(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材と、
前記透明基材の上側に配置される導電層とを備え、
前記導電層は、
銅層と、
前記銅層の上面および下面の少なくともいずれか一方に配置される黒化層と
を備え、
前記黒化層が、金属成分と酸素とを含有し、
前記金属成分が、モリブデンを含有し、
前記金属成分は、さらに、
鉄を、２０ａｔｏｍｉｃ％以上、９５ａｔｏｍｉｃ％以下含有し、
インジウムを、０．１ａｔｏｍｉｃ％以上、２３ａｔｏｍｉｃ％以下含有することを特徴とする、導電性フィルム。
【請求項２】
前記金属成分におけるモリブデンの含有割合が、５ａｔｏｍｉｃ％以上、８０ａｔｏｍｉｃ％以下であることを特徴とする、請求項１に記載の導電性フィルム。
【請求項３】
前記黒化層が、前記銅層の上面に配置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の導電性フィルム。
【請求項４】
前記黒化層の厚みが、４０ｎｍ以上、６０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項３に記載の導電性フィルム。
【請求項５】
前記黒化層が、前記銅層の下面に配置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の導電性フィルム。
【請求項６】
前記黒化層の厚みが、６０ｎｍ以上、７０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項５に記載の導電性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、大型のタッチパネルには、黒化処理を施した金属メッシュを有する透明導電構造を備えることが知られている。
【０００３】
そのような透明導電構造を得るには、例えば、ＰＥＴ透明基板の上表面および下表面に、銅からなる金属導電層を形成し、その後、黒色の金属からなる反射防止層を形成した積層体を得、その後、リソグラフィー工程によって、金属導電層および反射防止層をメッシュ形状にエッチングしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
特許文献１において、金属は、ニッケル、チタン、モリブデン、クロム、銅、亜鉛、スズおよびその合金からなる群から選ばれるものを含んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−６０５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに、透明導電構造は、高温および高湿雰囲気下に置かれる場合がある。しかし、特許文献１の透明導電構造の反射防止層では、そのような場合に、黒色度が低下するという不具合がある。そうすると、タッチパネルにおいてメッシュ形状が視認され易くなるという不具合がある。
【０００７】
本発明の目的は、高温高湿雰囲気においても黒色度の低下を抑制することのできる黒化層を備える導電性フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明［１］は、透明基材と、前記透明基材の上側に配置される導電層とを備え、前記導電層は、銅層と、前記銅層の上面および下面の少なくともいずれか一方に配置される黒化層とを備え、前記黒化層が、金属成分と酸素とを含有し、前記金属成分が、モリブデンを含有する導電性フィルムを含む。
【０００９】
本発明［２］は、前記金属成分におけるモリブデンの含有割合が、５ａｔｏｍｉｃ％以上、８０ａｔｏｍｉｃ％以下である［１］に記載の導電性フィルムを含む。
【００１０】
本発明［３］は、前記金属成分は、さらに、鉄を、２０ａｔｏｍｉｃ％以上、９５ａｔｏｍｉｃ％以下含有し、インジウムを、０．１ａｔｏｍｉｃ％以上、２３ａｔｏｍｉｃ％以下含有する［１］または［２］に記載の導電性フィルムを含む。
【００１１】
本発明［４］は、前記黒化層が、前記銅層の上面に配置されている［１］〜［３］のいずれか一項に記載の導電性フィルムを含む。
【００１２】
本発明［５］は、前記黒化層の厚みが、４０ｎｍ以上、６０ｎｍ以下である［４］に記載の導電性フィルムを含む。
【００１３】
本発明［６］は、前記黒化層が、前記銅層の下面に配置されている［１］〜［３］のいずれか一項に記載の導電性フィルムを含む。
【００１４】
本発明［７］は、前記黒化層の厚みが、６０ｎｍ以上、７０ｎｍ以下である［６］に記載の導電性フィルムを含む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の導電性フィルムでは、黒化層が、金属成分と酸素とを含有し、金属成分が、モリブデンを含有するので、高温高湿雰囲気においても黒化層の黒色度の低下を抑制することができる。そのため、導電層の視認抑制性に優れる導電性フィルムを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の導電性フィルムの第１実施形態である第１導電性フィルムの断面図を示す。
【図２】図２は、本発明の導電性フィルムの第２実施形態である第２導電性フィルムの断面図を示す。
【図３】図３は、本発明の導電性フィルムの第３実施形態である第３導電性フィルムの断面図を示す。
【図４】図４は、図３に示す第３導電性フィルムの分解断面図を示す。
【図５】図５は、本発明の導電性フィルムの第４実施形態である第４導電性フィルムの断面図を示す。
【図６】図６は、本発明の導電性フィルムの第５実施形態である第５導電性フィルムの断面図を示す。
【図７】図７は、本発明の導電性フィルムの第６実施形態である第６導電性フィルムの断面図を示す。
【図８】図８は、本発明の導電性フィルムの第７実施形態である第７導電性フィルムの断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１において、紙面上下方向は、上下方向（厚み方向、視認方向、第１方向）であって、紙面上側が、上側（厚み方向一方側、視認側（視認方向上流側）、第１方向一方側）、紙面下側が、下側（厚み方向他方側、視認側と反対側（視認方向下流側）、第１方向他方側）である。紙面左右方向は、左右方向（第２方向）であって、紙面右側が、右側（第２方向一方側）、紙面左側が、左側（第２方向他方側）である。紙面紙厚方向は、前後方向（第３方向）であって、紙面手前側が、前側（第３方向一方側）、紙面奥側が、後側（第３方向他方側）である。以下、特に明記しない限り、方向は、各図に記載された方向矢印に従う。
【００１８】
１．第１導電性フィルム
この第１導電性フィルム１は、図１に示すように、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）を有し、厚み方向と直交する所定方向（前後方向および左右方向、すなわち、面方向）に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。第１導電性フィルム１は、例えば、画像表示装置に備えられるタッチパネル用基材などの一部品であり、つまり、画像表示装置ではない。すなわち、第１導電性フィルム１は、画像表示装置などを作製するための部品であり、ＬＣＤモジュールなどの画像表示素子を含まず、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【００１９】
具体的には、図１に示すように、第１導電性フィルム１は、透明基材２と、導電層３とを順に備える。つまり、第１導電性フィルム１は、透明基材２と、透明基材２の上側に配置される導電層３とを備える。第１導電性フィルム１は、好ましくは、透明基材２と、導電層３とのみからなる。
【００２０】
２．透明基材
透明基材２は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）を有し、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。透明基材２は、第１導電性フィルム１の最下層であって、第１導電性フィルム１の機械強度を確保する支持材である。透明基材２は、導電層３を支持している。
【００２１】
透明基材２は、例えば、透明性を有する高分子フィルムである。高分子フィルムの材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル樹脂、例えば、ポリメタクリレートなどの（メタ）アクリル樹脂（アクリル樹脂および／またはメタクリル樹脂）、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマーなどのオレフィン樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリアリレート樹脂、メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース樹脂、ポリスチレン樹脂、ノルボルネン樹脂などが挙げられる。これら高分子フィルムは、単独使用または２種以上併用することができる。透明性、耐熱性、機械特性などの観点から、好ましくは、ポリエステル樹脂が挙げられ、より好ましくは、ＰＥＴが挙げられる。
【００２２】
透明基材２の厚みは、例えば、２μｍ以上、好ましくは、２０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１５０μｍ以下である。
【００２３】
なお、透明基材２の下面には、必要に応じて、ハードコート層、ブロッキング防止層、易接着層、接着剤層、セパレータなどを設けることができる。
【００２４】
３．導電層
導電層３は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）を有し、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。導電層３は、導電性を有しており、後の工程でパターニングされる層である。導電層３は、銅層４と、銅層４の上面に配置される黒化層５とを備える。つまり、導電層３は、銅層４と、黒化層５とを順に備える。導電層３は、好ましくは、銅層４と、黒化層５とのみからなる。そのため、この第１導電性フィルム１には、透明基材２と、銅層４と、黒化層５とが順に備えられる。
【００２５】
４．銅層
銅層４は、透明基材２の上面全面に配置されている。すなわち、銅層４は、透明基材２の上面に直接接触している。銅層４は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）を有し、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００２６】
銅層４は、例えば、銅を主成分として含有しており、また、他の微量成分（不純物など）の含有を許容する。銅層４は、好ましくは、銅のみからなる。
【００２７】
銅層４の厚みは、例えば、５０ｎｍ以上、好ましくは、１００ｎｍ以上であり、また、例えば、２０００ｎｍ以下である。
【００２８】
５．黒化層
黒化層５は、第１導電性フィルム１の最上層である。黒化層５は、銅層４の金属光沢に起因する導電層３の視認性を抑制する層（つまり、導電層３に視認抑制性を付与する視認抑制層）である。黒化層５は、銅層４の上面全面に配置されている。具体的には、黒化層５は、銅層４の上面に直接接触している。黒化層５は、所定の厚みを有するフィルム形状（シート形状を含む）を有し、面方向に延び、平坦な上面および平坦な下面（２つの主面）を有する。
【００２９】
５−１．主成分（モリブデン）
黒化層５は黒化成分からなる。黒化成分は、金属成分と、酸素とを含有する。
【００３０】
酸素の含有割合は、黒化成分における金属成分の残部である。
【００３１】
金属成分は、モリブデンを主成分として含有する。
【００３２】
モリブデンの金属成分における含有割合は、例えば、５ａｔｏｍｉｃ％以上、好ましくは、１５ａｔｏｍｉｃ％以上、より好ましくは、２５ａｔｏｍｉｃ％以上である。また、モリブデンの金属成分における含有割合は、例えば、８０ａｔｏｍｉｃ％以下、好ましくは、６０ａｔｏｍｉｃ％以下、より好ましくは、５０ａｔｏｍｉｃ％以下である。
【００３３】
モリブデンの含有割合が上記した下限以上であれば、黒化層５の耐湿熱性を向上させることができる。具体的には、高温かつ高湿雰囲気において長時間経過しても、黒化層５の黒色度が低下することを防止することができる。
【００３４】
モリブデンの含有割合（原子百分率）は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）（ＥＳＣＡ）によって求められる。
【００３５】
５−２．副成分（鉄、インジウム）
金属成分は、好ましくは、さらには、鉄および／またはインジウムを副成分として含有する。好ましくは、金属成分は、モリブデン、鉄およびインジウムのみからなる。
【００３６】
鉄の金属成分における含有割合は、例えば、２０ａｔｏｍｉｃ％以上、好ましくは、３０ａｔｏｍｉｃ％以上、より好ましくは、４０ａｔｏｍｉｃ％以上である。鉄の金属成分における含有割合は、例えば、９５ａｔｏｍｉｃ％以下、好ましくは、８５ａｔｏｍｉｃ％以下、より好ましくは、７５ａｔｏｍｉｃ％以下である。
【００３７】
鉄のモリブデンに対する原子割合（鉄／モリブデン）は、例えば、０．２５以上、好ましくは、１．０以上であり、また、例えば、１９以下、好ましくは、２．０以下である。
【００３８】
インジウムの金属成分における含有割合は、例えば、０．１ａｔｏｍｉｃ％以上、好ましくは、０．５ａｔｏｍｉｃ％以上、より好ましくは、１ａｔｏｍｉｃ％以上である。インジウムの金属成分における含有割合は、例えば、２３ａｔｏｍｉｃ％以下、好ましくは、１５ａｔｏｍｉｃ％以下、より好ましくは、１０ａｔｏｍｉｃ％以下である。
【００３９】
インジウムのモリブデンに対する原子割合（インジウム原子／モリブデン原子）は、例えば、０．０１以上、好ましくは、０．０１５以上であり、また、例えば、４．０以下、好ましくは、０．５以下である。
【００４０】
鉄およびインジウムの上記した割合が上記した下限以上であれば、黒化層５の耐湿熱性をより一層向上させることができる。鉄およびインジウムの含有割合が上記した上限以下であれば、初期状態の黒色度低下を抑えることができる。
【００４１】
金属成分が鉄およびインジウムの両方を含有する場合には、鉄のインジウムに対する原子割合（鉄／インジウム）は、例えば、４．０以上、好ましくは、１０以上であり、また、例えば、７５以下、好ましくは、３０以下である。鉄のインジウムに対する原子割合が上記した下限以上であれば、副成分の添加により耐熱湿性をより向上することができる。鉄のインジウムに対する原子割合が上記した上限以下であれば、黒化膜のエッチング速度を速くすることができる。
【００４２】
鉄およびインジウムのそれぞれの含有割合（原子百分率）は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）（ＥＳＣＡ）によって求められる。
【００４３】
５−３．黒化層のその他の物性
黒化層５の表面粗さは、例えば、例えば、０．１ｎｍ以上、好ましくは、０．２ｎｍ以上であり、また、例えば、２．０ｎｍ以下、好ましくは、０．７ｎｍ以下である。黒化層５の表面粗さが上記した下限以上であり、また、上記した上限以下であれば、黒化層５の黒色度を向上させることができる。なお、黒化層５の表面粗さは、原子間力顕微鏡法（ＡＦＭ）により求められる。
【００４４】
黒化層５の全光線反射率（具体的には、黒化層５が形成されてから常温（２５℃）常湿（２０〜９０％ＲＨ）で１時間以内の黒化層５の全光線反射率。以下の黒化層５の光学物性は上記と同じ。）は、例えば、３０％以下、好ましくは、２５％以下、より好ましくは、２０％以下、さらに好ましくは、１７％以下、とりわけ好ましくは、１５％以下、最も好ましくは、１０％以下であり、また、例えば、０％以上である。
【００４５】
黒化層５のａ＊は、例えば、１以下、好ましくは、０以下、より好ましくは、−１以下、さらに好ましくは、−５以下、とりわけ好ましくは、−６以下、最も好ましくは、−７．５以下であり、また、例えば、−２５以上、好ましくは、−１５以上である。黒化層５のａ＊が上記した下限以上であれば、導電層３の赤色の発色を抑制して、導電層３の黒色度を向上させることができる。黒化層５のａ＊が上記した上限以下であれば、導電層３の緑色の発色を抑制して、導電層３の黒色度を向上させることができる。
【００４６】
黒化層５のｂ＊は、例えば、０以下、好ましくは、−５以下、より好ましくは、−１０以下、さらに好ましくは、−１５以下であり、また、例えば、−４０以上、好ましくは、−３０以上、より好ましくは、−２０以上である。黒化層５のｂ＊が上記した上限以下であれば、導電層３の黄色の発色を抑制して、導電層３の黒色度を向上させることができる。黒化層５のｂ＊が上記した下限以上であれば、導電層３の青色の発色を抑制して、導電層３の黒色度を向上させることができる。
【００４７】
黒化層５のＬ＊は、例えば、５０以下、好ましくは、４５以下、より好ましくは、４０以下、最も好ましくは、３５以下であり、また、たとえば、３０以上である。黒化層５のＬ＊が上記した上限以下であれば、導電層３の明度を抑制して、導電層３の黒色度を向上させることができる。
【００４８】
５−４．黒化層の厚み
黒化層５の厚みは、例えば、１０ｎｍ以上、好ましくは、４０ｎｍ以上であり、また、例えば、９０ｎｍ以下、好ましくは、６０ｎｍ以下である。黒化層５の厚みが上記した下限以上であり、または、上限した上限以下であれば、反射光測定（後述）で得られるＬ、ａ＊および／またはｂ＊の絶対値を低減することができ、そのため、黒化層５の黒色度を向上させることができる。
【００４９】
６．導電性フィルムの製造方法
次に、第１導電性フィルム１の製造方法について説明する。
【００５０】
この第１導電性フィルム１は、例えば、ロール・トゥ・ロール法によって、以下の各層が製造される。
【００５１】
この方法では、まず、透明基材２を用意する。
【００５２】
その後、導電層３を透明基材２の上側に配置する。
【００５３】
導電層３を透明基材２の上側に配置するには、例えば、まず、銅層４を透明基材２の上面全面に配置する。
【００５４】
銅層４を透明基材２の上面全面に配置するには、例えば、銅層４を透明基材２の上面に、例えば、乾式、湿式により、配置する。好ましくは、乾式により銅層４を形成する。
【００５５】
乾式としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などが挙げられる。好ましくは、スパッタリング法が挙げられる。
【００５６】
その後、黒化層５を銅層４の上面全面に配置する。
【００５７】
黒化層５を銅層４の上面全面に配置するには、例えば、乾式により、黒化層５を銅層４の上面に配置する。
【００５８】
乾式としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などが挙げられる。好ましくは、スパッタリング法が挙げられる。具体的には、マグネトロンスパッタリング法が挙げられる。
【００５９】
スパッタリング法が採用される場合には、スパッタリングターゲットとしては、上記した主成分および副成分を上記した割合で含有する化合物が挙げられる。そのような化合物として、市販品を用いることができる。
【００６０】
スパッタリング法で用いられるガスとしては、例えば、アルゴンなどの不活性ガスが挙げられる。また、必要に応じて、酸素などの反応性ガスを適宜の割合で併用することもできる。好ましくは、ガスとして、不活性ガスが用いられる。
【００６１】
これにより、銅層４および黒化層５を備える導電層３を、透明基材２の上側に配置する。
【００６２】
これによって、透明基材２、銅層４および黒化層５を順に備える第１導電性フィルム１を得る。
【００６３】
その後、この第１導電性フィルム１では、図示しないが、エッチングによって、導電層３がパターンに形成される。導電層３のパターンとしては、例えば、左右方向に互いに間隔が隔てられ、前後方向に延びる配線形状パターンが挙げられる。
【００６４】
その後、第１導電性フィルム１は、例えば、タッチパネルなどの入力装置を備える画像表示装置に備えられる。画像表示装置として、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置、無機ＥＬ表示装置、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、電子ペーパー、ＣＲＴ、ＬＤディスプレイ、電界放出ディスプレイなどが挙げられる。
【００６５】
第１導電性フィルム１を備える液晶表示装置を例示すると、液晶表示装置は、例えば、液晶表示モジュールと、偏光板と、第１導電性フィルム１と、保護ガラスとを、視認側に向かって順に備えている。第１導電性フィルム１では、黒化層５が銅層４に対して視認側（上側）に位置する。これによって、黒化層５は、視認者と銅層４との間に介在できる。
【００６６】
７．作用効果
そして、この第１導電性フィルム１では、黒化層５が、金属成分と酸素とを含有し、金属成分が、モリブデンを含有するので、高温高湿雰囲気においても黒化層５の黒色度の低下を抑制することができる。そのため、導電層３の視認抑制性に優れる第１導電性フィルム１を製造することができる。
【００６７】
また、この第１導電性フィルム１では、金属成分におけるモリブデンの含有割合が上記した下限以上であれば、耐湿熱性を向上させることができる。具体的には、高温かつ高湿雰囲気において長時間経過しても、黒化層５の黒色度が低下することを防止することができる。
【００６８】
また、この第１導電性フィルム１では、金属成分は、さらに、鉄およびインジウムを、それぞれ、上記した下限以上含有すれば、耐湿熱性を向上させることができる。
【００６９】
また、この第１導電性フィルム１では、黒化層５が、銅層４の上面に配置されているので、導電層３の上方からの視認抑制性を有することができる。
【００７０】
また、この第１導電性フィルム１では、黒化層５の厚みが上記した下限以上であり、または、上限した上限以下であれば、反射光測定で得られるＬ、ａ＊および／またはｂ＊の絶対値を低減することができ、黒化層５の黒色度を向上させることができる。そのため、導電層３の上方からの優れた視認抑制性を有することができる。
【００７１】
＜第２実施形態＞
第２実施形態において、第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７２】
図２において、紙面下側が、視認側（視認方向上流側）であり、紙面上側が、視認側と反対側（視認方向下流側）である。
【００７３】
第１実施形態の第１導電性フィルム１では、図１に示すように、黒化層５が銅層４の上面に配置されている。しかし、第２実施形態の第２導電性フィルム１１では、図２に示すように、黒化層５が銅層４の下面に配置されている。
【００７４】
つまり、この第２導電性フィルム１１は、透明基材２、黒化層５および銅層４を順に備えている。
【００７５】
黒化層５は、透明基材２の上面全面、かつ、銅層４の下面全面に配置されている。つまり、黒化層５は、透明基材２の上面と、銅層４の下面とに直接接触している。
【００７６】
黒化層５の厚みは、例えば、１０ｎｍ以上、好ましくは、６０ｎｍ以上であり、また、例えば、９０ｎｍ以下、好ましくは、７０ｎｍ以下である。黒化層５の厚みが上記した下限以上であり、または、上限した上限以下であれば、反射光測定で得られるＬ、ａ＊および／またはｂ＊の絶対値を低減することができ、黒化層５の黒色度を向上させることができる。そのため、導電層３の上方からの優れた視認抑制性を有することができる。
【００７７】
銅層４は、第２導電性フィルム１１の最上層であり、黒化層５の上面全面に配置されている。これにより、黒化層５は、透明基材２と銅層４とによって挟まされている。つまり、黒化層５は、透明基材２および銅層４の間に介在している。
【００７８】
この第２導電性フィルム１１を製造するには、まず、透明基材２を用意し、続いて、黒化層５を透明基材２の上面に配置し、その後、銅層４を黒化層５の上面に配置する。
【００７９】
この第２導電性フィルム１１が備えられた液晶表示装置の第１導電性フィルム１では、黒化層５が銅層４の視認側（下側）に位置する。これによって、黒化層５は、視認者と銅層４との間に、黒化層５が介在できる。
【００８０】
第２実施形態の第２導電性フィルム１１は、第１実施形態の第１導電性フィルム１と同様の作用効果を奏することができる。
【００８１】
とりわけ、この第２導電性フィルム１１では、黒化層５が、銅層４の下面に配置されているので、導電層３の下方からの視認抑制性を有することができる。
【００８２】
また、この第２導電性フィルム１１では、黒化層５の厚みが上記した下限以上であり、または、上限した上限以下であれば、反射光測定で得られるＬ、ａ＊および／またはｂ＊の絶対値を低減することができ、黒化層５の黒色度を向上させることができる。そのため、導電層３の下方からの優れた視認抑制性を有することができる。
【００８３】
＜第３実施形態＞
第３実施形態において、第１実施形態および第２実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
第１実施形態の第１導電性フィルム１、および、第２実施形態の第２導電性フィルム１１では、１つの導電層３が、それぞれ、透明基材２の上側のみに配置されている。しかし、図３に示すように、第３実施形態の第３導電性フィルム２１では、２つの導電層３のそれぞれが、一の透明基材２の上側、および、他の透明基材２の下側の両側のそれぞれに配置されている。
【００８５】
この第３導電性フィルム２１は、例えば、図４に示すように、第１導電性フィルム１と、第２導電性フィルム１１とを、接着層６を介して、接着することによって、得られる。具体的には、第１導電性フィルム１の透明基材２（第１透明基材１２）と、第２導電性フィルム１１の透明基材２（第２透明基材２２）とを、接着層６を介して、接着することによって、第３導電性フィルム２１が得られる。
【００８６】
接着層６は、例えば、アクリル系接着剤組成物などの接着剤組成物などからシート形状に形成されている。接着層６の厚みは、例えば、５μｍ以上であり、また、例えば、２５０μｍ以下である。
【００８７】
図３に示すように、第３導電性フィルム２１は、導電層３（第１導電層１３）、第１透明基材１２、接着層６、第２透明基材２２および導電層３（第２導電層２３）を順に備える。具体的には、第３導電性フィルム２１は、銅層４（第１銅層１４）、黒化層５（第１黒化層１５）、第１透明基材１２、接着層６、第２透明基材２２、銅層４（第２銅層２４）および黒化層５（第２黒化層２５）を順に備える。
【００８８】
また、第３導電性フィルム２１の２つの導電層３は、互いに異なる形状のメッシュパターンに形成される。つまり、例えば、第１導電層１３が、左右方向に互いに間隔が隔てられ、前後方向に延びる配線形状パターンを有する一方、第２導電層２３が、前後方向に互いに間隔が隔てられ、左右方向に延びる配線形状パターンを有する。
【００８９】
そして、この第３導電性フィルム２１は、２つの導電層３を備える。具体的には、第３導電性フィルム２１は、パターン形状が異なる２種類の導電層３を備えることができるので、１つの導電層３を備える第１導電性フィルム１および第２導電性フィルム１１に比べて、操作者（視認者）の指の位置および動作をより一層精度よく検知できる。
【００９０】
＜第４実施形態＞
第４実施形態において、第１実施形態〜第３実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００９１】
第３実施形態の第３導電性フィルム２１では、図３に示すように、２つの透明基材２（第１透明基材１２および第２透明基材２２）を備える。しかし、図５に示すように、この第４導電性フィルム３１は、１つの透明基材２を備える。第４導電性フィルム３１は、好ましくは、１つの透明基材２のみを備える。
【００９２】
第４導電性フィルム３１は、図５に示すように、第１導電層１３、透明基材２および第２導電層２３を順に備える。具体的には、第４導電性フィルム３１は、第１銅層１４、第１黒化層１５、透明基材２、第２銅層２４および第２黒化層２５を順に備える。
【００９３】
第４導電性フィルム３１を得るには、透明基材２をまず用意し、続いて、第１黒化層１５を配置し、続いて、第１銅層１４および第２銅層２４を（同時に）配置し、その後、第２黒化層２５を配置する。あるいは、第１黒化層１５の配置と、第１銅層１４および第２銅層２４の配置との順序を入れ替えることもできる。
【００９４】
そして、この第４導電性フィルム３１は、図５に示すように、１つの透明基材２を備えるので、図３に示され、２つの透明基材２を備える第３導電性フィルム２１に比べて、薄型化を図ることができる。
【００９５】
＜第５実施形態＞
第５実施形態において、第１実施形態〜第４実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００９６】
第３実施形態において、図３に示される第３導電性フィルム２１は、層構成が異なる２種類の導電性フィルム（具体的には、図１に示される第１導電性フィルム１、および、図２に示される第２導電性フィルム１１）を重ね合わせることにより、得られる。一方、第５実施形態では、図６に示すように、層構成が同一の１種類の導電性フィルム（具体的には、図１に示される第１導電性フィルム１）を２つ重ね合わせることにより、得られる。
【００９７】
この第５導電性フィルム４１は、２つの第１導電性フィルム１を、厚み方向に重ね合わせる。具体的には、一方（下側）の第１導電性フィルム１の黒化層５と、他方（上側）の第１導電性フィルム１の透明基材２とを、接着層６を介して、接着する。
【００９８】
第５導電性フィルム４１は、透明基材２、銅層４、黒化層５、接着層６、透明基材２、銅層４および黒化層５を順に備える。
【００９９】
第５実施形態の第５導電性フィルム４１は、層構成が同一の１種類の導電性フィルムから製造されるので、図３に示され、層構成が異なる２種類の導電性フィルム１から製造される第３導電性フィルム２１に比べて、低コストで得られる。
【０１００】
＜第６実施形態＞
第６実施形態において、第１実施形態〜第５実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１０１】
第１実施形態の第１導電性フィルム１、および、第２実施形態の第２導電性フィルム１１では、１つの黒化層５が、銅層４の上面および下面のいずれか一方のみに配置されている。しかし、図７に示すように、第６実施形態の第６導電性フィルム５１では、２つの黒化層５のそれぞれが導電層３の上面および下面の両面のそれぞれに配置されている。
【０１０２】
図７に示すように、第６導電性フィルム５１では、２つの黒化層５は、銅層４を挟むように配置されている。黒化層５は、第２黒化層２５と、第１黒化層１５とを備える。
【０１０３】
第２黒化層２５は、銅層４の上面全面に配置されている。具体的には、第２黒化層２５は、銅層４の上面に直接接触している。第２黒化層２５は、第６導電性フィルム５１の最上層である。図７に示す第２黒化層２５は、図１に示す黒化層５と同一の構成を有する。
【０１０４】
図７に示すように、第１黒化層１５は、透明基材２の上面全面、および、銅層４の下面全面に配置されている。具体的には、第１黒化層１５は、透明基材２の上面、および、銅層４の下面に直接接触している。図７に示す第１黒化層１５は、図１に示す黒化層５１と同一の構成を有する。
【０１０５】
従って、導電層３は、第１黒化層１５、銅層４および第２黒化層２５を上側に向かって順に備える。第６導電性フィルム５１は、透明基材２、第１黒化層１５、銅層４および第２黒化層２５を順に備える。
【０１０６】
＜第７実施形態＞
第７実施形態において、第１実施形態〜第６実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１０７】
第６実施形態では、図７に示すように、１つの導電層３が、透明基材２の上側にのみに配置されている。しかし、図８に示すように、第７実施形態の第７導電性フィルム６１では、２つの導電層３のそれぞれが、透明基材２の上側および下側の両側のそれぞれに配置されている。
【０１０８】
２つの導電層３のそれぞれは、銅層４と、２つの黒化層５とを備える。
【０１０９】
従って、この第７導電性フィルム６１は、黒化層５、銅層４、黒化層５、透明基材２、黒化層５、銅層４および黒化層５を順に備える。詳しくは、第７導電性フィルム６１は、第２黒化層２５、銅層４、第１黒化層１５、透明基材２、第１黒化層１５、銅層４および第２黒化層２５を順に備える。
【０１１０】
また、２つの導電層３のうち、一方が、左右方向に互いに間隔が隔てられ、前後方向に延びる配線形状パターンを有し、一方が、前後方向に互いに間隔が隔てられ、左右方向に延びる配線形状パターンを有する。
【０１１１】
そして、この第７導電性フィルム６１は、２つの導電層３を備える。具体的には、第７導電性フィルム６１は、パターン形状が異なる２種類の導電層３を備えることができるので、１つの導電層３を備える第６導電性フィルム５１に比べて、操作者（視認者）の指の位置および動作をより一層精度よく検知できる。
【実施例】
【０１１２】
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。また、以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。
【０１１３】
実施例１
まず、厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム（三菱樹脂社製、品名「ＬＣ−５０ＡＢＮ」）からなる透明基材２を用意した。
【０１１４】
続いて、ＤＣマグネトロンスパッタ法により、厚み２３０ｎｍの銅層４を透明基材２の上面に形成した。スパッタリング条件は、以下の通りであった。
【０１１５】
ターゲット材料：銅
ガス：アルゴン
減圧度：４００×１０−３Ｐａ
その後、ＤＣマグネトロンスパッタ法により、厚み６０ｎｍの黒化層５を銅層４の上面に形成した。スパッタリング条件は、以下の通りであった。
【０１１６】
ターゲット材料：金属成分（モリブデンを主成分として含有し、鉄およびインジウムを副成分として含有する金属成分）、および、酸素を含有する黒化成分（品名「ＭＭＣＢ１０」、三菱マテリアル社製）
ガス：アルゴン
減圧度：４００×１０−３Ｐａ
これにより、銅層４および黒化層５からなる導電層３を形成した。
【０１１７】
これによって、図１に示すように、透明基材２および導電層３を順に備える第１導電性フィルム１を製造した。
【０１１８】
比較例１
黒化層５の形成において、ＮｉＺｎめっき液を用いて、電解めっきにてＮｉＺｎ成膜処理して、第１導電性フィルム１（導電性フィルム）を得た。
【０１１９】
比較例２
実施例１と同様のＤＣマグネトロンスパッタ法により、厚み２３０ｎｍの銅層４のみから導電層３を、透明基材２の上面に形成して、第１導電フィルム１を得た。つまり、この第１導電性フィルム１は、黒化層５を備えなかった。
【０１２０】
実施例２〜５
ＤＣマグネトロンスパッタ法における時間を変更して、黒化層５の厚みを表２の通りに設定した以外は、実施例１と同様に処理して、第１導電性フィルム１を得た。
【０１２１】
実施例６および７
銅層４および黒化層５の形成順序を逆転させ、黒化層５の厚みを表２の通りに設定した以外は、実施例１と同様に処理して、図２に示す第２導電性フィルム１１（導電性フィルム）を得た。
【０１２２】
比較例３
実施例１と同様のＤＣマグネトロンスパッタ法により、厚み２３０ｎｍの銅層４のみから導電層３を、透明基材２の下面に形成して、第２導電性フィルム１１を得た。つまり、この第２導電性フィルム１１は、黒化層５を備えなかった。
【０１２３】
（評価）
上記の導電性フィルムについて、下記の物性を評価した。
【０１２４】
［Ｘ線光電子分光法］
各実施例および各比較例の黒化層５をＸ線光電子分光法して、黒化成分を定性分析・定量分析した。その結果を表１に示す。
【０１２５】
［反射光特性］
分光光度計を用いて、各実施例および各比較例の導電層３の反射光のＬ、ａ＊、ｂ＊を測定した。
【０１２６】
実施例１〜７
実施例１〜５および比較例１については、第１導電性フィルム１に対して上方から光を照射させた。つまり、黒化層５が光源に対向するようにして、反射光を測定した。
【０１２７】
一方、実施例６および７については、第２導電性フィルム１１に対して下方から光を照射させた。透明基材２が光源に対向するようにして、反射光を測定した。
【０１２８】
比較例２および３
比較例２については、第１導電性フィルム１に対して上方から光を照射させた。導電層３が光源に対向するようにして、反射光を測定した。
【０１２９】
一方、比較例３については、第２導電性フィルム１１に対して下方から光を照射させた。導電層３が光源に対向するようにして、反射光を測定した。
【０１３０】
それらの結果を表２に示す。
【０１３１】
［耐湿熱性］
実施例１および比較例１の導電性フィルムを、６０℃、相対湿度９５％の恒温高湿器に、５００時間入れ、その後、その導電性フィルムのＹ、ａ＊、ｂ＊を測定した。そして、恒温高湿器の投入前後のＹ、ａ＊、ｂ＊の変化量を求めた。
【０１３２】
別途、実施例１および比較例１の導電性フィルムを、８５℃、相対湿度８５％の恒温高湿器に、５００時間投入し、その後、その導電性フィルムのＹ、ａ＊、ｂ＊を測定した。そして、恒温高湿器の投入前後のＹ、ａ＊、ｂ＊の変化量を求めた。
【０１３３】
それらの結果を表３に示す。
【０１３４】
【表１】
0006698343.tif 000002
【０１３５】
【表２】
0006698343.tif 000003
【０１３６】
【表３】
0006698343.tif 000004
【符号の説明】
【０１３７】
１     第１導電性フィルム
２     透明基材
３     導電層
４     銅層
５     黒化層
１１   第２導電性フィルム
１２   第１透明基材
１３   第１導電層
１４   第１銅層
１５   第１黒化層
２１   第３導電性フィルム
２２   第２透明基材
２３   第２導電層
２４   第２銅層
２５   第２黒化層
３１   第４導電性フィルム
４１   第５導電性フィルム
５１   第６導電性フィルム
６１   第７導電性フィルム
【図１】
0006698343.tif 000005
【図２】
0006698343.tif 000006
【図３】
0006698343.tif 000007
【図４】
0006698343.tif 000008
【図５】
0006698343.tif 000009
【図６】
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【図７】
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【図８】
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