(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外縁部（３）および内縁部（２）を有し、縦中心軸線（４）の方向に相互に連続して前記内縁部（２）において交互に溶接され、かつ、前記外縁部（３）において相互に溶接されている複数のメンブレン（１）を備えているメンブレンベローズであって、前記メンブレンベローズの内側貫通孔（１１）を貫通するロッド（１０）の外側面を案内するための少なくとも１つの案内部材（５）をさらに備え、
前記少なくとも１つの案内部材（５）が板金により構成されているとともに支持部（６）を備え、
前記支持部（６）が、外縁部（７）の領域において隣り合うメンブレン（１）の間に配置されて前記隣り合うメンブレン（１）に溶接され、前記外縁部（７）から前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）に接近する方向に延在し、前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）に接近する方向について前記隣り合うメンブレン（１）の前記内縁部（２）を越え、かつ、前記ロッド（１０）の前記外側面を案内するための、前記隣り合うメンブレン（１）の前記内縁部（２）よりも前記縦中心軸線（４）の近くに配置されている案内部（９）に連結されていることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項２】
外縁部（３）および内縁部（２）を有し、縦中心軸線（４）の方向に相互に連続して前記内縁部（２）において交互に溶接され、かつ、前記外縁部（３）において相互に溶接されている複数のメンブレン（１）を備えているメンブレンベローズであって、前記メンブレンベローズを囲むパイプ（１８）の内側面を案内するための少なくとも１つの案内部材（５）をさらに備え、
前記少なくとも１つの案内部材（５）が板金により構成されているとともに支持部（６）を備え、
前記支持部（６）が、内縁部（１９）の領域において隣り合うメンブレン（１）の間に配置されて前記隣り合うメンブレン（１）に溶接され、前記内縁部（１９）から前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）から離間する方向に延在し、前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）から離間する方向について前記隣り合うメンブレン（１）の前記外縁部（３）を越え、かつ、前記パイプ（１８）の前記内側面を案内するための、前記隣り合うメンブレン（１）の前記外縁部（３）よりも前記縦中心軸線（４）から遠くに配置されている案内部（９）に連結されていることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項３】
請求項１または２記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部（９）が前記縦中心軸線（４）を莢状またはジャケット状に囲んでいることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記支持部（６）の厚さが、前記支持部（６）が間に配置されている前記メンブレン（１）の厚さの５倍未満であることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項５】
請求項４記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記支持部（６）の厚さが、前記支持部（６）が間に配置されている前記メンブレン（１）の厚さの３倍未満であることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記案内部（９）の厚さが、前記案内部（９）が連結されている前記支持部（６）が間に配置されている前記メンブレン（１）の厚さの５倍よりも小さいことを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項７】
請求項６記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記案内部（９）の厚さが、前記案内部（９）が連結されている前記支持部（６）が間に配置されている前記メンブレン（１）の厚さの３倍よりも小さいことを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項８】
請求項１〜７のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部（９）が前記支持部（６）または前記支持部（６）の少なくとも一部と同一素材で一体的に形成され、または、前記支持部（６）に連結されていることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項９】
請求項１〜８のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記支持部（６）の両側に配置されている前記メンブレン（１）および前記支持部（６）が、前記メンブレンベローズの完全相互押圧状態において平面的に相互に隣接していることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
前記案内部材（５）の前記案内部（９）が中心開口部を備え、当該中心開口部が、前記案内部材（５）の前記支持部（６）の両側に配置されている前記メンブレン（１）の中心開口部の直径の８０％以上の直径を有することを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載のメンブレンベローズにおいて、
複数の前記案内部材（５）を備えていることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項１２】
請求項１１記載のメンブレンベローズにおいて、
前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）の方向に連続する前記案内部材（５）が、前記メンブレンベローズの完全圧縮状態において、前記縦中心軸線（４）の方向に相互に離間していることを特徴とするメンブレンベローズ。
【請求項１３】
内側貫通孔（１１）を有するメンブレンベローズと、前記メンブレンベローズの前記内側貫通孔（１１）を貫通するロッド（１０）と、を備えているシステムであって、
前記メンブレンベローズが、外縁部（３）および内縁部（２）を有し、縦中心軸線（４）の方向に相互に連続して前記内縁部（２）において交互に溶接され、かつ、前記外縁部（３）において相互に溶接されている複数のメンブレン（１）と、前記メンブレンベローズの内側貫通孔（１１）を貫通するロッド（１０）の外側面を案内するための少なくとも１つの案内部材（５）と、を備え、
前記少なくとも１つの案内部材（５）が板金により構成されているとともに支持部（６）を備え、
前記支持部（６）が、外縁部（７）の領域において隣り合うメンブレン（１）の間に配置されて前記隣り合うメンブレン（１）に溶接され、前記外縁部（７）から前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）に接近する方向に延在し、前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）に接近する方向について前記隣り合うメンブレン（１）の前記内縁部（２）を越え、かつ、前記隣り合うメンブレン（１）の前記内縁部（２）よりも前記縦中心軸線（４）の近くに配置され、前記ロッド（１０）の前記外側面を案内するための案内部（９）に連結されていることを特徴とするメンブレンベローズシステム。
【請求項１４】
請求項１３記載のメンブレンベローズシステムにおいて、
前記少なくとも１つの案内部材（５）の前記案内部（９）が、前記案内部（９）の前記ロッド（１０）に対するスライド案内部を構成するため、０．０２〜１ｍｍの範囲の間隙をおいて前記ロッド（１０）を囲んでいることを特徴とするメンブレンベローズシステム。
【請求項１５】
メンブレンベローズと、内側面で前記メンブレンベローズを囲んでいるパイプ（１８）と、を備えているシステムであって、
前記メンブレンベローズが、外縁部（３）および内縁部（２）を有し、縦中心軸線（４）の方向に相互に連続して前記内縁部（２）において交互に溶接され、かつ、前記外縁部（３）において相互に溶接されている複数のメンブレン（１）と、前記パイプ（１８）の内側面を案内するための少なくとも１つの案内部材（５）と、を備え、
前記少なくとも１つの案内部材（５）が板金により構成されているとともに支持部（６）を備え、
前記支持部（６）が、内縁部（１９）の領域において隣り合うメンブレン（１）の間に配置されて前記隣り合うメンブレン（１）に溶接され、前記内縁部（１９）から前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）から離間する方向に延在し、前記メンブレンベローズの前記縦中心軸線（４）から離間する方向について前記隣り合うメンブレン（１）の前記外縁部（３）を越え、かつ、前記隣り合うメンブレン（１）の前記外縁部（３）よりも前記縦中心軸線（４）から遠くに配置され、前記パイプ（１８）の前記内側面を案内するための案内部（９）に連結されている
ことを特徴とするメンブレンベローズシステム。
【請求項１６】
請求項１５記載のメンブレンベローズシステムにおいて、
前記案内部（９）のスライド案内部を構成するため、前記パイプ（１８）が０．０２〜１ｍｍの範囲の間隙をおいて前記少なくとも１つの案内部材（５）の前記案内部（９）を囲んでいることを特徴とするメンブレンベローズシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メンブレンベローズに関する。
【背景技術】
【０００２】
メンブレンベローズは、異なる圧力領域を隔離するための柔軟性があるシール要素として用いられる。メンブレンベローズは、真空バルブの真空連通経路のために設けられ、バルブの駆動ロッドを包み込み、バルブの開閉に際して真空領域を大気圧領域から隔離する。真空状態での搬送通路のための真空連通経路に適用される際、メンブレンベローズはたとえば熱膨張または組み立て誤差を受容するための補償機構として用いられる。そのほか、たとえば真空システムにおいて真空ポンプおよびセンサの間に振動インシュレータに用いられる。
【０００３】
メンブレンベローズは内縁部および外縁部で相互に溶接されている複数のメンブレンにより構成されている。製造に際して、メンブレン対が内縁部で相互に溶接され、続いてメンブレン対が並べられて外縁部が相互に溶接される。当該構成のメンブレンベローズにより、軸線方向、横方向および斜め方向のうち少なくとも１つの方向への行程が可能である。
【０００４】
メンブレンベローズに関して、円筒がベローズ様に変形可能であることにより可動に構成されている波状ベローズが知られている（特許文献１および２参照）。
【０００５】
メンブレンベローズの使用に際して、メンブレンベローズの内側空間と外側との間の差圧が最大となり、メンブレンベローズの内部圧力が外部圧力よりも低くまたは高くなる。このような差圧（特にメンブレンベローズの内部圧力が外部圧力よりも高い場合）および重力のうち一方または両方のため、メンブレンベローズが十分に長い状態でその横方向への脆弱性のために座屈する可能性がある。メンブレンの内縁部の溶接領域においてメンブレンベローズが、その内側貫通孔を貫通して延在しているロッド（たとえば真空バルブの駆動ロッド）に当接している。ロッドの運動に際して、メンブレンの内縁部およびロッドの間に摩擦力が作用し、これがメンブレンの内縁部の間の溶接による継目に作用し、時間の経過とともに溶接継目の強度が低下してリークが生じてしまう可能性がある。
【０００６】
メンブレンベローズの案内のための案内部材がその長手方向の中央領域に設けられているメンブレンベローズが知られている（特許文献３参照）。外側に設けられた突出部を有するリング形状の案内部材（＝摺動リング）が、メンブレンベローズの隣り合うメンブレンの間の間隙に介挿され、案内部材がメンブレンベローズの軸線方向の運動に対して形状を保持するように固定されている。間に摺動リングが保持されている両方のメンブレンの内縁部は摺動リングの外側面に配置されている。メンブレンベローズの相互押圧状態において、隣り合うメンブレンの内縁部は摺動リングの外側面に配置されている。摺動リングの若干の欠点は、各摺動リングが間に保持されているメンブレンが相互に当接していない点にある。このため、メンブレンベローズの軸線方向の行程が短くなる。メンブレンに摺動リングが介挿されると質量が比較的大きくなり、メンブレンベローズに直接的に余分な荷重がかかる。垂直方向に組み込まれた状態で、摺動リングの質量により、各摺動リングの上側および下側のそれぞれへのメンブレンベローズの伸長態様が異なり、多数の摺動リングが使用されている場合、メンブレンベローズにかかる荷重が大きくなる。
【０００７】
メンブレンベローズの２つの部材の間に大きな支持リングが溶接されているメンブレンベローズが知られている（特許文献４参照）。これも前記と同様の問題を有している。
【０００８】
鋏形状に構成されている案内アームを有するベローズが提案されている（特許文献５参照）。これはコストがかさむ構造である。
【０００９】
薬剤放出のために移植可能な注入ポンプにメンブレンベローズを適用することが知られている。メンブレンベローズの内側に薬剤が仕込まれ、下側がボトム部材により閉塞され、上側が注入ポンプのベースプレートにより閉塞される。ボトム部材に作用する圧力がメンブレンベローズを圧縮し、薬剤の用量が計られる。薬剤の残体積および薬剤の残量を決定するため、メンブレンベローズのボトムにコイルを備えている電気共振回路が設けられている。薬剤の体積の測定のための共振回路の感度向上のため、薬剤を流通させるための少なくとも１つの開口部を有するメンブレンベローズの中間プレートが設けられることが提案されている（特許文献６参照）。中間プレートの固定のため、交差配置されている支持アームを有する支持リングが用いられる。支持アームは中央の連結領域で相互に連結され、かつ、当該支持アームに中間プレートが溶接されている。支持リングは、２つのメンブレンの外縁部の間に配置されている当該中間プレートの外縁部の領域に配置され、当該２つのメンブレンに溶接されている。メンブレンベローズの座屈に抵抗する案内は、当該装置によればメンブレンベローズの既存の屈曲に基づくので実現されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ４６５０１６０Ａ
【特許文献２】英国特許公報  ＧＢ２０６２１３２Ａ
【特許文献３】米国特許公開公報  ＵＳ２００２／０１７５４８０Ａ１
【特許文献４】中国実用新案登録公報  ＣＮ２０３３６３５１８Ｕ
【特許文献５】特開２０１３−２２１５９６号公報
【特許文献６】欧州特許公報  ＥＰ２１７７７９２Ａ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、少なくとも案内部によって座屈に対して抵抗するメンブレンベローズを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、外縁部および内縁部を有し、縦中心軸線の方向に相互に連続して前記内縁部において交互に溶接され、かつ、前記外縁部において相互に溶接されている複数のメンブレンと、を備えているメンブレンベローズであって、前記メンブレンベローズの内側貫通孔を貫通するロッドの外側面、または、前記メンブレンベローズを囲むパイプの内側面を案内するための少なくとも１つの案内部材をさらに備えているメンブレンベローズに関する。
【００１３】
本発明によれば、案内部材が板金により構成されている。本発明の第１態様によれば、メンブレンベローズは支持部を有する少なくとも１つの案内部材を備え、支持部が、外縁部の領域において隣り合うメンブレンの間に配置されて当該隣り合うメンブレンに溶接されている。支持部が、外縁部からメンブレンベローズの縦中心軸線に接近する方向に延在し、メンブレンベローズの縦中心軸線に接近する方向について隣り合うメンブレンの内縁部を越えている。支持部が、ロッドの外側面を案内するための、隣り合うメンブレンの前記内縁部よりも縦中心軸線の近くに配置されている案内部に連結されている。
【００１４】
本発明の第２態様によれば、少なくとも１つの案内部材の支持部が、内縁部の領域において隣り合うメンブレンの間に配置されて当該隣り合うメンブレンに溶接されている。支持部が、内縁部からメンブレンベローズの縦中心軸線から離間する方向に延在し、メンブレンベローズの縦中心軸線から離間する方向について隣り合うメンブレンの外縁部を越えている。支持部が、パイプの内側面を案内するための、隣り合うメンブレンの外縁部よりも縦中心軸線から遠くに配置されている案内部に連結されている。
【００１５】
少なくとも１つの案内部材が板金から構成されていることにより、一または複数の案内部材を有するメンブレンベローズの構成によって、少なくとも１つの案内部材の余計なサイズによってメンブレンベローズの荷重が過大にならないような小さいサイズを有する。メンブレンベローズのほぼ完全な圧縮状態が担保される。本発明のメンブレンベローズは簡易に製造することができる。
【００１６】
本発明によれば、案内部材を有するメンブレンベローズが座屈に対抗して設けられ、その長寿命化が図られている。
【００１７】
案内部はメンブレンベローズの縦中心軸線の方向に少なくとも一部が延在していることが好ましい。
【００１８】
案内部材の支持部の板厚（＝材料強度）は、案内部材の支持部が間に配置されているところのメンブレンの５倍の厚さ、特に３倍の厚さ未満である。メンブレン部材が間に配置されているメンブレンと同一の厚さを有する当該メンブレン部材により、または、相互に当接する一対のメンブレン部材により支持部が構成されていることが好ましい。
【００１９】
案内部材の案内部の厚さ（＝材料強度）は、案内部が連結されている支持部が間に配置されているメンブレンの５倍未満、特に３倍未満の厚さを有している。案内部がメンブレンと同一の厚さを有していることが好ましい。
【００２０】
本発明の好適な実施形態において案内部が支持部と一体的に形成されている。案内部材は板金の熱成形により形成される。支持部が相互に当接する一対のメンブレン部材により構成されている場合、案内部材が、支持部の態様と材料一体的に構成されている２つの部分を備えていてもよい。案内部材は一対の金属片の熱成形により形成され、メンブレンベローズの隣り合うメンブレンの間に設けられてこれらと溶接されることが好ましい。
【００２１】
案内部が支持部と溶接されていてもよい。支持部は円筒形状に構成され、メンブレン部材から構成されている支持部の内縁部に溶接される。
【００２２】
案内部が、案内部の厚さ（＝材料強度）の３倍以上の間隔をおいてメンブレンの内縁部から離間していてもよい。
【００２３】
案内部の厚さ（＝材料強度）が０．０７〜０．６ｍｍの範囲、特に０．１〜０．３ｍｍの範囲に含まれていることが好ましい。
【００２４】
案内部材の支持部の厚さ（＝材料強度）が０．０７〜０．６ｍｍの範囲、特に０．１〜０．３ｍｍの範囲に含まれていることが好ましい。
【００２５】
案内部材はたとえばステンレス鋼から形成されている。案内部材はニッケル合金またはチタンなどの他の金属から形成されていてもよい。
【００２６】
本明細書における「内（内側）」および「外（外側）」という記載は、メンブレンベローズの縦中心軸線を基準とした径方向距離であり、すなわち、比較的内側に存在する部分は、外側に存在する部分よりも縦中心軸線に対して小さい間隔を有する。
【００２７】
本発明のさらなる利点および詳細は、添付図面を用いて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態としてのメンブレンベローズの側面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図３】図２のＢ箇所の詳細図。
【図４】メンブレンベローズのメンブレンの上面図。
【図５】メンブレンベローズのメンブレンの斜視図。
【図６】メンブレンの側面図。
【図７】メンブレンベローズの案内部材の側面図。
【図８】図７のＣ−Ｃ線に沿った断面図。
【図９】一の視線方向からみた案内部材の斜視図。
【図１０】他の視線方向からみた案内部材の斜視図。
【図１１】両側に連結部材が取り付けられている本発明の第１実施形態としてのメンブレンベローズと、メンブレンベローズの内側貫通孔を貫通するロッドと、を備えている装置の構成説明図。
【図１２】図１１のＤ−Ｄ線に沿った断面図。
【図１３】図１２のＥ箇所の詳細図。
【図１４】メンブレンベローズの変位の中間段階における、内縁部で溶接されている一対のメンブレンおよびこれらの間に配置されている案内部材の側面図。
【図１５】図１４のＦ−Ｆ線に沿った断面図。
【図１６】図１４の一部の斜視図。
【図１７】本発明の第２実施形態としてのメンブレンベローズの図２対応図。
【図１８】図１７のＧ箇所の詳細図。
【図１９】本発明の第２実施形態としてのメンブレンベローズの図８対応図。
【図２０】本発明の第３実施形態としてのメンブレンベローズの案内部材の側面図。
【図２１】図２０のＨ−Ｈ線に沿った断面図。
【図２２】一の視線方向からみた案内部材の斜視図。
【図２３】他の視線方向からみた案内部材の斜視図。
【図２４】両側に連結部材が取り付けられている本発明の第４実施形態としてのメンブレンベローズと、メンブレンベローズを囲んでいるパイプと、を備えている装置の構成説明図。
【図２５】図２４のＩ−Ｉ線に沿った断面図。
【図２６】図２５のＪ箇所の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図面はさまざまな縮尺で描かれている。さまざまな実施形態において対応するまたは類似する構成には共通の符号が付されている。
【００３０】
図１〜図１０には、上下方向に延在する、本発明の第１実施形態としてのメンブレンベローズが部分的に示されている。メンブレンベローズは、メンブレンディスクまたは環状メンブレンなどの複数のメンブレン１を備えている。各メンブレン１には内縁部２および外縁部３が設けられている。内縁部２および外縁部３のそれぞれは円形状である。本実施形態では、前記のように、すべてのメンブレン１において内縁部２が同一の半径を有し、外縁部３がそれよりも大きい同一の半径を有している。メンブレンは特に回転対称性を有するように構成されている。
【００３１】
メンブレン１は外力の作用なく波状かつ円錐形状に形成されている。本実施形態ではメンブレン１はすべて同一に構成されている。
【００３２】
メンブレン１は０．０７〜０．３ｍｍの範囲、好ましくは０．０９〜０．２ｍｍの厚さの板金により構成されている。
【００３３】
たとえばメンブレン１はステンレス鋼板により構成されている。メンブレン１はニッケル合金またはチタンなどの他の金属により構成されていてもよい。
【００３４】
メンブレンベローズの縦中心軸線４の方向に相互に連続する複数のメンブレン１は、内縁部２において交互に溶接され、かつ、外縁部３において相互に溶接され、これによりアコーディオン状の構成が実現されている。
【００３５】
メンブレンベローズの上記構成は公知のものである。
【００３６】
図１〜図３に示されている上下方向に延在するメンブレンベローズは案内部材５を備えている。案内部材５も板金により構成されている。板金厚さ、すなわち素材強度はメンブレン１のそれに対応している。案内部材５を構成する板金は、メンブレン１を構成する板金と比較して３倍未満または２倍未満で厚いなど、異なる厚さを有していてもよい。
【００３７】
案内部材５は支持部６を備えている。支持部６は、隣り合う、すなわちメンブレンベローズの縦中心軸線４の方向に連続する複数のメンブレン１の外縁領域の間における案内部材５の外縁領域に配置されている。隣り合うメンブレン１の相互に隣接する外縁部３および支持部６は相互に溶接されている。当該溶接は、相互に溶接されている隣り合うメンブレン１のその他の外縁部３の溶接と類似の手法により実現される。
【００３８】
案内部材５の外縁部を構成する支持部６の外縁部７から、支持部６は案内部材５の案内面８まで縦中心軸線４の方向に徐々に接近し、案内部材５に隣り合うメンブレン１（および本実施形態ではメンブレンベローズを構成するその他のすべてのメンブレン１）の内縁部２を縦中心軸線４に接近する方向について越える。
【００３９】
案内面８は案内部材５の中心開口部を囲んでいる。案内部材５の中心開口部の直径は、案内部材５の支持部６の両側に配置されているメンブレン１の中心開口部の直径の８０％以上である。
【００４０】
支持部６が（径方向について）隣り合うメンブレン１の間に配置されている、当該支持部６の径方向に延在する領域において、支持部６はメンブレンベローズの縦断面図（図２および図３参照）においてメンブレン１に対応する形状を有しており、複数のメンブレン１およびそれらの間に配置されている支持部６は、メンブレンベローズの完全相互押圧状態において平坦状に相互に隣接する。
【００４１】
本実施形態における支持部６は縦中心軸線を通る断面（図２、図３および図８参照）において波形状であり、当該波の波長および波高のそれぞれはメンブレン１の波長および波高のそれぞれに対応している。
【００４２】
支持部６の縦中心軸線４に接近する方向についてメンブレン１の内縁部２を越えている領域において案内部材５の案内部９に連結されている。案内部９は、メンブレン１の内縁部２よりも縦中心軸線４に対する間隙が小さい。案内部９はメンブレンベローズの案内のためにロッド１０に対して作用する（図１１〜図１３参照）。
【００４３】
メンブレンベローズをロッド１０に対して案内するための案内部材５の案内面８を構成する、縦中心軸線４に臨む案内部９の内側面は、本実施形態では円筒状である。案内部材５も円筒形状に形成されている。
【００４４】
円筒形状のほか、案内部９が縦中心断面において波形状であるなど、前記形状と異なる形状であってもよい。案内部９が基本的に縦中心軸線４の周方向に離間した部分を有し、閉じた莢またはサックを形成していなくてもよい。案内部材５の回転対称性は前記のとおりである。
【００４５】
案内部９は縦中心軸線４の方向について０．５ｃｍ以上であることが好ましい。
【００４６】
本実施形態における案内部材５は縦中心断面において実質的にＬ字形状を有している。ここで「実質的にＬ字形状」とは、支持部６の波形および支持部６の案内部９に対する（同様に波形状に形成されている）連結部が屈曲部を介して延在していることを意味する。
【００４７】
案内部９は、縦中心軸線４の同じ延在領域に配置されているメンブレン１の内縁部２に対して、案内部９の板金厚さの５倍以上の間隙を有している。
【００４８】
本実施形態では、支持部６および案内部９は材料一体的に連結されている。案内部材５は材料一体的に形成されている。基本的に支持部６および案内部９が適当な材料で相互に連結されている部分によって構成されてもよい（後述の第３実施形態参照）。
【００４９】
支持部６の中心面は、当該面に対する支持部６の複数の点の偏差の二乗の当該面にわたる累積値または積分値が最小になるように定義される。支持部６の当該中心面は、縦中心軸線４と７０°以上、好ましくは９０°の角度をなす。
【００５０】
案内部９の外縁部のそばの外側端部から、案内部９の内側端部（または他の実施形態では複数の内側端部）に向かう方向に縦中心断面を見た場合、支持部６の内側端部は、支持部６の接線および縦中心軸線４の間の角度が４５°未満になるような点に定義される。案内部９の始端は、案内部材５の接線が初めて縦中心軸線４に対して平行になるような点に定義される。支持部６の内側端部および案内部９の始端の間には、短くて屈曲している遷移部が設けられている。
【００５１】
メンブレンベローズは多くの場合、図１および図２に示されているよりも長く構成される。その他のメンブレン１の構成および連結は図示されているものと同様である。メンブレンベローズの長手方向に案内部材５が設けられてもよい。メンブレンベローズの完全圧縮状態において縦中心軸線４の軸線方向について相互に離間するように、軸線方向に連続する案内部材５が配置されている。
【００５２】
メンブレンベローズの軸線方向の両端部のそばに配置されているメンブレン１に端部材、特に規格化または標準化されたフランジが溶接されてもよい。
【００５３】
図１１〜図１３には、本発明の第１実施形態としてのメンブレンベローズが真空連通経路に使用されている様子が示されている。ロッド１０がメンブレンベローズの内側貫通孔１１を貫通している。ロッド１０の一端部には、メンブレンベローズの一端側にあるメンブレン１がその外縁部３において溶接されている連結部材１２が取り付けられている。ロッド１０は、他の連結部材１４の貫通孔１３を通じて他端部を突出させている。他端側のメンブレン１の外縁部３が連結部材１４に溶接されている。連結部材１４はフランジにより構成され、真空バルブなどの真空装置の一部と真空が保持されるように連結されてもよい。メンブレンベローズを備えている装置の簡易な交換が要請されていない場合、端部側のメンブレン１が真空装置の対応箇所に直接的に溶接されてもよい。連結部材１２が省略され、外縁部において隣り合うメンブレンに溶接され、かつ、内縁部を有する終端メンブレン１が設けられてもよい。終端メンブレン１は、縦中心軸線４に接近する方向に他のメンブレンの内縁部を越えてロッド１０に直接的に溶接されている。
【００５４】
図１２から明らかなように図示されているメンブレンベローズは２つの案内部材５を備えている。それぞれの案内部材５の案内部９はスライド案内部を構成するための間隙をおいてロッド１０を囲んでいる。当該間隙は０．０２〜１ｍｍの範囲に含まれ、特に０．０２〜０．２ｍｍの範囲に含まれている。
【００５５】
メンブレンベローズを製造するため、まず、公知の手法にしたがって内縁部２において相互に溶接されているメンブレン１の対が作製される。図１４〜図１６には２つの当該対が示されている。案内部材５から離間した箇所で、公知の手法にしたがって当該メンブレン対が重ね合わせられたうえで外縁部７において相互に溶接される。メンブレンベローズにおいて案内部材５が２つのメンブレン対の間に配置される（図１４〜図１６参照）。その結果、案内部材５の外縁部および当該案内部材５に隣り合うメンブレン１が相互に当接して相互に溶接される。
【００５６】
図１７〜図１９には本発明の第２実施形態が示されている。第２実施形態のメンブレンベローズの構成は、次に説明する構成を除いて第１実施形態のメンブレンベローズと同様である。
【００５７】
本実施形態における案内部材５は２つの部材により構成されている。第１構成部材の構成は第１実施形態の案内部材の構成に対応している。第２構成部材は、支持部６の部分において第１構成部材と同様に構成されている。案内部材５の第２構成部材を構成する部分が、案内部材５の第１構成部材を構成する部分と同様に、相対する軸線方向に延在している。当該２つの構成部材は、支持部６の領域で表面に沿って当接し、案内部９の支持部６を共に構成するように相互に取り付けられている。当該２つの構成部材は、当該領域において溶接されていてもよい。このように構成されている案内部材５は、第１実施形態において説明したのと同様の方法により２つのメンブレン１の間に配置され、メンブレン１の外縁部３および案内部材５の外縁部７が相互に溶接されている。支持部６は第１実施形態における案内部材の支持部と実質的に対応する形状であり、その内縁部において案内部９と溶接されている。案内部９は「薄板の筒状部材」として説明される莢状部材により構成されている。溶接部１５（図２１参照）は、当該構成部材の好ましくは軸線中央領域において実現されている。
【００５８】
図２０〜図２３を用いて本発明の第３実施形態を説明する。第３実施形態のメンブレンベローズの構成は、次に説明する構成を除いて第１実施形態のメンブレンベローズと同様である。
【００５９】
相違点は案内部材５の構成である。支持部６および案内部９は別個の部材により構成され、相互に溶接されている。
【００６０】
図２４〜図２６には、本発明の第４実施形態としてのメンブレンベローズを備えている装置が示されている。メンブレンベローズの両端部に溶接されている連結部材１２および１４と、メンブレンベローズをその座屈を防止しながら案内するための、メンブレンベローズを囲んでいるパイプ１８と、がさらに示されている。
【００６１】
メンブレンベローズの構成は、次に説明する構成を除いて第１実施形態と同様である。
【００６２】
各案内部材５の案内部９はメンブレンベローズの外側に配置され、かつ、案内部９の外側面は、案内部材５を囲んでいるパイプ１８の内側面と相互作用する、案内部材５の案内面８を構成する。案内部９は支持部６に連結されている。案内部材５の内縁部を構成する支持部６の内縁部１９は、案内部材５の両側に隣り合うメンブレン１の内縁部２の間に配置され、メンブレン１の内縁部２、１９およびその間に配置されている案内部材５が相互に溶接されている。支持部６は、隣り合うメンブレン１の内縁部２に対して溶接されている内縁部１９から、縦中心軸線４から案内部材５の案内面２０に向かう方向に離れ、メンブレンベローズの縦中心軸線４から離れる方向についてメンブレン１の外縁部３を越えている。支持部６は、メンブレン１の外縁部３よりもメンブレンベローズの縦中心軸線４から離れて配置されている案内部９に対して連結されている。
【００６３】
パイプ１８は、案内部９およびパイプ１８の間の摺動を実現するための間隙をおいて、案内部材５の案内部９を囲んでいる。当該間隙は０．０２〜１ｍｍの範囲に含まれ、特に０．０２〜０．２ｍｍの範囲に含まれている。
【００６４】
メンブレンベローズを囲んでいるパイプ１８の内側面の案内が実現される本発明の前記実施形態において、たとえば第２および第３実施形態と同様に案内部材５が設計されるなど、設計変更されてもよい。
【００６５】
図２４〜図２６に示されている実施形態におけるパイプ１８が連結部材１４に対して取り付けられているが、他の方法で固定されてもよい。
【００６６】
図２４〜図２６に示されている実施形態は、メンブレンベローズの内側貫通孔１１を貫通するロッド１０の運動を真空領域に伝達するための真空貫通経路として用いられる。ロッド１０は連結部材１２に対して連結されているが、連結部材１２が省略されてメンブレンベローズがロッド１０に溶接されてもよい。
【００６７】
他の実施形態においてロッド１０が省略され、貫通孔１１が２つのチャンバの間でたとえば物を運搬するための連通路として用いられてもよい。パイプ１８に沿って案内されることによりメンブレンベローズの座屈が防止される。
【符号の説明】
【００６８】
１‥メンブレン、２‥内縁部、３‥外縁部、４‥縦中心軸線、５‥案内部材、６‥支持部、７‥外縁部、８‥案内面、９‥案内部、１０‥ロッド、１１‥貫通孔、１２‥連結部材、１３‥貫通開口部、１４‥連結部材、１５‥溶接部、１８‥パイプ、１９‥内縁部、２０‥案内面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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