(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに穿孔を行う第１穿孔ユニットと、
第１方向及び該第１方向と交差する第２方向のそれぞれに移動可能な移動部と、
該移動部を移動可能に支持する支持部と、
前記移動部に固定されて該移動部と共に移動可能であって前記ワークに穿孔を行う第２穿孔ユニットと、
前記第１方向及び前記第２方向の双方と交差する第３方向に沿って直線運動して前記移動部及び前記支持部の一方を他方に押し付けることで前記移動部の移動を制限する制動機構と、
前記第１穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第１穿孔位置と前記第２穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第２穿孔位置とを検出する検出部と、
前記移動部の前記第１方向における位置を調整する第１調整機構と、
前記移動部の前記第２方向における位置を調整する第２調整機構と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記第１調整機構と前記第２調整機構とを制御する制御部と
を備える穿孔装置。
【請求項２】
前記支持部において前記移動部を支持する支持面と、前記移動部において前記支持部に支持される被支持面と、のうち少なくとも一方の面には、
空気が流動可能な空気流路が開口する請求項１に記載の穿孔装置。
【請求項３】
前記第１調整機構と前記第２調整機構は、前記第１方向に位置をずらして設けられる請求項１又は請求項２に記載の穿孔装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばセラミックグリーンシートなどのワークに穿孔する穿孔装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｘ方向（第１方向）に並列状に配置された複数の穿孔ユニットと、各穿孔ユニットが穿孔する穿孔位置の間隔をＸ方向に微調整するためのＸ軸操作盤と、Ｙ方向（第２方向）に微調整するためのＹ軸操作部材とを備えた穿孔装置が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１９０２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、穿孔ユニットは、ユニットベース（支持部）上に配置されてＸ方向とＹ方向に微調整された後、ボルトとナットによりユニットベースに固定されていた。そのため、ボルトの締め付け方向（第３方向）に作用する押圧力が十分に大きくなる前に、ボルトの回動に伴ってＸ方向やＹ方向にも力が作用する。その結果、穿孔ユニットの姿勢が変化し、穿孔位置がずれてしまうことがあった。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、穿孔位置のずれを抑制しつつ位置合わせできる穿孔装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する穿孔装置は、ワークに穿孔を行う第１穿孔ユニットと、第１方向及び該第１方向と交差する第２方向のそれぞれに移動可能な移動部と、該移動部を移動可能に支持する支持部と、前記移動部に固定されて該移動部と共に移動可能であって前記ワークに穿孔を行う第２穿孔ユニットと、前記第１方向及び前記第２方向の双方と交差する第３方向に沿って直線運動して前記移動部及び前記支持部の一方を他方に押し付けることで前記移動部の移動を制限する制動機構とを備える。
【０００７】
この構成によれば、制動機構は、第３方向に沿って直線運動して移動部及び支持部の一方を他方に押し付けることにより、移動部が第１方向及び第２方向へ移動するのを抑制しつつ移動部の移動を制限できる。したがって、穿孔位置のずれを抑制しつつ位置合わせできる。
【０００８】
上記穿孔装置において、前記支持部において前記移動部を支持する支持面と、前記移動部において前記支持部に支持される被支持面と、のうち少なくとも一方の面には、空気が流動可能な空気流路が開口するのが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、空気流路に空気を送り込むと、支持面と被支持面とのうち少なくとも一方の面に形成された開口から空気が吹き出す。これにより、支持面と被支持面との間の摩擦力が低減され、移動部を容易に移動させることができる。
【００１０】
上記穿孔装置は、前記第１穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第１穿孔位置と前記第２穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第２穿孔位置とを検出する検出部と、前記移動部の前記第１方向における位置を調整する第１調整機構と、前記移動部の前記第２方向における位置を調整する第２調整機構と、前記検出部の検出結果に基づいて前記第１調整機構と前記第２調整機構とを制御する制御部とをさらに備えるのが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、検出部の検出結果に基づいて制御部が第１調整機構と第２調整機構を制御して移動部の位置を調整するため、第１穿孔位置に対する第２穿孔位置の位置合わせを自動で行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、穿孔位置のずれを抑制しつつ位置合わせできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】穿孔装置の一実施形態の模式平面図。
【図２】穿孔ユニットと調整装置の模式側面図。
【図３】調整装置の模式斜視図。
【図４】調整装置の模式正面図。
【図５】図３における５−５線矢視断面図。
【図６】制御部のブロック図。
【図７】制動機構の第１変形例の模式断面図。
【図８】制動機構の第２変形例の模式断面図。
【図９】制動機構の第３変形例の模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、穿孔装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
図１に示すように、穿孔装置１１は、平面視で略矩形状の機台１２と、ワークＷを移動させる移動機構１３と、ワークＷに穿孔を行う複数（本実施形態では２つ）の穿孔ユニット１４が着脱可能に取り付けられる基部１５とを備えている。また、穿孔装置１１は、位置決めの基準となる第１穿孔ユニット１４ａに対して第２穿孔ユニット１４ｂの位置を調整する少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の調整装置１６を備えている。すなわち、調整装置１６は、第２穿孔ユニット１４ｂを移動させることにより、第１穿孔ユニット１４ａ及び第２穿孔ユニット１４ｂの間隔を調整する。なお、本実施形態の第１穿孔ユニット１４ａと第２穿孔ユニット１４ｂの構成は同じである。さらに、基部１５には、例えば穿孔されたワークＷを撮像することにより、第１穿孔ユニット１４ａと第２穿孔ユニット１４ｂの穿孔位置を検出するカメラなどの検出部１７が取り付けられている。
【００１５】
そして、以下の説明では、穿孔装置１１及び穿孔装置１１に取り付けられた状態の調整装置１６において、複数の穿孔ユニット１４の並び方向を第１方向の一例であるＸ方向とし、Ｘ方向と交差する方向を第２方向の一例であるＹ方向とする。さらに、Ｘ方向及びＹ方向の双方と交差する方向を第３方向の一例である高さ方向Ｚとする。なお、本実施形態の高さ方向Ｚは、鉛直方向に沿う方向であり、Ｘ方向、Ｙ方向、及び高さ方向Ｚはそれぞれ直交している。
【００１６】
移動機構１３は、Ｙ方向に沿って設けられた第１ボールねじ１８と、第１ボールねじ１８の駆動に伴ってＹ方向に移動するテーブル部１９と、Ｘ方向に沿ってテーブル部１９に設けられた第２ボールねじ２０とを備えている。そして、第２ボールねじ２０には、ワークＷを着脱可能に保持する保持部２１が接続されている。すなわち、ワークＷ及び保持部２１は、第１ボールねじ１８の駆動に伴ってＹ方向に移動されると共に、第２ボールねじ２０の駆動に伴ってＸ方向に移動される。
【００１７】
図２に示すように、穿孔ユニット１４は、高さ方向Ｚの略中央部にＹ方向に沿って形成された切欠部２３を有する本体部２４と、ワークＷを穿孔するパンチ２５及びダイ２６と、パンチ２５を打動する打動機構２７とを備えている。なお、本実施形態におけるパンチ２５は、穿孔ユニット１４のＸ方向における略中央位置に設けられている。
【００１８】
さらに、本体部２４の底面２４ａには、例えば頭部のない寸切ボルトなどのボルト２８が挿通される挿通孔２９が形成されていると共に、本体部２４の側面には、ボルト２８の一端（上端）側に螺合するナット３０を外部に露出させる窓部３１が形成されている。
【００１９】
また、調整装置１６には、ボルト２８の他端（下端）側に螺合する座付ナット３２と係合する溝部３３が形成されている。すなわち、第２穿孔ユニット１４ｂは、ボルト２８、ナット３０、及び座付ナット３２により調整装置１６に固定されている。
【００２０】
さらに、調整装置１６は、溝部３３が形成されてＸ方向及びＹ方向のそれぞれに移動可能な移動部３５と、移動部３５を移動可能に支持する支持部３６とを備えている。なお、溝部３３は、開口面積が底面積よりも小さい所謂Ｔ溝であり、Ｘ方向に沿って形成されている。
【００２１】
図３に示すように、移動部３５の上面３５ａにおけるＹ方向の両端部には、Ｙ方向に沿って延びる複数の凸部及び凹部により第２穿孔ユニット１４ｂをＹ方向に案内する案内部３７が形成されている。さらに、Ｙ方向における溝部３３の両側の位置であって、溝部３３と案内部３７との間には、目盛３８が付けられたプレート３９がそれぞれ固定されている。そして、高さ方向Ｚにおいてプレート３９と支持部３６との間の位置には、高さ方向Ｚに直線運動して移動部３５及び支持部３６の一方を他方に押し付けることで移動部３５の移動を制限する少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の制動機構４０が設けられている。
【００２２】
また、調整装置１６は、移動部３５のＸ方向における位置を調整する第１調整機構４１と、移動部３５のＹ方向における位置を調整する第２調整機構４２とを備えている。なお、第１調整機構４１と第２調整機構４２は、Ｘ方向に位置をずらして隣り合うように設けられている。
【００２３】
第１調整機構４１は、Ｙ方向に沿って設けられた第１ねじ軸４５を正回転もしくは逆回転させる例えばモーターなどの第１駆動源４６と、第１ねじ軸４５が回動するのに伴ってＹ方向に往復移動可能な第１可動部４７とを備えている。
【００２４】
さらに、第１調整機構４１は、第１可動部４７に固定されたブロック４８及びブロック４８を案内する案内レール４９を有する第１直動ガイド５０Ａと、Ｘ方向にスライド移動可能に設けられたスライド部５１とを備えている。なお、第１直動ガイド５０Ａの案内レール４９は、Ｘ方向及びＹ方向の双方に対して斜め（例えば４５度）に設けられ、スライド部５１に固定されている。そして、スライド部５１と移動部３５は、Ｙ方向に沿って形成されたレール状の接続部（図示略）を介して接続されており、Ｘ方向に対しては一体的に移動し、Ｙ方向に対しては個別に移動可能に設けられている。
【００２５】
また、第２調整機構４２は、Ｙ方向に沿って設けられた第２ねじ軸５３を正回転もしくは逆回転させる例えばモーターなどの第２駆動源５４と、第２ねじ軸５３が回動するのに伴ってＹ方向に往復移動可能な第２可動部５５とを備えている。なお、第２可動部５５は、移動部３５に固定されている。また、スライド部５１及び第２調整機構４２は、案内レール４９がＸ方向に沿うように設けられた少なくとも１つ（本実施形態では３つ）の第２直動ガイド５０Ｂにそれぞれ支持されている。
【００２６】
図４に示すように、基部１５は、第１穿孔ユニット１４ａを取り付け可能な第１基準取付部５７及び第２基準取付部５８を有している。さらに、基部１５は、Ｘ方向において第１基準取付部５７と第２基準取付部５８の間に位置し、調整装置１６が有する支持部３６を取り付け可能な取付部５９を有している。
【００２７】
一方、第１穿孔ユニット１４ａが固定される台座６０には、第１基準取付部５７及び第２基準取付部５８と係合可能な基準取付溝６１が形成されていると共に、支持部３６には、取付部５９と係合可能な取付溝６２が形成されている。なお、第１基準取付部５７、第２基準取付部５８、及び取付部５９は、先端部のＸ方向における幅が基端部よりも大きい正面視略Ｔ字状でＹ方向に沿って形成された凸条である。そして、基準取付溝６１及び取付溝６２は、所謂Ｔ溝であり、Ｙ方向に沿って形成されている。
【００２８】
第１穿孔ユニット１４ａは、第１基準取付部５７及び第２基準取付部５８の一方を選択して取り付けられる。すなわち、図４に実線で示すように、第１穿孔ユニット１４ａが第１基準取付部５７に取り付けられた場合、第１穿孔ユニット１４ａのパンチ２５がＸ方向において第１基準穿孔位置Ａ１（第１穿孔位置の一例）に位置する。また、図４に二点鎖線で示すように、第１穿孔ユニット１４ａが第２基準取付部５８に取り付けられた場合、第１穿孔ユニット１４ａのパンチ２５が第２基準穿孔位置Ａ２（第１穿孔位置の一例）に位置する。そして、Ｘ方向において第１基準取付部５７に取り付けられた第１穿孔ユニット１４ａがワークＷに穿孔する第１基準穿孔位置Ａ１と、第２基準取付部５８に取り付けられた第１穿孔ユニット１４ａがワークＷに穿孔する第２基準穿孔位置Ａ２との中央の位置を中央位置Ａ３とする。
【００２９】
また、移動部３５は、Ｘ方向において図４に実線で示す位置と図４に二点鎖線で示す位置との間を移動可能に設けられている。そのため、移動部３５に固定されて移動部３５と共に移動可能な第２穿孔ユニット１４ｂのパンチ２５の位置であり、第２穿孔位置の一例である相対穿孔位置Ｂは、第１相対穿孔位置Ｂ１と第２相対穿孔位置Ｂ２との間の範囲である穿孔範囲Ｃ内に位置可能である。そして、調整装置１６は、穿孔範囲Ｃが、Ｘ方向において中央位置Ａ３と重なるように配置されている。
【００３０】
そして、Ｘ方向において第１基準穿孔位置Ａ１と中央位置Ａ３との距離、及び第２基準穿孔位置Ａ２と中央位置Ａ３との距離を第１距離Ｌ１とする。さらに、Ｘ方向において第１基準穿孔位置Ａ１と第２相対穿孔位置Ｂ２までの距離を第２距離Ｌ２、中央位置Ａ３と第１相対穿孔位置Ｂ１との距離を第３距離Ｌ３とする。
【００３１】
すると、第１基準穿孔位置Ａ１と相対穿孔位置Ｂとが取り得る第１間隔Ｄ１は、Ｌ２≦Ｄ１≦Ｌ１＋Ｌ３で表される。また、第２基準穿孔位置Ａ２と相対穿孔位置Ｂとが取り得る第２間隔Ｄ２は、Ｌ１−Ｌ３≦Ｄ２≦Ｌ１＋Ｌ１−Ｌ２で表される。すなわち、中央位置Ａ３が穿孔範囲Ｃ内に位置する場合には、Ｌ１＋Ｌ３≧Ｌ１−Ｌ３となり、第１間隔Ｄ１と第２間隔Ｄ２のそれぞれが取り得る範囲は連続する。
【００３２】
図５に示すように、支持部３６には、空気が流動可能な空気流路６４が、移動部３５を支持する支持面３６ａに開口するように形成されている。また、移動部３５において支持部３６に支持される被支持面３５ｂは、金属に比べて摩擦係数が小さく滑りやすい例えば樹脂性の滑り部６５により形成されている。
【００３３】
そして、制動機構４０は、プレート３９と支持部３６との間に形成された収容空間６７に収容されている。この制動機構４０は、支持部３６に固定されたピストン６８と、ピストン６８に対して高さ方向Ｚに相対移動可能に設けられたシリンダー６９とを備えている。さらに、制動機構４０は、ピストン６８とシリンダー６９とにより形成される容積可変の流体室７０と、流体の一例である空気を加圧する変圧機構の一例である加圧機構７１と流体室７０とを接続する接続流路７２とを備えている。なお、加圧機構７１には、空気流路６４も接続され、空気流路６４には、空気の流動を許容もしくは制限する第１弁７３ａが設けられている。また、接続流路７２には、第２弁７３ｂが設けられている。
【００３４】
なお、ピストン６８とシリンダー６９、及び接続流路７２は、流体室７０の気密性を高めるためにシールされている。また、シリンダー６９は、移動部３５のＸ方向及びＹ方向の移動を許容するように収容空間６７の周壁と隙間を有して設けられている。
【００３５】
ピストン６８は、ロッド部７４の基端に形成された雄ねじ部７５が、支持部３６に形成された雌ねじ部７６に螺合することにより支持部３６に固定されている。そして、接続流路７２は、雄ねじ部７５と雌ねじ部７６の軸中心に開口するようにピストン６８及び支持部３６に形成されている。そのため、ピストン６８が支持部３６に固定されることによりピストン６８に形成された接続流路７２と支持部３６に形成された接続流路７２とが連通する。
【００３６】
また、移動部３５は、シリンダー６９と係合可能な係合部７７を有している。係合部７７は、平面視で円形状の収容空間６７の周壁から中心に向かって突出するように円環状に形成され、高さ方向Ｚにおいてシリンダー６９と支持部３６との間に位置している。そして、係合部７７においてシリンダー６９と接触可能な部分には、移動部３５に比べて剛性の高い堅牢部７８が設けられている。
【００３７】
次に穿孔装置１１及び調整装置１６の電気的構成について説明する。
図６に示すように、調整装置１６は、第１基準穿孔位置Ａ１もしくは第２基準穿孔位置Ａ２と、相対穿孔位置Ｂとの理想の間隔である穿孔間隔を入力するための例えばタッチパネルやボタン、外部機器と接続される接続部などの入力部８０を備えている。また、調整装置１６は、検出部１７の検出結果に基づいて第１調整機構４１と第２調整機構４２とを制御する制御部８３を備えている。なお、制御部８３は、穿孔ユニット１４や加圧機構７１など穿孔装置１１及び調整装置１６における各機構の駆動も統括的に制御する。
【００３８】
すなわち、制御部８３は、検出部１７により実際に検出された検出位置に基づく検出間隔と、入力された穿孔間隔とに基づいて第１駆動源４６及び第２駆動源５４の駆動を制御し、第２穿孔ユニット１４ｂの位置を調整する。さらに、制御部８３は、加圧機構７１、第１弁７３ａ及び第２弁７３ｂの駆動を制御することにより移動部３５の移動を制限もしくは許容する。
【００３９】
次に第２穿孔ユニット１４ｂを第１穿孔ユニット１４ａに対して位置合わせする場合の穿孔装置１１の作用について説明する。なお、第１穿孔ユニット１４ａは、第１基準取付部５７に取り付けられているものとする。
【００４０】
図１，図２に示すように、第２穿孔ユニット１４ｂは、Ｘ方向に大まかに位置決めされた状態で移動部３５の上面３５ａに配置される。さらに、第２穿孔ユニット１４ｂは、案内部３７に沿ってＹ方向に大まかに位置決めされた後、ナット３０が締められて移動部３５に固定される。そして、制御部８３は、移動機構１３及び穿孔ユニット１４の駆動を制御してワークＷに穿孔を行い、さらに穿孔されたワークＷを検出部１７に撮像させる。
【００４１】
制御部８３は、撮像された画像データに基づいて第１基準穿孔位置Ａ１と相対穿孔位置Ｂとの間隔である検出間隔を取得する。さらに、制御部８３は、入力部８０により入力された穿孔間隔と検出間隔が異なる場合に、第１駆動源４６及び第２駆動源５４を駆動して第２穿孔ユニット１４ｂの位置を調整する。
【００４２】
すなわち、図３〜図５に示すように、まず制御部８３は、第１弁７３ａを開弁すると共に、第２弁７３ｂを閉弁し、加圧機構７１を駆動する。すると、加圧機構７１により加圧された空気が空気流路６４の開口から噴出し、移動部３５と支持部３６との摩擦係数が小さくなる。
【００４３】
そして、Ｘ方向における検出間隔が穿孔間隔よりも大きい場合には、制御部８３は、第１駆動源４６を正転駆動する。すると、第１可動部４７は、第１駆動源４６から離れるようにＹ方向に沿って移動し、第１可動部４７の移動に伴ってスライド部５１がＸ方向に沿って第１基準穿孔位置Ａ１側に移動する。そのため、移動部３５は、スライド部５１により押圧されて第１基準取付部５７側に移動し、移動部３５に固定された第２穿孔ユニット１４ｂの相対穿孔位置Ｂと第１基準穿孔位置Ａ１のＸ方向における間隔が小さくなる。
【００４４】
また、Ｘ方向における検出間隔が穿孔間隔よりも小さい場合には、制御部８３は、第１駆動源４６を逆転駆動する。すると、第１可動部４７は、第１駆動源４６に近づくようにＹ方向に沿って移動し、第１可動部４７の移動に伴ってスライド部５１は、Ｘ方向に沿って第２基準穿孔位置Ａ２側に移動する。そのため、スライド部５１は、移動部３５及び移動部３５に固定された第２穿孔ユニット１４ｂを第１穿孔ユニット１４ａから離れる方向に牽引し、第１基準穿孔位置Ａ１と相対穿孔位置ＢのＸ方向における間隔が大きくなる。
【００４５】
一方、Ｙ方向における第２穿孔ユニット１４ｂの位置を調整する場合には、制御部８３は、第２駆動源５４を駆動する。すなわち、第２駆動源５４を正転駆動すると、第２可動部５５、移動部３５、及び第２穿孔ユニット１４ｂは、第２駆動源５４から離れるようにＹ方向に沿って移動する。また、第２駆動源を逆転駆動すると、第２可動部５５、移動部３５、及び第２穿孔ユニット１４ｂは、第２駆動源５４に近づくようにＹ方向に沿って移動する。
【００４６】
図５に示すように、第２穿孔ユニット１４ｂの位置決めが完了すると、制御部８３は、第１弁７３ａを閉弁すると共に、第２弁７３ｂを開弁する。すると、加圧機構７１により加圧された空気が流体室７０内に流入する。そのため、シリンダー６９は、流体室７０内の圧力が高くなるのに伴って高さ方向Ｚに直線運動し、堅牢部７８及び係合部７７を高さ方向Ｚに沿うように支持部３６側に押圧する。すなわち、制動機構４０は、移動部３５の移動を制限する。
【００４７】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）制動機構４０は、高さ方向Ｚに沿って直線運動して移動部３５を支持部３６に押し付けることにより、移動部３５がＸ方向及びＹ方向へ移動するのを抑制しつつ移動部３５の移動を制限できる。したがって、相対穿孔位置Ｂのずれを抑制しつつ位置合わせできる。
【００４８】
（２）空気流路６４に空気を送り込むと、支持面３６ａに形成された開口から空気が吹き出す。これにより、支持面３６ａと被支持面３５ｂとの間の摩擦力が低減され、移動部３５を容易に移動させることができる。
【００４９】
（３）検出部１７の検出結果に基づいて制御部８３が第１調整機構４１と第２調整機構４２を制御して移動部３５の位置を調整するため、第１基準穿孔位置Ａ１もしくは第２基準穿孔位置Ａ２に対する相対穿孔位置Ｂの位置合わせを自動で行うことができる。
【００５０】
（４）流体室７０には接続流路７２が接続されているため、加圧機構７１が流体室７０の圧力を変化させると、シリンダー６９が高さ方向Ｚに移動する。そして、シリンダー６９が係合部７７と係合して移動部３５を支持部３６に押し付けることにより、移動部３５の移動を制限できる。
【００５１】
（５）例えば高さ方向Ｚの大きさに制限がある穿孔装置１１では、高さ方向Ｚにおいて第１調整機構４１及び第２調整機構４２が占める空間が大きいほど穿孔ユニット１４を小型化する必要がある。しかし、小型化に伴って穿孔ユニット１４の剛性が低下すると、穿孔に伴う振動により穿孔ユニット１４が位置ずれしてしまう虞がある。その点、第１調整機構４１と第２調整機構４２をＸ方向に位置をずらして設けたため、例えば高さ方向Ｚに重ねてＸ方向に同じ位置に設けた場合に比べて高さ方向Ｚにおける大きさを小さくできる。
【００５２】
（６）第１基準取付部５７と第２基準取付部５８とを選択して第１穿孔ユニット１４ａを基部１５に取り付けることにより、第１穿孔ユニット１４ａと第２穿孔ユニット１４ｂの取り得る間隔を容易に変更できる。
【００５３】
（７）第２穿孔ユニット１４ｂの穿孔範囲Ｃは、第１基準穿孔位置Ａ１と第２基準穿孔位置Ａ２との中央と重なる。そのため、第１基準取付部５７に取り付けられた第１穿孔ユニット１４ａと第２穿孔ユニット１４ｂとが取り得る間隔の範囲と、第２基準取付部５８に取り付けられた第１穿孔ユニット１４ａと第２穿孔ユニット１４ｂとが取り得る間隔の範囲を重ねることができる。
【００５４】
（８）例えば、セラミックグリーンシートなどのワークＷに穿孔する穿孔装置１１のように、マイクロメートル単位の精密な位置決めが要求される穿孔装置１１では、わずかなずれでも穿孔ユニット１４の位置の調整をやり直さなければならなかった。その点、制動機構４０によりＸ方向やＹ方向にかかる力を低減した状態で移動部３５の移動を制限するため、相対穿孔位置Ｂのずれを抑制し、容易に位置合わせできる。
【００５５】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・図７に示すように、シリンダー６９は、有底円筒状に形成し、ピストン６８を上方から覆うように設けてもよい。さらに、接続流路７２は、変圧機構の一例である減圧機構８５と流体室７０とを接続してもよい（第１変形例）。すなわち、減圧機構８５が流体室７０内を減圧すると、シリンダー６９が係合部７７を支持部３６側に押圧する。さらに、減圧機構８５と空気流路６４とを接続してもよい。すなわち、減圧機構８５が流体室７０内を減圧すると、空気流路６４の開口から空気が吸引され、移動部３５は支持部３６に吸着される。したがって、移動部３５の移動をより制限できる。また、空気を加圧もしくは減圧可能なポンプ（変圧機構の一例）に空気流路６４と接続流路７２とを接続し、移動部３５を移動させる場合にはポンプに加圧させ、移動部３５の移動を制限する場合にはポンプに減圧させてもよい。
【００５６】
・図８に示すように、支持部３６に収容空間６７を形成すると共に、ピストン６８を移動部３５に固定し、さらに接続流路７２には加圧機構７１を接続してもよい（第２変形例）。すなわち、流体室７０が大気開放された状態では、シリンダー６９は、図８に２点鎖線で示す位置に位置する。そして、流体室７０が加圧されると、シリンダー６９は、図８に実線で示す位置に移動して係合部７７と係合する。すなわち、制動機構４０は、支持部３６を移動部３５に押し付けることで移動部３５の移動を制限する。
【００５７】
・図９に示すように、制動機構４０を電磁石８７としてもよい。すなわち、移動部３５と支持部３６とを電磁石８７の磁力で引き合わせることにより、移動部３５の移動を制限してもよい。また、制動機構４０に加えて電磁石８７を設けてもよい。
【００５８】
・上記実施形態において、制動機構４０は、収容空間６７にソレノイドを収容し、ソレノイドが備える可動鉄芯を高さ方向Ｚに沿って直線運動させることにより、移動部３５及び支持部３６の一方を他方に押し付けてもよい。
【００５９】
・上記実施形態において、堅牢部７８を備えない構成としてもよい。
・上記実施形態において、滑り部６５を備えない構成としてもよい。なお、滑り部６５は、支持部３６の支持面３６ａに設けてもよく、移動部３５の被支持面３５ｂと支持部３６の支持面３６ａの双方に滑り部６５を設けてもよい。
【００６０】
・上記実施形態において、穿孔装置１１は、３つ以上の穿孔ユニット１４を備えていてもよい。さらに、穿孔装置１１は、調整装置１６を複数備えていてもよい。
・上記実施形態及び上記変形例において、加圧機構７１や減圧機構８５は、流動可能な流体（例えば空気などの気体、オイルや水などの液体）を加圧もしくは減圧することにより、シリンダー６９を移動させてもよい。
【００６１】
・上記実施形態において、第２穿孔ユニット１４ｂの穿孔範囲Ｃは、中央位置Ａ３と重なっていなくてもよい。例えば、穿孔範囲Ｃは、中央位置Ａ３よりも第１基準穿孔位置Ａ１寄り、もしくは中央位置Ａ３よりも第２基準穿孔位置Ａ２寄りとしてもよい。
【００６２】
・上記実施形態において、基部１５は、第１基準取付部５７と第２基準取付部５８の一方を備える構成としてもよい。また、基部１５は、３つ以上の基準取付部を備えていてもよい。
【００６３】
・上記実施形態において、第１調整機構４１と第２調整機構４２は、Ｘ方向において同じ位置に設けてもよい。
・上記実施形態において、第１調整機構４１、第２調整機構４２、制御部８３を備えない構成とし、第２穿孔ユニット１４ｂの位置調整を手動で行った後、制動機構４０により移動部３５の移動を制限してもよい。
【００６４】
・上記実施形態において、調整装置１６は、制御部８３を備えない構成とし、第１調整機構４１及び第２調整機構４２の駆動を手動で行ってもよい。
・上記実施形態において、調整装置１６は、検出部１７を備えない構成とし、制御部８３は、入力部８０により入力されたＸ方向及びＹ方向への調整量に基づいて第１調整機構４１及び第２調整機構４２を制御してもよい。また、検出部１７は、パンチ２５の位置を直接検出するセンサーとしてもよい。
【００６５】
・上記実施形態において、空気流路６４を設けない構成としてもよい。
・上記実施形態において、空気流路６４は、移動部３５の被支持面３５ｂに開口するように形成してもよい。また、空気流路６４は、移動部の支持面３６ａと支持部３６の支持面の双方の面に開口するように形成してもよい。
【００６６】
・上記実施形態において、制動機構４０は、ピストン６８とシリンダー６９を備えず、空気流路６４を減圧して支持部３６と移動部３５を吸着させることにより、移動部３５の移動を制限してもよい。
【００６７】
次に、上記実施形態及び変形例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
・技術的思想１
前記制動機構は、前記支持部に固定されたピストンと、該ピストンに対して前記第３方向に相対移動可能に設けられたシリンダーと、前記ピストンと前記シリンダーとにより形成される容積可変の流体室と、流体を加圧もしくは減圧する変圧機構と前記流体室とを接続する接続流路とを備え、前記移動部は、前記シリンダーと係合可能な係合部を有し、該係合部は、前記第３方向において前記シリンダーと前記支持部との間に位置する請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の穿孔装置。
【００６８】
この構成によれば、流体室には接続流路が接続されているため、変圧機構が流体室の圧力を変化させると、シリンダーが第３方向に移動する。そして、シリンダーが係合部と係合して移動部を支持部に押し付けることにより、移動部の移動を制限できる。
【００６９】
・技術的思想２
前記第１調整機構と前記第２調整機構は、前記第１方向に位置をずらして設けられる請求項３に記載の穿孔装置。
【００７０】
例えば第３方向の大きさに制限がある穿孔装置では、第３方向において第１調整機構及び第２調整機構が占める空間が大きいほど穿孔ユニットを小型化する必要がある。しかし、小型化に伴って穿孔ユニットの剛性が低下すると、穿孔に伴う振動により穿孔ユニットが位置ずれしてしまう虞がある。その点、この構成によれば、第１調整機構と第２調整機構を第１方向に位置をずらして設けたため、例えば第３方向に重ねて第１方向に同じ位置に設けた場合に比べて第３方向における大きさを小さくできる。
【００７１】
・技術的思想３
前記第１穿孔ユニットを取り付け可能な第１基準取付部及び第２基準取付部と、前記第１方向において前記第１基準取付部と前記第２基準取付部の間に位置し前記支持部を取り付け可能な取付部とを有する基部をさらに備える請求項１〜請求項３、技術的思想１及び技術的思想２のうち何れか１つに記載の穿孔装置。
【００７２】
この構成によれば、第１基準取付部と第２基準取付部とを選択して第１穿孔ユニットを基部に取り付けることにより、第１穿孔ユニットと第２穿孔ユニットの取り得る間隔を容易に変更できる。
【００７３】
・技術的思想４
前記第２穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第２穿孔位置が位置可能な穿孔範囲は、前記第１方向において前記第１基準取付部に取り付けられた前記第１穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第１基準穿孔位置と、前記第２基準取付部に取り付けられた前記第１穿孔ユニットが前記ワークに穿孔する第２基準穿孔位置との中央と重なる技術的思想３に記載の穿孔装置。
【００７４】
この構成によれば、第２穿孔ユニットの穿孔範囲は、第１基準穿孔位置と第２基準穿孔位置との中央と重なる。そのため、第１基準取付部に取り付けられた第１穿孔ユニットと第２穿孔ユニットとが取り得る間隔の範囲と、第２基準取付部に取り付けられた第１穿孔ユニットと第２穿孔ユニットとが取り得る間隔の範囲を重ねることができる。
【００７５】
・技術的思想５
ワークに穿孔を行う第１穿孔ユニット及び第２穿孔ユニットの間隔を調整する調整装置であって、前記第２穿孔ユニットが固定され第１方向及び該第１方向と交差する第２方向のそれぞれに移動可能な移動部と、該移動部を移動可能に支持する支持部と、前記第１方向及び前記第２方向の双方と交差する第３方向に沿って直線運動して前記移動部及び前記支持部の一方を他方に押し付けることで前記移動部の移動を制限する制動機構とを備える調整装置。
【００７６】
この構成によれば、請求項１に記載の穿孔装置と同様の作用効果を奏し得る。
【符号の説明】
【００７７】
１１…穿孔装置、１４ａ…第１穿孔ユニット、１４ｂ…第２穿孔ユニット、１７…検出部、３５…移動部、３５ｂ…被支持面、３６…支持部、３６ａ…支持面、４０…制動機構、４１…第１調整機構、４２…第２調整機構、６４…空気流路、８３…制御部、Ａ１…第１基準穿孔位置（第１穿孔位置の一例）、Ａ２…第２基準穿孔位置（第１穿孔位置の一例）、Ｂ…相対穿孔位置（第２穿孔位置の一例）、Ｗ…ワーク、Ｚ…高さ方向（第３方向の一例）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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