(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体収納容器の開口部に取り付けられるコネクタであって、
前記開口部に取り付けられるプラグと、
前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、
前記プラグが、
前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、
前記ソケットが、
前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と、
前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成され、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように円筒状の挿入穴が形成されたソケット本体と、
前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入されるととともに軸線に沿って円柱状に形成されるロータリバルブと、
前記ロータリバルブを前記軸線回りに回転させて、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、有し、
前記ロータリバルブが、
前記挿入穴の両端部と接触して液体の流出を封止するとともに円筒状に形成される一対の凸部と、
該一対の凸部の間に設けられるとともに前記一対の凸部よりも外径が小さい円筒状に形成され、前記挿入穴の内周面との間に洗浄液を流通させる洗浄空間を形成する凹部と、を有し、
前記ソケット本体が、
前記洗浄空間へ前記洗浄液を導く洗浄液流入流路と、
前記洗浄空間から前記洗浄液を流出させる洗浄液流出流路と、を有するコネクタ。
【請求項２】
前記ソケット本体が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端に配置される一対の第１流路部材と、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端に配置される一対の第２流路部材と、を有し、
前記一対の第１流路部材が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流入流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、
前記一対の第２流路部材が、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流出流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、
前記凹部は、前記ロータリバルブが前記開状態であるか前記閉状態であるかによらず前記一対の第１流路部材および前記一対の第２流路部材と接触している請求項１に記載のコネクタ。
【請求項３】
前記ソケット本体が、
第１ソケット本体と、
前記挿入穴が形成された第２ソケット本体と、
前記第１ソケット本体との間に前記第２ソケット本体を挟んだ状態で配置される第３ソケット本体と、を有し、
前記第１ソケット本体と前記第２ソケット本体と前記第３ソケット本体とが、締結部材により着脱可能に配置されている請求項１または請求項２に記載のコネクタ。
【請求項４】
液体収納容器の開口部に取り付けられるプラグに着脱可能に取り付けられるソケットであって、
前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有しており、
前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と、
前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成され、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように円筒状の挿入穴が形成されたソケット本体と、
前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入されるとともに軸線に沿って円柱状に形成されるロータリバルブと、
前記ロータリバルブを前記軸線回りに回転させて、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、有し、
前記ロータリバルブが、
前記挿入穴の両端部と接触して液体の流出を封止するとともに円筒状に形成される一対の凸部と、
該一対の凸部の間に設けられるとともに前記一対の凸部よりも外径が小さい円筒状に形成され、前記挿入穴の内周面との間に洗浄液を流通させる洗浄空間を形成する凹部と、を有し、
前記ソケット本体が、
前記洗浄空間へ前記洗浄液を導く洗浄液流入流路と、
前記洗浄空間から前記洗浄液を流出させる洗浄液流出流路と、を有するソケット。
【請求項５】
前記ソケット本体が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端に配置される一対の第１流路部材と、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端に配置される一対の第２流路部材と、を有し、
前記一対の第１流路部材が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流入流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、
前記一対の第２流路部材が、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流出流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、
前記凹部は、前記ロータリバルブが前記開状態であるか前記閉状態であるかによらず前記一対の第１流路部材および前記一対の第２流路部材と接触している請求項４に記載のソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コネクタおよびソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造に用いられる薬液等の液体収納容器に取り付けられるプラグおよびソケットが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示されるプラグおよびソケットは、ガス供給管からソケットに供給されるガスにより容器の内部を加圧し、容器に収容される液体をサイフォン管、プラグ、およびソケットを介して外部管路へ導くものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１７３３２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるソケットは、ソケットに設けた弁体とプラグに設けた弁座の接触または離間により液体の流通状態を切り換える構造となっており、流路断面積が局所的に小さくなる箇所が存在するとともに弁体を閉状態に付勢する付勢機構を備えている。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー（固体粒子が分散した懸濁液）である場合には、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が付着し、液体の流通性を悪化させてしまう。また、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して凝固すると、弁体の開閉が円滑に行われなくなる。
また、特許文献１に開示されるソケットは、内部に形成される液体戻り流路を開閉する機構を備えていない。そのため、ソケットをプラグから取り外す際に、液体戻り流路に存在する液体が外部へ流出してしまう。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、液体収納容器に収納される液体が固体粒子を含むスラリーであっても液体の流通性を悪化させず、プラグから取り外す際に液体が外部へ流出することを抑制したコネクタおよびソケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかるコネクタは、液体収納容器の開口部に取り付けられるコネクタであって、前記開口部に取り付けられるプラグと、前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、前記ソケットが、前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成され、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように円筒状の挿入穴が形成されたソケット本体と、前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入されるとともに軸線に沿って円柱状に形成されるロータリバルブと、前記ロータリバルブを前記軸線回りに回転させて、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、有し、前記ロータリバルブが、前記挿入穴の両端部と接触して液体の流出を封止するとともに円筒状に形成される一対の凸部と、該一対の凸部の間に設けられるとともに前記一対の凸部よりも外径が小さい円筒状に形成され、前記挿入穴の内周面との間に洗浄液を流通させる洗浄空間を形成する凹部と、を有し、前記ソケット本体が、前記洗浄空間へ前記洗浄液を導く洗浄液流入流路と、前記洗浄空間から前記洗浄液を流出させる洗浄液流出流路と、を有する。
【０００７】
本発明の一態様にかかるコネクタによれば、例えば、ソケットがプラグに取り付けられた状態で、外部のポンプにより液体を吸入することにより、プラグの第１液体流出流路から取り出される液体がソケットの第２液体流出流路を介して外部へ流出する。また、外部のポンプにより循環する液体が、ソケットの第２液体流入流路を介してプラグの第１液体流入流路から液体収納容器の内部へ導かれる。このように、本発明の第１態様にかかるコネクタは、液体収納容器に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器への流入とが可能な構造となっている。
【０００８】
ソケットに設けた弁体とプラグに設けた弁座の接触または離間により液体の流通状態を切り換える構造の場合、流路断面積が局所的に小さくなる箇所が存在するとともに弁体を閉状態に付勢する付勢機構を備える。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー（固体粒子が分散した懸濁液）である場合には、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が付着し、液体の流通性を悪化させてしまう。また、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して凝固すると、弁体の開閉が円滑に行われなくなる可能性がある。
【０００９】
それに対して、本発明の一態様にかかるコネクタによれば、ロータリバルブを開閉機構により開状態または閉状態に切り替えることにより、流出用貫通穴および流入用貫通穴を介して第２液体流出流路および第２液体流入流路に液体が流通する開状態と、流出用貫通穴および流入用貫通穴を介して第２液体流出流路および第２液体流入流路に液体が流通しない閉状態とを切り替えることができる。
そのため、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が蓄積し、液体の流通性を悪化させてしまう不具合や、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して弁の開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
また、開閉機構によりロータリバルブが閉状態とされるため、ソケットをプラグから取り外す際に、ソケットの内部に残存する液体が外部へ流出することを抑制することができる。
【００１０】
更に、本発明の一態様にかかるコネクタによれば、ロータリバルブの一対の凸部の間に設けられる凹部とソケット本体の挿入穴との間に洗浄空間が形成される。洗浄液流入流路から洗浄空間へ流入した洗浄液は、閉状態とした場合に外周面に固体粒子が付着するロータリバルブを適切に洗浄し、洗浄液流出流路から流出する。
このように、本発明の一態様にかかるコネクタによれば、ロータリバルブの外周面に固体粒子が蓄積してロータリバルブの開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
【００１１】
本発明の一態様にかかるコネクタにおいては、前記ソケット本体が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端に配置される一対の第１流路部材と、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端に配置される一対の第２流路部材と、を有し、前記一対の第１流路部材が、前記開状態において前記流入用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流入流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、前記一対の第２流路部材が、前記開状態において前記流出用貫通穴の両端の周囲と接触して前記第２液体流出流路と前記洗浄空間とが連通しない状態とし、前記凹部は、前記ロータリバルブが前記開状態であるか前記閉状態であるかによらず前記一対の第１流路部材および前記一対の第２流路部材と接触していてもよい。
【００１２】
このようにすることで、ロータリバルブの開状態において、流入用貫通穴を流通する液体および流出用貫通穴を流通する液体が、洗浄空間へ導かれることが抑制される。そのため、液体が研磨材等を含むスラリーである場合であっても、液体が洗浄空間へ流入して固着等する不具合を抑制することができる。
【００１３】
本発明の一態様にかかるコネクタにおいては、前記ソケット本体が、第１ソケット本体と、前記挿入穴が形成された第２ソケット本体と、前記第１ソケット本体との間に前記第２ソケット本体を挟んだ状態で配置される第３ソケット本体と、を有し、前記第１ソケット本体と前記第２ソケット本体と第３ソケット本体とが、締結部材により着脱可能に配置されているものであってよい。
このようにすることで、第２ソケット本体あるいはロータリバルブを新品に交換する交換作業や、これらを洗浄する洗浄作業を容易に行うことができる。
【００１４】
本発明の一態様にかかるソケットは、液体収納容器の開口部に取り付けられるプラグに着脱可能に取り付けられ、前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有しており、前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成され、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように円筒状の挿入穴が形成されたソケット本体と、前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入されるとともに軸線に沿って円柱状に形成されるロータリバルブと、前記ロータリバルブを前記軸線回りに回転させて、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、有し、前記ロータリバルブが、前記挿入穴の両端部と接触して液体の流出を封止するとともに円筒状に形成される一対の凸部と、該一対の凸部の間に設けられるとともに前記一対の凸部よりも外径が小さい円筒状に形成され、前記挿入穴の内周面との間に洗浄液を流通させる洗浄空間を形成する凹部と、を有し、前記ソケット本体が、前記洗浄空間へ前記洗浄液を導く洗浄液流入流路と、前記洗浄空間から前記洗浄液を流出させる洗浄液流出流路と、を有する。
【００１５】
本発明の一態様にかかるソケットによれば、上述したコネクタと同様に、ロータリバルブの一対の凸部の間に設けられる凹部とソケット本体の挿入穴との間に洗浄空間が形成される。洗浄液流入流路から洗浄空間へ流入した洗浄液は、閉状態とした場合に外周面に固体粒子が付着するロータリバルブを適切に洗浄し、洗浄液流出流路から流出する。
このように、本発明の一態様にかかるソケットによれば、ロータリバルブの外周面に固体粒子が蓄積してロータリバルブの開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、液体収納容器に収納される液体が固体粒子を含むスラリーであっても液体の流通性を悪化させず、プラグから取り外す際に液体が外部へ流出することを抑制することができる。また、ロータリバルブの外周面に固体粒子が蓄積してロータリバルブの開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態の液体供給システムを示す構成図である。
【図２】ソケットがプラグから離間し、かつキーリングが開口部から離間した状態のコネクタを正面からみた部分縦断面図である。
【図３】ソケットがプラグに装着され、かつキーリングが開口部に取り付けられた状態のコネクタを正面からみた部分縦断面図である。
【図４】図３に示す開状態のソケットの左側面図である。
【図５】閉状態のソケットの左側面図である。
【図６】図４に示すソケットのI-I矢視部分断面図である。
【図７】図５に示すソケットのII-II矢視部分断面図である。
【図８】図７に示すロータリバルブの縦断面図である。
【図９】図６に示すソケットのIII-III矢視部分断面図である。
【図１０】図６に示すソケットの分解図である。
【図１１】図１０に示すソケットを組み立てた状態を示す縦断面図である。
【図１２】ソケット洗浄システムの一実施形態を示す構成図である。
【図１３】ソケット洗浄システムの一実施形態を示す構成図である。
【図１４】ソケット洗浄システムの一実施形態を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態の液体供給システムについて図面を参照して説明する。
図１に示す本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００に収容される液体をポンプ６００により吸引して複数の供給先装置７００へ供給するシステムである。
各供給先装置７００への液体の供給量は、供給先装置７００に設けられた流量調整弁により調整される。ポンプ６００により吸引された液体のうち、供給先装置７００に供給されなかった残りの分は、循環量調整弁８００を経由して再び液体収納容器５００に戻される。
【００１９】
このように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００から取り出された液体の一部を供給先装置７００へ供給し、残りの液体を再び液体収納容器５００に戻して循環させるようになっている。これは、液体収納容器５００に収容される液体が、固体粒子が分散した懸濁液であるスラリーであるため、固体粒子が液体収納容器５００の底部に沈殿しないようにするためである。
なお、液体供給システムが循環させる液体の流量は、循環量調整弁８００の開度により調整される。
【００２０】
ここで、本実施形態における液体として用いられるスラリーとは、例えば、半導体製造におけるウエハ研磨方法であるケミカル・メカニカル・ポリッシングに用いられるシリカ系あるいはセリア系の研磨材を含む液体である。
図１に示すように、本実施形態の液体供給システムが備える液体収納容器５００は、液体を収容する容器本体５２０と、容器本体５２０の上面（天板）に設けられ軸線（第１軸線）Ｘ１回りに円筒形状に形成された開口部５１０とを備える。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられるコネクタ４００を備えている。コネクタ４００は、液体収納容器５００に収容される液体を取り出してポンプ６００まで送る液体流出流路と、循環量調整弁８００を経由した液体を液体収納容器５００へ戻す液体流入流路と、液体収納容器５００から減少した液体量に応じた外気を導入する気体流路とを備えた装置である。本実施形態のコネクタ４００は、液体の流出と、液体の流入と、減少した液体量に応じた外気の置換とを、１箇所の開口部５１０に取り付けた１つの装置で実現するものである。
【００２２】
以下、本実施形態のコネクタ４００について、図面を参照して説明する。
図２および図３に示すように、本実施形態のコネクタ４００は、液体収納容器５００の上面に設けられた開口部５１０の内周面に形成された雌ねじ５１２に固定されるプラグ２００と、開口部５１０の外周面に取り付けられるキーリング（開口部）３００と、プラグ２００に着脱可能に取り付けられるソケット１００と、を備える。
図２は、ソケット１００がプラグ２００から離間し、かつキーリング３００が開口部５１０から離間した状態を示すコネクタ４００の縦断面図である。また、図３は、ソケット１００がプラグ２００に装着され、かつキーリング３００が開口部５１０に取り付けられた状態を示す。
【００２３】
図２に示すように、キーリング３００は、軸線Ｘ１に沿って延びる円筒状に形成される樹脂材料製の部材である。キーリング３００は、軸線Ｘ１周りに延びる無端状の係合溝３１０が外周面に形成され、軸線Ｘ１周りに延びる無端状の係合突起３２０が外周面に形成された部材である。係合突起３２０の内径は、液体収納容器５００の開口部５１０の外径よりも小さくなっている。また、係合突起３２０の内径は、開口部５１０に形成される係合溝５１１の外径と略一致している。
【００２４】
樹脂材料製のキーリング３００を、治具（図示略）を用いて開口部５１０に向けて押し付けることにより、キーリング３００が弾性変形する。これにより、キーリング３００の内周面に形成された係合突起３２０が開口部５１０の外周面に形成された係合溝５１１に係合する状態となり、キーリング３００が開口部５１０に固定される。
【００２５】
キーリング３００は、図４に示すソケット１００が備える複数のキーロッド１００ａを収容する複数のキー穴部（図視略）を備える。ソケット１００が備える複数のキーロッド１００ａの位置と、これらを収容するキー穴部の位置とが一致していない場合、ソケット１００をキーリング３００に固定することができない。これにより、ソケット１００が、適切でないキーリング３００が取り付けられた液体収納容器５００の開口部５１０に対して取り付けられてしまう誤接続を防止することができる。
【００２６】
以下、本実施形態のコネクタ４００が備えるプラグ２００について説明する。
図２に示すように、プラグ２００は、プラグ本体２１０と、プラグ本体２１０の下方に取り付けられるとともに軸線Ｘ１回りに円筒状に形成される内側管２２０と、プラグ本体２１０に取り付けられる円筒状の外側管２３０と、外側管２３０と内側管２２０の間を封止する封止部材２４０とを有する。
プラグ２００を構成する各部材は、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂材料あるいはＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン）等の結晶性の熱可塑性樹脂により形成されている。
【００２７】
プラグ本体２１０は、軸線Ｘ１回りに略円筒状に形成されるとともに上端部の外周面に雄ねじ２１０ａが形成された部材である。プラグ本体２１０の雄ねじ２１０ａを開口部５１０の内周面に形成される雌ねじ５１２に締結することにより、プラグ本体２１０が開口部５１０の内周面に固定される。
【００２８】
また、プラグ本体２１０の内部には、第１液体流出流路２１１と、第１液体流入流路２１２とが形成されている。
第１液体流出流路２１１は、液体収納容器５００に収納された液体を取り出して流出ポート１０へ導く流路である。第１液体流入流路２１２は、液体収納容器５００の外部から流入ポート２０を介して流入する液体を液体収納容器５００の内部へ導く流路である。
【００２９】
内側管２２０は、軸線Ｘ１に沿って円筒状に形成される部材である。図１に示すように、プラグ２００が液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられた状態で、内側管２２０の下端部２２０ａは、液体収納容器５００の底部近傍に配置される。
内側管２２０は、プラグ本体２１０の下端に熱溶着により取り付けられるとともに液体収納容器５００に収容される液体をプラグ本体２１０の第１液体流出流路２１１へ導く。
【００３０】
外側管２３０は、軸線Ｘ１に沿って円筒状に形成される部材である。図１および図２に示すように、プラグ２００が液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられた状態で、外側管２３０の下端部２３０ａは、内側管２２０の下端部２２０ａの上方に配置される。
外側管２３０は、プラグ本体２１０の下方の外周面に圧入により取り付けられるとともに内側管２２０の外側に配置される。外側管２３０の内周面は、内側管２２０の外周面との間に、プラグ本体２１０の第１液体流入流路２１２へ導かれた液体を液体収納容器５００の内部へ導く環状流路２１４を形成する。
外側管２３０の下端部２３０ａには、軸線Ｘ１回りの複数箇所（例えば、９０°間隔で４箇所）に、環状流路２１４から液体収納容器５００の内部へ液体を流出させる複数の流出孔２３１が形成されている。
【００３１】
封止部材２４０は、外側管２３０の下端部２３０ａの内周面と内側管２２０の外周面との間を封止する部材である。封止部材２４０は、環状流路２１４から流入する液体が軸線Ｘ１に沿ってそのまま液体収納容器５００の底面へ導かれることを防止する。環状流路２１４の下端が封止部材２４０により封止されているため、環状流路２１４の下端に到達した液体は、図２に矢印で示すように、流出孔２３１を介して液体収納容器５００の内部へ流出する。
【００３２】
環状流路２１４を沿って上方から下方へ向けて落下する液体が複数の流出孔２３１から水平方向（軸線Ｘ１に直交する方向）に流出するため、複数の流出孔２３１が開口する複数の方向に液体が流出し、液体収納容器５００の底面付近の液体が良好に流動する。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー（固体粒子が分散した懸濁液）である場合には、液体収納容器５００の底面付近において固体粒子と液体とが良好に混合した状態が維持される。
以上の説明においては、外側管２３０の下端部２３０ａに複数の流出孔２３１が形成されるものとしたが、外側管２３０の下端部２３０ａに単一の流出孔２３１を形成するようにしてもよい。
【００３３】
以下、本実施形態のコネクタ４００が備えるソケット１００について説明する。
図２に示すように、ソケット１００は、ソケット本体１１０と、ソケット本体１１０に取り付けられるボールロック機構１２０と、ソケット本体１１０に形成された円筒状の挿入穴１１４に挿入される円柱状のロータリバルブ１３０と、ロータリバルブ１３０を軸線（第２軸線）Ｘ２回りに回転させる開閉機構１４０と、開閉機構１４０によるロータリバルブ１３０の閉状態から開状態への切り替えを規制する規制機構１５０とを有する。
図３に示すように、ソケット１００は、ソケット本体１１０の下端がプラグ本体２１０に挿入された状態で、ボールロック機構１２０により液体収納容器５００の開口部５１０の外周面に取り付けられたキーリング３００に固定される。
【００３４】
ソケット本体１１０の内部には、第２液体流出流路１１１と、第２液体流入流路１１２とが形成されている。第２液体流出流路１１１は、流出ポート１０を介して第１液体流出流路２１１から取り出される液体を外部へ流出させる流路である。第２液体流入流路１１２は、液体収納容器５００の外部から流入ポート２０を介して流入する液体を第１液体流入流路２１２へ導く流路である。
【００３５】
ボールロック機構１２０は、キーリング３００の軸線Ｘ１回りの周方向に沿って形成された係合溝３１０に複数のロックボール１２１を係合させてから複数のロックボール１２１を係合溝３１０に固定する機構である。ボールロック機構１２０を用いてソケット本体１１０をキーリング３００に固定することにより、ソケット１００とプラグ２００とが連結された状態に維持される。
【００３６】
ボールロック機構１２０は、図３および図９に示すように、複数のロックボール１２１と、ソケット部材（第１円筒状部材）１２２と、スリーブ（第２円筒状部材）１２３と、スプリング（付勢力発生部）１２４と、ストップリング１２５と、スプリング受け部材１２６とを有する。
【００３７】
ソケット部材１２２は、軸線Ｘ１回りに円筒状に形成されるとともに球状のロックボール１２１の外径よりも小径の複数の開口穴１２２ａを有する部材である。図５に示すように、ロックボール１２１は、ソケット部材１２２の開口穴１２２ａに収容される。開口穴１２２ａの径よりもロックボール１２１の外径が大きいため、ロックボール１２１が開口穴１２２ａからソケット部材１２２の内周側へ完全に抜けることはない。
なお、図３および図９には２つのロックボール１２１のみが示されるが、ボールロック機構１２０は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で配置される複数（例えば、３０°間隔で配置される１２個）のロックボール１２１を備えている。同様に、ボールロック機構１２０は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で配置される複数（例えば、３０°間隔で配置される１２個）の開口穴１２２ａを備えている。
【００３８】
スリーブ１２３は、軸線Ｘ１回りに円筒状に形成されるとともにソケット部材１２２の外周側に配置される部材である。スリーブ１２３は、ソケット部材１２２およびスプリング受け部材１２６により上端位置が規制され、ソケット部材１２２の下端側の外周面に取り付けられた環状のストップリング１２５により下端位置が規制される。スリーブ１２３は、軸線Ｘ１に沿って上端位置と下端位置との間でソケット部材１２２に対して相対的に移動可能となっている。
スリーブ１２３は、開口穴１２２ａに収容される複数のロックボール１２１をキーリング３００の係合溝３１０に係合した状態に規制する規制部１２３ａを有する。
【００３９】
スプリング１２４は、図９に示すように、軸線Ｘ１に沿った上端（一端）がソケット部材１２２により規制されるとともに軸線Ｘ１に沿った下端（他端）がスプリング受け部材１２６を介してスリーブ１２３により規制される弾性部材である。スプリング１２４は、弾性変形による付勢力を発生し、スリーブ１２３の規制部１２３ａがロックボール１２１に接触する下端位置に向けてスリーブ１２３を付勢する。スプリング１２４は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で複数箇所（例えば、６０°間隔の６箇所）に配置される。スプリング１２４を均等の間隔で複数箇所に配置することにより、スリーブ１２３に均等な付勢力が与えられる。
【００４０】
ここで、スプリング受け部材１２６は、軸線Ｘ１回りに環状に形成される部材であり、スプリング１２４を収容するための開口穴が複数箇所に形成された部材である。
ここでは、スプリング１２４を軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で複数箇所に設けるものとしたが、軸線Ｘ１を中心としスプリング受け部材１２６と同径の単一のスプリングを設けるようにしても良い。
【００４１】
ロータリバルブ１３０は、図２および図３に示すように、軸線Ｘ１に直交する軸線Ｘ２上に沿って円柱状に形成される部材である。ロータリバルブ１３０は、軸線Ｘ２上の第２液体流出流路１１１が配置される位置に形成される流出用貫通穴１３１と、軸線Ｘ２上の第２液体流入流路１１２が配置される位置に形成される流入用貫通穴１３２とを有する。ロータリバルブ１３０は、軸線Ｘ２回りに回転可能な状態で、第２液体流出流路１１１および第２液体流入流路１１２を貫通するようにソケット本体１１０に形成される挿入穴１１４に挿入されている。
【００４２】
開閉機構１４０は、ロータリバルブ１３０に連結される機構であり、ロータリバルブ１３０を軸線Ｘ２回りに回転させることにより、ロータリバルブ１３０を開状態または閉状態のいずれかの状態に切り替える機構である。
ここで、ロータリバルブ１３０の開状態とは、図３に示すように、ロータリバルブ１３０に形成される流出用貫通穴１３１とソケット本体１１０の第２液体流出流路１１１とが連通し、かつロータリバルブ１３０に形成された流入用貫通穴１３２とソケット本体１１０の第２液体流入流路１１２とが連通した状態をいう。
また、ロータリバルブ１３０の閉状態とは、図２に示すように、ロータリバルブ１３０に形成される流出用貫通穴１３１とソケット本体１１０の第２液体流出流路１１１とが連通せず、かつロータリバルブ１３０に形成された流入用貫通穴１３２とソケット本体１１０の第２液体流入流路１１２とが連通しない状態をいう。
【００４３】
図３に示すように、開状態においては、第１液体流出流路２１１と第２液体流出流路１１１とが連通しかつ第１液体流入流路２１２と第２液体流入流路１１２とが連通した状態となる。
また、閉状態においては、第１液体流出流路２１１と第２液体流出流路１１１とが連通せずかつ第１液体流入流路２１２と第２液体流入流路１１２とが連通しない状態となる。
【００４４】
開閉機構１４０は、ロータリバルブ１３０の両端部に連結されるとともに作業者による開閉動作を受け付ける一対の開閉アーム（規制部材）１４１を有する。
作業者は、プラグ２００を開口部５１０の内周面に固定し、ソケット１００をキーリング３００に取り付けた後、開閉アーム１４１を把持して軸線Ｘ２回りに回転させる。これにより、ロータリバルブ１３０は、図２に示す閉状態から図３に示す開状態に切り替わる。
【００４５】
ここで、開閉機構１４０により閉状態と開状態とが切り替えられるロータリバルブ１３０とロータリバルブ１３０が挿入されるソケット本体１１０について図面を参照して詳細に説明する。
図４は図３に示す開状態のソケット１００の左側面図であり、図５は閉状態のソケット１００の左側面図である。
図４に示すように、ロータリバルブ１３０が開状態となっているソケット１００においては、開閉アーム１４１が軸線Ｘ１に沿って上方へ延びている。一方、図５に示すように、ロータリバルブ１３０が閉状態となっているソケット１００においては、開閉アーム１４１が軸線Ｘ１に直行する水平方向に延びている。
コネクタ４００の操作者は、開閉アーム１４１を把持して軸線Ｘ２回りに回転させることにより、ロータリバルブ１３０の開状態と閉状態とを切り替えることができる。
【００４６】
図６および図７に示すように、ソケット本体１１０は、第１ソケット本体１１０ａと、第２ソケット本体１１０ｂと、第３ソケット本体１１０ｃとを有する。第２ソケット本体１１０ｂは、第１ソケット本体１１０ａと第３ソケット本体１１０ｃとの間に挟まれた状態で配置される。
第２ソケット本体１１０ｂには、上方２箇所と下方２箇所に挿入穴１１４と連通する貫通穴が形成されている。第２ソケット本体１１０ｂは、４箇所の貫通穴のそれぞれに挿入される一対の第１流路部材１１０ｄと、一対の第２流路部材１１０ｅとを有する。
【００４７】
図６に示すように、一対の第１流路部材１１０ｄは、ロータリバルブ１３０の開状態において流入用貫通穴１３２の両端に配置され、一対の第２流路部材１１０ｅは、ロータリバルブ１３０の開状態において流出用貫通穴１３１の両端に配置される。
一対の第１流路部材１１０ｄは、ロータリバルブ１３０の開状態において、流入用貫通穴１３２の両端の周囲と接触して第２液体流入流路１１２と洗浄空間ＷＳ（図８参照）とが連通しない状態とする。また、一対の第２流路部材１１０ｅは、ロータリバルブ１３０の開状態において、流出用貫通穴１３１の両端の周囲と接触して第２液体流出流路１１１と洗浄空間ＷＳとが連通しない状態とする。
一対の第１流路部材１１０ｄおよび一対の第２流路部材１１０ｅは、例えばフッ素ゴムにより形成されている。
【００４８】
図６に示すように、ロータリバルブ１３０が開状態となっているソケット１００においては、第２液体流入流路１１２と流入用貫通穴１３２とが連通した状態となっている。また、第２液体流出流路１１１と流出用貫通穴１３１とが連通した状態となっている。
一方、図７に示すように、ロータリバルブ１３０が閉状態となっているソケット１００においては、第２液体流入流路１１２と流入用貫通穴１３２とが連通しない状態となっている。また、第２液体流出流路１１１と流出用貫通穴１３１とが連通しない状態となっている。
【００４９】
図８に示すように、第２ソケット本体１１０ｂの挿入穴１１４に挿入されたロータリバルブ１３０は、挿入穴１１４の両端部と接触する凸部１３３および凸部１３４（一対の凸部）と、凸部１３３および凸部１３４の間に設けられる凹部１３５と、を有する。凹部１３５は、挿入穴１１４の内周面との間に洗浄液を流通させる洗浄空間ＷＳを形成する。
図８に示すように、洗浄空間ＷＳは、軸線Ｘ２上の異なる位置に形成される洗浄空間ＷＳ１，ＷＳ２，ＷＳ３とが連通した単一の空間となっている。
【００５０】
凸部１３３および凸部１３４は、それぞれ外径Ｄ１の円筒状に形成される部分であり、それぞれの外周面に軸線Ｘ２回りに延びる無端状の環状溝が形成されている。凸部１３３に形成される環状溝にはＯリング１３３ａが配置されており、Ｏリング１３３ａが挿入穴１１４の内周面に接触している。同様に、凸部１３４に形成される環状溝にはＯリング１３４ａが配置されており、Ｏリング１３４ａが挿入穴１１４の内周面に接触している。
Ｏリング１３３ａおよびＯリング１３４ａにより、洗浄空間ＷＳに存在する洗浄液や液体供給システムが循環させる液体は、外部へ流出しないように封止される。Ｏリング１３３ａおよびＯリング１３４ａは、例えばフッ素ゴムにより形成されている。
【００５１】
凹部１３５は、流入用貫通穴１３２および流出用貫通穴１３１が形成される部分が外径Ｄ２の円筒状に形成されており、その他の部分が外径Ｄ３の円筒状に形成されている。外径Ｄ２は外径Ｄ１よりも小さく、外径Ｄ３は外径Ｄ２よりも小さい。
凹部１３５の外径Ｄ２の部分は、ロータリバルブ１３０の開閉状態に関係なく常に一対の第１流路部材１１０ｄおよび一対の第２流路部材１１０ｅと接触している。そのため、ロータリバルブ１３０の閉状態においては、凹部１３５の外径Ｄ２の部分に第２液体流入流路１１２の内部の液体が付着する。同様に、凹部１３５の外径Ｄ２の部分に第２液体流出流路１１１の内部の液体が付着する。
【００５２】
ロータリバルブ１３０の閉状態においては、液体が付着した凹部１３５の外径Ｄ２の部分が、洗浄空間ＷＳに露出した状態となる。そのため、洗浄空間ＷＳに洗浄液を流通させることにより、凹部１３５の外径Ｄ２の部分に付着した液体を洗浄することができる。
図９に示すように、第２ソケット本体１１０ｂには、洗浄液流入ポート１６０と洗浄液流出ポート１７０とが取り付けられている。また、第２ソケット本体１１０ｂは、洗浄空間ＷＳへ洗浄液を導く洗浄液流入流路１１０ｆと、洗浄空間ＷＳから洗浄液を流出させる洗浄液流出流路１１０ｇとを有する。
【００５３】
洗浄液流入ポート１６０は、外部から供給される洗浄液を第２ソケット本体１１０ｂに形成された洗浄液流入流路１１０ｆへ導くポートである。洗浄液流入流路１１０ｆへ導かれた洗浄液は、洗浄空間ＷＳへ導かれる。
洗浄液流出ポート１７０は、洗浄空間ＷＳを洗浄した洗浄液を第２ソケット本体１１０ｂに形成された洗浄液流出流路１１０ｇへ導くポートである。洗浄液流出流路１１０ｇへ導かれた洗浄液は、外部へ流出する。
【００５４】
次に、挿入穴１１４にロータリバルブ１３０が挿入された第２ソケット本体１１０ｂを取り外すための構造について図１０および図１１を参照して説明する。
図１０の分解図および図１１の組立図に示すように、ソケット本体１１０は、第１ソケット本体１１０ａと、第２ソケット本体１１０ｂと、第３ソケット本体１１０ｃとを有する。第３ソケット本体１１０ｃは、第１ソケット本体１１０ａとの間に第２ソケット本体１１０ｂを挟んだ状態で配置される。
【００５５】
第１ソケット本体１１０ａ、第２ソケット本体１１０ｂ、および第３ソケット本体１１０ｃには、それぞれ締結ロッド１９０を挿入するための複数の貫通穴が軸線Ｘ１と平行な軸線に沿って延びるように形成されている。図１０および図１１には、第１ソケット本体１１０ａ、第２ソケット本体１１０ｂ、および第３ソケット本体１１０ｃのそれぞれに２箇所ずつ貫通穴が形成されている断面が示されているが、第１ソケット本体１１０ａ、第２ソケット本体１１０ｂ、および第３ソケット本体１１０ｃのそれぞれには、４箇所あるいは６箇所等の複数箇所に貫通穴が形成されている。
【００５６】
締結ロッド（締結部材）１９０は、軸状に形成される金属製の部材であり、下端に形成された雄ねじが金属製の板状部材１８１に形成された締結穴の雌ねじに締結されている。また、締結ロッド１９０の上端に形成された締結穴の雌ねじには、締結ボルト１９１の外周面に形成された雄ねじが締結される。
図１０および図１１に示すように、第１ソケット本体１１０ａと、第２ソケット本体１１０ｂと、第３ソケット本体１１０ｃと、金属製の板状部材１８０とが、締結ロッド１９０に挿入された状態で、締結ボルト（締結部材）１９１が締結ロッド１９０に締結される。
【００５７】
図１０および図１１に示すように、樹脂製の第１ソケット本体１１０ａ、第２ソケット本体１１０ｂ、および第３ソケット本体１１０ｃが、金属製の一対の板状部材１８０および板状部材１８１に挟まれた状態で配置される。この状態で締結ボルト１９１を締結ロッド１９０に締結することにより、第１ソケット本体１１０ａと、第２ソケット本体１１０ｂと、第３ソケット本体１１０ｃとが、一体に組み合わされた状態となる。
【００５８】
第１ソケット本体１１０ａ、第２ソケット本体１１０ｂ、および第３ソケット本体１１０ｃは、締結ボルト１９１と締結ロッド１９０との締結状態を解除することにより、一体に組み合わされた状態を解除することができる。すなわち、第１ソケット本体１１０ａと、第２ソケット本体１１０ｂと、第３ソケット本体１１０ｃとは、締結ボルト１９１と締結ロッド１９０により、着脱可能に配置されている。そのため、締結ボルト１９１と締結ロッド１９０との締結状態を解除することにより、ロータリバルブ１３０が挿入された第２ソケット本体１１０ｂをソケット１００から取り外すことができる。第２ソケット本体１１０ｂをソケット１００から取り外すことにより、第２ソケット本体１１０ｂあるいはロータリバルブ１３０を新品に交換する交換作業や、これらを洗浄する洗浄作業を容易に行うことができる。
【００５９】
次に、ソケット１００を洗浄するソケット洗浄システム９００について説明する。
図１２に示すソケット洗浄システム９００は、ロータリバルブ１３０の開状態において、洗浄空間ＷＳを洗浄するシステムである。
図１２に示すソケット洗浄システム９００は、洗浄液（例えば、純水）を貯蔵する洗浄液タンク９１０と、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を洗浄液流入ポート１６０まで送るポンプ９２０と開閉弁９３０とを備える。
【００６０】
ソケット洗浄システム９００は、ロータリバルブ１３０の開状態において、開閉弁９３０を開状態にしてポンプ９２０を動作させることにより、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を洗浄液流入ポート１６０へ流入させる。洗浄液流入ポート１６０へ流入した洗浄液は、洗浄空間ＷＳを洗浄した後に洗浄液流出ポート１７０から流出し、廃液タンク（図示略）へ排出される。
このように、ソケット洗浄システム９００は、ロータリバルブ１３０の開状態において、洗浄空間ＷＳの内部に洗浄液を流通させることにより、洗浄空間ＷＳを洗浄することができる。
なお、図１２に示すソケット洗浄システム９００は、ロータリバルブ１３０の開状態において洗浄空間ＷＳを洗浄するものとしたが、ロータリバルブ１３０の閉状態において洗浄空間ＷＳを洗浄することも可能である。この場合、ロータリバルブ１３０の流出用貫通穴１３１および流入用貫通穴１３２に洗浄液が流入するため、洗浄後に流出用貫通穴１３１および流入用貫通穴１３２に残存する洗浄液を除去するのが望ましい。例えば、洗浄液による洗浄後に洗浄液流入ポート１６０から窒素ガス等の不活性気体を流入させて洗浄液流出ポート１７０から排出することにより、流出用貫通穴１３１および流入用貫通穴１３２に残存する洗浄液を除去することができる。
【００６１】
次に、ソケット１００を洗浄する他のソケット洗浄システム９０１について説明する。
図１３に示すソケット洗浄システム９０１は、ロータリバルブ１３０の開状態において、第２液体流入流路１１２および第２液体流出流路１１１を洗浄するシステムである。
図１３に示すソケット洗浄システム９０１は、洗浄液（例えば、純水）を貯蔵する洗浄液タンク９１０と、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を流入ポート１０および流出ポート２０まで送るポンプ９２０と開閉弁９３０と、下端部が挿入された状態でソケット１００が取り付けられるソケット取付装置９５０とを備える。
【００６２】
ソケット洗浄システム９０１は、ロータリバルブ１３０の開状態において、開閉弁９３０を開状態にしてポンプ９２０を動作させることにより、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を流出ポート１０および流入ポート２０の双方へ流入させる。流出ポート１０へ流入した洗浄液は、第２液体流出流路１１１を洗浄した後にソケット取付装置９５０の流出ポート９６０から流出し、廃液タンク（図示略）へ排出される。
【００６３】
同様に、流入ポート２０へ流入した洗浄液は、第２液体流入流路１１２を洗浄した後にソケット取付装置９５０の流出ポート９６０から流出し、廃液タンク（図示略）へ排出される。
このように、ソケット洗浄システム９０１は、ロータリバルブ１３０の開状態において、第２液体流入流路１１２および第２液体流出流路１１１に洗浄液を流通させることにより、これらを洗浄することができる。
【００６４】
次に、ソケット１００を洗浄する他のソケット洗浄システム９０２について説明する。
図１４に示すソケット洗浄システム９０２は、ロータリバルブ１３０の開状態において、第２液体流入流路１１２および第２液体流出流路１１１を洗浄するシステムである。
図１４に示すソケット洗浄システム９０２は、洗浄液（例えば、純水）を貯蔵する洗浄液タンク９１０と、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を流入ポート１０および流出ポート２０まで送るポンプ９２０と開閉弁９３０と、下端部が挿入された状態でソケット１００が取り付けられるソケット取付装置９５０とを備える。
【００６５】
ソケット洗浄システム９０２は、ロータリバルブ１３０の開状態において、開閉弁９３０を開状態にしてポンプ９２０を動作させることにより、洗浄液タンク９１０に貯蔵された洗浄液を流出ポート１０へ流入させる。流出ポート１０へ流入した洗浄液は、第２液体流出流路１１１を洗浄した後に第２液体流入流路１１２を洗浄し、流入ポート２０から流出して廃液タンク（図示略）へ排出される。
【００６６】
第２液体流出流路１１１を洗浄した洗浄液が第２液体流入流路１１２へ導かれるのは、ソケット取付装置９５０の下端に液体の流出を阻止する封止部材９７０が取り付けられているからである。
このように、ソケット洗浄システム９０２は、ロータリバルブ１３０の開状態において、第２液体流入流路１１２および第２液体流出流路１１１に洗浄液を流通させることにより、これらを洗浄することができる。
【００６７】
以上説明した本実施形態のコネクタ４００が奏する作用及び効果について説明する。
本実施形態のコネクタ４００によれば、例えば、ソケット１００がプラグ２００に取り付けられた状態で、外部のポンプにより液体を吸入することにより、プラグ２００の第１液体流出流路２１１から取り出される液体がソケット１００の第２液体流出流路１１１を介して外部へ流出する。また、外部のポンプにより循環する液体が、ソケット１００の第２液体流入流路１１２を介してプラグ２００の第１液体流入流路２１２から液体収納容器５００の内部へ導かれる。このように、本実施形態のコネクタ４００は、液体収納容器５００に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器５００への流入とが可能な構造となっている。
【００６８】
ソケットに設けた弁体とプラグに設けた弁座の接触または離間により液体の流通状態を切り換える構造の場合、流路断面積が局所的に小さくなる箇所が存在するとともに弁体を閉状態に付勢する付勢機構を備える。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー（固体粒子が分散した懸濁液）である場合には、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が付着し、液体の流通性を悪化させてしまう。また、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して凝固すると、弁体の開閉が円滑に行われなくなる可能性がある。
【００６９】
それに対して、本実施形態のコネクタ４００によれば、ロータリバルブ１３０を開閉機構１４０により開状態または閉状態に切り替えることにより、流出用貫通穴１３１および流入用貫通穴１３２を介して第２液体流出流路１１１および第２液体流入流路１１２に液体が流通する開状態と、流出用貫通穴１３１および流入用貫通穴１３２を介して第２液体流出流路１１１および第２液体流入流路１１２に液体が流通しない閉状態とを切り替えることができる。
【００７０】
そのため、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が蓄積し、液体の流通性を悪化させてしまう不具合や、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して弁の開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
また、開閉機構１４０によりロータリバルブ１３０が閉状態とされるため、ソケット１００をプラグ２００から取り外す際に、ソケット１００の内部に残存する液体が外部へ流出することを抑制することができる。
【００７１】
更に、本実施形態のコネクタ４００によれば、ロータリバルブ１３０の一対の凸部１３３，１３４の間に設けられる凹部１３５とソケット本体１１０の挿入穴１１４との間に洗浄空間ＷＳが形成される。洗浄液流入流路１１０ｆから洗浄空間ＷＳへ流入した洗浄液は、閉状態とした場合に外周面に固体粒子が付着するロータリバルブ１３０を適切に洗浄し、洗浄液流出流路１１０ｇから流出する。
このように、本実施形態のコネクタ４００によれば、ロータリバルブ１３０の外周面に固体粒子が蓄積してロータリバルブ１３０の開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
【００７２】
本実施形態のコネクタにおいては、ソケット本体１１０が、開状態において流入用貫通穴１３２の両端に配置される一対の第１流路部材１１０ｄと、開状態において流出用貫通穴１３１の両端に配置される一対の第２流路部材１１０ｅと、を有する。また、一対の第１流路部材１１０ｄが、開状態において流入用貫通穴１３２の両端の周囲と接触して第２液体流入流路１１２と洗浄空間ＷＳとが連通しない状態とし、一対の第２流路部材１１０ｅが、開状態において流出用貫通穴１３１の両端の周囲と接触して第２液体流出流路１１１と洗浄空間ＷＳとが連通しない状態とする。
【００７３】
このようにすることで、ロータリバルブ１３０の開状態において、流入用貫通穴１３２を流通する液体および流出用貫通穴１３１を流通する液体が、洗浄空間ＷＳへ導かれることが抑制される。そのため、液体が研磨材等を含むスラリーである場合であっても、液体が洗浄空間ＷＳへ流入して固着等する不具合を抑制することができる。
【００７４】
本実施形態のコネクタ４００においては、ソケット本体１１０が、第１ソケット本体１１０ａと、挿入穴１１４が形成された第２ソケット本体１１０ｂと、第１ソケット本体１１０ａとの間に第２ソケット本体１１０ｂを挟んだ状態で配置される第３ソケット本体１１０ｃと、を有し、第１ソケット本体１１０ａと第２ソケット本体１１０ｂと第３ソケット本体１１０ｃとが、締結ロッド１９０および締結ボルト１９１により着脱可能に配置されている。
このようにすることで、第２ソケット本体１１０ｂあるいはロータリバルブ１３０を新品に交換する交換作業や、これらを洗浄する洗浄作業を容易に行うことができる。
【００７５】
〔他の実施形態〕
以上の説明においては、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定し、ソケット１００のボールロック機構１２０をキーリング３００の係合溝３１０に係合させるものとした。すなわち、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定したものを液体収納容器５００の開口部とし、その開口部にソケット１００を固定するものであったが、他の態様であってもよい。
例えば、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定せず、ソケット１００のボールロック機構１２０を開口部５１０の係合溝５１１に直接的に係合させるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１００    ソケット
１１０    ソケット本体
１１０ｄ  第１流路部材
１１０ｅ  第２流路部材
１１０ｆ  洗浄液流入流路
１１０ｇ  洗浄液流出流路
１１１    第２液体流出流路
１１２    第２液体流入流路
１１４    挿入穴
１２０    ボールロック機構
１３０    ロータリバルブ
１３１    流出用貫通穴
１３２    流入用貫通穴
１３３，１３４  凸部
１３３ａ，１３４ａ  Ｏリング
１３５    凹部
１４０    開閉機構
１５０    規制機構
１６０    洗浄液流入ポート
１７０    洗浄液流出ポート
１９０    締結ロッド（締結部材）
１９１    締結ボルト（締結部材）
２００    プラグ
２１０    プラグ本体
２１１    第１液体流出流路
２１２    第１液体流入流路
３００    キーリング（開口部）
４００    コネクタ
５００    液体収納容器
５１０    開口部
９００，９０１，９０２  ソケット洗浄システム
９１０    洗浄液タンク
９２０    ポンプ
９３０    開閉弁
９５０    ソケット取付装置
９６０    流出ポート
９７０    封止部材
ＷＳ      洗浄空間
Ｘ１      軸線（第１軸線）
Ｘ２      軸線（第２軸線）
【図１】
0006679429.tif 000002
【図２】
0006679429.tif 000003
【図３】
0006679429.tif 000004
【図４】
0006679429.tif 000005
【図５】
0006679429.tif 000006
【図６】
0006679429.tif 000007
【図７】
0006679429.tif 000008
【図８】
0006679429.tif 000009
【図９】
0006679429.tif 000010
【図１０】
0006679429.tif 000011
【図１１】
0006679429.tif 000012
【図１２】
0006679429.tif 000013
【図１３】
0006679429.tif 000014
【図１４】
0006679429.tif 000015