(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子が設けられた基板と；
前記基板が設けられ、前記基板から伝わる熱を放出する第１の放熱部材と；
前記第１の放熱部材を支持する支持部を有し、前記第１の放熱部材から伝わる熱を放出する第２の放熱部材と；
前記支持部に対して前記第１の放熱部材を移動させる移動機構と；を具備し、
前記支持部は、前記第１の放熱部材を負圧で吸引するための空気吸引路が設けられた吸着面を有し、前記負圧で前記第１の放熱部材と前記吸着面とが接する第１の位置と、前記第１の放熱部材と前記吸着面とが離間されて前記負圧で前記第１の放熱部材を前記吸着面に吸着可能な第２の位置と、前記吸着面から前記第１の放熱部材が前記第２の位置よりも離間された第３の位置とに、前記第１の放熱部材を移動可能に支持し、
前記移動機構は、前記第１の放熱部材を前記第２の位置と前記第３の位置とに移動させる、
照射体。
【請求項２】
前記第１の放熱部材は、前記吸着面に接する接触面を有し、前記接触面に、前記空気吸引路から吹き出された空気が進入する凹部が設けられている、
請求項１に記載の照射体。
【請求項３】
前記基板には、複数の前記発光素子が配列され、
前記第１の放熱部材は、前記複数の発光素子の配列方向に沿って延ばされ、前記凹部が、前記接触面における前記配列方向の端部に設けられている、
請求項２に記載の照射体。
【請求項４】
前記移動機構は、前記第２の放熱部材に設けられた取付け穴と、前記取付け穴に通されて前記第１の放熱部材を前記第２の位置と前記第３の位置とに移動させる移動部材と、を有する、
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の照射体。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の照射体と；
前記照射体が着脱可能に装着される装着部と；
を具備する照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、照射体及び照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種のフィルムや液晶パネルの製造工程では、紫外線硬化樹脂を硬化反応させるために、紫外線照射装置が用いられている。この種の紫外線照射装置では、光源として、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光素子を複数配列して用いる構成が知られている。発光素子を用いた紫外線照射装置では、高圧放電ランプと同程度以上の照射特性を確保するために、発光素子の高出力化が進められている。
【０００３】
発光素子の高出力化に伴って、発光素子のジャンクション温度も高くなる傾向にある。このため、発光素子を用いた紫外線照射装置では、空冷方式や水冷方式の冷却構造を採用しており、発光素子が実装された基板を支持する放熱部材によって冷却を行っている。このような冷却構造では、冷却される放熱部材と、発光素子が実装された基板とが適正に密着されていない場合、基板の面内方向における照度分布の変化量が大きくなる不都合がある。この対策として、基板と放熱部材との密着性を高めるために、基板と放熱部材との間に、シリコングリスを塗布したり、粘着テープを貼り付けたりすることで、密着性を高める技術が知られている。
【０００４】
また、紫外線照射装置では、経年劣化や紫外線を照射する被照射物からの不純物等の付着により発光素子からの紫外線の照度が低下するため、発光素子の交換が行われることがある。このため、シリコングリスや粘着テープを用いて密着性を高めた場合には、発光素子の交換作業を行いにくくなり、発光素子の保守性（メンテナンス性）が乏しい。
【０００５】
そこで、紫外線照射装置として、基板を支持する第１の放熱部材と、第１の放熱部材を支持する第２の放熱部材と、を備え、第２の放熱部材によって、第１の放熱部材を負圧で吸引する構成が提案されている。この構成は、第２の放熱部材の吸着面に第１の放熱部材を着脱可能に吸着することによって発光素子の保守性を確保すると共に、第１の放熱部材と第２の放熱部材との密着性を高めることによって第１及び第２の放熱部材を介した発光素子の放熱性が高められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１９７５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、第２の放熱部材に第１の放熱部材を負圧で吸着する構成では、第２の放熱部材の吸着面と第１の放熱部材との密着性を高めたことで、負圧による吸引を停止した状態であっても第２の放熱部材の吸着面に吸着された第１の放熱部材を、吸着面から取り外しにくいことがある。一方で、この構成は、第２の放熱部材に対する第１の放熱部材の着脱性を高めるために、第２の放熱部材の吸着面と、第２の放熱部材に支持された第１の放熱部材との間の距離を大きくした場合、吸着面に第１の放熱部材が均一に吸着されにくいことがある。
【０００８】
そこで、本発明は、負圧で吸着される放熱部材の着脱性を高めることができる照射体及び照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態に係る照射体は、発光素子が設けられた基板と、前記基板が設けられ、前記基板から伝わる熱を放出する第１の放熱部材と、前記第１の放熱部材を支持する支持部を有し、前記第１の放熱部材から伝わる熱を放出する第２の放熱部材と、前記支持部に対して前記第１の放熱部材を移動させる移動機構と、を具備する。前記支持部は、前記第１の放熱部材を負圧で吸引するための空気吸引路が設けられた吸着面を有し、前記負圧で前記第１の放熱部材と前記吸着面とが接する第１の位置と、前記第１の放熱部材と前記吸着面とが離間されて前記負圧で前記第１の放熱部材を前記吸着面に吸着可能な第２の位置と、前記吸着面から前記第１の放熱部材が前記第２の位置よりも離間された第３の位置とに、前記第１の放熱部材を移動可能に支持する。前記移動機構は、前記第１の放熱部材を前記第２の位置と前記第３の位置とに移動させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、負圧で吸着される放熱部材の着脱性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る照射装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】実施形態に係る照射装置が有する照射体を模式的に示す斜視図である。
【図３】実施形態の照射体を発光素子が配列された側から模式的に示す斜視図である。
【図４】実施形態の照射体において、第１の放熱部材が第２の放熱部材に取り付けられた状態を示す断面図である。
【図５】実施形態の照射体において、第１の放熱部材が移動機構によって移動される状態を示す断面図である。
【図６】実施形態の照射体において、第１の放熱部材が第２の放熱部材に吸着された状態を示す断面図である。
【図７】実施形態の第１の変形例の照射体を模式的に示す断面図である。
【図８】実施形態の第２の変形例の照射体を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下で説明する実施形態に係る照射体は、基板と、第１の放熱部材と、第２の放熱部材と、移動機構と、を具備する。基板には、発光素子が設けられる。第１の放熱部材には、基板が設けられる。第１の放熱部材は、基板から伝わる熱を放出する。第２の放熱部材は、第１の放熱部材を支持する支持部を有する。第２の放熱部材は、第１の放熱部材から伝わる熱を放出する。移動機構は、支持部に対して第１の放熱部材を移動させる。支持部は、第１の放熱部材を負圧で吸引するための空気吸引路が設けられた吸着面を有する。支持部は、第１の位置と、第２の位置と、第３の位置とに、第１の放熱部材を移動可能に支持する。第１の位置では、負圧で第１の放熱部材と吸着面とが接する。第２の位置では、第１の放熱部材と吸着面とが離間されており、負圧で第１の放熱部材を吸着面に吸着可能である。第３の位置では、吸着面から第１の放熱部材が第２の位置よりも離間される。移動機構は、第１の放熱部材を第２の位置と第３の位置とに移動させる。
【００１３】
また、以下で説明する実施形態に係る照射体における第１の放熱部材は、吸着面に接する接触面を有する。接触面には、空気吸引路から吹き出された空気が進入する凹部が設けられている。
【００１４】
また、以下で説明する実施形態に係る照射体における基板には、複数の発光素子が配列されている。第１の放熱部材は、複数の発光素子の配列方向に沿って延ばされている。凹部は、接触面における配列方向の端部に設けられている。
【００１５】
また、以下で説明する実施形態に係る照射体における移動機構は、取付け穴と、移動部材と、を有する。取付け穴は、第２の放熱部材に設けられている。移動部材は、取付け穴に通されて、第１の放熱部材を第２の位置と第３の位置とに移動させる。
【００１６】
また、以下で説明する実施形態に係る照射装置は、上述した照射体と、装着部と、を具備する。装着部には、照射体が着脱可能に装着される。
【００１７】
（実施形態）
（照射装置の構成）
以下、実施形態に係る照射装置について、図面を参照して説明する。図１は、実施形態に係る照射装置を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態に係る照射装置１は、複数の照射体２と、複数の照射体２を支持する支持基体３と、各照射体２に負圧を導入する吸引装置４と、照射体２を冷却する冷却装置５と、を備える。また、実施形態の照射装置１は、紫外線照射装置として構成されている。
【００１８】
支持基体３は、直方体状に形成されており、複数の照射体２がそれぞれ着脱可能に装着される複数の装着部３ａを有する。複数の装着部３ａは、支持基体３の一側面３ｂに所定の間隔をあけて配置されており、支持基体３の底面３ｃに沿って延びて形成されている。装着部３ａは、照射体２の外形形状と対応する凹状に形成されており、支持基体３の一側面３ｂに開口している。また、装着部３ａは、照射体２の底面側を支持する支持凸部（不図示）を有する。これにより、各照射体２は、支持基体３の装着部３ａに対してＸ方向に沿ってスライドすることで着脱可能に支持されている。なお、図示しないが、装着部３ａの内面に設けられた係合凸部と、照射体２の外周面に設けられた係合溝とが係合することで、装着部３ａに各照射体２が着脱可能に支持されるように構成されてもよい。
【００１９】
また、支持基体３の内部には、各照射体２が有する後述の空気吸引路１４と連通する複数の吸引用連通路６ａが設けられている。各吸引用連通路６ａは、各照射体２に沿って直線状に形成されており、吸引装置４に連結されている。なお、支持基体３は、複数の吸引用連通路６ａを有する構成に限定されるものではなく、各照射体２が配列されたＸ方向に対して蛇行して形成された１つの吸引用連通路が、各照射体２に跨って配置されるように構成されてもよい。
【００２０】
また、支持基体３の内部には、各照射体２が有する後述の流路１８と連通する複数の冷却用連通路６ｂが設けられている。各冷却用連通路６ｂは、冷却用流体を循環させる冷却装置５にそれぞれ独立して連結されている。なお、支持基体３は、独立した複数の冷却用連通路６ｂを有する構成に限定されるものではなく、各照射体２の流路１８を互いに連結するように形成された１つの冷却用連通路を有する構成でもよい。また、支持基体３には、図示しないが、冷却装置５によって冷却用流体が循環する流路が更に設けられてもよく、照射体２と共に支持基体３を冷却することが可能になる。
【００２１】
吸引装置４は、支持基体３の吸引用連通路６ａの一端に連結される負圧導入管４ａを有しており、吸引用連通路６ａから空気を吸引する。図示しないが、冷却装置５は、冷却用流体を冷却する熱交換器と、冷却用流体を循環させるポンプと、を有する。また、冷却装置５は、支持基体３の冷却用連通路６ｂの一端に連結される連結管５ａを有しており、冷却用連通路６ｂを通して冷却用流体を循環させる。冷却用流体としては、冷却水が用いられるが、水に限定されるものではなく、例えば油やガスが用いられてもよい。
【００２２】
また、装着部３ａに装着された照射体２は、照射体２の端部に設けられた接続端子（不図示）に接続された給電線を介して、図示しない電源装置と電気的に接続される。なお、給電線には、コネクタ（不図示）等の接続部材が設けられている。
【００２３】
（照射体の構成）
図２は、実施形態に係る照射装置が有する照射体を模式的に示す斜視図である。図３は、実施形態における照射体を発光素子が配列された側から模式的に示す斜視図である。図４は、実施形態の照射体において、第１の放熱部材が第２の放熱部材に取り付けられた状態を示す断面図である。図５は、実施形態の照射体において、第１の放熱部材が移動機構によって移動される状態を示す断面図である。図６は、実施形態の照射体において、第１の放熱部材が第２の放熱部材に吸着された状態を示す断面図である。
【００２４】
図２に示すように、照射体２は、長尺状に形成されており、複数の発光素子７が設けられた基板８と、基板８から伝わる熱を放出する第１の放熱部材１１と、第１の放熱部材１１から伝わる熱を放出する第２の放熱部材１２と、を備える。また、照射体２は、第２の放熱部材１２に対して第１の放熱部材１１を移動させる移動機構１５を備える。
【００２５】
発光素子７としては、紫外線を発する発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ（ＬＤ）が用いられる。なお、発光素子７は、紫外線を発する発光素子に限定されるものではなく、可視光や赤外線を発する発光素子が用いられてもよい。また、ここでいう「紫外線」とは、ピーク波長が１８０ｎｍ以上、４５０ｎｍ以下の光を指す。
【００２６】
また、複数の発光素子７は、基板８の長手方向であるＸ方向に沿って直線状に配列されている。なお、複数の発光素子７の配置は、一列に沿って直線状に配列される構成に限定されるものではなく、複数列に沿って配列される構成や、Ｘ方向に対して千鳥状に交互に位置をずらして配列される構成でもよい。また、所望の光を照射する必要に応じて、基板８には、複数種類の発光素子が、Ｘ方向に対して交互に配置されてもよい。
【００２７】
図３に示すように、基板８は、例えば、セラミックスによって長尺状の基材が形成されており、例えば銀等によって所望のパターン状に形成された図示しないプリント配線が基材に設けられている。基板８上には、複数の発光素子７が、プリント配線と電気的に接続されて設けられている。
【００２８】
また、図示しないが、基板８は、発光素子７が接続される接続端子と、電源装置から電力が供給される電源端子とを除く領域が、絶縁性を確保し、腐食を防ぐために、被覆膜によって覆われている。被覆膜は、例えば、ガラス材等を主成分とする無機材料によって形成されている。なお、必要に応じて、基板８は、発光素子７が発する光を反射する反射性を高めるために、比較的高い反射率を有する白色のアルミナによって形成されてもよい。また、基板８は、熱伝導性を高く確保するために、比較的高い熱伝導性を有する窒化アルミニウムによって形成されてもよい。
【００２９】
第１の放熱部材１１は、熱伝導性を有する金属材料によってブロック状に形成されており、図２及び図３に示すように、基板８の長手方向であるＸ方向に沿って延びる長尺状に形成されている。第１の放熱部材１１を形成する金属材料としては、例えば、比較的軽量なアルミニウム、熱伝導性が比較的高い銅を用いることが好ましい。そして、第１の放熱部材１１は、照射体２の外側に臨む底面１１ａ上に、基板８が接して設けられており、基板８から伝わる熱を放出する。すなわち、発光素子７に生じた熱が基板８に伝わり、基板８に伝わった熱が第１の放熱部材１１に伝わることで、発光素子７の熱が第１の放熱部材１１から放出される。
【００３０】
なお、第１の放熱部材１１に関して、基板８が接して設けられた構造とは、基板８と第１の放熱部材１１の底面１１ａとの間で熱が伝導するような接触状態で、基板８が第１の放熱部材１１に支持された構造を指している。この接触状態は、直に接する状態と、間接的に接する状態とを含めて指している。また、間接的に接する状態は、例えば、接着剤、粘着テープを介して固定された状態や、良好な熱伝導性を有するシリコングリス等の面密着部材を介して固定された状態を含む。本実施形態では、基板８と第１の放熱部材１１の底面１１ａが互いに密着した状態で設けられることが好ましい。
【００３１】
また、第１の放熱部材１１は、基板８が設けられた底面１１ａの反対側に、第２の放熱部材１２と接する接触面１１ｂが平面状に形成されている。また、第１の放熱部材１１には、図３及び図４に示すように、Ｘ方向に直交するＹ方向における接触面１１ｂの両側に、第２の放熱部材１２に係合するつば状の係合凸部１１ｃが、Ｘ方向に沿って形成されている。
【００３２】
第２の放熱部材１２は、熱伝導性を有する金属材料によってブロック状に形成されており、図２に示すように、基板８の長手方向であるＸ方向に沿って延びる長尺状に形成されている。第２の放熱部材１２を形成する金属材料としては、第１の放熱部材１１と同様に、例えば、比較的軽量なアルミニウム、熱伝導性が比較的高い銅を用いることが好ましい。
【００３３】
第２の放熱部材１２は、第１の放熱部材１１を支持する支持部１３を有する。支持部１３は、第１の放熱部材１１の外形形状に対応する凹状に形成されている。第１の放熱部材１１は、支持部１３に対してＸ方向に対してスライド可能に設けられており、Ｘ方向にスライドすることで支持部１３に着脱可能に支持されている。また、支持部１３の内側には、支持部１３に支持された第１の放熱部材１１の接触面１１ｂに対向する位置に、接触面１１ｂと接する吸着面１２ａが平面状に形成されている。また、図２及び図４に示すように、支持部１３は、Ｙ方向における両側に、支持部１３に支持された第１の放熱部材１１の係合凸部１１ｃと係合する係合溝１２ｂが、Ｘ方向に沿って形成されている。また、第２の放熱部材１２の底面１２ｃには、移動機構１５が配置されている。
【００３４】
また、支持部１３には、支持部１３の吸着面１２ａに第１の放熱部材１１の接触面１１ｂが接するように第１の放熱部材１１を負圧で吸着するための空気吸引路１４が設けられている。空気吸引路１４は、図２に示すように、接触面１１ｂに沿ってＸ方向に延びる吸引溝１４ａと、吸着面１２ａに直交する方向に延びる複数の吸引穴１４ｂと、を有する。複数の吸引穴１４ｂは、Ｘ方向に対して所定の間隔をあけて配置されており、一端が吸引溝１４ａに連通されている。また、各吸引穴１４ｂの他端は、第２の放熱部材１２の外部に貫通されている。なお、吸引孔１４ｂの個数は限定されず、例えば単一の吸引孔１４ｂで構成されてもよい。
【００３５】
また、支持部１３は、図４、図５及び図６に示すように、Ｚ方向に対して異なる第１の位置Ｐ１、第２の位置Ｐ２、第３の位置Ｐ３に第１の放熱部材１１をそれぞれ移動可能に支持する。第１の位置Ｐ１では、図６に示すように、負圧で第１の放熱部材１１の接触面１１ｂと吸着面１２ａとが接する。第２の位置Ｐ２では、図５に示すように、第１の放熱部材１１の接触面１１ｂと吸着面１２ａとが負圧で吸着可能な距離だけ離されている。つまり、第２の位置Ｐ２では、第１の放熱部材１１と吸着面１２ａとが離間されて負圧で第１の放熱部材１１を吸着面１２ａに吸着可能とされている。第３の位置Ｐ３では、図４に示すように、吸着面１２ａから第１の放熱部材１１が第２の位置Ｐ２よりも離間される。つまり、第３の位置Ｐ３では、第１の放熱部材１１の接触面１１ｂと吸着面１２ａとが離間する距離が、第２の位置Ｐ２よりも大きい。また、第３の位置Ｐ３では、第１の放熱部材１１の係合凸部１１ｃが、支持部１３の係合溝１２ｂ内の下面に支持されており、第１の放熱部材１１の底面１１ａが、第２の放熱部材１２の底面１２ｃから下方へ突出する。
【００３６】
移動機構１５は、図２、図４及び図５に示すように、第２の放熱部材１２の支持部１３に設けられた複数の取付け穴１６と、各取付け穴１６に通される移動部材としての複数の移動用ネジ１７と、を有する。取付け穴１６及び移動用ネジ１７は、支持部１３のＹ方向における両側にそれぞれ配置されており、支持部１３のＸ方向における複数の位置に所定の間隔をあけて配置されている。
【００３７】
取付け穴１６は、例えば、第２の放熱部材１２の底面１２ｃから、支持部１３の係合溝１２ｂに貫通して形成されている。移動用ネジ１７は、ネジ部１７ａ及び頭部１７ｂを有しており、ネジ部１７ａが取付け穴１６にねじ込まれている。頭部１７ｂは、第１の放熱部材１１の底面１１ａに当接する大きさに形成されている。
【００３８】
移動用ネジ１７は、ネジ部１７ａが取付け穴１６に対してねじ込み操作されることで、第１の放熱部材１１の底面１１ａに対する頭部１７ｂのＺ方向における相対位置が変化する。移動用ネジ１７は、取付け穴１６に対してネジ部１７ａがねじ込まれることで、頭部１７ｂが第１の放熱部材１１の底面１１ａに当接し、頭部１７ｂによって第１の放熱部材１１が持ち上げられる。移動用ネジ１７は、頭部１７ｂによって第１の放熱部材１１を持ち上げることで、第１の放熱部材１１を第３の位置Ｐ３から第２の位置Ｐ２まで移動させる。
【００３９】
なお、移動用ネジ１７は、必要に応じて、更にねじ込み操作されることで、第１の放熱部材１１を第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１まで更に移動させてもよく、負圧によって第１の位置Ｐ１で吸着面１２ａに吸着された第１の放熱部材１１を補助的に支持することができる。また、取付け穴１６は、移動用ネジ１７によって第１の放熱部材１１が第３の位置Ｐ３から第２の位置Ｐ２まで移動されたときに、移動用ネジ１７のねじ込み操作が規制されるように深さが設定された非貫通穴に形成されてもよい。これにより、第１の放熱部材１１を第２の位置Ｐ２に容易かつ適正に移動させることが可能になる。
【００４０】
また、移動用ネジ１７を取付け穴１６の下方へ移動させることに伴って、支持部１３に対して第１の放熱部材１１が自重によって、第２の位置Ｐ２から第３の位置Ｐ３まで下降する。このように、移動用ネジ１７は、第１の放熱部材１１を第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３とに移動させることが可能に支持部１３に設けられている。
【００４１】
なお、実施形態では、移動用ネジ１７の頭部１７ｂによって第１の放熱部材１１を支持しながら吸着面１２ａ側へ移動させたが、この構成に限定されるものではない。例えば、移動用ネジ１７のネジ部１７ａの先端によって第１の放熱部材１１の係合凸部１１ｃを支持しながら第１の放熱部材１１を吸着面１２ａ側へ移動させてもよい。
【００４２】
また、第２の放熱部材１２の内部には、冷却用流体が流れる流路１８が設けられている。流路１８は、第２の放熱部材１２のＸ方向に沿って延びると共に、Ｘ方向における一端側で折り返したＵ字状に形成されている。また、Ｕ字状の流路１８の両端は、第２の放熱部材１２の端面に貫通されており、支持基体３の冷却用連通路６ｂに連結される。
【００４３】
また、第１の放熱部材１１の接触面１１ｂと、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａは、密着性を高めるために、高精度に平面度が確保されることが望ましい。また、発光素子７が実装された基板８は、必要に応じて、光透過性、例えば紫外線の透過性を有するカバー部材（不図示）によって気密に覆われてもよい。このようなカバー部材を用いることで、外気によって発光素子７や基板８が劣化することを抑えることが可能になる。
【００４４】
（第１の放熱部材の移動動作）
まず、図４に示すように、第２の放熱部材１２の支持部１３に第１の放熱部材１１が取り付けられる。このとき、第１の放熱部材１１は、支持部１３内における第３の位置Ｐ３に位置している。続いて、移動機構１５の移動用ネジ１７をねじ込み操作することで、移動用ネジ１７の頭部１７ｂによって第１の放熱部材１１を移動させ、第３の位置Ｐ３から第２の位置Ｐ２まで移動させる。
【００４５】
照射体２では、図１及び図２に示すように、吸引装置４によって空気吸引路１４の吸引穴１４ｂから空気が吸引されることで、第２の放熱部材１２の支持部１３内に、吸引溝１４ａに沿って負圧が生じる。この負圧によって、第２の位置Ｐ２に移動された第１の放熱部材１１は、図５及び図６に示すように、第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１へ移動され、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａに吸着される。
【００４６】
第１の位置Ｐ１において、第１の放熱部材１１は、空気吸引路１４によって吸引されることで、接触面１１ｂ全体が第２の放熱部材１２の吸着面１２ａに接触し、互いに密着した吸着状態になる。これにより、第１の放熱部材１１と第２の放熱部材１２との熱伝導性が高められるので、第１及び第２の放熱部材１１，１２を介して発光素子７を効率的に冷却することが可能になる。このように、負圧で第１の放熱部材１１を第２の放熱部材１２に吸着することで、基板８の長手方向における照度分布の変化が抑えられ、照度分布が均一化される。
【００４７】
照射体２は、例えば、発光素子７を点灯させる点灯時に常に負圧が導入されることで、第１の放熱部材１１と第２の放熱部材１２との密着性が保たれるように構成されている。また、空気吸引路１４を介した負圧の導入を停止することで、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａに接触面１１ｂが吸着された第１の放熱部材１１は、自重で下降し、第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２まで移動する。続いて、移動機構１５の移動用ネジ１７を下方へ移動することで、第１の放熱部材１１は、移動用ネジ１７の頭部１７ｂと共に自重で下降し、第２の位置Ｐ２から第３の位置Ｐ３まで移動する。
【００４８】
上述のように実施形態の照射体２は、支持部１３に対して第１の放熱部材１１を移動させる移動機構１５を備える。支持部１３は、第１の位置Ｐ１、第２の位置Ｐ２、第３の位置Ｐ３に、第１の放熱部材１１を移動可能に支持する。移動機構１５は、第１の放熱部材１１を第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３とに移動させる。このように支持部１３には、第１の放熱部材１１が第２の放熱部材１２の吸着面１２ａに吸引される第２の位置Ｐ２と、第１の放熱部材１１が吸着面１２ａに吸着された第１の位置Ｐ１との間に空間が確保される。これにより、空気吸引路１４による吸引の導入を停止したときに、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａと第１の放熱部材１１の接触面１１ｂとの間に間隙が生じやすくなるので、第２の放熱部材１２から第１の放熱部材１１を容易に取り外すことが可能になる。したがって、第２の放熱部材１２に負圧で吸着される第１の放熱部材１１の着脱性を高めることができる。
【００４９】
その結果、発光素子７の劣化時や故障時等のメンテナンス作業での保守性を確保することができる。加えて、負圧の吸引によって第１の放熱部材１１と第２の放熱部材１２との密着性が高められるので、発光素子７の放熱性を高めることができる。したがって、基板８に複数の発光素子７が配列された構成において、複数の発光素子７による照度分布の変化を抑える、すなわち、照度分布を均一化することができる。
【００５０】
また、実施形態の照射体２の移動機構１５は、取付け穴１６に通されて第１の放熱部材１１を第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３とに移動させる移動用ネジ１７を有する。これにより、移動機構１５は、簡素な構成で第１の放熱部材１１をＺ方向へ移動させることができる。
【００５１】
また、照射体２は、第２の放熱部材１２の支持部１３に対して第１の放熱部材１１がスライド可能に支持されているので、第１の放熱部材１１を容易に着脱することが可能になり、発光素子７の保守性を更に高めることができる。
【００５２】
また、実施形態によれば、発光素子７の冷却効率が高められるので、発光素子７の温度の上昇によって照度が低下することを抑え、照射体２から照射される照射エネルギ（照度）が安定するまでにかかる時間（立ち上がりに要する時間）を短縮することが可能になる。したがって、例えば紫外線硬化樹脂を用いる工程において、１つの照射対象物あたりの処理時間（タクトタイム）を短縮し、生産性を向上することが可能になる。
【００５３】
また、実施形態によれば、長尺状の照射体２の長手方向（Ｘ方向）における照度分布を均一化することができるので、特に、長辺が１ｍから２ｍ程度の大型の液晶パネルの製造に好適であり、大型の液晶パネルの製造品質の向上につながる。
【００５４】
また、実施形態における第１の放熱部材１１は、つば状の係合凸部１１ｃがＹ方向における両側から突出して設けられたが、第２の放熱部材１２の支持部１３に支持されるように、外形全体が平板状に形成されてもよい。これにより、第１の放熱部材１１の外形形状を簡素化することができるので、第１の放熱部材１１及び照射体２の生産性を高めることが可能になる。
【００５５】
以下、実施形態の照射装置が備える照射体の変形例について図面を参照して説明する。
【００５６】
（第１の変形例）
図７は、実施形態の第１の変形例の照射体を模式的に示す断面図である。第１の変形例は、第１の放熱部材１１の接触面１１ｂに凹部が設けられた点が、実施形態と異なる。第１の変形例において、実施形態と同一の構成については、実施形態と同一の符号を付けて説明を省略する。
【００５７】
図７に示すように、第１の変形例の照射体２０が有する第１の放熱部材１１は、空気吸引路１４から吹き出された空気が進入する凹部１１ｄが接触面１１ｂに設けられている。第２の放熱部材１２の吸着面１２ａに接触面１１ｂが吸着された第１の放熱部材１１を取り外すときに、空気吸引路１４から凹部１１ｄ内へ空気を吹き出すことで、吸着面１２ａから接触面１１ｂをスムースに離間させることが可能になり、第１の放熱部材１１の吸着状態を強制的に解除することができる。
【００５８】
また、凹部１１ｄは、第１の放熱部材１１の接触面１１ｂのＸ方向（複数の発光素子７の配列方向）における両端部にそれぞれ設けられている。このように凹部１１ｄが配置されることで、支持部１３に支持された第１の放熱部材１１の端部から、吸着面１２ａと接触面１１ｂとの間に生じた間隙にユーザが指先等を挿入することが可能になり、第２の放熱部材１２に吸着された第１の放熱部材１１の取り外し作業を更に容易に行うことができる。
【００５９】
上述のように第１の変形例の照射体２０は、実施形態と同様に、空気吸引路１４による負圧の導入を停止したときに、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａと第１の放熱部材１１の接触面１１ｂとの間に間隙が生じやすくなるので、第２の放熱部材１２から第１の放熱部材１１を容易に取り外すことが可能になる。したがって、第２の放熱部材１２に負圧で吸着された第１の放熱部材１１の着脱性を更に高めることができる。加えて、第１の変形例は、空気吸引路１４から吹き出される空気が進入する凹部１１ｄが第１の放熱部材１１の接触面１１ｂに設けられることによって、第２の放熱部材１２の吸着面１２ａと接触面１１ｂとの吸着状態を強制的に解除することが可能になる。したがって、第１の変形例によれば、第２の放熱部材１２に負圧で吸着された第１の放熱部材１１の着脱性を更に高めることができる。
【００６０】
（第２の変形例）
図８は、第２の変形例における照射体を模式的に示す断面図である。第２の変形例は、第１及び第２の放熱部材の構造、移動機構が、実施形態と異なる。図８に示すように、第２の変形例における照射体３０は、複数の発光素子７と、基板８と、第１の放熱部材３１と、第２の放熱部材３２と、移動機構３５と、を備える。
【００６１】
第１の放熱部材３１は、熱伝導性を有する金属材料によってほぼ断面半円状に形成されており、基板８のＸ方向に沿って延びる長尺状に形成されている。また、第１の放熱部材３１は、基板８が設けられた底面３１ａの反対側に、第２の放熱部材３２と接する接触面３１ｂが断面円弧状の曲面として形成されている。また、第１の放熱部材３１には、Ｘ方向に直交するＹ方向において、接触面３１ｂの両側に、第２の放熱部材３２に係合する係合凸部３１ｃが、Ｘ方向に沿って形成されている。
【００６２】
第２の放熱部材３２は、熱伝導性を有する金属材料によってブロック状に形成されており、第１の放熱部材３１を支持する支持部３３を有する。支持部３３は、第１の放熱部材３１の外形形状に対応する凹状に形成されている。第１の放熱部材３１は、支持部３３に対してＸ方向にスライド可能に設けられており、Ｘ方向にスライドすることで支持部３３に着脱可能に支持されている。また、支持部３３の内側には、支持部３３に支持された第１の放熱部材３１の接触面３１ｂに対向する位置に、接触面３１ｂと接する吸着面３２ａが断面円弧状の曲面として形成されている。また、支持部３３の、Ｙ方向における両側には、支持部３３に支持された第１の放熱部材３１の係合凸部３１ｃと係合する係合溝３２ｂが、Ｘ方向に沿って形成されている。また、第２の放熱部材３２の底面３２ｃには、移動機構３５が配置されている。
【００６３】
また、支持部３３には、第１の放熱部材３１を負圧で吸引するための複数の空気吸引路３４が設けられている。各空気吸引路３４は、吸着面３２ａに、所定の間隔をあけて配置されており、第１の放熱部材３１におけるＹ方向に平行な断面の中心に対してほぼ放射状に延びて形成されている。また、各空気吸引路３４は、実施形態における空気吸引路１４と同様に、Ｘ方向に沿って延びる複数の吸引溝３４ａと、各吸引溝３４ａに連通する複数の吸引穴３４ｂと、を有する。
【００６４】
また、図８に示すように、第１の放熱部材３１の接触面３１ｂには、吸引溝３４ａから吹き出された空気が入る複数の凹部３１ｄが設けられている。凹部３１ｄは、接触面３１ｂのＸ方向における両端部において、各吸引溝３４ａにそれぞれ対向する位置にそれぞれ設けられている。なお、凹部３１ｄは、吸引溝３４ａに沿って延びて形成されてもよく、吸引溝３４ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って複数に分割されて配置されてもよい。
【００６５】
また、第２の放熱部材３２の内部には、実施形態における流路１８と同様に、冷却用流体が流れる流路３８が設けられている。また、流路３８は、空気吸引路３４と交差しないようにＸ方向の端部で折り返して蛇行するＳ字状に形成されている。
【００６６】
また、第２の放熱部材３２の支持部３３は、実施形態における第２の放熱部材１２と同様に、Ｚ方向に対して異なる第１の位置、第２の位置、第３の位置に第１の放熱部材３１をそれぞれ移動可能に支持する。図８には、第１の放熱部材３１の接触面３１ｂが、第２の放熱部材３２の吸着面３２ａに吸着可能な第２の位置に、第１の放熱部材３１が移動された状態を示す。
【００６７】
移動機構３５は、図８に示すように、第２の放熱部材３２の支持部３３に設けられた複数の取付け穴３６と、各取付け穴３６に通される移動部材としての複数の差し込みピン３７と、を有する。取付け穴３６及び差し込みピン３７は、実施形態における取付け穴１６及び移動用ネジ１７と同様に配置されている。
【００６８】
差し込みピン３７は、例えば、円柱の先端がＶ字状に割れた軸部３７ａを有しており、軸部３７ａが所定の長さに設定されている。取付け穴３６は、丸穴に限定されるものではなく、長穴状に形成されてもよい。差し込みピン３７の軸部３７ａは、必要に応じて、任意の形状に形成されてよい。
【００６９】
差し込みピン３７は、取付け穴３６に差し込まれることで、軸部３７ａが取付け穴３６を通って支持部３３内に突出し、軸部３７ａが第１の放熱部材３１の係合凸部３１ｃを持ち上げる。このとき、差し込みピン３７は、軸部３７ａの長さに応じて、第１の放熱部材３１を吸着面３２ａ側へ所定の移動量だけ移動させて、第１の放熱部材３１が第３の位置から第２の位置まで移動される。第２の位置に移動された第１の放熱部材３１は、実施形態と同様に、空気吸引路３４を介して吸引されることで、第２の位置から第１の位置まで移動され、接触面３１ｂが第２の放熱部材３２の吸着面３２ａに吸着される。
【００７０】
上述のように、第２の変形例の照射体３０は、第１の放熱部材３１の接触面３１ｂに凹部３１ｄが設けられたことで、第１の変形例と同様に、第２の放熱部材３２の吸着面３２ａと接触面３１ｂとの吸着状態を強制的に解除することが可能になる。したがって、第２の変形例によれば、第２の放熱部材３２から第１の放熱部材３１を容易に取り外すことが可能になり、第２の放熱部材３２に負圧で吸着された第１の放熱部材３１の着脱性を更に高めることができる。
【００７１】
その結果、第２の変形例は、実施形態及び第１の変形例と同様に、発光素子７の保守性を確保すると共に、発光素子７の放熱性を高めることができる。したがって、複数の発光素子７による照度分布を均一化することができる。
【００７２】
加えて、第２の変形例では、複数の空気吸引路３４によって第１の放熱部材３１が複数の箇所で吸引されるので、吸引力を更に高め、第１の放熱部材３１と第２の放熱部材３２とが密着した吸着状態の安定性を高めることが可能になる。
【００７３】
また、第２の変形例は、第１の放熱部材３１が接触面３１ｂを有することで、実施形態及び第１の変形例に比べて、第１の放熱部材３１と第２の放熱部材３２との接触面積を増加させることが可能になるので、発光素子７の放熱性を更に高めることができる。
【００７４】
また、第２の変形例における移動機構３５は、取付け穴３６に通されて第１の放熱部材３１を第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３とに移動させる差し込みピン３７を有する。これにより、移動機構３５は、簡素な構成で第１の放熱部材３１をＺ方向へ移動させることができる。
【００７５】
また、第２の変形例においても、第２の放熱部材３２の支持部３３に対して第１の放熱部材３１をＸ方向にスライドすることで、第１の放熱部材３１を支持部３３に対して容易に着脱することが可能になるので、発光素子７の保守性を更に高めることができる。
【００７６】
なお、実施形態、第１及び第２の変形例では、移動用ネジ１７の頭部１７ｂによって第１の放熱部材１１の底面１１ａを持ち上げる構成や、差し込みピン３７の軸部３７ａによって第１の放熱部材３１の係合凸部３１ｃを持ち上げる構成が採られたが、この構成に限定されるものでない。第２の放熱部材１２、３２には、例えば、第１の放熱部材１１、３１の係合凸部１１ｃ、３１ｃを保持する保持部を有する他の移動部材が移動可能に設けられてもよい。
【００７７】
また、本実施形態では、第１及び第２の放熱部材を冷却するために水冷方式が用いられたが、水冷方式に限定されるものではない。すなわち、第２の放熱部材には、流路が設けられたが、流路が設けられる構成に限定するものではない。第１及び第２の放熱部材は、自然空冷や強制空冷等の空冷方式で冷却するように構成されてもよい。空冷方式を採る場合、例えば、第２の放熱部材には、長手方向における端面や、発光素子によって光を照射する底面に、複数の放熱フィンが設けられてもよい。
【００７８】
また、本実施形態は、紫外線を照射する照射装置として構成されたが、可視光を発する発光素子を用いることで、照明光を照射する照明装置として構成されてもよい。また、本実施形態では、第２の放熱部材の支持部に設けられた空気吸引路によって第１の放熱部材が吸引されるように構成されたが、例えば、第２の放熱部材の外側に配置された吸引機構によって第１の放熱部材が吸引されるように構成されてもよい。
【００７９】
本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することを意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、本発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００８０】
１  照射装置
２  照射体
７  発光素子
８  基板
１１  第１の放熱部材
１１ｂ  接触面
１１ｄ  凹部
１２  第２の放熱部材
１２ａ  吸着面
１３  支持部
１４  空気吸引路
１４ａ  吸引溝
１４ｂ  吸引穴
１５  移動機構
１６  取付け穴
１７  移動用ネジ
１８  流路
Ｐ１  第１の位置
Ｐ２  第２の位置
Ｐ３  第３の位置
【図１】
0006648631.tif 000002
【図２】
0006648631.tif 000003
【図３】
0006648631.tif 000004
【図４】
0006648631.tif 000005
【図５】
0006648631.tif 000006
【図６】
0006648631.tif 000007
【図７】
0006648631.tif 000008
【図８】
0006648631.tif 000009