(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する装置であって、
a) 水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する、前記下型の上に配置される可撓性シートと、
b) 前記樹脂材料を前記水平部の上に所定のパターンとなるように配置する樹脂材料配置部と、
c) 前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ該可撓性シートに対して滑りながら移動することにより該折返し部を前記水平部側に移動させる折返し部材と
を備えることを特徴とする樹脂材料供給装置。
【請求項２】
前記折返し部材が、前記折返し部に端部が配置され前記可撓性シートの前記水平部を下側から支持する板材であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂材料供給装置。
【請求項３】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する装置であって、
a) 水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する、前記下型の上に配置される可撓性シートと、
b) 前記樹脂材料を前記水平部の上に所定のパターンとなるように配置する樹脂材料配置部と、
c) 前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ該折返し部を前記水平部側に移動させる折返し部材と、
d) 前記折返し部の移動範囲の下側に配置された、該折返し部から落下する樹脂材料を前記下型の所定の範囲内に誘導する誘導具と
を備えることを特徴とする樹脂材料供給装置。
【請求項４】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する装置であって、
a) 水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する、前記下型の上に配置される可撓性シートと、
b) 前記樹脂材料を前記水平部の上に所定のパターンとなるように配置する樹脂材料配置部と、
c) 前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ該折返し部を前記水平部側に移動させる折返し部材と、
d) 前記折返し部の移動に伴って移動することで該折返し部の近傍に配置される、前記樹脂材料に生じる静電気を除電する除電部と
を備えることを特徴とする樹脂材料供給装置。
【請求項５】
前記可撓性シート及び前記折返し部材を、複数設けられた圧縮成形装置のいずれかの下型の上に搬送する搬送部を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の樹脂材料供給装置。
【請求項６】
粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を用いて樹脂成形品を製造する圧縮成形装置であって、
樹脂成形品が成形される空間であるキャビティを有する下型と、
前記下型に相対向する上型と、
請求項１〜５のいずれかに記載の樹脂材料供給装置と
を備えることを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項７】
粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を用いて樹脂成形品を製造する圧縮成形モジュールを備える圧縮成形装置であって、
前記圧縮成形モジュールに設けられた、樹脂成形品が成形される空間であるキャビティを有する下型と、
前記圧縮成形モジュールに設けられた、前記下型に相対向する上型と、
請求項１〜５のいずれかに記載の樹脂材料供給装置と
を備え、
前記圧縮成形モジュールが他の圧縮成形モジュールに対して着脱可能である
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項８】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する方法であって、
水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する可撓性シートの該水平部の上に、前記樹脂材料を所定のパターンとなるように配置し、
前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ折返し部材を前記可撓性シートに対して滑らせながら前記水平部側に移動させることにより、前記水平部上の前記樹脂材料を該折返し部から前記下型に供給する
ことを特徴とする樹脂材料供給方法。
【請求項９】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する方法であって、
水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する可撓性シートの該水平部の上に、前記樹脂材料を所定のパターンとなるように配置し、
前記折返し部の移動範囲の下側に、該折返し部から落下する樹脂材料を前記下型の所定の範囲内に誘導する誘導具を配置し、
前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ折返し部材を前記水平部側に移動させることにより、前記水平部上の前記樹脂材料を該折返し部から前記下型に供給する
ことを特徴とする樹脂材料供給方法。
【請求項１０】
圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する方法であって、
水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する可撓性シートの該水平部の上に、前記樹脂材料を所定のパターンとなるように配置し、
前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ折返し部材を前記水平部側に移動させることにより、前記水平部上の前記樹脂材料を該折返し部から前記下型に供給し、
前記折返し部の近傍において、前記樹脂材料に生じる静電気を除電する
ことを特徴とする樹脂材料供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂材料供給装置及び方法、並びに該樹脂材料供給装置を有する圧縮成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の小型化及びそれによる半導体チップ等のボンディングワイヤの小径化に伴い、電子部品の封止成形に圧縮成形が用いられるようになってきている。圧縮成形では、離型フィルムで被覆した下型のキャビティに樹脂材料を供給し、加熱溶融した後、電子部品を装着した基板を取り付けた上型との間で型締めして該樹脂を圧縮することにより成形が行われる。
【０００３】
特許文献１には、複数本のスリット状の樹脂材料供給孔が設けられた、樹脂材料を収容する樹脂トレイを下型のキャビティの上に配置したうえで、樹脂トレイの底部に設けられた、中央で突合された2枚の平板から成るシャッターをこの樹脂材料供給孔のスリットの長手方向に垂直な方向に開けることにより、樹脂材料供給孔から樹脂材料をキャビティ内に落下させる樹脂材料供給装置が記載されている。この樹脂材料供給装置によれば、キャビティの全体に所定量の樹脂材料を過不足無く且つ均等に供給することができる。
【０００４】
特許文献２には、粉末の樹脂材料をベルトコンベア上に均等に敷き詰め、該ベルトコンベアの終端からキャビティに樹脂材料を落下させつつ該終端を押す方向にベルトコンベアを移動させることにより、ベルトコンベア上の樹脂材料をそのままキャビティに均等に供給する樹脂材料供給装置が記載されている。この樹脂材料供給装置もキャビティの全体に所定量の樹脂材料を過不足無く且つ均等に供給することを目的としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2007-125783号公報
【特許文献２】特開2003-223901号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
圧縮成形装置には、1個の下型に複数個のキャビティが形成されるタイプのものがある。この場合、それら複数のキャビティ内には均等に樹脂材料を供給する一方、キャビティとキャビティの間の部分（マージン）には樹脂材料を供給してはならない。このような、全体として所定のパターンとなるように下型に樹脂材料を供給しようとする場合、特許文献１や２に記載の樹脂材料供給装置では対応することができない。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、圧縮成形装置の下型に、所定のパターンで樹脂材料を供給することができる樹脂材料供給装置及び樹脂材料供給方法、並びに該樹脂材料供給装置を有する圧縮成形装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために成された本発明に係る樹脂材料供給装置は、圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する装置であって、
a) 水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する、前記下型の上に配置される可撓性シートと、
b) 前記樹脂材料を前記水平部の上に所定のパターンとなるように配置する樹脂材料配置部と、
c) 前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ該折返し部を前記水平部側に移動させる折返し部材と
を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明において、可撓性シートの水平部は、可撓性シート上の樹脂材料のパターンが重力によって崩れず、且つ折返し部材が移動していないときに樹脂材料が折返し部材から落下しない程度に、厳密な水平の状態からわずかに傾斜していることが許容される。
【００１０】
本発明に係る樹脂材料供給装置は以下のように使用する。まず、樹脂材料配置部により、樹脂材料を可撓性シートの水平部の上に所定のパターンになるように配置する。樹脂材料配置部には、従来の樹脂材料供給装置で用いられているものを適用することができる。粉状又は顆粒状の樹脂材料を用いる場合には、例えば、特許文献１に記載の樹脂材料供給装置で用いられているフィーダの先端を、該パターンの形状に応じて移動させながら樹脂材料を水平部上に配置してゆくことにより、該パターンを形成することができる。シート状の樹脂材料を用いる場合には、例えば、予め所定のパターンに切り抜かれたシート状の樹脂材料を搬送装置により可撓性シートの上まで搬送して載置すればよい。
【００１１】
次に、可撓性シートが圧縮成形装置の下型の上に配置された状態で、折返し部材が可撓性シートの下側に接しつつ、該折返し部材を前記水平部側に移動させる。なお、可撓性シートを前記下型の上に配置するタイミングは、樹脂材料を水平部上に配置する前及び配置した後のいずれであってもよい。この折返し部材の移動により、可撓性シートは水平部側に順に折り返されてゆき、折返し部も折返し部材と同じ方向に移動してゆく。そのため、水平部上に配置された樹脂材料は、折返し部から順に下型内に落下してゆく。ここで、可撓性シートが面であることから、折返し部は必然的に線状となり、この線状の折返し部が移動することにより樹脂材料が面状に供給される。
【００１２】
下型に対して、可撓性シートの水平部上の各点が移動せずに折返し部のみが移動するように折返し部材を移動させることにより、水平部上の樹脂材料はそのパターンを維持したまま下型に供給される。
一方、折返し部材の移動速度をそれよりも速くすることにより、下型には可撓性シートの水平部上でのパターンが該移動方向に伸長したパターンで樹脂材料が供給される。また、折返し部材の移動速度を前記移動速度よりも遅くすることにより、該移動方向に圧縮されたパターンで樹脂材料が供給される。このように、本発明に係る樹脂材料供給装置によれば、水平部上に配置されたパターンに対応した、所望のパターンで樹脂材料を下型に供給することもできる。
【００１３】
前記折返し部材は、前記可撓性シートに対して滑りながら前記水平部側に移動するものであってもよい。その例として、前記折返し部材が、前記折返し部に端部が配置され前記可撓性シートの前記水平部を下側から支持する板材であるという構成が挙げられる。このような板材を用いる場合には、可撓性シートの折返し部の反対側にある端部のうち板材の上側にある方を固定したうえで、板材の下側にある端部の方を前記移動方向に引くことにより、該板材を該方向に移動させながら、該折返し部を該方向に移動させる。これにより、可撓性シート上の各点が移動せずに折返し部のみを移動させることができ、可撓性シート上のパターンを維持したまま樹脂材料を下型に供給することができる。板材の他に、線状の折返し部の方向に延びる棒材等の折返し部材を用いることもできる。樹脂材料が配置された水平部を下側から全面で保持することができるという点で、上記板状の折返し部材を用いることが望ましい。
【００１４】
あるいは、前記折返し部材は、回転することにより前記可撓性シートに対して滑ることなく前記水平部側に移動するものであってもよい。この場合、この折返し部材と共に、該折返し部材よりも前記水平部側に設けられた、前記可撓性シートを第２の折返し部で上方側に折り返し、回転することにより該可撓性シートに対して該折返し部材と同方向に移動する第２折返し部材を備え、前記可撓性シートが前記折返し部から前記第２の折返し部を経て該折返し部に戻るエンドレスのシートである、という構成を取ることが好ましい。この構成により、樹脂材料供給装置を1回使用した後に、第２折返し部から上方に折り返された可撓性シートが水平部に供給されるため、可撓性シートを元の状態に戻さなくとも次の樹脂材料の供給動作を行うことができる。なお、可撓性シートは、前記折返し部で滑らなければ、第２折返し部で滑ることは許容される。
【００１５】
本発明に係る樹脂材料供給装置において、前記折返し部の移動範囲の下側に、該折返し部から落下する樹脂材料を前記下型の所定の範囲内に誘導する下部誘導具を備えることが好ましい。これにより、樹脂材料を下型の所定の範囲内に確実に供給することができる。あるいは、本発明に係る樹脂材料供給装置は、前記水平部の上側に、前記樹脂材料配置部により配置される樹脂材料を前記水平部の上に所定の位置に誘導する上部誘導具を備えていてもよい。
【００１６】
本発明に係る樹脂材料供給装置において、前記折返し部の移動に伴って移動することで該折返し部の近傍に配置される、前記樹脂材料に生じる静電気を除電する除電部を備えることが好ましい。これにより、樹脂材料と可撓性シートの摩擦により生じる静電気を、樹脂材料が下型に供給される直前に除去することができる。
【００１７】
本発明に係る樹脂材料供給装置において、前記可撓性シート及び前記折返し部材を、複数設けられた圧縮成形装置のいずれかの下型の上に搬送する搬送部を備えることが好ましい。これにより、1組の樹脂材料配置部、可撓性シート及び折返し部材を用いて、複数の圧縮成形装置の下型に樹脂材料を供給することができる。
【００１８】
本発明に係る圧縮成形装置は、粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を用いて樹脂成形品を製造する装置であって、
樹脂成形品が成形される空間であるキャビティを有する下型と、
前記下型に相対向する上型と、
本発明に係る前記樹脂材料供給装置と
を備えることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る圧縮成形装置の他の態様のものは、粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を用いて樹脂成形品を製造する圧縮成形モジュールを備える装置であって、
前記圧縮成形モジュールに設けられた、樹脂成形品が成形される空間であるキャビティを有する下型と、
前記圧縮成形モジュールに設けられた、前記下型に相対向する上型と、
本発明に係る前記樹脂材料供給装置と
を備え、
前記圧縮成形モジュールが他の圧縮成形モジュールに対して着脱可能である
ことを特徴とする。
【００２０】
前記圧縮成形モジュールを有する圧縮成形装置では、樹脂材料供給装置は圧縮成形モジュール毎に設けてもよいし、複数個の圧縮成形モジュールに共通のものを設けてもよい。複数個の圧縮成形モジュールに共通の樹脂材料供給装置には、前述の搬送部を設ければよい。
【００２１】
本発明に係る樹脂材料供給方法は、圧縮成形装置の下型に粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を供給する方法であって、
水平に配置された水平部と、該水平部の一端に設けられた、下方への折返し部を有する可撓性シートの該水平部の上に、前記樹脂材料を所定のパターンとなるように配置し、
前記折返し部において前記可撓性シートの下側に接しつつ折返し部材を前記水平部側に移動させることにより、前記水平部上の前記樹脂材料を該折返し部から前記下型に供給する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る樹脂材料供給装置及び樹脂材料供給方法によれば、圧縮成形装置の下型に、所定のパターンで樹脂材料を供給することができる。そして、該樹脂材料供給装置を有する圧縮成形装置により、該パターンに対応した形状を有する樹脂成形品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る樹脂材料供給装置の第１実施形態を示す概略構成図。
【図２】第１実施形態の樹脂材料供給装置における樹脂材料配置部及び該樹脂材料配置部を用いて樹脂材料を可撓性シートに配置するパターンの一例を示す上面図(a)、並びに該樹脂材料供給装置により樹脂材料が供給される下型のキャビティを示す上面図(b)。
【図３】第１実施形態の樹脂材料供給装置の動作を示す図。
【図４】第１実施形態の樹脂材料供給装置において折返し部材を元の位置に戻すための構成を示す図。
【図５】第１実施形態の樹脂材料供給装置を用いてシート状樹脂材料を下型に供給する動作を示す図。
【図６】第１実施形態の樹脂材料供給装置におけるシート移動装置の変形例を示す図。
【図７】折返し部材の別の例を示す側面図。
【図８】シート移動装置及び折返し部材のさらに別の例を示す側面図。
【図９】樹脂材料配置部を用いて樹脂材料を可撓性シートに配置するパターンの他の２つの例を示す上面図((a-1), (a-2))、及びこれらのパターンで可撓性シートに配置された樹脂材料が供給される下型のキャビティを示す上面図((b-1), (b-2))。
【図１０】第１実施形態の樹脂材料供給装置に下部誘導具(a)及び上部誘導具(b)を設けた例を示す概略図。
【図１１】第１実施形態の樹脂材料供給装置に除電部を設けた例を示す概略図。
【図１２】第１実施形態の樹脂材料供給装置を用いて樹脂封止品を製造する工程を示す図。
【図１３】本発明に係る樹脂材料供給装置の第２実施形態を示す概略構成図。
【図１４】第２実施形態の樹脂材料供給装置の動作を示す図。
【図１５】本発明に係る樹脂材料供給装置を1組有し、成形モジュールを複数組有する例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１〜図１５を用いて、本発明に係る樹脂材料供給装置及び樹脂材料供給方法の実施形態を説明する。これら装置及び方法は、圧縮成形のために粉状、顆粒状又はシート状の樹脂材料を圧縮成形装置の型のキャビティに供給するものである。以下では併せて、当該樹脂材料供給装置を用いた圧縮成形装置の実施形態を説明する。
【００２５】
(1) 第１実施形態
図１は、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０を示す概略構成図である。樹脂材料供給装置１０は、可撓性シート１１と、樹脂材料配置（散布）装置１２と、折返し部材１３と、シート引張装置１４を有する。本実施例では、可撓性シート１１はシリコーンゴム製であり、折返し部材１３は金属（ステンレス鋼）製の長方形の板材である。可撓性シート１１にはシリコーンゴムの他に、ポリウレタン、ポリエステル、フッ素樹脂等の材料を用いることができる。折返し部材１３にはステンレス鋼以外の金属製のものや、それら金属製の板材にテフロン（登録商標）等の樹脂でコーティングしたもの、あるいはセラミックス製のもの等を用いることができる。折返し部材１３の板材の側面のうちの１つは、板材の上面及び下面との角が丸められている。この側面を「折返し面」と呼ぶ。
【００２６】
可撓性シート１１の形状は、本実施形態では帯状である。該帯の一端である固定端１１３は、折返し部材１３の板材の側面のうちの１つである折返し部１１２と平行に、折返し部材１３の上面の所定の位置に配置されるよう、樹脂材料供給装置１０の筐体（図示せず）に固定されている。なお、固定端１１３は、折返し部材１３には固定されていない。可撓性シート１１の帯は、固定端１１３から折返し部材１３の上面から折返し面に向かい、折返し面で下面に折返され、折返し面から離れるように延びている。この折返し部材１３の折返し面で折り返された可撓性シート１１の部分を折返し部１１２と呼ぶ。また、可撓性シート１１のうち折返し部１１２と固定端１１３の間の部分を水平部１１１と呼ぶ。樹脂材料供給装置１０の全体は、水平部１１１が略水平になるように配置されている。なお、水平部１１１は、後述のように水平部１１１上に配置（散布）される樹脂材料Ｐが重力で折返し部１１２から落下しない程度であれば、水平から多少傾斜していてもよい。
【００２７】
樹脂材料配置装置１２は、図２(a)に示すように、粉状又は顆粒状の樹脂材料Ｐを貯留するホッパ１２１と、ホッパ１２１から側方に延び、先端から樹脂材料Ｐを散布する（落下させる）ことで該樹脂材料Ｐを水平部１１１上に配置するリニアフィーダ１２２を有する。樹脂材料配置装置１２は、その全体が水平方向に移動することにより、水平部１１１上の任意の位置に樹脂材料Ｐを配置することができる。シート状の樹脂材料を用いる場合には、樹脂材料配置装置１２の代わりに、例えば、搬送装置（図示せず）の下部に気体の吸引等の方法によってシート状の樹脂材料を吸着させた状態で、該搬送装置を水平部１１１上の所定位置まで移動させ、吸着を停止することにより、該シート状の樹脂材料を該所定位置に配置することができる。以上のように、粉状、顆粒状及びシート状のいずれの形態の樹脂材料Ｐを用いる場合にも、該樹脂材料Ｐを水平部１１１上の任意の位置に配置することができる。
【００２８】
折返し部材１３は、略水平に移動自在に、樹脂材料供給装置１０の筐体に設けられたガイドレール（図示せず）に保持されている。折返し部材１３の上面に可撓性シート１１の水平部１１１が配置されるため、水平部１１１はその全体が折返し部材１３の上面で支持される。
【００２９】
シート引張装置１４は、可撓性シート１１を巻き付けるドラム１４１と、可撓性シート１１をドラム１４１に巻きつける（ドラム１４１側に引く）方向に該ドラムを回転させるモータ（図示せず）を有する。可撓性シート１１の固定端１１３の反対側である端部は、ドラム１４１に固定されている。また、可撓性シート１１の帯の幅方向にある折返し部材１３の両側面には、折返し部材１３を折返し部１１２側に移動させるローラ１４２が当接しており、該ローラ１４２を回転させるモータ（図示せず）が設けられている。
【００３０】
図２〜図４を参照しつつ、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０の動作を説明する。まず、折返し部材１３の可動範囲内で折返し部１１２が固定端１１３から最も離れる、すなわち水平部１１１の長さが最大になる位置に折返し部材１３を配置する。そして、キャビティ２１１の上に水平部１１１が配置されるように、樹脂材料供給装置１０を下型の上に移動させる。この状態で、樹脂材料配置装置１２から水平部１１１に散布することにより、樹脂材料Ｐを所定のパターンになるように配置する（図２(a)）。図３(a)に、水平部１１１に樹脂材料Ｐを配置するパターンの一例を示す。この例では、図２(b)に上面図で示した複数個の直方体状のキャビティ２１１に合わせて、水平部１１１上の複数の長方形の領域に樹脂材料Ｐを配置している。このようなパターンは、樹脂材料配置装置１２を水平方向に移動させつつ、樹脂材料Ｐの散布（落下）の有無を制御することにより形成することができる。なお、下型の上に樹脂材料供給装置１０を移動させるタイミングは、樹脂材料Ｐの配置の後でもよく、その場合には、樹脂材料供給装置１０の構成要素のうち樹脂材料配置装置１２を下型の上に移動させる必要はない。
【００３１】
次に、シート引張装置１４のドラム１４１を回転させることで可撓性シート１１を該ドラム１４１に巻き付けてゆく。これにより、可撓性シート１１が折返し部１１２の反対側に引かれると共に、折返し部１１２で折返し部材１３が可撓性シート１１の内側の面で押される。そのため、折返し部材１３が可撓性シート１１に接しつつ該可撓性シート１１に対して滑りながら水平部１１１側に移動し、それに伴って折返し部１１２も水平部１１１側に移動する（図３(b)）。なお、このときにはローラ１４２を回転させる必要はない。この折返し部１１２の移動により、水平部１１１上の樹脂材料Ｐは、固定端１１３の反対側から順に、それを支えていた可撓性シート１１及び折返し部材１３が無くなって、キャビティ２１１に落下してゆく。これにより、樹脂材料Ｐは、水平部１１１上でのパターンを維持したまま、下型のキャビティ２１１に供給される。水平部１１１上の樹脂材料Ｐが全て下型のキャビティ２１１に供給されるまで折返し部１１２を移動させる（図３(c)）ことにより、キャビティ２１１への樹脂材料の供給の操作を終了する。
【００３２】
その後、シート引張装置１４のドラム１４１をこれまでとは逆方向に回転させながら、ローラ１４２を回転させ、折返し部材１３を折返し部１１２側に移動させる（図４）ことにより、折返し部１１２を元（樹脂材料Ｐを水平部１１１上に配置する前）の位置に戻す。これにより、可撓性シート１１も元の位置に戻り、次の樹脂材料供給の作業を行うことができる。
【００３３】
シート状樹脂材料ＳＰを用いる場合も同様の動作により、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０を用いて下型２１の所定の位置に該シート状樹脂材料ＳＰを配置することができる。この場合、図５に示すように、樹脂材料供給装置１０と下型２１のキャビティ２１１をできるだけ近づけておくことにより、シート状樹脂材料ＳＰの先端がキャビティ２１１に達したときに他端が樹脂材料供給装置１０の可撓性シート１１上に残り、その状態で折返し部材１３を更に移動させることで、シート状樹脂材料ＳＰを所定の位置に供給することができる。
【００３４】
図６に、シート引張装置の他の例を示す。このシート引張装置１４Ａは、前述のローラ１４２と同様の構成（但し、後述のように動作は異なる）を有するローラ１４２Ａと、固定端１１３の反対側の可撓性シート１１の端部に一端が取り付けられたバネ１４３と、該バネ１４３の他端側が固定される固定部１４４を有する。
【００３５】
シート引張装置１４Ａは以下のように使用する。まず、水平部１１１上に樹脂材料Ｐが配置される直前の状態にするために、ローラ１４２Ａを回転させて折返し部材１３を折返し部１１２側に移動させる（図６(a)）。これにより、可撓性シート１１が折返し部１１２側に引かれてバネ１４３が伸びた状態となり、可撓性シート１１及び折返し部材１３がバネ１４３側に引かれるが、ローラ１４２Ａで折返し部材１３を押さえつけることによって可撓性シート１１及び折返し部材１３の位置を固定する。可撓性シート１１の水平部１１１上に樹脂材料Ｐを所定のパターンで配置した後、ローラ１４２Ａを先程とは逆方向に回転させることにより、折返し部材１３を折返し部１１２の反対側に移動させる（図６(b)）。その際、可撓性シート１１がバネ１４３で引かれるため、折返し部材１３が可撓性シート１１に対して滑りながら移動することとなる。水平部１１１上の樹脂材料Ｐが全て下型のキャビティ２１１に供給されるまで折返し部１１２が移動した（図６(c)）後、ローラ１４２Ａを回転させて可撓性シート１１及び折返し部材１３を、樹脂材料Ｐを配置する位置まで戻すことにより、次の樹脂材料Ｐの供給操作を行うことができる。
【００３６】
図７に、別の例の折返し部材１３Ａを有する樹脂材料供給装置１０Ａを示す。この折返し部材１３Ａは、折返し部１１２の線に平行（可撓性シート１１の帯の幅方向）な棒材から成る。折返し部材１３Ａの棒材の両端は、樹脂材料供給装置１０の筐体に設けられたガイドレール（図示せず）に保持されており、前述の板状の折返し部材１３と同様に、可撓性シート１１がシート引張装置１４Ａで折返し部１１２の反対側の方向に引かれるのに伴って該方向に移動する。この折返し部材１３Ａは、板状の折返し部材１３とは異なり水平部１１１の全体を支持することはないが、それ以外の動作は板状の折返し部材１３と同様である。
【００３７】
図８(a)に、シート引張装置及び折返し部材のさらに別の例を有する樹脂材料供給装置１０Ｂを示す。この例では、折返し部材１３Ｂは、板状の部材である。可撓性シート１１Ｂは、樹脂材料供給装置１０Ｂの筐体（図示せず）に固定された固定端１１３Ｂから折返し部材１３Ｂの板材の側面のうちの１つである折返し部１１２Ｂまで該上面に延び、折返し部１１２Ｂで折返し部材１３Ｂの下面に折返され、折返し部１１２Ｂに対向する折返し部材１３Ｂの端面である第２折返し部１１５Ｂで上面に折返されている。可撓性シート１１Ｂの固定端１１３Ｂの反対側にある端部は樹脂材料供給装置１０Ｂの筐体に対して移動することが可能である（可動端１１４Ｂ）。可動端１１４Ｂは固定端１１３Ｂとバネ１４３Ｂで結ばれており、該バネ１４３Ｂによって固定端１１３Ｂ側に引かれている。折返し部材１３Ｂは、移動装置（図示せず）により折返し部１１２Ｂ側及び第２折返し部１１５Ｂ側に向けて移動可能である。移動機構にはモータやエアシリンダ等を用いることができる。可撓性シート１１Ｂの水平部１１１Ｂの上には、上記と同様の樹脂材料配置装置１２が設けられている。
【００３８】
この樹脂材料供給装置１０Ｂは、前述の樹脂材料供給装置１０と同様の方法により水平部１１１Ｂの上に樹脂材料Ｐを配置した後、下型の上で移動機構によって折返し部材１３Ｂを第２折返し部１１５Ｂ側に向けて移動させる。これにより、可撓性シート１１Ｂの固定端１１３Ｂの位置が固定された状態で折返し部１１２Ｂが第２折返し部１１５Ｂ側に向けて移動してゆき、水平部１１１Ｂ上の樹脂材料Ｐがパターンを維持したまま下型に落下してゆく（図８(b)）。その際、可撓性シート１１Ｂは、可動端１１４Ｂがバネ１４３Ｂによって固定端１１３Ｂ側に引かれているため、張力が保たれ、弛むことがない。水平部１１１Ｂ上の樹脂材料Ｐが全て下型に落下したら折返し部材１３Ｂの移動を停止し、1回の樹脂供給を終了する（同図(c)）。その後、折返し部材１３Ｂを元の位置に戻し、次の樹脂供給を行う。
【００３９】
図９に、可撓性シート１１の水平部１１１に樹脂材料Ｐを配置するパターンの別の例を示す。(a-1)に示した例では、(b-1)に示す複数個の円板形のキャビティ２１１Ａの形状に合わせて、それら円板に対応する複数個の円形の領域に樹脂材料Ｐを配置する。(a-2)に示した例では、(b-2)に示すように前述の複数個の直方体状のキャビティ２１１よりも大きい、1個のみの直方体状のキャビティ２１１Ｂの形状に合わせて、可撓性シート１１の水平部１１１に樹脂材料Ｐを配置する。キャビティ２１１Ｂは、特許文献１及び２に記載の従来の樹脂材料配置装置において樹脂材料を供給する対象としているものであるが、本実施形態の樹脂材料供給装置１０を用いても当該キャビティ２１１Ｂに樹脂材料を供給することができる。樹脂材料Ｐを配置するパターンはこれらの例に限定されず、任意の形状とすることができる。
【００４０】
図１０(a)に、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０に下部誘導具を設けた例を示す。下部誘導具１５は、板材１５０に、下型の複数個のキャビティ（後述）に対応して同数の開口部１５１が設けられ、各開口部１５１の下側に筒状部１５２が設けられたものである。下部誘導具１５は、筒状部１５２が下型の各キャビティ２１１の直上に位置するように、可撓性シート１１及び折返し部材１３と下型の間に配置される。板材１５０の上面では、開口部１５１同士が接しており、開口部１５１間に平坦な部分がない。開口部１５１及び筒状部１５２は下に向かって絞られる形状を有している。このような下部誘導具１５を用いることにより、水平部１１１から落下する樹脂材料Ｐを確実にキャビティ２１１に誘導することができる。例えば、やや深いキャビティ２１１に樹脂材料Ｐを供給するために、水平部１１１上に樹脂材料Ｐを高く盛ると、樹脂材料Ｐが水平部１１１から落下する直前にパターンが崩れて少し横に移動するおそれがあるが、そのような場合でも下部誘導具１５を用いれば、樹脂材料Ｐを対象のキャビティ２１１に誘導することができる。あるいは、図１０(b)に示すように、下部誘導具１５と同形状の上部誘導具１５Ａをリニアフィーダ１２２と可撓性シート１１の間に設け、可撓性シート１１の水平部１１１に樹脂材料Ｐを配置する際に該上部誘導具１５Ａで樹脂材料Ｐを誘導するようにしてもよい。
【００４１】
図１１に、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０に除電部を設けた例を示す。(a)は、折返し部１１２の近傍に除電ブラシから成る除電部１６を設けたものを示し、(b)は、折返し部１１２の近傍に除電に必要なイオンを供給する除電部（イオナイザ）１６Ａを設けたものを示す。これら除電部１６及び１６Ａは、折返し部１１２の移動に従って、移動機構（図示せず）により移動する。いずれの例でも、樹脂材料Ｐと可撓性シート１１の摩擦により生じる静電気を、キャビティ２１１に供給される直前の樹脂材料Ｐから除去することができる。
【００４２】
次に、図１２を参照しつつ、半導体チップ等の電子部品を樹脂で封止した樹脂封止品を製造する方法を説明する。この樹脂封止品製造方法では、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０と、キャビティ２１１が設けられた下型２１と、該下型に対向する上型２２を有する圧縮成形装置を使用する。
【００４３】
まず、下型２１のキャビティ２１１の表面を離型フィルム２１２で被覆する。この被覆は、キャビティ２１１の上面に離型フィルム２１２を張設したうえで、キャビティ２１１側から空気を吸引することにより行うことができる。また、上型２２には、表面に電子部品Ｃがキャビティ２１１と同数個取り付けられた基板Ｓを、電子部品Ｃが下側になるように装着する。そして、下型２１と上型２２の間に、樹脂材料供給装置１０を配置する(a)。なお、離型フィルム２１２を使用しない態様を採用することもできる。
【００４４】
次に、前述のように樹脂材料配置装置１２から可撓性シート１１の水平部１１１に、前記複数個のキャビティ２１１に対応したパターンで樹脂材料Ｐを配置する(b)。そして、前述のように可撓性シート１１を折返し部１１２の反対側に引くと共に折返し部材１３を折返し部１１２の反対側に向かう方向に移動させることで、折返し部１１２を該方向に移動させることにより、水平部１１１上の樹脂材料Ｐをキャビティ２１１に供給する(c)。その後、下型２１と上型２２の間から樹脂材料供給装置１０を除去し、下型２１を加熱することにより各キャビティ２１１内の樹脂材料Ｐを溶融させる(d)。そのうえで、下型２１と上型２２を接近させて基板Ｓ表面の各電子部品Ｃを、対応するキャビティ２１１内の樹脂材料Ｐに浸漬させたうえで、下型２１と上型２２を型締めして(e)、樹脂材料Ｐを硬化させる。その後、下型２１と上型２２を離すと、樹脂材料Ｐが硬化した樹脂は離型フィルム２１２が存在することによりキャビティ２１１から離れ、基板Ｓ表面の電子部品Ｃが該樹脂で封止された複数個の樹脂成形品が得られる(f)。
【００４５】
(2) 第２実施形態
図１３を参照しつつ、本発明に係る樹脂材料供給装置の第２実施形態を説明する。第２実施形態の樹脂材料供給装置１０Ｃは、可撓性シート１１Ｃと、樹脂材料配置装置１２と、折返し部材１３Ｃと、第２折返し部材１７を有する。樹脂材料配置装置１２は第１実施形態のものと同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００４６】
可撓性シート１１Ｃは、シリコーンゴム製の帯の両端を繋いで環状にしたものである。折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７はいずれも円柱状であって前述の板状の折返し部材１３と同じ材料から成る棒材であり、可撓性シート１１Ｃの環の内側に、軸を可撓性シート１１Ｃの帯の幅方向に向けて略水平且つ互いに略平行に配置されている。折返し部材１３Ｃと第２折返し部材１７は、上下の可撓性シート１１Ｃが軽く引っ張られるように距離をとって配置されている。これにより、可撓性シート１１Ｃには、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７の上側の両部材間に水平部１１１Ｃが、折返し部材１３Ｃ側に折返し部１１２Ｃが、第２折返し部材１７側に第２折返し部１１５Ｃが、それぞれ形成されている。折返し部材１３Ｃには、該折返し部材１３Ｃをその軸を中心に回転させるモータ（図示せず）が接続されている。なお、このモータは、折返し部材１３Ｃの代わりに第２折返し部材１７に接続してもよい。さらに、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７には、両者の間隔を維持しつつ該両者を略水平且つ可撓性シート１１Ｃの帯の長手方向に移動させる移動機構（図示せず）が設けられている。この移動機構は例えば、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７を軸方向に回転可能に共通の筐体に保持しておき、該筐体を移動させるアクチュエータを用いることで実現できる。
【００４７】
図１４を参照しつつ、第２実施形態の樹脂材料供給装置１０Ｃの動作を説明する。
まず、キャビティ２１１の上に水平部１１１Ｃが配置されるように、樹脂材料供給装置１０Ｃを下型の上に移動させる。そして、第１実施形態と同様の方法により、樹脂材料配置装置１２から水平部１１１Ｃに樹脂材料Ｐを所定のパターンになるように配置する(a)。なお、第１実施形態の場合と同様に、樹脂材料供給装置１０Ｃを下型の上に移動させるタイミングは、樹脂材料Ｐを水平部１１１Ｃに配置した後でもよい。
【００４８】
次に、折返し部材１３Ｃを、折返し部１１２Ｃにおいて上側の可撓性シート１１Ｃが下側に移動する方向に回転させつつ、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７を折返し部１１２Ｃの反対側の方向に略水平に移動させる(b)。これにより、折返し部材１３Ｃに対して（折返し部材１３Ｃから見て）可撓性シート１１Ｃが該折返し部材１３Ｃ側に移動してゆき、それにより、可撓性シート１１Ｃ（の移動前の水平部１１１Ｃ）上に配置された樹脂材料Ｐが、折返し部材１３Ｃ側から順に折返し部１１２Ｃからキャビティ２１１に落下してゆく。その際、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７を略水平に移動させる速さを、折返し部材１３Ｃに対する可撓性シート１１Ｃの移動の速さと同じとすることにより、樹脂材料Ｐは、水平部１１１Ｃ上でのパターンを維持したまま、その場からキャビティ２１１に落下する。樹脂材料Ｐが全て可撓性シート１１Ｃから落下したら(c)、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７の移動を停止する。
【００４９】
上記の動作の例では、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７の移動の速さは、折返し部材１３Ｃに対する可撓性シート１１Ｃの移動の速さと同じとしたが、これら折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７をより速く移動させることにより、水平部１１１Ｃ上でのパターンよりも該移動方向に伸張したパターンで樹脂材料Ｐを下型に供給することができる。一方、折返し部材１３Ｃ及び第２折返し部材１７をより遅く移動させることにより、水平部１１１Ｃ上でのパターンよりも該移動方向に圧縮したパターンで樹脂材料Ｐを下型に供給することができる。
【００５０】
第２実施形態の樹脂材料供給装置１０Ｃにおいても、第１実施形態と同様に誘導具１５や除電部１６を用いてもよい。
【００５１】
(3) 複数の圧縮成形装置の下型に樹脂材料を供給する構成の例
図１５を参照しつつ、本発明に係る樹脂材料供給装置において複数の圧縮成形装置の下型に樹脂材料を供給する構成の例を示す。図１５は、1組の圧縮成形装置が収容された圧縮成形モジュール３１を有する圧縮成形ユニット３０を示している。ここでは圧縮成形モジュール３１を1方向に複数個接続した例を説明する。圧縮成形モジュール３１の個数は任意である。また、圧縮成形モジュール３１は互いに（他の圧縮成形モジュール３１に対して）着脱可能である。これにより、使用状況に応じて任意に増減することができる。また、圧縮成形ユニット３０は、圧縮成形モジュール３１が1個のみである場合にも、該圧縮成形モジュール３１が複数個である場合と同様に使用することができる。
【００５２】
圧縮成形ユニット３０は、圧縮成形モジュール３１の他に、樹脂材料・基板供給モジュール３２と、樹脂成形品搬出モジュール３３を有する。樹脂材料・基板供給モジュール３２は、第１実施形態の樹脂材料供給装置１０を1組有している。樹脂材料供給装置１０の各構成要素のうち樹脂材料配置装置１２は樹脂材料・基板供給モジュール３２内に固定されているが、それ以外の構成要素（可撓性シート１１、折返し部材１３、シート引張装置１４。誘導具１５や除電部１６を用いる場合にはそれらも同様。）は、各構成要素間の位置関係を維持しつつ、後述の搬送装置３４により樹脂材料・基板供給モジュール３２外に移動可能である。以下、これらの移動可能な構成要素をまとめて、（樹脂材料供給装置１０の）移動部１９と呼ぶ。樹脂材料・基板供給モジュール３２内には更に、表面に電子部品Ｃが取り付けられた基板Ｓを保管する基板保管部３２２を有する。なお、ここでは第１実施形態の樹脂材料供給装置１０を用いる例を示したが、第２実施形態の樹脂材料供給装置１０Ｃを用いる場合にも同様に、樹脂材料配置装置１２は樹脂材料・基板供給モジュール３２内に固定し、それ以外の構成要素を移動可能にすればよい。
【００５３】
樹脂成形品搬出モジュール３３は、搬送装置３４により圧縮成形モジュール３１から搬出された、圧縮成形後の樹脂封止品が表面に形成された基板Ｓを保管する樹脂成形品形成済基板保管部３３１を有する。
【００５４】
搬送装置３４は、樹脂材料・基板供給モジュール３２と複数の圧縮成形モジュール３１と樹脂成形品搬出モジュール３３を貫いて設けられた搬送経路３５内で、樹脂材料供給装置１０の移動部１９や基板Ｓを移動させる装置である。また、各圧縮成形モジュール３１内では、搬送経路３５と圧縮成形装置を結ぶ副搬送経路３１１が設けられており、移動部１９や基板Ｓが搬送装置３４により搬送経路３５から圧縮成形装置に搬送されるようになっている。
【００５５】
圧縮成形ユニット３０の動作を説明する。まず、樹脂材料・基板供給モジュール３２の基板保管部３２２から、複数個の圧縮成形モジュール３１のうちの１つに基板Ｓを搬送し、該圧縮成形モジュール３１内の上型に該基板を装着する。次に、樹脂材料・基板供給モジュール３２内で、樹脂材料供給装置１０の樹脂材料配置装置１２から樹脂材料Ｐを所定のパターンで可撓性シート１１の水平部１１１上に配置する。続いて、樹脂材料Ｐが配置された樹脂材料供給装置１０の移動部１９を、先ほど基板Ｓが搬送された圧縮成形モジュール３１に搬送し、該圧縮成形モジュール３１内の下型２１に、水平部１１１上の樹脂材料Ｐを供給する。その際の樹脂材料Ｐの供給方法は、第１実施形態で説明した通りである。その後、該圧縮成形モジュール３１において、搬送装置３４により移動部１９を除去し、樹脂材料Ｐを加熱して溶融したうえで型締めする。そして、樹脂が固化して樹脂成形品が形成された後、搬送装置３４により、基板Ｓを圧縮成形モジュール３１から樹脂成形品搬出モジュール３３に搬送することにより、1個の圧縮成形モジュール３１における1枚の基板Ｓに対する処理が終了する。
【００５６】
上記の動作の説明では1個の圧縮成形モジュール３１に着目したが、下型２１に樹脂材料を供給してから樹脂成形品が得られるまでにある程度の時間を要する。そこで、この時間に他の圧縮成形モジュール３１に対して基板Ｓの搬送及び下型２１への樹脂材料の供給を行うことにより、複数個の圧縮成形モジュール３１に対して同時並行で処理を行うことができ、樹脂成形品を効率よく製造することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…樹脂材料供給装置
１１、１１Ｂ…可撓性シート
１１１、１１１Ｂ、１１１Ｃ…可撓性シートの水平部
１１２、１１２Ｂ、１１２Ｃ…可撓性シートの折返し部
１１３、１１３Ｂ…可撓性シートの固定端
１１４Ｂ…可撓性シートの可動端
１１５Ｃ…可撓性シートの第２折返し部
１２…樹脂材料配置装置
１２１…ホッパ
１２２…リニアフィーダ
１３、１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ…折返し部材
１４、１４Ａ…シート引張装置
１４１…シート引張装置のドラム
１４２、１４２Ａ…ローラ
１４３、１４３Ｂ…バネ
１４４…固定部
１５…下部誘導具
１５Ａ…上部誘導具
１５０…誘導具の板材
１５１…誘導具の開口部
１５２…誘導具の筒状部
１６、１６Ａ…除電部
１７…第２折返し部材
１９…移動部
２１…下型
２１１、２１１Ａ、２１１Ｂ…キャビティ
２１２…離型フィルム
２２…上型
３０…圧縮成形ユニット
３１…圧縮成形モジュール
３１１…副搬送経路
３２…樹脂材料・基板供給モジュール
３２２…基板保管部
３３…樹脂成形品搬出モジュール
３３１…樹脂成形品形成済基板保管部
３４…搬送装置
３５…搬送経路
Ｃ…電子部品
Ｐ…樹脂材料
ＳＰ…シート状樹脂材料
Ｓ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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