(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ヘッドであって、
液体を噴射するノズル開口が第１の方向に並設されたノズル列を有するヘッド本体と、
液体供給手段から前記ヘッド本体に液体を供給する液体流路と、
当該液体流路に設けられたフィルターを有する流路部材と、を備え、
第１の方向に交差する第２の方向に前記ノズル列が複数並設され、
同一の液体を吐出する前記ノズル列は、第１の方向に延びる基準線を中心に対称となる位置に配置され、
前記流路部材は、
前記液体供給手段からの液体が供給される第１流路部材と、
前記第１流路部材に接合される第２流路部材と、
前記第２流路部材に接合されて前記フィルターを保持するフィルター保持部材と、
前記フィルター保持部材に接合されて前記ヘッド本体へ液体を供給する第３流路部材と、を含み、
前記液体流路は、
前記フィルターよりも上流の上流流路と、
前記フィルターよりも下流において前記ノズル列ごとに形成された下流流路と、を含み、
前記上流流路は、
前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に設けられて前記液体供給手段から供給される液体を分岐する水平流路と、
分岐した前記水平流路に設けられたバッファー室と、を含み、
前記第２流路部材と前記フィルター保持部材との間に設けられたフィルター室は、前記バッファー室に対向する領域に設けられ、
前記バッファー室は、前記フィルター室の中央部に連通する
ことを特徴とするヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載するヘッドにおいて、
前記水平流路のそれぞれは、両端部のそれぞれに前記バッファー室が設けられた一条の流路であり、当該流路の途中が前記液体供給手段からの流路が連通することにより水平方向の両方向に分岐する分岐部となる
ことを特徴とするヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載するヘッドにおいて、
前記分岐部は、前記液体供給手段の直下にある
ことを特徴とするヘッド。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載するヘッドにおいて、
前記分岐部は、前記水平流路の直線部に設けられている
ことを特徴とするヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載するヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ピエゾインクジェット方式（ｐｉｅｚｏ  ｉｎｋ  ｊｅｔ  ｓｙｓｔｅｍ）は、ピエゾ素子に電圧を加えて変形させることでインクの液滴を吐出させる、オンデマンド形のインクジェット印刷システムである（ＪＩＳ  Ｚ８１２３−１：２０１３）。
【０００３】
パーマネントヘッド（ｐｅｒｍａｎｅｎｔ  ｈｅａｄ、以下ヘッド）とは、インクの液滴を連続的又は断続的に生成する、プリンター本体の機械部又は電気部である（ＪＩＳ  Ｚ８１２３−１：２０１３）。
【０００４】
ピエゾインクジェット方式に用いるヘッドは、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられたピエゾ素子と、流路形成基板のピエゾ素子側に接合されて、ピエゾ素子を駆動する駆動回路が設けられた駆動回路基板と、を具備し、ピエゾ素子を駆動回路によって駆動することによって圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせることで、ノズルから液滴を噴射する。
【０００５】
ヘッドの一例としては、液体を吐出するノズル列を備えた複数のヘッド本体と、インクカートリッジ等の液体貯留手段から各ヘッド本体に液体を供給するための流路部材とを備えたものが知られている。各ヘッド本体は、液滴を噴射するノズルが一方向に並設されたノズル列を備えており、一方向とは交差する方向にノズル列が並設されている。
【０００６】
例えば、８列のノズル列を有するヘッドでは、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック、ブラック、マゼンタ、シアン、イエローのように、８列のノズル列の中心、すなわち４列目と５列目との間を中心として対称となるノズル列に同色のインクが供給されるように流路部材等が構成されている（例えば、特許文献１参照）。このようなヘッドを有するインクジェット式記録装置は、記録媒体に対してヘッドを相対的に往復移動させながら記録動作を行う。これにより、往路と復路とで被噴射媒体に対する各色のインクの着弾順序を揃えることができ、高品質な印刷を行うことができる。
【０００７】
また、複数のノズル列にインクを供給する流路部材としては、各色のインクを貯留したインクカートリッジから供給されたインクが流通する流路を途中で分岐させたものがある（例えば、特許文献２参照）。このような流路部材は、インクカートリッジから供給されたインクから異物や気泡が除去するフィルターを有しており、フィルターよりも下流側の流路を分岐させることで対称配置されたノズル列にインクを供給している。これにより、一種の液体を複数のノズル列にインクを供給することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１３−０３９７６２号公報
【特許文献２】特開２０１５−３３８３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、流路部材には、各色のインクの流路が分岐して設けられているが、特に、上述したようにノズル列が色ごとに対称配列となっている場合には、分岐流路やフィルター室の配置が複雑になり、省スペース化を図ることができない。
【００１０】
また、ヘッドでは、ノズルからインクを吸引し、インクと共にフィルターより下流側の流路から気泡を排出するクリーニングが行われる。一方、上述した流路部材では、フィルターよりも下流側で流路を分岐させ、各ノズル列の配置に合わせて流路が構成されているので、フィルターより下流側の流路長が上流側に比べて長くなる。このため、クリーニング時に、フィルターより下流側の流路から排出されるインクの量が多くなってしまう。
なお、このような問題はインクを吐出するヘッドに限定されず、他の液体を噴射するヘッドにおいても同様に存在する。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、分岐流路をできるだけコンパクト化して高品質な液体の噴射を実現することができるヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。また、本発明は、クリーニング時の液体の排出量を低減することができるヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明の態様は、記録ヘッドであって、液体を噴射するノズル開口が第１の方向に並設されたノズル列を有するヘッド本体と、液体供給手段から前記ヘッド本体に液体を供給する液体流路と、当該液体流路に設けられたフィルターを有する流路部材と、を備え、第１の方向に交差する第２の方向に前記ノズル列が複数並設され、同一の液体を吐出する前記ノズル列は、第１の方向に延びる基準線を中心に対称となる位置に配置され、前記流路部材は、前記液体供給手段からの液体が供給される第１流路部材と、前記第１流路部材に接合される第２流路部材と、前記第２流路部材に接合されて前記フィルターを保持するフィルター保持部材と、前記フィルター保持部材に接合されて前記ヘッド本体へ液体を供給する第３流路部材と、を含み、前記液体流路は、前記フィルターよりも上流の上流流路と、前記フィルターよりも下流において前記ノズル列ごとに形成された下流流路と、を含み、前記上流流路は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に設けられて前記液体供給手段から供給される液体を分岐する水平流路と、分岐した前記水平流路に設けられたバッファー室と、を含み、前記第２流路部材と前記フィルター保持部材との間に設けられたフィルター室は、前記バッファー室に対向する領域に設けられ、前記バッファー室は、前記フィルター室の中央部に連通することを特徴とするヘッドにある。
かかる態様では、水平流路の途中に第１上流流路が接続し、水平流路で両側に分岐するようにすることにより、分岐を均等に且つスムーズにし、行うことができ、また、分岐流路の配置の自由度を向上させ、省スペース化を図ることができる。また、これにより、ノズル列の対称配置に対応して液体を供給することを可能とし、かつ、クリーニング時の気泡の排出性を向上させ、液体の排出量を低減することができる。また、ノズル列の対称配置に対応して複数の液体流路がそれぞれ分岐していても、各ノズル列に供給される液体の圧力にばらつきが生じることを抑えることができる。これにより、高品質な液体の噴射を行うことができるヘッドが提供される。
【００１３】
ここで、前記水平流路のそれぞれは、両端部のそれぞれに前記バッファー室が設けられた一条の流路であり、当該流路の途中が前記液体供給手段からの流路が連通することにより水平方向の両方向に分岐する分岐部となることが好ましい。
これによれば、分岐による液体の淀みがなくなり、省スペースで均一な分岐が可能となる。
【００１４】
また、前記分岐部は、前記液体供給手段の直下にあることが好ましい。
これによれば、無駄な流路を省き、省スペース化をさらに図ることができる。
【００１５】
また、前記分岐部は、前記水平流路の直線部に設けられているのが好ましい。
これによれば、よりスムーズな分岐を行うことができる。
【００１６】
さらに本発明の他の態様は、上記態様のヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、流路の省スペース化を図り、高品質な液体の噴射を実現することができ、また、クリーニング時の液体の排出量を低減することができる液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ヘッド本体の分解斜視図である。
【図２】ヘッド本体の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線断面図である。
【図４】ヘッドの分解斜視図である。
【図５】第１流路部材の平面図である。
【図６】第１流路部材の裏面図である。
【図７】第２流路部材の平面図である。
【図８】第２流路部材の裏面図である。
【図９】フィルター保持部材の平面図である。
【図１０】フィルター保持部材の裏面図である。
【図１１】第３流路部材の平面図である。
【図１２】第３流路部材の裏面図である。
【図１３】ヘッドの底面図である。
【図１４】インクジェット式記録装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。本実施形態では、パーマネントヘッドの一例としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド（以下、ヘッド）について説明する。
【００１９】
まず、本実施形態に係るヘッドが備えるヘッド本体の一例について説明する。図１はヘッド本体の分解斜視図であり、図２はヘッド本体の平面図であり、図３はヘッド本体のＡ−Ａ’線断面図である。
【００２０】
ヘッド本体２は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、ケース部材４０と、配線基板１２１等の複数の部材を備える。
【００２１】
流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。このような圧力発生室は、流路形成基板１０の一方面側から異方性エッチングすることにより形成されている。
【００２２】
以降、圧力発生室１２が並設された方向（ノズル開口２１が並設された方向でもある）を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列並べられた方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに交差する方向を、インク滴（液滴）の噴射方向、又は第３の方向Ｚと称する。第３の方向は、請求項に記載するヘッド本体とヘッド基板とが積層される方向である。各図に示した座標軸は第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、第３の方向Ｚを表しており、矢印の向かう方向を正（＋）方向、反対方向が負（−）方向ともいう。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。
【００２３】
流路形成基板１０の一方面側（第３の方向Ｚであり、＋Ｚ方向側）には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが第３の方向Ｚに積層されている。すなわち、ヘッド本体２は、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０とを具備する。
【００２４】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけでよいので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。
【００２５】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８（絞り流路、オリフィス流路）とが設けられている。
【００２６】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向（第３の方向Ｚ））に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２７】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２８】
このような連通板１５としては、ステンレスやニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０及び連通板１５に反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２９】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。このようなノズル開口２１は、第１の方向Ｘに並設されてノズル列２１ａを形成している。この第１の方向Ｘに並設されたノズル列２１ａが第２の方向Ｙに２列形成されている。また、ノズルプレート２０の両面のうちインク滴を吐出する面、すなわち圧力発生室１２とは反対側の面を液体噴射面２０ａと称する。
【００３０】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００３１】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３２】
流路形成基板１０の振動板５０上には、圧力発生手段の一例である、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター１３０が設けられている。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター１３０に亘って連続して設けることで共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０毎に独立して設けることで個別電極としている。もちろん、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０が弾性膜５１及び絶縁体膜５２で構成されたものを例示したが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方を設けたものであってもよく、また、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００３３】
圧電体層７０は、分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
【００３４】
さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。
【００３５】
また、リード電極９０の他端部には、圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線基板１２１が接続されている。配線基板１２１は、可撓性（フレキシブル）のあるシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。
【００３６】
配線基板１２１の一方面には、後述するヘッド基板３００の第１端子３１１に電気的に接続する第２端子１２２が形成されている。なお、配線基板１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線基板１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。
【００３７】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、保護基板３０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通することなく、流路形成基板１０側に開口する凹形状を有する。また、保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられている。すなわち、圧電アクチュエーター１３０の第１の方向Ｘに並設された列を収容するように、２つの保持部３１が第２の方向Ｙに並設されている。このような保持部３１は、圧電アクチュエーター１３０の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３８】
保護基板３０は、厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通した貫通孔３２を有する。貫通孔３２は、第２の方向Ｙに並設された２つの保持部３１の間に複数の圧電アクチュエーター１３０の並設方向である第１の方向Ｘに亘って設けられている。つまり、貫通孔３２は、複数の圧電アクチュエーター１３０の並設方向に長辺を有した開口となっている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線基板１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００３９】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。また、流路形成基板１０と保護基板３０との接合方法は特に限定されず、例えば、本実施形態では、流路形成基板１０と保護基板３０とは接着剤（図示せず）を介して接合されている。
【００４０】
ケース部材４０は、平面視において連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されるとともに、連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０によって第３マニホールド部４２が画成されている。
【００４１】
連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０によって画成された第３マニホールド部４２と、によってマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、ヘッド本体２内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。もちろん、２つのマニホールド１００は、連通していてもよい。
【００４２】
ケース部材４０は、マニホールド１００に連通した導入口４４を有している。すなわち、導入口４４は、ヘッド本体２に供給されるインクをマニホールド１００に導入する入口となる開口部である。
【００４３】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。そして、配線基板１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側（−Ｚ側）に延設されている。
【００４４】
なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００４５】
コンプライアンス基板４５は、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面に設けられている。コンプライアンス基板４５は、平面視において連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。
【００４６】
このようなコンプライアンス基板４５は、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された第２開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。
【００４７】
このような構成のヘッド本体２では、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００４８】
上述したヘッド本体２を有するヘッド１について詳細に説明する。図４はヘッドの分解斜視図であり、図５及び図６は第１流路部材の平面図及び裏面図であり、図７及び図８は第２流路部材の平面図及び裏面図であり、図９及び図１０はフィルター保持部材の平面図及び裏面図であり、図１１及び図１２は第３流路部材の平面図及び裏面図であり、図１３はヘッドの底面図である。
【００４９】
本実施形態のヘッド１は、複数種のインクとして、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色を噴射する。もちろん、インクの種類数は４つに限らず、またインクの種類もこれらに限定されない。
【００５０】
図４〜図１０に示すように、ヘッド１は、４つのヘッド本体２と、ヘッド本体２を保持するヘッドケース２５０と、ヘッドケース２５０上に支持されたヘッド基板３００とを備えている。
【００５１】
流路部材２００は、インクカートリッジ等のインク供給手段からヘッド本体２に液体を供給する液体流路５００、及び液体流路５００に設けられたフィルター２４５を有する部材である。具体的には流路部材２００は、第１流路部材２１０と、第２流路部材２２０と、フィルター保持部材２４０と、第３流路部材２３０とを具備する。
【００５２】
これらの第１流路部材２１０、第２流路部材２２０、フィルター保持部材２４０及び第３流路部材２３０は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に形成されている。なお、これらの部材を積層して固定する手段は特に限定されず、ネジやクランプ等で固定してもよい。
【００５３】
第１流路部材２１０は、液体流路５００の一部である上流流路５１０を構成する部材である。具体的には、第１流路部材２１０は、第２流路部材２２０とは反対面側（−Ｚ方向側）に、インクが保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体供給手段に接続される接続部２１１を有する。本実施形態では、接続部２１１として針状に突出したものとした。第１流路部材２１０には、接続部２１１の頂面に開口し、第１流路部材２１０を厚さ方向（第３の方向Ｚ）に直交して貫通した第１上流流路５１１が設けられている。
【００５４】
なお、接続部２１１には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。
【００５５】
第２流路部材２２０は、液体流路５００の一部である上流流路５１０を構成する部材である。具体的には、第２流路部材２２０の第１流路部材２１０側（第３の方向Ｚの−Ｚ側）の表面に、第１溝２２５及び第１溝２２５の両端部にそれぞれ連通する凹部２２６が形成されている。第２流路部材２２０が第１流路部材２１０に接合されることで、第１溝２２５及び凹部２２６が第１流路部材２１０で封止されて第１水平流路５３１及びバッファー室５３３が形成されている。
【００５６】
ここで、第１流路部材２１０の第１上流流路５１１は、第１水平流路５３１の途中に接続する位置に形成されており、第１上流流路５１１から供給される液体は、第１水平流路５３１に入って両側に分岐し、それぞれがバッファー室５３３に流れ込む。すなわち、第１上流流路５１１の第１水平流路５３１との接続側が分岐部となり、第１水平流路５３１は分岐流路となっている。
【００５７】
本実施形態では、第１水平流路５３１の途中に第１上流流路５１１が接続し、第１水平流路５３１で両側に分岐するようにすることにより、分岐を均等に且つスムーズにし、行うことができ、また、分岐流路の配置の自由度を向上させ、省スペース化を図ることができる。例えば、第１水平流路をＹ字状に形成して分岐流路を形成することができるが、この場合には、分岐部に流れの淀みができ、分岐流路の圧力損失を揃えないと均一な分岐が困難であり、分岐流路の配置の自由度が制限され、省スペース化を図ることができない。
【００５８】
また、第１水平流路５３１の第１上流流路５１１が接続する領域は直線部であるのが好ましい。これは分岐後の流れをスムーズにするためである。配置の都合により第１水平流路５３１が屈曲している領域に第１上流流路５１１を接続しなければならない場合でも、第１上流流路５１１が接続する部分だけでも直線状とするのが好ましい。
【００５９】
また、第２流路部材２２０には、フィルター保持部材２４０側（＋Ｚ方向側）の面に第１フィルター室２２１が設けられている。第１フィルター室２２１は、フィルター保持部材２４０側に向けて拡径するように形成された凹部である。第２流路部材２２０には、第１フィルター室２２１とバッファー室５３３とを接続する第２上流流路５１２が形成されている。第２上流流路５１２は第１フィルター室２２１の中央に接続している。
【００６０】
バッファー室５３３を形成する凹部２２６には、第１溝２２５との接続側とは反対側に第２上流流路５１２が設けられ、第１溝２２５との接続側と第２上流流路５１２との間には、流路を三つに分岐する２つの壁部材２２６１が設けられている。よって、バッファー室５３３に流れ込んだ液体は、壁部材２２６１の間とその外側の三つに分岐し、外側の流路から第２上流流路５１２に流れるようになっている。これにより、壁部材２２６１の間の流路に気泡がトラップされ、大きく成長しても、壁部材２２６１の外側の流路から液体が流れるので、チョークされることがない。
【００６１】
また、第２上流流路５１２は、断面円形状の流路であるが、内周壁の４箇所に流れ方向（Ｚ方向）に延びる溝５１２１が形成されている。第２上流流路５１２のバッファー室５３３との入口の開口を塞ぐほど気泡が成長しても、溝５１２１を介して液体が流れるので、チョークが防止される。
【００６２】
このような第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０により、第１上流流路５１１、第１水平流路５３１、バッファー室５３３及び第２上流流路５１２を備える上流流路５１０が形成されている。
【００６３】
上流流路５１０は、流路部材２００の液体流路５００のうち、インクカートリッジ等のインク供給手段から液体が供給される接続部２１１から、後述するフィルター２４５までの部分である。上流流路５１０は、第１上流流路５１１から第１水平流路５３１に入って２つに分岐しており、それぞれがフィルター２４５まで達している。すなわち、液体流路５００は、フィルター２４５よりも上流側である上流流路５１０において、第１水平流路５３１が二つに分岐にしている。
【００６４】
本実施形態の流路部材２００は、４色のインクに対応して、４つの上流流路５１０を備え、各上流流路５１０には各色のインクが供給される。
【００６５】
フィルター保持部材２４０は、液体流路５００の一部を有し、及び液体流路５００に設けられるフィルター２４５を保持する部材である。具体的には、フィルター保持部材２４０の第２流路部材２２０側（第３の方向Ｚの−Ｚ側）の表面に、第２フィルター室２４２が形成されている。第２フィルター室２４２は、第２流路部材２２０側に向けて拡径するように形成された凹部である。また、フィルター保持部材２４０には第２フィルター室２４２に連通して、厚さ方向（第３の方向Ｚ）に貫通した第１下流流路２４１が設けられている。
【００６６】
第２フィルター室２４２は、第１フィルター室２２１に対向するように設けられており、第２流路部材２２０とフィルター２４５とが接合されることで、第１フィルター室２２１及び第２フィルター室２４２からなるフィルター室２６０が形成されている。フィルター室２６０は、液体流路５００の一部を構成する空間であり、その空間を横断するようにフィルター２４５が設けられている。
【００６７】
第２フィルター室２４２は、第１の方向Ｘに亘って、３列設けられており、各列に３個、２個、３個で計８個配置されている。このような配置により、第１水平流路５３１及びバッファー室５３３の配置を省スペース化し、また、後述する第２水平流路５３２の配置の省スペース化を図ることができる。
【００６８】
フィルター２４５は、インクに含まれる気泡や異物を除去するものである。このように配置されたフィルター２４５により、上流流路５１０から供給されたインクは、インクに含まれる異物や気泡がフィルター２４５に捕捉されて第１下流流路２４１に流入する。
【００６９】
第３流路部材２３０は、液体流路５００の一部である下流流路５２０を構成する部材である。具体的には、第３流路部材２３０のフィルター保持部材２４０側（第３の方向Ｚの−Ｚ側）の表面に、第２溝２３５が形成されている。第３流路部材２３０がフィルター保持部材２４０に接合されることで、第２溝２３５がフィルター保持部材２４０で封止された第２水平流路５３２が形成されている。
【００７０】
また、第３流路部材２３０には、第２水平流路５３２に連通し、厚さ方向（第３の方向Ｚ）に貫通した第２下流流路２３２が形成されている。
【００７１】
このようなフィルター保持部材２４０及び第３流路部材２３０により、第１下流流路２４１、第２水平流路５３２及び第２下流流路５２１を備える下流流路５２０が形成されている。
【００７２】
下流流路５２０は、流路部材２００の液体流路５００のうち、フィルター２４５から第２下流流路５２１までの部分である。下流流路５２０は、途中で分岐しておらず、フィルター２４５より第２下流流路５２１までは一本の流路となっている。
【００７３】
本実施形態の流路部材２００は、４色のインクに対応して、４つの上流流路５１０が２つに分岐して下流流路５２０に連通しているので、８つの下流流路５２０を有している。このような液体流路５００の詳細については後述する。
【００７４】
ヘッドケース２５０は、ヘッド本体２を保持する部材である。ヘッドケース２５０は、流路部材２００とは反対側（＋Ｚ側）の面に凹形状の収容部２５４が設けられている。収容部２５４は、ノズル列２１ａが第２の方向Ｙに並ぶように配置された４つのヘッド本体２を収容可能な程度の大きさとなっている。
【００７５】
ヘッドケース２５０には、流路部材２００側（−Ｚ側）の面に、突起部２５１が複数個形成されている。本実施形態では、８つの突起部２５１が設けられている。各突起部２５１は、流路部材２００に設けられた液体流路５００の分岐した８つの下流流路５２０に対向して配置されている。
【００７６】
各突起部２５１には、ヘッドケース２５０を第３の方向Ｚに貫通する第１連通流路２５３が設けられている。各突起部２５１の頂面（流路部材２００に対向する面）には、第１連通流路２５３が開口している。また、各第１連通流路２５３の収容部２５４側が、ヘッド本体２のケース部材４０の導入口４４に連通している。
【００７７】
また、ヘッドケース２５０には、ヘッド本体２の配線基板１２１が挿通される第１挿通孔２５２が複数個形成されている。具体的には、各第１挿通孔２５２は、第３の方向Ｚに貫通し、ヘッド基板３００の第２挿通孔３０２に連通するように形成されている。本実施形態では４つのヘッド本体２に設けられた各配線基板１２１に対応して４つの第１挿通孔２５２が設けられている。
【００７８】
ヘッドケース２５０の流路部材２００側（−Ｚ側）の側の面には、ヘッド基板３００が支持されている。ヘッド基板３００は、配線基板１２１が接続され、該配線基板１２１を介してヘッド１の噴射動作等を制御する回路や抵抗などの電装部品が実装された部材である。
【００７９】
ヘッド基板３００の流路部材２００側の面には、配線基板１２１の端子が電気的に接続される端子が形成されている。また、ヘッド基板３００には、ヘッド本体２に電気的に接続された配線基板１２１が挿通される第２挿通孔３０２が複数個形成されている。具体的には、各第２挿通孔３０２は、第３の方向Ｚに貫通し、ヘッドケース２５０の第１挿通孔２５２に連通するように形成されている。本実施形態では４つのヘッド本体２の各配線基板１２１に対応して４つの第２挿通孔３０２が設けられている。
【００８０】
また、ヘッド基板３００には、第３の方向Ｚに貫通した貫通孔３０１が設けられている。貫通孔３０１は、ヘッドケース２５０の突起部２５１が挿通される。本実施形態では、合計８つの貫通孔３０１が突起部２５１に対向するように設けられている。
【００８１】
なお、ヘッド基板３００に形成する各貫通孔３０１の形状は上述したような態様に限定されない。例えば、ヘッド基板３００には、突起部２５１が下流流路５２０に接続する際の妨げとならないように挿通孔や切り欠き等が形成されていればよい。
【００８２】
ヘッド本体２に接続された配線基板１２１は、ヘッド本体２の接続口４３、ヘッドケース２５０の第１挿通孔２５２、ヘッド基板３００の第２挿通孔３０２に挿通され、配線基板１２１がヘッド基板３００の端子側に折り曲げられている。そして、ヘッド基板３００の端子は、配線基板１２１に設けられた端子に電気的に接続されている。これらの端子同士の接続態様に特に限定はないが、例えば、半田接続などの溶接、異方性導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等を介在させて圧着することで電気的な接続を図ることができる。
【００８３】
ヘッド基板３００と第３流路部材２３０との間には、インクの漏出を防止するためのシール部材２７０が設けられている。シール部材２７０の材料としては、ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。
【００８４】
具体的には、シール部材２７０は、第３の方向Ｚに貫通した第２連通流路２７１が形成されている。第２連通流路２７１を介して下流流路５２０と第１連通流路２５３とが連通した状態で、シール部材２７０は、第３流路部材２３０と突起部２５１とに挟持されている。本実施形態では、第２連通流路２７１は下流流路５２０に対応して８つ形成されており、８つの下流流路５２０が８つの突起部２５１の第１連通流路２５３に連通している。
【００８５】
このようなヘッドケース２５０の第１連通流路２５３及びシール部材２７０の第２連通流路２７１を介して、流路部材２００の液体流路５００は、ヘッド本体２の導入口４４に連通している。
【００８６】
カバーヘッド４００は、ヘッド本体２が固定され、ヘッドケース２５０に固定される部材であり、ノズル開口２１を露出する開口部４０１が設けられている。本実施形態では、開口部４０１は、ノズルプレート２０が露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１開口部４５ａと略同じ開口を有する。
【００８７】
カバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側（＋Ｚ側）に接合されており、コンプライアンス部４９のマニホールド１００とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインクが付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインクを例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部４９との間の空間は、大気開放されている。また、カバーヘッド４００は、ヘッド本体２毎に独立して設けられていてもよい。
【００８８】
上述したように、ヘッド本体２を保持したヘッドケース２５０、ヘッド基板３００、シール部材２７０、流路部材２００が積層されてヘッド１が構成されている。このような構成のヘッド１では、インクを噴射する際に、接続部２１１から供給されたインクを、液体流路５００を介してヘッド本体２に供給する。そして、外部からの制御信号がヘッド基板３００に送信され、上述したように、該制御信号にしたがってヘッド本体２によりインクが噴射される。
【００８９】
ここで、ヘッド１の液体流路５００について詳細に説明する。まず、図１３に示すように、ヘッド本体２は２列のノズル列２１ａを有しており、第１の方向Ｘに延びたノズル列２１ａが第２の方向Ｙに並設するように、４つのヘッド本体２がヘッドケース２５０及びカバーヘッド４００に固定されている。
【００９０】
本実施形態では４色のインクを用いるが、同一色のインクを吐出するノズル列２１ａは、第１の方向Ｘに延びる基準線Ｃを中心に対称となるように配置されている。以降、このようなノズル列２１ａの配列を対称配列とも称する。
【００９１】
ノズル列２１ａの対称配列とは、基準線Ｃの一方側（例えば＋Ｙ側）に配置されたノズル列２１ａから吐出されるインクの種類の並びが、基準線Ｃの他方側（例えば−Ｙ側）に配置されたノズル列２１ａから吐出されるインクの種類の並びとは逆になっていることをいう。
【００９２】
基準線Ｃの＋Ｙ側に配置された４つのノズル列２１ａをノズル群Ｌ、基準線Ｃの−Ｙ側に配置された４つのノズル列２１ａをノズル群Ｒと称する。本実施形態では、ノズル群Ｌを構成するノズル列２１ａから吐出されるインクの種類の並びは、−Ｙから＋Ｙに向けてブラック（Ｋ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、イエロー（Ｙ）となっている。ノズル群Ｒを構成するノズル列２１ａから吐出されるインクの種類の並びは、−Ｙから＋Ｙに向けてイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）となっている。
【００９３】
なお、同一色のインクを吐出するノズル列２１ａが基準線Ｃを中心に対称となるように配置される態様は、上述したように、ノズル列２１ａから吐出されるインクの種類の並びが基準線Ｃを中心に対称となっていればよい。したがって、同一色のインクを吐出するノズル列２１ａが基準線Ｃを中心として等距離に配置されている必要はない。
【００９４】
また、本実施形態では、２つのノズル列２１ａが１つのヘッド本体２に設けられていたが、ヘッド本体２とノズル列２１ａとの関係は、このような態様に限定されない。１つのヘッド本体２に全てのノズル列２１ａが設けられていてもよいし、１つのヘッド本体２に１つのノズル列２１ａを設けた態様であってもよい。
【００９５】
このように配置されたノズル列２１ａを有するヘッド本体２に対して、インクを供給する液体流路５００について詳細に説明する。
【００９６】
まず、液体流路を構成する上流流路の第１水平流路５３１について説明する。図５〜図８に示すように、第１水平流路５３１（第１溝２２５）は、４色のインクに対応して４つ設けられており、二つに分岐している。本実施形態では、第１水平流路５３１の分岐部５３１ａが第１上流流路５１１に連通しており、両方の端部のバッファー室５３３が第２上流流路５１２に連通している。なお、図５〜図８のＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋはそれぞれ第１水平流路５３１に流入するインクの色であるイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックを意味している。
【００９７】
第１上流流路５１１は、液体供給手段から供給されるインクの入口となる接続部２１１に、平面視で重なるような配置となっている。また、第２上流流路５１２の直下に平面視で重なる位置にフィルター室２６０が設けられており、第２上流流路５１２は、フィルター室２６０の中央に配置されるようになっている。
【００９８】
第１上流流路５１１及び第２上流流路５１２は、図７の平面視においてずれて配置されている。これらの第１上流流路５１１と第２上流流路５１２とは、第１水平流路５３１で連通している。したがって、平面視において第１上流流路５１１と、第２上流流路５１２とがずれていても、インクを第１上流流路５１１から第２上流流路５１２へ供給することができる。
【００９９】
換言すれば、接続部２１１やフィルター室２６０の位置、大きさ、及び範囲などがどのような態様であっても、第１水平流路５３１及びバッファー室５３３を形成することで、接続部２１１に接続された液体供給手段からフィルター室２６０にインクを供給することができる。
【０１００】
次に、液体流路５００を構成する下流流路５２０の第２水平流路５３２について説明する。図１１〜図１２に示すように、第２水平流路５３２（第２溝２３５）は、分岐した第１水平流路５３１に連通するバッファー室５３３に対応して第２上流流路５１２が８つのフィルター室２６０に対応して８つ設けられている。本実施形態では、第２水平流路５３２の一方の端部である第１端部５３２ａが第１下流流路２４１に連通し、他方の端部である第２端部５３２ｂが第２下流流路２３２に連通している。なお、図６のＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋはそれぞれフィルター室２６０に流入するインクの色であるイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックを意味している。図７のＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋも同様に各第２水平流路５３２に流入するインクの色を意味している。
【０１０１】
第１下流流路２４１は、フィルター室２６０に平面視で重なるような配置となっている。一方、第２下流流路２３２は、インクが供給されるヘッド本体２の導入口４４に平面視で重なるような配置となっている。ここで、第１下流流路２４１は、フィルター室２６０のできるだけ中央部に配置するのが好ましい。本実施形態では、７つのフィルター室２６０に対して、第２下流流路２３２を中央に配しているが、１つのフィルター室２６０については、配置の都合で中央部から若干ずれている。
【０１０２】
第１下流流路２４１及び第２下流流路２３２は、平面視においてずれて配置されている。これらの第１下流流路２４１と第２下流流路２３２とは、第２水平流路５３２で連通している。したがって、平面視において第１下流流路２４１と、第２下流流路２３２とがずれていても、インクを第１下流流路２４１から第２下流流路２３２へ供給することができる。
【０１０３】
換言すれば、フィルター室２６０及びヘッド本体２の導入口４４の位置、大きさ、及び範囲などがどのような態様であっても、第２水平流路５３２を形成することで、フィルター室２６０からヘッド本体２の導入口４４にインクを供給することができる。
【０１０４】
このように、フィルター２４５より上流側の第１水平流路５３１で分岐することにより、ＸＹ平面内において、各ノズル列２１ａに対応した位置（導入口４４）にインクを導くことができる。そして、フィルター２４５より下流側の第２水平流路５３２を短くすることができるので、厳密な気泡の管理が必要となるフィルター２４５より下流側の下流流路５２０の長さを短くすることができる。
【０１０５】
フィルター２４５の上流の上流流路５１０では、気泡が生じたとしても、フィルター２４５に捕捉されるため、比較的、厳密な気泡の管理は必要ない。一方、フィルター２４５の下流の下流流路５２０では、例えばフィルター２４５を透過するなどして気泡が生じた場合、そのままヘッド本体２に供給されるおそれがあるので、厳密な気泡の管理が必要となる。ヘッド１では、このような気泡の対策として、下流流路５２０に残留した気泡を排除するために、定期的、あるいは任意のタイミングでヘッド本体２側からインクを吸引し、下流流路５２０内の気泡をインクごとノズル開口２１から排出するクリーニング動作が行われる。
【０１０６】
本実施形態に係るヘッド１では、上述したように、厳密な気泡の管理が必要となる下流流路５２０において第２水平流路５３２を短くすることで、クリーニング動作に要する時間を短縮し、インクの排出量を低減することができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、第１水平流路５３１の途中に垂直流路である５１１を連通することで、両側に分岐するようにしてので、分岐を均等に且つスムーズにし、行うことができ、また、分岐流路の配置の自由度を向上させ、省スペース化を図ることができる。また、第１水平流路５３１の端部にバッファー室５３３を設けたが、第１水平流路５３１の配置や屈曲の度合いやバッファー室５３３までの長さに自由度があり、各分岐流路においてこれらを一致させず、両側において屈曲の度合いやバッファー室５３３までの長さが異なっても、均一な分岐を行うことができることが確認された。本実施形態では、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各第１水平流路５３１の長さや屈曲の度合いなどはばらばらであり、各第１水平流路５３１において、分岐部５３１ａからバッファー室５３３までの長さや屈曲の度合いなどが変化しても、均一な分岐状態となることが確認されている。例えば、ブラック用の第１水平流路５３１はＵ字状に屈曲しているが、このような屈曲していても特に支障はない。
【０１０８】
また、第１水平流路５３１の第１上流流路５１１が接続する領域は直線部であるのが好ましい。これは分岐後の流れをスムーズにするためである。配置の都合により第１水平流路５３１が屈曲している領域に第１上流流路５１１を接続しなければならない場合でも、第１上流流路５１１が接続する部分だけでも直線状とするのが好ましい。
【０１０９】
また、フィルター２４５より下流側の下流流路５２０は分岐せずにヘッド本体２へインクを供給する。このため、各下流流路５２０の長さを揃えることで、圧力損失の差にばらつきが生じることを抑え、各ノズル列２１ａ間に供給されるインクの圧力を均等化することができる。これにより、各ノズル列２１ａ間でインクの圧力にばらつきが生じることを抑え、高品質なインクの噴射を行うことができる。
【０１１０】
〈実施形態２〉
実施形態１で説明したヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図１４は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略図である。
【０１１１】
図１４に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、ヘッド１は、液体供給手段であるインクカートリッジ１１０が着脱可能に取り付けられている。このヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。
【０１１２】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【０１１３】
また、装置本体４には、キャリッジ３の移動方向の一方側にヘッド１の液体噴射面２０ａに当接して、ノズル開口２１からインクと共に気泡や異物を吸引する吸引手段９が設けられている。このような吸引手段９によって、ヘッド１のノズル開口２１近傍のインクを吸引してクリーニングするクリーニング動作や、ヘッド１内にインクを充填する初期充填などが行われる。
【０１１４】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１１５】
さらに、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体供給手段であるインクカートリッジ１１０がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、液体供給手段とヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１１６】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１１７】
例えば、実施形態１に係るヘッド１は、ヘッド本体２を保持するヘッドケース２５０を有し、流路部材２００はヘッドケース２５０及びシール部材２７０を介してインクをヘッド本体２に供給する構成であったが、これに限定されない。例えば、流路部材２００にヘッド本体２を保持させ、流路部材２００から直接的にヘッド本体２にインクを供給させる構造としてもよい。
【０１１８】
また、液体流路５００の第１上流流路５１１、第２上流流路５１２、第１下流流路２４１及び第２下流流路２３２は、液体噴射面２０ａに直交する第３の方向Ｚに沿うように形成されていたが、このような態様に限定されない。これらの流路は第３の方向Ｚ成分を含んでいればよく、第３の方向Ｚに対して傾斜していてもよい。
【０１１９】
圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１２０】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１２１】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １…ヘッド、  ２…ヘッド本体、    ２０…ノズルプレート、  ２１…ノズル開口、  ２１ａ…ノズル列、  ２００…流路部材、  ２１０…第１流路部材、  ２１１…接続部、  ２２０…第２流路部材、  ２３０…第３流路部材、  ２４０…フィルター保持部材、  ２４５…フィルター、  ２５０…ヘッドケース、  ２７０…シール部材、  ３００…ヘッド基板、  ５００…液体流路、  ５１０…上流流路、  ５２０…下流流路、  ５３１…第１水平流路、  ５３１ａ…分岐部、５３３…バッファー室  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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