(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空隙を有する本体を備え、該本体に、つながった空隙により区画されるとともに互いに組み合う複数の領域を有する粒度が２０メッシュ以上のスポンジチタン粒の集合体であって、
前記スポンジチタン粒の任意の断面において、
前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画された各領域の面積が４．４９ｍｍ２未満であり、
前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画された領域の面積が１．５０ｍｍ２超であるものの合計が前記スポンジチタン粒全体の面積の４２％以下である、
水素化脱水素法によるチタン粉末の製造用のスポンジチタン粒の集合体。
【請求項２】
前記スポンジチタン粒の粒径は１１．２ｍｍ超である、請求項１に記載のスポンジチタン粒の集合体。
【請求項３】
前記チタン粉末は粉末冶金用である、請求項１または請求項２に記載のスポンジチタン粒の集合体。
【請求項４】
粒度が２０メッシュ以上のスポンジチタン粒の任意の断面における金属組織を光学顕微鏡で観察し、前記断面において、つながった空隙により周囲を囲まれて区画された各領域の面積が４．４９ｍｍ２未満であり、かつ前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画された領域の面積が１．５０ｍｍ２超であるものの合計が前記スポンジチタン粒全体の面積の４２％以下であるスポンジチタン粒を選別し、選別した当該スポンジチタン粒により集合体を構成する、請求項１に記載のスポンジチタン粒の集合体の製造法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チタン粉末製造用スポンジチタン粒の集合体およびその製造法に関する。
【背景技術】
【０００２】
粉末冶金用チタン粉末は、原料であるスポンジチタンを水素化して脆化させた後に粉砕し、その後に脱水素する、いわゆる水素化脱水素法により、製造される。
【０００３】
スポンジチタンを水素脆化させる場合、高温炉に水素を導入して金属を水素化物に変えて脆化させてから粉砕する。クロール法の場合、TiCl4を液体のMg上に滴下することにより約９００℃で（１）式で示す気液反応により反応が進行する。
TiCl４（気体）＋2Mg（液体）→Ti（固体）＋2MgCl2（液体）    ・・・・・（１）
【０００４】
スポンジチタンは、そもそもその名の示す通り、海綿状の外見と海綿状の内部組織を有する。海綿状の外見と内部組織は、基本的にはこの気液反応により形成される。このMg還元プロセスが終了すると、引続き９００〜９６０℃付近において真空中で加熱され、スポンジの内部構造中に残留しているMgやMgCl2を気体として取り出すという工程を辿る。この工程によって得られたスポンジチタンは、一般的に、全量３〜８トンの大きな塊であるため、スポンジチタンはその後の用途に応じて最適な粒度に機械的に破砕されるが、通常は１／２インチ〜２０メッシュが標準とされている。
【０００５】
このように得られたスポンジチタン粒は、再結晶温度を超える９００〜９６０℃において長時間加熱された履歴を有しており、スポンジチタン粒の末端部のミクロ組織は、微細で金属組織は焼結・再結晶組織と呼ばれる。
【０００６】
このような粉末冶金用チタン粉末の製造では、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることが求められている。粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすれば、機械的な破砕の作業効率が向上し、粉末冶金用チタン粉末の歩留まりと品質を向上できるからである。
【０００７】
特許文献１には、水素化脱水素法によるチタン粉の製造プロセスにおいて、中間原料となる水素化チタン粉から発生する水素ガスまたは水素ガスを含む不活性ガス雰囲気中で脱水素処理を行うことによって、脱水素処理工程における昇温速度と均熱性を向上させて試料の焼結ならびに飛散現象を効果的に抑制し、かつ脱水素時間を短縮化する工業的なチタン粉の製造方法が開示されている。
【０００８】
特許文献２には、クロール法によって製造されたスポンジチタンを水素脆化させる工程を経て生成される水素化チタン粉末であって、平均粒径が３０μｍ以下、粒径が５μｍ以下の粉末割合が１０質量％以下、酸素含有量が０．１５質量％以下、塩素含有量が０．０５質量％以下である水素化チタン粉末が開示される。この水素化チタン粉末は、粉末冶金法による焼結チタン製品製造用チタン粉末の原料として好適であり、製品歩留りを犠牲にせず、低コストでかつ簡便な操作で、酸素含有量と塩素含有量が低減される。
【０００９】
特許文献３には、チタンまたはチタン合金を水素脆化させる工程を経て生成される最大粒径が実質的に１５０μｍ以下の水素化チタン粉末であって、粒径１０μｍ以下の粉末割合が８質量％以下、酸素含有量が０．１５質量％以下、塩素含有量が０．０６質量％以下である水素化チタン粉末が開示される。この水素化チタン粉末は、酸素含有量と塩素含有量が低減され、優れた流動性および成形性を兼備し、粉末冶金法による焼結チタンまたはチタン合金製品の製造用原料として好適である。
【００１０】
さらに、特許文献４には、水素化脱水素法におけるチタンまたはチタン合金粉末の製造プロセスにおいて、水素化工程後に粉砕した水素化チタンまたは水素化合金粉末の粒度分布を予め粒径６３μｍ以下の粉体割合が３０質量％以下になるように調整し、この水素化チタンまたは水素化チタン合金粉末を脱水素処理することにより、水素化チタンまたは水素化チタン合金粉末を製造する方法が開示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平５−１０５９１７号公報
【特許文献２】特開平１０−１９５５０４号公報
【特許文献３】特開２００２−４７５０１号公報
【特許文献４】特開平５−２４７５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
特許文献１により開示された発明は、水素化脱水素法によるチタン粉の製造プロセスにおいて、脱水素処理を中間原料となる水素化チタン粉から発生する水素ガス雰囲気中で行うことを特徴とし、脱水素処理工程における昇温速度と均熱性を向上させて試料の焼結ならびに飛散現象を効果的に抑制するとしている。
【００１３】
しかし、水素脆化した部分は、水素化による体積膨張のために歪みが入り、そこを起点として亀裂が入り微細に粉砕される。脱水素過程を水素ガス雰囲気中で行うと水素脆化した部分と周囲の水素ガス相との間の界面での水素の移動が緩慢なものになるため、粉砕された部分が焼結により修復される。すなわち、脱水素過程と焼結が同時に起き易いため、一旦細粒化したものが合体するために細粒化が進み難く、細粒化が不十分になり、焼結も進行するので粒径分布も不均一になる。このため、特許文献１により開示された発明では、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることはできない。
【００１４】
特許文献２により開示された発明による水素化チタン粉末および水素化チタン粉末を原料として製造されるチタン粉末は、粉末全体に対する特定粒径範囲の粉末割合を調整する。平均粒径は３０μｍ以下であるが、粒径が５μｍ以下の粉末：０〜１０質量％、粒径が５μｍ超の粉末：９０〜１００質量％であり、必然的に不均一な分布を製品中に導入するために均一な分布を得ることができない。特許文献２により開示された発明によると、粒径５μｍ以下の粉末の割合が１０質量％を越えると、微粉末の粉体割合が多くなるため酸素含有量が多くなり、流動性や成形性も低下し易く、粉末冶金法により製造された焼結チタン製品の機械的特性を十分に満足できることができない。したがって、粉末の粒径をさらに細かくすることはできないため、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることはできない。
【００１５】
特許文献３により開示された発明における粒度の分布は、１０μｍ超：０〜８％，１０μｍ以上１５０μｍ未満：９０〜１００％である。チタン系粉末は、粒径が小さい微細な粉末が多くなるほど粉末全体の酸素含有量が増加し、不純物としての塩素が粒径１０μｍ以下の微粉末中に偏向して含有されている。こうすることにより最終製品である焼結チタン部材の空孔を拡大、増加させ、疲労強度の低下を招く原因を減らし、焼結チタン製品または焼結チタン合金製品の伸びなどの機械的特性を十分に満足させるとしている。このため、この発明の構成上、粒度を細かくすることはできず、またその分布は、１０μｍ超のものと、１０μｍ以上１５０μｍ未満のもの予め導入する必要があるため、均一な分布とすることはできない。このため、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることはできない。
【００１６】
さらに、特許文献４により開示された発明による水素化チタンまたは水素化合金粉末およびこの水素化チタン粉末を原料として製造されるチタン粉末は、粉末全体に対する特定粒径の範囲の粉末割合を調整する。粒径が６３μｍ（好ましくは４５μｍ）以下の粉末の割合が０〜３０％で、粒径が６３μｍ（好ましくは４５μｍ）超の粉末の割合が７０〜１００％となり、必然的に均一な分布を得ることはできない。
【００１７】
さらに、特許文献４により開示された発明では、粒径６３μｍ（好ましくは４５μｍ）以下の粉末割合が３０％を越えると、脱水素時における焼結化の進行を緩和、抑制することが困難になり、酸素量も著しく増加するとしている。しかしながら、水素脆化した部分は、水素化による体積膨張のために歪みが入り、そこを起点として亀裂が入り微細に粉砕される。粉砕された粉末は角ばった形状を呈しており、そもそも焼結が進み難い形状である。水素化後の粒径は、水素化処理温度と粉砕処理条件により制御可能である。さらに、脱水素温度を適正化することにより焼結の進行を抑制できる。したがって、粒径６３μｍ（好ましくは４５μｍ）以下の粉末の割合を制御するだけでは細粒化に十分に有効ではない。このため、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることはできない。
【００１８】
本発明は、従来の技術が有する上記課題に鑑みてなされたものであり、粉末冶金用チタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることができ、これにより、粉末冶金用チタン粉末の歩留まりと品質を向上できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討を重ね、スポンジチタン粒の内部組織がマクロ的に見ると一見連続的ではあるが、その内部組織は連続的につながった空隙により区画されるとともに、互いにそれらの区画が組み合って形成される複数の領域を有することに着目した。
【００２０】
すなわち、スポンジチタン粒は、初めから一体構造ではなく、より微細な多孔質体の区画領域が組み合ったものである。このため、本発明者は、この区画領域の大きさに着目して、粗大な区画領域が存在しないスポンジチタン粒を選別し、選別したスポンジチタン粒の集合体を水素化脱水素法によるチタン粉製造用スポンジチタンとして用いることにより、水素化粉末の水素化処理速度や粉砕後の水素化粉末および脱水素化した製品粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることができ、これにより、粉末冶金用チタン粉末の歩留まりと品質を向上できることを知見し、さらに検討を重ねて本発明を完成した。
【００２１】
本発明は、空隙を有する本体を備え、該本体に、つながった空隙により区画されるとともに互いに組み合う複数の領域を有する粒度が２０メッシュ以上のスポンジチタン粒の集合体であって、前記スポンジチタン粒の任意の断面において、前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画された各領域の面積が４．４９ｍｍ２未満であり、前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画された領域の面積が１．５０ｍｍ２超であるものの合計が前記スポンジチタン粒全体の面積の４２％以下である、水素化脱水素法によるチタン粉末の製造用のスポンジチタン粒の集合体である。
【００２２】
別の観点からは、本発明は、粒度が２０メッシュ以上のスポンジチタン粒の任意の断面における金属組織を光学顕微鏡で観察し、前記断面において、つながった空隙により周囲を囲まれて区画された各領域の面積が４．４９ｍｍ２未満であり、かつ前記つながった空隙により周囲を囲まれて区画化された領域の面積が１．５０ｍｍ２超であるものの合計が前記スポンジチタン粒全体の面積の４２％以下であるスポンジチタン粒を選別し、選別した当該スポンジチタン粒により集合体を構成する、本発明に係るスポンジチタン粒の集合体の製造法である。
【００２４】
なお、以降の説明では、本発明における「連続的に区画化された閉じた領域」を「単連結領域」ともいう。すなわち、スポンジチタン粒中のチタン部分及び空隙部分は、多くの単連結領域によって構成される。これら単連結領域の面積は、画像の二値化等の画像処理技術を用いることにより、求めることが可能である。
【００２５】
これらの本発明では、スポンジチタン粒の集合体は、水素化脱水素法によるチタン粉末の製造用であることが好ましく、この場合、チタン粉末は粉末冶金用であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明により、例えば粉末冶金用のチタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることができ、これにより、チタン粉末の歩留まりと品質を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、比較的小さい複数の区画から構成されるスポンジチタン粒を示す説明図であり、光学顕微鏡像を元に画像処理を行い、画素が連結している領域（単連結領域）を明示するために濃淡を付けたものである。
【図２】図２は、比較的大きい複数の区画から構成されるスポンジチタン粒を示す説明図であり、光学顕微鏡像を元に画像処理を行い、画素が連結している領域（単連結領域）を明示するために濃淡を付けたものである。
【図３】図３は、反応容器炉内圧力比率と反応時間との関係を示すグラフである。
【図４】図４は、水素化反応比率と反応時間の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
添付図面を参照しながら本発明を説明する。
【００２９】
本発明者は、予め篩いによりその粒径を１１．２ｍｍ＜粒径＜１３．２ｍｍに揃えた通常品位のスポンジチタン粒を用意し、それらのスポンジチタン粒の任意の１断面で切断して樹脂に埋め込み、通常の光学顕微鏡観察試料として調製し、観察した。
【００３０】
海綿状組織の金属部分は金属光沢を示し、それ以外の空隙部分は樹脂が充填されているために黒く見える。本発明者は、光学顕微鏡観察により、つながった空隙により区画されるとともに互いに組み合う複数の領域を有するスポンジチタン粒の任意の断面における、前記空隙により区画される領域の面積を計測した。
【００３１】
図１は、比較的小さい複数の区画から構成されるスポンジチタン粒を示す説明図であり、光学顕微鏡像を元に画像処理を行い、画素が連結している領域（単連結領域）を明示するために濃淡を付けたものである。
【００３２】
また、図２は、比較的大きい複数の区画から構成されるスポンジチタン粒を示す説明図であり、光学顕微鏡像を元に画像処理を行い、画素が連結している領域（単連結領域）を明示するために濃淡を付けたものである。
【００３３】
その結果、比較的小さい複数の区画から構成されるスポンジチタン粒（図１）と、巨大な１つの区画とその周囲に微細な多数の区画を伴うスポンジチタン粒（図２）と大きく２種類に分類されることが判明した。
【００３４】
しかし、上記の２種類の区画に含まれる海綿状の組織の内部の微細組織の特徴、例えば、金属チタン自体の結晶粒径は互いに類似しており、統計的にも大きな差が認められなかった。
【００３５】
金属と気体水素との反応は、主として、その反応温度とその反応面積によって左右される。しかし、反応はスポンジチタン粒全体として起こるのではなく、水素ガスと直接触れるスポンジチタン粒の外表面はもとより、スポンジチタン粒の内部で観察される連続的な空隙やそれらが多く集まった空洞部や割れ目部を通じてスポンジチタン粒内部に進入し、ついで金属部分に接触して拡散・浸透することにより、金属チタンが水素化する。
【００３６】
その際の進入経路こそが連続した空隙部分に相当する。したがって、つながった空隙部分が多く、かつそれらで区画された領域の大きさが小さければ、水素は容易にスポンジチタン粒内部に進入できるので速やかに金属チタンを水素化物に変えることができる。
【００３７】
つながった空隙部分が少なく、かつそれらで区画された領域の大きさが大きければ、水素のスポンジチタン粒への進入は遅くなり、水素の進入は主として樹枝状のスポンジ組織の金属チタン部分を通じての拡散に依存することになる。スポンジチタン粒の内部に存在する無数の閉じた空隙部分は内部が真空になっており、そこに到達した水素は希釈されるため、水素の内部への移動を抑制する働きがある。つまり、大きな区画領域内では水素化の速度が低下する。
【００３８】
スポンジチタン粒の水素化をコントロールするためには、この区画領域の大きさとともにその表面積を求めることが望ましいが、区画領域は複雑に組み合っていることや、海綿状の微細構造は非常に微細でフラクタル的様相を有するため、現状ではその表面積の定量的評価は極めて難しい。
【００３９】
そこで、本発明者は、１つのスポンジチタン粒に含まれるつながった空隙部分が多く、かつそれらで区分された領域の数が多いほど、スポンジチタン粒は内部で細かく分断されているので水素化を加速するものと考えた。
【００４０】
図１，２に示すスポンジチタン粒における区画の数は、図１に示すものが４，２４５個であり、図２に示すものが２７，３５７個と、区画の数の上では図２に示すもののほうが多い。これは、巨大な一つの区画の周囲に微細な区画が多数存在しているからである。本発明では、この点に着目し、この巨大な区画が存在するようなスポンジチタン粒では、水素化の処理速度が著しく遅延し、また粉砕後の水素化粉末および脱水素化した製品粉末の粒度が粗く、かつ不均一になることを確認した。
【００４１】
すなわち、１１．２ｍｍ＜粒径＜１３．２ｍｍに揃えた通常品位のスポンジチタン粒５０個を真空水素加熱炉に装入し、真空引きしながら３７０℃まで昇温した後約３時間保持して、スポンジチタン粒の表面を活性化した後、大気圧で水素ガスを導入しさらに３時間保持した後５０℃まで冷却した。導入した水素ガス量は、装入したスポンジチタン粒の全量がＴｉＨ２に完全に変化するに必要な理論ガス量である。
【００４２】
この処理を通じて、５０個のスポンジチタン粒は個別に識別できるように石英ガラス皿上に配列した。石英ガラスは水素化による脆化でスポンジチタン粒の形状が崩れても水素化後の重量を計量できるようにするためである。
【００４３】
水素化処理後はそのままの状態で取り出して、精密天秤で１／１００００ｇ単位で水素化処理前後の重量を軽量し、ここの粒の水素化による増量を測定した。さらに、５０個のスポンジチタン粒を任意の面で切断し、スポンジチタン粒内部のミクロ組織を現出させて区画の大きさを計測した。
【００４４】
その結果、区画の面積Ｄが４．４９ｍｍ２以上で、かつそれらの区画のｍｍ２数の合計が全体のスポンジチタン粒の画総数の４２％以上の場合、区画中央部での水素化が不十分な部分が存在していた。
【００４５】
また、面積Ｄが４．４９ｍｍ２未満の場合、スポンジチタン粒でその一部の表面部の形状が崩れていることが確認された。これは、スポンジチタン粒中のＴｉがＴｉＨ２に変わる時、約２０％の体積膨張があるために、水素化物に変化した部分ではその膨張歪により自発的に亀裂を生じて崩壊しているのである。
【００４６】
このように、スポンジチタン粒の水素化処理に当たっては，その処理速度の目安として、スポンジチタン粒の表面積の代わりに、区画の大きさを代替して使用できる。
【００４７】
すなわち、空隙を有する本体を備え、この本体に、つながった空隙により区画されるとともに互いに組み合う複数の領域を有するスポンジチタン粒の集合体であって、スポンジチタン粒の任意の断面における、空隙により区画される領域の面積が４．４９ｍｍ２未満である、スポンジチタン粒の集合体を、水素化脱水素法によるチタン粉末、特に粉末冶金用チタン粉末の製造用として用いれば、例えば粉末冶金用のチタン粉末の粒度をより細かく、かつ均一にすることができ、これにより、チタン粉末の歩留まりと品質を向上できる。
【００４８】
このスポンジチタン粒の集合体は、スポンジチタン粒の任意の断面における金属組織を光学顕微鏡で観察し、海綿状の組織のうちでつながった空隙により連続的に区画化された閉じた領域の面積が４．４９ｍｍ２未満であるスポンジチタン粒を選別し、選別した当該スポンジチタン粒により集合体を構成することにより、簡単かつ確実に製造できる。
【００４９】
この場合、スポンジチタン粒の任意の断面における、空隙により区画される領域の面積が１．５０ｍｍ２超であるものの合計が該スポンジチタン粒全体の面積の４２％以下であることが好ましい。
【実施例１】
【００５０】
５種類のスポンジチタン区画サイズを有する、１１．２ｍｍ＜粒径＜１３．２ｍｍに揃えた通常品位のスポンジチタン粒約１Ｋｇずつを水素反応容器に装入し、一旦、１０−４ｔｏｒｒまで減圧した後、次いで炉内温度を５００℃に保持し、スポンジチタン粒重量に対する理論水素ガス量を１気圧になるように導入した後に供給を停止し、反応容器内の圧力の変化を記録した。５種類のスポンジチタン粒とは，以下の通りである。
【００５１】
(i)1.5ｘ10２mm2≦面積D：比較例
(ii)3.0 mm2≦面積D＜1.5ｘ10２mm2：比較例
(iii)4.5mm2≦面積D＜3.0mm2：比較例
(iv)1.5ｘ10-1mm2≦面積D＜4.5ｘ10-1mm2：本発明例
(v)面積D＜1.5ｘ10-1mm2：本発明例
【００５２】
反応容器炉内圧力比率と反応時間との関係を図３のグラフに示す。
【００５３】
反応容器の圧力の変化は、炉内容器内での水素化の進行を示している。
【００５４】
図３のグラフに示すように、分類（ｉ）の場合は，約５時間ほどは圧力の低下が起きず、それ以降７０％程度まで低下するが８時間経ってもなかなか下がらない。これは、分類（ｉｉ）でもほぼ同じ傾向を示す。
【００５５】
一方、分類（ｉｉｉ）〜（ｖ）の場合は，停滞せず単調に圧力は低下する。これらの場合も、調査した条件下では完全に水素化は完了しない。
【００５６】
生産効率的な観点から、約６時間での反応容器内の圧力比率が４０％程度であるようなスポンジチタン粒を選択し使用することが好ましい。
【実施例２】
【００５７】
４種類のスポンジチタン区画サイズを有する、１１．２ｍｍ＜粒径＜１３．２ｍｍに揃えた通常品位のスポンジチタン粒１個を熱天秤に装入し、一旦、１０−５ｔｏｒｒまで減圧した。次いで、炉内温度を４００℃に保持した後、水素ガス量を１気圧で９リットル／分の割合で流し、試料の重量変化を測定した。
【００５８】
４種類のスポンジチタン粒とは、以下の通りである。
【００５９】
(i)3ｘ10１mm2≦D：比較例
(ii)4.5mm2≦D＜3ｘ101mm2：比較例 
(iii)1.5x10-1mm2≦D＜4.5mm2：本発明例
(iv)D＜1.5x10-1mm2：本発明例
【００６０】
水素化反応比率と反応時間の関係を図４のグラフに示す。
【００６１】
図４のグラフに示すように、分類（ｉ）では１１０時間経過しても水素化反応比率は６０％程度であるが、分類（ｉｉ）〜（ｉｖ）の場合は１に達し、水素化は完了する。しかし、分類（ｉｉ）の場合は５０時間までの水素化速度は分類（ｉ）の場合に近い。分類（ｉｉｉ）〜（ｉＶ）の場合は５０時間の段階で水素化反応比率は０．８を超す。
【実施例３】
【００６２】
スポンジチタン粒径が１１．２ｍｍ＜粒径＜１３．２ｍｍで種々のスポンジチタンの区画サイズに分類した粒１０個ずつを水素反応容器に装入し、一旦、１０−４ｔｏｒｒまで減圧した後、次いで炉内温度を８００℃に保持した後、水素ガス量を１気圧で９リットル／分の割合で流しスポンジチタン粒の形状変化を観察し、水素化物生成による形状崩壊の度合いを観察した。
【００６３】
結果を表１にまとめて示す。
【００６４】
【表１】
0006699209.tif 000002
【００６５】
区画サイズが４．５ｍｍ２超のもの（Ｎｏ．３，７〜９）では形状崩壊の程度は軽微であった。また、区画サイズが４．５ｍｍ２未満であっても１．５ｍｍ２以上の区画領域の面積合計がスポンジチタン粒全体の面積の４２％を超えるもの（Ｎｏ．６）では形状崩壊の程度は軽微であった。
【００６６】
表１に示すように、区画サイズが４．５ｍｍ２超のものでは形状崩壊の程度は軽微であった。また、区画サイズが４．５ｍｍ２未満であっても１．５ｍｍ２以上の区画領域の面積合計がスポンジチタン粒全体の面積の４２％を超えるものでは形状崩壊の程度は軽微であった。
【実施例４】
【００６７】
実施例３で水素化したスポンジチタン粒をＲＥＴＳＣＨ社製遊星ミルで粉砕した。粉砕ジャーは２５ｍＬ，硬質鋼球１０ｍｍφを１００個用いてＡｒ雰囲気中で行った。粉砕途中の差異を明らかにするため、粉砕時間は５分間で実施した（３００ｒｐｍ）。粉砕した水素化チタン粉末を真空炉中において８００℃で２４時間の脱水素処理を行った。脱水素処理後の粉末を調査した。結果を表２にまとめて示す。
【００６８】
【表２】
0006699209.tif 000003
【００６９】
表２に示すように、本発明例では、平均粒径は５０μｍ未満の細粒が得られたが、比較例では５０μｍを大きく超える結果となった。粉砕時間を長くすれば本発明例と比較例との差は減少するものの、本発明例ではより短時間で粉砕が進むことが分かる。粉砕時間が短くて済むことは、粉砕ジャーや鋼球との凝着による汚染や粉砕中における酸化の程度を少なくすることができることを意味する。
【図１】
0006699209.tif 000004
【図２】
0006699209.tif 000005
【図３】
0006699209.tif 000006
【図４】
0006699209.tif 000007