(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物との間に放電を発生させて前記被加工物を放電加工するワイヤ電極と、
前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の間隙に前記ワイヤ電極と同軸方向から加工液を供給する加工液ノズルと、
一対のプレート部材を備え、一対の前記プレート部材同士の間の空間に前記被加工物を配置して、一対の前記プレート部材同士の間の空間から前記加工液が逃げないように前記加工液を案内する加工液ガイド部と有し、
前記プレート部材の前記被加工物と対向する面は、前記被加工物の前記プレート部材と対向する面よりも大きいことを特徴とするワイヤ放電加工機。
【請求項２】
前記加工液ノズルと一対の前記プレート部材とは、前記ワイヤ電極の軸方向において間隔を空けて配置されており、
前記放電加工中、前記プレート部材の周縁部と前記加工液ノズルとの間隔は一定であることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項３】
前記加工液ノズルのノズル幅は、一対の前記プレート部材同士の間隔以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項４】
前記ワイヤ電極は、
互いに軸線方向に平行に離間して平行張架された部分が、前記被加工物の複数箇所を同時に前記放電加工する並列切断ワイヤ部をなしていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項５】
前記被加工物は、一対の前記プレート部材の一方に固定されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項６】
一対の前記プレート部材のうち、少なくとも前記被加工物が固定される一方は、導電性を有することを特徴とする請求項５に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項７】
一対の前記プレート部材の前記被加工物が固定される一方と前記被加工物とは、融点が３００℃以下の金属による溶接又は導電性接着剤による接着で固定されていることを特徴とする請求項６に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項８】
前記加工液ガイド部は、前記被加工物の切り落とし終端面を位置決めし、かつ固定する切り落とし端面固定ブロックを有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項９】
前記切り落とし端面固定ブロックは、一対の前記プレート部材から分離可能であることを特徴とする請求項８に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１０】
前記加工液ガイド部は、前記被加工物の傾き測定用の基準面を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤ電極と被加工物との間に形成される間隙に加工液中で電圧を印加し、放電を発生させることによって被加工物を加工するワイヤ放電加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極を被加工物に対して相対的に移動させ、間隙に放電を発生させることで、放電加工を行う。放電加工中の加工間隙には、放電による熱エネルギーと加工屑とが常に発生する。放電による熱エネルギー及び加工屑は、どちらも放電加工を不安定にする要因となる。そのため、加工屑の排出と極間冷却とを目的に、加工液供給装置から加工液ノズルを介して加工液を極間に供給し、加工不安定化要素を排除する必要がある。加工液を適切に極間に供給させるためには、加工液ノズルは、なるべく被加工物に近づけ、加工液が極間に適切に供給されるように配置する必要がある。【０００３】
特許文献１には、被加工物である柱状のインゴットを収容する収容治具が開示されている。特許文献１に開示される収容治具は、一対の支持体が張るワイヤに直交する方向に沿って延びる１対の側端面と、柱状のインゴットの軸方向と直交する面を構成するスリットとを有する。駆動部は、１対の側端面に沿って、１対の支持体及びインゴットの相対的な位置を変更し、ワイヤは、１対の支持体及びインゴットの相対的な位置の変更に伴ってスリット内を移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１６６２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に係る発明の収容治具は、インゴット側面部の全周を取り囲む構造であり、インゴット径及びスリット幅が固定である。したがって、特許文献１に開示される収容治具は、インゴットサイズの違い又は加工品のサイズの違いにより、複数の異なる収容冶具を準備する必要がある。【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被加工物の寸法及び形状によらず極間に加工液を安定して供給できるワイヤ放電加工機を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物との間に放電を発生させて被加工物を放電加工するワイヤ電極と、ワイヤ電極と被加工物との間の間隙にワイヤ電極と同軸方向から加工液を供給する加工液ノズルと、一対のプレート部材を備え、一対のプレート部材同士の間の空間に被加工物を配置して、一対のプレート部材同士の間の空間から加工液が逃げないように加工液を案内する加工液ガイド部とを有する。プレート部材の被加工物と対向する面は、被加工物のプレート部材と対向する面よりも大きい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るワイヤ放電加工機は、被加工物の寸法及び形状によらず極間に加工液を安定して供給できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図
【図２】実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の斜視図
【図３】実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の正面図
【図４】実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の側面図
【図５】実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工中の加工液の流速分布を示す図
【図６】本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図
【図７】実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の並列切断ワイヤ部を示す斜視図
【図８】実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部のベースプレートの斜視図
【図９】実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部と被加工物を切断する様子とを示す図
【図１０】実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の正面図
【図１１】実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の側面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態に係るワイヤ放電加工機を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図である。実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１００は、ワイヤ電極１を供給するワイヤ送り出しボビン１３と、ワイヤ電極１を巻き取るワイヤ巻き取りボビン１４と、ワイヤ電極１を適切に走行させるためのガイドローラ２ａ，２ｂとを有する。また、ワイヤ放電加工機１００は、加工液供給装置３から供給される加工液を被加工物４に向けて噴射する一対の加工液ノズル５ａ，５ｂと、ワイヤ電極１に接触する給電子６ａ，６ｂと、水平方向に移動可能な定盤９と、定盤９をＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動部７と、定盤９をＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部８と、Ｘ軸駆動部７及びＹ軸駆動部８を制御する軸駆動制御部１２と、一対のプレート部材である治具プレート１０ａ，１０ｂを備え、治具プレート１０ａ，１０ｂの間の空間から加工液が逃げないように加工液を案内する加工液ガイド部１０とを有する。なお、ワイヤ放電加工機１００は、鉛直方向をＺ軸方向とし、水平面内で互いに直交する２方向をＸ軸方向及びＹ軸方向とする直交座標系を持つ。
【００１２】
加工電源１１は、給電子６ａ，６ｂと定盤９とに電圧を印加している。したがって、給電子６ａ，６ｂを介してワイヤ電極１にも加工電源１１から電圧が印加される。
【００１３】
図２は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の斜視図である。図３は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の正面図である。図４は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の側面図である。加工液ガイド部１０は、円柱状の被加工物４を切断することを想定した治具である。加工液ガイド部１０の一対の治具プレート１０ａ，１０ｂは、切断対象である円柱状の被加工物４の円柱断面と平行に両脇に配置される。加工液ノズル５ａ，５ｂと治具プレート１０ａ，１０ｂとは、ワイヤ電極１の軸方向において間隔Ｄを空けて配置される。実施の形態１においては、治具プレート１０ａ，１０ｂは、ワイヤ電極１の軸方向側の周縁部が直線状である。したがって、ワイヤ放電加工機１００による加工中には、ワイヤ電極１の軸方向における加工液ノズル５ａ，５ｂと治具プレート１０ａ，１０ｂとの間隔Ｄは、一定に保たれる。加工性能を向上させるためには、加工液ノズル５ａ，５ｂと加工液ガイド部１０とが接触しない範囲で、間隔Ｄがなるべく小さくなるようにして加工を行う。なお、ここでは治具プレート１０ａ，１０ｂのワイヤ電極１の軸方向側の周縁部が直線状であるとしたが、必ずしも直線状でなくてもよい。
【００１４】
治具プレート１０ａ，１０ｂは、被加工物４の治具プレート１０ａ，１０ｂと対向する面であって切断面と同じ形状の円柱端面よりも大きく、被加工物４の円柱端面全体を覆い、周縁部は被加工物４の円柱端面から張り出している。
【００１５】
加工液ガイド部１０は、一対の治具プレート１０ａ，１０ｂの少なくとも一方が導電性を有している。被加工物４は、一対の治具プレート１０ａ，１０ｂのうち導電性を有する方に固定されている。被加工物４を治具プレート１０ａ，１０ｂに固定する方法には、融点が３００℃以下の低融点金属を用いた溶接の他、導電性接着剤を用いる接着を適用できる。低融点金属を用いて治具プレート１０ａ，１０ｂの一方と被加工物４とを溶接する場合には、治具プレート１０ａ，１０ｂと被加工物４とを加熱して溶接作業を行う必要があるが、加工後の被加工物４及び治具プレート１０ａ，１０ｂを加熱するだけで、治具プレート１０ａ，１０ｂから被加工物４を容易に取り外すことができる。また、導電性接着剤を用いて接着する場合には、加工後の被加工物４を治具プレート１０ａ，１０ｂから取り外す際に、適切な方法で導電性接着剤を溶解させる必要があるが、治具プレート１０ａ，１０ｂに容易に被加工物４を固定することができる。なお、被加工物４は、必ずしも治具プレート１０ａ，１０ｂによって固定する必要はなく、治具プレート１０ａ，１０ｂの間の空間に配置した被加工物４を保持する部材を別途設けてもよい。
【００１６】
一対の治具プレート１０ａ，１０ｂのうち導電性を有する方に被加工物４が固定された加工液ガイド部１０は、定盤９に固定されている。また、治具プレート１０ａ，１０ｂのうち導電性を有する方は、定盤９と電気的に接続されている。したがって、定盤９及び治具プレート１０ａ，１０ｂを介して被加工物４にも加工電源１１から電圧が印加される。
【００１７】
図５は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工中の加工液の流速分布を示す図である。図５には、加工液ガイド部１０が無い場合の加工液の流速分布も併せて示している。流速値は、ワイヤ電極１が配置されている加工間隙部での値を示している。加工液ガイド部１０が無い場合、加工液ノズル５ａ，５ｂから噴出された加工液は、被加工物４に衝突する前から流速が遅く、被加工物４に衝突後に流速が若干上昇し、その後、被加工物４の中央部に向けて、流速は急激に低下していく。一方、加工液ガイド部１０がある場合、加工液ノズル５ａ，５ｂから噴出された加工液は、被加工物４に衝突する前から流速が速く被加工物４に衝突後に流速が大幅に上昇する。これは、被加工物４に供給される加工液が、加工液ガイド部１０に阻害されて逃げ場を失うためである。その後、被加工物４の中央部に向けて流速は徐々に低下していくものの、被加工物４に衝突した直後の流速が大きいため、被加工物４の中央部での流速は、加工液ガイド部１０がない場合よりも増大する。したがって、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１００は、被加工物４の形状によらず極間に加工液を安定して供給できる。
【００１８】
ワイヤ電極１が配置されている加工間隙部での加工液の流速を増大させるためには、治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔は狭いほうが好ましい。なお、図４に示す加工液ノズル５ａ，５ｂのノズル幅Ｗ１は、治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔Ｗ２に合わせて変更する。治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔Ｗ２を大きくしたにも関わらず、加工液ノズル５ａ，５ｂのノズル幅Ｗ１の変化がない場合、治具プレート１０ａ，１０ｂと加工液ノズル５ａ，５ｂとの隙間が増大し、加工液ノズル５ａ，５ｂから供給される加工液は、治具プレート１０ａ，１０ｂと加工液ノズル５ａ，５ｂとの隙間を介して、治具プレート１０ａ，１０ｂの間の空間の外部へ流出する。したがって、治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔Ｗ２に合わせて、加工液ノズル５ａ，５ｂのノズル幅Ｗ１を調整し、治具プレート１０ａ，１０ｂと被加工物４とで囲まれる溝部４１の開口部の幅方向全体を、加工液ノズル５ａ，５ｂが覆うようにする。すなわち、加工液ノズル５ａ，５ｂのノズル幅Ｗ１は、治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔Ｗ２以上とする。
【００１９】
実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１００は、被加工物４全体を治具プレート１０ａ，１０ｂで覆う必要がないため、被加工物４の寸法に合わせて治具プレート１０ａ，１０ｂを個別に作る必要がない。また、治具プレート１０ａ，１０ｂの間の空間に被加工物４を配置するため、被加工物４の幅寸法にばらつきがあっても、治具プレート１０ａ，１０ｂの間隔Ｗ２を調整することで被加工物４を安定して保持することができる。すなわち、治具プレート１０ａ，１０ｂは、寸法の異なる被加工物４を安定して保持できる。また、放電加工を行っても治具プレート１０ａ，１０ｂは損傷しないため、治具プレート１０ａ，１０ｂを繰り返し使用することができる。
【００２０】
実施の形態２．
図６は、本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図である。図７は、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の並列切断ワイヤ部を示す斜視図である。実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１００と同様の部分には同じ符号を付して説明は省略する。４本のガイドローラ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、互いに軸線方向に平行に離間して配置されている。ワイヤ送り出しボビン１３から繰り出されたワイヤ電極１は、ガイドローラ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ間を、複数回、互いに間隔を隔てて巻回された後、ワイヤ巻き取りボビン１４に巻き取られる。ワイヤ電極１のうち、ガイドローラ２ｂとガイドローラ２ｃとの間に平行張架された部分は、並列切断ワイヤ部１５を形成している。並列切断ワイヤ部１５は、被加工物４の複数箇所を同時に放電加工する。並列切断ワイヤ部１５は、位置決めガイドローラ２ｅ，２ｆによって、各ワイヤ電極１を適切な位置に拘束している。加工槽２６の内部には、Ｚ軸方向の位置調整が可能なＺ軸ステージ２７が設置されている。Ｚ軸ステージ２７には、加工液ガイド部１０が設置されている。したがって、Ｚ軸ステージ２７を駆動することにより、加工液ガイド部１０に保持された被加工物４は、Ｚ軸方向に移動する。
【００２１】
ワイヤ電極１には、給電子６ａ，６ｂを介して電圧が印加されている。加工時に被加工物４から排出される加工屑を適切に除去し、また、極間部の冷却のために、加工液ノズル５ａ，５ｂを介して極間に加工液２５が供給される。加工中にワイヤ電極１が振動して加工精度が悪化しないように、位置決めガイドローラ２ｅ，２ｆにてワイヤ位置が拘束されている。
【００２２】
並列切断ワイヤ部１５は加工槽２６内の加工液２５中に配置されており、放電加工は加工液２５中で行われる。
【００２３】
加工液ノズル５ａ，５ｂは、加工液ガイド部１０の左右に設置されており、並列切断ワイヤ部１５によって放電加工が行われる加工部に加工液２５を供給する。加工電圧は給電子６ａ，６ｂを介してワイヤ電極１に印加され、微小距離だけ離間した被加工物４との間に放電を発生させる。加工液ガイド部１０に保持された被加工物４は、図示しない位置制御装置により常に微小間隙を隔てて位置が制御されているので、放電により加工溝が形成されるにしたがって、被加工物４は並列切断ワイヤ部１５の方向に徐々に送り込まれて加工溝が深くなり、最終的には被加工物４は薄板状に切断加工される。
【００２４】
ここで、被加工物４は、複数の薄板へのスライス加工を要するものである。被加工物４には、スパッタリングターゲットとなるタングステン又はモリブデンなどの金属、各種構造部材として使われる多結晶シリコンカーバイトなどのセラミックス、半導体デバイスウエハとなる単結晶シリコン、単結晶シリコンカーバイト、単結晶窒化ガリウム、単結晶酸化ガリウムなどの半導体素材、太陽電池ウエハとなる単結晶及び多結晶シリコンなどがある。上記のうち、金属は比抵抗が低く、放電加工の適用に支障はない。半導体素材及び太陽電池素材として放電加工が可能であるのは、比抵抗が概ね１００Ωｃｍ以下の素材、好ましくは非抵抗が概ね１０Ωｃｍ以下の素材である。
【００２５】
なお、図７には、１本のワイヤ電極１を４本のガイドローラ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに巻回した例について示しているが、この場合に限らず、１本のワイヤ電極１から並列切断ワイヤ部１５を形成するものであれば、その具体的な構成については特に限定しないものとする。
【００２６】
図８は、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部のベースプレートの斜視図である。図９は、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部と被加工物を切断する様子とを示す図である。図１０は、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の正面図である。図１１は、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機の加工液ガイド部の側面図である。加工液ガイド部１０は、一対のプレート部材であるベースプレート１０ｃ及び対向プレート１０ｄを有する。ベースプレート１０ｃは、下部のベース部１０１と、ベース部１０１よりも薄いプレート部１０２とにより構成されている。対向プレート１０ｄは、ボルト１９でベース部１０１にねじ止めされる。
【００２７】
ベース部１０１とプレート部１０２との境は段差１０３になっている。段差１０３には、切り落とし端面固定ブロック１６が設置されている。ベース部１０１の段差１０３の部分は、左右方向に間隔を空けて上方に突出した突起部１０４，１０５を備えている。突起部１０５にはねじ穴が設けられており、ボルト１８がねじ込まれている。ボルト１８のねじ先にはあて板１７が配置されている。あて板１７と突起部１０４との間には、切り落とし端面固定ブロック１６が配置されている。ボルト１８を締めることにより、あて板１７が切り落とし端面固定ブロック１６に押し付けられ、切り落とし端面固定ブロック１６は、突起部１０４とあて板１７とに挟まれて固定される。
【００２８】
切り落とし端面固定ブロック１６は、被加工物４の切り落とし終端面を垂直方向に位置決めし、かつ固定する。切り落とし端面固定ブロック１６の上面は、突起部１０４，１０５のどちらよりも上方にある。したがって、並列切断ワイヤ部１５が被加工物４を完全に切り落としても、並列切断ワイヤ部１５は、切り落とし端面固定ブロック１６を切り込むだけで、ベースプレート１０ｃには傷を付けない。切り落とし端面固定ブロック１６は、ベースプレート１０ｃから分離可能であり、被加工物４を加工するごとに交換可能である。
【００２９】
被加工物４の切り落とし終端面を切り落とし端面固定ブロック１６で固定することにより、被加工物４を切り落とす瞬間まで被加工物４に通電できるため、安定して加工を行うことができる。
【００３０】
被加工物４とベースプレート１０ｃとは、導電性接着剤による接着、又は融点が３００℃以下の低融点金属を用いた溶接で固定される。導電性接着剤及び低融点金属はいずれも、導電性材料であるため、被加工物４と加工液ガイド部１０との間に電気的導通を持たせることができる。放電加工を行うためには、加工電源１１からワイヤ電極１と被加工物４との間に電圧を印加する必要がある。被加工物４と加工液ガイド部１０との間に電気的導通があるため、図９に示すように、ベースプレート１０ｃに給電線接続部２８を設け加工電源１１から電圧を印加することにより、加工液ガイド部１０経由で被加工物４に電圧を印加できる。
【００３１】
なお、切り落とし端面固定ブロック１６は導電性を有する。このため、給電線接続部２８を切り落とし端面固定ブロック１６に設け、加工電源１１から切り落とし端面固定ブロック１６に電圧を印加するようにしてもよい。給電線接続部２８をベースプレート１０ｃに設けた場合でも、並列切断ワイヤ部１５が被加工物４を切り落とす直前まで、ベースプレート１０ｃには切り落とし端面固定ブロック１６を経由して加工電源１１から電圧が印加されることになる。したがって、切り落とし端面固定ブロック１６に給電線接続部２８を設けても、ベースプレート１０ｃに給電線接続部２８を設けた場合と同等の品質で放電加工を行うことができる。
【００３２】
ベース部１０１には、被加工物４の傾き測定用の基準面２０が設けられている。被加工物４の切断面の角度を正確に調整したい場合、角度調整機構等を用いて被加工物４の位置及び姿勢を調整する必要がある。被加工物４の表面を基準にして、被加工物４の位置及び姿勢を調整する場合、被加工物４の表面が粗いと正確に調整することが困難となる。しかし、被加工物４の位置及び姿勢の調整のためだけに、被加工物４の表面を研磨することは、コスト面から好ましくない。実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１００は、ベースプレート１０ｃ上に、被加工物４の傾き測定用の基準面２０が設けられている。あらかじめ、被加工物４と基準面２０との相対位置を測定し、把握しておけば、基準面２０を利用して、被加工物４の位置及び姿勢を調整可能である。基準面２０は、被加工物４を保持した状態においても露出しているため、被加工物４を加工液ガイド部１０に保持したまま、被加工物４の位置及び姿勢の調整を行うことができる。
【００３３】
実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１００は、ワイヤ電極１を平行張架して並列切断ワイヤ部１５を形成するため、加工液ノズル５ａ，５ｂの開口部が大きくなり、加工液ノズル５ａ，５ｂから供給する加工液２５の初速度は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１００よりも低下する。実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１００は、ベースプレート１０ｃと対向プレート１０ｄとの間の空間に被加工物４を保持している。また、ベースプレート１０ｃ及び対向プレート１０ｄは、被加工物４のベースプレート１０ｃ及び対向プレート１０ｄと対向する面であり、切断面と同じ形状の円柱端面よりも大きく、被加工物４の円柱端面全体を覆い、周縁部は被加工物４の円柱端面から張り出している。したがって、被加工物４に衝突した加工液２５は、加工液ガイド部１０に阻害されて逃げ場を失い、流速が速い状態であるため、加工液ノズル５ａ，５ｂから供給される加工液２５の速度が被加工物４の中央部で低下したとしても、加工液ガイド部１０が無い場合と比較して、良好に加工液２５を加工間隙に供給できる。したがって、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１００は、並列切断ワイヤ部１５を備えたマルチワイヤ式でありながら、加工速度の向上、加工状態の安定化、ワイヤ断線防止、加工溝幅の低減、及び加工面粗さの改善が可能となる。
【００３４】
実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１００は、実施の形態１と同様に、加工間隙での加工液２５の流速の低下を抑制可能であり、加工の安定化に寄与できる。
【００３５】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１  ワイヤ電極、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ  ガイドローラ、２ｅ，２ｆ  位置決めガイドローラ、３  加工液供給装置、４  被加工物、５ａ，５ｂ  加工液ノズル、６ａ，６ｂ  給電子、７  Ｘ軸駆動部、８  Ｙ軸駆動部、９  定盤、１０  加工液ガイド部、１０ａ，１０ｂ  治具プレート、１０ｃ  ベースプレート、１０ｄ  対向プレート、１１  加工電源、１２  軸駆動制御部、１３  ワイヤ送り出しボビン、１４  ワイヤ巻き取りボビン、１５  並列切断ワイヤ部、１６  切り落とし端面固定ブロック、１７  あて板、１８，１９  ボルト、２０  基準面、２５  加工液、２６  加工槽、２７  Ｚ軸ステージ、２８  給電線接続部、４１  溝部、１００  ワイヤ放電加工機、１０１  ベース部、１０２  プレート部、１０３  段差、１０４，１０５  突起部。
【要約】
ワイヤ放電加工機（１００）は、被加工物（４）との間に放電を発生させて被加工物（４）を放電加工するワイヤ電極（１）と、ワイヤ電極（１）と被加工物（４）との間の間隙にワイヤ電極（１）と同軸方向から加工液を供給する加工液ノズル（５ａ，５ｂ）と、治具プレート（１０ａ，１０ｂ）を備え、治具プレート（１０ａ，１０ｂ）の間の空間に被加工物（４）を配置して、治具プレート（１０ａ，１０ｂ）の間の空間から加工液が逃げないように加工液を案内する加工液ガイド部（１０）と、を有し、治具プレート（１０ａ，１０ｂ）の被加工物（４）と対向する面は、被加工物（４）の治具プレート（１０ａ，１０ｂ）と対向する面よりも大きい。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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