(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スケールと、前記スケールと対向配置されスケールを走査して位置情報を得るセンサユニットと、
これらスケールとセンサユニットとを収納するハウジングとを有し、
前記センサユニットは支持基材となるベッド上に載置され、
前記ベッド下部にはフットが形成されていて測定対象物に固定されるスキャニングヘッドと結合し、
前記ベッドには動作方向に対する横揺れを抑制するダイナミックダンパーが備えられ、かつこのダイナミックダンパーは質量部材と弾性部材とを組み合わせて構成され、前記弾性部材を介して、センサユニットと動作方向において縦並びの位置となるように前記ベッド上に固定されているリニアエンコーダ。
【請求項２】
前記ダイナミックダンパーは、前記ベッド上に弾性部材、質量部材の順に縦並びに配置されている請求項１のリニアエンコーダ。
【請求項３】
前記ダイナミックダンパーの弾性部材は、アクリル系粘着剤でありそれ自体の粘着力により固定面に固定されている請求項１または２のリニアエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械等精密な位置測定が必要な環境において相対移動量の測定に好適なリニアエンコーダに関するものであり、特にスケールとこのスケール上に刻印された測定用パターンを読み取る読み取りヘッドとが所定のギャップを空けて移動するリニアエンコーダの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
工作機械などの加工装置では、加工精度を上回る位置決め精度が要求される。近年の加工技術においてはより高精度の加工が可能になり、それに伴い要求される位置決め精度も向上している。高精度の位置決めを行うためには高い精度を有する位置測定装置が必要であり、このような要求を満たす測定装置としてリニアエンコーダが知られている。
【０００３】
公知のリニアエンコーダの基本構成として、例えば特開２００７−０４０８７３号（特許文献１）の図９に開示される構成が知られている。このリニアエンコーダは、ガラススケールを滑走するスライダ、工作機械等の可動部に取り付けるための固定リンク等から構成されている。前記スライダは、変位を読み取るセンサ部、ガラススケールの振れを少なく滑走させるために板バネが設けられた左右の側部ガイドローラ、下部ガイドローラ等からなっている。
【０００４】
前記固定リンクは連結ピボットを介してセンサ部を有するスライダとバネの付勢力により浮遊状態に近い状態で連結され、リニアエンコーダは工作機械からの振動に対し追従性をもたせることができるようになっている。
【０００５】
しかし、近年工作機械を構成する部品の加工精度が向上し、各部の動作がより円滑になるとともに、振動やがたつき等の誤差要素のレベルも非常に小さくなっている。このため、例えば移動方向に対して垂直方向の不要な動作である振動も極めて小さくなり、測定に与える影響が無視できるレベルにまで低下している。このような現状においては、上記固定リンクのような測定対象に装着する部材とスライダのようなセンサユニットとの間に連結ピボットのような振動吸収機構を介在させる必要性も乏しくなってきた。また、このような振動吸収機構、干渉防止構造を設けると、それ自体にがたつきや、遊びがあるため、動作と停止を繰り返したり、反転動作時などにおいて誤差を生じる要因となる場合があった。
【０００６】
センサユニットを振動吸収機構を介在させずに、スケールと非接触状態で配置する試みもなされている。特開２０１４−１８２０５４号公報（特許文献２）の段落００３３には、「本発明のリニアエンコーダは、図７に示すように、断面縦長の長方形のハウジング１ａ，１ｂ内に、測定用のパターンが刻印されたスケール６が配置されている。」と記載され、さらに段落００３７には「センサユニット５は、支持基材となるベッド４上に載置され、ねじ４２により固定されている。このベッド４下部には進行方向投影面が肉薄になるフット４１が下方に向かって植設されていて、スキャニングヘッド３と結合している。スキャニングヘッド３には図１に示すように止め孔３１が形成されていて、測定対象となる装置の可動部２００に固定できるようになっている」と記載されている。
【０００７】
上記のように、この文献に記載されているリニアエンコーダは、センサユニットとスキャニングヘッドとが弾性部材を介在することなく剛性部材であるフットのみを介して結合しており、しかも前記センサユニットとスケールとも非接触状態を保持している。このように剛性部材のみを用いてセンサユニットとスキャニングヘッドとを結合させることで、上記文献１のがたつきや遊びを防止し、高精度な測定を可能にしている。
【０００８】
ところで、上記文献２のような構成のリニアエンコーダにおいて、例えば数ミクロンからコンマ数ミクロンの精度のスケールを計測に用い、この測定データを分割してピコオーダーの高精度な測定を実現しようとすると、特定の条件下で計測エラーを生じることがあった。このようなエラーを生じる条件は、エンコーダを構成する部材の規格や使用条件により区々であるが、通常の使用条件では殆ど顕在化しないためその現象事態を把握することが困難であった。
【０００９】
しかし、上記のような高精度の測定を行う場合、僅かな計測エラーが製品に致命的な欠陥を生じることがあるため、低頻度とはいえ看過できない現象であり、原因の究明と対策が求められていた。
【００１０】
特開２００６−１４７９８９号公報（特許文献３）には、振動による計測誤差及びステージ制御誤差を少なくすることができる計測装置及び、それを搭載した露光装置を提供することを目的として、 露光動作中のステージの移動に伴う振動が取り付け部を介して計測装置の筐体１３ａに伝達される場合であっても、計測装置の筐体１３ａに振動を抑制する弾性体５２と質量体５３を有するマスダンパ５０を設けることにより、振動のエネルギーがマスダンパ５０に消費されて計測装置に生ずる振動が抑制され、マーク計測時に計測誤差が小さくなり高精度の計測が可能になる計測装置、及び露光装置が開示されている。
【００１１】
しかし、この文献の計測装置は、実際には半導体露光装置のアライメントセンサであり、同文献図２や、段落００２５〜００３１、００３６等に記載されているように、照明光ＩＬ２、レンズ系２０，２２，２４，２５，２７，２９，３３，３５、ハーフミラー２３、ミラー２６、２８等の構成部材が筐体１３ａ内に納められた構造物であり、この筐体１３ａ上にマスダンパ５０が配置されている。そして、実際に移動作業を行うステージであるが、同文献段落００３９に記載されているように、「ウエハステージ６，７のステップ移動等に伴う振動がアライメントボディ１９、取付部１９ａを介して、アライメントセンサ１３に伝達され、アライメントセンサ１３の特に光学系の主要部を収容している上部収容部６１が振動することにより、計測精度に悪影響を与えるおそれがある」のでこれを防止するために設けられている。
【００１２】
つまり、この文献のマスダンパ５０は固定された構造物の防振が目的であり、移動ないし運動するセンサヘッドの防振に対する記述も示唆もない。また、特定の振動方向に対する抑制の検討もない。
【００１３】
ＤＥ１０２００８０６０８３９Ａ１（特許文献４）には振動ダンパーを備えた測定装置が開示されている。また、同文献図１および段落００２１〜００２３には、サーボモータ２００に取り付けられたエンコーダ１００と、このエンコーダ１００の筐体に取り付けられた、ゴム部材１１０と振動質量１２０からなる振動ダンパー１０５が開示されている。しかし、この振動ダンパー１０５はエンコーダ１００の中心部位１０１にねじが形成された接続部位１３０を介して固定されている。つまり、この振動ダンパー１０５もエンコーダの筐体と解釈できる中心部位に固定されているのであり、可動部位に取り付けられたものではない。また、ゴム部材１１０の具体例はプラスチックすなわち合成ゴムとしてＮＢＲ５０が例示されているに過ぎない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００７−０４０８７３号公報
【特許文献２】特開２０１４−１８２０５４号公報
【特許文献３】特開２００６−１４７９８９号公報
【特許文献４】ＤＥ１０２００８０６０８３９Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
解決しようとする問題点は、特に高精度な計測において、不規則に生じる計測ミスを防止し、安定した計測が可能なリニアエンコーダを提供することである。また、エンコーダを構成する構造物自体に障害が生じるような挙動を未然に防止することができるリニアエンコーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者らは上記問題が生じる原因を種々の角度から検討し、様々な実験を行って検証した結果、測定対象物から生じる機械振動がセンサユニットに伝搬し、これにセンサユニットおよび支持部材が共振するとセンサユニットの振動が増幅されて振動が増大し、その結果測定ミスが生じることを発見した。また、また、この共振現象が激しくなるとセンサユニットの支持部材が破損するという事故も生じる可能性があることが分かった。
【００１７】
このような共振現象を防止するためには、従来のようにセンサユニットと測定対象物との間に弾性部材を介在させ、振動が伝搬されないような構造も考えられるが、これでは上記のように測定精度が低下してしまう。このため、発明者らはセンサユニットの振動を抑制するため種々の手法を検討したが，中でもダイナミックダンパーをセンサユニットまたはその近傍に配置することが有効であることを見出した。
【００１８】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために以下の構成とした。
（１）スケールと、前記スケールと対向配置されスケールを走査して位置情報を得るセンサユニットと、
これらスケールとセンサユニットとを収納するハウジングとを有し、
前記センサユニットは支持基材となるベッド上に載置され、
前記ベッド下部にはフットが形成されていて測定対象物に固定されるスキャニングヘッドと結合し、
前記ベッドまたはセンサユニットには動作方向に対する横揺れを抑制するダイナミックダンパーが備えられ、かつこのダイナミックダンパーは質量部材と弾性部材とを組み合わせて構成され、前記弾性部材を介して取り付け面に固定されているリニアエンコーダ。
（２）前記ダイナミックダンパーは、センサユニットと動作方向に対する縦並びの位置に固定されている上記（１）のリニアエンコーダ。
（３）前記ダイナミックダンパーは、前記ベッド上に弾性部材、質量部材の順に縦並びに配置されている上記（１）または（２）のリニアエンコーダ。
（４）前記ダイナミックダンパーの弾性部材は、アクリル系粘着剤でありそれ自体の粘着力により固定面に固定されている上記（１）〜（３）のいずれかのリニアエンコーダ。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のリニアエンコーダによれば、特に高精度な計測において、不規則に生じる計測ミスを防止し、安定した計測が可能なリニアエンコーダを提供することが可能になる。また、エンコーダを構成する構造物自体に障害が生じるような挙動を未然に防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は本発明のリニアエンコーダの基本構成を示した側面図である。（実施例１）
【図２】図２は本発明のリニアエンコーダのエンコーダヘッドの正面図である。（実施例１）
【図３】図３は実施例２の加振試験における加振周波数に対するサンプルの振動加速度を示すグラフである。（実施例２）
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明のリニアエンコーダは、スケールと、前記スケールと対向配置されスケールを走査して位置情報を得るセンサユニットと、これらスケールとセンサユニットとを収納するハウジングとを有し、前記センサユニットは支持基材となるベッド上に載置され、前記ベッド下部にはフットが形成されていて測定対象物に固定されるスキャニングヘッドと結合し、前記ベッドまたはセンサユニットには動作方向に対する横揺れを抑制するダイナミックダンパーが備えられ、かつこのダイナミックダンパーは質量部材と弾性部材とを組み合わせて構成され、さらに前記弾性部材を介して取り付け面に固定されているものである。
【００２２】
このように、ダイナミックダンパーをセンサユニット近傍に備えることにより、センサユニットを含む構造体の共振現象を抑制し、過剰な振動による誤作動や破損現象を防止することができる。
【００２３】
ここで、センサユニットを含む構造体の共振現象とは、センサユニット、支持基材となるベッド、およびフット部分が、測定対象物からの振動に共振する現象であり、センサユニットが振り子のように振動する現象である。その原因として、
（１）測定対象物に固定されるスキャニングヘッドとセンサユニットが弾性体を介在させることなく機械的に直結されていること。
（２）高精度、高速測定を可能にするためフット部分の運動方向に対する投影面積（以下前方投影面積と称する）を極力小さくしたことで、フットが肉薄になり剛性の低下を招いたこと。
（３）振り子部分の重量であるセンサユニット自体の重量を低減させることが困難であること等が挙げられる。
【００２４】
その対策として、上記（１）に対しては弾性部材を介在させて振動を吸収することが考えられるが、既に述べたように高精度の測定を実現するためには、スキャニングヘッドとセンサユニット間に弾性体を介在させるのは望ましくない。（２）については、フットの剛性を高めるために肉厚にすることも考えられるが、高精度、高速測定を可能にするためにはフットの摺動抵抗が極力少ないことが望ましく、剛性確保のためにフットの前方投影面積を大きくするのは困難である。（３）については、センサユニットの軽量化も考えられるが、高精度測定用のセンサユニットは、各構成部品が精密に加工され、あるいは高度に管理されて製造されており、しかも部品の共通化により多くの種類のエンコーダに搭載されているため簡単には変更することはできない。
【００２５】
一方、測定対象となる装置から伝達される振動から機械的に共振点をずらすことも可能ではあるが、共振現象を生じる振動周波数は装着する装置、エンコーダの仕様により区々であり、それぞれに対応させるのは現実的ではない。
【００２６】
そこで、積極的な防振対策としてダイナミックダンパーを用いることが有効である。本発明におけるダイナミックダンパーは、質量部材と弾性部材とを組み合わせて構成されている。一般にダイナミックダンパーは質量である質量部材、減衰器としての減衰部材、バネとしての弾性部材から構成されるが、本発明では弾性部材が減衰部材の機能も果たす。
【００２７】
ダイナミックダンパーを構成する質量部材としては、ある程度の質量が得られる比較的密度の高い金属、ガラス、セラミック等の無機材料が好ましく、特に鉄、ステンレス、銅、黄銅、鉛、錫、チタン、タングステン、モリブデンなどの金属、あるいはこれらを２種以上用いた合金が好ましい。金属は加工が容易であり、質量の調整が容易であるという利点がある。質量部材の質量としては特に規制されるものではなく、抑制、減衰する共振特性に合わせて最適な質量に調整すればよい。一般的なセンサユニットであれば１〜１００ｇ、好ましくは８〜８０ｇの範囲で調整するとよい。なお、減衰特性をある程度犠牲にしてもハウジング内に収納可能な大きさであることが必要である。また、その形状も規制されるものではないが、六面体などの一般的なブロック形状が好ましく、弾性部材との接着面が全表面積の１／１０〜１／６の範囲で確保できる形状にするとよい。また、質量部材の揺動を容易にするために、接着面の面積を敢えて小さくしてもよく、例えば側面に段差部を形成して接着面近傍だけ側部外周が小さくなるように形成してもよい。
【００２８】
ダイナミックダンパーを構成する弾性部材は粘弾性部材とも称し、減衰器とバネの特性を併せ持つ部材であればよく、特に規制されるものではないが、天然、合成エラストマー系の材料が好ましい。また、粘性部材としての機能を併せ持つことでそれ自体が粘着剤として機能し、前記質量部材をそれ自身で固定することができる。具体的には天然ゴムに粘着付与剤を添加した天然ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤等を挙げることができ、これらの中でも耐候性、耐熱性、耐溶剤性などに優れ、必要な減衰特性を得られやすいアクリル系粘着剤が好ましい。天然ゴム系粘着剤はゴム分子中に不飽和結合を有することから、酸素や光の存在下で劣化しやすい。シリコーン系粘着剤は、耐熱性、耐薬品性、耐候性低温特性に優れるが、粘着力が高くなく、高価である。ウレタン系粘着剤も粘着力が弱いという問題がある。
【００２９】
アクリル系粘着剤は、アクリルモノマーを共重合することにより、粘着剤として必要な機能を持ったアクリルポリマーが合成される。粘着剤の合成に際しては、合成されるアクリルポリマーの接着性、適用可能な温度などに影響するガラス転移点（Ｔｇ）、耐久性、耐熱性などに影響する架橋点の導入、アクリルポリマーや架橋点の均一性に影響するアクリルモノマーの共重合性を考慮し、アクリルモノマーを選定すればよい。 
【００３０】
具体的なモノマーとしては、主モノマーでは：アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２-エチルヘキシル、アクリル酸イソノニル等が挙げられ、コモノマーでは：凝集力の向上のために用いられるものとして、酢酸ビニル、アクリルニトリル 、アクリルアミド、スチレン、メタクリル酸メチル、アクリル酸メチル等が挙げられ、架橋点の導入のための官能基含有モノマーとして、アクリル酸、アクリル酸ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリル酸グリシジル等が挙げられる。これらの材料の中から最適な材料を選択して用いればよいが、上記のモノマー以外でも必要に応じて適したモノマーを用いてもよいし、さらに種々の機能を付与したり、補うための添加剤を加えてもよい。 
【００３１】
弾性部材の厚みとしては、減振に必要な質量部材の振動、揺動、運動を妨げることなく、しかも振動を吸収できる厚みであればよく、最適な厚さに調整すればよく、その材質や硬度などにより異なるが、例えばアクリル系の場合好ましくは０．０５〜５mm、より好ましくは０．１〜２mmの範囲である。弾性部材に要求される粘性は、固定対象物の接着面に必要な強度で固定可能な粘度であればよく、要求される弾性を損なわない範囲で粘性を付与すればよい。一般的なタックとして具体的には室温における１８０°ピール試験（ASTM D3330 Peel Adhesion ）において１０N/10mm以上が好ましく、特に１２N/10mm以上が好ましい。弾性部材は、例えば市販の粘着テープの粘着層を用いることも可能である。
【００３２】
ダイナミックダンパーは、前記質量部材と弾性部材とが固定対象物に対して縦並びに積み重ねられて構成されている。この場合、固定対象物と質量部材との間に弾性部材が介在して両者を粘着・固定するように並べられる。
【００３３】
本発明のダイナミックダンパーが減衰する振動は、センサユニットの動作方向に対して横方向の振動であり、スケール平面に対して平行方向の振動である。この場合センサユニットの支点となるのはフットとスキャニングヘッドの結合部位であり、この周囲を中心にセンサユニットが振動するものと考えられる。このため、完全な横揺れではなく、摺動軸に対する回動を伴うローリングであると考えられる。ダイナミックダンパーにより得られる制震効果は、質量部材と弾性部材に使用する材料や質量により異なるが、振動を加速度（m/s2）で検出した場合、好ましくは１／６以下、より好ましくは１／１０以下に抑制することができる。
【００３４】
ダイナミックダンパーの固定位置は、主系であるセンサユニットにできるだけ近い位置で、しかも可能な限り高い位置であることが必要である。このため、センサユニットに直接固定することも考えられるが、センサユニットに悪影響を与えるおそれが皆無でないことやメンテナンスの点からは、センサユニットとは別の部位に固定するのがよい。具体的には、センサユニットの運動方向に対して縦並びの位置であり、ベッド上の開いたスペースに配置すればよい。このような位置であれば問題なくハウジング内に収納できる。つまり、ベッド上面あるいは、ベッド上に配置された構造物、またはこれらを覆うケースの上面に取り付けるのが望ましい。
【００３５】
もちろんセンサユニットに直接固定することを禁ずるものではないが、その場合には脱落防止、脱落時の安全機構等についても検討するべきである。なお、センサユニットは、例えば発光素子と受光素子とを備え、スケール上に形成されているパターンを電気信号に変換する。前記発光素子と受光素子とはスケールを挟んで対向配置される透過型と、一方の側だけに配置されている反射型とがある。何れのタイプにも本発明は適用可能であり、さらに磁気式や誘導式であってもよい。これら検出ユニットの詳細な構成は公知の文献から容易に得ることができる。
【００３６】
本発明におけるリニアエンコーダの他の基本構成は、一般的なリニアエンコーダと略同様であり、詳細な説明は省略する。
【実施例１】
【００３７】
図１、２は、本発明装置であるリニアエンコーダの１実施例を示した図であり、図１は側面図、図２はエンコーダヘッドの正面図である。
【００３８】
図１、２において、本発明のリニアエンコーダは、スケール６と、このスケール６を収納するハウジング１０、ハウジング１０内に収納されたスケールを走査して測定信号を生成するセンサユニット５とを有する。ハウジング１０は、装着する装置の筐体、基部など装置固定側に取り付けられ固定される。
【００３９】
このハウジング１０内部の上面に接着剤を介してスケール６が前記上面と平行に固定されている。この接着剤は弾性を有し、温度変化によるハウジング１０とスケール６との膨張、収縮率の差を吸収できるようになっている。
【００４０】
スケール６はガラスなどの透明な材料で形成されている。そして、前記接着面とは反対側に、測定のためのパターンが一定間隔で刻印されている。このパターンは、例えばクロムなどの金属材料を蒸着し、その際のパターニング、あるいはその後の工程でのエッチング等により形成される。スケールは、金属材料で形成することも可能であるが、熱による影響の少なさ、高精度化やパターン形成の容易さ等の点においてガラス系材料が優れている。
【００４１】
スケール６の下方にはセンサユニット５が一定のギャップを介して配置されている。このセンサユニット５には、前記スケール上に形成されてあるパターンを読み取るための光学センサおよびその光源となる発光素子、前記センサから出力される電気信号を処理するための電子回路等が搭載されている。前記スケール６の下面とセンサユニット５の表面との間の距離、つまりギャップを一定に保つことは、センサユニット５から出力される読み取り信号を安定させ、誤作動を防止したり精度を一定に保つ上で極めて重要な要素となる。
【００４２】
センサユニット５は、支持基材となるベッド４上に載置され、ねじにより固定されている。このベッド４下部には進行方向投影面が肉薄になるフット４１が下方に向かって延出していて、スキャニングヘッド３と一体に結合している。スキャニングヘッド３には図２に示すように止め孔３１が形成されていて、測定対象となる装置の可動部に固定できるようになっている。
【００４３】
また、ハウジング１０の下部にはフット４１が摺動可能なように開口部１１が形成され、さらにこの開口部１１にはハウジング内部への粉じんなどの侵入を防止するために、シール用のリップシール８が両側に配置され、フット４１が無い位置では開口中央部で閉じてハウジング内の気密性を高めている。このようなリップシール８に対する摺動抵抗を低減させ、高精度な測定を実現するためには、フット４１を可能な限り肉薄に形成することが要求される。
【００４４】
前記ベッド４上には図２に示すようにセンサユニット５と摺動方向において縦並びになるようにダイナミックダンパー２が配置されている。このダイナミックダンパー２は質量部材２１および粘弾性部材２２から構成され、さらにこの粘弾性部材２２によりベッド４上面４ａに粘着固定されている。この粘弾性部材２２はこの例ではアクリル系の粘着剤であり、鉄により形成された質量部材２１を固定している。
【００４５】
このように、ベッド上のセンサユニット５と摺動方向に対して縦並びの位置であるベッド４上にダイナミックダンパー２を配置することにより、効果的にセンサユニット５を含む構造物の共振現象を抑制することができる。特に、摺動方向に対する横揺れの抑制に効果がある。また、粘弾性部材を介して質量体である金属ブロックをベッド４上に載置固定するだけなので、取り付け取り外しも簡単であり、低コストで、既存の装置にも容易に対応することができる。
【実施例２】
【００４６】
実施例１で作成した図２に示すような構成のリニアエンコーダのヘッドおよびセンサアッセンブリである発明サンプルを製作した。ダイナミックダンパーには所定質量の四角いブロック状のステンレス鋼を６〜４０ｇの範囲で最適値に調整し、粘弾性部材には厚さ０．１〜１mmの範囲のアクリル系粘着テープを用いた。得られたダイナミックダンパー付きサンプルを加振装置に載置・固定し、センサユニット部に振動検出用加速度センサを取り付け、製品使用時に想定される５０〜２００m/s2 の範囲で加振を行い、５５〜２０００Hzの周波数範囲で振動周期を変化させて共振特性を測定した。また、ダイナミックダンパーを装着しない以外は前記サンプル１と同様の構成の比較サンプルも作成し、同様に測定を行った。結果を図３に示すが、図中、加振装置により加えた加速度をrefで表し、この振動に対する各センサユニット部の加速度を発明サンプルおよび比較サンプルとして表した。
【００４７】
図３から明らかなように、ダイナミックダンパーを装着した発明サンプルは比較サンプルに比べ共振点でのピーク強度が１／１０以下に抑えられていることが分かる。
【００４８】
なお、上記例ではセンサユニット５とダイナミックダンパーが摺動方向に対して縦並、図２に示す側面では横並びにベッド上に配置したエンコーダの構成を例示して説明したが、センサユニット５にダイナミックダンパーを直接取り付ける構成においても本発明は適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のリニアエンコーダは、図１，２に示すような構成のエンコーダのみならず種々の構成のエンコーダにも適用可能である。また、検出方式も光学式に限定されるものではなく、磁気式や誘導式でもよい。
【符号の説明】
【００５０】
２    ダイナミックダンパー
３    スキャニングヘッド
４    ベッド
５    センサユニット
６    スケール
８    リップシール
１０  ハウジング
１１  開口部
２１  質量部材
２２  粘弾性部材
４１  フット
【図１】
0006712827.tif 000002
【図２】
0006712827.tif 000003
【図３】
0006712827.tif 000004