(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）光ラジカル重合性化合物、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤、（Ｄ）光酸発生剤、及び（Ｅ）着色剤を含み、
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、下記式（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）で表される構成単位を有し、
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、前記（Ａ）光ラジカル重合性化合物１０〜３００質量部、前記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤１〜８０質量部、前記（Ｄ）光酸発生剤０．０５〜５０質量部、前記（Ｅ）着色剤３０〜６００質量部であり、
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、さらに、前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体として、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換マレイミド系単量体及びα−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート系単量体からなる群より選択される少なくとも１種の単量体由来の構成単位を有することを特徴とする
感光性樹脂組成物。
【化１】
0006706944.tif 000006
［上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中、各Ｒ１及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表す。上記式（ａ）中、Ｒ２は、１級ヒドロキシ基以外の官能基で置換されていてもよいアルキル基、脂環基、官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基、又はエーテル結合を有する官能基を表す。上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中の各Ｙは、それぞれ独立して、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）若しくは（−ＯＣＯ−）、リン酸エステル基（−ＰＯ３−）若しくは（−ＯＰＯ２−）、スルホン酸エステル基（−ＳＯ３−）若しくは（−ＯＳＯ２−）、又はフェニレン基を表す。上記式（ｃ）中のＺ、ならびに上記式（ｄ）中のＸは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表す。］
【請求項２】
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、
酸基及び重合性二重結合を有する単量体と、
前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体と、
（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）と
を含む単量体成分を重合することにより得られた重合体であるベースポリマーに、前記酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物を反応させて得られた重合体であり、
前記ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体、及び／又は、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートの含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）が、前記単量体成分１００質量％に対して１〜４０質量％である、
請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる、硬化物。
【請求項４】
請求項３に記載の硬化物を基板上に有する、カラーフィルター。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルターを装着した液晶表示装置。
【請求項６】
請求項４に記載のカラーフィルターを装着した有機ＥＬディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、それを硬化して得られる硬化物及びカラーフィルターに関する。より詳しくは、いわゆるレジストとして、各種電子情報材料の分野で用いられ、特に電子情報材料分野におけるカラー液晶表示パネルやカラー撮像管素子、有機ＥＬディスプレイパネル等に用いられるカラーフィルターの画素、オーバーコート、フォトリソスペーサーの製造に好適に使用することができる感光性樹脂組成物、およびその硬化物に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光性樹脂組成物は、塗工形成された膜に光や熱でエネルギーを与えることによって形態変化し、例えば、光が当てられた部分が硬化し、その他の部分が溶解性を示す等の特性をもつものである。このような特性を利用して、ディスプレイ用の光学部材やその他の電子機器の回路基板等を製造するために用いられ、いわゆるＩＴ技術の発展にともなって、その重要性が益々増している有用な工業材料である。このような樹脂組成物が使用される重要な部材の一つにカラーフィルターが挙げられる。カラーフィルターは、カラー液晶表示装置やカラー撮像管素子に不可欠な部材であり、色を分離するための微細な着色樹脂層を有する。カラーフィルター形成用感光性樹脂組成物としては種々のものが提唱されているが、現在の主流は、アクリル系の感光性樹脂組成物とし、アルカリ現像型レジストとすることであり、これは、微細加工における製版特性を左右する成分としてアルカリ可溶性樹脂を必須成分として含むのが通常である。
【０００３】
感光性樹脂組成物は、様々な工業分野で用いられている材料であるが、電子情報材料の分野においては、例えば、カラーフィルター用途の場合、硬化性が良く、アルカリに対する現像速度が速く、パターン形状、密着性能など、カラーフィルターを作製する際の製版性に寄与する基本性能や、耐溶剤性能や耐熱性、透明性など、カラーフィルターの信頼性や分光特性に寄与する基本性能に優れることが求められることになる。すなわち、硬化性樹脂組成物は、カラーフィルターを作製する際の製版性やカラーフィルター自体の性能に大きく影響することになり、これらの特性を充足させ、向上するための開発研究が活発になされているところである。
【０００４】
カラーフィルター用の感光性樹脂組成物に関して、オキシラニル基、オキセタニル基などのカチオン硬化性化合物と光酸発生剤とを組み合わせた組成物として、例えば、ウレタン結合を有する樹脂、多官能アクリレート、エポキシ樹脂、ラジカル重合開始剤、光酸発生剤からなる感光性樹脂組成物（特許文献１参照）や、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、オキシラニル基またはオキセタニル基と、１個のエチレン性不飽和結合とを有しＱ値が０．２〜１．２である重合性単量体、光ラジカル発生剤、および光酸発生剤を含有することを特徴とするカラーフィルターの着色層形成用感放射線性組成物（特許文献２参照）等が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２９８３３９号公報
【特許文献２】特許第５３３８３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、感光性樹脂組成物には、硬化性や硬化後の耐溶剤性、基板（基材とも称す）との密着性、耐熱性及び透明性等の各種物性を有することが求められており、その硬化物が安定的に透明性や耐溶剤性、密着性、耐熱性等を発揮できることも求められている。そして、近年では、表示装置等の技術の進歩に伴い、使用される各部材に対しても更に高度な性能が強く要望されるようになりつつあり、例えばカラーフィルター用途では、硬化後に高度な耐溶剤性、透明性が求められている。しかしながら、従来の樹脂組成物では、これらの要望に充分に対応できないのが現状である。例えば、特許文献１や２に記載の樹脂組成物は、硬化性や耐熱性が充分とは言えず、耐溶剤性、透明性が高い硬化物を得ることが困難なことから、樹脂組成物の組成を改善し、高度の耐溶剤性、透明性、耐熱性等を安定的に発揮できるようにするための工夫の余地があった。
【０００７】
本発明は上記現状に鑑みてなされたものであり、硬化性、硬化後の耐溶剤性、基板（基材）との密着性、耐熱性及び透明性等の各種物性を安定的に発揮でき、カラーフィルター等の各種用途に有用な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、このような感光性樹脂組成物により形成される硬化物、並びに、該硬化物を用いたカラーフィルター及び表示装置を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、カラーフィルター等の各種用途に有用な感光性樹脂組成物について種々検討したところ、エポキシなどのカチオン硬化性化合物の配合量が高くない系においても、特定のアルカリ可溶性樹脂に、光ラジカル開始剤と光酸発生剤とを必須要素として含む樹脂組成物とすると、硬化後の耐溶剤性が飛躍的に向上され、高度な透明性を発現できる硬化物が得られることを見いだし、本発明に到達した。
【０００９】
従って、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）光ラジカル重合性化合物、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤、（Ｄ）光酸発生剤、及び（Ｅ）着色剤を含み、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、下記式（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）で表される構成単位を有し、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、上記（Ａ）光ラジカル重合性化合物１０〜３００質量部、上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤１〜８０質量部、上記（Ｄ）光酸発生剤０．０５〜５０質量部、上記（Ｅ）着色剤３０〜６００質量部であり、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、さらに、前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体として、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換マレイミド系単量体及びα−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート系単量体からなる群より選択される少なくとも１種の単量体由来の構成単位を有することを特徴とする。
【００１０】
［上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中、各Ｒ１及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表す。上記式（ａ）中、Ｒ２は、１級ヒドロキシ基以外の官能基で置換されていてもよいアルキル基、脂環基、官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基、又はエーテル結合を有する官能基を表す。上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中の各Ｙは、それぞれ独立して、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）若しくは（−ＯＣＯ−）、リン酸エステル基（−ＰＯ３−）若しくは（−ＯＰＯ２−）、スルホン酸エステル基（−ＳＯ３−）若しくは（−ＯＳＯ２−）、又はフェニレン基を表す。上記式（ｃ）中のＺ、ならびに上記式（ｄ）中のＸは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表す。］
【００１１】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、酸基及び重合性二重結合を有する単量体と、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体と、（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）とを含む単量体成分を重合することにより得られた重合体であるベースポリマーに、上記酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物を反応させて得られた重合体であり、上記ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体、及び／又は、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートの含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）が、上記単量体成分１００質量％に対して１〜４０質量％であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の硬化物は、上記感光性樹脂組成物を硬化してなる。
また、本発明のカラーフィルターは、上記硬化物を基板上に有する。
さらに、本発明の液晶表示装置は、上記カラーフィルターを装着している。
さらにまた、本発明の有機ＥＬディスプレイは、上記カラーフィルターを装着している。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の感光性樹脂組成物は、上述のような構成であり、硬化後の耐溶剤性、透明性等の各種物性に優れた硬化物を与えることができるものである。このような感光性樹脂組成物から得た硬化樹脂層をカラーフィルターに用いれば輝度および色純度が高く、色ムラ等を生じることのない良好な表示品質の表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）光ラジカル重合性化合物、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤、（Ｄ）光酸発生剤、及び（Ｅ）着色剤を含んでいる。上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）で表される構成単位を有し、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、上記（Ａ）光ラジカル重合性化合物１０〜３００質量部、上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤１〜８０質量部、上記（Ｄ）光酸発生剤０．０５〜５０質量部、上記（Ｅ）着色剤３０〜６００質量部であり、前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、さらに、前記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体として、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換マレイミド系単量体及びα−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート系単量体からなる群より選択される少なくとも１種の単量体由来の構成単位を有している。
【００１５】
【化２】
0006706944.tif 000002
【００１６】
上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中、各Ｒ１及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表す。上記式（ａ）中、Ｒ２は、１級ヒドロキシ基以外の官能基で置換されていてもよいアルキル基、脂環基、官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基、又はエーテル結合を有する官能基を表す。上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中の各Ｙは、それぞれ独立して、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）若しくは（−ＯＣＯ−）、リン酸エステル基（−ＰＯ３−）若しくは（−ＯＰＯ２−）、スルホン酸エステル基（−ＳＯ３−）若しくは（−ＯＳＯ２−）、又はフェニレン基を表す。上記式（ｃ）中のＺ、ならびに上記式（ｄ）中のＸは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表す。
【００１７】
以下では、上記（Ａ）光ラジカル重合性化合物を「化合物（Ａ）や（Ａ）成分」、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂を「（Ｂ）成分」、上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤を「（Ｃ）成分」、上記（Ｄ）光酸発生剤を「（Ｄ）成分」、上記（Ｅ）着色剤を「（Ｅ）成分」とも称する場合がある。なお、本明細書中、「（メタ）アクリル酸」とは、メタクリル酸とアクリル酸の両方を表現した表記である。各成分はそれぞれ１種含むものであってもよく、２種以上含んでいてもよい。また、その他の成分を含んでいてもよい。
【００１８】
（Ａ）光ラジカル重合性化合物
＜多官能性化合物＞
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）光ラジカル重合性化合物としては、好ましくは２官能以上の多官能性化合物（単に「多官能性化合物」とも称す）が挙げられる。多官能性化合物とは、１分子中に２個以上の官能基を有する化合物である。このような化合物を含むことで、感光性樹脂組成物が感光性及び硬化性に優れたものとなり、極めて高硬度の硬化膜を得ることが可能になる。なお、２個以上の官能基は、同じ官能基であってもよいが、異なる官能基でもよい。
【００１９】
上記多官能性化合物が有する官能数として好ましくは、３以上であり、より好ましくは４以上、更に好ましくは５以上である。また、硬化収縮をより抑制する観点から、官能数が１０以下であることが好ましく、より好ましくは８以下である。また、多官能性化合物の分子量としては特に限定されないが、取り扱いの観点から、例えば、２０００以下が好適である。
【００２０】
上記官能基としては、例えば、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、エポキシ基、イソシアナト基、ヒドロキシ基、酸無水物基、オキサゾリン基等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリロイル基が好適である。すなわち上記多官能性化合物は、１分子中に少なくとも１個の（メタ）アクリロイル基を有する化合物であることが好適であり、例えば、多官能（メタ）アクリレート化合物、多官能ウレタン（メタ）アクリレート化合物、（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート化合物等を用いることが好ましい。より好ましくは、１分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物（以下、「多官能（メタ）アクリレート化合物とも称す」）であり、これにより、より一層高硬度で高透明性の硬化物を得ることが可能になる。
【００２１】
（Ａ）光ラジカル重合性化合物としては、より好ましくは、１分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物である。光ラジカル重合性化合物は、フリーラジカル、電磁波（赤外線、紫外線、Ｘ線等）、電子線等の活性エネルギー線の照射等により重合するラジカル重合性不飽和基を有する低分子化合物であり、本発明の感光性樹脂組成物をより硬化性に優れたものとすることが可能となる。光ラジカル重合性化合物は、ラジカル重合性不飽和基を同一分子内に１個有する単官能性の光ラジカル重合性化合物と、２個以上有する多官能性の光ラジカル重合性化合物に分類することができるが好ましくは２個以上有する多官能性の光ラジカル重合性化合物である。
【００２２】
上記（Ａ）光ラジカル重合性化合物の含有量は、用いる化合物やアルカリ可溶性樹脂の種類の他、目的や用途等に応じて適宜設定すればよいが、例えば、現像性や製版性により優れる観点から、感光性樹脂組成物の固形分総量１００質量％に対し、５〜５０質量％であることが好適である。より好ましくは１０〜４０質量％、さらに好ましくは１０〜３０質量％である。
【００２３】
上記光ラジカル重合性化合物の中でも、硬化性の観点から、多官能性の光ラジカル重合性化合物が好ましい。更に、上記多官能性の光ラジカル重合性化合物の中でも、反応性、経済性、入手性等から、多官能（メタ）アクリレート類、多官能ウレタン（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート類等の、（メタ）アクリロイル基を有する多官能性単量体がより好ましい。更に好ましくは、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレートである。
【００２４】
上記（メタ）アクリロイル基を有する多官能性単量体を商品名で例示すると、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６、ＮＰＧＤＡ、ＰＥＧ４００ＤＡ、ＭＡＮＤＡ、Ｒ−１６７、ＨＸ−２２０、ＨＸ−６２０、Ｒ−５５１、Ｒ−７１２、Ｒ−６０４、Ｒ−６８４、ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３２０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０、Ｔ−１４２０（Ｔ）、ＤＰＨＡ、ＤＰＨＡ−２Ｃ、Ｄ−３１０、Ｄ−３３０、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０、ＤＮ−００７５（以上、日本化薬社製）；アロニックスＭ−２０３Ｓ、Ｍ−２０８、Ｍ−２１１Ｂ、Ｍ−２１５、Ｍ−２２０、Ｍ−２２５、Ｍ−２７０、Ｍ−２４０、Ｍ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３７０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３２５、Ｍ−３２７、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−４５１、Ｍ−４５０、Ｍ−４０８、Ｍ−４０３、Ｍ−４００、Ｍ−４０２、Ｍ−４０４、Ｍ−４０６、Ｍ−４０５、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０（以上、東亞合成社製）；ライトアクリレート３ＥＧ−Ａ、４ＥＧ−Ａ、９ＥＧ−Ａ、ＤＣＰ−Ａ、ＢＰ−４ＥＡ、ＢＰ−４ＰＡ、ＨＰＰ−Ａ、ＰＴＭＧＡ−２５０、Ｇ２０１ＰＴＭＰ−Ａ、ＴＭＰ−６ＥＯ−３Ａ、ＴＭＰ−３ＥＯ−Ａ（以上、共栄社化学社製）、ライトエステルＥＧ、２ＥＧ、３ＥＧ、４ＥＧ、９ＥＧ、Ｇ１０１Ｐ、Ｇ２０１Ｐ、ＢＰ−２ＥＭ、ＢＰ−６ＥＭ、ＴＭＰ（以上、共栄社化学社製）、ビスコート２９５、３００、３６０、ＧＰＴ、３ＰＡ、４００（以上、大阪有機化学工業社製）等が挙げられる。
これらの中でも、ＴＭＰＴＡ、ＤＰＨＡが好適に用いられる。
以下に、本発明で用いる多官能性化合物として好適な多官能（メタ）アクリレート化合物、及び、その他の多官能性化合物について更に説明する。
【００２５】
−多官能（メタ）アクリレート化合物−
上記多官能（メタ）アクリレート化合物が有する（メタ）アクリロイル基の数は、３以上であることが好ましい。このように上記多官能性化合物は、３官能以上の多官能（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましく、これにより、感光性及び硬化性がより高められ、硬度及び透明性をより向上することができる。より好ましくは４以上、更に好ましくは５以上である。また、硬化収縮をより抑制する観点から、１０以下が好ましく、より好ましくは８以下、更に好ましくは６以下である。
【００２６】
上記多官能（メタ）アクリレート化合物が有する（メタ）アクリロイル基とは、メタクリロイル基及び／又はアクリロイル基を意味するが、反応性により優れる観点からアクリロイル基が好ましい。すなわち、上記多官能（メタ）アクリレート化合物は、アクリロイル基を２個以上有する多官能アクリレート化合物であることが特に好適である。
上記多官能（メタ）アクリレート化合物の分子量は特に限定されないが、取り扱いの観点から、例えば、２０００以下が好適である。より好ましくは１０００以下である。また、１００以上が好適である。
【００２７】
上記多官能（メタ）アクリレート化合物としては特に限定されないが、例えば、下記の化合物等が挙げられる。
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート等の２官能（メタ）アクリレート化合物；
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の３官能以上の多官能（メタ）アクリレート化合物；等。
【００２８】
−他の多官能性化合物−
上記多官能性化合物としてはまた、多官能ビニルエーテル化合物、ビニルエーテル基含有（メタ）アクリレート化合物、多官能アリルエーテル化合物、アリル基含有（メタ）アクリレート化合物、（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート化合物、多官能アリル基含有イソシアヌレート化合物、多官能ウレタン（メタ）アクリレート化合物、多官能芳香族ビニル化合物等を使用することもできる。
【００２９】
上記多官能ビニルエーテル化合物としては、例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ブチレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジビニルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル等が挙げられる。
【００３０】
上記ビニルエーテル基含有（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸１−メチル−２−ビニロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ビニロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシブチル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシシクロヘキシル、（メタ）アクリル酸５−ビニロキシペンチル、（メタ）アクリル酸６−ビニロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸４−ビニロキシメチルシクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸ｐ−ビニロキシメチルフェニルメチル、（メタ）アクリル酸２−（ビニロキシエトキシ）エチル、（メタ）アクリル酸２−（ビニロキシエトキシエトキシエトキシ）エチル等が挙げられる。
【００３１】
上記多官能アリルエーテル化合物としては、例えば、エチレングリコールジアリルエーテル、ジエチレングリコールジアリルエーテル、ポリエチレングリコールジアリルエーテル、プロピレングリコールジアリルエーテル、ブチレングリコールジアリルエーテル、ヘキサンジオールジアリルエーテル、ビスフェノールＡアルキレンオキシドジアリルエーテル、ビスフェノールＦアルキレンオキシドジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、グリセリントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタアリルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル、エチレンオキシド付加トリメチロールプロパントリアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジトリメチロールプロパンテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサアリルエーテル等が挙げられる。
【００３２】
上記アリル基含有（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸アリル等が挙げられる。
【００３３】
上記（メタ）アクリロイル基含有イソシアヌレート化合物としては、例えば、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、アルキレンオキシド付加トリ（メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート等が挙げられる。
【００３４】
上記アリル基含有イソシアヌレート化合物としては、例えば、トリアリルイソシアヌレート等が挙げられる。
【００３５】
上記多官能ウレタン（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の多官能イソシアネートと、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等のヒドロキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル類との反応で得られる化合物等が挙げられる。
【００３６】
上記多官能芳香族ビニル化合物としては、例えば、ジビニルベンゼン等が挙げられる。
【００３７】
＜多官能性化合物以外の重合性単量体＞
上記多官能性化合物以外の重合性単量体も、上述した多官能性化合物以外の化合物であって、フリーラジカル、電磁波（例えば、赤外線、紫外線、Ｘ線等）、電子線等の活性エネルギー線の照射等により重合し得る、重合性不飽和結合（重合性不飽和基とも称す）を有する低分子化合物は、（Ａ）光ラジカル重合性化合物として使用できる。上記重合性単量体としては、例えば、重合性不飽和基を分子中に１つ有する単官能の化合物（重合性単量体）が挙げられる。
【００３８】
上記単官能の重合性単量体としては、例えば、上記（メタ）アクリレート系重合体の単量体成分に好ましく含有される他の単量体として例示した化合物のうち、Ｎ置換マレイミド、無置換マレイミドや（メタ）アクリル酸エステル類；（メタ）アクリルアミド類；不飽和モノカルボン酸類；不飽和多価カルボン酸類；不飽和基とカルボキシル基の間が鎖延長されている不飽和モノカルボン酸類；不飽和酸無水物類；芳香族ビニル類；共役ジエン類；ビニルエステル類；ビニルエーテル類；Ｎ−ビニル化合物類；不飽和イソシアネート類；等が挙げられる。
【００３９】
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）で表される構成単位を有する重合体である。（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）で表される構成単位を有していてもよい。
【００４０】
【化３】
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【００４１】
上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中、各Ｒ１及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表す。上記式（ａ）中、Ｒ２は、１級ヒドロキシ基以外の官能基で置換されていてもよいアルキル基、脂環基、官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基、又はエーテル結合を有する官能基を表す。
【００４２】
上記Ｒ２における、１級ヒドロキシ基以外の官能基で置換されていてもよいアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−アミル基、ｓ−アミル基、ｔ−アミル基、ｎ−ヘキシル基、２−エチルヘキシル基、イソデシル基、トリデシル基、オクチル基、イソオクチル基、ラウリル基、ステアリル基、２−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシブチル基、３−ヒドロキシブチル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル基などの、２級ヒドロキシ基又はアミノ基で置換されていてもよい炭素数１〜１８のアルキル基が挙げられる。
上記Ｒ２における脂環基としては、例えば、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチル基、トリシクロデカニル基、イソボルニル基などが挙げられる。
また、上記Ｒ２における官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基としては、ベンジル基、フェニル基、フェノキシエチル基、フェニルフェノール基などが挙げられる。
上記Ｒ２におけるエーテル結合を有する官能基としては、例えば、２−メトキシエチル基、２−エトキシエチル基、テトラヒドロフルフリル基、テトラヒドロピラニル基などが挙げられる。
上記Ｒ２としては、官能基で置換されていないアルキル基もしくは脂環基が、現像性などの観点から好ましい。
【００４３】
上記式（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）中の各Ｙは、それぞれ独立して、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）若しくは（−ＯＣＯ−）、リン酸エステル基（−ＰＯ３−）若しくは（−ＯＰＯ２−）、スルホン酸エステル基（−ＳＯ３−）若しくは（−ＯＳＯ２−）、又はフェニレン基を表す。Ｙとしては、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）であることが好ましい。
【００４４】
上記式（ｃ）中のＺは、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表し、官能基で置換されていてもよいアルキレン基を有する基が好ましい。上記官能基で置換されていてもよいアルキレン基としては、直鎖、分岐または環状のアルキレン基が挙げられ、例えば、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン基、ｉ−プロピレン基、ｎ−ブチレン基、ｓ−ブチレン基、ｔ−ブチレン基、２−ヒドロキシエチレン基、２−ヒドロキシプロピレン基、３−ヒドロキシプロピレン基、２−ヒドロキシブチレン基、３−ヒドロキシブチレン基、４−ヒドロキシブチレン基、２−メトキシエチレン基、２−エトキシエチレン基などの、ヒドロキシ基又はアルコキシキ基で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキレン基が挙げられる。なかでも、２級ヒドロキシ基を有する炭素数２〜４のアルキレン基が特に好ましい。
【００４５】
上記Ｚには、カルボン酸エステル基（−ＣＯＯ−）若しくは（−ＯＣＯ−）、リン酸エステル基（−ＰＯ３−）若しくは（−ＯＰＯ２−）、スルホン酸エステル基（−ＳＯ３−）若しくは（−ＯＳＯ２−）、又はフェニレン基が含まれていてもよい。
上記Ｚとしては、２級ヒドロキシ基を有する炭素数２〜４のアルキレン基が好ましい。
【００４６】
上記式（ｄ）中のＸは、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基を表し、官能基で置換されていてもよいアルキレン基、官能基で置換されていてもよいアリーレン基、又は脂環構造を有する２価の炭化水素基が好ましく、官能基で置換されていてもよいアルキレン基又は官能基で置換されていてもよいアリーレン基がより好ましく、官能基で置換されていてもよいアルキレン基がさらに好ましい。
特に好ましい官能基で置換されていてもよいアルキレン基としては、直鎖、分岐または環状のアルキレン基が挙げられ、例えば、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン基、ｉ−プロピレン基、ｎ−ブチレン基、ｓ−ブチレン基、ｔ−ブチレン基などの炭素数１〜４のアルキレン基、さらにこれらの基がヒドロキシ基などの官能基で置換された基が挙げられる。なお、上記脂環構造としては、シクロヘキサン骨格、アダマンタン骨格、ノルボルネン骨格が挙げられる。
【００４７】
上記式（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）で表される構成単位の合計含有量、及び、上記式（ａ）、（ｂ）及び（ｄ）で表される構成単位の合計含有量は、それぞれ、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量％中、例えば、６０質量％以上であることが好ましく、より好ましくは７０質量％以上であり、さらに好ましくは８０質量％以上である。
【００４８】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、酸基及び重合性二重結合を有する単量体を含む単量体成分を重合することにより得られる重合体（ベースポリマーとも称す）や、後述するように、当該ベースポリマーに、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物を反応させて得られる重合体（「側鎖に二重結合を有する重合体」又は「側鎖二重結合含有重合体」とも称す）であることが好適である。より好ましくは、後者の側鎖二重結合含有重合体である。
なお、使用される各単量体は、それぞれ１種又は２種以上を使用することができる。
【００４９】
上記酸基及び重合性二重結合を有する単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類；マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和多価カルボン酸類；コハク酸モノ（２−アクリロイルオキシエチル）、コハク酸モノ（２−メタクリロイルオキシエチル）等の不飽和基とカルボキシル基との間が鎖延長されている不飽和モノカルボン酸類；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の不飽和酸無水物類；ライトエステルＰ−１Ｍ（共栄社化学製）等のリン酸基含有不飽和化合物；等が挙げられる。これらの中でも、汎用性、入手性等の観点から、カルボン酸系単量体（不飽和モノカルボン酸類、不飽和多価カルボン酸類、不飽和酸無水物類）を用いることが好適である。より好ましくは、反応性、アルカリ可溶性等の点で、不飽和モノカルボン酸類を用いることが好ましく、更に好ましくは（メタ）アクリル酸（すなわちアクリル酸及び／又はメタクリル酸）であり、このうち特に好ましくはメタクリル酸である。
（メタ）アクリル酸は、上記式（ｂ）で表される構成単位を与える単量体である。
【００５０】
上記酸基及び重合性二重結合を有する単量体の含有割合は、例えば、上記ベースポリマーを合成する単量体全成分１００質量％中、５質量％以上であることが好ましい。これにより、アルカリに対する溶解性がより充分となり、例えば、現像性が必要とされる用途に更に有用な硬化性樹脂組成物となる。より好ましくは１０質量％以上、更に好ましくは１５質量％以上である。また、例えばポストベイク後においても硬化物の優れた外観や密着性等をより維持できる点で、９５質量％以下であることが好ましい。より好ましくは９０質量％以下である。
【００５１】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の酸価（ＡＶ）としては特に限定されないが、例えば、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であることが好適である。これにより、より充分なアルカリ可溶性が発現され、現像性により優れる硬化物を得ることが可能になる。酸価の下限値としてより好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、更に好ましくは４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上である。また、２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、更に好ましくは２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。
【００５２】
上記酸価は、例えば、０．１規定のＫＯＨ水溶液を滴定液として用いて、自動滴定装置（平沼産業社製、商品名「ＣＯＭ−５５５」）により、重合体溶液の酸価を測定し、溶液の酸価と溶液の固形分とから、固形分あたりの酸価を計算することで求めることができる。また、重合体溶液の固形分は、次のようにして求めることができる。
重合体溶液をアルミカップに約０．３ｇ量り取り、アセトン約１ｇを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させる。そして、熱風乾燥機（エスペック社製、商品名「ＰＨＨ−１０１」）を用い、１４０℃で３時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、質量を測定する。その質量減少量から、重合体溶液の固形分濃度を算出する。
【００５３】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂はまた、重量平均分子量が２０００〜２０万であることが好適である。分子量がこの範囲にあることで、より良好な現像性を発揮することが可能になる。耐溶剤性をより一層向上させる観点から、より好ましくは３０００以上、特に好ましくは５０００以上である。また、粘性等の観点から、より好ましくは１０万以下、特に好ましくは５万以下である。なお、上記アルカリ可溶性樹が高分子量である場合には、酸価が高い方が現像されやすくなる傾向があり、低分子量である場合には、塗膜の硬度がより充分とはならない傾向がある。
重量平均分子量は、例えば、ポリスチレンを標準物質とし、テトラヒドロフランを溶離液として、ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）、カラム  ＴＳＫｇｅｌ  ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｍ（東ソー社製）によるＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）法により求めることができる。
【００５４】
また、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂を合成する単量体としては、上記式（ａ）で表される構成単位を与える単量体として（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）を使用することが好ましい。
【００５５】
上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）としては、具体的には、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｉ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ−アミル、（メタ）アクリル酸ｓ−アミル、（メタ）アクリル酸ｔ−アミル、（メタ）アクリル酸ｎ−ヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸ステアリル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸２−メトキシエチル、（メタ）アクリル酸２−エトキシエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、α−ヒドロキシメチルアクリル酸メチル、α−ヒドロキシメチルアクリル酸エチルなどの官能基で置換されていてもよいアルキル基を有する（メタ）アクリル酸エステル系単量体；（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシルメチル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸アダマンチル、（メタ）アクリル酸トリシクロデカニルなどの脂環基を有する（メタ）アクリル酸エステル系単量体；（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸フェノキシエチル、アルコキシ化フェニルフェノール（メタ）アクリレートなどの、官能基で置換されていてもよい芳香環を含む基を有する（メタ）アクリル酸エステル系単量体が挙げられる。これらの単量体は、１種又は２種以上を用いることができる。
【００５６】
これらの化合物の市販品としては、例えば、ＭＭＤＯＬ３０、ＭＥＤＯＬ３０、ＭＩＢＤＯＬ３０、ＣＨＤＯＬ３０、ＭＥＤＯＬ１０、ＭＩＢＤＯＬ１０、ＭＩＢＤＯＬ１０、ＣＨＤＯＬ１０、ビスコート１５０、ビスコート１６０（以上、大阪有機化学工業社製）、ＡＣＭＯ（興人社製）、Ａ−ＬＥＮ−１０（新中村化学社製）等が挙げられる。
【００５７】
中でも、耐熱性が優れる点で、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、アルコキシ化フェニルフェノール（メタ）アクリレートが好ましい。より好ましくは、耐熱性、密着性、現像性が優れる点で、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、及び／又は、アルコキシ化フェニルフェノール（メタ）アクリレートを用いることが好ましい。
なお、上記ベースポリマーを得るために使用される単量体成分が、更に、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、及び、アルコキシ化フェニルフェノール（メタ）アクリレートからなる群より選択される少なくとも１種の（メタ）アクリル酸エステル系単量体を含む形態もまた、本発明の好適な形態の１つである。
【００５８】
また、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂を合成する単量体としては、上記式（ｄ）で表される構成単位を与える単量体として、（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）を使用することが好ましい。上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）としては、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、メタクリル酸２，３−ジヒドロキシプロピル、３−ヒドロキシ−１−アダマンチル−メタクリレートなどが挙げられる。これらの単量体は、１種又は２種以上を用いることができる。
【００５９】
また、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂を合成する単量体としては、上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）、上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、及び、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート以外の、（メタ）アクリル酸エステル系単量体［その他の（メタ）アクリル酸エステル系単量体と称する］を使用してもよい。上記その他の（メタ）アクリル酸エステル系単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸β−メチルグリシジル、（メタ）アクリル酸β−エチルグリシジル、（メタ）アクリル酸（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル、１，４−ジオキサスピロ［４，５］デカ−２−イルメタアクリル酸、（メタ）アクリロイルモルホリン、テトラヒドロフルフリルアクリレート、４−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−メチル−２−エチル−１，３−ジオキソラン、４−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−メチル−２−イソブチル−１，３−ジオキソラン、４−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−メチル−２−シクロヘキシル−１，３−ジオキソラン、４−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラン等が挙げられる。これらの単量体は、１種又は２種以上を用いることができる。上記その他の（メタ）アクリル酸エステル系単量体の使用量は、ベースポリマー成分１００質量％中、４０質量％未満が好ましく、３０質量％未満がより好ましく、２０質量％未満がさらに好ましく、１０質量％未満が特に好ましく、５質量％未満が最も好ましい。上記その他の（メタ）アクリル酸エステル系単量体は、使用しなくてもよい。
【００６０】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、主鎖に環構造を有する重合体であることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂として主鎖に環構造を有する重合体を用いると、耐熱性や表面硬度、密着性により優れ、また、例えば、ポストベイク（post-bake；熱処理）後の経時変化がより抑制されて各種物性をより安定して発現できる硬化物を得ることができる。
【００６１】
ここで、上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が主鎖に環構造を有する重合体である場合、上記ベースポリマーを形成する単量体成分は、酸基及び重合性二重結合を有する単量体とともに、重合体の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体を１種又は２種以上含むことが好適である。すなわち上記アルカリ可溶性樹脂は、酸基及び重合性二重結合を有する単量体と、重合体の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体とを含む単量体成分を重合することにより得られる重合体（ベースポリマー）や、当該ベースポリマーに、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物を反応させて得られる重合体（側鎖二重結合含有重合体）であることが好適である。
【００６２】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体としては、分子内に二重結合含有環構造を有する単量体や、環化重合して環構造を主鎖に有する重合体を形成する単量体等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いる。このような単量体としては、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、及び、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートからなる群より選択される少なくとも１種を用いる。このように上記アルカリ可溶性樹脂が、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体単位、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体単位、及び／又は、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート系単量体単位などの主鎖に環構造を有する構成単位を有する重合体である形態は、本発明の形態である。
【００６３】
特に、Ｎ置換マレイミド系単量体単位、及び／又は、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体単位を含む樹脂は、耐熱性や、無機系化合物分散性、硬度等がより向上された硬化膜を与えることが可能になる。
上述の単量体単位を含む樹脂（重合体）とは、例えば、単量体の重合反応や架橋反応によって当該単量体由来の構成単位を含む樹脂を意味する。
【００６４】
上記単量体成分において、Ｎ置換マレイミド系単量体としては、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ｔ−ブチルマレイミド、Ｎ−ドデシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−ナフチルマレイミド等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。中でも、着色の少なさや無機系化合物分散性に優れる点で、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミドが好ましく、特にＮ−ベンジルマレイミドが好適である。
【００６５】
上述したように（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂が、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体及びα−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレート系単量体からなる群より選択される少なくとも１種の単量体由来の構成単位を有することは本発明の好ましい形態である。
【００６６】
上記Ｎ−ベンジルマレイミドとしては、例えば、ベンジルマレイミド；ｐ−メチルベンジルマレイミド、ｐ−ブチルベンジルマレイミド等のアルキル置換ベンジルマレイミド；ｐ−ヒドロキシベンジルマレイミド等のフェノール性ヒドロキシ基置換ベンジルマレイミド；ｏ−クロロベンジルマレイミド、ｏ−ジクロロベンジルマレイミド、ｐ−ジクロロベンジルマレイミド等のハロゲン置換ベンジルマレイミド等が挙げられる。
【００６７】
上記ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体としては、着色の少なさや分散性、工業的入手の容易さ等の観点から、例えば、ジメチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート等を用いることが好適である。
【００６８】
上記α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートとしては、例えば、α−アリルオキシメチルアクリル酸、α−アリルオキシメチルアクリル酸メチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸エチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−プロピル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｉ−プロピル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−ブチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｓ−ブチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｔ−ブチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−アミル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｓ−アミル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｔ−アミル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ネオペンチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−ヘキシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｓ−ヘキシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−ヘプチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｎ−オクチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｓ−オクチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ｔ−オクチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸２−エチルヘキシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸カプリル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ノニル、α−アリルオキシメチルアクリル酸デシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ウンデシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ラウリル、α−アリルオキシメチルアクリル酸トリデシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ミリスチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ペンタデシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸セチル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ヘプタデシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ステアリル、α−アリルオキシメチルアクリル酸ノナデシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸エイコシル、α−アリルオキシメチルアクリル酸セリル、α−アリルオキシメチルアクリル酸メリシル等の鎖状飽和炭化水素基含有α−（アリルオキシメチル）アクリレートが好ましい。中でも、α−アリルオキシメチルアクリル酸メチル（「α−（アリルオキシメチル）メチルアクリレート」とも称す）が特に好適である。上記α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートは、例えば、国際公開第２０１０／１１４０７７号パンフレットに開示されている製造方法により製造することができる。
【００６９】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の主鎖骨格に好ましくは環構造を導入し得る単量体の含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）は、例えば、上記ベースポリマー成分（ベースポリマーを形成する単量体成分）１００質量％に対し、１〜５０質量％であることが好ましい。この範囲にあると、耐熱性や表面硬度等がより向上された硬化膜を得ることが可能になり、感光性樹脂組成物が更に無機系微粒子を含む場合は、その分散性にも優れる硬化膜を得ることができる。中でも特に、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体、及び／又は、α−（不飽和アルコキシアルキル）アクリレートの含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）が、上記ベースポリマー成分（ベースポリマーを形成する単量体成分）１００質量％に対して１〜４０質量％であることが好ましい。Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体の添加量をより増加させると、硬度の点でより優れる硬化物が得られ、また、ジアルキル−２，２’−（オキシジメチレン）ジアクリレート系単量体を用いることにより、耐熱着色性の点でより優れる硬化物が得られる。ただし、Ｎ置換又は無置換マレイミド系単量体の含有割合が多すぎると、現像速度がより適切なものとはならないことがある。上記含有割合としてより好ましくは２〜４０質量％、更に好ましくは３〜３５質量％である。
【００７０】
上記単量体成分はまた、上述した酸基及び重合性二重結合を有する単量体、並びに、重合体の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体に加えて、その他のラジカル重合性単量体（「他の単量体」とも称す）を含むものであってもよい。他の単量体としては、上述した単量体には該当しないその他芳香族ビニル系単量体等の１種又は２種以上を用いることができる。
【００７１】
上記芳香族ビニル系単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、メトキシスチレン等が挙げられる。中でも、樹脂の耐熱着色性や耐熱分解性の点で、スチレン、ビニルトルエンが好適である。
【００７２】
上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）及び／又は上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）及び／又は芳香族ビニル系単量体の含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）は、例えば、上記ベースポリマー成分１００質量％に対し、１〜９０質量％であることが好適である。この範囲にあると、耐熱着色性、無機系化合物分散性、アルカリ可溶性により優れる硬化物を得ることができる。より好ましくは５〜７５質量％、更に好ましくは１０〜７０質量％である。
【００７３】
また、上記（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）含有割合（２種以上用いる場合はその合計の割合）は、例えば、上記ベースポリマー成分１００質量％に対し、５〜５０質量％であることが好適である。
【００７４】
上記他の単量体としてはまた、例えば、下記の化合物等の１種又は２種以上を用いることもでき、その含有割合は、上記ベースポリマー成分１００質量％中、２０質量％以下とすることが好適である。
Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド類；ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポリシロキサン、ポリカプロラクトン、ポリカプロラクタム等の重合体分子鎖の片末端に（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の共役ジエン類；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のビニルエステル類；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、２−エチルヘキシルビニルエーテル、ｎ−ノニルビニルエーテル、ラウリルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、メトキシエトキシエチルビニルエーテル、メトキシポリエチレングリコールビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類；Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルモルフォリン、Ｎ−ビニルアセトアミド等のＮ−ビニル化合物類；（メタ）アクリル酸イソシアナトエチル、アリルイソシアネート等の不飽和イソシアネート類等。
【００７５】
上記酸基及び重合性二重結合を有する単量体、重合体の主鎖骨格に環構造を導入し得る単量体、（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ａ）、（メタ）アクリル酸エステル系単量体（ｄ）、並びに、芳香族ビニル系単量体の合計含有割合は、例えば、上記ベースポリマーを重合する全単量体成分１００質量％に対し、７０質量％以上であることが好ましく、より好ましくは８０質量％以上、更に好ましくは９０質量％以上である。このような単量体成分を重合して（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂とすることにより、（Ａ）光ラジカル重合性化合物、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤、（Ｄ）光酸発生剤、及び（Ｅ）着色剤と合わせて感光性樹脂組成物とした場合に、硬化後の耐溶剤性、透明性等の各種物性に優れた硬化物を与えることができる。
【００７６】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂において、上記単量体成分を重合する方法としては、バルク重合、溶液重合、乳化重合等の通常用いられる手法を用いることができ、目的、用途に応じて適宜選択すればよい。中でも、溶液重合が、工業的に有利で、分子量等の構造調整も容易であるため好適である。また、上記単量体成分の重合機構は、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合、配位重合等の機構に基づいた重合方法を用いることができるが、ラジカル重合機構に基づく重合方法が、工業的にも有利であるため好ましい。
【００７７】
上記重合反応における重合開始方法は、熱や電磁波（赤外線、紫外線、Ｘ線等）、電子線等の活性エネルギー源から重合開始に必要なエネルギーを単量体成分に供給すればよく、更に重合開始剤を併用すれば、重合開始に必要なエネルギーを大きく下げることができ、また、反応制御が容易となるため好適である。また上記単量体成分を重合して得られる重合体の分子量は、重合開始剤の量や種類、重合温度、連鎖移動剤の種類や量の調整等により制御することができる。
【００７８】
上記単量体成分を溶液重合法により重合する場合、重合に使用する溶媒としては、重合反応に不活性なものであれば特に限定されるものではなく、重合機構、使用する単量体の種類や量、重合温度、重合濃度等の重合条件に応じて適宜設定すればよいが、後に感光性樹脂組成物とした際に、希釈剤等として溶剤を用いる場合には、該溶剤を含む溶媒を、単量体成分の溶液重合に用いることが、効率的で好ましい。
【００７９】
上記溶媒としては、例えば、下記の化合物等が好適に挙げられ、これらの１種又は２種以上を使用することができる。
メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓ−ブタノール等のモノアルコール類；エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類；テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、３−メトキシブタノール等のグリコールモノエーテル類；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等のグリコールモノエーテルのエステル類；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル等のアルキルエステル類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド類；等。
【００８０】
これらの溶媒の中でも、得られる重合体の溶解性、塗膜を形成する際の表面平滑性、人体及び環境への影響の少なさ、工業的入手のし易さから、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、乳酸エチルを用いることがより好適である。
【００８１】
上記溶媒の使用量としては、上記ベースポリマー成分１００質量部に対し、５０〜１０００質量部であることが好適である。より好ましくは、１００〜５００質量部である。
上記単量体成分をラジカル重合機構により重合する場合には、熱によりラジカルを発生する重合開始剤を使用することが、工業的に有利で好ましい。このような重合開始剤としては、熱エネルギーを供給することによりラジカルを発生するものであれば特に限定されるものではなく、重合温度や溶媒、重合させる単量体の種類等の重合条件に応じて、適宜選択すればよい。また、重合開始剤とともに、遷移金属塩やアミン類等の還元剤を併用してもよい。
【００８２】
上記重合開始剤としては、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、アゾビスイソブチロニトリル、１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、過酸化水素、過硫酸塩等の通常重合開始剤として使用される過酸化物やアゾ化合物等が挙げられ、これらは単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
上記重合開始剤の使用量は、使用する単量体の種類や量、重合温度、重合濃度等の重合条件、目標とする重合体の分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されるものではない。例えば、重量平均分子量が数千〜数万の重合体を得るには、上記ベースポリマー成分１００質量部に対して、０．１〜２０質量部とすることが好適である。より好ましくは０．５〜１５質量部である。
【００８３】
上記重合ではまた、必要に応じて、通常使用される連鎖移動剤を使用してもよい。好ましくは、重合開始剤と連鎖移動剤とを併用することである。なお、重合時に連鎖移動剤を使用すると、分子量分布の増大やゲル化を抑制できる傾向にある。
上記連鎖移動剤としては、例えば、メルカプト酢酸、３−メルカプトプロピオン酸等のメルカプトカルボン酸類；メルカプト酢酸メチル、３−メルカプトプロピオン酸メチル、３−メルカプトプロピオン酸２−エチルヘキシル、３−メルカプトプロピオン酸ｎ−オクチル、３−メルカプトプロピオン酸メトキシブチル、３−メルカプトプロピオン酸ステアリル、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）等のメルカプトカルボン酸エステル類；エチルメルカプタン、ｔ−ブチルメルカプタン、ｎ−ドデシルメルカプタン、１，２−ジメルカプトエタン等のアルキルメルカプタン類；２−メルカプトエタノール、４−メルカプト−１−ブタノール等のメルカプトアルコール類；ベンゼンチオール、ｍ−トルエンチオール、ｐ−トルエンチオール、２−ナフタレンチオール等の芳香族メルカプタン類；トリス〔（３−メルカプトプロピオニロキシ）−エチル〕イソシアヌレート等のメルカプトイソシアヌレート類；２−ヒドロキシエチルジスルフィド、テトラエチルチウラムジスルフィド等のジスルフィド類；ベンジルジエチルジチオカルバメート等のジチオカルバメート類；α−メチルスチレンダイマー等の単量体ダイマー類；四臭化炭素等のハロゲン化アルキル類等が挙げられる。これらは単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、入手性、架橋防止能、重合速度低下の度合いが小さい等の点で、メルカプトカルボン酸類、メルカプトカルボン酸エステル類、アルキルメルカプタン類、メルカプトアルコール類、芳香族メルカプタン類、メルカプトイソシアヌレート類等のメルカプト基を有する化合物を用いることが好適である。より好ましくは、アルキルメルカプタン類、メルカプトカルボン酸類、メルカプトカルボン酸エステル類であり、更に好ましくは、ｎ−ドデシルメルカプタン、メルカプトプロピオン酸である。
上記連鎖移動剤の使用量は、使用する単量体の種類や量、重合温度、重合濃度等の重合条件、目標とする重合体の分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、重量平均分子量が数千〜数万の重合体を得るには、上記ベースポリマー成分１００質量部に対し、０．１〜２０質量部とすることが好適である。より好ましくは０．５〜１５質量部である。
【００８４】
上記重合の条件に関し、重合温度としては、使用する単量体の種類や量、重合開始剤の種類や量等に応じて適宜設定すればよいが、例えば、５０〜１５０℃が好ましく、７０〜１２０℃がより好ましい。また、重合時間も同様に適宜設定することができるが、例えば、１〜８時間が好ましい。
【００８５】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂はまた、側鎖に二重結合を有する重合体であることが好適である。具体的には、上記単量体成分を重合して得られる重合体（ベースポリマー）と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物と、を反応させて得られる重合体（側鎖二重結合含有重合体とも称す）であることが好ましい。これにより、上記感光性樹脂組成物の硬化性がより高められ、基板等との密着性や表面硬度により優れた硬化物を得ることができる。このように上記アルカリ可溶性樹脂が側鎖に二重結合を有する重合体である形態は、本発明の好適な形態の１つである。
【００８６】
上記酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物において、重合性二重結合としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基、メタリル基等が挙げられる、当該化合物として、これらの１種又は２種以上を有するものが好適である。中でも、反応性の点で、（メタ）アクリロイル基が好ましい。また、酸基と結合し得る官能基として、例えば、ヒドロキシ基、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基等が挙げられ、当該化合物として、これらの１種又は２種以上を有するものが好適である。中でも、変成処理反応の速さ、耐熱性、分散性の点から、エポキシ基（グリシジル基を含む）が好ましい。
【００８７】
上記酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸β−メチルグリシジル、（メタ）アクリル酸β−エチルグリシジル、ビニルベンジルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、（メタ）アクリル酸（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル、ビニルシクロヘキセンオキシド等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を使用することができる。中でも、エポキシ基及び（メタ）アクリロイル基を有する化合物（単量体）を用いることが好適である。上記ベースポリマーと（メタ）アクリル酸グリシジルとを反応させることにより、アルカリ可溶性樹脂に上記式（ｃ）で表される構成単位が形成される。
【００８８】
上記酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物の使用量は、例えば、上記ベースポリマー成分（ベースポリマーを構成する単量体成分の総量）１００質量部に対し、１〜５０質量部とすることが好適である。より好ましくは５〜４５質量部である。
【００８９】
上記側鎖二重結合含有重合体を得る方法としては、例えば、上記ベースポリマー成分と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物とを反応させる際に、該ベースポリマー成分の酸基（好ましくはカルボキシル基）の量を、該酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物の量より過剰にする方法；上記ベースポリマー成分と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、更に多塩基酸無水物基を有する化合物を反応させる方法；等が挙げられる。
【００９０】
上記ベースポリマー成分（好ましくはカルボキシル基を有する重合体）と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物とを反応させる工程は、良好な反応速度を確保し、かつゲル化を防ぐために、５０〜１６０℃の温度範囲で行うことが好ましい。より好ましくは７０〜１４０℃、更に好ましくは９０〜１３０℃である。また、反応速度を向上するために、触媒として、通常使用されるエステル化又はエステル交換用の塩基性触媒や酸性触媒を用いることができる。中でも、副反応が少なくなるため、塩基性触媒を用いることが好ましい。
【００９１】
上記塩基性触媒としては、例えば、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−オクチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン等の３級アミン；テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラブチルアンモニウムブロマイド、ｎ−ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の４級アンモニウム塩；テトラメチル尿素等の尿素化合物；テトラメチルグアニジン等のアルキルグアニジン；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド化合物；トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン等の３級ホスフィン；テトラフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムブロマイド等の４級ホスホニウム塩；等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。中でも、反応性、取扱い性やハロゲンフリー等の点で、ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、テトラメチル尿素、トリフェニルホスフィンが好ましい。
【００９２】
上記触媒の使用量は、上記ベースポリマー成分と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合基を有する化合物との合計量１００質量部に対し、０．０１〜５質量部とすることが好ましい。より好ましくは０．１〜３質量部である。
【００９３】
上記ベースポリマー成分と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物とを反応させる工程はまた、ゲル化を防ぐために、重合禁止剤を添加し、分子状酸素含有ガスの存在下で行うことが好ましい。分子状酸素含有ガスとしては、通常、窒素等の不活性ガスで希釈された空気又は酸素ガスが用いられ、反応容器内に吹き込まれる。
【００９４】
上記重合禁止剤としては、通常使用されるラジカル重合性単量体用の重合禁止剤を用いることができ、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ｔ−ブチルハイドロキノン、メトキノン、６−ｔ−ブチル−２，４−キシレノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メトキシフェノール、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）等のフェノール系禁止剤、有機酸銅塩やフェノチアジン等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。中でも、低着色、重合防止能力等の点でフェノール系禁止剤が好ましく、入手性、経済性から、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、メトキノン、６−ｔ−ブチル−２，４−キシレノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールがより好ましい。
【００９５】
上記重合禁止剤の使用量としては、充分な重合防止効果の確保、及び、感光性樹脂組成物としたときの硬化性等の観点から、上記ベースポリマー成分と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物との合計量１００質量部に対し、０．００１〜１質量部であることが好ましい。より好ましくは０．０１〜０．５質量部である。
【００９６】
上記多塩基酸無水物基を有する化合物としては、例えば、無水コハク酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸、オクタデセニルコハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水グルタル酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。
【００９７】
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の二重結合当量
上記側鎖二重結合含有重合体は、二重結合当量が１００〜５０００ｇ／ｍｏｌであることが好ましい。このような範囲とすることにより、重合体の充分な保存安定性と、本発明の硬化性樹脂組成物の感度やパターン形状等における良好な製版特性等とを更に高いレベルで両立することが期待できる。特に好ましくは２００以上である。また２５００ｇ／ｍｏｌ以下が特に好ましい。
【００９８】
二重結合当量とは、重合体の二重結合１ｍｏｌあたりの重合体溶液の固形分の質量（ｇ）である。ここでいう重合体溶液の固形分の質量とは、上記ベースポリマー成分の質量と、酸基と結合し得る官能基及び重合性二重結合基を有する化合物の質量と、連鎖移動剤の質量と、熱重合開始剤とを合計したものである。重合体溶液の固形分の質量を重合体の二重結合量で除することにより、求めることが可能である。重合体の二重結合量は、投入した酸基と、結合し得る官能基及び重合性二重結合を有する化合物との量から求めることができる。
【００９９】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、酸基を有する構成単位［例えば、上記式（ｂ）で表される構成単位］とエステルを有する構成単位［例えば、上記式（ａ）で表される構成単位］とを含み、さらに、二重結合を有する構成単位［例えば、上記式（ｃ）で表される構成単位］及び／又はヒドロキシ基を有する構成単位［例えば、上記式（ｄ）で表される構成単位］を含んでいる。各構成単位の含有量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量％に対し、好ましくは、酸基を有する構成単位５〜５０質量％、エステルを有する構成単位１〜９０質量％、二重結合を有する構成単位５〜８０質量％、ヒドロキシ基を有する構成単位５〜５０質量％である。
【０１００】
上記（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、上記のとおり、さらに、主鎖に環構造を有する構成単位を含んでいてもよい。主鎖に環構造を有する構成単位の含有量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量％に対し、好ましくは、１〜５０質量％である。
【０１０１】
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、感光性樹脂組成物の固形分総量１００質量％に対し、１０質量％以上であることが好ましく、また、５０質量％以下であることが好ましい。このような範囲にあることで、本発明の効果をより顕著に奏することが可能となる。より好ましくは１５〜４５質量％である。なお、「全固形分」とは、溶媒以外の全ての成分を意味する。
【０１０２】
（Ｃ）光ラジカル重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｃ）成分として光ラジカル重合開始剤を含む。これにより、上記感光性樹脂組成物の感度や硬化性をより向上することが可能になる。
上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤としては、電磁波や電子線等の活性エネルギー線の照射により重合開始ラジカルを発生させるものであり、通常使用されるものを１種又は２種以上使用することができる。また、必要に応じて、光増感剤や光ラジカル重合促進剤等を１種又は２種以上併用してもよい。光増感剤及び／又は光ラジカル重合促進剤を併用しなくても本願発明の効果は充分に発揮されるが、併用した場合は感度や硬化性がより向上される。
【０１０３】
上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤として具体的には、例えば、下記の化合物等が挙げられる。
２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−〔４−（２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオニル）ベンジル〕フェニル｝−２−メチルプロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−（ジメチルアミノ）−２−〔（４−メチルフェニル）メチル〕−１−〔４−（４−モルホリニル）フェニル〕−１−ブタノン等のアルキルフェノン系化合物；ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン系化合物；チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物；
２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシカルボニルナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロメチル化トリアジン系化合物；２−トリクロロメチル−５−（２’−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−〔β−（２’−ベンゾフリル）ビニル〕−１，３，４−オキサジアゾール、４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−フリル−１，３，４−オキサジアゾール等のハロメチル化オキサジアゾール系化合物；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物；１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、エタノン，１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル系化合物；ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等のチタノセン系化合物；ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸等の安息香酸エステル系化合物；９−フェニルアクリジン等のアクリジン系化合物等。
【０１０４】
上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤と併用してもよい光増感剤や光ラジカル重合促進剤としては、例えば、キサンテン色素、クマリン色素、３−ケトクマリン系化合物、ピロメテン色素等の色素系化合物；４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル等のジアルキルアミノベンゼン系化合物；２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール等のメルカプタン系水素供与体等が挙げられる。
【０１０５】
上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤の含有量は、目的、用途等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の固形分総量１００質量部に対し、０．５質量部以上であることが好適である。これにより、密着性により優れた硬化物を得ることができ、高温暴露後においても剥がれがより充分に抑制される。また、光重合開始剤の分解物が与える影響や経済性等とのバランスを考慮すると、２０質量部以下であることが好ましい。下限値としてより好ましくは１質量部以上、さらに好ましくは２質量部以上であり、上限値としてより好ましくは１５質量部以下である。
【０１０６】
また、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤は（Ａ）光ラジカル重合性化合物１００質量部に対し、０．１〜１００質量部であることが好ましく、０．５〜５０質量部であることが特に好ましい。０．１質量部未満では所望の効果が得られないおそれがあり、１００質量部を超えると開始剤分解物が悪影響を及ぼすおそれがある。
【０１０７】
上記光増感剤及び光ラジカル重合促進剤は、上述したように使用しなくてもよいが、使用する場合は、硬化性、分解物が与える影響及び経済性のバランスの観点から、感光性樹脂組成物の固形分総量１００質量％に対し、０．００１〜２０質量％であることが好ましい。より好ましくは０．０１〜１５質量％、更に好ましくは０．０５〜１０質量％である。
【０１０８】
（Ｄ）光酸発生剤
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）光酸発生剤を含んでいる。（Ｄ）光酸発生剤は、光が照射されることにより、酸と同時にラジカルを発生させる。このラジカルが、上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤を補助する働きをすることにより、感光性樹脂組成物の硬化後の耐溶剤性、透明性等の各種物性に優れた硬化物を与えることができるようになると考えられる。
【０１０９】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ｄ）光酸発生剤としては、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の露光により酸を発生する化合物であり、例えば、オニウム塩化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物等の公知の化合物を挙げることができる。また、上記（Ｃ）光ラジカル重合開始剤として例示したトリアジン系化合物は、光酸発生剤としても機能する化合物であるが、本明細書においては、含有量の計算等に関して（Ｃ）光ラジカル重合開始剤として取り扱う。
【０１１０】
本発明において、（Ｄ）光酸発生剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、本発明における（Ｄ）光酸発生剤としては、オニウム塩化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物の群から選ばれる少なくとも１種を含有することが好ましく、特に、オニウム塩化合物を含有することが好ましい。
【０１１１】
上記オニウム塩化合物としては、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩、トリアリールホスホニウム塩等を挙げることができる。
【０１１２】
上記ジアリールヨードニウム塩としては、具体的には、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のジフェニルヨードニウム塩；４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート等の４−メトキシフェニルフェニルヨードニウム塩；ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウムトリフルオロアセテート、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム塩などを挙げることができる。
【０１１３】
上記トリアリールスルホニウム塩としては、具体的には、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、トリフェニルスルホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のトリフェニルスルホニウム塩；４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等の４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム塩；４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等の４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウム塩などを挙げることができる。
【０１１４】
上記トリアリールホスホニウム塩としては、具体的には、トリフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルホスホニウムヘキサフルオロホスホネート、トリフェニルホスホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルホスホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルホスホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルホスホニウムトリフルオロアセテート、トリフェニルホスホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のトリフェニルホスホニウム塩；４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムヘキサフルオロホスホネート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムヘキサフルオロアルセネート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等の４−メトキシフェニルジフェニルホスホニウム塩；トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムテトラフルオロボレート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムヘキサフルオロホスホネート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウムトリフルオロアセテート、トリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウム−ｐ−トルエンスルホナート等のトリス（４−メトキシフェニル）ホスホニウム塩などを挙げることができる。
【０１１５】
また、上記スルホンイミド化合物としては、具体的には、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ナフチルイミド等のＮ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）基を有するスルホンイミド化合物；Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（カンファニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド等のＮ−（カンファニルスルホニルオキシ）基を有するスルホンイミド化合物；Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド等のＮ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）基を有するスルホンイミド化合物；Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）−７−オキサビシクロ−［２，２，１］−ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ビシクロ−［２，２，１］−ヘプタン−５，６−オキシ−２，３−ジカルボキシミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）ナフチルイミド等のＮ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）基を有するスルホンイミド化合物などを挙げることができる。
【０１１６】
また、上記ジアゾメタン化合物としては、具体的には、ビス（トリフルオロメチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（シクロヘキシルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｐ−トルエンスルホニル）ジアゾメタン、メチルスルホニル−ｐ−トルエンスルホニルジアゾメタン、１−シクロヘキシルスルホニル−１−（１，１−ジメチルエチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（１，１−ジメチルエチルスルホニル）ジアゾメタン等を挙げることができる。
【０１１７】
（Ｄ）光酸発生剤としては、オニウム塩化合物が好ましく、トリアリールスルホニウム塩がより好ましい。
【０１１８】
本発明の感光性樹脂組成物において、（Ｄ）光酸発生剤の含有量は、（Ａ）光ラジカル重合性化合物１００質量部に対し、０．０１〜１００質量部であることが好ましく、０．１〜５０質量部であることが特に好ましい。０．０１質量部未満では所望の効果が得られないおそれがあり、１００質量部を超えると電気特性低下や基板を腐食するおそれがある。
【０１１９】
（Ｅ）着色剤
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ｅ）着色剤としては、顔料、及び染料が好適に使用される。上記顔料としては、通常有機系顔料として使用されるものを使用することができ、特に制限されないが、例えば、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、多環式顔料（キナクリドン系、ペリレン系、ペリノン系、イソインドリノン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、チオインジゴ系、アントラキノン系、キノフタロン系、金属錯体系、ジケトピロロピロール系等）、染料レーキ系顔料等が好適に挙げられる。また、使用できる顔料の色としては黄色、赤色、紫色、青色、緑色、褐色、黒色、白色やアゾ系染料が挙げられる。
【０１２０】
上記顔料は、目的、用途に応じて、ロジン処理、界面活性剤処理、樹脂系分散剤処理、顔料誘導体処理、酸化皮膜処理、シリカコーティング、ワックスコーティング等の表面処理がなされていてもよい。顔料の具体的例としては、例えばカラーインデックス（C.I.；The  Society  of  Dyers  and  Colourists  発行)においてピグメント（Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（C.I.）番号が付されているものを挙げることができる。
C.I.ピグメントイエロー１、C.I.ピグメントイエロー３、C.I.ピグメントイエロー１２、C.I.ピグメントイエロー１３、C.I.ピグメントイエロー１４、C.I.ピグメントイエロー１５、C.I.ピグメントイエロー１６、C.I.ピグメントイエロー１７、C.I.ピグメントイエロー２０、C.I.ピグメントイエロー２４、C.I.ピグメントイエロー３１、C.I.ピグメントイエロー５５、C.I.ピグメントイエロー６０、C.I.ピグメントイエロー６１、C.I.ピグメントイエロー６５、C.I.ピグメントイエロー７１、C.I.ピグメントイエロー７３、C.I.ピグメントイエロー７４、C.I.ピグメントイエロー８１、C.I.ピグメントイエロー８３、C.I.ピグメントイエロー９３、C.I.ピグメントイエロー９５、C.I.ピグメントイエロー９７、C.I.ピグメントイエロー９８、C.I.ピグメントイエロー１００、C.I.ピグメントイエロー１０１、C.I.ピグメントイエロー１０４、C.I.ピグメントイエロー１０６、C.I.ピグメントイエロー１０８、C.I.ピグメントイエロー１０９、C.I.ピグメントイエロー１１０、C.I.ピグメントイエロー１１３、C.I.ピグメントイエロー１１４、C.I.ピグメントイエロー１１６、C.I.ピグメントイエロー１１７、C.I.ピグメントイエロー１１９、C.I.ピグメントイエロー１２０、C.I.ピグメントイエロー１２６、C.I.ピグメントイエロー１２７、C.I.ピグメントイエロー１２８、C.I.ピグメントイエロー１２９、C.I.ピグメントイエロー１３８、C.I.ピグメントイエロー１３９、C.I.ピグメントイエロー１５０、C.I.ピグメントイエロー１５１、C.I.ピグメントイエロー１５２、C.I.ピグメントイエロー１５３、C.I.ピグメントイエロー１５４、C.I.ピグメントイエロー１５５、C.I.ピグメントイエロー１５６、C.I.ピグメントイエロー１６６、C.I.ピグメントイエロー１６８、C.I.ピグメントイエロー１７５；
C.I.ピグメントバイオレット１、C.I.ピグメントバイオレット１９、C.I.ピグメントバイオレット２３、C.I.ピグメントバイオレット２９、C.I.ピグメントバイオレット３２、C.I.ピグメントバイオレット３６、C.I.ピグメントバイオレット３８；
C.I.ピグメントレッド１、C.I.ピグメントレッド２、C.I.ピグメントレッド３、C.I.ピグメントレッド４、C.I.ピグメントレッド５、C.I.ピグメントレッド６、C.I.ピグメントレッド７、C.I.ピグメントレッド８、C.I.ピグメントレッド９、C.I.ピグメントレッド１０、C.I.ピグメントレッド１１、C.I.ピグメントレッド１２、C.I.ピグメントレッド１４、C.I.ピグメントレッド１５、C.I.ピグメントレッド１６、C.I.ピグメントレッド１７、C.I.ピグメントレッド１８、C.I.ピグメントレッド１９、C.I.ピグメントレッド２１、C.I.ピグメントレッド２２、C.I.ピグメントレッド２３、C.I.ピグメントレッド３０、C.I.ピグメントレッド３１、C.I.ピグメントレッド３２、C.I.ピグメントレッド３７、C.I.ピグメントレッド３８、C.I.ピグメントレッド４０、C.I.ピグメントレッド４１、C.I.ピグメントレッド４２、C.I.ピグメントレッド４８：１、C.I.ピグメントレッド４８：２、C.I.ピグメントレッド４８：３、C.I.ピグメントレッド４８：４、C.I.ピグメントレッド４９：１、C.I.ピグメントレッド４９：２、C.I.ピグメントレッド５０：１、C.I.ピグメントレッド５２：１、C.I.ピグメントレッド５３：１、C.I.ピグメントレッド５７、C.I.ピグメントレッド５７：１、C.I.ピグメントレッド５７：２、C.I.ピグメントレッド５８：２、C.I.ピグメントレッド５８：４、C.I.ピグメントレッド６０：１、C.I.ピグメントレッド６３：１、C.I.ピグメントレッド６３：２、C.I.ピグメントレッド６４：１、C.I.ピグメントレッド８１：１、C.I.ピグメントレッド８３、C.I.ピグメントレッド８８、C.I.ピグメントレッド９０：１、C.I.ピグメントレッド９７、C.I.ピグメントレッド１０１、C.I.ピグメントレッド１０２、C.I.ピグメントレッド１０４、C.I.ピグメントレッド１０５、C.I.ピグメントレッド１０６、C.I.ピグメントレッド１０８、C.I.ピグメントレッド１１２、C.I.ピグメントレッド１１３、C.I.ピグメントレッド１１４、C.I.ピグメントレッド１２２、C.I.ピグメントレッド１２３、C.I.ピグメントレッド１４４、C.I.ピグメントレッド１４６、C.I.ピグメントレッド１４９、C.I.ピグメントレッド１５０、C.I.ピグメントレッド１５１、C.I.ピグメントレッド１６６、C.I.ピグメントレッド１６８、C.I.ピグメントレッド１７０、C.I.ピグメントレッド１７１、C.I.ピグメントレッド１７２、C.I.ピグメントレッド１７４、C.I.ピグメントレッド１７５、C.I.ピグメントレッド１７６、C.I.ピグメントレッド１７７、C.I.ピグメントレッド１７８、C.I.ピグメントレッド１７９、C.I.ピグメントレッド１８０、C.I.ピグメントレッド１８５、C.I.ピグメントレッド１８７、C.I.ピグメントレッド１８８、C.I.ピグメントレッド１９０、C.I.ピグメントレッド１９３、C.I.ピグメントレッド１９４、C.I.ピグメントレッド２０２、C.I.ピグメントレッド２０６、C.I.ピグメントレッド２０７、C.I.ピグメントレッド２０８、C.I.ピグメントレッド２０９、C.I.ピグメントレッド２１５、C.I.ピグメントレッド２１６、C.I.ピグメントレッド２２０、C.I.ピグメントレッド２２４、C.I.ピグメントレッド２２６、C.I.ピグメントレッド２４２、C.I.ピグメントレッド２４３、C.I.ピグメントレッド２４５、C.I.ピグメントレッド２５４、C.I.ピグメントレッド２５５、C.I.ピグメントレッド２６４、C.I.ピグメントレッド２６５；
C.I.ピグメントブルー１、C.I.ピグメントブルー１５、C.I.ピグメントブルー１５：１、C.I.ピグメントブルー１５：３、C.I.ピグメントブルー１５：４、C.I.ピグメントブルー１５：６、C.I.ピグメントブルー６０；C.I.ピグメントグリーン７、C.I.ピグメントグリーン３６；C.I.ピグメントグリーン５８等が上げられる。これらは単独で使用してもよく、又、２種類以上を組み合わせて使用することが出来る。
【０１２１】
また、染料としては、例えば、特開２０１０−９０３３号公報、特開２０１０−２１１１９８号公報、特開２００９−５１８９６号公報、特開２００８ー５０５９９号公報に記載されている有機染料を使用することができる。これら染料や顔料は、単独で使用しても良く、又、２種類以上を組み合わせて使用することもできる。更に、顔料と染料を組み合わせて使用することも出来る。特に、カラーフィルターの赤色、青色、緑色画素を形成する場合、青と紫、緑と黄色などの色材を組み合わせて求める色特性を発揮させる手法が好適に使用される。
【０１２２】
上記（Ｅ）着色剤の含有量は、感光性樹脂組成物の固体成分全体のうち１０〜７０質量％であることが好ましく、特に好ましいのは１０〜６０質量％である。７０％質量を超えて含有すると現像性が低下するおそれがある。
また、（Ｅ）着色剤１００質量部に対し、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、１０〜５００質量部であることが好ましく、２０〜３００質量部であることが特に好ましい。１０質量部未満では現像性が低下するおそれがあり、５００質量部を超えると色材濃度の低下や基板との密着性が低下するおそれがある。
また、（Ｅ）着色剤１００質量部に対し、（Ａ）光ラジカル重合性化合物は、１０〜５００質量部であることが好ましく、２０〜３００質量部であることが特に好ましい。１０質量部未満では硬化性が不足するおそれがあり、５００質量部を超えると色材濃度が十分ではないおそれがある。
【０１２３】
上記（Ａ）〜（Ｅ）成分の含有割合は、適宜組み合わせることができるが、より好ましい含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分１００質量％に対して、以下の配合とすることができる。
（Ａ）光ラジカル重合性化合物５〜５０質量％、
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１０〜５０質量％、
（Ｃ）光ラジカル重合開始剤０．５〜２０質量部、
（Ｄ）光酸発生剤０．０１〜２０質量％、
（Ｅ）着色剤１０〜７０質量％。
【０１２４】
また、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対しては、（Ａ）光ラジカル重合性化合物１０〜３００質量部、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤１〜８０質量部、（Ｄ）光酸発生剤０．０５〜５０質量部、（Ｅ）着色剤３０〜６００質量部であり、より好ましくは、（Ａ）光ラジカル重合性化合物３０〜２００質量部、（Ｃ）光ラジカル重合開始剤５〜４０質量部、（Ｄ）光酸発生剤０．１〜２５質量部、（Ｅ）着色剤５０〜４００質量部である。上記範囲に調整することにより、硬化性、耐溶剤性がより高いものとなる。
【０１２５】
本発明の感光性樹脂組成物はまた、溶剤を含むことが好ましい。溶剤は、粘度を下げ取扱い性を向上する、乾燥により塗膜を形成する、色材の分散媒とする、等のために使用する、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解、或いは分散できる低粘度の有機溶媒である。
上記溶剤としては、通常使用するものを使用することができ、目的、用途に応じて適宜選択すればよく、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓ−ブタノール等のモノアルコール類；エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類；テトラヒドロフラン，ジオキサン等の環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、３−メトキシブタノール等のグリコールモノエーテル類；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等のグリコールモノエーテルのエステル類；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル等のアルキルエステル類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド類、水等が挙げられる。これらは単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
上記溶剤の使用量としては、目的、用途に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、本発明の感光性樹脂組成物（固形成分）１００質量％に対して、１００〜１０００質量％であることが好ましい。
【０１２６】
本発明の感光性樹脂組成物は、各用途の要求特性に応じて、上述した成分の他、フィラー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルフェノール等の熱硬化性樹脂、多官能チオール化合物等の硬化助剤、耐熱向上剤、現像助剤、可塑剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、艶消し剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、スリップ剤、表面改質剤、揺変化剤、揺変助剤、シラン系やアルミニウム系、チタン系等のカップリング剤、キノンジアジド化合物、多価フェノール化合物、カチオン重合性化合物、酸発生剤等の成分が配合されても良い。以下に、本発明の感光性樹脂組成物をカラーフィルター用レジスト（好ましくはネガ型レジスト）として使用する場合に好適なその他の成分について説明する。なお、本発明の感光性樹脂組成物では、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルフェノール等の熱硬化性樹脂は、組成物（固形成分）１００質量％に対して、好ましくは５質量％以下、さらに好ましくは３質量％以下、最も好ましくは１質量％以下であることが好ましい。
【０１２７】
＜酸化防止剤＞
本発明で用いられる酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止剤や亜リン酸エステル系酸化防止剤が好ましい。
【０１２８】
ヒンダードフェノール系酸化防止剤としては、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、ｎ−オクタデシル−β−（４’−ヒドロキシ−３’，５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフィエニル）プロピオニルオキシ］エチル］２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］−ウンデカン、２−［１−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−ペンチルフェニル）エチル］−４，６−ジ−ｔ−ペンチルフェニルアクリレート、２−ｔ−ブチル−６−（３−ｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２−ｔ−ブチル−４，６−ジメチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−ｎ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−イソブチルフェノール、２，６−ジシクロペンチル−４−メチルフェノール、２−（α−メチルシクロヘキシル）−４，６−ジメチルフェノール、２，６−ジオクダデシル−４−メチルフェノール、２，４，６−トリシクロヘキシルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メトキシメチルフェノール、２，６−ジ−ノニル−４−メチルフェノール、２，４−ジメチル−６−（１’−メチルウンデシル−１’−イル）フェノール、２，４−ジメチル−６−（１’−メチルヘプタデシル−１’−イル）フェノール、２，４−ジメチル−６−（１’−メチルトリデシル−１’−イル）フェノールおよびそれらの混合物等のアルキル化モノフェノール；
２，４−ジオクチルチオメチル−６−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジオクチルチオメチル−６−メチルフェノール、２，４−ジオクチルチオメチル−６−エチルフェノール、２，６−ジドデシルチオメチル−４−ノニルフェノールおよびそれらの混合物等のアルキルチオメチルフェノール；
２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス［４−メチル−６−（α−メチルシクロヘキシル）フェノール］］、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−シクロヘキシルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ノニルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−エチリデンビス（４，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−エチリデンビス（４−イソブチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス［６−（α−メチルベンジル）−４−ノニルフェノール］、２，２’−メチレンビス［６−（α，α−ジメチルベンジル）−４−ノニルフェノール］、４，４’−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−２−メチルフェノール）、４，４’−メチレンビス（２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、１，１−ビス（５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）ブタン、２，６−ビス（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシベンジル）−４−メチルフェノール、１，１，３−トリス（５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）ブタン、１，１−ビス（５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−３−ｎ−ドデシルメルカプトブタン、エチレングリコールビス［３，３−ビス−３’−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキシフェニル］ブチレート］、ビス（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）ジシクロペンタジエン、ビス［２−（３’−ｔ−ブチル−２’−ヒドロキシ−５’−メチルベンジル）−６−ｔ−ブチル−４−メチルフェニル］テレフタレート、１，１−ビス（３，５−ジメチル−２−ヒドロキシフェニル）ブタン、２，２−ビス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−４−ｎ−ドデシルメルカプトブタン、１，１，５，５−テトラ（５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）ペンタンおよびそれらの混合物等のアルキリデンビスフェノールおよびその誘導体；
等があげられる。中でも酸化防止能力が高く、工業的入手の容易な、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］が好ましい。
【０１２９】
亜リン酸エステル系酸化防止剤としては、トリフェニルホスファイト、トリス（ノニルフェニル）ホスファイト、トリエチルホスファイト、トリデシルホスファイト、トリス（トリデシル）ホスファイト、ジフェニルモノ（２−エチルヘキシル）ホスファイト、ジフェニルモノデシルホスファイト、ジフェニルモノ（トリデシル）ホスファイト、トリステアリルホスファイト、トリス（２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ホスファイト等が好ましい。
【０１３０】
酸化防止剤の好ましい配合量としては、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂に対して、０．０１質量％〜２質量％が好ましく、０．０５質量％〜１質量％が更に好ましい。酸化防止剤の配合量が上記範囲を下回ると、着色防止効果が少なくなる恐れがあり、また、上記範囲を上回ると、感光性樹脂組成物としての硬化を阻害する恐れがある。
【０１３１】
＜分散剤＞
分散剤とは、顔料への相互作用部位と分散媒（溶剤やバインダー樹脂）への相互作用部位とを有し、顔料の分散媒への分散を安定化する働きを持つものであり、一般的には、樹脂型分散剤（高分子分散剤）、界面活性剤（低分子分散剤）、色素誘導体に分類される。このような分散剤としては、通常使用される分散剤を使用することができる。
【０１３２】
上記樹脂型分散剤としては、例えば、ポリウレタン、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水素基含有ポリカルボン酸エステル、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエステル系、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド／ポリプロピレンオキサイド付加物等が挙げられる。
また、上記樹脂型分散剤の構造としては、主鎖が顔料への相互作用部位を有するアンカー鎖で、グラフト鎖が分散媒への相互作用性を有する相溶性鎖であるようなグラフト構造の樹脂や、アンカー鎖と相溶性鎖がブロック構造になっている樹脂が、特に好ましく用いられる。
【０１３３】
上記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム等のアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレート等のノニオン性界面活性剤；アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物当のカチオン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタイン等のアルキルベタイン、アルキルイミダゾリン等の両性界面活性剤；等が挙げられる。
【０１３４】
上記色素誘導体は、官能基を色素に導入した構造の化合物であり、該官能基としては、例えば、スルホン酸基、スルホンアミド基及びその４級塩、ジアルキルアミノ基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アミド基、フタルイミド基等が挙げられ、母体となる色素の構造としては、例えば、アゾ系、アントラキノン系、キノフタロン系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系等が挙げられる。
上記分散剤の商品名を挙げると、以下のようなものが挙げられる。ただし、上記分散剤としてはこれらに限定されるものではない。
例えば、ＥＦＫＡ−４６、４７，４８、７４５、１１０１、１１２０、１１２５、４００８、４００９、４０４６、４０４７、４５２０、４５４０、４５５０、６７５０、４０１０、４０１５、４０２０、４０５０、４０５５、４０６０、４０８０、４３００、４３３０、４４００、４４０１、４４０２、４４０３、４４０６、４８００、５０１０、５０４４、５２４４、５０５４、５０５５、５０６３、５０６４、５０６５、５０６６、１２１０、２１５０、ＫＳ８６０、ＫＳ８７３Ｎ、７００４、１８１３、１８６０、１４０１、１２００、５５０、ＥＤＡＰＬＡＮ４７０、４７２、４８０、４８２、Ｋ−ＳＰＥＲＳＥ１３１、１５２５０７０、５２０７（以上、エフカアディティブズ（ＥＦＫＡ  ＡＤＤＩＴＩＶＥＳ）社製）、Ａｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−Ｕ、Ａｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−Ｕ１００、Ａｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−２０４、Ａｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−２０５、Ａｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−Ｐ、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１、１０２、１０３、１０６、１０８、１０９、１１０、１１１、１１２、１５１、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６６、１８２、Ｐ−１０４、Ｐ−１０４Ｓ、Ｐ１０５、２２０Ｓ、２０３、２０４、２０５、２０００、２００１、９０７５、９０７６、９０７７（以上、ビックケミー社製）、ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２００００、２２０００、２４０００、２４０００ＧＲ、２６０００、２８０００（以上、日本ルーブリゾール社製）、Ｄｉｓｐｅｒｌｏｎ７３０１、３２５、３７４、２３４、１２２０、２１００、２２００、ＫＳ２６０、ＫＳ２７３Ｎ、１５２ＭＳ（以上、楠本化成社製）、アジスパーＰＢ−７１１、８２１、８２２、８８０、ＰＮ−４１１、ＰＡ−１１１（以上、味の素ファインテクノ社製）、ＫＰシリーズ（信越化学工業社製）、ポリフローシリーズ（共栄社化学社製）、メガファックシリーズ（ディーアイシー（ＤＩＣ）社製）、ディスパーエイドシリーズ（サンノプコ社製）等が挙げられる。
これらの分散剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用できる。
【０１３５】
上記分散剤の使用量は、目的、用途に応じて、適宜設定すればよいが、分散安定性、耐久性（耐熱性、耐光性、耐候性等）や透明性のバランスを取るためには、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分１００質量％に対して、０．０１〜６０質量％であることが好ましく、より好ましくは０．１〜５０質量％であり、更に好ましくは０．５〜４０質量％である。
【０１３６】
＜レベリング剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、レベリング性向上のために、レベリング剤を添加することができる。レベリング剤としては、フッ素系、シリコン系の界面活性剤が好ましい。
【０１３７】
＜カップリング剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、密着性向上のために、カップリング剤を添加することができる。カップリング剤としては、シラン系のカップリング剤が好ましく、例えば、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系のシランカップリング剤が挙げられ、中でもエポキシ系のシランカップリング剤が好ましい。
【０１３８】
＜現像助剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、現像性向上のために、例えば、（メタ）アクリル酸、酢酸、プロピオン酸等のモノカルボン酸類；マレイン酸、フマル酸、コハク酸、テトラヒドロフタル酸、トリメリット酸等の多価カルボン酸類；無水マレイン酸、無水コハク酸、テトラヒドロフタル酸無水物、トリメリット酸無水物等のカルボン酸無水物類；等を現像助剤として添加することができる。
【０１３９】
本発明の感光性樹脂組成物は、構成成分を各種の混合機や分散機を用いて混合分散することによって調製することができるが、特に本発明の感光性樹脂組成物が顔料を含む場合、顔料の分散処理工程を経て製造される。上記顔料の分散処理工程としては、例えば、まず、有機系顔料、分散剤、バインダー樹脂、溶剤とを各所定量秤量し、ペイントコンディショナー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル、ジェットミル、ホモジナイザー、ニーダー、ブレンダー等の分散機を用い、顔料を微粒子分散させて液状の色材分散液（ミルベース）とする。好ましくは、ロールミル、ニーダー、ブレンダー等で混練分散処理をしてから、０．０１〜１ｍｍのビーズを充填したビーズミル等のメディアミルで微分散処理をする。得られたミルベースに、別途攪拌混合しておいた、ラジカル重合性化合物、光重合開始剤、バインダー樹脂、溶剤、レベリング剤等を含む透明レジスト液を加えて混合、均一な分散溶液とし、感光性樹脂組成物を得る。得られた感光性樹脂組成物は、フィルター等によって、濾過処理をして微細なゴミを除去するのが望ましい。
【０１４０】
［硬化物（硬化膜）］
本発明の硬化物（硬化膜）は、上記感光性樹脂組成物に活性エネルギー光線を照射（露光）することにより、形成することができる。具体的には、例えば、基板（基材とも称す）上に上記感光性樹脂組成物を塗布して乾燥させ、その塗布面に活性エネルギー光線を照射（露光）することにより、硬化膜を形成することが好ましい。このように上記感光性樹脂組成物により形成される硬化膜もまた、本発明の１つである。また、上記感光性樹脂組成物は、レジスト材料として好適に用いられることから、上記感光性樹脂組成物により形成される硬化膜がレジスト硬化膜である形態もまた、本発明の好適な形態の１つである。
【０１４１】
上記感光性樹脂組成物を塗布する基板としては、特に限定されず、例えば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガラス等の透明ガラス基板；ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ポリスルホン、環状オレフィンの開環重合体やその水素添加物等の熱可塑性樹脂からなるシート又はフィルム；エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂からなるシート又はフィルム；アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板等の金属基板；セラミック基板；光電変換素子を有する半導体基板；表面に色材層を備えるガラス基板（ＬＣＤ用カラーフィルター）等の各種材料から構成される部材；等が挙げられる。中でも、耐熱性の点から、ガラス基板や、プラスチック基板の中でも耐熱性樹脂からなるシート又はフィルムが好ましい。また、上記基板は透明基板であることが好適である。
【０１４２】
また上記基板には、必要に応じてコロナ放電処理、オゾン処理、シランカップリング剤等による薬品処理等を行ってもよいし、上記基板の両面又は片面に、ガスバリヤー層や保護膜等の無機成分又は有機成分の塗布膜を形成してもよい。また、硬化膜を表示装置用部材に用いる場合には、上記基板にＩＴＯ等の電極を形成することが好適である。なお、本発明の硬化膜は、基板だけでなく、ＩＴＯ膜等の電極との密着性にも優れるものである。
【０１４３】
上記感光性樹脂組成物を基板に塗布する方法としては、特に限定されず、例えば、スピン塗布、スリット塗布、ロール塗布、流延塗布等が挙げられ、いずれの方法も好ましく用いることができる。
上記基板に塗布した後の塗膜の乾燥は、例えば、ホットプレート、ＩＲオーブン、コンベクションオーブン等を用いて行うことができる。乾燥条件は、含まれる溶媒成分の沸点、硬化成分の種類、膜厚、乾燥機の性能等に応じて適宜選択されるが、通常、５０〜１５０℃の温度で、１０秒〜３００秒間行うことが好適である。
【０１４４】
上記活性エネルギー光線の光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプ等のランプ光源、アルゴンイオンレーザー、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、半導体レーザー等のレーザー光源等が使用される。また、露光機の方式としては、プロキシミティー方式、ミラープロジェクション方式、ステッパー方式が挙げられるが、プロキシミティー方式が好ましく用いられる。
なお、活性エネルギー光線の照射工程では、用途によっては、所定のマスクパターンを介して活性エネルギー光線を照射することとしてもよい。この場合、露光部が硬化し、硬化部が現像液に対して不溶化又は難溶化されることになる。
【０１４５】
また必要に応じて、上記活性エネルギー光線の照射工程後に、現像液によって現像処理し、未露光部を除去しパターンを形成する工程（現像工程とも称す）を行ってもよい。これによって、パターン化された硬化膜を得ることができる。
【０１４６】
上記現像工程における現像処理は、通常、１０〜５０℃の現像温度で、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等の方法で行うことができる。なお、現像液としてアルカリ性水溶液を用いる場合には、現像後、水で洗浄することが好ましい。
上記現像液は、本発明の感光性樹脂組成物を溶解するものであれば特に限定されないが、通常、有機溶媒やアルカリ性水溶液が用いられ、これらの混合物を用いてもよい。
上記現像液として好適な有機溶媒としては、例えば、エーテル系溶媒やアルコール系溶媒等が挙げられる。具体的には、例えば、ジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、トリエチレングリコールジアルキルエーテル類、アルキルフェニルエーテル類、アラルキルフェニルエーテル類、ジ芳香族エーテル類、イソプロパノール、ベンジルアルコール等が挙げられる。
【０１４７】
上記アルカリ性水溶液には、アルカリ剤の他、必要に応じ、界面活性剤、有機溶媒、緩衝剤、染料、顔料等を含有させることができる。この場合の有機溶媒としては、上述した現像液として好適な有機溶媒等が挙げられる。
上記アルカリ剤としては、例えば、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機のアルカリ剤；トリメチルアミン、ジエチルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン類が挙げられ、これらは単独でも２種以上を組み合わせてもよい。
【０１４８】
上記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタン酸アルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類等のノニオン系界面活性剤；アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類等のアニオン性界面活性剤；アルキルベタイン類、アミノ酸類等の両性界面活性剤等が挙げられ、これらは単独でも２種以上を組み合わせてもよい。
【０１４９】
更に必要に応じて、後硬化工程（ポストベイク又は後処理工程とも称す）を行ってもよい。後硬化工程とは、例えば、高圧水銀灯等の光源を使用して、例えば０．５〜５Ｊ／ｃｍ２の光量で露光する工程の他、後加熱する工程（熱処理工程とも称す）等が挙げられる。このような後処理を行うことにより、パターン化された硬化膜の硬度及び密着性を更に強固なものとすることが可能になる。
【０１５０】
上述した後処理工程の中でも好ましくは、後者の熱処理工程であり、その際の温度は、６０℃以上とすることが好適である。この温度範囲で熱処理工程を行うことで、反応性化合物が分解され、本発明の作用効果をより充分に発揮することが可能となる。このように上記硬化膜が６０℃以上の温度で熱処理されてなる形態もまた、本発明の好適な形態の１つである。熱処理の温度としてより好ましくは８０℃以上であり、また、３００℃以下とすることが好ましい。また、熱処理時間は特に限定されないが、例えば、１０秒〜３００分間であることが好ましい。
【０１５１】
［カラーフィルター、液晶表示装置、有機ＥＬディスプレイ等］
本発明のカラーフィルター及び、液晶パネル等は、上記感光性樹脂組成物を基板上に塗布することにより形成できる。該組成物を塗布する基板としては、ガラス板の他、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリオレフィン、ポリスルホン、環状オレフィンの開環重合体やその水素添加物等の熱可塑性プラスチックシート、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性プラスチックシートが挙げられる。これらの中でも、耐熱性の点から、ガラス板又は耐熱性プラスチックシートが好ましい。また、上記基板には、必要に応じて、コロナ放電処理、オゾン処理、シランカップリング剤等による薬品処理等を行ってもよい。
【０１５２】
本発明の感光性樹脂組成物は、上述したように、特に耐溶剤性、表面硬度に優れるうえ、現像性や基板との密着性にも優れる硬化物（硬化膜）を与えるものである。したがって、このような感光性樹脂組成物から形成される硬化物（硬化膜）は、例えば、液晶表示装置や固体撮像素子、タッチパネル式表示装置等の各種表示装置の構成部材の他、インキ、印刷版、プリント配線板、半導体素子、フォトレジスト等、各種の光学部材や電機・電子機器等の種々様々な用途に好ましく使用される。好ましくは、感光性樹脂組成物の硬化物を基板上に形成したカラーフィルター、カラーフィルターを装着した液晶表示装置、カラーフィルターを装着した有機ＥＬディスプレイが挙げられる。液晶表示装置や固体撮像素子等に用いられるカラーフィルターに用いることは好ましい形態である。これにより、近年の高性能化の要望に充分に対応できる程度に各種表示装置の表示品位や撮像品位の信頼性を充分に高めることができる。このように、上記感光性樹脂組成物により形成される硬化膜、該硬化膜を有する表示装置用部材及び該硬化膜を有する表示装置は、本発明に含まれる。
【０１５３】
本発明の表示装置用部材及び表示装置は、上記硬化膜を有する限り、他の構成部材等を１種又は２種以上有するものであってもよい。上記硬化膜は、耐溶剤性、表面硬度に優れ、安定して基板等に対する密着性に優れ、しかも高平滑性及び高透過率を有するものである。上記表示装置用部材は、上記硬化膜から構成されるフィルム状の単層又は多層の部材であってもよいし、該単層又は多層の部材に更に他の層が組み合わされた部材であってもよいが、色材を有する硬化物において耐溶剤性に優れるのでカラーフィルターであることが好ましい。
【実施例】
【０１５４】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は「質量部」を、「％」は「質量％」を意味するものとする。
以下の実施例及び比較例において、各種物性等は以下のようにして測定した。
【０１５５】
＜重量平均分子量＞
ポリスチレンを標準物質とし、テトラヒドロフランを溶離液として、ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）、カラム：ＴＳＫｇｅｌ  ＳｕｐｅｒＨＺＭ−Ｍ（東ソー社製）によるＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）法にて重量平均分子量を測定した。
【０１５６】
＜固形分＞
重合体溶液をアルミカップに約１ｇはかり取り、アセトン約２ｇを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。そして、熱風乾燥機（エスペック株式会社製、商品名：ＰＨＨ−１０１）を用い、真空下１６０℃で３時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、重合体溶液の固形分を計算した。
【０１５７】
＜酸価＞
樹脂溶液２ｇを精秤し、アセトン９０ｇと水１０ｇとの混合溶媒に溶解し、０．１規定のＫＯＨ水溶液を滴定液として用いて、自動滴定装置（平沼産業社製、商品名：ＣＯＭ−５５５）により、重合体溶液の酸価を測定し、溶液の酸価と溶液の固形分とから固形分１ｇ当たりの酸価を求めた。
【０１５８】
＜硬化性樹脂組成物の耐溶剤性＞
硬化性樹脂組成物を５ｃｍ角のガラス基板上にスピンコートし、９０℃で３分間乾燥後、高圧水銀灯にて５０ｍＪで露光を行い、２３０℃で３０分間熱処理を行い、膜厚２μｍの薄膜を得た。その後、１−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）２０ｇに５０℃で１０分間浸漬し、塗膜から溶出した１−メチル−２−ピロリドンの色相を分光光度計ＵＶ３１００（島津製作所社製）で測定し、６００ｎｍの吸光度を求めた（試験後のＮＭＰ浸漬液の吸光度を測ることによってガラス基板からの顔料成分の染み出し量を評価）。
【０１５９】
製造例１
＜重合体Ａの合成＞
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、他方、モノマー滴下槽として、ジメチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート（以下「ＭＤ」と称する）１０質量部、メタクリル酸シクロヘキシル（以下「ＣＨＭＡ」と称する）６０質量部、メタクリル酸メチル（以下「ＭＭＡ」と称する）１０質量部、メタクリル酸（以下「ＭＡＡ」と称する）２０質量部、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート（商品名「パーブチルＯ」、日本油脂製；以下「ＰＢＯ」と称する）２質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下「ＰＧＭＥＡ」と称する）４０質量部をよく攪拌混合したものを準備し、連鎖移動剤滴下槽として、ｎ−ドデカンチオール（以下「ｎ−ＤＭ」と称する）３質量部、ＰＧＭＥＡ３２質量部をよく攪拌混合したものを準備した。
反応槽にＰＧＭＥＡ１２８質量部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から滴下を開始した。滴下は、温度を９０℃に保ちながら、それぞれ１３５分間かけて行った。滴下が終了してから６０分後に昇温を開始して反応槽を１１０℃とし、３時間１１０℃を維持した。一旦室温まで内温を冷却した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝５／９５（ｖ／ｖ）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル（以下「ＧＭＡ」と称する）５部、６−ｔ−ブチル−２，４−キシレノール  ０．１０部、トリエチルアミン（以下「ＴＥＡ」と称する）０．４部を仕込み、そのまま１１０℃で８時間反応させた。その後、ＰＧＭＥＡ３６部を加えて室温まで冷却し、濃度が３５％の重合体溶液Ａを得た。重合体Ａの重量平均分子量は１００００、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重合体の二重結合当量は１９００ｇ／ｍｏｌであった。
【０１６０】
製造例２
＜重合体Ｂの合成＞
重合体Ｂは組成をＭＤ１０部、ＣＨＭＡ６０部、ＭＭＡ５部、ＭＡＡ２５部、ＧＭＡ１０部に変え、重合体Ａと同様にして合成を行った。重合体Ｂの重量平均分子量は１００００、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重合体の二重結合当量は１０００ｇ／ｍｏｌであった。
【０１６１】
製造例３
＜重合体Ｃの合成＞
重合体Ｃは組成をＭＤ１０部、ＣＨＭＡ４０部、ＭＭＡ５部、ＭＡＡ４５部、ＧＭＡ２５部に変え、重合体Ａと同様にして合成を行った。重合体Ｃの重量平均分子量は１５０００、酸価は１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、重合体の二重結合当量は５００ｇ／ｍｏｌであった。
【０１６２】
製造例４
＜重合体Ｄの合成＞
重合体Ｄは組成をＭＤ１０部、ＣＨＭＡ３０部、ＭＭＡ３０部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル（以下「ＨＥＭＡ」と称する）１５部、ＭＡＡ１５部に変え、ＧＭＡ付加は行わない以外は重合体Ａと同様にして合成を行った。重合体Ｄの重量平均分子量は１００００、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１６３】
製造例５
＜重合体Ｅの合成＞
重合体Ｅは組成をＣＨＭＡ３０部、ＭＭＡ４０部、ＨＥＭＡ１５部、ＭＡＡ１５部に変え、ＧＭＡ付加は行わない以外は重合体Ａと同様にして合成を行った。重合体Ｅの重量平均分子量は１５０００、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１６４】
比較製造例
＜重合体Ｆの合成＞
重合体Ｆは組成をＭＤ１０部、ＣＨＭＡ３０部、ＭＭＡ４５部、ＭＡＡ１５部に変え、ＧＭＡ付加は行わない以外は重合体Ａと同様にして合成を行った。重合体Ｆの重量平均分子量は１００００、酸価は１００ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１６５】
＜実施例１＞
青色色材分散液を固形分換算で３０部、樹脂（重合体Ａ）を固形分換算で３０部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（以下「ＤＰＨＡ」と称する）３０部、及び光ラジカル開始剤「ＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９」(ＢＡＳＦ製；以下Ｉｒｇ３６９と称する)１０部、光酸発生剤「ＣＰＩ−１００Ｐ」[トリアリールモノスルホニウム塩（４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート）；サンアプロ（株）製]５部（固形分換算値）をＰＧＭＥＡで希釈しよく混合して硬化性樹脂組成物１（固形分量２０質量％）を調製した。
上記青色色材分散液としては「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３（Ｃｌａｒｉａｎｔ製）」:「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６（ＢＡＳＦ製）」＝２：８(重量比)の分散液（固形分量２０質量％）を使用した。
得られた樹脂組成物をスピンコーターにてガラス板上に乾燥後の膜厚が２μｍになるように塗布し、熱風乾燥機にて９０℃で３分間乾燥させた。その後、超高圧水銀ランプで照射量が５０ｍＪになるよう紫外線を照射した。照射後、熱風乾燥機にて２３０℃で３０分間加熱し試験片１を得た。得られた試験片をＮＭＰ液中に浸漬させ、熱風乾燥機にて５０℃１０分間加熱した後試験片を取り出し、残ったＮＭＰ溶液の吸光度を分光光度計にて測定した。この結果を耐溶剤性として、表１に示した。
【０１６６】
＜実施例２、３、参考例４、５＞
樹脂を重合体ＡからＢ〜Ｅに変え、同様の評価を行った。
【０１６７】
＜参考例６＞
重合体Ｄを用い、光酸発生剤を１部に減らした以外は実施例１と同様に評価を行った。
【０１６８】
＜比較例１〜５＞
実施例１〜５の組成から光酸発生剤を除いた以外は同様に評価を行った。
【０１６９】
＜比較例６、７＞
重合体Ｆを用い、比較例６では光酸発生剤無、比較例７では光酸発生剤を５部添加して同様の評価を行った。
【０１７０】
＜比較例８＞
比較例２の重合体Ｂを用いた系において、光ラジカル開始剤を光酸発生剤に置き換えた以外は同様の評価を行った。この結果を耐溶剤性として、表２に示した。
【０１７１】
【表１】
0006706944.tif 000004
【０１７２】
【表２】
0006706944.tif 000005
【０１７３】
上表１、表２において、耐溶剤性はＮＭＰ溶液中に染み出た顔料（色材）量を表しており、その値が低いほど良好である。
また、上表１において、耐溶剤性改善率は酸発生剤が無い場合と比較してどれくらい耐溶剤性が改善したかを表しており、下記式で算出した。
耐溶剤性改善率（％）＝［１−｛（酸発生剤が有る場合の耐溶剤性値）／（酸発生剤が無い場合の耐溶剤性値）｝］×１００
耐溶剤性改善率の値は高い程、耐溶剤性が改善されている。
【０１７４】
耐溶剤性改善率に示すように、二重結合を有する樹脂（実施例１〜３）やヒドロキシ基を有する樹脂（参考例４、５）では、酸発生剤を添加することで耐溶剤性の大幅な改善が確認できた。これに対し二重結合がなく、ヒドロキシ基ももたない樹脂では改善はするもののその効果は低かった（比較例６、７）。比較例６、７の樹脂では、酸発生剤の添加による耐溶剤性改善率は２１％であった。
また、光ラジカル開始剤もしくは酸発生剤単体では耐溶剤性の効果は十分ではなかった（比較例２、８）。
【産業上の利用可能性】
【０１７５】
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化性、アルカリ現像性、密着性に優れ、電子情報分野の部材を形成するためのレジスト、例えばソルダーレジスト、エッチングレジスト、層間絶縁材料、めっきレジスト、カラーフィルター用レジストに好適であり、耐溶剤性に優れることから、特にカラーフィルターの画素（着色層）形成用として好適である。