(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と接触体との相対位置を指令する指令値生成手段と、
前記振動子と前記接触体との相対位置を検出する位置検出手段と、
前記指令値生成手段により指令された相対位置と、前記位置検出手段により検出された相対位置と、の差に基づく値の積分処理及び微分処理の少なくとも一方に基づいて得られるフィードバック量と、前記指令値生成手段により指令された相対位置の時間変化に基づいて得られる速度フィードフォワード量と、を加算して、前記振動子の制御のための情報を有する信号を生成可能な制御部を有し、
前記制御部により生成された、前記振動子の制御のための情報を有する信号に基づいて生成された駆動信号により、前記振動子の駆動を制御することにより、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項２】
前記振動子は、交流信号の印加により、前記振動子の駆動部に楕円運動が生じ、前記楕円運動によって、前記相対位置を変化することが可能に構成されている請求項１に記載のアクチュエータの制御装置。
【請求項３】
振動子と接触体との相対位置を指令する指令値生成手段と、
前記振動子と前記接触体との相対位置を検出する位置検出手段と、
前記指令値生成手段により指令された相対位置と、前記位置検出手段により検出された相対位置と、の差に基づいたフィードバック量と、前記指令値生成手段により指令された相対位置の時間変化に基づいて得られる速度フィードフォワード量と、を加算して、前記振動子の駆動部に励起される楕円運動の楕円比を制御するための情報を有する信号を生成可能な制御部を有し、
前記制御部により生成された、前記楕円運動の楕円比を制御するための情報を有する信号に基づいて生成された駆動信号により、前記振動子の駆動を制御することにより、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項４】
前記楕円比は、前記楕円運動における、前記振動子と前記接触体が加圧接触する方向の成分に対する、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能な方向の成分の比である請求項３に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記楕円比及び前記振動子の駆動方向を制御するための情報を有する信号を生成可能である請求項３又は４に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項６】
前記フィードバック量及び前記速度フィードフォワード量は、サイクル毎に得られる請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項７】
前記フィードバック量は、積分処理及び微分処理の少なくとも一方の処理を行うフィードバック演算部によって生成される請求項３記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記フィードバック量を求めるフィードバック演算部と、
前記速度フィードフォワード量を求める速度フィードフォワード演算部と、
前記フィードバック量と前記速度フィードフォワード量を加算して、前記振動子の制御のための情報を有する信号を生成する加算器を有し、
前記加算器により生成された、前記振動子の制御のための情報を有する信号に基づいて生成された駆動信号により、前記振動子の駆動を制御する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項９】
前記速度フィードフォワード演算部は、前記指令値を時間微分して出力する速度演算部と、前記速度演算部の出力に速度フィードフォワードゲインを乗算する乗算器と、を有する請求項８に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１０】
前記速度フィードフォワード演算部の速度フィードフォワードゲインをＧｖ、前記フィードバック演算部の微分ゲインをＧｄとした場合、
Ｇｖ≦Ｇｄ
となる請求項８に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１１】
前記フィードバック演算部は、さらに２階微分項から成る加速度演算部を含む請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記振動子の制御のための情報を有する信号に基づいて、制御パラメータを生成する制御パラメータ生成部を有し、
前記制御パラメータ生成部により生成された制御パラメータに基づいて生成された駆動信号により、前記振動子の駆動を制御する請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１３】
前記制御パラメータは、周波数、位相の少なくとも一方である請求項１２に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１４】
前記振動子の制御のための情報を有する信号又は前記制御パラメータに基づいて前記振動子に印加される交流信号を生成する駆動部を有する請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１５】
前記駆動部は、前記制御量に基づいて設定された位相、又は周波数である交流信号を生成する交流信号生成手段を有する請求項１４に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１６】
前記振動子と前記接触体を有する振動型アクチュエータと、
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備える駆動装置。
【請求項１７】
前記振動子と前記接触体を有する振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動可能なレンズと、
前記振動子と前記接触体との相対位置を変化させることで前記レンズを駆動可能である請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、
を備えた交換用レンズ。
【請求項１８】
前記振動子と前記接触体を有する振動型アクチュエータと、
撮像素子と、
前記振動型アクチュエータにより駆動可能なレンズと、
前記振動子と前記接触体との相対位置を変化させることで前記レンズを駆動可能である請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、
を備えた撮像装置。
【請求項１９】
前記振動子と前記接触体を有する振動型アクチュエータと、
レンズと、
前記振動型アクチュエータにより駆動可能な撮像素子と、
前記振動子と前記接触体との相対位置を変化させることで前記撮像素子を駆動可能である請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、
を備えた撮像装置。
【請求項２０】
前記振動子と前記接触体を有する振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動可能なステージと、
前記振動子と前記接触体との相対位置を変化させることで前記ステージを駆動可能である請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、
を備えた自動ステージ。
【請求項２１】
振動子の駆動により、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御方法において、
前記振動子と前記接触体との相対位置に関する指令値により指令された相対位置と、前記振動子と前記接触体との相対位置と、の差に基づく値の積分処理及び微分処理の少なくとも一方に基づいて得られるフィードバック量を求める工程と、
前記指令値により指令された相対位置の時間変化に基づいて得られる速度フィードフォワード量を求める工程と、
前記フィードバック量と前記速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の制御のための情報を有する信号を生成する工程と、
を有する振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２２】
振動子の駆動により、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御方法において、
前記振動子と前記接触体との相対位置に関する指令値により指令された相対位置と、前記振動子と前記接触体との相対位置と、の差に基づいたフィードバック量を求める工程と、
前記指令値により指令された相対位置の時間変化に基づいて得られる速度フィードフォワード量を求める工程と、
前記フィードバック量と前記速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の駆動部に生じさせる楕円運動の楕円比を制御するための情報を有する信号を生成する工程と、
を有する振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２３】
前記楕円比は、前記楕円運動における、前記振動子と前記接触体が加圧接触する方向の成分に対する、前記振動子と前記接触体との相対位置を変化可能な方向の成分の比である請求項２２に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２４】
前記信号を生成する工程は、前記楕円比及び前記振動子の駆動方向を制御するための情報を有する信号を生成する請求項２２又は２３に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータの制御装置とその制御方法、駆動装置、撮像装置、及び自動ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動型アクチュエータの一例として振動型モータについて説明する。振動型モータは、弾性体に結合された、圧電素子等の電気−機械エネルギー変換素子に交流電圧を印加することで、該素子に高周波振動を発生させ、その振動エネルギーを連続的な機械運動として取り出すように構成された、非電磁駆動式のモータである。
【０００３】
振動型モータによって、駆動対象である被駆動部材を目標位置まで短時間で、且つ高速に移動させようとした場合、目標位置まで短時間、且つ高速に駆動するように制御した場合、加減・減速時の追従遅れに伴う位置偏差の悪化が生じてしまうことがある。
【０００４】
この課題に対して、以下のような制御方法が提案されている。
【０００５】
特許文献１は、フィードフォワード制御とフィードバック制御を併用して振動型モータの駆動周波数を制御する方法である。具体的には、速度フィードフォワード値をＰＩＤ制御器の前段に加算したものを制御量とし、前記速度フィードフォワード値をテーブルデータとして逐次更新しながら制御するものである。特許文献２は、振動型モータの逆モデルによって決定された制御量を用いてフィードフォワード制御を行なう方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許０４５８５３４６
【特許文献２】特開２００４−１２９４５８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来技術による振動型モータの制御装置は、電磁モータに適用される一般的なフィードフォワード制御の構成を踏襲したものを振動型モータに置き換えたものである。例えば、ＰＩＤ制御器の後段に加速度フィードフォワード値を加算したものをモータ制御量とする構成や、ＰＩＤ制御器の前段に速度フィードフォワード値を加算する構成である。これらは電流でトルクを制御する電磁モータに有効なフィードフォワード制御方法である。
【０００８】
一方、本発明が対象とする振動型アクチュエータは、駆動用の交流電圧の周波数や位相差によってアクチュエータの駆動を制御するものである。そこで本発明の一様態は、そのようなアクチュエータにおいて、短時間で加減速を行なっても高速で追従する事が可能な振動型アクチュエータのフィードフォワード制御方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一様態は、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づき積分処理及び微分処理の少なくとも一方によって得られるフィードバック量と、前記指令値の時間変化から求められる速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の制御のための情報を有する信号を生成する制御部を有し、前記振動子の駆動により、前記振動子と前記被駆動部材の相対位置を変化する振動型アクチュエータの制御装置に関する。
【００１０】
また、本発明の一様態は、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づいたフィードバック量と、前記指令値の時間変化から求められる速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の駆動部に励起される楕円運動の楕円比及び前記振動子の駆動方向の少なくとも一方を制御するための情報を有する信号を生成する制御部を有し、
前記振動子の駆動により、前記振動子と前記被駆動部材の相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御装置に関する。
【００１１】
本発明の別の一様態は、振動子の駆動により、前記振動子と前記被駆動部材の相対位置を変化する振動型アクチュエータの制御方法において、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づき積分処理及び微分処理の少なくとも一方によって得られるフィードバック量を求める工程と、前記指令値の時間変化から速度フィードフォワード量を求める工程と、前記フィードバック量と前記速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子を制御するための情報を有する信号を生成する工程とを有する振動型アクチュエータの制御方法に関する。
【００１２】
また、本発明の一様態は、振動子の駆動により、前記振動子と前記被駆動部材の相対位置を変化する振動型アクチュエータの制御方法において、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づいて得られるフィードバック量を求める工程と、前記指令値の時間変化から速度フィードフォワード量を求める工程と、前記フィードバック量と前記速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の駆動部に生じさせる楕円運動の楕円比及び前記振動子の駆動方向の少なくとも一方を制御するための情報を有する信号を生成する工程とを有する振動型アクチュエータの制御方法に関する。
【００１３】
更に、本発明の一様態は、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づいたフィードバック量と、前記指令値の時間変化から求められる速度フィードフォワード量とを加算して、前記振動子の駆動部に励起される楕円運動の楕円比及び振動子の駆動方向の少なくとも一方を制御するための情報を有する信号を生成する制御部を有し、前記振動子の駆動により、前記振動子と前記被駆動部材の相対位置を変化可能である振動型アクチュエータの制御装置に関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一様態によれば、駆動用の交流信号の周波数や位相によって駆動が制御される振動型アクチュエータにおいて、短時間で加減速を行なっても高速で追従する事が可能な振動型アクチュエータの制御装置及びその制御方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態における、振動型アクチュエータの制御装置の一例を示す図である。
【図２】リニア駆動の振動型アクチュエータの一例の駆動原理を説明する図である。
【図３】レンズ鏡筒のレンズの駆動機構の一例を説明する図である。
【図４】本発明の制御量演算部の構成例を示す図である。
【図５】本発明の位相差‐周波数判定部の出力例を説明する図である。
【図６】本発明の駆動部の構成例を示す図である。
【図７】図７（ａ）は、比較例１の駆動装置の概略ブロック図であり、図７（ｂ）は、本実施の形態と比較例１の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【図８】図８（ａ）は、比較例２の駆動装置の概略ブロック図であり、図８（ｂ）は、本実施の形態と比較例２の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【図９】図９（ａ）は、比較例３の駆動装置の概略ブロック図であり、図９（ｂ）は、本実施の形態と比較例３の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【図１０】第１の実施の形態においてフィードフォワードゲインを変えた場合の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【図１１】第１の実施の形態において、ＰＩＤ演算器に２階微分器を追加した場合と追加しない場合の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【図１２】本発明の制御装置の一例を用いてフォーカスレンズを駆動した場合の指令位置に対するレンズの追従精度を測定した結果である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態における振動型アクチュエータの制御装置の一例を示す図であり、２相の駆動信号の位相差のみをフィードフォワード制御するものである。
【図１４】本発明の第２の実施の形態における振動型アクチュエータの制御装置の一例を示す図であり、位相差と周波数で個別にフィードフォワード量を調整するものである。
【図１５】第２の実施の形態の制御装置を用いて被駆動部材に負荷をかけて駆動した場合の指令位置に対する追従精度を測定した結果である。
【図１６】本発明の制御装置の適用例である撮像装置の外観を示す平面図及び内部構造の概略図である。
【図１７】本発明の制御装置の適用例である顕微鏡の外観を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１の実施の形態）
本発明に適用できる振動型アクチュエータの一例について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態の振動型アクチュエータ２０は、振動子、及び被駆動部材を有する。
【００１７】
図２は、振動型アクチュエータの例として、リニア駆動型の振動型モータの駆動原理を説明する図である。図２（ａ）に示す振動型モータは、弾性体２０３、及び弾性体２０３に接着された電気―機械エネルギー変換素子である圧電素子２０４を有する振動子１１３と、振動子１１３によって駆動される被駆動部材１１４を有する。圧電素子２０４に交流電圧を印加することにより、図２（ｃ）、（ｄ）に示すような２つの振動モードを発生させ、突起部２０２に加圧接触する被駆動部材１１４を矢印方向に移動させる。
【００１８】
図２（ｂ）は圧電素子２０４の電極パターンを示す図であり、例えば振動子１１３の圧電素子２０４には、長手方向で２等分された電極領域が形成されている。また、各電極領域における分極方向は、同一方向（＋）となっている。圧電素子２０４の２つの電極領域のうち図２（ｂ）の右側に位置する電極領域には交流電圧（ＶＢ）が印加され、左側に位置する電極領域には交流電圧（ＶＡ）が印加される。
【００１９】
ＶＢおよびＶＡを第１の振動モードの共振周波数付近の周波数で、かつ同位相の交流電圧とすると、圧電素子２０４の全体（２つの電極領域）がある瞬間には伸び、また別の瞬間には縮むことになる。この結果、振動子１１３には図２（ｃ）に示す第１の振動モードの振動が発生することになる。これにより、突起部２０２には、突き上げ方向（Ｚ方向）の変位が生じる。
【００２０】
また、ＶＢおよびＶＡを第２の振動モードの共振周波数付近の周波数で、かつ位相が１８０°ずれた交流電圧とすると、ある瞬間には、圧電素子２０４の右側の電極領域が縮むとともに、左側の電極領域が伸びる。また、別の瞬間には逆の関係となる。この結果、振動子１１３には図２（ｄ）に示す第２の振動モードの振動が発生することになる。これにより、突起部２０２には、駆動補講（送り方向、Ｘ方向）の変位が生じる。
【００２１】
したがって、第１及び第２の振動モードの共振周波数付近の周波数を有する交流電圧を圧電素子２０４の電極に印加することで、第１及び第２の振動モードが合成された振動を励起することができる。
【００２２】
このように、２つの振動モードを合成することにより、突起部２０２は、図２（ｄ）におけるＹ方向（Ｘ方向及びＺ方向と垂直な方向）に垂直な断面において、楕円運動を行う。該楕円運動によって、被駆動部材１１４が図２（ａ）の矢印方向に駆動される。この被駆動部材１１４と振動子１１３が相対移動する方向、すなわち振動子１１３によって被駆動部材１１４が駆動される方向（ここではＸ方向）を、駆動方向と示す。
【００２３】
また、第１の振動モードと第２の振動モードの発生比は、２等分された電極へ入力する交流電圧の位相差を変えることにより変更可能である。この振動型モータでは、発生比を変えることにより被駆動部材の速度を変更させることが可能となる。
【００２４】
なお、上記説明では、振動子１１３が静止し、被駆動部材１１４が移動する場合を例として説明したが、本発明はこの形態に限定されない。被駆動部材１１４と振動子１１３は、互いの接触部の位置が相対的に変わっていればよく、例えば、被駆動部材１１４が固定されて振動子１１３が移動してもよく、また、被駆動部材１１４及び振動子１１３の両方が移動していても良い。すなわち、本発明において、「駆動する」とは、被駆動部材と振動子の相対的な位置を変化させることを意味し、被駆動部材の位置（たとえば、被駆動部材と振動子とを内包する筐体の位置を基準とした場合の被駆動部材の位置）が変化することを要しない。
【００２５】
振動型アクチュエータは、例えばカメラのオートフォーカス駆動などに用いられている。オートフォーカス駆動には高精度な位置決め制御が必要であり、例えば位置センサを用いた位置フィードバック制御が行われる。圧電素子に印加する交流電圧信号の周波数、２相の信号の位相差、パルス幅などを調整することによって、振動型アクチュエータの速度をコントロールすることができる。例えば、駆動周波数を圧電素子の共振周波数に近づけるほど振動振幅が大きくなり、駆動対象物であるレンズを高速に駆動することができる。
【００２６】
オートフォーカス駆動における位置決め制御について説明する。振動型アクチュエータによって駆動されるフォーカスレンズは、制御装置によって開始位置から所定の速度まで加速され、一定速度で駆動された後に、目標位置に近づくにつれて減速しながら停止するように制御される。一般に、フォーカス速度は速さが望まれるので、フォーカスレンズを目標位置まで短時間、且つ高速に移動するよう、振動型アクチュエータを制御することとなる。すると、加減・減速時の追従遅れに伴う位置偏差の悪化が生じてしまう。本実施の形態の振動型駆アクチュエータの制御装置を用いることで、加減・減速時の追従遅れに伴う位置偏差の悪化を抑制することができる。
【００２７】
図３は、本実施の形態のレンズ鏡筒のレンズの駆動機構を説明する図である。振動型アクチュエータによるレンズホルダの駆動機構は、振動子と、レンズホルダと、このレンズホルダを摺動自在に保持する、平行に配された第１ガイドバー及び第２ガイドバーとを備えている。本実施の形態において、第２ガイドバーが被駆動部材であり、第２ガイドバーは固定され、振動子とレンズホルダが一体となって移動する場合について説明する。
【００２８】
振動子は、電気−機械エネルギー変換素子に対する駆動電圧の印加によって生成された振動子の突起部の楕円運動によって、振動子と弾性体の突起部と接触する第２ガイドバーとの間に相対移動力を発生させる。これによって、振動子と一体に固定されたレンズホルダを第１及び第２ガイドバーに沿って移動可能に構成されている。
【００２９】
具体的には、被駆動部材の駆動機構３００は、主にレンズ保持部材であるレンズホルダ３０２、レンズ３０６、フレキシブルプリント基板が結合された振動子１１３、加圧磁石３０５、２つのガイドバー３０３、３０４及び不図示の基体を有する。ここでは、振動子として振動子１１３を例に説明する。
【００３０】
第１のガイドバー３０３、第２ガイドバー３０４は、互いに平行に配置されるようにそれらの各ガイドバーの両端が、不図示の基体により保持固定されている。レンズホルダ３０２は、円筒状のホルダ部３０２ａ、振動子１１３及び加圧磁石３０５を保持固定する保持部３０２ｂ、第１ガイドバー３０３と嵌合してガイドの作用をなす第１のガイド部３０２ｃを有する。
【００３１】
加圧手段を構成するための加圧磁石３０５は、永久磁石及び永久磁石の両端に配置される２つのヨークを有する。加圧磁石３０５と第２ガイドバー３０４との間に磁気回路が形成され、これら部材間に吸引力が発生する。加圧磁石３０５は第２ガイドバー３０４とは間隔を設けて配置されており、第２ガイドバー３０４は振動子１１３と接するように配置されている。
【００３２】
前記の吸引力により第２ガイドバー３０４と振動子１１３との間に加圧力が与えられる。弾性体の２箇所の突起部が第２ガイドバー３０４と加圧接触して第２のガイド部を形成する。第２のガイド部は磁気による吸引力を利用してガイド機構を形成しており、外力を受ける等により振動子１１３と第２ガイドバー３０４が引き離される状態が生じるが、これに対しては、つぎのように対処されている。
【００３３】
すなわち、レンズホルダ３０２に備えられる脱落防止部３０２ｄが第２ガイドバー３０４に当たることで、レンズホルダ３０２が所望の位置に戻るように対応が施されている。振動子１１３に所望の交流電圧信号を与えることで振動子１１３と第２ガイドバー３０４との間に駆動力が発生し、この駆動力によりレンズホルダの駆動が行われる。
【００３４】
図１は、本発明の第１の実施の形態における、振動型アクチュエータ及びその制御装置を有する、駆動装置を示す図である。駆動装置３０は、振動型アクチュエータ２０及びその制御装置１０を有する。振動型アクチュエータ２０は、振動子１１３及び被駆動部材１１４を有し、制御装置１０は、制御部１２１及び駆動部１２２を有する。
【００３５】
制御部１２１は、指令値生成手段１０１、制御量生成部１１７、及び制御パラメータ生成部１１８を有し、フィードバック量と、速度フィードフォワード量とを加算器１２０で加算して、前記振動子の制御のための情報を有する信号を生成可能に構成されている。フィードバック量は、振動子１１３と被駆動部材１１４の相対位置に関する指令値と前記相対位置との差に基づいて求められ、速度フィードフォワード量は、前記指令値の時間変化から求められる、速度に対応する量である。
【００３６】
制御量生成手段１１７は、フィードバック演算部１０２と速度フィードフォワード演算部１０３を有し、制御パラメータ生成部１１８は、例えば、位相差変換部１０７、周波数変換部１０８、及び位相差―周波数判定部１０９を有する。
【００３７】
制御部１２１について、より詳細に説明する。指令値生成手段１０１によって振動子１１３と被駆動部材１１４との相対位置（１１６）の時間毎の指令値が生成される。指令値と、位置検出手段１１５で検出された振動子１１３と被駆動部材１１４との相対位置（１１６）との差分が、減算器１１９で、位置偏差として演算される。フィードバック演算部１０２には位置偏差が入力されて、フィードバック量が出力される。フィードバック演算部１０２は、例えばＰＩＤ演算器などが用いられるが、これに限定されるものではない。例えば、Ｈ無限大制御等によってもフィードバック量を求めることができる。
【００３８】
速度フィードフォワード演算部１０３には指令値が入力され、速度フィードフォワード量が出力される。前記速度フィードフォワード演算部１０３は、指令値を時間微分して速度に換算する速度演算部１０４と、速度フィードフォワードゲイン（Ｇｖ）を乗算する乗算器１０５を有する。本実施の形態において、振動型アクチュエータの制御量（１０６）は、前記のフィードバック量に速度フィードフォワード量を加算した値である。
【００３９】
ここで、振動子と被駆動部材の相対位置に関する指令値とは、時間毎に指令値生成手段から出力される相対位置に関する値であり、例えば、位置制御サンプリング毎に１つの指令値が指令値生成手段から出力される。ここで、位置制御サンプリングについて、図１の場合を例に説明する。位置制御サンプリングとは、第１の偏差及び速度フィードフォワード量の取得から、振動子への交流信号の入力、振動子と被駆動部材の相対位置や相対速度の検出を経て、第１の偏差及び速度フィードフォワード量の取得が始まる直前までの１サイクルを示す。
【００４０】
より具体的には、位置制御サンプリングとは、例えば図１において、以下のサイクルを指す。指令値と検出信号から第１の偏差を取得し、第１の偏差からフィードバック量を求める。また、指令値から速度フィードフォワード量を求める。フィードバック量と速度フィードフォワード量を加算して制御量を求める。求めた制御量から制御パラメータを求め、制御パラメータに基づいた交流信号を、昇圧回路を介して振動子に印加することで振動子を駆動し、振動子と被駆動部材との相対速度や相対位置を検出信号として検出する。
【００４１】
上述の、第１の偏差及び速度フィードフォワード量の取得から、次の第１の偏差及び速度フィードフォワード量の取得が始まる前までの１サイクルを、位置制御サンプリングと言う。
【００４２】
なお、相対位置に関する指令値とは、位置検出手段による相対位置に基づいて求めるだけでなく、相対速度を検出し、検出した相対速度から求めてもよい。
【００４３】
また、振動子と被駆動部材の相対位置に関する目標位置とは、振動子と被駆動部材の相対位置として最終的に到達させたい相対位置であって、位置制御サンプリング毎には変更されない値である。
【００４４】
図１において、制御量（１０６）は制御パラメータ生成部１１８に入力され、制御パラメータ生成部１１８の出力が交流信号生成手段１１１に入力される。制御パラメータ生成部１１８は、例えば、位相差変換部１０７、周波数変換部１０８、及び位相差‐周波数判定部１０９を有する構成とすることができる。制御パラメータ生成部１１８では、位相差変換部１０７と周波数変換部１０８とによって、振動型アクチュエータを駆動する交流電圧信号の制御パラメータである、位相差及び周波数に各々変換される。また、制御パラメータ生成部１１８の位相差‐周波数判定部１０９では、後述のように制御量に基づいて位相差と周波数を出力し、振動型アクチュエータの駆動速度、駆動方向が制御される。
【００４５】
交流信号生成手段１１１では、制御パラメータ生成部１１８の出力に含まれる位相差及び周波数の情報と、電圧調整手段１１０からのパルス幅情報とに基づいて、２相の交流信号が生成される。コイルやトランスなどから成る昇圧回路１１２によって所望の駆動電圧に昇圧された交流信号は、振動子１１３の圧電素子に印加され、被駆動部材１１４を駆動する。位置検出手段により、振動体１１３と被駆動部材１１４の相対位置が出力される。
【００４６】
位置検出手段は、例えば、位置センサまたは速度センサと、位置センサまたは速度センサからの出力に基づいて、制御用の相対位置を求めて出力する相対位置出力手段とを有する。位置センサ（速度センサ）は、振動体１１３または被駆動部材１１４に取り付けられ、振動子１１３と被駆動部材１１４の相対位置（相対速度）が検出される。
【００４７】
相対位置がフィードバック演算部１０２にフィードバックされると同時に、速度フィードフォワード演算部１０３によってフィードフォワードされることで、時間毎の指令値に追従するように振動型アクチュエータは制御される。尚、本実施形態は、電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子を２相に分けて駆動する２相駆動の制御装置を例にとり説明するが、本発明は２相駆動に限定されるものではなく、２相以上の振動型アクチュエータにも適用できる。
【００４８】
次に、各手段について、詳細に説明する。図４は、本実施の形態の速度フィードフォワード演算部とフィードバック演算部の構成を示す図である。まず、速度フィードフォワード演算部１０３について説明する。速度演算部１０４は微分器４０１とローパスフィルタ４０２から成り、入力された指令値は速度に換算されてからフィルタによってノイズが除去される。その後、乗算器１０５によって、速度演算部１０４の出力に速度フィードフォワードゲインＧｖが乗算され、速度フィードフォワード量として出力される。
【００４９】
次に、フィードバック演算部１０２を説明する。本実施の形態のフィードバック演算部１０２は、ローパスフィルタ４０３と、加速度演算部４１１及びＰＩＤ演算器４０１を有する。ローパスフィルタ４０３は検出した相対位置に含まれるノイズを除去するために用いられる。尚、ローパスフィルタ４０３はＰＩＤ演算部４０１の後段に設けても良い。
【００５０】
ＰＩＤ演算部４０１は、比例項（Ｐ）、積分処理を行う積分項（Ｉ）、及び微分処理を行う微分項（Ｄ）を有する。比例項（Ｐ）では、乗算器４０４により、ローパスフィルタ４０３の出力に比例ゲインＧｐが乗算される。積分項（Ｉ）では、ローパスフィルタ４０３の出力が積分器４０５に入力され、乗算器４０６により積分器４０５の出力に積分ゲインＧｉが乗算される。微分項（Ｄ）では、ローパスフィルタ４０３の出力が微分器４０７に入力され、乗算器４０８により、微分器４０７の出力に微分ゲインＧｄが乗算される。
【００５１】
なお、積分項（Ｉ）において、積分器４０５と乗算器４０６は、処理の順番を入れ替えても良く、また微分項（Ｄ）において、微分器４０７と乗算器４０８は処理の順番を入れ替えても良い。ＰＩＤ演算部４０１は、前記比例項、積分項、微分項の出力を加算して出力するものであり、制御対象の位相遅れやゲインを補償して、安定且つ高精度な制御系を構築するために用いられる。
【００５２】
本実施の形態では、制御系をより安定化するために、加速度演算部４１１を設けている。加速度演算部４１１は、２階微分項（Ｄ２）を有し、２階微分器４０９と、２階微分器４０９の出力に２階微分ゲインＧｄ２を乗算する乗算器４１０を有する。なお、２階微分項（Ｄ２）においても、２階微分器４０９と乗算器４１０の処理の順番は入れ替えても良い。２階微分器の出力値は、加速度に相当する値であり、高周波数域の応答性能を高めることができる。
【００５３】
尚、本実施の形態では一般的なＰＩＤ演算器を用いたが、これに限らず、微分項及び積分項のどちらか一方が省略された演算器や、Ｈ無限大制御などのロバスト制御器を用いても良い。また、ローパスフィルタもこれに限らず、その他のフィルタを用いたり、又は用いなくても良い。また、２階微分器も必須のものではない。
【００５４】
図５は、本実施の形態の位相差‐周波数判定部の出力を説明する図である。図５（ａ）は制御量に基づいて出力される位相差と周波数を示し、横軸は制御量（１０６）、縦軸左は位相差、縦軸右は周波数である。このように、制御パラメータ生成部の位相差―周波数判定部は、制御量の絶対値が小さい領域は位相差が変化（位相差制御領域）するように位相差及び周波数を制御する。また、位相差―周波数判定部は、制御量の絶対値が大きい領域は周波数が変化（周波数制御領域）するように周波数及び位相差を制御する。つまり、位相差―周波数判定部は、制御量に応じて位相差による駆動と周波数による制御とを切り換えるよう構成されている。
【００５５】
具体的には、位相差制御領域では、周波数は周波数上限値に固定され、位相差が位相差上限値から下限値（例えば＋１１０度〜−１１０度）で変化することで駆動方向の反転、停止と低速領域での速度が制御される。周波数制御領域では、位相差は位相差下限値又は上限値に固定され、周波数が周波数上限値から下限値（例えば９２〜８９ｋＨｚ）で変化することで高速領域での速度が制御される。
【００５６】
図５（ｂ）は制御量に基づく振動型アクチュエータの速度を示し、横軸は制御量（１０６）、縦軸は速度である。前述のように、−５０〜＋５０ｍｍ／ｓの低速領域では位相差制御によって制御され、それ以外の高速領域では周波数制御によって制御される。位相差制御では、図のように、位相差が制御されることで、駆動部の楕円運動の楕円比が変化し、位相差の符号が反転することで楕円運動の方向が変化する。また、楕円比がゼロとなる縦長形状で速度はゼロとなる。
【００５７】
一方で、周波数制御では、周波数が制御されることで、楕円運動の楕円比は一定のまま、楕円振幅が変化する。これらの制御によって、制御パラメータ生成部１１８において、制御量に対して速度がなるべく線形になるように位相差と周波数は各々設定される。
【００５８】
図６は、駆動部１２２の構成例を示す図である。本実施の形態において、駆動部１２２は、交流信号生成手段１１１及び昇圧回路１１２を有する。図６（ａ）は、交流信号生成手段１１１から出力される２相の交流パルス信号を示す。交流信号生成手段１１１は、例えば、パルス信号生成手段６０４、スイッチング回路６０５を有する。図６（ｂ）は、交流信号生成手段１１１と、圧電素子に交流電圧信号を印加する昇圧回路１１２を示すものである。
【００５９】
具体例として、交流信号生成手段の、Ａ相の圧電素子に印加される交流電圧を生成する部分について説明する。Ｂ相の圧電素子に印加する交流電圧を生成する部分についても、同様の構成を用いることができる。パルス信号生成手段６０４は、位相差‐周波数判定部から出力された位相差と周波数情報に応じた、位相差及び周波数情報を各々有する、第１のＡ相パルス信号及び第１のＡ相反転パルス信号を生成する。入力パルス信号である、第１のＡ相パルス信号及び第１のＡ相反転パルス信号は、スイッチング回路６０５に入力される。スイッチング回路６０５は、電源６０１から供給された直流電圧を入力パルス信号のタイミングでスイッチング動作させ、矩形波の交流電圧信号を生成する。
【００６０】
昇圧回路１１２は、例えばコイル６０２とトランス６０３で構成され、矩形波の交流電圧信号が入力され、所定の駆動電圧に昇圧されたＳＩＮ波の交流電圧信号をＡ相の圧電素子に印加する。また、同様にして、所定の駆動電圧に昇圧されたＳＩＮ波の交流電圧信号がＢ相の圧電素子に印加される。
【００６１】
制御部１２１は、例えばＣＰＵ、ＰＬＤ（ＡＳＩＣと含む）などのデジタルデバイスや、Ａ／Ｄ変換器などの素子から構成される。また、駆動部１２２の交流信号生成手段１１１は、例えばＣＰＵや関数発生器とスイッチング回路を有し、昇圧回路は、例えばコイルや、トランスから構成される。なお、制御部及び駆動部は、１つの素子や回路から構成されるだけではなく、複数の素子や回路から構成されていてもよい。また、各処理をいずれの素子や回路が実行してもよい。
【００６２】
図７は、比較例１の駆動装置の概略ブロック図及び本実施の形態に係る駆動装置と比較例１の駆動装置に関する開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。比較例１は、ＰＩＤ演算部７０１のみを用いたフィードバック制御の構成である。図７（ａ）は、比較例１の駆動装置の概略制御ブロック図を示すものであり、ＰＩＤ演算部７０１の出力を位相差制御量として、振動型アクチュエータ７０２を駆動する系を簡略化してブロック図で表現したものである。ここでは、制御モデルを用いて伝達関数を導出するため、結論に与える影響があまりない、交流信号生成手段と昇圧回路は省略されている。また、位置検出手段７０３から出力される相対位置は、振動型アクチュエータ７０２の位相差‐速度の伝達関数モデルを用いて、計算によって求めている。
【００６３】
図７（ｂ）は、指令値から相対位置までの開ループ伝達関数のボード線図であり、ゲインと位相の周波数特性について、本実施の形態の駆動装置と比較例１の駆動装置を比較した。ここで、ＰＩＤ演算部７０１の制御ゲインは、Ｇｐ＝０．１６、Ｇｉ＝０．００７、Ｇｄ＝０．５３とした。尚、本実施の形態のＰＩＤ演算部４０１の制御ゲインも同じ値とし、フィードフォワードゲインＧｖ＝０．５とした。開ループ特性のゲインが０ｄＢとなる周波数２５０Ｈｚにおいて、位相特性を比較してみると、本実施の形態は、比較例１に対して位相余裕が２２ｄｅｇ改善されているのがわかる。つまり、本実施の形態はフィードフォワードによって位相遅れが改善され、指令値に対する応答性を向上する事ができることがわかる。なお、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数のゲイン余裕は両者とも十分な値を確保した上で比較している。ここで、位相特性は、より０ｄｅｇに近いほど位相遅れが少なく応答性が良い事を示し、１８０ｄｅｇを超えると制御できなくなる。図では、−１８０ｄｅｇ付近でプラス側に折り返されているが、これは１８０ｄｅｇ反転されて表示されているためで、制御不能な事を示す。尚、ＰＩＤ演算部をその他の制御ゲインに変えた場合においても、同様に本実施の形態の効果が得られる事がわかった。
【００６４】
図８は、比較例２の駆動装置の概略ブロック図及び本実施の形態に係る駆動装置と比較例２の駆動装置に関する開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【００６５】
図８（ａ）は、比較例２の駆動装置の概略制御ブロック図を示すものである。比較例２は、ＰＩＤ演算部８０１と速度フィードフォワード演算部（８０２、８０３）を用いた制御であるが、本実施の形態とは構成が異なるものである。すなわち、速度演算部８０２と速度フィードフォワードゲインＧｖを乗算する乗算器８０３による演算量は、ＰＩＤ演算部８０１の前段に加算される。また、ＰＩＤ演算部８０１の前段には比例ゲインＫｐを乗算する乗算器８０４が設けられており、Ｋｐ＝１とした。但し、Ｋｐは必ずしも設ける必要はない。また、ＰＩＤ演算部８０１の制御ゲインは図７で示した値と同じである。
【００６６】
図８（ｂ）は、指令値から相対位置までの開ループ伝達関数のボード線図であり、ゲインと位相の周波数特性について、本実施の形態の駆動装置と比較例２の駆動装置を比較した。比較例２の速度フィードフォワードゲインＧｖについては、制御系が発振しないで、且つ最大までゲインを上げるように調整し、速度フィードフォワードゲインＧｖを２．５とした。対して、本実施の形態の速度フィードフォワードゲイン（Ｇｖ）は０．５である。本実施の形態の駆動装置は、比較例２の駆動装置に対して、周波数２５０Ｈｚにおいて位相余裕が１１ｄｅｇ改善されており、指令値に対する応答性が向上していることがわかる。なお、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数のゲイン余裕は、両者とも同じ値となるよう調整した。
【００６７】
図９は、比較例３の駆動装置の概略ブロック図及び本実施の形態に係る駆動装置と比較例３の駆動装置に開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。
【００６８】
図９（ａ）は、比較例３の駆動装置の概略制御ブロック図を示すものである。比較例３は、ＰＩＤ演算部９０１と加速度フィードフォワード演算部（９０２、９０３）を用いた制御である。速度ではなく、加速度をフィードフォワードしている点が、本実施の形態の駆動装置とは異なる。加速度演算部９０２と加速度フィードフォワードゲインＧａを乗算する乗算器９０３による演算量がＰＩＤ演算部８０１の後段に加算され、これが位相差の制御量となる。尚、ＰＩＤ演算部８０１の制御ゲインは図７で示した値と同じである。
【００６９】
図９（ｂ）は、指令値から相対位置までの開ループ伝達関数のボード線図であり、ゲインと位相の周波数特性について、本実施の形態の駆動装置と比較例３の駆動装置を比較した。比較例３の加速度フィードフォワードゲインＧａについては、制御系が発振しないで、且つ最大までゲインを上げるように調整し、加速度フィードフォワードゲインＧａを２．０とした。対して、本実施の形態のフィードフォワードゲインは０．５である。本実施の形態の駆動装置は比較例３の駆動装置に対して、周波数２５０Ｈｚにおいて位相余裕が２０ｄｅｇ改善されており、指令値に対する応答性を向上する事ができる。なお、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数のゲイン余裕は両者とも同じ値となるよう調整した。
【００７０】
図１０は、第１の実施の形態においてフィードフォワードゲインを変えた場合の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。フィードフォワードゲイン（Ｇｖ）を０．１〜１．０まで調整し、制御系が発振しないで、且つ最大まで上げられるゲインの最適値を求めたものである。ここで、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数において、制御系が発振しない為にはゲインを−３ｄＢ未満となるように設定する事が望ましい。図１０より、本実施の形態の駆動装置において、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数６００Ｈｚにおいて、ゲインが−３ｄＢ未満となるように設定するためには、Ｇｖ＝０．７以下であることが好ましく、Ｇｖが０．５以下がより好ましい。これに対して、ＰＩＤ演算部４０１の微分ゲインＧｄは０．５３であるので、フィードフォワードゲインを、微分ゲインと同等以下の値とすることで、位相遅れが１８０ｄｅｇを越える周波数においても、制御系が発信するのを防ぐことができる。ＰＩＤ演算部４０１の微分ゲインをその他のゲインに設定した場合にも、同様に、Ｇｖ≦Ｇｄの関係とすれば良く、この関係は広く適用できる事がわかった。この理由として、ＰＩＤの微分項は速度に相当する量であるので、速度フィードフォワードゲインとバランスが取れる関係が最も効果が得られるためと考えられる。
【００７１】
図１１は、第１の実施の形態において、ＰＩＤ演算器に２階微分器を追加した場合と追加しない場合の開ループ伝達関数のボード線図を示す図である。２階微分器が有る場合と無い場合とで比較し、その効果を検証した。図より、２階微分器を設けることで、位相遅れが１８０ｄｅｇを超える周波数のゲイン余裕が１ｄＢ改善されており、高周波領域の安定性が増している事がわかる。２階微分ゲインＧｄ２は１．０とし、この値が最適値であった。ＰＩＤ演算部の制御ゲインを変えた場合においても、微分ゲインＧｄの２倍程度の値にすると良いこともわかった。尚、３階微分、４階微分と追加していけば原理的にはより高周波側まで改善されるが、実際には微分を繰り返すほどノイズは増幅されるので、フィルタのカットオフ周波数を下げていく必要があり、制御性が悪化してしまう。従って、本実施の形態では２階微分までを適用した。求められる性能に応じて、何回微分を追加するか、適宜決定すればよい。
【００７２】
図１２は本実施の形態の制御装置を用いてフォーカスレンズを駆動した場合の指令位置に対するレンズの追従精度を測定した結果である。横軸は時間、縦軸右はフォーカスレンズの指令値と相対位置の変化を示し、縦軸左はその位置偏差を示す。位置偏差は、各時間での指令値への追従精度を表す指標である。ここで、レンズ質量は８ｇ、開始位置から目標位置までの駆動ストロークは１２ｍｍ、加減・減速時間は各々１６ｍｓ、最高速度は２００ｍｍ／ｓの条件で駆動停止動作を行った。また、制御時の駆動開始周波数は９１ｋＨｚ、位相差は最大±１２０ｄｅｇ、駆動電圧は１２０Ｖｐｐで制御を行った。ＰＩＤ演算部の制御ゲインは、Ｇｐ＝０．０３２、Ｇｉ＝０．０００７、Ｇｄ＝０．５、Ｇｄ２＝１．０とした。また、速度フィードフォワードゲインはＧｖ＝０．４５とした。
【００７３】
図１２（ａ）は、従来のＰＩＤ演算部のみを用いたフィードバック制御（比較例１の構成）の結果である。起動・停止時の加減速領域にて、１００μｍ以上の位置偏差が生じており、追従性が不十分であるのがわかる。また、最高速領域（中間領域）においても、５０μｍ程度の位置偏差が生じており、追従遅れが大きい。
【００７４】
図１２（ｂ）は、本実施の形態の制御を適用した結果である。本実施の形態の制御装置を用いた場合、従来の制御装置を用いた場合と比較して、全領域にて１０μｍ以下の追従精度を実現している事がわかる。
【００７５】
（第２の実施の形態）
次に、振動型アクチュエータの制御装置の、他の実施の形態について説明する。１つ目は、位相差のみをフィードフォワード制御するものである。２つ目は、位相差と周波数で個別にフィードフォワード量を調整するものである。どちらも、第１の実施の形態を基本構成としており、その変形例であり、実施の形態１と同様の構成、機能、効果の部分については説明を省略する。この２つの構成例について、以下詳細に説明する。
【００７６】
図１３は、本発明の第２の実施の形態における振動型アクチュエータの制御装置を示す図であり、２相の駆動信号の位相差のみをフィードフォワード制御するものである。図のように、位相差制御量（１３０６）はフィードバック演算部１０２からの演算量とフィードフォワード演算部１０３からの演算量を加算した値である。一方で、周波数制御量（１３０８）はフィードバック演算部１０２からの演算量を直接用いる。従って、楕円運動の楕円比、駆動方向のみがフィードフォワード演算部１０３とフィードバック演算部１０２とにより制御され、楕円振幅はフィードバック演算部１０２のみによる周波数制御となる。
【００７７】
図１４は、本発明の第２の実施の形態における振動型アクチュエータの２つ目の制御装置を示す図であり、位相差と周波数で個別にフィードフォワード量を調整するものである。制御量演算部１４１７は、フィードバック演算部１４０７と速度フィードフォワード演算部１４０８を有する。フィードバック演算部１４０７は、位相差制御用の第１のフィードバック演算部１４０２と、周波数制御用の第２のフィードバック演算部１４０３とが個別に設けられている。第１及び第２のフィードバック演算部の制御ゲインは同じ値でも良いが、位相差と周波数の伝達関数の違いに基づいて個別に調整しても良い。
【００７８】
一方、フィードフォワード演算部１４０８は、速度演算部１４０４からの出力に、位相差制御用のゲインＧｖ１を乗算する乗算器１４０５と、周波数用のゲインＧｖ１を乗算する乗算器１４０６とが個別に設けられている。従って、Ｇｖ１とＧｖ２を個別に調整することで、楕円比と楕円振幅のフィードフォワード量を各々調整することができる。
【００７９】
図１５は、第２の実施の形態の制御装置を用いて被駆動部材に負荷３４ｇｆをかけて駆動した場合の指令位置に対する追従精度を測定した結果である。横軸は時間、縦軸右は速度指令値を示し、縦軸左は指令位置に対する被駆動部材の相対位置の位置偏差を示す。位置偏差は、各時間での指令値への追従精度を表す指標である。ここで、加速時間は１６ｍｓ、最高速度は２１６ｍｍ／ｓの条件で駆動停止動作を行った。図１５では、加速時間１６ｍｓの領域と最高速度に達した後の領域を拡大して表示している。制御時の駆動開始周波数は９７ｋＨｚ、位相差は最大±１１０ｄｅｇ、駆動電圧は１２０Ｖｐｐで制御を行った。
【００８０】
図１５（ａ）は、ＰＩＤ演算部のみのフィードバック制御の場合と、位相差のみをフィードフォワード制御した場合と、周波数のみをフィードフォワード制御した場合の指令位置に対する追従精度を測定した結果である。ここで、ＰＩＤ演算部の制御ゲインは、Ｇｐ＝０．６４、Ｇｉ＝０．００３、Ｇｄ＝０．５３とした。また、速度フィードフォワードゲインＧｖ＝０．５とした。位相差のみをフィードフォワード制御した場合は、起動から加速領域において追従精度が改善されている。一方で、周波数のみをフィードフォワード制御した場合は、最高速度に達した後において追従精度が改善されている。これは、低速領域は位相差によって制御され、高速領域は周波数によって制御されるためである。
【００８１】
図１５（ｂ）は、ＰＩＤ演算部のみのフィードバック制御の場合と、位相差と周波数を個別にフィードフォワード制御した場合とを比較した。ここで、ＰＩＤ演算部の制御ゲインは図１５（ａ）と同じ値とし、位相差制御用の速度フィードフォワードゲインＧｖ１＝０．５、周波数制御用の速度フィードフォワードゲインＧｖ２＝０．００５とした。位相差と周波数を個別にフィードフォワード制御した場合は、全ての領域において追従精度が改善されている。
【００８２】
以上、本実施の形態によれば、短時間で加減速を行なっても高速で追従する事が可能な振動型アクチュエータのフィードフォワード制御方法を実現することができる。
【００８３】
（第３の実施の形態）
第１及び第２の実施の形態では、振動型アクチュエータの制御装置は、撮像装置のオートフォーカス用のレンズ駆動に用いる例を説明したが、本発明の適用例はこれに限定されない。例えば、図１６に示すように、手ぶれ補正時のレンズや撮像素子の駆動に用いることもできる。図１６（ａ）は、撮像装置６０の外観を示す平面図（上面図）である。また、図１６（ｂ）は、撮像装置６０の内部構造の概略図である。
【００８４】
撮像装置６０は、大略的に、本体６１と、本体６１に対して着脱自在なレンズ鏡筒６２とで構成されている。本体６１は、レンズ鏡筒６２を通過した光が結像した光学像を画像信号に変換するＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等の撮像素子６３と、撮像装置６０の全体的な動作を制御するカメラ制御マイコン６４を備える。レンズ鏡筒６２には、フォーカスレンズやズームレンズ等の複数のレンズＬが所定位置に配置されている。また、レンズ鏡筒６２には、像ぶれ補正装置５０が内蔵されており、像ぶれ補正装置５０は、円板部材５６、円板部材５６に設けられた振動子１１３を有し、円板部材５６の中央に形成されている穴部に、像ぶれ補正レンズ６５が配置されている。像ぶれ補正装置５０は、レンズ鏡筒６２の光軸と直交する面内で像ぶれ補正レンズ６５を移動させることができるように配置される。この場合、本発明の制御装置１０を用いて振動子１１３を駆動することで、鏡筒に固定されている被駆動部材１１４に対し、振動子１１３や円板部材５６が相対移動し、補正レンズが駆動される。
【００８５】
また、本願発明の制御装置は、ズーム用レンズの移動のためのレンズホルダの駆動に用いることもできる。したがって、本願発明の制御装置は、レンズ駆動用に、撮像装置に加えて、交換用レンズにも搭載することができる。
【００８６】
また、第１及び第２の実施の形態に示した、振動型アクチュエータの制御装置は、自動ステージの駆動にも用いることができる。例えば、図１７に示すように、顕微鏡の自動ステージの駆動に用いることができる。
【００８７】
図１７の顕微鏡は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部７０と、基台上に設けられ、振動型アクチュエータにより移動されるステージ７２を有する自動ステージ７１と、を有する。被観察物をステージ７２上に置いて、拡大画像を撮像部７０で撮影する。観察範囲が広範囲に有る場合には、第１または第２の実施の形態の制御装置１０を用いて振動型駆アクチュエータを駆動することで、ステージ７２を移動させる。これによって、被観察物を図中のＸ方向やＹ方向に移動させて、多数の撮影画像を取得する。不図示のコンピュータにて、撮影画像を結合し、観察範囲が広範囲で、かつ、高精細な１枚の画像を取得できる。
【符号の説明】
【００８８】
１０１  指令値生成手段
１０２  フィードバック演算部
１０３  フィードフォワード演算部
１０４  速度演算部
１０５  乗算器
１０６  制御量
１０７  位相差変換部
１０８  周波数変換部
１０９  位相差‐周波数判定部
１１０  電圧調整手段
１１１  交流信号生成手段
１１２  昇圧回路
１１３  振動子
１１４  被駆動部材
１１５  位置検出手段
１１６  相対位置
【図１】
0006667220.tif 000002
【図２】
0006667220.tif 000003
【図３】
0006667220.tif 000004
【図４】
0006667220.tif 000005
【図５】
0006667220.tif 000006
【図６】
0006667220.tif 000007
【図７】
0006667220.tif 000008
【図８】
0006667220.tif 000009
【図９】
0006667220.tif 000010
【図１０】
0006667220.tif 000011
【図１１】
0006667220.tif 000012
【図１２】
0006667220.tif 000013
【図１３】
0006667220.tif 000014
【図１４】
0006667220.tif 000015
【図１５】
0006667220.tif 000016
【図１６】
0006667220.tif 000017
【図１７】
0006667220.tif 000018