(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力の供給を受けて駆動するモータ部と、該モータ部の回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構部と、前記モータ部および前記運動変換機構部を収容し、軸方向一方側の端部に開口部を有すると共に軸方向他方側の端部に底部を有する有底筒状の筐体とを備え、前記運動変換機構部が、前記モータ部のロータの回転中心と同軸に配置されたねじ軸と、複数のボールを介して前記ねじ軸の外周に回転可能に嵌合され、前記モータ部のロータとトルク伝達可能に設けられたナット部材とを有し、前記ナット部材の回転方向に応じて、前記ねじ軸を含む出力部材が軸方向一方側に前進又は軸方向他方側に後退する電動アクチュエータにおいて、
前記筐体の開口端面およびこれに対向する前記出力部材の軸方向他方側の端面との間に、両者と軸方向で係合することにより前記出力部材の原点位置を決定付ける環状の原点位置決め部材が設けられ、該原点位置決め部材は、軸方向の圧縮荷重に対する弾性復元力を有しており、
前記出力部材が原点に位置した状態では、前記筐体の底部の内端面と前記出力部材の端面とが軸方向隙間を介して互いに対向することを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記原点位置決め部材が弾性材料で形成されている請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記ロータは、前記ナット部材を内周に配置し、軸方向に離間した二箇所に配置された転がり軸受により前記筐体に対して回転自在に支持された中空回転軸を有し、
前記中空回転軸は、２つの前記転がり軸受のうち、一方の転がり軸受の内側軌道面を有する請求項１又は２に記載の電動アクチュエータ。
【請求項４】
前記内側軌道面が、前記ナット部材の軸方向幅の内側に配置されている請求項３に記載の電動アクチュエータ。
【請求項５】
前記ナット部材の軸方向他方側にスラスト軸受が隣接配置され、該スラスト軸受は、２つの前記転がり軸受の間の軸方向範囲内に配置されている請求項３又は４に記載の電動アクチュエータ。
【請求項６】
前記運動変換機構部が、前記ロータの回転を減速して前記ナット部材に伝達する減速機をさらに有する請求項１〜５の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項７】
前記筐体は、軸方向に結合された複数部材からなり、
電装部品を保持したターミナル部が、前記筐体の構成部材により軸方向両側から挟持された筒状部を有し、該筒状部が、前記筐体の内外を連通させる径方向の貫通孔を有する請求項１〜６の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項８】
前記モータ部のステータの少なくとも一部が、前記筒状部に嵌合されている請求項７に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車においては、その省力化や低燃費化のために電動化が進展し、例えば、自動変速機、ブレーキおよびステアリング等の操作を電動機（モータ）の力で行うシステムが開発され、市場に投入されている。このようなシステムに使用される電動アクチュエータとして、モータの回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構に、モータの回転中心と同軸に配置されたねじ軸と、複数のボールを介してねじ軸の外周に回転可能に嵌合されたナット部材とを備えるボールねじ装置を採用したものがある（例えば、特許文献１）。この場合、モータの回転運動を受けてナット部材がねじ軸の軸線回りに回転すると、電動アクチュエータの出力部材を構成するねじ軸が軸方向に直線運動し、操作対象を軸方向に操作する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３０９４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、電動アクチュエータにおいては、ねじ軸（出力部材）の軸方向の変位量を精度良く管理・制御するために、通常、出力部材の原点位置が設定される。特許文献１のように、全体として有底筒状をなす筐体を採用した電動アクチュエータにおいては、出力部材と筐体の底部が軸方向で当接する位置を出力部材の原点に設定することができる。すなわち、有底筒状の筐体を用いる場合、筐体の底部を、出力部材の原点位置を決定付けるための原点位置決め部として活用できる。
【０００５】
しかしながら、筐体の底部を出力部材の原点位置決め部として活用した場合、出力部材が動作不能になるという重大欠陥が生じる可能性があることが判明した。その詳細を、図１３および図１４（ａ）（ｂ）を参照しながら説明する。
【０００６】
図１３は、電動アクチュエータの要部を抜き出して示す部分拡大断面図である。この電動アクチュエータは、図示外のモータの回転中心と同軸に配置され、外周面に螺旋状溝１０１ａが設けられた中空状のねじ軸１０１と、ねじ軸１０１の外周に配置され、内周面に螺旋状溝１０２ａが設けられたナット部材１０２と、両螺旋状溝１０１ａ，１０２ａの間に転動自在に介在する複数のボール１０３とを備えたボールねじ装置１０４で運動変換機構を構成すると共に、ねじ軸１０１およびその内周に固定され、操作対象を軸方向に操作可能な操作部を有する内方部材１０５で出力部材１００を構成している。ボールねじ装置１０４や図示外のモータは、軸方向一方側（図中右側）の端部に開口部１１１が設けられ、軸方向他方側（図中左側）の端部に円盤状の底部１１２が設けられた有底筒状の筐体１１０に収容されている。
【０００７】
この電動アクチュエータの出力部材１００に撓みがない場合、すなわち、出力部材１００の軸線とモータの回転中心Ｘとが一致している場合には、図１４（ａ）に示すように、ボール１０３の中心Ｏｂは、ねじ軸１０１の螺旋状溝１０１ａとボール１０３との接触点１０１ｂと、ナット部材１０２の螺旋状溝１０２ａとボール１０３との接触点１０２ｂとを結ぶ直線Ｙ上に位置する。この場合、モータの出力を受けてナット部材１０２が回転すると、ボール１０３は図１４（ａ）中に白抜き矢印で示す方向に滑らかに転動してトルクを伝達するため、ねじ軸１０１を含む出力部材１００は軸方向に滑らかに直線運動する。
【０００８】
一方、例えば、電動アクチュエータの電気系等に何らかの不具合が生じることにより、出力部材１００の原点復帰に伴って出力部材１００がオーバーランし、出力部材１００と筐体１１０の底部１１２とが強く突き当たった場合、出力部材１００には、その軸線Ｘ’がモータの回転中心Ｘに対して位置ズレするような撓みが生じる［図１３および図１４（ｂ）参照］。この場合、ボール１０３は、所定の接触点１０１ｂ以外の接触点１０１ｃでもねじ軸１０１の螺旋状溝１０１ａと接触するため、ねじ軸１０１およびナット部材１０２とボール１０３との接触状態が三点接触となり（ボール１０３の中心Ｏｂが接触点１０１ｂ，１０２ｂを結ぶ直線Ｙに対して位置ズレし）、ボール１０３が転動不能ないわゆるロック状態に陥る。そのため、モータの回転運動をねじ軸１０１に伝達することができず、出力部材１００が動作不能となる。
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、運動変換機構にボールねじ装置が採用される電動アクチュエータにおいて、出力部材の原点復帰に伴って出力部材が作動不能となるような重大欠陥が発生する可能性を効果的に低減しつつ、出力部材の原点を容易に設定可能とし、もって出力部材の動作精度に優れ、信頼性に富む電動アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、電力の供給を受けて駆動するモータ部と、モータ部の回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構部と、モータ部および運動変換機構部を収容し、軸方向一方側の端部に開口部を有すると共に軸方向他方側の端部に底部を有する有底筒状の筐体とを備え、運動変換機構部が、モータ部のロータの回転中心と同軸に配置されたねじ軸と、複数のボールを介してねじ軸の外周に回転可能に嵌合され、モータ部のロータとトルク伝達可能に設けられたナット部材とを有し、ナット部材の回転方向に応じて、ねじ軸を含む出力部材が軸方向一方側に前進又は軸方向他方側に後退する電動アクチュエータにおいて、筐体の開口端面およびこれに対向する出力部材の軸方向他方側の端面との間に、両者と軸方向で係合することにより出力部材の原点位置を決定付ける環状の原点位置決め部材が設けられ、該原点位置決め部材が軸方向の弾性復元力を有することを特徴とする。なお、本発明でいう「出力部材」とは、電動アクチュエータの出力部材である。
【００１１】
上記のような原点位置決め部材を設けておけば、筐体の底部を活用せずに、出力部材の原点位置を容易かつ正確に設定することができる。また、原点位置決め部材は、軸方向の弾性復元力（軸方向の圧縮荷重に対する弾性復元力）を有することから、出力部材の原点復帰に伴って出力部材に対して軸方向の大きな衝撃荷重が作用した場合でも、出力部材を軸方向一方側（筐体の底部から離反する方向）に押し戻すことが、すなわち上記の衝撃荷重を減衰・緩和することができる。そのため、ボールねじ装置を構成するボールが転動不能になるロック状態に陥る可能性を効果的に低減することができる。
【００１２】
出力部材が原点に位置した状態では、筐体の底部の内端面を、軸方向隙間を介して出力部材の端面と対向させるのが好ましい。このようにすれば、出力部材の原点復帰に伴って、ボールねじ装置がロック状態に陥る可能性を低減する上で有利となる。
【００１３】
原点位置決め部材を、ゴム材料、樹脂材料、熱可塑性エラストマー等の弾性材料で形成すれば、所定形状の原点位置決め部材を容易に作製することができるので、原点位置決め部材を設けることによるコスト増を抑制する上で有利となる。
【００１４】
モータ部のロータは、ナット部材を内周に配置し、軸方向に離間した二箇所に配置された転がり軸受により回転自在に支持された中空回転軸を有するものとすることができ、この場合、中空回転軸には、２つの転がり軸受のうち、一方の転がり軸受の内側軌道面を設けても良い。このようにすれば、中空回転軸、ひいては筐体を軸方向にコンパクト化することができる。これにより、軸方向にコンパクトで、使用機器に対する搭載性に優れた電動アクチュエータを実現することができる。
【００１５】
中空回転軸に上記の内側軌道面が設けられている場合に、この内側軌道面をナット部材の軸方向幅の内側に配置すれば、電動アクチュエータを軸方向に一層コンパクト化することができる。
【００１６】
運動変換機構部は、ロータの回転を減速してナット部材に伝達する減速機を有するものとすることができる。このようにすれば、小型のモータを採用することができるので、電動アクチュエータの軽量・コンパクト化を図ることができる。減速機としては、遊星歯車減速機を採用することができる。遊星歯車減速機であれば、例えば歯車諸元を変更したり、遊星ギヤの設置段数を変更したりすることで減速比を容易に調整することができ、しかも遊星ギヤを多段に設置しても減速機、ひいては電動アクチュエータの大型化を回避することができる、という利点がある。
【００１７】
筐体は、軸方向に結合された複数部材で構成することができ、この場合、電装部品を保持したターミナル部に、筐体の構成部材により軸方向両側から挟持された筒状部を設けると共に、筒状部に、筐体の内外を連通させる径方向の貫通穴を設けることができる。なお、ここでいう「電装部品」とは、例えば、モータ部に駆動電力を供給するための給電回路や、モータ部の回転制御に用いるための回転角度検出用センサなどを含む概念である。
【００１８】
上記の構成によれば、筐体を構成する部材同士を軸方向に結合し、筐体を組み立てるだけでモータ部を駆動可能な状態にすることができる。特に、ターミナル部の筒状部に筐体の内外を連通させる径方向の貫通穴を設けておけば、電装部品に接続される電気配線を上記の貫通穴を介して筐体の径方向外側に引き出すことができる。この場合、電気配線の取り回し作業をターミナル部単体の状態で完結することができるので、電動アクチュエータの組立段階で煩雑な電気配線の取り回し作業を実施する必要がなくなる。従って、電動アクチュエータの組立性・生産性を高め、そのコスト低減を図ることができる。
【００１９】
モータ部のステータの少なくとも一部は、ターミナル部の筒状部に嵌合しても良い。このようにすれば、筐体を組み立てるのと同時にモータ部のステータを筐体の内周に組み付けることができるので、電動アクチュエータの組立性を一層高めることができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上より、本発明によれば、運動変換機構にボールねじ装置が採用される電動アクチュエータにおいて、出力部材の原点復帰に伴って出力部材が作動不能となるような重大欠陥が発生する可能性を効果的に低減しつつ、出力部材の原点を容易に設定することが可能となる。これにより、出力部材の動作精度に優れ、信頼性に富む電動アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に電動アクチュエータの縦断面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ線矢視断面図である。
【図３】モータのロータと運動変換機構部とを取り出して拡大した縦断面図である。
【図４】図１のＦ−Ｆ線矢視断面図である。
【図５】ケーシングにリングギヤを組み込んだ状態を示す縦断面図である。
【図６】モータのステータとターミナル部とを取り出して拡大した縦断面図である。
【図７】図１のＧ−Ｇ線矢視断面図である。
【図８】図１のＨ−Ｈ線矢視断面図である。
【図９】図１に示す電動アクチュエータの左側面図である。
【図１０】図９のＩ−Ｉ線矢視断面図である。
【図１１】図１の電動アクチュエータの制御系統を示す概略ブロック図である。
【図１２】他の実施形態に係る電動アクチュエータの制御系統を示すブロック図である。
【図１３】従来の電動アクチュエータで起こり得る問題を説明するための図であり、従来の電動アクチュエータの部分拡大断面図である。
【図１４】図１３のＺ部拡大図であって、（ａ）図は、ねじ軸を含むアクチュエータの出力部材に撓みがない場合の状態図、（ｂ）図は、同出力部材に撓みが生じている場合の状態図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、“軸方向一方側”および“軸方向他方側”とは、それぞれ、図１，２における紙面右側および紙面左側である。
【００２３】
図１に、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図を示し、図２に、図１のＥ−Ｅ線矢視断面図を示し、図３に、モータ部のロータと運動変換機構部とを取り出して拡大した縦断面図を示す。なお、図１および図２は、電動アクチュエータの出力部材３が原点に位置した状態を示している。詳細は後述するが、「原点に位置した状態」とは、環状の原点位置決め部材９０の軸方向一方側および他方側の端部９０ａ，９０ｂが、それぞれ、軸方向で対峙するアクチュエータヘッド３９の頭部３９ａの端面およびケーシング２０の開口端面２０ａ１と軸方向で係合する位置にある状態のことである。
【００２４】
図１および図２に示すように、電動アクチュエータ１は、電力の供給を受けて駆動されるモータ部Ａと、モータ部Ａの回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構部Ｂと、図示外の操作対象を操作する操作部Ｃと、ターミナル部Ｄとを備え、これらは筐体２に収容・保持されている。
【００２５】
筐体２は、同軸配置された状態で軸方向に結合された複数の部材からなり、全体として有底筒状をなす。本実施形態の筐体２は、軸方向の両端が開口した筒状のケーシング２０と、ケーシング２０の軸方向他方側の端部開口を閉塞する底部としてのカバー２９と、ケーシング２０とカバー２９の間に配置され、ターミナル部Ｄを構成するターミナル本体５０との結合体からなる。カバー２９およびターミナル本体５０は、図９，１０に示す組立用ボルト６１によりケーシング２０に対して取り付け固定されている。
【００２６】
モータ部Ａは、ケーシング２０およびターミナル本体５０（の筒状部５０Ａ）の内周面に嵌合固定されたステータ２３と、径方向隙間を介してステータ２３の内周に対向配置されたロータ２４とを備えたラジアルギャップ型のモータ（詳細には、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相を有する三相ブラシレスモータ）２５で構成されている。ステータ２３は、ステータコア２３ａに装着された絶縁用のボビン２３ｂと、ボビン２３ｂに巻き回されたコイル２３ｃとを備える。ロータ２４は、ロータコア２４ａと、ロータコア２４ａの外周に取り付けられたロータマグネットとしての永久磁石２４ｂと、中空状に形成され、ロータコア２４ａを外周に装着した中空回転軸としてのロータインナ２６とを備える。
【００２７】
図３に示すように、ロータコア２４ａは、ロータインナ２６の軸方向一方側の肩部２６ａにサイドプレート６５をセットした後、ロータインナ２６の外周面２６ｂに嵌合される。永久磁石２４ｂ（図２参照）は、ロータコア２４ａの外周に嵌合された後、ロータインナ２６のうち、ロータコア２４ａの軸方向他方側の端部の軸方向外側に取り付けられたサイドプレート６５、およびその軸方向外側に取り付けられたサークリップ６６により位置決め固定されている。
【００２８】
図１〜図３に示すように、ロータインナ２６の軸方向一方側の端部外周には転がり軸受２７の内側軌道面２７ａが形成され、転がり軸受２７の外輪２７ｂはケーシング２０の内周面に固定された軸受ホルダ２８の内周面に装着されている。また、ロータインナ２６の軸方向他方側の端部内周面と、カバー２９の円筒部２９ａの外周面との間に転がり軸受３０が装着されている。このような構成により、ロータインナ２６は、転がり軸受２７，３０を介して筐体２に対して回転自在に支持されている。
【００２９】
図１〜図３に示すように、本実施形態の運動変換機構部Ｂは、ボールねじ装置３１と、減速機としての遊星歯車減速機１０とを備え、遊星歯車減速機１０はモータ部Ａの軸方向一方側に隣接配置されている。
【００３０】
ボールねじ装置３１は、ロータ２４の回転中心と同軸に配置されたねじ軸３３と、複数のボール３４を介してねじ軸３３の外周に回転可能に嵌合され、ロータインナ２６とトルク伝達可能にロータインナ２６の内周に配置されたナット部材３２と、循環部材としてのこま３５とを備える。ナット部材３２の内周面に形成された螺旋状溝３２ａと、ねじ軸３３の外周面に形成された螺旋状溝３３ａとの間に複数のボール３４が装填され、こま３５が組み込まれている。これにより、ナット部材３２が回転するのに伴ってねじ軸３３が軸方向に直線運動する際には、両螺旋状溝３２ａ，３３ａの間でボール３４が循環する。ねじ軸３３は、内方部材３６や、操作部Ｃとしてのアクチュエータヘッド３９などと共に、電動アクチュエータ１の出力部材３を構成する。
【００３１】
ねじ軸３３は、軸方向に延びた孔部（本実施形態では、軸方向両側の端面に開口した貫通穴）３３ｂを有する中空状に形成され、孔部３３ｂに内方部材３６が収容されている。内方部材３６は、例えばＰＰＳ等の樹脂材料で形成され、軸方向一方側の端部に設けられた円形中実部３６ａと、軸方向他方側の端部に設けられたフランジ部３６ｂと、両部３６ａ，３６ｂを接続する筒部３６ｃとを一体に有する。
【００３２】
ねじ軸３３の孔部３３ｂに収容された内方部材３６は、その円形中実部３６ａとねじ軸３３とを径方向に貫通するようにピン３７を嵌め込むことによってねじ軸３３と連結固定される。ピン３７の両端部は、ねじ軸３３の外周面から径方向外側に突出しており、この突出部分にガイドカラー３８が回転自在に外嵌されている。ガイドカラー３８は、例えばＰＰＳ等の樹脂材料で形成され、ケーシング２０の小径円筒部２０ａの内周に設けられた軸方向の案内溝２０ｂ（図５も併せて参照）に嵌め込まれている。このような構成により、ロータ２４の回転に伴ってナット部材３２がねじ軸３３の軸線回りに回転すると、ねじ軸３３（を含む出力部材３）は回り止めされた状態で軸方向に直線運動する。なお、ねじ軸３３が、軸方向他方側から軸方向一方側に向けて直線運動（前進）するか、あるいは軸方向一方側から軸方向他方側に向けて直線運動（後退）するかは、基本的には、ナット部材３２の回転方向に応じて決定付けられるが、本実施形態では、圧縮コイルばね４８のばね力によってもねじ軸３３が後退移動可能となっている（詳細は後述する）。
【００３３】
図１および図２に示すように、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部には、操作部Ｃとしてのアクチュエータヘッド３９が着脱可能に装着されている。従って、電動アクチュエータ１の出力部材３は、ねじ軸３３、内方部材３６、ピン３７、ガイドカラー３８およびアクチュエータヘッド３９などの結合体で構成される。本実施形態のアクチュエータヘッド３９は、ねじ軸３３が軸方向一方側に直線運動（前進）するのに伴って操作対象を軸方向に加圧するいわゆる押しタイプであり、凸曲面状の先端面を有する頭部３９ａと、ねじ軸３３に固定された基部３９ｂと、頭部３９ａと基部３９ｂの間に設けられた段付き円筒状の中間部３９ｃとを一体に有する。
【００３４】
なお、アクチュエータヘッド３９としては、操作対象を軸方向両側に操作可能な、いわゆる押し引きタイプを採用することもできる。いかなるタイプ・形状のアクチュエータヘッド３９を使用するかは、電動アクチュエータ１が搭載される使用機器（操作対象の形状や動作態様）を考慮して決定付けられる。
【００３５】
アクチュエータヘッド３９の頭部３９ａと筐体２（ケーシング２０）との間には、出力部材３の原点位置を決定付けるために、円環状の原点位置決め部材９０が配設されている。本実施形態において、原点位置決め部材９０は、その軸方向一方側の端部９０ａを軸方向で対峙する出力部材３の端面（アクチュエータヘッド３９の頭部３９ｂの軸方向他方側の端面）と係合させた状態でアクチュエータヘッド３９の中間部３９ｃの外周面に固定されている。出力部材３の原点位置は、図１および図２に示すように、原点位置決め部材９０の軸方向一方側の端部９０ａがアクチュエータヘッド３９の頭部３９ｂの軸方向他方側の端面と軸方向で係合すると共に、原点位置決め部材９０の軸方向他方側の端部９０ｂがケーシング２０の開口端面２０ａ１と軸方向で係合する位置に設定されている。
【００３６】
図１および図２に示すように、出力部材３が原点に位置した状態では、筐体２の底部（カバー２９）の内端面が、内方部材３６のフランジ部３６ｂの軸方向他方側の端面と軸方向隙間４を介して対向している。
【００３７】
原点位置決め部材９０は、軸方向の圧縮荷重に対する弾性復元力を有する。以上の構成を有する原点位置決め部材９０は、弾性材料、ここではゴム材料で形成される。原点位置決め部材９０は、ゴム材料以外の弾性材料、例えば、樹脂材料や熱可塑性エラストマーで形成しても良い。
【００３８】
遊星歯車減速機１０は、図１〜図４に示すように、ケーシング２０に固定されたリングギヤ４０と、ロータインナ２６に固定されたサンギヤ４１と、リングギヤ４０とサンギヤ４１の間に配置され、両ギヤ４０，４１に噛合った複数（本実施形態では４つ）の遊星ギヤ４２と、遊星ギヤ４２を回転自在に保持した遊星ギヤキャリア４３および遊星ギヤホルダ４４と、を備え、遊星ギヤキャリア４３は、遊星ギヤ４２の公転運動を取り出して出力する。
【００３９】
サンギヤ４１は、ロータインナ２６の段部内周面２６ｃに圧入されている。このようにすれば、組立時の連結作業性が良好である。なお、このような連結構造を採用しても、サンギヤ４１は減速前のロータインナ２６と一体回転できれば良いので、両者間で必要とされるトルク伝達性能は十分に確保できる。また、ロータインナ２６とサンギヤ４１とは、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７の直下位置で連結されているので、サンギヤ４１の回転精度も良好である。
【００４０】
図４に示すように、リングギヤ４０の外周には径方向外側に突出したノッチ４０ａが周方向に離間した複数箇所（図示例では４箇所）に設けられ、各ノッチ４０ａは、ケーシング２０の内周面２０ｃの周方向に離間した複数箇所（図示例では４箇所）に設けられた軸方向溝２０ｅ（図５を併せて参照）にそれぞれ嵌合されている。これにより、リングギヤ４０は、ケーシング２０に対して回り止めされている。
【００４１】
遊星ギヤキャリア４３は、図１〜図３に示すように、ロータインナ２６の内周面とナット部材３２の外周面３２ｂとの間に介在する円筒部４３ａを有する。この遊星ギヤキャリア４３は、ロータインナ２６に対して相対回転可能である一方、ナット部材３２とトルク伝達可能に連結されている。本実施形態では、円筒部４３ａの外周面がロータインナ２６の内周面２６ｄ（およびサンギヤ４１の内周面）と径方向隙間を介して対向し、円筒部４３ａの内周面４３ｂがナット部材３２の外周面３２ｂに圧入固定されている。このような連結構造を採用すれば、組立時の連結作業性が良好であることに加え、減速後の高トルクに対しても安定したトルク伝達が可能である。
【００４２】
以上の構成を有する遊星歯車減速機１０により、モータ２５のロータ２４の回転が減速された上でナット部材３２に伝達される。これにより、回転トルクを増加することができるので、小型のモータ２５を採用することができる。
【００４３】
図１〜図３に示すように、ナット部材３２の軸方向一方側の端面とケーシング２０との間にスラストワッシャ４５が配設され、カバー２９の円筒部２９ａの先端部外周に取り付けられたスラスト受けリング４６とナット部材３２の軸方向他方側の端面との間にスラスト軸受としての針状ころ軸受４７が配設されている。
【００４４】
図１および図２に示すように、運動変換機構部Ｂは、ねじ軸３３の径方向外側（カバー２９の円筒部２９ａの内周面２９ｂとねじ軸３３の外周面との間）に配設された圧縮コイルばね４８を有する。圧縮コイルばね４８の軸方向一方側および他方側の端部は、それぞれ、針状ころ軸受４７およびねじ軸３３に連結された内方部材３６のフランジ部３６ｂに当接している。
【００４５】
上記態様で設けられた圧縮コイルばね４８のばね力により、ねじ軸３３を含む出力部材３が常時軸方向他方側（原点側）に付勢される。このようにすれば、例えば、モータ２５に適切に駆動電力が供給されないような場合には、出力部材３を自動的に原点復帰させ、図示しない操作対象の作動に悪影響を及ぼす可能性を可及的に低減することができる。また、上記態様で圧縮コイルばね４８を設けておけば、ナット部材３２に軸方向の与圧を付与することができる。これにより、ナット部材３２とねじ軸３３との間に設けられる運転隙間に起因した応答遅れを解消し、ねじ軸３３、ひいては出力部材３の作動性を高めることもできる。
【００４６】
筐体２の底部として機能するカバー２９の詳細を図９および図１０を参照して説明する。図９は、図１の左側面図であり、図１０は、図９中に示すＩ−Ｉ線矢視断面図である。カバー２９は、加工性および熱伝導率に優れた金属材料、例えば、アルミニウム合金、亜鉛合金又はマグネシウム合金で形成される。図示は省略しているが、カバー２９の外側表面には、電動アクチュエータ１の冷却効率を高めるための冷却フィンを設けても良い。図１０に示すように、カバー２９の円筒部２９ａの外周面には、転がり軸受３０が装着された軸受装着面６３と、スラスト受けリング４６が嵌合された嵌合面６４とが設けられている。また、図９に示すように、カバー２９には、電動アクチュエータ１の組立用ボルト６１が挿通された図示外の貫通穴と、電動アクチュエータ１を使用機器に取り付けるための取付用ボルトが挿通される貫通穴６２とが設けられている。
【００４７】
次に、ターミナル部Ｄを図１および図６〜図８を参照して説明する。図６は、図１に示すモータ２５のステータ２３とターミナル部Ｄとを取り出して拡大した縦断面図（ステータ２３とターミナル部Ｄとを組み付けてなるサブアセンブリの縦断面図）、図７は、図１のＧ−Ｇ線矢視断面図、図８は、図１のＨ−Ｈ線矢視断面図である。図１および図６に示すように、ターミナル部Ｄは、筐体２の一部を構成する筒状部５０Ａ、および筒状部５０Ａの軸方向他方側の端部から径方向内側に延びる円盤状部５０Ｂを一体に有する樹脂製のターミナル本体５０と、ターミナル本体５０（の円盤状部５０Ｂ）に対してねじ止めされたバスバー５１および穴開き円盤状のプリント基板５２とを備える。図７および図８に示すように、ターミナル本体５０（の筒状部５０Ａ）は、図９，１０に示す組立用ボルト６１が挿通される貫通穴５０Ｃと、電動アクチュエータ１を使用機器に取り付けるためのボルトが挿通される貫通穴５０Ｄとを有し、上記の組立用ボルト６１により、ケーシング２０とカバー２９の間で挟持される（図１，２参照）。
【００４８】
ターミナル部Ｄ（ターミナル本体５０）は、モータ２５に駆動電力を供給するための給電回路や後述する各種センサ等の電装部品をまとめて保持している。給電回路は、図７および図８に示すように、ステータ２３のコイル２３ｃをＵ相、Ｖ相、Ｗ相の相別にバスバー５１の端子５１ａに結線し、さらに、図２に示すように、バスバー５１の端子５１ｂと、ターミナル本体５０の端子台５０ａとをねじ７０で締結することで構成される。端子台５０ａは、図示外のリード線が接続される端子５０ｂを有し、上記のリード線は、ターミナル本体５０の筒状部５０Ａに設けられた径方向の貫通穴５０ｃ（図１参照）を介して筐体２の径方向外側に引き出され、制御装置８０のコントローラ８１（図１１又は図１２参照）に接続される。
【００４９】
本実施形態の電動アクチュエータ１には２種類のセンサが搭載されており、これら２種類のセンサはターミナル部Ｄに保持されている。図１等に示すように、２種類のセンサのうちの一方は、モータ２５の回転制御に用いる回転角度検出用センサ５３であり、他方は、ねじ軸３３（出力部材３）の軸方向の変位量検出のために用いるストローク検出用センサ５５である。回転角度検出用センサ５３およびストローク検出用センサ５５としては、何れも、磁気センサの一種であるホールセンサが使用される。
【００５０】
図１および図８に示すように、回転角度検出用センサ５３は、プリント基板５２に取り付けられており、ロータインナ２６の軸方向他方側の端部に取り付けられたパルサリング５４と軸方向隙間を介して対向配置されている。この回転角度検出用センサ５３は、モータ２５のＵ相、Ｖ相、Ｗ相のそれぞれに電流を流すタイミングを決める。
【００５１】
図２、図７および図８に示すように、ストローク検出用センサ５５は、軸方向に延び、軸方向他方側の端部がプリント基板５２に接続された帯状のプリント基板５６に取り付けられている。プリント基板５６およびストローク検出用センサ５５は、ねじ軸３３の孔部３３ｂの内周、より詳細には、孔部３３ｂに収容された内方部材３６の筒部３６ｃ内周に配置されている。また、内方部材３６の筒部３６ｃの内周には、ストローク検出用センサ５５と径方向隙間を介して対向するようにターゲットとしての永久磁石５７が取り付けられている。そして、ストローク検出用センサ５５は、永久磁石５７の周囲に形成される軸方向および径方向の磁界をそれぞれ検出し、これに基づいてねじ軸３３の軸方向の変位量を算出する。
【００５２】
詳細な図示は省略しているが、回転角度検出用センサ５３の信号線およびストローク検出用センサ５５の信号線は、何れも、ターミナル本体５０の筒状部５０Ａに設けた径方向の貫通穴５０ｃ（図１参照）を介して筐体２の外径側に引き出され、制御装置８０（図１１又は図１２参照）に接続される。
【００５３】
以上の構成を有する電動アクチュエータ１の組立手順を簡単に説明する。まず、図５に示すように、リングギヤ４０をケーシング２０に組み込む。次いで、図３に示すモータ２５のロータ２４と運動変換機構部Ｂのサブアセンブリをケーシング２０に挿入する。このとき、遊星ギヤ４２とリングギヤ４０とを噛み合わせ、ガイドカラー３８をケーシング２０の案内溝２０ｂに嵌合させ、さらに軸受ホルダ２８をケーシング２０の内周面２０ｃに嵌合させる。その後、図６に示すモータ２５のステータ２３とターミナル部Ｄ（ターミナル本体５０）のサブアセンブリのうち、ステータ２３をケーシング２０の内周に嵌合してから、カバー２９およびターミナル本体５０をケーシング２０に対して組立用ボルト６１（図９，１０参照）により締結する。これにより、電動アクチュエータ１が完成する。
【００５４】
以上の構成を有する電動アクチュエータ１の作動態様を図１および図１１を参照して簡単に説明する。例えば、図示しない車両上位のＥＣＵに操作量が入力されると、この操作量に基づいてＥＣＵは要求される位置指令値を演算する。図１１に示すように、位置指令値は制御装置８０のコントローラ８１に送られ、コントローラ８１は、位置指令値に必要なモータ回転角の制御信号を演算し、この制御信号をモータ２５に送る。
【００５５】
コントローラ８１から送られた制御信号に基づいてロータ２４が回転すると、この回転運動が運動変換機構部Ｂに伝達される。具体的には、ロータ２４が回転すると、ロータインナ２６に連結された遊星歯車減速機１０のサンギヤ４１が回転し、これに伴って遊星ギヤ４２が公転すると共に遊星ギヤキャリア４３が回転する。これにより、ロータ２４の回転運動が遊星ギヤキャリア４３に連結されたナット部材３２に伝達される。このとき、遊星ギヤ４２の公転運動により、ロータ２４の回転数が減速されるので、ナット部材３２に伝達される回転トルクが増加する。
【００５６】
ロータ２４の回転運動を受けてナット部材３２が回転すると、ねじ軸３３を含む出力部材３は、回り止めされた状態で前進する。この際、ねじ軸３３はコントローラ８１の制御信号に基づく位置まで前進し、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部に装着されたアクチュエータヘッド３９が図示しない操作対象を操作（加圧）する。
【００５７】
ねじ軸３３の軸方向位置（軸方向の変位量）は、図１１にも示すように、ストローク検出用センサ５５により検出され、その検出信号は制御装置８０の比較部８２に送られる。そして、比較部８２は、ストローク検出用センサ５５により検出された検出値と位置指令値との差分を算出し、コントローラ８１はこの算出値および回転角度検出用センサ５３から送られた信号に基づいてモータ２５に制御信号を送る。このようにして、ねじ軸３３（出力部材３）の位置がフィードバック制御される。このため、本実施形態の電動アクチュエータ１を、例えば、シフト・バイ・ワイヤに適用した場合、シフト位置を確実にコントロールすることができる。なお、モータ２５やセンサ５３，５５等を駆動するための電力は、車両側に設けられたバッテリ等の外部電源（図示せず）から、制御装置８０およびターミナル部Ｄに保持された給電回路を介してモータ２５等に供給される。
【００５８】
以上で説明した電動アクチュエータ１においては、筐体２（ケーシング２０）の開口端面２０ａ１およびこれに対向する出力部材３（アクチュエータヘッド３９の頭部３９ａ）の軸方向他方側の端面との間に、両端面と軸方向で係合することにより出力部材３の原点位置を決定付ける環状の原点位置決め部材９０が設けられている。このような原点位置決め部材９０を設けておけば、筐体２の底部（カバー２９）を活用せずに、出力部材３の原点位置を容易かつ正確に設定することができる。また、原点位置決め部材９０は、軸方向の弾性復元力を有することから、出力部材３の原点復帰に伴って出力部材３に対して軸方向の大きな衝撃荷重が作用した場合でも、出力部材３を軸方向一方側（カバー２９から離反する方向）に押し戻すことが、すなわち上記の衝撃荷重を減衰・緩和することができる。そのため、ボールねじ装置３１を構成するボール３４が転動不能になるロック状態［図１４（ｂ）参照］に陥る可能性を効果的に低減することができる。
【００５９】
特に、本実施形態では、図１および図２に示すように、軸方向他方側に突出した断面略三角形状の環状凸部が原点位置決め部材９０に一体的に設けられていることにより、軸方向他方側が軸方向一方側よりも優先的に圧縮可能となっている。これは、原点位置決め部材９０の軸方向他方側を優先的に圧縮可能とすることによって通常作動時の出力部材３の原点位置決めを容易に行うことを可能としつつ、軸方向の衝撃荷重等、大きな圧縮荷重が出力部材３に作用した際には、原点位置決め部材９０の軸方向一方側で上記の衝撃荷重を効率良く緩和するためである。
【００６０】
また、本実施形態では、出力部材３が原点に位置した状態において、カバー２９の内端面を、軸方向隙間４を介して出力部材３の端面（内方部材３６のフランジ部３６ｂの軸方向他方側の端面）と対向させているので、出力部材３の原点復帰に伴って、出力部材３とカバー２９とが軸方向で突き当たる可能性を効果的に低減できる。そのため、ボールねじ装置３１がロック状態に陥る可能性を一層効果的に低減できる。従って、本発明によれば、出力部材３の原点復帰に伴って出力部材３が作動不能となるような重大欠陥が発生する可能性を効果的に低減しつつ、出力部材３の原点を容易に設定することが可能となるので、出力部材３の動作精度に優れ、信頼性に富む電動アクチュエータ１を実現することができる。
【００６１】
また、中空回転軸としてのロータインナ２６は、ロータコア２４ａの軸方向一方側の端部に近接配置された転がり軸受２７により軸方向一方側の端部が回転自在に支持され、ロータコア２４ａの軸方向他方側の端部に近接配置された転がり軸受３０により軸方向他方側の端部が回転自在に支持されている。このような構造により、ロータインナ２６を軸方向にコンパクト化することができる。これに加えて、転がり軸受２７がナット部材３２の軸方向幅の内側に配置された構造が相俟って、電動アクチュエータ１を軸方向に一層コンパクト化することができる。
【００６２】
また、ロータ２４の回転バランスが取られていれば、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７，３０は、ロータ２４の自重程度のラジアル荷重を支持できれば良い。この場合、転がり軸受２７の内側軌道面２７ａを一体に有するロータインナ２６は、高強度の材料で形成する必要がなく、例えば、焼入れ焼戻し等の熱処理が省略された安価な軟鋼材で形成しても必要強度を確保することができる。特に、本実施形態の電動アクチュエータ１では、モータ２５の回転運動が遊星歯車減速機１０を介してナット部材３２に伝達されるためにラジアル荷重の発生はなく、また、ねじ軸３３の直線運動に伴って生じる反力（スラスト荷重）は針状ころ軸受４７で直接的に支持される。従って、転がり軸受２７は、ラジアル方向の位置決め機能を有していれば足りるため、転がり軸受２７の内側軌道面２７ａを一体に有するロータインナ２６は、上記のような材料仕様で足りる。これにより、電動アクチュエータ１を低コスト化することができる。
【００６３】
また、上記のように、ナット部材３２に作用するスラスト荷重を針状ころ軸受４７で直接的に支持するようにしておけば、ナット部材３２にスラスト荷重が負荷された状態においてもナット部材３２を低トルクで回転させることが可能となるため、モータ２５の小型化を促進できる。
【００６４】
また、針状ころ軸受４７を、転がり軸受２７，３０の間の軸方向範囲内に配置しておけば、ねじ軸３３（出力部材３）が軸方向に直線運動するのに伴ってねじ軸３３等に作用するモーメント荷重に対して有利となるため、出力部材３の動作精度および耐久寿命を高めることができることに加え、軸方向にコンパクトな針状ころ軸受４７を採用できる。なお、本実施形態では、針状ころ軸受４７を、両転がり軸受２７，３０の間の軸方向中央付近に配置しており、この場合には、モーメント荷重に対して一層有利になる。その結果、針状ころ軸受４７およびスラスト受けリング４６等として極めて小型のものを採用することができる。そのため、針状ころ軸受４７およびスラスト受けリング４６を設けることによる電動アクチュエータ１（筐体２）の軸方向寸法Ｌ（図１参照）の長寸化を可及的に防止することができる。
【００６５】
また、運動変換機構部Ｂに遊星歯車減速機１０や針状ころ軸受４７を設けたことにより実現されるモータ部Ａ（モータ２５）の小型化と、ロータインナ２６、遊星ギヤキャリア４３の円筒部４３ａおよびナット部材３２の半径方向での重畳構造とが相俟って、筐体２の径方向寸法Ｍ（図１参照）も極力小さくすることができる。これにより、電動アクチュエータ１を一層コンパクト化することができ、使用機器に対する搭載性が向上する。
【００６６】
また、モータ部Ａのロータ２４（ロータインナ２６）とナット部材３２とを別体構造としたので、例えば、仕様が異なるボールねじ装置３１を採用する場合でも、モータ部Ａや運動変換機構部Ｂの一部（遊星歯車減速機１０）を共用化することができる。これにより、汎用性を向上し、部品を共用化した多品種展開による電動アクチュエータ１のシリーズ化を実現することも容易となる。
【００６７】
また、モータ２５に駆動電力を供給するための給電回路、回転角度検出用センサ５３およびストローク検出用センサ５５等の電装部品をターミナル本体５０でまとめて保持し、このターミナル本体５０（ターミナル部Ｄ）をケーシング２０とカバー２９とで軸方向に挟持するサンドイッチ構造を採用したので、組立性が良好である。特に本実施形態では、図１や図６等に示すように、モータ２５のステータ２３の一部（軸方向他方側の端部外周）を、ターミナル本体５０の筒状部５０Ａの内周に嵌合している。この場合、筐体２を組み立てるのと同時にステータ２３を筐体２の内周に組み付けることができるので、この点からも組立性を向上することができる。
【００６８】
また、ターミナル本体５０の筒状部５０Ａは、筐体２の内外を連通させる貫通穴５０ｃを有し、給電回路に接続されるリード線や上記のセンサ５３，５５に接続される信号線（電気配線）は、貫通穴５０ｃを介して筐体２の径方向外側に引き出される。この場合、上記の電気配線の取り回し作業をターミナル本体５０単体で完結することが、すなわち、電動アクチュエータ１を適当かつ精度良く動作させるために必要となる電気系統は、筐体２（電動アクチュエータ１）の組み立て前にターミナル本体５０で集約して保持することができる。これにより、電動アクチュエータ１の組立段階で面倒な配線作業を別途実施する必要がなくなるため、電動アクチュエータ１の組立性を一層向上することができる。
【００６９】
また、電気配線の取り回し作業をターミナル本体５０単体で完結することができれば、例えば、モータ２５や遊星歯車減速機１０等に仕様変更が生じた場合でも、ターミナル本体５０の結合相手部材（ここでは、特にケーシング２０）の被結合部形状が同じである限りにおいて、ターミナル本体５０を共用することができる。これにより、部品・部材の共用化による電動アクチュエータ１の多品種展開（シリーズ化）にも容易に対応することができる。
【００７０】
また、ターミナル本体５０をケーシング２０とカバー２９とで軸方向に挟持するサンドイッチ構造を採用したこと、給電回路のリード線や上記センサの信号線を筐体２の外径側に引き出し可能にしたこと、および中空状のねじ軸３３を採用したことにより、２つの電動アクチュエータ１（モータ部Ａ、運動変換機構部Ｂおよびターミナル部Ｄをユニット化したもの）を軸方向に連ねて配置してなり、２つの操作対象を個別に操作可能な電動アクチュエータを実現することもできる。なお、このような電動アクチュエータは、例えば、自動変速機の一種であるＤＣＴに好ましく搭載することができ、ＤＣＴ全体のコンパクト化に貢献することができる。
【００７１】
本実施形態の電動アクチュエータ１は、以上で説明したような特徴的な構成を有することから、出力部材３の動作精度に優れて信頼性に富み、軽量・コンパクトで使用機器に対する搭載性に優れ、組立性も良好で低コストに製造可能であり、さらに部品の共用化による多品種展開（シリーズ化）も容易である。
【００７２】
以上、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータ１について説明を行ったが、本発明の実施の形態はこれに限られない。
【００７３】
例えば、以上で説明した実施形態においては、ゴム材料等の弾性材料で形成された原点位置決め部材９０を使用したが、原点位置決め部材９０としては、圧縮コイルばね等の弾性体、あるいは当該弾性体を備えた部材で構成しても良い。但し、弾性材料であれば、所定形状の原点位置決め部材９０を容易に作製することができるので、原点位置決め部材９０を追加的に設けることによるコスト増を抑制する上で有利である。
【００７４】
また、ナット部材３２の軸方向他方側に隣接配置するスラスト軸受としては、針状ころ軸受４７以外の転がり軸受、例えば円筒ころ軸受を採用することもできる。但し、荷重支持能力や、軸受の軸方向寸法を考慮すると、針状ころ軸受４７が好ましい。
【００７５】
また、以上で説明した実施形態においては、運動変換機構部Ｂに遊星歯車減速機１０を設けているが、遊星歯車減速機１０以外の減速機を採用することもできる。
【００７６】
また、遊星歯車減速機１０をはじめとする減速機は必ずしも設ける必要はなく、必要でない場合は省略しても構わない。遊星歯車減速機１０を省略する場合には、モータ２５のロータ２４（ロータインナ２６）とボールねじ装置３１のナット部材３２とを直接的にトルク伝達可能に連結しても構わないが、このようにすると、ロータインナ２６およびナット部材３２の少なくとも一方に異なる形状のものを採用する必要が生じる。そのため、遊星歯車減速機１０を省略する場合には、例えば、ロータインナ２６の内周面２６ｄとナット部材３２の外周面３２ｂとの間に円筒状の中間部材を配置し、この中間部材の外周面および内周面のそれぞれを、ロータインナ２６の内周面２６ｄおよびナット部材３２の外周面３２ｂとトルク伝達可能に結合させるのが好ましい（図示省略）。これにより、遊星歯車減速機１０を省略した場合でも、モータ部Ａ（モータ２５）およびボールねじ装置３１を共用することが可能となるので、コスト増を抑制することができる。
【００７７】
また、以上で説明した実施形態においては、ストローク検出用センサ５５を使用するようにしているが、ストローク検出用センサ５５は必要に応じて使用すれば足り、使用機器によっては、ストローク検出用センサ５５を省略しても構わない。
【００７８】
図１２に基づき、ストローク検出用センサ５５を使用しない場合における電動アクチュエータ１の作動態様の一例を説明する。図１２は、圧力制御の例であり、図示外の操作対象に圧力センサ８３が設けられている。図示外のＥＣＵに操作量が入力されると、ＥＣＵは要求される圧力指令値を演算する。この圧力指令値が制御装置８０のコントローラ８１に送られると、コントローラ８１は、圧力指令値に必要なモータ回転角の制御信号を演算し、この制御信号をモータ２５に送る。そして、図１１を参照して説明した場合と同様に、ねじ軸３３がコントローラ８１の制御信号に基づく位置まで前進し、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部に装着されたアクチュエータヘッド３９が図示外の操作対象を操作する。
【００７９】
ねじ軸３３の操作圧力は、外部に設置された圧力センサ８３により検出され、フィードバック制御される。このため、ストローク検出用センサ５５を使用しない電動アクチュエータ１を例えばブレーキバイワイヤに適用した場合、ブレーキの液圧を確実にコントロールすることができる。
【００８０】
上記のように、ストローク検出用センサ５５を使用しない場合、ねじ軸３３としては、中実のものを採用し、内方部材３６を省略しても良い。但し、中実のねじ軸３３を使用する場合であって、圧縮コイルばね４８を設ける場合には、ねじ軸３３として、その軸方向他方側の端部にフランジ部を有するものを採用する。
【００８１】
本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
【符号の説明】
【００８２】
１        電動アクチュエータ
２        筐体
３        出力部材
４        軸方向隙間
１０      遊星歯車減速機
２０      ケーシング
２４      ロータ
２５      モータ
２６      ロータインナ（中空回転軸）
２７      転がり軸受
２７ａ    内側軌道面
２９      カバー（筐体の底部）
３０      転がり軸受
３１      ボールねじ装置
３２      ナット部材
３３      ねじ軸
３４      ボール
４７      針状ころ軸受（スラスト軸受）
５０      ターミナル本体
５０Ａ    筒状部
５０ｃ    貫通穴
９０      原点位置決め部材
Ａ        モータ部
Ｂ        運動変換機構部
Ｃ        操作部
Ｄ        ターミナル部
【図１】
0006736352.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006736352.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0006736352.tif 000007
【図７】
0006736352.tif 000008
【図８】
0006736352.tif 000009
【図９】
0006736352.tif 000010
【図１０】
0006736352.tif 000011
【図１１】
0006736352.tif 000012
【図１２】
0006736352.tif 000013
【図１３】
0006736352.tif 000014
【図１４】
0006736352.tif 000015