(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンクを装置の内部に収容する収容位置と該装置の外部で該タンクの着脱を可能にする着脱位置とに位置づけるタンク位置づけ機構であって、
該タンクが載置される載置部を有するテーブルと、
該テーブルの下部に取り付けられ該収容位置側に配設される第１の車輪と、
該テーブルの下部に取り付けられ該着脱位置側において支持柱に支持されて該第１の車輪より下方に配設される第２の車輪と、
該第１の車輪をガイドするガイド手段と、を備え、
該ガイド手段は、
該収容位置から該着脱位置に向かって形成される下り坂と、
該下り坂に形成され該第１の車輪が没入し該テーブルを該収容位置で停止させる第１のストッパと、
該下り坂に形成され、該第１のストッパから脱し該下り坂を下った該第１の車輪が係合し該テーブルを該着脱位置で停止させる第２のストッパと、を備え、
該支持柱によって支持される該第２の車輪と該第１の車輪との高低差によって、該収容位置に該テーブルを停止させた際に、該タンクが載置される該テーブルの該載置部を水平にするタンク位置づけ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂等が収容されたタンクを加工装置の所望の位置に位置づける位置づけ機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種装置に液体を供給するために、液体が収容されたタンクが装置内に装着されている。例えば、ウエーハの一方の面に樹脂を塗布する樹脂塗布装置（下記の特許文献１を参照）には、通常、液状の樹脂が収容されたタンクが装着されており、タンク内からポンプによって樹脂を吸い出して、樹脂供給ノズルからステージの上に載置されたシートの上に樹脂を供給している。
【０００３】
樹脂塗布装置に装着されたタンク内の液体が無くなると、樹脂が収容された新たなタンクと交換される。タンクの交換の際には、複数の車輪がついたテーブル（例えば、台車）にタンクを載置して、装置内にタンクを運搬している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１４６８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、テーブルにタンクを載置するためには、装置外におけるタンクを着脱するための位置でテーブルを固定する必要がある。テーブルを固定するために、テーブルの下端にストッパを設けて車輪をロックしてもよいが、ストッパで各車輪をロックしたり解除したりするのは面倒である。
【０００６】
また、例えば、各車輪が転がるレールを装置内に備え、該レール上にロック機構を設けてもよいが、テーブルが装置外に引き出されたときにロック機構で各車輪をロックすると、装置外でテーブルにタンクを載せて装置内に移動させる際に、タンクが邪魔となってロック機構のロックを解除しにくい。テーブルを装置外で固定できないと、例えばタンクの交換時に誤ってテーブルにタンクが接触してテーブルが装置内に移動するため、タンクの交換作業が困難となる。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、タンクが載置されるテーブルの移動を容易にして、タンクの交換作業を容易にできるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、タンクを装置の内部に収容する収容位置と該装置の外部で該タンクの着脱を可能にする着脱位置とに位置づけるタンク位置づけ機構であって、該タンクが載置される載置部を有するテーブルと、該テーブルの下部に取り付けられ該収容位置側に配設される第１の車輪と、該テーブルの下部に取り付けられ該着脱位置側において支持柱に支持されて該第１車輪より下方に配設される第２の車輪と、該第１の車輪をガイドするガイド手段と、を備え、該ガイド手段は、該収容位置から該着脱位置に向かって形成される下り坂と、該下り坂に形成され該第１の車輪が没入し該テーブルを該収容位置で停止させる第１のストッパと、該下り坂に形成され、該第１のストッパから脱し該下り坂を下った該第１の車輪が係合し該テーブルを該着脱位置で停止させる第２のストッパと、を備え、該支持柱によって支持される該第２の車輪と該第１の車輪との高低差によって、該収容位置に該テーブルを停止させた際に、該タンクが載置される該テーブルの該載置部を水平にする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかるタンク位置づけ機構は、タンクが載置されるテーブルと、テーブルの下部に取り付けられ収容位置側に配設される第１の車輪と、テーブルの下部に取り付けられ着脱位置側に配設される第２の車輪と、第１の車輪をガイドするガイド手段とを備え、ガイド手段は、収容位置から着脱位置に向かって下り坂に形成され、第１の車輪が没入しテーブルを収容位置で停止させる第１のストッパと、第１の車輪が係合しテーブルを着脱位置で停止させる第２のストッパとを備え、テーブルが常に装置の外側（着脱位置側）に向けて移動するように構成したため、第１の車輪の動きをロックするロック機構を別に設ける必要がない。すなわち、第１の車輪が第１のストッパに没入するだけで、テーブルを装置の内部で固定させてタンクを装置内に収容でき、第１の車輪が第２のストッパに係合するだけで、テーブルを装置の外部で固定させてタンクを装置外に引き出すことができる。よって、タンクの交換作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】樹脂貼着装置、タンク及びタンク位置づけ機構の構成を示す斜視図である。
【図２】タンクが樹脂貼着装置の収容位置に位置づけられた状態を示す断面図である。
【図３】タンクが樹脂貼着装置の着脱位置に位置づけられた状態を示す断面図である。
【図４】ガイド手段の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１  タンクの構成
図１に示すタンク１は、液状の樹脂を収容する収容容器であって、例えば、被加工物であるウエーハＷの一方の面に液状の樹脂を貼着する樹脂貼着装置１０の内部に収容されて使用される。タンク１は、例えば箱型に形成されており、タンク１の上面には、樹脂の出入口となる接続口１ａが配設されている。
【００１２】
２  樹脂貼着装置の構成
樹脂貼着装置１０は、筐体１００と、筐体１００内に配設された装置ベース１０１と、装置ベース１０１において立設されたコラム１０２と、装置ベース１０１に隣接して配設された支持台１０３とを備える。装置ベース１０１のＹ軸方向前部には、上面に樹脂が滴下されるシート１２がロール状に巻かれたロール部１１０を有するシート供給手段１１を備える。
【００１３】
支持台１０３には、シート載置手段１３が配設されている。シート載置手段１３は、Ｙ軸方向と交差する方向（Ｘ軸方向）に延在するアーム部１３０と、アーム部１３０の側面に取り付けられたクランプ部１３１とを備える。クランプ部１３１は、ロール部１１０に巻かれたシート１２をクランプしてＹ軸方向に引っ張り、装置ベース１０１に形成された載置テーブル１４に載置することができる。
【００１４】
載置テーブル１４の中央部分には、円形の載置面１４０が配設されている。載置面１４０は、例えば石英ガラスによって形成されている。図示していないが、載置面１４０の外周側には、吸引源に接続された複数の吸引孔が形成され、載置面１４０に載置されたシート１２を下方から吸引保持する構成となっている。
【００１５】
コラム１０２のＹ軸方向前方には、昇降手段１６を介して保持手段１５が配設されている。保持手段１５は、図２に示すように、円板状のホイール１５０と、ウエーハＷを吸引保持する保持部１５１と、保持部１５１に連結された押圧部１５２とを少なくとも備える。保持部１５１には、図示しない吸引源が接続されており、保持部１５１においてウエーハＷを吸引保持することができる。
【００１６】
図１に示すように、昇降手段１６は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ１６０と、ボールネジ１６０の一端に接続されたモータ１６１と、ボールネジ１６０と平行に延在する一対のガイドレール１６２と、一方の面に保持手段１５が連結された昇降板１６３とを備える。一対のガイドレール１６２には、昇降板１６３の他方の面が摺接し、昇降板１６３の他方の面側に形成されたナットにはボールネジ１６０が螺合している。昇降手段１６は、モータ１６１によって駆動されてボールネジ１６０が回動すると、一対のガイドレール１６２に沿って昇降板１６３をＺ軸方向に移動させることにより、載置テーブル１４の載置面１４０に対して垂直方向に保持手段１５を昇降させることができる。
【００１７】
載置テーブル１４の近傍には、載置面１４０に向けて液状の樹脂を供給する供給口１７０を有する樹脂供給手段１７が配設されている。樹脂供給手段１７は、旋回可能となっており、供給口１７０を載置テーブル１４の上方側に移動することができる。また、樹脂供給手段１７では、図２に示すポンプ１８によって、例えばタンク１の接続口１ａから樹脂１７１を吸い出すとともに、例えばバッファタンク１９において吸い出した樹脂１７１に含まれる気泡を除去して、供給口１７０から載置テーブル１４の載置面１４０に向けて樹脂１７１を供給することができる。
【００１８】
３  タンク位置づけ機構の構成
次に、図１に示すタンク１を、樹脂貼着装置１０の内部に収容する収容位置Ｐ１と樹脂貼着装置１０の外部でタンク１の着脱を可能にする着脱位置Ｐ２とに位置づけるタンク位置づけ機構の構成について説明する。収容位置Ｐ１は、筐体１００の内側の位置で、図２に示したポンプ１８がタンク１の接続口１ａに接続できる位置であればよい。着脱位置Ｐ２は、筐体１００の外側の位置で、例えば作業者によってタンク１を着脱できる位置であればよい。
【００１９】
タンク位置づけ機構は、タンク１を運搬する台車２を備える。台車２は、タンク１が載置される載置部３ａを有するテーブル３と、テーブル３の下部３ｂに取り付けられ収容位置Ｐ１側に配設される第１の車輪４（例えば二輪）と、テーブル３の下部３ｂに取り付けられ着脱位置Ｐ２側に配設される第２の車輪５（例えば二輪）とを備える。台車２は、例えば、作業者の人力を動力源として第１の車輪４及び第２の車輪５が駆動されて走行可能となっている。
【００２０】
タンク位置づけ機構は、台車２を構成する第１の車輪４をガイドするガイド手段６を備える。ガイド手段６は、少なくとも２つのレール６０を有し、２つのレール６０は筐体１００の内側において対向して平行に敷設されている。各レール６０は、収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２に向かって下り坂に形成されている。すなわち、各レール６０の上面は、収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２にかけて下方に傾斜した斜面７となっている。各レール６０に第１の車輪４を載せた状態で、斜面７において第１の車輪４が進退可能となっており、第１の車輪４は常に斜面７に沿って着脱位置Ｐ２側にガイドされる。第２の車輪５は、常に筐体１００の外側で進退可能となっている。なお、図示していないが、各レール６０の近傍には、第１の車輪４が各レール６０上から外れないように規制手段等が設けられている。
【００２１】
ガイド手段６は、第１の車輪４が没入してテーブル３を収容位置Ｐ１で停止させる第１のストッパ８と、第１の車輪４が係合してテーブル３を着脱位置Ｐ２で停止させる第２のストッパ９とを備える。第１のストッパ８は、２つのレール６０のＸ軸方向前方側（収容位置Ｐ１側）に形成され、第１の車輪４が没入する凹部により形成されている。凹部の形状は、特に限定されないが、第１の車輪４の形状に合わせて湾曲している。そして、第１のストッパ８に第１の車輪４が没入すると、テーブル３が収容位置Ｐ１で停止し、テーブル３に載置されたタンク１を樹脂貼着装置１０の内部に位置づけることができる。
【００２２】
第２のストッパ９は、各レール６０のＸ軸方向後方側（着脱位置Ｐ２側）に形成され、第１の車輪４が係合する凸部によって形成されている。凸部は、各レール６０の斜面７に沿って着脱位置Ｐ２側にガイドされた第１の車輪４が乗り上がらない程度の高さを有していればよい。そして、第２のストッパ９によって第１の車輪４の斜面７に沿った移動が阻止されて第１の車輪４と第２のストッパ９とが係合すると、テーブル３が着脱位置Ｐ２で停止し、テーブル３に載置されたタンク１を樹脂貼着装置１０の外部に位置づけることができる。
【００２３】
次に、タンク位置づけ機構を用いて、タンク１を収容位置Ｐ１と着脱位置Ｐ２とに位置づける動作例について説明する。なお、図１の例では、台車２が筐体１００から離れた状態を示しているが、実際には、台車２の第１の車輪４は常に２つのレール６０の上に配置されている。
【００２４】
タンク１を収容位置Ｐ１に位置づける場合は、着脱位置Ｐ２に位置するテーブル３の載置部３ａに液状の樹脂が収容されたタンク１を載置する。続いて、例えば作業者が台車２を押して、図２に示すように、各レール６０の斜面７に沿って第１の車輪４を収容位置Ｐ１側に前進させるとともに、筐体１００の外側で第２の車輪５を収容位置Ｐ１側に前進させる。これにともない、台車２を筐体１００の内側に進入させ、第１のストッパ８に第１の車輪４が没入するまで台車２を移動させる。そして、第１のストッパ８に第１の車輪４が没入すると、第１の車輪４が固定され、テーブル３が収容位置Ｐ１で停止する。
【００２５】
このようにして、タンク１を樹脂貼着装置１０の内部に収容したら、樹脂貼着装置１０を稼働させることができる。すなわち、ポンプ１８によって、タンク１の接続口１ａから樹脂１７１を吸い出すとともに、バッファタンク１９で樹脂１７１に含まれる気泡を除去し、供給口１７０から載置テーブル１４に載置されたシート１２に向けて樹脂１７１を供給する。適量の樹脂１７１がシート１２上に堆積したら、保持手段１５でウエーハＷを吸引保持した状態で昇降手段１６が保持手段１５を下降させ、押圧部１５２によって樹脂１７１を押圧しながら拡張させてウエーハＷに貼着することができる。
【００２６】
タンク１内に樹脂１７１が無くなったら、使用済みのタンク１を収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２に位置づけ、新たなタンクと交換する。例えば、作業者が台車２を引っ張ることにより、第１のストッパ８に没入した状態の第１の車輪４が第１のストッパ８から脱すると、図３に示すように、第１の車輪４の固定が解除され、各レール６０の斜面７に沿って第１の車輪４が着脱位置Ｐ２側にガイドされる。このとき、第２の車輪５も着脱位置Ｐ２側に後退し、台車２が筐体１００の外側に移動する。
【００２７】
台車２の移動にともない、第２のストッパ９に第１の車輪４が係合すると、テーブル３が着脱位置Ｐ２で停止する。このようにして、テーブル３が筐体１００の外側の位置で固定され、タンク１を樹脂貼着装置１０の外部に位置づけたら、テーブル３から使用済みのタンク１を回収して、新たなタンク１をテーブル３に載置すればよい。
【００２８】
このように、本発明にかかるタンク位置づけ機構は、タンク１が載置されるテーブル３と、テーブル３の下部３ｂに取り付けられ収容位置Ｐ１側に配設される第１の車輪４と、テーブル３の下部３ｂに取り付けられ着脱位置Ｐ２側に配設される第２の車輪５とを備える台車２と、第１の車輪４をガイドするガイド手段６とを備え、ガイド手段６は、収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２に向かって下り坂に形成され、第１の車輪４が没入しテーブル３を収容位置Ｐ１で停止させる第１のストッパ８と、第１の車輪４が係合しテーブル３を着脱位置Ｐ２で停止させる第２のストッパ９とを備え、テーブル３が常に装置の外側（着脱位置Ｐ２側）に向けて移動するように構成したことから、第１の車輪４の動きをロックするロック機構を別に設ける必要がない。すなわち、第１の車輪４が第１のストッパ８に没入するだけで、テーブル３を装置内で固定させてタンク１を装置内に収容でき、第１の車輪４が第２のストッパ９に係合するだけで、テーブル３を装置外で固定させてタンク１を装置外に引き出すことができる。このように、テーブル３の移動を容易にするとともに、テーブル３を装置内及び装置外で固定でき、タンク１の交換作業を容易に行うことができる。
【００２９】
図４に示すガイド手段２０は、ガイド手段６の変形例であって、少なくとも２つのレール２１（図示の例では１つ）を有している。レール２１は、図１に示した収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２に向かって下り坂に形成されている。レール２１には、その両側に凸状の壁部２１ａ，２１ｂが形成され、壁部２１ａと壁部２１ｂとの間に溝部２２が形成されている。溝部２２の上面は、収容位置Ｐ１から着脱位置Ｐ２にかけて下方に傾斜した斜面となっている。この溝部２２において、第１の車輪４が進退可能となっており、第１の車輪４は常に溝部２２の斜面に沿って着脱位置Ｐ２側にガイドされる。ガイド手段２０では、壁部２１ａ，２１ｂによって第１の車輪４がレール２１から外れないように規制することができる。
【００３０】
ガイド手段２０は、図１に示した第１の車輪４が没入して収容位置Ｐ１でテーブル３を停止させる第１のストッパ２３と、第１の車輪４が係合し着脱位置Ｐ２でテーブル３を停止させる第２のストッパ２４とを備える。第１のストッパ２３は、第１の車輪４が没入する凹部によって形成されており、第１の車輪４が第１のストッパ２３に没入すると第１の車輪４を固定して、テーブル３を収容位置Ｐ１で停止させることができる。第２のストッパ２４は,第１の車輪４が係合する凸部によって形成されており、第２のストッパ２４に第１の車輪４が係合すると、テーブル３を着脱位置Ｐ２で停止させることができる。ガイド手段２０においても、第１の車輪４が第１のストッパ２３から脱すると、テーブル２は常に着脱位置Ｐ２側に移動するため、着脱位置Ｐ２でのタンク１の交換作業を容易に行える。
【００３１】
なお、本発明のタンク位置づけ機構が適用される装置は、本実施形態に示した樹脂貼着装置１０に限定されず、液体が収容されたタンクが必要な装置（例えば、研磨装置）等に広く適用することができる。また、本発明のタンク位置づけ機構の個数は、本実施形態に示した個数（１つ）に限定されるものではなく、適用される装置の機能、サイズ等に応じて増やしてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１：タンク  １ａ：接続口  ２：台車  ３：テーブル  ３ａ：載置部  ３ｂ：下部
４：第１の車輪  ５：第２の車輪  ６：ガイド手段  ６０：レール  ７：斜面
８：第１のストッパ  ９：第２のストッパ
１０：樹脂貼着装置  １００：筐体  １０１：装置ベース  １０２：コラム
１０３：支持台
１１：シート供給手段  １１０：ロール部  １２：シート
１３：シート載置手段  １３０：アーム部  １３１：クランプ部
１４：載置テーブル  １４０：載置面
１５：保持手段  １５０：ホイール  １５１：保持部  １５２：押圧部
１６：昇降手段  １６０：ボールネジ  １６１：モータ  １６２：ガイドレール
１６３：昇降板
１７：樹脂供給手段  １７０：供給口  １７１：樹脂
１８：ポンプ  １９：バッファタンク
２０：ガイド手段  ２１：レール  ２１ａ，２１ｂ：壁部  ２２：溝部
２３：第１のストッパ  ２４：第２のストッパ
【図１】
0006691386.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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