(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するヘッド本体と、筐体と、前記ヘッド本体を駆動する１つ以上のドライバＩＣと、該ドライバＩＣが実装されており、前記ヘッド本体に電気的に接続されている１つ以上のフレキシブル基板とを含んでおり、
前記筐体は、前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆っているとともに、前記フレキシブル基板および前記ドライバＩＣを内部に収容しており、
ヘッド本体の一つの面には、液体を吐出させる信号がそれぞれ供給される複数の個別電極が配置されており、
前記フレキシブル基板は、一方の端が前記個別電極に電気的に接続されており、他方の端が、前記ドライバＩＣに電気的に接続されている複数の配線を含んでおり、
前記フレキシブル基板は、複数の前記個別電極と電気的に接続されている第１部位と、前記ドライバＩＣが実装されている第３部位と、前記第１部位と前記第３部位との間に配置されている第２部位とを含んでおり、
前記第１部位は、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されており、前記第１部位に配置されている複数の前記配線は、第１方向に沿って伸びており、
前記筐体は、前記第１方向に沿っているとともに、前記ヘッド本体の前記面と平行でない放熱板を含んでおり、
前記第３部位は、前記放熱板に沿って配置されており、前記ドライバＩＣは、前記放熱板に接続しており、
前記フレキシブル基板全体を平面に沿って伸ばしたときに、前記第３部位は、前記第１部位を前記第１方向に延長した延長線に対して、前記第１方向と直交する方向である第３方向に位置しており、前記第２部位に配置されている、前記第１部位から前記第３部位に向かっている複数の前記配線は、前記第１方向から前記第３方向に向かって方向を変えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ヘッド本体の前記面に対する、前記放熱板の前記ドライバＩＣが接続している部分の角度をθ１とするとき、前記第２部位に配置されている、前記第１部位から前記第３部位に向かっている複数の前記配線が、前記第１方向から前記第３方向に向かって方向を変えている角度θ２は、θ１±４５度以内であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液体を吐出するヘッド本体と、筐体と、前記ヘッド本体を駆動する１つ以上のドライバＩＣと、該ドライバＩＣが実装されており、前記ヘッド本体に電気的に接続されている１
つ以上のフレキシブル基板とを含んでおり、
前記筐体は、前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆っているとともに、前記フレキシブル基板および前記ドライバＩＣを内部に収容しており、
ヘッド本体の一つの面には、液体を吐出させる信号がそれぞれ供給される複数の個別電極が配置されており、
前記フレキシブル基板は、一方の端が前記個別電極に電気的に接続されており、他方の端が、前記ドライバＩＣに電気的に接続されている複数の配線を含んでおり、
前記フレキシブル基板は、第１部位、第２部位および第３部位を含んでおり、
前記第１部位は、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されており、前記第１部位に配置されている複数の前記配線は、第１方向に沿って伸びており、
前記筐体は、前記第１方向に沿っているとともに、前記ヘッド本体の前記面と平行でない放熱板を含んでおり、
前記第３部位は、前記放熱板に沿って配置されており、前記ドライバＩＣは、前記放熱板に接続しており、
前記第２部位は、前記第１部位と前記第３部位とを繋いでおり、前記第１方向から見たとき、前記第２部位は、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されている第１辺と、
前記放熱板に沿って配置されている第２辺とを有しており、前記第２部位に配置されている前記配線は、前記第１辺と前記第２辺とを繋ぐように配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
１つの前記フレキシブル基板に、複数の前記ドライバＩＣが実装されおり、
前記ヘッド本体の前記面に配置されている、複数の前記個別電極は、前記第１方向と交差する方向である第２方向に複数の群に分かれて配置されており、異なる前記群に属する前記個別電極は、異なる前記ドライバＩＣに電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記フレキシブル基板が偶数個存在し、複数の前記フレキシブル基板が、前記ヘッド本体に対して回転対称に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
さらに支持部材を含み、
前記支持部材は、前記ヘッド本体に、前記ヘッド本体の前記面を囲むように接合されており、
前記支持部材は、貫通孔を有しており、該貫通孔は、前記筐体の内部と繋がっており、
前記フレキシブル基板は、前記貫通孔を通っており、
前記貫通孔は、前記ドライバＩＣが、前記放熱板に沿うように配置された状態で挿通可能であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記ヘッド本体を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドに含まれる、液体を吐出するヘッド本体は、複数の吐出孔にそれぞれ繋がった加圧室を有し、それを覆うように設けられた圧電アクチュエータ基板の変位素子を変位させることで、吐出孔からインクを吐出することができる。圧電アクチュエータ基板は４つあり、それらに駆動信号を伝達する４つのフレキシブル基板は、ヘッド本体の左右に２つずつ交互に引き出されており、ヘッド本体と筐体との間を通り、ヘッド本体の上部に配置されているコネクタに接続されている。また、フレキシブル基板にはドライバＩＣが実装されており、ドライバＩＣは、ヘッド本体と筐体に挟まれている。ドライバＩＣの熱は筺体を通じて排熱されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０７８０１号公報
【発明の概要】
【０００４】
本開示の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するヘッド本体と、筐体と、前記ヘッド本体を駆動する１つ以上のドライバＩＣと、該ドライバＩＣが実装されており、前記ヘッド本体に電気的に接続されている１つ以上のフレキシブル基板とを含んでおり、前記筐体は、前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆っているとともに、前記フレキシブル基板および前記ドライバＩＣを内部に収容しており、ヘッド本体の一つの面には、液体を吐出させる信号がそれぞれ供給される複数の個別電極が配置されており、前記フレキシブル基板は、一方の端が前記個別電極に電気的に接続されており、他方の端が、前記ドライバＩＣに電気的に接続されている複数の配線を含んでおり、前記フレキシブル基板は、複数の前記個別電極と電気的に接続されている第１部位と、前記ドライバＩＣが実装されている第３部位と、前記第１部位と前記第３部位との間に配置されている第２部位とを含んでおり、前記第１部位は、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されており、前記第１部位に配置されている複数の前記配線は、第１方向に沿って伸びており、前記筐体は、前記第１方向に沿っているとともに、前記ヘッド本体の前記面と平行でない放熱板を含んでおり、前記第３部位は、前記放熱板に沿って配置されており、前記ドライバＩＣは、前記放熱板に接続しており、前記フレキシブル基板全体を平面に沿って伸ばしたときに、前記第３部位は、前記第１部位を前記第１方向に延長した延長線に対して、前記第１方向と直交する方向である第３方向に位置しており、前記第２部位に配置されている、前記第１部位から前記第３部位に向かっている複数の前記配線は、前記第１方向から前記第３方向に向かって方向を変えていることを特徴とする。
【０００５】
また、本開示の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するヘッド本体と、筐体と、前記ヘッド本体を駆動する１つ以上のドライバＩＣと、該ドライバＩＣが実装されており、前記ヘッド本体に電気的に接続されている１つ以上のフレキシブル基板とを含んでおり、前記筐体は、前記ヘッド本体の少なくとも一部を覆っているとともに、前記フレキシブル基板および前記ドライバＩＣを内部に収容しており、ヘッド本体の一つの面には、液体を吐出させる信号がそれぞれ供給される複数の個別電極が配置されており、前記フレキシブル基板は、一方の端が前記個別電極に電気的に接続されており、他方の端が、前記ドライバＩＣに
電気的に接続されている複数の配線を含んでおり、前記フレキシブル基板は、第１部位、第２部位および第３部位を含んでおり、前記第１部位は、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されており、前記第１部位に配置されている複数の前記配線は、第１方向に沿って伸びており、前記筐体は、前記第１方向に沿っているとともに、前記ヘッド本体の前記面と平行でない放熱板を含んでおり、前記第３部位は、前記放熱板に沿って配置されており、前記ドライバＩＣは、前記放熱板に接続しており、前記第２部位は、前記第１部位と前記第３部位とを繋いでおり、前記第１方向にから見たとき、前記第２部位には、前記ヘッド本体の前記面に沿って配置されている第１辺と、前記放熱板に沿って配置されている第２辺とを有しており、前記第２部位に配置されている前記配線は、前記第１辺と前記第２辺とを繋ぐように配置されていることを特徴とする。
【０００６】
さらに、本開示の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（ａ）は、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】（ａ）は、図１の液体吐出ヘッドに用いられるヘッド本体の平面図であり、（ｂ）は、図１の液体吐出ヘッドに用いられるリザーバの平面図である。
【図３】図２（ａ）の二点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２（ａ）の二点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図１の液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図７】図６の液体吐出ヘッドのＸ方向に見た断面図である。
【図８】図６の液体吐出ヘッドに用いられるフレキシブル基板の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のフレキシブル基板および圧電アクチュエータ基板の液体吐出ヘッドにおける配置状態を示した斜視図であり、（ｃ）は、（ｂ）をＸＩ方向に見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１（ａ）は、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０Ａから搬送ローラ８０Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【０００９】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本開示の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１０】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっ
ている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１１】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１２】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１３】
プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１４】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１５】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００１６】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００１７】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００１８】
次に、本開示の液体吐出ヘッド２について説明する。図２（ａ）は、ヘッド本体２ａの平面図であり、（ｂ）は、支持部材であるリザーバ４０の平面図である。る。図３は、図２の二点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。図４は、図３と同じ領域の拡大図であり、説明のため図３とは異なる一部の流路を省略した図である。なお、図２〜４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべきマニホールド５、吐出孔８、加圧室１０などを実線で描いている。図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【００１９】
図６は、液体吐出ヘッド２の斜視図である。図７は、図６の液体吐出ヘッド２のＸ方向に見た断面図である。図８（ａ）フレキシブル基板６０の平面図であり、図８（ｂ）は、フレキシブル基板６０および圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出ヘッド２における配置状態を示した斜視図であり、図８（ｃ）は、図８（ｂ）をＸＩ方向に見た断面図である。
【００２０】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体９０と、フレキシブル基板６０とドライバＩＣ（Integrated Circuit）６６とを含んでいる。液体吐出ヘッド２には、さらにリザーバ４０あるいはフレキシブル基板６０に電気的に接続されている配線基板５２などを含んでいてもよい。ヘッド本体２ａは、流路部材４と、加圧部である変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。
【００２１】
ヘッド本体２ａの平面形状は、第１方向に長い。第１方向を長手方向と呼ぶことがある。ヘッド本体２ａの平面方向に沿った方向で、第１方向と交差する方向を第２方向とする。第２方向は、基本的に第１方向と直交する方向である。第２方向を短手方向と呼ぶことがある。
【００２２】
筺体９０は、直方体状である。筺体９０は、天板と液体吐出ヘッド２の長手方向の両側の端部の側面を構成している筺体本体９０ａと、筺体本体９０ａに取り付けられる放熱板である筺体側板９０ｂとを含んでいる。筺体本体９０ａは、例えば、樹脂で造られており、筐体側板９０ｂは、例えば、金属で造られている。筺体本体９０ａの天板部には、配線基板５２の外部コネクタ５２ａが通っている孔が開いている。外部コネクタ５２ａには、制御部から、制御信号が送られる。
【００２３】
ヘッド本体２ａと、筐体９０と間には、支持部材であるリザーバ４０が配置されている。リザーバ４０は、外部からリザーバ４０の開口４０ａに液体を供給され、ヘッド本体２ａの開口５ａに液体を供給する。また、液体吐出ヘッド２は、リザーバ４０の長手方向の両端で、プリンタ１のフレーム７０に固定される。また、リザーバ４０の内部に設けられたリザーバ流路の内壁の一部は弾性変形可能な材質のダンパになっている。ダンパのリザーバ流路と反対の面が面する方向に変形できるようになっているので、ダンパは弾性変形することでリザーバ流路の体積を変化させることができ、液体吐出量が急激に多くなった場合などに、安定して液体が供給できるようになる。また、リザーバ流路の中にフィルタを設けて、液体の中に含まれる異物が流路部材４に入って行き難いようにするのが好ましく、異物が詰まることによって起こる不吐出を抑制できる。
【００２４】
ヘッド本体２ａから液体を吐出させる駆動信号は、ヘッド本体２ａと電気的に接続されたフレキシブル基板６０から供給される。フレキシブル基板６０は、リザーバ４０に設けられた貫通孔４０ｂを通って、筐体９０内部に配置されている回路基板５２の内部コネクタ５２ｂに電気的に接続されている。回路基板５２は外部の制御部８８から供給された制御信号を処理する。例えば、回路基板３２は、制御信号を複数の複数のドライバＩＣ６６に分けてり、駆動信号の整流など行なったりする。
【００２５】
筐体９０内部において、リザーバ４０の上には、平板状で中央に孔の空いたガイドフレーム５０が取り付けられている。ガイドフレーム５０には、回路基板５２が取り付けられている。
【００２６】
筐体９０内部において、リザーバ４０の上には、さらに、先端に断熱性部５８が付けられた弾性板５６が取り付けられている。弾性板５６の断熱性部５８は、フレキシブル基板６０が内部コネクタ５３ｂに接続された状態で、フレキシブル基板６０を介してドライバＩＣ６６に当たった状態にされる。弾性板５６が元の形状に戻ろうとする力で、ドライバＩＣ６６は、ヘッド本体２ａの短手方向の外側に向かって押し出される力が加わった状態になる。
【００２７】
筐体９０の取り付けは、まず筐体本体９０ａを、リザーバ４０の上にネジなどで取り付ける。筐体本体９０ａと、リザーバ４０との間には、樹脂やゴムなどの弾性部材が挟まれて、外部からミスト等が侵入し難いようにされる。この状態で、ドライバＩＣ６６の表面は、筐体本体９０ａより外側に飛び出した状態になっている。その後、筺体側板９０ｂは筐体本体９０ａにネジなどで側方から取り付けられる。筐体本体９０ａと、筐体側板９０ｂとの間には、樹脂やゴムなどの弾性部材が挟まれて、外部からミスト等が侵入し難いようにされる。この際、あらかじめ筺体側板９０ｂの取り付け位置よりも外側に押し出されていたドライバＩＣ６６は、筺体側板９０ｂに押し付けられて、接続する。これにより、ドライバＩＣ６６で駆動信号の処理を行なう際に発生した熱は、主に、筐体側板９０ｂに伝わり、外部に放熱される。ドライバＩＣ６６と筐体側板９０ｂとの接続は、直接接触させてもよいし、熱伝導性の高いグリスなど、熱伝導性の部材を介して接続させてもよい。
【００２８】
ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、マニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面にはマニホールド５と繋がっている開口５ａが開口しており、この開口５ａより液体が供給される。
【００２９】
流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０は、加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などのフレキシブル基板６０が接続されている。
【００３０】
流路部材４の内部には４つのマニホールド５が配置されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延びる細長い形状を有しており、その両端において、流路部材４の上面にマニホールド５の開口５ａが形成されている。４つのマニホールド５は、それぞれ独立している。
【００３１】
流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面である加圧室面４−２に開口している。
【００３２】
加圧室１０は１つのマニホールド５と個別供給流路１４を介して繋がっている。１つのマニホールド５に沿うようにして、このマニホールド５に繋がっている加圧室１０の列である加圧室行１１が、マニホールド５の両側に２行ずつ、合計４行配置されている。したがって、全体では１６行の加圧室行１１が配置されている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。なお、各加圧室行１１の端の加圧室１０は、ダミーとなっており、マニホールド５とは繋がっていない。このダミーにより、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造およびそれに影響される剛性が、他の加圧室１０の構造およびそれに影響される剛性が近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。
【００３３】
各加圧室行１１に属する加圧室１０は、近接する２行の加圧室行１１の間では、千鳥状に配置されており、隣り合う加圧室１０の角部は交互に配置されるようになっている。１つのマニホールド５に繋がっている４行の加圧室行１１により１つの加圧室群が構成されており、加圧室群は４つある。各加圧室群内における加圧室１０の相対的な配置は同じになっており、各加圧室群はヘッド本体２ａの長手方向にわずかにずれて配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなって部分はあるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。
【００３４】
加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出面４−１に開口している吐出孔８に繋がるディセンダ１６が伸びている。ディセンダ１６は、平面視において、加圧室１０の対角線を延長する方向に伸びている。つまり、長手方向における吐出孔８の配置と加圧室１０の配置は同じになっている。各加圧室行１１において、加圧室１０は３７．５ｄｐｉの間隔で並んでおり、１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は全体として、長手方向に１５０ｄｐｉの間隔になっている。さらに、４つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、長手方向に６００ｄｐｉに相当する間隔でずれて配置されているため、加圧室１０は全体で長手方向に６００ｄｐｉの間隔で形成されている。前述のように、吐出孔８の長手方向の配置は加圧室１０と同じになっているので、吐出孔８の長手方向の間隔も６００ｄｐｉになっている。
【００３５】
これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている４つの吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が、６００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている４つの行の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で１５０ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に１５０ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となる。この場合、さらに４つの液体吐出ヘッド２を用いて、それぞれ液体吐出ヘッド２において各色のインクを異なる位置のマニホールド５に供給するようにして、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像を形成してもよい。またさらに、２つの液体吐出ヘッド２を用いて、それぞれ液体吐出ヘッド２において各色のインクを異なる位置のマニホールド５に供給するようにして、３００ｄｐｉの解像度で４色の画像を形成してもよい。
【００３６】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように
、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４と電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように２列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って１列形成されている。図示した、共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。圧電アクチュエータ基板２１には、２枚の信号伝達部が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。共通電極用表面電極２８は、信号伝達部の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の長手方向の端）において接続され、共通電極用表面電極２８およびその上に形成される共通電極用接続電極が、引出電極２５ｂおよびその上に形成される接続電極２６よりも面積が大きいため、信号伝達部が端からはがれ難くできる。
【００３７】
また、吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。
【００３８】
ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｇ、カバープレート４ｈおよびノズルプレート４ｉである。これらのプレートには多数の孔や溝が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔や溝の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔や溝が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５などの流路を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００３９】
プレート４ａ〜ｉは、接着剤を介して積層されている。接着剤の層の厚さは、０．１〜３μｍ程度である。
【００４０】
流路部材４にプレート４ａ〜ｉに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路１４には、アパーチャプレート４ｃに形成されている、流路の断面積が小さくなっている部位であり、平面視で一方方向に長いしぼり６が含まれている。
【００４１】
第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路であるディセンダ１６を構成する連通孔である。ディセンダ１６は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｉ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、マニホールド５を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート４ｅ〜ｇに形成されている。
【００４２】
第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド
５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入りを通り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから、ディセンダ１６の中を少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。
【００４３】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度であり、個別電極２５の厚さは、１μｍ程度である。
【００４４】
個別電極２５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極２５は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部に設けられた電極と電気的に接合されている。
【００４５】
また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置された、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。
【００４６】
詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００４７】
共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっている。また、共通電極２４は、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、複数の個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
【００４８】
圧電セラミック層２１ｂの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ａは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００４９】
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣな
どを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
【００５０】
あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下、高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下、低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ｂ、２１ａが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
【００５１】
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
【００５２】
ここで、さらにフレキシブル基板６０とドライバＩＣ６６について説明する。上述したように、各マニホールド５には、４行の加圧室行１１が繋がっている。各マニホールド５に異なるインクを供給することで、１５０ｄｐｉの解像度で４色の画像を印刷できる。インクには、粘度や表面張力などの特性があり、特性が異なると、同じ駆動信号で吐出させても、吐出量および吐出速度などの吐出特性が異なる。また、吐出させた液体が、一滴化せずに、別々に着弾するといった傾向もインクによって異なることがあるため、同じ駆動信号で吐出させて、印刷精度が高くできるとは限らない。また、すべてのマニホールド５に同じをインクを供給させる場合でも、ヘッド本体２ａに中で加圧室行１１が配置されており位置により、吐出特性が変わることもあるため、ヘッド２ａの短手方向である第２方向によって、異なる駆動信号を使えるようにしておくと好ましい。
【００５３】
ドライバＩＣ６６として、各個別電極２５毎に、異なる駆動信号を供給できるものを準備することもできるが、回路規模が大きくなり、コストが高くなったり、発熱量が多くなったりするので、好ましいとは限らない。そこで、行内においては、同じ駆動信号を使用し、異なる行の幾つかでは異なる駆動信号を使うことが考えられる。これにより、例えば、４つのドライバＩＣ６６を使って、それぞれのドライバＩＣ６６で、１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０を加圧するようにする。そのようにすれば、各マニホールド５に違う物性のインクをいれても、ドライバＩＣ６６毎に、それぞれのインクに対応した駆動信号を生成させることができる。
【００５４】
フレキシブル基板６０は、一般的に配線６２、６４は単層で形成されており、配線６２、６４を交差させて配線することはできない。そうすると、特許文献１のような構造、つまりフレキシブル基板を、第２方向に引き出し、フレキシブル基板の配線が第２方向に沿って伸びるような構造では、第２方向に関して異なる位置に配置されている行の個別電極を、異なるドライバＩＣに接続することはできない。
【００５５】
そこで、本開示では、フレキシブル基板６０が、次のような第１部位６０ａ、第２部位６０ｂ、および第３部位６０ｃを含む構造にする。まず、液体吐出ヘッド２に組み込まれた状態ではなく、フレキシブル基板６０単体の状態を説明する（図８（ａ）参照）。
【００５６】
１つのフレキシブル基板６０には、２つのドライバＩＣ６６が実装されており、２つを別々に示す場合は、１つをドライバＩＣ６６Ａ、もう一つをドライバＩＣ６６Ｂとする。
【００５７】
フレキシブル基板６０には、フレキシブル基板６０に電気的に接続される個別電極２５と同数の配線６２が配置されている。１つの配線６２は、一端が個別電極２５に電気的に接続されており、他端がドライバＩＣ６６に電気的に接続されている。フレキシブル基板６０には、ドライバＩＣ６６と、回路基板５２の内部コネクタ５２ｂとを電気的に接続する配線６４が配置されている。配線６４は、一般的には配線６２よりも本数が少ない。配線６２、６４は、数多く配置されているので、図８（ａ）、（ｃ）では、そのうちの幾つかだけを描いている。配線６２、６４は単層の配線層で形成されており、どの配線も互いに交差していない。
【００５８】
また、フレキシブル基板６０には、グランド配線（不図示）が配置されている。フレキシブル基板６０には、配線６２、６４以外の配線が配置されていてもよい。また、フレキシブル基板６０の強度や曲げやすさを調整するために、ダミー配線を配置してもよい。
【００５９】
外部から回路基板５２を介して伝わってきた制御信号は、ドライバＩＣ６６により駆動信号に変換されて、個別電極２５に供給される。ドライバＩＣの動作としては、他に、外部から駆動信号と制御信号を供給されて、制御信号に基づいて、駆動信号をどの個別電極２５に供給するかを選択するようにしてもよい。
【００６０】
第１部位６０ａには、個別電極２５と接続電極２６を介して電気的に接続される配線６２が配置されている。配線６２は、第１部位６０ａでは、第１方向に沿って配置されている。これは、すべての配線６２が、第１方向に向かう直線上に配置されているということではなく、細部においては第１方向と交差する方向に向かうこともあるが、全体としては第１方向に向かっているということである。
【００６１】
第１部位６０ａは、第１方向と交差する方向である第３方向に、第１の第１部位６０ａａと第２の第１部位６０ａｂを含んでいる。第１の第１部位６０ａａは、１つのマニホールド５と繋がっておる４行の加圧室行１１に対応した４行の個別電極行からなる個別電極群２９と電気的に繋がる配線６２が配置されている。第１の第１部位６０ａａに配置されている配線６２は、第３部位６０ｃにおいて、ドライバＩＣ６６Ａに電気的に接続されている。第２の第１部位６０ａｂには、別の個別電極群２９と電気的に繋がる配線６２が配置されている。第２の第１部位６０ａｂに配置されている配線６２は、第３部位６０ｃにおいて、ドライバＩＣ６６Ｂに電気的に接続されている。つまり、第３方向における位置の異なる個別電極群２９は、異なるドライバＩＣに電気的に接続されている。
【００６２】
第３部位６０ｃには、ドライバＩＣ６６が実装されている。ドライバＩＣ６６は、例えば、フリップチップ実装されている。第３部位６０ｃは、内部コネクタ５２ｂと電気的に接続される部分であり、配線６４が配置されている。第３部位６０ｃは、第１部位６０ａを第１方向に延長した延長線に対して、第３方向にずれて配置されている。
【００６３】
第２部位６０ｂは、第１部位６０ａと第３部位６０ｃとの間に配置されている。第２部位６０ｂには、第１部位６０ａに配置されている配線６２と、第３部位６０ｃに配置されている配線６２とを電気的に繋いでいる配線６２が配置されている。
【００６４】
上述したように、第３部位６０ｃは、第３方向にずれて配置されているため、第２部位６０ｂに配置されている、第１部位６０ａから第３部位６０ｃに向かう配線６２は、第１方向から第３方向に向かって曲がる。本実施形態では、この曲がる角度θ２は、９０度である。
【００６５】
図８（ｂ）は、２つのフレキシブル基板６０を、圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続した状態で、液体吐出ヘッド２に組み込まれた状態に配置した斜視図である。図８（ｃ）は、図８（ｂ）のＸＩ方向から見た断面図である。まず、図の手前側に配置されているドライバＩＣ６６Ａ、Ｂが実装されているフレキシブル基板６０について説明する。
【００６６】
第１部位６０ａは、圧電アクチュエータ基板２１の個別電極２５が配置されている面である個別電極面２１−１に沿って配置されている。配線６２は、それぞれ、個別電極２５に電気的に接続されている。グランド配線も個別電極面２１−１に配置されている共通電極用表面電極２８に電気的に接続されている。
【００６７】
フレキシブル基板６０は、第１方向に、個別電極群２９がなくなった時点で圧電アクチュエータ基板２１から離れる方向に曲げられる。本実施形態では、個別電極面２１−１に略直交する角度まで曲げられる。なお、図８（ｂ）では、模式的に１カ所で急激に曲がっているように描いているが、実際は徐々に曲げられる。
【００６８】
第１部位６０ａから曲がった部分が第２部位６０ｂである。第２部位６０ｂを第１方向から見ると、第２部位６０ｂには、個別電極面２１−１に沿っている第１辺６０ｂ−１および、放熱板９０ｂに沿っている第２辺６０ｂ−２が配置されている。第２部位６０ｂに配置されている配線６２は、それぞれ、第１辺６０ｂ−１と第２辺６０ｂ−２と繋ぐように配置されている。
【００６９】
第３部位６０ｃは、第２部位６０ｂから曲がっており、第３部位６０ｃは、放熱板９０ｂに沿って配置されている。図８（ｂ）では、第２部位８０ｂと第３部位６０との間は、模式的に１カ所で急激に曲がっているように描いているが、実際は徐々に曲げられる。
【００７０】
以上のような構成により、第２部位６０ｂおよびその前後において、フレキシブル配線基板６０を曲げて、個別電極面２１−１に沿った第１部位６０ａと、個別電極面２１−１と平行でない放熱板９０ｂに沿った第３部位６０ｃとを設けることができるようになる。このように曲げることにより、フレキシブル配線基板６０には、局所的な力が加わり難くなるので、配線６２、６４の断線や、内部コネクタ５２ｂからの脱落などを起き難くできる。
【００７１】
図７に示すように、本実施形態では、個別電極面２１−１に対する、放熱板９０ｂのドライバＩＣ６６が接続している部位の角度θ１は、９０度である。なお、この角度は例えば１５〜１６５度にすることができる。第２部位６０ｂに配置されている、第１部位６０ａから第３部位６０ｃに向かう配線６２が、第１方向から第３方向に向かって曲がる角度θ２とθ１との角度の差を小さくれば、第２部位６０ｂおよびその前後に加わる力を小さくできる。θ２は、θ１±４５度以内にするのが好ましく、さらに、θ１±３０度以内、特にθ１±１５度以内にするのが好ましい。
【００７２】
このような構造にすると、筐体９０の面の中で、面積の大きい長手方向に沿った面を放熱板９０ｂとして使うことができるので放熱性を良くできる。
【００７３】
また、個別電極面２１−１において、第２方向に位置が異なる個別電極群２９を、別々のドライバＩＣに電気的に繋げることができるので、第２方向に関して、個別電極群２９
毎に異なる駆動波形で駆動させることができるようになる。
【００７４】
１つの液体吐出ヘッド２に用いるフレキシブル基板６０の個数は、１個でもよいが、２個以上にして、それぞれを異なる放熱板９０ｂに接合させれば、放熱効果を高くできる。フレキシブル基板６０を偶数個用いる場合は、ヘッド本体２ａに対し、１８０度の回転対称になるように配置することで、放熱効果を高くでき、さらに、２つの放熱板９０ｂに伝わる熱の量を概略同じにできるの、好ましい。図８（ｂ）は、２つのフレキシンブル基板６０を用いた実施形態である。
【００７５】
液体吐出ヘッド２を製造する際には、フレキシブル基板６０は、リザーバ４０の貫通孔４０ｂを通すことができる。そのために、貫通孔４０ｂは、ドライバＩＣ６６が、放熱板９０ｂに沿うような状態で、すなわち、図８（ｂ）のような状態で、挿通可能な形状でにする。より詳細には、ドライバＩＣ６６が、放熱板９０ｂに沿うような状態にしたフレキシブル基板６０の第２部位６０ｂおよび第３部位６０ｃが挿通可能なように、貫通孔４０ｂには、第２部位６０ｂおよび第３部位６０ｃにそれぞれ対応した部分を設ける。図２（ｂ）のリザーバ４０の貫通孔４０ｂは、第２部位６０ｂに対応した直線状の部位と、第３部位６０ｃに対応した直線状の部位とが組み合わさったＬ字形状になっている。貫通孔４０ｂは、３角形状にしてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１・・・（カラーインクジェット）プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｉ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・開口
６・・・しぼり
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１４・・・個別供給流路
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２１−１・・・個別電極面
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２７・・・ダミー接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
２９・・・個別電極群
３０・・・変位素子（加圧部）
４０・・・リザーバ（支持部材）
４０ａ・・・（リザーバの）液体供給孔
４０ｂ・・・（リザーバの）貫通孔
６６（６６Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄ）・・・ドライバＩＣ
６０・・・フレキシブル基板
６０ａ・・・（フレキシブル基板の）第１部位
６０ａａ・・・第１の第１部位
６０ａｂ・・・第２の第１部位
６０ｂ・・・（フレキシブル基板の）第２部位
６０ｂ−１・・・第１辺
６０ｂ−２・・・第２辺
６０ｃ・・・（フレキシブル基板の）第３部位
６０ｄ・・・補強板
６２・・・（フレキシブル基板の）配線
６４・・・（フレキシブル基板の）配線
５０・・・ガイドフレーム
５２・・・回路基板
５２ａ・・・外部コネクタ
５２ｂ・・・内部コネクタ
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０Ａ・・・給紙ローラ
８０Ｂ・・・回収ローラ
８２Ａ・・・ガイドローラ
８２Ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
９０・・・筐体
９０ａ・・・筐体本体
９０ｂ・・・筐体側板
Ｐ・・・印刷用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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