。給電リード線１４が接地電位であるオゾン発生器本体容器１２を貫通する部分は、ブッシング１５により絶縁されている。交流電源１６の交流電圧発生部２１が発生する交流電圧は、放電ギャップ２５において放電が生じるだけの高電圧であり、交流の周波数は、誘電体を介して放電させる、すなわち無声放電を発生させることができる周波数である。交流電圧発生部２１は、例えば、電圧３〜７ｋＶ、周波数０．５〜５ｋＨｚといった高周波の交流電圧を発生する。
【００１６】
ここでは電圧印加電極として誘電体の内面に形成された金属膜の例を示すが、電圧印加電極は、誘電体の内面に形成された金属膜に限らず、誘電体管１の内部に配置された金属体であればよい。この電圧印加電極と接地金属電極１１の間に誘電体を介して電圧が印加される構成で、電圧印加電極と接地電極の間のいずれかの位置に放電ギャップを有する構成で、放電ギャップにおいていわゆる無声放電を発生できる構成であればよい。
【００１７】
交流電源１６内には、電源制御部２２と出力電圧低下検出部２３を備える。この実施の形態では、出力電圧低下検出部２３は給電リード線１４と接地との間に接続され、出力電圧低下検出部２３の信号をもとに出力電圧の低下を検出し、検出した信号を電源制御部２２に送る。電源制御部２２は、装置の運転・停止制御、交流電源の監視制御などを行う。オゾン発生器本体容器１２と交流電源１６でオゾン発生装置を構成する。
【００１８】
ステンレスから成るパイプ状の接地金属電極１１は両側の端板１３と溶接等により接合され、端板１３はオゾン発生器本体容器１２と溶接等により接合されている。端板１３はオゾン発生器本体容器１２を３つの部屋に分割していて、左右はガス空間、真ん中は冷却水２４が満たされている。冷却水は、冷却水入口１９から冷却水出口２０に向けて流すように構成している。酸素を含む原料ガスが原料ガス入口１７から導入され、放電ギャップ２５を通過する間に放電によりオゾン化されたガスはオゾン含有ガス出口１８から排出され、オゾン処理などに利用される。
【００１９】
図２は電流遮断素子７の構成を示すための拡大断面図であり、図２Ａは誘電体管１の給電部側の長手方向断面図、図２Ｂは横断面図である。中間導体５ｂの両側にヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃが接続され、ヒューズ導体５ａ、中間導体５ｂ、ヒューズ導体５ｃで溶断エレメント５を構成する。ヒューズ導体５ａの中間導体５ｂが接続された側とは反対側に給電側の固定電極３が接続されている。また、ヒューズ導体５ｃの中間導体５ｂが接続された側とは反対側に電圧印加電極側の固定電極４が接続されている。給電側の固定電極３および電圧印加電極側の固定電極４はいずれも板状である。後述するが、板の厚みは、例えば0.02ｍｍのようにごく薄い箔のような厚みであっても良い。給電側の固定電極３は板面が固定材３ａにより、電圧印加電極側の固定電極４は板面が固定材４ａにより、それぞれ誘電体管１の内面に固定されている。固定材３ａおよび固定材４ａは、熱伝導性の良い接着剤、エポキシ系の高熱伝導接着剤、導電性接着剤、無機系の接着剤などで構成されている。電圧印加電極側の固定電極４には電気接続部材９が接続されており、給電側の固定電極３には給電部材８が接続されている。この実施の形態では、誘電体管１は水平方向に設置されており、図２Ｂに示すように、電流遮断素子７は誘電体管１の内部の上側に配置されている。
【００２０】
このように、電流遮断素子７は、中間導体５ｂの両側にヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃが接続された溶断エレメント５と、溶断エレメント５の両側のヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃの、中間導体５ｂに接続された側とは反対側に接続されたそれぞれ板状の固定電極３および固定電極４とを備え、それぞれの固定電極の板面が誘電体管１の内面に固定材により固定されて構成されている。誘電体管１の、電流遮断素子７を構成する部分を基台とも称する。なお、図２Ａ、図２Ｂにおける固定電極、中間導体、ヒューズ導体、固定材の寸法は、各断面における他の部材に対する実際の寸法比とは異なって図示されており、各部材の配置が理解され易いように寸法を拡大、また各部材が強調されて図示されている。
【００２１】
次に動作について説明する。交流電源１６の電源制御部２２が運転指令を交流電圧発生部２１に送ると、交流電圧発生部２１から出力された高周波の交流電圧は給電リード線１４、給電部材８、電流遮断素子７、電気接続部材９を通じて電圧印加電極２に印加される。電圧印加電極２と接地金属電極１１の間に形成された狭い放電ギャップ２５に高周波の交流電圧が印加されると、放電ギャップ２５で放電が発生する。放電ギャップは0.6ｍｍ以下に設定される場合が多い。原料ガス入口１７から酸素を含むガスを導入すると、ガスは放電ギャップ２５を通り、放電の作用でガスがオゾン化してオゾン含有ガスとなりオゾン含有ガス出口１８から外部に導かれる。原料ガス成分は乾燥空気、もしくは酸素ガスに微量の窒素ガスを添加する。原料ガスは少なくとも酸素を含んでいる必要がある。放電による発熱で電圧印加電極２と接地金属電極１１の温度が上昇するので、冷却水入口１９、冷却水出口２０を通じて冷却水２４を流し冷却を行う。
【００２２】
誘電体管１が絶縁破壊して穴が開いた場合、電圧印加電極２と接地金属電極１１の間が導通する。この結果、交流電源１６の出力側が短絡状態となり、瞬時に短絡大電流が誘電体管１の絶縁破壊箇所を通じて流れる。絶縁破壊した誘電体管１に取付けられた電流遮断素子７には短絡大電流が流れる。電流遮断素子７を構成するヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃは断面積の小さな構造で抵抗値が高いので、この部分に瞬時に短絡大電流のような過電流が流れると温度が急に上昇し溶融・蒸発する。溶融・蒸発したヒューズ導体は高温のプラズマ状態となり、アーク放電が発生する。
【００２３】
次に、運転状態、絶縁破壊状態での電源制御部２２の指令値、各部の電圧・電流波形を図３に示す。電源制御部２２が運転指令を送ると交流電源１６は運転状態となり高周波高電圧が出力される。誘電体管１が絶縁破壊すると交流電源１６の負荷側が短絡状態となるので、電源出力電圧はゼロ電圧近くまで低下すると同時に絶縁破壊した誘電体管１および電流遮断素子７に短絡大電流が流れる。一方、正常電極に印加される電圧がゼロ付近まで低下するため、正常電極に流れる電流はゼロ付近まで低下し、放電ギャップ２５で発生していた放電が停止し、オゾン発生が停止する。交流電源１６の出力電圧が予め設定された閾値以下に低下すると、出力電圧低下検出部２３は出力電圧低下を検出し、結果を電源制御部２２に送る。電源制御部２２は、電源運転状態であるにも拘わらず予め設定された閾値以下に出力電圧が低下したことから電源出力側で短絡が発生したと判断し（短絡検出）、運転停止指令を交流電圧発生部２１に送る。その結果、交流電源１６は出力を停止し、電源出力電圧がゼロに低下して、絶縁破壊した電極に流れていた短絡大電流がゼロに低下する。ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃ部で発生していたアーク放電は、短絡大電流の低下とともに消滅する。図２Ａに示すヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃは溶融により消滅し、その結果中間導体５ｂは、両側の支持がなくなるので、図４に示すように誘電体管１の内部の底部に落下する。給電側の固定電極３と電圧印加電極２の間には、図４に示す絶縁距離ができる。
【００２４】
（ａ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の絶縁距離＝Ｌ１
（ｂ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の中間導体５ｂを介した絶縁距離＝Ｌ２＋Ｌ３
（ｃ）給電側の固定電極３と電圧印加電極２間の中間導体５ｂを介した絶縁距離＝Ｌ２＋Ｌ４
絶縁距離は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のいずれも十分確保しているため、再度高周波高電圧が給電側の固定電極３に印加されても、上記の絶縁距離を示した部分でアーク放電が発生することはない。通常のオゾン発生器においては、印加電圧実効値は7.5ｋＶ以下である場合が多く、またオゾン発生器本体容器１２内部のガス圧力を0.07ＭＰａ以上で動作させる場合が多い。この場合は絶縁距離＝７ｍｍ以上とすることで電圧再印加時にアーク放電は発生しない。但し、長期間使用すると誘電体管１の内面が汚損し、絶縁性能が劣化している場合があるので、できれば絶縁距離は上記の２倍以上の１４ｍｍ以上とすることが望ましい。また、オゾン発生器の運転電圧が低く、例えば４ｋＶの場合には絶縁距離は4ｍｍ以上とすることで、電流遮断素子サイズを更に小さくできる。
【００２５】
電源制御部２２は、運転停止指令を出した後、すぐに図３に示すように運転再開指令を交流電圧発生部２１に送り、交流電源１６は高周波高電圧を再度出力する。運転停止指令から運転再開指令までの時間は、予め設定しておく。この時間は、ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃ部で発生するアーク放電の継続時間以上の時間として設定すればよい。この予め設定する時間は、例えば１〜１０秒程度である。絶縁破壊した電極はヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃが溶融・蒸発し、中間導体５ｂが誘電体管１の底に落下し電気的に切り離されているので電流は流れない。正常電極には高周波高電圧が印加され、電流が流れて放電ギャップ２５で放電し、再度オゾン発生を開始する。オゾン発生器本体容器１２内に配置される誘電体管１の本数をＮ本とすると、オゾン発生量は概略［（Ｎ−１）／Ｎ］に低下する。本数Ｎが例えば数百のように多いオゾン発生器では出力低下割合は少なくなる。
【００２６】
上記で説明したように、誘電体管１の絶縁破壊による電圧低下を検出して交流電源１６を停止して短絡大電流をゼロに下げ、絶縁破壊した誘電体管１を電流遮断素子７により電気的に切り離し、交流電源１６を再起動することによりオゾン発生装置の運転を継続することができる。このようにして交流電源１６の負荷側で短絡した場合の保護（短絡保護）を行うことができる。
【００２７】
なお、上記では、誘電体管の絶縁破壊、すなわち放電管の絶縁破壊を検出する方法として、交流電源内に設けた出力電圧低下検出部２３で出力電圧の低下を測定して検出する場合を説明したが、その他の方法、例えば、出力電流の増加を検出する方法、複数の放電管を２つに分割し電源の出力を２つに分割して供給し電流値の差分で検出する方法、発生器本体容器内部のアーク放電から出る光を測定する方法などを用いて放電管の絶縁破壊を検出し、交流電源１６の出力を制御しても同様の効果を奏する。
【００２８】
次に本実施の形態１での電流遮断素子７での発熱と冷却について説明する。電流遮断素子７に流れる正常運転時の電流値（誘電体管１本当りの電流値）は、オゾン発生器に印加される代表的な電圧３〜７ｋＶの場合、0.2〜1Ａである。これに対し、誘電体管１が絶縁破壊したときの過電流（短絡電流）の電流値は、交流電源のインピーダンスによって異なるが、運転時の電流値の概略１０倍〜１０００倍である。電流遮断素子７の端子間抵抗値を支配しているのは、ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃの寸法と材料であり、断面積Ｓ、長さＬ、抵抗率ρとすると、ヒューズ導体１個の抵抗値：Ｒ＝ρ×（Ｌ／Ｓ）となる。電流遮断素子７が動作するには、過電流が流れることによりヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃが溶融する温度以上に温度上昇する必要がある。短絡電流は瞬間的に流れるため、ヒューズ導体で発生したジュール熱は周囲にほとんど逃げることなくヒューズ導体を加熱する。このため、ヒューズ導体が溶融するかどうかは、ヒューズ導体の材料によって決まる溶融温度、比重、比熱、抵抗率ρ、断面積Ｓにより決まる。
【００２９】
本実施の形態においては、電流遮断素子７の材料としてステンレス（ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１６）を使用し、ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃの断面寸法は、厚み0.01〜0.05ｍｍ、幅0.05〜0.30ｍｍとした。ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃの長さは短いほど抵抗値Ｒが小さくなり運転時の電流による発熱が小さくなって、また長さが短いほどヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃで生じた運転時の電流による発熱が給電側の固定電極３、電圧印加電極側の固定電極４に伝わりやすくなり、ヒューズ導体の温度が下がる。実施の形態１では、固定電極３および固定電極４の面を固定材３ａおよび固定材４ａを介して誘電体管１の内面に固定することにより、正常運転時にヒューズ導体で発生する熱を、固定電極３および固定電極４から誘電体管１を通じて放熱することを特徴の一つとしている。この実施の形態では、ヒューズ導体の長さは１ｍｍとした。長さを例えば0.1ｍｍ未満のように極端に短くすると、ヒューズ導体から給電側の固定電極や電圧印加電極側の固定電極への熱が過剰に逃げるため、短絡電流により溶融しにくくなるとともに、短絡電流がゼロになった後で溶融したものが再固着してヒューズ導体部が電気的に繋がるという不具合が発生する。一方、ヒューズ導体の長さを長くするとヒューズ導体での発熱が多くなり、回路ロスが増えてオゾン発生効率が低下する。またヒューズ導体の運転時の温度が高くなり、長期間運転すると材料劣化によりヒューズ導体部の断線が発生しやすくなる。従って、ヒューズ導体の長さは、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１６を使用した場合は、0.1〜2ｍｍが最適である。0.1〜2ｍｍの長さのヒューズ導体を使用して短絡電流を流したところ、短絡電流１０Ａの時は5〜0.15ｍｓで溶断し、１００Ａの時は50〜1.5μｓで溶断した。
【００３０】
固定電極３および固定電極４は、それぞれ板面が固定材３ａおよび４ａを介して誘電体管１の内面に固定されており、固定電極３および固定電極４から誘電体管１へ、固定されている面全体での熱伝導により放熱される。面的に放熱されるため放熱量を多くできる。さらに、固定電極３および固定電極４から誘電体管１への放熱をできるだけ妨げないため、固定材３ａおよび固定材４ａとして熱伝導性の良い接着剤を使用した。具体的にはエポキシ系の高熱伝導接着剤、導電性接着剤を使用すればよい。また、無機系の接着剤や、通常の接着剤でも厚みを薄く塗布することで熱伝導がアップする。電流遮断素子７に正常運転時の電流が流れると、ヒューズ導体５ａで発生した熱は給電側の固定電極３と固定材３ａを通じて速やかに誘電体管１に伝わる。誘電体管１に伝わった熱は、誘電体管１の広い面積に広がり、熱伝達で周囲のガス中に熱を放散する。誘電体管１としてガラス管を使用する場合、厚みが１〜３ｍｍ程度であれは誘電体内での熱伝導は早く、熱が誘電体管１の広い面積に速やかに伝わる。熱伝達は表面積が大きいほど熱を伝える能力が高いので、この構成にすることにより、ヒューズ導体５ａの温度上昇を抑制できる。結果として温度上昇による材料劣化を抑えることができるので、ヒューズ導体５ａの劣化による断線を抑えることができ、高信頼性の電流遮断素子７を提供できる。ヒューズ導体５ｃで発生した熱も、同様に、電圧印加電極側の固定電極４と固定材４ａを通じて速やかに誘電体管１に誘電体管１に伝わり放熱できる。なお、固定材３ａおよび固定材４ａとして使用する接着剤の厚みは薄くする方が誘電体管１への熱が伝わりやすい。
【００３１】
また、給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４は、ヒューズ導体５ａ、５ｃでの発熱を面で固定して効率よく誘電体管１に伝えるのが目的であるため、サイズが小さすぎると温度上昇を招くが、大きくしすぎる必要はない。特に誘電体管１に固定する面の面積が小さくとも熱伝導性の良い固定材３ａおよび固定材４ａの働きで、ヒューズ導体の発熱を効率よく誘電体管１に伝えることができるためである。本実施の形態では、給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４のサイズは、厚み0.01〜0.05ｍｍ、幅1.5〜6ｍｍ、長さ2〜16ｍｍとした。これらの固定電極は、幅1.5〜6ｍｍ、長さ2〜16ｍｍとして形成された面が、固定材により電流遮断素子の基台を構成する誘電体管１の内面に固定される。
【００３２】
中間導体５ｂの断面積は、ヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃよりも大きくして、正常時運転電流に対するジュール発熱を抑える必要がある。一方、断面積を大きくしすぎると、中間導体５ｂの重量が両側のヒューズ導体５ａおよびヒューズ導体５ｃにかかり、ヒューズ導体にかかる機械応力が大きくなり、機械応力によるヒューズ導体の断線が発生しやすくなる。上記の観点から、中間導体５ｂの断面寸法は、厚み0.01〜0.05ｍｍ、幅0.5〜5ｍｍとした。中間導体５ｂの長さは、絶縁寸法を確保するために4〜8ｍｍとした。また、固定材３ａおよび固定材４ａの厚み0.01〜0.5ｍｍ、図３のＬ４寸法＝1〜5ｍｍとした。このように構成することで、図４に示す絶縁寸法は本実施例では以下のようになる。
【００３３】
（ａ）Ｌ１＝（4〜8ｍｍ）＋２×（0.1〜2ｍｍ）＝4.2〜12ｍｍ
（ｂ）Ｌ２＋Ｌ３＝（（誘電体管１の内径）−（0.01〜0.05ｍｍ）−（0.01〜0.05ｍｍ））×２
＝（誘電体管１の内径）×２−（0.04〜0.2ｍｍ）
（ｃ）Ｌ３＋Ｌ４＝（誘電体管１の内径）−（0.01〜0.05ｍｍ）−（0.01〜0.05ｍｍ）＋（1〜5ｍｍ）
＝（誘電体管１の内径）＋（1〜4.9ｍｍ）
【００３４】
誘電体管１を構成するガラス管の内径が４ｍｍ以上の場合、上記（ａ）〜（ｃ）の絶縁寸法は、いずれも必要絶縁寸法の４ｍｍ以上となり、絶縁を確保できる。中間導体５ｂの長さは上記を満足するようにできるだけ短くする方が中間導体５ｂでの発熱を抑制できる。
【００３５】
ところで、図１２に示す従来例にてヒューズ導体が２個の場合について電流遮断素子を設計すると、電流遮断素子動作前は図１３Ａの構造となり、電流遮断素子動作後は図１３Ｂの構造となる。電流遮断素子動作後に絶縁距離を（Ｌ１＋Ｌ２）にて確保しているが、本実施の形態の図４と比較すると、従来例では誘電体管１の中央に電極３３、３４を配置しているので、同一ガラス管径の場合は落下距離が半分になり絶縁距離（Ｌ１＋Ｌ２）が短くなる。従って必要な絶縁距離を確保するには電極３３、３４の間の距離を離す必要がある。また、図１３Ａと図１３Ｂの位置関係から判るように、２個のヒューズ導体３６の長さの和が絶縁距離（Ｌ１＋Ｌ２）を決めている支配的寸法である。従って、絶縁距離７ｍｍ以上を確保するためには、ヒューズ導体３６の長さは其々３．５ｍｍ以上確保する必要があり、本実施の形態のヒューズ導体長さ１ｍｍに比べると３．５倍長い。この結果、本実施の形態ではヒューズ導体の抵抗値が1/3.5＝28.6％に低下し、ヒューズ導体発熱も28.6％に低下する。
【００３６】
上記のように、ヒューズ導体の発熱を抑制し、かつ板状の固定電極の板面を誘電体管の内面に固定することで熱放散を良くしたので、正常運転時のヒューズ導体、中間導体、固定電極の温度上昇が小さくなり、その結果ヒューズ導体にかかる熱応力が小さくなり、正常運転時における熱応力によるヒューズ導体の断線発生がなくなる。
【００３７】
さらに、中間導体５ｂがヒューズ導体溶融時に誘電体管１の底に落下する構成としたので絶縁距離確保が容易となる。絶縁距離を確保するためには、ヒューズ導体が溶融した場合に、中間導体５ｂが重力により落下して固定電極との距離が、落下する前よりも大きくなる位置に固定電極が固定されるように電流遮断素子７が取り付けられていればよい。誘電体管１、すなわち放電管の管軸方向が水平方向になるよう設置されている場合、中間導体５ｂが誘電体管１の底に落下するためには、電流遮断素子７が、固定電極が固定されている誘電体管１の面の少なくとも一部の面から固定電極が固定されている側へ向く法線ベクトルが、重力方向の成分を有するように設置すれば良い。また、誘電体管１が円筒形状で管軸方向が水平方向になるよう設置されている場合、この条件は、固定電極が誘電体管の内面の上側半分のいずれかの位置に固定されている、という条件になる。
【００３８】
正常運転時のヒューズ導体の発熱を抑制し、かつ熱放散を良くしたので固定電極を小さくでき、またヒューズ導体溶断時に中間導体５ｂが誘電体管１の底に落下する構成としたので絶縁距離確保が容易となる。よって、ガラス管径を小さくしても、正常運転時におけるヒューズ導体の温度上昇を抑制でき、かつヒューズ導体溶断後の絶縁機能確保が可能である。結果として誘電体管１の管径を小さくすることができ、オゾン発生器本体容器内への高密度での誘電体管１の装填が可能となり、コンパクトで安価なオゾン発生装置を提供できる。
【００３９】
また、正常運転時のヒューズ導体の発熱を低減したので、オゾン発生時の電気回路のロスが少なくなり、オゾン発生効率が向上する。また、ヒューズ導体の発熱を低減したので、原料ガスが原料ガス入口１７から導入され放電ギャップ２５に入るまでのガス温度上昇が小さくなるので、放電ギャップ部の入口部の温度上昇が抑制されるため、オゾン発生効率が良くなる。
【００４０】
上記では、電流遮断素子７を誘電体内部の概略上に取付ける場合を示したが、誘電体内側の上半分の位置に取付けるようにすれば、中間導体が落下して絶縁距離が大きくでき効果を奏する。
【００４１】
また、電圧印加電極側の固定電極４と電圧印加電極２の間を電気接続部材９で接続する場合を示したが、電気接続部材９を省略し、電圧印加電極側の固定電極４を電圧印加電極２の上に直接電気接続してもよい。
【００４２】
なお、上記では、電流遮断素子７を誘電体管１の上半分の位置に取り付けるようにしたが、下半分の位置に取付けると、ヒューズ導体が溶融・蒸発した後の絶縁距離が短くなるものの、正常運転時においてヒューズ導体の発熱を、誘電体管１に固定されている給電側の固定電極３および電圧印加電極側の固定電極４から誘電体管１の広い表面から熱伝達により周囲のガスに放散させるという効果を保有している。従って、オゾン発生器の運転電圧が低く、絶縁距離が短くても良い場合には冷却の優れた電流遮断素子７を実現できる。
【００４３】
実施の形態２．
図５は、この発明の実施の形態２によるオゾン発生装置の誘電体管１の要部を示す断面図である。実施の形態１では、溶断エレメント５を１つだけ使用する場合を示したが、一つの電流遮断素子７に対して２つの溶断エレメントを使用すると装置の信頼性をアップできる。具体的には、図５に示すように、中間導体５１ｂの両側にヒューズ導体５１ａおよびヒューズ導体５１ｃを接続し、溶断エレメント５１を構成し、中間導体５２ｂの両側にヒューズ導体５２ａおよびヒューズ導体５２ｃを接続して溶断エレメント５２を構成する。給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４の間に中間の固定電極６を配置し、給電側の固定電極３と中間の固定電極６の間に溶断エレメント５１を接続し、電圧印加電極側の固定電極４と中間の固定電極６の間に溶断エレメント５２を接続する。中間の固定電極６は、熱伝導性の良い固定材６ａにより誘電体管１に固定されている。給電側の固定電極３、溶断エレメント５１、中間の固定電極６、溶断エレメント５２、電圧印加電極側の固定電極４、およびこれらの固定電極が固定されている部分の誘電体管１による基台、で電流遮断素子７を構成する。
【００４４】
誘電体管１に運転時に流れる電流によりヒューズ導体５１ａで発生する熱は給電側の固定電極３と固定材３ａを通じて誘電体管１に伝わり、ヒューズ導体５１ｃおよびヒューズ導体５２ａで発生する熱は中間の固定電極６と固定材６ａを通じて誘電体管１に伝わり、ヒューズ導体５２ｃで発生する熱は電圧印加電極側の固定電極４と固定材４ａを通じて誘電体管１に伝わり、誘電体管１の広い表面から熱伝達により周囲のガスに効率よく熱が放散される。
【００４５】
電流遮断素子７に短絡電流が流れるとヒューズ導体５１ａ、５１ｃ、５２ａ、５２ｃが溶断し、図６に示すように、中間導体５１ｂ、５２ｂが誘電体管１の内部の底に落下する。
【００４６】
溶断エレメントは以下のように異常動作する場合がたまにあるため、溶断エレメントを２個で構成すれば信頼性は向上する。
（１）ヒューズ導体の幅が小さいので、製造寸法バラツキにより、短絡電流が小さい場合はヒューズ導体が溶断しない場合がある。
（２）溶断時にヒューズ導体や中間導体の一部が溶けて、誘電体に近い場合は誘電体に溶着する場合がある。この場合は中間導体は下に落ちないので絶縁距離が短く、電圧を再度印加した場合に再度短絡してしまう。溶断エレメント２個のうちの１個が動作しない場合にも正常に動作させるには、溶断エレメント５１および溶断エレメント５２の仕様は、実施の形態１の溶断エレメント５の仕様に合わせるのが良い。
【００４７】
図６Ａに両方の溶断エレメント５1および溶断エレメント５２が落下した場合の状態を示す。絶縁距離は以下のようになる。
（ａ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の絶縁距離＝Ｌ１＋Ｌ２
（ｂ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の中間導体５１ｂ、５２ｂを介した絶縁距離＝Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ５
（ｃ）給電側の固定電極３と電圧印加電極２間の中間導体５１ｂ、５２ｂを介した絶縁距離＝Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ６
【００４８】
溶断エレメント５１および溶断エレメント５２の仕様を、実施の形態１の溶断エレメント５の仕様に合わせると、絶縁距離は実施の形態１の場合の１．５〜２倍に長くなるため、十分に絶縁機能を果たす。
【００４９】
溶断エレメント５１が正常に動作せず、溶断エレメント５２のみが正常に動作し、溶断エレメント５２のみが落下した場合の状態を図６Ｂに示す。溶断エレメント５１および溶断エレメント５２の仕様を、実施の形態１の溶断エレメント５の仕様に合わせると、この場合の絶縁距離は実施の形態１と同じ距離となる。このように構成することで、短絡電流が流れた場合に、片方の溶断エレメント５１が正常動作しなくとも、他方の溶断エレメント５２が正常に動作するので、片側の溶断エレメントだけで絶縁距離を確保できるので、短絡保護機能の信頼性をアップすることができる。上記では、溶断エレメント２個の場合を示したが、更に個数を増やすと更に短絡保護機能の信頼性がアップする。
【００５０】
なお、上記実施例では溶断エレメント５１および溶断エレメント５２の仕様は、実施の形態１の溶断エレメント５の仕様に合わせるのが良いとしたが、複数の溶断エレメントが落下することによる絶縁距離で、必要な絶縁距離（４ｍｍ以上）を満足するように設計しても実施の形態１と同様の効果を奏する。具体的な設計は、図６ＡにおけるＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６について、以下の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）すべてが４ｍｍ以上となるようにすればよい。
【００５１】
（ａ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の絶縁距離＝Ｌ１＋Ｌ２
（ｂ）給電側の固定電極３と電圧印加電極側の固定電極４間の中間導体５１ｂ、５２ｂを介した絶縁距離＝Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ５
（ｃ）給電側の固定電極３と電圧印加電極２間の中間導体５１ｂ、５２ｂを介した絶縁距離＝Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ６
【００５２】
実施の形態３．
図７は、この発明の実施の形態３によるオゾン発生装置の誘電体管１の要部を示す断面図である。実施の形態１では、給電部材８により給電する側の誘電体管１の端部は開放状態であったが、図７に示すように誘電体管１の開口部に金属製のキャップ２９を取付け、給電側の固定電極３とキャップ２９の間を接続導体２６で電気接続し、キャップ２９に給電部材８を電気接続する。電流遮断素子７に短絡電流が流れるとヒューズ導体５ａ、５ｃが溶融して飛散し、またアーク放電により中間導体５ｂが飛散して誘電体管１の開口部から外に飛び出し、これらが他の誘電体の表面に付着し、電気絶縁を保てなくなる場合がある。キャップ２９を取付けることにより、ヒューズ導体５ａ、５ｃ、および中間導体５ｂが誘電体外部に飛散することがないので、オゾン発生器の信頼性をアップできる。キャップ２９の誘電体管１への固定は、キャップ２９のカシメ加工や、キャップ内部への無機接着剤塗布など、どのような方法を用いても良い。
【００５３】
実施の形態４．
図８は、この発明の実施の形態４によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子の構成を示す拡大断面図である。実施の形態１では、溶断エレメントは誘電体管１の内面に取付ける場合を示したが、図８に示すように、別の円筒形状の誘電体部材２７の内面の概略上側に溶断エレメント５を取り付け、誘電体部材２７の両側の開口に金属製キャップ２９ａ、２９ｂを取り付け、給電側の固定電極３とキャップ２９ａ間を接続導体２６ａで電気接続し、電圧印加電極側の固定電極４とキャップ２９ｂ間を接続導体２６ｂで電気接続し、誘電体管１から独立して電流遮断素子７を構成しても良い。この場合、円筒形状の誘電体部材２７の一部が電流遮断素子７の基台を構成する。実施の形態４による電流遮断素子によれば、誘電体管１、電圧印加電極２とは別の製造工程で電流遮断素子７を製造できるので、ヒューズ製造工程を簡易にでき製造コストを下げることができるというメリットがある。
【００５４】
上記では、電流遮断素子７の基台を構成する誘電体部材２７を誘電体管１の外部に設置する方法を示したが、電流遮断素子７の基台を構成する誘電体部材２７を誘電体管１の内部に配置しても良い。また両側のキャップのうちの片方又は両方を省略することもできる。
【００５５】
また、図８では誘電体部材２７は円筒形状としたが、別の形状でもよく、誘電体部材２７を、例えば、ガラスやセラミックスからなる誘電体の板とし、この板状の誘電体部材２７を基台として電流遮断素子７を構成しても同様の効果を奏する。さらに、この構造体を誘電体管１の内部に取付けても同様の効果を奏する。
【００５６】
実施の形態５．
図９は、この発明の実施の形態５によるオゾン発生装置に備えられた電流遮断素子の構成を示す拡大断面図である。図９に示すように、板状の誘電体部材２７を基台として構成された電流遮断素子７を、別の筒形状の第二誘電体部材２８の内部に配置しても良い。電流遮断素子７の基台を構成する誘電体部材２７は、図示していない方法で第二誘電体部材２８に固定されている。第二誘電体部材２８の両側の開口に金属製キャップ２９ａ、２９ｂを取り付け、給電側の固定電極３とキャップ２９ａ間を接続導体２６ａで電気接続し、電圧印加電極側の固定電極４とキャップ２９ｂ間を接続導体２６ｂで電気接続している。ヒューズ導体５ａ、５ｂで発生した熱は、給電側の固定電極３、電圧印加電極側の固定電極４を経由して誘電体部材２７から放散され、いったん筒状の第二誘電体部材２８の内部のガスを上昇させ、第二誘電体部材２８の表面から外部のガス中に熱伝達で放熱される。間接的な放熱のため、実施の形態１〜４に比べると放熱効率は少し悪くなるものの、誘電体管１、電圧印加電極２、筒形状の第二誘電体部材２８とは別の製造工程で電流遮断素子７を製造できるので、ヒューズ製造工程を簡易にできて製造コストを下げることができるというメリットがある。
【００５７】
上記の実施の形態では、第二誘電体部材２８を誘電体管１の外部に設置する方法を示したが、誘電体管１の内部に配置しても良い。また両側のキャップのうちの片方又は両方を省略することもできる。
【００５８】
また、ヒューズ導体の材質はステンレス（ＳＵＳ３０４）以外の別の材料でも寸法を設計し製作すれば同様の効果を奏する。但し、酸素ガスや、放電で生成されるＮＯｘガスと化学反応を発生しやすく長期的に劣化が考えられる場合には、キャップ２９を取付けると同様の効果を奏する。
【００５９】
上記の実施の形態１〜５において、誘電体管１の内部に電圧印加電極２を配置する電極構成の放電管を備えたオゾン発生装置の説明をしたが、無声放電によるオゾン発生装置の放電管としては、金属製の電圧印加電極の周囲にホーローからなる誘電体をかぶせた電極構成の放電管も存在する。この電極構成の場合、実施の形態４および実施の形態５で説明した、図８および図９に示す、放電管を構成する誘電体とは別の誘電体を基台として構成する電流遮断素子を適用することができ、実施の形態４および実施の形態５と同様の効果を奏する。
【００６０】
また、接地金属電極管の内面に誘電体をコーティングし、誘電体コーティングの内側に放電ギャップを設けて金属製の電圧印加電極を配置する放電管の構成も存在する。この放電管の構成の場合も、実施の形態４および実施の形態５で説明した、図８、図９に示す、放電管を構成する誘電体とは別の誘電体を基台として構成する電流遮断素子を適用することができ、実施の形態４および実施の形態５と同様の効果を奏する。このように、図８および図９に示す電流遮断素子を適用する場合、放電管としては、電圧印加電極と接地金属電極間に高周波の交流電圧を印加することにより、誘電体を介して無声放電を発生させる構成となっていれば、どのような構造であっても良く、実施の形態４および実施の形態５と同様の効果を奏する。
【００６１】
実施の形態６．
図１０Ａおよび図１０Ｂは、この発明の実施の形態６によるオゾン発生装置の電流遮断素子７のうち、誘電体の基台および固定材を除いた、電流が通流する金属部材１００の構成を示す平面図である。この金属部材１００は実施の形態１〜５における、電流遮断素子の金属部材に適用できる。実施の形態１〜５において、電流が通流する金属部材全体を、厚みの薄い金属の板材、すなわち金属箔をエッチングにより形状加工して、一体として製作することができる。このように金属部材全体をエッチングにより一体として製作することで、電流遮断素子のコストを大幅に下げ、またヒューズ導体の小さい断面形状を精密に加工できるので、電流遮断素子の性能バラツキを抑え、信頼性の高いオゾン発生装置を提供できる。図１０Ａは、溶断エレメント５が１個の構成を示す平面図であり、給電側の固定電極３、溶断エレメント５（ヒューズ導体５ａ、中間導体５ｂ、ヒューズ導体５ｃ）、電圧印加電極側の固定電極４の順に接続された金属部材全体を、エッチングにより一体として製作した構成を示している。また、図１０Ｂは、溶断エレメントが２個の構成を示す平面図であり、給電側の固定電極３、溶断エレメント５１（ヒューズ導体５１ａ、中間導体５１ｂ、ヒューズ導体５１ｃ）、中間の固定電極６、溶断エレメント５２（ヒューズ導体５２ａ、中間導体５２ｂ、ヒューズ導体５２ｃ）、電圧印加電極側の固定電極４の順に接続された金属部材全体を、エッチングにより一体として製作した構成を示している。
【００６２】
特に材料としてステンレス（ＳＵＳ３０４など）を使用すると、材料費が比較的安く、また0.15ｍｍ程度の薄い厚みでも製造時のハンドリングが可能である。ヒューズ導体の断面積で溶断性能が決まるため、材料の厚みが薄いほどヒューズ導体に必要な幅が広くなるので加工を精度良く行える。例えば、厚み0.02ｍｍのＳＵＳ３０４材の場合のヒューズ導体幅＝0.15ｍｍであり、エッチング加工により導体幅を精度良く加工できる。ヒューズで良く使われる銀材料を使用すると銀の抵抗率が低いため、同一の厚み0.02ｍｍでヒューズ導体を設計すると、ヒューズ導体幅は0.006ｍｍとなりエッチングでは精度よく加工できず、半導体用の微細加工を適用する必要があるため加工コストが大幅にアップする。この観点から、製造コストの安いエッチング加工でオゾン発生装置用の電流遮断素子を製造する場合、ステンレスの抵抗率（７０μΩ・ｃｍ）に近い抵抗率を持った金属材料が適している。ヒューズ導体の部分は通電により温度が上昇し、酸素ガスで酸化して劣化するので、ステンレスのように劣化しにくい材料が電流遮断素子の信頼性アップのために好ましい。
【００６３】
図１０Ａおよび図１０Ｂにおいて、例えば、厚み0.02ｍｍステンレス（ＳＵＳ３０４など）を用いた場合、給電側の固定電極３、電圧印加電極側の固定電極４、中間の固定電極６の寸法は、例えば幅1.5〜6ｍｍ、長さ2〜16ｍｍである。また、中間導体５ｂ、中間導体５１ｂ、中間導体５２ｂの寸法は、例えば、幅0.5〜5ｍｍ、長さ3〜8ｍｍである。エッチングにより以上のような寸法に加工したステンレス製箔による金属部材の、幅1.5〜6ｍｍ、長さ2〜16ｍｍとして形成された固定電極の面を、固定材により誘電体の基台に固定して電流遮断素子を構成する。このようにステンレス製箔をエッチングすることにより加工して作製した金属部材を用いることにより、性能バラツキが小さく、信頼性の高い電流遮断素子を提供できる。
【００６４】
実施の形態７．
実施の形態５において、第二誘電体部材２８として透明なガラスで構成することで、電流遮断素子７が動作した場合に、中間導体５ｂが第二誘電体部材２８内部の底に落下しているのを目視確認できる。オゾン発生装置を長期間使用した後にオゾン発生器本体容器１２を開放して内部点検を行った際に、第二誘電体部材２８のヒューズ部を目視点検し、中間導体が底に落ちていれば電流遮断素子７が作動したことを確認できる。第二誘電体部材２８の内部が見えないと、例えばキャップ２９ａとキャップ２９ｂの間の抵抗値を測定して電流遮断素子７が作動したかどうかを確認する必要があるが、第二誘電体部材２８を透明なガラスで構成すると目視で判別できるので作業が容易となる。作動したヒューズの取付けられている誘電体管１は絶縁破壊しているのでメンテナンス時に交換する必要があるため、誘電体管１、電圧印加電極２、電流遮断素子７を取り出し、新しい部品と交換する。このように本実施形態７の電流遮断素子を使用することで、オゾン発生装置のメンテナンスを容易に行えるという効果がある。
【００６５】
なお、実施の形態５における第二誘電体部材２８だけではなく、他の実施の形態においても、実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３における誘電体管１、実施の形態４における誘電体部材２７を透明なガラス管で構成することで、中間導体の落下が目視確認できるため、同様の効果を奏するのは言うまでもない。
【００６６】
実施の形態８．
実施の形態１〜７では、放電管を水平方向に設置する場合を説明したが、放電管が鉛直に、すなわち放電管の管軸方向が重力方向となるように設置される場合は、電流遮断素子７も鉛直方向に向くように取付ければよい。また、放電管が、図１に示すような片側が開放された誘電体管で構成される場合、誘電体管の鉛直方向上側に開口部を配置し、開口部付近に電流遮断素子を取り付ければよい。
【００６７】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を組み合わせたり、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１  誘電体管、２  電圧印加電極、３  給電側の固定電極、４  電圧印加電極側の固定電極、３ａ、４ａ、６ａ  固定材、５、５１、５２  溶断エレメント、５ａ、５ｃ、５１ａ、５１ｃ、５２ａ、５２ｃ  ヒューズ導体、５ｂ、５１ｂ、５２ｂ  中間導体、６  中間の固定電極、７  電流遮断素子、１１  接地金属電極、１６  交流電源、１００  金属部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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