(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷機であって、
前記スクリーンの縁部を保持するスクリーン縁部保持部材と、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置と前記印刷位置よりも低い下方位置との間で昇降させる基板保持部材昇降装置と、
前記基板保持部材昇降装置とは独立して設けられ、前記スクリーン縁部保持部材に前記縁部が保持された前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲を前記スクリーンの下方から支持するスクリーン支持部材と、
前記スキージを、前記スクリーン縁部保持部材に前記縁部が保持された前記スクリーンの上面に前記スキージが接触する接触位置と前記接触位置よりも高い離間位置との間で昇降させるスキージ昇降装置と、
スクリーン印刷の準備段階で、前記基板を保持した前記基板保持部材が前記印刷位置まで上昇する前に前記スキージが前記接触位置に到達するように、前記基板保持部材昇降装置及び前記スキージ昇降装置を制御する制御装置と、
を備えたスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記接触位置は、前記スクリーン支持部材の支持面の直上に設定されている、
請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機であって、
前記スクリーンの下方を前記スクリーンと平行な方向に移動可能に設けられ、前記スクリーンの前記印刷領域及び前記基板のそれぞれに付された位置合わせ用のスクリーン側基準部及び基板側基準部を撮像する撮像装置
を備え、
前記制御装置は、スクリーン印刷の準備段階で、前記スクリーンの下面と前記基板保持部材に保持された前記基板との間を前記撮像装置が通過可能な間隔になるようにした上で、前記撮像装置が前記スクリーン側基準部及び前記基板側基準部とを撮像するように、前記基板保持部材昇降装置及び前記撮像装置を制御する、
スクリーン印刷機。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷機であって、
前記スクリーン支持部材のうち前記スクリーンの下面を支持する負圧吸引面に負圧を供給する負圧装置と、
前記スクリーン支持部材を前記スクリーンと平行な方向に移動させるスクリーン支持部材移動装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記基板を保持した前記基板保持部材が前記印刷位置よりも低い清掃位置にあるときに、前記スクリーンの下面が前記負圧吸引面に吸引されるように前記負圧吸引面に負圧を供給しながら、前記スクリーン支持部材が前記スクリーンと平行な方向に移動するように、前記負圧装置及び前記スクリーン支持部材移動装置を制御する、
スクリーン印刷機。
【請求項５】
前記スクリーン支持部材は、前記印刷領域を挟んで対をなすように設けられ、
前記スクリーン支持部材移動装置は、前記対をなす前記スクリーン支持部材の少なくとも一方を前記スクリーンと平行な方向に移動する、
請求項４に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
（ａ）前記基板を基板保持部材によって保持するステップと、
（ｂ）前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置まで基板保持部材昇降装置によって上昇させるステップと、
を含み、
前記ステップ（ｂ）の前のスクリーン印刷の準備段階において、前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲が前記基板保持部材昇降装置とは別に設けられたスクリーン支持部材によって前記スクリーンの下方から支持されているときに、前記スキージを前記スクリーンに接触する接触位置に到達させる、
スクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記ステップ（ａ）のあと前記ステップ（ｂ）の前のスクリーン印刷の準備段階において、前記印刷領域の周囲が前記スクリーン支持部材によって前記スクリーンの下方から支持されているときに、前記スクリーンの下面と前記基板との間を撮像装置が通過可能な間隔になるようにした上で、前記印刷領域及び前記基板のそれぞれに付された位置合わせ用のスクリーン側基準部及び基板側基準部を前記撮像装置により撮像する
請求項６に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のスクリーン印刷方法であって、
（ｃ）前記印刷領域の周囲を、前記スクリーン支持部材の負圧吸引面によって前記スクリーンの下方から支持させ、且つ、前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置まで基板保持部材昇降装置によって上昇させた状態で、スクリーン印刷を実行するステップと、
（ｄ）前記基板保持部材を前記印刷位置よりも低い清掃位置に下降させたあと、前記スクリーンの下面が前記負圧吸引面に吸引されるように前記負圧吸引面に負圧を供給しながら、前記スクリーン支持部材を前記スクリーンと平行な方向に移動させることにより清掃を実行するステップと、
を含むスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷機が知られている。例えば、特許文献１に開示されたスクリーン印刷機では、第１の昇降装置の台の上に、一対の基板保持部材と、その基板保持部材を昇降させる第２の昇降装置と、その両側に設けられた一対のスクリーン支持部材とが載置されている。一対の基板保持部材は、矩形の基板の前後の側面を挟み込んで保持する。基板を保持した一対の基板保持部材は、第１及び第２の昇降装置によって、基板がスクリーンの下面に接触する印刷位置まで上昇されたりその印刷位置から下方へ降下されたりする。一対のスクリーン支持部材は、第１の昇降装置によって一対の基板保持部材と共に上昇、下降されるものであり、スクリーン印刷時には基板を保持した一対の基板保持部材の両側でスクリーンの下面を支持する。このとき、一対のスクリーン支持部材の支持面は、基板の上面と同一平面になるように位置決めされる。特許文献２にもこれと類似のスクリーン印刷機が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１１６５８４号公報
【特許文献２】特開２０１３−１０３４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようなスクリーン印刷機では、第１の昇降装置の台の上に一対のスクリーン支持部材が載せられているため、第１の昇降装置にかかる負荷が大きくなる上、第１の昇降装置の台にその他の部材や装置を搭載するのが困難になり設計の自由度が損なわれるという問題があった。【０００５】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、基板保持部材昇降装置の負荷を軽減すると共にその昇降装置に搭載する部材や装置の設計の自由度を高くすることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷機は、
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷機であって、
前記スクリーンの縁部を保持するスクリーン縁部保持部材と、
前記基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置と前記印刷位置よりも低い下方位置との間で昇降させる基板保持部材昇降装置と、
前記基板保持部材昇降装置とは独立して設けられ、前記スクリーン縁部保持部材に前記縁部が保持された前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲を前記スクリーンの下方から支持するスクリーン支持部材と、
を備えたものである。【０００７】
このスクリーン印刷機では、スクリーン支持部材は、基板保持部材昇降装置とは独立して設けられている。つまり、スクリーン支持部材は、基板保持部材昇降装置による基板保持部材の昇降の影響を受けない位置に設けられている。そのため、基板保持部材昇降装置にかかる負荷が軽減される。また、基板保持部材昇降装置に搭載する部材や装置の設計の自由度を高くすることができる。【０００８】
本発明のスクリーン印刷機は、
前記スキージを、前記スクリーン縁部保持部材に前記縁部が保持された前記スクリーンの上面に前記スキージが接触する接触位置と前記接触位置よりも高い離間位置との間で昇降させるスキージ昇降装置と、
スクリーン印刷の準備段階で、前記基板を保持した前記基板保持部材が前記印刷位置まで上昇する前に前記スキージが前記接触位置に到達するように、前記基板保持部材昇降装置及び前記スキージ昇降装置を制御する制御装置と、
を備えていてもよい。【０００９】
このスクリーン印刷機では、スクリーンのうち印刷領域の周囲はスクリーン支持部材によって支持されている。そのため、基板を保持した基板保持部材が印刷位置まで上昇する前にスキージが接触位置に到達したとしても、そのスキージによって印刷領域が下方に撓むことがなく、スキージの印圧を調整することができる。その結果、基板保持部材昇降装置の状態に依存せずにスキージの印刷準備を行うことができるため、サイクルタイムが短縮され、生産性が向上する。【００１０】
このスクリーン印刷機において、前記接触位置は、前記スクリーン支持部材の支持面の直上に設定することが好ましい。こうすれば、スキージによって印刷領域が下方に撓むのをより確実に防止することができる。【００１１】
本発明のスクリーン印刷機は、
前記スクリーンの下方を前記スクリーンと平行な方向に移動可能に設けられ、前記スクリーンの前記印刷領域及び前記基板のそれぞれに付された位置合わせ用のスクリーン側基準部及び基板側基準部を撮像する撮像装置と、
スクリーン印刷の準備段階で、前記スクリーンの下面と前記基板保持部材に保持された前記基板との間を前記撮像装置が通過可能な間隔になるようにした上で、前記撮像装置が前記スクリーン側基準部及び前記基板側基準部とを撮像するように、前記基板保持部材昇降装置及び前記撮像装置を制御する制御装置と、
を備えていてもよい。【００１２】
このスクリーン印刷機では、スクリーンのうち印刷領域の周囲はスクリーン支持部材によって支持されている。そのため、撮像装置で撮像したときのスクリーン側基準部の位置とスクリーン印刷するときのスクリーン側基準部の位置はほとんどずれることがない。その結果、スクリーン側基準部及び基板側基準部を用いてスクリーンと基板との位置合わせを行ったときの精度が高まる。【００１３】
本発明のスクリーン印刷機は、
前記スクリーン支持部材のうち前記スクリーンの下面を支持する負圧吸引面に負圧を供給する負圧装置と、
前記スクリーン支持部材を前記スクリーンと平行な方向に移動させるスクリーン支持部材移動装置と、
前記基板を保持した前記基板保持部材が前記印刷位置よりも低い清掃位置にあるときに、前記スクリーンの下面が前記負圧吸引面に吸引されるように前記負圧吸引面に負圧を供給しながら、前記スクリーン支持部材が前記スクリーンと平行な方向に移動するように、前記負圧装置及び前記スクリーン支持部材移動装置を制御する制御装置と、
を備えていてもよい。【００１４】
このスクリーン印刷機では、負圧吸引面を備えたスクリーン支持部材は、スクリーンの吸着支持に利用されると共にスクリーンの清掃にも利用される。そのため、スクリーン支持部材と清掃装置とを別々に設ける場合に比べて、スクリーン印刷機のサイズを小型にすることができる。【００１５】
このスクリーン印刷機において、前記スクリーン支持部材は、前記印刷領域を挟んで対をなすように設けられ、前記スクリーン支持部材移動装置は、前記対をなす前記スクリーン支持部材の少なくとも一方を前記スクリーンと平行な方向に移動するようにしてもよい。こうすれば、対をなすスクリーン支持部材の間隔を印刷領域のサイズに応じて変更することができるし、対をなすスクリーン支持部材の間隔を変更するときの駆動源とスクリーンを清掃するときの駆動源とを共通化することができる。【００１６】
本発明のスクリーン印刷方法は、
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
（ａ）前記基板を基板保持部材によって保持するステップと、
（ｂ）前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置まで基板保持部材昇降装置によって上昇させるステップと、
を含み、
前記ステップ（ｂ）の前のスクリーン印刷の準備段階において、前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲が前記基板保持部材昇降装置とは別に設けられたスクリーン支持部材によって前記スクリーンの下方から支持されているときに、前記スキージを前記スクリーンに接触する接触位置に到達させる、
ものである。【００１７】
このスクリーン印刷方法では、スクリーン印刷の準備段階において、基板保持部材が印刷位置に到達する前にスキージが接触位置に到達したとしても、スクリーンの印刷領域の周囲がスクリーン支持部材によって支持されているため、そのスキージによって印刷領域が下方に撓むことがなく、スキージの印圧を調整することができる。その結果、基板保持部材昇降装置の状態に依存せずにスキージの印刷準備を行うことができるため、サイクルタイムが短縮され、生産性が向上する。【００１８】
本発明の別のスクリーン印刷方法は、
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
（ａ）前記基板を基板保持部材によって保持するステップと、
（ｂ）前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置まで基板保持部材昇降装置によって上昇させるステップと、
を含み、
前記ステップ（ａ）のあと前記ステップ（ｂ）の前のスクリーン印刷の準備段階において、前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲が前記基板保持部材昇降装置とは別に設けられたスクリーン支持部材によって前記スクリーンの下方から支持されているときに、前記スクリーンの下面と前記基板との間を撮像装置が通過可能な間隔になるようにした上で、前記印刷領域及び前記基板のそれぞれに付された位置合わせ用のスクリーン側基準部及び基板側基準部を前記撮像装置により撮像する
ものである。【００１９】
このスクリーン印刷方法では、スクリーン印刷の準備段階において、印刷領域及び基板のそれぞれに付されたスクリーン側基準部及び基板側基準部を撮像装置により撮像するときには、スクリーンのうち印刷領域の周囲はスクリーン支持部材によって支持されている。そのため、撮像装置で撮像したときのスクリーン側基準部の位置とスクリーン印刷するときのスクリーン側基準部の位置はほとんどずれることがない。その結果、スクリーン側基準部及び基板側基準部を用いてスクリーンと基板との位置合わせを行ったときの精度が高まる。【００２０】
本発明の別のスクリーン印刷方法は、
スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
（ａ）前記基板を基板保持部材によって保持するステップと、
（ｂ）前記スクリーンのうちスクリーン印刷の際に利用する印刷領域の周囲を、前記基板保持部材昇降装置とは別に設けられたスクリーン支持部材の負圧吸引面によって前記スクリーンの下方から支持させ、且つ、前記基板保持部材を、スクリーン印刷するときの所定の高さに設定された印刷位置まで基板保持部材昇降装置によって上昇させた状態で、スクリーン印刷を実行するステップと、
（ｃ）前記基板保持部材を前記印刷位置よりも低い清掃位置に下降させたあと、前記スクリーンの下面が前記負圧吸引面に吸引されるように前記負圧吸引面に負圧を供給しながら、前記スクリーン支持部材を前記スクリーンと平行な方向に移動させることにより清掃を実行するステップと、
を含むものである。【００２１】
このスクリーン印刷方法では、負圧吸引面を備えたスクリーン支持部材は、スクリーンの吸着支持に利用されると共にスクリーンの清掃にも利用される。そのため、スクリーン支持部材と清掃装置とを別々に設ける場合に比べて、スクリーン印刷機のサイズを小型にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】スクリーン印刷機１０の概略説明図。
【図２】スクリーン印刷機１０の部分斜視図。
【図３】一対のスクリーン支持部材５０，５２の斜視図。
【図４】スクリーン印刷機１０の電気的接続を表すブロック図。
【図５】スクリーン印刷準備処理ルーチンのフローチャート。
【図６】スキージ下降処理（サブルーチン）のフローチャート。
【図７】基板配置処理（サブルーチン）のフローチャート。
【図８】一対の基板保持部材３６，３８で基板Ｓを保持した様子を示す説明図。
【図９】位置合わせ用マークを撮影する様子を示す説明図。
【図１０】基板Ｓの平面図。
【図１１】スクリーン１２の平面図。
【図１２】基板Ｓが印刷位置で位置決めされたときの様子を示す説明図。
【図１３】スクリーン印刷処理ルーチンのフローチャート。
【図１４】スクリーン清掃処理ルーチンのフローチャート。
【図１５】スクリーン１２を清掃する様子を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の好適な実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。図１は本実施形態のスクリーン印刷機１０の概略説明図、図２はスクリーン印刷機１０の部分斜視図、図３は一対のスクリーン支持部材５０，５２の斜視図、図４はスクリーン印刷機１０の電気的接続を表すブロック図である。なお、本実施形態では、図１〜図３に示すように、スクリーン印刷機１０の左右方向をＸ軸、前後方向をＹ軸、上下方向をＺ軸と称する。
【００２４】
スクリーン印刷機１０は、図１に示すように、スクリーン１２の上面に載せられたクリームはんだ（粘性流体）１３を第１及び第２スキージ７１，７２のいずれかを使って基板Ｓ上にスクリーン印刷するものである。
【００２５】
このスクリーン印刷機１０は、スクリーン枠保持レール１４（図２参照）と、昇降テーブル１６と、移動台３０と、一対の基板保持部材３６，３８と、支持台４２と、一対のスクリーン支持部材５０，５２と、スキージユニット７０と、撮像ユニット８０とを備えている。
【００２６】
スクリーン枠保持レール１４は、図２に示すように、略四角形のメタル薄膜からなるスクリーン１２の縁部に取り付けられたスクリーン枠１２ａを保持する断面Ｌ字のレールである。このスクリーン枠保持レール１４は、Ｙ軸に沿って延びるレールであり、スクリーン印刷機１０の左右両側に対をなすように、つまりＸ軸方向に間隔をあけて設けられている。スクリーン１２は、このスクリーン枠保持レール１４に水平を保つように保持される。スクリーン１２を交換する際、オペレータは現在保持されているスクリーン１２のスクリーン枠１２ａを掴んで手前方向に引き出して抜き去ったあと、別のスクリーン１２のスクリーン枠１２ａを一対のスクリーン枠保持レール１４に差し込む。
【００２７】
昇降テーブル１６は、水平なテーブル台１６ａと、そのテーブル台１６ａから垂直下向きに延びる脚部１６ｂとを備えている。脚部１６ｂは、スクリーン印刷機１０の機枠１０ａに取り付けられたＺ軸方向に延びるガイドレール１８にスライド可能に取り付けられている。昇降テーブル１６は、ボールネジ機構２０によって昇降される。ボールネジ機構２０は、脚部１６ｂに取り付けられたナット２２と、このナット２２に螺合されたボールネジ２４と、このボールネジ２４にベルト２６を介して動力を伝達するモータ２８とを備えている。このため、昇降テーブル１６は、ボールネジ機構２０のモータ２８を回転させるとガイドレール１８に沿って昇降する。
【００２８】
移動台３０は、複数の鋼球３２を介して昇降テーブル１６のテーブル台１６ａの上面に支持されている。そのため、移動台３０は、テーブル台１６ａの上面に対してスムーズにＸＹ方向に移動したりＺ軸周りに回転したりすることができる。この移動台３０は、昇降テーブル１６に設けられた基板位置調節装置３４によってＸ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向に位置が調節される。基板位置調節装置３４のうち、Ｘ軸方向の位置を調節するＸ軸方向位置調節装置としては、例えば、移動台３０の前方又は後方の側面に棒状突起を立設し、この棒状突起を昇降テーブル１６側に取り付けたボールネジ機構によってＸ軸方向に移動する構成を採用してもよい。ボールネジ機構は、Ｘ軸方向に延びるボールネジと、ボールネジに螺合されたナットと、ナットに一体化されたスライダとを備えたものとし、スライダ上に設けたボールの球面と円柱ローラの側面とで棒状突起を挟み込むようにする。その際、ボールにスプリングを取り付け、そのスプリングの付勢によってボールの球面が棒状突起を円柱ローラの側面に押しつけて挟み込むようにする。こうすれば、ボールネジを回転させると、それに伴ってナットに一体化されたスライダがＸ軸方向に移動し、移動台３０がＸ軸方向に移動する。Ｙ軸方向の位置を調節するＹ軸方向位置調節装置も、これと同様の構成を採用すればよい。また、回転方向の位置（Ｚ軸周りの回転位置）の調節は、上述したＸ軸方向位置調節装置とＹ軸方向位置調節装置を同時に操作することにより行うことができる。こうした基板位置調節装置３４の詳細については、特開２００７−３８４５６号公報に記載されている。なお、基板位置調節装置３４は、特に上述した構成に限定されるものではなく、例えば、Ｘ軸方向に移動可能なスライダと、Ｙ軸方向に移動可能なスライダと、Ｚ軸周りに回転可能なスライダとを積層した構成としてもよい。
【００２９】
一対の基板保持部材３６，３８は、いずれも上部が内側に折れ曲がった逆Ｌ字状の部材であり、移動台３０の上面にてＹ軸方向に間隔をあけて設けられている。このうち、一方の基板保持部材３６は、移動台３０上に固定されているが、もう一方の基板保持部材３８は、基板保持部材移動装置４０によって移動台３０上をＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。基板保持部材移動装置４０としては、例えばボールネジ機構やリニアアクチュエータ、エアシリンダなどが挙げられる。一対の基板保持部材３６，３８は、互いに対向する側面に、基板ＳをＸ軸方向に搬送するコンベアベルト３６ａ，３８ａを備えている。このコンベアベルト３６ａ，３８ａは、モータ３６ｂ、３８ｂ（図４参照）によって駆動され、基板Ｓをスクリーン印刷機１０内に搬入したり、スクリーン印刷機１０内の基板Ｓを搬出したりする際に利用されるものである。一対の基板保持部材３６，３８は、折れ曲がった上部の横長部分の内側面３６ｃ、３８ｃにより基板Ｓの側面を前後から挟み込むことが可能となっている。なお、一対の基板保持部材３６，３８は移動台３０を介して昇降テーブル１６によって昇降されるため、昇降テーブル１６が基板保持部材昇降装置に相当する。
【００３０】
支持台４２は、その上面に多数の支持ピン４４を備えている。支持ピン４４は、コンベアベルト３６ａ，３８ａ上の基板Ｓを下方から支持するピンである。支持台４２は、移動台３０の上面に立設されたＺ軸方向に延びるガイドロッド４６，４８に沿って移動可能となっている。この支持台４２は、移動台３０の上面に設けられた支持台昇降装置４９によって昇降される。支持台昇降装置４９としては、例えばボールネジ機構やリニアアクチュエータ、エアシリンダなどが挙げられる。
【００３１】
一対のスクリーン支持部材５０，５２は、図２に示すように、スクリーン枠保持レール１４にスクリーン枠１２ａを支持されたスクリーン１２を下方から支持する部材であり、両支持部材５０，５２はＹ軸方向に間隔をあけて設けられている。スクリーン支持部材５０，５２は、移動台３０の上面ではなく、図３に示すようにスクリーン印刷機１０の機枠１０ａの一部に門型の架橋部材５４，５６により直接取り付けられている。門型の架橋部材５４，５６は、昇降テーブル１６や移動台３０、支持台４２、一対の基板保持部材３６，３８を跨ぐように設けられている。そのため、一対のスクリーン支持部材５０，５２は、昇降テーブル１６や移動台３０、支持台４２の動作の影響を受けない。一対のスクリーン支持部材５０，５２のうち、一方のスクリーン支持部材５０は、機枠１０ａの一部に移動不能に固定されているが、もう一方のスクリーン支持部材５２は、昇降テーブル１６や移動台３０，支持台４２とは独立してスクリーン支持部材移動装置５８によってＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。スクリーン支持部材移動装置５８としては、例えばボールネジ機構やリニアアクチュエータ、エアシリンダなどが挙げられる。スクリーン支持部材５０，５２は、図１に示すように、スクリーン支持面５０ａ，５２ａと、スクリーン支持面５０ａ，５２ａに設けられた穴５０ｂ，５２ｂと、これらの穴５０ｂ，５２ｂに連通された空洞部５０ｃ，５２ｃとを備えている。スクリーン支持面５０ａ，５２ａは、スクリーン１２と面接触している。但し、スクリーン支持面５２ａは、後述するクリーニングシート６２を介してスクリーン１２と接触している。多数の穴５０ｂ，５２ｂには、空洞部５０ｃ，５２ｃを介して、負圧装置５０ｄ，５２ｄによって負圧を供給することが可能となっている。そのため、スクリーン支持面５０ａ，５２ａが負圧吸引面に相当する。
【００３２】
水平移動可能なスクリーン支持部材５２は、スクリーン清掃ユニット６０を備えている。スクリーン清掃ユニット６０は、未使用のクリーニングシート６２を供給する供給ローラ６４と、使用済みのクリーニングシート６２を巻き取る回収ローラ６６とを備えている。各ローラ６４，６６は、スクリーン支持面５２ａよりも下方であって基板保持部材３８などと干渉しない位置に配置されている。クリーニングシート６２は、例えば通気性のあるペーパー又は布であり、供給ローラ６４からスクリーン支持面５２ａの上面を経由して回収ローラ６６まで架け渡されている。回収ローラ６６は、モータ６６ａにより回転してクリーニングシート６２を巻き取り可能となっている。
【００３３】
スキージユニット７０は、互いに逆方向に傾斜した第１及び第２スキージ７１，７２と、第１及び第２スキージ７１，７２を第１及び第２スキージ昇降装置７１ａ，７２ａ（図４参照）によって昇降可能なように取り付けたスキージヘッド７４と、スキージヘッド７４を保持するＸ軸スライダ７６と、Ｘ軸スライダ７６をＸ軸方向にスライド可能に支持するＹ軸スライダ７８とを備えている。Ｙ軸スライダ７８は、スクリーン印刷機１０の上部の機枠１０ａに取り付けられたＹ軸方向に延びるガイドレール７９にスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸スライダ７６及びＹ軸スライダ７８は、それぞれＸ軸モータ７６ａ及びＹ軸モータ７８ａ（図４参照）によってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する。
【００３４】
撮像ユニット８０は、図２に示すように、上方領域及び下方領域をそれぞれ撮像する上方及び下方カメラ８１，８２と、上方及び下方カメラ８１，８２を保持するＸ軸スライダ８３と、Ｘ軸スライダ８３をＸ軸方向にスライド可能に支持するＹ軸スライダ８８とを備えている。Ｘ軸スライダ８３は、Ｘ軸方向ボールネジ８４のナット８５に固定されていることによりＸ軸方向に移動可能である。また、Ｘ軸方向ボールネジ８４の両端は、カメラＹ軸ガイドレール８６に沿ってスライド可能なＹ軸スライダ８８に取り付けられている。そのため、Ｘ軸スライダ８３はＹ軸方向に移動可能である。Ｘ軸方向ボールネジ８４及びＹ軸スライダ８８は、それぞれＸ軸モータ８３ａ及びＹ軸モータ８８ａ（図４参照）によって駆動される。
【００３５】
制御装置９０は、図４に示すように、各種制御を実行するＣＰＵ９０ａと、各種処理プログラムなどを記憶したＲＯＭ９０ｂと、一時的にデータを記憶するＲＡＭ９０ｃと、各種データを書き換え可能に記憶するストレージ９０ｄとを備え、これらはバス９０ｅを介して互いにデータのやり取りが可能となっている。制御装置９０には、各種装置等（昇降テーブル１６、移動台３０、支持台４２、基板保持部材３８、スクリーン支持部材５２、第１及び第２のスキージ７１，７２、上方及び下方カメラ８１，８２）の位置センサからの検出信号などが入出力インタフェース９０ｆを介して入力される。制御装置９０からは、昇降テーブル１６のボールネジ機構２０や基板位置調節装置３４、基板保持部材移動装置４０、コンベアベルト３６ａ，３８ａのモータ３６ｂ，３８ｂ、支持台昇降装置４９、負圧装置５０ｄ，５２ｄ、スクリーン支持部材移動装置５８，スクリーン清掃ユニット６０のモータ６６ａ、スキージユニット７０の第１及び第２スキージ昇降装置７１ａ，７２ａ、Ｘ軸モータ７６ａ，Ｙ軸モータ７８ａ、撮像ユニット８０のＸ軸モータ８３ａ及びＹ軸モータ８８ａなどへの制御信号が入出力インタフェース９０ｆから出力される。また、制御装置９０は、基板Ｓのスクリーン印刷を管理する管理装置９２と双方向通信可能なように接続されている。
【００３６】
次に、スクリーン印刷機１０の動作の一例を説明する。制御装置９０は、まずスクリーン印刷準備処理ルーチンを実行し、次にスクリーン印刷処理ルーチンを実行し、最後にスクリーン清掃処理ルーチンを実行する。これらのルーチンのプログラムは、制御装置９０のＲＯＭ９０ｂに記憶されている。制御装置９０のＣＰＵ９０ａは、ＲＯＭ９０ｂから適宜プログラムを読み出してそれを実行する。なお、初期状態では、昇降テーブル１６や支持台４２は最下位置に配置され、基板保持部材３８は基板保持部材３６から最も離れた位置に配置され、スクリーン支持部材５２はスクリーン支持部材５０から最も離れた位置に配置されているものとする。また、撮像ユニット８０はスクリーン枠１２ａの外側の退避位置に配置され、スキージユニット７０の第１及び第２スキージ７１，７２は両方とも上方位置（離間位置）に配置されているものとする。スクリーン１２のうち一対のスクリーン支持部材５０，５２のいずれかの直上には、スクリーン印刷に使用するクリームはんだが予め供給されているものとする。
【００３７】
スクリーン印刷準備処理ルーチンについて、図５のフローチャートを参照しながら説明する。制御装置９０のＣＰＵ９０ａは、まず、管理装置９２から、今回のスクリーン印刷の対象となる基板Ｓのサイズやスクリーン印刷の際に利用する印刷領域ＰＡの位置などを入力する（ステップＳ１００）。なお、スクリーン１２の印刷領域ＰＡの大きさは、基板Ｓの大きさとほぼ同じである。続いて、ＣＰＵ９０ａは、一対の基板保持部材３６，３８の間隔及び一対のスクリーン支持部材５０，５２の間隔を調節する（ステップＳ１１０）。ここでは、ＣＰＵ９０ａは、一対の基板保持部材３６，３８の内側面３６ｃ，３８ｃのＹ軸方向の間隔が印刷領域ＰＡのＹ軸方向の長さよりも若干大きくなるように基板保持部材移動装置４０を制御する。これにより、一対の基板保持部材３６，３８のコンベアベルト３６ａ，３８ａ同士の間隔は基板Ｓをベルト上に支持できる大きさになる。また、ＣＰＵ９０ａは、一対のスクリーン支持部材５０，５２のＹ軸方向の間隔が所定の間隔となるようにスクリーン支持部材移動装置５８を制御する。ここで、所定の間隔とは、一対の基板保持部材３６，３８によって基板Ｓを挟んで保持したときの基板保持部材３６の外側面から基板保持部材３８の外側面までの長さＬ（図８参照）よりも若干大きくなるように設定される。これにより、一対のスクリーン枠保持レール１４にスクリーン枠１２ａが保持されたスクリーン１２のうち印刷領域ＰＡの周囲を、一対のスクリーン支持部材５０，５２の支持面５０ａ，５０ｂがスクリーン１２の下方から支持した状態となる。続いて、ＣＰＵ９０ａは、各負圧装置５０ｄ，５２ｄを作動させる（ステップＳ１２０）。これにより、スクリーン支持面５０ａ，５２ａの穴５０ｂ，５２ｂには空洞部５０ｃ，５２ｃを介して負圧が供給される。そのため、スクリーン１２の下面はスクリーン支持面５０ａ，５２ａにしっかりと吸着される。続いて、ＣＰＵ９０ａは、スキージ下降処理と基板の印刷位置への配置処理（基板配置処理）とを並列して実行し（ステップＳ１３０）、その後本ルーチンを終了する。これらの処理は、スクリーン印刷準備処理ルーチンのサブルーチンである。なお、並列して実行されるスキージ下降処理は、基板配置処理が終了する前に終了する。
【００３８】
ここで、ステップＳ１３０のスキージ下降処理と基板配置処理について説明する。スキージ下降処理のフローチャートを図６に、基板配置処理のフローチャートを図７に示す。ＣＰＵ９０ａは、スキージ下降処理を開始すると、まず、一対のスクリーン支持部材５０，５２のうち今回のスクリーン印刷のスタート位置にある方（ここではスクリーン支持部材５０とする）の直上にスキージヘッド７４が位置するようにスキージユニット７０のＸ軸モータ７６ａ及びＹ軸モータ７８ａを制御する（ステップＳ１４０）。続いて、ＣＰＵ９０ａは、上方に位置する第１及び第２スキージ７１，７２のうち今回のスクリーン印刷に使用する方がスクリーン１２の上面に接する接触位置まで下降するように第１及び第２スキージ昇降装置７１ａ，７２ａの一方を制御し（ステップＳ１５０）、このスキージ下降処理を終了する。なお、ステップＳ１５０では、ＣＰＵ９０ａは、スキージのスクリーン１２への圧力が所定圧力になるように調節してもよい。
【００３９】
一方、ＣＰＵ９０ａは、基板配置処理を開始すると、まず、今回スクリーン印刷の対象となる基板Ｓが所定位置に搬入されるようにコンベアベルト３６ａ，３８ａのモータ３６ｂ，３８ｂを制御する（ステップＳ１６０）。ここで、所定位置とは一対の基板保持部材３６，３８の間に基板Ｓが収まる位置をいう。続いて、ＣＰＵ９０ａは、一対の基板保持部材３６，３８に基板Ｓを保持させる（ステップＳ１７０）。ここでは、ＣＰＵ９０ａは、支持台昇降装置４９を制御して、支持ピン４４が基板Ｓの下面と接触するまで支持台４２を上昇させ、更に支持ピン４４に支持された基板Ｓの上面が一対の基板保持部材３６，３８の上面と同一平面になるまで支持台４２を上昇させる。これにより、基板Ｓの前後の側面のうち一方の側面は基板保持部材３６の内側面３６ｃと対向し、他方の側面は基板保持部材３８の内側面３８ｃと対向した状態になる。その状態で、ＣＰＵ９０ａは、一方の基板保持部材３６に対して他方の基板保持部材３８をＹ軸方向に移動させて基板Ｓを一対の基板保持部材３６，３８が保持するように基板保持部材移動装置４０を制御する。これにより、一対の基板保持部材３６，３８の内側面３６ｃ、３８ｃが基板Ｓの側面を前後から挟み込んだ状態となる。このときの様子を図８に示す。なお、図８ではスキージユニット７０を省略した。
【００４０】
続いて、ＣＰＵ９０ａは、位置合わせ用マークを撮影するように撮像ユニット８０を制御する（ステップＳ１８０）。このときの様子を図９に示す。なお、図９ではスキージユニット７０を省略した。ＣＰＵ９０ａは、上方及び下方カメラ８１，８２をスクリーン枠１２ａの外側の退避位置からＹ軸方向に移動して反対側の退避位置に至るまで移動させる（図９の破線矢印）。ＣＰＵ９０ａは、その途中で、各カメラ８１，８２の撮像領域（図９の１点鎖線）に位置合わせ用マークが入ったときに各カメラ８１，８２が撮像した画像を入力する。位置合わせ用マークとは、図１０に示すように基板Ｓの上面の２箇所に付された第１及び第２基板マークＭ１，Ｍ２と、図１１に示すようにスクリーン１２の印刷領域ＰＡの下面の２箇所に付された第１及び第２スクリーンマーク１２１，１２２である。第１スクリーンマーク１２１と第２スクリーンマーク１２２とを結んだ線の中点と、第１基板マークＭ１と第２基板マークＭ２とを結んだ線の中点とを一致させれば、印刷領域ＰＡに設けられた貫通孔１２３と基板Ｓのはんだ印刷箇所とが正確に一致するように設計されている。続いて、ＣＰＵ９０ａは、スクリーン１２と基板Ｓとの位置合わせを行う（ステップＳ１９０）。ここでは、ＣＰＵ９０ａは、撮像された画像に基づいて、第１スクリーンマーク１２１と第２スクリーンマーク１２２とを結んだ線の中点のＸＹ座標と、第１基板マークＭ１と第２基板マークＭ２とを結んだ線の中点のＸＹ座標とが一致するように、基板位置調節装置３４を制御する。続いて、ＣＰＵ９０ａは、一対の基板保持部材３６，３８によって保持された基板Ｓが印刷位置で位置決めされるよう昇降テーブル１６のボールネジ機構２０を制御し（ステップＳ２００）、この基板配置処理を終了する。印刷位置は、ここでは基板Ｓの上面がスクリーン１２の下面と接触する高さの位置とする。このときの様子を図１２に示す。図１２では、上述したスキージ下降処理も終了したときの様子、つまりスクリーン印刷準備処理ルーチンが終了したときの様子を示している。なお、第１及び第２スクリーンマーク１２１，１２２がスクリーン側基準部に相当し、第１及び第２基板マークＭ１，Ｍ２が基板側基準部に相当する。
【００４１】
次に、スクリーン印刷処理ルーチンについて、図１３のフローチャートを参照しながら説明する。制御装置９０のＣＰＵ９０ａは、まず、第１及び第２スキージ７１，７２のいずれかがスクリーン１２の上面と接触した状態でスキージヘッド７４が一対のスクリーン支持部材５０，５２の一方から他方までＹ軸方向に移動するようスキージユニット７０を制御する（ステップＳ３００）。これにより、クリームはんだ１３は、スクリーン１２の上面と接触しているスキージによってスクリーン１２の印刷領域ＰＡに設けられた貫通孔１２３から基板Ｓへ押し出される。その結果、印刷領域ＰＡに設けられたパターンでクリームはんだ１３が基板Ｓの上面に印刷される。スクリーン印刷終了後のスキージユニット７０の様子の一例を図１２に点線で示す。続いて、ＣＰＵ９０ａは、一対の基板保持部材３６，３８によって保持された基板Ｓが図８に示す位置まで下降するよう昇降テーブル１６を制御する（ステップＳ３１０）。続いて、ＣＰＵ９０ａは、基板保持部材３８が基板Ｓから離れて基板Ｓの保持を解除するように基板保持部材移動装置４０を制御する（ステップＳ３２０）。続いて、ＣＰＵ９０ａは、支持台４２が下降して支持ピン４４が基板Ｓの下面から離れて基板Ｓがコンベアベルト３６ａ，３８ａに載置されるように支持台昇降装置４９を制御する（ステップＳ３３０）。続いて、ＣＰＵ９０ａは、基板Ｓが搬出されるようコンベアベルト３６ａ，３８ａを制御し（ステップＳ３４０）、本ルーチンを終了する。なお、次回のスクリーン印刷準備処理では、今回と同じ基板Ｓへのスクリーン印刷を実行するのであれば、ステップＳ１００〜Ｓ１２０を省略することができる。
【００４２】
次に、スクリーン清掃処理ルーチンについて、図１４のフローチャートを参照しながら説明する。制御装置９０のＣＰＵ９０ａは、スクリーン印刷処理ルーチンのステップＳ３１０が実行されて一対の基板保持部材３６，３８によって保持された基板Ｓが図８に示す位置（清掃位置）まで下降した時点で、スクリーン清掃処理ルーチンを開始する。このときの様子を図１５に示す。ＣＰＵ９０ａは、この処理を開始すると、現時点が清掃タイミングか否かを判定し（ステップＳ４００）、現時点が清掃タイミングでなかったならば本ルーチンを終了する。一方、現時点が清掃タイミングだったならば、ＣＰＵ９０ａは、スクリーン支持部材５２がスクリーン１２の印刷領域ＰＡを超えたあと再び元の位置に戻るようにスクリーン支持部材移動装置５８を制御する(ステップＳ４１０、図１５の点線矢印参照）。これにより、スクリーン支持面５２ａの上面を覆うクリーニングシート６２がスクリーン１２の印刷領域ＰＡの下面に付着したクリームはんだをぬぐい取る。それと同時に、印刷領域ＰＡの貫通孔１２３（図１１参照）に溜まったクリームはんだを、負圧装置５２ｄから空洞部５２ｃを介して負圧が供給されるスクリーン支持面５２ａの穴５２ｂから吸い取る。続いて、ＣＰＵ９０ａは、クリーニングシート６２のうち今回使用された面を回収ローラ６６が巻き取るようにスクリーン清掃ユニット６０のモータ６６ａを制御し（ステップＳ４２０）、本ルーチンを終了する。これにより、スクリーン支持面５２ａは新たなクリーニングシート６２によって覆われる。なお、清掃タイミングは、スクリーン印刷が終了するたびに毎回発生するようにしてもよいし、所定回数のスクリーン印刷が終了した時点で発生するようにしてもよい。こうした清掃タイミングは、オペレータにより設定できるようにしてもよい。
【００４３】
以上説明したスクリーン印刷機１０によれば、一対のスクリーン支持部材５０，５２は、昇降テーブル１６とは独立して設けられている。つまり、一対のスクリーン支持部材５０，５２は、昇降テーブル１６による一対の基板保持部材３６，３８の昇降の影響を受けない位置に設けられている。そのため、昇降テーブル１６にかかる負荷が軽減される。また、昇降テーブル１６に搭載する部材や装置の設計の自由度を高くすることができる。
【００４４】
また、スクリーン印刷機１０では、スクリーン１２のうち印刷領域ＰＡの周囲は一対のスクリーン支持部材５０，５２によって支持されている。そのため、基板Ｓを保持した一対の基板保持部材３６，３８が印刷位置まで上昇する前に第１又は第２スキージ７１，７２が接触位置に到達したとしても、そのスキージによって印刷領域ＰＡが下方に撓むことがなく、そのスキージの印圧を調整することができる。その結果、昇降テーブル１６の状態に依存せずにスキージの印刷準備を行うことができるため、サイクルタイムが短縮され、生産性が向上する。特に、スキージの接触位置をスクリーン支持部材５２のスクリーン支持面５２ａの直上に設定したため、スキージによって印刷領域ＰＡが下方に撓むのをより確実に防止することができる。また、スクリーン支持面５０ａ，５２ａは負圧によってスクリーン１２をしっかりと吸着しているため、スキージによって印刷領域ＰＡが下方に撓むのを一層確実に防止することができる。
【００４５】
更に、スクリーン印刷機１０では、スクリーン１２のうち印刷領域ＰＡの周囲は一対のスクリーン支持部材５０，５２によって支持されているため、上方カメラ８１で撮像したときの第１及び第２スクリーンマーク１２１，１２２の位置とスクリーン印刷するときのスクリーンマーク１２１，１２２の位置はほとんどずれることがない。その結果、第１及び第２スクリーンマーク１２１，１２２と第１及び第２基板マークＭ１，Ｍ２を用いてスクリーン１２と基板Ｓとの位置合わせを行ったときの精度が高まる。
【００４６】
更にまた、スクリーン印刷機１０では、負圧が供給されるスクリーン支持面５２ａを備えたスクリーン支持部材５２は、スクリーン１２の吸着支持に利用されると共にスクリーン１２の清掃にも利用される。そのため、スクリーン支持部材５２と清掃装置とを別々に設ける場合に比べて、スクリーン印刷機１０のサイズを小型にすることができる。また、クリーニングシート６２はスクリーン１２の下面と絶えず接触しているため、クリーニングシート６２をスクリーン１２の下方位置からスクリーン１２の下面に接触させるタイプの清掃ユニットに比べて、清掃時間を短縮化することができる。
【００４７】
そしてまた、スクリーン印刷機１０では、一対のスクリーン支持部材５０，５２のうち一方がスクリーン１２と平行な方向に移動可能なため、一対のスクリーン支持部材５０，５２の間隔を印刷領域ＰＡのサイズに応じて変更することができるし、スクリーン支持部材移動装置５８をスクリーンを清掃するときの駆動源として兼用することもできる。
【００４８】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００４９】
例えば、上述した実施形態では、一対のスクリーン支持部材５０，５２のうち一方のスクリーン支持部材５０を移動不能に機枠１０ａに取り付け、もう一方のスクリーン支持部材５２を水平方向に移動可能に機枠１０ａに取り付けたが、両方とも水平方向に移動可能としてもよい。この場合、一対のスクリーン支持部材５０，５２の両方を移動させることにより両者の間隔を調節してもよい。また、この場合、スクリーン清掃ユニット６０をスクリーン支持部材５０にも取り付ければ、一対のスクリーン支持部材５０，５２の両方を移動させることによりスクリーン１２を清掃することができる。
【００５０】
上述した実施形態では、第１及び第２スキージ７１，７２をスクリーン１２の上面に接触させる接触位置をスクリーン支持面５０ａ，５２ａの直上としたが、印刷領域ＰＡ以外の場所であればよい。例えば、スクリーン支持面５０ａとスクリーン枠１２ａとの間やスクリーン支持面５２ａとスクリーン枠１２ａとの間としてもよい。その場合、スキージによってスクリーン１２が押圧されたとしても、スクリーン１２の印刷領域ＰＡは撓むことはない。但し、上述した実施形態のように、接触位置をスクリーン支持面５０ａ，５２ａの直上に設定する方が好ましい。
【００５１】
上述した実施形態では、スクリーン清掃処理ルーチンを実行する際の基板保持部材３６，３８の清掃位置を図１５に示した位置として説明したが、特にこれに限らず、印刷位置（図１２）よりも低い位置で且つスクリーン１２と基板保持部材３６，３８との間にスクリーン清掃ユニット６０が通過可能な空間が生じる位置であれば、どこでも構わない。
【００５２】
上述した実施形態では、いくつかの部材を移動させる機構としてボールネジ機構を採用したが、特にこれに限定されるものではなく、エアシリンダやリニアアクチュエータなどを採用してもよい。
【００５３】
上述した実施形態では、粘性流体としてクリームはんだを例示したが、特にこれに限定されるものではなく、接着剤や導電性ペーストなどでもよい。
【００５４】
上述した実施形態では、スクリーン１２の上面のクリームはんだ１３は、自動供給装置で供給されるようにしてもよいし、オペレータにより手動で供給されるようにしてもよい。
【００５５】
上述した実施形態では、スクリーン印刷準備処理ルーチンのステップＳ１２０でスクリーン支持面５０ａ，５２ａに負圧を供給したあとはそのまま負圧をかけ続けたが、負圧の供給を必要なときだけ行うようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、スクリーンの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って基板上にスクリーン印刷する分野に利用可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  スクリーン印刷機、１０ａ  機枠、１２  スクリーン、１２ａ  スクリーン枠、１４  スクリーン枠保持レール、１６  昇降テーブル、１６ａ  テーブル台、１６ｂ  脚部、１８  ガイドレール、２０  ボールネジ機構、２２  ナット、２４  ボールネジ、２６  ベルト、２８  モータ、３０  移動台、３２  鋼球、３４  基板位置調節装置、３６  基板保持部材、３６ａ  コンベアベルト、３６ｂ  モータ、３６ｃ  内側面、３８  基板保持部材、３８ｃ  内側面、４０  基板保持部材移動装置、４２  支持台、４４  支持ピン、４６  ガイドロッド、４９  支持台昇降装置、５０  スクリーン支持部材、５０ａ  スクリーン支持面、５０ｂ  穴、５０ｃ  空洞部、５０ｄ  負圧装置、５２  スクリーン支持部材、５２ａ  スクリーン支持面、５２ｂ  穴、５２ｃ  空洞部、５２ｄ  負圧装置、５４，５６  架橋部材、５８  スクリーン支持部材移動装置、６０  スクリーン清掃ユニット、６２  クリーニングシート、６４  供給ローラ、６６  回収ローラ、６６ａ  モータ、７０  スキージユニット、７１  第１スキージ、７１ａ  第１スキージ昇降装置、７２  第２スキージ、７２ａ  第２スキージ昇降装置、７４  スキージヘッド、７６  Ｘ軸スライダ、７６ａ  Ｘ軸モータ、７８  Ｙ軸スライダ、７８ａ  Ｙ軸モータ、７９  ガイドレール、８０  撮像ユニット、８１  上方カメラ、８２  下方カメラ、８３  Ｘ軸スライダ、８３ａ  Ｘ軸モータ、８４  Ｘ軸方向ボールネジ、８５  ナット、８６  カメラＹ軸ガイドレール、８８  Ｙ軸スライダ、８８ａ  Ｙ軸モータ、９０  制御装置、９０ａ  ＣＰＵ、９０ｂ  ＲＯＭ、９０ｃ  ＲＡＭ、９０ｄ  ストレージ、９０ｅ  バス、９０ｆ  入出力インタフェース、９２  管理装置、１２１  第１スクリーンマーク、１２２  第２スクリーンマーク、１２３  貫通孔、Ｍ１  第１基板マーク、Ｍ２  第２基板マーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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