(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に一次線を照射することによって試料で生じる信号を検出して観察像を取得する分析装置であって、
取得された観察像を、順次、表示部に表示させる制御を行う画像表示制御部と、
前記表示部に表示された観察像の視野を変更するための視野変更部と、
前記表示部に、試料上の位置を特定するためのマーカーを表示させる制御を行うマーカー表示制御部と、
を含み、
前記マーカー表示制御部は、
前記表示部に表示された観察像の第１視野において指定された位置に前記マーカーを表示させる制御を行う第１処理と、
前記表示部に表示された観察像が前記第１視野から第２視野に変更された場合に、前記第１視野の位置情報、前記第２視野の位置情報、および前記第１視野における前記マーカーの位置情報に基づいて、前記第２視野における前記マーカーの位置を算出する第２処理と、
を行い、
前記画像表示制御部は、前記表示部に、取得された観察像を、順次、表示させるとともに、表示された観察像の背景に背景画像を表示させる制御を行い、
前記マーカー表示制御部は、前記第２処理において算出された前記マーカーの位置が前記背景画像上の位置であった場合に、前記背景画像上に前記マーカーを表示させる制御を行い、
前記画像表示制御部は、前記背景画像を、取得された観察像と視野が連続するように表示させる、分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１視野の位置情報と、前記第１視野における前記マーカーの位置情報と、を記憶する記憶部を含む、分析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１視野の位置情報および前記第２視野の位置情報は、それぞれ試料の位置の情報、試料の回転の情報、観察像の回転の情報、および観察倍率の情報の少なくとも１つを含む、分析装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記第１視野の位置情報および前記第２視野の位置情報は、それぞれ試料の傾斜角度の情報を含み、
前記マーカー表示制御部は、
前記第１視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度と、前記第２視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度とが同じ場合に、前記第２視野に前記マーカーを表示させる制御を行い、
前記第１視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度と、前記第２視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度とが異なる場合に、前記第２視野に前記マーカーを非表示にする制御を行う、分析装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記マーカーを表示する位置を指定するための操作を受け付ける入力部を含む、分析装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記画像表示制御部は、取得された観察像としてライブ像を表示させ、前記背景画像として、コンピューターグラフィックを表示させる、分析装置。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記画像表示制御部は、取得された観察像としてライブ像を表示させ、前記背景画像として撮影済みの観察像を表示させる、分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＤＳ検出器が搭載された走査電子顕微鏡等の分析装置（例えば特許文献１参照）では、ユーザーは、ライブ像を見ながら試料の分析したい箇所を探す。そして、元素分析を行う際には、ユーザーは、入力装置を用いて元素分析する位置をライブ像上で指定する。この入力装置による指定により、ライブ像上にマーカーが表示され、試料上の分析位置が決定される。分析位置が決定されると、電子ビームが決定された分析位置に照射され、電子ビームの照射により発生したＸ線がＥＤＳ検出器で検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１８４０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図２８および図２９は、従来の走査電子顕微鏡の表示装置の画面上に表示されたライブ像を模式的に示す図である。図２８に示すように、ライブ像上で分析位置を指定することにより、ライブ像上に、分析位置を示すマーカーＭＫ１０，ＭＫ２０，ＭＫ３０が表示される。
【０００５】
ここで、従来の走査電子顕微鏡では、ＥＤＳ検出器と走査電子顕微鏡本体とを別々のソフトウェアで制御していた。そのため、図２８に示すライブ像の視野から、図２９に示すうように、視野を移動させた場合に、マーカーＭＫ１０，ＭＫ２０，ＭＫ３０がライブ像上で継続して分析位置を指し示すことができなかった。例えば図２９に示す例では、ライブ像の視野の移動によってマーカーＭＫ１０，ＭＫ２０，ＭＫ３０は表示されなくなった。このように、従来の走査電子顕微鏡では、視野移動後のライブ像上では、分析位置の確認を行うことができなかった。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、視野が変更された場合であっても、マーカーを継続して表示させることができる分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る分析装置は、
試料に一次線を照射することによって試料で生じる信号を検出して観察像を取得する分析装置であって、
取得された観察像を、順次、表示部に表示させる制御を行う画像表示制御部と、
前記表示部に表示された観察像の視野を変更するための視野変更部と、
前記表示部に、試料上の位置を特定するためのマーカーを表示させる制御を行うマーカー表示制御部と、
を含み、
前記マーカー表示制御部は、
前記表示部に表示された観察像の第１視野において指定された位置に前記マーカーを表示させる制御を行う第１処理と、
前記表示部に表示された観察像が前記第１視野から第２視野に変更された場合に、前記第１視野の位置情報、前記第２視野の位置情報、および前記第１視野における前記マーカーの位置情報に基づいて、前記第２視野における前記マーカーの位置を算出する第２処理と、
を行い、
前記画像表示制御部は、前記表示部に、取得された観察像を、順次、表示させるととも
に、表示された観察像の背景に背景画像を表示させる制御を行い、
前記マーカー表示制御部は、前記第２処理において算出された前記マーカーの位置が前記背景画像上の位置であった場合に、前記背景画像上に前記マーカーを表示させる制御を行い、
前記画像表示制御部は、前記背景画像を、取得された観察像と視野が連続するように表示させる。
【０００８】
このような分析装置では、マーカー表示制御部が前記第２処理を行うため、観察像の視野が変更された場合であっても、試料上の指定された位置（分析位置や加工位置等）を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。さらに、このような分析装置では、観察像の視野が変更された場合であっても、試料上の指定された位置（分析位置や加工位置等）を示すマーカーを継続して背景画像上に表示させることができる。
【０００９】
（２）本発明に係る分析装置において、
前記第１視野の位置情報と、前記第１視野における前記マーカーの位置情報と、を記憶する記憶部を含んでいてもよい。
【００１０】
（３）本発明に係る分析装置において、
前記第１視野の位置情報および前記第２視野の位置情報は、それぞれ試料の位置の情報、試料の回転の情報、観察像の回転の情報、および観察倍率の情報の少なくとも１つを含んでいてもよい。
【００１１】
このような分析装置では、試料の位置の移動、試料の回転、観察像の回転、および観察倍率の変更によって、観察像の視野が変更された場合であっても、試料上の指定された位置（分析位置や加工位置等）を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。
【００１２】
（４）本発明に係る分析装置において、
前記第１視野の位置情報および前記第２視野の位置情報は、それぞれ試料の傾斜角度の情報を含み、
前記マーカー表示制御部は、
前記第１視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度と、前記第２視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度とが同じ場合に、前記第２視野に前記マーカーを表示させる制御を行い、
前記第１視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度と、前記第２視野の位置情報に含まれる試料の傾斜角度とが異なる場合に、前記第２視野に前記マーカーを非表示にする制御を行う。
【００１３】
このような分析装置では、例えば分析や加工等が行われたときの試料の傾斜角度を、容易に、確認することができる。
【００１６】
（５）本発明に係る分析装置において、
前記マーカーを表示する位置を指定するための操作を受け付ける入力部を含んでいてもよい。
（６）本発明に係る分析装置において、
前記画像表示制御部は、取得された観察像としてライブ像を表示させ、前記背景画像として、コンピューターグラフィックを表示させてもよい。
（７）本発明に係る分析装置において、
前記画像表示制御部は、取得された観察像としてライブ像を表示させ、前記背景画像として撮影済みの観察像を表示させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る電子顕微鏡を模式的に示す図。
【図２】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図３】試料移動後のライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図４】ピクセル座標系を説明するための図。
【図５】ステージ座標系を説明するための図。
【図６】ステージ座標系を説明するための図。
【図７】視野移動後の観察像を示す図。
【図８】視野移動後のライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図９】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図１０】倍率変更後のライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図
【図１１】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図１２】視野回転後のライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図１３】ピクセル座標系を説明するための図。
【図１４】ステージ座標系を説明するための図。
【図１５】視野回転後の観察像を示す図。
【図１６】視野回転後の観察像を示す図。
【図１７】回転補正を説明するための図。
【図１８】視野回転後のライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図１９】試料回転後の観察像を示す図。
【図２０】試料回転後の観察像を示す図。
【図２１】回転補正を説明するための図。
【図２２】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図２３】多視野表示されている画面を説明するための図。
【図２４】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図２５】ライブ像上にマーカーが表示されていない様子を示す図。
【図２６】ライブ像上にマーカーが表示されている様子を示す図。
【図２７】ライブ像上にマーカーが表示されていない様子を示す図。
【図２８】従来の走査電子顕微鏡の表示装置の画面上に表示されているライブ像を模式的に示す図。
【図２９】従来の走査電子顕微鏡の表示装置の画面上に表示されているライブ像を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１９】
また、以下では、本発明に係る分析装置として、走査電子顕微鏡を例に挙げて説明するが、本発明に係る分析装置は、試料に一次線（荷電粒子線や放射線等）を照射することによって試料で生じる信号を検出して観察像を取得することができる装置であればよい。例えば、本発明に係る分析装置は、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）等の電子顕微鏡、集束イオンビーム（ＦＩＢ）装置、波長分散型蛍光Ｘ線分析装置、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置などであってもよい。
【００２０】
１．  電子顕微鏡の構成
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る電子顕微鏡１００を模式的に示す図である。なお、図１には、互いに直交
する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００２１】
電子顕微鏡１００は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）である。電子顕微鏡１００は、電子顕微鏡本体１０と、偏向走査制御装置２０と、信号増幅装置２２と、ＥＤＳ制御装置２４と、試料ステージ制御装置２６と、試料ステージ位置情報記憶装置２８と、本体制御装置３０と、入力装置３２と、記憶装置３４と、画像表示制御装置４０と、表示装置５０と、を含んで構成されている。
【００２２】
電子顕微鏡本体１０では、試料Ｓに電子線を照射することによって、試料Ｓから発生する二次電子（試料Ｓで生じる信号の一例）を検出して観察像（二次電子像）を取得することができる。
【００２３】
電子顕微鏡本体１０は、電子銃１１と、走査コイル１２と、試料ホルダー１３と、試料ステージ１４と、二次電子検出器１５と、ＥＤＳ検出器１６と、を含んで構成されている。
【００２４】
電子銃１１は、電子ビームを発生させる。電子銃１１から出射された電子ビームは、図示しない集束レンズおよび対物レンズによって集束されて試料Ｓに照射される。
【００２５】
走査コイル１２（視野変更部の一例）は、集束レンズおよび対物レンズによって集束された電子ビームを偏向走査するための電磁コイルである。偏向走査制御装置２０から走査コイル１２に所定の電流（走査信号）が供給されることにより、走査コイル１２は試料Ｓ上で電子ビームを走査する。
【００２６】
試料ホルダー１３上には、試料Ｓが載置されている。試料ホルダー１３は、試料ステージ１４に装着されている。
【００２７】
試料ステージ１４（視野変更部の一例）は、試料Ｓ（試料ホルダー１３）を支持し、試料Ｓを移動させることができる。試料ステージ１４は、試料ＳをＸ軸方向およびＹ軸方向（水平方向）に移動させるＸ−Ｙ駆動系と、試料Ｓを回転させる回転駆動系と、試料Ｓを傾斜させる傾斜駆動系と、を備えている。試料ステージ１４は、試料ステージ制御装置２６によって制御される。
【００２８】
二次電子検出器１５は、電子ビームが照射されることにより試料Ｓから発生する二次電子を検出する。二次電子検出器１５で検出された二次電子信号（二次電子検出器１５の出力信号）は、信号増幅装置２２で増幅されて本体制御装置３０に送られる。
【００２９】
ＥＤＳ検出器１６は、電子ビームが照射されることにより試料Ｓから発生する特性Ｘ線を検出する。ＥＤＳ検出器１６で検出されたＸ線信号は、ＥＤＳ制御装置２４に出力される。ＥＤＳ制御装置２４は、ＥＤＳ検出器１６で検出されたＸ線信号に基づいてＸ線強度データを演算する。
【００３０】
試料ステージ制御装置２６は、試料ステージ１４の各駆動系を制御する。試料ステージ位置情報記憶装置２８は、試料ステージ１４の位置情報を記憶する。試料ステージ１４の位置情報は、試料ステージ１４の位置の情報（Ｘ−Ｙ駆動系の制御情報）、試料ステージ１４の回転の情報（回転駆動系の制御情報）、および試料ステージ１４の傾斜の情報（傾斜駆動系の制御情報）を含む。試料ステージ位置情報記憶装置２８は、例えば、ハードディスク、ＲＡＭなどを含んで構成されている。
【００３１】
本体制御装置３０は、電子顕微鏡本体１０を制御する。本体制御装置３０は、偏向走査
制御装置２０、信号増幅装置２２、ＥＤＳ制御装置２４、試料ステージ制御装置２６、および入力装置３２と電気的に接続されている。本体制御装置３０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）でプログラムを実行することにより実現することができる。なお、本体制御装置３０の機能の少なくとも一部を、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などの専用回路により実現してもよい。
【００３２】
入力装置（入力部の一例）３２は、ユーザーによる操作などによって情報の入力を受け付ける。入力装置３２は、例えば、ボタン、キー、タッチパネル型ディスプレイ、マイクなど、種々の公知の入力装置を含んで構成されていてもよい。
【００３３】
記憶装置３４（記憶部の一例）は、本体制御装置３０と電気的に接続されている。記憶装置３４は、分析位置を特定するためのマーカーの位置情報と、観察像の視野の位置情報と、を記憶する。記憶装置３４は、例えば、ハードディスク、ＲＡＭなどを含んで構成されている。
【００３４】
マーカーの位置情報は、マーカーの位置を特定するための情報である。マーカーは、例えば、ライブ像上において、分析済みの位置や、分析予定の位置等の分析位置を特定するために用いられる。マーカーの位置情報は、後述するように、表示装置５０の画面上に表示される観察像のピクセル座標系で表される。
【００３５】
例えば、ユーザーは、表示装置５０に表示されているライブ像（リアルタイムに表示される観察像）を確認しながら、入力装置３２に対して試料Ｓ上の任意の位置を指定する操作を行うことで、マーカーの位置情報を入力することができる。
【００３６】
観察像の視野の位置情報は、試料Ｓの位置の情報、試料Ｓの回転の情報、視野の回転の情報、および観察倍率の情報を含む。試料Ｓの位置の情報は、例えば試料ステージ１４の位置の情報である。また、試料Ｓの回転の情報は、例えば試料ステージ１４の回転角の情報である。また、視野の回転の情報は、例えば、後述するスキャンローテーションの回転角の情報である。これらの情報によって、観察像の視野を特定することができる。
【００３７】
観察像の視野の位置情報は、視野が変更されるごとに記憶装置３４に記憶される。ここで、視野の変更とは、試料ステージ１４による試料Ｓの移動に伴う視野の移動、イメージシフトによる視野の移動、試料ステージ１４による試料Ｓの回転に伴う視野の回転、スキャンローテーションによる視野の回転、走査範囲が変更されることによる観察像の倍率の変更などを含む。
【００３８】
画像表示制御装置４０は、本体制御装置３０と電気的に接続されている。画像表示制御装置４０は、表示装置５０に表示される画像を生成する処理を行う。画像表示制御装置４０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）でプログラムを実行することにより実現することができる。なお、画像表示制御装置４０の機能の少なくとも一部を、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などの専用回路により実現してもよい。画像表示制御装置４０は、ライブ像表示制御部４２と、マーカー表示制御部４４と、を含んで構成されている。
【００３９】
ライブ像表示制御部４２（画像表示制御部の一例）は、電子顕微鏡本体１０で取得された観察像（二次電子像）を、順次、表示装置５０の画面上に表示させる制御を行う。具体的には、ライブ像表示制御部４２は、本体制御装置３０から二次電子信号を受け取り、二次電子像を生成する。そして、ライブ像表示制御部４２は、生成した二次電子像をリアルタイムに表示装置５０に表示させる制御を行う。これにより、表示装置５０の画面上にライブ像が表示される。
【００４０】
マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示されているライブ像上に、試料Ｓ上の分析位置を特定するためのマーカーを表示させる制御を行う。具体的には、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０に表示された観察像の任意の視野（第１視野）において指定された位置にマーカーを表示させる制御を行う処理を行う。また、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０に表示された観察像の視野が第１視野から第２視野（第１視野とは異なる任意の視野）に変更された場合に、第１視野の位置情報、第２視野の位置情報、および第１視野におけるマーカーの位置情報に基づいて、第２視野におけるマーカーの位置を算出する。また、マーカー表示制御部４４は、算出した第２視野におけるマーカーの位置が第２視野に含まれる場合には、表示装置５０にマーカーを表示させる制御を行う。
【００４１】
マーカーの形状は特に限定されず、例えば、十字状、矩形状、円状、ライン状である。マーカーの形状は、観察像中の所望の部分（例えば粒子部分）を抽出した形状であってもよい。
【００４２】
画像表示制御装置４０は、さらに、分析結果（ＥＤＳスペクトルや面分析結果など）を表示装置５０の画面上に表示させる制御を行ってもよい。
【００４３】
表示装置５０（表示部の一例）は、画像表示制御装置４０で生成されたライブ像や、分析位置を示すマーカーを表示する。表示装置５０は、例えば、ＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）、ＣＲＴ（ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ）などである。
【００４４】
２．  電子顕微鏡の動作
２．１．  視野の移動
（１）動作
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、観察像の視野を移動させることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。すなわち、電子顕微鏡１００では、観察像の視野を移動させても、表示装置５０の画面上でマーカーが示す試料Ｓ上の位置は変わらない。
【００４５】
なお、視野の移動は、試料ステージ１４（Ｘ−Ｙ駆動系）によって試料Ｓを移動させることで行われてもよいし、電子ビームによるイメージシフトで行われてもよい。イメージシフトは、図示しない偏向コイルで電子ビームを偏向させて観察像の視野を移動させることをいう。以下では、試料ステージ１４によって視野の移動を行った場合について説明する。
【００４６】
ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されているライブ像を見ながら、入力装置３２を用いてライブ像上で元素分析を行う位置を指定する操作（分析位置情報の入力操作）を行うと、本体制御装置３０は、入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。
【００４７】
画像表示制御装置４０（マーカー表示制御部４４）は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。
【００４８】
図２は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ６，ＭＫ７，ＭＫ８，ＭＫ９）が表示されている様子を示す図である。
【００４９】
このときのライブ像の視野（第１視野）の位置情報（視野移動前の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【００５０】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いてライブ像上で移動したい位置を指定すると、本体制御装置３０は、当該位置の指定に基づいて試料ステージ１４の移動量を算出し、算出された移動量の情報を試料ステージ制御装置２６に送る。
【００５１】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた移動量の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓを移動させる。なお、試料Ｓを移動させた後の試料ステージ１４の位置情報は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【００５２】
試料ステージ１４の移動が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、試料Ｓの移動前とは異なる領域が電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（視野移動後のライブ像）を表示させる。
【００５３】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から試料ステージ１４の位置情報を読み出す。マーカー表示制御部４４は、この試料ステージ１４の位置情報に基づいて視野移動後の視野の位置情報を求める。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から視野移動前の視野の位置情報と視野移動前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報を読み出す。
【００５４】
次に、マーカー表示制御部４４は、視野移動前の視野の位置情報、視野移動後の視野の位置情報、および視野移動前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、視野移動後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する。
【００５５】
マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置情報に基づいて、マーカーＭＫをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。なお、マーカー表示制御部４４の処理の詳細については、後述する。
【００５６】
図３は、表示装置５０の画面上に表示された移動後のライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ８，ＭＫ９）が表示されている様子を示す図である。
【００５７】
（２）マーカー表示制御部の処理
まず、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上の指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う。マーカー表示制御部４４は、入力装置３２が分析位置情報の入力操作を受け付け、本体制御装置３０を介して分析位置情報が入力されることで、マーカーＭＫを表示させる処理、およびマーカーＭＫを視野の移動に追従させる処理を実行する。
【００５８】
図４は、観察像（視野移動前）のピクセル座標系を説明するための図である。観察像上の各位置は、図４に示すように、ピクセル座標系で表される。
【００５９】
図４に示す例では、原点を観察像の左上としている。また、観察像の幅Ｗを、ＩＭＧ．Ｗ、観察像の高さＨをＩＭＧ．Ｈとしている。また、観察像内に指定されたマーカーＭＫの位置座標を（ＭＫ．Ｘ，ＭＫ．Ｙ）としている。図４では、４つのマーカーＭＫ６，ＭＫ７，ＭＫ８，ＭＫ９が表示されており、マーカーＭＫ６の位置座標を（ＭＫ６．Ｘ，Ｍ
Ｋ６．Ｙ）とし、マーカーＭＫ７の位置座標を（ＭＫ７．Ｘ，ＭＫ７．Ｙ）とし、マーカーＭＫ８の位置座標を（ＭＫ８．Ｘ，ＭＫ８．Ｙ）とし、マーカーＭＫ９の位置座標を（ＭＫ９．Ｘ，ＭＫ９．Ｙ）としている。
【００６０】
このようにマーカー位置（視野移動前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報）は、ピクセル座標系で表されるため、マーカー表示制御部４４は、マーカー位置をピクセル座標系からステージ座標系に変換する。
【００６１】
図５および図６は、ステージ座標系を説明するための図である。ステージ座標系は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の２軸に沿って移動できる試料ステージ１４に基づく座標系である。すなわち、ステージ座標系は、互いに直交するＸ軸およびＹ軸を座標軸とする座標系である。
【００６２】
図５には、図４に示す観察像（すなわち、電子ビームによる走査範囲）を実サイズで示している。走査範囲は、例えば倍率１倍のときに、横１２８ｍｍ、縦９６ｍｍである。以下、この実サイズの観察像は、ステージ座標系においてＦＯＶ（Ｆｉｅｌｄ  ｏｆ  Ｖｉｅｗ）と呼ぶ。図５に示す例では、ＦＯＶの幅をＦＯＶ．Ｗとし、ＦＯＶの高さをＦＯＶ．Ｈとしている。ＦＯＶの幅ＦＯＶ．ＷおよびＦＯＶの高さＦＯＶ．Ｈは、観察像の倍率ＭＡＧと走査範囲（１２８ｍｍ×９６ｍｍ）から下記式（１）から求めることができる。
【００６３】
【数１】
0006706956.tif 000002
【００６４】
マーカー表示制御部４４は、図５に示す視野移動前のＦＯＶの左上を基準点ＯＩＭＧとして、この基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を計算する。基準点ＯＩＭＧの座標はＦＯＶの中心Ｃ（Ｃ．Ｘ，Ｃ．Ｙ）（視野移動前の視野の位置情報）と、ＦＯＶの幅ＦＯＶ．ＷおよびＦＯＶの高さＦＯＶ．Ｈと、を用いて下記式（２）から計算される。
【００６５】
【数２】
0006706956.tif 000003
【００６６】
基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を算出した後、図６に示す基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を基準として、下記式（３）を用いて図４に示すピクセル座標系の観察像上に指定されたマーカーＭＫの位置座標（ＭＫ６（ＭＫ６．Ｘ，ＭＫ６．Ｙ）、ＭＫ７（ＭＫ７．Ｘ，ＭＫ７．Ｙ）、ＭＫ８（ＭＫ８．Ｘ，ＭＫ８．Ｙ）、ＭＫ９（ＭＫ９．Ｘ，ＭＫ９．Ｙ））をステージ座標系のＦＯＶ上のマーカー位置（ＲＭＫ６（ＲＭＫ６．Ｘ，ＲＭＫ６．Ｙ）、ＲＭＫ７（ＲＭＫ７．Ｘ，ＲＭＫ７
．Ｙ）、ＲＭＫ８（ＲＭＫ８．Ｘ，ＲＭＫ８．Ｙ）、ＲＭＫ９（ＲＭＫ９．Ｘ，ＲＭＫ９．Ｙ））に変換する。なお、変換されたマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ６，ＲＭＫ７，ＲＭＫ８，ＲＭＫ，９）は、記憶装置３４に記憶される。
【００６７】
【数３】
0006706956.tif 000004
【００６８】
図７は、視野移動後の観察像を示す図である。
【００６９】
視野の移動後、マーカー表示制御部４４は、現在（視野移動後）の観察像のピクセル座標系を下記式（４）を用いてステージ座標系に変換する。このときの視野移動後の実サイズの観察像をＣＦＯＶと呼ぶ。図７に示す例では、ＣＦＯＶの幅をＣＦＯＶ．Ｗとし、ＣＦＯＶの高さをＣＦＯＶ．Ｈとし、ＣＦＯＶの中心ＣＣの座標を（ＣＣ．Ｘ，ＣＣ．Ｙ）（視野移動後の視野の位置情報）とし、ＣＦＯＶの左上に位置する基準点をＣＯＩＭＧとしている。
【００７０】
【数４】
0006706956.tif 000005
【００７１】
次に、ＣＦＯＶの基準点ＣＯＩＭＧの座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）をＣＦＯＶの中心ＣＣの座標（ＣＣ．Ｘ，ＣＣ．Ｙ）と幅ＣＦＯＶ．Ｗおよび高さＣＦＯＶ．Ｈを用いて計算する。基準点ＣＯＩＭＧ（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）を求める計算式を下記式（５）に示す。
【００７２】
【数５】
0006706956.tif 000006
【００７３】
次に、マーカー表示制御部４４は、記憶装置３４からマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ６、ＲＭＫ７，ＲＭＫ８，ＲＭＫ９）を読み出し、式（５）から求めた図７に示す視野移動後の基準点（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）と式（３）から求めた図６に示す視野移動前のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ８（ＲＭＫ８．Ｘ，ＲＭＫ８．Ｙ））、ＲＭＫ９（ＲＭＫ９．Ｘ，ＲＭＫ９．Ｙ））との相対位置を表すベクトルＣＲＭＫ（（ＣＲＭＫ８(ＣＲＭＫ８．Ｘ，ＣＲＭＫ８．Ｙ）、ＣＲＭＫ９（ＣＲＭＫ９．Ｘ，ＣＲＭＫ９．Ｙ）)を下記式（６）を用いてそれぞれ計算する。同時に視野移動後の基準点（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）と視野移動前のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ６（ＲＭＫ６．Ｘ，ＲＭＫ６
．Ｙ）、ＲＭＫ７（ＲＭＫ７．Ｘ，ＲＭＫ７．Ｙ））との相対位置を表すベクトルＣＲＭＫ（（ＣＲＭＫ６(ＣＲＭＫ６．Ｘ，ＣＲＭＫ６．Ｙ）、ＣＲＭＫ７（ＣＲＭＫ７．Ｘ，ＣＲＭＫ７．Ｙ）)も計算する。
【００７４】
【数６】
0006706956.tif 000007
【００７５】
次に、マーカー表示制御部４４は、ステージ座標系上のマーカーのベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ６（ＣＲＭＫ６．Ｘ，ＣＲＭＫ６．Ｙ），ＣＲＭＫ７（ＣＲＭＫ７．Ｘ，ＣＲＭＫ７．Ｙ），ＣＲＭＫ８（ＣＲＭＫ８．Ｘ，ＣＲＭＫ８．Ｙ），ＣＲＭＫ９（ＣＲＭＫ９．Ｘ，ＣＲＭＫ９．Ｙ）)を、観察像のピクセル座標系のマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ６（ＣＭＫ６．Ｘ，ＣＭＫ６．Ｙ），ＣＭＫ７（ＣＭＫ７．Ｘ，ＣＭＫ７．Ｙ），ＣＭＫ８（ＣＭＫ８．Ｘ，ＣＭＫ８．Ｙ），ＣＭＫ９（ＣＭＫ９．Ｘ，ＣＭＫ９．Ｙ）)に変換する。このときの計算式を下記式（７）に示す。なお、ピクセル座標系ではステージ座標系の基準点ＣＯＩＭＧの座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）は（０，０）となる。
【００７６】
【数７】
0006706956.tif 000008
【００７７】
式（７）から求められたマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ６，ＣＭＫ７，ＣＭＫ８，ＣＭＫ９）が、視野移動後の観察像のピクセル座標内に位置すれば、図８に示すように視野移動後の観察像上にマーカーＭＫ（ＣＭＫ８，ＣＭＫ９）が表示される。
【００７８】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像の視野移動前の視野（第１視野）において指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う処理を行う。さらに、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像が視野移動後の視野（第２視野）に変更された場合に、視野移動前の視野の位置情報、視野移動後の視野の位置情報、および視野移動前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、視野移動前の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する処理を行う。
【００７９】
したがって、電子顕微鏡１００では、観察像の視野を移動させることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーＭＫを継続して観察像上に表示させることができる。これにより、試料Ｓ上の分析位置の確認が容易になり、操作性を向上できる。
【００８０】
２．２．  倍率の変更
（１）動作
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、観察像の観察倍率が変更されることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。すなわち、電子顕微鏡１００では、観察像の観察倍率が変更されても、表示装置５０の画面上でマーカーが示す試料Ｓ上の位置は変わらない。
【００８１】
ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置
情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。
【００８２】
図９は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ５，ＭＫ−Ｒ，ＭＫ−Ｌ）が表示されている様子を示す図である。
【００８３】
このときのライブ像の視野の位置情報（倍率変更前の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【００８４】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて倍率を指定すると、本体制御装置３０は、当該倍率の指定に基づいて、走査範囲を算出し、偏向走査制御装置２０に送る。
【００８５】
偏向走査制御装置２０は、送られてきた走査範囲の情報に基づいて走査コイル１２を制御する。これにより、走査コイル１２によって、変更された走査範囲内の領域が電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（倍率変更後のライブ像）を表示させる。なお、倍率変更後のライブ像の視野の位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【００８６】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から、倍率変更前の視野の位置情報、倍率変更後の視野の位置情報、および倍率変更前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報を読み出す。
【００８７】
次に、マーカー表示制御部４４は、倍率変更前の視野の位置情報、倍率変更後の視野の位置情報、および倍率変更前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、倍率変更後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する。
【００８８】
マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置情報に基づいて、マーカーＭＫをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。なお、マーカー表示制御部４４の処理の詳細については、後述する。
【００８９】
図１０は、表示装置５０の画面上に表示された倍率変更後のライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ５，ＭＫ−Ｒ，ＭＫ−Ｌ）が表示されている様子を示す図である。
【００９０】
（２）マーカー表示制御部の処理
観察倍率が変更されたときのマーカー表示制御部４４の処理は、上述した視野を移動させたときの処理と、倍率変更前の観察像の倍率と倍率変更後の観察像の倍率が異なるだけである。そのため、上記式（１）に示される倍率変更前の倍率ＭＡＧと、上記式（４）に示される倍率変更後の倍率ＭＡＧの値が変わる点を除いて、上述した視野を移動させたときの処理と同様である。
【００９１】
なお、図９および図１０に示す例では、マーカーＭＫを矩形状とし（マーカーＭＫ−Ｒ）、観察像の倍率を高くした場合に、倍率に追従してマーカーＭＫ−Ｒを拡大している。このようにマーカーＭＫが矩形状の場合、頂点ことにピクセル座標系のマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ．Ｘ，ＣＭＫ，Ｙ）を計算することにより、マーカーＭＫ−Ｒの大きさを倍率に追従させることができる。
【００９２】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像の倍率変更前の視野（第１視野）において指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う処理を行う。さらに、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像が倍率変更後の視野（第２視野）に変更された場合に、倍率変更前の視野の位置情報、倍率変更後の視野の位置情報、および倍率変更前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、倍率変更後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する処理を行う。
【００９３】
したがって、電子顕微鏡１００では、観察像の倍率を変更することにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーＭＫを継続して観察像上に表示させることができる。
【００９４】
２．３．  観察像の回転（スキャンローテーション）
（１）動作
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、観察像を回転させることにより（すなわち、スキャンローテーションにより）視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。すなわち、電子顕微鏡１００では、観察像を回転させても、表示装置５０の画面上でマーカーが示す試料Ｓ上の位置は変わらない。
【００９５】
ここで、スキャンローテーションとは、電子ビームの二次元走査の方向を回転させることをいう。スキャンローテーションを行うことで、表示装置５０の画面上に表示されている観察像を回転させることができる。スキャンローテーションでは、表示装置５０の画面上に表示されている観察像の中心を回転中心として回転する。
【００９６】
ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。
【００９７】
図１１は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）が表示されている様子を示す図である。
【００９８】
このときのライブ像の視野の位置情報（視野回転前の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【００９９】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて視野の回転角度を指定すると、本体制御装置３０は、当該回転角度の指定に基づいて、電子顕微鏡本体１０の光学系を制御する。これにより、走査コイル１２によって、指定された回転角度で規定される走査方向で電子ビームが走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され、本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（視野回転後のライブ像）を表示させる。なお、視野回転後の視野の位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【０１００】
次に、マーカー表示制御部４４は、視野回転前の視野の位置情報、視野回転後の視野の位置情報、および視野回転前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、視野回転後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する。
【０１０１】
マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置情報に基づいて、マーカーＭＫをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。なお、マーカー表示制御部４４の処理の詳細については、後述する。
【０１０２】
図１２は、表示装置５０の画面上に表示された視野回転後のライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）が表示されている様子を示す図である。
【０１０３】
（２）マーカー表示制御部の処理
まず、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上の指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う。
【０１０４】
図１３は、観察像（視野回転前）のピクセル座標系を説明するための図である。図１３では、４つのマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）が表示されており、マーカーＭＫ１の位置座標を（ＭＫ１．Ｘ，ＭＫ１．Ｙ）とし、マーカーＭＫ２の位置座標を（ＭＫ２．Ｘ，ＭＫ２．Ｙ）とし、マーカーＭＫ３の位置座標を（ＭＫ３．Ｘ，ＭＫ３．Ｙ）とし、マーカーＭＫ４の位置座標を（ＭＫ４．Ｘ，ＭＫ４．Ｙ）としている。
【０１０５】
次に、マーカー表示制御部４４は、マーカー位置をピクセル座標系からステージ座標系に変換する。
【０１０６】
図１４は、ステージ座標系を説明するための図である。
【０１０７】
マーカー表示制御部４４は、ピクセル座標系の観察像をステージ座標系のＦＯＶに変換し、図１４に示す基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を計算する。基準点ＯＩＭＧの座標は、上記式（２）で求めることができる。そして、マーカー表示制御部４４は、図１４に示す基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を用いて、上記式（３）よりピクセル座標系の観察像上に指定されたマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）の位置座標を、ステージ座標系のＦＯＶ上のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）に変換する。変換されたマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）は、記憶装置３４に記憶される。
【０１０８】
図１５および図１６は、視野回転後の観察像を示す図である。
【０１０９】
次に、マーカー表示制御部４４は、現在（視野回転後）の観察像のピクセル座標系を上記式（４）を用いてステージ座標系のＣＦＯＶに変換する。そして、マーカー表示制御部４４は、図１５に示すＣＦＯＶの基準点の座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）を上記式（５）から計算する。
【０１１０】
次に、マーカー表示制御部４４は、マーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）を記憶装置３４から読み出し、図１６に示す視野回転後の基準点の座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）と視野回転前のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）との相対位置を示すベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ１，ＣＲＭＫ２，ＣＲＭＫ３，ＣＲＭＫ４）)を計算する。基準点ＣＯＩＭＧ（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）を始点としたベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ．Ｘ，ＣＲＭＫ．Ｙ）は上記式（６）から計算する。
【０１１１】
次に、マーカー表示制御部４４は、上記式（７）を用いてステージ座標系のマーカーのベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ１，ＣＲＭＫ２，ＣＲＭＫ３，ＣＲＭＫ４）を観察像のピクセル座標系のマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ１，ＣＭＫ２，ＣＭＫ３，ＣＭＫ４）に変換す
る。
【０１１２】
ここで、スキャンローテーションによって観察像は、角度ＣＲＤ分回転しているので、この回転角度分の座標補正を行う必要がある。回転補正は、ピクセル座標系において、図１７の破線で示す回転前の観察像の中心（ＩＭＧＣ．Ｘ，ＩＭＧＣ．Ｙ）回りに角度ＣＲＤ分回転させることで行うことができる。そのため、下記式（８）を用いてマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ１，ＣＭＫ２，ＣＭＫ３，ＣＭＫ４）を、マーカー位置ＲＣＭＫ（ＲＣＭＫ１，ＲＣＭＫ２，ＲＣＭＫ３，ＲＣＭＫ４）に変換する。
【０１１３】
【数８】
0006706956.tif 000009
【０１１４】
式（８）から求められたマーカー位置ＲＣＭＫ（ＲＣＭＫ１，ＲＣＭＫ２，ＲＣＭＫ３，ＲＣＭＫ４）の座標が、視野回転後の観察像のピクセル座標内に位置すれば、図１７に示すように、視野回転後の観察像上にマーカー（ＲＣＭＫ１，ＲＣＭＫ２，ＲＣＭＫ３，ＲＣＭＫ４）が表示される。
【０１１５】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像の視野回転前の視野（第１視野）において指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う処理を行う。さらに、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像が視野回転後の視野（第２視野）に変更された場合に、視野回転前の視野の位置情報、視野回転後の視野の位置情報、および視野回転前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、視野回転後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する処理を行う。
【０１１６】
したがって、電子顕微鏡１００では、観察像を回転させることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーＭＫを継続して観察像上に表示させることができる。
【０１１７】
２．４．  試料の回転
（１）動作
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、試料Ｓを回転させることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーを継続して観察像上に表示させることができる。すなわち、電子顕微鏡１００では、試料Ｓを回転させても、表示装置５０の画面上でマーカーが示す試料Ｓ上の位置は変わらない。
【０１１８】
ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）をライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる（図１１参照）。
【０１１９】
このときのライブ像の視野の位置情報（試料回転前の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【０１２０】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３
２を用いて試料Ｓの回転角度を指定すると、本体制御装置３０は、当該回転角度の指定に基づいて、試料ステージ１４の回転角度を算出し、算出された回転角度の情報を試料ステージ制御装置２６に送る。
【０１２１】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた回転角度の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓを回転させる。なお、試料Ｓを回転させた後の試料ステージ１４の位置情報は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【０１２２】
試料ステージ１４の回転が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、試料Ｓの試料回転前とは異なる領域が電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（試料回転後のライブ像）を表示させる。
【０１２３】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から試料ステージ１４の位置情報を読み出す。マーカー表示制御部４４は、この試料ステージ１４の位置情報に基づいて試料回転後の視野の位置情報を求める。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から試料回転前の視野の位置情報と試料回転前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報を読み出す。
【０１２４】
次に、マーカー表示制御部４４は、試料回転前の視野の位置情報、試料回転後の視野の位置情報、および試料回転前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、試料回転後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する。
【０１２５】
マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置情報に基づいて、マーカーＭＫをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。なお、マーカー表示制御部４４の処理の詳細については、後述する。
【０１２６】
図１８は、表示装置５０の画面上に表示された視野回転後のライブ像上にマーカーＭＫ２が表示されている様子を示す図である。
【０１２７】
（２）マーカー表示制御部の処理
まず、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上の指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う。
【０１２８】
ここでは、図１３に示すように、４つのマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）が表示されているものとする。
【０１２９】
次に、マーカー表示制御部４４は、マーカー位置をピクセル座標系からステージ座標系に変換する。
【０１３０】
具体的には、マーカー表示制御部４４は、ピクセル座標系の観察像をステージ座標系のＦＯＶに変換し、図１４に示す基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を計算する。基準点ＯＩＭＧの座標は、上記式（２）で求めることができる。そして、マーカー表示制御部４４は、図１４に示す基準点ＯＩＭＧの座標（ＯＩＭＧ．Ｘ，ＯＩＭＧ．Ｙ）を用いて、上記式（３）よりピクセル座標系の観察像上に指定されたマーカーＭＫ（
ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）の位置座標（図１３参照）を、ステージ座標系のＦＯＶ上のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）に変換する。変換されたマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）は、記憶装置３４に記憶される。
【０１３１】
図１９および図２０は、試料回転後の観察像を示す図である。
【０１３２】
次に、マーカー表示制御部４４は、現在（試料回転後）の観察像のピクセル座標系を上記式（４）を用いてステージ座標系のＣＦＯＶに変換する。そして、マーカー表示制御部４４は、図１９に示すＣＦＯＶの基準点の座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）を上記式（５）から計算する。
【０１３３】
次に、マーカー表示制御部４４は、マーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）を記憶装置３４から読み出し、図２０に示す試料回転後の基準点の座標（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）と試料回転前のマーカー位置ＲＭＫ（ＲＭＫ１，ＲＭＫ２，ＲＭＫ３，ＲＭＫ４）との相対位置を示すベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ１，ＣＲＭＫ２，ＣＲＭＫ３，ＣＲＭＫ４）)を計算する。図２０には、基準点ＣＯＩＭＧ（ＣＯＩＭＧ．Ｘ，ＣＯＩＭＧ．Ｙ）を始点としたベクトルＣＲＭＫ２（ＣＲＭＫ２．Ｘ，ＣＲＭＫ２．Ｙ）が示されている。
【０１３４】
次に、マーカー表示制御部４４は、上記式（７）を用いてステージ座標系のマーカーのベクトルＣＲＭＫ（ＣＲＭＫ１，ＣＲＭＫ２，ＣＲＭＫ３，ＣＲＭＫ４）を観察像のピクセル座標系のマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ１，ＣＭＫ２，ＣＭＫ３，ＣＭＫ４）に変換する。
【０１３５】
ここで、図１９に示すように、試料ステージ１４は、角度Ｒ分回転しているので、この回転角度分の座標補正を行う必要がある。
【０１３６】
図２１は、回転補正を説明するための図である。
【０１３７】
回転補正は、ピクセル座標系で計算するため、まず、ピクセル座標系上の試料ステージ１４の回転中心に相当する座標を求める。この試料ステージ１４の回転中心に相当する中心をＣＤＩＦＦとし、座標を（ＣＤＩＦＦ．Ｘ，ＣＤＩＦＦ．Ｙ）とする。中心座標ＣＤＩＦＦ（ＣＤＩＦＦ．Ｘ，ＣＤＩＦＦ．Ｙ）は、下記式（９）から計算される。
【０１３８】
【数９】
0006706956.tif 000010
【０１３９】
回転補正は、図２１の破線で示す回転補正前の観察像をステージの回転中心（ＣＤＩＦＦ．Ｘ，ＣＤＩＦＦ．Ｙ）回りに角度Ｒ分回転させることで行うことができる。そのため、式（１０）を用いてマーカー位置ＣＭＫ（ＣＭＫ１，ＣＭＫ２，ＣＭＫ３，ＣＭＫ４）を、マーカー位置ＲＣＭＫ（ＲＣＭＫ１，ＲＣＭＫ２，ＲＣＭＫ３，ＲＣＭＫ４）に変換する。
【０１４０】
【数１０】
0006706956.tif 000011
【０１４１】
式（１０）から求められたマーカー位置ＲＣＭＫ（ＲＣＭＫ１，ＲＣＭＫ２，ＲＣＭＫ３，ＲＣＭＫ４）が、試料回転後の観察像のピクセル座標内に位置すれば、図２１に示すように、試料回転後の観察像上にマーカー（ＲＣＭＫ２（ＲＣＭＫ２．Ｘ，ＲＣＭＫ２．Ｙ））が表示される。
【０１４２】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像の試料回転前の視野（第１視野）において指定された位置にマーカーＭＫを表示させる制御を行う処理を行う。さらに、マーカー表示制御部４４は、表示装置５０の画面上に表示された観察像が試料回転後の視野（第２視野）に変更された場合に、試料回転前の視野の位置情報、試料回転後の視野の位置情報、および試料回転前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、試料回転後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する処理を行う。
【０１４３】
したがって、電子顕微鏡１００では、試料Ｓを回転させることにより視野が変更された場合であっても、分析位置を示すマーカーＭＫを継続して観察像上に表示させることができる。
【０１４４】
２．５．  多視野表示
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、表示装置５０の画面上に多視野表示させることができる。
【０１４５】
多視野表示とは、走査コイル１２で物理的に走査可能な最低倍率を下回る倍率が指定された場合に、ライブ像の背景に、試料ホルダー１３の形状を視覚的にグラフィクス表示したり、撮影済みの観察像を重ねて表示したりして、観察中の視野の周辺情報を視覚的に把握できる表示方法である。
【０１４６】
電子顕微鏡１００では、このように多視野表示した場合であっても、マーカーが継続して分析位置を指し示すことができる。
【０１４７】
ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。
【０１４８】
図２２は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ３，ＭＫ４，ＭＫ５）が表示されている様子を示す図である。
【０１４９】
このときのライブ像の視野の位置情報（倍率変更前の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。さらに、記憶装置３４には、マーカーＭＫが表示された観察像（図２２に示す観察像）が記憶される。
【０１５０】
次に、ユーザーが入力装置３２を用いて最低倍率を下回る倍率を指定すると、本体制御装置３０は、当該倍率の指定に基づいて走査範囲を算出し、偏向走査制御装置２０に送る。
【０１５１】
偏向走査制御装置２０は、送られてきた走査範囲の情報に基づいて走査コイル１２を制御する。これにより、走査コイル１２によって変更された走査範囲内の領域が電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（倍率変更後のライブ像）を表示させる。なお、倍率変更後の視野の位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【０１５２】
図２３は、多視野表示されている画面を説明するための図である。
【０１５３】
ライブ像表示制御部４２は、図２３に示すように、ライブ像２の背景（周囲）に、ライブ像２の視野と連続するように、試料ホルダー１３の表面形状のグラフィック（コンピューターグラフィック）３を表示させる制御を行う。ライブ像２の背景となる背景画像は、コンピューターグラフィックでもよいし、撮影済みの観察像であってもよい。例えば、背景画像として、複数の撮影済みの観察像をライブ像の周囲に配置してもよい。
【０１５４】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から、倍率変更前の視野の位置情報、倍率変更後の視野の位置情報、および倍率変更前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報を読み出す。
【０１５５】
次に、マーカー表示制御部４４は、倍率変更前の視野の位置情報、倍率変更後の視野の位置情報、および倍率変更前の視野におけるマーカーＭＫの位置情報に基づいて、倍率変更後の視野におけるマーカーＭＫの位置を算出する。なお、マーカー表示制御部４４の処理は、上述した「２．２．  倍率の変更」で説明した通りである。
【０１５６】
マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置が背景画像上（試料ホルダー１３のグラフィック３上）であった場合には、背景画像（試料ホルダー１３のグラフィック３）上にマーカーＭＫを表示させる制御を行う。図２３に示す例では、背景画像として、マーカーＭＫが表示された倍率変更前の視野の観察像４（図２２に示す観察像）を表示させている。
【０１５７】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、ライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像を表示させるとともに、表示されたライブ像の背景に背景画像を表示させる制御を行い、マーカー表示制御部４４は、算出されたマーカーＭＫの位置が背景画像上の位置であった場合に、背景画像上にマーカーＭＫを表示させる制御を行う。
【０１５８】
したがって、電子顕微鏡１００では、多視野表示した場合であっても、分析位置を示すマーカーＭＫを継続して観察像上に表示させることができる。
【０１５９】
２．６．  試料の傾斜
（１）動作
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、試料ステージ１４によって試料を傾斜させることができる。このとき、電子顕微鏡１００では、マーカーが表示されたときの試料Ｓの傾斜角度と現在の試料Ｓの傾斜角度が同じ場合にはマーカーを表示し、マーカーが表示されたときの試料Ｓの傾斜角度と現在の試料Ｓの傾斜角度が異なる場合にはマーカーを表示
しない。
【０１６０】
ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。このときの試料Ｓの傾斜角度は、０°とする。
【０１６１】
図２４は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４）が表示されている様子を示す図である。
【０１６２】
このときのライブ像の視野の位置情報（初期傾斜の視野の位置情報）と、当該視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【０１６３】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて試料Ｓの傾斜角度（例えば３０°）を指定すると、本体制御装置３０は、当該傾斜角度の指定に基づいて、試料ステージ１４の傾斜角度を算出し、試料ステージ制御装置２６に送る。
【０１６４】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた傾斜角度の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓの傾斜角度を０°から３０°にする。なお、試料ステージ１４の傾斜後の位置情報（傾斜１回目の視野の位置情報）は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【０１６５】
試料ステージ１４の傾斜が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、傾斜角度３０°の試料Ｓが電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（傾斜角度３０°のライブ像）を表示させる。
【０１６６】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から傾斜１回目の視野の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から初期傾斜の視野の位置情報と初期傾斜の視野におけるマーカーＭＫの位置情報を読み出す。
【０１６７】
次に、マーカー表示制御部４４は、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と、傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）と、を比較する。
【０１６８】
マーカー表示制御部４４は、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度と、傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度が異なる場合には、マーカーＭＫを非表示にする制御を行い、これらの傾斜角度が同じ場合には、マーカーＭＫを表示させる制御を行う。
【０１６９】
ここでは、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）は異なるため、マーカー表示制御部４４は、マーカーＭＫを非表示にする制御を行う。そのため、図２５に示すように、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上には、マーカーＭＫが表示されない。
【０１７０】
次に、試料Ｓの傾斜角度が３０°の状態で、ユーザーが分析位置情報の入力操作を行うと、本体制御装置３０は入力された分析位置情報を画像表示制御装置４０に送る。画像表示制御装置４０は、分析位置情報をマーカー位置情報に変換し、マーカーをライブ像上に合成し、表示装置５０の画面上に表示させる。
【０１７１】
図２６は、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上にマーカーＭＫ（ＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２）が表示されている様子を示す図である。
【０１７２】
このときのライブ像の視野の位置情報（傾斜１回目の視野の位置情報）と、傾斜１回目の視野におけるマーカーＭＫの位置情報は、記憶装置３４に記憶される。
【０１７３】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて試料Ｓの傾斜角度（例えば１５°）を指定すると、本体制御装置３０は、当該傾斜角度の指定に基づいて、試料ステージ１４の傾斜角度を算出し、試料ステージ制御装置２６に送る。
【０１７４】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた傾斜角度の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓの傾斜角度を３０°から１５°にする。なお、試料ステージ１４の傾斜後の位置情報（傾斜２回目の視野の位置情報）は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【０１７５】
試料ステージ１４の傾斜が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、傾斜角度１５°の試料Ｓが電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され、本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（傾斜角度１５°のライブ像）を表示させる。
【０１７６】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から傾斜２回目の視野の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から初期傾斜の視野の位置情報と初期傾斜の視野におけるマーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、記憶装置３４から傾斜１回目の視野の位置情報と傾斜１回目の視野におけるマーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２の位置情報を読み出す。
【０１７７】
次に、マーカー表示制御部４４は、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と、傾斜２回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（１５°）と、を比較する。また、マーカー表示制御部４４は、傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）と、傾斜２回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（１５°）と、を比較する。
【０１７８】
ここでは、いずれの傾斜角度も異なるため、マーカー表示制御部４４は、マーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４，ＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２）を非表示にする制御を行う。そのため、図２７に示すように、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上には、マーカーＭＫ（ＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４，ＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２）が表示されない。
【０１７９】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて試料Ｓの傾斜角度（例えば０°）を指定すると、本体制御装置３０は、当該傾斜角度の指定に基づいて、試料ステージ１４の傾斜角度を算出し、試料ステージ制御装置２６に送る。
【０１８０】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた傾斜角度の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓの傾斜角度を１５°から０°にする。なお、試料ステージ１４の傾斜後の位置情報（傾斜３回目の視野の位置情報）は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【０１８１】
試料ステージ１４の傾斜が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、傾斜角度０°の試料Ｓが電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され、本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（傾斜角度０°のライブ像）を表示させる。
【０１８２】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から傾斜３回目の視野の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から初期傾斜の視野の位置情報と初期傾斜の視野におけるマーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、記憶装置３４から傾斜１回目の視野の位置情報と傾斜１回目の視野におけるマーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２の位置情報を読み出す。
【０１８３】
次に、マーカー表示制御部４４は、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）および傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）、と傾斜３回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と、を比較する。
【０１８４】
ここでは、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と、傾斜３回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）は、同じであるため、マーカー表示制御部４４は、傾斜３回目の視野の観察像上にマーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４を表示させる制御を行う。また、傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）と傾斜３回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）は異なるため、マーカー表示制御部４４は、マーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２を非表示にする。そのため、図２４に示すように、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上には、マーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４が表示され、マーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２は表示されない。
【０１８５】
次に、ユーザーが表示装置５０の画面上に表示されたライブ像を見ながら、入力装置３２を用いて試料Ｓの傾斜角度（例えば３０°）を指定すると、本体制御装置３０は、当該傾斜角度の指定に基づいて、試料ステージ１４の傾斜角度を算出し、試料ステージ制御装置２６に送る。
【０１８６】
試料ステージ制御装置２６は、送られてきた傾斜角度の情報に基づいて制御信号を生成し、当該制御信号を試料ステージ１４に送る。試料ステージ１４は、制御信号に基づいて、試料Ｓの傾斜角度を０°から３０°にする。なお、試料ステージ１４の傾斜後の位置情
報（傾斜４回目の視野の位置情報）は、試料ステージ位置情報記憶装置２８に記憶される。
【０１８７】
試料ステージ１４の傾斜が完了すると、本体制御装置３０は、偏向走査制御装置２０を介して走査コイル１２を制御する。これにより、傾斜角度３０°の試料Ｓが電子ビームで走査される。電子ビームの照射により試料Ｓから発生した二次電子は、二次電子検出器１５で検出され、検出信号は信号増幅装置２２で増幅され、本体制御装置３０に送られる。本体制御装置３０は、検出信号をライブ像化し、画像表示制御装置４０に送る。そして、画像表示制御装置４０のライブ像表示制御部４２は、表示装置５０の画面上にライブ像（傾斜角度３０°のライブ像）を表示させる。
【０１８８】
マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０および試料ステージ制御装置２６を介して、試料ステージ位置情報記憶装置２８から傾斜４回目の視野の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、本体制御装置３０を介して、記憶装置３４から初期傾斜の視野の位置情報と初期傾斜の視野におけるマーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４の位置情報を読み出す。さらに、マーカー表示制御部４４は、記憶装置３４から傾斜１回目の視野の位置情報と傾斜１回目の視野におけるマーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２の位置情報を読み出す。
【０１８９】
次に、マーカー表示制御部４４は、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）および傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）、と傾斜４回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）と、を比較する。
【０１９０】
ここでは、初期傾斜の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（０°）と、傾斜４回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）は異なるため、マーカー表示制御部４４は、マーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４を非表示にする。また、傾斜１回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）と傾斜４回目の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度（３０°）は同じであるため、マーカー表示制御部４４は、傾斜４回目の視野の観察像上にマーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２を表示させる。そのため、図２６に示すように、表示装置５０の画面上に表示されたライブ像上には、マーカーＭＫ−Ｌ１，ＭＫ−Ｌ２が表示され、マーカーＭＫ１，ＭＫ２，ＭＫ３，ＭＫ４は表示されない。
【０１９１】
本実施形態に係る電子顕微鏡１００では、試料Ｓの傾斜による視野変更前の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度と、試料Ｓの傾斜による視野変更後の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度とが同じ場合に、試料Ｓの傾斜による視野変更後の視野にマーカーＭＫを表示させる制御を行い、試料Ｓの傾斜による視野変更前の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度と、試料Ｓの傾斜による視野変更後の視野の位置情報に含まれる試料Ｓの傾斜角度とが異なる場合に、試料Ｓの傾斜による視野変更後の視野にマーカーＭＫを非表示にする制御を行う。
【０１９２】
したがって、電子顕微鏡１００では、分析が行われたときの試料Ｓの傾斜角度を、容易に、確認することができる。
【０１９３】
３．  変形例
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【０１９４】
例えば、上述した実施形態では、電子顕微鏡１００が二次電子検出器１５を備えており
、観察像として二次電子像を取得する例について説明したが、二次電子検出器１５の代わりに反射電子検出器を備え、観察像として反射電子像を取得してもよい。
【０１９５】
また、上述した実施形態では、電子顕微鏡１００がＥＤＳ検出器１６を備えている例について説明したが、ＥＤＳ検出器１６に代えてＷＤＳ検出器（波長分散型Ｘ線検出器）を備えていてもよい。
【０１９６】
また、上述した実施形態では、マーカーが分析位置を示す例について説明したが、マーカーは試料Ｓ上の位置を特定するためのものであればよく、例えばマーカーが加工位置を特定するものであってもよいし、測長位置を示すものであってもよい。
【０１９７】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１９８】
２…ライブ像、３…グラフィック、４…観察像、１０…電子顕微鏡本体、１１…電子銃、１２…走査コイル、１３…試料ホルダー、１４…試料ステージ、１５…二次電子検出器、１６…ＥＤＳ検出器、２０…偏向走査制御装置、２２…信号増幅装置、２４…ＥＤＳ制御装置、２６…試料ステージ制御装置、２８…試料ステージ位置情報記憶装置、３０…本体制御装置、３２…入力装置、３４…記憶装置、４０…画像表示制御装置、４２…ライブ像表示制御部、４４…マーカー表示制御部、５０…表示装置、１００…電子顕微鏡
【図１】
0006706956.tif 000012
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006706956.tif 000019
【図９】
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【図１０】
0006706956.tif 000021
【図１１】
0006706956.tif 000022
【図１２】
0006706956.tif 000023
【図１３】
0006706956.tif 000024
【図１４】
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【図１５】
0006706956.tif 000026
【図１６】
0006706956.tif 000027
【図１７】
0006706956.tif 000028
【図１８】
0006706956.tif 000029
【図１９】
0006706956.tif 000030
【図２０】
0006706956.tif 000031
【図２１】
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【図２２】
0006706956.tif 000033
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
0006706956.tif 000037
【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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