(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体に接触及び離間することで前記被検査体の検査を行うプローブであって、
前記プローブは、
前記被検査体に押付ける力を受けて弾性変形する本体部と、
前記本体部の一端側に位置し、前記被検査体に対して接触し前記押付ける力を受けて滑る滑り部と、を備え、
前記滑り部は、前記押付ける力の方向に対して傾いて交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑り、
前記滑り部は前記本体部に片持ち梁構造で支持されており、
前記滑り部と前記本体部は該プローブの先端位置を頂点とするＶ字形状を成している、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項２】
請求項１に記載されたプローブにおいて、
前記傾斜部は、面状又は線状に形成されている、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載されたプローブにおいて、
前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっている、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、
前記プローブの先端位置は該プローブの中心位置からずれている、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、
前記傾斜部は、前記プローブの先端位置よりもスクラブ動作方向の後方に位置する、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、
前記プローブの前記本体部は板状である、
ことを特徴とするプローブ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載されたプローブを備えるプローブカード。
【請求項８】
突起電極を有する被検査体が載置される載置部と、
プローブを備えるプローブカードと、
前記載置部上の被検査体の前記突起電極と前記プローブカードとの相対位置を接離可能に変化させる駆動部と、を備え、
前記載置部上に載置された被検査体の前記突起電極に対して、前記プローブが接触することによって通電検査を行う接触検査装置であって、
前記プローブは、請求項１から６のいずれか一項に記載されたプローブである、ことを特徴とする接触検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の通電試験等に用いるプローブ、プローブカード及び接触検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の半導体メモリーに代表される半導体集積回路には突起（BUMP形状）電極を有するものがある。この種の半導体集積回路の特性を調べるために使用する従来の接触検査装置に関する文献として以下のようなものがある（特許文献１、特許文献２）。  
従来の接触検査装置は前記突起電極１０７の表面に対してプローブ１０３の先端部１０３ｂが垂直にコンタクトするように構成されている。このような垂直なコンタクトを可能にするためにプローブ１０３の先端形状には種々の形状のものがある（図１０）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−０５０９８１号公報
【特許文献２】特開１９９９−３２６３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の接触検査装置は前述したように前記突起電極の表面に対してプローブの先端部が垂直にコンタクトする構成であった。即ち、プローブの先端が突起電極の表面に対して基本的にスクラブしない構成であった。そのため、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着し易かった。  
そしてこの場合、プローブの先端部を頻繁にクリーニングして付着したコンタミネーションを除去する必要があった。このクリーニングを行わずに使用を続けた場合、該プローブの接触抵抗値が大きくなり、検査精度が低下するという問題が生じる。
【０００５】
このような背景の下、上記特許文献１では、プローブの先端部をプローブの基端部から偏心させた位置に配置したり、プローブの途中に他の部分より細くした変形部を形成することによってスクラブを発生させるようにしたプローブが開示されている。  
しかし、特許文献１に開示されているプローブでもプローブの先端部が突起電極の表面に対して垂直にコンタクトする構成が採用されているので、点接触になり易く、該プローブと突起電極の表面との接触性が不安定になる虞がある。
【０００６】
本発明の目的は、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくく、また被検査体との接触性を向上させることができるプローブ、該プローブを備えるプローブカード及び接触検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様のプローブは、被検査体に接触及び離間することで前記被検査体の検査を行うプローブであって、前記プローブは、前記被検査体に押付ける力を受けて弾性変形する本体部と、前記本体部の一端側に位置し、前記被検査体に対して接触し前記押付ける力を受けて滑る滑り部と、を備え、前記滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑ることを特徴とする。
【０００８】
本態様によれば、プローブは被検査体に対して接触し該被検査体に向けて押付ける力を受けて滑る滑り部を備え、更に該滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑る（スクラブする）ように構成されている。従って、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減することができる。また、スクラブすることによってセルフクリーニング効果を期待することができる。  
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。特に突起電極に対して有効である。
【０００９】
本発明の第２の態様のプローブは、第１の態様において、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本態様によれば、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されているので、従来の点接触によるプローブに比べて接触面積ないし接触長が大きくなり、被検査体との接触性を向上させることができる。  
また、傾斜部が線状に形成されているプローブは、前記スクラブ動作によって被検査体の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られる。
【００１１】
本発明の第３の態様のプローブは、第１の態様又は第２の態様において、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっていることを特徴とする。
【００１２】
本態様によれば、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっているので突起電極に対してプローブの滑り部を傾斜部の傾斜に沿って突起電極との最初の接触点から突起電極の外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。これにより、コンタミネーションのプローブへの付着の虞を一層低減することができる。
【００１３】
本発明の第４の態様のプローブは、第１の態様から第３の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの先端位置は該プローブの中心位置からずれていることを特徴とする。  
ここで、「プローブの先端位置」とは、突起電極と接触するスクラブ側であって被検査体に対して非接触時において最も近い位置を意味する。  
また「プローブの中心位置」とは、プローブの支持端となる基端側部分の中心であり、前記押付ける力を受けて弾性変形する本体部の支持端にかかる力の作用位置を意味する。
【００１４】
本態様によれば、プローブの先端位置が該プローブの中心位置からずれているので、本体部に回転モーメントが作用して本体部が撓み変形する。これにより突起電極に当接するプローブの滑り部を前記外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。
【００１５】
本発明の第５の態様のプローブは、第１の態様から第４の態様のいずれか一つの態様において、前記傾斜部は、前記プローブの先端位置よりもスクラブ動作方向の後方に位置することを特徴とする。
【００１６】
本態様によれば、本体部が後方に位置する滑り部を引っ張る状態又は押し出す状態でスクラブ動作させるので、被検査体との接触性を一層向上させることができる。
【００１７】
本発明の第６の態様のプローブは、第１の態様から第５の態様のいずれか一つの態様において、前記滑り部は前記本体部に片持ち梁構造で支持されていることを特徴とする。
【００１８】
本態様によれば、滑り部が本体部に片持ち梁構造で支持されているので、本体部の弾性変形が容易になり、スクラブ動作時における滑り部と被検査体との接触性を一層向上させることができる。
【００１９】
本発明の第７の態様のプローブは、第６の態様において、前記滑り部と前記本体部は該プローブの先端位置を頂点とするＶ字形状を成していることを特徴とする。
【００２０】
本態様によれば、滑り部と本体部は該プローブの先端位置を頂点とするＶ字形状を成しているので、被検査体の表面の酸化膜を削り易く、スクラブ動作時における被検査体との接触性を一層向上させることができる。
【００２１】
本発明の第８の態様のプローブは、第１の態様から第７の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの前記本体部は板状であることを特徴とする。
【００２２】
本態様によれば、前記プローブの前記本体部が板状であるので、本体部及び滑り部を対向する板面間の所定厚さの平面的な空間内に位置させることが可能になる。これにより、検査時に滑り部がスクラブする方向を傾斜部に沿う方向に誘導し易くなる。また、プローブ同士が検査時に干渉する虞を低減させ、該プローブの高密度の実装が可能となる。
【００２３】
本発明の第９の態様に係るプローブカードは、第１の態様から第８の態様のいずれか一つの態様のプローブを備えることを特徴とする。
【００２４】
本態様によれば、接触検査装置におけるプローブカードとして、前記プローブの第１の態様から第８の態様の効果を得ることができる。
【００２５】
本発明の第１０の態様に係る接触検査装置は、突起電極を有する被検査体が載置される載置部と、プローブを備えるプローブカードと、前記載置部上の被検査体の前記突起電極と前記プローブカードとの相対位置を接離可能に変化させる駆動部とを備え、前記載置部上に載置された被検査体の前記突起電極に対して、前記プローブが接触することによって通電検査を行う接触検査装置であって、前記プローブは、第１の態様から第８の態様のいずれか一つの態様のプローブであることを特徴とする。
【００２６】
本態様によれば、接触検査装置として、前記プローブの第１の態様から第８の態様に効果を得ることができる。即ち、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減させることができる。  
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態１に係る接触検査装置を模式的に表す側断面図。
【図２】本発明の実施形態１に係るプローブカードを模式的に表す側断面図。
【図３】本発明の実施形態１に係るプローブを表す側面図。
【図４】本発明の実施形態１に係るプローブを表す正面図。
【図５】本発明の実施形態１に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図。
【図６】本発明の実施形態２に係るプローブを表す正面図。
【図７】本発明の実施形態３に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図
【図８】本発明のプローブの配置態様の一例を表す平面図。
【図９】本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数による接触抵抗値の推移を表すグラフである。
【図１０】従来のプローブの種々の先端形状を表す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に、本発明の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、添付図面を参照して詳細に説明する。  
尚、以下の説明では、最初に図１に基づいて本発明の実施形態１に係る接触検査装置の概要について説明する。次に図２に基づいて本発明の実施形態１の係るプローブカードの具体的構成について説明する。続いて図３から図５に基づいて本発明の実施形態１に係るプローブの具体的構成とそのスクラブ動作について説明する。更に、図９に基づいて本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数と接触抵抗値の関係を簡単に説明する。  
次に、図６及び図７に基づいて本発明の実施形態１とは部分的構成を異にする実施形態２と実施形態３の二種の実施形態について説明し、続いて図８に基づいて本発明のプローブの配置態様の一例について説明する。最後に本発明の他の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、簡単に言及する。
【００２９】
［実施形態１］（図１〜図５参照）
（１）接触検査装置の概要（図１参照）
本発明の実施形態１に係る接触検査装置１は、被検査部となる突起電極７を有する被検査体５が載置される載置部９と、後述する本発明の実施形態１に係るプローブ３Ａを備えるプローブカード１１と、前記載置部９上の被検査体５の前記突起電極７と前記プローブカード１１との相対位置を接離可能に変化させる駆動部１３と、を基本的に備えることによって構成されている。  
そして、この接触検査装置１は、前記載置部９上に載置された被検査体５の前記突起電極７に対して、前記プローブ３Ａが接触することによって通電検査を行うように構成されている。該突起電極７は略球面となる突曲面形状を成しているものが多い。
【００３０】
具体的には、接触検査装置１は、バネ性を有する導電性のプローブ３Ａを被検査体５の突起電極７に対して接触させた状態で前記バネ性を利用して適切な押圧力で押圧することにより電気的な接続状態を確立するように構成されている。尚、プローブ３Ａに付与されるバネ性は、後述する弾性変形可能な本体部６１によって生起される。  
そして、この状態でプローブ３Ａを通電状態にして各突起電極７の電流値や電圧差等の電気的特性を計測したり、被検査体５全体の動作試験を行って、当該被検査体５の良否を判定する目的で接触検査装置１は使用される。
【００３１】
接触検査装置１の検査対象となる被検査体５としては、プリント配線基板等の電子基板や半導体ウェハ或いはパッケージされたＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップ等が一例として挙げられる。また、プローブ３Ａが直接、接触する被検査部７としては、電子基板等にマウントされた電子回路上の酸化膜に覆われた検査パターンや電極ということになり、特に本発明では突起電極７を有する被検査体５が好適な検査対象となる。
【００３２】
また、前記プローブカード１１は、バネ性を有する複数本のプローブ３Ａと、これら複数本のプローブ３Ａを保持するプローブヘッド１５と、を備えることによって構成されている。  
そして、図示の実施形態では、プローブヘッド１５は、図１に表すようなカード構造１２に対して直接、取り付けられるように構成されている。具体的には、クランプヘッド３５とスティフナー３７によって支持されたプリント基板３９の一例として下面に固定リング４１を使用して取り付けられたＭＬＣ（Ｍｕｌｔｉ  Ｌｅｖｅｌ  Ｃｅｌｌ）４３に、対して、下方から当該プローブヘッド１５を挿し込んで取り付けられるように構成されている。尚、プローブヘッド１５はこの構造に限定されないことは勿論である。
【００３３】
また、プリント基板３９は、一例としてセラミックス基板と配線基板とが積層された多層構造の電子基板によって構成されており、図１中、上端に位置するプローブ３Ａの他端部３ｃに入力端が接続されている前記ＭＬＣ４３の出力端に接続され、該配線路の他端が、前記プローブ３Ａの先端部３ｂが前記突起電極７に接触し通電検査を行うことによって取得したデータに基づいて各突起電極７の電気的特性の計測と被検査体５全体の動作試験を実行し、被検査体５の良否を判定する制御部２３を備えるテスター２５に接続されている。
【００３４】
（２）プローブカードの具体的構成（図２参照）
プローブカード１１は、前述したようにバネ性を有する後述する本実施形態に係るプローブ３Ａと、該プローブ３Ａを保持するプローブヘッド１５と、を備えることによって構成されている。  
そして、このうちプローブヘッド１５は、被検査体５の複数の突起電極７の位置に対応した複数本のプローブ３Ａと、該プローブ３Ａのフランジ状の基端部３ａから他端部３ｃにかけて延びる延接部３ｄの上部を保持する一例としてセラミックス製の上部ガイド部５１と、プローブ３Ａの基端部３ａ寄りの延接部３ｄの下部を保持する、同じく一例としてセラミックス製の下部ガイド部５３と、前記上部ガイド部５１と下部ガイド部５３との中間に配置される、一例としてシリコンゴム等によって形成される中間スペーサー５２と、を備えることによって基本的に構成されている。
【００３５】
（Ａ）プローブの具体的構成とスクラブ動作（図３〜図５参照）
本発明のプローブ３は、被検査体５に接触及び離間することで前記被検査体５の検査を行う部材である。そして、前記被検査体５に押付ける力Ｆを受けて弾性変形する本体部６１と、該本体部６１の一端Ａ側に位置し、前記被検査体５に対して接触し前記押付ける力Ｆを受けてスクラブ動作方向Ｓ（図５）に滑る滑り部６３Ａと、を備えることによって基本的に構成されている。  
また、前記滑り部６３Ａは、前記押付ける力Ｆの矢印で示す方向に対して交差する傾斜部６５Ａを有しており、該傾斜部６５Ａが前記被検査体５に接触した状態でスクラブ動作方向Ｓに滑るように構成されている。
【００３６】
また、本実施形態では、前記傾斜部６５Ａは突起電極７の表面に接触する部位が傾斜した平面によって形成されており、プローブ３Ａの先端部３ｂの形状が該プローブ３Ａの先端位置を頂点ＰとするＶ字形状に形成されている。  
また、本実施形態では、本体部６１の側面形状が図３及び図５に表すように二つの屈曲点Ｑ１、Ｑ２で屈曲方向が変わる、側面視Ｓ字形状に湾曲した形状に形成されており、該Ｓ字形状の本体部６１の先端に鉤状をした滑り部６３Ａが設けられていることによって、前述したＶ字形状のプローブ３Ａの先端部３ａが形成されるように構成されている。
【００３７】
そして、前記プローブ３Ａの頂点Ｐを通る鉛直方向に延びる直線Ｌ１は、前記プローブ３Ａの中心位置Ｏを通る鉛直方向に延びる中心線Ｌから、ずれ量ΔＥ分、偏心した位置に存するように設けられている。  
更に本実施形態では、前記傾斜部６５Ａが前記プローブ３Ａの先端位置よりもスクラブ動作方向Ｓの後方に位置するように形成されている。具体的には、前記プローブ３Ａの頂点Ｐからスクラブ動作方向Ｓの後方に向けて所定の角度で傾斜する上り傾斜の所定長さ（一例として突起電極７が球面形状とした場合の曲率半径程度の長さ）の傾斜部６５Ａが形成されている。
【００３８】
また、このようにして形成される傾斜部６５Ａを備える滑り部６３Ａは、前記本体部６１によって片持ち梁構造で支持されており、更に本実施形態では、前記本体部６１と滑り部６３Ａが一例としてほぼ一様の厚みｔ（図４）の板材によって形成されている。  
尚、前記片持ち梁構造部の形成にあたっては、本体部６１の先端部を予め長めに形成しておいて、当該本体部６１の先端部を前述した形状に折り曲げて形成したり、本体部６１と滑り部６３Ａを別々に形成しておいて本体部６１の先端部に溶接又は接着によって後付けすることによって成形することが可能である。この他、所定形状の本体部６１と滑り部６３Ａを一体に成形することも可能である。
【００３９】
次に、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ３Ａを突起電極７に押し当てた場合に生じるプローブ３Ａのスクラブ動作について説明する。  
接触検査装置１の駆動部１３を駆動してプローブ３Ａを突起電極７に向けて相対的に接近させて行くと、図５中、仮想線で表すように、プローブ３Ａの先端部３ｂの頂点Ｐが最初に突起電極７に接触する。この状態でプローブ３Ａを突起電極７に向けて更に相対的に接近させて行くと、図５中、実線で表すように屈曲点Ｑ１を下方に押し下げ、頂点Ｐをスクラブ動作方向Ｓの前方Ｃとなる突起電極７の外側の斜め下方に向けて移動させるように、本体部６１は撓み変形する。
【００４０】
このとき滑り部６３Ａは、前記頂点Ｐに引っ張られるようにしてスクラブ動作方向Ｓに移動すると共に、頂点Ｐを中心にして幾分、撓み変形する。そして、突起電極７の表面に接触する前記滑り部６３Ａの傾斜部６５Ａは、前記突起電極７の表面との接触位置が、前述した頂点Ｐ側から、そのスクラブ動作方向Ｓの後方Ｄに延びる該傾斜部６５Ａの終端に向かって徐々に滑り移動して行く。  
これにより、突起電極７の表面に高硬度の材料によって形成されるプローブ３Ａの先端部３ｂが所定の押圧力を受けて接触しながらその位置を変えて行く（滑る）ことによって、当該突起電極７の表面は良好な状態にスクラブされる。
【００４１】
次に、図９に表す接触検査回数と接触抵抗値の関係のグラフに基づいて、本発明のプローブ３と従来のプローブについて接触検査回数による接触抵抗値の推移を比較する。  
図９中の比較例１は、垂直にコンタクトするタイプでスクラブする従来のプローブを表している。また、図９中の比較例２は、同じく垂直にコンタクトするタイプで先端がバネで伸縮する従来のプローブを表している。更に、図９中の本発明品は、スクラブ動作方向Ｓにスライドしながらコンタクトするタイプの本発明の実施形態１に係るプローブ３Ａを表している。
【００４２】
図９から明らかなように、比較例１では接触検査回数が増加すると接触抵抗値が急激に増加することが分かる。また、比較例２では接触抵抗値の増加量は比較例１よりも小さくなるが、比較例１と同様、接触検査回数が増加すると接触抵抗値が徐々に増加する。  
これに対し、本発明品では接触検査回数を重ねても小さな接触抵抗値をそのまま維持できることが分かる。これは、滑り部６３Ａが突起電極７の表面をスライドしながらスクラブすることでコンタクト時の接触性が良くなり、プローブ３Ａの先端部３ｂに対するコンタミネーションの付着が低減したことによるものと考えられる。  
更に、本発明ではセルフクリーニング効果も期待できるため、このような結果が得られたものと思われる。
【００４３】
そして、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ３Ａ、プローブカード１１及び接触検査装置１によれば、検査時に発生するコンタミネーションがプローブ３Ａの先端部３ｂに付着しにくく、接触検査回数を重ねてもプローブ３Ａの接触抵抗値の増加を低く抑えることのできるプローブ３、プローブカード１１及び接触検査装置１を提供できるようになる。  
更に、本実施形態ではスライドしながらスクラブ動作を行う滑り部６３Ａの作用で突起電極７の表面のセルフクリーニング効果が期待でき、垂直方向にコンタクトする従来のプローブよりも接触面積ないし接触長さが大きくなるから被検査体５との接触性を向上させるという効果も得られる。
【００４４】
［実施形態２］(図６参照)
実施形態２に係るプローブ３Ｂは、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと基本的に同様の構成を有しており、滑り部６３Ｂの構成のみが前記実施形態１と相違する。従って、ここでは前記実施形態１と同様の構成については説明を省略し、前記実施形態１と相違する滑り部６３Ｂの構成とその作用に絞って説明する。  
即ち、本実施形態２では、滑り部６３Ｂの横断面形状が頂点を下方に位置させた三角形状又は図示のような菱形形状に形成されており、該滑り部６３の下面側に突条によって線状の傾斜部６５が形成されるように構成されている。
【００４５】
このような滑り部６３Ｂを備える本実施形態２に係るプローブ３Ｂによっても、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態２にあっては、前記傾斜部６５Ａが線状であることにより、プローブ３Ｂがスクラブ動作時において突起電極７の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られるようになる。
【００４６】
［実施形態３］（図７参照）
実施形態３に係るプローブ３Ｃは、本体部６１Ｃの屈曲方向が前記実施形態１に係るプローブ３Ａとは逆方向になり、滑り部６３Ｃの形状と形成方向が前記実施形態１と相違している。尚、その他の構成については前記実施形態１と同様である。  
従って、ここでは、前記実施形態１と相違する本体部６１Ｃと、滑り部６３Ｃの構成と、そのスクラブ動作及び作用に絞って説明する。
【００４７】
即ち、本実施形態３では、プローブ３Ｃの本体部６１Ｃにおける屈曲方向が前記実施形態１に係るプローブ３Ａと逆方向になっており、上方の屈曲点Ｑ１は前記実施形態１と同様、中心線Ｌ上あるいはその近傍に位置しているが、下方の屈曲点Ｑ２は、実施形態１において図３及び図５中、中心線Ｌの右側に位置していたのに対して、本実施形態では図７に表すように中心線Ｌの左側に位置するように構成されている。  
これに伴って、実施形態１では、屈曲点Ｑ１から屈曲点Ｑ２に至る範囲で右方に屈曲し、屈曲点Ｑ２から頂点Ｐに至る範囲で左方に屈曲するような側面視Ｓ字形の湾曲形状を有していたのに対して、本実施形態３では、屈曲点Ｑ１から屈曲点Ｑ２に至る範囲で左方に屈曲し、屈曲点Ｑ２から頂点Ｐに至る範囲で右方に屈曲する前記実施形態１とは逆方向の側面視Ｚ字形の湾曲形状に形成されている。
【００４８】
また、本実施形態３では、前記実施形態１のように頂点Ｐを境に本体部６１から折り返すようにして滑り部６３Ａを設けるのではなく、屈曲点Ｑ２と頂点Ｐとの間の本体部６１Ｃの先端部をそのまま利用して滑り部６３を設けている。  
そして、本実施形態に係るプローブ３Ｃでは、図７中、仮想線で表す突起電極７とのコンタクトの開始状態から更に押し込まれると、図７中、実線で表すように滑り部６３Ｃがスクラブ動作方向Ｓに押し出されるようにしてスライドしてスクラブ動作が実行される。
【００４９】
このようにして構成される本実施形態の係るプローブ３Ｃによっても、前述した実施形態１に係るプローブ３Ａと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態にあっては、プローブ３Ｃの形状が前記実施形態１に係るプローブ３Ａよりも簡単になるからプローブ３の成形が容易になってプローブ３の生産性の向上に寄与し得る。
【００５０】
［プローブの配置態様］［図１、図２及び図８参照］
前述した実施形態１から実施形態３の３タイプのプローブ３は、一般に一つで使用されるのではなく、図１、図２に表すように、検査する突起電極７の数や目的に応じて複数本が同時に使用される。  
この場合、前記各実施形態に係るプローブ３Ａ、３Ｂ、３Ｃはすべて板状の厚み方向Ｗにコンパクトな形状を有しているから、図８に表すように、一つの突起電極７に対して複数のプローブ３を接触させる複数端子コンタクトが可能である。従って、突起電極７のレイアウトに対応してプローブ３のレイアウトを自由に変えることが可能であり、プローブのレイアウトに自由度がある。
【００５１】
また、図８で表すように、例えば縦横８０μｍピッチで突起電極７が配置され、隣接する突起電極７間の隙間が例えば４０μｍの高密度に突起電極７が配置された被検査体５に対するプローブ３の高密度実装も可能になる。
【００５２】
［他の実施形態］
本発明に係るプローブ３、プローブカード１１及び接触検査装置１は、以上述べたような構成を有することを基本とするものであるが、本願発明の要旨を逸脱しない範囲内の部分的構成の変更や省略等を行うことも勿論可能である。  
例えば、滑り部６３の横断面形状は、前述した各実施形態において採用した矩形状、三角形状、菱形形状に限らず、円形、楕円形、台形、その他の多角形、エッジにアールを付けたもの、摺接面にスクラブ動作方向Ｓに沿う溝を付けたもの等、種々の形状が採用可能である。
【００５３】
また、本体部６１の形状も前述した実施形態の説明の中で述べた２つの屈曲点Ｑ１、Ｑ２を備えた側面視Ｓ字形状ないしＺ字形状のものに限らず、屈曲点Ｑを一つのみ備えた側面視Ｃ字形状やＪ字形状あるいはＬ字形状のものであってもよいし、屈曲点Ｑを三つにして側面視Ｗ字形状にする等、種々の形状が採用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１  接触検査装置、３  プローブ、３ａ  基端部、３ｂ  先端部、３ｃ  他端部、
３ｄ  延設部、５  被検査体、  ７  突起電極（被検査部）、９  載置部、
１１  プローブカード、１２  カード構造、１３  駆動部、
１５  プローブヘッド、２３  制御部、２５  テスター、
３５  クランプヘッド、３７  スティフナー、３９  プリント基板、
４１  固定リング、４３  ＭＣＬ、５１  上部ガイド部、
５２  中間スペーサー、５３  下部ガイド部、６１  本体部、
６３  滑り部、６５  傾斜部、
Ａ  一端、Ｂ  他端、Ｆ  押付ける力、Ｓ  スクラブ動作方向、Ｃ  前方、
Ｄ  後方、Ｗ  厚み方向、Ｏ  中心位置、Ｐ  頂点、Ｑ  屈曲点、
Ｌ  中心線、Ｌ１  直線、ΔＥ  ずれ量、ｔ  厚み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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