(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機であって、
前記部品に接触することにより、前記部品の電気的特性を測定する一対の測定子と、
前記一対の測定子のうちの少なくとも一方の測定子の清掃を行う清掃装置と、
予め定められたタイミングで、前記清掃装置を作動させる清掃制御装置と
を含み、
前記清掃装置が、前記少なくとも一方の測定子にエアを供給するエア供給装置を含み、
当該装着機が、前記部品を保持する部品保持装置と、その部品保持装置を移動させる移動装置とを含み、
前記部品保持装置が、負圧により前記部品を保持し、正圧により前記部品を放す吸着ノズルを含み、
前記清掃制御装置が、前記移動装置に、前記吸着ノズルを前記少なくとも一方の測定子の各々に対応する位置へそれぞれ移動させて、それぞれの位置において、前記正圧を前記吸着ノズルから前記少なくとも一方の測定子にそれぞれ供給させるものであり、
前記吸着ノズルが、前記エア供給装置の構成要素とされた装着機。
【請求項２】
前記一対の測定子が、前記部品が前記吸着ノズルにより保持された状態で、前記部品の電気的特性を測定するものであり、
前記清掃制御装置が、前記部品の電気的特性の測定の終了後、前記吸着ノズルから前記部品が放された後に、前記移動装置に、前記吸着ノズルを前記少なくとも一方の測定子の各々に対応する位置へそれぞれ移動させて、それぞれの位置において、前記正圧を前記吸着ノズルから前記少なくとも一方の測定子の各々に供給させるものである請求項１に記載の装着機。
【請求項３】
前記一対の測定子が、互いに接近・離間可能に設けられ、互いに接近させられることにより前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記エア供給装置が、前記一対の測定子の少なくとも一方に設けられ、前記一対の測定子の一方から他方に向かってエアを噴出する少なくとも１つのエア噴出部を含む請求項１に記載の装着機。
【請求項４】
前記清掃制御装置が、前記一対の測定子が互いに離間した状態で、前記少なくとも１つのエア噴出部に、前記他方の測定子に向かってエアを噴出させるものである請求項３に記載の装着機。
【請求項５】
前記清掃制御装置が、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性が測定される毎に、前記清掃装置を作動させるものである請求項１ないし４のいずれか１つに記載の装着機。
【請求項６】
前記清掃制御装置が、前記一対の測定子による前記部品の電気的特性の測定回数をカウントする測定回数カウント部を含み、前記測定回数カウント部によってカウントされた前記測定回数が予め定められた設定測定回数に達した場合に、前記清掃装置を作動させるものである請求項１ないし４のいずれか１つに記載の装着機。
【請求項７】
前記清掃制御装置が、前記一対の測定子によって前記部品の電気的特性の測定に要する時間の累計である測定時間を計測するタイマを含み、前記タイマにより計測された測定時間が設定測定時間に達した場合に、前記清掃装置を作動させるものである請求項１ないし４のいずれか１つに記載の装着機。
【請求項８】
当該装着機が、前記一対の測定子を撮像可能な撮像装置を含み、
前記清掃制御装置が、前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて、前記一対の測定子の各々についての清掃の要否を判定する清掃要否判定部を備え、その清掃要否判定部によって前記少なくとも一方の測定子について前記清掃が必要であると判定された場合に、前記清掃装置を作動させるものである請求項１ないし４のいずれか１つに記載の装着機。
【請求項９】
前記撮像装置が、前記移動装置により移動可能とされ、
前記清掃制御装置が、前記移動装置に、前記撮像装置を、前記撮像装置が前記一対の測定子の各々を撮像可能な位置へそれぞれ移動させ、それぞれの位置において、前記撮像装置に前記一対の測定子の各々を撮像させるものである請求項８に記載の装着機。
【請求項１０】
前記清掃装置が、前記一対の測定子の各々の前記部品に接触する部分に付着した異物を除去するものである請求項１ないし９のいずれか１つに記載の装着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、回路基板に部品を装着する装着機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１，２には、部品の電気的特性を測定する一対の測定子を備えた装着機が記載されている。そのうちの特許文献１に記載の装着機は、部品を保持する保持台と、固定子と可動子とを有し、部品を挟んで電気的特性を測定可能な一対の測定子と、可動子の端面にエアを供給するエア供給装置とを含む。本装着機においては、エア供給装置により可動子の端面の部品と接触する部分の上方にエアが供給される。エアは、端面に沿って下方へ流れ、可動子の端面に付着した部品を落下させることができる。特許文献２に記載の装着機は、保持台と、その保持台から突出して設けられ、部品に接触して電気的特性を測定する一対の測定子としての電極対とを含む。本装着機においては、部品の電気的特性の測定回数が設定測定回数に至った場合に、メンテナンス作業の指示が出される。それにより、作業者によって、電極対の清掃等のメンテナンス作業が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１７／００９９８７パンフレット
【特許文献２】国際公開第２０１４／１５５６５７パンフレット
【概要】
【０００４】
【解決しようとする課題】
【０００５】
本開示の課題は、作業者による清掃等のメンテナンス作業を軽減することである。
【課題を解決するための手段、作用および効果】
【０００６】
本開示に係る装着機においては、一対の測定子のうちの少なくとも一方の清掃が自動で行われる。作業者は、一対の測定子のうちの少なくとも一方の清掃等の作業を行う必要性が低くなる。その結果、作業者のメンテナンス作業を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本開示の実施例１に係る装着機の斜視図である。
【図２】上記装着機に含まれる装着ヘッドの吸着ノズルの周辺を示す図である。
【図３】上記装着機に含まれる測定装置の斜視図である。
【図４】上記測定装置の要部の断面図である。
【図５】上記測定装置のエアシリンダ周辺を示す図である。
【図６】上記装着機の制御装置の周辺を示す図である。
【図７】上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。
【図８】上記LCR測定プログラムの一部(清掃ルーチン)を表すフローチャートである。
【図９】(図９Ａ)上記測定装置の初期状態を示す図である。(図９Ｂ)上記測定装置のクランプ状態を示す図である。(図９Ｃ)上記測定装置の測定状態を示す図である。(図９Ｄ)上記測定装置の廃棄状態を示す図である。
【図１０】上記測定装置において、測定子の対向面が汚れた状態で測定した抵抗値の一例である。
【図１１】上記清掃ルーチンとは別の清掃ルーチンを表すフローチャートである。
【図１２】上記制御装置の記憶部に記憶された別のLCR測定プログラムを表すフローチャートである。
【図１３】本開示の実施例２に係る装着機の制御装置の記憶部に記憶された測定回数カウントプログラムを表すフローチャートである。
【図１４】上記清掃ルーチンを表すフローチャートである。
【図１５】上記記憶部に記憶された測定時間計測プログラムを表すフローチャートである。
【図１６】本開示の実施例３に係る装着機の測定装置の要部を示す断面図である。
【図１７】本開示の実施例４に係る装着機の測定装置の要部を示す断面図である。
【図１８】上記測定装置の要部の正面図である。
【図１９】本開示の実施例５に係る装着機の測定装置の斜視図である。
【図２０】上記装着機の制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。
【図２１】上記LCR測定プログラムの一部(清掃ルーチン)を表すフローチャートである。
【実施形態】
【０００８】
以下、本開示の一実施形態である測定装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８，測定装置２６等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持するスライダをｘ，ｙ，ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を保持する。吸着ノズル１８は、負圧の供給（吸引）により部品ｓを吸着して保持し、正圧（エア）の供給により部品ｓを放して、基板Ｐに装着するものである。吸着ノズル１８は、図２に示すように、先端部に開口するエア通路１９を含み、エア通路１９に、バキュームポンプ等を含む負圧源２０と、エア源等を含む正圧源２２とがそれぞれ電磁弁２０ｖ，２２ｖを介して接続される。これら電磁弁２０ｖ、２２ｖの制御により、負圧の供給の有無、正圧の供給の有無がそれぞれ切換え可能とされている。また、上記スライダには、撮像装置としてのカメラ２３（図６参照）が取り付けられる。カメラ２３は、基板Ｐに設けられた基準マーク等を撮像するマークカメラである。マークカメラ２３は、例えば、上下方向に伸びたｚ軸に対して傾斜可能とすることができる。【００１０】
また、符号２４はカメラを示す。カメラ２４は、本体２に固定的に設けられ、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものである。カメラ２４によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２５は、ノズルステーションを示す。ノズルステーションには、絶縁性材料で形成されたノズルを含む複数の吸着ノズルが収容される。符号２６は測定装置を示す。測定装置２６は、部品ｓの電気的特性を測定するものである。部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、測定装置２６によってこれらのうちの１つ以上が測定される。【００１１】
測定装置２６は、ごみ箱２７を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２７と測定装置２６とは廃棄通路２８によって接続される。電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２７に収容される。【００１２】
測定装置２６は、図３〜５に示すように、(i)本体３０、(ii)部品ｓを保持可能な部品保持部を備えた保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を移動させて、固定子３４に接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端に電極部を有し、電極部において一対の測定子３７によって把持可能なものである。部品ｓとしては、例えば、角チップが該当する。【００１３】
本体３０の底部には、図４に示すように、開口３０ａが設けられる。開口３０ａは、廃棄通路２８と連通状態にある。【００１４】
保持台３２は、保持台本体４６に、一体的に移動可能に保持される。保持台３２は、それの上面に形成された、部品保持部としての溝部４５を含む。溝部４５に部品ｓが載せられて、保持される。【００１５】
保持台３２は、アルミニウム合金またはステンレス材料等の導電性を有する材料によって製造されたものであり、複数の導電材で形成された部材を介して本体３０に電気的に接続される（内部導通と称する場合がある）。また、本体３０は接地(アース)されているため、保持台３２も接地される。すなわち、保持台３２が保持台本体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、保持台本体４６が本体３０にストッパ８０（図４参照）を介して当接する。そして、保持台本体４６、ストッパ８０、本体３０、締結部４７等は導電材で形成されたものである。したがって、保持台３２は、保持台本体４６、ストッパ８０、締結部４７、本体３０等を経て接地されるのである。【００１６】
保持台３２の固定子３４側にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下した部品ｓや異物の飛散を防止するものである。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、溝部４５の両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものである。【００１７】
固定子３４、可動子３６は、互いに接近・離間可能に設けられる。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体３０に固定される。可動子３６は一端部（後退側の端部）において可動子保持体５６に保持され、可動子保持体５６と一体的に移動可能とされる。また、可動子３６の他端部(前進側の端部)は溝部４５と係合可能な係合部３６ａが設けられる。【００１８】
これら固定子３４と可動子３６とにより一対の測定子３７が構成される。固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。すなわち、部品ｓの両端の電極部と一対の測定子３７とが接触した状態（通電可能な状態）で、部品ｓ、一対の測定子３７、LCR検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電圧が印加された状態で、これらの間を流れる電流がLCR検出部４２によって検出されるとともに、印加された電圧、流れた電流等に基づいて、部品ｓの電気的特性が取得される。LCR検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図３，４の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。【００１９】
本測定装置２６は固定型エア供給装置(以下、エア供給装置と略称する)５９を含む。エア供給装置５９は、図４に示すように、エア通路６０、イオナイザ６２、エア源６８、電磁弁装置６９，７２、電磁弁７３等を含む。エア通路６０は、固定子保持体５５および本体３０等に形成された内部通路６０ｈ、固定子３４に形成された噴出通路６０ｓ等を含む。噴出通路６０ｓは、概してｙ方向に、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、開口６０ａは可動子３６の対向面３６ｆに対向する。また、噴出通路６０ｓの開口６０ａから噴出したエアは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分（把持部）Ｒを含み、かつ、部分Ｒより広い部分ＲＫに供給される。本実施例において、噴出通路６０ｓ、開口６０ａ等によりエア噴出部６０ｂが構成される。なお、開口６０ａは、特許文献１に記載のエア供給装置の開口に比較して、下方に広がった形状を成し、可動子３６の対向面３６ａの下部に広くエアを供給可能な形状とされている。
エア通路６０には、イオナイザ６２を介してエア源６８等が接続される。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させてエアをイオン化するものであり、エアをイオン化して供給する。なお、エア源６８は、上述の正圧源２２と共通のものとすることができる。【００２０】
保持台移動装置４０は、保持台３２を移動させるものであり、駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。図５に示すように、エアシリンダ６４において、ハウジングの内部がピストンによって２つのエア室６４ａ、６４ｂに仕切られ、ピストンのピストンロッド６６に保持台本体４６が連結される。２つのエア室６４ａ、６４ｂと、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間には電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、複数の電磁弁を含むものであり、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２が前進、後退させられる。なお、保持台３２の前進時には、エア室６４ｂにエア源６８が連通させられ、エア室６４ａにエア通路６０が連通させられる。そのため、保持台３２の前進に伴ってエア通路６０にエアが供給される。【００２１】
可動子移動装置４１は、可動子３６を移動させるものであり、駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０においても同様に、ハウジングの内部には、ピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂが形成され、ピストンのピストンロッド７１に可動子保持体５６が連結される。２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）が接続される。電磁弁装置７２の制御により、可動子３６が前進、後退させられる。なお、可動子３６の後退時には、エア室７０ａにエア源６８が、エア室７０ｂにエア通路６０が、それぞれ、連通させられる。そのため、可動子３６の後退に伴ってエア通路６０にエアが供給される。【００２２】
また、エア源６８とエア通路６０とは、電磁弁７３を介して、シリンダ６４，７０をバイパスして接続される。電磁弁７３の制御により、エア源６８がエア通路６０から遮断されて、シリンダ６４，７０に連通させられた状態と、エア通路６０に連通させられてシリンダ６４，７０から遮断された状態とに切換え可能とされる。また、シリンダ６４，７０とエア通路６０、エア源６８とは、それぞれ、電磁弁６９，７２の制御により、連通状態と遮断状態とに切換え可能とされる。【００２３】
図３に示すように、本体３０または固定子保持体５５と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により固定子３４と可動子３６とがｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図４に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体３０または固定子保持体５５にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（保持台本体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４と保持台３２（保持台本体４６）との接近限度を規定するものである。【００２４】
当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１の電磁弁装置６９，７２、電磁弁２０ｖ，２２ｖ、７３等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２、マークカメラ２３，カメラ２４等が接続される。記憶部１１２には、図７のフローチャートで表されるLCR測定プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。本実施例においては、保持台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の出力、タイマ１２４による計測時間等を利用して、電磁弁装置６９，７２が制御され、保持台３２、可動子３６が前進、後退させられる。【００２５】
以下、装着機の作動について説明する。
新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等、部品ｓの電気的特性の測定指令が出された場合に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定される。また、測定された電気的特性の値である測定値とその部品の規格値とが比較され、これらがほぼ一致するか否かが判定されるようにすることもできる。その場合には、測定値と規格値とを比較した結果がディスプレイ１１６に表示されるようにすることができる。【００２６】
また、部品ｓの電気的特性の測定により、固定子３４、可動子３６の対向面３４ｆ、３６ｆに部品ｓのメッキ等の異物が付着して汚れる。そして、対向面３４ｆ、３６ｆにメッキ等の異物が付着すると、部品ｓの電気的特性を正確に測定することができない。例えば、図１０に示すように、異物が付着した状態で部品ｓの電気的特性を測定した場合には、部品ｓが正常なものであっても、測定値が、規定値Ａから大きく外れ、かつ、バラツキが大きくなる。そこで、本実施例においては、マークカメラ２３によって対向面３４ｆ、３６ｆが撮像され、対向面３４ｆ、３６ｆの各々の撮像画像に基づいて、それぞれ、清掃の要否が判定される。そして、清掃が必要であると判定された対向面３４ｆ、３６ｆに付着した異物が除去される。【００２７】
部品ｓの電気的特性は、図７のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。
装着機の非作動状態において、測定装置２６は、図９Ａに示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置にある。保持台３２は、ストッパ８０に当接した状態にあるため、内部導通等によりアースされた状態にある。【００２８】
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。測定指令が出された場合には、Ｓ２において、例えば、テープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、正圧の供給により放されて、溝部４５に保持される。吸着ノズル１８が下降させられ、電磁弁２２ｖが開に切り換えられたことにより、部品ｓが溝部４５に保持されたことがわかる。【００２９】
Ｓ３において、吸着ノズル１８が上昇端まで上昇させられた後、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が図４の矢印Ｆの示す向きへ移動（以下、前進と称する）させられる。可動子３６は、保持台３２の溝部４５に沿って前進させられ、部品ｓが、固定子３４の対向面３４ｆと可動子３６の対向面３６ｆとによってクランプされる。また、部品ｓの両端の電極部には、対向面３４ｆ、３６ｆが接触した状態にある。この状態が図９Ｂに示すクランプ状態である。
Ｓ４において、保持台３２が図４の矢印Ｂの示す向きへ移動(以下、後退と称する)させられる。保持台３２は導電性を有する材料で製造されたものである。そのため、部品ｓの電気的特性を測定する場合に、保持台３２が、係合部３６ａより後方へ後退させられ、部品ｓ、係合部３６ａから離間させられる。【００３０】
Ｓ５において、部品ｓが保持台３２に載せられてからの経過時間が除電時間に達したか否かが判定される。部品ｓに帯電されている電荷が保持台３２を介して除電される。部品ｓの除電に要する時間は、部品ｓの特性や大きさ等で決まり、予め決められている。除電時間が経過して、判定がＹＥＳとなると、Ｓ６において、電気的特性が測定される。この状態が図９Ｃに示す測定状態である。【００３１】
部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において、電磁弁装置７２、６９の制御により、可動子３６が後退端位置まで後退させられ、保持台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられる。保持台３２の前端面が、可動子３６の対向面３６ｆとほぼ同じまたは後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に保持台３２は存在しない。この状態が図９Ｄに示す廃棄状態である。部品ｓは下方へ落下し、開口３０ａ、廃棄通路２８を経てごみ箱２７に収容される。また、可動子３６の後退時には、噴出通路６０ｓの開口６０ａからエアが噴出させられ、可動子３６の部分ＲＫに当たる。また、カバー部５０により、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間がｘ方向から覆われる。その結果、対向面３６ｆから部品ｓを良好に落下させることができ、かつ、部品ｓの飛散を防止することができる。【００３２】
部品ｓが廃棄された後、Ｓ９において後述する清掃ルーチンが実行され、その後、Ｓ１０において、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２がストッパ８０に当接する前進端位置まで前進させられ、図９Ａに示す初期状態とされる。また、保持台３２の前進時には、噴出通路６０ｓの開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆにエアが供給される。そのため、可動子３６の対向面３６ｆの除電を行うことが可能となる。【００３３】
Ｓ９の清掃ルーチンの一例を図８のフローチャートで表す。
Ｓ２１において、マークカメラ２３が、固定子３４の対向面３４ｆを撮像可能な位置、可動子３６の対向面３６ｆを撮像可能な位置へ、それぞれ、移動させられ、それぞれ、対向面３４ｆ、対向面３６ｆが撮像される。なお、マークカメラ２３による対向面３４ｆ、３６ｆの撮像時には、それぞれ、マークカメラ２３をｚ軸に対して傾斜させて、レンズを対向面３４ｆ、３６ｆに向けることもできる。また、マークカメラ２３の視野によっては、対向面３４ｆ、３６ｆを一度に撮像することが可能な場合もある。その場合には、マークカメラ２３が、対向面３４ｆ、３６ｆの両方を撮像可能な位置へ移動させられる。【００３４】
Ｓ２２において、対向面３４ｆ、３６ｆの各々の撮像画像が処理されることにより、対向面３４ｆ、３６ｆの各々について清掃の要否判定が行われる。例えば、対向面３４ｆ、３６ｆに異物が付着している場合、または、対向面３４ｆ、３６ｆに、異物が、部品の電気的特性の測定精度が低下する程度に付着している場合等に、清掃が必要であると判定されるようにすることができる。【００３５】
そして、対向面３４ｆ、３６ｆの少なくとも一方について清掃要と判定された場合には、Ｓ２２の判定がＹＥＳとなり、Ｓ２３において清掃が行われる。例えば、対向面３４ｆ、３６ｆの両方について清掃が必要であると判定された場合には、吸着ノズル１８が、対向面３４ｆ、３６ｆ(固定子３４、可動子３６の端部)の上方へ、順番に移動させられ、それぞれ、下降させられる。電磁弁２２ｖが開とされ、吸着ノズル１８の先端から、エアが固定子３４、可動子３６の端部に向かって吹き付けられて、供給される。エアは、対向面３４ｆ、３６ｆに沿って流れる。また、電磁弁７３の制御により、エア通路６０にエア源６８が連通させられ、エアが対向面３６ｆに向かって噴出させられ、供給される。電磁弁７３が制御される場合には、電磁弁装置６９、７２によりエアシリンダ６４，７０とエア源６８、エア通路６０とが遮断されるようにすることもできる。このように、清掃においては、吸着ノズル１８から対向面３４ｆ、３６ｆへのエアの供給と、エア供給装置５９から対向面３６ｆへのエアの供給との両方が行われるが、これら両方を行うことは不可欠ではなく、少なくとも一方が行われればよい。また、これらは、並行して行っても、順番に行ってもよく、順番は、いずれが先でもよい。【００３６】
清掃が行われることにより、対向面３４ｆ、３６ｆに付着した異物を落下させることが可能となる。また、これら対向面３４ｆ、３６ｆの少なくとも一方から剥がれた異物は、落下し、廃棄通路２８を介してごみ箱２７へ収納される。
なお、図９Ｄに示すように、廃棄状態において、固定子３４と可動子３６との間はカバー部５０によって覆われるため、エアは、カバー部５０の内部を渦状に循環させられる。そのため、エア噴出部６０ｂから対向面３６ｆに向かって噴出させられたエアによって、対向面３４ｆに付着した異物も落ち易くなる。【００３７】
その後、Ｓ２１に戻され、マークカメラ２３によって対向面３４ｆ、３６ｆがそれぞれ撮像され、Ｓ２２において、対向面３４ｆ、３６ｆの各々について清掃の要否が判定される。対向面３４ｆ、３６ｆのうちの少なくとも一方について清掃が必要であると判定された場合には、Ｓ２３において清掃が行われる。以下、対向面３４ｆ、３６ｆの少なくとも一方について清掃が必要であると判定される間、Ｓ２１〜２３が繰り返し実行されるが、対向面３４ｆ、３６ｆの両方について清掃が不要になった場合には、Ｓ２２の判定がＮＯとなり、Ｓ２４において、電磁弁２２ｖが閉とされ、電磁弁７３が閉とされる等の終了処理が行われる。【００３８】
なお、装着ヘッド１６は、撮像、清掃のために測定装置２６へ移動させられる場合、部品ｓの電気的特性の測定のために測定装置２６へ移動させられ、撮像、清掃も行われる場合等もある。いずれにしても、清掃後に、装着ヘッド１６は測定装置２６から離間させられる。【００３９】
以上のように、本実施例においては、対向面３４ｆ、３６ｆの少なくとも一方の清掃が、エア供給装置５９と吸着ノズル１８との少なくとも一方によって自動で行われる。そのため、作業者のメンテナンス作業を軽減させることができる。また、清掃ルーチンにおいてマークカメラ２３によって対向面３４ｆ、３６ｆの撮像が行われ、清掃不要と判定されるまで、清掃が行われる。その結果、対向面３４ｆ、３６ｆに付着した異物を良好に除去することが可能となり、部品の電気的特性の測定精度の低下を良好に抑制することができる。【００４０】
本実施例においては、吸着ノズル１８、エア通路１９、正圧源２２、電磁弁２２ｖ等により可動型エア供給装置が構成され、可動型エア供給装置と固定型エア供給装置５９との少なくとも一方により清掃装置が構成される。また、制御装置１００の図８のフローチャートで表される清掃ルーチンを記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成され、そのうちの、Ｓ２２を記憶する部分、実行する部分等により清掃要否判定部が構成される。【００４１】
なお、Ｓ９の清掃ルーチンにおいて、対向面３４ｆ、３６ｆについての清掃の要否判定が行われることなく、清掃が行われるようにすることができる。本実施例においては、Ｓ９において、図１１のフローチャートで表される清掃ルーチンが実行される。部品ｓの電気的特性の測定毎に、Ｓ３１において、清掃が行われるのである。吸着ノズル１８によって設定時間ずつ対向面３４ｆ、３６ｆにエアが供給され、エア供給装置５９によって設定時間の間、対向面３６ｆにエアが供給される。これら吸着ノズル１８によるエアの供給とエア供給装置５９によるエアの供給とは並行して行われるようにしても、順番に行われるようにしてもよい。【００４２】
このように、本実施例においては、対向面３４ｆ、３６ｆへのエアの供給が、部品ｓの電気的特性の測定毎に、毎回行われる。そのため、対向面３４ｆ、３６ｆへの異物の付着を未然に防止することができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を良好に抑制することができる。本実施例においては、制御装置１００のＳ９（図１１のフローチャートで表される清掃ルーチン）を記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成される。【００４３】
また、本実施例においては、部品ｓの電気的特性の測定の前に撮像が行われ、測定の後に、清掃の要否判定、清掃が行われるようにすることもできる。その場合のLCR測定プログラムの一例を図１２のフローチャートに示す。Ｓ２において、部品ｓが保持台３２に載せられ、Ｓ３において、可動子３６が前進させられる前、すなわち、Ｓ２ａにおいて（初期状態において）、マークカメラ２３によって対向面３４ｆ、３６ｆが撮像される。そして、Ｓ８の実行後（廃棄状態）、Ｓ９´において、清掃ルーチンが実行される。Ｓ９´においては、図８のフローチャートのＳ２２以降が実行される。初期状態において撮像された一対の対向面３４ｆ、３６ｆの各々の画像に基づいて、廃棄状態において、対向面３４ｆ、３６ｆの各々についての清掃の要否判定が行われ、対向面３４ｆ、３６ｆの少なくとも一方について清掃が必要であると判定された場合に、清掃が行われるのである。本実施例は、マークカメラ２３によって撮像された画像の処理に長時間を要する場合に有効である。また、清掃が不要であると判定された場合には、吸着ノズル１８を測定装置２６へ移動させる必要がないため、装着ヘッド１６の無駄な移動を少なくすることができ、消費電力の低減を図ることができる。【００４４】
本実施例においては、図１２のフローチャートのＳ２ａ、Ｓ９´を記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成され、そのうちの、Ｓ２２を記憶する部分、実行する部分等により清掃要否判定部が構成される。【００４５】
さらに、マークカメラ２３をｚ軸に対して傾斜可能に取り付けることは不可欠ではなく、マークカメラ２３を、光軸がｚ軸と平行に伸びた姿勢で取り付けることもできる。
【実施例２】
【００４６】
本実施例においては、一対の測定子３７による部品ｓの測定回数が設定測定回数に達した場合に、対向面３４ｆ、３６ｆの両方の清掃が必要であると判定される。装着機のその他の部分については、実施例１の装着機の構成と同様であり、図７のフローチャートで表されるLCR測定プログラムが実行される。【００４７】
図１３のフローチャートで表される回数カウントプログラムが設定時間毎に実行される。Ｓ４１において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。判定がＹＥＳである場合には、Ｓ４２において、回数カウンタが１増加させられる。Ｓ４３において、回数カウンタによってカウントされたカウント値である測定回数Ｃが設定測定回数Ｃｔｈに達したか否かが判定され、カウント値が設定測定回数Ｃｔｈに達する前には、回数カウンタによる測定回数のカウントが継続して行われる。そして、測定回数Ｃが設定測定回数Ｃｔｈに達した場合には、Ｓ４４において、清掃要フラグがＯＮとされ、Ｓ４５において回数カウンタのカウント値が０にされる。【００４８】
回数カウンタによる測定回数のカウント中に、装着機のメインスイッチがＯＦＦにされた場合には、その時点のカウント値が記憶部１１２に記憶される。そして、次に、メインスイッチがＯＮになった場合に、そのカウント値が読み込まれて、測定回数が累積してカウントされる。【００４９】
清掃ルーチンの一例を図１４のフローチャートに示す。
清掃ルーチンは上記実施例における場合と同様に、LCR測定プログラムのＳ９において（廃棄状態において）実行される。
Ｓ５１において、清掃要フラグがＯＮであるか否かが判定される。判定がＹＥＳである場合には、Ｓ５２において、吸着ノズル１８が、対向面３４ｆ、３６ｆの上方へ、それぞれ、移動させられ、下降させられる。そして、その位置において、電磁弁２２ｖの制御により、吸着ノズル１８の先端部から設定時間ずつエアが噴出させられる。また、電磁弁７３等の制御により、設定時間の間、エア通路６０からエアが対向面３６ｆに向かって噴出させられる。その後、Ｓ５３において、清掃要フラグがＯＦＦとされる等の終了処理が行われる。【００５０】
このように、本実施例においては、清掃において、対向面３４ｆ、３６ｆの各々に、設定時間ずつエアが供給される。そのため、対向面３４ｆ、３６ｆに付着した異物が良好に除去されない場合もあるが、その場合には、作業者によって清掃が行われる。しかし、この場合においても、対向面３４ｆ、３６ｆには、予めエアが供給されるため、作業者による対向面３４ｆ、３６ｆの清掃作業を軽減することができる。【００５１】
なお、測定回数は、実際に、固定子３４と可動子３６との間に電圧が印加される毎にカウントされるようにしたり、LCR検出部４２によって電気的特性が求められる毎にカウントされるようにしたりすること等もできる。本実施例においては、制御装置１００の図１３のフローチャートで表される測定回数カウントプログラムを記憶する部分、実行する部分等により測定回数カウント部が構成され、測定回数カウント部、Ｓ９（図１４のフローチャートで表される清掃ルーチン）を記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成される。
【実施例３】
【００５２】
本実施例においては、一対の測定子３７によって部品ｓの電気的特性が測定される時間の累計である測定時間が設定測定時間に達した場合に、対向面３４ｆ、３６ｆの両方について清掃が必要であると判定される。装着機のその他の部分については、実施例２に係る装着機の構成と同様である。
図１５のフローチャートで表される測定時間計測プログラムは予め定められた設定時間毎に実行される。Ｓ６１において、測定状態にあるか否かが判定される。すなわち、固定子３４と可動子３６とによって部品ｓが把持されて、電圧が印加された状態にあるか否かが判定されるのである。測定状態にある場合には、判定がＹＥＳとなり、Ｓ６２において、タイマ１２４によって時間が計測される。Ｓ６３において、測定時間ｔが設定測定時間Ｔｓに達したか否かが判定される。判定がＹＥＳである場合には、Ｓ６４において、清掃要フラグがＯＮとされ、Ｓ６５において、タイマがクリアされる。【００５３】
本実施例においては、実施例２における場合と同様に、装着機のメインスイッチがＯＦＦにされた場合には、計測された測定時間が記憶部１１２に記憶される。次にメインスイッチがＯＮとされた場合には、その記憶された測定時間から計測が開始される。また、図１４のフローチャートで表される清掃ルーチンが実行されるようにすることができる。【００５４】
なお、固定子３４、可動子３６によって部品ｓが把持された時間の累計を広義の測定時間と称することもできる。この場合には、図９Ｂのクランプ状態，図９Ｃの測定状態にある時間が計測される。【００５５】
本実施例においては、制御装置１００の図１５のフローチャートで表される測定時間計測プログラムを記憶する部分、実行する部分、Ｓ９（図１４のフローチャートで表される清掃ルーチン）を記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成される。
【実施例４】
【００５６】
本実施例においては、図１６に示すように、測定装置に固定型エア供給装置５９の代わりに固定型エア供給装置（以下、エア供給装置と略称する）１５０が設けられる。装着機のその他の部分については実施例１の装着機の構成と同様とし、図７または図１２のフローチャートで表されるLCR測定プログラムが実行される。また、Ｓ９においては、図８、図８(Ｓ２１を除く)または図１１のフローチャートで表される清掃ルーチンが実行される。その場合において、エア供給装置１５０が作動させられる。また、吸着ノズル１８によるエアの供給を行う必要は必ずしもない。【００５７】
エア供給装置１５０は、エア噴出部６０ｂに加えて、図１６に示すように、可動子１５２に設けられたエア噴出部１５４を含む。エア噴出部１５４は、噴出通路１５４ｓ、開口１５４ａを含む。噴出通路１５４ｓは、概してｙ方向に、固定子３４に近づくにつれて下方に向かって傾斜して伸びたものであり、開口１５４ａは、固定子３４の対向面３４ｆに対向する。噴出通路１５４ｓは、エア通路１５６により、エア通路６０に接続される。また、開口１５４ａから噴出したエアは、固定子３４の対向面３４ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分ＲＭに供給される。
本実施例においては、清掃において、エア供給装置１５０によって、可動子３６の対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとの両方に向かって、それぞれ、エアが噴出させられる。それにより、対向面３４ｆ、３６ｆに付着した異物を除去することができる。
【実施例５】
【００５８】
本実施例においては、測定装置が、図１７，１８に示すように、清掃装置としてのワイパ装置１７０を含むものである。装着機のその他の部分については実施例１の装着機の構成と同様とし、図７または図１２のフローチャートで表されるLCR測定プログラムが実行される。また、Ｓ９においては、図８、図８（Ｓ２１を除く）または図１１のフローチャートで表される清掃ルーチンが実行されるが、この場合において、エア供給装置５９、吸着ノズル１８によるエアの供給に加えて、または、エア供給装置５９、吸着ノズル１８の少なくとも一方によるエアの供給に代えてワイパ装置１７０を作動させることができる。【００５９】
ワイパ装置１７０は、本体１７２、本体１７２に回転可能に保持された回転軸１７４、回転軸１７４に一体的に回転可能に保持されたロッド１７６、回転軸１７４に連結された電動モータ１８０等を含む。ロッド１７６の先端部には不織布等のワイパ１７８が設けられる。また、回転軸１７４は、電動モータ１８０の回転に伴って回転させられ、ワイパ１７８が回転させられる。本実施例において、ワイパ装置１７０は可動子３６に取り付けられるが、固定子３４に取り付けることもできる。【００６０】
清掃が行われない場合には、図１８の実線が示すように、ロッド１７６は、ｘ、ｙ平面内に位置し、ワイパ１７８は可動子３６の対向面３６ｆから離間した非作用位置にある。清掃が行われる場合には、図１８の２点鎖線が示すように、ロッド１７６が上下方向に伸び、ワイパ１７８が対向面３６ｆに接触する作用位置とされる。この作用位置において、矢印が示すように、電動モータ１８０によりワイパ１７８が往復移動させられる。それにより、対向面３６ｆに付着した異物を除去することができる。なお、ロッド１７６の先端には、ワイパ１７８の代わりにブラシまたははけを取り付けることもできる。
【実施例６】
【００６１】
測定装置は、図１９に示す構造を成すものとすることができる。本装着機の制御装置１００には、図２０のフローチャートで表されるLCR測定プログラムが記憶されて、実行される。本装着機のその他の部分については、実施例１の装着機の構成と同様とする。
本測定装置２００は、複数の測定台２０２を含み、複数の測定台２０２の各々には、それぞれ、一対または２対の電極対２０４が突出して設けられる。また、測定装置２００は、測定台保持体２０６を介してごみ箱２７に取り付けられる。
そして、吸着ノズル１８によって部品ｓが保持された状態で、部品ｓの電極部が一対の電極対２０４に接触させられ、電気的特性が測定される。また、電気的特性が測定された後に、部品ｓはごみ箱２７へ廃棄される。
なお、本実施例においては、吸着ノズル１８として絶縁性を有する材料で形成された絶縁ノズルが用いられる。【００６２】
本実施例においては、図２０のフローチャートで表されるLCR測定プログラムが実行される。Ｓ７１において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。測定指令が出された場合には、Ｓ７２において、吸着ノズル１８によって、部品供給装置６によって供給された部品ｓがピックアップされて、一対の電極対２０４に接触させられる。Ｓ７３において、吸着ノズル１８によって部品ｓが保持された状態で電気的特性が測定される。その後、部品ｓを保持する吸着ノズル１８が電極対２０４から離間させられる。Ｓ７４において、マークカメラ２３が、電極対２０４を構成する電極をそれぞれ撮像可能な位置へ移動させられ、それぞれの位置において、電極が撮像される。また、Ｓ７５において、部品ｓがごみ箱２７へ廃棄される。Ｓ７６において、清掃ルーチンが実行され、Ｓ７７において、終了処理が行われる。なお、マークカメラ２３が、一対の電極対２０４を同時に撮像可能である場合には、一対の電極対２０４を同時に撮像可能な位置へ移動させられ、撮像する。【００６３】
Ｓ７６の清掃ルーチンを図２１のフローチャートに基づいて説明する。
Ｓ８１において、マークカメラ２３によって撮像された画像に基づいて清掃の要否判定が行われる。清掃が必要である場合には、Ｓ８２において、吸着ノズル１８が電極対２０４を構成する２つの電極の上方へそれぞれ移動させられ、下降させられる。そして、電磁弁２２ｖの制御により、設定時間の間、正圧が吸着ノズル１８の先端部から電極に向かってそれぞれ噴出させられ、清掃が行われる。【００６４】
本実施例において、制御装置１００の図２０のフローチャートで表されるLCR測定プログラムのＳ７４，７６（図２１のフローチャートで表される清掃ルーチン）を記憶する部分、実行する部分等により清掃制御装置が構成され、Ｓ８１を記憶する部分、実行する部分等により清掃要否判定部が構成される。なお、Ｓ７４の撮像は、清掃ルーチンにおいて実行されるようにすることもできる。また、Ｓ７４，８１のステップは不可欠ではない。【００６５】
以上、上記各実施例においては、部品ｓの電気的特性の測定に関連して清掃が行われる場合について説明したが、電気的特性の測定とは関係なく、専用に、清掃が行われるようにすることができる。例えば、吸着ノズル１８によって部品が保持されることなく、装着ヘッド１６が測定装置２６，２００へ移動させられ、清掃が行われるようにすることができる。
また、上記複数の実施例の２つ以上を互いに組み合わせて実施することができる等、その他、本開示は、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００６６】
８：ヘッド移動装置  １６：装着ヘッド  ８：吸着ノズル  １９：マークカメラ  ２２：正圧源  ２２ｖ：電磁弁  ２６：測定装置  ３０：本体  ３０ａ：開口  ３４：固定子  ３６：可動子  ３４ｆ，３６ｆ：対向面  ５９：エア供給装置  ６０：エア通路  ６０ｂ：エア噴出部  ６０ｓ:噴出通路  ６８：エア源  ７３：電磁弁  １００：制御装置  １５０：エア供給装置  １５４：エア噴出部  １５４ｓ：噴出通路  １７０：ワイパ装置  ２００：測定装置  ２０４：電極対
【特許請求可能な態様】
【００６７】
以下の各項に、特許請求可能な態様を記載する。
（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機であって、
前記部品に接触することにより、前記部品の電気的特性を測定する一対の測定子と、
前記一対の測定子のうちの少なくとも一方の測定子の清掃を行う清掃装置と、
予め定められたタイミングで、前記清掃装置を作動させる清掃制御装置と
を含む装着機。
例えば、清掃装置によって、一対の測定子の一方の清掃が行われる場合には、作業者は、その一方の測定子の清掃を行う必要性が低くなり、その分、清掃等のメンテナンス作業を軽減することができる。
また、清掃は、部品の電気的特性の測定と関連して、または、部品の電気的特性の測定と関連しないで、行われるようにすることができる。
【００６８】
（２）前記清掃制御装置が、前記一対の測定子によって前記部品の電気的特性の測定が行われる毎に、前記清掃装置を作動させるものである(1)項に記載の装着機。
例えば、清掃は定期的に行われるようにすることができる。
【００６９】
（３）前記清掃制御装置が、前記一対の測定子による前記部品の電気的特性の測定回数をカウントする測定回数カウント部を含み、前記測定回数カウント部によってカウントされた前記測定回数が予め定められた設定測定回数に達した場合に、前記清掃装置を作動させるものである(1)項に記載の装着機。
【００７０】
（４）前記清掃制御装置が、前記一対の測定子が前記部品の電気的特性を測定するのに要する時間の合計である測定時間を計測するタイマを含み、前記タイマにより計測された測定時間が予め定められた設定測定時間に達した場合に、前記清掃装置を作動させるものである(1)項または(3)項に記載の装着機。
測定時間は、一対の測定子が部品に接触して電圧が印加されている時間の合計としたり、一対の測定子が部品に接触している時間の合計としたりすること等ができる。
【００７１】
（５）当該装着機が、前記一対の測定子を撮像可能な撮像装置を含み、
前記清掃制御装置が、前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて、前記一対の測定子の各々について、清掃の要否を判定する清掃要否判定部を備え、その清掃要否判定部によって前記一対の測定子のうちの少なくとも一方について清掃が必要であると判定された場合に、前記清掃装置を作動させるものである(1)項、(3)項、(4)項のいずれか１つに記載の装着機。
撮像装置は、装着機に固定的に設けられたものであっても、移動可能に設けられたものであってもよい。また、撮像装置は、レンズの光軸が上下方向と平行となる姿勢で取り付けたり、上下方向に対して傾斜可能に取り付けたりすること等ができる。
【００７２】
（６）当該装着機が、前記部品を保持する部品保持装置と、その部品保持装置を移動させる移動装置とを含み、
前記撮像装置が、前記移動装置により移動可能とされ、
前記清掃制御装置が、前記移動装置に、前記撮像装置を、前記撮像装置が前記一対の測定子の各々を撮像可能な位置に移動させ、それぞれの位置において、前記撮像装置に、前記一対の測定子の各々を撮像させる(5)項に記載の装着機。
撮像装置のレンズの視野、一対の測定子の間隔等により、撮像装置によって、一対の測定子の２つの測定子を１回の撮像で撮像可能である場合、２つの測定子をそれぞれ別個に撮像する必要がある場合等がある。前者の場合には、撮像装置は、一対の測定子の両方を撮像可能な位置へ移動させられ、一対の測定子の両方を撮像する。後者の場合には、撮像装置は、一対の測定子の一方に対応する位置へ移動させられて一方の測定子を撮像し、次に、一対の測定子の他方に対応する位置へ移動させられて他方の測定子を撮像する。
【００７３】
（７）前記清掃装置が、前記一対の測定子の各々の前記部品に接触する部分に付着した異物をそれぞれ除去するものである(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の装着機。
測定子の部品に接触する部分には、部品のメッキ等が付着し易い。そのことから、異物にはメッキ等が該当する。
【００７４】
（８）前記清掃装置が、前記少なくとも一方の測定子にエアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(7)項のいずれか１つに記載の装着機。
測定子に付着した異物は、エアを供給することにより除去することが可能である。エア供給装置は、測定子の部品と接触する部分に向かってエアを噴出させて、供給するものとしたり、測定子の部品と接触する部分に沿ってエアが流れるように、測定子にエアを供給するものとしたりすること等ができる。
【００７５】
（９）前記エア供給装置が、エア源と、一端部においてエア源に接続され、他端部が開口とされたエア通路と、そのエア通路に設けられた電磁弁とを含む(8)項に記載の装着機。
【００７６】
（１０）当該装着機が、前記部品を保持する部品保持装置と、その部品保持装置を移動させる移動装置とを含み、
前記部品保持装置が、負圧により前記部品を保持し、正圧により前記部品を放す吸着ノズルを含み、
前記清掃制御装置が、前記移動装置に、前記吸着ノズルを前記少なくとも一方の測定子に対応する位置へそれぞれ移動させて、各々の位置において、前記正圧を前記吸着ノズルから前記少なくとも一方の測定子に供給させるものであり、
前記吸着ノズルが、前記エア供給装置の構成要素とされた(8)項または(9)項に記載の装着機。
吸着ノズルは、内部に形成されたエア通路を含み、エア通路に正圧源と負圧源とが選択的に連通させられる。
【００７７】
（１１）前記一対の測定子が、前記部品が前記吸着ノズルにより保持された状態で、前記部品の電気的特性を測定するものであり、
前記清掃制御装置が、前記部品の電気的特性の測定の終了後、前記吸着ノズルから前記部品が放された後に、前記移動装置に、前記吸着ノズルを前記少なくとも一方の測定子の各々に対応する位置へそれぞれ移動させて、それぞれの位置において、前記正圧を前記吸着ノズルから前記少なくとも一方の測定子の各々に供給させるものである(8)項ないし(10)項のいずれか１つに記載の装着機。
部品の電気的特性の測定前、測定中においては、吸着ノズルは部品を保持する状態にあるため、清掃を行うことができない。そのため、吸着ノズルが、電気的特性の測定後、部品を放した後、次の部品の電気的特性の測定が開始される前に清掃を行うことが望ましい。また、測定後の部品はごみ箱へ廃棄される場合、基板への装着に利用される場合等がある。
【００７８】
（１２）前記一対の測定子が、互いに接近・離間可能に設けられ、互いに接近させられることにより前記部品を把持して、前記部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記エア供給装置が、前記少なくとも一方の測定子に設けられ、前記一対の測定子の一方から他方に向かってエアを噴出する少なくとも１つのエア噴出部を含む(8)項ないし(10)項のいずれか１つに記載の装着機。
エア噴出部は、一対の測定子の双方に設けても、いずれか一方に設けてもよい。
【００７９】
（１３）前記清掃制御装置が、前記一対の測定子が互いに離間した状態で、前記少なくとも１つのエア噴出部に、前記他方の測定子に向かって前記エアを噴出させるものである(12)項に記載の装着機。
【００８０】
（１４）前記一対の測定子が、
初期状態において、互いに離間した状態にあり、
測定状態において、互いに接近させられることにより前記部品を把持して、前記電気的特性を測定し、
廃棄状態において、互いに離間させられることにより前記部品を放し、廃棄させるものである(1)項ないし(10)項、(12)項または(13)項のいずれか１つに記載の装着機。
廃棄状態において、一対の測定子の間の下方は開口とされ、廃棄通路に連通させられる。
【００８１】
（１５）前記清掃制御装置が、前記廃棄状態において、前記清掃装置に前記少なくとも一方の測定子の清掃を行わせるものである(14)項に記載の装着機。
【００８２】
（１６）当該装着機が、前記一対の測定子を撮像可能な撮像装置を含み、
前記清掃制御装置が、前記初期状態において、前記撮像装置に、前記一対の測定子を撮像させ、前記廃棄状態において、前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて前記一対の測定子の各々についての前記清掃の要否を判定し、前記清掃が必要であると判定された少なくとも一方の測定子の清掃を、前記清掃装置に行わせる(14)項または(15)項に記載の装着機。
清掃の要否判定は廃棄状態において行われるようにすることができる。
【００８３】
（１７）当該装着機が、前記一対の測定子を撮像可能な撮像装置を含み、
前記清掃制御装置が、前記廃棄状態において、前記撮像装置に前記一対の測定子の撮像を行わせ、その撮像画像に基づいて前記一対の測定子の各々についての清掃の要否を判定し、前記清掃が必要であると判定された少なくとも一方の測定子の清掃を、前記清掃装置に行わせる(14)項または(15)項に記載の装着機。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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