(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車に搭載されシステムコントローラからの指令に基づいて合流点を含む所定の搬送経路に沿って走行制御する搬送制御装置であって、
前記システムコントローラからの指令に基づいて目的地まで前記搬送台車を走行制御する搬送制御部に、
前記搬送経路に含まれる各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知する合流点近傍領域進入検知制御部と、
当該搬送台車の周辺に障害物が存在するか否かを検知する障害物検知部と、
前記合流点近傍領域進入検知制御部で各合流点近傍領域への進入を検知すると、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信する無線通信部と、
前記障害物検知部で前記合流点近傍領域に他の搬送台車の存在を検知したときに、前記無線通信部が起動され、前記無線通信部で、他の搬送台車とのハンドシェークが成立した後に当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する合流点通過制御部と、
が設けられている搬送制御装置。
【請求項２】
前記無線通信部は、優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が親局となり、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が子局となって前記ハンドシェークを行なうように構成され、前記合流点通過制御部は、前記ハンドシェークが成立した場合に優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車が優先して合流点を通過するように構成されている請求項１記載の搬送制御装置。
【請求項３】
優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車は、優先順位の高い進入経路に侵入した搬送台車からの合流点通過完了信号の受信後、または前記ハンドシェークが途切れた後に合流点を通過するように構成されている請求項２記載の搬送制御装置。
【請求項４】
前記合流点近傍領域進入検知制御部は、各合流点の進入経路の近傍に設置されたマーカを検知することにより各合流点近傍領域へ進入したと判定するように構成されている請求項１から３の何れかに記載の搬送制御装置。
【請求項５】
合流点毎に設定される周波数帯域及び識別コード、及び／または進入経路毎の優先順位は、予め前記搬送制御部に備えた記憶部に記憶されている請求項１から４の何れかに記載の搬送制御装置。
【請求項６】
前記障害物検知部で他の搬送台車の存在を検知しなかったときには、前記無線通信部及び前記合流点通過制御部を起動することなく、当該合流点を通過するように構成されている請求項１から５の何れかに記載の搬送制御装置。
【請求項７】
前記搬送制御部に制御され前記搬送台車と荷を移載するステーションとの間で荷の移載のための通信を行なう光通信部に、前記無線通信部が一体に組み込まれ、前記合流点近傍領域進入検知制御部により合流点近傍領域への進入を検知すると、前記搬送制御部により前記光通信部に替えて前記無線通信部が起動され、前記搬送台車が前記ステーションへ接近すると、前記無線通信部に替えて前記光通信部が起動されるように構成されている請求項１から６の何れかに記載の搬送制御装置。
【請求項８】
搬送台車に搭載されシステムコントローラからの指令に基づいて合流点を含む所定の搬送経路に沿って前記搬送台車を走行制御する搬送制御部により実行される搬送台車の合流点通過方法であって、
前記搬送経路に含まれる各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知する合流点近傍領域進入検知制御ステップと、
当該搬送台車の周辺に障害物が存在するか否かを検知する障害物検知ステップと、
前記合流点近傍領域進入検知制御ステップで各合流点近傍領域への進入を検知すると、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信する無線通信ステップと、
前記障害物検知ステップで前記合流点近傍領域に他の搬送台車の存在を検知したときに前記無線通信ステップが起動され、前記無線通信ステップで他の搬送台車とのハンドシェークが成立した後に当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する合流点通過制御ステップと、
が前記搬送制御部により実行される搬送台車の合流点通過方法。
【請求項９】
前記無線通信ステップは、優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が親局となり、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が子局となって前記ハンドシェークを行なうように構成され、前記合流点通過制御ステップは、前記ハンドシェークが成立した場合に優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車が優先して合流点を通過するように構成されている請求項８記載の搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１０】
優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車は、優先順位の高い進入経路に侵入した搬送台車から合流点通過完了の信号受信後、または前記ハンドシェークが途切れた後に合流点を通過するように構成されている請求項９記載の搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１１】
前記合流点近傍領域進入検知制御ステップは、各合流点の進入経路の近傍に設置されたマーカを検知することにより各合流点近傍領域へ進入したと判定するように構成されている請求項８から１０の何れかに記載の搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１２】
合流点毎に設定される周波数帯域及び識別コード、及び／または進入経路毎の優先順位は、予め前記搬送制御部に備えた記憶部に記憶されている請求項９から１１の何れかに記載の搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１３】
前記障害物検知ステップで他の搬送台車の存在を検知しなかったときには、前記無線通信ステップ及び前記合流点通過制御ステップを起動することなく、当該合流点を通過するように構成されている請求項９から１２の何れかに記載の搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１４】
複数の合流点を含む搬送経路に沿って自走する複数の搬送台車の合流点通過方法であって、
各搬送台車は、前記合流点近傍領域へ進入したときに他の搬送台車を検知すると走行を停止または減速し、
合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び識別コードを用いて他の搬送台車と無線交信し、
ハンドシェークが成立すると当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位の高い搬送台車が優先的に合流点を通過し、前記ハンドシェークが終了するとその後優先順位低い搬送台車が合流点を通過するように構成されている搬送台車の合流点通過方法。
【請求項１５】
各搬送台車は、前記合流点近傍領域へ進入したときに他の搬送台車を検知しなければ、走行を停止することなく合流点を通過するように構成されている請求項１４記載の搬送台車の合流点通過方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造設備では、各製造装置間で半導体ウェハを自動搬送するために、各製造装置に設けられたロードポート上に載置された複数枚の半導体ウェハが収容されたウェハキャリアを搬送する搬送台車が用いられている。
【０００３】
搬送台車は、人や機械との接触を回避するため、製造設備の上部空間に設置された走行レール、つまり軌道に沿って自走する走行部と、走行部に支持される物品収容部で構成され、搬送対象物を掴むチャック機構を備えた昇降体を所定の昇降経路に沿って昇降させる昇降機構が組み込まれている。
【０００４】
軌道は、製造設備のレイアウトに従ってウェハキャリアを搬送するべく、単純な直線部のみならず、カーブ、分岐部、合流部等を備えた複雑な形状であり、同一の軌道を複数の搬送台車が走行する。
【０００５】
近年、ウェハキャリアの搬送効率を上げるために、同一軌道で多数の搬送台車が高速走行することが要求され、それに伴って合流点での搬送台車の効率的な走行制御が必要になっている。
【０００６】
特許文献１には、自動操縦車両の交差点制御方式が開示されている。自動操縦車両は、交差点エリアへの到達または通過を検知する検知手段と、該当する交差点エリア内に存在する他の自動操縦車両の電波を受信する受信手段と、受信手段により交差点エリア内に他の自動操縦車両の存在の有無を識別する手段と、交差点に進入する優先順序を判断し、複数台の自動操縦車両が交差点エリアに進入することを防止する手段と、交差点エリアに進入して通過するまで、予め設定された周期で間欠的に送信する送信手段が設けられている。
【０００７】
図８に示すように、走行路には交差点を囲む交差点エリアＰ１と交差点エリアＰ１の手前側の進入確認エリアＳ１が設定され、それぞれのエリアの直前位置には自動操縦車両に備えた検知手段により検知可能な光反射テープで構成される検知体ｂ１，ｂ２が配置されている。尚、同図に示す符号は、〔発明を実施するための形態〕の欄で用いる符号とは関連性がない。
【０００８】
自動操縦車両は検知手段により進入確認エリアＳ１に入ったと判断すると、他の自動操縦車両から送信される電波の有無を受信手段によって確認する。電波の周波数は交差点エリアＰ１毎に異なる値に設定されているため、周波数に基づいて該当する交差点エリアＰ１に他の自動操縦車両が存在するか否かが判別される。該当する交差点エリアＰ１に他の自動操縦車両が存在しないと判断した場合に、交差点エリアＰ１に進入し、通過する迄の間、当該交差点に設定された周波数の電波を自動操縦車両ごとに設定された固有の周期で間欠送信する。
【０００９】
該当する交差点エリアＰ１に他の自動操縦車両が存在する判断した場合に、他の自動操縦車両からの電波が途切れるまで交差点エリアＰ１の直前で停止し、電波が途切れると交差点エリアＰ１に進入する。
【００１０】
交差点エリアＰ１の直前で複数の自動操縦車両が停止している場合には、自動操縦車両ごとに設定された固有の周期で一定時間の送信と残り時間の受信を交互に行ない、他の自動操縦車両からの送信を受信する間は停止状態が維持される。このようにして、交差点エリアＰ１に複数の自動操縦車両が進入することがないように相互に制御される。
【００１１】
特許文献２には、２台の無人搬送車が合流ゾーン内へ同時進入するのを確実に防止しながらも、多数台の無人搬送車を可及的迅速に合流ゾーン内に進入させて搬送効率を上げるように制御することのできる無人搬送車の走行制御方法が開示されている。
【００１２】
当該無人搬送車の走行制御方法は、搬送路を共用して複数台の無人搬送車を走行させるとともに、無人搬送車間で無線による交信を相互に行って互いの走行を規制しながら走行する方法で、搬送路の交差点の周囲に合流ゾーンを設定するとともに、合流ゾーンの各入口の外側に確認エリアをそれぞれ設定し、確認エリアの入口に到達した無人搬送車には、受信と送信を交互に行わせながら確認エリアに進入させ、確認エリア内を走行中に、他車からの信号を受信した場合には、送信を停止して合流ゾーンの入口まで前進させたのち、入口で受信を継続しながら待機させ、待機中に信号の受信が無くなった時点で合流ゾーン内に進入させ、他車からの信号を受信することなく合流ゾーンの入口に到達した場合には待機することなく合流ゾーン内に進入させ、合流ゾーンの出口で通信動作を停止させるように構成されている。
【００１３】
特許文献３には、交差点内の障害物を直接検出して、交差点における進入、退出の制御を行う無人搬送車の交差点制御装置及び交差点制御方法が開示されている。
【００１４】
当該交差点制御装置は、交差点を、走行路同士の交差部分に設定した第１エリアと、第１エリアの外側に接し、走行路各々に設定した第２エリアと、第２エリアの外側に接し、走行路各々に設定した第３エリアとに分割すると共に、各エリアにおける障害物の有無及び変化を検知するエリアセンサを交差点に設け、制御装置は、交差点に進入してきた無人搬送車を、１つの第３エリアに待機させると共に、エリアセンサを用いて、全エリアにおける障害物の検知を行い、第１エリア及び第２エリアに障害物が無い場合、待機させた無人搬送車に交差点への進入許可を与え、第１エリア及び第２エリアに障害物がある場合、当該障害物が第１エリア及び第２エリアから無くなるまで、待機させた無人搬送車に交差点への進入許可を与えないように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開昭６３−７３３０３号公報
【特許文献２】特開２０００−２５０６２７号公報
【特許文献３】特開２０１０−２５７１８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、特許文献１に記載された交差点制御技術では、複数の進入確認エリアに入った全ての自動操縦車両が交差点エリア毎に設定されている周波数の電波を間欠送信し、受信周波数が、自車両が進入しようとしている交差点エリアに対応した周波数であるか否かを検知する必要があった。電波を受信しながらも微弱で周波数を検知できない場合には、衝突を回避するために、交差点エリアに対応した周波数でないと確認できるまで受信操作を継続する必要がある。
【００１７】
そのため、システムの安定性を確保するためには、一定強度の電波を送信する必要があり、結果として複数の交差点エリアから発信された電波が干渉して混信を招きやすくなるという問題があった。さらに、一方的に送信された電波を受信することにより他の自動操縦車両の有無を判別する必要があり、混信によって誤検知すると複数の自動操縦車両が同時期に交差点エリアに進入する虞があり、逆に他の自動操縦車両が交差点エリアに存在していない場合でも進入確認エリアに停止する虞があった。
【００１８】
特許文献２に記載された交差点制御技術でも、無人搬送車が受信と送信を交互に行ない相手方の送信を受信した場合に自らの発信を停止する構成であり、各無人搬送車の送信タイミングまたは受信タイミングが重複する確率は零ではないため、混信の発生確率を低下させることはできても、混信を完全に防止することはできなかった。また、何れの場合も、不特定の相手方の発信電波を受信して一方的に動作するため、相手方を確認して動作することにより信頼性を確保するという観点で改良の余地があった。
【００１９】
さらに、特許文献３に記載された交差点制御技術では、交差点毎に障害物を検知するエリアセンサとそのエリアセンサに基づき交差点での走行制御をする設備を設置する必要となり設備コストが嵩むという問題があった。
【００２０】
本発明の目的は、上述の問題に鑑み、設備コストの高騰や、無線の混信を招くことなく、より確実且つ安全に合流点を通過できる搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上述の目的を達成するため、本発明による搬送制御装置の第一の特徴構成は、特許請求の範囲の書類の請求項１に記載した通り、搬送台車に搭載されシステムコントローラからの指令に基づいて合流点を含む所定の搬送経路に沿って走行制御する搬送制御装置であって、前記システムコントローラからの指令に基づいて目的地まで前記搬送台車を走行制御する搬送制御部に、前記搬送経路に含まれる各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知する合流点近傍領域進入検知制御部と、当該搬送台車の周辺に障害物が存在するか否かを検知する障害物検知部と、前記合流点近傍領域進入検知制御部で各合流点近傍領域への進入を検知すると、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信する無線通信部と、前記障害物検知部で前記合流点近傍領域に他の搬送台車の存在を検知したときに、前記無線通信部が起動され、前記無線通信部で、他の搬送台車とのハンドシェークが成立した後に当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する合流点通過制御部と、が設けられている点にある。
【００２２】
搬送台車に搭載された搬送制御部によって、システムコントローラからの指令に基づいて所定の搬送経路に沿って目的地まで搬送台車が走行制御される。その過程で合流点近傍領域進入検知制御部によって合流点近傍領域への進入が検知され、障害物検知部によって合流点近傍領域に他の搬送台車の存在が検知されると、無線通信部によって合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信が試みられ、他の搬送台車とのハンドシェークが成立すると、他の搬送台車が合流点近傍領域に存在すると判定される。他の搬送台車の存在が認識されると、合流点通過制御部によって合流点への進入経路毎に予め設定された優先順位に従って、優先順位の高い進入経路側の搬送台車から順に合流点へ進入及び通過制御され、他の搬送台車が存在しない場合にはそのまま合流点へ進入及び通過制御される。
【００２３】
つまり、合流点近傍領域に他の搬送台車が存在するか否かを障害物検知部によって判別し、他の搬送台車が存在すると判別した場合に、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域の電波を用いて共通の識別コードを付加して交信するため、当該周波数帯域の電波が他の合流点に伝播するような強い強度でなくても確実に無線交信できる。しかも、無線交信によりハンドシェークが成立するか否かで他の搬送台車の存在を認識できるので、むやみに一方的に電波を発信する必要が無い。そのため電波が混信する虞が殆どなく、無線交信に要する電力も低減できる。
【００２４】
同第二の特徴構成は、同請求項２に記載した通り、上述した第一の特徴構成に加えて、前記無線通信部は、優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が親局となり、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が子局となって前記ハンドシェークを行なうように構成され、前記合流点通過制御部は、前記ハンドシェークが成立した後に優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車であれば優先して合流点を通過するように構成されている点にある。
【００２５】
予め進入経路毎に決められていた優先順位に従い、優先順位の高い搬送台車が親局になり、優先順位の低い搬送台車が子局となって無線交信されるので、円滑にハンドシェークできるようになる。
【００２６】
同第三の特徴構成は、同請求項３に記載した通り、上述した第二の特徴構成に加えて、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車は、優先順位の高い進入経路に侵入した搬送台車からの合流点通過完了信号の受信後、または前記ハンドシェークが途切れた後に合流点を通過するように構成されている点にある。
【００２７】
優先順位の高い搬送台車が合流点に進入及び通過する間はハンドシェーク状態が維持され、通過した後は無線交信によって合流点通過完了信号が送信され、或いはハンドシェークが途切れるので、合流点通過完了信号を受信し、或いはハンドシェークが途切れたことにより、優先順位の高い搬送台車が合流点を通過したと認識して、優先順位の低い搬送台車はその後合流点を通過する。
【００２８】
同第四の特徴構成は、同請求項４に記載した通り、上述した第一から第三の何れかの特徴構成に加えて、前記合流点近傍領域進入検知制御部は、各合流点の進入経路の近傍に設置されたマーカを検知することにより各合流点近傍領域へ進入したと判定するように構成されている点にある。
【００２９】
合流点近傍領域進入検知制御部によって、各合流点近傍配置されたマーカが検知されると搬送台車が合流点に差し掛かったと検知されるようになる。
【００３０】
同第五の特徴構成は、同請求項５に記載した通り、上述した第一から第四の何れかの特徴構成に加えて、合流点毎に設定される周波数帯域及び識別コード、及び／または進入経路毎の優先順位は、予め前記搬送制御部に備えた記憶部に記憶されている点にある。
【００３１】
各搬送台車の搬送制御部は、予め記憶部に記憶され、合流点毎に設定される周波数帯域及び識別コード、及び／または進入経路毎の優先順位を参照することにより、システムコントローラを介在することなく合流点を通過するために必要な制御がローカルで行えるようになり、システムコントローラの制御負荷を低減させることができる。
【００３２】
同第六の特徴構成は、同請求項６に記載した通り、上述した第一から第五の何れかの特徴構成に加えて、前記障害物検知部で他の搬送台車の存在を検知しなかったときには、前記無線通信部及び前記合流点通過制御部を起動することなく、当該合流点を通過するように構成されている点にある。
【００３３】
障害物検知部によって合流点近傍領域に他の搬送台車の存在が検知されない場合には、不要な無線交信が行なわれないので、速やかに合流点に進入し通過することができるようになる。
【００３４】
同第七の特徴構成は、同請求項７に記載した通り、上述した第一から第六の何れかの特徴構成に加えて、前記搬送制御部に制御され前記搬送台車と荷を移載するステーションとの間で荷の移載のための通信を行なう光通信部に、前記無線通信部が一体に組み込まれ、前記合流点近傍領域進入検知制御部により合流点近傍領域への進入を検知すると、前記搬送制御部により前記光通信部に替えて前記無線通信部が起動され、前記搬送台車が前記ステーションへ接近すると、前記無線通信部に替えて前記光通信部が起動されるように構成されている点にある。
【００３５】
搬送台車と荷を移載するステーションとの間で荷の移載のための通信を行なう光通信部に無線通信部が一体に組み込まれることにより、搬送制御部と光通信部及び無線通信部間の通信インタフェースが簡素化でき、実装空間を小さくすることができるようになる。尚、光通信部と無線通信部が同時に動作することはないので、一体に組み込んでもそれらを制御するマイクロコンピュータ等の制御負荷が増大することがなく、安価なマイクロコンピュータを採用して双方の機能を実現できるようになる。
【００３６】
本発明による搬送台車の合流点通過方法の第一の特徴構成は、同請求項８に記載した通り、搬送台車に搭載されシステムコントローラからの指令に基づいて合流点を含む所定の搬送経路に沿って前記搬送台車を走行制御する搬送制御部により実行される搬送台車の合流点通過方法であって、前記搬送経路に含まれる各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知する合流点近傍領域進入検知制御ステップと、当該搬送台車の周辺に障害物が存在するか否かを検知する障害物検知ステップと、前記合流点近傍領域進入検知制御ステップで各合流点近傍領域への進入を検知すると、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信する無線通信ステップと、前記障害物検知ステップで前記合流点近傍領域に他の搬送台車の存在を検知したときに前記無線通信ステップが起動され、前記無線通信ステップで他の搬送台車とのハンドシェークが成立した後に当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する合流点通過制御ステップと、が前記搬送制御部により実行される点にある。
【００３７】
同第二の特徴構成は、同請求項９に記載した通り、上述の第一の特徴構成に加えて、前記無線通信ステップは、優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が親局となり、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が子局となって前記ハンドシェークを行なうように構成され、前記合流点通過制御ステップは、前記ハンドシェークが成立した場合に優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車が優先して合流点を通過するように構成されている点にある。
【００３８】
同第三の特徴構成は、同請求項１０に記載した通り、上述の第二の特徴構成に加えて、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車は、優先順位の高い進入経路に侵入した搬送台車から合流点通過完了の信号受信後、または前記ハンドシェークが途切れた後に合流点を通過するように構成されている点にある。
【００３９】
同第四の特徴構成は、同請求項１１に記載した通り、上述した第一から第三の何れかの特徴構成に加えて、前記合流点近傍領域進入検知制御ステップは、各合流点の進入経路の近傍に設置されたマーカを検知することにより各合流点近傍領域へ進入したと判定するように構成されている点にある。
【００４０】
同第五の特徴構成は、同請求項１２に記載した通り、上述した第二から第四の何れかの特徴構成に加えて、合流点毎に設定される周波数帯域及び識別コード、及び／または進入経路毎の優先順位は、予め前記搬送制御部に備えた記憶部に記憶されている点にある。
【００４１】
同第六の特徴構成は、同請求項１３に記載した通り、上述した第二から第五の何れかの特徴構成に加えて、前記障害物検知ステップで他の搬送台車の存在を検知しなかったときには、前記無線通信ステップ及び前記合流点通過制御ステップを起動することなく、当該合流点を通過するように構成されている点にある。
【００４２】
本発明による搬送台車の合流点通過方法の第一の特徴構成は、同請求項１４に記載した通り、上述した第一から第六の何れかの特徴構成に加えて、複数の合流点を含む搬送経路に沿って自走する複数の搬送台車の合流点通過方法であって、各搬送台車は、前記合流点近傍領域へ進入したときに他の搬送台車を検知すると走行を停止または減速し、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び識別コードを用いて他の搬送台車と無線交信し、ハンドシェークが成立すると当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位の高い搬送台車が優先的に合流点を通過し、前記ハンドシェークが終了するとその後優先順位低い搬送台車が合流点を通過するように構成されている点にある。
【００４３】
同第二の特徴構成は、同請求項１５に記載した通り、上述した第一の特徴構成に加えて、各搬送台車は、前記合流点近傍領域へ進入したときに他の搬送台車を検知しなければ、走行を停止することなく合流点を通過するように構成されている点にある。
【発明の効果】
【００４４】
以上説明した通り、本発明によれば、設備コストの高騰や、無線の混信を招くことなく、より確実且つ安全に合流点を通過できる搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法を提供することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】半導体デバイスの製造設備及び搬送台車の説明図
【図２】搬送台車と製造装置間で行われるウェハキャリアの受渡し処理の説明図
【図３】搬送制御装置の機能ブロック構成図
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）は搬送台車の合流点通過方法の説明図
【図５】搬送制御装置の走行制御を示すフローチャート
【図６】搬送制御装置の合流点通過制御を示すフローチャート
【図７】合流点近傍での搬送台車間の通信手順の説明図
【図８】従来の技術の説明図
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下に、半導体デバイスの製造設備に備えられた無人の搬送台車を例に、本発明による搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法を説明する。本発明は、合流点ＣＰに同時に複数の搬送台車１が進入しようとする場合に、衝突を未然に防止することを目的とする発明である。
【００４７】
図１に示すように、半導体デバイスの製造設備１００は、所定の通路に沿って配置され、半導体ウェハに順次所定の処理を施すための各種の製造装置１（１ａ〜１ｌ）と、各製造装置１に沿うように天井に吊設された走行レール５と、走行レール５に沿って走行し、製造装置１（１ａ〜１ｌ）間で半導体ウェハＷを自動搬送する複数の搬送台車１０とを備えている。各製造装置１（１ａ〜１ｌ）は、一連の纏まりのある製造工程毎にベイ６，７に分けられて設置されている。
【００４８】
システムコントローラＨからの指令に基づいて、各搬送台車１０は各製造装置１のロードポート２上に載置された複数枚の半導体ウェハＷが収容されたウェハキャリア３を掴持して、各製造装置１間やウェハキャリア３を一時的に保管しておくストッカＳＴ間を往来して搬送先のロードポート２上にウェハキャリア３を載置するように構成されている。
【００４９】
走行レール５は、単純な直線部のみならず、カーブ、分岐部、合流部等を備えて構成されている。例えば、各ベイ６，７間を結ぶ工程間レール５ａ、各ベイ６，７に設置された製造装置１間を結ぶ工程内レール５ｂ、工程間レール５ａと工程内レール５ｂを結ぶ分岐レール５ｃ、工程内レール５ｂ内を走行する搬送台車１０を一時退避させる退避レール５ｄ、搬送台車１０がストッカＳＴへウェハキャリア３を積降するためのバイパスレール５ｅ等で構成されている。
【００５０】
分岐レール５ｃは、工程間レール５ａと工程内レール５ｂとを接続するレールであり、走行する搬送台車１０は、分岐レール５ｃに沿って走行することで、工程間レール５ａと工程内レール５ｂを互いに往来する。
【００５１】
退避レール５ｄは、工程内レール５ｂから分岐して設けられ、例えば、搬送台車１０のメンテナンス等のために、工程内レール５ｂから搬送台車１を一時退避させる場合に用いられる。
【００５２】
バイパスレール５ｅは、工程間レール５ａから分岐し、工程間レール５ａを走行する搬送台車１に掴持されたウェハキャリア３をストッカＳＴに一時保管する場合等に用いられる。
【００５３】
分岐レール５ｃと工程間レール５ａの接続点、分岐レール５ｃと工程内レール５ｂの接続点、退避レール５ｄと工程内レール５ｂの接続点、バイパスレール５ｅと工程間レール５ａの接続点が合流点ＣＰとなる（図１中、一点鎖線の丸印で示されている）。
【００５４】
図２に示すように、走行レール５は、下壁に長手方向に沿うスリット状の開口５Ａが形成された断面矩形の管状体で構成されている。搬送台車１０は、当該スリット５Ａを挟んで管状体の下壁の内側上面に沿って走行する走行部１０Ａと、走行部１０Ａと連結具を介して連結され、管状体の下壁の下方に位置する把持部１０Ｂとで構成されている。
【００５５】
走行部１０Ａは、走行基台に前後一対の車輪が取り付けられるとともに、車輪を駆動する走行モータ、ウェハキャリア３を把持して目的の製造装置１に搬送する搬送制御部、進行方向に存在する障害物を検知する障害物検知部、給電部等が設けられている。管状体の側壁内面には長手方向に沿って給電線が配設され、走行基台に備えた給電部を介して給電線から受電可能に構成されている。更に給電線を通信媒体としてシステムコントローラＨと搬送制御部との間でデータ通信可能に構成されている。
【００５６】
尚、システムコントローラＨと搬送制御部との間のデータ通信は給電線を通信媒体とするものに限らず、電磁波を通信媒体とする無線で行なうように構成されていてもよい。以下の説明においても、給電線を通信媒体とするデータ通信に替えて電磁波を通信媒体とする無線によるデータ通信を採用した態様であってもよい。
【００５７】
障害物検知部として光源に近赤外のレーザダイオードを用いた走査型測距装置が用いられ、進行方向前方に障害物があるか否かが検知される（図３の符号２６参照）。
【００５８】
把持部１０Ｂには、ウェハキャリア３を掴持するためのチャック機構１０Ｃを備えた昇降体１０Ｄを所定の昇降経路に沿って昇降させるベルト及び巻上モータを備えた昇降機構１０Ｅが組み込まれている。
【００５９】
上述の走行モータ、搬送制御部、障害物検知部、給電部によって搬送制御装置Ｃが構成されている。搬送制御装置Ｃは、給電線を介して受信したシステムコントローラＨからの指令に基づいて、所定のウェハキャリア３を所定の製造装置１から受け取って、搬送先の製造装置１まで搬送し、当該製造装置１のロードポートにウェハキャリア３を引き渡すように、搬送台車１０を統括制御する。
【００６０】
図３には、搬送制御装置Ｃの要部の機能ブロック構成が示されている。搬送制御装置Ｃは、搬送台車１０を目的とする製造装置１まで走行制御するとともに、その製造装置１のロードポートに対してウェハキャリア３を移載制御する搬送制御部２０と、製造装置１との間または他の搬送台車１０との間でローカル通信するローカル通信部３０とを備えている。
【００６１】
搬送制御部２０は、高機能マイクロコンピュータ及びメモリや入出力回路等の周辺回路を備えて構成され、メモリに格納された制御プログラムが高機能マイクロコンピュータのＣＰＵで実行されることにより所望の機能が実現される電子回路で構成されている。
【００６２】
搬送制御部２０を機能単位で説明すると、給電線を介してシステムコントローラＨと通信するホストインタフェース２１、システムコントローラＨからの送信情報や各種の制御情報を記憶する半導体メモリで構成される記憶部２２、製造装置１との間でウェハキャリア３の移載処理を行なう移載制御部２３、システムコントローラＨからの指令に基づいて目的の製造装置１等に向けて搬送台車１０を走行制御する走行制御部２４、ローカル通信部３０と通信するシリアル通信インタフェース２７等を備えている。
【００６３】
ローカル通信部３０は、発光ダイオード及びフォトトランジスタを備えた光通信回路、無線アンテナと発振器と変復調器を備えた無線通信回路、光通信回路及び無線通信回路を制御する低機能マイクロコンピュータ及びメモリ等を備えて構成され、メモリに格納された制御プログラムが低機能マイクロコンピュータのＣＰＵで実行されることにより光通信機能または無線通信が行なわれる。
【００６４】
ローカル通信部３０を機能単位で説明すると、搬送制御部２０に設けられたシリアル通信インタフェース２７との間で通信するシリアル通信インタフェース３１、製造装置１に設けられた光通信部２Ｃとの間で光通信する光通信部３４、他の搬送台車１０との間で無線通信する無線通信部３５、光通信部３４及び無線通信部３５を制御する通信制御部３３、シリアル通信インタフェース３１を介して搬送制御部２０から得られたデータ、光通信部３４及び無線通信部３５に用いる送受信データ等を記憶する半導体メモリで構成される記憶部３２等を備えている。
【００６５】
ローカル通信部３０に備えた通信制御部３３は、シリアル通信インタフェース２７，３１を介して搬送制御部２０から送信された指令に基づいて、光通信部３４または無線通信部３５を駆動して通信対象に必要なデータを送信するとともに、通信対象から受信したデータを搬送制御部２０に送信するように構成されている。
【００６６】
ホストインタフェース２１にはＴＣＰ／ＩＰプロトコルが用いられ、シリアル通信インタフェース２７，３１にはＲＳ２３２Ｃによる非同期シリアル通信プロトコルが用いられる。更に、光通信部３４はＳＥＭＩ  Ｅ８４−０２００Ａインタフェース規格等に基づいて動作するように構成され、無線通信部３５は所定の周波数帯域及び所定のＳＳＩＤ（「識別コード」ともいう。）を用いて一方が親局となり他方が子局となるパケット通信を行なうように構成されている。
【００６７】
走行制御部２４は、システムコントローラＨから送信され、記憶部２２に記憶された走行ルートに従って搬送台車１０を走行制御し、目的とする製造装置１の近傍に接近すると、減速して光通信部３４を起動する。
【００６８】
製造装置１に備えた光通信部２Ｃとローカル通信部３０に備えた光通信部３４との間で光通信が開始され、搬送台車１０の移動に伴って光軸が一致して光通信が確立した位置で、搬送制御部によって搬送台車１０が停止される。このときの光通信によって互いに目的となる製造装置１であり、受入用の搬送台車１０であることが相互に確認される。
【００６９】
その後、移載制御部２３が起動されてウェハキャリア３の移載処理が行なわれる。尚、図２中、符号Ｒは、各製造装置１（１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ）が配置された通路を示す。移載制御部２３による移載処理が終了すると、走行制御部２４は次の製造装置１に向けて走行制御を開始する。
【００７０】
記憶部２２には、予めホストインタフェース２１を介してシステムコントローラＨから送信されたルート情報が格納されている。走行制御部２４は車輪に設けられたロータリエンコーダの出力に基づいてルート情報で示される何れの地点を走行しているのかを把握し、走行レール５の側壁内面の要所に備えた光反射型のマーカを読み取ることにより、位置確認を行ないながら目的地まで走行制御する。
【００７１】
そのような光反射型のマーカの一部が、図１に示す合流点ＣＰを中心とする所定の半径で描かれる合流点近傍領域の手前及び直後に配置されている。つまり、手前のマーカが検知されると合流点への進入経路に差し掛かり、直後のマーカが検知されると合流点からの退出経路に入ったことが認識できるようになる。
【００７２】
走行制御部２４は、走行レール５の合流点ＣＰを走行する際に、他の走行レール５を走行する他の搬送台車１０と合流点で衝突や接触事故を起こさないように、予め決定された所定の手続きで合流点ＣＰを通過するように制御するように構成されている。以下、走行制御部２４により実行される合流点通過制御について詳述する。
【００７３】
走行制御部２４は、合流点近傍領域進入検知制御部２４ａと、無線通信部２４ｂと、合流点通過制御部２４ｃとを備えている。合流点近傍領域進入検知制御部２４ａは、反射型フォトセンサで構成される合流点マーカ検知部２５と、合流点近傍領域に他の搬送台車が存在するか否かを検知する障害物検知部２６を備えている。無線通信部２４ｂとして上述の無線通信部３５が用いられる。
【００７４】
合流点近傍領域進入検知制御部２４ａは、合流点マーカ検知部２５からの出力に基づいて各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知したときに、障害物検知部２６からの出力に基づいて当該合流点近傍領域に他の搬送台車が存在しないと判断すると、そのまま合流点ＣＰを通過する。
【００７５】
図４（ａ）に示すように、合流点近傍領域進入検知制御部２４ａは、合流点マーカ検知部２５からの出力に基づいて各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域９への進入を検知したときに、障害物検知部２６からの出力に基づいて当該合流点近傍領域９に他の搬送台車１０が存在すると判断すると、シリアル通信インタフェース２７を介してローカル通信部３０の無線通信部３５（２４ｂ）を起動するとともに、合流点ＣＰより手前つまり衝突回避可能な位置で搬送台車１０の走行を停止する。図中、符号Ｍはマーカを示す。
【００７６】
記憶部２２には、予めホストインタフェース２１を介してシステムコントローラＨから送信されたルート情報に加えて、合流点ＣＰ毎に異なる値のローカル通信用の周波数帯域データ及び識別コードが記憶されるとともに、各合流点に進入するルートに付された優先順位データが記憶されている。尚、ルート情報以外の情報、つまり合流点ＣＰ毎に異なる値のローカル通信用の周波数帯域データ及び識別コードや優先順位データは、予め記憶部にデフォルト値として設定されていてもよい。
【００７７】
合流点近傍領域進入検知制御部２４ａは、合流点近傍領域９への進入を検知すると、合流点ＣＰ毎に異なる値に設定された周波数帯域及び識別コードを記憶部２２から読み出して通信制御部３３に送信する。通信制御部３３は当該周波数帯域及び識別コードを記憶部３２に記憶するとともに、無線通信部２４ｂを起動して当該周波数帯域及び識別コードを用いて、他の搬送台車１０の無線通信部２４ｂとの間で無線交信する。
【００７８】
このとき、各合流点に進入するルートに付された優先順位データに従って、優先順位の高いルートを走行している搬送台車１０が無線親局として、優先順位の低いルートを走行している搬送台車１０が無線子局として互いに無線交信する。
【００７９】
無線親局と無線子局の双方が合流点ＣＰ毎の固有の周波数帯域及び識別コードで無線交信するので、他の合流点で使用される周波数帯域の信号との混信の虞がなく、従ってそれほど強度が高い電波でなくてもよい。また合流点ＣＰ毎に共通の識別コードで無線交信するので、確実に当該合流点ＣＰでの無線交信であることが保証され、信頼性も向上する。
【００８０】
無線通信部２４ｂで他の搬送台車とのハンドシェークが成立すると、その旨が通信制御部３３からシリアル通信インタフェース３１，２７を介して走行制御部２４の合流点近傍領域進入検知制御部２４ａに送信され、その結果、合流点通過制御部２４ｃが起動されて、当該合流点ＣＰへの進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する。
【００８１】
つまり、図４（ｂ）に示すように、優先順位の高い搬送台車１０はハンドシェーク状態を維持しながら優先的に合流点ＣＰを通過し、合流点ＣＰを通過し終わると無線通信を途絶するように構成され、図４（ｃ）に示すように、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車１０は、ハンドシェークが途切れ或いは通信が終了すると、優先順位の高い搬送台車１０が合流点ＣＰを通過し終わったと判断して、その後合流点ＣＰを通過する。図４（ａ），（ｂ），（ｃ）では、優先順位が高いルートから合流点近傍領域９に進入する搬送台車１０を符号１０ａで示し、優先順位が低いルートから合流点近傍領域９に進入する搬送台車１０を符号１０ｂで示している。
【００８２】
尚、優先順位の高い搬送台車１０は、合流点ＣＰを通過し終わると無線通信を途絶するのではなく、合流点からの退出経路に備えたマーカを検知して合流点ＣＰを通過し終わったと判断したときに、無線通信によって合流点の通過完了信号を送信するように構成し、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車１０は、合流点の通過完了信号を受信して通信を終了すると、その後合流点ＣＰを通過するように構成してもよい。
【００８３】
無線交信によりハンドシェークが成立するか否かで、双方が他の搬送台車の存在を認識できるので、むやみに一方的に電波を発信する必要が無い。そのため電波が混信する虞が殆どなく、無線交信に要する電力も低減できる。
【００８４】
本実施形態では、従来のＳＥＭＩ  Ｅ８４−０２００Ａインタフェース規格等に基づいて動作する光通信部３４及びその通信制御部３３等を備えた通信デバイスに、さらに無線通信部３５が組み込まれローカル通信部３０として二つの機能を備えた通信デバイスが用いられている。
【００８５】
つまり、搬送制御部２０に制御され搬送台車１０と荷を移載するステーション１との間で荷３の移載のための通信を行なう光通信部３４に、無線通信部３５が一体に組み込まれ、合流点近傍領域進入検知制御部により合流点近傍領域への進入を検知すると、搬送制御部２０により光通信部３４に替えて無線通信部３５が起動され、搬送台車１０がステーション１へ接近すると、無線通信部３５に替えて光通信部３４が起動されるように構成されている。
【００８６】
従って、搬送制御部２０と光通信部３４及び無線通信部３５間の通信インタフェースが一つのシリアル通信インタフェース３１として簡素化でき、通信デバイスの実装空間を小さくすることができるようになる。尚、光通信部３４と無線通信部３５が同時に動作することはないので、一体に組み込んでもそれらを制御するマイクロコンピュータ等の制御負荷が増大することがなく、安価なマイクロコンピュータを採用して双方の機能を実現できるようになる。
【００８７】
図５に示すように、走行制御部２４は、ホストインタフェース２１を介してシステムコントローラＨから送信された移送先の製造装置１の情報を受信すると、当該製造装置１に向けて走行制御するとともに（ＳＡ１）、ローカル通信部３０の通信制御部３３に光通信部３４をアクティブに切り替えて光通信モードで動作するように指示し（ＳＡ２）、搬送台車１０を移送先の製造装置１に向けて走行制御する（ＳＡ３）。
【００８８】
走行中に合流点マーカ検知部２５によって合流点マーカＭが検知されると（ＳＡ４，Ｙ）、ローカル通信部３０の通信制御部３３に無線通信部３５をアクティブに切り替えて無線通信モードで動作するように指示して減速する（ＳＡ１０）。その後、合流点近傍領域進入検知制御部２４ａによる合流点通過制御を実行し（ＳＡ１１）、合流点を通過すると、ローカル通信部３０の通信制御部３３に光通信部３４をアクティブに切り替えて光通信モードで動作するように指示して（ＳＡ１２）、ステップＳＡ５以降の処理を実行する。
【００８９】
走行中に合流点マーカ検知部２５によって合流点マーカＭが検知される前に（ＳＡ４，Ｎ）、移送先の製造装置１の近傍に到着すると（ＳＡ５，Ｙ）、搬送台車を減速するとともに、光通信部３４を介して移送先の製造装置１の光通信部２Ｃとの間で光通信を行ない（ＳＡ６）、光通信が成功して移送先の製造装置１であることが確認できると（ＳＡ７）、走行を停止して（ＳＡ８）、ウェハキャリアの移載処理を行ない（ＳＡ９）、ステップＳＡ１からの処理を繰り返す。
【００９０】
図６には、図５で説明したステップＳＡ１１の合流点通過制御の詳細が示されている。走行制御部２４（合流点近傍領域進入検知制御部２４ａ）は、障害物検知部２６からの出力に基づいて当該合流点近傍領域９に他の搬送台車１０が存在すると判断すると（図４（ａ）参照）（ＳＢ１）、ローカル通信部３０の無線通信部３５を介して所定の無線通信処理を開始する（ＳＢ２）。
【００９１】
他の搬送台車１０との間で無線通信によるハンドシェークが確認できると（ＳＢ３，Ｙ）、親局側の搬送台車１０、つまり優先順位の高いルートを走行してきた搬送台車１０（図４（ｂ）の符号１０ａ参照）であれば（ＳＢ４，Ｙ）、合流点ＣＰに向けて走行制御し、合流点ＣＰを通過すると（ＳＢ５）、無線通信処理を終了する（ＳＢ６）。
【００９２】
ステップＳＢ３でハンドシェークに時間がかかると、合流点近傍領域９で停止し、予め設定された待ち時間の間に繰返し無線送信し、待ち時間を経過すると（ＳＢ７）、エラー発生と判断して非常停止し（ＳＢ８）、ホストインタフェース２１を介してシステムコントローラＨへ異常状態が発生した旨の信号を送信する（ＳＢ９）。
【００９３】
ステップＳＢ３で、子局側の搬送台車１０、つまり優先順位の低いルートを走行してきた搬送台車１０（図４（ｂ）の符号１０ｂ参照）は、合流点近傍領域９で停止し、親局からの存在確認通知を待ちつつステップＳＢ７以降のタイムエラー処理を実行する。
【００９４】
ステップＳＢ４で、子局側の搬送台車１０、つまり優先順位の低いルートを走行してきた搬送台車１０（図４（ｂ）の符号１０ｂ参照）であれば（ＳＢ４，Ｎ）、親局との間の無線による交信の継続中は、合流点近傍領域で停止した状態を維持し、親局との間の無線通信が途絶すると（ＳＢ１０）、親局側の搬送台車１０が合流点ＣＰを通過したと判断して、その後合流点を通過する（ＳＢ１１）。
【００９５】
ステップＳＢ１で、障害物検知部２６からの出力に基づいて当該合流点近傍領域９で他の搬送台車１０が存在しないと判断すると、合流点近傍領域で減速、停止することなく合流点ＣＰを通過する（ＳＢ５）。尚、この場合には、ステップＳＢ６は実行されることはない。
【００９６】
図７には、対向する搬送台車１０それぞれに備えた走行制御部２４（合流点近傍領域進入検知制御部２４ａ）及び無線通信部３５（２４ｂ）同士の送受信シーケンス等が示されている。
【００９７】
合流点マーカ検知部２５によって合流点マーカＭが検知され、障害物検知部２６からの出力に基づいて合流点近傍領域９に他の搬送台車１０が存在すると判断すると、優先順位が高い走行経路で合流点近傍領域９に接近した搬送台車１０ａの走行制御部２４は、シリアル通信インタフェース２７，３１（図３参照）を介して無線通信部３５による通信モードの設定情報を通信制御部３３に送信する。
【００９８】
具体的に、通信親局として動作する旨の設定情報を送信し（ＳＣ１）、通信制御部３３からのアクノリッジを検知すると（ＳＣ２）、合流点近傍領域９毎に固有の値に設定されているチャンネル情報（周波数帯域）及びＩＤ情報（識別コード）を送信して（ＳＣ３）、通信制御部３３からのアクノリッジを検知する（ＳＣ４）。この状態で通信制御部３３によって制御される無線通信部３５が親局として無線通信可能な状態になる。
【００９９】
優先順位が低い走行経路で合流点近傍領域９に接近した搬送台車１０ｂの走行制御部２４は、シリアル通信インタフェース２７，３１（図３参照）を介して無線通信部３５による通信モードの設定情報を通信制御部３３に送信する。
【０１００】
具体的に、通信子局として動作する旨の設定情報を送信し（ＳＤ１）、通信制御部３３からのアクノリッジを検知すると（ＳＤ２）、合流点近傍領域９毎に固有の値に設定されているチャンネル情報（周波数帯域）及びＩＤ情報（識別コード）を送信して（ＳＤ３）、通信制御部３３からのアクノリッジを検知する（ＳＤ４）。この状態で通信制御部３３によって制御される無線通信部３５が子局として無線通信可能な状態になる。
【０１０１】
親局となった無線通信部３５は、設定された周波数帯域で設定された識別コードを用いて、子局側の無線通信部３５からの返信があるまで、子局側の無線通信部３５に対してビーコン通信、つまり存在確認通知を送信する（ＳＥ１０）。親局側の存在確認通知を受信した子局側の無線通信部３５は、同じ周波数帯域で同じ識別コードを用いて製造設備１００で適正に動作する正規の搬送台車である旨の認証パケットを返信する（ＳＥ１１）。
【０１０２】
子局側からの認証パケットを受信した親局側も、製造設備１００で適正に動作する正規の搬送台車である旨の認証パケットを送信する（ＳＥ１２）。認証パケットを受信すると、お互いにアクノリッジを送信する（ＳＥ１３，ＳＥ１４）。この状態到った時点で、互いに同じ合流点近傍領域に差し掛かり、双方の存在が認識され合った状態、つまりハンドシェークが確立する。
【０１０３】
親局側及び子局側の通信制御部３３はシリアル通信インタフェース２７，３１を介して、走行制御部２４にハンドシェーク完了報告を送信する（ＳＣ５，ＳＤ５）。
【０１０４】
その後、親局側の走行制御部２４と子局側の走行制御部２４は、それぞれの無線通信部３５，３５を介して所定のコマンドの送受信を繰り返す（ＳＣ６，７，ＳＤ６，７）。具体的に親局側の走行制御部２４は子局側の走行制御部２４に合流点待機コマンドを送信して、合流点ＣＰを通過するように走行制御し、子局側の走行制御部２４は親局側の走行制御部２４に合流点通過要請コマンドを送信して、合流点近傍領域９で停止する。
【０１０５】
親局側の走行制御部２４は、合流点ＣＰを通過し終えると、無線通信部３５を介した子局側への送信を終了して、移送先製造装置１に向けて走行する。子局側の走行制御部２４は、無線通信部３５を介した親局側からの受信が途絶すると、親局側の搬送台車１０ａが合流点ＣＰを通過し終えたと判断して合流点ＣＰに向けて走行を開始する。
【０１０６】
以上説明したように、本発明による搬送台車の合流点通過方法は、搬送台車に搭載された搬送制御部により実行される搬送台車の合流点通過方法であって、搬送経路に含まれる各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知する合流点近傍領域進入検知制御ステップと、当該搬送台車の周辺に障害物が存在するか否かを検知する障害物検知ステップと、合流点近傍領域進入検知制御ステップで各合流点近傍領域への進入を検知すると、合流点毎に異なる値に設定された共通の周波数帯域及び共通の識別コードを用いて他の搬送台車とローカルで無線交信する無線通信ステップと、障害物検知ステップで合流点近傍領域に他の搬送台車の存在を検知したときに無線通信ステップが起動され、無線通信ステップで他の搬送台車とのハンドシェークが成立した後に当該合流点への進入経路毎に設定された優先順位に従って合流点を通過する合流点通過制御ステップと、が前記搬送制御部により実行されるように構成されている。
【０１０７】
そして、無線通信ステップは、優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が親局となり、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車の搬送制御部が子局となってハンドシェークを行なうように構成され、合流点通過制御ステップは、ハンドシェークが成立した場合に優先順位の高い進入経路に進入した搬送台車が優先して合流点を通過するように構成されている。
【０１０８】
また、優先順位の低い進入経路に進入した搬送台車は、優先順位の高い進入経路に侵入した搬送台車から合流点通過完了の信号受信後、またはハンドシェークが途切れた後に合流点を通過するように構成されている。
【０１０９】
また、合流点近傍領域進入検知制御ステップは、各合流点の進入経路の近傍に設置されたマーカを検知することにより各合流点近傍領域へ進入したと判定するように構成されている。
【０１１０】
さらに、障害物検知ステップで他の搬送台車の存在を検知しなかったときには、無線通信ステップ及び合流点通過制御ステップを起動することなく、当該合流点を通過するように構成されていることが好ましい。
【０１１１】
上述した実施形態では、マーカとして光反射型のマーカが用いられ、合流点マーカ検知部として反射型フォトセンサが用いられた例を説明したが、マーカは光反射型のマーカに限るものではなく、また合流点マーカ検知部が反射型フォトセンサに限るものでもない。例えば、マーカに二次元バーコードを用い、合流点マーカ検知部にバーコードリーダを用いてもよいし、マーカにマグネットを用い、合流点マーカ検知部にリードスイッチを用いてもよい。
【０１１２】
上述した実施形態では、合流点近傍領域進入検知制御部が、合流点マーカ検知部からの出力に基づいて各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知し、且つ、障害物検知部からの出力に基づいて当該合流点近傍領域に他の搬送台車が存在すると判断したときに、無線通信部を起動するとともに、合流点より手前つまり衝突回避可能な位置で搬送台車の走行を停止する例を説明したが、本発明は障害物検知部が必須ではなく、合流点マーカ検知部からの出力に基づいて各合流点の近傍に設定された合流点近傍領域への進入を検知すると、無線通信部を起動するとともに、合流点より手前つまり衝突回避可能な位置で搬送台車の走行を停止してもよい。
【０１１３】
この場合、無線通信部を起動したのち予め設定された一定時間だけハンドシェークを試み、ハンドシェークが成立しない場合には、当該合流点近傍領域に他の搬送台車が存在しないと判断して合流点ＣＰを通過するように構成してもよい。
【０１１４】
この場合でも、ハンドシェークが成立すれば精度よく他の搬送台車の存在を認識することができるようになる。
【０１１５】
上述の実施形態は何れも本発明の一実施例に過ぎず、当該記載により本発明の範囲が限定されるものではなく、搬送台車の各部の具体的構成、搬送制御装置の機能ブロック構成等は本発明による作用効果を奏する範囲において適宜変更することができることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１１６】
１（１ａ〜１ｌ）：製造装置
２：ロードポート
３：ウェハキャリア
５：走行レール
５ａ：工程間レール
５ｂ：工程内レール
５ｃ：分岐レール
５ｄ：退避レール
５ｅ：バイパスレール
５Ａ：開口
９：合流点近傍領域
１０，１０ａ，１０ｂ：搬送台車
１０Ａ：走行部
１０Ｂ：把持部
１０Ｃ：チャック機構
１０Ｄ：昇降体
１０Ｅ：昇降機構
２０：搬送制御部
２１：ホストインタフェース部
２２，３２：記憶部
２３：移載制御部
２４：走行制御部
２４ａ：合流点近傍領域進入検知制御部
２４ｂ，３５：無線通信部
２４ｃ：合流点通過制御部
２５：合流点マーカ検知部
２６：障害物検知部
２７，３１：シリアル通信インタフェース部
３０：ローカル通信部
３３：通信制御部
３４：光通信部
４０：障害物センサ
６０，７０：ベイ
１００：製造設備
Ｃ：搬送制御装置
ＣＰ：合流点
Ｈ：システムコントローラ
Ｍ：マーカ
ＳＴ：ストッカ
Ｗ：半導体ウェハ
【図１】
0006698399.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0006698399.tif 000005
【図５】
0006698399.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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