(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、
前記高温の処理液を貯留可能であるとともに、この処理液を冷却するための冷却水流通路を備えた第１タンクおよび第２タンクと、
内部に冷却水を貯留するとともに、この冷却水内を通過する処理液流通路を備えた冷却器と、
前記第１タンクと、前記第２タンクと、前記冷却器における処理液流通路と、処理液の廃液部との間で処理液を送液するための処理液の送液管路と、
を備え、
前記送液管路は、前記第１タンクと前記冷却器における処理液流通路の一端とを接続するとともに前記冷却器における処理液流通路の他端と前記第１タンクとを接続する管路と、前記第２タンクと前記冷却器における処理液流通路の一端とを接続するとともに前記冷却器における処理液流通路の他端と前記第２タンクとを接続する管路と、を含むことを特徴とする処理液冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の処理液冷却装置において、
前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、
前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する処理液冷却装置。
【請求項３】
請求項２に記載の処理液冷却装置において、
前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する処理液冷却装置。
【請求項４】
請求項２に記載の処理液冷却装置において、
前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する処理液冷却装置。
【請求項５】
請求項１に記載の処理液冷却装置において、
前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、
前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方により前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、当該処理液を受けているタンクから、前記冷却器と、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクとを介して、前記処理液の廃液部に処理液を送液する処理液冷却装置。
【請求項６】
請求項５に記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンク内の処理液を、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に送液する処理液冷却装置。
【請求項７】
請求項５に記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンク内の処理液を、直接、前記処理液の廃液部に送液する処理液冷却装置。
【請求項８】
請求項１に記載の処理液冷却装置において、
前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、
前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちのいずれかのタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する動作と、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方により前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、当該処理液を受けているタンクから、前記冷却器と、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクとを介して、前記処理液の廃液部に処理液を送液する動作とを、順次選択して実行する処理液冷却装置。
【請求項９】
請求項２から請求項８のいずれかに記載の処理液冷却装置において、
前記第１タンクに貯留された処理液の温度を検出する温度センサと、
前記第２タンクに貯留された処理液の温度を検出する温度センサと、
前記第１タンクに貯留された処理液の液位を検出する液位センサと、
前記第２タンクに貯留された処理液の液位を検出する液位センサと、
をさらに備え、
前記制御部は、前記各温度センサおよび前記各液位センサの検出値に基づいて、前記複数の開閉弁を開閉制御する処理液冷却装置。
【請求項１０】
基板に処理液を供給して当該基板を処理する基板処理装置であって、
請求項１から請求項９のいずれかに記載の処理液冷却装置を備える基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する処理液冷却装置、および、この処理液冷却装置を備えた基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、太陽電池用パネル基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置においては、基板の処理に使用された処理液が排出される。この処理液の温度は、例えば、摂氏１００度以上の高温となっていることから、これを廃液部に排出するときには、処理液冷却装置により予め処理液を冷却する必要がある。なお、このような処理液冷却装置は、基板処理装置の内部に配設されている場合もあるが、基板処理装置とは別の装置として設置される場合もある。
【０００３】
特許文献１には、処理槽から流下した処理液をバッファタンクに貯留し、このバッファタンクに貯留された処理液を、螺旋状管内を流れる冷却媒体により冷却する構成を有する基板処理装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、低温の流体中に形成された熱交換流路に高温の流体を通過させて熱交換を実行する蒸留釜が開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３には、単一の循環ラインを流れる冷却ガスにより一対の成膜処理部を冷却する基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３５１７１３５号公報
【特許文献２】特許第４２４９２０８号公報
【特許文献３】特開２０１４−２３６０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の基板処理装置においては、一般的に、特許文献１に記載されたようにタンクに貯留された高温の処理液内に螺旋状管路を形成し、この螺旋状管路内に冷却水を循環させることにより処理液を冷却する構成が採用されている。しかしながら、このような冷却装置は、処理液の冷却効率が悪いことから処理液の冷却に長い時間を要するという問題がある。
【０００８】
一方、特許文献２に記載された冷却機構のように、冷却水中に高温の処理液を通過させる構成を採用した場合においては、高温の処理液中に冷却水を通過させる場合に比べて冷却効率を向上させることが可能となる。しかしながら、処理液の温度が低下してきた場合においては、このような高効率の冷却機構を使用しても、その性能が十分に発揮できないという問題が生ずる。
【０００９】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、基板処理装置から排出される高温の処理液を効率的に冷却することが可能な処理液冷却装置およびこの処理液冷却装置を備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、基板処理装置から排出される高温の処理液を冷却水により冷却する冷却装置において、前記高温の処理液を貯留可能であるとともに、この処理液を冷却するための冷却水流通路を備えた第１タンクおよび第２タンクと、内部に冷却水を貯留するとともに、この冷却水内を通過する処理液流通路を備えた冷却器と、前記第１タンクと、前記第２タンクと、前記冷却器における処理液流通路と、処理液の廃液部との間で処理液を送液するための処理液の送液管路と、を備え、前記送液管路は、前記第１タンクと前記冷却器における処理液流通路の一端とを接続するとともに前記冷却器における処理液流通路の他端と前記第１タンクとを接続する管路と、前記第２タンクと前記冷却器における処理液流通路の一端とを接続するとともに前記冷却器における処理液流通路の他端と前記第２タンクとを接続する管路と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方により前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、当該処理液を受けているタンクから、前記冷却器と、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクとを介して、前記処理液の廃液部に処理液を送液する。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンク内の処理液を、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に送液する。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンク内の処理液を、直接、前記処理液の廃液部に送液する。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記処理液の送液管路中に配設されたポンプおよび複数の開閉弁と、前記複数の開閉弁を開閉制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方のタンクにより前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちのいずれかのタンクから、前記冷却器を介して前記処理液の廃液部に処理液を送液する動作と、前記複数の開閉弁を開閉制御することにより、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの一方により前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けているときに、当該処理液を受けているタンクから、前記冷却器と、前記第１タンクおよび前記第２タンクのうちの前記基板処理装置から排出される高温の処理液を受けていないタンクとを介して、前記処理液の廃液部に処理液を送液する動作とを、順次選択して実行する。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項２から請求項８のいずれかに記載の発明において、前記第１タンクに貯留された処理液の温度を検出する温度センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の温度を検出する温度センサと、前記第１タンクに貯留された処理液の液位を検出する液位センサと、前記第２タンクに貯留された処理液の液位を検出する液位センサと、をさらに備え、前記制御部は、前記各温度センサおよび前記各液位センサの検出値に基づいて、前記複数の開閉弁を開閉制御する。
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、基板に処理液を供給して当該基板を処理する基板処理装置であって、請求項１から請求項９のいずれかに記載の処理液冷却装置を備える。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１および請求項１０に記載の発明によれば、第１タンクまたは第２タンクと、冷却器とを使用することにより、基板処理装置から排出される高温の処理液を効率的に冷却することが可能となる。
【００２１】
請求項２から請求項４のいずれかに記載の発明によれば、第１タンクと第２タンクとを選択的に使用するワンパス方式により、第１タンクと第２タンクとを交互に使用して、基板処理装置から排出される高温の処理液を優先的に冷却器に導入することにより、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００２２】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の発明によれば、第１タンクと第２タンクとを連続して使用する連続方式により、基板処理装置から排出される高温の処理液を優先的に冷却器に導入して、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００２３】
請求項８に記載の発明によれば、ワンパス方式と連続方式を切り替えることにより、基板処理装置から排出される処理液の状況に応じて、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００２４】
請求項９に記載の発明によれば、温度センサおよび液位センサの検出値に基づいて、処理液を適切な方式により冷却処理することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】この発明に係る処理液冷却装置の概要図である。
【図２】この発明に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【図３】ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図４】ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図５】第１の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図６】第１の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図７】第２の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図８】第２の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図９】ワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図１０】ワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図１１】ワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図１２】ワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図１３】ワンパス方式と第１の連続方式または第２の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【図１４】ワンパス方式と第１の連続方式または第２の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る処理液冷却装置の概要図である。
【００２７】
この処理液冷却装置は、基板処理装置から排出管路５１、５４、５７を介して排出される高温の処理液を一時的に貯留するとともに冷却する第１タンク１１および第２タンク１２と、第１タンク１１または第２タンク１２から送液された処理液を高い熱交換効率で冷却する冷却器１３とを備える。なお、この処理液冷却装置は、基板処理装置の内部に配設されてもよく、また、基板処理装置とは別の装置として設置されてもよい。
【００２８】
排出管路５１は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において基板に処理液を吐出する吐出ノズルの待機位置に配設された待機ポッドからのＳＰＭ（ｓｕｌｆｕｒｉｃ−ａｃｉｄ  ａｎｄ  ｈｙｄｒｏｇｅｎ−ｐｅｒｏｘｉｄｅ  ｍｉｘｔｕｒｅ）等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５１には複数の待機ポッドからの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３６が開放され開閉弁３５が閉止されたときには、管路５２を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３６が閉止され開閉弁３５が開放されたときには、管路５３を介して第２タンク１２に流下する。
【００２９】
排出管路５４は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において基板から飛散した処理液を捕獲するカップからのＳＰＭ等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５４には複数のカップからの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３４が開放され開閉弁３３が閉止されたときには、管路５５を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３４が閉止され開閉弁３３が開放されたときには、管路５６を介して第２タンク１２に流下する。
【００３０】
排出管路５７は、例えば、基板処理装置における複数の処理部において各処理部を洗浄するために使用された硫酸等の処理液を排出するためのものである。この排出管路５７には複数の処理部からの処理液が流入し、この処理液は、開閉弁３２が開放され開閉弁３１が閉止されたときには、管路５８を介して第１タンク１１に流下し、開閉弁３２が閉止され開閉弁３１が開放されたときには、管路５９を介して第２タンク１２に流下する。
【００３１】
第１タンク１１内には、螺旋状の冷却水流通路１５が配設されている。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に冷却水が供給され、第１タンク１１内の処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。また、第２タンク１２内には、螺旋状の冷却水流通路１６が配設されている。冷却水流入管路２５から冷却水流通路１６に冷却水が供給され、第２タンク１２内の処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１６から冷却水排出管路２６に排出される。さらに、冷却器１３は冷却水を貯留可能となっており、冷却水流入管路２１から冷却器１３内に冷却水が供給され、螺旋状の処理液流通路１７を流通する処理液の冷却に供された冷却水は、冷却器１３内から冷却水排出管路２２に排出される。
【００３２】
なお、図示は省略しているが、第１タンク１１および第２タンク１２内には、処理液中に空気を噴出することにより、処理液を冷却するとともに拡散するバブリング機構が配設されている。このバブリング機構に加え、第１タンク１１および第２タンク１２内を減圧することにより処理液の冷却を促進する減圧機構を付設してもよい。
【００３３】
第１タンク１１および第２タンク１２においては、冷却水流通路１５、１６の作用により、貯留状態にある所定量の処理液を冷却することが可能となる。一方、冷却器１３においては、その内部に貯留された容量の大きな冷却水により、処理液流通路１７を通過する容量の小さな処理液を、迅速に冷却することが可能となる。
【００３４】
第１タンク１１の底部に接続された管路６１は、開閉弁４１、管路６３および送液ポンプ２７を介して冷却器１３における処理液流通路１７の下端部と接続されている。また、第２タンク１２の底部に接続された管路６２は、開閉弁４２、管路６３および送液ポンプ２７を介して冷却器１３における処理液流通路１７の下端部と接続されている。開閉弁４１と開閉弁４２とは、いずれか一方が開放されたときには他方が閉止される構成となっている。
【００３５】
第１タンク１１の底部に接続された管路６７は、開閉弁４３、廃液ポンプ２８、開閉弁４５および管路６９を介して、廃液部１４と接続されている。また、第２タンク１２の底部に接続された管路６８は、開閉弁４４、廃液ポンプ２８、開閉弁４５および管路６９を介して、廃液部１４と接続されている。なお、第１タンク１１および第２タンク１２から排出される処理液が自重により廃液部１４まで流下する場合においては、廃液ポンプ２８を省略してもよい。
【００３６】
なお、図１においては、管路６１と管路６７とは、第１タンク１１の底部に接続されている。しかしながら、管路６１と管路６７とが第１タンク１１の側面の下方に接続してもよく、また、管路６１と管路６７とが第１タンク１１の上方から第１タンク１１に進入してその先端が第１タンク１１の底面付近に配置される構成であってもよい。同様に、図１においては、管路６２と管路６８とは、第２タンク１２の底部に接続されている。しかしながら、管路６２と管路６８とが第２タンク１２の側面の下方に接続してもよく、また、管路６２と管路６８とが第２タンク１２の上方から第２タンク１２に進入してその先端が第２タンク１２の底面付近に配置される構成であってもよい。
【００３７】
冷却器１３における処理液流通路１７の出口部（本実施形態では上端部）は、開閉弁３８および管路６４を介して第１タンク１１に至る経路と、開閉弁３９および管路６５を介して第２タンク１２に至る経路と、開閉弁３７および管路６６を介して開閉弁４５に至り、管路６９を介して廃液部１４に至る経路とに分岐している。開閉弁３７、開閉弁３８および開閉弁３９は、いずれか一つが選択的に開放され、他の二つが閉止される構成となっている。
【００３８】
なお、図１においては、冷却器１３を通過する処理液は、処理液流通路１７の下端部から上端部に向けて流通しているが、処理液流通路１７を上端部から下端部に向けて通過してもよい。また、処理液流通路１７は、図１に示す上下方向ではなく、左右方向を向けて形成されていてもよい。
【００３９】
第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４１および開閉弁３７が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第１タンク１１から冷却器１３における処理液流通路１７を介して管路６６に送液され、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。また、第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４１および開閉弁３９が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第１タンク１１から冷却器１３における処理液流通路１７を介して第２タンク１２に送液される。さらに、第１タンク１１内の処理液は、開閉弁４３が開放された場合には、廃液ポンプ２８の作用により、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。
【００４０】
第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４２および開閉弁３７が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第２タンク１２から冷却器１３における処理液流通路１７を介して管路６６に送液され、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。また、第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４２および開閉弁３８が開放された状態では、送液ポンプ２７の作用により、第２タンク１２から冷却器１３における処理液流通路１７を介して第１タンク１１に送液される。さらに、第２タンク１２内の処理液は、開閉弁４４が開放された場合には、廃液ポンプ２８の作用により、開閉弁４５および管路６９を介して廃液部１４に排出される。
【００４１】
図２は、この発明に係る処理液冷却装置の主要な制御系を示すブロック図である。
【００４２】
この処理液冷却装置は、論理演算を実行するＣＰＵ、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭを備え、装置全体を制御する制御部９０を備える。この制御部は、上述した開閉弁３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４１、４２、４３、４４、４５を開閉駆動するための弁駆動部９１と接続されている。これらの開閉弁３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４１、４２、４３、４４、４５は、弁駆動部９１を介して、制御部９０により開閉制御される。また、この制御部９０は、上述した送液ポンプ２７および廃液ポンプ２８と接続されている。
【００４３】
図１においては図示を省略しているが、第１タンク１１には、当該第１タンク１１に貯留された処理液の温度を検出する温度センサ９２と、貯留された処理液の液位を検出するための液位センサ９４とが配設されている。第２タンク１２には、当該第２タンク１２に貯留された処理液の温度を検出する温度センサ９３と、貯留された処理液の液位を検出するための液位センサ９５とが配設されている。また、冷却器１３を通過して排出される処理液の温度を検出するための温度センサ９６が、処理液流通路１７の下流側に配設されている。制御部９０は、これらの温度センサ９２、９３、９６および液位センサ９４、９５とも接続されている。
【００４４】
なお、温度センサ９２、９３、９６としては、測温抵抗体や、熱電対や、処理液から放射される赤外線を検出することにより温度を測定するセンサなどを用いることができる。また、液位センサ９４、９５としては、静電容量を検出することにより液の高さを測定するセンサや、光学式のセンサなどを用いることができる。
【００４５】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作について説明する。最初に、第１タンク１１と第２タンク１２とを選択的に使用するワンパス方式により処理液を冷却する動作について説明する。図３および図４は、ワンパス方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。なお、図３および図４にいては、処理液の送液経路のうち、処理液が流れている領域を太線で表現している。これは、以下の図面についても同様である。
【００４６】
基板処理装置からは、最初に、第１タンク１１に高温の処理液が排出される。この処理液の温度は、第１タンク１１に到達したときには、例えば、摂氏１００度程度となっている。この処理液は、第１タンク１１に貯留される。第１タンク１１に貯留された処理液は、第１タンク１１内に配設された螺旋状の冷却水流通路１５中を通過する冷却水により徐々に冷却される。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に供給され、処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。このときの第１タンク１１内の処理液の温度は、図２に示す温度センサ９２により検出され、処理液の液位は、図２に示す液位センサ９４により検出される。
【００４７】
第１タンク１１内に貯留された処理液の温度が摂氏８０度程度となれば、図３に示すように、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度は、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏３５度程度まで低下している。一方、第１タンク１１内の処理液を排出するときには、基板処理装置から排出される高温の処理液は、第１タンク１１に排出される。これにより、高温の処理液が冷却器１３を優先的に通過するようにすることができる。図３は、このような状態を示している。
【００４８】
なお、基板処理装置から排出される高温の処理液を第１タンク１１に排出するかわりに、基板処理装置から排出される高温の処理液を第２タンク１２に排出してもよい。このような構成を採用して場合においては、冷却器１３を通過する処理液の総量を抑制している間に、第２タンク１２において処理液を徐々に冷却することができる。
【００４９】
第１タンク１１内に貯留された処理液が全て排出され、また、基板処理装置から排出され第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏８０度程度となれば、図４に示すように、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度も、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏３５度程度まで低下している。第２タンク１２内の処理液を排出するときには、基板処理装置から排出される高温の処理液は、前述と同様に、第２タンク１２に排出される。
【００５０】
このように、第１タンク１１と第２タンク１２とを交互に使用するワンパス方式により処理液を冷却することにより、基板処理装置から排出される高温の処理液を優先的に冷却器１３に導入して、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００５１】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作の他の実施形態について説明する。この第２実施形態においては、第１タンク１１と第２タンク１２とを連続して使用する連続方式により処理液を冷却する動作について説明する。図５および図６は、第１の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【００５２】
基板処理装置からは、第１タンク１１に高温の処理液が排出される。この処理液の温度は、第１タンク１１に到達したときには、例えば、摂氏１５０度程度となっている。この処理液は、第１タンク１１に一時的に貯留される。第１タンク１１に貯留された処理液は、第１タンク１１内に配設された螺旋状の冷却水流通路１５中を通過する冷却水により徐々に冷却される。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に供給され、処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。このときの第１タンク１１内の処理液の温度は、図２に示す温度センサ９２により検出され、処理液の液位は、図２に示す液位センサ９４により検出される。
【００５３】
第１タンク１１内に一時的に貯留された処理液は、図５に示すように、冷却器１３を介して、第２タンク１２に貯留される。このときには、処理液を高い効率で冷却する冷却器１３の作用により、処理液の温度は摂氏８０度以下まで降温される。そして、第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏６０度程度となれば、図６に示すように、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。このときの処理液の温度も、処理液を効率的に冷却する冷却器１３の作用により、摂氏３５度程度まで低下している。
【００５４】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作のさらに他の実施形態について説明する。この第３実施形態においても、第１タンク１１と第２タンク１２とを連続して使用する連続方式により処理液を冷却する動作について説明する。図７および図８は、第２の連続方式により処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【００５５】
基板処理装置からは、第１タンク１１に高温の処理液が排出される。この処理液の温度は、第１タンク１１に到達したときには、例えば、摂氏１００度程度となっている。この処理液は、第１タンク１１に一時的に貯留される。第１タンク１１に貯留された処理液は、第１タンク１１内に配設された螺旋状の冷却水流通路１５中を通過する冷却水により徐々に冷却される。冷却水流入管路２３から冷却水流通路１５に供給され、処理液の冷却に供された冷却水は、冷却水流通路１５から冷却水排出管路２４に排出される。このときの第１タンク１１内の処理液の温度は、図２に示す温度センサ９２により検出され、処理液の液位は、図２に示す液位センサ９４により検出される。
【００５６】
第１タンク１１内に一時的に貯留された処理液は、図７に示すように、冷却器１３を介して、第２タンク１２に貯留される。このときには、処理液を高い効率で冷却する冷却器１３を利用して、処理液の送液量を調整すること等により、処理液の温度が摂氏５０度程度まで降温される。そして、第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏３５度程度まで降温すれば、図８に示すように、第２タンク１２内の処理液を、直接、廃液部１４に排出する。
【００５７】
第２実施形態または第３実施形態のように、第１タンク１１と第２タンク１２とを連続して使用する連続方式により、基板処理装置から排出される高温の処理液を優先的に冷却器１３に導入して、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００５８】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作のさらに他の実施形態について説明する。この第４実施形態においては、上述したワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却している。図９から図１２は、ワンパス方式と第１の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【００５９】
この第４実施形態においては、最初は、図３および図４に示す第１実施形態と同様に、第１タンク１１と第２タンク１２とを交互に使用するワンパス方式により処理液を冷却する。図９は、ワンパス方式で処理液を冷却しているときに、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出するとともに、基板処理装置から排出される高温の処理液を第１タンク１１に排出する状態を示している。
【００６０】
この状態で、第１タンク１１に貯留された処理液の温度がワンパス方式では冷却出来ない温度（例えば摂氏１２０度以上）になった場合には、処理液の冷却方式をワンパス方式から第１の連続方式に切り替える。すなわち、第１タンク１１に貯留された処理液の温度が摂氏１２０度以上になった場合においては、図１０に示すように、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、第２タンク１２に送液する。そして、第２タンク１２内の処理液が第２タンク１２の処理液の最大容量に近づいた場合には、図１１に示すように、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、第１タンク１１に送液する。この時は、基板処理装置から排出される高温の処理液が第２タンク１２に排出されるように切り替えられる。
【００６１】
このような動作を、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏８０度程度になるまで繰り返す。このような連続方式により処理液を冷却するときには、ワンパス方式により処理液を冷却する場合に比べて処理液の冷却に長い時間を要することから、基板処理装置から排出される降温の処理液の量を減少させる必要が生ずることになる。
【００６２】
そして、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏５０度程度となれば、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液を冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。図１２においては、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する状態を示している。この時には、基板処理装置から排出される高温の処理液が第１タンク１１に排出されるように切り替えられる。
【００６３】
次に、上述した処理液冷却装置における処理液の冷却動作のさらに他の実施形態について説明する。この第５実施形態においては、上述したワンパス方式と第１の連続方式または第２の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却している。図１３および図１４は、ワンパス方式と第１の連続方式または第２の連続方式とを組み合わせて処理液を冷却する動作を模式的に示す説明図である。
【００６４】
この第５実施形態においては、最初は、図３および図４に示す第１実施形態と同様に、第１タンク１１と第２タンク１２とを交互に使用するワンパス方式により処理液を冷却する。図１３は、ワンパス方式で処理液を冷却しているときに、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、廃液部１４に排出するとともに、基板処理装置から排出される高温の処理液を第２タンク１２に排出する状態を示している。
【００６５】
この状態で、第２タンク１２に貯留された処理液の量が増加した場合には、処理液の冷却方式をワンパス方式から第２の連続方式に切り替えることを試みる。すなわち、第１タンク１１に貯留された処理液と第２タンク１２に貯留された処理液の総量が、例えば、第１タンク１1または第２タンク１２の容量より多くなった場合においては、図１４に示すように、第１タンク１１内の処理液を、冷却器１３を介して、第２タンク１２に送液する。そして、第２タンク１２内の処理液の温度が摂氏３５度程度となった場合には、図１４に示すように、第２タンク１２内の処理液を、直接、廃液部１４に排出する。
【００６６】
一方、第２タンク１２内の処理液の温度が、十分に低下しなかった場合には、冷却方式を第１の連続方式に切り替える。すなわち、第２タンク１２内の処理液が第２タンク１２の処理液の容量に近づいた場合には、第２タンク１２内の処理液を、冷却器１３を介して、第１タンク１１に送液する。このような動作を、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏５０度程度になるまで繰り返す。そして、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液の温度が摂氏５０度程度となれば、第１タンク１１または第２タンク１２に貯留された処理液を冷却器１３を介して、廃液部１４に排出する。
【００６７】
第４実施形態または第５実施形態のように、ワンパス方式と連続方式を切り替えることにより、基板処理装置から排出される処理液の状況に応じて、効率的に処理液を冷却することが可能となる。
【００６８】
なお、第１タンク１1および第２タンク１２により上述したワンパス方式や連続方式を利用して処理液を冷却するかわりに、比較的高温の処理液を第１タンク１１および第２タンク１２のうちの一方のタンクに排出し、比較的低温の処理液を第１タンク１１および第２タンク１２のうちの他方のタンクに排出する構成を採用してもよい。
【００６９】
また、基板処理装置から大量の処理液を一度に排出するときには、第１タンク１１と第２タンク１２の両方のタンクに処理液を排出するようにしてもよい。
【００７０】
さらに、上述した実施形態においては、第１タンク１１および第２タンク１２と冷却器とを利用して処理液を冷却しているが、３個以上のタンクと冷却器とを利用して処理液を冷却するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１１      第１タンク
１２      第２タンク
１３      冷却器
１４      廃液部
１５      冷却水流通路
１６      冷却水流通路
１７      処理液流通路
２１      冷却水流入管路
２２      冷却水排出管路
２３      冷却水流入管路
２４      冷却水排出管路
２５      冷却水流入管路
２６      冷却水排出管路
２７      送液ポンプ
２８      廃液ポンプ
９２      温度センサ
９３      温度センサ
９４      液位センサ
９５      液位センサ
９６      温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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