(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能な移動体と、
前記移動体の長手方向の一端部を、前記長手方向とは直交する直交方向に移動可能に支持する支持体と、を備え、
前記移動体の前記長手方向の他端部の幅は、前記一端部の幅よりも小さく、
角筒状の前記移動体の内部の前記一端部側から前記他端部側に亘って、互いに異なる方向に延びている複数のリブが交互に設けられており、
前記支持体と前記移動体の前記一端部との間には、前記移動体の前記直交方向への移動をガイドするガイド機構が二つ設けられており、
前記支持体と前記移動体は、熱膨張係数が異なる材料から成り、
前記二つのガイド機構の少なくとも一つのガイド機構側で、かつ前記直交方向において前記移動体の両側にそれぞれに設けられ、温度変化に伴い前記移動体の前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に前記長手方向に変位する変位部を更に備え、
前記変位部は、前記移動体の前記一端部と前記支持体に連結されるとともに、前記直交方向に沿って離れて設けられた一対の板バネを有し、
前記一対の板バネは、温度変化に伴い前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に、共に前記長手方向に撓む、
座標測定装置。
【請求項２】
移動可能な移動体と、
前記移動体の長手方向の一端部を、前記長手方向とは直交する直交方向に移動可能に支持する支持体と、を備え、
前記移動体の前記長手方向の他端部の幅は、前記一端部の幅よりも小さく、
角筒状の前記移動体の内部の前記一端部側から前記他端部側に亘って、互いに異なる方向に延びている複数のリブが交互に設けられており、
前記支持体と前記移動体の前記一端部との間には、前記移動体の前記直交方向への移動をガイドするガイド機構が二つ設けられており、
前記支持体と前記移動体は、熱膨張係数が異なる材料から成り、
前記二つのガイド機構の少なくとも一つのガイド機構側で、かつ前記直交方向において前記移動体の両側にそれぞれに設けられ、温度変化に伴い前記移動体の前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に前記長手方向に変位する変位部を更に備え、
前記変位部は、
互いに対向する面の各々に、前記長手方向に沿って平行に設けられた一対の溝部と、
前記一対の溝部に挟まれており、前記一対の溝部に沿って移動可能な球体と、
前記移動体の前記一端部を前記支持体側へ押圧する押圧部材と、を有し、
前記一端部は、温度変化に伴い、前記球体と接触した状態で前記一対の溝部に沿って前記長手方向に伸縮する、
座標測定装置。
【請求項３】
前記複数のリブは、隣接するリブ同士が接合した状態で、交互に設けられている、
請求項１又は２に記載の座標測定装置。
【請求項４】
前記移動体は、鋳物製である、
請求項１から３のいずれか１項に記載の座標測定装置。
【請求項５】
前記移動体に対して、前記直交方向とは異なる複数の方向に移動可能な第２移動体が連結されている、
請求項１から４のいずれか１項に記載の座標測定装置。
【請求項６】
前記移動体には、前記一端部側から前記他端部側に亘って凹部が形成されており、
前記複数の方向は、前記長手方向を含み、
前記第２移動体を移動させる駆動部の少なくとも一部が、前記凹部に設けられている、
請求項５に記載の座標測定装置。
【請求項７】
前記二つのガイド機構の各々は、
前記直交方向に沿って延びており前記支持体上に固定された第１レール部材と、
前記第１レール部材に沿って移動する第１移動部材と、を有する、
請求項１から６のいずれか１項に記載の座標測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、座標測定装置に関し、詳細には、移動体の長手方向の一端部を移動可能に支持する支持体を備える座標測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
座標測定装置として、被測定物の形状や寸法を測定するために、被測定物の外形の座標を測定する三次元測定装置が利用されている。
例えば、下記の特許文献１に開示された三次元測定装置は、ベース上の被測定物にプローブを接触させるために、ベースに対してＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸方向に相対移動する移動体である移動機構と、移動機構の長手方向の一端部を移動可能に片持ち支持する支持体であるコラムとを有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−７６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、移動体の長手方向の一端部が支持体に片持ち支持されている場合には、支持されていない他端部側が、自重により撓むことになる。特に、移動体が３軸方向に移動する構成であるため、移動体の長手方向の長さが大きくなり、撓みも大きくなりやすい。かかる場合には、移動体の他端部側に設けられたプローブの位置を高精度に検出できないため、座標測定装置の測定精度が低下する恐れがある。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、支持体に片持ち支持された移動体の撓みを抑制可能な座標測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様においては、移動可能な移動体と、前記移動体の長手方向の一端部を、前記長手方向とは直交する直交方向に移動可能に支持する支持体と、を備え、前記移動体の前記長手方向の他端部の幅は、前記一端部の幅よりも小さい、座標測定装置を提供する。
【０００７】
また、前記一端部から前記他端部へ向けて、前記移動体の幅が次第に小さくなっていることとしてもよい。
【０００８】
また、前記移動体は、鋳物製であることとしてもよい。
また、前記移動体の内部に、前記一端部側から前記他端部側に亘って複数のリブが形成されていることとしてもよい。
【０００９】
また、記移動体には、前記一端部側から前記他端部側に亘って凹部が形成されており、前記移動体には、前記長手方向に沿って移動可能な第２移動体が連結されており、前記第２移動体を移動させる駆動部の少なくとも一部が、前記凹部に設けられていることとしてもよい。
【００１０】
また、前記支持体と前記移動体の前記一端部との間には、前記移動体の前記直交方向への移動をガイドするガイド機構が二つ設けられており、前記二つのガイド機構の各々は、前記直交方向に沿って延びており前記支持体上に固定された第１レール部材と、前記第１レール部材に沿って移動する第１移動部材と、を有することとしてもよい。
【００１１】
また、前記支持体と前記移動体は、熱膨張係数が異なる材料から成り、前記二つのガイド機構の少なくとも一つのガイド機構側に設けられ、温度変化に伴い前記移動体の前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に前記長手方向に変位する変位部を更に備えることとしてもよい。
【００１２】
また、前記変位部は、前記長手方向に沿って延びており前記第１移動部材に固定された第２レール部材と、前記移動体に固定されており、温度変化に伴い前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に前記第２レール部材に沿って移動する第２移動部材と、を有することとしてもよい。
【００１３】
また、前記変位部は、前記移動体の前記一端部と前記第１移動部材に連結されるとともに、前記直交方向に沿って設けられた板バネを有し、前記板バネは、温度変化に伴い前記一端部側が前記長手方向に伸縮する際に、前記長手方向に撓むこととしてもよい。
【００１４】
また、前記変位部は、前記第１移動部材の前記移動体に対向する面に前記長手方向に沿って設けられた溝部と、前記溝部に沿って移動可能な球体と、前記移動体の前記一端部を前記第１移動部材側へ押圧する押圧部材と、を有し、前記一端部は、温度変化に伴い、前記球体と接触した状態で前記溝部に沿って前記長手方向に伸縮することとしてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、支持体に片持ち支持された移動体の撓みを抑制できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】Ｙ軸ビーム３０の構成の一例を示す斜視図である。
【図３】Ｙ軸ビーム３０の平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】ガイド機構６０、７０及び周辺部の構成の一例を示す図である。
【図６】変位部７１の詳細構成を説明するための斜視図である。
【図７】ガイド機構７０の第１変形例を示す斜視図である。
【図８】第１変形例に係る変位部７１の詳細構成を示す図である。
【図９】ガイド機構７０の第２変形例を示す斜視図である。
【図１０】第２変形例に係る変位部７１の詳細構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜１．座標測定装置の構成＞
図１を参照しながら、本発明の一の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例について説明する。
【００１８】
図１は、座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。座標測定装置１は、被測定物の外形の座標を測定することで、被測定物の立体形状を特定する三次元測定装置である。図１に示すように、座標測定装置１は、ベース１０と、Ｘ軸コラム２０と、Ｙ軸ビーム３０と、Ｚ軸スピンドル４０と、プローブ４２と、設置台５０とを有する。
【００１９】
ベース１０は、石材製の定盤であり、設置台５０上に設置されている。ベース１０の上面には、被測定物（ワーク）が載置される。ベース１０を平面視した際の形状は、矩形形状である。
【００２０】
Ｘ軸コラム２０は、ベース１０の上面に立設しており、Ｙ軸ビーム３０を支持する支持体である。Ｘ軸コラム２０は、ベース１０の上面に固定されている。Ｘ軸コラム２０は、ベース１０の上面の縁側にて、図１に示すＸ軸方向に延びた略Ｔ字状の形状を成している。Ｘ軸コラム２０は、Ｙ軸ビーム３０の長手方向（図１のＹ軸方向）の一端部を、Ｘ軸方向に移動可能に支持する。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸コラム２０がＹ軸ビーム３０を片持ちで支持する構成となっている。このため、Ｙ軸ビーム３０の長手方向の両端側を支持する場合に比べて、座標測定装置１の小型化が可能となると共に、測定者はベース１０上に被測定物を載置しやすくなる。
【００２１】
Ｙ軸ビーム３０は、Ｘ軸コラム２０と直交するようにＹ軸方向に延びている梁状の部材である。Ｙ軸ビーム３０は、Ｘ軸方向に移動する移動体である。なお、座標測定装置１は、Ｙ軸ビーム３０のＸ軸方向の移動量（座標）を検出するためのスケール及び検出センサーを有する。また、Ｘ軸コラム２０の上部には、Ｙ軸ビーム３０を移動させる駆動機構が設けられている。
【００２２】
なお、Ｘ軸コラム２０に片持ち支持されたＹ軸ビーム３０は、詳細は後述するが、自重による撓みを抑制できる構成となっている。また、詳細は後述するが、Ｙ軸ビーム３０をＸ軸方向に移動させるガイド機構には、温度変化に伴うＹ軸ビーム３０の長手方向への伸縮の影響を抑制する構成が設けられている。
【００２３】
Ｚ軸スピンドル４０は、Ｚ軸方向に延びている角柱状の部材であり、Ｙ軸ビーム３０に対して移動可能に連結されている。Ｚ軸スピンドル４０は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動する移動体（第２移動体）である。なお、座標測定装置１は、Ｚ軸スピンドル４０のＹ軸方向及びＺ軸方向の移動量（座標）を検出するためのスケール及び検出センサーを有する。また、Ｙ軸ビーム３０には、Ｚ軸スピンドル４０を移動させる駆動機構が設けられている。
【００２４】
プローブ４２は、Ｚ軸スピンドル４０の下方側の先端に設けられている。座標測定装置１は、プローブ４２の先端に設けられた接触子がベース１０上の被測定物に接触した際のＹ軸ビーム３０及びＺ軸スピンドル４０の移動量（座標）を検出することで、被測定物の外形の座標を測定する。
【００２５】
設置台５０は、ベース１０の下方に設けられており、ベース１０を支持する。設置台５０内には、Ｙ軸ビーム３０やＺ軸スピンドル４０の移動を制御する制御装置が収容されている。
【００２６】
＜２．Ｙ軸ビームの詳細構成＞
図２〜図４を参照しながら、Ｙ軸ビーム３０の詳細構成について説明する。
図２は、Ｙ軸ビーム３０の構成の一例を示す斜視図である。図３は、Ｙ軸ビーム３０の平面図である。図４は、図３のＡ−Ａ断面図である。なお、図３では、図２に示す駆動部３４が省略されている。
【００２７】
Ｙ軸ビーム３０は、鋳物製である。具体的には、Ｙ軸ビーム３０は、アルミニウムを溶かして、砂等で作成した鋳型に流し込んで製造したアルミ鋳物である。このようにＹ軸ビーム３０が鋳物製である場合には、Ｙ軸ビーム３０を押出し加工で製造した場合に比べて、複雑な形状を実現できる。
【００２８】
Ｙ軸ビーム３０の長手方向の一端部３０ａ側は、図１に示すＸ軸コラム２０に支持されているのに対して、他端部３０ｂ側は支持されていない。図２に示すように、Ｙ軸ビーム３０は、ビーム本体３１と、ガイド部３３と、駆動部３４と、凹部３５と、被支持部３６とを有する。
【００２９】
ビーム本体３１は、内部が中空である角柱状に形成されている。具体的には、図２に示すように、ビーム本体３１は、それぞれ長手方向（Ｙ軸方向）に沿っている上壁３１ａ、下壁３１ｂ、右壁３１ｃ及び左壁３１ｄで囲まれている。上壁３１ａ、下壁３１ｂ、右壁３１ｃ及び左壁３１ｄは、それぞれ平板状に形成された壁である。
【００３０】
本実施形態においては、図３に示すように、ビーム本体３１の他端部３０ｂ側の幅方向（Ｘ軸方向）の幅が、一端部３０ａ側の幅よりも小さくなっている。具体的には、ビーム本体３１の上壁３１ａの長手方向の他端部３０ｂ側の幅が、一端部３０ａ側の幅よりも小さくなっている。かかる場合には、ビーム本体３１の重心が、長手方向において、一端部３０ａと他端部３０ｂとの中間位置に対して一端部３０ａ側に位置する。これにより、一端部３０ａが片持ち支持されたＹ軸ビーム３０が自重によって撓んでも、他端部３０ｂ側の撓みを抑制できる。
【００３１】
また、図３に示すように、ビーム本体３１の長手方向の一端部３０ａから他端部３０ｂへ向けて、ビーム本体３１の上壁３１ａの幅が次第に小さくなっている（別言すれば、上壁３１ａの幅が単調減少している）。具体的には、上壁３１ａは、平面視した際に台形形状となっている。ただし、上記に限定されず、例えば、上壁３１ａ幅が、段階的に小さくなってもよい。なお、下壁３１ｂについても、上壁３１ａと同様に、下壁３１ｂの他端部３０ｂ側の幅が、一端部３０ａ側のよりも小さくなっている。
【００３２】
ビーム本体３１の内部には、図４に示すように、複数のリブ３２ａ〜３２ｃが形成されている。リブ３２ａ〜３２ｃは、一端部３０ａ側から他端部３０ｂ側に亘って、それぞれ複数形成されている。リブ３２ａ〜３２ｃは、それぞれ上壁３１ａ、下壁３１ｂ、右壁３１ｃ及び左壁３１ｄに接合されており、ビーム本体３１の強度を補強する機能を有する。また、他端部３０ｂ側にリブ３２ａ〜３２ｃを設けていることで、一端部３０ａ側よりも幅が小さくなっている他端部３０ｂ側の強度低下を有効に抑制できる。特に、ビーム本体３１に対して移動可能に連結されているＺ軸スピンドル４０（図１）が他端部３０ｂ側に位置しても、他端部３０ｂ側にリブ３２ａ〜３２ｃを設けていることで、Ｚ軸スピンドル４０の重さに起因して他端部３０ｂが変位する（撓む）ことを抑制できる。
【００３３】
また、図４に示すように、リブ３２ａは、Ｚ軸方向に平行に配置され、リブ３２ｂ及びリブ３２ｃは、Ｚ軸方向に対して斜めに配置されている。このような配置にすることで、リブ３２ａ〜３２ｃが互いに接合可能となっている。リブ３２ａ〜３２ｃが互いに接合していることで、ビーム本体３１をより強固に補強することができる。
【００３４】
図２に戻り、ガイド部３３は、Ｚ軸スピンドル４０（図１）のＹ軸方向への移動をガイドする。ガイド部３３は、ビーム本体３１の上壁３１ａ及び下壁３１ｂの右壁３１ｃ側の側面にそれぞれＹ軸方向に沿って設けられており、右壁３１ｃと対向するＺ軸スピンドル４０の移動をガイドする。
【００３５】
駆動部３４は、Ｚ軸スピンドル４０をＹ軸ビーム３０の長手方向（Ｙ軸方向）へ移動させる。具体的には、駆動部３４は、ベルト駆動方式であり、駆動源である駆動モータ３４ａと、駆動モータ３４ａの回転に伴い回動するベルト３４ｂと、ベルト３４ｂを回動可能に張架するプーリー３４ｃとを有する。駆動モータ３４ａは、一端部３０ａ側（具体的には、被支持部３６の上方）に位置している。なお、駆動部３４の駆動方式は、ベルト駆動方式に限定されず、例えばボールネジ駆動方式であってもよい。
【００３６】
凹部３５は、ビーム本体３１の右壁３１ｃ側にて、Ｙ軸方向に沿って形成された溝部である。すなわち、凹部３５は、長手方向の一端部３０ａから他端部３０ｂに亘って形成されている。凹部３５には、駆動部３４の少なくとも一部が収容されている。具体的には、凹部３５には、駆動部３４のベルト３４ｂ及びプーリー３４ｃが収容されている。これにより、ベルト３４ｂ及びプーリー３４ｃをビーム本体３１の外部に配置する必要がないので、Ｙ軸ビーム３０の小型化が可能となる。
【００３７】
被支持部３６は、Ｘ軸コラム２０（図１）にＸ軸方向に移動可能に支持されている部分である。被支持部３６は、ビーム本体３１の長手方向の一端部３０ａ側の下部に、長手方向と直交する直交方向（Ｘ軸方向）に延びるように設けられている。被支持部３６は、ビーム本体３１と一体構成となっている。
【００３８】
なお、上記では、Ｙ軸ビーム３０が鋳物製であることとしたが、これに限定されない。例えば、Ｙ軸ビーム３０の長手方向の他端部３０ｂ側の幅を、Ｘ軸コラム２０に支持される一端部３０ａ側の幅よりも小さくできれば、他の製造方法でＹ軸ビーム３０を製造してもよい。
【００３９】
＜３．ガイド機構の構成＞
図５を参照しながら、Ｙ軸ビーム３０をＸ軸方向へ移動させる二つのガイド機構６０、７０の構成について説明する。
【００４０】
図５は、ガイド機構６０、７０及び周辺部の構成の一例を示す図である。図５に示すように、ガイド機構６０及びガイド機構７０は、Ｘ軸コラム２０の上部と、Ｙ軸ビーム３０の一端部３０ａ側の被支持部３６との間に設けられている。具体的には、ガイド機構６０は、Ｘ軸コラム２０の幅方向（Ｙ軸方向）の一端側の上部２１に設けられ、ガイド機構７０は、幅方向の他端側の上部２２に設けられている。なお、上部２１は、上部２２よりも被支持部３６側に突出するように形成されている。
【００４１】
ガイド機構６０は、リニアガイドであり、図５に示すようにＸ軸レール部６１とＸ軸移動ブロック６２とを有する。
Ｘ軸レール部６１は、Ｘ軸コラム２０の上部２１にＸ軸方向に延びている第１レール部材である（図６参照）。Ｘ軸レール部６１は、上部２１に固定されている。
【００４２】
Ｘ軸移動ブロック６２は、Ｘ軸レール部６１の上部と接触しており、Ｘ軸レール部６１に沿って移動可能なブロックである（図６参照）。なお、Ｘ軸移動ブロック６２は、不図示のベアリング球を介してＸ軸レール部６１と接触することで、Ｘ軸レール部６１に対して円滑に移動する。Ｘ軸移動ブロック６２は、Ｙ軸ビーム３０の被支持部３６に固定されている。このため、Ｘ軸移動ブロック６２がＸ軸レール部６１に沿って移動することで、Ｙ軸ビーム３０がＸ軸方向に移動することになる。
【００４３】
ガイド機構７０は、図５に示すように、Ｘ軸レール部６１と、Ｘ軸移動ブロック６２と、変位部７１とを有する。ガイド機構７０のＸ軸レール部６１及びＸ軸移動ブロック６２は、ガイド機構６０のＸ軸レール部６１及びＸ軸移動ブロック６２と同様な形状である。ガイド機構７０のＸ軸移動ブロック６２は、ガイド機構６０のＸ軸移動ブロック６２と共に移動する。
【００４４】
変位部７１は、Ｘ軸移動ブロック６２上に設けられており、温度上昇に伴いＹ軸ビーム３０の一端部３０ａ側が長手方向（Ｙ軸方向）に変位する際に、長手方向に変位する。このような変位部７１を設けた理由を、以下に説明する。
【００４５】
Ｘ軸コラム２０とＹ軸ビーム３０は、熱膨張係数が異なる材料から成る。具体的には、Ｘ軸コラム２０は鉄から成り、Ｙ軸ビーム３０はアルミニウムから成る。このため、例えば座標測定装置１が設置された環境下において温度が上昇すると、Ｙ軸ビーム３０の方が、Ｘ軸コラム２０よりも膨張する。温度変化に伴い、Ｙ軸方向へのＸ軸コラム２０とＹ軸ビーム３０の伸縮量が異なる。
【００４６】
ところで、本実施形態とは異なり、変位部７１を設けない場合には、一端部３０ａがガイド機構６０、７０に拘束されているので、温度変化の際に自在に伸縮できず、Ｙ軸ビーム３０が変形する恐れがある。そして、Ｙ軸ビーム３０が変形した場合には、プローブ４２の接触子がベース１０上の被測定物に接触した際のＹ軸ビーム３０やＺ軸スピンドル４０の移動量（座標）を高精度に検出できない。
これに対して、本実施形態のように変位部７１を設けた場合には、ガイド機構６０、７０によってＸ軸コラム２０と連結されている一端部３０ａが、温度変化の際にＹ軸方向に自在に伸縮できる。これにより、Ｙ軸ビーム３０の変形等を抑制できるので、Ｙ軸ビーム３０の変形に起因した測定精度の低下を抑制できる。
【００４７】
図６は、変位部７１の詳細構成を説明するための斜視図である。変位部７１は、図６に示すように、連結板７２と、Ｙ軸レール部７３と、Ｙ軸移動ブロック７４とを有する。なお、図６では、説明の便宜上、Ｙ軸レール部７３及びＹ軸移動ブロック７４を断面状態で示している。
【００４８】
連結板７２は、Ｘ軸移動ブロック６２上に設けられた平板状の部材である。連結板７２は、Ｘ軸移動ブロック６２の移動方向と直交する（Ｙ軸方向に延びる）ように設けられている。図５に示すガイド機構６０のＸ軸移動ブロック６２は、被支持部３６に固定されているが、ガイド機構７０のＸ軸移動ブロック６２は、ネジ７２ａによって連結板７２に固定されている。
【００４９】
Ｙ軸レール部７３は、連結板７２上に設けられ、Ｙ軸方向に延びている第２レール部材である。Ｙ軸レール部７３は、ネジ７３ａによって連結板７２に固定されている。このため、Ｘ軸移動ブロック６２がＸ軸方向に移動すると、Ｙ軸レール部７３もＸ軸方向に移動する。
【００５０】
Ｙ軸移動ブロック７４は、Ｙ軸ビーム３０に固定されている。Ｙ軸移動ブロック７４は、温度変化によりＹ軸ビーム３０の一端部３０ａ側が長手方向（具体的には、矢印で示すＢ方向）に伸縮する際に、Ｙ軸レール部７３に沿ってＹ軸方向に移動する第２移動部材である。上述したリニアガイドのブロックとレールの構成により、Ｘ軸コラム２０に支持されたＹ軸ビーム３０の一端部３０ａが、ガイド機構７０に拘束されずに自在に伸縮することが可能となる。
【００５１】
図５に戻り、Ｘ軸コラム２０の上部２２の側面２２ａには、Ｙ軸ビーム３０の移動量（座標）を検出するために、Ｘ軸方向に沿って設けられたスケール２３が設けられている。また、スケール２３に対向するように検出センサー３８が設けられている。検出センサー３８は、Ｙ軸ビーム３０と連動してＸ軸方向（図１）に移動するように、Ｙ軸ビーム３０と連結されている。
【００５２】
上記では、変位部７１が、ガイド機構６０とガイド機構７０のうちの一方のガイド機構７０側に設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、変位部７１は、ガイド機構６０側に設けられてもよい。かかる場合には、変位部７１が、図５に示すスケール２３から離れたガイド機構６０側に設けられるので、スケール２３及び検出センサー３８によるＹ軸ビーム３０の移動量の検出に対する影響を防止できる。
【００５３】
（ガイド機構７０の変形例）
図７〜図１０を参照しながら、ガイド機構７０の第１変形例及び第２変形例について説明する。
【００５４】
図７は、ガイド機構７０の第１変形例を示す斜視図である。図８は、第１変形例に係る変位部７１の詳細構成を示す図である。図７に示す第１変形例では、ガイド機構７０の変位部７１が図６に示す変位部７１の構成と異なる一方で、他の構成は図６に示す構成と同様である。
【００５５】
図８に示すように、第１変形例の変位部７１は、連結ブロック８１と、板バネ８２とを有する。
連結ブロック８１は、ネジ８１ａによってＸ軸移動ブロック６２に固定されている。板バネ８２は、連結ブロック８１の両側に、それぞれ設けられている。二つの板バネ８２の下側の端部は、それぞれネジ８２ａによって連結ブロック８１に固定されている。また、二つの板バネ８２の上側の端部は、それぞれネジ８２ｂによってＹ軸ビーム３０の被支持部３６に固定されている。
【００５６】
温度変化に伴いＹ軸ビーム３０の一端部３０ａ側がＹ軸方向（具体的には、矢印で示すＢ方向）に伸縮する際に、二つの板バネ８２がＢ方向へ撓むことで、被支持部３６がＹ軸方向へ移動可能となる。これにより、Ｙ軸ビーム３０が、ガイド機構７０に拘束されずに、Ｙ軸方向へ自在に伸縮できる。
【００５７】
図９は、ガイド機構７０の第２変形例を示す斜視図である。図１０は、第２変形例に係る変位部７１の詳細構成を示す図である。図９に示す第２変形例でも、ガイド機構７０の変位部７１が図６に示す変位部７１の構成と異なる一方で、他の構成は図６に示す構成と同様である。
【００５８】
図１０に示すように、第２変形例の変位部７１は、連結ブロック９１と、球体９２と、ネジ９３と、バネ９４とを有する。
連結ブロック９１は、不図示のネジによってＸ軸移動ブロック６２に固定されている。連結ブロック９１の被支持部３６に対向する面には、溝部９１ａがＹ軸方向に沿って形成されている（図９参照）。溝部９１ａは、ここではＶ字溝を有する。Ｙ軸ビーム３０の被支持部３６には、溝部９１ａと平行にＹ軸方向に沿って溝部３６ａが形成されている。
【００５９】
球体９２は、溝部９１ａと溝部３６ａに挟まれており、溝部９１ａ及び溝部３６ａに沿って移動可能なベアリングである。ネジ９３は、ネジ部が被支持部３６を通過した状態で、連結ブロック９１とネジ穴と螺合している。バネ９４は、ネジ９３のネジ頭と被支持部３６の間に位置して、被支持部３６を連結ブロック９１側へ押圧する押圧部材である。これにより、球体９２が、溝部９１ａ及び溝部３６ａに接触する状態が維持される。
【００６０】
温度変化に伴いＹ軸ビーム３０の一端部３０ａ側がＹ軸方向に伸縮する際に、球体９２と接触する溝部３６ａが形成された被支持部３６は、球体９２と共に溝部９１ａに沿ってＹ軸方向に移動する。これにより、Ｙ軸ビーム３０が、ガイド機構７０に拘束されずに、Ｙ軸方向へ自在に伸縮できる。
なお、上記では、被支持部３６にＹ軸方向に沿った溝部３６ａが形成されていることとしたが、これに限定されない。例えば、被支持部３６には、溝部３６ａの代わりに、球体９２に接触可能な円錐状の凹部が形成されていてもよい。
【００６１】
＜４．本実施形態における効果＞
上述した実施形態においては、図３に示すように、長手方向の一端部３０ａがＸ軸コラム２０に片持ち支持されているＹ軸ビーム３０において、長手方向の他端部３０ｂ側の幅が一端部３０ａ側の幅よりも小さくなっている。
かかる場合には、Ｙ軸ビーム３０の重心が、長手方向においてＸ軸コラム２０に支持された一端部３０ａ側に位置することになる。これにより、一端部３０ａが片持ち支持されたＹ軸ビーム３０の他端部３０ｂ側が自重によって撓んでも、他端部３０ｂ側の撓みを抑制できる。この結果、Ｙ軸ビーム３０の撓みに起因して測定精度が低下することを抑制できる。
【００６２】
なお、上記では、移動体が、Ｙ軸方向に延びるように設けられＸ軸方向に移動するＹ軸ビーム３０（図１）であることとしたが、これに限定されない。例えば、移動体は、Ｘ軸方向に延びるように設けられＹ軸方向に移動するＸ軸ビームであってもよい。かかる場合に、Ｘ軸ビームを支持する支持体は、例えばＹ軸方向に延びるＹ軸コラムである。
【００６３】
また、上記では、座標測定装置１が、ベース１０上に載置された被測定物の外形の座標を測定する三次元測定装置であることとしたが、これに限定されない。例えば、座標測定装置１は、ベース１０上の載置された被測定物を、移動しながら撮像する測定装置であってもよい。
【００６４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００６５】
１    座標測定装置
２０    Ｘ軸コラム
３０    Ｙ軸ビーム
３０ａ    一端部
３０ｂ    他端部
３２ａ〜３２ｃ    リブ
３５    凹部
４０    Ｚ軸スピンドル
６０、７０    ガイド機構
６１    Ｘ軸レール部
６２    Ｘ軸移動ブロック
７１    変位部
７３    Ｙ軸レール部
７４    Ｙ軸移動ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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