(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに目盛の配列ピッチが異なる複数のインクリメンタルパターンを読み取り演算することで測定値を出力するエンコーダであって、
前記複数のインクリメンタルパターンに対して相対移動して該複数のインクリメンタルパターンをそれぞれ電気信号として読み取る読取手段と、前記電気信号に基づいて前記測定値を演算する制御手段と、前記制御手段で演算された前記測定値を出力する出力手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記読取手段で読み取った複数の電気信号を合成して合成絶対位置を生成する絶対位置合成部と、
前記読取手段で読み取った複数の電気信号のそれぞれから複数の相対位置を検出する検出部と、
前記複数の相対位置のうち、少なくともいずれか１つの相対位置と、
前記合成絶対位置とを演算して演算絶対位置を算出する位置演算部と、
前記演算絶対位置と前記合成絶対位置とを比較する絶対位置比較部と、
前記検出部で検出した前記複数の相対位置を相互に比較する相対位置比較部と、を備え、
前記出力手段は、
前記演算絶対位置に基づいて測定値を出力する測定値出力部と、
前記絶対位置比較部における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第１エラー出力部と、
前記相対位置比較部における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第２エラー出力部と、を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載されたエンコーダにおいて、
前記複数のインクリメンタルパターンは、互いに目盛の配列ピッチが異なる３つのインクリメンタルパターンで構成され、
前記第２エラー出力部は、前記相対位置比較部において相互に比較された３つの相対位置のうち、少なくともいずれか１つが他の相対位置と異なるときにエラー情報を出力することを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載されたエンコーダにおいて、
前記位置演算部は、
前記複数の相対位置のそれぞれと、前記合成絶対位置とを演算して複数の演算絶対位置を算出し、
前記相対位置比較部は、
前記位置演算部で算出された複数の演算絶対位置を相互に比較することによって、複数の相対位置を相互に比較することを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スケールに設けられた複数のインクリメンタルパターンのそれぞれから複数の相対移動量を読み取る読取手段を備え、複数の相対移動量を合成して絶対位置情報を取得するアブソリュートエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定方向に沿って並設された目盛からなるインクリメンタルパターン（ＩＮＣパターン）を有するスケールと、スケールに沿って移動するとともにＩＮＣパターンから相対移動量を検出する読取手段を有するヘッドと、を備えるエンコーダが知られている。エンコーダの形式としては、電磁誘導式や静電容量式、光電式等がある。
電磁誘導式を一例に説明すると、電磁誘導式エンコーダは、測定方向に沿って並設されたスケールコイル（目盛）を有するスケールと、スケールに沿って相対移動自在なインデックススケール（ヘッド）と、を備えている。ヘッドは、スケールのＩＮＣパターンと対向する送信コイルおよび受信コイル（読取手段）を有している。
電磁誘導式エンコーダは、送信コイルを励磁した際にスケールコイルを経由して受信コイルで検出される磁束の変化から、ＩＮＣパターンとヘッドの相対移動量を検出している。
【０００３】
このような電磁誘導式エンコーダにおいて、例えば、特許文献１に記載された電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、互いに目盛の配列ピッチが異なる３種類のＩＮＣパターンを有している。
各ＩＮＣパターンは、それぞれ検出される波長が異なり、一番短い波長が検出される微細パターンと、一番長い波長が検出される粗パターンと、微細パターンと粗パターンとの中間の波長が検出される中間パターンとが並設されている。
【０００４】
電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、先ず、電源投入時に各ＩＮＣパターンから読取手段で読み取った電気信号に基づき絶対位置（合成絶対位置）を合成し、その合成絶対位置をプリセット値として初期設定する。次に、電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、測定中において、微細パターンから読取手段で読み取った電気信号に基づく相対移動量（相対位置）とプリセット値とを演算してインクリメンタル計数（演算絶対位置）を算出するとともに演算絶対位置を測定値として出力する。また、電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、中間パターンおよび粗パターンに基づくそれぞれの相対位置を合成して合成絶対位置を生成する。そして、電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、微細パターンに基づく演算絶対位置と、中間パターンおよび粗パターンに基づく合成絶対位置とを比較し、演算絶対位置と合成絶対位置とに誤差があるか否かを比較演算する。
このように、電磁誘導式ＡＢＳエンコーダは、演算絶対位置と合成絶対位置とを比較演算することで、測定値の信頼性の向上を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３４５３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このようなエンコーダにおいて合成絶対位置を算出するには所定の時間がかかり、ＩＮＣパターンに対するヘッドの移動速度がある程度以上の高速になると(高速移動時)、合成絶対位置の演算が間に合わない。このため、合成絶対位置の演算が間に合う程度の速さ（低速移動時）でしか演算絶対位置と合成絶対位置とを比較演算することができないという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、高速移動時においても測定値の信頼性を向上させることができるエンコーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のエンコーダは、互いに目盛の配列ピッチが異なる複数のインクリメンタルパターンを読み取り演算することで測定値を出力するエンコーダであって、前記複数のインクリメンタルパターンに対して相対移動して該複数のインクリメンタルパターンをそれぞれ電気信号として読み取る読取手段と、前記電気信号に基づいて前記測定値を演算する制御手段と、前記制御手段で演算された前記測定値を出力する出力手段と、を備え、前記制御手段は、前記読取手段で読み取った複数の電気信号を合成して合成絶対位置を生成する絶対位置合成部と、前記読取手段で読み取った複数の電気信号のそれぞれから複数の相対位置を検出する検出部と、前記複数の相対位置のうち、少なくともいずれか１つの相対位置と、前記合成絶対位置とを演算して演算絶対位置を算出する位置演算部と、前記演算絶対位置と前記合成絶対位置とを比較する絶対位置比較部と、前記検出部で検出した前記複数の相対位置を相互に比較する相対位置比較部と、を備え、前記出力手段は、前記演算絶対位置に基づいて測定値を出力する測定値出力部と、前記絶対位置比較部における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第１エラー出力部と、前記相対位置比較部における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第２エラー出力部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、検出部で検出した複数の相対位置を相互に比較する相対位置比較部を備えていることで、ＩＮＣパターンに対する読取手段の移動速度がある程度以上の高速になって合成絶対位置の算出が間に合わなくなった場合（高速移動時）であっても、複数の相対位置間の誤差を検出してエラー出力することができるため、測定値の信頼性の向上を図ることができる。
また、絶対位置合成部における合成絶対位置の演算が間に合う程度の移動速度の場合（低速移動時）、相対位置比較部による比較と並行して絶対位置比較部でも演算絶対位置の誤差の検出を行う。このため、相対位置比較部で比較する相対位置が全て同じだけズレる等、誤差が検出されない場合であっても、絶対位置比較部で演算絶対位置と合成絶対位置とを比較して誤差を検出することができるため、測定値の信頼性の向上を図ることができる。
【００１０】
この際、前記複数のインクリメンタルパターンは、互いに目盛の配列ピッチが異なる３つのインクリメンタルパターンで構成され、前記第２エラー出力部は、前記相対位置比較部において相互に比較された３つの相対位置のうち、少なくともいずれか１つが他の相対位置と異なるときにエラー情報を出力することが好ましい。
【００１１】
このような構成によれば、相対位置比較部は３つの相対位置を相互に比較して誤差を検出するため、誤差の検出精度をより一層向上させることができる。すなわち、相対位置比較部は、３つの相対位置を比較演算することで少なくともいずれか１つの相対位置がズレた場合に誤差を検出するので相対位置が２つの場合よりも、正確に誤差を検出することができる。
【００１２】
また、前記位置演算部は、前記複数の相対位置のそれぞれと、前記合成絶対位置とを演算して複数の演算絶対位置を算出し、前記相対位置比較部は、前記位置演算部で算出された複数の演算絶対位置を相互に比較することによって、複数の相対位置を相互に比較することが好ましい。
【００１３】
このような構成によれば、相対位置比較部は、複数の相対位置のそれぞれと合成絶対位置とを演算して算出された複数の演算絶対位置を相互に比較するため、相対位置を相互に比較する場合と比べて、より高い信頼性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るエンコーダのブロック図
【図２】前記エンコーダの制御手段の動作を示すフローチャート
【図３】前記エンコーダの絶対位置比較ステップの動作を示すフローチャート
【図４】前記エンコーダの相対位置比較ステップの動作を示すフローチャート
【図５】本発明の第２実施形態に係るエンコーダのブロック図
【図６】本発明の変形例に係るエンコーダのブロック図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るエンコーダのブロック図である。
エンコーダ１は、例えば、電磁誘導式のリニアエンコーダであり、互いに目盛の配列ピッチが異なる２つのインクリメンタルパターン（以下、ＩＮＣパターンとする）より検出される波長の異なる電気信号を読み取り演算することで測定値を測定する。エンコーダ１は、２つのＩＮＣパターンを有するスケールと、スケールに対して測定方向に相対移動して２つのＩＮＣパターンをそれぞれ読み取るヘッドと、を備えている。
ヘッドは、図１に示すように、２つのＩＮＣパターンとヘッドとの相対移動量を電気信号として読み取る送信コイルおよび受信コイルからなる読取手段２を備えている。
エンコーダ１はさらに、読取手段２で読み取った電気信号に基づいて測定値を演算する制御手段３と、制御手段３で演算された測定値を出力する出力手段４と、を備えている。
【００１６】
２つのＩＮＣパターンは、例えば、短い波長の電気信号（第１信号）が検出される第１パターンと、長い波長の電気信号（第２信号）が検出される第２パターンと、で構成されている。なお、２つのＩＮＣパターンはそれぞれ検出される波長が異なるとともに検出された電気信号を合成することで合成絶対位置が生成できるＩＮＣパターンであればよい。
第１パターンおよび第２パターンは、測定方向に沿って配列されたスケールコイルにより形成され、スケールの測定方向に沿って平行に並設されている。
読取手段２は、第１パターンとヘッドとの相対移動量を読み取って第１信号として出力する第１読取部２１と、第２パターンとヘッドとの相対移動量を読み取って第２信号として出力する第２読取部２２と、を備えている。
【００１７】
制御手段３は、読取手段２で読み取った第１信号および第２信号を合成して合成絶対位置を生成する絶対位置合成部５と、読取手段２で読み取った第１信号および第２信号のそれぞれから２つの相対位置を検出する検出部６と、２つの相対位置のそれぞれと合成絶対位置とを演算して演算絶対位置を算出する位置演算部７と、演算絶対位置と合成絶対位置とを比較する絶対位置比較部８と、検出部６で検出した２つの相対位置に基づく情報を相互に比較する相対位置比較部９と、を備えている。
出力手段４は、絶対位置比較部８における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第１エラー出力部４１と、演算絶対位置に基づいて測定値を出力する測定値出力部４２と、相対位置比較部９における比較結果に基づいてエラー情報を出力する第２エラー出力部４３と、を備えている。
【００１８】
検出部６は、第１信号から第１相対位置を検出する第１検出部６１と、第２信号から第２相対位置を検出する第２検出部６２と、を有している。
ここで、エンコーダ１は、電源投入後の初期化時に絶対位置合成部５で合成された合成絶対位置をプリセット値として位置演算部７に初期設定する。
位置演算部７は、プリセット値と第１相対位置とから第１演算絶対位置を演算する第１演算部７１と、プリセット値と第２相対位置とから第２演算絶対位置を演算する第２演算部７２と、を有している。
【００１９】
位置演算部７は、第１演算絶対位置を出力手段４の測定値出力部４２に出力する。測定値出力部４２は、第１演算絶対位置を測定値として出力し、例えば測定値をディスプレイ等の表示部に測定値を出力したり、エンコーダ１が設けられたサーボモータ等を制御する上位機器に測定値を送信したりする。
また、位置演算部７は、第１演算絶対位置を絶対位置比較部８に出力し、絶対位置比較部８は、絶対位置合成部５で生成された合成絶対位置と第１演算絶対位置とを比較演算する。さらに、位置演算部７は、第１演算絶対位置と第２演算絶対位置を相対位置比較部９に出力する。
【００２０】
絶対位置比較部８は、絶対位置合成部５で合成された合成絶対位置と第１演算絶対位置とを比較演算し誤差を検出する。具体的には、合成絶対位置および第１演算絶対位置の差が所定の閾値を超えた場合、誤差があるとしてエラーを検出する。絶対位置比較部８は、比較結果を第１エラー出力部４１に出力する。第１エラー出力部４１は、比較結果がエラーだった場合、エラー情報を出力する。第１エラー出力部４１は、例えばＬＥＤを点灯させて使用者に通報したり、上位機器にエラー情報を通信したりする。
【００２１】
相対位置比較部９は、位置演算部７で算出された第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を比較演算して演算絶対位置の誤差を検出する。具体的には、第１演算絶対位置および第２演算絶対位置の差が所定の閾値を超えた場合、誤差があるとしてエラーを検出する。相対位置比較部９は、比較結果を第２エラー出力部４３に出力する。第２エラー出力部４３は、比較結果がエラーだった場合、エラー情報を出力する。第２エラー出力部４３は、例えばＬＥＤを点灯させて使用者に通報したり、上位機器にエラー情報を通信したりする。なお、絶対位置比較部８および相対位置比較部９は、互いに独立して実行される。
【００２２】
ここで、本実施形態では、相対位置比較部９は、位置演算部７によって演算された第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を相互に比較演算しているが、検出部６で検出された第１相対位置および第２相対位置を相互に比較演算してもよい。すなわち、相対位置比較部９は、検出部６で検出された相対位置に基づく情報を相互に比較演算できればよい。
【００２３】
図２は、前記エンコーダの制御手段の動作を示すフローチャートである。
図２に基づいて制御手段３の動作について説明する。
エンコーダ１は、使用者または上位機器によって電源が投入されると測定を開始する。
電源投入時に制御手段３の絶対位置合成部５は、先ず、スケール上の第１パターンおよび第２パターンから読取手段２を介して電気信号である第１信号および第２信号を読み取る。絶対位置合成部５は、第１信号および第２信号を合成して合成絶対位置を生成し、その合成絶対位置を位置演算部７にプリセット値として初期設定する（ステップＳＴ０１）。
【００２４】
次に、絶対位置合成部５および検出部６は、第１信号および第２信号を取得する（ステップＳＴ０２）。
続いて、絶対位置合成部５は、読取手段２から取得した第１信号および第２信号を合成して合成絶対位置を生成する（ステップＳＴ０３）。生成された合成絶対位置は、絶対位置比較部８に出力される。
続いて、位置演算部７は、検出部６で検出された第１相対位置および第２相対位置とプリセット値とを演算して、第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を算出する（ステップＳＴ０４）。
【００２５】
続いて、絶対位置比較部８は、第１演算絶対位置および合成絶対位置を比較演算して演算絶対位置に誤差があるか否かを検出する（ステップＳＴ０５：絶対位置比較ステップ）。
相対位置比較部９は、第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を比較演算して相対位置に誤差があるか否かを検出する（ステップＳＴ０６：相対位置比較ステップ）。
測定値出力部４２は、位置演算部７から取得した第１演算絶対位置を測定値として出力する（ステップＳＴ０７）。なお、絶対位置比較ステップ（ステップＳＴ０５）および相対位置比較ステップ（ステップＳＴ０６）においてエラーが検出されてもされなくても、どちらの場合であっても測定値出力部４２は測定値を出力する。
そして、エンコーダ１は、ステップＳＴ０２に戻って測定を続行する。
【００２６】
図３は、前記エンコーダの絶対位置比較ステップの動作を示すフローチャートである。具体的には、図２のステップＳＴ０５における絶対位置比較部８の動作を示すフローチャートである。図３に基づいて絶対位置比較部８の動作について説明する。
絶対位置比較部８は、絶対位置合成部５で生成された合成絶対位置と位置演算部７の第１演算部７１で演算された第１演算絶対位置を相互に比較演算し誤差を検出する絶対位置比較処理を実行する（ステップＳＴ１１）。
【００２７】
絶対位置比較部８は、絶対位置比較処理において合成絶対位置および第１演算絶対位置を比較演算した結果、誤差を検出した場合（ステップＳＴ１２でＹＥＳ）、第１エラー出力部４１にエラー情報を出力する（ステップＳＴ１３）。
第１エラー出力部４１は絶対位置比較部８からエラー情報を取得すると、使用者にＬＥＤを点灯させて通報したり、上位機器に通信したりする。そして、使用者や上位機器はエンコーダ１を停止し、エンコーダ１をリセットする。
絶対位置比較部８は、絶対位置比較処理において誤差を検出しなかった場合（ステップＳＴ１２でＮＯ）、エラー情報は出力されずエンコーダ１による測定が継続される。
【００２８】
図４は、前記エンコーダの相対位置比較ステップの動作を示すフローチャートである。具体的には、図２のステップＳＴ０６における相対位置比較部９の動作を示すフローチャートである。図４に基づいて相対位置比較部９の動作について説明する。
相対位置比較部９は、第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を相互に比較演算し誤差を検出する相対位置比較処理を実行する（ステップＳＴ２１）。
【００２９】
相対位置比較部９は、相対位置比較処理において第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を比較演算した結果、誤差を検出した場合（ステップＳＴ２２でＹＥＳ）、第２エラー出力部４３にエラー情報を出力する（ステップＳＴ２３）。
第２エラー出力部４３は相対位置比較部９からエラー情報を取得すると、使用者にＬＥＤを点灯させて通報したり、上位機器に通信したりする。そして、使用者や上位機器はエンコーダ１を停止し、エンコーダ１をリセットする。
相対位置比較部９は、相対位置比較処理において誤差を検出しなかった場合（ステップＳＴ２２でＮＯ）、エラー情報は出力されずエンコーダ１による測定が継続される。
【００３０】
このような第１実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
（１）エンコーダ１は、検出部６で検出した２つの相対位置に基づいて位置演算部７で演算された２つの演算絶対位置を相互に比較する相対位置比較部９を備えていることで、ＩＮＣパターンに対する読取手段２の移動速度がある程度以上の高速になって合成絶対位置の算出が間に合わなくなった場合であっても、２つの演算絶対位置（相対位置）間の誤差を検出して第２エラー出力部４３にエラー出力することができるため、測定値の信頼性向上を図ることができる。
【００３１】
（２）エンコーダ１は、絶対位置合成部５における合成絶対位置の演算が間に合う程度の移動速度の場合、相対位置比較部９による比較と並行して絶対位置比較部８でも演算絶対位置の誤差の検出を行う。このため、相対位置比較部９で比較する演算絶対位置（相対位置）が全て同じだけズレる等、誤差が検出されない場合であっても、絶対位置比較部８で演算絶対位置と合成絶対位置とを比較して誤差を検出することができるため、測定値の信頼性の向上を図ることができる。
（３）相対位置比較部９は、２つの相対位置と合成絶対位置とを演算して算出された２つの演算絶対位置を相互に比較するため、相対位置を相互に比較する場合と比べて、より高い信頼性を得ることができる。
【００３２】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図５は、本発明の第２実施形態に係るエンコーダのブロック図である。
本実施形態のエンコーダ１Ａは、前記第１実施形態のエンコーダ１と略同様の構成を備えるとともに、３つのＩＮＣパターンを有するスケールと、３つのＩＮＣパターンをそれぞれ読み取る読取手段２Ａと、を備えている。３つのＩＮＣパターンは、第１パターンおよび第２パターンに加えて、第１パターンおよび第２パターンと異なる波長の電気信号が検出される第３パターンをさらに備えている。
また、エンコーダ１Ａは、図５に示すように、読取手段２Ａで読み取った電気信号に基づいて測定値を演算する制御手段３Ａをさらに備えている。
【００３３】
読取手段２Ａは、第３パターンとヘッドとの相対移動量を読み取って第３信号として出力する第３読取部２３をさらに備え、制御手段３Ａは、３つの電気信号から合成絶対位置を生成する絶対位置合成部５Ａと、検出部６Ａにおいて第３信号から第３相対位置を検出する第３検出部６３と、位置演算部７Ａにおいて第３相対位置およびプリセット値から第３演算絶対位置を演算する第３演算部７３と、３つの演算絶対位置（相対位置）を比較演算し誤差を検出する相対位置比較部９Ａと、をさらに備えている。
前記第１実施形態では、絶対位置合成部５は、第１読取部２１および第２読取部２２から第１信号および第２信号を取得し合成することで合成絶対位置を生成していた。本実施形態の絶対位置合成部５Ａは、図３に示すステップＳＴ１１の絶対位置比較処理において、第１読取部２１〜第３読取部２３で検出された第１信号〜第３信号の３つの電気信号を合成して成絶対位置を生成する点で前記第１実施形態と異なる。
【００３４】
また、前記第１実施形態では、相対位置比較部９は、第１演算部７１および第２演算部７２から第１演算絶対位置および第２演算絶対位置を取得し比較演算していた。本実施形態の相対位置比較部９Ａは、図４に示すステップＳＴ２１の相対位置比較処理において、第１演算絶対位置〜第３演算絶対位置を取得して相互に比較することで、３つの演算絶対位置のうち少なくともいずれか１つの演算絶対位置が他の演算絶対位置と異なるときに誤差を検出する点で前記第１実施形態と異なる。
【００３５】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）〜（３）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（４）エンコーダ１Ａの相対位置比較部９Ａは３つの演算絶対位置（相対位置）を相互に比較して誤差を検出するため、誤差の検出精度をより一層向上させることができる。すなわち、相対位置比較部９Ａは、３つの演算絶対位置（相対位置）を比較演算することで少なくともいずれか１つの演算絶対位置がズレた場合に誤差を検出するので、演算絶対位置（相対位置）が２つの場合よりも、正確に誤差を検出することができる。
【００３６】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、電磁誘導式リニアエンコーダを例としてエンコーダ１，１Ａに本発明を用いる場合を説明したが、エンコーダは、ロータリーエンコーダでもよい。また、エンコーダは複数のＩＮＣパターンを有するスケールを備えたものであればよく、検出器の形式や検出方式等は特に限定されるものではない。したがって、電磁誘導式ではなく、静電容量式や光電式であってもよい。
【００３７】
また、前記第２実施形態では、互いに目盛の配列ピッチが異なるＩＮＣパターンを３つ備えるエンコーダ１Ａを示したが、エンコーダは、ＩＮＣパターンを４つ以上備えていてもよい。
前記第２実施形態では、絶対位置合成部５Ａは、３つの電気信号を合成して合成絶対位置を生成していたが、２つの電気信号を合成して合成絶対位置を生成してもよい。すなわち、複数の電気信号を合成して合成絶対位置を生成することができればよく、特に限定されるものではない。
前記各実施形態では、絶対位置比較部８，８Ａは、絶対位置合成部５，５Ａで生成された合成絶対位置と、位置演算部７，７Ａの第１演算部７１で演算された第１演算絶対位置と、を比較していたが、合成絶対位置と比較演算するのは第２演算絶対位置であってもよいし第３演算絶対位置であってもよい。また、合成絶対位置と比較演算するのは、複数の演算絶対位置であってもよい。すなわち、絶対位置比較部８，８Ａで合成絶対位置と比較演算する演算絶対位置は、位置演算部７，７Ａで演算された演算絶対位置であればよい。
【００３８】
前記各実施形態では、相対位置比較部９，９Ａは、位置演算部７，７Ａにおいて複数の相対位置およびプリセット値をそれぞれ演算して算出された複数の演算絶対位置を相互に比較演算していたが、図６に示すように、相対位置比較部９Ｂは、検出部６Ｂから複数の相対位置を取得してその相対位置を相互に比較演算し誤差を検出してもよい。
具体的には、演算絶対位置の演算は制御手段３Ｂにおける位置演算部７Ｂの第１演算部７１Ｂが実行する。相対位置比較部９Ｂは、位置演算部７Ｂで演算された演算絶対位置ではなく、第１検出部６１および第２検出部６２から第１相対位置および第２相対位置を取得する。そして、取得した第１相対位置および第２相対位置を相互に比較演算し、各相対位置に誤差があるか否かを検出してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
以上のように、本発明は、スケールに設けられた複数のインクリメンタルパターンのそれぞれから複数の相対移動量を読み取る読取手段を備え、複数の相対移動量を合成して絶対位置情報を取得するアブソリュートエンコーダに好適に利用できる。
【符号の説明】
【００４０】
１，１Ａ〜１Ｂ  エンコーダ
２，２Ａ      読取手段（ヘッド）
３，３Ａ〜３Ｂ  制御手段
４          出力手段
５，５Ａ      絶対位置合成部
６，６Ａ      検出部
７，７Ａ〜７Ｂ  位置演算部
８          絶対位置比較部
９，９Ａ〜９Ｂ  相対位置比較部
【図１】
0006723827.tif 000002
【図２】
0006723827.tif 000003
【図３】
0006723827.tif 000004
【図４】
0006723827.tif 000005
【図５】
0006723827.tif 000006
【図６】
0006723827.tif 000007