(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第１端子および第２端子を有するコネクタを備えるヘッドと、
前記端子に給電する電力ケーブルと、
前記第１端子へ信号を伝送するケーブルと、
前記第２端子を接地させる第１アースケーブルと、
前記信号の伝送に伴い前記ケーブルから前記第１アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、
前記信号の出力装置と前記ケーブルとの間に介在するリレーと、を備え、
前記リレーは、
前記信号の出力装置と接続される第１入力端子と、接地される第２入力端子と、前記ケーブルと接続する出力端子とを有し、前記信号の伝送に応じて前記出力端子との接続を前記第２入力端子から前記第１入力端子に切替えるプラズマ発生装置。
【請求項２】
放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第１端子および第２端子を有するコネクタを備えるヘッドと、
前記端子に給電する電力ケーブルと、
前記第１端子へ信号を伝送するケーブルと、
前記第２端子を接地させる第１アースケーブルと、
前記信号の伝送に伴い前記ケーブルから前記第１アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、
前記信号の出力装置と前記ケーブルとの間に介在するリレーと、を備え、
前記検出器は前記経路に発光素子を介在させたフォトカプラであり、
前記リレーは、
前記信号の出力装置と接続される第１入力端子と、接地される第２入力端子と、前記ケーブルと接続する出力端子とを有し、前記信号の伝送に応じて前記出力端子との接続を前記第２入力端子から前記第１入力端子に切替えるプラズマ発生装置。
【請求項３】
前記検出器はカレントトランスであり、
前記第２入力端子を接地させる第２アースケーブルと、
前記電力ケーブルおよび前記ケーブルをシールドするシールド部材を接地させる第３アースケーブルと、を備え、
前記カレントトランスは、前記第１アースケーブルを流れる前記信号電流と、前記第２アースケーブルおよび前記第３アースケーブルに流れる電流とを検出する請求項１または２に記載のプラズマ発生装置。
【請求項４】
前記検出器が前記信号電流を検出することに応じて、前記コネクタが接続されている旨を報知する報知部を備える請求項１から３の何れかに記載のプラズマ発生装置。
【請求項５】
前記電極、前記端子、前記電力ケーブルをそれぞれ１対備える請求項１から４の何れかに記載のプラズマ発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、例えば３相のケーブルの各々が、アースされているシールド（金属遮蔽体）を有し、シールドを介してアースへ流れる地絡電流を検出する電流センサを備えるケーブル故障表示装置が開示されている。特許文献１のケーブル故障表示装置によれば、地絡電流が所定値を超えた場合に、ケーブルが地絡したことを検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３１４００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、プラズマ発生装置は、ヘッドが備える１対の電極に電圧が印加されて、１対の電極の間に放電を発生させ、ヘッドから発生するプラズマを対象物に照射する。また、ヘッドは、１対の電極へ電力を供給する１対の電力ケーブルと電気的に接続される、例えば、コネクタなどを備え、コネクタと１対の電力ケーブルとの電気的な接続は解除可能である場合がある。この場合、ヘッドが備えるコネクタと、１対の電力ケーブルとの電気的な接続がされていない状態で、１対の電力ケーブルに電力が供給されてしまうと、コネクタと接続される１対の電力ケーブルの一方の末端部分から、近傍の金属へ短絡もしくは放電し、電流が流れてしまう。近傍の金属とは、例えば、電力ケーブルのシールド、１対の電力ケーブルの他方の末端部分、他装置の筐体などである。
【０００５】
ここで、１対の電力ケーブルの一方の末端部分から、電力ケーブルのシールドへ電流が流れる場合には、特許文献１記載の構成にて、電流センサによって、ヘッドのコネクタと１対の電力ケーブルとの電気的な接続がされていないことを検出することができる。しかしながら、シールド以外の近傍の金属に電流が流れる場合には、特許文献１記載の構成では、ヘッドのコネクタと、１対の電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することはできなかった。
【０００６】
本願は、上記の課題に鑑み提案されたものであって、ヘッドのコネクタと電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することができるプラズマ発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書は、放電によりプラズマを発生させる電極に給電する端子、および結線されている第１端子および第２端子を有するコネクタを備えるヘッドと、端子に給電する電力ケーブルと、第１端子へ信号を伝送するケーブルと、第２端子を接地させる第１アースケーブルと、信号の伝送に伴いケーブルから第１アースケーブルに至る経路に流れる信号電流を検出する検出器と、信号の出力装置とケーブルとの間に介在するリレーと、を備え、リレーは、信号の出力装置と接続される第１入力端子と、接地される第２入力端子と、ケーブルと接続する出力端子とを有し、信号の伝送に応じて出力端子との接続を第２入力端子から第１入力端子に切替えるプラズマ発生装置を開示する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、コネクタとケーブルおよび第１アースケーブルとが接続されている場合には、検出器が信号電流を検出するため、ヘッドのコネクタと電力ケーブルとの電気的な接続がされているか否かを検出することができるプラズマ発生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】産業用ロボットに取り付けられたプラズマ発生装置の概略構成を示す図である。
【図２】プラズマヘッドの斜視図である。
【図３】プラズマヘッドの内部構造を示す断面図である。
【図４】プラズマ発生装置の制御系統を示すブロック図である。
【図５】プラズマヘッドと制御装置との電気的な接続を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
全体構成
プラズマ発生装置１０は、プラズマヘッド１１、制御装置１１０、ケーブルハーネス４０、ガス配管８０、および検知モジュール１２０などを備える。プラズマ発生装置１０は、制御装置１１０からケーブルハーネス４０を介してプラズマヘッド１１に電力を伝送し、ガス配管８０を介して処理ガスを供給し、プラズマヘッド１１からプラズマを照射させる。プラズマヘッド１１は、産業用ロボット１００のロボットアーム１０１の先端に取り付けられている。ケーブルハーネス４０およびガス配管８０はロボットアーム１０１に沿って取り付けられている。ロボットアーム１０１は、２つのアーム部１０５，１０５を１方向に連結させた多関節ロボットである。産業用ロボット１００は、ロボットアーム１０１を駆動して、ワーク台５が支持するワークＷにプラズマを照射する作業を行う。後述するように、ケーブルハーネス４０は、第１電力ケーブル５０、第２電力ケーブル５１、ケーブル５２、および第１アースケーブル５３を有する。ガス配管８０は、不図示の第１ガス配管および第２ガス配管を有する。制御装置１１０は、第１処理ガス供給装置１１１および第２処理ガス供給装置１１２を有する。第１処理ガス供給装置１１１は、窒素等を含む不活性ガスを処理ガスとして供給する。第２処理ガス供給装置１１２は、ドライエア等を含む活性ガスを処理ガスとして供給する。また、制御装置１１０には、タッチパネル１１３を備える。タッチパネル１１３は、各種の設定画面や装置の動作状態等を表示する。
【００１１】
プラズマヘッドの構成
次に、プラズマヘッド１１の構成について、図２，３を用いて説明する。図２に示すように、プラズマヘッド１１は、本体ブロック２０、１対の電極２２，２２（図３）、緩衝部材２６、第１連結ブロック２８、反応室ブロック３０、および第２連結ブロック３２を備えている。以下の説明において、方向は、図２に示す方向を用いる。
【００１２】
本体ブロック２０の上面には、上下方向に貫通する穴（不図示）が形成されており、貫通する穴に円筒状の上部ホルダ５４，５４が取り付けられている。上部ホルダ５４，５４には、棒状の導電部５８，５８が挿入されており、上部ホルダ５４，５４によって固定的に保持されている。導電部５８，５８は、夫々、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１と電気的に接続されている。導電部５８，５８の下の先端部には１対の電極２２，２２が取り付けられている。１対の電極２２，２２は、概して棒状である。本体ブロック２０には、本体ブロック２０の上面のＹ軸方向に沿う中心線上の位置に、上下方向に貫通する第１ガス流路６２の開口部が形成されている。また、本体ブロック２０の左右の面には、２本の第２ガス流路６６の開口部が形成されている。第１ガス流路６２および第２ガス流路６６は、夫々、第１ガス配管および第２ガス配管が物理的に接続されている（接続状態については不図示）。
【００１３】
緩衝部材２６は、概して板状をなし、シリコン樹脂製の素材により成形されている。第１連結ブロック２８、反応室ブロック３０、および第２連結ブロック３２は、概して板厚形状をなし、セラミック製の素材により成形されている。
【００１４】
次に、図３を用いて、プラズマヘッド１１の内部構造について説明する。本体ブロック２０の下面には、１対の円柱状の円柱凹部６０が形成されている。また、本体ブロック２０の内部には、第１ガス流路６２と、２本の第２ガス流路６６とが形成されている。第１ガス流路６２は１対の円柱凹部６０の間に開口し、２本の第２ガス流路６６は１対の円柱凹部６０の内部に開口している。尚、第２ガス流路６６は、本体ブロック２０の左右面から、本体ブロック２０の中央部に向かって、Ｘ軸方向に沿って所定距離、延びた後、下方向に向かって折れ曲がって形成されている。また、第１ガス流路６２は、本体ブロック２０の上面から、下に向かって、Ｚ軸方向に沿って所定距離、延びた後、後方向に向かって折れ曲がり、さらに、下方向へ折れ曲がって形成されている。
【００１５】
緩衝部材２６には、円柱凹部６０と連通する挿入部７６が形成されている。第１連結ブロック２８には、挿入部７６と連通する挿入部６４が形成されている。反応室ブロック３０には、挿入部６４と連通する挿入部６３が形成されている。本体ブロック２０の円柱凹部６０、挿入部７６、挿入部６４、および挿入部６３が連通しており、内部の空間が反応室３５である。第２連結ブロック３２には、上下方向に貫通する複数の連通穴３６が形成されている。複数の連通穴３６は、Ｙ方向における中央部において、Ｘ方向に並ぶように形成されている。
【００１６】
プラズマ照射
次に、プラズマ発生装置１０におけるプラズマ発生について説明する。第１ガス流路６２に、窒素等の不活性ガスとドライエアとの混合されたガスが処理ガスとして供給される。第１ガス流路６２に供給されたガスは反応室３５に供給される。また、第２ガス流路６６に、窒素等の不活性ガスが処理ガスとして供給される。第２ガス流路６６に供給された不活性ガスは、反応室３５に供給される。また、１対の電極２２，２２に電圧が印加される。これにより、１対の電極２２，２２間に疑似アーク放電が生じ、電流が流れる。疑似アーク放電により、処理ガスがプラズマ化される。なお、疑似アーク放電とは、通常のアーク放電のように大電流が流れないように、プラズマ電源で電流を制限しながら放電させる方式のものである。反応室３５で発生したプラズマは、第２連結ブロック３２の複数の連通穴３６を介して噴出され、ワークＷにプラズマが照射される。
【００１７】
制御系統
次にプラズマ発生装置１０の制御系統について、図４を用いて、説明する。制御装置１１０は、上記した構成の他に、コントローラ１３０、電源装置１４０、および複数の駆動回路１３２を備えている。複数の駆動回路１３２は、第１処理ガス供給装置１１１、第２処理ガス供給装置１１２、およびタッチパネル１１３に接続されている。コントローラ１３０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１３２および電源装置１４０に接続されている。コントローラ１３０は、電源装置１４０、第１処理ガス供給装置１１１、第２処理ガス供給装置１１２、およびタッチパネル１１３などを制御する。
【００１８】
プラズマヘッド１１の接続
図５に示すように、プラズマヘッド１１は不図示の筐体を備え、筐体の外面にコネクタ１２が設置されている。コネクタ１２は、端子１３〜１６を有する。端子１３，１４は、夫々、１対の電極２２，２２と電気的に接続されている１対の端子である。端子１５と端子１６とはプラズマヘッド１１の内部で結線されている。ケーブルハーネス４０は、コネクタ４１，４２、第１電力ケーブル５０、第２電力ケーブル５１、ケーブル５２、および第１アースケーブル５３を有する。第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１は、端子１３，１４に給電する１対の電力ケーブルである。ケーブル５２は、後述するパルス信号を端子１５へ伝送するケーブルである。コネクタ４１は端子４３〜４５を有する。コネクタ４２は端子４６〜４９を有する。第１電力ケーブル５０、第２電力ケーブル５１、ケーブル５２、および第１アースケーブル５３の各々は、電線に絶縁体が被覆されているものである。また、第１電力ケーブル５０、第２電力ケーブル５１、およびケーブル５２の各々は、一端が夫々、端子４３〜４５に接続され、他端が夫々、端子４６〜４８に接続されている。第１アースケーブル５３の一端は端子４９に接続されており、他端はアースされている。第１電力ケーブル５０、第２電力ケーブル５１およびケーブル５２は、メッシュ状の導電性のシールド部材５５でシールドされている。シールド部材５５は、電線に絶縁体が被覆されている第２アースケーブル５６でアースされている。
【００１９】
制御装置１１０は上記の構成の他に、フォトカプラ９４およびリレー９５を備えている。また、制御装置１１０は不図示の筐体を備えており、筐体の外面にコネクタ９０が設置されている。コネクタ９０は端子９１〜９３を有する。商用電源（不図示）から給電される電源装置１４０は、ＡＣ電源１４１およびＤＣ電源１４２を有する。ＡＣ電源１４１は端子９１，９２に対し、交流電力を供給する。
【００２０】
リレー９５は出力端子９６、第１入力端子９７、および第２入力端子９８を有し、コントローラ１３０から出力される信号に応じて、出力端子９６との接続を第２入力端子９８から第１入力端子９７へ切替える。ＤＣ電源１４２はフォトカプラ９４のフォトトランジスタのアノード端子に直流電圧を供給する。フォトカプラ９４のフォトトランジスタのカソード端子および発光ダイオードのアノード端子はコントローラ１３０に電気的に接続されている。フォトカプラ９４の発光ダイオードのカソード端子はリレー９５の第１入力端子９７に接続されている。リレー９５の第２入力端子９８は、電線に絶縁体が被覆されている第３アースケーブル５７を介してアースされている。また、制御装置１１０が備える電源装置１４０およびコントローラ１３０の接地電圧は第３アースケーブル５７を介してアースされている。リレー９５の出力端子９６はコネクタ９０の端子９３と電気的に接続されている。
【００２１】
制御装置１１０のコネクタ９０とケーブルハーネス４０のコネクタ４１とが、端子９１〜９３が、夫々、端子４３〜４５と接続するように接続される。プラズマヘッド１１のコネクタ１２と、ケーブルハーネス４０のコネクタ４２とが、端子１３〜１６が、夫々、端子４６〜４９と接続するように接続される。
【００２２】
検知モジュール１２０は、カレントトランスＣＴおよび比較回路１２１を有する。カレントトランスＣＴの貫通コアには、第１アースケーブル５３、第２アースケーブル５６、および第３アースケーブル５７が挿通されている。カレントトランスＣＴは、第１アースケーブル５３、第２アースケーブル５６、および第３アースケーブル５７に流れる電流値に応じた検出電圧を比較回路１２１へ出力する。ＤＣ電源１４２は比較回路１２１へ基準電圧を供給する。比較回路１２１は、検出電圧が基準電圧以上となると、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ１３０へ出力する。
【００２３】
図１に示したように、ケーブルハーネス４０は、産業用ロボット１００のロボットアーム１０１に取り付けられている。ケーブルハーネス４０の長さは、例えば５ｍ程度である。また、プラズマヘッド１１は例えばメンテナンスのため、産業用ロボット１００から取り外され、ケーブルハーネス４０との接続が解除される場合がある。その後、プラズマヘッド１１が産業用ロボット１００に取り付けられる際に、作業者がプラズマヘッド１１とケーブルハーネス４０との接続を忘れてしまう場合がある。コントローラ１３０は、例えば、電源装置１４０からプラズマヘッド１１へ給電を開始させる前に、プラズマヘッド１１とケーブルハーネス４０との接続の有無を確認する処理を実行する。
【００２４】
コントローラ１３０は、例えば、プラズマ照射の開始を受け付けると、プラズマヘッド１１とケーブルハーネス４０との接続の有無を確認するために、リレー９５に出力端子９６との接続を第２入力端子９８から第１入力端子９７に切替える信号を出力する。これにより、図５に示すように、出力端子９６と第１入力端子９７とが接続する。また、フォトカプラ９４の発光ダイオードにパルス信号を出力する。ケーブルハーネス４０とプラズマヘッド１１との電気的な接続がなされている場合には、パルス信号に応じた信号電流が、リレー９５、ケーブル５２、端子４８、端子１５、端子１６、第１アースケーブル５３を介して、アースへ流れる。これにより、フォトカプラ９４からオン信号がコントローラ１３０へ出力される。コントローラ１３０は、フォトカプラ９４からオン信号が入力されると、例えばタッチパネル１１３に接続ありを示す情報を表示させ、電源装置１４０に給電を開始させる。一方、ケーブルハーネス４０とプラズマヘッド１１との電気的な接続がなされていない場合には、パルス信号に応じた信号電流は流れないため、フォトカプラ９４からオン信号がコントローラ１３０へ出力されない。コントローラ１３０は、フォトカプラ９４からオン信号が入力されないと、例えばタッチパネル１１３に接続なしを示す情報を表示させる。これにより、作業者は、プラズマヘッド１１とケーブルハーネス４０との接続がなされていないことを認識することができる。
【００２５】
尚、プラズマ照射の際には、コントローラ１３０は、リレー９５に出力端子９６との接続を第２入力端子９８から第１入力端子９７に切替える信号を出力しない。このため、リレー９５において、出力端子９６と第２入力端子９８とが接続し、ケーブル５２は第３アースケーブル５７を介して、アースされる。
【００２６】
ところで、ケーブルハーネス４０は、産業用ロボット１００のロボットアーム１０１に取り付けられている。このため、ロボットアーム１０１の動きに応じて、ケーブルハーネス４０には、屈曲、拠り、引っ張りなどのストレスがかかり、損傷を受ける場合がある。例えば、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも一方が破損し、アースされているシールド部材５５との間で、短絡もしくは放電が生じた場合には、第２アースケーブル５６に電流が流れる。また、例えば、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも一方と、ケーブル５２および第１アースケーブル５３の少なくとも何れか一方とが破損し、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも一方がアースとの間で短絡もしくは放電が生じた場合には、ケーブル５２および第１アースケーブル５３の少なくとも何れか一方に電流が流れる。尚、ケーブル５２に電流が流れる場合には、リレー９５を介して、第３アースケーブル５７に電流が流れる。短絡もしくは放電により、第１アースケーブル５３、第２アースケーブル５６、および第３アースケーブル５７の少なくとも何れか１つに電流が流れ、カレントトランスＣＴの検出電圧が基準電圧以上となると、比較回路１２１は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ１３０へ出力する。コントローラ１３０は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号が入力されると、例えばタッチパネル１１３に漏電を報知するメッセージを表示させる。
【００２７】
ここで、プラズマ発生装置１０はプラズマ発生装置の一例である。電極２２，２２は電極および１対の電極の一例であり、端子１３，１４は端子および１対の端子の一例であり、端子１５は第１端子の一例であり、端子１６は第２端子の一例である。コネクタ１２はコネクタの一例であり、プラズマヘッド１１はヘッドの一例である。第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１は電力ケーブルおよび１対の電力ケーブルの一例である。また、ケーブル５２はケーブルの一例であり、第１アースケーブル５３は第１アースケーブルの一例であり、フォトカプラ９４は検出器およびフォトカプラの一例である。フォトカプラ９４の発光ダイオードは発光素子の一例である。コントローラ１３０は信号の出力装置の一例である。リレー９５はリレーの一例であり、出力端子９６は出力端子の一例であり、第１入力端子９７は第１入力端子の一例であり、第２入力端子９８は第２入力端子の一例である。第３アースケーブル５７は第２アースケーブルの一例であり、第２アースケーブル５６は第３アースケーブルの一例である。タッチパネル１１３は報知部の一例である。
【００２８】
以上、説明した第１実施形態によれば、以下の効果を奏する。
プラズマ発生装置１０は、コネクタ１２を有するプラズマヘッド１１、ケーブルハーネス４０、フォトカプラ９４を備える。コネクタ１２は、放電によりプラズマを発生させる電極２２，２２に給電する端子１３，１４、および結線されている端子１５および端子１６を有する。ケーブルハーネス４０は、端子１３，１４に給電する第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１、端子１５へパルス信号を伝送するケーブル５２、端子１６を接地させる第１アースケーブル５３を有する。フォトカプラ９４は、パルス信号の伝送に伴いケーブル５２から第１アースケーブル５３に至る経路に流れる信号電流を検出する。
【００２９】
プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされている場合には、コントローラ１３０からフォトカプラ９４、リレー９５、ケーブル５２、端子１５、端子１６、第１アースケーブル５３を介して、アースへパルス信号に応じた信号電流が流れる。一方、プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされていない場合には、パルス信号に応じた信号電流は流れない。つまり、フォトカプラ９４により信号電流が検出された場合とは、プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされている場合である。プラズマ発生装置１０は、フォトカプラ９４が信号電流を検出するか否かにより、プラズマヘッド１１のコネクタ１２と、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１との電気的な接続がされているか否かを検出することができる。
【００３０】
また、プラズマ発生装置１０は、コントローラ１３０とケーブル５２との間に介在するリレー９５を備える。リレー９５は、コントローラ１３０と接続される第１入力端子９７と、アースされる第２入力端子９８と、ケーブル５２と接続する出力端子９６とを有する。コントローラ１３０は、例えばプラズマ発生前に、フォトカプラ９４へパスル信号を出力し、リレー９５へ出力端子９６との接続を第１入力端子９７に切替える信号を出力する。リレー９５はパルス信号の伝送に応じて、出力端子９６との接続を第２入力端子９８から第１入力端子９７に切替える。このように、プラズマ発生装置１０は、プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされているか否かを検出する場合には、リレー９５の出力端子９６を第１入力端子９７と接続する。また、プラズマ発生装置１０は、１対の電極２２，２２に電力を供給してのプラズマ発生時には、リレー９５の出力端子９６を第２入力端子９８と接続する。これにより、プラズマ発生時において、リレー９５を介する経路により、ケーブル５２をアースさせることができる。
【００３１】
また、プラズマ発生装置１０は、端子１６をアースさせる第１アースケーブル５３と、第２入力端子９８を接地させる第３アースケーブル５７と、シールド部材５５をアースさせる第２アースケーブル５６と、カレントトランスＣＴとを備える。カレントトランスＣＴは、第１アースケーブル５３を流れる信号電流、第２アースケーブル５６、および第３アースケーブル５７に流れる電流を検出する。１対の電極２２，２２に電力を供給してのプラズマ発生時において、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも何れか一方が破損した場合に、シールド部材５５と短絡もしくは放電により、第２アースケーブル５６に電流が流れる場合がある。また、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも何れか一方と、ケーブル５２および第１アースケーブル５３の少なくとも何れか一方とが破損した場合には、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の少なくとも何れか一方と、ケーブル５２および第１アースケーブル５３の少なくとも何れか一方との間で、短絡もしくは放電し、ケーブル５２および第１アースケーブル５３の少なくとも何れか一方を介して、アースに電流が流れる場合がある。このような場合、第１アースケーブル５３、第２アースケーブル５６、および第３アースケーブル５７の少なくとも何れか１つに、短絡もしくは放電に伴う電流が流れ、検出電圧が基準電圧以上となると、比較回路１２１は、検出電圧が基準電圧以上となったことを示す信号をコントローラ１３０へ出力する。このように、リレー９５における出力端子９６との接続を切替えて、カレントトランスＣＴにより、プラズマヘッド１１のコネクタ１２と第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１との電気的な接続がされているか否かの検出に加え、第１電力ケーブル５０および第２電力ケーブル５１の破損などによるアースへの漏電を検出することができる。
【００３２】
また、プラズマ発生装置１０は、フォトカプラ９４が信号電流を検出することに応じて、コネクタ１２が接続されている旨を報知するタッチパネル１１３を備える。これにより、作業者は、コネクタ１２が接続されてないことを認識することができる。
【００３３】
また、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。
例えば、上記では、リレー９５を備える構成を説明したが、リレー９５を備えない構成としても良い。この場合、プラズマ発生時には、コントローラ１３０のパルス信号の出力端子をハイインピーダンスとする、プルダウンするなどしてもと良い。また、上記では、単極双投のリレー９５を備える構成を説明したが、単極単投のリレーをそなえる構成としても良い。詳しくは、プラズマ発生時には、リレーの接点を開き、フォトカプラ９４と端子９３との電気的な接続を切る。また、プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされているか否かを検出する場合には、リレーの接点を閉じる構成とする。
【００３４】
また、上記では、プラズマヘッド１１のコネクタ１２とケーブルハーネス４０との電気的な接続がされているか否かを、フォトカプラ９４により検出すると説明したが、カレントトランスＣＴにより検出する構成としても良い。詳しくは、上記と同様に、ケーブル５２にパルス信号を伝達させ、第１アースケーブル５３に信号電流が流れるか否かをカレントトランスＣＴにより検出する構成としても良い。
【００３５】
また、上記では、検出器としてフォトカプラ９４を例示したが、検出器はフォトカプラ９４に限らない。例えば、シャント抵抗などを用いて、信号電流を検出する構成としても良い。また、フォトカプラ９４はコントローラ１３０とリレー９５との間に接続されていると説明したが、位置はこれに限定されず、例えば、リレー９５と端子９３との間に接続される構成としても良い。
【００３６】
また、上記では、信号としてパルス信号を例示したが、信号はパルス信号に限らない。例えば、信号を定電圧信号とする構成としても良い。この場合、コントローラ１３０ではなく、電源装置１４０から信号を出力する構成としても良い。
【００３７】
また、上記では、第１アースケーブル５３はシールド部材５５にシールドされていない構成を説明したが、シールドされている構成としても良い。
【００３８】
また、報知部としてタッチパネル１１３を例示したが、これに限定されない。報知部は、例えばＬＥＤなどの表示灯、スピーカなどでも良い。
【符号の説明】
【００３９】
１０  プラズマ発生装置
１１  プラズマヘッド
１２  コネクタ
１３，１４，１５，１６  端子
２２  電極
５０  第１電力ケーブル
５１  第２電力ケーブル
５２  ケーブル
５３  第１アースケーブル
５６  第２アースケーブル
５７  第３アースケーブル
９４  フォトカプラ
９５  リレー
９６  出力端子
９７  第１入力端子
９８  第２入力端子
１１３  タッチパネル
１３０  コントローラ
ＣＴ  カレントトランス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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