(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工部材をテーブル上に保持した状態で前記被加工部材を加工ユニットで加工する被加工部材の加工装置において、
前記テーブルは、
被加工部材の載置面を有し、該載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、
前記内側テーブルの外側を取り囲んで設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体と、
前記外側筐体内であって、前記内側テーブルの吸引孔に挿通して設けられた複数の突没自在な昇降ピンと、を備え、
前記内側テーブルは、前記外側筐体と相対的に上下動自在に設けられ、前記被加工部材を載置するときは、上昇位置に位置し、前記吸引室内に負圧が作用したときは、下降位置まで下降するように構成され、
前記昇降ピンは、
弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、
前記内側テーブルが上昇位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの吸引孔内に位置し、
前記内側テーブルが下降位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの載置面より突出するように構成される被加工部材の加工装置。
【請求項２】
前記加工ユニットは、移動自在なロボットアームの先端に設けられたワイヤソーである請求項１に記載の被加工部材の加工装置。
【請求項３】
前記被加工部材は、少なくとも一面に複数の開口が形成され、
前記被加工部材を内側テーブルに載置し、該内側テーブルの載置面に吸着力を発生させて前記被加工部材を吸着保持することで前記内側テーブルを下降位置に下降させて、昇降ピンを突出させることで、前記昇降ピンの少なくとも１本を被加工部材の開口内に挿入させ、前記被加工部材を吸着及び昇降ピンでテーブルに固定するように構成した請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置。
【請求項４】
前記被加工部材は、筒状のセルが集合して形成されるハニカムコア部材であり、前記ハニカムコア部材に非通気性部材を被せて前記テーブルの載置面に吸着力を発生させるように構成した請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置。
【請求項５】
前記昇降ピンは、弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、前記被加工部材の開口部と対応した昇降ピンのみがテーブルの載置面から突出するように構成した請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置。
【請求項６】
被加工部材をテーブル上に保持し、前記被加工部材をテーブルに固定した状態で加工する被加工部材の加工方法において、
前記テーブルを、被加工部材の載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、前記内側テーブルの外側を取り囲むように設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体とで形成すると共に前記内側テーブルの吸引孔に複数の突没自在な昇降ピンを挿通しておき、
前記内側テーブルの載置面に被加工部材を載置し、
前記吸引室を負圧にし、前記内側テーブルを下降位置まで下降させることで、前記被加工部材の吸着面と干渉しない位置の昇降ピンを前記載置面から突出可能にするように構成した被加工部材の加工方法。
【請求項７】
前記加工を移動自在なロボットアームの先端に設けたワイヤソーで行うように構成した請求項６に記載の被加工部材の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、航空機や自動車部品等に用いられるハニカムコア部材等の被加工部材の加工方法及び加工装置に関する。さらに詳しくは、ハニカムコア部材等の被加工部材をテーブルに固定し、所定の形状に加工する被加工部材の加工方法及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ワイヤソー等の加工装置にて、サファイア、シリコンカーバイド、シリコンなどの各種の被加工部材が切断されている。これらの被加工部材を切断するに先立って、予め被加工部材をダミー部材（例えば、カーボン、ガラス、セラミックス）に接着固定し、このダミー部材を、ベース部材に取り付け、該ベース部材を加工装置に取り付けて保持することが行なわれている。例えば加工装置としてワイヤソーを用いる場合、前記ダミー部材に接着固定された被加工部材が、前記ベース部材を介してワイヤソーに取り付けられる。そして、前記被加工部材にワイヤソーの走行するワイヤが押し付けられることで該被加工部材が、薄板状に切断される。
【０００３】
最近では、航空機や自動車の効率向上として、軽量かつ高剛性の材料が求められており、その材料の一つとして、ハニカムコア部材が知られている。前記ハニカムコア部材は、アラミド樹脂等の繊維強化樹脂やアルミニウム等の軽量部材で形成される多数のセルをハニカム配置に集合させることで形成されている。従って、前記ハニカムコア部材は、重量に対して強度が高いという機械的特性を有している。
【０００４】
そこで、最近では、前記ワイヤソーを用いて、ハニカムコア部材を切断することが行われている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
また、前記ハニカムコア部材を加工するに先立って、ハニカムコア部材を固定する必要が生じるが、この固定には、例えばハニカムコア部材をクランプしたり、テーブルに接着したりすることで行なわれている。また、ハニカムコア部材のセル内にセル径より大きい木ネジをねじ込んで固定することも行われている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開２０１４−７３５４９号公報
【特許文献２】特開２００３−１１７７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記ハニカムコア部材は、セルの軸方向に沿って空間が形成されており、軸方向に沿って通気性を有する。このようなハニカムコア部材を保持する場合、ハニカムコア部材は、セルの軸方向に沿った強度は高いが、軸方向と直交する直交方向には、あまり強度が高くないという問題があり、セル軸の方向と直交する方向からクランプで固定すると、ハニカムコア部材が破損する問題があった。
【０００７】
また、特許文献２のような方法は、セル内に木ネジをねじ込むようになっており、セルを損傷するため、ハニカムコア部材の使用領域が狭くなり、材料を有効利用できない問題があった。また、加工装置で加工を終えた後、次の被加工部材を交換するためには、複数の木ネジをセルから取り外す必要があり、ハニカムコア部材の交換に時間を要する問題があった。
【０００８】
上記のように、ハニカムコア部材は、強度の面からセルの軸方向から保持することが好ましく、また容易に着脱するために吸着固定が適している。しかしながら、ハニカムコア部材は軸方向に通気性があるため、単純に吸着保持することができない問題があった。また、セル軸の方向から吸着保持した場合であっても、加工装置で曲面加工等する場合には、ハニカムコア部材に回転方向の力も加わるため、吸着保持力を高める必要があった。
【０００９】
そこで本発明は、通気性のある被加工部材を、加工装置の負荷に耐え得るように保持しつつ、加工装置と干渉しないように加工する加工方法及び加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、被加工部材をテーブル上に保持した状態で前記被加工部材を加工ユニットで加工する被加工部材の加工装置において、
前記テーブルは、
被加工部材の載置面を有し、該載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、
前記内側テーブルの外側を取り囲んで設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体と、
前記外側筐体内であって、前記内側テーブルの吸引孔に挿通して設けられた複数の突没自在な昇降ピンと、を備え、
前記内側テーブルは、前記外側筐体と相対的に上下動自在に設けられ、前記被加工部材を載置するときは、上昇位置に位置し、前記吸引室内に負圧が作用したときは、下降位置まで下降するように構成され、
前記昇降ピンは、
弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、
前記内側テーブルが上昇位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの吸引孔内に位置し、
前記内側テーブルが下降位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの載置面より突出するようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の被加工部材の加工装置において、前記加工装置が、移動自在なロボットアームの先端に設けられたワイヤソーである構成を採用した被加工部材の加工装置である。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置において、前記被加工部材は、少なくとも一面に複数の開口が形成され、
前記被加工部材を内側テーブルに載置し、該内側テーブルの載置面に吸着力を発生させて前記被加工部材を吸着保持することで前記内側テーブルを下降位置に下降させて、昇降ピンを突出させることで、前記昇降ピンの少なくとも１本を被加工部材の開口内に挿入させ、前記被加工部材を吸着及び昇降ピンでテーブルに固定するようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置において、前記被加工部材は、筒状のセルが集合して形成されるハニカムコア部材であり、前記ハニカムコア部材に非通気性部材を被せて前記テーブルの載置面に吸着力を発生させるようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の被加工部材の加工装置において、前記昇降ピンは、弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、前記被加工部材の開口部と対応した昇降ピンのみがテーブルの載置面から突出するようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
【００１５】
請求項６の発明は、被加工部材をテーブル上に保持し、前記被加工部材をテーブルに固定した状態で加工する被加工部材の加工方法において、
前記テーブルを、被加工部材の載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、前記内側テーブルの外側を取り囲むように設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体とで形成すると共に前記内側テーブルの吸引孔に複数の突没自在な昇降ピンを挿通しておき、
前記内側テーブルの載置面に被加工部材を載置し、
前記吸引室を負圧にし、前記内側テーブルを下降位置まで下降させることで、前記被加工部材の吸着面と干渉しない位置の昇降ピンを前記載置面から突出可能にするようにした構成を採用する被加工部材の加工方法である。
【００１６】
請求項７の発明は、請求項６の発明において、前記加工を移動自在なロボットアームの先端に設けたワイヤソーで行うようにした構成を採用する被加工部材の加工方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、被加工部材を吸着による固定と、昇降ピンによる固定により、被加工部材を強固に固定でき、しかも、曲面加工等による回転方向の力にも耐えうるように複数の昇降ピンにより被加工部材を固定できるので、精度の良い加工が行なえる。また、加工が終了した後に、吸着を解放するだけで、吸着固定と昇降ピンによる固定の両方を解放でき、交換時間を短縮できるので、効率の良い加工が行なえる。また、通気性のある被加工部材であっても強固に吸着固定できる。
【００１８】
また、昇降ピンが、抵抗を受けた場合に、昇降ピンがテーブルの載置面から突出しないようになっているので、被加工部材と昇降ピンの先が接触して被加工部材を損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】は、本発明の一実施形態に係るワイヤソーを用いた加工装置の全体斜視図である。
【図２】は、図１のワイヤソーの一部切欠き平面図である。
【図３】は、図２のワイヤソーの正面図である。
【図４】は、本発明の加工装置のテーブル部分の平面図である。
【図５】は、図４のＡ−Ａ方向断面矢視図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、被加工部材をテーブルに固定する状態の説明図である。
【図７】は、本発明の加工装置に被加工部材をテーブルに固定する状態のテーブル部分の断面方向拡大説明図である。
【図８】は、本発明の加工装置に被加工部材をテーブルに載置した状態の平面方向説明図である。
【図９】は、本発明の加工装置に被加工部材をテーブルに載置した状態の部分拡大説明図である。
【図１０】は、本発明の加工装置で被加工部材を加工する状態を表す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の加工装置の一実施形態について図１から図４に基づいて以下に説明する。
【００２１】
図１のように本発明の加工装置１は、機台２と、機台２上に立設された移動自在な多関節ロボット３と、多関節ロボット３のアームの先端軸３ａに設けられたツールチェンジャー４と、ツールチェンジャー４を介して着脱自在に設けられた加工ユニット５と、加工する被加工部材Ｗを載置して固定するテーブル２０等を備えて構成されている。
【００２２】
前記機台２は、適宜な床面や壁面等に固定されている。前記機台２上には、多関節ロボット３が設けられ、図示しない制御機構でアームが移動自在に制御されるようになっている。また、多関節ロボット３のアームの先端軸３ａは、図示しない適宜の駆動源により、回動自在になっている。
【００２３】
前記多関節ロボット３のアームの先端軸３ａに、ツールチェンジャー４が設けられている。前記ツールチェンジャー４は、例えばボールプランジャーを備え、前記ツールチェンジャー４を介して加工ユニット５が着脱自在に支持されている。なお、ツールチェンジャー４は、係合自在な係合ピンや電磁石等、適宜の手段を用いて構成することができる。
【００２４】
前記加工ユニット５は、本実施形態においてはワイヤソーが用いられている。図２のように、前記加工ユニット５は、コの字型のフレーム８と、前記フレーム８に収納される複数のガイドプーリ９（図２参照）と、前記ガイドプーリ９に懸架される無端状のワイヤ６と、前記ワイヤ６の近傍に設けられ、ワイヤ６を冷却すると共に加工屑を吹き飛ばす気体の噴射ノズル７等を備えて構成されている。
【００２５】
図２のように、前記ガイドプーリ９は、フレーム８の内壁に軸支され、少なくとも１つのガイドプーリ９に、適宜の駆動源（図示しない）が設けられている。また、被加工部材Ｗを加工する切断領域のワイヤ６は、両側のガイドプーリ９ａの軸が被加工部材Ｗの加工方向と垂直となるように設けられ、被加工部材Ｗを加工する際の抵抗をガイドプーリ９ａの溝で受け止めるようになっている。従って、前記多関節ロボット３の先端軸３ａが回動することで切断領域のワイヤ６が被加工部材Ｗの加工方向に沿って揺動円弧運動するようになっている。ワイヤ６を揺動円弧運動させることで、ワイヤ６と被加工部材Ｗの接触が点接触に近づき、切断負荷が軽減されるので、加工速度が向上すると共に無理な負荷によるワイヤ６のブレが少なくなり加工精度が向上する。さらに、加工屑の排出も容易になり、加工速度が向上すると共に加工精度が向上する。なお、ガイドプーリ９ａの少なくともいずれか一方のプーリ軸にロードセル等の荷重センサを設け、切断負荷に応じて多関節ロボット３を制御するようにしても良い。
【００２６】
上記のように両側のガイドプーリ９ａの軸が被加工部材Ｗの加工方向と垂直となるように設けられ、被加工部材Ｗを加工する際の抵抗をガイドプーリ９ａの溝で受け止めるようになっているので、加工ユニット５のフレーム８の懐に依存せずに加工を行なうことができる。すなわち、加工ユニット５のテーブル等への干渉を低減できるので、被加工部材Ｗの自由形状の加工が容易に行なえる。
【００２７】
なお、本実施形態においては多関節ロボット３の先端軸３ａの回動だけでワイヤ６を揺動円弧運動させるように構成したが、多関節ロボット３自体を移動させてワイヤ６を所定方向に揺動させるようにすることもできる。ただし、多関節ロボット３の先端軸３ａの回動だけで揺動円弧運動させるように構成することが、制御の容易さや多関節ロボット３の可動範囲を狭くする点で好ましい。
【００２８】
前記ワイヤ６は、本実施形態においてはワイヤ６の芯線にダイヤモンド砥粒が電着、レジン等で固定された固定砥粒ワイヤを無端状に形成したものが用いられている。なお、砥粒は、加工する材質に応じてシリコンカーバイドやボロン、アルミナ等適宜のものを使用すれば良い。また、無端状ではなく一本の長尺のワイヤを用いる場合は、供給リールと回収リールを搭載するようにし、供給リールからワイヤを供給しながら加工を行うようにしても良い。また、前記ワイヤ６はガイドプーリ９に設けられた図示しない駆動源により走行駆動され、一方向走行または往復走行が可能になっている。また、ワイヤ６に所定の張力を付与する張力機構を設けても良い。
【００２９】
前記噴射ノズル７は、ワイヤ６の被加工部材Ｗを切断する切断領域の近傍に設けられている。前記噴射ノズル７には、図示しない適宜のポンプから冷却風が通気され、噴射ノズル７の先端から噴射される。冷却風は、被加工部材Ｗの材質に応じて適宜冷却機構で冷却しても良い。
【００３０】
上記のように冷却風で冷却しながら加工を行うので、ドライな環境で切断することができ、加工液に弱い（例えば化学変化を起こすようなものや液体に溶解するもの）被加工部材Ｗにも好ましく適用できる。なお、加工液をかけても問題ない被加工部材Ｗを加工する場合は、冷却風に代え加工液を用いることも可能である。
【００３１】
前記テーブル２０は前記加工ユニット５の近傍に設けられ、図示しないベース上に立設されている。前記テーブル２０は、上面に被加工部材Ｗを載置固定する内側テーブル２１と、前記内側テーブル２１の外側を取り囲んで設けられ、前記内側テーブル２１が嵌合された外側筐体２２と、を備えて構成されている。
【００３２】
図４及び図５のように、前記内側テーブル２１は、載置面に複数の吸引孔２３が穿設されている。また、前記内側テーブル２１は、外側筐体２２内の四隅に設けられたガイド部材２６に支持され、前記ガイド部材２６に設けたバネ等の弾性部材２６ａによって上方に向けて付勢されている。
【００３３】
また、前記内側テーブル２１の側面部に沿って非通気性のカバー２４が取り付けられており、前記カバー２４は、前記外側筐体２２の外側に被せられている。従って、前記内側テーブル２１と外側筐体２２は、カバー２４を介して吸引室３０を形成するようになっている。また、前記外側筐体２２には、吸引アダプタ２５が設けられ、前記吸引アダプタ２５には図示しないブロア等の吸引手段が接続されている。なお、前記吸引孔２３が塞がれた際に前記吸引手段で吸引を行うことで、吸引室３０内が負圧になる。
【００３４】
そして、前記吸引室３０が大気圧または正圧のときは、前記内側テーブル２１が、上昇位置に位置し、前記吸引室３０が減圧されて負圧になったときは、前記内側テーブル２１が、弾性部材２６ａに抗して下降し、下降位置に位置するようになっている。なお、前記外側筐体２２の内壁にストッパ２７が設けられており、前記内側テーブル２１が下降する際に下降位置で停止するようになっている。
【００３５】
前記吸引孔２３内にはそれぞれ昇降ピン２８が挿通され、前記昇降ピン２８の先端が、上昇位置に位置する前記内側テーブル２１の載置面と面一または載置面より僅かに下方に位置するように設けられている。前記昇降ピン２８の下端は、前記外側筐体２２の底面に立設されたガイド部材２９に支持され昇降自在になっている。また、前記ガイド部材２９には、バネ等の弾性部材２９ａが設けられ、前記弾性部材２９ａは、前記昇降ピン２８を上方に向けて付勢するようになっている。
【００３６】
従って、前記吸引室３０を負圧にし、内側テーブル２１を下降位置に下降させることで、前記内側テーブル２１の載置面から昇降ピン２８が突出するようになっている。また、前記吸引孔２３が被加工部材Ｗにより塞がれていた場合、前記昇降ピン２８が、抵抗を受け、弾性部材２９ａが圧縮されることにより、昇降ピン２８が突出しないようになっている。昇降ピン２８の突出長さは、被加工部材Ｗの開口の長さに応じて、適宜変更すれば良く、例えば開口の長さの２割から８割程度が好ましい。但しこれに限定されるものではなく、吸着保持力とのバランスで昇降ピン２８を挿入することなく固定することも可能である。
【００３７】
なお、本発明の実施形態においては、被加工部材Ｗとして、例えば航空機部品や自動車部品等に用いられるハニカムコア部材を用いている。
【００３８】
前記ハニカムコア部材は、六角形のセル（筒状体）１０が蜂の巣状（ハニカム配置）に多数集合して形成され、前記セル１０の軸方向に沿って通気性を有する。前記セル１０は、アラミド樹脂等の繊維強化樹脂やアルミニウム等の軽量金属で形成され、重量に対して高い強度を有する。前記ハニカムコア部材は、セル１０の軸方向に通気性を有するので、そのままテーブル２０に保持しようとしても、吸着漏れが発生し、保持できない。そこで、本発明の実施形態においては、テーブル２０に前記ハニカムコア部材を載置し、その上面に非通気性シートＳを被せるようにする。なお、非通気性シートＳは、少なくとも前記テーブル２０の吸引孔２３と対向する位置を覆い隠す大きさであれば良い。
【００３９】
なお、本実施形態においては、被加工部材Ｗとして通気性のあるハニカムコア部材を加工するようにしているが、ハニカムコア部材以外の通気性部材も加工することができる。この場合は、ハニカムコア部材の場合と同様に非通気性シートＳを被せれば良い。また、ハニカムコア部材も六角形状のセルだけでなく矩形、三角形など各種形状のセルで形成された部材も加工することができる。また、非通気性部材で被加工部材Ｗの載置面側に昇降ピン２８を挿入できる開口を有する部材であっても好ましく加工することができる。この場合は、非通気性シートＳを用いることなく、吸着保持と昇降ピン２８とで固定できる。
【００４０】
以上が、本発明の一実施形態に係る加工装置の構成であり、次に本発明の加工装置を用いて被加工部材Ｗを吸着保持する方法について図６から図９に基づいて以下に説明する。
【００４１】
図６（ａ）及び（ｂ）は、被加工部材Ｗ（ハニカムコア部材）をテーブル２０に固定する状態を表す説明図である。
【００４２】
図６（ａ）のように、内側テーブル２１を上昇位置に位置させ、前記内側テーブル２１の載置面に被加工部材Ｗを載置する。次に、被加工部材Ｗ上に非通気性シートＳを被せる。非通気性シートＳは、内側テーブル２１の複数の吸引孔２３と対応する被加工部材Ｗのセル１０を覆う大きさであれば良い。
【００４３】
図６（ｂ）のように、吸引アダプタ２５に接続された図示しない吸引手段で減圧を行ない、吸引室３０内に負圧を発生させることで内側テーブル２１が下降する。前記内側テーブル２１がストッパ２７に当接すると、内側テーブル２１の下降が停止し、下降位置に位置付けられる。
【００４４】
前記内側テーブル２１の下降に伴って、昇降ピン２８が内側テーブル２１の載置面から突出する。このとき、被加工部材Ｗのセル壁１１と干渉しない昇降ピン２８のみが前記被加工部材Ｗのセル１０内に進入する。被加工部材Ｗのセル壁１１と干渉した昇降ピン２８は、図６（ｂ）及び図７のように、弾性部材２９ａの収縮によって内側テーブル２１の載置面から突出しない。このように、昇降ピン２８が弾性部材２９ａによって上方に付勢され、被加工部材Ｗと干渉する昇降ピン２８が突出しないようになっているので、開口を有しない被加工部材Ｗの場合は、吸着によって保持でき、開口を有する被加工部材Ｗは、吸着及び昇降ピン２８で保持できる。従って、被加工部材Ｗの通気性、非通気性に依存せずにテーブル２０で各種の被加工部材Ｗを効率的に保持できる。
【００４５】
また、図７の矢印のように被加工部材Ｗは、セル１０の軸方向（図示上下方向）への吸着力で内側テーブル２１に吸着保持されると共に、前記昇降ピン２８が複数挿入されることで、セル１０の軸と垂直方向への移動が制限されるようになっている。なお、昇降ピン２８の先端形状は、被加工部材Ｗのセル壁１１と接触しても被加工部材Ｗを損傷しないように曲面または平面にすることが好ましい。また、昇降ピン２８が円滑にセル１０内に円滑に進入するように先端を円錐形状に傾斜させて形成することが好ましい。また、昇降ピン２８の先端を円錐形状に形成し、円錐の端部を球面状にすることが、セル１０内に昇降ピンを円滑に挿入する面で、より好ましい。なお、昇降ピン２８の径は、セル１０の大きさに応じて適宜選択すれば良く、セル１０に挿入できる径であれば良い。
【００４６】
図８及び図９は、被加工部材Ｗをテーブル２０上に載置した際の昇降ピン２８との関係を模式的に表した説明図である。
【００４７】
図８のように、被加工部材Ｗをテーブル２０上に載置した場合、複数の昇降ピン２８と被加工部材Ｗのセルとが干渉する場所と、干渉せずにセル１０内に昇降ピン２８が挿入される場所とが存在する。なお、昇降ピン２８は多数配置されているので、いずれか複数の昇降ピン２８が被加工部材Ｗのセル１０内に挿入される。なお、昇降ピン２８の配置や径は、保持する被加工部材Ｗの形状に合わせて適宜変更できる。例えば昇降ピン２８の径は２〜３ｍｍ程度であるが、被加工部材Ｗの開口の大きさに合わせて、適宜変更でき、被加工部材Ｗの開口に円滑に挿入、抜去ができるものであれば好ましく使用できる。
【００４８】
図９のように、被加工部材Ｗに挿入された昇降ピン２８は黒点で表され、点線で表された昇降ピン２８は、被加工部材Ｗのセル壁１１と干渉して、突出していないものを表している。黒点で表された昇降ピン２８は、図示矢印が指示するセル壁１１によって動きが制限される。従って、被加工部材Ｗは、吸着による保持力と昇降ピン２８による横ずれの制限により、テーブル２０に強固に保持される。
【００４９】
また、吸着を解き、吸引室３０内を大気圧または正圧とすることで、内側テーブル２１が上昇位置に上昇し、昇降ピン２８が内側テーブル２１の吸引孔２３内に収まるので、被加工部材Ｗを容易にテーブル２０から取り外すことができる。
【００５０】
次に図１０に基づいて、上記テーブル２０への被加工部材Ｗの固定方法を用いた加工方法について説明する。
【００５１】
上記のようにテーブル２０の載置面上に被加工部材Ｗを載置し、非通気性シートＳを被せる。非通気性シートＳは、柔軟なビニール等の部材や樹脂等の硬質な薄板状のものであっても良い。
【００５２】
次に、テーブル２０の吸引室３０内を負圧にして、被加工部材Ｗをテーブル２０上に固定する。続いて、多関節ロボット３に搭載した加工ユニット５（本実施形態ではワイヤソー）を制御し、テーブル２０に保持した被加工部材Ｗに加工ユニット５の走行するワイヤ６を押し付ける。このとき、噴射ノズル７から冷却風を噴射し、ワイヤ６の冷却を行うと共に切断屑を吹き飛ばして除去する。また、加工ユニット５は、必要に応じて、多関節ロボット３の先端軸３ａを正逆回転させて、ワイヤ６を揺動円弧運動させる。
【００５３】
被加工部材Ｗが所定の形状に切断された後、テーブル２０の吸着を解放することで、切断の完了した被加工部材Ｗを取り外す。
【００５４】
以上が、本発明の被加工部材の加工装置及び加工方法の実施形態であるが、適宜発明の範囲で変更できる。
【００５５】
本発明では加工ユニットとしてワイヤソーを用いたが、バンドソーや、ナイフなど各種加工ツールを用いることが可能である。また、テーブル２０の形状も、矩形だけではなく、円形、三角形やその他の多角形であっても良い。また、本実施形態において、内側テーブル２０の外側に非通気性のカバー２４を用いたが、ゴムリングなど他のシール手段を用いても良い。なお、ゴムリングを用いる場合は、内側テーブル２１と外側筐体２２の動きが円滑になるように構成することが好ましい。
【符号の説明】
【００５６】
Ｗ    被加工部材（ハニカムコア部材）
Ｓ    非通気性シート
１    加工装置
２    機台
３    多関節ロボット
３ａ  先端軸
４    ツールチェンジャー
５    加工ユニット
５ａ  軸
６    ワイヤ
７    噴射ノズル
８    フレーム
９    ガイドプーリ
９ａ  ガイドプーリ
９ｂ  ガイドプーリ
１０    セル
１１    セル壁
２０    テーブル
２１    内側テーブル
２２    外側筐体
２３    吸引孔
２４    カバー
２５    吸引アダプタ
２６    ガイド部材
２６ａ  弾性部材
２７    ストッパ
２８    昇降ピン
２９    ガイド部材
２９ａ  弾性部材
３０    吸引室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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