(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源ユニットと、無水銀のマイクロ波無電極ランプを有する照射ユニットと、該マイクロ波無電極ランプを冷却する冷却空気供給機構とを有するマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置において、
キセノンランプを利用した始動補助手段を備え、点灯時に、該キセノンランプは、数秒に１回の割合で前記マイクロ波無電極ランプに対してパルス照射する、光照射装置。
【請求項２】
請求項1に記載のマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置において、
点灯段階の期間、前記冷却空気供給機構から前記照射ユニットに送られる冷却空気の風量を、所定の割合で抑制する冷却風抑制手段を備える、光照射装置。
【請求項３】
請求項２に記載のマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置において、
前記冷却風抑制手段は、冷却ブロアを有し、該冷却ブロアは、稼働期間の内の風量抑制期間は定格風量の30％〜90％運転を行う、光照射装置。
【請求項４】
請求項1〜３のいずれか一項に記載のマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置におい
て、更に、
前記マイクロ波無電極ランプに対してマイクロ波エネルギーを供給するマグネトロンと、
前記マグネトロンのアノード電流をモニターする手段と、
前記マグネトロンに対する電力供給を制御する手段とを備え、
前記電力供給を制御する手段は、前記アノード電流に基づき、前記マグネトロンに対する電力供給を制御して、前記マイクロ波無電極ランプの出力変動を所定の範囲内に制御している、光照射装置。
【請求項５】
請求項４に記載のマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置において、
前記マグネトロンに対する電力供給を制御する手段は、前記マグネトロンのアノード電流Iaから次式により出力電力Ｐｍを算出し、算出した出力電力Ｐｍに基づき該マグネトロンに対する電力供給を制御している、光照射装置。
Ｐｍ（ｋＷ）＝k・Ｉａ(ｍＡ)−ｂ
ここで、ｋは比例定数、bは定数である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光線又は紫外線を放射する放電ランプとして、マイクロ波無電極ランプが開発されている。マイクロ波無電極ランプを使用する点灯装置は、典型的には、電源ユニットと、無電極ランプを内蔵した照射ユニットと、無電極ランプを冷却する冷却空気供給機構（冷却ブロワー）とを備えたシステムである。
【０００３】
放電管には、発光物質と、始動用の希ガスが封入されている。発光物質を適宜選択することによって、所望の波長の可視光線又は紫外線を得ることができる。波長254ｎｍの紫外線は主として殺菌処理に用いられ、波長315〜400ｎｍ（ＵＶ−Ａ領域）の紫外線は主として塗料、樹脂等の硬化処理に用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平03-013699
【特許文献２】特開2009-032515
【特許文献３】特開2009-289527
【特許文献４】特開2009-032879
【特許文献５】特開2009-070809
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＵＶ−Ａ領域の紫外線を発生する無電極放電ランプでは、従来、発光物質として水銀が用いられていた。しかし、近年、水銀は環境負荷物質として、使用を中止する方向にある。
【０００６】
無電極放電ランプの無水銀化によって生じる問題点として、ランプの始動性が悪化すること、ランプの始動後にランプ温度が上がり難いため照度立ち上がりが遅くなること、まれに照度が上がらないまま放電が持続することが挙げられる。
【０００７】
また、従来からの無電極放電ランプの問題点として、点灯装置の電源ユニットに給電される1次側電圧の電圧変動によってランプ出力が変動し、出力が安定しないことが指摘されている。特に、半導体や液晶パネルの製造工程で使用される樹脂硬化処理用のランプでは、ランプ出力の要求精度が非常に厳しい。従って、ＵＶ−Ａ領域の紫外線を安定的に放射する点灯装置の開発が望まれている。
【０００８】
本発明は、発光物質として水銀を用いることなく、良好な始動特性を有し且つＵＶ−Ａ領域の紫外線を所定の出力精度で安定的に放射することができるマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置は、一面で、電源ユニットと、無水銀のマイクロ波無電極ランプを有する照射ユニットと、該マイクロ波無電極ランプを冷却する冷却空気供給機構とを有するマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置であって、キセノンランプを利用した始動補助手段を備え、点灯時に、該キセノンランプは、数秒に１回の割合で前記マイクロ波無電極ランプに対してパルス照射している。
【００１０】
更に、上記マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置では、点灯段階の期間、前記冷却空気供給機構から前記照射ユニットに送られる冷却空気の風量を、所定の割合で抑制する冷却風抑制手段を備えていてもよい。
【００１１】
更に、上記マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置では、前記冷却風抑制手段は、冷却ブロアを有し、該ブロアは、稼働期間の内の風量抑制期間は定格風量の30％〜90％運転を行っていてもよい。
【００１２】
更に、上記マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置では、更に、前記無電極ランプに対してマイクロ波エネルギーを供給するマグネトロンと、前記マグネトロンのアノード電流をモニターする手段と、前記マグネトロンに対する電力供給を制御する手段とを備え、前記電力供給を制御する手段は、前記アノード電流に基づき、前記マグネトロンに対する電力供給を制御して、前記マイクロ波無電極ランプの出力変動を所定の範囲内に制御していてもよい。
【００１３】
更に、上記マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置では、前記マグネトロンに対する電力供給を制御する手段は、前記マグネトロンのアノード電流Iaから次式により出力電力Pwを算出し、算出した出力電力Pwに基づき該マグネトロンに対する電力供給を制御していてもよい。
【００１４】
Ｐｍ（ｋＷ）＝k・Ｉａ(ｍＡ)-ｂ
ここで、ｋは比例定数、bは定数である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、発光物質として水銀を用いることなく、良好な始動性を有し且つＵＶ−Ａ領域の紫外線を所定の出力精度で安定的に放射することができるマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】図１Ａは、本実施形態に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の一例を示す概略斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の照射ユニットを説明する図である。
【図２】図２は、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の機能ブロック図である。
【図３Ａ】図３Ａは、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の動作のうち、ランプ始動点灯段階の動作フロー図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図３Ａのランプ始動点灯段階に続く、定常安定点灯段階及び消灯段階の動作フロー図である。
【図４】図４は、図３Ａ及び図３Ｂに示す動作フローに対応して、マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の各動作素子の動作タイムチャート及びこれに対応した風量推移及びランプ光量推移を説明する図である。
【図５】図５は、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置に始動補助光源として使用されるキセノンランプを、点灯エネルギー6.3Ｊでパルス発光したときの分光スペクトルの一例を示す図である。
【図６】図６は、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置に使用されているマグネトロンのアノード電流と出力電力との相関関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の実施形態に関して、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図面において、同じ要素に対しては同じ参照符号を付して重複した説明を省略する。
【００１８】
［マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置］
（光照射装置の構成）
図１Ａは、本実施形態に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の一例を示す概略斜視図である。マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０は、電源ユニット２と、照射ユニット４と、照射ユニットの発熱を冷却する冷却空気供給機構（冷却ブロワー。ここではブロワーの送風ダクトのみ図示している。）６とを備えている。
【００１９】
図１Ｂは、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０の照射ユニット４を説明する図である。照射ユニット４は、矩形の筐体１２の後側内部にマイクロ波発振器４a（図２に示すマグネトロン４ａ参照）が設けられている。照射ユニット４は、更に、マイクロ波発振器に付属するアンテナ１６と、アンテナからのマイクロ波エネルギーを受けて発光する無電極ランプ１８と、無電極ランプの背面側を囲むようにランプ軸線に沿って配置された反射鏡２０とを有する。反射鏡２０によって囲まれた空間は、マイクロ波空洞２２を形成し、このマイクロ波空洞内に無電極ランプ１８が配置されている。
【００２０】
本実施形態では、マイクロ波発振器としてマグネトロン４ａ（図２参照）を使用する。マグネトロン４ａは、発振用真空管の一種であり、強力なノンコヒーレントマイクロ波を発生する。マグネトロンは、身近なところでは、レーダーや電子レンジに使われている。本実施形態では、電子レンジ、好ましくは業務用電子レンジに使用されているマグネトロンを使用することが出来る。なお、電子レンジでは周波数2.45 ＧＨｚが使用されているが、これは技術的な制限によるものではなく、法的規制によるものである。
【００２１】
マイクロ波発振器（マグネトロン４ａ）から発生したマイクロ波は、アンテナ１６を介してマイクロ波空洞２２に放射され、定在波を形成する。この定在波によって、マイクロ波空洞２２に配置された無電極ランプ１８の内部にプラズマが励起される。プラズマから放射される可視光線或いは紫外線は、反射鏡２０によって反射して、又は直接に照射光として光出射口２３に向かう。
【００２２】
光出射口２３は導電性メッシュ（図示せず。）によって覆われている。導電性メッシュは、マイクロ波に対しては不透過性であるが、マイクロ波空洞からの照射光、即ち、可視光線及び紫外線に対しては透過性である。このため、プラズマから放射される可視光線或いは紫外線は、光出射口２３の導電性メッシュを通過して、被照射面に向けて放射される。
【００２３】
（光照射装置の機能ブロック）
図２は、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０の機能ブロック図である。マイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０は、電源ユニット２と、無電極ランプ１８を有する照射ユニット４と、高温になる無電極ランプを冷却する冷却空気供給機構（冷却ブロワー）６とを備えている。
【００２４】
電源ユニット２は、図示していない1次側電圧からこの点灯装置が使用する2次側電圧を生成する電源部２ａと、照射ユニット４及び冷却ブロア６の各構成部品の動作を制御する主制御部２ｂとを有している。主制御部２ｂは、典型的にはシーケンサーから構成される。しかし、これに限定されない。例えば、主制御部２ｂを、マイクロコンピュータを利用して構成してもよい。
電源部２ａには、温度センサ２ｃが備えられ、電源部の温度がモニターされている。
【００２５】
照射ユニット４は、無電極ランプ１８と、無電極ランプにアンテナ１６を介してマイクロ波エネルギーを供給するマグネトロン４ａと、無電極ランプ１８の始動特性を向上させるための始動補助光源４ｃと、これにエネルギー４４を供給する始動補助光源点灯回路４ｂとを有している。更に、照射ユニット４は、マグネトロン４ａの温度を感知する温度センサ４６と、無電極ランプ１８の光量を感知する光量センサ４８と、冷却ブロア６から照射ユニット４へ送られる冷却空気の風量を感知する風量センサ５０と、照射ユニット４から外部へ漏洩する電磁波を検出するRF(高周波)漏洩センサ３０とを有している。
【００２６】
光量センサ４８は、照射ユニット４の内部に設置され、検知光量に応じたアナログ電圧を出力する。光量センサ４８は、例えば、浜松ホトニクス株式社製のＳｉフォトダイオード  型番S1133を利用できる。風量センサ５０は、高圧側と低圧側の2つの取込口を有し、両者の圧力差を検知する微圧圧力スイッチである。即ち、照射ユニット４の筐体内外の圧力差によって、冷却風量をモニターしている。例えば、MAMOCO Precision Switchesの超低圧スイッチ(ultra-low pressure switch)  型番MAM005-27を利用できる。温度センサ４６は、バイメタルサーモスタットの汎用品でよく、マグネトロン４ａの表面に付設され、温度をモニターしている。温度センサ４６は、例えば、100℃以上になると接点がオープンとなり、主制御部２ｂに向けて異常検知信号３６を発する。RF漏洩センサ３０は、このシステムの安全装置であり、照射ユニット４の筐体の近傍に設置され、或る閾値（例えば、2.0 [ｍＷ/cm2]）以上の漏洩マイクロ波を検知すると、接点がオープンとなり、主制御部２ｂに向けて異常検知信号３２を発する。
【００２７】
電源ユニット２の温度センサ２ｃは、電源ユニットの温度をモニターしている。温度センサ２ｃは、バイメタルサーモスタットの汎用品でよく、電源部２ａが過熱した時に接点がオープンとなり、主制御部２ｂに対して異常検知信号４２を発する。
【００２８】
冷却ブロワー（冷却空気供給機構）６は、冷却空気を照射ユニット４に送り、各種部品を冷却している。
【００２９】
（光照射装置の動作）
次に、図１Ａに示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０の動作について説明する。図３Ａ及び図３Ｂは、このマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置１０の動作フロー図である。図３Ａは、ランプ始動点灯段階の動作フロー図であり、図３Ｂは、これに続く、安定点灯制御段階及び消灯段階の動作フロー図である。図２に示すマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の構成を確認しながら、３Ａ及び３Ｂの動作フロー図に従ってその動作を説明する。
【００３０】
ステップＳ０１で、電源ユニット２のタッチパネル式操作盤（図示せず。）を操作して、電源ＯＮにする。電源ユニット２から照射ユニット４及び冷却ブロワー６に対する電力供給２４が開始される。
【００３１】
ステップＳ０２で、タッチパネル式操作盤を操作して、スタンバイモードに入る。照射ユニット４のマグネトロン４ａの予熱が開始され、冷却ブロワー６の冷却ファンが始動する。
【００３２】
ステップＳ０３で、スタンバイモード開始から所定時間経過後（例えば、Ｔsec後）、各センサ２ｃ、３０，４６，４８，５０が正常に動作しているか判断される。センサのいずれかが動作不良の場合、電源ユニットの表示盤（図示せず。）に、エラー表示され、ステップＳ０２に戻る。全てのセンサが正常に動作している場合、ステップＳ０４に進む。
【００３３】
ステップＳ０４で、電源ユニット２のタッチパネル式操作盤を操作して、ランプＯＮにする。これに応じて、マグネトロン４ａは、例えば、2.45ＧＨｚで発振を開始する。
【００３４】
ステップＳ０５で、冷却ブロア６から照射ユニット４に向けられたランプ冷却風を抑制する。即ち、ランプ始動時に一定期間冷却風を抑制することにより、ランプの温度上昇を促進させ、ランプ内の発光物質を蒸発させる。この風量抑制を行わない場合には、ランプ内の発光物質が十分に蒸発せず、ランプは光量不足のまま点灯し続けるおそれがある。風量抑制のレベルは、装置冷却に問題が生じないレベル（例えば、定格風量の60％程度）まで抑制する。なお、始動時を除き、定格点灯時に風量を抑制することは無い。この冷却風抑制手段（ステップＳ０５）より、ランプの無水銀化による始動時のランプ温度が上がり難い課題を解決している。
【００３５】
ステップＳ０６で、始動補助光源４ｃが点灯される。具体的には、始動補助光源点灯回路４ｂからエネルギー供給４４を受けた始動補助光源（例えば、キセノンランプ）４ｃが、無電極ランプ１８に向けて、所定の点灯周期でフラッシュ照射して、ランプの始動を補助する。
【００３６】
キセノンランプの点灯条件は、例えば、点灯周期が6秒毎（充電時間5秒、300μs照射）のフラッシュ照射である。ランプが始動するまで、フラッシュ照射を繰り返す。0.7〜6.3 Ｊの範囲内のエネルギー供給４４により、ランプの始動が改善されたことを確認した。図５は、エネルギー供給４４が6.3 Ｊのときのキセノンランプ１８の分光スペクトルを示す図である。
【００３７】
ステップＳ０７で、無電極ランプ１８が始動したか否かが、光量センサ４８によって判定される。未だ始動してない場合、ステップＳ０８で始動補助光源点灯回数が、所定回数以上（例えば１０回以上）か否かが判断され、所定回数未満ならステップＳ０６に戻り、補助光源４ｃによりフラッシュ照射を繰り返す。所定回数以上なら、電源部の表示ユニットにエラー表示され、原因究明を行って対策を施した後、ステップＳ０２に戻ってスタンバイモードになる。始動した場合は、ステップＳ０９に進む。
【００３８】
この始動補助手段（ステップＳ０６〜Ｓ０８）により、ランプの無水銀化による始動時のランプ始動性悪化の課題を解決している。
【００３９】
ステップＳ０９で、無電極ランプ１８が、立ち上がったか否か判断される。具体的には、光量センサ４８により、感知光量対応信号３４が、電源ユニット２の主制御部２ｂに送られる。主制御部２ｂにおいて、シーケンス制御（又はマイクロコンピュータ制御）により感知光量が所定の閾値（例えば、定格光量の80％）以上の場合、ランプは立ち上がったと判断される。未だ立ち上がってない場合、電源ユニットの表示盤にエラー表示され、ステップＳ０２に戻ってスタンバイモードに移る。立ち上がった場合、ステップＳ１０に進む。
【００４０】
ステップＳ１０で、ステップＳ０５で行われた冷却風の風量抑制が解除される。この段階までが、ランプの始動点灯段階である。
【００４１】
図３Ｂに示すステップＳ１１〜Ｓ１３は、安定点灯制御段階である。
ステップＳ１１で、マグネトロン４ａの出力が適正であるか判断される。即ち、マグネトロン４ａのアノード電流に対応するアノード電流対応信号５２を使って、マグネトロン４ａの出力電力が適正であるか判断される。現状、電源部２ａに入力する装置１次側電力の電圧変動により、マグネトロン４ａの出力電力は±15％程度変動する。そのため、主制御部２ｂは、アノード電流対応信号５２を常時モニターし、出力制御テーブルに基づきマグネトロン４ａへの電力供給２４−１を制御して、出力を所定の範囲内に制御している。
【００４２】
図６は、マグネトロン４ａのアノード電流Ｉａ（ｍＡ）―出力電力Ｐｍ（ｋＷ）相関を示す図である。図に示すように、アノード電流Ｉａと出力電力Ｐｍはほぼ比例関係にあり、その相関関係は近似式(1)で表すことが出来る。
【００４３】
Ｐｍ（ｋＷ）＝Ｉａ(ｍＡ)×0.0033-0.13        (1)
（但し、Ｐｍ≧０）
なお、マグネトロンの定格の相違等を考慮すると、この式（１）は、式（２）と書き換えることが出来る。
Ｐｍ（ｋＷ）＝k・Ｉａ(ｍＡ)-ｂ       (2)
（但し、Ｐｍ≧０）
ここで、ｋは比例定数、bは定数である。
【００４４】
従って、アノード電流Ｉａを監視して電力供給を制御することにより、近似式（１）又は（２）から作成した上記出力制御テーブルに基づき出力電力Ｐｍを算出することができるので、出力電力の変動を所定の範囲内に制御することが出来る。アノード電流Ｉａのモニターは、所定の周期（例えば、1分ごと）に行われる。
【００４５】
アノード電流対応信号５２により出力が所定の範囲内でないと判断されると、ステップＳ１２に進む。ステップＳ１２で、主制御部２ｂは、調光信号２８を電源部２ａに送り、電源部からマグネトロン４ａへの供給電力２４−１を制御して、マグネトロン４ａの出力を所定の範囲内にする。アノード電流対応信号５２が所定の範囲内の場合、ステップＳ１３に進む。
【００４６】
ステップ１３で、ランプを消灯するか判断される。消灯しない場合は、ステップＳ１１に戻り、安定点灯制御が継続される。
この安定点灯制御手段（ステップＳ１１〜Ｓ１３）により、マグネトロン４ａの出力は、例えば、±5％以下に制御することが出来る。この範囲内の変動は、半導体や液晶パネルの製造工程で使用される樹脂硬化処理用のランプとしても、実用上問題の無いレベルである。
【００４７】
消灯する場合は、ステップ１４に進む。ステップ１４以降は、消灯段階となる。ステップＳ１４で、ランプはタッチパネル式操作盤を操作することによりスタンバイモードに切り替わる。この時、マグネトロン４ａは予熱状態で、冷却ブロワー６の冷却ファンは引き続き稼働している。
【００４８】
ステップＳ１５で、スタンバイモードＯＦＦにされる。スタンバイモードＯＦＦにより、マグネトロン４ａの予熱は停止され、冷却ブロワー６の冷却ファンは停止される。
【００４９】
ステップＳ１６で、電源ユニット２のタッチパネル式操作盤を操作して、電源ＯＦＦにする。
【００５０】
（光照射装置の各動作素子の動作タイムチャート及びこれに対応した風量推移及びランプ光量推移）
図４は、上述した動作フローに対応したマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の各動作素子の動作タイムチャート及びこれに対応した風量推移及びランプ光量推移を示す図である。
図の行毎に、各動作素子の動作タイムチャート夫々説明する。各動作素子に関して、第２列に動作素子として、始動補助光源４ｃ，風量センサ５０，温度センサ４６〜温度センサ２ｃが示されている。第３列に、これら動作素子の制御内容が説明されている。第４列にタイムチャートが示されている。タイムチャートは、動作フローで説明した電源ユニットＯＮ（Ｓ０１）、スタンバイモード（Ｓ０２）、ランプＯＮ（Ｓ０４）、ランプＯＦＦ（Ｓ１３）、スタンバイモード（Ｓ１５）及び電源ユニットＯＦＦ（Ｓ１６）を使って時系列で説明する。
【００５１】
始動補助光源４ｃは、スタンバイモード（Ｓ０２）〜ランプＯＮ（Ｓ０４）の期間充電され、その後、（Ｓ０７）でランプの始動が確認されるまで、Ｓ０６でフラッシュ照射を繰り返す。その後、ランプＯＦＦ（Ｓ１３）〜スタンバイモードＯＦＦ（Ｓ１５）の期間は、再び充電される。
【００５２】
風量センサ５０は、スタンバイモード開始（Ｓ０２）から所定時間経過後（例えば、Ｔsec後）〜スタンバイモードＯＦＦ（Ｓ１５）の期間、冷却風量をモニターしている。
【００５３】
温度センサ４６は、スタンバイモード開始（Ｓ０２）〜スタンバイモードＯＦＦ（Ｓ１５）の期間、マグネトロン４ａの温度をモニターしている。
【００５４】
RF漏洩センサ３０は、スタンバイモード開始（Ｓ０２）〜スタンバイモードＯＦＦ（Ｓ１５）の期間、照射ユニット４から外部へ漏洩する電磁波をモニターしている。
【００５５】
冷却ブロア６は、同じ期間（Ｓ０２〜Ｓ１５）、稼働している。冷却ブロア６の風量抑制期間は、ランプ冷却風量抑制（Ｓ０５）〜抑制解除（Ｓ１０）の期間である。
【００５６】
電源部２ａに関しては、マグネトロン４ａの予熱は、スタンバイモード開始（Ｓ０２）〜ランプＯＮ（Ｓ０４）の期間である。マグネトロン４ａの発振は、ランプＯＮ（Ｓ０４）〜ランプ消灯（Ｓ１３）の期間継続する。安定点灯制御は、マグネトロンの出力判定（Ｓ１１）〜ランプ消灯（Ｓ１３）の期間継続する。
【００５７】
電源部２の温度センサ２ｃは、スタンバイモード開始（Ｓ０２）〜スタンバイモードＯＦＦ（Ｓ１５）の期間、電源部２の温度をモニターしている。
【００５８】
図４の下側に示すグラフは、これに対応した風量推移及びランプ光量推移を示している。
冷却ブロア６の稼働期間（Ｓ０２〜Ｓ１５）の内、風量抑制期間（Ｓ０５〜Ｓ１０）は、定格風量の例えば60％運転を行い、その他は100％運転をしている。風量抑制期間の（Ｓ０５〜Ｓ１０）における風量推移は、ランプのサイズやランプ内の発光物質の構成等により、ランプ温度が容易に上昇するよう選択され、定格風量の30％〜90％運転を行う。
【００５９】
無電極ランプ１８の光量は、光量センサ４８でモニターされるが、ランプＯＮ（Ｓ０４）で徐々に光量が増加し、所定の閾値(例えば、定格の80％)以上の時点でランプ立ち上がりと判断される（Ｓ０９）。その後、定格出力を継続し、ランプＯＦＦ（Ｓ１３）で消灯する。
【００６０】
［本実施形態の利点・効果］
(1) 始動補助手段
ランプ無水銀化によって、ランプの始動性の悪化等の問題点が指摘されていた。これに対し、本実施形態では、始動補助光源として、キセノンランプのパルス照射を採用することにより、始動特性を改善している。
【００６１】
(2) 冷却風抑制手段
ランプ無水銀化によって、ランプ温度が上がり難く照度立ち上がりが遅いこと等の問題点が指摘されていた。これに対し、本実施形態では、特に始動段階に於いて、所定期間、ランプ冷却風を所定の割合で抑制してランプ温度が容易に上昇するようにし、ランプの温度上昇を促進させ、ランプ内の発光物質を蒸発させている。
【００６２】
(3) 安定点灯制御手段
従来からの問題点として、電源ユニットの1次側電圧の電圧変動によってランプ出力が変動し、出力精度が悪くなる等の問題点が指摘されていた。これに対し、本実施形態では、特に安定点灯段階に於いて、マグネトロンのアノード電流をモニターして供給電力を制御することにより、ランプを所定の出力精度で安定的な放射を実現している。
【００６３】
(4) これら始動性制御、冷却風抑制、及び安定点灯制御により、発明が解決しようとする課題の欄で説明した問題点が解決され、無水銀ランプが実現出来る。
【００６４】
(5) キセノンランプのパルス照射に関し、従来は、高い周波数(例えば、19 Ｈｚ)で行われていた。本実施形態では、（例えば6秒に1回））のパルス照射でも、ランプを容易に始動させることが出来た。即ち、パルス照射の回数が、従来は、数十ミリ秒（例えば、53 msec.）に1回の照射が必要であったが、本実施形態では数秒（例えば、6 sec.）に1回の照射で足りている。照射回数を大幅に減少することが出来たため、キセノンランプの寿命が長くなると共に、発振回路も廉価になった。
【００６５】
［その他］
以上、本発明に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置の実施形態に関して説明したが、本発明の範囲はこれらの実施形態によって制限されるものではない。当業者であれば容易になし得る実施形態に対する追加・削除・変更・改良等は、本発明の範囲内である。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
［産業上の利用可能性］
本発明に係るマイクロ波無電極ランプ搭載の光照射装置は、波長315〜400ｎｍ（ＵＶ−Ａ領域）の紫外線を効率よく照射し、例えば、塗料、樹脂等の硬化処理などに好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００６６】
２：電源ユニット、  ２ａ：電源部、  ２ｂ：主制御部、  ２ｃ：温度センサ、  ４：照射ユニット、  ４a：マグネトロン，マイクロ波発振器、  ４ｂ：始動補助光源点灯回路、  ４ｃ：始動補助光源，補助光源，キセノンランプ、  ６：冷却ブロア、  １０：光照射装置、  １２：筺体、  １６：アンテナ、  １８：無電極ランプ、  ２０：反射鏡、  ２２：マイクロ波空洞、  ２３：光出射口、  ２４：電力供給、  ２８：調光信号、３０：ＲＦ漏洩センサ、  ３２：異常検知信号、  ３４：感知光量対応信号、  ３６：異常検知信号、  ４２：異常検知信号、  ４４：エネルギー供給、  ４６：温度センサ、  ４８：光量センサ、  ５０：風量センサ、  ５２：アノード電流対応信号、  Ｉａ：アノード電流、  Ｐｍ：出力電力
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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