(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に通じる共通液室と、
前記複数の個別液室にそれぞれ通じる循環流路と、
前記複数の循環流路が通じる循環共通液室と、を有し、
前記共通液室の一部と前記循環共通液室とは、ノズル配列方向と直交する方向おいて並べて配置され、
前記共通液室の残部は、液体吐出方向において、前記循環共通液室と重複する部分を含み、
前記共通液室の残部は、前記循環共通液室と並ぶ前記一部よりも並び方向の幅が広く、
前記共通液室の残部の壁面を形成する復元可能に変形可能な振動減衰部材を備えている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記振動減衰部材は薄膜部材である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記薄膜部材は、復元可能に変形可能な薄肉部と、薄肉部の周囲の厚肉部とで構成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記薄膜部材を挟んで前記共通液室と反対側に、前記薄膜部材の変形を許容する室が設けられている
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記振動減衰部材は弾性体である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記液体吐出方向において、前記ノズル側から、前記循環共通液室、前記共通液室の残部、前記振動減衰部材の順に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）として、複数の個別液室内の液体を循環させる循環型ヘッドが知られている。
【０００３】
例えば、複数の個別液室に液体を供給する共通液室（共通供給流路）と複数の個別液室に通じて液体が戻される循環共通液室（共通戻り流路）とを、ヘッドのフレーム部材に、ノズル配列方向と直交する方向において並べて配置したものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−０７１２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に開示されているように、循環共通液室を、ノズル配列方向と直交する方向において、共通液室と並べて配置すると、ヘッドの幅が大きくなって大型化するという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの大型化を抑制しつつ、共通液室の振動を効果的に抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に通じる共通液室と、
前記複数の個別液室にそれぞれ通じる循環流路と、
前記複数の循環流路が通じる循環共通液室と、を有し、
前記共通液室の一部と前記循環共通液室とは、ノズル配列方向と直交する方向おいて並べて配置され、
前記共通液室の残部は、液体吐出方向において、前記循環共通液室と重複する部分を含み、
前記共通液室の残部は、前記循環共通液室と並ぶ前記一部よりも並び方向の幅が広く、
前記共通液室の残部の壁面を形成する復元可能に変形可能な振動減衰部材を備えている
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ヘッドの大型化を抑制しつつ、共通液室内の振動を効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図３】同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図５】図２のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図６】ダンパ室部材の平面説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの減衰部材保持部材の平面説明図である。
【図９】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図１０】同装置の要部側面説明図である。
【図１１】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１２】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。なお、図１では吐出方向を下向きにして示しているが、図２及び図３では吐出方向を上向きにして示している。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、第１フレーム部材である共通液室部材２０及び第２フレーム部材である減衰部材保持部材８０と、カバー２１とを備えている。共通液室部材２０及び減衰部材保持部材８０でヘッドのフレーム部材を構成している。
【００１２】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。
【００１３】
流路板２は、ノズル４に通じる通路５、通路５に通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７に通じる液導入部８を形成する貫通穴や溝部を形成している。
【００１４】
振動板部材３は、液導入部８と共通液室部材２０に形成される共通液室１０とを通じる開口９を有している。
【００１５】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材である。この振動板部材３は２層構造とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域（振動板）３０を形成している。この振動板部材３と流路板２で流路部材を構成している。
【００１６】
そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００１７】
この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００１８】
ここでは、圧電部材１２の圧電素子１２Ａは駆動波形を与えて駆動させる圧電素子とし、圧電素子１２Ｂは駆動波形を与えないで単なる支柱として使用しているが、すべての圧電素子１２Ａ、１２Ｂを駆動させる圧電素子として使用することもできる。
【００１９】
そして、圧電素子１２Ａを振動板部材３の振動領域３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。また、圧電素子１２Ｂを振動板部材３の厚肉部である凸部３０ｂに接合している。
【００２０】
圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられている。
【００２１】
共通液室部材２０は、振動板部材３に接合されて、個別液室６に液体を供給する共通液室１０と、個別液室６から戻される液体が流入する循環共通液室４０とを形成する。ここで、循環共通液室４０は振動板部材３側に配置されている。
【００２２】
また、流路板２には、個別液室６と反対側であるノズル板１側に各個別液室６に通じる循環流路４１、循環流路４１と通路５とを通じる循環抵抗部４２を形成する溝部と、循環流路４１と循環共通液室４０とを通じる通路４３となる貫通穴が形成されている。また、振動板部材３には、通路４３と循環共通液室４０とを通じる開口４４が形成されている。
【００２３】
なお、図１に示すように、共通液室１０に通じる供給ポート２３と、循環共通液室４０に通じる循環ポート（排出ポート）４６が外部に配置されている。
【００２４】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００２５】
その後、圧電素子１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２６】
そして、圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の吐出のための動作に移行する。
【００２７】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００２８】
次に、本実施形態における共通液室及び循環共通液室並びにダンパ部材の構成の詳細に図４ないし図６も参照して説明する。図４は図２のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図、図５は図２のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向に沿う断面説明図、図６はダンパ室部材の平面説明図である。
【００２９】
共通液室部材２０は、前述したように、個別液室６に液体を供給する共通液室１０と、個別液室６から戻される液体が流入する循環共通液室４０とが形成されている。ここで、循環共通液室４０は、共通液室１０を流路部材（ここでは、振動板部材３）に接合する側に配置されている。
【００３０】
循環共通液室４０は、ヘッドの面内方向で、ノズル配列と直交する方向において、共通液室１０の一部１０Ａと並んで配置されている。共通液室１０は、循環共通液室４０に並ぶ部分（一部）１０Ａと、循環共通液室４０に並ばない部分（残部）１０Ｂとを含んでいる。
【００３１】
本実施形態では、共通液室１０の個別液室６に通じる側を下流側とするとき、循環共通液室４０に並ぶ部分１０Ａは下流側の部分であり、循環共通液室４０に並ばない部分１０Ｂは上流側の部分である。
【００３２】
共通液室１０の循環共通液室４０に並ばない部分１０Ｂのノズル配列方向と直交する方向の幅（以下、単に「幅」という。）Ｌ１が、共通液室１０の循環共通液室４０に並ぶ部分１０Ａの幅Ｌ２よりも広い。
【００３３】
そして、共通液室１０の循環共通液室４０に並ばない部分１０Ｂの壁面を形成する復元可能に変形可能な振動減衰部材としてのダンパ部材８１を備えている。ダンパ部材８１は薄膜部材であり、共通液室部材２０と減衰部材保持部材８０とに挟まれて保持されている。
【００３４】
減衰部材保持部材８０は、ダンパ部材８１を挟んで共通液室１０と反対側に、ダンパ部材８１の変形を許容する室であるダンパ室（大気連通室）８２を形成し、ダンパ室８２を大気に開放する大気開放連通穴８３が設けられている。
【００３５】
また、減衰部材保持部材８０には、共通液室１０を供給ポート２３に通じる連通路２５及び連通路２６が設けられ、循環共通液室４０と循環ポート４６を通じる連通路４８が設けられている。なお、ダンパ部材８１には、連通路２５、４８に対応して開口が設けられている。また、ダンパ部材８１には圧電アクチュエータ１１用の貫通穴８４が設けられている。
【００３６】
このように、ノズル配列方向において、循環共通液室４０と共通液室１０の一部の部分１０Ａとが並べて配置されているので、循環共通液室４０と共通液室１０全体を並べて配置した場合よりもヘッド幅を小さくできる。
【００３７】
一方、共通液室１０の循環共通液室４０に並ばない部分１０Ｂの幅Ｌ１が、循環共通液室４０に並ぶ部分１０Ａの幅Ｌ２よりも広く形成され、部分１０Ｂの壁面に振動減衰部材であるダンパ部材８１が配置されているので、大きなダンパ面積を確保することができる。
【００３８】
このようにして、ヘッドの大型化を抑制しつつ、共通液室内の振動を効果的に抑制することができる。
【００３９】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７を参照して説明する。図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００４０】
本実施形態では、ダンパ部材８１は、振動板部材３と同様に、復元可能に変形可能な薄肉部８１ａと、薄肉部８１ａの周囲の厚肉部８２ｂとで構成されている。ダンパ部材８１の厚肉部８２ｂを共通液室部材２０と減衰部材保持部材８０との間に挟んでいる。
【００４１】
このように構成することで、ダンパ部材の取り扱い性が向上する。また、ダンパ部材と振動板部材をともにＮｉ電鋳膜とすることで、高温硬化型接着剤を使用しても振動板部材と線膨張係数を揃えることができ、部品の反りを抑制できる。
【００４２】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同ヘッドの減衰部材保持部材の平面説明図である。
【００４３】
減衰部材保持部材８０には、共通液室１０に面して弾性体保持部８５を設け、弾性体保持部８５内に共通液室１０の壁面を形成する粘弾性体などの弾性体８６を収容している。この場合、前記第１実施形態のダンパ部材を備えていないが、前記ダンパ室８２内に弾性体を充填することもできる。
【００４４】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。
【００４５】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００４６】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００４７】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００４８】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００４９】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００５０】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００５１】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００５２】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００５３】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００５４】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００５５】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００５６】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００５７】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００５８】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。
【００５９】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００６０】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００６１】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。
【００６２】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００６３】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００６４】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００６５】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００６６】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００６７】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００６８】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００６９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００７０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００７１】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００７２】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００７３】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００７４】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００７５】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００７６】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００７７】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００７８】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００７９】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００８０】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【００８１】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００８２】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００８３】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
１１  圧電アクチュエータ
２０  共通液室部材
４０  循環共通液室
４１  循環流路
８０  減衰部材保持部材
８１  ダンパ部材（薄膜部材）
８５  弾性体保持部
８６  弾性体
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
0006707890.tif 000002
【図２】
0006707890.tif 000003
【図３】
0006707890.tif 000004
【図４】
0006707890.tif 000005
【図５】
0006707890.tif 000006
【図６】
0006707890.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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