(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を照射する放射線源と、
モアレ画像を撮影する放射線検出器と、
前記放射線源から照射された放射線が入射されモアレ画像の撮影に用いられる撮影用素子と、
前記撮影用素子を保持する保持部と、
前記保持部を介して前記撮影用素子に変位を与えて、当該撮影用素子における放射線が入射される入射面の精度を調整する調整機構部と、を備え、
前記撮影用素子は、スリットが形成された複数の小格子を並設させてなる格子であり、
前記調整機構部は、前記保持部に保持されている前記複数の小格子のうち、少なくとも一の小格子に変位を与えて、前記格子における前記入射面の精度を調整し、前記保持部の前記少なくとも一の小格子が載置される載置面に設けられ、当該少なくとも一の小格子に放射線の照射方向の変位を与える変位付与部材を有し、
前記変位付与部材は、隣接する小格子どうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように、前記保持部に配設されていることを特徴とするタルボ撮影装置。
【請求項２】
前記変位付与部材は、保護部材を介して前記少なくとも一の小格子に当接可能な先端部を有することを特徴とする請求項１に記載のタルボ撮影装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記複数の小格子が取り付けられた取付部材を有し、
前記調整機構部は、前記取付部材の前記少なくとも一の小格子が載置されている部分に放射線の照射方向の変位を与える変位付与部材を有することを特徴とする請求項１に記載のタルボ撮影装置。
【請求項４】
前記撮影用素子は、スリットが形成された格子であり、
前記保持部は、前記放射線源に対して円弧状に湾曲させた状態で格子を保持し、
前記調整機構部は、前記保持部に保持されている前記格子に変位を与えて、当該格子における前記入射面の精度を調整することを特徴とする請求項１に記載のタルボ撮影装置。
【請求項５】
前記保持部は、前記格子が取り付けられた取付部材を有し、
前記調整機構部は、前記取付部材の前記格子が載置されている部分に放射線の照射方向の変位を与える変位付与部材を有することを特徴とする請求項４に記載のタルボ撮影装置。
【請求項６】
前記放射線検出器は、前記放射線源から照射された放射線を別の波長の電磁波に変えるスリット状のシンチレーターを有し、
前記保持部は、前記撮影用素子としての前記シンチレーターを有する前記放射線検出器を保持し、
前記調整機構部は、前記保持部に変位を与えて、当該保持部に保持されている前記シンチレーターにおける前記入射面の精度を調整することを特徴とする請求項１に記載のタルボ撮影装置。
【請求項７】
前記保持部は、前記放射線検出器が固定された基台を有し、
前記調整機構部は、前記基台の前記シンチレーターと放射線の照射方向に重なる部分に当該照射方向の変位を与える変位付与部材を有することを特徴とする請求項６に記載のタルボ撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計を用いたＸ線タルボ撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線が物体を透過するときに生じるＸ線の位相シフトを捉えて画像化する、タルボ（Talbot）干渉計やタルボ・ロー（Talbot-Lau）干渉計と放射線検出器（Flat Panel Detector：ＦＰＤ）とを用いたＸ線画像撮影装置が知られている（例えば特許文献１、２等参照）。なお、以下では、このようなタルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計等を用いたＸ線画像撮影装置を、Ｘ線タルボ撮影装置という。
【０００３】
Ｘ線タルボ撮影装置は、一定の周期でスリットが設けられた第１格子（Ｇ１格子）と第２格子（Ｇ２格子）を備え（タルボ・ロー干渉計を用いる場合にはさらに線源格子（Ｇ０格子）を備え）、Ｘ線源から第１格子にＸ線を照射することにより第１格子のＸ線照射方向下流側で第１格子の自己像が一定周期で結ばれる位置に第２格子を配置し、この第２格子におけるスリットの延在方向を第１格子におけるスリットの延在方向に対してわずかに傾けるように第２格子を配置することで、第２格子上にモアレ縞を形成させる。そして、このモアレ縞が重畳された画像（以下、これをモアレ画像という。）を第２格子の下流側に配置したＸ線検出器で検出して撮影するように構成される。
【０００４】
そして、Ｘ線源（或いは線源格子）と第１格子との間や第１格子と第２格子との間に被写体を配置すると、被写体によりモアレ縞に歪みが生じる。そのため、Ｘ線タルボ撮影装置で、第１格子と第２格子とを相対的に移動させながら複数枚のモアレ画像を撮影し（縞走査法）、画像処理において、それらのモアレ画像を画像解析することで微分位相画像、吸収画像、小角散乱画像等の画像を再構成して生成することができる。
【０００５】
ところで、Ｘ線タルボ撮影装置の第１格子等はシリコンウェハで形成される場合が多いが、加工可能なシリコンウェハのサイズには制限があるため、第１格子等を１枚のシリコンウェハで構成する場合には第１格子等の面積の拡大には限界がある。
そこで、例えば上記特許文献１、２等に記載されているように、第１格子等を複数の小格子を並設させて構成することで大面積化する技術の研究が進められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１３５３０号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２２３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、第１格子等を複数の小格子を並設させた構成とした場合、これら小格子の各々のＸ線の照射方向の位置がずれたりＸ線が入射される入射面が傾いたりする虞がある。ここで、これら小格子どうしのＸ線の照射方向の位置やＸ線の入射面の傾きにミクロンオーダーやサブミクロンオーダーの僅かなずれが生じても、モアレ画像を適正に撮影することができなくなるため、第１格子等における放射線の入射面の平面度を確保することが求められている。
【０００８】
また、第２格子の代わりにスリット状のシンチレーターをＸ線検出器に搭載した構成のものも知られているが、この場合にも同様に、Ｘ線検出器の大面積化に伴ってシンチレーターにおけるＸ線が入射される入射面の平面度を確保することが困難となる。
【０００９】
また、上記特許文献１、２等では、格子の周縁部でのいわゆるケラレの問題に対応するために、第１格子や第２格子を円弧状に湾曲させた構成となっているが、この構成の場合、シリコンウェハのような硬い材料で形成されている格子を一定の曲率で適正に湾曲させることが求められている。
【００１０】
本発明は、上記の点を鑑みてなされたものであり、モアレ画像の撮影に用いられる撮影用素子における放射線が入射される入射面の精度を適正に確保することが可能なタルボ撮影装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記の問題を解決するために、本発明のタルボ撮影装置は、
放射線を照射する放射線源と、
モアレ画像を撮影する放射線検出器と、
前記放射線源から照射された放射線が入射されモアレ画像の撮影に用いられる撮影用素子と、
前記撮影用素子を保持する保持部と、
前記保持部を介して前記撮影用素子に変位を与えて、当該撮影用素子における放射線が入射される入射面の精度を調整する調整機構部と、を備え、
前記撮影用素子は、スリットが形成された複数の小格子を並設させてなる格子であり、
前記調整機構部は、前記保持部に保持されている前記複数の小格子のうち、少なくとも一の小格子に変位を与えて、前記格子における前記入射面の精度を調整し、前記保持部の前記少なくとも一の小格子が載置される載置面に設けられ、当該少なくとも一の小格子に放射線の照射方向の変位を与える変位付与部材を有し、
前記変位付与部材は、隣接する小格子どうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように、前記保持部に配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のような方式のタルボ撮影装置によれば、モアレ画像の撮影に用いられる撮影用素子における放射線が入射される入射面の精度を適正に確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置の全体像を表す斜視図である。
【図２】タルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計の原理を説明する図である。
【図３】格子に複数のスリットが配設されていることを説明する図である。
【図４】実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置の下部の第２のカバーユニット内の構成を説明する図である。
【図５】第１格子をホルダーに取り付けた状態を表す斜視図である。
【図６】ホルダーの分解図である。
【図７】（Ａ）ホルダーの底面図であり、（Ｂ）図５のI−I線に沿う断面図である。
【図８】（Ａ）ホルダーに変位付与部材を並設させた一例における、図５のI−I線に対応する断面図であり、（Ｂ）ホルダーの受け部を変位させる一例における、図５のI−I線に対応する断面図である。
【図９】実施形態２に係るＸ線タルボ撮影装置の第１格子をホルダーに取り付けた状態を表す斜視図である。
【図１０】（Ａ）図９のII−II線に沿う断面図であり、（Ｂ）図９のIII−III線に沿う断面図である。
【図１１】（Ａ）実施形態３に係るＸ線タルボ撮影装置の放射線検出器の底面図であり、（Ｂ）IV−IV線に沿う断面図である。
【図１２】（Ａ）放射線検出器の一例の底面図であり、（Ｂ）V−V線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るタルボ撮影装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置１の全体像を表す斜視図である。
図１に示すように、実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置１は、放射線源２と、後述する線源格子２０等を含む第１のカバーユニット３と、第１のカバーユニット３等を支持する支持部４と、被写体台５と、後述する第１格子２１や第２格子２２、放射線検出器２３（後述する図４参照）等を含む第２のカバーユニット６と、支柱７等を備えて構成されている。
なお、以下の説明では、Ｘ線を用いて撮影を行うＸ線タルボ撮影装置１を例示して説明するが、例えば、中性子線、ガンマ線等の他の放射線を用いても良い。
【００１６】
ここで、Ｘ線タルボ撮影装置１に用いられるタルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計に共通する原理について、図２を用いて説明する。
なお、図２では、タルボ干渉計の場合が示されているが、タルボ・ロー干渉計の場合にも基本的に同様に説明される。また、第１格子２１や第２格子２２は、一枚のシリコンウェハから形成されたものを例示しているが、後述するように複数の小格子を並設させた構成であっても同様である。
【００１７】
タルボ干渉計では、放射線源２と第１格子２１と第２格子２２とが、放射線の照射方向（ｚ方向）に順番に配置される。なお、図示を省略するが、タルボ・ロー干渉計の場合には、放射線源２の近傍に線源格子２０（図１等参照）が配置される。そして、タルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計では、図２に示すように、被写体Ｈが放射線の照射方向（ｚ方向）において第１格子２１の上流側の位置に配置されるように構成される。なお、図示を省略するが、被写体Ｈを、放射線の照射方向において第１格子２１の下流側の位置に配置するように構成することも可能である。
【００１８】
図３に示すように、第１格子２１や第２格子２２には（タルボ・ロー干渉計の場合は線源格子２０にも）、放射線の照射方向であるｚ方向と直交するｘ方向に、所定の周期ｄで複数のスリットＳが配列されて形成されている。なお、所定の周期ｄは、第１格子２１や第２格子２２、線源格子２０でそれぞれ異なる。また、図３では、スリットＳを見易くするため、格子に比べてスリットＳが相対的に非常に大きく記載されている。
【００１９】
そして、放射線源２から照射された放射線（タルボ・ロー干渉計の場合は放射線源２から照射された放射線が線源格子２０で多光源化された放射線）が第１格子２１を透過すると、透過した放射線がｚ方向に一定の間隔で像を結ぶ。この像を自己像（格子像等ともいう。）といい、このように自己像がｚ方向に一定の間隔をおいて形成される現象をタルボ効果という。
【００２０】
そして、図２に示すように、第１格子２１の自己像が像を結ぶ位置に第２格子２２が配置されるが、その際、第２格子２２のスリットＳの延在方向（ｙ方向）が、第１格子２１のスリットＳの延在方向に対して僅かに角度を持つように配置する。そして、このように配置することで、第２格子２２上にモアレ縞のみからなるモアレ画像Ｍｏが現れる。なお、図２では、モアレ画像Ｍｏを第２格子２２上に記載するとモアレ縞とスリットＳとが混在する状態になって分かりにくくなるため、モアレ画像Ｍｏを第２格子２２から離して記載しているが、実際には第２格子２２上やその下流側でモアレ画像Ｍｏが形成される。
【００２１】
また、被写体Ｈが、放射線が照射される範囲内に存在すると、被写体Ｈによって放射線の位相がずれる。そのため、モアレ画像Ｍｏのモアレ縞に被写体の辺縁を境界とした乱れが生じ、第２格子２２上やその下流側に、図２に示すように被写体Ｈにより乱れが生じたモアレ画像Ｍｏが現れる。
【００２２】
以上が、タルボ干渉計やタルボ・ロー干渉計の原理である。そして、第２格子２２の下流側に配置された放射線検出器２３（後述する図４参照）で上記のモアレ画像Ｍｏを撮影するように構成される。本実施形態では、このようにして、上記の原理に従って、Ｘ線タルボ撮影装置１が構成されている。
【００２３】
以下、本実施形態に係るＸ線タルボ撮影装置１の構成について説明する。なお、本実施形態では、Ｘ線タルボ撮影装置１が、線源格子２０を備えるタルボ・ロー干渉計を用いたＸ線タルボ撮影装置である場合について説明するが、線源格子２０を備えず、第１格子２１や第２格子２２のみを備えるタルボ干渉計を用いたＸ線タルボ撮影装置であっても同様に説明される。
【００２４】
また、以下では、図１に示すように、Ｘ線タルボ撮影装置１が、上側に設けられた放射線源２から下方の被写体に向けて放射線を照射するように構成されている場合について説明するが、本発明はこの場合に限定されず、放射線源２から放射線を水平方向や任意の方向に照射して被写体のモアレ画像Ｍｏを撮影するように構成することも可能である。
【００２５】
放射線源２は、例えば、医療現場で広く一般に用いられているクーリッジＸ線源や回転陽極Ｘ線源等を備えているが、これら以外のタイプの放射線源（管球）を備えるように構成することも可能である。
【００２６】
また、放射線源２の放射線の照射方向（ｚ方向）下流側に線源格子２０が設けられている。
線源格子２０は、放射線源２の振動が線源格子２０等に伝わらないようにするために、放射線源２に取り付けられるのではなく、支柱７に取り付けられた固定部材４に取り付けられるようになっている。なお、図示を省略するが、固定部材４には、線源格子２０のほか、線源格子２０を透過した放射線の線質を変えるためのろ過フィルター（付加フィルター等ともいう。）や、照射される放射線の照射野を絞るための照射野絞り等が取り付けられている。
【００２７】
また、線源格子２０の放射線の照射方向（ｚ方向）下流側には、被写体を載置可能な被写体台５、第１格子２１、第２格子２２、放射線検出器２３（後述する図４参照）等を防護するためのカバーユニット６が設けられている。なお、図示を省略するが、被写体台５上に保持装置を配置したり、被写体台５に保持装置を設ける等して、被写体を保持装置で保持して、被写体の位置や放射線の照射方向に対する角度等を固定するように構成することも可能である。
【００２８】
図４に示すように、カバーユニット６内には、第１格子２１、第２格子２２、放射線検出器２３等が配置されている。そして、その際、前述したように、放射線源２から照射され第１格子２１を透過した放射線が第１格子２１からｚ方向に一定の間隔で自己像を結ぶ位置に第２格子２２が配置されるように、第１格子２１と第２格子２２との間隔を調整することができるようになっている。
【００２９】
また、第２格子２２の直下に放射線検出器２３が配置され、上記のように第２格子２２上に生じたモアレ画像Ｍｏが放射線検出器２３で撮影されるようになっている。なお、図示を省略するが、放射線検出器（ＦＰＤ）２３は、照射された放射線に応じて電気信号を生成する変換素子が二次元状（マトリクス状）に配置されて構成されており、変換素子により生成された電気信号を画像信号として読み取ることで上記のモアレ画像Ｍｏを変換素子ごとの画像信号として撮影するようになっている。
【００３０】
また、Ｘ線タルボ撮影装置１がいわゆる縞走査法を用いてモアレ画像Ｍｏを複数枚撮影するように構成されている場合には、第１格子２１と第２格子２２との相対位置を図４におけるｘ方向（すなわち、スリットＳの延在方向（ｙ方向）に直交する方向）にずらしながらモアレ画像Ｍｏを複数枚撮影するため、第１格子２１と第２格子２２との相対位置をｘ方向にずらすための図示しない移動装置等が設けられる。なお、Ｘ線タルボ撮影装置１でモアレ画像Ｍｏを１枚撮影し、それをフーリエ変換する等して微分位相画像等を再構成して生成するように構成されている場合には移動装置等を設ける必要はない。
【００３１】
なお、図示を省略するが、Ｘ線タルボ撮影装置１で撮影されたモアレ画像Ｍｏはコントローラーや画像処理装置に送信され、コントローラーや画像処理装置は、放射線検出器２３で撮影された１枚或いは複数枚のモアレ画像Ｍｏに基づいて吸収画像や微分位相画像等を再構成して生成するように構成される。
【００３２】
上記したように、線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子は、放射線源２から照射された放射線が入射され、放射線検出器２３によるモアレ画像Ｍｏの撮影に用いられる撮影用素子を構成するものである。
【００３３】
次に、格子の構造及び入射面の精度の調整機構について、図５〜図７を参照して詳細に説明する。
図５は、第１格子２１をホルダー（保持部）３０に取り付けた状態を表す斜視図であり、図６は、ホルダー３０の分解図である。また、図７（Ａ）は、ホルダー３０の底面図であり、図７（Ｂ）は、図５のI−I線に沿う断面図である。なお、図５〜図７にあっては、各格子のスリットＳの図示は省略している。
なお、以下では、第１格子２１の場合を例示して説明するが、線源格子２０や第２格子２２も同様に構成されても良い。
【００３４】
図５及び図６に示すように、第１格子２１は、スリットＳが形成された複数（例えば、四つ）の小格子２１Ａ、…を放射線の照射方向（ｚ方向）に直交する方向に並設させた状態でホルダー３０に保持されるようになっている。そして、ホルダー３０は、受け部３１と、押さえ部３２と、弾性部材３３とを備えている。
なお、図２や図４では、第１格子２１等が一枚のシリコンウェハから形成されているように表されているが、本実施形態では、実際には、複数の小格子２１Ａ、…を並設させた構造である。
【００３５】
また、第１格子２１等の各格子は、シリコンウェハ等で形成されており、ホルダー３０の受け部３１や押さえ部３２等は硬さや加工容易性、価格等の観点からアルミニウムや鉄等で形成されているが、格子やホルダー３０を構成する材質がどのような材質であっても本発明を適用することができる。
また、図５、図６、図７（Ｂ）において、放射線は図中上側から下向き（ｚ方向）に照射される。以下の説明では、放射線の照射方向上流側を上側や上方等とし、放射線の照射方向下流側を下側や下方等として説明するが、前述したように、例えば、Ｘ線タルボ撮影装置１の放射線源２から放射線を水平方向に照射してモアレ画像Ｍｏを撮影するように構成するような場合には、放射線の照射方向上流側や照射方向下流側が左右方向となる。
【００３６】
図５に示すように、本実施形態では、基本的に、ホルダー３０の受け部３１を第１格子２１の下側（すなわち、第１格子２１を構成する複数の小格子２１Ａ、…の放射線出射面ｒ側）に配置し、ホルダー３０の押さえ部３２を第１格子２１の上側（すなわち、第１格子２１を構成する複数の小格子２１Ａ、…の放射線入射面Ｒ側）に配置し、複数の小格子２１Ａ、…の外周縁部を、ホルダー３０の受け部３１と押さえ部３２とで上下方向から挟み付けて保持するようになっている。そして、図７に示すように、ホルダー３０の受け部３１と押さえ部３２の周縁部を全周にわたってネジ３４で締結することで、受け部３１と押さえ部３２で複数の小格子２１Ａ、…を挟持するようになっている。
【００３７】
そして、第１格子２１を構成する複数の小格子２１Ａ、…をホルダー３０で保持する際、各小格子２１Ａが、放射線の照射方向下流側（図中下側）に設けられた受け部３１の受け面３１Ｂと、放射線の照射方向上流側（図中上側）に設けられた押さえ部３２の押さえ面３２Ｂとの間で挟持される。さらに、第１格子２１の放射線入射面Ｒとホルダー３０の押さえ部３２の押さえ面３２Ｂとの間に弾性部材３３が配置されている。
なお、図５や図６や図７（ｂ）では、第１格子２１と押さえ部３２との間に弾性部材３３が配置されている場合を示したが、例えば、図示は省略するが、第１格子２１の放射線出射面ｒとホルダー３０の受け部３１の受け面３１Ｂとの間に弾性部材３３を配置するように構成することも可能である。
【００３８】
また、ホルダー３０の受け部３１や押さえ部３２と、弾性部材３３には、第１格子２１に照射される放射線を遮らないようにするための開口部３１Ａ、３２Ａ、３３Ａがそれぞれ設けられている。その際、放射線が第１格子２１に照射された際に、放射線がホルダー３０の受け部３１や押さえ部３２等に当たり反射されたり散乱されたりして悪影響が生じるような場合には、例えば、受け部３１や押さえ部３２を鉛等の放射線を透過しない金属で形成したり、或いは、受け部３１の表面のうち放射線が当たりそうな部分等に鉛等の金属層を設ける等することも可能である。
【００３９】
また、第１格子２１を構成する複数の小格子２１Ａ、…は、複数のスリットＳと非スリット部とが交互にかつ平行に形成されており、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部において、スリットＳの格子周期が隣接する小格子２１Ａに形成されたスリットＳの格子周期ｄと同一になるように並設されている。
【００４０】
また、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、ホルダー３０には、第１格子２１における放射線入射面Ｒの精度を調整する変位付与部材（調整機構部）３５が設けられている。
変位付与部材３５は、例えば、ネジ等により構成され、複数の小格子２１Ａ、…の組み合わせ位置を基準として、ホルダー３０に配設されている。例えば、ホルダー３０の受け部３１の小格子２１Ａが載置される受け面（載置面）３１Ｂであって、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように４つの変位付与部材３５が設けられている。
【００４１】
具体的には、受け部３１には、各変位付与部材３５の外径に対応する内径を有する雌ねじ孔３１Ｃが放射線の照射方向（ｚ方向）に沿って形成され、この雌ねじ孔３１Ｃに変位付与部材３５が放射線の照射方向下流側（図７（Ｂ）における下側）から螺子込まれている。また、変位付与部材３５は、例えば、樹脂製の保護部材３６を介して少なくとも一の小格子２１Ａに先端部を当接可能となっている。
そして、各変位付与部材３５が雌ねじ孔３１Ｃに螺子込まれる量に応じて、保護部材３６を介して当該変位付与部材３５の先端部により少なくとも一の小格子２１Ａを押圧して強制的に変位させる外力を調整可能となっている。すなわち、各変位付与部材３５によって、端部どうしが突き合わされている隣接する２つの小格子２１Ａ、２１Ａに放射線の照射方向上流側（図７（Ｂ）における上側）の変位が与えられ、これにより、複数の小格子２１Ａ、…どうしの放射線の照射方向の位置や放射線入射面Ｒの傾き等を調整することが可能となる。
【００４２】
なお、本実施形態では、変位付与部材３５を雌ねじ孔３１Ｃに放射線の照射方向下流側から螺子込んで小格子２１Ａを放射線の照射方向上流側に変位させる構成を例示したが、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、変位付与部材３５により小格子２１Ａを放射線の照射方向下流側に変位させる構成としても良い。具体的には、ホルダー３０の押さえ部３２に雌ねじ孔（図示略）を形成するとともに、弾性部材３３を小格子２１Ａの放射線出射面ｒ側と受け部３１の受け面３１Ｂとの間に配置し、変位付与部材３５を雌ねじ孔に放射線の照射方向上流側から螺子込んで小格子２１Ａを放射線の照射方向下流側に変位させるようにしても良い。
さらに、小格子２１Ａを放射線の照射方向上流側に変位させる第１の変位付与部材（図示略）と、小格子２１Ａを放射線の照射方向下流側に変位させる第２の変位付与部材（図示略）とを備える構成としても良い。
【００４３】
また、図示は省略するが、例えば、複数の小格子２１Ａ、…は、隣接する小格子２１Ａの突き合わされる端部どうしに相補的な形状を有する切欠部を設け、これらの切欠部どうしを組み合わせることで、複数の小格子２１Ａ、…どうしの放射線の照射方向の位置のずれを抑制し、第１格子２１における放射線入射面Ｒの平面度を確保するようにしても良い。
【００４４】
ここで、変位付与部材３５が設けられたホルダー３０の別の実施例について、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）を参照して説明する。
図８（Ａ）は、ホルダー１３０に変位付与部材３５を並設させた一例における、図５のI−I線に対応する断面図であり、図８（Ｂ）は、ホルダー２３０の受け部２３１を変位させる一例における、図５のI−I線に対応する断面図である。
【００４５】
図８（Ａ）に示すように、ホルダー１３０の受け部３１の受け面３１Ｂであって、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように２つの変位付与部材３５が並設され、当該ホルダー１３０には計８つの変位付与部材３５が設けられている。具体的には、受け部３１には各変位付与部材３５に対応する雌ねじ孔３１Ｃがそれぞれ形成され、各雌ねじ孔３１Ｃに変位付与部材３５がそれぞれ螺子込まれている。
【００４６】
この場合、並設されている２つの変位付与部材３５、３５の各々の螺子込み量をそれぞれ調整して、各変位付与部材３５により隣接する２つの小格子２１Ａ、２１Ａを押圧して強制的に変位させる外力を調整することで、これら２つの小格子２１Ａ、２１Ａの放射線の照射方向の位置や放射線入射面Ｒの傾きをより細かく調整することが可能となる。
すなわち、小格子２１Ａの放射線の照射方向の位置や放射線入射面Ｒの傾きを適正に調整する上では、メンテナンス性は低下するものの、小格子２１Ａを放射線の照射方向上流側に変位させる第１の変位付与部材（図示略）と、小格子２１Ａを放射線の照射方向下流側に変位させる第２の変位付与部材（図示略）とを備える構成とすることが望ましいと考えられる。しかしながら、小格子２１Ａの放射線入射面Ｒとホルダー３０の押さえ部３２の押さえ面３２Ｂとの間には弾性部材３３が配置されている構造を採った場合、小格子２１Ａを放射線の照射方向下流側に変位させる第２の変位付与部材を備えることが困難となる。そこで、小格子２１Ａを放射線の照射方向上流側に変位させる変位付与部材３５を複数並設することで、メンテナンス性も向上させつつ、第１格子２１における放射線入射面Ｒの精度を適正に確保することが可能となる。
【００４７】
図８（Ｂ）に示すように、ホルダー２３０には、受け部２３１の受け面３１Ｂよりも放射線の照射方向下流側に、枠状部３７が設けられている。
枠状部３７は、受け部２３１の開口部３１Ａ、押さえ部３２の開口部３２Ａ及び弾性部材３３の開口部３３Ａと同様に、第１格子２１に照射される放射線を遮らないようにするための開口部３７Ａが設けられている。また、枠状部３７と受け部２３１の周縁部は全周にわたってネジ３８により締結されている。また、枠状部３７には、複数の小格子２１Ａ、…が取り付けられている取付部材としての受け部２３１の少なくとも一の小格子２１Ａが載置されている部分を放射線の照射方向に変位させる変位付与部材２３５が設けられている。
例えば、枠状部３７の受け部２３１の受け面３１Ｂに対応する部分であって、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように４つの変位付与部材２３５が設けられている。
【００４８】
具体的には、枠状部３７には、変位付与部材２３５の外径に対応する内径を有する雌ねじ孔３７Ｂが放射線の照射方向（ｚ方向）に沿って形成され、この雌ねじ孔３７Ｂに変位付与部材２３５が放射線の照射方向下流側（図７（Ｂ）における下側）から螺子込まれている。
そして、各変位付与部材２３５が雌ねじ孔３７Ｂに螺子込まれる量に応じて、当該変位付与部材２３５の先端部により受け部２３１を押圧して強制的に変位させる外力を調整可能となっている。すなわち、各変位付与部材２３５によって、複数の小格子２１Ａ、…が取り付けられている受け部２３１に放射線の照射方向上流側（図７（Ｂ）における上側）の変位が与えられ、これにより、複数の小格子２１Ａ、…どうしの放射線の照射方向の位置や放射線入射面Ｒの傾き等を調整することが可能となる。
【００４９】
なお、上記した変位付与部材３５、２３５が配設される位置は、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上の代わりに、或いは、加えて複数の小格子２１Ａ、…がなす矩形の角部に対応する位置など適宜任意に変更可能である。また、複数の小格子２１Ａ、…がなす矩形の角部に対応させて変位付与部材３５、２３５が配設される場合、当該変位付与部材３５、２３５によって一の小格子２１Ａを放射線の照射方向に変位させる。
【００５０】
以上のように、実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置１によれば、ホルダー３０を介してモアレ画像Ｍｏの撮影に用いられる線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子に変位を与えて、当該格子における放射線入射面Ｒの平面度等を調整することができ、放射線入射面Ｒの精度を適正に確保することが可能となる。
さらに、Ｘ線タルボ撮影装置１の設置環境等によっては温度変動に起因する格子の歪みが生じる虞もあるが、この場合にも、当該格子の放射線入射面Ｒの精度を確保することが可能となる。
【００５１】
すなわち、スリットＳが形成された複数の小格子２１Ａ、…を並設させてなる第１格子２１であっても、少なくとも一の小格子２１Ａを変位付与部材３５により変位させることができる。具体的には、変位付与部材３５の先端部を保護部材３６を介して少なくとも一の小格子２１Ａに当接させて、当該少なくとも一の小格子２１Ａを変位付与部材３５により押圧して放射線の照射方向に変位させることができ、小格子２１Ａの放射線の照射方向の位置のずれや放射線入射面Ｒの傾き等を調整することができる。
【００５２】
また、複数の小格子２１Ａ、…が取り付けられた受け部２３１の少なくとも一の小格子２１Ａが載置されている部分を変位付与部材２３５により押圧して放射線の照射方向に変位させることができ、小格子２１Ａの放射線の照射方向の位置のずれや放射線入射面Ｒの傾き等を調整することができる。
【００５３】
さらに、変位付与部材３５、２３５を複数の小格子２１Ａ、…の組み合わせ位置を基準として、例えば、隣接する小格子２１Ａどうしの突き合わされる端部どうしにより形成される線上に位置するように配設することで、小格子２１Ａの放射線の照射方向の位置のずれや放射線入射面Ｒの傾き等の調整をより適正に行うことができる。
【００５４】
［実施形態２］
実施形態２に係るＸ線タルボ撮影装置１は、円弧状に湾曲させた各格子（線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２）を備えている。
すなわち、実施形態２では、各格子２０、２１、２２の放射線入射面Ｒのどの部分においても放射線入射面Ｒの法線方向に入射するようにするために、各格子２０、２１、２２が、放射線源２の一点（例えば、放射線源２の図示しない焦点或いは放射線源２の図示しない出射口の位置等）を中心とする円弧状に湾曲されている。
【００５５】
以下に、図９〜図１０を参照して、第１格子２１の場合を例示して説明するが、線源格子２０や第２格子２２を湾曲させる場合にも同様に構成される。なお、以下に説明する以外の点は、上記した実施形態１に係るＸ線タルボ撮影装置１と同様であり、それらの詳細な説明は省略する。
図９は、第１格子２１をホルダー３３０に取り付けた状態を表す斜視図である。また、図１０（Ａ）は、図９のII−II線に沿う断面図であり、図１０（Ｂ）は、図９のIII−III線に沿う断面図である。
【００５６】
実施形態２では、図９に示すように、第１格子２１は、湾曲された状態でホルダー３３０に保持されるようになっている。具体的には、ホルダー３３０の受け部３３１を第１格子２１の下側（すなわち、第１格子２１の放射線出射面ｒ側）に配置し、ホルダー３３０の押さえ部３３２を第１格子２１の上側（すなわち、第１格子２１の放射線入射面Ｒ側）に配置し、第１格子２１の周縁部を、ホルダー３３０の受け部３３１と押さえ部３３２とで上下方向から挟み付けて保持するようになっている。また、図１０（Ａ）に示すように、ホルダー３３０の受け部３３１と押さえ部３３２の周縁部を全周にわたってネジ３４で締結することで、受け部３３１と押さえ部３３２で第１格子２１を挟持するようになっている。
【００５７】
さらに、ホルダー３３０は、第１格子２１を押圧する受け部３３１の受け面３１Ｂ（すなわち、受け部３３１の開口部３１Ａを除く額縁状の受け面３１Ｂの部分）に所定の曲率でカーブが付けられている。また、第１格子２１や弾性部材３３３を介して受け部３３１のそれらの受け面３１Ｂに対向する押さえ部３３２の押さえ面３２Ｂ（すなわち押さえ部３３２の開口部３２Ａを除く額縁状の押さえ面３２Ｂの部分）にも所定の曲率でカーブが付けられている。
すなわち、本実施形態では、ホルダー３３０の受け部３３１の受け面３１Ｂと押さえ部３３２の押さえ面３２Ｂは、所定位置（例えば、前述した放射線源２の一点等）を略中心とする円弧状に湾曲されている。
【００５８】
そして、第１格子２１が、受け部３３１のカーブが付けられた受け面３１Ｂと、押さえ部３３２のカーブが付けられた押さえ面３２Ｂとの間で挟持されることにより、前述したように、放射線源２の一点（すなわち、放射線源２の図示しない焦点或いは放射線源２の図示しない出射口の位置等）を中心とする円弧状に湾曲されるようになっている。さらに、第１格子２１の放射線入射面Ｒとホルダー３３０の押さえ部３３２の押さえ面３２Ｂとの間に弾性部材３３３が配置されている。
【００５９】
ホルダー３３０の受け部３３１や押さえ部３３２と、弾性部材３３３には、第１格子２１に照射される放射線を遮らないようにするための開口部３１Ａ、３２Ａ、３３Ａがそれぞれ設けられている。
【００６０】
また、ホルダー３３０には、受け部３３１の受け面３１Ｂよりも放射線の照射方向下流側に、枠状部３３７が設けられている。
枠状部３３７は、受け部３３１の開口部３１Ａ、押さえ部３３２の開口部３２Ａ及び弾性部材３３３の開口部３３Ａと同様に、第１格子２１に照射される放射線を遮らないようにするための開口部３７Ａが設けられている。また、枠状部３３７と受け部３３１の周縁部は全周にわたってネジ３８により締結されている。
【００６１】
また、図１０（Ｂ）に示すように、枠状部３３７には、第１格子２１が取り付けられている取付部材としての受け部３３１の第１格子２１が載置されている部分に放射線の照射方向の変位を与える変位付与部材３３５が設けられている。
例えば、枠状部３３７の受け部３３１のカーブが付けられた受け面３１Ｂに対応する部分であって、湾曲された第１格子２１の最も放射線の照射方向下流側となる部分（図１０（Ｂ）における最下端部）に位置するように２つの変位付与部材３３５が設けられている。
【００６２】
具体的には、枠状部３３７には、変位付与部材３３５の外径に対応する内径を有する雌ねじ孔３７Ｃが放射線の照射方向（ｚ方向）に沿って形成され、この雌ねじ孔３７Ｃに変位付与部材３３５が放射線の照射方向下流側（図１０（Ｂ）における下側）から螺子込まれている。
そして、各変位付与部材３３５が雌ねじ孔３７Ｃに螺子込まれる量に応じて、当該変位付与部材３３５の先端部により受け部３３１を押圧して強制的に変位させる外力を調整可能となっている。すなわち、各変位付与部材３３５によって、第１格子２１が取り付けられている受け部３３１に放射線の照射方向上流側（図１０（Ｂ）における上側）の変位が与えられ、これにより、第１格子２１の放射線入射面Ｒの曲率等を調整することが可能となる。
【００６３】
なお、上記した変位付与部材３３５の位置や数は、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、枠状部３３７に所定間隔を空けて複数の変位付与部材３３５が設けられても良い。
また、変位付与部材３３５を雌ねじ孔３７Ｃに放射線の照射方向下流側から螺子込んで第１格子２１を放射線の照射方向上流側に変位させる構成を例示したが、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、変位付与部材３３５により第１格子２１を放射線の照射方向下流側に変位させる構成としても良い。具体的には、ホルダー３３０の押さえ部３３２に雌ねじ孔（図示略）を形成するとともに、弾性部材３３３を第１格子２１の放射線出射面ｒ側と受け部３３１の受け面３３１Ｂとの間に配置し、変位付与部材３３５を雌ねじ孔に放射線の照射方向上流側から螺子込んで第１格子２１を放射線の照射方向下流側に変位させるようにしても良い。
さらに、第１格子２１を放射線の照射方向上流側に変位させる第１の変位付与部材（図示略）と、第１格子２１を放射線の照射方向下流側に変位させる第２の変位付与部材（図示略）とを備える構成としても良い。
【００６４】
以上のように、実施形態２に係るＸ線タルボ撮影装置１によれば、モアレ画像Ｍｏの撮影に用いられる線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子が放射線源２に対して円弧状に湾曲させた状態でホルダー３３０に保持されている構造であっても、ホルダー３３０を介して格子に変位を与えて、当該格子における放射線入射面Ｒの曲率等を調整することができ、放射線入射面Ｒの精度を適正に確保することが可能となる。
すなわち、第１格子２１が取り付けられた受け部３３１の第１格子２１が載置されている部分を変位付与部材３３５により押圧して放射線の照射方向に変位させることができ、第１格子２１の放射線入射面Ｒの曲率等を調整することができる。
【００６５】
［実施形態３］
実施形態３に係るＸ線タルボ撮影装置１は、実施形態１、２のような第２格子２２を備える代わりに、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すように、放射線検出器１２３は、放射線源２から照射された放射線を別の波長の電磁波に変えるスリット状のシンチレーター１２３Ａを有している。
【００６６】
以下に、放射線検出器１２３の構成について、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する以外の点は、上記した実施形態１、２に係るＸ線タルボ撮影装置１と同様であり、それらの詳細な説明は省略する。
図１１（Ａ）は、放射線検出器１２３の底面図であり、図１１（Ｂ）は、IV−IV線に沿う断面図である。なお、図１１（Ａ）にあっては、シンチレーター１２３Ａを模式的に破線で表している。
【００６７】
図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すように、放射線検出器１２３は、シンチレーター素材Ｓｃと非シンチレーター素材Ｓｎとが面方向に交互に形成されたスリット状のシンチレーター１２３Ａを備えている。シンチレーター素材Ｓｃの部分では、入射した放射線が可視光等の別の波長の電磁波に変えられて放射線の照射方向下流側（図１１（Ｂ）における下側）の変換素子１２３Ｂに照射される一方で、非シンチレーター素材Ｓｎの部分では、放射線は別の波長の電磁波に変えられずに素通りする。
【００６８】
そして、放射線検出器１２３のスリット状のシンチレーター１２３Ａを、実施形態１、２における第２格子２２と同様に、第１格子２１の自己像が像を結ぶｚ方向の位置に配置し、シンチレーター１２３Ａにおけるシンチレーター素材Ｓｃの延在方向（ｙ方向）が、第１格子２１のスリットＳの延在方向に対して僅かに角度を持つように配置することで、上記の実施形態１、２の場合と同様に、シンチレーター１２３Ａにモアレ縞のみからなるモアレ画像Ｍｏが現れる。
また、第１格子２１の近傍に被写体Ｈが存在すると、被写体Ｈによって放射線の位相がずれる。そのため、モアレ画像Ｍｏのモアレ縞に被写体の辺縁を境界とした乱れが生じ、放射線検出器１２３のシンチレーター１２３Ａに、図２に示したものと同様に被写体Ｈにより乱れが生じたモアレ画像Ｍｏが現れる。
【００６９】
これにより、放射線検出器１２３内に二次元状に配列されている変換素子１２３Ｂで撮影することで、本実施形態３に係るＸ線タルボ撮影装置１においても、実施形態１、２と同様にモアレ画像Ｍｏを的確に撮影することができる。そして、撮影されたモアレ画像Ｍｏを再構成することで微分位相画像等の再構成画像を的確に生成することが可能となる。
【００７０】
なお、図示は省略するが、放射線源２から放射線がコーンビーム状に照射された際に、放射線が斜入するシンチレーター１２３Ａの周縁部での発光強度を、シンチレーター１２３Ａの中央部での発光強度と同じとなるように、シンチレーター１２３Ａのシンチレーター素材Ｓｃは、コーンビーム状に照射される放射線に平行に形成されていても良い。
【００７１】
シンチレーター１２３Ａの放射線の入射方向上流側（図１１（Ｂ）における上側）には、例えば、放射線透過性の高いカーボン板やアルミ板等の保護部材１２３Ｃが設けられている。
【００７２】
また、シンチレーター１２３Ａと変換素子１２３Ｂとは、シンチレーター１２３Ａの図１１（Ｂ）における下側の面と変換素子１２３Ｂの上側の面とを当接させ、且つ、ｘ方向及びｙ方向に位置決めされた状態で、移動不可に固定されている。なお、シンチレーター１２３Ａと変換素子１２３Ｂとの固定には、例えば、電磁波透過性の接着剤を用いても接着しても良いし、接着剤を用いずに上記したホルダー３０等のように、受け部３１と押さえ部３２の周縁部を全周にわたってネジ３４で締結しても良い（図７（Ｂ）参照）。
【００７３】
また、変換素子１２３Ｂの図１１（Ｂ）における下側の面は、例えば、接着等により基台１２３Ｄに固定されている。
基台１２３Ｄの図１１（Ｂ）における下側には、例えば、略矩形状のベース板１２３Ｅが設けられている。具体的には、基台１２３Ｄの下側の面は、略平面状に形成され、この下側の面にベース板１２３Ｅの上側の面を当接させ、基台１２３Ｄとベース板１２３Ｅの周縁部が全周にわたってネジ１２３Ｆで締結されている。なお、図１１（Ａ）にあっては、ネジ１２３Ｆの図示は省略している。
【００７４】
また、ベース板１２３Ｅには、変換素子１２３Ｂが固定されている基台１２３Ｄのシンチレーター１２３Ａと放射線の照射方向（図１１（Ｂ）におけるｚ方向（上下方向））に重なる部分に当該照射方向の変位を与える変位付与部材４３５が設けられている。例えば、図１１（Ａ）に示すように、矩形のシンチレーター１２３Ａの４つの角部及び中心に対応させて５つの変位付与部材４３５、…が設けられている。
【００７５】
具体的には、ベース板１２３Ｅには、変位付与部材４３５の外径に対応する内径を有する雌ねじ孔１２３Ｇが放射線の照射方向（ｚ方向）に沿って形成され、この雌ねじ孔１２３Ｇに変位付与部材４３５が放射線の照射方向下流側（図１１（Ｂ）における下側）から螺子込まれている。
そして、各変位付与部材４３５が雌ねじ孔１２３Ｇに螺子込まれる量に応じて、当該変位付与部材４３５の先端部により基台１２３Ｄを押圧して強制的に変位させる外力を調整可能となっている。すなわち、基台１２３Ｄの図１１（Ｂ）における上側には変換素子１２３Ｂが固定され、この変換素子１２３Ｂの上側にはシンチレーター１２３Ａが固定されている。これにより、各変位付与部材４３５によって、基台１２３Ｄに放射線の照射方向上流側（図１１（Ｂ）における上側）の変位が与えられることで当該基台１２３Ｄ及び変換素子１２３Ｂを介してシンチレーター１２３Ａが変位させられて、シンチレーター１２３Ａの放射線入射面Ｑの平面度や傾き等を調整することが可能となる。
【００７６】
ここで、放射線検出器２２３の別の実施例について、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）を参照して説明する。
図１２（Ａ）は、放射線検出器２２３の底面図であり、図１２（Ｂ）は、V−V線に沿う断面図である。なお、図１２（Ａ）にあっては、シンチレーター１２３Ａ及び板状部材２２３Ｈ（後述）を模式的に破線で表している。
【００７７】
図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように、放射線検出器２２３は、基台１２３Ｄに所定の一方向（ｙ方向）に延在する板状部材２２３Ｈを介して変位付与部材４３５により変位が与えられるようになっている。
すなわち、ベース板２２３Ｅのｘ方向側の両端部には、ｙ方向に並んだ２つの雌ねじ孔１２３Ｇどうしに亘って溝部２２３Ｉがそれぞれ形成されている。そして、各溝部２２３Ｉに板状部材２２３Ｈがそれぞれ配設された状態で、基台１２３Ｄとベース板２２３Ｅの周縁部が全周にわたってネジ１２３Ｆで締結されている。なお、図１２（Ａ）にあっては、ネジ１２３Ｆの図示は省略している。
また、板状部材２２３Ｈは、基台１２３Ｄよりも相対的に剛性が高くされている。
【００７８】
そして、変位付与部材４３５が雌ねじ孔１２３Ｇに螺子込まれる量に応じて、当該変位付与部材４３５の先端部により板状部材２２３Ｈを介して基台１２３Ｄを押圧して強制的に変位させる外力を調整可能となっている。
すなわち、何れか一の変位付与部材４３５により板状部材２２３Ｈの一端に変位が与えられると、当該板状部材２２３Ｈの一端から他端に掛けて次第に変位させる力が小さくなるものの、基台１２３Ｄのｘ方向側の一端部（例えば、図１２（Ａ）における左端部）全体が放射線の照射方向上流側（図１２（Ｂ）における上側）に変位が与えられた状態となる。これにより、当該基台１２３Ｄ及び変換素子１２３Ｂを介してシンチレーター１２３Ａのｘ方向側の一端部全体が変位させられて、シンチレーター１２３Ａのｘ方向側の一端部における放射線入射面Ｑのｙ方向に対する傾きを調整することが可能となる。
【００７９】
なお、上記した変位付与部材４３５の位置や数は、一例であってこれに限られるものではなく、適宜任意に変更可能である。同様に、板状部材２２３Ｈや溝部２２３Ｉの位置や数は、一例であってこれに限られるものではなく、適宜任意に変更可能である。
例えば、板状部材２２３Ｈや溝部２２３Ｉをベース板２２３Ｅのｙ方向側の両端部に設けても良い。また、例えば、変位付与部材４３５、板状部材２２３Ｈや溝部２２３Ｉをｘ方向側やｙ方向側の何れか一端部に設けて、当該一端部側を押圧して強制的に変位させる外力のみを調整することで他端部側を基準としてシンチレーター１２３Ａの放射線入射面Ｑ全体の傾きを簡易的に調整するようにしても良い。
また、変位付与部材４３５を雌ねじ孔１２３Ｇに放射線の照射方向下流側から螺子込んでシンチレーター１２３Ａを放射線の照射方向上流側に変位させる構成を例示したが、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、上記した線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子と同様に、変位付与部材４３５によりシンチレーター１２３Ａを放射線の照射方向下流側に変位させる構成としても良い。
【００８０】
以上のように、実施形態３に係るＸ線タルボ撮影装置１によれば、第２格子２２を備える代わりに、放射線源２から照射された放射線を別の波長の電磁波に変えるスリット状のシンチレーター１２３Ａを有する構造であっても、基台１２３Ｄを介してモアレ画像Ｍｏの撮影に用いられるシンチレーター１２３Ａに変位を与えて、当該シンチレーター１２３Ａにおける放射線入射面Ｑの平面度等を調整することができ、放射線入射面Ｑの精度を適正に確保することが可能となる。
すなわち、基台１２３Ｄのシンチレーター１２３Ａと放射線の照射方向に重なる部分を変位付与部材４３５により押圧して放射線の照射方向に変位させることができ、シンチレーター１２３Ａの放射線入射面Ｑの平面度等を調整することができる。
【００８１】
なお、上記の実施形態１〜３では、変位付与部材３５、２３５、３３５、４３５によって、線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子やシンチレーター１２３Ａに変位が与えられることで放射線入射面Ｒ、Ｑの精度が適正に確保された状態で、当該変位付与部材３５、２３５、３３５、４３５を接着剤等により固定して螺子込み位置を固定しても良い。
【００８２】
また、上記の実施形態１〜３では、線源格子２０や第１格子２１、第２格子２２がシリコンウェハで形成されている場合について説明したが、それらの格子が別の材料で形成されている場合にも、本発明を適用することが可能である。
【００８３】
さらに、上記の実施形態１〜３では、変位付与部材３５、２３５、３３５、４３５として、ネジを例示したが、一例であってこれに限られるものではなく、例えば、放射線の照射方向に位置決め可能な構成であれば適宜任意に変更可能である。また、例えば、線源格子２０、第１格子２１、第２格子２２等の格子やシンチレーター１２３Ａ等の撮影用素子に当接するネジ等の変位付与部材３５、２３５、３３５、４３５によって、当該撮影用素子に変位を与える構成としたが、これに限られるものではなく、例えば、図示は省略するが、撮影用素子の一部分を加熱したり冷却したりすることで当該撮影用素子を変位させるような構成としても良い。
【００８４】
加えて、本発明が上記の実施形態１〜３に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００８５】
１  Ｘ線タルボ撮影装置
２  放射線源
２０  線源格子（撮影用素子）
２１  第１格子（撮影用素子）
２２  第２格子（撮影用素子）
２１Ａ  小格子
２３、１２３、２２３  放射線検出器
１２３Ａ  シンチレーター
１２３Ｄ  基台（保持部）
３０、２３０、３３０  ホルダー（保持部）
３１、２３１、３３１  受け部（取付部材）
３５、２３５、３３５、４３５  変位付与部材（調整機構部）
３６  保護部材
Ｍｏ  モアレ画像
Ｒ、Ｑ  放射線入射面
Ｓ  スリット
【図１】
0006696296.tif 000002
【図２】
0006696296.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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