(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
飛行空間を飛行するイオンの飛行時間に基づいて質量分離を行う飛行時間型質量分析装置であって、
イオンを前記飛行空間に導入するように加速する加速部と、
前記加速部、及び前記飛行空間の少なくとも一部を囲う第一真空容器と、
前記加速部により加速され飛行空間に導入されたイオンの飛行軌道を反転させる反射部を内部に有し、前記第一真空容器の端に取り付け可能且つ該第一真空容器の端から分離可能である第二真空容器と、
前記第一真空容器を載置したシャーシと、
前記シャーシに設けられたキャスターと
前記シャーシに固定可能であって前記第二真空容器を固定するサブシャーシとを備え、
前記サブシャーシがサブシャーシキャスターを備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【請求項２】
前記第二真空容器と前記サブシャーシの間に、振動を吸収するダンパーを備えることを特徴とする請求項１に記載の飛行時間型質量分析装置。
【請求項３】
前記シャーシの底面の、前記第一真空容器に前記第二真空容器が取り付けられる位置の直下を含む部分に、前記サブシャーシを挿入可能な切欠きを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の飛行時間型質量分析装置。
【請求項４】
飛行空間を飛行するイオンの飛行時間に基づいて質量分離を行う飛行時間型質量分析装置であって、
イオンを前記飛行空間に導入するように加速する加速部と、
前記加速部、及び前記飛行空間の少なくとも一部を囲う第一真空容器と、
前記加速部により加速され飛行空間に導入されたイオンの飛行軌道を反転させる反射部を内部に有し、前記第一真空容器の端に取り付け可能且つ該第一真空容器の端から分離可能である第二真空容器と、
前記第一真空容器を載置したシャーシと、
前記シャーシに設けられたキャスターとを備え、
前記シャーシの底面の、前記第一真空容器に前記第二真空容器が取り付けられる位置の直下を含む部分に、前記第二真空容器を挿入可能な切欠きを有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は飛行時間型質量分析装置（Time-of-Flight Mass Spectrometer、以下「ＴＯＦＭＳ」と略す）に関する。
【背景技術】
【０００２】  一般に、ＴＯＦＭＳでは、試料成分由来のイオンに一定の運動エネルギを付与して一定距離の空間を飛行させ、その飛行に要する時間を計測して該飛行時間からイオンの質量電荷比を算出する。【０００３】  ＴＯＦＭＳでは、前段において、生成したイオンを一旦トラップして所定の狭い質量電荷比範囲内のイオンのみを選択したり、イオンを開裂する等の操作を行う等、様々な処理を行い、後段のＴＯＦ部によりイオンをその質量電荷比（m/z比）に応じて高精度に分離することができる。その高精度分離という特長を更に生かすため、後段のＴＯＦ部においては、イオンの飛行距離を延ばすためのリフレクトロンを備えたものが多く用いられる。【０００４】  このようなＴＯＦＭＳの一例として、タンデム型質量分析装置の概略構成を図７に示す（特許文献１）。このタンデム型質量分析装置は、真空容器１８の内部に、イオン源１１と、四重極マスフィルタ１２と、内部にイオンガイド１４が配設されたコリジョンセル１３と、イオントラップ１５と、リフレクトロン型である飛行時間型質量分離器１６と、イオン検出器１７とを備える。なお、通常、イオン源１１と四重極マスフィルタ１２との間やそれ以外の適宜の箇所に、イオンを後段へと効率よく輸送するためのイオンガイドやイオンレンズなどのイオン光学素子が設けられるが、ここではそれらについては記載を省略している。図７では、イオントラップ１５は、リング電極１５１を挟んで一対のエンドキャップ電極１５２、１５３を設けた３次元四重極型の構成であるが、イオンを蓄積可能であればよく、リニアイオントラップ等に置換されることもある。【０００５】  飛行時間型質量分離器１６は、前段のイオン源１１からイオントラップ１５まで飛行してきたイオンをそれに垂直な方向に加速する直交加速型のイオン加速部として、押出し電極１６１とグリッド電極１６２とを有する。そして、該前段のイオン飛行軸と直交する後段のＴＯＦＭＳ飛行空間１６３の後端（図７では下端）には、多数の板状電極からなるリフレクトロン１６４が配置されている。【０００６】  前段のイオン源１１において、試料に含まれる各種化合物がイオン化され、四重極マスフィルタ１２において、予め指定された特定の質量電荷比を有するプリカーサイオンのみがそこを通過する。プリカーサイオンはコリジョンセル１３の内部で開裂され、様々な断片（プロダクトイオン及びニュートラルロス）に分解される。開裂により生成されたプロダクトイオン及び開裂しなかったプリカーサイオンはイオントラップ１５内に導入され、そこに捕捉される。イオントラップ１５では、一旦捕捉したイオンをパケット状に射出し、飛行時間型質量分離器１６のイオン加速部に送り出す。【０００７】  イオンパケットがイオン加速部に到達したタイミングで、押出し電極１６１及びグリッド電極１６２に所定電圧を印加することにより、イオンパケットに含まれる各イオンにそれぞれ初期エネルギを与えてその進行方向と略直交する方向に加速する。加速されたイオンは飛行空間１６３に導入され、リフレクトロン１６４により形成された反射電場の作用で折返し飛行し、最終的にイオン検出器１７に到達する。【０００８】  リフレクトロンを用いたＴＯＦＭＳでは���前記のようにイオンの飛行距離を延ばすという理由の他、次の理由により、高精度な分析が可能となる。  ＴＯＦＭＳは、目的化合物由来のイオンに一定の加速エネルギを付与して一定距離である空間を飛行させ、その飛行に要する時間を計測して飛行時間からイオンの質量電荷比を求める。質量電荷比が同じであっても、加速前に個々のイオンが持つ初期エネルギがばらついていると、そのばらつきが飛行速度の相違に反映され、イオン検出器に到達する際に時間ずれが起こる。この時間ずれが質量分解能の低下をもたらす。そのため、ＴＯＦＭＳにおいて高い質量分解能を達成するには、イオンが持つ初期エネルギのばらつきの影響を軽減することが重要である。【０００９】  初期エネルギにばらつきがある同一質量電荷比のイオンの飛行時間を収束させるには、反射電場によってイオンの飛行軌道を反転させるリフレクトロンが有効である。即ち、リフレクトロンにより形成される反射電場中にイオンが入射すると、同一質量電荷比であっても相対的に大きなエネルギを有するイオンほど奥まで進んで折り返す。そのため、相対的に大きなエネルギを有し飛行速度が速いイオンほど実質的な飛行距離が長くなり、それによって飛行時間のずれが修正される。これにより、リフレクトロン付ＴＯＦＭＳでは同一の質量電荷比を有するイオンの時間収束性（又はエネルギ収束性）を高め、質量分解能を改善することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開2014-165053号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  上記構成を有するＴＯＦＭＳは、実際の製品では、前段部やＴＯＦ部といった各要素（ユニット）が真空容器１８に収納され、全体がシャーシ１９上に固定される。工場においてこうして組み立てられ、製造されたＴＯＦＭＳは、トラック等によりユーザの使用場所（以下、これを設置サイトと呼ぶ。）まで搬送される。その際、設置サイトの近くの積み卸し拠点まではトラック等により輸送されるが、トラック等から積み降ろした後、設置サイトまでは、前記シャーシの下面に取り付けられたキャスター１９１により、あるいは（シャーシにはキャスターを設けずに）キャスター付きの台車に搭載して移動されていた。移動後は、ストッパー１９２により固定される。【００１２】  ところが、こうして設置サイトまで搬送したＴＯＦＭＳを実際に使用すると、工場出荷時に得られた（作り込まれた）精度と同程度の精度が得られない場合がある。【００１３】  本発明は、このような、設置サイトまで搬送する際に生じる精度の低下を防止する方策を施したＴＯＦＭＳを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために成された本発明に係る飛行時間型質量分析装置は、飛行空間を飛行するイオンの飛行時間に基づいて質量分離を行う飛行時間型質量分析装置であって、
a) イオンを前記飛行空間に導入するように加速する加速部と、
b) 前記加速部、及び前記飛行空間の少なくとも一部を囲う第一真空容器と、
c) 前記加速部により加速され飛行空間に導入されたイオンの飛行軌道を反転させる反射部を内部に有し、前記第一真空容器の端に取り付け可能且つ該第一真空容器の端から分離可能である第二真空容器と
を備えることを特徴とする。
【００１５】  上記飛行部には、四重極マスフィルタ等、イオン源で生成されたイオンが水平方向に飛行する空間を内部に有する様々な装置が含まれ得る。【００１６】  上記課題を解決する方策を探る中で、本発明者は、前記精度の低下は、ＴＯＦＭＳ中の、特にリフレクトロンにその一因があることを見いだした。すなわち、リフレクトロンは、中心軸を揃えられた、互いに平行に配列された多数のドーナツ状の平板電極により構成されるが、前述のようにイオンを反射する際、初期エネルギのバラツキを補償するような電場を形成するために、各電極板の配置には高い精度が要求される。しかし、工場でリフレクトロンを高い精度で製造しても、搬送時の振動によりその配置がずれることがあり、これがＴＯＦＭＳ全体としての精度低下につながる。【００１７】  本発明に係るＴＯＦＭＳでは、反射部ユニットを第一真空容器及び該第一真空容器に収容された飛行部の部分から分離することができるため、該ＴＯＦＭＳを完成した工場からそれを使用する設置サイトに搬送し、そこに設置する際、次のように行う。  (1) まず、完成したＴＯＦＭＳを、イオン輸送部、加速部、飛行部（の少なくとも一部）、第一真空容器、及びそれらを載置したシャーシ（以下、これらをまとめて本体ユニットと呼ぶ。）と、反射部ユニットとに分離する。  (2) 本体ユニットと反射部ユニットを設置サイトの近くの積み卸し拠点までトラック等の輸送手段により輸送する。ここで、少なくとも反射部ユニットについては、それに振動を与えないように、特別の注意を払った方法により輸送を行う。  (3) 積み卸し拠点で本体ユニット及び反射部ユニットを輸送手段から降ろす。本体ユニットは、シャーシにキャスターを設けておくか、キャスター付きの台車に搭載し、それらキャスターを用いて設置サイトまで移動させる。この際、キャスターの回転に伴う振動が発生するが、本体ユニットには反射部ユニットが固定されていないため、反射部ユニットが振動により影響を受けることはない。  (4) 反射部ユニットは、積み卸し拠点から、キャスターによる移動よりも振動の少ない手段・方法で、設置サイトまで移動させる。この移動は、床上に設置したレール上を滑動させることにより行ってもよいし、人力で運搬することにより行ってもよい。  (5) 設置サイトにおいて、先に移動され、そこで固定された本体ユニットの飛行部の端に反射部ユニットの反射部を取り付け、第一真空容器の端に第二真空容器を取り付け、それぞれ固定する。これにより、設置サイトにおいて該ＴＯＦＭＳの組み立てが完成し、使用可能となる。【００１８】  本体ユニットの輸送を容易にするために、前述のように、シャーシはキャスターを備えることが望ましい。【００１９】  本発明に係るＴＯＦＭＳにおいて、前記第二真空容器を、振動を吸収するためのダンパーを介してサブシャーシ上に固定し、該サブシャーシを前記シャーシに固定可能としてもよい。これにより、本体ユニットと反射部ユニット相互の固定がより確実となる。【００２０】  また、このサブシャーシにもキャスター（サブシャーシキャスター）を設けてもよい。これにより、反射部ユニットの移動が容易となる。この場合、前記ダンパーにより、移動時における振動の影響が反射部に及ぶことが軽減される。なお、サブシャーシキャスターによる移動時の振動に対して適切な対策が講じられれば、このダンパーは無くてもよく、あるいは第二真空容器に直接サブシャーシキャスターを設けてもよい。【００２１】  前記シャーシの底面の、前記第一真空容器に前記第二真空容器が取り付けられる位置（取り付け位置）の直下を含む部分に、前記反射部ユニットを挿入可能な切欠きを有することが望ましい。これにより、反射部ユニットを移動させて切欠きに挿入することで、取り付け位置の直下に反射部ユニットを容易に搬入することができ、取り付け作業が容易になる。特に、反射部ユニットがサブシャーシキャスターを有する場合には、サブシャーシキャスターを用いた移動だけで反射部ユニットを取り付け位置の直下に搬入することができるため、一層、取り付け作業が容易になる。
【発明の効果】
【００２２】  本発明に係るＴＯＦＭＳでは、反射部ユニットを第一真空容器及び該第一真空容器に収容された飛行部の部分から分離することができるため、該ＴＯＦＭＳを完成した工場から設置サイトまで輸送する際、特に設置サイトの近くの積み卸し拠点から該設置サイトまでの輸送において、本体ユニットはシャーシ又は本体ユニットを搭載する台車に設けられたキャスターにより容易に移動させることができ、一方、反射部ユニットはその本体ユニットのキャスター移動による振動の影響を受けることなく設置サイトまで移動させることができる。そのため、工場において完成された反射部の高い組み立て精度が設置サイトまでの輸送・移動においてそのまま維持される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るＴＯＦＭＳの一実施形態を示す概略構成図。
【図２】本実施形態のＴＯＦＭＳにおける反射部ユニットを示す概略構成図。
【図３】本実施形態のＴＯＦＭＳにおいて、反射部ユニットとそれ以外の部分を分離した状態を示す概略構成図。
【図４】本実施形態のＴＯＦＭＳにおけるシャーシ及びサブシャーシの上面図。
【図５】本実施形態のＴＯＦＭＳにおける反射部ユニットの変形例を示す概略構成図。
【図６】本発明に係るＴＯＦＭＳの変形例を示す概略構成図。
【図７】従来のＴＯＦＭＳの一例を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】  図１〜図６を用いて、本発明に係るＴＯＦＭＳの実施形態を説明する。  本実施形態のＴＯＦＭＳ１０は、図１に示すように、前述した従来のＴＯＦＭＳと同様のイオン源１１、四重極マスフィルタ１２、コリジョンセル１３、イオンガイド１４、イオントラップ１５、飛行時間型質量分離器１６及びイオン検出器１７を有する。飛行時間型質量分離器１６は、前述の通り、押出し電極１６１、グリッド電極１６２、ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３及びリフレクトロン（反射部）１６４を備える。イオン源１１の直後から飛行時間型質量分離器１６の直前までの部分は、イオンを略水平に飛行させ、飛行時間型質量分離器１６内の押出し電極１６１及びグリッド電極１６２を合わせたものは、イオンを下方に飛行させるように加速する。このように、本実施形態のＴＯＦＭＳ１０は、イオンビームの入射方向と直交する方向にイオンを加速する直交加速型のＴＯＦＭＳである。
【００２５】  また、ＴＯＦＭＳ１０は、イオン源１１、四重極マスフィルタ１２、コリジョンセル１３、イオンガイド１４、イオントラップ１５、押出し電極１６１、グリッド電極１６２及びイオン検出器１７、並びにＴＯＦＭＳ飛行空間１６３の一部である上部ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３Ａを収容する第一真空容器（上部真空容器）１８Ａを備える。第一真空容器１８Ａの縦断面は、横方向に延びる横空間の一端と縦方向に延びる縦空間の上端が接続された、Ｌの字を横に倒したような形状を呈している。イオン源１１、四重極マスフィルタ１２、コリジョンセル１３、イオンガイド１４及びイオントラップ１５は横空間に収容されており、ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３は縦空間に形成されている。四重極マスフィルタ１２、イオンガイド１４及びイオントラップ１５は、前述のイオン輸送部に該当する。押出し電極１６１、グリッド電極１６２及びイオン検出器１７は、横空間と縦空間が交わる部分に配置されている。第一真空容器１８Ａ単独では、縦空間の下端は開放されている。
【００２６】  第一真空容器１８Ａは、シャーシ１９に載置され、固定されている。シャーシ１９には、従来のＴＯＦＭＳの場合と同様に、下面にキャスター１９１及びストッパー１９２が取り付けられている。
【００２７】  さらに、ＴＯＦＭＳ１０は、リフレクトロン１６４、及びＴＯＦＭＳ飛行空間１６３の残りの部分である下部ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３Ｂを収容する第二真空容器（下部真空容器）２８を備える。第二真空容器２８単独では、上端が開放されている。第一真空容器１８Ａの縦空間の下端と第二真空容器２８の上端はボルトにより締結されており、両者の間には気密を維持するための真空シール（図示せず）が設けられている。これにより、第一真空容器１８Ａと第二真空容器２８を一体として、イオンが飛行する真空の空間が形成されている。
【００２８】  第二真空容器２８は、サブシャーシ２１に固定されている。サブシャーシ２１は、下面にサブシャーシキャスター２２が取り付けられている。サブシャーシ２１と第二真空容器２８の間には、振動を吸収するダンパー２３が設けられている。サブシャーシ２１は、シャーシ１９に載置した状態で、ボルトによりシャーシ１９に固定されている。この状態では、サブシャーシキャスター２２は宙に浮いている。なお、サブシャーシ２１は、シャーシ１９の側部で固定してもよい。いずれにせよ、サブシャーシ２１をシャーシ１９に固定することにより、サブシャーシ２１がシャーシ１９と一体（シャーシ１９の一部）となり、シャーシ１９の強度が増す。なお、ダンパー２３は、リフレクトロン１６４に振動を与えないという点では第二真空容器２８の壁とリフレクトロン１６４の間、すなわち第二真空容器２８内に設けることも考えられるが、ダンパー２３がガスの発生源となって第二真空容器２８内の真空度を低下させる原因となるため、第二真空容器２８の外側であるサブシャーシ２１と第二真空容器２８の間に設けることが望ましい。
【００２９】  これらリフレクトロン１６４、第二真空容器２８、サブシャーシ２１、サブシャーシキャスター２２及びダンパー２３を合わせたものにより、反射部ユニット２０が構成される（図２参照）。
【００３０】  本実施形態のＴＯＦＭＳ１０の質量分析時の動作は、従来のＴＯＦＭＳと同様であるため、説明を省略する。以下では、ＴＯＦＭＳ１０を工場から出荷して、設置箇所に設置する際の操作を説明する。
【００３１】  まず、完成したＴＯＦＭＳ１０を、工場で反射部ユニット２０とそれ以外の部分に分離する（図３）。反射部ユニット２０以外の部分は、ストッパー１９２を解除してキャスター１９１により移動させ、トラック等の輸送手段に搭載する。その際、当該部分にはキャスター１９１を介して床面から受ける振動が伝わるが、リフレクトロン１６４は当該部分には設けられていないため、この振動の影響を受けることはない。一方、リフレクトロン１６４が設けられた反射部ユニット２０は、振動を与えないように、できるだけ慎重に輸送手段まで移動させる。その際、輸送手段までの経路のうち平坦な床面では、ダンパー２３により振動を吸収することができるため、サブシャーシキャスター２２を用いてもよい。一方、凹凸のある路面では、ダンパー２３で振動を吸収し切れないおそれがあるため、リフレクトロン１６４に振動を与えないように反射部ユニット２０を持ち上げて移動させる。あるいは、床面にレールを設置して、該レール上で反射部ユニット２０を滑動させることにより移動させてもよい。
【００３２】  次に、反射部ユニット２０及びそれ以外の部分を、輸送手段によって設置箇所の近傍の積み卸し箇所まで輸送する。その際、振動を吸収するエアサスペンションを装備したトラックを使用したり、反射部ユニット２０を制震台に搭載するなど、少なくとも反射部ユニット２０は、できるだけ振動を与えないように、特別の注意を払った方法により輸送を行う。
【００３３】  積み卸し箇所に到着した後、反射部ユニット２０及びそれ以外の部分を輸送手段から下ろす。そして、工場から輸送手段に移動させたときと同様に、反射部ユニット２０以外の部分は、ストッパー１９２を解除したうえでキャスター１９１を用いて設置箇所まで移動させる。また、反射部ユニット２０も工場から輸送手段に移動させたときと同様に、平坦な床面ではキャスター２２を用いて、凹凸のある路面では持ち上げて、あるいは床面に設置したレールを用いて、設置箇所まで移動させる。
【００３４】  設置箇所においては、まず、反射部ユニット２０以外の部分を、ＴＯＦＭＳ１０を設置する位置に移動させ、ストッパー１９２で当該位置に固定する。次に、反射部ユニット２０を第一真空容器１８Ａの下に移動させ、第二真空容器２８と第一真空容器１８Ａをボルトで締結する。また、サブシャーシ２１とシャーシ１９を固定する。これにより、設置箇所へのＴＯＦＭＳ１０の設置が完了する。
【００３５】  図４に上面図で示すように、シャーシ１９の底面には、第一真空容器１８Ａの直下に、反射部ユニット２０を挿入可能な切欠き１９３が設けられている。これにより、反射部ユニット２０のサブシャーシキャスター２２を用いて、反射部ユニット２０を容易に取付箇所の直下まで搬入させることができる。この切欠きによりシャーシ１９の強度が低下するものの、シャーシ１９と反射部ユニットのサブシャーシ２１を固定することで、サブシャーシ２１がシャーシ１９と一体化し、シャーシ１９の強度を増すことができる。
【００３６】  本実施形態のＴＯＦＭＳ１０によれば、反射部ユニット２０をそれ以外の部分と分離することができるため、輸送時に、反射部ユニット２０は振動の影響を抑えつつ移動させることができ、それ以外の部分はキャスター１９１を用いて容易に移動させることができる。そのため、工場において完成されたリフレクトロン１６４の高い組み立て精度が、設置箇所までの輸送・移動においてそのまま維持される。
【００３７】  また、本実施形態のＴＯＦＭＳ１０では、反射部ユニット２０にサブシャーシキャスター２２及びダンパー２３を設けているため、平坦な床面であればサブシャーシキャスター２２を用いて反射部ユニット２０を容易に移動させることができる。また、ダンパー２３は、ＴＯＦＭＳ１０を使用する際に、真空容器容器内を真空引きする真空ポンプ（図示せず）等に起因して発生する振動がリフレクトロン１６４に伝わることを抑制し、それによりリフレクトロン１６４の高い組み立て精度を維持することにも寄与する。
【００３８】  本実施形態のＴＯＦＭＳは、種々の変形が可能である。  例えば、上記実施形態では、サブシャーシ２１と第二真空容器２８の間にダンパー２３を設けたが、図５(a)に示す反射部ユニット２０Ａのように、ダンパー２３は省略してもよい。この場合、反射部ユニット２０Ａの輸送時には、床面からの振動がリフレクトロン１６４に伝わらないように、サブシャーシキャスター２２は使用せずに、反射部ユニット２０Ａを持ち上げて移動させる。但し、設置箇所で作業を行う際には、床面が平坦であれば、サブシャーシキャスター２２を用いて反射部ユニット２０Ａを移動させるためにわずかな距離だけサブシャーシキャスター２２を使用しても差し支えない。これにより、設置箇所での作業が容易になる。あるいは、図５(b)に示す反射部ユニット２０Ｂのようにサブシャーシキャスター２２を省略してもよいし、図５(c)に示す反射部ユニット２０Ｃのようにサブシャーシ２１を省略してもよい。また、図５(d)に示す反射部ユニット２０Ｄのように、サブシャーシ２１を省略したうえで、第二真空容器２８の下面にキャスター２２Ａを設けてもよい。
【００３９】  上記実施形態ではシャーシ１９の下面にキャスター１９１を設けたが、キャスター１９１は省略してもよい。この場合、シャーシ１９は、キャスターを有する台車に搭載して設置場所まで移動させればよい。
【００４０】  上記実施形態ではイオンビームの入射方向と直交する方向にイオンを加速する直交加速型の加速部を用いたが、イオントラップ１５を用いてイオンビームの入射方向と同じ方向にイオンを加速するようにしてもよい。そのような例を図６に示す。この例では、水平方向に飛行するイオンが入射するようにイオントラップ１５を設け、イオントラップ１５の後段に、イオンが水平方向に飛行するＴＯＦＭＳ飛行空間１６３１及び該イオンを反射するリフレクトロン１６４１を設けている。イオントラップ１５、その前段の各構成要素、及び検出器１７、並びにＴＯＦＭＳ飛行空間１６３１の一部は第一真空容器１８Ｂに収容され、リフレクトロン１６４１及びＴＯＦＭＳ飛行空間１６３１の残りの部分は第二真空容器２８Ｂに収容されている。第一真空容器１８Ｂと第二真空容器２８Ｂは互いに開口が同じ高さで対向するように設けられており、両者は設置箇所において開口が連通するように締結される。第二真空容器２８Ｂは、下面にサブシャーシキャスター２２Ｂが設けられたサブシャーシ２１Ｂ上に支柱を介して設けられている。これらリフレクトロン１６４１、ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３１の一部、第二真空容器２８Ｂ、サブシャーシ２１Ｂ及びサブシャーシキャスター２２Ｂから、反射部ユニット２０Ｅが構成される。
【００４１】  本発明は上記実施形態及び上記変形例には限定されず、種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４２】１０…ＴＯＦＭＳ１１…イオン源１２…四重極マスフィルタ１３…コリジョンセル１４…イオンガイド１５…イオントラップ１５１…リング電極１５２…エンドキャップ電極１６…飛行時間型質量分離器１６１…押出し電極１６２…グリッド電極１６３、１６３１…ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３Ａ…上部ＴＯＦＭＳ飛行空間１６３Ｂ…下部ＴＯＦＭＳ飛行空間１６４、１６４１…リフレクトロン１７…イオン検出器１８…真空容器１８Ａ、１８Ｂ…第一真空容器２８、２８Ｂ…第二真空容器１９…シャーシ１９１…キャスター１９２…ストッパー２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ…反射部ユニット２１、２１Ｂ…サブシャーシ２２、２２Ｂ…サブシャーシキャスター２２Ａ…キャスター２３…ダンパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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