(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持テーブルと、
前記基板保持テーブルにより保持された前記基板の端子部の下面側を支持するバックアップ部と、
部品を供給する部品供給部と、
前記バックアップ部と前記部品供給部との間に配置された中継テーブルと、
前記部品供給部から供給される前記部品を前記中継テーブルに移載する移載ヘッドと、
前記移載ヘッドにより前記部品が移載される第１の位置と前記移載ヘッドにより移載された前記部品を前記バックアップ部の上方に位置させる第２の位置との間で前記中継テーブルを移動させる中継テーブル移動機構と、
前記バックアップ部の上方で昇降することにより、前記第２の位置に位置された前記中継テーブルから前記部品をピックアップして前記端子部に搭載する搭載ヘッドとを備え、
前記中継テーブル移動機構は、前記中継テーブルの前記第１の位置から前記第２の位置への移動をガイドする基準ガイドと、前記基準ガイドに対して揺動自在に設けられた揺動ガイドと、前記基準ガイドに沿って移動自在に設けられた基準ガイド側移動部と、前記揺動ガイドに沿って移動自在に設けられた揺動ガイド側移動部と、前記中継テーブルを保持し、前記揺動ガイド側移動部に連結されるとともに前記基準ガイド側移動部に対して前記基準ガイドの延びる方向と交差する方向に相対移動自在な中継テーブル保持部材とを備えたことを特徴とする部品搭載装置。
【請求項２】
前記揺動ガイドは、前記第１の位置側の端部が揺動軸に枢結されており、前記中継テーブルが前記第１の位置から前記第２の位置に向けて移動するように前記基準ガイドに沿って前記基準ガイド側移動部を移動させつつ前記揺動軸を支点として前記揺動ガイドを揺動させると、前記中継テーブル保持部材が前記基準ガイド側移動部に対して相対移動して前記中継テーブルが前記基準ガイドの延びる方向と交差する方向に位置補正された状態で前記第２の位置に到達することを特徴とする請求項１に記載の部品搭載装置。
【請求項３】
前記揺動ガイドは、前記揺動ガイドの前記第２の位置側の端部が前記基準ガイドの延びる方向と交差する方向に移動されることで前記揺動軸を支点として揺動することを特徴とする請求項２に記載の部品搭載装置。
【請求項４】
前記搭載ヘッドによる前記部品の前記端子部への搭載と、前記移載ヘッドによる前記部品の前記中継テーブルへの移載は並行して行われることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の端子部に部品を搭載する部品搭載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造等において用いられる部品搭載装置は、基板保持テーブルにより保持した基板の端子部の下面側をバックアップ部により支持しておき、部品供給部から供給される部品を搭載ヘッドによりピックアップして基板の端子部に搭載する構成となっている。部品は搭載ヘッドによりピックアップする前に中継テーブルに載置され、カメラ等によって撮像され、認識される（下記の特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−９４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、部品供給部から供給される部品を中継テーブルへ移載する移載動作と、中継テーブルから部品をピックアップして基板に搭載する搭載動作とをひとつのヘッド（搭載ヘッド）が行うようになっている場合、本来独立した動作である移載動作と搭載動作を同時並行的に行うことができず、その分、タクトが低下するおそれがあるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、部品供給部から供給される部品を中継テーブルに移載する移載動作と中継テーブルから部品をピックアップして基板に搭載する搭載動作とを同時並行的に行うことができる部品搭載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の部品搭載装置は、基板を保持する基板保持テーブルと、前記基板保持テーブルにより保持された前記基板の端子部の下面側を支持するバックアップ部と、部品を供給する部品供給部と、前記バックアップ部と前記部品供給部との間に配置された中継テーブルと、前記部品供給部から供給される前記部品を前記中継テーブルに移載する移載ヘッドと、前記移載ヘッドにより前記部品が移載される第１の位置と前記移載ヘッドにより移載された前記部品を前記バックアップ部の上方に位置させる第２の位置との間で前記中継テーブルを移動させる中継テーブル移動機構と、前記バックアップ部の上方で昇降することにより、前記第２の位置に位置された前記中継テーブルから前記部品をピックアップして前記端子部に搭載する搭載ヘッドとを備え、前記中継テーブル移動機構は、前記中継テーブルの前記第１の位置から前記第２の位置への移動をガイドする基準ガイドと、前記基準ガイドに対して揺動自在に設けられた揺動ガイドと、前記基準ガイドに沿って移動自在に設けられた基準ガイド側移動部と、前記揺動ガイドに沿って移動自在に設けられた揺動ガイド側移動部と、前記中継テーブルを保持し、前記揺動ガイド側移動部に連結されるとともに前記基準ガイド側移動部に対して前記基準ガイドの延びる方向と交差する方向に相対移動自在な中継テーブル保持部材とを備えた。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、部品供給部から供給される部品を中継テーブルに移載する移載動作と中継テーブルから部品をピックアップして基板に搭載する搭載動作とを同時並行的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の一部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態における部品搭載装置により基板に搭載される部品を基板とともに示す斜視図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品搭載装置の側面図
【図５】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える中継テーブルを中継テーブル移動機構とともに示す斜視図
【図６】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える中継テーブルを中継テーブル移動機構とともに示す分解斜視図
【図７】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える中継テーブルの動作説明図
【図８】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える中継テーブルの動作説明図
【図９】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の制御系統を示すブロック図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品搭載装置の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品搭載装置の動作説明図
【図１２】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の一部の斜視図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に示す部品搭載装置１は、液晶パネル基板の製造ライン等において使用されるものであり、図３に示す長方形のパネル状の基板２の一辺の端部の上面に設けられた端子部（基板側端子部２ａ）にフィルム状の部品４を搭載（仮圧着）する。本実施の形態では、基板２に搭載されるフィルム状の部品４はフレキシブル基板であり、下面側に端子部（部品側端子部４ａ）を有している。部品搭載装置１は、基板側端子部２ａに貼り付けられたＡＣＦ等の熱硬化性樹脂テープ３に部品側端子部４ａに押し付けるようにして、部品４を基板２に搭載する。
【００１０】
図１及び図２において、部品搭載装置１は、基台１１上に基板保持テーブル１２、バックアップ部１３、部品供給テーブル１４及び中継テーブル１５を有するほか、カメラ１６、移載ヘッド１７及び搭載ヘッド１８を備えた構成となっている。本実施の形態では、部品搭載装置１を作業者ＯＰ（図１）から見た左右方向を軸方向とし、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１１】
図１及び図２において、基板保持テーブル１２は、図示しない基板搬送機構によって上面に載置された基板２を真空吸引等によって保持する。基板保持テーブル１２は基台１１上に設けられた基板保持テーブル移動機構１２Ｍと連結されており、基板保持テーブル移動機構１２Ｍは、基板保持テーブル１２をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回り方向に移動させる。
【００１２】
図１及び図２において、バックアップ部１３は基板保持テーブル１２の後方（作業者ＯＰから見た奥側）に設けられている。バックアップ部１３は上面がＸ軸方向に細長く延びた形状を有している。バックアップ部１３は、基板保持テーブル１２により保持された基板２の端子部（基板側端子部２ａ）の下面側を支持する。
【００１３】
図１及び図２において、部品供給テーブル１４は部品４を供給する部品供給部であり、上面に複数の部品４を整列状態で保持している。部品供給テーブル１４は部品供給テーブル移動機構１４Ｍに連結されており、部品供給テーブル移動機構１４Ｍは部品供給テーブル１４をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。
【００１４】
図１及び図２において、中継テーブル１５は部品供給テーブル１４にから供給される部品４が一時的に載置（仮置き）される部材であり、バックアップ部１３と部品供給テーブル１４との間に配置されている。中継テーブル１５は基台１１上に設けられた中継テーブル移動機構１５Ｍに連結されており、中継テーブル移動機構１５Ｍは、中継テーブル１５をＹ軸方向に沿った第１の位置と第２の位置との間で移動させる。ここで「第１の位置」は、後述する移載ヘッド１７により部品供給テーブル１４から供給される部品４が移載される位置（図４（ａ））である。また、「第２の位置」は、移載ヘッド１７により移載された部品４をバックアップ部１３の上方に位置させる位置（図４（ｂ））である。第２の位置は第１の位置の前方に位置している。
【００１５】
図１において、カメラ１６は撮像視野を下方に向けている。カメラ１６はカメラ移動機構１６Ｍに連結されており、カメラ移動機構１６Ｍはカメラ１６をＸ軸方向に移動させる。カメラ移動機構１６Ｍは中継テーブル１５に載置された部品４の上方でカメラ１６をＸ軸方向に移動させ、カメラ１６は部品４の上面にＸ軸方向に並んで設けられた２つの部品マーク４ｍ（図３）を撮像する。
【００１６】
図２において、移載ヘッド１７は下端に部品４を吸着する部品吸着口１７Ｋを備えている。移載ヘッド１７は移載ヘッド移動機構１７Ｍ（図１）に連結されており、移載ヘッド移動機構１７Ｍは移載ヘッド１７をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。移載ヘッド１７は部品供給テーブル１４の上方領域と中継テーブル１５の上方領域との間で移動することにより、部品供給テーブル１４から供給される部品４を中継テーブル移動機構１５Ｍによって第１の位置に位置された中継テーブル１５に移載する（図４（ａ））。
【００１７】
図２において、搭載ヘッド１８は下端に部品４を吸着する部品吸着部１８Ｋを備えている。搭載ヘッド１８は搭載ヘッド移動機構１８Ｍ（図１）に連結されており、搭載ヘッド移動機構１８Ｍは搭載ヘッド１８をＺ軸方向に移動させる。搭載ヘッド１８はバックアップ部１３の上方で昇降することにより、第２に位置した中継テーブル１５（図４（ｂ））から部品４を吸着してピックアップし、部品４を基板側端子部２ａに押圧して搭載する（詳細は後述）。
【００１８】
図５及び図６において、中継テーブル移動機構１５Ｍは、基台１１上に設けられたベース部１１Ｂ上に設けられており、基準ガイド２１と揺動ガイド２２を有している。基準ガイド２１は、中継テーブル１５の第１の位置から第２の位置への移動をガイドするものであり、水平方向（Ｙ軸方向）に延びている。揺動ガイド２２は基準ガイド２１の右方をＹ軸方向とほぼ平行（すなわち基準ガイド２１とほぼ平行）に延びている。
【００１９】
図５及び図６において、基準ガイド２１の上面側には、基準ガイド２１に沿って移動自在な基準ガイド側移動部２３が設けられている。基準ガイド側移動部２３は、基準ガイド２１上をスライド自在なスライダ部２３ａと、スライダ部２３ａに左端が固定されて右端側が揺動ガイド２２の側に水平に延びたプレート部２３ｂを備えている。
【００２０】
図５及び図６において、揺動ガイド２２の上面側には、揺動ガイド２２に沿って移動自在な揺動ガイド側移動部２４が設けられている。基準ガイド側移動部２３のプレート部２３ｂと揺動ガイド側移動部２４との間にはプレート状の中継テーブル保持部材２５が掛け渡されている。
【００２１】
中継テーブル保持部材２５はその上面に中継テーブル１５の後端側を保持しており、下面側に設けられた図示しない溝状部が、プレート部２３ｂの上面をＸ軸方向に延びて設けられたガイド２３ｇに係合している。このため中継テーブル保持部材２５は、プレート部２３ｂに対して基準ガイド２１の延びる方向と直交する方向（すなわちＸ軸方向）に相対移動自在となっている。中継テーブル保持部材２５の左端側に設けられた連結孔２５Ｈには、揺動ガイド側移動部２４から上方に突出して設けられた枢支軸２４ａが挿入されている。
【００２２】
図５及び図６において、基準ガイド２１の内部にはボール螺子３０ＢがＹ軸方向に延びて設けられている。基準ガイド２１の後方側の端部にはボール螺子３０Ｂを回転駆動するボール螺子駆動モータ３０Ｍが設けられている。ボール螺子３０Ｂはスライダ部２３ａに設けられたナット部（図示せず）と螺合している。このため、ボール螺子駆動モータ３０Ｍがボール螺子３０Ｂを回転駆動すると基準ガイド側移動部２３が前後方向（Ｙ軸方向）に移動し、これに伴って中継テーブル１５が前後方向に移動する。このようにボール螺子３０Ｂとボール螺子駆動モータ３０Ｍは中継テーブル１５を前後方向に移動させる前後移動機構３０となっている。
【００２３】
図５及び図６において、ベース部１１Ｂの左後部には揺動軸台３１が設けられており、揺動軸台３１からは上方に（すなわち上下方向に）突出して延びた揺動軸３１ａが設けられている。揺動ガイド２２の後端側（第１の位置側）の端部は揺動軸３１ａに枢結されており、揺動ガイド２２は揺動軸３１ａを支点として水平面内で揺動することができる。
【００２４】
図５及び図６において、ベース部１１Ｂ上には揺動モータ３２が回転軸３２ａを上方に向けて設けられている。回転軸３２ａからはオフセット部３３が側方に延びており、オフセット部３３の端部には上方に延びた係止部３４が設けられている。
【００２５】
図５及び図６において、揺動ガイド２２の前端部には、揺動ガイド２２の長手方向に沿って延びた長孔２２Ｎが設けられている。係止部３４は長孔２２Ｎに下方から挿入されており、揺動モータ３２の回転軸３２ａが回転して係止部３４が回転軸３２ａを中心にした円弧軌道で移動すると、係止部３４は長孔２２Ｎ内で移動しつつ、揺動軸３１ａを支点として、揺動ガイド２２を水平面内で揺動させる。このように本実施の形態において、揺動モータ３２は、揺動ガイド２２の前方側（第２の位置側）の端部を基準ガイド２１と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動させることで揺動軸３１ａを支点として揺動ガイド２２を揺動させる揺動アクチュエータとなっている。
【００２６】
揺動モータ３２の回転軸３２ａが、オフセット部３３がＹ軸に沿って延びてオフセット部３３の端部（係止部３４が設けられた側の端部）が後方を向く位置（中立位置とする）に位置しているとき、揺動ガイド２２はＹ軸に（基準ガイド２１に）対して平行に延びた姿勢となる（図５）。中立位置に位置した揺動モータ３２の回転軸３２ａが作業者ＯＰから見た時計回り方向に回転すると（図７中に示す矢印Ｒ１）、揺動ガイド２２は係止部３４及び長孔２２Ｎを介して前端側が右方に振られるように揺動する。そして、揺動ガイド２２は、基準ガイド２１に対して、基準ガイド２１との間隔が後方から前方に向けて（第１の位置側から第２の位置側に向けて）漸次広がる非平行な姿勢となる（図７）。
【００２７】
一方、中立位置に位置した揺動モータ３２の回転軸３２ａが作業者ＯＰから見た反時計回り方向に回転すると（図８中に示す矢印Ｒ１）、揺動ガイド２２は係止部３４及び長孔２２Ｎを介して前端側が左方に振られるように揺動する。そして、揺動ガイド２２は、基準ガイド２１に対して、基準ガイド２１との間隔が後方から前方に向けて漸次狭まる非平行な姿勢となる（図８）。
【００２８】
前後移動機構３０によって基準ガイド側移動部２３を後方から前方へ向けて移動させつつ（図７中に示す矢印Ａ）、揺動モータ３２の回転軸３２ａを中立位置から時計回り方向に回転させて揺動ガイド２２の前端側を右方に振ると、中継テーブル保持部材２５はプレート部２３ｂに対して右方にスライドする（図７中に示す矢印Ｂ１）。このため中継テーブル保持部材２５に取り付けられた中継テーブル１５は、第１の位置から移動を開始して第２の位置に到達する間に、揺動モータ３２の回転軸３２ａの回転角度に応じた距離ΔＸ１（図７）だけ右方に移動する。すなわち、中継テーブル１５の移動終了位置（第２の位置）は、移動開始位置（第１の位置）よりも右方にΔＸ１だけずれた位置となる。
【００２９】
一方、前後移動機構３０によって基準ガイド側移動部２３を第１の位置から第２の位置に向けて移動させつつ（図８中に示す矢印Ａ）、揺動モータ３２の回転軸３２ａを中立位置から反時計回り方向に回転させて揺動ガイド２２の前端側を左方に振ると、中継テーブル保持部材２５はプレート部２３ｂに対して左方にスライドする（図８中に示す矢印Ｂ２）。このため中継テーブル１５は、第１の位置から移動を開始して第２の位置に到達する間に、揺動モータ３２の回転軸３２ａの回転角度に応じた距離ΔＸ２（図８）だけ左方に移動する。すなわち中継テーブル１５の移動終了位置（第２の位置）は、移動開始位置（第１の位置）よりも左側にΔＸ２だけずれた位置となる。
【００３０】
このように本実施の形態の部品搭載装置１が備える中継テーブル移動機構１５Ｍでは、中継テーブル１５が第１の位置から第２の位置に向けて移動するように基準ガイド２１に沿って基準ガイド側移動部２３を移動させつつ揺動軸３１ａを支点として揺動ガイド２２を揺動させると、中継テーブル保持部材２５が基準ガイド側移動部２３に対して相対移動し、中継テーブル１５は基準ガイド２１の延びる方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に位置補正された状態で第２の位置に到達する。
【００３１】
図９において、部品搭載装置１が備える制御装置４０は、基板保持テーブル移動機構１２Ｍによる基板保持テーブル１２のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸回り方向への移動、部品供給テーブル移動機構１４Ｍによる部品供給テーブル１４のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動、中継テーブル移動機構１５Ｍによる中継テーブル１５のＹ軸方向への移動とＸ軸方向への補正移動の各制御を行う。また、制御装置４０は、カメラ移動機構１６Ｍによるカメラ１６のＸ軸方向への移動、移載ヘッド移動機構１７Ｍによる移載ヘッド１７のＹ軸方向及びＺ軸方向への移動、搭載ヘッド移動機構１８Ｍによる搭載ヘッド１８のＺ軸方向への移動の各動作制御を行う。
【００３２】
図９において、制御装置４０はカメラ１６による撮像制御を行い、カメラ１６による撮像によって得られた画像情報は制御装置４０に送られる。制御装置４０にはタッチパネル等の入出力装置４１が接続されており、作業者ＯＰは入出力装置４１を通して部品搭載装置１に所要の入力を行うことができる。また作業者ＯＰは、入出力装置４１を通じて部品搭載装置１に関する各種情報を得ることができる。
【００３３】
部品搭載装置１が基板２に部品４を搭載するときは、先ず、外部から供給された基板２を基板保持テーブル１２により保持する（基板保持工程）。そして、基板側端子部２ａ（熱硬化性樹脂テープ３）が基板２の後縁側に位置するように姿勢を整えて、基板側端子部２ａの下面がバックアップ部１３によって支持されるようにする（図１０（ａ）。バックアップ工程）。
【００３４】
基板側端子部２ａの下面がバックアップ部１３によって支持されたら、移載ヘッド１７は部品供給テーブル１４の上方に移動して下降し、部品４を吸着してピックアップする。そして、移載ヘッド１７は部品４をピックアップした状態で中継テーブル１５の上方に移動して下降し、部品４を中継テーブル移動機構１５Ｍによって第１の位置に位置されている中継テーブル１５上に載置する（図１０（ａ）。移載工程）。このとき移載ヘッド１７は、部品４の長手方向（Ｘ軸方向）に並んで備えられた２つの部品マーク４ｍが所定の領域内に位置するように中継テーブル１５上に部品４を載置する。
【００３５】
移載ヘッド１７は部品４を中継テーブル１５に載置したら上方へ移動し、そこから更に後方へ移動することによって、中継テーブル１５の上方領域（カメラ１６による撮像領域）から退避する。そして、次に中継テーブル１５に移載すべき部品４の上方に移動する（図１０（ｂ））。移載ヘッド１７が中継テーブル１５の上方領域から退避したら、カメラ１６はカメラ移動機構１６Ｍに駆動されてＸ軸方向に移動しながら部品４が備える２つの部品マーク４ｍを撮像する（図１０（ｂ）。撮像工程）。カメラ１６は撮像によって得られた２つの部品マーク４ｍの画像情報を制御装置４０に送り、制御装置４０はカメラ１６から送られた２つの部品マーク４ｍの画像情報から中継テーブル１５上での部品４の位置を把握する。そして制御装置４０は、中継テーブル１５上における部品４のＸ軸方向の位置が正規の位置からずれている場合には、その正規の位置からの位置ずれ量を算出する（位置ずれ算出工程）。
【００３６】
制御装置４０が中継テーブル１５上での部品４の位置を把握したら、中継テーブル移動機構１５Ｍは中継テーブル１５を第１の位置から第２の位置に移動させる（図１０（ｃ）。中継テーブル移動工程）。これにより中継テーブル１５上の部品４はバックアップ部１３の上方、すなわち、搭載ヘッド１８の直下に位置した状態となる。制御装置４０は、中継テーブル１５を第１の位置から第２の位置へ移動させるときには、ボール螺子駆動モータ３０Ｍによりボール螺子３０Ｂを回転駆動して中継テーブル１５を第１の位置から第２の位置へ移動させつつ、揺動モータ３２の回転軸３２ａを回転させて、揺動ガイド２２を水平面内で揺動させる。このとき制御装置４０は、揺動モータ３２の回転軸３２ａの回転角度（回転方向を含む）が、位置ずれ算出工程で算出した中継テーブル１５上における部品４のＸ軸方向に位置ずれ量を補正し得る角度となるように、揺動モータ３２の作動を制御する。これにより中継テーブル１５に載置された部品４は、第２の位置に到達した時点で、Ｘ軸方向への位置ずれが矯正された状態となっている（図１０（ｃ））。また、移載ヘッド１７は、次に中継テーブル１５に載置すべき部品４の上方から下降して、その部品４を吸着する（図１０（ｃ））。
【００３７】
中継テーブル１５が第２の位置に位置されたら搭載ヘッド１８は下降し、部品吸着部１８Ｋを中継テーブル１５上の部品４に当接させて、その部品４を吸着する（図１１（ａ））。また、これと同時期に移載ヘッド１７は上昇し、部品供給テーブル１４上の部品４をピックアップする（図１１（ａ））。
【００３８】
搭載ヘッド１８が中継テーブル１５上の部品４を吸着したら、搭載ヘッド１８は上昇して部品４をピックアップし（ピックアップ工程）、中継テーブル移動機構１５Ｍは中継テーブル１５を第１の位置に移動させる。これにより搭載ヘッド１８がピックアップした部品４がバックアップ部１３の上方であり、基板側端子部２ａ（熱硬化性樹脂テープ３）の上方である位置に位置した状態となる（図１１（ｂ））。また、この間、移載ヘッド１７は第１の位置に移動した中継テーブル１５の上方に移動する（図１１（ｂ））。
【００３９】
中継テーブル１５が第１の位置に移動したら搭載ヘッド１８は下降し、ピックアップした部品４を基板側端子部２ａ（熱硬化性樹脂テープ３）に押圧する（図１１（ｃ）及び図１２。押圧工程）。また、これと同時期に、移載ヘッド１７はピックアップした部品４を第１の位置に位置した中継テーブル１５上に載置（移載）する（図１１（ｃ））。このように、本実施の形態における部品搭載装置１では、搭載ヘッド１８による部品４の基板側端子部２ａへの搭載と、移載ヘッド１７による次の部品４の中継テーブル１５への移載を並行して行うようになっている。
【００４０】
制御装置４０は、搭載ヘッド１８による部品４の基板２への押圧を、予め定められた押圧継続時間だけ継続したら、部品４の吸着を解除して搭載ヘッド１８を上昇させる。これにより部品４の１枚当たりの基板２への搭載動作が終了する。部品４の基板２への搭載動作が終了したら、基板保持テーブル移動機構１２Ｍは基板保持テーブル１２を移動させて基板２をバックアップ部１３から離間させる。そして、前述の図示しない基板搬送機構が基板２を部品搭載装置１の外部に搬出する。基板２が搬出されたら、外部から新たに供給される基板２を基板保持テーブル１２によって保持し、上述の一連の工程を繰り返し実行する。
【００４１】
以上説明したように、本実施の形態における部品搭載装置１では、部品供給テーブル１４から供給される部品４が移載される中継テーブル１５が、部品４が移載される第１の位置と、移載された部品４をバックアップ部１３の上方に位置させる第２の位置との間で移動自在になっており、部品４の移載は移載ヘッド１７により行い、部品４の搭載は搭載ヘッド１８で行うので、部品供給テーブル１４から供給される部品４を中継テーブル１５に移載する移載動作と中継テーブル１５から部品４をピックアップして基板２に搭載する搭載動作とを同時並行的に行うことができ、タクトを向上させることができる。しかも、搭載ヘッド１８は昇降動作が行わればよく、搭載ヘッド１８を水平面内方向へ移動させるための機構が不要になるので、部品搭載装置１の製造コストを低減することができる。
【００４２】
また、本実施の形態における部品搭載装置１が備える中継テーブル移動機構１５Ｍは、基準ガイド２１とほぼ平行に設けられた揺動ガイド２２を揺動させることで、中継テーブル１５を基準ガイド２１の延びる方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動させるようにした簡易な構成で中継テーブル１５の位置補正を行うようになっているので、中継テーブル移動機構１５Ｍ、ひいては部品搭載装置１の軽量化が可能である。
【００４３】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、揺動ガイド２２は、揺動ガイド２２の前端側（第２の位置側）の端部が補正方向（Ｘ軸方向）に移動されることで揺動軸３１ａを支点として揺動するようになっていたが、揺動軸３１ａを支点として揺動ガイド２２を揺動させる機構は、他の構成であってもよい。例えば、ピストンロッドが水平方向に延びるように配置したシリンダによって揺動ガイド２２の前端側の端部を左右方向に移動させることで揺動ガイド２２を揺動させるものであってもよい。また、揺動ガイド２２を揺動軸３１ａ側に設けたモータ等のアクチュエータによって揺動軸３１ａ回りに揺動させる構成であってもよい。しかし、揺動軸３１ａ側に設けたアクチュエータによって揺動ガイド２２を揺動させる構成では揺動ガイド２２を揺動させるための大きな駆動力が必要となるので、アクチュエータが大型化するおそれがある。この点からすると、揺動ガイド２２は、上述の実施の形態に示したように、前端側（第２の位置側）が駆動されることによって揺動する構成であることが好ましく、これにより中継テーブル移動機構１５Ｍをコンパクトなものにすることができる。
【００４４】
また、上述の実施の形態では、中継テーブル１５を第１の位置と第２の位置との間で移動させる前後移動機構３０が、ボール螺子３０Ｂとそのボール螺子３０Ｂを回転駆動するボール螺子駆動モータ３０Ｍから構成されていたが、その他の機構、例えば、ロッドレスシリンダ等によって中継テーブル１５を移動させるようになっていてもよい。
【００４５】
また、上述の実施の形態では、搭載ヘッド１８は搭載ヘッド移動機構１８ＭによってＺ軸方向への移動動作（昇降動作）を行うようになっていたが、搭載ヘッド１８はＺ軸方向への移動ができるようになっていても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
部品供給部から供給される部品を中継テーブルに移載する移載動作と中継テーブルから部品をピックアップして基板に搭載する搭載動作とを同時並行的に行うことができる部品搭載装置を提供する。
【符号の説明】
【００４７】
１  部品搭載装置
２  基板
２ａ  基板側端子部（端子部）
４  部品
１２  基板保持テーブル
１３  バックアップ部
１４  部品供給テーブル（部品供給部）
１５  中継テーブル
１５Ｍ  中継テーブル移動機構
１７  移載ヘッド
１８  搭載ヘッド
２１  基準ガイド
２２  揺動ガイド
２３  基準ガイド側移動部
２４  揺動ガイド側移動部
２５  中継テーブル保持部材
３１ａ  揺動軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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