(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部からの光を受光して反射するとともに、第１の軸線回りに揺動駆動可能な第１ミラーが設けられた第１揺動ミラー部と、
前記第１ミラーからの光を受光して反射するとともに、前記第１の軸線に対して略垂直な方向に延びる第２の軸線回りに揺動駆動可能な第２ミラーが設けられた第２揺動ミラー部と、
前記第１揺動ミラー部を形成する第１の面と前記第２揺動ミラー部を形成する第２の面とで構成された金属製の基台とを備え、
前記基台は、前記第１の面と前記第２の面との折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されている、揺動ミラー素子。
【請求項２】
前記基台には、前記第１の軸線と略平行な方向に沿って前記基台を折り曲げるための折り曲げ線が設けられている、請求項１に記載の揺動ミラー素子。
【請求項３】
前記基台は、前記第１ミラーを前記第１の軸線回りに揺動駆動可能に支持する第１梁部と、
前記第２ミラーを前記第２の軸線回りに揺動駆動可能に支持する第２梁部とをさらに含み、
前記第１梁部は、前記第２梁部の厚みよりも小さい厚みを有するように構成されている、請求項１または２に記載の揺動ミラー素子。
【請求項４】
前記第１ミラーは、前記第１の軸線を中心とした前記基台の厚み方向の一方側と他方側とで、前記第１梁部および前記第１ミラーを含む前記第１揺動ミラー部の重量が略等しくなるように構成されている、請求項３に記載の揺動ミラー素子。
【請求項５】
前記第１揺動ミラー部は、前記折り曲げ線と前記第１ミラーとの間に配置される駆動部を含み、
前記駆動部は、前記第１梁部を共振駆動させるように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の揺動ミラー素子。
【請求項６】
前記第１揺動ミラー部は、前記第１ミラーを揺動駆動可能に支持する前記第１梁部近傍に配置され、前記第１梁部を共振駆動させずに直接駆動する駆動部を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の揺動ミラー素子。
【請求項７】
前記基台は、前記第２ミラーの近傍に設けられた開口部を含み、
前記光源部からの光が、前記第２揺動ミラー部の前記第２ミラーが設けられる面とは反対の面側から、前記開口部を通過することにより、前記第１揺動ミラー部に照射され、前記第１ミラーにより反射された光が、前記第２ミラーに直接照射されるように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の揺動ミラー素子。
【請求項８】
光を出射する光源部と、
前記光源部からの投影画像に対応する光を受光して反射するとともに、第１の軸線回りに揺動駆動可能な第１ミラーが設けられた第１揺動ミラー部と、
前記第１ミラーからの投影画像に対応する光を受光して反射するとともに、第２の軸線回りに揺動駆動可能な第２ミラーが設けられた第２揺動ミラー部と、
前記第１揺動ミラー部を形成する第１の面と前記第２揺動ミラー部を形成する第２の面とで構成された金属製の基台とを備え、
前記基台は、前記第１の面と前記第２の面との折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されており、
前記第１ミラーからの投影画像に対応する光を前記第２ミラーに照射し、前記第２ミラーからの投影画像に対応する光を、スクリーン上に照射して投影画像を表示するように構成されている、プロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、揺動ミラー素子およびプロジェクタに関し、特に、揺動ミラー部を備える揺動ミラー素子およびプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、揺動ミラー素子を備えるプロジェクタが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、光源部と、光源部からの投影光を反射する第１ミラーと、第１ミラーにより反射された投影光を反射する第２ミラーとを備えた、２次元マイクロスキャナが開示されている。第１ミラーと第２ミラーとは、同じ基板の同一表面上に設けられている。また、上記特許文献１の２次元マイクロスキャナでは、基台の第１ミラーおよび第２ミラーが配置された表面の上方に反射板が設けられている。そして、第１ミラーにより反射された投影光が、反射板を介して第２ミラーに照射されるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００８−５１４９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、揺動ミラー素子およびプロジェクタでは、高い精度の光学的な位置合わせが要求される一方、上記特許文献１では、第１ミラーおよび第２ミラーに加えて反射板が設けられており、反射板を用いる分、光学的なずれの要因が増加するとともに、構成が複雑になるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することが可能な揺動ミラー素子およびプロジェクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面による揺動ミラー素子は、光源部からの光を受光して反射するとともに、第１の軸線回りに揺動駆動可能な第１ミラーが設けられた第１揺動ミラー部と、第１ミラーからの光を受光して反射するとともに、第１の軸線に対して略垂直な方向に延びる第２の軸線回りに揺動駆動可能な第２ミラーが設けられた第２揺動ミラー部と、第１揺動ミラー部を形成する第１の面と第２揺動ミラー部を形成する第２の面とで構成された金属製の基台とを備え、基台は、第１の面と第２の面との折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されている。
【０００８】
この発明の第１の局面による揺動ミラー素子では、上記のように、基台が、第１の面と第２の面との折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されていることによって、第１ミラーにより反射された光を反射させるための反射板を用いることなく、第１ミラーにより反射された光を、直接第２ミラーに照射することができる。この結果、反射板を用いない分、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することが可能となる。また、１枚の金属製の基台を折り曲げるだけでよいので、揺動ミラー素子の製造プロセスを簡略化することができる。
【０００９】
上記第１の局面による揺動ミラー素子において、好ましくは、基台には、第１の軸線と略平行な方向に沿って基台を折り曲げるための折り曲げ線が設けられている。このように構成すれば、折り曲げ線に沿って基台を折り曲げた場合、揺動する第２ミラーにより反射された光は、平面視において、折り曲げ線に沿った方向に揺動する（走査される）ので、第１ミラーに近づく方向には揺動しない。これにより、第１ミラーに光がけられる（反射される）のを抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による揺動ミラー素子において、好ましくは、基台は、第１ミラーを第１の軸線回りに揺動駆動可能に支持する第１梁部と、第２ミラーを前記第２の軸線回りに揺動駆動可能に支持する第２梁部とをさらに含み、第１梁部は、第２梁部の厚みよりも小さい厚みを有するように構成されている。このように構成すれば、共振周波数を下げるための部材を別途設けることなく、第１梁部の厚みを小さくするだけで、第１揺動ミラー部を共振振動によって揺動駆動する際に、共振周波数を下げることができる。その結果、揺動ミラー素子の構造を簡略化することができる。
【００１１】
この場合、好ましくは、第１ミラーは、第１の軸線を中心とした基台の厚み方向の一方側と他方側とで、第１梁部および第１ミラーを含む第１揺動ミラー部の重量が略等しくなるように構成されている。このように構成すれば、共振周波数を下げるために第１梁部の厚みを小さくしたとしても、第１の軸線と第１揺動ミラー部の揺動の中心軸とがずれるのを抑制することができるので、第１揺動ミラー部の揺動のバランスが悪くなるのを抑制することができる。
【００１２】
上記第１の局面による揺動ミラー素子において、好ましくは、第１揺動ミラー部は、折り曲げ線と第１ミラーとの間に配置される駆動部を含み、駆動部は、第１梁部を共振駆動させるように構成されている。このように構成すれば、折り曲げ線と第１ミラーとの間の、デッドスペースを有効に活用することができるので、揺動ミラー素子を小型化することができる。
【００１３】
上記第１の局面による揺動ミラー素子において、好ましくは、第１揺動ミラー部は、第１ミラーを揺動駆動可能に支持する第１梁部近傍に配置され、第１梁部を共振駆動させずに直接駆動する駆動部を含む。このように構成すれば、駆動周波数に応じた一定の速度で第１揺動ミラー部を揺動させることができる。また、共振駆動より直接駆動の方が、第１ミラーの大きさを小さくすることができるので、揺動ミラー素子を軽量化することができる。
【００１４】
上記第１の局面による揺動ミラー素子において、好ましくは、基台は、第２ミラーの近傍に設けられた開口部を含み、光源部からの光が、第２揺動ミラー部の第２ミラーが設けられる面とは反対の面側から、開口部を通過することにより、第１揺動ミラー部に照射され、前記第１ミラーにより反射された光が、第２ミラーに直接照射されるように構成されている。このように構成すれば、光源部からの光を、反射板を用いることなく、開口部を介して第１ミラーに照射することができるとともに、第１ミラーからの反射光を第２ミラーに照射するために、反射板を用いることなく照射することができる。この結果、反射板を用いない分、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することが可能となる。
【００１５】
この発明の第２の局面によるプロジェクタでは、光を出射する光源部と、光源部からの投影画像に対応する光を受光して反射するとともに、第１の軸線回りに揺動駆動可能な第１ミラーが設けられた第１揺動ミラー部と、第１ミラーからの投影画像に対応する光を受光して反射するとともに、第２の軸線回りに揺動駆動可能な第２ミラーが設けられた第２揺動ミラー部と、第１揺動ミラー部を形成する第１の面と第２揺動ミラー部を形成する第２の面とで構成された金属製の基台とを備え、基台は、第１の面と第２の面との折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されており、第１ミラーからの投影画像に対応する光を第２ミラーに照射し、第２ミラーからの投影画像に対応する光を、スクリーン上に照射して投影画像を表示するように構成されている。これにより、第１ミラーからの光を第２ミラーに反射する反射板を用いずに、プロジェクタを構成することができる。この結果、反射板を用いない分、光学的なずれを抑制するとともに、装置を小型化することができる。また、１つの金属製の基台を折り曲げるだけなので、装置の構成および製造プロセスを簡略化することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、上記のように、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することが可能な揺動ミラー素子およびプロジェクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１〜第３実施形態によるプロジェクタの全体構成を示したブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの揺動ミラー素子を示した平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの揺動ミラー素子を示した斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの揺動ミラー素子を示した側面図である。
【図５】本発明の第２実施形態によるプロジェクタの揺動ミラー素子を示した平面図である。
【図６】本発明の第２実施形態によるプロジェクタの垂直走査揺動ミラー素子を示した部分拡大図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるプロジェクタの垂直走査揺動ミラー素子を示した側面図である。
【図８】本発明の第３実施形態によるプロジェクタの揺動ミラー素子を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
［第１実施形態］
（プロジェクタの構成）
図１を参照して、本発明の第１実施形態によるプロジェクタ１００の構成について説明する。
【００２０】
本発明の第１実施形態によるプロジェクタ１００は、図１に示すように、光学モジュール１００ａと、レーザダイオード（ＬＤ）ドライバ１００ｂと、ミラードライバ１００ｃと、制御部１００ｄとを備えている。また、プロジェクタ１００は、光学モジュール１００ａからのレーザ光（投影光）をスクリーンＳに照射することにより、スクリーンＳ上に投影画像Ｐを投影するように構成されている。
【００２１】
〈光源モジュールの構成〉
光学モジュール１００ａは、３つのレーザダイオード１ａ〜１ｃと、３つのコリメータレンズ２ａ〜２ｃと、ＲＧＢ合成プリズム３と、集光レンズ４と、ミラー５と、揺動ミラー素子６とを含んでいる。各レーザダイオード１ａ〜１ｃから出射された各色のレーザ光は、それぞれ、コリメータレンズ２ａ〜２ｃを通過した後に、順に、ＲＧＢ合成プリズム３、集光レンズ４、ミラー５に到達する。さらに、ミラー５により反射されたレーザ光は、揺動ミラー素子６の後述する開口部６２ｆ（図２参照）を通過した後、揺動ミラー素子６の後述する垂直走査揺動ミラー部６１において反射され、さらに、揺動ミラー素子６の後述する水平走査揺動ミラー部６２において反射されて、スクリーンＳに投影画像Ｐを形成する。なお、レーザダイオード１ａ〜１ｃは、本発明の「光源部」の一例である。また、垂直走査揺動ミラー部６１は、本発明の「第１揺動ミラー部」の一例である。また、水平走査揺動ミラー部６２は、本発明の「第２揺動ミラー部」の一例である。
【００２２】
レーザダイオード１ａ〜１ｃは、それぞれ、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）のレーザ光を出射することが可能に構成されている。コリメータレンズ２ａ〜２ｃは、それぞれ、レーザダイオード１ａ〜１ｃから照射された各色のレーザ光を平行光に変換するように構成されている。
【００２３】
ＲＧＢ合成プリズム３は、コリメータレンズ２ａ〜２ｃにより平行光に変換された各色（３つ）のレーザ光の光軸を揃えることにより、各色（３つ）のレーザ光を１つのレーザ光に合成するように構成されている。ミラー５は、集光レンズ４により集光されたレーザ光を揺動ミラー素子６に向けて反射するように構成されている。
【００２４】
〈揺動ミラー素子の構成〉
次に、図２を参照して、揺動ミラー素子６の構成について説明する。
【００２５】
図２に示すように、揺動ミラー素子６には、基台６０と、垂直走査揺動ミラー部６１と、水平走査揺動ミラー部６２とが備えられている。そして、垂直走査揺動ミラー部６１は、レーザダイオード１ａ〜１ｃからの光を受光して反射するとともに、軸線α回りに揺動駆動可能な垂直走査ミラー６１ａが設けられている。また、水平走査揺動ミラー部６２は、垂直走査ミラー６１ａからの光を受光して反射するとともに、軸線αに対して略垂直な方向に延びる軸線β回りに揺動駆動可能な水平走査ミラー６２ａが設けられている。なお、垂直走査ミラー６１ａは、本発明の「第１ミラー」の一例であり、水平走査ミラー６２ａは、本発明の「第２ミラー」の一例である。また、軸線αは、本発明の「第１の軸線」の一例であり、軸線βは、本発明の「第２の軸線」の一例である。
【００２６】
〈垂直走査揺動ミラー部の詳細構成〉
次に、図２〜図４を参照して、垂直走査揺動ミラー部６１の詳細な構成について説明する。
【００２７】
図２に示すように、垂直走査揺動ミラー部６１は、垂直走査ミラー６１ａと、駆動部６１ｂと、垂直走査ミラー６１ａおよび駆動部６１ｂが設けられた基台６１ｃとを含んでいる。また、基台６１ｃは、面６１１ｃを有している。また、面６１１ｃは、本発明の「第１の面」の一例である。
【００２８】
垂直走査ミラー６１ａは、矩形形状でかつ平板形状に形成されている。
【００２９】
ここで、第１実施形態では、駆動部６１ｂは、後述する折り曲げ線６３と垂直走査ミラー６１ａとの間に配置されており、後述する梁部６１ｄを共振駆動させるように構成されている。具体的には、駆動部６１ｂは、矩形形状でかつ平板形状に形成されている。また、駆動部６１ｂは、圧電体（図示せず）と、圧電体を挟む２つの電極（図示せず）とから形成されている。また、駆動部６１ｂは、垂直走査ミラー６１ａを揺動駆動させることが可能に構成されている。具体的には、２つの電極には、それぞれ、配線（図示せず）が施されており、駆動部６１ｂは、２つの電極間に印加される電圧により駆動（延び縮み）するように構成されている。
【００３０】
基台６１ｃは、金属製（たとえば、ステンレス鋼）からなる。また、基台６１ｃは、平板形状に形成されている。以下では、図２および図３に示すように、基台６１ｃの長手方向をＡ方向（Ａ１方向およびＡ２方向）、短手方向をＢ方向（Ｂ１方向およびＢ２方向）とする。
【００３１】
また、図２に示すように、基台６１ｃは、基台６１ｃの中心線Ｏ１を中心として、左右対称となるように構成されている。また、基台６１ｃは、面６１１ｃ側に垂直走査ミラー６１ａおよび駆動部６１ｂが取り付けられている（接着されている）。また、図２に示すように、基台６１ｃには、中心線Ｏ１上に、Ｂ１方向側から順に、垂直走査ミラー６１ａおよび駆動部６１ｂが配置されている。そして、図３および図４に示すように、基台６１ｃ（垂直走査ミラー６１ａ）は、面６１１ｃ側からレーザ光が照射されるように構成されている。
【００３２】
図２に示すように、基台６１ｃは、一対の梁部６１ｄと、一対の梁支持部６１ｅとを一体的に含んでいる。
【００３３】
図２に示すように、一対の梁支持部６１ｅは、それぞれ、Ｂ方向に延びる棒状形状に形成されている。また、梁支持部６１ｅには、駆動部６１ｂからの振動が伝達される。また、一対の梁支持部６１ｅは、それぞれ、一対の梁部６１ｄの端部を支持している。
【００３４】
図２に示すように、梁部６１ｄは、梁支持部６１ｅとは直交するＡ方向に延びる棒状形状を有している。そして、一対の梁部６１ｄの間に、垂直走査ミラー６１ａが設けられている。具体的には、垂直走査ミラー６１ａは、シリコンからなる垂直走査ミラー本体部６１１ａと、基台６１ｃ（梁部６１ｄ）に一体的に形成され、垂直走査ミラー本体部６１１ａが接着される垂直走査ミラー支持部６１１ｂとを含む。また、梁部６１ｄは、垂直走査ミラー６１ａを揺動駆動可能に支持するように構成されている。梁部６１ｄには、梁支持部６１ｅを介して駆動部６１ｂからの振動が伝達される。そして、梁部６１ｄ（垂直走査ミラー６１ａ）は、軸線α回りに揺動駆動されるように構成されている。
【００３５】
〈水平走査揺動ミラー部の詳細構成〉
次に、図２〜図４を参照して、水平走査揺動ミラー部６２の詳細な構成について説明する。
【００３６】
図２に示すように、水平走査揺動ミラー部６２は、水平走査ミラー６２ａと、駆動部６２ｂと、水平走査ミラー６２ａおよび駆動部６２ｂが設けられた基台６２ｃとを含んでいる。また、基台６２ｃは、面６２１ｃを有している。また、面６２１ｃは、本発明の「第２の面」の一例である。
【００３７】
水平走査ミラー６２ａは、矩形形状でかつ平板形状に形成されている。
【００３８】
駆動部６２ｂは、略正方形形状でかつ平板形状に形成されている。また、駆動部６２ｂは、圧電体（図示せず）と、圧電体を挟む２つの電極（図示せず）とから形成されている。また、駆動部６２ｂは、水平走査ミラー６２ａを揺動駆動させることが可能に構成されている。具体的には、２つの電極には、それぞれ、配線（図示せず）が施されており、駆動部６２ｂは、２つの電極間に印加される電圧により駆動（延び縮み）するように構成されている。これにより、駆動部６２ｂは、梁部６２ｄを共振駆動させて、水平走査ミラー６２ａを揺動駆動するように構成されている。
【００３９】
基台６２ｃは、金属製（たとえば、ステンレス鋼）からなる。また、基台６２ｃは、略矩形形状でかつ平板形状に形成されている。以下では、図２および図３に示すように、基台６２ｃの長手方向をＣ方向（Ｃ１方向およびＣ２方向）、短手方向をＤ方向（Ｄ１方向およびＤ２方向）とする。
【００４０】
図２に示すように、基台６２ｃは、基台６２ｃの中心線Ｏ２を中心として、左右対称となるように構成されている。また、基台６２ｃは、面６２１ｃ側に水平走査ミラー６２ａおよび駆動部６２ｂが取り付けられている（接着されている）。また、基台６２ｃには、中心線Ｏ２上に、Ｄ１方向側から順に、水平走査ミラー６２ａおよび駆動部６２ｂが配置されている。そして、図３および図４に示すように、基台６２ｃ（水平走査ミラー６２ａ）は、垂直走査ミラー６１ａにより反射されたレーザ光が照射されるように構成されている。
【００４１】
図２に示すように、基台６２ｃは、一対の梁部６２ｄと、一対の梁支持部６２ｅとを一体的に含んでいる。
【００４２】
図２に示すように、一対の梁支持部６２ｅは、それぞれ、Ｄ方向に延びる棒状形状に形成されている。また、梁支持部６２ｅには、駆動部６２ｂからの振動が伝達される。また、一対の梁支持部６２ｅは、それぞれ、一対の梁部６２ｄの端部を支持している。
【００４３】
図２に示すように、梁部６２ｄは、梁支持部６２ｅとは直交するＣ方向に延びる棒状形状を有している。そして、一対の梁部６２ｄの間に、水平走査ミラー６２ａが設けられている。具体的には、図３に示すように、水平走査ミラー６２ａは、シリコンからなる水平走査ミラー本体部６２１ａと、基台６２ｃ（梁部６２ｄ）に一体的に形成され、水平走査ミラー本体部６２１ａが接着される水平走査ミラー支持部６２１ｂとを含む。また、梁部６２ｄは、水平走査ミラー６２ａを揺動駆動可能に支持するように構成されている。梁部６２ｄには、梁支持部６２ｅを介して駆動部６２ｂからの振動が伝達される。そして、梁部６２ｄ（水平走査ミラー６２ａ）は、軸線β回りに揺動駆動されるように構成されている。
【００４４】
また、基台６１ｃと基台６２ｃとは、一体的に形成（基台６０）されている。そして、第１実施形態では、図２に示すように、基台６０には、軸線αと略平行な方向に沿って折り曲げ線６３が設けられている。そして、図３に示すように、基台６０は、面６１１ｃと面６２１ｃとの折り曲げ角度が、鋭角であるように構成されている。たとえば、基台６０は、面６１１ｃと面６２１ｃとの折り曲げ角度が、２０度になるように構成されている。これにより、垂直走査揺動ミラー部６１（垂直走査ミラー６１ａ）および水平走査揺動ミラー部６２（水平走査ミラー６２ａ）が互いに向かい合う。
【００４５】
ここで、第１実施形態では、図３に示すように、基台６０は、水平走査ミラー６２ａの近傍に設けられた開口部６２ｆを含む。具体的には、図２に示すように、開口部６２ｆは、水平走査ミラー６２ａおよび梁部６２ｄに隣接するように設けられている。詳細には、開口部６２ｆは、水平走査ミラー６２ａおよび梁部６２ｄのＤ１方向側およびＤ２方向側に一対設けられている。また、一対の開口部６２ｆは、それぞれ、平面視において、Ｃ方向に延びる略矩形形状に形成されている。また、Ｄ１方向側の開口部６２ｆは、水平走査ミラー６２ａ、梁部６２ｄ、一対の梁支持部６２ｅに隣接している（囲まれている）。また、Ｄ２方向側の開口部６２ｆは、水平走査ミラー６２ａ、梁部６２ｄ、一対の梁支持部６２ｅおよび駆動部６２ｂに隣接している（囲まれている）。
【００４６】
そして、図３および図４に示すように、レーザダイオード１ａ〜１ｃからの光が、水平走査揺動ミラー部６２の水平走査ミラー６２ａが設けられる面６２１ｃとは反対の面側から、開口部６２ｆを通過することにより、垂直走査揺動ミラー部６１に照射され、垂直走査ミラー６１ａにより反射された光が、水平走査ミラー６２ａに直接照射される。これにより、プロジェクタ１００は、垂直走査ミラー６１ａからの投影画像Ｐに対応する光を水平走査ミラー６２ａに照射し、水平走査ミラー６２ａからの投影画像Ｐに対応する光を、スクリーンＳ上に照射して投影画像Ｐを表示するように構成されている。
【００４７】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００４８】
第１実施形態では、上記のように、基台６０を、面６１１ｃと面６２１ｃとの折り曲げ角度が、鋭角であるように構成する。これにより、垂直走査ミラー６１ａにより反射された光を反射させるための反射板を用いることなく、垂直走査ミラー６１ａにより反射された光を、直接水平走査ミラー６２ａに照射することができる。この結果、反射板を用いない分、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することができる。また、１枚の金属製の基台６０を折り曲げるだけでよいので、製造プロセスを簡略化することができる。
【００４９】
また、第１実施形態では、上記のように、基台６０に、軸線αと略平行な方向に沿って基台６０を折り曲げるための折り曲げ線６３を設ける。これにより、折り曲げ線６３に沿って基台６０を折り曲げた場合、揺動する水平走査ミラー６２ａにより反射された光は、平面視において、折り曲げ線６３に沿った方向に揺動する（走査される）ので、垂直走査ミラー６１ａに近づく方向には揺動しない。その結果、垂直走査ミラー６１ａに光がけられる（反射される）のを抑制することができる。
【００５０】
また、第１実施形態では、上記のように、垂直走査揺動ミラー部６１は、折り曲げ線６３と垂直走査ミラー６１ａとの間に配置される駆動部６１ｂを含み、駆動部６１ｂを、梁部６１ｄを共振駆動させるように構成する。これにより、折り曲げ線６３と垂直走査ミラー６１ａとの間の、デッドスペースを有効に活用することができるので、揺動ミラー素子６を小型化することができる。
【００５１】
また、第１実施形態では、上記のように、基台６０は、水平走査ミラー６２ａの近傍に設けられた開口部６２ｆを含む。そして、レーザダイオード１ａ〜１ｃからの光が、水平走査揺動ミラー部６２の面６２１ｃとは反対の面側から、開口部６２ｆを通過することにより、垂直走査揺動ミラー部６１に照射され、垂直走査ミラー６１ａにより反射された光が、水平走査ミラー６２ａに直接照射される。これにより、レーザダイオード１ａ〜１ｃからの光を、反射板を用いることなく、開口部６２ｆを介して垂直走査ミラー６１ａに照射することができるとともに、垂直走査ミラー６１ａからの反射光を水平走査ミラー６２ａに照射するために、反射板を用いることなく照射することができる。この結果、反射板を用いない分、光学的なずれを抑制するとともに、構成を簡略化することが可能となる。
【００５２】
［第２実施形態］
次に、図５〜図７を参照して、第２実施形態によるプロジェクタ２００の構成について説明する。第２実施形態では、揺動ミラー素子２０６の梁部２６１ｄは、厚みｔ２を有するように構成されている。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
【００５３】
ここで、第２実施形態では、図５に示すように、プロジェクタ２００（図１参照）の基台２６０（基台６２ｃ、基台２６１ｃ）は、垂直走査ミラー２６１ａを軸線α回りに揺動駆動可能に支持する梁部２６１ｄと、水平走査ミラー６２ａを軸線β回りに揺動駆動可能に支持する梁部６２ｄとを含む。そして、図６に示すように、梁部２６１ｄは、梁部６２ｄの厚みｔ１（図３参照）よりも小さい厚みｔ２を有するように構成されている。たとえば、基台２６０の梁部２６１ｄに対応する部分（反射面とは反対側）を、ハーフエッチングすることにより、梁部２６１ｄは、梁部６２ｄの厚みｔ１（図３参照）よりも小さい厚みｔ２を有するように構成されている。
【００５４】
また、第２実施形態では、図７に示すように、垂直走査ミラー２６１ａは、軸線α（軸線αを通るα１線）を中心とした基台６１ｃの厚み方向（Ｚ方向）の一方側（Ｚ１方向側）と他方側（Ｚ２方向側）とで、梁部２６１ｄおよび垂直走査ミラー２６１ａを含む垂直走査揺動ミラー部２６１の重量が略等しくなるように構成されている。
【００５５】
第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５６】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００５７】
第２実施形態では、上記のように、梁部２６１ｄを、梁部６２ｄの厚みｔ１よりも小さい厚みｔ２を有するように構成する。これにより、共振周波数を下げるための部材を別途設けることなく、梁部２６１ｄの厚みを小さくするだけで、垂直走査揺動ミラー部２６１を共振振動によって揺動駆動する際に、共振周波数を下げることができる。その結果、揺動ミラー素子２０６の構造を簡略化することができる。
【００５８】
また、第２実施形態では、上記のように、垂直走査ミラー２６１ａを、軸線α（軸線αを通るα１線）を中心とした基台６１ｃの厚み方向の一方側と他方側とで、梁部２６１ｄおよび垂直走査ミラー２６１ａを含む垂直走査揺動ミラー部２６１の重量が略等しくなるように構成する。これにより、共振周波数を下げるために梁部２６１ｄの厚みを小さくしたとしても、軸線α（軸線αを通るα１線）と垂直走査揺動ミラー部２６１の揺動の中心軸とがずれるのを抑制することができるので、垂直走査揺動ミラー部２６１の揺動のバランスが悪くなるのを抑制することができる。
【００５９】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００６０】
［第３実施形態］
次に、図８を参照して、第３実施形態によるプロジェクタ３００の構成について説明する。第３実施形態では、駆動部６１ｂが梁部６１ｄ（２６１ｄ）を共振駆動させていた上記第１および第２実施形態と異なり、駆動部３６１ｂが、梁部３６１ｄを共振駆動させずに直接駆動している。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。
【００６１】
ここで、第３実施形態では、図８に示すように、プロジェクタ３００（図１参照）の垂直走査揺動ミラー部３６１は、垂直走査ミラー３６１ａを揺動駆動可能に支持する梁部３６１ｄ近傍に配置され、梁部３６１ｄを共振駆動させずに直接駆動する駆動部３６１ｂを含む。具体的には、梁部３６１ｄを支持する一対の梁支持部３６１ｅにそれぞれ、２つずつの駆動部３６１ｂが設けられている。
【００６２】
なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００６３】
（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００６４】
第３実施形態では、垂直走査揺動ミラー部３６１は、垂直走査ミラー３６１ａを揺動駆動可能に支持する梁部３６１ｄ近傍に配置され、梁部３６１ｄを共振駆動させずに直接駆動する駆動部３６１ｂを含む。これにより、駆動周波数に応じた一定の速度で垂直走査ミラー３６１ａを揺動させることができる。また、共振駆動より直接駆動の方が、垂直走査ミラー３６１ａの大きさを小さくすることができるので、揺動ミラー素子３０６を軽量化することができる。
【００６５】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００６６】
たとえば、上記第１〜第３実施形態では、垂直走査揺動ミラー部と水平走査揺動ミラー部とのなす角が、２０度である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、垂直走査揺動ミラー部と水平走査揺動ミラー部とのなす角が、２０度以外の鋭角であってもよい。
【００６７】
また、上記第１〜第３実施形態では、水平走査揺動ミラー部の基台が、矩形形状を有する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、水平走査揺動ミラー部の基台が、矩形形状以外の形状を有していてもよい。
【００６８】
また、上記第１〜第３実施形態では、図３に示したように、レーザ光が、一対の開口部のうちのＤ１方向側（駆動部とは反対側）の開口部を通過するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、レーザ光が、一対の開口部のうちのＤ２方向側（駆動部側）の開口部を通過するように構成してもよい。
【００６９】
また、上記第１〜第３実施形態では、垂直走査揺動ミラー部および水平走査揺動ミラー部を圧電駆動方式により駆動するように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、垂直走査揺動ミラー部および水平走査揺動ミラー部を静電駆動方式などの他の駆動方式により構成してもよい。
【００７０】
また、上記第１〜第３実施形態では、本発明の揺動ミラー素子をプロジェクタに適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、揺動ミラー素子をプロジェクタ以外の装置に適用してもよい。
【００７１】
また、上記第１〜第３実施形態では、開口部を水平走査ミラーまたは梁部に隣接するように設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、開口部を水平走査ミラーおよび梁部に隣接して設けなくてもよい。
【００７２】
また、上記第１〜第３実施形態では、垂直走査ミラーおよび水平走査ミラーは、シリコンから形成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、垂直走査ミラーおよび水平走査ミラーを、シリコン以外の材料から形成してもよい。
【００７３】
また、上記第２実施形態では、図５に示したように、垂直走査揺動ミラー部の梁部を、反射面とは反対側をハーフエッチングすることにより厚みを調整している例を示しているが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、垂直走査揺動ミラー部の梁部を、反射面側をハーフエッチングすることにより厚みを調整してもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１ａ、１ｂ、１ｃ  レーザダイオード（光源部）
６、２０６、３０６  揺動ミラー素子
６１、２６１、３６１  垂直走査揺動ミラー部（第１揺動ミラー部）
６１ａ、２６１ａ、３６１ａ  垂直走査ミラー（第１ミラー）
６１ｂ、６２ｂ、３６１ｂ  駆動部
６０、６１ｃ、６２ｃ、２６０  基台
６１ｄ、２６１ｄ、３６１ｄ  梁部（第１梁部）
６２  水平走査揺動ミラー部（第２揺動ミラー部）
６２ａ  水平走査ミラー（第２ミラー）
６２ｄ  梁部（第２梁部）
６２ｆ  開口部
６３  折り曲げ線
１００、２００、３００  プロジェクタ
６１１ｃ  面（第１の面）
６２１ｃ  面（第２の面）
Ｐ  投影画像
Ｓ  スクリーン
α  軸線（第１の軸線）
β  軸線（第２の軸線）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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