(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って第１ピッチで配置された複数の固体発光素子を有する光源部と、
互いに対向するように前記第１方向に離隔して配置された一対の第１反射面を有する光学部材と、
前記光源部と前記光学部材との間に配置された集光光学系と、を備え、
前記光源部、前記集光光学系および前記光学部材は、前記複数の固体発光素子がそれぞれ発生した光が前記光学部材の入射端に入射し前記光学部材の射出端から射出され、かつ、前記複数の固体発光素子のそれぞれの像が前記射出端において重なるように配置されている、
ことを特徴とする光学系。
【請求項２】
前記第１ピッチをＬ１、各固体発光素子の配光分布のうち前記光学部材で光を取り込むべき配光分布の範囲を±θとしたときに、前記集光光学系によって定義される前記射出端の共役面と前記光源部の発光面との距離が、Ｌ１÷ｔａｎθ÷１０以内である、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学系。
【請求項３】
前記集光光学系の倍率をβ、前記一対の第１反射面の距離をＤ１としたときに、Ｄ１＝β×Ｌ１を満たす、
ことを特徴とする請求項２に記載の光学系。
【請求項４】
前記複数の固体発光素子は、二次元配列を構成するように配置され、前記二次元配列は、前記第１方向に関して前記第１ピッチを有し、前記第１方向に直交する第２方向に関して第２ピッチを有し、
前記光学部材は、互いに対向するように前記第２方向に離隔して配置された一対の第２反射面を更に有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学系。
【請求項５】
前記第１ピッチをＬ１、前記第２ピッチをＬ２、各固体発光素子の前記第１方向に関する配光分布のうち前記光学部材で光を取り込むべき配光分布の範囲を±θ１、各固体発光素子の前記第２方向に関する配光分布のうち前記光学部材で光を取り込むべき配光分布の範囲を±θ２としたときに、前記集光光学系によって定義される前記射出端の共役面と前記光源部の発光面との距離が、Ｌ１÷ｔａｎθ１÷１０以内、かつ、Ｌ２÷ｔａｎθ２÷１０以内である、
ことを特徴とする請求項４に記載の光学系。
【請求項６】
前記集光光学系の倍率をβ、前記一対の第１反射面の距離をＤ１、前記一対の第２反射面の距離をＤ２としたときに、Ｄ１＝β×Ｌ１、かつ、Ｄ２＝β×Ｌ２を満たす、
ことを特徴とする請求項５に記載の光学系。
【請求項７】
Ｌ１とＬ２とが等しい、
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の光学系。
【請求項８】
Ｌ１とＬ２とが異なる、
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の光学系。
【請求項９】
前記複数の固体発光素子がＬＥＤである、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１０】
前記光学部材がガラスロッドまたは中空ミラーである、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１１】
原版を照明する照明光学系と、原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置であって、
前記照明光学系は、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光学系と、前記原版が配置される原版面と前記光学系との間に配置されたオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータと前記原版面との間に配置されたコンデンサレンズとを含む、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
基板の上にフォトレジストを塗布する塗布工程と、
前記塗布工程を経た前記基板の上の前記フォトレジストを請求項１１に記載の露光装置によって露光する露光工程と、
前記露光工程を経た前記基板の上の前記フォトレジストを現像してレジストパターンを形成する現像工程と、
前記現像工程を経た前記基板を処理する処理工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系、該光学系を含む露光装置、および、該露光装置を用いて物品を製造する物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＥＤ（発光ダイオード）およびＬＤ（レーザーダイオード）などの固体発光素子は、超高圧水銀ランプなどの他の光源素子に比べて、小型で、エネルギー使用量が少なく、寿命が長いため、多くの照明装置において使用されつつある。固体発光素子は、固体物質に電気などのエネルギーを供給し、励起させることにより発光する光源素子である。
【０００３】
しかし、固体発光素子は、超高圧水銀ランプに比べて発光輝度が小さいという課題がある。特に、半導体デバイス等のデバイスを製造するための露光装置に組み込まれる照明装置においては、高い生産性を実現するために、高い輝度が要求される。したがって、発光輝度が小さいことは、露光装置において固体発光素子を使用するにあたって、大きな障壁となる。
【０００４】
特許文献１には、高い照明輝度を得るために複数のＬＥＤ素子を用いることが記載されている。より具体的には、特許文献１には、複数のＬＥＤ素子と、光の入射面が複数のＬＥＤ素子のそれぞれに対応し、光の出射面が近接、接触又は一体化されて一纏まりに配置された複数のロッドの集合体であるロッド集合体とを備えたＬＥＤ照明装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−８８４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
複数の固体発光素子が発生する光を合成することによって高い輝度を有する照明光を得ることができる。しかし、露光装置に使用される照明装置においては、被照明面の所望の照明領域を所望の入射角度分布で照明する必要がある。一方、Helmholtz-Lagrangeの不変量は保存もしくは大きくしかならない。この原理により、光源が発生した光のうち被照明面の照明領域と最大入射角度とで決まるHelmholtz-Lagrange量よりも小さい光しか被照明面に到達することができない。したがって、光源が発生した光のHelmholtz-Lagrange量を増加させることなく集光することが求められる。
【０００７】
しかし、例えば、特許文献１に記載された発明では、ロッドが傾けて配置されているため、固体発光素子が発生した光の角度分布がロッドの射出面で傾くため、合成された光の最大角度が、固体発光素子が発生した光の角度より大きくなってしまう。
【０００８】
本発明は、複数の固体発光素子からの光を効率よく被照明領域に導光するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の１つの側面は、光学系に係り、前記光学系は、第１方向に沿って第１ピッチで配置された複数の固体発光素子を有する光源部と、互いに対向するように前記第１方向に離隔して配置された一対の第１反射面を有する光学部材と、前記光源部と前記光学部材との間に配置された集光光学系と、を備え、前記光源部、前記集光光学系および前記光学部材は、前記複数の固体発光素子がそれぞれ発生した光が前記光学部材の入射端に入射し前記光学部材の射出端から射出され、かつ、前記複数の固体発光素子のそれぞれの像が前記射出端において重なるように配置されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の固体発光素子からの光を効率よく被照明領域に導光するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態の露光装置の構成を示す図。
【図２】本発明の一実施形態の光学系の構成を示す図。
【図３】本発明の一実施形態の原理を説明する図。
【図４】本発明の一実施形態の原理を説明する図。
【図５】本発明の一実施形態の原理を説明する図。
【図６】本発明の一実施形態の光源部および合成光源像を示す図。
【図７】本発明の他の実施形態の光源部を例示する図。
【図８】本発明の他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図９】本発明の他の実施形態の光学系における複数の光源像の合成を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しながら本発明をその例示的な実施形態を通して説明する。
【００１３】
図１には、本発明の一実施形態の露光装置ＥＸの構成が示されている。露光装置ＥＸは、照明光学系１と、原版２を保持する原版ステージＲＳと、基板４を保持する基板ステージＳＳと、原版２のパターンを感光材が塗布された基板４に投影し該基板４を露光する投影光学系３とを備える。照明光学系１は、光源部００１を含む光学系ＯＳと、原版２が配置される原版面ＲＰと光学系ＯＳとの間に配置されたオプティカルインテグレータ１５と、オプティカルインテグレータ１５と原版面ＲＰとの間に配置されたコンデンサレンズ１６とを含みうる。また、照明光学系１は、光学系ＯＳとオプティカルインテグレータ１５との間に配置された波長フィルター１４を含みうる。また、照明光学系１は、光学系ＯＳとオプティカルインテグレータ１５との間に配置されたリレー光学系１３を含みうる。リレー光学系１３は、例えば、変倍機能を有しうる。また、照明光学系１は、コンデンサレンズ１６と原版面ＲＰとの間にマスキングブレード１７およびリレー光学系１８を有しうる。
【００１４】
光学系ＯＳは、光源部００１と、光学部材１２と、光源部００１と光学部材１２との間に配置された集光光学系１１とを含みうる。光源部００１は、複数の固体発光素子１０を有する。なお、複数の固体発光素子１０を相互に区別する場合には、１０ａ、１０ｂのように符号１０の後ろに添え字を付けて説明する。固体発光素子１０は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）またはＬＤ（レーザーダイオード）でありうる。複数の固体発光素子１０は、Ｘ方向（第１方向）に沿って第１ピッチで配置され、光学部材１２は、互いに対向するようにＸ方向（第１方向）に離隔して配置された一対の第１反射面１２１、１２２を有する。光学部材１２は、例えば、ガラスロッドまたは中空ミラーでありうる。ガラスロッドは、ガラスで構成された中実のロッドであり、ガラスロッドの入射端００４に入射した光は、ガラス媒質を通過して射出端００５に至る。ガラスロッドにおいて、一対の反射面１２１、１２２は、ガラスロッドとその外側にある媒質（例えば、空気）との境界によって構成される。ガラスロッドでは、以下で説明される屈折率Ｎは、ガラス媒質の屈折率である。中空ミラーでは、入射端００４と射出端００５との間の空間が空気等の気体または真空であり、一対の反射面は、該空間と接する部材（ミラー）によって構成される。中空ミラーでは、以下で説明される屈折率Ｎは、気体または真空の屈折率である。集光光学系１１は、光源部００１の複数の固体発光素子１０からの光を集光する。光源部００１、集光光学系１１、光学部材１２は、複数の固体発光素子１０のそれぞれで発生した光が光学部材１２の入射端に入射し光学部材１２の射出端から射出され、かつ、複数の固体発光素子１０のそれぞれの像が該射出端において重なるように配置されうる。
【００１５】
光学系ＯＳ（光学部材１２の射出端００５）から射出された光は、リレー光学系１３によってオプティカルインテグレータ１５に投影される。波長フィルター１４は、光学系ＯＳ（光源部００１）からの光のうち基板４を露光するために使用する波長の光のみを透過する。投影光学系３で良好に色収差が補正されている波長帯域幅は、通常は、数十ｎｍ程度である。したがって、光源部００１の固体発光素子１０の発光スペクトルが広帯域である場合、波長フィルター１４によって光が狭帯域化される。また、温度などによる環境変化や、使用時間によって、固体発光素子１０の発光スペクトルが変化する場合がある。このような場合にも、波長フィルター１４によって所望の波長帯域のみを取り出すことで、良好な結像性能を得ることができる。波長フィルター１４は、複数のフィルターを含んでもよく、この場合、該複数のフィルターの中から要求される結像性能に応じたフィルターが選択して使用されうる。例えば、太い線幅のパターンを形成する場合には、透過波長帯域が広いフィルターを使用することで、高い照度を実現して生産性を高めることができる。一方、細い線幅のパターンを形成する場合には、透過波長帯域が狭いフィルターを使用することで、投影光学系３の色収差の発生量を小さくすることができる。
【００１６】
オプティカルインテグレータ１５は、例えば、ハエノメレンズで構成されうる。オプティカルインテグレータ１５は、光源部００１からの光を波面分割し、オプティカルインテグレータ１５の射出面に複数の２次光源を形成する。オプティカルインテグレータ１５は、例えば、複数のロッドレンズの集合体、複数の短冊状のシリンドリカルレンズの集合体、または、マイクロレンズアレイで構成されうる。コンデンサレンズ１６は、オプティカルインテグレータ１５の射出面に形成された複数の２次光源からの光を重畳的に重ね合わせることによって、マスキングブレード１７が配置された面に均一な光強度分布を形成する。リレー光学系１８は、マスキングブレード１７が配置された面と、原版２が配置される原版面ＲＰと、を光学的に共役な関係にする。
【００１７】
照明光学系１の光路には、ハーフミラー１９が配置されうる。ハーフミラー１９は、光路中の光の一部をセンサ２０に向けて分岐させる。センサ２０は、基板４の露光中に光量をモニターするために使用されうる。例えば、センサ２０によって検出された値に基づいて基板４の露光量が制御されうる。例えば、露光装置ＥＸがステップ・アンド・リピート方式の場合、基板４の露光開始時に光源部００１（複数の固体発光素子１０）を点灯させ、その後、センサ２０によって光量を積算し、積算値が目標露光量に到達するタイミングで光源部００１を消灯させる。消灯の制御に時間遅れが発生する場合には、積算値が目標露光量より当該時間遅れ分だけ小さい値に到達した時点で光源部００１の消灯の制御を開始すればよい。また、露光量制御は、シャッターを用いてなされてもよい。この場合には、光源部００１（固体発光素子１０）を点灯した状態として、不図示のシャッターの開閉動作により露光量が制御されうる。露光装置ＥＸが、走査型露光装置（ステップ・アンド・スキャン方式）の場合には、センサ２０による測定値が一定になるように、光源部の複数の固体発光素子１０に供給する電力が制御されうる。目標露光量が小さく、最大走査速度で露光できない場合には、複数の固体発光素子１０のうちの一部を消灯したり、複数の固体発光素子１０に対して供給する電力を小さくしたりすることによって露光量が調整されうる。
【００１８】
以下、図２を参照しながら光学系ＯＳの構成を例示的に説明する。光源部００１を構成する複数の固体発光素子１０は、Ｘ方向（第１方向）に沿って第１ピッチＬ１で配置される。図２には、簡単化のために、２つの固体発光素子１０が１０ａ、１０ｂとして示されている。ピッチとは、複数の固体発光素子１０の配置周期を意味し、例えば、隣り合う固体発光素子１０の中心間距離を等しい。各固体発光素子１０の配光分布のうち光学部材１２で光を取り込むべき配光分布の範囲を±θとする。つまり、固体発光素子１０の表面に対する法線に対して±θの角度範囲（−θから＋θの範囲）の光が光学部材１２によって取り込まれるものとする。
【００１９】
集光光学系１１は、上下方向の矢印で示されている。集光光学系１１の焦点距離をｆとする。集光光学系１１の瞳面は、光源部００１の発光面（複数の固体発光素子１０の発光面）からｆ＋ａの距離に配置される。なお、発光面は、光が射出される面を意味する。光源部００１の複数の固体発光素子１０がそれぞれ発生した光は、光学部材１２の入射端００４に入射し、光学部材１２の射出端００５から射出される。光源部００１、集光光学系１１および光学部材１２は、光学部材１２の射出端００５が光源部００１の発光面（複数の固体発光素子１０の発光面）と共役になるように配置される。別の観点で表現すると、光源部００１、集光光学系１１および光学部材１２は、複数の固体発光素子１０のそれぞれの像が光学部材１２の射出端００５において重なるように配置されうる。
【００２０】
以下、図３−５を参照しながら、距離ａ、焦点距離ｆ、光学部材１２の長さ、および光学部材１２の一対の反射面１２１、１２２の間隔Ｄの好ましい関係を説明する。ただし、ここで説明する関係は、理想的な関係であり、実際の光学系ＯＳでは、このような理想的な関係に対して、要求仕様を満たす範囲での誤差を有すること、あるいは、設計上の制約等に応じた修正がなされることが許容される。
【００２１】
集光光学系１１の光軸上に存在する固体発光素子１０ａから射出される光線は、図３に示されるように光学部材１２の射出端００５上の点００５ａに集光する。光学部材１２の屈折率（光線が通過する部分の屈折率）をＮ、光軸方向における光学部材１２の長さをＭとすると、光源部００１の発光面と集光光学系１１の前側焦点との距離ａ、集光光学系１１の焦点距離ｆの間には、Ｍ／Ｎ＝ｆ×ｆ／ａの関係がある。
【００２２】
光学部材１２の一対の反射面１２１、１２２の間隔Ｄは、図４に示されるように、固体発光素子１０ａに隣接する固体発光素子１０ｂの像が光学部材１２の射出端００５の点００５ａに形成されるように決定される。つまり、集光光学系１１の倍率β＝ｆ÷ａ、隣接する固体発光素子１０ａ、１０ｂのピッチＬ１、および、間隔Ｄ１が、Ｄ１＝β×Ｌ１の関係を満たすように間隔Ｄが決定される。このとき、図４に示されているように、ピッチＬ１で配置された固体発光素子１０ａ、１０ｂからそれぞれ射出される光線が１つの点００５ａに集光する。つまり、ピッチＬで配置された固体発光素子１０ａ、１０ｂのそれぞれの像の中心が１つの点００５ａで重なる。
【００２３】
上記のような配置により、図５に例示されるように、Ｘ方向（第１方向）に沿ってピッチＬ１で配置された全ての固体発光素子１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）から射出される光線が光学部材１２の射出端００５の１つの点００５ａで重なる。
【００２４】
また、固体発光素子１０の配光分布のうち±θの角度範囲の光を光学部材１２の入射端００４で取り込むためには、ｆ×ｓｉｎθ＝Ｄ１÷２を満たす必要がある。
【００２５】
以上をまとめると、以下の式で示される条件が満たされることが好ましい。
【００２６】
Ｄ１＝β×Ｌ１
Ｄ１＝２×ｆ×ｓｉｎθ
ａ＝ｆ×Ｌ１÷Ｄ１＝Ｌ１÷（２×ｓｉｎθ）
Ｍ＝２×（ｓｉｎθ）×Ｎ×ｆ×ｆ÷Ｌ１
以上のような構成によれば、複数の固体発光素子１０のそれぞれの光源像が光学部材１２の射出端００５で合成されて合成光源像が形成される。合成光源像は、光学部材１２の射出端００５の全域ではなく、一部分に形成されうる。
【００２７】
以上の原理は、二次元配列を構成するように配置された複数の固体発光素子１０で構成される光源部００１を使用する場合にも適用される。図６（ａ）には、Ｘ方向（第１方向）に関して第１ピッチＬ１を有し、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）に関して第２ピッチＬ２（＝Ｌ１）を有するように複数の固体発光素子１０が配置されて構成される光源部００１が例示されている。各固体発光素子１０は、発光領域１０１を有する。複数の発光領域１０１は、Ｘ方向（第１方向）に関して第１ピッチＬ１を有し、Ｙ方向（第２方向）に関して第２ピッチＬ２を有するように配置されている。この例では、第１ピッチＬ１と第２ピッチＬ２とが等しい。即ち、Ｌ１＝Ｌ２である。
【００２８】
図６（ｂ）には、光学部材１２が例示されている。光学部材１２は、互いに対向するようにＸ方向（第１方向）に離隔して配置された一対の第１反射面１２１、１２２と、互いに対向するようにＹ方向（第２方向）に離隔して配置された一対の第２反射面１２３、１２４とを有する。一対の第１反射面１２１、１２２の間隔はＤ１であり、一対の第１反射面１２１、１２２の間隔はＤ２であるが、Ｄ２はＤ１と等しい。光学部材１２の射出端には、二次元配列を構成するように配置された複数の固体発光素子１０のそれぞれの光源像（発光領域１０１の像）が合成された合成光源像ＬＳＩが形成される。合成光源像ＬＳＩの外側の部分は、隣接する発光領域１０１の間の部分（光強度が０の部分）に対応する。
【００２９】
リレー光学系１３は、合成光源像ＬＳＩを光源として利用する。これにより、固体発光素子１０の発光領域１０１の隙間によるHelmholtz-Lagrangeの不変量の増加をなくすことができ、複数の固体発光素子１０からの光を効率よく被照明領域に導光することができる。
【００３０】
一例において、Ｌ１＝Ｌ２＝１．２ｍｍで配置された複数の固体発光素子１０の配光分布の±６０度の角度範囲を利用する場合、焦点距離ｆ＝５ｍｍの集光光学系１１を使用すると、ａ＝０．６９ｍｍの位置に光源部００１が配置されうる。幅Ｄ１、Ｄ２＝８．７ｍｍ、長さＭ＝５４．１ｍｍ、屈折率Ｎ＝１．５のガラスロッドが光学部材１２として配置されうる。
【００３１】
光源部００１の発光面、集光光学系１１および光学部材１２の射出端０００５は、光源部００１の発光面と光学部材１２の射出端００５とが共役な位置になるような配置を有することが好ましい。しかしながら、該配置が要求仕様に応じた誤差を有すること、あるいは、該配置に対して設計上の制約等に応じた修正がなされることは許容されうる。ここで、光源部００１（固体発光素子１０）を集光光学系１１の光軸方向にΔｚずらして配置すると、Δｚ×ｔａｎθだけ固体発光素子１０からの光線が広がる。ここで、θは、前述のように、固体発光素子１０の配光分布のうち光学部材１２で光を取り込むべき配光分布の範囲を示す。ピッチＬ１に対して上記の光線の広がりΔｚ×ｔａｎθが十分に小さければ、Δｚによる性能低下を許容することができる。例えば、Δｚ≦Ｌ÷ｔａｎθ÷１０であれば、一般的に、要求仕様を満足することができる。つまり、集光光学系１１によって定義される光学部材１２の射出端００５の共役面（つまり、集光光学系１１の瞳面からの距離がｆ＋ａの面）と光源部００１の発光面との距離がＬ１÷ｔａｎθ÷１０以内であることが好ましい。
【００３２】
図６を参照しながら説明した例では、Ｌ１＝Ｌ２であった。しかしながら、本発明は、Ｌ１とＬ２とが異なる場合にも適用可能である。図７には、Ｘ方向（第１方向）に関して第１ピッチＬ１を有し、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）に関して第２ピッチＬ２（≠Ｌ１）を有するように複数の固体発光素子１０が配置されて構成される光源部００１が例示されている。各固体発光素子１０は、発光領域１０１を有する。複数の発光領域１０１は、Ｘ方向（第１方向）に関して第１ピッチＬ１を有し、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）に関して第２ピッチＬ２を有するように配置されている。この例では、第１ピッチＬ１と第２ピッチＬ２とが異なる。即ち、Ｌ１≠Ｌ２である。
【００３３】
図８には、光源部００１、集光光学系１１および光学部材１２の配置が示されている。光学部材１２は、互いに対向するようにＸ方向（第１方向）に離隔して配置された一対の第１反射面１２１、１２２と、互いに対向するようにＹ方向（第２方向）に離隔して配置された一対の第２反射面１２３、１２４とを有する。一対の第１反射面１２１、１２２の間隔はＤ１であり、一対の第２反射面１２３、１２４の間隔はＤ２であり、Ｄ２はＤ１と異なる。
【００３４】
光源部００１の発光面（複数の固体発光素子１０の発光面）と集光光学系１１との間の距離はｆ＋ａ、集光光学系１１の焦点距離はｆである。各固体発光素子１０のＸ方向に関する配光分布のうち光学部材１２で光を取り込むべき配光分布の角度範囲を±θ１、各固体発光素子１０のＹ方向に関する配光分布のうち光学部材１２で光を取り込むべき配光分布の角度範囲を±θ２とする。また、光学部材１２の屈折率（光線が通過する部分の屈折率）をＮ、光軸方向における光学部材１２の長さをＭとする。この定義において、上記と同様の考え方に基づいて、以下の式で示される条件を満たすことが好ましい。
【００３５】
Ｄ１＝β×Ｌ１
Ｄ２＝β×Ｌ２
Ｄ１＝２×ｆ×ｓｉｎθ１
Ｄ２＝２×ｆ×ｓｉｎθ２
ａ＝ｆ×Ｌ１÷Ｄ１＝Ｌ１÷（２×ｓｉｎθ１）
ａ＝ｆ×Ｌ２÷Ｄ２＝Ｌ２÷（２×ｓｉｎθ２）
Ｍ＝２×（ｓｉｎθ１）×Ｎ×ｆ×ｆ÷Ｌ１
Ｍ＝２×（ｓｉｎθ２）×Ｎ×ｆ×ｆ÷Ｌ２
上記条件を満たすことにより、図９に示されているようにＸ、Ｙ方向に互いに異なるピッチで複数の固体発光素子１０が配置される場合においても、複数の固体発光素子１０のそれぞれの光源像が光学部材１２の射出端００５で合成されて合成光源像が形成される。このような構成においても、集光光学系１１によって定義される光学部材１２の射出端００５の共役面（つまり、集光光学系１１の瞳面からの距離がｆ＋ａの面）と光源部００１の発光面との距離が、
Ｌ１÷ｔａｎθ１÷１０以内、かつ、Ｌ２÷ｔａｎθ２÷１０以内
という条件を満たすことが好ましい。
【００３６】
以下、上記の露光装置を用いた物品製造方法を説明する。物品製造方法は、塗布工程、露光装置、現像工程および処理工程を含みうる。塗布工程では、基板の上にフォトレジストが塗布される。露光工程では、塗布工程を経た基板の上のフォトレジストが上記の露光装置によって露光されうる。現像工程では、露光工程を経た基板の上のフォトレジストが現像されレジストパターンが形成されうる。処理工程では、現像工程を経た基板が処理されうる。この処理は、例えば、エッチング、イオン注入または酸化を含みうる。
【符号の説明】
【００３７】
１：照明光学系、２：原版、３：投影光学系、４：基板、ＯＳ：光学系、００１：光源部、１０：固体発光素子、１１：集光光学系、１２：光学部材、１２１〜１２４：反射面、１３：リレー光学系、１４  波長フィルター、１５：オプティカルインテグレータ、１６：コンデンサレンズ、１７：マスキングブレード、１８：リレー光学系、００４：入射端、００５：射出端、Ｌ１、Ｌ２：ピッチ
【図１】
0006700982.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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