(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、
前記処理部は、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記予め規定された１つと前記分布量との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項１記載の測定結果報知装置。
【請求項３】
被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、
前記処理部は、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値の分布量を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項３記載の測定結果報知装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各検査箇所についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システム。
【請求項６】
被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、
前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知方法。
【請求項７】
被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、
前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値の分布量を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する測定結果報知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する測定結果報知装置および測定結果報知方法、並びに、そのような測定結果報知装置を備えて構成された測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ（インサーキットテスタによる不良データの出力表示方法）の発明が開示されている。
【０００３】
このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントにプローブピンをプロービングさせた状態で各測定ポイント間（検査箇所）についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板の対応箇所から吸収した基準データの値（以下、「基準値」ともいう）と、上記の測定データの値（以下、「測定値」ともいう）とを比較することにより、各検査箇所の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その検査箇所に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。
【０００４】
また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差（両値の差）を示す「格差表示欄」が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの検査箇所（いずれの測定ステップ）に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−１９７８８０号公報（第２−４頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記の特許文献に開示されているインサーキットテスタには、以下のような解決すべき課題が存在する。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率が許容範囲を外れている検査箇所（測定ステップ）を不良と判別して検査データを生成し、検査データに基づく一覧表を表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。
【０００７】
この場合、上記のインサーキットテスタによる検査によって不良と検査される検査箇所のなかには、充足率が高い検査箇所から、充足率が低い検査箇所まで各種の検査箇所が存在する。また、被検査基板は、その製造条件（製造環境）の変化等に起因して、不良が生じる検査箇所が変化したり、その不良の度合いが変化したりする。このため、この種の装置を用いた検査に際しては、複数枚の被検査基板を対象として、いずれの検査箇所にどの程度の不良が生じているかを特定する必要がある。しかしながら、上記のインサーキットテスタでは、不良と検査された検査箇所が存在する複数枚の被検査基板についての充足率が一覧表内に数値で表示されるため、これらの数値を読み取っていずれの検査箇所にどの程度の不良（どの程度の充足率）が生じているかを把握するのが非常に困難となっている。
【０００８】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、複数枚の被検査基板を対象とする検査時にいずれの検査箇所にどの程度の不良が生じているかを容易に把握させ得る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定結果報知装置は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。
【００１０】
請求項２記載の測定結果報知装置は、請求項１記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された１つと前記分布量との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。
【００１１】
請求項３記載の測定結果報知装置は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値の分布量を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。
【００１２】
請求項４記載の測定結果報知装置は、請求項３記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記表示セル群と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。
【００１３】
請求項５記載の測定システムは、請求項１から４のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各検査箇所についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。
【００１４】
請求項６記載の測定結果報知方法は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。
【００１５】
請求項７記載の測定結果報知方法は、被検査基板に規定された複数の検査箇所についてそれぞれ測定された測定値が当該各検査箇所に対して個別的に付与された符号に関連付けられて記録された測定値データ、および前記各検査箇所毎の基準値が前記符号に関連付けられて記録された基準値データに基づき、前記各検査箇所の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の前記被検査基板についての前記測定結果を報知するときに、当該各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記測定値および前記基準値に基づいて当該各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ前記各検査箇所毎の前記各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、前記符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ前記特定用の値の分布量を当該第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、当該各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する前記特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各検査箇所についての前記測定結果を報知する。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載の測定結果報知装置、および請求項６記載の測定結果報知方法では、同種で複数枚の被検査基板についての測定結果を報知するときに、各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を測定値および基準値に基づいて各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ各検査箇所毎の各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、各検査箇所に対して個別的に付与された符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ特定用の値を第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する特定用の値の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する。また、請求項５記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。
【００１７】
したがって、請求項１記載の測定結果報知装置、請求項５記載の測定システムおよび請求項６記載の測定結果報知方法によれば、複数枚の被検査基板の各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像の各単位表示セルを参照させることで、単位表示セルの色相、明度または彩度の相違によって、各検査箇所にどの程度の「特定用の値」がどの程度存在したか（どの程度の「特定用の値」が多く、どの程度の「特定用の値」が少ないか）、すなわち、各検査箇所毎の不良度合い（良好度合い）がどの程度であったかを直感的に把握させることができる。これにより、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、複数枚の被検査基板についての多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。
【００１８】
請求項２記載の測定結果報知装置、そのような測定結果報知装置を備えた測定システム、およびその測定結果報知方法によれば、各単位表示セルの色相、明度または彩度と分布量との対応関係を特定可能なカラーバーを表示セル群と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、どの程度の「特定用の値」が多く、どの程度の「特定用の値」が少ないかを各検査箇所毎に一層容易に把握させることができる。
【００１９】
請求項３記載の測定結果報知装置、および請求項７記載の測定結果報知方法では、同種で複数枚の被検査基板についての測定結果を報知するときに、各検査箇所の良否の程度を特定可能な特定用の値を測定値および基準値に基づいて各被検査基板についてそれぞれ演算し、かつ各検査箇所毎の各特定用の値の分布をそれぞれ特定すると共に、各検査箇所に対して個別的に付与された符号に基づいて特定される順序を第１の方向に対応させ、かつ特定用の値の分布量を第１の方向と交差する第２の方向に対応させて複数の単位表示セルをマトリクス状に配置した表示セル群について、各単位表示セルの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを対応する特定用の値に対応させた状態で描画して報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する。また、請求項５記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。
【００２０】
したがって、請求項３記載の測定結果報知装置、請求項５記載の測定システムおよび請求項７記載の測定結果報知方法によれば、複数枚の被検査基板の各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像の各単位表示セルを参照させることで、単位表示セルの色相、明度または彩度の相違によって、各検査箇所にどの程度の「特定用の値」がどの程度存在したか（どの程度の「特定用の値」が多く、どの程度の「特定用の値」が少ないか）、すなわち、各検査箇所毎の不良度合い（良好度合い）がどの程度であったかを直感的に把握させることができる。これにより、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、複数枚の被検査基板についての多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。
【００２１】
請求項４記載の測定結果報知装置、そのような測定結果報知装置を備えた測定システム、およびその測定結果報知方法によれば、各単位表示セルの色相、明度または彩度と特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを表示セル群と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、どの程度の「特定用の値」が多く、どの程度の「特定用の値」が少ないかを各検査箇所毎に一層容易に把握させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】基板検査システム１００（測定装置１およびデータ処理装置２）の構成を示す構成図である。
【図２】報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）の一例について説明するための説明図である。
【図３】報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２ａ）の一例について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２４】
図１に示す基板検査システム１００は、「測定システム」の一例であって、測定装置１およびデータ処理装置２を備え、各検査箇所が同じ箇所に規定された同種で複数枚の被検査基板Ｘについての測定装置１による測定結果に基づき、データ処理装置２において各被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての良否の傾向（不良度合いや良好度合い：「同種で複数枚の被検査基板についての測定結果」の一例）を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Ｘは、「被検査基板」に相当し、導体パターンやビア等で構成される導体路（図示せず）がそれぞれ形成され、かつ各検査箇所の良否を検査するために数百箇所から数千箇所の検査箇所が規定されている。
【００２５】
測定装置１は、「測定装置」の一例であって、図１に示すように、測定用治具１１、スキャナ１２、測定部１３、記憶部１４および処理部１５を備えて被検査基板Ｘ等を対象とする測定処理を実行可能に構成されている。測定用治具１１は、被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントに対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ１１ａを備えている。
【００２６】
スキャナ１２は、処理部１５の制御に従い、測定用治具１１における任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させる。測定部１３は、処理部１５の制御に従い、スキャナ１２によって接続される測定用プローブ１１ａを介して被検査基板Ｘにおける任意の検査箇所についての電気的パラメータ（一例として、抵抗値）を測定する。
【００２７】
記憶部１４は、被検査基板Ｘについての測定手順（検査手順）が記録された測定手順データＤａや、処理部１５の演算結果などを一時的に記憶する。処理部１５は、測定装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２を制御して任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させると共に、測定部１３を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。
【００２８】
この場合、本例の基板検査システム１００（測定装置１）では、被検査基板Ｘにおける各検査箇所に対して測定ステップ番号（「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」の一例）が付与されており、処理部１５は、測定手順データＤａに記録されている測定ステップ番号の順で測定部１３による測定処理が実行されるようにスキャナ１２を制御する。また、処理部１５は、測定部１３から出力される測定値を、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて記録して測定値データＤ１（「測定値データ」の一例）を生成すると共に、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置２に出力する。
【００２９】
一方、データ処理装置２は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用のプログラムがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置２は、操作部２１、表示部２２、印刷部２３、記憶部２４および処理部２５を備えて構成されている。操作部２１は、マウスやタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部２５に出力する。表示部２２は、処理部２５の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部２３は、処理部２５の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。
【００３０】
記憶部２４は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置１から出力される測定値データＤ１や、基準値データＤ０、カラーバー画像データＤ２，Ｄ２ａ、相違率データＤ３、分布量データＤ４および報知用画像データＤ５，Ｄ５ａなどを記憶する。この場合、基準値データＤ０は、「基準値データ」の一例であって、被検査基板Ｘにおける上記の各検査箇所毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データＤ０は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。
【００３１】
また、カラーバー画像データＤ２は、後述するように測定結果の報知を目的として処理部２５によって描画されるセル群像Ｇ１内の各単位表示セルＣ（図２参照）に対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーＧ２（図２参照）の画像データ構成されている。また、カラーバー画像データＤ２ａは、後述するように測定結果の報知を目的として処理部２５によって描画されるセル群像Ｇ１ａ内の各単位表示セルＣａ（図３参照）に対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーＧ２ａ（図３参照）の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データＤ２，Ｄ２ａのカラーバーＧ２，Ｇ２ａと、セル群像Ｇ１，Ｇ１ａ内の各単位表示セルＣ，Ｃａの明度との関係については、後に詳細に説明する。
【００３２】
さらに、相違率データＤ３は、「特定用の値」の一例である「基準値に対する測定値の相違率」を記録したデータであり、また、分布量データＤ４は、上記の「相違率」の各検査箇所毎の分布を示すデータであって、後述するように処理部２５によって実行されるデータ処理に際してそれぞれ生成される。なお、「相違率（特定用の値）」やその「分布」については、後に詳細に説明する。さらに、報知用画像データＤ５，Ｄ５ａは、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部２５によって実行されるデータ処理によって生成される。
【００３３】
処理部２５は、データ処理装置２を総括的に制御する。この処理部２５は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データＤ０および測定値データＤ１に基づいて報知用画像データＤ５，Ｄ５ａを生成し、生成した報知用画像データＤ５，Ｄ５ａを使用して各被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定結果を表示部２２に表示させたり印刷部２３に印刷させたりする（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。なお、処理部２５による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。
【００３４】
この基板検査システム１００によって、複数枚の被検査基板Ｘについての測定処理、およびその測定結果の報知を実行する際には、まず、１枚目の被検査基板Ｘを測定装置１にセットして各検査箇所についての抵抗値を測定させる。なお、実際の測定装置１では、図示しない基板保持部による被検査基板Ｘの保持や、図示しない移動機構による測定用治具１１の移動（各検査箇所毎に規定されたプロービングポイントに対する各測定用プローブ１１ａのプロービング）などが行われるが、これらの動作については公知のため説明を省略する。
【００３５】
この際に、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２および測定部１３を制御することにより、測定手順データＤａに記録されている測定ステップ番号の番号順で各検査箇所についての測定処理を実行させる。また、処理部１５は、測定部１３から測定値が出力される都度、その測定値が測定された検査箇所の測定ステップ番号に関連付けて測定値データＤ１に記録する。これにより、１枚目の被検査基板Ｘにおける各検査箇所についての測定値が記録された測定値データＤ１が生成される。この後、２枚目以降の被検査基板Ｘについても上記の手順と同様の手順で各検査箇所についての測定処理を実行することにより、各被検査基板Ｘ毎に測定値データＤ１がそれぞれ生成される。
【００３６】
一方、各被検査基板Ｘについての測定結果の報知に際しては、１枚の被検査基板Ｘについての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了する都度、または、検査すべき複数枚の被検査基板Ｘについての測定処理（測定値データＤ１の生成）が完了したときに、測定装置１からデータ処理装置２に測定値データＤ１を転送する。また、各検査箇所についての良否の傾向を報知すべき規定枚数分の測定値データＤ１がデータ処理装置２に転送されたときに、各測定値データＤ１，Ｄ１・・に基づいて測定結果を表示または印刷させる。
【００３７】
具体的には、一例として、１００枚の被検査基板Ｘについての測定処理が完了し、１００個の測定値データＤ１が測定装置１からデータ処理装置２に転送されて記憶部２４に記憶された状態において、データ処理装置２の操作部２１を操作して測定結果の報知を開始させる。この際に、処理部２５は、まず、１番目に測定処理が行われた被検査基板Ｘについての測定値データＤ１の値と、記憶部２４に記憶されている基準値データＤ０の値とに基づき、各検査箇所（各導体パターンや各ビア）の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を各検査箇所の測定ステップ番号毎にそれぞれ演算する。
【００３８】
より具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、測定値データＤ１に記録されている測定値から基準値データＤ０に記録されている基準値を差し引いた値を基準値で除した値（以下、この値を「相違率」ともいう）を「特定用の値」として各検査箇所毎にそれぞれ演算し、演算結果を相違率データＤ３として記憶部２４に記憶させる。なお、上記の「相違率」に代えて、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値に「１００」を乗じた値を「相違率」としてもよい。このような演算処理（相違率データＤ３の生成および記憶）を、２番目以降に測定処理が行われた被検査基板Ｘについても順次実行することにより、１００枚の被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の相違率がそれぞれ演算されて１００個の相違率データＤ３が記憶部２４に記憶される。
【００３９】
次いで、処理部２５は、上記の各相違率データＤ３に基づき、上記の「相違率」の分布を各検査箇所毎にそれぞれ特定する。具体的には、処理部２５は、１００個の相違率データＤ３に基づき、どの程度の相違率が幾つ存在するかを各検査箇所毎にそれぞれ特定する。より具体的には、一例として、被検査基板Ｘの検査に際して演算される相違率が「相違率：−０．１０以上＋０．１０以下」の範囲内であると想定されるときに、この想定範囲を分割した１９個の相違率範囲（例えば、「−０．１０以上−０．０９未満」、「−０．０９以上−０．０８未満」・・「−０．０１以上＋０．０１以下」・・「＋０．０８を超えて＋０．０９以下」、「＋０．０９を超えて＋０．１０以下」の各範囲）に分割し、各相違率範囲に含まれる相違率が幾つ存在するかを各検査箇所毎にそれぞれ特定して、各検査箇所毎の各相違率範囲毎の分布量を記録した分布量データＤ４を記憶部２４に記憶させる。
【００４０】
続いて、処理部２５は、相違率データＤ３および分布量データＤ４に基づき、図２に示すように、各検査箇所毎の相違率の分布量を示すドット状の単位表示セルＣ（「単位表示セル」の一例）をマトリクス状に配置したセル群像Ｇ１を描画する。このセル群像Ｇ１は、「表示セル群」に相当し、一例として、測定ステップ番号の順序（「符号に基づいて特定される順序」の一例：本例では、「測定ステップ番号＝１」〜「測定ステップ番号＝３００」の順）を左右方向（「第１の方向」の一例）に対応させ、かつ「相違率」（「特定用の値」の一例）を上下方向（「第２の方向」の一例）に対応させて上記の単位表示セルＣがマトリクス状に配置されている。
【００４１】
なお、上記のように１９個の相違率範囲毎の相違率の分布量を求めた本例においては、各検査箇所毎の各相違率範囲に対応する１９個の単位表示セルＣが上下方向に並べられて１本のセル列Ｃｌが構成されている。また、「測定ステップ番号＝１」〜「測定ステップ番号＝３００」の３００箇所の検査箇所についての相違率の分布量を測定結果として報知する本例では、「測定ステップ番号＝１」の検査箇所についての１９個の単位表示セルＣで構成されたセル列Ｃｌから、「測定ステップ番号＝３００」の検査箇所についての１９個の単位表示セルＣで構成されたセル列Ｃｌまでの３００本のセル列Ｃｌが描画されてセル群像Ｇ１が構成されている。
【００４２】
さらに、本例のセル群像Ｇ１では、明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）が相違率の分布量に対応するように各単位表示セルＣが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、相違率の分布量が少ない相違率範囲に対応する単位表示セルＣほど明度を高く規定すると共に、相違率の分布量が多い相違率範囲に対応する単位表示セルＣほど明度を低く規定することにより、図２に示すように、グレースケール画像のセル群像Ｇ１が描画される。これにより、描画されたセル群像Ｇ１では、各単位表示セルＣの明度が、対応する検査箇所の相違率範囲毎の分布量に応じて相違する状態となる。
【００４３】
続いて、処理部２５は、上記のように描画したセル群像Ｇ１と並べて、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ２のカラーバーＧ２を描画する。この場合、カラーバーＧ２は、「カラーバー」の一例であって、各単位表示セルＣに規定する明度の範囲（この例では、白色から黒色の範囲）と、上記の相違率範囲毎の相違率の分布量との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーＧ２では、分布量が少ないほど、高い明度（白色寄りの明度）が対応付けられ、分布量が多いほど、低い明度（黒色寄りの明度）が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、本例のカラーバーＧ２では、分布量が少ないほど明度が漸増し、かつ分布量が多いほど明度が漸減している。
【００４４】
以上の処理により、図２の例では、１００枚の被検査基板Ｘにおける３００箇所の検査箇所についての測定結果（相違率の分布）を示す報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）の報知用画像データＤ５（「報知用画像データ」の一例）が生成される。
【００４５】
次いで、処理部２５は、相違率データＤ３および分布量データＤ４に基づき、図３に示すように、各検査箇所毎の相違率（相違率の大きさ：良否の程度）を示すバー状の単位表示セルＣａ（「単位表示セル」の他の一例）をマトリクス状に配置したセル群像Ｇ１ａを描画する。このセル群像Ｇ１ａは、「表示セル群」に相当し、一例として、測定ステップ番号の順序（「符号に基づいて特定される順序」の一例：本例では、「測定ステップ番号＝１」〜「測定ステップ番号＝３００」の順）を左右方向（「第１の方向」の一例）に対応させ、かつ「分布量」を上下方向（「第２の方向」の一例）に対応させて上記の単位表示セルＣａがマトリクス状に配置されている。
【００４６】
なお、このセル群像Ｇ１ａでは、一例として、「分布量＝１個（対応する相違率範囲に含まれる相違率が１個）」に対応する単位表示セルＣａから、「分布量＝２０個（対応する相違率範囲に含まれる相違率が２０個）」に対応する単位表示セルＣａまでの２０個の単位表示セルＣａが上下方向に並べられて１本のセル列Ｃｌａが構成されている。また、「測定ステップ番号＝１」〜「測定ステップ番号＝３００」の３００箇所の検査箇所についての分布量毎の相違率を測定結果として報知する本例では、「測定ステップ番号＝１」の検査箇所についての２０個の単位表示セルＣａで構成されたセル列Ｃｌａから、「測定ステップ番号＝３００」の検査箇所についての２０個の単位表示セルＣａで構成されたセル列Ｃｌａまでの３００本のセル列Ｃｌａが描画されてセル群像Ｇ１ａが構成されている。
【００４７】
さらに、本例のセル群像Ｇ１ａでは、明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）が相違率に対応するように各単位表示セルＣａが描画されている。具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、絶対値が大きい負の値の相違率に対応する単位表示セルＣａほど明度を高く規定すると共に、絶対値が大きい正の値の相違率に対応する単位表示セルＣａほど明度を低く規定し、かつ対応する分布量の相違率が存在しない単位表示セルＣａについては、最大の明度とすることにより、図３に示すように、グレースケール画像のセル群像Ｇ１ａが描画される。これにより、描画されたセル群像Ｇ１ａでは、各単位表示セルＣａの明度が、対応する検査箇所の分布量毎の相違率に応じて相違する状態となる。
【００４８】
具体的には、一例として、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１」の検査箇所について、「＋０．０９を超えて＋０．１０以下」との相違率範囲に含まれる相違率が２０個存在した場合には、セル群像Ｇ１ａにおける３００本のセル列Ｃｌａのうちの最も左側のセル列Ｃｌａにおいて最も上の単位表示セルＣａが、低い明度（黒色に近い色）で描画されることとなる。
【００４９】
また、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝３００」の検査箇所について、「−０．１０以上−０．０９未満」との相違率範囲に含まれる相違率が１個だけ存在した場合には、セル群像Ｇ１ａにおける３００本のセル列Ｃｌａのうちの最も右側のセル列Ｃｌａにおいて最も下の単位表示セルＣａが、高い明度（白色に近い色）で描画されることとなる。
【００５０】
さらに、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１５０」の検査箇所について、「分布量＝２０個」と特定される相違率が存在しなかった場合には、セル群像Ｇ１ａにおける３００本のセル列Ｃｌａのうちの中央部のセル列Ｃｌａにおいて最も上の単位表示セルＣａが、最大の明度（白色）で描画されることとなる。
【００５１】
続いて、処理部２５は、上記のように描画したセル群像Ｇ１ａと並べて、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ２ａのカラーバーＧ２ａを描画する。この場合、カラーバーＧ２ａは、「カラーバー」の他の一例であって、各単位表示セルＣａに規定する明度の範囲（この例では、白色から黒色の範囲）と、上記の相違率との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーＧ２ａでは、絶対値が大きい負の値の相違率ほど、高い明度（白色寄りの明度）が対応付けられ、絶対値が大きい正の値の相違率ほど、低い明度（黒色寄りの明度）が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、本例のカラーバーＧ２ａでは、相違率が小さいほど明度が漸減し、かつ相違率が大きいほど明度が漸増している。
【００５２】
以上の処理により、図３の例では、１００枚の被検査基板Ｘにおける３００箇所の検査箇所についての測定結果（分布量毎の相違率）を示す報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２ａ）の報知用画像データＤ５ａ（「報知用画像データ」の他の一例）が生成される。
【００５３】
次いで、処理部２５は、生成した報知用画像データＤ５，Ｄ５ａに基づき、１００枚の被検査基板Ｘについての測定結果（１００枚の被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の良否の傾向）を報知する。
【００５４】
具体的には、まず、報知用画像データＤ５に基づき、図２に示すように、報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）を表示部２２に表示させる。これにより、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１〜３００」の各検査箇所毎の測定結果を示すセル群像Ｇ１がカラーバーＧ２と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。
【００５５】
この報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１）では、各検査箇所（測定ステップ）毎の前述した１９個の相違率範囲毎に、対応する単位表示セルＣの明度が、相違率の分布量に応じて相違させられている。具体的には、分布量が少ない相違率範囲に対応する単位表示セルＣほど明度が高く、かつ分布量が多い相違率範囲に対応する単位表示セルＣほど明度が低くなるように、各検査箇所に対応するセル列Ｃｌ内の１９個の単位表示セルＣが描画されている。したがって、報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１）内の単位表示セルＣをカラーバーＧ２と共に参照することにより、どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないか、すなわち、どの程度の不良がどの程度生じていたかを各検査箇所毎に直感的に把握することが可能となっている。
【００５６】
この場合、同図に示す報知用画像Ｇ５のセル群像Ｇ１（各セル列Ｃｌ）では、「０．００」に近い相違率が多いときほど、上下方向における中央部の単位表示セルＣが低い明度（黒色に近い色）で描画されることなる。したがって、１００枚の被検査基板Ｘにおいて検査箇所の大半が良好であった場合には、同図に示す「測定ステップ番号：１」から「測定ステップ番号：２３０」辺りまでの検査箇所に対応するセル列Ｃｌのように、上下方向で並ぶ１９個の単位表示セルＣのうちの中央部付近の単位表示セルＣの明度が低く、かつ、上寄りおよび下寄りの各単位表示セルＣの明度が高く表示される。
【００５７】
また、１００枚の被検査基板Ｘにおいていずれかの検査箇所に多くの不良が生じていた場合には、同図に示す「測定ステップ番号：２３０」辺りから「測定ステップ番号：３００」までの検査箇所のうちの一部に対応するセル列Ｃｌのように、その検査箇所に対応するセル列Ｃｌにおいて上下方向で並ぶ１９個の単位表示セルＣのうちの中央部以外の単位表示セルＣ（同図では、やや上寄りの単位表示セルＣ）の明度が低く、その他の各単位表示セルＣの明度が高く表示される。このため、各被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の不良度合いや良好度合いを直感的に把握することが可能となっている。
【００５８】
また、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、１００枚の被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の良否の傾向を上記の報知用画像Ｇ５の表示とは異なる態様で報知することが可能となっている。具体的には、報知用画像データＤ５に基づく報知用画像Ｇ５の表示に代えて、報知用画像データＤ５ａに基づき、図３に示すように、報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２ａ）を表示部２２に表示させる。これにより、１００枚の被検査基板Ｘにおける「測定ステップ番号＝１〜３００」の各検査箇所毎の測定結果を示すセル群像Ｇ１ａがカラーバーＧ２ａと並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例）。
【００５９】
この報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａ）では、各検査箇所（測定ステップ）毎の前述した「分布量＝１個」から「分布量＝２０個」までの２０種類の「分布量」毎に、対応する単位表示セルＣａの明度が、その「分布量」が特定された相違率の大きさに応じて相違させられている。具体的には、絶対値が大きい負の値の相違率が分布していると特定された分布量の単位表示セルＣａほど明度が高く、かつ絶対値が大きい正の値の相違率が分布していると特定された分布量の単位表示セルＣａほど明度が低くなるように、各検査箇所に対応するセル列Ｃｌａ内の２０個の単位表示セルＣａが描画されている。したがって、報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａ）内の単位表示セルＣａをカラーバーＧ２ａと共に参照することにより、どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないか、すなわち、どの程度の不良がどの程度生じていたかを各検査箇所毎に直感的に把握することが可能となっている。
【００６０】
この場合、同図に示す報知用画像Ｇ５ａのセル群像Ｇ１ａ（各セル列Ｃｌａ）では、相違率が「０．００」に近いほど、中間の明度（黒色と白色との中間の灰色に近い色）となるように単位表示セルＣａが描画されている。また、この報知用画像Ｇ５ａのセル群像Ｇ１ａ（各セル列Ｃｌａ）では、値が大きい分布量に対応する単位表示セルＣａほど上方に描画され、かつ値が小さい分布量に対応する単位表示セルＣａほど下方に描画されている。
【００６１】
したがって、同図に示す報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａ）の例とは相違するが、１００枚の被検査基板Ｘにおいて検査箇所の大半が良好であった場合には、各セル列Ｃｌａにおける上寄りの単位表示セルＣａの多くが、中間の明度に近い明度（灰色に近い色）で描画され、かつ、不良の検査箇所が存在する被検査基板Ｘが僅かに存在したとしても、各セル列Ｃｌａにおける下寄りの単位表示セルＣａのいずれかが、高い明度（白色に近い色：絶対値が大きい負の値の相違率が存在した場合）または低い明度（黒色に近い色：絶対値が大きい正の値の相違率が存在した場合）で描画された状態となる。このため、各被検査基板Ｘにおける各検査箇所毎の不良度合いや良好度合いを直感的に把握することが可能となっている。
【００６２】
なお、本例の基板検査システム１００（データ処理装置２）では、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ５，Ｄ５ａを印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ５（セル群像Ｇ１およびカラーバーＧ２）や報知用画像Ｇ５ａ（セル群像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ２ａ）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ５，Ｇ５ａを参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ５，Ｇ５ａを参照することで、１００枚の被検査基板Ｘに、どの程度の不良がどの程度生じていたかを各検査箇所毎に直感的に把握することが可能となっている。
【００６３】
このように、このデータ処理装置２、およびその測定結果報知方法では、同種で複数枚の被検査基板Ｘについての測定結果を報知するときに、各検査箇所の良否の程度を特定可能な「特定用の値（本例では、相違率）」を測定値および基準値に基づいて各被検査基板Ｘについてそれぞれ演算し、かつ各検査箇所毎の各相違率の分布をそれぞれ特定すると共に、「各検査箇所に対して個別的に付与された符号に基づいて特定される順序（本例では、測定ステップ番号の順序）」を「第１の方向（本例では、左右方向）」に対応させ、かつ相違率を「第２の方向（本例では、上下方向）」に対応させて複数の単位表示セルＣをマトリクス状に配置したセル群像Ｇ１について、各単位表示セルＣの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ（本例では、明度）を対応する相違率の分布量に対応させた状態で描画して報知用画像データＤ５を生成し、生成した報知用画像データＤ５に基づいて各検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する。また、この基板検査システム１００では、上記のデータ処理装置２と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データＤ１を生成する測定装置１とを備えて構成されている。
【００６４】
したがって、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、複数枚の被検査基板の各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像Ｇ５の各単位表示セルＣ，Ｃ・・を参照させることで、単位表示セルＣの色相、明度または彩度（本例では、明度）の相違によって、各検査箇所にどの程度の相違率がどの程度存在したか（どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないか）、すなわち、各検査箇所毎の不良度合い（良好度合い）がどの程度であったかを直感的に把握させることができる。これにより、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、複数枚の被検査基板についての多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。
【００６５】
また、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各単位表示セルＣの色相、明度または彩度（本例では、明度）と分布量との対応関係を特定可能なカラーバーＧ２をセル群像Ｇ１と並べて描画して報知用画像データＤ５を生成することにより、どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないかを各検査箇所毎に一層容易に把握させることができる。
【００６６】
さらに、このデータ処理装置２、およびその測定結果報知方法では、同種で複数枚の被検査基板Ｘについての測定結果を報知するときに、各検査箇所の良否の程度を特定可能な相違率を測定値および基準値に基づいて各被検査基板Ｘについてそれぞれ演算し、かつ各検査箇所毎の各相違率の分布をそれぞれ特定すると共に、「各検査箇所に対して個別的に付与された符号に基づいて特定される順序（本例では、測定ステップ番号の順序）」を「第１の方向（本例では、左右方向）」に対応させ、かつ相違率の分布量を「第２の方向（本例では、上下方向）」に対応させて複数の単位表示セルＣａをマトリクス状に配置したセル群像Ｇ１ａについて、各単位表示セルＣａの色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ（本例では、明度）を対応する相違率に対応させた状態で描画して報知用画像データＤ５ａを生成し、生成した報知用画像データＤ５ａに基づいて各検査箇所についての測定結果を視覚的に報知する。また、この基板検査システム１００では、上記のデータ処理装置２と、各検査箇所についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データＤ１を生成する測定装置１とを備えて構成されている。
【００６７】
したがって、このデータ処理装置２、測定システムおよび測定結果報知方法によれば、複数枚の被検査基板の各検査箇所についての測定結果を一覧表形式（数値）で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像Ｇ５ａの各単位表示セルＣａ，Ｃａ・・を参照させることで、単位表示セルＣａの色相、明度または彩度（本例では、明度）の相違によって、各検査箇所にどの程度の相違率がどの程度存在したか（どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないか）、すなわち、各検査箇所毎の不良度合い（良好度合い）がどの程度であったかを直感的に把握させることができる。これにより、測定結果（一覧表）をスクロールさせたりページ送りしたりする操作を行うことなく、複数枚の被検査基板についての多数の検査箇所についての測定結果を容易に把握させることができる。
【００６８】
また、このデータ処理装置２、基板検査システム１００および測定結果報知方法によれば、各単位表示セルＣａの色相、明度または彩度（本例では、明度）と相違率との対応関係を特定可能なカラーバーＧ２ａをセル群像Ｇ１ａと並べて描画して報知用画像データＤ５ａを生成することにより、どの程度の相違率が多く、どの程度の相違率が少ないかを各検査箇所毎に一層容易に把握させることができる。
【００６９】
なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値、または、その値に「１００」を乗じた値（相違率）を「特定用の値」として演算して報知用画像データＤ５を生成する例について説明したが、「特定用の値」は、上記の「相違率」に限定されない。例えば、「測定値を基準値で除した値（上記特許文献に開示のインサーキットテスタにおいて演算される「充足率」と同様の値）」、または、その値に「１００」を乗じた値を「特定用の値」として演算して使用することができる。
【００７０】
また、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の一例として、単位表示セルＣの「明度」を「特定用の値（上記の例では、相違率）の分布量」に応じて異ならせてグレースケール画像の報知用画像データＤ５を生成したり、単位表示セルＣａの「明度」を「特定用の値（上記の例では、相違率）」に応じて異ならせてグレースケール画像の報知用画像データＤ５ａを生成したりする処理を例に挙げて説明したが、グレー（モノトーン）以外の任意の色の「単位表示セル」の「明度」を「特定用の値の分布量」や「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。
【００７１】
さらに、「明度」を異ならせる処理に代えて、「単位表示セル」の色の「色相」または「彩度」を「特定用の値の分布量」や「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。また、ドット状の単位表示セルＣを並べたセル群像Ｇ１や、バー状の単位表示セルＣａを並べたセル群像Ｇ１ａを「表示セル群」とする例について説明したが、任意の図柄の「単位表示セル」を並べて「表示セル群」とすることもできる。
【００７２】
さらに、各検査ステップ毎に付与された「測定ステップ番号」を「各検査箇所に対して個別的に付与された符号」として使用して測定処理や測定結果の報知処理を実行する例について説明したが、「符号」はこの例に限定されない。個別的に識別可能である限り、例えば、「測定ステップ番号」に代えて、被検査基板Ｘの設計時に各導体路に付与したパターン番号を対応する検査箇所の符号として使用したり、各検査箇所に対して測定ステップ番号とは別個に任意に付与した番号を符号として使用したりすることもできる。
【００７３】
また、「第１の方向」を「左右方向」とし、「第２の方向」を「上下方向」とした例について説明したが、「第１の方向」および「第２の方向」については、互いに交差している方向である限り、任意の方向とすることができる。具体的には、一例として、「第１の方向」を「上下方向」とし、「第２の方向」を「左右方向」として「報知用画像データ」を生成することができる。
【００７４】
加えて、測定用治具１１およびスキャナ１２を介して被検査基板Ｘについての測定処理を実行する測定装置１を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。
【符号の説明】
【００７５】
１００  基板検査システム
１  測定装置
２  データ処理装置
１１  測定用治具
１３  測定部
１５，２５  処理部
２２  表示部
２３  印刷部
Ｃ，Ｃａ  単位表示セル
Ｄ０  基準値データ
Ｄ１  測定値データ
Ｄ２，Ｄ２ａ  カラーバー画像データ
Ｄ３  相違率データ
Ｄ４  分布量データ
Ｄ５，Ｄ５ａ  報知用画像データ
Ｄａ  測定手順データ
Ｇ１，Ｇ１ａ  セル群像
Ｇ２，Ｇ２ａ  カラーバー
Ｇ５，Ｇ５ａ  報知用画像
Ｘ  被検査基板Ｘ
【図１】
0006679394.tif 000002
【図２】
0006679394.tif 000003
【図３】
0006679394.tif 000004