(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板上に接合された半導体パッケージと、
前記半導体パッケージの回路基板に対する接合面以外の面を覆う電磁波吸収層と、
前記電磁波吸収層の前記半導体パッケージとは反対側において前記電磁波吸収層を覆う電磁波反射層と、を備え、
前記電磁波吸収層は、磁性粒子またはカーボンを含む樹脂で構成され、開孔を有し、
前記開孔には導電性粒子を含有する樹脂からなる放熱用ビアが設けられ、
前記電磁波反射層は、導電性粒子を含む樹脂で構成される、
半導体装置。
【請求項２】
前記電磁波吸収層を構成する樹脂と、前記電磁波反射層を構成する樹脂は、溶解性パラメータの差が２以内である、
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記電磁波吸収層の厚みは、前記半導体パッケージから前記電磁波吸収層に入射する電磁波の位相と、前記電磁波反射層に反射して前記電磁波吸収層に再入射する電磁波の位相とが１８０°ずれるように設定される、
請求項１又は２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記開孔において前記半導体パッケージと前記放熱用ビアとの間に配置された金属膜をさらに備える、
請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記電磁波吸収層の前記開孔を有する面と前記電磁波反射層との間に配置された金属板をさらに備える、
請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記半導体パッケージの前記回路基板に対する接合面と反対側の面は凹凸形状を有する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器、中でも特に通信機器の高速通信化および小型化に伴い、シリコンまたは化合物半導体で形成される高周波対応の半導体パッケージの高周波化が進んでいる。半導体パッケージの高周波化が進むと、電磁波ノイズにより動作不良を引き起こす問題がある。そこで、半導体パッケージを金属缶で覆い電磁波をシールドすることが一般的に行われている。【０００３】
しかし、半導体パッケージを金属缶で覆うと、半導体パッケージの実装面積が大きくなり、さらに金属缶内の電子部品間で電磁波の相互干渉が生じるという問題がある。【０００４】
そこで、電磁波吸収材または導電性樹脂により個々の半導体パッケージを覆う構造が提案されている。電磁波吸収材は、電磁波エネルギーを熱エネルギーに変換することにより電磁波を吸収する作用を有している。また、導電性樹脂は電磁波を反射する作用を有している。【０００５】
例えば、特許文献１には、プリント配線板上に搭載した各々の半導体パッケージを、印刷によって形成された電磁波吸収材からなる電磁シールド層で覆った半導体装置が開示されている。ここで、電磁波吸収材には、エポキシ樹脂にフェライトなどの磁性粉末を混合した熱硬化型のペーストが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３２８００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示された構造では、電磁波吸収材からなる電磁シールド層のみで半導体パッケージを覆っているため、半導体パッケージからの電磁波が外部に漏れる可能性がある。また、電磁波吸収材に含有されるフェライト粒子の熱伝導率（λ）が１〜５Ｗ/（ｍ・Ｋ）であるため、電磁波吸収材全体としての熱伝導率は０.１〜１Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、導電性粒子を充填した導電層に比べて伝熱性能が約１／５に低下するという問題がある。【０００８】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、高い電磁波遮蔽性を有し、かつ放熱性の良い半導体装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る半導体装置は、回路基板に実装された半導体パッケージと、半導体パッケージの回路基板に対する接合面以外の面を覆う電磁波吸収層と、電磁波吸収層の半導体パッケージとは反対側において電磁波吸収層を覆う電磁波反射層とを備え、電磁波吸収層は磁性粒子またはカーボンを含む樹脂で構成され、開孔を有し、開孔には導電性粒子を含有する樹脂からなる放熱用ビアが設けられ、電磁波反射層は導電性粒子を含む樹脂で構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る半導体装置は、回路基板に実装された半導体パッケージと、半導体パッケージの回路基板に対する接合面以外の面を覆う電磁波吸収層と、電磁波吸収層の半導体パッケージとは反対側において電磁波吸収層を覆う電磁波反射層とを備え、電磁波吸収層は磁性粒子またはカーボンを含む樹脂で構成され、開孔を有し、開孔には導電性粒子を含有する樹脂からなる放熱用ビアが設けられ、電磁波反射層は導電性粒子を含む樹脂で構成される。この構成により、半導体パッケージに対する高い電磁波遮蔽性が得られ、半導体パッケージの熱を電磁波反射層から効率よく放散することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の断面図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の部分拡大図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の構成を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態３に係る半導体装置の断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図２１】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第１の製造方法を示す断面図である。
【図２４】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図２６】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図２７】本発明の実施の形態４に係る半導体装置の第２の製造方法を示す断面図である。
【図２８】本発明の実施の形態５に係る半導体装置の断面図である。
【図２９】本発明の実施の形態５に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３０】本発明の実施の形態５に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３１】本発明の実施の形態５に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３２】本発明の実施の形態５に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３３】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の断面図である。
【図３４】本発明の実施の形態１に係る半導体装置の上面図である。
【図３５】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の上面図である。
【図３６】本発明の実施の形態２に係る半導体装置の上面図である。
【図３７】本発明の実施の形態６に係る半導体装置の断面図である。
【図３８】本発明の実施の形態６に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。
【図３９】本発明の実施の形態６に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。
【図４０】本発明の実施の形態６に係る半導体装置の上面図である。
【図４１】本発明の実施の形態６に係る半導体装置の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜Ａ．実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係る半導体装置１０１の断面図である。図１において半導体装置１０１は、半導体パッケージ１、回路基板２、はんだ３、アンダーフィル樹脂４、電磁波吸収層５、および電磁波反射層６を備えて構成される。本明細書では、シリコンまたは化合物半導体からなる半導体素子、および半導体素子を樹脂などでパッケージ化したものを半導体パッケージと称する。半導体パッケージ１は、例えば、高周波機器で用いられる増幅用ＩＣまたはハイパワーモジュールなどである。
【００１３】
回路基板２は、ガラスエポキシ樹脂と銅の配線からなるプリント基板、またはアルミナと銀配線からなる。また、回路基板２に多層基板を使用する場合、回路基板２は１層のＣｕからなるパターン層を備えていても良い。
【００１４】
半導体パッケージ１は、はんだ３およびアンダーフィル樹脂４によって回路基板２上に接合される。
【００１５】
本実施の形態では、はんだ３にＳｎ-３Ａｇ-０.５Ｃｕを用いるが、他にＳｎ-３.５Ａｇ、Ｓｎ-０.７Ｃｕなどを用いてもよい。
【００１６】
アンダーフィル樹脂４は、はんだ３による半導体パッケージ１および回路基板２の接合部分を保護するために用いられる。アンダーフィル樹脂４は、エポキシまたはウレタンなどの樹脂で構成される。
【００１７】
電磁波吸収層５は、半導体パッケージ１の回路基板２に対する接合面以外の全ての面、すなわち半導体パッケージ１の上面と側面とを覆う。電磁波吸収層５は、フェライト若しくはセンダストなどの磁性粒子またはカーボン粒子を５０〜７０体積％の含有率で充填したエポキシまたはアクリルなどの樹脂で構成される。
【００１８】
電磁波反射層６は、電磁波吸収層５の半導体パッケージ１に対する側とは反対側で電磁波吸収層５を覆っている。すなわち、半導体パッケージ１は電磁波吸収層５に覆われ、さらに電磁波吸収層５は電磁波反射層６に覆われている。また、電磁波反射層６は回路基板２上のグランド電極と電気的に接続している。電磁波反射層６は、導電性の粒子、例えば金、銀、銅、アルミなどの導電性の金属粒子を５０〜７０体積％の含有率で充填したエポキシまたはアクリルなどの樹脂で構成される。
【００１９】
図２、図３、図４、図５および図６は、半導体装置１０１の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０１の製造方法を説明する。
【００２０】
まず、図２に示すように、回路基板２上の電極（図示せず）にはんだ３、より具体的にははんだ粒子を含有するソルダーペーストを配置し、半導体パッケージ１を回路基板２に搭載する。そして、半導体パッケージ１を搭載した回路基板２をリフロー炉に投入する。リフロー炉でソルダーペーストを融点以上に加熱することにより、図３に示すように半導体パッケージ１が回路基板２に接合される。
【００２１】
次に、図４に示すように、はんだ３の周囲にアンダーフィル樹脂４を注入し、加熱してアンダーフィル樹脂４を硬化させる。
【００２２】
その後、図５に示すように、電磁波吸収層５を半導体パッケージ１の上面１ａおよび側面１ｂに形成する。ここで、電磁波吸収層５はフェライト粒子を含有するエポキシ樹脂として説明する。具体的には、液状エポキシ樹脂にフェライトの磁性粒子を混入させたペーストを半導体パッケージ１の表面に塗布し、その後ペーストを加熱して硬化させることにより、半導体パッケージ１を覆う電磁波吸収層５が形成される。
【００２３】
なお、ペーストの塗布方法として、印刷、ディスペンスまたは静電塗布等がある。印刷によれば、半導体パッケージよりも大きな開口を設けたマスクを用いて、開口にペーストを刷り込むことで、半導体パッケージの上面および側面にペーストを塗布できる。また、ディスペンスによれば、半導体パッケージの上面にペーストを滴下し、上面から側面にペーストを流れさせることにより、半導体パッケージの上面および側面にペーストを塗布できる。また、静電塗布によれば、特開２０１４−１５７８９７号公報に示されているように、帯電させたペーストをガンで噴射することにより、半導体パッケージ１の上面および側面に均一な厚さでペーストを塗布できる。
【００２４】
次に、図６に示すように、電磁波吸収層５上に電磁波反射層６を形成する。ここで、電磁波反射層６は導電性粒子として銅粒子を含有するエポキシ樹脂として説明する。具体的には、液状のエポキシ樹脂に銅粒子を混入させたペーストを、印刷、ディスペンスまたは静電塗布等により電磁波吸収層５上に塗布し、その後ペーストを加熱して硬化させることにより、電磁波吸収層５を覆う電磁波反射層６が形成される。なお、電磁波反射層６は図３３に示すように、回路基板２上の基板パターン９におけるグランド電極に対して電気的に接続させる。図３４は、半導体装置１０１の上面図である。図３４に示すように、グランド電極は半導体パッケージの全周に設置されている。
【００２５】
次に、半導体装置１０１における電磁波遮蔽効果について説明する。電磁波遮蔽効果は、一般的にシェルクノフの式と呼ばれる式（１）で表される。
【００２６】
【数１】
0006676191.tif 000002
【００２７】
式（１）は、電磁波遮蔽効果ＳＥが、反射損失Ｒ、吸収損失Ａおよび多重反射損失Ｂの足し合わせからなることを示している。反射損失は入射してくる電磁波を表面で反射した際の損失を表わしている。吸収損失は、透過した電磁波が減衰していく損失を表わしている。多重反射損失は、シールド材内部で再反射され減衰を繰り返すことによる損失を表している。
【００２８】
図７は、半導体装置１０１の断面図であり、図８は、図７に示す領域Ａを拡大した半導体装置１０１の部分拡大図である。図８に示すように、半導体パッケージ１で発生した電磁波Ｗ１は、その一部が電磁波吸収層５に吸収される（吸収損失）。電磁波Ｗ１の一部は電磁波吸収層５に吸収されず電磁波反射層６に到達するが、電磁波反射層６で反射して再度電磁波吸収層５に入射することにより、電磁波吸収層５に吸収される。また、電磁波反射層６で反射した後電磁波吸収層５に吸収されず半導体パッケージ１に到達した電磁波Ｗ１は、半導体パッケージ１で反射されて再び電磁波吸収層５に入射する。このように、電磁波Ｗ１は電磁波反射層６および半導体パッケージ１で反射を繰り返すことにより、電磁波吸収層５に吸収される（多重反射損失）。
【００２９】
また、電磁波反射層６が外部からの電磁波Ｗ２を反射することにより（反射損失）、電磁波Ｗ２が半導体パッケージ１に到達することが防止される。また、回路基板２が１層のＣｕからなるパターン層を備える多層基板である場合、半導体パッケージ１の底面から電磁波が漏れだすことを抑制できる。
【００３０】
以上に説明したように、半導体パッケージ１から発生する電磁波Ｗ１のエネルギーを大幅に減衰させると共に、外部からの電磁波Ｗ２を遮断することにより、半導体パッケージ１に対する電磁波の影響を抑制することができる。
【００３１】
次に、半導体装置１０１における放熱効果について説明する。半導体パッケージ１で発生した熱と、電磁波吸収層５で電磁波を吸収することで発生する熱は、電磁波反射層６を経由して回路基板２に伝達され、回路基板２から放熱される。なお、電磁波反射層６には熱伝導率が高い銅粒子が含有されているため、電磁波吸収層５よりも熱伝導性に優れている。
【００３２】
次に、電磁波吸収層５および電磁波反射層６の密着効果について説明する。電磁波吸収層５はエポキシなどの樹脂中に磁性粒子またはカーボンを充填させたものであり、電磁波反射層６はエポキシなどの樹脂中に導電性粒子を充填したものである。電磁波吸収層５と電磁波反射層６との接着は、電磁波吸収層５と電磁波反射層６をそれぞれ構成する樹脂同士の接着性に依存する。樹脂同士の接着性は各樹脂の溶解性パラメータの差によって定まる。溶解性パラメータは凝集エネルギー密度の平方根で定義され、樹脂間の凝集エネルギー密度が近いほど接着力が大きくなる。そこで、電磁波吸収層５を構成する樹脂には電磁波反射層６を構成する樹脂と溶解性パラメータが近いもの、具体的には溶解性パラメータの差が２以内、理想的には等しいものを用いることによって、電磁波吸収層５および電磁波反射層６の高い密着性を得ることができる。
【００３３】
また、電磁波吸収層５および電磁波反射層６はいずれもエポキシ樹脂などの樹脂を備えて構成される。樹脂は水蒸気を通すため、電磁波吸収層５および電磁波反射層６は半導体パッケージ１で発生した水蒸気を外部に放出することができる。従って、半導体パッケージ１と電磁波吸収層５との間に溜まった水分によって電磁波吸収層５が剥離したり、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との間に溜まった水分によって電磁波反射層６が剥離したりすることを抑制できる。
【００３４】
次に、電磁波吸収層５の厚みについて説明する。半導体パッケージ１から放射される電磁波の周波数を予め分かっている場合、当該周波数に合わせて電磁波吸収層５の厚みを定めることにより、電磁波吸収層５における電磁波の吸収効果を高めることができる。半導体パッケージ１から電磁波吸収層５への入射波と、電磁波反射層６で反射して電磁波吸収層５に入射する反射波との位相が互いに１８０°異なる場合に、入射波と反射波の打ち消しあうエネルギーが最大になる。このとき、電磁波吸収層５の厚さｔ（ｍｍ）と電磁波の波長λ（ｍｍ）との関係は式（２）で表わされる。
【００３５】
【数２】
0006676191.tif 000003
【００３６】
また、波長λ（ｍｍ）と周波数ｆ（Ｈｚ）との関係は、ｃを光速（ｍ／ｓ）として式（３）で表わされる。
【００３７】
【数３】
0006676191.tif 000004
【００３８】
式（２）と式（３）から、電磁波吸収層５の厚さｔ（ｍｍ）と電磁波の周波数ｆ（Ｈｚ）の関係は以下の式（４）で表わされる。
【００３９】
【数４】
0006676191.tif 000005
【００４０】
式（４）より、半導体パッケージ１の発する電磁波の周波数ｆを２５ＧＨｚとすると、その波長λは式（３）より１１．９９ｍｍであり、望ましい電磁波吸収層５の厚さｔは式（４）より３．００ｍｍとなる。従って、電磁波吸収層５の厚さを３ｍｍにすることで、入射波と反射波の打ち消しあうエネルギーを最大にし、効率よく電磁波の吸収を行うことができる。
【００４１】
以上に説明したように、本発明の実施の形態１に係る半導体装置１０１は、回路基板２上に接合された半導体パッケージ１と、半導体パッケージ１の回路基板２に対する接合面以外の面を覆う電磁波吸収層５と、電磁波吸収層５の半導体パッケージ１とは反対側において電磁波吸収層５を覆う電磁波反射層６と、を備え、電磁波吸収層５は、磁性粒子またはカーボンを含む樹脂で構成され、電磁波反射層６は、導電性粒子を含む樹脂で構成される。従って、電磁波吸収層５により、半導体パッケージ１が発した電磁波を吸収することができる。また、電磁波吸収層５で吸収されず電磁波反射層６に達した電磁波も、電磁波反射層６で反射して電磁波吸収層５に再入射するため、電磁波吸収層５で吸収することができる。また、外部から半導体装置１０１に入射する電磁波は、電磁波反射層６で反射する。以上の作用により、半導体パッケージ１に対する電磁波干渉の作用を軽減することができる。また、電磁波吸収層５と電磁波反射層６には水蒸気を通す樹脂が用いられるため、水分による電磁波吸収層５または電磁波反射層６の剥離を抑制することができる。また、電磁波反射層６は導電性粒子を含み熱伝導率が高いため、半導体パッケージ１から生じた熱を電磁波反射層６から回路基板２に伝達し、回路基板２で放熱することができる。
【００４２】
＜Ｂ．実施の形態２＞
図９は、本発明の実施の形態２に係る半導体装置１０２の断面図である。半導体装置１０２は、電磁波吸収層５が半導体パッケージ１の上面において開孔５１を有し、開孔５１に放熱用ビア６１が形成される点が実施の形態１に係る半導体装置１０１とは異なる。放熱用ビア６１は電磁波反射層６および半導体パッケージ１と接触している。従って、電磁波反射層６は電磁波吸収層５の開孔５１において放熱用ビア６１を介して半導体パッケージ１と接触している。なお、開孔５１のサイズは例えば直径０，１ｍｍとする。
【００４３】
図１０、図１１、図１２および図１３は、半導体装置１０２の第１の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０２の第１の製造方法を説明する。
【００４４】
図１０は、回路基板２上にはんだ３で半導体パッケージ１を接合し、はんだ３の周囲にアンダーフィル樹脂４を充填した状態を示す断面図であり、図４の再掲である。すなわち、図１０に示す構造までの製造工程は、図２，３，４に示す実施の形態１に係る半導体装置１０１の製造工程と同様である。
【００４５】
次に、図１１に示すように、半導体パッケージ１の上面１ａに放熱用ビア６１となる突起を複数形成する。ここでは複数の放熱用ビア６１を形成しているが、放熱用ビア６１は少なくとも一つ形成されればよい。放熱用ビア６１は電磁波反射層６と同じ材料、すなわち液状のエポキシ樹脂に導電性粒子を含有したペーストを半導体パッケージ１の上面１ａに印刷して形成する。なお、印刷に代えてインクジェット、ディスペンサ、静電塗布を用いても良い。また、図３５及び図３６に示すように、放熱用ビア６１は格子状に並べると良い。図３５及び図３６は、半導体装置１０２の上面図である。
【００４６】
その後、図１２に示すように、半導体パッケージ１の上面１ａと側面１ｂに電磁波吸収層５を形成する。電磁波吸収層５の形成方法は既に述べたとおりである。半導体パッケージ１の上面１ａには、既に局所的に放熱用ビア６１が形成されているため、放熱用ビア６１が形成された領域では一旦は放熱用ビア６１の上に電磁波吸収層５が形成されるが、電磁波吸収層５の上面を研削して放熱用ビア６１を露出させる。これにより、放熱用ビア６１の形成領域には電磁波吸収層５が形成されず、いわば電磁波吸収層５の開孔５１となる。
【００４７】
次に、電磁波吸収層５を覆うように電磁波反射層６を形成する。電磁波反射層６の形成方法は既に述べたとおりである。これにより、図１３に示す半導体装置１０２が完成する。なお、図１３は図９の再掲である。電磁波反射層６は電磁波吸収層５を介して半導体パッケージ１の上面１ａと側面１ｂとを覆っているが、電磁波吸収層５の開孔５１においては放熱用ビア６１を介して半導体パッケージ１の上面１ａと接触する。また、電磁波反射層６は回路基板２上のグランド電極と電気的に接続する。
【００４８】
図１４、図１５、図１６および図１７は、半導体装置１０２の第２の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０２の第２の製造方法を説明する。図１４は、回路基板２上にはんだ３で半導体パッケージ１を接合し、はんだ３の周囲にアンダーフィル樹脂４を充填した状態を示す断面図であり、図４および図１０と同様である。すなわち、半導体装置１０２の第２の製造方法の図１４に示す構造までの製造工程は、図２，３，４に示す実施の形態１に係る半導体装置１０１の製造工程と同様である。
【００４９】
次に、図１５に示すように、半導体パッケージ１の上面１ａおよび側面１ｂを覆う電磁波吸収層５を形成する。電磁波吸収層５の形成方法は既に述べたとおりである。
【００５０】
その後、図１６に示すように、レーザーを用いて半導体パッケージ１の上面１ａに面する電磁波吸収層５に複数の開孔５１を形成する。ここでは複数の開孔５１を形成しているが、開孔５１は少なくとも一つ形成されればよい。ここでは、開孔５１から半導体パッケージ１の上面１ａが露出する。
【００５１】
次に、電磁波吸収層５の開孔５１内部に放熱用ビア６１を形成し、電磁波吸収層５を覆うように電磁波反射層６を形成する。放熱用ビア６１および電磁波反射層６の形成方法は既に述べたとおりである。電磁波反射層６は電磁波吸収層５を介して半導体パッケージ１の上面１ａと側面１ｂとを覆うが、電磁波吸収層５の開孔５１においては放熱用ビア６１を介して半導体パッケージ１の上面１ａと接触する。また、電磁波反射層６は回路基板２上のグランド電極と電気的に接続する。以上で、図１７に示す半導体装置１０２が完成する。なお、図１７は図９または図１３の再掲である。
【００５２】
次に、放熱用ビア６１の効果を説明する。電磁波反射層６は、電磁波吸収層５の開孔５１において放熱用ビア６１を介して半導体パッケージ１の上面１ａと接触する。そして、放熱用ビア６１は樹脂に導電性粒子が充填された構造であり、電磁波反射層６と同様に熱伝導率が５〜１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）程度であるため、熱伝導率が０.１〜１.０Ｗ／（ｍ・Ｋ）程度の電磁波吸収層５に比べて高い放熱性を有する。従って、半導体パッケージ１で生じた熱は放熱用ビア６１を介して効率よく電磁波反射層６に伝達される。そのため、放熱性に優れた半導体装置となる。
【００５３】
また、放熱用ビア６１は電磁波反射層６と同じ材料で構成されるため、放熱用ビア６１も電磁波反射層６とみなすと、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との接触面積が増加し、その分密着力が向上する。また、放熱用ビア６１が電磁波吸収層５の開孔５１に入り込むその形状からアンカー効果が得られ、機械的結合により電磁波反射層６と電磁波吸収層５の密着力が向上する。
【００５４】
電磁波は、その波長より小さいサイズの開孔５１を通過することができない。例えば、開孔５１の直径を０．１ｍｍとすれば、３ＴＨｚ以下の周波数の電磁波は開孔５１を通過できず、開孔５１の直径を０．５ｍｍとすれば、６００ＧＨｚ以下の周波数の電磁波は開孔５１を通過することが出来ない。従って、上記のとおり開孔５１の寸法を規定することにより、放熱用ビア６１を設けても電磁波の遮蔽機能が低下することはない。また、放熱用ビア６１は電磁波反射材料が充填されているため、電磁波を反射する。従って、開孔５１の寸法が電磁波の波長より大きくても、電磁波は開孔５１を通過することはできない。
【００５５】
以上に説明したように、実施の形態２に係る半導体装置１０２では、電磁波吸収層５は開孔５１を有し、開孔５１には導電性粒子を含有する樹脂からなる放熱用ビア６１が設けられる。これにより、半導体パッケージ１が発する熱を熱伝導率の高い放熱用ビア６１を介して効率よく電磁波反射層６に伝達することができる。
【００５６】
＜Ｃ．実施の形態３＞
図１８は、本発明の実施の形態３に係る半導体装置１０３の断面図である。半導体装置１０３は、実施の形態２に係る半導体装置１０２の構成と比較すると、電磁波吸収層５の開孔５１に金属膜７が形成される点が異なり、それ以外の構成は半導体装置１０２と同様である。
【００５７】
金属膜７は電磁波吸収層５の開孔５１において半導体パッケージ１の上面１ａと接触する。また、金属膜７の厚みは電磁波吸収層５の厚みより小さく、開孔５１において金属膜７の上部には放熱用ビア６１が形成される。
【００５８】
金属膜７は、半導体パッケージ１から放熱用ビア６１を経由して電磁波反射層６に至る経路の伝熱性能を向上するために設けられている。金属膜７は、例えば金、銀、銅またはアルミなど熱伝導率の高い金属からなる。あるいは、金属膜７と半導体パッケージ１との密着性を高めるため、上記の熱伝導率の高い金属に加え、半導体パッケージ１との界面にチタンまたはモリブデンを設けた２層構造であってもよい。
【００５９】
以下に、金属膜７により伝熱性能が向上する理由を述べる。熱伝導による伝熱性能は、一般に「熱抵抗」を用いて評価される。「熱抵抗」とは、温度の伝えにくさを表す指標であり、単位発熱量当たりの温度上昇値を意味する。
【００６０】
放熱用ビア６１における熱抵抗は、「放熱用ビア６１内の熱抵抗」と、放熱用ビア６１と半導体パッケージ１との「接触熱抵抗」との和で表わされる。「放熱用ビア６１内の熱抵抗」は、放熱用ビア６１の材料である、導電性粒子を充填したエポキシ樹脂の特性で決まる。また、接触熱抵抗ＲＣは以下の式（５）で表わされる。
【００６１】
【数５】
0006676191.tif 000006
【００６２】
但し、式（５）においてａは真実接触点の接触面積の総和、Ａは接触面の見かけの面積、δは平均粗さ高さ、λは熱伝導率を示し、添え字の１，２は接触固体の別を、添え字のｆは接触面間の介在物質を示している。
【００６３】
式（５）によると、接触熱抵抗ＲＣは接触する材料の熱伝導に依存し、熱伝導率の高い材料が接触面間に介在すれば、接触熱抵抗は小さくなることがわかる。
【００６４】
従って、半導体装置１０３では放熱用ビア６１と半導体パッケージ１の上面１ａとの間に金属膜７を介在させる。金属膜７は、例えば金、銀、銅またはアルミなど熱伝導率の高い金属からなる。例えば金属膜７に銅を用いる場合、熱伝導率が４００Ｗ／（ｍ・Ｋ）と高いため、放熱用ビア６１と半導体パッケージ１との接触熱抵抗を小さくでき、伝熱性能を向上することができる。
【００６５】
以上に説明したように、本発明の実施の形態３に係る半導体装置１０３は、実施の形態２に係る半導体装置１０２の構成に加え、電磁波吸収層５の開孔５１において半導体パッケージ１と放熱用ビア６１との間に配置された金属膜７を備える。従って、放熱用ビア６１と半導体パッケージ１との接触熱抵抗を小さくし、伝熱性能を向上することができる。
【００６６】
＜Ｄ．実施の形態４＞
図１９は、本発明の実施の形態４に係る半導体装置１０４の断面図である。半導体装置１０４は、電磁波吸収層５の開孔５１を有する面と電磁波反射層６との間に金属板８を備えている。すなわち、電磁波反射層６は半導体パッケージ１の上方では金属板８を介して電磁波吸収層５を覆い、半導体パッケージ１の側方では電磁波吸収層５と接触してこれを覆っている。上記以外の半導体装置１０４の構成は実施の形態２に係る半導体装置１０２と同様である。金属板８には、金、銀、銅またはアルミなど熱伝導率の高い金属が用いられる。
【００６７】
図２０、図２１、図２２および図２３は、半導体装置１０４の第１の製造方法を示す図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０４の第１の製造方法を説明する。
【００６８】
図２０は、半導体パッケージ１の上面１ａに放熱用ビア６１を形成し、半導体パッケージ１の上面１ａと側面１ｂを電磁波吸収層５で覆った状態を示している。図２０は、図１２の再掲である。すなわち、半導体装置１０４の第１の製造方法における図２０に示す構造までの製造工程は、実施の形態２に係る半導体装置１０２の第１の製造方法と同様である。
【００６９】
次に、図２１に示すように、電磁波反射層６と同じ材料すなわち液状のエポキシ樹脂に銅粒子を導電性粒子として混入させたペースト６２を、電磁波吸収層５および放熱用ビア６１上に印刷、インクジェット、ディスペンサまたは静電塗布により塗布する。そして、ペースト６２上に金属板８を搭載し、加熱してペースト６２を硬化させることにより、図２２に示すように金属板８を電磁波吸収層５上に固定する。
【００７０】
その後、金属板８および電磁波吸収層５を覆う電磁波反射層６を形成し、図２３に示す半導体装置１０４が完成する。
【００７１】
図２４、図２５、図２６および図２７は、半導体装置１０４の第２の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０４の第２の製造方法を説明する。
【００７２】
図２４は、半導体パッケージ１の上面１ａおよび側面１ｂを電磁波吸収層５で覆い、さらに半導体パッケージ１の上面１ａに面する電磁波吸収層５に開孔５１を形成した状態を示している。なお、図２４は図１６の再掲である。すなわち、半導体装置１０４の第２の製造方法における図２４に示す構造までの製造工程は、実施の形態２に係る半導体装置１０２の第２の製造方法と同様である。
【００７３】
次に、図２５に示すように、電磁波反射層６と同じ材料、すなわち液状のエポキシ樹脂に銅粒子を導電性粒子として混入させたペースト６２を、印刷によって開孔５１内に塗布し開孔５１を埋めた後、電磁波吸収層５上に印刷、インクジェット、ディスペンサまたは静電塗布により薄く塗布する。ここで、開孔５１内のペースト６２が放熱用ビア６１となる。そして、ペースト６２上に金属板８を搭載し、加熱してペースト６２を硬化させることにより、図２６に示すように金属板８を電磁波吸収層５上に固定する。
【００７４】
その後、金属板８および電磁波吸収層５を覆う電磁波反射層６を形成し、図２７に示す半導体装置１０４が完成する。
【００７５】
半導体装置１０４によれば、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との間に金属板８が設けられる。電磁波反射層６を構成する樹脂は電磁波吸収層５を構成する樹脂ではなく、金属と接触するため、電磁波反射層６と金属板８との間には高い密着力が得られ、電磁波反射層６の剥離を防ぐことができる。また、金属板８が電磁波吸収層５の熱を放散するヒートスプレッダの役割を果たすため、半導体パッケージ１で発生した熱が電磁波吸収層５に溜まることがなく、放熱性が向上する。
【００７６】
なお、電磁波反射層６は金属板８と半導体パッケージ１の側面１ｂを覆い、回路基板２のグランド電極と接続する。すなわち、金属板８は電磁波反射層６を介して回路基板２のグランド電極と接続する。
【００７７】
以上に説明したように、本発明の実施の形態４に係る半導体装置１０４は、実施の形態２に係る半導体装置１０２の構成に加えて、電磁波吸収層５の開孔５１を有する面と電磁波反射層６との間に配置された金属板８を備える。従って、電磁波反射層６を構成する樹脂は電磁波吸収層５を構成する樹脂ではなく金属と接触するため、電磁波反射層６と金属板８との間に高い密着力が得られ、電磁波反射層６の剥離を防ぐことができる。
【００７８】
＜Ｅ．実施の形態５＞
図２８は、本発明の実施の形態５に係る半導体装置１０５の断面図である。半導体装置１０５は、半導体パッケージ１の上面１ａが凹凸形状であるという点が実施の形態１に係る半導体装置１０１と異なり、それ以外の点は半導体装置１０１と同様である。
【００７９】
図２９、図３０、図３１および図３２は、半導体装置１０５の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置１０５の製造方法を説明する。
【００８０】
図２９は、回路基板２上にはんだ３で半導体パッケージ１を接合し、はんだ３の周囲にアンダーフィル樹脂４を充填した状態を示す断面図であり、図４の再掲である。すなわち、図１０に示す構造までの製造工程は、図２，３，４に示す実施の形態１に係る半導体装置１０１の製造工程と同様である。
【００８１】
次に、図３０に示すように、半導体デバイス１の上面１ａにレーザーを照射し凹凸を形成する。あるいは、アンダーフィル樹脂４を成型する際の金型に凹凸形状を設けることにより、半導体デバイス１の上面１ａに凹凸を形成する。レーザー加工と金型による加工のいずれによっても、半導体デバイス１の上面１ａに凹凸を形成することに関して同じ効果を得る。その後は、実施の形態１と同様に、半導体デバイスの上面１ａおよび側面１ｂを電磁波吸収層５で覆い（図３１）、電磁波吸収層５を電磁波反射層６で覆って図３２に示す半導体装置１０５を得る。電磁波反射層６は回路基板２上のグランド電極と電気的に接続させる。
【００８２】
以上に説明したように、本発明の実施の形態５に係る半導体装置１０５では、半導体パッケージ１の回路基板２に対する接合面と反対側の面である上面１ａに凹凸形状を有する。これにより、半導体デバイス１の上面１ａを電磁波吸収層５で覆う際、上面１ａの凹凸に電磁波吸収層５が入り込むため、半導体デバイス１と電磁波吸収層５との接触面積が増えると共にアンカー効果が得られ、両者の密着力が向上する。また、凹凸形状を有する半導体デバイス１の上面１ａ上に形成された電磁波吸収層５も上面に凹凸形状を有するため、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との間でも同様に、接触面積が増えると共にアンカー効果が得られ、両者の密着力が向上する。
【００８３】
＜Ｆ．実施の形態６＞
図３７は、本発明の実施の形態６に係る半導体装置１０６の断面図である。半導体装置１０６は、電磁波反射層６が半導体パッケージ１の上面において湿度調整用開孔７１を有する点が、実施の形態１，２，３，４および５に係る半導体装置とは異なる。湿度調整用開孔７１は電磁波反射層６を貫通しており、湿度調整用開孔７１において電磁波吸収層５が露出する。なお、湿度調整用開孔７１の直径は例えば０，１ｍｍである。
【００８４】
図３８、図３９、図４０および図４１は、半導体装置の製造方法を示す断面図である。以下、これらの図に沿って半導体装置の製造方法を説明する。
【００８５】
図３８は、電磁波吸収層５上に電磁波反射層６を形成した状態を示す断面図であり、図６の再掲である。すなわち、半導体装置１０６の製造工程は、図２，３，４および５に示す実施の形態１に係る半導体装置１０１の製造工程と同様である。
【００８６】
その後、図３９に示すように、電磁波反射層６に湿度調整用開孔７１を複数形成し、半導体装置１０６が完成する。ここでは複数の湿度調整用開孔７１を形成しているが、湿度調整用開孔７１は少なくとも一つ形成されればよい。また、図４０および図４１に示すように、湿度調整用開孔７１は格子状に配置されることが望ましい。図４０および図４１は、半導体装置１０６の上面図である。
【００８７】
電磁波は、その波長より小さいサイズの開孔を通過することができない。例えば、湿度調整用開孔７１の直径を０．１ｍｍとすれば、３ＴＨｚ以下の周波数の電磁波は湿度調整用開孔７１を通過できず、湿度調整用開孔７１の直径を０．５ｍｍとすれば、６００ＧＨｚ以下の周波数の電磁波は湿度調整用開孔７１を通過することが出来ない。従って、上記のとおり湿度調整用開孔７１の寸法を規定することにより、湿度調整用開孔７１による電磁波の遮蔽機能の低下は生じない。
【００８８】
半導体装置１０６によれば、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との間の余分な湿気が湿度調整用開孔７１より放出されるため、電磁波吸収層５と電磁波反射層６の剥離を抑制することが可能である。
【００８９】
以上に説明したように、本発明の実施の形態６に係る半導体装置１０６は、実施の形態１に係る半導体装置１０１の構成に加えて、電磁波反射層６が湿度調整用開孔７１を有する。湿度調整用開孔７１を通して、電磁波吸収層５と電磁波反射層６との間の余分な湿気が外気に放出されるため、電磁波吸収層５と電磁波反射層６の剥離を抑制することが可能である。
【００９０】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
【符号の説明】
【００９１】
１  半導体パッケージ、２  回路基板、３  はんだ、４  アンダーフィル樹脂、５  電磁波吸収層、６  電磁波反射層、７  金属膜、８  金属板、９  基板パターン、５１  開孔、６１  放熱用ビア、７１  湿度調整用開孔、１０１，１０２，１０３，１０４  半導体装置。
【図１】
0006676191.tif 000007
【図２】
0006676191.tif 000008
【図３】
0006676191.tif 000009
【図４】
0006676191.tif 000010
【図５】
0006676191.tif 000011
【図６】
0006676191.tif 000012
【図７】
0006676191.tif 000013
【図８】
0006676191.tif 000014
【図９】
0006676191.tif 000015
【図１０】
0006676191.tif 000016
【図１１】
0006676191.tif 000017
【図１２】
0006676191.tif 000018
【図１３】
0006676191.tif 000019
【図１４】
0006676191.tif 000020
【図１５】
0006676191.tif 000021
【図１６】
0006676191.tif 000022
【図１７】
0006676191.tif 000023
【図１８】
0006676191.tif 000024
【図１９】
0006676191.tif 000025
【図２０】
0006676191.tif 000026
【図２１】
0006676191.tif 000027
【図２２】
0006676191.tif 000028
【図２３】
0006676191.tif 000029
【図２４】
0006676191.tif 000030
【図２５】
0006676191.tif 000031
【図２６】
0006676191.tif 000032
【図２７】
0006676191.tif 000033
【図２８】
0006676191.tif 000034
【図２９】
0006676191.tif 000035
【図３０】
0006676191.tif 000036
【図３１】
0006676191.tif 000037
【図３２】
0006676191.tif 000038
【図３３】
0006676191.tif 000039
【図３４】
0006676191.tif 000040
【図３５】
0006676191.tif 000041
【図３６】
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【図３７】
0006676191.tif 000043
【図３８】
0006676191.tif 000044
【図３９】
0006676191.tif 000045
【図４０】
0006676191.tif 000046
【図４１】
0006676191.tif 000047