(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電された多孔質シートを含み、２５℃、定圧荷重１００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０15Ω・ｃｍ以上で且つ２５℃、定圧荷重１００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が５．５ｋＶ以上であることを特徴とするエレクトレットシート。
【請求項２】
２５℃、定圧荷重２００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０14  Ω・ｃｍ以上で且つ２５℃、定圧荷重２００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が４ｋＶ以上であることを特徴とする請求項１に記載のエレクトレットシート。
【請求項３】
多孔質シートが、ポリプロピレン系樹脂発泡シートであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエレクトレットシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトレットシートは絶縁性の高分子材料に電荷を注入することにより、内部に永久帯電を付与した材料である。
【０００３】
合成樹脂製の発泡シートは気泡を形成している気泡膜及びこの近傍部を帯電させることによってセラミックスに匹敵する非常に高い圧電性を示すことが知られている。このような合成樹脂製の発泡シートを用いたエレクトレットは、その優れた感度を利用して音響ピックアップや各種圧力センサなどへの応用が提案されている。
【０００４】
エレクトレットシートとして、特許文献１には、塩素化ポリオレフィンが付与されているシートであって、かつ、該シートが１×１０-10クーロン／ｃｍ2以上の表面電荷密度を有するエレクトレットシートが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２８４０６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のエレクトレットシートは、高温環境下において圧電性が低下するという問題点を有している。
【０００７】
本発明は、高温環境下においても高い圧電性を保持するエレクトレットシートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のエレクトレットシートは、帯電された多孔質シートを含み、定圧荷重１００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０15Ω・ｃｍ以上で且つ定圧荷重１００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が５．５ｋＶ以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のエレクトレットシートは、上述の如き構成を有していることから、高温環境下においても電荷の放出が低減されており、優れた圧電性を保持する。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明のエレクトレットシートは、帯電された多孔質シートを含む。多孔質シートとしては、内部に空隙部を有しておれば特に限定されないが、合成樹脂発泡シートが好ましい。合成樹脂発泡シートを構成する合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリ乳酸、液晶樹脂などが挙げられ、ポリオレフィン系樹脂を含むことが好ましく、ポリプロピレン系樹脂を含むことがより好ましい。
【００１１】
合成樹脂は絶縁性に優れていることが好ましく、合成樹脂としては、ＪＩＳ  Ｋ６９１１に準拠して印可電圧５００Ｖにて電圧印可１分後の体積固有抵抗値（以下、単に「体積固有抵抗値」という）が１．０×１０10Ω・ｍ以上である合成樹脂が好ましい。
【００１２】
合成樹脂の上記体積固有抵抗値は、エレクトレットシートがより優れた圧電性を有することから、１．０×１０12Ω・ｍ以上が好ましく、１．０×１０14Ω・ｍ以上がより好ましい。
【００１３】
ポリエチレン系樹脂としては、エチレン単独重合体、又は、エチレン成分を５０質量％を超えて含有するエチレンと少なくとも１種の炭素数が３〜２０のα―オレフィンとの共重合体を挙げることができる。エチレン単独重合体としては、高圧下でラジカル重合させた低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、中低圧で触媒存在下で重合させた中低圧法高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）などを挙げることができる。エチレンとα−オレフィンを共重合させることで直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）を得ることができ、α―オレフィンとしては、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、１−オクテン、１−ノネン、１−デセン、１−テトラデセン、１−ヘキサデセン、１−オクタデセン、１−エイコセンなどが挙げられ、炭素数が４〜１０のα−オレフィンが好ましい。なお、直鎖状低密度ポリエチレン中におけるα−オレフィンの含有量は通常、１〜１５質量％である。
【００１４】
ポリプロピレン系樹脂としては、プロピレン成分を５０質量％を超えて含有しておれば、特に限定されず、例えば、プロピレン単独重合体（ホモポリプロピレン）、プロピレンと少なくとも１種のプロピレン以外の炭素数が２０以下のオレフィンとの共重合体などが挙げられる。なお、ポリプロピレン系樹脂は単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。又、プロピレンと少なくとも１種のプロピレン以外の炭素数が２０以下のオレフィンとの共重合体は、ブロック共重合体、ランダム共重合体の何れであってもよい。
【００１５】
なお、プロピレンと共重合されるα−オレフィンとしては、例えば、エチレン、１−ブテン、１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−ノネン、１−デセン、１−テトラデセン、１−ヘキサデセン、１−オクタデセン、１−エイコセンなどが挙げられる。
【００１６】
合成樹脂発泡シートの発泡倍率は３〜１５倍が好ましく、４〜１０倍がより好ましい。合成樹脂発泡シートの発泡倍率が３倍以上であると、エレクトレットシートの柔軟性が向上し、圧力に対する変形度合いが大きくなり、エレクトレットシートの圧電性が高くなり好ましい。合成樹脂発泡シートの発泡倍率が１５倍以下であると、エレクトレットシートの機械的強度が向上し、圧縮永久歪みも小さくなり、エレクトレットシートは長期間に亘って優れた圧電性を維持し好ましい。なお、合成樹脂発泡シートの発泡倍率は、合成樹脂発泡シートを構成している合成樹脂全体の密度を合成樹脂発泡シートの密度で除した値をいう。
【００１７】
合成樹脂発泡シートの厚みは、１０〜３００μｍが好ましく、３０〜２００μｍがより好ましい。合成樹脂発泡シートの厚みが１０μｍ以上であると、厚み方向の気泡数を確保することができ、エレクトレットシートの圧電性が向上し好ましい。合成樹脂発泡シートの厚みが３００μｍ以下であると、エレクトレットシートの気泡壁に分極状態で効果的に帯電させることができ、エレクトレットシートの圧電性の安定性が向上し好ましい。
【００１８】
合成樹脂発泡シートの製造方法としては、特に限定されず、例えば、合成樹脂及び熱分解型発泡剤、並びに必要に応じて多官能モノマーを押出機に供給して熱分解型発泡剤の分解温度未満の温度にて溶融混練し押出機に取り付けたＴダイから発泡性合成樹脂シートを押出し、この発泡性合成樹脂シートを必要に応じて架橋した上で、発泡性合成樹脂シートを熱分解型発泡剤の分解温度以上に加熱して発泡させて合成樹脂発泡シートを製造する方法が挙げられる。
【００１９】
熱分解型発泡剤としては、例えば、アゾジカルボンアミド、ベンゼンスルホニルヒドラジド、ジニトロソペンタメチレンテトラミン、トルエンスルホニルヒドラジド、４，４−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）などが挙げられる。
【００２０】
合成樹脂発泡シートは多官能モノマーを用いて架橋されていることが好ましい。多官能モノマーを用いることによって、合成樹脂の架橋効率を向上させることができ、エレクトレットシートは、微弱な応力下においても優れた圧電性を発揮する。
【００２１】
多官能モノマーとしては、ジビニルベンゼン、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメリット酸トリアリルエステル、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、シアノエチルアクリレート、ビス（４−アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパンなどが挙げられる。なかでも、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレートが好ましい。なお、（メタ）アクリレートは、メタクリレート又はアクリレートを意味する。
【００２２】
多官能モノマーの量は、合成樹脂１００質量部に対して０．１〜１０質量部が好ましく、０．５〜８質量部が好ましい。多官能モノマーの量が０．１質量部以上であると、合成樹脂の架橋効率を十分に向上させることができる。多官能モノマーの量が１０質量部以下であると、エレクトレットシートは、微弱な応力下においても優れた圧電性を発揮する。
【００２３】
上記製造方法において、発泡性合成樹脂シートを養生することが好ましい。発泡性合成樹脂シートを養生することによって、合成樹脂中の残留歪みが開放され、得られる合成樹脂発泡シートの気泡が均一で且つ微細になり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。
【００２４】
発泡性合成樹脂シートを養生するときの雰囲気温度は、２０〜７０℃が好ましく、２０〜５０℃がより好ましい。発泡性合成樹脂シートの養生温度は、２０℃以上であると、養生時間を短縮することができ、合成樹脂発泡シートの製造効率が向上する。発泡性合成樹脂シートの養生温度は、７０℃以下であると、合成樹脂発泡シートの気泡が均一となり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。
【００２５】
発泡性合成樹脂シートの養生時間は、１〜１２０時間が好ましく、２〜７２時間がより好ましく、２０〜７２時間が特に好ましい。発泡性合成樹脂シートの養生時間が１時間以上であると、得られる合成樹脂発泡シートの気泡が均一になり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。発泡性合成樹脂シートの養生時間が１２０時間以下であると、表面平滑性に優れた合成樹脂発泡シートを得ることができ、エレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。
【００２６】
合成樹脂発泡シートは、合成樹脂発泡シートの電荷保持力を向上させることができるので、延伸されていることが好ましく、一軸延伸されていることがより好ましく、押出方向に対して直交する方向にのみ一軸延伸されていることが特に好ましい。合成樹脂発泡シートの延伸方法としては、例えば、（１）合成樹脂発泡シートの長さ方向（押出方向）又は幅方向（押出方向に直交する方向）に延伸を行う一軸延伸法、（２）合成樹脂発泡シートの長さ方向（押出方向）及び幅方向（押出方向に直交する方向）の双方向に延伸を行う二軸延伸法、（３）合成樹脂発泡シートの幅方向（押出方向に直交する方向）を固定した状態で長さ方向（押出方向）に延伸を行う延伸法、及び（４）合成樹脂発泡シートの長さ方向（押出方向）を固定した状態で幅方向（押出方向に直交する方向）に延伸を行う延伸法などが挙げられる。
【００２７】
多孔質シートを帯電させることによってエレクトレットシートが構成されている。多孔質シートを帯電させる方法としては、特に限定されず、例えば、多孔質シートに直流電界を加える方法などが挙げられる。
【００２８】
多孔質シートに直流電界を加える方法としては、特に限定されず、例えば、（１）多孔質シートを一対の平板電極で挟持し、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、多孔質シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して多孔質シートを帯電させる方法、（２）多孔質シートの第一の面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、多孔質シートの第二の面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて多孔質シートを帯電させる方法などが挙げられる。
【００２９】
多孔質シートに直流電界を加える時の直流処理電圧の絶対値は、５〜４０ｋＶが好ましく、１０〜３０ｋＶがより好ましい。直流処理電圧を上記範囲に調整することによって、得られるエレクトレットシートの高温における圧電性の保持性が向上する。
【００３０】
エレクトレットシートの２５℃及び定圧荷重１００ｋＰａにおける体積抵抗率は、１．０×１０15Ω・ｃｍ以上であり、１．０×１０15〜１．０×１０18Ω・ｃｍが好ましく、１．０×１０16〜１．０×１０18Ω・ｃｍがより好ましい。エレクトレットシートの定圧荷重１００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０15Ω・ｃｍ以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの定圧荷重１００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０18Ω・ｃｍ以下であると、エレクトレットシートの表面に静電気が発生し難くなり、内部電荷の放電が抑制され、エレクトレットシートの圧電性の保持性が向上するので好ましい。
【００３１】
エレクトレットシートの２５℃及び定圧荷重２００ｋＰａにおける体積抵抗率は、１．０×１０14Ω・ｃｍ以上が好ましく、１．０×１０15〜１．０×１０17Ω・ｃｍがより好ましく、１．０×１０16〜１．０×１０17Ω・ｃｍが特に好ましい。エレクトレットシートの定圧荷重２００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０14Ω・ｃｍ以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの定圧荷重２００ｋＰａにおける体積抵抗率が１．０×１０17Ω・ｃｍ以下であると、エレクトレットシートの表面に静電気が発生し難くなり、内部電荷の放電が抑制され、エレクトレットシートの圧電性の保持性が向上するので好ましい。
【００３２】
エレクトレットシートの２５℃及び所定の定圧荷重下における体積抵抗率は下記の要領で測定される。具体的には、１０ｃｍ角の平面正方形状の試験片を得、この試験片を２５℃、相対湿度６５％の雰囲気下で裏面電極上に載置して１０分間放置した後、試験片上に表面電極を載置して表裏電極によって試験片を挟持した。試験片に表裏電極によって所定の定圧荷重が加わるように調整した。次に、電極間に５００Ｖ電圧を印加してから１分後の抵抗値（Ｒ［Ω］）を測定し、体積抵抗率（ρ［Ω・ｃｍ］）を下記式に基づいて算出した。
ρ＝（π×ｄ2／４ｔ）×Ｒ  
ρ：エレクトレットシートの体積抵抗率［Ω・ｃｍ］
π：円周率（３．１４）
ｄ：表面電極の直径（５［ｃｍ］）
ｔ：試験片の厚み（０．０１［ｃｍ］）
Ｒ：抵抗値（［Ω］）
エレクトレットシートの体積抵抗率の測定は、例えば、検出機（ＡＤＣ社製  デジタル超高抵抗／微小電流計  ８３４０Ａ）、及び温度制御可能な測定用電極（ＡＤＣ社製  レジスティビティチェンバ  １２７０８）を用いて行うことができる。
【００３３】
エレクトレットシートの２５℃及び測定する定圧荷重における体積抵抗率を上述の範囲に制御する方法としては、特に限定されないが、例えば、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の重量平均分子量を調整する方法、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂のメルトフローレイトを調整する方法などが挙げられる。
【００３４】
エレクトレットシートの２５℃及び定圧荷重１００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧は、５．５ｋＶ以上であり、６〜９ｋＶが好ましく、７〜８ｋＶが好ましい。エレクトレットシートの定圧荷重１００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が５．５ｋＶ以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの定圧荷重１００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が９ｋＶ以下であると、エレクトレットシートの内部まで帯電させやすく、エレクトレットシートは優れた帯電性を有し好ましい。
【００３５】
エレクトレットシートの２５℃及び定圧荷重２００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧は、４ｋＶ以上が好ましく、４．５〜８ｋＶがより好ましく、６〜７．５ｋＶが特に好ましい。エレクトレットシートの定圧荷重２００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が４ｋＶ以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの定圧荷重２００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧が８ｋＶ以下であると、エレクトレットシートの内部まで帯電させやすく、エレクトレットシートは優れた帯電性を有し好ましい。
【００３６】
なお、エレクトレットシートの２５℃及び測定する定圧荷重下における絶縁破壊電圧は下記の要領で測定された電圧をいう。具体的には、エレクトレットシートから一辺が５０ｍｍの平面正方形状の試験片を切り出す。一辺が５０ｍｍの平面正方形状の金属板及びアクリル板を用意する。試験片を２５℃及び相対湿度５０％の雰囲気下にて金属板とアクリル板とによって挟持する。試験片には測定する定圧荷重が加わるように調整する。次に、アクリル板の中央部に形成された貫通孔内に電極を差し込み、電極を試験片に接触させ、直流電圧を試験片に印加する。印加した直流電圧によって３０秒間通電がなければ、試験片に印加する直流電圧を０．５ｋＶずつ上昇させていき、３０秒未満で通電し絶縁破壊した時点において試験片に印加されている直流電圧を絶縁破壊電圧とする。エレクトレットシートの２５℃及び測定する定圧荷重下における絶縁破壊電圧は、例えば、菊水電子株式会社から商品名「ＴＯＳ５１０１」にて市販されている測定装置を用いることができる。
【００３７】
エレクトレットシートの２５℃及び測定する定圧荷重における絶縁破壊電圧を上述の範囲に制御する方法としては、特に限定されないが、例えば、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の体積抵抗率を調整する方法、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の重量平均分子量を調整する方法などが挙げられる。
【００３８】
２５℃及び所定の定圧荷重下において、エレクトレットシートの体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が上記所定範囲であると、エレクトレットシートの高温時における保持性が向上するメカニズムは明確に分かっていないが、２５℃及び所定の定圧荷重下における体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が上記範囲であると、高温になってエレクトレットシートを構成している多孔質シートの構成材料の分子運動が大きくなったとしても、分子間の隙間を所定の大きさに維持することができ、その結果、多孔質シート内に帯電させた電荷を高温時においても良好に保持することができるためであると考えられる。
【００３９】
エレクトレットシートの第一の面にシグナル電極を積層一体化し且つ第二の面にグランド電極を積層一体化することによって圧電センサが構成される。そして、グランド電極を基準電極としてシグナル電極の電位を測定することによって、圧電センサのエレクトレットシートにて発生した電位を測定することができる。
【００４０】
シグナル電極は、エレクトレットシートの第一の面に必要に応じて固定剤を介して積層一体化されている。同様に、グランド電極は、エレクトレットシートの第二の面に必要に応じて固定剤を介して積層一体化されている。なお、シグナル電極及びグランド電極としては、導電性を有しておれば、特に限定されず、例えば、銅箔、アルミニウム箔などの金属シート、導電性膜などが挙げられる。
【００４１】
シグナル電極及びグランド電極を導電性膜で構成する場合、導電性膜は、電気絶縁シート上に形成された上で、エレクトレットシート上に積層一体化されもよいし、又は、エレクトレットシートの表面に直接、形成されてもよい。電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に導電性膜を形成する方法としては、例えば、（１）電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に、バインダー中に導電性微粒子を含有させてなる導電ペーストを塗布、乾燥させる方法、（２）電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に蒸着によって電極を形成する方法などが挙げられる。
【００４２】
電気絶縁シートとしては、電気絶縁性を有しておれば、特に限定されず、例えば、ポリイミドシート、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシート、ポリ塩化ビニルシートなどが挙げられる。
【００４３】
固定剤層を構成している固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、エレクトレットシートの感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。
【実施例】
【００４４】
次に本発明の実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
【００４５】
下記のポリプロピレン系樹脂Ａ〜Ｅ及びポリエチレン系樹脂Ａ、Ｂを用意した。
〔ポリプロピレン系樹脂〕
プロピレン−エチレンランダム共重合体（ポリプロピレン系樹脂Ａ、日本ポリプロ社製  商品名「ノバテックＥＧ８Ｂ」、エチレン単位の含有量：５質量％）
プロピレン−エチレンランダム共重合体（ポリプロピレン系樹脂Ｂ、日本ポリプロ社製  商品名「ウィンテックＷＦＷ４」、エチレン単位の含有量：２質量％）
プロピレン−エチレンランダム共重合体（ポリプロピレン系樹脂Ｃ、日本ポリプロ社製  商品名「ウィンテックＷＦＸ４Ｔ」、エチレン単位の含有量：４質量％）
プロピレン−エチレンランダム共重合体（ポリプロピレン系樹脂Ｄ、日本ポリプロ社製  商品名「ウィンテックＷＥＧ７Ｔ」、エチレン単位の含有量：１質量％）
プロピレン−エチレンランダム共重合体Ｅ（ポリプロピレン系樹脂Ｅ、プライムポリマー社製  商品名「プライムポリプロＢ２４１」、エチレン単位の含有量：２．５質量％）
【００４６】
〔ポリエチレン系樹脂〕
直鎖状低密度ポリエチレン（ポリエチレン系樹脂Ａ、エクソンケミカル社製  商品名「ＥＸＡＣＴ３０２７」）
低密度ポリエチレン（ポリエチレン系樹脂Ｂ、日本ポリプロ社製  商品名「ノバテックＬＥ５２０Ｈ」）
【００４７】
（実施例１〜５、比較例１、２）
ポリプロピレン系樹脂Ａ〜Ｅ、ポリエチレン系樹脂Ａ、Ｂ、トリメチロールプロパントリメタクリレート、アゾジカルボンアミド及びフェノール系酸化防止剤を表１に示した所定量ずつ押出機に供給して溶融混練してＴダイからシート状に押出し、厚みが１８０μｍである発泡性樹脂シートを製造した。発泡性樹脂シートを一辺が３０ｃｍの平面正方形状に切り出した。
【００４８】
得られた発泡性樹脂シートを雰囲気温度２５℃にて４８時間養生した。得られた発泡性樹脂シートの両面に電子線を加速電圧５００ｋＶ及び強度２５ｋＧｙの条件にて照射し、発泡性樹脂シートを構成しているポリオレフィン系樹脂を架橋した。架橋させた発泡性樹脂シートを２５０℃に加熱して発泡性樹脂シートを発泡させてポリオレフィン系樹脂発泡シートを得た。得られたポリオレフィン系樹脂発泡シートをその表面温度が１３０℃に維持された状態で自動一軸延伸装置（井元製作所社製  商品名「ＩＭＣ−１８Ｃ６型」）を用いて厚み２００μｍになるまで押出方向に対して直交する方向に延伸速度９００ｍｍ／ｍｉｎにて一軸延伸して２００μｍのポリオレフィン系樹脂発泡シートを得た。なお、ポリオレフィン系樹脂発泡シートの発泡倍率及び厚みを表１に示した。
【００４９】
ポリオレフィン系樹脂発泡シートの第一の面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、ポリオレフィン系樹脂発泡シートの第二の面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極を配設し、針状電極の表面近傍への電界集中により、電圧−１０ｋＶ、放電距離３０ｍｍ及び電圧印可時間１０秒の条件下にてコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極の極性により発生した空気イオンを反発させてポリオレフィン系樹脂発泡シートに直流電界を加えて電荷を注入してポリオレフィン系樹脂発泡シートを全体的に帯電させた。ヒートガンを用いてポリオレフィン系樹脂発泡シートをその表面温度が４０℃となるように維持しながら、ポリオレフィン系樹脂発泡シートに上記帯電処理を施した。その後、電荷を注入したポリオレフィン系樹脂発泡シートを、接地されたアルミニウム箔で包み込んだ状態で３時間に亘って保持してエレクトレットシートを得た。
【００５０】
得られたエレクトレットシートについて、２５℃での定圧荷重１００ｋＰａ及び２００ｋＰａにおける体積抵抗率、並びに、２５℃での定圧荷重１００ｋＰａ及び２００ｋＰａにおける絶縁破壊電圧を上記の要領で、初期圧電定数ｄ３３及び荷重圧電定数ｄ３３を下記の要領で測定し、その結果を表１に示した。
【００５１】
（圧電定数ｄ３３）
エレクトレットシートから一辺が１０ｍｍの平面正方形状の試験片を切り出し、試験片の両面に金蒸着を施して試験体を作製した。
【００５２】
試験体に加振機を用いて荷重Ｆが２Ｎ、動的荷重が±０．２５Ｎ、周波数が１１０Ｈｚの条件下にて押圧力を加え、その時に発生する電荷Ｑ（クーロン）を計測した。電荷Ｑ（クーロン）を荷重Ｆ（Ｎ）で除することによって圧電定数ｄ３３を算出した。なお、圧電定数ｄｉｊはｊ方向の荷重、ｉ方向の電荷を意味し、ｄ３３はエレクトレットシートの厚み方向の荷重及び厚み方向の電荷となる。
【００５３】
製造直後のエレクトレットシートの圧電定数ｄ３３を測定し、初期圧電定数ｄ３３とした。
【００５４】
エレクトレットシートをアルミニウム箔で包み込んだ状態で５０℃の恒温恒湿槽内に１週間に亘って放置した後、エレクトレットシートを２３℃の恒温恒湿槽内に２４時間に亘って放置した。このエレクトレットシートの圧電定数ｄ３３を測定し、耐熱圧電定数ｄ３３とした。
【００５５】
【表１】
0006798898.tif 000002