(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガイドローラ間に1本のワイヤ電極を巻回することにより平行張架して、被加工物と対抗する位置に並列に配置された複数の切断ワイヤからなる切断ワイヤ部を備え、前記切断ワイヤ部と前記被加工物との間に放電を発生させることにより、前記被加工物を切断するマルチワイヤ放電加工機であって、
前記被加工物と前記切断ワイヤ部との間に加工パルス電圧を印加する加工電源と、
前記ワイヤ電極の断線を検出するワイヤ断線検出部と、
を備え、
前記ワイヤ断線検出部は、
前記ワイヤ電極の繰り出し側の一箇所から、前記ワイヤ電極の排出側の一箇所までの区間に張架されたワイヤ電極部分と並列に電気的に接続され、
少なくとも前記被加工物を切断加工中は常時、前記ワイヤ電極部分に直流電流を供給するワイヤ断線検出用電源、及び電流制限抵抗を、それぞれ直列に結線した電気回路であるワイヤ断線検出回路と、
前記電流制限抵抗に流れる電流に基づいて前記ワイヤ電極の断線を判定するワイヤ断線判定部と、
を備えたことを特徴とするマルチワイヤ放電加工機。
【請求項２】
前記ワイヤ断線検出回路は、
前記加工パルス電圧と前記放電の状態に応じて前記ワイヤ電極部分に発生する高周波電圧を整流する整流回路、及び前記整流回路により整流された電流を平滑化する平滑化回路を、更にそれぞれ直列に結線した電気回路であることを特徴とする請求項１に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項３】
前記ワイヤ断線判定部は、
前記電流制限抵抗に電流が流れなくなった状態を検出できた場合に、前記ワイヤ電極が断線したと判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項４】
前記ワイヤ断線判定部は、
前記電流制限抵抗に流れる電流の有無により、ＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルの２値化された信号に変換する２値化回路と、
前記２値化された信号に基づいて前記電流制限抵抗に電流が流れなくなった状態を検出し、前記ワイヤ電極の断線の判定結果を示すワイヤ断線信号を出力する信号処理回路と、
を備えたことを特徴とする請求項３に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項５】
前記信号処理回路は、
前記２値化された信号にローパスフィルタを介した信号と予め定められた閾値との比較結果に基づいて前記ワイヤ断線信号を出力することを特徴とする請求項４に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項６】
前記信号処理回路は、
前記２値化された信号の周波数を検出し、予め定められた閾値との比較結果に基づいて前記ワイヤ断線信号を出力することを特徴とする請求項４に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項７】
前記ワイヤ電極が断線する可能性を示す情報である予知情報を出力するワイヤ断線予知部と、
を更に備え、
前記ワイヤ断線予知部は、
加工状態を示す情報である状態データを取得する状態観測部と、
前記状態データ、及び前記ワイヤ電極の断線の検出結果の組合せに基づいて機械学習によって生成された学習済モデルを用いて、前記状態観測部から入力された前記状態データから前記予知情報を推論する推論部と、
を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項８】
前記状態データは、前記被加工物と前記切断ワイヤ部との相対距離、ワイヤ走行速度、ワイヤ張力、極間電圧、単位時間当たりの放電回数、単位時間当たりの短絡回数、及び前記加工パルス電圧のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項７に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項９】
前記予知情報を学習する機械学習装置と、
を更に備え、
前記機械学習装置は、
前記状態データを取得する状態観測部と、
前記ワイヤ電極の断線の検出結果を取得するデータ取得部と、
前記状態データ、及び前記ワイヤ電極の断線の検出結果の組合せに基づいて作成される学習用データに従って機械学習によって前記学習済モデルを生成するモデル生成部と、
を備えることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項１０】
前記予知情報に基づいて、前記ワイヤ電極の断線を抑制するように放電加工を制御する加工制御装置と、
を更に備えたことを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項１１】
前記加工制御装置は、
前記予知情報が前記ワイヤ電極の断線の可能性があることを示す場合、現在の加工エネルギーよりも低くなるように前記加工電源を制御することを特徴とする請求項１０に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項１２】
前記ガイドローラを駆動するガイドローラ駆動部と、
ワイヤボビンを駆動するワイヤボビン駆動部と、
を更に備え、
前記加工制御装置は、
前記予知情報が前記ワイヤ電極の断線の可能性があることを示す場合、現在のワイヤ張力よりも小さくなるように、又は現在のワイヤ走行速度よりも速くなるように前記ガイドローラ駆動部、及び前記ワイヤボビン駆動部を制御することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載のマルチワイヤ放電加工機。
【請求項１３】
請求項７、又は請求項８に記載のマルチワイヤ放電加工機と、
前記学習済モデルを生成する機械学習装置と、を備え、
前記機械学習装置は、
前記状態データを取得する状態観測部と、
前記ワイヤ電極の断線の検出結果を取得するデータ取得部と、
前記状態データ、及び前記ワイヤ電極の断線の検出結果の組合せに基づいて作成される学習用データに従って機械学習によって前記学習済モデルを生成するモデル生成部と、
を備えることを特徴とするマルチワイヤ放電加工システム。
【請求項１４】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のマルチワイヤ放電加工機と、
前記ワイヤ電極が断線する可能性を示す情報である予知情報を出力するワイヤ断線予知装置と、を備え、
前記ワイヤ断線予知装置は、
加工状態を示す情報である状態データを取得する状態観測部と、
前記ワイヤ電極の断線の検出結果を取得するデータ取得部と、
前記状態データ、及び前記ワイヤ電極の断線の検出結果の組合せに基づいて作成される学習用データに従って機械学習によって学習済モデルを生成するモデル生成部と、
前記学習済モデルを用いて、前記状態観測部から入力された前記状態データから前記予知情報を推論する推論部と、
を備えることを特徴とするマルチワイヤ放電加工システム。
【請求項１５】
前記状態データは、前記被加工物と前記切断ワイヤ部との相対距離、ワイヤ走行速度、ワイヤ張力、極間電圧、単位時間当たりの放電回数、単位時間当たりの短絡回数、及び前記加工パルス電圧のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１４に記載のマルチワイヤ放電加工システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、マルチワイヤ放電加工機に関し、特に、複数のガイドローラ間に1本のワイヤ電極を巻回することにより平行張架して、被加工物と対抗する位置に並列に配置された複数のワイヤ電極部分（以下、切断ワイヤという）からなる切断ワイヤ部を備え、切断ワイヤ部と被加工物との間にパルス電圧を印加して放電を発生させることにより、被加工物を複数片に切断するマルチワイヤ放電加工機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体インゴットのような柱状の被加工物からウェハ状の薄板をスライス加工する手段として、１本のワイヤ電極を複数のガイドローラ間で巻回させることにより柱状の被加工物に対して複数の切断ワイヤからなる切断ワイヤ部を形成し、切断ワイヤ部と柱状の被加工物との間に独立にパルス電圧を印加し放電を発生させることで、被加工物から複数の薄板を一括して切り出すマルチワイヤ放電加工技術がすでに開示されている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
マルチワイヤ放電加工のような電気加工では、ワイヤ電極の断線（以下、ワイヤ断線という）が発生した場合には、被加工物や機械の破損を防止するために直ちに加工プロセスを停止することが重要である。その為、ワイヤ断線が発生した場合に、高速かつ精度よくワイヤ断線を検出できることが要求される。特許文献１では、加工電源によってパルス電圧が印加されていない期間のみに、断線検出用パルス電圧をワイヤ電極に印加し、ワイヤ電極の導通状態を確認することでワイヤ断線の有無を検出する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１８４０７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のマルチワイヤ放電加工機では、１本のワイヤ電極を複数のガイドローラ間で巻回する構成になっている為、巻回数が多くなるとワイヤ電極のインダクタンスが増加し、ワイヤ電極に高周波の電流を流すことが困難になる。したがって特許文献１のように断線検出用パルス電圧をワイヤ電極に印加し、ワイヤ電極の導通状態を確認する方法では、ワイヤ電極の巻回数が増加するとワイヤ断線を検出できなくなるという問題点があった。【０００６】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、高速かつ精度よくワイヤ断線を検出することが可能なマルチワイヤ放電加工機を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示のマルチワイヤ放電加工機は、複数のガイドローラ間に1本のワイヤ電極を巻回することにより平行張架して、被加工物と対抗する位置に並列に配置された複数の切断ワイヤからなる切断ワイヤ部を備える。マルチワイヤ放電加工機は、切断ワイヤ部と被加工物との間に放電を発生させることにより、被加工物を切断するマルチワイヤ放電加工機であって、被加工物と切断ワイヤ部との間に加工パルス電圧を印加する加工電源と、ワイヤ電極の断線を検出するワイヤ断線検出部と、を備える。ワイヤ断線検出部は、ワイヤ電極の繰り出し側の一箇所から、ワイヤ電極の排出側の一箇所までの区間に張架されたワイヤ電極部分と並列に電気的に接続され、少なくとも被加工物を切断加工中は常時、ワイヤ電極部分に直流電流を供給するワイヤ断線検出用電源、及び電流制限抵抗を、それぞれ直列に結線した電気回路であるワイヤ断線検出回路と、電流制限抵抗に流れる電流に基づいてワイヤ電極の断線を判定するワイヤ断線判定部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本開示にかかるマルチワイヤ放電加工機は、高速かつ精度よくワイヤ断線を検出することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態１にかかるマルチワイヤ放電加工機の要部構成を示す斜視図
【図２】実施の形態１にかかるマルチワイヤ放電加工機の放電加工中における、ワイヤ断線検出部の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分と、ワイヤ断線検出部との関係を等価回路で示した図
【図３】実施の形態１にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部の構成を示す回路図
【図４】実施の形態１にかかる加工制御装置のハードウェア構成を示すブロック図
【図５】実施の形態２にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部の構成を示す回路図
【図６】実施の形態３にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部の構成を示す回路図
【図７】実施の形態３にかかるワイヤ断線前後の２値化回路の応答を説明する図
【図８】実施の形態３にかかるワイヤ断線前後のローパス特性部の応答を説明する図
【図９】実施の形態４にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部の構成を示す回路図
【図１０】実施の形態４にかかるワイヤ断線前後の周波数検出部の応答を説明する図
【図１１】実施の形態５にかかるマルチワイヤ放電加工機の要部構成を示す斜視図
【図１２】実施の形態５にかかる機械学習装置の構成を示す図
【図１３】実施の形態５にかかる３層のニューラルネットワークの一例を示す図
【図１４】実施の形態５にかかる機械学習装置の学習処理に関するフローチャート
【図１５】実施の形態５にかかるマルチワイヤ放電加工機に関するワイヤ断線予知部の構成図
【図１６】実施の形態５にかかるマルチワイヤ放電加工システムの構成を示す図
【図１７】実施の形態５にかかるマルチワイヤ放電加工システムの別の構成を示す図
【図１８】実施の形態５にかかるワイヤ断線予知部を使って予知情報を得るための処理に関するフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本開示の実施の形態にかかるマルチワイヤ放電加工機を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態により本開示が限定されるものではない。
【００１１】
実施の形態１． 
図１は、本開示の実施形態１におけるマルチワイヤ放電加工機の要部構成を示す斜視図である。
【００１２】
実施の形態１に係るマルチワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極６を供給するワイヤボビン４と、ワイヤボビン４を駆動するワイヤボビン駆動部１７と、ワイヤ電極６をマルチワイヤ放電加工機１の外部へ排出するワイヤ排出ローラ５と、ワイヤ電極６を適切に走行させるためのガイドローラ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと、ガイドローラ３ａを駆動するガイドローラ駆動部１８と、加工用のパルス電圧（以下、加工パルス電圧という）をワイヤ電極６に接触して給電する給電子１２と、被加工物２を載置可能な加工ステージ７０を鉛直方向に駆動させる駆動ユニット１４と、給電子１２を介して切断ワイヤ部６ａと被加工物２との間に加工パルス電圧を印加する加工電源７と、放電加工を制御する加工制御装置９と、ワイヤ電極の断線を検出するワイヤ断線検出部２０と、切断ワイヤ部６ａにおける加工状態を検出する加工状態検出装置１５と、を有する。なお、マルチワイヤ放電加工機１は、鉛直方向をＺ軸方向とし、水平面内で互いに直交する２方向をＸ軸方向及びＹ軸方向とする直交座標系を持つ。
【００１３】
４つのガイドローラ３ａ〜３ｄは、互いに軸線方向に平行に離間して配置され、また、軸線方向に直交する面内において、各軸の位置が四角形になるように配置されている。具体的には、４つのガイドローラ３ａ〜３ｄのうち、最も高い位置にガイドローラ３ａと３ｂとが設けられ、ガイドローラ３ｂの下方の位置にガイドローラ３ｃが設けられ、ガイドローラ３ａの下方には、ガイドローラ３ｃと並んで、ガイドローラ３ｄが設けられている。また、４つのガイドローラ３ａ〜３ｄの外周囲には、ワイヤ電極６の走行をガイドするガイド溝が、それぞれの軸線方向に間隔をおいて多数形成されている。
【００１４】
以上において、ワイヤボビン４から繰り出される１本のワイヤ電極６は、図示例では右回り回転するガイドローラ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのそれぞれが有するガイド溝に案内されて４つのガイドローラ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ間を、複数回、互いにガイド溝間の間隔を隔てて巻回された後、ワイヤ排出ローラ５によってマルチワイヤ放電加工機１の外部へ排出される。ここで、ワイヤ電極６のうち、ガイドローラ３ｃとガイドローラ３ｄとの間に平行張架された部分が、切断ワイヤ部６ａとなる。
【００１５】
また、図示例ではガイドローラ３ａがガイドローラ駆動部１８によって駆動され、ワイヤボビン駆動部１７がワイヤ電極６の張力が一定になるようにワイヤボビン４を駆動する。また、所望のワイヤ走行速度となるように、ガイドローラ駆動部１８、及びワイヤボビン駆動部１７が、それぞれガイドローラ３ａ、及びワイヤボビン４を駆動する。
【００１６】
被加工物２は、加工制御装置９から駆動ユニット１４に位置指令を出力し、加工ステージ７０をＺ軸方向に駆動させることによって、被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの位置関係が相対的に変更される。そのため、加工制御装置９から出力される位置指令により、被加工物２を切断ワイヤ部６ａに近づけるように移動させ、切断ワイヤ部６ａと被加工物２との間にパルス電圧を印加し放電を発生させることで、被加工物２から複数の薄板の切り出しが行われる。また、加工制御装置９は、被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの間（以後、極間という）を適切な極間距離に維持するように切断方向への送り制御を行う。
【００１７】
なお、被加工物２は、複数の薄板にスライス加工されるインゴット状のものを用いることができる。被加工物２の素材には、例えば、スパッタリングターゲットとなるタングステンやモリブデンなどの金属、各種構造部材として使われる多結晶シリコンカーバイトなどのセラミックス、半導体デバイスウェハとなる単結晶シリコンや単結晶シリコンカーバイト、単結晶窒化ガリウム、単結晶酸化ガリウム、単結晶ダイヤモンドなどの半導体素材、太陽電池ウェハとなる単結晶および多結晶シリコンなどの太陽電池素材などがある。
【００１８】
上記のうち、金属は、放電加工の適用に支障はないが、半導体素材および太陽電池素材で放電加工が可能であるのは、比抵抗が概ね１００Ωｃｍ以下と十分低く、望ましくは１０Ωｃｍ以下の素材である。したがって、被加工物２としては、金属、もしくは比抵抗が金属と同等から１００Ωｃｍ以下、望ましくは１０Ωｃｍ以下の範囲の素材、特に上記範囲の比抵抗を有する半導体素材および太陽電池素材が好適である。
【００１９】
そして、被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの極間には、いわゆるシングルタイプのワイヤ放電加工機と同様に、加工液が、吹きかけ、もしくは、浸漬により、供給されるようになっている。
【００２０】
加工電源７は、加工制御装置９からの加工電圧印加指令に基づき被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの極間に印加する加工パルス電圧を生成する。加工パルス電圧は、例えばスイッチング電源方式により生成する。また、加工電源７は、互いに独立に電圧を印加できる複数の加工電源ユニット８で構成されている。そして、加工電源７には、接地電極１０が複数の加工電源ユニット８に跨って設けられている。接地電極１０には、複数の加工電源ユニット８の各グランドラインが接続され、ケーブル１１により被加工物２に接続されている。なお、生成する加工パルス電圧の極性は、必要に応じて適宜反転させることができる。
【００２１】
給電子１２は、それぞれが互いに絶縁された複数の給電子ユニット１３で構成されている。図示例では、ガイドローラ３ｂ，３ｃとの間に平行張架されたワイヤ電極部分が、加工パルス電圧が供給される給電ワイヤ部６ｂとなっていて、各給電子ユニット１３は、給電ワイヤ部６ｂの各ワイヤ電極と１対１の関係で摺接配置されている。そして、各給電子ユニット１３が、各加工電源ユニット８で生成した加工パルス電圧を給電ワイヤ部６ｂの各ワイヤ電極に独立して給電する。従って、切断ワイヤ部６ａの各切断ワイヤには、各加工電源ユニット８から独立して加工パルス電圧が印加されることになる。
【００２２】
加工状態検出装置１５は、切断ワイヤ部６ａにおける加工状態を検出する装置である。加工状態検出装置１５は、給電子１２と加工電源７間を接続する配線１９上に設置されていて、被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの極間に印加されている電圧状態（以下、極間電圧という）、単位時間当たりの放電回数、単位時間当たりの短絡回数、及び加工電源７の出力電圧である加工パルス電圧を、給電子１２を介してモニターすることによって、切断ワイヤ部６ａにおける加工状態を検出する。また、加工状態検出装置１５は、切断ワイヤ部６ａの各切断ワイヤと１対１に対応するように、複数の加工状態検出ユニット１６から構成されていて、切断ワイヤ部６ａの加工状態を切断ワイヤ毎に検出する。
【００２３】
ワイヤ断線検出部２０の一方の接続先２０ａは、ワイヤボビン４と、ワイヤボビン４から繰り出されたワイヤ電極６が初めて摺接する給電子ユニット１３との間のワイヤ電極６にワイヤ断線検出用給電子２０ｄを介して接続されている。またワイヤ断線検出部２０の他方の接続先２０ｂは、ワイヤ排出ローラ５に摺接されている。すなわち、ワイヤ断線検出部２０は、ワイヤ電極６の繰り出し側の一箇所から、ワイヤ電極６の排出側の一箇所までの区間に張架されたワイヤ電極部分と並列に電気的に接続されている。ここで、ワイヤ排出ローラ５は導電性の材料で構成されていて、ワイヤ排出ローラ５を介してワイヤ断線検出部２０の接続先２０ｂと排出側のワイヤ電極６が電気的に接続されている。
【００２４】
次にワイヤ断線検出部２０の構成とワイヤ断線の検出方法の原理について説明する。図２は、マルチワイヤ放電加工中における、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分と、ワイヤ断線検出部２０との関係を等価回路で示した図である。マルチワイヤ放電加工中において、被加工物２と切断ワイヤ部６ａとの極間では極間の状態（例えば、加工液の比抵抗、被加工物２と切断ワイヤの局所的な温度、加工パルス電圧の振幅など）に応じて確率的に放電が発生している。すなわちワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に発生する電圧（すなわちワイヤ断線検出部２０への入力信号）は加工パルス電圧と放電の状態に応じてランダムに変動する模擬電圧源６０と見做すことができる。すなわち、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分には、加工パルス電圧と放電の状態に応じてランダムに変動する高周波電圧が発生することになる。従って、マルチワイヤ放電加工中における、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分と、ワイヤ断線検出部２０との関係を図２の等価回路で示すことが出来る。
【００２５】
図３は本実施の形態のワイヤ断線検出部２０の構成を示す回路図である。ワイヤ断線検出部２０は、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に直流電流を供給するワイヤ断線検出用電源２０４、及び電流制限抵抗２０５が、直列に結線された電気回路であるワイヤ断線検出回路２０６を備えている。
【００２６】
ワイヤ断線検出用電源２０４は、加工電源７によって印加される加工パルス電圧よりも低い値の直流電圧を断線検知用電圧として、少なくとも被加工物２を切断加工中は常時印加し、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に直流電流を供給する。すなわち、少なくとも被加工物２を切断加工中は常時、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に直流電流を供給することになるが、ワイヤ断線検出用の直流電流は、数ｍＡ〜数百ｍＡ程度であり、概ね数Ａ〜数百Ａの加工電流よりも十分小さいため、加工には影響しない。電流制限抵抗２０５はワイヤ断線検出回路２０６に流れる電流を制限する。すなわち、電流制限抵抗２０５は、ワイヤ断線検出用電源２０４がワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に供給する直流電流を制限するとともに、模擬電圧源６０がワイヤ断線検出部２０に出力する電流を制限する。また、ワイヤ断線検出部２０は、電流制限抵抗２０５に流れる電流に基づいてワイヤ断線を判定するワイヤ断線判定部２０７を備えている。ワイヤ断線判定部２０７は、ワイヤ断線の判定結果を示すワイヤ断線信号を加工制御装置９に出力して、ワイヤ断線の検出結果を通知する。
【００２７】
次にワイヤ断線検出部２０の具体的なワイヤ断線の検出方法について説明する。図３に示す回路では、電流制限抵抗２０５に流れる電流は、ワイヤ断線検出用電源２０４が出力する直流電流と模擬電圧源６０が出力する高周波電流を重ね合わせた電流となる。ワイヤ電極６が非断線状態にあるとき、ワイヤ断線検出用電源２０４は直流電圧源であるので、電流制限抵抗２０５に直流電流を流す。また模擬電圧源６０はワイヤ断線検出部２０にランダムな電圧信号を入力するので、模擬電圧源６０が電流制限抵抗２０５に流す電流は、高周波電流となる。
【００２８】
このためワイヤ断線判定部２０７が検出する電流は、ワイヤ断線検出用電源２０４が出力する直流電流と、模擬電圧源６０が出力する高周波電流とを重ね合わせた電流となる。一方、ワイヤ電極６が断線状態にあるとき、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａ、２０ｂが電気的に接続されない状態となる。したがって電流制限抵抗２０５には電流が流れない状態となる。このとき、ワイヤ断線判定部２０７は、電流制限抵抗２０５に電流が流れなくなった状態を検出できた場合に、ワイヤ断線と判定する。このように、電流制限抵抗２０５に流れる電流を逐次監視することでワイヤ断線を検出することができる。
【００２９】
なお、電流制限抵抗２０５は、ワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａ、２０ｂと接続するワイヤ電極６の長さを十分長くして電流制限抵抗２０５として代用してもよく、電流制限抵抗２０５に流れる電流を逐次監視することでワイヤ断線を検出するものであれば、その回路構成は限定されない。
【００３０】
つづいて、実施の形態１にかかるマルチワイヤ放電加工機１が有する加工制御装置９のハードウェア構成について説明する。加工制御装置９の各機能は、パーソナルコンピュータまたは汎用コンピュータといったコンピュータシステムを用いることによって実現される。図４は、実施の形態１にかかる加工制御装置９の機能がコンピュータシステムを用いて実現される場合におけるハードウェア構成の例を示す図である。
【００３１】
加工制御装置９は、各種処理を実行するプロセッサ９１と、内蔵メモリであるメモリ９２と、各種情報を記憶する外部記憶装置９３と、作業者によって入力された情報を取得する入力部９４と、種々の情報を作業者に提示する出力部９５とを有する。
【００３２】
プロセッサ９１は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）である。プロセッサ９１は、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、又はＤＳＰ（Digital  Signal  Processor）であっても良い。加工制御装置９の各機能は、プロセッサ９１と、ソフトウェア、ファームウェア、またはソフトウェアとファームウェアとの組み合わせによって実現される。ソフトウェアまたはファームウェアは、プログラムとして記述され、外部記憶装置９３に格納される。プロセッサ９１は、外部記憶装置９３に記憶されているソフトウェアまたはファームウェアをメモリ９２に読み出して実行する。
【００３３】
メモリ９２は、不揮発性もしくは揮発性の半導体メモリであって、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）またはＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically  Erasable  Programmable  Read  Only  Memory）である。外部記憶装置９３は、ＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）あるいはＳＳＤ（Solid  State  Drive）である。
【００３４】
入力部９４は、入力キー及びポインティングデバイスに代表される入力デバイスを含む。入力部９４は、マルチワイヤ放電加工機１の作業者によって入力された情報を取得して、取得した情報をプロセッサ９１に通知する。出力部９５は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）及びスピーカに代表される出力デバイスを含む。出力部９５は、入力部９４を構成するポインティングデバイスと一体的に形成されたタッチスクリーンを構成する。出力部９５は、プロセッサ９１の指示に従って、種々の情報を作業者に提示する。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態によれば、マルチワイヤ放電加工機１は、このような構成により、ワイヤ断線検出用電源２０４から出力される直流電圧をワイヤ電極６に少なくとも被加工物２を切断加工中は常時印加し、ワイヤ電極６の導通状態を確認するようにしたので、１本のワイヤ電極６を複数のガイドローラ間で巻回することにより生じるインダクタンスに影響されず、精度よくワイヤ断線を検出することが可能となる。また、加工電源７によって加工パルス電圧が印加されていない期間だけでなく、マルチワイヤ放電加工中においても、ワイヤ断線検出用電源２０４から出力される直流電圧をワイヤ電極６に印加し、ワイヤ電極６からワイヤ断線検出部２０に入力される高周波電流と、ワイヤ断線検出用電源２０４から供給される直流電流とを重ね合わせた電流により、ワイヤの導通状態を確認するようにしたことにより、高速にワイヤ断線を検出することが可能となる。
【００３６】
実施の形態２．
実施の形態１では、ワイヤ断線検出部２０の構成を、図３に示す構成で説明したが、ワイヤ断線検出部２０の構成は図５に示す構成であっても良い。図５の構成は、図３の構成に、加工パルス電圧と放電の状態に応じてワイヤ断線検出部２０の接続先２０ａと接続先２０ｂ間のワイヤ電極部分に発生する高周波電圧を整流する整流回路２０１、２０２、及び整流回路２０１、２０２により整流された電流を平滑化する平滑化回路２０３が追加され、その他の部分については同じ構成になっている。整流回路２０１、２０２は、高周波電圧を整流できればよく、例えば整流ダイオード２０１ａ、２０２ａによって構成される。平滑化回路２０３は、整流回路２０１、２０２により整流された電流を平滑化できればよく、例えば、高周波遮断用インダクタ２０３ａとダンパーダイオード２０３ｂを並列接続した回路で構成される。このような構成により、電流制限抵抗２０５には、ワイヤ断線検出用電源２０４が出力する直流電流と、模擬電圧源６０が出力する高周波電流を平滑化した電流とを重ね合わせた電流が流れることになる。この電流をワイヤ断線判定部２０７が検出し、実施の形態１と同様な方法でワイヤの導通状態を確認することで、ワイヤ断線を検出することが可能となる。
【００３７】
実施の形態３．
電流制限抵抗２０５へ流れる電流でワイヤ電極６の導通状態を確認する場合、電流制限抵抗２０５へ流れる電流は、ワイヤ断線発生直後は振動的に推移するため、正確にワイヤ断線を検出するためには、電流が安定するまで待ってから行う必要があった。実施の形態３では、高速にワイヤ断線を検出する方法について説明する。実施の形態１と同じ部分については説明を省略し、実施の形態１と異なる部分について説明する。
【００３８】
図６は、実施の形態３にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部３０の構成を示す回路図である。ワイヤ断線判定部３０５は、電流制限抵抗２０５に流れる電流の有無により、ＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルの２値化された信号に変換する２値化回路３０４と、２値化された信号に基づいてワイヤ断線信号を出力する信号処理回路３０３と、を備える。２値化回路３０４は、一例として、図示したような、フォトカプラ３０４ａとプルアップ抵抗３０４ｂを組み合わせた構成で実現でき、電流制限抵抗２０５へ電流が流れると、Ｌｏｗレベルのアナログ信号を出力し、電流制限抵抗２０５へ電流が流れないとＨｉｇｈレベルのアナログ信号を出力することによって、電流制限抵抗２０５へ流れる電流を２値化された信号に変換する。
【００３９】
信号処理回路３０３は、２値化回路３０４から出力される信号が、Ｈｉｇｈレベルの信号なのか、Ｌｏｗレベルの信号なのか、を検出した結果に基づいて、ワイヤ断線信号を出力する。このようにして、ワイヤ断線信号を監視することによりワイヤ断線を検出することができる。実施の形態３にかかるマルチワイヤ放電加工機では、２値化回路３０４から出力されるアナログ信号が、Ｈｉｇｈレベルの信号なのか、Ｌｏｗレベルの信号なのか、を検出するために、信号処理回路３０３は、ローパス特性を持つ回路であるローパス特性部３０１と、ローパス特性部３０１から出力された信号に基づいてワイヤ断線信号を出力するワイヤ断線信号出力部３０２と、を備える。ローパス特性部３０１の構成として、ＣＲ型ローパスフィルタ、オペアンプを用いたアクティブローパスフィルタ、Ｄフリップフロップを使用したデジタルフィルタ、ＦＩＲ(Finite Impulse Response)フィルタなどがあるが、ローパス特性を持つ回路であればよく、その回路構成には限定されない。
【００４０】
図７は、ワイヤ断線前後の２値化回路３０４の応答を説明する図である。ワイヤ断線前（時刻ａ―ｂ間）のとき、ワイヤ断線検出部３０の接続先２０ａと２０ｂはワイヤ電極６により導通状態にあり、電流制限抵抗２０５へ電流が流れるので２値化回路３０４の出力はＬｏｗレベルを示す。ワイヤ断線発生直後（時刻ｂ−ｃ間）では、ワイヤ断線検出用電源２０４の出力電流は零となるが、模擬電圧源６０の出力電流は零に収束するまでに過渡的にワイヤ断線検出部３０に流れ込む電流があるため、２値化された信号は振動的にＨｉｇｈレベルまで推移する。図８は、ワイヤ断線前後のローパス特性部３０１の応答を説明する図である。振動的に推移する２値化された信号がローパス特性部３０１に入力されると、ローパスフィルタによって振動成分が取り除かれ、図８のような信号波形となる。ワイヤ断線信号出力部３０２は、ローパス特性部３０１を通過後の信号が予め設定された閾値以上になったときに、ワイヤ断線と判定し、ワイヤ断線信号を出力する。すなわち、信号処理回路３０３は、２値化された信号にローパスフィルタを介した信号と予め定められた閾値との比較結果に基づいてワイヤ断線信号を出力する。
【００４１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ワイヤ断線判定部３０５を、電流制限抵抗２０５に流れる電流の有無に基づいてＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルの２値化された信号に変換する２値化回路３０４と、ローパス特性を有した信号処理回路３０３と、を備える構成にしたことにより、導通状態を確認するためにモニターしている電流制限抵抗２０５へ流れる電流が、ワイヤ断線発生直後に振動的に推移しても、高速にワイヤ断線を検出することができる。
【００４２】
実施の形態４．
実施の形態３では、ワイヤ断線判定部３０５が、２値化回路３０４と、ローパス特性を有した信号処理回路３０３と、を備える構成にしたことにより、ワイヤ断線発生直後に電流制限抵抗２０５へ流れる電流が振動的に推移しても、高速にワイヤ断線を検出する方法について説明したが、実施の形態４では、信号処理回路にローパス特性を有していない構成でも、高速にワイヤ断線を検出する方法について説明する。実施の形態３と同じ部分については説明を省略し、実施の形態３と異なる部分について説明する。
【００４３】
図９は、実施の形態４にかかるマルチワイヤ放電加工機のワイヤ断線検出部４０の構成を示す回路図である。実施の形態３とは信号処理回路４０３が異なり、その他の部分については同じ構成になっている。信号処理回路４０３は、２値化回路３０４から出力される信号の周波数を検出する周波数検出部４０１と、検出した周波数に基づいてワイヤ断線信号を出力するワイヤ断線信号出力部４０２と、を備えている。前述したように、ワイヤ断線発生直後の２値化された信号は、図７に示すような、周期的に振動を繰り返す波形になる。図１０は、ワイヤ断線前後の周波数検出部４０１の応答を説明する図である。周期的に振動を繰り返す２値化された信号が周波数検出部４０１に入力されると、周波数検出部４０１は２値化された信号の周波数を検出し、図１０に示すような検出結果をワイヤ断線信号出力部４０２に出力する。ワイヤ断線信号出力部４０２は、この検出された周波数が予め定められた閾値（例えば、数十Ｈｚ〜数ｋＨｚ）よりも高ければワイヤ断線と判断し、ワイヤ断線信号を出力する。すなわち、信号処理回路４０３は、２値化された信号の周波数を検出し、予め定められた閾値との比較結果に基づいてワイヤ断線信号を出力する。
【００４４】
以上説明したように、本実施の形態によれば、２値化された信号の周波数を検出して、ワイヤ断線を判断するようにしたことにより、導通状態を確認するためにモニターしている電流制限抵抗２０５へ流れる電流が、ワイヤ断線発生直後に振動的に推移しても、高速にワイヤ断線を検出することができる。
【００４５】
実施の形態５．
実施の形態１〜４では、ワイヤ断線が発生したときのワイヤ断線の検出方法について説明したが、実施の形態５では、機械学習装置で学習した結果を用いて、事前にワイヤ断線を予知してワイヤ断線を抑制する方法について説明する。実施の形態１〜４と同じ部分については説明を省略し、実施の形態１〜４と異なる部分について説明する。
【００４６】
図１１は、実施の形態５にかかるマルチワイヤ放電加工機１ａの要部構成を示す斜視図である。実施の形態１におけるマルチワイヤ放電加工機１の要部構成に、ワイヤ断線予知部２１と機械学習装置２２が追加された構成になっている。
【００４７】
次にワイヤ断線予知部２１と機械学習装置２２の動作について、学習フェーズと活用フェーズに分けて説明する。
【００４８】
＜学習フェーズ＞
図１２は、実施の形態５にかかる機械学習装置２２の構成を示す図である。機械学習装置２２は、データ取得部２２１、状態観測部２２２、モデル生成部２２３、及び学習済モデル記憶部２２４を備える。
【００４９】
データ取得部２２１は、ワイヤ断線検出部２０が出力するワイヤ断線の検出結果を、加工制御装置９を介して取得し、状態観測部２２２は、加工における加工状態を示す情報である状態データを、加工制御装置９を介して取得する。状態データとしては、一例として、被加工物２と切断ワイヤ部６ａの相対距離、ワイヤ走行速度、ワイヤ張力、及び加工状態検出装置１５が出力する複数の出力結果等である。
【００５０】
モデル生成部２２３は、データ取得部２２１から出力されるワイヤ断線の検出結果、及び状態観測部２２２から出力される状態データの組合せに基づいて作成される学習用データに従って、ワイヤ電極６が断線する可能性を示す情報（以下、予知情報という）を学習する。すなわち、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データから最適な予知情報を推論する学習済モデルを生成する。ここで、学習用データは、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データを互いに関連付けたデータである。
【００５１】
なお、機械学習装置２２は、予知情報を学習するために使用されるが、例えば、ネットワークを介してマルチワイヤ放電加工機に接続され、このマルチワイヤ放電加工機とは別個の装置であってもよい。また、機械学習装置２２は、マルチワイヤ放電加工機に内蔵されていてもよい。さらに、機械学習装置２２は、クラウドサーバ上に存在していてもよい。図１６は、マルチワイヤ放電加工機１ｂと、機械学習装置２２ｂと、を備えたマルチワイヤ放電加工システム５００の構成を示す図である。本マルチワイヤ放電加工システム５００は、マルチワイヤ放電加工機１ｂの外部に、機械学習装置２２ｂを備える点が、図１１の構成と異なっている。機械学習装置２２ｂは、マルチワイヤ放電加工機１ｂから、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データを学習用データとして取得し、機械学習により、学習済モデルを生成する。マルチワイヤ放電加工機１ｂが備えるワイヤ断線予知部２１は、機械学習装置２２ｂから学習済モデルを取得し、この学習済モデルを用いて予知情報を出力する。
【００５２】
図１２に戻り、モデル生成部２２３が用いる学習アルゴリズムは教師あり学習の公知のアルゴリズムを用いることができる。一例として、ニューラルネットワークを適用した場合について説明する。モデル生成部２２３は、例えば、ニューラルネットワークモデルに従って、いわゆる教師あり学習により、予知情報を学習する。ここで、教師あり学習とは、入力と結果（ラベル）のデータの組を学習装置に与えることで、それらの学習用データにある特徴を学習し、入力から結果を推論する手法をいう。
【００５３】
ニューラルネットワークは、複数のニューロンからなる入力層、複数のニューロンからなる中間層(隠れ層)、及び複数のニューロンからなる出力層で構成される。中間層は、１層、又は２層以上でもよい。
【００５４】
例えば、図１３に示すような３層のニューラルネットワークであれば、複数の入力が入力層（Ｘ１‐Ｘ３）に入力されると、その値に重みＷ１（ｗ１１‐ｗ１６）を掛けて中間層（Ｙ１‐Ｙ２）に入力され、その結果にさらに重みＷ２（ｗ２１‐ｗ２６）を掛けて出力層（Ｚ１‐Ｚ３）から出力される。この出力結果は、重みＷ１とＷ２の値によって変わる。
【００５５】
本願において、ニューラルネットワークは、データ取得部２２１によって取得されるワイヤ断線の検出結果、及び状態観測部２２２から取得される状態データの組合せに基づいて作成される学習用データに従って、いわゆる教師あり学習により、予知情報を学習する。
【００５６】
すなわち、ニューラルネットワークは、入力層に状態データを入力して出力層から出力された結果が、ワイヤ断線の検出結果に近づくように重みＷ１とＷ２を調整することで学習する。
【００５７】
モデル生成部２２３は、以上のような学習を実行することで学習済モデルを生成し、出力する。
【００５８】
学習済モデル記憶部２２４は、モデル生成部２２３から出力された学習済モデルを記憶する。
【００５９】
次に、図１４を用いて、機械学習装置２２が学習する処理について説明する。図１４は機械学習装置２２の学習処理に関するフローチャートである。
【００６０】
ステップｂ１において、データ取得部２２１はワイヤ断線の検出結果を取得し、状態観測部２２２は状態データを取得する。なお、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データを同時に取得するものとしたが、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データを関連づけて入力できれば良く、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データをそれぞれ別のタイミングで取得しても良い。
【００６１】
ステップｂ２において、モデル生成部２２３は、データ取得部２２１によって取得されるワイヤ断線の検出結果、及び状態観測部２２２によって取得される状態データの組合せに基づいて作成される学習用データに従って、いわゆる教師あり学習により、予知情報を学習し、学習済モデルを生成する。
【００６２】
ステップｂ３において、学習済モデル記憶部２２４は、モデル生成部２２３が生成した学習済モデルを記憶する。
【００６３】
＜活用フェーズ＞
図１５はマルチワイヤ放電加工機に関するワイヤ断線予知部２１の構成図である。ワイヤ断線予知部２１は、状態観測部２１１、及び推論部２１２を備える。
【００６４】
状態観測部２１１は状態データを取得する。
【００６５】
推論部２１２は、学習済モデルを利用して得られる予知情報を推論する。すなわち、この学習済モデルに状態観測部２１１で取得した状態データを入力することで、状態データから推論される予知情報を出力することができる。
【００６６】
なお、本実施の形態では、マルチワイヤ放電加工機１ａのモデル生成部２２３で学習した学習済モデルを用いて予知情報を出力するものとして説明したが、他のマルチワイヤ放電加工機等の外部から学習済モデルを取得し、この学習済モデルに基づいて予知情報を出力するようにしてもよい。
【００６７】
次に、図１８を用いて、ワイヤ断線予知部２１を使って予知情報を得るための処理を説明する。
【００６８】
ステップｃ１において、状態観測部２１１は状態データを取得する。
【００６９】
ステップｃ２において、ワイヤ断線予知部２１は学習済モデル記憶部２２４に記憶された学習済モデルに状態データを入力し、予知情報を得る。
【００７０】
ステップｃ３ において、推論部２１２は、学習済モデルにより得られた予知情報を加工制御装置９に出力する。
【００７１】
ステップｃ４において、加工制御装置９は、出力された予知情報を用いて、ワイヤ電極の断線を抑制するように放電加工を制御する。予知情報がワイヤ断線の可能性があることを示す場合、加工制御装置９は、加工エネルギーを下げるように加工電源７に指令する。すなわち、加工制御装置９は、現在の加工エネルギーよりも低くなるように加工電源７を制御する。また、加工制御装置９は、ガイドローラ駆動部１８およびワイヤボビン駆動部１７にワイヤ張力を下げる指令やワイヤ走行速度を上げる指令を出力してもよい。すなわち、加工制御装置９は、現在のワイヤ張力よりも小さくなるように、又は現在のワイヤ走行速度よりも速くなるようにガイドローラ駆動部、及びワイヤボビン駆動部を制御する。これにより、マルチワイヤ放電加工におけるワイヤ断線を抑制し、安定して被加工物２を加工することができる。
【００７２】
なお、本実施の形態では、モデル生成部２２３が用いる学習アルゴリズムに教師あり学習を適用した場合について説明したが、これに限られるものではない。学習アルゴリズムについては、教師あり学習以外にも、半教師あり学習等を適用することも可能である。
【００７３】
また、モデル生成部２２３は、複数のマルチワイヤ放電加工機に対して作成される学習用データに従って、予知情報を学習するようにしてもよい。なお、モデル生成部２２３は、同一のエリアで使用される複数のマルチワイヤ放電加工機から学習用データを取得してもよいし、異なるエリアで独立して動作する複数のマルチワイヤ放電加工機から収集される学習用データを利用して予知情報を学習してもよい。また、学習用データを収集するマルチワイヤ放電加工機を途中で対象に追加したり、対象から除去することも可能である。さらに、あるマルチワイヤ放電加工機に関して予知情報を学習した機械学習装置を、これとは別のマルチワイヤ放電加工機に適用し、当該別のマルチワイヤ放電加工機に関して予知情報を再学習して更新するようにしてもよい。
【００７４】
また、モデル生成部２２３に用いられる学習アルゴリズムとしては、特徴量そのものの抽出を学習する、深層学習（Ｄｅｅｐ  Ｌｅａｒｎｉｎｇ）を用いることもでき、他の公知の方法、例えば遺伝的プログラミング、機能論理プログラミング、サポートベクターマシンなどに従って機械学習を実行してもよい。
【００７５】
上述した例では、マルチワイヤ放電加工機１ａ, １ｂの内部で予知情報を算出したが、予知情報はマルチワイヤ放電加工機１ａ, １ｂと異なるワイヤ断線予知装置で生成されてもよい。図１７は、マルチワイヤ放電加工機１ｃと、ワイヤ断線予知装置２３と、を備えたマルチワイヤ放電加工システム６００の構成を示す図である。ワイヤ断線予知装置２３は、前述と同様の、ワイヤ断線予知部２１と、機械学習装置２２と、を備える。ワイヤ断線予知装置２３は、学習フェーズでは、マルチワイヤ放電加工機１ｃから、ワイヤ断線の検出結果、及び状態データを学習用データとして取得し、前述の＜学習フェーズ＞の記載と同様な処理により、学習済モデルを生成し、活用フェーズでは、マルチワイヤ放電加工機１ｃから、新たに状態データを取得し、学習フェーズで生成した学習済モデルに入力することで予知情報を算出し、マルチワイヤ放電加工機１ｃの加工制御装置９に出力する。加工制御装置９は取得した予知情報を用いて、ワイヤ電極の断線を抑制するように前述と同様な方法により放電加工を制御する。このようなマルチワイヤ放電加工システム６００の構成により、負荷のかかる機械学習や推論の処理をマルチワイヤ放電加工機の外部で行うことが可能となる。
【００７６】
本実施の形態５によれば、マルチワイヤ放電加工においてワイヤ断線を予知して加工条件を制御することでワイヤ断線を抑制することができるという効果が得られる。また、ワイヤ断線ごとに機械学習装置の学習フェーズを実行することができるためワイヤ断線の予知精度が向上していくという効果がある。
【００７７】
以上の実施の形態に示した構成は、本開示の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組合せることも可能であるし、本開示の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１,１ａ,１ｂ,１ｃ  マルチワイヤ放電加工機、２  被加工物、３ａ,３ｂ,３ｃ,３ｄ  ガイドローラ、４  ワイヤボビン、５  ワイヤ排出ローラ、６  ワイヤ電極、６ａ  切断ワイヤ部、６ｂ  給電ワイヤ部、７  加工電源、８  加工電源ユニット、９  加工制御装置、１０  接地電極、１１  ケーブル、１２  給電子、１３  給電子ユニット、１４  駆動ユニット、１５  加工状態検出装置、１６  加工状態検出ユニット、１７  ワイヤボビン駆動部、１８  ガイドローラ駆動部、１９  配線、２０,３０,４０,５０  ワイヤ断線検出部、２０ａ,２０ｂ  ワイヤ断線検出部の接続先、２０ｄ  ワイヤ断線検出用給電子、２１  ワイヤ断線予知部、２２,２２ｂ  機械学習装置、２３  ワイヤ断線予知装置、６０  模擬電圧源、７０  加工ステージ、９１  プロセッサ、９２  メモリ、９３  外部記憶装置、９４  入力部、９５  出力部、２０１,２０２  整流回路、２０１ａ,２０２ａ  整流ダイオード、２０３  平滑化回路、２０３ａ  高周波遮断用インダクタ、２０３ｂ  ダンパーダイオード、２０４  ワイヤ断線検出用電源、２０５  電流制限抵抗、２０６  ワイヤ断線検出回路、２０７,３０５,４０４  ワイヤ断線判定部、２１１,２２２  状態観測部、２１２  推論部、２２１  データ取得部、２２３  モデル生成部、２２４  学習済モデル記憶部、３０１  ローパス特性部、３０２,４０２  ワイヤ断線信号出力部、３０３,４０３  信号処理回路、３０４  ２値化回路、３０４ａ  フォトカプラ、３０４ｂ  プルアップ抵抗、４０１  周波数検出部、５００,６００  マルチワイヤ放電加工システム
【要約】
マルチワイヤ放電加工機（１）は、被加工物（２）と切断ワイヤ部（６ａ）との間に加工パルス電圧を印加する加工電源（７）と、ワイヤ電極（６）の断線を検出するワイヤ断線検出部（２０）と、を備える。ワイヤ断線検出部（２０）は、ワイヤ電極（６）の繰り出し側の一箇所からワイヤ電極（６）の排出側の一箇所までの区間に張架されたワイヤ電極部分と並列に電気的に接続され、少なくとも被加工物（２）を切断加工中は常時、ワイヤ電極部分に直流電流を供給するワイヤ断線検出用電源（２０４）、及び電流制限抵抗（２０５）を、それぞれ直列に結線した電気回路であるワイヤ断線検出回路（２０６）と、電流制限抵抗（２０５）に流れる電流に基づいてワイヤ電極の断線を判定するワイヤ断線判定部（２０７）と、を備える。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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