(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源から検査対象物に放射線を照射し、該検査対象物を透過した放射線を検出する放射線検出装置であって、
入射する放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタを有するフィルタ部材と、
前記フィルタにより少なくとも一部が減衰された前記放射線を検出する検出部と、
前記検出部を内部に収納する筐体と、を備え、
前記検出部は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ前記第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で前記第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有し、
前記筐体は、前記放射線が通過可能な部分を含む主面と、前記主面と交差する方向に延在し前記フィルタを挿入可能な開口を含む側面とを有し、
前記フィルタ部材は、前記開口よりも大きい表面積を有するストッパ部を有し、当該ストッパ部が前記筐体の前記側面に取り付けられ、且つ、前記フィルタ部材が前記主面と前記第１及び第２のラインセンサとの間に位置し、
前記フィルタは、前記検出部から離れた状態で前記第１及び第２のラインセンサの少なくとも一方を覆うように前記筐体の内部に配置されている、
放射線検出装置。
【請求項２】
前記筐体の前記開口は、前記フィルタの端面よりも大きい面積を有する、請求項１に記載の放射線検出装置。
【請求項３】
前記フィルタ部材は、前記フィルタを保持する保持部材を有し、当該保持部材は、前記フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成される、請求項１又は２に記載の放射線検出装置。
【請求項４】
前記フィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であり、前記フィルタはその側端領域に配置されている、請求項１〜３の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項５】
前記フィルタが前記検出部の所定の領域を覆うように前記フィルタ部材を前記筐体内において位置決めするための位置決め部材を更に備える、請求項１〜４の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項６】
前記位置決め部材は、前記フィルタ部材の側端の全体又は一部と当接して前記フィルタの位置決めを行う、請求項５に記載の放射線検出装置。
【請求項７】
前記検出部は、前記第１のラインセンサ上に配置された第１のシンチレータと、前記第２のラインセンサ上に配置された第２のシンチレータとを更に有する、請求項１〜６の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項８】
前記第１のラインセンサ及び第２のラインセンサは、直接変換型放射線検出器である、請求項１〜６の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項９】
前記フィルタが前記第１及び第２のラインセンサの一方のみを覆う、請求項１〜８の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項１０】
前記フィルタが前記第１及び第２のラインセンサの両方を覆い、当該フィルタは、前記第１のラインセンサを覆う第１の領域と前記第２のラインセンサを覆う第２の領域とを有し、前記第１の領域の厚みと前記第２の領域の厚みとが同じ又は異なる、請求項１〜８の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項１１】
前記フィルタと前記検出部との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項１２】
前記筐体の前記主面は、当該筐体に入射する放射線が通過可能なスリットを含み、
前記放射線検出装置は、当該スリットを覆う遮光フィルムを更に備える、請求項１〜１１の何れか一項に記載の放射線検出装置。
【請求項１３】
前記検査対象物に放射線を照射する放射線源と、
請求項１〜１２の何れか一項に記載の放射線検出装置と、
前記放射線源による前記放射線の照射方向と交差する方向に前記検査対象物を搬送する搬送機構と、を備える放射線検査システム。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の放射線検出装置の調整方法であって、
異なる減衰機能を有する複数のフィルタを含む部材を前記フィルタ部材として準備する工程と、
前記複数のフィルタ部材を順に前記筐体の前記開口から内部に挿入して所定の位置に保持させ、放射線を検出する工程と、
前記検出した放射線の結果に応じて前記複数のフィルタのうち最適なフィルタ部材を選択する工程と、を備える放射線検出装置の調整方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の調整方法による放射線検出装置の製造方法であって、
前記選択する工程で選択された前記最適なフィルタ部材を前記筐体の前記開口から内部に挿入して所定の位置に保持固定する工程を更に備える、放射線検出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品や医薬品等の検査対象物にＸ線を照射し、その透過Ｘ線画像から対象物中の異物の有無を検査することが広く行われている。この検査には、Ｘ線源から対象物に照射されたＸ線の透過画像を検出するラインセンサを備えたＸ線検出装置が用いられている。Ｘ線検出装置では、検出する異物が異なる場合（例えば異物が食肉に含まれる骨なのか若しくは金属なのかといった場合）、異なるエネルギ範囲のＸ線をそれぞれ検出できるように例えば２つのラインセンサを並列に配置する構成を採用している（例えば特許文献１参照）。そして、特許文献１に記載のＸ線検出装置では、各ラインセンサに至るそれぞれのＸ線の線質を異ならせるため、線質可変体を一方のセンサの上に設けるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１６８８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように異なる異物を検出できるＸ線検出装置では、用途に応じて様々なエネルギ範囲のＸ線をＳＮ比を考慮した上で検出できるように検出感度を柔軟に変更できることが好ましく、変更する場合、シンチレータを変えるか、またはフィルタを追加したりして調整を行う。しかしながら、調整の都度、シンチレータを交換することは困難である。また、フィルタを変える場合、特許文献１のようにシンチレータの上面にフィルタを配置する構成にすると、調整の際、フィルタによりシンチレータを傷つけてしまう虞がある。一方、Ｘ線センサを収容する金属箱の上面に設けたスリットを覆うようにフィルタを配置した場合、その分、カメラ高さをフィルタの種類（厚み）に応じて変えてしまう可能性があり、放射線検査システム全体の設計を行う際、これらの可能性を考慮しなければならず、設計を行いづらかった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みて為されたものであり、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更しなくても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能な放射線検出装置、当該放射線検出装置を備える放射線検査システム、及び、当該放射線検出装置の調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一形態に係る放射線検出装置は、放射線源から検査対象物に放射線を照射し、該検査対象物を透過した放射線を検出する放射線検出装置であって、入射する放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタを有するフィルタ部材と、フィルタにより少なくとも一部が減衰された放射線を検出する検出部と、検出部を内部に収納する筐体と、を備えている。この放射線検出装置では、筐体は、放射線が通過可能な部分を含む主面と、主面と交差する方向に延在しフィルタを挿入可能な開口を含む側面とを有し、フィルタは、検出部から離れた状態で検出部の少なくとも一部を覆うように筐体の内部に配置されている。
【０００７】
この放射線検出装置では、検出部を収納する筐体の側面にフィルタを挿入可能な開口を設け、フィルタが検出部から離れた状態で検出部の少なくとも一部を覆うように当該フィルタを筐体の内部に配置している。この場合、入射放射線の線質を変える（減衰する）フィルタが放射線検出装置の筐体内部に配置される構成となり、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更する必要がなくなり、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。また、フィルタが検出部から離れた状態となるように筐体内部に配置されるので、フィルタを他の減衰機能を有するフィルタに交換する場合、検出部（例えばシンチレータ等）にフィルタがぶつかって傷つけてしまう虞を低減することができる。しかも、この放射線検出装置によれば、フィルタと検出部とを近接して配置することが可能となるため、アーチファクトの発生を抑えることも可能となる。
【０００８】
上述した放射線検出装置において、筐体の開口は、フィルタの端面よりも大きい面積を有することが好ましい。この場合、筐体の内部にフィルタを容易に挿入することができるので、放射線検出装置の検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。
【０００９】
上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、フィルタを保持する保持部材を有し、当該保持部材は、フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成されることが好ましい。この場合、保持部材により、フィルタを所定の位置に確実に配置させることができると共に、その保持部材により入射放射線が減衰して適切な放射線の検出が阻害されるといったことを抑制することができる。
【００１０】
上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、開口よりも大きい表面積を有するストッパ部を有し、当該ストッパ部が筐体の側面に取り付けられていてもよい。この場合、フィルタ部材のフィルタを所定の位置により確実に配置させることが可能となる。
【００１１】
上述した放射線検出装置において、フィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であり、フィルタはその側端領域に配置されていることが好ましい。この場合、通常は装置の中央付近に配置される検出部に対して、フィルタを適正な位置に配置しやすくなる。
【００１２】
上述した放射線検出装置は、フィルタが検出部の所定の領域を覆うようにフィルタ部材を筐体内において位置決めするための位置決め部材を更に備えていてもよい。この場合、検出部が微小な構成から形成されていても、そのような検出部に対してフィルタをより確実に適正な位置に配置させることが可能となる。なお、この位置決め部材は、フィルタ部材の側端の全体又は一部と当接してフィルタの位置決めを行うようにしてもよい。
【００１３】
上述した放射線検出装置において、検出部は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有していてもよい。この場合、放射線検出装置をより小型化できると共に、異なるエネルギ範囲の放射線をそれぞれ検出できるようになる。
【００１４】
上述した放射線検出装置において、検出部は、第１のラインセンサ上に配置された第１のシンチレータと、第２のラインセンサ上に配置された第２のシンチレータとを更に有してもよい。また、フィルタが第１及び第２のラインセンサの一方を覆うようにしてもよいし、フィルタが第１及び第２のラインセンサの両方を覆い、当該フィルタは、第１のラインセンサを覆う第１の領域と第２のラインセンサを覆う第２の領域とを有し、第１の領域の厚みと第２の領域の厚みとが同じ又は異なるようにしてもよい。
【００１５】
また、上述した放射線検出装置において、第１のラインセンサ及び第２のラインセンサは、直接変換型放射線検出器であってもよい。この場合、別途、シンチレータを設ける必要がなくなるため、部品点数を削減することができる。
【００１６】
上述した放射線検出装置において、フィルタと検出部との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよい。この場合、アーチファクトの発生をより一層抑えることが可能となる。
【００１７】
上述した放射線検出装置において、筐体の主面は、当該筐体に入射する放射線が通過可能なスリットを含み、放射線検出装置は、当該スリットを覆う遮光フィルムを更に備えていてもよい。この場合、検出装置内に放射線が入射する際の減衰を抑制できると共に、このスリットから異物（紛体、ごみ等）が筐体内部に浸入してしまうことを防止できる。
【００１８】
また、本発明は別の側面として放射線検査システムに係り、この放射線検査システムは、検査対象物に放射線を照射する放射線源と、上述した何れかの放射線検出装置と、放射線源による放射線の照射方向と交差する方向に検査対象物を搬送する搬送機構とを備えている。この検査システムでは、上記同様に、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更する必要がなく放射線を減衰させるフィルタの種類を容易に変更できるので、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えて、様々な種類の検査対象物の検査を行うことが可能となる。
【００１９】
また、本発明は、更に別の側面として、上述した何れかの放射線検出装置の調整方法に係り、この調整方法は、異なる減衰機能を有する複数のフィルタを上記フィルタ部材として準備する工程と、複数のフィルタ部材を順に筐体の開口から内部に挿入して所定の位置に保持させ、放射線を検出する工程と、検出した放射線の結果に応じて複数のフィルタのうち最適なフィルタ部材を選択する工程とを備えている。この場合、異なる減衰機能を有するフィルタから最適なフィルタを容易に選択することができるため、放射線検出装置の調整方法が容易に行え、放射線検出装置における検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。なお、本発明では、この調整方法によって調整された放射線検出装置において、選択する工程で選択された最適なフィルタ部材を筐体の開口から内部に挿入して所定の位置に保持固定する工程を更に備えて、放射線検出装置を製造するようにしてもよい。このような製造方法により、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能な放射線検出装置を容易に製造することが可能となる。
【００２０】
また、本発明は、更に別の側面として、このような調整方法等に用いることが可能なフィルタ部材の発明に係り、このフィルタ部材は、平面視した際の外形が略矩形であるフィルタ部材であって、放射線の少なくとも一部を減衰させるフィルタと、フィルタよりも放射線を透過させる材料から構成され、フィルタを保持する保持部材と、を備え、フィルタは当該フィルタ部材の側端領域に配置されている。このような簡易な構成のフィルタ部材であれば、より多くの異なる減衰機能を有するフィルタ部材を容易に準備することができ、上述した放射線検出装置でのフィルタ調整をより行い易くなる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、放射線検出装置の高さをフィルタ調整の都度変更することなく、検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本実施形態に係るＸ線検査システムを模式的に示す斜視図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、銅及びアルミをフィルタとして用いた場合の半価層と管電圧との関係を示す表であり、（ａ）は、フィルタがない場合と０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合との比較を示し、（ｂ）は、フィルタがない場合と、０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合と、０．１ｍｍ厚のアルミをフィルタとして用いた場合との比較を示し、（ｃ）は、フィルタがない場合と、０．１ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合と、０．５ｍｍ厚の銅をフィルタとして用いた場合との比較を示す。
【図４】図４は、第２実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図５】図５は、第３実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図６】図６は、第４実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）は、第５実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図８】図８は、第６実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図９】図９は、第７実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【図１０】図１０は、本実施形態に係るＸ線検出装置の一例の斜視図である。
【図１１】図１１は、図１０に示すＸ線検出装置の側面の開口にフィルタ部材を挿入する状態を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、図１０に示すＸ線検出装置の一例のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、図１０に示すＸ線検出装置での位置決め部材によるフィルタ部材の位置決めを示す平面図であり、（ａ）は位置決め部材とフィルタ部材との一例を示し、（ｂ）は（ａ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示し、（ｃ）は位置決め部材とフィルタ部材との別の例を示し、（ｄ）は（ｃ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示す。
【図１４】図１４は、図１０に示すＸ線検出装置での位置決め部材によるフィルタ部材の位置決めを示す平面図であり、（ａ）は位置決め部材とフィルタ部材との更に別の例を示し、（ｂ）は（ａ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示し、（ｃ）は位置決め部材とフィルタ部材との別の例を示し、（ｄ）は（ｃ）のフィルタ部材が位置決め部材により位置決めされた状態を示す。
【図１５】図１５は、Ｘ線検出装置で用いられるフィルタ部材の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２４】
図１は、本実施形態に係るＸ線検査システムを模式的に示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。Ｘ線検査システム１（放射線検査システム）は、図１に示すように、ベルトコンベア３（搬送機構）、Ｘ線照射器５（放射線源）、及び、Ｘ線検出装置１０（放射線検出装置）を備える。Ｘ線検査システム１は、Ｘ線照射器５からのＸ線を照射方向Ｚへ向けて検査対象物Ｓに照射し、照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した透過Ｘ線を複数のエネルギ範囲で検出する。Ｘ線検査システム１は、透過Ｘ線による画像を用いて検査対象物Ｓに含まれる異物検査や手荷物検査などを行う。Ｘ線検査システム１による検査対象物Ｓとしては、例えば、食肉やレトルト等の食品、タイヤなどのゴム製品、手荷物検査のための手荷物、樹脂製品、ワイヤなどの金属製品、鉱物など資源材料、分別や資源回収のための廃棄物、電子部品等など広くあげることができる。また、検査対象物Ｓ中の検出すべき異物としても各種のものがある。このため、Ｘ線検査システム１では、検査対象物Ｓの物性や検出すべき異物の種類に応じて、各Ｘ線検出装置１０の検出感度を柔軟に変更できることが好ましい。
【００２５】
ベルトコンベア３は、検査対象物Ｓが載置されるベルト部７を有する。ベルトコンベア３は、ベルト部７を搬送方向Ｙに移動させることで、検査対象物Ｓを所定の速度で搬送方向Ｙに搬送する。
【００２６】
Ｘ線照射器５（放射線源）は、検査対象物Ｓに向けて、Ｘ線を照射方向Ｚに照射する装置であり、例えばＸ線源である。Ｘ線照射器５は、例えば点光源であり、照射方向Ｚ及び搬送方向Ｙに直交する検出方向Ｘに所定の角度範囲でＸ線を拡散させる照射を行う。Ｘ線照射器５は、Ｘ線の照射方向Ｚがベルト部７に向けられると共に、拡散するＸ線が検査対象物Ｓの幅方向（検出方向Ｘ）の略全体に及ぶように、ベルト部７から所定の距離を離れてベルト部７の上方に配置される。Ｘ線照射器５は、検査対象物Ｓの長さ方向（搬送方向Ｙ）においては、長さ方向における所定の分割範囲が一度の照射範囲とされ、検査対象物Ｓがベルトコンベア３で搬送方向Ｙに搬送されることにより、検査対象物Ｓの長さ方向全体に対してＸ線が照射されるようになっている。
【００２７】
Ｘ線検出装置１０（放射線検出器）は、Ｘ線照射器５から検査対象物Ｓに照射され、検査対象物Ｓを透過したＸ線を検出する装置であり、例えばＸ線検出カメラである。Ｘ線検出装置１０は、検査対象物Ｓを透過したＸ線を検出するため、Ｘ線照射器５による照射方向において検査対象物Ｓの下流側に位置するように例えばベルト部７の下方に配置されている。このようなＸ線検出装置１０は、短手方向に沿った断面である図２に示すように、透過Ｘ線を検出する検出部２０と、検出部２０を内部に収納する筐体３０と、筐体３０内に側部から挿入され、検査対象物Ｓを透過したＸ線の一部を減衰させるフィルタ４２を有するフィルタ部材４０と、を備えている。なお、フィルタ４２は、検出部２０から離れた状態で検出部２０の一部を覆うように配置されている。
【００２８】
検出部２０は、２つのラインセンサ２１，２２と、基板２３と、２つのシンチレータ２４，２５とから構成され、Ｘ線照射器５から照射され検査対象物Ｓを透過したＸ線（検出装置に入射するＸ線）を異なるエネルギ範囲で検出する。ラインセンサ２１，２２は、例えばシリコンからなる基板２３内に隣接して形成されており、ラインセンサ２１は、画素幅ＬＷの画素が一次元（図２の紙面と直交する方向、図１のＸ方向）に配列された直線状のセンサであり、ラインセンサ２２は、画素幅ＨＷの画素が一次元に配列された直線状のセンサである。ラインセンサ２２は、画素幅ＬＷ，ＨＷよりも狭い間隔ＮＷでラインセンサ２１と並列になるように配置されている。画素幅ＬＷ，ＨＷは例えばそれぞれが０．６ｍｍ程度で互いに同じ幅であってもよいし、異なった幅であってもよく、各センサ間の間隔ＮＷは例えば０．２ｍｍ程度であってもよい。ラインセンサ２１の上には、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置され、ラインセンサ２２の上には、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されている。図２の例では、例えばシンチレータ２４、２５は、異なる材料あるいは異なる厚みからなり、これにより異なるエネルギ帯のＸ線を検出部２０が検出できるようになっている。
【００２９】
筐体３０は、Ｘ線を通過させるためのスリット３１を含む主面３２と、鉛などからなる遮蔽部材３３とをＸ線が照射される側に有しており、このスリット３１に対応しＸ線が通過可能な領域に位置するように検出部２０をその内部に収納している。筐体３０の遮蔽部材３３以外の本体部分は例えばアルミなどから構成されている。スリット３１の上部には遮光フィルム５０を設けて筐体３０の内部に粒子等が浸入しない構成としてもよい。遮光フィルム５０は、検査対象物Ｓを透過したＸ線の一部を減衰させる性能を有していてもよい。また、筐体３０は、主面３２に対して直交する方向に延在する側面３４を有しており、この側面３４には、フィルタ部材４０のフィルタ４２等を挿入可能なように、フィルタ４２の端面よりも大きい面積を有する開口３５が形成されている。
【００３０】
フィルタ部材４０は、例えば平面視した際の外形が略矩形のシート状の部材であり、検査対象物Ｓを透過したＸ線（入射する放射線）の一部を減衰させるフィルタ４２と、フィルタ４２を保持するシート状の保持部材４４と、フィルタ４２が筐体３０内において所定の位置に配置されるように保持部材４４の端部を筐体３０の側面３４に取り付けるためのストッパ部材４６と、を備えている。
【００３１】
フィルタ４２は、検査対象物Ｓとは異なる材料から形成される薄板状の部材であり、例えば、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリウレタン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル、ポリアミド、ＰＥＴ、ＧＦ−ＰＥＴ、ＰＢＴ、ポリカーボネート、ＰＰＳ、ＰＴＦＥ、ＰＳＦ、ＰＩ等の樹脂；アモルファスカーボン、グラファイト等の炭素繊維素材；ベリリウム、アルミ、チタン、鉄、亜鉛、モリブデン、スズ、金、銀、銅、白金、鉛、タンタル、ガドリニウム、ホルミウム、イッテリビウム等の金属、から構成される。フィルタ４２は、希望する減衰量、つまり両ラインセンサで受けるＸ線のエネルギ差とＳＮ比に応じて、上述した材料などから適宜選択されるが、例えば銅やアルミから選択されることが好ましい。銅やアルミはＸ線遮蔽力が高く且つ加工しやすいため、これら材料を選択することで、フィルタ厚みの調整が容易になる。なお、図３の（ａ）〜（ｃ）に、例えば銅（厚さ０．１ｍｍ、０．５ｍｍ）やアルミ（０．１ｍｍ）などをフィルタ４２として用いた場合の管電圧（ｋＶ）と半価層（ｍｍ）との関係を示す。半価層とは、Ｘ線の線束中に特定の物質を置いた際の吸収によって放射線の量が半分に減る場合の物質の厚さであり、Ｘ線のエネルギ特性を評価するために用いられる指標である。具体的には、半価層が厚い場合、エネルギが高くなる。
【００３２】
保持部材４４は、フィルタ４２を所定の位置に保持するためのシート状の部材であり、図２に示す例では、保持部材４４の一端側（側端領域）の上面にフィルタ４２が配置されて固定されている。保持部材４４は、フィルタ４２よりもＸ線を透過させやすい材料、例えばカーボンなどから構成されており、透過Ｘ線をあまり減衰させずに検出部２０によるＸ線の検出を妨げないように構成されている。なお、フィルタ４２は、アーチファクトの発生を抑制するため、保持部材４４により、ラインセンサ２１,２２との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるように保持されている。
【００３３】
ストッパ部材４６は、保持部材４４の一端に設けられた固定部材であり、フィルタ４２が載置される保持部材４４を筐体３０の側面３４に固定させるための部材である。ストッパ部材４６は、筐体３０の側面３４に設けられた開口３５よりも大きな表面積を有しており、フィルタ部材４０を交換した際にフィルタ部材４０の全体が筐体３０内に入り込んでしまわないようになっている。ストッパ部材４６は、保持部材４４と一体に形成されてもよいし、別体として形成されてもよい。なお、筐体３０への固定は、このストッパ部材４６を例えばネジ等により止め付けることにより実現される。
【００３４】
このような構成のフィルタ部材４０は、例えばフィルタ４２がスリット３１の一部（例えば幅方向における半分の領域）に対応する領域を覆って透過Ｘ線の一部（半分）を減衰させるように、筐体３０内において、フィルタ４２を位置決めさせることができる。より具体的には、フィルタ部材４０は、直線状に延びる幅狭のシートから構成されるフィルタ４２の幅方向の一端（図示右端）が透過Ｘ線の進行方向において検出部２０のラインセンサ２１，２２間の領域に対応するように、フィルタ４２を位置決めして保持することが可能である。なお、フィルタ部材４０は、減衰機能が異なる（例えば厚さや材料が異なる）フィルタであっても、同じ形状（外形）のフィルタ部材であれば同じ位置に配置されるように設計されており、異なる種類（厚さや材料）からなるフィルタを有するフィルタ部材に交換しても、ラインセンサ２１，２２との相対位置が変わらないようになっており、フィルタ４２（フィルタ部材４０）の交換を容易に行うことができる。
【００３５】
このようにＸ線検出装置１０では、上述した構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した低エネルギ範囲のＸ線をそのまま（フィルタ４２を介さずに）検出して、低エネルギ画像データを生成することができる。一方、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。しかも、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０を用いて検出感度の調整を行っているため、筐体３０の外の配置や構成を変更することなく、またフィルタ交換の際にシンチレータ２４，２５を傷つけることなく、フィルタ４２の種類を容易に変更することができ、ラインセンサが互いに近接して配置されるＸ線検出装置１０においても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができるようになっている。
【００３６】
また、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０の開口３５は、フィルタ４２の端面及び保持部材４４の端面を合計した面積よりも大きい面積を有している。このため、筐体３０の内部にフィルタ４２等を容易に挿入することができるので、Ｘ線検出装置１０の検出感度を様々なエネルギ帯に組み替える際、異なる種類のフィルタ部材４０の交換を容易に行うことができる。
【００３７】
また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、フィルタ４２を保持する保持部材４４を有し、保持部材４４は、フィルタ４２よりもＸ線を透過させる材料、例えばカーボンから構成されている。このため、フィルタ４２を筐体３０内において所定の位置に確実に配置させることができると共に、保持部材４４により入射Ｘ線が減衰して適切なＸ線の検出が阻害されることを抑制することもできる。
【００３８】
また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、開口３５よりも大きい表面積を有するストッパ部材４６を有し、ストッパ部材４６が筐体３０の側面３４に取り付けられるようになっている。このため、フィルタ部材４０のフィルタ４２をこのストッパ部材４６により所定の位置により確実に配置させることが可能となり、また、異なる種類のフィルタ部材４０の交換を行った際にフィルタ部材４０全体を筐体３０内に挿入してしまい交換が難しなるといったことを防止することができる。更に、開口３５よりも大きい面積をストッパ部材４６が有していることにより、フィルタ部材４０を筐体３０に設置した際、開口３５をストッパ部材４６で覆うことができるので、開口３５から異物（紛体、ごみ等）が筐体３０の内部に浸入してしまうことを防止できる。
【００３９】
また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ部材４０は、平面視した際の外形が略矩形であり、フィルタ４２はその端部側に配置されている。このため、通常、装置の中央側に配置される検出部２０に対して、フィルタ４２を適正な位置に配置しやすくなる。
【００４０】
また、Ｘ線検出装置１０では、検出部２０は、第１の画素幅を有する画素が一次元に配列された第１のラインセンサと、第２の画素幅を有する画素が一次元に配列され且つ第１及び第２の画素幅よりも狭い間隔で第１のラインセンサと並列に配置される第２のラインセンサと、を有している。この場合、Ｘ線検出装置１０をより小型化できると共に、異なるエネルギ範囲の放射線をそれぞれ検出することができる。
【００４１】
また、Ｘ線検出装置１０では、フィルタ４２と検出部２０との距離が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下となっている。このため、アーチファクトの発生をより一層抑えることが可能となる。
【００４２】
また、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０の主面３２は、筐体３０に入射するＸ線が通過可能なスリット３１を含み、Ｘ線検出装置１０は、スリット３１を覆う遮光フィルム５０を更に備えている。このため、Ｘ線検出装置１０内にＸ線が入射する際の減衰を抑制することができると共に、このスリット３１から異物（紛体、ごみ等）が筐体３０の内部に浸入してしまうことを防止することができる。
【００４３】
次に、図４〜図９を参照して、Ｘ線検出装置１０の他の実施形態（第２〜第７実施形態）について説明する。図４は、第２実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図５は、第３実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図６は、第４実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図７（ａ）、（ｂ）は、第５実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図８は、第６実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。図９は、第７実施形態に係るＸ線検出装置を模式的に示す断面図である。
【００４４】
まず、図４を参照して、第２実施形態に係るＸ線検出装置１０ａについて説明する。Ｘ線検出装置１０ａは、図４に示すように、フィルタ部材４０ａにおけるフィルタ４２の配置箇所が第１実施形態のＸ線検出装置１０と相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０と同様である。Ｘ線検出装置１０ａでは、フィルタ部材４０ａのフィルタ４２が、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ａでは、このような構成により、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した高エネルギ範囲のＸ線をそのまま（フィルタ４２を介さずに）検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。一方、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された低エネルギ範囲のＸ線を検出して、低エネルギ画像データを生成することができる。なお、低エネルギ側のラインセンサ２１の出力が飽和してしまうような場合、具体的には、高エネルギ側でＳＮを確保するためにＸ線の出力を上げた際に低エネルギ側が飽和してしまうような場合に、例えば、上述した構成を採用することができる。
【００４５】
続いて、図５を参照して、第３実施形態に係るＸ線検出装置１０ｂについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｂは、図５に示すように、フィルタ部材４０ｂにおけるフィルタ４２ｂの幅（図示左右方向）が第１実施形態のＸ線検出装置１０と相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０と同様である。Ｘ線検出装置１０ｂでは、フィルタ部材４０ｂのフィルタ４２ｂが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ｂでは、このような構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｂにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができる。なお、比較的重量のある物質の内部検査をする場合、例えば小麦２０ｋｇの中の金属の異物などを検出させる場合で低エネルギ側もある程度高いエネルギで検出したい場合に、例えば、上述した構成を採用することができる。
【００４６】
続いて、図６を参照して、第４実施形態に係るＸ線検出装置１０ｃについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｃは、図６に示すように、フィルタ部材４０ｃにおけるフィルタ４２ｃの形状（厚みの変化）が第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０ｂと同様である。Ｘ線検出装置１０ｃでは、Ｘ線検出装置１０ｂと同様に、フィルタ部材４０ｃのフィルタ４２ｃが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように配置されている。しかしながら、Ｘ線検出装置１０ｃでは、フィルタ４２ｃが２つの領域４３ａ，４３ｂからなり、第１の領域４３ａでの厚みが第２の領域４３ｂでの厚みよりも厚くなっている。Ｘ線検出装置１０ｃでは、このような構成により、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｃにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができ、しかも、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２の方が、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１よりもより減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して、高エネルギ画像データを生成することができる。このような構成により、エネルギ差をつけた画像データを得ることができる。
【００４７】
続いて、図７（ａ）（ｂ）を参照して、第５実施形態に係るＸ線検出装置１０ｄについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｄは、図７（ａ）に示すように、フィルタ部材４０ｄが独立した保持部材を有さずに、フィルタ４２ｄが保持部材も兼ねている点で第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと相違している。他の構成は、Ｘ線検出装置１０ｂと同様である。Ｘ線検出装置１０ｄでは、Ｘ線検出装置１０ｂと同様に、フィルタ部材４０ｄのフィルタ４２ｄが、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方を覆うように構成されている。そして、Ｘ線検出装置１０ｄでは、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１と、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２との両方が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｄにより減衰された各エネルギ範囲のＸ線を検出して、高低の各エネルギ画像データを生成することができる。なお、Ｘ線検出装置１０ｄでは、図７（ｂ）に示すように、フィルタ部材４０ｄ（フィルタ４２ｄ）の厚みを厚くすると共にストッパ部材４６を省略し、筐体３０の側面３４に設けられた開口３５ａにフィルタ部材４０ｄの端部が嵌め込まれて固定される構成を採用してもよい。この場合の開口３５ａの面積は、フィルタ４２ｄの端面と略一致する大きさとなっている。
【００４８】
続いて、図８を参照して、第６実施形態に係るＸ線検出装置１０ｅについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｅは、第１〜第５実施形態に係るデュアルエナジータイプのＸ線検出装置１０，１０ａ〜１０ｄと異なり、デュアルラインタイプのＸ線検出装置であり、同じエネルギ帯用の２つのシンチレータ２６が各ラインセンサ２１，２２の上に位置するように並列に配置されている。このＸ線検出装置１０ｅでは、図８に示すように、フィルタ部材４０ｅにおけるフィルタ４２ｅの幅（図示左右方向）が第３実施形態のＸ線検出装置１０ｂと同様に、２つのラインセンサ２１，２２の両方を覆うように配置されている。Ｘ線検出装置１０ｅでは、このような構成により、同じエネルギ用のシンチレータ２６がそれぞれ配置されたラインセンサ２１，２２が、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２ｅにより減衰された所定のエネルギ範囲のＸ線を検出して、２つのエネルギ画像データを生成することができる。
【００４９】
続いて、図９を参照して、第７実施形態に係るＸ線検出装置１０ｆについて説明する。Ｘ線検出装置１０ｆは、第１〜第６実施形態に係るＸ線検出装置１０，１０ａ〜１０ｅと異なり、図９に示すように、いわゆるシングルラインのＸ線カメラである。このＸ線検出装置１０ｆは、図９に示すように、検出部２０として１つのラインセンサ２１ｆを基板２３ｆ内に有しており、ラインセンサ２１ｆの上に１つのシンチレータ２６ｆが配置される構成となっている。Ｘ線検出装置１０ｆでは、フィルタ部材４０ｆのフィルタ４２ｆがこのラインセンサ２１ｆの全体を覆うように配置されている。このような構成により、シングルタイプのＸ線カメラにおいても、上記した実施形態と同様に、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０ｆを用いて検出感度の調整を行うことになるため、筐体３０の外の配置や構成を変更することなく、またフィルタ交換の際にシンチレータ２６ｆを傷つけることなく、フィルタ４２ｆの種類を容易に変更することができ、Ｘ線検出装置１０ｆにおいても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。
【００５０】
ここで、図１０〜図１２を参照して、Ｘ線検出装置１０の一例について説明する。図１０は、本実施形態に係るＸ線検出装置の一例の斜視図である。図１１は、図１０に示すＸ線検出装置の側面の開口にフィルタ部材を挿入する状態を示す斜視図である。図１２は、図１０に示すＸ線検出装置の一例のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【００５１】
Ｘ線検出装置１０は、上述したように、検出部２０、筐体３０、フィルタ部材４０及び遮光フィルム５０を備えている。図１０〜図１２に示すように、筐体３０は、内部に空間を有する箱状の上筐体３７と、板状でありその中央に突出部３８ａを有する下筐体３８とから構成されている。下筐体３８の突出部３８ａが上筐体３７の内部に嵌り込むことにより、筐体３０の内部に粒子等が入り込まないように上筐体３７と下筐体３８とが嵌め合されている。上筐体３７及び下筐体３８は例えばアルミ等から構成されている。また、下筐体３８の突出部３８ａの上面には、検出部２０の基板２３が配置されており、基板２３にラインセンサ２１，２２（図２参照）が形成されている。ラインセンサ２１の上にはシンチレータ２４が接着されて配置され、ラインセンサ２２の上にシンチレータ２５が接着されて配置されている。なお、図１２に示す例では、ラインセンサ２１，２２（シンチレータ２４,２５）の配置が図２に示す例と逆になっているが、これらの配置は適宜変更することが可能である。
【００５２】
筐体３０内において検出部２０の上方には、Ｘ線照射器５から照射されるＸ線が内部にそのまま入射するのを防止するための板状の遮蔽部材３３が設けられている。遮蔽部材３３には、その中央部にスリット３３ａが設けられており、スリット３３ａは、筐体３０のスリット３１に対応した長さや幅を有しており、Ｘ線照射器５から照射されるＸ線が検出部２０まで届くように形成されている。また、遮蔽部材３３を支えるための支持板３９が遮蔽部材３３の下方に配置されており、支持板３９が筐体３０の上筐体３７の内周面の凹部に取り付けられている。支持板３９は例えばステンレス等から構成されており、支持板３９にもスリット３３ａと同様のスリットが設けられている。
【００５３】
筐体３０の内部には、図１２に示すように、検出部２０から離れた状態で薄板状のフィルタ部材４０が配置されており、保持部材４４の先端領域の上面にフィルタ４２が形成されている。また、筐体３０の内部には、フィルタ部材４０の先端と当接してフィルタ部材４０がそれ以上筐体３０の内側に入り込まないように精度よく位置決めを行う板状の位置決め部材６０が設置されている（図１３（ａ）（ｂ）参照）。図１２及び図１３（ａ）（ｂ）に示す例では、位置決め部材６０が上面側から視た際に検出部２０の一方のシンチレータ２４（ラインセンサ２１）を覆うように配置されており、フィルタ部材４０のフィルタ４２が他方のシンチレータ２５（ラインセンサ２２）のみを覆うように位置決めする。このような構成により検査対象物Ｓを透過したＸ線は、フィルタ４２により減衰される透過Ｘ線と、フィルタ４２により減衰されない透過Ｘ線とに分けられ、減衰されていない透過Ｘ線が低エネルギ用のシンチレータ２４に入射し、減衰された透過Ｘ線が高エネルギ用のシンチレータ２５に入射する。なお、位置決め部材６０は、フィルタ４２等よりもＸ線が透過しやすい材料、例えばカーボン、樹脂又は金属などから構成されている。
【００５４】
また、筐体３０の内部には、位置決め部材６０に加えて、スライド部材６５が更に設けられている。スライド部材６５は、フィルタ部材４０を筐体３０内に挿入する際にフィルタ部材４０を案内する部材であり、例えばフィルタ部材４０が挿入される領域の下方に設置されている。このスライド部材６５により、薄板状のフィルタ部材４０を挿抜する際にフィルタ部材４０が曲がってしまったりすることが防止され、また、フィルタ部材４０がシンチレータ２４，２５等に接触してしまったりすることが防止される。スライド部材６５は、フィルタ部材４０が筐体３０内に挿入された後は、薄板状のフィルタ部材４０のうちフィルタ４２に対応する領域を除く大部分を下方から支持して、フィルタ部材４０が下方に撓まないようにする。これにより、フィルタ部材４０のフィルタ４２がより一層確実に所定の位置、例えばシンチレータ２５を覆う位置からずれることなく位置決めされる。
【００５５】
また、図１２に示す例では、ストッパ部材４６は、保持部材４４とは別体として形成されており、フィルタ４２等が筐体３０の内部に挿入された後、側面３４の開口３５を塞ぎ、ネジ４８により筐体３０の側面３４に固定される。なお、側面３４に形成される開口３５は、フィルタ４２と保持部材４４との端面よりやや大きい面積を有する開口であれば特に形状が限定されることはないが、例えば図１１に示すようにその両端により広い略円形の端部３５ｂ，３５ｂを形成することにより、フィルタ部材４０の筐体３０内への挿入や取り出しを容易に行うことができる。
【００５６】
ここで、上述したＸ線検出装置１０における調整方法について簡単に説明する。上述したようにＸ線検出装置１０では、フィルタ４２はフィルタ部材４０を筐体３０の側面３４の開口３５から内部に挿入して、位置決め部材６０で位置決めされる位置まで進めることでフィルタ４２が検出部２０のラインセンサ２２（シンチレータ２５）の上方にのみ位置するように自動的に位置決めがされるようになっている。そこで、まずは、同じ形状からなり且つ減衰量が異なる（厚みや材料が異なる）複数のフィルタ部材４０を準備する。そして、これら複数のフィルタ部材４０を順に筐体３０内に挿入して位置決め部材６０やスライド部材６５等により所定の位置に保持させ、それぞれの場合における透過Ｘ線を検出する。そして、検出したＸ線の結果に応じて、複数のフィルタ部材４０の中から、検査する検査対象物Ｓと異物とをより正確に検出できる、即ち望ましいエネルギ差とＳＮ比とを得ることできる最適なフィルタ部材を選択する。このような方法により、特定の検査対象物Ｓにおける検出にマッチしたフィルタ部材（フィルタ４２）を容易に選択して組み替えることが可能となる。なお、このようにして選択したフィルタ部材をそのまま筐体３０内の所定の位置に保持固定してＸ線検出装置１０に用いることにより、最適な検出感度を有するＸ線検出装置１０を容易に製造することも可能となる。
【００５７】
以上、図１０〜図１２に示すＸ線検出装置１０でも上述したのと同様に、低エネルギ用のシンチレータ２４が配置されたラインセンサ２１は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過した低エネルギ範囲のＸ線をそのまま検出して低エネルギ画像データを生成することができ、高エネルギ用のシンチレータ２５が配置されたラインセンサ２２は、Ｘ線照射器５から照射されたＸ線のうち検査対象物Ｓを透過してフィルタ４２により減衰された高エネルギ範囲のＸ線を検出して高エネルギ画像データを生成することができる。しかも、Ｘ線検出装置１０では、筐体３０内に配置されるフィルタ部材４０を用いて検出感度の調整を行っているため、筐体３０の外の配置（例えば主面３２の上）や構成を変更することなく、またスライド部材６５等も配置されていることから、フィルタ交換の際にシンチレータ２４，２５を傷つけることなく、フィルタ４２の種類を容易に変更することができる。その結果、このＸ線検出装置１０によれば、ラインセンサが互いに近接して配置されるＸ線検出装置１０においても検出感度を様々なエネルギ帯に容易に組み替えることができる。
【００５８】
また、上記のＸ線検出装置１０は、フィルタ４２が検出部２０の所定の領域（例えばラインセンサ２２）を覆うようにフィルタ部材４０を筐体３０内において位置決めするための位置決め部材６０を更に備えている。このため、検出部２０が微小な構成から形成されていても、そのような検出部２０に対してフィルタ４２をより精度よく確実に適正な位置に配置させることが可能となる。なお、このような位置決め部材６０としては、様々な形態を採用することができ、例えば図１３（ｃ）（ｄ）に示すように、一部に凹部６１ａを設け両端６１ｂ，６１ｂがフィルタ部材４０の側端と接するような位置決め部材６１としてもよい。このような位置決め部材６１でも、その両端６１ｂ，６１ｂにより、フィルタ部材４０の位置決めを確実に行うことができる。
【００５９】
また、位置決めの形態としては、図１４に示すような形態を採用することもでき、例えば、図１４（ａ）（ｂ）に示すように、フィルタ部材４１の保持部材４４が凹部４４ａを有しその両端４４ｂ，４４ｂのみでフィルタ４２を保持する構成とした場合に、その両端４４ｂ，４４ｂ及びフィルタ部材４０の側端が位置決め部材６０と当接してフィルタ４２の位置決めが行われるようにしてもよい。更に、図１４（ｃ）（ｄ）に示すように、フィルタ部材４０の保持部材４４が凹部４４ａを有すると同時に、位置決め部材６１も凹部６１ａを有し、それぞれの両端部４４ｂ，４４ｂと６１ｂ，６１ｂとが当接して位置決めするようにしてもよい。
【００６０】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、放射線を可視光等に変換するのにシンチレータを用いていたが、シンチレータを用いずにラインセンサとして直接変換型の放射線検出器（例えばシリコン半導体、アモルファスセレン（a-Se）半導体、テルル化カドニウム（CdTe）半導体、テルル化亜鉛カドニウム（CdZnTe）半導体等）を用いてもよい。この場合には、別途、シンチレータを設ける必要がなくなるため、部品点数を削減することができる。
【００６１】
また、図１０〜図１２に示す例では、フィルタ部材４０のストッパ部材４６は別体であり、ネジ４８によりストッパ部材４６が筐体３０の側面３４に取り付けられる形態を例示したが、これに限定されない。例えば、図１５（ａ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが一体に形成されており、全体として断面Ｌ字状を呈するフィルタ部材４０ｇであってもよいし、図１５（ｂ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが直線状に一体となっており、このストッパ部材４６をネジ４８で筐体３０に固定するようにしたフィルタ部材４０ｈであってもよい。更に、図１５（ｃ）に示すように、保持部材４４とストッパ部材４６とが一体に形成されており、全体として断面Ｔ字状を呈するフィルタ部材４０としてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１…Ｘ線検査システム（放射線検査システム）、３…ベルトコンベア（搬送機構）、５…Ｘ線照射器（放射線源）、１０，１０ａ〜１０ｆ…Ｘ線検出装置（放射線検出装置）、２０…検出部、２１，２１ｆ，２２…ラインセンサ、２４〜２６…シンチレータ、３０…筐体、３１…スリット、３２…主面、３４…側面、３５…開口、４０，４０ａ〜４０ｉ，４１…フィルタ部材、４２，４２ｂ〜４２ｆ…フィルタ、４３ａ，４３ｂ…領域、４４…保持部材、４６…ストッパ部材、５０…遮光フィルム、６０，６１…位置決め部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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