(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一端から第二端にかけて延びる柱状体であり、該柱状体の軸線に交わる方向に突出した第三端を有する、第一のセラミック焼結体からなる本体と、
該本体における内部に、前記第一端側から前記第二端側にわたるとともに、内部から前記第三端に向かって位置するスリット部とを備え、
該スリット部は、少なくとも前記第三端に面する部位に、前記第一のセラミック焼結体よりも破壊靭性が高い第二のセラミック焼結体からなる先端部材を有する塗工用ダイヘッド。
【請求項２】
前記第一のセラミック焼結体は、酸化アルミニウム質焼結体または炭化珪素質焼結体からなり、
前記第二のセラミック焼結体は、酸化ジルコニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体およびサイアロン質焼結体のいずれかからなる請求項１に記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項３】
前記第二のセラミック焼結体は、前記酸化ジルコニウム質焼結体からなり、前記酸化ジルコニウム質焼結体に含まれる酸化ジルコニウムの結晶のうち、正方晶の比率が８０％以上である請求項１または請求項２に記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項４】
前記第二のセラミック焼結体は、前記酸化ジルコニウム質焼結体からなり、安定化剤として酸化イットリウムを含み、さらに珪素およびチタンを含み、前記珪素および前記チタンを酸化物に換算した含有量がそれぞれ０．１質量％以下である請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項５】
前記第二のセラミック焼結体は、前記酸化ジルコニウム質焼結体からなり、平均結晶粒径が１μｍ以下（ただし、０μｍを除く）である請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項６】
前記先端部材は、前記スリット部の内面の少なくとも一部に露出した露出面を有し、該露出面における算術平均粗さ（Ｒａ）が０．５μｍ以下である請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項７】
前記本体と前記先端部材との間に、樹脂材料を主成分とする接合層が位置する請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項８】
前記先端部材は、前記本体に締結部材により締結されている請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項９】
前記本体は、第一本体部と第二本体部とを有し、
前記第一本体部と前記第二本体部との対向面が前記スリット部の内面を兼ねている請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項１０】
前記本体の内部において、前記第三端から、前記第一本体部と前記第二本体部との対向面に沿った終端である第四端に面する部位に後端部材を備え、
該後端部材が、前記第二のセラミック焼結体からなる請求項９に記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項１１】
前記本体は、前記スリット部に繋がる貯留部を備える請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項１２】
前記先端部材は、前記第三端から前記貯留部にわたる方向の長さが、前記第一端から前記第二端にわたって一定である請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載の塗工用ダイヘッド。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載の塗工用ダイヘッドと、
塗工液の供給機構とを備えてなる塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、塗工用ダイヘッドおよび塗工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、塗工用ダイヘッドとして、全体がステンレス等の金属からなる部材が一般的に用いられている。例えば特許文献１では、基材がステンレス金属からなり、被塗工物に対向するノズル先端部分に超硬合金のコーティング層が設けられた塗工用ダイヘッド（塗布ノズル）が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００７／０４９３４９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の塗工用ダイヘッドは、基材が例えばステンレス等の金属からなり、比重が大きいことから、塗工用ダイヘッドの重量が大きくなり、その取り付けと取り外しが容易ではないという問題があった。また、超硬合金のコーティング層が溶射により形成されていることから、コーティング層内のマイクロクラック、気孔等の空隙を十分低減することができず、塗工作業中において空隙から脱落した粒子（以下、脱粒ともいう。）が塗工液に混入してしまうという問題があった。脱粒が多く混入した塗工液を用いた場合、塗工膜は、不純物の多い品質の低い膜になってしまう。
【０００５】
本開示は上記問題に鑑み、金属と比べて軽量であり、かつ、塗工液への不純物の混入が少ない塗工用ダイヘッドおよび塗工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の塗工用ダイヘッドは、第一端から第二端にかけて延びる柱状体であり、この柱状体の軸線に交わる方向に突出した第三端を有する、第一のセラミック焼結体からなる本体と、この本体における内部に、第一端側から第二端側にわたるとともに、内部から第三端に向かって位置するスリット部とを備える。そして、スリット部は、少なくとも第三端に面する部位に、第一のセラミック焼結体よりも破壊靭性が高い第二のセラミック焼結体からなる先端部材を有する。
【０００７】
また、本開示の塗工装置は、上記構成の塗工用ダイヘッドと塗工液の供給機構とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の塗工用ダイヘッドは、比較的軽く、かつ塗工液への不純物の混入が少ない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の塗工用ダイヘッドの実施形態の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡＡ’線で切断した断面を含む斜視図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＢ部の拡大図であり、（ｄ）は（ｂ）におけるＣ部の拡大図である。
【図２】本開示の塗工用ダイヘッドの実施形態の他の例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＤＤ’線で切断した断面を含む斜視図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＥ部の拡大図であり、（ｄ）は（ｂ）におけるＦ部の拡大図である。
【図３】塗工用ダイヘッドの実施形態のさらに他の例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＧＧ’線で切断した断面を含む斜視図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＨ部の拡大図であり、（ｄ）は（ｂ）におけるＪ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図１〜図３面を参照して、本開示の実施形態の複数の例について詳細に説明する。ただし、本明細書の全図において、混同を生じない限り、同一部分には同一符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００１１】
図１〜図３に示す塗工用ダイヘッドは、第一端Ｅ１から第二端Ｅ２にかけて延びる柱状体であり、この柱状体の軸線（第一端Ｅ１から第二端Ｅ２にかけて延びる方向）に交わる方向に突出した第三端Ｅ３を有する、第一のセラミック焼結体からなる本体１を備える。ここで、第三端Ｅ３の突出方向は、被塗工物に向かっっていると言い換えることができるものである。
【００１２】
また、図１〜図３に示す塗工用ダイヘッドは、本体１における内部に、第一端Ｅ１側から第二端Ｅ２側にわたるとともに、内部から第三端Ｅ３に向かって位置する、被塗工物に向けて塗工液を吐出するスリット部ｓを備えている。さらに、スリット部ｓは、少なくとも第三端Ｅ３に面する部位に、第一のセラミック焼結体よりも破壊靭性が高い第二のセラミック焼結体からなる先端部材２（２ａ、２ｂ）を備えている。
【００１３】
そして、図１および図２に示す例において本体１は、第一本体部１ａと第二本体部１ｂとを有し、第一本体部１ａと第二本体部１ｂとの対向面４２がスリット部ｓの内面１２を兼ねている。また、図１〜図３に示す例において、塗工用ダイヘッドは、第一端Ｅ１側および第二端Ｅ２側にそれぞれ側板５ａ，５ｂを備えており、これらの側板５ａ，５ｂは、例えばボルト（図示しない）によって本体１に取り付けられている。
【００１４】
ここで、図１（ｂ）、図２（ｂ）および図３（ｂ）に示す符号３は、外部から供給された塗工液をスリット部ｓに供給するための貯留部である。図１（ｂ）および図２（ｂ）に示す例において貯留部３は、第一本体部１ａに形成された凹部と、第二本体部１ｂとの組み合わせにより貯留部３が形成されている。なお、第二本体部１ｂに形成された凹部と、第一本体部１aとの組み合わせにより貯留部３が形成されてもよく、第一本体部１ａおよ
び第二本体部１ｂのそれぞれに形成された凹部の組み合わせにより貯留部３が形成されてもよい。
【００１５】
スリット部ｓを構成する先端部材２は、本体１の第三端Ｅ３（Ｌ’）から貯留部３（Ｌ）にわたる方向の長さが、第一端Ｅ１から第二端Ｅ２わたって一定であってもよい。このような構成を満たすときには、塗工液を供給量のばらつきが少ないため、塗工膜厚 のば
らつきを抑えることができる。
【００１６】
スリット部ｓの間隔は、例えば、４０μｍ以上６００μｍ以下であり、スリット部ｓの長さ（第一端Ｅ１から第二端Ｅ２の長さ）は、例えば、０．１ｍ以上３ｍ以下であり、スリット部ｓの幅（第三端Ｅ３（Ｌ’）から貯留部３（Ｌ）までの長さ）は、例えば、５ｍｍ以上１００ｍｍ以下である。
【００１７】
また、第三端Ｅ３の反対に位置する第四端Ｅ４側は、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂの間、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂの対向面４２間に閉塞部材６が位置し、塗工液が第四端Ｅ４側から流出しないようされている。なお、塗工液を吐出する第三端Ｅ３を先端とすれば、第四端Ｅ４は後端と呼べるものであり、以下においては、第三端Ｅ３を先端、第四端Ｅ４は後端と記載する場合がある。図１（ｂ）および図２（ｂ）に示す例では、第
一本体部１ａにおける、貯留部３を挟んで先端側および後端側にそれぞれ位置するスリット部ｓの
１２と対向面４２とは同一平面上に位置する。
【００１８】
また、第二本体部１ｂにおける、先端側に位置するスリット部ｓの内面１２とその後端側に位置する貯留部３の内面、さらにその後端側に位置する対抗面４２は、同一平面である。すなわち、閉塞部材６はスリット部ｓを形成するためのスペーサとしても機能しており、閉塞部材６の厚みとスリット部ｓの間隔とが略同一となっている。本実施形態における閉塞部材６は、貯留部３から後端まで繋がっており、第一本体部１ａおよび第二本体部１ｂの対向面４２の全体と当接している。なお、塗工液が流出しなければ、閉塞部材６は必ずしも第一本体部１ａおよび第二本体部１ｂの対向面４２の全体と当接している必要はなく、対向面４２の間に空間が配置されていてもよい。
【００１９】
塗工用ダイヘッドにおけるスリット部ｓの第三端Ｅ３に面する部位（先端面１１）は、被塗工物に近接する部位であり、接触によって割れや欠けが発生し易い部分である。特に、先端面１１からスリット部ｓの内面１２にかけての部位である角部３０は、被塗工物との衝突によって割れや欠けが発生し易い。また、塗工液であるスラリーが、比較的硬度が高い粉体を含む場合、角部３０を含む先端面１１は、摩耗しやすい部位といえる。本実施形態の場合、先端部材２ａ，２ｂが本体１を構成する第一のセラミック焼結体よりも破壊靭性が高い第二のセラミック焼結体からなるので、塗工用ダイヘッドが例えば被塗工物と接触した場合もこの接触による破損等が抑制される。塗工作業中において、塗工液によって生じる摩耗粉を少なくするには、スリット部ｓの内面１２が先端部材２ａ，２ｂの表面で形成されていることが好適である。
【００２０】
破壊靭性とは、ＪＩＳ  Ｒ  １６０７−２０１０で規定するＩＦ法によって計測した破壊靭性値ＫＩＣとして示される。第一のセラミック焼結体からなる本体１の破壊靭性値ＫＩＣは、３ＭＰａ・ｍ０．５以上４ＭＰａ・ｍ０．５未満の範囲が好ましい。また、第二のセラミック焼結体からなる先端部材２の破壊靭性値ＫＩＣは４ＭＰａ・ｍ０．５以上８ＭＰａ・ｍ０．５以下の範囲が好ましい。
【００２１】
第一本体部１ａ、第二本体部１ｂは、酸化アルミニウム質焼結体または炭化珪素質焼結体からなる第一のセラミック焼結体からなり、先端部材２は、酸化ジルコニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体およびサイアロン質焼結体のいずれかからなる第二のセラミック焼結体からなることが好ましい。
【００２２】
これらのセラミック焼結体は、例えばステンレスよりも比重が小さく、これらのセラミック焼結体を用いた塗工用ダイヘッドは比較的軽く、作業者が取り扱い易い。
【００２３】
酸化アルミニウム質焼結体または炭化珪素質焼結体からなる第一のセラミック焼結体は、比較的安価かつ軽量でありながら機械的強度が高い。そのため、酸化アルミニウム質焼結体または炭化珪素質焼結体からなる本体１を備える塗工用ダイヘッドは、機械的強度が比較的高くかつ比較的軽量であり、比較的安価に作製することができる。
【００２４】
酸化ジルコニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体およびサイアロン質焼結体のいずれかからなる第二のセラミック焼結体は、比較的安価でかつ耐摩耗性が他の多くのセラミック焼結体と比べて高い。そのため、塗工液に比較的硬度が高い金属の粉末が含まれる場合において、塗工作業中における塗工液との接触による摩耗を抑制することができる。
【００２５】
第一本体部１ａ、第二本体部１ｂが酸化アルミニウム質焼結体からなる場合には、先端部材２は、例えば、酸化ジルコニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体、サイアロン質焼結体
、炭化珪素質焼結体、炭窒化珪素質焼結体、炭化チタン質焼結体、窒化チタン質焼結体もしくは炭窒化チタン質焼結体、または酸化アルミニウムと、炭化チタン、窒化チタンおよび酸化ジルコニウムの少なくともいずれかとからなる複合焼結体等を用いてもよい。
【００２６】
また、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂが炭化珪素質焼結体からなる場合には、先端部材２は、例えば、窒化珪素質焼結体、サイアロン質焼結体、炭窒化珪素質焼結体、炭化チタン質焼結体、窒化チタン質焼結体もしくは炭窒化チタン質焼結体、または酸化アルミニウムと、炭化チタン、窒化チタンおよび酸化ジルコニウムの少なくともいずれかとからなる複合焼結体等を用いてもよい。
【００２７】
ここで、複合焼結体とは、例えば、酸化アルミニウムが６０質量％以上７０質量％以下であり、炭化チタン、窒化チタンおよび酸化ジルコニウムの少なくともいずれかが３０質量％以上４０質量％以下のセラミック焼結体である。
【００２８】
なお、第一のセラミック焼結体において、例えば、酸化アルミニウム質焼結体なるとは、第一のセラミック焼結体を構成する成分１００質量％のうち、酸化アルミニウムが８０質量％以上を占めることをいう。
【００２９】
また、第二のセラミック焼結体において、例えば、酸化ジルコニウム質焼結体なるとは、第二のセラミック焼結体を構成する成分１００質量％のうち、酸化ジルコニウムが８０質量％以上を占めることをいう。
【００３０】
第一のセラミック焼結体および第二のセラミック焼結体を構成する各成分の含有量は、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）を用いて、成分を同定した後、蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）を用いて、元素の含有量を求め、同定された成分に換算すればよい。例えば、ＸＲＤにおいて、酸化アルミニウムが同定されたときは、ＸＲＦによりＡｌの含有量を求めた後、Ａｌ２Ｏ３に換算し、この換算によって求められたＡｌ２Ｏ３の含有量が８０質量％以上であれば、対象物は酸化アルミニウム質焼結体である。
【００３１】
また、先端部材２は、酸化ジルコニウム質焼結体からなり、酸化ジルコニウムを構成する結晶構造のうち、正方晶の比率が８０％以上であることが好適である。
【００３２】
このような構成を満たすときには、応力が先端部材２に繰り返しかかっても、応力誘起変態が発生しにくいため、機械的強度が低下しにくい。
【００３３】
正方晶の比率は、ＸＲＤを用いて酸化ジルコニウム質焼結体にＣｕＫα線を照射して、回折角２θが２０〜８０゜の範囲で測定した後、得られたＸ線回折パターンからリートベルト法を用いることによって算出される。
【００３４】
また、先端部材２は、酸化ジルコニウム質焼結体からなり、安定化剤として酸化イットリウムを含み、さらに珪素およびチタンを含み、珪素およびチタンを酸化物に換算した含有量がそれぞれ０．１質量％以下であることが好適である。
【００３５】
このような構成を満たすときには、先端部材２が温度の高い塗工液に繰り返し曝されても、珪素およびチタンの酸化物を含む粒界相の占める体積が少ないため、この粒界相内に酸化イットリウムが固溶しにくくなり、高温での耐久性が向上する。
【００３６】
また、先端部材２を構成する第二のセラミック焼結体は、酸化ジルコニウム質焼結体からなり、平均結晶粒径が１μｍ以下（ただし、０μｍを除く）であることが好適である。
【００３７】
このような構成を満たすときには、結晶粒子間の空隙が減少して、塗工液の空隙への浸入によって生じる粘度のばらつきを抑制することができ、安定した塗工を行うことができる。
【００３８】
第二のセラミック焼結体の平均結晶粒径を求めるには、まず、第二のセラミック焼結体の破断面が鏡面になるまで研磨し、サーマルエッチングする。サーマルエッチングにより得られた面を測定面とし、走査型電子顕微鏡を用いて５０００〜１００００倍の倍率で撮影して画像を得る。画像内の任意の点を中心として、１本当たりの長さが、例えば、８μｍである直線を３０°間隔で６本引き、この６本の直線上に存在する結晶の個数をこれら直線の合計長さで除すことで求めることができる。
【００３９】
また、先端部材２は、スリット部ｓの内面１２の少なくとも一部に露出した露出面を有し、この露出面における算術平均粗さＲａが０．５μｍ以下であることが好適である。ここで、先端部材２における露出面とは、スリット部ｓの内面１２の一部である。そして、先端部材２における露出面の算術平均粗さＲａが０．５μｍ以下である場合、この露出面には、脱粒が発生し易い凹凸や気孔等が少ないため、振動等を受けても脱粒が生じ難く、塗工液への不純物の混入ひいては塗工作業における不具合もより確実に抑制することができる。スリット部ｓの内面１２において、先端部材２における露出面の面積比率が高いことが好適である。
【００４０】
特に、先端部材２の露出面における算術平均粗さＲａは、０．４μｍ以下であることが好適である。算術平均粗さＲａとは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２０１３（ＩＳＯ  ４２８７：１９９７，Ａｍｄ．１：２００９）に準拠して触針式の表面粗さ計を用い、測定長さを５ｍｍ、カットオフ値を０．８ｍｍ、触針先端半径を２μｍ、触針の走査速度を０．５ｍｍ／秒として５箇所を測定した値の平均値のことである。
【００４１】
また、本体１と先端部材２との間に、樹脂を主成分とする接合層（不図示）が位置していることが好適である。すなわち先端部材２ａ，２ｂは、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂに樹脂を主成分とする接合層を介して接合されてなることが好適である。このような構成を満たすときには、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂと先端部材２ａ，２ｂとの間に樹脂を主成分とする接合層剤が充填されて接合されるため、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂと先端部材２ａ，２ｂとの間に空隙（隙間）が生じることを抑制することができる。これにより、第一本体部１ａ、第二本体部１ｂと先端部材２ａ，２ｂとの間に空隙（隙間）がある場合に発生する塗工液の入り込みが抑制され、厚みのばらつき等の塗工膜の不具合を抑制することができる。樹脂を主成分とする接着剤としては、例えば、エポキシ系の有機接着剤を用いることができる。
【００４２】
ここで、接合層における主成分とは、接合層を構成する成分のうち、８０質量％以上を占める成分をいい、ガスクロマトグラフィー質量分析法によって同定、定量化することができる。
【００４３】
また、先端部材２ａ，２ｂは、本体１に締結部材によって締結されていてもよい。締結部材による締結は、例えば、ボルトによる締結等が挙げられる。ボルトなどにより締結した場合、先端部材２ａ，２ｂと第一本体部１ａ、第二本体部１ｂとの締結状態の長期的信頼性をより高めることができ、比較的多くの回数にわたって連続的に塗工を繰り返すことができる。特に、接着剤による接合層を用いた接合と締結部材による締結とが併用されていることが好適である。
【００４４】
上述のように、図１および図２に示す実施形態では、本体１は、一対の第一本体部１ａおよび第二本体部１ｂを備えており、このような構成によれば、塗工作業を繰り返した後
、定期的に第一本体部１ａと第二本体部１ｂとを分解し、それぞれの対向面を研磨して平面度を高めるなどのメンテナンスを比較的簡単に実施することができ、長期的な信頼性をさらに高めることができる。
【００４５】
またこの場合、図２に示すように、本体１の内部において、第三端Ｅ３から、第一本体部１ａと第二本体部１ｂとの対向面に沿った終端である第四端Ｅ４に面する部位に後端部材４（４ａ，４ｂ）をさらに備えるのが好適である。後端部材４ａ，４ｂは、後端（第四端Ｅ４）面４１の少なくとも一部、および対向面４２の少なくとも一部を構成する。そして、後端部材４ａ，４ｂの主成分が先端部材２ａ，２ｂのセラミック焼結体と同じセラミック焼結体からなることが好適である。
【００４６】
このような構成であると、例えば上述のメンテナンス等で本体１のスリット部ｓの内面１２を研磨する場合、同一平面上に位置する先端部材２ａ，２ｂの耐摩耗性と後端部材４ａ，４ｂの耐摩耗性とが同等レベルであるので、この研磨での偏摩耗等を抑制し易い。すなわちメンテナンス時の研磨において、特別な研磨条件の設定を行わなくとも、うねりが少なく、平面度の良好な内面１２が得られるので、供給量のばらつきが抑えられた状態で塗工液を被塗工物に供給することができる。
【００４７】
同様の理由から、貯留部３となる凹部を有する一方の本体部１（第一本体部１ａまたは第二本体部１ｂ）のスリット部ｓにおける後端（第四端Ｅ４）側にも、スリット部ｓの内面１２の一部を構成するセラミック焼結体からなる中間部材が取り付けられることが好適である。
【００４８】
なお、スリット部ｓの内面１２の研磨等のメンテナンスの必要が少ない用途で使用する場合など、図３に示す実施形態のように、本体部１が１つのセラミック 焼結体で形成さ
れた構成であってもよい。
【００４９】
このような塗工用ダイヘッドは、例えば被塗工物の表面に感熱性膜、導電性膜、低反射導電膜、紫外線防止膜、電磁波防止膜、保護膜または磁性膜に代表される各種の被膜を形成するための塗工装置等に用いることができる。上述した各実施形態の塗工用ダイヘッドを用いた塗工装置では、塗工用ダイヘッドのメンテナンスが比較的容易で、かつ塗工用ダイヘッドの割れや欠け等の破損が発生し難く、また被膜内の不純物等も少ない。
【００５０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものでない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行なってもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５１】
１  本体
１ａ  第一本体部
１ｂ  第二本体部
Ｅ１  第一端
Ｅ２  第二端
Ｅ３  第三端
Ｅ４  第四端
２（２ａ，２ｂ）  先端部材
３  貯留部（凹部）
４（４ａ，４ｂ）  後端部材
５ａ，５ｂ  側板
６    閉塞部材
１２  スリット部の内面
３０  角部
４２  対向面
ｓ    スリット部
【図１】
0006680647.tif 000002
【図２】
0006680647.tif 000003
【図３】
0006680647.tif 000004