(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、
前記複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、
前記複数の吸着部のうち最初に下降する吸着部の前記吸着位置への下降の間、前記複数の吸着部のうち最後に上昇する吸着部の前記吸着位置からの上昇の間、または、前記吸着位置で停留中の吸着部のうち最初に上昇する吸着部の上昇開始時点の近傍に、前記撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、前記複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備える、部品実装装置。
【請求項２】
前記共通の状態は、前記部品の吸着前の状態と、前記部品の吸着後の状態と、前記部品の吸着中の状態とを含み、
前記制御部は、前記共通の状態としての、前記部品の吸着前の状態、前記部品の吸着後の状態、および前記部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記複数の吸着部のうち所定の吸着部の前記吸着位置における停留時間が、前記撮像部により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、前記所定の吸着部の前記吸着位置における停留時間が、前記撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、前記所定の吸着部の前記吸着位置における停留時間を延長するように構成されている、請求項２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記複数の吸着部のうち所定の吸着部の前記吸着位置における停留時間が、前記撮像部により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、前記所定の吸着部の前記吸着位置における停留時間が、前記撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、前記撮像画像のデータ量を小さくすることにより、前記撮像部により撮像される撮像画像の転送時間を短縮するように構成されている、請求項２または３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記複数の吸着部のうち、前記吸着位置まで最初に下降を開始する吸着部が、前記吸着位置に向かって下降を開始する時点近傍で、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着前の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像し、
前記吸着位置に停留中の吸着部のうち、前記吸着位置から最初に上昇を開始する吸着部が、前記吸着位置から上昇を開始する時点近傍で、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着中の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像し、
前記複数の吸着部のうち、前記吸着位置から最後に上昇を完了する吸着部が、前記吸着位置から上昇を完了する時点近傍で、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着後の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている、請求項２〜４のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【請求項６】
吸着位置に配置される部品を複数の吸着部により吸着するステップと、
前記複数の吸着部の各々の吸着動作を単一の撮像部により撮像するステップと、
前記複数の吸着部のうち最初に下降する吸着部の前記吸着位置への下降の間、前記複数の吸着部のうち最後に上昇する吸着部の前記吸着位置からの上昇の間、または、前記吸着位置で停留中の吸着部のうち最初に上昇する吸着部の上昇開始時点の近傍に、前記撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、前記複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するステップと、を備える、部品実装装置における撮像方法。
【請求項７】
吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、
前記複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、
前記複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、前記撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、前記複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、
前記共通の状態は、前記部品の吸着前の状態と、前記部品の吸着後の状態と、前記部品の吸着中の状態とを含み、
前記制御部は、前記共通の状態としての、前記部品の吸着前の状態、前記部品の吸着後の状態、および前記部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、前記複数の吸着部のうち、前記吸着位置まで最初に下降を開始する吸着部が、前記吸着位置に向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間に、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着前の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている、部品実装装置。
【請求項８】
吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、
前記複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、
前記複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、前記撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、前記複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、
前記共通の状態は、前記部品の吸着前の状態と、前記部品の吸着後の状態と、前記部品の吸着中の状態とを含み、
前記制御部は、前記共通の状態としての、前記部品の吸着前の状態、前記部品の吸着後の状態、および前記部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、前記複数の吸着部のうち、前記吸着位置から最後に上昇を完了する吸着部が、前記吸着位置から上昇を開始してから上昇を完了するまでの間に、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着後の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている、部品実装装置。
【請求項９】
吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、
前記複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、
前記複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、前記撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、前記複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、
前記共通の状態は、前記部品の吸着前の状態と、前記部品の吸着後の状態と、前記部品の吸着中の状態とを含み、
前記制御部は、前記共通の状態としての、前記部品の吸着前の状態、前記部品の吸着後の状態、および前記部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、前記吸着位置に停留中の前記吸着部のうち、前記吸着位置から最初に上昇を開始する吸着部が、前記吸着位置から上昇を開始する時点近傍で、前記撮像部により撮像を行わせることにより、前記共通の状態としての前記部品の吸着中の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、前記撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている、部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、部品実装装置および部品実装装置における撮像方法に関し、特に、吸着部の吸着動作を撮像する部品実装装置および部品実装装置における撮像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、吸着部の吸着動作を撮像する部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、部品を吸着する吸着ノズルと、吸着ノズルによる吸着動作を撮像する撮像装置とを備える表面実装機（部品実装装置）が開示されている。この表面実装機では、複数の吸着ノズルを用いる場合には、予め設定された撮像タイミング（たとえば、所定の高さ位置に到達したタイミング）で吸着ノズル毎に吸着動作の撮像が行われると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−９８４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の表面実装機では、予め設定された撮像タイミング（たとえば、所定の高さ位置に到達したタイミング）で吸着ノズル毎に吸着動作の撮像が行われると考えられるため、単一の撮像装置により複数の吸着ノズルの吸着動作を撮像する場合には、以下の問題点が生じると考えられる。すなわち、ある吸着ノズルの吸着動作がある撮像タイミングで撮像された後、撮像画像の転送中に他の吸着ノズルの撮像タイミングになった場合には、撮像タイミングと撮像画像の転送時間とが重なるため、他の吸着ノズルの吸着動作を撮像することができない撮像タイミングが生じる。このため、単一の撮像装置（撮像部）により複数の吸着ノズルの吸着動作を撮像する場合には、複数の吸着ノズル（吸着部）の吸着動作の撮像を適切に行うことが困難であるという問題点が生じると考えられる。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、単一の撮像部により複数の吸着部の吸着動作を撮像する場合にも、複数の吸着部の吸着動作の撮像を適切に行うことが可能な部品実装装置および部品実装装置における撮像方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面による部品実装装置は、吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、複数の吸着部のうち最初に下降する吸着部の吸着位置への下降の間、複数の吸着部のうち最後に上昇する吸着部の吸着位置からの上昇の間、または、吸着位置で停留中の吸着部のうち最初に上昇する吸着部の上昇開始時点の近傍に、撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備える。
【０００８】
この発明の第１の局面による部品実装装置では、上記のような撮像タイミングを制御する制御部を設けることにより、予め設定された固定的な撮像タイミング（たとえば、所定の高さ位置に到達したタイミング）で吸着部毎に吸着動作の撮像が行われる場合と異なり、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作をまとめて撮像することができる。これにより、吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。その結果、単一の撮像部により複数の吸着部の吸着動作を撮像する場合にも、複数の吸着部の吸着動作の撮像を適切に行うことができる。また、複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部を設けることにより、吸着部毎に撮像部を設ける場合に比べて、部品点数（撮像部の数）の増加および装置構成の複雑化を抑制することができる。
【０００９】
上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、共通の状態は、部品の吸着前の状態と、部品の吸着後の状態と、部品の吸着中の状態とを含み、制御部は、共通の状態としての、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている。このように構成すれば、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作をまとめて撮像することができる。その結果、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を単一の撮像部により撮像する場合にも、複数の吸着部の吸着動作の撮像を適切に行うことができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、制御部は、複数の吸着部のうち所定の吸着部の吸着位置における停留時間が、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定の吸着部の吸着位置における停留時間が、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、所定の吸着部の吸着位置における停留時間を延長するように構成されている。ここで、吸着部の吸着位置における停留時間が、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、撮像画像の転送時間内に、部品の吸着中の状態にある場合の吸着動作が撮像されていない吸着部が吸着位置から上昇を開始する場合がある。この場合、部品の吸着中の状態にある吸着部の吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じてしまう。この点を考慮して、上記のように、所定の吸着部の吸着位置における停留時間を延長すれば、所定の吸着部の吸着位置における停留時間を、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくすることができるので、部品の吸着中の状態にある吸着部の吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。
【００１４】
上記吸着位置から最初に上昇を開始する吸着部が、吸着位置から上昇を開始する時点近傍で、撮像部により撮像を行わせる構成において、好ましくは、制御部は、複数の吸着部のうち所定の吸着部の吸着位置における停留時間が、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定の吸着部の吸着位置における停留時間が、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、撮像画像のデータ量を小さくすることにより、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間を短縮するように構成されている。このように構成すれば、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間を短縮することによって、所定の吸着部の吸着位置における停留時間を、撮像部により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくすることができるので、部品の吸着中の状態にある吸着部の吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。
【００１５】
上記共通の状態が部品の吸着前の状態と、部品の吸着後の状態と、部品の吸着中の状態とを含む構成において、好ましくは、制御部は、複数の吸着部のうち、吸着位置まで最初に下降を開始する吸着部が、吸着位置に向かって下降を開始する時点近傍で、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着前の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像し、吸着位置に停留中の吸着部のうち、吸着位置から最初に上昇を開始する吸着部が、吸着位置から上昇を開始する時点近傍で、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着中の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像し、複数の吸着部のうち、吸着位置から最後に上昇を完了する吸着部が、吸着位置から上昇を完了する時点近傍で、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着後の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている。このように構成すれば、部品の吸着前の状態、部品の吸着中の状態、および部品の吸着後の状態にある複数の吸着部の吸着動作をそれぞれ撮像する場合において、部品の吸着前の状態、部品の吸着中の状態、および部品の吸着後の状態にある複数の吸着部のそれぞれの吸着動作を確実にまとめて撮像することができる。
【００１６】
この発明の第２の局面による部品実装装置における撮像方法は、吸着位置に配置される部品を複数の吸着部により吸着するステップと、複数の吸着部の各々の吸着動作を単一の撮像部により撮像するステップと、複数の吸着部のうち最初に下降する吸着部の吸着位置への下降の間、複数の吸着部のうち最後に上昇する吸着部の吸着位置からの上昇の間、または、吸着位置で停留中の吸着部のうち最初に上昇する吸着部の上昇開始時点の近傍に、撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するステップと、を備える。
【００１７】
この発明の第２の局面による部品実装装置における撮像方法では、上記のように、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するステップを設ける。これにより、上記第１の局面による部品実装装置の場合と同様に、単一の撮像部により複数の吸着部の吸着動作を撮像する場合にも、複数の吸着部の吸着動作の撮像を適切に行うことができる。
この発明の第３の局面による部品実装装置は、吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、共通の状態は、部品の吸着前の状態と、部品の吸着後の状態と、部品の吸着中の状態とを含み、制御部は、共通の状態としての、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、複数の吸着部のうち、吸着位置まで最初に下降を開始する吸着部が、吸着位置に向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間に、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着前の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている。
この発明の第４の局面による部品実装装置は、吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、共通の状態は、部品の吸着前の状態と、部品の吸着後の状態と、部品の吸着中の状態とを含み、制御部は、共通の状態としての、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、複数の吸着部のうち、吸着位置から最後に上昇を完了する吸着部が、吸着位置から上昇を開始してから上昇を完了するまでの間に、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着後の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている。
この発明の第５の局面による部品実装装置は、吸着位置に配置される部品を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像部と、複数の吸着部のうちの複数の吸着部が共通の状態にある状態で、撮像部に撮像トリガ信号を出力することにより、複数の吸着部のうち、共通の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、共通の状態は、部品の吸着前の状態と、部品の吸着後の状態と、部品の吸着中の状態とを含み、制御部は、共通の状態としての、部品の吸着前の状態、部品の吸着後の状態、および部品の吸着中の状態の少なくともいずれかの状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するとともに、吸着位置に停留中の吸着部のうち、吸着位置から最初に上昇を開始する吸着部が、吸着位置から上昇を開始する時点近傍で、撮像部により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品の吸着中の状態にある複数の吸着部の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像部による撮像タイミングを制御するように構成されている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上記のように、単一の撮像部により複数の吸着部の吸着動作を撮像する場合にも、複数の吸着部の吸着動作の撮像を適切に行うことが可能な部品実装装置および部品実装装置における撮像方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態による部品実装装置の全体構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による部品実装装置の制御的な構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態による部品実装装置のヘッドユニットによる吸着動作の撮像状態を示す側面図である。
【図４】本発明の一実施形態による部品実装装置の撮像ユニットの構成を説明するための図である。
【図５】撮像ユニットにより撮像された部品の吸着前、吸着中、吸着後の撮像画像を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態による部品実装装置の撮像タイミング制御を説明するための図である。
【図７】ヘッドの下限停留時間の延長を説明するための図である。
【図８】従来例による撮像タイミング制御を説明するための図である。
【図９】本発明の一実施形態の変形例による撮像画像の転送時間を短縮する処理を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
［一実施形態］
（部品実装装置の構成）
図１〜図７を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置１００の構成について説明する。
【００２２】
部品実装装置１００は、図１に示すように、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの部品Ｅ（電子部品）を、プリント基板などの基板Ｐに実装する装置である。
【００２３】
また、部品実装装置１００は、基台１と、搬送部２と、ヘッドユニット３と、支持部４と、レール部５と、部品認識カメラ６と、基板認識カメラ７と、撮像ユニット８と、制御装置９（図２参照）とを備えている。なお、撮像ユニット８は、特許請求の範囲の「撮像部」の一例である。また、制御装置９は、特許請求の範囲の「制御部」の一例である。
【００２４】
基台１のＹ方向の両側（Ｙ１側およびＹ２側）の端部には、複数のテープフィーダ１１を配置するためのフィーダ配置部１２がそれぞれ設けられている。
【００２５】
テープフィーダ１１は、複数の部品Ｅを所定の間隔を隔てて保持したテープ（図３参照）が巻き回されたリール（図示せず）を保持している。テープフィーダ１１は、リールを回転させて部品Ｅを保持するテープを送出することにより、テープフィーダ１１の先端から部品Ｅを供給するように構成されている。
【００２６】
各テープフィーダ１１は、フィーダ配置部１２に設けられた図示しないコネクタを介して制御装置９に電気的に接続された状態で、フィーダ配置部１２に配置されている。これにより、各テープフィーダ１１は、制御装置９からの制御信号に基づいて、リールからテープを送出するとともに、部品Ｅを供給するように構成されている。この際、各テープフィーダ１１は、ヘッドユニット３の吸着動作に応じて、部品Ｅを供給するように構成されている。また、フィーダ配置部１２において、隣接するテープフィーダ１１は、所定の間隔Ｄ１でＸ方向に並んで配置されている。
【００２７】
搬送部２は、一対のコンベア２ａを有している。搬送部２は、一対のコンベア２ａによって、基板Ｐを水平方向（Ｘ方向）に搬送する機能を有している。具体的には、搬送部２は、上流側（Ｘ１側）の図示しない搬送路から実装前の基板Ｐを搬入するとともに、搬入された基板Ｐを実装作業位置Ｍまで搬送し、下流側（Ｘ２側）の図示しない搬送路に実装が完了した基板Ｐを搬出する機能を有している。また、搬送部２は、クランプ機構などの図示しない基板固定機構により、実装作業位置Ｍで停止させた基板Ｐを保持して固定するように構成されている。
【００２８】
搬送部２の一対のコンベア２ａは、基板Ｐを下方から支持しながら、水平方向（Ｘ方向）に基板Ｐを搬送することが可能に構成されている。また、一対のコンベア２ａは、Ｙ方向の間隔を調整可能に構成されている。これにより、搬入される基板Ｐの大きさに応じて、一対のコンベア２ａのＹ方向の間隔を調整することが可能である。
【００２９】
ヘッドユニット３は、吸着位置Ｐａ（図３参照）に配置される部品Ｅを吸着するとともに、吸着された部品Ｅを実装作業位置Ｍにおいて固定された基板Ｐに実装するように構成されている。ヘッドユニット３は、ボールナット３１と、５本のヘッド３２と、５本のヘッド３２にそれぞれ設けられた５つのＺ軸モータ３３（図２参照）と、５本のヘッド３２にそれぞれ設けられた５つのＲ軸モータ３４（図２参照）とを含んでいる。なお、ヘッド３２は、特許請求の範囲の「吸着部」の一例である。
【００３０】
５本のヘッド３２は、ヘッドユニット３の下面側にＸ方向に沿って一列に配置されている。５本のヘッド３２の各々の先端には、それぞれ、ノズル３２ａ（図３参照）が取付けられている。ヘッド３２は、図示しない負圧発生機によりノズル３２ａの先端部に発生された負圧によって、テープフィーダ１１から供給される部品Ｅを吸着して保持することが可能に構成されている。また、隣接するヘッド３２は、テープフィーダ１１が有する所定の間隔Ｄ１と略等しい所定の間隔Ｄ２でＸ方向に並んで配置されている。これにより、５本のヘッド３２は、略同時にテープフィーダ１１からの部品Ｅの吸着動作を行うことが可能に構成されている。
【００３１】
また、ヘッド３２は、上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に構成されている。具体的には、ヘッド３２は、部品Ｅの吸着や装着（実装）などを行う際の下降した状態の位置と、部品Ｅの搬送などを行う際の上昇した状態の位置との間で昇降可能に構成されている。また、ヘッドユニット３では、５本のヘッド３２は、ヘッド３２毎に設けられたＺ軸モータ３３によりヘッド３２毎に昇降可能に構成されている。また、５本のヘッド３２は、ヘッド３２毎に設けられたＲ軸モータ３４によりヘッド３２毎にノズル３２ａの中心軸回り（Ｚ方向回り）に回転可能に構成されている。
【００３２】
また、ヘッドユニット３は、支持部４に沿ってＸ方向に移動可能に構成されている。具体的には、支持部４は、ボールネジ軸４１と、ボールネジ軸４１を回転させるＸ軸モータ４２と、Ｘ方向に延びる図示しないガイドレールとを含んでいる。ヘッドユニット３は、Ｘ軸モータ４２によりボールネジ軸４１が回転されることにより、ボールネジ軸４１が係合（螺合）されるボールナット３１とともに、支持部４に沿ってＸ方向に移動可能に構成されている。
【００３３】
また、支持部４は、基台１上に固定された一対のレール部５に沿ってＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、レール部５は、支持部４のＸ方向の両端部をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイドレール５１と、Ｙ方向に延びるボールネジ軸５２と、ボールネジ軸５２を回転させるＹ軸モータ５３とを含んでいる。また、支持部４には、ボールネジ軸５２が係合（螺合）されるボールナット４３が設けられている。支持部４は、Ｙ軸モータ５３によりボールネジ軸５２が回転されることにより、ボールネジ軸５２が係合（螺合）されるボールナット４３とともに、一対のレール部５に沿ってＹ方向に移動可能に構成されている。
【００３４】
このような構成により、ヘッドユニット３は、基台１上をＸ方向およびＹ方向に移動可能に構成されている。これにより、ヘッドユニット３は、たとえばテープフィーダ１１の上方に移動して、テープフィーダ１１から供給される部品Ｅを吸着することが可能である。また、ヘッドユニット３は、たとえば実装作業位置Ｍにおいて固定された基板Ｐの上方に移動して、吸着された部品Ｅを基板Ｐに実装することが可能である。
【００３５】
部品認識カメラ６は、部品Ｅの実装に先立って部品Ｅの吸着状態を認識するために、ヘッド３２に吸着された部品Ｅを撮像するように構成されている。部品認識カメラ６は、基台１の上面上に固定されており、ヘッド３２に吸着された部品Ｅを、部品Ｅの下方（Ｚ２方向）から撮像するように構成されている。この撮像結果は、制御装置９により取得される。これにより、吸着された部品Ｅの撮像結果に基づいて、部品Ｅの吸着状態（回転姿勢およびヘッド３２に対する吸着位置）を制御装置９により認識することが可能である。
【００３６】
基板認識カメラ７は、部品Ｅの実装に先立って基板Ｐに付された位置認識マーク（フィデューシャルマーク）ＦＭを撮像するように構成されている。位置認識マークＦＭは、基板Ｐの位置を認識するためのマークである。図１に示す基板Ｐでは、位置認識マークＦＭは、基板Ｐの右下の位置および左上の位置に一対付されている。この位置認識マークＦＭの撮像結果は、制御装置９により取得される。そして、位置認識マークＦＭの撮像結果に基づいて、図示しない基板固定機構により固定された基板Ｐの正確な位置および姿勢を制御装置９により認識することが可能である。
【００３７】
また、基板認識カメラ７は、ヘッドユニット３のＸ２側の側部に取り付けられており、ヘッドユニット３とともに、基台１上をＸ方向およびＹ方向に移動可能に構成されている。また、基板認識カメラ７は、基台１上をＸ方向およびＹ方向に移動して、基板Ｐに付された位置認識マークＦＭを、基板Ｐの上方（Ｚ１方向）から撮像するように構成されている。
【００３８】
撮像ユニット８は、図１、図３および図４に示すように、ヘッド３２の吸着動作を撮像するために設けられている。具体的には、撮像ユニット８は、ヘッド３２の吸着動作を撮像するために、ヘッド３２の吸着動作中に、ヘッド３２（ノズル３２ａ）および吸着位置Ｐａを含む所定の領域を撮像可能に構成されている。また、撮像ユニット８は、制御装置９からの撮像トリガ信号に基づいて、撮像動作を行うように構成されている。
【００３９】
また、撮像ユニット８は、単一の吸着動作撮像カメラ８１と、光学系８２とを含んでいる。
【００４０】
図３に示すように、吸着動作撮像カメラ８１は、水平面に対して傾斜した撮像方向から、ヘッド３２の吸着動作を撮像可能に構成されている。このヘッド３２の吸着動作の撮像結果は、制御装置９により取得されるとともに、制御装置９の後述する記憶部９ａに保存される。
【００４１】
図４に示すように、光学系８２は、単一のカメラ（吸着動作撮像カメラ８１）により複数（５本）のヘッド３２の各々の吸着動作を撮像するために、吸着動作撮像カメラ８１の視野を、複数のヘッド３２の各々に向けて分割するように構成されている。具体的には、光学系８２は、複数のミラー８２ａを有しており、この複数のミラー８２ａにより光路を変更することにより、吸着動作撮像カメラ８１の視野を、複数のヘッド３２の各々に向けて分割するように構成されている。これにより、撮像ユニット８は、複数のヘッド３２の各々の吸着動作を略同時に撮像可能に構成されている。すなわち、撮像ユニット８は、ヘッド３２の吸着動作中に、複数のヘッド３２の各々における、ヘッド３２（ノズル３２ａ）および吸着位置Ｐａを含む所定の領域を撮像可能に構成されている。
【００４２】
光学系８２では、複数のミラー８２ａは、吸着動作撮像カメラ８１から被写体までの各光路の光路長が略等しくなるように配置されている。これにより、いずれの光路により被写体が撮像されたとしても、ボケの少ない明瞭な画像を撮像することが可能である。
【００４３】
また、図１に示すように、撮像ユニット８は、ヘッドユニット３のＹ２側の側部に取り付けられている。これにより、撮像ユニット８は、ヘッドユニット３とともに、基台１上をＸ方向およびＹ方向に移動可能に構成されている。また、撮像ユニット８は、ヘッド３２の吸着動作を撮像する場合には、所定位置に静止した状態で、ヘッド３２の吸着動作を撮像可能に構成されている。
【００４４】
図２に示すように、制御装置９は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）などを含み、部品実装装置１００の動作を制御するように構成されている。具体的には、制御装置９は、搬送部２、Ｘ軸モータ４２、Ｙ軸モータ５３、Ｚ軸モータ３３およびＲ軸モータ３４などを予め記憶されたプログラムに従って制御して、テープフィーダ１１からの部品Ｅの吸着を行うとともに、基板Ｐに部品Ｅの実装を行うように構成されている。
【００４５】
具体的には、制御装置９は、ヘッドユニット３をテープフィーダ１１の上方に移動させるとともに、図示しない負圧発生機によりヘッド３２のノズル３２ａに負圧を発生させ、テープフィーダ１１から供給される部品Ｅをノズル３２ａに吸着させるように構成されている。この際、制御装置９は、ヘッド３２の吸着動作を、撮像ユニット８により撮像させるように構成されている。この吸着動作の撮像の詳細については、後述する。
【００４６】
そして、制御装置９は、吸着された部品Ｅを基板Ｐに実装するために、ヘッドユニット３をテープフィーダ１１の上方から基板Ｐの上方まで移動させるように構成されている。この移動途中、制御装置９は、ヘッドユニット３を部品認識カメラ６の上方を通過するように移動させるとともに、各ヘッド３２に吸着された部品Ｅを部品認識カメラ６により撮像させるように構成されている。
【００４７】
そして、ヘッドユニット３が基板作業位置Ｍにおいて固定された基板Ｐの上方に到達すると、制御装置９は、ヘッド３２を下降させるとともに、所定のタイミングでヘッド３２への負圧の供給を停止させることによって吸着された部品Ｅを基板Ｐ上に実装（装着）するように構成されている。
【００４８】
また、制御装置９は、記憶部９ａを含んでいる。記憶部９ａは、ヘッド３２の吸着動作の撮像結果を保存可能に構成されている。
【００４９】
（吸着動作の撮像に係る制御装置の構成）
制御装置９は、図５に示すように、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド３２の吸着動作、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３２の吸着動作、および部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド３２の吸着動作の３種類を、撮像ユニット８により撮像させるように構成されている。
【００５０】
これにより、部品Ｅの吸着前のヘッド３２（ノズル３２ａ）および吸着位置Ｐａを含む所定の領域の撮像画像（吸着前撮像画像）、部品Ｅの吸着中のヘッド３２（ノズル３２ａ）および吸着位置Ｐａを含む所定の領域の撮像画像（吸着中撮像画像）、および部品Ｅの吸着後のヘッド３２（ノズル３２ａ）および吸着位置Ｐａを含む所定の領域の撮像画像（吸着後撮像画像）の３種類の撮像画像が制御装置９により取得される。
【００５１】
ここで、本実施形態では、制御装置９は、図６に示すように、複数（５本）のヘッド３２のうち、共通の状態にあるヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように構成されている。
【００５２】
具体的には、制御装置９は、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａ（つまり、図６に示す下降端）まで最初に下降を開始しかつ最初に下降を完了するヘッド３２が、吸着位置Ｐａに向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間に、撮像ユニット８に撮像トリガ信号を出力することにより、撮像ユニット８に撮像を行わせるように構成されている。より具体的には、制御装置９は、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａまで最初に下降を開始かつ最初に下降を完了するするヘッド３２が、吸着位置Ｐａに向かって下降を開始する時点近傍（つまり、図６に示す所定の高さ位置ｈまでヘッド３２が下降した時点ｔ１）で、撮像ユニット８に撮像トリガ信号を出力することにより、撮像ユニット８に撮像を行わせるように構成されている。これにより、制御装置９は、共通の状態としての部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド３２を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように構成されている。この結果、部品Ｅの吸着前の状態にある各ヘッド３２が、吸着位置Ｐａに向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間のいずれの時間位置（高さ位置）にあるかに関わらず、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド３２が略同時に撮像される。
【００５３】
また、本実施形態では、吸着位置Ｐａ（下降端）に停留中のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最初に上昇を開始するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始する時点近傍（時点ｔ２およびｔ３）で、撮像ユニット８に撮像トリガ信号を出力することにより、撮像ユニット８に撮像を行わせるように構成されている。これにより、制御装置９は、共通の状態としての部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３２を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように構成されている。この結果、部品Ｅの吸着中の状態にある各ヘッド３２が、吸着位置Ｐａにおいて停留中のいずれの時間位置にあるかに関わらず、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３２が略同時に撮像される。
【００５４】
また、本実施形態では、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａ（下降端）から最後に上昇を開始しかつ最後に上昇を完了するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始してから上昇を完了するまでの間に、撮像ユニット８に撮像トリガ信号を出力することにより、撮像ユニット８に撮像を行わせるように構成されている。より具体的には、制御装置９は、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最後に上昇を開始しかつ最後に上昇を完了するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を完了する時点近傍（所定の高さ位置ｈまでヘッド３２が上昇した時点ｔ４）で、撮像ユニット８に撮像トリガ信号を出力することにより、撮像ユニット８に撮像を行わせるように構成されている。これにより、制御装置９は、共通の状態としての部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド３２を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように構成されている。この結果、部品Ｅの吸着後の状態にある各ヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始してから上昇を完了するまでの間のいずれの時間位置（高さ位置）にあるかに関わらず、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド３２が略同時に撮像される。
【００５５】
ここで、部品実装装置１００では、複数（５本）のヘッド３２のうち所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａ（下降端）における停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きく、かつ、単一のヘッド３２であれば撮像画像の転送が間に合うタイミングが確保されている。なお、撮像画像の転送時間は、撮像画像の出力を開始してから完了するまでの間の時間である。この転送時間内には、連続して撮像を行うことができない。
【００５６】
また、本実施形態では、制御装置９は、図７に示すように、複数（５本）のヘッド３２のうち所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａ（下降端）における停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、延長時間Ｔ（破線により示す）分だけ、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間を延長するように構成されている。
【００５７】
（撮像タイミング制御）
次に、図８を参照して、従来例による撮像タイミング制御の動作例を説明する。その後、図６を参照して、本実施形態による撮像タイミング制御の動作例を説明する。ここでは、３本のヘッドにより吸着動作が行われるとともに、３本のヘッドの動作タイミングがわずかにずれる場合を例に説明する。以下では、３本のヘッドを、それぞれ、ヘッド１〜ヘッド３と称して説明する。
【００５８】
従来例では、ヘッド毎に撮像タイミングが設定されている。具体的には、ヘッドが所定の高さ位置ｈまで下降した時点、ヘッドが下降端から上昇を開始する時点、およびヘッドが所定の高さ位置ｈまで上昇した時点の３つの時点が、撮像タイミングとして設定されている。
【００５９】
この場合、図８に示すように、まず、時点ｔ１１において、ヘッド１が所定の高さ位置ｈまで下降すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。図８では、ヘッド１および２は、同時に所定の高さ位置ｈに到達するため、時点ｔ１１において、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド１および２の吸着動作が略同時に撮像される。
【００６０】
その後、時点ｔ１２において、ヘッド１および２よりも遅れたタイミングで、ヘッド３が所定の高さ位置ｈまで下降すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。しかしながら、時点ｔ１２においては、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド１および２の吸着動作の撮像画像の転送中であるため、撮像ユニットによる撮像を行うことができない。したがって、部品Ｅの吸着前の状態にあるヘッド３の吸着動作が撮像されない。なお、図８では、撮像ユニットによる撮像を行うことができない場合を、「×」のマークを付して示している。
【００６１】
その後、時点ｔ１３において、ヘッド１が下降端から上昇を開始すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。この結果、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド１の吸着動作が撮像される。
【００６２】
その後、時点ｔ１４において、ヘッド１よりも遅れたタイミングで、ヘッド２が下降端から上昇を開始すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。しかしながら、時点ｔ１４においては、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド１の吸着動作の撮像画像の転送中であるため、撮像ユニットによる撮像を行うことができない。したがって、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド２の吸着動作が撮像されない。
【００６３】
その後、時点ｔ１５において、ヘッド１が所定の高さ位置ｈまで上昇すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。この結果、部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド１の吸着動作が撮像される。
【００６４】
その後、時点ｔ１６において、ヘッド１および２よりも遅れたタイミングで、ヘッド３が下降端から上昇を開始すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。しかしながら、時点ｔ１６においては、部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド１の吸着動作の撮像画像の転送中であるため、撮像ユニットによる撮像を行うことができない。したがって、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３の吸着動作が撮像されない。
【００６５】
また、時点ｔ１７において、ヘッド１よりも遅れたタイミングで、ヘッド２が所定の高さ位置ｈまで上昇すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。しかしながら、時点ｔ１７においては、部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド１の吸着動作の撮像画像の転送中であるため、撮像ユニットによる撮像を行うことができない。したがって、部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド２の吸着動作が撮像されない。
【００６６】
その後、時点ｔ１８において、ヘッド１および２よりも遅れたタイミングで、ヘッド３が所定の高さ位置ｈまで上昇すると、撮像トリガ信号が撮像ユニットに入力される。この結果、部品Ｅの吸着後の状態にあるヘッド３の吸着動作が撮像される。
【００６７】
以上のように、従来例による撮像タイミング制御では、単一のカメラにより複数のヘッドの各々の吸着動作の撮像を行う場合に、吸着動作を撮像することができない撮像タイミング（図８に示す時点ｔ１２、１４、１６および１７の場合）が生じるため、複数のヘッドの吸着動作の撮像を適切に行うことができない場合がある。
【００６８】
次に、図６を参照して、本実施形態による撮像タイミング制御の動作例を説明する。なお、撮像タイミング制御は、制御装置９により行われる。
【００６９】
図６に示すように、まず、時点ｔ１において、下降端まで最初に下降を開始しかつ最初に下降を完了するヘッド１が、所定の高さ位置ｈまで下降すると、撮像トリガ信号が撮像ユニット８に入力される。この結果、部品Ｅの吸着前の状態でかつ下降中の状態にあるヘッド１〜３の吸着動作が略同時に撮像される。この際、各テープフィーダ１１は、今回吸着される部品Ｅの送出動作を完了済みの状態である。これにより、ヘッド１〜３の吸着前撮像画像（図５参照）が取得されるとともに、記憶部９ａに保存される。吸着前撮像画像は、たとえば、部品Ｅが正しく送られているか、テープのポケットに異物がないか、およびヘッド３２に対する吸着位置ＰａのＸＹ位置が正しいかなどの確認用に保存される。なお、この撮像タイミング制御では、撮像画像中に写り込むヘッド１〜３の高さ位置は、同じ位置にはならないが、確認には影響しない。
【００７０】
その後、時点ｔ２において、下降端に停留中のヘッド１および２のうち、下降端から最初に上昇を開始するヘッド１が下降端から上昇を開始すると、撮像トリガ信号が撮像ユニット８に入力される。この結果、部品Ｅの吸着中の状態でかつ下降端に停留中の状態にあるヘッド１および２の吸着動作が略同時に撮像される。
【００７１】
その後、時点ｔ３において、残りのヘッド（部品Ｅの吸着中の状態にある場合の吸着動作が撮像されていないヘッド３）が下降端から上昇を開始すると、撮像トリガ信号が撮像ユニット８に入力される。この結果、部品Ｅの吸着中の状態でかつ下降端に停留中の状態にあるヘッド３の吸着動作が撮像される。
【００７２】
なお、３本よりも多いヘッドにより吸着動作が行われる場合であって、ヘッド３以外にも残りのヘッドがある場合には、残りのヘッド（部品Ｅの吸着中の状態にある場合の吸着動作が撮像されていないヘッド）のうち、下降端から最初に上昇を開始するヘッドが下降端から上昇を開始する時点近傍で、撮像トリガ信号を撮像ユニット８に入力することを繰り返す。これにより、全てのヘッドの部品Ｅの吸着中の状態でかつ下降端に停留中の状態にあるヘッドの吸着動作が撮像される。
【００７３】
そして、全てのヘッド（図６では、ヘッド１〜３）の吸着中撮像画像（図５参照）が取得されるとともに、記憶部９ａに保存される。吸着中撮像画像は、たとえば、ヘッドが適切なＸＹ位置に下降しているか、およびヘッドが適切な高さ位置まで下降しているかなどの確認用に保存される。
【００７４】
その後、時点ｔ４において、下降端から最後に上昇を開始しかつ最後に上昇を完了するヘッド３が、所定の高さ位置ｈまで上昇すると、撮像トリガ信号が撮像ユニット８に入力される。この結果、部品Ｅの吸着後の状態でかつ上昇中の状態にあるヘッド３、および部品Ｅの吸着後の状態でかつ上昇完了済みの状態にあるヘッド１および２の吸着動作が略同時に撮像される。この際、各テープフィーダ１１は、次に吸着される部品Ｅの送出動作を開始前の状態である。これにより、ヘッド１〜３の吸着後撮像画像（図５参照）が取得されるとともに、記憶部９ａに保存される。吸着後撮像画像は、たとえば、部品Ｅが正しく吸着されたかなどの確認用に保存される。
【００７５】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７６】
本実施形態では、上記のように、複数のヘッド３２のうち、共通の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御する制御装置９を設ける。これにより、予め設定された固定的な撮像タイミング（たとえば、所定の高さ位置に到達したタイミング）でヘッド３２毎に吸着動作の撮像が行われる場合と異なり、共通の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作をまとめて撮像することができるので、吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。その結果、単一の撮像ユニット８により複数のヘッド３２の吸着動作を撮像する場合にも、複数のヘッド３２の吸着動作の撮像を適切に行うことができる。また、複数のヘッド３２の各々の吸着動作を略同時に撮像可能な単一の撮像ユニット８を設けることにより、ヘッド３２毎に撮像ユニット８を設ける場合に比べて、部品点数（吸着動作撮像カメラ８１の数）の増加および装置構成の複雑化を抑制することができる。
【００７７】
また、本実施形態では、上記のように、共通の状態としての、部品Ｅの吸着前の状態、部品Ｅの吸着後の状態、および部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように制御装置９を構成する。これにより、部品Ｅの吸着前の状態、部品Ｅの吸着後の状態、および部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作をまとめて撮像することができる。その結果、部品Ｅの吸着前の状態、部品Ｅの吸着後の状態、および部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を単一の撮像ユニット８により撮像する場合にも、複数のヘッド３２の吸着動作の撮像を適切に行うことができる。
【００７８】
また、本実施形態では、上記のように、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａまで最初に下降を開始するヘッド３２が、吸着位置Ｐａに向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間に、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着前の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように制御装置９を構成する。これにより、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａまで最初に下降を開始するヘッド３２の下降動作に応じて、複数のヘッド３２の吸着動作を撮像することができるので、部品Ｅの吸着前の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を確実にまとめて撮像することができる。
【００７９】
また、本実施形態では、上記のように、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最後に上昇を完了するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始してから上昇を完了するまでの間に、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着後の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように制御装置９を構成する。これにより、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最後に上昇を完了するヘッド３２の上昇動作に応じて、複数のヘッド３２の吸着動作を撮像することができるので、部品Ｅの吸着後の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を確実にまとめて撮像することができる。
【００８０】
また、本実施形態では、上記のように、吸着位置Ｐａに停留中のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最初に上昇を開始するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始する時点近傍で、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように制御装置９を構成する。これにより、吸着位置Ｐａに停留中のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最初に上昇を開始するヘッド３２の上昇動作に応じて、複数のヘッド３２の吸着動作を撮像することができるので、部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を確実にまとめて撮像することができる。
【００８１】
また、本実施形態では、上記のように、複数のヘッド３２のうち所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間を延長するように制御装置９を構成する。ここで、ヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間が、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、撮像画像の転送時間内に、部品Ｅの吸着中の状態にある場合の吸着動作が撮像されていないヘッド３２が吸着位置Ｐａから上昇を開始する場合がある。この場合、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３２の吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じてしまう。この点を考慮して、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間を延長することによって、所定のヘッド３２の吸着位置Ｐａにおける停留時間を、撮像ユニット８により撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくすることができるので、部品Ｅの吸着中の状態にあるヘッド３２の吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。
【００８２】
また、本実施形態では、上記のように、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａまで最初に下降を開始するヘッド３２が、吸着位置Ｐａに向かって下降を開始する時点近傍で、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着前の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像し、吸着位置Ｐａに停留中のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最初に上昇を開始するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を開始する時点近傍で、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着中の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像し、複数のヘッド３２のうち、吸着位置Ｐａから最後に上昇を完了するヘッド３２が、吸着位置Ｐａから上昇を完了する時点近傍で、撮像ユニット８により撮像を行わせることにより、共通の状態としての部品Ｅの吸着後の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作を略同時に撮像するように、撮像ユニット８による撮像タイミングを制御するように制御装置９を構成する。これにより、部品Ｅの吸着前の状態、部品Ｅの吸着中の状態、および部品Ｅの吸着後の状態にある複数のヘッド３２の吸着動作をそれぞれ撮像する場合において、部品Ｅの吸着前の状態、部品Ｅの吸着中の状態、および部品Ｅの吸着後の状態にある複数のヘッド３２のそれぞれの吸着動作を確実にまとめて撮像することができる。
【００８３】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更（変形例）が含まれる。
【００８４】
たとえば、上記実施形態では、単一のカメラにより複数のヘッドの吸着動作の各々を撮像可能な撮像ユニットを１つだけ設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、単一のカメラにより複数のヘッドの吸着動作の各々を撮像可能な撮像ユニットを複数設けてもよい。
【００８５】
また、上記実施形態では、部品の吸着前の状態にあるヘッドの吸着動作、部品の吸着中の状態にあるヘッドの吸着動作、および部品の吸着後の状態にあるヘッドの吸着動作の３種類を撮像する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品の吸着前の状態にあるヘッドの吸着動作、部品の吸着中の状態にあるヘッドの吸着動作、および部品の吸着後の状態にあるヘッドの吸着動作の３種類のうち、１つまたは２つの種類の吸着動作だけを撮像してもよい。また、上記した３種類以外の吸着動作を撮像してもよい。
【００８６】
また、上記実施形態では、ヘッド（ノズル）および吸着位置を含む所定の領域を撮像することにより、ヘッドの吸着動作を撮像した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッド（ノズル）または吸着位置の少なくともいずれかを含む所定の領域を撮像することにより、ヘッドの吸着動作を撮像してもよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、吸着位置まで最初に下降を開始するヘッドが、吸着位置に向かって下降を開始する時点近傍で、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、吸着位置まで最初に下降を開始するヘッドが、吸着位置に向かって下降を開始してから下降を完了するまでの間に、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力すれば、吸着位置まで最初に下降を開始するヘッドが吸着位置に向かって下降を開始する時点近傍以外の時点で、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力してもよい。
【００８８】
また、上記実施形態では、吸着位置から最後に上昇を完了するヘッドが、吸着位置から上昇を完了する時点近傍で、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、吸着位置から最後に上昇を完了するヘッドが、吸着位置から上昇を開始してから上昇を完了するまでの間に、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力すれば、吸着位置から最後に上昇を完了するヘッドが吸着位置から上昇を完了する時点近傍で、撮像ユニットに撮像トリガ信号を出力してもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、部品の吸着前の状態にあるヘッドを撮像する場合に撮像トリガ信号を出力する高さ位置と、部品の吸着後の状態にあるヘッドを撮像する場合に撮像トリガ信号を出力する高さ位置とを、同じ高さ位置（所定の高さ位置ｈ）に設定した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品の吸着前の状態にあるヘッドを撮像する場合に撮像トリガ信号を出力する高さ位置と、部品の吸着後の状態にあるヘッドを撮像する場合に撮像トリガ信号を出力する高さ位置とを、互いに異なる高さ位置に設定してもよい。
【００９０】
また、上記実施形態では、複数のヘッドのうち所定のヘッドの吸着位置における停留時間が、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定のヘッドの吸着位置における停留時間が、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、所定のヘッドの吸着位置における停留時間を延長する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、複数のヘッドのうち所定のヘッドの吸着位置における停留時間が、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間以下である場合には、所定のヘッドの吸着位置における停留時間が、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくなるように、撮像画像のデータ量を小さくすることにより、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間を短縮してもよい。
【００９１】
たとえば、図９に示す変形例のように、撮像画像のうち不要部分の画像を間引くことにより、撮像画像のデータ量を小さくするように、制御装置を構成してもよい。これにより、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間を短縮することによって、所定のヘッドの吸着位置における停留時間を、撮像ユニットにより撮像される撮像画像の転送時間よりも大きくすることができるので、部品の吸着中の状態にあるヘッドの吸着動作が撮像されない撮像タイミングが生じることを抑制することができる。
【符号の説明】
【００９２】
８  撮像ユニット（撮像部）
９  制御装置（制御部）
３２  ヘッド（吸着部）
１００  部品実装装置
Ｅ  部品
Ｐａ  吸着位置
【図１】
0006756467.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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