(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガルバノスキャナの駆動回路であって、
基準電圧である第１のレベルから前記ガルバノスキャナの回転部材の目標回転角度に相当する第２のレベルに立ち上がるステップ状の位置指令信号が外部から入力されたときに、前記目標回転角度が第１の角度であれば、前記位置指令信号の立上り時点から一定時間をかけて、前記第１のレベルと前記第２のレベルの間に設定された第３のレベルから前記第２のレベルまで単調に上昇するように前記位置指令信号の波形を整形し、前記目標回転角度が前記第１の角度よりも小さい第２の角度であれば、前記整形を行わず、前記立上り時点から一定時間をかけて、前記第１のレベルから前記第２のレベルまで前記第２のレベル側に凸の曲線を描きながら単調に上昇するように前記位置指令信号の波形を整形する波形整形回路と、
前記波形整形回路からの出力信号と前記ガルバノスキャナからの位置フィードバック信号とに応じて前記ガルバノスキャナの駆動信号を生成する制御回路と、
を有することを特徴とする駆動回路。
【請求項２】
ガルバノスキャナの駆動回路であって、
基準電圧である第１のレベルから前記ガルバノスキャナの回転部材の目標回転角度に相当する第２のレベルに立ち上がるステップ状の位置指令信号が外部から入力されたときに、前記位置指令信号の立上り時点から一定時間をかけて、前記第１のレベルと前記第２のレベルの間に設定された第３のレベルから前記第２のレベルまで単調に上昇するように前記位置指令信号の波形を整形する波形整形回路と、
前記波形整形回路からの出力信号と前記ガルバノスキャナからの位置フィードバック信号とに応じて前記ガルバノスキャナの駆動信号を生成する制御回路と、を有し、
前記波形整形回路は、
第１のオペアンプで構成され、前記位置指令信号が入力される差動増幅器と、
第２のオペアンプ、第１の抵抗、第２の抵抗およびコンデンサで構成され、前記差動増幅器の出力信号を積分した積分信号を出力する積分回路と、を有し、
前記第２のオペアンプの反転入力端は、前記第１の抵抗を介して前記差動増幅器の出力端に接続され、
前記第２のオペアンプの非反転入力端は定電位に保持され、
前記第２のオペアンプの出力端は、第１のオペアンプの非反転入力端に接続されるとともに、直列接続された前記第２の抵抗および前記コンデンサを介して前記第２のオペアンプの反転入力端に接続されている、
ことを特徴とする駆動回路。
【請求項３】
前記波形整形回路は、前記位置指令信号の立上り時点から前記一定時間内で時間が経過するほど前記波形整形回路からの出力信号のレベルの上昇が緩やかになるように、前記位置指令信号の波形を整形する、請求項２に記載の駆動回路。
【請求項４】
前記波形整形回路は、第３の抵抗、第２のコンデンサおよび第３のオペアンプで構成される１次遅れ回路をさらに有し、
前記第３のオペアンプの非反転入力端は、前記積分信号が入力される前記第３の抵抗を介して前記積分回路の出力端に接続されるとともに、前記第２のコンデンサを介して接地され、
前記第３のオペアンプの出力端は、前記第３のオペアンプの反転入力端に接続されるとともに、前記波形整形回路の出力信号を出力する、請求項３に記載の駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガルバノスキャナの駆動回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光線を使用するレーザ加工機や計測器などでは、レーザ光線の照射位置を高速に走査するために、ガルバノスキャナが広く用いられている。ガルバノスキャナは、ミラーを高速で微小回転させることにより、レーザ光源から入射したレーザ光線を、ミラーの回転角度に応じて異なる方向に反射させる。ミラーの回転は駆動回路によって制御され、この駆動回路は、外部から入力される位置指令信号と、ガルバノスキャナで検出される現在の回転角度を示す位置信号とに基づいて、駆動信号を生成する。
【０００３】
ガルバノスキャナのミラーを比較的大きい角度で回転させるための大ステップ（高速移動、高振幅）の位置指令信号が駆動回路に入力されると、ガルバノスキャナは過大な加速度のもとで動作するため、減速時（ブレーキ時）にその分多くのエネルギーを消費する。そのため、減速時に、ミラーを回転させるためのモータに流れる電流（以下、「スキャナ電流」ともいう）が飽和し、ミラーを目標の角度に位置決めするために必要な時間（整定時間）が長くなる。また、過大な加速度により、ガルバノスキャナの回転軸の捻じり方向に衝撃荷重が作用するため、機械的な負荷も増大する。
【０００４】
その回避手段として、ステップ状の位置指令信号を時間とともに徐々に上昇する波形の信号に変換するスルーレートリミッタ（ＳＲＬ）回路が知られている（例えば、特許文献１，２を参照）。
【０００５】
図８は、特許文献２に記載されているものと同じ従来のＳＲＬ回路１６の回路図である。ＳＲＬ回路１６は、３つの抵抗Ｒ０およびオペアンプＯＰ１’で構成される加算回路２１と、２つの抵抗Ｒ１’，Ｒ２’およびオペアンプＯＰ２’で構成される増幅回路２２と、可変抵抗ＶＲ１、コンデンサＣ１’およびオペアンプＯＰ３’で構成される積分回路２３とを有する。ＳＲＬ回路１６の出力波形は、ステップ状の位置指令信号が入力されると、あるレート（傾き）をもって上昇する。ガルバノスキャナの駆動回路にＳＲＬ回路を用いることにより、大ステップの位置指令信号が駆動回路に入力されたときでも、スキャナ電流の飽和を防止することができ、ミラーの回転速度を緩やかに変化させることができるので、オーバシュートが抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０４−３１４０１９号公報
【特許文献２】特開２００３−２５５２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガルバノスキャナの駆動回路では、ミラーを比較的小さい角度で回転させるための小ステップ（低速移動、低振幅）の位置指令信号に対しても、高速に応答できることが重要である。上記した従来のＳＲＬ回路では、小ステップの位置指令信号が駆動回路に入力されたときでも出力波形の立上りが緩やかになるため、その分、ガルバノスキャナの動き出しが遅れて整定時間が長くなり、小ステップ時の応答が悪化する。小ステップの位置指令信号の入力時には、スキャナ電流が飽和したり過大な加速度がかかったりすることがないため、ＳＲＬ回路による波形の整形はない方が望ましい。
【０００８】
そこで、本発明は、大ステップと小ステップのいずれの位置指令信号に対しても、ガルバノスキャナの整定時間を短縮させた駆動回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
ガルバノスキャナの駆動回路であって、基準電圧である第１のレベルからガルバノスキャナの回転部材の目標回転角度に相当する第２のレベルに立ち上がるステップ状の位置指令信号が外部から入力されたときに、位置指令信号の立上り時点から一定時間をかけて、第１のレベルと第２のレベルの間に設定された第３のレベルから第２のレベルまで単調に上昇するように位置指令信号の波形を整形する波形整形回路と、波形整形回路からの出力信号とガルバノスキャナからの位置フィードバック信号とに応じてガルバノスキャナの駆動信号を生成する制御回路とを有することを特徴とする駆動回路が提供される。
【００１０】
上記の駆動回路では、波形整形回路は、第１のオペアンプで構成され、位置指令信号が入力される差動増幅器と、第２のオペアンプ、第１の抵抗、第２の抵抗およびコンデンサで構成され、差動増幅器の出力信号を積分した積分信号を出力する積分回路とを有し、第２のオペアンプの反転入力端は、第１の抵抗を介して差動増幅器の出力端に接続され、第２のオペアンプの非反転入力端は接地され、第２のオペアンプの出力端は、第１のオペアンプの非反転入力端に接続されるとともに、直列接続された第２の抵抗およびコンデンサを介して第２のオペアンプの反転入力端に接続されていることが好ましい。
【００１１】
上記の駆動回路では、波形整形回路は、位置指令信号の立上り時点から一定時間内で時間が経過するほど波形整形回路からの出力信号のレベルの上昇が緩やかになるように、位置指令信号の波形を整形することが好ましい。
【００１２】
上記の駆動回路では、波形整形回路は、第３の抵抗、第２のコンデンサおよび第３のオペアンプで構成される１次遅れ回路をさらに有し、第３のオペアンプの非反転入力端は、積分信号が入力される第３の抵抗を介して積分回路の出力端に接続されるとともに、第２のコンデンサを介して接地され、第３のオペアンプの出力端は、第３のオペアンプの反転入力端に接続されるとともに、波形整形回路の出力信号を出力することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
上記の駆動回路によれば、大ステップと小ステップのいずれの位置指令信号に対しても、本構成を有しない場合と比べて、ガルバノスキャナの整定時間が短縮する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。
【図２】ＳＲＬ回路６の回路図である。
【図３】ＳＲＬ回路６の機能を説明するための模式図である。
【図４】ＳＲＬ回路６の入出力波形を示す模式図である。
【図５】小ステップの位置指令信号が入力されたときの駆動回路５のタイムチャートである。
【図６】大ステップの位置指令信号が入力されたときの駆動回路５のタイムチャートである。
【図７】ＳＲＬ回路６とＳＲＬ回路１６の出力信号３３，３３’の波形、ならびにＳＲＬ回路６を用いたときとＳＲＬ回路１６を用いたときのモータ３の駆動電流３５，３５’の波形および位置変換器４の位置信号３２，３２’の波形を比較した図である。
【図８】従来のＳＲＬ回路１６の回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、ガルバノスキャナの駆動回路について詳細に説明する。ただし、本発明は図面または以下に記載される実施形態には限定されないことを理解されたい。
【００１６】
図１は、ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。ガルバノスキャナ１は、ミラー２、モータ３、位置変換器４および駆動回路５を有する。
【００１７】
ミラー２は、ガルバノスキャナ１の回転部材であり、回転軸２ａを介してモータ３に連結されている。ミラー２は、モータ３の駆動によって例えば正方向の上限角度と逆方向の下限角度の間で回転して、図示しないレーザ光源から入射したレーザ光線を回転角度に応じて異なる方向に反射させる。モータ３は、例えばＤＣモータであり、駆動回路５から出力される駆動信号に応じて駆動され、ミラー２を回転させる。モータ３には、例えば正または負の符号を有する信号が入力され、ミラー２は、その符号に応じて時計回りおよび反時計回り（正方向および逆方向）に回転する。位置変換器４は、例えば特許第５５９５５５０号公報に記載されたもののような、ミラー２の現在の回転角度を検出するためのセンサである。位置変換器４は、検出した回転角度に応じた電圧の信号を、位置信号（位置フィードバック信号）３２として、駆動回路５に出力する。
【００１８】
駆動回路５は、ＳＲＬ回路６、減算器７、制御回路８およびパワー回路９を有する。駆動回路５には、外部から供給される位置指令信号３１、および位置変換器４の位置信号３２が入力される。位置指令信号３１は、目標とするミラー２の回転角度を示すアナログ信号であり、基準電圧である第１のレベルからミラー２の目標回転角度に相当する第２のレベルに立ち上がるステップ状の波形を有する。位置信号３２は、ミラー２の現在の回転角度を示すアナログ信号である。
【００１９】
ＳＲＬ回路６は、波形整形回路の一例であり、駆動回路５に入力された位置指令信号３１の波形を整形して、減算器７に出力する。減算器７は、ＳＲＬ回路６からの出力信号３３と位置変換器４からの位置信号３２との差信号を生成し、制御回路８に出力する。制御回路８は、ＳＲＬ回路６からの出力信号３３と位置変換器４からの位置信号３２とに応じてＰＩＤ制御を行う回路であり、ガルバノスキャナ１の駆動信号３４を生成して、パワー回路９に出力する。例えば、位置指令信号３１が示す目標の回転角度が１０度であり、位置信号３２が示す現在の回転角度が９度である場合には、制御回路８は、駆動信号３４として、差の１度分だけミラー２を回転させるための信号を生成する。パワー（ＰＷ）回路９は、制御回路８からの駆動信号３４に応じた駆動電流３５を生成し、これをモータ３に供給する回路である。
【００２０】
図２は、ＳＲＬ回路６の回路図である。図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、ＳＲＬ回路６の機能を説明するための模式図である。ＳＲＬ回路６は、差動増幅器１１、積分回路１２および１次遅れ回路１３を有する。
【００２１】
図３（Ａ）は、図８に示した従来のＳＲＬ回路１６による波形整形を示す。ＳＲＬ回路１６は、ステップ状の位置指令信号３１を、符号３３’で示したような、ある傾きで上昇する台形状の波形の信号に整形して出力する。
【００２２】
図３（Ｂ）は、図２に示したＳＲＬ回路６による波形整形を示す。ＳＲＬ回路６は、まず、差動増幅器１１および積分回路１２により、ステップの位置指令信号３１を、符号３３’’で示したような、最初は位置指令信号３１よりも小さい幅で瞬間的に立ち上がり、その後はＳＲＬ回路１６の出力波形と同様にある傾きで上昇する波形の信号に整形する。すなわち、ＳＲＬ回路６は、第１のレベルから第２のレベルに立ち上がるステップ状の位置指令信号３１が外部から入力されたときに、位置指令信号３１の立上り時点から一定時間をかけて、第１のレベルと第２のレベルの間に設定された第３のレベルから第２のレベルまで単調に上昇するように、位置指令信号３１の波形を整形する。
【００２３】
さらに、ＳＲＬ回路６は、１次遅れ回路１３により、位置指令信号３１の立上り時点から一定時間内で時間が経過するほどＳＲＬ回路６からの出力信号のレベルの上昇が緩やかになり、丸みを帯びた形状になるように、位置指令信号３１の波形を整形する。これにより、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形は、最初はＳＲＬ回路１６の出力波形よりも早く立ち上がり、かつ最後はＳＲＬ回路１６の出力波形よりも緩やかに上昇する。
【００２４】
図２に示すように、差動増幅器１１は、オペアンプＯＰ１で構成される。差動増幅器１１の反転入力端には位置指令信号３１が入力され、非反転入力端には、積分回路１２の出力信号が負帰還入力される。
【００２５】
積分回路１２は、オペアンプＯＰ２、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２およびコンデンサＣ１で構成された積分回路であり、差動増幅器１１の出力信号を積分した積分信号３３’’（図３（Ｂ）の符号３３’’で示す信号）を１次遅れ回路１３に出力する。オペアンプＯＰ２の非反転入力端は接地されており、オペアンプＯＰ２の反転入力端は、抵抗Ｒ１を介して差動増幅器１１の出力端に接続されている。オペアンプＯＰ２の出力端は、積分回路１２の出力端であるとともに、差動増幅器１１（オペアンプＯＰ１）の非反転入力端に接続され、直列接続された抵抗Ｒ２およびコンデンサＣ１を介してオペアンプＯＰ２の反転入力端に接続されている。
【００２６】
１次遅れ回路１３は、抵抗Ｒ３、コンデンサＣ２およびオペアンプＯＰ３で構成される。オペアンプＯＰ３の非反転入力端は、抵抗Ｒ３を介して積分回路１２の出力端に接続されるとともに、コンデンサＣ２を介して接地されている。オペアンプＯＰ３の出力端は、１次遅れ回路１３の出力端であり、図１に示した減算器７に接続されるとともに、オペアンプＯＰ３の反転入力端にも接続されている。１次遅れ回路１３は、ＳＲＬ回路６の出力信号３３を減算器７に出力する。
【００２７】
図４は、ＳＲＬ回路６の入出力波形を示す模式図である。グラフの横軸は時間ｔ、縦軸は電圧Ｖである。図４の破線は位置指令信号３１の波形を示し、実線は、異なる３つの出力信号３３ａ〜３３ｃの波形を示す。位置指令信号３１の立上り時点を時刻ｔ０とおく。図４のグラフには、位置指令信号３１の第１のレベルＶ１および第２のレベルＶ２、ならびに、出力信号３３ｂ，３３ｃについて、時刻ｔ０付近における波形の立上りの高さに相当する第３のレベルＶ３も示している。
【００２８】
時刻ｔ０付近における波形の立上りの幅は、積分回路１２の抵抗Ｒ２の抵抗値が大きいほど大きくなる。抵抗Ｒ２の抵抗値がほぼ０に等しいときには出力信号３３ａが得られ、抵抗Ｒ２の抵抗値を大きくすると出力信号３３ｂが得られ、さらに大きくすると出力信号３３ｃが得られる。また、時刻ｔ０以降におけるほぼ一定の波形の傾きは、積分回路１２の抵抗Ｒ１およびコンデンサＣ１の時定数によって決まる。さらに、時刻ｔ０付近の立上りからその後のほぼ一定の傾斜に切り替わる部分における波形の丸みを帯びた形状は、１次遅れ回路１３の抵抗Ｒ３およびコンデンサＣ２の時定数によって決まる。
【００２９】
図５（Ａ）〜図５（Ｇ）は、小ステップの位置指令信号が入力されたときの駆動回路５のタイムチャートである。図５（Ａ）は位置指令信号３１の波形を示し、図５（Ｂ）〜図５（Ｄ）は、それぞれ、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’、ＳＲＬ回路６の積分信号３３’’およびＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形を示す。また、図５（Ｅ）〜図５（Ｇ）は、それぞれ、出力信号３３’、積分信号３３’’および出力信号３３によるモータ３の駆動電流３５’，３５’’，３５の波形を示す。各図の横軸は時間、図５（Ａ）〜図５（Ｄ）の縦軸は電圧、図５（Ｅ）〜図５（Ｇ）の縦軸は電流である。図５（Ａ）〜図５（Ｄ）における縦軸の「０」および「０．１」はそれぞれ回転角度０度および０．１度に対応しており、この位置指令信号はミラー２を０．１度回転させるためのものであるとする。
【００３０】
図５（Ａ）に示すような時刻ｔ０で立ち上がるステップ状の位置指令信号３１が入力されると、図５（Ｂ）に示すように、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’は、時間とともに緩やかに上昇する。しかしながら、図５（Ｃ）に示すように、ＳＲＬ回路６では、抵抗Ｒ２があることにより、位置指令信号３１が低振幅であっても、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’と比べて、積分信号３３’’は早く立ち上がる。図５（Ｄ）に示すように、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の上昇は、積分信号３３’’と比べて緩やかになるが、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’よりは速い。
【００３１】
このため、図５（Ｅ）〜図５（Ｇ）に示すように、積分信号３３’’および出力信号３３によるモータ３の駆動電流３５’’，３５の波形は、出力信号３３’によるモータ３の駆動電流３５’の波形よりも、時刻ｔ０の近くで早く立ち上がる。ＳＲＬ回路６を駆動回路５に用いると、ＳＲＬ回路１６を用いた場合よりも、モータ３に流れる電流（スキャナ電流）の波形が早く立ち上がるため、モータ３に電流を早く流し始められる。したがって、ＳＲＬ回路６を駆動回路５に用いると、ＳＲＬ回路１６を用いた場合よりも、ミラー２の動き始め（回転角度の変化）が早くなり、それに応じて整定完了も早くなるので、整定時間が短くなる。
【００３２】
図６（Ａ）〜図６（Ｇ）は、大ステップの位置指令信号が入力されたときの駆動回路５のタイムチャートである。図６（Ａ）は位置指令信号３１の波形を示し、図６（Ｂ）〜図６（Ｄ）は、それぞれ、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’、ＳＲＬ回路６の積分信号３３’’およびＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形を示す。また、図６（Ｅ）〜図６（Ｇ）は、それぞれ、出力信号３３’、積分信号３３’’および出力信号３３でガルバノスキャナ１を駆動したときに位置変換器４で検出される位置信号３２’，３２’’，３２の波形を示す。各図の横軸は時間、縦軸は電圧である。図６（Ａ）〜図６（Ｇ）における縦軸の「０」および「５」はそれぞれ回転角度０度および５度に対応しており、この位置指令信号はミラー２を５度回転させるためのものであるとする。
【００３３】
図６（Ａ）に示す位置指令信号３１と図６（Ｂ）に示すＳＲＬ回路１６の出力信号３３’は、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示したものと同様である。ＳＲＬ回路６では、高振幅の位置指令信号３１に対しては、積分信号３３’’の波形は、図６（Ｃ）に示すように、時刻ｔ０において位置指令信号３１よりも小さい幅で瞬間的に立ち上がる。図６（Ｄ）に示すように、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形は、丸みを帯びた形状になるが、同様に、時刻ｔ０において位置指令信号３１よりも小さい幅で瞬間的に立ち上がる。このため、ＳＲＬ回路６を用いた場合には、この小さい立上り幅に相当する回転角度まではスルーレートリミッタが作用せず、ＳＲＬ回路６の出力信号３３は、ＳＲＬ回路１６の出力信号３３’と比べて早く立ち上がる。
【００３４】
また、時刻ｔ０での立上り後におけるＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形は、抵抗Ｒ３およびコンデンサＣ２があることにより、出力信号３３’および積分信号３３’’よりも丸みを帯びた形状になる。このため、ＳＲＬ回路６を駆動回路５に用いると、ＳＲＬ回路１６を用いた場合と比べて、モータ３の駆動電流３５は早く上昇するが、過度に上昇することはなく、ミラー２の回転角度および回転速度の急変が抑制されるので、オーバシュートは軽減される。オーバシュートの軽減効果は、出力信号３３’、積分信号３３’’、出力信号３３の順に高くなる。
【００３５】
したがって、図６（Ｅ）〜図６（Ｇ）に示すように、出力信号３３’、積分信号３３’’および出力信号３３でガルバノスキャナ１を駆動したときの位置信号３２’，３２’’，３２の波形の収束はこの順で早くなるので、目標位置の整定もこの順で早くなる。すなわち、出力信号３３’を用いた場合の整定時間Ｔ’よりも、積分信号３３’’を用いた場合の整定時間Ｔ’’の方が短く、出力信号３３を用いた場合の整定時間Ｔはそれよりもさらに短くなる。
【００３６】
図７（Ａ）は、ＳＲＬ回路６とＳＲＬ回路１６の出力信号３３，３３’の波形を比較した図である。図７（Ｂ）および図７（Ｃ）は、それぞれ、ＳＲＬ回路６を用いたときとＳＲＬ回路１６を用いたときのモータ３の駆動電流３５，３５’の波形および位置変換器４の位置信号３２，３２’の波形を比較した図である。図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、ＳＲＬ回路６とＳＲＬ回路１６について、大ステップの位置指令信号が入力されたときの整定時間を同じに調整した状態で、中程度の振幅の信号を入力したときの各波形をプロットしたものである。各図の横軸は時間ｔ、図７（Ａ）および図７（Ｃ）の縦軸は電圧Ｖ、図７（Ｂ）の縦軸は電流Ｉである。図７（Ｃ）の縦軸は、ミラー２の回転角度に対応している。
【００３７】
図７（Ａ）に示すように、位置指令信号の立上り時点（ｔ＝０）の付近において、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形は、最初はＳＲＬ回路１６の出力信号３３’よりも早く上昇する。このため、図７（Ｂ）に示すように、ｔ＝０の付近で、ＳＲＬ回路６を用いた場合の駆動電流３５の波形は、ＳＲＬ回路１６を用いた場合の駆動電流３５’の波形よりも早く上昇する。
【００３８】
また、図７（Ａ）に示すように、従来のＳＲＬ回路１６の出力信号３３’の波形の傾きは、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形よりも急な傾きとなっている。このため、図７（Ｃ）に示すように、位置信号３２’の波形は比較的大きな振幅で振動しており、整定までに時間がかかる。単純に最高電圧までの到達時間を短くするとオーバシュートが発生するが、ＳＲＬ回路６の出力信号３３の波形は、図７（Ａ）に示すように、最初は早く立ち上がり、かつ最後は緩やかに上昇する。その結果、図７（Ｃ）に示すように、ＳＲＬ回路６の位置信号３２では、位置信号３２’と比べて振動の発生が抑えられる。すなわち、ＳＲＬ回路６では、ＳＲＬ回路１６と比べてオーバシュートおよびアンダシュートの発生が抑制され、これによって整定時間が短縮する。
【００３９】
以上説明したように、駆動回路５のＳＲＬ回路６では、小ステップの位置指令信号の入力時には、出力波形が早く立ち上がり、スルーレートリミッタの作用が実質的にないので、モータ３に電流を早く流し始めることができ、その分整定時間が短縮する。また、ＳＲＬ回路６では、大ステップの位置指令信号の入力時でも、出力波形が小幅で瞬間的に立ち上がるので、ある角度まではスルーレートリミッタが作用せず、モータ３の駆動電流３５（スキャナ電流）が高速に立ち上がるので、その分整定時間が短縮する。さらに、ＳＲＬ回路６では、１次遅れ回路１３の作用により加速または減速の開始時の速度変化が緩やかになり、ガルバノスキャナ１のオーバシュートおよびアンダシュートが一層軽減されるため、１次遅れ回路１３がない場合と比べてさらに整定時間が短縮する。
【符号の説明】
【００４０】
１    ガルバノスキャナ
２    ミラー
３    モータ
４    位置変換器
５    駆動回路
６    ＳＲＬ回路
７    減算器
８    制御回路
９    パワー回路
１１    差動増幅器
１２    積分回路
１３    １次遅れ回路
【図１】
0006723053.tif 000002
【図２】
0006723053.tif 000003
【図３】
0006723053.tif 000004
【図４】
0006723053.tif 000005
【図５】
0006723053.tif 000006
【図６】
0006723053.tif 000007
【図７】
0006723053.tif 000008
【図８】
0006723053.tif 000009