(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルが通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に通じる共通液室と、を有し、
前記共通液室と前記個別液室との間には、
前記個別液室と前記共通液室とを通じる流路を構成する複数のスリット溝を有する溝部材と、
前記スリット溝の開口側を覆う蓋部材と、を備え、
前記個別液室を形成する部材と、前記蓋部材と、前記共通液室を形成する部材とが積層されて、前記個別液室と前記共通液室とは少なくとも一部が前記蓋部材を介して積層方向に並んで配置され、
前記蓋部材には、前記スリット溝に臨む復元可能に変形可能なダンパと、前記ダンパを挟んで前記スリット溝と反対側に配置されたダンパ室と、を有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記蓋部材には、前記スリット溝に臨む復元可能に変形可能なダンパと前記ダンパ室を介して反対側に前記共通液室に臨むダンパを有している
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記スリット溝は、短手方向の幅が前記ノズルの開口径未満である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記スリット溝は、深さが前記ノズルの開口径未満である
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ダンパの周縁部を保持するダンパ保持部材を有している
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記ダンパ室は大気に通じている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記スリット溝で構成される流路は前記個別液室に対して折り返され、
前記スリット溝を折り返した部分に前記スリット溝に臨む復元可能に変形可能なダンパが臨んでいる
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の個別液室が形成され、個別液室が形成された側と反対側の面に圧電素子が設けられた流路部材と、
前記流路部材に積層され、前記圧電素子を収容する凹部が形成された保持基板と、
前記保持基板に積層され、前記共通液室を形成する共通液室部材と、を有し、
前記保持基板は前記溝部材を兼ねており、前記保持基板の共通液室側の面に前記複数のスリット溝が形成されており、
前記蓋部材は前記保持基板と前記共通液室部材との間に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
液体を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルが通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に通じる共通液室と、を有し、
前記共通液室と前記個別液室との間には、１又は２以上の前記個別液室と前記共通液室とを通じる個別連通路が設けられ、
前記個別連通路は、前記共通液室に開口し、前記個別液室における液体の流れの方向と逆方向に前記液体が流れる流路部分を有し、
前記個別液室を形成する部材、前記個別連通路の流路部分を形成する部材、前記流路部分を覆う蓋部材及び前記共通液室を形成する部材は積層され、
前記個別液室と前記共通液室とは少なくとも一部が前記蓋部材を介して積層方向に並んで配置されており、
前記流路部分に臨むダンパを有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１１】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ユニット。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１０若しくは１１に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドにおいては、個別液室内の液体を加圧して液体を吐出したときに、個別液室から共通液室に圧力波が伝搬し、共通液室から他の個別液室に圧力波が逆伝搬することによって、当該他の個別液室に対応するノズルの吐出特性が変動するなどのクロストークが発生する。
【０００３】
従来、共通液室内に、表面に露出した薄肉膜、及び、薄肉膜とその厚み方向に接しており且つ薄肉膜よりも剛性の低いダンパ室を含むダンパ部材とを配置したものがある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１１８３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、共通液室内に伝達した圧力波を減衰させる構成では、個別液室で生じた圧力波がリザーバ部まで到達して減衰されるまでに時間がかかり、しかも、ダンパに到達することなく直接他の個別液室に伝搬する圧力成分を減衰できない。
【０００６】
そのため、特に、駆動周波数が高くなり、共通液室内での圧力波の減衰が行われる前に次の吐出による圧力波が伝搬することが繰り返されると、共通液室内での圧力変動によって液体吐出特性にばらつきが生じることがある。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、液体吐出特性のばらつきを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルが通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に通じる共通液室と、を有し、
前記共通液室と前記個別液室との間には、
前記個別液室と前記共通液室とを通じる流路を構成する複数のスリット溝を有する溝部材と、
前記スリット溝の開口側を覆う蓋部材と、を備え、
前記個別液室を形成する部材と、前記蓋部材と、前記共通液室を形成する部材とが積層されて、前記個別液室と前記共通液室とは少なくとも一部が前記蓋部材を介して積層方向に並んで配置され、
前記蓋部材には、前記スリット溝に臨む復元可能に変形可能なダンパと、前記ダンパを挟んで前記スリット溝と反対側に配置されたダンパ室と、を有している
構成とした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、液体吐出特性のばらつきを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図２】同じく図１のＡ−Ａ線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図３】同じく図１のＢ―Ｂ線に相当する平面説明図である。
【図４】同じく分解斜視説明図である。
【図５】同じく蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図９】同じく蓋部材の平面説明図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図１２】同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図１３】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図１４】同装置の要部側面説明図である。
【図１５】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１６】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図２は同じく図１のＡ−Ａ線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図、図３は同じく図１のＢ―Ｂ線に相当する平面説明図である。
【００１２】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板部材３と、圧力発生手段である圧電素子１１と、溝部材を兼ねる保持基板５０と、蓋部材８０と、共通液室部材７０と、ダンパ部材９０とを備えている。
【００１３】
ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。
【００１４】
流路板２は、ノズル板１及び振動板部材３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部８を形成している。なお、個別液室６、流体抵抗部７及び液導入部８で構成される個別流路５、５間は隔壁部５Ａによって隔てられている。
【００１５】
そして、個別流路５は、振動板部材３の開口部９と、保持基板５０の開口部５１と、保持基板５０のスリット溝６１とを介して、共通液室部材７０の共通液室１０に通じている。
【００１６】
振動板部材３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域（振動板）３０を形成する壁面部材である。本実施形態では、振動板部材３と流路板２を併せて流路部材２０とする。
【００１７】
この振動板部材３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に撓み変形可能な圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１８】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極、圧電層（圧電体）及び上部電極を順次積層形成して構成している。圧電素子１１の個別電極となる上部電極は駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５００に接続されている。
【００１９】
保持基板５０は、共通液室１０と個別液室６を通じる流路を構成する面内方向に設けたスリット溝６１と、厚み方向に設けた開口部５１と、圧電素子１１を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３を有する。
【００２０】
ここでは、個別液室６毎に独立した開口部５１及びスリット溝６１を形成しているが、２以上の個別液室６毎に１つの開口部５１及びスリット溝６１が対応し、あるいは、２以上の個別液室６毎に１つのスリット溝６１が対応する構成とすることもできる。
【００２１】
蓋部材８０は、スリット溝６１の開口部側を覆う復元可能に変形可能なダンパ８１を有し、ダンパ８１を挟んでスリット溝６１と反対側にはダンパ室８２を有している。
【００２２】
共通液室部材７０は、共通液室１０を形成している。そして、共通液室１０の一部の壁面を形成するダンパ９１を保持部材９２で保持したダンパ部材９０を備えている。
【００２３】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極と下部電極の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。
【００２４】
このとき、下部電極側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。
【００２５】
次に、この液体吐出ヘッドにおけるダンパ構成の詳細について図４及び図５も参照して説明する。図４は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図５は同じく蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。なお、図５の平面図における面塗りは他の領域と区別するためのもので断面を示すものではない。
【００２６】
保持基板５０には、個別流路５から厚み方向（積層方向）に形成した開口部５１と、開口部５１に通じる共通液室１０側に開口するスリット溝６１とを有している。
【００２７】
そして、開口部５１及びスリット溝６１の一部を蓋部材８０で覆っている。したがって、スリット溝６１には、蓋部材８０で覆われた部分（この部分を「流路」という。）６１ａと、蓋部材８０で覆われないで共通液室１０に臨む部分６１ｂがある。
【００２８】
蓋部材８０は、図４に示すように、ダンパ８１となる可撓性膜８０Ａと、ダンパ室８２を形成するダンパ室部材８０Ｂとで構成されている。
【００２９】
可撓性膜８０Ａには、ダンパ８１となる部分と、共通液室１０に通じる開口部８３Ａとを有する。ダンパ室部材８０Ｂは、ダンパ室８２を形成する凹部８０ａと、共通液室１０に通じる開口部８３Ｂとなる貫通穴８０ｂを有する。
【００３０】
そして、ダンパ８１は、保持基板５０の開口部５１の開口とスリット溝６１の開口側に臨んでいる。ここで、ダンパ８１は、スリット溝６１の間の隔壁部６２に接合されている。ダンパ８１が隔壁部６２に接合されていることで、蓋部材８０がダンピングときに振動することが抑制される。
【００３１】
このように構成したので、液体吐出に伴って個別液室６で発生した圧力波の一部は、流体抵抗部７、液導入部８、開口部９、開口部５１を経てスリット溝６１に伝搬し、スリット溝６１から共通液室１０に伝わる。
【００３２】
このとき、開口部５１及びスリット溝６１にはダンパ８１が臨んでいるので、伝搬された圧力波が、共通液室１０に到達する前に、吸収ないし減衰される。
【００３３】
ここで、個別液室６から発生する圧力波に対するダンパの圧力減衰の効果は、発生源からダンパまでの距離が近いほど早く発生するので、共通液室１０の壁面に配置されたダンパ９１よりも減衰効果を早期に効率的に発揮することができる。
【００３４】
これにより、高周波駆動を行った場合でも速やかに圧力波を減衰することができ、液体吐出特性のばらつきを低減することができる。
【００３５】
また、本実施形態において、流路板２の個別液室６を含む個別流路５は流路板２の面内方向に延びる流路であり、保持基板５０の開口部５１は保持基板５０の厚み方向（各部材の積層方向）に延びる流路であり、スリット溝６１の流路６１ａは個別流路５と同じく保持基板５１の面内方向に延びる流路である。
【００３６】
ここで、これらの個別流路５、開口部５１及びスリット溝６１の一部である流路６１ａを立体的な流路構造でみると、保持基板５１の流路６１ａと流路板２の個別流路５は向い合っており、その間を開口部５１の流路が接続している。つまり、保持基板５０の流路６１ａは個別流路５に対して折り返した流路とみることができる。
【００３７】
言い換えれば、本実施形態の構成においては、開口部５１及び蓋部材８０で覆われているスリット溝６１で構成される流路６１ａは、共通液室１０と個別液室６との間に設けられた、１（２以上でもよい。）の個別液室６と共通液室１０とを通じる個別連通路６６を構成する。
【００３８】
この個別連通路６６において、スリット溝６１で構成される流路６１ａは、共通液室１０に開口し、個別液室６における液体の流れの方向と逆方向に液体が流れる流路部分となる。
【００３９】
そして、個別液室６を形成する部材（流路板２）、個別連通路６６の流路部分（流路６１ａ）を形成する部材である保持基板５０及び共通液室１０を形成する部材である共通液室部材７０は積層されており、流路部分であるスリット溝６１で構成される流路６１ａに臨むダンパ８１を有している構成となる。
【００４０】
すなわち、個別液室６からの圧力波を早期に減衰させるために共通液室１０に通じる連通路にダンパを配置する場合、ダンパ作用は同じヤング率であればダンパ面積が広い方が大きくなる。
【００４１】
この場合、流路板２の液導入部８の部分にダンパを配置したり、保持基板５０の開口部５１の壁面にダンパを配置したりする場合、広いダンパ面積を確保するためには、流路板２の幅を広くし、あるいは、保持基板５０の厚みを厚くしなければならない。これでは、ヘッドが無駄に大型化する。
【００４２】
そこで、本実施形態のように、個別液室６から共通液室１０の間を通じる個別連通路６６に個別液室６における液体の流れの方向と逆方向に流れる流路部分を設ける。つまり、個別連通路６６を折り返して、折り返した流路部分にダンパを配置することで、大きなダンパ面積を確保しつつ、ヘッドの大型化を抑制することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、スリット溝６１が蓋部材８０で覆われないで共通液室１０に臨む部分６０ｂを構成している例で説明したが、スリット溝６１は蓋部材８０で覆われる部分（流路部分６０ａ）だけでもよい。この場合には、例えば、上記部分６０ｂに対応する部分をノズル配列方向でつながる１つの凹部とすればよい。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６を参照して説明する。図６は同液体吐出ヘッドにおける蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。
【００４５】
本実施形態では、ダンパ室部材８０Ｂには、ダンパ室８２を大気に通じる大気開放路８４を形成する溝部８０ｃを設けている。
【００４６】
これにより、ダンパ８１が安定して変位することができ、信頼性が向上する。
【００４７】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７を参照して説明する。図７は同液体吐出ヘッドにおける蓋部材のダンパ室部材を保持基板側から見た平面説明図である。
【００４８】
本実施形態では、大気開放路８４を蛇行するスネークライン状に形成する溝部８０ｄを設けている。
【００４９】
これにより、ダンパ８１の透気性による液体内の水分蒸発を抑制することができる。
【００５０】
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８及び図９を参照して説明する。図８は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図９は同じく蓋部材の平面説明図である。
【００５１】
本実施形態では、蓋部材８０にはダンパ室８２となる貫通穴８０ｅを設けて、ダンパ室８２の一方はスリット溝６１に臨む第１ダンパであるダンパ８１Ａを、他方は共通液室１０に臨む第２ダンパであるダンパ８１Ｂを設けている。
【００５２】
これにより、蓋部材８０のダンパ室部材８０Ｂを製作が容易になるとともに、共通液室１０まで到達した圧力波をダンパ８１Ｂによって減衰させることができる。
【００５３】
次に、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１０を参照して説明する。図１０は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００５４】
本実施形態では、ダンパ８１の周縁部にダンパ保持部材８Ｃを設けている。
【００５５】
これにより、薄膜のダンパ８１の取り扱い性（ハンドリング性）が向上する。
【００５６】
次に、本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図１２は同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００５７】
本実施形態では、スリット溝６１の短手方向（ノズル配列方向）の幅W、深さHは、ノズル４の開口径未満としている。
【００５８】
これにより、ノズル４を通過できない異物３００はスリット溝６１内に侵入せず、蓋部材８０の端部８０ｆにて堰き止められるので、スリット溝６１がフィルタ溝として機能することになる。
【００５９】
そして、スリット溝６１がフィルタ溝を構成していることで、スリット溝６１の一部が異物３００で覆われても、詰まった箇所よりも上流側が共通液室１０に開口して流路を確保できることから、ロバスト性の高いフィルタとすることができる。
【００６０】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同装置の要部平面説明図、図１４は同装置の要部側面説明図である。
【００６１】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００６２】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００６３】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００６４】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００６５】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００６６】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００６７】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００６８】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００６９】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００７０】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００７１】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００７２】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００７３】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００７４】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１５を参照して説明する。図１５は同ユニットの要部平面説明図である。
【００７５】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００７６】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００７７】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１６を参照して説明する。図１６は同ユニットの正面説明図である。
【００７８】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００７９】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００８０】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００８１】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００８２】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００８３】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００８４】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００８５】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００８６】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００８７】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００８８】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００８９】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００９０】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００９１】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００９２】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００９３】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００９４】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００９５】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００９６】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【００９７】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００９８】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【００９９】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
１１  圧電素子
５０  保持基板（溝部材）
５１  開口部
６１スリット溝
８０  蓋部材
８１  ダンパ
８１Ａ  、８１Ｂ  ダンパ
８２  ダンパ室
７０  共通液室部材
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４３０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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