(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の筐体と、
前記筐体の先端側の開口を塞ぎ、自身の先端側から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
前記ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
前記ダイアフラムは、自身の先端面から後端側に延びる孔が形成され、
前記孔内に配置される第１部と、前記第１部の先端側に隣接し、前記ダイアフラムの前記先端面の少なくとも一部を覆う第２部とを有する受熱部であり、前記第１部と前記第２部とが一体形成される受熱部を備え、
前記第１部は、前記ダイアフラムの前記孔を形成する内面と接続され、
前記ダイアフラムは、自身の後端部が、前記筐体内に配置され、
前記孔は、前記後端部に配置される孔後端部を有し、
前記第１部は、前記孔後端部における前記ダイアフラムの前記内面と接続されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記ダイアフラムは、
先端側から後端側に向かって延びるロッド部と、
前記ロッド部の周囲から径方向外側に延び、自身の先端側から受けた圧力に応じて撓むフランジ部と、を有し
前記第２部は、前記フランジ部における前記先端面の少なくとも一部を覆い
前記孔は、前記ロッド部に形成され、前記ロッド部における前記先端面から前記フランジ部の後端面よりも後端側に延びており、
前記第１部は、前記孔のうち前記フランジ部の後端面よりも後端側の部分における前記ダイアフラムの前記内面と接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記ダイアフラムは前記筐体の先端側に接続部を介して接続され、
前記ダイアフラムの前記先端面及び前記接続部を、前記先端面に対して平行な投影面上に投影する場合に、
前記投影面上において、前記接続部に囲まれた領域の面積を、包囲面積Ｓｄとしたときに、前記包囲面積Ｓｄと、前記ダイアフラムの前記孔の開口面積Ｓｎとは、０．１５≦（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５である請求項１または２に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、内燃機関の燃焼室内の圧力を測定する圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力センサとして、筒状の筐体と、筐体の先端側の開口を塞ぎ、先端側から受けた燃焼ガスによる圧力に応じて撓むダイアフラムと、ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、を備えているものが知られている。
また、圧力センサとして、高温の燃焼ガスによるダイアフラムの熱変形量を小さくするために、ダイアフラムの先端面に、受熱部が設置されているものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１９９８１
【特許文献２】特開２０１７−４０５１６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、ダイアフラムと受熱部との接続方法について、十分な工夫がなされておらず、内燃機関に取り付けて使用した際に、ダイアフラムから受熱部が脱落する虞があった。【０００５】
本開示は、ダイアフラムと受熱部との接続方法を改善することにより、ダイアフラムから受熱部が脱落することを抑制できる技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示は、例えば、以下の適用例または形態を開示する。
[形態]
筒状の筐体と、
前記筐体の先端側の開口を塞ぎ、自身の先端側から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
前記ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
前記ダイアフラムは、自身の先端面から後端側に延びる孔が形成され、
前記孔内に配置される第１部と、前記第１部の先端側に隣接し、前記ダイアフラムの前記先端面の少なくとも一部を覆う第２部とを有する受熱部であり、前記第１部と前記第２部とが一体形成される受熱部を備え、
前記第１部は、前記ダイアフラムの前記孔を形成する内面と接続され、
前記ダイアフラムは、自身の後端部が前記筐体内に配置され、
前記孔は、前記後端部に配置される孔後端部を有し、
前記第１部は、前記孔後端部における前記ダイアフラムの前記内面と接続されていることを特徴とする圧力センサ。
【０００７】
［適用例１］
筒状の筐体と、
筐体の先端側の開口を塞ぎ、自身の先端側から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、を備える圧力センサであって、
ダイアフラムは、自身の先端面から後端側に延びる孔が形成され、
孔内に配置される第１部と、第１部の先端側に隣接し、ダイアフラムの先端面の少なくとも一部を覆う第２部とを有する受熱部であり、第１部と第２部とが一体形成される受熱部を備え、
第１部は、ダイアフラムの孔を形成する内面と接続されていることを特徴とする圧力センサ。【０００８】
本構成によれば、第１部と、第２部とが一体成形されてため、第１部と第２部とが溶接等によって接合されておらず、そもそも第１部と第２部とが離間することがない。また、第１部が、ダイアフラムのうち先端面から後端側に向かって延びる孔を形成する内面と接続されているため、ダイアフラムと受熱部との接続部が燃焼ガスに曝されにくくなっている。その結果、ダイアフラムと受熱部との接続部に対する燃焼ガスの影響を小さくすることができ、燃焼ガスによる接続部の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部がダイアフラムから脱落することを抑制することができる。【０００９】
［適用例２］
ダイアフラムは、自身の後端部が、筐体内に配置され、
孔は、後端部に配置される孔後端部を有し、
第１部は、孔後端部におけるダイアフラムの内面と接続されていることを特徴とする適用例１に記載の圧力センサ。【００１０】
この構成によれば、ダイアフラムに設けられた孔は、筐体内に配置される後端部に配置される孔後端部を有し、受熱部が、ダイアフラムのうち孔後端部を形成する内面と接続されているため、受熱部とダイアフラムとの接続部がダイアフラムの先端面からより離れた位置に設けられる。その結果、受熱部とダイアフラムとの接続部に対する燃焼ガスの影響をさらに小さくすることができる。その結果、燃焼ガスによる接続部の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部がダイアフラムから脱落することをさらに抑制することができる。【００１１】
［適用例３］
ダイアフラムは、
先端側から後端側に向かって延びるロッド部と、
ロッド部の周囲から径方向外側に延び、自身の先端側から受けた圧力に応じて撓むフランジ部と、を有し
第２部は、フランジ部における先端面の少なくとも一部を覆い
孔は、ロッド部に形成され、ロッド部における先端面からフランジ部の後端面よりも後端側に延びており、
第１部は、孔のうちフランジ部の後端面よりも後端側の部分におけるダイアフラムの内面と接続されていることを特徴とする適用例１または２に記載の圧力センサ。【００１２】
この構成によれば、受熱部が、孔のうちフランジ部の後端面よりも後端側の部分におけるダイアフラムの内面と接続されているため、受熱部とダイアフラムとの接続部がダイアフラムの先端面からより離れた位置に設けられる。その結果、受熱部とダイアフラムとの接続部に対する燃焼ガスの影響をさらに小さくすることができる。その結果、燃焼ガスによる接続部の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部のダイアフラムからの脱落をさらに抑制することができる。【００１３】
［適用例４］
ダイアフラムは筐体の先端側に接続部を介して接続され、
ダイアフラムの先端面及び接続部を、ダイアフラムの先端面に対して平行な投影面上に投影する場合に、
投影面上において、接続部に囲まれた領域の面積を、包囲面積Ｓｄとし、包囲面積Ｓｄと、ダイアフラムの孔の開口面積Ｓｎとは、０．１５≦（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５である適用例１乃至３のいずれかに記載の圧力センサ。【００１４】
この構成によれば、接続部の包囲面積Ｓｄに対して、孔の開口面積Ｓｎが占める割合が大きくなりすぎないため、ダイアフラムの撓み（変形）が抑制されずに、燃焼室の圧力を精度よく検知することができる。【００１５】
また、この構成によれば、包囲面積Ｓｄに対して、孔の開口面積Ｓｎが占める割合が小さすぎないため、ダイアフラムと受熱部との接続領域を十分に確保できる。その結果、ダイアフラムと受熱部との接続部に対する負荷を小さくすることができ、受熱部のダイアフラムからの脱落をさらに抑制することができる。【００１６】
なお、本明細書に開示の技術は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、圧力センサ、その圧力センサを搭載する内燃機関等の態様で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態としての圧力センサ１０を示す説明図である。
【図２】圧力センサ１０の先端部を拡大して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態としての圧力センサ１０を示す説明図である。本実施形態の圧力センサ１０は、内燃機関に取り付けられて、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するために用いられる。図１に示すように、圧力センサ１０は、主な構成要素として、筒状の第１金具２０、第２金具８０と、第３金具３５と、ダイアフラム４０と、受熱部９０と、素子部５０と、ケーブル６０と、を備えている。中心軸ＣＬは、圧力センサ１０の中心軸である。以下、中心軸ＣＬを軸線ＣＬとも呼び、軸線ＣＬに平行な方向を、「軸線方向」とも呼ぶ。軸線ＣＬを中心とする円の径方向を、単に「径方向」とも呼び、軸線ＣＬを中心とする円の周方向を、単に「周方向」とも呼ぶ。また、軸線ＣＬに沿って第１金具２０からダイアフラム４０へ向かう方向を、「先端方向Ｄｆ」と呼び、先端方向Ｄｆの反対方向を、「後端方向Ｄｒ」と呼ぶ。先端方向Ｄｆ側を「先端側」と呼び、後端方向Ｄｒ側を「後端側」とも呼ぶ。
【００１９】
図１には、圧力センサ１０の先端側の部分の軸線ＣＬよりも左側の断面構成が示されている。この断面は、軸線ＣＬを含む平断面（平面で切断された断面）である。また、図１には、圧力センサ１０の他の部分の外観構成が示されている。本実施形態では、圧力センサ１０の中心軸ＣＬは、第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５と受圧部４０と受熱部９０と素子部５０とのそれぞれの中心軸でもある。
【００２０】
第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５とは、中心軸ＣＬに垂直な断面(以下、横断面とも呼ぶ）が円環状であって軸線方向に延びる筒形状を有している。本実施形態では、第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５とは、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。本実施形態では、第１金具、第２金具及び第３金具とで形成された筒状部材が、特許請求の範囲に記載された「筐体」に相当する。
【００２１】
第１金具２０には、中心軸ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔２１が形成されている。また、第１金具２０の後端側外周面には、ねじ部２２および工具係合部２４が設けられている。ねじ部２２は、圧力センサ１０を内燃機関のシリンダヘッドに固定するためのねじ溝を備えている。工具係合部２４は、圧力センサ１０の取り付けおよび取り外しに用いられる工具（図示しない）に係り合う外周形状（例えば、横断面が六角形）を有する。   
【００２２】
第２金具８０には、中心軸ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔８１が形成されている。第３金具３５には、中心軸ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔３９が形成されている。第１金具２０の軸孔２１と、第２金具８０の軸孔８１と、第３金具３５の軸孔３９とは、第１金具２０の軸孔２１に連通する連続な貫通孔を形成している。第２金具８０の軸孔８１内には、先端側から後端側に向かって順に、素子部５０と押さえねじ３２とが、配置されている。第３金具３５の軸孔３９内には、ダイアフラム４０が配置されている。
【００２３】
図２は、圧力センサ１０の先端部、具体的には図１に領域Ｘとして示す部位を拡大して示す断面図である。この断面は、軸線ＣＬを含む平断面である。第３金具３５は、第２金具８０の先端側に配置されており、第２金具８０に接合部８９を介して接合されている。接合部８９は、第２金具８０と第３金具３５とが溶接（例えば、レーザ溶接）の際に、溶融した部分である（以下、接合部８９を「溶融部８９」または「溶接痕８９」とも呼ぶ）。第３金具３５の先端部には、先端側から後端側に向かって拡径する拡径部３４が形成されている。圧力センサ１０が内燃機関に取り付けられる場合、拡径部３４は、内燃機関のシリンダヘッドに密着する。
【００２４】
ダイアフラム４０は、ロッド部４４と、フランジ部４２を備えている。
ロッド部４４は、軸線ＣＬを中心とする円柱状の部分であり、後端方向Ｄｒ側に向かって延びている。
【００２５】
フランジ部４２は、ロッド部４４の周囲から径方向外側に延びる略円形の膜である。フランジ部４２の外周側の縁４２ｏは、全周に亘って、第３金具３５の先端部に接続部４５を介して接続されており（例えば、レーザ溶接）、ダイアフラム４０は、筒状の筐体（具体的には、軸孔３９を有する第３金具３５）の先端側の開口を塞いでいる。
【００２６】
フランジ部４２とロッド部４４とは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている（例えば、鍛造や削り出し）。ただし、フランジ部４２とロッド部４４とを別々に形成した後に、溶接などによりフランジ部４２とロッド部４４とを一体化してもよい。また、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。
【００２７】
ダイアフラム４０は、燃焼室ガスに曝される先端面４３を有する。ダイアフラム４０のうちフランジ部４２は、自身の先端側から受けた燃焼室の圧力に応じて撓む（変形する）。ロッド４４は、フランジ部４２の撓み（変形）に応じて、軸線ＣＬ方向におおよそ平行に変位する。これにより、ロッド４４は、圧力Ｐｃに応じた荷重を、ロッド４４の後端部４９に接続された後述する素子部５０に伝達する。
【００２８】
ダイアフラム４０は、先端面４３から後端側に延びる孔４６が形成されている。ダイアフラム４０は、孔４６を形成する内面４７において、後述する受熱部９０と接合されている。なお、内面４７は、孔４６の底面及び側面から構成されている。
【００２９】
また、第１実施形態では、ダイアフラム４０は、自身の後端部が、筐体内（具体的には、第３金具３５内）に配置され、孔４６は、後端部に配置される孔後端部４６ｒを有する。なお、筐体内（具体的には、第３金具３５内）とは、筐体（具体的には、第３金具３５）の先端よりも後端側において、筐体に周方向を囲われている領域のことである。そして、受熱部９０は、孔後端部４６ｒにおけるダイアフラム４０の内面４７と接続されている。
【００３０】
受熱部９０は、孔４６内に配置される棒状の第１部９１と、第１部９１に隣接し軸線ＣＬを中心とする円盤状の板状部材である第２部９２とで構成されている。受熱部９０は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。また、第１部９１と第２部９２とは、例えば、鍛造や削りだしによって、一部材として一体的に形成されている。
【００３１】
後端方向Ｄｒを向いて圧力センサ１０を見る場合、受熱部９０を構成する第２部９２は、ダイアフラム４０の先端面４３の少なくとも一部（具体的には、フランジ部４２における先端面４３の少なくとも一部）を覆っている。本実施例では、ダイアフラム４０の先端面４３のおおよそ全体が、受熱部９０を構成する第２部９２によって隠されている。
【００３２】
受熱部９０は、孔４６内のうち孔後端部４６ｒ内に配置された第１部９１が接続部９９を介して、ダイアフラム４０の孔後端部４６ｒにおける内面４７に、例えばレーザ溶接によって、接続されている。接続部９９は、ダイアフラム４０の孔４６内のうち孔後端部４６ｒ内に形成される。
【００３３】
また、第１実施形態では、孔４６は、ロッド部４４に形成されている。また、孔４６は、ロッド部４６における先端面４３からフランジ部４２の後端面４２ｒよりも後端側に延びている。受熱部９０を構成する第１部９１は、孔４６のうちフランジ部４２の後端面４２ｒよりも後端側の部分におけるダイアフラム４０の内面４７と接続されている。
【００３４】
押さえねじ３２（図１参照）は、第２金具８０の軸孔の後端側に取り付けられている。押さえねじ３２には、軸線ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔が形成されている。押さえねじ３２の外周面には、雄ねじが形成されている。第２金具８０の軸孔の後端側の部分の内周面には、押さえねじ３２の雄ねじに対応する雌ねじが形成されている。押さえねじ３２は、第２金具８０の後端側から、軸孔内にねじ込まれている。押さえねじ３２とダイアフラム４０のロッド部４４との間には、素子部５０が挟まれている。押さえねじ３２は、素子部５０に対して、予荷重を印加する。押さえねじ３２を第２金具８０にねじ込む場合の押さえねじ３２の回転数を調整することによって、適切な予荷重を容易に実現できる。従って、圧力測定の精度を向上できる。なお、押さえねじ３２は、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。
【００３５】
素子部５０は、２個の電極５２と、２個の電極５２に挟まれたセンサ素子（本実施例では、圧電素子）５１と、先端側の電極５２の先端側に配置された押さえ板５４と、後端側の電極５２から後端方向Ｄｒに向かって順番に並ぶリード部５３、押さえ板５４、絶縁板５５と、を備えている。図２に示すように、押さえ板５４、電極５２、センサ素子５１、電極５２、リード部５３、押さえ板５４、絶縁板５５は、先端側から後端側に向かってこの順番に、積層されている。絶縁板５５の後端側の面は、押さえねじ３２の先端側の面に支持されている。ロッド部４４の後端部４９は、先端側の押さえ板５４の先端側の面に接触している。センサ素子５１は、先端側の電極５２と押さえ板５４とを介して、ロッド部４４に接続されている。
センサ素子５１は、ダイアフラム４０（具体的には、フランジ部４２）の撓みの量に応じて出力信号が変化する。なお、センサ素子５１としては、圧電素子を用いているが、その他のセンサ素子（例えば、ひずみゲージ式）を用いてもよい。
【００３６】
このように、第１実施形態の圧力センサ１０によれば、第１部９１と、第２部９２とが一体成形されてため、第１部９１と第２部９２とが溶接等によって接合されておらず、そもそも第１部９１と第２部９２とが離間することがない。また、第１部９１が、ダイアフラム４０のうち先端面４３から後端側に向かって延びる孔４６を形成する内面４７と接続されているため、ダイアフラム４０と受熱部９０との接続部９９が燃焼ガスに曝されにくくなっている。その結果、ダイアフラム４０と受熱部９０との接続部９９に対する燃焼ガスの影響を小さくすることができ、燃焼ガスによる接続部９９の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部９０がダイアフラム４０から脱落することを抑制することができる。
【００３７】
また、第１実施形態の圧力センサ１０によれば、ダイアフラム４０に設けられた孔４６は、ダイアフラムのうち筐体内に配置される後端部に形成される孔後端部４６ｒを有し、受熱部９０が、ダイアフラム４０のうち孔後端部４６ｒを形成する内面４７と接続されているため、受熱部９０とダイアフラム４０との接続部９９がダイアフラム４０の先端面４３からより離れた位置に設けられる。その結果、受熱部９０とダイアフラム４０との接続部９９に対する燃焼ガスの影響をさらに小さくすることができる。その結果、燃焼ガスによる接続部９９の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部９０がダイアフラム４０から脱落することをさらに抑制することができる。
【００３８】
また、第１実施形態の圧力センサ１０によれば、受熱部９０が、孔４６のうちフランジ部４２の後端面４２ｒよりも後端側の部分におけるダイアフラム４０の内面４７と接続されているため、受熱部９０とダイアフラム４０との接続部９９がダイアフラム４０の先端面４３からより離れた位置に設けられる。その結果、受熱部９０とダイアフラム４０との接続部９９に対する燃焼ガスの影響をさらに小さくすることができる。その結果、燃焼ガスによる接続部９９の劣化や破損が起こりづらくなり、受熱部９０のダイアフラム４０からの脱落をさらに抑制することができる。
【００３９】
Ｂ  評価試験１
圧力センサ１０のサンプルを用いた評価試験１について説明する。
【００４０】
この評価試験では、内燃機関の同じシリンダ（すなわち、燃焼室）にサンプルのセンサと目標センサとを取り付け、そして、内燃機関を運転させることによって、サンプルのセンサと目標センサとのそれぞれから圧力の波形を取得した。
【００４１】
サンプルは、図１及び図２に示した第１実施形態の圧力センサ１０のサンプルであった。サンプルは、接続部４５の包囲面積Ｓｄと、ダイアフラム４０に設けられた孔４６の開口面積Ｓｎとの比Ｓｎ／Ｓｄの異なるサンプルを７つ用意した。これらのサンプルは、孔４６の内径を調整することによって作成され、各サンプルのＳｎ／Ｓｄは、０．０５以上０．３５以下の範囲内に分布していた。
【００４２】
内燃機関としては、直列４気筒、排気量１．３Ｌ、自然吸気の内燃機関が用いられた。内燃機関は、回転速度が１５００ｒｐｍであり、スロットバルブの開度が１０％であるという条件下で、運転された。
【００４３】
目標となる圧力センサは、十分に良好な精度で圧力を測定できるように、予め調整されている。本評価試験では、サンプルの圧力Ｇ２と目標の圧力Ｇ１とを、５サイクルに亘って測定した。同じタイミングでの２つの圧力Ｇ１、Ｇ２の差分を算出した。差分の最大値Ｅｍを、各サイクル毎に特定した。そして、５個の最大差分Ｅｍの平均値を、サンプルの圧力センサの圧力誤差Ｅｐとして算出した。各サンプルにおいて圧力誤差Ｅｐの値が２００ｋＰａ以下となったサンプルを○（好ましい）とし、それ以上は△（好ましくない）と判定した。
【００４４】
【表１】
0006667722.tif 000002
【００４５】
表１に試験結果を示す。比率Ｓｎ／Ｓｄが０．３と０．４のサンプルでは、圧力誤差Ｅｐの値が２００ｋＰａ以上となり、評価が△であった。一方で、比率Ｓｎ／Ｓｄが０．０５、０．１０、０．１５、０．２０、及び０．２５のサンプルでは、圧力誤差Ｅｐの値が２００ｋＰａ以下となり、評価が○であった。これは、接続部４５の包囲面積Ｓｄに対して、孔４６の開口面積Ｓｎが占める割合が大きすぎないため、ダイアフラム４０の撓み（変形）が抑制されずに、燃焼室の圧力を精度よく検知することができたためと考えられる。
【００４６】
Ｃ  評価試験２
次に、評価試験２について説明する。評価試験２では、内燃機関に、接続部４５の包囲面積Ｓｄと、孔４６の開口面積Ｓｎとの比率Ｓｎ／Ｓｄを振ったサンプルをそれぞれ取り付け、１００時間、内燃機関を運転させた。その後、各サンプルの状態を観察して、受熱部９０が破損していた場合は、△（好ましくない）、破損していなかった場合は、○（好ましい）と判断した。
【００４７】
耐久試験を行った内燃機関としては、直列４気筒、排気量１．３Ｌ、自然吸気の内燃機関が用いられた。また、その内燃機関は、回転速度が６０００ｒｐｍであり、スロットバルブの開度が１００％であるという条件下で、運転された。なお、上記条件は、通常の運転よりも厳しい条件である。
【００４８】
【表２】
0006667722.tif 000003
【００４９】
表２に試験結果を示す。比率Ｓｎ／Ｓｄが０．０５と０．１のサンプルでは、受圧部９０が破損しており、評価が△であった。一方で、比率Ｓｎ／Ｓｄが０．１５、０．２０、０．２５、０．３０、及び０．４０のサンプルでは、受圧部９０が破損しておらず、評価が○であった。これは、包囲面積Ｓｄに対して、孔の開口面積Ｓｎが占める割合が小さすぎないため、ダイアフラム４０と受熱部９０との接続領域を十分に確保できる。その結果、ダイアフラム４０と受熱部９０との接続部９９に対する負荷を小さくすることができ、受熱部９０のダイアフラム４０からの脱落をさらに抑制することができたためと考えられる。
【００５０】
Ｄ  変形例
（１）第１実施形態では、受熱部９０を構成する第１部９１が、ダイアフラム４０のうち筐体内（具体的には、第３金具内）に形成された内面４７と接続されている。しかしながら、ダイアフラム４０のうち筐体の外に配置された部分でダイアフラム４０と受熱部９０とが接続されていても良い。
【００５１】
（２）第１実施形態では、ダイアフラム４０と、受熱部９０とは、レーザ溶接によって接続されていた。しかしながら、レーザ溶接以外の方法（例えば、耐熱性の接着剤、圧入、加締め固定など）を用いて接続されてもよい。また、その他の溶接方法（抵抗溶接、電子ビーム溶接など）を用いて接続されてもよい。
【００５２】
（３）第１実施形態では、孔４６の開口は、ダイアフラム４０のロッド部４４に形成されている。しかしながら、孔４６は、ダイアフラム４０のフランジ部４２に形成されていてもよい。
【００５３】
（４）第１実施形態では、ダイアフラム４０に形成された孔４６及び、受熱部９０の第１部９１は、それぞれ１つずつ形成されている。しかしながら、それらは、それぞれ複数形成されていてもよい。
【００５４】
以上、実施形態、変形例に基づき本発明について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。
【符号の説明】
【００５５】
１０...圧力センサ、２０...第１金具、２１...軸孔、２２...ねじ部、２４...工具係合部、２６...接合部、３０...第２金具、３４...拡径部、３５...第３金具、３９...軸孔、４０...ダイアフラム、４２...フランジ部、４２ｒ...フランジ部の後端面、４２ｏ...縁、４３...先端面、４４...ロッド部、４５...接続部、５０...素子部、５１...センサ素子（圧電素子）、５２...電極、５３...リード部、５４...押さえ板、５４ｈ...貫通孔、５５...絶縁板、５５ｈ...貫通孔、５６...端子部、５７...円盤部、６０...ケーブル、８０...第２金具、８９...接続部、９０...受熱部、９９...接続部、Ｘ...領域、ＣＬ...中心軸（軸線）、Ｓｄ...ダイアフラムと受熱部との接続部の包囲面積、Ｄｆ...先端方向、Ｄｒ...後端方向、Ｓｎ...孔開口面積（開口面積）、Ｅｐ...圧力誤差
【図１】
0006667722.tif 000004
【図２】
0006667722.tif 000005