(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストが供給された被摺動体上を摺動体が摺動した後に残余のペーストを回収するペースト回収装置であって、
ペースト回収部が設けられた第１の面、及び、前記第１の面の反対側に位置し、前記被摺動体に接触可能な一端を含む第２の面を有する回収板と、
前記第２の面の他端側における前記回収板の端部である第１の回収板端部の近傍を保持する保持部材と、
前記被摺動体に吸着することで前記第２の面の一端が前記被摺動体に接触した状態を保持する吸着手段と、を備え、
前記第２の面の一端側における前記回収板の端部である第２の回収板端部は、前記第１の回収板端部に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっており、
前記吸着手段は、平面視において、前記回収板の両端に設けられた吸着パッドと、
前記吸着パッドに接続され、負圧を発生させる負圧発生源と、を含み、
前記回収板は、前記第２の回収板端部が前記第１の回収板端部に対して鉛直方向に相対的に移動することで、前記第２の面の一端が前記第２の面の他端よりも前記第１の面に対して前記第２の面側に位置するように傾斜する姿勢となるペースト回収装置。
【請求項２】
ペーストが供給された被摺動体上を摺動体が摺動した後に残余のペーストを回収するペースト回収装置であって、
ペースト回収部が設けられた第１の面、及び、前記第１の面の反対側に位置し、前記被摺動体に接触可能な一端を含む第２の面を有する回収板と、
前記第２の面の他端側における前記回収板の端部である第１の回収板端部の近傍を保持する保持部材と、
前記被摺動体に吸着することで前記第２の面の一端が前記被摺動体に接触した状態を保持する吸着手段と、を備え、
前記第２の面の一端側における前記回収板の端部である第２の回収板端部は、前記第１の回収板端部に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっており、
前記吸着手段は、前記第２の面に形成された凹部と、
前記凹部に接続され、負圧を発生させる負圧発生源と、を含み、
前記回収板は、前記第２の回収板端部が前記第１の回収板端部に対して鉛直方向に相対的に移動することで、前記第２の面の一端が前記第２の面の他端よりも前記第１の面に対して前記第２の面側に位置するように傾斜する姿勢となるペースト回収装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のペースト回収装置であって、
前記ペースト回収部を冷却する冷却手段をさらに備えたペースト回収装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のペースト回収装置であって、
前記ペースト回収部を冷却する冷却手段をさらに備え、
前記冷却手段は、
前記第１の面上の残余のペーストに向かって開口する吹出口と、
冷媒を供給する供給手段と、
前記吹出口と前記供給手段を接続する流路と、を含み、
前記負圧発生源は、前記流路に接続されているペースト回収装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のペースト回収装置であって、
前記ペースト回収部を加熱する加熱手段をさらに備えるペースト回収装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載のペースト回収装置であって、
前記回収板と前記保持部材とは、前記鉛直方向に対して交差する方向に延在する回転軸を含む可動部を介して接続されているペースト回収装置。
【請求項７】
ペーストが供給された被摺動体上を摺動体が摺動した後に残余のペーストを回収するペースト回収方法であって、
ペースト回収部が設けられた第１の面、及び、前記第１の面の反対側に位置し、前記被摺動体に接触可能な一端を含む第２の面を有する回収板と、前記第２の面の他端側における前記回収板の端部である第１の回収板端部の近傍を保持する保持部材と、前記被摺動体に吸着することで前記第２の面の一端が前記被摺動体に接触した状態を保持する吸着手段と、を備え、前記第２の面の一端側における前記回収板の端部である第２の回収板端部は、前記第１の回収板端部に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっているペースト回収装置を準備する第１の工程と、
前記第２の回収板端部が前記第１の回収板端部に対して鉛直方向に相対的に移動することで、前記第２の面の一端が前記第２の面の他端よりも前記第１の面に対して前記第２の面側に位置するように傾斜する姿勢で前記回収板を配置する第２の工程と、
前記吸着手段により前記被摺動体を吸着することで、前記第２の面の一端が前記被摺動体に接した状態を保持する第３の工程と、
前記摺動体を前記被摺動体上から前記ペースト回収部上に進入させて、残余のペーストを前記ペースト回収部上に移動する第４の工程と、を備え、
前記吸着手段は、
平面視において前記回収版の両端に設けられた吸着パッド、及び、前記第２の面に形成された凹部の少なくとも一方と、
前記吸着パッド及び前記凹部の少なくとも一方に接続されると共に負圧を発生させる負圧発生源と、を含み、
前記第３の工程は、前記負圧発生源により前記吸着パッド及び前記凹部の少なくとも一方に負圧を発生させることを含むペースト回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト回収装置及びペースト回収方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置において、スキージの前後のストローク端であってマスクの上部にペーストを受け取るためのペースト回収スコップユニットをそれぞれ設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このスクリーン印刷装置では、スキージがマスクに接触しながらペーストを塗った状態を保ったままペースト回収スコップユニット上まで移動し、残留ペーストをスコップ上まで移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−６２２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の技術では、ペースト回収スコップユニットがマスクの姿勢や形状に追従できずに、ペースト回収スコップユニットとマスクとの間に隙間が空いてしまい、ペーストを十分に回収することができない場合がある、という問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、より確実にペーストを回収できるペースト回収装置及びペースト回収方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明に係るペースト回収装置は、ペーストが供給された被摺動体上を摺動体が摺動した後に残余のペーストを回収する装置であり、ペースト回収部が設けられた第１の面、及び、前記第１の面の反対側に位置し、前記被摺動体に接触可能な一端を含む第２の面を有する回収板と、前記第２の面の他端側における前記回収板の端部である第１の回収板端部の近傍を保持する保持部材と、前記被摺動体に吸着することで前記第２の面の一端が前記被摺動体に接触した状態を保持する吸着手段と、を備え、前記第２の面の一端側における前記回収板の端部である第２の回収板端部は、前記第１の回収板端部に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっており、前記回収板は、前記第２の回収板端部が前記第１の回収板端部に対して鉛直方向に相対的に移動することで、前記第２の面の一端が前記第２の面の他端よりも前記第１の面に対して前記第２の面側に位置するように傾斜する姿勢となるペースト回収装置である。
【０００７】
［２］上記発明において、前記吸着手段は、平面視において、前記回収板の両端に設けられた吸着パッドと、前記吸着パッドに接続され、負圧を発生させる負圧発生源と、を含んでもよい。
【０００８】
［３］上記発明において、前記吸着手段は、前記第２の面に形成された凹部と、前記凹部に接続され、負圧を発生させる負圧発生源と、を含んでもよい。
【０００９】
［４］上記発明において、前記ペースト回収部を冷却する冷却手段をさらに備えてもよい。
【００１０】
［５］上記発明において、前記ペースト回収部を冷却する冷却手段をさらに備え、前記冷却手段は、前記第１の面上の残余のペーストに向かって開口する吹出口と、冷媒を供給する供給手段と、前記吹出口と前記供給手段を接続する流路と、を含み、前記負圧発生源は、前記流路に接続されていてもよい。
【００１１】
［６］上記発明において、前記第１の面上の残余のペーストを加熱する加熱手段をさらに備えてもよい。
【００１２】
［７］上記発明において、前記回収板と前記保持部材とは、前記鉛直方向に対して交差する方向に延在する回転軸を含む可動部を介して接続されていてもよい。
【００１３】
［８］本発明に係るペースト回収方法は、ペーストが供給された被摺動体上を摺動体が摺動した後に残余のペーストを回収する方法であり、ペースト回収部が設けられた第１の面、及び、前記第１の面の反対側に位置し、前記被摺動体に接触可能な一端を含む第２の面を有する回収板と、前記第２の面の他端側における前記回収板の端部である第１の回収板端部の近傍を保持する保持部材と、前記被摺動体に吸着することで前記第２の面の一端が前記被摺動体に接触した状態を保持する吸着手段と、を備え、前記第２の面の一端側における前記回収板の端部である第２の回収板端部は、前記第１の回収板端部に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっているペースト回収装置を準備する第１の工程と、前記第２の回収板端部が前記第１の回収板端部に対して鉛直方向に相対的に移動することで、前記第２の面の一端が前記第２の面の他端よりも前記第１の面に対して前記第２の面側に位置するように傾斜する姿勢で前記回収板を配置する第２の工程と、前記吸着手段により前記被摺動体を吸着することで、前記第２の面の一端が前記被摺動体に接した状態を保持する第３の工程と、前記摺動体を前記被摺動体上から前記ペースト回収部上に進入させて、残余のペーストを前記ペースト回収部上に移動する第４の工程と、を備えるペースト回収方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、被摺動体と回収板との間に隙間が生じ難くなるため、より確実にペーストを回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置を示す分解斜視図である。
【図３】図３は、本発明の一実施の形態に係る第１のペースト回収装置を示す斜視図である。
【図４】図４は、本発明の一実施の形態に係る第１のペースト回収装置を示す分解斜視図である。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態に係る回収板を上方から視た斜視図である。
【図６】図６は、本発明の一実施の形態に係る回収板を下方から視た斜視図である。
【図７】図７は、図３のVII-VII線に沿った断面図である。
【図８】図８は、図３のVIII-VIII線に沿った断面図である。
【図９】図９は、図３のIX部の部分拡大図である。
【図１０】図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る第２の可動部の動作を説明するための図である。
【図１１】図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作（その１）を説明するための断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作（その２）を説明するための断面図である。
【図１３】図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作（その３）を説明するための断面図である。
【図１４】図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作（その４）を説明するための断面図である。
【図１５】図１５（Ａ）〜図１５（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作（その５）を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明で用いる図は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施の形態に係る印刷装置を示す斜視図、図２は本発明の一実施の形態に係る印刷装置を示す分解斜視図である。
【００１８】
図１に示す印刷装置１は、スクリーン印刷法を用いて所定のパターン１４０（図１３（Ａ）参照）を形成するためのパターン形成装置である。この印刷装置１は、マスク１００上に供給されたペースト１３０をスキージ４によりマスク１００の貫通孔１０１（図１３（Ａ）参照）に対して押し込み通過させることで基材１２０（図１３（Ａ）参照）上にパターン１４０を形成する。ペーストを構成する材料としては、特に限定されないが例えば、半田や銀や銅などの導電性材料に、熱硬化性樹脂等の樹脂材料や溶媒が含まれる。基材１２０としては、特に限定されないが例えば、ガラスエポキシ樹脂や、ポリエチレンテレフタレート（Polyethylene terephthalate，ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（Polyethylene naphthalate，ＰＥＮ）、ポリイミド（Polyimide，ＰＩ）等の材料からなるフレキシブル基板や、導電性材料の周りを樹脂で被覆したフラットケーブル等が挙げられる。本実施形態における「ペースト１３０」が本発明における「ペースト」の一例に相当する。
【００１９】
この印刷装置１は、図１及び図２に示すように、ステージ２と、スキージヘッド３と、第１のスキージ４Ａと、第２のスキージ４Ｂと、第１の移動部５１と、第２の移動部５２と、ディスペンサ６と、第１のペースト回収装置７Ａと、第２のペースト回収装置７Ｂと、を備えている。以下の説明では、必要に応じて、「第１のスキージ４Ａ」及び「第２のスキージ４Ｂ」を「スキージ４」と総称する。本実施形態における「スキージ４」が本発明における「摺動体」の一例に相当する。
【００２０】
ステージ２は、基材１２０を載置できる保持面２１を有している。保持面２１には、特に図示しない複数の吸引口が開口しており、基材１２０を吸着保持することが可能となっている。基材１２０を保持機構としては、特に上述に限定されない。ステージ２には、ステージ２を鉛直方向に沿って上下方向に移動させる第１の移動部５１が接続されている。第１の移動部５１としては、特に限定されないが例えば、モータ等を用いたラックアンドピニオンギア機構等を用いることができる。
【００２１】
マスク１００が張設されるマスク用枠体１１０は、ステージ２に対して相対的な位置が維持されるように装置フレーム（不図示）等に固定されている。マスク用枠体１１０は、矩形状の枠であり、その中央には、マスク１００の形状に対応する開口部が形成されている。
【００２２】
マスク１００は、ステージ２とスキージ４の間に配置されている。マスク１００は、面方向から加わる押圧力によって変形可能な程度の剛性を有している。マスク１００には、所定のパターン１４０に対応するように配置された複数の貫通孔１０１（図１３（Ａ）参照）が形成されている。本実施形態における「マスク１００」が本発明における「被摺動体」の一例に相当する。
【００２３】
ステージ２と対向するように第１のスキージ４Ａ及び第２のスキージ４Ｂが配置されている。第１のスキージ４Ａ及び第２のスキージ４Ｂは、幅方向（平面視においてスキージ４の摺動方向に対して直交する方向）において長尺なへら状の部材である。第１のスキージ４Ａは、マスク１００上を＋Ｘ方向に向かって摺動し、ペースト１３０の押込み・掻き取り動作を実行する場合に用いられる。第２のスキージ４Ｂは、マスク１００上を−Ｘ方向（第１のスキージ４Ａの摺動方向とは反対方向）に向かって摺動し、ペースト１３０の押込み・掻き取り動作を実行する場合に用いられる。
【００２４】
第１のスキージ４Ａ及び第２のスキージ４Ｂは、一つのスキージヘッド３に搭載されている。スキージヘッド３は、第１のスキージ４Ａ及び第２のスキージ４Ｂのそれぞれを独立して上下動させる機能を有する。第１のスキージ４Ａによる押し込み・掻き取り動作を実行する場合には、第１のスキージ４Ａを下降させて、第１のスキージ４Ａを第２のスキージ４Ｂに対してマスク１００に接近する側に突出させる。第２のスキージ４Ｂによる押し込み・掻き取り動作を実行する場合には、第２のスキージ４Ｂを下降させて、第２のスキージ４Ｂを第１のスキージ４Ａに対してマスク１００に接近する側に突出させる。
【００２５】
スキージヘッド３は、軸部５２１を介して第２の移動部５２に接続されている。第２の移動部５２は、スキージヘッド３を鉛直方向に沿って上下方向（Ｚ方向）に移動させる移動機構を有する。また、第２の移動部５２は、スキージヘッド３を軸部５２１の延在方向（Ｘ方向）に沿って移動させる移動機構を有する。第２の移動部５２としては、特に限定されないが例えば、モータ等を用いたラックアンドピニオンギア機構等を用いることができる。
【００２６】
第２の移動部５２によりスキージヘッド３を下降させ、スキージ４とマスク１００とを接触させた状態で、スキージ４の摺動の開始位置から終了位置に向けて水平方向に移動させることで、スキージ４の動作範囲において、マスク１００への押込み・掻き取りが実行される。これにより、基材１２０にマスク１００の貫通孔１０１の配置に対応する所定のパターン１４０が形成される（例えば、図１３（Ａ）参照）。なお、パターン１４０を形成した後、パターン１４０の形成に寄与しなかった残余のペースト１３０は、スキージ４によって、スキージ４の摺動の終了位置まで移動される。
【００２７】
本実施形態の印刷装置１は相互に反対方向に摺動する２つのスキージ４Ａ，４Ｂを有するが、この場合、第１のスキージ４Ａの摺動の終了位置と、第２のスキージ４Ｂの摺動の開始位置とは、実質的に一致する。また、第２のスキージ４Ｂの摺動の終了位置と、第１のスキージ４Ａの摺動の開始位置とは、実質的に一致する。
【００２８】
なお、スキージ４とマスク１００との相対的な移動が可能であれば、第２の移動部５２は特に上述に限定されない。例えば、特に図示しないが、移動機構によりマスク１００がスキージ４に対して水平移動してもよい。または、スキージ４及びマスク１００のそれぞれに移動機構を設け、これらの移動機構の同期駆動下において、スキージ４及びマスク１００を相対的に水平移動させてもよい。
【００２９】
ディスペンサ６は、図１及び図２に示すように、ペースト１３０を供給するための装置である。ディスペンサ６は、マスク１００を基準にしてスキージ４と同じ側に配置されており、マスク１００上にペースト１３０を供給する機能を有する。
【００３０】
図３は本発明の一実施の形態に係る第１のペースト回収装置を示す斜視図、図４は本発明の一実施の形態に係る第１のペースト回収装置を示す分解斜視図、図５は本発明の一実施の形態に係る回収板を上方から視た斜視図、図６は本発明の一実施の形態に係る回収板を下方から視た斜視図、図７は図３のVII-VII線に沿った断面図、図８は図３のVIII-VIII線に沿った断面図、図９は図３のIX部の部分拡大図である。
【００３１】
第１のペースト回収装置７Ａ及び第２のペースト回収装置７Ｂは、スキージ４がマスク１００上を摺動することで、基材１２０上にペースト１３０による所定のパターン１４０が形成された後、マスク１００上に残余するペースト１３０を回収するための装置である。第１のペースト回収装置７Ａは、第１のスキージ４Ａに対応して設けられ、第２のペースト回収装置７Ｂは、第２のスキージ４Ｂに対応して設けられている。第２のペースト回収装置７Ｂは、第１のペースト回収装置７Ａに対して鏡対称に配置されている点で第１のペースト回収装置７Ａと相違するが、基本的な構成は第１のペースト回収装置７Ａと同様である。したがって、以下の説明では、第１のペースト回収装置７Ａについて詳細に説明し、第２のペースト回収装置７Ｂについては、繰り返しの説明を省略して、第１のペースト回収装置７Ａでした説明の内容を援用する。本実施形態における「第１のペースト回収装置７Ａ」及び「第２のペースト回収装置７Ｂ」が本発明における「ペースト回収装置」の一例に相当する。
【００３２】
第１のペースト回収装置７Ａは、図３及び図４に示すように、枠部７０と、回収板７１と、吸着部７２と、保持部材７３と、第１の可動部７４と、第２の可動部７５と、冷却部７６と、加熱部７７とを備えている。本実施形態における「回収板７１」が本発明における「回収板」の一例に相当し、本実施形態における「吸着部７２」が本発明における「吸着手段」の一例に相当し、本実施形態における「保持部材７３」が本発明における「保持部材」の一例に相当し、本実施形態における「冷却部７６」が本発明における「冷却手段」の一例に相当し、本実施形態における「加熱部７７」が本発明における「加熱手段」の一例に相当し、本実施形態における「第１の可動部７４」が本発明における「可動手段」の一例に相当する。
【００３３】
枠部７０は、図２に示すように、マスク用枠体１１０に取り付けられており、マスク用枠体１１０の開口部の内部に配置された矩形状の枠である。この枠部７０は、スキージ４の動作範囲に対応して開口する開口部を有している。本実施形態では、第１のペースト回収装置７Ａと第２のペースト回収装置７Ｂとは、共通の枠部７０を有している。
【００３４】
回収板７１は、図３〜図６に示すように、平面視において略矩形の板状部材である。回収板７１は、枠部７０の開口部の内部に配置されている。この回収板７１は、第１のスキージ４Ａの動作範囲の一部と重複するように配置されており、具体的には、その一部が第１のスキージ４Ａの摺動の終了位置上となるように配置されている。本実施形態の回収板７１は、側方から視た場合に、直線状となっている。なお、回収板７１は、側方から視た場合に、曲線状であってもよい。
【００３５】
このような回収板７１を構成する材料としては、マスク１００との密着性を確保する観点から、弾性に富んだ材料を用いるがことが好ましい。特に限定されないが例えば、ばね鋼やシリコーンゴム等を用いることができる。
【００３６】
この回収板７１は、第１の回収板端部７１０１と、第２の回収板端部７１０２とを有している。第１の回収板端部７１０１及び第２の回収板端部７１０２は、第１のスキージ４Ａの摺動方向における回収板７１の端部である。第１の回収板端部７１０１の長さ及び第２の回収板端部７１０２の長さは、スキージ４の幅よりも大きくなっている。本実施形態における「第１の回収板端部７１０１」が本発明における「第１の回収板端部」の一例に相当し、本実施形態における「第２の回収板端部７１０２」が本発明における「第２の回収板端部」の一例に相当する。
【００３７】
回収板７１の上面７１１は、回収板７１の主面のうち回収板７１を基準にしてスキージ４側に位置する主面である。上面７１１は、第１のスキージ４Ａと接触可能となっており、本実施形態では、回収板７１の第２の回収板端部７１０２の側から第１のスキージ４Ａが乗り上がることができるようになっている。この上面７１１には、第１のスキージ４Ａにより移動された残余のペーストを回収するペースト回収部７１１１が設けられている。このペースト回収部７１１１は、第１のスキージ４Ａが乗り上がる部分に対応して形成されており、具体的には、第１のスキージ４Ａの幅以上の幅を有し、回収板７１の第２の回収板端部７１０２の略中央に対応して形成されている。
【００３８】
このペースト回収部７１１１は、図５に示すように、当該ペースト回収部７１１１上に第１のスキージ４Ａを案内し易くするため、第２の回収板端部７１０２に向かうに従い回収板７１の厚みが漸次的に減少するように傾斜して形成されている。ペースト回収部７１１１が傾斜して形成されていることで、回収板７１とマスク１００との間に段差が形成され難くなり、第１のスキージ４Ａを上面７１１上に滑らかに案内することができる。本実施形態における「上面７１１」が本発明における「第１の面」の一例に相当する。
【００３９】
回収板７１の下面７１２は、回収板７１の主面のうち回収板７１を基準にしてステージ２側（マスク１００側）に位置する上面７１１の反対側の主面である。この下面７１２は、図６に示すように、略平坦に形成されている。下面７１２は、図６〜図８に示すように、第１の下面端部７１２１と、第２の下面端部７１２２とを有している。詳細は後述するが、第１の下面端部７１２１は、マスク１００と接触可能となっている。
【００４０】
なお、回収板７１の第１の回収板端部７１０１は、第２の下面端部７１２２側に位置している。また、回収板７１の第２の回収板端部７１０２は、第１の下面端部７１２１側に位置している。本実施形態における「下面７１２」が本発明における「第２の面」の一例に相当し、本実施形態における「第１の下面端部７１２１」が本発明における「第２の面の一端」の一例に相当し、本実施形態における「第２の下面端部７１２２」が本発明における「第２の面の他端」の一例に相当する。
【００４１】
吸着部７２は、図３、図４、及び図８に示すように、マスク１００に吸着することで第１の下面端部７１２１がマスク１００に接触した状態を保持する機能を有する。吸着部７２は、吸着パッド７２１と、凹部７２２と、負圧発生源７２３と、を含んでいる。本実施形態における「吸着パッド７２１」が本発明における「吸着パッド」の一例に相当し、本実施形態における「凹部７２２」が本発明における「凹部」の一例に相当し、本実施形態における「負圧発生源７２３」が本発明における「負圧発生源」の一例に相当する。
【００４２】
吸着パッド７２１は、図３及び図４に示すように、回収板７１の両端（具体的には、長辺７１０１の両端）に対応して設けられている。吸着パッド７２１は、図８に示すように、回収板７１の両端に形成された回収板７１を厚さ方向に貫通する複数の取付穴７１３（本実施形態では、２つ）に嵌め込まれている。回収板７１の上面７１１には、吸着パッド７２１を内部に収容し、吸着パッド７２１を外部から保護するカバー７２１１が取り付けられている。吸着パッド７２１は、全体として回収板７１の厚さ方向に延在し、下側に向かうに従い漸次的に拡径する円錐台形状を有している。吸着パッド７２１は、配管Ｆ２を介して負圧発生源７２３に接続されている。吸着パッド７２１の下面には、下側（マスク１００側）に開口する吸着口７２１２が形成されている。なお、図４においては、配管Ｆ２を二点鎖線により表示しているが、実際は、吸着パッド７２１と負圧発生源７２３との間に配管が布設されている。
【００４３】
吸着パッド７２１は、回収板７１の姿勢及びマスク１００の形状に応じて変形可能な材料により構成されている。このような吸着パッド７２１を構成する材料としては、特に限定されないが例えば、公知のゴム材料が含まれる。
【００４４】
凹部７２２は、図６及び図７に示すように、下面７１２に設けられた、下面７１２上で開口する略矩形の断面形状を有する直線状の溝部である。複数の凹部７２２は、相互に並列されている。凹部７２２は、第１の下面端部７１２１の近傍に、第１の下面端部７１２１に沿って延在するように形成されている。凹部７２２は、上面７１１上に第１のスキージ４Ａが進入する領域に対応するように形成されており、平面視において、第１のスキージ４Ａの動作範囲と重複するように形成されている。図６の部分拡大図に示すように、凹部７２２の両方の端部は閉塞している。なお、凹部７２２は、直線状の溝に限らず、曲線状の溝であってもよい。また、凹部７２２は、溝に限定されず、半球形状の凹部であってもよいし、円柱形状の凹部であってもよい。
【００４５】
それぞれの凹部７２２は、その一端近傍で貫通孔７２２１と連通している。貫通孔７２２１は、一端が上面７１１で開口し、他端が凹部７２２内で開口する回収板７１の厚み方向に沿って回収板７１を貫通する貫通孔である。貫通孔７２２１の一端は、配管Ｆ３を介して負圧発生源７２３に接続されている。結果として、凹部７２２は、貫通孔７２２１及び配管Ｆ３を介して負圧発生源と接続している。これにより、負圧発生源７２３が作動すると、配管Ｆ３及び貫通孔７２２１を介して、凹部７２２の内部を負圧とすることができる。なお、図４においては、配管Ｆ３を二点鎖線により表示しているが、実際は、貫通孔７２２１と負圧発生源７２３との間に配管が布設されている。
【００４６】
負圧発生源７２３は、図４に示すように、配管Ｆ１を介して供給部７６７から吹出口７６１に冷媒が供給されることにより負圧を発生させている。このような負圧発生源７２３としては、特に限定されないが例えば、配管Ｆ１上に設けられる真空エジェクタを用いることができる。なお、図４においては、配管Ｆ１を二点鎖線により表示しているが、実際は、吹出口７６１と供給部７６７の間（具体的には、供給部７６７と負圧発生源７２３の吸入口との間、及び、負圧発生源７２３の吐出口と吹出口７６１との間）に配管が布設されている。
【００４７】
保持部材７３は、図７及び図８に示すように、回収板７１の第１の回収板端部７１０１の近傍を保持している。この保持部材７３は、図３及び図４に示すように、板状の部材であり、枠部７０の開口部の内部に配置されている。保持部材７３の外形を構成する１辺の略中央部分には、平面視において、回収板７１を配置可能な大きさを有する切欠き７３１が形成されている。この切欠き７３１の内部に回収板７１が配置されている。保持部材７３を構成する材料としては、特に限定されないが例えば、アルミ合金やステンレス（ＳＵＳ）等が含まれる。
【００４８】
図９に示すように、回収板７１と保持部材７３とは、複数の第１の可動部７４（本実施形態では、２つ）を介して接続されている。この第１の可動部７４は、２つのヒンジブラケット７４１，７４２と、回転軸であるヒンジピン７４３とを含むヒンジである。ヒンジブラケット７４１は、回収板７１の第１の回収板端部７１０１の近傍にボルトを介して取り付けられ、ヒンジブラケット７４２は、保持部材７３にボルトを介して取り付けられている。ヒンジピン７４３は、２つのヒンジブラケット７４１，７４２の３つの孔に挿通され、カシメや圧入によって固定されている。ヒンジピン７４３は、鉛直方向に対して交差する方向（本実施形態では、直交する方向）に延在している。ヒンジブラケット７４１，７４２は、ヒンジピン７４３を中心に回転可能に連結されている。
【００４９】
回収板７１は、第１の可動部７４を介して保持部材７３に接続されることで、ヒンジピン７４３を中心に回転可能となっている。これにより、回収板７１の第２の回収板端部７１０２が、第１の回収板端部７１０１に対して、鉛直方向（図中Ｚ方向）に相対的に移動可能となっている。
【００５０】
図９に示すように、保持部材７３と枠部７０とは、複数の第２の可動部７５（本実施形態では、４つ）を介して連結されている。保持部材７３は、上下方向に移動自在となるように枠部７０から垂設されている。
【００５１】
この第２の可動部７５は、リニアシャフト７５１と、リニアブッシュ７５２とを含んでいる。リニアシャフト７５１は、リニアブッシュ７５２の拘束孔７５３内を鉛直方向に沿って上下動する移動子である。リニアシャフト７５１は、ブラケットを介して枠部７０に固定されている。リニアブッシュ７５２は、保持部材７３に取り付けられている。リニアブッシュ７５２は、リニアシャフト７５１が挿通可能な鉛直方向に沿って延在する拘束孔７５３を有している。拘束孔７５３の内面には、リニアシャフト７５１を滑らかに上下動させるためのガイドボール（不図示）が設けられている。
【００５２】
第２の可動部７５は、保持部材７３（回収板７１）の姿勢をマスク１００の姿勢や形状に追従させるために設けられている。例えば、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すように、傾斜した姿勢のマスク１００とペースト回収装置７Ａとが接触した場合、複数の第２の可動部７５のそれぞれが独立して上下動することで、マスク１００の姿勢に応じて保持部材７３の姿勢が調整される。保持部材７３の姿勢をマスク１００の姿勢に追従させることで、マスク１００と回収板７１（第１の下面端部７１２１）との接触状態が保持され易くなる。
【００５３】
冷却部７６は、ペースト回収部７１１１を冷却する機能を有する。この冷却部７６は、ペースト回収部７１１１に向けた冷却を行うことで、当該ペースト回収部７１１１上の残余のペースト１３０を冷却し、ペースト１３０の表面の流動性を低下させる程度（ペースト１３０の表面を硬化させる程度）の冷却能力を有する。例えば、スキージ４の長さが３００ｍｍである場合、−５〜１０℃の冷媒を１００〜６００L／min程度で吹き出すことができる程度の冷却能力を有する。
【００５４】
この冷却部７６は、図４に示すように、吹出口７６１と、冷媒を供給する供給部７６７と、吹出口７６１と供給部７６７とを接続する配管Ｆ１と、を含んでいる。本実施形態における「吹出口７６１」が本発明における「吹出口」の一例に相当し、本実施形態における「供給部７６７」が本発明における「供給手段」の一例に相当し、本実施形態における「配管Ｆ１」が本発明における「流路」の一例に相当する。
【００５５】
吹出口７６１は、図４及び図７に示すように、ペースト回収部７１１１に向けて開口しており、ペースト回収部７１１１に向けて冷媒を吹き付けることができる。吹出口７６１は、回収板７１の上面７１１と吹出口形成部７６２とにより構成されている。吹出口形成部７６２は、回収板７１の上面７１１に設けられている。吹出口形成部７６２は、回収板７１の上面７１１と略平行に延在する矩形状の主部７６３と、主部７６３の３辺に対応して設けられた壁状部７６４と、主部７６３の残余の１辺に対応して設けられた規制部７６５と、を有している。
【００５６】
主部７６３は、回収板７１の上面７１１と離間して配置されている。上面７１１と主部７６３との間には、冷媒が流れる流路が形成される。壁状部７６４は、主部７６３から回収板７１側に向けて起立している。壁状部７６４は、回収板７１の上面７１１と接触しており、回収板７１の上面７１１と主部７６３との間から冷媒が漏れ出るのを防いでいる。規制部７６５は、上面７１１と離間して配置されている。これにより、規制部７６５と上面７１１との間には、開口７６６が形成され、この開口７６６から冷媒が吹き出すことができる。また、規制部７６５は、冷媒の吹出方向を規制しており、冷媒の風向をペースト回収部７１１１に向かう方向に偏向させている。具体的には、この規制部７６５は、側方から視た場合に、主部７６３から離れるに従い上面７１１に接近するように傾斜している。なお、本実施形態では、吹出口７６１から吹き出す冷媒の風向をペースト回収部７１１１に向かう方向に偏向し易くするため、回収板７１の上面７１１を規制部７６５の延在方向と略平行に延在するように傾斜させている。
【００５７】
吹出口形成部７６２を構成する材料としては、冷却部７６を動作させたときに、吹出口形成部７６２の表面に結露が生じるのを抑えるため、断熱性を有する材料を用いることが好ましい。吹出口形成部７６２を構成する材料としては、特に限定されないが例えば、ウレタン、ポリエチレン（Polyethylene，ＰＥ）、ポリオキシメチレン（Polyoxymethylene，ＰＯＭ）等の樹脂材料や、発泡樹脂材料等が含まれる。
【００５８】
供給部７６７は、冷媒を生成し、吹出口７６１に冷媒を供給する機能を有する。供給部７６７としては、例えば、冷凍式エアドライヤや吸着式エアドライヤ等の公知のエアドライヤ等を用いる。冷媒としては、乾燥した冷却空気を用いることが好ましい。
【００５９】
冷却部７６は、吹出口７６１から常時冷媒を吹き出していてもよいし、残余のペースト１３０が回収されたタイミングに合わせて冷媒を吹き出してもよい。なお、冷却部７６は、特に上述に限定されず、例えばペルチェ素子等を用いた冷却手段であってもよい。
【００６０】
加熱部７７は、図３及び図４に示すように、上面７１１と対向するように配置されている。加熱部７７は、回収板７１との相対的に位置関係が維持されるように、特に図示しない装置フレーム等に固定されている。この加熱部７７は、冷却された残余のペースト１３０を再度利用する際に、ペースト１３０を常温まで加熱する機能を有する熱源である。本実施形態では、加熱部７７は、ペースト回収部７１１１に向けて熱エネルギを照射している。このような加熱部７７としては、例えば、ヒータ、赤外線ランプ、温風供給装置等を用いる。
【００６１】
次に、本実施形態のペースト回収装置７によるペースト回収方法及びその作用について説明する。
【００６２】
本実施形態における印刷装置１の動作について説明する。図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、  図１２、図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）、及び図１５（Ａ）〜図１５（Ｃ）は本発明の一実施の形態に係る印刷装置の動作を説明するための断面図である。
【００６３】
まず、マスク１００が張設されたマスク用枠体１１０を準備する。マスク用枠体１１０を、印刷装置１の装置フレーム（不図示）等に取り付ける。第１のペースト回収装置７Ａ及び第２のペースト回収装置７Ｂを準備する（第１の工程）。そして、第１のペースト回収装置７Ａ及び第２のペースト回収装置７Ｂをマスク用枠体１１０に取り付ける。そして、ステージ２上に基材１２０を載置し、第１の移動部５１によりステージ２を上昇させる。基材１２０とマスク１００との距離が所定の距離となったら、第１の移動部５１を停止して、ステージ２を待機させる。
【００６４】
ここで、本実施形態の回収板７１では、第２の回収板端部７１０２は、第１の回収板端部７１０１に対して、鉛直方向に相対的に移動可能となっている。この場合、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示すように、第１のペースト回収装置７Ａをマスク用枠体１１０に取り付けたとき、第１の下面端部７１２１がマスク１００の上面と接触すると、ヒンジピン７４３を中心に回収板７１が回転して、第２の回収板端部７１０２が、第１の回収板端部７１０１に対して、鉛直方向上側に向かって相対的に移動する。これにより、回収板７１は、第１の下面端部７１２１が第２の下面端部７１２２よりも、上面７１１に対して下面７１２側に位置するように傾斜する姿勢で配置される（第２の工程）。
【００６５】
このとき、第１の下面端部７１２１は、マスク１００と接触した状態となり、第２の下面端部７１２２は、マスク１００の上面と離間しており、マスク１００と非接触な状態となっている。回収板７１が上記の姿勢となることで、回収板７１のうち第１の下面端部７１２１の近傍のみがマスク１００と接触した状態となるので、第１の下面端部７１２１をマスク１００に密着させることが可能となる。
【００６６】
図１２に示すように、吸着部７２がマスク１００に吸着することで、第１の下面端部７１２１がマスク１００に接触した状態を保持する（第３の工程）。吸着部７２のうち吸着パッド７２１は、回収板７１及びマスク１００の姿勢やマスク１００の形状に応じて変形できる柔軟な材料により構成されており、回収板７１とマスク１００の接触状態に応じて吸着パッド７２１が変形する。これにより、吸着口７２１２がマスク１００と密着し易くなり、第１の下面端部７１２１とマスク１００との接触状態が保持され易くなる。
【００６７】
また、回収板７１の下面７１２に形成された凹部７２２には、負圧発生源７２３が接続されている。この負圧発生源７２３により凹部７２２とマスク１００との間を負圧にすることで、回収板７１をマスク１００に吸着させることができる。これにより、第１の下面端部７１２１とマスク１００との接触状態がさらに保持され易くなる。
【００６８】
ここで、回収板７１は、弾性に富んだ材料により構成されている。このため、吸着部７２を動作させたときに、回収板７１がマスク１００の形状等に応じて変形することができるので、第１の下面端部７１２１とマスク１００との接触状態がさらに保持され易くなる。
【００６９】
次に、ディスペンサ６によりマスク１００上にペースト１３０を供給する。第１のスキージ４Ａが突出した状態で、第２の移動部５２によりスキージヘッド３を下降させて、第１のスキージ４Ａとマスク１００とを接触させる。これにより、第１のスキージ４Ａからの押圧力を受けて、マスク１００が基材１２０と接触する程度に下方に撓み変形する。そして、図１３（Ａ）に示すように、第２の移動部５２を動作させて、第１のスキージ４Ａを＋Ｘ方向に沿ってマスク１００上を摺動させる。第１のスキージ４Ａからの押圧力により、マスク１００の貫通孔１０１をペースト１３０が通過し、基材１２０上に付着する。これにより、基材１２０上に所定のパターン１４０が形成される。
【００７０】
この場合、スキージ４がマスク１００上を摺動することで、マスク１００の撓み変形の程度が変化する。これに対し、本実施形態の回収板７１は、第１の可動部７４を介して、保持部材７３に接続されているため、マスク１００の形状が変化しても、回収板７１の姿勢がマスク１００の形状に追従するため、第１の下面端部７１２１とマスク１００との接触状態を保持できる。
【００７１】
第１のスキージ４Ａは、パターン１４０を形成した後、パターン１４０の形成に寄与しなかった残余のペースト１３０を伴って第１のペースト回収装置７Ａの回収板７１に向かって移動する。そして、図１３（Ｂ）に示すように、第１のスキージ４Ａは、ペースト回収部７１１１上に乗り上げるように進入する。残余のペースト１３０は、第１のスキージ４Ａに伴って、ペースト回収部７１１１に移動し（第４の工程）、当該ペースト回収部７１１１上に保持される。これにより、残余のペースト１３０が第１のペースト回収装置７Ａにより回収される。
【００７２】
このとき、従来では、ペーストの回収機構がマスクの姿勢や形状に追従できずに、回収機構とマスクとの間に隙間が生じてしまうことがあった。このため、マスク上にペーストが残存してしまい、ペーストを十分に回収することができない場合があった。このように、回収できなかった大量のペーストは、廃棄されてしまうことになるため、経済的に好ましくない。特に、近年では、高価な材料を含むペーストが用いられており、ペーストをより確実に回収することが求められていた。
【００７３】
これに対し、本実施形態の第１のペースト回収装置７Ａでは、第２の回収板端部７１０２を第１の回収板端部７１０１に対して、鉛直方向に相対的に移動可能とし、第２の回収板端部７１０２を第１の回収板端部７１０１に対して鉛直方向に相対的に移動させることで、第１の下面端部７１２１が第２の下面端部７１２２よりも上面７１１に対して下面７１２側に位置するように回収板７１を傾斜した姿勢にすることができる。これにより、第１の下面端部７１２１がマスク１００に接触すると共に、第２の下面端部７１２２がマスク１００に非接触となり、第１の下面端部７１２１がマスク１００により確実に接触した状態にすることができる。このため、第１の下面端部７１２１をマスク１００に密着させることが可能となる。そして、吸着部７２によりマスク１００を吸着することで、第１の下面端部７１２１がマスク１００に接した状態を保持している。これにより、第１の下面端部７１２１がマスク１００から離れるのを抑えることができる。
【００７４】
特に、回収板７１を、第１の下面端部７１２１がマスク１００と接触し、第２の下面端部７１２２がマスク１００と非接触となる姿勢とすることで、回収板７１のうち第１の下面端部７１２１の近傍のみがマスク１００と接触する。このため、マスク１００の姿勢や形状に因らず、第１の下面端部７１２１とマスク１００との接触状態が維持され易い。この結果、残余のペースト１３０を回収することができる。
【００７５】
次に、図１４（Ａ）に示すように、第２の移動部５２によりスキージヘッド３を上昇させて、第１のスキージ４Ａを回収板７１上から退避させる。
【００７６】
次に、図１４（Ｂ）に示すように、残余のペースト１３０がペースト回収部７１１１上に移動した後、冷却部７６によりペースト回収部７１１１上の残余のペースト１３０を冷却する。ここでは、冷却部７６の吹出口７６１から冷媒である冷却空気を、上面７１１上の残余のペースト１３０に向けて吹き付けてペースト１３０を冷却し、ペースト１３０の表面を硬化させて、ペースト１３０を流動し難くする。これにより、上面７１１上から残余のペースト１３０が脱落するのを抑えることができる。このとき、本実施形態では、吹出口７６１を構成する吹出口形成部７６２を、断熱性を有する材料で構成している。このため、冷却部７６を動作させたときに、吹出口形成部７６２の表面で結露が生じ難い。これにより、上面７１１上に保持する残余のペースト１３０に結露した液滴が混入してしまうのを抑えることができる。
【００７７】
そして、ペースト回収部７１１１上に保持された残余のペースト１３０を再度利用する場合には、図１５（Ａ）に示すように、加熱部７７によりペースト回収部７１１１上の残余のペースト１３０を加熱する。これにより、ペースト１３０が軟化して、ペースト１３０が流動し易くなる。そして、図１５（Ｂ）に示すように、第２のスキージ４Ｂが突出した状態で、第２の移動部５２によりスキージヘッド３を下降させて、第２のスキージ４Ｂと回収板７１とを接触させる。そして、図１５（Ｃ）に示すように、第２の移動部５２を動作させて、第２のスキージ４Ｂを−Ｘ方向に向かって移動させる。第２のスキージ４Ｂは、回収板７１の上面７１１上のペースト１３０を伴って、回収板７１の上面７１１上からマスク１００上へ移動し、第２のペースト回収装置７Ｂに向かって移動しながらペースト１３０の押込み・掻き取り動作を実行する。
【００７８】
なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００７９】
例えば、上述の実施形態では、スクリーン印刷法を用いたパターン形成装置に設けられるペースト回収装置について説明したが、特にこれに限定されず、平板状の版を用いるグラビア印刷法を用いたパターン形成装置に設けられていてもよい。この場合、被摺動体である凹版をステージ上に載置して、摺動体であるドクタブレードの動作範囲の一部と重なるように回収板を配置すればよい。この場合、ドクタブレードが摺動する平板状の版が、本発明における被摺動体の一例に相当する。
【符号の説明】
【００８０】
１…印刷装置
２…ステージ
３…スキージヘッド
４Ａ，４Ｂ…第１及び第２のスキージ
５１…第１の移動部
５２…第２の移動部
５２１…軸部
６…ディスペンサ
７Ａ，７Ｂ…第１及び第２のペースト回収装置
７０…枠部
７１…回収板
７１０１，７１０２…第１及び第２の回収板端部
７１１…上面
７１１１…ペースト回収部
７１２…下面
７１２１，７１２２…第１及び第２の下面端部
７１３…取付穴
７２…吸着部
７２１…吸着パッド
７２１１…カバー
７２１２…吸着口
７２２…凹部
７２２１…貫通孔
７２３…負圧発生源
７３…支持部
７３１…切欠き部
７４…第１の可動部
７４１，７４２…ヒンジブラケット
７４３…ヒンジピン
７５…第２の可動部
７５１…リニアブッシュ
７５２…リニアシャフト
７５３…拘束孔
７６…冷却部
７６１…吹出口
７６２…吹出口形成部
７６３…主部
７６４…璧状部
７６５…先端部
７６６…開口
７６７…供給部
７７…加熱部
Ｆ１〜Ｆ３…配管
１００…マスク
１０１…貫通孔
１１０…マスク用枠体
１２０…基材
１３０…ペースト
１４０…パターン
【図１】
0006700112.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006700112.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0006700112.tif 000007
【図７】
0006700112.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006700112.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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