(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電クランプ監視システムであって、
１又は複数の電極を介して製品を該製品に結合するクランプ表面に選択的、静電気的にクランプするように構成された静電クランプと、
上記静電クランプに電気的に接続され、上記静電クランプ上に配された電荷の関数としてのクランプ圧を発生させるために、該静電クランプの上記１又は複数の電極に、上記静電クランプを流れるＤＣドレイン電流をも発生させるクランプ電圧を選択的に印加するように構成された電源と、
上記電源に動作可能に接続されており、上記１又は複数の電極に供給された電流を測定し、測定電流を規定するように構成されたデータ取得システムと、
上記測定電流と上記ＤＣドレイン電流に関連するバックグランド電流との差をある時間間隔にわたって積分し、上記製品と上記静電クランプとの間の上記クランプ圧を示す電荷値を該時間間隔に応じて決定するように構成されたコントローラと、
複数のクランプサイクルにわたって上記電荷値を記憶して、瞬時の蓄積された電荷値を含む複数の電荷値を規定するように構成されたメモリ、
とを備え、
上記コントローラは更に、現時点で決定された電荷値と上記複数の電荷値との比較に基づいて、上記静電クランプのクランプ能力の現時点での状態を決定し、
上記コントローラは更に、現時点で決定された上記電荷値と上記複数の電荷値との上記比較に基づいて、上記静電クランプの上記クランプ能力の予測される将来の状態を決定するように構成されている、静電クランプ監視システム。
【請求項２】
上記コントローラは更に、現時点で決定された上記電荷値と上記複数の電荷値との上記比較に基づいて、上記静電クランプと上記製品との間のクランプ力を決定するように構成されている、請求項１の静電クランプ監視システム。
【請求項３】
上記コントローラは、数積分器を備えている、請求項１の静電クランプ監視システム。
【請求項４】
上記電源はＡ／Ｃ電源を備え、上記データ取得システムは更に、上記１又は複数の電極に供給された上記電流の１つの極性を測定するように構成されている、請求項１の静電クランプ監視システム。
【請求項５】
上記静電クランプは３相静電クランプを備えており、上記電源は上記静電クランプの上記１又は複数の電極に３相クランプ電圧を選択的に交互に印加するように構成されている、請求項１の静電クランプ監視システム。
【請求項６】
静電クランプのクランプ能力を監視する方法であって、
上記静電クランプ上に配された電荷の関数としてのクランプ圧が発生し、かつ、クランプ電圧に由来して上記静電クランプを流れるＤＣドレイン電流もが発生するように、上記静電クランプの１又は複数の電極に上記クランプ電圧を印加して、製品を上記静電クランプのクランプ表面に静電気的に引き寄せることと、
上記１又は複数の電極に印加された上記クランプ電圧に関連した電流を測定し、測定電流を規定することと、
上記測定電流と上記ＤＣドレイン電流に関連するバックグランド電流との差をある時間間隔にわたって積分し、上記製品と上記静電クランプとの間の上記クランプ圧を示す電荷値を該時間間隔に応じて規定することと、
複数のクランプサイクルにわたってメモリに上記電荷値を記憶して、瞬時の蓄積された電荷値を含む複数の電荷値を規定することと、
上記複数の電荷値を現時点で決定された電荷値と比較することにより、上記静電クランプのクランプ能力を決定すること、
とを含み、
上記静電クランプの上記クランプ能力を決定することは、現時点で決定された上記電荷値と予め記憶された上記複数の電荷値との比較に基づいて、上記静電クランプの上記クランプ能力の予測される将来の状態を決定することを含む、方法。
【請求項７】
上記静電クランプの上記クランプ能力を決定することは、現時点で決定された上記電荷値と予め記憶された上記複数の電荷値とに基づいて、上記静電クランプの上記クランプ能力の現時点での状態を決定することをさらに含む、請求項６の方法。
【請求項８】
上記静電クランプの上記クランプ能力の現時点での上記状態を決定することは、現時点で決定された上記電荷値と上記複数の電荷値とを比較することを含む、請求項７の方法。
【請求項９】
上記静電クランプの上記クランプ能力を決定することは、予め記憶された上記複数の電荷値との比較により、現時点で決定された上記電荷値の異常を確認することを含む、請求項８の方法。
【請求項１０】
上記静電クランプの上記クランプ能力の上記将来の状態を予測することは、予め記憶された上記複数の電荷値と現時点で決定された上記電荷値とのモデルを形成することを含む、請求項６の方法。
【請求項１１】
上記静電クランプの上記クランプ能力を決定することは、上記電荷値に基づいて、上記静電クランプと上記製品との間のクランプ力を決定することを含む、請求項６の方法。
【請求項１２】
上記クランプ力を決定することは、予め記憶された上記複数の電荷値に更に基づいている、請求項１１の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は広くは静電クランプに関し、より詳しくは静電クランプに関連したクランプ力（clamping force）を監視するシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造において、静電クランプ（静電チャック又はＥＳＣとも言う）は、製品（ワークピース）（workpiece）（例えば半導体ウェーハ）がイオン注入などの種々の半導体処理に置かれている間、製品の位置を維持するのに使用されることが多い。そうした半導体の処理中は、静電クランプの観点から製品の位置を正確に維持することと、静電クランプを通して製品の裏面を冷却することで製品の温度を維持することの両方、あるいはそのいずれか一方が望ましい。製品の位置と温度の両方、あるいはそのいずれか一方を維持するためには、時として、製品が静電クランプの表面で所定の接触圧を維持することが必要である。
【０００３】
静電クランプの観点から製品の位置と所定の接触圧の両方、あるいはそのいずれか一方を維持するために、製品のクランプ及び処理にわたって適切なクランプ力が確保されるように度々試験が行われる。このような試験には製品のリフティング試験が含まれていてもよく、このとき、試験対象となる製品に接続されたロードセルによって、静電クランプから製品を取り外す（remove）ために必要な力が測定される。製品を取り外すために必要な力は、次に、製品のクランプを維持するための静電クランプの性能（能力）（ability）を決定するために利用される。
【０００４】
処理中に製品を冷却するためにバックサイドガスが使用されるときには、静電クランプによって得られるクランプ力を決定する他の試験が度々利用される。そのようなバックサイドガスは静電クランプの表面にある孔を介して製品の裏面に供給される。この場合、バックサイドガスの圧力と流量の両方、あるいはそのいずれか一方が、静電クランプによって製品に与えられたクランプ力を少なくとも部分的に妨害する。バックサイドガスの圧力又は流量は、製品が静電クランプから離れるレベルまで増大し、これにより分離に関連したクランプ力が測定される。こうして静電クランプのクランプ能力（clamping capability）の状況（状態，コンディション）（condition）がわかる。
【０００５】
しかしながらこのようなクランプ試験は製造環境の中で妨害的であることが多い。この場合、特殊な製品とデバイスの両方、あるいはそのいずれか一方が処理設備に組み込まれるため、貴重な製造時間が浪費されてしまう。更にこうした試験は断続的に実施される（例えばある種の試験は多くの製品クランプサイクルの間に実施される）ため、静電クランプのクランプ能力の瞬時の低下が直ちに認識されないことがある。それゆえに、装置、システム、及び方法の分野において、クランプ性能（クランプ能力）（clamping ability）又は静電クランプの健全性（正常性，状態）（health）を直ちに決定し、製造時間の無駄を最小限に抑えることが求められている。
【発明の概要】
【０００６】
本発明は、従来の機械的な試験とは独立して、静電クランプに関連したクランプ能力を評価するためのシステム及び方法を提供することにより、従来技術による制限を克服する。それゆえに、以下では本発明の態様が根本的に理解されるよう、開示の概要を簡単に表している。この概要は本発明の概観の外延ではない。この概要は本発明の秘訣又は重大な要素を認定するものではなく、本発明の範囲を概説したものでもない。この概要は導入部として本発明の概念を簡単な形で表すことを目的としており、詳細な説明は後述する。
【０００７】
ここでの開示に従って静電クランプ監視システムが提供され、そこでは静電クランプは、１又は複数の電極を介して製品がクランプ表面に選択的、静電気的にクランプするように構成されている。電源は静電クランプに電気的に接続されており、そこでは電源は静電クランプの１又は複数の電極にクランプ電圧を選択的に印加するように構成されている。電源は、一つの例において、３相交流電源を備えている。
【０００８】
データ取得システムを更に電源に接続して使用可能であり、１又は複数の電極に供給される電流などの、１又は複数の電極に関連した電流を測定するように構成されている。代わりに、１又は複数の電極と関連した１又は複数の電線を経由するなどして、１又は複数の電極から直接的に電流を測定してもよい。コントローラは更に、測定電流を時間で積分し、そこで製品と静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値が決定されるように構成されている。一つの例によれば、更に、メモリは、複数のクランプサイクルにわたって、製品と静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値を記憶するように構成されている。その結果、複数の電荷値が規定され、このとき、コントローラは、更に、現時点で決定された電荷値（currently determined charge value）と複数の電荷値との比較に基づいて、静電クランプのクランプ能力を決定するように構成されている。
【０００９】
一つの例によれば、コントローラは、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の現時点での状態（current status）を決定するように構成されている。例えば、クランプ能力の現時点での状態は、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較に基づいている。他の例では、コントローラは、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の将来の状態（future status）を予測するように構成されている。
【００１０】
その他の例では、コントローラは、更に、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較に基づいて、静電クランプと製品との間のクランプ力を決定するように構成されている。コントローラは、例えば、測定電流の数学的積分を実行するように構成された数積分器を備えている。
【００１１】
その他の例示的態様によれば、静電クランプのクランプ能力の監視方法が提供されている。この方法は、例えば、１又は複数の電極にクランプ電圧を印加して、製品を静電クランプのクランプ表面に静電気的に引き寄せることを含んでいる。１又は複数の電極に印加されたクランプ電圧に関連した電流が測定されることにより、測定電流が規定（決定）（define）される。そして測定電流は時間で積分されることにより、製品と静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値が規定（決定）（define）される。更に、電荷値はメモリに記憶され、電荷値に基づいて、静電クランプのクランプ能力が決定される。
【００１２】
この方法は、例えば、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較など、現時点で決定された電荷値と予め記憶された複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の現時点での状態を決定することを含んでいる。静電クランプのクランプ能力を決定することは、予め記憶された複数の電荷値との比較により、現時点で決定された電荷値の異常を確認することをさらに含んでいてもよい。
【００１３】
その他の例によれば、静電クランプのクランプ能力を決定することは、現時点で決定された電荷値と予め記憶された複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の将来の状態を予測することを含んでいる。その他の例では、静電クランプのクランプ能力の将来の状態を予測することは、予め記憶された複数の電荷値と現時点で決定された電荷値とのモデルを形成することを含んでいてもよい。
【００１４】
上記の概要は単に、本発明のいくつかの実施態様のうちのいくつかの特徴の概観を簡単に表しているに過ぎない。したがってその他の実施態様が追加されていたり、上述の実施態様と特徴が異なっていてもよい。特にこの概要は本発明の応用範囲を制限するために構成されているのではない。それゆえに、前述の事柄に関係する目的を達成するために、本発明には以下で説明され、特に、特許請求の範囲において主張される特徴が含まれる。以下の説明、及び、添付の図面によって、本発明の実施態様を詳細に示す。
【００１５】
しかしながらこれらの実施態様は、本発明において採用可能な原理の変形例を示しているに過ぎない。本発明のその他の目的、利点、及び新規な特徴は、本発明を図面と関連づけることで明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本開示の種々の態様に関連した、静電クランプシステムのブロック図である。
【図２】本開示によって決定された電荷と、他の態様により測定されたキャパシタンス（静電容量）（capacitance）とを比較して示すグラフである。
【図３】その他の例による、静電クランプと関連したクランプ能力の評価方法を示す図である。
【図４】静電クランプに関連したクランプ能力を評価するためのプロセッサベースシステムを例示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本開示は一般に静電クランプ（静電気チャック又はＥＳＣとも言う）に関連したクランプ能力を評価するためのシステム及び方法に関する。それゆえに本発明は図面を参照して説明され、ここでは図面全体を通じて同様の参照番号は同様の構成要素について使用されて説明されている。これらの態様の説明は単に例示に過ぎず、それらを限定的な意味として解釈してはならないことが理解されるべきである。以下では本発明が完全に理解されるべく、説明上、複数の具体的項目が示されている。しかしながら、これらの具体的項目を用いることなく本発明を実施してもよいことは、この分野における当業者にとって明らかであろう。更に、本発明の範囲は以下に示す実施態様や例に限定されることが意図されるものではなく、添付する特許請求の範囲及びその均等の範囲によってのみ限定されることが意図される。
【００１８】
その上、図面は、本開示のいくつかの実施態様を示すために提供されているに過ぎないため、図面は単なる模式図とみなすことに注意すべきである。特に、図面に示した構成要素は必ずしも相互に同じ縮尺ではない。そのため図面中の様々な構成要素の位置は各々の実態態様が明確に理解されるように選択されており、本発明の実施態様を実施するときの種々の構成成分の実際の相対位置を必ずしも表すものではない。更にここで説明する様々な実施態様や例の特徴は、特に言及しない限り相互に結びついていてもよい。
【００１９】
以下の説明では、図面又は説明において示される機能的ブロック、デバイス、構成成分、回路素子、又は他の物理的若しくは機能的ユニット間のどのような直接的な接続又は結合も、間接的な接続又は結合によって実施されてもよい。更に図面中に示す機能的ブロック又はユニットは一つの実施態様において別々の特徴部分又は回路として実施されてもよい。更には他の実施態様において共通の特徴部分又は回路のすべてが実施されてもよく、それらが部分的に実施されてもよい。例えば各々の機能的ブロックは、信号プロセッサなどの共通プロセッサで実行されるソフトウェアとして実施されてもよい。更に以下の明細書においてワイヤをベースとして記載されたどのような接続も、不利にならない限り、ワイヤレスコミュニケーションとして実施されてもよい。
【００２０】
本開示では図１において静電クランプ監視システム１００が例示されている。静電クランプ監視システム１００は例えば製品１０４をそれに関連したクランプ表面１０６に選択的、静電気的にクランプするように構成された静電クランプ（ＥＳＣ）１０２を備えている。ＥＳＣ１０２は、例えば、製品１０４がＥＳＣの表面１０６に静電気的に引き寄せられるように構成された、１又は複数の電極１０８を備えている。ＥＳＣ１０２は例えばクーロン又はジョンセン・ラーベック（Ｊ−Ｒ）静電チャックを備えている。
【００２１】
電源１１０は例えば静電クランプ１０２に電気的に接続されている。当該電源は、電源静電クランプの１又は複数の電極に、クランプ電圧Ｖを選択的に印加するように構成されている。電源１１０は、例えば、交流（ＡＣ）又は直流（ＤＣ）を供給するように構成されている。更に静電クランプ１０２は、例えば単相クランプ、又は、３相静電クランプなどの多相クランプを備えていてもよい。電源１１０は、静電クランプの１又は複数の電極１０８に３相クランプ電圧（Ｖ）を選択的に交互に印加するように構成されている。このような静電クランプ１０２、及び、電源１１０はすべて、本開示の範囲に含まれると考えられる。
【００２２】
更にはデータ取得システム１１２が電源１１０に動作可能に接続され、このときデータ取得システムは、１又は複数の電極に供給された電流などの１又は複数の電極１０８と関連した電流（ｉ）を測定することにより、測定電流を規定するように構成されている。代わりに、電流は１又は複数の電極と関連した１又は複数の電線（図示せず）を介するなどして、１又は複数の電極１０８から直接的に測定されてもよい。データ取得システム１１２は例えば独立型データ取得（ＤＡＱ）ボックスを備えていてもよく、あるいは、データ取得ソフトウェアとハードウェアの両方、あるいはそのいずれか一方がインストールされていたり、それらと関連づけられたコンピュータ、オシロスコープ、又は他のシステムを備えていてもよい。交流を供給する電源１１０の場合、データ取得システム１１２は、例えば更に１又は複数の電極１０８に供給された電流の、１又は複数の極性を測定するように構成されている。
【００２３】
本開示によれば更にコントローラ１１４が提供され、測定電流を時間で積分するように構成されている。これにより、製品１０４と静電クランプ１０２との間のクランプ力に関連した電荷値が決定される。例えばメモリ１１６が提供され、複数のクランピングサイクルを通して製品１０４と静電クランプ１０２との間のクランプ力に関連した電荷値を記憶するように構成されている。したがって複数の電荷値が規定され、このときコントローラ１１４は、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較に基づいて、（例えば製品１０４とＥＳＣ１０２との間のクランプ力に関連した）静電クランプのクランプ能力を決定するように、更に構成されている。コントローラ１１４は例えば、現時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較に基づいて、静電クランプ１０２のクランプ能力の、現時点での状態及び予測される将来の状態の、１又は複数を決定するように構成されている。代わりに、又は、これに加えて、コントローラ１１４は、電流の測定に直接的に基づいて、クランプ能力の現時点での状態と予測される将来の状態の両方、あるいはそのいずれか一方を決定するように構成されている。
【００２４】
その他の例によれば、ＥＳＣ１０２のモデル１１８は（例えば静電容量、抵抗、ＥＳＣのＲＣ時間定数等に基づいて）確定され得、このときモデルは更にＥＳＣ１０２のクランプ能力の現時点での状態及び将来の状態の、１又は複数を決定するために利用される。
【００２５】
続いて、本開示がより理解されるべく、ＥＳＣ１０２の操作条件について説明する。ＥＳＣ１０２と製品１０４との間の電荷Ｑは、次のように表される：
【００２６】
【数１】
0006716254.tif 000002
【００２７】
ここでＶは電源１１０によって印加されるクランプ電圧であり、ＣはＥＳＣ１０２と製品１０４との間の静電容量である。クランプ電圧ＶがＥＳＣ１０２に印加されると（例えば、電源１１０を経由して１又は複数の電極１０８に印加されると）、１又は複数の電極１０８に電流ｉの突入（inrush）が生じる。しかしながら製品１０４及びＥＳＣ１０２によって規定されるキャパシタ（蓄電器）（capacitor）がフルチャージまでチャージ（充電）するため、電流量は漸近的に低下する。
【００２８】
それゆえに、集積回路（例えば数積分器）がコントローラ１１４と関連づけられることにより、電荷が決定される。時間間隔ｔにわたって電流ｉの総和を算出する（summation）ことで、ＥＳＣ１０２上の電荷Ｑの量が与えられる。クランプ圧（クランプ圧力）（clamping pressure）Ｐは電荷密度の二乗σに比例する：
【００２９】
【数２】
0006716254.tif 000003
【００３０】
ここでγは静電クランプ及び幾何学的条件のタイプを表す係数か、又は測定電流を単独で測定されたクランプ圧と適合させるために使用される自由パラメータであり、εは自由空間の誘電率である。このように電荷ＱがＥＳＣ１０２の電極１０８の既知の領域Ａに置かれると、製品１０４とＥＳＣとの間で認識されるクランプ圧Ｐは電極の電荷密度σに比例する。
【００３１】
このように本発明によれば、ＥＳＣ１０２によって生じたクランプ圧Ｐは、単純にどの程度の電荷ＱがＥＳＣに置かれたかに基づいて評価できることがわかる。ＥＳＣ１０２、及び、製品１０４によって規定されるキャパシタを充電するのに費やされる時間は、しばしば、クランプ電圧Ｖが印加される時間よりも極めて短い。そのためＥＳＣを通じてＤＣドレイン電流が明示されることが多い。これによれば電荷Ｑは、次のように表される：
【００３２】
【数３】
0006716254.tif 000004
【００３３】
ここでｉｎは間隔ｎの間の測定電流であって、間隔を平均化するか、代表する１つの最終点で電流を選択することで決定される。ｉｂｋｇはバックグランド電流（例えば、ＤＣドレイン電流に関連した定数）であり、ｔは時間間隔である。したがって正確な電流を得て時間間隔を乗算する（multiply）ことで、ＥＳＣ１０２の電荷が得られる。
【００３４】
電荷Ｑを表すその他の方法は、
【００３５】
【数４】
0006716254.tif 000005
【００３６】
である。この積分はコントローラ１１４に割り当てられてもよい。そして、瞬時の蓄積電荷Ｑ（instantaneous and build-up of charge Q）は、ＥＳＣ１０２の多くのサイクル、及び、多数の製品１０４のクランプの間、絶えずデータ取得システム１１２によって収集され、メモリ１１６に記憶される。こうして例えばＥＳＣ１０２のサイクルからの数月分の電荷データが得られる。そしてＥＳＣの「健全性」又はクランプ能力を決定するために、電荷データは、（例えば現時点での電流測定に由来する）現時点での測定された電荷データと比較される。
【００３７】
図２に示したように、グラフ１１８には２つの軌跡が描かれている。軌跡１２０は図１におけるＥＳＣ１０２が示す静電容量を表しており（refer）、製品１０４をクランプしている間、ＥＳＣの静電容量とは独立して測定されたものである。図２の軌跡１２２は、全クランプサイクルの間、図１のコントローラ１１４によるＡＣ電圧の反復性サイクルを通して積分された（integrated）電荷Ｑを表している（refer）。したがって図２の軌跡１２２は特定の時間にＥＳＣに残った電荷である。グラフ１１８を限定的な意味で捉えてはならず、一連の状況下での全クランプサイクルの一例であることに注意すべきである。それゆえに、軌跡１２０、及び、軌跡１２２は様々なファクターに基づいて著しく異なる。
【００３８】
図示したように、軌跡１２０は点１２４で落下し、それから領域１２６の間は平坦であり、再度、軌跡１２８で落下（下降）（drop）する。領域１２６の平坦部分は、図１の電源１１０からの電圧Ｖが切断（ターンオフ）されたときの間隔であり、静電容量はゼロまで低下すると予測される。しかしながら静電容量はゼロまで落下しない。したがって製品がＥＳＣ１０２に「接着する（sticking）」などの不良（fault）又は異常（anomaly）が示される。軌跡１２２によって明らかなように、平坦領域１２６においてＥＳＣには未だに電荷が記憶されている。そのため事前の測定による軌跡（図示せず）と比較することによる電荷の予測は行われない。したがって軌跡１２２の平坦領域１２６はＥＳＣ１０２における電荷Ｑの異常な動作を示す。こうして、図２のグラフ１１８で示したデータは、積分された電荷Ｑを外部で測定された可視的で巨視的な機能障害と関連づけている。このように本開示の積分された電荷Ｑは、ＥＳＣ１０２のクランプ能力、又は「健全性」を決定するための診断的で予測的な方法に使用することができる。
【００３９】
本開示のさらなる態様によれば、図３では静電クランプのクランプ能力の監視方法２００が例示されている。ここで例示する方法は、一連の行為又は事象として図示され、説明されているが、本発明は図示した行為又は事象の順番に制限されるものではないことに注意すべきである。したがってある工程の順番が異なっていたり、図示したものや説明とは異なり、２つの工程が同時に行われてもよい。更に本発明による方法では説明した工程すべてが実施されなくてもよい。更に本発明に係る方法はここで説明したシステムと関連させて実施されてもよく、ここでは説明しない他のシステムと関連させて実施してもよい。
【００４０】
図３の方法２００は行為（アクト）（act）２０２によって開始される。このときクランプ電圧Ｖは静電クランプの１又は複数の電極に印加されることにより製品は静電クランプのクランプ表面に静電的に引き寄せられる。行為２０４では１又は複数の電極に印加されたクランプ電圧Ｖに関連した電流ｉが測定されることにより、測定電流が規定される。行為２０６で測定電流は時間によって積分されることにより、製品と静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値Ｑが規定される。
【００４１】
一つの例によれば、行為２０８において電荷値Ｑがメモリに記憶される。そして行為２１０において電荷値Ｑに基づいて静電クランプのクランプ能力が決定される。前述したように、行為２１０において、静電クランプのクランプ能力を決定することは、現時点で決定された電荷値と予め記憶された複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の現時点での状態（現在の状態）を決定することを含んでいてもよい。静電クランプのクランプ能力の現時点での状態を決定することは、例えば現時点で決定された電荷（電荷値）と複数の電荷値との比較を含んでいてもよい。
【００４２】
他の例では、行為２１０において、静電クランプのクランプ能力を決定することは、予め記憶された複数の電荷値との比較により、現時点で決定された電荷値の異常を確認することを含んでいる。更に他の例では、静電クランプのクランプ能力を決定することは、現時点で決定された電荷値と、予め記憶された複数の電荷値とに基づいて、静電クランプのクランプ能力の将来の状態を予測することを含んでいてもよい。
【００４３】
例えば静電クランプのクランプ能力の将来の状態を予測することは、予め記憶された複数の電荷値と現時点で決定された電荷値とのモデルを形成することを含んでいてもよい。
【００４４】
その他の例では、行為２１０において、静電クランプのクランプ能力を決定することは、電荷値に直接的に基づいたり、更には、予め記憶された複数の電荷値に基づくことによる、静電クランプと製品との間のクランプ力を決定することを含んでいてもよい。
【００４５】
その他の態様によれば、上述の方法は１台又は複数台の汎用コンピュータ又はプロセッサベースシステムにおけるコンピュータプログラムコードを使用することで実施されてもよい。図４に、他の実施態様と関連したプロセッサベースシステム３００のブロック図を示す。例えば、図１のコントローラ１１４は、図４のプロセッサベースシステム３００を備えているものでもよい。プロセッサベースシステム３００は、例えば、汎用コンピュータプラットフォームであり、ここで説明した工程を実施するために使用される。プロセッサベースシステム３００は、デスクトップコンピュータ、ワークステーション、ラップトップコンピュータ、又は、特殊なアプリケーション用にカスタマイズされた専用ユニット等のプロセッシングユニット３０２を備えていてもよい。プロセッサベースシステム３００には、ディスプレイ３１８や、マウス、キーボード、又はプリンタ等の入力／出力デバイス３２０が１つ又はそれ以上備えられていてもよい。プロセッシングユニット３０２には、セントラルプロセッシングユニット（ＣＰＵ）３０４、メモリ３０６、大容量記憶デバイス３０８、ビデオアダプタ３１２、及び、バス３１０に接続されたＩ／Ｏインターフェース３１４が含まれていてもよい。
【００４６】
バス３１０は、メモリバス又はメモリコントローラ、周辺バス、又は、ビデオバスを含む、複数のバス構造の１又は複数のタイプであればよい。ＣＰＵ３０４はスタティックランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ），ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）、又は、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）などの、どのようなタイプのシステムメモリを備えていてもよい。
【００４７】
大容量記憶デバイス３０８は、データ、プログラム、及び他の情報を記憶し、バス３１０を介してアクセス可能なデータ、プログラム、及び他の情報を形成できるように構成された、どのようなタイプの記憶媒体を備えていてもよい。大容量記憶デバイス３０８は、例えば、１又は複数のハードディスクドライブ、磁気ディスクドライブ、又は、光学ディスクドライブを備えていてもよい。
【００４８】
ビデオアダプタ３１２及びＩ／Ｏインターフェース３１４は、外部入力及び出力デバイスをプロセッシングユニット３０２と接続するためのインターフェースを提供している。入力及び出力デバイスの例には、ビデオアダプタ３１２に接続されるディスプレイ３１８、並びに、Ｉ／Ｏインターフェース３１４に接続されるマウス、キーボード及びプリンタなどのＩ／Ｏデバイス３２０が含まれる。他のデバイスがプロセッシングユニット３０２に接続されていてもよく、インターフェースカードが付加されて使用されてもよく、インターフェースカードが使用されなくてもよい。例えば、シリアルインターフェースカード（図示せず）が、プリンタ用のシリアルインターフェースを提供するために使用されてもよい。プロセッシングユニット３０２にはネットワークインターフェース３１６が含まれていてもよく、それはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、又は、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）３２２に有線及び／又は無線で接続されていてもよい。
【００４９】
プロセッサベースシステム３００にはその他の構成成分が含まれていてもよく、あるいは上述した構成成分が除外されていてもよいことに注意すべきである。例えば、プロセッサベースシステム３００には、電源、ケーブル、マザーボード、リムーバブル記憶メディア、及びケースなどが含まれていてもよい。こうした他の構成成分は図示していないが、プロセッサベースシステム３００の一部分として考慮される。
【００５０】
本開示の実施態様は、ＣＰＵ３０４によって実行されるプログラムコードなどによって、プロセッサベースシステム３００上で実施されてもよい。上述の例及び実施態様による様々な方法はプログラムコードによって実施されてもよい。したがってここでは明示的な議論は省略する。
【００５１】
更に、図１におけるシステム１００のコントロールモジュールやコントロールは全て、図４の１又は複数のプロセッサベースシステム３００上で実施されてもよいことに注意すべきである。異なるモジュールとデバイスとの間でのコミュニケーションは、どのようにモジュールが実行されるかによって異なる。仮にモジュールが１つのプロセッサベースシステム３００上で実行されると、ＣＰＵ３０４による様々な工程のためにプログラムコードを実施する間、データがメモリ３０６又は大容量記憶デバイス３０８に保存される。データは、それからＣＰＵ３０４によって、各々の工程を実施している間、バス３１０を経由してメモリ３０６又は大容量記憶デバイス３０８に送られてもよい。仮に、モジュールが別のプロセッサベースシステム３００で実行されるか、仮に、データがセパレートデータベースなどの他の記憶システムから提供されると、データはＩ／Ｏインターフェース３１４、又は、ネットワークインターフェース３１６を通してシステム３００間に提供される。同様に、デバイス、又は、ステージによって提供されるデータは、Ｉ／Ｏインターフェース３１４、又は、ネットワークインターフェース３１６によって、１又は複数のプロセッサベースシステム３００に入力されてもよい。この分野における通常の技術を持つ者であれば、異なる実施態様の範囲内で意図されたシステムや方法の実施における変形例や修正例を容易に理解するであろう。
【００５２】
いくつかの実施態様と関連させて本発明を説明したが、上述した実施態様は本発明のいくつかの実施の態様の例であるに過ぎないことに注意すべきである。そのため本発明の適用はこれらの実施態様に限定されるものではない。特に、上述した構成成分（集合体、デバイス、回路等）や、そうした構成成分を説明するために使用された用語（「手段」に関するものを含む）によって実施される様々な機能は、他に指摘がない限り、上述した構成成分によって特徴づけられた機能を実行する（すなわち、機能的に同等である）構成成分に対応するように意図されている。しかしながら、構造上は本発明の実施形態で説明した構造と同等ではない。更に、数例の実施態様だけで本発明に特有の特徴を開示しているが、こうした特徴は、必要であれば他の特徴と結びつくことで他の応用にも有利である。したがって本発明は上述した具体例に限定されるものではなく、添付する特許請求の範囲、及びその均等物の範囲によってのみ限定される。
【図１】
0006716254.tif 000006
【図２】
0006716254.tif 000007
【図３】
0006716254.tif 000008
【図４】
0006716254.tif 000009