(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセラミック層と複数の導体層とが交互に積層されてなるセラミック多層基板の主面上にオーガニック配線構造部が設けられ、前記オーガニック配線構造部の表面上に、コンデンサ接続用の複数の接続パッド及び複数の検査パッドからなる半導体素子検査用の複数の検査パッド群がそれぞれ形成され、複数の半導体素子の一括検査に使用可能な配線基板であって、
前記オーガニック配線構造部は、複数の樹脂絶縁層と複数の内層導体層とが交互に積層されてなるとともに、最表層が前記樹脂絶縁層により構成され、
前記複数の内層導体層には、同一層内にて複数エリアに分割された状態で配置され、複数層に形成された第１プレーン層と、前記第１プレーン層とは異なる層に配置されかつ当該層内での面積が前記第１プレーン層よりも大きい第２プレーン層とが含まれ、
少なくとも一部の前記接続パッド及び前記複数の検査パッド群毎の少なくとも一部の前記検査パッドが、前記複数の検査パッド群毎にそれぞれ、複数層ある前記第１プレーン層のうち最外層の第１プレーン層における互いに異なるエリアの部分を介して電気的に接続されている
ことを特徴とする検査用配線基板。
【請求項２】
前記第１プレーン層はパワー用のプレーン層であり、前記第２プレーン層はグランド用のプレーン層であることを特徴とする請求項１に記載の検査用配線基板。
【請求項３】
複数層ある前記第１プレーン層は、パワー用のプレーン層でありかつそれぞれ異なる電圧の電源電流が流されるものであり、前記最外層の第１プレーン層は、複数層ある前記パワー用のプレーン層のうち最も低電圧の電源電流が流されるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の検査用配線基板。
【請求項４】
前記接続パッド及び前記複数の検査パッド群毎の前記検査パッドは、前記最外層の第１プレーン層のうち互いに異なるエリアの部分を介して、電気的に接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査用配線基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の半導体素子の一括検査に使用可能な検査用配線基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の半導体素子が形成されたウェハの電気検査には、プローブカードと呼ばれる試験治具が用いられる。この種のプローブカードは、多数のプローブを持つＳＴＦ（スペーストランスフォーマー）と称される検査用配線基板を備えている。このような検査用配線基板は、通常、中継基板を介してプリント配線板上に搭載されている。これを用いた電気検査では、テスタにプローブカードを電気的に接続するとともに、多数のプローブを半導体素子の接続端子に当接させる。そしてこの状態でテスタから電源供給を行い、試験に必要な各種信号を入出力させることにより、半導体素子の導通等が正常であるか否かが判断できるようになっている。
【０００３】
ところで、近年においては、半導体素子の電気検査の効率化を図るために、検査対象となる半導体素子（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）を複数個とし、それらを一括して同時に検査することが要求されている。このため、上記のようなＭｕｌｔｉ  ＤＵＴでの一括検査を可能とするプローブカードが従来提案されるに至っている（例えば、特許文献１を参照）。また、このような検査を行う場合、単なる導通試験だけではなく、半導体素子が正常に機能しているか否かについての試験も行いたいという要望がある。そのため、検査用配線基板に各種電子部品を搭載することも従来提案されている。
【０００４】
ここで、図９に示す従来の検査用配線基板１０１は、セラミック多層基板１０２を主体としており、その主面１０３上に例えば樹脂絶縁層１０４を介して薄膜の導体層１０５が１層形成された構造を備えている。薄膜の導体層のうちの一部は、複数の検査パッドであり、それらパッドの上にはプローブが設けられる。また、薄膜の導体層１０５のうちの他のものは、コンデンサ接続用の複数の接続パッドであり、それらパッドの上にはチップコンデンサが接続される。なお、上記特許文献１における従来の検査用配線基板も、基本的にこれと同様の構造を備えている。また、図１０に示す従来の検査用配線基板１１１は、複数の樹脂絶縁層と複数の導体層とが交互に積層されたオーガニック多層配線基板１１２からなり、その主面１１３上に導体層１１４（複数の検査用パッド、複数のコンデンサ接続用の接続パッド）が形成された構造を備えている。そして、これらの検査用配線基板１０１，１１１を用いた場合、例えば、複数の電源チャンネルを設け、それぞれ電圧値の異なる駆動電源を与えて半導体素子を動作させる試験などを行うことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２５７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、電圧値の異なる駆動電源で動作試験を行うためには、基板表層にあるコンデンサ接続用の接続パッドと、基板内層にあるパワー用のプレーン層との距離を極力短くすることが必要とされる。これに加えて、両者間の距離のばらつきを極力抑えることも必要とされる。
【０００７】
しかしながら、図９の検査用配線基板１０１の場合、焼成を経ることによってセラミック多層基板１０２の内部の内層導体層に反りが発生している。そのため、接続パッドからパワー用のプレーン層までの距離が基板中央部と基板外周部とで異なってしまい、距離にばらつきが生じてしまう。それゆえ、高周波帯での検査精度を十分に向上することができない。また、反りの生じた内層導体層を内部に備えるセラミック多層基板１０２は、焼成後に基板表層が研磨加工されるので、全体の厚さを薄くすることができない。さらに、セラミック多層基板１０２は焼成中に収縮するので、それだけを用いて高い寸法精度を実現することは難しく、検査可能なＤＵＴ数が制限されやすい。
【０００８】
また、オーガニック多層配線基板１１２からなる図１０の検査用配線基板１１１は熱に弱いことから、熱ストレスをかけた条件下での電気検査の場合、シリコンとの熱膨張係数差に起因して、プローブが半導体素子側の接続端子から位置ずれしてしまう。従って、このような条件下におけるＭｕｌｔｉ  ＤＵＴでの一括検査を確実に行うことができない。さらに、図１０の検査用配線基板１１１は、剛性が低く撓みやすい性質を有している。このため、Ｍｕｌｔｉ  ＤＵＴでの一括検査の際、ＤＵＴの位置によってはプローブの接触状態が悪くなるか、あるいは接触できなくなる。よって、この場合も同様に、検査を確実に行うことができない。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、表層にある各種パッドから内層導体層までの距離が短くかつばらつきが小さいため高周波帯での検査精度を向上することができ、また、熱ストレス下での複数の半導体素子の一括検査を確実に行うことができる検査用配線基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして上記課題を解決するための手段（手段１）としては、複数のセラミック層と複数の導体層とが交互に積層されてなるセラミック多層基板の主面上にオーガニック配線構造部が設けられ、前記オーガニック配線構造部の表面上に、コンデンサ接続用の複数の接続パッド及び複数の検査パッドからなる半導体素子検査用の複数の検査パッド群がそれぞれ形成され、複数の半導体素子の一括検査に使用可能な配線基板であって、前記オーガニック配線構造部は、複数の樹脂絶縁層と複数の内層導体層とが交互に積層されてなるとともに、最表層が前記樹脂絶縁層により構成され、前記複数の内層導体層には、同一層内にて複数エリアに分割された状態で配置され、複数層に形成された第１プレーン層と、前記第１プレーン層とは異なる層に配置されかつ当該層内での面積が前記第１プレーン層よりも大きい第２プレーン層とが含まれ、少なくとも一部の前記接続パッド及び前記複数の検査パッド群毎の少なくとも一部の前記検査パッドが、前記複数の検査パッド群毎にそれぞれ、複数層ある前記第１プレーン層のうち最外層の第１プレーン層における互いに異なるエリアの部分を介して電気的に接続されていることを特徴とする検査用配線基板、がある。
【００１１】
従って、手段１に記載の発明によると、セラミック多層基板の主面上に多層構造のオーガニック配線構造部を設け、その配線構造部が有する複数層の第１プレーン層のうち最外層の第１プレーン層を介して、少なくとも一部の接続パッド及び複数の検査パッド群毎の少なくとも一部の検査パッドを電気的に接続している。ゆえに、セラミック多層基板の内層導体層を介して両パッドを接続した従来のものと比べて、両パッドから内層導体層までの距離を短くし、かつ距離のばらつきを小さくすることができる。このため、高周波帯での微弱電流を用いた試験の検査精度を向上することができる。また、セラミック多層基板をベースとしてその上にオーガニック配線構造部を設けた構造であることから、オーガニック多層配線基板からなる従来のものとは異なり、基板全体として耐熱性や剛性が向上する。よって、シリコンとの熱膨張係数差が小さくなり、熱ストレスをかけた条件下での電気検査の際でも、検査パッドが半導体素子側の接続端子から位置ずれしにくくなる。従って、このような条件下での一括検査を確実に行うことができる。さらに、剛性の向上によって一括検査の際でも基板が撓みにくくなり、試験対象となる半導体素子の位置の如何を問わず、検査パッド上のプローブを確実に半導体素子側の接続端子に接触させることができる。よって、この場合も同様に、一括検査を確実に行うことができる。しかも、上記従来技術の検査用配線基板に比べて、検査対象となる半導体素子の数を増やすことが可能となる。
【００１２】
オーガニック配線構造部の表面上の所定領域には、複数の検査パッドからなる半導体素子検査用の複数の検査パッド群がそれぞれ形成される。また、同じ表面上における異なる領域には、コンデンサ接続用の複数の接続パッドが形成される。ここで、複数の検査パッド群は、検査対象となる半導体素子の数（即ちＤＵＴ数）に対応して設けられている。検査パッド群の設置数は限定されず任意であるが、本発明の検査用配線基板では１０以上とすることが可能である。ちなみに、セラミック多層基板をベースとする従来技術の検査用配線基板の場合、一括検査可能なＤＵＴ数が最大で４個であるため、検査パッド群の設置数は通常４以下とされる。オーガニック多層配線基板からなる従来技術の検査用配線基板の場合、一括検査可能なＤＵＴ数が最大で２個であるため、検査パッド群の設置数は通常２以下とされる。
【００１３】
複数の検査パッドからなる複数の検査パッド群、複数の接続パッドからなる複数の接続パッド群は、オーガニック配線構造部の表面上であれば特に限定されず、任意の領域に配置されることができる。この場合において、例えば、複数の検査パッド群は、ＤＵＴ側のレイアウトを考慮して基板中央部に集約して配置されることが好ましく、複数の接続パッド群は複数の検査パッド群を取り囲むように基板外周部に配置されることが好ましい。
【００１４】
オーガニック配線構造部は、複数の樹脂絶縁層と複数の内層導体層とが交互に積層されてなるとともに、最表層が樹脂絶縁層により構成されている。樹脂絶縁層及び内層導体層の層数は限定されず、各々２層以上の任意の数とすればよいが、例えば各々４層以上とすることが好ましく、各々６層以上とすることがより好ましい。その理由は、樹脂絶縁層及び内層導体層の層数が多ければ、複数の電源チャンネルを設け、それぞれ電圧値の異なる駆動電源を与えて半導体素子を動作させる試験を実施するうえで好適なものとなるからである。
【００１５】
オーガニック配線構造部を構成する複数の樹脂絶縁層は、一般的に知られているビルドアップ方式で形成されるものではなく、絶縁樹脂フィルムを複数枚用いて積層する方式で形成される。前者の方式の場合、内層導体層がある部分とない部分とで厚さばらつきが生じやすいが、後者の方式によれば、フィルムを用いたことで厚さばらつきの解消につながる。このような絶縁樹脂フィルムとしては、絶縁性、耐熱性、耐湿性等を考慮して適宜選択することができ、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等のフィルムが例として挙げられる。これらの中でも耐熱性、強度等に優れたポリイミド樹脂からなるフィルムを選択することが好ましく、その場合には熱ストレス下でのＭｕｌｔｉ  ＤＵＴ検査に適した検査用配線基板を実現しやすくなる。
【００１６】
また、上記の絶縁樹脂フィルムの厚さは特に限定されず任意であるが、例えば、１０μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。この程度の厚さとすることにより、絶縁樹脂フィルムの剛性を維持しつつ、接続パッドから特定の内層導体層（第１プレーン層）までの距離を確実に短くすることができる。なお、この厚さが１０μｍ未満であると絶縁樹脂フィルムの剛性が低下するおそれがあり、５０μｍ超であると前記距離を短くすることが難しくなる。
【００１７】
オーガニック配線構造部を構成する複数の内層導体層及び表層の導体層（接続パッド、検査パッド）は、例えば、銅、ニッケル、金、スズ、銀、タングステン、コバルト、チタン、またはこれらの合金等といった導電性金属を用いて形成される。これらのなかでも、コスト性及び導電性等の観点から銅が好ましい。このような導電性金属からなる導体層は、例えば、あらかじめ絶縁樹脂フィルムに貼着されている金属箔を必要に応じてエッチング等することで形成される。この場合、具体的には、ポリイミドフィルムの片面に銅箔を貼着した銅箔付きポリイミドシートを用いることが好適である。このような材料を用いることにより、検査用配線基板の製造時間を確実に短縮することができる。
【００１８】
オーガニック配線構造部における複数の内層導体層には、同一層内にて複数エリアに分割された状態で配置された第１プレーン層と、第１プレーン層とは異なる層に配置されかつ当該層内での面積が第１プレーン層よりも大きい第２プレーン層とが含まれている。ここで、第１プレーン層は例えば電源電流を供給するためのパワー用のプレーン層であることが好ましく、第２プレーン層は例えばグランド用のプレーン層であることが好ましい。第１プレーン層であるパワー用のプレーン層は、オーガニック配線構造部における複数層に形成されており、それらに対して異なる電圧値の電源電流が流されてもよい。そして、このようにパワー用のプレーン層を複数層設定することで、最外層の第１プレーン層に、最も低電圧の電源電流を流すようにしてもよい。この場合、例えば半導体素子を動作させることができる最低限の電圧を与えた条件での動作試験を行うことが可能となる。また、接続パッド及び複数の検査パッド群毎の検査パッドは、最外層の第１プレーン層のうち互いに異なるエリアの部分を介して、電気的に接続されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の検査用配線基板を具体化した実施形態のプローブカードの概略図。
【図２】実施形態のプローブカードを構成する検査用配線基板の概略平面図。
【図３】実施形態の検査用配線基板の概略断面図。
【図４】実施形態の検査用配線基板の要部拡大断面図。
【図５】実施形態の検査用配線基板の製造方法において、ポリイミドフィルムに銅箔を貼着した銅箔付きポリイミドシートを示す要部拡大断面図。
【図６】上記製造方法において、内層導体層及びビア導体の形成後の状態を示す要部拡大断面図。
【図７】上記製造方法において、オーガニック配線構造部を構成する各シート材と、セラミック配線基板とを積層する工程を示す要部拡大断面図。
【図８】上記製造方法において、積層一体化されたオーガニック配線構造部及びセラミック配線基板を示す要部拡大断面図。
【図９】セラミック多層基板を主体とする従来の検査用配線基板の概略断面図。
【図１０】オーガニック多層配線基板からなる従来の別の検査用配線基板の概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の検査用配線基板を具体化した実施形態のプローブカードを図１〜図８に基づき詳細に説明する。
【００２１】
図１に示されるように、本実施形態のプローブカード１１は、複数の半導体素子が形成されたウェハの電気検査を一括して行うための試験治具である。このプローブカード１１は、図示しないテスタに電気的に接続されるプリント配線板１２上に、中継基板１３を介してＳＴＦと称される検査用配線基板２１を搭載した構造を備えている。
【００２２】
図１〜図４に示されるように、本実施形態の検査用配線基板２１は、セラミック多層基板３１と、そのセラミック多層基板３１の主面３２上に設けられたオーガニック配線構造部４１とを備えている。
【００２３】
図３に示されるように、本実施形態のセラミック多層基板３１は、複数のセラミック層３３と複数の導体層３４とが交互に積層されてなる構造を有している。各セラミック層３３は、例えばアルミナの焼結体であり、導体層３４は、例えば、タングステン、モリブデン、または、これらの合金からなるメタライズ層である。各セラミック層３３には厚さ方向に貫通する内径６０μｍ程度の貫通孔３６が形成され、貫通孔３６内には導体層３４に接続される貫通導体３７が形成されている。さらに、このセラミック多層基板３１の主面３２上には、貫通導体３７のある位置に対応して複数の接続端子３８が設けられている。各接続端子３８は、断面円形状をなし、直径が１．０ｍｍ程度に設定されている。
【００２４】
図２〜図４に示されるように、本実施形態のオーガニック配線構造部４１は、複数の樹脂絶縁層４３〜４９と複数の内層導体層５１とが交互に積層された構造を有している。本実施形態の各樹脂絶縁層４３〜４９は、ポリイミドフィルムからなる絶縁層である。このポリイミドフィルム７２は、具体的に言うと、ポリイミド系の熱硬化性樹脂からなる第１層と、第１層の両面に形成されたポリイミド系の熱可塑性樹脂からなる第２層とにより構成されている。本実施形態では、第１層の厚さが１５μｍ程度に設定され、第２層の厚さが５μｍ程度に設定されている。よって、各樹脂絶縁層４３〜４９の厚さは２５μｍ程度となっている。また、本実施形態の内層導体層５１は上記ポリイミドフィルム７２に貼着された銅箔７３に由来する銅層であり、その厚さは５μｍ程度に設定されている。
【００２５】
各樹脂絶縁層４３〜４９にはビア孔５２が貫通形成され、これらのビア孔５２内には内層導体層５１同士を接続するビア導体５３が形成されている。各ビア孔５２は断面円形状をなし、内径が３０μｍ程度に設定されている。
【００２６】
図２等に示されるように、オーガニック配線構造部４１の表面４２（即ち、最表層の樹脂絶縁層４９の表面）上には、コンデンサ接続用の複数の接続パッド６１からなる複数の接続パッド群６３と、複数の検査パッド６２からなる半導体素子検査用の複数の検査パッド群６４とがそれぞれ形成されている。本実施形態では、基板中央部に４つの検査パッド群６４が集約して配置されている。検査パッド群６４を構成する複数の検査パッド６２は、直径５０μｍ程度の平面視円形状であってアレイ状に配列されている。接続パッド群６３は、複数の検査パッド群６４を取り囲むように基板外周部に配置されている。接続パッド群６３を構成する複数の接続パッド６１は、検査パッド６２よりも面積の大きい平面視矩形状であって、これらもアレイ状に配列されている。そして、図３，図４に示されるように、一対の接続パッド６１上にはチップコンデンサ６６が搭載されるようになっている。また、検査パッド６２上にはプローブ６７が立設されるようになっている。
【００２７】
ここで、オーガニック配線構造部４１が備える内層導体層５１についてより具体的に説明する。図４に示されるように、本実施形態の内層導体層５１には、第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３と第２プレーン層Ｐ２とが含まれている。最も内層側に位置する１層めの樹脂絶縁層４３の表面上には、第１プレーン層Ｐ１３が設けられている。２層めの樹脂絶縁層４４の表面上には、第２プレーン層Ｐ２が設けられている。３層めの樹脂絶縁層４５の表面上には、第１プレーン層Ｐ１２が設けられている。４層めの樹脂絶縁層４６の表面上には、第２プレーン層Ｐ２が設けられている。５層めの樹脂絶縁層４７の表面上には、第１プレーン層Ｐ１１が設けられている。６層めの樹脂絶縁層４８の表面上には、第２プレーン層Ｐ２が設けられている。即ち、本実施形態では、第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３と第２プレーン層Ｐ２とが交互に配置されている。
【００２８】
また、第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、図２に示されるように、同一層内にて４つのエリアに分割された状態で配置されている。これらの第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、各ＤＵＴに電源電流を供給するためのパワー用のプレーン層となっている。
【００２９】
本実施形態では、図４に示されるように、第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、オーガニック配線構造部４１における複数層に形成されており、それらに対して異なる電圧値の電源電流が流されるようになっている。より具体的にいうと、３つある第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３のうち、最外層の第１プレーン層Ｐ１１は、低電圧電源電流用のパワープレーン層に割り当てられている。言い換えると、この第１プレーン層Ｐ１１は、各々のＤＵＴを動作させることができる最低限の電圧を流すためのものとなっている。表面４２にある接続パッド６１及び検査パッド６２と、第１プレーン層Ｐ１１とは、ビア導体５３を介して電気的に接続されている。また、接続パッド６１及び検査パッド６２から第１プレーン層Ｐ１１までの距離は、ポリイミドフィルム７２のおよそ２層分に相当する厚さ、即ち約５０μｍ〜６０μｍになっている。なお、複数の接続パッド群６３毎の接続パッド６１及び複数の検査パッド群６４毎の検査パッド６２は、図２に示されるように、最外層の第１プレーン層Ｐ１１のうち互いに異なるエリアの部分を介して電気的に接続されている。
【００３０】
第１プレーン層Ｐ１２は、中電圧電源電流用のパワープレーン層に割り当てられている。表面４２にある接続パッド６１及び検査パッド６２と、第１プレーン層Ｐ１２とは、ビア導体５３を介して電気的に接続されている。また、接続パッド６１及び検査パッド６２から第１プレーン層Ｐ１２までの距離は、ポリイミドフィルム７２のおよそ４層分に相当する厚さ、即ち約１１０μｍ〜１２０μｍになっている。
【００３１】
最も深層にある第１プレーン層Ｐ１３は、高電圧電源電流用のパワープレーン層に割り当てられている。表面４２にある接続パッド６１及び検査パッド６２と、第１プレーン層Ｐ１３とは、ビア導体５３を介して電気的に接続されている。また、接続パッド６１及び検査パッド６２から第１プレーン層Ｐ１３までの距離は、ポリイミドフィルム７２のおよそ６層分に相当する厚さ、即ち約１７０μｍ〜１８０μｍになっている。つまり、３系統ある第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３のなかで比較すると、低電圧電源電流用のパワープレーン層に割り当てられている第１プレーン層Ｐ１１を介した導通経路が最も短くなっている。
【００３２】
３層ある第２プレーン層Ｐ２は、グランド用のプレーン層として割り当てられており、いずれも第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３とは異なる層に配置されている。これらの第２プレーン層Ｐ２は、基板面積のほぼ全体を占めるいわゆるベタ状のパターンであって、各層内での面積は第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３よりも大きくなっている。
【００３３】
次に、実施形態の検査用配線基板２１を製造する方法を説明する。ここでは、セラミック多層基板３１と、オーガニック配線構造部４１を構成する各シート材とを別個に作製する。
【００３４】
セラミック多層基板３１については、以下の手順で作製する。アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いてグリーンシートを複数枚形成する。そして、複数枚のグリーンシートに対して、レーザー加工、パンチング加工、ドリル加工等による孔あけを行い、所定位置に貫通孔３６を多数形成する。その後、従来周知のペースト印刷装置を用いて、各貫通孔内に導電性ペースト（例えばタングステンペースト）を充填し、未焼成の貫通導体３７を形成する。さらに、ペースト印刷装置を用いて、各グリーンシートの表面及び裏面に導電性ペーストを印刷し、未焼成の導体層３４を形成する。導電性ペーストの乾燥後、各グリーンシートを重ね合わせてシート積層方向に押圧力を付与することにより、各グリーンシートを一体化してなるセラミック積層体を形成する。次に、セラミック積層体を脱脂し、さらに所定温度で所定時間焼成を行う。その結果、グリーンシートのアルミナ及びペースト中のタングステンが同時焼結し、セラミック多層基板３１が形成される。このようにして得られたセラミック多層基板３１には、表面研磨加工が施される。
【００３５】
オーガニック配線構造部４１を構成する各シート材（パターニング済みの銅箔付きポリイミドシート７１）については、以下の手順で作製する。まず、樹脂絶縁層４３〜４９となるシート材として、厚さ２５μｍのポリイミドフィルム７２の片面に、厚さ５μｍの銅箔７３を貼着した銅箔付きポリイミドシート７１を用意する（図５参照）。この銅箔付きポリイミドシート７１に用いられているポリイミドフィルム７２は、上記のとおり、ポリイミド系の熱硬化性樹脂からなる第１層と、第１層の両面に形成されたポリイミド系の熱可塑性樹脂からなる第２層とにより構成されている。
【００３６】
次に、各々の銅箔付きポリイミドシート７１における所定位置にレーザー加工を施すことにより、シートを厚さ方向に貫通する複数のビア孔５２を形成する。この後、従来公知のペースト印刷装置を用いてビア孔５２内に導電性ペースト（具体的には、銀ペースト）を充填する。そして、１８０℃程度の温度で１時間加熱することにより、ビア導体５３を形成する（図６参照）。続いて、銅箔７３をサブトラクティブ法でパターニングし、それぞれ所定パターンの内層導体層５１を形成する。これらのパターニング済みの銅箔付きポリイミドシート７１は、後に樹脂絶縁層４３〜４８となるものである（図７参照）。なお、後に最表層の樹脂絶縁層４９となるパターニング済みの銅箔付きポリイミドシート７１には、複数の接続パッド群６３及び複数の検査パッド群６４に対応して、ベタ状の中間導体パターン７６がそれぞれ形成される（同じく図７参照）。
【００３７】
続いて、セラミック多層基板３１の主面３２上に、個別に作製された７枚のパターニング済みの銅箔付きポリイミドシート７１を重ね合せるようにして配置する。そして、２００℃〜４００℃程度の温度に加熱した状態で５ｋｇｆ／ｃｍ２〜１００ｋｇｆ／ｃｍ２程度の圧力で加圧する。その結果、樹脂絶縁層４３〜４９とセラミック多層基板３１とが圧着されて一体化する（図８参照）。この後、ベタ状の中間導体パターン７６をサブトラクティブ法にてさらに細かくエッチングする。この工程を経て複数の接続パッド６１及び複数の検査パッド６２を形成し、検査用配線基板２１を完成させる。
【００３８】
従って、本実施の形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００３９】
（１）本実施形態の検査用配線基板２１では、セラミック多層基板３１の主面３２上に多層構造のオーガニック配線構造部４１を設けている。また、そのオーガニック配線構造部４１が有する複数層の第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３のうち最外層の第１プレーン層Ｐ１１を介して、一部の接続パッド６１及び複数の検査パッド群６４毎の一部の検査パッド６２を電気的に接続している。ゆえに、セラミック多層基板の内層導体層を介して両パッドを接続した従来のものと比べて、両パッド６１，６２から内層導体層５１までの距離を短くし、かつ距離のばらつきを小さくすることができる。このため、高周波帯での微弱電流を用いた試験の検査精度を向上することができる。ちなみに、ＡＰＵの電気検査では高周波帯の微弱電流を用いる関係上、パワー・インピーダンスを低く抑える必要があるが、上記構造の検査用配線基板２１はこのような要請に十分応じることができるものとなっている。
（２）また、セラミック多層基板３１をベースとしてその上にオーガニック配線構造部４１を設けた構造であることから、オーガニック多層配線基板のみからなる従来のものとは異なり、基板全体として耐熱性や剛性が向上する。よって、シリコンとの熱膨張係数差が小さくなり、熱ストレスをかけた条件下での電気検査の際でも、検査パッド６２上のプローブ６７が半導体素子側の接続端子から位置ずれしにくくなる。従って、このような条件下での一括検査を確実に行うことができる。さらに、剛性の向上によって一括検査の際でも基板が撓みにくくなり、試験対象となる半導体素子の位置の如何を問わず、検査パッド６２上のプローブ６７を確実に半導体素子側の接続端子に接触させることができる。よって、この場合も同様に、一括検査を確実に行うことができる。しかも、上記従来技術の検査用配線基板に比べて、検査対象となる半導体素子の数を増やすことが可能となる。
【００４０】
（３）本実施形態の検査用配線基板２１では、オーガニック配線構造部４１が７層の樹脂絶縁層４３〜４９と６層の内層導体層５１とを交互に積層してなるものとされている。従って、３つの電源チャンネルを設け、それぞれ電圧値の異なる駆動電源を与えて半導体素子を動作させる試験を確実に実施することができる。
【００４１】
（４）本実施形態の検査用配線基板２１では、オーガニック配線構造部４１を構成する複数の樹脂絶縁層４３〜４９は、一般的に知られているビルドアップ方式で形成されるものではなく、絶縁樹脂フィルムを複数枚用いて積層する方式で形成されている。従って、樹脂絶縁層４３〜４９の各層の厚さばらつきを確実に解消することができ、ひいては両パッド６１，６２から内層導体層５１までの距離のばらつきを確実に小さくすることができる。
【００４２】
（５）本実施形態の検査用配線基板２１の製造方法では、セラミック多層基板３１と、オーガニック配線構造部４１を構成する各シート材（パターニング済みの銅箔付きポリイミドシート７１）とをまず別個に作製しておく。そして、これらを積層一体化することにより検査用配線基板２１を製造するという手順を採用している。従ってこの方法によれば、ビルドアッププロセスを採用した場合と比較して製造のリードタイムを短縮することが可能となり、検査用配線基板２１の低コスト化、製造効率化を図ることができる。
【００４３】
（６）また、本実施形態の検査用配線基板２１の製造方法では、接続パッド６１及び検査パッド６２を１段階のパターニングで形成するのではなく、２段階のパターニングにより形成している。別の言い方をすると、積層圧着工程前に１段階めのエッチングを行って大まかな形状の中間導体パターン７６を形成し、積層圧着工程後に２段階めのエッチングを行って細かい接続パッド６１及び検査パッド６２を形成している。このため、積層圧着化工程における導体の変形や破損が未然に回避され、細かくて形成精度のよい接続パッド６１及び検査パッド６２を確実に形成することができ、歩留まりも向上することができる。
【００４４】
なお、本発明の実施の形態は以下のように変更してもよい。
【００４５】
・上記実施形態では、オーガニック配線構造部４１を構成するビア導体５３を形成するにあたり、導電性ペーストとして銀ペーストを用いたが、これに限定されるものではなく、例えばタングステンペーストやニッケルペーストなどの銅以外の導電性金属を含むペーストを用いてもよい。また、ペースト印刷法以外の方法、例えばめっき法によりビア導体５３を形成してもよい。
【００４６】
・上記実施形態では、セラミック多層基板３１としてアルミナ焼結体からなる基板を用いたが、これに限定される訳ではなく、他の焼結体からなる基板を用いてもよい。また、このような高温焼成セラミック以外にも、ガラスセラミックのような低温焼成セラミックからなる基板を用いることもできる。この場合には、導体の形成に、銀、銅、またはこれらの合金を用いることができる。
【００４７】
・本実施形態では、第１プレーン層Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３としてのパワー用のプレーン層の数を３つとしたが、２つとしてもよく、あるいは４つ以上としても勿論よい。また本実施形態では、第２プレーン層Ｐ２としてのグランド用のプレーン層の間にパワー用のプレーン層を１層配置したが、必要に応じて２層以上配置するようにしてもよい。
【００４８】
・本実施形態ではＤＵＴ数を４としたが、４つを超える数、例えば１０以上としても勿論よい。
【００４９】
・本実施形態では、第２プレーン層Ｐ２が電気的に接地されているグランド用のプレーン層であったが、これに代えて、特にどの導体にも電気的に接続されていないダミーのパターンであってもよい。
【００５０】
・本実施形態では、内層導体層５１がパワー用のプレーン層及びグランド用のプレーン層から構成されていたが、パワー用のプレーン層及びグランド用のプレーン層に加えて、内層導体層５１が信号用の配線を含んでいてもよい。
【００５１】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施の形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００５２】
（１）上記手段１において、前記接続パッド及び前記検査パッドから前記第１プレーン層である前記最外層のパワー用のプレーン層までの距離が７０μｍ以下（好ましくは６０μｍ以下）であること。
（２）上記手段１において、前記第１プレーン層よりも外層側に少なくとも１層の前記第２プレーン層が配置されていること。
（３）上記手段１において、前記第１プレーン層は、低電圧電源電流用のパワープレーン層と、中電圧電源電流用のパワープレーン層と、高電圧電源電流用のパワープレーン層とを含むこと。
（４）上記（３）において、前記低電圧電源電流用のパワープレーン層は、２層以上存在すること。
（５）上記手段１において、前記樹脂絶縁層は樹脂フィルムを用いて形成されたものであること。
（６）上記手段１において、前記樹脂絶縁層の形成に用いられる樹脂フィルムは厚さが２０μｍ〜４０μｍであること。
（７）上記手段１において、前記樹脂絶縁層の形成に用いられる樹脂フィルムはポリイミドフィルムであり、前記内層導体層は銅箔に由来する銅層であること。
（８）上記手段１において、前記接続パッドは前記検査パッドよりも面積が大きく、前記検査パッド上にはプローブが立設可能であること。
（９）上記手段１において、前記検査パッドは基板中央部に配置され、前記接続パッド群は基板外周部に配置されていること。
（１０）上記手段１において、前記オーガニック配線構造部内のビアピッチは、前記セラミック多層基板内のビアピッチよりも小さいこと。
【符号の説明】
【００５３】
２１…検査用配線基板
３１…セラミック多層基板
３２…主面
３３…セラミック層
３４…導体層
４１…オーガニック配線構造部
４２…表面
６１…接続パッド
６２…検査パッド
６４…検査パッド群
４３，４４，４５，４６，４７，４８，４９…樹脂絶縁層
５１…内層導体層
Ｐ１１…最外層の第１プレーン層としての最外層のパワー用のプレーン層
Ｐ１２，Ｐ１３…第１プレーン層としてのパワー用のプレーン層
Ｐ２…第２プレーン層としてのグランド用のプレーン層
【図１】
0006691762.tif 000002
【図２】
0006691762.tif 000003
【図３】
0006691762.tif 000004
【図４】
0006691762.tif 000005
【図５】
0006691762.tif 000006
【図６】
0006691762.tif 000007
【図７】
0006691762.tif 000008
【図８】
0006691762.tif 000009
【図９】
0006691762.tif 000010
【図１０】
0006691762.tif 000011