(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理空気に含まれるＶＯＣを吸脱着ロータで処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を前記吸脱着ロータの上流側で処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、
高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、
前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の接触角を測定し、各評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含み、
前記評価工程では、前記上流側暴露プレートの接触角と前記下流側暴露プレートの接触角との差からなる実測の接触角と、前記未暴露プレートの接触角毎に既定された基準の接触角とを比較することで、前記フィルタの余寿命を評価する、
高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項２】
前記評価用プレートのうち、前記上流側暴露プレート、及び前記下流側暴露プレートを前記ＶＯＣを処理する温度に調整する温度調整工程を更に備え、
前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露し、かつ温度調整された上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露し、かつ温度調整された下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の接触角を測定し、各評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する、請求項１に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項３】
前記評価工程では、前記上流側暴露プレートの接触角と前記下流側暴露プレートの接触角との差からなる実測の接触角と、前記未暴露プレートの接触角毎に既定された基準の接触角とを比較することで、前記フィルタの余寿命を評価する、請求項１又は２に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項４】
前記未暴露プレートの接触角は、１５度以下である、請求項１から３の何れか１項に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項５】
前記温度調整工程では、前記暴露工程中、又は当該暴露工程後において、前記上流側暴露プレートと前記下流側暴露プレートとを１００〜１６０℃に温度調整する、請求項１から４の何れか１項に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項６】
被処理空気に含まれるＶＯＣを吸脱着ロータで処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を前記吸脱着ロータの上流側で処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、
高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、
前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に関する高沸点有機物付着量情報に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含み、
前記評価工程では、前記上流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差と、前記下流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差とを比較することで、前記フィルタの余寿命を評価し、
前記高沸点有機物付着量情報とは、プレートの液滴径または表面抵抗率である、
高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項７】
被処理空気に含まれるＶＯＣを吸脱着ロータで処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を前記吸脱着ロータの上流側で処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、
高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、
前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の状態に関する水滴情報に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含み、
前記評価工程では、前記上流側暴露プレートの水滴情報と前記未暴露プレートの水滴情報との差と、前記下流側暴露プレートの水滴情報と前記未暴露プレートの水滴情報との差とを比較することで、前記フィルタの余寿命を評価する、
高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項８】
前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、液滴径を測定し、各評価用プレートの液滴径の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する、請求項６又は７に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項９】
前記評価用プレートは少なくとも表面が絶縁性であり、
前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々の表面抵抗率を一定の相対湿度雰囲気下で測定し、各評価用プレートの表面抵抗率の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する、請求項６に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法。
【請求項１０】
被処理空気に含まれるＶＯＣを吸脱着ロータで処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を前記吸脱着ロータの上流側で処理するフィルタを評価するフィルタの評価システムであって、
前記フィルタの上流側の被処理空気に暴露される上流側暴露プレートと、前記フィルタの下流側の被処理空気に暴露される下流側暴露プレートと、暴露前の未暴露プレートとを含む、評価用プレートと、前記上流側暴露プレートと、前記下流側暴露プレートとを、前
記フィルタの上流側の被処理空気と、前記フィルタの下流側の被処理空気との夫々に暴露する暴露部と、を含む暴露装置を備え、
前記上流側暴露プレートに滴下した液滴の接触角と前記下流側暴露プレートに滴下した液滴の接触角との差と、前記未暴露プレートに滴下した液滴の接触角毎に既定された基準の接触角とを比較するか、又は、前記上流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差と、前記下流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差とを比較することで、前記フィルタの余寿命の評価を行うことが可能であり、
前記高沸点有機物付着量情報とは、プレートの液滴径または表面抵抗率である、
高沸点有機物を処理するフィルタの評価システム。
【請求項１１】
前記暴露装置は、前記上流側暴露プレートと、前記下流側暴露プレートとを前記ＶＯＣを処理する温度に調整する温度調整部を更に備える、
請求項１０に記載のフィルタの評価システム。
【請求項１２】
前記評価用プレートの夫々に滴下された水滴の接触角または液滴径、または前記評価用プレートの表面抵抗率を測定する測定器具を更に備える、
請求項１０又は１１に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価システム。
【請求項１３】
前記評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する評価装置であって、前記未暴露プレートの接触角毎に既定された基準が表示され、前記上流側暴露プレートの接触角と前記下流側暴露プレートの接触角との差からなる実測の接触角をプロットすることで、前記フィルタの余寿命を評価可能な評価装置を更に備える、
請求項１０から１２の何れか１項に記載の高沸点有機物を処理するフィルタの評価システム。
【請求項１４】
被処理空気に含まれるＶＯＣを吸脱着ロータで処理するＶＯＣ処理装置であって、
被処理空気に含まれる高沸点有機物を前記吸脱着ロータの上流側で処理するフィルタと、
前記フィルタの上流側の被処理空気に暴露される上流側暴露プレートと、前記フィルタの下流側の被処理空気に暴露される下流側暴露プレートと、暴露前の未暴露プレートとを含む、評価用プレートと、
前記上流側暴露プレートと、前記下流側暴露プレートとを、前記フィルタの上流側の被処理空気と、前記フィルタの下流側の被処理空気との夫々に暴露する暴露部と、を含む暴露装置と、を備え、
前記上流側暴露プレートに滴下した液滴の接触角と前記下流側暴露プレートに滴下した液滴の接触角との差と、前記未暴露プレートに滴下した液滴の接触角毎に既定された基準の接触角とを比較するか、又は、前記上流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差と、前記下流側暴露プレートの高沸点有機物付着量情報と前記未暴露プレートの高沸点有機物付着量情報との差とを比較することで、前記フィルタの余寿命の評価を行うことが可能であり、
前記高沸点有機物付着量情報とは、プレートの液滴径または表面抵抗率である、
ＶＯＣ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法、及びフィルタの評価システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
被処理空気をゼオライトや活性炭などの吸着剤により吸着濃縮処理することで、ＶＯＣ（揮発性有機化合物：ｖｏｌａｔｉｌｅ  ｏｒｇａｎｉｃ  ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）を回収処理、又は燃焼処理するＶＯＣ処理装置がある。被処理空気中には、微量の高沸点有機物が含まれることがある。高沸点有機物とは、例えば沸点が２００℃以上の高分子有機物の総称であり、疎水性のものが多い。高沸点有機物は、高温処理による再生処理で完全な脱着ができず、吸着材に蓄積することがある。高沸点有機物の吸着剤への蓄積は、処理対象であるＶＯＣの吸脱着性能（濃縮性能）を低下させることが懸念される。ＶＯＣの吸脱着性能の低下を軽減するため、吸着材による吸着濃縮処理の前処理として高沸点有機物を活性炭などのフィルタで除去する方法が知られている。一方、ここで使用される前処理フィルタは、比較的短期で破過するため、例えば負荷の高い使用条件では、交換期間を半年から１年に設定し、交換することも多い。しかし、かなりの余寿命を持って交換している場合が多く、結果的にフィルタ使用量が多くなりコストアップにつながっている。
【０００３】
高沸点有機物の濃度を評価することができれば、高沸点有機物を処理するフィルタの評価が可能となり、高沸点有機物を処理するフィルタの交換時期をより正確に把握できると考えられる。しかしながら、高沸点有機物は、例えばＶＯＣと比較して凝縮性が高いため、ＶＯＣのようにリアルタイムで濃度を評価できる技術が確立されていない。高沸点有機物の濃度は、ガスクロマトグラフィー（ＧＣ）装置によって評価できることが知られている。但し、ＧＣ装置は微量分析装置であり、ある程度クリーンな設置環境とともに付帯設備として水素やヘリウム、アルゴンなどの高純度なガスの供給設備が必要となる。つまり、ＧＣ装置による評価には、多くの手間とコストが必要となる。
【０００４】
ここで、例えば、特許文献１には、保管空間（前室、搬送室、保管室）内の有機物汚染の程度を評価する評価装置が開示されている。また、特許文献１には、表面が絶縁性、又は導電性の基板表面に滴下された液滴の接触角の変化を利用した評価装置が開示されている。また、例えば、特許文献２には、半導体製造環境の評価装置が開示されている。また、特許文献２には、フィルタを備えた試験チャンバを設け、フィルタの下流側に置いた評価用のウエハの汚染度を評価することが開示されている。特許文献３には、目盛とスクリーンに投影された液滴の像とに基づいて、被測定体の清浄度を測定することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−３０３８３８号公報
【特許文献２】特開平４−３１４３４８号公報
【特許文献３】特開２００６−３０８５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高沸点有機物の濃度をリアルタイムで評価することができれば、高沸点有機物を処理するフィルタの評価が可能となり、高沸点有機物を処理するフィルタの交換時期をより正確に把握できると考えられる。しかしながら、高沸点有機物の濃度を容易に評価できる技術
は確立されていない。ＧＣ装置による評価には、多くの手間とコストが必要となる。特許文献１には、表面が絶縁性、又は導電性の基板表面に滴下された液滴の接触角の変化を利用した評価装置が開示されている。しかし、特許文献１には、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法についての開示や示唆はない。また、特許文献２、３にも、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法についての開示や示唆はない。
【０００７】
本発明は、上記の問題に鑑み、高沸点有機物を処理するフィルタを容易に評価する技術を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するため、高沸点有機物のガラス基板への付着量と水滴の接触角との関係に基づいて被処理空気中の高沸点有機物の濃度を評価し、高沸点有機物を処理するフィルタを評価することとした。
【０００９】
詳細には、本発明は、被処理空気に含まれるＶＯＣを処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の接触角を測定し、各評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含む。
【００１０】
本発明に係る高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法（以下、単にフィルタの評価方法ともいう）では、フィルタの上流側と下流側の被処理空気に夫々暴露させた上流側暴露プレート及び下流側暴露プレートの夫々に滴下された水滴の接触角、及び比較に用いる未暴露プレートに滴下された水滴の接触角に基づいて、リアルタイムで高沸点有機物の濃度を評価することができる。接触角は、評価用プレートの表面と滴下された水滴の接線とのなす角度である。接触角は、例えば、携帯可能な既存の測定器具によって測定することができる。また、透明の板状部材に接触角を測定するための接触角測定線を例えば１度刻みで複数設けた測定器具を準備し、これを用いるようにしてもよい。例えば、評価用プレートへの高沸点有機物の付着量が少ない程、接触角は小さくなり、評価用プレートへの高沸点有機物の付着量が多い程、接触角は大きくなる。したがって、例えば、上流側暴露プレートの接触角と下流側暴露プレートの接触角との差が小さくなってきた場合には、フィルタの機能が低下していると評価することができる。また、ＧＣ装置による評価には、多くの手間とコストが必要となるが、本発明に係るフィルタの評価方法によれば、より簡易にフィルタを評価することができる。
【００１１】
ここで、高沸点有機物を処理するフィルタは、高温処理による再生処理で完全な脱着ができず、吸着材に蓄積する高沸点有機物を処理するものである。ＶＯＣ処理装置の例えばロータでは、ＶＯＣに含まれる高沸点有機物よりも沸点が低い低沸点の有機物を処理する。そこで、本発明に係るフィルタの評価方法では、プレートをＶＯＣを処理する温度に調整してもよい。例えば、本発明に係るフィルタの評価方法は、前記評価用プレートのうち、前記上流側暴露プレート、及び前記下流側暴露プレートを前記ＶＯＣを処理する温度に調整する温度調整工程を更に備え、前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露し、かつ温度調整された上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露し、かつ温度調整された下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の接触角を測定し、各評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価するようにしてもよい。これにより、高沸点有機物よりも沸点が低い低沸点の有機物等を除去することができる。換言すると、評価対象を高沸点有機物に絞り込むことができる。そ
の結果、より正確なフィルタの評価が可能となる。
【００１２】
本発明に係るフィルタの処理方法は、被処理空気に含まれるＶＯＣ（揮発性有機化合物：ｖｏｌａｔｉｌｅ  ｏｒｇａｎｉｃ  ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）を処理するＶＯＣ処理装置に設けられた、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法として好適に用いることができる。ＶＯＣ処理装置は、ゼオライトや活性炭などの吸着剤を有するロータを備え、ロータの吸着材によって被処理空気を吸着濃縮処理し、被処理空気に含まれるＶＯＣを回収処理するものが例示される。フィルタは、ロータの上流側に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を処理する。高沸点有機物とは、例えば沸点が２００℃以上の高分子有機物の総称であり、疎水性のものが例示される。
【００１３】
本発明に係るフィルタの評価方法において、前記評価工程では、前記上流側暴露プレートの接触角と前記下流側暴露プレートの接触角との差からなる実測の接触角と、前記未暴露プレートの接触角毎に既定された基準の接触角とを比較することで、前記フィルタの余寿命を評価するようにしてもよい。
【００１４】
これにより、容易かつ正確にフィルタの余寿命（又は、寿命）を評価することができる。基準の接触角は、例えば、１度毎に既定することができる。例えば、縦軸に上流側の接触角、横軸に上流側の接触角と下流側の接触角との差とした図を設け、この図に基準の接触角を表す基準線を複数記載した余寿命評価図を作成するとよい。このような余寿命評価図を作成することで、より容易かつ正確にフィルタの余寿命を評価することができる。
【００１５】
ここで、前記未暴露プレートの接触角は、１５度以下としてもよい。比較的低い接触角の範囲では、接触角の増加量と高沸点有機物の濃度との間には比較的良好な比例関係があることが確認できた。そのため、未暴露プレートの接触角を１５度以下とすることで、容易かつ正確にフィルタを評価することができる。未暴露プレートの接触角を１０度以下とすることで、より容易かつ正確にフィルタを評価することができる。
【００１６】
前記温度調整工程では、前記暴露工程中、又は当該暴露工程後において、前記上流側暴露プレートと前記下流側暴露プレートとを１００〜１６０℃に温度調整するようにしてもよい。プレートを上記温度に調整することで、ＶＯＣを処理する温度における高沸点有機物の濃度の評価が可能となる。その結果、より正確なフィルタの評価が可能となる。
【００１７】
ここで、前記評価工程では、各評価用プレートに滴下された水滴の接触角の比較結果に代えて、又は、併用して、各評価用プレートに滴下された水滴の液滴径（水滴の直径）の比較結果、又は各評価用プレートの表面抵抗率の比較結果に基づいて、フィルタを評価してもよい。ここで、各評価用プレートに滴下された水滴の接触角と、各評価用プレートに滴下された水滴の液滴径は、各評価用プレートに滴下された水滴の状態に関する水滴情報に該当する。各評価用プレートに滴下された水滴の状態に関する水滴情報に基づいてフィルタを評価してもよい。異なる水滴情報に基づいてフィルタを評価することで、フィルタの評価精度をより高めることができる。
【００１８】
具体的には、本発明は、被処理空気に含まれるＶＯＣを処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、水滴の状態に関する水滴情報を取得し、取得した水滴情報に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含む、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法として特定することができる。
【００１９】
本発明に係るフィルタの評価方法では、フィルタの上流側と下流側の被処理空気に夫々暴露させた上流側暴露プレート及び下流側暴露プレートの夫々に滴下された水滴の状態、及び比較に用いる未暴露プレートに滴下された水滴の状態に関する水滴情報に基づいて、リアルタイムで高沸点有機物の濃度を評価することができる。水滴情報には、先に説明した水滴の接触角の他、水滴の液滴径が例示される。これらは、単独で用いてもよく、また、併用してもよい。
【００２０】
液滴径は、評価用プレートの表面に滴下された水滴の直径である。液滴径は、方眼紙（枡目が付された紙）を用いて測定することができる。方眼紙の間隔は、例えば、１ｍｍとすることができる。測定は、肉眼による目視でもよいが、拡大鏡やルーペを用いることで、より精度を高めることができる。また、カメラを用いて測定しても良い。また、液滴径は、例えば、携帯可能な既存の測定器具によって測定するようにしてもよい。例えば、評価用プレートへの高沸点有機物の付着量が増えると、液滴径は縮小する傾向がある。したがって、例えば、上流側暴露プレートの液滴径と下流側暴露プレートの液滴径との差が大きくなってきた場合には、フィルタの機能が低下していると評価することができる。本発明に係るフィルタの評価方法によれば、より簡易にフィルタを評価することができる。
【００２１】
ここで、液滴量が少ないと、例えば、上流側暴露プレートの液滴径と下流側暴露プレートの液滴径との差が小さくなり、判別の信頼性が低下することが考えられる。また、液滴量が多いと、例えば、上流側暴露プレートの液滴径と下流側暴露プレートの液滴径との差は大きくなる。しかしながら、水滴の形状がゆがみやすくなり、また、水平度や振動に対しても液滴径が影響を受けやすくなるため判別の信頼性が低下することが考えられる。そこで、本発明では、滴下する水滴の量は、１〜２００μｌ、より好ましくは５〜５０μｌとすることが好ましい。これにより、簡易、かつ正確に、フィルタを評価することができる。
【００２２】
また、本発明に係るフィルタの評価方法において、前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に水滴を滴下し、液滴径を測定し、各評価用プレートの液滴径の比較結果に基づいて前記フィルタを評価してもよい。
【００２３】
また、本発明に係るフィルタの評価方法は、各評価用プレートへの水滴の滴下をすることなく、前記評価工程において、各評価用プレートの表面抵抗率の比較結果に基づいてフィルタを評価してもよい。具体的には、本発明は、被処理空気に含まれるＶＯＣを処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価方法であって、高沸点有機物の濃度を評価する評価用プレートを前記フィルタの上流側の被処理空気と前記フィルタの下流側の被処理空気の夫々に暴露する暴露工程と、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に関する高沸点有機物付着量情報に基づいて前記フィルタを評価する評価工程と、を含む、高沸点有機物を処理するフィルタの評価方法として特定することができる。
【００２４】
また、本発明において、前記評価用プレートは少なくとも表面が絶縁性であり、前記評価工程では、前記上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、前記下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々の表面抵抗率を一定の相対湿度雰囲気下で測定し、各評価用プレートの表面抵抗率の比較結果に基づいて前記フィルタを評価してもよい。
【００２５】
表面抵抗率は、例えば、表面抵抗率計などの携帯可能な既存の測定器具によって測定す
ることができる。例えば、評価用プレートへの高沸点有機物の付着量が増えると、表面抵抗率が増加する傾向がある。したがって、例えば、上流側暴露プレート自体の表面抵抗率と下流側暴露プレート自体の表面抵抗率との差が大きくなってきた場合には、フィルタの機能が低下していると評価することができる。本発明に係るフィルタの評価方法によれば、水滴を用いる必要もなく、より簡易にフィルタを評価することができる。
【００２６】
ここで、本発明は、高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価システムとして特定することができる。例えば、本発明は、被処理空気に含まれるＶＯＣを処理するＶＯＣ処理装置に設けられ、被処理空気に含まれる高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価システムであって、前記フィルタの上流側の被処理空気に暴露される上流側暴露プレートと、前記フィルタの下流側の被処理空気に暴露される下流側暴露プレートと、暴露前の未暴露プレートとを含む、評価用プレートと、前記上流側暴露プレートと、前記下流側暴露プレートとを、前記フィルタの上流側の被処理空気と、前記フィルタの下流側の被処理空気との夫々に暴露する暴露部と、を含む暴露装置を備える。
【００２７】
本発明に係る高沸点有機物を処理するフィルタを評価するフィルタの評価システム（以下、単に評価システムともいう）は、上述したフィルタの評価方法に好適に用いることができる。暴露装置によれば、評価用のプレートのうち、上流側暴露プレートと、下流側暴露プレートとを高沸点有機物を含む被処理空気に暴露することができる。未暴露プレートは、上流側暴露プレートと下流側暴露プレートとの比較に用いることができる。評価用プレートの接触角を測定することで、フィルタの評価が可能となる。
【００２８】
本発明に係るフィルタの評価システムにおいて、前記暴露装置は、前記上流側暴露プレートと、前記下流側暴露プレートとを前記ＶＯＣを処理する温度に調整する温度調整部を更に備えるものでもよい。これにより、高沸点有機物よりも沸点が低い低沸点の有機物等を除去することができる。換言すると、評価対象を高沸点有機物に絞り込むことができる。その結果、より正確なフィルタの評価が可能となる。
【００２９】
また、本発明に係るフィルタの評価システムは、前記評価用プレートの夫々に滴下された水滴の接触角を測定する測定器具を更に備える構成としてもよい。測定器具を備えることで、接触角を容易に測定することができる。測定器具は、例えば、透明の板状部材と、当該透明の板状部材に設けられ、接触角を測定するための接触角測定線と、を含むものとすることができる。接触角測定線は、例えば１度刻みで複数設けることができる。また、測定器具は、携帯可能な既存の測定器具を用いるようにしてもよい。
【００３０】
また、本発明に係るフィルタの評価システムは、前記評価用プレートの接触角の比較結果に基づいて前記フィルタを評価する評価装置であって、前記未暴露プレートの接触角毎に既定された基準が表示され、前記上流側暴露プレートの接触角と前記下流側暴露プレートの接触角との差からなる実測の接触角をプロットすることで、前記フィルタの余寿命を評価可能な評価装置を更に備えるとしてもよい。
【００３１】
評価装置を備えることで、フィルタを容易に評価することができる。例えば、評価装置は、縦軸に上流側の接触角、横軸に上流側の接触角と下流側の接触角との差とした表を設け、この表に基準の接触角を表す基準線を複数記載した余寿命評価図を含む構成することができる。余寿命評価図は、紙面に記載されたものでよく、ディスプレイに表示するものでもよい。このような余寿命評価図によれば、より容易かつ正確にフィルタの余寿命を評価することができる。
【００３２】
前記評価用プレートは、親水性のプレートであり、ガラス板、ガラスコーティング板、Ｓｉウエハ、ＳｉＯ２膜皮膜板のうち何れか一つからなるようにしてもよい。このような
評価用プレートは、高沸点有機物を付着しやすいため、接触角を正確に測定することができる。
【００３３】
また、本発明に係るフィルタの評価システムは、前記評価用プレートの夫々に滴下された水滴の液滴径を測定する測定器具を更に備える構成としてもよい。また、本発明に係るフィルタの評価システムは、前記各評価用プレート自体の表面抵抗率を測定する測定装置を更に備える構成としてもよい。このような測定器具や測定装置を備えることで、液滴径や表面抵抗率を容易に測定することができる。液滴径を測定する測定器具は、例えば、方眼紙とすることができる。方眼紙の間隔は、例えば１ｍｍ間隔とすることができる。また、滴径を測定する測定器具には、拡大鏡、又はルーペを含めるようにしてもよい。また、表面抵抗率を測定する測定装置は、表面抵抗率計等の携帯可能な既存の測定器具を用いるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、高沸点有機物を処理するフィルタを容易に評価する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、第１実施形態に係るＶＯＣ処理装置の概略構成を示す。
【図２】図２は、第１実施形態に係るフィルタの評価システムの概略構成を示す。
【図３】図３は、第１実施形態に係る、接触角の測定器具による接触角の測定例を示す。
【図４】図４は、第１実施形態に係る、余寿命評価装置による余寿命評価例を示す。
【図５】図５は、第１実施形態に係るフィルタの評価フローを示す。
【図６】図６は、実験例における、接触角の測定結果を示す。
【図７】図７は、実験例における、余寿命評価結果を示す。
【図８】図８は、第２実施形態に係るフィルタの評価システムの概略構成を示す。
【図９】図９は、第２実施形態に係るフィルタの評価フローを示す。
【図１０】図１０は、第２実施形態に係る、液滴径の測定器具による液滴径の測定例を示す。
【図１１】図１１は、余寿命評価表の一例を示す。
【図１２】図１２は、実験例における、液滴径の測定結果の表を示す。
【図１３】図１３は、実験例における、液滴径の測定結果のグラフを示す。
【図１４】図１４は、実験例における、液滴径の測定例を示す。
【図１５】図１５は、第３実施形態に係る表面抵抗率の測定装置の一例を示す。
【図１６】図１６は、余寿命評価表の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
次に、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。以下に説明する実施形態は例示にすぎず、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。
【００３７】
＜第１実施形態＞
＜ＶＯＣ処理装置の構成＞
図１は、第１実施形態に係るＶＯＣ処理装置の概略構成を示す。ＶＯＣ処理装置１００は、例えば、塗工機からの溶剤排気（被処理空気）に含まれるＶＯＣをＶＯＣ吸脱着ロータ１１０で吸着・濃縮した後、冷却凝縮して回収する、循環型のＶＯＣ回収設備である。ＶＯＣ処理装置１００は、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０、処理通気路１２０、再生通気路１３０を備える。処理通気路１２０は、一端が図示しない塗工機の排出口に接続されている。他端は、処理空気を排出する排出口と接続されている。なお、処理通気路１２０は、処理空気を排気元である塗工機側に戻すように構成してもよい。処理通気路１２０の流路途
中には、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０が設けられている。処理通気路１２０は、一端からＶＯＣ吸脱着ロータ１１０までは塗工機から排出されたＶＯＣを含む被処理空気が内部を流れる。また、処理通気路１２０は、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０より下流側では、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０で清浄化された、処理空気が流れる。また、処理通気路１２０は、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の上流側に、被処理空気の流れにおいて上流側から順に、第１冷却器１２１、活性炭フィルタ１４０、第２冷却器１２２が設けられている。第１冷却器１２１は、活性炭フィルタ１４０の上流側の被処理空気を冷却する。第２冷却器１２２は、活性炭フィルタ１４０よりも下流側、かつ、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０に供給前の被処理空気を冷却する。活性炭フィルタ１４０は、被処理空気に含まれる微量の高沸点有機物を処理する。なお、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０への付着が問題となる、高沸点有機物の沸点の範囲は、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度より数十℃以上高い沸点のものである。平衡吸着量（新たな吸着と脱着が平衡濃度になるときの吸着量で、沸点が高いほど平衡吸着量は高くなる）は、被処理空気の濃度、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を再生した際の空気の濃度、再生温度、再生時間、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０における脱離ゾーン１１３（再生ゾーン）と吸着ゾーン１１１や冷却ゾーン１１２との面積比によって変わる。例えば、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度が１４０℃の場合、２００℃程度までの沸点の有機物であれば、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の吸脱着性能への影響は軽微である。第１実施形態では、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の吸脱着性能への影響が懸念される、沸点２００℃以上の高沸点有機物を活性炭フィルタ１４０で処理する。
【００３８】
ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０は、例えばシリカゲルを添着したロータによって構成することができる。ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０は、ゼオライトを添着したロータ、高分子収着剤を添着したロータ、塩化リチウム等の吸湿剤等を含浸させたロータによって構成してもよい。ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０は、図示しない駆動源によって回転自在であり、吸着ゾーン１１１、冷却ゾーン１１２、脱離ゾーン１１３（再生ゾーン）を備える。吸着ゾーン１１１は、処理通気路１２０を流れる被処理空気に含まれるＶＯＣの吸着や、処理通気路１２０を流れる気体を調湿する。脱離ゾーン１１３は、吸着、濃縮されたＶＯＣを脱離し、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を再生する。冷却ゾーン１１２（パージゾーン）は、再生によって高温となったＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を冷却する。
【００３９】
再生通気路１３０は、ＶＯＣ冷却凝縮コイル１５０に接続され、不活性気体（Ｎ２）の導入が可能となっている。より具体的には、再生通気路１３０は、不活性気体によってＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を再生し、高濃度ＶＯＣを含む不活性気体からＶＯＣを回収して、不活性気体を再利用できるよう循環路となっている。再生通気路１３０は、不活性気体の流れにおいて上流側から順に、導入部１３４、第１送風機１３１、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０（冷却ゾーン１１２）、第２送風機１３２、ヒータ１３３、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０（脱離ゾーン１１３）、ＶＯＣ冷却凝縮コイル１５０、排出部１３５が設けられている。
【００４０】
導入部１３４は、再生通気路の最上流に位置し、不活性気体（Ｎ２）を導入する。第１送風機１３１は、不活性気体を送り出すものであり、気体を圧縮して送り出すブロアによって構成することができる。ＶＯＣ吸脱着ロータ２の冷却ゾーン１１２は、上述したように、再生によって高温となったＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を冷却する。第２送風機１３２は、不活性気体を送り出すものであり、第１送風機１３１と同様、所謂ブロアによって構成することができる。ヒータ１３３は、不活性気体を加熱する。ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の脱離ゾーン１１３は、上述したように、吸着、濃縮されたＶＯＣを脱離し、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０を再生する。ＶＯＣ冷却凝縮コイル１５０は、不活性気体を冷却して回収する。排出部１３５は、ＶＯＣが回収された不活性気体を排出する。
【００４１】
また、再生通気路１３０には、導入部１３４と第１ブロア１３１との間に第１分岐部１
３６、ＶＯＣ回収冷却凝縮コイル１５０と排出部１３５との間に第２分岐部１３７、一端が第２分岐部１３７と接続され、他端が第１分岐部１３６と接続された分岐路１３８が設けられている。ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の冷却ゾーン１１２を通過した不活性気体はヒータ１３３によって加熱され高温となり脱離ゾーン１１３を通過する。脱離ゾーン１１３を通過することで高濃度ＶＯＣを含む不活性気体は、ＶＯＣ冷却凝縮コイル１５０で冷却凝縮され、ＶＯＣが回収される。また、本実施形態では、ＶＯＣ冷却凝縮コイル１５０によってＶＯＣが回収された不活性気体の一部は、第２分岐部１３７、分岐路１３８、第１分岐部１３６を経て、再生通気路１３０に戻される。
【００４２】
＜フィルタの評価システムの構成＞
図２は、第１実施形態に係るフィルタの評価システムの概略構成を示す。第１実施形態に係るフィルタの評価システム２００は、活性炭フィルタ１４０を収容する活性炭フィルタのチャンバ１０から高沸点有機物を含む被処理空気を取り込み、高沸点有機物の濃度を評価して、活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価する。活性炭フィルタのチャンバ１０内には、２つの活性炭フィルタ（上流側活性炭フィルタ１４１、下流側活性炭フィルタ１４２）が直列に収容されている。なお、第１実施形態において、主たる評価の対象となる活性炭フィルタ１４０は、上流側活性炭フィルタ１４１であり、下流側活性炭フィルタ１４２は比較のために評価した。第１実施形態に係るフィルタの評価システム２００は、暴露ボックス３０、リボンヒータ５０、評価用プレート４０、接触角の測定器具６０、余寿命評価装置７０を備える。
【００４３】
＜＜暴露ボックス＞＞
暴露ボックス３０は、断熱付きチューブ２０を介して、活性炭フィルタのチャンバ１０と接続されており、高沸点有機物を含む被処理空気を取り込んで、評価用プレート４０を高沸点有機物を含む被処理空気に暴露させる。被処理空気は、暴露ボックス３０の下流側に設けられた暴露ボックスのポンプ８０によって吸引され、暴露ボックス３０内に取り込まれる。暴露ボックス３０は、上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３の３つで構成されている。上流側暴露ボックス３１は、上流側活性炭フィルタ１４１の上流側近傍において、断熱付きチューブ２０を介して、活性炭フィルタのチャンバ１０と接続されている。上流側暴露ボックス３１は、評価用プレート４０を収容し、収容した評価用プレート４０を活性炭フィルタ１４０で処理される前の被処理空気に暴露させる。上流側暴露ボックス３１で暴露される評価用プレート４０は、他の評価用プレート４０と区別するため、上流側暴露プレート４１と称する。中段暴露ボックス３２は、上流側活性炭フィルタ１４１と下流側活性炭フィルタ１４２との間において、断熱付きチューブ２０を介して、活性炭フィルタのチャンバ１０と接続されている。中段暴露ボックス３２は、評価用プレート４０を収容し、収容した評価用プレート４０を上流側活性炭フィルタ１４１の通過後、かつ、下流側活性炭フィルタ１４２の通過前の被処理空気に暴露させる。中段暴露ボックス３２で暴露される評価用プレート４０は、他の評価用プレート４０と区別するため、中段暴露プレート４２と称する。下流側暴露ボックス３３は、下流側活性炭フィルタ１４２の下流側近傍において、断熱付きチューブ２０を介して、活性炭フィルタのチャンバ１０と接続されている。下流側暴露ボックス３３は、評価用プレート４０を収容し、収容した評価用プレート４０を、下流側活性炭フィルタ１４２の通過後の被処理空気に暴露させる。下流側暴露ボックス３３で暴露される評価用プレート４０は、他の評価用プレート４０と区別するため、下流側暴露プレート４３と称する。
【００４４】
＜＜評価用プレート＞＞
評価用プレート４０は、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３、未暴露プレート４４を含む。評価用プレート４０は、ＵＶオゾンで処理されたガラス板からなる。評価用プレート４０は、親水性のプレートであればよく、ガラスコーティング板、Ｓｉウエハ、ＳｉＯ２膜皮膜板でもよい。ＵＶオゾンで処理した評価用
プレート４０は、高沸点有機ガスの発生しない密閉容器に入れることが好ましい。ＵＶオゾンで処理した評価用プレート４０は、清浄な梱包材で包むようにしてもよい。これにより、評価用プレート４０が被処理空気に暴露するまでは接触角が変化しないようにすることができる。その結果、評価の精度を向上できる。
【００４５】
＜＜断熱付きチューブ＞＞
断熱付きチューブ２０は、活性炭フィルタのチャンバ１０と接続され、高沸点有機物を含む被処理空気を暴露ボックス３０に供給する。断熱付きチューブ２０は、周囲環境の影響によって、高沸点有機物を含む被処理空気の温度が変動しないように、断熱構造を有する。第１実施形態に係る断熱付きチューブ２０は、樹脂製であり、ウレタン系の断熱材で周囲が被覆されている。また、断熱付きチューブ２０の内面は、テフロン加工されているが、シリコン加工されていてもよい。断熱付きチューブ２０の内面は、チューブ内面への高沸点有機物の付着を抑制し、評価の精度低下を防ぐよう、内面の抵抗は少ない方がよい。なお、断熱付きチューブ２０は、ヒータを設け、加温できるようにしてもよい。断熱付きチューブ２０は、評価の精度低下を抑えるため、上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３の夫々に接続されるチューブの長さを全て同じとすることが好ましい。また、断熱付きチューブ２０は、評価の精度低下を抑えるため、できる限り短くすることが好ましい。
【００４６】
＜＜リボンヒータ＞＞
リボンヒータ５０は、暴露ボックス３０に収容された評価用プレート４０（上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３）の温度が、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度と同じ、例えば１４０℃になるよう暴露ボックス３０を加温する。第１実施形態では、金属製の暴露ボックス３０内に評価用プレート４０が直置きされ、表面がアルミ箔で覆われたリボンヒータ５０が暴露ボックス３０を覆うように巻きついている。なお、評価用プレート４０がＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度と同じ温度になるように評価用プレート４０を加温できればよい。リボンヒータ５０に代えて、平板状の加熱装置（例えば、ホットプレート）に暴露ボックスを載置するようにしてもよい。例えば、暴露中は加温せず、暴露終了後に１０〜６０分ホットプレートなどの上に直接評価用プレート４０を載置し、同様の温度まで昇温処理してもよい。この場合、接触角の測定は、ホットプレートの温度がほぼ室温に戻ってから実施することが好ましい。また、断熱付きチューブ２０にヒータを設け、断熱付きチューブ２０のヒータによって、被処理空気を加温して、評価用プレート４０を昇温させるようにしてもよい。リボンヒータ５０での加熱温度は、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度に基づいて適宜変更できる。例えば、リボンヒータ５０での加熱温度は、１４０℃〜１８０℃とすることができる。なお、リボンヒータ５０を省略し、フィルタの評価システム２００は、より簡易な構成としてもよい。
【００４７】
＜＜接触角の測定器具＞＞
接触角の測定器具６０は、接触角の測定に用いる。接触角の測定器具６０は、透明の板状部材６１からなり、板状部材６１には接触角を測定するための接触角測定線６２が１度刻みで複数設けられている。接触角の測定器具６０は、携帯可能な既存の測定器具（例えば、接触角計）を用いてもよい。
【００４８】
図３は、第１実施形態に係る、接触角の測定器具６０による接触角の測定例を示す。図３（ａ）は、高沸点有機物が少量含まれている場合の一例であり、接触角は約１２度である。例えば、評価用プレート４０の初期値の接触角が１０度の場合において、十分な通気量の元（例えば２ｌ／ｍｉｎ以上）、評価用プレート４０を数時間〜1日暴露したときの
接触角が１２〜１５度となった場合、被処理空気には高沸点有機物が少量含まれていると評価することができる。図３（ｂ）は、高沸点有機物が多く含まれている場合の一例であ
り、接触角は約１６度である。例えば、評価用プレート４０の初期値の接触角が１０度の場合において、十分な通気量の元（例えば２ｌ／ｍｉｎ以上）、評価用プレート４０を数時間〜1日暴露したときの接触角が１６度以上となった場合、被処理空気には高沸点有機
物が多く含まれていると評価することができる。図示では、省略するが、例えば、評価用プレート４０の初期値の接触角が１０度の場合において、十分な通気量の元（例えば２ｌ／ｍｉｎ以上）、評価用プレート４０を数時間〜1日暴露したときの接触角が１２度を下
回る場合、被処理空気には高沸点有機物が殆ど含まれていないと評価することができる。なお、接触角は、暴露時間に大きく依存し、通気量にも依存する。したがって、高沸点有機物がどの程度含まれているか評価するに際しては、暴露時間、通気量を考慮することが好ましい。
【００４９】
＜＜余寿命評価装置＞＞
余寿命評価装置７０は、紙面７１に記載された余寿命評価図７２からなり、余寿命評価図７２は、縦軸に上流側の接触角、横軸に上流側の接触角と下流側の接触角との差とした表７３が設けられ、この表７３に基準の接触角を表す基準線７４が複数記載されている。上流側暴露プレート４１の接触角と下流側暴露プレート４３（又は中段暴露プレート）の接触角との差をプロットし、この差を示すプロットが基準線７４の下部領域に存在する場合、余寿命あり（継続使用可能）と評価される。一方、差を示すプロットが基準線７４の上部領域に存在する場合、余寿命なし（継続使用不可）と評価される。なお、第１実施形態では、基準線７４が５〜１０度であるが、例えば、基準線７４は、５〜１５度としてもよい。また、基準線７４の位置は、活性炭フィルタ１４０の寿命とする除去率によって調整することができる。例えば、第１実施形態では、除去率を約７０％程度として、基準線７４を設定した。例えば、寿命となる除去率を７０％よりも高くする場合には、基準線７４は少し下に移動することができる。逆に、例えば、寿命となる除去率を７０％よりも低くする場合には、基準線７４は少し上に移動することができる。
【００５０】
図４は、第１実施形態に係る、余寿命評価装置による余寿命評価例を示す。図４は、未暴露プレート４４の接触角が１０度、上流側暴露プレート４１の接触角が２０度、下流側暴露プレート４３の接触角が１４であり、その差が６度の場合を示す。図４では「差」が「×」で示す箇所にプロットされる。差を示すプロットが、１０度の基準線７４の上部領域に存在することから、評価対象となった活性炭フィルタ１４０は、余寿命なし（継続使用不可）と評価される。
【００５１】
＜フィルタの評価方法＞
図５は、第１実施形態に係るフィルタの評価フローを示す。ステップＳ０１では、暴露工程として、評価用プレート４０が高沸点有機物を含む被処理空気に暴露される。ＵＶオゾン処理された評価用プレート４０が、暴露ボックス３０（上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３）に収容される。ＵＶオゾン処理では、評価用プレート４０を設置したチャンバ内でオゾンを発生する波長の紫外線が照射される。紫外線の光子エネルギーによる直接的な分解（解離）とオゾンによる酸化分解により、有機物が低分子化及び完全分解される。その結果、評価用プレート４０の表面を清浄化することができる。なお、ＵＶオゾン処理する際の処理温度を高くすることで、オゾン自身の分解速度を高めるようにしてもよい。その結果、オゾン分解物による洗浄効果を向上でき、また、低分子化された有機物の基板からの脱離速度を向上できる。
【００５２】
暴露ボックス３０に評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３が収容され、暴露ボックスのポンプ８０によって、暴露ボックス３０に高沸点有機物を含む被処理空気が吸引され、暴露が開始される。また、ステップＳ０１では、温度調整工程として、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３が温度調整される。具体的
には、暴露中は、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３の温度がＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度と同じ温度（例えば、１４０℃）になるようリボンヒータ５０で加温される。暴露時間は、０．５〜５時間（ｈ）である。なお、暴露時間は、フィルタの上流側の高沸点有機物の濃度レベルによって変えることができる。例えば、低い濃度の時は、暴露時間を長めに設定する。少なくとも上流側暴露プレート４１の接触角が５度以上上昇するまでは暴露するとよい。例えば、当初１時間の暴露で、上流側暴露プレート４１の接触角が４度程度の上昇であった場合は、再度この上流側暴露プレート４１を１時間程暴露するとよい。その結果、上流側暴露プレート４１の接触角は８度程度上昇する。なお、リボンヒータ５０による加温を省略し、フィルタの評価方法は、より簡易な処理としてもよい。
【００５３】
ステップＳ０２では、評価工程として、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。まず、暴露が終了すると、暴露ボックス３０（上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３）から評価用プレート４０（上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３）が取り出される。そして、水滴を滴下する汎用の器具によって、評価用プレート４０、すなわち上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３、及びこれらのプレートと比較するために用いる未暴露プレート４４の表面に、水滴が数十μｇ〜数十ｍｇ滴下される。次に、接触角の測定器具６０を用いて、評価用プレート４０、すなわち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、及び下流側暴露プレート４３の夫々について、評価用プレート４０に滴下された水滴の接触角が測定される。また、未暴露プレート４４についても、滴下された水滴の接触角が測定される。
【００５４】
次に、余寿命評価装置７０によって、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。例えば、未暴露プレート４４の接触角が１０度、上流側暴露プレート４１の接触角が２０度、下流側暴露プレート４３の接触角が１４度の場合、上流側暴露プレート４１の接触角と下流側暴露プレート４３の接触角との差は、６度となる。この「差」が図４に示す余寿命評価装置７０の余寿命評価図７２にプロットされる。図４では、「差」が「×」で示されている。差を示すプロットが、１０度の基準線７４の上部領域に存在することから、評価対象となった活性炭フィルタ１４０が、余寿命なし（継続使用不可）と評価される。例えば、未暴露プレート４４の接触角が１０度、上流側暴露プレート４１の接触角が２０度、下流側暴露プレート４３の接触角が１１度の場合、上流側暴露プレート４１の接触角と下流側暴露プレート４３の接触角との差は、９度となる。図４では、この「差」が「△」で示されている。差を示すプロットが、１０度の基準線７４の下部領域に存在することから、評価対象となった活性炭フィルタ１４０が、余寿命あり（継続使用可能）と評価される。換言すると、暴露していない未暴露プレート４４の接触角を基準とし、上流側暴露プレート４１の接触角と下流側暴露プレート４３の接触角との差と比較することで、活性炭フィルタ１４０除去性能がどの程度低下しているか、すなわち活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。以上により、フィルタの評価フローが終了する。ここで、上流側暴露プレート４１の接触角、下流側暴露プレート４３の接触角、未暴露プレート４４の接触角は、それぞれ本発明における水滴情報に相当すると共に高沸点有機物付着量情報に相当する。
【００５５】
＜実験例＞
次に実験例について説明する。実験例では、図１に示すＶＯＣ処理装置１００を用いた。被処理空気は、酢酸エチルを主成分とする。活性炭フィルタ１４０は、沸点が２００℃以上の高沸点有機物を除去（処理）するものを用いた。図２に示すように、活性炭フィルタ１４０は、上流側活性炭フィルタ１４１、下流側活性炭フィルタ１４２からなり、直列に設けられている。活性炭フィルタ１４０を交換する際は、上流側活性炭フィルタ１４１が撤去され、下流側活性炭フィルタ１４２を上流側活性炭フィルタ１４１として用い、新
たな活性炭フィルタが下流側活性炭フィルタ１４２として用いられる。評価用プレート４０には、入手が容易で、かつ安価で取り扱いやすい市販のスライドガラスを用いた。前処理として、スライドガラスかなる複数の評価用プレート４０を１０分間ＵＶオゾン洗浄処理した。評価用プレート４０のうち、洗浄処理後１枚の評価用プレート４０を。未暴露プレート４４として、水の接触角を測定し、接触角が７度であることを確認した。評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を、上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３の夫々に収容し、暴露ボックスのポンプ８０で被処理空気を夫々吸引し、評価用プレート４０を被処理空気で暴露させた。本実験例では、ＶＯＣ処理装置の再生温度が１４０℃であったため、リボンヒータ５０により、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を１４０℃に加温した。
【００５６】
図６は、実験例における、接触角の測定結果を示す。図６は、暴露時間が、１時間、２時間、３時間の接触角の測定結果を示す。図６の「×（バツ印）」は、上流側暴露ボックス３１で暴露させた上流側暴露プレート４１の接触角の測定結果を示す。図６の「●（黒塗りの丸印）」は、中段暴露ボックス３２で暴露させた中段暴露プレート４２の接触角の測定結果を示す。図６の「○（白抜きの丸印）」は、下流側暴露ボックス３３で暴露させた下流側暴露プレート４３の接触角の測定結果を示す。図６の「△（白抜きの三角印）」は、先に説明した要領で活性炭フィルタ１４０を交換した後における、中段暴露ボックス３２で暴露させた中段暴露プレート４２の接触角の測定結果を示す。なお、本実験例では、上述したように、未暴露プレート４４の接触角は７度であった。
【００５７】
図６に示すように、上流側暴露プレート４１の接触角の変化に対して、下流側暴露プレート４３の接触角の変化は非常に小さく、被処理空気に含まれる高沸点有機物濃度が、活性炭フィルタ１４０の下流側では、上流側に比べて大幅に削減されていることが確認された。一方、中段暴露プレート４２の接触角は下流側暴露プレート４３の接触角に比べてかなり大きく、上流側活性炭フィルタ１４１の除去性能が低下していることが確認された。
【００５８】
ここで、図７は、実験例における、余寿命評価結果を示す。図７では、未暴露プレート４４の接触角が７度、上流側暴露プレート４１の接触角が１２度（暴露時間１ｈ）、２１度（暴露時間２ｈ）、３３度（暴露時間３ｈ）、中段暴露プレート４２の接触角が９度（暴露時間１ｈ）、１３度（暴露時間２ｈ）、１８度（暴露時間３ｈ）である。上流側暴露プレート４１の接触角と中段暴露プレート４２の接触角との差は、３度（暴露時間１ｈ）、８度（暴露時間２ｈ）、１５度（暴露時間３ｈ）となる。図７では、上流側暴露プレート４１の接触角と中段暴露プレート４２の接触角との差は、３度（暴露時間１ｈ）、８度（暴露時間２ｈ）のみプロット（「×」バツ印で示す）されている。図７に示すように、「差」を示すプロットは、基準線７４の上部領域に存在することから、余寿命なし（継続使用不可）と評価される。
【００５９】
なお、活性炭フィルタ１４０を交換することで、フィルタ交換後の中段暴露プレート４２の接触角が、フィルタ交換前の下流側暴露プレート４３の接触角とほぼ同じであることが確認された。したがって、上流側活性炭フィルタ１４１の除去性能が十分に高いことが確認できた。なお、交換後の評価は省略してもよい。
【００６０】
＜効果＞
暴露ボックス３０（上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３）により、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を高沸点有機物を含む被処理空気に暴露させることができる。また、リボンヒータ５０により、暴露ボックス３０に収容された評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３
の温度が、ＶＯＣ吸脱着ロータ１１０の再生温度と同じ、例えば１４０℃になるよう加温することができる。その結果、高沸点有機物よりも沸点が低い低沸点の有機物、すなわちＶＯＣ吸脱着ロータ１１０で処理する低沸点の有機物を除去することができる。換言すると、評価対象を高沸点有機物に絞り込むことができる。その結果、より正確なフィルタの評価が可能となる。また、断熱付きチューブ２０を用いることで、高沸点有機物を含む被処理空気の温度変動を抑制することができる。その結果、より正確なフィルタの評価が可能となる。また、例えば、断熱機能を有しないチューブによる場合と比較して、暴露時間を短縮できる。
【００６１】
また、接触角の測定器具６０により、評価用プレート４０、すなわち、未暴露プレート４４、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３の接触角を容易に測定することができる。その結果、高沸点有機物の濃度を評価することができる。
【００６２】
また、余寿命評価図７２を含む余寿命評価装置７０により、上流側暴露プレート４１の接触角と中段暴露プレート４２（又は下流側暴露プレート４３）との接触角との差をプロットするだけで、活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。第１実施形態に係るフィルタの評価システム２００によってフィルタを評価することで、容易に活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。その結果、活性炭フィルタ１４０を本来の寿命まで使い切ることができ、省資源・省コストを実現できる。
【００６３】
＜第２実施形態＞
第２実施形態では、液滴径を測定して、フィルタを評価する場合について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明は割愛する。ＶＯＣ処理装置１００は、第１実施形態と同じである（図１参照）。よって、説明は、割愛する。
【００６４】
図８は、第２実施形態に係るフィルタの評価システムの概略構成を示す。以下、第１実施形態に係るフィルタの評価システム２００との相違点を中心に説明する。第２実施形態に係るフィルタの評価システム２１０は、接触角の測定器具６０、余寿命評価装置７０に代えて、液滴径の測定器具２２０、拡大鏡２３０を備える。
【００６５】
＜＜液滴径の測定器具＞＞
液滴径の測定器具２２０は、携帯可能な既存の測定器具であり液滴径の測定に用いる。液滴径の測定器具２２０は、方眼紙からなり、第２実施形態では、一例として、間隔が１ｍｍに設定されている。評価用プレート自体に目盛りを付したものであってもよい。拡大鏡２３０は、汎用のものを用いることができる。拡大鏡２３０に代えて、ルーペを用いてもよい。
【００６６】
＜フィルタの評価方法＞
図９は、第２実施形態に係るフィルタの評価フローを示す。ステップＳ０１では、暴露工程として、評価用プレート４０が高沸点有機物を含む被処理空気に暴露される。ＵＶオゾン処理された評価用プレート４０が、暴露ボックス３０（上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３）に収容される。暴露時間は、被処理空気に含まれる高沸点有機物の濃度に依存する。高濃度の場合、暴露時間は、例えば０．５ｈとすることができる。また、低濃度の場合、暴露時間は、例えば、５〜１０ｈとすることができる。暴露時間を５〜１０ｈ（低濃度）とした場合でも、上流側暴露プレート４１の液滴径と下流側暴露プレート４３の液滴径との差が出ない場合は、高沸点有機物の濃度が通常値よりも低いことが想定されるため、再度測定を行った方がよい。また、ステップＳ０１では、温度調整工程として、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、
中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３が温度調整される。暴露工程、及び温度調整工程は、第１実施形態と同様に行うことができる。したがって、詳細な説明は、割愛する。
【００６７】
ステップＳ０２−１では、評価工程として、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。まず、暴露が終了すると、暴露ボックス３０（上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３）から評価用プレート４０（上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３）が取り出される。そして、水滴を滴下するピペット等の汎用の器具によって、評価用プレート４０、すなわち上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３、及びこれらのプレートと比較するために用いる未暴露プレート４４の表面に、水滴が数μｌ〜数十μｌ滴下される。次に、液滴径の測定器具２２０、及び拡大鏡２３０を用いて、評価用プレート４０、すなわち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、及び下流側暴露プレート４３の夫々について、評価用プレート４０に滴下された水滴の液滴径が測定される。また、未暴露プレート４４についても、滴下された水滴の液滴径が測定される。
【００６８】
滴下された水滴の液滴径の測定は、以下の手順で行うことができる。以下では、上流側暴露プレート４１、下流側暴露プレート４３、未暴露プレート４４の液滴径を測定して活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価する場合を説明する。まず、方眼紙からなる液滴径の測定器具２２０の上に、評価用プレート４０が置かれる。このとき、方眼紙の目盛り（升目）が透明の評価用プレート４０から透けて見える。次に、ピペット等の器具を用いて、評価用プレート４０に、数μｌ〜数十μｌの水滴が滴下される。液滴量が少ないと、例えば、上流側暴露プレート４１の液滴径と下流側暴露プレート４３の液滴径との差が小さくなり、判別の信頼性が低下することが考えられる。また、液滴量が多いと、例えば、上流側暴露プレート４１の液滴径と下流側暴露プレート４３の液滴径との差は大きくなる。しかしながら、水滴の形状がゆがみやすくなり、また、水平度や振動に対しても液滴径が影響を受けやすくなるため判別の信頼性が低下することが考えられる。そこで、液滴量、すなわち滴下する水滴の量は、１〜２００μｌ、より好ましくは５〜５０μｌとすることが好ましい。これにより、簡易、かつ正確に、フィルタを評価することができる。
【００６９】
次に、方眼紙からなる液滴径の測定器具２２０の目盛（桝目）から、評価用プレート４０の液滴径が読み取られる。すなわち、上流側暴露プレート４１、及び下流側暴露プレート４３の夫々について、評価用プレート４０に滴下された水滴の液滴径が測定される。また、未暴露プレート４４についても、滴下された水滴の液滴径が測定される。
【００７０】
次に、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。まず、上流側暴露プレート４１の液滴径と、未暴露プレート４４の液滴径とが比較される。上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の９０％未満の場合、評価が可能と判断される。この場合、下流側暴露プレート４３の液滴径も考慮して、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。一方で、上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の９０％以上の場合、上流側暴露プレート４１の液滴径と未暴露プレート４４の液滴径との差に応じて、暴露が継続される。例えば、上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の９１〜９５％の場合、更に今までの時間と同等の時間から更に今までの時間の２倍程度の時間、暴露される。例えば、上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の９５％以上の場合、更に今までの時間の２倍以上の時間、暴露される。なお、暴露時間の合計が５〜１０ｈであり、かつ、上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の９０％以上の場合、被処理空気中に含まれる高沸点有機物の濃度が低いと判定することができる。この場合、塗工機からの溶剤排気（被処理空気）は行われていたが、トラブルや製品の切り替え等により中断していたか、塗工機で非常に小さい製品を塗装（生産）していた、乾燥工程の温度が通常より低く、高沸点有機物の
気中への脱着量は低減していた等の原因を予測することができる。したがって、予測に基づいて原因が確認され、改めて、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。
【００７１】
ここで、図１０は、第２実施形態に係る、液滴径の測定器具による液滴径の測定例を示す。図１０（ａ）は、未暴露プレートの液滴径の一例であり、図１０（ｂ）は、下流側暴露プレートの液滴径の一例であり、図１０（ｃ）は、上流側プレートの液滴径の一例である。図１０（ａ）に示す未暴露プレート４４の一例では、液滴径が１４．１ｍｍである。図１０（ｂ）に示す下流側暴露プレート４３の一例では、液滴径が１３．９ｍｍである。図１０（ｃ）に示す上流側暴露プレート４１の一例では、液滴径が１１．９ｍｍである。評価用プレート４０（未暴露プレート４４、下流側暴露プレート４３、上流側暴露プレート４１）は、第１実施形態と同じく、ＵＶオゾンで処理されたガラス板からなる。評価用プレート４０は、親水性のプレートであればよく、ガラスコーティング板、Ｓｉウエハ、ＳｉＯ２膜皮膜板でもよい。なお、図１０に示す測定例では、暴露時間は３ｈとした。また、液滴量は２０μｌとした。
【００７２】
図１０に示すように、上流側暴露プレート４１の液滴径は１１．９ｍｍであり、未暴露プレート４４の液滴径１４．１ｍｍであり、見た目でも差があると判断することができる。また、実際に計算すると、上流側暴露プレート４１の液滴径が未暴露プレート４４の液滴径の約８４％であり、評価が可能と判断される。一方で、下流側暴露プレート４３は、１３．９ｍｍであり、未暴露プレート４４の液滴径１４．１ｍｍとの差が見た目では判断しにくい。この結果から、上流側活性炭フィルタ１４１の高沸点有機物の濃度が高く、下流側活性炭フィルタ１４２の高沸点有機物の濃度が低く、上流側活性炭フィルタ１４１の除去性能が十分にあり寿命に達していないと判断することができる。
【００７３】
余寿命の判断は、より詳細には、例えば以下のように実施することができる。未暴露プレート４４の液滴径をＸとし、上流側暴露プレート４１の液滴径をＹ１、下流側暴露プレート４３の液滴径をＹ２とすると、Ｙ１のＸに対する縮小率Ａ、及びＹ２のＸに対する縮小率Ｂは、それぞれ、式１、式２によって表される。ここで、上流側暴露プレート４１の液滴径、下流側暴露プレート４３の液滴径、未暴露プレート４４の液滴径は、それぞれ本発明における水滴情報に相当すると共に高沸点有機物付着量情報に相当する。
【００７４】
Ｙ１のＸに対する縮小率Ａ＝（Ｘ−Ｙ１）／Ｘ・・・式１
Ｙ２のＸに対する縮小率Ｂ＝（Ｘ−Ｙ２）／Ｘ・・・式２
【００７５】
図１１は、余寿命評価表の一例を示す。図１１に示す余寿命評価表２４０では、（１）Ａが０．０５以上、かつＢが（Ａ／５）以下の時は、活性炭フィルタの余寿命あり（継続使用可能）、（２）Ａが０．０５以上、かつＢが（Ａ／５）〜（２Ａ／５）の時は、活性炭フィルタの寿命が近い、（３）Ａが０．０５以上、かつＢが（２Ａ／５）以上の時は、余寿命なし（継続使用不可）とされている。図１０の測定例では、縮小率Ａが０．１５、縮小率Ｂが０．０１であり、縮小率Ａ／５の０．０３以下である。よって、図１０の測定例では、余寿命ありと評価される。以上により、余寿命が評価される。
【００７６】
＜実験例＞
第２実施形態に係る実験例でも、図１に示すＶＯＣ処理装置１００を用いた。被処理空気は、酢酸エチルを主成分とする。活性炭フィルタ１４０は、沸点が２００℃以上の高沸点有機物を除去（処理）するものを用いた。図２に示すように、活性炭フィルタ１４０は、上流側活性炭フィルタ１４１、下流側活性炭フィルタ１４２からなり、直列に設けられている。活性炭フィルタ１４０を交換する際は、上流側活性炭フィルタ１４１が撤去され、下流側活性炭フィルタ１４２を上流側活性炭フィルタ１４１として用い、新たな活性炭フィルタが下流側活性炭フィルタ１４２として用いられる。評価用プレート４０には、入
手が容易で、かつ安価で取り扱いやすい市販のスライドガラスを用いた。前処理として、スライドガラスかなる複数の評価用プレート４０を１０分間ＵＶオゾン洗浄処理した。評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を、上流側暴露ボックス３１、中段暴露ボックス３２、下流側暴露ボックス３３の夫々に収容し、暴露ボックスのポンプ８０で被処理空気を夫々吸引し、評価用プレート４０を被処理空気で暴露させた。本実験例では、ＶＯＣ処理装置の再生温度が１４０℃であったため、リボンヒータ５０により、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を１４０℃に加温した。
【００７７】
図１２は、実験例における、液滴径の測定結果を示す。図１３は、実験例における、液滴径の測定結果のグラフを示す。図１４は、実験例における、液滴径の測定例を示す。測定点における、丸付き数字１は、上流側暴露ボックス３１に対応しており、上流側暴露プレート４１の液滴径の測定結果を示す。測定点における、丸付き数字２は、中段暴露ボックス３２に対応しており、中段暴露プレート４２の液滴径の測定結果を示す。測定点における、丸付き数字３は、下流側暴露ボックス３３に対応しており、下流側暴露プレート４３の液滴径の測定結果を示す。測定点における、ブランクは、未暴露プレート４４の液滴径の測定結果を示す。また、図１４（ａ）は、サンプリング開始（実験開始）から１１日後における上流側暴露プレート４１の液滴径の測定結果を示す。図１４（ｂ）は、サンプリング開始（実験開始）から１１日後における中段暴露プレート４２の液滴径の測定結果を示す。図１４（ｃ）は、サンプリング開始（実験開始）から１１日後における下流側暴露プレート４３の液滴径の測定結果を示す。
【００７８】
実験開始直後、未暴露プレート４４の液滴径が１４．０ｍｍ（ブランク）であるのに対し、中段暴露プレート４２の液滴径が１３．８ｍｍ（測定点：丸付き数字２）、下流側暴露プレート４３の液滴径が１４．０ｍｍ（測定点：丸付き数字３）であり、有意な差がない。したがって、被処理空気中に高沸点有機物が殆ど含まれていないことが確認された。これに対し、上流側暴露プレート４１の液滴径が１１．２ｍｍ（測定点：丸付き数字１）であり、未暴露プレート４４の液滴径との間に差異がみられ、中段暴露プレート４２の液滴径や下流側暴露プレート４３の液滴径と比較して大きいことが確認された。この結果から、上流側活性炭フィルタ１４１の除去性能が十分にあることが確認された。
【００７９】
より詳細には、中段暴露プレート４２については１１日目以降、下流側暴露プレート４３については２１日目以降、液滴径が急激に小さくなり、夫々約１週間前後で上流側暴露プレート４１の液滴径に近づいている。したがって、急激な低下後、更に約１週間前後が寿命と評価できる。例えば、フィルタの除去機能が確実に確認できる範囲として除去率を２０〜３０％に仮定すると、中段暴露プレート４２については、１４日目頃が余寿命なし（継続使用不可）と評価できる。また、同様に、下流側暴露プレート４３については、２８日目頃が余寿命なし（継続使用不可）と評価できる。下流側暴露プレート４３の余寿命は、中段暴露プレート４２の２倍程度であり、徐々にフィルタの除去機能が低下しており、本実験結果の信頼性は高いものと考えられる。
【００８０】
＜効果＞
第２実施形態に係るフィルタの評価システム２１０によれば、液滴径の測定器具２２０により、評価用プレート４０、すなわち、未暴露プレート４４、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３の接触角を容易に測定することができる。その結果、高沸点有機物の濃度を評価することができる。
【００８１】
また、上流側暴露プレート４１の液滴径の未暴露プレート４４の液滴径に対する縮小率Ａ、及び下流側暴露プレート４３の液滴径の未暴露プレート４４の液滴径に対する縮小率Ｂを夫々求め、余寿命評価表２４０と照らし合わせることで、活性炭フィルタ１４０の余
寿命を評価することができる。第２実施形態に係るフィルタの評価システム２１０によってフィルタを評価することで、容易に活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。その結果、活性炭フィルタ１４０を本来の寿命まで使い切ることができ、省資源・省コストを実現できる。
【００８２】
＜第３実施形態＞
第３実施形態に係るフィルタの評価システムでは、表面抵抗率を測定して、フィルタを評価する。ここで、図１５は、第３実施形態に係る表面抵抗率の測定装置の一例を示す。第３実施形態に係る表面抵抗率の測定装置２５０は、評価用プレート４０のガラス基板に、表面抵抗率測定用の金属電極２５１が蒸着されている。金属電極２５１は、評価用プレート４０（ガラス基板）の表面に形成された円形の第１金属電極２５２と、第１金属電極２５２の周囲に形成された環状の第２金属電極２５３と、評価用プレート４０（ガラス基板）の裏面に形成された第３金属電極２５４とを含む。第１金属電極２５２と第２金属電極２５３との間には、電源２５５及び電流計２５６が直列に接続され、第３金属電極２５４は、接地されており、電流を流すことで、表面抵抗率（Ω／□）が測定できるようになっている。表面抵抗率は、例えば、携帯可能な既存の表面抵抗率の測定装置によって測定するようにしてもよい。なお、評価用プレート４０は、第１実施形態と同じく、ＵＶオゾンで処理されたガラス板からなる。評価用プレート４０は、表面抵抗率が高いプレートであればよく、ガラスコーティング板でもよい。また、Ｓｉウエハ、ＳｉＯ２膜皮膜板などの表面抵抗率の低いプレートを用いる場合は表面に絶縁膜が形成されている必要がある。
【００８３】
活性炭フィルタ１４０の余寿命は、例えば以下のように評価される。まず、上流側暴露プレート４１の表面抵抗率と、未暴露プレート４４の表面抵抗率とが比較される。上流側暴露プレート４１の表面抵抗率が未暴露プレート４４の表面抵抗率の１．５倍未満の場合、評価が可能と判断される。この場合、下流側暴露プレート４３の表面抵抗率も考慮して、活性炭フィルタ１４０の余寿命が評価される。なお、表面抵抗率は湿度に大きく依存するため同じ環境下で測定する必要がある。例えば、各プレート４１、４３、４４を所定の温湿度環境に所定時間（例えば２３℃、相対湿度４５％の環境中に２４時間以上）保管後に夫々の表面抵抗率を測定する。
【００８４】
未暴露プレート４４の表面抵抗率をＸとし、上流側暴露プレート４１の表面抵抗率をＹ１、下流側暴露プレート４３の表面抵抗率をＹ２とすると、Ｙ１のＸに対する抵抗値割合Ａ、及びＹ２のＸに対する抵抗値割合Ｂは、それぞれ、式３、式４によって表される。なお、上流側暴露プレート４１の表面抵抗率、下流側暴露プレート４３の表面抵抗率は、未暴露プレート４４の表面抵抗率は、それぞれ上流側の被処理空気に暴露した上流側暴露プレート、下流側の被処理空気に暴露した下流側暴露プレート、暴露前の未暴露プレートの夫々に関する高沸点有機物付着量情報に相当する。
【００８５】
Ｙ１のＸに対する抵抗値割合Ａ＝Ｙ１／Ｘ・・・式３
Ｙ２のＸに対する抵抗値割合Ｂ＝Ｙ２／Ｘ・・・式４
【００８６】
図１６は、余寿命評価表の一例を示す。図１６に示す余寿命評価表２６０では、第２実施形態における液滴径を用いた余寿命評価と同様の考え方により、例えば、（１）Ａが２以上、かつＢが１．２未満の時は、活性炭フィルタの余寿命あり（継続使用可能）、（２）Ａが２以上、かつＢが１．２〜１．５未満の時は、活性炭フィルタの寿命が近い、（３）Ａが２以上、かつＢが１．５以上の時は、余寿命なし（継続使用不可）といった余寿命評価表を準備し、抵抗値割合Ａ、抵抗値割合Ｂを当てはめることで、余寿命を評価することができる。
【００８７】
第３実施形態に係るフィルタの評価システムによれば、表面抵抗率の測定装置２５０に
より、評価用プレート４０、すなわち、未暴露プレート４４、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３の表面抵抗率を容易に測定することができる。その結果、高沸点有機物の濃度を評価することができる。
【００８８】
また、上流側暴露プレート４１の表面抵抗率の未暴露プレート４４の表面抵抗率に対する抵抗増加率Ａ、及び下流側暴露プレート４３の表面抵抗率の未暴露プレート４４の表面抵抗率に対する抵抗増加率Ｂを夫々求め、余寿命評価表と照らし合わせることで、活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。第３実施形態に係るフィルタの評価システムによってフィルタを評価することで、容易に活性炭フィルタ１４０の余寿命を評価することができる。その結果、活性炭フィルタ１４０を本来の寿命まで使い切ることができ、省資源・省コストを実現できる。
【００８９】
＜変形例＞
第１実施形態では、暴露ボックス３０に評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を収容したが、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を活性炭フィルタのチャンバ１０内に直接設置し、評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を、高沸点有機物を含む被処理空気で暴露してもよい。これにより、暴露ボックス３０、断熱付きチューブ２０、暴露ボックスのポンプ８０が不要となり、設備の簡素化を実現できる。評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を活性炭フィルタのチャンバ１０内に直接設置する場合、活性炭フィルタのチャンバ１０に、点検口を設けるとよい。これにより、点検口を介して評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３の出し入れを容易に行うことができる。また、この場合、暴露中の加温が困難なため、暴露後に、例えばホットプレートなので評価用プレート４０のうち、上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３を加温処理するとよい。
【００９０】
また、上述したようにリボンヒータ５０を省略してもよい。その結果、フィルタの評価システム２００は、より簡易な構成となる。また、評価用プレート４０（上流側暴露プレート４１、中段暴露プレート４２、下流側暴露プレート４３）を加温しない場合、高沸点有機物よりも沸点が低い低沸点の有機物等が評価用プレート４０に付着することが想定される。そのため、本来の余寿命よりも短く評価されてしまうことが想定される。そこで、評価用プレート４０を加温した場合と加温しない場合の接触角を予め測定し、この測定結果に基づいて、評価用プレート４０を加温しないことによる影響を安全係数として予め設定するようにしてもよい。そして、余寿命評価図７２を含む余寿命評価装置７０では、基準線７４は、上記安全係数を考慮して設定するとよい。上述したように、評価用プレート４０を加温しない場合、本来の余寿命よりも短く評価されることが想定される。そこえ、例えば、安全係数を考慮し、加温しない場合の基準線７４は、加温した場合の基準線７４よりも下に位置するよう設定することができる。その結果、フィルタの評価システム２００は、より簡易な構成となり、また、フィルタの評価方法が、より簡易に行うことができる。
【００９１】
また、断熱付きチューブ２０に代えて、ヒータと保温材を巻き、チューブの温度を上昇できるようにしてもよい。これにより、チューブの内壁面への高沸点有機物の吸着を低減することができる。
【００９２】
なお、上記した種々の内容は、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲に於いて可能な限り組合せることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１０・・・活性炭フィルタのチャンバ
３０・・・暴露ボックス
３１・・・上流側暴露ボックス
３２・・・中段暴露ボックス
３３・・・下流側暴露ボックス
４０・・・評価用プレート
４１・・・上流側暴露プレート
４２・・・中段暴露プレート
４３・・・下流側暴露プレート
４４・・・未暴露プレート
５０・・・リボンヒータ
６０・・・接触角の測定器具
７０・・・余寿命評価装置
１００・・・ＶＯＣ処理装置
１１０・・・ＶＯＣ吸脱着ロータ
１１１・・・吸着ゾーン
１１２・・・冷却ゾーン
１１３・・・脱離ゾーン
１２０・・・処理通気路
１３０・・・再生通気路
１４０・・・活性炭フィルタ
２００、２１０・・・フィルタの評価システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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