(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流路が形成された流路部材を収容する第１のケースと、
ヘッドユニットを有する第２のケースと、
前記第１のケース側の前記液体流路と前記第２のケース側の液体流路とをシールして液密に接続する接続部を有するシール部材と、
を備え、前記流路部材からの液体を前記ヘッドユニットのノズルから噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記シール部材と比較して高いガスバリア性を有する流路隔離部材が、前記第１のケースと前記シール部材との間に配置され、
前記流路部材は、前記第１のケースに前記流路隔離部材が接合されて当該第１のケース内に画成される封止空間内に配置されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１のケースは、前記シール部材と比較して高いガスバリア性を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記シール部材は、外周に沿って外壁を有し、該外壁を前記流路隔離部材と前記第２のケース側の構成部材とにそれぞれ当接して密着させることにより、前記接続部が配置された空間を封止することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記流路隔離部材は、前記シール部材の前記外壁が当接される部分に外周に沿って延在する溝を有し、当該部分に前記外壁が当接されることで抵抗通路が形成され、
前記抵抗通路は、前記封止空間と連通するとともに大気と繋がる大気開放路と連通することを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１のケースは、前記流路部材の配置位置を規定する位置決めピンを有し、
前記流路部材は、前記位置決めピンが挿通される挿通孔を有し、
前記流路隔離部材は、前記位置決めピンの先端部が嵌合する凹部を有し、
前記位置決めピンは、前記挿通孔に挿通されて前記凹部に嵌合することにより、前記流路部材および前記流路隔離部材により覆われた状態で前記封止空間内に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１のケースは、前記流路部材の配置位置を規定する位置決めピンを有し、
前記流路部材および前記流路隔離部材は、前記位置決めピンが挿通される挿通孔を有し、
前記位置決めピンは、前記挿通孔に挿通され、当該挿通孔から露出した先端部が封止材により封止された状態で前記封止空間内に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記流路部材は、複数の流路構成部材が積層されて構成され、
前記流路構成部材のうちの１つが前記流路隔離部材であることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、および、これを備える液体噴射装置に関するものであり、特に、複数の流路構成部材が積層されて構成された流路部材を備える液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
液体噴射ヘッドは、液体を貯留した液体供給源から液体を導入し、当該液体を圧電素子や発熱素子等の駆動素子を駆動することによりノズルから液滴として噴射させる。この液体噴射ヘッドには、複数の構成部品が積層されて構成される液体流路を有するものがある。例えば、特許文献１に開示されている液体噴射ヘッドは、上側ケース部材と、下側ケース部材とを含む上下ケース部材内に、第１の流路部材とフィルターと第２の流路部材とを含む流路部材を収容する構成となっている。また、上側ケース部材および流路部材を含む流路部と下側ケース部材との間には、弾性材からなるシール部材（ブッシュ）が設けられており、このシール部材により、流路部側の流路と下側ケース部材側の流路とがシール部材の貫通口を介して液密に連通されている。この構成においては、シール部材には、大気開放路が設けられ、シール部材の内周側の空間と外周側の大気とが連通されている。このため、シール部材の下方側の空間とシール部材と流路部の間に生じる空間とは、この大気開放路を介して大気開放されている。この大気開放路は、シール部材の環状シール部位の上面に形成された細い溝と、環状シール部位の上面と密着する流路部材と、で形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−０５１６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記構成において、上側ケース部材は下側ケース部材に対してケースの下部側から例えばネジ止めやカシメ止めにより固定されているだけであるため、上下ケース部材の内部は気密性・液密性が確保されたものではない。また、シール部材として用いられる一般的なエラストマーは、ガスバリア性が高められたものではないため、液体流路内の水分（溶媒成分）が、上記大気開放路以外にもシール部材の素材を水蒸気として透過して大気に拡散してしまう。そのため、特に流路部材における液体流路内の液体の増粘が進行してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路部材における液体流路内の液体の増粘を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体流路が形成された流路部材を収容する第１のケースと、
ヘッドユニットを有する第２のケースと、
前記第１のケース側の前記液体流路と前記第２のケース側の液体流路とをシールして液密に接続する接続部を有するシール部材と、
を備え、前記流路部材からの液体を前記ヘッドユニットのノズルから噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記シール部材と比較して高いガスバリア性を有する流路隔離部材が、前記第１のケースと前記シール部材との間に配置され、
前記流路部材は、前記第１のケースに前記流路隔離部材が接合されて当該第１のケース内に画成される封止空間内に配置されたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、流路部材が、第１のケースに高いガスバリア性を有する流路隔離部材が接合されて当該第１のケース内に画成される封止空間内に配置されたので、封止空間内に配置された流路部材における液体流路内の液体の水分（溶媒成分）が蒸発することが抑制される。これにより、流路部材における液体流路内の液体の増粘が抑制される。
【０００９】
上記構成において、前記第１のケースは、前記シール部材と比較して高いガスバリア性を有する構成を採用することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、シール部材と比較してガスバリア性が高い第１のケースに流路離隔部材が接合されて封止空間が画成されるので、封止空間内に配置された流路部材における液体流路内の液体の水分が蒸発することがより確実に抑制される。
【００１１】
上記構成において、前記シール部材は、外周に沿って外壁を有し、該外壁を前記流路隔離部材と前記第２のケース側の構成部材とにそれぞれ当接して密着させることにより、前記接続部が配置された空間を封止する構成を採用することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、シール部材外壁が流路隔離部材と第２のケース側の構成部材とにそれぞれ当接して密着することにより、接続部が配置された空間がシールされるので、つまり、第１のケース側の液体流路と第２のケース側の液体流路との接続部が、二重にシールされるので、第１のケース側の液体流路と第２のケース側の液体流路との接続部から液体流路内の液体の水分（溶媒）の蒸発が抑制される。
【００１３】
上記構成において、前記流路隔離部材は、前記シール部材の前記外壁が当接される部分に外周に沿って延在する溝を有し、当該部分に前記外壁が当接されることで抵抗通路が形成され、
前記抵抗通路は、前記封止空間と連通するとともに大気と繋がる大気開放路と連通する構成を採用することができる。
【００１４】
この構成によれば、抵抗通路により封止空間内の液体流路からの水分蒸発を抑えつつ（高湿度状態を維持しつつ）封止空間を大気開放するので、封止空間内の圧力変化を緩和することができる。
【００１５】
上記構成において、前記第１のケースは、前記流路部材の配置位置を規定する位置決めピンを有し、
前記流路部材は、前記位置決めピンが挿通される挿通孔を有し、
前記流路隔離部材は、前記位置決めピンの先端部が嵌合する凹部を有し、
前記位置決めピンは、前記挿通孔に挿通されて前記凹部に嵌合することにより、前記流路部材および前記流路隔離部材により覆われた状態で前記封止空間内に配置されている構成を採用することができる。
【００１６】
この構成によれば、位置決めピンは、挿通孔に挿通されて凹部に嵌合することにより、流路部材および流路隔離部材により覆われた状態で封止空間内に配置されているので、位置決めピンが挿通される挿通孔を通じて封止空間が大気と連通することが防止され、封止空間の気密性・液密性を確保しつつ、位置決めピンによる流路部材および流路隔離部材の位置決めが可能となる。
【００１７】
また、前記第１のケースは、前記流路部材の配置位置を規定する位置決めピンを有し、
前記流路部材および前記流路隔離部材は、前記位置決めピンが挿通される挿通孔を有し、
前記位置決めピンは、前記挿通孔に挿通され、当該挿通孔から露出した先端部が封止材により封止された状態で前記封止空間内に配置されている構成を採用することもできる。
【００１８】
この構成によれば、位置決めピンは、挿通孔に挿通され、当該挿通孔から露出した先端部が封止材により封止された状態で封止空間内に配置されているので、位置決めピンが挿通される挿通孔を通じて封止空間が大気と連通することが防止され、封止空間の気密性・液密性を確保しつつ、位置決めピンによる流路部材および流路隔離部材の位置決めが可能となる。
【００１９】
上記構成において、前記流路部材は、複数の流路構成部材が積層されて構成され、
前記流路構成部材のうちの１つが前記流路隔離部材である構成を採用することが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、流路構成部材のうちの１つが流路隔離部材であるため、流路部材を構成する流路構成部材の他に流路隔離部材を別途設ける必要がなく、液体噴射ヘッドの小型化が可能となる。また、材料コストの削減も可能となる。
【００２１】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、流路部材の液体の増粘が抑制されるので、ノズルから噴射される液体の重量や飛翔速度等の噴射特性が液体の増粘により変動することが抑制される。このため、信頼性が向上する。また、液体噴射ヘッドのノズル面をキャップにより封止して吸引することによりノズルから増粘した液体を排出するメンテナンス動作における液体の消費量を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】液体噴射装置（プリンター）の構成を説明する斜視図である。
【図２】液体噴射ヘッド（記録ヘッド）の分解斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドの断面図である。
【図４】位置決めピン周辺の要部断面図である。
【図５】第２の流路部材の下面図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図７】図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】第１のケースおよび流路部材の大気開放経路について説明する断面図である。
【図９】ヘッドユニットの断面図である。
【図１０】第２の実施形態における位置決めピン周辺の要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッド３と称する。）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、単にプリンター１と称する。）を例に挙げて説明する。
【００２５】
まず、本実施形態におけるプリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対し、液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５を備えている。また、プリンター１は、記録媒体２を副走査方向に搬送する搬送機構等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明における液体の一種であり、液体供給源あるいは液体貯留容器としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対し着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。
【００２６】
プリンター１において、キャリッジ４の主走査方向における一端側には、キャリッジ４の待機位置であるホームポジションが設けられている。このホームポジションにはキャッピング機構６（メンテナンス機構の一種）が配設されている。キャッピング機構６は、記録ヘッド３のノズル７５（図９参照）が形成されたノズル面に当接し得るトレイ状のキャップ６′（封止部材）を有する。このキャッピング機構６では、キャップ６′の上面側の開口に記録ヘッド３のノズル７５を臨ませた状態でノズル面に密着可能に構成されている。ノズル面にキャップ６′が密着した封止状態とすることで、キャップ６′内には封止空部が画成される。キャップ６′には、図示しないポンプユニットが接続されている。ポンプユニットは、例えば、チューブポンプ等の吸引ポンプを備え、この吸引ポンプの作動によって封止空部内を負圧化することができる。そして、ノズル面への密着状態で吸引ポンプを作動し、封止空部（密閉空間）内を負圧化すると、ノズル７５から記録ヘッド３内のインクや気泡が吸引されてキャップ６′の封止空部内に排出されるようになっている。つまり、このキャッピング機構６は、記録ヘッド３のインク流路内の増粘したインクや気泡を強制的に吸引排出するメンテナンス動作の一種であるクリーニング動作を行う。
【００２７】
図２は、上記記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図、図３は、記録ヘッド３の断面図である。以下においては、記録ヘッド３のノズル面を基準とし当該ノズル面に直交する方向を上下方向とする。本実施形態における記録ヘッド３は、上側の第１のケース１０と下側の第２のケース１１とを備え、これらの第１のケース１０および第２のケース１１の内部に、流路部材９、シール部材１８、回路基板１７、流路接続部材１９、複数のヘッドユニット１３等が積層されて収容されている。また、流路部材９は、複数の流路構成部材、具体的には、第１の流路部材１４、フィルター基板１６、および、第２の流路部材１５が積層されて構成されている。第１のケース１０と第２のケース１１とは、上記各構成部材を内部に収容した状態で、例えば、ネジあるいはカシメピン等の締結部材３０により相互に固定される。
【００２８】
第１のケース１０は、複数の導入針２２が立設された部材であり、例えば、ガラスフィラー等を含有する変性ポリフェニレンエーテル（変性ＰＰＥ：ザイロン（登録商標））等のシール部材１８と比較してガスバリア性が高められた合成樹脂から作製されている。また、本実施形態において流路部材９を構成している各流路構成部材（第１の流路部材１４、フィルター基板１６、および第２の流路部材１５）も、同様にシール部材１８と比較してガスバリア性の高められた合成樹脂から作製されている。なお、流路部材９の流路構成部材のうちの少なくとも第２の流路部材１５がシール部材１８と比較してガスバリア性の高められた合成樹脂から作製されていればよく、これ以外の流路構成部材については必ずしもガスバリア性が高められた合成樹脂でなくてもよい。
【００２９】
本実施形態においては各色のインクカートリッジ７のインクに対応させて合計４本の導入針２２が、記録ヘッド３の走査方向に対応する方向に沿って横並びに第１のケース１０における導入針基板２１の上面に設けられている。この導入針２２は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、インクカートリッジ７内に貯留されたインクを、図示しない内部の針流路を通じて第１の流路部材１４側に導入する。なお、インクカートリッジ７から記録ヘッド３内にインクを導入する構成としては、導入針２２を用いるものには限られず、例えば、インクの供給側と受側にそれぞれインクを吸収可能な多孔質部材を設け、この多孔質部材同士を接触させることで、インクを授受する構成を採用することも可能である。
【００３０】
また、図３に示すように、本実施形態における第１のケース１０において導入針基板２１の四方の縁からは上方および下方（第２のケース１１側）に向けて側壁２３が形成されている。この側壁２３と導入針基板２１とにより囲まれた空間に、流路部材９における流路構成部材のうちの第１の流路部材１４およびフィルター基板１６が収容される。また、この第１の流路部材１４およびフィルター基板１６が収容された空間の下面側の開口を塞ぐように、第２の流路部材１５（本発明における流路隔離部材の一種）が側壁２３の下端面と接着剤によって接合される。この接着剤としては、接合部分の気密性・液密性を確保することが可能なもの、例えば、エポキシ系接着剤が用いられる。これにより、第１のケース１０と第２の流路部材１５とにより、外気から隔離された封止空間１２が画成される。したがって、流路部材９の内部の液体流路（後述する案内流路３１、フィルター室２４、および供給流路３３を含む一連の流路）は、封止空間１２内に収容される。この封止空間１２は、内部の液体流路から当該液体流路を形成する壁面の一部を透過した水分の過剰な蒸発を抑制する水分蒸発管理空間として機能する。なお、封止空間１２は、完全に密閉された空間ではなく、後述する大気開放経路を通じて大気開放されている。この大気開放経路の一部の抵抗通路によって大気開放されつつも流路からの水分蒸発が抑制される。この点については後述する。
【００３１】
図４は、位置決めピン２６の周辺における断面図である。第１のケース１０における導入針基板２１の下面には、下方（第２のケース１１側）に向けて位置決めピン２６が複数突設されている。この位置決めピン２６は、流路部材９における流路構成部材の積層方向に直交する方向の相対位置（配置位置）を規定するためのピンである。これに対応して、第１の流路部材１４には、位置決めピン２６が挿通可能な位置決め孔２７（本発明における挿通孔に相当）が板厚方向を貫通する状態で開設されている。同様に、フィルター基板１６にも位置決めピン２６が挿通可能な位置決め孔２８（本発明における挿通孔に相当）が板厚方向を貫通する状態で開設されている。一方、本実施形態における第２の流路部材１５には、位置決めピン２６の先端部が嵌合可能な位置決め凹部２９（本発明における凹部に相当）が形成されている。すなわち、この位置決め凹部２９は、第２の流路部材１５の上面（第１のケース１０側の面）における前記位置決めピン２６の先端部に対応する位置から第２の流路部材１５の下面（第２のケース１１側の面）側に向けて、第２の流路部材１５の厚さ方向に貫通することなく窪んだ状態に形成されている。そして、位置決めピン２６が、第１の流路部材１４およびフィルター基板１６の位置決め孔２７，２８にそれぞれ挿通され、その先端部が第２の流路部材１５の位置決め凹部２９に嵌合した状態で第１の流路部材１４、フィルター基板１６および第２の流路部材１５が積層されると、これらの流路構成部材の相対位置が規定される。また、位置決めピン２６は、第１の流路部材１４、フィルター基板１６および第２の流路部材１５により覆われた状態で封止空間１２に配置される。このため、位置決めピン２６が挿通される位置決め孔２７，２８を通じて封止空間１２が大気と連通することが防止され、封止空間１２の気密性・液密性を確保しつつ、位置決めピン２６による流路構成部材の位置決めが可能となる。
【００３２】
流路構成部材の一つである第１の流路部材１４は、導入針２２から導入されたインクをフィルター基板１６のフィルター室２４（後述）に案内する案内流路３１が、上記導入針２２に対応して複数形成された合成樹脂製の部材である。各案内流路３１は、第１の流路部材１４の上面において上記導入針２２にそれぞれ連通する。また、各案内流路３１は、第１の流路部材１４の面方向において互いに交わることなくそれぞれ独立した流路として延在し、途中で２本の分岐流路に分岐する。各分岐流路は、第１の流路部材１４の下面にそれぞれ開口して２つのフィルター室２４に連通する。本実施形態においては、４本の導入針２２に対応して合計８本の分岐流路が第１の流路部材１４に形成されている。
【００３３】
流路構成部材の一つであるフィルター基板１６は、フィルター２５が配設されるフィルター室２４が形成された部材である。フィルター室２４は、上面側が開口した空部である。このフィルター室２４の底の部分にフィルター２５が固定されている。フィルター２５は、インク流路を流下するインクを濾過する部材であり、例えば、金属をメッシュ状に細かく編み込んだものや、薄手の金属製板材に塑性加工により多数の貫通孔を形成したものが用いられる。インクに気泡や異物が混入されている場合に、当該気泡や異物が、フィルター２５によってフィルター室２４内に捕捉され、ヘッドユニット１３側に流れ込むことが防止される。また、フィルター室２４の底部には、導出口３２が開口している。この導出口３２は、フィルター基板１６の下面において第２の流路部材１５の供給流路３３と連通する。
【００３４】
流路構成部材の一つであって流路隔離部材の一種である第２の流路部材１５は、フィルター室２４側から導入されたインクを各ヘッドユニット１３のヘッド流路に供給する供給流路３３が複数形成された部材である。本実施形態においては、合計８条の供給流路３３が、第２の流路部材１５の面方向において互いに交わることなくそれぞれ独立した流路として延在している。各供給流路３３は、当該第２の流路部材１５の上面において上記フィルター室２４の導出口３２と連通するとともに、第２の流路部材１５の板厚方向を貫通した連通口３４と連通する。連通口３４のうちの一部は、後述するシール部材１８の連通孔３７を介して流路接続部材１９の流路接続部３５内の接続流路３６と連通し、さらに接続流路３６を介して第２のケース１１の導入流路５０と連通する。また、連通口３４のうちの残りは、シール部材１８の連通孔３７を介して第２のケース１１の導入部４９と連通することで導入流路５０と連通する。すなわち、シール部材１８は、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路とをシールして液密に連通する。なお、シール部材１８の連通孔３７を境界としてこれよりも上流側を第１のケース１０側の液体流路とし、同じく下流側を第２のケース１１側の液体流路とする。また、シール部材１８において連通孔３７により第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路とが接続される部分が、本発明における接続部に相当する。
【００３５】
図５は、第２の流路部材１５の下面図である。また、図６は、図５におけるＡ−Ａ線断面図である。さらに図７は、図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。第２の流路部材１５の下面において、複数の連通口３４が開設された領域を囲むように第１の周壁３８が下方（第２のケース１１側）に向けて立設されており、さらにこの第１の周壁３８との間に所定の間隔を隔てた外側に第２の周壁３９が同様に立設されている。この第１の周壁３８と第２の周壁３９との間に第２の流路部材１５の外周に沿って形成された窪み（図５においてハッチングで示す部分）は、シール部材１８の外壁５１が嵌合される嵌合部４０として機能する。この嵌合部４０には、当該嵌合部４０の延在方向に沿って細長い溝４１が形成されている。図６に示すように、溝４１は、嵌合部４０にシール部材１８の外壁５１が嵌合されて当該外壁５１の上端面が当接されることで大気開放経路の一部である抵抗通路を画成する。この抵抗通路は、水分の通過に対して抵抗となるように通路断面積および全長が定められた通路である。また、溝４１においてそれぞれ異なる位置に第１貫通口４２と第２貫通口４３が開口している。これらの第１貫通口４２および第２貫通口４３は、第２の流路部材１５の厚さ方向を貫通する貫通孔である。図７に示すように、第１貫通口４２は、第１の流路部材１４およびフィルター基板１６が配置された封止空間１２と連通する。すなわち、封止空間１２は、第１貫通口４２を通じて大気開放経路と連通する。
【００３６】
図８は、第１のケース１０および流路部材９の大気開放経路について説明する断面図である。上記の第２貫通口４３は、フィルター基板１６、第１の流路部材１４、第１のケース１０に形成された大気開放路４４と連通している。大気開放路４４は、フィルター基板１６に設けられた第１大気連通路４５と、第１の流路部材１４に設けられた第２大気連通路４６と、第１のケース１０の導入針基板２１に設けられた第３大気連通路４７と、が一連に繋がることで構成された、大気開放経路の一部である。大気開放路４４の通路断面積は、上記抵抗通路の通路断面積よりも十分に大きく設定されている。また、この大気開放路４４の上記第２貫通口４３と連通する一端とは反対側の他端は、第１のケース１０の大気開放口４８から大気と連通している。このように、封止空間１２は、第１貫通口４２から抵抗通路、第２貫通口４３、および大気開放路４４を通り大気開放口４８から大気開放されている。これにより、封止空間１２内の液体流路からの水分蒸発を抑えつつ（高湿度状態を維持しつつ）、封止空間１２内の圧力変化を緩和することができる。
【００３７】
第１のケース１０の第２の流路部材１５と第２のケース１１との間には、シール部材１８、回路基板１７、および、流路接続部材１９が配置される。シール部材１８は、例えば、エラストマーなどの弾性材によって作製された部材であり、第２の流路部材１５の連通口３４に対応する位置には連通孔３７が開設されている。連通孔３７は、第２の流路部材１５の連通口３４の下端開口と第２のケース１１の導入部４９の上端開口との間、若しくは連通口３４の下端開口と流路接続部材１９の流路接続部３５との間、すなわち、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路との間に配置される。そして、これらの流路の開口の周縁部に対して連通孔３７の開口周縁部が弾性によりそれぞれ密着することでシール（封止）して、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路とを液密状態で連通する。連通孔３７の上下の開口周縁部には、第１のケース１０側および第２のケース１１側に向けて突出した円筒状の囲い壁３７ａ（図２および図３参照）が形成されている。この囲い壁３７ａの上端面および下端面が、それぞれ第２の流路部材１５および回路基板１７に密着することにより、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路との接続部をシールする。
【００３８】
また、シール部材１８の外周縁には当該外周縁から第１のケース１０側および第２のケース１１側に向けてそれぞれ延出した外壁５１が設けられている。シール部材１８が、第２の流路部材１５と回路基板１７との間に位置決めされた状態で配置されると、外壁５１の上端部は第２の流路部材１５の上記嵌合部４０に嵌合して当該第２の流路部材１５の溝４１が形成された部分と当接して上記の抵抗通路を形成する。また、外壁５１の下端部は回路基板１７の上面と当接する。記録ヘッド３の各構成部材が積層されて組み付けられた状態では、シール部材１８の外壁５１が第２の流路部材１５と回路基板１７との間で押しつぶされて両者に弾性によりそれぞれ密着する。これにより、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路との接続部が配置された流路接続空間５２（図３参照）の周囲を囲むようにシール部材１８の外壁５１によりシール（封止）される。つまり、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路との接続部は、二重にシールされることになる。これにより、第１のケース１０側の液体流路と第２のケース１１側の液体流路との接続部から液体流路内のインクの水分（溶媒）の蒸発が抑制される。また、本実施形態においては、囲い壁３７ａと外壁５１とにより接続部がさらに（三重に）シールされるので、接続部から液体流路内のインクの水分（溶媒）の蒸発がより効果的に抑制される。
【００３９】
回路基板１７は、所謂プリント基板である。本実施形態における回路基板１７は、プリンター本体側からのフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）８（図１参照）が接続されるコネクター５４を備え、このＦＦＣ８を通じてプリンター本体側から駆動信号等の制御信号を受けてフレキシブル基板５５を通じてヘッドユニット１３の圧電素子７１（図９参照）に印加する。即ち、回路基板１７は、駆動素子（能動素子）としての圧電素子７１を駆動するための駆動信号を中継する基板である。コネクター５４は、上記シール部材１８の外壁５１の下端面が当接されて封止される位置よりも外側に配置されている。これにより、上記接続部が配置された流路接続空間５２の封止状態を維持しつつコネクター５４に対してＦＦＣ８の抜き差しができる。この回路基板１７には、フレキシブル基板５５や、第２のケース１１の導入部４９や、流路接続部材１９の流路接続部３５が挿通される逃げ穴５６が開設されている。そして、回路基板１７は、流路接続部材１９を介在させて第２のケース１１の流路接続部材１９が配置された領域の上面側開口を塞ぐ状態で、当該第２のケース１１に配置される。
【００４０】
流路接続部材１９は、回路基板１７と第２のケース１１との間に配置される合成樹脂製の部材である。本実施形態における流路接続部材１９の上面には、複数の円筒状の流路接続部３５が突設されている。本実施形態における記録ヘッド３には、合計８列のノズル列が設けられており、そのうちの４列に対応する合計４つの流路接続部３５が流路接続部材１９に設けられている。上述したように、各流路接続部３５の内部には接続流路３６が形成されている。そして、接続流路３６の一端は、上述したようにシール部材１８の連通孔３７を介して第２の流路部材１５の連通口３４と連通し、接続流路３６の他端は、第２のケース１１においてノズル面と平行に延在する図示しない平面流路を介して導入流路５０と連通する。また、流路接続部材１９には、フレキシブル基板５５や、第２のケース１１の導入部４９が挿通される逃げ穴５７が開設されている。
【００４１】
第２のケース１１は、内部に形成された収容室５９に複数のヘッドユニット１３を収容する箱体状部材である。この第２のケース１１には、収容室５９内のヘッドユニット１３におけるケース流路６４（後述）と連通する導入流路５０がヘッドユニット１３の各ノズル列に対応して形成されている。また、第２のケース１１は、区画壁６０により上下の領域、すなわち、上記の流路接続部材１９が配置される領域と収容室５９が形成された領域とに区画されている。この区画壁６０の上面には、上記の８つのノズル列のうちの残りの４列に対応する合計４つの円筒状の導入部４９が、導入流路５０の上端部分として突設されている。そして、各導入部４９は、上述したようにシール部材１８の連通孔３７を介して第２の流路部材１５の連通口３４と連通する。この区画壁６０の上面には、各導入部４９を流路接続部材１９の逃げ穴５７に挿通させた状態で当該流路接続部材１９が配置される。また、区画壁６０には、上記平面流路の一端が開口しており、この開口部分に上記流路接続部材１９の接続流路３６が連通される。さらに、区画壁６０には、フレキシブル基板５５が挿通される基板挿通口６１が開設されている。ヘッドユニット１３の圧電素子７１に一端が接続されたフレキシブル基板５５の他端部は、この基板挿通口６１および上記逃げ穴５６，５７を通じて回路基板１７の上面側に引き出されて当該回路基板１７の端子に電気的に接続される。
【００４２】
第２のケース１１の収容室５９は、当該第２のケース１１の下面側に開口している。この収容室５９には、本実施形態においては合計４つのヘッドユニット１３が主走査方向に相当する方向に横並びに位置決めされた状態で収容される。なお、収容室５９に収容されるヘッドユニット１３の数は４つに限られない。収容室５９内の各ヘッドユニット１３の下面（より具体的には、後述するコンプライアンス基板６８の下面）は、これらのヘッドユニット１３にそれぞれ対応した４つの開口部６２が開設された金属製のヘッドカバー２０に接着剤により固定される。また、このヘッドカバー２０は、第２のケース１１の下面にも接着剤により接合される。これにより、このヘッドカバー２０と上記のシール部材１８とにより、第２のケース１１内の空間が封止される。
【００４３】
図９は、ヘッドユニット１３の内部構成の一例を示す要部断面図である。本実施形態におけるヘッドユニット１３は、複数のヘッドユニット構成部材が積層された状態で合成樹脂製のヘッドケース６５に取り付けて構成されている。ヘッドユニット構成部材は、ノズルプレート６６、コンプライアンス基板６８、連通基板６７、圧力室形成基板６９、振動板７０、圧電素子７１（駆動素子の一種）、および保護基板７２等からなる。
【００４４】
圧力室形成基板６９は、シリコン単結晶基板（以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板６９には、圧力室７３を区画するための空部が、シリコン基板に対する異方性エッチング処理によって複数形成されている。この空部は、圧力室形成基板６９の厚さ方向を貫通して形成されており、一方の開口部が振動板７０で封止されるとともに他方の開口部が連通基板６７で封止されることで圧力室７３が画成される。以下、この空部を含めて圧力室７３と称する。本実施形態における各ヘッドユニット１３のノズルプレート６６には、ノズル７５が複数列設されてなるノズル列がそれぞれ２条形成されているので、圧力室形成基板６９には、圧力室７３の列が各ノズル列に対応して２条形成されている。圧力室７３は、ノズル７５の並設方向（ノズル列方向）に交差（本実施形態においては直交）する方向に長尺な空部である。圧力室形成基板６９が後述する連通基板６７に対して位置決めされた状態で接合されると、圧力室７３の長手方向の一端部は、連通基板６７のノズル連通路７４を介してノズル７５と連通する。また、圧力室７３の長手方向の他端部は、連通基板６７の個別連通口７６を介して共通液室７７と連通する。
【００４５】
圧力室形成基板６９の上面（連通基板６７との接合面とは反対側の面）には、圧力室７３の上部開口を封止する状態で振動板７０が形成されている。この振動板７０は、例えば厚さが約１μｍの二酸化シリコンから構成される。また、この振動板７０上には、図示しない絶縁膜が形成される。この絶縁膜は、例えば、酸化ジルコニウムから成る。そして、この振動板７０および絶縁膜上における各圧力室７３に対応する位置に、圧電素子７１がそれぞれ形成される。本実施形態における圧電素子７１は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子７１は、振動板７０および絶縁膜上に、金属製の下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層、および、金属製の上電極膜（何れも図示せず）が順次積層されて圧力室７３毎にパターニングされている。そして、上電極膜または下電極膜の一方が共通電極とされ、他方が個別電極とされる。また、振動板７０、絶縁膜、および下電極膜が、圧電素子７１の駆動時に駆動領域として機能する。
【００４６】
各圧電素子７１からはリード電極が振動板７０上にそれぞれ延出されており、これらのリード電極の電極端子に相当する部分に、フレキシブル基板５５の一端側の端子が接続される。このフレキシブル基板５５は、例えば、ポリイミド等のベースフィルムの表面に銅箔等で導体パターンを形成し、この導体パターンをレジストで被覆した構成とされる。フレキシブル基板５５の表面には、圧電素子７１の駆動に係る駆動ＩＣ７８（図３参照）が実装されている。各圧電素子７１は、上電極膜および下電極膜間に駆動信号（駆動電圧）が駆動ＩＣ７８の制御により選択的に印加されることで、撓み変形する。
【００４７】
圧力室形成基板６９の下面に接合される連通基板６７は、圧力室形成基板６９と同様にシリコン基板から作製された板材である。この連通基板６７には、圧力室列の各圧力室７３に共通な空部である共通液室７７（リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる）が、異方性エッチングによって形成されている。導入針２２から導入されたインクは、第１のケース１０側の液体流路、すなわち、案内流路３１、フィルター室２４、供給流路３３を流下し、第２の流路部材１５の連通口３４およびシール部材１８の連通孔３７を通り、第２のケース１１側の液体流路、すなわち、接続流路３６、導入流路５０、およびケース流路６４を順次流下して共通液室７７に流入する。共通液室７７に流入したインクは、各圧力室７３に対応して形成された個別連通口７６を通じて圧力室７３にそれぞれ供給される。
【００４８】
連通基板６７の下面には、コンプライアンス基板６８が接合される。このコンプライアンス基板６８は、例えば、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）等のような薄手のコンプライアンスシート８０と、このコンプライアンスシート８０を支持する金属製のシート支持板８１とからなる複合材である。このシート支持板８１の共通液室７７に対向する領域には、この共通液室７７の下面開口に倣った形状にシート支持板８１の一部が除去されたコンプライアンス開口８３が形成されている。このため、共通液室７７の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート８０のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート８０は、共通液室７７の一部を区画している。
【００４９】
シート支持板８１の下面におけるコンプライアンス開口８３に対応する部分は、ヘッドカバー２０によって封止される。これにより、コンプライアンスシート８０の可撓領域と、これに対向するヘッドカバー２０との間には、コンプライアンス空間８４が形成されている。そして、このコンプライアンス空間８４におけるコンプライアンスシート８０の可撓領域が、インク流路内、特に共通液室７７内の圧力変動に応じて共通液室７７側またはコンプライアンス空間８４側に変位する。また、コンプライアンス基板６８の中央部には、ノズルプレート６６の外形に倣った基板開口部８２が開設されている。すなわち、連通基板６７にコンプライアンス基板６８およびノズルプレート６６が接合された状態では、この基板開口部８２内にノズルプレート６６が配置される。なお、コンプライアンスシート８０としては、インク流路（共通液室７７）内の圧力変化に応じて撓むことが可能な可撓部材であれば、例えば、ごく薄いステンレス鋼等の金属板を用いることもできる。
【００５０】
上記圧電素子７１が形成された圧力室形成基板６９の上面には保護基板７２が配置される。この保護基板７２は中空箱体状の部材であり、例えば、シリコン基板等から作製される。この保護基板７２の中央部分には、基板厚さ方向を貫通した配線空部８５が形成されている。この配線空部８５内には、圧電素子７１の上記リード電極とフレキシブル基板５５の一端部との接続部分が配置される。また、この保護基板７２において圧電素子７１に対向する領域、より具体的には圧力室並設方向に直交する方向における配線空部８５の両側には、当該圧電素子７１の駆動を阻害しない程度の大きさの収容空間８６が形成されている。この収容空間８６は、保護基板７２の下面（圧力室形成基板６９との接合面）から上面側に向けて基板厚さ方向の途中まで形成された空間である。
【００５１】
上記のノズルプレート６６は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル７５を列状に開設した板材である。このノズルプレート６６には、所定のピッチで複数のノズル７５が列設されてノズル列が構成されている。本実施形態においては各ヘッドユニット１３のノズルプレート６６に２条のノズル列がそれぞれ形成されている。同一ヘッドユニット１３の２条のノズル列には、同じ種類（色）のインクが割り当てられる。これらのノズル列の組においては、それぞれのノズル７５のノズル列方向における位置が互い違いとなるように配置されているので、ノズル７５の形成ピッチの２倍の記録解像度で記録を行うことができる。本実施形態におけるノズルプレート６６はシリコン基板から作製されている。そして、当該基板に対してドライエッチングを施すことにより円筒形状のノズル７５が形成されている。このノズルプレート６６の縦横の寸法に関し、コンプライアンス基板６８の基板開口部８２およびヘッドカバー２０の開口部６２の縦横の寸法よりも小さく設定されている。そして、ノズルプレート６６が連通基板６７に対し位置決めされた状態で接合されると、これらの開口部６２，８２内にノズルプレート６６が配置される。また、この状態では、連通基板６７のノズル連通路７４とノズル７５とが連通する。
【００５２】
ヘッドケース６５は、合成樹脂製の箱体状部材であり、その下面側には連通基板６７が接合される。このヘッドケース６５の中央部分には、ヘッドケース６５の高さ方向を貫通する状態で貫通空部８８（配線空間の一部）が形成されている。この貫通空部８８は、保護基板７２の配線空部８５と連通して、フレキシブル基板５５が収容される空部を形成する。また、ヘッドケース６５の下面側には、当該下面からヘッドケース６５の高さ方向の途中まで後退した収容空部７９が形成されている。この収容空部７９は、ヘッドケース６５と連通基板６７とが位置決めされて接合された状態で、当該連通基板６７上の圧力室形成基板６９、圧電素子７１、および保護基板７２等を収容可能な程度の大きさに設定されている。上記の貫通空部８８の下端は、収容空部７９の天井面に開口している。
【００５３】
また、ヘッドケース６５には、ヘッドケース６５の高さ方向を貫通するケース流路６４が形成されている。ケース流路６４は、ヘッドケース６５における収容空部７９に対し、圧力室並設方向に直交する方向における外側に外れた位置に形成されている。より具体的には、連通基板６７の各共通液室７７にそれぞれ対応して、収容空部７９の両側にそれぞれ１つずつ、合計２つのケース流路６４が形成されている。そして、ヘッドケース６５に連通基板６７が接合された状態では、各ケース流路６４は、それぞれ対応する共通液室７７と連通する。
【００５４】
ヘッドカバー２０は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態におけるヘッドカバー２０には、上述したようにノズルプレート６６に対応する位置に、当該ノズルプレート６６に形成されたノズル７５を露出させるため、ノズルプレート６６の外形に倣った形状の開口部６２が厚さ方向を貫通する状態で形成されている。本実施形態では、このヘッドカバー２０におけるヘッドカバー２０の下面と開口部６２におけるノズルプレート６６の露出部分とによりノズル面が構成されている。
【００５５】
そして、上記構成の記録ヘッド３では、共通液室７７から圧力室７３を通ってノズル７５に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、駆動ＩＣ７８からの駆動信号に従い圧電素子７１が駆動されることにより、圧力室７３内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル７５からインクが噴射される。
【００５６】
このように本発明に係る記録ヘッド３では、第１のケース１０に高いガスバリア性を有する流路隔離部材である第２の流路部材１５が接合されて当該第１のケース１０内に画成される封止空間１２内に流路部材９が配置されたので、すなわち、ガスバリア性の高い素材により封止空間１２が形成されたので、封止空間１２内に配置された流路部材９における液体流路内のインクの水分（溶媒成分）が蒸発することが抑制される。これにより、流路部材９における液体流路内のインクの増粘が抑制される。また、この構成によれば、流路部材９のインクの増粘が抑制されるので、ノズル７５から噴射されるインクの重量や飛翔速度等の噴射特性がインクの増粘により変動することが抑制される。このため、プリンター１の信頼性が向上する。また、プリンター１では、記録ヘッド３のノズル面をキャップ６′により封止して吸引することによりノズル７５から増粘したインクを排出するメンテナンス動作におけるインクの消費量を低減することが可能となる。
また、流路部材９の流路構成部材のうちの１つが流路隔離部材としても機能する第２の流路部材１５であるため、流路構成部材の他に流路隔離部材を別途設ける必要がなく、記録ヘッド３の小型化が可能となる。また、材料コストの削減も可能となる。
そして、本実施形態においては、シール部材１８と比較してガスバリア性が高い第１のケース１０に第２の流路部材１５が接合されて封止空間１２が画成されるので、封止空間１２内に配置された流路部材９における液体流路内のインクの水分が蒸発することがより確実に抑制される。
【００５７】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００５８】
図１０は、第２の実施形態における位置決めピン周辺の要部断面図である。上記第１の実施形態においては、流路部材９の流路構成部材うち流路隔離部材としても機能する第２の流路部材１５に位置決めピン２６の先端部が嵌合可能な位置決め凹部２９が形成され、これにより、位置決めピン２６は、第１の流路部材１４、フィルター基板１６および第２の流路部材１５により覆われた状態で封止空間１２に配置される構成を例示したが、これには限られない。本実施形態における第２の流路部材１５には、第１の流路部材１４およびフィルター基板１６と同様に、位置決めピン２６が挿通可能な位置決め孔８９（本発明における挿通孔に相当）が板厚方向を貫通する状態で開設されている。そして、位置決めピン２６が、これらの流路構成部材の位置決め孔２７，２８，８９にそれぞれ挿通され、その先端部が第２の流路部材１５の位置決め孔８９において流路部材９の外側（第２の流路部材１５の下面側）に露出する。本実施形態においては、この位置決め孔８９において露出した位置決めピン２６の先端部が、エポキシ系接着剤等の封止材９０により封止されている。これにより、位置決めピン２６が、第１の流路部材１４、フィルター基板１６、第２の流路部材１５、および封止材９０により覆われた状態で封止空間１２に配置される。このため、位置決めピン２６が挿通される位置決め孔２７，２８，８９を通じて封止空間１２が大気と連通することが防止され、封止空間１２の気密性・液密性を確保しつつ、位置決めピン２６による流路構成部材の位置決めが可能となる。なお、その他の構成については第１の実施形態と同様である。
【００５９】
また、上記各実施形態においては、大気開放経路における抵抗通路が、第２の流路部材１５に形成された溝４１にシール部材１８の外壁５１が密着することで形成された構成を例示したが、これには限られず、例えば流路構成部材同士の接合により抵抗通路が形成される構成とすることもできる。この場合、例えば、流路構成部材の少なくとも一方に上記溝４１と同様な溝が形成され、接着剤により他方の流路構成部材が接合されて溝の開口を封止することにより抵抗通路を画成することができる。この構成によれば、よりガスバリア性の高い流路構成部材同士の接合により抵抗通路が形成されることで、抵抗通路から水分が蒸発することがより低減される。
【００６０】
また、流路部材９を構成する流路構成部材として、上記実施形態においては、第１の流路部材１４、フィルター基板１６、および、第２の流路部材１５を例示したが、これには限られない。要するに、少なくとも１以上の流路構成部材と流路隔離部材とを備える構成であればよい。
【００６１】
そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３（ヘッドユニット１３）を例に挙げて説明したが、本発明は、流路部材を備える他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…キャッピング機構，７…インクカートリッジ，８…ＦＦＣ，９…流路部材，１０…第１のケース，１１…第２のケース，１２…封止空間，１３…ヘッドユニット，１４…第１の流路部材，１５…第２の流路部材，１６…フィルター基板，１７…回路基板，１８…シール部材，１９…流路接続部材，２０…ヘッドカバー，２１…導入針基板，２２…導入針，２３…側壁，２４…フィルター室，２５…フィルター，２６…位置決めピン，２７…位置決め孔，２８…位置決め孔，２９…位置決め凹部，３０…締結部材，３１…案内流路，３２…導出口，３３…供給流路，３４…連通口，３５…流路接続部，３６…接続流路，３７…連通孔，３８…第１の周壁，３９…第２の周壁，４０…嵌合部，４１…溝，４２…第１貫通口，４３…第２貫通口，４４…大気開放路，４５…第１大気連通路，４６…第２大気連通路，４７…第３大気連通路，４８…大気開放口，４９…導入部，５０…導入流路，５１…外壁，５２…流路接続空間，５４…コネクター，５５…フレキシブル基板，５６…逃げ穴，５７…逃げ穴，５９…収容室，６０…区画壁，６１…基板挿通口，６２…開口部，６４…ケース流路，６５…ヘッドケース，６６…ノズルプレート，６７…連通基板，６８…コンプライアンス基板，６９…圧力室形成基板，７０…振動板，７１…圧電素子，７２…保護基板，７３…圧力室，７４…ノズル連通路，７５…ノズル，７６…個別連通口，７７…共通液室，７８…駆動ＩＣ，７９…収容空部，８０…コンプライアンスシート，８１…シート支持板，８２…基板開口部，８３…コンプライアンス開口，８４…コンプライアンス空間，８５…配線空部，８６…収容空間，８８…貫通空部，８９…位置決め孔，９０…封止材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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