(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材の第１面に設けられた凹部を、第２部材の第２面により覆うことにより、流路を形成する流路部材の製造方法であって、
前記第１部材と前記第２部材との積層方向から見て、前記凹部より内側に、溶融したダイレクターの一部を流れ出させる工程と、
前記第２面により前記凹部を覆った状態で、溶融した前記ダイレクターを硬化させ、前記第１部材と前記第２部材とを固定して流路を形成する工程と、を備え、
前記第１面と前記第２面とを合わせた場合に、前記積層方向に直交する方向から見て、断面が鋭角となる部分に対して、溶融したダイレクターを流れさせ、
前記第２部材は、前記第１部材側に向かって突出して先端面が前記第２面となる凸部を有し、前記第２面の幅は、前記凹部と前記凹部の両側に設けられた前記ダイレクターとを含む幅よりも広いことを特徴とする流路部材の製造方法。
【請求項２】
前記凸部の前記先端面が、前記積層方向に垂直な方向を面内方向とする平坦面であることを特徴とする請求項１に記載の流路部材の製造方法。
【請求項３】
前記凹部は、前記積層方向に直交する方向から見て、断面の幅が開口部分で最も広くなる形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の流路部材の製造方法。
【請求項４】
前記凹部は、前記第２部材と反対側に頂点部分を有することを特徴とする請求項３に記載の流路部材の製造方法。
【請求項５】
溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記凹部を規定する壁面と面一な壁面を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項６】
溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記第１面側から前記第２面側へ向けて幅が漸減する形状であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項７】
溶融した前記ダイレクターは、前記第２面と前記凹部とを凹曲面でつなぐ形状にて硬化されることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項８】
前記ダイレクターは、前記積層方向から見て、前記凸部と重なっており、前記第２面の幅は、前記凹部の開口部分における断面の幅と前記ダイレクターの幅とを含む幅よりも広いことを特徴する請求項１〜７の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項９】
前記第２部材には、前記凸部によって段差部が形成されており、前記段差部に溶融した前記ダイレクターを流れさせることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項１０】
前記第１面における前記第１部材の厚みは、前記第２面における前記第２部材の厚みよりも厚く、且つ、任意の波長に対する前記第２部材の透過率は、同じ波長に対する前記第１部材の透過率よりも大きいことを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【請求項１１】
前記第１面と前記第２面との界面に対して、流路の前記第１部材側の深さは、当該流路の前記第２部材側の深さよりも深いことを特徴とする請求項１０に記載の流路部材の製造方法。
【請求項１２】
硬化した前記ダイレクターの位置を、前記第２部材を介して検査する工程をさらに具備することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の流路部材の製造方法。
【請求項１３】
前記第１部材は、複数の前記凹部を具備し、
前記第２部材は、複数の前記凸部を有し、
隣り合う前記凸部は、共通の凹みである段差部によって規定されていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路を有する流路部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インク滴をノズル開口から吐出するヘッド本体と、ヘッド本体にインクを供給する流路部材と、を具備する。
【０００３】
流路部材は、複数の部材を溶着することで形成されたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような流路部材では、溶着する一方の部材がフィルターなどの機能性部材であるため、溶着部分が流路内に流出すると、フィルターの有効面積が減少するなど、機能が失われてしまう。このため、溶着する部分を流路から遠ざけた構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０１２３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、２つの部材を溶着してその界面に流路を形成する場合、溶着部分を流路から遠ざけた位置とすると、流路内に凹部が形成されてしまう。特に、溶着する際に用いるダイレクターを流路から離れた位置に配置すると、ダイレクターによって流路に開口する凹部が形成される。そして、流路の凹部は液体の流れが澱み、凹部内に気泡が滞留して成長するなどの気泡排出性が低下して、信頼性が低下するという問題がある。
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッド等に用いられる流路部材に限定されず、他のデバイスに用いられる流路部材においても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、信頼性を向上した流路部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する本発明の態様は、第１部材の第１面に設けられた凹部を、第２部材の第２面により覆うことにより、流路を形成する流路部材の製造方法であって、前記第１部材と前記第２部材との積層方向から見て、前記凹部より内側に、溶融したダイレクターの一部を流れ出させる工程と、前記第２面により前記凹部を覆った状態で、溶融した前記ダイレクターを硬化させ、前記第１部材と前記第２部材とを固定して流路を形成する工程と、を備え、前記第１面と前記第２面とを合わせた場合に、前記積層方向に直交する方向から見て、断面が鋭角となる部分に対して、溶融したダイレクターを流れさせ、前記第２部材は、前記第１部材側に向かって突出して先端面が前記第２面となる凸部を有し、前記第２面の幅は、前記凹部と前記凹部の両側に設けられた前記ダイレクターとを含む幅よりも広いことを特徴とする流路部材の製造方法にある。
かかる態様では、凹部と第２面とによって形成された流路の内面にダイレクターとの間に液体に澱みが生じる凹みが形成されるのを抑制して、気泡の排出性を向上することができる。
また、鋭角となる部分は液体の澱みが生じ易いが、鋭角となる部分にダイレクターを流出させることで、澱みが生じる部分が形成されるのを抑制することができる。
さらに、第２面の幅は、凹部と凹部の両側に設けられたダイレクターとを含む幅よりも広いことで、第１部材と第２部材とが幅方向において位置ずれが生じたとしても、流路を確実に形成することができる。また、溶着面積が減少するのを抑制して固定強度にばらつきが生じるのを抑制することができる。さらに、凸部の先端面のみに第２面を設けることで、第２面の面精度を向上することができる。
ここで、前記凸部の前記先端面が、前記積層方向に垂直な方向を面内方向とする平坦面であることが好ましい。これによれば、凸部の先端に設けられた第２面を平坦面とすることで、第２面を第２部材の全面に亘って設ける場合と比較して高精度に形成することができる。特に、第２部材を成型によって製造する場合において、第２面を凸部の先端面のみに設けることで、第２面の面精度を向上することができる。したがって、第２面によって凹部を覆うことで形成した第２流路の形状のばらつきや断面積のばらつきを抑制することができる。
また、前記凹部は、前記積層方向に直交する方向から見て、断面の幅が開口部分で最も広くなる形状であることが好ましい。これによれば、第１部材を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。また、第１面と第２面とが接する部分が鋭角になり易く、毛細管力によって第１面と第２面とが接する部分に溶融されたダイレクターを流出させ易い。
また、前記凹部は、前記第２部材と反対側に頂点部分を有することが好ましい。これによれば、頂点部分を鉛直上向きとなるように配置すれば、頂点に気泡を集めて、気泡排出性を向上することができる。
また、溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記凹部を規定する壁面と面一な壁面を有することが好ましい。これによれば、ダイレクターと凹部との距離が近くなり、溶融されたダイレクターを凹部の内側に流出させ易い。
また、溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記第１面側から前記第２面側へ向けて幅が漸減する形状であることが好ましい。これによればダイレクターの先端面を第２面に当接させる荷重を高めることができ、第１部材と第２部材とを確実に固定することができる。
また、溶融した前記ダイレクターは、前記第２面と前記凹部とを凹曲面でつなぐ形状にて硬化されることが好ましい。これによれば、ダイレクターの表面と凹部の内面及び第２面とがなす角度を大きくすることができ、液体の流れが澱む部分が生じるのを抑制することができる。また、ダイレクターが凹部の内面と第２面とをつなぐことで、溶着面積を増大させて強固に固定することができる。
また、前記ダイレクターは、前記積層方向から見て、前記凸部と重なっており、前記第２面の幅は、前記凹部の開口部分における断面の幅と前記ダイレクターの幅とを含む幅よりも広いことが好ましい。
また、前記第２部材には、前記凸部によって段差部が形成されており、前記段差部に溶融した前記ダイレクターを流れさせることが好ましい。これによれば、第１部材と第２部材との溶着面積を増大させて第１部材と第２部材との固定強度を向上することができる。
また、前記第１面における前記第１部材の厚みは、前記第２面における前記第２部材の厚みよりも厚く、且つ、任意の波長に対する前記第２部材の透過率は、同じ波長に対する前記第１部材の透過率よりも大きいことが好ましい。これによれば、レーザー光によってダイレクターを溶融させる場合において、第２部材を第１部材よりも薄くすることで、エネルギー効率を向上することができる。
また、前記第１面と前記第２面との界面に対して、流路の前記第１部材側の深さは、当該流路の前記第２部材側の深さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１部材に深い流路を形成することで、無駄な領域を減少させて、部材を効率的に使用することができる。
また、硬化した前記ダイレクターの位置を、前記第２部材を介して検査する工程をさらに具備することが好ましい。これによれば、溶融されたダイレクターの流出位置を非破壊で検査することができるので、信頼性を向上することができる。
また、前記第１部材は、複数の前記凹部を具備し、前記第２部材は、複数の前記凸部を有し、隣り合う前記凸部は、共通の凹みである段差部によって規定されていることが好ましい。これによれば、１つの段差部によって複数の第２面を共通して規定することができるので製造し易い。
他の態様は、第１部材の第１面に設けられた凹部を、第２部材の第２面により覆うことにより、流路を形成する流路部材の製造方法であって、前記第１部材と前記第２部材との積層方向から見て、前記凹部より内側に、溶融したダイレクターの一部を流れ出させる工程と、前記第２面により前記凹部を覆った状態で、溶融した前記ダイレクターを硬化させ、前記第１部材と前記第２部材とを固定して流路を形成する工程と、を備える流路部材の製造方法にある。
かかる態様では、凹部と第２面とによって形成された流路の内面にダイレクターとの間に液体に澱みが生じる凹みが形成されるのを抑制して、気泡の排出性を向上することができる。
【０００７】
ここで、前記第１面と前記第２面とを合わせた場合に、前記積層方向に直交する方向から見て、断面が鋭角となる部分に対して、溶融したダイレクターを流出させることが好ましい。これによれば、鋭角となる部分は液体の澱みが生じ易いが、鋭角となる部分に第レクターを流出させることで、澱みが生じる部分が形成されるのを抑制することができる。
【０００８】
また、前記凹部は、前記積層方向に直交する方向から見て、断面の幅が開口部分で最も広くなる形状であることが好ましい。これによれば、第１部材を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。また、第１面と第２面とが接する部分が鋭角になり易く、毛細管力によって第１面と第２面とが接する部分に溶融されたダイレクターを流出させ易い。
【０００９】
また、前記凹部は、前記第２部材と反対側に頂点部分を有することが好ましい。これによれば、頂点部分を鉛直上向きとなるように配置すれば、頂点に気泡を集めて、気泡排出性を向上することができる。
【００１０】
また、溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記凹部を規定する壁面と面一な壁面を有することが好ましい。これによれば、ダイレクターと凹部との距離が近くなり、溶融されたダイレクターを凹部の内側に流出させ易い。
【００１１】
また、溶融させる前の前記ダイレクターは、前記第１部材に設けられ、且つ、前記第１面側から前記第２面側へ向けて幅が漸減する形状であることが好ましい。これによればダイレクターの先端面を第２面に当接させる荷重を高めることができ、第１部材と第２部材とを確実に固定することができる。
【００１２】
また、溶融した前記ダイレクターは、前記第２面と前記凹部とを凹曲面でつなぐ形状にて硬化されることが好ましい。これによれば、ダイレクターの表面と凹部の内面及び第２面とがなす角度を大きくすることができ、液体の流れが澱む部分が生じるのを抑制することができる。また、ダイレクターが凹部の内面と第２面とをつなぐことで、溶着面積を増大させて強固に固定することができる。
【００１３】
また、前記第２部材は、前記第１部材側に向かって突出して先端面が前記第２面となる凸部を有し、前記第２面の幅は、前記ダイレクターの幅よりも広いことが好ましい。これによれば、第１部材と第２部材とが幅方向において位置ずれが生じたとしても、流路を確実に形成することができる。また、溶着面積が減少するのを抑制して固定強度にばらつきが生じるのを抑制することができる。さらに、凸部の先端面のみに第２面を設けることで、第２面の面精度を向上することができる。
【００１４】
また、前記第２部材には、前記凸部によって段差部が形成されており、前記段差部に溶融した前記ダイレクターを流れさせることが好ましい。これによれば、第１部材と第２部材との溶着面積を増大させて第１部材と第２部材との固定強度を向上することができる。
【００１５】
また、前記第１面における前記第１部材の厚みは、前記第２面における前記第２部材の厚みよりも厚く、且つ、任意の波長に対する前記第２部材の透過率は、同じ波長に対する前記第１部材の透過率よりも大きいことが好ましい。これによれば、レーザー光によってダイレクターを溶融させる場合において、第２部材を第１部材よりも薄くすることで、エネルギー効率を向上することができる。
【００１６】
また、前記第１面と前記第２面との界面に対して、流路の前記第１部材側の深さは、当該流路の前記第２部材側の深さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１部材に深い流路を形成することで、無駄な領域を減少させて、部材を効率的に使用することができる。
【００１７】
また、硬化した前記ダイレクターの位置を、前記第２部材を介して検査する工程をさらに具備することが好ましい。これによれば、溶融されたダイレクターの流出位置を非破壊で検査することができるので、信頼性を向上することができる。
【００１８】
また、前記第１部材は、複数の前記凹部を具備し、前記第２部材は、前記第１部材側に向かって突出して先端面が前記第２面となる複数の凸部を有し、隣り合う前記凸部は、共通の凹みである段差部によって規定されていることが好ましい。これによれば、１つの段差部によって複数の第２面を共通して規定することができるので製造し易い。
【００１９】
また、本発明の他の態様は、任意の波長に対する透過率が第１の値である第１部材により規定された第１壁と、同じ波長に対する透過率が前記第１の値よりも高い第２の値である第２部材により規定された第２壁と、同じ波長に対する透過率が前記前記第１の値と前記第２の値との間である第３の値の第３部材により規定された第３壁と、により流路を規定し、前記第３壁は、前記第１壁と前記第２壁との境界に配置され、前記第３壁は、前記第１壁と前記第２壁とが仮想的に接する部分の角度よりも大きい角度で前記第１壁及び前記第２壁のそれぞれと接することを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、第１壁と第２壁との境界に、第１壁と第２壁との角度が比較的大きい角度で接する第３壁を設けることで、流路内に液体の澱みが生じる凹みが形成されるのを抑制して、気泡の排出性を向上することができる。また、第３部材が第１壁と第２壁との境界に設けられるため、第２部材を介して第３部材の位置を非破壊で確認することができ、信頼性を向上することができる。
【００２０】
ここで、前記第２壁は、前記第１壁よりも幅が狭いことが好ましい。これによれば、第２壁が第１壁よりも狭い分だけ、第３部材が範囲を占めるので、第２部材側から第３部材を確認し易い。
【００２１】
また、前記第１壁によって規定される前記流路の断面における幅は、開口部分で最も広くなることが好ましい。これによれば、第１部材を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。
【００２２】
また、前記流路は、前記第２部材と反対側に頂点部分を有することが好ましい。これによれば、頂点部分を鉛直上向きとなるように配置すれば、頂点に気泡を集めて、気泡排出性を向上することができる。
【００２３】
また、前記第３部材の前記第３壁は、前記第１壁と前記第２壁とをつなぐ凹曲面となっていることが好ましい。これによれば、第３壁と第１壁及び第２壁との角度を大きくすることができ、液体の流れが澱む部分が生じるのを抑制することができる。
【００２４】
また、前記流路が形成された部分において前記第１部材の厚みは、前記第２部材の厚みよりも厚いことが好ましい。これによれば、レーザー光によってダイレクターを溶融させて硬化させることで第３部材を形成する場合において、第２部材を第１部材よりも薄くすることで、エネルギー効率を向上することができる。
【００２５】
また、前記第１壁と前記第２壁との境界に対して、前記流路の前記第１部材側の深さは、当該流路の前記第２部材側の深さよりも深いことが好ましい。これによれば、第１部材に深い流路を形成することで、無駄な領域を減少させて、部材を効率的に使用することができる。
【００２６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、気泡排出性を向上して信頼性を向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路構成を示す要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る流路部材の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る流路部材の比較例の断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る流路部材の要部を拡大した断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る流路部材の製造方法を示す底面図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る流路部材の比較例を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態２に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態３に係る流路部材の断面図である。
【図１４】本発明の実施形態４に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図１５】本発明の実施形態４に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。
【図１６】本発明の実施形態５に係る流路部材の断面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る流路部材の変形例を示す断面図である。
【図１８】本発明の他の実施形態に係る流路部材の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の平面図である。
【００２９】
本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置１は、紙や樹脂シートなどの被噴射媒体である記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式のインクジェット式記録装置である。
【００３０】
なお、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を第２の方向Ｙと称し、記録シートＳのインクが着弾する着弾面の面内方向において、第２の方向Ｙに直交する方向を第１の方向Ｘと称する。また、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに双方に直交する方向を第３の方向Ｚと称する。本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が互いに直交するものを例示したが、必ずしもこれに限定されない。
【００３１】
インクジェット式記録装置１は、液体としてインクを吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、単に記録ヘッド２とも言う）と、記録シートＳを第２の方向Ｙに沿って搬送する搬送機構３と、記録ヘッド２にインクを供給する供給手段４と、制御装置５と、を具備する。
【００３２】
記録ヘッド２は、第１の方向Ｘに沿って延在している。本実施形態の記録ヘッド２は、詳しくは後述するが、第１の方向Ｘに沿って並設されてインクを吐出する複数のヘッド本体と、各ヘッド本体にインクを供給する流路部材とを具備する。
【００３３】
供給手段４は、インクが貯留されたインクカートリッジやインクタンクなどの貯留部６と、貯留部６と記録ヘッド２とを連通するチューブ等の供給管７と、供給管７の途中に設けられて貯留部６のインクを記録ヘッド２に圧送する圧送手段であるポンプ８とを具備する。貯留部６のインクは、ポンプ８によって圧送されて供給管７を介して記録ヘッド２に供給される。なお、圧送手段は、貯留部６からのインクを記録ヘッド２に供給することができれば、特にこれに限定されず、例えば、貯留部６を外部から押圧する押圧手段等であってもよい。また、圧送手段として、記録ヘッド２と貯留部６との鉛直方向の相対位置を調整して発生する水頭圧差を用いるようにしてもよい。もちろん、供給手段４は、記録ヘッド２に直接搭載されたインクカートリッジ等であってもよい。
【００３４】
搬送機構３は、記録シートＳを第２の方向Ｙに沿って搬送するものであり、本実施形態では、搬送ローラーとこれを駆動する駆動モーター等の駆動手段（図示なし）とを具備する。もちろん、搬送機構３はこれに限定されず、例えば、回転させた無端ベルト等であってもよい。
【００３５】
制御装置５は、インクジェット式記録装置１の総括的な制御を行う。具体的には、外部からの印刷信号に基づいて、搬送機構３を制御して記録シートＳを搬送させると共に、記録ヘッド２からのインク滴の吐出を制御して印刷を行わせる。
【００３６】
ここで、このような本実施形態のインクジェット式記録装置１に設けられる記録ヘッド２の一例について図２を参照して説明する。なお、図２は、記録ヘッドの流路構成を示す要部断面図である。なお、本実施形態では、記録ヘッド２の各方向について、インクジェット式記録装置１に搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。
図２に示すように、記録ヘッド２は、インクを吐出する複数のヘッド本体１０と、供給手段４から供給されたインクをヘッド本体１０に供給する流路部材２０と、を具備する。
【００３７】
まず、本実施形態のヘッド本体１０の一例について図３を参照して説明する。なお、図３は、本実施形態のヘッド本体を示す断面図である。
図３に示すように、本実施形態のヘッド本体１０を構成する流路形成基板１１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には振動板１５０が形成されている。振動板１５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。
【００３８】
流路形成基板１１０には、複数の圧力発生室１１２が並設されている。また、流路形成基板１１０の圧力発生室１１２の外側の領域には連通部１１３が形成され、連通部１１３と各圧力発生室１１２とが、圧力発生室１１２毎に設けられたインク供給路１１４及び連通路１１５を介して連通されている。連通部１１３は、後述する保護基板１３０のマニホールド部１３１と連通して各圧力発生室１１２の共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給路１１４は、圧力発生室１１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１１３から圧力発生室１１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００３９】
また、流路形成基板１１０の第３の方向Ｚの一方面側、本実施形態では、記録シートＳ側となるＺ２側には、各圧力発生室１１２のインク供給路１１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口１２１が穿設されたノズルプレート１２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート１２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。
【００４０】
一方、このような流路形成基板１１０の第３の方向Ｚのノズル開口１２１とは反対側であるＺ１側の面には、振動板１５０が形成され、この振動板１５０上には、第１電極１６０と、圧電体層１７０と、第２電極１８０とが、成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター１１を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター１１が圧力発生室１１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。ここで、圧電アクチュエーター１１は、圧電素子１１ともいい、第１電極１６０、圧電体層１７０及び第２電極１８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１１の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層１７０を圧力発生室１１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極１６０を圧電アクチュエーター１１の共通電極とし、第２電極１８０を圧電アクチュエーター１１の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板１５０、第１電極１６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板１５０を設けずに、第１電極１６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１１自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００４１】
また、このような各圧電アクチュエーター１１の第２電極１８０には、リード電極１９０がそれぞれ接続され、このリード電極１９０を介して各圧電アクチュエーター１１に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００４２】
また、流路形成基板１１０のＺ１側の面には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部１３１を有する保護基板１３０が接着剤１３５を介して接合されている。このマニホールド部１３１は、本実施形態では、保護基板１３０を第３の方向Ｚに貫通して圧力発生室１１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１１０の連通部１１３と連通されて各圧力発生室１１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。
【００４３】
また、保護基板１３０の圧電アクチュエーター１１に対向する領域には、圧電アクチュエーター１１の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部１３２が設けられている。圧電素子保持部１３２は、圧電アクチュエーター１１の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
このような保護基板１３０としては、流路形成基板１１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００４４】
また、保護基板１３０には、保護基板１３０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔１３３が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター１１から引き出されたリード電極１９０の端部近傍は、貫通孔１３３内に露出するように設けられている。
また、保護基板１３０のＺ１側の面には、圧電アクチュエーター１１を駆動するための駆動回路１９１が設けられている。この駆動回路１９１としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１９１とリード電極１９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１９２を介して電気的に接続されている。
【００４５】
また、このような保護基板１３０には、封止膜１４１及び固定板１４２とからなるコンプライアンス基板１４０が接合されている。ここで、封止膜１４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜１４１によってマニホールド部１３１の一方面が封止されている。また、固定板１４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板１４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部１４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜１４１のみで封止されている。
【００４６】
このような本実施形態のヘッド本体１０では、図１に示す供給手段４から流路部材２０を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口１２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１９１からの駆動信号に従い、圧力発生室１１２に対応するそれぞれの第１電極１６０と第２電極１８０との間に電圧を印加し、振動板１５０及び圧電アクチュエーター１１をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１１２内の圧力が高まりノズル開口１２１からインク滴が吐出する。
【００４７】
このようなヘッド本体１０が、１つの流路部材２０に対して複数、本実施形態では例えば６個接続されて記録ヘッド２を構成している。なお、流路部材２０に対するヘッド本体１０の並設方向は、特に限定されないが、例えば、ノズル開口１２１の並設方向が第２の方向Ｙに対して傾斜する方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙと交差する方向に配置し、複数のヘッド本体１０を第１の方向Ｘに沿った直線状に並設するようにしてもよい。また、ノズル開口１２１が第１の方向Ｘと一致するように配置し、複数のヘッド本体１０を第１の方向Ｘに沿って千鳥状に配置するようにしてもよい。ここで、ヘッド本体１０が第１の方向Ｘに沿って千鳥状に配置されているとは、ヘッド本体１０を第１の方向Ｘに並設したヘッド本体１０の列を第２の方向Ｙに２列以上設け、複数列で構成されるヘッド本体１０において第１の方向Ｘで互いに隣り合うヘッド本体１０は、一方の列のヘッド本体１０のノズル開口１２１の列と、他方の列のヘッド本体のノズル開口１２１の列とが第２の方向Ｙでオーバーラップするように配置されていることを言う。これにより、複数のヘッド本体１０によって第１の方向Ｘに亘って長尺なノズル開口１２１の列を形成することができる。
【００４８】
ここで、ヘッド本体１０にインクを供給する本実施形態の流路部材２０について図２に加えてさらに図４を参照して説明する。なお、図４は、図２のＡ−Ａ′線断面図である。
図示するように、流路部材２０は、第１部材３０と、第２部材４０とを具備し、第１部材３０と第２部材４０とを第３の方向Ｚに積層して構成されている。すなわち、第１部材３０と第２部材４０との積層方向とは、本実施形態では、第３の方向Ｚのことであり、第１部材３０側をＺ１、第２部材４０側をＺ２と称する。このような第１部材３０及び第２部材４０は、例えば、ポリプロピレン等の樹脂材料で形成されている。本実施形態では、詳しくは後述するが、溶着する際のレーザー光の波長に対する第２部材４０の透過率が、同じ波長に対する第１部材３０の透過率に比べて高い材料を用いている。
【００４９】
このような流路部材２０には、一端が貯留部６に接続された供給管７の他端部が接続されて供給手段４から供給されたインクを複数のヘッド本体１０に供給する流路２００が設けられている。具体的には、流路２００は、第１部材３０に設けられて第３の方向Ｚに沿ってインクが流れるように設けられた第１流路２０１と、第１流路２０１に連通して第３の方向Ｚに対して直交する方向、本実施形態では、第１の方向Ｘに沿ってインクが流れるように設けられた第２流路２０２と、第２流路２０２に連通して、第３の方向Ｚに沿ってインクが流れるように設けられた第３流路２０３と、を具備する。
【００５０】
第１流路２０１は、第１部材３０を第３の方向Ｚに貫通して設けられており、第１流路２０１の第２流路２０２に連通する端部とは反対側には、貯留部６に接続された供給管７が接続される。
第２流路２０２は、第１部材３０と第２部材４０との接合界面に設けられて、第１流路２０１に対して直交する方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内方向に沿ってインクが流れるように設けられている。本実施形態では、第２流路２０２は、第１の方向Ｘに沿ってインクが流れるように設けられている。なお、第１流路２０１の第２流路２０２への開口は、第２流路２０２の両端部ではなく、両端部よりも内側となる位置に設けられている。すなわち、第１流路２０１は、第２流路２０２の端部に連通していない。もちろん、これに限定されず、第１流路２０１を第２流路２０２の端部に連通するようにしてもよい。なお、第２流路２０２については詳しくは後述する。
【００５１】
第３流路２０３は、第２部材４０を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。このような第３流路２０３は、第２流路２０２に対して複数、本実施形態では、６個が連通して設けられている。そして、各第３流路２０３は、一端が第２流路２０２に連通し、他端がヘッド本体１０に連通することにより、第２流路２０２のインクを複数のヘッド本体１０に供給している。
【００５２】
このような流路２００を構成する第２流路２０２は、第１部材３０の第２部材４０側の面である第１面３１に設けられた凹部３２を、第２部材４０の第１部材３０側の面である第２面４１で覆うことにより形成されている。具体的には、第２流路２０２は、第１部材３０によって規定された第１壁３３と、第２部材４０によって規定された第２壁４１と、第１壁３３と第２壁４１との境界に設けられた第３部材５０により規定された第３壁５１と、によって形成されている。
【００５３】
ここで、第１壁３３とは、本実施形態では、第１部材３０の第１面３１に開口する凹部３２の内面のことである。このような凹部３２は、第１部材３０と第２部材４０との積層方向である第３の方向Ｚに直交する方向から見た断面、すなわち、本実施形態では、第２の方向Ｙに横断する断面において、その幅は開口部分で最も広くなる形状であることが好ましい。ここで、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、断面において、第１面３１における開口の幅が、第２面４１から第１面３１に向かって、すなわち第３の方向ＺのＺ１に向かって同一又は漸減して設けられていることを言う。言い換えると、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、凹部３２の横断面の幅がＺ２からＺ１に向かって漸増していない形状のことを言う。つまり、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、凹部３２の横断面の幅が第３の方向Ｚに亘って同一幅であるもの、Ｚ２からＺ１に向かって幅が徐々に減少して狭くなるものを含む。このような凹部３２の横断面の形状としては、例えば、ほぼ半円状、ほぼ半楕円状、ほぼ台形状、ほぼ三角形状、ほぼ四角形状であるものが挙げられる。もちろん、凹部３２は、横断面において第１面３１の開口部分の幅が最も広い形状であれば、その形状は上述したものに限定されるものではない。本実施形態では、横断面が１８０度未満の円弧状の凹部３２を形成した。このように、凹部３２の横断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、凹部３２の内面である第１壁３３と第１面３１との角度を２７０度以下とすることができる。これにより、凹部３２を有する第１部材３０を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。また、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが仮想的に接する角度を容易に９０度以下とすることができる。また、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、第１壁３３と第２面４１とが仮想的に接する角度を９０度以下、より好ましくは鋭角にすることができ、凹部３２の第１面３１からの第３の方向Ｚの深さを浅くして、第２流路２０２内を流れるインクの流速を早めることができる。これにより、インクに含まれる気泡などの異物の排出性を向上することができる。ちなみに、凹部３２が深すぎると、第２流路２０２の横断面の面積が増大し、インクの流れが澱む部分が生じ、気泡などの異物の排出性が低下する虞がある。また、本実施形態では、凹部３２は、横断面が１８０度未満の円弧状を有するため、第３の方向ＺにおいてＺ１側に頂点部分が設けられている。これにより、第３の方向ＺのＺ１を鉛直方向の上向きに配置した際に、気泡を浮力によって凹部３２の頂点部分に集めて、気泡を排出し易くすることができる。
【００５４】
このような第１部材３０には、第１面３１の凹部３２の開口の周囲に亘って連続したダイレクター３４が設けられている。ダイレクター３４は、第１面３１から第２部材４０側に突出して設けられている。本実施形態では、ダイレクター３４は、第１部材３０から連続して一体的に設けられている。このようなダイレクター３４は、先端面を第２部材４０に当接させた状態で溶融することにより、第２部材４０の一部と溶け合って第１部材３０と第２部材４０とを溶着するためのものである。そして、ダイレクター３４は、溶融することにより、第３の方向Ｚから平面視した際に、凹部３２よりも内側に流れ出て第３部材５０を形成する。このようなダイレクター３４は、凹部３２の内面である第１壁３３と面一な壁面３４ａを有する。これにより、ダイレクター３４の一部を溶融して凹部３２よりも内側に確実に流れ出させることができる。なお、本実施形態ではダイレクター３４の壁面３４ａは、第１面３１に対して法線方向、すなわち、第３の方向Ｚに沿って設けられている。このため、壁面３４ａと第２面４１とが接する部分の角度は９０度となっている。もちろん、壁面３４ａは、第２面４１に対して開口側が広がるように傾斜した傾斜面で形成してもよい。また、壁面３４ａは、曲面、特に凹曲面で形成されていてもよい。ちなみに、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２よりも内側に突出させて設けてもよいが、ダイレクター３４を一体的に有する第１部材３０を成型によって製造することができなくなってしまう。すなわち、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それよりも外側に開口が広がるように傾斜させることで、第１部材３０を成型により安価に且つ高精度に製造することができる。また、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それよりも外側に開口が広がるように傾斜させることで、第２面４１と壁面３４ａとを９０度以下の角度で配置することができる。これにより、ダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１との角部に溶融したダイレクター３４を毛細管力によって容易に行き渡らせることができる。
【００５５】
第２部材４０は、第１部材３０側に第２面４１を有する。本実施形態では、第２部材４０は、第１部材３０側、すなわち、Ｚ１側に突出する凸部４２を有し、凸部４２の先端面が第２面４１となっている。すなわち、第２面４１は凸部４２によって規定されている。なお、凸部４２は、その外側に設けられた凹部である段差部４３によって規定されている。このような凸部４２の先端に設けられた第２面４１は、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向を面内方向とする平坦面となっている。凸部４２の先端面を第２面４１とすることで、第２面４１を第２部材４０のＺ１側の全面に亘って設ける場合と比較して高精度に形成することができる。特に、第２部材４０を成型によって製造する場合において、第２面４１を凸部４２の先端面のみに設けることで、第２面４１の面精度を向上することができる。したがって、第２面４１によって凹部３２を覆うことで形成した第２流路２０２の形状のばらつきや断面積のばらつきを抑制することができる。このように、第２流路２０２は、第１部材３０の凹部３２を第２部材４０の第２面４１によって覆うことで形成されている。したがって、本実施形態の第２流路２０２を規定する第２部材４０の第２壁とは、第２面４１（以下、第２壁４１とも言う）のことである。
【００５６】
なお、詳しくは後述するが、第２流路２０２の横断面、すなわち、第２の方向Ｙに沿った断面において、第２面４１の幅ｗ１は、ダイレクター３４の先端面の幅ｗ２よりも広いのが好ましい。すなわち、第２面４１の第２の方向Ｙの幅ｗ１は、凹部３２とこの凹部３２の両側に設けられたダイレクター３４とを含む幅ｗ２よりも広いのが好ましい。これにより、位置ずれによる溶着不良を抑制することができると共に、位置ずれによる溶着領域の減少を抑制して、第１部材３０と第２部材４０とを強固に固定することができる。
【００５７】
このような第１部材３０と第２部材４０とは、詳しくは後述するが、第１部材３０のダイレクター３４の先端面を第２部材４０の第２面４１に当接させた状態で、ダイレクター３４の一部を溶融させることにより溶着されている。そして、ダイレクター３４の一部と第２部材４０の一部とを溶け合わせて凹部３２の内側に流れ出させて硬化することで第３部材５０が形成されている。すなわち、第３部材５０は、第１部材３０と第２部材４０との両方の材料を含むものである。具体的には、第３部材５０は、第２面４１に当接させたダイレクター３４を溶融して硬化することで形成されたものであり、主に溶融したダイレクター３４の一部と、ダイレクター３４を溶融した際に同時に溶融した第２部材４０の一部とが混ざり合って形成されている。すなわち、第３部材５０は、任意の波長、本実施形態では、溶融するレーザー光の波長に対する透過率が、第１部材３０よりも高く、第２部材４０よりも低い材料となっている。つまり、任意の波長に対する透過率が第１の値の第１部材３０の第１壁３３と、第１の値よりも高い透過率の第２部材４０の第２壁４１と、第１の値と第２の値との間の第３の値である第３部材５０で形成された第３壁５１とによって第２流路２０２は規定されている。そして、ダイレクター３４を第２面４１に当接させた状態でダイレクター３４を溶融させることで、ダイレクター３４と第２面４１とが第３の方向Ｚで相対向する領域に第３部材５０が形成される。また、溶融したダイレクター３４の一部は、凹部３２の内側において、凹部３２の第１壁３３と第２壁４１との境界部分に流れ出て硬化する。すなわち、第３部材５０は、第１部材３０と第２部材４０との積層方向である第３の方向Ｚから平面視した際に、凹部３２よりも内側に設けられている。ちなみに、ダイレクター３４は、その一部が溶融されて硬化することで第３部材５０を形成するため、ダイレクター３４の基端部側が一部残った形状となっている。もちろん、ダイレクター３４を完全に溶融させて、その一部が残らないようにしてもよい。ダイレクター３４を完全に溶融させた場合には、凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが直接、接するため、上述のように、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、凹部３２の第１壁３３と、第２部材４０の第２面４１とが接する角度を容易に９０度以下とすることができる。このように凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが接する角度を９０度以下、より好ましくは９０度未満の鋭角とすることで、凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが接する角部に沿って溶融したダイレクター３４を毛細管力によって行き渡らせて第３部材５０を形成することができる。なお、本実施形態では、凹部３２を１８０度未満の円弧状で形成することで、凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが接する角度を鋭角とし易い。
【００５８】
このように凹部３２の内側に形成された第３部材５０は、凹部３２の内面である第１壁３３と第２壁４１との境界部分に第１壁３３と第２壁４１とに跨がって設けられている。なお、第１壁３３と第２壁４１との境界部分とは、第１壁３３と第２壁４１と直接又は間接的に連続する部分のことである。本実施形態では、第１壁３３と第２壁４１とは、ダイレクター３４の壁面３４ａを介して連続するため、直接、接触して連続していない。もちろん、ダイレクター３４を完全に溶融させることで、第１壁３３と第２壁４１とを直接、接触させて連続することもできる。そして、この第３部材５０の第１壁３３と第２壁４１とをつなぐ表面が第３壁５１となっている。
【００５９】
なお、第３部材５０の第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きい角度で第１壁３３及び第２壁４１と接している。つまり、本実施形態では、第３壁５１と第１壁３３とが接する角度θ２と、第３壁５１と第２壁４１とが接する角度θ３とは、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きな角度となっている。ちなみに、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１とは、本実施形態では、第１壁３３と第２壁４１とが直接、接していないため、第１壁３３と第２壁４１とを仮想的に延長して接した部分の角度のことである。もちろん、ダイレクター３４を完全に溶融させた場合には、第１壁３３と第２壁４１とが接するため、仮想的に接する部分の角度θ１とは第１壁３３と第２壁４１とが接する部分の角度も含むものである。本実施形態では、凹部３２の横断面が１８０度未満の円弧状で設けられているため、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１は鋭角となっている。また、上述のようにダイレクター３４の壁面３４ａは、凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それより外側に傾斜させて設けることで、ダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１とが接する部分の角度は９０度以下となっている。そして、本実施形態では、第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とをつなぐ凹曲面で形成されている。ここで、第３壁５１が凹曲面となっているとは、第３部材５０よりも第２流路２０２側に曲率中心を有する形状のことを言う。もちろん、第３壁５１は、平坦面であってもよい。なお、本実施形態の第３部材５０は、ダイレクター３４を溶融させて硬化させた際に、樹脂の硬化による引けが発生するため、その表面である第３壁５１が凹曲面となりやすい。このように第３壁５１は平坦面又は凹曲面となっているのが好ましい。これにより、第３壁５１を凸曲面で形成するのに比べて、第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きい角度θ２、θ３で第１壁３３及び第２壁４１のそれぞれと接することができる。そして、このような第１部材３０の第１壁３３、第２部材４０の第２壁４１及び第３部材５０の第３壁５１によって第２流路２０２が規定されている。
【００６０】
なお、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて第１面３１における第１部材３０の厚みは、第２面４１における第２部材４０の厚みよりも厚くするのが好ましい。これにより、第２部材４０を透過したレーザー光によってダイレクター３４を溶融させる際のエネルギー効率を向上することができる。また、第３の方向Ｚにおいて第１面３１における第１部材３０の厚みが、第２面４１における第２部材４０の厚みよりも厚い場合には、第１面３１と第２面４１との界面に対して、第３の方向Ｚにおける第２流路２０２の第１部材３０側の深さは、第２流路２０２の第２部材４０側の深さよりも深いのが好ましい。つまり、上述した実施形態１では、第１部材３０に凹部３２が形成され、第２部材４０には平坦面である第２面４１が設けられているため、第１部材３０の第２流路２０２の深さとは凹部３２の深さのことであり、第２部材４０の第２流路２０２の深さとはゼロ（０）となっている。このように第２流路２０２を、第２部材４０に比べて厚い第１部材３０に深く形成することで、第１部材３０及び第２部材４０を効率的に使用することができる。
【００６１】
ここで、比較のため第３の方向Ｚから平面視した際に、第３部材５０が凹部３２の第１面３１側の開口よりも外側となるようにした構成について、図５を参照して説明する。なお、図５は、比較となる流路部材の要部断面図である。
図５に示すように、比較となる流路部材３２０の第１部材３３０に設けられたダイレクター３３４は、第１面３３１において凹部３３２の開口よりも外側に離れた位置に設けられている。そして、ダイレクター３３４を第２部材３４０の第２面３４１に当接させた状態で溶融することにより、ダイレクター３３４の溶融した一部は、第１面３３１とダイレクター３３４の壁面３３４ａと第２面３４１とで形成される空間内に充填されて硬化する。これにより、溶融したダイレクター３３４で形成された第３部材３５０の第３壁３５１は、第１壁３３３と接することなく第１面３３１と接して設けられる。このような構成では、第３部材３５０は、第３の方向Ｚから平面視した際に、凹部３３２よりも内側に設けられているとは言わない。つまり、本願発明では、第３部材３５０が設けられたダイレクター３３４の壁面３３４ａと第１面３３１と第２面３４１とで形成された空間は、凹部３３２には含まれない。また、第３壁３５１は、凹部３３２の内面である第１壁３３と接しているとは言わない。つまり、上述した実施形態１のように、第３壁５１が第１壁３３及び第２壁４１に接しているとは、直接接していることを言う。そして、このような図５に示す構成では、第２流路２０２の壁面には、第１壁３３３と第１面３３１と第２壁３４１と第３壁３５１とで形成された凹み３００が形成されてしまう。そして、この凹み３００はインクの流れが澱むため、凹み３００に気泡が滞留し、滞留した気泡が成長して予期せぬタイミングでヘッド本体１０に流れることにより、インクの吐出不良が発生する。また、ヘッド本体１０と流路部材３２０との間にインクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルターが設けられている場合には、成長した気泡がフィルターを覆うことで、フィルターの有効面積が減少し、圧力損失が増大することや、メニスカス耐圧を超えることで、ノズル開口１２１から気泡を取り込むなどの不具合が発生する。
【００６２】
これに対して、本実施形態では、第３部材５０は、第３の方向Ｚから平面視した際に、凹部３２よりも内側に設けられている。また、第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きい角度θ２、θ３で第１壁３３及び第２壁４１のそれぞれと接する。このため、第２流路２０２の壁面に凹み３００が形成されるのを抑制することができる。つまり、凹部３２の内側に溶融したダイレクター３４を流れ出させることで、溶融したダイレクター３４によって第２流路２０２（凹部３２）のインクの流れが澱む部分を減らしている。したがって、凹み３００によるインクの吐出不良、圧力損失の増大、ノズル開口１２１から気泡を取り込むなどの不具合を抑制することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、ダイレクター３４の第２の方向Ｙの幅を図５に示すダイレクター３３４に比べて幅広に形成することができる。つまり、図５に示すダイレクター３３４を、図４に示すダイレクター３４と同じ幅で形成する場合、凹部３３２から離れた位置にダイレクター３３４を形成しなくてはならないため、流路部材２０が大型化してしまう。このため、ダイレクター３３４の幅をダイレクター３４に比べて狭くする必要がある。このようにダイレクター３３４の幅を狭くすることで、第１部材３３０と第２部材３４０との溶着強度が低下してしまう。すなわち、本実施形態では、ダイレクター３４の幅をダイレクター３３４に比べて流路部材２０が大型化することなく、幅広に形成することができ、第１部材３０と第２部材４０との溶着面積を増大させて、両者を強固に固定することができる。なお、本実施形態では、溶融したダイレクター３４は、凹部３２とは反対側においても同様にダイレクター３４の外側まで流れ出て硬化している。つまり、第１部材３０と第２部材４０とを溶着する第３部材５０は、ダイレクター３４と第２面４１とが相対向する部分から凹部３２の内側及び外側まで延設されている。したがって、第１部材３０と第２部材４０との溶着面積を増大させて、両者を強固に固定することができる。
【００６４】
また、本実施形態では、第２流路２０２は、両端部においてそれぞれ第３流路２０３と連通している。ここで、第２流路２０２の端部について図６を参照して説明する。なお、図６は、図３の要部を拡大した図である。
図６に示すように、第３の方向Ｚにおいて第１部材３０の凹部３２の高さは、インクの流れる方向である第１の方向Ｘの端部に向かって漸減して設けられている。
【００６５】
また、第２部材４０の第３流路２０３は、第１の方向Ｘに沿った断面において、開口が第１壁３３に向かって拡幅するように傾斜したテーパー面４４を有する。そして、溶融したダイレクター３４によって、凹部３２の第１壁と、第２部材４０のテーパー面４４との境界に、第１壁３３とテーパー面４４とに跨がって第３部材５０が形成されている。すなわち、第３部材５０の第３壁５１は、第１壁３３とテーパー面４４とを連続させるように設けられている。このような第３壁５１は、凹曲面となるように形成されている。このように、第３流路２０３にテーパー面４４を形成し、テーパー面４４と第１壁３３とで形成される角部に第３部材５０を設けることで、第２流路２０２と第３流路２０３とのインクの流れが変わる部分において、インクの澱む部分を抑制することができる。
【００６６】
このような流路部材２０では、任意の波長、例えば、可視光の波長に対する第２部材４０の透過率が同じ波長の第１部材３０の透過率よりも高い材料を用いることで、第２部材４０から溶着部分、すなわち、第３部材５０を目視により確認することができる。また、溶着により形成された第３部材５０の透過率は、第１部材３０よりも高く、第２部材４０よりも低いため、第２部材４０を介して第３部材５０を目視により視認し易い。したがって、流路部材２０の溶着状態を容易に確認することができ、溶着面からのインクの漏出や、溶着強度の低下などを抑制した信頼性の高い流路部材２０とすることができる。
【００６７】
ここで、このような流路部材の製造方法について図７〜図９を参照して説明する。なお、図７及び図８は、流路部材の製造方法を示す要部断面図であり、図９は、流路部材の第２部材側からの底面図である。
図７に示すように、第１部材３０のダイレクター３４と第２部材４０の第２面４１とを当接させる。
ここで、第１部材３０には、Ｚ２側の面である第１面３１に開口する凹部３２が設けられている。凹部３２は、第１部材３０と第２部材４０との積層方向である第３の方向Ｚに直交する方向から見た断面、すなわち、本実施形態では、第２の方向Ｙに沿った横断面において、その幅は開口部分で最も広くなる形状であることが好ましい。ここで、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、断面において、第１面３１における開口の幅が、第２面４１から第１面３１に向かって、すなわち第３の方向ＺのＺ１に向かって同一又は漸減して設けられていることを言う。言い換えると、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、凹部３２の横断面の幅がＺ２からＺ１に向かって漸増していない形状のことを言う。つまり、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とは、凹部３２の横断面の幅が第３の方向Ｚに亘って同一幅であるもの、Ｚ２からＺ１に向かって幅が徐々に減少して狭くなるものを含む。このような凹部３２の横断面の形状としては、例えば、ほぼ半円状、ほぼ半楕円状、ほぼ台形状、ほぼ三角形状、ほぼ四角形状であるものが挙げられる。もちろん、凹部３２は、横断面において第１面３１の開口部分の幅が最も広い形状であれば、その形状は上述したものに限定されるものではない。本実施形態では、横断面が１８０度未満の円弧状の凹部３２を形成した。このように、凹部３２の横断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、凹部３２の内面である第１壁３３と第１面３１との角度を２７０度以下とすることができる。これにより、凹部３２を有する第１部材３０を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。
【００６８】
また、第１部材３０には、第１面３１の凹部３２の開口の周囲に亘って連続したダイレクター３４が設けられている。ダイレクター３４は、第１面３１からＺ２側に向かって突出して設けられている。本実施形態のダイレクター３４は、第１部材３０から連続して一体的に設けられている。また、ダイレクター３４は、凹部３２の第１面３１と面一な壁面３４ａを有する。なお、本実施形態ではダイレクター３４の壁面３４ａは、第１面３１に対して法線方向、すなわち、第３の方向Ｚに沿って設けられている。このため、壁面３４ａと第２面４１との角度は９０度となっている。もちろん、壁面３４ａは、第２面４１に対して開口側が広がるように傾斜した傾斜面で形成してもよい。また、壁面３４ａは、曲面、特に凹曲面で形成されていてもよい。ちなみに、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２よりも内側に突出させて設けてもよいが、ダイレクター３４を一体的に有する第１部材３０を成型によって容易に且つ安価に製造することができなくなってしまう。すなわち、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それよりも外側に開口が広がるように傾斜させることで、第１部材３０を成型により容易に且つ安価に製造することができる。また、ダイレクター３４の壁面３４ａを凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それよりも外側に開口が広がるように傾斜させることで、ダイレクター３４を第２面４１に当接させた際に、壁面３４ａと第２面４１とを９０度以下の角度で配置することができる。これにより、後の工程で、壁面３４ａと第２面４１との角部に溶融したダイレクター３４を毛細管力によって容易に行き渡らせることができる。
【００６９】
第２部材４０は、上述のようにダイレクター３４が当接される第２面４１を有する。本実施形態の第２面は、第１部材３０側に突出する凸部４２の先端面に設けられている。このような凸部４２の先端に設けられた第２面４１は、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む方向を面内方向とする平坦面となっている。凸部４２の先端面を第２面４１とすることで、第２面４１を第２部材４０のＺ１側の全面に亘って設ける場合と比較して高精度に形成することができる。特に、第２部材４０を成型によって製造する場合において、第２面４１を凸部４２の先端面のみに設けることで、第２面４１の面精度を向上することができる。したがって、第２面４１によって凹部３２を覆うことで形成した第２流路２０２の形状のばらつきや断面積のばらつきを抑制することができる。
【００７０】
また、図４に示すように、第２流路２０２の横断面、すなわち、第２の方向Ｙに沿った断面において、第２面４１の幅ｗ１は、ダイレクター３４の先端面の幅ｗ２よりも広いのが好ましい。すなわち、第２面４１の第２の方向Ｙの幅ｗ１は、凹部３２とこの凹部３２の両側に設けられたダイレクター３４とを含む幅ｗ２よりも広いのが好ましい。これは、例えば、図１０に示すように、第２面４１の幅ｗ１′を凹部３２と凹部３２の両側に設けられたダイレクター３４とを含む幅ｗ２よりも狭くすると、ダイレクター３４と第２面４１との位置決めが困難になってしまい、位置ずれによってダイレクター３４と第２面４１とを確実に溶着することができなくなってしまうからである。つまり、位置ずれによってダイレクター３４と第２面４１との溶着面積にばらつきが生じてしまい、溶着強度にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、第２面４１の幅ｗ１は、ダイレクター３４の先端面の幅ｗ２よりも広くすることで、ダイレクター３４と第２面４１との位置決めを容易に行うことができると共に、ダイレクター３４が第２面４１に対してその幅方向である第２の方向Ｙに位置ずれしたとしても、後の工程でダイレクター３４と第２面４１とを常に一定の面積で確実に溶着することができ、溶着強度にばらつきが生じるのを抑制することができる。したがって、溶着部分からのインクの漏出や溶着強度不足による破壊等を抑制することができる。
【００７１】
また、このような流路部材２０を構成する第１部材３０及び第２部材４０は、例えば、ポリプロピレン等の樹脂材料で形成されている。本実施形態では、任意の波長に対する第２部材４０の透過率は、同じ波長に対する第１部材３０の透過率よりも大きいことが好ましい。このように第２部材４０の任意の波長に対する透過率を第１部材３０に比べて大きくすることで、後の工程で第２部材４０を介して第１部材３０と第２部材４０との溶着部分、すなわち、溶融したダイレクター３４の流出位置を非破壊で確認することができ、信頼性を向上することができる。すなわち、任意の波長とは、検査工程において目視で溶着部分を確認する場合には、可視光の波長のことである。もちろん、任意の波長は、可視光の波長に限定されず、例えば、検査工程を赤外線カメラによって行う場合には、任意の波長とは赤外線の波長となる。ちなみに、第１部材３０と第２部材４０との両方を、任意の波長に対して比較的透過率が高い材料を用いるようにしてもよい。これによれば、第３の方向Ｚの両側から溶着部分を確認することができ検査工程を確実に行うことができる。ただし、第１部材３０と第２部材４０との両方を任意の波長に対して比較的透過率が高い材料を用いた場合には、レーザー光が第１部材３０と第２部材４０との両方を透過するため、レーザー光による溶着が効率的に行えない。したがって、第１部材３０と第２部材４０との両方を任意の波長に対して比較的透過率が高い材料を用いた場合には、例えば、第１部材３０と第２部材４０とを超音波溶着等で溶着すればよい。また、第１部材３０と第２部材４０とを超音波溶着で溶着する場合において、検査工程を行わない場合には、第１部材３０と第２部材４０とを共に任意の波長に対する透過率が比較的高い材料を用いるようにしてもよい。
【００７２】
さらに、後の工程でレーザー照射によってダイレクター３４を溶融して第１部材３０と第２部材４０とを溶着する場合には、透過率を規定する任意の波長とは、レーザー光の波長となる。すなわち、レーザー光に対する透過率を第１部材３０に比べて第２部材４０を高くすれば、レーザー光を第２部材４０側から照射して、第２部材４０を透過したレーザー光を第１部材３０のダイレクター３４に照射してダイレクター３４を効率的に溶融させることができる。なお、レーザー光に対する透過率が第１部材３０に比べて第２部材４０が高い材料を用いる場合には、第３の方向Ｚにおいて第１面３１における第１部材３０の厚みは、第２面４１における第２部材４０の厚みよりも厚くするのが好ましい。これにより、第２部材４０を透過したレーザー光によってダイレクター３４を溶融させる際のエネルギー効率を向上することができる。また、第３の方向Ｚにおいて第１面３１における第１部材３０の厚みが、第２面４１における第２部材４０の厚みよりも厚い場合には、第１面３１と第２面４１との界面に対して、第３の方向Ｚにおける第２流路２０２の第１部材３０側の深さは、第２流路２０２の第２部材４０側の深さよりも深いのが好ましい。つまり、上述した本実施形態では、第１部材３０に凹部３２が形成され、第２部材４０には平坦面である第２面４１が設けられているため、第１部材３０の第２流路２０２の深さとは凹部３２の深さに相当し、第２部材４０の第２流路２０２の深さはゼロ（０）となっている。このように第２流路２０２を、第２部材４０に比べて厚い第１部材３０に深く形成することで、第１部材３０及び第２部材４０を効率的に使用することができる。
【００７３】
本実施形態では、後の工程で使用するレーザー光に対する第２部材４０の透過率が、第１部材３０の透過率よりも大きい材料を用いるようにした。ちなみに、後の工程で使用するレーザー光の波長は、可視光の波長の範囲に含まれるものである。したがって、本実施形態の流路部材２０は、後の検査工程においても第２部材４０側から溶着部分を目視にて検査することができる。
【００７４】
次に、図８に示すように、第１部材３０のダイレクター３４を溶融して、第１部材３０及び第２部材４０の積層方向である第３の方向から平面視した際に、凹部３２よりも内側に溶融したダイレクター３４の一部を流れ出させる。本実施形態では、第２部材４０側からレーザー光４００を照射して、第２部材４０を透過したレーザー光４００を第２面４１に相対向するダイレクター３４の先端面に照射することにより、ダイレクター３４と第２面４１とが相対向する領域においてダイレクター３４の先端部側の一部を溶融させる。このとき、第１部材３０と第２部材４０とを圧力を印加して当接させておくことで、溶融したダイレクター３４が、ダイレクター３４と第２面４１との間から凹部３２内に流出する。また、本実施形態では、ダイレクター３４は、凹部３２の内面である第１壁３３と面一な壁面３４ａを有するため、ダイレクター３４の一部を溶融することで、その一部を凹部３２よりも内側に確実に流れ出させることができる。また、溶融したダイレクター３４は、ダイレクター３４の凹部３２とは反対側である外側にも流出する。そして、本実施形態では、ダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１との角度は、本実施形態では、９０度以下となっているため、凹部３２内に流出した溶融したダイレクター３４をこの角部に亘って毛細管力によって行き渡らせることができる。また、凹部３２内の溶融されたダイレクター３４は、本実施形態では、第１壁３３と第２面４１との境界部分に第１壁３３と第２壁４１とに跨がるように流出される。つまり、溶融されたダイレクター３４は、量が少なければダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１との角部のみに流出するが、流出量を調整することで本実施形態では、第１壁３３と第２壁４１とに跨がるように流出させている。なお、溶融されたダイレクター３４の流出量は、例えば、ダイレクター３４を第２面４１に押し当てる圧力やダイレクター３４を溶融する量、すなわち、レーザー光４００の出力等によって調整することができる。ちなみに、第１壁３３と第２壁４１との境界部分とは、第１壁３３と第２壁４１と直接又は間接的に連続する部分のことである。本実施形態では、ダイレクター３４を完全に溶融させずに、その先端側の一部のみを溶融させるため、第１壁３３と第２壁４１とは、ダイレクター３４の壁面３４ａを介して連続している。このため、第１壁３３と第２壁４１とは直接、接した状態で連続していない。もちろん、ダイレクター３４を完全に溶融させた場合には、第１壁３３と第２壁４１とを直接、接した状態で連続させることもできる。
【００７５】
ちなみに、ダイレクター３４を溶融すると、その熱によって第２部材４０の一部も同時に溶融する。すなわち、ダイレクター３４を溶融して後の工程で硬化することで形成した第３部材５０は、主にダイレクター３４を形成する材料と、第２部材４０を形成する材料とを含む。本実施形態では、第１部材３０は、レーザー光４００に対する透過率が低く、第２部材４０はレーザー光４００に対する透過率が第１部材３０よりも高いため、ダイレクター３４を溶融して後の工程で硬化させて形成した第３部材５０は、レーザー光４００に対する透過率が、第１部材３０よりも高く、且つ第２部材４０よりも低いものとなる。
【００７６】
なお、本実施形態では、ダイレクター３４は、第２部材４０に当接する先端部のみを溶融させて基端部側を残留させるようにしたが、特にこれに限定されず、ダイレクター３４を完全に溶融させるようにしてもよい。このようにダイレクター３４を完全に溶融させた場合、凹部３２の断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とすることで、凹部３２の内面である第１壁３３と、第２部材４０の第２面４１とが接する角度を９０度以下とすることができる。このように凹部３２の内面と第２面４１とが接する角度を９０度以下、特に９０度未満の鋭角とすることで、溶融したダイレクター３４を凹部３２の第１壁３３と第２面４１との角部に亘って毛細管力によって容易に行き渡らせることができる。また、凹部３２の内面と第２面４１とが接する角度を９０度以下とすることで、凹部３２を有する第１部材３０を成型によって容易に且つ安価に製造することができる。本実施形態では、凹部３２を１８０度未満の円弧状で形成することで、凹部３２の第１壁３３と第２面４１とが接する角度を鋭角とすることができる。
【００７７】
その後は、第２面４１が凹部３２を覆った状態で溶融したダイレクター３４を硬化させることで、図４に示すように、第１部材３０と第２部材とを固定、すなわち溶着する。また、溶融したダイレクター３４を硬化させることで第３部材５０が形成される。なお、溶融したダイレクター３４の硬化は、常温（室温）にて放置するようにしてもよく、室温よりも低温に冷却することで硬化させてもよい。
【００７８】
溶融させたダイレクター３４を硬化させて形成した第３部材５０は、上述したように凹部３２の内面である第１壁３３と第２面４１（第２壁４１）との境界部分に第１壁３３と第２壁４１とに跨がって設けられる。この第３部材５０の第１壁３３と第２壁４１とをつなぐ表面が第３壁５１となっている。
【００７９】
なお、第３部材５０の第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きい角度で第１壁３３及び第２壁４１と接している。つまり、本実施形態では、第３壁５１と第１壁３３とが接する角度θ２と、第３壁５１と第２壁４１とが接する角度θ３とは、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きな角度となっている。ちなみに、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１とは、本実施形態では、第１壁３３と第２壁４１とが直接、接していないため、第１壁３３と第２壁４１とを仮想的に延長して接した部分の角度のことである。もちろん、ダイレクター３４を完全に溶融させた場合には、第１壁３３と第２壁４１とが接するため、仮想的に接する部分の角度θ１とは第１壁３３と第２壁４１とが接する部分の角度も含むものである。本実施形態では、凹部３２の横断面が１８０度未満の円弧状で設けられているため、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１は鋭角となっている。また、ダイレクター３４の壁面３４ａは、凹部３２の第１面３１側の開口縁部と同じ位置か、それより外側に傾斜させて設けることで、ダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１とが接する部分の角度は９０度以下となっている。そして、本実施形態では、第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とをつなぐ凹曲面で形成されている。ここで、第３壁５１が凹曲面となっているとは、第３部材５０よりも第２流路２０２側に曲率中心を有する形状のことを言う。もちろん、第３壁５１は、平坦面であってもよい。なお、本実施形態の第３部材５０は、ダイレクター３４を溶融させて硬化させた際に、樹脂の硬化による引けが発生するため、その表面である第３壁５１が凹曲面となりやすい。このように第３壁５１は平坦面又は凹曲面となっているのが好ましい。これにより、第３壁５１を凸曲面で形成するのに比べて、第３壁５１は、第１壁３３と第２壁４１とが仮想的に接する部分の角度θ１よりも大きい角度θ２、θ３で第１壁３３及び第２壁４１のそれぞれと接することができる。そして、このように形成された第１部材３０の第１壁３３、第２部材４０の第２壁４１及び第３部材５０の第３壁５１によって第２流路２０２を有する流路部材２０が形成される。
【００８０】
このように、第１部材３０と第２部材４０とを溶着するだけで、溶融したダイレクター３４を凹部３２内に流れ出させて硬化して第３部材５０を形成することで、第２流路２０２のインクの流れが澱む部分を容易に減少させることができる。このため、製造工程を簡略化することができる。そして、第２流路２０２のインクの流れが澱む部分を減少させることで、インクが澱む部分における気泡の滞留を抑制して、気泡排出性を向上することができる。
【００８１】
その後は、第１部材３０と第２部材４０との溶着部分を検査する検査工程を行う。本実施形態では、可視光の波長に対する第２部材４０の透過率が、同じ波長の第１部材３０の透過率よりも高いため、図９に示すように、流路部材２０をＺ２側の第２部材４０から第２部材４０を透かし見ることで、溶着部分、すなわち、第３部材５０を目視又はカメラ等によって非破壊で確認することができる。特に、第２壁４１は、第１壁３３よりも幅が狭いため、第２壁４１に接する第３壁５１を第１壁３３と誤認するのを抑制することができる。すなわち、第２壁４１が第１壁３３よりも狭い分だけ、第３部材５０が範囲を占めるので、第２部材４０側から第３部材５０を確認し易い。また、溶着により形成された第３部材５０の透過率は、第１部材３０よりも高く、第２部材４０よりも低いため、第２部材４０を介して第３部材５０を確認し易い。したがって、第３部材５０の凹部３２内への流出量や、凹部３２とは外側への流出量などを非破壊にて確認して、不良品の判定を容易に行うことができると共に、流路部材２０の信頼性を向上することができる。
【００８２】
（実施形態２）
図１１及び図１２は、本発明の実施形態２に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
本実施形態の流路部材２０の製造方法は、まず、図１１に示すように、第１部材３０のダイレクター３４Ａと、第２部材４０の第２面４１とを当接させる。
ここで、溶融される前のダイレクター３４Ａは、凹部３２の開口の周囲に亘って連続して設けられている。このようなダイレクター３４Ａは、第１面３１からＺ２側に向かって突出して設けられている。また、ダイレクター３４Ａは、第１面３１から第２面４１に向けて第２の方向Ｙの幅が漸減する形状を有する。
【００８３】
本実施形態では、ダイレクター３４Ａは、凹部３２の内面である第１壁３３と面一となる壁面３４ａを有する。この壁面３４ａは、第３の方向Ｚに沿って、すなわち、第１面３１に対して法線方向に沿って設けられている。このため、ダイレクター３４Ａは、壁面３４ａとは反対側が傾斜した傾斜面となっている。このようにダイレクター３４Ａの幅を第２部材４０側に向かって漸減させることで、ダイレクター３４Ａの先端面を第２面４１に当接させた際の荷重を集中させ易くなり、ダイレクター３４Ａと第２面４１とを確実に接触させることができる。
そして、図１２に示すように、ダイレクター３４Ａの先端面を溶融させることにより、第１部材３０と第２部材４０とを溶着すると共に、ダイレクター３４Ａの溶融された一部を凹部３２内に流出させる。
【００８４】
その後は、溶融されたダイレクター３４Ａを硬化させることで、第１部材３０と第２部材４０とを固定する。本実施形態では、ダイレクター３４Ａの幅を第２部材４０側に向かって漸減させることで、ダイレクター３４Ａの先端面を第２面４１に当接させた際の荷重を集中させ易くなり、ダイレクター３４Ａと第２面４１とを確実に接触させることができるため、第１部材３０と第２部材４０とを溶融されたダイレクター３４Ａによって確実に固定することができる。
【００８５】
なお、本実施形態では、図１２に示すように、溶融された後に残留したダイレクター３４Ａについても、その幅が第２部材４０に向かって漸減する部分が形成されるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１部材３０と第２部材４０とを溶着した際に、ダイレクター３４Ａの第２部材４０に向かって幅が漸減する部分が溶融されることで、無くなってもよい。
【００８６】
（実施形態３）
図１３は、本発明の実施形態３に係る流路部材の要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１３に示すように、本実施形態では、溶融したダイレクター３４を、段差部４３内に流出させて、段差部４３内においても第２部材４０と第１部材３０とを溶着するようにした。このように段差部４３内においても第１部材３０と第２部材４０とを溶着することで、第１部材３０と第２部材４０との溶着面積を増大させて、両者を強固に固定することができる。また、第３部材５０は、第２面４１から段差部４３内に連続して設けられている。このため第３部材５０は、凸部４２と段差部４３との間の段差面上にも設けられる。したがって、アンカー効果によっても第１部材３０と第２部材４０との固定強度を向上することができる。
【００８７】
（実施形態４）
図１４及び図１５は、本発明の実施形態４に係る流路部材の製造方法を示す断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
本実施形態の流路部材２０の製造方法は、まず、図１４に示すように、第１部材３０のダイレクター３４Ｂと、第２部材４０の第２面４１とを当接させる。
【００８８】
本実施形態のダイレクター３４Ｂは、凹部３２の内面である第１壁３３よりも外側に壁面３４ｂを有する。この壁面３４ｂは、第３の方向Ｚに沿って、すなわち、第１面３１に対して法線方向に沿って設けられている。つまり、第１部材３０と第２部材４０との間には、第１面３１と第２面４１とダイレクター３４Ｂの壁面３４ｂとによって空間が形成されている。
【００８９】
次に、図１５に示すように、ダイレクター３４Ｂを溶融させて、凹部３２内に流出させる。このとき、溶融されたダイレクター３４Ｂは、第１面３１と第２面４１とダイレクター３４Ｂの壁面３４ｂとによって形成された空間を埋めて、さらに凹部３２の内側まで流出される。
【００９０】
その後は、溶融されたダイレクター３４Ｂを硬化させることにより、第１部材３０と第２部材４０とが固定される。また、これにより上述した実施形態１と同様の第３壁５１を有する第３部材５０を形成することができる。
すなわち、ダイレクター３４Ｂのように、壁面３４ｂが凹部３２の第１壁３３と面一ではない場合であっても、溶融させたダイレクター３４Ｂを凹部３２の内側に流出させることで、図５に示す凹み３００が形成されるのを抑制することができる。
【００９１】
（実施形態５）
図１６は、本発明の実施形態５に係る流路部材の要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１６に示すように、本実施形態の流路部材２０を構成する第２部材４０の第２面４１には、第２部材側凹部４５が設けられている。この第２部材側凹部４５は、第１部材３０の凹部３２と同様に、断面の幅が開口部分で最も広くなる形状とするのが好ましく、特に、断面の幅がＺ１側からＺ２側に向かって漸減している形状が好ましい。これにより、第２流路２０２の横断面を円形に近い形状とすることができ、第２流路２０２を流れるインクが澱む部分を低減することができる。
【００９２】
また、第２部材側凹部４５は、第２流路２０２の横断面において、第１部材３０側の開口が、第１部材３０の凹部３２の第２部材４０側の開口よりも狭い幅で形成されているのが好ましい。これにより、第１部材３０と第２部材４０とが第２流路２０２の横断面の幅方向で位置ずれが生じたとしても、第２部材側凹部４５がダイレクター３４によって覆われるのを抑制して、第２流路２０２の形状を安定させることができる。
【００９３】
このように、第２部材側凹部４５の開口幅を第１部材３０の凹部３２の幅よりも狭くすることで、凹部３２の第１壁３３又はダイレクター３４の壁面３４ａと第２面４１とが接する部分には角部が形成される。このため、この角部に上述した実施形態１と同様に第３壁５１を有する第３部材５０を設けることで、第２流路２０２を第１壁３３、第２壁４１及び第３壁５１によってさらに円形に近づけることができ、気泡排出性を向上することができる。
【００９４】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述した物に限定されるものではない。
例えば、上述した各実施形態では、溶融させたダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂを第１壁３３と第２壁４１との境界部分に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、図１７に示すように、第１壁３３と第２壁４１との境界以外で鋭角となる部分に流れ出させて硬化してもよい。すなわち、図１７に示すように、第１部材３０の凹部３２の頂点部分に鋭角となる角部が形成されている場合には、この頂点部分に溶融されたダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂを流れ出させて、第３部材５０Ａを形成してもよい。つまり、溶融されたダイレクター３４を流れ出させる部分は、積層方向から直交する方向から見て、断面が鋭角となる部分であれば、その場所は特に限定されない。
【００９５】
また、上述した各実施形態では、流路部材２０に１つの第２流路２０２を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されず、１つの流路部材２０に２つ以上の第２流路２０２が形成されていてもよい。ここで、このような例を図１８に示す。図１８に示すように、流路部材２０には、２つの第２流路２０２が第２の方向Ｙに２つ並設されている。そして、第２部材４０には、第２面４１を有する凸部４２が２つ設けられている。この２つの凸部４２の間には、共通の段差部４３が設けられている。すなわち、第２の方向Ｙで互いに隣り合う凸部４２は、共通の凹みである段差部４３によって規定されている。これにより、１つの段差部４３によって２つの第２面４１を共通に規定できるので第２部材４０を製造し易い。なお、このように１つの流路部材２０に設けられた複数の第２流路２０２は、１つの第２流路２０２が途中で複数に分岐されたものであってもよい。
【００９６】
さらに、上述した各実施形態では、ダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂは、第１部材３０に一体的に設けられたものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、第２部材４０にダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂが一体的に形成されていてもよく、第１部材３０と第２部材４０とは別体のダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂとしてもよい。ダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂを第１部材３０及び第２部材４０とは別体とする場合には、ダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂと第１面３１とがダイレクター３４、３４Ａ、３４Ｂによって溶着されていてもよい。
【００９７】
また、上述した各実施形態では、凹部３２を第２面４１で覆うことで形成した第２流路２０２は、第１の方向Ｘに沿った流路としたが、特にこれに限定されず、第３の方向Ｚに沿った流路であってもよい。第１部材３０と第２部材４０との積層方向にインクが流れる流路を凹部３２と第２面４１とで形成してもよい。
【００９８】
さらに、上述した各実施形態では、圧力発生室１１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１１を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００９９】
さらに、上述した各実施形態では、インクジェット式記録装置１として、記録ヘッド２が図示しない筐体に固定されて、記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド２を記録シートＳの搬送方向である第２の方向Ｙと交差する方向、例えば、第１の方向Ｘに移動するキャリッジに搭載して、記録ヘッド２を第１の方向Ｘに移動しながら印刷を行う、所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１００】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【０１０１】
さらに、本発明は、液体噴射ヘッドに用いられる流路部材に限定されず、液体噴射ヘッドとは供給管や他の流路部材を介して接続された流路部材であってもよく、その他のデバイスに搭載される流路部材についても適用可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
１…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、２…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、３…搬送機構、４…供給手段、５…制御装置、６…貯留部、７…供給管、８…ポンプ、１０…ヘッド本体、１１…圧電アクチュエーター、２０…流路部材、３０…第１部材、３１…第１面、３２…凹部、３３…第１壁、３４、３４Ａ、３４Ｂ…ダイレクター、３４ａ、３４ｂ…壁面、４０…第２部材、４１…第２面（第２壁）、４２…凸部、４３…段差部、４４…テーパー面、４５…第２部材側凹部、５０、５０Ａ…第３部材、５１…第３壁、１００…マニホールド、１１０…流路形成基板、１１２…圧力発生室、１２０…ノズルプレート、１２１…ノズル開口、１３０…保護基板、１４０…コンプライアンス基板、１５０…振動板、１６０…第１電極、１７０…圧電体層、１８０…第２電極、１９０…リード電極、１９１…駆動回路、１９２…接続配線、２００…流路、２０１…第１流路、２０２…第２流路、２０３…第３流路、３００…凹み、４００…レーザー光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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