(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン源フィラメントクランプであって、
第１端部と第２端部とを有するクランプ部材であって、上記第１端部はカム面およびカム従動子のうち一方を備え、上記クランプ部材は当該クランプ部材の上記第１端部に関連する第１部分と第２部分とを備え、当該第１部分と当該第２部分とは互いに向かい合い、かつ溝によって隔てられており、上記溝にはリード開口部がさらに規定され、当該リード開口部はイオン源フィラメントのリードを受け入れるように構成される、クランプ部材と、
アクチュエータピン軸に沿って伸びるアクチュエータピンであって、上記アクチュエータピンの第１セクションは上記クランプ部材の上記第１部分に連結され、上記アクチュエータピンは上記クランプ部材の上記第２部分にある貫通孔を通って伸び、かつ上記貫通孔と摺動係合している、アクチュエータピンと、
上記アクチュエータピンの第２セクションに動作可能に連結されるカム部材であって、上記カム部材はハンドルと、上記カム面および上記カム従動子のうち他方とを備え、上記カム部材はクランプ位置とクランプ解除位置との間で回転するように構成され、上記カム従動子は上記カム面と摺動して接触するように構成され、上記カム従動子は上記クランプ位置において第１の所定の様態で上記カム面と係合するように構成され、上記カム従動子は上記クランプ解除位置において第２の所定の様態で上記カム面と係合するように構成され、上記クランプ位置において上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分は互いに向かい合って押し付けられて、上記リード開口部内の上記リードにクランプ圧を掛け、上記クランプ解除位置において上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分は互いから離されて、上記リード開口部内の上記リードに掛かる上記クランプ圧を緩め、上記第１の所定の様態および上記第２の所定の様態のうち一方において、上記クランプ部材の上記第１部分と上記第２部分との間にばね張力が生み出され、上記第１の所定の様態と上記第２の所定の様態のうち他方において、上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分との間の上記ばね張力が緩められる、カム部材と、
を備えるイオン源フィラメントクランプ。
【請求項２】
上記アクチュエータピンは上記アクチュエータピンの上記第２セクションを半径方向に通って伸びる連結穴を備え、上記カム部材は上記連結穴を通って伸びる連結ピンを介して連結軸に沿って上記アクチュエータピンに動作可能に連結される、請求項１に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項３】
上記カム部材は上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに回転連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は上記連結軸回りの回転摺動係合である、請求項２に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項４】
上記カム部材は上記カム面を備え、上記クランプ部材の上記第１端部は上記カム従動子を規定する、請求項３に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項５】
上記カム面は、上記カム部材のうち上記ハンドルとは反対側にある円弧状部によって規定される、請求項４に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項６】
上記カム部材の上記円弧状部は上記連結軸回りに丸みを付けられた、請求項５に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項７】
上記カム部材は上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに固定して連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は上記アクチュエータピン軸回りの回転摺動係合である、請求項２に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項８】
上記カム部材は上記カム従動子を備え、上記クランプ部材の上記第１端部は上記カム面を規定する、請求項７に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項９】
上記カム面は上記クランプ部材の上記第１端部上に規定されるくさびを備え、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記アクチュエータピン軸回りの上記カム部材の回転時における上記くさびの傾斜部に沿った上記カム従動子の回転摺動係合である、請求項８に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１０】
上記カム部材は上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに固定して連結され、上記カム従動子は上記アクチュエータピンから半径方向に伸びる従動子ピンによって規定され、上記カム面は上記クランプ部材の上記第１端部の側壁中に規定されたカム溝によって規定され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は上記アクチュエータピン軸回りの上記アクチュエータピンの回転時における上記カム従動子と上記カム溝との摺動係合である、請求項２に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１１】
上記クランプ部材の上記第２端部はイオン源チャンバに取り付けできるように構成された取付領域を備える、請求項２に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１２】
上記クランプ部材は所定のバネ定数をもたらすように構成された熱処理金属を含む、請求項２に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１３】
イオン源フィラメントクランプであって、
第１端部と第２端部とを有するクランプ部材であって、上記第１端部はカム面およびカム従動子のうち一方を備え、上記第１端部は第１部分と第２部分とを有し、当該第１部分と当該第２部分とは互いに向かい合い、かつ溝によって隔てられており、上記溝にはリード開口部がさらに規定され、当該リード開口部はイオン源フィラメントのリードを受け入れるように構成される、クランプ部材と、
アクチュエータピン軸に沿って伸びるアクチュエータピンであって、上記アクチュエータピンの第１セクションは上記クランプ部材の上記第１部分に連結され、上記アクチュエータピンは上記クランプ部材の上記第２部分にある貫通孔を通って伸び、かつ上記貫通孔と摺動係合している、アクチュエータピンと、
上記アクチュエータピンの第２セクションに動作可能に連結されるカム部材であって、上記カム部材はハンドルと、上記カム面および上記カム従動子のうち他方とを備え、上記カム部材はクランプ位置とクランプ解除位置との間で回転するように構成され、上記カム従動子は上記カム面と摺動して接触するように構成され、上記カム従動子は上記クランプ位置において第１の所定の様態で上記カム面と係合し、上記カム従動子は上記クランプ解除位置において第２の所定の様態で上記カム面と係合し、上記第１の所定の様態および上記第２の所定の様態のうち１つは、上記クランプの上記第１部分と上記第２部分との間にばね張力を発生させながら上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分を互いに向かい合って押し付けて、上記リード開口部内の上記リードにクランプ圧を掛け、上記ばね張力は上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分を互いから離れるように広げて、上記リード開口部内の上記リードに掛かる上記クランプ圧を緩める、カム部材と、
を備えるイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１４】
上記アクチュエータピンは上記アクチュエータピンの上記第２セクションを半径方向に通って伸びる連結穴を備え、上記カム部材は上記連結穴を通って伸びる連結ピンを介して連結軸に沿って上記アクチュエータピンに動作可能に連結される、請求項１３に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１５】
上記カム部材は上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに回転連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は上記連結軸回りの回転摺動係合である、請求項１４に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１６】
上記カム部材は上記カム面を備え、上記クランプ部材の上記第１端部は上記カム従動子を規定する、請求項１５に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１７】
上記カム面は、上記カム部材のうち上記ハンドルとは反対側にある円弧状部によって規定される、請求項１６に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１８】
上記カム部材は上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに固定して連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は上記アクチュエータピン軸回りの回転摺動係合である、請求項１４に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項１９】
上記カム部材は上記カム従動子を備え、上記クランプ部材の上記第１端部は上記カム面を規定する、請求項１８に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【請求項２０】
上記カム面は上記クランプ部材の上記第１端部上に規定されるくさびを備え、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記アクチュエータピン軸回りの上記カム部材の回転時における上記くさびの傾斜部に沿った上記カム従動子の回転摺動係合である、請求項１９に記載のイオン源フィラメントクランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概してイオン注入システムに関し、より具体的には、イオン源カソードアセンブリにおいてフィラメントを選択的にクランプする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン注入システムは、陽イオンを半導体ワークピースの複数の領域に拡散または注入する半導体処理において、広く用いられている。通常、イオン源は、半導体ワークピースに注入するために用いられるイオンビームを生成する。イオン源は、通常、カソードを加熱するためのフィラメントを有する傍熱型カソードアセンブリを備える。
【０００３】
傍熱型カソードを有する従来のイオン源は、通常、アークチャンバ（プラズマチャンバとも称される）、カソードアセンブリ、フィラメント、絶縁ブロック、グラファイト支持板、およびフィラメントクランプアセンブリを備える。フィラメントは、カソードによって規定される空洞内に置かれる。カソードは、フィラメントからの電子衝撃によって加熱される。これにより、カソードは、アークチャンバ内に熱電子放射する。カソードに対するフィラメントの組み立ておよび位置付けは、イオン源の性能、効率、および寿命に直接的に関係する。
【０００４】
イオン注入システムカソードアセンブリにおいて採用される通常のフィラメントは、１本のフィラメントループがあいだに延びている２本のリードを備える。リードは、通常、各フィラメントクランプによって個別に定位置に保持される。これにより、フィラメントクランプのクランプあご部が、各フィラメントクランプの穴を通される一対のネジを介してリードの周りに締められる。少なくとも部分的には、イオン源が極高温であることに起因して、フィラメント由来の物質がネジのネジ山に堆積し、そのためネジを穴に通すことが困難になることがある。同様に、ネジ山が摩耗することがあり、それがネジ山同士の溶着につながって、リードに対してクランプを締めたり緩めたりできなくなることがある。さらに、イオン源において生じる高温により、冷間成形ネジ内の応力が緩み、これにより、フィラメントのリードを適切にクランプし、フィラメントのリードに適切な電気的接続をするのがさらに難しくなることがある。フィラメントへの電気的接続が危うくなったり、またはフィラメントクランプが適切に機能できなくなったりした場合、クランプの修理または交換が通常必要であり、イオン注入システムの維持費および休止時間が増加することとなる。
【発明の概要】
【０００５】
本開示は、イオン源用の頑丈なフィラメントクランプを提供する。当該フィラメントクランプは、イオン源用のフィラメントのリードを受け入れるとともにクランプするように構成される。それに沿って、以下に、本発明のいくつかの態様の基礎的理解を提供する目的で、本開示の簡略な概要を提示する。本概要は、本発明の広範な概観ではなく、本発明の主要なまたは重要な要素を特定することを意図したものでも、本発明の範囲を線引きすることを意図したものでもない。本概要の目的は、後述するより詳細な説明の準備として、本発明のコンセプトをいくつか簡略に提示することにある。
【０００６】
したがって、本開示によれば、イオン源フィラメントクランプが提供される。上記フィラメントクランプは、第１端部と第２端部とを有するクランプ部材を有する。上記クランプ部材の第１端部は、カム面およびカム従動子のうち一方を備え、上記第１端部は第１部分と第２部分とを有し、当該第１部分と当該第２部分とは互いに向かい合い、かつ溝によって隔てられている。上記溝にはリード開口部がさらに規定され、当該リード開口部は、イオン源フィラメントのリードを受け入れるように構成される。
【０００７】
アクチュエータピンは、アクチュエータピン軸に沿って伸び、かつ上記アクチュエータピンに関連する第１セクションと第２セクションとを有する。上記アクチュエータピンの第１セクションは、上記クランプ部材の上記第１部分に連結される。上記アクチュエータピンは、上記クランプ部材の上記第２部分にある貫通孔を通ってさらに伸び、かつ上記貫通孔と摺動係合している。
【０００８】
カム部材は、上記アクチュエータピンの上記第２セクションに動作可能にさらに連結され、上記カム部材は、ハンドルと、上記カム面および上記カム従動子のうち他方とを備える。上記カム部材は、クランプ位置とクランプ解除位置との間で回転するように構成される。上記カム従動子は、上記カム面と摺動して接触するように構成され、上記カム従動子は、上記クランプ位置において、第１の所定の様態で上記カム面と係合するように構成され、上記カム従動子は、上記クランプ解除位置において、第２の所定の様態で上記カム面と係合するように構成される。上記クランプ位置において上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分は互いに向かい合って押し付けられて、上記リード開口部内の上記リードにクランプ圧を掛ける。上記クランプ解除位置において上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分は互いから離されて、上記リード開口部内の上記リードに掛かる上記クランプ圧を緩める。上記第１の所定の様態および上記第２の所定の様態のうち一方において、例えば、上記クランプ部材の上記第１部分と上記第２部分との間にばね張力が生み出される。したがって、上記第１の所定の様態と上記第２の所定の様態のうち他方において、上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分との間の上記ばね張力が緩められる。
【０００９】
一例において、上記第１の所定の様態は、上記クランプの上記第１部分と上記第２部分との間にばね張力を発生させながら、上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分を互いに向かって押し付けて、上記リード開口部内の上記リードにクランプ圧を掛けることを含む。上記第２の所定の様態で、例えば、上記ばね張力は、上記クランプ部材の上記第１部分および上記第２部分を、互いから離れるように広げて、上記リード開口部内の上記リードに掛かる上記クランプ圧を緩める。
【００１０】
例示的な一態様によれば、上記アクチュエータピンは上記アクチュエータピンの上記第２セクションを半径方向に通って伸びる連結穴を備える。このため、上記カム部材は、上記連結穴を通って伸びる連結ピンを介して連結軸に沿って上記アクチュエータピンに動作可能に連結される。
【００１１】
一例において、上記カム部材は、上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに回転連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記連結軸回りの回転摺動係合である。上記カム部材は、例えば、上記カム面を備え、上記クランプ部材の上記第１端部は、上記カム従動子を規定する。このような例において、上記カム面は、上記カム部材のうち上記ハンドルとは反対側にある円弧状部によって規定されてもよい。上記カム部材の上記円弧状部は、上記連結軸回りに丸みを付けられている。
【００１２】
別の一例において、上記カム部材は、例えば上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに固定して連結され、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記アクチュエータピン軸回りの回転摺動係合である。このような例において、上記カム部材は、上記カム従動子を備えてもよく、上記クランプ部材の上記第１端部は、上記カム面を規定してもよい。例えば、上記カム面は、上記クランプ部材の上記第１端部上に規定されるくさびを備えてもよく、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記アクチュエータピン軸回りの上記カム部材の回転時における上記くさびの傾斜部に沿った上記カム従動子の回転摺動係合である。
【００１３】
さらに別の例において、上記カム部材は、上記連結ピンを介して上記アクチュエータピンに固定して連結され、上記カム従動子は上記アクチュエータピンから半径方向に伸びる従動子ピンによって規定される。このため、上記カム面は、上記クランプ部材の上記第１端部の側壁中に規定されたカム溝によって規定されてもよく、上記カム従動子が上記カム面と係合する上記第１の所定の様態は、上記アクチュエータピン軸回りの上記アクチュエータピンの回転時における上記カム従動子と上記カム溝との摺動係合である。
【００１４】
上記クランプ部材の上記第２端部は、例えば、イオン源チャンバに実装するように構成された実装領域をさらに備えてもよい。上記クランプ部材は、例えば、所定のバネ定数をもたらすように構成された熱処理金属を含んでもよい。
【００１５】
上述の概要は、本発明の一部の実施形態における一部の構成についての簡単な概観を提供することのみを意図している。他の実施形態は、付加的な構成、および／または上述の構成とは異なる構成を備えていてもよい。特に、本概要は、本願の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。このように、上述の目的および関連する目的を達成するために、本発明は、以下に説明され、かつ、特許請求の範囲において具体的に示された構成を備えている。以下の説明および添付の図面は、本発明のある例示的な実施形態を詳細に開示する。しかし、これらの実施形態は、本発明の本質が取りうる様々な態様のいくつかを示すに過ぎない。本発明の他の目的、利点、および新規な構成は、図面とともに考慮されることにより、以下の本発明の詳細な説明から、明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】本開示のいくつかの態様に係る、クランプ位置における、イオン源用の例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図１Ｂ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図１Ａの例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図１Ｃ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図１Ａから図１Ｂのフィラメントクランプの別の斜視図である。
【図１Ｄ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図１Ａから図１Ｃのフィラメントクランプの側面図である。
【図１Ｅ】本開示のさらなる態様に係る、図１Ａから図１Ｄのフィラメントクランプの分解斜視図である。
【図２Ａ】本開示のいくつかの態様に係る、クランプ位置における、イオン源用の別の例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図２Ｂ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図２Ａの例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図３Ａ】本開示のいくつかの態様に係る、クランプ位置における、イオン源用のさらに別の例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図３Ｂ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図３Ａの例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【図４Ａ】本開示のいくつかの態様に係る、クランプ位置における、イオン源用のさらに別の例示的なフィラメントクランプの側面図である。
【図４Ｂ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図４Ａの例示的なフィラメントクランプの側面図である。
【図４Ｃ】本開示のさらなる態様に係る、クランプ解除位置における、図４Ａから図４Ｂの例示的なフィラメントクランプの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本開示は、イオン源の電極をクランプするためのシステム、装置、および方法を全般的に対象としている。以降、本発明は、図面を参照して説明される。同様の参照番号は、同様の部材を一貫して参照するために用いられてもよい。本明細書において提供されている説明は単なる例示であると理解されるべきであり、この詳細な説明は限定的な意味に解釈されるべきではない。以下の記載では、説明のために、様々な具体的な詳細が、本発明に対する十分な理解を与えるために開示されている。但し、本発明はこれらの具体的な詳細がなくとも実施されてよいことは、当業者にとって明白であろう。さらに、本発明の範囲は、添付の図面を参照して以下に説明される実施形態または実施例によって限定されることを意図していない。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ限定されることが意図されている。
【００１８】
また、図面は、本開示の実施形態の一部の態様についての例を与えるために提供されていることに留意されたい。それゆえ、図面は概略的なものにすぎないと見なされるべきである。特に、図面に示されている複数の部材は、互いにスケール通りである必要は必ずしもない。図面中の各部材の配置は、各実施形態についての明確な理解を提供するために選択されている。当該配置は、本発明の一実施形態に係る実施における、様々な部材の実際の相対的な位置を示すものと必ずしも解釈されるべきではない。さらに、本明細書に記載されている様々な実施形態および実施例の構成は、特に明示されない限り、互いに組み合わせられてもよい。
【００１９】
また、以下の説明において、図面または本明細書中に示されている、機能ブロック、デバイス、部材、回路素子、または他の物理的または機能的なユニット間の任意の直接的な接続または連結は、間接的な接続または連結によって実施されうることが理解されるべきである。さらに、図面に示されている機能ブロックまたはユニットは、（ｉ）ある実施形態では個別の構成または回路として実施されてもよいし、あるいは、（ｉｉ）別の実施形態では共通の構成または回路において全体的または部分的に実施されてもよいことが理解されるべきである。例えば、いくつかの機能ブロックは、共通のプロセッサ（例：シグナルプロセッサ）上で動作するソフトウェアとして実施されてよい。さらに、以下の明細書において有線として記載されている任意の接続は、特に明示されない限り、無線通信として実施されてもよいことが理解されるべきである。
【００２０】
本開示の一態様によれば、図１Ａから図１Ｅは、イオン源（図示せず）用の例示的なフィラメントクランプ１００を示す。当該フィラメントクランプは、イオン源フィラメントのリードを選択的に保持するように構成される。フィラメントクランプ１００は、例えば、第１端部１０４および第２端部１０６を有するクランプ部材１０２を備える。フィラメントクランプ１００は、クランプ部材１０２に動作可能に連結されるカム部材１０８をさらに備える。クランプ部材１０２の第１端部１０４は、例えば、互いに向かい合い、かつ概して溝１１４によって隔てられた第１部分１１０と第２部分１１２とを有する。溝１１４にはリード開口部１１６がさらに規定される。当該リード開口部は、イオン源フィラメント（図示せず）のリードを受け入れるように構成される。
【００２１】
第１セクション１２２と第２セクション１２４とを有するアクチュエータピン１２０がさらに設けられる。当該アクチュエータピンは、図１Ｅに示すように、おおむねアクチュエータピン軸１２６に沿って伸びる。本例において、アクチュエータピン１２０の第１セクション１２２は、クランプ部材１０２の第１部分１１０に連結されるとともに、アクチュエータピンの第１セクションに対してアクチュエータピン軸におおむね沿って固定される。アクチュエータピン１２０は、クランプ部材１０２の第２部分１１２にある貫通孔１２８を通ってさらに伸びるとともに、貫通孔と摺動係合している。アクチュエータピン１２０は、アクチュエータピン軸１２６回りに回転するように構成されてもよい。このことにより、アクチュエータピンの第１セクション１２２は、クランプ部材１０２のくぼみ（図示せず）に存在するように構成される突起（図示せず）を備えてもよい。
【００２２】
本例におけるカム部材１０８は、アクチュエータピン１２０の第２セクション１２４に動作可能に連結される。当該カム部材は、ハンドル１３０と、カム面１３２およびカム従動子１３４のうち一方とを備える。本例において、図１Ａから図１Ｅに示すように、クランプ部材１０２の第１端部１０４は、カム従動子１３４を備え、一方、カム部材１０８は、カム部材１０８上において規定されたカム面１３２を備えるが、他の諸変形例も検討される。例えば、カム面１３２は、本例において、カム部材１０８と一体になっているように示されるが、カム面が、カム部材１０８またはクランプ部材１０２に取り付けられるもしくは連結される部材（図示せず）であるなど、他の構成も可能である。同様に、カム従動子１３４は、クランプ部材およびカム部材それぞれと一体になっていてもよいし、クランプ部材およびカム部材それぞれに動作可能に連結されてもよい。このような変形例はすべて、本開示の範囲内に含まれると考えられる。したがって、クランプ部材１０２およびカム部材１０８は、図１Ａから図１Ｅに示すように、カム従動子１３４およびカム面１３２をそれぞれ備えてもよいし、またはカム面およびカム従動子は、クランプ部材およびカム部材間で交換されてもよい。本開示が、カム従動子１３４およびカム面１３２のこのようないかなる配置も意図していることを理解されたい。
【００２３】
カム部材１０８は、例えば、クランプ位置１３６（図１Ａに示す）とクランプ解除位置１３８（図１Ｂに示す）との間で回転するように構成される。カム従動子１３４は、例えば、カム面１３２と摺動して接触するように構成される。図１Ａのクランプ位置１３６において、カム従動子は、第１の所定の様態１４０でカム面と係合する。本例において、第１の所定の様態１４０では、クランプ部材１０２の第１端部１０４の第１部分１１０および第２部分１１２は、互いに向かい合って押し付けられ、これによって、クランプ部材の第１端部の第１部分と第２部分との間にばね張力を発生させながら、リード開口部１１６内のリード（図示せず）にクランプ圧を掛ける。図１Ｂのクランプ解除位置１３８において、例えば、カム従動子１３４は、第２の所定の様態１４２でカム面１３２と係合する。ばね張力は、クランプ部材１０２の第１端部１０４の第１部分１１０および第２部分１１２を互いから離れるように広げて、リード開口部１１６内のリードに掛かるクランプ圧を緩める。
【００２４】
例示的な一態様によれば、図１Ｅに示すように、アクチュエータピン１２０は、当該アクチュエータピンの第２セクション１２４を半径方向に通って伸びる連結穴１４４を備える。このため、カム部材１０８は、例えば、連結穴１４４を通って伸びる連結ピン１４８を介して連結軸１４６に沿ってアクチュエータピン１２０に動作可能に連結される。
【００２５】
図１Ａから図１Ｅの本例において、カム部材１０８は、連結ピン１４８を介してアクチュエータピン１２０に回転連結される。カム従動子１３４がカム面１３２と係合する図１Ａの第１の所定の様態１４０は、連結軸１４６回りのカム面の回転摺動係合である。カム部材１０８は、例えば、カム面１３２を備え、クランプ部材１０２の第１端部１０４は、カム従動子１３４を規定する。このような例において、カム面１３２は、図１Ｅに示すように、カム部材１０８のうちハンドル１３０とは反対側にある（またはハンドル１３０と一体になっている）円弧状部１５０によって規定されてもよい。カム部材の円弧状部は、連結軸１４６回りに丸みを付けられている。
【００２６】
別の例において、図２Ａから図２Ｂに示すように、別の例示的なフィラメントクランプ２００を示す。カム部材１０８は、（例えば、連結ピン（図示せず）を介して）アクチュエータピン１２０に固定して連結される。カム従動子１３４がカム面１３２と係合する第１の所定の様態１４０は、図２Ａのアクチュエータピン軸１２６回りの回転摺動係合である。第１の所定の様態１４０では、フィラメントクレームをクランプ位置１３６にセットする。このような例において、カム部材１０８は、カム従動子１３４を備え得、クランプ部材１０２の第１端部１０４は、カム面１３２を規定し得る。例えば、カム面１３２は、クランプ部材１０２の第１端部１０４上に規定されるくさび１５２を備え得る。カム従動子１３４がカム面と係合する第１の所定の様態１４０は、アクチュエータピン軸１２６回りのカム部材１０８の回転時におけるくさびの傾斜部１５４に沿ったカム従動子の回転摺動係合である。図２Ｂは、例えば、カム従動子１３４がカム面１３２と係合する第２の所定の様態１４２を示す。第２の所定の様態１４２では、フィラメントクランプ２００をクランプ解除位置１３８にセットする。
【００２７】
さらに別の例において、図３Ａから図３Ｂに示すように、さらに別の例示的なフィラメントクランプ３００を提供する。カム部材１０８は、（例えば、連結ピン（図示せず）を介して）アクチュエータピン１２０に固定して連結される。また、カム従動子１３４は、アクチュエータピン１２０から半径方向に伸びる従動子ピン１５６によって規定される。このため、カム面１３２は、クランプ部材１０２の第１端部１０４の側壁１６０中に規定されたカム溝１５８によって規定されてもよい。カム従動子１３４がカム面と係合する第１の所定の様態１４０は、アクチュエータピン軸１２６回りのアクチュエータピン１２０の回転時におけるカム従動子とカム溝との摺動係合である。
【００２８】
別の例において、図４Ａから図４Ｃに示すように、さらに別の例示的なフィラメントクランプ４００を提供する。カム部材１０８は、連結ピン１４８を介してアクチュエータピン１２０に連結される。また、カム従動子１３４がカム面１３２と係合する図４Ａの第１の所定の様態１４０は、連結軸１４６回りのカム面の回転摺動係合である。本例において、カム部材１０８はカム面１３２を備え、クランプ部材１０２の第１端部１０４はカム従動子１３４を規定する。図４Ａに示すように、カム従動子１３４がカム面１３２と係合する第１の所定の様態１４０は、クランプ部材１０２の第１部分１１０と第２部分１１２との間のばね張力がおおむね緩められて、クランプ部材１０２の第１部分１１０および第２部分１１２をクランプ位置１３６の方へ押す様態である。
【００２９】
図４Ｂおよび図４Ｃに示すように、カム従動子１３４がカム面１３２と係合する第２の所定の様態を示す。当該第２の所定の様態において、クランプ部材１０２の第１部分１１０と第２部分１１２との間にばね張力がおおむね発生し、クランプ部材１０２の第１部分１１０と第２部分１１２とを押し離してクランプ解除位置１３８にする。
【００３０】
図１Ａから図１Ｅ、図２Ａから図２Ｂ、図３Ａから図３Ｂ、および図４Ａから図４Ｂにいくつかの例を示すが、以下のことに留意されたい。カム部材１０８、およびクランプ部材１０２の構成は、他のさまざまな形状であってもよい。これにより、カム従動子１３４がカム面１３２と係合する第１の所定の様態および第２の所定の様態のうち一方は、クランプ解除位置１３８およびクランプ位置１３６のうち一方を規定し、第１の所定の様態および第２の所定の様態のうち他方は、クランプ解除位置およびクランプ位置のうち他方を規定する。いかなるこのような構成も、本開示の範囲内であるとみなす。
【００３１】
さらに、別の例によれば、図１Ａから図１Ｅ、図２Ａから図２Ｂ、図３Ａから図３Ｂ、および図４Ａから図４Ｂに示すように、クランプ部材１０２の第２端部１０６は、イオン源チャンバ（図示せず）またはその１つ以上の構成要素に実装するように構成された実装領域１６２をさらに備えてもよい。さらに、クランプ部材１０２は、例えば、所定のバネ定数をもたらすように構成された、熱処理金属を含んでもよい。
【００３２】
本発明は、特定の実施形態または諸実施形態に関して図示および説明されているが、上述の諸実施形態は本発明のいくつかの諸実施形態の実施に関する例としてのみの役割を果たしており、本発明の適用例はこれらの諸実施形態に限定されないことに留意されたい。特に、上述の部材（アセンブリ、デバイス、および回路等）によって実現される様々な機能に関して、これらの部材を説明するために使用される用語（「手段」（means）への言及を含む）は、特に明示されない限り、説明された部材の特定の機能を実現する任意の部材（つまり、機能的に等価である部材）に対応するものであると意図されている。このことは、例え当該任意の部材が、本明細書において、本発明の例示的な諸実施形態にて説明された機能を実現する開示された構造と、構造的に等価でない場合にも当てはまる。さらに、本発明の特定の構成は、複数の実施形態のうちの１つの実施形態のみに関して開示されている場合がある。但し、任意または特定の用途について、望ましくかつ有益である場合には、このような構成は、他の諸実施形態の１つ以上の構成と組み合わせられてもよい。従って、本発明は、上述の実施形態に限定されるべきではない。本発明は、添付の特許請求の範囲およびその相当物によってのみ限定されることが意図されている。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
0006705889.tif 000003
【図１Ｃ】
0006705889.tif 000004
【図１Ｄ】
0006705889.tif 000005
【図１Ｅ】
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【図２Ａ】
0006705889.tif 000007
【図２Ｂ】
0006705889.tif 000008
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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