(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、
検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定可能とした可変評価値設定部と、
前記可変評価値設定部で設定された可変評価値に従い画像処理された環状平面画像を評価して、輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行うための良否判定部と
を備え、
前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、
前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、
画像検査装置がさらに、
検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を備え、
前記可変評価値設定部が、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、
前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部と
を備え、
前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、
前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定してなる画像検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像検査装置であって、
前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、輝度の平均値を正規化して得られた偏差に基づいて設定してなる画像検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の画像検査装置であって、
前記可変評価値設定部が、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の個別平均値を演算し、検査ライン毎に得られた該個別平均値を可変評価値として、異なる検査ライン間で共通となる共通平均値を設定し、各検査ラインについて、輝度の平均値が該共通平均値となるよう、検査ライン単位で輝度を補正する輝度補正部と、
前記輝度補正部で補正された輝度値に従い、検査ライン間で共通の二値化閾値を設定して、該共通二値化閾値に基づき、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部と
を備え、
前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成してなる画像検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の画像検査装置であって、
前記良否判定部は、環状平面画像の検査ライン毎に取得した各画素の内、各検査ラインの画素の輝度値のピーク値を基準として一定量以上輝度の低い画素を異常と判定し、該異常と判定された画素同士を接続して異常痕を検出可能としてなる画像検査装置。
【請求項５】
請求項１又は２のいずれか一項に記載の画像検査装置であって、
貫通穴の形状が円筒状である画像検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の画像検査装置であって、さらに、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似する円近似部と、
前記円近似部で近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する円中心補正部と
を備えており、
前記二値化閾値設定部は、円環検査ラインの中心位置を、前記円中心補正部で補正しながら、円環検査ライン毎に環状平面画像を二値化するよう構成してなる画像検査装置。
【請求項７】
円筒形の貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、
検査対象物の貫通穴の内壁を、同心円状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似する円近似部と、
前記円近似部で近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する円中心補正部と、
前記円中心補正部で補正された中心にて近似された円環検査ライン毎に、環状平面画像の画素値を画像処理して、良否判定を行う良否判定部と
を備え、
前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、
前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、
画像検査装置がさらに、
検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部と、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、
前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部と
を備え、
前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、
前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定してなる画像検査装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の画像検査装置であって、
前記円中心補正部による円環検査ラインの中心位置の補正が、次式に従って行われる画像検査装置。
0006647903.tif 000008
0006647903.tif 000009
（ただし、外円中心：Ｏo＝（Ｏox，Ｏoy）、内円中心：Ｏi＝（Ｏix，Ｏiy）、Ｄ：外円中心と内円中心との結ぶ方向ベクトル、円周上の位置θにおける貫通穴の奥行き方向の深さ：ｈ（θ）、内円の半径の二乗：ｒ2とする）
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の画像検査装置であって、さらに、
筒状の内壁を同心環状に撮像した撮像画像から、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成するための内壁展開部を備える画像検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の画像検査装置であって、
前記内壁展開部が、抽出された内壁展開図を矩形状に補正してなる画像検査装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の画像検査装置であって、さらに、
前記内壁展開部で抽出された内壁展開図を表示させるための内壁展開表示部を備える画像検査装置。
【請求項１２】
筒状の貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、
検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成するための内壁展開部と、
前記内壁展開部で抽出された内壁展開図を表示させるための内壁展開表示部と、
前記内壁展開表示部で表示された内壁展開図に対して、画像処理により良否判定を行うための良否判定部と
を備え、
前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、
前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、
画像検査装置がさらに、
検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部と、
前記内壁展開図について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する内壁展開図を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、
前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、内壁展開図を検査ライン毎に二値化する二値化部と
を備え、
前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、
前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定してなる画像検査装置。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の画像検査装置であって、
環状平面画像の内、前記良否判定部により異常と判定された部位を着色して表示可能としてなる画像検査装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の画像検査装置であって、
前記良否判定部は、所定の閾値以上の輝度を持つ画素を異常画素とし、異常画素の数をカウントして、カウント値が一定量を超える場合には不良品と判定するよう構成してなる画像検査装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の画像検査装置であって、
前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像に対して、検査領域ＲＯＩを設定し、
前記検査領域ＲＯＩの平均輝度を１００％に、環状平面画像中の最低輝度となる領域の輝度を０％に、それぞれ設定して、相対輝度を算出し、前記相対輝度に対して閾値を設定するよう構成してなる画像検査装置。
【請求項１６】
貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を検査するための画像検査方法であって、
ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整された環状平面画像取得部と、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を用いて、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得する工程と、
前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定する工程と、
前記設定された可変評価値に従い環状平面画像を画像処理し、これに基づいて輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行う工程と
を含み、
前記可変評価値を設定する工程が、
前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定する工程と、
前記設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する工程と
を含み、
前記良否判定を行う工程が、前記二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うものであり、
前記二値化閾値は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定される画像検査方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の画像検査方法であって、さらに、
前記取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似すると共に、近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する工程を含む画像検査方法。
【請求項１８】
請求項１６又は１７に記載の画像検査方法であって、さらに、
前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成する工程と、
前記抽出された内壁展開図を、内壁展開表示部に表示させる工程と
を含む画像検査方法。
【請求項１９】
貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を検査するための画像検査プログラムであって、
ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整された環状平面画像取得部と、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を用いて、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得する機能と、
前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定する機能として、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定する機能と、
前記二値化閾値設定機能で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する機能と、
前記二値化された二値画像を画像処理し、これに基づいて輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行う機能と
をコンピュータに実現させる画像検査プログラム。
【請求項２０】
請求項１９に記載の画像検査プログラムであって、さらに、
前記取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似すると共に、近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する機能をコンピュータに実現させる画像検査プログラム。
【請求項２１】
請求項１９又は２０に記載の画像検査プログラムであって、さらに、
前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成する機能と、
前記抽出された内壁展開図を、内壁展開表示部に表示させる機能と
をコンピュータに実現させる画像検査プログラム。
【請求項２２】
請求項１９〜２１のいずれか一項に記載のプログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体または記憶した機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像検査装置、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の光学画像を撮像して、画像処理によって良品や不良を判定する画像検査装置は開発されている。このような画像検査装置では、検査対象物（ワーク）の光学画像を撮像した平面画像に対して画像処理を行い、傷や欠けといった不良を検出している。一方、筒状のワークの内壁を検査しようとすれば、通常の平面画像では内壁を撮像できないため、従来、魚眼レンズを利用した歪んだ画像を用いたり（特許文献１）、筒状の内部にカメラを挿入して、ワーク又はカメラを回転させることで、内面を撮像することとにより、行う必要があった。この方法では、カメラを円筒に挿入したり、回転させる等の機構が必要となり、検査システムが複雑で高価になる上、検査作業も非常に手間がかかり、画像の撮像にも時間がかかり生産性が低下するという問題があった。また、目視による方法もあるが、この場合も同様に手間がかかる上、内壁は見難いので見落としのリスクも大きくなる。
【０００３】
これに対して、ワークがレンズに近づくほど小さい像になり、遠くになるほど大きな像となる、いわゆるハイパーセントリックあるいはペリセントリックの光学系を用いた画像認識装置が開発されている（例えば特許文献２）。この画像認識装置は、図２３に示すように、半導体チップ２０１と撮影手段２１０との間に、前側焦点Ｐと後側焦点Ｑとを有するレンズ２１１を、当該レンズ２１１における後側焦点Ｑに対する焦点深度ξ１，ξ２の範囲内に前記半導体チップ２０１の全体が位置するように配設し、さらにこのレンズ２１１に対する絞り２０７を、その前側焦点Ｐと撮影手段２１０との間の部位に配設する。これにより、図２４に示すような半導体チップ２０１の被検査部品の表面に傷又は欠け等の欠損がある否かの状態を、撮影手段２１０にて撮影した画像から認識する場合に、図２５に示すように半導体チップ２０１の上面２０１ａ及び各側面２０１ｂ，２０１ｃ，２０１ｄ，２０１ｅを同時に拡大して撮影できる。この方法であれば、立体物であるワークの側面の画像を平面図で表示させることができる。
【０００４】
この方法を応用することで、筒状のワークの内壁部分の画像も平面図として撮像することが可能となる。すなわち図２６に示すような、円筒形の貫通穴ＨＬ１を形成したワークＷＫ１の内壁を撮像する場合、図２７Ａに示すように、画像検査装置３００のレンズ３１１の収束点を、ワークＷＫ１の手前で結ぶように調整する。これにより、図２７Ｂに示すように、内壁部分を平面状に展開した画像が得られる。ここでは通常のハイパーセントリック系の展開画像と異なり、ワークとレンズとの距離が近い手前側ほど大きく、距離が遠くなる奥側ほど小さく表示された展開画像が生成される。
【０００５】
しかしながら、円筒の内壁部分を含む画像を綺麗に撮像することは容易でない。また、得られた画像に対して画像処理して適切に良品判定を行うことも、容易でない。特に、奥行きのある穴を撮像した展開画像では、手前ほど拡大して表示される結果、相対的に輝度が不足して暗くなり、逆に奥行きほど縮小して表示される結果、輝度が増して明るく表示される。このため、手前側で傷や欠け等の部位を適切に検出できるように二値化のための閾値（しきいち）を設定すると、奥側では適切な検出ができなくなり、逆に奥側の領域で適切な検出ができるような閾値を設定すると、手前側では適切な検出が困難となり、奥行き方向の手前側と奥側で精度よく不良を検出することができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１５０７６７号公報
【特許文献２】特開平１１−２６５９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような背景に鑑みてなされたものであり、その目的の一は、円筒の内壁部分の検査を容易に行えるようにした画像検査装置、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る画像検査装置によれば、貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定可能とした可変評価値設定部と、前記可変評価値設定部で設定された可変評価値に従い画像処理された環状平面画像を評価して、輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行うための良否判定部とを備え、前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、画像検査装置がさらに、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を備え、前記可変評価値設定部が、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部とを備え、前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定することができる。上記構成により、貫通穴の内壁を検査する際に、画像の明るさが貫通穴の奥行き方向に変化する場合であっても、貫通穴の奥行き方向の深さに応じて既定された検査ライン毎に輝度の異常を判別する可変評価値を検査ライン単位で異なる値に設定できるので、奥行き方向の明るさの変化に応じた適切な画像処理を実現でき、良否判定を精度よく行える利点が得られる。また、貫通穴の奥行き方向の検査ライン毎に二値化閾値を設定できるので、奥行き方向の明るさの変化に応じた適切な二値化閾値を設定でき、二値化を精度よく行える利点が得られる。さらに、相対的に輝度の低い手前側ほど二値化閾値を低く、輝度の高い奥側ほど高く設定するように変化させることで、二値化閾値の精度を高めることができる。
【００１１】
また、第２の態様に係る画像検査装置によれば、前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、輝度の平均値を正規化して得られた偏差に基づいて設定できる。上記構成により、各検査ラインの輝度を平均値から精度よく求めることができる。
【００１２】
さらに、第３の態様に係る画像検査装置によれば、前記可変評価値設定部が、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の個別平均値を演算し、検査ライン毎に得られた該個別平均値を可変評価値として、異なる検査ライン間で共通となる共通平均値を設定し、各検査ラインについて、輝度の平均値が該共通平均値となるよう、検査ライン単位で輝度を補正する輝度補正部と、前記輝度補正部で補正された輝度値に従い、検査ライン間で共通の二値化閾値を設定して、該共通二値化閾値に基づき、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部とを備え、前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成できる。上記構成により、共通の二値化閾値でもって二値画像を生成できる一方、奥行き方向に明るさが変化する環状平面画像に対しても、予め奥行き方向の明るさを補正することで、奥行き方向の明るさの変化によらない適切な画像処理を実現でき、良否判定を精度よく行える利点が得られる。
【００１３】
さらにまた、第４の態様に係る画像検査装置によれば、前記良否判定部は、環状平面画像の検査ライン毎に取得した各画素の内、各検査ラインの画素の輝度値のピーク値を基準として一定量以上輝度の低い画素を異常と判定し、該異常と判定された画素同士を接続して異常痕を検出可能とできる。
【００１４】
さらにまた、第５の態様に係る画像検査装置によれば、貫通穴の形状を円筒状とできる。
【００１５】
さらにまた、第６の態様に係る画像検査装置によれば、さらに前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似する円近似部と、前記円近似部で近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する円中心補正部とを備えており、前記二値化閾値設定部は、円環検査ラインの中心位置を、前記円中心補正部で補正しながら、円環検査ライン毎に環状平面画像を二値化するよう構成できる。上記構成により、円環検査ラインで中心位置を補正しながら近似できるため、円筒形の貫通穴の中心軸上に環状平面画像を撮像する撮像部の中心を一致させずとも画像解析が可能となり、より簡便な画像検査が実現される。
【００１６】
さらにまた、第７の態様に係る画像検査装置によれば、円筒形の貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心円状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似する円近似部と、前記円近似部で近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する円中心補正部と、前記円中心補正部で補正された中心にて近似された円環検査ライン毎に、環状平面画像の画素値を画像処理して、良否判定を行う良否判定部とを備え、前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、画像検査装置がさらに、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部と、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する二値化部とを備え、前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定することができる。上記構成により、円環検査ラインで中心位置を補正しながら近似できるため、円筒形の貫通穴の中心軸上に環状平面画像を撮像する撮像部の中心を一致させずとも画像解析が可能となり、より簡便な画像検査が実現される。
【００１７】
さらにまた、第８の態様に係る画像検査装置によれば、前記円中心補正部による円環検査ラインの中心位置の補正を、次式に従って行うことができる。
0006647903.tif 000002
0006647903.tif 000003
（ただし、外円中心：Ｏo＝（Ｏox，Ｏoy）、内円中心：Ｏi＝（Ｏix，Ｏiy）、Ｄ：外円中心と内円中心との結ぶ方向ベクトル、円周上の位置θにおける貫通穴の奥行き方向の深さ：ｈ（θ）、内円の半径の二乗：ｒ2とする）
【００１８】
さらにまた、第９の態様に係る画像検査装置によれば、さらに筒状の内壁を同心環状に撮像した撮像画像から、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成するための内壁展開部を備えることができる。
【００１９】
さらにまた、第１０の態様に係る画像検査装置によれば、前記内壁展開部が、抽出された内壁展開図を矩形状に補正できる。
【００２０】
さらにまた、第１１の態様に係る画像検査装置によれば、さらに前記内壁展開部で抽出された内壁展開図を表示させるための内壁展開表示部を備えることができる。
【００２１】
さらにまた、第１２の態様に係る画像検査装置によれば、筒状の貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を撮像した画像を取得して検査可能な画像検査装置であって、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための環状平面画像取得部と、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成するための内壁展開部と、前記内壁展開部で抽出された内壁展開図を表示させるための内壁展開表示部と、前記内壁展開表示部で表示された内壁展開図に対して、画像処理により良否判定を行うための良否判定部とを備え、前記環状平面画像取得部が、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整しており、画像検査装置がさらに、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部と、前記内壁展開図について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する内壁展開図を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための二値化閾値設定部と、前記二値化閾値設定部で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、内壁展開図を検査ライン毎に二値化する二値化部とを備え、前記良否判定部が、前記二値化部で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うよう構成しており、前記二値化閾値設定部は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定することができる。
【００２２】
さらにまた、第１３の態様に係る画像検査装置によれば、環状平面画像の内、前記良否判定部により異常と判定された部位を着色して表示可能とできる。
【００２３】
さらにまた、第１４の態様に係る画像検査装置によれば、前記良否判定部は、所定の閾値以上の輝度を持つ画素を異常画素とし、異常画素の数をカウントして、カウント値が一定量を超える場合には不良品と判定するよう構成できる。
【００２４】
さらにまた、第１５の態様に係る画像検査装置によれば、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像に対して、検査領域ＲＯＩを設定し、前記検査領域ＲＯＩの平均輝度を１００％に、環状平面画像中の最低輝度となる領域の輝度を０％に、それぞれ設定して、相対輝度を算出し、前記相対輝度に対して閾値を設定するよう構成できる。
【００２６】
さらにまた、第１６の態様に係る画像検査方法によれば、貫通穴を形成したベアリングである検査対象物の、該貫通穴の内壁を検査するための画像検査方法であって、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整された環状平面画像取得部と、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を用いて、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得する工程と、前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定する工程と、前記設定された可変評価値に従い環状平面画像を画像処理し、これに基づいて輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行う工程とを含み、前記可変評価値を設定する工程が、前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を設定する工程と、前記設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する工程とを含み、前記良否判定を行う工程が、前記二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行うものであり、前記二値化閾値は、各検査ライン毎の二値化閾値について、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定することができる。これにより、貫通穴の内壁を検査する際に、画像の明るさが貫通穴の奥行き方向に変化する場合であっても、貫通穴の奥行き方向の深さに応じて既定された検査ライン毎に輝度の異常を判別する可変評価値を検査ライン単位で異なる値に設定できるので、奥行き方向の明るさの変化に応じた適切な画像処理を実現でき、良否判定を精度よく行える利点が得られる。
【００２７】
さらにまた、第１７の態様に係る画像検査方法によれば、さらに、前記取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似すると共に、近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する工程とを含むことができる。
【００２８】
さらにまた、第１８の態様に係る画像検査方法によれば、さらに、前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成する工程と、前記抽出された内壁展開図を、内壁展開表示部に表示させる工程とを含むことができる。
【００２９】
さらにまた、第１９の態様に係る画像検査プログラムによれば、貫通穴を形成した検査対象物の、該貫通穴の内壁を検査するための画像検査プログラムであって、ハイパーセントリックレンズと、撮像素子とを含み、前記ハイパーセントリックレンズの収束点が、該ハイパーセントリックレンズと検査対象物との間に位置するよう調整された環状平面画像取得部と、検査対象物に対して、前記撮像素子と反対側に配置されて、検査対象物に照明光を照射して透過照明を行うための照明部を用いて、検査対象物の貫通穴の内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得する機能と、前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素の輝度値の分布に基づいて、該輝度値を評価するための可変評価値を設定する機能として、前記環状平面画像取得部で取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、該検査ライン上に位置する環状平面画像を構成する画素を二値化する二値化閾値を、貫通穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定する機能と、前記二値化閾値設定機能で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像を検査ライン毎に二値化する機能と、前記二値化された二値画像を画像処理し、これに基づいて輝度値が異常な画素を抽出して良否判定を行う機能とをコンピュータに実現させることができる。これにより、貫通穴の内壁を検査する際に、画像の明るさが貫通穴の奥行き方向に変化する場合であっても、貫通穴の奥行き方向の深さに応じて既定された検査ライン毎に輝度の異常を判別する可変評価値を検査ライン単位で異なる値に設定できるので、奥行き方向の明るさの変化に応じた適切な画像処理を実現でき、良否判定を精度よく行える利点が得られる。
【００３０】
さらにまた、第２０の態様に係る画像検査プログラムによれば、さらに、前記取得された環状平面画像の内、円環状に表示された内壁の部分について、貫通穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似すると共に、近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する機能をコンピュータに実現させることができる。
【００３１】
さらにまた、第２１の態様に係る画像検査プログラムによれば、さらに、前記取得された環状平面画像の内、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成する機能と、前記抽出された内壁展開図を、内壁展開表示部に表示させる機能とをコンピュータに実現させることができる。
【００３２】
さらにまた、第２２の態様に係るコンピュータで読み取り可能な記録媒体または記憶した機器は、上記プログラムを格納するものである。記録媒体には、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷやフレキシブルディスク、磁気テープ、ＭＯ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、Ｂｌｕ−ｒａｙ（登録商標）、ＨＤ  ＤＶＤ（ＡＯＤ）等の磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリその他のプログラムを格納可能な媒体が含まれる。またプログラムには、上記記録媒体に格納されて配布されるものの他、インターネット等のネットワーク回線を通じてダウンロードによって配布される形態のものも含まれる。さらに記憶した機器には、上記プログラムがソフトウェアやファームウェア等の形態で実行可能な状態に実装された汎用もしくは専用機器を含む。さらにまたプログラムに含まれる各処理や機能は、コンピュータで実行可能なプログラムソフトウエアにより実行してもよいし、各部の処理を所定のゲートアレイ（ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ）等のハードウエア、又はプログラムソフトウエアとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウエアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態に係る画像処理装置を示すブロック図である。
【図２】ハイパーセントリックレンズを用いてベアリングの内壁を撮像する撮像光学系を示す模式図である。
【図３】検査対象のワークであるベアリングの外観を示す写真である。
【図４】画像検査によりワークの傷を検出する手順を示すフローチャートである。
【図５】図５Ａは良品のベアリングであり、図５Ｂ〜図５Ｇは不良品のベアリングの環状平面画像を示すイメージ図である。
【図６】環状平面画像を示すイメージ図である。
【図７】図６の環状平面画像の領域を示す模式図である。
【図８】輝度値に基づくＲＯＩの取得手順を示すフローチャートである。
【図９】図６の画像に対してぼかし処理を行ったぼかし画像を示すイメージ図である。
【図１０】図９のぼかし画像を二値化した外円抽出用二値化画像を示すイメージ図である。
【図１１】図６の環状平面画像から検出された外円を示すイメージ図である。
【図１２】図９のぼかし画像を二値化した内円抽出用二値化画像を示すイメージ図である。
【図１３】図６の環状平面画像から検出された内円を示すイメージ図である。
【図１４】図６の環状平面画像から生成された内壁展開図を示すイメージ図である。
【図１５】図１４の内壁展開図を補正した補正後の内壁展開図を示すイメージ図である。
【図１６】図１５の補正後の内壁展開図から傷を検出した画像を示すイメージ図であ
【図１７】図１７Ａは図５Ａの良品のベアリング、図１７Ｂ〜図１７Ｇは図５Ｂ〜図５Ｇの不良品のベアリングの二値画像を示すイメージ図である。
【図１８】図１４の内壁展開図に対して検査ラインを設定する状態を示すイメージ図である。
【図１９】斜めから撮像した環状平面画像の例を示すイメージ図である。
【図２０】図１９の環状平面画像から生成した内壁展開図を示すイメージ図である。
【図２１】図１９の環状平面画像から生成した補正後の内壁展開図を示すイメージ図である。
【図２２】図１９の環状平面画像に対して外円中心と内円中心、及び内円中心から内円周囲までの距離を示すイメージ図である。
【図２３】従来の画像認識装置を示す模式図である。
【図２４】ワークの一例を示す斜視図である。
【図２５】図２４のワークを図２３の画像認識装置で撮像した画像の平面図である。
【図２６】他のワークを示す斜視図である。
【図２７】図２７Ａはワークの円筒状の内壁を撮像する光学系を示す模式図であり、図２７Ｂは図２６のワークを図２７Ａの撮像光学系で撮像した画像を示す平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための画像検査装置を例示するものであって、本発明は画像検査装置を以下のものに特定しない。特に本明細書は、特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。
【００３５】
図１に、本発明の一実施形態に係る画像検査装置１００のブロック図を示す。この図に示す画像検査装置１００は、環状平面画像取得部１０と、演算部２０と、表示部３０と、操作部４０を備える。この画像検査装置１００は、穴を有する検査対象物（ワークＷＫ）の、穴ＨＬの内壁を撮像した光学画像を取得し、この光学画像に対して画像検査を行い、割れや欠けといった異常の有無を検出し、良否判定を行う。ここでは、ワークＷＫの一例として、図３に示すようなベアリングを例に挙げて説明する。ベアリングに円筒状に開口された穴ＨＬ（貫通孔）の内壁は、従来、外観検査が非常に困難とされてきた。そこで実施形態に係る画像検査装置は、この検査を自動化することを目的になされたものである。ここでは、ベアリングの内壁に設けられた切削痕や凹部のような異常部（以下、「異常痕」とも呼ぶ。）を画像処理によって検査することを考える。
（環状平面画像取得部１０）
【００３６】
環状平面画像取得部１０は、ワークＷＫの穴ＨＬの内壁を、同心環状の平面画像として撮像した環状平面画像を取得するための部材である。図１の例では、環状平面画像取得部１０は、レンズ部１１と、撮像素子１２と、照明部１３と、撮像制御部１４を備える。
【００３７】
レンズ部１１は、好ましくはハイパーセントリックレンズで構成する。ハイパーセントリックレンズは、ペリセントリックレンズ等とも呼ばれ、収差を意図的に発生させるレンズであり、光学画像を意図的に歪ませて三次元の対象を二次元画像に展開して表示させることができる。例えばワークの上面部とそれを囲む側面部に同時にピントを合わせることで、立体的なワークを展開したような平面画像を作り出すことができる。また、このハイパーセントリックレンズを用いて、ワークの側面でなく、円筒状の内壁を撮像することができる。この場合、ハイパーセントリックレンズの収束点が、ハイパーセントリックレンズとワークとの間に位置するように調整する。
（撮像光学系）
【００３８】
ハイパーセントリックレンズを用いてベアリングの内壁を撮像する撮像光学系を図２の模式図に示す。この図に示すように、ハイパーセントリックレンズの収束点ＣＶを、ワークＷＫの手前で結ぶように調整する。これにより、内壁部分を平面状に展開した画像が得られる。この画像を、本明細書では環状平面画像ＦＩと呼ぶ。環状平面画像ＦＩは、通常のハイパーセントリック系の展開画像、すなわちワークの側面と上面を同時に撮像した展開画像と異なり、ワークＷＫとレンズ部１１との距離が近い手前側ほど大きく、距離が遠くなる奥側ほど小さく表示される。
【００３９】
なお、レンズ部１１としてハイパーセントリックレンズに代えて、魚眼レンズを利用することもできる。ただ、魚眼レンズは焦点距離が短いため、好適には焦点深度の深いハイパーセントリックレンズを用いる。
（撮像素子１２）
【００４０】
撮像素子１２は、照明部１３からの照明光がワークＷＫの表面で反射されて、レンズ部１１を通して得られた光を受光し、結像するためのカメラである。撮像素子１２には、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の半導体受光素子が好適に利用できる。また、カラーの撮像素子の他、より高精細なモノクロのＣＣＤのような撮像素子を用いてもよい。
（照明部１３）
【００４１】
照明部１３は、ワークＷＫを照明するための照明光を発する照明用光源を備える。照明用光源には、例えばＬＥＤや有機ＥＬ、白熱電球、ハロゲンランプ等が利用できる。照明部１３からの照明光が、レンズ部１１や撮像素子１２の光軸に入射される方向となるように、照明部１３は設置される。また照明部１３は、好ましくは照明光の角度を調整可能とした角度調整機構を設ける。さらに照明用光源を複数設けてもよい。例えば照明用光源を均一な面状光源としたり、点状光源としてもよい。さらにリング状に照明用光源を並べたリング状照明とすることもできる。さらにまた、必要に応じて落射照明や透過照明としてもよい。図１の例では、ワークＷＫに対して斜め方向から照明光を照射させた例を示しているが、光軸方向と一致させてもよい。また図２の例では、ワークＷＫに対して裏面側に面状光源を配置して照明する透過照明としている。
（撮像制御部１４）
【００４２】
撮像制御部１４は、撮像部を制御するための部材であり、例えば撮像制御部１４を介して、撮像部の撮像タイミングやシャッター速度（露光時間）等を調整する。このような撮像制御部１４は、例えばカメラ用のＩＣ等が該当する。また、ライン上を搬送されるワークの撮像タイミングを制御するため、例えば光電センサのようなワークの位置を検出する位置検出部１５からの入力信号をトリガ信号として、撮像を行うよう構成してもよい。さらに、照明部１３と接続することで、照明光の光量や点灯タイミングを制御するように構成してもよい。
【００４３】
このような環状平面画像取得部１０でもって、照明用光源からの光を、ワークＷＫの円筒状の内壁において正反射もしくは拡散反射させる。この内の正反射光を、ハイパーセントリックレンズにより撮像素子１２に導く。このようにして得られた正反射光で構成される環状平面画像ＦＩを、演算部２０に転送し、演算部でもって画像処理し、ワークＷＫの良否判定を行う。ワークＷＫに傷があると、傷部で拡散反射光の強度が増加するため、相対的に正反射光の強度が低下する。すなわち、環状平面画像ＦＩにおいて極度に強度が低下している部分は傷とみなすことができる。
【００４４】
なお、この例では環状平面画像取得部１０でもって、ライン上を搬送されるワークＷＫを順次撮像して、演算部２０に送出する構成を示している。ただ、環状平面画像取得部は必ずしもこのような撮像機能を備える必要はなく、別途撮像された画像を演算部に送出する構成としてもよい。この場合、環状平面画像取得部は、別途撮像された画像を入力する入力インターフェースとして機能する。例えば、ネットワークを介して別の場所で撮像された同心円環展開画像を、入力部である環状平面画像取得部でもってデータ通信を行って取得し、演算部に転送する。
（演算部２０）
【００４５】
演算部２０は、各種の処理を行う部材であり、専用に設計したマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）やＣＰＵ、ＬＳＩ、ＦＰＧＡやＡＳＩＣ等のゲートアレイといったハードウェアや、画像検査プログラムをインストールした汎用のコンピュータが利用できる。図１に示す演算部２０は、内壁展開部２１と、円近似部２２と、円中心補正部２３と、可変評価値設定部２４と、良否判定部２７を備える。可変評価値設定部２４は、環状平面画像取得部１０で取得された環状平面画像ＦＩの内、環状に表示された内壁の部分について、穴ＨＬの奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、検査ライン上に位置する環状平面画像ＦＩを構成する画素の輝度値の分布に基づいて、この輝度値を評価する可変評価値を設定するための部材である。この可変評価値設定部２４は、二値化閾値設定部２５と、二値化部２６を備える。
（二値化閾値設定部２５）
【００４６】
二値化閾値設定部２５は、環状平面画像取得部１０で取得された環状平面画像ＦＩの内、環状に表示された内壁の部分について、穴ＨＬの奥行き方向の一定幅毎に環状の検査ラインを設定し、各検査ライン毎に、この検査ライン上に位置する環状平面画像ＦＩを構成する画素を二値化する二値化閾値を設定するための部材である。
（二値化部２６）
【００４７】
二値化部２６は、二値化閾値設定部２５で設定された検査ライン毎の二値化閾値に従い、環状平面画像ＦＩを検査ライン毎に二値化する。これにより、穴ＨＬの奥行き方向の検査ライン毎に二値化閾値を設定できるので、奥行き方向の明るさの変化に応じた適切な二値化閾値を設定でき、二値化を精度よく行える利点が得られる。特に奥行きのある穴を平面状に展開した環状平面画像ＦＩでは、奥行きの位置に応じて拡大率が異なる。手前ほど拡大して表示される結果、相対的に輝度が低下して暗くなり、逆に奥側ほど小さく表示される結果、相対的に輝度が高くなる。このように明るさが奥行き毎に異なってしまうため、二値化のための閾値を一律に設定しようとしても、適切に窪みや傷を検出できるような設定値に調整することが容易でない。特に奥行き方向に傷が走っている場合は、このような二値化閾値の調整は困難を極めていた。これに対して上記構成では、画像全体で二値化閾値を一律とせず、環状の検査ラインを設定すると共に、検査ラインの奥行き毎に閾値を設定することで、各検査ラインでの二値化の設定を各々適切に行え、もって良否判定の精度を向上することが可能となる。
【００４８】
二値化閾値設定部２５は、各検査ライン毎の二値化閾値について、穴の奥行き方向において手前側ほど低く、奥側ほど高くなるように設定する。これにより、相対的に輝度の低い手前側ほど二値化閾値を低く、輝度の高い奥側ほど高く設定するように変化させることで、二値化閾値の精度を高めることができる。
【００４９】
また二値化閾値設定部２５は、各検査ライン毎の二値化閾値を、輝度の平均値を正規化して得られた偏差に基づいて設定することができる。これにより、各検査ラインの輝度を平均値から精度よく求めることができる。
（良否判定部２７）
【００５０】
良否判定部２７は、二値化部２６で二値化された二値画像に対して、画像処理により良否判定を行う。良否判定部２７は、環状平面画像ＦＩの検査ライン毎に取得した各画素の内、各検査ラインの画素の輝度値のピーク値を基準として一定量以上輝度の低い画素を異常と判定する。そして異常と判定された画素同士を接続して異常痕を検出する。特に、検査ラインと交差する方向に延びた痕（垂直痕と呼ぶ）を検査するには、内壁展開図の検査ライン毎にピーク値を取り、ピーク値から一定以上低い部分を穴と判断する。穴を縦方向に結ぶことで、垂直痕を検出することができる。
（円近似部２２）
【００５１】
円近似部２２は、環状平面画像取得部１０で取得された環状平面画像ＦＩの内、円環状に表示された内壁の部分について、穴の奥行き方向の一定幅毎に円環状の検査ラインで近似する。
（円中心補正部２３）
【００５２】
円中心補正部２３は、円近似部２２で近似された円環検査ラインの中心位置を、奥行き方向に応じて補正する。
（二値化閾値設定部２５）
【００５３】
二値化閾値設定部２５は、円環検査ラインの中心位置を、円中心補正部２３で補正しながら、円環検査ライン毎に環状平面画像ＦＩを二値化するよう構成している。これにより、円環検査ラインで中心位置を補正しながら近似できるため、円筒形の穴の中心軸上に環状平面画像ＦＩを撮像する撮像部の中心を一致させずとも画像解析が可能となり、より簡便な画像検査が実現される。
（内壁展開部２１）
【００５４】
内壁展開部２１は、筒状の内壁を同心環状に撮像した撮像画像から、環状に表示された内壁の部分を抽出して、周方向が直線状となるように平面画像に展開した内壁展開図を生成するための部材である。また内壁展開部２１は、抽出された内壁展開図を矩形状に補正することができる。詳細は後述する。
（操作部４０）
【００５５】
操作部４０は、演算部２０に対して各種の操作や設定を行うための部材であり、キーボードやコンソール、あるいはマウスなどのポインティングデバイス等が利用できる。
（表示部３０）
【００５６】
表示部３０は、環状平面画像取得部１０で取得された画像や、各種の設定を行うための設定画面、この設定画面に対して操作部４０から入力される設定値等を表示させるための部材である。このような表示部３０は、ＬＣＤやＣＲＴ、有機ＥＬ等のディスプレイである。また、表示部をタッチパネルとすることで、操作部と表示部を兼用することもできる。
【００５７】
表示部３０は、環状平面画像ＦＩの内、良否判定部２７により異常と判定された部位を着色して表示可能としている。また表示部３０は、内壁展開部２１で抽出された内壁展開図を表示させるための内壁展開表示部を備えている。
（処理手順）
【００５８】
以上の画像検査装置１００を用いて、ワークＷＫの穴ＨＬの表面の外観検査が可能となる。このような外観検査の一例として、図３に示すようなベアリングの内径を撮像して、画像検査を行い、傷の有無を検出する手順を、図４のフローチャート及び図５Ａ〜図１６の画像に基づいて説明する。ここでは、図５Ａ〜図５Ｇに示すようなベアリングの環状平面画像ＦＩを撮像することを考える。なお、図５Ａはベアリングの良品であり、図５Ｂ〜図５Ｇは、円で囲んだ部分に傷がある不良品である。
【００５９】
まずステップＳ４１において、環状平面画像ＦＩを取得する。ここでは、図１の環状平面画像取得部１０でもって、図２に示す撮像光学系を用いて、図６に示すような環状平面画像ＦＩを撮像する。図２に示す例では照明部１３として面状光源を用いているので、図６に示す撮像された環状平面画像ＦＩにおいて、ワークＷＫに開口、貫通された穴ＨＬの中心に見えるのは、面状光源の光である。この環状平面画像ＦＩは、図７に示すように、背景となる円筒周囲ＢＧ、円筒端面ＥＦ、円筒内壁面ＩＳ、及び光源ＬＳに由来する像で構成される。
【００６０】
次にステップＳ４２において、検査領域（Region Of Interest：ＲＯＩ）を取得する。ここでは、環状平面画像取得部１０で撮像された環状平面画像ＦＩを演算部２０に送出し、検査領域として図６の環状平面画像ＦＩから、穴の上端にあたる外側の円（外円ＯＣＬ）と、穴の下端にあたる内側の円（内円ＩＣＬ）を抽出する。外円ＯＣＬは、図２に示すように穴の奥行き方向においてレンズ部１１に近い手前側の端面を表し、一方内円ＩＣＬは、レンズ部１１から遠い側、すなわち奥側の端面を表している。これらの外円ＯＣＬと内円ＩＣＬは、円近似部２２でもって画像処理によりそれぞれ中心位置と円周を特定する。
【００６１】
具体的に、図７に示す環状平面画像ＦＩにおいて、検査対象となるＲＯＩは円筒内壁面ＩＳである。いいかえると円筒内壁面ＩＳ以外の領域は、無関心領域として、傷検出の工程では無視する。ＲＯＩ領域の取得は、強度もしくは微分によるエッジ検出やHough変換等の空間変換を利用できる。
【００６２】
なお、ＲＯＩ内に傷由来のエッジが含まれていることを想定すると、画像信号の強度すなわち輝度値に基づいてＲＯＩ領域を設定した方が設定の失敗が少ないと考えられる。また、Hough変換等による円検出も利用できるが、微分を利用したエッジ検出と同様に、傷による影響を少なからず受けると考えられることから、輝度値からＲＯＩを設定することが好ましい。
（輝度値に基づくＲＯＩの取得手順）
【００６３】
輝度値によるＲＯＩ領域の取得手順は、図８のフローチャートに示す手順で行う。まずステップＳ８１において、画像のぼかし処理を行う。ここでは、撮像した図６の環状平面画像ＦＩにぼかし処理を行い、図９に示すぼかし画像ＢＩを得る。これにより、環状平面画像中のノイズ（ザラつきやギラつき）を低減させ、ＲＯＩの認識精度向上を図ることができる。
【００６４】
次にステップＳ８２において、画像を二値化する。画像の二値化は、可変評価値設定部２４の二値化部２６で行う。まず、円筒周囲ＢＧ、円筒端面ＥＦの像が黒く、円筒内壁面ＩＳ、光源ＬＳの像が白くなるように閾値を設定する。設定した閾値に基づいて、図９のぼかし画像ＢＩを二値化する。例えば後述する外円ＯＣＬを抽出するための閾値として、外円抽出閾値を二値化閾値設定部２５で設定し、図１０の外円抽出用二値化画像ＯＢＩを得る。なお閾値の設定に際しては、円筒端面ＥＦや円筒周囲ＢＧの輝度に基づいて設定すると利便性が向上する。これは、円筒端面ＥＦや円筒周囲像は撮像部以外の光源によって照明されていることから、適切な係数を掛けた輝度値を閾値として設定することで、撮像環境に左右されず適切な値を設定できる。なお図１０の外円抽出用二値化画像ＯＢＩは、後述する外円ＯＣＬの抽出のための二値化であり、内円抽出用二値化画像ＩＢＩは、図１２に示すように別途生成される。
【００６５】
次にステップＳ８３において、外円を抽出する。図７の画像中の白い領域の外縁部は、ワークの内側面と手前端面がなす縁部分であり、これを外円と呼ぶ。外円の中心位置は白い領域の重心、外円の半径は白い領域の半径と、ほぼ一致する。なお、傷の有無によって僅かに円の中心がずれるものの、全体に対して殆ど影響がないとして無視できる。さらに、図９のぼかし画像ＢＩのように予めぼかしていることでも、傷の影響は低減されている。
【００６６】
このようにして白い領域の重心と半径を求め、これを外円の重心、半径とする。なお半径は、白い領域の面積（ピクセル数で代替できる）から求めることができ、面積Ｓ＝πｒ2から、ｒ＝√（Ｓ／π）［ｐｉｘｅｌ］で求めることができる。このような外円の抽出、すなわち外円の重心と半径の算出は、円近似部２２で行う。円近似部２２で図１０の外円抽出用二値化画像ＯＢＩから検出された外円ＯＣＬを、図１１に示す。
【００６７】
さらにステップＳ８４において、内円を抽出する。上記と同様に、図７の環状平面画像ＦＩ中の内側面と光源ＬＳの境界がなす縁部分を内円として、円近似部２２で内円の重心と半径を検出する。ここで、内円を抽出するための二値化は、図９のぼかし画像ＢＩの中心付近の輝度値を元にした閾値を設定し、このぼかし画像ＢＩを二値化することで、図１２に示すように光源ＬＳのみが白く、他の部分は黒くなった内円抽出用二値化画像ＩＢＩが得られる。これを元に、外円の検出と同様に内円を検出する。白い領域の重心、半径を算出した画像を図１３に示す。
【００６８】
以上のようにして、ＲＯＩとして内円ＩＣＬと外円ＯＣＬを環状平面画像から取得できる。ここで、得られた外円中心、内円中心をそれぞれＯo，Ｏiとする。また、外円半径、内円半径をそれぞれＲo、Ｒiとする。なお、後述する傷検査に際し、外円周部、内円周部は傷と認識されるおそれがある。このようなご認識のリスクは、ＲoとＲiに余裕を持たせるよう設定し直すことで軽減される。具体的には、Ｒoは小さめに、Ｒiは大きめに設定し直すことが好ましい。この場合、ＲＯＩの領域は僅かに小さくなるものの、円周部の誤検出を避けることができる。
【００６９】
なお、上述した外円の抽出と内円の抽出は、逆の順序で行ったり、同時に行ってもよい。例えば予め外円抽出用二値化画像と内円抽出用二値化画像を生成しておき、これらに対して外円周抽出閾値と内円抽出閾値をそれぞれ設定して、外円と内円の重心と半径をそれぞれ演算することができる。
【００７０】
次に図４の画像検査の説明に戻ると、ステップＳ４２において検査領域を取得した後、ステップＳ４３において、内壁展開図を生成する。ここでは図１の内壁展開部２１が、図６に示す環状平面画像ＦＩから、図１４に示す内壁展開図ＳＩを生成する。以下、環状平面画像から内壁展開図を生成する手順の一例を説明する。
【００７１】
ここでは、極座標系と直交座標系の空間変換に基づいた画像再構成（リサンプリング）を行う。図６の環状平面画像ＦＩの画素は、方眼状に分布しているところ、ＲＯＩの情報、すなわち円筒内壁面ＩＳの部位を表す領域は、画像中央から同心円上に位置している。ここで、環状平面画像を矩形状に展開した展開画像である内壁展開図を生成することを考える。このような展開には、極座標と直交座標の座標変換が利用できる。まず、簡単な状況であるＯo，Ｏiが一致している場合について説明する。ここで、中心が一致していることから、Ｏ＝Ｏo＝Ｏiとおく。元画像のＲＯＩの情報は、極座標分布となっており、ＲＯＩ中心Ｏ＝（Ｏx，Ｏy）から、次式を用いて直交座標に変換する。
【００７２】
ｘ＝ｒｃｏｓθ＋Ｏx、ｙ＝ｒｓｉｎθ＋Ｏy…式（１）
【００７３】
これにより、円筒内壁面ＩＳの内壁展開図が得られる。この内壁展開図への変換について説明すると、まず展開画像である矩形状の内壁展開図の画像のサイズを決定する。ここで画像幅は、外円周長２πＲoに合わせる。また画像高さは（Ｒo−Ｒi）とおく。また展開画像の縦方向はｒ軸を示し、横方向はθ軸とする。展開画像の（ｒ、θ）位置における画素の強度（輝度）であるＩt（ｒ、θ）は、元画像の（ｘ，ｙ）位置の画素強度Ｉm（ｘ，ｙ）から与えられる。上記の式（１）で示された（ｘ，ｙ）を用いて、変換式を書き下すと、以下のようになる。
【００７４】
Ｉt（ｒ，θ）＝Ｉm（ｘ，ｙ）＝Ｉm（ｒｃｏｓθ＋Ｏx，ｒｓｉｎθ＋Ｏy）…式（２）
【００７５】
ここでｒの値域は、取得したＲＯＩ領域に合わせて、Ｒi＜ｒ＜Ｒoとできる。Ｒを、Ｒiから１ｐｉｘｅｌずつ、Ｒoまで変化させると、原理的には元の情報を余すこと無く内壁展開図に変換できる。またθの値域は、０°＜θ＜３６０°とすれば良い。実際には、画像化に際して角度に距離の次元を持たせるために、横軸にはＲoθの値を設定する。このとき、Ｒoθの値域は０＜Ｒoθ＜２πＲoとなり、距離の次元を持つ。こうして、Ｒoθを０から１ｐｉｘｅｌずつ変化させることで、原理的には元の情報を余すこと無く内壁展開図に変換できる。
【００７６】
なお、ｒとＲoθの変化量は、１ｐｉｘｅｌである必要は無い。すなわち、２ｐｉｘｅｌ毎やそれ以上の画素間隔でリサンプリングしても良い。この場合、画素間隔を広く取ると画像は粗くなり空間分解能は落ちるものの、処理は高速になる。ただ、この部分で画素間隔を広げ処理を高速化させるよりも、予め取得画像サイズを小さくしておいた方が、全体の処理速度の向上という面では有利となる。
【００７７】
再び図４の画像検査の説明に戻ると、ステップＳ４３において内壁展開図ＳＩを生成した後、ステップＳ４４において、異常を検出するための画像処理を行う。ここでは、可変評価値設定部２４で傷を検出する感度の補正を行う。具体的には、二値化処理を行う二値化閾値を、検査ライン毎に設定する。この結果、図１４に示す内壁展開図ＳＩを、図１５に示すように画像処理して補正後の内壁展開図ＳＩ２に変換する。
【００７８】
最後にステップＳ４５において、良否判定を行う。ここでは、良否判定部２７が、図１５に示す補正後の内壁展開図ＳＩ２に対して、二値化閾値に基づいて二値化を行い、図１６の二値画像に示すように、閾値以上で異常と判定された画素から、傷を検出して、良品または不良品判定を行う。例えば、閾値以上の輝度を持つ画素を異常画素とし、異常画素の数をカウントして、カウント値が一定量を超える場合には不良品と判定する。また、異常画素のカウント値を表示部３０に表示させてもよい。またこの際、閾値も併せて表示させることもできる。一例として、図５Ａ〜図５Ｇに示すベアリングの環状平面画像ＦＩに対して、二値化を行った二値画像と、白で示す異常画素数を右隅に示した状態で、表示部３０に表示される二値画像の例を図１７Ａ〜図１７Ｇに、それぞれ示す。
（傷の判定）
【００７９】
以下、良否判定部２７が傷の判定を行う手順の一例として、詳細な手順を説明する。ここでは、ＲＯＩ中で一定輝度以下となっている領域を、傷と見なす。ただし、ワークの切削状況によって、ワーク全体の平均的な反射率が増減することに注意を要する。つまり、傷が無いにも関わらず画像全体の輝度が低下する状況も存在し得る。この場合であれば、単純に一定輝度以下という判断基準を用いると、全体に傷が分布していると判定される。これを避けるために、傷判定に際し、ＲＯＩの平均輝度に対し相対的に輝度が低下している部分を傷とみなす。
【００８０】
具体的には、ＲＯＩの平均輝度を１００％に、画像中の照明しておらず最低輝度となる領域の輝度を０％に、それぞれ設定する。最低輝度となる領域は、上述した図６の環状平面画像ＦＩにおいてはＲＯＩより外側の領域が相当する。こうして設定した相対輝度に対し、閾値を設ける。閾値以下に輝度が低下している領域を見つけ、この部分を傷とする。傷の総ピクセル数、すなわち面積がＲＯＩ中に一定数以上存在すれば、ワークは不適と見なす。
（エッジ検出）
【００８１】
また、傷の検査には、上述した二値化以外の既知の手法も適宜利用できる。例えば、エッジ検出をベースとした傷検査も画像検査法として利用できる。この場合は、環状平面画像の微分画像を取得する。そして微分画像に対し、閾値を設定して二値化する。この結果得られる二値画像に対して、閾値以上の微分値となる領域に囲まれている部分を傷と見なす。ただし、この手法は微分画像をベースとしているため、傷の検出分解能が若干劣る。一般的に、隣り合う画素の輝度差は僅かであるため、微分画像の輝度は非常に暗い。すなわち、微分画像の輝度の階調は少ないため、二値化する際には閾値を慎重に設定する必要がある。
（検出感度の補正）
【００８２】
傷の判定において、輝度低下から傷の有無を判定する場合、光源からの輝度のむらが問題となる場合がある。光源からの輝度むらにより、検査領域全体で傷検出感度のむらが発生してしまう。これを避けるために、光源はできるだけ均一な光源を利用する必要がある。さらに、ハイパーセントリックレンズや魚眼レンズを用いる場合、円筒環状平面画像の明るさは、ワーク奥から手前にかけて明るさが暗くなる。これは、ワーク奥から手前にかけて、レンズの開口数が変化しており、結果レンズの有効瞳系が変化するためである。このため、たとえ理想的な均一光源を利用したとしても、上述した画像検査方法では、傷検出感度のむらが発生してしまうことがある。この影響を除去するため、以下の方法が利用できる。
（１）奥行き位置に応じて画像の明るさを補正する。
（２）奥行き位置に応じて閾値を適宜設定する。
（３）用いるレンズの感度特性に合わせて、適切な発光強度分布を設定した光源を利用する。
【００８３】
（１）の補正方法では、図１８に示す内壁展開図において、縦軸すなわちｒ方向が奥行きに相当するため、任意のｒにおける検査ラインＩＬの輝度の平均値が一様となるように、各検査ラインＩＬの輝度を補正する。このようにして可変評価値設定部２４でもって検査ラインＩＬ毎の補正係数を変化させることで、ｒ方向における輝度の平均値が一定となるので、共通の二値化閾値を利用しても、検査ラインＩＬ毎の明るさの変化が補正された状態で二値画像を得ることが可能となる。
【００８４】
また（２）の補正方法では、傷を検出する工程において二値化する際に、検査ライン中の平均値に対して一定の割合の閾値を設ける。これは上述した方法であり、二値化閾値設定部２５が二値化閾値を検査ライン毎に可変としたことで、奥行き方向の明るさの変化に応じて適切な二値化を行うことが可能となる。
【００８５】
さらに（３）の補正方法では、傷が無いワークにおいて、内壁展開図の輝度分布が画像内において均一となるように、光源の発光強度分布を調整する。
【００８６】
このようにして、奥行き方向の手前側、奥側といった位置（高さ乃至深さ）によらず、環状平面画像内で均一な傷検査が実現できる。また以上の手法はワーク毎に行っても良いが、処理を高速化するために予めリファレンスを取得しておき、それをもとに補正をかけても良い。
【００８７】
なお、上記（１）及び（２）は、いずれも原理的には同等であり、結果としても同様の効果をもたらす。一方（３）は、ハードウェアで解決する方針であり、計算資源の消費が少ないものの、レンズの特性のみならずワークによっても適切に発光強度分布を設定する必要があり、（３）のみを適用すると画像検査装置のフレキシビリティが低下する。
（円中心補正機能）
【００８８】
また、抽出された外円や内円の中心の位置を、円中心補正部２３で補正することもできる。上述した例では、外円と内円の中心がほぼ一致していているとして扱える例、すなわちワークの撮像時において、ワークに開口された穴の中心軸が撮像光学系の光軸と一致するように、ワークのほぼ真上から撮影した画像に対して画像処理を行う例を説明した。一方、撮像部のカメラの設置角度や撮像タイミング等の制約から、必ずしもこのような正面写真を撮像できない場合もある。このような場合には、得られた画像を補正することで、正しく画像処理できるように対応できる。このような例を変形例に係る画像検査方法として、以下説明する。ここでは、図１９に示すように、内円ＩＣＬが外円ＯＣＬに対して若干右側に偏心した環状平面画像ＦＩ’が撮影された場合を考える。この環状平面画像ＦＩ’に対して、内壁展開図を生成すると、図２０のようになり、内円ＩＣＬと外円ＯＣＬの中心がズレている分だけ歪み、矩形状の高さが一定とならない。そこで、図２０の内壁展開図ＳＩ’が図２１に示す内壁展開図ＳＩ”のように矩形状に近付くよう、内壁展開図ＳＩ’を補正する。
【００８９】
ここでは、内壁展開図ＳＩ’の高さ（奥行き）が短い部分、図２０の例では両端の部分を引き伸ばすような補正を行う。ここでは、図１９の環状平面画像ＦＩ’に対して、上述した方法で外円ＯＣＬと内円ＩＣＬを円近似部２２で抽出する。この結果得られる外円中心、内円中心を、図２２に示すようにそれぞれＯo，Ｏiとし、またそれぞれの座標をＯo＝（Ｏox，Ｏoy）、Ｏi＝（Ｏix，Ｏiy）とする。この状態で、外円の中心に対して内円の中心がずれた方向ベクトルを、次式で表現できる。
【００９０】
【数１】
0006647903.tif 000004
【００９１】
そして、図２０、図２１において縦軸の奥行き方向（縦軸）をｒ＝０〜ｈ、円周方向（横軸）をθ＝０〜２πとおくと、縦軸すなわち矩形状の高さｈを円周上の位置θによって変化する関数ｈ（θ）と捉えることができる。ここで、位置θにおける高さｈは、内円の半径の二乗をｒ2とするとき、次式で表現できる。
【００９２】
【数２】
0006647903.tif 000005
【００９３】
よって、ｈ（θ）が各位置において一定となるように、画像処理を行う。この処理は、図１の円中心補正部２３で行うことができる。このようにして、斜め方向から撮像されたワークに対しても、画像処理によって矩形状の内壁展開図に補正して、表示部３０上に表示させることができ、傷検査等の良品／不良品判定を適切に行うことが可能となる。
【００９４】
なお、極座標から直交座標へ変換する場合において、中心位置Ｏを一意に設定できないという問題もある。また、極座標から直交座標へ変換して内壁展開図を生成すると、歪みが生じる。これに対して上述した数１や数２では、歪みに補正をかけて内壁展開図に展開しているが、歪みを補正せずに展開することもできる。この方法を、以下説明する。ここでは、極座標展開中に円中心補正部２３により、中心位置を適切に設定する。基本的には、上述した内壁面の展開を行うに際して、ｒを変化させると同時に、中心位置Ｏを固定せずに順次移動させる。具体的には、まず展開画像である内壁展開図のサイズを決定する。ここで画像幅は、外円周長２πＲoに合わせる。また画像高さは（Ｒo−Ｒi）とする。次に、ＯiからＯoにかけて直線を設定する。この直線を（Ｒo−Ｒi）分だけ分割し、展開画像のｒの位置に応じて移動させる。この結果、ｒにおける中心位置Ｏ（ｒ）＝（Ｏx（ｒ）、Ｏy（ｒ））は次式のように与えられる。
【００９５】
【数３】
0006647903.tif 000006
【００９６】
【数４】
0006647903.tif 000007
【００９７】
以降の手順は、中心位置Ｏ（ｒ）をｒに応じて変化させる以外は、上述した内壁展開方法と同様である。なお内壁展開図における画素の強度Ｉt（ｒ，θ）は、元画像の画素強度Ｉm（ｘ，ｙ）から与えられる。変換式は上記式（２）を用いる。ただし、Ｏx，Ｏyは上記数３及び数４を用いる。またｒ及びθの与え方についても、内壁展開方法と同様である。  
【００９８】
以上の例ではベアリングの内壁の傷を検査する例を説明したが、本発明は検査対象物をベアリングに限定せず、穴の内壁を撮像して検査する他の用途に適用できる。また穴の形状も、円形に限らず、楕円状、トラック形状、矩形状や多角形状等、様々な形状に対して応用できる。また穴が貫通孔でなくとも、有底の穴に対しても適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明の画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器は、ベアリングの内壁の検査に好適に利用できる。
【符号の説明】
【０１００】
１００…画像検査装置
１０…環状平面画像取得部
１１…レンズ部
１２…撮像素子
１３…照明部
１４…撮像制御部
１５…位置検出部
２０…演算部
２１…内壁展開部
２２…円近似部
２３…円中心補正部
２４…可変評価値設定部
２５…二値化閾値設定部
２６…二値化部
２７…良否判定部
３０…表示部
４０…操作部
２０１…半導体チップ
２０１ａ…上面；２０１ｂ，２０１ｃ，２０１ｄ，２０１ｅ…側面
２０７…絞り
２１０…撮影手段
２１１…レンズ
３００…画像検査装置
３１１…レンズ
ＷＫ…ワーク
ＨＬ…穴
ＣＶ…収束点
ＦＩ、ＦＩ’…環状平面画像
ＢＧ…円筒周囲；ＥＦ…円筒端面；ＩＳ…円筒内壁面；ＬＳ…光源
ＯＣＬ…外円；ＩＣＬ…内円
ＢＩ…ぼかし画像
ＯＢＩ…外円抽出用二値化画像；ＩＢＩ…内円抽出用二値化画像
ＳＩ、ＳＩ’、ＳＩ”…内壁展開図；ＳＩ２…補正後の内壁展開図
ＩＬ…検査ライン
ＷＫ１…ワーク；ＨＬ１…貫通穴
Ｐ…前側焦点；Ｑ…後側焦点；ξ１，ξ２…焦点深度
【図１】
0006647903.tif 000010
【図２】
0006647903.tif 000011
【図３】
0006647903.tif 000012
【図４】
0006647903.tif 000013
【図５】
0006647903.tif 000014
【図６】
0006647903.tif 000015
【図７】
0006647903.tif 000016
【図８】
0006647903.tif 000017
【図９】
0006647903.tif 000018
【図１０】
0006647903.tif 000019
【図１１】
0006647903.tif 000020
【図１２】
0006647903.tif 000021
【図１３】
0006647903.tif 000022
【図１４】
0006647903.tif 000023
【図１５】
0006647903.tif 000024
【図１６】
0006647903.tif 000025
【図１７】
0006647903.tif 000026
【図１８】
0006647903.tif 000027
【図１９】
0006647903.tif 000028
【図２０】
0006647903.tif 000029
【図２１】
0006647903.tif 000030
【図２２】
0006647903.tif 000031
【図２３】
0006647903.tif 000032
【図２４】
0006647903.tif 000033
【図２５】
0006647903.tif 000034
【図２６】
0006647903.tif 000035
【図２７】
0006647903.tif 000036