(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、
前記本体に形成された平坦状の端面と、
前記端面に形成された孔と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第１噴出口と、
前記第１噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第１流体通路と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第２噴出口と、
前記第２噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第２流体通路と
を備え、
前記第１及び第２流体通路は、前記第１噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向が、前記第２噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向と略同一となり得るように形成されており、
前記孔の底面は、前記第１又は第２噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向に沿って上方に傾斜又は湾曲するように形成されていることを特徴とする流体流形成体。
【請求項２】
本体と、
前記本体に形成された平坦状の端面と、
前記端面に形成された孔と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第１噴出口と、
前記第１噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第１流体通路と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第２噴出口と、
前記第２噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第２流体通路と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第３噴出口と、
前記第３噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第３流体通路と、
前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第４噴出口と、
前記第４噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第４流体通路と
を備え、
前記第１及び第２流体通路は、前記第１噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向が、前記第２噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向と略同一となり得るように形成されており、
前記第３及び第４流体通路は、前記第３噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向が、前記第４噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向と略同一となり得るように形成されていることを特徴とする流体流形成体。
【請求項３】
前記第１及び第３噴出口は前記孔を挟んで対向し、前記第２及び第４噴出口は前記孔を挟んで対向することを特徴とする請求項２に記載の流体流形成体。
【請求項４】
前記第１及び第２流体通路は、前記第１流体通路が延びる方向と前記第２流体通路が延びる方向とが略直交するように形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の流体流形成体。
【請求項５】
板状の基体と、
前記基体に設置される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の１以上の流体流形成体と
を備える非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負圧を発生させて部材を吸引する流体流形成体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウェハやガラス基板等の板状部材を非接触で搬送するための装置が利用されている。例えば特許文献１には、ベルヌーイ効果を利用して板状部材を非接触で搬送する装置が記載されている。この装置は、装置下面に開口する円筒室内に旋回流を発生させて旋回流中心部の負圧によって板状部材を吸引する一方で、当該円等室から流出する流体によって当該装置と板状部材との間に一定の距離を保つことで板状部材の非接触での搬送を可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−５１２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、各々孔内に流体を供給して負圧を発生させる複数の流体通路を備える流体流形成体であって、当該負圧により吸引される部材が、各流体通路から供給される流体により移動させられる方向が略同一となる流体流形成体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明は、本体と、前記本体に形成された平坦状の端面と、前記端面に形成された孔と、前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第１噴出口と、前記第１噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第１流体通路と、前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第２噴出口と、前記第２噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第２流体通路とを備え、前記第１及び第２流体通路は、前記第１噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向が、前記第２噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成されている流体流形成体を提供する。
【０００６】
好ましい態様において、前記第１及び第２流体通路は、前記第１流体通路が延びる方向と前記第２流体通路が延びる方向とが略直交するように形成されている。
【０００７】
さらに好ましい態様において、前記孔の底面は、前記第１又は第２噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向に沿って上方に傾斜又は湾曲するように形成されている。
【０００８】
さらに好ましい態様において、前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第３噴出口と、前記第３噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第３流体通路と、前記孔に面する前記本体の内側面に形成された第４噴出口と、前記第４噴出口から前記孔内に流体を供給して前記孔内に負圧を発生させる第４流体通路とを備え、前記第３及び第４流体通路は、前記第３噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向が、前記第４噴出口から前記孔内に供給されて前記孔から前記端面に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成されている。
【０００９】
さらに好ましい態様において、前記第１及び第３噴出口は前記孔を挟んで対向し、前記第２及び第４噴出口は前記孔を挟んで対向する。
【００１０】
また本発明は、板状の基体と、前記基体に設置される１以上の上記の流体流形成体とを備える非接触搬送装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、各々孔内に流体を供給して負圧を発生させる複数の流体通路を備える流体流形成体であって、当該負圧により吸引される部材が、各流体通路から供給される流体により移動させられる方向が略同一となる流体流形成体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】非接触搬送装置１の構造の一例を示す図である。
【図２】旋回流形成体３の構造の一例を示す図である。
【図３】流体流形成体４の構造の一例を示す図である。
【図４】流体流形成体４Ａの平面図である。
【図５】流体流形成体４Ｂの平面図である。
【図６】流体流形成体４Ｃの平面図である。
【図７】流体流形成体４Ｄの平面図である。
【図８】流体流形成体４Ｅの平面図である。
【図９】流体流形成体６の平面図である。
【図１０】流体流形成体７の平面図である。
【図１１】流体流形成体４Ｆの構造の一例を示す図である。
【図１２】流体流形成体８の構造の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
１．実施形態
図１は、本発明の一実施形態に係る非接触搬送装置１の構造の一例を示す図である。図１（ａ）は非接触搬送装置１の平面図であり、図１（ｂ）は非接触搬送装置１の側面図である。非接触搬送装置１は、半導体ウェハやガラス基板等の板状の部材を吸引保持して搬送するための装置である。この非接触搬送装置１は、板状の基体２と、基体２のおもて面に設置され流体の旋回流を形成する複数の旋回流形成体３と、基体２のおもて面に設置され流体流を形成する流体流形成体４と、基体２のおもて面に設置され被搬送物の位置決めを行う複数のガイド部材５とを備える。ここで流体とは、具体的には圧縮空気等の気体や、純水や炭酸水等の液体である。
【００１４】
基体２は二股のフォーク形状を有し、矩形の把持部２１と、把持部２１から分岐する２つの腕部２２とからなる。把持部２１の長手方向の一端側には、流体流形成体４を収容するための円形の凹部（図示なし）が形成され、流体流形成体４はその凹部内に接着剤等により固定される。把持部２１の裏面には供給口２１１が形成され、この供給口２１１を介して流体が基体２内に供給される。腕部２２には、旋回流形成体３を収容するための複数の円形の凹部（図示なし）が形成され、各旋回流形成体３はその凹部内に接着剤等により固定される。旋回流形成体３と流体流形成体４とは同一円周上に等間隔に配置される。また、各腕部２２は、把持部２１の長手方向に対して約４５度の角度で突出する突出部２２１を有し、この突出部２２１にはガイド部材５が固定される。基体２の内部には流体通路２３が形成され、この流体通路２３を通じて、供給口２１１から供給された流体が旋回流形成体３及び流体流形成体４に供給される。
【００１５】
図２は、旋回流形成体３の構造の一例を示す図である。図２（ａ）は旋回流形成体３の斜視図であり、図２（ｂ）は旋回流形成体３の平面図である。旋回流形成体３は、ベルヌーイ効果を利用して板状部材を非接触で吸引保持する装置である。旋回流形成体３は、その裏面が、腕部２２に形成された上記凹部の底面に固定される。この旋回流形成体３は、中央に円形の貫通孔３２を有する環状の板体である本体３１と、本体３１のおもて面に形成された平坦状の端面３３と、貫通孔３２に面する本体３１の内側面に形成された２つの噴出口３４と、本体３１の外側面に形成された２つの供給口３５と、本体３１の裏面に形成され噴出口３４と供給口３５とを連通する溝状の２つの流体通路３６とを有する。
【００１６】
２つの噴出口３４は本体３１の中心に対して点対称となるように形成される。同様に、２つの供給口３５は本体３１の中心に対して点対称となるように形成される。供給口３５は、基体２の内部に形成される流体通路２３と連通する。２つの流体通路３６は本体３１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口３４から貫通孔３２内に流体を供給する。貫通孔３２内に供給された流体はコアンダ効果により本体３１の内側面に沿って流れ、貫通孔３２内において旋回流を形成する。形成された旋回流を構成する流体分子のうち大部分は、その流体分子が供給された流体通路３６が延びる方向に対して約４５度の角度で貫通孔３２から端面３３に沿って流出する。言い換えると、貫通孔３２から端面３３に沿って流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルは、その流体分子が供給された流体通路３６が延びる方向に対して約４５度の角度をもつ。貫通孔３２内に形成された旋回流は貫通孔３２の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により貫通孔３２の中央部に負圧を発生させる。
【００１７】
２つの流体通路３６は互いに略平行に延びるように形成される。そのため、一方の流体通路３６から貫通孔３２内に供給されて端面３３に沿って流出する流体の流速ベクトルは、他方の流体通路３６から貫通孔３２内に供給されて端面３３に沿って流出する流体の流速ベクトルと略逆となる。２つの流速ベクトルが逆ベクトルの関係となる結果、旋回流形成体３により吸引される板状部材は理論上は旋回流により移動させられることはない。
また、２つの流体通路３６は貫通孔３２において同一方向の旋回流を形成するように形成される。
【００１８】
図３は、流体流形成体４の構造の一例を示す図である。図３（ａ）は流体流形成体４の斜視図であり、図３（ｂ）は流体流形成体４の平面図である。流体流形成体４は、ベルヌーイ効果を利用して板状部材を非接触で吸引保持するとともに、当該板状部材を一の方向に向けて移動させる装置である。言い換えると、一方向流形成体または直交流形成体である。流体流形成体４は、その裏面が、把持部２１に形成された上記凹部の底面に固定される。この流体流形成体４は、中央に円形の貫通孔４２を有する環状の板体である本体４１と、本体４１のおもて面に形成された平坦状の端面４３と、貫通孔４２に面する本体４１の内側面に形成された２つの噴出口４４Ａ及び４４Ｂと、本体４１の外側面に形成された供給口４５と、本体４１の裏面に形成され２つの噴出口４４Ａ及び４４Ｂと供給口４５とを連通する溝状かつＹ字形の流体通路４６とを有する。
【００１９】
供給口４５は、基体２の内部に形成される流体通路２３と連通する。流体通路４６は、供給口４５から本体４１の中心に向かって径方向に延びる第１通路部４６１と、第１通路部４６１から分岐する第２通路部４６２及び第３通路部４６３とからなる。第１通路部４６１は供給口４５と第２通路部４６２及び第３通路部４６３とを連通する。第２通路部４６２は第１通路部４６１と噴出口４４Ａとを連通する。第３通路部４６３は第１通路部４６１と噴出口４４Ｂとを連通する。
【００２０】
第２通路部４６２は本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口４４Ａから貫通孔４２内に流体を供給する。貫通孔４２内に供給された流体はコアンダ効果により本体４１の内側面に沿って流れ、貫通孔４２内において流体流を形成する。形成された流体流を構成する流体分子のうち大部分は貫通孔４２内を旋回せずに、第２通路部４６２が延びる方向に対して約４５度の角度で貫通孔４２から端面４３に沿って流出する（矢印Ａ参照）。言い換えると、貫通孔４２から端面４３に沿って流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルが、第２通路部４６２が延びる方向に対して約４５度の角度をもつ。一方、一部の流体分子は貫通孔４２内において旋回流を形成する（矢印Ｂ参照）。貫通孔４２内に形成された流体流は貫通孔４２の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により貫通孔４２の中央部に負圧を発生させる。第２通路部４６２は本発明に係る第１流体通路の一例である。噴出口４４Ａは本発明に係る第１噴出口の一例である。
【００２１】
第３通路部４６３は本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口４４Ｂから貫通孔４２内に流体を供給する。貫通孔４２内に供給された流体はコアンダ効果により本体４１の内側面に沿って流れ、貫通孔４２内において流体流を形成する。形成された流体流を構成する流体分子のうち大部分は貫通孔４２を旋回せずに、第３通路部４６３が延びる方向に対して約４５度の角度で貫通孔４２から端面４３に沿って流出する（矢印Ｃ参照）。言い換えると、貫通孔４２から端面４３に沿って流出する流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルが、第３通路部４６３が延びる方向に対して約４５度の角度をもつ。一方、一部の流体分子は貫通孔４２内において旋回流を形成する（矢印Ｄ参照）。貫通孔４２内に形成された流体流は貫通孔４２の中央部の静止流体を巻き込むこと（エントレインメント）により貫通孔４２の中央部に負圧を発生させる。第３通路部４６３は本発明に係る第２流体通路の一例である。噴出口４４Ｂは本発明に係る第２噴出口の一例である。
【００２２】
第２通路部４６２と第３通路部４６３とは、第２通路部４６２が延びる方向と第３通路部４６３が延びる方向とが略直交するように形成される。これは言い換えると、第２通路部４６２と第３通路部４６３とは、噴出口４４Ａから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向が、噴出口４４Ｂから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成されるとも言える。ここで両流出方向は当然に略平行となっている。両流出方向が略同一となっている結果、流体流形成体４は被吸引部材を一の方向に向けて移動させる（矢印Ｅ参照）。ここで一の方向とは具体的には、噴出口４４Ａ又は４４Ｂから供給されて貫通孔４２から流出する流体の流出方向である。言い換えると、噴出口４４Ａから噴出時の流体分子の流速ベクトルと、噴出口４４Ｂから噴出時の流体分子の流速ベクトルの合成ベクトルの方向である。流体流形成体４は、この一の方向が、把持部２１上において当該流体流形成体が設置された位置から把持部２１の長手方向中央部へと向かう方向と略同一となるように把持部２１上に設置される。また、第２通路部４６２と第３通路部４６３とは貫通孔４２において互いに逆方向の旋回流を形成するように形成される。
【００２３】
なお、上記の２つの流出方向が略同一となるのであれば、第２通路部４６２が延びる方向と第３通路部４６３が延びる方向とは必ずしも直交する必要はない。流体の流量や貫通孔４２の深さによっては、第２通路部４６２が延びる方向と第３通路部４６３が延びる方向とが必ずしも直交しなくても上記の２つの流出方向が略同一となる場合が考えられる。
【００２４】
ガイド部材５は円板形状を有し、その外周が被搬送物の縁部と接触することにより被搬送物の位置決めを行う。
【００２５】
以上説明した非接触搬送装置１に対して供給口２１１を介して流体が供給されると、当該流体は流体通路２３を通じて旋回流形成体３と流体流形成体４とに到達する。旋回流形成体３に到達した流体は供給口３５及び流体通路３６を通って噴出口３４から貫通孔３２内に吐出される。貫通孔３２内に吐出された流体は貫通孔３２内において旋回流として清流され、その後貫通孔３２から流出する。その際、端面３３に対向して板状部材が存在する場合には、貫通孔３２への外部流体（具体的には、気体や液体）の流入が制限された状態において、旋回流の遠心力と巻き込みにより旋回流の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、旋回流の中心部に負圧が発生する。その結果、板状部材は周囲の流体によって押圧されて端面３３側に引き寄せられる。その一方で、端面３３と板状部材とが近づくにつれて貫通孔３２から流出する流体の量が制限され、旋回流中心部の圧力が上昇する。その結果、板状部材は端面３３とは接触せず、板状部材と端面３３との間には一定の距離が保たれる。
【００２６】
一方、流体流形成体４に到達した流体は供給口４５及び流体通路４６を通って噴出口４４Ａ及び４４Ｂから貫通孔４２内に吐出される。貫通孔４２内に吐出された流体は貫通孔４２内において流体流を形成し、その後貫通孔４２から流出する。その際、端面４３に対向して板状部材が存在する場合には、貫通孔４２への外部流体（具体的には、気体や液体）の流入が制限された状態において、流体流の遠心力と巻き込みにより貫通孔４２の中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなる。すなわち、貫通孔４２の中心部に負圧が発生する。その結果、板状部材は周囲の流体によって押圧されて端面４３側に引き寄せられる。その一方で、端面４３と板状部材とが近づくにつれて貫通孔４２から流出する流体の量が制限され、貫通孔４２中心部の圧力が上昇する。その結果、板状部材は端面４３とは接触せず、板状部材と端面４３との間には一定の距離が保たれる。
【００２７】
旋回流形成体３は板状部材を吸引保持する際、理論上は板状部材を移動させることはない。これは、上記のように、旋回流形成体３の２つの流体通路３６から供給されて貫通孔３２から流出する流体の流速ベクトルが互いに逆となり、打ち消し合うためである。しかし、実際上は互いの大きさや方向が一致せず、微小な力で板状部材をいずれかの方向に移動させてしまう場合が多い。そのため、旋回流形成体３全体では板状部材をどちらかの方向に回転させてしまうことが多々発生する。一方、流体流形成体４は板状部材を吸引保持する際、上記のように、板状部材を一の方向に向けて移動させる。具体的には、板状部材を腕部２２側から把持部２１側へと移動させる（図１の矢印Ｆ参照）。流体流形成体４により把持部２１側へと移動させられた板状部材はガイド部材５と２点で接触して制止され、位置決めされる。また、板状部材はガイド部材５との間の摩擦力によりその回転が抑制される。そのため、非接触搬送装置１によれば、板状部材の回転を抑制しつつ板状部材を非接触で搬送することができる。また、この非接触搬送装置１では腕部２２の先端側にガイド部材５が設けられておらず非接触搬送装置１の先端部の厚みが抑えられるため、ウェハカセットへの出し入れが容易となる。
【００２８】
２．変形例
上記の実施形態は下記のように変形してもよい。下記の変形例は互いに組み合わせてもよい。
【００２９】
２−１．変形例１
流体流形成体４の流体通路４６の形状はＹ字形に限られない。貫通孔４２の大きさに応じてその形状を変更してもよい。例えばＶ字形としてもよい。図４は、Ｙ字形の流体通路４６に代えてＶ字形の流体通路４７を有する流体流形成体４Ａの平面図である。この流体流形成体４Ａにおいて流体通路４７は、供給口４５から分岐する第１通路部４７１及び第２通路部４７２からなる。第１通路部４７１は供給口４５と噴出口４４Ａとを連通する。第２通路部４７２は供給口４５と噴出口４４Ｂとを連通する。
【００３０】
第１通路部４７１は、上記の第２通路部４６２と同様に、本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口４４Ａから貫通孔４２内に流体を供給して貫通孔４２内に負圧を発生させる。第１通路部４７１は本発明に係る第１流体通路の一例である。第２通路部４７２は、上記の第３通路部４６３と同様に、本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口４４Ｂから貫通孔４２内に流体を供給して貫通孔４２内に負圧を発生させる。第２通路部４７２は本発明に係る第２流体通路の一例である。
【００３１】
第１通路部４７１と第２通路部４７２とは、上記の第２通路部４６２と第３通路部４６３の配置関係と同様に、第１通路部４７１が延びる方向と第２通路部４７２が延びる方向とが略直交するように形成される。言い換えると、第１通路部４７１と第２通路部４７２とは、噴出口４４Ａから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向が、噴出口４４Ｂから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成される。両流出方向が略同一となっている結果、流体流形成体４Ａは被吸引部材を一の方向に向けて移動させる（矢印Ｇ参照）。ここで一の方向とは具体的には、噴出口４４Ａ又は４４Ｂから供給されて貫通孔４２から流出する流体の流出方向である。また、第１通路部４７１と第２通路部４７２とは貫通孔４２において互いに逆方向の旋回流を形成するように形成される。
【００３２】
なお、図４に示す例では第１通路部４７１と第２通路部４７２とは共通の供給口である供給口４５に接続されているが、それぞれ異なる供給口に接続されてもよい。図５は、それぞれ異なる供給口に接続される第１通路部４７１と第２通路部４７２とを有する流体流形成体４Ｂの平面図である。この流体流形成体４Ｂでは、第１通路部４７１は供給口４５Ａと噴出口４４Ａとを連通する。一方、第２通路部４７２は供給口４５Ｂと噴出口４４Ｂとを連通する。
【００３３】
２−２．変形例２
流体流形成体４の本体４１の形状は円環状に限られない。例えば本体４１の外周及び内周を楕円形状や長円形状（言い換えると角丸長方形の形状）としてもよい。図６は、円環状の本体４１に代えて外周及び内周が長円形状の本体４１Ａを有する流体流形成体４Ｃの平面図である。別の例として本体４１の内周を半円形状としてもよい。図７は、円環状の本体４１に代えて内周が半円形状の本体４１Ｂを有する流体流形成体４Ｄの平面図である。また別の例として本体４１の内周をハート形状としてもよい。図８は、円環状の本体４１に代えて内周がハート形状の本体４１Ｃを有する流体流形成体４Ｅの平面図である。
【００３４】
また別の例として本体４１の外周及び内周を略８の字の形状としてもよい。図９は、外周及び内周が略８の字形状の本体６１を有する流体流形成体６の平面図である。この流体流形成体６は、中央に略８の字形状の貫通孔６２を有する環状の板体である本体６１と、本体６１のおもて面に形成された平坦状の端面６３と、貫通孔６２に面する本体６１の内側面に形成された２つの噴出口６４Ａ及び６４Ｂと、本体６１の外側面に形成された２つの供給口６５Ａ及び６５Ｂと、本体６１の裏面に形成された溝状の流体通路６６Ａ及び６６Ｂとを有する。
【００３５】
貫通孔６２は、各々外周の一部を直線状に切り欠いた円の形状を有する第１孔部６２１及び第２孔部６２２からなる。第１孔部６２１と第２孔部６２２は外周の直線部分同士が互いに接するように配置される。直線部分の長さは第１孔部６２１又は第２孔部６２２の半径の長さと略同一である。本体６１の外周は略長円形状（言い換えると角丸長方形の形状）を有し、貫通孔６２の形状に沿って長手方向中央がくびれた形状となっている。供給口６５Ａ及び６５Ｂは、基体２の内部に形成される流体通路２３と連通する。
【００３６】
流体通路６６Ａは供給口６５Ａと噴出口６４Ａとを連通する。また、流体通路６６Ａは第１孔部６２１の外周（円弧部分）に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口６４Ａから第１孔部６２１内に流体を供給して第１孔部６２１内に負圧を発生させる。流体通路６６Ａは本発明に係る第１流体通路の一例である。一方、流体通路６６Ｂは供給口６５Ｂと噴出口６４Ｂとを連通する。また、流体通路６６Ｂは第２孔部６２２の外周（円弧部分）に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口６４Ｂから第２孔部６２２内に流体を供給して第２孔部６２２内に負圧を発生させる。流体通路６６Ｂは本発明に係る第２流体通路の一例である。
【００３７】
流体通路６６Ａ及び６６Ｂは、流体通路６６Ａが延びる方向と流体通路６６Ｂが延びる方向とが略直交するように形成される。言い換えると、流体通路６６Ａ及び６６Ｂは、噴出口６４Ａから第１孔部６２１内に供給されて当該第１孔部から端面６３に沿って流出する流体の流出方向が、噴出口６４Ｂから第２孔部６２２内に供給されて当該第２孔部から端面６３に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成される。両流出方向が略同一となっている結果、流体流形成体６は被吸引部材を一の方向に向けて移動させる（矢印Ｈ参照）。ここで一の方向とは具体的には、噴出口６４Ａから供給されて第１孔部６２１から流出する流体の流出方向または噴出口６４Ｂから供給されて第２孔部６２２から流出する流体の流出方向である。また、流体通路６６Ａ及び６６Ｂは互いに逆方向の旋回流を形成するように形成される。
【００３８】
２−３．変形例３
流体流形成体４は、流体通路４６に加えて、流体通路４６と同じ構造の流体通路７１をさらに有してもよい。図１０は、流体通路７１をさらに有する流体流形成体７の平面図である。この流体流形成体７において流体通路７１は、供給口７２から本体４１の中心に向かって径方向に延びる第１通路部７１１と、第１通路部７１１から分岐する第２通路部７１２及び第３通路部７１３とからなる。第１通路部７１１は供給口７２と第２通路部７１２及び第３通路部７１３とを連通する。第２通路部７１２は第１通路部７１１と噴出口７３Ａとを連通する。第３通路部７１３は第１通路部７１１と噴出口７３Ｂとを連通する。ここで、供給口７２は本体４１の外側面に形成される。また、供給口７２は、基体２の内部に形成される、流体通路２３とは異なる流体通路（図示なし）と連通する。この流体通路は、供給口２１１とは異なる供給口（図示なし）と連通し、この供給口を介して流体の供給を受ける。噴出口７３Ａ及び７３Ｂは、貫通孔４２に面する本体４１の内側面に形成される。
【００３９】
第２通路部７１２は本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口７３Ａから貫通孔４２内に流体を供給して貫通孔４２内に負圧を発生させる。第２通路部７１２は本発明に係る第３流体通路の一例である。噴出口７３Ａは本発明に係る第３噴出口の一例である。第３通路部７１３は本体４１の内周に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口７３Ｂから貫通孔４２内に流体を供給して貫通孔４２内に負圧を発生させる。第３通路部７１３は本発明に係る第４流体通路の一例である。噴出口７３Ｂは本発明に係る第４噴出口の一例である。
【００４０】
第２通路部７１２と第３通路部７１３とは、第２通路部７１２が延びる方向と第３通路部７１３が延びる方向とが略直交するように形成される。言い換えると、第２通路部７１２と第３通路部７１３とは、噴出口７３Ａから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向が、噴出口７３Ｂから貫通孔４２内に供給されて当該貫通孔から端面４３に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成される。両流出方向が略同一となっている結果、流体流形成体７は、供給口７２に流体が供給されると、被吸引部材を一の方向に向けて移動させる（矢印Ｉ参照）。ここで一の方向とは具体的には、噴出口７３Ａ又は７３Ｂから供給されて貫通孔４２から流出する流体の流出方向である。また、第２通路部７１２と第３通路部７１３とは貫通孔４２において互いに逆方向の旋回流を形成するように形成される。
【００４１】
流体通路７１と流体通路４６とは本体４１の中心に対して点対称となるように配置される。そのため、流体通路７１の第２通路部７１２は流体通路４６の第２通路部４６２と略直交し、かつ第３通路部４６３と略平行となる。流体通路７１の第３通路部７１３は流体通路４６の第３通路部４６３と略直交し、かつ第２通路部４６２と略平行となる。また、噴出口７３Ａと噴出口４４Ａとは貫通孔４２を挟んで対向し、噴出口７３Ｂと噴出口４４Ｂとは貫通孔４２を挟んで対向する。
【００４２】
以上説明した流体流形成体７の供給口４５に対して流体が供給されると、上記の実施形態で述べたように、流体流形成体７は、板状部材を基体２の腕部２２側から把持部２１側へと移動させる（図１参照）。一方、流体流形成体７の供給口７２に対して流体が供給されると、流体流形成体７は板状部材を把持部２１側から腕部２２側へと移動させる。すなわち逆方向に板状部材を移動させる。このように流体流形成体７は供給口４５と供給口７２に対して選択的に流体を供給することで板状部材の移動方向を制御することができる。
【００４３】
なお、流体流形成体７を基体２に対して略９０度回転させて設置すると、把持部２１の長手方向の移動に代えて板状部材の回転方向を制御することができる。
【００４４】
また、流体流形成体７の流体通路４６及び７１のうち少なくともいずれか一方の形状を、図４又は５に示すように、Ｖ字形としてもよい。
【００４５】
また、流体通路７１と流体通路４６の配置関係は本体４１の中心に対して点対称となる配置関係に限られない。例えば、第１通路部４６１が延びる方向と第１通路部７１１が延びる方向とが略直交するように配置されてもよい。
【００４６】
２−４．変形例４
流体流形成体４は貫通孔４２に代えて非貫通孔（言い換えると凹部）を有してもよい。図１１は、貫通孔４２に代えて凹部４８を有する流体流形成体４Ｆの構造の一例を示す図である。図１１（ａ）は流体流形成体４Ｆの平面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のI−I線断面図である。この流体流形成体４Ｆにおいて凹部４８は略円板形状を有し、円板状の本体４１Ｄの裏面中央に形成される。凹部４８は本発明に係る孔の一例である。凹部４８の底面４８１は本体４１Ｄの端面４３に対して傾斜している。より具体的には、噴出口４４Ａ又は４４Ｂから凹部４８内に供給されて当該凹部から端面４３に沿って流出する流体の流出方向に沿って上方に傾斜している。凹部４８の底面４８１が傾斜していることで、凹部４８から端面４３への流体の流出がスムーズになる。
【００４７】
２−５．変形例５
流体流形成体４の噴出口４４の数は２つに限られない。例えば３つであってもよい。図１２は、３つの噴出口８４Ａ、８４Ｂ及び８４Ｃを有する流体流形成体８の構造の一例を示す図である。図１２（ａ）は流体流形成体８の斜視図であり、図１２（ｂ）は流体流形成体８の底面図である。流体流形成体８は、円板状の本体８１と、本体８１の裏面に形成された平坦状の端面８３と、端面８３の中央部に形成された半球形状の凹部８２と、凹部８２に面する本体８１の半球内側面８１１に形成された３つの噴出口８４Ａ、８４Ｂ及び８４Ｃと、本体８１の外側面に形成された供給口８５と、三股のフォーク形状を有する流体通路８６とを有する。
【００４８】
半球内側面８１１（言い換えると凹部８２の底面）は、噴出口８４Ａ、８４Ｂ又は８４Ｃから凹部８２内に供給されて当該凹部から端面８３に沿って流出する流体の流出方向に沿って上方に湾曲する部分を有する。ここで、凹部８２は本発明に係る孔の一例である。流体通路８６は、本体８１の裏面に形成され供給口８５から本体８１の中心に向かって径方向に延びる溝状の第１通路部８６１と、第１通路部８６１から分岐し端面８３に対して傾いて延びるように形成された第２通路部８６２、第３通路部８６３及び第４通路部８６４とからなる。第１通路部８６１は供給口８５と第２通路部８６２、第３通路部８６３及び第４通路部８６４とを連通する。第２通路部８６２は第１通路部８６１と噴出口８４Ａとを連通する。第３通路部８６３は第１通路部８６１と噴出口８４Ｂとを連通する。第４通路部８６４は第１通路部８６１と噴出口８４Ｃとを連通する。
【００４９】
第２通路部８６２は半球内側面８１１に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口８４Ａから凹部８２内に流体を供給して凹部８２内に負圧を発生させる。第２通路部８６２は本発明に係る第１流体通路の一例である。第３通路部８６３は半球内側面８１１に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口８４Ｂから凹部８２内に流体を供給して凹部８２内に負圧を発生させる。第３通路部８６３は流体流形成体８を平面視したときに第１通路部８６１と同一直線状に配置されるように形成される。第４通路部８６４は半球内側面８１１に対して接線方向に延びるように形成され、噴出口８４Ｃから凹部８２内に流体を供給して凹部８２内に負圧を発生させる。第４通路部８６４は本発明に係る第２流体通路の一例である。
【００５０】
第２通路部８６２と第４通路部８６４とは、流体流形成体８を平面視したときに第２通路部８６２が延びる方向と第４通路部８６４が延びる方向とが略直交するように形成される。言い換えると、第２通路部８６２と第４通路部８６４とは、噴出口８４Ａから凹部８２内に供給されて当該凹部から端面８３に沿って流出する流体の流出方向が、噴出口８４Ｃから凹部８２内に供給されて当該凹部から端面８３に沿って流出する流体の流出方向と略同一となるように形成される。両流出方向は、噴出口８４Ｂから凹部８２内に供給されて当該凹部から端面８３に沿って流出する流体の流出方向と略同一である。その結果、流体流形成体８は被吸引部材を一の方向に向けて移動させる（矢印Ｊ参照）。ここで一の方向とは具体的には、噴出口８４Ａ、８４Ｂ又は８４Ｃから供給されて凹部８２から流出する流体の流出方向である。また、第２通路部８６２と第４通路部８６４とは凹部８２において互いに逆方向の旋回流を形成するように形成される。
【００５１】
２−６．変形例６
非接触搬送装置１の搬送対象は半導体ウェハやガラス基板等の部材に限られず、用紙や写真等のシート状の物体であってもよい。または海苔等のシート状の食材であってもよい。
【００５２】
２−７．変形例７
非接触搬送装置１に設置される流体流形成体４の位置を、同装置に設置されるいずれかの旋回流形成体３の位置と入れ替えてもよい。その際、流体流形成体４は、その被吸引部材の移動方向が、非接触搬送装置１の腕部２２側から把持部２１側へと向かう方向と略同一となるように腕部２２に設置される。
【００５３】
別の例として、非接触搬送装置１に設置される旋回流形成体３のうち１以上の旋回流形成体３を流体流形成体４により代替してもよい。その際、設置される流体流形成体４は、その被吸引部材の移動方向が、非接触搬送装置１の腕部２２側から把持部２１側へと向かう方向と略同一となるように腕部２２に設置される。
【００５４】
２−８．変形例８
非接触搬送装置１の基体２の形状は二股のフォーク形状に限られない。例えば円形（例えば特許５９０８１３６号公報参照）や楕円形や矩形であってもよい。また別の例として、非接触搬送装置１の基体２を、地面に固定的に設置する台（例えば特開２０１４−０１９５１４号公報参照）として構成し、基体２上に複数の流体流形成体４を設置することでベルトコンベヤの代用としてもよい。
【００５５】
非接触搬送装置１に設置される旋回流形成体３及び流体流形成体４の個数は７個に限られない。旋回流形成体３及び流体流形成体４の個数は７個未満であっても８個以上であってもよい。
【００５６】
２−９．変形例９
旋回流形成体３の端面３３に、貫通孔３２への被吸引物の進入を阻害する周知の邪魔板（例えば特許５９０８１３６号公報参照）を取り付けてもよい。同様に、流体流形成体４の端面４３に、貫通孔４２への被吸引物の進入を阻害する邪魔板を取り付けてもよい。
【００５７】
２−１０．変形例１０
旋回流形成体３を周知の放射流形成体（例えば特許５９０８１３６号公報参照）や周知の電動ファン（例えば特開２０１１−１３８９４８号公報参照）と置換してもよい。
【００５８】
２−１１．変形例１１
ガイド部材５の形状、数及び配置は図１に例示したものに限られない。ガイド部材５の形状、数及び配置は、被搬送物の形状に応じて決定されてよい。
【符号の説明】
【００５９】
１…非接触搬送装置、２…基体、３…旋回流形成体、４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ、４Ｅ、４Ｆ…流体流形成体、５…ガイド部材、６…流体流形成体、７…流体流形成体、８…流体流形成体、２１…把持部、２２…腕部、２３…流体通路、３１…本体、３２…貫通孔、３３…端面、３４…噴出口、３５…供給口、３６…流体通路、４１、４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ、４１Ｄ…本体、４２…貫通孔、４３…端面、４４Ａ、４４Ｂ…噴出口、４５…供給口、４６…流体通路、４７…流体通路、４８…凹部、６１…本体、６２…貫通孔、６３…端面、６４Ａ、６４Ｂ…噴出口、６５Ａ、６５Ｂ…供給口、６６Ａ、６６Ｂ…流体通路、７１…流体通路、７２…供給口、７３Ａ、７３Ｂ…噴出口、８１…本体、８２…凹部、８３…端面、８４Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ…噴出口、８５…供給口、８６…流体通路、２１１…供給口、２２１…突出部、４６１…第１通路部、４６２…第２通路部、４６３…第３通路部、４７１…第１通路部、４７２…第２通路部、４８１…底面、６２１…第１孔部、６２２…第２孔部、７１１…第１通路部、７１２…第２通路部、７１３…第３通路部、８１１…半球内側面、８６１…第１通路部、８６２…第２通路部、８６３…第３通路部、８６４…第４通路部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006716136.tif 000008
【図８】
0006716136.tif 000009
【図９】
0006716136.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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