(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリ塩化ビニル系樹脂と、フタル酸エステル系可塑剤、脂肪族二塩基酸エステル系可塑剤、リン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤、エポキシ系可塑剤、スルホン酸エステル系可塑剤から選ばれる少なくとも１種以上の可塑剤と無機系顔料とを含有し、全光線透過率が９０％〜３０％であり、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊が４０以上９０以下かつｂ＊が０以下である紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
【請求項２】
前記ポリ塩化ビニル系樹脂１００重量部に対し前記無機系顔料が０．１〜１０重量部添加されている請求項１に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
【請求項３】
前記無機系顔料がケイ酸塩を含有する請求項１または請求項２に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
【請求項４】
前記無機系顔料が群青である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
【請求項５】
波長３２０〜４００ｎｍにおける紫外線透過率が３０％以上である請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は粘着テープの基材に用いられ粘着剤が塗布されるフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
粘着テープは様々な用途に用いられているが、用途によっては使用後に剥離することが求められる場合がある。このような再剥離性が求められる再剥離テープとしてはガラス板の切断等機械加工時の固定に用いるガラス加工用テープや半導体の製造時に用いられる半導体製造用テープ等がある。
【０００３】
ガラス加工用テープや半導体製造用テープは被着体を一時的に固定し、所定の加工終了後に被着体から剥離される。これらの粘着テープは被着体を貼付け時には強固に固定し、剥離時には小さい力で剥離することが望ましい。このような粘着テープとして、紫外線硬化型の粘着剤層が設けられた紫外線硬化型粘着テープがある。紫外線硬化型粘着テープは、被着体を固定する際には被着体を充分に固定し、紫外線を照射することで粘着剤の粘着力を低下させ、剥離時に小さい力で剥離することができる。
【０００４】
半導体製造用テープはウエハを研削するバックグラインド工程（裏面研磨工程）や、ウエハ等を小片にカットするダイシング工程、その他の工程において部品の固定や保護を目的として使用されている。ダイシング工程において紫外線硬化型粘着テープはウエハを強力に固定しカット後に、紫外線照射により粘着力が低下され容易に粘着テープからウエハ小片が剥離される。
【０００５】
特許文献１には、紫外線硬化型の半導体製造用テープとして、紫外線透過性の基材フィルム上に紫外線硬化型の粘着剤層を有し、粘着剤層が紫外線硬化型樹脂組成物とポリチオールとを含むダイシングテープが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２５１７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで紫外線硬化型粘着テープは、粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過性が充分でないと、粘着テープに紫外線が照射された際に紫外線の透過が阻害されることとなる。その結果、粘着テープの粘着剤に紫外線が充分に照射されずに粘着剤の硬化が不充分となり粘着力が充分に低下しないおそれがある。そのため、粘着テープが被着体から剥離しにくくなるおそれがある。さらに粘着テープを剥離した際、被着体に粘着剤が残ることも懸念される。
そこで、本発明は上記の課題を解決したものであって、紫外線透過性に優れる粘着テープ基材用フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の課題を解決するために本発明が用いた手段は、ポリ塩化ビニル系樹脂と、フタル酸エステル系可塑剤、脂肪族二塩基酸エステル系可塑剤、リン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤、エポキシ系可塑剤、スルホン酸エステル系可塑剤から選ばれる少なくとも１種以上の可塑剤と、無機系顔料とを含有し、全光線透過率が９０％〜３０％であり、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊が４０以上９０以下かつｂ＊が０以下である紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとすることである。無機系顔料がポリ塩化ビニル系樹脂１００重量部に対し０．１〜１０重量部添加されていることが好ましい。また、無機系顔料がケイ酸塩を含有していても良いし、さらに群青とすることが好ましい。
また、波長３２０〜４００ｎｍにおける紫外線透過率が３０％以上である紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとすることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、紫外線透過性に優れる粘着テープ基材用フィルムを得ることができる。これにより本発明の粘着テープ基材用フィルムを用いた粘着テープは、紫外線照射後に粘着力が充分に低下し粘着テープの剥離が容易となる。また被着体に粘着剤が残るのを低減することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明について詳述する。
本発明に用いるポリ塩化ビニル系樹脂は、ポリ塩化ビニルやエチレン‐塩化ビニル、プロピレン‐塩化ビニル共重合体、塩化ビニル‐酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル‐塩化ビニリデン共重合体などを用いことができる。
【００１１】
ポリ塩化ビニル系樹脂の平均重合度としては、実質的に成形加工が可能であれば、特に制限されるものではないが、平均重合度５００〜２０００の範囲が好ましく、平均重合度７００〜１３００の範囲がさらに好ましい。平均重合度５００未満では溶融時の粘度が低いため加工し難く、平均重合度２０００を超える場合は溶融時の粘度が高いため加工し難くなる可能性がある。
【００１２】
本発明で用いられる可塑剤は、例えば、ＤＯＰ（ジ‐２‐エチルヘキシルフタレート）、ＤＩＮＰ（ジイソノニルフタレート）、ＤＩＤＰ（ジイソデシルフタレート）、ＤＯＴＰ（ジオクチルテレフタレート）などのフタル酸エステル系可塑剤や、ＤＯＡ（ジ‐２‐エチルヘキシルアジペート）、ＤＩＤＡ（ジイソデシルアジペート）などのアジピン酸エステル系可塑剤、ＤＯＳ（ジ‐２‐エチルヘキシルセバケート）などのセバシン酸エステル系可塑剤、ＤＯＺ（ジ‐２‐エチルヘキシルアゼレート）などのアゼライン酸エステル系可塑剤といった脂肪族二塩基酸エステル系可塑剤、リン酸トリクレジル、リン酸トリキシレニル、リン酸クレジルジフェニル、リン酸トリス(イソプロピル化フェニル)、リン酸トリス(ジクロロプロピル)等などのリン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤、エポキシ系可塑剤、スルホン酸エステル系可塑剤などが挙げられる。ポリ塩化ビニル系樹脂との相溶性が良い可塑剤としてフタル酸エステル系可塑剤や分子量の高いポリエステル系可塑剤などが挙げられる。可塑剤は単独で用いても複数の種類を複合して用いてもよい。
【００１３】
可塑剤の添加量はポリ塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して１０〜５０重量部が好ましい。可塑剤の添加量が５０重量部を超えると粘着テープ基材用フィルムからの可塑剤のブリードやブロッキング等が起こる場合がある。１０重量部より少ないと加工が困難になる可能性がある。可塑剤の添加量は１０〜４０重量部がより好ましく、２０〜３５重量部がさらに好ましく、適度な柔軟性と延伸性を有するとともにべた付きや加工中でのプレートアウトがないとの点で優れる。
【００１４】
本発明においては顔料として無機系顔料を用いるが、特にケイ酸塩を含有するものが好ましく、中でも群青（ウルトラマリンブルー）を使用することが好ましい。群青は天然品、合成品ともに使用することができる。また、群青は一般的に含硫黄アルミノシリケート錯体成分とする顔料で、Ｎａ（６〜８）Ａｌ６Ｓｉ６Ｏ２４Ｓ（２〜４）などで表される。３ＮａＡｌ・ＳｉＯ４・Ｎａ２Ｓ２や２（Ｎａ２Ｏ・Ａｌ２Ｏ３・ＳｉＯ２）Ｎａ２Ｓ２を使用してもよい。さらに、群青は産地や合成時の条件等によって組成比が異なり一定の分子量を示さないが、一般的な群青（ウルトラマリンブルー）を使用することができる。
【００１５】
本発明の粘着テープ基材用フィルムは青色顔料により着色されていることが好ましい。ここで一般的に青色顔料としては有機系の顔料であるフタロシアニン系青顔料が用いられることがある。しかしフタロシアン系青顔料は４００ｎｍ〜３００ｎｍでの吸収、特に４００〜３２０ｎｍでの吸収が大きく紫外線透過率が低下する傾向にあり好ましくない。一方、群青は４００ｎｍ〜３００ｎｍでの吸収、特に４００〜３２０ｎｍでの吸収がフタロシアニン系青顔料より小さいため好ましい。
【００１６】
無機顔料、特に群青を用いた粘着テープ基材用フィルムはフタロシアニン系青顔料を用いたフィルムより４００ｎｍ〜３００ｎｍ、特に４００〜３２０ｎｍにおいて紫外線透過率が高く好ましい。
【００１７】
粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過率は、４００ｎｍ〜３００ｎｍでの吸収、特に４００〜３２０ｎｍにおいて、３０％以上であることが好ましい。ここで、群青を用いた粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過率は４００〜３２０ｎｍにおいておよそ連続的に低下する。そのため、群青を用いた粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過率は、４００ｎｍ、３６５ｎｍ、３２０ｎｍにおいて３０％以上であることが好ましい。このように紫外線透過率が３０％以上となることで、粘着テープ基材用フィルムに紫外線が照射された際により効率的に紫外線が粘着剤に照射され効率的に粘着力を低減させることができる。
【００１８】
また、紫外線照射には主波長が３６５ｎｍであるランプが使用されることが多く、また光開始剤は３６５ｎｍを中心として吸収を持つ化合物が多用されるため、３６５ｎｍでの紫外線透過率が高いことが好ましい。より具体的に、３６５ｎｍにおける紫外線透過率は３０％が好ましく、４０％以上がより好ましく、５０％以上がさらに好ましい。
【００１９】
本発明の粘着テープ基材用フィルムを半導体製造用に用いる場合には、群青を用いて青色に着色されることが好ましい。これにより固定すべきウエハ等を強固に固定し、所定の加工後には紫外線を照射することで粘着剤の粘着力を低下させ小さい力で粘着テープを剥離することができる。この場合、粘着テープ用基材には紫外線硬化型の粘着層が設けられている。紫外線を粘着テープ面から照射すると、およそ４００ｎｍ〜３００ｎｍにおける吸収が小さいため紫外線が紫外線硬化型の粘着層に効率的に照射される。その結果、粘着剤に含まれる光重合開始剤が活性種を生成することで粘着剤での硬化反応が進行し粘着剤の粘着力が低下する。
【００２０】
無機顔料の添加量は塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して０．１〜１０重量部が好ましい。添加量の増加に伴い色調が濃くなるため、目的とする色調に応じて添加量を調整する必要がある。色調が濃すぎると紫外線透過性の低下が懸念され、薄すぎると粘着テープとして充分な視認性が得られない場合がある。顔料の添加量は１〜１０重量部がより好ましく、２〜６重量部がさらに好ましい。
【００２１】
ここで、無機顔料は粘着テープを着色するために添加される。粘着テープを着色することで、粘着テープの視認性を向上させる等の効果が得られる。したがって、無機顔料の添加により粘着テープ基材用フィルムは適度に着色されることが好ましい。粘着テープを被着体に貼り付けても、粘着テープ面から被着体が目視できる程度の透明性を維持することが好ましい。また、粘着テープを被着体に貼り付けた際に、粘着テープの存在が確認でき、被着体における粘着テープ貼着部分と非貼着部分とを区別できることが好ましい。すなわち、粘着テープ基材用フィルムは透明性を維持しつつ、粘着テープの貼付が確認できる程度に着色されていることが好ましい。
【００２２】
粘着テープ基材用フィルムの色値がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系において、Ｌ＊（明度）が４０〜９０が好ましく、５０〜８５がより好ましく、６０〜８０がさらに好ましい。Ｌ＊が４０未満では明度が低く濃く着色されているため、粘着テープの上から被着体を確認しにくくなるおそれがあり、Ｌ＊が９０以上では色が薄く粘着テープの貼付部分の確認がしにくくなるおそれがある。また、粘着テープの色を青系とする場合には、色度ｂ＊を０以下とすることが好ましく、−１０以下がより好ましく、−２０〜−５０がさらに好ましい。ｂ＊が０より大きければ黄系に着色されることとなるため、青系であればｂ＊を０以下とすることが好ましい。ｂ＊がより低くなると青味が増すため好ましい。
【００２３】
ここで、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系においてｂ＊の最大値は明度、色相によって異なるため、ｂ＊をより小さく（ｂ＊の絶対値を大きく）すると明度の最大値も変化する。したがって、粘着テープ基材用フィルムは透明性を維持しつつ、粘着テープの貼付が確認できる程度に着色されるためにはＬ＊とｂ＊とを同時に調整することが好ましい。より具体的には、ｂ＊を０以下とし、かつＬ＊を４０〜９０とすることが好ましい。またｂ＊を−１０以下とし、かつＬ＊を５０〜８５とすることがより好ましく、またさらにかつＬ＊を６０〜８０とすることがさらに好ましい。またｂ＊をさらに小さくすることで青味を増すため好ましく、ｂ＊を−２０〜−５０とし、かつＬ＊を６０〜８０とすることが好ましい。
【００２４】
粘着テープ基材用フィルムを半導体製造用に用いる場合には青系に着色することが好ましい。したがって、半導体製造用の粘着テープ基材用フィルムはＬ＊とｂ＊とを上記のように調整することが好ましい。
【００２５】
粘着テープ基材用フィルムの透明性は全光線透過率で９０％〜３０％が好ましく、８５％〜４０％がより好ましく、８０％〜４５％がさらに好ましい。これにより、粘着テープを被着体に貼り付けても、粘着テープ面から被着体が確認しやすくなる。
【００２６】
本発明において紫外線透過率は、特にＵＶ―Ａと呼ばれる３２０〜４００ｎｍの波長を照射した際の透過率を指す。紫外線透過率が低いと、粘着剤の硬化が充分でなく、粘着テープの剥離時に被着体に粘着剤が残る場合がある。本発明は、基材用フィルムに群青組成物からなる顔料を用いることにより、粘着剤の硬化において照射される３２０〜４００ｎｍの波長範囲において優れた紫外線透過率が得られ、被着体に粘着剤が残ることを防止できる。
【００２７】
また、必要に応じて、紫外線吸収剤、光安定剤、紫外線遮蔽剤、帯電防止剤、難燃剤、増粘剤、界面活性剤、蛍光剤、架橋剤、衝撃改良剤など、一般的に樹脂に添加される他の配合剤を添加してもよい。
【００２８】
粘着テープ基材用フィルムを製造する際の混合工程には、通常、熱可塑性樹脂において用いられている公知の装置を利用することができる。例えば、本発明の組成物を高速攪拌機、低速攪拌機、ヘンシェルミキサーなどで均一に混合し、バッチ式混練ミキサー、バンバリーミキサー、コニーダ、押出機などで溶融混合し、直ちに成形してもよい。また、溶融混合した後、一旦ペレット化し、その後成形してもよい。
【００２９】
粘着テープ基材用フィルムを製造する際の溶融賦形する工程はシート成形法を用いることができる。シート成形法として、得られたシートの厚み精度の点から、カレンダー成形法またはロール成形法が好ましく、さらにスピードの点からカレンダー成形法が好ましい。その他にも一般的なシート成形法により成形することができる。例えば押出成形法、プレス成形法などが挙げられる。
【実施例】
【００３０】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００３１】
実施例および比較例に使用した各配合剤の具体的な物質名は以下の通りである。
ポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１：ポリ塩化ビニル樹脂  平均重合度  １０００
可塑剤Ｂ−１：ジ‐２‐エチルヘキシルフタレート（ＤＯＰ）
可塑剤Ｂ−２：アジピン酸ポリエステル系可塑剤
安定剤Ｃ−１：金属石鹸
顔料Ｅ−１：青色顔料（群青）
顔料Ｅ−２：青色顔料（フタロシアニンブルー）
【００３２】
＜成形条件＞
表１、２に示した実施例および比較例の配合物を１６０℃に設定したバッチ式ミキサーで混練した。その後、１８０℃に設定した二本ロールにて、厚さ８０μｍのシート状に成形し、粘着テープ基材用フィルムを作製した。
【００３３】
（実施例１〜５）
表１に示す如く、ポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１と可塑剤Ｂ−１（ＤＯＰ）と安定剤Ｃ−１からなる配合に、顔料Ｅ−１（群青）を０．１〜１０．０重量部添加した配合物を＜成形条件＞の方法により厚さ８０μｍに成形して粘着テープ基材用フィルムを作成した。  なお、実施例１において顔料Ｅ−１を添加しない配合とする以外は同様にして作成したものを参考例１として表２に示した。また表１、表２における配合単位は重量部である。
（実施例６）
可塑剤としてポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１と可塑剤Ｂ−２（アジピン酸ポリエステル系可塑剤）と安定剤Ｃ−１からなる配合に、顔料Ｅ−１（群青）を３．０重量部添加した配合物を＜成形条件＞の方法で厚さ８０μｍに成形して粘着テープ基材用フィルムを作成した。
【００３４】
（比較例１）
表２に示す如く、ポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１と可塑剤Ｂ−１（ＤＯＰ）と安定剤Ｃ−１からなる配合に、顔料Ｅ−２（フタロシアニンブルー）を実施例４と目視で同等の色の濃さとなるように添加した配合物を、＜成形条件＞の方法で厚さ８０μｍに成形して粘着テープ基材用フィルムを作成した。
（比較例２）
表２に示す如く、ポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１と可塑剤Ｂ−２（アジピン酸ポリエステル系可塑剤）と安定剤Ｃ−１からなる配合に、顔料Ｅ−２（フタロシアニンブルー）を実施例４と目視で同等の色の濃さとなるように添加した配合物を、＜成形条件＞の方法で厚さ８０μｍに成形して粘着テープ基材用フィルムを作成した。
【００３５】
実施例、比較例及び参考例の評価は以下の方法で行った。
【００３６】
＜紫外線透過率＞
作成した粘着テープ基材用フィルムを、日本分光製ＵＶ−可視分光光度計Ｖ−５７０によって紫外線透過率を測定した。
【００３７】
＜着色性＞
スガ試験機製ＳＭカラーコンピュータを用いて、作成した粘着テープ基材用フィルムをＬ＊ａ＊ｂ＊表色系で評価した。
［Ｌ＊］
Ａ：６０以上８０未満
Ｂ：５０以上６０未満または８０以上８５未満
Ｃ：４０以上５０未満または８５以上９０以下
Ｄ：４０未満または９０を超える
［ｂ＊］
Ａ：−５０以上−２０未満
Ｂ：−６０以上−５０未満または−２０以上−１０未満
Ｃ：−１０以上０以下
Ｄ：０を超える
［総合評価］
Ｌ＊値とｂ＊値の評価を総合して着色性評価とした。
ここで着色性はＬ＊の評価とｂ＊の評価とを合わせることで評価している。［Ｌ＊］、［ｂ＊］における評価により評価の低い方に合わせた評価を着色性としている。例えば、Ｌ＊の評価がＡでｂ＊の評価がＢなら着色性はＢとなり、Ｌ＊の評価がＣでｂ＊の評価がＢであれば着色性はＣとした。
表１、表２においてＬ＊欄およびｂ＊欄には評価を併記している。例えば、実施例１のＬ＊欄における「８７，Ｃ」は測定値が８７で上記基準に照らした評価がＣであることを示している。
【００３８】
＜全光線透過率＞
日本電色工業製ヘーズメーターＮＤＨ２０００を用いて全光線透過率を測定した。
【００３９】
【表１】
0006667212.tif 000002
【００４０】
【表２】
0006667212.tif 000003
【００４１】
可塑剤Ｂ−１（ＤＯＰ）を用いた配合において、顔料として群青を用いた場合（実施例１〜５）、比較例１に示す顔料としてフタロシアニンブルーを用いた場合よりも高い紫外線透過性が得られた。
また実施例６および比較例２に示すように、可塑剤Ｂ−２（アジピン酸ポリエステル系可塑剤）を用いた配合においても、群青を用いた方が、フタロシアニンブルーを用いた場合よりも高い紫外線透過性が得られた。
【００４２】
また、顔料添加なしでは着色性は充分でなく（参考例１）、群青顔料添加量０．１重量部以上で有効な着色性が得られ、１．０〜１０重量部ではより好ましく、３〜５重量部ではさらに好ましい着色性が得られた（実施例１〜６）。