(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のガラスフィルムを、搬送装置により所定の方向に搬送する搬送工程と、前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、切断部により前記ガラスフィルムを第一の部分と第二の部分とに溶断する切断工程と、を備えるガラスフィルムの製造方法であって、
前記切断部は、レーザ照射装置と、前記第一の部分を第一の支持面で支持する第一支持部と、前記第二の部分を第二の支持面で支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部との間であって、前記レーザ照射装置の下方位置に設けられる開口部と、を備え、
前記切断工程は、前記開口部で前記ガラスフィルムを前記第一の支持面及び前記第二の支持面よりも下方に凸となるように変形させるとともに、前記レーザ照射装置によるレーザ光を、前記開口部の範囲内であって、前記ガラスフィルムの頂部に一致しないように照射することを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
【請求項２】
前記搬送装置は、前記第一支持部と、前記第二支持部と、前記開口部とを含む定盤を備えており、
前記切断工程は、前記開口部で吸引することにより前記ガラスフィルムを下方に凸となるように変形させる請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項３】
前記第一の部分は非製品部とされ、前記第二の部分は製品部とされており、
前記ガラスフィルムに対する前記レーザ光の照射位置は、前記ガラスフィルムの前記頂部に一致しないように前記第一支持部寄りの位置にオフセットされる請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項４】
前記第一支持部から前記レーザ光の前記照射位置までの距離をＬ１とし、前記第二支持部から前記レーザ光の前記照射位置までの距離をＬ２とすると、Ｌ１：Ｌ２＝３：７〜４．５：５．５に設定される請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記切断工程は、前記レーザ光による前記ガラスフィルムの溶断後に、前記第一の部分の幅方向端部及び前記第二の部分の幅方向端部から糸状剥離物を生じさせる請求項１から４のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
【請求項６】
前記第二支持部の前記第二の支持面は、前記第一支持部の前記第一の支持面よりも高い位置で前記第二の部分を支持する請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばロール状に巻き取ることが可能なガラスフィルムを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる板ガラス、有機ＥＬ照明に用いられる板ガラス、タッチパネルの構成要素である強化ガラス等の製造に用いられるガラス板、更には太陽電池のパネル等に用いられるガラス板は、薄肉化が推進されているのが実情である。
【０００３】
例えば特許文献１には、厚みが数百μｍ以下のガラスフィルム（薄板ガラス）が開示されている。この種のガラスフィルムは、同文献にも記載されるように、いわゆるオーバーフローダウンドロー法を採用した成形装置によって連続成形されるのが一般的である。
【０００４】
オーバーフローダウンドロー法により連続成形された長尺のガラスフィルムは、例えばその搬送方向が鉛直方向から水平方向に変換された後、搬送装置の横搬送部（水平搬送部）によって継続して下流側に搬送される。この搬送途中で、ガラスフィルムは、その幅方向両端部（耳部）が切断除去される。その後、ガラスフィルムは、巻取りローラによってロール状に巻き取られることで、ガラスロールとして構成される。
【０００５】
ガラスフィルムの幅方向両端部を切断する技術として、特許文献１では、レーザ割断が開示されている。レーザ割断では、ダイヤモンドカッタ等のクラック形成手段によりガラスフィルムに初期クラックを形成した後、この部分にレーザ光を照射して加熱し、その後、加熱された部分を冷却手段により冷却することで、ガラスフィルムに生じる熱応力により初期クラックを進展させてガラスフィルムを切断する。
【０００６】
他の切断方法として、ガラスフィルムにレーザ光を照射してその一部を溶断する、レーザ溶断が用いられる。図１０（ａ）及び図１１に示すように、レーザ溶断では、搬送装置１０１によりガラスフィルムＧを所定の方向（図１１において符号Ｘで示す方向）に搬送しつつ、レーザ照射装置１０２のレーザ光ＬＢをガラスフィルムＧの所定位置（照射位置）Ｏに照射する。
【０００７】
搬送装置１０１は、離間して配置される第一搬送体１０１ａ及び第二搬送体１０１ｂを備える。レーザ光ＬＢの照射位置Ｏは、第一搬送体１０１ａと第二搬送体１０１ｂとの間に設定される。ガラスフィルムＧには、溶融ガラスが飛散しないように、また、溶融したガラスがドロスとして残存しないように、アシストガスＡＧが吹き付けられる。
【０００８】
図１０（ｂ）に示すように、レーザ光ＬＢの照射により、ガラスフィルムＧは、第一の部分Ｇ１と第二の部分Ｇ２とに溶断される。この溶断により生じた溶融ガラスＧ３は、第一搬送体１０１ａと第二搬送体１０１ｂとの間の空間に落下し、その下方位置にて回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１２−２４０８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、本発明者は、レーザ溶断を利用してガラスフィルムを精度良く切断すべく、鋭意研究を重ねた結果、以下のような問題点を発見するに至った。すなわち、図１０（ａ）に示すように、ガラスフィルムＧの幅方向Ｙにおける、第一搬送体１０１ａと第二搬送体１０１ｂとの距離をＬとするとき、第一搬送体１０１ａと第二搬送体１０１ｂとの中間位置（各搬送体１０１ａ，１０１ｂからＬ／２の位置）にレーザ光ＬＢを照射する。そうすると、図１１に示すように、溶断部分１０３が直線状に形成されず、蛇行するように形成されることが判明した。このように溶断部分１０３が蛇行してしまうと、精度の高い切断面を得ることができない。
【００１１】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、レーザ溶断を利用してガラスフィルムを精度良く切断することが可能なガラスフィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、帯状のガラスフィルムを、搬送装置により所定の方向に搬送する搬送工程と、前記搬送工程により前記ガラスフィルムを搬送しつつ、切断部により前記ガラスフィルムを第一の部分と第二の部分とに溶断する切断工程と、を備えるガラスフィルムの製造方法であって、前記切断部は、レーザ照射装置と、前記第一の部分を支持する第一支持部と、前記第二の部分を支持する第二支持部と、前記第一支持部と前記第二支持部との間であって、前記レーザ照射装置の下方位置に設けられる開口部と、を備え、前記切断工程は、前記開口部で吸引することにより前記ガラスフィルムを下方に凸となるように変形させるとともに、前記レーザ照射装置による前記レーザ光を、前記開口部の範囲内であって、前記ガラスフィルムの頂部に一致しないように照射することを特徴とする。
【００１３】
本発明者の知見によれば、ガラスフィルムを搬送しながら下方に凸となるように変形させると、搬送の影響によりその頂部が横方向に変動することが判明している。ガラスフィルムの溶断部分に蛇行が生じていたのは、この頂部の変動範囲内にレーザ光を照射することが原因であると考えられる。本発明では、開口部の吸引によりガラスフィルムを下方に凸となるように変形させた場合に、レーザ光を、変形したガラスフィルムの頂部と一致しないように、この頂部の変動範囲外の位置に照射することにより、溶断部分の蛇行の発生を防止でき、ガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。
【００１４】
本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、前記搬送装置は、前記第一支持部と、前記第二支持部と、前記開口部とを含む定盤を備えており、前記切断工程は、前記開口部で吸引することにより前記ガラスフィルムを下方に凸となるように変形させることが望ましい。
【００１５】
ガラスフィルムは、搬送される過程でその一部に皺を生じる傾向がある。皺が生じている部分を溶断してしまうと精度の高い切断面を得ることができない。本発明では、定盤の開口部を吸引孔として使用し、ガラスフィルムを下方に凸となるように変形させ、この皺を解消することにより、このガラスフィルムを精度良く切断（溶断）することができる。
【００１６】
本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、前記第一の部分は非製品部とされ、前記第二の部分は製品部とされており、前記ガラスフィルムに対する前記レーザ光の照射位置は、前記ガラスフィルムの前記頂部に一致しないように前記第一支持部寄りの位置にオフセットされることが望ましい。このように、レーザ光を、変形したガラスフィルムの頂部と一致しないように、この頂部の変動範囲外の位置に照射することにより、溶断部分の蛇行の発生を防止でき、ガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。また、製品部の有効幅を増加させることができる。
【００１７】
本発明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、前記第一支持部から前記レーザ光の前記照射位置までの距離をＬ１とし、前記第二支持部から前記レーザ光の前記照射位置までの距離をＬ２とすると、Ｌ１：Ｌ２＝３：７〜４．５：５．５に設定されることが望ましい。これにより、レーザ光を照射することによる溶断部の蛇行の発生を確実に防止でき、ガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。
【００１８】
本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、前記切断工程は、前記レーザ光による前記ガラスフィルムの溶断後に、前記第一の部分の幅方向端部及び前記第二の部分の幅方向端部から糸状剥離物を生じさせることが望ましい。第一の部分及び第二の部分から糸状剥離物を生じさせることで、その後に形成される第一の部分及び第二の部分の切断面を均一に精度良く形成できる。
【００１９】
本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、前記第二支持部は、前記第一支持部よりも高い位置で前記製品部を支持することが望ましい。これにより、第二支持部が支持するガラスフィルムの製品部は、第一支持部が支持する非製品部よりも高い位置で支持されることになる。したがって、このような位置関係から、非製品部から生じる糸状剥離物は、製品部の下方への移動を促される。したがって、非製品部から生じた糸状剥離物は、製品部の上面に接触することがなくなり、これによって製品部の損傷を防止できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、レーザ溶断を利用してガラスフィルムを精度良く切断することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第一実施形態に係るガラスフィルムの製造装置の全体構成を示す側面図である。
【図２】ガラスフィルムの製造装置の要部を示す平面図である。
【図３】切断部における定盤の平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】ガラスフィルムの溶断部分に蛇行が生じる原理を説明するための断面図である。
【図６】ガラスフィルムが溶断された状態を示す断面図である。
【図７】第二実施形態に係るガラスフィルムの製造装置の要部を示す断面図である。
【図８】ガラスフィルムが溶断された状態を示す断面図である。
【図９】製品部及び非製品部から糸状剥離物が生じた状態を示す断面図である。
【図１０】ピーリング現象を説明するためのガラスフィルムの断面図である。
【図１１】ガラスフィルムを溶断する過程を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図５は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法、及び製造装置の第一実施形態を示す。
【００２３】
図１は、ガラスフィルムの製造装置の全体構成を模式的に示す概略側面図である。図１に示すように、製造装置１は、ガラスフィルムＧを成形する成形部２と、ガラスフィルムＧの進行方向を縦方向下方から横方向Ｘに変換する方向変換部３と、方向変換後にガラスフィルムＧを横方向Ｘに搬送する横搬送部４と、この横搬送部４で横方向Ｘに搬送しつつガラスフィルムＧの幅方向端部（耳部）Ｇａ，Ｇｂを非製品部Ｇｃとして切断する切断部５と、この切断部５により非製品部Ｇｃを切断除去してなる製品部Ｇｄをロール状に巻き取ってガラスロールＲを構成する巻取り部６とを備える。なお、本実施形態において、製品部Ｇｄの厚みは、３００μｍ以下とされ、好ましくは１００μｍ以下とされる。
【００２４】
成形部２は、上端部にオーバーフロー溝７ａが形成された断面視略楔形の成形体７と、成形体７の直下に配置されて、成形体７から溢出した溶融ガラスの幅方向両端部を表裏両側から挟む冷却ローラ８と、冷却ローラ８の直下に配備されるアニーラ９とを備える。
【００２５】
成形部２は、成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状の溶融ガラスを成形する。冷却ローラ８は、溶融ガラスの幅方向収縮を規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。アニーラ９は、ガラスフィルムＧに対して除歪処理を施すためのものである。このアニーラ９は、上下方向複数段に配設されたアニーラローラ１０を有する。
【００２６】
アニーラ９の下方には、ガラスフィルムＧの幅方向両端部を表裏両側から挟持する支持ローラ１１が配設されている。支持ローラ１１と冷却ローラ８との間、または支持ローラ１１と何れか一箇所のアニーラローラ１０との間には、ガラスフィルムＧに張力が付与されている。
【００２７】
方向変換部３は、支持ローラ１１の下方位置に設けられている。方向変換部３には、ガラスフィルムＧを案内する複数のガイドローラ１２が湾曲状に配列されている。これらのガイドローラ１２は、鉛直方向に搬送されるガラスフィルムＧを横方向へと案内する。
【００２８】
横搬送部４は、方向変換部３の進行方向前方（下流側）に配置される。この横搬送部４は、第一搬送装置１３と、第二搬送装置１４とを有する。第一搬送装置１３は、方向変換部３の下流側に配置され、第二搬送装置１４は、第一搬送装置１３の下流側に配置されている。
【００２９】
第一搬送装置１３は、無端帯状の搬送ベルト１５と、この搬送ベルト１５の駆動装置１６とを有する。第一搬送装置１３は、搬送ベルト１５の上面をガラスフィルムＧに接触させることで、方向変換部３を通過したガラスフィルムＧを下流側へと連続的に搬送する。駆動装置１６は、搬送ベルト１５を駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体１６ａと、この駆動体１６ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。
【００３０】
第二搬送装置１４は、切断部５の一部として構成される。第二搬送装置１４は、ガラスフィルムＧを搬送する複数（本例では三本）の搬送ベルト１７ａ〜１７ｃと、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃの駆動装置１８とを有する。図２に示すように、搬送ベルト１７ａ〜１７ｃは、ガラスフィルムＧの幅方向一端部Ｇａ側の部分に接触する第一搬送ベルト１７ａと、ガラスフィルムＧの幅方向他端部Ｇｂ側の部分に接触する第二搬送ベルト１７ｂと、ガラスフィルムＧの幅方向中央部に接触する第三搬送ベルト１７ｃとを含む。駆動装置１８は、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃを駆動するためのローラ、スプロケット等の駆動体１８ａと、この駆動体１８ａを回転させるモータ（図示せず）を有する。
【００３１】
図２に示すように、各搬送ベルト１７ａ〜１７ｃは、ガラスフィルムＧの幅方向Ｙにおいて、離間されて配置されている。これにより、第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間、第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間には、隙間が形成される。
【００３２】
図１乃至図３に示すように、切断部５は、第二搬送装置１４の他、この第二搬送装置１４の上方位置に設けられるレーザ照射装置１９と、ガラスフィルムＧの一部を支持する定盤２０とを備える。
【００３３】
レーザ照射装置１９は、例えばＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザその他のレーザ光ＬＢを下方に向けて照射するように構成される。レーザ光ＬＢは、ガラスフィルムＧに対して所定の位置（照射位置）Ｏに照射される。本実施形態では、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断するように、二台のレーザ照射装置１９が配置されている。レーザ光ＬＢの照射位置Ｏは、図２に示すように、第二搬送装置１４における第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間、及び第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間に対応するように設定される。
【００３４】
定盤２０は、図３及び図４に示すように、レーザ照射装置１９の下方位置に配置される。本実施形態では、二台のレーザ照射装置１９に対応して、二台の定盤２０が設けられる。このうち、一方の定盤２０は、第二搬送装置１４における第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間に配置される。他方の定盤２０は、第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間の隙間に配置されている。
【００３５】
定盤２０は、金属製であり、非製品部Ｇｃを支持する第一支持部２１と、製品部Ｇｄを支持する第二支持部２２と、第一支持部２１と第二支持部２２との間に形成される開口部２３とを有する。
【００３６】
第一支持部２１及び第二支持部２２は、その上部に樹脂板２４，２５を有する。第一支持部２１及び第二支持部２２は、各樹脂板２４，２５により、定盤２０上を通過するガラスフィルムＧの一部を滑りやすくする構成となっている。第一支持部２１は、その上部に設けられる樹脂板２４の上面２４ａによってガラスフィルムＧ（非製品部Ｇｃ）を支持する。以下、この上面２４ａを第一支持部２１における支持面という。同様に、第二支持部２２に設けられる樹脂板２５の上面２５ａも、ガラスフィルムＧ（製品部Ｇｄ）を支持する支持面となっている。
【００３７】
開口部２３は、所定の幅寸法及び長さ寸法を有し、ガラスフィルムＧの搬送方向Ｘに沿って長尺状に構成される。開口部２３は、定盤２０を上下に貫通する孔として構成されている。この開口部２３には、吸引ポンプ２６が接続されている。この構成により、開口部２３は、定盤２０を通過するガラスフィルムＧを吸引する吸引孔として機能する。
【００３８】
図３及び図４に示すように、開口部２３の上方には、レーザ照射装置１９が設けられている。これにより、レーザ照射装置１９は、開口部２３の範囲内でガラスフィルムＧにレーザ光ＬＢを照射することができる。
【００３９】
図４に示すように、ガラスフィルムＧに対するレーザ光ＬＢの照射位置Ｏは、第一支持部２１と第二支持部２２との中間位置ＭＰよりも第一支持部２１寄りの位置にオフセットされている。このオフセットについては、第一支持部２１からレーザ光ＬＢの照射位置Ｏまでの距離をＬ１とし、第二支持部２２からレーザ光ＬＢの照射位置Ｏまでの距離をＬ２とするとき、Ｌ１＜Ｌ２とされることが望ましい。より具体的には、Ｌ１：Ｌ２＝３：７〜４．５：５．５に設定されることが望ましい。あるいは、Ｌ１／Ｌ２＝０．４２〜０．８２に設定されることが望ましい。なお、開口部２３を挟んで離間される、第一支持部２１と第二支持部２２との距離Ｌ（Ｌ＝Ｌ１＋Ｌ２）は、約２０ｍｍに設定されることが望ましいが、これに限定されない。
【００４０】
巻取り部６は、切断部５及び第二搬送装置１４の下流側に設置されている。巻取り部６は、巻取りローラ２７と、この巻取りローラ２７を回転駆動するモータ（図示せず）と、巻取りローラ２７に保護シート２８ａを供給する保護シート供給部２８とを有する。巻取り部６は、保護シート供給部２８から保護シート２８ａを製品部Ｇｄに重ね合わせつつ、モータにより巻取りローラ２７を回転させることで、製品部Ｇｄをロール状に巻き取る。巻き取られた製品部Ｇｄは、ガラスロールＲとして構成される。
【００４１】
以下、上記構成の製造装置１を用いてガラスフィルムＧ(ガラスロールＲ)を製造する方法について説明する。
【００４２】
ガラスフィルムＧの製造方法は、成形部２によって帯状のガラスフィルムＧを成形する成形工程と、方向変換部３及び横搬送部４によりガラスフィルムＧを搬送する搬送工程と、切断部５によりガラスフィルムＧの幅方向端部Ｇａ，Ｇｂを切断する切断工程と、切断工程後に製品部Ｇｄを巻取り部６によって回収する巻取り工程とを備える。
【００４３】
成形工程では、成形部２における成形体７のオーバーフロー溝７ａの上方から溢流した溶融ガラスを、両側面に沿ってそれぞれ流下させ、下端で合流させてフィルム状に成形する。この際、溶融ガラスの幅方向収縮を冷却ローラ８により規制して所定幅のガラスフィルムＧとする。その後、ガラスフィルムＧに対してアニーラ９により除歪処理を施す。アニーラローラ１０及び支持ローラ１１の張力により、ガラスフィルムＧは所定の厚みに形成される。
【００４４】
搬送工程では、方向変換部３によってガラスフィルムＧの搬送方向を横方向Ｘに変換するとともに、各搬送装置１３，１４によって、ガラスフィルムＧを下流側の巻取り部６へと搬送する。
【００４５】
切断工程では、第二搬送装置１４により搬送されるガラスフィルムＧに、切断部５のレーザ照射装置１９からレーザ光ＬＢを照射して、ガラスフィルムＧの幅方向両端部Ｇａ，Ｇｂを切断する。これにより、ガラスフィルムＧは非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに分断される。
【００４６】
詳細には、切断工程では、定盤２０の開口部２３を通過するガラスフィルムＧに対してレーザ照射装置１９によるレーザ光ＬＢを照射する。定盤２０上を通過するガラスフィルムＧの一部は、吸引ポンプ２６の作用により、開口部２３に吸い込まれる。このとき、定盤２０の第一支持部２１及び第二支持部２２が、その支持面２４ａ，２５ａを介して、ガラスフィルムＧを摺動させながらこれを支持する。
【００４７】
開口部２３を通過するガラスフィルムＧは、図４に示す通り、第一支持部２１の支持面２５ａと第二支持部２２の支持面２５ａとに支持され、さらに、開口部２３によって吸引されることにより、下方に凸となるように変形する。
【００４８】
凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴは、搬送に影響により、その位置が変動する。以下、切断工程におけるガラスフィルムＧの頂部ＧＴの位置変動について、図５を参照しながら説明する。図５（ａ）に示すように、定盤２０の第一支持部２１と第二支持部２２とに支持されるガラスフィルムＧは、その間の開口部２３にて、下方に凸となるように変形する。図５（ａ）では、この凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴが変動せず、定盤２０の第一支持部２１と第二支持部２２との中間位置ＭＰを通る中間線Ｚ上に位置している場合を示す。
【００４９】
このように、ガラスフィルムＧの頂部ＧＴが中間線Ｚに一致している状態を維持できれば、第一支持部２１と第二支持部２２との中間位置ＭＰにレーザ光ＬＢを照射してガラスフィルムＧを溶断しても、溶断部分（２９）の蛇行は生じない。
【００５０】
しかしながら、本発明者の知見によれば、搬送の影響により、ガラスフィルムＧが不規則に変形することが判明している。ガラスフィルムＧは、例えば図５（ｂ）に示すように、その頂部ＧＴが中間線Ｚよりも右側にずれるように変形する場合がある。また、ガラスフィルムＧは、図５（ｃ）に示すように、その頂部ＧＴが中間線Ｚよりも左側にずれるように変形する場合もある。このように、ガラスフィルムＧは、開口部２３の範囲内において、その頂部ＧＴがガラスフィルムＧの幅方向Ｙに変動するように変形する。なお、図５（ａ）〜（ｃ）は、蛇行の発生原因を明りょうに説明するために、ガラスフィルムＧの変形の程度を誇張して示している。
【００５１】
このように頂部ＧＴが変動するようにガラスフィルムＧが変形するにもかかわらず、中間位置ＭＰに二点鎖線で示すレーザ光ＬＢを照射し続けることにより、その溶断部分が蛇行する（図１１参照）ことが推察される。
【００５２】
これに対し、実施例では、図５（ａ）〜（ｃ）において実線で示すように、レーザ光ＬＢの照射位置Ｏを、中間位置ＭＰよりも第一支持部２１寄りの位置にオフセットしている。すなわち、レーザ光ＬＢは、下方に凸となるように変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴを狙うのではなく、頂部ＧＴの変動範囲外の位置であって、凸状に変形した部分における傾斜の大きな部位に照射されることになる。
【００５３】
この場合において、図５（ｂ），（ｃ）に示すように、第一支持部２１と第二支持部２２との中間位置ＭＰからのレーザ光ＬＢのオフセット量（距離）ＯＤは、この中間位置ＭＰからの頂部ＧＴの変動幅（最大変動距離）Ｄよりも大きく設定される（ＯＤ＞Ｄ）。これにより、ガラスフィルムＧにおける頂部ＧＴの横ずれの影響を可及的に低減でき、溶断部分２９の蛇行を抑制することが可能になる。
【００５４】
上記のようにガラスフィルムＧが変形した状態で、レーザ照射装置１９からのレーザ光ＬＢがガラスフィルムＧの照射位置Ｏに照射される。既述のように、この照射位置Ｏは、凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴの変動範囲Ｄ外であって、第一支持部２１寄りの位置にオフセットされている。この照射位置Ｏにレーザ光ＬＢが照射されることにより、ガラスフィルムＧは、図６に示すように、非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに溶断される。この場合、ガラスフィルムＧの溶断部分２９は、蛇行することなく、ガラスフィルムＧの搬送方向Ｘに沿って直線的に進展する。溶断により生じた溶融ガラスＧｅは、開口部２３を介して吸引され、開口部２３の下方位置にて回収される。なお、ガラスフィルムＧには、溶融ガラスＧｅが飛散しないように、かつ、レーザ照射装置１９のレンズに溶融ガラスがドロスとして付着しないように、アシストガスＡＧが噴射される。
【００５５】
なお、非製品部Ｇｃは、第二搬送装置１４の第一搬送ベルト１７ａ及び第二搬送ベルト１７ｂにより下流側に搬送され、巻取り部６の上流側で、図示しない回収装置により回収される。
【００５６】
巻取り工程では、保護シート供給部２８から保護シート２８ａを製品部Ｇｄに供給しつつ、第二搬送装置１４によって搬送された製品部Ｇｄを巻取り部６の巻取りローラ２７にてロール状に巻き取る。所定長さの製品部Ｇｄを巻取りローラ２７により巻き取ることで、ガラスロールＲが完成する。
【００５７】
以上説明した本実施形態に係るガラスフィルムＧの製造方法によれば、第一支持部２１と第二支持部２２との中間位置ＭＰでガラスフィルムＧにレーザ光ＬＢを照射するのではなく、凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴと一致しない位置、すなわち、この頂部ＧＴの変動範囲Ｄ外の位置であって、第一支持部２１寄りの位置（照射位置Ｏ）で、レーザ光ＬＢをガラスフィルムＧに照射する。これにより、ガラスフィルムＧの頂部ＧＴに一致するようにレーザ光ＬＢを照射することにより生じていた溶断部分（１０３）の蛇行を防止することで、ガラスフィルムＧを精度良く切断することができる。
【００５８】
図７乃至図９は、ガラスフィルムの製造方法に係る第二実施形態を示す。本実施形態では、定盤２０の態様が第一実施形態と異なる。本実施形態では、図７に示すように、第二支持部２２の支持面２５ａは、第一支持部２１の支持面２４ａよりも高い位置でガラスフィルムＧ（製品部Ｇｄ）を支持する。
【００５９】
本実施形態では、第一支持部２１の支持面２４ａと第二支持部２２の支持面２５ａとの高低差は約１ｍｍに設定されることが望ましいが、これに限定されず、ガラスフィルムＧの厚みに応じて適宜設定され得る。この高低差の設定は、例えば、第二支持部２２の上部に設ける樹脂板２５を複数重ね合わせることにより行われる。第一実施形態と同様に、ガラスフィルムＧは、開口部２３の範囲内において、吸引されることで下方に凸となるように変形する。レーザ照射装置１９によるレーザ光ＬＢの照射位置Ｏは、第一支持部２１と第二支持部２２との中間点ＭＰから所定距離ＯＤだけ第一支持部２１寄りにオフセットされている。
【００６０】
本実施形態におけるその他の構成は、第一実施形態と同じであり、第一実施形態と共通する構成要素には、共通符号を付している。
【００６１】
以下、本実施形態におけるガラスフィルムＧの製造方法について説明する。本実施形態では、いわゆるピーリング現象を利用して、ガラスフィルムＧを切断する。具体的には、第一実施形態と同様に、ガラスフィルムＧを搬送しつつ、図８に示すように、第一支持部２１寄りの位置にオフセットされた照射位置Ｏにレーザ光ＬＢを照射して、非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに溶断する。これにより生じる溶断部分２９は、第一実施形態と同様に、蛇行することなく直線状に進展する。
【００６２】
溶断部分２９（図８参照）は、ガラスフィルムＧが下流側に搬送され、照射位置Ｏから遠ざかることで冷却される。溶断部分２９では、冷却されることにより熱歪を生じ、これによる応力が溶断されていない部分に対して引張力として作用する。この作用により、図９に示すように、非製品部Ｇｃの幅方向端部、及び製品部Ｇｄの幅方向端部から糸状剥離物Ｇｆが分離する。このように、糸状剥離物ＧｆがガラスフィルムＧ（非製品部Ｇｃ及び製品部Ｇｄ）の端部から剥がれ落ちる現象を一般にピーリングと呼ぶ。糸状剥離物Ｇｆが生じることで、ガラスフィルムＧには、均一な切断面が形成されることになる。糸状剥離物Ｇｆは、例えば棒状の回収部材に巻き取られ、あるいはベルトコンベアによって搬送されることで、破断することなく回収される。
【００６３】
本実施形態では、定盤２０における第一支持部２１の支持面２５ａよりも第二支持部２２の支持面２５ａの位置を高く設定することにより、この第二支持部２２が支持する製品部Ｇｄから生じる糸状剥離物Ｇｆを上方に移動させ、第一支持部２１が支持する非製品部Ｇｃから生じる糸状剥離物Ｇｆを下方に移動させることができる。すなわち、図９に示すように、製品部Ｇｄ側から生じる糸状剥離物Ｇｆは、非製品部Ｇｃ側から生じる糸状剥離物Ｇｆの上側に位置する。
【００６４】
このため、非製品部Ｇｃ側の糸状剥離物Ｇｆは、製品部Ｇｄ側の下方への移動を促される。また、製品部Ｇｄ側から生じる糸状剥離物Ｇｆは、上方に障害物がないため、製品部Ｇｄから離れるように（非製品部Ｇｃに近づくように）、上方へと移動する。このように、各糸状剥離物Ｇｆは、製品部Ｇｄの製品面（上面）から離れるように移動することから、製品部Ｇｄを損傷させることはない。したがって、本実施形態に係るガラスフィルムＧの製造方法では、製品部Ｇｄを損傷させることなく精度良くガラスフィルムＧを切断することができる。
【００６５】
本発明者は、本発明の効果を確認するための試験を行った。この試験は、比較例として帯状のガラスフィルムＧを用意し、このガラスフィルムＧを定盤２０の開口部２３にて吸込みつつ、このガラスフィルムＧに対するレーザ光ＬＢの照射位置Ｏを、下方に凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴの位置変動範囲内に位置するように設定して切断を行った。また、実施例として帯状のガラスフィルムＧを用意し、このガラスフィルムＧに対して、比較例と同様に開口部２３によって吸込みつつ、下方に凸状に変形したガラスフィルムＧの頂部ＧＴの位置変動範囲外であって、第一支持部２１寄りにオフセットした位置にレーザ光ＬＢを照射してその切断を行った。
【００６６】
この試験では、定盤２０における第一支持部２１と第二支持部２２との距離Ｌを２０ｍｍとした。この試験では、吸引ポンプ２６における吸気量を５００ｌ／ｍｉｎに設定した。ガラスフィルムＧを吸引することにより、レーザ光ＬＢの照射位置Ｏ（高さ位置）は、吸引しない場合と比較して下方位置に設定される。この試験では、レーザ光ＬＢの照射位置Ｏは、第一支持部２１の支持面２５ａよりも０.１５ｍｍ下方の位置に設定した。
【００６７】
各例を比較すると、比較例に係るガラスフィルムＧは、溶断部分（図１１の溶断部分１０３に相当）が蛇行し、直線的な切断面を得ることができなかったのに対し、実施例に係るガラスフィルムＧは、比較例と比べ、その溶断部分２９が蛇行せず、直線的な切断面を得ることができた。
【００６８】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６９】
上記の実施形態では、ガラスフィルムＧを非製品部Ｇｃと製品部Ｇｄとに切断する例を示したが、これに限定されない。ガラスフィルムＧを二以上の部分に切断し、その全て又は一部を製品部Ｇｄとしてもよい。
【００７０】
上記の実施形態では、ガラスフィルムＧを巻取り部６によって巻き取ることにより、ガラスロールＲを製造する例を示したが、これに限定されない。すなわち、巻取り工程は省略することが可能であり、ロール状に構成されないガラスフィルムＧに対しても本方法を適用できる。
【００７１】
上記の実施形態では、ガラスフィルムＧに対するレーザ光ＬＢの照射位置Ｏを、中間位置ＭＰから第一支持部２１寄りの位置にオフセットさせた例を示したが、これに限定されない。レーザ光ＬＢの照射位置Ｏを第二支持部２２寄りの位置にオフセットしてガラスフィルムＧを溶断してもよい。
【００７２】
上記の実施形態では、第二支持部２２の支持面２５ａを第一支持部２１の支持面２５ａよりも高い位置に設定した例を示したが、これに限定されない。例えば、第一支持部２１の支持面２５ａを第二支持部２２の支持面２５ａよりも高い位置に設定してもよい。また、第一支持部２１の支持面２４ａと第二支持部２２の支持面２５ａを同じ高さ位置に設定してもよい。
【００７３】
上記の実施形態では、第一支持部２１、第二支持部２２及び開口部２３を備える定盤２０を使用してガラスフィルムＧを切断する例を示したが、これに限定されない。本発明に係る切断工程では、定盤２０を使用することなくガラスフィルムＧを切断してもよい。この場合、第二搬送装置１４における第一搬送ベルト１７ａと第三搬送ベルト１７ｃとの間、及び第二搬送ベルト１７ｂと第三搬送ベルト１７ｃとの間にて、ガラスフィルムＧを切断する。
【００７４】
具体的には、第三搬送ベルト１７ｃが第一支持部となり、第一搬送ベルト１７ａ及び第二搬送ベルト１７ｂが第二支持部となる。また、第三搬送ベルト１７ｃと第一搬送ベルト１７ａとの間の隙間、及び第三搬送ベルト１７ｃと第二搬送ベルト１７ｂとの間の隙間が開口部として使用される。また、第三搬送ベルト１７ｃにおけるガラスフィルムＧの支持位置を、第一搬送ベルト１７ａ及び第二搬送ベルト１７ｂにおけるガラスフィルムＧの支持位置よりも高く設定することが可能である。
【００７５】
上記の実施形態では、定盤２０の開口部２３を介して、吸引ポンプ２６によって吸引することで、ガラスフィルムＧを下方に凸となるように変形させる例を示したが、これに限定されない。吸引ポンプ２６により吸引することなく、その自重により、開口部２３の範囲でガラスフィルムＧを下方に凸となるように変形させてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１９          レーザ照射装置
２０          定盤
２１          第一支持部
２２          第二支持部
２３          開口部
Ｇ          ガラスフィルム
Ｇｃ        非製品部
Ｇｄ        製品部
Ｇｅ        糸状剥離物
ＬＢ        レーザ光
Ｏ          レーザ光の照射位置
ＭＰ        中間位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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