(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均粒子径０．１〜２０μｍのＦｅ含有粒子の表面に絶縁層を有する軟磁性粉末であって、該絶縁層が、亜リン酸エステルおよびチオエーテルからなる群より選ばれる少なくとも１種の酸化防止剤を含有し、該絶縁層が、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して、さらに分散剤０．０５〜０．５質量部を含有し、分散剤が、リン酸エステルを含むことを特徴とする軟磁性粉末。
【請求項２】
前記酸化防止剤の分子量が、６００以下である請求項１記載の軟磁性粉末。
【請求項３】
絶縁層が、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して、絶縁層形成用樹脂０．１〜１質量部、前記酸化防止剤０．０５〜０．５質量部を含有してなる請求項１または２記載の軟磁性粉末。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか記載の軟磁性粉末を含有することを特徴とする分散体。
【請求項５】
請求項１〜３いずれか記載の軟磁性粉末を含有することを特徴とする圧粉磁心。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細な磁性材料の高充填化を可能とするために絶縁処理剤量を低減した絶縁層を有する軟磁性材料、及び前記処理により絶縁処理された軟磁性粉末を用いた圧粉磁心に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、通信機器及び電子制御機器の小型化、高出力化に伴って、これらに用いられる電源ラインに対応するパワーインダクタにも小型化、かつ、高電流化に対応することが求められる。このようなパワーインダクタには、直流電流下でのインダクタス低下が小さいことが必要であり、これらの性能を満たす材料として高飽和磁化を有する材料として、ＦｅＳｉ系のフェライト、カルボニル法などで製造される鉄粉が圧粉磁心として広く用いられていられる。
【０００３】
一方で電源回路を高周波に駆動することによりインダクタ等の小型化が可能であることから、高周波にてヒステリシス損失、渦電流損失を低減する必要があった。ヒステリシス損失の低減には、保磁力の小さな材料を用いることが有効である。一方で渦電流損失を低減するためには、鉄粉の粒子間、および粒子内での渦電流損失を低減する必要があり、その為には、鉄粉の粒子間の絶縁性を向上させ、鉄粉の粒子を微細化することが有効である。特に高周波対応をするためには、渦電流損失が駆動周波数に応じて劇的に増加するため、渦電流損失の低減が重要である。
【０００４】
軟磁性材料の絶縁処理方法としては、以下の方法が知られている。
【０００５】
特許文献１、特許文献２には、シランカップリング剤にて絶縁層を設ける方法が記載されている。特許文献２には、金属アルコキシドの加水分解を用いて絶縁層を設ける方法が記載されている。また、特許文献３には、リン酸に絶縁層を設ける方法が記載されている。これらの方法は、粒子径が３０μｍ以上の鉄系軟磁性粒子には有効であるが、高周波対応に有効である２０μｍ以下の粒子径では、絶縁処理に必要な材料を多く用いる必要があり、かつ、処理後の分散性が悪化するため、圧粉磁心の成型密度が低下する問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−２４７００４号公報
【特許文献２】特開２００７−１２９１５４号公報
【特許文献３】特開平９−５１２３８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
微細な磁性材料の高充填化を可能とするために絶縁処理剤量を低減した絶縁層を有する軟磁性材料、及び前記処理により絶縁処理された軟磁性粉末を用いた圧粉磁心を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は平均粒子径０．１〜２０μｍのＦｅ含有粒子の表面に絶縁層を有する軟磁性粉末であって、該絶縁層が、亜リン酸エステルおよびチオエーテルからなる群より選ばれる少なくとも１種の酸化防止剤を含有し、該絶縁層が、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して、さらに分散剤０．０５〜０．５質量部を含有し、分散剤が、リン酸エステルを含むことを特徴とする軟磁性粉末に関する。
【０００９】
さらに上記の酸化防止剤の分子量が、６００以下である前記軟磁性粉末に関する。
【００１０】
さらに絶縁層が、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して、絶縁層形成樹脂０．１〜１質量部、酸化防止剤０．０５〜０．５質量部を含有してなる前記軟磁性粉末に関する。
【００１２】
さらに上記記載の軟磁性粉末を含有することを特徴とする分散体に関する。
【００１３】
さらに上記記載の軟磁性粉末を含有することを特徴とする圧粉磁心に関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明を用いることで微細な磁性材料の高充填化を可能とするために絶縁処理剤量を低減した絶縁層を有する軟磁性材料、及び前記処理により絶縁処理された軟磁性粉末を用いた圧粉磁心を得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜Ｆｅ含有粒子＞
本発明におけるＦｅ含有粒子としては、アトマイズ鉄粉、還元鉄粉、カルボニル鉄粉等の鉄粉、Ｆｅ−Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金等の軟磁性粉末を用いることができ、場合によっては２種以上を混合し使用することができる。得られる圧粉磁心の透磁率、磁束密度等の磁気特性を考慮すると鉄粉を用いることがより好ましい。
【００１６】
本発明におけるＦｅ含有粒子の平均粒子径としては、０．１〜２０μｍである。Ｆｅ含有粒子は、０．１μｍ以上であれば、絶縁層の厚さを薄膜で維持できるため、結果として圧粉磁心としての成型密度が増加し、磁気特性が向上する。さらに、２０μｍ以下であれば、微細に分散することによりＦｅ含有粒子の渦電流損失を抑制することができる。平均粒子径としては、好ましくは１．０〜１５μｍである。
【００１７】
また、高周波に対応するための渦電流損失は、軟磁性粉末の分散性にも依存する。軟磁性粉末の平均粒子径付近まで微細に分散することにより、渦電流損失を低減することが可能であるため、絶縁層を設ける際にも分散性を考慮した設計をすることが好ましい。
【００１８】
なお、本発明における平均粒子径とは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察することによって得られる値の平均値のことを指す。詳細には、軟磁性粉末を２００００倍で観察し、任意の１００個の粒子を選択し、粒子径を平均することから算出される。なお、粒子形状が長軸、短軸を有する場合には、長軸と短軸の長さの平均を粒子径とした。
【００１９】
＜酸化防止剤＞
本発明における絶縁層を形成し得る酸化防止剤としては、亜リン酸エステルおよびチオエーテルから選ばれる材料を少なくとも１種、場合によっては２種以上を混合し使用することができる。亜リン酸エステルおよび／またはチオエーテルを絶縁層の材料として用いることにより、軟磁性粉末の絶縁性を向上させうると共に軟磁性粉末の二次凝集を防止することができ、分散性の向上が可能であり、圧粉磁心の成型密度の向上が可能である。亜リン酸エステルおよびチオエーテルの分子量は、６００以下であることが絶縁性の向上の点から好ましい。効果の要因に関しては、詳細を把握できていないが、分子量が６００以下であることにより、分子量が６００以上の場合と比較して同質量時の絶縁層形成に用いる分子数が増加し、効率的に絶縁層形成を促進すると推測している。
【００２０】
酸化防止剤の添加量としては、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して０．０５〜０．５質量部添加することが好ましい。０．０５質量部以上を添加することにより、絶縁性だけでなく、処理後の軟磁性粉末の分散性も向上させることができ、結果、圧粉磁心の成型密度を増加させ、磁束密度を向上させることができる。一方で０．５質量部以下では、絶縁層を薄膜のまま維持できるため、圧粉磁心の成型密度が低下せず、磁束密度も高い値を維持できる。
【００２１】
＜絶縁層形成用樹脂＞
絶縁層形成用樹脂は、一般的に用いられる樹脂であれば、特に限定されず、１種もしくは、2種を混合して使用してもよい。例えばエポキシ樹脂、イミド樹脂、フェノール樹脂、又は、シリコーン樹脂が挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、必要に応じて公知の硬化剤や架橋剤を含有してもよい。
【００２２】
絶縁層形成用樹脂は、一般的に成形時の絶縁層の剥離を防止するための絶縁層の強度の向上を目的として添加する。本発明では、前記酸化防止剤と絶縁層形成用樹脂を混合して使用することにより、絶縁性を劇的に向上可能であることから、混合して用いることがより好ましい。
【００２３】
前記樹脂の添加量としては、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して０．１〜１質量部添加することが好ましい。０．１質量部以上では、絶縁層を強固に形成することができ、絶縁層が剥離し難くなる。一方で１質量部以下であれば、圧粉磁心の成型密度が低下せず、磁束密度も高い値を維持できる。
【００２４】
＜分散剤＞
Ｆｅ含有粒子に対して、処理後の軟磁性粉末の二次凝集を抑制するために、分散剤を添加することも可能である。軟磁性粉末の分散に一般的に用いられる材料であれば、特に限定されず、１種もしくは、２種を混合して使用してもよい。例えば、分散剤としては、界面活性剤、樹脂型分散剤、カップリング剤が挙げられる。その中でも本発明における軟磁性粉末においてはリン酸エステルを含む分散剤が好ましい。
【００２５】
前記分散剤の添加量としては、Ｆｅ含有粒子１００質量部に対して０．０５〜０．５質量部添加することが好ましい。０．０５質量部以上では、絶縁層形成後の軟磁性粉末の凝集を抑制し、微細に分散することができるため、圧粉磁心の成型密度が増加し、磁束密度が向上する。一方で、０．５質量部以下では、絶縁層の薄膜化が維持できるため、圧粉磁心の成型密度が維持でき、磁束密度が高い値を維持できる。
【００２６】
＜分散媒＞
本軟磁性粉末に関しては、絶縁層を形成する際に二次凝集を抑えることが出来ているため、分散媒を介して軟磁性粉末の分散体として用いることも可能である。分散媒としては、軟磁性粉末を分散可能であれば、１種もしくは、２種を混合して使用してもよいが、温度２５℃の条件下において液状の材料を指す。例えば、溶剤、液状のモノマー、および、液状の樹脂が挙げられる。
【００２７】
＜分散方法＞
本軟磁性粉末を分散媒に分散する方法として、一般的に用いられる分散機を用いることで、より微細に分散することが可能である。分散機としては、ディスパー、ホモミキサー、プラネタリーミキサー、エム・テクニック社製「クレアミックス」、ＰＲＩＭＩＸ社「フィルミックス」、ペイントコンディショナー（レッドデビル社製）、ボールミル、サンドミル（シンマルエンタープライゼス社製「ダイノミル」等）、アトライター、パールミル（アイリッヒ社製「ＤＣＰミル」等）、コボールミル、湿式ジェットミル（ジーナス社製「ジーナスＰＹ」、スギノマシン社製の「スターバースト」、ナノマイザー社製「ナノマイザー」等）、エム・テクニック社製「クレアＳＳ−５」、奈良機械製作所社製「マイクロス」、ロールミル等の分散機が挙げられる。分散機は、一種類のみを使用しても良いし、複数種を併用してもよい。
【００２８】
上記の分散機は一例であり、特に限定されることはなく、当技術分野で一般的に用いられるものであれば使用してよい。また、分散機は、一種類のみを使用しても良いし、複数種を併用してもよい。Ｆｅ含有粒子、特に純鉄粉は、ボールミルのようなメディアを用いた分散機を使用すると扁平状に変形しやすいため、メディアレスの分散機を用いることが好ましい。
【００２９】
＜添加物＞
本発明における分散体としての適性を向上させるために、塗料に種々の添加剤を配合してもよい。添加剤としては、乾燥防止剤、キレート剤、レオロジーコントロール剤等が挙げられる。
【００３０】
＜絶縁層の形成方法＞
絶縁層の形成方法に関しては、絶縁層を形成可能であれば特に限定されないが、原料となる軟磁性粉末は二次凝集を解砕するような機械エネルギーを加えながら、絶縁層を形成することが好ましい。機械エネルギーを加える手段として、前記分散方法に記載した分散機を使用することができる。
また、Ｆｅ含有粒子、特に純鉄粉は、ボールミルのようなメディアを用いた分散機を使用すると扁平状に変形しやすいため、メディアレスの分散機を用いることが好ましい。
【００３１】
＜圧粉磁心の製造方法＞
本発明における圧粉磁心は、一般的に用いられる公知の方法にて製造できる。具体的には軟磁性材料を加圧成型した後に、熱処理することにより得ることができる。
【００３２】
加圧成型工程では、プレス機械の成型金型内に本発明おける絶縁層を有する軟磁性粉末を充填し、その後、加圧して圧縮成型することにより、成型体を得る。この圧縮成型における条件は特に限定されず、表面処理粉の性状、圧粉磁心の形状、寸法、密度に応じて設定してよい。例えば、一般的には、成型圧力は、４００〜１２００ＭＰａであり、この圧力にて１分程度保持することで成型する。
【００３３】
熱処理工程では、上述のようにして得られた成型体を、１５０〜３００℃の温度にて１５〜１２０分程度保持することにより、圧粉磁心を得ることができる。
【００３４】
なお、必要に応じて、熱処理工程後に公知の手法に従って、防錆処理工程を設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明の絶縁層を有する軟磁性粉末、圧粉磁心、および、磁気デバイスは、低周波から高周波までの幅広い周波数帯に対応可能であり、磁気デバイスの小型化に貢献可能であるため、インダクタ、リアクタ、モーター、アンテナ等の磁気デバイス、および、それらを用いる各種機器に広く利用可能である。
【実施例】
【００３６】
以下に、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中、「部」とは質量部を意味する。
【００３７】
＜Ｆｅ含有粒子＞
粒子Ａ：平均粒子径０．２μｍ、粒子はＦｅが９６．５部、Ｓｉが３．５部から構成される
粒子Ｂ：平均粒子径１μｍ、粒子は純鉄（カルボニル鉄粉）
粒子Ｃ：平均粒子径６μｍ、粒子は純鉄（カルボニル鉄粉）
粒子Ｄ：平均粒子径１５μｍ、粒子はＦｅが９６．５部、Ｓｉが３．５部から構成される
粒子Ｅ：平均粒子径２０μｍ、粒子はＦｅが９６．５部、Ｓｉが３．５部から構成される
粒子Ｆ：平均粒子径０．０５μｍ、粒子はＦｅが９６．５部、Ｓｉが３．５部から構成される
粒子Ｇ：平均粒子径４５．０μｍ、粒子はＦｅが９６．５部、Ｓｉが３．５部から構成される
【００３８】
＜平均粒子径の測定方法＞
平均粒子径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した粒子径の算術平均値である。詳細には、Ｆｅ含有粒子の粉末を倍率２００００倍、ならびに１０００００倍で観察し、任意の１００個の粒子を選択し、各々の粒子径を平均して求めた値である。粒子形状が長軸、短軸を有する場合には、長軸と短軸の長さの平均値を、その粒子の粒子径として用いた。
【００３９】
＜酸化防止剤＞
酸化防止剤Ａ：ＪＰ−３１０（城北化学工業社製、亜リン酸エステル系、分子量：５０２）
酸化防止剤Ｂ：ＪＰ−３０２（城北化学工業社製、亜リン酸エステル系、分子量：１６６）
酸化防止剤Ｃ：ＪＰ−３１２Ｌ（城北化学工業社製、亜リン酸エステル系、分子量：５８６）
酸化防止剤Ｄ：ＪＰＥ−１３Ｒ（城北化学工業社製、亜リン酸エステル系、分子量：５９２）
酸化防止剤Ｅ：アデカスタブＨＰ−１０（ＡＤＥＫＡ社製、亜リン酸エステル系、分子量：５８３）
酸化防止剤Ｆ：ＳＵＭＩＬＩＺＥＲ  ＷＸ−Ｒ（住友化学社製、チオエーテル系、分子量：３５９）
酸化防止剤Ｇ：アデカスタブＡＯ−５０３（ＡＤＥＫＡ社製、チオエーテル系、分子量：５４３）
酸化防止剤Ｈ：ＪＰ―３１８−Ｏ（城北化学工業社製、亜リン酸エステル系、分子量：８３２）
酸化防止剤Ｉ：アデカスタブ１５００（ＡＤＥＫＡ社製、亜リン酸エステル系、分子量：１１１２）
酸化防止剤Ｊ：アデカスタブＡＯ−４１２Ｓ（ＡＤＥＫＡ社製、チオエーテル系、分子量：１１６２）
酸化防止剤Ｋ：アデカスタブＡＯ−３０（ＡＤＥＫＡ社製、フェノール系、分子量：５４５）
酸化防止剤Ｌ：アデカスタブＡＯ−２０（ＡＤＥＫＡ社製、フェノール系、分子量：７８４）
【００４０】
＜分散剤＞
分散剤Ａ：ＢＹＫ−１１１（ＢＹＫ  Ｃｈｅｍｉｅ社製、酸性分散剤、リン酸エステル含有分散剤）
分散剤Ｂ：ＢＹＫ−１４５（ＢＹＫ  Ｃｈｅｍｉｅ社製、酸性中和型分散剤、リン酸エステル含有分散剤）
分散剤Ｃ：フローレンＧ７００（共栄社製、酸性有分散剤、リン酸エステル非含有）
分散剤Ｄ：アジスパーＰＢ−８２１（味の素ファインテクノ社製、塩基性分散剤、リン酸エステル非含有）
【００４１】
＜絶縁層形成用樹脂＞
樹脂Ａ：ＪＥＲ１５２（三菱化学社製、フェノールノボラック型エポキシ）
【００４２】
＜硬化剤＞
硬化剤Ａ：ＪＥＲキュアＬＶ１１（三菱化学社製、アミン系硬化剤）
【００４３】
＜分散媒＞
ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート
【００４４】
下記、実施例２１〜２６、および３１以外の実施例は参考例である。
＜実施例１〜５＞
表１に記載の組成に従って、窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いて、Ｆｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、５０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンを取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。尚、表１中の数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
【００４５】
【表１】
0006662065.tif 000002
【００４６】
＜実施例６〜１５＞
表２に記載の組成に従って、窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いて、Ｆｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、５０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンを取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。尚、表２中の数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
【００４７】
【表２】
0006662065.tif 000003
【００４８】
＜実施例１６〜２６＞
表３に記載の組成に従って、窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いて、Ｆｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、５０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンを取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。尚、表３中の数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
【００４９】
【表３】
0006662065.tif 000004
【００５０】
＜比較例１〜５＞
表４に記載の組成に従って、窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いて、Ｆｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、５０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンを取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。尚、表４中の数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
【００５１】
【表４】
0006662065.tif 000005
【００５２】
＜比較例６＞
粒子Ｂ１００部に対して、３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越シリコーン社製、ＫＢＭ−９０３）０．５部、樹脂Ａ  １部、精製水０．１部、メチルエチルケトン１０部を窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いてＦｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、８０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンならびに水を取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。
【００５３】
＜比較例７＞
粒子Ｂ１００部に対して、リン酸０．５部、精製水１００部を窒素雰囲気下でディスパーを用いて撹拌混合した後に１８０℃にて１時間乾燥させ、リン酸を絶縁層として有する粒子Ｂを得た。続いて、この処理された粒子Ｂ１００．５部に対して、樹脂Ａ  １部、メチルエチルケトン１０部を窒素雰囲気下でプラネタリーミキサーを用いてＦｅ含有粒子を分散しながら、撹拌混合した後に、８０℃にて減圧乾燥し、メチルエチルケトンならびに水を取り除くことにより、絶縁層を有する軟磁性粉末を得た。
【００５４】
上記の方法にて得た軟磁性粉末を下記に示す＜分散性＞、＜絶縁性＞に従って評価した。実施例１〜２６、比較例１〜７の評価結果を表５に示す。
＜分散性＞
実施例、比較例に示した軟磁性粉末１００部をジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート２０部に添加し、撹拌混合して分散体とした後にＪＩＳ  Ｋ５１０１に従って粒状痕（密集）を測定した。下記の基準に基づいて評価を行った。
◎：材料として使用した軟磁性粉末の平均粒子径に２．５μｍを加算した値のゲージ目盛以下から密集が観察される。（極めて優れている）
○：材料として使用した軟磁性粉末の平均粒子径に５．０μｍを加算した値のゲージ目盛以下から密集が観察される。（優れている）
△：材料として使用した軟磁性粉末の平均粒子径に７．５μｍを加算した値のゲージ目盛以下から密集が観察される。（実用上問題ない）
×：材料として使用した軟磁性粉末の平均粒子径に１２．５μｍを加算した値のゲージ目盛以上から密集が観察される。（分散不良）
【００５５】
＜絶縁性＞
実施例、比較例に示した軟磁性粉末１００部をジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート２０部に添加し、撹拌混合した。得られた分散体を１００μｍ厚のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに乾燥後の膜厚が８０μｍとなるように塗工し、窒素雰囲気下にて１４０℃で３０分間加熱し、塗膜を得た。得られた塗膜の表面抵抗値を抵抗測定器（三菱化学アナリテック社製、ハイレスターＵＸ  ＭＣＰ−ＨＴ８００）で測定した。下記の基準に基づいて評価を行った。
◎：１０14Ω／□以上の表面抵抗（きわめて優れている）
○：１０11Ω／□以上１０14未満の表面抵抗値（優れている）
△：１０9Ω／□以上１０11未満の表面抵抗値（実用上問題ない）
×：１０9Ω／□未満の表面抵抗値 （不良）
【００５６】
【表５】
0006662065.tif 000006
【００５７】
＜実施例２７＞
＜圧粉磁心の製造及び評価＞
実施例１で得られた軟磁性粉末１００部に対して、硬化剤Ａを０．０５部添加し、プラネタリーミキサーを用いて均一に撹拌混合した。この混合粉末を成型圧力６００ＭＰａの条件 で成型し、外形１１．０ｍｍ、内径６．５ｍｍ、高さ約３．０ｍｍのリング形状の成型体を作製した。このようにして得られた成型体を、１８０℃で１時間の熱処理を行うことで圧粉磁芯を作製した。
【００５８】
＜実施例２８〜３１、比較例８〜１２＞
実施例３、５、６、２２および比較例１、４、５、６、７の軟磁性粉末を使用する以外は実施例２７に示した圧粉磁心と同様の製造方法にて圧粉磁心をそれぞれ作製した。
【００５９】
上記方法にて得た圧粉磁心を下記に示す＜成型密度＞、＜コアロスの周波数依存性＞に従って評価した。実施例２７〜３１、比較例８〜１２の結果を表６に示す。
【００６０】
＜成型密度＞
実施例、比較例に示す圧粉磁心の寸法と重量とを測定して圧粉磁心の成型密度（ｇ／ｃｍ3）を算出した。成型密度が、７．５ｇ／ｃｍ3を超えるものは高充填化された圧粉磁心の成型密度として十分な値である。
【００６１】
＜コアロスの周波数依存性＞
実施例、比較例に示す圧粉磁心をＢ−Ｈアナライザ（ＳＹ−８２１８、岩通社製）を用いて、印加磁界Ｂｍ＝１０ｍＴにて、周波数ｆ＝１ＭＨｚ、およびｆ＝３ＭＨｚにて圧粉磁心のコアロス（Ｐｃｖ（Ｗ／ｍ3））を測定した。３ＭＨｚのコアロスを１ＭＨｚのコアロスで除して得られた値を以下の基準に従って評価した。コアロスはヒステリシス損失、渦電流損失および残留損失からなり、コアロスの周波数依存性が小さいほど、高周波における渦電流損失等が低減されることを意味しており、高周波用途に適している。
○：４．０以下の場合（優れている）
×：４．０を上回る場合（不良）
【００６２】
【表６】
0006662065.tif 000007
【００６３】
実施例１〜２６に示すように亜リン酸エステルまたはチオエーテルにて処理した軟磁性粉末は、分散性、絶縁性共に良好な結果であった。さらに、実施例１３〜１５と比較すると分子量６００以下の亜リン酸エステルまたはチオエーテルにて処理すると絶縁性の点でより好ましい結果であった。また、実施例２１〜２４に示すようにリン酸エステル骨格を有する分散剤を併用することにより、分散性の点でさらに好ましい。本発明の軟磁性粉末を用いて製造した圧粉磁心は実施例２７〜３１に示すように、成型密度、コアロスの周波数依存性共に良好であった。