(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を洗浄する洗浄機であって、
旋回軸を中心に回転して、前記対象物を所定の位置に割り出す旋回テーブルと、
前記旋回テーブル上に設けられ、前記対象物の姿勢を変化させる姿勢変化装置と、を備え、
前記姿勢変化装置は、
前記対象物が載置される洗浄テーブルと、
前記洗浄テーブルの一端側に配置され、前記洗浄テーブルを前記旋回軸と直交するテーブル回転軸を中心に回転させる回転機構と、
前記洗浄テーブルに第１の流体を供給するための少なくとも１つの第１の流路と、を有し、
前記回転機構は、
駆動源であるモータと、
前記モータの駆動軸に固定される第１の傘歯車と、
前記テーブル回転軸と同軸上に配置される中空の出力軸、及び前記出力軸の内部に配置される中空の入力軸を有する減速機と、
前記入力軸に固定され、前記第１の傘歯車と噛み合う第２の傘歯車と、
前記入力軸の内部に挿入される中空の第１のスイベルハウジングと、
前記第１のスイベルハウジングの内部で、前記テーブル回転軸を中心に回転可能に配置される第１のスイベルシャフトと、
一方の端面が前記第１のスイベルシャフト及び前記出力軸に固定され、他方の端面が前記洗浄テーブルの一端側に固定される第１のフランジと、を含み、
前記少なくとも１つの第１の流路は、
前記第１のスイベルハウジングの内周面及び前記第１のスイベルシャフトの間に環状に形成される第１の環状路と、
前記第１の環状路の上流側に配置される第１の上流側流路と、
前記第１の環状路の下流側であって前記第１のスイベルシャフトの内部に配置され、前記第１の環状路を介して前記第１の上流側流路と接続する第１の下流側流路と、を含み、
前記洗浄機は、
前記第１の流体としての圧縮空気を前記少なくとも１つの第１の流路に供給するための圧縮空気供給源を更に備え、
前記洗浄テーブルは、
前記対象物が着座する複数の着座ピンと、
前記複数の着座ピンに着座した前記対象物を保持するクランプと、
前記クランプ及び前記少なくとも１つの第１の流路のうち１つを接続する第１の空気流路と、を含み、
前記クランプは、前記圧縮空気供給源から前記第１の流路を介して前記第１の空気流路に供給された前記圧縮空気によって作動する、洗浄機。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄機であって、
前記対象物が前記複数の着座ピンに着座しているか否かを検知する着座検知ノズルと、
前記着座検知ノズル及び前記少なくとも１つの第１の流路のうち他の１つを接続する第２の空気流路と、を更に含む、洗浄機。
【請求項３】
請求項２に記載の洗浄機であって、
前記洗浄テーブルの他端側に配置され、前記洗浄テーブルの他端側を支持する支持台と、
前記洗浄テーブルに第２の流体を供給するための第２の流路と、を更に有し、
前記支持台は、
前記旋回テーブル上に固定されるスタンドと、
前記スタンドに固定され、前記テーブル回転軸と同軸上に配置される第２のスイベルハウジングと、
前記第２のスイベルハウジング内に回転可能に配置される第２のスイベルシャフトと、
一方の端面が前記第２のスイベルシャフトに固定され、他方の端面が前記洗浄テーブルの他端側に固定される第２のフランジと、を含み、
前記第２の流路は、
前記第２のスイベルハウジングの内周面及び前記第２のスイベルシャフトの間に環状に形成される第２の環状路と、
前記第２の環状路の上流側に配置される第２の上流側流路と、
前記第２の環状路の下流側であって前記第２のスイベルシャフトの内部に配置され、前記第２の環状路を介して前記第２の上流側流路と接続する第２の下流側流路と、を含む、洗浄機。
【請求項４】
請求項３に記載の洗浄機であって、
前記洗浄機は、
前記第２の流体としての洗浄液を前記第２の流路に供給するための洗浄液供給源を更に備え、
前記洗浄テーブルは、
前記対象物に対して前記洗浄液を噴射する少なくとも１つの洗浄ノズルと、
前記少なくとも１つの洗浄ノズル及び前記第２の流路を接続する少なくとも１つの洗浄液流路と、更に含む、洗浄機。
【請求項５】
請求項４に記載の洗浄機であって、
前記洗浄テーブルは、
第１の側板、第２の側板、及び前記第１の側板の下部及び前記第２の側板の下部を接続する底板を有し、
前記第１の側板は前記第１のフランジに固定され、前記第２の側板は前記第２のフランジに固定される、洗浄機。
【請求項６】
請求項５に記載の洗浄機であって、
前記底板は、中央に開口部を有し、
前記複数の着座ピン、前記クランプ、前記着座検知ノズル、及び前記少なくとも１つの洗浄ノズルは、それぞれ前記底板の前記開口部の周囲に配置され、かつ、前記洗浄ノズルは前記着座ピンの近傍に配置される、洗浄機。
【請求項７】
請求項１に記載の洗浄機であって、
前記回転機構は、
前記モータ、前記第１の傘歯車、前記第２の傘歯車、及び前記減速機を覆う箱状のケースを更に含み、
前記ケースは、前記第１の傘歯車及び前記第２の傘歯車を覆う部分が傾斜面で構成される、洗浄機。
【請求項８】
対象物の姿勢を変化する姿勢変化装置を備え、前記対象物を洗浄する洗浄機であって、
前記姿勢変化装置は、
前記対象物が載置される洗浄テーブルと、
前記洗浄テーブルの一端側に配置された回転機構であって、
駆動源であるモータと、
前記モータの駆動軸に固定される第１の傘歯車と、
テーブル回転軸と同軸上に配置される中空の出力軸、及び前記出力軸の内部に配置される中空の入力軸を有する減速機と、
前記入力軸に固定され、前記第１の傘歯車と噛み合う第２の傘歯車と、
前記入力軸の内部に挿入される中空の第１のスイベルハウジングと、
前記第１のスイベルハウジングの内部で、前記テーブル回転軸を中心に回転可能に配置される第１のスイベルシャフトと、
一方の端面が前記第１のスイベルシャフト及び前記出力軸に固定され、他方の端面が前記洗浄テーブルの一端側に固定される第１のフランジと、を含み、
前記テーブル回転軸を中心に前記洗浄テーブルを回転させる回転機構と、
少なくとも１つの第１の流路であって、
前記第１のスイベルハウジングの内周面及び前記第１のスイベルシャフトの間に環状に形成される第１の環状路と、
前記第１の環状路の上流側に配置される第１の上流側流路と、
前記第１の環状路の下流側であって前記第１のスイベルシャフトの内部に配置され、前記第１の環状路を介して前記第１の上流側流路と接続する第１の下流側流路と、を含み、
前記洗浄テーブルに第１の流体を供給するための第１の流路と、を備え、
前記洗浄機は、
前記第１の流体としての圧縮空気を前記少なくとも１つの第１の流路に供給するための圧縮空気供給源を更に備え、
前記洗浄テーブルは、
前記対象物が着座する複数の着座ピンと、
前記複数の着座ピンに着座した前記対象物を保持するクランプと、
前記クランプ及び前記少なくとも１つの第１の流路のうち１つを接続する第１の空気流路と、を含み、
前記クランプは、前記圧縮空気供給源から前記第１の流路を介して前記第１の空気流路に供給された前記圧縮空気によって作動する、洗浄機。
【請求項９】
請求項８に記載の洗浄機であって、
前記対象物が前記複数の着座ピンに着座しているか否かを検知する着座検知ノズルと、
前記着座検知ノズル及び前記少なくとも１つの第１の流路のうち他の１つを接続する第２の空気流路と、を更に含む、洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄機に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルを有するタレットヘッドと、ワークを固定する複数の固定部が配置された旋回テーブルと、着脱空間と洗浄空間を有する洗浄室とを有し、旋回テーブルを回転させることで着脱空間に配置されていた固定部が洗浄空間に移動し、洗浄空間に配置されていた固定部が着脱空間に移動する洗浄機が知られている（特許第６００８７５３号参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の洗浄機では、旋回テーブルに設けられた傾動機構により洗浄の対象物であるワークを傾けて洗浄できるが、旋回テーブル回りの構造の簡略化が求められているのが実状である。
【０００４】
本発明は、上記した実状に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、旋回テーブル回りの構造を簡略化できる洗浄機を提供することにあり、その第２の目的は、新たな姿勢変化装置を搭載した、旋回テーブルを含まない洗浄機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記第１の目的を達成するために、本発明の代表的な側面は、対象物を洗浄する洗浄機であって、旋回軸を中心に回転して、前記対象物を所定の位置に割り出す旋回テーブルと、前記旋回テーブル上に設けられ、前記対象物の姿勢を変化させる姿勢変化装置と、を備え、前記姿勢変化装置は、前記対象物が載置される洗浄テーブルと、前記洗浄テーブルの一端側に配置され、前記洗浄テーブルを前記旋回軸と直交するテーブル回転軸を中心に回転させる回転機構と、前記洗浄テーブルに第１の流体を供給するための少なくとも１つの第１の流路と、を有し、前記回転機構は、駆動源であるモータと、前記モータの駆動軸に固定される第１の傘歯車と、前記テーブル回転軸と同軸上に配置される中空の出力軸、及び前記出力軸の内部に配置される中空の入力軸を有する減速機と、前記入力軸に固定され、前記第１の傘歯車と噛み合う第２の傘歯車と、前記入力軸の内部に挿入される中空の第１のスイベルハウジングと、前記第１のスイベルハウジングの内部で、前記テーブル回転軸を中心に回転可能に配置される第１のスイベルシャフトと、一方の端面が前記第１のスイベルシャフト及び前記出力軸に固定され、他方の端面が前記洗浄テーブルの一端側に固定される第１のフランジと、を含み、前記少なくとも１つの第１の流路は、前記第１のスイベルハウジングの内周面及び前記第１のスイベルシャフトの間に環状に形成される第１の環状路と、前記第１の環状路の上流側に配置される第１の上流側流路と、前記第１の環状路の下流側であって前記第１のスイベルシャフトの内部に配置され、前記第１の環状路を介して前記第１の上流側流路と接続する第１の下流側流路と、を含む。
また、上記第２の目的を達成するために、本発明の別の側面は、旋回テーブルを含まない洗浄機であって、例えば上記した姿勢変化装置を備える。
【０００６】
第１の流路の数量は１つでも複数でも良い。望ましくは、複数の第１の流路が配置される。第１の環状路と、第１の上流側流路と、第１の下流側流路と、空気供給口とは同数含まれる。第１の上流側流路、第１の環状路、及び第１の下流側流路は、圧縮空気供給源と空気供給口をそれぞれ接続する。第１の上流側流路は、第１のスイベルハウジングの内部においてテーブル回転軸に沿って延びる。第１の下流側流路は、第１のスイベルシャフトの内部に配置され、テーブル回転軸に沿って延びる。
【０００７】
第２の流路の数量は１つでも複数でも良い。望ましくは、１つの第２の流路が配置される。第２の流路は、洗浄テーブル側で複数に分岐できる。分岐した複数の第２流路は、複数の洗浄ノズルに接続される。第２の下流側流路は第２のスイベルシャフトの内部に配置され、テーブル回転軸に沿って延びる。
【０００８】
望ましくは、洗浄テーブルはクランプを含む。クランプはクランパを含む。クランパは対象物と接触して、対象物を着座ピンに向かって押さえる。
【０００９】
洗浄ノズルは、クランプの近傍に配置されて良い。ノズルは、クランパの周囲を洗浄して良い。洗浄ノズルは対象物のクランパとの接触部に洗浄液の噴流を衝突させるよう構成して良い。洗浄ノズルは、着座ピンや位置決めピンと対象物の接触位置の近傍に向けて洗浄液の噴流を生成する。
【００１０】
本発明の対象物の洗浄方法は、好ましくは、搬送ステーション内において対象物を洗浄テーブルに固定し、洗浄ステーション内において前記対象物を洗浄する、対象物の洗浄方法であって、前記搬送ステーション内において、前記洗浄テーブルに前記対象物を設置する前に、前記洗浄ステーション内に配置された第１のノズルが前記対象物と前記洗浄テーブルとの接触位置に対して、洗浄液を噴射し、クランプが前記対象物を前記洗浄テーブルに固定し、前記洗浄テーブルを旋回軸回りに旋回させて前記対象物を前記洗浄ステーションに搬送し、前記洗浄ステーション内に配置された第２のノズルが、前記対象物を前記洗浄ステーション内で洗浄する、方法である。
【００１１】
洗浄方法は、好ましくは、更に、前記搬送ステーション内において、前記洗浄テーブルに前記対象物を設置する前に、前記洗浄ステーション内に配置された第３のノズルが前記対象物に対して圧縮空気を噴射する。例えば、第３のノズルは、対象物が洗浄テーブルに設置されたときに、対象物と接触する。第３のノズルは、対象物が設置されたときに、対象物によって塞がれる。第３のノズルは、いわゆる着座ノズルとして利用できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、洗浄機の旋回テーブル回りの構造を簡略化できる。なお、上記以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態によって明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄機の斜視図。
【図２】旋回テーブルの斜視図。
【図３】回転機構部分をＸＹ平面で切断した断面図。
【図４】支持台部分をＸＹ平面で切断した断面図。
【図５】洗浄テーブルの斜視図。
【図６】本実施形態における洗浄工程を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る洗浄機の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１は本実施形態に係る洗浄機１０の斜視図、図２は図１に示す旋回テーブル８２を含む要部の斜視図、図３は図１に示す回転機構４０を含む要部を、テーブル回転軸２２を含むＸＹ平面で切断した断面図、図４は図１に示す支持台７０を含む要部を、テーブル回転軸２２を含むＸＹ平面で切断した断面図、図５は図１に示す洗浄テーブル３１の詳細を示す斜視図である。
【００１５】
図１に示すように、洗浄機１０は、洗浄室１９、隔壁９３、旋回テーブル８２、姿勢変化装置３０、ノズル移動装置１４、ノズル１５、及び制御装置２５を有する。また、洗浄機１０は、中間シャッタ９４、エアブロ装置８５、ハンド移動装置９１、タレット１３、ポンプ１８、ポンプ２８、洗浄液タンク２７（図４参照）、及び圧縮空気供給源８９を有して良い。
【００１６】
洗浄室１９は、例えば、箱型である。洗浄室１９は、前方に搬送ステーション９５を有し、後方に洗浄ステーション９７を有する。ノズル１５及びノズル移動装置１４は、洗浄ステーション９７に配置される。
【００１７】
旋回テーブル８２は、洗浄ステーション９７と搬送ステーション９５にわたって配置される。旋回テーブル８２は２つの領域８２ａ，８２ｂ、及び可動壁８８を有する。可動壁８８は、旋回テーブル８２を２つの領域８２ａ，８２ｂに区画する。旋回テーブル８２は、旋回軸８１を中心に１８０度旋回する。旋回軸８１は、洗浄ステーション９７と搬送ステーション９５の境界上で、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる。
【００１８】
領域８２ａ，８２ｂは、旋回軸８１を中心に１８０度回転対称に配置される。旋回テーブル８２の旋回により、２つの領域８２ａ，８２ｂの一方が洗浄ステーション９７に、他方が搬送ステーション９５に位置決めされる。これにより、旋回テーブル８２の各領域８２ａ，８２ｂに載置された対象物３が所定の位置（搬送位置又は洗浄位置）に割り出される。
【００１９】
可動壁８８は、平板である。可動壁８８は、旋回軸８１を含んで旋回テーブル８２に垂直な面上で、旋回テーブル８２に固定される。旋回テーブル８２を位置決めすると、可動壁８８は隔壁９３と接続し、可動壁８８と隔壁９３とが同一平面となる。可動壁８８は、旋回テーブル８２と一体となって旋回軸８１を中心に旋回する。
【００２０】
隔壁９３は、平板である。隔壁９３は、洗浄室１９内の旋回軸８１を含むＸＺ平面上に配置され、洗浄室１９を洗浄ステーション９７と搬送ステーション９５に区画する。隔壁９３は、搬送口９６を有する。旋回テーブル８２が旋回すると、旋回テーブル８２、洗浄テーブル３１、及び対象物３は、搬送口９６を通過する。
【００２１】
中間シャッタ９４は、搬送口９６を開閉する。例えば、中間シャッタ９４は、上下にスライドするスライド扉である。中間シャッタ９４が下降すると、中間シャッタ９４は可動壁８８と接する。中間シャッタ９４が可動壁８８と接することにより、搬送口９６が閉じられる。
【００２２】
搬送ステーション９５には、搬入口（不図示）が配置される。搬入口は、例えば、洗浄機１０の前面又は上面に配置される。搬入口には、例えばスライド扉から成る搬入シャッタ（不図示）が設けられ、搬入シャッタの昇降動作により、搬入口が開閉する。
【００２３】
ポンプ１８は、液体ポンプであり、例えば、高圧用のピストンポンプ、ギヤポンプ、渦巻きポンプである。洗浄液タンク２７は、洗浄液（第２の流体）を貯留し、ポンプ１８へ洗浄液を供給する。ポンプ１８は、タレット１３を介してノズル１５へ洗浄液を供給する。
【００２４】
ノズル移動装置１４は、タレット１３及びノズル１５を、洗浄テーブル３１に対して、左右方向（Ｘ軸方向）、前後方向（Ｙ軸方向）、上下方向（Ｚ軸方向）へ自在に移動できる。
【００２５】
回転機構４０は、テーブル回転軸２１（テーブル回転軸２２）を中心に洗浄テーブル３１をＡ軸方向（Ｄ軸方向）に回転させる。
【００２６】
タレット１３は、ノズル移動装置１４に設けられる。タレット１３は、Ｚ軸方向に延びるノズル回転軸１６を有する。タレット１３は、複数のノズル１５を有しても良い。タレット１３は、旋回して、一つのノズル１５を下方に割り出す。タレット１３は、下方に割り出されたノズル１５へ洗浄液を供給する。ノズル移動装置１４又はタレット１３は、ノズル回転軸１６を中心にノズル１５をＣ軸方向に回転させる。タレット１３として、例えば、特許第６１４７６２３号及び特許５４３２９４３号が提案されている。
【００２７】
ノズル１５は、タレット１３に設けられる。例えば、ノズル１５は、ノズル回転軸１６に沿って延びる軸体（不図示）及び軸体の先端に配置された噴口（不図示）を有する。望ましくは、ノズル１５は、ノズル回転軸１６を中心として回転でき、又は、回転方向に位置決めできる。
【００２８】
エアブロ装置８５は、複数のエアブロノズル８５ａを有する。圧縮空気供給源８９は、例えば、エアコンプレッサーやブロアーである。圧縮空気供給源８９は、エアブロ装置８５に接続される。
【００２９】
ハンド移動装置９１は、例えば、多関節ロボットである。ハンド移動装置９１は、洗浄室１９の天井面に設置される。ハンド移動装置９１は搬送ステーション９５に設置される。ハンド移動装置９１は、先端に対象物３を把持する把持装置９２を有する。ハンド移動装置９１は、把持装置９２により把持された対象物３を搬入口（不図示）から出し入れする。また、ハンド移動装置９１は、対象物３をエアブロ装置８５に向けて移動させ、対象物３の姿勢を変更しながら対象物３を乾燥させる。
【００３０】
制御装置２５は、ノズル移動装置１４、タレット１３、旋回テーブル８２、ハンド移動装置９１、姿勢変化装置３０、ポンプ１８、ポンプ２８、中間シャッタ９４、圧縮空気供給源８９、及びエアブロ装置８５を制御する。
【００３１】
制御装置２５は、図示しないが、各種演算等を行うＣＰＵ、ＣＰＵによる演算を実行するためのプログラムを格納するＲＯＭやＨＤＤ等の記憶装置、ＣＰＵがプログラムを実行する際の作業領域となるＲＡＭ、および他の機器とデータを送受信する際のインタフェースである通信インタフェースを含むハードウェアと、記憶装置に記憶され、ＣＰＵにより実行されるソフトウェアとから構成される。制御装置２５の各機能は、ＣＰＵが、記憶装置に格納された各種プログラムをＲＡＭにロードして実行することにより、実現される。
【００３２】
次に、姿勢変化装置３０について説明する。図１に示すように、姿勢変化装置３０は、旋回テーブル８２の各領域８２ａ，８２ｂ上にそれぞれ配置され、対象物３の姿勢を変化させる。以下では領域８２ａに配置された姿勢変化装置３０について説明する。
【００３３】
姿勢変化装置３０は、洗浄テーブル３１と、回転機構（テーブル回転装置）４０と、支持台７０と、を有する。また、姿勢変化装置３０は、複数の空気案内流路と、洗浄液案内流路６（図４参照）と、を有している。本実施形態においては、８本の空気案内流路が設けられているが、２本のみ、即ち、空気案内流路５ａ、５ｂは図３に示されており、ほかの空気案内流路は省略した。
【００３４】
回転機構４０は、旋回テーブル８２の上面の一端側に配置される。回転機構４０は、洗浄テーブル３１を旋回軸８１と垂直なテーブル回転軸（回転軸）２２を中心に回転させる。図３に示すように、回転機構４０は、モータ４２と、傘歯車（第１の傘歯車）４４と、減速機５０と、傘歯車（第２の傘歯車）５６と、スイベルハウジング（第１のスイベルハウジング）６０と、スイベルシャフト（第１のスイベルシャフト）６１と、円テーブルであるフランジ（第１のフランジ）６２と、ケース４５と、を含む。
【００３５】
モータ４２は駆動源であり、駆動軸４３を持つ。モータ４２はケース４５に固定される。モータ４２は例えばサーボモータ、ステッピングモータである。駆動軸４３はテーブル回転軸２２とＸＹ平面において直交する。即ち、テーブル回転軸２２がＸ軸方向に延びるのに対して、駆動軸４３はＹ軸方向に延びる。なお、駆動軸４３とテーブル回転軸２２は交わらなくても良い。
【００３６】
傘歯車４４は、駆動軸４３に固定される。減速機５０は最終減速機であり、望ましくはバックラッシュ０である。減速機５０は、ケース４５に固定される。減速機５０は、中空の出力軸５２と、中空の入力軸５１とを有する。出力軸５２と入力軸５１は、テーブル回転軸２２と同軸上に配置される。入力軸５１は、出力軸５２の内部に配置される。
【００３７】
傘歯車５６は入力軸５１に固定され、傘歯車４４と噛み合う。
【００３８】
スイベルハウジング６０は、中空の円柱状であり、入力軸５１の内部に挿入される。スイベルハウジング６０は、テーブル回転軸２２と同軸上に配置される。スイベルハウジング６０は、ケース４５に固定される。
【００３９】
スイベルシャフト６１は、スイベルハウジング６０の内部で、テーブル回転軸２２と同軸上に配置される。スイベルシャフト６１は、その両端が軸受５４により支持され、フランジ６２に固定される。スイベルシャフト６１は、テーブル回転軸２２を中心に回転可能である。
【００４０】
フランジ６２は、円盤状であり、一方の端面がスイベルシャフト６１及び出力軸５２に固定され、他方の端面が洗浄テーブル３１の一端側である右側板（第１の側板）３１ａに固定される。なお、本実施形態では、フランジ６２とスイベルシャフト６１とは一体の部材で構成されているが、フランジ６２とスイベルシャフト６１とが別体で構成され、不図示の固定部材によって互いに固定されても良い。
【００４１】
ケース４５は、箱状であり、モータ４２、傘歯車４４、傘歯車５６、及び減速機５０を全体的に覆う。ケース４５は、傘歯車４４及び傘歯車５６を覆う部分が傾斜面４５ａで構成される。具体的には、ケース４５は、ＸＹ平面において逆Ｌ字状に形成され、先端側（モータ４２の駆動軸４３より先端側）の傘歯車４４及び傘歯車５６の形状に沿うように先細となる傾斜面４５ａが形成されている。また、フランジ６２とケース４５との間はシールリング５５が配置されている。
【００４２】
空気案内流路（第１の流路）５ａ，５ｂ…５ｅは、洗浄テーブル３１に圧縮空気（第１の流体）を供給する。空気案内流路（以下、流路という）５ａは、環状路（第１の環状路）６３ａと、上流側流路（第１の上流側流路）６４ａと、下流側流路（第１の下流側流路）６５ａと、空気供給口３９ａと、を含む。上流側流路６４ａは圧縮空気供給源８９と接続されている。図示を一部省略するが、環状路６３ａ，６３ｂ・・・、上流側流路６４ａ，６４ｂ・・・、下流側流路６５ａ，６５ｂ・・・、及び空気供給口３９ａ，３９ｂ・・・は同数であり、各流路５ｂ，５ｃ，５ｄ…は流路５ａと同様の構成である。以下、流路５ａについて詳しく説明する。
【００４３】
スイベルハウジング６０の内周面６０ａとスイベルシャフト６１との間には環状路６３ａが形成される。環状路６３ａは、スイベルシャフト６１の外周面に設けても良い。
【００４４】
上流側流路６４ａはスイベルハウジング６０に配置される。上流側流路６４ａは圧縮空気供給源８９と環状路６３ａを接続する。上流側流路６４ａはチューブを含んで良い。
【００４５】
下流側流路６５ａは、スイベルシャフト６１及びフランジ６２の内部に配置される。下流側流路６５ａはテーブル回転軸２２に沿って延びる。下流側流路６５ａは環状路６３ａを介して上流側流路６４ａと接続する。下流側流路６５ａは、環状路６３ａと空気供給口３９ａを接続する。空気供給口３９ａはフランジ６２の他端に配置される。
【００４６】
圧縮空気供給源８９から送られる圧縮空気は、上流側流路６４ａ、環状路６３ａ、下流側流路６５ａを順に流れて、空気供給口３９ａへと導かれる。流路５ｂ，５ｃ・・・にも圧縮空気が同様に流れる。
【００４７】
支持台７０は、洗浄テーブル３１の他端側に設けられ、洗浄テーブル３１を回転可能に支持する。図４に示すように、支持台７０は、スタンド７１と、スイベルハウジング（第２のスイベルハウジング）７２と、スイベルシャフト（第２のスイベルシャフト）７３と、円テーブルであるフランジ（第２のフランジ）７４と、を含む。支持台７０はシールリング７９ａ、７９ｂを含んで良い。
【００４８】
スタンド７１は、旋回テーブル８２の上面の他端部に固定される。スタンド７１は軸受７８を有する。軸受７８はテーブル回転軸２２を中心に配置される。
【００４９】
スイベルハウジング７２は、スタンド７１に固定され、テーブル回転軸２２と同軸上に配置される。
【００５０】
スイベルシャフト７３は、スイベルハウジング７２の内部で、テーブル回転軸２２と同軸上に配置される。スイベルシャフト７３は、軸受７８に支持される大径部７３ａ及びスイベルハウジング７２に挿入される小径部７３ｂを有する。スイベルシャフト７３は、軸受７８により支持されており、テーブル回転軸２２を中心に回転可能である。
【００５１】
フランジ７４は、円盤状の部材であり、スイベルシャフト７３に固定される。他方の端面が洗浄テーブル３１の他端側である左側板（第２の側板）３１ｂに固定される。フランジ７４とスイベルシャフト７３とは一体に構成されて良い。
【００５２】
シールリング７９ａはスタンド７１の一端に配置され、フランジ７４又はスイベルシャフト７３とスタンド７１との隙間を封止する。シールリング７９ｂはスタンド７１の他端に配置され、スイベルシャフト７３とスタンド７１との隙間を封止する。
【００５３】
洗浄液供給源８７は、洗浄液が貯留された洗浄液タンク２７とポンプ２８とを含む。ポンプ２８は、例えば低圧用の渦巻きポンプである。
【００５４】
洗浄液案内流路（第２の流路）６は、洗浄テーブル３１に洗浄液（第２の流体）を供給する。洗浄液案内流路（以下、流路という）６は、環状路（第２の環状路）７５、上流側流路（第２の上流側流路）７６、下流側流路７７（第２の下流側流路）、及び洗浄液供給口３９ｐを含む。流路６において、環状路７５、上流側流路７６、及び下流側流路７７は、何れも１つである。流路６は複数設けられても良い。
【００５５】
スイベルハウジング７２の内周面７２ａとスイベルシャフト７３との間には環状路７５が形成されている。環状路７５は、スイベルシャフト７３の外周面に設けても良い。
【００５６】
上流側流路７６はスイベルハウジング７２に配置され、ポンプ２８と環状路７５とを接続する。上流側流路７６はチューブを含んで良い。
【００５７】
下流側流路７７は、スイベルシャフト７３及びフランジ７４の内部に配置される。下流側流路７７は、テーブル回転軸２２に沿う方向に延びる。下流側流路７７は環状路７５を介して上流側流路７６と接続する。下流側流路７７は、環状路７５と洗浄液供給口３９ｐを接続する。洗浄液供給口３９ｐはフランジ７４の一端に配置される。
【００５８】
ポンプ２８から送られる洗浄液は、上流側流路７６、環状路７５、下流側流路７７を順に流れて、洗浄液供給口３９ｐへと導かれる。
【００５９】
洗浄テーブル３１には、対象物３が載置される。図５に示すように、洗浄テーブル３１は、一端側に位置する右側板３１ａと、他端側に位置する左側板３１ｂと、右側板３１ａの下部と左側板３１ｂの下部とを接続する底板３１ｃと、を有する。洗浄テーブル３１は、着座ピン３４、クランプ３２、着座検知ノズル３３、洗浄ノズル３６、及び位置決めピン３５を含んで良い。
【００６０】
底板３１ｃは、開口部３１ｄを有する。開口部３１ｄは底板３１ｃの中央部に形成される。開口部３１ｄは、対象物３を底板３１ｃの反対面に露出する。ノズル１５が底板３１ｃの対象物３の裏面（図５の下方）から対象物３に噴流を衝突させる際に、開口部３１ｄを噴流が通過して、対象物３へ到達する。
【００６１】
２つの着座ピン３４、クランプ３２、着座検知ノズル３３、３つの洗浄ノズル３６、及び２つの位置決めピン３５は、底板３１ｃのうち開口部３１ｄの周囲の部分に配置される。
【００６２】
着座ピン３４は、円柱状に形成され、その上面に対象物３が載置される。即ち、着座ピン３４は、対象物３のＺ方向の位置決めをする。
【００６３】
クランプ３２は、クランパ３２ａを有し、着座ピン３４に載置された対象物３を保持する。クランプ３２と空気供給口３９ａとは、空気流路（第１の空気流路）３７ａにより接続されている。圧縮空気供給源８９から供給される圧縮空気は、流路５ａ（図３参照）の空気供給口３９ａを介して空気流路３７ａへと流れ、クランプ３２に供給される。クランプ３２は、供給される圧縮空気によって作動し、クランパ３２ａが対象物３を保持し、又は対象物３の保持を解除する。空気供給口３９ｂ〜３９ｄ及び空気流路３７ｂ〜３７ｄについても同様である。
【００６４】
着座検知ノズル３３は、対象物３が着座ピン３４に載置されているか否かを検知する。着座検知ノズル３３と空気供給口３９ｅとは、空気流路（第２の空気流路）３７ｅにより接続されている。圧縮空気供給源８９から供給される圧縮空気は、流路５ｅの空気供給口３９ｅを介して空気流路３７ｅへと流れ、着座検知ノズル３３に供給される。対象物３が着座ピン３４に載置されている状態では、対象物３により着座検知ノズル３３が塞がれるため、圧縮空気は着座検知ノズル３３から排出されず、空気流路３７ｅ内には圧力が立つ。一方、対象物３が着座ピン２４に載置されていない状態では、着座検知ノズル３３は対象物３で塞がれていないから、空気流路３７ｅ内には圧力が立たない。
【００６５】
空気流路３７ｅには不図示の圧力スイッチが設けられており、圧力スイッチが空気流路３７ｅの圧力を検知する。圧力スイッチは、空気流路３７ｅが所定の圧力を超えると作動し、信号を出力する。制御装置２５は、圧力スイッチからの信号に基づいて、対象物３が着座ピン３４に載置されているか否かを判定する。
【００６６】
位置決めピン３５は、対象物３のＸＹ方向の位置決めをする。
【００６７】
洗浄ノズル３６は、噴口を有し、噴口から対象物３、着座ピン３４や位置決めピン３５、クランパ３２ａに対して洗浄液を噴射する。洗浄ノズル３６は、クランプ３２、着座ピン３４や位置決めピン３５の近傍に配置される。
【００６８】
洗浄液流路３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄは、各洗浄ノズル３６と洗浄液供給口３９ｐを接続する。マニホールド３８ｅは洗浄液流路３８ａと３つの洗浄液流路３８ｂ，３８ｃ，３８ｄを接続する。
【００６９】
洗浄液供給源８７から供給される洗浄液は、流路６（図４参照）から洗浄液供給口３９ｐを介して洗浄液流路３８ａ〜３８ｄへと流れ、各洗浄ノズル３６の噴口から対象物３、クランパ３２ａ、着座ピン３４や位置決めピン３５に向けて噴射される。
【００７０】
次に、洗浄機１０による対象物３の洗浄方法について説明する。図６は本実施形態における洗浄工程を示す。なお、以下の各動作は、制御装置２５からの制御指令に基づいて実行される。
【００７１】
図６に示すように、まず、中間シャッタ９４が開く（Ｓ１）。次に、旋回テーブル８２が旋回する（Ｓ２）。このとき、搬送ステーション９５にある洗浄前の対象物３が洗浄ステーション９７に搬送され、洗浄ステーション９７にある洗浄済みの対象物３が搬送ステーション９５に搬送される。続いて、中間シャッタ９４が閉じる（Ｓ３）。このとき、隔壁９３、中間シャッタ９４、可動壁８８によって、洗浄ステーション９７と搬送ステーション９５が分離する。
【００７２】
次に、洗浄ステーション９７における洗浄方法を説明する。
【００７３】
ポンプ１８が洗浄液をノズル（第２のノズル）１５へ供給し、ノズル１５が洗浄液を噴射する。回転機構４０が対象物３の姿勢を変化させ、ノズル移動装置１４がノズル１５を移動し、ノズル１５が噴流を対象物３へ衝突させる。ノズル１５が移動経路に沿って移動することにより、対象物３が洗浄される（Ｓ１１）。
【００７４】
続いて、搬送ステーション９５における乾燥、搬送の手順を説明する。
【００７５】
圧縮空気供給源８９から供給される圧縮空気により、クランプ３２は対象物３をアンクランプする。ハンド移動装置９１は、洗浄後の対象物３を把持（クランプ）し、エアブロ装置８５に向けて移動する。エアブロ装置８５は、圧縮空気を対象物３に対して噴射してエアブロする（Ｓ２１）。
【００７６】
搬入シャッタ（不図示）が、搬入口（不図示）を開ける。ハンド移動装置９１は、乾燥した対象物３を搬入口（不図示）から搬出する（Ｓ２２）。
【００７７】
続いて、ハンド移動装置９１は、次に洗浄する対象物３を搬入口（不図示）から搬入する（Ｓ２３）。ハンド移動装置９１が、対象物３を着座ピン３４と僅かな隙間を空けた状態に保持する。この状態で、ポンプ２８は、洗浄液を洗浄ノズル（第１のノズル）３６へ送る。洗浄ノズル３６は、クランパ３２ａ、着座ピン３４や位置決めピン３５と対象物３の接触部に向けて洗浄液を噴射する。これにより、対象物３が洗浄テーブル３１に設置される前に、対象物３、着座ピン３４や位置決めピン３５がプレ洗浄される。
【００７８】
同時に、圧縮空気供給源８９は、空気流路３７ｅを介して着座検知ノズル３３に圧縮空気を供給する。着座検知ノズル（第３のノズル）３３から噴出した圧縮空気は、対象物３と着座検知ノズル３３の接触部の周辺をエアブロする。これにより、対象物３が着座検知ノズル３３と接触する部分に付着した異物は吹き飛ばされる。対象物３に対するプレ洗浄及びエアブロが終了すると、ハンド移動装置９１が対象物３を洗浄テーブル３１に設置する。圧縮空気供給源８９からの圧縮空気はクランプ３２に供給され、対象物３をクランプする。これにより、洗浄テーブル３１及び対象物３のプレ洗浄が完了する（Ｓ２４）。そして、搬入シャッタ（不図示）は、搬入口（不図示）を閉じる。
【００７９】
次に洗浄機１０を起動したときに、再びステップＳ１から処理が開始され、洗浄された対象物３が搬送ステーション９５へ搬送され、新しく搬入した対象物３が洗浄ステーション９７へ搬送される。
【００８０】
上記実施形態に係る洗浄機１０によれば、以下の作用効果を奏する。
【００８１】
姿勢変化装置３０を旋回テーブル８２上に配置したので、旋回テーブル８２の周囲を簡略に構成できる。また、洗浄テーブル３１に流路５ａ〜５ｅを介して圧縮空気を供給できるため、圧縮空気の引き回しを簡素化できる。具体的には、流路５ａ〜５ｅが減速機５０の入出力軸の内部に形成されているため、圧縮空気を供給するためのチューブ等を削減できる。更に、ケース４５の傾斜面４５ａにより、旋回テーブル８２の旋回半径を小さくできる。そのため、旋回テーブル８２を小型化できる。
【００８２】
また、洗浄テーブル３１に流路６を介して洗浄液を供給し、洗浄ノズル３６から洗浄液をクランパ３２ａ、着座ピン３４や位置決めピン３５と対象物３の接触部に向けて噴射できる構成としたので、対象物３が洗浄テーブル３１に設置されるときに、対象物３の表面の内、クランパ３２ａ、着座ピン３４や位置決めピン３５との接触部が洗浄される。対象物３を洗浄テーブル３１に設置する際に、クランパ３２ａ、着座ピン３４や位置決めピン３５が汚れない。また、対象物３を洗浄テーブル３１にクランプする際に、対象物３に付着した異物によって、対象物３に傷がつくことを抑制できる。更に、支持台７０の軸部の内部に流路６が形成されているため、洗浄液の引き回しを簡素化でき、洗浄液を供給するためのチューブ等を削減できる。
【００８３】
本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。
【００８４】
例えば、旋回テーブル８２を含まない、一室型の洗浄機を実現できる。例えば、姿勢変化装置３０と、ノズル１５と、１つのノズル移動装置１４と、洗浄室１９を含む洗浄機が考えられる。このような変形例では、旋回テーブル８２、隔壁９３を配置しない。
【００８５】
また、ハンド移動装置９１と、把持装置９２と、固定されたエアブロ装置８５に代えて、エアブロノズル８５ａを持つロボットを洗浄室１９に配置しても良い。ロボットは、エアブロノズル８５ａを対象物３に向けながら、対象物３の表面に沿って移動させて、対象物３を乾燥して良い。
【符号の説明】
【００８６】
３  対象物
５ａ〜５ｅ  空気案内流路（第１の流路）
１０  洗浄機
２１，２２  テーブル回転軸（回転軸）
３０  姿勢変化装置
３１  洗浄テーブル
４０  回転機構（テーブル回転装置）
４１  モータ回転軸
４２  モータ
４３  駆動軸
４４  傘歯車（第１の傘歯車）
５０  減速機
５１  入力軸
５２  出力軸
５６  傘歯車（第２の傘歯車）
６０  スイベルハウジング（第１のスイベルハウジング）
６１  スイベルシャフト（第１のスイベルシャフト）
６２  フランジ（第１のフランジ）
６３ａ〜６３ｅ  環状路（第１の環状路）
６４ａ〜６４ｅ  上流側流路（第１の上流側流路）
６５ａ〜６５ｅ  下流側流路（第２の下流側流路）
７４  フランジ（第２のフランジ）
８１  旋回軸
８２  旋回テーブル
【要約】
【課題】旋回テーブル回りの構造を簡略化できる洗浄機を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄機(10)は、洗浄テーブル(31)と、回転機構(40)と、第１の流路(5a〜5e)と、を有する。回転機構は、モータ(42)と、第１の傘歯車(44)と、出力軸(52)及び入力軸(51)を有する減速機(50)と、第２の傘歯車(56)と、入力軸(51)の内部に挿入される第１のスイベルハウジング(60)と、第１のスイベルハウジングの内部に配置される第１のスイベルシャフト(61)と、第１のフランジ(62)と、を含む。第１の流路は、第１の環状路(63a〜63e)と、第１の上流側流路(64a〜64e)と、第１のスイベルシャフトの内部に配置され、第１の環状路を介して第１の上流側流路と接続する第１の下流側流路(65a〜65e)と、を含む。
【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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