(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一方の面に、無機物と有機物からなるアンカーコート層と、無機酸化物層と、有機物または無機物を含む有機物からなるオーバーコート層とがこの順序で配置されており、
前記アンカーコート層が、水酸基を有するアクリル樹脂と、イソシアネート樹脂と、イソシアヌレート基を有するシランカップリング剤をＨ２Ｏ／Ｓｉ比を３以上７以下として加水分解させた加水分解物とが結合した樹脂からなり、
アクリル樹脂とイソシアネート樹脂との配合比がＮＣＯ／ＯＨ比で０．５以上４．０以下であることを特徴とする、ガスバリア性フィルム。
【請求項２】
前記シランカップリング剤またはその加水分解物が、前記アクリル樹脂の水酸基または前記イソシアネート樹脂のイソシアネート基の少なくともどちらかと反応する官能基を含むことを特徴とする、請求項１に記載のガスバリア性フィルム。
【請求項３】
前記アンカーコート層の厚みが１ｎｍ以上１０，０００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載のガスバリア性フィルム。
【請求項４】
前記無機酸化物層はＳｉＯＸであり、Ｘ＝１．５以上１．８以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
【請求項５】
前記無機酸化物層の膜厚が１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
【請求項６】
前記オーバーコート層は、水溶性高分子とアルコキシシランまたはその加水分解生成物とを含有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
【請求項７】
前記オーバーコート層の厚みが５ｎｍ以上６００ｎｍ以下であることを特徴とする、求項１〜６のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスバリア性及び密着性に優れたフィルムに関する
【背景技術】
【０００２】
ガスバリア性フィルムは、ハードディスクや半導体モジュールなどの精密電子部品類、太陽電池のバックシート、有機ＥＬや電子ペーパーなどのエレクトロニクス部材、食品や医薬品等の包装分野、あるいは非包装分野で酸素および水蒸気を遮断する必要がある部材に広く用いられている。
【０００３】
精密電子部品類の包装用途においては、金属部分の腐食、絶縁不良などを防止するために包装材料を透過する酸素や水蒸気、その他内容物を変質させる気体を遮断するガスバリア性を備える包装体が求められている。特に、食品包装においては蛋白質や油脂などの酸化や変質を抑制し、味や鮮度を保持することが必要である。また、ガスバリアフィルムには、有機ＥＬや電子ペーパーなどの素子にバリア性やフレキシブル性を付与するなどの応用が期待される。さらに、無菌状態での取り扱いが必要とされる医薬品類においては有効成分の変質を抑制し、効能を維持することが必要である。
【０００４】
そのため、従来から温度、湿度などに影響されないアルミニウムなどの金属箔やアルミニウム蒸着フィルムあるいは、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）などの樹脂フィルムやこれらの樹脂をラミネートまたはコーティングしたプラスチックフィルムなどが好んで用いられてきた。
【０００５】
しかし、ガスバリア性樹脂フィルムやガスバリア性樹脂をコーティングしたフィルムは、温度依存性が大きく、高温下で高いガスバリア性を維持できない。さらに、使用後のＰＶＤＣやＰＡＮなどは廃棄、焼却の際に有害物質が発生する原因となる可能性を有していた。
【０００６】
アルミニウムなどの金属箔やアルミニウム蒸着フィルムを用いた包装材料は、ガスバリア性には優れるが、レトルト耐性がなく、不透明であるため、包装材料を透過して内容物を識別することが難しいだけではなく、使用後の廃棄の際に不燃物として処理しなければならない点や、金属探知機による異物検査や、電子レンジでの加熱処理が出来ない点などの欠点を有していた。
【０００７】
また、これらの欠点を克服した包装用材料として、最近では酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウムなどの無機酸化物を透明な基材フィルム上に蒸着したガスバリア性フィルムが上市されている。これらのガスバリア性蒸着フィルムは金属蒸着フィルムほどではないが、酸素、水蒸気などのガス遮断性を有していることが知られている。しかし、これらの無機酸化物蒸着フィルムにおいても、高いガスバリア性と高温高湿下（８５℃８５％ＲＨ）や耐候試験後の層間の密着強度については未だ不十分である。
【０００８】
上記の課題を解決する手段として、特開２０１５−０５１５２０号公報に記載の技術がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１５−０５１５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、高いガスバリア性と、高温高湿下や耐候試験後においても高い層間密着性を有するガスバリア性フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るガスバリアフィルムは、基材の少なくとも一方の面に、無機物と有機物からなるアンカーコート層と、無機酸化物層と、有機物または無機物を含む有機物からなるオーバーコート層とがこの順序で配置されており、アンカーコート層が、水酸基を有するアクリル樹脂と、イソシアネート樹脂と、イソシアネート基を有するシランカップリング剤をＨ２Ｏ／Ｓｉ比を３以上７以下として加水分解させた加水分解物とが結合した樹脂からなり、アクリル樹脂とイソシアネート樹脂との配合比がＮＣＯ／ＯＨ比で０．５以上４．０以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高いガスバリア性と、高温高湿下や耐候試験後においても高い層間密着性を有するガスバリア性フィルムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態によるガスバリア性フィルムの断面図
【図２】本発明の一実施形態によるラミネートガスバリア性フィルムの断面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明のガスバリア性フィルムを説明する断面図である。ガスバリア性フィルムは、高分子フィルム基材１の上にアンカーコート層２、無機酸化物層３、オーバーコート層４をこの順に積層してなる。
【００１５】
高分子フィルム基材１は、特に制限を受けるものではなく公知のものを使用することが出来る。例えば、ポリオレフィン系（ポリエチレン、ポリプロピレン等）ポリエステル系（ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等）、ポリアミド系、（ナイロン―６、ナイロン―６６等）、ポリスチレン、エチレンビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、アクリル、セルロース系（トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース等）などの高分子のフィルム基材が挙げられるが、特に限定されない。
【００１６】
高分子フィルム基材１として、透明フィルムを用いることは、大量生産に適するため好ましい。また、厚みに関しては、特に制限を受けるものではなく、ガスバリア性フィルムを形成する蒸着加工などの加工性を考慮すると、実用的には６μｍ以上１８８μｍ以下の範囲が好ましい。
【００１７】
アンカーコート層２は、水酸基を有するアクリル樹脂と、イソシアネート樹脂と、シランカップリング剤またはその加水分解物とが結合した樹脂からなる。
【００１８】
アンカーコート層２のアクリル樹脂として、２種類以上の（メタ）アクリル酸エステルモノマーから共重合されものを使用できる。（メタ）アクリル酸エステルモノマーは特に制限を受けるものではなく、公知のものを使用することができる。例えば、メチルアクリレート（ＭＡ）、エチルアクリレート（ＥＡ）、プロピルアクリレート（ＰＡ）、ブチルアクリレート（ＢＡ）、シクロヘキシルアクリレート（ＣＨＡ）、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）、エチルメタクリレート（ＥＭＡ）、プロピルメタクリレート（ＰＭＡ）、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）、シクロヘキシルメタクリレート（ＣＨＭＡ）、ヒドロキシエチルアクリレート（ＨＥＡ）、ヒドロキシプロピルアクリレート（ＨＰＡ）、ヒドロキシブチルアクリレート（ＨＢＡ）、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）、ヒドロキシプロピルメタクリレート（ＨＰＭＡ）、ヒドロキシブチルメタクリレート（ＨＢＭＡ）、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）などが挙げられるが、特に限定されない。層間の密着性を維持するためには、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレートの群から１つ以上選択することが好ましい。また、ヒドロキシル基やカルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸エステルモノマーを用いることにより、イソシアネートと反応し、層間密着力を向上させることができる。
【００１９】
アンカーコート層２のイソシアネート樹脂としては、ヘキサメチレン−１，６−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−４，４’−ジイソシアネート、３−イソシアネートメチル−３，５，５−トリメチルシクロヘキシルイソサネート、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、ノルボルネンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４’−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−２，４’−ジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート等の各種ジイソシアネート、及びそれらの各種変性物、及びそれらを多官能化したダイマー体、アダクト体、アロファネート体、トリマー体、カルボジイミドアダクト体、ビウレット体、またそれらの重合物、及び多価アルコールを付加した重合物が挙げられる。特に基材との密着性や紫外線による黄変の影響が少ないヘキサメチレン−１，６−ジイソシアネートが好ましい。
【００２０】
アンカーコート層２のアクリル樹脂が水酸基を有する場合、ＮＣＯ／ＯＨがモル比で０．５以上４．０以下であることが好ましい。ＮＣＯ／ＨＯ比が０．５未満では十分な密着性が得られない恐れがあり、４．０を超えるとロール・ツー・ロールで塗工した際に硬化不足によりバリア性が低下する恐れがある。
【００２１】
アンカーコート層２のシランカップリング剤としては、分子内にイソシアヌレート基を有するシランカップリング剤を使用する。シランカップリング剤に代えて、シランカップリング剤の加水分解物を使用しても良い。分子内にイソシアヌレート基を有するシランカップリング剤の例として、トリス‐（３‐トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレートが挙げられる。シランカップリング剤は市販されているものを使用することができる。例えば「Ｘ−１２−９６５Ｐ」、「ＫＢＭ−９６５９」（信越化学工業（株）製）が挙げられる。
【００２２】
アンカーコート層２のシランカップリング剤は耐候性を向上させるために加水分解した方が好ましい。加水分解した場合、生成したシラノール基がイソシアネート樹脂と反応し耐候性を向上させることができる。また、加水分解がさらに進行するとアクリル樹脂の水酸基と縮合し耐候性を向上させることができる。シランカップリング剤を加水分解する場合、Ｈ２Ｏ／Ｓｉのモル比は３〜７の範囲が好ましい。Ｈ２Ｏ／Ｓｉ比が３未満では加水分解が不十分で耐久試験後の密着性やバリア性が得られない恐れがある。また、Ｈ２Ｏ／Ｓｉ比が７を超える場合、アクリル樹脂、イソシアネート樹脂と均一な膜が得られず十分な層間密着性やバリア性が得られない恐れがある。
【００２３】
シランカップリング剤またはその加水分解物は、（メタ）アクリル樹脂に対して１．０〜３０質量％の割合で添加することが好ましい。１．０ｗｔ％未満や３０ｗｔ％を超える場合、十分な層間密着性やバリア性が得られない恐れがある。
【００２４】
アンカーコート層２の硬化膜のガラス転移温度Ｔｇは４０℃以上１５０℃以下が好ましい。アンカーコート層２の硬化膜のガラス転移温度Ｔｇが４０℃未満では耐久性が低く、十分な層間密着性が得られない恐れがある。また、アンカーコート層２の硬化膜のガラス転移温度Ｔｇが１５０℃以上では折り曲げ、引張りなどの外的要因により、膜に亀裂が生じ、バリア性が低下する恐れがある。
【００２５】
アンカーコート層２の厚みは、通常１〜１０，０００ｎｍ、好ましくは５０〜２００ｎｍである。膜厚が１０，０００ｎｍを超える場合、膜の内部応力により基材フィルム又はシートから剥離し易くなり、１ｎｍ未満になると、膜厚が均一にならない可能性がある。また、フィルムへの塗膜の接着性を向上させるため、塗工前に基材フィルムの表面に化学処理、放電処理などを施してもよい。コーティング方式はバーコーター、ナイフコート、ダイコート、（リバース）グラビアコート、マイクログラビアコート、スプレーコート、ディップコート、スクリーン印刷などが挙げられるが特に限定されない。乾燥方法は、熱風乾燥、熱ロール乾燥、高周波照射、赤外線照射、ＵＶ照射など熱をかける方法を１種類あるいは２種類以上組み合わせて用いることができる。
【００２６】
無機酸化物層３の成膜手段としては、真空蒸着方式のうち、電子ビームやレーザービーム等による加熱蒸着法が好ましく用いられ、特に電子ビーム加熱蒸着法が、成膜速度や無機酸化物蒸着用材料への昇温降温が短時間で行える点で有効である。
【００２７】
無機酸化物層３に用いる金属は珪素、アルミニウム、チタン、スズ、亜鉛、インジウム、マグネシウムの群から一つ若しくは複数から選択される。
【００２８】
蒸発した蒸着用材料によってアンカーコート層２の表面上に形成される無機酸化物層３の厚さは、一般的には５ｎｍ以上３００ｎｍ以下の範囲内が望ましく、さらに好ましくは１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下で、その値は適宜選択される。
【００２９】
ただし、無機酸化物層３の厚みが５ｎｍ未満であると均一な膜が得られないことや、十分なバリア性能を発揮できない場合がある。また、膜厚が３００ｎｍを超える場合は、膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げ、引張りなどの外的要因により、膜に亀裂が生じる恐れがある。
【００３０】
オーバーコート層４は、硬く脆い無機酸化物膜３を保護し、擦れや屈曲によるクラックの発生を防止するために設けられ、水溶性高分子とアルコキシシランまたはその加水分解生成物を含有した成分からなる。オーバーコート層４は、水溶性高分子とアルコキシシランまたはその加水分解生成物とを含有するコーティング液を無機酸化物層３の上に塗工し、乾燥させることにより形成される。
【００３１】
オーバーコート層４の厚みは、通常１〜６，０００ｎｍ、好ましくは５〜６００ｎｍである。膜厚が６，０００ｎｍを超える場合、膜の内部応力により基材フィルム又はシートから剥離し易くなり、５ｎｍ未満になると、十分なバリア性が発現しない可能性がある。また、フィルムへの塗膜の接着性を向上させるため、塗工前に基材フィルムの表面に化学処理、放電処理などを施してもよい。オーバーコート層４の塗工方式としては、アンカーコート層１と同様に通常のコーティング方法を用いることができる。バーコーター、ナイフコート、ダイコート、グラビアコート、マイクログラビアコート、スプレーコート、ディップコート、スクリーン印刷などが挙げられるが特に限定されない。乾燥方法は、熱風乾燥、熱ロール乾燥、高周波照射、赤外線照射、ＵＶ照射など熱をかける方法を１種類あるいは２種類以上組み合わせて用いることができる。
【００３２】
水溶性高分子としては、ポリビニルアルコール樹脂（ＰＶＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合樹脂（ＥＶＯＨ）、ポリビニルピロリドン樹脂（ＰＶＰ）などを用いることができ、これらを単独あるいは複数組み合わせて用いてもよい。
【００３３】
アルコキシシランとしては、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラプロポキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシランなどを用いることができる。また、アルコキシシランの加水分解生成物としては、メタノールなどのアルコールにアルコキシシランを溶解し、その溶液に塩酸などの酸の水溶液を添加し、加水分解反応させることにより調製したものが挙げられる。
【００３４】
また、無機酸化物層３との密着性を上げるために、シランカップリング剤を添加してもよい。シランカップリング剤としては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランなどのエポキシ基を有するもの、３−アミノプロピルトリメトキシシランなどのアミノ基を有するもの、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどのメルカプト基を有するもの、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどのイソシアネート基を有するもの、トリス‐（３‐ トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレートなどが挙げられ、これらのシランカップリング剤を１種類あるいは２種類以上組み合わせて用いることができる。
【００３５】
図２は、本発明の一実施形態によるラミネートガスバリア性フィルムの断面図である。ラミネートガスバリア性フィルム８は、図１のガスバリア性フィルム５の両面に、接着剤層６を介してラミネート樹脂層７を設けたものである。
【００３６】
接着剤層６の材料としては、例えば、ポリウレタン、ポリエステルウレタン、ポリエステル、ポリカーボネートポリウレタン、ポリアミド、エポキシ樹脂、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリエチレンイミン、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリブタジエン、ワックス、カゼイン、又はそれらの混合物を主成分として含有した、無溶剤型、溶剤型、水性型、又は熱溶融型接着剤を使用することができる。
【００３７】
接着剤層６の塗工方式としては、アンカーコート層１と同様に通常のコーティング方法を用いることができる。バーコーター、ナイフコート、ダイコート、グラビアコート、マイクログラビアコート、スプレーコート、ディップコート、スクリーン印刷などが挙げられるが特に限定されない。乾燥方法は、熱風乾燥、熱ロール乾燥、高周波照射、赤外線照射、ＵＶ照射など熱をかける方法を１種類であるいは２種類以上を組み合わせて用いることができる。厚さは目的に応じて決められるが、一般的には１５μｍ以上２００μｍ以下の範囲である。
【００３８】
ラミネート樹脂層７の材料としては、その用途に応じて選択され、例えば精密電子部品の包装袋として使用される場合には、袋を密閉するためにヒートシール性を有する樹脂層が好適に使用される。例えば、高密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、及び直鎖状低密度ポリエチレンなどのポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリエステル、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体けん化物、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ニトロセルロース、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、エチレン−メタクリル酸エステル共重合体、これらの金属架橋物、又はポリ乳酸樹脂などの生分解性樹脂を使用することができる。
【００３９】
また、産業資材の部材として使用される場合には、液晶表示素子、太陽電池、電磁波シールド、タッチパネル、真空断熱材、ＥＬ用基板、カラーフィルター等の用途特性に応じた樹脂フィルム層が使用され、例えば、ポリエチレンテレフタテート、耐加水分解性ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、セルローストリアセテート、ポリアセタール、変性ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリビニルブチラール、ポリアリレート、エチレン−四フッ化エチレン共重合体、三フッ化塩化エチレン、四フッ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、など高温高湿で長期間使用可能な樹脂を使用することができる。ラミネート樹脂層７の厚さは、一般的には１０μｍ以上５００μｍの範囲内である。
【００４０】
ラミネート樹脂層７とガスバリア性フィルム５との貼り合わせには、例えば、ドライラミネート法、ノンソルベントラミネート法、又は押出しラミネート法を利用することができる。例えば、押出しラミネート法を利用した場合には、接着剤層６は省略することも可能である。
【００４１】
なお、接着剤層６を介してラミネート樹脂層７は、図１のガスバリア積層フィルム５の片面にのみ設けてもよい。
【実施例】
【００４２】
以下に、本発明の実施例を具体的に説明する。
【００４３】
＜実施例１＞
＜アンカーコート溶液＞
ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）／メタクリル酸（ＭＭＡ）／メチルアクリレート（ＭＡ）の割合をモル比で１２／５８／３０（ＯＨ価：６７ｍｇＫＯＨ／ｇ）として共重合させた（メタ）アクリル樹脂に、Ｈ２Ｏ／Ｓｉ比が４になるように０．１ｍｏｌ／Ｌの塩酸で加水分解させたＸ−１２−９６５Ｐ（信越化学工業（株））を（メタ）アクリル樹脂に対して１３ｗｔ％添加し、アクリル樹脂のＯＨ基に対してイソシアネート樹脂としてタケネートＤ−１１０Ｎ（三井化学（株））をＮＣＯ／ＯＨ比が２．０になるように調整し固形分１％とした塗液を１６μｍのＰＥＴ上にバーコーター＃３で塗工し１２０℃で１分乾燥させ、厚み０．０２５μｍの膜を形性した。得られた膜を６０℃で２日間硬化させ、ウレタン膜を得た。
【００４４】
＜無機酸化物層の積層工程＞
蒸着材料の無機酸化物は金属珪素と二酸化珪素を用い、Ｏ／Ｓｉ比が１．６１になるように混合した。金属珪素は５０μｍ以下の径を有する粉末が９５％以上のものを使用し、二酸化珪素には結晶構造を９５％含み、５０μｍ以下の径を有する粉末が９５％以上のものを使用した。次に、電子ビーム加熱方式の真空蒸着装置により、電子銃から放出する電子ビームを蒸着用材料に照射し蒸発させ、アンカーコート層上に厚み３０ｎｍの酸化珪素膜を形成した。
【００４５】
＜オーバーコート溶液＞
（１）テトラエトキシシランを０．０２ｍｏｌ／Ｌの塩酸で加水分解した。
（２）けん化度９９％、重合度２３００のＰＶＡの５ｗｔ％水溶液を調製した。
（３）（２）の溶液に（１）の溶液をＳｉＯ２／ＰＶＡ＝６５／３５となる割合で加え、オーバーコート層溶液とした。無機酸化物層上にバーコーター＃５にて塗工し、１２０℃で２分乾燥させ、０．３μｍのオーバーコート層を形成した。
【００４６】
＜ガスバリア性フィルムへのラミネート樹脂層積層工程＞
オーバーコート層が積層されたガスバリア性積層フィルムの両面に、５ｇ／ｍ２のポリウレタン系接着剤を介して厚さ５０μｍの耐加水分解ＰＥＴ（東レ製、Ｘ１０Ｓ）をドライラミネート法により積層し、図２に示した積層構造のラミネートガスバリア性フィルムを得た。
【００４７】
＜実施例２＞
ＮＣＯ／ＯＨ比を２．５とした以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００４８】
＜実施例３＞
Ｈ２Ｏ／Ｓｉ比を５とした以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００４９】
＜実施例４＞
加水分解させたＸ−１２−９６５Ｐ（信越化学工業（株））を（メタ）アクリル樹脂に対して１７ｗｔ％添加した以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００５０】
以下に本発明の比較例について説明する。
【００５１】
＜比較例１＞
シランカップリング剤またはその加水分解物を添加しなかった以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００５２】
＜比較例２＞
ＮＣＯ／ＯＨ比を０．４とした以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００５３】
＜比較例３＞
Ｈ２Ｏ／Ｓｉ比を１とした以外は実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
【００５４】
上記実施例１〜４及び比較例１〜３のガスバリア性フィルムについて、以下の方法で水蒸気透過率、層間密着力を測定評価した。
【００５５】
＜水蒸気バリア性について＞
実施例１〜４及び比較例１〜３のガスバリア性蒸着フィルムの水蒸気バリア性を、モダンコントロール社製の水蒸気透過度測定装置（ＭＯＣＯＮ  ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ  ３／３３）を用いて４０℃９０％ＲＨの雰囲気で測定した。
【００５６】
＜層間密着性について＞
層間密着力は、上述したラミネートガスバリア性フィルム（図２）を用いて評価した。具体的には、ラミネートガスバリア性フィルムを、耐湿熱試験８５℃８５％ＲＨ（エスペック（株）製ＰＲ−４Ｊ）で１０００時間処理と、耐候性試験装置（（株）東洋精機製作所製アトラス・ウェザオメータＣｉ４０００）で５００時間処理した後の層間密着力を評価した。耐候性試験条件はブラックスタンダード温度６５℃、試験槽温度４０℃、相対湿度５０％ＲＨ、放射照度６０Ｗ／ｍ２、散水ありで行った。試験片を１０ｍｍ巾の短冊状に切り出し、その端部を一部剥離させ、引っ張り試験機（（株）島津製作所製ＡＧＳ−５００ＮＸ）により、４条件、すなわち、３００ｍｍ／ｍｉｎ．の速度でＴ型、１８０度剥離、界面に水を付けた状態でＴ型、１８０度剥離を行い、４条件のうち層間密着力が１Ｎ以上であった測定結果が４つの場合を○、３つを△、２つ以下を×とした。
【００５７】
次の表１は前記測定結果を示している。
【表１】
0006641917.tif 000002
【００５８】
＜評価＞
表１のように、実施例１〜４は良好な水蒸気透過度と耐湿熱、耐候試験後の密着性を示した。比較例１は水蒸気透過度と湿熱試験後の密着性は良好な結果を示したが、耐光試験後の密着性が低かった。比較例２は水蒸気透過度は良好な結果を示したが、湿熱試験、耐候試験後に密着性が低かった。比較例３は水蒸気透過度が低く、湿熱試験、耐候試験後の密着性も低かった。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、水蒸気などの種々のガスに対する高ガスバリア性と、高温高湿下、耐候性における層間密着性に優れたガスバリア性フィルムとして利用でき、ガスバリア性や封止が求められる分野に幅広く適用できる。
【符号の説明】
【００６０】
１  高分子フィルム基材
２  アンカーコート層
３  無機酸化物層
４  オーバーコート層
５  ガスバリア性フィルム
６  接着剤層
７  ラミネート樹脂層
８  ラミネートガスバリア性フィルム
【図１】
0006641917.tif 000003
【図２】
0006641917.tif 000004