(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド部材が互いの長手方向に延びる側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具であって、
上記複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面の先端部には、該ヘッド部材の先端面から突き出る刃先部が上記側面に沿ってそれぞれ設けられていて、上記溝はこれらの刃先部の先端に開口しており、
上記ヘッド部材の少なくとも上記刃先部は超硬合金によって形成され、
この刃先部は、上記長手方向に見て方形状であるとともに、
上記ヘッド部材の先端面からの該刃先部の突き出し量が、先端側から見たときの上記長手方向に垂直な方向における該溝の溝面と上記刃先部の外側面との間隔である該刃先部の刃幅の１０倍以上で２０倍以下とされていることを特徴とする塗布工具。
【請求項２】
上記刃先部の突き出し量が、上記刃幅の１８倍以上で２０倍以下とされていることを特徴とする請求項１に記載の塗布工具。
【請求項３】
上記複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面の先端部には、上記長手方向に沿って凹部が形成されており、上記刃先部は、上記凹部に取り付けられる超硬合金製の刃先部材の先端側に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布工具。
【請求項４】
上記刃先部材は、上記刃幅よりも大きな幅を有して上記凹部に取り付けられる基端部を備えていることを特徴とする請求項３に記載の塗布工具。
【請求項５】
上記複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面のうち、一方の側面は上記刃先部の先端まで平面状に形成されるとともに、他方の側面に、上記一方の側面に対して凹んだ上記溝が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の塗布工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のヘッド部材が互いの側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状の被塗布物の表面に塗布液を塗布するのに、例えば特許文献１に記載されているように、塗布液を塗布すべき板状の被塗布物を水平に保持した状態で回転されるチャックと、この被塗布物の上面中央に塗布液を滴下する塗布液供給機構とを備えたスピンコート装置が用いられている。このようなスピンコート装置では、被塗布物を回転しつつ塗布液を滴下することにより、被塗布物の回転による遠心力によって塗布液が被塗布物の上面に拡散して塗布される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−０５７８７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、このようなスピンコート装置によって、例えば上面に凹所が形成された被塗布物の該凹所の底面に塗布液を塗布しようとした場合には、この凹所の底面と壁面とが交差する凹所の隅に、遠心力によって拡散した塗布液が溜まってしまい、塗布膜の膜厚に大きな偏差を生じてしまう。
【０００５】
また、このような塗布液を被塗布物に塗布するものとして、複数のヘッド部材が互いの側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、工具本体先端部に開口した上記側面に沿って延びる溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具も知られている。このような塗布工具によれば、工具本体の先端に突き出した刃先部を設けて、その先端面に上記溝を形成することにより、この刃先部を凹所内に挿入して塗布を行うことで上述のような凹所の底面にも均一な塗布膜を形成することができる。
【０００６】
しかしながら、このような塗布工具によって、比較的深い凹所の底面に壁面の極近くまで満遍なく塗布液を塗布しようとすると、工具本体先端部から刃先部を大きな突き出し量で突き出させる一方で、先端側から見たときの溝の開口部が延びる方向に垂直な方向における該溝の溝面と記刃先部の外側面との間隔である刃先部の刃幅は小さくしなければならない。このため、例えばヘッド部材が刃先部も含めてステンレス鋼により形成された塗布工具では、刃幅を０．５ｍｍ程度にすると刃先部が剛性不足となって塗布液の内圧により変形し、やはり膜厚の偏差が大きくなるので、突き出し量は刃幅の３倍（１．５ｍｍ）以上とすることができず、それ以上深い凹所に塗布液を塗布することは困難となる。
【０００７】
本発明は、このような背景の下になされたもので、被塗布物に形成された凹所等の底面に塗布膜の膜厚偏差を生じることなく、より満遍なく確実に塗布液を塗布することが可能な塗布工具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明は、複数のヘッド部材が互いの長手方向に延びる側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具であって、上記複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面の先端部には、該ヘッド部材の先端面から突き出る刃先部が上記側面に沿ってそれぞれ設けられていて、上記溝はこれらの刃先部の先端に開口しており、上記ヘッド部材の少なくとも上記刃先部は超硬合金によって形成され、この刃先部は、上記長手方向に見て方形状であるとともに、上記ヘッド部材の先端面からの該刃先部の突き出し量が、先端側から見たときの上記長手方向に垂直な方向における該溝の溝面と上記刃先部の外側面との間隔である該刃先部の刃幅の１０倍以上で２０倍以下とされていることを特徴とする。
【０００９】
このような塗布工具では、ヘッド部材の少なくとも刃先部が、ステンレス鋼などよりもヤング率が高い高剛性の超硬合金により形成されており、刃先部の真直度を２μｍ／ｍ以下とすることができるため、上記刃幅が０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の極薄であり、しかも刃先部の突き出し量を刃幅の最大２０倍（４．０ｍｍ〜１０．０ｍｍ）であっても、膜厚偏差の少ない塗布膜を形成することができる。さらに刃先部は溝の開口部が延びる長手方向に見て方形状であるとともに、塗布液はこの刃先部の先端面で広がって塗布されるので、凹所の深さが比較的深くても例えば凹所の壁面から０．１ｍｍの極近くの位置にまで塗布膜を形成することができ、このような凹所の底面に満遍なく均一な厚さの塗布膜を確実に形成することが可能となる。
【００１０】
ここで、上記刃先部の突き出し量が小さいと、深い凹所の底面には塗布液を均一に塗布することができなくなるおそれが生じるので、刃幅の１０倍以上とされ、望ましくは１８倍以上とされる。
【００１１】
また、上記複数のヘッド部材は、刃先部も含めて全体が超硬合金によって形成されていてもよいが、これら複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面の先端部に、上記長手方向に沿って凹部を形成し、上記刃先部を、上記凹部に取り付けられる超硬合金製の刃先部材の先端側に設けることにより、この刃先部材以外のヘッド部材はステンレス鋼等により形成することができる。このため、例えば複数のヘッド部材をクランプボルトによって取り付ける際のネジ孔等の加工を容易に行うことが可能となる。また、この場合において、上記刃先部材を、上記刃幅よりも大きな幅を有して上記凹部に取り付けられる基端部を備えたものとすることにより、この幅の大きな基端部によって刃先部を高い剛性で支持することができて、さらに膜厚の均一化を図ることが可能となる。
【００１２】
さらに、上記複数のヘッド部材の互いに密着させられた上記側面のうち、一方の側面は上記刃先部の先端まで平面状に形成するとともに、他方の側面には、上記一方の側面に対して凹んだ上記溝を形成することにより、例えばこれらの側面間にシムを介装したり、複数のヘッド部材の側部にサイドプレートを設けたりして溝を形成するのに比べ、溝の内面の全体に亙って表面粗さを均一にすることができ、溝の両端部における塗布液の流速のバラツキを防いで後述するダレ距離を小さく抑え、さらに均一な塗布膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、被塗布物に形成された凹所の底面に塗布液を塗布するような場合でも、この凹所の壁面の極近傍にまで満遍なく偏差の少ない均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す実施形態を先端側から見た平面図である。
【図３】図１に示す実施形態を長手方向から見た側面図である。
【図４】図３におけるＡ部の拡大図である。
【図５】図２におけるＢ部の拡大図である。
【図６】図１ないし図５に示す実施形態の変形例を示す長手方向から見た側面図である。
【図７】図６におけるＣ部の拡大図である。
【図８】図１ないし図５に示す実施形態に基づいて、刃先部の突き出し量を変化させた塗布工具により塗布膜を形成したときの膜厚を溝の開口部が延びる長手方向に沿って測定した結果を示す図であり、（ａ）は突き出し量が刃幅の１８倍の実施例１の結果、（ｂ）は突き出し量が刃幅の２０倍の実施例２の結果、（ｃ）は突き出し量が刃幅の２２倍の比較例１の結果を示すものである。
【図９】溝を形成するのにステンレス鋼製のシムを用いた塗布工具である比較例２において、このシムの表面粗さを測定した位置を示す正面図である。
【図１０】図１ないし図５に示す実施形態に基づく図８（ａ）に結果を示した実施例１と、図９に示したステンレス鋼製のシムを用いた比較例２とにより塗布膜を形成したときの膜厚を溝の開口部が延びる長手方向に沿って測定した結果を示す図であり、（ａ）は比較例２の結果、（ｂ）は実施例１の結果（図８（ａ）の実施例１と同じ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１ないし図５は、本発明の一実施形態を示すものである。本実施形態の塗布工具において、工具本体１は、横方向（図１および図２において左右方向）に長手方向を有する横長のブロック状であり、この長手方向に直交する断面が縦方向（図１および図３において上下方向）に長い略長方形をなす直方体状で略同形同大の一対のヘッド部材２、３が、互いの長手方向に延びる側面２ａ、３ａを密着させて取り付けられることにより構成されている。
【００１６】
そして、これらのヘッド部材２、３の互いに密着させられた上記側面２ａ、３ａの先端部（図１および図３において上端部）には、両ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂから突き出る刃先部４、５がそれぞれ設けられていて、工具本体１の先端部、すなわちこれらの刃先部４、５の先端面４ａ、５ａに、塗布液を吐出する溝６が上記長手方向に延びるように開口している。この溝６の溝幅Ｗ６は、上記先端面４ａ、５ａにおける該溝６の開口部が延びる方向、すなわち上記長手方向に亙って一定である。
【００１７】
これら一対のヘッド部材２、３のうち、一方のヘッド部材２は、上記側面（一方の側面）２ａが刃先部４の先端にまで亙って平面状である。これに対して、本実施形態では、他方のヘッド部材３の上記側面（他方の側面）３ａにおいて、その刃先部５よりも後端側（図１および図３において下側）に、図３に示すように上記長手方向に直交する断面が半円の凹溝状をなすマニホールド７が長手方向に延びるように形成されるとともに、このマニホールド７の長手方向中央部には同じく他方のヘッド部材３に形成された塗布液の供給孔７ａが接続されている。
【００１８】
さらに、この他方のヘッド部材３の上記側面３ａには、このマニホールド７から刃先部５の先端面５ａにかけて、上記溝６が一方のヘッド部材２の上記側面２ａに対して凹むように形成されており、この溝６の一方のヘッド部材２側の開口部が該一方のヘッド部材２の上記側面２ａによって封止されることにより、マニホールド７に連通するとともに刃先部４、５の先端面４ａ、５ａに開口する該溝６が形成される。なお、上記長手方向において、マニホールド７の両端部は溝６の両端部よりも僅かに長く形成されている。
【００１９】
また、刃先部４、５は、この溝６の開口部が延びる方向すなわち長手方向から見て図４に示すように方形状であり、特に本実施形態では、工具本体１の先端側に長く突き出た長方形状に形成されている。従って、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａは、ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂに平行で面一な平坦面であり、刃先部４、５の互いに外側を向く外側面４ｂ、５ｂはこれらの先端面２ｂ、３ｂ、４ａ、５ａに垂直な平面状となる。なお、図１に示したように、刃先部４、５はヘッド部材２、３の長手方向の両端部には設けられておらず、その間の中央部にだけ長手方向に延びるように設けられている。
【００２０】
さらに、図５に示すように工具本体１の先端側から見たときの溝６の開口部が延びる長手方向に垂直な方向における該溝６の溝面６ａ、６ｂと刃先部４、５の上記外側面４ｂ、５ｂとの間隔である刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５もそれぞれ一定となり、本実施形態では、これらの刃幅Ｗ４、Ｗ５は０．２ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内で互いに等しい幅とされている。なお、溝６の両端部には、この溝６が上述のように一方のヘッド部材２の上記側面２ａに対して凹むように形成されることにより、溝面６ａ、６ｂに垂直な溝壁６ｃが形成される。なお、刃先部４、５の長手方向外側を向く端面と溝壁６ｃとの間隔は１ｍｍ以下とされるのが望ましい。
【００２１】
そして、ヘッド部材２、３の少なくとも刃先部４、５は超硬合金によって形成されるとともに、ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂからの刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５の１０倍以上で２０倍以下とされており、望ましくは刃幅Ｗ４、Ｗ５の１８倍以上で２０倍以下とされる。
【００２２】
さらにまた、本実施形態では、一対のヘッド部材２、３の互いに密着させられた側面２ａ、３ａの先端部に、長手方向に沿って断面Ｌ字状の凹部２ｃ、３ｃが形成されており、刃先部４、５は、これらの凹部２ｃ、３ｃに基端部８ａ、９ａが取り付けられる超硬合金製の刃先部材８、９に設けられている。ここで、この刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａは、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも十分に大きな幅の断面長方形状に形成されて、上記凹部２ｃ、３ｃに取り付けられた状態で、その側面および先端面はヘッド部材２、３の側面２ａ、３ａおよび先端面２ｂ、３ｂとそれぞれ面一となり、刃先部４、５は基端部８ａ、９ａと一体に焼結されて刃先部材８、９の先端側に形成される。
【００２３】
なお、ヘッド部材２、３の刃先部材８、９以外の部分は、例えばステンレス鋼等の金属材料により形成されており、超硬合金製の刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａは上記凹部２ｃ、３ｃにロウ付け等によって接合されて取り付けられる。そして、これらヘッド部材２、３の刃先部材８、９以外の部分には、上記凹部２ｃ、３ｃと溝６、マニホールド７および供給孔７ａを避けるようにして、段付きの貫通孔とネジ孔とが複数組ずつ同軸に形成されており、貫通孔に挿通されたクランプボルト１０がネジ孔にねじ込まれることによって複数（一対）のヘッド部材２、３が取り付けられて工具本体１を構成する。
【００２４】
このように構成された塗布工具は、通常は工具本体１の先端部が下向きに支持されて、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａを例えば板状の被塗布物の上面（被塗布面）に間隔をあけて対向させ、上記供給孔７ａからマニホールド７に供給された塗布液を溝６から吐出しつつ、先端側から見てこの溝６の開口部が延びる長手方向に垂直な方向に被塗布物に対して相対移動させることにより、塗布液を塗布する。ここで、この被塗布面が、例えば平面視に方形状をなす凹所の底面であって、工具本体１の相対移動の方向に凹所の壁面が存在するような場合でも、上記構成の塗布工具では、長手方向に見て刃先部４、５が方形状であるので、この刃先部４、５の外側面４ｂ、５ｂを上記壁面の近くにまで接近させることができる。
【００２５】
そして、さらに上記構成の塗布工具においては、ヘッド部材２、３の少なくとも刃先部４、５がヤング率の高い超硬合金により形成されており、刃先部４、５の真直度を２μｍ／ｍ以下の高精度に維持することができる。このため、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５が上述のように０．２ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲の極薄の刃先部４、５であり、しかもこの刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５を刃幅Ｗ４、Ｗ５の最大２０倍としても、塗布液の内圧による溝６の溝幅Ｗ６の偏差を抑えることができる。
【００２６】
従って、上記構成の塗布工具によれば、比較的深い凹所にも刃先部４、５を挿入するとともに、上記壁面の極近くに溝６を位置させた上で、この凹所の底面に膜厚偏差の小さい塗布膜を形成することができる。さらに、塗布液は刃先部４、５の先端面４ａ、５ａにおいて、溝６の開口部が延びる長手方向に垂直な方向に広がって塗布されるので、例えばこのような凹所の壁面から０．１ｍｍの位置にまで満遍なく均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。なお、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍を越えると、後述する実施例で示すようにCoating Uniformity（Unif）が３％を上回って膜厚偏差が大きくなりすぎるおそれがある。
【００２７】
ここで、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が小さすぎると、上述のような深い凹所の底面には塗布液を塗布することができなくなるおそれが生じるので、この刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は、本実施形態のように刃幅Ｗ４、Ｗ５の１０倍以上とされるのが望ましく、１８倍以上とされるのがより望ましい。
【００２８】
一方、本実施形態では、このような刃先部４、５をヘッド部材２、３の互いに密着させられた側面２ａ、３ａの先端部に設けるのに、これらの側面２ａ、３ａの先端部に、上記溝６の開口部が延びる長手方向に沿って凹部２ｃ、３ｃを形成し、これらの凹部に取り付けられる超硬合金製の刃先部材８、９の先端側に、上記刃先部４、５を設けている。
【００２９】
しかるに、この点、例えばヘッド部材２、３の全体を超硬合金によって形成することも可能であるが、そのような場合に、例えば本実施形態のようにこれらのヘッド部材２、３を取り付けるのにクランプボルト１０を用いると、このクランプボルト１０をねじ込むネジ孔の形成が困難となるのに対し、本実施形態では刃先部材８、９以外の部分のヘッド部材２、３は上述のようなステンレス鋼等の金属材料により形成することができるので、ネジ加工を容易とすることができる。また、ヘッド部材２、３のコストダウンを図ることもできる。
【００３０】
さらに、本実施形態では、この刃先部材８、９が、刃先部４、５の上記刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも大きな幅の基端部８ａ、９ａを有していて、この基端部８ａ、９ａが凹部２ｃ、３ｃに取り付けられている。このため、刃先部４、５を、これより幅の大きな基端部８ａ、９ａによって高い剛性で支持してヘッド部材２、３に配設することができるので、塗布膜の膜厚の一層の均一化を図ることができる。しかも、本実施形態では、この基端部８ａ、９ａの先端面がヘッド部材２の先端面２ｂ、３ｂと面一とされていて、刃先部４、５の外側面４ｂ、５ｂは、この基端部８ａ、９ａの先端面と垂直に交差しているので、さらに高い剛性で刃先部４、５を支持することが可能となる。
【００３１】
ただし、このように刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａを刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも大きな幅とすることなく、例えば図６および図７に示す上記実施形態の変形例のように、刃先部材８、９を刃先部４、５から基端部８ａ、９ａに亙って上記刃幅Ｗ４、Ｗ５と等しい幅の板状に形成して、この刃幅Ｗ４、Ｗ５に応じた幅の凹部２ｃ、３ｃに取り付けてもよい。なお、この変形例において、図１ないし図５に示した実施形態と共通する部分には、同一の符号を配してある。このような変形例によれば、超硬合金使用量をさらに削減して一層のコストダウンを図ることができる。
【００３２】
また、上記実施形態やその変形例では、ヘッド部材２、３の互いに密着させられた側面２ａ、３ａのうち、一方のヘッド部材２の側面２ａは刃先部４の先端まで平面状に形成されているとともに、他方のヘッド部材３の側面３ａには、一方のヘッド部材２の側面２ａに対して凹んだ上記溝６が形成されて、この溝６がそのまま刃先部４、５の先端面４ａ、５ａに開口している。そして、このような平面状の一方の側面２ａや他方の側面３ａの溝６の超硬合金製の刃先部４、５における溝面６ａ、６ｂや溝壁６ｃ、および刃先部４、５の先端面４ａ、５ａの仕上げは、研削加工により行われる。
【００３３】
しかるに、この点についても、上述のような溝６を形成するのに、他方の側面３ａに溝６を形成するのに代えて、この他方の側面３ａも平面状とし、同じ平面状の一方の側面２ａとの間にシムを介装して溝６を形成することも可能であるが、そのような場合には、通常は刃幅Ｗ４、Ｗ５と同程度の大きさの溝幅Ｗ６となる溝６を形成するのに、刃先部４、５と同じ超硬合金製のシムを製造することは難しく、例えばステンレス鋼等の金属シムを使用せざるを得ない。ところが、この場合には、そのような金属シムは、塗布液に接する溝壁や先端面の加工がワイヤーカット加工やエッチング加工となるため、研削加工によって仕上げられた刃先部４、５の溝６の溝面６ａ、６ｂや溝壁６ｃおよび先端面４ａ、５ａに対して、シムに形成される溝壁や先端面の表面粗さが粗くなってしまう。
【００３４】
そのような場合に比べて、上記実施形態によれば、溝面６ａ、６ｂおよび溝壁６ｃよりなる溝６の内面や刃先部４、５の先端面４ａ、５ａを全体に亙って研削加工により均一な表面粗さに形成することができ、特に溝壁６ｃが位置する溝６の両端部や溝壁６ｃに連なる先端面４ａ、５ａにおける塗布液の流速のバラツキを小さく抑え、さらに均一な塗布膜を形成することができる。また、上記実施形態では、一方のヘッド部材２の上記側面２ａは平面状であるので、このような研削加工も比較的容易に行うことができる。
【００３５】
なお、上記実施形態では、被塗布物の形成された凹所の底面を被塗布面として塗布膜を形成する場合について説明したが、上記構成の塗布工具は、このような凹所の底面だけでなく、被塗布面に隣接して突壁や突起が形成されている場合に、これらの突壁や突起の極近くにまで均一な膜厚の塗布膜を形成するのに用いることも可能である。また、このような凹所の底面や、突壁や突起が形成された被塗布面ではなく、例えば板状の被塗布物の平坦な被塗布面に塗布液を塗布するのに用いても、勿論構わない。
【実施例】
【００３６】
次に、本発明の実施例を挙げて、本発明の効果について実証する。本実施例では、まず図１ないし図５に示した実施形態に基づいて、刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５がともに０．３ｍｍ、溝６の溝幅Ｗ６が０．５ｍｍ、図５に示すように刃先部４、５の先端面４ａ、５ａにおいて溝６の開口部が延びる長手方向における該溝６の開口幅Ｌが７０ｍｍ、同じく図５に示すように溝６の開口部が延びる長手方向における刃先部４、５の塗工幅Ｍが７２ｍｍの塗布工具を、図４に示した刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の１８倍の５．４ｍｍのものと、２０倍の６．０ｍｍのものの２種製造した。これらを実施例１、２とする。
【００３７】
また、これら実施例１、２に対する比較例１として、刃幅Ｗ４、Ｗ５、溝幅Ｗ６、開口幅Ｌ、および塗工幅Ｍが実施例１、２と等しく、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５を刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍よりも大きい２２倍の６．６ｍｍとした塗布工具も製造した。そして、これら実施例１、２および比較例１の塗布工具により塗布液を被塗布物に塗布して、その際の溝６の開口部が延びる方向における塗布膜の一端から他端までの測定距離に対する膜厚を測定した。この結果を、実施例１、２および比較例１の順に図８（ａ）〜（ｃ）に示す。
【００３８】
なお、このときの塗布条件は、塗布液は光学用弾性樹脂であって粘度は５０００〜７０００ｃｐｓ、目標膜厚は１００μｍで塗工速度（塗布工具と被塗布物との相対移動速度）は０．９ｍ／ｍｉｎであった。また、この図８（ａ）〜（ｃ）の測定結果に基づいて、各図の測定距離の両端の塗れ端から目標膜厚１００μｍに移行する部分を除いた部分について、実施例１、２および比較例１による膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、およびCoating Uniformity（Unif）を計算した。なお、Coating Uniformity（Unif）は（膜厚の範囲）／（平均値×２）の百分率（％）であり、値が小さいほど均一な膜厚であって、一般的には３％以下であれば均一な膜厚と評価できる。この結果を、実施例１、２および比較例１の順に次表１〜３に示す。
【００３９】
【表１】
0006631081.tif 000002
【００４０】
【表２】
0006631081.tif 000003
【００４１】
【表３】
0006631081.tif 000004
【００４２】
これらの図８（ａ）〜（ｃ）および表１〜３の結果より、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２２倍である比較例１ではCoating Uniformity（Unif）が３．４８％と３％を上回っていたのに対し、２０倍である実施例２では２．５２％と３％を下回り、さらに１８倍である実施例１では１．４１％と３％の１／２である１．５％をも下回っていた。これより、本発明のように刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍以下であれば均一な膜厚の塗布膜を形成することが可能で、１８倍であれば一層の膜厚の均一化を図ることができるのが確認できた。
【００４３】
次に、工具本体の先端部に開口する溝を形成するのに、上記実施形態のように他方のヘッド部材３の側面３ａの超硬合金よりなる刃先部５に溝面６ｂと溝壁６ｃとを有する溝６を先端面５ａに開口するように形成するのに代えて、一方のヘッド部材２と同様に刃先部４の先端面４ａまで平面状の側面２ａを有する一対のヘッド部材の該側面２ａの間に、図９に正面図を示すようなステンレス鋼製のシムＳを介装することにより溝を形成した塗布工具を比較例２として製造した。なお、この比較例２における刃先部の刃幅Ｗ４、Ｗ５、溝の溝幅Ｗ６、溝の開口幅Ｌ、刃先部の塗工幅Ｍ、刃先部の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は実施例１と同じである。
【００４４】
そして、まずこの比較例２におけるシムＳの図９に符号Ｓ１で示す先端面と、符号Ｓ２で示す溝の溝壁の位置の表面粗さを測定したところ、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１における算術平均粗さＲａにおいて、先端面Ｓ１は１．５５７μｍ、溝壁Ｓ２は２．０３４μｍであった。これに対して、上記実施例１の塗布工具の刃先部４、５の表面粗さは、同じくＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１における算術平均粗さＲａにおいて、先端面４ａ、５ａが０．０１０μｍ、溝６の溝面６ａ、６ｂが０．００８μｍ、溝壁６ｃが０．０１４μｍであった。
【００４５】
次いで、これら実施例１と比較例２により、上述した実施例１、２および比較例１と同じ塗布条件で塗布膜を形成し、その際の溝の開口部が延びる方向における塗布膜の一端から他端までの測定距離（ｍｍ）に対する膜厚（μｍ）を測定するとともに、これに基づいて膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、およびCoating Uniformity（Unif）と、さらに溝の開口部が延びる方向における塗布膜の両端のダレ距離（塗布膜両端の塗れ端から目標膜厚１００μｍになるまでの距離）を計算した。これらの結果を、比較例２、実施例１の順に図１０（ａ）、（ｂ）および表４、５に示す。従って、実施例１の結果である図１０（ｂ）と表５の膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、Coating Uniformity（Unif）は、図１（ａ）と表１に等しい。
【００４６】
【表４】
0006631081.tif 000005
【００４７】
【表５】
0006631081.tif 000006
【００４８】
これら図１０（ａ）、（ｂ）および表４、５の結果より、比較例２の塗布工具ではダレ距離が１．１６ｍｍと長く、またCoating Uniformity（Unif）も５．０９％と、上述した実施例２はもとより、比較例１よりも大きく、膜厚の偏差が著しかった。これに対して、実施例１では、上述したようにCoating Uniformity（Unif）が小さく抑えられているのは勿論、ダレ距離も０．７２ｍｍと短く、溝６の開口部が延びる方向における開口幅Ｌや塗工幅Ｍの範囲内で、より幅広く均一な膜厚の塗布膜を形成することが可能であることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上説明したように、本発明によれば、被塗布物に形成された凹所の底面に塗布液を塗布するような場合でも、この凹所の壁面の極近傍にまで満遍なく偏差の少ない均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。
【符号の説明】
【００５０】
１  工具本体
２、３  ヘッド部材
２ａ、３ａ  ヘッド部材２、３の互いに密着させられる側面
２ｂ、３ｂ  ヘッド部材２、３の先端面
２ｃ、３ｃ  凹部
４、５  刃先部
４ａ、５ａ  刃先部４、５の先端面
４ｂ、５ｂ  刃先部４、５の外側面
６  溝
６ａ、６ｂ  溝面
６ｃ  溝壁
７  マニホールド
８、９  刃先部材
８ａ、９ａ  刃先部材８、９の基端部
１０  クランプボルト
Ｗ４、Ｗ５  刃先部４、５の刃幅
Ｐ４、Ｐ５  刃先部４、５の突き出し量
Ｗ６  溝６の溝幅
Ｌ  溝６の開口幅
Ｍ  刃先部４、５の塗工幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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