(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部が開口した筐体と；
前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；
前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；
を具備し、
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有し、
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれは、前記フィン同士の間に位置し、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にあり、
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれの内部には、前記フィンが露出していない紫外線照射モジュール。
【請求項２】
一方の端部が開口した筐体と；
前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；
前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；
を具備し、
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有し、
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれは、前記フィン同士の間に位置し、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にあり、
前記孔の幅寸法をＷ、前記フィンと前記フィンとの間の距離をＬとした場合に、以下の式を満足する紫外線照射モジュール。
Ｗ＜Ｌ
【請求項３】
請求項１または２に記載の紫外線照射モジュールを複数具備し、
前記複数の紫外線照射モジュールは、前記複数の孔が並ぶ方向、および、前記複数の孔が並ぶ方向と直交する方向に並べて設けられている紫外線照射装置。
【請求項４】
前記複数の孔が並ぶ方向における前記紫外線照射モジュール同士の間の距離をＸ、前記複数の孔が並ぶ方向と直交する方向における前記紫外線照射モジュール同士の間の距離をＹとした場合に、以下の式を満足する請求項３記載の紫外線照射装置。
Ｙ＞Ｘ
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに塗布された樹脂やインクなどに紫外線を照射することで、硬化、乾燥、改質などが行われている。  
紫外線を照射する光源としては、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが用いられてきた。  
近年においては、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどに代えて、紫外線を照射する発光ダイオードが用いられるようになってきている。  
発光ダイオードを用いれば、高圧水銀ランプなどと比べて長寿命化、低電力化、小型化などを図ることができる。
【０００３】
ところが、発光ダイオードは、温度上昇に伴い出力が低下する。また、発光ダイオードは、所定の温度を超えると寿命が短くなる。  
そのため、発光ダイオードを用いる場合には、冷却手段が必要となる。  
ここで、発光ダイオードの冷却に水冷方式の冷却手段を用いると、付属設備が必要となったり、液漏れ対策が必要となったり、紫外線照射モジュールが大型化したりするという問題がある。
【０００４】
これに対して、発光ダイオードの冷却に空冷方式の冷却手段を用いると、これらの問題を解決することができる。  
しかしながら、空冷方式は、水冷方式に比べて冷却効率が低いという問題がある。また、複数の紫外線照射モジュールを備えた紫外線照射装置とする場合には、隣接する紫外線照射モジュールの排気や吸気により冷却効率が低下するおそれがある。  
そのため、空冷方式であっても冷却効率を向上させることができる技術の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録３１９４２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、冷却効率を向上させることができる紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る紫外線照射モジュールは、一方の端部が開口した筐体と；前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；を具備している。
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有している。
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれは、前記フィン同士の間に位置し、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にある。
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれの内部には、前記フィンが露出していない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、冷却効率を向上させることができる紫外線照射モジュール、および紫外線照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１を例示するための模式斜視図である。
【図２】孔２１を例示するために模式図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、紫外線照射装置１００を例示するための模式図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置２００を例示するための模式図である。
【図５】他の実施形態にかかる紫外線照射装置３００を例示するための模式斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施形態に係る発明は、一方の端部が開口した筐体と；前記筐体の内部であって前記開口に近接させて設けられ、基板と、前記基板の前記開口側の面に設けられ紫外線を照射する発光素子と、を有する発光部と；前記筐体の内部であって前記基板の前記開口側とは反対側に設けられ、基部と、前記基部の前記開口側とは反対側の端部に並べて設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；を具備した紫外線照射モジュールである。
前記筐体は、前記複数のフィンが並ぶ方向と直交する方向における面に、前記複数のフィンが並ぶ方向に並べて設けられた複数の孔を有している。
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれは、前記フィン同士の間に位置し、前記孔の前記開口側の端部の位置は、前記基部の前記開口側とは反対側の端部の位置の近傍にある。
前記複数の孔が設けられた面に対して垂直な方向から前記面を見た場合に、前記複数の孔のそれぞれの内部には、前記フィンが露出していない。
この紫外線照射モジュールによれば、冷却効率を向上させることができる。
【００１２】
また、実施形態に係る発明は、上記の紫外線照射モジュールを複数具備した紫外線照射装置である。  
前記複数の紫外線照射モジュールは、前記複数の孔が並ぶ方向、および、前記複数の孔が並ぶ方向と直交する方向に並べて設けられている。  
この紫外線照射装置によれば、隣接する紫外線照射モジュール同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。  
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。  
また、この紫外線照射装置によれば、紫外線照射モジュール同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１を例示するための模式斜視図である。  
図１に示すように、紫外線照射モジュール１には、筐体２、発光部３、放熱部４、窓部５、通風装置６、およびコネクタ７が設けられている。
【００１４】
筐体２の外観は、直方体または立方体とすることができる。この様な形態を有する筐体２とすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。  
筐体２の内部には、空間が設けられている。  
筐体２の一方の端部には、開口２ｂが設けられている。筐体２の他方の端部には、天井部２ｃが設けられている。天井部２ｃは、開口２ｂと対峙している。  
また、筐体２の側面２ａには、複数の孔２１が設けられている。  
なお、孔２１に関する詳細は、後述する。
【００１５】
筐体２の材料には特に限定はないが、熱伝導率の高い材料から形成することが好ましい。
例えば、筐体２の材料は、金属などとすることができる。  
熱伝導率の高い材料から筐体２を形成すれば、発光部３において発生した熱を紫外線照射モジュール１の外部に効率よく放出することができる。
【００１６】
発光部３は、筐体２の内部に設けられている。発光部３は、筐体２の開口２ｂに近接させて設けられている。  
発光部３は、基板３１および発光素子３２を有する。  
基板３１は、筐体２の内部に設けられている。基板３１は、例えば、筐体２の内部にねじ止めすることができる。  
基板３１は、板状を呈している。
【００１７】
基板３１の材料は、放熱に適したものがよい。例えば、基板３１は、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどの無機材料（セラミックス）、紙フェノールやガラスエポキシなどの有機材料、銅などの金属などから形成することができる。また、基板３１は、金属板の表面を絶縁材料で被覆したものから形成することもできる。なお、金属板の表面を絶縁材料で被覆する場合には、絶縁材料は、有機材料からなるものであってもよいし、無機材料からなるものであってもよい。
【００１８】
発光素子３２の発熱量が多い場合には、放熱の観点から熱伝導率の高い材料を用いて基板３１を形成することが好ましい。熱伝導率の高い材料としては、例えば、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂、金属板の表面を絶縁材料で被覆したものなどを例示することができる。  
なお、高熱伝導性樹脂は、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）やナイロン等の樹脂に、酸化アルミニウム等からなる繊維や粒子を混合させたものとすることができる。
【００１９】
また、基板３１は、単層であってもよいし、多層であってもよい。  
また、基板３１の表面には、図示しない配線パターンが設けられている。配線パターンは、例えば、銀合金や銅合金などの金属から形成することができる。
【００２０】
発光素子３２は、基板３１の、筐体２の開口２ｂ側（窓部５側）の表面に複数設けられている。  
発光素子３２の光の出射面は、筐体２の開口２ｂに向けられており、筐体２の開口２ｂから外部に向けて紫外線を照射できるようになっている。  
発光素子３２の数や配設形態は、例示をしたものに限定されるわけではなく、紫外線照射モジュール１の大きさ、形状、用途などに応じて適宜変更することができる。
【００２１】
発光素子３２は、紫外線を照射できるものであれば特に限定はない。  
発光素子３２は、例えば、発光ダイオード、レーザダイオードなどとすることができる。
発光素子３２は、配線パターンに電気的に接続されている。  
発光素子３２は、例えば、ＣＯＢ（Chip On Board）法を用いて配線パターンと電気的に接続することができる。
【００２２】
この場合、発光素子３２の下面に設けられた図示しない電極は、銀ペーストなどの導電性の熱硬化材を介して配線パターンと電気的に接続することができる。発光素子３２の上面に設けられた図示しない電極は、配線を介して配線パターンと電気的に接続することができる。  
なお、発光素子３２および配線を覆う封止部を設けることができる。封止部は、例えば、紫外線を透過する樹脂から形成することができる。封止部は、例えば、ディスペンサなどを用いて形成することができる。
【００２３】
また、発光素子３２は、例えば、表面実装型の発光素子とすることができる。表面実装型の発光素子３２の場合には、パッケージの外部に露出したリードを介して配線パターンと電気的に接続することができる。  
また、発光素子３２のパッケージ形式は、例えば、ＣＳＰ(Chip Size Package)とすることができる。この場合、発光素子３２は、配線パターン上にフリップチップ実装することができる。
【００２４】
放熱部４は、筐体２の内部に設けられている。放熱部４は、基板３１の開口２ｂ側とは反対側に設けられている。  
放熱部４は、基部４１およびフィン４２を有する。  
基部４１は、板状を呈している。基部４１は、基板３１の、発光素子３２側とは反対側の面に接触している。
【００２５】
なお、基部４１と基板３１との間には、シリコーングリスからなる層８が設けられていてもよい（図２を参照）。シリコーングリスからなる層８が設けられていれば、基部４１と基板３１との密着性を高めることができるので、発光部３と放熱部４との間の熱伝導を高めることができる。そのため、放熱部４による冷却効果を向上させることができる。  
基部４１の平面形状は、基板３１の平面形状と同じとすることができる。平面視における基部４１の大きさは、基板３１の大きさと同じか若干大きいものとすることができる。
【００２６】
フィン４２は、基部４１の、開口２ｂ側とは反対側の端部４１ａに並べて設けられている。  
フィン４２は、筐体２の内部を天井部２ｃに向けて延びている。  
フィン４２は、基部４１の辺に沿って複数設けられている。基部４１の平面形状が長方形の場合には、複数のフィン４２は、基部４１の長辺に沿って並べて設けることができる。
この場合、フィン４２とフィン４２との間が狭すぎると通風が阻害されて冷却効果が低減するおそれがある。  
フィン４２とフィン４２との間が広すぎると、気体の流速が遅くなり冷却効果が低減するおそれがある。なお、「気体」は、一般的には空気である。  
本発明者の得た知見によれば、フィン４２とフィン４２との間を３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下とすれば冷却効果を向上させることができる。
【００２７】
複数のフィン４２は、等間隔に設けることもできるし、場所によって間隔が異なるように設けることもできる。  
例えば、発光素子３２の配設形態などによって温度が高くなる領域が生ずる場合には、当該領域に設けられるフィン４２の間隔を狭めることもできる。
【００２８】
必要な剛性が保たれるのであれば、フィン４２の厚みには特に限定はない。  
例えば、フィン４２の材料がアルミニウムの場合には、フィン４２の厚みは１ｍｍ程度とすることができる。
【００２９】
フィン４２の高さ寸法は、発光素子３２の発熱量、紫外線照射モジュール１の大きさや用途などに応じて適宜変更することができる。  
フィン４２の高さ寸法は、例えば、３０ｍｍ程度とすることができる。
【００３０】
基部４１およびフィン４２は、一体に形成することもできるし、別々に形成したものを接合することもできる。  
基部４１およびフィン４２の材料は、熱伝導率が高ければ特に限定はない。  
基部４１およびフィン４２の材料は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金など金属、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂などとすることができる。  
なお、基部４１およびフィン４２が別々に形成される場合には、基部４１とフィン４２とを同じ材料から形成することもできるし、異なる材料から形成することもできる。
【００３１】
窓部５は、筐体２の開口２ｂを塞いでいる。窓部５は、例えば、筐体２の開口２ｂにねじ止めすることができる。  
窓部５は、板状を呈している。  
窓部５の材料は、発光素子３２から照射された紫外線が透過できるものであれば特に限定はない。  
窓部５の材料は、例えば、紫外線透過ガラス（ultraviolet transmitting glass）、アクリル樹脂などとすることができる。
なお、窓部５の固定方法は上記に限定されない。例えば、窓部５は、図示しないスペーサを基部４１に設けて、スペーサと筐体２とで窓部５を挟みこむことで固定してもよい。
【００３２】
通風装置６は、筐体２の天井部２ｃに設けられている。通風装置６は、天井部２ｃにねじ止めすることができる。天井部２ｃの通風装置６が取り付けられる位置には、孔が設けられ、孔を介した通風ができるようになっている。
【００３３】
通風装置６の形式には特に限定はないが、軸流ファンとすれば紫外線照射モジュール１の小型化を図ることができる。  
軸流ファンは、軸方向から気体を吸い込み、軸方向に気体を排出する。  
【００３４】
通風装置６の数には特に限定はなく、通風装置６の能力、紫外線照射モジュール１の大きさや用途などに応じて適宜変更することができる。  
すなわち、通風装置６は、１つ以上設けられていれば良い。  
【００３５】
通風装置６を複数設ける場合には、通風装置６は、等間隔に設けることもできるし、場所によって間隔が異なるように設けることもできる。  
例えば、発光素子３２の配設形態などによって温度が高くなる領域が生ずる場合には、当該領域に設けられる通風装置６の間隔を狭めることもできる。
【００３６】
また、通風装置６にはフィルタ６ａを設けることができる。  
この場合、フィルタ６ａは、通風装置６の吸気口および排気口の少なくともいずれかに設けることができる。  
フィルタ６ａを設ければ、汚染された環境においても使用可能な紫外線照射モジュール１とすることができる。  
通風装置６が筐体２の内部を排気するので、フィルタ６ａにより筐体２の内部にあるゴミが外部に拡散するのを抑制することができる。  
そのため、クリンルームなどの清浄な環境においても使用可能な紫外線照射モジュール１とすることができる。
【００３７】
また、通風装置６を天井部２ｃに設けるようにすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。
【００３８】
また、通風装置６を天井部２ｃに直接設ける場合を例示したが、ダクトやホースなどを介して通風装置６と筐体２を接続することもできる。  
この場合、複数の紫外線照射モジュール１に対して共通の通風装置６を設けることもできる。
【００３９】
コネクタ７は、筐体２の天井部２ｃに設けられている。  
コネクタ７には、図示しない配線を介して、発光素子３２および通風装置６が電気的に接続されている。図示しない配線は、筐体２の内部に設けられている。  
また、コネクタ７には、紫外線照射モジュール１の外部に設けられた図示しない電源や制御装置などが電気的に接続される。
【００４０】
なお、コネクタ７が天井部２ｃに設けられる場合を例示したが、コネクタ７の取り付け位置は適宜変更することができる。  
例えば、コネクタ７は、筐体２の側面２ａなどに設けてもよい。  
ただし、コネクタ７を天井部２ｃに設けるようにすれば、複数の紫外線照射モジュール１を近接させて設けることができる。
【００４１】
次に、筐体２に設けられた孔２１についてさらに説明する。  
図２は、孔２１を例示するために模式図である。  
なお、図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。  
図２に示すように、複数の孔２１は、筐体２の、複数のフィン４２が並ぶ方向と直交する方向における側面２ａに設けられている。  
複数の孔２１は、複数のフィン４２が並ぶ方向に並べて設けられている。  
なお、孔２１は、筐体２の両側の側面２ａに設けられていてもよいし、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられていてもよい。  
孔２１は、筐体２の天井部２ｃに向けて延びている。  
孔２１の形状には、特に限定はない。孔２１の形状は、例えば、長方形とすることができる。
【００４２】
筐体２の外部にある気体は、孔２１を介して筐体２の内部に供給される。  
すなわち、孔２１は通気孔となる。
【００４３】
この場合、孔２１は、筐体２の、複数のフィン４２が並ぶ方向と直交する方向における側面２ａに設けられているので、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流れが円滑になる。そのため、冷却性を向上させることができる。
【００４４】
ここで、孔２１を大きくすると、孔２１を通過する気体の流速が遅くなる。孔２１を通過する気体の流速が遅くなると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなり冷却効果が低減するおそれがある。  
例えば、複数のフィン４２が並ぶ方向に大きな孔を設けると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなり、冷却効果が低減する。  
そこで、本実施の形態に係る紫外線照射モジュール１においては、複数の孔２１を設けることで、通気孔の面積の確保と、所定の流速の確保を図るようにしている。
【００４５】
ここで、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突すると、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流れが乱れ、ひいてはフィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなる。フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の流速が遅くなると、冷却効果が低減する。  
そこで、孔２１が設けられた側面２ａに対して垂直な方向から側面２ａを見た場合に、孔２１は、フィン４２同士の間に位置している。  
この様にすれば、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突するのを抑制することができる。  
そのため、冷却効率を向上させることができる。
【００４６】
またさらに、孔２１の幅寸法をＷ、フィン４２とフィン４２との間の距離をＬとした場合に、「幅寸法Ｗ＜距離Ｌ」となるようにすることが好ましい。  
この様にすれば、孔２１を通過した気体がフィン４２の端面に衝突するのをさらに抑制することができる。
【００４７】
また、放熱部４における放熱は、主に、フィン４２において行われる。  
放熱量は、フィン４２の温度と、フィン４２とフィン４２との間を流れる気体の温度との差が大きくなるほど大きくなる。  
ところが、フィン４２には温度分布がある。  
すなわち、フィン４２の温度は、発熱体である発光部３に近い基部４１側が高くなり、先端に向かうに従い漸減する。  
そのため、孔２１は、基部４１に近い位置に設けることが好ましい。
【００４８】
この場合、孔２１が設けられた側面２ａに対して垂直な方向から側面２ａを見た場合に、孔２１の開口２ｂ側の端部２１ａの位置は、基部４１の開口２ｂ側とは反対側の端部４１ａの位置の近傍にあればよい。  
例えば、孔２１の端部２１ａの位置は、基部４１の端部４１ａの位置を挟んで±３ｍｍの範囲にあればよい。
【００４９】
一方、孔２１の端部２１ｂの位置には特に限定はない。  
ただし、端部２１ａと端部２１ｂとの間の距離が長くなると、孔２１が大きくなる。孔２１が大きくなりすぎると、孔２１を通過する気体の流速が遅くなるおそれがある。  
また、フィン４２の先端側は温度が低いので、孔２１を設ける意味が薄い。  
例えば、孔２１の端部２１ｂの位置は、フィン４２の高さ方向の中心位置よりも端部２１ａ側にあるようにすることができる。
【００５０】
ここで、本発明者の得た知見によれば、孔２１を通過する気体の流速が３ｍ／秒以上になれば、発光素子３２における温度上昇を効果的に抑制することができる。  
この場合、孔２１を通過する気体の流速は、孔２１の寸法、孔２１の数、通風装置６の能力、通風装置６の数などの影響を受ける。  
そのため、孔２１の寸法および孔２１の数は、孔２１を通過する気体の流速が３ｍ／秒以上となるように実験やシミュレーションを行い求めるようにすることが好ましい。
【００５１】
次に、本実施の形態に係る紫外線照射装置１００について例示をする。  
図３（ａ）、（ｂ）は、紫外線照射装置１００を例示するための模式図である。  
なお、図３（ａ）は正面図、図３（ｂ）は側面図である。  
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、紫外線照射装置１００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。  
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向に並べられている。  
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことを抑制することができる。また、排気が干渉することを抑制することができる。そのため、紫外線照射モジュールの内部を安定して冷却することができる。
その結果、冷却効率の低下を抑制することができる。
【００５２】
この場合、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くしても、隣接する紫外線照射モジュール１の吸排気の影響を抑制することができる。  
そのため、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。  
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。
【００５３】
図４（ａ）、（ｂ）は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置２００を例示するための模式図である。  
なお、図４（ａ）は正面図、図４（ｂ）は側面図である。  
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、紫外線照射装置２００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。  
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向に並べられている。  
本実施の形態においては、孔２１は、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられている。  また、孔２１が設けられた側面２ａは、同じ方向を向いている。
【００５４】
すなわち、側面２ａ同士が向かい合う場合には、一方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられ、他方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられないようにしている。  
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール１同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。  
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。
【００５５】
この場合、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くしても、隣接する紫外線照射モジュール１の吸排気の影響を抑制することができる。  
そのため、紫外線照射モジュール１同士の間の距離を短くすることができるので、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。  
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。
【００５６】
図５は、他の実施形態にかかる紫外線照射装置３００を例示するための模式斜視図である。  
図５に示すように、紫外線照射装置３００には、複数の紫外線照射モジュール１が設けられている。  
複数の紫外線照射モジュール１は、複数の孔２１が並ぶ方向、および複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向に並べられている。  
すなわち、複数の紫外線照射モジュール１は、マトリクス状に並べられている。  
本実施の形態においては、孔２１は、筐体２の片側の側面２ａのみに設けられている。  また、孔２１が設けられた側面２ａは、同じ方向を向いている。
【００５７】
すなわち、側面２ａ同士が向かい合う場合には、一方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられ、他方の紫外線照射モジュール１の側面２ａには孔２１が設けられないようにしている。  
この様にすれば、隣接する紫外線照射モジュール１同士が吸気する気体（紫外線照射モジュール同士の間にある気体）を奪い合うことがなく、排気も干渉しないので、紫外線照射モジュール１の内部を安定して冷却することができる。  
そのため、冷却効率の低下を抑制することができる。  
また、紫外線照射装置３００によれば、前述した紫外線照射装置１００、２００の場合と同様に、ワーク上における照度分布の均一化を図ることができる。
【００５８】
またさらに、複数の孔２１が並ぶ方向における紫外線照射モジュール１同士の間の距離をＸ、複数の孔２１が並ぶ方向と直交する方向における紫外線照射モジュール１同士の間の距離をＹとした場合に、「Ｙ＞Ｘ」となるようにすることが好ましい。  
なお、紫外線照射モジュール１の数は例示をしたものに限定されるわけではない。
【００５９】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  紫外線照射モジュール、２  筐体、２ａ  側面、２ｂ  開口、２ｃ  天井部、３  発光部、４  放熱部、５  窓部、６  通風装置、６ａ  フィルタ、７  コネクタ、２１  孔、２１ａ  端部、２１ｂ  端部、３１  基板、３２  発光素子、４１  基部、４１ａ  端部、４２  フィン、１００  紫外線照射装置、２００  紫外線照射装置、３００  紫外線照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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