(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする投影光学系；
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【請求項２】
複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記負レンズとは別の少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする投影光学系；
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【請求項３】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たすことを特徴とする請求項１又は２記載の投影光学系；
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【請求項４】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記正レンズとは別の少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の投影光学系；
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【請求項５】
複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たし、
前記条件式（３）を満たすレンズの材料が石英であることを特徴とする投影光学系；
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【請求項６】
複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記正レンズとは別の少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（４）を満たし、
前記条件式（３）を満たすレンズの材料が石英であることを特徴とする投影光学系；
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影光学系と、前記画像面を照明するための照明光学系と、を備えたことを特徴とする投影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は投影光学系及び投影装置に関するものであり、例えば、フォトリソグラフィにおける投影露光に適した投影光学系と、それを備えた露光用の投影装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、露光用の投影装置やプロジェクターに用いられる投影光学系として、さまざまなタイプのレンズ系が提案されている（例えば、特許文献１，２参照。）。しかし、レンズの材料に用いられる光学ガラスは温度によって屈折率が変化するため、温度変化に伴い焦点位置変動が発生してしまう。特に高解像力が求められるフォトリソグラフィ用の露光装置の分野では、投影光学系の焦点位置決めを厳密に行う必要があるため、環境温度の変化に伴う焦点位置変動が問題になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−７２０８０号公報
【特許文献２】特開２０１３−６８６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の投影光学系では、蛍石・フッ化物ガラスの使用を前提として、ｄｎ／ｄｔ＜０の負レンズとｄｎ／ｄｔ＞０の正レンズを使用することにより、フォーカスずれを補正している（ｄｎ／ｄｔ：温度変化に対する屈折率の変化率）。しかし、温度変化により発生する焦点位置変動量が２０μｍ／℃程度あるため、その補正は十分とは言えない。特許文献２に記載の投影光学系では、ｄｎ／ｄｔが極端に正に大きい材料（石英）を正レンズに用いて温度変化による焦点位置ずれをキャンセルしている。そのため、ｄｎ／ｄｔが負に大きい正レンズ（例えば、株式会社オハラ製のＦＰＬ５１等）が必要になり、十分な補正を行おうとすれば、加工難度やコストが高くなってしまう。
【０００５】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであって、その目的は、温度変化による焦点位置変動が十分に補正された投影光学系と、それを備えた投影装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、第１の発明の投影光学系は、複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする。
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【０００７】
第２の発明の投影光学系は、複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記負レンズとは別の少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする。
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【０００８】
第３の発明の投影光学系は、上記第１又は第２の発明において、前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たすことを特徴とする。
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【０００９】
第４の発明の投影光学系は、上記第１〜第３のいずれか１つの発明において、前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記正レンズとは別の少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（４）を満たすことを特徴とする。
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【００１０】
第５の発明の投影光学系は、複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たし、
前記条件式（３）を満たすレンズの材料が石英であることを特徴とする。
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【００１１】
第６の発明の投影光学系は、複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、
以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであり、
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記正レンズとは別の少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（４）を満たし、
前記条件式（３）を満たすレンズの材料が石英であることを特徴とする。
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【００１２】
第７の発明の投影装置は、上記第１〜第６のいずれか１つの発明に係る投影光学系と、前記画像面を照明するための照明光学系と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、光束幅やレンズ材料が所定の条件を満たした構成になっているため、温度変化による焦点位置変動が十分に補正された投影光学系と、それを備えた投影装置を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施の形態（実施例１）の光学構成図。
【図２】第２の実施の形態（実施例２）の光学構成図。
【図３】第３の実施の形態（実施例３）の光学構成図。
【図４】第４の実施の形態（実施例４）の光学構成図。
【図５】第５の実施の形態（実施例５）の光学構成図。
【図６】第６の実施の形態（実施例６）の光学構成図。
【図７】実施例１の収差図。
【図８】実施例２の収差図。
【図９】実施例３の収差図。
【図１０】実施例４の収差図。
【図１１】実施例５の収差図。
【図１２】実施例６の収差図。
【図１３】投影装置の一実施の形態を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係る投影光学系，投影装置等を説明する。本発明の実施の形態に係る投影光学系は、複数のレンズからなり、画像面に形成されている像を被投影面に投影する投影光学系であって、以下の条件式（１）を両面で満たすレンズにおいて条件式（２）を満たし、両側テレセントリックであることを特徴としている。
Ｄｉ／Ｄｍａｘ＞０．７  …（１）
｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＜０．０１  …（２）
ただし、
Ｄｉ：画像面側からｉ番目のレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離、
Ｄｍａｘ：投影光学系を構成する全てのレンズを通過する軸上光束において、最周辺を通過する光線の光軸からの距離の最大値、
ｆｉ：画像面側からｉ番目のレンズの焦点距離（ｍｍ）、
ｄｎｉ／ｄｔ：画像面側からｉ番目のレンズの０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
ｎｉ：画像面側からｉ番目のレンズの屈折率、
Ｙ１：拡大側の最大像高（ｍｍ）、
Ｙ２：縮小側の最大像高（ｍｍ）、
である。
【００１６】
一般に、温度変化による焦点位置のずれ量は、光学系を構成する各々のレンズを通過する光束幅と焦点距離と温度変化に対する屈折率の変化率（ｄｎ／ｄｔ）で決まる。広い光束が通過するレンズほど焦点位置ずれへの影響が大きく、焦点距離とｄｎ／ｄｔに関してはその絶対値が大きい方が焦点位置ずれへの影響が大きい。そのため、広い光束が通過するレンズの焦点距離とｄｎ／ｄｔを適切に選択する必要がある。
【００１７】
例えば、広い光束が通過するレンズに焦点距離とｄｎ／ｄｔが正に大きい材料を用いた場合、光学系の結像面は物体側にずれる。そこで、上記レンズの他に焦点距離が負でｄｎ／ｄｔが正、あるいは焦点距離が正でｄｎ／ｄｔが負のレンズを用いれば結像面は物体側から離れる方向へ移動するため、上記正レンズで発生したずれをキャンセルすることができ、温度変化による焦点位置ずれが補正された光学系を実現することができる。
【００１８】
条件式（１）を満たすレンズは、投影光学系を構成するレンズの中で広い光束が通過するレンズであることを意味しており、条件式（１）は焦点位置変動量を小さくするために焦点距離や硝材を適切に選択する必要があるレンズを定めている式である。条件式（２）は焦点位置変動量に関する式であり、条件式（２）の上限を超えると、温度変化時の焦点位置変動量が増大する。拡大側と縮小側で焦点位置変動量は異なり、拡大側では縮小側での変動量に比べて縦倍率分大きくなる。条件式（２）は、倍率によらず拡大側での焦点位置移動量を抑えるために縦倍率を含んでいる。
【００１９】
条件式（１）を満たすレンズにおいて条件式（２）を満たすことにより、拡大側における焦点位置ずれが極めて小さい投影光学系を実現することができる。２０〜４０℃の温度範囲におけるｄｎｉ／ｄｔの値を用いて条件式（２）を満足することが更に好ましく、それによると、常温付近での温度変化時の焦点位置ずれを更に良好に補正することができる。
【００２０】
上記特徴的構成によると、光束幅やレンズ材料が所定の条件を満たした構成になっているため、温度変化による焦点位置変動が十分に補正された投影光学系を実現することが可能である。そして、その投影光学系を投影装置に用いれば、投影装置の高性能化，高機能化，コンパクト化等に寄与することができる。こういった効果をバランス良く得るとともに、更に高い光学性能，小型化等を達成するための条件等を以下に説明する。
【００２１】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たすことが望ましい。
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【００２２】
光学系を構成するレンズの中で広い光束を通過する正レンズに条件式（３）を満たす材料を用いた場合（例えば後述する実施例では、実施例５のレンズＧ１１，Ｇ１４）、温度変化によって結像位置は物体側に変動する。そのため、前記正レンズとは別に条件式（３）を満たす負レンズ（例えば後述する実施例では、実施例５のレンズＧ１０，Ｇ１５）を配置することにより、結像位置は物体側から遠ざかる位置に変動をするためキャンセルすることができる。
【００２３】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記正レンズとは別の少なくとも１つの正レンズが以下の条件式（４）を満たすことが望ましい。
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【００２４】
光学系を構成するレンズの中で広い光束を通過する正レンズに条件式（３）を満たす材料を用いた場合（例えば後述する実施例では、実施例２のレンズＧ８，Ｇ１１；実施例３のレンズＧ８，Ｇ１０）、温度変化によって結像位置は物体側に変動する。そのため、前記正レンズとは別に条件式（４）を満たす正レンズ（例えば後述する実施例では、実施例２のレンズＧ９，Ｇ１０；実施例３のレンズＧ６，Ｇ９）を配置することにより、結像位置は物体側から遠ざかる位置に変動をするためキャンセルすることができる。
【００２５】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの正レンズと少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことが望ましい。
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【００２６】
光学系を構成するレンズの中で広い光束を通過する正レンズに条件式（４）を満たす材料を用いた場合（例えば後述する実施例では、実施例４のレンズＧ１１，Ｇ１４）、温度変化によって結像位置は像側に変動する。そのため、前記正レンズとは別に条件式（４）を満たす負レンズ（例えば後述する実施例では、実施例４のレンズＧ１０，Ｇ１５）を配置することにより、結像位置は物体側に近づく位置に変動をするためキャンセルすることができる。
【００２７】
前記条件式（１）を両面で満たすレンズのうち、少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（３）を満たし、前記負レンズとは別の少なくとも１つの負レンズが以下の条件式（４）を満たすことが望ましい。
ｄｎ／ｄｔ＞５．０×１０-6  …（３）
ｄｎ／ｄｔ＜−５．０×１０-6  …（４）
ただし、
ｄｎ／ｄｔ：０〜６０℃における温度変化に対する屈折率の変化率（／℃）、
である。
【００２８】
光学系を構成するレンズの中で広い光束を通過する負レンズに条件式（４）を満たす材料を用いた場合（例えば後述する実施例では、実施例６のレンズＧ１２）、温度変化によって結像位置は物体側に変動する。そのため、前記負レンズとは別に条件式（３）を満たす負レンズ（例えば後述する実施例では、実施例６のレンズＧ７）を配置することにより、結像位置は物体側から遠ざかる位置に変動をするためキャンセルすることができる。
【００２９】
前記条件式（３）を満たすレンズの材料が石英であることが望ましい。石英はｄｎ／ｄｔが１０．０×１０-6程度であり（例えば後述する実施例では、実施例２のレンズＧ８，Ｇ１１；実施例３のレンズＧ８，Ｇ１０；実施例５のレンズＧ１０，Ｇ１１，Ｇ１４，Ｇ１５；実施例６のレンズＧ７）、焦点位置ずれ補正用レンズの硝材として適している。
【００３０】
次に、第１〜第６の実施の形態を挙げて、投影光学系ＬＮの具体的な光学構成を説明する。図１〜図６は、第１〜第６の実施の形態を構成する投影光学系ＬＮにそれぞれ対応する光学構成図であり、投影光学系ＬＮのレンズ断面形状，レンズ配置，光路等を光学断面で示している。第１〜第６の実施の形態の投影光学系ＬＮは、画像面（物面）Ｉ２側から被投影面（像面）Ｉ１側へ順に（拡大投影系の場合、縮小側から拡大側へ順に）、複数のレンズＧｉ（レンズ番号ｉ＝１，２，３，．．．）からなる単焦点レンズであり、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に投影する構成になっている。なお、ここで挙げる投影光学系ＬＮは単焦点レンズであるが、単焦点レンズに限らず、ズームレンズ等の焦点距離可変のレンズ系であってもよい。
【００３１】
第１の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図１）は、全体で２４枚のレンズで構成された両側テレセントリックの等倍投影系であり、開口絞りＳＴに関して対称に構成されている。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ１０〜Ｇ１５の６枚であり、開口絞りＳＴを中心として負正正・正正負のパワー配置を有している。
【００３２】
第２の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図２）は、全体で１９枚のレンズで構成された両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ７〜Ｇ１２の６枚であり、開口絞りＳＴを中心として負正正・正正負のパワー配置を有している。
【００３３】
第３の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図３）は、全体で１９枚のレンズで構成された両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ５〜Ｇ１２の８枚であり、開口絞りＳＴの縮小側に負正負正正正正負のパワー配置を有している。
【００３４】
第４の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図４）は、全体で２４枚のレンズで構成された両側テレセントリックの等倍投影系であり、開口絞りＳＴに関して対称に構成されている。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ１０〜Ｇ１５の６枚であり、開口絞りＳＴを中心として負正正・正正負のパワー配置を有している。
【００３５】
第５の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図５）は、全体で２４枚のレンズで構成された両側テレセントリックの等倍投影系であり、開口絞りＳＴに関して対称に構成されている。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ１０〜Ｇ１５の６枚であり、開口絞りＳＴを中心として負正正・正正負のパワー配置を有している。
【００３６】
第６の実施の形態の投影光学系ＬＮ（図６）は、全体で１９枚のレンズで構成された両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズはレンズＧ７〜Ｇ１２の６枚であり、開口絞りＳＴを中心として負正正・正正負のパワー配置を有している。
【００３７】
次に、上記投影光学系ＬＮを備えた投影装置の一実施の形態を説明する。図１３に、投影装置ＰＪの概略構成例を示す。この投影装置ＰＪは、光源ＬＳ，照明光学系ＬＩ，投影光学系ＬＮ等を備えている。光源ＬＳ（例えば、高圧水銀ランプ，キセノンランプ，レーザー光源等）から出射した光は、照明光学系ＬＩで照明光となって画像面（物面）Ｉ２に導かれ、画像面Ｉ２を均一に照明する。画像面Ｉ２は、所定のパターンが形成されたマスク、あるいは照明光を変調して画像を生成する画像変調素子で構成されている。照明された画像面Ｉ２では画像光が形成され、画像面Ｉ２に形成されている像は投影光学系ＬＮで被投影面（像面）Ｉ１に投影される。被投影面Ｉ１は、露光用の感光性基板又はスクリーンで構成されている。例えば、画像面Ｉ２にマスクを配置し、被投影面Ｉ１に感光性基板を配置することにより、フォトリソグラフィに適した投影露光を行うことができる。
【００３８】
投影装置ＰＪは、上記のように画像面Ｉ２（例えば、マスク）を照明するための照明光学系ＬＩと、画像面Ｉ２に形成されている像（例えば、マスクパターン）を被投影面Ｉ１（例えば、感光性基板）に投影する投影光学系ＬＮと、を備えているが、投影光学系ＬＮが適用可能な投影装置ＰＪはこれに限らない。例えば、画像面Ｉ２自身の発光により画像を表示する画像表示素子を用いれば、照明を不要にすることも可能であり、その場合、光源ＬＳや照明光学系ＬＩを用いずに投影装置を構成することが可能である。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明を実施した投影光学系の構成等を、実施例のコンストラクションデータ等を挙げて更に具体的に説明する。ここで挙げる実施例１〜６（ＥＸ１〜６）は、前述した第１〜第６の実施の形態にそれぞれ対応する数値実施例であり、第１〜第６の実施の形態を表す光学構成図（図１〜図６）は、対応する実施例１〜６のレンズ断面形状，レンズ配置，光路等をそれぞれ示している。
【００４０】
各実施例のコンストラクションデータでは、面データとして、左側の欄から順に、面番号ｊ（ｊ＝０，１，２，３，．．．），曲率半径ＣＲ（ｍｍ），軸上面間隔ｄ（ｍｍ），ｄ線（波長５８７．５６ｎｍ）に関する屈折率ｎｄ，ｄ線に関するアッベ数ｖｄ，及びレンズＧｉ（ｉ＝１，２，３，．．．）を示す。面番号ｊ及びレンズ番号ｉは、画像面（物面）Ｉ２側から被投影面（像面）Ｉ１側へ順に設定されており、拡大投影系（実施例２，３，６）の場合、画像面Ｉ２側が縮小側となり、被投影面Ｉ１側が拡大側となる。なお、＊が付されたレンズＧｉは条件式（１）を両面で満たすレンズである。
【００４１】
各種データとして、被投影面Ｉ１側のＮＡ(numerical aperture)，被投影面Ｉ１側の最大像高Ｙ１（ｍｍ），画像面Ｉ２側の最大像高Ｙ２（ｍｍ），距離Ｄｍａｘ（ｍｍ），像高比Ｙ１／Ｙ２，条件式（２）の対応値，及び温度変化による焦点位置変動量（拡大投影系の場合、拡大側）ｄＦ／ｄｔを示す。また、表１〜表６に条件式（１），（３），（４）の対応値と条件式（１），（２）の関連データを各実施例について示す。なお、すべてのデータに関してＥ−ｎ＝×１０-nである。
【００４２】
図７〜図１２は、実施例１〜実施例６（ＥＸ１〜ＥＸ６）にそれぞれ対応する収差図であり、図７〜図１２のそれぞれにおいて、（Ａ）は球面収差（ｍｍ）、（Ｂ）は像面湾曲（ｍｍ）、（Ｃ）は歪曲収差（％）を示している。（Ａ）の球面収差図は、実線で示すｈ線（波長４０５ｎｍ）に対する球面収差量を近軸像面からの光軸ＡＸ方向のズレ量（ｍｍ）で表しており、縦軸は瞳への入射高さをその最大高さで規格化した値（すなわち相対瞳高さ）を表している。（Ｂ）の非点収差図において、破線Ｔはｈ線に対するタンジェンシャル像面、実線Ｓはｈ線に対するサジタル像面を、近軸像面からの光軸ＡＸ方向のズレ量（ｍｍ）で表しており、縦軸は像高（Ｙ１，ｍｍ）を表している。（Ｃ）の歪曲収差図において、横軸はｈ線に対する歪曲（％）を表しており、縦軸は像高（Ｙ１，ｍｍ）を表している。
【００４３】
実施例１の投影光学系ＬＮ（図１）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に等倍で投影する両側テレセントリックの等倍投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ１０〜Ｇ１５において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝１．６Ｅ−０４であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ＝１．０μｍである。
【００４４】
実施例２の投影光学系ＬＮ（図２）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に１．３１倍で投影する両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ７〜Ｇ１２において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝６．２Ｅ−０４であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ（拡大側）＝１．０μｍである。また、レンズＧ８，Ｇ１１が条件式（３）を満たし、レンズＧ９，Ｇ１０が条件式（４）を満たし、条件式（３）を満たすレンズＧ８，Ｇ１１の材料は石英である。
【００４５】
実施例３の投影光学系ＬＮ（図３）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に１．９５倍で投影する両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ５〜Ｇ１２において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝９．７Ｅ−０３であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ（拡大側）＝２．４μｍである。また、レンズＧ８，Ｇ１０が条件式（３）を満たし、レンズＧ６，Ｇ９が条件式（４）を満たし、条件式（３）を満たすレンズＧ８，Ｇ１０の材料は石英である。
【００４６】
実施例４の投影光学系ＬＮ（図４）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に等倍で投影する両側テレセントリックの等倍投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ１０〜Ｇ１５において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝１．３Ｅ−０３であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ＝０．３μｍである。また、レンズＧ１０，Ｇ１１，Ｇ１４，Ｇ１５が条件式（４）を満たしている。
【００４７】
実施例５の投影光学系ＬＮ（図５）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に等倍で投影する両側テレセントリックの等倍投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ１０〜Ｇ１５において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝２．５Ｅ−０３であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ＝２．４μｍである。また、レンズＧ１０，Ｇ１１，Ｇ１４，Ｇ１５が条件式（３）を満たし、条件式（３）を満たすレンズＧ１０，Ｇ１１，Ｇ１４，Ｇ１５の材料は石英である。
【００４８】
実施例６の投影光学系ＬＮ（図６）は、画像面Ｉ２に形成されている像を被投影面Ｉ１に１．１倍で投影する両側テレセントリックの拡大投影系である。条件式（１）を両面で満たすレンズＧ７〜Ｇ１２において、｜Σ（ｆｉ・（ｄｎｉ／ｄｔ）／（ｎｉ−１）｜・（Ｙ１／Ｙ２）2＝８．２Ｅ−０４であって条件式（２）を満たしており、温度変化による焦点位置変動量ｄＦ／ｄｔ（拡大側）＝９．５μｍである。また、レンズＧ７が条件式（３）を満たし、レンズＧ１２が条件式（４）を満たし、条件式（３）を満たすレンズＧ７の材料は石英である。
【００４９】
実施例１
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞     41.915
1        -2125.664      6.536     1.672999    38.15   G1
2         -232.944      0.584
3         1221.808      7.076     1.581539    40.77   G2
4          105.774      5.051
5          352.145      6.910     1.672999    38.15   G3
6         -143.753      0.200
7          175.640      8.971     1.589330    61.25   G4
8         6070.334      1.000
9           67.291      9.987     1.651597    58.55   G5
10       -8772.416      0.200
11          62.837      6.388     1.531817    48.97   G6
12          34.268      9.689
13         103.681      6.342     1.537750    74.70   G7
14          47.303     10.588
15         -76.457      4.518     1.487490    70.24   G8
16         149.719     28.449
17       -1968.907      5.423     1.729157    54.65   G9
18        -125.355      8.659
19         -55.777      3.944     1.595609    38.77   G10*
20         153.725      2.277
21         203.727     10.000     1.589330    61.25   G11*
22         -81.359      9.291
23         275.478      9.363     1.487490    70.24   G12*
24         -97.379      0.700
25(ST)          ∞      0.700
26          97.379      9.363     1.487490    70.24   G13*
27        -275.478      9.291
28          81.359     10.000     1.589330    61.25   G14*
29        -203.727      2.277
30        -153.725      3.944     1.595609    38.77   G15*
31          55.777      8.659
32         125.355      5.423     1.729157    54.65   G16
33        1968.907     28.449
34        -149.719      4.518     1.487490    70.24   G17
35          76.457     10.588
36         -47.303      6.342     1.537750    74.70   G18
37        -103.681      9.689
38         -34.268      6.388     1.531817    48.97   G19
39         -62.837      0.200
40        8772.416      9.987     1.651597    58.55   G20
41         -67.291      1.000
42       -6070.334      8.971     1.589330    61.25   G21
43        -175.640      0.200
44         143.753      6.910     1.672999    38.15   G22
45        -352.145      5.051
46        -105.774      7.076     1.581539    40.77   G23
47       -1221.808      0.584
48         232.944      6.536     1.672999    38.15   G24
49        2125.664     41.915
50(I1)          ∞
【００５０】
各種データ
NA                  0.165
Y1                   20.5
Y2                   20.5
Dmax                 28.0
Y1/Y2                 1.0
条件式(2)対応値   1.6E-04
dF/dt             1.0μｍ
【００５１】
実施例２
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞     47.957
1         -214.935      8.960     1.572501    57.74   G1
2          -64.426      3.679
3           54.763     11.312     1.438750    94.95   G2
4         -114.457      1.243
5         -145.101      2.974     1.605620    43.71   G3
6         -424.143      0.473
7           76.100     10.965     1.516330    64.14   G4
8           37.106     16.941
9          -45.398      5.337     1.613397    44.27   G5
10         924.714     23.476
11        -188.438      6.615     1.613397    44.27   G6
12         -76.380     26.434
13         -34.903      3.309     1.517417    52.43   G7*
14         212.709      2.747
15         321.853      9.441     1.458464    67.88   G8*
16         -54.149      1.262
17         464.135      9.240     1.496999    81.55   G9*
18         -64.805      0.514
19(ST)          ∞      1.298
20          87.022      8.379     1.496999    81.55   G10*
21        -399.350      1.117
22          68.348      7.842     1.458464    67.88   G11*
23        -624.561      4.531
24        -223.055      3.469     1.517417    52.43   G12*
25          52.679     53.418
26         100.874      6.713     1.613397    44.27   G13
27       21583.469     20.455
28         -66.146      6.265     1.613397    44.27   G14
29          61.006     15.769
30         -38.770      5.322     1.516330    64.14   G15
31         -88.473      0.455
32        -432.278      5.556     1.516330    64.14   G16
33         -88.014      1.230
34        -456.364      3.030     1.605620    43.71   G17
35         183.427      1.273
36         152.478     13.810     1.496999    81.55   G18
37         -66.856      8.801
38         122.711     11.348     1.595220    67.74   G19
39        -726.445     82.954
40(I1)          ∞
【００５２】
各種データ
NA                    0.1
Y1                   23.0
Y2                   17.5
Dmax                 24.2
Y1/Y2                1.31
条件式(2)対応値   6.2E-04
dF/dt(拡大側)     1.0μｍ
【００５３】
実施例３
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞   77.27566
1         880.4865   8.667017     1.595609    38.77   G1
2         -117.356   84.22145
3         -83.9804    2.05694     1.625882    35.70   G2
4         -176.012   1.091363
5          181.904   7.038362     1.595609    39.27   G3
6         -337.614   3.338552
7         6648.867   4.901046     1.531717    48.84   G4
8         93.76334    38.5675
9          -53.424   3.604441     1.575006    41.51   G5*
10        525.7988    1.35405
11         121.281    7.74667     1.496999    81.55   G6*
12        -60.7531   3.396316
13        -59.4986   2.019486     1.487490    70.24   G7*
14         134.565   4.400603
15        -2981.84    6.45384     1.458464    67.88   G8*
16        -66.7754   1.001743
17         229.122   5.803259     1.438750    94.95   G9*
18        -121.512   1.196097
19        76.65228   6.830019     1.458464    67.88   G10*
20        -370.914   9.361851
21        85.93972   4.506416     1.516330    64.14   G11*
22        -636.569   11.03266
23        -144.263   3.646291     1.517417    52.43   G12*
24        60.01584   4.240874
25(ST)          ∞   96.63282
26        118.1288   7.849289     1.595609    39.27   G13
27        -110.301   3.969047
28        -71.6238   2.116454     1.487490    70.24   G14
29        68.88635   11.00253
30         -48.488   5.127155     1.487490    70.24   G15
31        -185.122   70.47043
32        1199.336   13.54808     1.496999    81.55   G16
33        -121.396   1.423186
34        -471.961   7.599555     1.603420    38.03   G17
35        307.5008   4.866309
36        487.4101   14.54661     1.496999    81.55   G18
37        -160.719   2.411079
38         -821.22   12.15115     1.571351    52.95   G19
39        -276.976   128.6189
40(I1)          ∞
【００５４】
各種データ
NA                  0.036
Y1                   44.7
Y2                 22.934
Dmax                 17.2
Y1/Y2                1.95
条件式(2)対応値   9.7E-03
dF/dt(拡大側)     2.4μｍ
【００５５】
実施例４
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞     40.500
1         -487.349      7.763     1.719995    50.23   G1
2          -85.581      2.464
3          -75.398      4.016     1.487490    70.21   G2
4          139.865      4.949
5          192.182      9.258     1.733099    48.90   G3
6         -165.719      0.233
7           96.356      7.871     1.639999    60.08   G4
8        -1248.263      0.217
9          141.495      8.942     1.498308    65.03   G5
10        -142.950      3.350
11        -120.077      2.950     1.672999    38.15   G6
12        -368.404      0.244
13          84.272      6.769     1.613397    44.27   G7
14          37.406     14.051
15         -71.845      2.883     1.501372    56.40   G8
16         112.368     21.913
17       -2164.410      8.390     1.672999    38.15   G9
18        -127.931     28.307
19         -48.888      3.098     1.595220    67.74   G10*
20         496.698      5.371
21       -1200.774      8.998     1.595220    67.74   G11*
22         -69.766      0.202
23         349.053      9.947     1.487640    70.38   G12*
24         -83.747      0.750
25(ST)          ∞      0.750
26          83.747      9.947     1.487640    70.38   G13*
27        -349.053      0.202
28          69.766      8.998     1.595220    67.74   G14*
29        1200.774      5.371
30        -496.698      3.098     1.595220    67.74   G15*
31          48.888     28.307
32         127.931      8.390     1.672999    38.15   G16
33        2164.410     21.913
34        -112.368      2.883     1.501372    56.40   G17
35          71.845     14.051
36         -37.406      6.769     1.613397    44.27   G18
37         -84.272      0.244
38         368.404      2.950     1.672999    38.15   G19
39         120.077      3.350
40         142.950      8.942     1.498308    65.03   G20
41        -141.495      0.217
42        1248.263      7.871     1.639999    60.08   G21
43         -96.356      0.233
44         165.719      9.258     1.733099    48.90   G22
45        -192.182      4.949
46        -139.865      4.016     1.487490    70.21   G23
47          75.398      2.464
48          85.581      7.763     1.719995    50.23   G24
49         487.349     40.497
50(I1)          ∞
【００５６】
各種データ
NA                  0.165
Y1                   20.5
Y2                   20.5
Dmax                 28.3
Y1/Y2                 1.0
条件式(2)対応値   1.3E-03
dF/dt             0.3μｍ
【００５７】
実施例５
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞     40.702
1         -450.430      7.581     1.719995    50.25   G1
2          -86.108      2.639
3          -75.966      3.914     1.487640    70.38   G2
4          142.082      4.895
5          189.622      9.107     1.733099    48.90   G3
6         -166.382      0.443
7          100.362      7.819     1.642495    58.37   G4
8         -825.555      0.200
9          143.334      9.128     1.498308    65.03   G5
10        -143.719      3.570
11        -119.051      2.950     1.672999    38.15   G6
12        -366.058      0.200
13          87.296      7.021     1.613397    44.27   G7
14          37.281     15.115
15         -67.489      2.889     1.501372    56.40   G8
16         119.708     21.815
17       -1056.766      8.025     1.672999    38.15   G9
18        -123.515     27.809
19         -50.076      2.926     1.458464    67.88   G10*
20         386.239      5.370
21       -1227.333      8.892     1.458464    67.88   G11*
22         -70.087      0.200
23         307.442      9.886     1.487640    70.38   G12*
24         -86.939      0.750
25(ST)          ∞      0.750
26          86.939      9.886     1.487640    70.38   G13*
27        -307.442      0.200
28          70.087      8.892     1.458464    67.88   G14*
29        1227.333      5.370
30        -386.239      2.926     1.458464    67.88   G15*
31          50.076     27.809
32         123.515      8.025     1.672999    38.15   G16
33        1056.766     21.815
34        -119.708      2.889     1.501372    56.40   G17
35          67.489     15.115
36         -37.281      7.021     1.613397    44.27   G18
37         -87.296      0.200
38         366.058      2.950     1.672999    38.15   G19
39         119.051      3.570
40         143.719      9.128     1.498308    65.03   G20
41        -143.334      0.200
42         825.555      7.819     1.642495    58.37   G21
43        -100.362      0.443
44         166.382      9.107     1.733099    48.90   G22
45        -189.622      4.895
46        -142.082      3.914     1.487640    70.38   G23
47          75.966      2.639
48          86.108      7.581     1.719995    50.25   G24
49         450.430     40.697
50(I1)          ∞
【００５８】
各種データ
NA                  0.165
Y1                   20.5
Y2                   20.5
Dmax                 28.3
Y1/Y2                 1.0
条件式(2)対応値   2.5E-03
dF/dt             2.4μｍ
【００５９】
実施例６
単位：mm
面データ
j               CR          d           nd       vd   Gi
0(I2)           ∞     47.550
1         -177.329      8.512     1.592701    35.31   G1
2          -70.738     10.138
3           74.620     18.042     1.438750    94.96   G2
4          -80.892      2.344
5          -83.336      7.541     1.639300    44.88   G3
6         -162.018     19.644
7           99.549      3.598     1.516330    64.14   G4
8           41.955     22.113
9          -50.506      4.491     1.613397    44.27   G5
10         250.317     22.670
11        -217.925      5.852     1.613397    44.27   G6
12         -84.245     25.880
13         -35.082      3.035     1.458464    67.88   G7*
14         198.695      2.595
15         330.397      9.196     1.458464    67.88   G8*
16         -54.409      0.868
17         368.309      8.910     1.496999    81.55   G9*
18         -67.762      4.913
19(ST)          ∞      0.500
20          84.959      8.094     1.496999    81.55   G10*
21        -477.047      0.543
22          70.026      7.567     1.458464    67.88   G11*
23        -561.332      4.297
24        -222.609      3.098     1.537750    74.70   G12*
25          52.389     52.445
26         125.958      5.583     1.613397    44.27   G13
27           0.052     20.853
28         -74.864      2.882     1.613397    44.27   G14
29           0.099     18.517
30         -40.195      3.251     1.516330    64.14   G15
31         -93.237      0.063
32        2770.483      4.140     1.516330    64.14   G16
33        -114.432      0.335
34        -430.204      2.833     1.698947    30.13   G17
35         179.121      0.991
36         135.374      8.642     1.592701    35.31   G18
37         -69.628     48.899
38         126.912     10.814     1.572501    57.76   G19
39        -671.703     86.822
40(I1)          ∞
【００６０】
各種データ
NA                  0.093
Y1                   18.7
Y2                   17.5
Dmax                 24.3
Y1/Y2                 1.1
条件式(2)対応値   8.2E-04
dF/dt(拡大側)     9.5μｍ
【００６１】
【表１】
0006658172.tif 000002
【００６２】
【表２】
0006658172.tif 000003
【００６３】
【表３】
0006658172.tif 000004
【００６４】
【表４】
0006658172.tif 000005
【００６５】
【表５】
0006658172.tif 000006
【００６６】
【表６】
0006658172.tif 000007
【符号の説明】
【００６７】
ＬＮ    投影光学系
Ｇｉ    画像面側からｉ番目のレンズ
ＳＴ    開口絞り
Ｉ１    被投影面（像面）
Ｉ２    画像面（物面）
ＰＪ    投影装置
ＬＳ    光源
ＬＩ    照明光学系
ＡＸ    光軸
【図１】
0006658172.tif 000008
【図２】
0006658172.tif 000009
【図３】
0006658172.tif 000010
【図４】
0006658172.tif 000011
【図５】
0006658172.tif 000012
【図６】
0006658172.tif 000013
【図７】
0006658172.tif 000014
【図８】
0006658172.tif 000015
【図９】
0006658172.tif 000016
【図１０】
0006658172.tif 000017
【図１１】
0006658172.tif 000018
【図１２】
0006658172.tif 000019
【図１３】
0006658172.tif 000020