(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する第１辺および第２辺と、前記第１辺および前記第２辺に対して直交する方向に沿っている第３辺および第４辺と、を含む外形を有する実装面と、
前記実装面の前記第１辺側および前記第２辺側の少なくとも前記第１辺側に配置されている電源端子と、
前記実装面の中心より前記第２辺側、前記実装面の前記中心より前記第３辺側および前記実装面の前記中心より前記第４辺側のうち少なくとも１つに配置されている信号出力端子と、
第１レギュレーター回路と、
第２レギュレーター回路と、
第３レギュレーター回路と、
第４レギュレーター回路と、
前記実装面に配置され、前記第１レギュレーター回路に電気的に接続されている第１外部容量端子と、
前記実装面に配置され、前記第２レギュレーター回路に電気的に接続されている第２外部容量端子と、
前記実装面に配置され、前記第３レギュレーター回路に電気的に接続されている第３外部容量端子と、
前記実装面に配置され、前記第４レギュレーター回路に電気的に接続されている第４外部容量端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避けて、前記信号出力端子が配置されており、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避け、かつ、前記信号出力端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避けて、前記第１外部容量端子、前記第２外部容量端子、前記第３外部容量端子および前記第４外部容量端子が配置されており、
前記第１外部容量端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置に、前記第２外部容量端子が配置され、前記第１外部容量端子と前記実装面の中心に対して１８０度回転対称となる位置に、前記第３外部容量端子が配置され、前記第１外部容量端子と前記実装面の中心に対して２７０度回転対称となる位置に、前記第４外部容量端子が配置されていることを特徴とする電子デバイス。
【請求項２】
前記実装面の前記中心より前記第１辺側に配置されている前記電源端子である第１電源端子と、
前記実装面の前記中心より前記第２辺側で、前記第１電源端子と前記中心に対して１８０度回転対称となる位置に配置されている前記電源端子である第２電源端子と、
を備える請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項３】
デジタル通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記デジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子である請求項１または２に記載の電子デバイス。
【請求項４】
アナログ通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記アナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子である請求項１または２に記載の電子デバイス。
【請求項５】
第１物理量を検出する第１センサー素子と、
第２物理量を検出する第２センサー素子と、
前記第１レギュレーター回路が生成する第１電源電圧により動作し、前記第１センサー素子の信号処理を行う第１物理量信号処理回路と、
前記第２レギュレーター回路が生成する第２電源電圧により動作し、前記第２センサー素子の信号処理を行う第２物理量信号処理回路と、
を備える請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電子デバイス。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイス、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスとしては、例えば、ジャイロ素子等の機能素子と、この機能素子の駆動等を行うＩＣ（Integrated Circuit）とをパケージ内に収納したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような電子デバイスでは、一般に、パッケージの外表面に複数の外部実装端子が設けられており、この複数の外部実装端子を介して実装基板に実装される。ここで、複数の外部実装端子には、通常、電源電圧が入力される電源端子や、信号を出力する信号出力端子等が含まれる。
【０００３】
このような電子デバイスを検査する際や電子機器の実装基板に実装する際、電子デバイスを測定装置（治具）に装着して、または実装基板に実装して、電源端子を介して電源電圧を電子デバイスに印加する。しかし、電子デバイスが回転対称な平面視形状であるため、誤った角度で電子デバイスが測定装置に装着または実装基板に実装される場合がある。その場合、電源端子以外の他の端子（例えば信号出力端子）に電源電圧が印加されてしまい、電子デバイスの特性や動作に影響を与える可能性があるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−３３８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、電子デバイスが測定装置や実装基板に誤った角度で装着されても電子デバイスに与える影響を低減することができる電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の電子デバイスは、外形がｎ回対称（ただし、ｎは２以上の整数である）である実装面と、
前記実装面に配置されている電源端子と、
前記実装面に配置されている信号出力端子と、
を備え、
３６０度を前記ｎで割った角度をθとしたとき、１≦ｍ＜ｎを満たす整数のそれぞれについて前記電源端子と前記実装面の中心に対して（ｍ×θ°）回転対称となる位置を避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする。
【０００７】
このような電子デバイスによれば、正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える影響を低減することができる。
【０００８】
［適用例２］
本発明の電子デバイスは、互いに対向する第１辺および第２辺と、前記第１辺および前記第２辺に対して直交する方向に沿っている第３辺および第４辺と、を含む外形を有する実装面と、
前記実装面の前記第１辺側および前記第２辺側の少なくとも前記第１辺側に配置されている電源端子と、
前記実装面の中心より前記第２辺側、前記実装面の前記中心より前記第３辺側および前記実装面の前記中心より前記第４辺側のうち少なくとも１つに配置されている信号出力端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
このような電子デバイスによれば、正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える影響を低減することができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明の電子デバイスでは、前記実装面の前記中心より前記第１辺側に配置されている前記電源端子である第１電源端子と、
前記実装面の前記中心より前記第２辺側で、前記第１電源端子と前記中心に対して１８０度回転対称となる位置に配置されている前記電源端子である第２電源端子と、
を備えることが好ましい。
【００１１】
これにより、正規の向きから１８０度回転した向き（角度）で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、電源電圧が第１電源端子および第２電源端子に入力されることとなり、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができる。
【００１２】
［適用例４］
本発明の電子デバイスでは、デジタル通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記デジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子であることが好ましい。
【００１３】
これにより、誤った向き（角度）で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、デジタル通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。
【００１４】
［適用例５］
本発明の電子デバイスでは、アナログ通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記アナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子であることが好ましい。
【００１５】
これにより、測定装置に対して誤った向き（角度）で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、アナログ通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。
【００１６】
［適用例６］
本発明の電子デバイスでは、レギュレーター回路と、
前記実装面に配置され、前記レギュレーター回路に電気的に接続されている外部容量端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避けて、前記外部容量端子が配置されていることが好ましい。
【００１７】
これにより、誤った向き（角度）で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、外部容量端子を介してレギュレーター回路に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える悪影響を低減することができる。
【００１８】
［適用例７］
本発明の電子デバイスでは、前記レギュレーター回路である第１レギュレーター回路と、
前記第１レギュレーター回路と異なる前記レギュレーター回路である第２レギュレーター回路と、
前記第１レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第１外部容量端子と、
前記第１外部容量端子と前記実装面の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置との少なくとも一つに前記実装面に配置され、前記第２レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第２外部容量端子と、
を備えることが好ましい。
【００１９】
これにより、正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、電源電圧が第１外部容量端子および第２外部容量端子以外の端子に入力されることとなり、第１外部容量端子および第２外部容量端子に電源電圧が入力されることを防止することができる。また、誤装着または誤実装されたときに、同種の回路が第１外部容量端子および第２外部容量端子に接続されることとなり、異種の回路が第１外部容量端子および第２外部容量端子に接続される場合に比べて、誤装着または誤実装による電子デバイスへの影響を効果的に低減することができる。
【００２０】
［適用例８］
本発明の電子デバイスでは、第１物理量を検出する第１センサー素子と、
第２物理量を検出する第２センサー素子と、
前記第１レギュレーター回路が生成する第１電源電圧により動作し、前記第１センサー素子の信号処理を行う第１物理量信号処理回路と、
前記第２レギュレーター回路が生成する第２電源電圧により動作し、前記第２センサー素子の信号処理を行う第２物理量信号処理回路と、
を備えることが好ましい。
これにより、複数の物理量を検出することができる。
【００２１】
［適用例９］
本発明の電子機器は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
【００２２】
これにより、優れた特性を有する電子デバイスを備える電子機器を提供することができる。
【００２３】
［適用例１０］
本発明の移動体は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
【００２４】
これにより、優れた特性を有する電子デバイスを備える移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電子デバイスを示す斜視図である。
【図２】図１に示す電子デバイスの断面図である。
【図３】図１に示す電子デバイスが備えるセンサー素子（面内検出型）を示す平面図である。
【図４】図１に示す電子デバイスが備えるセンサー素子（面外検出型）を示す平面図である。
【図５】図１に示す電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。
【図６】図１に示す電子デバイスの作用を説明するための図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。
【図８】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図９】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１１】本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、電子デバイス、電子機器および移動体について、添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
１．電子デバイス
まず、本発明の電子デバイスについて説明する。
【００２８】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る電子デバイスを示す斜視図、図２は、図１に示す電子デバイスの断面図である。なお、図１および図２では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。
【００２９】
図１および図２に示すように、電子デバイス１は、３つのセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚと、これらセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚを収容するパッケージ６と、ＩＣチップ８と、を有している。
【００３０】
（パッケージ）
パッケージ６は、凹部６１１を有する箱状のベース６１と、凹部６１１の開口を塞いで接合された板状のリッド６２とを有している。そして、凹部６１１がリッド６２によって塞がれることにより形成された収容空間Ｓにセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚが収納されている。収容空間Ｓは、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【００３１】
凹部６１１は、ベース６１の上面に開放する第１凹部６１１ａと、第１凹部６１１ａの底面の中央部に開放する第２凹部６１１ｂと、を有している。
【００３２】
ベース６１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスや、各種ガラス材料を用いることができる。また、リッド６２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース６１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース６１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース６１とリッド６２の接合方法は、特に限定されず、例えば、接着材やろう材を介して接合することができる。本実施形態では、リッド６２は、シームリング、低融点ガラス、接着剤等の接合部材６３を介してベース６１に接合されている。
【００３３】
凹部６１１ａの底面には、複数の接続端子６４１が形成されている。この複数の接続端子６４１は、それぞれ、ベース６１に設けられた配線層６４３、６４４を介して、ベース６１の底面に設けられた複数の端子６４２に電気的に接続されている。接続端子６４１等は、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）等のメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）等の各被膜を積層した金属被膜で構成されている。なお、端子６４２については、後に詳述する。
【００３４】
（ＩＣチップ）
ＩＣチップ８は、凹部６１１ｂの底面に接着剤等によって固定されている。ＩＣチップ８は、複数の端子８１を有し、各端子８１が導電性ワイヤー１０１によって各接続端子６４１と電気的に接続されている。このＩＣチップ８は、センサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚを駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚに生じる検出振動を検出する検出回路と、を有する。
【００３５】
また、ＩＣチップ８の上面には、ポリイミド等の樹脂で構成された応力緩和層９が設けられており、この応力緩和層９上には、センサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚに電気的に接続するための端子（図示せず）が露出して設けられている。
【００３６】
センサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚは、応力緩和層９上に導電性接着材を介して固定されている。これにより、センサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚが有する各端子が導電性接着剤を介して応力緩和層９上の各端子に電気的に接続されている。導電性接着材としては、導電性および接着性を有していれば特に限定されず、例えば、シリコーン系、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ビスマレイミド系等の接着材に銀粒子等の導電性フィラーを分散させたものを用いることができる。
【００３７】
ここで、センサー素子７Ｘは、Ｘ軸周りの角速度ωＸを検出するように配置され、センサー素子７Ｙは、Ｙ軸周りの角速度ωＹを検出するように配置されている。また、センサー素子７Ｚは、Ｚ軸周りの角速度ωＺを検出するように配置されている。
【００３８】
なお、本実施形態では、ＩＣチップ８がパッケージ６の内部に設けられているが、ＩＣチップ８は、パッケージ６の外部に設けられていてもよい。この場合、センサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚを直接パッケージ６に固定すればよい。
【００３９】
（センサー素子）
図３は、図１に示す電子デバイスが備えるセンサー素子（面内検出型）を示す平面図、図４は、図１に示す電子デバイスが備えるセンサー素子（面外検出型）を示す平面図である。なお、図３および図４では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示しており、各軸を示す矢印の先端側を「＋」、基端側を「−」とする。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」という。また、＋ｚ軸方向側を「上」、−ｚ軸方向側を「下」ともいう。また、各図では、説明の便宜上、各電極の図示を省略している。
【００４０】
前述したように、電子デバイス１は、Ｘ軸周りの角速度ωＸを検出するセンサー素子７Ｘと、Ｙ軸周りの角速度ωＹを検出するセンサー素子７Ｙと、Ｚ軸周りの角速度ωＺを検出するセンサー素子７Ｚと、を備えている。以下、これらセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚについて詳述する。なお、センサー素子７Ｘ、７Ｙは、配置が異なるだけで、互いに同様の構成であるため、以下では、センサー素子７Ｘについて代表的に説明する。
【００４１】
≪面内検出型センサー素子≫
図３に示すセンサー素子７Ｘは、面内検出型の角速度検出素子（ジャイロ素子）である。このセンサー素子７Ｘは、圧電基板２と、圧電基板２に形成された電極（図示せず）と、を有している。
【００４２】
−圧電基板−
圧電基板２の構成材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料が挙げられる。これらの中でも、圧電基板２の構成材料としては、水晶を用いることが好ましい。水晶を用いることで、他の材料と比較して優れた周波数温度特性を有するセンサー素子７Ｘが得られる。なお、以下では、圧電基板２を水晶で構成した場合について説明する。
【００４３】
圧電基板２は、水晶基板の結晶軸であるＹ軸（機械軸）およびＸ軸（電気軸）で規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、圧電基板２は、Ｚカット水晶板で構成されている。なお、Ｚ軸は、圧電基板２の厚さ方向と必ずしも一致している必要はなく、常温近傍における周波数の温度による変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干傾けてもよい。具体的には、Ｚカット水晶板とは、Ｚ軸に直交した面をＸ軸およびＹ軸の少なくとも一方を中心に０度〜１０度の範囲で回転させた面が、主面となるようなカット角の水晶板を含む。
圧電基板２の厚さは、特に限定されず、４０．０〜３００．０μｍ程度とされる。
【００４４】
このような圧電基板２は、基部２１と、駆動振動腕（第１駆動振動腕）２２１および駆動振動腕（第２駆動振動腕）２２２と、検出振動腕（第１検出振動腕）２３１および検出振動腕（第２検出振動腕）２３２と、調整振動腕２４１および調整振動腕２４２と、支持部（枠体）２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とを有し、これらが一体的に形成されている。
【００４５】
駆動振動腕２２１および駆動振動腕２２２は、それぞれ、基部２１から−ｙ軸方向に延出している。また、駆動振動腕２２１および駆動振動腕２２２は、ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００４６】
この駆動振動腕２２１は、基部２１から延出している腕部２２１１と、腕部２２１１の先端側に設けられていて腕部２２１１よりも幅の広い幅広部２２１２と、腕部２２１１の延出方向に沿って設けられている１対の溝（図示せず）と、を有する。同様に、駆動振動腕２２２は、基部２１から延出している腕部２２２１と、腕部２２２１の先端側に設けられていて腕部２２２１よりも幅の広い幅広部２２２２と、腕部２２２１の延出方向に沿って設けられている１対の溝（図示せず）と、を有する。
【００４７】
このような駆動振動腕２２１、２２２では、幅広部２２１２、２２２２（ハンマーヘッド）を設けることによって、角速度の検出感度を向上させるとともに、駆動振動腕２２１、２２２の長さを短くすることができる。また、溝を設けることによって、熱弾性損失やＣＩ値を低減し、駆動振動腕２２１、２２２を効率的に駆動振動させることができる。なお、幅広部２２１２、２２２２は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００４８】
検出振動腕２３１および検出振動腕２３２は、それぞれ、基部２１から＋ｙ軸方向に延出している。また、検出振動腕２３１および検出振動腕２３２は、ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００４９】
この検出振動腕２３１は、基部２１から延出している腕部２３１１と、腕部２３１１の先端側に設けられていて腕部２３１１よりも幅の広い幅広部２３１２と、腕部２３１１の延出方向に沿って設けられている１対の溝（図示せず）と、を有する。同様に、検出振動腕２３２は、基部２１から延出している腕部２３２１と、腕部２３２１の先端側に設けられていて腕部２３２１よりも幅の広い幅広部２３２２と、腕部２３２１の延出方向に沿って設けられている１対の溝（図示せず）と、を有する。
【００５０】
このような検出振動腕２３１、２３２では、幅広部２３１２、２３２２を設けることによって、検出振動腕２３１、２３２の共振周波数（固有振動数）を低くしたり、検出振動腕２３１、２３２の長さを短くしたりすることができる。また、溝を設けることによって、検出振動を効率的に検出することができる。なお、幅広部２３１２、２３２２および溝は、それぞれ、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００５１】
調整振動腕２４１および調整振動腕２４２は、それぞれ、基部２１から＋ｙ軸方向に延出している。また、調整振動腕２４１および調整振動腕２４２は、前述した検出振動腕２３１、２３２を挟んで、ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。
【００５２】
この調整振動腕２４１は、基部２１から延出している腕部２４１１と、腕部２４１１の先端側に設けられていて腕部２４１１よりも幅の広い幅広部２４１２と、を有する。同様に、調整振動腕２４２は、基部２１から延出している腕部２４２１と、腕部２４２１の先端側に設けられていて腕部２４２１よりも幅の広い幅広部２４２２と、を有する。
【００５３】
このような調整振動腕２４１、２４２では、幅広部２４１２、２４２２を設けることによって、調整振動腕２４１、２４２の共振周波数（固有振動数）を低くしたり、調整振動腕２４１、２４２の長さを短くしたりすることができる。なお、幅広部２４１２、２４２２は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。また、検出振動腕２３１、２３２と同様に、調整振動腕２４１、２４２の主面に溝を設けてもよい。
【００５４】
支持部２５は、連結部２６１、２６２、２６３、２６４を介して基部２１を支持する機能を有している。この支持部２５は、基部２１に対して−ｙ軸方向側に配置されていてｘ軸方向に沿って延びている長尺状をなす部分２５１、部分２５１の両端部から＋ｙ軸方向に沿って延びている２つの部分２５２、２５３と、を有している。
【００５５】
連結部２６１は、長尺状をなし、一端部が部分２５２の＋ｙ軸方向側の端部に接続され、他端部が基部２１の−ｘ軸方向側の端部に接続されていて、基部２１と支持部２５とを連結している。同様に、連結部２６２は、長尺状をなし、一端部が部分２５３の＋ｙ軸方向側の端部に接続され、他端部が基部２１の＋ｘ軸方向側の端部に接続されていて、基部２１と支持部２５とを連結している。
【００５６】
また、連結部２６３は、長尺状をなし、一端部が部分２５１の中央部に接続され、他端部が基部２１の−ｘ軸方向側の端部に接続されていて、基部２１と支持部２５とを連結している。同様に、連結部２６４は、長尺状をなし、一端部が部分２５１の中央部に接続され、他端部が基部２１の＋ｘ軸方向側の端部に接続されていて、基部２１と支持部２５とを連結している。
【００５７】
このような連結部２６１、２６２、２６３、２６４は、それぞれ、途中に屈曲または湾曲した複数の部分を有する。これにより、連結部２６１、２６２、２６３、２６４の様々な方向での柔軟性を高めることができる。そのため、センサー素子７Ｘの耐衝撃性を高めたり、連結部２６１、２６２、２６３、２６４の曲げ変形を伴う基部２１の不要な振動の周波数を駆動振動や検出振動の周波数から遠ざけて検出特性を高めたりすることができる。また、センサー素子７Ｘの小型化を図ることができる。
【００５８】
−電極−
前述した圧電基板２の表面に設けられている電極は、図示しないが、駆動信号電極と、駆動接地電極と、検出信号電極と、検出接地電極と、を有している。かかる電極は、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
【００５９】
以上説明したように構成されたセンサー素子７Ｘでは、センサー素子７Ｘに角速度が加わらない状態において、駆動信号電極と駆動接地電極との間に電界が生じると、駆動振動腕２２１、２２２は、図３中矢印Ａで示すようにｘ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（駆動振動）を行う。
【００６０】
また、この駆動振動に伴って、調整振動腕２４１、２４２も、ｘ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（調整振動）を行う。
【００６１】
この駆動振動を行っている状態で、ｙ軸方向に沿った中心軸ａ１周りの角速度ωがセンサー素子７Ｘに加わると、駆動振動腕２２１、２２２にコリオリ力が作用し、このコリオリ力により、駆動振動腕２２１、２２２がｚ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動する。これに伴い、検出振動腕２３１、２３２は、図３中Ｂで示すようにｚ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（検出振動）する。この検出振動により、検出振動腕２３１、２３２に発生した電荷を、検出信号電極から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度が求められる。
【００６２】
なお、このとき、調整振動腕２４１、２４２も、駆動振動腕２２１、２２２と同様に、ｚ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動するが、この屈曲振動による電荷は出力されない。すなわち、コリオリ力の作用の有無にかかわらず、調整振動腕２４１、２４２から出力される電荷は、基本的に、前述した調整振動によるもののみであって一定である。これにより、圧電基板２の製造バラツキ等に起因する漏れ出力を調整することができる。
【００６３】
以上説明したようなセンサー素子７Ｘは、中心軸ａ１が図１および図２に示すＸ軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子７ＸによりＸ軸周りの角速度ωＸを検出することができる。また、センサー素子７Ｙは、中心軸ａ１が図１および図２に示すＹ軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子７ＹによりＹ軸周りの角速度ωＹを検出することができる。
【００６４】
≪面外検出型センサー素子≫
図４に示すセンサー素子７Ｚは、面外検出型の角速度検出素子（ジャイロ素子）である。このセンサー素子７Ｚは、圧電基板４と、圧電基板４の表面に形成された電極（図示せず）と、を有している。なお、以下では、前述したセンサー素子７Ｘと同様の事項については、その説明を省略する。
【００６５】
−圧電基板−
圧電基板４は、Ｚカット水晶板で構成されている。この圧電基板４は、基部４１と、基部４１から延出している駆動振動腕４２１〜４２４および検出振動腕４３１、４３２と、固定部４４１、４４２と、固定部４４１と基部４１とを連結している支持梁４５１、４５２と、固定部４４２と基部４１とを連結している支持梁４５３、４５４と、を有している。なお、この圧電基板４は、図４に示すように、左右対称に形成されている。
【００６６】
基部４１は、中心部に位置する本体部４１１と、本体部４１１から−ｘ軸方向に延出している連結腕４１２と、本体部４１１から＋ｘ軸方向に延出している連結腕４１３と、を有している。なお、連結腕４１２、４１３の上面および下面のそれぞれに、その長さ方向（ｘ軸方向）に延在する有底の溝を設けてもよい。
【００６７】
駆動振動腕４２１は、基部４１の連結腕４１２の先端部から＋ｙ軸方向に延出している。また、駆動振動腕４２２は、連結腕４１２の先端部から−ｙ軸方向に延出している。同様に、駆動振動腕４２３は、連結腕４１３の先端部から＋ｙ軸方向に延出している。また、駆動振動腕４２４は、連結腕４１３の先端部から−ｙ軸方向に延出している。
【００６８】
この駆動振動腕４２１〜４２４は、それぞれ、基部４１から延出している腕部４２１１〜４２４１と、腕部４２１１〜４２４１の先端側に設けられていて腕部４２１１〜４２４１よりも幅の大きい幅広部４２１２〜４２４２と、腕部４２１１〜４２４１の延出方向に沿って設けられている溝（図示せず）と、を有している。
【００６９】
検出振動腕４３１は、基部４１の本体部４１１から＋ｙ軸方向に延出している。また、検出振動腕４３２は、本体部４１１から−ｙ軸方向に延出している。
【００７０】
この検出振動腕４３１、４３２は、それぞれ、基部４１から延出している腕部４３１１、４３２１と、腕部４３１１、４３２１の先端側に設けられていて腕部４３１１、４３２１よりも幅の大きい幅広部４３１２、４３２２と、腕部４３１１、４３２１の延出方向に沿って設けられている溝（図示せず）と、を有している。
【００７１】
固定部４４１は、基部４１に対して＋ｙ軸方向側に位置し、ｘ軸方向に延在している。一方、固定部４４２は、基部４１に対して−ｙ軸方向側に位置し、ｘ軸方向に延在している。
【００７２】
支持梁４５１は、駆動振動腕４２１と検出振動腕４３１との間を通って基部４１の本体部４１１と固定部４４１とを連結している。また、支持梁４５２は、駆動振動腕４２３と検出振動腕４３１との間を通って基部４１の本体部４１１と固定部４４１とを連結している。同様に、支持梁４５３は、駆動振動腕４２２と検出振動腕４３２との間を通って基部４１の本体部４１１と固定部４４２とを連結している。また、支持梁４５４は、駆動振動腕４２４と検出振動腕４３２との間を通って基部４１の本体部４１１と固定部４４２とを連結している。
【００７３】
各支持梁４５１〜４５４は、長尺状をなし、その途中に屈曲または湾曲した複数の部分を有している。
【００７４】
−電極−
前述した圧電基板４の表面に設けられている電極は、図示しないが、駆動信号電極と、駆動接地電極と、検出信号電極と、検出接地電極と、を有している。
【００７５】
以上説明したように構成されたセンサー素子７Ｚでは、センサー素子７Ｚに角速度が加わらない状態において、駆動信号電極と駆動接地電極との間に電界が生じると、各駆動振動腕４２１〜４２４が図４中矢印Ｃに示す方向に屈曲振動（駆動振動）を行う。このとき、駆動振動腕４２１、４２２と駆動振動腕４２３、４２４とが図４にて左右対称の振動を行っているため、基部４１および検出振動腕４３１、４３２は、ほとんど振動しない。
【００７６】
この駆動振動を行っている状態で、ｚ軸に沿った中心軸ａ２（重心）周りの角速度ωがセンサー素子７Ｚに加わると、検出振動（検出モードの振動）が励振される。具体的には、駆動振動腕４２１〜４２４および基部４１の連結腕４１２、４１３に図４中矢印Ｄで示す方向のコリオリの力が働き、新たな振動が励起される。これに伴い、この連結腕４１２、４１３の振動を打ち消すように、検出振動腕４３１、４３２に図４中矢印Ｅに示す方向の検出振動が励起される。そして、この検出振動により検出振動腕４３１、４３２に発生した電荷を、検出信号電極から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度が求められる。
【００７７】
以上説明したようなセンサー素子７Ｚは、中心軸ａ２が図１および図２に示すＺ軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子７ＺによりＺ軸周りの角速度ωＺを検出することができる。
【００７８】
（端子配置）
以下、電子デバイス１の端子６４２について詳述する。
【００７９】
図５は、図１に示す電子デバイスの端子配置を示す裏面図、図６は、図１に示す電子デバイスの作用を説明するための図である。
【００８０】
ベース６１の底面（実装面）に設けられた複数の端子６４２は、２つの電源端子６４２ａ１、６４２ａ２と、４つの外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４と、その他の複数の端子６４２ｃ１〜６４２ｃ１０および４つの端子６４２ｄ１〜６４２ｄ４と、を含んでいる。
【００８１】
電源端子６４２ａ１、６４２ａ２は、測定装置３０の端子３１ａ１、３１ａ２に接続され、それぞれ、外部電源からの電源電圧が入力される端子であり、例えば、電源端子６４２ａ１は、ＩＣチップ８に含まれるインターフェース回路を駆動する電源電圧が入力される端子（ＶＤＤＩ）であり、電源端子６４２ａ２は、ＩＣチップ８全体の動作に用いる電源電圧が入力される端子（ＶＤＤ）である。
【００８２】
外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４は、測定装置３０の端子３１ｂ１〜３１ｂ４に接続され、それぞれ、ＩＣチップ８内部の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子であり、例えば、外部容量端子６４２ｂ１は、ＩＣチップ８に含まれるインターフェース回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子（ＶＤＤＬ）であり、外部容量端子６４２ｂ２は、センサー素子７Ｘを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子（ＶＤＤＭＸ）であり、外部容量端子６４２ｂ３は、センサー素子７Ｚを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子（ＶＤＤＭＺ）であり、外部容量端子６４２ｂ４は、センサー素子７Ｙを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子（ＶＤＤＭＹ）である。
【００８３】
端子６４２ｃ１０は、測定装置３０の端子３１ｃ１０に接続され、ＩＣチップ８に含まれるインターフェース回路から外部へ信号を出力する信号出力端子（ＭＩＳＯ）であり、端子６４２ｃ１０を用いた通信方式としては、例えば、ＳＰＩ（登録商標）（Serial  Peripheral  Interface）が用いられる。他の端子６４２ｃ１〜６４２ｃ９は、測定装置３０の端子３１ｃ１〜３１ｃ９に接続され、例えば、端子６４２ｃ９は、ＩＣチップ８に含まれるインターフェース回路に信号を入力する信号入力端子（ＭＯＳＩ）であり、端子６４２ｃ６、６４２ｃ７は、通信方式としてＩ２Ｃ（登録商標）を選択したときに用いる端子（Ｉ２Ｃ＿ＤＡ、Ｉ２Ｃ＿ＣＬ）であり、端子６４２ｃ１は、通信方式を選択する信号が入力される端子（ＳＳ）であり、端子６４２ｃ１を用いることで、通信方式をＳＰＩとＩ２Ｃとで選択できるようになっている。
【００８４】
また、端子６４２ｃ２は、例えば、ＩＣチップ８内のデータ更新のタイミングを計るのに用いる端子（ＤＲＹ）である。端子６４２ｃ３、６４２ｃ４は、例えば、それぞれ、電気的に開放された端子（ＮＣ）である。端子６４２ｃ８は、例えば、クロック信号が入力される端子（ＳＣＬＫ）である。端子６４２ｃ５は、基準電位に接続される端子（ＧＮＤ）である。端子６４２ｄ１〜６４２ｄ４は、ＩＣチップ８に設定情報を書き込む際に用いる電源電圧が入力される端子（ＶＰＰ）等である。
【００８５】
以上のような機能を有する各端子は、ベース６１の底面の外周に沿って並んで配置されている。
【００８６】
具体的に説明すると、パッケージ６のベース６１は、図５に示すように、平面視で、互いに対向する第１辺６０ａおよび第２辺６０ｂと、第１辺６０ａおよび第２辺６０ｂに対して交差する方向に延びていて互いに対向する第３辺６０ｃおよび第４辺６０ｄと、を含む矩形の外形を有する。本実施形態では、第１辺６０ａおよび第２辺６０ｂは互いに平行であり、第３辺６０ｃおよび第４辺６０ｄは第１辺６０ａおよび第２辺６０ｂに対して直交している。
【００８７】
そして、第１辺６０ａに沿って、端子６４２ｃ１、電源端子６４２ａ１、端子６４２ｃ２、外部容量端子６４２ｂ１がこの順に並んで配置されている。また、第２辺６０ｂに沿って、外部容量端子６４２ｂ２、端子６４２ｃ３、電源端子６４２ａ２、端子６４２ｃ４がこの順に並んで配置されている。また、第３辺６０ｃに沿って、端子６４２ｃ５、端子６４２ｃ６、端子６４２ｃ７、外部容量端子６４２ｂ３がこの順に並んでいる。また、第４辺６０ｄに沿って、外部容量端子６４２ｂ４、端子６４２ｃ８、端子６４２ｃ９、端子６４２ｃ１０がこの順に並んで配置されている。
【００８８】
ここで、電源端子６４２ａ１は、ベース６１の第１辺６０ａ側に配置され、電源端子６４２ａ２は、ベース６１の中心Ｃより第２辺６０ｂ側に配置されている。また、信号出力端子である端子６４２ｃ１０は、ベース６１の中心Ｃより第４辺６０ｄ側に配置されている。
【００８９】
特に、電源端子６４２ａ１および端子６４２ｃ１０は、互いにベース６１（実装面）の中心Ｃに対して９０度回転対称、１８０度回転対称および２７０度回転対称となる位置を避けて配置されている。換言すれば、電源端子６４２ａ１とベース６１（実装面）の中心に対して９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置とを避けて、端子６４２ｃ１０が配置されている。すなわち、図６に示すように、ベース６１をその中心Ｃまわりに９０°、１８０°、２７０°のいずれの角度で回転した状態で測定装置３０に誤装着されたとき、端子６４２ｃ１０は、平面視で、電源端子６４２ａ１、６４２ａ２に接続されるべき端子３１ａ１、３１ａ２に重ならないように配置されている。
【００９０】
このような電子デバイス１によれば、測定装置３０（検査装置）に対して正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って装着されたとしても、信号出力端子である端子６４２ｃ１０に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス１に与える悪影響を低減することができる。
【００９１】
また、電子デバイス１が実装基板に対して正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って実装されたとしても、信号出力端子である端子６４２ｃ１０に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス１に与える悪影響を低減することができる。そのように電子デバイス１が実装基板に誤って実装された場合は、実装基板における電子デバイス１が実装される接続端子の機能を、電子デバイス１の向きに合わせた正しい機能に切り替えることができる。すなわち、誤った向き（角度）で実装された電子デバイス１の実装端子の配置に合わせて、実装基板側の接続端子の機能を切り替えることができる。このように切り替える方法は、実装基板から電子デバイス１を取り外すことが困難である場合に有効である。
【００９２】
なお、本実施形態では、実装面が略矩形をなしていて４回対称の外形をなす場合を例に説明しているが、これに限定されず、実装面の外形がｎ回対称（ただし、ｎは２以上の整数である）である場合、３６０°を前記ｎで割った角度をθとし、１以上であって前記ｎよりも小さい整数をｍとしたとき、電源端子および信号出力端子は、互いに実装面の中心に対して（ｍ×θ°）回転対称となる位置を避けて配置されていればよい。
【００９３】
また、電源端子６４２ａ１、６４２ａ２（第１、２電源端子）は、互いにベース６１（実装面）の中心Ｃに対して１８０度回転対称となる位置に配置されている。すなわち、図６（ａ）に示すように、ベース６１をその中心Ｃまわりに１８０°回転した状態で測定装置３０に誤装着されたり実装基板に実装されたとき、平面視で、電源端子６４２ａ１が、電源端子６４２ａ２に接続されるべき端子３１ａ２に重なり、かつ、電源端子６４２ａ２が、電源端子６４２ａ１に接続されるべき端子３１ａ１に重なるように配置されている。これにより、測定装置３０（検査装置）や実装基板に対して正規の向きから１８０度回転した向き（角度）で誤って装着（実装）されたとしても、電源電圧が電源端子６４２ａ１、６４２ａ２に入力されることとなり、信号出力端子である端子６４２ｃ１０に電源電圧が入力されることを防止することができる。
【００９４】
また、信号出力端子である端子６４２ｃ１０は、ＩＣチップ８に含まれるデジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子、または、ＩＣチップ８に含まれるアナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子である。したがって、測定装置３０（検査装置）や実装基板に対して誤った向き（角度）で装着（実装）されたとしても、デジタル通信回路またはアナログ通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。
【００９５】
また、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４は、ＩＣチップ８に含まれるレギュレーター回路に電気的に接続されている。そして、電源端子６４２ａ１、６４２ａ２および外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４は、互いにベース６１（実装面）の中心Ｃに対して、９０度回転対称、１８０度回転対称および２７０度回転対称のいずれかとなる位置を避けて配置されている。換言すれば、電源端子６４２ａ１および６４２ａ２と、ベース６１（実装面）の中心Ｃに対して、９０度回転対称となる位置と、１８０度回転対称となる位置と、２７０度回転対称となる位置と、の少なくとも１つを避けて、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４が配置されている。これにより、測定装置３０（検査装置）に対して誤った向き（角度）で装着（実装）されたとしても、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４を介してレギュレーター回路に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス１に与える悪影響を低減することができる。
【００９６】
しかも、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４は、ＩＣチップ８に含まれる互いに異なるレギュレーター回路に電気的に接続されていて、互いにベース６１（実装面）の中心Ｃに対して９０度回転対称、１８０度回転対称および２７０度回転対称のいずれかとなる位置で実装面に配置されている。換言すれば、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４のうちのいずれか１つと、ベース６１（実装面）の中心Ｃに対して９０度回転対称となる位置、１８０度回転対称となる位置、２７０度回転対称となる位置の少なくとも一つに、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４のうちの他の１つが配置されている。これにより、測定装置３０（検査装置）に対して正規の向き（角度）とは異なる向き（角度）で誤って装着（実装）されたとしても、電源電圧が外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４以外の端子に入力されることとなり、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４に電源電圧が入力されることを防止することができる。また、誤装着されたときに、同種の回路が外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４に接続されることとなり、異種の回路が外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４に接続される場合に比べて、誤装着による電子デバイス１への悪影響を効果的に低減することができる。ここで、外部容量端子６４２ｂ１〜６４２ｂ４のうちの任意の１つの端子が「第１外部容量端子」、他の任意の１つの端子が「第２外部容量端子」を構成し、これに対応するレギュレーター回路がそれぞれ「第１レギュレーター回路」および「第２レギュレーター回路」を構成する。
【００９７】
また、電子デバイス１は、前述したようにセンサー素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚを有し、ＩＣチップ８には、第１レギュレーター回路が生成する第１電源電圧により動作し、第１センサー素子の信号処理を行う「第１物理量信号処理回路」と、第２レギュレーター回路が生成する第２電源電圧により動作し、第２センサー素子の信号処理を行う「第２物理量信号処理回路」と、が設けられている。これにより、複数の物理量を検出することができる。
【００９８】
なお、誤装着は、ベース６１に形成された面取り部６５や、電子デバイス１上に印刷された文字等の向きによって、判断することができる。
【００９９】
＜第２実施形態＞
図７は、本発明の第２実施形態に係る電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。
【０１００】
以下、本実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０１】
図７に示す電子デバイス１Ａは、２つの端子６４２ｃ３、６４２ｃ４間を接続する配線を有する。このような電子デバイス１Ａは、端子３１ｃ３、３１ｃ４に電気的に接続された製造検査基板回路３２により、電子デバイス１Ａが正規の向きで装着されたか否かを判断することができる。この製造検査基板回路３２は、電子デバイス１Ａが正規の向きで装着されたか否かを判断するデバイス実装検出回路３２１を有する。電子デバイス１Ａが正規の向きで測定装置に装着されたとき、製造検査基板回路３２が配線６６を介した通電を行うことができ、それにより、電子デバイス１Ａが正規の向きで装着されたと判断する。一方、電子デバイス１Ａが正規の向きとは異なる向きで誤って測定装置に装着されたとき、製造検査基板回路３２が配線６６を介した通電を行うことができず、それにより、電子デバイス１Ａが誤装着されたと判断する。なお、誤装着は、ベース６１に形成された面取り部６５や、電子デバイス１Ａ上に印刷された文字等の向きによっても、判断することができるが、本実施形態では、電子デバイス１Ａ上に印刷された文字等の向き等が間違っていることも知ることができる。
【０１０２】
２．電子機器
次いで、本発明の電子機器について、図９〜図１１に基づき、詳細に説明する。
【０１０３】
図８は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【０１０４】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する電子デバイス１が内蔵されている。
【０１０５】
図９は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【０１０６】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する電子デバイス１が内蔵されている。
【０１０７】
図１０は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０８】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１０９】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１１０】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１１１】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１１２】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する電子デバイス１が内蔵されている。
【０１１３】
なお、本発明の電子機器は、図８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０１１４】
３．移動体
次いで、本発明の移動体について、図１１に基づき、詳細に説明する。
【０１１５】
図１１は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
【０１１６】
自動車１５００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する電子デバイス１が内蔵されており、電子デバイス１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。電子デバイス１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプターで利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、センサー素子７Ｘが組み込まれる。
【０１１７】
以上、本発明の電子デバイス、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【０１１８】
また、本発明では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【０１１９】
また、前述した実施形態では、本発明のセンサー素子についてＨ型およびダブルＴ型を例に説明したが、溝を有する駆動振動腕を有するものであれば、これに限定されず、例えば、二脚音叉、三脚音叉、直交型、角柱型等の種々の形態であってもよい。
【０１２０】
また、駆動振動腕、検出振動腕および調整振動腕の数は、それぞれ、１つまたは３つ以上であってもよい。また、駆動振動腕は、検出振動腕を兼ねていてもよい。
【符号の説明】
【０１２１】
１‥‥電子デバイス
１Ａ‥‥電子デバイス
２‥‥圧電基板
４‥‥圧電基板
６‥‥パッケージ
７Ｘ‥‥センサー素子
７Ｙ‥‥センサー素子
７Ｚ‥‥センサー素子
８‥‥ＩＣチップ
９‥‥応力緩和層
２１‥‥基部
２５‥‥支持部
３０‥‥測定装置
３１ａ１、３１ａ２‥‥端子
３１ｂ１〜３１ｂ４‥‥端子
３１ｃ１〜３１ｃ１０‥‥端子
３２‥‥製造検査基板回路
４１‥‥基部
６０ａ‥‥第１辺
６０ｂ‥‥第２辺
６０ｃ‥‥第３辺
６０ｄ‥‥第４辺
６１‥‥ベース
６２‥‥リッド
６３‥‥接合部材
６５‥‥面取り部
６６‥‥配線
８１‥‥端子
１０１‥‥導電性ワイヤー
２２１‥‥駆動振動腕
２２２‥‥駆動振動腕
２３１‥‥検出振動腕
２３２‥‥検出振動腕
２４１‥‥調整振動腕
２４２‥‥調整振動腕
２５１‥‥部分
２５２‥‥部分
２５３‥‥部分
２６１‥‥連結部
２６２‥‥連結部
２６３‥‥連結部
２６４‥‥連結部
３２１‥‥デバイス実装検出回路
４１１‥‥本体部
４１２‥‥連結腕
４１３‥‥連結腕
４２１‥‥駆動振動腕
４２２‥‥駆動振動腕
４２３‥‥駆動振動腕
４２４‥‥駆動振動腕
４３１‥‥検出振動腕
４３２‥‥検出振動腕
４４１‥‥固定部
４４２‥‥固定部
４５１‥‥支持梁
４５２‥‥支持梁
４５３‥‥支持梁
４５４‥‥支持梁
６１１‥‥凹部
６１１ａ‥‥凹部
６１１ｂ‥‥凹部
６４１‥‥接続端子
６４２‥‥端子
６４２ａ１‥‥電源端子
６４２ａ２‥‥電源端子
６４２ｂ１‥‥外部容量端子
６４２ｂ２‥‥外部容量端子
６４２ｂ３‥‥外部容量端子
６４２ｂ４‥‥外部容量端子
６４２ｃ１‥‥端子
６４２ｃ２‥‥端子
６４２ｃ３‥‥端子
６４２ｃ４‥‥端子
６４２ｃ５‥‥端子
６４２ｃ６‥‥端子
６４２ｃ７‥‥端子
６４２ｃ８‥‥端子
６４２ｃ９‥‥端子
６４２ｃ１０‥‥端子
６４２ｄ１‥‥端子
６４２ｄ２‥‥端子
６４２ｄ３‥‥端子
６４２ｄ４‥‥端子
６４３‥‥配線層
６４４‥‥配線層
１１００‥‥パーソナルコンピューター
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１１０８‥‥表示部
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１２０８‥‥表示部
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッターボタン
１３０８‥‥メモリー
１３１０‥‥表示部
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニター
１４４０‥‥パーソナルコンピューター
１５００‥‥自動車
１５０１‥‥車体
１５０２‥‥車体姿勢制御装置
１５０３‥‥車輪
２２１１‥‥腕部
２２１２‥‥幅広部
２２２１‥‥腕部
２２２２‥‥幅広部
２３１１‥‥腕部
２３１２‥‥幅広部
２３２１‥‥腕部
２３２２‥‥幅広部
２４１１‥‥腕部
２４１２‥‥幅広部
２４２１‥‥腕部
２４２２‥‥幅広部
４２１１、４２２１、４２３１、４２４１‥‥腕部
４２１２、４２２２、４２３２．４２４２‥‥幅広部
４３１１、４３２１‥‥腕部
４３１２、４３２２‥‥幅広部
ａ１‥‥中心軸
ａ２‥‥中心軸
Ｓ‥‥収容空間
ω‥‥角速度
ωＸ‥‥角速度
ωＹ‥‥角速度
ωＺ‥‥角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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