(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状ワークを洗浄する洗浄スポンジを回転シャフトに装着し該洗浄スポンジを回転させ円板状ワークを洗浄する洗浄ユニットであって、
該洗浄スポンジは、中央に該回転シャフトが挿入される中空部を備える円筒形状の胴体部と、該胴体部の一方の端において該胴体部の径方向外周側に向かって立設し、該胴体部側に立設面を有するツバ部と、を備え、
該洗浄スポンジの該中空部に挿入する該回転シャフトと、該回転シャフトの一端側に連結し該回転シャフトを回転させるモータと、該回転シャフトの内部に形成され該回転シャフトの軸方向に延在する流路と、該流路から分岐し該回転シャフトの径方向に向かって延び該回転シャフトの外側面で開口する複数の分岐流路と、該流路の他端側に連通する洗浄水供給源と、を備え、
該回転シャフトは、該モータに連結されている一端側において該回転シャフトの径方向外向きに延出され該洗浄スポンジの一端側の端面に当接させるフランジ部と、他端側に形成された雌ねじ部と、を備え、
該回転シャフトの該雌ねじ部に螺合する雄ネジ部と、該雄ネジ部に連結され該回転シャフトの径方向と同方向に延在し該洗浄水供給源に連通するハウジング部と、を備えるロータリージョイントを備え、
該回転シャフトの該雌ねじ部に該ロータリージョイントの該雄ネジ部を螺合させることで、該回転シャフトの該フランジ部と該ロータリージョイントの該ハウジング部とによって該洗浄スポンジを該洗浄スポンジの延在方向両側から挟み込み固定させ、
該洗浄水供給源から供給され該流路を通った洗浄水を、該分岐流路の該開口から該洗浄スポンジ内面に噴出させ、該洗浄スポンジの該胴体部の外側面及び該ツバ部の該立設面から染み出させつつ、該モータで該回転シャフトを回転させることにより該洗浄スポンジを回転させ、該胴体部の該外側面で円板状ワークの一方の面を洗浄すると共に、該ツバ部の該立設面で円板状ワークの外側面を洗浄する洗浄ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円板状ワークを洗浄するために用いられる洗浄スポンジに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造において用いられる円板状ワークを洗浄する洗浄装置においては、例えば、円板状ワークのエッジ（外周縁）の少なくとも３箇所を、円板状ワークを回転可能に保持する保持部（例えば、回転ローラ）で各々保持し、保持部の少なくとも１つを回転させることで円板状ワークを回転させて、回転する円板状ワークの例えば下面に対して、回転する洗浄スポンジを接触させて洗浄を行っている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
洗浄に用いられる洗浄スポンジは、円板状ワークの下面又は上面全面を余すことなく洗浄するために、円板状ワークの半径以上の長さの円筒形状に形成されている。また、洗浄対象となる円板状ワークには、ワークの下面又は上面の被覆処理等により、円板状ワークの中央部分が凹んでいたり盛り上がっていたりして全体に反りがある円板状ワークもある。このような反った円板状ワークであっても、例えば、円筒形状の洗浄スポンジを円板状ワークの半径上に配置した状態、すなわち、少なくとも、円板状ワークのエッジから中心を結ぶ直線上に洗浄スポンジが接触しており、洗浄スポンジが円板状ワークの反りに合わせて変形している状態で、洗浄を行うことで、円板状ワークの下面全面を洗浄できる。
【０００４】
また、洗浄装置においては、円板状ワークの外側面も洗浄するために、円筒形状の洗浄スポンジとは別の円板状ワークの外側面洗浄用のスポンジを個別に備えており、この外側面洗浄用のスポンジを、円板状ワークの外側面に対して接触させて洗浄を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１１７７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記のように、洗浄装置を、円筒形状の洗浄スポンジと円板状ワークの外側面洗浄用のスポンジとを個別に備える構成とすると、各スポンジを各々移動させる移動機構等も増設する必要があるため、装置構成が大きくなるという問題がある。また、洗浄を行うに際しても、装置構成上、まず円板状ワークの下面又は上面を洗浄し、その後、円板状ワークの外側面を別途洗浄する等の必要があり、洗浄時間に多くの時間を取られるという問題がある。
【０００７】
したがって、円板状ワークを洗浄する洗浄スポンジにおいては、洗浄スポンジを備える洗浄装置の装置構成を大きくせずに、かつ、円板状ワークの下面（又は上面）と外側面とを短時間で余すことなく洗浄するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、円板状ワークを洗浄する洗浄スポンジを回転シャフトに装着し該洗浄スポンジを回転させ円板状ワークを洗浄する洗浄ユニットであって、該洗浄スポンジは、中央に該回転シャフトが挿入される中空部を備える円筒形状の胴体部と、該胴体部の一方の端において該胴体部の径方向外周側に向かって立設し、該胴体部側に立設面を有するツバ部と、を備え、該洗浄スポンジの該中空部に挿入する該回転シャフトと、該回転シャフトの一端側に連結し該回転シャフトを回転させるモータと、該回転シャフトの内部に形成され該回転シャフトの軸方向に延在する流路と、該流路から分岐し該回転シャフトの径方向に向かって延び該回転シャフトの外側面で開口する複数の分岐流路と、該流路の他端側に連通する洗浄水供給源と、を備え、該回転シャフトは、該モータに連結されている一端側において該回転シャフトの径方向外向きに延出され該洗浄スポンジの一端側の端面に当接させるフランジ部と、他端側に形成された雌ねじ部と、を備え、該回転シャフトの該雌ねじ部に螺合する雄ネジ部と、該雄ネジ部に連結され該回転シャフトの径方向と同方向に延在し該洗浄水供給源に連通するハウジング部と、を備えるロータリージョイントを備え、該回転シャフトの該雌ねじ部に該ロータリージョイントの該雄ネジ部を螺合させることで、該回転シャフトの該フランジ部と該ロータリージョイントの該ハウジング部とによって該洗浄スポンジを該洗浄スポンジの延在方向両側から挟み込み固定させ、該洗浄水供給源から供給され該流路を通った洗浄水を、該分岐流路の該開口から該洗浄スポンジ内面に噴出させ、該洗浄スポンジの該胴体部の外側面及び該ツバ部の該立設面から染み出させつつ、該モータで該回転シャフトを回転させることにより該洗浄スポンジを回転させ、該胴体部の該外側面で円板状ワークの一方の面を洗浄すると共に、該ツバ部の該立設面で円板状ワークの外側面を洗浄する洗浄ユニットである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る洗浄ユニットは、円板状ワークを洗浄する洗浄スポンジを回転シャフトに装着し洗浄スポンジを回転させ円板状ワークを洗浄する洗浄ユニットであって、洗浄スポンジは、中央に回転シャフトが挿入される中空部を備える円筒形状の胴体部と、胴体部の一方の端において胴体部の径方向外周側に向かって立設し、胴体部側に立設面を有するツバ部と、を備え、洗浄スポンジの中空部に挿入する回転シャフトと、回転シャフトの一端側に連結し回転シャフトを回転させるモータと、回転シャフトの内部に形成され回転シャフトの軸方向に延在する流路と、流路から分岐し回転シャフトの径方向に向かって延び回転シャフトの外側面で開口する複数の分岐流路と、流路の他端側に連通する洗浄水供給源と、を備えることで、洗浄水供給源から供給され流路を通った洗浄水を、分岐流路の開口から洗浄スポンジ内面に噴出させ、洗浄スポンジの胴体部の外側面及びツバ部の立設面から染み出させつつ、モータで回転シャフトを回転させることにより洗浄スポンジを回転させ、胴体部の外側面で円板状ワークの一方の面を洗浄すると共に、ツバ部の立設面で円板状ワークの外側面を洗浄することができる。そして、上記構成の洗浄スポンジを備えることで、洗浄ユニットの装置構成は大きくならず、かつ、円板状ワークの下面（又は上面）と外側面とを短時間で余すことなく洗浄することが可能となるとともに、洗浄スポンジに上記構成の回転シャフトが挿入された状態で円板状ワークの洗浄を行うことで、洗浄スポンジの全体に効率よく洗浄水を行きわたらせながら洗浄を行うことができる。
また、回転シャフトは、モータに連結されている一端側において回転シャフトの径方向外向きに延出され洗浄スポンジの一端側の端面に当接させるフランジ部と、他端側に形成された雌ねじ部と、を備え、回転シャフトの雌ねじ部に螺合する雄ネジ部と、雄ネジ部に連結され回転シャフトの径方向と同方向に延在し洗浄水供給源に連通するハウジング部と、を備えるロータリージョイントを備え、回転シャフトの雌ねじ部にロータリージョイントの雄ネジ部を螺合させることで、回転シャフトのフランジ部とロータリージョイントのハウジング部とによって洗浄スポンジを洗浄スポンジの延在方向両側から挟み込み固定するができ、円板状ワークの洗浄時において洗浄スポンジが回転シャフト上で洗浄スポンジの延在方向にずれてしまうことが無くなり、従来のようにずれてしまった洗浄スポンジが円板状ワークに接触していないといった事態が生じることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】洗浄スポンジの一例を示す断面図である。
【図２】洗浄スポンジが固定される回転シャフトの一例を示す断面図である。
【図３】回転シャフトに洗浄スポンジが固定されている状態を示す断面図である。
【図４】洗浄スポンジが配設される洗浄装置の一例を示す平面図である。
【図５】円板状ワークを保持する保持手段を構成する保持ユニットを示す側面図である。
【図６】円板状ワークを洗浄スポンジにより洗浄している状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す洗浄スポンジ４０は、円筒形状の胴体部４００と、胴体部４００の一方の端４００ａにおいて胴体部４００の径方向外周側に向かって立設し、胴体部４００側に立設面４０１ａを有するツバ部４０１とを少なくとも備えている。
【００１２】
円筒形状の胴体部４００は、所定の厚みを備えるスポンジを円筒形状に形成したものであり、その軸心４００ｃの軸方向は、図示の例においてはＹ軸方向となっている。胴体部４００に用いられるスポンジとしては、例えば、ポリウレタンを発泡成形して作られるスポンジ（例えば、アイオン社製、ソフラススポンジ）、ＰＶＡスポンジ（例えば、インテグリス社製、プレナコアスポンジ）、又はゴムに発泡剤等を練り込み成形されるスポンジ等が使用される。胴体部４００の中空部４００ｄには、図２に示す回転シャフト４１が挿入され、胴体部４００の外側面４００ｅが、後述する図５に示す円板状ワークＷの一方の面（すなわち、上面Ｗａ又は下面Ｗｂ）を洗浄する洗浄面となる。
【００１３】
図１に示すスポンジからなるツバ部４０１は、例えば、胴体部４００と継ぎ目なく一体形成されており、胴体部４００の一方の端４００ａにおいて、胴体部４００の径方向外周側に向かって胴体部４００の外側面４００ｅから立設されている。
ツバ部４０１は、その外周が胴体部４００の外側面４００ｅよりも大径に形成された円環状に形成されており、図１に示す立設面４０１ａが、図５に示す円板状ワークＷの外側面Ｗｅを洗浄する洗浄面となる。ここで、立設面４０１ａとは、ツバ部４０１において、胴体部４００の延在方向（＋Ｙ方向）に向かう面である。
【００１４】
なお、ツバ部４０１は、本実施形態のように胴体部４００と一体となって形成されているもの限定されず、例えば、環状に形成されたスポンジを胴体部４００にはめ込み、適宜の接着剤等により胴体部４００の外側面４００ｅの一端に固定することで形成されるものとしてもよい。この場合には、胴体部４００とツバ部４０１との間には仮想線Ｂ１で示される継ぎ目が存在する。また、胴体部４００の内径と同一の内径を備える環状に形成されたスポンジを胴体部４００の一方の端４００ａの端面に適宜の接着剤等により固定することで、ツバ部４０１が形成されるものとしてもよい。この場合には、胴体部４００とツバ部４０１との間には仮想線Ｂ２で示される継ぎ目が存在する。
【００１５】
ツバ部４０１の立設面４０１ａから胴体部４００のもう一方の端４００ｂの端面までの長さＬ１は、図４に示す円板状ワークＷの半径Ｒ１以上でかつ円板状ワークＷの直径２Ｒ１未満となっている。また、胴体部４００の外側面４００ｅからツバ部４０１の外側面までの距離Ｌ２（ツバ部４０１の径方向の幅）は、少なくとも円板状ワークＷの厚み以上の大きさとなっている。
【００１６】
洗浄スポンジ４０は、洗浄スポンジ４０の中空部４００ｄに図２に示す回転シャフト４１が挿入された状態で、回転シャフト４１に対して固定された状態となる。回転シャフト４１は、その中央に軸方向（Ｙ軸方向）に延びる流路４１０が形成されており、流路４１０の一端は回転シャフト４１の一端に形成されている雌ねじ部４１１において開口している。また、流路４１０からは回転シャフト４１の径方向に向かって複数の流路４１０ａがさらに分岐して延びており、この流路４１０ａは回転シャフト４１の外側面で開口している。回転シャフト４１の軸径は、例えば、回転シャフト４１が図１に示す胴体部４００の中空部４００ｄに嵌合する程度の大きさとなっている。
【００１７】
回転シャフト４１のもう一端には、モータ４２が連結されている。このモータ４２が回転シャフト４１を回転させることで、回転シャフト４１に固定された洗浄スポンジ４０も回転する。また、回転シャフト４１のモータ４２が接続されている一端の近傍には、回転シャフト４１の径方向外向きに延出されるフランジ部４１２が形成されている。
【００１８】
回転シャフト４１の雌ねじ部４１１には、雌ねじ部４１１に螺合する雄ネジ部４３０（シャフト部）を備えるロータリージョイント４３を介して、洗浄水供給源４４に連通する洗浄水供給路４５が取り外し可能に連結されている。ロータリージョイント４３は、例えば、回転シャフト４１と一緒に回転する雄ネジ部４３０と、洗浄水供給路４５が接続されるハウジング部４３１とを備えており、ハウジング部４３１の内部には図示しないベアリングや回転用シール等が配設されている。ロータリージョイント４３は、洗浄水を洗浄水供給路４５から回転シャフト４１の流路４１０へと遺漏なく流入させるとともに、洗浄水供給路４５のねじれや破損等を防ぐ役割を果たしている。洗浄水供給路４５は、例えば、金属製のパイプ管であり、樹脂材等で形成される可撓性を有するチューブであってもよい。
【００１９】
図３に示すように、回転シャフト４１に対する洗浄スポンジ４０の固定は、回転シャフト４１の外側面に適宜の接着剤等を塗布してから、洗浄スポンジ４０を回転シャフト４１に嵌合させることでなされる。または、洗浄スポンジ４０が弾性の高い材質で形成されている場合には、回転シャフト４１の軸径を、胴体部４００の中空部４００ｄの直径（内径）よりも僅かに大きくすることで、洗浄スポンジ４０を回転シャフト４１に嵌合させた際に、洗浄スポンジ４０が収縮する力によりなされるものとしてもよい。洗浄スポンジ４０を回転シャフト４１に嵌合させ、ロータリージョイント４３を回転シャフト４１に螺着することで、洗浄スポンジ４０は、フランジ部４１２とロータリージョイント４３とによってＹ軸方向両側から挟み込まれるため、回転シャフト４１上においてＹ軸方向においてずれることがなくなる。また、回転シャフト４１の軸心は、洗浄スポンジ４０の軸心４００ｃと一致した状態となる。
そして、図３に示すように本発明に係る洗浄ユニットが形成された状態になる。
【００２０】
洗浄スポンジ４０を備え付けることができる図４に示す洗浄装置１は、少なくとも３つ以上（本実施形態においては４つ）の保持部３０で円板状ワークＷのエッジＷｄを保持する保持手段３を備えている。保持手段３は、例えば、互いの長手方向（Ｙ軸方向）に対して垂直な方向（Ｘ軸方向）に所定の距離離間して向かい合うように配置される保持ユニット３ａ及び保持ユニット３ｂを備える。保持ユニット３ａと保持ユニット３ｂとの間には、洗浄スポンジ４０を備える洗浄手段４が配置されている。
【００２１】
図４に示す洗浄装置１により洗浄される円板状ワークＷは、例えば、その上面Ｗａに、図示しない多数のデバイスが形成されている。また、図５に示すように円板状ワークＷの下面Ｗｂは、円板状ワークＷの中心Ｗｏに近付くにつれて＋Ｚ方向に向かって中凸に僅かに湾曲しており、そのため、円板状ワークＷの全体には反りが発生している。
【００２２】
図４に示す保持ユニット３ｂの構成は、保持ユニット３ａの構成と同様であるから、以下に保持ユニット３ａの構成についてのみ説明する。図４、５に示すように、保持ユニット３ａは、略直方体状の基台３１を備えている。基台３１の上面には、可動板３２ａ及び可動板３２ｂが、保持ユニット３ａの長手方向（Ｙ軸方向）に離間して配置されている。
【００２３】
可動板３２ａ、３２ｂは、基台３１の上面に配置され回転軸として機能する連結具３３ａ、連結具３３ｂとを介して、それぞれ基台３１の上面に接続されている。そして、可動板３２ａ、３２ｂは、この連結具３３ａ、３３ｂの回りを回転して基台３１の上面上でスライドできるようになっている。
【００２４】
基台３１の上面の外側の領域（洗浄手段４に対してより離れている側の領域）には、可動板３２ａ、３２ｂを回転させる可動板回転機構３４が設けられている。可動板回転機構３４は、例えばエアシリンダであり、内部に図示しないピストンを備え基端側（−Ｙ方向側）に底のある有底円筒形状のシリンダチューブ３４０と、シリンダチューブ３４０に挿入されその一端がピストンに取り付けられたピストンロッド３４１とを備える。ピストンロッド３４１のもう一端には連結具３４２ｂを介して可動板３２ｂが接続されている。また、ピストンチューブ３４０の基端側には、連結具３４２ａを介して可動板３２ａが接続されている。シリンダチューブ３４０にエアが供給（または、排出）されシリンダチューブ３４０の内部の圧力が変化することで、ピストンロッド３４１がＹ軸方向に移動し、これに伴って可動板３２ａ、３２ｂが各々連結具３３ａ、３３ｂの回りを回転して基台３１の上面上でスライドする。
【００２５】
可動板３２ａ、３２ｂの上面には、円板状ワークＷのエッジＷｄに当接し円板状ワークＷのエッジＷｄを保持する保持部３０がそれぞれ１つずつ配設されている。保持部３０は、例えば、軸方向が鉛直方向（Ｚ軸方向）である回転軸３００と、回転軸３００に取り付けられ回転軸３００の周りを回転する回転ローラ３０１とから構成されている。回転ローラ３０１は、図示の例では、径方向（回転軸３００の軸方向と水平方向に直交する方向）外向きに延出される一対のフランジ部３０１ａを備えており、一対のフランジ部３０１ａの間に円板状ワークＷのエッジＷｄが引っかかるように形成されている。
【００２６】
可動板３２ａ、３２ｂを回転させて、複数の回転ローラ３０１を円板状ワークＷの直径２Ｒ１（円板状ワークＷの半径Ｒ１を２倍したもの）に合わせて水平方向に移動させることで、円板状ワークＷを複数の回転ローラ３０１で挟み込むように保持できる。
【００２７】
円板状ワーク回転手段２は、例えば、モータ等の回転駆動源であり、図示の例では、１つの回転ローラ３０１に接続されている。円板状ワークＷを複数の回転ローラ３０１で挟み込むように保持した後に、円板状ワーク回転手段２が回転ローラ３０１を回転させれば、保持手段３に保持される円板状ワークＷの中心Ｗｏを軸に円板状ワークＷを回転させることができる。なお、円板状ワーク回転手段２は、少なくとも１つの回転ローラ３０１に接続されていればよいが、複数の回転ローラ３０１に接続されていてもよい。
【００２８】
保持手段３と円板状ワーク回転手段２とは上記の構成に限定されるものではなく、以下のように構成されていてもよい。例えば、保持手段３が備える複数の保持部３０の内、１つの保持部３０は回転軸３００の周りを回転ローラ３０１が回転する構成とし、その他の保持部３０は回転ローラ３０１が回転軸３００に対して固定されて回転しない構成としてもよい。また、円板状ワーク回転手段２については、図４に示すように円板状ワークＷのエッジＷｄに当接するように配設される円板状ワーク回転用ローラであってもよい。この場合においては、円板状ワーク回転手段２自体が回転することにより、保持手段３で保持される円板状ワークＷの中心Ｗｏを軸にして円板状ワークＷを回転させることができる。さらに、本実施形態においては、保持手段３に４つの保持部３０を備えているが、保持手段３が備える保持部３０は少なくとも３つ以上であればよい。
【００２９】
図４に示す洗浄手段４は、洗浄スポンジ４０を収納するケース４６を備えている。ケース４６は、例えば、略長方形状の底板４６ａと、底板４６ａの四辺から＋Ｚ方向に立設される４枚の側板とからなり上部が開口している。例えば、ケース４６を構成する２枚の側板４６ｂ、４６ｃ（ケース４６の長手方向において対面する側板４６ｂ、４６ｃ）には、例えば、図示しない軸受けが配設されており、側板４６ｂ、４６ｃは、回転シャフト４１のそれぞれの各端部を回転可能に支持している（図示の例においては、側板４６ｃは、回転シャフト４１に接続されたロータリージョイント４３を支持している。）。そして、回転シャフト４１はケース４６内において、軸心４００ｃを軸に矢印Ｒ方向に回転可能となっている。また、回転シャフト４１に固定された洗浄スポンジ４０は、胴体部４００の外側面４００ｅ及びツバ部４０１が、ケース４６の上部においてケース４６から露出した状態となっている。
【００３０】
ケース４６には、例えば、洗浄スポンジ４０の傾きを調節する傾き調節機構４９が接続されている。傾き調節機構４９は、例えば、エアシリンダ機構、モータ等によって動作するボールネジ機構、又は弾性部材の付勢力によって動作する機構等であり、洗浄スポンジ４０の一方の端４００ａ又はもう一方の端４００ｂのみを＋Ｚ方向に上昇させることで、洗浄スポンジ４０の円板状ワークＷの下面Ｗｂに対する傾きを調節できる。傾き調節機構４９により、反った円板状ワークＷの下面Ｗｂに合わせて洗浄スポンジ４０を傾斜させて、洗浄スポンジ４０を円板状ワークＷの下面Ｗｂに最大限に接触させることで、円板状ワークＷの下面Ｗｂ全体を十分に洗浄することができる。また、傾き調節機構４９により、反った円板状ワークＷの下面Ｗｂに合わせて洗浄スポンジ４０を傾斜させ、洗浄スポンジ４０に対して円板状ワークＷを沈み込ませることで、洗浄中において、円板状ワークＷの外側面Ｗｅに対して、洗浄スポンジ４０のツバ部４０１の立設面４０１ａが常に当接している状態を保つことができる。
【００３１】
また、洗浄手段４は、例えば、図示しない移動機構によって、水平面内の移動及び昇降移動が可能となっている。
【００３２】
以下に、図４及び図６を用いて、洗浄スポンジ４０により円板状ワークＷを洗浄する場合の、洗浄スポンジ４０の動作及び洗浄装置１の動作について説明する。なお、図６においては、洗浄スポンジ４０が収納されるケース４６及び保持手段３の各構成等を省略して示している。
【００３３】
まず、図４に示すように、円板状ワークＷが洗浄装置１へと搬送され、円板状ワークＷと保持手段３との位置合わせが行われ、円板状ワークＷの下面Ｗｂ側と洗浄手段４とが対向する状態となる。そして、４つの保持部３０を結ぶ四角形の中に円板状ワークＷの中心Ｗｏが位置付けられてから、各保持部３０が移動して各回転ローラ３０１を円板状ワークＷのエッジＷｄに当接させた状態とすることで、４つの保持部３０によって円板状ワークＷのエッジＷｄが保持される。
【００３４】
４つの保持部３０によって円板状ワークＷのエッジＷｄが保持されることによって、円板状ワークＷの直径２Ｒ１と洗浄スポンジ４０の軸心４００ｃとが一致する。なお、図４では、便宜上、円板状ワークＷの中心を基準に９０度回転した位置にＲ１を図示している。
【００３５】
さらに、図示しない移動機構により、図６に示す洗浄スポンジ４０の一方の端４００ａ側に近い外側面４００ｅが円板状ワークＷの下面Ｗｂに対して接触するまで、洗浄手段４を＋Ｚ方向に上昇させる。次いで、洗浄手段４が、洗浄スポンジ４０のツバ部４０１の立設面４０１ａが円板状ワークＷの外側面Ｗｅに接触するまで、＋Ｙ方向に移動する。この結果、洗浄スポンジ４０の一方の端４００ｂが、円板状ワークＷの中心Ｗｏより少しだけ＋Ｙ方向の位置に位置するようになる。
【００３６】
そして、傾き調節機構４９が、洗浄スポンジ４０のもう一方の端４００ｂのみが上昇するように、図４に示すケース４６を傾斜させていくことで、洗浄スポンジ４０を円板状ワークＷの下面Ｗｂの形状に合わせて傾斜させていく。すなわち、ケース４６が傾斜していくことで、洗浄スポンジ４０の胴体部４００は、円板状ワークＷの下面Ｗｂに徐々に押し付けられていき、円板状ワークＷの下面Ｗｂの形状に合わせて変形していくため、図６に示すように洗浄スポンジ４０の外側面４００ｅと円板状ワークＷの下面Ｗｂとの接触面積が最大化される。また、傾き調節機構４９によるケース４６の傾き調節に伴って、洗浄スポンジ４０のツバ部４０１の立設面４０１ａが円板状ワークＷの外側面Ｗｅから離れてしまう場合には、図示しない移動機構により、ケース４６をさらに＋Ｙ方向へ移動させて、洗浄スポンジ４０のツバ部４０１の立設面４０１ａが円板状ワークＷの外側面Ｗｅに接触している状態を保つようにする。
【００３７】
この状態で、モータ４２が回転シャフト４１を矢印Ｒ方向に回転させることで、回転シャフト４１に固定された洗浄スポンジ４０の胴体部４００が、円板状ワークＷの下面Ｗｂを洗浄していく。さらに、円板状ワーク回転手段２が、例えば、１つの保持部３０（図６においては、１つのみ図示）を回転軸３００を軸に矢印３００ａ方向に回転させることで、円板状ワークＷの中心Ｗｏを軸に円板状ワークＷが矢印Ｗｆ方向に回転するため、胴体部４００が円板状ワークＷの下面Ｗｂの全面の洗浄を行う。
【００３８】
胴体部４００が円板状ワークＷの下面Ｗｂを洗浄していくのと同時に、ツバ部４０１の立設面４０１ａが円板状ワークＷの外側面Ｗｅを洗浄していく。すなわち、回転シャフト４１の矢印Ｒ方向への回転に伴って、ツバ部４０１も矢印Ｒ方向に向かって回転し、立設面４０１ａに接触している円板状ワークＷの外側面Ｗｅが洗浄されていく。円板状ワークＷ自身も、中心Ｗｏを軸に回転しているため、ツバ部４０１によって円板状ワークＷの外側面Ｗｅの全面が洗浄される。
【００３９】
洗浄中においては、洗浄水供給源４４から洗浄水が供給される。供給された洗浄水は、回転シャフト４１の流路４１０へ流入し、さらに複数の流路４１０ａへと分流され、洗浄スポンジ４０へと到達する。そして、洗浄水は、洗浄スポンジ４０の内部から、胴体部４００の外側面４００ｅ及びツバ部４０１の立設面４０１ａ上に広範囲にわたって染み出していく。
【００４０】
以上のように、洗浄スポンジ４０は、円筒形状の胴体部４００と、胴体部４００の一方の端４００ａにおいて胴体部４００の径方向外周側に向かって立設し、胴体部４００側に立設面４０１ａを有するツバ部４０１とを備えることで、胴体部４００を軸心４００ｃを軸に回転させ、胴体部４００の外側面４００ｅで円板状ワークＷの一方の面（本実施形態においては下面Ｗｂ）を洗浄すると共に、ツバ部４０１の立設面４０１ａで円板状ワークＷの外側面Ｗｅを洗浄することができる。そのため、洗浄装置１に洗浄スポンジ４０を配設しても、洗浄装置１の装置構成を大きくすることなく、かつ、円板状ワークＷの下面Ｗｂと外側面Ｗｅとを同時に洗浄することで短時間での洗浄が可能となる。
【００４１】
なお、本発明に係る洗浄スポンジ４０は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている洗浄スポンジ４０の各構成の大きさや形状等及び洗浄装置１の構成についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
【００４２】
例えば、洗浄スポンジ４０では、円板状ワークＷの上面Ｗａを洗浄することも可能である。この場合には、円板状ワークＷを上面Ｗａが下側になった状態で保持手段３により保持することで、上記円板状ワークＷの下面Ｗｂを洗浄したのと同様に円板状ワークＷの上面Ｗａを洗浄することができる。
【００４３】
例えば、洗浄水供給源４４から供給される洗浄水は、本実施形態のように洗浄スポンジ４０の内部から円板状ワークＷと洗浄スポンジ４０との接触部位に供給される構成に限定されず、例えば、洗浄スポンジ４０と円板状ワークＷとの接触部位に対して、外部から洗浄水ノズルによって噴射され供給されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１：洗浄装置
２：円板状ワーク回転手段
３：保持手段  ３ａ（３ｂ）：保持ユニット  ３０：保持部  ３００：回転軸  
３０１：回転ローラ  ３０１ａ：一対のフランジ部
３１：基台  ３２ａ（３２ｂ）：可動板  ３３ａ（３３ｂ）：連結具
３４：可動板回転機構  ３４０：シリンダチューブ  ３４１：ピストンロッド
３４２ａ（３４２ｂ）：連結具  
４：洗浄手段  
４０：洗浄スポンジ  
４００：胴体部  ４００ａ：胴体部の一方の端  ４００ｂ：胴体部のもう一方の端  
４００ｃ：胴体部の軸心（洗浄スポンジの軸心）  ４００ｄ：胴体部の中空部  
４００ｅ：胴体部の外側面
４０１：ツバ部  ４０１ａ：立設面
４１：回転シャフト  ４１０：流路  ４１１：雌ねじ部  ４１２：フランジ部
４２：モータ
４３：ロータリージョイント  ４３０：雄ネジ部  ４３１：ハウジング部
４４：洗浄水供給源  ４５：洗浄水供給路
４６：ケース  ４６ａ：底板  ４６ｂ、４６ｃ：側板
４９：傾き調節機構
Ｗ：円板状ワーク  Ｗａ：円板状ワークの上面  Ｗｂ：円板状ワークの下面  
Ｗｏ：円板状ワークの中心  Ｗｄ：円板状ワークのエッジ  Ｗｅ：円板状ワークの外側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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