(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、
前記シーラントは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有し、
前記第１面の算術平均粗さＲａが０．０７μｍ以上で０．０９μｍ以下であり、かつ前記第１面のクルトシスＲｋｕが７以下である、
シーラント。
【請求項２】
前記シーラントには、スリップ剤が添加されてない、
請求項１に記載のシーラント。
【請求項３】
前記シーラントは、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）及びリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含む、
請求項１または請求項２に記載のシーラント。
【請求項４】
基材と、前記基材の一方の面側に設けられた、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のシーラントとを備える、包装材料。
【請求項５】
前記基材の前記シーラントとは反対の面側に設けられた、ガスバリア層をさらに有する、
請求項４に記載の包装材料。
【請求項６】
前記ガスバリア層が、アルミニウム酸化物又はケイ素酸化物を含む、
請求項５に記載の包装材料。
【請求項７】
請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の包装材料により構成された、
シリコン材料の輸送用包装体。
【請求項８】
請求項７に記載のシリコン材料の輸送用包装体と、
前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されたシリコン材料と
を備える、シリコン材料の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラント及び包装材料、シリコン材料の輸送用包装体、並びにシリコン材料の梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品等の製造に用いられるシリコンウェハや、シリコンウェハの原材料として用いられるポリシリコン等のシリコン材料に対しては、高いクリーン度（清浄度）が要求される。例えば、シリコンウェハの輸送に際しては、シリコンウェハはクリーンに洗浄された樹脂ケースに格納され、シリコンウェハが格納された樹脂ケースは、シリコンウェハに関する情報が記載されたラベルが貼り付けられた後で、樹脂ケースごとにクリーンな包装体に包装され、密封される。このような包装体として、例えば、特許文献１には、最外層フィルムを含む基材層と最内層のシーラント層との少なくとも２層以上の積層体からなる電子部品等包装用の無塵包装袋であって、前記最外層フィルムの表面が、該表面どうしの静摩擦係数（μｓ）０．４０以下、動摩擦係数（μｋ）０．３５以下、かつ表面粗さ（Ｒａ）０．１０〜０．４０μｍの粗面に形成されると共に、前記基材層の内部又は最内面に、少なくとも１層以上の帯電防止剤を含む接着剤層又は接着プライマー層が設けられてなる自動包装適性に優れた無塵包装袋が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１３６４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シリコン材料の輸送用包装体を構成する包装材料のシーラントは、良好な滑り性を有することが求められる。例えば、シーラントどうしの滑り性が悪いと、包装体を開口することが困難となる問題がある。例えば、シーラントと樹脂ケースとの滑り性が悪いと、樹脂ケースの包装体への出し入れが困難となる問題がある。
【０００５】
シリコン材料の輸送用包装体を構成する包装材料のシーラントは、良好な透明性を有することも求められる。透明性が悪いシーラントに対しては、例えば、樹脂ケースに貼り付けられたラベルの情報あるいはシリコンウェハや樹脂ケースの状態を包装体が未開封の状態では確認することが困難となる問題や、シーラントに存在する異物の確認が困難となる問題がある。
【０００６】
しかし、滑り性と透明性はトレードオフの関係となる場合があり、しかも、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントは、基本的な要求特性として高いクリーン度が求められる。シリコン材料の輸送用包装体に用いることができる程度の高いクリーン度を有しつつ、良好な滑り性と良好な透明性を有するシーラントを得ることは容易ではない。
【０００７】
本開示は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられ、滑り性、透明性、及びクリーン性が良好なシーラント、並びにそのシーラントが用いられた、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体、及びシリコン材料の梱包体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の課題を解決するために、本開示の一実施形態は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントであって、前記シーラントは、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有し、前記第１面の算術平均粗さＲａが０．０７μｍ以上で０．０９μｍ以下であり、かつ前記第１面のクルトシスＲｋｕが７以下である、シーラントを提供する。
【０００９】
本開示の一実施形態は、基材と、前記基材の一方の面側に設けられた前述のシーラントとを備える、包装材料を提供する。本開示の一実施形態は、前述の包装材料により構成された、シリコン材料の輸送用包装体を提供する。本開示の一実施形態は、前述のシリコン材料の輸送用包装体と、前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されたシリコン材料とを備える、シリコン材料の梱包体を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、シリコン材料の輸送用包装体に用いられ、滑り性、透明性、及びクリーン性が良好なシーラント、並びに、そのシーラントが用いられた、包装材料、シリコン材料の輸送用包装体、及びシリコン材料の梱包体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本開示の一実施形態に係るシーラントの一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。
【図２】図２は、本開示の一実施形態に係るシーラントの他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。
【図３】図３は、本開示の一実施形態における包装材料の一態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。
【図４】図４は、本開示の一実施形態における包装材料の他の態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。
【図５】図５は、本開示の一実施形態における包装材料を製造可能な製造装置の一例の構成を概略的に示す模式図である。
【図６】図６は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体の概略構成を示す斜視図である。
【図７】図７は、本開示の一実施形態におけるシリコン材料の梱包体の概略構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本明細書に添付した図面においては、理解を容易にするために、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更したり、誇張したりしている場合がある。本明細書等において、「フィルム」、「シート」、「板」等の用語は、呼称の相違に基づいて相互に区別されない。例えば、「板」は、「シート」、「フィルム」と一般に呼ばれ得るような部材をも含む概念である。
【００１３】
〔シーラント〕
本実施形態のシーラントは、シリコン材料の輸送用包装体に用いられ、第１面及び前記第１面に対向する第２面を有し、前記第１面の算術平均粗さＲａが０．０４μｍ以上で０．１０μｍ以下であり、かつ前記第１面のクルトシスＲｋｕが２０以下である。本実施形態に係るシーラントは、滑り性、透明性、及びクリーン性が良好である。
【００１４】
前記シーラントは、前記第１面を含む第１部分を有していてもよく、前記第１部分は、スリップ剤が実質的に添加されていなくてもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。
【００１５】
前記シーラントは、前記第１面を含む第１部分を有していてもよく、前記第１部分は、扁平の粒子を含んでいてもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。
【００１６】
前記シーラントは、前記第１面を含む第１部分を有していてもよく、前記第１部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含んでいてもよい。シーラントの低分子成分の揮発を抑制できる。さらに、前記第１部分は、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、又はポリプロピレン（ＰＰ）をさらに含んでいてもよい。例えば、第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。また、前記シーラントは、前記第１部分よりも前記第２面側に位置する第２部分をさらに有していてもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。さらに、前記第２部分は、リニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を含んでいてもよい。シーラントの低分子成分の揮発を抑制できる。さらに、前記第２部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）をさらに含んでいてもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。また、前記シーラントは、前記第２部分よりも前記第２面側に位置する第３部分をさらに有していてもよい。シーラントの厚み方向のバランスが良好になり、カールの発生を抑制できる。さらに第３部分は、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）を含んでいてもよい。シーラントの低分子成分の揮発を抑制できる。
【００１７】
前記シーラントは、前記第１面を含む第１層、及び第２層を有する積層体であってもよく、前記第１部分は、前記第１層であってもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。また、前記シーラントは、前記第１面を含む第１層、及び第２層を有する積層体であってもよく、前記第１部分は、前記第１層であってもよく、前記第２部分は、前記第２層であてもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。また、前記シーラントは、前記第１面を含む第１層、第２層、及び第３層をこの順番で有する積層体であってもよく、前記第１部分は、前記第１層であってもよく、前記第２部分は、前記第２層であってもよく、前記第３部分は、前記第３層であってもよい。第１面の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕの調整が容易になる。
【００１８】
前記シーラントは、１つの層のみからなる単層体であってもよく、前記第１部分は、前記１つの層の一方の面を含む部分であってもよく、前記第２部分は、前記１つの層の前記第１部分よりも他方の面側に位置する部分であってもよい。
【００１９】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係るシーラント１０は、一例として、シリコン材料を輸送する際に用いられる包装体用のものであって、第１面１１Ａ及びそれに対向する第２面１１Ｂを有し、ヒートシール可能なシーラント基材１１を備える。シーラント基材１１は、第１面１１Ａ側に位置する第１表面層１１１と、第２面１１Ｂ側に位置する第２表面層１１２と、第１表面層１１１及び第２表面層１１２の間に挟まれている中間層１１３とを有する積層体であってもよいし（図１参照）、第１面１１Ａ及び第２面１１Ｂを有する単層体であってもよい（図２参照）。後述の通り、２以上の層の積層体の方が、シーラントの表面形状の調整が単層体よりも選択肢が多いため、好ましい。
【００２０】
本実施形態に係るシーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａは０．０４μｍ以上で０．１０μｍ以下でありかつクルトシスＲｋｕは２０以下である。第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが所定の範囲であることで、シーラント１０の第１面１１Ａどうしの滑り性や、第１面１１Ａとシリコンウェハを格納する樹脂ケースとの間の良好な滑り性を得ることができる。さらに、第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが所定の範囲であることで、シーラント１０の良好な透明性を確保することができる。それにより、シーラント１０を含む包装材料２０（図３及び図４参照）から作製されるシリコン材料の輸送用包装体４０（図６参照）にシリコン材料が包装されたときに、シリコン材料の輸送用包装体４０内部の視認性がシーラント１０によって悪化するのを防止することができる。また、シリコン材料の輸送用包装体４０におけるシーラント１０の第１面１１Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。また、第１面１１ＡのクルトシスＲｋｕが所定の範囲であることで、シーラント１０の良好なクリーン性を確保することができる。
【００２１】
一般に、シリコンウェハを格納する樹脂ケースは、自動梱包機を用いてシリコン材料の輸送用包装体に自動的に包装される。この自動梱包機においては、包装体を自動で開口して樹脂ケースが収納されるが、開口前の包装体はシーラントの表面どうしを当接させるようにして積み上げられている。自動梱包機を用いた包装がスムーズに行われるために、包装体を自動で容易に開口可能であることが求められる。そのためには、包装体を構成する包装材料のシーラントどうしの滑り性が良好であることが求められる。また、包装体の開口から樹脂ケースを入れたり開封した包装体から樹脂ケースを取り出したりすることを容易にするために、樹脂ケースとシーラントとの滑り性が良好であることが求められる。
【００２２】
一方で、シリコン材料の輸送用包装体を構成する包装材料や、その最内層に位置するシーラントは、良好な透明性を有しているのが望ましい。例えば、シリコンウェハを格納した樹脂ケースには、シリコンウェハに関する情報が記載されたラベルが貼付されていることがある。包装材料やシーラントが良好な透明性を有していれば、梱包体を未開封の状態でラベルの情報を目視や読取装置で確認することができる。また、輸送中におけるシリコンウェハや樹脂ケースの破損や変色等を梱包体が未開封の状態で確認することもできる。特に、シリコン材料の梱包体は、シリコンウェハのクリーン度（清浄度）を維持するためにクリーンルーム内において開封される。クリーンルーム内の照明の関係上、包装材料やシーラントの透明性が高くないと、未開封の梱包体の内部が見えにくいという問題がある。そのため、シリコン材料の輸送用包装体を構成する包装材料は、クリーンルーム内でラベルの情報やシリコンウェハや樹脂ケースの状態が包装材料越しに目視や読取装置で認識可能な程度の透明性を有することが好ましい。また、例えば、シリコン材料の輸送用包装体におけるシーラント表面は、シリコンウェハを格納する樹脂ケースに直接に接触するため、シーラント表面に異物が付着していると、包装体に包装されたシリコンウェハに異物が付着してしまうおそれがある。異物が付着している包装体やシーラントは、シリコンウェハの輸送用としては不適格であるとして使用前に排除することが望まれる。包装材料やシーラントが異物を視認可能な程度に透明性を有していることで、包装体に樹脂ケースを包装する前に、異物の存在を確認することができ、シリコンウェハの汚染を未然に防止することができる。異物は、包装体、包装材料若しくはその中間材料、又はシーラントを目視することや検査装置を使用することで確認できる。シーラントの両面の確認が同時にできるので、シーラントは、シーラントに存在する異物がシーラント越しに目視又は検査装置で認識可能な程度の透明性を有することが好ましい。
【００２３】
しかし、本発明者らは、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントとして、シリコン材料の輸送用包装体に対して要求される滑り性及び透明性のいずれも良好なシーラントを得ることは容易ではないことに気付いた。その理由は、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントは、その前提として高いクリーン度を確保することが要求されるため、原材料、製造の機械、条件若しくはプロセス、又はフィルム構成等における制約が多いためである。例えば、滑り性の調整に一般的に用いられるスリップ剤は、それ自体が異物になるおそれがあるので、使用が制限される。例えば、フィルムの表面形状の調整に一般的に用いられる印刷ロールの使用は、異物が転写するおそれがあるので、好ましくない。あるいは、滑り性や透明性に影響を与え得る因子として、例えば、原材料として用いる樹脂の種類や量、シーラントの積層構造や厚さなどが考えられるが、これらの因子は、まず、クリーンなシーラントを得る観点で選択され、次に、選択された条件下で許容される範囲内で滑り性や透明性を高めることが要求される。しかも、後述のように、滑り性と透明性はトレードオフの関係になる場合がある。そこで、本発明者らは、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントではシーラントの表面形状が重要であることに気付き、シリコン材料の輸送用包装体に対して要求される滑り性、透明性、及びクリーン性の観点では表面形状の指標として算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕに着目すべきことに気付き、そして、算術平均粗さＲａが０．０４μｍ以上で０．１０μｍ以下でありかつクルトシスＲｋｕが２０以下である場合に、シリコン材料の輸送用包装体に対して要求される滑り性、透明性、及びクリーン性のいずれも良好なシーラントが得られることに気付くことによって、本発明を完成させた。
【００２４】
算術平均粗さＲａは、表面の凹凸状態の平均値を示すパラメータである。シーラント表面の算術平均粗さＲａが相対的に大きければ、シーラント表面どうしやシーラント表面と樹脂ケース表面との接触面積を小さくすることができるため、シーラントどうしの滑り性や樹脂ケースとシーラントとの滑り性を良好にすることができると考えられる。一方で、算術平均粗さＲａが相対的に大きいと、シーラント表面にて光の拡散が生じやすくなるため、シーラントの透明性が低下してしまう。
【００２５】
また、クルトシスＲｋｕは、表面の高さヒストグラム（分布度数曲線）の尖り度合いを示すパラメータであり、クルトシスＲｋｕが相対的に大きい値であるほど、物体表面の凹凸が先鋭であるということができる。算術平均粗さＲａと同様に、シーラント表面のクルトシスＲｋｕが相対的に大きければ、シーラント表面どうしやシーラント表面と樹脂ケース表面との接触面積を小さくすることができるため、シーラントどうしの滑り性や樹脂ケースとシーラントとの滑り性を良好にすることができると考えられる。一方で、クルトシスＲｋｕが相対的に大きいと、物体表面の先鋭な凹凸（代表的なケースは、スリップ剤に由来する凹凸）が剥離しやすくなるので、シーラントのクリーン性が低下してしまう。
【００２６】
本発明では、クルトシスＲｋｕが所定の範囲であることで、シーラントから剥離して発生する異物（代表的なケースは、スリップ剤に由来する異物）が抑制されるので、シーラントのクリーン性を低下させないようにすることができると推察される。一方で、クルトシスＲｋｕを所定の範囲とするための制限された条件の下で、算術平均粗さＲａが所定の範囲であることで、シーラント表面の滑り性を確保しつつ、シーラントの透明性も低下させないようにすることができると推察される。本実施形態においては、第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが０．０４μｍ〜０．１０μｍであり、かつシーラント１０の第１面１１ＡのクルトシスＲｋｕが２０以下であることで、シーラント１０の良好な透明性を確保することができるとともに、シーラント１０の第１面１１Ａどうしの滑り性や、第１面１１Ａとシリコンウェハを格納する樹脂ケースとの間の滑り性も得ることができ、シリコン材料の輸送用包装体に対して要求されるクリーン性を得ることができる。シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントでは、スリップ剤や印刷ロールの使用に制約があるため、スリップ剤や印刷ロールの低減された使用や実質的な不使用であっても良好な滑り性を得ることができる本実施形態のシーラントは、シリコン材料の輸送用包装体に用いられるシーラントとして特に適しているものである。
【００２７】
本実施形態において、シーラント１０の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕは、例えば、白色干渉式光学顕微鏡（Ｚｙｇｏ社製，製品名：ＮｅｗＶｉｅｗ６３００型）を用いて、下記条件にて測定し、３点平均値にて算出することができる。
［測定条件］
・測定モード：単視野
・観察視野：０．２１６ｍｍ□
・対物レンズ：５０倍
・Ｚｏｏｍレンズ：１倍
Ｚ軸走査距離（Ｓｃａｎ Ｌｅｎｇｔｈ）：５μｍ（３秒）
・測定画素数（Ｃａｍｅｒａ Ｍｏｄｅ）：４９６ｐｘ×１９６ｐｘ（７５Ｈｚ）
【００２８】
算術平均粗さＲａは、０．０４μｍ以上であることが好ましく、０．０５μｍ以上であることがより好ましく、また、好ましくは０．１０μｍ未満であり、より好ましくは０．０９μｍ以下である。クルトシスＲｋｕは、好ましくは３以上であり、より好ましくは５以上であり、また、好ましくは２０以下であり、より好ましくは、１５以下である。
【００２９】
本実施形態のシーラント１０の厚みＴ１０は、シーラント１０を含む包装材料により構成されるシリコン材料の輸送用包装体の所望の厚さや所望のヒートシール強度等に応じて適宜設定され得るものであるが、例えば、３０μｍ〜６０μｍ程度であればよい。
【００３０】
図１に示す態様において、第１面１１Ａ側に位置する第１表面層１１１は、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（以下、「ＬＤＰＥ」と記載する場合がある。）を主成分として含む層である。第１表面層１１１がＬＤＰＥを主成分として含むことによって、後述の通り、シーラントの低分子成分の揮発を抑制することができる。第１表面層１１１をスリップ剤が実質的に添加されていない層とすることで、スリップ剤に起因する表面の凹凸が生じないので、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを所定の範囲とすることが容易となる。スリップ剤としては、例えば、炭酸カルシウム又はタルクなどの粒子や、シリコーン樹脂又は四級アンモニウム塩化合物などの界面活性剤が挙げられるが、スリップ剤の使用を低減したり実質的に使用しなかったりすることによって、スリップ剤の形状や大きさに起因する凹凸やＬＤＰＥ等の第１表面層の他の成分との親和性に起因する凹凸がシーラントの表面に生じるおそれを抑制することができる。なお、本実施形態で、第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを所定の範囲とすることができる限りにおいて、第１表面層１１１を構成する材料は、スリップ剤が実質的に添加されていないものに限定されるものではない。例えば、扁平な粒子や大きさが小さい粒子を用いたりあるいは界面活性剤の種類や量を調整して所望の凹凸を生じさせたりすることによって、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを所定の範囲としてもよい。
【００３１】
図１に示す態様において、第１表面層１１１のＬＤＰＥの含有量は、樹脂成分の総量に対して５０質量％以上で１００質量％以下である。第１表面層１１１は、密度や分子量分布等が異なる複数の種類のＬＤＰＥを含んでいてもよい。第１表面層１１１は、ＬＤＰＥに加えて、例えば、リニア低密度ポリエチレン（以下、「ＬＬＤＰＥ」と記載する場合がある。）、高密度ポリエチレン（以下、「ＨＤＰＥ」と記載する場合がある。）、ポリプロピレン（以下、「ＰＰ」と記載する場合がある。）などのヒートシール性がある樹脂を樹脂成分の総量に対して０質量％以上で５０質量％以上の含有量で含んでいてもよい。親和性が異なる複数の種類の樹脂を組み合わせて表面に生じる凹凸を調整することによって、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを所定の範囲に調整することができる。なお、図１に示す態様では、第１表面層１１１がＬＤＰＥを主成分として含む場合を示したが、これに限定されない。本実施形態で、第１表面層１１１は、例えば、ＬＬＤＰＥ、ＨＤＰＥ、ＰＰなどのヒートシール性がある樹脂を樹脂成分の総量に対して５０質量％を上回る量で含んでいてもよく、また、ＬＤＰＥを含んでいなくてもよい。
【００３２】
図１に示す態様において、第２面１１Ｂ側に位置する第２表面層１１２も、第１表面層１１１と同様に、例えば、スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥを主成分として含む層である。ただし、本実施形態で、第２表面層１１２は、スリップ剤が実質的に添加されていないＬＤＰＥを主成分として含む層に限定されないことも、第１表面層１１１と同様である。
【００３３】
図１に示す態様において、第１表面層１１１と第２表面層１１２との間に挟まれている中間層１１３は、例えば、ＬＬＤＰＥを含む層である。シリコン材料の輸送用包装体の最内層に位置するシーラント１０に由来する揮発成分（シーラント１０由来のアウトガス成分）が内容物であるシリコンウェハやポリシリコンなどのシリコン材料に付着してしまうと、シリコンウェハを用いて製造される半導体装置において欠陥を生じさせてしまうおそれがある。そのため、シーラント１０に由来する揮発成分は、可能な限り少ないのが望ましい。シーラント１０に由来する揮発成分を低減させるためには、シーラント１０の厚みＴ１０を薄くするのが望ましい。この点、ＬＬＤＰＥは、ＬＤＰＥに比べ、伸縮性が高く、折り曲げに対する耐性が高いため、シーラント１０としてＬＬＤＰＥを用いることで、シーラント１０の厚みＴ１０を相対的に薄くすることができる。また、包装体４０に樹脂ケース５１を収容した後、包装体４０から脱気して梱包されるため、包装体４０を構成する包装材料に含まれるシーラント１０には、良好な追従性が求められる。この点においても、ＬＬＤＰＥが用いられることで、シーラント１０の追従性が良好になる。しかし、ＬＬＤＰＥは、重合時の圧力がＬＤＰＥのそれよりも低いために、ＬＤＰＥに比べて低分子成分が発生し、揮発しやすい。図１に示す態様においては、ＬＬＤＰＥを含む中間層１１３が、ＬＤＰＥを主成分とする第１表面層１１１及び第２表面層１１２により挟まれている。そのため、図１に示す態様のシーラント１０によれば、厚みＴ１０を相対的に薄くすることができ、またＬＬＤＰＥから低分子成分が揮発するのを防止することができる。
【００３４】
図１に示す態様において、中間層１１３のＬＬＤＰＥの含有量は、樹脂成分の総量に対して２０質量％以上で１００質量％以下である。３０質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましい。８０質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることがより好ましい。中間層１１３は、ＬＬＤＰＥに加えて、例えば、ＬＤＰＥ、ＨＤＰＥ、ＰＰなどのヒートシール性がある樹脂を樹脂成分の総量に対して０質量％以上で８０質量％以上の含有量で含んでいてもよい。中間層１１３のＬＬＤＰＥや、第１表面層１１１や第２表面層１１２のＬＤＰＥとの親和性が比較的高いので、中間層１１３は、ＬＬＤＰＥに加えて、ＬＤＰＥを含んでいることが好ましい。もっとも、後述の通り、ＬＬＤＰＥとは親和性が比較的低いＨＤＰＥやＰＰを添加することによって、表面の凹凸を意図的に形成させてもよい。なお、図１に示す態様では、中間層１１３がＬＬＤＰＥを樹脂成分の総量に対して２０質量％以上で１００質量％以下を含む場合を示したが、これに限定されない。本実施形態で、中間層１１３は、例えば、ＬＬＤＰＥの含有量が樹脂成分の総量に対して０質量％以上で２０質量％未満であってもよく、ＬＤＰＥ、ＨＤＰＥ、ＰＰなどのヒートシール性がある樹脂を樹脂成分の総量に対して５０質量％を上回る量で含んでいてもよく、また、ＬＤＰＥを含んでいなくてもよい。
【００３５】
図１に示す態様において、中間層１１３の原材料や加工を調節することによって、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを所定の範囲とすることができる。シーラント１０の第１面１１Ａの表面形状は、中間層１１３と第１表面層１１１との界面の凹凸や、中間層１１３の原材料と第１表面層１１１の原材料との親和性によって変化するためである。例えば、中間層１１３に粒子や界面活性剤などのスリップ剤を添加したり、中間層１１３のスリップ剤の使用量を低減ないし無くしたり、中間層１１３を印刷版で押圧して所望の表面形状を得た後に第１表面層１１１を形成したり、あるいは、第１表面層１１１の原材料に対して親和性が低い材料や親和性が高い材料を中間層１１３で選択したりすることによって、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを調節することができる。
【００３６】
図２に示すシーラント１０において、単層構造体のシーラント基材１１は、ＬＤＰＥとＬＬＤＰＥとを含む。このシーラント基材１１において、ＬＤＰＥとＬＬＤＰＥとの配合比が、１：１〜３：２程度であればよい。このように、ＬＤＰＥの配合量がＬＬＤＰＥの配合量よりも多いことで、シーラント基材１１の第１面１１Ａ側においてＬＤＰＥの存在量を多くすることができるとともに、ＬＬＤＰＥによりシーラント１０の厚みＴ１０を薄くするという効果、すなわち低分子成分が揮発するのを防止するという効果が奏される。図２に示すシーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕは、例えば、前述した図１に示すシーラント１０の第１表面層１１１と同様に調節することができる。
【００３７】
前述した構成を有するシーラント１０は、従来公知のフィルム成膜法を用いて製造され得る。例えば、図１に示す構成を有するシーラント１０は、ダイコート法等の塗工法、インフレーション法等を用いて、第２表面層１１２、中間層１１３及び第１表面層１１１を積層形成することで製造され得る。図２に示す構成を有するシーラント１０も同様に、塗工法、押出インフレーション法等を用いて製造され得る。
【００３８】
〔包装材料〕
本実施形態の包装材料は、基材と、前記基材の一方の面側に設けられた、前述のシーラントとを備える。包装材料は、前記基材の前記シーラントとは反対の面側に設けられた、ガスバリア層をさらに有していてもよく、さらに、前記ガスバリア層が、アルミニウム酸化物又はケイ素酸化物を含んでいてもよい。
【００３９】
図３に示すように、図３における包装材料２０は、基材２１の一方の面側に第２面１１Ｂを当接させるようにしてシーラント１０が積層された積層構造を有する。基材２１は、例えば、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル、ナイロンなどのポリアミド、ポリイミド、シクロオレフィンコポリマー等から選択される１種の樹脂材料又は２種以上の樹脂材料の積層体により構成される。なお、図３に示す例においては、基材２１が２種の樹脂材料の積層体（第１樹脂層２１１及び第２樹脂層２１２）により構成されており、第１樹脂層２１１がシーラント１０の第２面１１Ｂに対する接着層として機能している。この場合において、例えば、第１樹脂層２１１はポリエチレン（ＰＥ）により構成され、第２樹脂層２１２はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）により構成されている。
【００４０】
包装材料２０におけるシーラント１０は、第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが０．０４μｍ以上で０．１０μｍ以下であり、かつ第１面１１ＡのクルトシスＲｋｕが２０以下であることで、良好な滑り性と良好な透明性を有する。その結果、包装材料２０から製造されるシリコン材料の輸送用包装体４０（図６参照）にシリコンウェハやポリシリコンが包装されたときに、包装体４０内部の視認性がシーラント１０によって悪化するのを防止することができる。また、シリコン材料の輸送用包装体４０におけるシーラント１０の第１面１１Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。
【００４１】
本実施形態における包装材料２０は、基材２１とシーラント１０との間にガスバリア層２２を有していてもよい（図４参照）。ガスバリア層２２を有することで、包装材料２０から製造される包装体４０の外部から、シリコン材料表面を汚染したりシリコン材料と反応したりするガス等が侵入するのを防止することができる。ガスバリア層２２は、例えば、アルミニウム酸化物、ケイ素酸化物等の無機酸化物や窒化ケイ素等の無機窒化物等を樹脂層（例えばＰＥＴ層等）に蒸着させた蒸着膜等であってもよい。アルミニウム酸化物やケイ素酸化物のガスバリア層は、良好な透明性を有するため、好ましい。また、ガスバリア層２２は、アルミニウム等の金属を蒸着させた金属蒸着膜や、アルミニウム等の金属箔であってもよい。なお、包装材料２０がこれらの金属蒸着膜や金属箔を基材２１とシーラント１０との間に有する場合、包装材料２０の透明性は確保されないが、包装材料２０から製造される包装体４０にガスバリア性の他、光遮蔽性をも付与することができる。また、この態様において、シーラント１０が良好な透明性を有することで、包装材料２０から作製される包装体４０におけるシーラント１０の第１面１１Ａに異物が付着しているか否かを、より容易に確認することができる。
【００４２】
前述した構成を有する包装材料２０は、従来公知のフィルム等の作製方法により作製すればよいが、例えば、図５に示すように、第１ロール６１、第２ロール６２、第３ロール６３及びＴダイ６４を有する製造装置６０を用いて作製され得る。かかる製造装置において、シーラント１０の第２面１１Ｂと、第２樹脂層２１２との間に、第１樹脂層２１１を構成する樹脂材料がフィルム状にＴダイ６４から押し出され、第１ロール６１、第２ロール６２及び第３ロール６３により面状圧接されて冷却されることで、包装材料２０が作製される。
【００４３】
〔シリコン材料の輸送用包装体〕
本実施形態のシリコン材料の輸送用包装体は、上述の包装材料により構成されている。また、本実施形態のシリコン材料の梱包体は、上述のシリコン材料の輸送用包装体と、前記シリコン材料の輸送用包装体内に収容されたシリコン材料とを備えている。
【００４４】
図６に示すように、一例におけるシリコン材料の輸送用包装体４０は、広げることで略方体状（略直方体状）となる包装袋であって、第１側面フィルム４１、第２側面フィルム４２、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４によって構成されている。第１側面フィルム４１、第２側面フィルム４２、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４は、いずれも包装材料２０により構成されている。包装体４０は、第１側面フィルム４１、第２側面フィルム４２、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４のいずれものシーラント１０の第１面１１Ａが最内面に位置し、基材２１の他方面側が最外面に位置するように構成されている。
【００４５】
包装体４０において、第１側面フィルム４１の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム４３の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させた第１ヒートシール部ＨＳ１が形成され、第１側面フィルム４１のその側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム４４の２つの対向する側縁部の一方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させた第２ヒートシール部ＨＳ２が形成されている。また、第２側面フィルム４２の２つの対向する側縁部の一方と折り込まれた第１ガゼットフィルム４３のその側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させた第３ヒートシール部ＨＳ３が形成され、第２側面フィルム４２のその側縁部の他方と折り込まれた第２ガゼットフィルム４４のその側縁部の他方とを重ね合わせてヒートシールにより溶着させた第４ヒートシール部ＨＳ４が形成されている。第１側面フィルム４１及び第２側面フィルム４２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールにより溶着させた底面ヒートシール部ＨＳＢが形成され、底面ヒートシール部ＨＳＢに対向して位置する第１側面フィルム４１及び第２側面フィルム４２のそれぞれの側縁部は、ヒートシールされずにシリコン材料の輸送用包装体４０の開口部４５を形成している。
【００４６】
第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４を折り込んだ包装体４０が多数積み重ねられている状態で、第１側面フィルム４１又は第２側面フィルム４２を吸着保持して上方に持ち上げることで、開口部４５を開くことができる。その開いた開口部４５から、包装体４０内にシリコンウェハ５２を格納する樹脂ケース５１（図７参照）を収容し、開口部４５における第１側面フィルム４１及び第２側面フィルム４２のそれぞれの側縁部を重ね合わせてヒートシールすることで、上面ヒートシール部ＨＳＴを形成してシリコン材料の梱包体５０（図７参照）を作製することができる。
【００４７】
図６のシリコン材料の輸送用包装体４０においては、第１側面フィルム４１、第２側面フィルム４２、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４のシーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが０．０４μｍ以上で０．１０μｍ以下であり、かつクルトシスＲｋｕが２０以下である。第１面１１Ａは包装体４０の最内面に位置し、第１側面フィルム４１又は第２側面フィルム４２を吸着保持して上方に持ち上げたときに、容易に開口部４５を開くことができるとともに、開いた開口部４５から包装体４０内に樹脂ケース５１を容易に収容することができる。また、シーラント１０が良好な透明性を有するため、包装体４０に包装されたシリコンウェハ５２や樹脂ケース５１の視認性を良好にすることができる。なお、包装材料２０の基材２１のシーラントとは反対面側に金属蒸着膜や金属箔が設けられている場合、包装体４０の透明性は確保されないが、包装体４０にガスバリア性や光遮蔽性を付与することができる。また、基材２１の金属蒸着膜や金属箔とは反対面側に設けられているシーラント１０において良好な透明性が確保されていることで、包装体４０におけるシーラント１０の第１面１１Ａに異物が付着しているか否かを容易に確認することができる。
【００４８】
以上説明した実施形態は、本開示の理解を容易にするために記載されたものであって、本開示を限定するために記載されたものではない。したがって、前述の実施形態に開示された各要素は、本開示の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００４９】
前述したシリコン材料の梱包体５０は、前述したシリコン材料の輸送用包装体４０を内袋とし、それと同様の構成を有する外袋をさらに有するものであってもよく、この場合において、内袋としての包装体４０にシリコンウェハ５２やポリシリコンを収容し、さらに外袋に収容すればよい。この外袋の第１側面フィルム４１、第２側面フィルム４２、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４のそれぞれを構成する包装材料は、図３及び図４に示す構成を有する包装材料２０であってもよいし、帯電防止機能を有する樹脂フィルム（例えば、ＰＴＭＥ−ＲＴ やエンブレムＥＲＴ（製品名，ユニチカ社製）等）、ガスバリア層２２、第１樹脂層２１１及びシーラント１０をこの順で積層してなる積層体であってもよい。
【００５０】
前述した実施形態におけるシリコン材料の輸送用包装体４０は、第１ガゼットフィルム４３及び第２ガゼットフィルム４４を有しないものであってもよい。この場合において、第１側面フィルム４１及び第２側面フィルム４２を、互いのシーラント１０の第１面１１Ａを対向させるようにして３つの側縁部をヒートシールすればよい。
【実施例】
【００５１】
以下、実施例等を挙げて本開示をさらに詳細に説明するが、本開示は下記の実施例等により何ら限定されるものではない。
【００５２】
〔実施例１〕
第１表面層１１１の構成材料としてスリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、中間層１１３の構成材料としてスリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）及びスリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：３５００ＺＡ）の溶融混合物（配合比＝１：１（質量基準））を用い、第２表面層１１２の構成材料としてスリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）を用い、多層共押出インフレーション成膜法により、図１に示す構成を有するシーラント１０（第１表面層１１１（膜厚：８μｍ）、中間層１１３（膜厚：２４μｍ）、第２表面層１１２（膜厚：８μｍ））を作製した。
【００５３】
前述のようにして作製されたシーラント１０の第１表面層１１１上の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕを、白色干渉式光学顕微鏡（Ｚｙｇｏ社製，製品名：ＮｅｗＶｉｅｗ６３００型）を用いて下記条件にて測定し、３点平均値にて算出した。結果を表１に示す。
【００５４】
［測定条件］
・測定モード：単視野
・観察視野：０．２１６ｍｍ□
・対物レンズ：５０倍
・Ｚｏｏｍレンズ：１倍
Ｚ軸走査距離（Ｓｃａｎ Ｌｅｎｇｔｈ）：５μｍ（３秒）
・測定画素数（Ｃａｍｅｒａ Ｍｏｄｅ）：４９６ｐｘ×１９６ｐｘ（７５Ｈｚ）
【００５５】
シーラント１０の第１表面層１１１の動摩擦係数を、摩擦測定機（東洋精機製作所社製，製品名：摩擦測定機ＴＲ−２）を用いて測定し、シーラント１０の第１表面層１１１どうしの滑り性を下記の基準に従い評価した。結果を表１に示す。
＜滑り性評価基準＞
○：動摩擦係数が０．４５未満である。
×：動摩擦係数が０．４５以上である。
【００５６】
シーラント１０の写像性を、写像性測定器（スガ試験機社製，製品名：ＩＣＭ−１Ｔ）を用いて測定し、シーラント１０の透明性を下記の基準に従い評価した。結果を表１に示す。
＜透明性評価基準＞
○：光学くし幅２ｍｍにおいて、写像性が６０％以上である。
×：光学くし幅２ｍｍにおいて、写像性が６０％未満である。
【００５７】
さらに、シーラント１０からの揮発成分を下記条件のＧＣ／ＭＳにて分析してマススペクトルを取得し、シーラント１０のクリーン性を下記の基準に従い評価した。結果を表１に示す。
【００５８】
＜ＧＣ／ＭＳ条件＞
・ガスクロマトグラフ：ＧＣＭＳ−ＱＰ２０１０（島津製作所社製）
・カラム：６７０−１５００３−０３（長さ：３０ｍｍ，内径：０．２５ｍｍ，島津製作所社製）
・カラムオーブン温度：５０℃
・注入量：１μＬ
・キャリアガス：Ｈｅ（５７．１ｍＬ／分）
・気化室温度設定：３００℃
・測定モード：スプリット
【００５９】
＜クリーン性評価基準＞
○：アルカン以外のピークであって、トルエン換算で１０ｐｐｍ以上のピークが検出されない。
×：アルカン以外のピークであって、トルエン換算で１０ｐｐｍ以上のピークが検出される。
【００６０】
〔実施例２〕
スリップ剤が実質的に添加されていない低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＤＰＥ，宇部丸善ポリエチレン社製，製品名：ＵＢＥポリエチレンＢ１２８）のペレット及びスリップ剤が実質的に添加されていないリニア低密度ポリエチレン（いわゆる無添加ＬＬＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：３５００ＺＡ）のペレットを配合比７：３（質量基準）で溶融混合し、インフレーション成膜法により、図２に示す構成を有するシーラント１０を作製した。
【００６１】
前述のようにして作製されたシーラント１０の算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕ、透明性、並びに滑り性を、実施例１と同様にして測定・評価した。結果を表１にあわせて示す。
【００６２】
〔比較例１〕
スリップ剤が実質的に添加されているリニア低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ，三井化学東セロ社製，製品名：Ｔ．Ｕ．Ｘ． ＭＣ−Ｓ）を用いた。シーラントの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕ、透明性、並びに滑り性を、実施例１と同様にして測定・評価した。結果を表１にあわせて示す。
【００６３】
〔比較例２〕
高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ，プライムポリマー社製，製品名：ＨＺ３６００Ｆ）のペレットを用い、インフレーション製膜にてシーラントを作製した。
【００６４】
前述のようにして作製されたシーラントの算術平均粗さＲａ及びクルトシスＲｋｕ、滑り性、透明性、並びにクリーン性を、実施例１と同様にして測定・評価した。結果を表１にあわせて示す。
【００６５】
【表１】
0006769538.tif 000002
【００６６】
表１に示す結果より、シーラント１０の第１面１１Ａの算術平均粗さＲａが０．０４〜０．１０μｍでありかつクルトシスＲｋｕが２０以下であることで、良好な滑り性、良好な透明性、及び良好なクリーン性を有することが確認された。
【符号の説明】
【００６７】
１０…シーラント
１１Ａ…第１面
１１Ｂ…第２面
２０…包装材料
４０…シリコン材料の輸送用包装体
５０…シリコン材料の梱包体
【要約】
【課題】所定の透明性を有するとともに、所定の滑り性を有するシリコンウェハの輸送用包装体に用いられるシーラント、包装材料、シリコンウェハの輸送用包装体及びシリコンウェハ梱包体を提供する。
【解決手段】シリコンウェハの輸送用包装体に用いられるシーラントは、第１面及び第１面に対向する第２面を有し、第１面のクルトシスＲｋｕが２０以下であり、かつ第１面の算術平均粗さＲａが０．０４μｍ〜０．１０μｍである。
【選択図】図１【図１】
0006769538.tif 000003
【図２】
0006769538.tif 000004
【図３】
0006769538.tif 000005
【図４】
0006769538.tif 000006
【図５】
0006769538.tif 000007
【図６】
0006769538.tif 000008
【図７】
0006769538.tif 000009