(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の性状を測定し測定データを出力する測定データ取得手段と、
少なくとも、１以上の規格化パラメータを用いて定義された規格外のパラメータである新パラメータの定義式を構成する前記１以上の規格化パラメータを含む、所定の規格化パラメータ及びグラフ要素の値を前記測定データを用いて演算する解析手段と、
図表中に、前記解析手段で値が演算された、前記定義式を構成する前記規格化パラメータ及び前記グラフ要素の演算結果が少なくとも示された解析結果画面を生成し、表示手段に表示する解析結果画面生成手段と、
前記定義式の入力を受け付けるための定義式入力画面を生成し前記表示手段に表示する定義式入力画面生成手段と、
前記定義式に前記規格化パラメータ及び前記グラフ要素の値を代入して前記新パラメータの値を演算する新パラメータ演算手段と、
前記規格化パラメータの値の演算結果と前記新パラメータの値の演算結果とを併せて出力する演算結果統合手段と、
を備え、
前記定義式入力画面生成手段は、前記解析結果画面に含まれる前記規格化パラメータ及び前記グラフ要素の演算結果の表示部分に対するポインティングデバイスの操作により、当該規格化パラメータ及び当該グラフ要素を、前記定義式を構成する前記規格化パラメータ及び前記グラフ要素として前記定義式入力画面に入力可能に構成されている
ことを特徴とするパラメータ演算装置。
【請求項２】
前記定義式入力画面生成手段は、前記定義式入力画面に定義式が入力されると前記新パラメータ演算手段で演算された前記新パラメータの値を表示することを特徴とする請求項１に記載のパラメータ演算装置。
【請求項３】
前記定義式入力画面を介して入力された定義式を記憶する定義式記憶手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のパラメータ演算装置。
【請求項４】
前記新パラメータ演算手段は、前記定義式記憶手段から前記定義式を読み出し、前記規格化パラメータ及び前記グラフ要素の値を代入して前記新パラメータの値を演算する
ことを特徴とする請求項３に記載のパラメータ演算装置。
【請求項５】
前記定義式入力画面は、前記定義式の構成要素が割り付けられたボタンに対するポインティングデバイスの操作により当該構成要素を入力可能に構成されていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のパラメータ演算装置。
【請求項６】
コンピュータを請求項１から５のいずれか１項に記載のパラメータ演算装置として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の性状を示すパラメータの値の演算に関し、具体的には規格化されたパラメータの値に加え規格外のパラメータの値の演算を可能とし、かつ、各パラメータの値の演算結果を併せて出力可能とするパラメータ演算装置及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
物の性状はさまざまなパラメータによって表現することができる。物の表面粗さに関していえば、例えば、粗さ曲線の最大山高さ (Ｒｐ)、最大谷深さ(Ｒｖ)、最大高さ(Ｒｚ)などのパラメータで表現され、代表的なパラメータはＪＩＳやＩＳＯなどで規格化されている。
【０００３】
表面粗さを表現する各パラメータの値は、被測定物の表面をスタイラスなどにより走査し、走査過程での上下変位を測定して得られた測定曲線に所定のフィルタリング処理を施すことで得られる断面曲線や粗さ曲線などの輪郭曲線に基づいて算出する。このような測定やデータ処理によるパラメータの値の演算は、既に広く普及している表面性状測定機により自動的に行うことが可能となっている。従来の表面性状測定機として、例えば特許文献１に記載のものなどが挙げられる。
【０００４】
従来の表面性状測定機のパラメータ演算に係る部分（以下「パラメータ演算装置１０」という。）の機能ブロック図の一例を図２１に示す。パラメータ演算装置１０は、測定データ取得手段１１、条件設定画面生成手段１２、解析手段１３、解析結果画面生成手段１４、及び表示手段１５を備える。測定データ取得手段１１は、スタイラスなどにより被測定物の表面を走査することによって得られた被測定物の表面性状の測定データを取得する。条件設定画面生成手段１２は、測定データ取得手段１１で取得した測定データの解析条件を設定するための条件設定画面を生成し、表示手段１５に表示する。解析条件として設定する内容は、例えば、適用する粗さ規格、適用する評価曲線、値を演算するパラメータの選択、描画するグラフの種類の選択などである。解析手段１３は、条件設定画面に設定された解析条件に基づき、パラメータの値の演算やグラフの描画に必要なデータ処理などを行う。解析結果画面生成手段１４は、解析手段１３での演算やデータ処理に基づき、パラメータの値の演算結果やグラフなどが図表中に示された解析結果画面を生成する。ユーザが表示手段１５に表示された条件設定画面を介して入力手段１６から解析条件を設定することにより、解析手段１３から条件設定画面で選択したパラメータの値の演算結果が出力されるとともに、解析結果画面生成手段１４で生成された解析結果画面が表示手段１５に表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２１９２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
現在の表面性状測定機では、ＪＩＳやＩＳＯなどで規格化されたパラメータ（以下「規格化パラメータ」という。）については値を自動的に演算することができる。しかし、近年はより多角的な性状分析の必要から、規格化パラメータを使って演算することができる規格外の新たなパラメータを利用したいとの要望が増加している。現状、このような要望があった場合は手計算で新たなパラメータの値の演算を行う必要があり、更に演算結果を自動的に演算・出力された規格化パラメータの演算結果と一体的に扱いたい場合には、例えば、規格化パラメータの演算結果が印刷された用紙に手書きで追記する必要があった。また、手計算による演算結果は電子データ化されていないため、設計値との照合計算、グラフ化、統計処理などを行うには、電子データ化したり、更にそれを自動計算による電子データと統合したりする必要があった。加えて、過去に立式して演算に供した新たなパラメータであっても、測定の度に手計算をし、手書きをしなければならなかった。このように、演算及びデータ処理に非常に手間がかかる上、人手が介在するため、ミスが生じる危険も高かった。
【０００７】
本発明の目的は、ユーザが規格化パラメータなどの既存パラメータを用いた定義式により定義した新たなパラメータである新パラメータの値を自動的に演算し、新パラメータの値の演算結果を既存パラメータの値の演算結果と併せて出力可能なパラメータ演算装置及びプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のパラメータ演算装置は、測定データ取得手段、解析手段、新パラメータ演算手段、及び演算結果統合手段を備える。測定データ取得手段は、スタイラスなどにより被測定物の表面を走査することによって得られた被測定物の性状の測定データを取得する。解析手段は、少なくとも、１以上の既存パラメータを用いて定義された新たなパラメータである新パラメータの定義式を構成する当該既存パラメータを含む所定の既存パラメータの値を測定データを用いて演算する。新パラメータ演算手段は、任意の方法で入力された、１以上の既存パラメータを用いて任意に構成された新パラメータの定義式に、解析手段で演算された既存パラメータの値を代入して、新パラメータの値を演算する。演算結果統合手段は、解析手段で演算した既存パラメータの値の演算結果と新パラメータ演算手段で演算した新パラメータの値の演算結果とを併せて出力する。このように構成することで、ユーザが既存パラメータを用いて任意に構成した定義式により定義される新パラメータの値を自動的に演算し、新パラメータの値の演算結果を既存パラメータの値の演算結果と併せて出力することが可能となる。また、測定データの解析条件を設定するための条件設定画面を生成し表示手段に表示する条件設定画面生成手段を更に備え、解析手段が条件設定画面を介して設定された、値を演算する前記既存パラメータの選択を含む解析条件に従って処理を実行するようにしてもよい。これにより、解析手段で実行する既存パラメータの値の演算等の処理を柔軟に設定することができる。
【０００９】
本発明のパラメータ演算装置は、定義式の入力を受け付けるための定義式入力画面を生成し表示手段に表示する定義式入力画面生成手段を更に備え、解析手段が、定義式入力画面を介して入力された定義式を構成する既存パラメータの値を演算し、新パラメータ演算手段が、定義式入力画面を介して入力された定義式に解析手段で演算された既存パラメータの値を代入して新パラメータの値を演算するように構成してもよい。このように構成することで、ユーザが定義式を容易に作成することが可能となる。
【００１０】
本発明のパラメータ演算装置は、図表中に、解析手段で値が演算された既存パラメータが少なくとも１つ示された、解析結果画面を生成し表示手段に表示する解析結果画面生成手段を更に備え、定義式入力画面生成手段を、解析結果画面に含まれる既存パラメータの表示部分に対するポインティングデバイスの操作により、当該既存パラメータを、定義式を構成する既存パラメータとして定義式入力画面に入力できるように構成してもよい。このように構成することで、ユーザが定義式を容易に作成することが可能となる。また、定義式入力画面生成手段は、定義式入力画面に定義式が入力されると新パラメータ演算手段で演算された新パラメータの値を表示するように構成してもよい。このように構成することで、新パラメータの値の演算結果を速やかに把握することが可能となる。また、定義式入力画面を介して入力された定義式を記憶する定義式記憶手段を更に備えてもよい。このように構成することで、ユーザが作成した定義式を繰り返し利用することが可能となる。
【００１１】
本発明のパラメータ演算装置は、定義式が記憶された定義式記憶手段を更に備え、解析手段が、定義式記憶手段に記憶された定義式に含まれる既存パラメータの値を演算し、新パラメータ演算手段が、定義式記憶手段に記憶された定義式に解析手段で演算された既存パラメータの値を代入して新パラメータの値を演算するように構成してもよい。このように構成することで、定義式を繰り返し利用することが可能となる。また、定義式の入力を受け付けるための定義式入力画面を生成し表示手段に表示する定義式入力画面生成手段を更に備え、定義式記憶手段が、定義式入力画面に入力された定義式を記憶するように構成してもよい。このように構成することで、ユーザが定義式を容易に作成でき、かつ、作成した定義式を繰り返し利用することができる。
【００１２】
本発明のパラメータ演算装置は定義式入力画面を、定義式の構成要素が割り付けられたボタンに対するポインティングデバイスの操作により当該構成要素を入力することができるように構成してもよい。このように構成することで、ユーザが定義式をより容易に作成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態のパラメータ演算装置の構成例を示す図である。
【図２】被測定物の表面を走査して得られた測定データの一例を示す図である。
【図３】第１実施形態のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図４】粗さパラメータＲｐ、Ｒｖの定義を説明する図である。
【図５】第１実施形態のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図６】第２実施形態のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図７】第２実施形態のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図８】定義式入力画面の一例を示す図である。
【図９】定義式入力画面の別の一例を示す図である。
【図１０】第３実施形態のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図１１】解析結果画面の一例を示す図である。
【図１２】解析結果画面の既存パラメータの表示部分に対するポインティングデバイスの操作による、定義式入力画面への既存パラメータの入力を説明する図である。
【図１３】第３実施形態のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図１４】定義式入力画面への新パラメータの値の表示の一例を示す図である。
【図１５】第３実施形態の変形例のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図１６】第３実施形態の変形例のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図１７】第４実施形態のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図１８】第４実施形態のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図１９】第４実施形態の変形例のパラメータ演算装置の機能ブロック図である。
【図２０】第４実施形態の変形例のパラメータ演算装置の処理フローを示す図である。
【図２１】従来のパラメータ演算装置の構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の各実施形態を図面を参照しつつ説明する。なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
〔第１実施形態〕
【００１５】
図１に本発明のパラメータ演算装置１００のハードウェア構成例を示す。パラメータ演算装置１００は、測定データ取得手段１１、及びコンピュータなどにより構成される制御演算手段２０を備える。また、制御演算手段２０には、装置の操作に必要な情報を表示するための、ディスプレイなどの任意の表示手段１５、演算に必要な情報の入力のためのキーボードやマウスなどの任意の入力手段１６がそれぞれ接続される。
【００１６】
測定データ取得手段１１は、被測定物の性状を測定し測定データを出力する。性状とは、粗さ、形状、寸法、及び硬度などを意味する。測定は具体的には、例えば制御演算手段２０による制御に基づき、ステージ１１ａ上に載置された被測定物１１ｂの表面に沿ってスタイラス１１ｃを一定方向に走査し、走査過程でのスタイラスの上下変位を測定する。図１においてｘ軸方向に走査したとき、表面の凹凸（ｚ軸方向）を、例えば図２に示すように検出する。
【００１７】
制御演算手段２０は、測定データ取得手段１１による測定の制御やパラメータの値の演算を行う。制御演算手段２０の具体的構成を含む、パラメータ演算装置１００の機能ブロック図を図３に示す。制御演算手段２０は、解析手段１０１、新パラメータ演算手段１０２、及び演算結果統合手段１０３を備える。また、これら以外に測定の制御などを行う制御手段を備える（図示省略）。
【００１８】
解析手段１０１は、１以上の既存パラメータを用いて定義された新パラメータの定義式が任意の方法で入力され、測定データ取得手段１１が取得した測定データを用いて、新パラメータの定義式を構成する既存パラメータを含む所定の既存パラメータの値を演算する。所定の既存パラメータは任意に決定して構わない。測定データを用いてグラフの描画をする場合には、更にそれに必要なデータ処理などを行う。解析手段１０１における処理は、具体的にはまず、測定データを量子化し、所定のカットオフ値のフィルタリング処理を施すことにより、断面曲線、粗さ曲線などの輪郭曲線を得る。表面粗さを表現する各既存パラメータの値の演算は、このようにして得られた輪郭曲線から所定の特徴量を抽出し、または更に所定の演算を施すことにより行う。解析手段１０１においては、値の演算が想定される各既存パラメータの値の演算方法を利用可能とされているものとする。例えば、粗さ曲線の最大山高さＲｐ、最大谷深さＲｖの各パラメータは、図４(a)、(b)に示すように、粗さ曲線の評価の範囲である基準長さの範囲内でそれぞれ、基準線から上側に最も山が高くなっている高さ、下側に最も谷が深くなっている深さ、という特徴量で定義されているため、輪郭曲線からこれらの特徴量を抽出することにより値を得ることができる。また、粗さ曲線の最大高さＲｚはＲｐ＋Ｒｖにより定義されているため、Ｒｐ＋Ｒｖを演算することにより値を得ることができる。また、グラフの描画についても、輪郭曲線に所定の処理を施すことにより行うことができる。
【００１９】
新パラメータ演算手段１０２は、任意の方法で入力された新パラメータの定義式に、解析手段１０１で演算された既存パラメータの値を代入して、新パラメータの値を演算する。定義式は例えば、新パラメータＲｍｉを２つの既存パラメータＲｐｋとＲｖｋとの和をとることにより定義する場合、Ｒｍｉ＝Ｒｐｋ＋Ｒｖｋというように定義する。定義式は３つ以上の既存パラメータで構成してもよいし、１つの既存パラメータに任意の倍率を乗算するなどにより構成してもよい。
【００２０】
演算結果統合手段１０３は、解析手段１０１が演算した既存パラメータの値の演算結果と新パラメータ演算手段１０２が演算した新パラメータの値の演算結果とを併せて出力する。出力の表現方法は、両者が一体化されていれば単に列挙されていてもリスト化されていても構わない。例えば、解析手段１０１で既存パラメータＲｐｋとＲｖｋの値が演算され、新パラメータ演算手段１０２でＲｍｉの値が演算された場合、Ｒｐｋ＝○△□、Ｒｖｋ＝△□○、Ｒｍｉ＝□○△というようにそれぞれの演算結果を併せて出力する。出力先は、表示手段１５への表示、印刷物、データベースなど任意である。
【００２１】
パラメータ演算装置１００における処理フローを図５に示す。まず、測定データ取得手段１１が被測定物の性状の測定データを取得する（Ｓ１）。解析手段１０１がこの測定データを用いて、定義式を構成する既存パラメータを含む所定の既存パラメータの値の演算等を行う（Ｓ２）。続いて、新パラメータ演算手段１０２が、任意の方法で入力された新パラメータの定義式に、解析手段１０１で演算された既存パラメータの値を代入して、新パラメータの値を演算する（Ｓ３）。そして、演算結果統合手段１０３は、解析手段１０１で演算した既存パラメータの値の演算結果と新パラメータ演算手段１０２で演算した新パラメータの値の演算結果とを併せて出力する（Ｓ４）。
【００２２】
解析手段１０１における解析条件、例えば、値を演算する所定の既存パラメータの選択、描画するグラフの選択、適用する粗さ規格、適用する評価曲線などを設定するための条件設定画面を生成し表示手段１５に表示する条件設定画面生成手段１２を更に備えてもよい。この場合、解析手段１０１は、表示手段１５に表示された条件設定画面を介してユーザにより設定された、値を演算する既存パラメータの選択を含む解析条件に従って各処理を実行する（Ｓ５）。これにより、解析手段で実行する既存パラメータの値の演算等の処理を柔軟に設定することができる。
【００２３】
以上のように構成することで、ユーザが既存パラメータを用いて任意に構成した定義式により定義される新パラメータの値を自動的に演算し、新パラメータの値の演算結果を既存パラメータの値の演算結果と併せて出力することが可能になる。
【００２４】
〔第２実施形態〕
本発明のパラメータ演算装置１１０の機能ブロック図を図６に、処理フローを図７にそれぞれ示す。本発明のパラメータ演算装置１１０は、測定データ取得手段１１、解析手段１０１、定義式入力画面生成手段１１１、新パラメータ演算手段１０２、及び演算結果統合手段１０３を備える。パラメータ演算装置１１０は、解析手段１０１や新パラメータ演算手段１０２への定義式の入力を定義式入力画面から可能にするため、パラメータ演算装置１００に定義式入力画面生成手段１１１を追加した構成である。
定義式入力画面生成手段１１１は、定義式の入力を受け付けるための定義式入力画面を生成し表示手段１５に表示する（Ｓ１１）。定義式入力画面の一例を図８に示す。ユーザは表示手段１５に表示された定義式入力画面に、新パラメータ名（図８の例では、Ｒｍｉ）とこれを定義づける等式（図８の例では、＝Ｒｐｋ＋Ｒｖｋ）とを、入力手段１６から入力する。そして、入力の確定操作により定義式が解析手段１０１や新パラメータ演算手段１０２に入力され、新パラメータ演算手段１０２はこの定義式に解析手段１０１で演算された既存パラメータの値を代入して新パラメータの値を演算する（Ｓ１２）。
【００２５】
定義式入力画面は、より入力を容易にするため、例えば図９に示すように構成してもよい。図９の定義式入力画面は、既存パラメータ、演算子、数値などの定義式の構成要素を、これらの構成要素が割り付けられたボタンに対するマウスクリックなどのポインティングデバイスの操作により入力可能に構成したものである。いかなる構成要素をボタンに割り付けるかは任意である。また、定義式入力画面を２段階以上に構成してもよい。図９の定義式入力画面は２段階に構成した例である。図９(a)の画面には定義式を構成する、Ｒｐｋ、＋、Ｒｖｋ、＝がボタンに割り付けられており、これらのボタンを順次操作することで新パラメータと等しい式（図９の例ではＲｐｋ＋Ｒｖｋ）が形成される。そして、図９の画面において入力を確定するボタン、例えば＝や→などのボタンを操作することで、図８の定義式入力画面と同様な図９(b)の画面に図９(a)で確定された定義式の一方の辺（図９(b)の例では右辺）が入力された形で遷移する。そして、左辺に任意の新パラメータ名（例えばＲｍｉ）をキーボードなどにより直接入力し、確定操作をすることで定義式の入力が完了する。なお、図９の例では定義式の右辺の全ての構成要素がボタン操作により入力可能に構成されているが、定義式の一部の構成要素をボタン操作により、その他をキーボードなどによる直接入力により入力するように構成しても構わない。また、既存パラメータの入力ボタンを設ける場合、頻繁に利用する既存パラメータを固定的に割り付けてもよいし、条件設定画面への入力内容と連動させ、条件設定画面において値の演算対象として選択された既存パラメータが入力ボタンにその都度割り付けられるように構成してもよい。
【００２６】
このように、図８に示すような定義式入力画面から定義式を入力可能に構成することで、ユーザが容易に定義式を入力できるようになる。また、定義式入力画面を図９に示すように、ボタン操作で定義式の構成要素を入力できるように構成することで、より容易に定義式を入力できるようになる。
【００２７】
〔第３実施形態〕
本発明のパラメータ演算装置１２０の機能ブロック図を図１０に示す。本発明のパラメータ演算装置１２０は、測定データ取得手段１１、解析手段１０１、定義式入力画面生成手段１１１、新パラメータ演算手段１０２、演算結果統合手段１０３、及び解析結果画面生成手段１２１を備える。パラメータ演算装置１２０は、パラメータ演算装置１１０に解析結果画面生成手段１２１を追加した構成である。
解析結果画面生成手段１２１は、解析手段１０１における既存パラメータの値の演算やグラフの描画に必要なデータ処理により得られた、既存パラメータの値の演算結果（以下「パラメータ結果」という。）やグラフ（以下「グラフ結果」という。）などが図表中に示された解析結果画面を生成し、表示手段１５に表示する。そして、この解析結果画面を構成する図表中に示されるパラメータ結果やグラフ結果に含まれる既存パラメータの表示部分に対し、マウスクリックなどのポインティングデバイスによる操作により、当該既存パラメータが、定義式を構成する既存パラメータとして定義式入力画面に入力されるよう、定義式入力画面生成手段１１１と解析結果画面生成手段１２１を構成する。
【００２８】
図１１に解析結果画面の一例を示す。この解析結果画面には図表中にパラメータ結果とグラフ結果が含まれている。図１２(a)は、説明のためにパラメータ結果が表示されている部分を抽象化して表現したものである。例えば、このパラメータ結果の表示に対して、既存パラメータであるＲｐｋの表示部分でマウスクリックなどの操作をすることで、定義式入力画面にＲｐｋが入力される。また、図１２(b)は、説明のためにグラフ結果が表示されている部分を抽象化して表現したものである。例えば、このグラフ結果の表示において、Ｃと表示されている部分でマウスクリックなどの操作をすることで、定義式入力画面にＣが入力される。ここで、Ｃは規格化されたパラメータではなく、グラフ結果における特徴部分を示す、いわゆるグラフ要素である。しかし、このようなグラフ要素を用いて新パラメータを構成する要請があり、かつ、Ｃなどのグラフ要素の値も解析手段１０１でのデータ処理により得ることができるため、本発明でいう既存パラメータはこのようなグラフ要素も含むものとする。
【００２９】
パラメータ演算装置１２０における処理フローを図１３に示す。まず、測定データ取得手段１１が被測定物の性状の測定データを取得する（Ｓ１）。また、定義式入力画面を生成を生成し、表示手段１５に表示する（Ｓ１１）。解析手段１０１が測定データ取得手段１１が取得した測定データを用いて、定義式を構成する既存パラメータを含む所定の既存パラメータの値の演算等を行う（Ｓ２）。続いて、解析結果画面生成手段１２１がパラメータ結果やグラフ結果などが図表中に示された解析結果画面を生成し、表示手段１５に表示する（Ｓ２１）。ユーザは、表示手段１５に表示された定義式入力画面に入力手段１６から定義式の各構成要素を入力するのに際し、表示手段１５に表示された解析結果画面に含まれる既存パラメータについては、解析結果画面の当該既存パラメータの表示部分をマウスクリックなどのポインティングデバイスによる操作により、その他の構成要素についてはキーボードから直接及び／又はボタンをマウスクリックなどのポインティングデバイスによる操作により入力して定義式を構成し、新パラメータ演算手段１０２はこの定義式に解析手段１０１で演算された既存パラメータの値を代入して新パラメータの値を演算する（Ｓ２２）。そして、演算結果統合手段１０３は、解析手段１０１で演算した既存パラメータの値の演算結果と新パラメータ演算手段１０２で演算した新パラメータの値の演算結果とを併せて出力する（Ｓ４）。
【００３０】
このように構成することで、ユーザが定義式を容易に作成することが可能となる。
また、定義式入力画面生成手段１１１は、定義式入力画面に定義式が入力されると新パラメータ演算手段１０２で演算された新パラメータの値を表示するように構成してもよい。例えば、Ｒｐｋ＋Ｒｖｋという定義式を入力する場合に、解析結果画面のパラメータ結果に含まれる既存パラメータＲｐｋ、Ｒｖｋを図１４(a)、(b)に示すようにそれぞれクリックして定義式入力画面に順次入力して定義式を構成することにより、Ｒｐｋ、Ｒｖｋのそれぞれのパラメータの値（Ｒｐｋ＝2.222、Ｒｖｋ＝3.333）に基づいて新パラメータ演算手段１０２で演算された、Ｒｐｋ＋Ｒｖｋの演算結果5.555が定義式入力画面に表示される。このように構成することで、新たなパラメータの値の演算結果を速やかに把握することが可能となる。
【００３１】
また、本実施形態の変形例として、定義式入力画面を介して入力された定義式を記憶する定義式記憶手段を更に設けてもよい。パラメータ演算装置１２０に定義式記憶手段１３１を追加した本発明のパラメータ演算装置１３０の機能ブロック図を図１５に、処理フローを図１６にそれぞれ示す。定義式入力画面を介して入力された定義式は、定義式記憶手段１３１に記憶される（Ｓ３１）。作成した定義式を定義式記憶手段１３１に記憶しておくことで、第４実施形態に示す構成・方法により、繰り返し定義式を利用して新パラメータの演算をすることができる。そのため、測定の都度、定義式を入力する必要がなくなる。
【００３２】
〔第４実施形態〕
本発明のパラメータ演算装置１４０の機能ブロック図を図１７に、処理フローを図１８にそれぞれ示す。本発明のパラメータ演算装置１４０は、測定データ取得手段１１、解析手段１０１、新パラメータ演算手段１０２、演算結果統合手段１０３、及び定義式記憶手段１３１を備える。パラメータ演算装置１４０は、定義式を予め記憶する定義式記憶手段１３１をパラメータ演算装置１００に追加した構成である。定義式記憶手段１３１に定義式を記憶させる方法は任意である。
解析手段１０１と新パラメータ演算手段１０２には定義式記憶手段１３１から読み出された定義式が入力され、新パラメータ演算手段１０２はこの定義式に解析手段１０１で演算された既存パラメータの値を代入して新パラメータの値を演算する（Ｓ４１）。このように構成することで、定義式記憶手段１３１に記憶された定義式を繰り返し利用することができ、測定の都度、定義式を入力する必要がなくなる。
【００３３】
また、本実施形態の変形例として、定義式記憶手段１３１に予め記憶させる定義式の入力を容易にするため、定義式入力画面生成手段１１１を更に設けてもよい。パラメータ演算装置１４０に定義式入力画面生成手段１１１を追加した本発明のパラメータ演算装置１５０の機能ブロック図を図１９に、処理フローを図２０にそれぞれ示す。定義式入力画面生成手段１１１は、定義式の入力を受け付けるための定義式入力画面を生成して表示手段１５に表示し（Ｓ１１）、定義式記憶手段１３１はユーザにより定義式入力画面を介して入力された定義式を記憶する（Ｓ３１）。このように定義式を定義式記憶手段１３１に記憶するようにしておくことで、以降は、測定の都度、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４１及びＳ４を順次実行することで、定義式をその都度入力することなく定義式記憶手段１３１から読み出して新パラメータの演算を行うことができる。
【００３４】
コンピュータを本発明のパラメータ演算装置１００、１１０、１２０、１３０、１４０、及び１５０の各手段として機能させる場合、各手段における処理内容はプログラムによって記述される。そのプログラムは、例えば、ハードディスク装置に格納されており、実行時には、必要なプログラムやデータがＲＡＭ(Random Access Memory)に読み込まれて、そのプログラムがＣＰＵにより実行されることにより、コンピュータ上で各処理内容が実現される。
【００３５】
本発明のパラメータ演算装置１００、１１０、１２０、１３０、１４０、及び１５０における各手段は、必要に応じ併合・分割・順序の変更を行っても構わない。また、各手段で生成される画面の表示形式や表示項目などは上記説明に限定されるものではない。その他の事項についても、本発明において表現されている技術的思想の範囲内で適宜変更が可能であり、その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３６】
１０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０…パラメータ演算装置
１１…測定データ取得手段
１２…条件設定画面生成手段
１３、１０１…解析手段
１４、１２１…解析結果画面生成手段
１５…表示手段
１６…入力手段
２０…制御演算手段
１０２…新パラメータ演算手段
１０３…演算結果統合手段
１１１…定義式入力画面生成手段
１３１…定義式記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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