(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント回路基板のテスト装置（１）のクロスメンバユニット（２）であって、
前記クロスメンバユニット（２）は、
テストされるプリント回路基板を配置することができるテスト場にわたる少なくとも１つのクロスメンバ（９）と、
前記プリント回路基板をテストするテストフィンガ（８）と、
前記テストフィンガ（８）を担持する位置決めユニット（６）と
を含み、
前記クロスメンバユニット（２）は立体的な形状を有し、
前記クロスメンバユニット（２）は、前記位置決めユニット（６）を直線的に移動可能に保持するように設計されており、それによって、前記テストフィンガ（８）は前記テスト場の少なくとも一部を走査することが可能であり、
１つの前記クロスメンバ（９）は、前記位置決めユニット（６）のうちの少なくとも１つをガイドするように、少なくとも２つのリニアガイド（５）を互いに独立して保持するように設計され、
前記リニアガイド（５）は、１つの前記クロスメンバ（９）に平行かつ直接に取り付けられ、
前記位置決めユニット（６）の少なくとも２つのグループは、該２つのグループの移動経路が互いに影響を与えることなく単一の前記クロスメンバ（９）上を移動することができることを特徴とする、クロスメンバユニット。
【請求項２】
前記リニアガイド（５）は各クロスメンバ（９）の側面に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のクロスメンバユニット。
【請求項３】
前記クロスメンバ（９）のうちの少なくとも１つは２つのリニアガイド（５）を有し、該２つのリニアガイド（５）は互いに平行に延びることを特徴とする、請求項１または２に記載のクロスメンバユニット。
【請求項４】
前記クロスメンバユニット（２）は、前記テスト場にわたる少なくとも２つのクロスメンバ（９）を有し、該２つ以上のクロスメンバ（９）のそれぞれは、前記リニアガイド（５）のうちの少なくとも１つを有し、前記２つ以上のクロスメンバ（９）は、互いに平行に延びることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のクロスメンバユニット。
【請求項５】
前記２つ以上のクロスメンバ（９）のうち、少なくとも１つは前記プリント回路基板を配置することができる水平面であるテスト場平面（Ｅ）の一方の側に延び、少なくとも１つは前記テスト場平面（Ｅ）の他方の側に延びることを特徴とする、請求項４に記載のクロスメンバユニット。
【請求項６】
前記少なくとも２つのクロスメンバ（９）は、接続片（１０）と接合されて矩形状の環状の形状（４）を形成し、それによって、前記クロスメンバ（９）は、前記２つのクロスメンバ（９）間に前記テスト場が位置するように前記テスト場にわたることを特徴とする、請求項５に記載のクロスメンバユニット。
【請求項７】
前記クロスメンバユニット（２）は、前記テスト装置（１）のスタンドの規定の接続点（３ａ、３ｂ、３ｃ）において固定して取り付けられるように構成されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載のクロスメンバユニット。
【請求項８】
各位置決めユニット（６）は旋回ユニット（１２）及び移動ユニット（１３）を有し、各テストフィンガ（８）は、関連する位置決めユニット（６）の前記旋回ユニット（１２）に接合される旋回アーム（１５）と、該旋回アーム（１５）に締結されるテストプローブ（２４）とを有し、前記各移動ユニット（１３）は、前記リニアガイド（５）のうちの１つに取り付けられ、駆動ユニット（７、２０）によって移動させることができ、前記リニアガイド（５）は前記クロスメンバ（９）に取り付けられることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載のクロスメンバユニット。
【請求項９】
それぞれの前記リニアガイド（５）から前記位置決めユニット（６）の前記旋回ユニット（１２）の旋回軸（Ｓ）までの距離（ａ）、及び／又は、特定の位置決めユニット（６）の前記旋回ユニット（１２）の前記旋回軸（Ｓ）からのテストプローブ（２４）のプローブ距離（ｂ）は変更可能であり、前記軸方向距離（ａ）及び／又は前記プローブ距離（ｂ）は、規定のステップで変更可能であることを特徴とする、請求項８に記載のクロスメンバユニット。
【請求項１０】
前記位置決めユニット（６）の前記旋回ユニット（１２）の接続面（１２ａ）と前記移動ユニット（１３）の接続面（１８ａ）とは、前記軸方向距離（ａ）を変更する境界面として設計され、規定の厚さのスペーサ（１４）を装着し、前記旋回ユニット（１２）の前記接続面（１２ａ）と前記移動ユニット（１３）の前記接続面（１８ａ）との間の前記軸方向距離（ａ）を変更できることを特徴とする、請求項９に記載のクロスメンバユニット。
【請求項１１】
前記旋回アーム（１５）は、前記プローブ距離（ｂ）を変更する、異なる長さの前記旋回アーム（１５）に交換可能であり、該旋回アーム（１５）は、前記旋回軸（Ｓ）と前記テストプローブ（２４）との間に取り付けることができることを特徴とする、請求項９または１０に記載のクロスメンバユニット。
【請求項１２】
前記プローブ距離（ｂ）は、それぞれの前記軸方向距離（ａ）に適合させることができ、前記軸方向距離（ａ）を規定するスペーサ（１４）及び前記プローブ距離（ｂ）を規定する旋回アーム（１５）が、合致するスペーサ厚さ及び旋回アーム長さとなるように、それぞれ設けられることを特徴とする、請求項１１に記載のクロスメンバユニット。
【請求項１３】
テストフィンガ（８）を用いるプリント回路基板のテスト装置（１）であって、
前記テストフィンガ（８）は、テストされるプリント回路基板を位置決めすることができるテスト場を前記テストフィンガ（８）によって走査することができるように取り付けられるとともに移動可能であり、
前記テスト装置（１）は、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の少なくとも１つのクロスメンバユニット（２）を有することを特徴とするテスト装置。
【請求項１４】
前記テスト装置（１）は、静止したスタンドを有し、該スタンドは、前記テスト場に対して異なる位置への前記クロスメンバユニット（２）の締結を容易にする複数の接続点（３ａ、３ｂ、３ｃ）を有することを特徴とする、請求項１３に記載のテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント回路基板のテスト装置のクロスメンバユニットと、そのようなクロスメンバユニットを備えるプリント回路基板のテスト装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント回路基板をテストするテスト装置は、基本的に２つのグループ、すなわち、フィンガテスタ（フライングプローブ）のグループと、並列テスタのグループとに分けることができる。並列テスタは、アダプタによって、テストされる回路基板の全て又は少なくともほとんどの接触点に同時に接触することが可能なテストデバイスである。フィンガテスタは、２つ以上のテストフィンガを使用して個々の接触点を順に走査する、コンポーネント化されていないか又はコンポーネント化されたプリント回路基板をテストするテストデバイスである。
【０００３】
テストフィンガは通常、スライドに取り付けられ、スライドに沿ってクロスメンバが移動することが可能であり、一方で、クロスメンバはさらにガイドされ、ガイドレール上を移動することが可能である。各テストフィンガは旋回アームを有し、旋回アームの端には、回路基板に接触する接触先端部が形成されている。テストフィンガはしたがって、スライドを移動するとともに旋回アームを回転させることによって、それらの接触先端部が概ね矩形であるテスト場内の任意の所望の地点にある状態で位置することができる。テストされる回路基板の接触点に接触するために、スライドがクロスメンバ上で鉛直に移動可能であるように設計されるか、又は、テストプローブがスライド上で鉛直に移動するように設計されるため、テストフィンガを、回路基板の接触点、すなわち回路基板のテスト地点の上方または下方から配置することができる。
【０００４】
フィンガテスタが欧州特許第０４６８１５３号明細書に記載されており、フィンガテスタによってプリント回路基板をテストする方法が欧州特許第０８５３２４２号明細書に記載されている。フィンガテスタのテストプローブが、欧州特許第１４５１５９４号明細書、米国特許第６，３８４，６１４号明細書、国際公開第０３／０９６０３７号明細書及び欧州特許第０９９０９１２号明細書に開示されている。
【０００５】
この種類のフィンガテスタには通常、クロスメンバの軸に沿って離間したテスト地点に達することが可能であるように少なくとも２つの移動可能な接触フィンガが設けられ、いくつかのクロスメンバがテスト場の上方に設けられ、（いずれにしても両面にプリントされるプリント回路基板をテストするために）クロスメンバの軸に対して直角の第２の座標方向に離間したテスト地点に達するようにいくつかのクロスメンバがテスト場の下方に設けられている。（原則として、容量測定が用いられる場合、回路基板は単一のテストフィンガのみによってテストすることができる。この場合、理論上は、１つのみのテストフィンガが必要である。しかし、オーム測定は閉回路を必要とし、したがって２つのテストフィンガが必要であるため、２つのテストフィンガをレールに取り付けることが好ましい）。フィンガテスタを伴う自動化されたテスト方法を使用する場合、互い及びテスト場の双方に対するクロスメンバの相対位置を正確に知ることが重要である。欧州特許第０４６６１５３号明細書に記載されるフィンガテスタでは、クロスメンバは、移動可能であるように、テストフィンガの移動方向に対して直角にスタンドに取り付けられる。多くの場合に不可避であるクロスメンバの移動における遊びのために、クロスメンバの間隔は特定の変動幅を有し、使用される駆動システムに応じて、スリップによってクロスメンバの間隔が規定の許容範囲から出る可能性があるため、再調整が必要となる。少なくとも４つのクロスメンバのための関連する調整及び校正プロセスは、時間がかかり、多くの場合に不正確さにつながる。
【０００６】
クロスメンバがスタンド内で動かないように固定されるフィンガテスタも公知である。クロスメンバは、スタンドにおいて回路基板の上方及び下方の双方に吊下げられるため、慎重にかつ個々に調整されなければならない。旋回アームの長さは、クロスメンバ間の距離に関して最適化することができ、それによって、クロスメンバ間のテスト場に最適に達することができる。そのようなフィンガテスタを、変化したプロセス条件に適合しなければならない場合、おそらくは走査密度を増減する必要があるため、付加的なクロスメンバを装着するか、または、既存のクロスメンバを取り外すかまたは再装着する必要がある。これは、クロスメンバを、互い及びテスト場に対して調整し、ソフトウェアを校正するためにかなりの労力も伴う。
【０００７】
欧州特許第０４５８２８０号明細書は、複数の別個に移動するクロスメンバを有する、プリント回路基板をテストするデバイスを開示しており、各クロスメンバには、回路基板の接触点に接触する接触フィンガを有するテストヘッドが設けられている。
【０００８】
欧州特許第１２１７３８２号明細書は、移動するクロスメンバを有する、プリント回路基板をテストする更なるデバイスを開示している。移動するクロスメンバのそれぞれには、テストヘッドが移動可能に取り付けられ、テストヘッドには、回路基板のテスト地点に接触する接触フィンガが設けられている。
【発明の概要】
【０００９】
本発明は、従来技術の不都合な点を少なくとも部分的に回避するという課題に基づく。本発明の特定の課題は、テストフィンガを使用してプリント回路基板をテストするテスト装置における調整及び校正する労力及び費用を低減することである。本発明の更なる課題は、そのようなテスト装置の、変化したプロセス条件への適合を迅速かつ効率的な作業にすることである。
【００１０】
上記で特定した課題は、独立項の特徴によって少なくとも部分的に解決される。本発明の好ましい実施形態及び有利な発展形態は、従属項に特定される。
【００１１】
本発明の１つの態様によれば、プリント回路基板のテスト装置の新規なクロスメンバユニットが提案される。クロスメンバユニットは、テストされるプリント回路基板を配置することができるテスト場にわたる少なくとも１つのクロスメンバを有し、テストフィンガの位置決めユニットを直線的に移動可能に保持するように設計されており、それによって、テストフィンガはテスト場の少なくとも一部を走査することが可能である。クロスメンバユニットは、各場合に位置決めユニットのうちの少なくとも１つをガイドするように、少なくとも２つのリニアガイドを互いに独立して保持するように設計されている。
【００１２】
換言すると、テスト装置は、コンポーネント化されていないか又はコンポーネント化されたプリント回路基板をテストする装置であり、プリント回路基板はテスト場に配置され、テストフィンガは個々の接触点を順次走査する。本発明の目的に関して、クロスメンバユニットは、一体であるか又は接続されるが、いずれにしても、テスト場にわたる少なくとも１つのクロスメンバを有する中実ユニットを形成する形状を意味するものと理解される。中実ユニットを形成する三次元形状はしたがって、いくつかの部分で、好ましくは単一の部分として作られる剛性の安定した構造ユニットである。その結果、クロスメンバユニットは、単一のクロスメンバを有するか又は単一のクロスメンバによって形成することができ、または、中実の構造ユニットを形成するように組み合わせられるいくつかのクロスメンバを有することができる。本発明の目的に関して、クロスメンバユニットは、クロスメンバユニットが取り付けられるスペースに固定されるテスト装置のスタンドから区別されるものとする。リニアガイドは、本発明の目的に関して、ガイド、例えば、位置決めユニットを特に直線で直線的にガイドするレールである。移動駆動装置をリニアガイドに一体化してもよく、別個に設けてもよい。リニアガイドが独立することは、本発明の目的に関して、異なるリニアガイドの位置決めユニットが移動中に互いに干渉しないことを意味するものと理解される。特に、リニアガイドは互いから隙間を置いて平行に延びる。回路基板上のテスト地点の容量走査のみが行われる場合、リニアガイドあたり（１つのテストフィンガに対して）１つの位置決めユニットで十分である。抵抗走査も多くの場合に行われるため、リニアガイドあたり、テストフィンガを有する２つの位置決めユニットが好ましい。リニアガイドあたりのより多くの位置決めユニットも可能である。
【００１３】
本発明のこの態様によると、位置決めユニットの少なくとも２つのグループは、この２つのグループの移動経路が互いに影響を与えることなく単一のクロスメンバユニット上を移動することができる（グループは１つ又は複数の位置決めユニットを含むことができる）。リニアガイドは単一の構成要素に取り付けられているため、互いに対するリニアガイドの位置合わせは正確に画定され、変更不可能である。したがって、調整及び校正に必要とされる労力が少ない。本発明によるクロスメンバユニットは、テスト装置のスタンドに動かないように取り付けてもよく、又は、それ自体が移動可能であるように取り付けてもよい。リニアガイドを１つしか有さない移動可能なクロスメンバとは対照的に、本発明によるクロスメンバユニットの場合、少なくとも２つのリニアガイドが変更不可能な相対位置を有するため、調整及び校正に必要とされる作業が少なくとも半分になる。より多くのリニアガイドがクロスメンバユニットに設けられるほど、この利点はより重要になる。
【００１４】
好ましい実施形態では、リニアガイドは各クロスメンバの側面に設けられる。ここで、側面にとは、テスト場平面に対して平行なクロスメンバの長手方向に対して直角の方向を意味する。側面への取り付けによって、テスト装置内への位置決めユニットに、はるかによりアクセス可能である。
【００１５】
好ましい実施形態では、クロスメンバのうちの少なくとも１つは２つのリニアガイドを有し、２つのリニアガイドは互いに平行に延びる。この構成は、クロスメンバ方向に対して直角に離間するテスト地点の対を、テストフィンガの範囲内で単一のクロスメンバによってテストすることができ、クロスメンバの位置を変える必要がないという利点も有する。２つのリニアガイドは単一のクロスメンバに配置され、それによって、互いに対するそれらの相対位置が正確に画定され、変更不可能である。クロスメンバユニットは２つのリニアガイドを有する１つ又は複数のそのようなクロスメンバを有してもよい。
【００１６】
好ましい実施形態では、クロスメンバユニットは、テスト場にわたる少なくとも２つのクロスメンバを有し、２つ以上のクロスメンバのそれぞれは、リニアガイドのうちの少なくとも１つを有し、２つ以上のクロスメンバは好ましくは、互いに平行に延びる。この実施形態では、２つのリニアガイドは、単一のクロスメンバユニットに取り付けられ、すなわち接続された構成要素を形成するため、互いに対するそれらの相対位置が正確に画定され、変更不可能である。前述の実施形態と組み合わせて、２つのクロスメンバを有するクロスメンバユニットは、４つのリニアガイド、したがって、互いに独立して移動可能である４つのグループのテストフィンガを既に有することができる。２つ以上のクロスメンバがモジュールとして準備され、固定された三次元形態を提供するように簡単に接合することができる。これは、いくつかのリニアガイドを有するクロスメンバユニットをモジュールとして使用することができるため、異なるテスト装置ユニットの製造を大幅に単純化し、全ての位置決めユニットは互いに対して既に正確に位置調整されている。クロスメンバユニットのクロスメンバが、互いに隣接するように（すなわち、テスト場の同じ側に）接続される場合、クロスメンバ間の全ての点にテストフィンガが達することができるようにクロスメンバを離間させることが有利である。そのため、この場合にも、クロスメンバの軸に対して直角に離間するテスト地点の対を、テストフィンガの範囲内でテストすることができ、クロスメンバユニットの位置を変える必要はない。
【００１７】
好ましい実施形態では、２つ以上のクロスメンバのうち、少なくとも１つはテスト場のテスト場平面の一方の側に延び、少なくとも１つはテスト場平面の他方の側に延びる。プリント回路基板が保持され得るテスト場は、回路基板が延びる主な平面を有している。この主な平面は、テスト場平面とも記載される。この実施形態では、ガイドは、単一のクロスメンバユニット、すなわち一体的なユニット上のテスト場のこの側及び他方の側に配置されるため、互いに対するそれらの相対位置が正確に画定され、変更不可能である。２つのクロスメンバのそれぞれは１つ又は２つのリニアガイドを有することができる。例えば、テストされる回路基板が、他方の側ではなく一方の側にはっきりとより多くのテスト地点を有する場合、より多くのテスト地点を有する側にわたるクロスメンバは２つのリニアガイドを有することができ、一方で、他方の側のクロスメンバはリニアガイドを１つしか有さない。
【００１８】
好ましい実施形態では、２つ以上のクロスメンバは、少なくとも実質的に矩形である環状の形状に接続片によって接合されるちょうど２つのクロスメンバであり、それによって、クロスメンバユニットは、２つのクロスメンバ間にテスト場が位置するようにテスト場にわたる。換言すると、クロスメンバユニットは、一方の側及び他方の側（テストされるプリント回路基板の正面及び背面）においてテスト場にわたる２つのクロスメンバを有する矩形のフレームを形成する。したがって、接続片を有するクロスメンバは、テスト場を囲む構造ユニットを形成する。実施形態の組み合わせによって、このフレーム状のクロスメンバユニットを用いて４つのグループのテストフィンガ（テスト場平面の一方の側に２つ及び他方の側に２つ）を有する４つのリニアガイドを組み立てて、テストモジュールを形成することが可能であり、リニアガイドの互いに対する相対位置は正確に画定され、変更不可能である。環状の形状は、例えば、一体的に鋳造してもよく、又は、一緒に溶接されるプレートまたはプロファイルの溶接部分によって製造してもよい。リニアガイド、駆動装置、測定及び制御デバイス、ケーブルガイド等への、並びに、スタンドへの接続部への画定された接続点及び平面は、本質的に公知の再機械加工手段によって形成することができる。矩形の環状形状が比較的製造しやすく、保管、運搬及び設置のために取扱いやすい。
【００１９】
好ましい実施形態では、クロスメンバユニットは、テスト装置のスタンドの規定の接続点において固定して取り付けられるように準備される。これによって、スタンドに対するクロスメンバユニットの位置は正確に画定され、変更不可能である。その結果、実施形態の組み合わせに応じて、２つから４つ以上のリニアガイドは、テスト装置におけるそれらの位置が既に正確に画定され、変更不可能である。原則的に、当然ながら、クロスメンバユニット自体を、スタンド上を移動可能であるように取り付けることも可能である。この場合も本発明の利点が少なくとも部分的に達成される。
【００２０】
好ましい実施形態では、各位置決めユニットは旋回ユニット及び移動ユニットを有し、各テストフィンガは、関連する位置決めユニットの旋回ユニットに接合される旋回アームと、旋回アームに締結されるテストプローブとを有し、一方、移動ユニットは、各場合においてリニアガイドのうちの１つに取り付けられ、駆動ユニットによって移動させることができ、リニアガイドはクロスメンバユニットに取り付けられる。旋回アームのガイドは、クロスメンバユニット自体をシフト又は移動させることなく、テストフィンガをリニアガイドに対して直角に位置決めすることを容易にする。これは、クロスメンバユニットをスタンドにしっかりと取り付けることを容易にし、一方で、適用可能な場合、いくつかのクロスメンバユニットは、テスト場の長さを覆う必要があり得る。しかし、移動するクロスメンバユニットであっても、旋回アームによる位置決めは、移動されるより小さい質量に起因して、より迅速であり、よりストレスフリーであり、クロスメンバユニット全体の移動よりもエネルギー効率的である。２つのリニアガイドが１つのクロスメンバに設けられる場合、旋回アームは、位置決めユニット間のテスト場のエリアに達することを可能にする。駆動ユニットは、少なくとも部分的に位置決めユニットの一部の形態とすることができる（おそらくは、リニア駆動装置のロータまたはピニオンとして、関連するステータまたは歯付きレールがクロスメンバユニットに取り付けられる）か、又は、クロスメンバユニットに別個に取り付けることができる（おそらくは、ピストンまたは制御ワイヤの形態で）。旋回ユニットは、ステップモータ又は非回転リニアモータ（湾曲した移動経路を有するリニアモータ）を有することができる。テスト場平面に対して同一平面上の位置決めを達成するように旋回ユニットに加えて、テスト場平面に対して直角の位置決めを行うために持ち上げユニットも提供することができる。持ち上げユニットは例えば、リニアモータを有することができる。持ち上げユニット及び旋回ユニットを、構造的に組み合わせて、持ち上げ−旋回ユニットを形成することができる。重量の理由から、旋回アームは好ましくは炭素繊維から作られる。
【００２１】
有利な発展形態では、それぞれのリニアガイドからの位置決めユニットの旋回ユニットの旋回軸の軸方向距離、及び／又は、位置決めユニットの旋回ユニットの旋回軸からのテストプローブのプローブ距離は変更可能であり、この軸方向距離及び／又はプローブ距離は好ましくは、規定のステップで変更可能である。距離の変化は、旋回軸の位置を、それぞれのプロセス条件及び／又はテスト条件に適合させることを可能にする。例えば、大きいプローブ距離の場合、単一のクロスメンバユニットで大きいエリアを走査することが可能であり、一方で、小さいプローブ距離の場合、位置決めの速度及び精度を高めることができる。走査の速度を全体的に高め、したがってテストされるプリント回路基板のスループットも高めるために、より短いプローブ距離の選択を伴う、同じタイプのいくつかのクロスメンバユニット（モジュール）を加えることができる。２つのリニアガイドが１つのクロスメンバに、特にそれぞれの場合にクロスメンバの反対の側面に設けられる場合、旋回軸間のエリアの最適な走査のために、プローブ距離だけではなく、同時に軸方向距離も変更することが有利である。走査の速度を高め、したがってテストされるプリント回路基板のスループットも高めるために、同じタイプの第２のクロスメンバユニットを加えることができ、軸方向距離及びプローブ距離は低減される。したがって、性能要件に応じて、第２のモジュールを加えるとともに第１の（古い）モジュールの距離のみを変更することによって、テスト装置を備え付けることができる。
【００２２】
好ましい実施形態では、位置決めユニットの２つの構造要素の接続面は、軸方向距離を変更する境界面として設計され、規定の厚さのスペーサを取り付けて、接続面間の軸方向距離を変更することを好ましくは含む。この設計の場合、そのような接続面が多くの場合にいずれの場合にも設けられるため、軸方向距離を簡単に変化させることが可能である。例えば旋回ユニットと移動ユニットとの間に境界面を設けることができる。それらのユニットの構造シーケンスに応じて、旋回ユニットと持ち上げユニットとの間、又は、持ち上げユニットと移動ユニットとの間に境界面を設けることも可能である。接続面が移動方向に対して平行であり、またテスト平面に対して直角であり、直接的に一緒に又は中間のスペーサを有して任意にねじ留めされる場合に、特に単純な解決策を得ることができる。１つの変形形態では、境界面は、テスト場平面に対して平行である接続面によって実現することができ、接続面は、移動ユニットから種々の距離で任意に使用可能なねじ留め地点等によって接続することができる。後者の場合、接続面に、規定のステップで調整可能な距離をはっきりと示すラッチ装置を設けることができる。
【００２３】
プローブ距離を変更するために、旋回軸とテストプローブとの間に嵌まる、異なる長さの旋回アームを設けることができる。これは、設計の観点から単純であるプローブ距離の変化を可能にし、使用時の労力を最小限に抑える。ここで、プローブ距離を、関連する軸方向距離に適合させることができ、特に、軸方向距離及び旋回アームを固定してプローブ距離を固定するスペーサが、スペーサ厚さ及び旋回アームの長さがそれぞれ好適に合致して設けられる場合に、特に有利である。リニアガイドからの旋回軸の距離が変更可能である場合、適合された長さを有する旋回アームを使用することによってテストフィンガの範囲を変更することも可能である。長い旋回アーム及びスペーサを使用することによって、単一のクロスメンバユニットで大きいエリアを走査することも可能である。走査の速度を高め、したがってテストされるプリント回路基板のスループットも高めるために、同じタイプの第２のクロスメンバユニットを加えることができ、旋回軸の距離は、スペーサを取り外すか又は交換することによって縮小させることができ、長い旋回アームの代わりに短い旋回アームを用いることができる。したがって、性能要件に従って、第２のモジュールを加えることによって、テスト装置を備え付けることができ、第１の（古い）モジュールの距離及び旋回アームのみを変更する必要がある。他方で、いくつかのクロスメンバユニット、小さい軸方向距離及びプローブ距離、並びに、高いスループットを有する１つのテスト装置を比較的低い労力で作り出し、第２の（又は第３のといった）スタンドにそれぞれの回路基板供給部を設けるとともに、１つのテスト装置からの１つ又は複数のクロスメンバユニットを新たなスタンドに装着して好適なスペーサ及び旋回アームを組み込むことにより距離を増大させることによって、対応してより低いスループットを有する２つ以上のテスト装置ユニットを作り出すことが可能である。したがって、そのような構成は、実質的に同じ部分を使用して、クロスメンバユニット間に異なる距離を有する少ないか又は多くのクロスメンバを有し、構成要素の合致するセットとしてスペーサ及び旋回アームのみを交換する必要がある、異なるテスト装置ユニットの製造を可能にする。これは、高レベルの精度を依然として維持しながらも、製造コストをかなり節減することにつながり得る。
【００２４】
本発明の別の態様によれば、テストフィンガを用いるプリント回路基板のテスト装置が提案され、テストフィンガは、テストされるプリント回路基板が配置されるテスト場をテストフィンガによって走査することができるように取り付けられるとともに移動可能である。本発明によれば、テスト装置は、上記請求項のいずれか一項に記載の少なくとも１つのクロスメンバユニットを有する。
【００２５】
換言すると、最高で４つのグループのテストフィンガを有するテスト装置を、２つのクロスメンバを有するクロスメンバユニットで既に実現することができる。１つのクロスメンバユニットは、全ての必要とされるテストフィンガを担持することが可能である。テスト場のサイズに応じて、いくつかのクロスメンバユニットを使用することができる。
【００２６】
好ましい実施形態では、テスト装置は、静止したスタンドを有し、一方、スタンドは、テスト場に対して異なる位置へのクロスメンバユニットの固定を容易にする複数の接続点を有する。スタンドに対するクロスメンバユニットの位置がそれによって正確に画定され、変更不可能である。異なる間隔で２つ、３つ、４つ又はそれ以上のグループのテストフィンガを有するモジュールとして、いくつかのクロスメンバユニットをスタンドに取り付けることができる。その間隔は、テストフィンガの旋回アームの長さに従って決めることができる。このように、テスト装置を、所望に応じて寸法を決め及び拡大縮小することができる。リニアガイドは、単にスタンド及びクロスメンバユニットによって正確に位置調整される。クロスメンバの構成が、２つのクロスメンバがテスト場のいずれかの側に延びる矩形のフレームである場合、スタンドを例えば、クロスメンバユニットが位置調整されて固定される、規定の距離だけ離間している２つの固定床梁によって簡単に実現することができる。正確で確実な位置調整のために、梁及びクロスメンバユニットが好適に剛性であり互いに堅く位置調整することが可能である場合に有利である。
【００２７】
添付の図面を用いて、本発明を以下でより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態としての、テストフィンガを有するプリント回路基板のテスト装置（いわゆるフィンガテスタ）の三次元図である。
【図２】図１のテスト装置の正面図である。
【図３】図２の線「ＩＩＩ」に沿うテスト装置の断面図である。
【図４】テスト装置の第２のタイプのアセンブリの、図３に対応する図である。
【図５】図４の線「Ｖ」を通る拡大詳細図である。
【図６】図５の線「ＶＩ」を通る更なる拡大詳細図である。
【図７】図６の矢印「ＶＩＩ」の方向の図である。
【図８】図４の線「ＶＩＩＩ」を通る拡大詳細図である。
【図９】図８の線「ＩＸ」を通る更なる拡大詳細図である。
【図１０】図９の矢印「Ｘ」の方向の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１は、本発明の実施形態としての、プリント回路基板をテストするテストフィンガを有するテスト装置１（いわゆるフィンガテスタ）の三次元図を示している。
【００３０】
図１の図によると、テスト装置は、２つの取り付け梁３に取り付けられる２つのクロスメンバユニット２を有している。本発明の目的に関し、取り付け梁３はスタンドを形成する。各クロスメンバユニット２は、アタッチメントが取り付けられたフレーム４によって形成されている。フレーム４は以下でより詳細に記載する。各フレーム４は、いくつかの
リニアガイド（レール）５を担持し、リニアガイドのそれぞれには、移動可能であるように２つの位置決めユニット６が取り付けられている。位置決めユニット６のそれぞれは、ステータユニット７によって駆動され、テストフィンガ８を担持することができる。
【００３１】
更なる向きについて、空間方向ｘ、ｙ、ｚを有するデカルト座標系が明記されるが、一般性を限定することなく、空間方向ｘは長手方向ｘとして、空間方向ｙは横断方向として、空間方向ｚは鉛直方向として指定される。長手方向ｘは、給送方向ｘとしても記載することができ、これは、テストされるプリント回路基板がテスト装置１のこの方向ｘに給送される（及び排出される）ためである。給送方向ｘは、取り付け梁３が延びる方向に対応し、フレーム４の主な平面はｙ及びｚの空間方向を含む。
【００３２】
この図には詳細には示されていないが、取り付け梁３は、工場の作業場等に移動不可能にボルト締めされ、フレーム４は双方の取り付け梁３にしっかりとボルト締めされている。取り付け梁３はしたがって、フレーム４のスタンドとしても記載することができる。フレーム４はｘ方向にフレーム間隔ｒで取り付けられている。
【００３３】
図２は、テスト装置１を空間方向ｘから示し、すなわち正面図で示している。
【００３４】
図２における図によると、フレーム４は、２つの平行なクロスメンバ９と、クロスメンバ９をそれらの端で接続する２つの横材１０とに分けることができる一体片の部分である。一般性を失うことなく、クロスメンバ９は横断方向ｙに延び、横材１０はテスト装置１の鉛直方向ｚに延びている。一般性を失うことなく、図２に示されるフレーム４の面は正面として記載され、図面において隠れている面はフレーム４の背面として記載される。フレーム４は、ここで記載する図示された実施形態では、単一の鋼プレートから作られ、鋼プレートからは、例えば切断トーチ等によって窓が切り取られている。代替的には、フレーム４は鋳造又は溶接部分として製造することもできる。
【００３５】
クロスメンバ９及び横材１０はテスト平面Ｅを囲んでいる。テスト平面Ｅは、テスト装置１においてテストすることができるプリント回路基板の位置（詳細には図示せず）を示し、空間方向ｘ及びｙを含み、クロスメンバ９から同じ距離を概ね有している。
【００３６】
クロスメンバ９のそれぞれは、図２に示される正面に、リニアガイド５及びステータユニット７を有している。レールの形態のリニアガイド５は、ステータユニット７に対して平行に横断方向ｙに延び、ステータユニット７よりもテスト平面Ｅに近い。上述したように、２つの位置決めユニット６が各リニアガイド５にスライド可能に取り付けられており、各位置決めユニットはテストフィンガ８を担持している。端部停止部１１が、リニアガイド５上の位置決めユニット６の移動を制限する。それぞれのテストフィンガ８はテスト平面Ｅに向かって面し、関連する位置決めユニット６において持ち上げ及び旋回機構が取り付けられている。換言すると、クロスメンバ９の上側でガイドされるテストフィンガ８は、下方（−ｚ方向）に面し、クロスメンバ９の下側でガイドされるテストフィンガ８は上方（＋ｚ方向）に面している。
【００３７】
図３は、図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う、そこに示される矢印の方向のテスト装置１の断面を示している。
【００３８】
図３の断面図では、フレーム４のクロスメンバ９の正面及び背面に、リニアガイド５、ステータユニット７、位置決めユニット６及びテストフィンガ８が同じように備え付けられていることが分かる。テストフィンガ８は、位置決めユニット６上に回動可能に取り付けられ、ｘ方向に位置決めユニット６間のエリアだけではなく位置決めユニット６のどちら側のエリアにも達することが可能である。フレーム４の正面及び背面のテストフィンガ８はともに、走査幅ｗをカバーする。フレーム４間のフレーム間隔ｒは、それぞれのテストフィンガ８の走査範囲がｘ方向に互いに正確に達するように選択される。
【００３９】
図３に更に示されるように、フレーム４は、取り付け梁３の上部にフレーム間隔ｒで設けられた支持面３ａ、３ｂ上にそれらのクロスメンバ９の下側が載っている。支持面３ａ、３ｂの位置は正確に規定され、詳細には示されていない手段によって、フレーム４は支持面３ａ、３ｂ上で正確に位置調整され（センタリングされ）、取り付け梁３に確実にしかし取り外し可能に接続されている（場合によってはボルト締めされる）。
【００４０】
図４は、図３に対応する図における、テスト装置１を通る断面を示している。図４に示されているのは、図３に示される（第１の）タイプのアセンブリとは異なる第２のタイプのアセンブリである。
【００４１】
図４によると、このタイプのアセンブリでは、２つのクロスメンバユニットではなく、代わりに１つのみのクロスメンバユニット２が設けられている。クロスメンバユニット２は、上記のように、更なるアタッチメント５、６、７、８等を有するフレーム４によって形成され、フレーム４は、２つのクロスメンバ９及び２つの接続片すなわち横材１０から構成される単一の構成要素である。
【００４２】
図４の断面図では、フレーム４のクロスメンバ９の正面及び背面に、リニアガイド５、ステータユニット７、位置決めユニット６及びテストフィンガ８が同じように備え付けられていることが分かる。テストフィンガ８は、位置決めユニット６上に回動可能に取り付けられ、ｘ方向に位置決めユニット６間のエリアと、位置決めユニット６のどちら側のエリアとにも、双方に達することができる。フレーム４の正面及び背面のクロスメンバユニット２のテストフィンガ８はともに、走査幅ｗをカバーする。以下で詳細に記載する位置決めユニット６及びテストフィンガ８の変更の結果として、このクロスメンバユニット２のテストフィンガ８の走査幅ｗは、前述のタイプのアセンブリの２つのクロスメンバユニットの走査幅よりも大きくなる。
【００４３】
図３にも示されるように、フレーム４は、前述した２つの支持面３ａ、３ｂ間に設けられた支持面３ｃ上にそのクロスメンバ９の下側が載っている。支持面３ａ、３ｂ、３ｃの互いに対する位置は、正確に規定され、詳細には示されていない手段によって、フレーム４は支持面３ｃ上で正確に位置調整され（センタリングされ）、取り付け梁３に確実にしかし取り外し可能に接続されている（例えばボルト締めされる）。
【００４４】
図４による第２のタイプのアセンブリをまず図５〜図７を用いて以下で説明し、その後、図８〜図１０を用いて図１〜図３による第１のタイプのアセンブリに戻るものとする。
【００４５】
図５は、二点鎖線「Ｖ」によって図４に示される細部の拡大図を示している。各テストフィンガ８の旋回位置が図４の旋回位置とは異なり得ることに留意されたい。
【００４６】
図５に示されるように、位置決めユニット６は、旋回軸Ｓを有する旋回ユニット１２を有している。旋回ユニット１２は、旋回軸Ｓを有する出力シャフト（ここでは詳細に図示せず）を有する旋回駆動装置を有している。位置決めユニット６は、リニアガイド５に取り付けられた移動ユニット１３も有している。旋回ユニット１２は、スペーサ１４を介して移動ユニット１３に固定されている。テストフィンガ８は、旋回ユニット１２の出力シャフトによって旋回することができる旋回アーム１５を有し、旋回アーム１５の端には、ここでは詳細には図示しないテスト針を保持する針保持体１６が取り付けられている。位置決めユニット６は、最後に、テストフィンガ８を上げ下げすることが可能な持ち上げユニット１７を有している。
【００４７】
図５の二点鎖線「ＶＩ」によって画定される細部の更なる拡大図を示す図６に、更なる詳細図が与えられている。より詳細には、この細部は、背景に横材１０を有する上側のクロスメンバ９を断面で示し、クロスメンバ９の一方の面に装着されているアタッチメントを示している。クロスメンバの他方の面にも同様に備え付けられていることに留意されたい。
【００４８】
図６に示されるように、クロスメンバ９は、各側面（正面及び背面）に、ステータユニット７を収容するステータ位置付け面９ａが形成されており、ステータユニット７の鉛直方向の配列（ｚ方向の配列）が、上縁９ｂによって固定されている。ステータユニット７はクロスメンバ９にしっかりとねじ留めされている。
【００４９】
クロスメンバ９の各面には、レールの形態のリニアガイド５を保持するレール位置付け面９ｃも形成されており、リニアガイド５の鉛直方向の配置が下方の段部９ｄによって固定されている。レール位置付け面９ｃに設けられているのは、リニアガイド５の端ぐり穴５ａと面一な（貫通）穴９ｅの対である。レール（リニアガイド５）は、貫通穴９ｅ及び端ぐり穴５ａを介してクロスメンバ９にしっかりとボルト締めされている。
【００５０】
位置決めユニット６の移動ユニット１３はベースプレート１８を有している。ベースプレート１８に締結されているのは、滑りブロック１９、ロータユニット２０及び位置エンコーダ２１である。滑りブロック１９はリニアガイド５をスライド可能に包囲し、したがって、リニアガイド５と組み合わせて滑り軸受を形成する。クランプトルクを回避するために、２つの滑りブロック１９を前後に設けることができることに留意されたい。ロータユニット２０は、ステータユニット７の内部へ上方に延び、ステータユニット７の内部では、ロータユニット２０が、そこに取り付けられるとともにステータユニット７の長さにわたって（ｙ方向に）極性を交互にして配置される永久磁石２２の間に延びている。ロータユニット２０は、詳細には図示しない電源によって電気的に励起することができる、詳細には図示しないコイルアセンブリを有している。ロータユニット２０のロータコイルとステータユニット７の永久磁石２２との間の電気力学的な相互作用が、加速又は制動、したがって、リニアガイド５に沿う移動ユニット１３の制御された移動につながる。それぞれの位置決めユニット６のステータユニット７及びロータユニット２０はしたがって、各場合に、（リニア）駆動ユニットを形成する。位置エンコーダ２１は、各場合に、クロスメンバ９に取り付けられる磁気テープ２３に向かって面し、磁気テープ２３の走査によって、クロスメンバ９上の移動ユニット１３の移動距離を正確に決定することを可能にする。
【００５１】
同様に図面において見られるのは、テストフィンガ８の針保持体１６に保持されるとともに、詳細には図示されていない回路基板上のテスト地点との接触を提供するテスト針２４（接触プローブ２４とも記載される）である。
【００５２】
移動ユニット１３のベースプレート１８は取り付け面１８ａを有し、旋回ユニット１２のハウジングは取り付け面１２ａを有している。取り付け面１２ａ、１８ａは、旋回ユニット１２を移動ユニット１３に締結する境界面を形成し、スペーサ１４がそれらの間に設けられている。（取り付け面１２ａ、１８ａは、中間のスペーサ１４を有することなく旋回ユニット１２を移動ユニット１３に締結することも可能にする。これは、以下で詳細に説明する、第１の取り付けモードの主題である）。旋回ユニット１２の旋回軸Ｓとレール（リニアガイド）５の外面との間は、距離「ａ」であり、これは、旋回ユニット１２及び移動ユニット１３の寸法に加えて、スペーサ１４の厚さに主に依存する。
【００５３】
図７は、図５の矢印「ＶＩＩ」の方向への、テストフィンガ８を有する位置決めユニット６の底部を示している。より詳細には、図６は、位置決めユニット６の持ち上げユニット１７及び旋回ユニット１２の出力シャフト１２ｂのみを示し、他はこの図からは省かれている（図６を参照のこと）。
【００５４】
図７の図によると、持ち上げユニット１７には電気接続ユニット２５が取り付けられており、電気接続ユニット２５には、詳細には図示されていないシステムコントローラに接続されるケーブル送りリール２６が接続されている。
【００５５】
テストフィンガ８及び以下で詳細に記載する検出ユニット２７は、旋回ユニット（出力軸１２ｂ）によって一緒に旋回することができる。テストフィンガ８及び検出ユニット２７は、負担される質量及び慣性モーメントを最小限に保つために可能な限り軽量に作られている。旋回アーム１５もしたがって、炭素材料から作られている。
【００５６】
検出ユニット２７は、カメラ３０が取り付けられるカメラモジュール２９をその端に担持する保持アーム２８を有している。保持アーム２８の更なる範囲では、鏡３２を担持する光ガイドユニット３１がカメラモジュール２９に取り付けられている。鏡３２は、テスト平面Ｅに対して直角に鏡３２から落下する光軸３２ａがカメラユニット２９まで続くように位置調整されている。カメラ３０は、テスト平面Ｅ上のその光軸３０ａが鏡３２の光軸３２ａと一致するように位置調整されている。光軸３０ａ、３２ａの交点は、テスト針２４によって走査される走査点Ｐに一致する。
【００５７】
持ち上げユニット１７は、旋回ユニット１２にしっかりと取り付けられるとともに模擬体（詳細には図示せず）を有し、模擬体は、検出ユニット２７が模擬体に回転可能に取り付けられるとともに高さ（ｚ位置）を固定して保持されるが、旋回駆動装置の出力シャフト１２ｂによって旋回方向に沿って担持することができるように設計されている。テストフィンガ８は、出力側が持ち上げユニット１７の持ち上げ駆動装置（リニア駆動装置、詳細には図示せず）に接続され、旋回駆動装置の出力シャフト１２ｂにおいて軸方向に飛ぶが回転可能ではないように取り付けられるため、テストフィンガ８は、旋回駆動装置の出力シャフト１２ｂの回転運動によって担持されながら、持ち上げ駆動装置によって上げ下げすることができる。図面には、テスト針２４がテスト平面Ｅから持ち上げられた状態の配置が示されている。
【００５８】
１つの設計の変形形態では、持ち上げ駆動装置自体を、検出ユニット２７を支持する模擬体の出力側に載る、テストフィンガ８の旋回アーム１５の、同様に旋回する保持体に取り付けることができる。更なる変形形態では、持ち上げユニットが移動ユニットに移動不可能に接続され、旋回ユニットが持ち上げユニットの出力側に取り付けられている。しかし、双方の変形形態では、持ち上げ移動（ｚ移動）に関与する慣性質量が増大する。
【００５９】
図７に示されるように、テストフィンガ８の旋回アーム１５は、旋回アーム保持体３３の駆動側に取り付けられ、センサ側が針保持体１６に接続されている。これらの２つの点において、旋回アーム１５を、容易に交換することができるように取り外すことができる。同様に、検出ユニット２７の保持アーム２８を、持ち上げユニット１７の模擬体及びカメラモジュール２９において接続部分から取り外し、同様に容易に交換することができる。このように、図３に関連して上述したクロスメンバユニット２の第１のタイプのアセンブリに関して、図８〜図１０を用いて後述するように、テスト装置１を変更することが可能である。
【００６０】
同時に、図８は、図４の二点鎖線「ＶＩＩＩ」によって示されるような細部を、図５に対応する拡大図で示している。図９は、図８の二点鎖線「ＩＸ」によって示される細部を、図６に対応する更なる拡大図で示しており、図７は、図９の矢印「Ｘ」の方向への、テストフィンガ８を有する位置決めユニット６の底部セクションを、図７に対応する図で示している。図８〜図１０の各テストフィンガ８の旋回位置は図３の旋回位置とは異なり得ることに留意されたい。
【００６１】
これらの図面から明らかなように、この第１のタイプのアセンブリにおけるクロスメンバユニット２の構造は、旋回ユニット１２が、その取り付け面１２ａによって、スペーサを用いることなく移動ユニット１３のベースプレート１８の取り付け面１８ａに直接取り付けられることと、テストフィンガ８の旋回アーム１５が、検出ユニット２７の保持アーム２８とともに、第２のタイプのアセンブリにおけるよりも短いことという違いは別として、図４〜図７による第２のタイプのアセンブリの構造と同一である。これによって、各クロスメンバユニット２のテストフィンガ８の走査幅ｗ（図３参照）が第２のタイプのアセンブリにおけるよりも短くなり（図４参照）、２つの取り付け梁３によって形成されるスタンドに、１つのみのクロスメンバユニット２ではなく２つのクロスメンバユニット２を取り付けることが可能である。これは、テストフィンガ８の走査密度を高め、より多くのテスト地点を同時に走査することができる。換言すると、テスト装置１のスループットが高まる。
【００６２】
したがって、テスト装置１を低スループットから高スループットに、その逆もまた同様に簡単に変換することが可能である。テスト装置１に、第２のタイプのアセンブリ（図４〜図７）による１つのみのクロスメンバユニット２が設けられる場合、より高いスループットのためにテスト装置１を変更するには、取り付け梁３の支持面３ｃから支持面３ａ（又は３ｂ）に、既に利用可能なクロスメンバユニット２を再配置することと、旋回アーム１５及び支持アーム２７を、スペーサ１４の取り外しとともに、各場合により短いバージョンと交換することと、取り付け梁３のそれぞれの自由な支持面３ａ、３ｂにおいて、更なるクロスメンバユニットに、より短い旋回アーム１５及び支持アーム２７を、スペーサを用いることなく設置することとのみを必要とする。第１のタイプのアセンブリ（図１〜図３、図８〜図１０）による２つのクロスメンバユニット２を有するテスト装置１は、更なるスタンド（取り付け梁３）を設けることと、新たに設けられるスタンドに、既に設けられているテスト装置１からクロスメンバユニット２のうちの一方を配置することと、クロスメンバユニット２のうちの一方を新たに設けられるスタンドに取り付けることとによって、比較的少ない労力で、それぞれ第２のタイプのアセンブリによる１つのクロスメンバユニット２を有する２つのテスト装置ユニットに変換することができる。元のテスト装置１のクロスメンバユニット２のうちの他方は、中央の支持面３ｃに再配置され、位置決めユニット６は、境界面１２ａ、１８ａにスペーサ１４を含めることによって位置決めし直され、一方で、位置決めユニット６のそれぞれでは、旋回アーム１５及び支持アーム２７はより長いバージョンと交換され、最終的に、プリント回路基板のコンベヤ及び給送システムが適合される。確かに、２つの新たに形成されるテスト装置１のそれぞれは古いテスト装置１よりも低いスループットで動作するが、２つのタイプの回路基板が同時にテストされる場合に実用にかなった配置であり得る。
【００６３】
変換を簡単にするために、スペーサ１４、旋回アーム１５及び支持アーム２７のセットを、フレーム４又はクロスメンバユニット２の共通の変更キットにまとめておくことができ、変更キットは、単にクロスメンバユニット２の走査幅ｗによって正確な割り当てについて特定されるべきである。最小の走査幅ｗの場合、スペーサ１４は変更キットから省くことができる。
【００６４】
当然ながら、２つのみの走査幅ｗが可能であるだけでなく、むしろ、１つのスタンドに取り付けることができるクロスメンバユニット２と、スタンドに設けられる支持面（取り付け点）との数に応じて、任意の所望の数の走査幅ｗが可能である。
【００６５】
テスト平面Ｅが水平に配置される、２つのタイプのアセンブリを有するテスト装置１を上述した。テスト平面Ｅを重力場に対して任意の所望の角度で配置することも同様に考えられる。用途における全ての方向に関する詳細は、重力場における地理的位置に関係なく、テスト場平面Ｅが水平方向（ｘｙ）を画定し、テスト場平面Ｅに対して直角の方向が鉛直方向（ｚ）を画定するように理解されるべきである。
【００６６】
本発明の実施形態では、持ち上げユニットは持ち上げモータとしてリニアモータを有している。代替的に、持ち上げユニットは、磁気、空気圧または油圧手段によって動作されるピストン、若しくは移動ねじを有してもよく、又は、極めて異なる方法で設計してもよい。本発明の実施形態では、旋回ユニット１２は旋回モータとしてステップモータを有している。代替的には、旋回ユニット１２は、湾曲した移動経路を有するピストン又はリニアモータを有してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１      テスト装置
２      クロスメンバユニット
３      取り付け梁
３ａ，３ｂ，３ｃ  支持面
４      クロスメンバユニット（フレーム）
５      レール（リニアガイド）
５ａ    端ぐり穴
６      位置決めユニット
７      ステータユニット（リニア駆動ユニット）
８      テストフィンガ
９      クロスメンバ
９ａ    ステータ位置付け面
９ｂ    上縁
９ｃ    レール位置付け面
９ｄ    段部
９ｅ    穴
１０    横材（接続片）
１１    端部停止部
１２    旋回ユニット
１３    スライド（移動ユニット）
１４    スペーサ
１５    旋回アーム
１６    針保持体
１７    持ち上げユニット
１８    ベースプレート
１８ａ  取り付け面
１９    滑りブロック
２０    ロータユニット（リニア駆動ユニット）
２１    位置エンコーダ
２２    永久磁石
２３    磁気テープ
２４    テスト針（接触プローブ）
２５    電機接続ユニット
２６    ケーブル送りリール
２７    検出ユニット
２８    保持アーム
２９    カメラモジュール
３０    カメラ
３０ａ  光軸
３１    光ガイドユニット
３２    鏡
３２ａ  光軸
３３    旋回アーム保持体
ａ      軸方向距離
ｂ      センサ距離
ｒ      フレーム間隔
ｗ      走査幅
ｘ，ｙ，ｚ  空間方向
ｘ      長手方向（給送方向）
ｙ      横断方向
ｚ      鉛直方向
Ｅ      テスト平面
Ｐ      走査点
Ｓ      旋回軸
参照番号及び符号の上記リストは、明細書の一体的な部分である。
【図１】
0006767746.tif 000002
【図２】
0006767746.tif 000003
【図３】
0006767746.tif 000004
【図４】
0006767746.tif 000005
【図５】
0006767746.tif 000006
【図６】
0006767746.tif 000007
【図７】
0006767746.tif 000008
【図８】
0006767746.tif 000009
【図９】
0006767746.tif 000010
【図１０】
0006767746.tif 000011