(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）第一の櫛状部と、前記第一の櫛状部に嵌り合う第二の櫛状部との組合せを複数有する板状の母材を準備する工程と、
（ｂ）前記母材の少なくとも一方の面上に導電性ダイヤモンド層を形成する工程と、
（ｃ）工程（ｂ）後、前記母材を複数の前記組合せに分割するとともに、前記組合せを前記第一の櫛状部と前記第二の櫛状部とに分離する工程と、
を含む、導電性ダイヤモンド電極の製造方法。
【請求項２】
前記第一の櫛状部の隙間の幅が前記第二の櫛状部の隙間の幅と同じである、請求項１に記載の導電性ダイヤモンド電極の製造方法。
【請求項３】
前記第一の櫛状部の隙間の幅が前記第二の櫛状部の隙間の幅よりも大きい、請求項１に記載の導電性ダイヤモンド電極の製造方法。
【請求項４】
工程（ｃ）を経て得られた二つの前記第一の櫛状部が互いに嵌り合うように組み合わせて一つの導電性ダイヤモンド電極を得る工程を更に含む、請求項３に記載の導電性ダイヤモンド電極の製造方法。
【請求項５】
互いに離間し且つ並行して延びている複数の金属部材からなる電解部と、当該複数の金属部材の一方の端部を繋げているフレーム部とを有する櫛状部と、当該櫛状部の少なくとも一方の表面上に形成された導電性ダイヤモンド層とを備える第一の電極と、
互いに離間し且つ並行して延びている複数の金属部材からなる電解部と、当該複数の金属部材の一方の端部を繋げているフレーム部とを有する櫛状部と、当該櫛状部の少なくとも一方の表面上に形成された導電性ダイヤモンド層とを備える第二の電極と、
を備え、
前記第一の電極の前記櫛状部と前記第二の電極の前記櫛状部とが互いに嵌り合うように構成された導電性ダイヤモンド電極。
【請求項６】
原料水を電解してオゾン水を生成するための電解セルであって、
請求項５に記載の導電性ダイヤモンド電極からなる陽極と、
陰極と、
前記陽極と前記陰極との間に配置されたイオン交換膜と、
を備える電解セル。
【請求項７】
請求項６に記載の電解セルと、
前記電解セル及び原料水を収容する容器と、
前記電解セルに前記原料水を供給するポンプと、
前記電解セルに電気を供給する電源と、
を備えるオゾン水生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、電解セル及びこれを備えるオゾン水生成装置並びに導電性ダイヤモンド電極及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン水は、その酸化作用により、消毒又は殺菌に利用されている。特許文献１には原料水を電解してオゾン水を生成する電解セルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第６２５８５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、高濃度のオゾン水を生成可能な電解セル及びこれを備えるオゾン水生成装置を提供する。また、本開示は、上記電解セルに適用可能な導電性ダイヤモンド電極及びこれを効率的に製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面は導電性ダイヤモンド電極の製造方法に関する。この製造方法は、以下の工程を含む。
（ａ）第一の櫛状部と、第一の櫛状部に嵌り合う第二の櫛状部との組合せを複数有する板状の母材を準備する工程
（ｂ）上記母材の少なくとも一方の面上に導電性ダイヤモンド層を形成する工程
（ｃ）工程（ｂ）後、上記母材を複数の上記組合せに分割するとともに、当該組合せを第一の櫛状部と第二の櫛状部とに分離する工程
【０００６】
上述のとおり、工程（ａ）で準備した母材に対し、工程（ｂ）において、例えば、化学蒸着によって導電性ダイヤモンド層を形成する。これにより、複数の第一の櫛状部及び複数の第二の櫛状部を先に準備し、これらに対して導電性ダイヤモンド層を個別に形成するよりも、効率的に導電性ダイヤモンド電極を製造することができる。
【０００７】
上記製造方法により、本開示の一側面に係る導電性ダイヤモンド電極が製造される。すなわち、この導電性ダイヤモンド電極は、互いに離間し且つ並行して延びている複数の金属部材からなる電解部と複数の金属部材の一方の端部を繋げているフレーム部とを有する櫛状部と、櫛状部の少なくとも一方の表面上に形成された導電性ダイヤモンド層とを備える。
【０００８】
上記製造方法の工程（ａ）で準備する母材において、第一の櫛状部の隙間の幅が第二の櫛状部の隙間の幅と同じである場合、一つの上記組合せから、実質的に互いに同じ電解部を有する二つの導電性ダイヤモンド電極が得られる（図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）。
【０００９】
他方、上記製造方法の工程（ａ）で準備する母材において、第一の櫛状部の隙間の幅が第二の櫛状部の隙間の幅よりも大きい場合、第一の櫛状部は相対的に細い複数の金属部材で構成される電解部を有する一方、第二の櫛状部材は相対的に太い複数の金属部材で構成される電解部を有する（図６（ａ）及び図６（ｂ）参照）。仮に、第一の櫛状部の金属部材が細すぎると、水の電解に寄与する面積が不足する。これを防ぐため、工程（ｃ）を経て得られた二つの第一の櫛状部が互いに嵌り合うように組み合わせて一つの導電性ダイヤモンド電極を得てもよい。すなわち、この場合、本開示の一側面に係る導電性ダイヤモンド電極は、上記導電性ダイヤモンド電極からなる第一の電極と、上記導電性ダイヤモンド電極からなる第二の電極とを備え、第一の電極の櫛状部と第二の電極の櫛状部とが互いに嵌り合うように構成されたものとすればよい（図７参照）。
【００１０】
本開示の一側面に係る電解セルは、原料水を電解してオゾン水を生成するためのものであり、上記導電性ダイヤモンド電極からなる陽極と、陰極と、陽極と陰極との間に配置されたイオン交換膜とを備える。この電解セルによれば、陽極が複雑な形状（櫛状）であるため、陽極に対して水とイオン交換膜の両方が接する領域（三相面）を十分に確保することができる。これにより、上記電解セルによれば、高濃度のオゾン水を生成することができる。
【００１１】
本開示の一側面に係るオゾン水生成装置は、上記電解セルと、上記電解セル及び原料水を収容する容器と、電解セルに原料水を供給するポンプと、電解セルに電気を供給する電源とを備える。電解セルに電気を供給するとともに、ポンプにより電解セルに原料水を供給することで、電解セルにおいてオゾンを発生させることができる。このオゾンが容器内の水（原料水）に溶け込むことでオゾン水が得られる。
【発明の効果】
【００１２】
本開示によれば、高濃度のオゾン水を生成可能な電解セル及びこれを備えるオゾン水生成装置が提供される。また、本開示によれば、上記電解セルに適用可能な導電性ダイヤモンド電極及びこれを効率的に製造する方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、プレカット加工が施された母材の一例を模式的に示す平面図である。
【図２】図２は、図１に示された母材を拡大して示す平面図である。
【図３】図３は、導電性ダイヤモンド層が形成された後の母材を模式的に示す縦断面図である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第一実施形態に係る第一及び第二の導電性ダイヤモンド電極を模式的に示す平面図である。
【図５】図５は、第二実施形態に係る第一の櫛状部と第二の櫛状部の組合せを模式的に示す平面図である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第二実施形態に係る第一及び第二の導電性ダイヤモンド電極を模式的に示す平面図である。
【図７】図７は、二つの導電性ダイヤモンド電極を組み合わせて構成された導電性ダイヤモンド電極を模式的に示す平面図である。
【図８】図８は、本開示に係る電解セルの一実施形態を模式的に示す分解斜視図である。
【図９】図９は、本開示に係る電解セルの一実施形態を模式的に示す断面図である。
【図１０】図１０は、本開示に係るオゾン水生成装置の一実施形態を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本開示の実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１５】
＜導電性ダイヤモンド電極＞
（第一実施形態）
図１〜４を参照しながら、本実施形態に係る導電性ダイヤモンド電極について説明する。本実施形態の導電性ダイヤモンド電極の製造方法は、
（ａ）第一の櫛状部１Ａと、第一の櫛状部１Ａに嵌り合う第二の櫛状部２Ａとの組合せ５Ａを複数有する板状の母材１０Ａを準備する工程と、
（ｂ）母材１０Ａの少なくとも一方の面上に導電性ダイヤモンド層１２を形成する工程と、
（ｃ）工程（ｂ）後、母材１０Ａを複数の組合せ５Ａに分割するとともに、組合せ５Ａを第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａとに分離する工程と、
を含み、第一の櫛状部１Ａの隙間の幅Ｗ１が第二の櫛状部２Ａの隙間の幅Ｗ２と同じである（図４参照）。以下、各工程について説明する。
【００１６】
［工程（ａ）］
工程（ａ）は、母材１０Ａを準備する工程である。母材１０Ａは、例えば、厚さ０．８〜１．５ｍｍ程度の板状部材からなる。母材１０Ａの材質としては、ニオブ、タンタル、チタン、ジルコニウム及びこれらの合金が挙げられる。母材１０Ａは、プレカット加工が施されており、図２に示されたとおり、複数の開口Ｈ１，Ｈ２及び複数の切れ目Ｌ１が形成されている。複数の開口Ｈ１，Ｈ２及び複数の切れ目Ｌ１によって組合せ５Ａが画成されている。複数の組合せ５は、繋ぎ部Ｃ１を介して互いに連結しており、工程（ｂ）において母材１０Ａが複数の組合せ５に分割されない程度の強度を有する。本実施形態に係る組合せ５Ａは八角形であり、八つの頂点のうち四つの頂点が各頂点と隣接する他の組合せ５Ａと繋ぎ部Ｃ１を介して連結している（図２参照）。
【００１７】
組合せ５は、第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａに構成されている。組合せ５Ａにおいて、第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａは互いに嵌り合うように形成されている。第一の櫛状部１Ａは、互いに離間し且つ並行して延びている複数の金属部材１ｂからなる電解部１ｃと、複数の金属部材１ｂの一方の端部を繋げているフレーム部１ｄとを有する（図４（ａ）参照）。第二の櫛状部２Ａは、互いに離間し且つ並行して延びている複数の金属部材２ｂからなる電解部２ｃと、複数の金属部材２ｂの一方の端部を繋げているフレーム部２ｄとを有する（図４（ｂ）参照）。なお、金属部材１ｂの長さは、例えば、３〜２０ｍｍであり、２０〜５０ｍｍであってもよい。金属部材２ｂの長さはこれと同様である。
【００１８】
第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａはジグザグに形成された切れ目Ｌ２によって分断されているものの、繋ぎ部Ｃ２において連結している（図２における拡大図参照）。これにより、工程（ｂ）において、組合せ５が第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａに分離しない程度の強度を有する。繋ぎ部Ｃ２は、第一の櫛状部１Ａの金属部材１ｂの先端と第二の櫛状部２Ａのフレーム部２ｄとの間に形成されている。本実施形態において、繋ぎ部Ｃ２は、図２における拡大図に示すとおり、二つの開口Ｈ３によって構成されており、二つの開口Ｈ３の間に位置している。かかる構成の繋ぎ部Ｃ２を採用することで、工程（ｃ）において第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａとを分離しやすいという利点がある。なお、繋ぎ部Ｃ２は、第二の櫛状部２Ａの金属部材２ｂの先端と第一の櫛状部１Ａのフレーム部１ｄとの間に形成してもよい。
【００１９】
開口Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３及び切れ目Ｌ１，Ｌ２は、例えば、レーザによって形成することができる。母材１０Ａにプレカット加工が施されていることで、工程（ｃ）において、導電性ダイヤモンド層１２を形成後の母材１０Ａを複数の組合せ５Ａに分割でき、また、組合せ５Ａを第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａとに分離できる。
【００２０】
［工程（ｂ）］
工程（ｂ）は母材１０Ａの面上に導電性ダイヤモンド層１２を形成する工程である。母材１０Ａに対して必要に応じて表面処理を施した後、例えば、化学蒸着によって導電性ダイヤモンド層１２を母材１０Ａの表面上に形成する。導電性ダイヤモンド層１２は、ダイヤモンドと、これにドープされた元素（例えば、窒素又はホウ素）とを含む。図３は、導電性ダイヤモンド層１２が形成された後の母材１０Ａを模式的に示す縦断面図である。導電性ダイヤモンド層１２の厚さは、例えば、３〜１０μｍである。
【００２１】
［工程（ｃ）］
工程（ｃ）は、導電性ダイヤモンド層１２が形成された母材１０Ａを複数の導電性ダイヤモンド電極に個片化する工程である。すなわち、母材１０Ａを複数の組合せ５Ａに分割するとともに、組合せ５Ａを第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａとに分離する。繋ぎ部Ｃ１を切断することで母材１０Ａが複数の組合せ５Ａに分割される。繋ぎ部Ｃ２を切断することで、組合せ５Ａが第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａとに分離される。なお、導電性ダイヤモンド層１２は、上述のとおり、十分に薄いため、組合せ５Ａが第一の櫛状部１Ａと第二の櫛状部２Ａに分離されると、これに伴って導電性ダイヤモンド層１２も第一の櫛状部１Ａ及び第二の櫛状部２Ａと同じ形状に分離される。
【００２２】
上記工程を経ることで、第一の櫛状部１Ａと、その表面上に形成された導電性ダイヤモンド層１２とを備える第一の導電性ダイヤモンド電極３Ａが得られる。また、第二の櫛状部２Ａと、その表面上に形成された導電性ダイヤモンド層１２とを備える第二の導電性ダイヤモンド電極４Ａが得られる。図４（ａ）は第一の導電性ダイヤモンド電極３Ａを示す平面図であり、図４（ｂ）は第二の導電性ダイヤモンド電極４Ａを示す平面図である。第一の導電性ダイヤモンド電極３Ａの隙間（第一の櫛状部１Ａの隙間と同じ）の幅Ｗ１は、例えば、０．０５〜１０ｍｍであり、０．２〜０．５ｍｍであってもよい。本実施形態では第二の導電性ダイヤモンド電極４Ａの隙間（第二の櫛状部２Ａの隙間と同じ）の幅Ｗ２は、幅Ｗ１と同じである。なお、幅Ｗ１と幅Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ２）が０．９〜１．１程度であれば、幅Ｗ１は幅Ｗ２と同じ又は実質的に同じであるといえる。
【００２３】
（第二実施形態）
第一実施形態においては、隙間の幅Ｗ１と幅Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ２）が同じ（実質的に同じ場合を含む）である態様を例示したが、第一の櫛状部の隙間の幅が第二の櫛状部の隙間の幅よりも大きくてもよい。以下、第二実施形態に関し、第一実施形態と相違する点について主に説明する。
【００２４】
図５は、第二実施形態に係る第一の櫛状部１Ｂと第二の櫛状部２Ｂの組合せ５Ｂを模式的に示す平面図である。図６（ａ）は第一の櫛状部１Ｂから得られる第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂを示す平面図であり、図６（ｂ）は第二の櫛状部２Ｂから得られた第二の導電性ダイヤモンド電極４Ｂを示す平面図である。なお、強度の観点から、図５に示すように、繋ぎ部Ｃ２は第二の櫛状部２Ｂの金属部材２ｂの先端と第一の櫛状部１Ｂのフレーム部１ｄとの間に形成されている。
【００２５】
第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂの隙間の幅Ｗ１は第二の導電性ダイヤモンド電極４Ｂの隙間の幅Ｗ２よりも大きい。本実施形態において、幅Ｗ１は、例えば、０．０７〜１０ｍｍであり、０．２５〜０．５ｍｍであってもよい。他方、幅Ｗ２は、例えば、０．０５〜９ｍｍであり、０．２〜０．４５ｍｍであってもよい。幅Ｗ１と幅Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ２）は、例えば、１．８〜２．２であり、１．９〜２．１又は約２であってもよい。図６（ａ）に示す形状の第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂ及び図６（ｂ）に示す第二の導電性ダイヤモンド電極４Ｂが得られるように、工程（ａ）においてプレカット加工を実施すればよい。
【００２６】
図６（ｂ）に示す第二の導電性ダイヤモンド電極４Ｂは、隙間の幅Ｗ２が十分に狭いため、換言すれば、電極部材４ｃの幅が十分に太いため、単独で電解セルの陽極として機能し得る。なお、電極部材４ｃは金属部材２ｂと、その表面上に形成された導電性ダイヤモンド層１２とからなる。後述の電極部材３ｃは金属部材１ｂと、その表面上に形成された導電性ダイヤモンド層１２とからなる。一方、図６（ａ）に示す第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂは、隙間の幅Ｗ１が広いため、換言すれば、電極部材３ｃの幅が細いため、電解セルの陽極として機能させるためには二つの第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂを組み合わせて使用する。図７は、二つの第一の導電性ダイヤモンド電極３Ｂ，３Ｂ（第一の電極及び第二の電極）を組み合わせて構成された導電性ダイヤモンド電極６を模式的に示す平面図である。組合せからなる導電性ダイヤモンド電極６は、第二の導電性ダイヤモンド電極４Ｂと実質的に同じ性能であると推察される。
【００２７】
＜電解セル＞
図８は、電解セルの一実施形態を模式的に示す分解斜視図である。ここでは、第一の導電性ダイヤモンド電極３Ａを陽極として採用した態様を例に説明する。図８に示す電解セル５０は、陽極としての第一の導電性ダイヤモンド電極３Ａ（以下、単に「陽極３Ａ」という。）と、陰極２０と、陽極３Ａと陰極２０との間に配置されたイオン交換膜３０とを備える。電解セル５０は分離式と称されるタイプである。すなわち、イオン交換膜３０が気密性を有しており、陽極３Ａで発生する酸素及びオゾンと、陰極２０で発生する水素は混合しない。以下、電解セルの具体的に構成について説明する。
【００２８】
電解セル５０のケースは、ホルダ５１と蓋５２とによって構成されている。図８に示すように、ホルダ５１は陽極３Ａを収容する凹部５１ａを有する。他方、蓋５２は、その内側にパッキン５３を収容できるように構成されている。これらの構成により、ホルダ５１に蓋５２を装着すると、ケース内において、陽極３Ａとイオン交換膜３０と陰極２０の積層体に対して厚さ方向に押圧力が加えられた状態となる（図９参照）。
【００２９】
図９に示すように、ホルダ５１の下部には原料水ＲＷを取り入れる取水口５１ｂ及びオゾン水ＯＷを排出する排出口５１ｃが形成されている。排出口５１ｃにはオゾン水ガイドチューブ７４ａが接続される。蓋５２の中央部には貫通孔５２ａが形成されている。パッキン５３の中央部にも貫通孔５３ａが形成されている。これらの貫通孔５２ａ，５３ａは、陰極２０で生じた水素を排出するためのものである。蓋５２の貫通孔５２ａに水素ガイドチューブ７４ｂを接続してもよい。なお、パッキン５３の周縁部には複数の溝５３ｂが設けられている。これらの溝５３ｂを通じて原料水ＲＷが陰極２０側に供給される。
【００３０】
陰極２０は、発生する水素に対して脆化しない材料からなる。かかる材料として、白金族金属、ニッケル、ステンレス、チタン、ジルコニウム、金、銀、カーボン又はダイヤモンド等が挙げられる。陰極２０の形状は、板状であってよく、複数の孔を有する板状であってもよく、メッシュ状であってもよい。特に、陰極２０が複数の孔を有する板状又はメッシュ状であると、原料水ＲＷとの接触面積を増やすことができ、電解の効率が向上する。陰極２０は電極線２０ａを介して電源に接続される。なお、陽極３Ａは、電極線２５ａを介して電源に接続される。
【００３１】
イオン交換膜３０は、プロトン導電性を有する膜である。イオン交換膜３０として、フッ素樹脂系膜、炭化水素樹脂系膜などが挙げられる。これらのうち、オゾン及び過酸化物に対する耐性の点から、フッ素樹脂系膜が好ましい。フッ素樹脂系膜の好適例として、ナフィオン（登録商標）の膜が挙げられる。ナフィオン（登録商標）は、スルホ化されたテトラフルオロエチレンを基にしたフッ素樹脂の共重合体であり、イオン伝導性を持つポリマーである。ナフィオンのプロトン伝導性はスルホ基で修飾されたテトラフルオロエチレンにペルフルオロビニルを組み込むことによるものであり、陰イオン及び電子は膜内を移動せず、プロトン（Ｈ＋）だけが膜内を移動する。イオン交換膜３０の厚さは、例えば、０．１〜１ｍｍである。
【００３２】
電解セル５０によれば、陽極３Ａが複雑な形状（櫛状）であるため、陽極３Ａに対して原料水ＲＷとイオン交換膜３０の両方が接する領域（三相面）を十分に確保することができる。これにより、電解セル５０によれば、高濃度のオゾン水を生成することができる。
【００３３】
＜オゾン水生成装置＞
オゾン水生成装置の一例として、オゾン水スプレーについて説明する。図１０に示すオゾン水スプレー１００は、電解セル５０と、電解セル５０及び原料水ＲＷを収容する容器６０と、スプレーヘッド７０と、オゾン水ガイドチューブ７４ａと、水素ガイドチューブ７４ｂと、電解セル５０に電気を供給する電源８０と、制御部９０とを備える。
【００３４】
容器６０は、原料水ＲＷを収容する容器本体６１と、容器本体６１にスプレーヘッド７０を取り付けるための取付部６２と、容器本体６１及び取付部６２を包み込むジャケット６５とを備える。容器本体６１は、原料水ＲＷ及び必要に応じて使用する添加剤等を注入するための給水口６６を備える。通常、給水口６６はキャップ６６ａによって閉ざされている。ジャケット６５の下部に電源８０及び制御部９０が収容されている。
【００３５】
スプレーヘッド７０は、ヘッド本体７１と、ヘッド本体７１の前方下側に設けられたトリガ７２と、ヘッド本体７１の前方中央に設けられたノズル７３とを備える。トリガ７２は、容器本体６１内の原料水ＲＷを吸引して電解セル５０に供給するポンプの役割を果たす。トリガ７２が操作されると、制御部９０によって電源８０がオンの状態となる。これにより、電解セル５０においてオゾンが発生し、オゾン水ＯＷがオゾン水ガイドチューブ７４ａを通じてノズル７３に至り、ノズル７３から噴射される。なお、電解セル５０で生じた水素Ｈ２は、水素ガイドチューブ７４ｂを通じてオゾン水スプレー１００の外へと排出される。
【符号の説明】
【００３６】
１Ａ，１Ｂ…第一の櫛状部、１ｂ，２ｂ…金属部材、１ｃ，２ｃ…電解部、１ｄ，２ｄ…フレーム部、２Ａ，２Ｂ…第二の櫛状部、３Ａ，３Ｂ…第一の導電性ダイヤモンド電極、４Ａ，４Ｂ…第二の導電性ダイヤモンド電極、５Ａ，５Ｂ…組合せ、３ｃ，４ｃ…電極部材、６…導電性ダイヤモンド電極、１０Ａ…母材、１２…導電性ダイヤモンド層、２０…陰極、３０…イオン交換膜、５０…電解セル、５１…ホルダ、５１ａ…凹部、５１ｂ…取水口、５１ｃ…排出口、５２…蓋、５２ａ…貫通孔、５３…パッキン、５３ａ…貫通孔、５３ｂ…溝、６０…容器、７０…スプレーヘッド（ポンプ）、７１…ヘッド本体、７２…トリガ、７３…ノズル、７４ａ…オゾン水ガイドチューブ、７４ｂ…水素ガイドチューブ、８０…電源、９０…制御部、１００…オゾン水スプレー（オゾン水生成装置）、Ｃ１，Ｃ２…繋ぎ部、Ｈ１，Ｈ２…開口、Ｌ１，Ｌ２…切れ目、Ｈ２…水素、ＯＷ…オゾン水、ＲＷ…原料水、Ｗ１…第一の櫛状部の隙間の幅、Ｗ２…第二の櫛状部の隙間の幅
【要約】
【課題】高濃度のオゾン水を生成可能な電解セルに適用される導電性ダイヤモンド電極を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】本開示の一側面に係る導電性ダイヤモンド電極の製造方法は、（ａ）第一の櫛状部と、第一の櫛状部に嵌り合う第二の櫛状部との組合せを複数有する板状の母材を準備する工程と、（ｂ）上記母材の少なくとも一方の面上に導電性ダイヤモンド層を形成する工程と、（ｃ）工程（ｂ）後、上記母材を複数の上記組合せに分割するとともに、当該組合せを第一の櫛状部と第二の櫛状部とに分離する工程とを含む。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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