(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、
前記可動側コンベアに設けられた被クランプ部材と、
前記基台に設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被クランプ部材をクランプするクランプ手段とを備え、
前記被クランプ部材は前記可動側コンベアの延びる方向と直交する面内に広がって延びた板状部材から成り、前記クランプ手段は前記基台に前記可動側コンベアの延びる方向と直交する水平方向に複数並んで設けられており、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記複数のクランプ手段のうちの少なくともひとつが前記被クランプ部材をクランプすることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、
前記可動側コンベアに設けられた被クランプ部材と、
前記基台に設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被クランプ部材をクランプするクランプ手段とを備え、
前記被クランプ部材は、前記可動側コンベアの延びる方向と直交する方向に前記可動側コンベアを挟んで配置された一対のプーリに掛け渡されて前記可動側コンベアと連結されたワイヤ部材から成ることを特徴とする部品実装装置。
【請求項３】
基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、
前記基台に設けられて前記可動側コンベアの延びる方向と直交する水平方向に延びた磁性体製の被吸着部材と、
前記可動側コンベアに設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被吸着部材を吸着する吸着手段としての電磁石と、
前記電磁石と繋がれた制御装置と、を備え、
前記制御装置によって前記電磁石に電磁吸着力を発生させることで、前記電磁石は前記被吸着部材を吸着することを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送コンベアにより搬送して位置決めした基板に部品を装着する部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、基台に設けられた搬送コンベアと、搬送コンベアにより搬送して位置決めした基板に部品を装着する装着ヘッドを備えている。搬送コンベアは基台に固定された固定側コンベアと、固定側コンベアと平行に設けられた可動側コンベアを有しており、ボール螺子等から成る間隔変更機構により、固定側コンベアに対して可動側コンベアを移動させて固定側コンベアに対する可動側コンベアの間隔（コンベア間隔）を変更できるようになっている。コンベア間隔を変更することで、部品実装装置は、サイズの異なる基板にも対応することができる。
【０００３】
上記構成の搬送コンベアでは、可動側コンベアは、基台に設けられて可動側コンベアの移動方向（可動側コンベアの延びる方向と直交する水平方向）に延びたガイドレールに沿って水平方向に移動される。可動側コンベアは、基台に固定（直接結合）された固定側コンベアとは異なり、ガイドレールを介して基台に間接的に固定されているうえに長尺の部材であることから、装着ヘッドの高速移動に伴う基台の揺れ等を受けて大きな振幅で振動し易い。可動側コンベアが大きな振幅で振動すると搬送されている基板も大きく揺れる。その結果、その基板に既に部品が装着されている場合には部品の位置ずれが生じるおそれがある。このため従来、可動側コンベアの端部に設けられた当接部材を基台に固定して設けられた被当接部材に一方向から（すなわち片当たりで）押し付けることで可動側コンベアの端部を基台に対して固定し、可動側コンベアの振動時の振幅を小さく抑える技術が知られている（例えば、下記の特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−７８０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の部品実装装置では、可動側コンベアの振動を十分に抑制するためには、当接部材を被当接部材に対して大きな押付け力で押し付ける必要があった。このため、押付け力の反力として可動側コンベアがガイドレールに大きな横荷重を与えることとなり、ガイドレールそのものや間隔変更機構を構成するボール螺子等に曲げ荷重を与える等の悪影響を及ぼすおそれがあった。その結果、搬送コンベアの間隔変更等の精度を低下させ、ひいては基板に対する部品の装着精度を低下させるおそれがあるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、搬送コンベアの間隔変更機構に悪影響を及ぼすことなく可動側コンベアの振動時の振幅を小さく抑えることができる部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の部品実装装置は、基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、前記可動側コンベアに設けられた被クランプ部材と、前記基台に設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被クランプ部材をクランプするクランプ手段とを備え、前記被クランプ部材は前記可動側コンベアの延びる方向と直交する面内に広がって延びた板状部材から成り、前記クランプ手段は前記基台に前記可動側コンベアの延びる方向と直交する水平方向に複数並んで設けられており、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記複数のクランプ手段のうちの少なくともひとつが前記被クランプ部材をクランプする。
本発明の部品実装装置は、基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、前記可動側コンベアに設けられた被クランプ部材と、前記基台に設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被クランプ部材をクランプするクランプ手段とを備え、前記被クランプ部材は、前記可動側コンベアの延びる方向と直交する方向に前記可動側コンベアを挟んで配置された一対のプーリに掛け渡されて前記可動側コンベアと連結されたワイヤ部材から成る。
【０００９】
本発明の部品実装装置は、基台に固定された固定側コンベアと、可動側コンベアを有する搬送コンベアと、前記固定側コンベアに対して前記可動側コンベアを移動させて前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔を変更する間隔変更機構と、前記搬送コンベアにより搬送されて位置決めされた基板に部品を装着する装着ヘッドと、前記基台に設けられて前記可動側コンベアの延びる方向と直交する水平方向に延びた磁性体製の被吸着部材と、前記可動側コンベアに設けられ、前記間隔変更機構によって前記固定側コンベアに対する前記可動側コンベアの間隔が変更された状態で前記被吸着部材を吸着する吸着手段としての電磁石と、前記電磁石と繋がれた制御装置と、を備え、前記制御装置によって前記電磁石に電磁吸着力を発生させることで、前記電磁石は前記被吸着部材を吸着する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搬送コンベアの間隔変更機構に悪影響を及ぼすことなく可動側コンベアの振動時の振幅を小さく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態における部品実装装置の斜視図
【図２】本発明の第１実施形態における部品実装装置が備える搬送コンベアの斜視図
【図３】本発明の第１実施形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図
【図４】本発明の第１実施形態における部品実装装置が備える制振機構を可動側コンベアの一部とともに示す斜視図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態における部品実装装置が備える制振機構の動作説明図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第１実施形態における部品実装装置が備える制振機構の使用状態を示す図
【図７】本発明の第２実施形態における部品実装装置が備える制振機構を可動側コンベアの一部とともに示す斜視図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の第２実施形態における部品実装装置が備える制振機構の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第２実施形態における部品実装装置が備える制振機構の使用状態を示す図
【図１０】本発明の第３実施形態における部品実装装置が備える制振機構を可動側コンベアの一部とともに示す斜視図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の第３実施形態における部品実装装置が備える制振機構の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第３実施形態における部品実装装置が備える制振機構の使用状態を示す図
【図１３】本発明の第４実施形態における部品実装装置が備える制振機構を可動側コンベアの一部とともに示す斜視図
【図１４】（ａ）（ｂ）本発明の第４実施形態における部品実装装置が備える制振機構の動作説明図
【図１５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第４実施形態における部品実装装置が備える制振機構の使用状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１実施形態）
先ず、本発明の第１実施形態を示す。図１に示す部品実装装置１は、基板２に部品３を装着する装置であり、基台１１に搬送コンベア１２、部品供給部１３、部品装着部１４及び部品撮像部１５を備えている。ここでは、作業者ＯＰから見た部品実装装置１の左右方向をＸ軸方向とし、前後方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１３】
図１及び図２において、搬送コンベア１２は基板２をＸ軸方向に搬送する機構である。搬送コンベア１２はＸ軸方向に延びて互いに平行に配置された固定側コンベア１２Ａと可動側コンベア１２Ｂを備えている。
【００１４】
図２において、固定側コンベア１２Ａと可動側コンベア１２Ｂはそれぞれ、ベース部材１２ａ、一対のプーリ１２ｂ、搬送ベルト１２ｃ及びベルト駆動モータ１２ｄを備えている。ベース部材１２ａはＸ軸方向に延びた長尺の部材から成る。一対のプーリ１２ｂは、ベース部材１２ａのＸ軸方向の両端部に配置されている。搬送ベルト１２ｃは、一対のプーリ１２ｂに掛け渡されてＸ軸方向に延びている。ベルト駆動モータ１２ｄはベース部材１２ａに取り付けられており、一方（ここでは右側）のプーリ１２ｂを回転駆動して搬送ベルト１２ｃを進行させる。
【００１５】
図１及び図２において、固定側コンベア１２Ａのベース部材１２ａは基台１１に固定して設けられている。基台１１にはＹ軸方向に延びた一対のガイドレール２１がＸ軸方向に並んで設けられている。可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａは一対のガイドレール２１に沿ってＹ軸方向に移動自在に設けられている。
【００１６】
図２において、固定側コンベア１２Ａのベース部材１２ａと可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａはＹ軸方向に延びたガイドロッド２２とボール螺子２３によって連結されている。ガイドロッド２２の一端側は固定側コンベア１２Ａのベース部材１２ａに固定されており、ガイドロッド２２の他端側は可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａをＹ軸方向に貫通している。ボール螺子２３は固定側コンベア１２Ａのベース部材１２ａを貫通して延びており、可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａに設けられた雌螺子部（図示せず）に螺合している。
【００１７】
図２において、固定側コンベア１２Ａのベース部材１２ａには間隔変更モータ２４が設けられている。間隔変更モータ２４はボール螺子２３をＹ軸回りに回転駆動する。間隔変更モータ２４がボール螺子２３を回転駆動すると、可動側コンベア１２Ｂはガイドロッド２２にガイドされて、２つのガイドレール２１に沿ってＹ軸方向に移動する。可動側コンベア１２Ｂのガイドレール２１に沿った移動方向は、間隔変更モータ２４によるボール螺子２３の回転方向に応じて異なる。従って、間隔変更モータ２４によるボール螺子２３の回転方向を切り替えることによって、固定側コンベア１２Ａに対して可動側コンベア１２Ｂを近接させたり離間させたりすることができる。そして、これにより、固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔を変化させることができる。
【００１８】
このように部品実装装置１は、基台１１に固定された固定側コンベア１２Ａ及び固定側コンベア１２Ａと平行に設けられた可動側コンベア１２Ｂを有する搬送コンベア１２と、固定側コンベア１２Ａに対して可動側コンベア１２Ｂを移動させて固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔を変更する間隔変更機構としてのボール螺子機構２５（図２）を備えた構成となっている。なお、ここでいうボール螺子機構２５とは、ガイドレール２１、ガイドロッド２２、ボール螺子２３及び間隔変更モータ２４を含む機構をいう。
【００１９】
図１において、部品供給部１３は、複数のテープフィーダ１３ａから構成されている。基台１１の前方側（作業者ＯＰから見た手前側）の端部にはフィーダベース１１Ｆが設けられており、複数のテープフィーダ１３ａはフィーダベース１１ＦにＸ軸方向に並んで取り付けられている。各テープフィーダ１３ａはフィーダベース１１Ｆに取り付けられた状態で後方側（作業者ＯＰから見た奥側）となる側の端部に部品供給口１３Ｋを有している。各テープフィーダ１３ａは、部品供給口１３Ｋに部品３を連続的に供給する。なお、ここでは部品供給部１３はテープフィーダ１３ａから構成されているとしているが、テープフィーダ１３ａに替えて、或いはテープフィーダ１３ａとともに、トレイフィーダ等の他の部品供給装置から構成されていてもよい。
【００２０】
図１において、部品装着部１４は、基台１１に設けられたヘッド移動機構３１と、ヘッド移動機構３１によって移動される装着ヘッド３２から構成されている。ヘッド移動機構３１は固定テーブル３１ａ、移動テーブル３１ｂ及び移動プレート３１ｃを備えている。固定テーブル３１ａはＹ軸方向に延びており、基台１１のＸ軸方向の一方の端部（ここでは右端部）に固定して設けられている。移動テーブル３１ｂはＸ軸方向に延びており、一端側が固定テーブル３１ａに沿って移動自在となっている。移動プレート３１ｃは移動テーブル３１ｂに沿ってＸ軸方向に移動される。移動プレート３１ｃには装着ヘッド３２が取り付けられている。装着ヘッド３２は、下方に延びた複数の吸着ノズル３２ａを有している。
【００２１】
ヘッド移動機構３１は、固定テーブル３１ａに対する移動テーブル３１ｂのＹ軸方向への移動と、移動テーブル３１ｂに対する移動プレート３１ｃのＸ軸方向への移動とによって、装着ヘッド３２を水平面内（ＸＹ面内）方向に移動させる。装着ヘッド３２は吸着制御部３２ｂを備えている。吸着制御部３２ｂは図示しない真空源と繋がっている。吸着制御部３２ｂは真空源より供給される真空圧を制御することで、吸着ノズル３２ａの下端部に真空吸着力を発生させる。
【００２２】
図１において、部品撮像部１５は、基台１１の搬送コンベア１２と部品供給部１３との間の領域に設けられている。部品撮像部１５は撮像視野を上方に向けたカメラから成る。部品撮像部１５は、上方を通過する物体（具体的には装着ヘッド３２によりピックアップされた部品３）を下方から撮像する。
【００２３】
図３において、ベルト駆動モータ１２ｄ、間隔変更モータ２４、各テープフィーダ１３ａ、ヘッド移動機構３１及び吸着制御部３２ｂの各作動制御は部品実装装置１が備える制御装置４０が行う。また制御装置４０は、部品撮像部１５の撮像動作の制御も行う。部品撮像部１５の撮像によって得られた画像データは制御装置４０に送られ、制御装置４０において画像認識される。制御装置４０にはタッチパネル等の入出力装置４１が接続されており、作業者ＯＰは入出力装置４１を通して部品実装装置１に所要の入力を行うことができる。また作業者ＯＰは、入出力装置４１を通じて部品実装装置１に関する各種情報を得ることができる。
【００２４】
部品実装装置１により基板２に部品３を装着する部品実装作業では、先ず、制御装置４０に制御された搬送コンベア１２が作動し、外部から供給された基板２を受け取って搬送し、基台１１の上方の所定の作業位置に位置決めする。この搬送コンベア１２による基板２の搬送時、制御装置４０は、基板２のサイズに応じて固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔（以下、コンベア間隔と称する）を変更する。コンベア間隔の変更は、具体的には、制御装置４０が間隔変更モータ２４を作動させ、固定側コンベア１２Ａに対して可動側コンベア１２Ｂを近接又は離間させることによって行う。
【００２５】
搬送コンベア１２が基板２を作業位置に位置決めしたら、ヘッド移動機構３１が装着ヘッド３２を部品供給部１３の上方位置と基板２の上方位置との間で往復移動させる。装着ヘッド３２はその往復移動において、部品３の移載動作を行う。部品３の移載動作は、各テープフィーダ１３ａが部品供給口１３Ｋに供給する部品３を吸着ノズル３２ａによって吸着する吸着動作と、部品３を部品撮像部１５に撮像させたうえで基板２上の所定の位置に装着する装着動作から成る。装着動作で部品撮像部１５が撮像した部品３の画像は制御装置４０で画像認識される。制御装置４０は部品３の画像認識を行った結果に基づいて、部品３が基板２上に正しい姿勢で装着されるように装着ヘッド３２の動作を制御する。
【００２６】
このようにして基板２に部品３が装着されたら、搬送コンベア１２は基板２を搬送し、部品実装装置１の外部に搬出する。これにより部品実装装置１による基板２の１枚当たりの部品実装作業が終了する。
【００２７】
ところで、上記部品実装装置１では、搬送コンベア１２を構成する可動側コンベア１２Ｂが基台１１に対して大きな振幅で振動するのを抑えるための制振機構５０を備えており、以下にその説明を行う。図１、図２及び図４において、制振機構５０は、基台１１に設けられた被クランプ部材の一例としてのＬアングル部材５１と、可動側コンベア１２Ｂに設けられたクランプ手段５２を備えている。
【００２８】
図１において、Ｌアングル部材５１は、基台１１の左端側をＹ軸方向（すなわち可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向）に延びて設けられている。図４に示すように、Ｌアングル部材５１は、基台１１に固定される水平部５１ａと、水平部５１ａから上方に延びた垂直部５１ｂを有している。
【００２９】
図４及び図５（ａ），（ｂ）において、クランプ手段５２は可動側コンベア１２Ｂの自由端である左端部に設けられている。クランプ手段５２は、ベース部材１２ａに固定されたブラケット部６１と、ブラケット部６１にＸ軸方向に並んで設けられた一対のシリンダ６２を備えている。一対のシリンダ６２はＬアングル部材５１の垂直部５１ｂを挟んでピストンロッド６２ａ同士が対向するように設けられている。なお、クランプ手段は一対のシリンダに限らず、一つのシリンダとそれに対向して設けられるパッド部材のように一方のみをシリンダで構成するようにしても良い。
【００３０】
図５（ａ），（ｂ）において、一対のシリンダ６２は空圧配管ＶＬを介して前述の真空源に繋がっている。空圧配管ＶＬには一対のシリンダ６２の作動を制御するシリンダ制御バルブ６３が介装されている。シリンダ制御バルブ６３は制御装置４０と繋がっており、制御装置４０によって作動制御がなされる（図３）。
【００３１】
制御装置４０がシリンダ制御バルブ６３を作動させると、一対のシリンダ６２がそれぞれピストンロッド６２ａを伸長させ、Ｌアングル部材５１の垂直部５１ｂにピストンロッド６２ａをＸ軸方向から押し付ける。これによりＬアングル部材５１の垂直部５１ｂは一対のシリンダ６２によってクランプされ、可動側コンベア１２Ｂの左端部は基台１１に固定された状態となる（図５（ａ）→図５（ｂ））。
【００３２】
制御装置４０は、搬送コンベア１２のコンベア間隔を変更するときには、クランプ手段５２によるＬアングル部材５１のクランプ状態を解除した状態で間隔変更モータ２４を作動させる。そして、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に移動させ、コンベア間隔が変更された状態で一対のシリンダ６２を作動させて、Ｌアングル部材５１をクランプする。
【００３３】
このように、第１実施形態における部品実装装置１では、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に延びた被クランプ部材としてのＬアングル部材５１が基台１１に設けられるとともに、Ｌアングル部材５１をクランプするクランプ手段５２が可動側コンベア１２Ｂに設けられた構成となっている。そして、間隔変更機構であるボール螺子機構２５によって固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で、Ｌアングル部材５１をクランプ手段５２によってクランプすることで、可動側コンベア１２Ｂを基台１１に固定するようになっている。
【００３４】
Ｌアングル部材５１がクランプ手段５２によってＸ軸方向からクランプされた状態では、可動側コンベア１２Ｂの先端部が基台１１に固定されて剛性（特に主たる振動方向であるＹ軸方向の剛性）が高められ、可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅が小さく抑えられる。クランプ手段５２は可動側コンベア１２ＢがＹ軸方向のどの位置にあるときであってもＬアングル部材５１をクランプすることができるので、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向の任意の位置において基台１１に固定することができる。このため、種々の基板２のサイズに対応したコンベア間隔を設定しながら可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅を小さく抑えることが可能である。また、被クランプ部材であるＬアングル部材５１は、抑制するべき主たる振動方向（Ｙ方向）に剛性を有し、搬送コンベア１２の延長方向（Ｘ方向）すなわちクランプ方向にはある程度の柔軟性を有するので、クランプによる反力を受ける事が無く、搬送コンベア１２や間隔変更機構を構成するボール螺子２３等に悪影響を及ぼすことはない螺子部へ悪影響を与えることが無い。図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は制振機構５０の使用例を示している。ここではコンベア間隔は図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）の順で広くなっている。
【００３５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を示す。第２実施形態における部品実装装置１は、第１実施形態における部品実装装置１と制振機構５０の構成のみが異なっている。第２実施形態における部品実装装置１が備える制振機構５０は、図７に示すように、可動側コンベア１２Ｂに設けられた被クランプ部材としての板状部材７１と、基台１１に設けられたクランプ手段５２から成る。
【００３６】
図７において、板状部材７１は、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向に直交する面内（ＹＺ面内）に広がって延びた形状を有している。クランプ手段５２は基台１１上に可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に並んで複数（ここでは３つ）設けられている。
【００３７】
各クランプ手段５２は基台１１の左端部に設けられており、図７及び図８（ａ），（ｂ）に示すように、基台１１に固定されたブラケット部６１と、ブラケット部６１にＸ軸方向に並んで配置された一対のシリンダ６２を備えて成る。一対のシリンダ６２は板状部材７１を挟んでピストンロッド６２ａの端部同士が互いに対向し得る位置に設けられている。
【００３８】
図８（ａ），（ｂ）において、各シリンダ６２はそれぞれ図示しない空圧配管を介して前述の図示しない真空源に繋がっている。空圧配管には第１実施形態の場合と同様に、シリンダ６２の作動を制御するシリンダ制御バルブ６３が介装されている。シリンダ制御バルブ６３は制御装置４０に繋がっており、制御装置４０によって作動制御がなされる。
【００３９】
制御装置４０がシリンダ制御バルブ６３を作動させると、一対のシリンダ６２がそれぞれピストンロッド６２ａを伸長させ、一対のシリンダ６２の間に板状部材７１が位置している場合には、その板状部材７１をその面外方向（Ｘ軸方向）から押し付ける。これにより板状部材７１は一対のシリンダ６２によってクランプされ、可動側コンベア１２Ｂの左端部は基台１１に固定された状態となる（図８（ａ）→図８（ｂ））。板状部材７１はＸ軸方向に或る程度の長さを有しており、複数（ここでは３つ）のクランプ手段５２のいずれかひとつにより板状部材７１をクランプすることで、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向の任意の位置で固定することができるようになっている。
【００４０】
制御装置４０は、搬送コンベア１２のコンベア間隔を変更するときには、クランプ手段５２による板状部材７１のクランプ状態を解除した状態で間隔変更モータ２４を作動させる。そして、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に移動させ、コンベア間隔が変更された状態で一対のシリンダ６２を作動させて、板状部材７１をクランプする。
【００４１】
このように第２実施形態における部品実装装置１では、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する面内（ＹＺ面内）に広がって延びた板状部材７１が可動側コンベア１２Ｂに設けられるとともに、複数のクランプ手段５２が可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に並んで基台１１に設けられた構成となっている。そして、間隔変更機構であるボール螺子機構２５によって固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で、板状部材７１をクランプ手段５２がクランプすることで、可動側コンベア１２Ｂを基台１１に固定するようになっている。
【００４２】
板状部材７１がクランプ手段５２によってＸ軸方向（すなわち搬送コンベア１２の長手方向）からクランプされた状態では、可動側コンベア１２Ｂの先端部が基台１１に連結されて剛性が高められ、可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅が小さく抑えられる。複数のクランプ手段５２は可動側コンベア１２ＢがＹ軸方向のどの位置にあるときであっても板状部材７１をクランプすることができるので、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向の任意の位置に固定することができる。このため、種々の基板２のサイズに対応したコンベア間隔を設定しながら可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅を小さく抑えることが可能である。また、被クランプ部材である板状部材７１は、抑制するべき主たる振動方向（Ｙ方向）に剛性を有し、搬送コンベア１２の延長方向（Ｘ方向）すなわちクランプ方向にはある程度の柔軟性を有するので、クランプによる反力を受ける事が無く、搬送コンベア１２や間隔変更機構を構成するボール螺子２３等に悪影響を及ぼすことはない螺子部へ悪影響を与えることが無い。図９（ａ），（ｂ），（ｃ）は制振機構５０の使用例を示している。ここではコンベア間隔は図９（ａ）、図９（ｂ）、図９（ｃ）の順で広くなっている。
【００４３】
なお、第２実施形態の上述の例では、固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で複数のクランプ手段５２のうちのひとつが複数の板状部材７１のうちのひとつをクランプするようになっていたが、これは一例に過ぎない。固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で複数のクランプ手段５２が可動側コンベア１２Ｂに設けられた板状部材７１をクランプするようになっていてもよい。すなわち、ボール螺子機構２５によって固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で、複数のクランプ手段５２のうちの少なくともひとつが被クランプ部材をクランプするようになっていればよい。
【００４４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態を示す。第３実施形態における部品実装装置１は、第１実施形態における部品実装装置１と制振機構５０の構成のみが異なっている。第３実施形態における部品実装装置１が備える制振機構５０は、図１０に示すように、可動側コンベア１２Ｂに設けられた被クランプ部材としてのワイヤ部材８１と、基台１１に設けられたクランプ手段５２から成る。
【００４５】
図１０において、ワイヤ部材８１は、基台１１の左端部にＹ軸方向に並んで配置された一対のワイヤプーリ８１Ｐに掛け渡されており、Ｙ軸方向（すなわち可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向）に延びて張り渡された状態となっている。ワイヤ部材８１は可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａに連結されており、可動側コンベア１２ＢがＹ軸方向に移動すると、ワイヤ部材８１は一対のワイヤプーリ８１Ｐを回転させながら移動する。
【００４６】
クランプ手段５２は基台１１の左端部に設けられており、図１０及び図１１（ａ），（ｂ）に示すように、基台１１に固定されたブラケット部６１と、ブラケット部６１にＸ軸方向に並んで配置された一対のシリンダ６２を備えて成る。一対のシリンダ６２はワイヤ部材８１を挟んでピストンロッド６２ａの端部同士が互いに対向するように設けられている。
【００４７】
図１１（ａ），（ｂ）において、各シリンダ６２はそれぞれ図示しない空圧配管を介して前述の図示しない真空源に繋がっている。空圧配管には第１実施形態の場合と同様にシリンダ６２の作動を制御するシリンダ制御バルブ６３が介装されている。シリンダ制御バルブ６３は制御装置４０に繋がっており、制御装置４０によって作動制御がなされる。
【００４８】
制御装置４０がシリンダ制御バルブ６３を作動させると、一対のシリンダ６２がそれぞれピストンロッド６２ａを伸長させ、ワイヤ部材８１をその長手方向と直交する方向（Ｘ軸方向）から押し付ける。これによりワイヤ部材８１は一対のシリンダ６２によってクランプされ、可動側コンベア１２Ｂの左端部は基台１１に固定された状態となる（図１１（ａ）→図１１（ｂ））。
【００４９】
制御装置４０は、搬送コンベア１２のコンベア間隔を変更するときには、クランプ手段５２によるワイヤ部材８１のクランプ状態を解除した状態で間隔変更モータ２４を作動させる。そして、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に移動させ、コンベア間隔が変更された状態で一対のシリンダ６２を作動させて、ワイヤ部材８１をクランプする。
【００５０】
このように第３実施形態における部品実装装置１では、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に可動側コンベア１２Ｂを挟んで配置された一対のワイヤプーリ８１Ｐを有しており、これら一対のワイヤプーリ８１Ｐに掛け渡されたワイヤ部材８１が可動側コンベア１２Ｂに連結されている。また、基台１１上には、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に、クランプ手段５２を複数並んで設けられている。そして、間隔変更機構であるボール螺子機構２５によって固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で、ワイヤ部材８１をクランプ手段５２によってクランプすることで、可動側コンベア１２Ｂを基台１１に固定するようになっている。
【００５１】
ワイヤ部材８１がクランプ手段５２によってＸ軸方向（すなわち搬送コンベア１２の長手方向）からクランプされた状態では、可動側コンベア１２Ｂの先端部が基台１１に連結されて剛性が高められ、可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅が小さく抑えられる。クランプ手段５２は可動側コンベア１２ＢがＹ軸方向のどの位置にあるときであってもワイヤ部材８１をクランプすることができるので、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に任意の位置に固定することができる。このため、種々の基板２のサイズに対応したコンベア間隔を設定しながら可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅を小さく抑えることが可能である。また、被クランプ部材であるワイヤ部材８１は、抑制するべき主たる振動方向（Ｙ方向）に剛性を有し、搬送コンベア１２の延長方向（Ｘ方向）すなわちクランプ方向にはある程度の柔軟性を有するので、クランプによる反力を受ける事が無く、搬送コンベア１２や間隔変更機構を構成するボール螺子２３等に悪影響を及ぼすことはない螺子部へ悪影響を与えることが無い。図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は制振機構５０の使用例を示している。ここではコンベア間隔は図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１２（ｃ）の順で広くなっている。
【００５２】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態を示す。第４実施形態における部品実装装置１は、第１実施形態における部品実装装置１と制振機構５０の構成のみが異なっている。第４実施形態における部品実装装置１が備える制振機構５０は、図１３に示すように、基台１１に設けられた被吸着部材９１と、可動側コンベア１２Ｂに設けられた吸着手段としての電磁石９２を備えている。
【００５３】
図１３において、被吸着部材９１は、基台１１の左端側に設けられてＹ軸方向（すなわち可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向）に延びて設けられている。被吸着部材９１は磁性体製であり、基台１１に固定された水平な基部９１ａと、基部９１ａから上方に延出した延出部９１ｂを有している。
【００５４】
図１３及び図１４（ａ），（ｂ）において、電磁石９２は、可動側コンベア１２Ｂのベース部材１２ａの左端部に設けられた電磁石取付けブラケット９２Ｂに取り付けられている。電磁石９２は被吸着部材９１の延出部９１ｂに近接した位置に配置されている。
【００５５】
図１４（ａ），（ｂ）において、電磁石９２は電磁石作動スイッチ部９３を介して制御装置４０に繋がっている。制御装置４０が電磁石作動スイッチ部９３を制御して電磁石９２に電磁吸着力を発生させると、電磁石９２は被吸着部材９１の延出部９１ｂを吸着する。これにより被吸着部材９１の延出部９１ｂは電磁石９２と密着し、可動側コンベア１２Ｂの左端部は基台１１に固定された状態となる（図１４（ａ）→図１４（ｂ））。
【００５６】
制御装置４０は、搬送コンベア１２のコンベア間隔を変更するときには、電磁石９２による被吸着部材９１の吸着状態を解除した状態で間隔変更モータ２４を作動させる。そして、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に移動させ、コンベア間隔が変更された状態で電磁石９２を作動させて、被吸着部材９１を吸着する。
【００５７】
このように第４実施形態における部品実装装置１では、可動側コンベア１２Ｂの延びる方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に延びた被吸着部材９１が基台１１に設けられるとともに、被吸着部材９１を吸着する吸着手段である電磁石９２が可動側コンベア１２Ｂに設けられた構成となっている。そして、間隔変更機構であるボール螺子機構２５によって固定側コンベア１２Ａに対する可動側コンベア１２Ｂの間隔が変更された状態で、被吸着部材９１を電磁石９２によって吸着することで、可動側コンベア１２Ｂを基台１１に固定するようになっている。
【００５８】
被吸着部材９１が電磁石９２に吸着された状態では、可動側コンベア１２Ｂの先端部が基台１１に連結されて剛性が高められ、可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅が小さく抑えられる。電磁石９２は可動側コンベア１２ＢがＹ軸方向のどの位置にあるときであっても被吸着部材９１を吸着することができるので、可動側コンベア１２ＢをＹ軸方向に任意の位置に固定することができる。このため、種々の基板２のサイズに対応したコンベア間隔を設定しながら可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅を小さく抑えることが可能である。図１５（ａ），（ｂ），（ｃ）は制振機構５０の使用例を示している。ここではコンベア間隔は図１５（ａ）、図１５（ｂ）、図１５（ｃ）の順で広くなっている。
【００５９】
なお、この第４実施形態では、吸着手段が電磁石であるとして説明したが、吸着手段は真空吸着手段であってもよい。この場合には被吸着部材９１は磁性体製である必要はない。
【００６０】
以上説明したように、第１〜第４実施形態における部品実装装置１では、可動側コンベア１２Ｂと基台１１のうちの一方に設けられた被クランプ部材（Ｌアングル部材５１、板状部材７１又はワイヤ部材８１）を他方に設けられたクランプ手段５２によってクランプし、或いは基台１１に設けられた被吸着部材９１を可動側コンベア１２Ｂに設けられた吸着手段（電磁石９２又は真空吸着手段）によって吸着することで、可動側コンベア１２Ｂを基台１１に固定するようになっている。これらのクランプ又は吸着は被クランプ部材或いは被吸着部材に対して片当たりにより押し付けるのではないため、押付け力の反力が間隔変更機構を構成するボール螺子２３等に悪影響を及ぼすことはない。よって、第１〜第４実施形態における部品実装装置１によれば、搬送コンベア１２の間隔変更機構であるボール螺子機構２５に曲げ荷重を与える等の悪影響を及ぼすことなく可動側コンベア１２Ｂの振動時の振幅を小さく抑えることができる。
【００６１】
なお、前述の第１〜第４実施形態では、制振機構５０は搬送コンベア１２の左端部に設けられていたが、搬送コンベア１２の右端部に設けられていてもよい。更には、搬送コンベア１２の左端部と右端部の双方に設けられていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
搬送コンベアの間隔変更機構に悪影響を及ぼすことなく可動側コンベアの振動時の振幅を小さく抑えることができる部品実装装置を提供する。
【符号の説明】
【００６３】
１  部品実装装置
２  基板
３  部品
１１  基台
１２  搬送コンベア
１２Ａ  固定側コンベア
１２Ｂ  可動側コンベア
２５  ボール螺子機構（間隔変更機構）
３２  装着ヘッド
５１  Ｌアングル部材（被クランプ部材）
５２  クランプ手段
７１  板状部材（被クランプ部材）
８１  ワイヤ部材（被クランプ部材）
９１  被吸着部材
９２  電磁石（吸着手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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