(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
摺動可能に重合した二つの部材の内の一方の部材を他方の部材に対して相対移動させる際に前記他方の部材に対する前記一方の部材の姿勢変化を抑制する姿勢保持機構であって、
前記一方の部材と前記他方の部材における各々の対向面に形成された一定の幅の直線溝と、
前記一方の部材の直線溝に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記一方の部材の前記直線溝における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面を備えた第一の溝摺接部と、前記他方の部材の前記直線溝に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記他方の部材の直線溝における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面を備えた第二の溝摺接部と、前記第一の溝摺接部と前記第二の溝摺接部とを一体に接続する接続部とを備えて構成された前記直線溝の長さ方向に延びる姿勢保持キーとを有し、
前記姿勢保持キーにおける前記第一の溝摺接部が前記一方の部材の前記直線溝に嵌合されると共に、前記姿勢保持キーにおける前記第二の溝摺接部が前記他方の部材の前記直線溝に嵌合され、
前記一方の部材の前記直線溝と前記他方の部材の前記直線溝の内少なくとも前記他方の部材の前記直線溝の縁部に拡径部が形成されていることを特徴とした姿勢保持機構。
【請求項２】
前記一方の部材の直線溝の幅と前記他方の部材の直線溝の幅が同一であることを特徴とした請求項１に記載の姿勢保持機構。
【請求項３】
前記姿勢保持キーは、平行に配置された円柱状のロッド材から成る前記第一の溝摺接部と円柱状のロッド材から成る前記第二の溝摺接部を前記接続部で相互に固着して形成されていることを特徴とした請求項１または請求項２に記載の姿勢保持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は姿勢保持機構に係り、さらに詳しくは、摺動可能に重合した二つの部材の内の一方の部材を他方の部材に対して相対移動させる際に、他方の部材に対する一方の部材の姿勢変化を抑制する姿勢保持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記姿勢保持機構に関連する技術として、例えば、クロステーブルに用いられる従来型の十字キーが知られている。
また、従来型の３段重ね式のクロステーブルが用いられた測定顕微鏡においても、他方の部材に対する一方の部材の姿勢変化を抑制する姿勢保持機構が用いられている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６５５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述した十字キーの構成も、特許文献１に開示された構成も、ベース上のテーブルの姿勢変化（回動）を抑制してベース上のテーブルをベースに対して自由な方向に滑動させる、という目的を実現するためには、最終的に、一方向に延びるキー溝とキーの組み合わせを相互に交差させ、かつ、上下方向（板面の法線方向）に位置をずらせた状態で２組分だけ配置する必要がある。
ここで、仮に、１つめのキー溝とキーの組み合わせを第１軸と称し、２つめのキー溝とキーの組み合わせを第２軸と称すると、第１軸と第２軸を対角線として形成される矩形状領域内の大半の部分では、テーブルやベースを上下（表裏）に貫通する透孔やパーツ取付用のネジ穴、あるいはノックピンの取付孔等を設置することが困難となる不都合が発生する。
従来型十字キーを利用した２プレート構造のテーブル構造では、其の装置厚をある程度まで薄型化できる可能性があるが、上記問題点を解消することはできない。
【０００５】
〔発明の目的〕
本発明は、上記各課題を解決するために提案されたものであり、その目的は、１軸構造の簡単な構造で一方の部材の姿勢を保持して当該一方の部材を平面内で縦横に自由に移動させることができ、装置や機構の薄型化や利用スペースの拡大化の向上を図れるようになる姿勢保持機構を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の姿勢保持機構は、摺動可能に重合した二つの部材の内の一方の部材を他方の部材に対して相対移動させる際に前記他方の部材に対する前記一方の部材の姿勢変化を抑制する姿勢保持機構であって、
前記一方の部材と前記他方の部材における各々の対向面に形成された一定の幅の直線溝と、
前記一方の部材の直線溝に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記一方の部材の前記直線溝における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面を備えた第一の溝摺接部と、前記他方の部材の前記直線溝に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記他方の部材の直線溝における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面を備えた第二の溝摺接部と、前記第一の溝摺接部と前記第二の溝摺接部とを一体に接続する接続部とを備えて構成された前記直線溝の長さ方向に延びる姿勢保持キーとを有し、
前記姿勢保持キーにおける前記第一の溝摺接部が前記一方の部材の前記直線溝に嵌合されると共に、前記姿勢保持キーにおける前記第二の溝摺接部が前記他方の部材の前記直線溝に嵌合され、
前記一方の部材の前記直線溝と前記他方の部材の前記直線溝の内少なくとも前記他方の部材の前記直線溝の縁部に拡径部が形成されていることを特徴とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の姿勢保持機構によれば、それぞれ幅方向両端部に円弧状摺接面を有する第一の溝摺接部と第二の溝摺接部とが、一方の部材および他方の部材の直線溝内に嵌合されているので、一方の部材に直線溝の幅方向の一方向から外力が加えられたとき、その一方の部材は外力が加えられた方向に移動し、それに連れて、第一、第二の溝摺接部が回動するので、一方の部材が直線溝の幅方向に移動することが容易となる。
また、一方の部材に直線溝の長さ方向の一方向から外力が加えられたとき、その一方の部材は外力が加えられた方向に移動し、それに連れて、第一、第二の溝摺接部も直線溝内を摺動するので、一方の部材が直線溝の直線方向に移動することが容易となる。
さらに、直線溝の幅方向をＸ軸とし、直線溝の長さ方向をＹ軸としたとき、第一、第二の溝摺接部は接続部により一体になって姿勢保持キーを構成しているので、１本の姿勢保持キーにより、一方の部材を平面内でＸ軸、Ｙ軸の２軸方向に姿勢を維持したまま移動することができる。
その結果、１軸構造の簡単な構造で一方の部材を平面内で縦横に自由に移動させることができ、装置や機構の薄型化や、利用スペースの拡大化の向上を図ることができる。
また、他方の部材に形成されている直線溝の幅方向の両縁部には、全長にわたって所定深さ寸法の拡径部がそれぞれ形成されているので、姿勢保持キーが回動する際、当該姿勢保持キーと各直線溝との干渉を防止することができ、その結果、姿勢保持キーの首振り動作（回動動作）が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る姿勢保持機構の一実施形態を示す全体斜視図である。
【図２】図１におけるII矢視図である。
【図３】図１におけるIII−III 線に沿った断面図である。
【図４】図１におけるIV−IV 線に沿った断面図である。
【図５】前記実施形態の姿勢保持機構の基本構造を説明するための図であり、断面表示を省略した図である。
【図６】図１の状態から一方の部材がＸ軸方向に移動した状態を示す全体斜視図である。
【図７】同図（Ａ）は図３の状態、同図（Ｂ）は図６のVII−VII 線に沿った断面の状態を示し、姿勢保持キーと一方の部材との動きを示す断面図である。
【図８】図６の状態から一方の部材がＹ軸方向に移動した状態を示す全体斜視図である。
【図９】図８おけるIX−IX 線に沿った断面図である。
【図１０】同図（Ａ）、（Ｂ）は、本発明に係る姿勢保持機構を、例えばクロステーブルとして機能するステージ装置とした全体斜視図である。
【図１１】図１０の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、図面を参照して本発明に係る姿勢保持機構の一実施形態を説明する。
本発明は、実質的な１軸構造のみで一方の部材の姿勢を保持して、その一方の部材を他方の部材に対して、平面内で姿勢を維持したまま、縦横（Ｘ軸，Ｙ軸）方向に自由に移動することができるようにしたものである。
【００１０】
まず、図１〜４に基づいて、本実施形態の姿勢保持機構１０の全体を説明する。
姿勢保持機構１０は、摺動可能に重合した二つの部材の内の一方の部材１１を、他方の部材１２に対して相対移動させる際に、他方の部材１２に対する一方の部材１１の姿勢変化を抑制可能とするものである。
すなわち、一方の部材１１を他方の部材１２に対して水平面内で、回動を抑制しつつＸ軸方向またはＹ軸方向に移動自在に構成したものである。
ここで、図１において、一方の部材１１および他方の部材１２のそれぞれに形成された直線溝１１Ａ，１２Ａの幅方向を上記Ｘ軸方向とし、そのＸ軸方向と直交する方向、つまり、直線溝１１Ａ，１２Ａの長手方向を上記Ｙ軸方向とする。
【００１１】
一方の部材１１および他方の部材１２は、略同一厚さの直方体形状となっている。そして、一方の部材１１と他方の部材１２における各々の対向面１１ｂ、１２ｂには、それぞれ、一定の幅の上記直線溝が形成されている。
すなわち、一方の部材１１には、対向面である下面から上面側に窪んだ形状で一定の幅ｗの直線溝１１Ａが形成されており、また、他方の部材１２には、対向面である上面から下面側に窪んだ形状で一定の幅ｗの直線溝１２Ａが形成されている。
尚、上記一方と他方の各部材１１，１２については、その形状を直方体形状に代えて比較的大きい正四角形状としてもよい。あるいは、一方の部材１１（上に位置する部材）のみを比較的大きい正四角形状としてもよい。
【００１２】
図５に詳細を示すように、上記直線溝１１Ａと直線溝１２Ａとの幅寸法ｗは同一寸法に形成されており、それぞれの長さ寸法ｘ（図４参照）も同一寸法に形成されている。そして、これらの直線溝１１Ａ，１２Ａは、一方の部材１１と他方の部材１２とのそれぞれの幅方向が垂直面内で同一線上にあるとき、つまり、一方の部材１１が前記Ｘ軸方向に移動していないとき、垂直面内で同一線上に配置されている。
なお、図５は実際には断面形状を現しているが、説明の都合上断面の表示は省略してある。
【００１３】
前記直線溝１２Ａの幅方向の両縁部には、全長にわたって所定深さ寸法の拡径部１２Ａａ，１２Ａａがそれぞれ形成されており、これにより、後述する姿勢保持キー１５との干渉を防止すると共に、姿勢保持キー１５の首振り動作（回動動作）が容易となる。
【００１４】
一方の部材１１の直線溝１１Ａと他方の部材１２の直線溝１２Ａ内には、姿勢保持機構１０の一部を構成する前記姿勢保持キー１５が嵌入されるようになっている。
この姿勢保持キー１５は、一方の部材１１の直線溝１１Ａに嵌入される第一の溝摺接部１６と、この第一の溝摺接部１６と一体的に形成されると共に他方の部材１２の直線溝１２Ａに嵌入される第二の溝摺接部１７とを含み構成されている。
【００１５】
第一の溝摺接部１６と第二の溝摺接部１７とは、それぞれ円柱状のロッド材で構成されると共に、互いに平行に配置されている。なお、ロッド材としては、例えばＳＵＳ材が使用される。
第一の溝摺接部１６と第二の溝摺接部１７との互いに対向する外周面は、それぞれの一部が全長にわたって各部材１６，１７の軸線と平行となるように切除された平坦面に形成されている。
そして、これらの平坦面が当接された状態で、図４に示すように、例えば第二の溝摺接部１７の外周の下部から第一の溝摺接部１６側に向けて差し込まれた取付けボルト１９により接続され、断面略８の字状となって一体的に形成されている。
【００１６】
両溝摺接部１６，１７が接続されたとき、上記各平坦面の幅方向の寸法ｗ１は、両溝摺接部１６，１７の幅寸法（外径寸法）、言い換えれば、上記各直線溝１１Ａ，１２Ａの幅寸法ｗより小さな寸法となっている。そのため、両溝摺接部１６，１７と直線溝１１Ａ，１２Ａとの干渉を防止できて姿勢保持キー１５の首振り動作（回動動作）が容易となる。
【００１７】
第一の溝摺接部１６の幅、つまり外径寸法は、上述のように、前記一方の部材１１の直線溝１１Ａに内接する大きさに形成されているので、第一の溝摺接部１６の幅方向の両端部が、一方の部材１１の直線溝１１Ａにおける溝幅  の１／２に相当する半径ｒ１の円弧状摺接面１６ａ，１６ａとなっている。
【００１８】
また、第二の溝摺接部１７の幅、つまり外径寸法は、上述のように、前記他方の部材１２の直線溝１２Ａに内接する大きさに形成されているので、第二の溝摺接部１７の幅方向の両端部が、他方の部材１２の直線溝１２Ａにおける溝幅  の１／２に相当する半径ｒ２の円弧状摺接面１７ａ，１７ａとなっている。
【００１９】
図４に示すように、第一の溝摺接部１６と第二の溝摺接部１７とは、軸方向（Ｙ軸方向）に同じ長さ寸法ｘに形成されており、これに対して、一方の部材１１の直線溝１１Ａと他方の部材１２の直線溝１２Ａとは、上記各摺接部１６，１７の長さより長い寸法ｚに形成されている。
また、図５に示すように、一方の部材１１の直線溝１１Ａの深さ寸法ｈ１と他方の部材１２の直線溝１２Ａの深さ寸法ｈ２との和ｈ３は、各摺接部１６，１７で構成される姿勢保持キー１５の全体の高さ寸法ｈ４を上回るように形成されている。
【００２０】
そして、以上に述べた一方の部材１１および他方の部材１２と、各部材１１，１２のそれぞれに形成された直線溝１１Ａ，１２Ａと、これらの直線溝１１Ａ，１２Ａ内に嵌合された姿勢保持キー１５とを備えて、前記姿勢保持機構１０が構成されている。
【００２１】
次に、図６，７（Ｂ）を参照して、前記一方の部材１１が他方の部材１２に対してＸ軸方向に移動した状態を説明する。
図６は、図１の状態から一方の部材１１が他方の部材１２に対して矢印Ａで示すようにＸ軸方向に移動した状態を示す。また、図７（Ｂ）は、図６におけるにVII−VII 線に沿った断面図である。
【００２２】
図７（Ｂ）に示すように、一方の部材１１が他方の部材１２に対してＸ軸方向に所定距離移動するとき、その移動に連れて、姿勢保持機構１０の第一の溝摺接部１６が第二の溝摺接部１７の径方向の中心Ｓ１を回動中心としてα°だけ回動する。
このとき、一方の部材１１の直線溝１１Ａの側壁と第一の溝摺接部１６の円弧状摺接面１６ａ，１６ａとが摺動し合うと共に、他方の部材１２の直線溝１２Ａの幅方向内側側面と第二の溝摺接部１７の円弧状摺接面１７ａ，１７ａとが摺動し合って、両者１６，１７が矢印Ｃ方向に回動する。
【００２３】
次に、図７（Ａ），（Ｂ）に基づいて、姿勢保持キー１５のＸ軸方向の移動可能ストロークについて説明する。
図７（Ａ），（Ｂ）において、姿勢保持キー１５を構成する第一の溝摺接部１６の左右の円弧状摺接面１６ａ，１６ａの曲率中心をＳ１、姿勢保持キー１５を構成する第二の溝摺接部１７の左右の円弧状摺接面１７ａ，１７ａの曲率中心をＳ２、曲率中心Ｓ１と曲率中心Ｓ２の離間距離をＬとし、一方の部材１１と他方の部材１２とが中立位置にあるときの姿勢保持キー１５の角度、すなわち姿勢保持キー１５が直立したときの姿勢保持キー１５の傾きを０°（原位置）と規定した場合、図７（Ｂ）に示すように、姿勢保持キー１５がα°だけ傾斜すると、一方の部材１１は姿勢保持キー１５のＸ軸方向にＬsinαだけ移動し、また、曲率中心Ｓ１と曲率中心Ｓ２の垂直方向の離間距離（水平成分を除く）はＬ（１−cosα）だけ減少する。
【００２４】
この結果として、一方の部材１１の直線溝１１Ａの側壁と第一の溝摺接部１６の左右の円弧状摺接面１６ａ，１６ａとの間の上下方向の滑り量と、他方の部材１２の直線溝１２Ａの側壁と第二の溝摺接部１７の左右の円弧状摺接面１７ａ，１７ａとの間の上下方向の滑り量とを合わせ、回動に伴う滑りを除き、全体としてＬ（１−cosα）の上下方向の滑りが発生する。
【００２５】
ここで、姿勢保持キー１５の自重を考慮すると、一方の部材１１の直線溝１１Ａの側壁と第一の溝摺接部１６の左右の円弧状摺接面１６ａ，１６ａとの間のみに、Ｌ（１−cosα）の上下方向の滑り（全量の滑り）が発生する可能性が高い。
しかし、円弧状摺接面１６ａ，１６ａと直線溝１１Ａとの喰い付き状態の違い等により、他方の部材１２の直線溝１２Ａの側壁と第二の溝摺接部１７の左右の円弧状摺接面１７ａ，１７ａとの間のみに前記全量の滑りが発生する可能性や、前記全量の滑りが、一方の部材１１の直線溝１１Ａの側壁と第一の溝摺接部１６の左右の円弧状摺接面１６ａ，１６ａとの間と、他方の部材１２の直線溝１２Ａの側壁と第二の溝摺接部１７の左右の円弧状摺接面１７ａ，１７ａとの間に分散して発生する可能性もある。
【００２６】
また、直線溝１２Ａの縁部の干渉などを考慮して許容される姿勢保持キー１５の姿勢変化の許容量が、前記と同じ基準で±α°であると仮定すれば、姿勢保持キー１５のＸ軸方向の移動可能最大ストロークは、必然的に、２Ｌsinαとなる。
なお、姿勢保持キー１５のＸ軸方向の移動量を単純にＬsinαとしているのは次の理由による。
すなわち、各部の構成は単純なリンク構造ではなく、円弧面（円弧状摺接面１６ａ，１６ａ）と直立面（直線溝１１Ａの側壁）との摺接構造、および円弧面（円弧状摺接面１７ａ，１７ａ）と直立面（直線溝１２Ａの側壁）との摺接構造となるが、円弧面と直立面とが摺接する位置の高さは常に円弧の曲率中心の位置の高さと一致する。
従って、各円弧面の曲率の大小や離間距離Ｌの大小とは関わりなく、姿勢保持キー１５のＸ軸方向の一方の部材１１の移動量は常にＬsinαとなるからである。
【００２７】
次に、図８，９を参照して、前記一方の部材１１が他方の部材１２に対してＸ軸方向に移動した姿勢を維持してＹ軸方向に移動した状態を説明する。
図８は、図６の状態から一方の部材１１が矢印Ａで示すようにＹ軸方向に移動した状態を示す。また、図９は、図８におけIV−IV 線に沿った断面図である。
【００２８】
図９に示すように、一方の部材１１がＸ軸方向に移動した状態を維持してＹ軸方向に移動したとき、第一の溝摺接部１６の長さ方向の一端部が、一方の部材１１の直線溝１１Ａの長さ方向の一端部に押されて、姿勢保持キー１５が他方の部材１２の直線溝１２Ａ内を摺動する。
【００２９】
図９において、一方の部材１１の直線部１１Ａの長さをｘ、他方の部材１２の直線部１２Ａの長さをｙ、姿勢保持キー１５の長さをｚとしたとき、姿勢保持キー１５の軸方向の送りに対する一方の部材１１の移動ストロークＳは、
Ｓ＝ｘ＋ｙ−２ｚ  
となり、さらに、常識的に、ｘ＝ｙであるとした場合には、
Ｓ＝２（ｘ−ｚ）
となる。つまり、一方の部材１１の移動ストロークＳは、直線溝１１Ａ，１２Ａと姿勢保持キー１５の寸法差の２倍となる。
【００３０】
本実施形態では、姿勢保持キー１５と、一方の部材１１の直線溝１１Ａの長さ、および他方の部材１２の直線溝１２Ａの長さとが以上に説明したような関係となっている。
その結果、姿勢保持キー１５が、一方の部材１１の直線溝１１Ａに対して、軸方向に摺動自在かつ回動自在（揺動自在）であり、同時に、姿勢保持キー１５が、他方の部材１２の直線溝１２Ａに対して、軸方向に摺動自在かつ回動自在（揺動自在）となっている。
【００３１】
以上のような構成の姿勢保持機構１０によれば次のような効果が得られる。
（１）一方の部材１１に直線溝１１Ａの幅方向（Ｘ軸方向）の一方向から外力が加えられたとき、その一方の部材１１は外力が加えられた方向に移動し、それに連れて、第一、第二の溝摺接部１６，１７が回動する。また、一方の部材１１に直線溝１１Ａの長さ方向（Ｙ軸方向）の一方向から外力が加えられたとき、その一方の部材１１は外力が加えられた方向に移動し、それに連れて、第一、第二の溝摺接部１６，１７が直線溝１１Ａ，１２Ａ内を摺動する。第一、第二の溝摺接部１６，１７は接続部１８により一体になって姿勢保持キー１５を構成しているので、１本の姿勢保持キー１５により、一方の部材１１を平面内でＸ軸、Ｙ軸の２軸方向に姿勢を維持したまま移動することができる。
その結果、１軸構造の簡単な構造で一方の部材１１を平面内で縦横に自由に移動させることができ、機構の薄型化や、利用スペースの拡大化の向上を図ることができる。
【００３２】
（２）第一、第二の溝摺接部１６，１７を接続して形成された接続部１８の幅方向の寸法ｗ１は、両溝摺接部１６，１７の幅寸法（外径寸法）、言い換えれば、各直線溝１１Ａ，１２Ａの幅寸法ｗより小さな寸法となっているので、両溝摺接部１６，１７と直線溝１１Ａ，１２Ａとの干渉を防止でき、その結果、姿勢保持キー１５の首振り動作（回動動作）が容易となる。
【００３３】
（３）他方の部材１２に形成されている直線溝１２Ａの幅方向の両縁部には、全長にわたって所定深さ寸法の拡径部１２Ａａ，１２Ａａがそれぞれ形成されているので、図７（Ｂ）に示すように、姿勢保持キー１５が回動する際、当該姿勢保持キー１５と各直線溝１１Ａ，１２Ａとの干渉を防止することができ、その結果、姿勢保持キー１５の首振り動作（回動動作）が容易となる。
【００３４】
（４）一方の部材１１の直線溝１１Ａの幅ｗと、他方の部材１２の直線溝１２Ａの幅ｗとが同一に形成されているので、姿勢保持キー１５の第１の溝摺接部１６および第２の溝摺接部１７に単一の幅（直径）を適用することができ、また、一方の部材１１の直線溝１１Ａと他方の部材１２の直線溝１２Ａとに単一の溝幅ｗを適用することができる。その結果、姿勢保持機構１０の生産・加工を容易化し、かつ互換性を確保することができる。
【００３５】
（５）第一の溝摺接部１６と第二の溝摺接部１７とは、互いに平行に配置され、かつ接続部１８で相互に固着することで姿勢保持機構１０が構成され、各溝摺接部１６，１７が円柱状のロッド材で形成されており、ロッド材は汎用品として多く市販されていることから容易に利用することが出来る。その結果、姿勢保持キー１５を低コストで製作することができる。
【００３６】
（６）一方の部材１１の直線溝１１Ａの深さｈ１と他方の部材１２の直線溝１２Ａの深さｈ２との和ｈ３が、姿勢保持キー１５の全体の高さｈ４を上回るように形成されているので、姿勢保持キー１５が、中立位置にあるとき、つまり、直線溝１１Ａ，１２Ａにおいて幅方向に直立した状態時でも、姿勢保持キー１５の上端部と直線溝１１Ａの底面との干渉を防止することができる。その結果、一方の部材１１、他方の部材１２および姿勢保持キー１５の損傷を防止することができる。
【００３７】
次に、図１０（Ａ），（Ｂ）、図１１に基づいて、前記姿勢保持機構１０における一方の部材１１をワーク載置テーブル１１１とし、他方の部材１２を、ワーク載置テーブル１１１を支持するベースプレート１１２として構成され、例えばステージ装置として機能する姿勢保持機構１１０を説明する。
これらの図１０（Ａ），（Ｂ）、図１１に示すように、前記姿勢保持キー１５がユニットとして複数組用いられ、それぞれのユニットが、ワーク載置テーブル１１１とベースプレート１１２との対向面に形成された直線溝１１２Ａ等内に嵌入されるようになっている。
【００３８】
ベースプレート１１２の上面かつＸ軸方向に沿った両側端部寄りには、所定の間隔をおいて、それぞれ２個所の直線溝１１２Ａが形成されており、また、ベースプレート１１２  の上面かつＹ軸方向に沿った両側端部寄りには、所定の間隔をおいて、それぞれ２個所の直線溝１１２Ａ等が形成されている。
【００３９】
Ｘ軸方向に沿って配置された両側２個所づつの直線溝１１２Ａは、それぞれの長手方向が図１０（Ａ）におけるＸ軸方向に延びており、また、Ｙ軸方向に沿って配置された両側２個所づつの直線溝１１２Ａは、それぞれの長手方向が図１０（Ａ）におけるＹ軸方向に延びており、各直線溝１１２Ａ内にはそれぞれ前記姿勢保持キー１５が嵌入されている。
つまり、ワーク載置テーブル１１１とベースプレート１１２とには、合計８個の姿勢保持キー１５が配置されていることになる。そして、その内の４個づつの姿勢保持キー１５が直交状態で配置されている。
【００４０】
上述のように、姿勢保持機構１１０では、４個づつの姿勢保持キー１５が直交状態で配置されている結果、ワーク載置テーブル１１１のＸ軸方向、Ｙ軸方向の移動量は、共に、姿勢保持キー１５の回動（揺動）に起因した前記移動量「２Ｌsinα」と、姿勢保持キー１５の直線移動に起因した「２（ｘ−ｚ）のうち値の少ない方による制限を受けることになり、常識的に考えると、「２（ｘ−ｚ）＞２Ｌsinα」となる。
その結果、ワーク載置テーブル１１１のＸ軸、Ｙ軸方向の移動量は、共に「２Ｌsinα」の範囲に制限されることになる。
【００４１】
なお、ワーク載置テーブル１１１のベースプレート１１２との対向面面にも、上記ベースプレート１１２に形成された上記各直線溝１１２Ａに対応する直線溝（図略）が形成されている。
そして、ワーク載置テーブル１１１には、当該ベースプレート１１２に載置する装置用の取付け貫通孔１１５等があけられている。
【００４２】
以上に説明したように、ワーク載置テーブル１１１とベースプレート１１２との互いに直交方向に対向する端部側寄りに、複数個の姿勢保持キー１５が配置されているので、特に、ベースプレート１１２中央部の大きなスペースを有効活用することができる。
すなわち、図１０，１１に示すように、ワーク載置テーブル１１１とベースプレート１１２の平面中央部に大きな貫通孔１１６を形成することができ、この貫通孔１１６を、例えば、ワーク載置テーブル１１１上に装備される装置等に必要なものとして利用することができる。
【００４３】
ベースプレート１１２とワーク載置テーブル１１１とを組み立てた状態が図１０（Ａ）に示されている。
図１０（Ａ）に示すように、ワーク載置テーブル１１１のＸ軸方向の一方側の側面、およびベースプレート１１２のＹ軸方向の一方側の側面には、それぞれ、ベースプレート１１２に対してワーク載置テーブル１１１をＸ軸方向に移動可能に接続する第１の往復移動付勢手段１２０と、ベースプレート１１２に対してワーク載置テーブル１１１をＹ軸方向に移動可能に接続する第２の往復移動付勢手段１２５とが設けられている。
【００４４】
第１の往復移動付勢手段１２０は、断面Ｌ字形状の角型部材で形成され、ワーク載置テーブル１１１の移動を姿勢保持キー１５に伝達する移動力伝達部材１２１を備え、この移動力伝達部材１２１のＬ字の短辺部位の上部２か所が止めネジ１２２によりワーク載置テーブル１１１に固定されている。
【００４５】
また、移動力伝達部材１２１の下部には、上記移動力伝達部材１２１をベースプレート１１２に固定する固定ネジ１２３が設けられている。
すなわち、固定ネジ１２３は、ワッシャー等を介して移動力伝達部材１２１の垂直面に取付けられている。この移動力伝達部材１２１の垂直面には、図１０（Ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に長い長孔１２１Ａが形成されており、固定ネジ１２３の先端側を長孔１２１Ａに貫通させ、その固定ネジ１２３の先端のオネジ部を、ベースプレート１１２の内部に形成されているメネジ（図略）に螺合させることで、固定ネジ１２３がベースプレート１１２に固定されている。
また、固定ネジ１２３は、その頭部の首下部と、移動力伝達部材１２１の垂直面の裏面部に配置されるナット（図略）とで移動力伝達部材１２１の垂直面を挟み込むように構成され、これにより、固定ネジ１２３が移動力伝達部材１２１から抜けないいようになっている。
【００４６】
上述のように、移動力伝達部材１２１の垂直面にはＹ軸方向に長い長孔１２１Ａが形成されているので、移動力伝達部材１２１とワーク載置テーブル１１１とがＹ軸方向に移動する際に、その移動をガイドすることができる。
【００４７】
また、移動力伝達部材１２１の垂直面の裏面は、ベースプレート１１２の側面から所定寸法離れた位置になるように設定されている。そして、この部分の隙間の範囲内でワーク載置テーブル１１１および移動力伝達部材１２１がＸ軸方向に移動できるようになっている。
【００４８】
前記第２の往復移動付勢手段１２５は、前述のように、Ｙ軸方向におけるワーク載置テーブル１１１およびベースプレート１１２の一方側端面に配置されている。
上記第２の往復移動付勢手段１２５と前記第１の往復移動付勢手段１２０とは、それぞれの取付け位置が異なっているが、その構造は略同じである。
従って、以下には第１の往復移動付勢手段１２０を構成する移動力伝達部材１２１を、第２接続手段１２５では移動力伝達部材１２６として説明するが、他の使用部材は同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４９】
移動力伝達部材１２６は、２本の前記止ネジ１２２でワーク載置テーブル１１１の側面に取り付けられており、また、前記固定ネジ１２３で上記ベースプレート１１２に固定されている。
移動力伝達部材１２６の垂直面には、Ｘ軸方向に長い長孔１２６Ａが形成されており、移動力伝達部材１２６とワーク載置テーブル１１１とがＸ軸方向に移動する際に、長孔１２６Ａが固定ネジ１２３にガイドされて移動する。
【００５０】
次に、以上のような構成の姿勢保持機構１１０の動作を説明する。
まず、図１０において、Ｘ軸方向の右側から外力が加えられた場合、ワーク載置テーブル１１１が左側に移動する。
この際、Ｙ軸方向に長い直線溝１１２Ａ内に嵌入されている各２個づつの姿勢保持キー１５が、ワーク載置テーブル１１１の移動に連れて、前述のように、中立の角度０°からα°だけ回動するが、Ｘ軸方向に長い直線溝１１２Ａ内に嵌入されている各２個づつの姿勢保持キー１５の動きに制限されるため、ワーク載置テーブル１１１は、前述のように、「２Ｌsinα」の範囲内で移動する。
このとき、移動力伝達部材１２６は、当該移動力伝達部材１２６に形成されている長孔が前記固定ネジ１２３にガイドされてＸ軸方向に移動する。
なお、図１０において、Ｘ軸方向の左側から外力が加えられた場合は、上述とまったく逆の動作となる。
【００５１】
これに対して、図１０において、Ｙ軸方向の左側から外力が加えられた場合、ワーク載置テーブル１１１が右側に移動する。
この際、Ｘ軸方向に長い直線溝１１２Ａ内に嵌入されている各２個づつの姿勢保持キー１５が、ワーク載置テーブル１１１の移動に連れて、前述のように、中立の角度０°からα°だけ回動するが、Ｙ軸方向に長い直線溝１１２Ａ内に嵌入されている各２個づつの姿勢保持キー１５の動きに制限されるため、ワーク載置テーブル１１１は、前述のように、「２Ｌsinα」の範囲内で移動する。
このとき、移動力伝達部材１２６は、当該移動力伝達部材１２６に形成されている長孔１２６Ａが前記固定ネジ１２３にガイドされてＸ軸方向に移動する。
なお、図１１において、Ｙ軸方向の左側から外力が加えられた場合は、上述とまったく逆の動作となる。
【００５２】
以上に説明したような構成の姿勢保持機構１１０によれば、ワーク載置テーブル１１１とベースプレート１１２との対向面に形成された複数組の直線溝１１２Ａ等内に、それぞれ姿勢保持キー１５が嵌入されているので、ワーク載置テーブル１１１は姿勢保持キー１５により姿勢を維持した状態でＸ軸、Ｙ軸方向への移動が可能となる。
その結果、１軸構造の簡単な構造で、ワーク載置テーブル１１１をベースプレート１１２に対して平面内で縦横に自由に移動させることができ、装置や機構の薄型化や、利用スペースの拡大化の向上を図ることができる。
【００５３】
以上、上記実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【００５４】
例えば、前記実施形態では、他方の部材１２における直線溝１２Ａの幅方向両側に拡径部１２Ａａを形成したが、これに限らない。
一方の部材１１における直線溝１１Ａの幅方向両側にも、上記拡径部１２Ａａに対応する拡径部を形成することもできる。
【００５５】
また、前記実施形態では、姿勢保持キー１５が、一方の部材１１の直線溝１１Ａに対して、軸方向に移動自在かつ回動自在（揺動自在）であり、同時に、姿勢保持キー１５が、他方の部材１２の直線溝１２Ａに対して、軸方向に摺動自在かつ回動自在（揺動自在）な構成としたが、これに限らない。
第１の変形形態として、姿勢保持キー１５が、一方の部材１１の直線溝１１Ａに対して軸方向に移動自在かつ回動自在（揺動自在）であり、同時に、姿勢保持キー１５が、他方の部材１２の直線溝１２Ａに対して、軸方向に摺動不能かつ回動自在（揺動自在）な構成とすることもできる。
つまり、他方の部材１２の直線溝１２Ａと姿勢保持キー１５との間に長手方向の遊びがなく、姿勢保持キー１５の軸方向に沿った送りが掛けられたとき、姿勢保持キー１５が常に他方の部材１２と一体となって姿勢保持キー１５の長手方向に移動する構成である。
【００５６】
また、第２の変形形態として、姿勢保持キー１５が、一方の部材１１の直線溝１１Ａに対して、軸方向に摺動不能かつ回動自在（揺動自在）であり、同時に、姿勢保持キー１５が、他方の部材１２の直線溝１２Ａに対して、軸方向に摺動自在かつ回動自在（揺動自在）な構成とすることもできる。
つまり、一方の部材１２の直線溝１２Ａと姿勢保持キー１５との間に長手方向の遊びがなく、姿勢保持キー１５の軸方向に沿った送りが掛けられたとき、姿勢保持キー１５が常に一方の部材１１と一体となって姿勢保持キー１５の長手方向に移動する構成である。
【００５７】
以上に開示した実施形態の一部または全部は、以下の付記に示す記載によって適切に表現され得るが、発明を実施するための形態や発明の技術思想は、これらのものに制限されるものではない。
【００５８】
〔付記１〕
摺動可能に重合した二つの部材（１１，１２）の内の一方の部材（１１）を他方の部材（１１）に対して相対移動させる際に前記他方の部材（１１）に対する前記一方の部材（１１）の姿勢変化を抑制する姿勢保持機構（１０）であって、
前記一方の部材（１１）と前記他方の部材（１１）における各々の対向面（１１ｂ，１２ｂ）に形成された一定の幅の直線溝（角溝）（１１Ａ，１２Ａ）と、
前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記一方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面（１６ａ，１６ａ）を備えた第一の溝摺接部（１６）と、前記他方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）に内接する幅を有し其の幅方向の両端部の各々に前記他方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）における溝幅の１／２に相当する半径の円弧状摺接面（１７ａ，１７ａ）を備えた第二の溝摺接部（１７）と、前記第一の溝摺接部（１６）と前記第二の溝摺接部（１７）とを一体に接続する接続部（１８）とを備えて前記直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の共通する長さ方向に延びる姿勢保持キー（１５）とを有し、
前記姿勢保持キー（１５）における前記第一の溝摺接部（１６）が前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）に嵌合されると共に、前記姿勢保持キー（１５）における前記第二の溝摺接部（１７）が前記他方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）に嵌合され、
前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）と前記他方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）のうち、少なくとも其の一方の長さ（ｚ）が前記姿勢保持キー（１５）の長さ（ｚ）を上回り、
前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）の深さ（ｈ１）と前記他方の部材（１１）の直線溝（１２Ａ）の深さ（ｈ２）の和（ｈ３）が前記姿勢保持キー（１５）の全体の高さ（ｈ４）を上回るように形成されていることを特徴とした姿勢保持機構（１０）。
【００５９】
〔付記２〕
前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）と前記他方の部材（１２）の直線溝（１２Ａ）の長さ（ｚ、ｚ）が共に前記姿勢保持キー（１５）の長さ（ｘ）を上回っていることを特徴とした付記１記載の姿勢保持機構（１０）。
このような構成を適用した場合、直線溝（１１Ａ）および直線溝（１２Ａ）の長手方向における一方の部材（１１）の移動ストロークｓ１は、ｓ１＝ｚ＋ｚ−ｘとなり、また、直線溝（１１Ａ）および直線溝（１２Ａ）の長手方向に直交する方向における一方の部材（１１）の移動ストロークｓ２は、姿勢保持キー（１５）が直立したときの姿勢保持キー（１５）の傾きを０°、姿勢保持キー（１５）の姿勢変化の許容量を±α°、円弧状摺接面（１６ａ，１６ａ）の曲率中心と円弧状摺接面（１７ａ，１７ａ）の曲率中心の間の距離をＬとして、ｓ２＝２sinαとなる。
【００６０】
〔付記３〕
前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）と前記他方の部材（１２）の直線溝（１２Ａ）のうち、一方の長さ（ｚまたはｙ）が前記姿勢保持キー（１５）の長さ（ｘ３）に一致していることを特徴とした付記１記載の姿勢保持機構（１０）。
このような構成を適用した場合、ｚ＞ｘ、ｙ＝ｘであれば、直線溝（１１Ａ）および直線溝（１２Ａ）の長手方向における一方の部材（１１）の移動ストロークｓ１は、ｓ１＝ｚ−ｘとなり、また、ｙ＞ｘ、ｚ＝ｘであれば、直線溝（１１Ａ）および直線溝（１２Ａ）の長手方向における一方の部材（１１）の移動ストロークｓ１は、ｓ１＝ｙ−ｘとなる。
【００６１】
〔付記４〕
前記姿勢保持キー（１５）における第一の溝摺接部（１６）の円弧状摺接面（１６a,１６a）の曲率中心（Ｓ１）および前記姿勢保持キー（１５）における第二の溝摺接部（１７）の円弧状摺接面（１７a,１７a）の曲率中心（Ｓ２）を中心とした前記姿勢保持キー（１５）の回動（揺動）を許容すべく、
前記姿勢保持キー（１５）における前記接続部（１８）の幅（ｗ）が、前記第一の溝摺接部（１６）と前記第二の溝摺接部（１７）の内、幅の狭い方の溝摺接部（１６または１７）の幅よりも短く形成されているか、または／および、前記一方の部材（１１）の直線溝（１１Ａ）と前記他方の部材（１２）の直線溝（１２Ａ）の縁部に拡径部（１２Ａａ，１２Ａａ）が形成されていることを特徴とした付記１，付記２，付記３のうち何れか一項に記載の姿勢保持機構（１０）。
このような構成を適用した場合、姿勢保持キー（１５）の姿勢変化の許容量α°の値を大きくできるので、直線溝（１１Ａ）および直線溝（１２Ａ）の長手方向に直交する方向における一方の部材（１１）の移動ストロークｓ２の値を大きくすることができる。
【００６２】
〔付記５〕
前記一方の部材（１１）をワーク載置テーブル（１１１）とし、前記他方の部材（１２）を前記ワーク載置テーブル（１１１）を支えるベースプレート（１１２）とすると共に、前記ワーク載置テーブル（１１１）の対向面と前記ベースプレート（１１２）の対向面に前記直線溝（１１２Ａ等）の組を複数組平行に設け、各組毎の直線溝（１１２Ａ等）に前記姿勢保持キー（１５）が配置されていることを特徴とした付記１，付記２，付記３，付記４のうち何れか一項に記載の姿勢保持機構（１０）。
このような構成を適用した場合、複数の直線溝（１１２Ａ等）および姿勢保持キー（１５）を併設しても其の方向性が一定であるため、或る組の直線溝（１１２Ａ），直線溝（１１２Ａ）、姿勢保持キー（１５）によって特定される移動ストロークｓ１（ｚ＋ｙ−ｘ）が他の組の直線溝（１１２Ａ），直線溝（１１２Ａ），姿勢保持キー（１５）によって特定される移動ストロークｓ２（２Ｌsinα）による制約を受けることがなく、ワーク載置テーブル（１１１）の一方向（全ての直線溝１１２Ａ，姿勢保持キーｃの長手方向に一致する方向）に大きな移動を許容することができる。
【００６３】
〔付記６〕
前記一方の部材（１１）をワーク載置テーブル（１１１）とし、前記他方の部材（１２）を前記ワーク載置テーブル（１１１）を支えるベースプレート（１１２）とすると共に、
前記ワーク載置テーブル（１１１）対向面と前記ベースプレート（１１２）の対向面に前記直線溝（１１２Ａ，１１２Ａ）の組を複数組斜交状態（一般に直交状態）で設け、各組毎の直線溝（１１２Ａ，１１２Ａ）に前記姿勢保持キー（１５）が配置されていることを特徴とした付記１，付記２，付記３，付記４のうち何れか一項に記載の姿勢保持機構（１０）。
このような構成を適用した場合は、或る組の直線溝（１１２Ａ），直線溝（１１２Ａ），姿勢保持キー（１５）によって特定される移動ストロークｓ１によって他の組の直線溝（１１２Ａ），直線溝（１１２Ａ），姿勢保持キー（１５）によって特定される移動ストロークｓ２による制約を受けるため、ワーク載置テーブル（１１１）の一方向に大きな移動を許容することはできないが、ワーク載置テーブル（１１１）の何れの方向への送りに際しても姿勢保持キー（１５）の回動動作（揺動動作）と姿勢保持キー（１５）の摺動動作が並行して発生するので、送り方向の違いによって生じる差異が平準化され、送り方向に関りなくワーク載置テーブル（１１１）の送りに関する全体的な均一性が保証される。
より具体的に言えば、ワーク載置テーブル（１１１）に任意方向の送りを掛けた場合に、或る姿勢保持キー（１５）は回動動作（揺動動作）のみをし、また、別の或る姿勢保持キー（１５）は摺動動作のみをし、更に別の或る姿勢保持キー（１５）は回動動作（揺動動作）と摺動動作を同時に行うようになり、姿勢保持キー（１５）の回動動作（揺動動作）のみによる送りや姿勢保持キー（１５）の摺動動作のみによる送りが生じることがなく、様々な現象が重合して発生するので、送りの方向性に依存することなくワーク載置テーブル（１１１）の送りに関する全体的な均一性が保証されるという意味合いである。
【００６４】
〔付記７〕
対向面で相互に摺動可能に配設された二つの部材（連係移動部材）（１１，１２）を設け、一方の部材（１１）の外面側をテーブル面側とすると共に、当該一方の部材（１１）の相対移動範囲を、他方の部材（連係移動部材）（１２）に係合して一定の移動範囲に規制する移動規制手段を備え、
前記移動規制手段を、
前記一方と他方の各部材（１１，１２）の各対向面側にそれぞれ対向して形成された一定幅の直線溝（角溝）（１１Ａ，１２Ａ）と、この一方と他方の各直線溝（１１Ａ，１２Ａ）内に各別に配置され且つ当該各直線溝（１１Ａ，１２Ａ）に沿って少なくとも一方が移動可能に形成された第一，第二の溝摺接部（丸棒状部）（１６，１７）を備えた断面８の字状の姿勢保持キー（棒状移動規制キー）（１５）とにより構成したことを特徴とする姿勢保持機構（１０）。
【００６５】
〔付記８〕
前記姿勢保持キー（棒状移動規制キー）（１５）は、前記第一，第二の溝摺接部（丸棒状部）（１６，１７）の長さが対応する前記各直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の長さよりも小さく形成され、且つ当該各直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の各内壁面に対して前記第一，第二の溝摺接部（１６，１７）が摺動可能に形成されていることを特徴とした付記１に記載の姿勢保持機構（１０）。
【００６６】
〔付記９〕
前記断面８の字状の姿勢保持キー（１５）における両端部の各断面円形状部分の半径ｒ１、ｒ２が、対応する前記各直線溝の幅寸法ｗの１／２より小さい値に設定されていることを特徴とする付記１又は２に記載の姿勢保持機構（１０）。
【００６７】
〔付記１０〕
前記一方と他方の各部材（１１，１２）に形成された直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の溝幅ｗを、相互に同一の幅寸法としたことを特徴とした請求項１，２，又は３に記載の姿勢保持機構（１０）。
【００６８】
〔付記１１〕
前記一方と他方の各部材（１１，１２）に形成された直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の内、少なくとも他方の部材（１２）の直線溝（１２Ａ）の溝開口部に、拡径部（溝幅拡大部）（１２Ａａ）を設けたことを特徴とする付記４に記載の姿勢保持機構（１０）。
【００６９】
〔付記１２〕
前記姿勢保持キー（棒状移動規制キー）（１５）を構成する前記第一，第二の各溝摺接部（丸棒状部）（１６，１７）は、平行にして相互に当接配置された同一形状のロッド部材により形成され、当該各ロッド部材は相互に一体的に固着されていることを特徴とした付記５に記載の姿勢保持機構（１０）。
【００７０】
〔付記１３〕
前記一方と他方の各部材（１１，１２）に形成された対向する直線溝（１１Ａ，１２Ａ）の深さの和（ｈ３）を、対応する前記姿勢保持キー（棒状移動規制キー）（１５）の断面８の字状の面内における最大高さ（ｈ４）よりも大きく設定したことを特徴とする付記６に記載の姿勢保持機構（１０）。
ここで、上記各「付記１乃至付記１２」では、発明の名称を「姿勢保持機構」としたが、「テーブル用移動規制機構」又は「ステージ用移動規制機構」としてもよい。
【００７１】
〔付記１４〕
付記１乃至７の何れか一つに記載の姿勢保持機構（１０）における前記一方と他方の各部材１１，１２に代えて、それぞれ正方形に近い形状のワーク載置テーブル（１１１）と、当該ワーク載置テーブル（１１１）を支持するベースプレート（１１２）を設け、
前記ワーク載置テーブル（１１１）をその対向当接面に沿って一方の方向に往復移動を付勢する第１の往復移動付勢機構（１２０）と、この第１の往復移動付勢機構（１２０）と同等に構成され同じく当該ワーク載置テーブル（１１１）を前記一方の方向に交差する他方の方向への往復移動を付勢する第２の往復移動付勢機構（１２５）とを、前記ベースプレート（１１２）にそれぞれ装備し、
前記第１，第２の各往復移動付勢機構（１２０，１２５）による往復駆動力を個別に前記ワーク載置テーブル（１１１）にそれぞれ伝達する第１，第２の各移動力伝達部材（１２１，１２６）を、前記ワーク載置テーブル（１１１）における隣接する各側端部中央領域にそれぞれ固着装備したことを特徴とするステージ装置。
【００７２】
〔付記１５〕
付記８に記載のステージ装置において、
前記第１と第２の各往復移動付勢機構（１２０，１２５）をねじ機構で構成すると共に、前記第１，第２の各移動力伝達部材（１２１，１２６）は、前記ねじ機構の駆動ねじをそのネック部で回転自在に保持するネック部係合保持部を有すると共に、このネック部係合保持部を、前記駆動ねじのネック部が当該駆動ねじの中心軸に直交する方向に移動するのを許容する長穴状（１２１Ａ，１２６Ａ）の係合保持部としたことを特徴とするステージ装置。
【００７３】
〔付記１６〕
付記７又は８に記載のステージ装置において、
前記付記１乃至７の何れか一つに記載の姿勢保持機構（１０）における前記移動規制手段と同等の構成を備え同等に機能する移動規制手段を、前記ワーク載置テーブル（１１１）と前記ベースプレート（１１２）の対向面の複数箇所に、前記各直線溝（１１２Ａ等）の対応位置関係を維持した状態でそれぞれ設置したことを特徴とするステージ装置。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、互いに重合した二つの部材の内の一方の部材を他方の部材に対して相対移動させる際に、他方の部材に対する一方の部材の姿勢変化を抑制する必要性を生じる装置、例えば、ステージ装置、クロステーブル等に利用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１０    姿勢保持機構
１１    一方の部材
１１Ａ    直線溝
１２    他方の部材
１２Ａ    直線溝
１２Ａａ  拡径部
１５    姿勢保持キー
１６    第一の溝摺接部
１６ａ    円弧状摺接面
１７    第二の溝摺接部
１７ａ    円弧状摺接面
１８    接続部
１９    接続ボルト
【図１】
0006795254.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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