(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬入準備室と、撮影室と、搬出準備室と、を有する検査装置であって、
前記搬入準備室および搬出準備室は、
第一の開口部から検査対象物を搬入する搬入手段と、
前記搬入された検査対象物を、前記搬入の方向とは異なる方向に第二の開口部まで平行移動させるトラバーサと、
前記トラバーサの移動方向とは異なる方向に前記検査対象物を移動させ、第二の開口部から搬出する搬出手段と、を有し、
前記撮影室は、
前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、
前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動し、前記第一の開口部または前記第二の開口部から侵入し当該トラバーサの移動方向に伝播する放射線が他方の開口部に達しないよう遮蔽する遮蔽部材と、からなり、
前記遮蔽部材は、第一の部材および第二の部材からなり、
前記第一の部材および前記第二の部材と、前記搬入準備室または搬出準備室の対向する内壁の間に隙間があり、
前記第一の部材は、前記第二の部材と対向する面と反対側の面の周辺部に、前記内壁と平行に延在する緩衝部材を有し、
前記第二の部材は、前記第一の部材と対向する面と反対側の面の周辺部に、前記内壁と平行に延伸する緩衝部材を有し、
前記緩衝部材によって、前記第一の開口部と前記第二の開口部とが前記第一の部材と前記第二の部材の間の空間を介して連通するような前記トラバーサの移動が制限される、
ことを特徴とする、検査装置。
【請求項２】
前記第一の開口部から前記第二の開口部までの最短距離が、前記第一の部材と第二の部材間の距離よりも長い
ことを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第一の開口部または第二の開口部に位置する前記トラバーサが、他方の開口部に対して遠ざかる方向に移動しないよう、前記トラバーサの可動範囲を制限する部材をさらに
有する
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記搬入準備室が有する搬入手段は、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記搬入準備室内に搬入する
ことを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記搬入準備室が有するトラバーサは、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記第二の開口部まで移動させる
ことを特徴とする、請求項４に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線を用いた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線撮影により得られる画像情報を用いて検査対象の非破壊検査を行う技術が知られている。例えば、特許文献１には、Ｘ線ＣＴにより基板実装部品の３Ｄデータを再構成し、この３Ｄデータから半田付けの良否等を検査する手法が開示されている。この種のＸ線検査装置は、検査対象の内部構造や微細構造を高精度に検査できることから、各種工業製品の製造ラインにおける自動検査等に利用されはじめている。
【０００３】
インラインで利用される検査装置においては、検査工程での滞留を防ぐために、検査のサイクルタイムをできるだけ短縮することが要求される。そのため、特許文献２のように、搬送ラインを２列設置し（デュアルレーンと呼ばれる）、一方の搬送ラインの検査対象を検査している間に、他方の搬送ラインで次の搬送対象を検査位置まで搬送しておくことで、実質的な搬入時間をゼロに近づけるという構成が知られている。
しかし、このような機構をＸ線検査装置に適用しようとした場合、Ｘ線の照射中に、次の検査対象を装置内に搬入する必要が生じるため、装置外へのＸ線の漏洩対策が必要となる。
【０００４】
一方、特許文献３に記載の検査装置では、搬入部および搬出部にそれぞれ二重のシャッターを設け、撮影部が外部に露出しないように検査対象物の搬入および搬出を行っている。これにより、Ｘ線の漏洩を防ぎつつ、検査対象の受け渡しを迅速に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１５６７８８号公報
【特許文献２】特開２０００−１２９９９号公報
【特許文献３】特開２０１４−０９８５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献３に記載の検査装置のように、遮蔽用のシャッターを多重化した場合、シャッターの構造や制御が複雑になり、装置のコストが上昇するという問題が発生する。また、特許文献３に記載の発明をデュアルレーン構造に適用しようとすると、シャッターのサイズが大型化し、速度低下につながるという問題がある。
【０００７】
本発明は上記の課題を考慮してなされたものであり、放射線を用いた検査装置において、放射線の漏洩を防ぎつつ検査時間の短縮を図る技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第一の形態に係る検査装置は、搬入準備室と、撮影室と、搬出準備室の三つの区画を有する検査装置である。
【０００９】
具体的には、前記搬入準備室および搬出準備室は、第一の開口部から検査対象物を搬入する搬入手段と、前記搬入された検査対象物を、前記搬入の方向とは異なる方向に第二の開口部まで平行移動させるトラバーサと、前記トラバーサの移動方向とは異なる方向に前記検査対象物を移動させ、第二の開口部から搬出する搬出手段と、を有し、前記撮影室は
、前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動し、前記第一の開口部または前記第二の開口部から侵入し当該トラバーサの移動方向に伝播する放射線が他方の開口部に達しないよう遮蔽する遮蔽部材と、からなることを特徴とする。
【００１０】
撮影室とは、Ｘ線をはじめとする放射線によって検査対象物の撮影を行う区画である。また、搬入準備室とは、撮影室に搬入される検査対象物を待機させるための区画であり、搬出準備室とは、撮影が完了した検査対象物を排出するための区画である。
放射線によって撮影を行う検査装置においては、検査対象物が撮影室に出入りする際に放射線が漏洩するおそれがある。そこで、本発明に係る検査装置は、搬入準備室および搬出準備室を設け、各準備室の内部にて放射線を遮蔽する。
【００１１】
搬入準備室および搬出準備室は、それぞれ、第一の開口部から検査対象物を搬入し、トラバーサによって移動させたのち、第二の開口部から検査対象物を搬出する。すなわち、搬入準備室は、第一の開口部が外部に繋がっており、第二の開口部が撮影室に繋がっている。また、搬出準備室は、第一の開口部が撮影室に繋がっており、第二の開口部が外部に繋がっている。
【００１２】
また、トラバーサは、開口部から検査対象物を搬入および搬出する方向とは異なる方向に当該検査対象物を平行移動する。トラバーサは、開口部から侵入した放射線が他方の開口部に達しないよう配置する遮蔽部材を有している。遮蔽部材は、トラバーサの位置にかかわらず、第一の開口部と第二の開口部とが連通しないように遮蔽する位置に配置され、載置部と共に移動する。
かかる構成によると、シャッターなどの特別な機構を必要とすることなく、撮影室と外部とが連通しない状態を維持したまま、検査対象物を搬入および搬出することができる。
【００１３】
また、前記遮蔽部材は、第一の部材および第二の部材からなり、前記第一の部材および第二の部材は、前記トラバーサの移動中において、当該第一の部材および第二の部材と、前記搬入準備室または搬出準備室の対向する内壁と、によって閉空間が形成可能な位置に配置されることを特徴としてもよい。
【００１４】
対向する内壁と遮蔽部材によって閉空間が形成できる位置に遮蔽部材を配置することで、搬入出経路上においてエアロックのような独立した区画を形成することができる。すなわち、第一の開口部と第二の開口部とが連通しない状態を保ったまま検査対象物を搬入出することができる。
【００１５】
また、本発明に係る検査装置は、前記閉空間によって前記第一の開口部と前記第二の開口部とが空間的に分離されることを特徴としてもよい。
【００１６】
第一の開口部と第二の開口部とを空間的に分離することで、装置外部への放射線の漏出を防ぐことができる。
【００１７】
また、前記第一の部材および第二の部材は、前記載置部を挟んで、前記トラバーサの移動方向と直交する面内に平行に配置され、前記搬入準備室または搬出準備室の内壁と摺動する板状の部材であることを特徴としてもよい。
【００１８】
載置部を挟んで平行に配置された二枚の部材と内壁とを摺動させることで、載置部が、第一の開口部と連通した状態、第二の開口部と連通した状態のいずれの状態にある場合であっても、撮影室から到来する放射線を遮蔽することができる。なお、摺動とは、完全に隙間が無い状態でなくてもよい。内壁と遮蔽部材との間には、当該遮蔽部材をスムーズに
移動させるための若干の隙間があってもよい。
【００１９】
また、本発明に係る検査装置は、前記第一の開口部から前記第二の開口部までの最短距離が、前記第一の部材と第二の部材間の距離よりも長いことを特徴としてもよい。
【００２０】
かかる構成によると、トラバーサの位置にかかわらず、第一の開口部と第二の開口部が連通することがなくなり、撮影室から到来する放射線を確実に遮蔽することができる。
【００２１】
また、本発明に係る検査装置は、前記第一の開口部または第二の開口部に位置する前記トラバーサが、他方の開口部に対して遠ざかる方向に移動しないよう、前記トラバーサの可動範囲を制限する部材をさらに有することを特徴としてもよい。
【００２２】
第一の開口部と第二の開口部との間にトラバーサがある場合、撮影室から到来する放射線は遮蔽部材によって遮蔽されるが、トラバーサが当該範囲を外れた場合、第一の開口部と第二の開口部が連通してしまうおそれがある。そこで、これを防止するため、トラバーサの可動範囲を制限する部材を配置してもよい。
【００２３】
また、前記搬入準備室が有する搬入手段は、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記搬入準備室内に搬入することを特徴としてもよく、前記搬入準備室が有するトラバーサは、前記撮影手段が撮影を完了させる前に、次の検査対象物を前記第二の開口部まで移動させることを特徴としてもよい。
【００２４】
このように、撮影が完了する前に次の検査対象物を撮影室の手前まで搬入し待機させることで、検査が始まるまでの時間を短縮し、トータルの検査速度を向上させることができる。
【００２５】
また、本発明の第二の形態に係る検査装置は、
搬入準備室と、撮影室と、搬出準備室と、を有する検査装置であって、前記搬入準備室および搬出準備室は、第一の開口部から検査対象物を搬入する搬入手段と、前記搬入された検査対象物を、前記搬入の方向とは異なる方向に第二の開口部まで平行移動させるトラバーサと、前記トラバーサの移動方向とは異なる方向に前記検査対象物を移動させ、第二の開口部から搬出する搬出手段と、を有し、前記撮影室は、前記搬入準備室から搬入された前記検査対象物を撮影する撮影手段と、を有し、前記トラバーサは、前記検査対象物を載置する載置部と、前記載置部と共に移動する第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材と、からなり、前記第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材は、前記トラバーサの移動中において、当該第一の遮蔽部材および第二の遮蔽部材と、前記搬入準備室または搬出準備室の対向する内壁と、によって閉空間を形成する位置に配置され、前記閉空間によって前記第一の開口部と前記第二の開口部とが空間的に分離されることを特徴とする。
【００２６】
なお、本発明は、上記手段の少なくとも一部を含む検査装置として特定することができる。上記処理や手段は、技術的な矛盾が生じない限りにおいて、自由に組み合わせて実施することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、放射線を用いた検査装置において、放射線の漏洩を防ぎつつ検査時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第一の実施形態に係るＸ線検査装置を模式的に示した断面図。
【図２】第一の実施形態に係るＸ線検査装置の構成および機能を示したブロック図。
【図３】搬入準備室１００および搬出準備室３００の構造を詳しく示した断面図。
【図４】トラバーサ１１０の可動範囲を説明する図。
【図５】基板の搬入における制御の流れを示すフローチャート図。
【図６】基板の検査における制御の流れを示すフローチャート図。
【図７】基板の搬出における制御の流れを示すフローチャート図。
【図８】実施形態の変形例を説明する図。
【図９】実施形態の変形例を説明する図。
【図１０】実施形態の変形例を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明は、Ｘ線撮影により得られる画像情報を用いて検査対象の非破壊検査を行うＸ線検査装置に関し、特に、Ｘ線検査装置に対して検査対象を搬入／搬出するための構成およびその制御に関するものである。以下に述べる実施形態では、斜めＸ線ＣＴ（コンピュータ・トモグラフィ）によって基板実装部品の３Ｄデータを再構成し、この３Ｄデータから半田付けの良否等を検査するための基板検査装置に本発明を適用した例を説明する。
【００３０】
（第一の実施形態）
<装置の概要>
まず、図１および図２を参照して、本実施形態に係るＸ線検査装置の構成について説明する。図１は、本実施形態に係るＸ線検査装置１を模式的に示した断面図であり、図２は、Ｘ線検査装置１の構成および機能を示すブロック図である。図１および図２に示したように、Ｘ線検査装置１は、搬入準備部１０と、撮影部２０と、搬出準備部３０と、を有して構成される。
【００３１】
なお、図１は、検査における基板の流れを模式的に表した図であり、Ｘ線を遮蔽する手段については、図３を参照しながら後ほど説明する。
【００３２】
図１に示したように、Ｘ線検査装置１の本体には、Ｘ線撮影を行う撮影部２０が設けられ、その上流側（図の左側）には、検査対象物である基板Ｋを搬入するための搬入準備部１０が設けられている。また、下流側（図の右側）には、基板を搬出するための搬出準備部３０が設けられている。搬入準備部１０には、上流工程（例えばリフロ工程）から基板を搬送するための搬送機構１１１が配置されている。搬送機構１１１は、図中の上下方向に可動し、撮影部２０に配置された搬送機構２０３に接続可能な構成となっている。上流工程から搬送されてきた基板Ｋは、搬入準備部１０（搬送機構１１１）を経由して撮影部２０内に搬入され、必要な撮影および検査が行われた後、搬出準備部３０が有する搬送機構３１１に受け渡される。搬送機構３１１は、図中の上下方向に可動し、搬出口から下流工程に搬送される。このように、本実施形態に係るＸ線検査装置１は、製造ラインの途中で（インラインで）基板の自動検査を行うことを想定した構成となっている。
【００３３】
まず、搬入準備部１０について説明する。
搬入準備部１０は、検査対象である基板Ｋを搬入するための搬入口と、当該基板を撮影部に送り出すための搬出口を有した箱状の部材（以下、搬入準備室１００）を備えている。当該部材は、Ｘ線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、検査対象の基板が通過する箱状の部材を搬入準備室１００と称し、搬入準備室１００内にある機構やそれを制御する手段全体を搬入準備部１０と称する。搬入準備部１０は、搬入準備室１００のほか、搬送機構１１１、昇降機構１１２、制御部１２０から構成される。
【００３４】
搬送機構１１１は、載置された物体を搬送方向（図中Ｘ軸方向）に移動させるための手段である。搬送機構１１１は、典型的にはリニアアクチュエータとレール、ベルトコンベ
アなどによって構成されるが、他の手段を用いてもよい。上流工程から搬送されてきた基板Ｋは、搬送機構１１１によって搬入準備室１００に搬入される。
【００３５】
また、搬送機構１１１は、昇降機構１１２によって、基板の搬送方向とは直交する方向（図中Ｚ軸方向）に可動する構成となっている。なお、昇降機構１１２は、搬送機構１１１を移動させることができれば、リニアアクチュエータ等によって駆動してもよいし、ベルトやチェーンを介して動力を取得し、駆動するものであってもよい。
搬入準備室１００に搬入された基板Ｋが搬出口まで到着すると、搬送機構１１１が、基板Ｋを撮影室２００に送り出し、撮影および検査が実行される。
【００３６】
制御部１２０は、搬送機構１１１および昇降機構１１２の動作を制御する手段である。制御部１２０は、例えば、汎用のコンピュータ上でソフトウェアを実行することで実現してもよいし、専用のハードウェアによって実現してもよい。制御部１２０が行う具体的な制御の内容については後述する。
【００３７】
次に、撮影部２０について説明する。
撮影部２０は、検査対象の基板Ｋを搬入準備室１００から搬入するための搬入口と、当該基板を搬出準備室３００に送り出すための搬出口を有した箱状の部材（以下、撮影室２００）を備えている。当該部材は、Ｘ線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、基板に対して検査を行う区画である箱状の部材を撮影室２００と称し、撮影室２００内にある機構やそれを制御する手段全体を撮影部２０と称する。撮影部２０は、撮影室２００のほか、Ｘ線発生器２０１、Ｘ線検出器２０２、搬送機構２０３、制御部２０４、検査部２０５から構成される。
【００３８】
Ｘ線発生器２０１は、Ｘ線を放射する装置である。ここではＸ線ＣＴ撮影を行うため、Ｘ線束が円錐状に広がるコーンビームを放射するＸ線源を用いる。
Ｘ線検出器２０２は、Ｘ線源から放射され、検査対象の基板を透過したＸ線を検出する２次元Ｘ線検出器である。Ｘ線検出器２０２としては、Ｉ．Ｉ．（Image Intensifier）
管やＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。なお、ここでは一つのＸ線検出器を用いているが、複数個のＸ線検出器を用いても構わない。
なお、Ｘ線発生器２０１およびＸ線検出器２０２は、不図示のステージによって、三次元方向に可動する構成となっている。
搬送機構２０３は、前述した搬送機構１１１と同様であるため説明は省略する。
【００３９】
制御部２０４は、Ｘ線発生器２０１、Ｘ線検出器２０２、搬送機構２０３の動作を制御することで、検査対象物に対するＸ線撮影を制御する手段である。
具体的には、搬入準備室１００から搬入された基板の受け入れ、検査が終了した基板の排出、不図示のステージを用いたＸ線発生器２０１やＸ線検出器２０２の位置決め、Ｘ線発生器２０１が行うＸ線の放射などを制御する。
【００４０】
検査部２０５は、Ｘ線検出器２０２が検出したＸ線像に基づいて、基板の検査を実行する手段である。本実施形態では、Ｘ線発生器およびＸ線検出器と、検査対象物との相対位置を変更しながら、複数回（数回から数十回）の撮影を行うことにより、様々な角度でのＸ線透過像を取得し、それらのデータを基に基板の３次元データを再構成する。これは斜めＸ線ＣＴと呼ばれる撮像方式であり、電子基板のように厚みが無い対象を検査するのに好適な撮像方式である。なお、斜めＸ線ＣＴの具体的な計算方法については、公知なものであるため説明は省略する。
検査部２０５は、取得した３次元データに基づいて、基板の検査を行う。例えば、基板上の部品の配置位置、はんだの状態（ぬれ上がり高さや角度など）などを判定し、結果を生成する。生成した結果は、下流工程に送信してもよいし、不図示の表示装置を介して装
置のユーザに提供してもよい。
【００４１】
制御部２０４および検査部２０５には、例えば、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と呼ばれる一般的な汎用演算装置を用いることができる。制御部２０４および検査部２０５は、ＲＡＭなどのメモリを備えていてもよいし、ＲＯＭやＨＤＤ、ＳＳＤなどを備えていてもよい。また、キーボード、ボタン、スイッチ、ポインティングデバイスなど、ユーザが指示を入力可能な任意の入力装置を備えていてもよい。また、ディスプレイ、スピーカなど、映像や音声等によって検査結果をユーザに提示可能な任意の出力装置を備えていてもよい。すなわち、一般的なコンピュータシステムを用いて、これらの機能部を実現することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、撮影部２０はＸ線による透過像に基づいて基板の検査を行うものとするが、それ以外の検査手段を有していてもよい。例えば、可視光像を取得するカメラをさらに備え、可視光像に基づいて基板の検査を行う構成を有していてもよい。
【００４３】
次に、搬出準備部３０について説明する。
搬出準備部３０は、検査が終わった基板Ｋを撮影室２００から搬入するための搬入口と、当該基板を下流工程に送り出すための搬出口を有した箱状の部材（以下、搬出準備室３００）を備えている。当該部材は、Ｘ線を遮蔽する材料で構成されている。
なお、以下の説明では、検査対象の基板が通過する箱状の部材を搬出準備室３００と称し、搬出準備室３００内にある機構やそれを制御する手段全体を搬出準備部３０と称する。搬出準備部３０は、搬入準備室３００のほか、搬送機構３１１、昇降機構３１２、制御部３２０から構成される。
【００４４】
検査が完了し、撮影室２００から送り出された基板Ｋは、搬送機構３１１によって搬出準備室３００に移動する。搬出準備部３０が有する搬送機構３１１および昇降機構３１２は、搬送機構１１１および昇降機構１１２と同様であるため、具体的な説明は省略する。搬出準備室３００も、搬入準備室１００と同様に搬入口および搬出口を有しており、基板Ｋを下流工程に向けて搬出する。
【００４５】
<Ｘ線の遮蔽手段>
次に、図３を参照しながら、搬入準備室１００および搬出準備室３００が有する、Ｘ線の外部への漏出を防止する機構について説明する。図３は、搬入準備室１００および搬出準備室３００の構造をより詳しく示した断面図である。
【００４６】
遮蔽板１１３Ａおよび１１３Ｂは、搬送機構１１１を挟むようにＸＹ平面上に配置された板状の部材である。遮蔽板１１３Ａおよび１１３Ｂは、放射線を遮蔽する一般的な部材であればよく、典型的には鉛やタングステンなどである。
また、遮蔽板１１３Ａおよび１１３Ｂの四方は、搬入準備室１００の内壁に接しており、放射線を遮蔽する構造となっている。なお、搬送機構１１１、遮蔽板１１３Ａ、遮蔽板１１３Ｂは一体となって可動する構成となっている。本実施形態では、これらをまとめてトラバーサ１１０と称する。
なお、搬出準備室３００が有する各部材については、符号の百の位が異なるのみで、内容は同様であるため、個々の部材についての説明は省略する。
【００４７】
図４は、トラバーサ１１０の可動範囲を説明する図である。図４からもわかるように、トラバーサ１１０のＺ軸方向の可動範囲は、搬入口の高さに搬送機構１１１がある状態が上限、搬出口の高さに搬送機構１１１がある状態が下限となる。すなわち、搬入口と搬出口との間には、遮蔽板１１３Ａもしくは遮蔽板１１３Ｂのいずれか（もしくは両方）が必ず存在する状態となる。搬入準備室１００の搬出口は、撮影室２００に繋がっているため
、搬出口からＸ線が侵入する可能性があるが、侵入したＸ線は遮蔽板によって遮蔽され、搬入口に到達することはない。すなわち、撮影室２００と装置の外部とを空間的に分離することができる。また、当該分離状態は、トラバーサ１１０の位置にかかわらず保たれる。
なお、ここで述べた効果を得るためには、遮蔽板１１３Ａと１１３Ｂとの間隔ｄ１が、搬入口と搬出口の最短距離ｄ２よりも小さい必要がある。
【００４８】
なお、ここでは、搬入準備室１００を例示して説明したが、撮影室２００から搬出準備室３００を介して基板を搬出する場合も仕組みは同様である。
【００４９】
<処理フローチャート>
次に、図５〜７を参照して、基板の搬入、検査、搬出に関する制御について説明する。
図５は、基板の搬入における制御の流れを示すフローチャートである。図５に示した処理は、搬入準備部１０が有する制御部１２０によって実行される。
なお、本例では、搬入準備部１０、撮影部２０、搬出準備部３０が、それぞれステータスを保持しており、互いのステータスを参照しながら搬送の可否を決定する。ステータスは、「搬入待ち」「作業中」「搬出待ち」の三つである。
【００５０】
まず、ステップＳ１１で、昇降機構１１２を用いてトラバーサ１１０を上部へ移動させ、その後、ステータスを「搬入待ち」に変更する。これにより、搬送機構１１１が、上流工程における搬送路と接続される。
次に、ステップＳ１２で、上流工程の準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、上流工程に位置する機器に対して、検査装置への搬入準備が完了したか否かを確認する。ここで肯定判定であった場合、ステップＳ１３へ遷移し、搬送機構１１１を駆動して、検査対象の基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００５１】
搬入口から検査対象の基板が搬入されると、ステップＳ１４で、ステータスを「作業中」に変更する。そして、ステップＳ１５で、トラバーサ１１０を下部に移動させ、ステータスを「搬出待ち」に変更する。これにより、搬送機構１１１が、搬送機構２０３と接続される。
【００５２】
次に、ステップＳ１６で、撮影室２００の準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、撮影部２０が有する制御部２０４に対して、受け入れ準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、撮影部２０のステータスが「搬入待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯定判定であった場合、ステップＳ１７へ遷移し、搬送機構１１１を駆動して、検査対象の基板を送り出す。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００５３】
検査対象基板の撮影室２００への搬出が完了すると、ステップＳ１８で、ステータスを「作業中」に変更する。その後、ステップＳ１１へ遷移し、トラバーサを初期位置（上部）に移動させる。
【００５４】
図６は、基板の検査における制御の流れを示すフローチャートである。図６に示した処理は、撮影部２０が有する制御部２０４によって実行される。
【００５５】
まず、ステップＳ２１で、ステータスを「搬入待ち」に変更する。
次に、ステップＳ２２で、搬入準備室１００から基板を搬入する準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、搬入準備部１０のステータスが「搬出待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯
定判定であった場合、ステップＳ２３へ遷移し、搬送機構２０３を駆動して、検査対象の基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００５６】
検査対象の基板が搬入されると、ステップＳ２４で、ステータスを「作業中」に変更する。そして、ステップＳ２４で検査を実行する。すなわち、Ｘ線の照射と撮影を行い、得られた画像を検査部２０５に送信し、検査を実行させる。検査が完了すると、ステップＳ２５で、ステータスを「搬出待ち」に変更する。
なお、本例では、検査の完了を待ってからステップＳ２５に遷移するようにしたが、撮影と検査を並列して行うようにしてもよい。すなわち、Ｘ線撮影が完了し、検査部２０５による検査が始まったら、ただちに基板を排出するようにしてもよい。
【００５７】
次に、ステップＳ２６で、搬出準備部３０の受け入れ準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、搬出準備部３０のステータスが「搬入待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯定判定であった場合、ステップＳ２７へ遷移し、搬送機構２０３を駆動して、検査済みの基板を搬出する。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００５８】
図７は、基板の搬出における制御の流れを示すフローチャートである。図７に示した処理は、搬出準備部３０が有する制御部３２０によって実行される。
【００５９】
まず、ステップＳ３１で、昇降機構３１２を用いてトラバーサ３１０を下部へ移動させ、その後、ステータスを「搬入待ち」に変更する。これにより、搬送機構３１１が、搬送機構２０３と接続される。
次に、ステップＳ２２で、撮影室２００から基板を搬入する準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、撮影部２０のステータスが「搬出待ち」である場合に肯定判定となり、「作業中」および「搬出待ち」である場合に否定判定となる。ここで肯定判定であった場合、ステップＳ３３へ遷移し、搬送機構３１１を駆動して、検査済みの基板を受け入れる。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００６０】
搬入口から検査済みの基板が搬入されると、ステップＳ３４で、ステータスを「作業中」に変更する。そして、ステップＳ３５で、トラバーサ３１０を上部に移動させ、ステータスを「搬出待ち」に変更する。
【００６１】
次に、ステップＳ３６で、下流工程の準備が完了したか否かを判定する。本ステップでは、下流工程に位置する機器に対して、検査装置からの搬入準備が完了したか否かを確認する。ここで肯定判定であった場合、ステップＳ３７へ遷移し、搬送機構３１１を駆動して、検査済みの基板を搬出する。否定判定であった場合、一定時間待機し、判定を繰り返す。
【００６２】
基板の搬出が完了すると、ステップＳ３８で、ステータスを「作業中」に変更する。その後、ステップＳ３１へ遷移し、トラバーサを初期位置（下部）に移動させる。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態に係る検査装置は、撮影室で発生したＸ線を、トラバーサに備えられた遮蔽部材によって遮蔽する。かかる構成によると、Ｘ線を遮蔽する部材を独立して開閉させる機構が不要になり、装置のコストを抑えることができる。また、撮影室内でＸ線が照射中であっても搬入出動作を行うことができ、検査の高速化が容易となる。加えて、搬入準備部と搬出準備部が独立して動作するため、検査が完了した基板が検査装置から完全に搬出される前に、次の基板を検査室に搬入することができる。すなわち、Ｘ線撮影の間隔を短縮することができ、全体的な検査時間の短縮を図ることができる。
【００６４】
（第二の実施形態）
第一の実施形態では、撮影室２００内に搬送機構２０３が敷き詰められており、搬送機構２０３に載置された基板が移動するものとした。これに対し、第二の実施形態は、搬送機構２０３そのものを移動させることで基板を移動させる実施形態である。図８は、第二の実施形態に係るＸ線検査装置１を模式的に示した断面図である。
【００６５】
図示したように、本実施形態では、搬送機構２０３は図中Ｘ軸方向に移動可能な構成となっている。
第二の実施形態では、ステップＳ２１の処理を開始する前に、基板の受け入れが可能な位置に搬送機構２０３を移動させる。また、ステップＳ２５の処理を開始する前に、基板の排出が可能な位置に搬送機構２０３を移動させる。また、ステップＳ２７の完了後、基板の受け入れが可能な位置に搬送機構２０３を移動させるまでの間、ステータスを一時的に「作業中」に変更する。本発明は、このような形態にも適用することができる。
【００６６】
（変形例）
なお、実施形態の説明は本発明を説明する上での例示であり、本発明は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更または組み合わせて実施することができる。
【００６７】
例えば、上記の実施形態では基板検査装置を例示したが、本発明は基板以外の様々なものを検査対象としたＸ線非破壊検査に適用可能である。また、Ｘ線を利用する方式であれば、本発明は、斜めＸ線ＣＴ以外の撮像方式にも適用することができる。本発明の構成は、高い遮蔽効果が得られることから、コーンビームを利用する撮像方式に好適であるが、ファンビームや指向性の高いビームを利用する撮像方式にも適用することができる。
【００６８】
また、実施形態の説明では、撮影室内の検査ラインは一本であるものとしたが、撮影室内の検査ラインを二列以上にしてもよい。例えば、Ｘ線撮影にかかる時間が、上流（下流）工程における処理時間よりも長い場合、検査ラインを複数設けてもよい。この場合、撮影室に搬入口と搬出口を複数個設けるようにしてもよい。例えば、搬入口（搬出口）がＺ軸方向に並んでいる場合、目的の搬入口（搬出口）に合わせてトラバーサが停止するよう制御してもよい。また、搬入口（搬出口）がＹ軸方向に並んでいる場合、基板をＹ軸方向にシフトさせる機構をトラバーサに追加してもよい。また、トラバーサ自体に搬送機構を並列して配置してもよい。検査ラインの数は、処理量や処理時間のバランスに応じて決定すればよい。
【００６９】
また、実施形態の説明では、検査対象物の搬送方向をＸ軸方向とし、トラバーサの移動方向をＺ軸方向としたが、これに限られない。例えば、トラバーサを図中奥行き方向（Ｙ軸方向）に移動可能としてもよい。このような形態は、上下方向（Ｚ軸方向）に厚く、左右方向（Ｙ軸方向）に薄い基板を検査する場合において好適である。この場合、複数の遮蔽板を、図中奥行き方向に平行して配置すればよい。トラバーサの移動方向や遮蔽板の配置位置は、設計に応じて変更することができる。
【００７０】
また、トラバーサが規定の範囲外に移動しないよう、移動範囲を制限する部材を追加してもよい。例えば、図９（Ａ）のように、トラバーサに位置不良が発生し、本来移動すべきではない範囲に到達すると、搬入口と搬出口が連通してしまい、Ｘ線が漏出する可能性がある。そこで、図９（Ｂ）のように緩衝部材を配置し、トラバーサの移動範囲を制限してもよい。これにより、トラバーサが本来移動すべき範囲外に移動しなくなり、安全性を高めることができる。
【００７１】
また、実施形態の説明では、トラバーサが有する遮蔽板として、搬入準備室（搬出準備室）の内壁と摺動する一枚の板を例示したが、遮蔽板は必ずしも一枚の板形状でなくても
よく、内壁と摺動しなくてもよい。例えば、図１０のように、遮蔽板と内壁との間に若干の隙間を有していてもよい。隙間の大きさは、許容可能なＸ線の漏出量に応じて設計すればよい。特に、遮蔽板を図１０のようなコの字形状に形成すると、図９に示した緩衝部材を兼ねることができるため好適である。
【符号の説明】
【００７２】
１０・・・搬入準備部
２０・・・撮影部
３０・・・搬出準備部
１００・・・搬入準備室
１１１・・・搬送機構
１１２・・・昇降機構
１２０・・・制御部
２００・・・撮影室
２０１・・・Ｘ線発生器
２０２・・・Ｘ線検出器
２０３・・・搬送機構
２０４・・・制御部
２０５・・・検査部
３００・・・搬出準備室
３１１・・・搬送機構
３１２・・・昇降機構
３２０・・・制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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