(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、
複数の前記チャンネルに連通し複数の前記チャンネルに対応して前記基準方向に細長い液体供給室と前記液体供給室の前記基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、
前記液体供給室は、前記基準方向に直交する方向の断面積が前記基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と前記第一形態よりも前記断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備え、
前記可動壁は、前記チャンネルの液体供給口を塞がないように変位して、前記第一形態と前記第二形態の間を切り替える液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記可動壁に作用して前記第一形態と前記第二形態の間を切り替える切替手段を更に備える請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記切替手段は、電磁気力により前記可動壁を駆動する請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記切替手段は、前記可動壁の前記液体供給室とは反対側である外面側の空気圧を変化させて前記可動壁を駆動する請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記切替手段は、バイメタルにより前記可動壁を駆動する請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記切替手段は、前記可動壁の前記液体供給室の側である内面側の液体の圧力を変化させて前記可動壁を駆動する請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記チャンネルは、前記アクチュエータ基板の一方の表面の前記基準方向に配列する第一チャンネルと、前記一方の表面とは反対側の他方の表面の前記基準方向に配列する第二チャンネルとを有し、
前記流路部材は、複数の前記第一チャンネルに連通する第一液体供給室と前記第一液体供給室の前記基準方向における一端に連通する第一液体流入孔とを備える第一流路部材と、複数の前記第二チャンネルに連通する第二液体供給室と前記第二液体供給室の前記基準方向の一端に連通する第二液体流入孔とを備える第二流路部材とを有し、
前記可動壁は、前記第一液体供給室に備える第一可動壁と前記第二液体供給室に備える第二可動壁とを有する請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータ基板は、前記液体供給室の前記基準方向における一端とは反対側の他端に連通する気泡抜きチャンネルを有する請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドから被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置が利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドのチャンネルに供給し、チャンネルの液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズル孔から液滴として吐出する。液滴の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜や三次元構造を形成する。
【０００３】
図７は従来公知の液体噴射ヘッドの説明図である。図７（ａ）は液体噴射ヘッド１００の断面模式図であり、図７（ｂ）は液体噴射ヘッド１００のノズル孔１０７から吐出する液体の温度とノズル孔１０７の位置との間の関係を表すグラフである。液体噴射ヘッド１００は、アクチュエータ基板１０１と、アクチュエータ基板１０１の一方の表面に設置される流路部材１０２と、アクチュエータ基板１０１の他方の表面に設置されるノズルプレート１０３とを備える。アクチュエータ基板１０１は、基準方向Ｋに配列する複数のチャンネル１０６と気泡抜きチャンネル１０９を備える。隣接するチャンネル１０６の間には圧電体材料から成る隔壁１０８が形成され、隔壁の側面には図示しない電極が設置される。流路部材１０２は、各チャンネル１０６に連通する液体供給室１０４と液体供給室１０４に液体を流入する液体流入孔１０５を備える。液体流入孔１０５は液体供給室１０４と基準方向Ｋにおける一方の端部において連通する。気泡抜きチャンネル１０９は液体供給室１０４と基準方向Ｋにおける他方の端部において連通する。更に、液体供給室１０４は、基準方向Ｋにおける一方側から他方側にかけて基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓが次第に縮小する。ノズルプレート１０３は各チャンネル１０６にそれぞれ連通する複数のノズル孔１０７を備える。
【０００４】
液体噴射ヘッド１００は次のよう駆動する。まず、液体供給室１０４及び各チャンネル１０６に液体を充填する。液体は液体流入孔１０５に加圧して供給し、液体供給室１０４からチャンネル１０６に充填する。液体供給室１０４は基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓが液体流入孔１０５側から気泡抜きチャンネル１０９側にかけて次第に縮小する。加圧充填する液体の流速は液体流入孔１０５側から気泡抜きチャンネル１０９側にかけて次第に高速となり、液体に混入する気泡は液体供給室１０４の内壁やチャンネル１０６に連通する連通孔付近に付着することなく気泡抜きチャンネル１０９やチャンネル１０６から排出される。
【０００５】
通常駆動時において、隔壁１０８の側面に形成される図示しない電極に電極駆動信号を印加する。隔壁１０８は“くの字”状に厚み滑り変形し、チャンネル１０６に充填される液体に圧力波が生成される。この圧力波がノズル孔１０７に到達してノズル孔１０７から液滴が吐出される。
【０００６】
例えば、特許文献１には液体噴射ヘッドの供給路の内壁に付着する気泡を液体の流速を早くすることにより除去する方法が記載される。液体噴射ヘッドは、複数の圧力室と、複数の圧力室に連通し複数の圧力室に液体を供給する液体供給室と、液体タンクと液体供給室を結ぶ供給路と、液体供給室と圧力室から液体を吸引するパージ機構と、を備える。そして、供給路を弾性体により構成し、パージ機構によって圧力室と液体供給室から液体を吸引する際に供給路の流路断面を液体供給室の流路断面と同程度に縮小させる。その結果、供給路を流れる液体の流速が増加し、供給路の内壁や液体に混入する残留気泡を排出することができることが記載されている。
【０００７】
特許文献２には圧力室とタンクの間の流路に流路断面制御装置を設ける液体噴射ヘッドが記載される。ノズルから液体を吐出後、圧力室に液体を再充填する際に、流路断面制御装置によってタンクと圧力室の間の液体流路の断面積を変化させる。これにより、メニスカス復帰時間を短縮し、更に復帰後のメニスカス振動を小さく抑えることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−３３４９４８号公報
【特許文献１】特開２００３−２０５６０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す液体噴射ヘッド１００のノズル孔１０７から吐出する液体の温度と、基準方向Ｋに配列するノズル孔１０７の位置との関係を表す。図７（ｂ）に示すように、液体流入孔１０５に近いノズル孔１０７ほど液体の温度が低く、液体流入孔１０５から遠いノズル孔１０７ほど液体の温度が高く、温度差δｔが生じる。液体に温度差があるとノズル孔１０７から吐出する液滴に吐出速度差が生じ、濃度むらとなって記録品質が低下する。この温度差の原因は次のように考えられる。隔壁１０８は繰り返して駆動することにより昇温する。アクチュエータ基板１０１に対向して配置される液体供給室１０４はアクチュエータ基板１０１から熱が伝達し液体は昇温する。液体供給室１０４の断面積Ｄｓの縮小に伴い、液体流入孔１０５から気泡抜きチャンネル１０９にかけて液体の容積が減少し、気泡抜きチャンネル１０９側の液体ほど温度が上昇する。
【００１０】
特許文献１に記載の液体噴射ヘッドは、液体供給室と液体タンクとの間を結ぶ供給路を弾性体により構成し、この流路断面を調整する構造である。また、特許文献２に記載の液体噴射ヘッドは、各ノズルに連通する個々の圧力室の中に流路断面制御装置を設ける構成である。そのため、いずれの液体噴射ヘッドも、液体供給室内の液体の温度分布を改善することができない。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体噴射ヘッドは、基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、複数の前記チャンネルに連通し複数の前記チャンネルに対応して前記基準方向に細長い液体供給室と前記液体供給室の前記基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、前記液体供給室は、前記基準方向に直交する方向の断面積が前記基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と前記第一形態よりも前記断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備え、前記可動壁は、前記チャンネルの液体供給口を塞がないように変位して、前記第一形態と前記第二形態の間を切り替えることとした。
【００１２】
また、前記可動壁に作用して前記第一形態と前記第二形態の間を切り替える切替手段を更に備えることとした。
【００１３】
また、前記切替手段は電磁気力により前記可動壁を駆動することとした。
【００１４】
また、前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室とは反対側である外面側の空気圧を変化させて前記可動壁を駆動することとした。
【００１５】
また、前記切替手段はバイメタルにより前記可動壁を駆動することとした。
【００１６】
また、前記切替手段は前記可動壁の前記液体供給室の側である内面側の液体の圧力を変化させて前記可動壁を駆動することとした。
【００１７】
また、前記チャンネルは、前記アクチュエータ基板の一方の表面の前記基準方向に配列する第一チャンネルと、前記一方の表面とは反対側の他方の表面の前記基準方向に配列する第二チャンネルとを有し、前記流路部材は、複数の前記第一チャンネルに連通する第一液体供給室と前記第一液体供給室の前記基準方向における一端に連通する第一液体流入孔とを備える第一流路部材と、複数の前記第二チャンネルに連通する第二液体供給室と前記第二液体供給室の前記基準方向に一端に連通する第二液体流入孔とを備える第二流路部材とを有し、前記可動壁は、前記第一液体供給室に備える第一可動壁と前記第二液体供給室に備える第二可動壁とを有することとした。
【００１８】
また、前記アクチュエータ基板は、前記液体供給室の前記基準方向における一端とは反対側の他端に連通する気泡抜きチャンネルを有することとした。
【００１９】
本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【発明の効果】
【００２０】
本発明による液体噴射ヘッドは、基準方向に配列する複数のチャンネルを備えるアクチュエータ基板と、複数のチャンネルに連通し複数のチャンネルに対応して基準方向に細長い液体供給室と、液体供給室の基準方向における一端に連通する液体流入孔とを備える流路部材と、を備え、液体供給室は、基準方向に直交する方向の断面積が基準方向の一端から他端にかけて縮小する第一形態と第一形態よりも断面積の縮小幅が小さい第二形態とが切り替わる可動壁を備える。これにより、液体噴射ヘッドのクリーニング時や液体充填時に可動壁を第一形態に設定して気泡を排出し、液体噴射ヘッドの通常駆動時に可動壁を第二形態に切り替えて液体供給室内の温度差を縮小させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図２】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図３】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図４】本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図５】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図６】本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図７】従来公知の液体噴射ヘッドの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。第一実施形態は本発明の基本構成である。液体噴射ヘッド１はアクチュエータ基板２と流路部材３を備える。アクチュエータ基板２は基準方向Ｋに配列する複数のチャンネル７を備える。流路部材３は、複数のチャンネル７に連通し複数のチャンネル７に対応して基準方向Ｋに細長い液体供給室４と、液体供給室４の基準方向Ｋにおける一端Ｅ１に連通する液体流入孔９とを備える。液体供給室４は第一形態Ａと第二形態Ｂとが切り替わる可動壁５を備える。可動壁５の第一形態Ａは、基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓが基準方向Ｋの一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する。可動壁５の第二形態Ｂは、第一形態Ａよりも基準方向Ｋの一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する断面積Ｄｓ’の縮小幅が小さい。これにより、液体噴射ヘッド１のクリーニング時や液体充填時に可動壁５を第一形態Ａに設定して気泡を排出し、通常駆動時に可動壁５を第二形態Ｂに切り替えて液体供給室４内の温度差を縮小させ、記録品質を向上させる。
【００２３】
以下、具体的に説明する。アクチュエータ基板２は基準方向Ｋに複数のチャンネル７が配列するチャンネル列７ｒを備える。流路部材３は基準方向Ｋに細長い形状を有する液体供給室４を備える。流路部材３は、液体供給室４を複数のチャンネル７に対応させてアクチュエータ基板２の一面Ｓｘに設置される。液体供給室４は、チャンネル列７ｒの側に開口し、連通孔１０を介して複数のチャンネル７に連通する。アクチュエータ基板２は一面Ｓｘとは異なる他面Ｓｙに複数のノズル孔１１を備え、複数のノズル孔１１は複数のチャンネル７にそれぞれ連通する。図１において、流路部材３を設置する一面Ｓｘとノズル孔１１が形成される他面Ｓｙは対向している。しかし、本発明においては流路部材３を設置する一面Ｓｘとノズル孔１１が形成される他面Ｓｙは対向しなくてもよい。例えば、アクチュエータ基板２の基板面（一面Ｓｘ）に流路部材３を設置し、アクチュエータ基板２の側面（他面Ｓｙ）にノズル孔１１を形成する構成であってもよい。この場合、一面Ｓｘと他面Ｓｙは交差する。アクチュエータ基板２の流路部材３側に設ける連通孔１０は、複数のチャンネル７のそれぞれに個別に連通する複数の連通口から構成してもよい。
【００２４】
液体流入孔９は基準方向Ｋにおける一端Ｅ１において液体供給室４と連通する。可動壁５は液体供給室４の基準方向Ｋにおける一端Ｅ１側を支点として他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２の一面Ｓｘの法線方向であるｚ方向に可動する。可動壁５の第一形態Ａは可動壁５の他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２に接近する下方（−ｚ方向）に位置する形態であり、可動壁５の第二形態Ｂは可動壁５の他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２から離間する上方（＋ｚ方向）に位置する形態である。従って、第一形態Ａでは、基準方向Ｋにおける一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓが次第に縮小し、第二形態Ｂでは、一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓ’はほぼ一定であり、第二形態Ｂは第一形態Ａよりも断面積の縮小幅が小さい。
【００２５】
液体噴射ヘッド１のクリーニング時や液体充填時に可動壁５を第一形態Ａに設定すれば、液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する。そして、液体流入孔９から液体を押圧し、又は、チャンネル７の側から液体を吸引すれば、液体供給室４の液体は一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室４の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板２の他端Ｅ２の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネルを設けておけば、他端Ｅ２側の流速を一層増加させることができる。
【００２６】
一方、液体噴射ヘッド１の通常駆動時に可動壁５を第二形態Ｂに設定すれば、液体供給室４の断面積Ｄｓ’の一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Ａにおける断面積Ｄｓの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Ｂの可動壁５のほうが第一形態Ａの可動壁５よりも一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板２は駆動により発熱するので液体供給室４の液体は加熱されるが、第二形態Ｂは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。
【００２７】
（第二実施形態）
図２は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
【００２８】
図２に示すように、液体噴射ヘッド１はアクチュエータ基板２とアクチュエータ基板２の一面Ｓｘに設置される流路部材３を備える。アクチュエータ基板２は、基準方向Ｋに配列する複数のチャンネル７からなるチャンネル列７ｒと、チャンネル列７ｒの端部近傍に設置される気泡抜きチャンネル８とを備える。流路部材３は、アクチュエータ基板２の側に開口する液体供給室４と、液体供給室４に液体を流入する液体流入孔９とを備える。液体供給室４は、複数のチャンネル７と気泡抜きチャンネル８に連通孔１０を介して連通し、チャンネル列７ｒと気泡抜きチャンネル８に対応して基準方向Ｋに細長い形状を有する。液体供給室４は、基準方向Ｋにおける一端Ｅ１において液体流入孔９と連通し、基準方向Ｋにおける他端Ｅ２において気泡抜きチャンネル８と連通する。
【００２９】
液体供給室４は、基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓが基準方向Ｋの一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する第一形態Ａと第一形態Ａよりも断面積Ｄｓ’の縮小幅が小さい第二形態Ｂとが切り替わる可動壁５を備える。液体噴射ヘッド１は、更に、可動壁５に作用して第一形態Ａと第二形態Ｂとを切り替える切替手段６を備える。切替手段６は電磁気力により可動壁５を駆動する。
【００３０】
具体的に説明する。流路部材３は、流路ケース３ｘと、流路ケース３ｘにより覆われる液体供給室４と、液体供給室４の一端Ｅ１に液体を流入する液体流入孔９と、液体流入孔９に連通する液体流入部１６とを備える。流路ケース３ｘは基準方向Ｋに細長く、アクチュエータ基板２の一面Ｓｘに向けて開口する箱型形状を有する。液体供給室４は流路ケース３ｘの内壁面と可動壁５により囲まれる領域であり、アクチュエータ基板２の一面Ｓｘに向けて開口する。液体供給室４の可動壁５は可撓性膜５ｘと可動板５ｙを備える。可撓性膜５ｘは液体を収容可能に流路ケース３ｘの内壁面に水密に固定される。可動板５ｙは基準方向Ｋに細長い形状を有し、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘ又は可撓性膜５ｘに固定され、他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に可撓性膜５ｘに接着される。可撓性膜５ｘは可動板５ｙの他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース３ｘに固定される。可撓性膜５ｘと流路ケース３ｘにより囲まれる空間は外気と連通する。可動板５ｙは、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘに設置される回転軸に軸支され、他端Ｅ２側が回転軸を中心に回転可能な板体であってもよい。可動板５ｙは可撓性膜５ｘよりも高い剛性を有する。可撓性膜５ｘとして例えばポリイミド膜、ポリエチレン膜、ポリブチレンテレフタレート膜、ポリエチレンテレフタレート膜などを使用することができる。また、可撓性膜５ｘとしてゴム材等の伸縮性を有する弾性体を使用することができる。可動板５ｙが接着される領域の可撓性膜５ｘは平坦面であり、アクチュエータ基板２の一面Ｓｘに対してほぼ一定角度で傾斜する。
【００３１】
切替手段６は、可動板５ｙの他端Ｅ２側に設置される永久磁石６ｙと、永久磁石６ｙに対向し流路ケース３ｘの外面に設置される電磁石６ｘを含む。なお、可動板５ｙに永久磁石６ｙを設けることに代えて、可動板５ｙが永久磁石であってもよい。図示しない制御部より電磁石６ｘに電流を流して電磁力により可動壁５を第一形態Ａと第二形態Ｂに切り替えることができる。
【００３２】
アクチュエータ基板２は、基準方向Ｋに配列しチャンネル列７ｒを構成する複数のチャンネル７、及び、気泡抜きチャンネル８と、複数のチャンネル７にそれぞれ連通し他面Ｓｙに開口する複数のノズル孔１１と、複数のチャンネル７に連通し一面Ｓｘに開口する連通孔１０とを備える。流路ケース３ｘはアクチュエータ基板２の表面に設置され、液体供給室４は複数のチャンネル７及び気泡抜きチャンネル８と連通孔１０を介して連通する。連通孔１０には図示しないフィルターが設置され、液体供給室４は複数のチャンネル７及び気泡抜きチャンネル８とフィルターを介して連通する。なお、アクチュエータ基板２の一面Ｓｘに設ける連通孔１０は、複数のチャンネル７に連通する構成に代えて、複数のチャンネル７のそれぞれに連通する複数の連通口であってもよい。
【００３３】
液体噴射ヘッド１は次のように駆動する。まず、液体充填時には切替手段６を駆動して可動壁５を第一形態Ａに設定する。具体的には、電磁石６ｘに電流を流して永久磁石６ｙを下方（−ｚ方向）に押圧し可動板５ｙを押し下げる。従って、液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する。そして、液体流入孔９から液体を圧入する。液体供給室４の液体は一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室４の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板２の他端Ｅ２の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル８を設けているので他端Ｅ２側の流速は一層増加する。
【００３４】
次に、通常駆動時には切替手段６を駆動して可動壁５を第二形態Ｂに設定する。具体的には、電磁石６ｘに逆方向の電流を流して永久磁石６ｙを上方（＋ｚ方向）に可動板５ｙを引き上げる。従って、液体供給室４の断面積Ｄｓ’の一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Ａにおける断面積Ｄｓの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Ｂの可動壁５のほうが第一形態Ａの可動壁５よりも一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板２は駆動により発熱するので液体供給室４の液体は加熱されるが、第二形態Ｂは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差を例えば５℃以下とするのが好ましい。
【００３５】
なお、本実施形態において、永久磁石６ｙと電磁石６ｘを入れ替えてもよいし、両方を電磁石としてもよい。また、電磁石６ｘを流路ケース３ｘの内側に、永久磁石６ｙを液体供給室４側に設置してもよい。また、永久磁石６ｙに代えて着磁していない強磁性体、例えば鉄材を使用することができる。また、永久磁石６ｙの設置に代えて、可動板５ｙを強磁性体としてもよい。これら場合は、可動壁５と流路ケース３ｘの間に付勢部材を設置する、或いは可撓性膜５ｘと流路ケース３ｘにより囲まれる空間を密閉空間とする。電磁石６ｘに流す電流を遮断したときに、付勢部材の付勢力、或いは密閉空間の空気圧により可動壁５が第一形態Ａ又は第二形態Ｂに復元されるように構成すればよい。また、電磁石６ｘと永久磁石６ｙに代えて導電板を設置し、静電気力により可動壁５を駆動してもよい。また、可動壁５は、可動板５ｙを使用することに代えて、可動板５ｙの領域の可撓性膜５ｘを他の領域の可撓性膜よりも剛性を高くしてもよい。例えば、可動板５ｙの領域の可撓性膜５ｘを他の領域よりも厚く形成する。
【００３６】
（第三実施形態）
図３は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。第二実施形態と異なる点は可動壁５を空気圧により駆動する点であり、アクチュエータ基板２、流路ケース３ｘ、液体流入部１６及び液体流入孔９の構成は第二実施形態と同様なので、説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
【００３７】
図３に示すように、液体供給室４の可動壁５は可撓性膜５ｘと可動板５ｙを備える。可撓性膜５ｘは液体を収容可能に流路ケース３ｘの内壁面に水密に固定される。可動板５ｙは基準方向Ｋに細長い形状を有し、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘ又は可撓性膜５ｘに固定され、他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に可撓性膜５ｘに接着される。可撓性膜５ｘは可動板５ｙの他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース３ｘに固定される。可動板５ｙは、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘに設置される回転軸に軸支され、他端Ｅ２側が回転軸を中心に回転可能な構成であってもよい。可動板５ｙは可撓性膜５ｘよりも高い剛性を有する。可撓性膜５ｘの材質は第二実施形態と同様であり説明を省略する。
【００３８】
切替手段６は、可動板５ｙと流路ケース３ｘの間に形成される圧力室６ｐと、圧力室６ｐの空気圧を変化させる空気ポンプ６ｓと、圧力室６ｐと空気ポンプ６ｓを連通させる連通路６ｑａとを備える。切替手段６は可動壁５の液体供給室４とは反対側である外面ＯＳ側の空気圧を変化させて可動壁５を駆動する。
【００３９】
液体噴射ヘッド１は次のように駆動する。まず、液体充填時には空気ポンプ６ｓを駆動して圧力室６ｐを加圧する。可動壁５は圧力室６ｐの空気圧により他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２に接近する下方（−ｚ方向）に移動して第一形態Ａに設定される。従って、液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する。そして、液体流入孔９から液体を押圧すると液体供給室４の液体は一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室４の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板２の他端Ｅ２の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル８を設けているので他端Ｅ２側の流速は一層増加する。
【００４０】
通常駆動時には空気ポンプ６ｓを駆動して圧力室６ｐから空気を吸引する。可動壁５は、他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２から離間する上方（＋ｚ方向）に移動して第二形態Ｂに設定される。従って、液体供給室４の断面積Ｄｓ’の一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Ａにおける断面積Ｄｓの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Ｂの可動壁５のほうが第一形態Ａの可動壁５よりも一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板２は駆動により発熱するので液体供給室４の液体は加熱されるが、第二形態Ｂは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。
【００４１】
（第四実施形態）
図４は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。第三実施形態と異なる点は可動壁５を液体供給室４の液体圧力により駆動する点であり、アクチュエータ基板２、流路ケース３ｘ、液体流入部１６、及び液体流入孔９は第二実施形態と同様なので、説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の記号を付している。
【００４２】
図４に示すように、液体供給室４の可動壁５は可撓性膜５ｘと可動板５ｙを備える。可撓性膜５ｘは液体を収容可能に流路ケース３ｘの内壁面に水密に固定される。可動板５ｙは基準方向Ｋに細長い形状を有し、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘ又は可撓性膜５ｘに固定され、他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に可撓性膜５ｘに接着される。可撓性膜５ｘは可動板５ｙの他端Ｅ２側がｚ方向に移動可能に撓みを設けて流路ケース３ｘに固定される。可撓性膜５ｘと流路ケース３ｘにより囲まれる空間は外気と連通する。可動板５ｙは、一端Ｅ１側が流路ケース３ｘに設置される回転軸に軸支され、他端Ｅ２側が回転軸を中心に回転可能な構成であってもよい。可動板５ｙは可撓性膜５ｘよりも高い剛性を有する。なお、可動板５ｙと流路ケース３ｘの間の空間は開口３ｙを介して大気に連通する。可撓性膜５ｘの材質は第二実施形態と同様であり説明を省略する。
【００４３】
切替手段６は、凹部を有する吸引キャップ６ｕと、液体ポンプ６ｔと、吸引キャップ６ｕと液体ポンプ６ｔを連通する連通路６ｑｂと、可動壁５をアクチュエータ基板２から離間する上方（＋ｚ方向）に付勢する付勢部材６ｚとを備える。切替手段６は、可動壁５の液体供給室４側である内面ＩＳ側の液体の圧力を変化させて可動壁５を駆動する。
【００４４】
液体噴射ヘッド１は次のように駆動する。まず、液体充填時には可動壁５を第一形態Ａに設定する。具体的には、吸引キャップ６ｕを図示しない移動手段によりアクチュエータ基板２の他面Ｓｙに相対的に移動させ、凹部の開口にノズル孔１１が位置するように凹部の上端面を一面Ｓｘに密着させる。そして、液体ポンプ６ｔを駆動して凹部の内空間、ノズル孔１１及び気泡抜きチャンネル８を負圧に減圧する。可動壁５は大気圧により他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２に接近する下方（−ｚ方向）に押圧されて第一形態Ａに設定される。液体は液体流入部１６、液体流入孔９から液体供給室４に吸引されて流入し、各チャンネル７に充填される。可動壁５は第一形態Ａを維持するので、液体供給室４の基準方向Ｋに直交する方向の断面積Ｄｓは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小し、液体は一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて流速が増加する。そのため、液体に混入する気泡は液体供給室４の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板２の他端Ｅ２の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル８を設けているので他端Ｅ２側の流速は一層増加する。
【００４５】
通常駆動時は、アクチュエータ基板２のノズル面から吸引キャップ６ｕを除去する。液体供給室４の液体の圧力は大気圧に近づき、可動壁５は付勢部材６ｚにより他端Ｅ２側がアクチュエータ基板２から離間する上方（＋ｚ方向）に付勢されて第二形態Ｂに設定される。その結果、液体供給室４の断面積Ｄｓ’の一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて縮小する縮小幅は、第一形態Ａにおける断面積Ｄｓの縮小幅よりも小さい。そのため、第二形態Ｂの可動壁５のほうが第一形態Ａの可動壁５よりも一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板２は駆動により発熱するので液体供給室４の液体は加熱されるが、第二形態Ｂは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。
【００４６】
なお、可動壁５に付勢部材６ｚを設けることに代えて、可動壁５に接着する可動板５ｙとしてばね材等を用い、可撓性膜５ｘの他端Ｅ２側を上方（＋ｚ方向）に付勢するようにしてもよい。この場合は、可動板５ｙが付勢部材として機能する。また、開口３ｙを閉塞して可動壁５と流路ケース３ｘにより囲まれる内部空間を密閉空間としてもよい。この場合、内部空間の圧力は通常駆動時の液体供給室４の液体圧力に対し負圧となるように予め設定しておく。
【００４７】
なお、切替手段６として、第一〜第四実施形態とは別に、熱膨張率の異なる２種の金属板を溶接したバイメタルを用いることができる。例えば、バイメタルに通電により発熱する発熱体を設け、一端を流路ケース３ｘに固定し他端を可動板５ｙに係止する。通電により発熱体を加熱してバイメタルを変形させ、可動壁５を第一形態Ａ又は第二形態Ｂから第二形態Ｂ又は第一形態Ａに切り替えることができる。
【００４８】
（第五実施形態）
図５は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。図５（ａ）は、液体噴射ヘッド１の分解斜視図であり、図５（ｂ）は、組み立て後の状態の斜視図であり、図５（ｃ）は、組み立て後の状態を下面からみた下面図であり、図５（ｄ）は、部分ＡＡの横断面図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。なお、本実施形態においては第一〜第四実施形態とは異なり、Ｋ−ｚ平面に直交する＋ｙ方向が上方、−ｙ方向が下方である。また、可動壁５の可動方向はｚ方向であり、第一〜第四実施形態と同様である。
【００４９】
液体噴射ヘッド１は、液滴を吐出するアクチュエータ基板２と、このアクチュエータ基板２を両側から挟む第一及び第二流路部材３ａ、３ｂと、第一及び第二流路部材３ａ、３ｂの端部に接続する第一及び第二液体流入管１４ａ、１４ｂとを備えている。アクチュエータ基板２は、基準方向Ｋに細長い長尺形状を有し、一方面Ｓａの側の第一アクチュエータ基板２ａと、その反対の他方面Ｓｂの側の第二アクチュエータ基板２ｂを備えている。
【００５０】
第一アクチュエータ基板２ａは、一方面Ｓａの基準方向Ｋに配列する複数の第一チャンネル７ａと、この複数の第一チャンネル７ａに液体を導入する第一連通孔１０ａと、第一アクチュエータ基板２ａの下端面に開口し、複数の第一チャンネル７ａのそれぞれに連通する複数の第一ノズル孔１１ａを備えている。第二アクチュエータ基板２ｂは、第一アクチュエータ基板２ａと同様に、他方面Ｓｂの基準方向Ｋに配列する第二チャンネル７ｂと、この複数の第二チャンネル７ｂに液体を導入する図示しない第二連通孔１０bと、第二アクチュエータ基板２ｂの下端面に開口し、複数の第二チャンネル７ｂのそれぞれに連通する複数の第二ノズル孔１１ｂを備えている。従って、図５（ｃ）に示すように、アクチュエータ基板２の下端面には第一ノズル孔１１ａと第二ノズル孔１１ｂが並行して基準方向Ｋに配列している。
【００５１】
なお、アクチュエータ基板２は具体的には４層構造を有している。第一アクチュエータ基板２ａは、表面に多数の第一チャンネル７ａを有する圧電体プレートと、第一連通孔１０ａを備え、圧電体プレートの第一チャンネル７ａの側に接合するカバープレート１８ａと、カバープレート１８ａの第一連通孔１０ａに設置される第一フィルター１３ａ及び気泡抜き用の第一気泡抜きフィルター１２ａとを備えている。第一チャンネル７ａは第一連通孔１０ａに露出するので、第一連通孔１０ａから各第一チャンネル７ａに液体が供給される。第二アクチュエータ基板２ｂも同様の構造を有している。第一及び第二アクチュエータ基板２ａ、２ｂは、第一及び第二チャンネル７ａ、７ｂが形成される面とは反対側の面を背中合わせに接合してアクチュエータ基板２を構成する。
【００５２】
第一流路部材３ａは、アクチュエータ基板２の側に開口する第一液体供給室４ａと、この第一液体供給室４ａに液体を導入するための第一液体流入孔９ａと、この第一液体流入孔９ａに連通する第一液体流入管１４ａを備えている。図５（ｄ）に示すように、第一液体供給室４ａは、複数の第一チャンネル７ａに対応して基準方向Ｋに細長い形状を備え、第一連通孔１０ａを介して複数の第一チャンネル７ａに連通する。第一液体供給室４ａは、基準方向Ｋに直交する方向の断面積が基準方向Ｋの一端Ｅ１ａから他端Ｅ２ａにかけて縮小する第一形態Ａと第一形態Ａよりも縮小幅が小さい第二形態Ｂとが切り替わる第一可動壁５ａを備える。第一可動壁５ａは、可撓性膜５ｘａと、可撓性膜５ｘａよりも剛性の大きい可動板５ｙａを備える。可撓性膜５ｘａは、液体を収容可能に第一流路部材３ａに固定される。可動板５ｙａは、基準方向Ｋに細長い形状を有し、一端Ｅ１ａ側が第一流路部材３ａに固定され、他端Ｅ２ａ側が基準方向Ｋに直交するｚ方向に移動可能に可撓性膜５ｘａに接着される。可撓性膜５ｘａは可動板５ｙａが移動可能に撓みを設けて第一流路部材３ａに水密に固定される。液体噴射ヘッド１は、更に、第一可動壁５ａに作用して第一形態Ａと第二形態Ｂとを切り替える第一切替手段６ａを備える。第一切替手段６ａは、第一可動壁５ａの他端Ｅ２ａ側に設置される永久磁石６ｙａと、永久磁石６ｙａに対向し第一流路部材３ａに設置される電磁石６ｘａを含む。電磁石６ｘａ、６ｘｂはそれぞれ第一及び第二流路部材３ａ、３ｂの流路ケースに嵌め込まれる。
【００５３】
第二流路部材３ｂは、第一流路部材３ａと同様の構造を有し、アクチュエータ基板２の側に開口する第二液体供給室４ｂと、この第二液体供給室４ｂに液体を導入するための第二液体流入孔９ｂと、この第二液体流入孔９ｂに連通する第二液体流入管１４ｂを備えている。第二液体供給室４ｂは、複数の第二チャンネル７ｂに対応して基準方向Ｋに細長い形状を備え、図示しない第二連通孔１０ｂを介して複数の第二チャンネル７ｂに連通する。第二液体供給室４ｂは、基準方向Ｋに直交するｚ方向の断面積が基準方向Ｋの一端Ｅ１ｂから他端Ｅ２ｂにかけて縮小する第一形態Ａと第一形態Ａよりも縮小幅が小さい第二形態Ｂとが切り替わる第二可動壁５ｂを備える。第二可動壁５ｂは、可撓性膜５ｘｂと、可撓性膜５ｘｂよりも剛性の大きい可動板５ｙｂを備える。可撓性膜５ｘｂは、液体を収容可能に第二流路部材３ｂに水密に固定される。可動板５ｙｂは、基準方向Ｋに細長い形状を有し、一端Ｅ１ｂ側が第二流路部材３ｂに固定され、他端Ｅ２ｂ側が基準方向Ｋに直交するｚ方向に移動可能に可撓性膜５ｘｂに接着される。可撓性膜５ｘｂは可動板５ｙｂが移動可能に撓みを設けて第二流路部材３ｂに固定される。液体噴射ヘッド１は、更に、第二可動壁５ｂに作用して第一形態Ａと第二形態Ｂとを切り替える第二切替手段６ｂを備える。第二切替手段６ｂは、第二可動壁５ｂの他端Ｅ２ｂ側に設置される永久磁石６ｙｂと、永久磁石６ｙｂに対向し第二流路部材３ｂに設置される電磁石６ｘｂを含む。
【００５４】
接続部材１５は、上部に設ける液体導入用の開口部１７と、下部側面に設ける第一及び第二液体流入孔９ａ、９ｂを備える。接続部材１５は内部流路を有し、上部の開口部１７と下部の第一及び第二液体流入孔９ａ、９ｂは連通している。下部側面の第一液体流入孔９ａに第一流路部材３ａの第一液体流入管１４ａが挿入され、第二液体流入孔９ｂに第二流路部材３ｂの第二液体流入管１４ｂが挿入されて、第一及び第二流路部材３ａ、３ｂが固定される。接続部材１５の内部流路は、第一液体流入孔９ａと第二液体流入孔９ｂの中間の垂直平面に対して面対称の形状を有している。従って、第一及び第二流路部材３ａ、３ｂに流入する液体の流路抵抗や圧力は等しくなる。
【００５５】
液体流入部１６から流入する液体は、第一及び第二液体流入管１４ａ、１４ｂを介して第一及び第二流路部材３ａ、３ｂに分割して流入する。更に、液体は第一及び第二流路部材３ａ、３ｂから第一及び第二アクチュエータ基板２ａ、２ｂの第一及び第二チャンネル７ａ、７ｂに流入し、アクチュエータ基板２に与えられる駆動信号に基づいて第一及び第二ノズル孔１１ａ、１１ｂから吐出される。
【００５６】
第一及び第二可動壁５ａ、５ｂ（以下、まとめて可動壁５という）は次にように駆動される。まず、液体充填の際には第一及び第二切替手段６ａ、６ｂ（以下、まとめて切替手段６という）を駆動して可動壁５を第一形態Ａに設定する。つまり、電磁石６ｘａ、６ｘｂに電流を流して永久磁石６ｙａ、６ｙｂを第一及び第二アクチュエータ基板２ａ、２ｂ（以下、まとめてアクチュエータ基板２という）の方向に押圧し可動壁５をアクチュエータ基板２側に押し付ける。従って、第一及び第二液体供給室４ａ、４ｂ（以下、まとめて液体供給室４という）の基準方向Ｋに直交する方向の断面積は一端Ｅ１ａ、Ｅ１ｂ（以下、まとめてＥ１という）から他端Ｅ２ａ、Ｅ２ｂ（以下、まとめてＥ２という）にかけて縮小する。そして、液体流入部１６に液体を供給して液体供給室４及び複数の第一及び第二チャンネル７ａ、７ｂ（以下、まとめてチャンネル７という）に液体を充填する。液体は液体供給室４の一端Ｅ１側から他端Ｅ２側に向かって流速が速くなり、液体に混入する気泡は液体供給室４の壁面に付着することなく速やかに外部に排出される。アクチュエータ基板２の他端Ｅ２の側に液体を排出するための気泡抜きチャンネル８を設けているので他端Ｅ２側の流速は一層増加する。
【００５７】
次に、通常駆動の際には切替手段６を駆動して可動壁５を第二形態Ｂに設定する。具体的には、電磁石６ｘａ、６ｘｂに逆方向の電流を流して永久磁石６ｙａ、６ｙｂをアクチュエータ基板２とは反対方向に吸引し可動壁５を引き付ける。従って、液体供給室４のｚ方向の断面積は一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて第一形態Ａよりも縮小幅が小さくなる。そのため、第二形態Ｂの可動壁５のほうが第一形態Ａの可動壁５よりも一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さくなる。アクチュエータ基板２は駆動により発熱するので液体供給室４の液体は加熱されるが、第二形態Ｂは一端Ｅ１から他端Ｅ２にかけて液量の減少幅が小さいので液体の昇温が抑制され、一端Ｅ１側と他端Ｅ２側の液体の温度差が縮小し、吐出条件が均一化する。
【００５８】
なお、液体流入部１６を第一及び第二流路部材３ａ、３ｂとアクチュエータ基板２の端部に設置したので、液体噴射ヘッド１の全体の厚さを薄く構成することができる。また、液体を、その流路抵抗や印加圧力を均等にして第一及び第二流路部材３ａ、３ｂに分割供給することができる。また、第一アクチュエータ基板２ａの表面の第一連通孔１０ａの淵に、フィルター設置用の段差を設け、第一フィルター１３ａを設置している。第二アクチュエータ基板２ｂの表面にも同様に第二フィルター１３ｂを設置している。更に、第一及び第二アクチュエータ基板２ａ、２ｂの表面であり、第一及び第二流路部材３ａ、３ｂの第一及び第二液体流入孔９ａ、９ｂとは反対側の端部に、流路に混入した気泡を除去するための第一及び第二気泡抜きフィルター１２ａ、１２ｂを設置し、対応する位置に気泡抜き用の第一及び第二気泡抜きチャンネル８ａ、８ｂを形成する。
【００５９】
第一及び第二フィルター１３ａ、１３ｂの設置により、第一及び第二ノズル孔１１ａ、１１ｂが気泡により目詰まりを起こす不具合の発生を低減させることができる。また、液体内部に気泡が混入した場合は、第一及び第二気泡抜きチャンネル８ａ、８ｂを介して気泡を外部に迅速に排出することができる。また、液体充填時には第一及び第二気泡抜きチャンネル８ａ、８ｂを介して液体を排出できるので、可動壁５を第一形態Ａに設定して他端Ｅ２側の液体の流速を一層高めることができ、気泡を外部に効果的に排出することができる。
【００６０】
また、第一及び第二気泡抜きチャンネル８ａ、８ｂの上部に第一及び第二気泡抜きフィルター１２ａ、１２ｂを設置するので、第一及び第二気泡抜きチャンネル８ａ、８ｂから第一及び第二液体供給室４ａ、４ｂへ気体が入り込むのを防止することができる。また、第一及び第二流路部材３ａ、３ｂの端部、及び接続部材１５の側面には図示しないフレームにビス止め固定するための貫通部２４を備える。また、切替手段６として第三又は第四実施形態の切替手段６を用いることができる。
【００６１】
（第六実施形態）
図６は、本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置５０の模式的な斜視図である。本液体噴射装置５０は、上記第一〜第五実施形態のいずれかの液体噴射ヘッド１を使用する。液体噴射装置５０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構６３と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給する液体供給管５３、５３’と、液体供給管５３、５３’に液体を供給する液体タンク５１、５１’とを備えている。
【００６２】
具体的に説明する。液体噴射装置５０は、紙等の被記録媒体５４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段６１、６２と、被記録媒体５４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体タンク５１、５１’に貯留した液体を液体供給管５３、５３’に押圧して供給するポンプ５２、５２’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構６３等を備えている。
【００６３】
一対の搬送手段６１、６２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体５４を主走査方向に搬送する。移動機構６３は、副走査方向に延びた一対のガイドレール５６、５７と、一対のガイドレール５６、５７に沿って摺動可能なキャリッジユニット５８と、キャリッジユニット５８を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト５９と、この無端ベルト５９を図示しないプーリを介して周回させるモータ６０とを備えている。
【００６４】
キャリッジユニット５８は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク５１、５１’は対応する色の液体を貯留し、ポンプ５２、５２’、液体供給管５３、５３’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット５８を駆動するモータ６０の回転及び被記録媒体５４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体５４上に任意のパターンを記録することできる。
【００６５】
なお、本実施形態は、移動機構６３がキャリッジユニット５８と被記録媒体５４を移動させて記録する液体噴射装置５０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を二次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
【符号の説明】
【００６６】
１  液体噴射ヘッド
２  アクチュエータ基板、２ａ  第一アクチュエータ基板、２ｂ  第二アクチュエータ基板
３  流路部材、３ａ  第一流路部材、３ｂ  第二流路部材、３ｘ  流路ケース、３ｙ  開口
４  液体供給室、４ａ  第一液体供給室、４ｂ  第二液体供給室
５  可動壁、５ａ  第一可動壁、５ｂ  第二可動壁、５ｘ  可撓性膜、５ｙ  可動板
６  切替手段、６ａ  第一切替手段、６ｂ  第二切替手段、６ｓ  空気ポンプ、６ｔ  液体ポンプ、６ｕ  吸引キャップ、６ｐ  圧力室、６ｑａ、６ｑｂ  連通路、６ｘ  電磁石、６ｙ  永久磁石
７  チャンネル、７ａ  第一チャンネル、７ｂ  第二チャンネル、７ｒ  チャンネル列
８  気泡抜きチャンネル、８ａ  第一気泡抜きチャンネル、８ｂ  第二気泡抜きチャンネル
９  液体流入孔、９ａ  第一液体流入孔、９ｂ  第二液体流入孔
１０  連通孔、１０ａ  第一連通孔、１０ｂ  第二連通孔
１１  ノズル孔、１１ａ  第一ノズル孔、１１ｂ  第二ノズル孔
１２ａ  第一気泡抜きフィルター、１２ｂ  第二気泡抜きフィルター
１３ａ  第一フィルター、１３ｂ  第二フィルター
１４ａ  第一液体流入管、１４ｂ  第二液体流入管
１５  接続部材、１６  液体流入部、１７  開口部
Ａ  第一形態、Ｂ  第二形態、Ｄｓ、Ｄｓ’  断面積
Ｋ  基準方向、Ｅ１、Ｅ１ａ、Ｅ１ｂ  一端、Ｅ２、Ｅ２ａ、Ｅ２ｂ  他端、Ｓｘ  一面、Ｓｙ  他面、Ｓａ  一方面、Ｓｂ  他方面、ＯＳ  外面、ＩＳ  内面
【図１】
0006666134.tif 000002
【図２】
0006666134.tif 000003
【図３】
0006666134.tif 000004
【図４】
0006666134.tif 000005
【図５】
0006666134.tif 000006
【図６】
0006666134.tif 000007
【図７】
0006666134.tif 000008