(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１００Ｗを超える出力電力をもたらすために、１ＭＨｚを超える周波数を有する高周波信号を合成および／または分配するための電力合成器（１０）であって、
前記電力合成器（１０）は、
ａ）第１の高周波信号のための第１の入力部（１２ａ）と、
ｂ）第２の高周波信号のための第２の入力部（３２）と、
ｃ）出力部（３０）と、
ｄ）平衡端子（１２ｂ）と、
ｅ）前記第１の入力部（１２ａ）と前記出力部（３０）との間に設けられた第１の電気導体（１４）であって、その大部分が平坦な面電極の形態で構成されている、第１の電気導体（１４）と、
ｆ）前記第２の入力部（３２）と前記平衡端子（１２ｂ）との間に設けられた第２の電気導体（１６）であって、その大部分が平坦な面電極の形態で構成されており、前記第１の電気導体（１４）と容量的かつ誘導的に結合されている、第２の電気導体（１６）と、
ｇ）冷却体（４０）であって、前記第１の電気導体（１４）の面全体の７０％より多くが、前記第２の電気導体（１６）の面全体と等距離で前記冷却体（４０）から離間されている、冷却体（４０）と
を有し、
前記第１の電気導体（１４）および前記第２の電気導体（１６）は、両方の前記電気導体（１４，１６）に対して寄生容量が対称に分布するように、前記冷却体（４０）に対して対称に配置されている、電力合成器（１０）。
【請求項２】
前記第１の電気導体（１４）の内側巻線および／または前記第２の電気導体（１６）の内側巻線は、当該内側巻線と外側巻線との間で位相補償をもたらすために、前記外側巻線に対して平行に延在していない経路区間（５０）を有する、
請求項１記載の電力合成器。
【請求項３】
前記第１の電気導体（１４）の面全体の６０％より多くが、前記第２の電気導体（１６）の面全体に対して合同に、かつ、同一平面上で相対している、
請求項１または２記載の電力合成器。
【請求項４】
前記第１の入力部（１２ａ）および前記第２の入力部（３２）における周波数が１ＭＨｚを超える場合に、基準インピーダンスは５０Ω未満である、
請求項１から３までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項５】
前記第１の電気導体（１４）は、第１の第一導体片（１４ａ）および第２の第一導体片（１４ｂ）を有し、
前記第２の電気導体（１６）は、第１の第二導体片（１６ａ）および第２の第二導体片（１６ｂ）を有し、
前記第２の第二導体片（１６ｂ）の７０％より多くが、同一平面上で、前記第１の第一導体片（１４ａ）に対してオフセットされかつ合同に延在しており、
前記第２の第一導体片（１４ｂ）の７０％より多くが、同一平面上で、前記第１の第二導体片（１６ａ）に対して合同に延在している、
請求項１から４までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項６】
前記冷却体（４０）は、前記第１の第二導体片（１６ａ）と前記第２の第一導体片（１４ｂ）との間に配置されている、
請求項５記載の電力合成器。
【請求項７】
前記電力合成器（１０）は、前記第１の電気導体（１４）の前記平坦な面電極と前記第２の電気導体（１６）の前記平坦な面電極との間に誘電体を有する、
請求項１から６までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項８】
第１の前記平坦な面電極および第２の前記平坦な面電極は、複数の部分区間（２４ａ−ｄ，２６ａ−ｄ）を有し、
前記複数の部分区間（２４ａ−ｄ，２６ａ−ｄ）は、誘電体の第１の平坦な主面上と、誘電体の、前記第１の平坦な主面とは反対の側に位置する第２の平坦な主面上とにおいて交互に延在している、
請求項１から７までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項９】
前記第１の電気導体（１４）および前記第２の電気導体（１６）は、それぞれｎ＞１の巻数を有する、
請求項１から８までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項１０】
１ＭＨｚと２００ＭＨｚとの間の高周波信号を合成するために構成されている、
請求項１から９までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項１１】
２ｋＷを超える電力を出力するために構成されている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項１２】
９０°ハイブリッド合成器の形態で構成されている、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の電力合成器。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の電力合成器（１０）を有する電力合成器装置（４４）において、前記電力合成器装置（４４）は、
前記第１の入力部（１２ａ）に接続された第１の高周波信号源（４６ａ）と、
前記第２の入力部（３２）に接続された第２の高周波信号源（４６ｂ）と、
前記出力部（３０）に接続された負荷（４８）と
を有する、
電力合成器装置（４４）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１００Ｗを超える出力電力をもたらすために、１ＭＨｚを超える周波数を有する高周波信号を合成および／または分配（スプリット）するための電力合成器に関する。本発明はさらに、このような電力合成器を有する電力合成器装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の高周波信号源を合成するため、および／または、１つの高周波信号を分配（スプリット）するために、電気導体を有する電力合成器を使用することが公知である。
【０００３】
欧州特許出願公開第１６９９１０７号明細書（ＥＰ１６９９１０７Ａ１）からは、第１の電気導体から離間された第２の電気導体を有する電力合成器が公知である。第１の電気導体は、第２の電気導体に容量的かつ誘導的に結合されている。欧州特許出願公開第１６９９１０７号明細書（ＥＰ１６９９１０７Ａ１）によれば、２つの導体間の誘導結合を増加させるために第１の電気導体および第２の電気導体の両方が複数の巻線を有することができる。
【０００４】
その他の電力合成器は、例えば以下の文献：米国特許第８０４４７４９号明細書（ＵＳ８０４４７４９Ｂ１）、独国特許出願公開第１０３４２６１１号明細書（ＤＥ１０３４２６１１Ａ１）、米国特許出願公開第２０１４／００８５０１９号明細書（ＵＳ２０１４／００８５０１９Ａ１）から公知である。
【０００５】
電力合成器は、十分に冷却されなければならない。この場合、冷却体によって効果的な冷却を実現することができる。良好な放熱を可能にするためには、冷却体を電気導体の近傍に配置すべきである。
【０００６】
しかしながら、冷却体と電気導体との距離が近いことに起因して、冷却体と電気導体との間に寄生容量が発生する。すなわち、電気導体が冷却体の近傍に位置すればするほど冷却はより効果的になるが、寄生容量も増加する。寄生容量の結果、電力合成器の挙動が不利に変化することとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】欧州特許出願公開第１６９９１０７号明細書
【特許文献２】米国特許第８０４４７４９号明細書
【特許文献３】独国特許出願公開第１０３４２６１１号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１４／００８５０１９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本発明の課題は、冷却体による効果的な冷却作用を有し、かつ、冷却体による電力合成器の電力特性に対する不利な電気的影響が最小化された、電力合成器および電力合成器装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題は、本発明によれば、請求項１に記載の特徴を有する電力合成器と、請求項１０に記載の特徴を有する電力合成器装置とによって解決される。従属請求項は、有利な発展形態を示す。
【００１０】
したがって、本発明の課題は、１００Ｗを超える出力電力をもたらすために、１ＭＨｚを超える周波数を有する高周波信号を合成および／または分配するための電力合成器であって、前記電力合成器は、
ａ）第１の高周波信号のための第１の入力部と、
ｂ）第２の高周波信号のための第２の入力部と、
ｃ）出力部と、
ｄ）平衡端子と、
ｅ）前記第１の入力部と前記出力部との間に設けられた第１の電気導体であって、その大部分が平坦な面電極の形態で構成されている、第１の電気導体と、
ｆ）前記第２の入力部と前記平衡端子との間に設けられた第２の電気導体であって、その大部分が平坦な面電極の形態で構成されており、前記第１の電気導体と容量的かつ誘導的に結合されている、第２の電気導体と、
ｇ）冷却体であって、前記第１の電気導体の面全体の７０％より多くが、前記第２の電気導体の面全体と等距離で前記冷却体から離間されている、冷却体と
を有する、電力合成器によって解決される。
【００１１】
すなわち、本発明の課題は、複数の電気導体を冷却体に対して対称に配置することによって解決される。これにより、両方の導体に対して寄生容量が対称に分布するので、電力合成器の電力特性に対して全体として格段により有利な影響が及ぼされることとなる。
【００１２】
第１の電気導体の面全体の、好ましくは７５％より多く、特に８０％より多く、特に好ましくは９０％より多くが、第２の電気導体の面全体と等距離で冷却体から離間されている。
【００１３】
本発明による電力合成器は、好ましくは９０°ハイブリッド合成器の形態で構成されている。電力合成器は、さらに好ましくは電力分配器（パワースプリッタ）の形態で動作可能である。電力合成器は、特に好ましくは１００Ｗを超える電力を出力するための電力分配器として構成されている。
【００１４】
電力合成器は、好ましくは１ＭＨｚと２００ＭＨｚとの間の高周波信号を合成するように設計されている。
【００１５】
電力合成器は、特に好ましくは２ｋＷを超える電力を出力するように構成されている。
【００１６】
電力合成器の特に好ましい実施形態では、電力合成器は、基本周波数の±１０％の周波数で動作する場合に０．５ｄＢ未満、特に０．３ｄＢ未満、より好ましくは０．１ｄＢ未満の伝送損失のために構成されている。
【００１７】
電力合成器の出力部には、好ましくは特にプラズマ装置の形態の負荷を接続可能である。平衡端子は、好ましくは特に終端抵抗を介して接地に接続可能である。終端抵抗は、好ましくは基準インピーダンスを有し、この基準インピーダンスは、２５Ωまたは５０Ωの大きさを有することができる。基準インピーダンスとは、電力合成器が自身の入力部または出力部において示すように設計されている、インピーダンスのことである。
【００１８】
冷却体は、好ましくは冷却板の形態で形成されている。冷却板は、流体が通流する管路、特に水路を有することができる。
【００１９】
第１の導体を第２の導体に効果的に誘導結合させるために、第１の電気導体および第２の電気導体は、好ましくはそれぞれｎ＞１の巻数を有する。
【００２０】
第１の電気導体および第２の電気導体の巻数は、好ましくはｎ＞２、特にｎ＝３、さらに好ましくはｎ＞３である。
【００２１】
第１の電気導体の内側巻線および／または第２の電気導体の内側巻線は、当該内側巻線と外側巻線との間で位相補償をもたらすために、外側巻線に対して平行に延在していない経路区間を有することができる。
【００２２】
第１の電気導体の面全体の６０％より多くが、第２の電気導体の面全体に対して合同に、かつ、特に同一平面上で相対している場合には、電力合成器の容量結合および誘導結合がさらに改善され、配置がさらに対称に構成される。
【００２３】
第１の電気導体の面全体の、好ましくは７０％より多く、特に８０％より多く、特に好ましくは９０％より多くが、第２の電気導体の面全体に対して合同に、かつ、特に同一平面上で相対している。
【００２４】
基準インピーダンスは、５０Ω未満の値まで低減することができる。その場合、第１の電気導体および第２の電気導体のインダクタンスが小さくなり、これによってより小さな面積の構造を実現することができる。
【００２５】
好ましくは、基準インピーダンスは、第１の入力部および第２の入力部において周波数が１ＭＨｚを超える場合には２５Ωである。
【００２６】
さらに好ましくは、基準インピーダンスは、第１の入力部および第２の入力部において周波数が３ＭＨｚ，１０ＭＨｚ，４０ＭＨｚ，１００ＭＨｚ，または、２００ＭＨｚを超える場合には、それぞれ少なくとも５０Ω未満、特にそれぞれ２５Ω未満である。
【００２７】
本発明の好ましい実施形態では、第１の電気導体は、第１の第一導体片および第２の第一導体片を有することができ、第２の電気導体は、第１の第二導体片および第２の第二導体片を有することができ、第２の第二導体片の７０％より多くが、同一平面上で、第１の第一導体片に対してオフセットされた状態で合同に延在しており、第２の第一導体片の７０％より多くが、同一平面上で、前記第２の第二導体片に対して合同に延在している。
【００２８】
したがって、第２の第二導体片は、好ましくは少なくとも部分的に第１の第一導体片の下方に延在しており、第２の第一導体片は、好ましくは少なくとも部分的に第１の第二導体片の下方に延在している。
【００２９】
第２の第二導体片の、好ましくは８０％より多く、特に９０％より多くが、同一平面上で、第１の第一導体片に対してオフセットされた状態で合同に延在しており、第２の第一導体片の、好ましくは８０％より多く、特に９０％より多くが、同一平面上で、第１の第二導体片に対して合同に延在している。
【００３０】
さらに好ましくは、第１の第一導体片の７０％より多く、特に８０％より多く、好ましくは９０％より多くが、第１の第二導体片に対して平行に延在しており、第２の第二導体片の、好ましくは７０％より多く、特に８０％より多く、特に好ましくは９０％より多くが、第２の第一導体片に対して平行に延在している。
【００３１】
冷却体は、第１の第二導体片と第２の第一導体片との間に配置することができる。これにより、電力合成器を特に対称に構成することが可能となる。
【００３２】
電力合成器は、第１の電気導体と第２の電気導体との間に空隙を有することができる。しかしながら好ましくは、電力合成器は、第１の電気導体の平坦な面電極と第２の電気導体の平坦な面電極との間に誘電体、特に電気絶縁基板を有する。これにより、電力合成器を特にコンパクトで低コストに製造することが可能となる。誘電体、特に電気絶縁基板はさらに、電気導体同士の間のフラッシュオーバから保護する。
【００３３】
第１の電気導体の平坦な面電極および第２の電気導体の平坦な面電極は、誘電体、特に電気絶縁基板上に直接的に配置することができる。
【００３４】
第１の電気導体の平坦な面電極を、電力合成器の第１の誘電体、特に電気絶縁基板上に少なくとも部分的に、特に完全に配置することができ、第２の電気導体の平坦な面電極を、電力合成器の第２の誘電体、特に電気絶縁基板上に少なくとも部分的に、特に完全に配置することができる。
【００３５】
上記の実施形態の別の構成では、第１の面電極の第１の第一導体片を、第１の誘電体、特に絶縁基板の第１の主面上に配置することができ、第１の面電極の第２の第一導体片を、第２の誘電体、特に絶縁基板の第１の主面上に配置することができ、第２の面電極の第１の第二導体片を、第１の誘電体、特に電気絶縁基板の第２の主面上に配置することができ、第２の面電極の第２の第二導体片を、第２の誘電体、特に絶縁基板の第２の主面上に配置することができる。
【００３６】
これに代えてまたはこれに加えて、第１の平坦な面電極および第２の平坦な面電極は、複数の部分区間を有することができ、これらの複数の部分区間は、誘電体、特に電気絶縁基板の第１の平坦な主面上と、誘電体、特に電気絶縁基板の、第１の平坦な主面とは反対の側に位置する第２の平坦な主面上とにおいて交互に延在している。上述した第１の主面および第２の主面は、好ましくはただ１つの誘電体、特にただ１つの電気絶縁基板の各主面である。
【００３７】
電力合成器は、多層プリント基板を有することができ、多層プリント基板は、第１の電気導体の平坦な面電極と、第２の電気導体の平坦な面電極とを有する。
【００３８】
多層プリント基板の少なくとも１つの誘電体、特に電気絶縁基板は、エポキシ樹脂織物からなるプリント基板材料を有することができる。多層プリント基板の別の層は、ポリテトラフルオロエチレンを有することができるか、または、ポリイミドを含有する導体路担体材料を有することができる。これにより、電気的な破壊強度が顕著に増加すると同時に製造コストが低くなる。
【００３９】
多層プリント基板は、好ましくは、第１の導体の面電極および第２の導体の面電極が延在している多層プリント基板の主面においてλ／１００未満、特にλ／２００未満の側方寸法を有し、この場合、λは、第１の入力部および第２の入力部における１ＭＨｚを超える周波数、特に３ＭＨｚ，１０ＭＨｚ，４０ＭＨｚ，１００ＭＨｚ，または、２００ＭＨｚを超える周波数に関連する。
【００４０】
電力合成器は、９０°ハイブリッドとして構成することができる。
【００４１】
９０°ハイブリッドを高周波信号の合成のために使用する場合には、２つの入力部における信号が９０°位相シフトされていると、これら２つの入力部における信号が１つの出力部に一緒に合成される。
【００４２】
９０°ハイブリッドを高周波信号の分配（スプリット）のために使用する場合には、１つの入力部に印加された信号が２つの出力部に均等に分配され、この場合、分配された２つの信号は、９０°位相シフトされている。
【００４３】
第１の電気導体および第２の電気導体は、それぞれ同じインダクタンスＬＫを有することができる。第１の電気導体と第２の電気導体との間で、合成器の寸法によってキャパシタンスＣＫを調整することができる。
【００４４】
９０°ハイブリッドの場合、インダクタンスＬＫおよびキャパシタンスＣＫを、以下のように設計することができる：
ＬＫ＝Ｚ０／（２πｆ）
ＣＫ＝１／（２πｆＺ０）
ただし、Ｚ０は、基準インピーダンスであり、ｆは、９０°ハイブリッドのために設計された周波数である。
【００４５】
本発明の課題はさらに、上で説明した電力合成器を有する電力合成器装置において、前記電力合成器装置は、前記第１の入力部に接続された第１の高周波信号源と、前記第２の入力部に接続された第２の高周波信号源と、特に前記出力部に接続された負荷とを有する、電力合成器装置によって解決される。
【００４６】
第１の高周波信号源および第２の高周波信号源は、好ましくは高周波トランジスタ増幅器の形態で、特に周波数アジャイル型の高周波トランジスタ増幅器の形態で構成されている。これら２つの高周波信号源は、特に好ましくは同一に構成されている。
【００４７】
負荷は、好ましくはプラズマ装置の形態で構成されている。
【００４８】
本発明の別の好ましい実施形態では、冷却体は、特に平衡抵抗を介して平衡端子および／または接地に接続されている。
【００４９】
本発明のさらなる特徴および利点は、本発明の複数の実施例の以下の詳細な説明および特許請求の範囲から、本発明にとって本質的な詳細を示した図面に基づいて明らかになる。
【００５０】
図面に示された特徴は、本発明の特徴を明確に視認可能となるように図示されている。種々の特徴は、本発明の変形例において、それぞれ単独でまたは複数の任意の組み合わせで実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】第１の電力合成器の平面図である。
【図２】別の電力合成器の斜視図である。
【図３ａ】別の電力合成器を有する電力合成器装置の平面図である。
【図３ｂ】図３ａの電力合成器の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
図１は、電力合成器１０を示す。電力合成器１０は、第１の高周波信号のため第１の入力部１２ａと、第２の高周波信号のための第２の入力部３２とを有する。第１の入力部１２ａは、第１の電気導体１４に接続されている。第２の入力部３２は、第２の電気導体１６に接続されている。電気導体１４，１６は、互いに誘導的かつ容量的に結合されている。電気導体１４，１６の間には誘電体、特に電気絶縁基板１８が配置されている。
【００５３】
より具体的に言えば、本実施例の電力合成器１０は、誘電体、特に絶縁基板１８を有するプリント基板から形成されており、誘電体、特に電気絶縁基板の第１の平坦な主面上には第１の導電層２０が配置されており、誘電体、特に電気絶縁基板の第２の平坦な主面上には第２の導電層２２が配置されており、第２の導電層２２は、第１の導電層に対して平行に延在している。
【００５４】
第１の電気導体１４および第２の電気導体１６は、それぞれ第１の導電層２０内および第２の導電層２２内に部分的に交互に形成されている。図１では、第１の導電層２０内に形成された電気導体１４，１６の一部のみが視認可能である。第２の導電層２２は、図１では誘電体、特に電気絶縁基板１８と、第１の導電層２０とによって覆い隠されている。
【００５５】
第１の電気導体１４および第２の電気導体１６は、それぞれその大部分が面電極の形態で形成されている。面電極は、それぞれ複数の部分区間を有し、これらの複数の部分区間は、誘電体、特に電気絶縁基板１８の上方および下方において交互に延在している。第１の電気導体１４の部分区間２４ａ，２４ｃは、図１において視認可能な第１の導電層２０内に延在している。第１の電気導体１４の部分区間２４ｂ，２４ｄは、第２の導電層２２内に延在している。さらに、部分区間２６ａ，２６ｃは、第２の導電層２２内に延在しており、部分区間２６ｂ，２６ｄは、第１の導電層２０内に延在している。この場合、第１の電気導体１４の部分区間２４ａ−ｄの面電極は、同一平面上で、それぞれ第２の電気導体１６の部分区間２６ａ−ｄに対して合同に延在している。
【００５６】
この場合、第１の導電層２０から第２の導電層２２への交代は、ブリッジ２８ａ−ｆを介して実施される。導電層２０，２２の間で、ブリッジ２８ａ−ｃが第１の電気導体１４を案内し、ブリッジ２８ｄ−ｆが第２の電気導体１６を案内する。
【００５７】
第１の電気導体１４の、第１の入力部１２ａとは反対の側に位置する端部は、出力部３０で終端している。第２の電気導体１６の、第２の入力部３２とは反対の側に位置する端部は、平衡端子１２ｂで終端している。
【００５８】
導電層２０，２２と、誘電体、特に電気絶縁基板１８とからなる図１に図示されたプリント基板は、電力合成器１０の冷却体（図示せず）上に配置される。第１電気導体１４および第２の電気導体１６が誘電体、特に電気絶縁基板１８に対して対称に延在していることに基づいて、第１の電気導体１４と冷却体との間に、または、第２の電気導体１６と冷却体との間に、非常に対称的な寄生容量が形成される。電力合成器１０の電気的な伝送特性は、これによって最小限にしか影響を受けなくなる。
【００５９】
図２は、別の電力合成器１０を示す。電力合成器１０は、複数のプリント基板３６ａ−ｄから構成された１つの多層プリント基板３４を有する。第１のプリント基板３６ａは、第１の誘電体、特に電気絶縁基板３８ａを有し、第２のプリント基板３６ｂは、第２の誘電体、特に電気絶縁基板３８ｂを有し、第３のプリント基板３６ｃは、第３の誘電体、特に電気絶縁基板３８ｃを有し、第４のプリント基板３６ｄは、第４の誘電体、特に電気絶縁基板３８ｄを有する。
【００６０】
電力合成器１０は、第１の入力部１２ａおよび第２の入力部３２を有する。第１の入力部１２ａは、第１の電気導体１４を介して出力部３０に接続されている。第２の入力部３２は、第２の電気導体１６を介して平衡端子１２ｂに接続されている。
【００６１】
本実施例では、第１の電気導体１４も第２の電気導体１６も、それぞれ２つの線路に分割されている。第１の電気導体１４は、第１の第一導体片１４ａおよび第２の第一導体片１４ｂを有し、第２の電気導体１６は、第１の第二導体片１６ａおよび第２の第二導体片１６ｂを有する。
【００６２】
電力合成器１０は、電気導体１４，１６に対して対称に離間された冷却体４０を有する。本実施例では、この場合、第２の第一導体片１４ｂは、冷却体４０の近傍に配置されており、第１の第一導体片１４ａは、冷却体４０からより離れて配置されており、その一方で、第１の第二導体片１６ａは、冷却体４０の近傍に配置されており、第２の第二導体片１６ｂは、冷却体４０からより離れて配置されている。冷却体４０は、接地４２に接続されている。
【００６３】
図３ａは、別の電力合成器１０を有する電力合成器装置４４を示す。電力合成器１０の第１の入力部１２ａには第１の高周波信号源４６ａが接続されており、電力合成器１０の第２の入力部３２には第２の高周波信号源４６ｂが接続されている。第１の入力部１２ａは、第１の電気導体１４を介して出力部３０に接続されており、出力部３０には負荷４８が接続されている。第２の入力部３２は、第２の電気導体１６を介して平衡端子１２ｂに接続されており、平衡端子１２ｂは、終端抵抗３１を介して接地電位に接続されている。
【００６４】
電力合成器１０は、誘電体、特に電気絶縁基板１８を有する。第１の電気導体１４は、第１の第一導体片１４ａと第２の第一導体片１４ｂとに分岐される。第２の電気導体１６は、第１の第二導体片１６ａと第２の第二導体片１６ｂとに分岐される。第１の第一導体片１４ａと第１の第二導体片１６ａは、誘電体、特に絶縁基板１８の第１の主面上で案内される。第２の第一導体片１４ｂと第２の第二導体片１６ｂは、誘電体、特に電気絶縁基板１８の第２の主面上で案内される。
【００６５】
第１の電気導体１４および第２の電気導体１６は、内側巻線または外側巻線を表している。この場合、内側巻線は、外側巻線に対して平行に延在していない経路区間５０を有し、これによって内側巻線と外側巻線との間で位相補償がもたらされる。
【００６６】
出力部３０の領域における第１の第一導体片１４ａと第２の第一導体片１４ｂとの合流部と、平衡端子１２ｂの領域における第１の第二導体片１６ａと第２の第二導体片１６ｂとの合流部は、参照符号１４ｂ，１６ｂの領域における先行の分岐部と同様に延在しており、図３ａには図示されていない。
【００６７】
図３ｂは、図３ａの電力合成器装置４４の概略的な部分断面図を示す。図３ｂからは、第２の第一導体片１４ｂの大部分が第１の第二導体片１６ａに対して合同に延在しており、第２の第二導体片１６ｂの大部分が第１の第一導体片１４ａに対して合同に延在していることが見て取れる。導体片１４ａ，１６ａと導体片１４ｂ，１６ｂとの間には誘電体、特に電気絶縁基板１８が配置されている。
【００６８】
第２の第一導体片１４ｂおよび第２の第二導体片１６ｂは、特に熱伝導板５２として構成することができる誘電体に接触している。熱伝導板５２は、冷却体４０上に載置されている。図３ｂからは、電気導体１４，１６が冷却体４０に対して全体として等距離で離間されていることが見て取れる。
【００６９】
特に熱伝導板５２として構成することができるこのような誘電体は、一般的に、すなわち図１の構成の場合でも図２の構成の場合でも、冷却体４０と、冷却体の方を向いた導体路または導体路の部分区間との間に配置することができる。このような誘電体は、複数の機能を果たすことができる。まず始めに、このような誘電体は、通常は接地（アース）に接続されている冷却体４０の電位に対して、導体路または導体路の部分区間を電気的に絶縁させるために使用される。さらに、誘電体の厚さおよび誘電特性によって、導体路同士または導体路の部分区間同士の間における規定されたキャパシタンスを調整することができる。これにより、望ましくない高周波振動を克服することができる。さらに、誘電体の材料特性、特に損失係数によって、電力合成器１０の電力損失を調整することができる。原則的に、できるだけ低い損失が最適であるということを第一の仮定とすることができよう。実際には、本構成の場合、特に負荷がプラズマ装置の形態である場合には、高周波除去において振動を阻止するために電力合成器１０が所定の損失を有すると有利である。この所定の損失は、電力合成器１０が合成または分配する電力の１０％未満であるべきである。さらに、誘電体は、推進された空気流を用いることなく冷却体４０との熱接触によるだけで電力合成器１０を十分に冷却することができるという利点を有する。
【００７０】
電力合成器１０は、増幅器の他の構成要素と共に１つの共通の回路基板上に実装することができる。これにより、このような増幅器−電力合成器−アセンブリのコストを格段に削減することが可能となると同時に、外部干渉場による干渉結合を大幅に低減することが可能となる。
【００７１】
電力合成器１０は、単独でまたは増幅器の他の構成要素と共に、金属製のハウジング内に収容することができる。これにより、外部干渉場による干渉結合をさらに低減することが可能となる。
【００７２】
図面の全ての図示を要約すると、本発明は、冷却体４０を有する電力合成器１０に関する。電力合成器１０は、少なくとも１つの第１の電気導体１４および第２の電気導体１６を有する。第１の電気導体１４および第２の電気導体１６の大部分が、冷却体４０に対して全体として等距離で離間されている。このために、第１の電気導体１４と第２の電気導体１６とを交互に、冷却体４０の近傍に配置するか、または、冷却体４０から離れて配置することができる。これに代えてまたはこれに加えて、冷却体４０を、第１の電気導体１４と第２の電気導体１６との間に配置することができる。これに代えてまたはこれに加えて、第１の電気導体１４および第２の電気導体１６の大部分を、複数の平行な導体片１４ａ，１４ｂ，１６ａ，１６ｂに分割することができ、これらの導体片１４ａ，１４ｂ，１６ａ，１６ｂは、第１の電気導体１４および第２の電気導体１６の大部分が冷却体４０に対して全体として等距離で離間されるように、冷却体４０から離間されている。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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