(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列と、
前記ノズル列の各ノズルに通じるノズル配列方向に並んだ複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に液体を供給するノズル配列方向に長尺な共通液室と、
前記共通液室に液体を供給する供給ポートと、
前記ノズル配列方向において前記共通液室より長く、前記複数の個別液室に通じる循環液室と、
前記循環液室から液体を排出するための排出ポートと、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、
前記共通液室と前記循環液室は、前記ノズル配列方向及び前記液体の吐出方向、に直交する方向において、前記ノズルからみて同じ側に配置され、
前記共通液室と前記循環液室は、前記液体の吐出方向において一部が重なるように配置され、
前記ノズル配列方向で前記共通液室の中央に前記供給ポートを設けており、
前記循環液室のうち、前記液体の吐出方向において前記共通液室と重ならない位置に前記排出ポートを設けたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記共通液室の液体流れ方向と直交する方向の断面積が、前記循環液室の液体流れ方向と直交する方向の断面積よりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記共通液室の流体抵抗値が、前記循環液室の流体抵抗値よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、及び、主走査移動機構の少なくとも一つと、液体吐出ヘッドとを備えた液体吐出ユニットにおいて、
前記液体吐出ヘッドとして、請求項１乃至３のいずれか一記載の液体吐出ヘッドを用いたことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項５】
液体吐出ヘッドを備えた液体を吐出する装置において、
前記液体吐出ヘッドとして、請求項１乃至３のいずれか一記載の液体吐出ヘッドを用いたことを特徴とする液体を吐出する装置。
【請求項６】
液体吐出ユニットを備えた液体を吐出する装置において、
前記液体吐出ユニットとして、請求項４に記載の液体吐出ユニットを用いたことを特徴とする液体を吐出する装置。
【請求項７】
液体吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、
前記液体吐出ヘッドとして、請求項１乃至３のいずれか一記載の液体吐出ヘッドを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
液体吐出ユニットが備える液体吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、
前記液体吐出ユニットとして、請求項４に記載の液体吐出ユニットを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像形成装置に設けられる液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、液体を循環させる循環型液体吐出ヘッドが知られている。
【０００３】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドにおいては、複数のノズルが配列されたノズル列の各ノズルに通じるノズル配列方向に並んだ複数の圧力発生室と、複数の圧力発生室に液体を供給するノズル配列方向に長尺な共通液室とが設けられている。また、共通液室に連通して共通液室にインクを供給する供給ポートと、複数の圧力発生室に通じる循環流路に連通して当該循環流路からのインクを排出する排出ポートとが設けられている。供給ポートは、共通液室のノズル配列方向一端側の上部に連通するように配置されている。排出ポートは、ノズル配列方向で供給ポートとは反対側であって共通液室よりも外側に配置されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、供給ポートを共通液室のノズル配列方向一端側に設け、排出ポートをノズル配列方向で供給ポートとは反対側であって共通液室よりも外側に配置すると、液体吐出ヘッドのノズル配列方向の幅が大きくなり液体吐出ヘッドの大型化を招いてしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明は、液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列と、前記ノズル列の各ノズルに通じるノズル配列方向に並んだ複数の個別液室と、前記複数の個別液室に液体を供給するノズル配列方向に長尺な共通液室と、前記共通液室に液体を供給する供給ポートと、前記ノズル配列方向において前記共通液室より長く、前記複数の個別液室に通じる循環液室と、前記循環液室から液体を排出するための排出ポートと、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記共通液室と前記循環液室は、前記ノズル配列方向及び前記液体の吐出方向、に直交する方向において、前記ノズルからみて同じ側に配置され、前記共通液室と前記循環液室は、前記液体の吐出方向において一部が重なるように配置され、前記ノズル配列方向で前記共通液室の中央に前記供給ポートを設けており、前記循環液室のうち、前記液体の吐出方向において前記共通液室と重ならない位置に前記排出ポートを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
以上、本発明によれば、ノズル配列方向で液体吐出ヘッドが大型化するのを抑制することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図６のＡ−Ａ’断面に沿った断面図の一例を示したもの。
【図２】実施形態１に係る液体吐出ヘッドをノズル配列方向と直交する方向に沿って切断した断面図。
【図３】液体吐出ヘッドをノズル配列方向に沿って切断した断面図。
【図４】液体吐出ヘッドの液室平面方向に沿って切断した断面図。
【図５】実施形態１に係るインク循環システムに関するブロック図。
【図６】液体吐出ヘッドをノズル配列方向と直交する方向に沿って切断した断面図。
【図７】図６のＡ−Ａ’断面に沿った断面図の他例を示したもの。
【図８】実施形態２に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図。
【図９】液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図。
【図１０】液体吐出ヘッドのノズル配列方向と平行な方向の一部断面説明図。
【図１１】液体吐出ヘッドのノズル板の平面説明図。
【図１２】液体吐出ヘッドの流路部材を構成する各部材の平面説明図。
【図１３】液体吐出ヘッドの共通液室部材を構成する各部材の平面説明図。
【図１４】実施形態２に係る液体循環システムの一例を示すブロック図。
【図１５】図９のＡ−Ａ’断面に沿った断面図。
【図１６】図９のＢ−Ｂ’断面に沿った断面図。
【図１７】液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図。
【図１８】液体を吐出する装置の要部側面説明図。
【図１９】実施形態２に係る液体吐出ユニットの他例の要部平面説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
［実施形態１］
図２は、本実施形態に係る個別循環型液体吐出ヘッドである液体吐出ヘッド４３４をノズル配列方向と直交する方向に沿って切断した断面図である。図３は、液体吐出ヘッド４３４をノズル配列方向に沿って切断した断面図である。図４は、液体吐出ヘッド４３４の液室平面方向に沿って切断した断面図である。
【０００９】
本実施形態に係る液体吐出ヘッド４３４は、インク供給口１１（図４参照）、共通液室１２となる彫り込みを形成したフレーム１と、流体抵抗部２１とを備えている。さらに、圧力発生室２２となる彫り込みとノズル３１に連通する連通管部２３を形成した流路板２と、ノズル３１を形成するノズル板３と、島状凸部６１、ダイヤフラム部６２及びインク流入口６３を有する振動板６を備えている。さらに、振動板６に接着層７を介して接合された圧力発生素子である積層圧電素子５と、積層圧電素子５を固定しているベース４とを備えている。
【００１０】
ベース４はチタン酸バリウム系セラミックからなり、積層圧電素子５を２列配置して接合している。積層圧電素子５は、厚さ１０［μｍ］〜５０［μｍ］／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数［μｍ／１層］の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層している。内部電極層は両端で外部電極に接続する。積層圧電素子５はハーフカットのダイシング加工により櫛歯状に分割され、１つ毎に駆動部５６と支持部５７（非駆動部）として使用する。外部電極の外側はハーフカットのダイシング加工で分割されるように、切り欠き等の加工により長さを制限しており、これらは複数の個別電極５４となる。他方はダイシング加工では分割されずに導通しており共通電極５５となる。
【００１１】
駆動部５６の個別電極５４にはＦＰＣ（フレキシブルプリント回路）８が半田接合されている。また、共通電極５５は積層圧電素子５の端部に電極層を設けて回し込んでＦＰＣ８のＧｎｄ電極に接合している。ＦＰＣ８にはヘッド制御部であるヘッドドライバ１０９が実装されており、これにより駆動部５６への駆動電圧印加を制御している。
【００１２】
振動板６は、薄膜のダイヤフラム部６２と、これの中央部に形成した駆動部５６となる積層圧電素子５と接合する島状凸部６１と、フレーム１に接合する梁を含む厚膜部と、インク流入口６３となる開口を電鋳工法によるＮｉメッキ膜を２層重ねて形成している。ダイヤフラム部６２の厚さは３［μｍ］、幅は３５［μｍ］（片側）である。この振動板６の島状凸部６１と積層圧電素子５の可動部（駆動部）５６、振動板６とフレーム１の結合は、ギャップ材を含んだ接着層７をパターニングして接着している。
【００１３】
流路板２は、シリコン単結晶基板を用いて、流体抵抗部２１、圧力発生室２２となる彫り込み、およびノズル３１に対する位置に連通管部２３となる貫通口をエッチング工法でパターニングして形成している。エッチングで残された部分が圧力発生室２２の隔壁２４となる。また、この液体吐出ヘッド４３４ではエッチング幅を狭くする部分を設けて、これを流体抵抗部２１とした。
【００１４】
ノズル板３は金属材料、例えば電鋳工法によるＮｉメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３１を多数形成している。このノズル３１の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成している。また、このノズル３１の径はインク滴出口側の直径で約２０［μｍ］〜３５［μｍ］である。また各列のノズルピッチは１５０［ｄｐｉ］とした。
【００１５】
このノズル板３のインク吐出面（ノズル表面側）は、撥水性の表面処理を施した撥水処理層３２を設けている。例えば、ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理層３２を設けている。これにより、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。インク供給口１１と共通液室１２となる彫り込みを形成するフレーム１は樹脂成形で作製している。
【００１６】
このように構成した液体吐出ヘッド４３４においては、記録信号に応じて駆動部５６に駆動パルスで構成される駆動波形（１０［Ｖ］〜５０［Ｖ］のパルス電圧）を印加する。これによって、駆動部５６に積層方向の変位が生起し、振動板６を介して圧力発生室２２が加圧されて圧力が上昇し、ノズル３１からインク滴が吐出される。その後、インク滴吐出の終了に伴い、圧力発生室２２内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動電圧（駆動パルス）の放電過程によって圧力発生室２２内に負圧が発生してインク充填工程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室１２に流入し、共通液室１２からインク流入口６３を経て流体抵抗部２１を通り、圧力発生室２２内に充填される。
【００１７】
流体抵抗部２１は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果がある反面、表面張力による最充填（リフィル）に対して抵抗になる。流体抵抗部２１を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次のインク滴吐出動作に移行するまでの時間（駆動周期）を短くできる。
【００１８】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド４３４を用いたインク循環システムの一例を、図５を用いて説明する。図５は、本実施形態に係るインク循環システムに関するブロック図である。図５に示すように、インク循環システムは、メインタンク４１０、液体吐出ヘッド４３４、ヘッドタンク４３５、供給側ポンプ４３８ａ、循環側ポンプ４３８ｂ、送液ポンプ４３８ｃ、供給側圧力センサ４３９ａ及び循環側圧力センサ４３９ｂなどで構成されている。供給側圧力センサ４３９ａは、供給側ポンプ４３８ａと液体吐出ヘッド４３４との間であって、液体吐出ヘッド４３４の後述する供給ポート７１（図１参照）に繋がった供給流路側に接続されている。循環側圧力センサ４３９ｂは、液体吐出ヘッド４３４と循環側ポンプ４３８ｂとの間であって、液体吐出ヘッド４３４の後述する循環ポート７２（図１参照）に繋がった循環流路側に接続されている。そして、供給側圧力センサ４３９ａで正圧、循環側圧力センサ４３９ｂで負圧が検知されるように、供給側ポンプ４３８ａ及び循環側ポンプ４３８ｂでインクを流す。これにより、ヘッドタンク４３５から供給ポート７１を通って液体吐出ヘッド４３４内に流入し、循環ポート７２から排出されてヘッドタンク４３５に戻るように、インクが循環する。
【００１９】
また、供給側圧力センサ４３９ａが一定正圧、循環側圧力センサ４３９ｂが一定負圧となるように、供給側ポンプ４３８ａ及び循環側ポンプ４３８ｂを常に制御し続ける。これにより、液体吐出ヘッド４３４内を通ってインクを循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。また、液体吐出ヘッド４３４のノズルから液滴を吐出すると、ヘッドタンク４３５内のインク量が減少していくため、適宜メインタンク４１０から送液ポンプ４３８ｃを用いて、メインタンク４１０からヘッドタンク４３５にインクを補充することが望ましい。メインタンク４１０からヘッドタンク４３５へのインク補充のタイミングは、ヘッドタンク４３５内のインクの液面高さが所定高さよりも下がったらインク補充を行うなど、ヘッドタンク４３５内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００２０】
［構成例１］
次に、構成例１に係る液体吐出ヘッド４３４の構成について説明する。図６は、液体吐出ヘッド４３４をノズル配列方向（液体吐出ヘッド長手方向）と直交する方向に沿って切断した断面図である。共通液室１２から、導入部２０、流体抵抗部２１、圧力発生室２２、連通管部２３、循環抵抗部４２を経由し、共通の循環流路４１へとつながる循環流路となる。循環流路の途中において、連通管部２３の先にノズル３１が配されている。共通液室１２はフレーム１に形成されており、導入部２０から循環流路４１までの流路は流路板２に形成されている。流路板２は複数の板状部材を積層した構成となっている。
【００２１】
図１は、図６のＡ−Ａ’断面に沿った断面図の一例を示したものである。フレーム１の供給ポート７１から共通液室１２につながっており、供給ポート７１は共通液室１２のノズル配列方向中央に配置されている。共通液室１２から、図６を用いて説明した前記循環流路を経由して、流路板２内の循環液室４３へと連通し、循環ポート７２へとつながる。また、図１に示すように、２つの循環ポート７２は、共通液室１２のノズル配列方向外側の両側に配置されている。前述した位置に供給ポート７１と２つの循環ポート７２とを設けることで、循環ポート７２の位置は同じで、供給ポート７１を共通液室１２のノズル配列方向端部側に設ける場合よりも、液体吐出ヘッド４３４のノズル配列方向の幅を小さくできる。よって、その分、ノズル配列方向で液体吐出ヘッド４３４が大型化するのを抑制しつつ、循環流路を構成することができる。また、供給ポート７１をノズル配列方向で共通液室１２の中央に配置することにより、供給ポート７１から各循環ポート７２までの液体の流路の長さを、どの圧力発生室２２でも同じにすることができる。このように前記流路の長さを同じにすることで、共通液室１２で発生する圧力損失と、循環液室４３で発生する圧力損失との和を、どの圧力発生室２２を通る経路でも同じにすることができる。そして、前記圧力損失の和が同一となることで、圧力損失による特性差をなくすことができるようになる。
【００２２】
［構成例２］
次に、構成例２に係る液体吐出ヘッド４３４の構成について説明する。図７は、図６のＡ−Ａ’断面に沿った断面図の他例を示したものである。図１と同様に、フレーム１の供給ポート７１から共通液室１２につながっており、供給ポート７１はノズル配列方向（液体吐出ヘッド長手方向）で共通液室１２の中央に配置されている。共通液室１２から図６を用いて説明した前記循環流路を経由して、流路板２内の循環液室４３へと連通し、循環ポート７２へとつながる。また、図７に示すように、２つの循環ポート７２は、共通液室１２のノズル配列方向外側の両側に配置されている。
【００２３】
本構成例に係る液体吐出ヘッド４３４では、共通液室１２の液体流れ方向と直交する方向の断面積が、循環液室４３の液体流れ方向と直交する方向の断面積よりも大きくなるように構成しており、流体抵抗値としても小さくなっている。このような構成とすることで、液体を循環させつつ液体を吐出させた場合、共通液室１２には循環分の液体と吐出分の液体との両方が流れるが、共通液室１２の前記断面積を循環液室４３の前記断面積よりも大きくすることで共通液室１２での圧力損失を抑制できる。
【００２４】
例えば、４００［μｌ／ｓ］の流量で供給ポート７１から循環ポート７２へ液体を循環させているときに、液体吐出ヘッド４３４の全ノズルからの最大吐出量が２００［μｌ／ｓ］だったとする。液体吐出ヘッド４３４の全ノズルからの吐出のための液体は、共通液室１２側から供給されるため、供給ポート７１及び共通液室１２に流れる最大流量は６００［μｌ／ｓ］、循環液室４３及び循環ポート７２に流れる最大流量は４００［μｌ／ｓ］となる。共通液室１２には循環液室４３の最大１．５倍の流量の液体が流れることになる。そのため、共通液室１２の前記断面積を循環液室４３の前記断面積よりも１．５倍以上大きくすることが望ましい。
【００２５】
［構成例３］
次に、構成例３に係る液体吐出ヘッド４３４の構成について説明する。前述した構成例２に係る液体吐出ヘッド４３４では、共通液室１２の液体流れ方向と直交する方向の断面積を、循環液室４３の液体流れ方向と直交する方向の断面積よりも大きくすることで、管路の流体抵抗値を小さくした。一方で、管路の形状によっては、共通液室１２の液体流れ方向と直交する方向の断面積が、循環液室４３の液体流れ方向と直交する方向の断面積より小さくても、管路の流体抵抗値が小さくなる場合もある。より具体的には、例えば、管路の幅と高さのアスペクト比が高い場合には、共通液室１２と循環液室４３とが同じ断面積でも管路の流体抵抗値が高くなる。そのため、管路の幅と高さのアスペクト比としては１に近いほうが、共通液室１２と循環液室４３とが同じ面積でも管路の流体抵抗値としては小さくすることができる。このように、共通液室１２の流体抵抗値として、循環液室４３の流体抵抗値よりも小さくすることで、循環分と吐出分の液体の流れによる圧力損失を抑制することができる。
【００２６】
例えば、流路断面のアスペクトが１：１の流路の流体抵抗値に対して、高さが半分の流路で同じ流体抵抗値とする場合は、幅を約１００倍まで大きくする必要がある。すなわち、アスペクト比は２００となる。前記構成例２と同じく、共通液室１２には６００［μｌ／ｓ］の流量の液体が、循環液室４３には４００［μｌ／ｓ］の流量の液体が流れるとすると、共通液室１２の流体抵抗値は循環液室４３の流体抵抗値の２／３以下に設定したい。共通液室１２の断面のアスペクトが１：１、循環液室４３の断面のアスペクトが０．６：１．８の場合、共通液室１２の流体抵抗値は循環液室４３のほぼ２／３となり、共通液室１２の断面積は循環液室４３の断面積の約９１［％］となる。このように、流路の断面形状によっては、断面積ではなく流体抵抗値で考える必要がある。
【００２７】
なお、上記実施形態においては、流路部品の構成など一例として上げているが、流路部品の構成などとしては上記実施形態に限るものではない。また、一般に、プリンタ、ファックス、複写機、プロッタ、或いはこれらの内の複数の機能を複合した画像形成装置としては、例えばインクの液滴（以下、インク滴という）を吐出する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置では、媒体である用紙を搬送しながら液滴吐出ヘッドによりインク滴を用紙に付着させて画像形成を行う。ここでの媒体は「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。また、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液滴を吐出して画像形成を行う装置を意味する。そして、画像形成とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与する（単に液滴を吐出する）ことをも意味する。また、インクとは、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液滴となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる液体の総称として用いる。
【００２８】
[実施形態２]
以下、第二の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４の一例について、図８〜図１３を参照して説明する。図８は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４の外観斜視説明図である。図９は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４のノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。図１０は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４のノズル配列方向と平行な方向の断面説明図である。図１１は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４のノズル板の平面説明図である。図１２は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４の流路部材を構成する各部材の平面説明図である。図１３は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド５０４の共通液室部材を構成する各部材の平面説明図である。
【００２９】
この液体吐出ヘッド５０４は、ノズル板３と、流路板２と、壁面部材としての振動板６とを積層接合しており、振動板６を変位させる圧電アクチュエータ１３と、共通液室部材であるフレーム１と、カバー２９とを備えている。ノズル板３は、液体を吐出する複数のノズル３１を有しており、図１１にも示すように複数のノズル３１が千鳥状に配置されている。流路板２には、ノズル３１に通じる個別液室である圧力発生室２２、圧力発生室２２に通じる流体抵抗部２１、流体抵抗部２１に通じる導入部２０が形成されている。また、流路板２は、ノズル板３側から複数枚の板状部材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅを積層接合して形成され、これらの板状部材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと振動板６とを積層接合して流路部材４０が構成されている。
【００３０】
振動板６は、導入部２０と、フレーム１で形成される共通液室１２とを通じる開口としてのフィルタ部９を有している。振動板６は、流路板２の圧力発生室２２の壁面を形成する壁面部材である。この振動板６は２層構造とし、流路板２側から薄肉部を形成する第一層と、厚肉部を形成する第二層とで形成され、第一層で圧力発生室２２に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。なお、振動板６は、２層構造に限定されるものではない。
【００３１】
流路板２を構成する板状部材２ａには、図１２（ａ）に示すように、圧力発生室２２を構成する貫通溝部（溝形状の貫通穴の意味）２２ａと、流体抵抗部５１、循環液室４３を構成する貫通溝部５１ａ，５２ａが形成されている。板状部材２ｂには、図１２（ｂ）に示すように、圧力発生室２２を構成する貫通溝部２２ｂと、循環液室４３を構成する貫通溝部５２ｂが形成されている。板状部材２ｃには、図１２（ｃ）に示すように、圧力発生室２２を構成する貫通溝部２２ｃと、循環流路５３を構成するノズル配列方向を長手方向とする貫通溝部５３ａが形成されている。板状部材２ｄには、図１２（ｄ）に示すように、圧力発生室２２を構成する貫通溝部２２ｄと、流体抵抗部２１なる貫通溝部２１ａと、導入部２０を構成する貫通溝部２０ａと、循環流路５３を構成するノズル配列方向を長手方向とする貫通溝部５３ｂとが形成されている。板状部材２ｅには、図１２（ｅ）に示すように、圧力発生室２２を構成する貫通溝部２２ｅと、導入部２０を構成するノズル配列方向を長手方向とするフィルタ下流側液室となる貫通溝部２０ｂと、循環流路５３を構成するノズル配列方向を長手方向とする貫通溝部５３ｃが形成されている。振動板６には、図１２（ｆ）に示すように、振動領域３０と、フィルタ部９と、循環流路５３を構成するノズル配列方向を長手方向とする貫通溝部５３ｄとが形成されている。このように、流路部材４０を複数の板状部材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅを積層接合して構成することで、簡単な構成で複雑な流路を形成することができる。
【００３２】
以上の構成により、流路板２及び振動板６からなる流路部材４０には、各圧力発生室２２に通じる流路板２の面方向に沿う流体抵抗部５１、循環液室４３及び循環液室４３に通じる流路部材４０の厚み方向の循環流路５３が形成される。なお、循環流路５３は後述する循環共通液室５０に通じている。
【００３３】
一方、フレーム１には、供給循環機構５９４から液体が供給される共通液室１２と循環共通液室５０とが形成されている。フレーム１を構成する第一共通液室部材１ａには、図１３（ａ）に示すように、圧電アクチュエータ用貫通穴２５ａと、下流側共通液室１２Ａとなる貫通溝部１０ａと、循環共通液室５０となる底の有る溝部５０ａとが形成されている。同じく第二共通液室部材１ｂには、図１３（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ用貫通穴２５ｂと、上流側共通液室１２Ｂとなる溝部１０ｂとが形成されている。
【００３４】
また、図８も参照して、第二共通液室部材１ｂには、共通液室１２のノズル配列方向の中央部と供給ポート７１とを通じる供給口部となる貫通穴７１ａが形成されている。同様に、第一共通液室部材１ａ及び第二共通液室部材１ｂには、循環共通液室５０のノズル配列方向の両端部と循環ポート７２とを通じる貫通穴７２ａが形成されている。なお、図１３において、底の有る溝部については面塗りを施して示している（以下の図でも同じである）。
【００３５】
このように、フレーム１は、第一共通液室部材１ａ及び第二共通液室部材１ｂによって構成され、第一共通液室部材１ａを流路部材４０の振動板６側に接合し、第一共通液室部材１ａに第二共通液室部材１ｂを積層して接合している。フレーム１は、ヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１２と循環共通液室５０とを形成する。
【００３６】
ここで、第一共通液室部材１ａは、導入部２０に通じる共通液室１２の一部である下流側共通液室１２Ａと、循環流路５３に通じる循環共通液室５０とを形成している。また、第二共通液室部材１ｂは、共通液室１２の残部である上流側共通液室１２Ｂを形成している。このとき、共通液室１２の一部である下流側共通液室１２Ａと循環共通液室５０とはノズル配列方向と直交する方向に並べて配置されるとともに、循環共通液室５０は共通液室１２内に投影される位置に配置される。これにより、循環共通液室５０の寸法が流路部材４０で形成される圧力発生室２２、流体抵抗部２１及び導入部２０を含む流路に必要な寸法による制約を受けることがなくなる。そして、循環共通液室５０と共通液室１２の一部が並んで配置され、循環共通液室５０は共通液室１２内に投影される位置に配置されることで、ノズル配列方向と直交する方向の液体吐出ヘッド５０４の幅を抑制することができる。よって、その分、液体吐出ヘッド５０４の大型化を抑制することができる。
【００３７】
一方、振動板６の圧力発生室２２とは反対側に、振動板６の振動領域３０を変形させる駆動手段としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１３を配置している。  この圧電アクチュエータ１３は、図１０に示すように、ベース４上に接合した積層圧電素子５を有している。積層圧電素子５には、ハーフカットダイシングによって溝加工して１つの積層圧電素子５に対し、所要数の柱状の圧電素子５Ａ，５Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００３８】
ここでは、積層圧電素子５の圧電素子５Ａは駆動波形を与えて駆動させる圧電素子とし、圧電素子５Ｂは駆動波形を与えないで単なる支柱として使用しているが、すべての圧電素子５Ａ，５Ｂを駆動させる圧電素子として使用することもできる。そして、圧電素子５Ａを振動板６の振動領域３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。また、圧電素子５Ｂを振動板６の厚肉部である凸部３０ｂに接合している。この積層圧電素子５は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、外部電極にフレキシブル配線部材１５が接続されている。
【００３９】
このように構成した液体吐出ヘッド５０４においては、例えば圧電素子５Ａに与える電圧を基準電位から下げることによって圧電素子５Ａが収縮し、振動板６の振動領域３０が下降して圧力発生室２２の容積が膨張することで、圧力発生室２２内に液体が流入する。その後、圧電素子５Ａに印加する電圧を上げて圧電素子５Ａを積層方向に伸長させ、振動板６の振動領域３０をノズル３１に向かう方向に変形させて圧力発生室２２の容積を収縮させる。これにより、圧力発生室２２内の液体が加圧され、ノズル３１から液体が吐出される。そして、表面張力によって液体が共通液室１２から引き込まれ液体が充填される。最終的には、供給タンク５３１及び循環タンク５３２や水頭差で規定される負圧と、メニスカスの表面張力とのつり合いにより、メニスカス面が安定するため、次の吐出動作に移行可能となる。
【００４０】
なお、この液体吐出ヘッド５０４の駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。また、上述した実施形態では、圧力発生室２２に圧力変動を与える圧力発生手段として積層型圧電素子を用いて説明したが、これに限定されず、薄膜状の圧電素子を用いることも可能である。更に、圧力発生室２２内に発熱抵抗体を配し、発熱抵抗体の発熱によって気泡を生成して圧力変動を与えるものや、静電気力を用いて圧力変動を生じさせるものを使用することができる。
【００４１】
次に、本実施形態にかかる液体吐出ヘッド５０４を用いた液体循環システム５３０の一例を、図１４を用いて説明する。図１４は、本実施形態に係る液体循環システム５３０を示すブロック図である。図１４に示すように、液体循環システム５３０は、メインタンク５０２、液体吐出ヘッド５０４、供給タンク５３１、循環タンク５３２、コンプレッサ５３３、真空ポンプ５３４、第一送液ポンプ５３５、第二送液ポンプ５３６、供給側圧力センサ５３７、循環側圧力センサ５３８、レギュレータ（Ｒ）５３９ａ，５３９ｂなどで構成されている。供給側圧力センサ５３７は、供給タンク５３１と液体吐出ヘッド５０４との間であって、液体吐出ヘッド５０４の供給ポート７１（図８参照）に繋がった供給流路側に接続されている。循環側圧力センサ５３８は、液体吐出ヘッド５０４と循環タンク５３２との間であって、液体吐出ヘッド５０４の循環ポート７２（図８参照）に繋がった循環流路側に接続されている。
【００４２】
循環タンク５３２の一方は、第一送液ポンプ５３５を介して供給タンク５３１と接続されており、循環タンク５３２の他方は第二送液ポンプ５３６を介してメインタンク５０２と接続されている。これにより、供給タンク５３１から供給ポート７１を通って液体吐出ヘッド５０４内に液体が流入し、循環ポート７２から排出されて循環タンク５３２へ排出される。そして、さらに第一送液ポンプ５３５によって循環タンク５３２から供給タンク５３１へ液体が送られることによって液体が循環する。また、供給タンク５３１にはコンプレッサ５３３がつなげられており、供給側圧力センサ５３７で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、循環タンク５３２には真空ポンプ５３４がつなげられており、循環側圧力センサ５３８で所定の負圧が検知されるよう制御される。これにより、液体吐出ヘッド５０４内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。
【００４３】
また、液体吐出ヘッド５０４のノズル３１から液滴を吐出すると、供給タンク５３１及び循環タンク５３２内の液体量が減少していく。そのため、適宜メインタンク５０２から第二送液ポンプ５３６を用いて、メインタンク５０２から循環タンク５３２に液体を補充することが望ましい。メインタンク５０２から循環タンク５３２への液体補充のタイミングは、循環タンク５３２内のインクの液面高さが所定高さよりも下がったら液体補充を行うなど、循環タンク５３２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００４４】
次に、液体吐出ヘッド５０４内における液体の循環について説明する。図１５は、図９のＡ−Ａ’断面に沿った断面図である。図１６は、図９のＢ−Ｂ’断面に沿った断面図である。液体吐出ヘッド５０４は、図８に示すように、フレーム１の端部に、共通液室に連通する供給ポート７１と、循環共通液室５０に連通する循環ポート７２が形成されている。供給ポート７１及び循環ポート７２は、それぞれチューブを介して液体を貯蔵する供給タンク５３１及び循環タンク５３２（図１４参照）につなげられている。そして、供給タンク５３１に貯留されている液体は、供給ポート７１、共通液室１２、導入部２０、流体抵抗部２１を経て、圧力発生室２２へ供給される。さらに、圧力発生室２２内の液体が圧電素子５Ａ，５Ｂの駆動によりノズル３１から吐出される一方で、吐出されずに圧力発生室２２内に留まった液体の一部もしくは全ては、流体抵抗部５１、循環流路５２，５３、循環共通液室５０、循環ポート７２を経て、循環タンク５３２へと循環される。
【００４５】
なお、液体の循環は液体吐出ヘッド５０４の動作時のみならず、動作休止時においても実施することができる。動作休止時に循環することによって、圧力発生室２２内の液体は常にリフレッシュされると共に、液体に含まれる成分の凝集や沈降を抑制できるので好ましい。
【００４６】
また、本実施形態においても、液体吐出ヘッドとして、図１、図６、図７などを用いて実施形態１の構成例１、構成例２及び構成例３で説明した各構成の液体吐出ヘッド４３４を採用することで、上述したのと同様の効果を得ることができる。また、液体吐出ヘッドの小型化により、液体を吐出する装置のサイズを小さくすることが可能となる。
【００４７】
次に、各実施形態に係る液体吐出ヘッド４３４，５０４を適用可能な液体を吐出する装置の一例を、液体吐出ヘッド５０４を適用した場合について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は本実施形態に係る液体を吐出する装置の要部平面説明図であり、図１８は本実施形態に係る液体を吐出する装置の要部側面説明図である。この液体を吐出する装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構５９３によって、キャリッジ５０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構５９３は、ガイド部材５０１、主走査モータ５０５、及び、タイミングベルト５０８等で構成されている。ガイド部材５０１は、装置長手方向両側に設けられた側板５９１Ａ，５９１Ｂに架け渡されており、キャリッジ５０３を移動可能に保持している。キャリッジ５０３は、主走査モータ５０５によって、駆動プーリ５０６と従動プーリ５０７との間に架け渡したタイミングベルト５０８を介して装置長手方向である主走査方向に往復移動される。
【００４８】
このキャリッジ５０３には、液体吐出ヘッド５０４を搭載した液体吐出ユニット５４０が設けられている。液体吐出ユニット５４０の液体吐出ヘッド５０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド５０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。液体吐出ヘッド５０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド５０４に供給するための供給循環機構５９４により、液体が液体吐出ヘッド５０４内に供給及び循環される。なお、本実施形態において、供給循環機構５９４は、供給タンク５３１、循環タンク５３２、コンプレッサ５３３、真空ポンプ５３４、第一送液ポンプ５３５、第二送液ポンプ５３６、レギュレータ（Ｒ）５３９ａ，５３９ｂ等で構成される。また、供給側圧力センサ５３７は、供給タンク５３１と液体吐出ヘッド５０４との間であって、液体吐出ヘッド５０４の供給ポート７１に繋がった供給流路側に接続されている。循環側圧力センサ５３８は、液体吐出ヘッド５０４と循環タンク５３２との間であって、液体吐出ヘッド５０４の循環ポート７２に繋がった循環流路側に接続されている。
【００４９】
液体を吐出する装置は、用紙５１０を搬送するための搬送機構５９５を備えている。搬送機構５９５は、搬送手段である搬送ベルト５１２、搬送ベルト５１２を駆動するための副走査モータ５１６などで構成されている。搬送ベルト５１２は、用紙５１０を吸着して液体吐出ヘッド５０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト５１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ５１３とテンションローラ５１４との間に掛け渡されている。搬送ベルト５１２への用紙５１０の吸着は、静電吸着あるいはエアー吸引などで行うことができる。搬送ベルト５１２は、副走査モータ５１６によってタイミングベルト５１７及びタイミングプーリ５１８を介して搬送ローラ５１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００５０】
キャリッジ５０３の主走査方向の一方側には、搬送ベルト５１２の側方に液体吐出ヘッド５０４の維持回復を行う維持回復機構５２０が配置されている。維持回復機構５２０は、例えば液体吐出ヘッド５０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材５２１や、ノズル面を払拭するワイパ部材５２２などで構成されている。
【００５１】
主走査移動機構５９３、供給循環機構５９４、維持回復機構５２０、及び、搬送機構５９５は、側板５９１Ａ，５９１Ｂ及び背板５９１Ｃなどで構成される筐体に取り付けられている。このように構成した、液体を吐出する装置においては、用紙５１０が搬送ベルト５１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト５１２の周回移動によって用紙５１０が副走査方向に搬送される。そして、キャリッジ５０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド５０４を駆動することにより、停止している用紙５１０に液体を吐出して画像を形成する。このように、液体を吐出する装置では、液体吐出ヘッド５０４を備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００５２】
次に、液体吐出ユニット５４０の他例について図１９を参照して説明する。図１９は同ユニットの要部平面説明図である。この液体吐出ユニット５４０は、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板５９１Ａ，５９１Ｂ及び背板５９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構５９３と、キャリッジ５０３と、液体吐出ヘッド５０４とで構成されている。なお、この液体吐出ユニット５４０の例えば側板５９１Ｂに、前述した維持回復機構５２０及び供給循環機構５９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニット５４０を構成することもできる。
【００５３】
本実施形態において、「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出・噴射する機能部品である。吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０[ｍＰａ・ｓ]以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどである。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００５４】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、供給循環機構、キャリッジ、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００５５】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドと供給循環機構が一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドと供給循環機構が一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットの供給循環機構と液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ユニットとして、供給循環機構若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものとする。
【００５６】
「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドまたは液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００５７】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００５８】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００５９】
また、「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０[ｍＰａ・ｓ]以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどである。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００６０】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で、用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置がある。また、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて、原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【００６１】
以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
インクなどの液体を吐出する複数のノズル３１などのノズルが配列されたノズル列と、前記ノズル列の各ノズルに通じるノズル配列方向に並んだ複数の圧力発生室２２などの個別液室と、前記複数の個別液室に液体を供給するノズル配列方向に長尺な共通液室１２などの共通液室と、前記共通液室に液体を供給する供給ポート７１などの供給ポートと、前記複数の個別液室に通じる循環液室４３などの循環液室と、前記循環液室から液体を排出するための循環ポート７２などの排出ポートとを備えた液体吐出ヘッド４３４などの液体吐出ヘッドにおいて、ノズル列配列方向で前記共通液室の中央に前記供給ポートを設けており、ノズル配列方向で前記共通液室の外側に前記排出ポートを設けた。
（態様Ａ）においては、ノズル列配列方向で、共通液室の中央に供給ポートを設け、共通液室の外側に排出ポートを設けている。これにより、供給ポートを共通液室のノズル配列方向端部側に設けるとともに、排出ポートをノズル配列方向で共通液室よりも外側に設けた場合よりも、液体吐出ヘッドのノズル配列方向の幅を小さくすることができる。よって、その分、ノズル配列方向で液体吐出ヘッドが大型化するのを抑制することができる。
（態様Ｂ）
（態様Ａ）において、ノズル配列方向で前記共通液室の一端側の外側と他端側の外側に、前記排出ポートをそれぞれ設けた。これによれば、上記実施形態について説明したように、供給ポートから排出ポートまでの液体の流路の長さを、どの個別液室でも同じにすることができる。
（態様Ｃ）
（態様Ａ）または（態様Ｂ）において、前記共通液室の液体流れ方向と直交する方向の断面積が、前記循環液室の液体流れ方向と直交する方向の断面積よりも大きい。これによれば、上記実施形態について説明したように、共通液室での圧力損失を抑制することができる。
（態様Ｄ）
（態様Ａ）乃至（態様Ｃ）のいずれかにおいて、前記共通液室の流体抵抗値が、前記循環液室の流体抵抗値よりも小さい。これによれば、上記実施形態について説明したように、循環分と吐出分の液体の流れによる圧力損失を抑制することができる。
（態様Ｅ）
供給タンク５３１や循環タンク５３２などのヘッドタンク、キャリッジ５０３などのキャリッジ、供給循環機構５９４などの供給機構、維持回復機構５２０などの維持回復機構、及び、主走査移動機構５９３などの主走査移動機構の少なくとも一つと、液体吐出ヘッドとを備えた液体吐出ユニットにおいて、前記液体吐出ヘッドとして、（態様Ａ）乃至（態様Ｄ）のいずれかの液体吐出ヘッドを用いる。これによれば、上記実施形態について説明したように、液体吐出ヘッドの小型化により、液体吐出ユニットのサイズを小さくすることが可能となる。
（態様Ｆ）
液体吐出ヘッドを備えた液体を吐出する装置において、前記液体吐出ヘッドとして、（態様Ａ）乃至（態様Ｄ）のいずれかの液体吐出ヘッドを用いる。これによれば、上記実施形態について説明したように、液体吐出ヘッドの小型化により、装置のサイズを小さくすることが可能となる。
（態様Ｇ）
液体吐出ユニットを備えた液体を吐出する装置において、前記液体吐出ユニットとして、（態様Ｅ）に記載の液体吐出ユニットを用いる。これによれば、上記実施形態について説明したように、液体吐出ユニットの小型化により、装置のサイズを小さくすることが可能となる。
（態様Ｈ）
液体吐出ヘッド４３４などの液体吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成するプリンタなどの画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドとして、（態様Ａ）乃至（態様Ｄ）のいずれかの液体吐出ヘッドを用いた。これによれば、上記実施形態について説明したように、液体吐出ヘッドの小型化により、画像形成装置のサイズを小さくすることが可能となる。
（態様Ｉ）
液体吐出ユニットが備える液体吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ユニットとして、（態様Ｅ）に記載の液体吐出ユニットを用いる。これによれば、上記実施形態について説明したように、液体吐出ユニットの小型化により、画像形成装置のサイズを小さくすることが可能となる。
【符号の説明】
【００６２】
１        フレーム
１ａ      第一共通液室部材
１ｂ      第二共通液室部材
２        流路板
２ａ      板状部材
２ｂ      板状部材
２ｃ      板状部材
２ｄ      板状部材
２ｅ      板状部材
３        ノズル板
４        ベース
５        積層圧電素子
５Ａ      圧電素子
５Ｂ      圧電素子
６        振動板
７        接着層
９        フィルタ部
１０ａ    貫通溝部
１０ｂ    溝部
１１      インク供給口
１２      共通液室
１２Ａ    下流側共通液室
１２Ｂ    上流側共通液室
１３      圧電アクチュエータ
１５      フレキシブル配線部材
２０      導入部
２０ａ    貫通溝部
２０ｂ    貫通溝部
２１      流体抵抗部
２１ａ    貫通溝部
２２      圧力発生室
２２ｂ    貫通溝部
２２ｃ    貫通溝部
２２ｄ    貫通溝部
２２ｅ    貫通溝部
２３      連通管部
２４      隔壁
２５ａ    圧電アクチュエータ用貫通穴
２５ｂ    圧電アクチュエータ用貫通穴
２９      カバー
３０      振動領域
３０ａ    凸部
３０ｂ    凸部
３１      ノズル
３２      撥水処理層
４０      流路部材
４１      循環流路
４２      循環抵抗部
４３      循環液室
５０      循環共通液室
５０ａ    溝部
５１      流体抵抗部
５１ａ    貫通溝部
５２      循環流路
５２ａ    貫通溝部
５２ｂ    貫通溝部
５３      循環流路
５３ａ    貫通溝部
５３ｂ    貫通溝部
５３ｃ    貫通溝部
５３ｄ    貫通溝部
５４      個別電極
５５      共通電極
５６      駆動部
５７      支持部
６１      島状凸部
６２      ダイヤフラム部
６３      インク流入口
７１      供給ポート
７１ａ    貫通穴
７２      循環ポート
７２ａ    貫通穴
７２ｂ    貫通穴
１０９    ヘッドドライバ
４１０    メインタンク
４３４    液体吐出ヘッド
４３５    ヘッドタンク
４３８ａ  供給側ポンプ
４３８ｂ  循環側ポンプ
４３８ｃ  送液ポンプ
４３９ａ  供給側圧力センサ
４３９ｂ  循環側圧力センサ
５０１    ガイド部材
５０２    メインタンク
５０３    キャリッジ
５０４    液体吐出ヘッド
５０５    主走査モータ
５０６    駆動プーリ
５０７    従動プーリ
５０８    タイミングベルト
５１０    用紙
５１２    搬送ベルト
５１３    搬送ローラ
５１４    テンションローラ
５１６    副走査モータ
５１７    タイミングベルト
５１８    タイミングプーリ
５２０    維持回復機構
５２１    キャップ部材
５２２    ワイパ部材
５３０    液体循環システム
５３１    供給タンク
５３２    循環タンク
５３３    コンプレッサ
５３４    真空ポンプ
５３５    第一送液ポンプ
５３６    第二送液ポンプ
５３７    供給側圧力センサ
５３８    循環側圧力センサ
５４０    液体吐出ユニット
５９１Ａ  側板
５９１Ｂ  側板
５９１Ｂ  側板
５９１Ｃ  背板
５９３    主走査移動機構
５９４    供給循環機構
５９５    搬送機構
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６３】
【特許文献１】特開２０１２−１４３９４８号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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