(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知手段と、
前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知手段の検知結果に基づいて集計する表示度合集計手段と、
前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力手段と、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセット手段とを備え、
前記特定の画面は、前記コントローラへのハードウェアの実装状態に関する確認画面であることを特徴とする検知装置。
【請求項２】
制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知手段と、
前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知手段の検知結果に基づいて集計する表示度合集計手段と、
前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力手段と、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセット手段とを備え、
前記特定の画面は、前記コントローラの選択・調整可能な機能別パラメータの設定状態に関する確認画面であることを特徴とする検知装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の検知装置において、
前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積時間であることを特徴とする検知装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の検知装置において、
前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積回数であることを特徴とする検知装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検知装置において、
さらに、前記表示度合を示す値が所定の閾値を超えたときに、アラームを出力するアラーム出力手段を備えることを特徴とする検知装置。
【請求項６】
制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知ステップと、
前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知ステップの検知結果に基づいて集計する表示度合集計ステップと、
前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力ステップと、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセットステップとを含み、
前記特定の画面は、前記コントローラへのハードウェアの実装状態に関する確認画面であることを特徴とする検知方法。
【請求項７】
制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知ステップと、
前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知ステップの検知結果に基づいて集計する表示度合集計ステップと、
前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力ステップと、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセットステップとを含み、
前記特定の画面は、前記コントローラの選択・調整可能な機能別パラメータの設定状態に関する確認画面であることを特徴とする検知方法。
【請求項８】
請求項６または７記載の検知方法において、
前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積時間であることを特徴とする検知方法。
【請求項９】
請求項６または７記載の検知方法において、
前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積回数であることを特徴とする検知方法。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれか１項に記載の検知方法において、
さらに、前記表示度合を示す値が所定の閾値を超えたときに、アラームを出力するアラーム出力ステップを含むことを特徴とする検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コントローラ等の対象機器が特定の画面を表示した表示度合を集計して、対象機器を操作するオペレータの状態を検知することにより、オペレータの操作の不具合を検知したり予知したりすることを可能にする検知装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置では、ＥＥＳ（Equipment Engineering System）が実用段階へと移行してきている。ＥＥＳは、半導体製造装置が正常に機能しているかどうかをデータでチェックし、装置の信頼性や生産性を向上させるシステムである。ＥＥＳの主な目的は、装置自体を対象とする不具合検知（ＦＤ：Fault Detection）、不具合予知（ＦＰ：Fault Prediction）である（非特許文献１参照）。
【０００３】
ＦＤ／ＦＰには、装置コントロールレベル、モジュールレベル、サブシステムレベル、Ｉ／Ｏデバイスレベルという階層化の捉え方がある。装置コントロールレベルのＦＤ／ＦＰは、ホストまたはオペレータから指示された処理条件の基で装置機能が装置スペックの許容範囲内で動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。モジュールレベルのＦＤ／ＦＰは、デバイスもしくはサブシステムから構成されるモジュールが、指示値どおりに処理を行うことができるかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。サブシステムレベルのＦＤ／ＦＰは、フィードバック制御を行うような複数のデバイスからなる複合システムが、いくつかのパラメータ設定の基で安定して動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。Ｉ／ＯデバイスレベルのＦＤ／ＦＰは、装置を構成するセンサやアクチュエータが設計値どおりに安定して動作しているかを監視／検知するＦＤ／ＦＰである。このように、Ｉ／Ｏデバイスレベルの主体は、センサやアクチュエータである。
【０００４】
アクチュエータのＦＤ／ＦＰに関しては、（０，１）のビット列のデータ（アクチュエータデータ）で済むシーケンス制御的な動作については、特に実用段階にあると言える。
一方で、センサのＦＤ／ＦＰに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、ｍｓｅｃ．レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするＥＥＳ対応の基板処理装置（特許文献１参照）などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりＦＤ／ＦＰが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。
【０００５】
代表値を利用したＦＤ／ＦＰとしては、劣化によるヒータ断線のＦＰや、過電流によるヒータ断線のＦＤなどが知られている。ヒータが劣化する場合、ヒータの抵抗値（非プロセス量）の平均値が徐々に上昇していくので、ヒータの抵抗値の平均値を代表値としてチェックすれば、劣化によるヒータの断線を予知することができる。また、過電流によってヒータが断線した場合、ヒータの抵抗値の最大値が突発的に上昇するので、ヒータの抵抗値の最大値を代表値としてチェックすれば、過電流によるヒータの断線を検知することができる。
【０００６】
このように非プロセス量であれば、ＦＤ／ＦＰの実用化は可能である。しかしながら、プロセス量の代表値化では物理的な状態のみが扱う対象になり、オペレータの状態までは扱えないので、情報としては必ずしも十分ではない。ＥＥＳの装置内分散配置は、ＥＥＳの全体効率を高めるために有効な実装方法であるので、オペレータによる操作を伴うコントローラレベルでＦＤ／ＦＰ機能をさらに強化することが求められている。
【０００７】
特に、近年は、コントローラや、コントローラを用いて例えば半導体の製造を行う製造装置において、オペレータの操作のための画面に、液晶の表示器などが使用されることがある（特許文献２参照）。図１０の例では、コントローラ（温調計）１００と一体化された液晶表示器１００を示している。このようなコントローラにおいては、切換え可能な画面が多数あり、また選択・調整可能なパラメータも多岐にわたるので、オペレータの操作が複雑化しており、オペレータの状態を対象とするＦＤ／ＦＰ機能を強化することが求められている。
【０００８】
そこで、制御の設定値ＳＰをオペレータの操作に応じて変更した頻度を示す操作頻度情報を集計して保持することにより、オペレータの状態を対象とするＦＤ／ＦＰ機能を強化する不具合検知システムが提案されている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−２１９４６０号公報
【特許文献２】特開２００１−１５４７８６号公報
【特許文献３】特開２０１５−６４６２７号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】「装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書」，社団法人電子情報技術産業協会，２００５年３月２３日
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上のように、近年はオペレータによる操作を伴うコントローラレベルでＦＤ／ＦＰ機能を強化することが求められている。これに対して、特許文献３に開示された技術では、制御の設定値ＳＰをオペレータの操作に応じて変更した頻度を示す操作頻度情報を集計しているが、検知可能なオペレータの操作が設定値ＳＰの変更操作に限定されるという問題点があった。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、コントローラレベルでのオペレータ状態を対象とするＦＤ／ＦＰ機能を従来よりも強化することができる検知装置および方法を提供することを目的とする。換言するならば、本発明は、簡易型のコントローラレベル（液晶の表示機能を伴う温調計など）で内蔵も外付けも可能な簡易型のＦＤ／ＦＰ関連機能を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の検知装置は、制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知手段と、前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知手段の検知結果に基づいて集計する表示度合集計手段と、前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力手段と、外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセット手段とを備え、前記特定の画面は、前記コントローラへのハードウェアの実装状態に関する確認画面であることを特徴とするものである。
また、本発明の検知装置は、制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知手段と、前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知手段の検知結果に基づいて集計する表示度合集計手段と、前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力手段と、外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセット手段とを備え、前記特定の画面は、前記コントローラの選択・調整可能な機能別パラメータの設定状態に関する確認画面であることを特徴とするものである。
また、本発明の検知装置の１構成例において、前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積時間である。
また、本発明の検知装置の１構成例において、前記表示度合は、前記特定の画面を表示した表示累積回数である。
【００１４】
また、本発明の検知装置の１構成例は、さらに、前記表示度合を示す値が所定の閾値を超えたときに、アラームを出力するアラーム出力手段を備えることを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の検知方法は、制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知ステップと、前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知ステップの検知結果に基づいて集計する表示度合集計ステップと、前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力ステップと、外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセットステップとを含み、前記特定の画面は、前記コントローラへのハードウェアの実装状態に関する確認画面であることを特徴とするものである。
また、本発明の検知方法は、制御に使用されるコントローラに対するオペレータの操作を検知する操作検知ステップと、前記コントローラが適用される製造装置による製品の生産立上後は製造装置のオペレータが閲覧しないことが想定される特定の画面を、前記コントローラがオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を、前記操作検知ステップの検知結果に基づいて集計する表示度合集計ステップと、前記表示度合の情報を外部に出力する情報出力ステップと、外部からリセット信号を受け取ったときに、前記表示度合を初期状態にリセットするリセットステップとを含み、前記特定の画面は、前記コントローラの選択・調整可能な機能別パラメータの設定状態に関する確認画面であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、対象機器に対するオペレータの操作を検知する操作検知手段と、操作検知手段の検知結果に基づいて、通常は閲覧しないことが想定される特定の画面を、対象機器がオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値を集計する表示度合集計手段とを設けることにより、コントローラレベルでのオペレータ状態を対象とするＦＤ／ＦＰ機能を強化することができ、オペレータの操作の不具合を検知したり予知したりすることができる。本発明では、対象機器が特定の画面を表示した表示度合を示す値を集計することにより、設定値ＳＰの変更操作に限らず、対象機器を扱うオペレータの戸惑い度合を検知することができるので、コントローラレベルでのオペレータ状態を対象とするＦＤ／ＦＰ機能を従来よりも更に強化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検知装置の構成を示すブロック図である。
【図２】コントローラの適用対象となる加熱装置の構成を示すブロック図である。
【図３】コントローラの操作監視画面の例を示す図である。
【図４】コントローラのマニュアル操作量設定画面の例を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る検知装置の動作を説明するフローチャートである。
【図６】コントローラの基本設定確認画面の例を示す図である。
【図７】コントローラの基本設定確認画面の他の例を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る検知装置の構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る検知装置の動作を説明するフローチャートである。
【図１０】コントローラと一体化された液晶表示器の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［発明の原理］
コントローラなどの機器においては、通常、複数の操作画面を切換えて利用する形態になる。発明者は、このような複数の操作画面を切換えて利用するための操作部を備えたコントローラ等の機器において、どの画面をどのくらいの時間表示したかなどのデータが、何らかの業務改善に結びつくケースがあることに着眼した。
【００１９】
例えば半導体などの製品の製造装置据付完了後（生産立上後）、コントローラ自体の内部仕様に関する確認画面などを、装置オペレータが見る必要性はほとんどないはずである。したがって、このような性質の確認画面を表示する頻度は、装置オペレータの戸惑い頻度でもあり、大きなトラブルに繋がる兆候である可能性がある。一方で、製造ライン責任者にとっては、装置オペレータの単なる戸惑いで収まってしまうのであれば、オペレータが操作に戸惑っている状態を認識し難いという一面もある。発明者は、以上のような事実に基づき、装置据付完了後（生産立上後）に装置オペレータがあまり見ないはずの性質の画面を特定し、その画面を表示する頻度を指標として集計することの有用性に想到した。
【００２０】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る検知装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態では、対象機器が簡易型のコントローラ（温調計）である例について説明する。
【００２１】
コントローラは、例えば図２のように加熱装置の温度制御を目的として実装される。この加熱装置は、処理対象の被加熱物を加熱する加熱処理炉１０と、電気ヒータ１１と、加熱処理炉１０内の温度を計測する温度センサ１２と、加熱処理炉１０内の温度を制御するコントローラ（温調計）１３と、電力調整器１４と、電力供給回路１５と、加熱装置全体を制御するＰＬＣ（Programmable Logic Controller）１６とから構成される。
【００２２】
コントローラ１３は、温度センサ１２が計測した温度ＰＶが温度設定値ＳＰと一致するように操作量ＭＶを算出する。電力調整器１４は、操作量ＭＶに応じた電力を決定し、この決定した電力を電力供給回路１５を通じて電気ヒータ１１に供給する。こうして、コントローラ１３は、加熱処理炉１０内の被加熱物の温度を制御する。
【００２３】
加熱装置のオペレータは、通常の制御状態では、例えば図３のような温度設定値ＳＰおよび温度計測値ＰＶの操作監視画面２０や、操作量ＭＶを手動で設定するための図４のようなマニュアル操作量設定画面２１をコントローラ１３に表示させる。
【００２４】
このようなコントローラ１３を対象機器とする本実施の形態の検知装置は、図１に示すように、コントローラ１３に対するオペレータの操作を検知する操作検知部１と、操作検知部１の検知結果に基づいて、通常は閲覧しないことが想定される基本設定確認画面を、コントローラ１３がオペレータの操作に応じて表示した表示累積時間を集計して保持する表示時間集計部２（表示度合集計手段）と、外部からリセット信号を受け取ったときに、表示時間集計部２に保持されている表示累積時間を０にリセットするリセット部３と、表示累積時間の情報を外部に出力する情報出力部４と、表示累積時間が予め規定された閾値を超えたときに、アラームを外部に出力するアラーム出力部５とを備えている。表示累積時間は、通常は閲覧しないことが想定される特定の画面をコントローラ１３がオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値である。
【００２５】
なお、本実施の形態では、対象機器であるコントローラ１３が、オペレータに情報を伝える表示手段であると同時にオペレータからの操作を受け付ける入力手段であるタッチパネル機能付き表示器１３０を備えている例で説明するが、コントローラ１３は、表示手段と入力手段とを別々に備える構成であってもよい。
【００２６】
以下、本実施の形態の検知装置の動作を図５のフローチャートを用いて説明する。初期状態において外部からリセット信号を受け取ったことにより、リセット部３は、表示時間集計部２に記憶されている表示累積時間を０にリセットする（図５ステップＳ１００）。リセット信号が発生する状況としては、例えば加熱装置の据付完了に伴ってオペレータまたは加熱装置の管理者がリセット信号を入力する状況、若しくはオペレータの交替に伴って交替後のオペレータまたは加熱装置の管理者がリセット信号を入力する状況などが考えられる。
【００２７】
操作検知部１は、コントローラ１３に対するオペレータの操作（本実施の形態の例ではオペレータがタッチパネル機能付き表示器１３０の画面に触れる操作）を検知する。
表示時間集計部２は、操作検知部１がコントローラ１３に対するオペレータの操作を検知し（図５ステップＳ１０１においてＹＥＳ）、かつこの操作がコントローラ１３の画面を基本設定確認画面（例えばコントローラ自体の内部仕様に関する確認画面）に切換える操作であった場合（図５ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、表示累積時間の現在の値を初期値として表示累積時間の計測を開始する（図５ステップＳ１０３）。
【００２８】
一方、表示時間集計部２は、操作検知部１がコントローラ１３に対するオペレータの操作を検知し（ステップＳ１０１においてＹＥＳ）、かつこの操作がコントローラ１３の画面を基本設定確認画面から他の画面に切換える操作であった場合（図５ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、表示累積時間の計測を停止する（図５ステップＳ１０５）。
【００２９】
こうして、コントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に基本設定確認画面が表示されている間（基本設定確認画面に切換える操作があったときから他の画面に切換える操作があったときまで）は、表示累積時間の計測・更新が継続されることになる。
【００３０】
次に、アラーム出力部５は、表示時間集計部２に記憶されている表示累積時間が所定の閾値を超えた場合（図５ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、アラームを出力する（図５ステップＳ１０７）。アラームの出力方法としては、例えばアラーム発生を知らせる内容をコントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に表示させたり、アラーム発生を知らせる情報を外部に送信したりする等の方法がある。
【００３１】
上記の表示累積時間は、コントローラ１３の制御動作中でも画面表示して確認できる内容なので、これらを頻繁に確認することと、制御稼働時間は必ずしも一致しない（稼働時間管理とは異なる性質の情報が抽出できる）。その意味で、何らかのトラブル解決までの時間に連動している可能性があり、さらにはオペレータの機器知識や操作スキルの低さに連動している可能性がある。すなわち、表示累積時間はオペレータの戸惑い度合の指標になる。したがって、アラームを出力するのではなく、単に表示累積時間を提示するようにしてもよい。
【００３２】
具体的には、情報出力部４は、操作検知部１がコントローラ１３に対するオペレータの操作を検知し（ステップＳ１０１においてＹＥＳ）、かつこの操作が表示累積時間の提示を要求する操作であった場合（図５ステップＳ１０８においてＹＥＳ）、表示時間集計部２に記憶されている現在の表示累積時間をコントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に表示させる（図５ステップＳ１０９）。
【００３３】
以上のようなステップＳ１０１〜Ｓ１０９の処理が、例えばオペレータからの指令によってコントローラ１３の動作が終了するまで（図５ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、動作周期毎に繰り返し実行される。
【００３４】
本実施の形態の基本設定確認画面の具体例としては、図６、図７のようなものがある。図６に示す画面２２は、コントローラ１３の、交換可能な機能別基板（スロット）というハードウェア面の実装状態に関する基本設定確認画面である。また、図７に示す画面２３は、コントローラ１３の、選択・調整可能な機能別パラメータというソフトウェア面の設定状態に関する基本設定確認画面である。
【００３５】
本実施の形態では、コントローラ１３が特定の画面を表示した表示累積時間をオペレータの状態を表す情報として扱うＦＤ／ＦＰ機能を、簡易型のコントローラレベル（温調計など）に分散配置することができる。すなわち、コントローラ１３を扱うオペレータの戸惑い度合を、コントローラ１３を用いて例えば半導体などの製品を生産・製造する工程における不具合として扱い、部分的ではあるが、このような不具合を検出することが可能になる。
【００３６】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態では、対象機器が簡易型のコントローラ（温調計）である別の例について説明する。図８は本実施の形態に係る検知装置の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。
【００３７】
本実施の形態の検知装置は、操作検知部１と、操作検知部１の検知結果に基づいて、基本設定確認画面をコントローラ１３がオペレータの操作に応じて表示した表示累積回数を集計して保持する表示回数集計部２ａ（表示度合集計手段）と、外部からリセット信号を受け取ったときに、表示回数集計部２ａに保持されている表示累積回数を０にリセットするリセット部３ａと、表示累積回数の情報を外部に出力する情報出力部４ａと、表示累積回数が予め規定された閾値を超えたときに、アラームを外部に出力するアラーム出力部５ａとを備えている。表示累積回数は、通常は閲覧しないことが想定される特定の画面をコントローラ１３がオペレータの操作に応じて表示した表示度合を示す値である。
【００３８】
以下、本実施の形態の検知装置の動作を図９のフローチャートを用いて説明する。初期状態において外部からリセット信号を受け取ったことにより、リセット部３ａは、表示回数集計部２ａに記憶されている表示累積回数を０にリセットする（図９ステップＳ２００）。リセット信号が発生する状況については第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００３９】
操作検知部１の動作は第１の実施の形態で説明したとおりである。表示回数集計部２ａは、操作検知部１がコントローラ１３に対するオペレータの操作を検知し（図９ステップＳ２０１においてＹＥＳ）、かつこの操作がコントローラ１３の画面を基本設定確認画面（例えばコントローラ自体の内部仕様に関する確認画面）に切換える操作であった場合（図９ステップＳ２０２においてＹＥＳ）、表示累積回数の値を１増やす（図９ステップＳ２０３）。
【００４０】
こうして、コントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に基本設定確認画面が表示される度（基本設定確認画面に切換える操作がなされる度）に、表示累積回数が更新されることになる。
【００４１】
次に、アラーム出力部５ａは、表示回数集計部２ａに記憶されている表示累積回数が所定の閾値を超えた場合（図９ステップＳ２０４においてＹＥＳ）、アラームを出力する（図９ステップＳ２０５）。第１の実施の形態と同様に、アラームの出力方法としては、例えばアラーム発生を知らせる内容をコントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に表示させたり、アラーム発生を知らせる情報を外部に送信したりする等の方法がある。
【００４２】
上記の表示累積回数は、第１の実施の形態の表示累積時間と同様にオペレータの戸惑い度合の指標になる。したがって、アラームを出力するのではなく、単に表示累積回数を提示するようにしてもよい。すなわち、情報出力部４ａは、操作検知部１がコントローラ１３に対するオペレータの操作を検知し（ステップＳ２０１においてＹＥＳ）、かつこの操作が表示累積回数の提示を要求する操作であった場合（図９ステップＳ２０６においてＹＥＳ）、表示回数集計部２ａに記憶されている現在の表示累積回数をコントローラ１３のタッチパネル機能付き表示器１３０に表示させる（図９ステップＳ２０７）。
【００４３】
以上のようなステップＳ２０１〜Ｓ２０７の処理が、例えばオペレータからの指令によってコントローラ１３の動作が終了するまで（図９ステップＳ２０８においてＹＥＳ）、動作周期毎に繰り返し実行される。
こうして、本実施の形態では、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
なお、背景技術ではＥＥＳの装置内分散配置を課題として取り上げているが、第１、第２の実施の形態は、ＥＥＳに限らず、建物の空調制御や化学プラントなどで利用されるコントローラレベルも対象範囲に入る。
【００４５】
第１、第２の実施の形態で説明した検知装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１、第２の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、オペレータの操作の不具合を検知したり予知したりする技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…操作検知部、２…表示時間集計部、２ａ…表示回数集計部、３，３ａ…リセット部、４，４ａ…情報出力部、５，５ａ…アラーム出力部、１３…コントローラ、１３０…タッチパネル機能付き表示器。
【図１】
0006637319.tif 000002
【図２】
0006637319.tif 000003
【図３】
0006637319.tif 000004
【図４】
0006637319.tif 000005
【図５】
0006637319.tif 000006
【図６】
0006637319.tif 000007
【図７】
0006637319.tif 000008
【図８】
0006637319.tif 000009
【図９】
0006637319.tif 000010
【図１０】
0006637319.tif 000011