(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に導電性を有するレンズと、
導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部と、
導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部と、
を有し、
前記レンズと前記第１の保持部と前記第２の保持部とは導通し、
前記第２の保持部は、照明手段を有する、光学機器。
【請求項２】
表面に導電性を有するレンズと、
導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部と、
導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部と、
を有し、
前記レンズと前記第１の保持部と前記第２の保持部とは導通し、
前記第２の保持部は、作動距離を所定に保つ導電性を有するハカマ構造を有する、
光学機器。
【請求項３】
前記第２の保持部は、照明手段を有する、請求項２に記載の光学機器。
【請求項４】
前記第２の保持部は、前記ハカマ構造の前記第１の保持部と反対側の開口端部にスケールを有し、
前記スケールは導電性を有している、請求項２または３に記載の光学機器。
【請求項５】
前記レンズは、表面に透明導電膜を有する、請求項１から４までのいずれか１項に記載の光学機器。
【請求項６】
前記レンズ、前記第１の保持部及び前記第２の保持部のそれぞれの表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である、請求項１から５までのいずれか１項に記載の光学機器。
【請求項７】
前記レンズ、前記第１の保持部及び前記第２の保持部と導通し、外部アースに接続するアース手段と、
前記アース手段と前記第２の保持部との間に、前記アース手段と前記第２の保持部とに導通して設けられる支持部と、
を有する、請求項１から６までのいずれか１項に記載の光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学機器では、レンズに帯電防止機能を付して、静電気を排除したり、埃や異物の付着を防止したりする機能を備えた製品がある。例えば、特許文献１には、レンズ表面にＩＴＯ等の透明金属膜を設けて帯電防止する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子部品組立工程等において、静電気放電（ＥＳＤ）を防止した区域（ＥＰＡ）で作業が行われることがあるが、電子部品の精密化に伴い、従来にも増して静電気対策が求められるようになってきた。例えば、ＥＰＡに導入される拡大鏡や顕微鏡などの光学機器においても、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着の防止の観点から、帯電防止が求められている。上述のようなレンズ自体を帯電防止だけでは不十分であり、より効果的な帯電防止の技術が求められていた。この課題はＥＰＡに導入される光学機器に留まるものではなく、光学機器全般に亘って克服が期待されている課題であった。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みなされたものであって、光学機器において、帯電防止技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光学機器は、
表面に導電性を有するレンズと、
導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部と、
導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部と、
を有し、
前記レンズと前記第１の保持部と、前記第２の保持部とは導通し、
前記第２の保持部は、照明手段を有する。
本発明の光学機器は、
表面に導電性を有するレンズと、
導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部と、
導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部と、
を有し、
前記レンズと前記第１の保持部と前記第２の保持部とは導通し、
前記第２の保持部は、作動距離を所定に保つ導電性を有するハカマ構造を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、光学機器において、帯電防止技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態の照明拡大鏡の斜視図である。
【図２】第１の実施形態の照明拡大鏡の側面図（一部断面図）である。
【図３】第１の実施形態のレンズヘッドの分解断面図である。
【図４】第１の実施形態のレンズヘッドの断面図を一部拡大して示した図である。
【図５】第２の実施形態のスタンドベース型ルーペの斜視図である。
【図６】第２の実施形態のスタンドベース型ルーペの側面図である。
【図７】第２の実施形態のスタンドベース型ルーペの正面図（一部断面図）である。
【図８】第２の実施形態のスタンドベース型ルーペの側面図（一部断面図）である。
【図９】第３の実施形態の顕微鏡の断面側面図である。
【図１０】第３の実施形態の対物レンズユニットの断面図を一部拡大して示した図である。
【図１１】第４の実施形態のデスクルーペの断面図である。
【図１２】第５の実施形態のスケールルーペの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
≪実施形態の概要≫
本実施形態の光学機器では、ＥＰＡにおいて、安全に使用する機器の各部品の外観表面に導電性を持たせ導通させて、機器の帯電電荷をスムーズにＥＰＡグランドに逃がす。詳細は以下の実施形態で説明するが、先端に対物レンズまたは防塵ガラス等を持つ光学機器において、それらの部品（主に外観部品）を容易に導通させて適正な表面抵抗を確保させる機構を実現する。
【００１０】
≪第１の実施形態≫
＜照明拡大鏡１の構造＞
図１は照明拡大鏡１の斜視図である。図２は照明拡大鏡１の側面図であって、レンズヘッド１０を断面図で示している。
【００１１】
図示のように、照明拡大鏡１は、レンズヘッド１０と、アーム部３０と、連結ブラケット２０と、クランプ取付部４０とを備える。レンズヘッド１０は、連結ブラケット２０を介してアーム部３０の先端に取り付けられる。アーム部３０は、アーム架台３３を介して、クランプ取付部４０によってデスク９９等に固定される。なお、本実施形態では、便宜的に、アーム部３０において、レンズヘッド１０が取り付けられる側を先端（または先端側）と呼び、クランプ取付部４０が取り付けられる側を後端（または後端側）と呼ぶ。
【００１２】
＜アーム部３０の構造＞
アーム部３０は、レンズヘッド１０の支持部であって、先端側の第１アーム３１ａと、後端側の第２アーム３１ｂとを有し、それらは関節部３２で連結されている。すなわち、第１アーム３１ａの後端と、第２アーム３１ｂの先端が関節部３２で連結している。
第１アーム３１ａの先端には、レンズヘッド１０を連結するための連結ブラケット２０が取り付けられている。第１アーム３１ａの後端には、関節部３２が取り付けられている。
第１アーム３１ａは、所定間隔をおいて対向する一対の平行な金属製の棒材を略平行四辺形になるように連結し、金属製のスプリング３４ａで支えるようにした構造となっている。
【００１３】
第２アーム３１ｂの先端には、関節部３２が取り付けられている。第２アーム３１ｂの後端には、アーム架台３３が取り付けられている。
第２アーム３１ｂは、第１アーム３１ａと同様に、所定間隔をおいて対向する一対の平行な導電性の金属の棒材を略平行四辺形になるように連結し、金属製のスプリング３４ｂで支えるようにした構造となっている。
アーム部３０は、このような構造を有することで、アーム部３０のアーム架台３３で傾起可能に支持される。
【００１４】
第２アーム３１ｂの背面側（図２の右側）には、アースコネクタ３６が設けられている。アースコネクタ３６に取り付けられたアース線９８がＥＰＡグランドに接続することにより、照明拡大鏡１の全ての外観部品は導通され、帯電した電荷を良好にＥＰＡグランドに逃がすことができる。
【００１５】
＜レンズヘッド１０の構造＞
つづいて図２、図３及び図４を参照して、レンズヘッド１０の構造を具体的に説明する。図３は、レンズヘッド１０の分解断面図であって、図２のレンズヘッド１０を分解して示している。
【００１６】
レンズヘッド１０は、レンズ外枠５０と、第１レンズユニット６０と、第２レンズユニット７０とを着脱自在に組み付けている。第２レンズユニット７０は、使用者が必要に応じて使用する付加レンズユニットであり、レンズヘッド１０に含まれなくともよい。
【００１７】
＜レンズ外枠５０の構造＞
レンズ外枠５０は、金属や硬質合成樹脂等の剛性体で形成されている。
ただし、剛性体の表面抵抗は、後述するように、１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。
金属として、例えば、アルミニウム合金（より具体的にはアルミダイキャスト合金）やその表面を導電性材料でコーティング（塗装）加工して、上記表面抵抗の範囲としたものがある。また、硬質合成樹脂であれば、導電性物質を含有するものや、導電性材料でコーティング加工したもの等がある。
【００１８】
レンズ外枠５０は、環状のホルダ本体５１と、ホルダ本体５１の外周面から一体に延出する連結部５２とを有する。
【００１９】
ホルダ本体５１は、環状形状の内周面５３をレンズユニット装着孔としている。すなわち、内周面５３は、後述する第１レンズユニット６０のレンズ枠６１の外径と一致するように設けられている。
【００２０】
内周面５３の外側には、照明収容部５５が下側を開放して環状に形成されている。照明収容部５５には、複数のＬＥＤ素子を有するＬＥＤ照明部５９が収容される。照明収容部５５の下側には、ランプカバー５４が取り付けられている。ランプカバー５４は、例えば透明樹脂または乳白色の光拡散構造を有する樹脂で設けられている。ランプカバー５４についても、表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００２１】
ホルダ本体５１の上面には、内周面５３の上端外側部分において、環状平面に形成されたレンズヘッド配置面５６が設けられている。レンズヘッド配置面５６は、第１レンズユニット６０が収容されるときに、ホルダ収容面６９が当接する。
【００２２】
連結部５２は、例えば、アーム部３０の先端に設けられた連結ブラケット２０とノブ付きボルトで固定される。
【００２３】
＜第１レンズユニット６０の構造＞
第１レンズユニット６０は、第１レンズ１１と、第１レンズ１１を収容するレンズ枠６１有する。
第１レンズ１１は、例えば、１枚の光学ガラスで構成されている。第１レンズ１１は、表面に透明導電膜を有する。透明導電膜は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）やフッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）である。第１レンズ１１は、透明導電膜によって、表面の表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下に設定されている。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００２４】
透明導電膜の膜厚を調整することで、表面抵抗を所望に設定できる。なお、透明導電膜として、界面活性剤コート、水／アルコール系の導電性コーティング剤、ポリチオフェン系導電性ポリマーが用いられてもよい。なお、第１レンズ１１は、複数群複数枚で構成されてもよいが、その場合、少なくとも外部に露出しているレンズの表面（露出している面）に透明導電膜が設けられる。また、第１レンズ１１の材料として光学ガラスに限らず、樹脂が用いられてもよく、また、接合レンズでもよい。
【００２５】
レンズ枠６１は、弾性材からなる環状の弾性マウントである。弾性材として、例えば、ゴムやエラストマーがある。具体的には、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）等の剛性ゴムにカーボンを一定量練り込み表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲にコントロールしたものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００２６】
レンズ枠６１は、レンズ枠本体６１ａと、その上側にレンズ枠本体６１ａより若干外径の大きいフランジ状の第１顎部６２と、その上側にさらに若干外径が大きいフランジ状の第２顎部６３とを一体に有する。これにより、レンズ枠６１の上側領域には、段部が２段で形成されている。
【００２７】
レンズ枠６１の内周面６４には、より具体的には、第１顎部６２の形成位置の対応する内周面６４に、所定深さのレンズ収容溝６５が形成されている。このレンズ収容溝６５に、第１レンズ１１の外縁部分が嵌め込まれることで、第１レンズ１１がレンズ枠６１に収容される。
【００２８】
内周面６４において、レンズ収容溝６５より上側の領域では、第２顎部６３の形成位置に対応する位置まで、上方側ほど外径が大きくなる内周傾斜面６６となっている。
【００２９】
内周面６４において、第２顎部６３の形成位置に対応する位置、すなわち、内周傾斜面６６の上側の領域には、第２レンズユニット収容面６７が環状に形成されている。第２レンズユニット収容面６７に、第２レンズユニット７０が収容される。
【００３０】
第１顎部６２の外径は、レンズ外枠５０の内周面５３より若干小径に形成されている。
第１顎部６２の外周面には、周方向に所定間隔で複数箇所（例えば１２０度間隔で３カ所）に、収容係止凸部６８が形成されている。収容係止凸部６８は、第１顎部６２の外周面の周方向に長さを持った凸状（例えば断面半円）である。第１顎部６２の外周面の外径は、収容係止凸部６８を含めると、レンズ外枠５０の内周面５３の内径と一致または若干大径となっている。すなわち、第１レンズユニット６０がレンズ外枠５０に収容される場合、収容係止凸部６８と内周面５３により、径方向の位置決めがなされる。
【００３１】
＜第２レンズユニット７０の構造＞
第２レンズユニット７０は、付加レンズである第２レンズ１２と、第２レンズ１２を収容する付加レンズ枠７１と、を有する。
【００３２】
第２レンズ１２は、第１レンズ１１と同様に、１枚の光学ガラス、または複数群複数枚の光学ガラスで構成されている。第２レンズ１２は、表面に透明導電膜を有する。第２レンズ１２の表面抵抗は、例えば１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲にコントロールしたものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。なお、第１レンズ１１と第２レンズ１２の透明導電膜について、材料や膜厚が同じであってもよいし、異なってもよい。
【００３３】
付加レンズ枠７１は、レンズ枠６１と同様に、弾性材からなる環状の弾性マウントである。弾性材として、例えば、ゴムやエラストマーがある。具体的には、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）等の剛性ゴムにカーボンを一定量練り込み、表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲にコントロールしたものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００３４】
付加レンズ枠７１は、下側には、付加レンズ枠本体７１ａより若干外径の大きいフランジ状の顎部７２を有する。顎部７２の外径は、上述した第１レンズユニット６０の第２レンズユニット収容面６７の外径に略同一である。すなわち、第２レンズユニット７０を第１レンズユニット６０に取り付ける際に、第２レンズユニット７０の顎部７２（フランジ部）が、第１レンズユニット６０の第２レンズユニット収容面６７に嵌まる。
【００３５】
付加レンズ枠７１の内周面７３には、より具体的には、顎部７２の形成位置の対応する内周面７３に、所定深さのレンズ収容溝７４が形成されている。このレンズ収容溝７４に、第２レンズ１２の外縁部分が嵌め込まれることで、第２レンズ１２が付加レンズ枠７１に収容される。
内周面７３において、レンズ収容溝７４より上側の領域では、上方側ほど外径が大きくなる内周傾斜面７５となっている。
【００３６】
＜レンズヘッド１０の組み付け構造＞
ここで図４を参照して、レンズヘッド１０の組み付け構造を説明する。第１レンズ１１を収容する第１レンズユニット６０は、レンズ外枠５０の内周面５３に嵌め込まれると、第２顎部６３のホルダ収容面６９が、レンズ外枠５０のレンズヘッド配置面５６に当接する。
【００３７】
このとき、第１顎部６２の周面に形成された収容係止凸部６８がレンズ外枠５０の内周面５３に押しつけられて弾性変形する。これによって、第１レンズユニット６０は、レンズ外枠５０の適正位置に組み付けられる。
【００３８】
さらに、使用者が第２レンズユニット７０を使用する場合には、第１レンズユニット６０の上に、すなわち、第１レンズユニット６０の第２レンズユニット収容面６７に、第２レンズユニット７０の顎部７２の底面７６を当接させて配置する。
これによって、レンズ外枠５０、第１レンズユニット６０、及び第２レンズユニット７０は、一体に組み付けられる。このとき、レンズ外枠５０、第１レンズユニット６０、及び第２レンズユニット７０は、レンズヘッド配置面５６の付近近傍（領域Ａ１）で厚さ方向に重なっているため、それら構成要素相互間での静電気の抜けがよい。
【００３９】
＜照明拡大鏡１の導通構造及びその効果＞
照明拡大鏡１の導通構造およびその効果を纏めて説明する。
【００４０】
（特徴１）
第１レンズユニット６０は、導電性を有する第１レンズ１１と、導電性を有するレンズ枠６１とが一体に組み付けられている。このとき、第１レンズ１１がレンズ枠６１に弾性力により密着状態で嵌め込まれているので、それらは理想的かつ容易に導通が可能になる。
第２レンズユニット７０は、導電性を有する第２レンズ１２と、導電性を有する付加レンズ枠７１とが一体に組み付けられている。第１レンズユニット６０と同様に、第２レンズ１２が付加レンズ枠７１に弾性力により密着状態で嵌め込まれているので、それらは理想的かつ容易に導通が可能になる。
レンズ外枠５０は、上述したように、導電性を有する。そして、第１レンズユニット６０がレンズ外枠５０に弾性力により密着状態で嵌め込まれているので、それらは理想的かつ容易に導通が可能になる。
したがって、レンズヘッド１０において、レンズ外枠５０、第１レンズユニット６０、第２レンズユニット７０が一体に組み付けられた状態で、それら構成要素が相互に導通している。
【００４１】
アーム部３０は、第１アーム３１ａ、第２アーム３１ｂ、それらを連結する関節部３２、およびスプリング３４ａ、３４ｂが金属、すなわち導電性を有する部材で一体に組み付けられている。このため、アーム部３０の各構成要素が相互に導通している。
【００４２】
このように、照明拡大鏡１は、全体として導通性を有するレンズヘッド１０と、同じく全体として導通性を有するアーム部３０とが、導通性を有する連結ブラケット２０で連結している。そして、照明拡大鏡１は、アーム部３０に設けられたアースコネクタ３６からアース線９８を介してＥＰＡグランドに接続する。その結果、照明拡大鏡１の全ての外観部品は導通され、帯電した電荷は良好にＥＰＡグランドに逃がすことができる。
【００４３】
したがって、本実施形態によると、ＥＰＡに導入される照明拡大鏡１として、好適な帯電防止がなされ、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着を効果的に防止できる。一般的には光学部品のレンズホルダ（レンズ鏡枠）は金属や樹脂材料で製作される。そして、静電気対策が必要な場合には金属枠を採用したり、樹脂部品の場合には導電塗装や導電性樹脂等を使用し、レンズには導電コーティングを施す方法がある。このような従来の方法はコスト高になるばかりか、金属部品は抵抗値が低く近接にある電気部品等の静電破壊を起こす危険がある。実際はコストや入手容易性等の観点から金属部品で済ましている場合が多い。しかし、本実施形態の照明拡大鏡１のように、レンズ枠６１、付加レンズ枠７１をゴムやエラストマー等の弾性体として導電性を持たせ、さらに、それら以外の構成部品（特に表面に露出している部分）ついても導電性能を持たせ、相互に導通させることで、リーズナブルなコストや入手容易性を実現しつつ、適切な静電気対策を実現できる。
【００４４】
（特徴２）
照明拡大鏡１の構成要素、すなわち、レンズヘッド１０、連結ブラケット２０、アーム部３０、クランプ取付部４０の表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である場合、帯電した人・物体が触れたときであっても、一気に放電せず緩やかに放電することから、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止を効果的に実現できる。
本願発明者は、ＥＰＡ内での作業者を観察して次の知見を得た。すなわち、ＥＰＡ内での作業者は、良好な視認性の維持のために第１レンズ１１や第２レンズ１２に直接触れることを極力避けようとする傾向がある。しかし、レンズ外枠５０やレンズ枠６１、付加レンズ枠７１については、積極的に接触を避けようとすることはない傾向がある。逆に、レンズ位置（すなわちレンズヘッド１０の位置）の調整のために触れることもある。したがって、本実施形態のように、普段から帯電しないような構成とすること、また、帯電した人・物体が触れたときに一気に放電せず緩やかに放電するような構成とすることで、帯電防止機能とＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止機能を高いレベルで両立できる。
【００４５】
≪第２の実施形態≫
図５〜８を参照して、本実施形態のスタンドベース型ルーペ１０１について説明する。図５はスタンドベース型ルーペ１０１の斜視図である。図６はスタンドベース型ルーペ１０１の側面図である。図７はスタンドベース型ルーペ１０１の正面図でありレンズヘッド１１０を断面図として示した図である。図８はスタンドベース型ルーペ１０１の側面図でありレンズヘッド１１０を断面図として示した図である。第１の実施形態と異なる点は、支持部（架台）としてアーム部３０の代わりに支柱１３０、横棒の支持アーム１５２及び作業テーブル１４０を用いた点、また、ＬＥＤ照明部５９（ＬＥＤ基板）を省いた点にある。以下、具体的に説明する。
【００４６】
＜スタンドベース型ルーペ１０１の全体構成＞
スタンドベース型ルーペ１０１は、レンズヘッド１１０と、継ぎ手１２０と、支柱１３０と、作業テーブル１４０とを有する。なお、図６〜８では、作業テーブル１４０の上に試料台１８０が置かれている状態を示している。
【００４７】
＜継ぎ手１２０、支柱１３０、作業テーブル１４０の構造＞
継ぎ手１２０、支柱１３０及び作業テーブル１４０は、それぞれ金属製であって、表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００４８】
作業テーブル１４０には、後方側においてアース線１９８がネジ止めされている。また、作業テーブル１４０の後方側の左右中央付近には、垂直に延びる支柱１３０が設けられている。
【００４９】
支柱１３０には継ぎ手１２０が取り付けられ、この継ぎ手１２０にレンズヘッド１１０が取り付けられる。継ぎ手１２０は、水平方向に貫通する水平貫通孔と、垂直方向に貫通する垂直貫通孔とを有する。水平貫通孔にレンズヘッドホルダ１５０の支持アーム１５２が挿入され、垂直貫通孔に支柱１３０が挿入され、それぞれがノブ付きボルトで固定される。これによって、レンズヘッド１１０が支柱１３０に取り付けられる。
【００５０】
＜レンズヘッド１１０の構造＞
レンズヘッド１１０は、レンズヘッドホルダ１５０と、第１レンズユニット１６０と、第２レンズユニット１７０とを有する。
第１レンズユニット１６０は、筒状のレンズヘッドホルダ１５０に収容される。
第２レンズユニット１７０は、使用者が必要に応じて使用する付加レンズユニットであって、第１レンズユニット１６０の上側に配置される。
【００５１】
＜レンズヘッドホルダ１５０の構造＞
レンズヘッドホルダ１５０は、第１の実施形態のレンズ外枠５０と同様に、金属や導電性材料でコーティング加工された硬質合成樹脂等の剛性体で形成されている。その表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００５２】
レンズヘッドホルダ１５０は、筒状のホルダ本体１５１と、ホルダ本体１５１の外周面から一体に延出する棒状の支持アーム１５２と、を有する。
【００５３】
ホルダ本体１５１は、その内周面１５３をレンズユニット装着孔としている。すなわち、内周面１５３は、第１レンズユニット１６０のレンズ枠１６１の外径と一致するように設けられている。
【００５４】
筒状のホルダ本体１５１の上端部分には、内周面１５３側が一段下がったレンズヘッド配置面１５６が環状に形成されている。レンズヘッド配置面１５６の径は、後述する第１顎部６２の外径と一致する。レンズヘッド配置面１５６に、後述する第１レンズユニット１６０の配置面１６３が配置され支持される。
【００５５】
支持アーム１５２は、継ぎ手１２０に水平方向に形成された貫通孔に挿入され、ノブ付きボルトにより固定される。
【００５６】
＜第１レンズユニット１６０の構造＞
第１レンズユニット１６０は、第１レンズ１１１と、第１レンズ１１１を収容するレンズ枠１６１と有する。
【００５７】
第１レンズ１１１は、第１の実施形態の第１レンズ１１と同様に、表面にＩＴＯ等の透明導電膜を有する。第１レンズ１１１は、透明導電膜によって表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲とされている。
【００５８】
レンズ枠１６１は、第１の実施形態のレンズ枠６１と同様に、ゴムやエラストマーのような弾性材からなる環状の弾性マウントである。弾性材は、例えば、ＥＰＤＭ等の剛性ゴムにカーボンを一定量練り込み表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲にコントロールしたものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００５９】
レンズ枠１６１の外周面の上端には、径外側に膨らんだフランジ状の顎部１６２が一体に設けられている。顎部１６２の外径は、レンズヘッド配置面１５６の内径と一致する。
【００６０】
レンズ枠１６１の内周面の上下方向略中央付近には、所定深さのレンズ収容溝１６５が周方向に亘って形成されている。このレンズ収容溝１６５に、第１レンズ１１１の外縁部分が嵌め込まれることで、第１レンズ１１１がレンズ枠１６１に収容される。
【００６１】
レンズ枠１６１の内周面の上端部分には、一段下がった階段状の嵌合部１６６が形成されている。第２レンズユニット１７０を第１レンズユニット１６０の上に配置する際に、この嵌合部１６６に第２レンズユニット１７０の嵌合部１７６が嵌め込まれる。
【００６２】
＜第２レンズユニット１７０の構造＞
第２レンズユニット１７０は、第２レンズ１１２と、第２レンズ１１２を収容する付加レンズ枠１７１と、を有する。
【００６３】
第２レンズ１１２は、第１レンズ１１１と同様に、表面に透明導電膜を有する。第２レンズ１２の表面抵抗は、例えば１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００６４】
付加レンズ枠１７１は、レンズ枠１６１と同様に、弾性材からなる環状の弾性マウントであって、表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲に管理したものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００６５】
付加レンズ枠１７１は、下側端部内側部分が一段下に凸になった嵌合部１７６が形成されている。上述のように、第２レンズユニット１７０を第１レンズユニット１６０に配置する際に、嵌合部１７６が第１レンズユニット１６０の嵌合部１６６に嵌め込まれる。
【００６６】
＜スタンドベース型ルーペ１０１の導通構造及びその効果＞
スタンドベース型ルーペ１０１は、第１の実施形態の照明拡大鏡１と同様の導通構造及び効果を有する。したがって、ＥＰＡに導入されるスタンドベース型ルーペ１０１として、好適な帯電防止がなされ、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着を効果的に防止できる。
【００６７】
≪第３の実施形態≫
図９及び図１０を参照して、本実施形態の顕微鏡２０１について説明する。
図９は顕微鏡２０１の全体の縦断面図である。図１０は図９の領域Ｃを拡大して示す図であって、対物レンズユニット２２０及びその取付部２１５の構造を示す。
【００６８】
＜顕微鏡２０１の全体構成＞
図９に示すように、顕微鏡２０１は、接眼レンズユニット２９０と、対物レンズユニット２２０と、鏡柱２１０（ボディ）とを有する。
【００６９】
＜鏡柱２１０の構成＞
鏡柱２１０は、ステージ２１１と、鏡筒２１６と、ベース部２１７と、スタンド２１８と、アーム部２１９とを有する。
【００７０】
アーム部２１９の上側に鏡筒２１６が設けられている。鏡筒２１６の下側部分が対物レンズユニット２２０を取り付ける取付部２１５となっている。鏡筒２１６は、観察光軸上の対物レンズユニット２２０によって集光された光を接眼レンズユニット２９０に入射する光学系を有する。ベース部２１７は脚部として機能するとともに、その背面にステージ２１１を保持するスタンド２１８を立設させている。アーム部２１９は、スタンド２１８に支持されて前面側に向かって延在する。
【００７１】
これら構成要素のそれぞれ表面（外部に露出している領域）は導電性を有している。表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
そして、構成要素が一体に組み付けられた状態、すなわち鏡柱２１０として各構成要素は導通しており、表面抵抗が上記値の範囲である。
【００７２】
＜対物レンズユニット２２０の構成＞
図１０を参照して、対物レンズユニット２２０の構造を説明する。対物レンズユニット２２０は、光学系においてステージ２１１側の第１対物レンズユニット２５０と、接眼レンズユニット２９０側の第２対物レンズユニット２７０とを有する。
【００７３】
第１対物レンズユニット２５０は、第１対物レンズ２６１と、第１対物レンズ２６１を内部に収容する第１レンズ保持部２５１と、を有する。
【００７４】
第１対物レンズ２６１は、例えば接合レンズであって、上述の第１及び第２の実施形態と同様に透明導電膜を有する。第１対物レンズ２６１の表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、観察者や別の部材（標本２０２等）との接触を考慮すると、第１対物レンズ２６１の透明導電膜は、外部に露出する面、すなわちステージ２１１の面に設けられればよい。
【００７５】
第１レンズ保持部２５１は、例えば、ゴムやエラストマー等の弾性体に導電性を持たせた筒状の形状を呈する。第１レンズ保持部２５１の表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００７６】
第１レンズ保持部２５１は、内周面に設けられたレンズ収容部２５２と、レンズ収容部２５２に配置した第１対物レンズ２６１を外側から押さえて係止する固定部２５４とを有する。また、第１レンズ保持部２５１は、第１対物レンズ２６１が配置される側とは反対側の開口２５３の部分に、第２レンズ保持部２７１と嵌合固定するための嵌合部２５５を有する。第１レンズ保持部２５１の弾性力により、嵌合部２５５は第２レンズ保持部２７１に密着状態で嵌め込まれている。
【００７７】
このような構成により、第１対物レンズ２６１と第１レンズ保持部２５１とは導通し、第１対物レンズユニット２５０として導電性を有している。
【００７８】
第２対物レンズユニット２７０は、第２対物レンズ２６２と、第２対物レンズ２６２を収容する第２レンズ保持部２７１と、を有する。
【００７９】
第２対物レンズ２６２は、顕微鏡２０１の内部に収容され使用時に外部に露出しないので、特に静電気対策は施さなくてもよい。すなわち、透明導電膜は不要である。
【００８０】
第２レンズ保持部２７１は、例えば、導電塗装により表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下にコントロールした金属により形成されている。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
レンズ保持部２７１の材料として、表面抵抗が上記値の範囲にコントロールされており所望の強度を有していれば、ゴムや樹脂製材料でもよい。
【００８１】
このような構成により、第１対物レンズ２６１、第１レンズ保持部２５１と、第２レンズ保持部２７１は導通している。すなわち、対物レンズユニット２２０の少なくとも外部に露出している部分の構成が導通している。
【００８２】
また、対物レンズユニット２２０は、導電性を有する鏡柱２１０のアース端子に取り付けられたアース線２９８により、ＥＰＡグランドに接続される。
【００８３】
＜顕微鏡２０１の導通構造及びその効果＞
顕微鏡２０１は、第１の実施形態の照明拡大鏡１や第２の実施形態のスタンドベース型ルーペ１０１と同様の導通構造及び効果を有する。したがって、ＥＰＡに導入される顕微鏡２０１として、好適な帯電防止がなされ、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着の防止を効果的に実現できる。また、顕微鏡の対物レンズ枠がゴムであり、対物レンズが観察物に極めて接近することから、ゴム枠が観察物に衝突した場合でも、観察物を傷つけることを防止できる。
【００８４】
≪第４の実施形態≫
図１１を参照してデスクルーペ３００について説明する。図１１は、デスクルーペ３００の縦断面図である。デスクルーペ３００の形状自体は、公知のデスクルーペと同様の形状である。異なる点は、デスクルーペ３００全体として導電性を有する点にある。
【００８５】
＜デスクルーペ３００の構成＞
デスクルーペ３００は、レンズ３１２と、レンズホルダ３６０と、ハカマ３５０とを有する。
【００８６】
＜レンズ３１２の構成＞
レンズ３１２は、例えば１枚の光学ガラスで構成されており、その表面に透明導電膜が設けられている。表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００８７】
＜レンズホルダ３６０の構成＞
レンズホルダ３６０は、弾性材からなる環状の弾性マウントである。弾性材として、例えば、ゴムやエラストマーがある。具体的には、ＥＰＤＭ等の剛性ゴムにカーボンを一定量練り込み表面抵抗を１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲にコントロールしたものである。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００８８】
レンズホルダ３６０の内周面３６３にはレンズ３１２の外縁を嵌め込む溝状のレンズ係止凹部３６４が周方向に亘って形成されている。レンズホルダ３６０の下側端部には、ハカマ３５０を取り付けるための嵌合部３６２が設けられている。
【００８９】
＜ハカマ３５０の構成＞
ハカマ３５０は「スカート」とも称されており、筒状形成され、焦点距離を考慮し作動距離に概略保つ構造を有する。ハカマ３５０の内周面３５３は、例えば、内周面３５３の断面において下側が若干外側に広がった形状であるが、この形状に限る趣旨でなく、内周面３５３の内径が一定の形状であってもよい。ハカマ３５０の上側端部には、レンズホルダ３６０の嵌合部３６２と嵌合する嵌合部３５２が設けられている。
【００９０】
ハカマ３５０は導電性の樹脂や金属で構成されており、その表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下の範囲である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００９１】
＜デスクルーペ３００の導通構造及びその効果＞
本実施形態のデスクルーペ３００では、デスクルーペ３００の表面全体が、上記値の表面抵抗にコントロールされた導電性を有することから、ハカマ３５０が観察物に接近する場合でも、ＥＳＤに伴う観察物（検査対象物）の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着を効果的に防止できる。なお、本実施形態のデスクルーペ３００や第５の実施形態で説明するスケールルーペ４００をＥＰＡで使用する場合は、それらは人の手で操作されることから、静電防止用リストストラップを介してＥＰＡグランドへ電荷を逃がす必要がある。
【００９２】
≪第５の実施形態≫
図１２を参照してスケールルーペ４００について説明する。図１２はスケールルーペ４００の縦断面図である。図１１で示したデスクルーペ３００と異なる点は、ハカマ４５０にＬＥＤ照明部４７０を設けた点と、ハカマ４５０の下端にガラススケール４９０を設けた点にある。以下では、主に異なる点について説明し、同様の構成・機能については説明を適宜省略する。
【００９３】
＜スケールルーペ４００の構成＞
スケールルーペ４００は、レンズ４１２と、レンズ４１２を保持する弾性マウントのレンズホルダ４６０と、ハカマ４５０とを有する。
【００９４】
＜レンズ４１２、ハカマ４５０の構成＞
レンズ４１２は、レンズホルダ４６０の内周面４６３に設けられたレンズ係止凹部４６４に嵌め込まれている。レンズホルダ４６０には、嵌合部４５２、４６２によりハカマ４５０が取り付けられている。
【００９５】
＜ガラススケール４９０の構成＞
ハカマ４５０の下端部には、スケール固定部４８０によって取り付けられた透明なガラススケール４９０が設けられている。これによって、ハカマ４５０の下端の開口が塞がれている。ガラススケール４９０の少なくとも下側の面（外側に露出している側の面）は、透明導電膜とされている。その表面抵抗は１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００９６】
また、スケール固定部４８０は例えば樹脂成形品や金属である。特に固定構造については限定しないが、少なくとも外部に露出している部分はスケール固定部４８０の表面抵抗が１×１０５Ω／□以上１×１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
【００９７】
＜ＬＥＤ照明部４７０の構成＞
また、ハカマ４５０の内周面４５３には、ＬＥＤ照明部４７０が設けられている。具体的には、ハカマ４５０の内周面４５３は嵌合部４５２、４６２が形成される境界付近に段状になった環状の取付面４６５が形成されている。取付面４６５に環状のＬＥＤ照明部４７０が設けられている。
【００９８】
＜スケールルーペ４００の導通構造及びその効果＞
本実施形態のデスクルーペ４００では、ガラススケール４９０が導電性を有するとともにデスクルーペ４００の表面全体が、表面抵抗が上記値にコントロールされた導電性を有することから、ハカマ４５０が観察物に接近する場合でも、ＥＳＤに伴う観察物（検査対象物）の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着を効果的に防止できる。
【００９９】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成（変形例）を採用することもできる。
【０１００】
≪第１〜第４の実施形態のまとめ≫
本実施形態の特徴を纏めると次の通りである。
（１）本実施形態の光学機器は、表面に導電性を有するレンズと、
導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部と、
導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部と、
を有し、
前記レンズと前記第１の保持部と前記第２の保持部とは導通している。
本実施形態の光学機器は、全体が理想的な表面抵抗を持ち、好適な帯電防止がなされている。その結果、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止や、帯電が原因となる埃や異物の付着を効果的に防止できる。また、リーズナブルなコストや入手容易性を実現しつつ、適切な静電気対策を実現できる。
（２）前記レンズは、表面に透明導電膜を有する。
（３）前記レンズ、前記第１の保持部及び前第２の保持部のそれぞれの表面抵抗が１０５Ω／□以上１０１１Ω／□以下である。なお、表面抵抗は、上限については、より好ましくは、１×１０９Ω／□以下、さらにより好ましくは１×１０８Ω／□以下である。また、下限については、より好ましくは１×１０６Ω／□以上、さらにより好ましくは１×１０７Ω／□以上である。
構成部品の表面抵抗を上記値にコントロールすることで、帯電した人・物体が触れたときであっても、一気に放電せず緩やかに放電することから、ＥＳＤに伴う検査対象物の破壊防止を効果的に実現できる。
（４）前記レンズ、前記第１の保持部及び前記第２の保持部と導通し、外部アースに接続するアース手段と、
前記アース手段と前記第２の保持部との間に、前記アース手段と前記第２の保持部とに導通して設けられる支持部と、
を有する。
すなわち、アース手段（アース線）を介してＥＰＡグランドに接続することで、光学機器に帯電した静電気を適切にＥＰＡグランドに逃がすことができる。
（５）前記第２の保持部は、照明手段を有する。
照明手段が設けられる場合でも、帯電に伴う誤動作や故障を防止できる。
（６）前記第２の保持部は、作動距離を所定に保つ導電性を有するハカマ構造を有する。
光学機器がハカマ構造を有するルーペである場合でも、ハカマが導電性を有するので、観察に伴う帯電を防止できる。
（７）前記第２の保持部は、前記ハカマ構造の前記第１の保持部と反対側の開口端部にスケールを有し、
前記スケールは導電性を有する。
ハカマ構造にスケールが設けられる場合でも、スケールが導電性を有するので、観察に伴う帯電を防止できる。
【符号の説明】
【０１０１】
１  照明拡大鏡
１０、１１０  レンズヘッド
１１、１１１  第１レンズ
１２、１１２  第２レンズ
３０  アーム部
４０  クランプ取付部
５０  レンズ外枠
５１、１５１  ホルダ本体
５９、４７０  ＬＥＤ照明部
６０、１６０  第１レンズユニット
６１、１６１  レンズ枠
７０、１７０  第２レンズユニット
７１、１７１  付加レンズ枠
１０１  スタンドベース型ルーペ
１２０  継ぎ手
１３０  支柱
１４０  作業テーブル
１５０  レンズヘッドホルダ
１５２  支持アーム
２０１  顕微鏡
２１０  鏡柱
２２０  対物レンズユニット
２５０  第１対物レンズユニット
２５１  第１レンズ保持部
２５２  レンズ収容部
２６１  第１対物レンズ
２６２  第２対物レンズ
２７０  第２対物レンズユニット
２７１  第２レンズ保持部
２７１  レンズ保持部
２９０  接眼レンズユニット
３００  デスクルーペ
３１２、４１２  レンズ
３５０、４５０  ハカマ
３６０、４６０  レンズホルダ
４００  デスクルーペ
４００  スケールルーペ
４５０  ハカマ
４９０  ガラススケール
【要約】
【課題】光学機器において、帯電防止技術を提供する。
【解決手段】光学機器（照明拡大鏡１）は、表面に導電性を有するレンズ（第１レンズ１１）と、導電性を有するゴム状の弾性体からなり、前記レンズを保持する第１の保持部（レンズ枠６１）と、導電性を有し、前記第１の保持部を保持する第２の保持部（レンズ外枠５０）と、を有し、前記レンズ（第１レンズ１１）と前記第１の保持部（レンズ枠６１）と前記第２の保持部（レンズ外枠５０）とは導通している。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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