(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心線に沿って連結された複数の弾性ユニットを有し、前記中心線に沿って伸縮する板状の弾性部と、
前記弾性部の両端にそれぞれ設けられた接点部と、
を備え、
前記弾性ユニットが、
前記中心線に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置された第１導通部および第２導通部と、前記中心線に対して対称に設けられ、前記第１導通部および前記第２導通部間を連結する一対の弾性支持部と、
を有し、
前記第１導通部が、
板厚方向に沿って見たときに前記中心線に対する一方側に配置された第１頂点を有する略三角形状であると共に、前記第１頂点から、前記中心線に対する一方側から他方側に向かう方向でかつ前記第２導通部から離れる方向に向かって延びる第１傾斜面を有し、
前記第２導通部が、
前記板厚方向に沿って見たときに前記中心線に対する他方側に配置された第２頂点を有する略三角形状であると共に、前記第２頂点から、前記中心線に対する他方側から一方側に向かう方向でかつ前記第１導通部から離れる方向に向かって延びる第２傾斜面を有する、プローブピン。
【請求項２】
前記第１傾斜面および前記第２傾斜面が、相互に押圧し合うように配置されている、請求項１のプローブピン。
【請求項３】
前記接点部の少なくともいずれか一方が、前記中心線に対して非対称な形状を有している、請求項１または２のプローブピン。
【請求項４】
ハウジングと、
前記接点部が露出し、かつ、前記第１導通部および前記第２導通部が開離した状態で前記ハウジング内に収納された、請求項１から３のいずれか１項のプローブピンと、
を備える検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、ジグザグ状に形成された変位部と、この変位部の両端に各々設けられた接触部とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２８２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前記プローブピンでは、変位部が蛇腹形状に形成されているので、接触部を中心線に沿って平行に変位させることが困難であった。このため、所望の変位量を正確に確保することができない場合があった。
【０００５】
また、蛇腹形状の変位部は電気抵抗が大きいので、電気が流れ難かった。このため、良好な導通性を確保することが困難であった。
【０００６】
そこで、本発明は、所望の変位量を正確に確保できると共に良好な導通性を確保できるプローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るプローブピンは、前記課題を解決すべく、中心線に沿って連結された複数の弾性ユニットを有し、前記中心線に沿って伸縮する弾性部と、前記弾性部の両端にそれぞれ設けられた接点部と、を備え、前記弾性ユニットが、前記中心線に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置された一対の導通部と、前記中心線に対して対称に設けられ、前記一対の導通部間を連結する弾性支持部と、を有し、前記一対の導通部が、前記弾性部を前記中心線に沿って縮めたときに、相互に接触するように配置された内部接触部をそれぞれ有している。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のプローブピンによれば、中心線に沿って連結された複数の弾性ユニットを有し、中心線に沿って伸縮する弾性部と、弾性部の両端にそれぞれ設けられた接点部とを備えている。これにより、接点部を中心線に沿って伸縮させることができるので、所望の変位量を正確に確保できる。
【０００９】
また、弾性ユニットが、中心線に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置された一対の導通部と、中心線に対して対称に設けられ、一対の導通部間を連結する一対の弾性支持部と、を有し、一対の導通部が、弾性部を中心線に沿って縮めたときに、相互に接触するように配置された内部接触部とをそれぞれ有している。これにより、中心線に沿って導通経路を確保できるので、良好な導通性を確保できる。
【００１０】
本発明の実施形態としては、前記内部接触部が面であってもよい。
【００１１】
本実施形態によれば、一対の導通部の接触抵抗を抑制でき、良好な導通性を確保できる。
【００１２】
本発明の実施形態としては、前記内部接触部が、相互に押圧し合うように配置されている構成としてもよい。
【００１３】
本実施形態によれば、高い接触信頼性を確保できる。
【００１４】
本発明の実施形態としては、前記接点部の少なくともいずれか一方が、前記中心線に対して非対称な形状を有している構成としてもよい。
【００１５】
本実施形態によれば、プローブピンの設計等に応じて、接点部の形状を適宜変更できる。このため、プローブピンの設計の自由度を広げることができる。
【００１６】
本発明の検査治具は、ハウジングと、前記接点部が露出し、かつ、前記一対の導通部が開離した状態で前記ハウジング内に収納された、前記プローブピンと、を備える。
【００１７】
本発明の検査治具によれば、所望の変位量を確保できると共に、良好な導通性を確保できるプローブピンを備えた検査治具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた検査治具の斜視図である。
【図２】図１の検査治具のII矢視図である。
【図３】図１の検査治具のIII矢視図である。
【図４】図２のIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図３のV-V線に沿った断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態のプローブピンの斜視図である。
【図７】図６のプローブピンのVII矢視図である。
【図８】図６のプローブピンのVIII矢視図である。
【図９】図８の部分拡大図である。
【図１０】図６のプローブピンの動作を説明するための部分拡大図である。
【図１１】図１０に続く、図６のプローブピンの動作を説明するための部分拡大図である。
【図１２】図１１に続く、図６のプローブピンの動作を説明するための部分拡大図である。
【図１３】本発明の第２実施形態のプローブピンの平面図である。
【図１４】図１３のプローブピンの部分拡大図である。
【図１５】本発明の第３実施形態のプローブピンの平面図である。
【図１６】図１５のプローブピンの部分拡大図である。
【図１７】本発明の第４実施形態のプローブピンの平面図である。
【図１８】図１７のプローブピンの部分拡大図である。
【図１９】本発明の第５実施形態のプローブピンの平面図である。
【図２０】図１９のプローブピンの部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を示す用語、及びそれらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。したがって、それらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきでない。
【００２０】
（第１実施形態）
図１に示すように、検査治具１は、略角筒形状のハウジング２と、このハウジング２の内部に収納された複数のプローブピン３とで構成されている。この検査治具１では、プローブピン３は、板厚方向（Ｙ方向）に重ねられ、それぞれが独立して伸縮可能に収納されている。なお、Ｘ方向は、Ｙ方向に直交する方向であり、Ｚ方向はＸ，Ｙ方向に直交する方向である。
【００２１】
ハウジング２は、図２，図３に示すように、同一の外形の上部ハウジング１０と下部ハウジング２０とを有し、上部ハウジング１０と下部ハウジング２０とを直列に接続した状態で一体化されている。
【００２２】
上部ハウジング１０は、図４，図５に示すように、その内部に設けられた収納部１１と、Ｚ方向の下側の面に設けられた第１開口部１５と、Ｚ方向の上側の面に設けられた第２開口部１６とを有している。
【００２３】
収納部１１は、ハウジング２のＺ方向に延びる中心線ＣＬ１に沿って、かつ、Ｘ方向において中心線ＣＬ１に対して対称に、設けられている。この収納部１１は、第１開口部１５に連通する本体側収納部１２と、第２開口部１６に連通する接点側収納部１３とで構成されている。本体側収納部１２は、図４に示すように、接点側収納部１３よりも大きいＸ方向の幅とＺ方向の長さとを有している。また、本体側収納部１２と接点側収納部１３との接続部分には、段部１４が形成されている。
【００２４】
下部ハウジング２０は、上部ハウジング１０と同様の構成を有している。すなわち、下部ハウジング２０は、図４，図５に示すように、その内部に設けられた収納部２１と、Ｚ方向の上側の面に設けられた第１開口部２５と、Ｚ方向の下側の面に設けられた第２開口部２６とを有している。
【００２５】
収納部２１は、中心線ＣＬ１に沿って、かつ、Ｘ方向において中心線ＣＬ１に対して対称に、設けられている。この収納部２１は、第１開口部２５に連通する本体側収納部２２と、第２開口部２６に連通する接点側収納部２３とで構成されている。本体側収納部２２は、図４に示すように、接点側収納部２３よりも大きいＸ方向の幅とＺ方向の長さとを有している。また、本体側収納部２２と接点側収納部２３との接続部分には、段部２４が形成されている。
【００２６】
上部ハウジング１０と下部ハウジング２０とは、同一のＸ方向の幅Ｌ７を有している。また、上部ハウジング１０の第１開口部１５と下部ハウジング２０の第１開口部２５とが向き合い、上部ハウジング１０の本体側収納部１２を構成する内壁と下部ハウジング２０の本体側収納部２２を構成する内壁とが同一平面に位置するように、接続されている。
【００２７】
プローブピン３は、図６に示すように、略同一の板厚（Ｙ方向の厚さ）を有する板形状で、弾性部３０と、弾性部３０の両端にそれぞれ設けられた第１，第２接触部４０，５０とで構成されている。弾性部３０および第１，第２接触部４０，５０は、図７，図８に示すように、プローブピン３のＺ方向に延びる中心線ＣＬ２に沿って配置されている。なお、このプローブピン３は、電鋳法を用いて、ばね性を有する材料で形成されており、さらに、導電性を有している。
【００２８】
弾性部３０は、図７に示すように、中心線ＣＬ２に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置された一対の導通部３２，３３と、この一対の導通部３２，３３間を連結する一対の弾性支持部３４，３５とを有する複数の弾性ユニット３１で構成されている。この複数の弾性ユニット３１は、一対の導通部３２が中心線ＣＬ２に沿って並び、かつ、所望の変位量が得られるように一定の間隔で連結されている。
【００２９】
導通部３２，３３は、図９に示すように、丸面取りされた頂点部３２１，３３１と、内部接触部の一例の斜面部３２２，３３２とで構成された略２等辺三角形状を有している。この導通部３２，３３は、各々が中心線ＣＬ２に沿って延び、かつ、相互に接触しないように配置されている。一対の導通部３２，３３のうち、Ｚ方向の上側の導通部３２（以下第１導通部３２という）は、その頂点部３２１が、中心線ＣＬ２からＸ方向の左側に僅かに離れた位置に配置されている。また、Ｚ方向の下側の導通部３３（以下、かど部３３という）は、その頂点部３３１が、中心線ＣＬ２からＸ方向の右側に僅かに離れた位置に配置されている。
【００３０】
弾性支持部３４，３５は、図９に示すように、Ｘ方向において中心線ＣＬ２に対して対称に設けられている。また、この弾性支持部３４，３５は、Ｚ方向において弾性支持部３４，３５の中間点３４１，３５１を通る直線ＭＬに対して対称に設けられている。一対の弾性支持部３４，３５のうち、Ｘ方向の右側の弾性支持部３４は、第１，第２導通部３２，３３のＸ方向の右側に連結されている連結部３４２，３４３と、この連結部３４２，３４３を繋ぐ円弧部３４４とで構成されている。また、Ｘ方向の左側の弾性支持部３５は、第１，第２導通部３２，３３のＸ方向の左側に連結されている連結部３５２，３５３と、この連結部３５２，３５３を繋ぐ円弧部３５４とで構成されている。
【００３１】
連結部３４２，３４３，３５２，３５３の各々は、直線ＭＬから離れる方向に湾曲して延びている。これにより、弾性力を確保しつつ、導通部３２，３３と弾性支持部３４，３５との接合部分にかかる応力を分散している。また、円弧部３４４，３５４の各々は、略半円環形状を有している。
【００３２】
第１接触部４０は、図７に示すように、中心線ＣＬ２に沿って延びており、自由端部（Ｚ方向の上側の端部）に設けられた接点部４１と、弾性部３０が連結されている基端部（Ｚ方向の下側の端部）に設けられた一対の支持突部４２と、自由端部側に設けられた貫通孔４３とで構成されている。
【００３３】
接点部４１は、Ｘ方向において中心線ＣＬ２に対して非対称な波状を有している。支持突部４２は、基端部からＸ方向に向かって突出しており、中心線ＣＬ２から先端４２１までの距離Ｌ１が、中心線ＣＬ２から弾性支持部３４，３５の中間点３４１，３５１までの距離Ｌ２よりも大きくなるように、設けられている。また、貫通孔４３は、略矩形状を有し、自由端部側の一辺が接点部４１に沿って波状に形成されている。
【００３４】
第２接触部５０は、図７に示すように、中心線ＣＬ２に沿って延びており、自由端部（Ｚ方向の下側の端部）に設けられた接点部５１と、弾性部３０が連結されている基端部（Ｚ方向の上側の端部）に設けられた一対の支持突部５２とで構成されている。
【００３５】
接点部５１は、半円形状を有している。また、支持突部５２は、基端部からＸ方向に向かって突出しており、第１接触部４０の支持突部４２と同じ形状および大きさを有している。すなわち、支持突部５２は、中心線ＣＬ２から先端５２１までの距離Ｌ１が、中心線ＣＬ２から弾性支持部３４，３５の中間点３４１，３５１までの距離Ｌ２よりも大きくなるように、設けられている。
【００３６】
なお、図４に示すように、第１接触部４０は、一対の支持突部４２が設けられている基端部を除くＸ方向の幅Ｌ３（図７に示す）が、上部ハウジング１０の接点側収納部１３のＸ方向の幅Ｌ６よりも小さくなるように設けられている。一方、第１接触部４０の基端部は、一対の支持突部４２の先端４２１間の距離Ｌ４（図７に示す）が、上部ハウジング１０の本体側収納部１２のＸ方向の幅Ｌ７に略等しくなるように設けられている。
【００３７】
また、第２接触部５０は、一対の支持突部５２が設けられている基端部を除くＸ方向の幅Ｌ５（図７に示す）が、下部ハウジング２０の接点側収納部２３のＸ方向の幅Ｌ８よりも小さくなるように設けられている。一方、第２接触部５０の基端部は、一対の支持突部５２の先端５２１間の距離Ｌ４が、下部ハウジング２０の本体側収納部２２のＸ方向の幅Ｌ７に略等しくなるように設けられている。
【００３８】
さらに、第１，第２接触部４０，５０は、支持突部４２のＺ方向の上側面と、支持突部５２のＺ方向の下側面との間の距離Ｌ９が、上部ハウジング１０の段部１４と下部ハウジング２０の段部２４との間の距離Ｌ１０よりも短くなるように設けられている。
【００３９】
次に、検査治具１の複数のプローブピン３の動作について説明する。この検査治具１では、高電流に対応するため、図１に示すように、複数のプローブピン３を板厚方向の両面を交互に反転させて、板厚方向（Ｙ方向）に重ねている。また、この検査治具１では、複数のプローブピン３の各々が独立して伸縮可能になっている。
【００４０】
ハウジング２の内部に収納された初期状態のプローブピン３は、図４に示すように、第１，第２接触部４０，５０の接点部４１，５１が露出し、図１０に示すように、第１，第２導通部３２，３３が開離している。
【００４１】
この初期状態では、弾性部３０がＺ方向に圧縮され、図４に示すように、第１接触部４０の支持突部４２が上部ハウジング１０の段部１４を押圧し、第２接触部５０の支持突部５２が下部ハウジング２０の段部２４を押圧している。このため、プローブピン３は、がたつくことなく、ハウジング２の内部に収納されている。
【００４２】
初期状態のプローブピン３の接点部４１，５１に力を加え、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、各弾性ユニット３１の第１，第２導通部３２，３３が中心線ＣＬ２に沿って相互に接近し、図１１に示すように、フルストロークに達する前に頂点部３２１，３３１同士が接触する。その結果、中心線ＣＬ２に沿った導通経路が形成される。
【００４３】
このとき、頂点部３２１，３３１は正対しておらず、Ｘ方向に僅かにずれた状態で接触する。また、第１，第２接触部４０，５０がハウジング２の内部に押し込まれていくにつれて、弾性支持部３４，３５が次第にＺ方向に圧縮される。
【００４４】
第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、図１２に示すように、第１導通部３２が、第２導通部３３によって中心線ＣＬ２からＸ方向の左側へ押し込まれる。これと同時に、第２導通部３３が、第１導通部３２によって中心線ＣＬ２からＸ方向の右側へ押し込まれる。すなわち、第１導通部３２のＸ方向の右側の斜面部３２２と、第２導通部３３のＸ方向の左側の斜面部３３２とが、相互に面接触した状態でスライドする。このため、高い接触信頼性を確保できる。
【００４５】
さらに、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、頂点部３２１，３３１が弾性支持部３４，３５に接触する、あるいは、接点部４１，５１がハウジング２の内部に完全に収納される。これにより、第１，第２接触部４０，５０の移動が停止する。
【００４６】
第１，第２接触部４０，５０の移動が停止した後、接点部４１，５１に加えられている力を解放すると、各弾性ユニット３１の弾性支持部３４，３５の復帰力により、プローブピン３は、図１０に示す初期状態に復帰し、第１，第２導通部３２，３３が再び開離する。
【００４７】
このように、前記構成のプローブピン３は、中心線ＣＬ２に沿って連結された複数の弾性ユニット３１を有し、中心線ＣＬ２に沿って伸縮する弾性部３０と、弾性部３０の両端にそれぞれ設けられた接点部４１，５１とを備えている。これにより、接点部４１，５１を中心線ＣＬ２に沿って伸縮させることができるので、所望の変位量を正確に確保できる。
【００４８】
また、弾性ユニット３１が、中心線ＣＬ２に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置された第１，第２導通部３２，３３と、中心線ＣＬ２に対して対称に設けられ、第１，第２導通部３２，３３間を連結する一対の弾性支持部３４，３５と、を有している。そして、第１，第２導通部３２，３３が、弾性部３０を中心線ＣＬ２に沿って縮めたときに、相互に接触するように配置された斜面部３２２，３３２をそれぞれ有している。これにより、中心線ＣＬ２に沿って導通経路を確保できるので、良好な導通性を確保できる。
【００４９】
また、第１導通部３２の斜面部３２２と第２導通部３３の斜面部３３２とが面接触する。これにより、第１，第２導通部３２，３３の接触抵抗を抑制でき、良好な導通性を確保できる。
【００５０】
また、第１接触部４０の接点部４１が、中心線ＣＬ２に対して非対称な形状を有している。このように、プローブピン３の設計等に応じて、接点部４１の形状を適宜変更できるので、プローブピン３の設計の自由度を広げることができる。
【００５１】
なお、前記構成の検査治具１では、複数のプローブピン３がそれぞれ独立して伸縮可能である。このため、例えば、被試験デバイスが傾いていたとしても、この傾きに柔軟に対応して、複数のプローブピン３の接点部４１，５１のそれぞれが被試験デバイスに接触することができる。これにより、高い接触安定性を有する検査治具１を得ることができる。
【００５２】
（第２実施形態）
図１３，図１４は、第２実施形態のプローブピン１０３を示す図である。この第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００５３】
第２実施形態のプローブピン１０３は、図１３，図１４に示すように、略正三角形状を有する第１，第２導通部６２，６３を設けている点で、第１実施形態と異なっている。
【００５４】
第１，第２導通部６２，６３は、その形状が異なる点を除いては、第１実施形態のプローブピン３の第１，第２導通部３２，３３と同じ構成を有し、第１実施形態のプローブピン３と同様に動作する。
【００５５】
（第３実施形態）
図１５，図１６は、第３実施形態のプローブピン２０３を示す図である。この第３実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００５６】
第３実施形態のプローブピン２０３は、図１５，図１６に示すように、中心線ＣＬ２に沿って延びる旗状を有する第１導通部７２と、中心線ＣＬ２に沿って延びる略矩形状を有する第２導通部７３とを設けている点で、第１実施形態と異なっている。
【００５７】
第１導通部７２は、図１６に示すように、矩形状の基部７４と、この基部７４よりもＸ方向の幅が広い先端部７５とで構成されている。この先端部７５には、第２導通部７３に対向するよう配置された斜面部７６が設けられている。第２導通部７３は、第１導通部７２の斜面部７６に対向するように配置された斜面部７７を有している。
【００５８】
また、図１６に示すように、第１導通部７２の先端部７５は、中心線ＣＬ２からＸ方向の右側に突出しており、第２導通部７３は、その一方の側面が中心線ＣＬ２上に位置している。
【００５９】
すなわち、斜面部７６，７７は、相互に対応するように配置され、プローブピン２０３をハウジング２の内部に収納し、接点部４１，５１に力を加えたときに、相互に面接触するように配置されている。
【００６０】
第３実施形態のプローブピン２０３をハウジング２の内部に収納し、接点部４１，５１に力を加えて、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいく。すると、各弾性ユニット３１の第１，第２導通部７２，７３が中心線ＣＬ２に沿って相互に接近し、フルストロークに達する前に斜面部７６，７７同士が接触し、導通する。その結果、中心線ＣＬ２に沿った導通経路が形成される。
【００６１】
第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、第１導通部７２の先端部７５が、第２導通部７３によって中心線ＣＬ２からＸ方向の左側へ押し込まれる。同時に、第２導通部７３が、第１導通部７２の先端部７５によって中心線ＣＬ２からＸ方向の右側へ押し込まれる。すなわち、第１導通部７２の斜面部７６と、第２導通部７３の斜面部７７とが、相互に面接触した状態でスライドする。さらに、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、第１導通部７２の先端部７５のＸ方向の右側の端部７８と、第２導通部７３のＸ方向の左側の側面７９とが、相互に接触した状態でスライドする。このため、高い接触信頼性を確保できる。
【００６２】
なお、第１導通部７２の斜面部７６および端部７８と、第２導通部７３の斜面部７７および側面７９とは、内部接触部の一例である。
【００６３】
（第４実施形態）
図１７，図１８は、第４実施形態のプローブピン３０３を示す図である。この第４実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００６４】
第４実施形態のプローブピン３０３は、図１７，図１８に示すように、中心線ＣＬ２に沿って延びる略矩形状を有する第１導通部８２と、中心線ＣＬ２に沿って平行に延びる一対の弾性腕部８４を有する第２導通部８３とを設けている点で、第１実施形態と異なっている。
【００６５】
第２導通部８３の弾性腕部８４は、図１８に示すように、Ｘ方向において中心線ＣＬ２に対して対称に配置され、その先端に中心線ＣＬ２に向かって突出する突起部８５を有している。この突起部８５は、対向する突起部８５との間の距離が、第１導通部８２のＸ方向の幅よりも狭くなるように配置されている。
【００６６】
第４実施形態のプローブピン３０３をハウジング２の内部に収納し、接点部４１，５１に力を加えて、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいく。すると、各弾性ユニット３１の第１，第２導通部８２，８３が中心線ＣＬ２に沿って相互に接近し、フルストロークに達する前に、第１導通部８２の先端の角部８６と、第２導通部８３の突起部８５とが接触する。その結果、中心線ＣＬ２に沿った導通経路が形成される。
【００６７】
第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、第１導通部８２が、第２導通部８３の弾性腕部８４の間に押し込まれる。これにより、一対の弾性腕部８４の突起部８５が、第１導通部８２のＸ方向の側面８７によって、それぞれ中心線ＣＬ２から離れる方向に押し広げられる。すなわち、第１導通部８２は、第２導通部８３の弾性腕部８４により挟持された状態でスライドする。このため、高い接触信頼性を確保できる。
【００６８】
なお、第１導通部８２の角部８６および側面８７と、第２導通部８３の突起部８５とは、内部接触部の一例である。
【００６９】
（第５実施形態）
図１９，図２０は、第５実施形態のプローブピン４０３を示す図である。この第５実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００７０】
第５実施形態のプローブピン４０３は、図１９，図２０に示すように、略半円環状の第１，第２導通部９２，９３を設けた点で、第１実施形態と異なっている。
【００７１】
第１，第２導通部９２，９３は、図２０に示すように、Ｘ方向において中心線ＣＬ２に対して対称、かつ、Ｚ方向において直線ＭＬに対して対称に配置されている。
【００７２】
第５実施形態のプローブピン４０３をハウジング２の内部に収納し、接点部４１，５１に力を加えて、第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいく。すると、各弾性ユニット３１の第１，第２導通部９２，９３が中心線ＣＬ２に沿って相互に接近し、フルストロークに達する前に第１，第２導通部９２，９３の頂点９４，９５同士が接触する。その結果、中心線ＣＬ２に沿った導通経路が形成される。
【００７３】
第１，第２接触部４０，５０をハウジング２の内部に押し込んでいくと、第１，第２導通部９２，９３は、次第に弾性変形し、その弾性力により相互に押圧し合う。これにより、高い接触信頼性を確保できる。
【００７４】
なお、頂点９４，９５は、内部接触部の一例である。
【００７５】
第１〜第５実施形態に示すように、一対の導通部は、プローブピンの中心線ＣＬ２に沿って接触可能かつ開離可能に対向配置されていればよく、プローブピンの設計等に応じて、その形状を適宜変更できる。すなわち、設計の自由度の高いプローブピンを提供できる。
【００７６】
（その他の実施形態）
接点部４１，５１は、いずれも中心線ＣＬ２に対して対称な形状を有していてもよいし、いずれも中心線ＣＬ２に対して非対称な形状を有していてもよい。接点部の形状は、プローブピンの設計等に応じて、適宜変更できる。
【００７７】
前記実施形態のプローブピンは、電鋳法に限らず、可能ならば、他の任意の方法で製造してもよい。
【００７８】
ハウジング２の形状は、略角筒形状に限らず、検査治具の設計等に応じて、適宜変更できる。
【００７９】
前記実施形態で述べた構成要素は、適宜、組み合わせてもよく、また、適宜、選択、置換、あるいは、削除してもよいことは、勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明のプローブピンおよび検査治具は、例えば、半導体集積回路および半導体デバイス等の検査に用いることができる。
【符号の説明】
【００８１】
１  検査治具
２  ハウジング
３，１０３，２０３，３０３，４０３  プローブピン
１０  上部ハウジング
１１  収納部
１２  本体側収納部
１３  接点側収納部
１４  段部
１５  第１開口部
１６  第２開口部
２０  下部ハウジング
２１  収納部
２２  本体側収納部
２３  接点側収納部
２４  段部
２５  第１開口部
２６  第２開口部
３０  弾性部
３１  弾性ユニット
３２，６２，７２，８２，９２  第１導通部
３２１  頂点部
３２２  斜面部
３３，６３，７３，８３，９３  第２導通部
３３１  頂点部
３３２  斜面部
３４，３５  弾性支持部
３４１，３５１  中間点
３４２，３４３，３５２，３５３  連結部
３４４，３５４  円弧部
４０  第１接触部
４１  接点部
４２  支持突部
４２１  先端
４３  貫通孔
５０  第２接触部
５１  接点部
５２  支持突部
５２１  先端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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