(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向に延びる複数の貫通孔を有する高分子樹脂フィルムであり、
前記貫通孔は、前記樹脂フィルムの基質構造を貫いており、
前記フィルムの双方の主面に、前記複数の貫通孔の開口が形成されており、
前記貫通孔は、当該貫通孔が延びる方向に垂直な断面の面積が前記フィルムの一方の主面から他方の主面に至るまで変化しないか、または前記一方の主面から他方の主面に向けて増加する形状を有し、
前記一方の主面において、前記開口による当該主面の気孔率のばらつきが１０％以下、および前記開口の密度（個数／ｃｍ2）のばらつきが１０００以下であり、
以下の（ａ）または（ｂ）を満たす、高分子樹脂フィルム。
（ａ）：前記一方の主面における前記開口の径が１３μｍ以上８０μｍ以下である。
（ｂ）：前記一方の主面における前記開口の径が３μｍ以上８０μｍ以下であり、前記
双方の主面において前記複数の貫通孔の開口は、各々の前記主面上に想定した格子
の頂点に対応する位置に形成されている。
ただし、前記気孔率のばらつき、および前記開口の密度のばらつきは、それぞれ、前記一方の主面に対する光学顕微鏡による拡大観察像上に前記貫通孔の開口を１０個含む領域を５か所設定したときに、各々の前記領域における気孔率および開口の密度の値から求めた前記領域間の当該値の平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖにより定められる。
【請求項２】
前記高分子樹脂フィルムは、前記（ａ）を満たす請求項１に記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項３】
前記開口が、前記双方の主面に互いに間隔を置きながら独立して形成されている請求項２に記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項４】
前記双方の主面において前記複数の貫通孔の開口が、各々の前記主面上に想定した格子の頂点に対応する位置に形成されている請求項２に記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項５】
前記高分子樹脂フィルムの基質構造が非多孔質である請求項１〜４のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項６】
厚さ方向の通気度が、フラジール数で示して、１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１５０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下である請求項１〜５のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
前記フラジール数は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数、又はＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したガーレー数を、式：Ｆ（フラジール数）＝１．５７／Ｇ（ガーレー数）により換算した値である。
【請求項７】
厚さ方向の通気度の変動率が８％以下である請求項１〜６のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
ただし、前記変動率は、前記高分子樹脂フィルムにおける少なくとも５か所の測定ポイントにおいて測定した前記厚さ方向の通気度の値から求めた前記測定ポイント間の当該通気度の平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖにより定められる。前記厚さ方向の通気度はフラジール数で示され、前記フラジール数は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数、又はＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したガーレー数を、式：Ｆ（フラジール数）＝１．５７／Ｇ（ガーレー数）により換算した値である。
【請求項８】
有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失が５ｄＢ以下である請求項１〜７のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項９】
前記一方の主面における気孔率が０．５〜５０％である請求項１〜８のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項１０】
撥液処理されている請求項１〜９のいずれかに記載の高分子樹脂フィルム。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の高分子樹脂フィルムを備える通気膜。
【請求項１２】
請求項１１に記載の通気膜と、前記通気膜に接合された支持体と、を備える通気膜部材。
【請求項１３】
請求項１〜１０のいずれかに記載の高分子樹脂フィルムを備える通音膜。
【請求項１４】
請求項１３に記載の通音膜と、前記通音膜に接合された支持体と、を備える通音膜部材。
【請求項１５】
請求項１〜１０のいずれかに記載の高分子樹脂フィルムを備える音響抵抗体。
【請求項１６】
請求項１５に記載の音響抵抗体と、前記音響抵抗体に接合された支持体と、を備える音響抵抗体部材。
【請求項１７】
請求項１５に記載の音響抵抗体を備え、
イヤホン、イヤホンユニット、ヘッドホン、ヘッドホンユニット、ヘッドセット、ヘッドセットユニット、受話器、補聴器またはウェアラブル端末である音響機器。
【請求項１８】
請求項１〜１０のいずれかに記載の高分子樹脂フィルムの製造方法であって、
原フィルムにレーザーを照射することにより、前記原フィルムに前記複数の貫通孔を形成する工程を含む、高分子樹脂フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚さ方向に通気性を有する高分子樹脂フィルムと、当該高分子樹脂フィルムを備える通気膜、通音膜、音響抵抗体、通気膜部材、通音膜部材、音響抵抗体部材および音響機器と、に関する。また、本発明は、このような高分子樹脂フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
厚さ方向に通気性を有する高分子膜は、通気膜および通音膜といった種々の用途に使用される。厚さ方向にさらに透水性（水透過性）を有さない高分子膜は、防水性が併せて要求される用途、例えば、防水通気膜および／または防水通音膜に使用できる。前者の高分子膜として、例えば、不織布が代表的である。不織布は、長繊維または短繊維を織ることなく絡み合わせた膜である。不織布では、ランダムに絡み合った繊維間の空隙をたどるように、空気がその厚さ方向に流通する。
【０００３】
厚さ方向に通気性を有する他の高分子膜として、延伸により生じた無数の細孔の分散構造を有する延伸多孔質膜がある。特許文献１には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）または超高分子量ポリエチレンの延伸多孔質膜からなる防水通気膜が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2003-318557号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
厚さ方向に通気性を有する高分子膜では、当該通気性のばらつきが小さいことが望ましい。特に、電子機器に収容されて使用される高分子膜では、このような使用の際に膜のサイズを小さくしなければならないこともあって、電子機器における当該膜が関与する特性の向上ならびに電子機器の品質および生産性の向上の観点から、通気性のばらつきが小さいことが特に望まれる。ランダムに絡み合った繊維間の空隙をたどることで空気が流通する不織布では、その構造上、通気性のばらつきは大きい。延伸により生じた無数の細孔の分散構造を有する延伸多孔質膜では不織布に比べて通気性のばらつきが低減するが、さらなる低減が求められている。
【０００６】
本発明の目的の一つは、厚さ方向に通気性を有する高分子膜であって、通気性のばらつきが従来の膜よりも小さい高分子膜の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の高分子膜は、厚さ方向に延びる複数の貫通孔を有する高分子樹脂フィルムである。前記貫通孔は、前記樹脂フィルムの基質構造を貫いている。前記フィルムの双方の主面に、前記複数の貫通孔の開口が形成されている。前記貫通孔は、当該貫通孔が延びる方向に垂直な断面の面積が前記フィルムの一方の主面から他方の主面に至るまで変化しないか、または前記一方の主面から他方の主面に向けて増加する形状を有する。前記一方の主面において、前記開口の径が３μｍ以上８０μｍ以下であり、前記開口による当該主面の気孔率のばらつきが１０％以下であり、および前記開口の密度（個数／ｃｍ2）のばらつきが１０００個／ｃｍ2以下である。
【０００８】
本発明の通気膜は、上記本発明の高分子樹脂フィルムを備える。
【０００９】
本発明の通気膜部材は、上記本発明の通気膜と、前記通気膜に接合された支持体と、を備える。
【００１０】
本発明の通音膜は、上記本発明の高分子樹脂フィルムを備える。
【００１１】
本発明の通音膜部材は、上記本発明の通音膜と、前記通音膜に接合された支持体と、を備える。
【００１２】
本発明の音響抵抗体は、上記本発明の高分子樹脂フィルムを備える。
【００１３】
本発明の音響抵抗体部材は、上記本発明の音響抵抗体と、前記音響抵抗体に接合された支持体と、を備える。
【００１４】
本発明の音響装置は、上記本発明の音響抵抗体を備え、イヤホン、イヤホンユニット、ヘッドホン、ヘッドホンユニット、ヘッドセット、ヘッドセットユニット、受話器、補聴器またはウェアラブル端末である。
【００１５】
本発明の高分子樹脂フィルムの製造方法は、上記本発明の高分子樹脂フィルムの製造方法であって、原フィルムにレーザーを照射することにより、前記原フィルムに前記複数の貫通孔を形成する工程を含む。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、厚さ方向に通気性を有する高分子膜であって、通気性のばらつきが従来の膜よりも小さい高分子樹脂フィルムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の高分子樹脂フィルムの一例を模式的に示す平面図である。
【図２】本発明の高分子樹脂フィルムが有する貫通孔の一例を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の高分子樹脂フィルムが有する貫通孔の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明の高分子フィルムの別の一例を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明の通気膜部材の一例を模式的に示す斜視図である。
【図６】本発明の通気膜部材の別の一例を模式的に示す斜視図である。
【図７】本発明の音響抵抗体を備える音響機器の一例を模式的に示す分解斜視図である。
【図８】実施例１で評価した、本発明の樹脂フィルムにおける一方の主面の気孔率と厚さ方向の通気度との関係を示す図である。
【図９】実施例において行った樹脂フィルムの通気性変動率の測定において、サンプルの測定ポイントを説明するための図である。
【図１０Ａ】実施例において樹脂フィルムの挿入損失を評価するために用いた模擬筐体および当該筐体中のスピーカーの配置を模式的に示す断面図である。
【図１０Ｂ】実施例において樹脂フィルムの挿入損失を評価するために作製した試料と、当該試料を模擬筐体に配置した状態を模式的に示す断面図である。
【図１１】実施例３において評価した、樹脂フィルム（厚さ２５μｍ）の挿入損失の結果を示す図である。
【図１２】実施例３において評価した、樹脂フィルム（厚さ１２μｍ）の挿入損失の結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本開示の第１の態様は、厚さ方向に延びる複数の貫通孔を有する高分子樹脂フィルムであって：前記貫通孔は、前記樹脂フィルムの基質構造を貫いており；前記フィルムの双方の主面に、前記複数の貫通孔の開口が形成されており；前記貫通孔は、当該貫通孔が延びる方向に垂直な断面の面積が前記フィルムの一方の主面から他方の主面に至るまで変化しないか、または前記一方の主面から他方の主面に向けて増加する形状を有し；前記一方の主面において、前記開口の径が３μｍ以上８０μｍ以下、前記開口による当該主面の気孔率のばらつきが１０％以下、および前記開口の密度（個数／ｃｍ2）のばらつきが１０００個／ｃｍ2以下である；高分子樹脂フィルムを提供する。
【００１９】
本開示の第２の態様は、第１の態様に加え、前記開口が、前記双方の主面に互いに間隔を置きながら独立して形成されている高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２０】
本開示の第３の態様は、第１または第２の態様に加え、前記高分子樹脂フィルムの基質構造が非多孔質である高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２１】
本開示の第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様に加え、厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数で示して、１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１５０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下である高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２２】
本開示の第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様に加え、厚さ方向の通気度の変動率が８％以下である高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２３】
本開示の第６の態様は、第１から第５のいずれかの態様に加え、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失が５ｄＢ以下である高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２４】
本開示の第７の態様は、第１から第６のいずれかの態様に加え、前記一方の主面における気孔率が０．５〜５０％である高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２５】
本開示の第８の態様は、第１から第７のいずれかの態様に加え、前記双方の主面において前記複数の貫通孔の開口が、前記各主面上に想定した格子の頂点に対応する位置に形成されている高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２６】
本開示の第９の態様は、第１から第８のいずれかの態様に加え、撥液処理されている高分子樹脂フィルムを提供する。
【００２７】
本開示の第１０の態様は、第１から第９のいずれかの態様の高分子樹脂フィルムを備える通気膜を提供する。
【００２８】
本開示の第１１の態様は、第１０の態様の通気膜と、前記通気膜に接合された支持体と、を備える通気膜部材を提供する。
【００２９】
本開示の第１２の態様は、第１から第９のいずれかの態様の高分子樹脂フィルムを備える通音膜を提供する。
【００３０】
本開示の第１３の態様は、第１２の態様の通音膜と、前記通音膜に接合された支持体と、を備える通音膜部材を提供する。
【００３１】
本開示の第１４の態様は、第１から第９のいずれかの態様の高分子樹脂フィルムを備える音響抵抗体を提供する。
【００３２】
本開示の第１５の態様は、第１４の態様の音響抵抗体と、前記音響抵抗体に接合された支持体と、を備える音響抵抗体部材を提供する。
【００３３】
本開示の第１６の態様は、第１４の態様の音響抵抗体を備え、イヤホン、イヤホンユニット、ヘッドホン、ヘッドホンユニット、ヘッドセット、ヘッドセットユニット、受話器、補聴器またはウェアラブル端末である音響機器を提供する。
【００３４】
本開示の第１７の態様は、第１から第９のいずれかの態様の高分子樹脂フィルムの製造方法であって、原フィルムにレーザーを照射することにより、前記原フィルムに前記複数の貫通孔を形成する工程を含む、高分子樹脂フィルムの製造方法を提供する。
【００３５】
［高分子樹脂フィルム］
図１，２に、本発明の高分子樹脂フィルムの一例を示す。図２は、図１に示す高分子樹脂フィルム１における貫通孔１２を含む断面を示す。図１，２に示すように、樹脂フィルム１は、その厚さ方向に延びる複数の貫通孔１２を有する。貫通孔１２は直線状に延びており、その延びる方向に垂直な断面の面積は、樹脂フィルム１の一方の主面２から他方の主面３に至るまでほぼ一定である。図１，２に示す例では、樹脂フィルムの双方の主面２，３に、上記複数の貫通孔１２の開口１３（１３ａ，１３ｂ）が互いに間隔を置きながら独立して形成されている。貫通孔１２は、樹脂フィルム１の基質構造を貫いている。換言すれば、貫通孔１２は、樹脂フィルム１の基質とは異なる構造を有している。図１，２に示す例では、樹脂フィルム１は、その厚さ方向に通気可能である経路を貫通孔１２以外有さない非多孔質のフィルムであり、典型的には、貫通孔１２を除いて無孔の（中実の）フィルムである。すなわち、図１，２に示す樹脂フィルム１の基質構造は非多孔質であり、貫通孔１２は、この非多孔質構造を貫いている。樹脂フィルム１の一方の主面２において、貫通孔１２の径は３μｍ以上８０μｍ以下である。貫通孔１２の開口１３ａに基づく一方の主面２の気孔率について、そのばらつきは１０％以下である。一方の主面２において、開口１３ａの密度（個数／ｃｍ3）のばらつきは１０００個／ｃｍ2以下である。
【００３６】
貫通孔１２は、その延びる方向に垂直な断面の面積が、樹脂フィルム１の一方の主面２から他方の主面３に向けて増加する形状を有していてもよい（図３を参照）。このような貫通孔１２は、当該貫通孔１２が延びる方向に断面が変化する、樹脂フィルム１の厚さ方向に非対称な形状を有する貫通孔である。このとき、一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径は相対的に小さく、他方の主面３における貫通孔１２の開口１３ｂの径は相対的に大きくなる。この場合においても、樹脂フィルム１の一方の主面２において、貫通孔１２の径は３μｍ以上８０μｍ以下であり、気孔率のばらつきは１０％以下であり、開口１３ａの密度のばらつきは１０００個／ｃｍ2以下である。また、このとき、上記断面の面積は、一方の主面２から他方の主面３に向けて連続的に増加しても、段階的に増加しても（すなわち、当該面積が一定の領域が存在しても）よい。ある一つの実施形態では、上記断面の面積は連続的に増加し、その増加率はほぼ一定または一定である。後述の製造方法によれば、断面の面積が一方の主面２から他方の主面３に向けて連続的に増加し、かつその増加率がほぼ一定または一定である貫通孔１２を有する樹脂フィルム１を形成できる。
【００３７】
このような樹脂フィルム１の構造は、従来の高分子膜とは全く異なっている。例えば、不織布では、ランダムに絡み合った繊維間の空隙をたどるように空気がその厚さ方向に流通する。延伸多孔質膜では、膜全体にわたって３次元的に分散し、互いに連続した状態にある無数の細孔が通気経路となっている。一方、樹脂フィルム１は上述した構成を有する。このため、厚さ方向に通気性を有する高分子膜であって、通気性のばらつきが従来の膜よりも小さい高分子膜となる。
【００３８】
また、このような樹脂フィルム１では、貫通孔１２が樹脂フィルム１の基質構造を貫くように形成されていることから、貫通孔１２の形状（断面形状、断面の面積の変化の状態などを含む）、貫通孔１２の径（開口１３ａ，１３ｂの径）、主面２における開口１３ａの密度などを、より精度よく、均一性高くコントロールすることができる。これは、樹脂フィルム１における通気性のばらつきの小ささにも寄与するし、樹脂フィルム１の用途に応じた当該フィルムの特性の制御の自由度の高さ、例えば、樹脂フィルム１の特性の向上、にも寄与する。従来の高分子膜では、その構造上、このように精度よく、均一性が高いコントロールができないため、樹脂フィルム１のような特性の制御の自由度の高さが得られない。特性の制御の自由度の高さとは、例えば、通気膜について通気性の制御の自由度の高さ、通音膜について通音性の制御の自由度の高さ、防水通気膜について防水性および通気性の制御の自由度の高さ、防水通音膜について防水性および通音性の制御の自由度の高さ、音響抵抗体について当該抵抗体を透過する音の特性の制御の自由度の高さ、である。より具体的な例は、高い通気性の達成、高い通音性の達成、防水性および通気性のより高いレベルでの両立、防水性および通音性のより高いレベルでの両立、防塵性および抵抗体を透過する音の特性の制御性の高さである。
【００３９】
貫通孔１２について、「上記断面の面積がほぼ一定である（上記断面の面積が変化しない）」には、当該面積が厳密に一定であることは必ずしも要求されない。樹脂フィルム１の製造方法上避けることができない程度の面積の変動は許容される。
【００４０】
樹脂フィルム１では、一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径が３μｍ以上８０μｍ以下である。この範囲において、同等の平均孔径を有する従来の膜に比べて樹脂フィルム１における通気性のばらつきを小さくできる効果が高くなる。また、この範囲において樹脂フィルム１の特性の制御の自由度が高くなり、より具体的な例として、樹脂フィルム１の特性が向上する。樹脂フィルム１の特性とは、例えば、上述した通気性、通音性（例えば、樹脂フィルム１による音圧の挿入損失）、防水性、防塵性および透過する音の特性から選ばれる少なくとも１種である。これら全ての特性が同時に向上するとは限らない。また、樹脂フィルム１が使用される用途において、これら全ての特性またはこれら全ての特性の向上が要求されるとは限らない。貫通孔１２の開口１３ａの径が８０μｍを超えると、例えば、樹脂フィルム１の防塵性が低下する。
【００４１】
一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径は、１０μｍ以上５０μｍ以下が好ましく、１５μｍ以上３０μｍ以下がより好ましい。当該径の好ましい範囲は、樹脂フィルム１の用途によっても変化する。例えば、防水通気膜または防水通音膜として使用する際には、その防水性を確保する観点から、例えば、当該径の上限が１５μｍ以下でありうるし、好ましくは１４μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下でありうる。防水性が要求されない場合、樹脂フィルム１の生産性の観点からは、一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径の下限は１０μｍ以上、さらには２０μｍ以上であってもよい。
【００４２】
一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径は、一方の主面２の平均孔径とは概念が異なる。樹脂フィルム１では、一方の主面２に存在する全ての貫通孔１２の開口１３ａの径、あるいは樹脂フィルム１の有効部分（当該フィルムの用途として使用可能な部分）における一方の主面２に存在する全ての貫通孔１２の開口１３ａの径が、上記範囲内に入りうる。
【００４３】
貫通孔１２の上記断面の形状および開口１３の形状は特に限定されず、例えば、円または楕円である。このとき、これらの形状は厳密な円または楕円である必要はなく、例えば、後述の製造方法で避けることができない多少の形状の乱れは許容される。なお、これらの形状が円または楕円であり、かつ上記断面の面積が一方の主面２から他方の主面３に向けてほぼ一定または一定の増加率で増加する場合、貫通孔１２の形状は、円錐もしくは楕円錐またはこれらの一部となる。後述の製造方法によれば、このような貫通孔１２を備える樹脂フィルム１を形成できる。
【００４４】
貫通孔１２について、開口１３の形状を円とみなしたときの当該円の直径、換言すれば、開口１３の断面積（開口面積）と同一の面積を有する円の直径を、開口１３の径とする。樹脂フィルム１の一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径は、当該主面２に存在する全ての開口１３ａで一致している必要はないが、樹脂フィルム１の有効部分では実質的に同じ値とみなすことができる程度（例えば、標準偏差が平均値の１０％以下）に一致していることが好ましい。後述の製造方法によれば、このように開口１３ａの径が揃った樹脂フィルム１を形成できる。
【００４５】
樹脂フィルム１の製造方法によっては、主面２および／または主面３上における開口１３の周囲に「バリ」が形成されることがある。開口１３の径など、開口１３に基づく樹脂フィルム１の各特徴を判断する際には、バリは考慮せず、あくまでも開口１３のみにより判断する。
【００４６】
樹脂フィルム１では、開口１３ａに基づく一方の主面２の気孔率のばらつきが１０％以下である。この範囲において、従来の膜に比べて樹脂フィルム１における通気性のばらつきを小さくできる効果が高くなる。また、この範囲において樹脂フィルム１の特性の制御の自由度が高くなり、より具体的な例として、樹脂フィルム１の特性が向上する。樹脂フィルム１の主面の気孔率は、主面の面積に対する当該主面に存在する全ての貫通孔１２の開口１３の面積の合計の比により求めることができる。一方の主面２における当該気孔率のばらつきは、８％以下、さらには５％以下となりうる。
【００４７】
樹脂フィルム１では、一方の主面２における開口１３ａの密度のばらつきが１０００個／ｃｍ2以下である。この範囲において、従来の膜に比べて樹脂フィルム１における通気性のばらつきを小さくできる効果が高くなる。また、この範囲において樹脂フィルム１の特性の制御の自由度が高くなり、より具体的な例として、樹脂フィルム１の特性が向上する。一方の主面２における当該密度のばらつきは、５００個／ｃｍ2以下、２００個／ｃｍ2以下、さらには１００個／ｃｍ2以下でありうる。
【００４８】
樹脂フィルム１において、一方の主面２におけるこれら開口１３ａの径、気孔率のばらつき、および開口１３ａの密度のばらつきが定められているのは、当該主面２における開口１３ａの径が、他方の主面３における開口１３ｂの径と同等またはそれ以下であることに基づく。より具体的には、相対的に小さな径を有する開口１３ａにより、樹脂フィルム１の通気性および通気性のばらつきが強く影響を受けることに基づく。
【００４９】
図１，２に示す例では、複数の貫通孔１２の開口１３は、樹脂フィルム１の双方の主面２，３に互いに間隔を置きながら独立して形成されている。換言すれば、図１，２に示す例では、異なる貫通孔１２の開口１３は、樹脂フィルム１の主面２，３上で重複していない。少なくとも樹脂フィルム１の有効部分において、このような開口１３の形成が達成されている場合、貫通孔１２の形状、貫通孔１２の径（開口１３ａ，１３ｂの径）、主面２における開口１３ａの密度などを、さらに精度よく、均一性高くコントロールすることができる。この場合のより具体的な例として、開口１３は、各主面２，３上に想定した格子の頂点に対応する位置に形成されている。後述の製造方法によれば、想定した格子の頂点に対応する位置に比較的容易に貫通孔１２および開口１３を形成できる。このような開口１３の配置では、開口１３間の間隔（ピッチ）のばらつきが少なく、より通気性のばらつきが小さい樹脂フィルム１となる。
【００５０】
想定する格子は特に限定されないが、例えば、斜方格子、六角格子、正方格子、矩形格子、菱形格子である。それぞれ、格子の網目の形状が平行四辺形、六角形、正方形、長方形、菱形（面心長方形）となる。図１，２に示す樹脂フィルムでは、各主面２，３上に想定した正方格子の頂点に対応する位置に貫通孔１２の開口１３が形成されている。このとき、主面２，３上の互いに直交する２つの方向について（例えば、樹脂フィルムのＭＤ方向およびＴＤ方向について）、複数の開口１３が等しい間隔で並ぶことになる。
【００５１】
本発明の樹脂フィルムでは、樹脂フィルム１の主面２および／または主面３において、異なる貫通孔１２の開口１３が互いに重複して形成されていてもよい。このような開口１３は、例えば、貫通孔１２間の間隔を狭くした場合に形成されることがある。重複は、例えば、隣り合う貫通孔１２の端部同士の重複である。
【００５２】
樹脂フィルム１は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６の規定に準拠して測定したフラジール数（以下、単に「フラジール数」）で示して、１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１５０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下の通気度をその厚さ方向の通気度として有していてもよい。この場合、樹脂フィルム１の特性の制御の自由度がより高くなり、具体的な一例として、樹脂フィルム１の特性をより向上できる。
【００５３】
樹脂フィルム１では、厚さ方向の通気度（フラジール数により表現される通気度）の変動率が８％以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、７％以下、さらには６％以下でありうる。厚さ方向の通気度の変動率がこれらの範囲内にあることによって、樹脂フィルム１の特性の制御の自由度がより高くなり、具体的な一例として、樹脂フィルム１の特性をより向上できる。通気度の変動率は、樹脂フィルム１における任意の５点で測定したフラジール通気度の平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖにより与えられる。
【００５４】
樹脂フィルム１では、一方の主面２における気孔率は、例えば０．５〜５０％であり、好ましくは２〜４０％、より好ましくは５〜３５％である。一方の主面２における気孔率がこれらの範囲内にあることによって、樹脂フィルム１の特性の制御の自由度がより高くなり、具体的な一例として、樹脂フィルム１の特性をより向上できる。
【００５５】
樹脂フィルム１では、一方の主面２における開口の密度は、例えば１×１０3（個／ｃｍ2）以上であり、より具体的な例は、１×１０4（個／ｃｍ2）以上５×１０5（個／ｃｍ2）以下であり、好ましくは１．２×１０4（個／ｃｍ2）以上４×１０5（個／ｃｍ2）以下、より好ましくは１．４×１０4（個／ｃｍ2）以上３×１０5（個／ｃｍ2）以下である。一方の主面２における開口の密度がこれらの範囲内にあることによって、樹脂フィルム１の特性の制御の自由度がより高くなり、具体的な一例として、樹脂フィルム１の特性をより向上できる。
【００５６】
貫通孔１２の延びる方向に垂直な断面の面積が一方の主面２から他方の主面３に向けて増加する形状を貫通孔１２が有する場合、一方の主面２における開口１３ａの径Ｒａと、他方の主面３における開口１３ｂの径Ｒｂとの比は、比Ｒｂ／Ｒａについて、好ましくは１を超え４以下であり、より好ましくは１を超え３以下である。比Ｒｂ／Ｒａがこれらの範囲内にあることによって、樹脂フィルム１の特性の制御の自由度がより高くなり、具体的な一例として、樹脂フィルム１の特性をより向上できる。また、製造方法の関係上（例えば、後述の製造方法で樹脂フィルム１を形成する場合におけるレーザーの集光性の限界上）、貫通孔１２の径を樹脂フィルム１の厚さ方向全体にわたって均一に小さくすることができないとき、比Ｒｂ／Ｒａを１よりも大きくすることにより、例えば、相対的に小さな開口１３ａの径Ｒａにより樹脂フィルム１の防水性を担保することもできる。
【００５７】
一方の主面２における開口１３ａの間隔のばらつきは、例えば５％以下であり、樹脂フィルム１の構成によっては４％以下、さらには３％以下とすることができる。
【００５８】
樹脂フィルム１の気孔率、気孔率のばらつき、開口の密度および開口の密度のばらつきは、以下のように求めることができる。最初に、光学顕微鏡などの拡大観察手段により、樹脂フィルム１の表面（主面の特徴を評価する場合は、当該主面）を撮影する。次に、撮影した表面（主面）の画像中に存在する任意の１０個の貫通孔１２の開口１３の径を評価する。開口１３の径の評価には、画像解析手段を利用できる。次に、評価した開口１３の径の平均値Ａｖおよび標準偏差σを求める。この比σ／Ａｖが、開口１３の径のばらつきとなる。次に、上記画像において、隣り合う（最隣接する）貫通孔１２間の間隔（ピッチ）を、異なる２方向について（例えばフィルムのＭＤ方向およびＴＤ方向について）それぞれ１０箇所評価する。評価には、画像解析手段を利用できる。次に、評価した間隔の平均値Ａｖおよび標準偏差σを、各々の方向について求める。この比σ／Ａｖが、各々の方向における貫通孔１２間の間隔のばらつきとなる。
【００５９】
樹脂フィルム１の気孔率は、式［（開口１３の径の平均値Ａｖより求めた当該開口の平均面積）／｛（ある方向の間隔の平均値）×（異なる方向の間隔の平均値）｝］×１００（％）により求められる。
【００６０】
このような気孔率の評価を、評価対象である表面（主面）の任意の５点において繰り返し、その平均値Ａｖおよび標準偏差σの比σ／Ａｖから、気孔率のばらつきを求めることができる。
【００６１】
また、開口の密度は、気孔率を評価する際に用いた画像（５回分）からその平均値Ａｖとして求めることができる。開口の密度のばらつきは、当該平均値Ａｖと、この５回分の画像から求めた開口の密度の標準偏差σとから、比σ／Ａｖにより求めることができる。
【００６２】
図１〜３に示す例では、貫通孔１２は樹脂フィルム１の主面２，３に垂直な方向に延びている。貫通孔１２が延びる方向は、樹脂フィルム１の主面２，３に垂直な方向から傾いていてもよいし、垂直な方向に延びる貫通孔１２と垂直な方向から傾いた方向に延びる貫通孔１２とが混在していてもよい。樹脂フィルム１における貫通孔１２が延びる方向は、例えば、樹脂フィルム１の主面および断面に対してＳＥＭによる観察を行うことで確認できる。
【００６３】
樹脂フィルム１の厚さは、例えば５μｍ以上５０μｍ以下であり、８μｍ以上３０μｍ以下が好ましい。これらの範囲において、例えば、樹脂フィルム１の取扱性が特に高くなり、また、その生産性も特に高くなる。
【００６４】
樹脂フィルム１の見かけ比重は、当該フィルム１の強度および取扱性、ならびに通音膜として使用する場合には通音性の観点から、０．１〜１．５ｇ／ｃｍ3が好ましく、０．２〜１．４ｇ／ｃｍ3がより好ましい。
【００６５】
樹脂フィルム１は、例えば、以下に示すような特性を有しうる。
【００６６】
樹脂フィルム１は、例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。従来の高分子膜では、高音域におけるこのような低い音圧損失を達成することが困難である。
【００６７】
また、樹脂フィルム１は、例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。
【００６８】
さらに、樹脂フィルム１は、例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下でありうる。
【００６９】
樹脂フィルム１の有効面積とは、樹脂フィルム１がその用途において使用される際に、当該用途に必要な機能が求められる部分（有効部分）の面積である。例えば、樹脂フィルム１を通音膜として使用する場合に、実際に音が樹脂フィルム１に入力し、当該フィルムを伝わって当該フィルムから音が出力される部分の面積である。より具体的な例として、樹脂フィルム１を配置するために樹脂フィルム１の周縁部に配置、形成された支持体や接着部などの面積分を含まない。有効面積は、典型的には、樹脂フィルム１を筐体の開口部を覆うように配置する場合には当該開口部の面積、あるいは樹脂フィルム１の周縁部に支持体を配置する場合には、当該支持体の開口部の面積でありうる。
【００７０】
樹脂フィルム１を構成する材料は、特に限定されない。例えば、後述の製造方法において、高分子樹脂フィルムである原フィルムに貫通孔１２を形成できる材料である。樹脂フィルム１は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素系樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン、ポリブタジエン、エポキシ樹脂、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メチル、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリウレタン、ＡＢＳ樹脂、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体、シリコーンラバーにより構成される。後述の製造方法により樹脂フィルム１を形成する場合、レーザーによる穿孔性の観点から、樹脂フィルム１を構成する材料は、ＰＥＴ、ポリプロピレン、ＰＴＦＥ、ポリイミド、ポリメタクリル酸メチル、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、ポリウレタン、シリコーンラバーにより構成されることが好ましい。原フィルムを構成する材料についても同様である。
【００７１】
図１，２に示す例では、樹脂フィルム１の基質構造は非多孔質構造である。樹脂フィルム１の基質構造は非多孔質構造以外でもあってもよく、例えば、多孔質構造、独立した気泡を有する構造などを基質構造としてとりうる。この場合、基質構造を構築する細孔（例えば多孔質構造のとき）あるいは気泡（例えば気泡を有する構造のとき）以外に、貫通孔１２を樹脂フィルム１が有することになる。
【００７２】
樹脂フィルム１は、積層構造を有していてもよい。この場合、望む特性が損なわれない限り、層間に接着剤および／または粘着剤が配置されていてもよい。
【００７３】
樹脂フィルム１の用途は限定されない。その特性に応じて、任意の用途に使用できる。その際、その通気性にとらわれることなく種々の用途に使用できる。もちろん、通気性のばらつきの小ささを享受できる用途でありうる。具体的な用途は、例えば、通気膜、通音膜、防水通気膜、防水通音膜および音響抵抗体である。
【００７４】
通気膜としての用途では、樹脂フィルム１の通気性のばらつきの小ささに基づく、良好な通気性が期待される。また、上述のように通気性の制御の自由度が高くなる。
【００７５】
通気性に加えてさらに防水性を有する防水通気膜としての用途では、さらに、良好な防水性が期待される。また、上述のように防水性の制御の自由度が高くなる。
【００７６】
通気膜としての用途では、貫通孔１２の開口１３ａの径は５〜５０μｍが好ましい。防水通気膜としての用途では、貫通孔１２の開口１３ａの径は３〜１５μｍが好ましい。
【００７７】
通音膜としての用途では、樹脂フィルム１の通気性のばらつきの小ささに基づく、良好な通音性が期待される。また、上述のように通音性の制御の自由度が高くなる。
【００７８】
通音性に加えてさらに防水性を有する防水通音膜としての用途では、さらに、良好な防水性が期待される。また、上述のように防水性の制御の自由度が高くなる。
【００７９】
通音膜としての用途では、貫通孔１２の開口１３ａの径は５〜５０μｍが好ましい。防水通音膜としての用途では、貫通孔１２の開口１３ａの径は３〜１５μｍが好ましい。
【００８０】
音響抵抗体としての用途では、樹脂フィルム１の通気性のばらつきの小ささに基づく、当該抵抗体を透過する音について良好な特性が期待される。また、上述のように、当該抵抗体を透過する音の特性の制御の自由度が高くなる。
【００８１】
樹脂フィルム１を使用する際には、２種以上の樹脂フィルム１を組み合わせてもよいし、樹脂フィルム１と他の部材とを組み合わせてもよい。
【００８２】
樹脂フィルム１には、着色処理が施されていてもよい。樹脂フィルム１を構成する材料の種類によるが、着色処理を施していない樹脂フィルム１の色は、例えば、透明または白色である。このような樹脂フィルム１が使用された場合、その用途および配置方法によっては樹脂フィルム１が目立つことがある。目立つ膜はユーザーの好奇心を刺激し、針などによる突き刺しによって樹脂フィルム１としての機能が損なわれることがある。樹脂フィルム１に着色処理が施されていると、例えば、樹脂フィルム１を配置する部分の色と同色または近似の色を有する樹脂フィルム１とすることにより、相対的にユーザーの注目を抑えることができる。また、樹脂フィルム１を配置する部分または配置する物品のデザイン上、着色された樹脂フィルム１が求められることがあり、着色処理により、このようなデザインの要求に応えることができる。
【００８３】
着色処理は、例えば、樹脂フィルム１を染色処理したり、樹脂フィルム１に着色剤を含ませたりすることで実施できる。着色処理は、例えば、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光が吸収されるように実施してもよい。すなわち、樹脂フィルム１は、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム１が、波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する着色剤を含む、あるいは波長３８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域に含まれる光を吸収する能力を有する染料によって染色されている。この場合、樹脂フィルム１を、青色、灰色、茶色、桃色、緑色、黄色などに着色できる。樹脂フィルム１は、黒色、灰色、茶色または桃色に着色処理されていてもよい。
【００８４】
後述の製造方法により樹脂フィルム１を得る場合、着色処理された原フィルムに貫通孔１２を形成することで着色処理された樹脂フィルム１を得てもよいし、原フィルムに貫通孔１２を形成した後に着色処理を実施して、着色処理された樹脂フィルム１を得てもよい。
【００８５】
樹脂フィルム１が黒色または灰色に着色処理されている場合、その着色の程度が、以下に示す白色度Ｗで示して１５．０〜７０．０の範囲にあることが好ましい。白色度Ｗは、樹脂フィルム１の主面の明度Ｌ、色相ａおよび彩度ｂを、ＪＩＳ  Ｌ１０１５の規定（ハンター法）に準拠して色差計を用いて測定し、測定したこれらの値から式Ｗ＝１００−ｓｑｒ［（１００−Ｌ）2＋（ａ2＋ｂ2）］により求めることができる。白色度Ｗの値が小さいほど、樹脂フィルム１の色が黒色になる。
【００８６】
樹脂フィルム１は撥液処理（撥水および／または撥油処理）されていてもよい。このとき、樹脂フィルム１の少なくとも一部の表面に撥液層４が形成される（一例として図４を参照）。撥液層４は、樹脂フィルム１の一方の主面上のみに形成されていてもよいし、双方の主面上に形成されていてもよい。撥液層４は、貫通孔１２の内部（内周面）にも形成されうる。樹脂フィルム１の貫通孔１２について、その延びる方向に垂直な断面の面積が一方の主面２から他方の主面３に向けて増加する場合、相対的に小さい開口の径を有する一方の主面２に撥液層４が形成されていてもよく、さらに貫通孔１２の内部および主面３を含む全面に撥液層４が形成されていてもよい。
【００８７】
撥液層４は、通常、開口１３（１３ａ，１３ｂ）と対応する位置に開口を有する。
【００８８】
撥液層４は、撥水性を有する層であり、撥油性を併せて有することが好ましい。
【００８９】
撥液層４は、例えば、撥水剤または疎水性の撥油剤を希釈剤で希釈して調製した処理液を、樹脂フィルム１上に薄く塗布して乾燥させることにより形成できる。撥水剤および疎水性の撥油剤は、例えば、パーフルオロアルキルアクリレート、パーフルオロアルキルメタクリレートのようなフッ素化合物である。
【００９０】
撥液層４により防水性（撥液性）を付与された樹脂フィルム１の防水性は、例えば、ＪＩＳ  Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して測定した耐水圧により評価できる。耐水圧は、例えば２ｋＰａ以上であり、樹脂フィルム１の構成によっては、５ｋＰａ以上、さらには１０ｋＰａ以上とすることもできる。撥液処理および撥液層４に関して、ならびに耐水圧およびその具体的な数値については、樹脂フィルム１の各用途、例えば、通気膜、通音膜および音響抵抗体においても同様である。
【００９１】
樹脂フィルム１は、例えば、後述する樹脂フィルムの製造方法により形成できる。
【００９２】
［通気膜および通気膜部材］
本発明の通気膜は、樹脂フィルム１を備える。当該通気膜は、樹脂フィルム１の通気膜としての使用（の結果）でもある。
【００９３】
通気膜は、例えば、電子機器などの物品の筐体の開口を塞ぐように配置されて、当該開口から筐体の内部に塵などの異物が侵入することを防ぐとともに、筐体の外部と内部との間で気体（典型的には空気）を透過させる膜であり、筐体内部の圧力の調整などに使用される。
【００９４】
防水性をさらに有する通気膜、すなわち防水通気膜は、例えば、電子機器などの物品の筐体の開口を塞ぐように配置されて、当該開口から筐体の内部に水が浸入することを防ぐとともに、筐体の外部と内部との間で気体（典型的には空気）を透過させる膜であり、筐体内部の圧力の調整などに使用される。
【００９５】
通気膜は、樹脂フィルム１を備えることにより、上述した樹脂フィルム１の各特徴および各特性を示しうる。
【００９６】
防水性をさらに有するために、通気膜は撥液処理されていてもよい。このとき、通気膜の少なくとも一部の表面に撥液層４が形成される。撥液層４は、通気膜の一方の主面上のみに形成されていてもよいし、双方の主面上に形成されていてもよい。撥液層４は、樹脂フィルム１の貫通孔１２の内部（内周面）にも形成されうる。樹脂フィルム１の貫通孔１２について、その延びる方向に垂直な断面の面積が一方の主面２から他方の主面３に向けて増加する場合、相対的に小さい開口の径を有する一方の主面２側の通気膜の主面に撥液層が形成されていてもよく、さらに樹脂フィルム１の貫通孔１２の内部および他方の主面３側の通気膜の主面を含む全面に撥液層が形成されていてもよい。
【００９７】
撥液処理された通気膜は、例えば、防水通気膜として使用できる。
【００９８】
通気膜は、２層以上の樹脂フィルム１を備えていてもよい。
【００９９】
通気膜の形状は限定されない。
【０１００】
通気膜は、必要に応じて、樹脂フィルム１および撥液層４以外の任意の部材および／または層を備えていてもよい。当該部材は、例えば、通気性支持層である。通気性支持層は、例えば、樹脂フィルム１の少なくとも一方の主面に配置される。通気性支持層の配置により、通気膜としての強度が向上し、また、取扱性も向上する。通気性支持層は、樹脂フィルム１の双方の主面２，３に配置されていてもよい。
【０１０１】
通気性支持層は、樹脂フィルム１に比べて、厚さ方向の通気度が高い層である。通気性支持層には、例えば、織布、不織布、ネット、メッシュを用いることができる。通気性支持層を構成する材料は、例えば、ポリエステル、ポリエチレン、アラミド樹脂である。通気性支持層が配置される樹脂フィルム１の主面には、撥液層４が形成されていてもよい。通気性支持層の形状は、樹脂フィルム１の形状と同一であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、樹脂フィルム１の周縁部のみに配置される形状を有する（具体的に、樹脂フィルム１が円形である場合には、その周縁部のみに配置されるリング状の）通気性支持層でありうる。通気性支持層は、例えば、樹脂フィルム１との熱溶着、接着剤による接着などの手法により配置される。
【０１０２】
通気性支持層と異なる上記任意の部材の例は、支持体である。支持体は、例えば、通気膜の少なくとも一方の主面、より具体的な例として、樹脂フィルム１の少なくとも一方の主面に配置される。支持体の配置により、通気膜としての強度が向上し、また、取扱性も向上する。支持体は、通気膜の双方の主面、より具体的な例として、樹脂フィルム１の双方の主面２，３に配置されていてもよい。
【０１０３】
支持体は通気性を有していなくてもよいが、この場合、樹脂フィルム１の通気性が確保される構造、例えば開口部、を有している。支持体は、例えば、通気膜の周縁部（樹脂フィルム１の周縁部）のみに配置される形状を有する。支持体は、例えば、通気膜（樹脂フィルム１）との熱溶着、超音波溶着、接着剤による接着、両面テープによる接着などの手法により配置される。
【０１０４】
支持体を構成する材料は限定されず、例えば、樹脂、金属およびこれらの複合材料である。樹脂は、例えばポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ＰＥＴ、ポリカーボネートなどのポリエステル；ポリイミドあるいはこれらの複合材である。金属は、例えばステンレスやアルミニウムのような耐蝕性に優れる金属である。
【０１０５】
支持体の厚さは、例えば５〜５００μｍであり、２５〜２００μｍが好ましい。また、取り付けしろとしての機能に着目すると、リング幅（額縁幅：外形と内径との差）は０．５〜２ｍｍ程度が適当である。支持体には、樹脂からなる発泡体を使用してもよい。
【０１０６】
支持体が配置された通気膜は、通気膜と、当該通気膜に接合された支持体とを備える通気膜部材として、取扱いおよび流通させることができる。通気膜部材の一例を図５および図６に示す。
【０１０７】
図５に示す通気膜部材４５は、主面に垂直な方向から見た形状が円形である通気膜４６と、通気膜４６の周縁部に接合されたリング状のシートである支持体４７とを備える。通気膜４６に支持体４７が接合された形態により、通気膜４６が補強されるとともに、その取扱性が向上する。また、支持体４７が、通気膜４６を（通気膜部材４５を）筐体の開口に配置する際の取り付けしろとなるため、通気膜４６の（通気膜部材４５の）取り付け作業が容易となる。
【０１０８】
支持体４７の形状は限定されない。例えば、図６に示すように、主面に垂直な方向から見た形状が矩形である通気膜４６の周縁部に接合された、額縁状のシートである支持体４７であってもよい。図５，６に示すように、支持体４７の形状を通気膜４６の周縁部の形状とすることによって、支持体４７の配置による通気膜４６の特性の低下が抑制される。また、シート状の支持体４７が、通気膜４６の取扱性および筐体への配置性の観点から、好ましい。
【０１０９】
通気膜部材４５は、２層以上の通気膜４６および／または２層以上の支持体４７を備えていてもよい。
【０１１０】
通気膜および通気膜部材には、上述した着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム１、通気性支持層および支持体から選ばれる少なくとも１つが着色処理されうる。
【０１１１】
通気膜および通気膜部材は、様々な用途、例えば、通気部材、防水通気部材、電子機器、ケース、通気構造、防水通気構造に使用できる。これらの部材、機器および構造の具体的な構成は、本発明の樹脂フィルム１を備える通気膜または通気膜部材を備える限り限定されない。通気膜および通気膜部材以外の構成として、公知の部材、機器および構造の構成を採用しうる。
【０１１２】
通気膜および通気膜部材を筐体の開口に配置する際には、当該通気膜が備える樹脂フィルム１の主面２側が筐体に面するように配置しても、主面３側が筐体に面するように配置してもよい。
【０１１３】
通気膜および通気膜部材の製造方法は、特に限定されない。
【０１１４】
［通音膜］
本発明の通音膜は、樹脂フィルム１を備える。当該通音膜は、樹脂フィルム１の通音膜としての使用（の結果）でもある。
【０１１５】
通音膜は、例えば、電子機器などの物品の筐体の開口を塞ぐように配置されて、当該開口から筐体の内部に塵などの異物が侵入することを防ぐとともに、筐体の外部と内部との間で音を伝達する。より具体的な例として、通音膜は、電子機器などの物品がスピーカーなどの発音部および／またはマイクロフォンなどの受音部といった音響部を有しており、当該音響部に音を伝達できる開口部が筐体に設けられている場合に、当該開口部（通音口）を塞ぐように配置されて、当該開口部から電子機器の内部に塵などの異物が侵入することを防ぐとともに、電子機器の外部と音響部との間で音を伝達する膜である。
【０１１６】
防水性をさらに有する通音膜、すなわち防水通音膜は、例えば、電子機器などの物品の筐体の開口を塞ぐように配置されて、当該開口から筐体の内部に水が浸入することを防ぐとともに、筐体の外部と内部との間で音を伝達する。より具体的な例として、通音膜は、電子機器などの物品がスピーカーなどの発音部および／またはマイクロフォンなどの受音部といった音響部を有しており、当該音響部に音を伝達できる開口部が筐体に設けられている場合に、当該開口部（通音口）を塞ぐように配置されて、当該開口部から電子機器の内部に水が浸入することを防ぐとともに、電子機器の外部と音響部との間で音を伝達する膜である。
【０１１７】
通音膜は、樹脂フィルム１を備えることにより、上述した樹脂フィルム１の各特徴および各特性を有しうる。
【０１１８】
防水性をさらに有するために、通音膜は撥液処理されていてもよい。このときとりうる撥液層４が形成される状態は、通気膜が通音膜であることを除き、撥液処理された通気膜と同様である。撥液処理された通音膜は、例えば、防水通音膜として使用できる。
【０１１９】
通音性に関して通音膜では、樹脂フィルム１における通音性の制御の自由度の高さから、例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。また例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。さらに例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下でありうる。
【０１２０】
通音膜の通音性はその有効面積が大きいほど向上するが、本発明の通音膜は、有効面積が４．９ｍｍ2と非常に小さい条件においても、このような良好な通音性を達成しうる。この有利な特徴は、例えば、通音膜を備える電子機器の小型化および／または薄型化などのデザインおよび設計の自由度の向上に寄与する。
【０１２１】
通音膜は、２層以上の樹脂フィルム１を備えていてもよい。
【０１２２】
通音膜の形状は限定されない。
【０１２３】
通音膜は、必要に応じて、樹脂フィルム１および撥液層４以外の任意の部材および／または層を備えていてもよい。当該部材は、例えば、上述した通気性支持層および／または支持体である。通気性支持層および支持体の具体的な構成、ならびに通音膜への配置の状態は、通気膜の説明において上述した構成および配置の状態と同様でありうる。
【０１２４】
支持体が配置された通音膜は、通音膜と、当該通音膜に接合された支持体とを備える通音膜部材として、取扱いおよび流通させることができる。通音膜部材の構成の例は、通気膜４６が通音膜であることを除き、通気膜部材の構成の例、例えば図５，６に示す例、と同様でありうる。また、通音膜部材では、通気膜部材の説明において上述した支持体４７に基づく効果を得ることができる。
【０１２５】
通音膜部材は、２層以上の通音膜および／または２層以上の支持体４７を備えていてもよい。
【０１２６】
通音膜および通音膜部材には、上述した着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム１、通気性支持層および支持体から選ばれる少なくとも１つが着色処理されうる。
【０１２７】
通音膜および通音膜部材は、様々な用途、例えば、通音部材、防水通音部材、電子機器、ケース、通音構造、防水通音構造に使用できる。これらの部材、機器および構造の具体的な構成は、本発明の樹脂フィルム１を備える通音膜または通音膜部材を備える限り限定されない。通音膜および通音膜部材以外の構成として、公知の部材、機器および構造の構成を採用しうる。
【０１２８】
通音膜および通音膜部材を筐体の開口に配置する際には、当該通音膜が備える樹脂フィルム１の主面２側が筐体に面するように配置しても、主面３側が筐体に面するように配置してもよい。
【０１２９】
通音膜および通音膜部材の製造方法は、特に限定されない。
【０１３０】
［音響抵抗体］
本発明の音響抵抗体は、樹脂フィルム１を備える。当該音響抵抗体は、樹脂フィルム１の音響抵抗体としての使用（の結果）でもある。
【０１３１】
音響抵抗体は、音響機器に配置され、音響機器から出力されるおよび／または音響機器に入力する音の特性を調整するための部材である。より具体的には、音響機器は、音を出力および／または入力する音響子を備えた、音と電気信号とを変換する変換部と、変換部が収容された、少なくとも１つの開口部を有するハウジングとを備えている。音響機器において、上記少なくとも１つの開口部に通じる気体の経路がハウジング内に存在し、音響子はこの経路に配置される。そして、音響抵抗体は、この気体の経路における、上記少なくとも１つの開口と音響子との間に配置されるとともに、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムを含む。本発明の音響抵抗体では、この厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルムが本発明の樹脂フィルム１である。
【０１３２】
音響抵抗体をより理解するために、本発明の音響抵抗体を備える音響機器の一例を図７示す。図７に示す音響機器は、イヤホンの片側（右側または左側）を構成するイヤホンユニット５１である。
【０１３３】
イヤホンユニット５１は、音を出力する音響子である振動板７１を備えた変換部５２と、フロントハウジング５３ａおよびリアハウジング５３ｂとを備える。変換部５２は、ユニット５１のハウジング５３として一体化されたフロントハウジング５３ａおよびリアハウジング５３ｂの間に収容されている。変換部５２は、振動板７１、マグネット７２およびフレーム７３を備え、これらは一体化されている。振動板７１は円形のフィルムであり、図示されている面（表面）とは反対側の面（裏面）に円筒状のコイルが設けられている。マグネット７２は円板状であり、変換部５２が一体化された状態で、振動板７１の裏面に設けられたコイルの開口部、およびリング状のフレーム７３の開口部に位置する。振動板７１は、その周縁部がフレーム７３に接合されており、周縁部を除く部分（主部）はコイルの動きに合わせて自由に振動できる状態にある。変換部７１に電気信号（音の情報を有する電気的な信号；音信号）が供給されると、当該信号に対応する電流がコイルに流れ、当該電流とマグネット７２との電磁的な相互作用により、音信号に対応する物理的な振動が振動板７１に発生し、この振動が音として振動板７１から出力される。すなわち変換部５２は、音の情報を有する電気信号と音とを変換する変換器（トランスデューサー）である。変換部５２への電気信号は、ユニット５１のリアハウジング５３ｂ側に接続されたケーブル５４から、振動板７１の裏面のコイルリングに供給される。ケーブル５４とコイルとの電気的な接続は、図示を省略する。
【０１３４】
ユニット５１のハウジング５３（５３ａ，５３ｂ）は、開口（開口部）を有する。開口部の一種は、フロントハウジング５３ａに設けられた通音口５５である。振動板７１から出力された音は、振動板７１の表面から通音口５５を介してユニット５１の外部に伝達される。開口部のもう一種は、リアハウジング５３ｂに設けられた開口部５６である。リアハウジング５３ｂには、二つの開口５６ａ，５６ｂが設けられている。
【０１３５】
ユニット５１のハウジング５３内には、開口５６ａ，５６ｂに通じる気体（一般的な使用環境下であれば空気）の経路５７が存在する。経路５７は、各開口部５６ａ，５６ｂからフレーム７３に設けられた開口７４を通って振動板７１の裏面に至る。換言すれば、音響子である振動板７１は経路５７の末端（開口５６ａ，５６ｂとは反対側の末端）に配置されている。なお、図７では、理解しやすくするために直線的に経路５７を示しているが、経路５７が気体の経路である以上、ハウジング５３内において開口５６ａ，５６ｂから気体が連通している部分は経路５７となりうる。そしてユニット５１では、音響抵抗体５８が、経路５７における開口５６ａ，５６ｂと振動板７１との間に配置されている。より具体的に、フレーム７３の各開口７４の形状に対応する、リングの一部である形状を有する音響抵抗体５８が、各々の開口７４を塞ぐようにフレーム７３に接合されている。図７に示すユニット５１では、経路５７は必ず音響抵抗体５８を通過する。換言すれば、ユニット５１において音響抵抗体５８は、経路５７の断面を覆うように配置されている。
【０１３６】
音響抵抗体５８は、厚さ方向に通気性を有する樹脂フィルム１から構成される。
【０１３７】
音響子から開口部５６に通じる通気経路５７を設けることにより、例えば、音響子である振動板７１の動き（振動）の阻害が抑制される。特にイヤホンユニット５１では、ハウジング５３内部の容積、とりわけ振動板７１に対して通音口５５とは反対側（裏面側；リアハウジング側）に位置する部分の容積が小さいため、この効果は顕著である。そして、経路５７に、当該経路５７を流通する気体の流れの抵抗体となる音響抵抗体５８を配置することにより、音響機器であるイヤホンユニット５１および当該ユニット５１を備えるイヤホンから出力される音の特性、例えば、イヤホンユニット５１およびイヤホンから出力される音質、が向上する。音質の向上のより具体的な例は、変換部５２に入力される音信号に対してより忠実な音の出力、不要な共鳴の低減、出力される音について周波数特性のフラット化または特定の周波数領域の強調もしくは減衰、および指向性または無指向性の実現などである。図７に示す例はイヤホンユニットであるが、音を出力する他の音響機器においても同様の特性向上を実現できる。また、音を入力する音響機器、例えばマイクロフォン、においても、対応する特性向上を実現できる。
【０１３８】
樹脂フィルム１を含む音響抵抗体５８は、スポンジなどの多孔質体、不織布、メッシュなどの織布からなる従来の音響抵抗体に比べてばらつき（特性および／または構造のばらつき、例えば通気性のばらつき）が小さい。ばらつきには、一つの音響抵抗体における面内のばらつき、音響機器に配置された二またはそれ以上の音響抵抗体間のばらつき（意図的に各音響抵抗体間において通気性などの特性および／または構造を変化させている場合を除く）、およびイヤホンのように２つのユニット（左側イヤホンユニットおよび右側イヤホンユニット）が使用される場合、各ユニットが備える音響抵抗体間のばらつきのいずれもが含まれる。この小さいばらつきにより、例えば、以下の効果が達成される。
【０１３９】
経路５７を設けること、および経路５７に音響抵抗体５８を配置することによる上述した効果、より具体的には音響機器の特性の向上を、より確実に達成できる。そして、特性の調整および特性の向上のための音響機器の設計の自由度が向上する。
【０１４０】
一つの音響抵抗体における面内ばらつきの小ささ、および音響機器に配置された二以上の音響抵抗体間のばらつきの小ささは、例えば、音響機器特性、例えば音圧特性をさらに向上させる。また例えば、音響機器の製造時に、できるだけばらつきの小さい音響抵抗体を選別する工程、あるいは音響抵抗体にある程度の大きさのばらつきがあることを前提とし、この前提のなかでできるだけばらつきを小さくするために従来実施されていた、音響抵抗体の形状の調整、音響機器における音響抵抗体の配置状態の調整、音響機器を構成する部材への音響抵抗体の接合状態の調整、製造後における音響機器の綿密な特性検査といった工程、を簡略化または省略できる。これは、音響機器の製造歩留まりの向上および製造コストの低減につながる。イヤホンなど、二以上のユニットを組み合わせる音響機器では、各ユニットが備える音響抵抗体間のばらつきの小ささによって、例えば、各ユニット間の出力特性のばらつきを小さくできる。これは、例えばイヤホンの製造時に、左側および右側のユニットとして出力特性が近似または同一のユニットを選別し、組み合わせる工程を簡略化または省略することにつながる。さらに、従来は出力特性のばらつきがあるが故にイヤホンユニット単体での流通ができないことが当業者の常識であったが、ユニット間の出力特性のばらつきが小さくなれば、製造部品あるいは交換部品としてユニット単体での流通を視野に入れることも可能となり、その意義は非常に大きい。
【０１４１】
これとは別に、樹脂フィルム１を含む音響抵抗体５８には防塵性を付与できる。防塵性が付与された音響抵抗体８は、音響機器の特性を向上させる上述した機能以外に、さらに防塵部材としての機能を示す。このような音響抵抗体５８の経路５７への配置により、例えば、音響機器のハウジング５３内に開口部５６から塵などの異物が侵入することを抑制でき、防塵機能を有する音響機器とすることができる。音響抵抗体５８の防塵性の程度は、例えば、樹脂フィルム１の貫通孔１２の開口１３の径、特に開口１３ａの径、により制御できる。
【０１４２】
音響抵抗体５８は撥液処理されていてもよい。これにより、防水性を付与できる。防水性が付与された音響抵抗体５８は、音響機器の特性を向上させる上述した機能以外に、さらに防水部材としての機能を示す。このような音響抵抗体５８の経路５７への配置により、例えば、音響機器のハウジング５３内に開口部５６から水が浸入することを抑制でき、防水機能を有する音響機器とすることができる。音響抵抗体５８の防水性の程度は、例えば、撥液層の構成、および樹脂フィルム１の貫通孔１２の径により制御できる。
【０１４３】
撥液処理により形成される撥液層４の状態は、通気膜が音響抵抗体であることを除き、撥液処理された通気膜と同様である。
【０１４４】
音響抵抗体５８には、防塵性と防水性との双方を付与できる。
【０１４５】
音響抵抗体５８は、その材質によっては、従来の音響抵抗体よりも経年安定性を高くできる。例えば、発泡ウレタンから構成される多孔質体が音響抵抗体として使用されることがあるが、ウレタン樹脂は大気中の湿度による加水分解性を有し、経年安定性が十分とはいえない。これに対して、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から構成される樹脂フィルム１を備える音響抵抗体５８は、はるかに良好な経年安定性を示す。
【０１４６】
音響機器では、スピーカーの一種のように音響子が外部に露出している機器を除き、ハウジング内に収容された音響子と機器の外部との間で音を伝達するために、ハウジングに通音口が設けられる。図７に示すイヤホンユニット５１では、フロントハウジング５３ａに通音口５５が設けられている。音響抵抗体５８は、音響子と通音口との間の音の伝達経路となる気体の経路に配置しうる。
【０１４７】
樹脂フィルム１について、貫通孔１２が延びる方向に垂直な断面の面積が、一方の主面２から他方の主面３に向けて増加する場合、このような樹脂フィルム１を備える音響抵抗体５８の使用によって、経路５７における気体の流れの抵抗をより幅広く、あるいはそのような構造を有さない音響抵抗体を使用する場合とは異なる領域で、変化させることができる。これにより、音響抵抗体５８による音響機器の特性制御の自由度がより向上する。この自由度の高さは、音響機器の特性および設計の自由度の向上に寄与する。
【０１４８】
通音性に関して音響抵抗体５８では、樹脂フィルム１における通音性の制御の自由度の高さから、例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数５ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。また例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数７ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下、２ｄＢ以下、さらには１ｄＢ以下でありうる。さらに例えば、有効面積が４．９ｍｍ2のときに、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）が５ｄＢ以下でありうるし、樹脂フィルム１の構成によっては、周波数１０ｋＨｚにおける音圧損失が３ｄＢ以下でありうる。
【０１４９】
音響抵抗体５８の通音性はその有効面積が大きいほど向上するが、本発明の音響抵抗体５８は、有効面積が４．９ｍｍ2と非常に小さい条件においても、このような良好な通音性を達成しうる。この有利な特徴は、例えば、音響抵抗体５８を備える音響機器の小型化および／または薄型化などのデザインおよび設計の自由度の向上に寄与する。音響抵抗体の有効面積とは、開口部を塞ぐように音響抵抗体が配置された際に、実際に音が音響抵抗体に入力し、音響抵抗体を伝わって当該抵抗体から音が出力される部分（有効部分）の面積であり、例えば、音響抵抗体を配置するために当該抵抗体の周縁部に配置、形成された支持体や接着部などの面積分を含まない。有効面積は、典型的には、当該抵抗体が配置された開口部の面積、あるいは、音響抵抗体の周縁部に支持体が配置された場合、当該支持体の開口部の面積でありうる。
【０１５０】
音響抵抗体５８は、２層以上の樹脂フィルム１を備えていてもよい。
【０１５１】
音響抵抗体５８は、必要に応じて、樹脂フィルム１および撥液層４以外の任意の部材および／または層を備えていてもよい。当該部材は、例えば、上述した通気性支持層および／または支持体である。通気性支持層および支持体の具体的な構成、ならびに音響抵抗体への配置の状態は、通気膜の説明において上述した構成および配置の状態と同様でありうる。
【０１５２】
支持体が配置された音響抵抗体は、音響抵抗体と、当該音響抵抗体に接合された支持体とを備える音響抵抗体部材として、取扱いおよび流通させることができる。音響抵抗体部材の構成の例は、通気膜４６が音響抵抗体であることを除き、通気膜部材の構成の例、例えば図５，６に示す例、と同様でありうる。また、音響抵抗体部材では、通気膜部材の説明において上述した支持体４７に基づく効果を得ることができる。
【０１５３】
音響抵抗体部材は、２層以上の音響抵抗体および／または２層以上の支持体４７を備えていてもよい。
【０１５４】
音響抵抗体５８および音響抵抗体部材には、上述した着色処理が施されていてもよい。そのためには、例えば、樹脂フィルム１、通気性支持層および支持体から選ばれる少なくとも１つが着色処理されうる。
【０１５５】
音響抵抗体５８（音響抵抗体部材を含む。以下、同じ）は、音響機器のハウジングに設けられた開口部に通じるとともに音響子が配置されている気体の経路５７における、当該開口部および音響子の間に配置される。「開口部および音響子の間に配置される」とは、開口部への配置、より具体的には、開口部を塞ぐようにハウジングに接合した状態での配置、を含む。この場合、ハウジングの内壁に接合しても外壁に接合してもよい。
【０１５６】
経路５７が通じる開口部は、通音口であっても、通音口以外の開口部であってもよい。図７に示すイヤホンユニット５１では、通音口５５とは異なる開口部５６に、音響抵抗体５８が配置された経路５７が通じている。音響機器では、例えば、音響機器のハウジングに２以上の開口部が設けられており、この２以上の開口部は、音響子とハウジングの外部との間で音を伝達する通音口を含んでおり、少なくとも通音口とは異なる上記開口部に通じる経路５７に音響抵抗体５８が配置されていてもよい。通音口に通じる経路５７と、通音口以外の開口に通じる経路５７との双方に音響抵抗体５８が配置されていてもよい。音響機器に配置される音響抵抗体５８は２以上であってもよいし、１つの経路５７に配置される音響抵抗体５８が２以上であってもよい。
【０１５７】
音響子からの経路５７は２以上の開口部に通じていてもよいし、このとき当該２以上の開口部の少なくとも１つが通音口であってもよい。換言すれば、音響子からの経路５７は、通音口と、通音口以外の開口部に通じていてもよい。
【０１５８】
経路５７の設計、経路５７における音響抵抗体５８を配置する位置および数、ならびに音響抵抗体５８の特性（貫通孔の開口の径、通気度など）は、求められる音響機器の特性に応じて自由に設定できる。
【０１５９】
音響抵抗体５８は、例えば、当該抵抗体５８が配置されている経路５７を塞ぐように配置される。音響抵抗体５８は、経路５７を部分的に覆うように配置されてもよい。
【０１６０】
音響抵抗体５８が防塵性を有する場合、その配置の状態によっては、防塵性を有する音響機器が得られる。配置の状態は、例えば、経路５７に通じる開口部を覆うような配置である。音響抵抗体５８が防水性を有する場合、その配置の状態によっては、防水性を有する音響機器が得られる。配置の状態は、例えば、経路５７に通じる開口部を覆うような配置である。
【０１６１】
経路５７への音響抵抗体５８の配置方法は限定されない。図７に示すイヤホンユニット１では、経路５７を構成する開口７４が設けられたフレーム７３に、当該開口７４を塞ぐように音響抵抗体５８が接合されている。音響機器を構成する部材に音響抵抗体５８を接合することにより経路５７に当該抵抗体５８を配置する場合、両面テープを用いた貼付、熱溶着、高周波溶着、超音波溶着などの手法を採用できる。両面テープを用いた貼付では、当該両面テープを音響抵抗体の支持体として利用することも可能であり、音響抵抗体５８をより確実かつ正確に接合できる。
【０１６２】
音響抵抗体５８の形状は限定されない。音響抵抗体５８の形状は、例えば、ディスク状、円筒状、リング状、およびこれらの形状の一部（例えば、リングの一部、三日月状、半月状など）である。音響抵抗体５８を配置する経路５７の形状あるいは経路５７の断面の形状に応じて自由に設定できる。
【０１６３】
音響子は、音を出力および／または入力する機能を有する。音響子は、例えば、振動板（振動フィルム、振動膜、ダイヤフラム）である。
【０１６４】
経路５７において音響子が配置される位置は限定されず、例えば、音響子が経路５７の末端に配置されていてもよい。
【０１６５】
変換部（トランスデューサー）は、音響子を備え、音と電気信号とを変換する。音響機器がイヤホンなどのように音を出力する機器である場合、変換部では、入力された電気信号（音信号）に対応する音を出力する。音響機器がマイクロフォンなどのように音を入力する機器である場合、変換部では、入力された音に対応する電気信号（音信号）を出力する。変換部の具体的な構成は特に限定されず、音響子を含め、公知の変換部と同様でありうる。
【０１６６】
ハウジング内への変換部の収容方法および収容位置は限定されない。ハウジングは、例えば、金属、樹脂、ガラスおよびこれらの複合材料により形成される。ハウジングに設ける開口部（通音口を含む）の位置および形状は限定されない。
【０１６７】
音響機器は限定されず、例えば、イヤホン、ヘッドホン、マイクロフォン、ヘッドセット、受話器、補聴器、およびウェアラブル端末である。音響機器は、騒音計などの音響評価機器でありうる。音響機器は、２以上のユニットから構成される音響機器の各ユニットでありうる。当該ユニットは、例えば、イヤホンユニット、ヘッドホンユニット、マイクロフォンユニット、ヘッドセットを構成する各ユニットである。
【０１６８】
［高分子樹脂フィルムの製造方法］
樹脂フィルム１は、以下に説明する製造方法により製造できる。
【０１６９】
以下の製造方法では、原フィルムにレーザーを照射することにより、原フィルムに複数の貫通孔１２を形成して樹脂フィルム１を形成する。レーザーを照射する工程により形成した複数の貫通孔１２を有する樹脂フィルムは、そのまま樹脂フィルム１として使用してもよいし、必要に応じて、撥液層４を形成する工程、着色処理工程、あるいは通気性支持層および／または支持体を積層する工程を経て、樹脂フィルム１または樹脂フィルム１を備える通音膜などの部材として使用してもよい。
【０１７０】
レーザーを照射する方法では、例えば、樹脂フィルム１が有する貫通孔１２の開口１３の径およびそのばらつき、貫通孔１２の延びる方向、貫通孔１２の断面の形状および断面の形状の変化、樹脂フィルム１の主面における開口１３の配置、気孔率、ならびに開口１３の密度などといった特徴の制御が容易である。
【０１７１】
原フィルムは、樹脂フィルム１として使用する領域において、その厚さ方向に通気可能である経路を有さない非多孔質の高分子樹脂フィルムでありうる。原フィルムは、無孔のフィルムであってもよい。原フィルムが非多孔質の樹脂フィルムであることによって、非多孔質の基質構造を有する樹脂フィルム１を形成できる。
【０１７２】
原フィルムを構成する材料には、得たい樹脂フィルム１を構成する材料と同じ材料を選択できる。
【０１７３】
貫通孔１２を形成するためのレーザーの照射では、通常、フィルムの厚さは変化しない。このため原フィルムの厚さとして、得たい樹脂フィルム１の厚さを選択できる。
【０１７４】
原フィルムへは、例えば、集光パルスレーザーを照射する。集光パルスレーザーには、公知のレーザーおよび光学系を使用できる。レーザーは、例えば、ＵＶパルスレーザーであり、その波長の例は３５５ｎｍ、３４９ｎｍまたは２６６ｎｍ（Ｎｄ：ＹＡＧ、Ｎｄ：ＹＬＦあるいはＹＶＯ4を媒質とする固体レーザーの高次高調波）、３５１ｎｍ、２４８ｎｍ、２２２ｎｍ、１９３ｎｍ、または１５７ｎｍ（エキシマレーザー）である。原フィルムに貫通孔１２を形成できる限り、ＵＶ以外の波長域のレーザーを使用してもよい。レーザーのパルス幅も貫通孔１２を形成できる限り限定されず、例えば、パルス幅がフェムト秒またはピコ秒のオーダーのパルスレーザーを使用することができる。これらのパルスレーザーでは、多光子吸収過程に基づくアブレーションによって貫通孔１２が形成される。レーザービームの空間強度分布は、中心強度が高いガウシアン分布であってもよく、また、均一な分布を有するトップハット分布であってもよい。
【０１７５】
光学系は、例えば、ガルバノスキャナおよびＦθレンズ（集光レンズ）を含む。Ｆθレンズは、テレセントリシティが５度以内であるように選択および光学系に配置することが好ましい。光学系は、ポリゴンミラースキャナを含むこともできる。これらのスキャナを含む光学系により、原フィルムにおける狙った位置に貫通孔１２を形成することがより容易となる。
【０１７６】
原フィルムにレーザーを照射する際には、原フィルムの分解物が光学系および／または当該フィルムに付着することを抑制するために、例えば、アシストガスを加工部またはその近傍に吹き付ける、あるいは加工部またはその近傍を吸気する、などの対策を施してもよい。アシストガスには、窒素などの不活性ガス、空気、酸素などを使用できる。吹き付けと吸引とを組み合わせてもよい。
【０１７７】
レーザーの照射による貫通孔１２の形成の観点からは、原フィルムの厚さは５μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。原フィルムの厚さがこの範囲にあると、レーザーの照射による貫通孔１２の形成をより効率的に実施できる。
【０１７８】
原フィルムへのレーザーの照射は、所定のサイズに切断した原フィルムを固定して、または移動させながら実施してもよいし、帯状の原フィルムを移動させながら実施してもよい。ロールに巻回された帯状の原フィルムを当該ロールから繰り出し、繰り出した帯状の原フィルムを移動させながらレーザーを照射し、レーザー照射後のフィルムをロールに巻回してもよい。すなわち、ロールトゥロールにより、帯状の原フィルムにレーザーを照射してもよい。
【０１７９】
原フィルムへのレーザーの照射は、レーザーの照射により生じた原フィルムを構成する材料の分解残渣物を効率的に除去できる観点から、中空状態にある原フィルムにレーザーが照射されるように実施してもよい。このとき、原フィルムの背面側（レーザーを照射する面とは反対側の面側）に、分解物を効率的に回収および除去するための吸引機構が、適宜、配置されうる。
【０１８０】
原フィルムにレーザーを照射する際には、原フィルムのレーザー照射部分に所定の張力が印加されていることが好ましい。これにより、皺や弛みが原フィルムに生じることによるレーザー照射時の不具合の発生を抑制できる。所定の張力の印加は、例えば、原フィルムの両端部を挟んで保持することにより実施できる。
【０１８１】
原フィルムにレーザーを照射して貫通孔１２を形成した後、必要に応じて、当該フィルムへの付着物、例えば、原フィルムを構成する材料の分解残渣物、の除去などを目的として、フィルムを洗浄してもよい。洗浄の方法は限定されず、例えば、水中への浸漬、シャワーおよび／または超音波を併用したウェット洗浄、あるいはプラズマ、ＵＶオゾン、超音波、ブラシ、粘着テープなどによるドライ洗浄から選択できる。ウェット洗浄を選択した場合、必要に応じて乾燥工程をさらに実施してもよい。
【０１８２】
原フィルムに上述した着色処理が施されていてもよい。この場合、着色処理された樹脂フィルム１が形成される。
【０１８３】
本発明の樹脂フィルムの製造方法は、上述した工程以外の任意の工程を含みうる。
【０１８４】
本発明の樹脂フィルムの製造方法は、その用途である部材の製造方法、例えば、原フィルムにレーザーを照射することにより原フィルムに複数の貫通孔を形成する工程を含む、通気膜の製造方法、通気膜部材の製造方法、通音膜の製造方法、通音膜部材の製造方法、音響抵抗体の製造方法、あるいは音響抵抗体部材の製造方法でもある。
【実施例】
【０１８５】
以下、実施例により、本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。
【０１８６】
（実施例１：樹脂フィルムの気孔率と厚さ方向の通気度との関係の評価）
ＰＥＴからなる無孔の原フィルム（東レ製、ルミラー、厚さ１２μｍまたは２５μｍ）に、ガルバノスキャナによる走査およびＦθレンズ（焦点距離１００ｍｍ）による集光を用いてパルスレーザー（波長３５５ｎｍ、パルス幅２０ナノ秒、出力７．６Ｗ、繰り返し周波数４０ｋＨｚ）を照射して貫通孔１２を形成し、樹脂フィルム１を得た。
【０１８７】
実施例１では、延びる方向に垂直な断面の面積がフィルムの一方の主面２から他方の主面３に向けて連続的に増加する形状を有する貫通孔１２、および延びる方向に垂直な断面の面積がフィルムの一方の主面２から他方の主面３に至るまで一定の形状を有する貫通孔１２を形成したが、その際、原フィルムの厚さおよびガルバノスキャナに入射するレーザーのビーム径を制御することにより、相対的に小さな径を有する一方の主面２における開口１３ａの径、および相対的に大きな径を有する他方の主面３における開口１３ｂの径を、以下の表１に示すように変化させた。延びる方向に垂直な断面の面積がフィルムの一方の主面２から他方の主面３に至るまで一定の形状を有する貫通孔２の場合、主面２における開口１３ａの径と主面３における開口１３ｂの径とが同一である。また、ガルバノスキャナのスキャン速度を制御することにより、隣り合う貫通孔１２間の間隔（孔の中心間の間隔）を、フィルムのＭＤ方向およびＴＤ方向について、以下の表１に示すように変化させた。実施例１では、ＭＤ方向の間隔とＴＤ方向の間隔とが同一である場合、貫通孔１２の開口１３は、フィルムの主面上に想定された正方格子の頂点に対応する位置に形成されている。ＭＤ方向の間隔とＴＤ方向の間隔とが異なる場合、貫通孔１２の開口１３は、フィルムの主面上に想定された矩形格子の頂点に対応する位置に形成されている。
【０１８８】
このように形成した樹脂フィルム１について、各主面２，３における貫通孔１２の開口１３の径、一方の主面２における気孔率、および厚さ方向の通気度を評価した。開口１３の径および一方の主面２における気孔率は、上述のように評価した。厚さ方向の通気度は以下のように評価した。
【０１８９】
［通気度］
樹脂フィルムの厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６に規定されている通気性測定法のＢ法（ガーレー法）により求めたガーレー数を、フラジール数に換算して求めた。通気度について、ガーレー数Ｇとフラジール数Ｆとの換算式は、以下のとおりである。
【０１９０】
Ｆ＝１．５７／Ｇ
評価結果を以下の表１および図８に示す。フラジール数の単位は、ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）である。
【０１９１】
【表１】
0006676457.tif 000002
【０１９２】
表１および図８に示すように、主面２における気孔率と樹脂フィルム１の厚さ方向の通気度とは、原フィルムの厚さ（形成した樹脂フィルムの厚さ）、および開口１３ａの径によらず、ほぼ直線的な関係を示した。
【０１９３】
（実施例２：通気性変動率の評価）
実施例１と同様に作製した樹脂フィルム（ただし、一方の主面２における貫通孔１２の開口１３ａの径が８μｍ、他方の主面３における貫通孔１２の開口１３ｂの径が２１μｍ、一方の主面２における気孔率が０．５％、一方の主面２における開口１３ａの密度が１×１０4個／ｃｍ2、原フィルムおよび作製した樹脂フィルムの厚さが２５μｍ）について、その一方の主面２における通気性のばらつきを、通気度の変動率（通気性変動率）により評価した。通気性変動率は、以下のように求めた。最初に、図９に示すように、得られた樹脂フィルムからサンプル２０１を切り出し、切り出した当該サンプルの主面における直交する二つの方向にそれぞれ３点、サンプル２０１全体で５点の測定ポイント２０２を設定した。次に、各測定ポイント２０２におけるサンプル２０１の厚さ方向の通気度を、ＪＩＳ  Ｌ１０９６Ｂの規定に準拠してガーレー数として測定し、実施例１と同様にフラジール数に変換した。これを一つの樹脂フィルムについて、当該フィルムから個別に切り出した６つのサンプル２０１に対して実施し、測定した計３０点（５点×６）の通気度（フラジール数）の平均値Ａｖおよび標準偏差σを求め、平均値Ａｖに対する標準偏差σの比σ／Ａｖで表される通気性変動率を求めた。実施例２で作製した樹脂フィルムの通気性変動率は、４．５５％であった。
【０１９４】
（実施例３：通音性の評価）
実施例１で作製したサンプルＮｏ．２，５，１２，１３，１４の樹脂フィルム（いずれも厚さ２５μｍ）について、およびサンプルＮｏ．１，４，８，９，１６の樹脂フィルム（いずれも厚さ１２μｍ）について、その通音性（音圧損失）を以下のように評価した。
【０１９５】
［通音性（音圧損失）］
最初に、図１０Ａに示すように、携帯電話の筐体を模した模擬筐体９１（ポリスチレン製、外形６０ｍｍ×５０ｍｍ×２８ｍｍ）を準備した。模擬筐体９１には、スピーカーから出力した音を筐体の外部へと伝える開口部となるスピーカー取付穴９２（径が２．５ｍｍの円形）と、スピーカーケーブルの導通孔９３とが各々１箇所設けられている以外は開口部がない。次に、径が５ｍｍの円形である通音孔が形成されたウレタンスポンジ製の充填材９４にスピーカー９５（スター精密製、SCG-16A）を埋め込んで、筐体９１の内部に収容した。スピーカー９５のスピーカーケーブル９６は導通孔９３から筐体９１の外部に導き出し、その後、導通孔９３はパテで塞いだ。
【０１９６】
次に、ポリエチレン系の発泡体からなる両面テープ９７（日東電工製、No.57120B、厚さ０．２ｍｍ）、ＰＥＴフィルム９８（厚さ０．１ｍｍ）およびＰＥＴからなる両面テープ９９（日東電工製、No.5603、厚さ０．０３ｍｍ）を準備し、それぞれ、内径２．５ｍｍおよび外径５．８ｍｍのリング状に打ち抜き加工した。これとは別に、各サンプルＮｏ．の樹脂フィルム１を直径５．８ｍｍの円形に打ち抜いた。次に、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９７、円形の樹脂フィルム１、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９９、および内径２．５ｍｍのリング状のＰＥＴフィルム９８を、この順に、外形を揃えて積層し、音響特性評価用の試料（樹脂フィルム１の有効面積が４．９ｍｍ2）を作製した（図１０Ｂを参照）。
【０１９７】
次に、作製した試料を、当該試料が備えるポリエチレン系発泡体の両面テープ９７を用いて、模擬筐体９１の外側に、開口部９２を樹脂フィルム１が完全に覆うように取り付けた。その際、樹脂フィルム１と両面テープ９７との間、および両面テープ９７と模擬筐体９１との間に隙間ができないようにした。
【０１９８】
次に、スピーカケーブル９６とマイク（Knowles Acoustic製、Spm0405Hd4H-W8）とを音響評価装置（Ｂ＆Ｋ製、Multi-analyzer System  3560-B-030）に接続し、模擬筐体９１の開口部９２から２１ｍｍ離れた位置にマイクを配置した。次に、評価方式としてＳＳＲ分析（試験信号２０Ｈｚ〜１０ｋＨｚ、sweep）を選択、実行し、樹脂フィルム１の音響特性（ＴＨＤ、音圧損失）を評価した。音圧損失は、音響評価装置からスピーカー９５に入力した信号と、マイクロフォンを介して検出された信号とから、自動的に求められる。これとは別に、樹脂フィルム１を配置しない状態で、同様にしてブランクの音圧損失を求めておき、樹脂フィルム１を配置した際の音圧損失からブランクの音圧損失を引いたものを、当該フィルムの特性である音圧損失（挿入損失）とした。挿入損失が小さいほど、樹脂フィルム１を伝達される音の特性が確保されていると判断できる。
【０１９９】
評価結果を図１１，１２に示す。
【０２００】
図１１に示すように、樹脂フィルム１の厚さが２５μｍのとき、周波数５ｋＨｚにおいて挿入損失２０ｄＢ以下が達成された。また、フラジール数が１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であるサンプル２，１２，５および１４では、周波数５ｋＨｚにおいて挿入損失１０ｄＢ以下が達成された。そして、フラジール数が４ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であるサンプル１２，５および１４では、周波数５ｋＨｚにおいて挿入損失５ｄＢ以下が達成された。
【０２０１】
図１２に示すように、樹脂フィルム１の厚さが１２μｍのとき、全てのサンプルにおいて周波数５ｋＨｚおよび７ｋＨｚにおける挿入損失５ｄＢ以下が達成された。また、フラジール数が１０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であるサンプル４，９，１６および８では、周波数５ｋＨｚおよび７ｋＨｚにおいて挿入損失１ｄＢ以下が達成された。
【０２０２】
（比較例１）
比較例１として、市販の不織布（旭化成せんい製、スマッシュＹ１５２５０）を準備した。この不織布は、スパンボンド法により形成されたポリエチレンテレフタレート繊維から構成される不織布であり、その見かけ密度は０．４４ｇ／ｃｍ3であった。
【０２０３】
この不織布について、実施例２と同様に通気性変動率を求めた。各測定ポイント２０２の位置は、実施例２と同一とした。比較例１の不織布の通気性変動率は、１８．０％であった。
【０２０４】
（実施例４：耐水圧の評価）
原フィルムの厚さを２５μｍとし、Ｆθレンズの焦点距離を１６３ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、貫通孔１２が形成された樹脂フィルムを得た。実施例３では、延びる方向に垂直な断面の面積がフィルムの一方の主面２から他方の主面３に向けて連続的に増加する形状を有する貫通孔１２を形成したが、その際、ガルバノスキャナに入射するレーザーのビーム径を制御することにより、相対的に小さな径を有する一方の主面２における開口１３ａの径、および相対的に大きな径を有する他方の主面３における開口１３ｂの径を、以下の表２に示すように変化させた。また、ガルバノスキャナのスキャン速度を制御することにより、隣り合う貫通孔１２間の間隔（孔の中心間の間隔）を、フィルムのＭＤ方向およびＴＤ方向について、以下の表２に示すように変化させた。
【０２０５】
次に、形成した樹脂フィルムを撥液処理液中に５秒浸漬した後、常温で３０分間放置して乾燥させ、当該フィルムの表面および貫通孔１２の内周面に撥液層を形成して、撥液処理された樹脂フィルム１を得た。撥液処理液として、撥液剤（信越化学製、Ｘ−７０−０４３）を濃度１．０重量％となるように希釈剤（信越化学製、ＦＳシンナー）で希釈して調製した液を使用した。
【０２０６】
このように形成した樹脂フィルム１について、各主面２，３における貫通孔１２の開口１３の径、一方の主面２における気孔率、および厚さ方向の通気度（フラジール数）を、実施例１と同様に評価した。また、通気性変動率を実施例２と同様に評価するとともに、一方の主面２における開口ａの密度のばらつきを上述のように、形成した樹脂フィルム１の耐水圧を以下のように、それぞれ評価した。
【０２０７】
［耐水圧］
通音性の評価と同様に、ポリエチレン系の発泡体からなる両面テープ９７（日東電工製、No.57120B、厚さ０．２ｍｍ）、ＰＥＴフィルム９８（厚さ０．１ｍｍ）およびＰＥＴからなる両面テープ９９（日東電工製、No.5603、厚さ０．０３ｍｍ）を準備し、それぞれ、内径２．５ｍｍおよび外径５．８ｍｍのリング状に打ち抜き加工した。これとは別に、各サンプルＮｏ．の樹脂フィルム１を直径５．８ｍｍの円形に打ち抜いた。次に、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９７、円形の樹脂フィルム１、内径２．５ｍｍのリング状の両面テープ９９、および内径２．５ｍｍのリング状のＰＥＴフィルム９８を、この順に、外形を揃えて積層し、耐水圧評価用の試料（樹脂フィルム１の有効面積が４．９ｍｍ2）を作製した。
【０２０８】
次に、作製した試料を、直径２．０ｍｍの開口を中心に有する固定治具に、試料の中心と開口の中心とを合わせて貼り付けた後、これを耐水度試験装置に組み付け、ＪＩＳ  Ｌ１０９２の耐水度試験Ｂ法（高水圧法）の規定に準拠して、各樹脂フィルム１の耐水圧を評価した。
【０２０９】
評価結果を以下の表２にまとめる。
【０２１０】
【表２】
0006676457.tif 000003
【０２１１】
表２に示すように、一方の主面２における開口１３ａの径が１５μｍ以下の場合に６ｋＰａ以上、１４μｍ以下の場合に９ｋＰａ以上の良好な防水性が達成された。また、実施例３で作製したサンプルNo.１８−２１のいずれの樹脂フィルムにおいても、一方の主面２における開口１３ａの密度のばらつきは１００個／ｃｍ2以下であり、通気性変動率は８％以下であった。なお、実施例１で作製した樹脂フィルムと同様に、実施例４で作製した樹脂フィルムにおいても、主面２における気孔率と樹脂フィルム１の厚さ方向の通気度とは、開口１３ａの径によらず、ほぼ直線的な関係を示した。
【０２１２】
これとは別に、撥液処理を実施しなかった以外は上記と同様にして、サンプルNo.２１と同じ開口の径、開口の間隔、主面２の気孔率、およびフラジール数を有する樹脂フィルム１を作成し、作成した当該フィルムの耐水圧を評価したところ２ｋＰａであった。
【０２１３】
さらに、上記と同様にして、一方の主面２における開口１３ａの径が１８μｍであり、開口の間隔がＭＤおよびＴＤともに７０μｍである樹脂フィルム１（撥液処理を実施）を形成し、形成した樹脂フィルムの耐水圧を評価したところ２ｋＰａであった。
【０２１４】
（実施例５）
原フィルムの厚さを１２μｍとし、パルスレーザーの出力を１．９Ｗ、繰り返し周波数を１０ｋＨｚとした以外は実施例１と同様にして、貫通孔１２が形成された樹脂フィルムを得た。実施例５では、延びる方向に垂直な断面の面積がフィルムの一方の主面２から他方の主面３に向けて連続的に増加する形状を有する貫通孔１２を形成したが、その際、原フィルムとＦθレンズとの相対的な位置関係、およびガルバノスキャナに入射するレーザーのビーム径を制御することにより、相対的に小さな径を有する一方の主面２における開口１３ａの径、および相対的に大きな径を有する他方の主面３における開口１３ｂの径を、以下の表３に示すように変化させた。また、ガルバノスキャナのスキャン速度を制御することにより、隣り合う貫通孔１２間の間隔（孔の中心間の間隔）を、フィルムのＭＤ方向およびＴＤ方向について、以下の表３に示すように変化させた。
【０２１５】
このように形成した樹脂フィルム１について、各主面２，３における貫通孔１２の開口１３の径、一方の主面２における気孔率、一方の主面２における開口１３ａの密度、および厚さ方向の通気度（フラジール数）を、実施例１と同様に評価した。また、通気性変動率を実施例２と同様に、通音性を実施例３と同様に評価するとともに、一方の主面２における開口の密度のばらつきを上述のように評価した。
【０２１６】
【表３】
0006676457.tif 000004
【０２１７】
サンプルNo.２２−２４のいずれの樹脂フィルムにおいても、一方の主面２における開口１３ａの密度のばらつきは１００個／ｃｍ2以下、通気性変動率は７％以下であるとともに、有効面積４．９ｍｍ2のときの周波数５ｋＨｚにおける音圧損失（挿入損失）は５ｄＢ以下であった。なお、実施例１で作製した樹脂フィルムと同様に、実施例５で作製した樹脂フィルムにおいても、主面２における気孔率と樹脂フィルム１の厚さ方向の通気度とは、開口１３ａの径によらず、ほぼ直線的な関係を示した。
【０２１８】
本発明は、その意図および本質的な特徴から逸脱しない限り、他の実施形態に適用しうる。この明細書に開示されている実施形態は、あらゆる点で説明的なものであってこれに限定されない。本発明の範囲は、上記説明ではなく添付したクレームによって示されており、クレームと均等な意味および範囲にあるすべての変更はそれに含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０２１９】
本発明の高分子樹脂フィルムは、通気膜、通音膜および音響抵抗体をはじめとする種々の用途に使用できる。
【符号の説明】
【０２２０】
１  樹脂フィルム
２  （樹脂フィルム１の）一方の主面
３  （樹脂フィルム１の）他方の主面
１２  貫通孔
１３、１３ａ、１３ｂ  （貫通孔１２の）開口
４  撥液層
４５  通気膜部材
４６  通気膜
４７  支持体
５１  イヤホンユニット
５２  変換部
７１  音響子（振動板）
７２  マグネット
７３  フレーム
７４  （フレーム２３の）開口
５３  （イヤホンユニット１の）ハウジング
５３ａ  フロントハウジング
５３ｂ  リアハウジング
５４  ケーブル
５５  通音口
５６，５６ａ，５６ｂ  開口部
５７  （気体の）経路
５８  音響抵抗体
９１  模擬筐体
９２  スピーカー取付穴
９３  導通孔
９４  充填剤
９５  スピーカー
９６  スピーカーケーブル
９７  両面テープ
９８  ＰＥＴフィルム
９９  両面テープ
２０１  サンプル
２０２  測定ポイント
【図１】
0006676457.tif 000005
【図２】
0006676457.tif 000006
【図３】
0006676457.tif 000007
【図４】
0006676457.tif 000008
【図５】
0006676457.tif 000009
【図６】
0006676457.tif 000010
【図７】
0006676457.tif 000011
【図８】
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【図９】
0006676457.tif 000013
【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
0006676457.tif 000015
【図１１】
0006676457.tif 000016
【図１２】
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