(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームの表面に取り付けられた第１レールおよび第２レールと、
前記第１レールに案内される第１スライダと、
前記第２レールに案内される第２スライダと、
前記第１スライダおよび前記第２スライダを第１停止位置および第２停止位置の間で往復させる駆動源と、
前記第１スライダを前記表面に対する垂直方向に移動させることができる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、平面カムと、カムフォロアと、を備え、
前記カムフォロアは、前記第１スライダに取り付けられており、且つ前記平面カムに接することができ、
前記平面カムは、前記第２スライダと共に移動する
アクチュエータ。
【請求項２】
前記平面カムは、前記第２スライダに取り付けられている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１停止位置および前記第２停止位置を結ぶ直線に対する直交方向であり且つ前記表面に平行な方向から見て、前記第２スライダの全体が前記平面カムに重なる請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記カムフォロアは、複数であり、
複数の前記カムフォロアは、前記第１停止位置および前記第２停止位置を結ぶ直線に沿って並べられている請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記駆動源は、第１駆動源と、第２駆動源と、を含み、
前記第１スライダは、前記第１駆動源によって移動させられ、
前記第２スライダは、前記第２駆動源によって移動させられる請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
所定の方向に移動可能となるように、案内機構で案内されたスライダ上に物体を戴置し、モータやエアシリンダ等の駆動源でスライダを移動させて物体の搬送を行うアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
２つのスライダを動かして同じ距離に部品を供給する場合、それぞれのスライダは、その経路が縦方向もしくは横方向にずれてお互いが干渉しないように配置する必要があり、そのためワークの搬出入口、即ち、それぞれのスライダの停止位置は、それに伴い異なった位置となる。これによりワークを受け渡しするための機構は、それぞれの搬出入口からワークを取り出すための動きをする必要があるという課題があった。従来技術としては、例えば特許文献１に記載の技術が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１５５４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は２つのスライダの始点と終点とを一致させてワークを搬出入するための取り出し機構を簡素化することができるアクチュエータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、フレームと、前記フレームの表面に取り付けられた第１レールおよび第２レールと、前記第１レールに案内される第１スライダと、前記第２レールに案内される第２スライダと、前記第１スライダおよび前記第２スライダを第１停止位置および第２停止位置の間で往復させる駆動源と、前記第１スライダを前記表面に対する垂直方向に移動させることができる移動機構と、を備える。これにより、第１スライダおよび第２スライダは、互いに干渉せずに第１停止位置および第２停止位置の間を往復することができる。このため、ワークの搬出位置および搬入位置が一定となる。したがって、ワークを搬出および搬入するための取り出し機構が簡素化される。
【０００６】
また、本発明の望ましい態様として、前記移動機構は、平面カムと、カムフォロアと、を備え、前記カムフォロアは、前記第１スライダに取り付けられており、且つ前記平面カムに接することができることが好ましい。これにより、第１スライダは、カムフォロアが平面カムから受ける反力によって、フレームの表面に対する垂直方向に移動することができる。したがって、移動機構は、電力を用いる駆動装置等を必要とせずに第１スライダを移動させることができる。
【０００７】
また、本発明の望ましい態様として、前記平面カムは、前記第２スライダと共に移動することが好ましい。これにより、第１スライダは、第２スライダの位置に関わらず、第２スライダと立体交差することができる。すなわち、第２スライダは、第１スライダの位置に関わらず、第１スライダと立体交差することができる。また、第１スライダは、第２スライダが移動中であるか停止中であるかに関わらず、第２スライダと立体交差することができる。すなわち、第２スライダは、第１スライダが移動中であるか停止中であるかに関わらず、第１スライダと立体交差することができる。
【０００８】
また、本発明の望ましい態様として、前記平面カムは、前記第２スライダに取り付けられていることが好ましい。これにより、アクチュエータは、平面カムを移動させるための追加の駆動装置等を必要とせずに、平面カムを第２スライダと共に移動させることができる。
【０００９】
また、本発明の望ましい態様として、前記第１停止位置および前記第２停止位置を結ぶ直線に対する直交方向であり且つ前記表面に平行な方向から見て、前記第２スライダの全体が前記平面カムに重なることが好ましい。これにより、カムフォロアが平面カムに沿って移動するとき、カムフォロアと第２スライダとの干渉が抑制される。
【００１０】
また、本発明の望ましい態様として、前記カムフォロアは、複数であり、複数の前記カムフォロアは、前記第１停止位置および前記第２停止位置を結ぶ直線に沿って並べられていることが好ましい。これにより、カムフォロアが１つである場合と比較して、平面カムに接するカムフォロアから第１スライダの進行方向端部までの距離が短くなる。このため、アクチュエータは、第１スライダおよび第２スライダの干渉を防げる状態を維持しながら、平面カムを小型化することができる。
【００１１】
また、本発明の望ましい態様として、前記駆動源は、第１駆動源と、第２駆動源と、を含み、前記第１スライダは、前記第１駆動源によって移動させられ、前記第２スライダは、前記第２駆動源によって移動させられることが好ましい。これにより、アクチュエータは、カムフォロアが平面カムの最上部に接する状態を維持したまま、第２スライダを往復運動させることができる。また、第２スライダに対するワークの受け渡しに時間を要する場合等において、アクチュエータは、カムフォロアが平面カムの最上部に接する位置まで第１スライダを先行して移動させることができる。このため、アクチュエータは、搬送効率を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明に係るアクチュエータは、２つの直線運動するスライダと、前記スライダを駆動する駆動源と、を有し、１つめの前記スライダの第１停止位置と第２停止位置とを結ぶ第１経路と、２つめの前記スライダの第３停止位置と第４停止位置とを結ぶ第２経路とが一方向から見て重複しており、且つ、前記一方向から見て双方の前記スライダが重複する箇所及びその近傍において双方の前記スライダの干渉を避けるために、前記スライダを前記直線運動方向以外に移動させることができる移動機構が設けられている。
【００１３】
また、本発明の望ましい態様として、前記一方向から見て２つの前記スライダが重複する前後において、２つの前記スライダの軌跡が全く同じであってもよい。
【００１４】
また、本発明の望ましい態様として、前記第１経路の前記第１停止位置と前記第２経路の前記第３停止位置、前記第４停止位置、のいずれか一方とが一致し、且つ、前記第１経路の前記第２停止位置と、前記第２経路の他方の停止位置とが一致するようにしてもよい。これにより、ワークを搬出入するための取り出し機構を簡素化することができる。
【００１５】
また、本発明の望ましい態様として、前記スライダの干渉を避けるための前記移動機構が、カム機構であってもよい。これにより、スライダの干渉を避けるための駆動源が不要となり、移動機構を簡素化することができる。
【００１６】
また、本発明の望ましい態様として、２つの前記スライダが１つの前記駆動源で移動させられてもよい。これにより、安価に供給効率の良いアクチュエータが構成される。
【００１７】
また、本発明の望ましい態様として、２つの前記スライダが２つの前記駆動源で別々に移動させられてもよい。これにより、更に物体の供給効率が上がる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の態様によれば、ワークの搬出入口での取り出し位置は２つのスライダが共に全く同じであり、本アクチュエータのスライダ上へワークを搬出入する機構を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、第１実施形態に係るアクチュエータを示す３面図である。
【図２】図２（ａ）、図２（ｂ）および図２（ｃ）は、第１実施形態に係るアクチュエータの動作形態を示す斜視図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る平面カムの一例を示す図である。
【図４】図４（ａ）および図４（ｂ）は、第１実施形態に係る平面カムの一例を示す図である。
【図５】図５は、第２実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。
【図６】図６は、第２実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。
【図７】図７は、第３実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。
【図８】図８は、第３実施形態に係るアクチュエータを示す底面図である。
【図９】図９は、第３実施形態に係る平面カムを示す正面図である。
【図１０】図１０は、第３実施形態に係る第１レールおよび第１案内部材を拡大して示す斜視図である。
【図１１】図１１は、第３実施形態に係る第２案内部材および第３レールを拡大して示す斜視図である。
【図１２】図１２は、第４実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。
【図１３】図１３は、第４実施形態に係るアクチュエータを示す側面図である。
【図１４】図１４は、第４実施形態に係る平面カムを示す正面図である。
【図１５】図１５は、第４実施形態の変形例に係る平面カムを示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。
【００２１】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るアクチュエータを示す３面図である。図２（ａ）、図２（ｂ）および図２（ｃ）は、第１実施形態に係るアクチュエータの動作形態を示す斜視図である。図３は、第１実施形態に係る平面カムの一例を示す図である。図４（ａ）および図４（ｂ）は、第１実施形態に係る平面カムの一例を示す図である。直線運動するアクチュエータ１において、フレーム２上に案内機構３、スライダ（第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂ）、駆動モータ９、ベルト８、平面カム６１が取り付けられている。２つのスライダ（第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂ）はベルト８を介して１つの駆動モータ９に取り付いている。第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂはそれぞれ案内機構３により直線案内されている。駆動モータ９が右回転、左回転することで、各スライダが図１（ａ）中の左、右へと動く。
【００２２】
第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂはベルト８の直線部に連結されており、図１（ａ）において第１スライダ４ａが左に動く際には第２スライダ４ｂは右へ、第１スライダ４ａが右に動く際には第２スライダ４ｂは左へ動くようになっている。
【００２３】
第１スライダ４ａは、第１停止位置と第２停止位置とを結ぶ第１経路を往復する。第２スライダ４ｂは、第３停止位置と第４停止位置とを結ぶ第２経路を往復する。例えば、第１経路と第２経路は、平面視で重複している。また、第３停止位置は第１停止位置に等しく、第４停止位置は第２停止位置に等しい。図１において、第１スライダ４ａは第２停止位置に位置し、第２スライダ４ｂは第１停止位置（第３停止位置）に位置している。
【００２４】
ストローク中央付近において各スライダが干渉しないよう、第１スライダ４ａには縦方向に自由度をもたせ、且つカムフォロア６０が端に取り付けられている。このカムフォロア６０が平面カム６１形状に沿って動くことで、各スライダが干渉を避けつつ交差することを実現している。すなわち、カムフォロア６０および平面カム６１を含む移動機構によって、第１スライダ４ａが縦方向に移動する。カムフォロア６０および平面カム６１は、カム機構を構成している。
【００２５】
第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、それぞれ第１停止位置および第２停止位置の間を往復する。第１停止位置および第２停止位置のうち一方が、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂにワークが載置される位置である。第１停止位置および第２停止位置のうち他方が、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂからワークが取り出される位置である。すなわち、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂにおいて、ワークが載置される位置およびワークが取り出される位置は共通である。これにより、アクチュエータ１が前工程と後工程との間の搬送に使用される際、前工程の搬送機構においてワークを載置する位置の切替が不要となり、後工程の搬送機構においてワークを取り出す位置の切替が不要となる。このため、前工程および後工程における搬送機構の簡素化が可能となる。
【００２６】
次に、第１実施形態に係るアクチュエータ１の動作について図２を用いて説明する。
【００２７】
図２（ａ）では、第１スライダ４ａはアクチュエータ１の一端にあり、第２スライダ４ｂはアクチュエータ１の他端にある。駆動モータ９が回転することで、第１スライダ４ａはアクチュエータ１の他端へ、第２スライダ４ｂは、アクチュエータ１の一端に、それぞれ移動する。双方のスライダが交差するアクチュエータ１の中央部においては、平面カム６１が図２（ａ）の上方に突き出ている。第１スライダ４ａがアクチュエータ１の中央部に向かうに連れ、平面カム６１とカムフォロア６０によって第１スライダ４ａが図２（ａ）の上方に移動し、同じくアクチュエータ１の中央部まで移動してきた第２スライダ４ｂの上を通り、図２（ｂ）に示すように双方のスライダがすれ違う。そして、図２（ｃ）に示すように、アクチュエータ１の中央部から遠ざかることで、第１スライダ４ａは図２（ｃ）の下方に移動しつつ、アクチュエータ１の他端まで移動する。第２スライダ４ｂもアクチュエータ１の一端まで移動する。
【００２８】
なお、平面カム６１は、図３に示すように、溝形状としてもよい。例えば、平面カム６１が溝６２を備えており、カムフォロア６０が溝６２の内壁６２１および内壁６２２に挟まれていてもよい。内壁６２１および内壁６２２は、カム面である。これにより、カムフォロア６０が上側の内壁６２１に接することで、カムフォロア６０の飛び上がりが抑制される。このため、アクチュエータ１は、カムフォロア６０が平面カム６１に乗り上がった勢いで、平面カム６１よりも図１（ｂ）の上方に飛び上がることを防止することができる。また、平面カム６１は、図４（ａ）に示すように溝形状であり、さらに、溝の両壁面に複数のカムフォロア６０を、バネ機構を介し与圧を掛けて接触させる構成としてもよい。例えば、平面カム６１が溝６３を備えており、２つのカムフォロア６０が溝６３の内壁６３１および内壁６３２に挟まれていてもよい。内壁６３１および内壁６３２は、カム面である。例えば、２つのカムフォロア６０の間に設けられたバネ機構によって、一方のカムフォロア６０が内壁６３１に押し付けられており、他方のカムフォロア６０が内壁６３２に押し付けられる。これにより、アクチュエータ１は、カムフォロア６０と平面カム６１との間に隙間が生じて音や振動が出ることを防ぐことができる。さらに、図４（ｂ）に示すように、平面カム６１を凸状の板として、両面から複数のカムフォロア６０で挟み込む構成としてもよい。例えば、平面カム６１が凸部６４を備えており、２つのカムフォロア６０が凸部６４の側面６４１および側面６４２から凸部６４を挟んでいてもよい。側面６４１および側面６４２は、カム面である。
【００２９】
＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。図５および図６は、第２実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。ここでは、第１実施形態との相違点についてのみ説明する。それ以外の構成は、第１実施形態と同様である。
【００３０】
２つのスライダ（第１スライダ４ａＡおよび第２スライダ４ｂＡ）は図５中のＸ軸方向に案内されて移動する。ストローク中央付近において、各スライダが干渉しないよう、双方のスライダには図中のＹ軸方向に自由度をもたせ、且つカムフォロア（カムフォロア６０ａおよびカムフォロア６０ｂ）が備えられている。カムフォロアは、フレーム２Ａに形成された溝である平面カム（平面カム６１ａおよび平面カム６１ｂ）に係合し、スライダが移動する際にカムフォロアが平面カムに沿ってＹ軸方向に動く。これにより、アクチュエータ１Ａは、各スライダが干渉を避けつつ交差することを実現している。なお、第２実施形態では、双方のスライダがＹ軸方向に移動しているが、一方のスライダのみがＹ軸方向に移動する構成とすることもできる。
【００３１】
第１スライダ４ａＡは、第１停止位置と第２停止位置とを結ぶ第１経路を往復する。第２スライダ４ｂＡは、第３停止位置と第４停止位置とを結ぶ第２経路を往復する。例えば、第１経路と第２経路は、水平方向（Ｙ方向）から見て重複している。また、第３停止位置は第１停止位置に等しく、第４停止位置は第２停止位置に等しい。図５において、第１スライダ４ａＡは第２停止位置に位置し、第２スライダ４ｂＡは第１停止位置（第３停止位置）に位置している。
【００３２】
なお、第２実施形態においても、平面カムを図４（ａ）に示す構成としてもよい。例えば、２つのカムフォロア６０ａが平面カム６１ａの内壁６１１ａおよび内壁６１２ａに挟まれる。内壁６１１ａおよび内壁６１２ａは、カム面である。２つのカムフォロア６０ａの間に配置されたバネ機構によって、一方のカムフォロア６０ａが内壁６１１ａに押し付けられており、他方のカムフォロア６０ａが内壁６１２ａに押し付けられる。また、２つのカムフォロア６０ｂが平面カム６１ｂの内壁６１１ｂおよび内壁６１２ｂに挟まれる。内壁６１１ｂおよび内壁６１２ｂは、カム面である。２つのカムフォロア６０ｂの間に配置されたバネ機構によって、一方のカムフォロア６０ｂが内壁６１１ｂに押し付けられており、他方のカムフォロア６０ｂが内壁６１２ｂに押し付けられる。これにより、カム面とカムフォロアとの間の隙間を無くすことができる。
【００３３】
なお、第２実施形態においても、平面カムを図４（ｂ）に示す構成としてもよい。例えば、平面カム６１ａが溝ではなく凸部であって、２つのカムフォロア６０ａが平面カム６１ａを挟んでいてもよい。また、平面カム６１ｂが溝ではなく凸部であって、２つのカムフォロア６０ｂが平面カム６１ｂを挟んでいてもよい。これにより、カム面とカムフォロアとの間の隙間を無くすことができる。
【００３４】
＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。図８は、第３実施形態に係るアクチュエータを示す底面図である。図９は、第３実施形態に係る平面カムを示す正面図である。図１０は、第３実施形態に係る第１レールおよび第１案内部材を拡大して示す斜視図である。図１１は、第３実施形態に係る第２案内部材および第３レールを拡大して示す斜視図である。
【００３５】
図７に示すように、第３実施形態に係るアクチュエータ１Ｂは、フレーム２と、案内機構としての第１レール３ａと、第１スライダ４ａを含むスライダユニット４０と、駆動源としての第１駆動モータ９ａと、案内機構としての第２レール３ｂと、第２スライダ４ｂと、駆動源としての第２駆動モータ９ｂと、平面カム６１およびカムフォロア６０を含む移動機構６と、を備える。アクチュエータ１Ｂにおいて、ワーク１００は、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂに載せられた状態で搬送される。第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、フレーム２の一端に位置する第１停止位置と、フレーム２の他端に位置する第２停止位置と、の間を往復する。図７においては、第１スライダ４ａが第２停止位置に位置し、第２スライダ４ｂが第１停止位置に位置している。
【００３６】
以下の説明において、水平方向のうち第１停止位置と第２停止位置とを結ぶ直線に平行な方向はＸ方向と記載され、水平方向のうちＸ方向に対する直交方向はＹ方向と記載され、Ｘ方向およびＹ方向の両方に対する直交方向はＺ方向と記載される。すなわち、Ｚ方向は鉛直方向である。また、Ｘ方向のうち第１停止位置から第２停止位置に向かう方向は＋Ｘ方向と記載され、＋Ｘ方向とは反対方向は−Ｘ方向と記載される。水平面上において＋Ｘ方向に向かったときの左方向は＋Ｙ方向と記載され、＋Ｙ方向とは反対方向は−Ｙ方向と記載される。Ｚ方向のうち下から上へ向かう方向は＋Ｚ方向と記載され、＋Ｚ方向とは反対方向は−Ｚ方向と記載される。すなわち、＋Ｚ方向は鉛直方向の上方であり、−Ｚ方向は鉛直方向の下方である。
【００３７】
フレーム２は、第１レール３ａ、第２レール３ｂ、平面カム６１、第１駆動モータ９ａおよび第２駆動モータ９ｂを支持するための部材である。図７に示すように、フレーム２は、例えば水平面に平行な板状部材である。フレーム２は、Ｘ方向に沿う長穴であるスリット２１ａおよびスリット２１ｂを備える。
【００３８】
図７に示すように、第１レール３ａは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、Ｘ方向に沿う長尺部材であって、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２レール３ｂは、第１レール３ａに平行に配置されており、且つ第１レール３ａよりも−Ｙ方向に位置している。
【００３９】
図７に示すように、平面カム６１は、フレーム２の＋Ｚ方向側の表面に取り付けられた板状部材である。平面カム６１は、第２レール３ｂよりも−Ｙ方向に配置されている。また、平面カム６１の長手方向は、第１レール３ａおよび第２レール３ｂの長手方向すなわちＸ方向に平行である。また、図９に示すように、Ｙ方向から見た平面カム６１の形状は、Ｘ方向の中心に位置する中心線Ｃ１を対称軸とした線対称である。平面カム６１は、平坦面６５と、平坦面６６と、カム面６７と、を備える。
【００４０】
平坦面６５は、水平面に平行な表面であって、平面カム６１のうち＋Ｘ方向の端部に配置されている。平坦面６６は、水平面に平行な表面であって、平面カム６１のうち−Ｘ方向の端部に配置されている。カム面６７は、平坦面６５と平坦面６６との間に配置されており、曲面部６７１と、曲面部６７２と、平面部６７３と、を備える。−Ｘ方向に向かって曲面部６７１、平面部６７３、曲面部６７２の順に配置されている。曲面部６７１は、平坦面６５の端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。曲面部６７２は、平坦面６６の端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。平面部６７３は、水平面に平行な表面であって、曲面部６７１の最上部と曲面部６７２の最上部とを連結する。図９に示すように、平坦面６５または平坦面６６から平面部６７３までのＺ方向の距離Ｄ１は、Ｚ方向における第２スライダ４ｂの厚さＤ２と第２スライダ４ｂに載せられたワーク１００の厚さＤ３との和よりも大きい。
【００４１】
第１駆動モータ９ａおよび第２駆動モータ９ｂは、例えばダイレクトドライブモータである。図７に示すように、第１駆動モータ９ａは、フレーム２の＋Ｘ方向の端部に配置されている。第１駆動モータ９ａは、フレーム２を貫通しており、フレーム２の表面から＋Ｚ方向に突出している。第１駆動モータ９ａには、＋Ｚ方向側から配線が接続されている。第２駆動モータ９ｂは、フレーム２の−Ｘ方向の端部に配置されている。第２駆動モータ９ｂは、フレーム２の−Ｚ方向側の表面に取り付けられている。第２駆動モータ９ｂには、−Ｚ方向側から配線が接続されている。以下の説明において、フレーム２の−Ｚ方向側の表面は、単に底面と記載される。
【００４２】
図８に示すように、フレーム２の底面には、第１従動プーリー９２ａ、第２従動プーリー９２ｂ、第１ベルトテンショナ９３ａおよび第２ベルトテンショナ９３ｂが取り付けられている。例えば、第１従動プーリー９２ａは、第１軸受９２１ａを介してフレーム２に取り付けられている。第２従動プーリー９２ｂは、第２軸受９２１ｂを介してフレーム２に取り付けられている。
【００４３】
第１駆動モータ９ａのロータには、第１駆動プーリー９１ａが取り付けられている。第１駆動プーリー９１ａは、第１駆動モータ９ａのロータと一体に回転する。第１駆動プーリー９１ａは、環状の第１ベルト８ａによって第１従動プーリー９２ａと連結されている。第１ベルトテンショナ９３ａは、第１駆動プーリー９１ａと第１従動プーリー９２ａとの間に配置されており、第１ベルト８ａの外周面に接している。第１ベルトテンショナ９３ａは、第１ベルト８ａの張力を調節するための部材である。このように、第１ベルト８ａ、第１駆動プーリー９１ａ、第１従動プーリー９２ａおよび第１ベルトテンショナ９３ａが、ベルトドライブを形成している。動力伝達機構としてのベルトドライブによって、第１駆動モータ９ａの動力が第１スライダ４ａに伝達されている。
【００４４】
第２駆動モータ９ｂのロータには、第２駆動プーリー９１ｂが取り付けられている。第２駆動プーリー９１ｂは、第２駆動モータ９ｂのロータと一体に回転する。第２駆動プーリー９１ｂは、環状の第２ベルト８ｂによって第２従動プーリー９２ｂと連結されている。第２ベルトテンショナ９３ｂは、第２駆動プーリー９１ｂと第２従動プーリー９２ｂとの間に配置されており、第２ベルト８ｂの外周面に接している。第２ベルトテンショナ９３ｂは、第２ベルト８ｂの張力を調節するための部材である。このように、第２ベルト８ｂ、第２駆動プーリー９１ｂ、第２従動プーリー９２ｂおよび第２ベルトテンショナ９３ｂが、ベルトドライブを形成している。動力伝達機構としてのベルトドライブによって、第２駆動モータ９ｂの動力が第２スライダ４ｂに伝達されている。
【００４５】
スライダユニット４０は、第１レール３ａおよび平面カム６１に支持されており、第１駆動モータ９ａによってＸ方向に移動することができる。図７および図８に示すように、スライダユニット４０は、第１案内部材４１と、第２案内部材４２と、第３レール４３と、第３案内部材４４と、第１スライダ４ａと、第１ベルト連結部材４９ａと、を備える。
【００４６】
第１案内部材４１は、Ｘ方向にスライドできるように第１レール３ａに取り付けられる部材である。すなわち、第１レール３ａは、第１案内部材４１をＸ方向に案内する。図１０に示すように、第１案内部材４１は、第１レール３ａの表面３１に対向可能な第１対向面４１１と、第１レール３ａの側面３２に対向可能な第２対向面４１２と、第２対向面４１２から突出する２つの爪部４１３と、少なくとも一部が第１レール３ａの凹部３３に接する転動体４１４と、を備える。２つの爪部４１３は、それぞれ凹部３３に嵌まっている。すなわち、第１案内部材４１は、第１レール３ａをＹ方向の両側から挟んでいる。これにより、第１案内部材４１は、第１レール３ａに沿ってＸ方向にスライドすることができる。転動体４１４は、例えば玉である。転動体４１４は、凹部３３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第１レール３ａおよび第１案内部材４１が直動型玉軸受（Linear  Ball  Bearing）を構成している。凹部３３に沿って転動体４１４が転がることによって、第１案内部材４１は第１レール３ａを円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４１４は、環状に配置されており、且つＸ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４１４が凹部３３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４１４は、例えば第２対向面４１２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４１４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、転動体４１４は、２列のうち一方の列と他方の列との間を循環している。なお、転動体４１４はころであってもよい。
【００４７】
第２案内部材４２は、第１案内部材４１に取り付けられ、第１案内部材４１と共にスライドする部材である。例えば、第２案内部材４２は、第１案内部材４１と一体に形成される。第２案内部材４２は、第１案内部材４１から＋Ｚ方向に突出している。図１１に示すように、第２案内部材４２は、第３レール４３の表面４３１に対向可能な第１対向面４２１と、第３レール４３の側面４３２に対向可能な第２対向面４２２と、第２対向面４２２から突出する２つの爪部４２３と、少なくとも一部が第３レール４３の凹部４３３に接する転動体４２４と、を備える。２つの爪部４２３は、それぞれ凹部４３３に嵌まっている。すなわち、第２案内部材４２は、第３レール４３をＸ方向の両側から挟んでいる。転動体４２４は、例えば玉である。転動体４２４は、凹部４３３の内壁に接触しながら転がる。すなわち、第３レール４３および第２案内部材４２が直動型玉軸受を構成している。凹部４３３に沿って転動体４２４が転がることによって、第２案内部材４２は第３レール４３を円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体４２４は、環状に配置されており、且つＺ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体４２４が凹部４３３の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体４２４は、例えば第２対向面４２２に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体４２４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、転動体４２４は、２列のうち一方の列と他方の列との間を循環している。なお、転動体４２４はころであってもよい。
【００４８】
図７に示すように、第３レール４３は、Ｚ方向に沿う長尺部材であって、第３案内部材４４の＋Ｙ方向側の表面に取り付けられている。これにより、第３案内部材４４は、第２案内部材４２に嵌まる第３レール４３によって、Ｚ方向にスライドできる。
【００４９】
第３案内部材４４は、第１スライダ４ａに連結される板状部材であって、第１スライダ４ａをＺ方向にスライドさせることができる。例えば、Ｙ方向から見た第３案内部材４４の形状は、略台形である。
【００５０】
図７に示すように、第１スライダ４ａは、例えば水平面に平行な板状部材であって、第３案内部材４４の−Ｚ方向の端部（下端部）に連結されている。また、第１スライダ４ａは、第２レール３ｂに対向している。第１スライダ４ａには、カムフォロア６０が取り付けられている。具体的には、カムフォロア６０は、例えばシャフトと、シャフトの外周面に取り付けられたニードルベアリングと、ニードルベアリングの外周面で回転する外輪と、を備える軸受である。カムフォロア６０は、第１スライダ４ａの−Ｙ方向側の側面に取り付けられている。カムフォロア６０の外輪は、Ｙ方向に平行な回転軸を中心に回転することができる。カムフォロア６０の外輪は、平面カム６１の平坦面６５、平坦面６６およびカム面６７のいずれかに接している。これにより、第１スライダ４ａの−Ｚ方向の可動範囲が規制される。
【００５１】
第１ベルト連結部材４９ａは、スライダユニット４０と第１ベルト８ａとを連結するための部材である。第１ベルト連結部材４９ａは、第１案内部材４１に取り付けられており、スリット２１ａを貫通している。第１ベルト連結部材４９ａは、フレーム２の−Ｚ方向側で第１ベルト８ａに連結されている。より具体的には、第１ベルト連結部材４９ａは、第１ベルト８ａを把持している（クランプしている）。第１ベルト連結部材４９ａと第１ベルト８ａとの間の摩擦力により、第１ベルト連結部材４９ａは、第１ベルト８ａと共に移動する。これにより、第１スライダ４ａを含むスライダユニット４０は、第１ベルト８ａと共に移動することができる。
【００５２】
第２スライダ４ｂは、Ｘ方向にスライドできるように第２レール３ｂに取り付けられる部材である。すなわち、第２レール３ｂは、第２スライダ４ｂをＸ方向に案内する。第２スライダ４ｂは、例えば水平面に平行な板状部材である。また、上述した第１レール３ａおよび第１案内部材４１と同様に、第２レール３ｂおよび第２スライダ４ｂが直動型玉軸受を構成している。また、第２スライダ４ｂのＺ方向の位置は、カムフォロア６０が平面カム６１の平坦面６５または平坦面６６に接しているときの第１スライダ４ａのＺ方向の位置に等しい。
【００５３】
第２スライダ４ｂは、第２ベルト連結部材４９ｂによって第２ベルト８ｂと連結されている。図８に示すように、第２ベルト連結部材４９ｂは、第２スライダ４ｂに取り付けられており、スリット２１ｂを貫通している。第２ベルト連結部材４９ｂは、フレーム２の−Ｚ方向側で第２ベルト８ｂに連結されている。より具体的には、第２ベルト連結部材４９ｂは、第２ベルト８ｂを把持している（クランプしている）。第２ベルト連結部材４９ｂと第２ベルト８ｂとの間の摩擦力により、第２ベルト連結部材４９ｂは、第２ベルト８ｂと共に移動する。これにより、第２スライダ４ｂは、第２ベルト８ｂと共に移動することができる。
【００５４】
第１駆動モータ９ａによって第１ベルト８ａが移動すると、第１スライダ４ａがＸ方向にスライドする。カムフォロア６０が平面カム６１のカム面６７に乗り上げると、第１スライダ４ａはＸ方向にスライドすると共にＺ方向にもスライドする。すなわち、カムフォロア６０および平面カム６１を備える移動機構６は、第１スライダ４ａをＺ方向に移動させることができる。これにより、第１スライダ４ａと第２レール３ｂとの間の隙間が大きくなる。上述したように、図９に示す距離Ｄ１が厚さＤ２と厚さＤ３との和よりも大きいので、カムフォロア６０が平面部６７３に位置する状態において、第２スライダ４ｂは、第１スライダ４ａの−Ｚ方向側を通り抜けることができる。すなわち、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、立体交差することができる。
【００５５】
また、図９に示すように、第２スライダ４ｂがＸ方向の中央に停止している状態において、中心線Ｃ１から第２スライダ４ｂ上のワーク１００のＸ方向端部までの距離を距離Ｄ４とする。第１スライダ４ａの下端部のＺ方向の位置が第２スライダ４ｂ上のワーク１００の上端部のＺ方向の位置に等しいときの、中心線Ｃ１から第１スライダ４ａまでの最小距離を距離Ｄ５とし、カムフォロア６０の中心から第２スライダ４ｂ上のワーク１００までの最小距離を距離Ｄ６とし、カムフォロア６０の中心から第１スライダ４ａのＸ方向端部までの距離を距離Ｄ７とする。この時、距離Ｄ４は距離Ｄ５よりも小さい。言い換えると、距離Ｄ６は距離Ｄ７よりも大きい。これにより、第１スライダ４ａが第２スライダ４ｂに最接近したときでも、第１スライダ４ａと第２スライダ４ｂとの衝突、および第１スライダ４ａと第２スライダ４ｂ上のワーク１００との衝突が防がれる。
【００５６】
第３実施形態に係るアクチュエータ１Ｂは、第１駆動モータ９ａおよび第２駆動モータ９ｂによって、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂを別々に移動させることができる。これにより、アクチュエータ１Ｂは、カムフォロア６０が平面部６７３に接する状態を維持したまま、第２スライダ４ｂを往復運動させることができる。また、例えば第２スライダ４ｂに対するワーク１００の受け渡しに時間を要する場合等において、アクチュエータ１Ｂは、カムフォロア６０が平面部６７３に接する位置まで第１スライダ４ａを先行して移動させることができる。このため、アクチュエータ１Ｂは、搬送効率を向上させることができる。
【００５７】
なお、第１駆動モータ９ａの動力を第１スライダ４ａに伝達するための動力伝達機構は、必ずしもベルトドライブでなくてもよい。第２駆動モータ９ｂの動力を第２スライダ４ｂに伝達するための動力伝達機構は、必ずしもベルトドライブでなくてもよい。例えば、動力伝達機構は、ローラーチェーンおよびスプロケットを備えるチェーンドライブ等であってもよい。
【００５８】
なお、第３実施形態に係るアクチュエータ１Ｂで説明したスライダユニット４０、第２スライダ４ｂおよび平面カム６１は、第１実施形態に係るアクチュエータ１にも設けられている。また、２つの駆動源として第１駆動モータ９ａおよび第２駆動モータ９ｂを備える点は、第２実施形態に適用することもできる。
【００５９】
以上説明したように、アクチュエータ１Ｂは、フレーム２と、フレーム２の表面に取り付けられた第１レール３ａおよび第２レール３ｂと、第１レール３ａに案内される第１スライダ４ａと、第２レール３ｂに案内される第２スライダ４ｂと、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂを第１停止位置および第２停止位置の間で往復させる駆動源（第１駆動源９ａおよび第２駆動源９ｂ）と、第１スライダ４ａをフレーム２の表面に対する垂直方向（Ｚ方向）に移動させることができる移動機構６と、を備える。
【００６０】
これにより、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、互いに干渉せずに第１停止位置および第２停止位置の間を往復することができる。このため、ワーク１００の搬出位置および搬入位置が一定となる。したがって、ワーク１００を搬出および搬入するための取り出し機構が簡素化される。
【００６１】
また、アクチュエータ１Ｂにおいて、移動機構６は、平面カム６１と、カムフォロア６０と、を備える。カムフォロア６０は、第１スライダ４ａに取り付けられており、且つ平面カム６１に接することができる。
【００６２】
これにより、第１スライダ４ａは、カムフォロア６０が平面カム６１から受ける反力によって、フレーム２の表面に対する垂直方向（Ｚ方向）に移動することができる。したがって、移動機構６は、電力を用いる駆動装置等を必要とせずに第１スライダ４ａを移動させることができる。
【００６３】
また、アクチュエータ１Ｂにおいて、第１駆動源（第１駆動モータ９ａ）と、第２駆動源（第２駆動モータ９ｂ）とが設けられている。第１スライダ４ａは、第１駆動源によって移動させられ、第２スライダ４ｂは、第２駆動源９ｂによって移動させられる。
【００６４】
これにより、アクチュエータ１Ｂは、カムフォロア６０が平面カム６１の最上部に接する状態を維持したまま、第２スライダ４ｂを往復運動させることができる。また、第２スライダ４ｂに対するワーク１００の受け渡しに時間を要する場合等において、アクチュエータ１Ｂは、カムフォロア６０が平面カム６１の最上部に接する位置まで第１スライダ４ａを先行して移動させることができる。このため、アクチュエータ１Ｂは、搬送効率を向上させることができる。
【００６５】
＜第４実施形態＞
図１２は、第４実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。図１３は、第４実施形態に係るアクチュエータを示す側面図である。図１４は、第４実施形態に係る平面カムを示す正面図である。第４実施形態に係るアクチュエータ１Ｃは、上述した移動機構６とは異なる移動機構６Ｃを備える。図１２に示すように、移動機構６Ｃは、カムフォロア６０と、平面カム６１Ｃと、を備える。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６６】
図１２および図１３に示すように、平面カム６１Ｃは、第２スライダ４ｂに取り付けられた板状部材である。より具体的には、平面カム６１Ｃは、第２スライダ４ｂの−Ｙ方向側の側面に取り付けられている。このため、平面カム６１Ｃは、第２スライダ４ｂと共にＸ方向に移動することができる。また、平面カム６１Ｃの長手方向は、第１レール３ａおよび第２レール３ｂの長手方向すなわちＸ方向に平行である。また、図１４に示すように、Ｙ方向から見た平面カム６１Ｃの形状は、中心線Ｃ１を対称軸とした線対称である。Ｙ方向から見て、第２スライダ４ｂの全体が平面カム６１Ｃに重なっている。平面カム６１Ｃは、平坦面６５Ｃと、平坦面６６Ｃと、カム面６７Ｃと、を備える。
【００６７】
平坦面６５Ｃは、水平面に平行な表面であって、平面カム６１Ｃのうち＋Ｘ方向の端部に配置されている。平坦面６６Ｃは、水平面に平行な表面であって、平面カム６１Ｃのうち−Ｘ方向の端部に配置されている。カム面６７Ｃは、平坦面６５Ｃと平坦面６６Ｃとの間に配置されており、曲面部６７１Ｃと、曲面部６７２Ｃと、平面部６７３Ｃと、を備える。−Ｘ方向に向かって曲面部６７１Ｃ、平面部６７３Ｃ、曲面部６７２Ｃの順に配置されている。曲面部６７１Ｃは、平坦面６５Ｃの端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。曲面部６７２Ｃは、平坦面６６Ｃの端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。平面部６７３Ｃは、水平面に平行な表面であって、曲面部６７１Ｃの最上部と曲面部６７２Ｃの最上部とを連結する。例えば、曲面部６７１Ｃ、平面部６７３Ｃおよび曲面部６７２Ｃの形状は、上述した曲面部６７１、平面部６７３および曲面部６７２の形状と同じである。このため、図１４に示すように、距離Ｄ１は、厚さＤ２と厚さＤ３との和よりも大きい。また、距離Ｄ４は距離Ｄ５よりも小さい。言い換えると、距離Ｄ６は距離Ｄ７よりも大きい。
【００６８】
図１２に示すように、第１スライダ４ａが第２停止位置にあり、第２スライダ４ｂが第１停止位置にあるとき、カムフォロア６０は、平面カム６１Ｃに接していない。この状態において、Ｚ方向におけるカムフォロア６０の下端部の位置は、Ｚ方向における平坦面６５Ｃおよび平坦面６６Ｃの位置に等しい。スライダユニット４０は、カムフォロア６０が平面カム６１Ｃに接していないときの第１スライダ４ａの位置を保持するために、例えば図１３に示すストッパー４５を備える。
【００６９】
図１３に示すように、ストッパー４５は、第３レール４３の上端部に設けられており、＋Ｙ方向に突出している。カムフォロア６０が平面カム６１Ｃに接していないとき、ストッパー４５は第２案内部材４２の上端部に接する。これにより、第１スライダ４ａの−Ｚ方向の可動範囲が規制される。
【００７０】
例えば、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂが互いに近づく方向にスライドすると、カムフォロア６０は、平坦面６５Ｃまたは平坦面６６Ｃに接した後、カム面６７Ｃに乗り上げる。これにより、第１スライダ４ａはＸ方向にスライドすると共にＺ方向にもスライドする。このため、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、立体交差することができる。
【００７１】
例えば、第２スライダ４ｂが任意の位置に停止している状態で、第１スライダ４ａがＸ方向にスライドすると、カムフォロア６０は、平坦面６５Ｃまたは平坦面６６Ｃに接した後、カム面６７Ｃに乗り上げる。これにより、第１スライダ４ａはＸ方向にスライドすると共にＺ方向にもスライドする。このため、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、立体交差することができる。
【００７２】
例えば、第１スライダ４ａが任意の位置に停止している状態で、第２スライダ４ｂがＸ方向にスライドすると、カムフォロア６０は、平坦面６５Ｃまたは平坦面６６Ｃに接した後、カム面６７Ｃに乗り上げる。これにより、第１スライダ４ａはＸ方向の位置を維持したままＺ方向にスライドする。このため、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂは、立体交差することができる。
【００７３】
なお、平面カム６１Ｃは、必ずしも第２スライダ４ｂに取り付けられていなくてもよい。すなわち、平面カム６１Ｃは、少なくとも第２スライダ４ｂと共に移動すればよい。例えば、アクチュエータ１Ｃは、平面カム６１Ｃを移動させるための駆動源として、第２駆動モータ９ｂとは別の第３駆動モータを備えていてもよい。
【００７４】
なお、第４実施形態に係るアクチュエータ１Ｃおいては、必ずしも第１駆動モータ９ａおよび第２駆動モータ９ｂが設けられていなくてもよい。すなわち、第１実施形態で示したように、１つの駆動源が第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂを移動させていてもよい。これにより、駆動源が複数設けられる場合に比較して、アクチュエータ１Ｃの小型化が容易となる。
【００７５】
なお、カムフォロア６０が平面カム６１Ｃに接していないときの第１スライダ４ａの位置を保持するための構成は、必ずしも第３レール４３に設けられたストッパー４５ではなくてもよい。例えば、第２案内部材４２の第１対向面４２１（図１１参照）の下端部に、第３レール４３の端面に接触する突起等がストッパーとして設けられていてもよい。
【００７６】
以上説明したように、アクチュエータ１Ｃにおいて、平面カム６１Ｃは、第２スライダ４ｂと共に移動する。
【００７７】
これにより、アクチュエータ１Ｃにおいては、第１スライダ４ａは、第２スライダ４ｂの位置に関わらず、第２スライダ４ｂと立体交差することができる。すなわち、第２スライダ４ｂは、第１スライダ４ａの位置に関わらず、第１スライダ４ａと立体交差することができる。また、第１スライダ４ａは、第２スライダ４ｂが移動中であるか停止中であるかに関わらず、第２スライダ４ｂと立体交差することができる。すなわち、第２スライダ４ｂは、第１スライダ４ａが移動中であるか停止中であるかに関わらず、第１スライダ４ａと立体交差することができる。
【００７８】
また、アクチュエータ１Ｃにおいて、平面カム６１Ｃは、第２スライダ４ｂに取り付けられている。これにより、アクチュエータ１Ｃは、平面カム６１Ｃを移動させるための追加の駆動装置等を必要とせずに、平面カム６１Ｃを第２スライダ４ｂと共に移動させることができる。
【００７９】
また、アクチュエータ１Ｃにおいて、第１停止位置および第２停止位置を結ぶ直線に対する直交方向であり且つフレーム２の表面に平行な方向、すなわちＹ方向から見て、第２スライダ４ｂの全体が平面カム６１Ｃに重なる。これにより、カムフォロア６０が平面カム６１Ｃに沿って移動するとき、カムフォロア６０と第２スライダ４ｂとの干渉が抑制される。
【００８０】
＜第４実施形態の変形例＞
図１５は、第４実施形態の変形例に係る平面カムを示す正面図である。図１５に示すように、第４実施形態の変形例に係る移動機構６Ｄは、２つのカムフォロア６０と、平面カム６１Ｄと、を備える。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８１】
図１５に示すように、２つのカムフォロア６０は、第１スライダ４ａの側面に取り付けられており、Ｘ方向に並んでいる。Ｙ方向から見て、２つのカムフォロア６０は、第１スライダ４ａのＸ方向の中心に位置する中心線Ｃ２の両側に配置されている。具体的には、２つのカムフォロア６０は、それぞれ中心線Ｃ２から等距離である位置に配置されている。
【００８２】
平面カム６１Ｄは、第２スライダ４ｂに取り付けられた板状部材である。より具体的には、平面カム６１Ｄは、第２スライダ４ｂの−Ｙ方向側の側面に取り付けられている。このため、平面カム６１Ｄは、第２スライダ４ｂと共にＸ方向に移動することができる。また、平面カム６１Ｄの長手方向は、第１レール３ａおよび第２レール３ｂの長手方向すなわちＸ方向に平行である。また、図１５に示すように、Ｙ方向から見た平面カム６１Ｄの形状は、中心線Ｃ１を対称軸とした線対称である。平面カム６１Ｄは、平坦面６５Ｄと、平坦面６６Ｄと、カム面６７Ｄと、を備える。
【００８３】
平坦面６５Ｄは、水平面に平行な表面であって、平面カム６１Ｄのうち＋Ｘ方向の端部に配置されている。平坦面６６Ｄは、水平面に平行な表面であって、平面カム６１Ｄのうち−Ｘ方向の端部に配置されている。カム面６７Ｄは、平坦面６５Ｄと平坦面６６Ｄとの間に配置されており、曲面部６７１Ｄと、曲面部６７２Ｄと、平面部６７３Ｄと、を備える。−Ｘ方向に向かって曲面部６７１Ｄ、平面部６７３Ｄ、曲面部６７２Ｄの順に配置されている。曲面部６７１Ｄは、平坦面６５Ｄの端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。曲面部６７２Ｄは、平坦面６６Ｄの端部から＋Ｚ方向に隆起する曲面状の表面である。平面部６７３Ｄは、水平面に平行な表面であって、曲面部６７１Ｄの最上部と曲面部６７２Ｄの最上部とを連結する。
【００８４】
例えば、曲面部６７１Ｄおよび曲面部６７２Ｄの形状は、上述した曲面部６７１および曲面部６７２の形状と同じである。このため、図１５に示すように、距離Ｄ１は、厚さＤ２と厚さＤ３との和よりも大きい。一方、平面部６７３ＤのＸ方向の長さＤ８は、上述した平面部６７３の長さよりも小さい。さらに、長さＤ８は、２つのカムフォロア６０の中心間のＸ方向における距離Ｄ９よりも大きい。長さＤ８が距離Ｄ９よりも大きいことにより、２つのカムフォロア６０が同時に平面部６７３Ｄに接することができる。
【００８５】
上述した実施形態と同様に距離Ｄ４は距離Ｄ５よりも小さい。また、第１スライダ４ａの進行方向の前方側に位置するカムフォロア６０の中心から第２スライダ４ｂ上のワーク１００までの最小距離を距離Ｄ６１とし、このカムフォロア６０の中心から第１スライダ４ａのＸ方向端部までの距離を距離Ｄ７１とする。この時、距離Ｄ６１は距離Ｄ７１よりも大きい。
【００８６】
カムフォロア６０が１つである第４実施形態と比較して、第４実施形態の変形例においては、曲面部６７１Ｄまたは曲面部６７２Ｄに接するカムフォロア６０から第１スライダ４ａの進行方向端部までの距離が短い。すなわち、図１４に示した距離Ｄ７と比較して、図１５に示す距離Ｄ７１は小さい。このため、アクチュエータ１Ｄは、第１スライダ４ａと第２スライダ４ｂとの干渉を防ぐために距離Ｄ６１が距離Ｄ７１よりも大きい状態を維持しながら、平面部６７３Ｄの長さＤ８を図１４に示す平面部６７３の長さよりも小さくできる。したがって、第４実施形態の変形例に係る平面カム６１Ｄは、上述した平面カム６１Ｃと比較して小型化することができる。
【００８７】
平面カム６１Ｄは第２スライダ４ｂと共に移動するので、平面カム６１Ｄが大きくなるほど、平面カム６１Ｄがフレーム２からはみ出す可能性がある。このため、平面カム６１Ｄがフレーム２からはみ出すことを防ぐために、フレーム２が大きくなる可能性がある。このような理由により、平面カム６１Ｄの小型化は、装置全体の小型化に寄与する。
【００８８】
なお、第４実施形態の変形例において、カムフォロア６０は、必ずしも２つでなくてもよく、３つ以上であってもよい。すなわち、カムフォロア６０は複数であればよい。また、カムフォロア６０がＸ方向に並べられる点は、上述した第１実施形態および第２実施形態に適用することもできる。
【００８９】
以上説明したように、アクチュエータ１Ｄにおいて、カムフォロア６０は複数である。複数のカムフォロア６０は、第１停止位置および第２停止位置を結ぶ直線（Ｘ方向に平行な直線）に沿って並べられている。
【００９０】
これにより、カムフォロア６０が１つである場合と比較して、平面カム６１Ｄに接するカムフォロア６０から第１スライダ４ａの進行方向端部までの距離（距離Ｄ７１）が短くなる。このため、アクチュエータ１Ｄは、第１スライダ４ａおよび第２スライダ４ｂの干渉を防げる状態を維持しながら、平面カム６１Ｄを小型化することができる。
【００９１】
上記実施形態に係るアクチュエータによれば、２つのスライダの停止位置が同じで、双方のスライダの交差位置において、少なくとも一方のスライダを干渉を避けるために移動させる機構を備える構成とすることで、２つのスライダの始点と終点が同じ位置となり、安価な構成で搬送物の供給効率を向上させることができる。
【００９２】
なお、本発明に係るアクチュエータは、上述した内容により、実施形態が限定されるものではない。また、駆動源はモータ（例えば、サーボモータ、ステッピングモータ、ダイレクトドライブモータ）に限らず、エアシリンダ等を、用途に応じて適宜用いることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ  アクチュエータ
１００  ワーク
２、２Ａ  フレーム
３  案内機構
３ａ  第１レール
３ｂ  第２レール
４ａ、４ａＡ  第１スライダ
４ｂ、４ｂＡ  第２スライダ
４０  スライダユニット
４１  第１案内部材
４２  第２案内部材
４３  第３レール
４４  第３案内部材
４９ａ  第１ベルト連結部材
４９ｂ  第２ベルト連結部材
６、６Ｃ、６Ｄ  移動機構
６０、６０ａ、６０ｂ  カムフォロア
６１、６１ａ、６１ｂ、６１Ｃ、６１Ｄ  平面カム
６２、６３  溝
６４  凸部
６５、６６、６５Ｃ、６６Ｃ、６５Ｄ、６６Ｄ  平坦面
６７、６７Ｃ、６７Ｄ  カム面
６７１、６７２、６７１Ｃ、６７２Ｃ、６７１Ｄ、６７２Ｄ  曲面部
６７３、６７３Ｃ、６７３Ｄ  平面部
８  ベルト
８ａ  第１ベルト
８ｂ  第２ベルト
９  駆動モータ
９ａ  第１駆動モータ
９ｂ  第２駆動モータ
９１ａ  第１駆動プーリー
９１ｂ  第２駆動プーリー
９２ａ  第１従動プーリー
９２ｂ  第２従動プーリー
９３ａ  第１ベルトテンショナ
９３ｂ  第２ベルトテンショナ
Ｃ１、Ｃ２  中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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