(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引保持面において板状ワークを吸引保持する保持手段と、該保持手段が吸引保持する板状ワークを研削砥石によって研削加工する研削手段と、を備える研削装置であって、
該保持手段は、チャックテーブルと、該チャックテーブルが装着されるベースと、吸引源に接続するために複数に分岐する分岐管を有する切替部と、該切替部と吸引源とを連通する流路と、を備え、
該ベースの下端には回転可能なロータリージョイントが連結され、該流路は該ロータリージョイントの内部に１本形成され、
該チャックテーブルは、板状ワークの形状および大きさに対応して切り換え可能に多孔質部材を境部で区画し複数の吸引保持面を有する保持板と、該保持板の該吸引保持面を露出させて該保持板を収容する枠体と、を備え、
該枠体は、それぞれの該吸引保持面と接続するそれぞれの吸引孔を備え、
該ベースは、該枠体が装着される装着面と、一端が径方向外周側において該切替部と接続可能であるとともに他端が該装着面に装着された該枠体のそれぞれの該吸引孔に連通するそれぞれの吸引路と、を備え、
板状ワークの被保持面の大きさに応じて該吸引路を選択して該切替部の該分岐管に接続し、該被保持面の大きさに応じた該吸引保持面を選択して該吸引源に連通させることにより、板状ワークを該吸引保持面で保持して該研削手段で研削加工する研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを吸引保持する保持手段を備える加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置や研削装置などの加工装置は、加工対象となる板状ワークを吸引保持するチャックテーブルを備えている。チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引保持面を上面に有するポーラス体と、ポーラス体を囲繞する枠体とを少なくとも備えている。枠体には、吸引保持面と吸引源とを連通させる吸引路が形成されており、この吸引路を通じて吸引保持面に吸引作用を発揮させて板状ワークを吸引保持している。
【０００３】
また、チャックテーブルとしては、板状ワークのサイズが変更しても同一のチャックテーブルで吸引保持可能なユニバーサルチャックテーブルがある。ユニバーサルチャックテーブルは、板状ワークのサイズに対応した複数の吸引保持面が、仕切りによってテーブルの中心を中心にして同心円状に複数のエリアに仕切られて構成されている。そして、ユニバーサルチャックテーブルを用いて板状ワークを吸引保持するときには、板状ワークのサイズに応じた吸引路を開いて、吸引源の吸引力が作用する吸引保持面の径を変更している（例えば、下記の特許文献１及び２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２３２０８３号公報
【特許文献２】特開２００１−３８５５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記のようなチャックテーブルでは、吸引保持しようとする板状ワークのサイズに合わせたそれぞれの吸引保持面が吸引源に連通するように、枠体内のそれぞれの吸引路を開閉させるバルブを備える必要がある。
【０００６】
また、板状ワークに例えば研削加工を施す際には、チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持しながら回転する必要があることから、チャックテーブルにロータリージョイントを備える必要がある。つまり、それぞれの吸引保持面と吸引源とを連通させるために、ロータリージョイントに吸引保持面の数と同じ数の吸引路を備える必要があり、ロータリージョイントの構造が複雑となるとともに高価になるという問題がある。
【０００７】
このように、ロータリージョイント内に複数の吸引路を形成すると、ロータリージョイントの構造が軸方向に長くなり、チャックテーブルの下側において長く突き出した構造となってしまう。これにより、チャックテーブルの回転中にロータリージョイントの軸心がずれる可能性が高くなり、ロータリージョイントに回転振動が発生し、この振動がチャックテーブルに伝達されて、板状ワークの被研削面に斑が発生するという悪影響が生じている。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、ロータリージョイントの回転振動を防止するとともに、大きさや形状の異なる板状ワークに対応する吸引保持面の切替えを容易にできるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、吸引保持面において板状ワークを吸引保持する保持手段と、該保持手段が吸引保持する板状ワークを研削砥石によって研削加工する研削手段と、を備える研削装置であって、該保持手段は、チャックテーブルと、該チャックテーブルが装着されるベースと、吸引源に接続するために複数に分岐する分岐管を有する切替部と、該切替部と吸引源とを連通する流路と、を備え、該ベースの下端には回転可能なロータリージョイントが連結され、該流路は該ロータリージョイントの内部に１本形成され、該チャックテーブルは、板状ワークの形状および大きさに対応して切り換え可能に多孔質部材を境部で区画し複数の吸引保持面を有する保持板と、該保持板の該吸引保持面を露出させて該保持板を収容する枠体と、を備え、該枠体は、それぞれの該吸引保持面と接続するそれぞれの吸引孔を備え、該ベースは、該枠体が装着される装着面と、一端が径方向外周側において該切替部と接続可能であるとともに他端が該装着面に装着された該枠体のそれぞれの該吸引孔に連通するそれぞれの吸引路と、を備え、板状ワークの被保持面の大きさに応じて該吸引路を選択して該切替部の該分岐管に接続し、該被保持面の大きさに応じた該吸引保持面を選択して該吸引源に連通させることにより、板状ワークを該吸引保持面で保持して該研削手段で研削加工する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる加工装置は、板状ワークを吸引保持する保持手段と、保持手段が吸引保持する板状ワークを加工する加工手段とを備え、保持手段は、チャックテーブルと、チャックテーブルが装着されるベースと、吸引源に接続し複数に分岐する分岐管を有する切替部とを備え、チャックテーブルは、境で区画された複数の吸引保持面を有する保持板と、保持板を収容する枠体とを備え、枠体は、吸引保持面を吸引源に連通させるためにそれぞれの吸引保持面に対応する吸引孔を備え、ベースは、枠体が装着される装着面と、装着面に装着された該枠体のそれぞれの吸引孔を吸引源に連通させる吸引路と、を備え、板状ワークの被保持面の大きさに応じてベースの吸引路を選択して切替部の分岐管に接続させることにより、吸引源の連通先となる吸引保持面を切替えるように構成したため、例えば、ベースの下端に連結されるロータリージョイント内に複数の吸引路を設ける必要がなくなり、ロータリージョイントを短く構成することができる。これにより、板状ワークの加工中に、回転するロータリージョイントに回転振動が発生するのを防止し、チャックテーブルに回転振動が伝達されないため、加工に悪影響を及ぼすのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】加工装置の一例の構成を示す斜視図である。
【図２】保持手段の構成を示す分解斜視図である。
【図３】保持手段の構成を示す断面図である。
【図４】保持手段の構成を示す平面図である。
【図５】保持手段及び研削手段の動作例を示す断面図である。
【図６】保持手段の変形例の構成を示す断面図である。
【図７】保持手段の変形例の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示すように、加工装置１は、被加工物である板状ワークを研削加工する加工装置の一例であって、Ｙ軸方向に延在する装置ベース２を有する。装置ベース２の上面には、板状ワークを吸引保持する保持手段１０がカバー３によって覆われ、Ｙ軸方向に移動可能な構成となっている。
【００１３】
装置ベース２のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向に延在するコラム４が立設されている。コラム４のＹ軸方向前方において、保持手段１０が吸引保持する板状ワークを研削加工する加工手段５と、保持手段１０に対して接近及び離反する研削送り方向（Ｚ軸方向）に加工手段５を昇降させる昇降手段６とが配設されている。加工手段５は、Ｚ軸方向の回転軸を有するスピンドル５０と、スピンドル５０の周囲を囲繞するスピンドルハウジング５１と、スピンドルハウジング５１を保持するホルダ５２と、スピンドル５０の一端に取り付けられたモータ５３と、スピンドル５０の下端にマウント５４を介して装着された研削ホイール５５と、研削ホイール５５の下部に環状に固着された研削砥石５６とを備えている。加工手段５は、モータ５３による駆動により研削ホイール５５を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１４】
昇降手段６は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ６０と、ボールネジ６０の一端に接続されたモータ６１と、ボールネジ６０と平行に延在する一対のガイドレール６２と、内部に備えたナットがボールネジ６０に螺合するとともに側部がガイドレール６２に摺接する昇降板６３とを備える。昇降板６３には、ホルダ５２が連結されている。そして、モータ６１がボールネジ６０を回動させると、一対のガイドレール６２に沿って昇降板６３とともに加工手段５をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１５】
保持手段１０は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブル１１と、チャックテーブル１１が装着されるベース１６と、吸引源に接続され複数に分岐する分岐管を有する切替部２０と、を備えている。チャックテーブル１１は、多孔質部材を備え堺部で区画された吸引保持面を有する保持板１２と、保持板１２の吸引保持面を露出させて保持板１２の周囲を囲繞して収容する枠体１４とを備えている。
【００１６】
図２は、保持板１２が枠体１４に収容される前の状態を示している。保持板１２は、円盤状に形成されており、その上面が円形板状の板状ワークを吸引保持する複数の吸引保持面となっている。複数の吸引保持面は、円環状の境部１３ａ，１３ｂによって３つのエリアに区画されて構成されている。すなわち、保持板１２の吸引保持面は、境部１３ａの外側の面を含む最も大きいリング状の第１の吸引保持面１２０と、境部１３ａの内側のリング状からなる第２の吸引保持面１２１と、境部１３ｂの内側のリング状からなる第３の吸引保持面１２２とにそれぞれ区画された構成となっている。なお、吸引保持面のエリアの数は、特に限定されない。
【００１７】
枠体１４には、保持板１２を嵌め込むための嵌合凹部１４０が形成されている。嵌合凹部１４０の底部には、保持板１２のそれぞれの吸引保持面に吸引力を作用させるための複数の吸引孔１５ａ，１５ｂ及び１５ｃを備えている。吸引孔１５ｃは、嵌合凹部１４０の中心に配設され、吸引孔１５ａ，１５ｂは、互いに径方向の異なる位置に配設されている。そして、枠体１４の嵌合凹部１４０に保持板１２を嵌め込むと、図３に示すように、第１の吸引保持面１２０の下方側に吸引孔１５ａが位置づけられ、第２の吸引保持面１２１の下方側に吸引孔１５ｂが位置づけられ、第３の吸引保持面１２２の下方側に吸引孔１５ｃが位置づけられ、チャックテーブル１１として構成される。
【００１８】
ベース１６は、図３に示すように、枠体１４が装着される装着面１６０と、装着面１６０に装着された枠体１４のそれぞれの吸引孔１５ａ〜１５ｃを吸引源１９に連通させるための複数の吸引路とを備えている。複数の吸引路は、吸引孔１５ａに連通する第１の吸引路１７ａと、吸引孔１５ｂに連通する第１の吸引路１７ｂと、吸引孔１５ｃに連通する第１の吸引路１７ｃと、切替部２０を介して第１の吸引路１７ａ〜１７ｃのうちの一以上に連通する第２の吸引路１８とにより構成されている。第２の吸引路１８は、ベース１６の下端に連結されたロータリージョイント２２の内部に形成された流路２２０を通じて吸引源１９に連通している。このロータリージョイント２２は、１つの流路２２０のみを備えた構造となっているため、軸方向の長さが比較的短い構成となっている。
【００１９】
ロータリージョイント２２には、ベース１６を回転させるための回転手段が配設されている。回転手段は、モータ２３と、モータ２３に取り付けられた駆動プーリ２４と、ロータリージョイント２２に取り付けられた従動プーリ２５と、駆動プーリ２４と従動プーリ２５とに巻かれたベルト２６とにより構成されている。そして、モータ２３により駆動プーリ２４を駆動させると、ベルト２６が従動プーリ２５を従動させてベース１６を回転させ、これにともないベース１６に装着されたチャックテーブル１１を回転させることができる。
【００２０】
切替部２０は、例えば、マニホールドで構成され、図３に示すように、ベース１６の側部において、例えばブラケット２７によって取り付けられている。切替部２０は、第１の吸引路１７ａ〜１７ｃに接続される複数の分岐管２１ａ，２１ｂ及び２１ｃを有している。図４に示すように、分岐管２１ａは吸引孔１５ａに連通する第１の吸引路１７ａに対応し、分岐管２１ｂは吸引孔１５ｂに連通する第１の吸引路１７ｂに対応し、分岐管２１ｃは吸引孔１５ｃに連通する第１の吸引路１７ｃに対応した構成となっている。このように、切替部２０では、加工対象となる板状ワークの被保持面の大きさに応じた第１の吸引路１７ａ〜１７ｃのうちの一以上を選択して、第１の吸引路１７ａ〜１７ｃと対応関係にある分岐管２１ａ〜２１ｃに接続することにより、第１の吸引保持面１２０，第２の吸引保持面１２１または第３の吸引保持面１２２を吸引源１９に連通させることができる。
【００２１】
次に、加工装置１において、図５に示す板状ワークＷを保持手段１０で吸引保持する動作及び板状ワークＷを加工手段５で研削する動作について説明する。板状ワークＷは、円形板状の被加工物の一例である。なお、本実施形態では、チャックテーブル１１の各吸引保持面の大きさとして、第１の吸引保持面１２０が例えば直径４５０ｍｍに設定され、第２の吸引保持面１２１が例えば直径３００ｍｍに設定され、第３の吸引保持面１２２が例えば直径１５０ｍｍに設定されているものとする。
【００２２】
例えば、図５に示すように、径の大きい板状ワークＷ（例えば直径４５０ｍｍ）を保持手段１０で吸引保持する場合には、切替部２０によって、チャックテーブル１１の第１の吸引保持面１２０に吸引力を作用させる。具体的には、ベース１６内部の第１の吸引路１７ａを選択して分岐管２１ａに接続し、第１の吸引保持面１２０に吸引源１９を連通させる。また、第１の吸引路１７ｂを選択して分岐管２１ｂに接続し、第２の吸引保持面１２１に吸引源１９を連通させる。さらに、第１の吸引路１７ｃを選択して分岐管２１ｃに接続し、第３の吸引保持面１２２に吸引源１９を連通させる。これにより、吸引力が作用した第１の吸引保持面１２０、第２の吸引保持面１２１及び第３の吸引保持面１２２において板状ワークＷを吸引保持することができる。
【００２３】
次いで、第１の吸引保持面１２０、第２の吸引保持面１２１及び第３の吸引保持面１２２において板状ワークＷを吸引保持したら、モータ２３がチャックテーブル１１を例えば矢印Ａ方向に回転させるとともに、加工手段５の下方にチャックテーブル１１を移動させる。続いて、図１に示した昇降手段６によって、加工手段５とチャックテーブル１１とが相対的に接近する方向に加工手段５を下降させる。加工手段５は、スピンドル５０を回転させることにより、研削ホイール５５を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、昇降手段６により加工手段５をチャックテーブル１１に接近する方向に下降させて、研削砥石５６で板状ワークＷを所定の厚みに至るまで研削する。このとき、回転するロータリージョイント２２の軸心がずれることはなく、ロータリージョイント２２に回転振動が抑制される。そのため、チャックテーブル１１が振動することなく安定して回転するため、板状ワークＷを良好に研削することができる。
【００２４】
本実施形態では、チャックテーブル１１の第１の吸引保持面１２０、第２の吸引保持面１２１及び第３の吸引保持面１２２において板状ワークＷを吸引保持する場合について説明したが、加工対象となる板状ワークの大きさが小さい場合は、切替部２０によって、第１の吸引路１７ｂや第１の吸引路１７ｃを選択して分岐管２１ｂ及び分岐管２１ｃまたは分岐管２１ｃのみに接続し、第２の吸引保持面１２１及び第３の吸引保持面１２２または第３の吸引保持面１２２のみに吸引力を作用させればよい。なお、第１の吸引路１７ａ〜１７ｃのうちの一以上を選択して使用する際には、使用しない第１の吸引路１７ａ〜１７ｃから分岐管２１ａ〜２１ｃを外して閉栓しておくことが好ましい。
【００２５】
このように、加工装置１は、板状ワークを吸引保持する保持手段１０を備え、保持手段１０は、チャックテーブル１１が装着されるベース１６の側部において分岐管２１ａ，２１ｂ及び２１ｃを有する切替部２０が取り付けられ、切替部２０によって、ベース１６内部の第１の吸引路１７ａ，１７ｂまたは１７ｃを選択して吸引源１９の連通先となる第１の吸引保持面１２０，１２１または１２２を切替えるように構成したため、ベース１６の下端に接続されたロータリージョイント２２内に複数の吸引路を設ける必要がなくなり、従来に比べてロータリージョイント２２の構成を簡易にすることができる。よって、板状ワークＷの研削中に、回転するロータリージョイント２２に回転振動が発生するのを防止することができ、チャックテーブル１１に回転振動が伝達されないため、研削加工に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。
【００２６】
また、保持手段１０では、加工しようとする板状ワークの被保持面の大きさに応じて、切替部２０によって、ベース１６側で第１の吸引路１７ａ〜１７ｃの選択を行い、吸引源１９を所望の第１の吸引保持面１２０，第２の吸引保持面１２１または第３の吸引保持面１２２に連通させることができるため、チャックテーブル１１の吸引保持面のエリアを多く設定することができる。従来においては、ロータリージョイントの流路の数よりも吸引保持面のエリアが多い場合には、ベースからチャックテーブルを取り外して使用しない吸引路を閉栓していたが、保持手段１０によれば、ロータリージョイント２２の流路２２０の数よりも吸引保持面のエリアを多く設定しても、ベース１６からチャックテーブル１１を取り外す必要がなく、所望の第１の吸引保持面１２０，第２の吸引保持面１２１または第３の吸引保持面１２２に切替えて使用することができる。
【００２７】
図６及び図７に示す保持手段３０は、板状ワークを吸引保持する保持手段の変形例であって、円形板状の板状ワークのほか、矩形状の板状ワークも吸引保持することが可能となっている。保持手段３０は、チャックテーブル３１と、チャックテーブル３１が装着されるベース３６と、吸引源１９に接続され複数の分岐管を有する２つの切替部４０，４１とを備えている。
【００２８】
チャックテーブル３１は、複数の吸引保持面を有する矩形状の保持板３２と、保持板３２の吸引保持面を露出させて保持板３２の周囲を囲繞して収容する枠体３４とを備えている。保持板３２の複数の吸引保持面は、円環状の境部３３ａ，３３ｂ及び３３ｃによって４つのエリアに区画されて構成されている。すなわち、保持板３２の吸引保持面は、図７に示すように、境部３３ａの外側の面を含む四角形状の第１の吸引保持面３２０と、境部３３ａの内側のリング状からなる第２の吸引保持面３２１と、境部３３ｂの内側のリング状からなる第３の吸引保持面３２２と、境部３３ｃの内側のリング状からなる第４の吸引保持面３２３とにそれぞれ区画された構成となっている。なお、吸引保持面のエリアの数は、保持手段１０と同様に特に限定されるものではない。
【００２９】
枠体３４は、図６に示すように、保持板３２を嵌め込むための嵌合凹部３４０が形成されている。嵌合凹部３４０の底部には、保持板３２のそれぞれの吸引保持面に吸引力を作用させるための複数の吸引孔３５ａ，３５ｂ，３５ｃ及び３５ｄを備えている。そして、枠体３４の嵌合凹部３４０に保持板３２を嵌め込むと、第１の吸引保持面３２０の下方側に吸引孔３５ａが位置づけられ、第２の吸引保持面３２１の下方側に吸引孔３５ｂが位置づけられ、第３の吸引保持面３２２の下方側に吸引孔３５ｃが位置づけられ、第４の吸引保持面３２３の下方側に吸引孔３５ｄが位置づけられ、チャックテーブル３１として構成される。
【００３０】
ベース３６は、枠体３４が装着される装着面３６０と、装着面３６０に装着された枠体３４のそれぞれの吸引孔３５ａ〜３５ｄを吸引源１９に連通させるための複数の吸引路を備えている。複数の吸引路は、吸引孔３５ａに連通する第１の吸引路３７ａと、吸引孔３５ｂに連通する第１の吸引路３７ｂと、吸引孔３５ｃに連通する第１の吸引路３７ｃと、吸引孔３５ｄに連通する第１の吸引路３７ｄと、切替部４０，４１を介して第１の吸引路３７ａ〜３７ｃのうちの一以上に連通する第２の吸引路３８とにより構成されている。第２の吸引路３８は、保持手段１０と同様、ベース３６の下端に連結されたロータリージョイント２２の内部の流路２２０を通じて吸引源１９に連通している。ロータリージョイント２２には、上記保持手段１０と同様に、ベース３６を回転させるための回転手段が配設されている。
【００３１】
切替部４０，４１は、ベース３６の側部において、ブラケット２７，２７ａによって取り付けられている。切替部４０，４１は、第１の吸引路３７ａ〜３７ｄに接続される分岐管４２ａ，４２ｂ，４２ｃ及び４２ｄを有している。図７に示すように、分岐管４２ａは吸引孔３５ａに連通する第１の吸引路３７ａに対応し、分岐管４２ｂは吸引孔３５ｂに連通する第１の吸引路３７ｂに対応し、分岐管４２ｃは吸引孔３５ｃに連通する第１の吸引路３７ｃに対応し、分岐管４２ｄは吸引孔３５ｄに連通する第１の吸引路３７ｄに対応した構成となっている。切替部４０，４１では、上記した切替部２０と同様、加工対象となる板状ワークの被保持面の大きさに応じた第１の吸引路３７ａ〜３７ｄのうちの一以上を選択して、第１の吸引路３７ａ〜３７ｄと対応関係にある分岐管４２ａ〜４２ｄに接続することにより、第１の吸引保持面３２０，第２の吸引保持面３２１，第３の吸引保持面３２２または第４の吸引保持面３２３を吸引源１９に連通させることができる。
【００３２】
例えば、矩形状の板状ワークを保持手段３０で吸引保持する場合には、切替部４０，４１によって、ベース３６内の第１の吸引路３７ａを選択して分岐管４２ａに接続して第１の吸引保持面３２０に吸引源１９を連通させ、第２の吸引路３７ｂを選択して分岐管４２ｂに接続して第２の吸引保持面３２１に吸引源１９を連通させ、第３の吸引路３７ｃを選択して分岐管４２ｃに接続して第３の吸引保持面３２２に吸引源１９を連通させ、第４の吸引路３７ｄを選択して分岐管４２ｄに接続して第４の吸引保持面３２３に吸引源１９を連通させることにより、吸引力が作用した第１の吸引保持面３２０、第２の吸引保持面３２１、第３の吸引保持面３２２及び第４の吸引保持面において板状ワークを吸引保持することができる。このように、保持手段３０についても、上記保持手段１０と同様に、円形板状や矩形状の板状ワークの研削中に、回転するロータリージョイント２２に回転振動が発生するのを防止し、研削加工に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。
【００３３】
本実施形態に示した加工装置１は、研削装置として説明したが、この構成に限られず、例えば、バイト切削装置にも本発明を適用することができる。
【００３４】
本実施形態に示した保持手段１０，３０は、回転可能な構成となっているが、回転しない構成でもよい。従来、回転しないチャックテーブルにおいては、吸引路の切替え作業のためにチャックテーブルをベースから取り外す際に、加工中に使用された加工水等が装置内に落下することがあり、好ましくなかったが、本実施形態に示した切替部２０，４０及び４１によれば、チャックテーブルをベースから取り外すことなく吸引路の切替え作業を容易に行えるため、回転しないチャックテーブルにも有用である。
【符号の説明】
【００３５】
１：加工装置  ２：装置ベース  ３：カバー  ４：コラム  ５：加工手段
５０：スピンドル  ５１：スピンドルハウジング  ５２：ホルダ  ５３：モータ
５４：マウント  ５５：研削ホイール  ５６：研削砥石
６：昇降手段  ６０：ボールネジ  ６１：モータ  ６２：ガイドレール  ６３：昇降板
１０：保持手段  １１：チャックテーブル  １２：保持板  １２０：第１の吸引保持面
１２１：第２の吸引保持面  １２２：第３の吸引保持面  １３ａ，１３ｂ：境部
１４：枠体  １４０：嵌合凹部  １５ａ，１５ｂ，１５ｃ：吸引孔  １６：ベース
１６０：装着面  １７ａ，１７ｂ，１７ｃ：第１の吸引路  １８：第２の吸引路
１９：吸引源  ２０：切替部  ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ：分岐管
２２：ロータリージョイント  ２２０：流路  ２３：モータ  ２４：駆動プーリ
２５：従動プーリ  ２６：ベルト  ２７，２７ａ：ブラケット
３０：保持手段  ３１：チャックテーブル  ３２：保持板
３２０：第１の吸引保持面  ３２１：第２の吸引保持面  ３２２：第３の吸引保持面
３２３：第４の吸引保持面  ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ：境部  ３４：枠体
３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ：吸引孔  ３６：ベース  ３６０：装着面
３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ：第１の吸引路  ３８：第２の吸引路
４０，４１：切替部  ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ：分岐管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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