(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第１の測定手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第２の測定手段と、
制御手段と、を備え、
該第１の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第１の測定子と、
該第１の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第１の高さ測定部と、
該第１の測定子の周囲の空気の温度を測定する第１の温度測定部と、
該第１の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、
該冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、
該第２の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第２の測定子と、
該第２の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第２の高さ測定部と、
該第２の測定子の周囲の空気の温度を測定する第２の温度測定部と、
を備え、
該制御手段は、
該第２の温度測定部が測定した温度より該第１の温度測定部が測定した温度が高いときに、該第２の温度測定部が測定した温度と該第１の温度測定部が測定した温度との温度差が大きくなるほど該第１の測定子に供給される該冷却水の流量を増やす方向に該流量調整部を調整し、該第１の温度測定部が測定した温度と該第２の温度測定部が測定した温度とを近づけて板状ワークを研削する
研削装置。
【請求項２】
板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第１の測定手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第２の測定手段と、
研削加工時に該研削送り手段により該研削手段を該チャックテーブルに接近する方向に移動させて該研削砥石が板状ワークを押圧するときの押圧力を検出する押圧力検出手段と、
制御手段と、を備え、
該第１の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第１の測定子と、
該第１の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第１の高さ測定部と、
該第１の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、
該第１の冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、
該第２の測定手段は、
該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第２の測定子と、
該第２の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第２の高さ測定部と、
を備え、
該押圧力検出手段が検出する該押圧力が大きいほど該冷却水の流量が大きくなる、該押圧力と実際に供給された冷却水の量との関係が設定された相関データを記憶する記憶部を備え、
該制御手段は、該冷却水供給手段から該第１の測定子に供給される冷却水量が、該相関データにおける該押圧力検出手段が検出した押圧力に対応する冷却水量となるように該流量調整部を調整し、該第１の測定子の周囲の空気の温度と該第２の測定子の周囲の空気の温度とを近づけて板状ワークを研削する
研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハを研削して所望の厚さに形成する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエーハを研削する研削装置は、ウエーハを保持して回転可能なチャックテーブルと、回転するウエーハに対して回転しながら接触する研削砥石を備えた研削手段とを備えており、ウエーハのうち研削砥石が接触しない部分には、ウエーハの上面の高さを測定するための測定子を接触させている。また、チャックテーブルの上面にも別の測定子を接触させ、２つの測定子の高さの差をウエーハの厚さとして算出している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０７３７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ウエーハの高さを測定する測定子は、ウエーハと研削砥石とが接触する部位の近くに位置するため、研削によって生じる熱によって、当該測定子は伸びる方向に変形する。したがって、ウエーハの高さが実際の高さよりも高く測定され、これによってウエーハの厚さも実際の厚さより厚く算出される。その結果、ウエーハの実際の仕上がり厚さが、所望の仕上がり厚さよりも薄くなるという問題が生じている。
【０００５】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、２本の測定子の高さの差によって研削対象のウエーハの厚さを測定する場合において、研削による熱の影響を受けずにウエーハを所望の仕上がり厚さに仕上げることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第１の測定手段と、該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第２の測定手段と、制御手段と、を備え、該第１の測定手段は、該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第１の測定子と、該第１の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第１の高さ測定部と、該第１の測定子の周囲の空気の温度を測定する第１の温度測定部と、該第１の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、該冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、該第２の測定手段は、該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第２の測定子と、該第２の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第２の高さ測定部と、該第２の測定子の周囲の空気の温度を測定する第２の温度測定部と、を備え、該制御手段は、該第２の温度測定部が測定した温度より該第１の温度測定部が測定した温度が高いときに、該第２の温度測定部が測定した温度と該第１の温度測定部が測定した温度との温度差が大きくなるほど該第１の測定子に供給される該冷却水の流量を増やす方向に該流量調整部を調整し、該第１の温度測定部が測定した温度と該第２の温度測定部が測定した温度とを近づけて板状ワークを研削する。
【０００７】
第２の発明は、板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に装着する研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルに対して接近又は離間させる研削送り手段と、該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面の高さを測定する第１の測定手段と、該チャックテーブルに保持される板状ワークの外側で該保持面の高さを測定する第２の測定手段と、研削加工時に該研削送り手段により該研削手段を該チャックテーブルに接近する方向に移動させて該研削砥石が板状ワークを押圧するときの押圧力を検出する押圧力検出手段と、制御手段と、を備え、該第１の測定手段は、該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面で保持された板状ワークの上面に先端が接触し昇降可能な第１の測定子と、該第１の測定子の昇降方向の位置によって板状ワークの上面高さを測定する第１の高さ測定部と、該第１の測定子に冷却水を供給する冷却水供給手段と、該第１の冷却水供給手段における該冷却水の流量を調整する流量調整部と、を備え、該第２の測定手段は、該保持面に対して垂直方向に延在し該保持面に先端が接触し昇降可能な第２の測定子と、該第２の測定子の昇降方向の位置によって該保持面の高さを測定する第２の高さ測定部と、を備え、該押圧力検出手段が検出する該押圧力が大きいほど該冷却水の流量が大きくなる、該押圧力と実際に供給された冷却水の量との関係が設定された相関データを記憶する記憶部を備え、
該制御手段は、該冷却水供給手段から該第１の測定子に供給される冷却水量が、該相関データにおける該押圧力検出手段が検出した押圧力に対応する冷却水量となるように該流量調整部を調整し、該第１の測定子の周囲の空気の温度と該第２の測定子の周囲の空気の温度とを近づけて板状ワークを研削する。
【発明の効果】
【０００８】
第１の発明では、第２の温度測定部が測定した温度より第１の温度測定部が測定した温度が高いときに、第２の温度測定部が測定した温度と第１の温度測定部が測定した温度との温度差が大きくなるほど第１の測定子に供給される冷却水の流量を増やす方向に流量調整部を調整し、第１の測定子の周囲温度と第２の測定子の周囲温度とが近づくようにして板状ワークを研削するため、研削によって第１の測定子の周囲の温度が高くなっても第１の測定子が昇降方向に伸びるのを防ぐことができる。したがって、研削中の板状ワークの厚さを正確に求めることができ、ウエーハを所望の仕上がり厚さに仕上げることが可能となる。
【０００９】
また、第２の発明では、押圧力検出手段が検出する押圧力と所定の冷却水量との相関関係を表す相関データを記憶する記憶部を備え、制御手段は、冷却水供給手段から第１の測定子に供給される冷却水の量が、相関データにおける押圧力検出手段が検出した押圧力に対応する冷却水量となるように流量調整部を調整し、第１の測定子の周囲温度と第２の測定子の周囲温度とを近づけて板状ワークを研削するため、研削によって第１の測定子の周囲の温度が高くなったとしても、第１の測定子が昇降方向に伸びるのを防ぐことができる。したがって、研削中の板状ワークの厚さを正確に求めることができ、ウエーハを所望の仕上がり厚さに仕上げることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】研削装置の第１の例を示す斜視図である。
【図２】同研削装置の要部を拡大して示す斜視図である。
【図３】板状ワークの厚さを測定しながら板状ワークを研削する状態を示す側面図である。
【図４】研削装置の第２の例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１  第１実施形態
図１に示す研削装置１は、チャックテーブル３０上に保持された板状ワークＷを、研削手段７によって研削する装置である。研削装置１のベース１０上の前方（−Ｙ方向側）は、図示しない搬送手段によってチャックテーブル３０に対して板状ワークＷの着脱が行われる領域である着脱領域Ａとなっており、ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段７によってチャックテーブル３０上に保持された板状ワークＷの研削が行われる領域である研削領域Ｂとなっている。
【００１２】
研削装置１のベース１０上に配設され板状ワークＷを保持するチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００の上面と枠体の３０１の上面とは面一に形成され、面一に形成された面が保持面３００ａを構成している。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が吸着部３００に伝達されることで、保持面３００ａ上で板状ワークＷを吸引保持する。板状ワークＷの下面Ｗｂには保護テープＴが貼着され、保護テープＴ側が吸着部３００に保持される。チャックテーブル３０は、カバー３１によって周囲から囲まれており、Ｚ軸方向の回転軸を中心に回転可能であり、カバー３１下に配設された図示しないＹ軸方向送り手段によって駆動されてＹ軸方向に往復移動可能となっている。
【００１３】
研削領域Ｂには、コラム１１が立設されており、コラム１１の−Ｙ方向側の側面には研削手段７をチャックテーブル３０に対して離間又は接近する上下方向に研削送りする研削送り手段５が配設されている。研削送り手段５は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３と、昇降板５３に連結され研削手段７を保持するホルダ５４とから構成され、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、ホルダ５４に保持された研削手段７をチャックテーブル３０に対して接近又は離間させる。モータ５２は、例えば、パルスモータであり、所定数のパルス信号がモータ５２に送られることで、研削送り手段５は、研削手段７を所定の研削送り位置まで研削送りすることができる。
【００１４】
チャックテーブル３０に保持された板状ワークＷを研削砥石７４０で研削する研削手段７は、軸方向が鉛直方向（Ｚ軸方向）であるスピンドル７０と、スピンドル７０を回転可能に支持するスピンドルハウジング７１と、スピンドル７０を回転駆動するスピンドルモータ７２と、スピンドル７０の下端に接続された円環状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に装着され回転可能な研削ホイール７４とを備える。
【００１５】
研削ホイール７４は、環状のホイール基台７４１と、ホイール基台７４１の底面に環状に配設された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、例えば、レジンボンドやメタルボンド等でダイヤモンド砥粒等が固められて成形されている。各研削砥石７４０においては、その底面（−Ｚ方向側の面）が研削面７４０ａとなっている。研削手段７の内部には、研削水の通り道となる図示しない流路が形成されており、この流路はホイール基台７４１の底面において研削砥石７４０に向かって研削水を噴出できるように開口している。
【００１６】
研削領域Ｂには、チャックテーブル３０に保持される板状ワークＷの厚さを測定する厚さ測定手段９が配設されている。厚さ測定手段９は、図２に示すように、チャックテーブル３０に保持される板状ワークＷの上面の高さを測定する第１の測定手段９０と、チャックテーブル３０に保持される板状ワークの外側で保持面３００ａの高さを測定する第２の測定手段９１とを備えている。
【００１７】
第１の測定手段９０は、チャックテーブル３０に保持される板状ワークの上面の高さを測定する機能を有しており、保持面３００ａに対して垂直方向に延在し保持面３００ａにおいて保持した板状ワークＷの上面Ｗａに先端が接触しＺ軸方向に昇降可能な第１の測定子９００と、第１の測定子９００のＺ軸方向（昇降方向）の位置によって板状ワークＷの上面Ｗａの高さを測定する第１の高さ測定部９０１と、第１の測定子９００の周囲温度を測定する第１の温度測定部９０２と、第１の測定子９００に冷却水を供給する冷却水供給手段９０３と、冷却水供給手段９０３に対して供給する冷却水を貯留する冷却水供給源９０４と、第１の冷却水供給手段９０３から吐出される冷却水の流量を調整する流量調整部９０５とを備えている。
【００１８】
第２の測定手段９１は、チャックテーブル３０に保持される板状ワークの外側で保持面３００ａの高さを測定する機能を有しており、保持面３００ａに対して垂直方向に延在し保持面３００ａに先端が接触しＺ軸方向に昇降可能な第２の測定子９１０と、第２の測定子９１０の昇降方向の位置によって保持面３００ａの高さを測定する第２の高さ測定部９１１と、第２の測定子９１０の周囲温度を測定する第２の温度測定部９１２とを備えている。
【００１９】
図１に示すように、第１の温度測定部９０２及び第２の温度測定部９１２並びに流量調整部９０５は、制御手段９２に接続されている。制御手段９２は、第１の温度測定部９０２及び第２の温度測定部９１２から送られてくる情報に基づき、流量調整部９０５を制御して冷却水供給手段９０３から吐出される冷却水の量を制御する。
【００２０】
このように構成される研削装置１において板状ワークＷの上面Ｗａを研削する場合は、板状ワークＷの下面Ｗｂに保護テープＴが貼着され、着脱領域Ａにおいて、チャックテーブル３０の吸着部３００に作用する吸引力によって保護テープＴ側が吸引保持される。そして、チャックテーブル３０が＋Ｙ方向に移動して研削領域Ｂにおける研削手段７の下方に板状ワークＷが位置付けられる。
【００２１】
チャックテーブル３０を回転させるとともに、モータ７２がスピンドル７０を回転させて研削ホイール７４を回転させ、研削送り手段５が研削手段７を−Ｚ方向に降下させる。そうすると、回転する研削砥石７４０が板状ワークＷの上面Ｗａに接触して上面Ｗａが研削される。研削砥石７４０は、上面Ｗａの中心を通って半径部分のみに接触する。
【００２２】
かかる研削中は、図３に示すように、第１の測定手段９０を構成する第１の測定子９００の先端が、板状ワークＷの上面Ｗａのうち研削砥石７４０が接触しない領域に常時接触し、第１の測定部９０１が上面ＷａのＺ軸方向の高さＺ１を測定する。一方、第２の測定手段９１を構成する第２の測定子９１０は、板状ワークＷの研削中は、枠体３０１の上面に常時接触し、第２の測定部９１１は、枠体３０１の上面、すなわち保持面３００ａのＺ軸方向の高さＺ２を測定する。そして、制御手段９２は、上面ＷａのＺ軸方向の高さＺ１から保持面３００ａのＺ軸方向の高さＺ２を減算し、さらにテープＴの厚さを減算することにより、板状ワークＷの厚さをリアルタイムに測定する。なお、テープＴの厚さは一定の値である。
【００２３】
上面Ｗａの研削中は、研削砥石７４０と上面Ｗａとの接触によって熱が発生し、この熱が第１の測定子９００に伝わるため、第１の測定子９００がＺ軸方向に伸びることがある。この場合は、第１の測定子９００がＺ軸方向に伸びると、伸びた分だけ上面Ｗａの高さが高く測定されるため、制御手段９２により算出された板状ワークＷの厚さが、実際の厚さよりも厚く算出される。このような誤差が生じるのを回避するために、図３に示すように、冷却水供給ノズル９０３から第１の測定子９００に対して冷却水９０３ａを供給して第１の測定子９００を冷却する。第１の測定子９００に対して供給する冷却水９０３ａの量は、流量調整部９０５において調整する。
【００２４】
具体的には、制御手段９２は、第１の温度測定部９０２が測定した温度と第２の温度測定部９１２が測定した温度とを比較し、第２の温度測定部９１２が測定した温度より第１の温度測定部９０２が測定した温度の方が高い場合は、第１の測定子９００に供給する冷却水の流量が増えるように流量調整部９０５を調整する。制御手段９２は、第２の温度測定部９１２が測定した温度と第１の温度測定部９０２が測定した温度との温度差が大きくなるほど流量調整部９０５から第１の測定子９００に供給する冷却水の流量を増やす方向に流量調整部９０５調整し、第１の測定子９００の周囲温度と第２の測定子９１０の周囲温度とを近づけて板状ワークＷを研削する。
【００２５】
このようにして、研削により生じた熱を考慮して、第１の測定子９００の周囲温度と第２の測定子９１０の周囲温度とを近づけて研削板状ワークＷの厚さを測定ながら研削を行い、板状ワークＷの厚さが所望の厚さに到達すると、研削送り手段５が研削手段７を＋Ｚ方向に上昇させ、上面Ｗａの研削を終了する。第１の測定子９００の周囲温度と第２の測定子９１０の周囲温度とを近づけて研削板状ワークＷの厚さを測定ながら研削を行うことにより、板状ワークＷの厚さ上面ＷａのＺ軸方向の高さＺ１の測定を正確に行うことができるため、計算によって求められる板状ワークの厚さの値も正確となり、板状ワークＷを高精度に所望の厚さに形成することができる。
【００２６】
２  第２実施形態
図４に示す研削装置１Ａは、図１に示した研削装置１と同様に、チャックテーブル３０上に保持された板状ワークＷを、研削手段７によって研削する装置である。図４に示す研削装置１Ａは、チャックテーブル３０の下方に複数の押圧力検出手段８０を配設した点、及び、研削装置１の第１の温度測定部９０２及び第２の温度測定部９１２に相当するものを備えていない点が、図１に示した研削装置１と相違しており、その他については同様に構成されている。したがって、図４に示す研削装置１Ａでは、研削装置１と同様に構成される点については図１と同一の符号を付し、その説明を省略することとする。
【００２７】
図４に示すように、押圧力検出手段８０は、チャックテーブル３０の下方において、チャックテーブル３０の回転中心を重心とする正三角形の頂点の位置にそれぞれ配設されている。押圧力検出手段８０としては、例えば圧電型の圧力センサを用いることができ、圧電素子の変形にともなって発生する電位差によって、チャックテーブル３０にかかる圧力を測定することができる。
【００２８】
それぞれの押圧力検出手段８０は、制御手段９２に接続されており、制御手段９２は、押圧力検出手段８０が測定した押圧力の値をそれぞれ認識することができる。また、制御手段９２には、メモリ等の記憶素子を備えた記憶部８１が接続されている。
【００２９】
研削中は、研削送り手段５が研削手段７を所定の速度で研削送りしていくため、チャックテーブル３０に対して研削手段７から−Ｚ方向に圧力がかけられ、チャックテーブル３０にかかる圧力は、３つの押圧力検出手段８０によって測定され、その合計値が制御手段９２において算出される。
【００３０】
チャックテーブル３０に保持された板状ワークＷにかかる圧力が大きくなるにつれて、板状ワークＷに生じる熱も高くなり、第１測定子９００の周囲温度も高くなる。したがって、板状ワークＷにかかる圧力に応じて、流量調整部９０５を制御して冷却水供給手段９０３から第１の測定子９００に向けて供給する冷却水の量を調整すれば、第１測定子９００の周囲温度を一定に制御することができると考えられる。
【００３１】
そこで、実際の板状ワークの研削を行う前に、実際に研削される板状ワークと同一の材料で形成され同一の厚さを有する試験ワークをチャックテーブル３０において保持し、実際の板状ワークと同様の条件にて、研削送り手段５によって研削手段７を研削送りしながらチャックテーブル３０に保持された試験ワークの研削を行う。研削中は、例えば図１に示した研削装置１の第１の温度測定部９０２と同様のものを用いて第１の測定子９００の周囲の温度を測定し、その温度が第２の温度測定部９１２の温度測定値に近づけるように流量調整部９０５を制御して冷却水を第１の測定子９００に供給する。そして、押圧力検出手段８０の測定値と実際に供給した冷却水の所定量との相関関係を記憶部８１に記憶させておく。この相関関係は、例えば、データテーブルとして記憶部８１に記憶される。そして、実際の研削時には、制御手段９２がこの相関関係を参照し、押圧力検出手段８０の測定値に基づき、研削中における第１の測定子９００の周囲の温度を推定しながら研削を行う。
【００３２】
研削装置１Ａにおいて実際に板状ワークＷを研削する際は、図１に示した研削装置１と同様に、下面Ｗｂ側に保護テープＴが貼着された板状ワークＷの保護テープＴ側をチャックテーブル３０の吸着部３００において保持する。そして、チャックテーブル３０を回転させるとともに、モータ７２がスピンドル７０を回転させて研削ホイール７４を回転させ、研削送り手段５が研削手段７を−Ｚ方向に降下させることにより、研削砥石７４０を板状ワークＷの上面Ｗａに接触させて上面Ｗａを研削する。
【００３３】
研削中は、押圧力検出手段８０における測定値の合計を制御手段９２が常に認識する。そして、制御手段９２は、記憶部８１に記憶された相関データを参照し、認識した測定値に対応する冷却水量を求め、冷却水供給手段９０３からその冷却水量が第１の測定子９００に供給されるように流量調整部９０５を制御する。このような制御を行うことにより、第１の測定子９００の周囲の温度を第２の測定子９１０の周囲の温度に近づけることができるため、板状ワークＷの厚さの値を正確に求めることができる。
【符号の説明】
【００３４】
１，１Ａ：研削装置
Ａ：着脱領域  Ｂ：研削領域
１０：ベース
３０：チャックテーブル  ３００：吸着部  ３０１：枠体  ３００ａ：保持面
３１：カバー
５：研削送り手段
５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：昇降板  ５４：ホルダ
７：研削送り手段
７０：スピンドル  ７１：スピンドルハウジング  ７２：スピンドルモータ
７３：マウント
７４：研削ホイール  ７４０：研削砥石  ７４０ａ：研削面  ７４１：ホイール基台
８０：押圧力検出手段  ８１：記憶部
９：厚さ測定手段
９０：第１の測定手段  ９００：第１の測定子  ９０１：第１の高さ測定部
９０２：第１の温度測定部  ９０３：冷却水供給手段  ９０３ａ：冷却水
９０４：冷却水供給源  ９０５：流量調整部
９１：第２の測定手段  ９１０：第２の測定子  ９１１：第２の高さ測定部
９１２：第２の温度測定部
９２：制御手段
Ｗ：板状ワーク  Ｗａ：上面  Ｗｂ：下面  Ｔ：保護テープ
【図１】
0006751301.tif 000002
【図２】
0006751301.tif 000003
【図３】
0006751301.tif 000004
【図４】
0006751301.tif 000005