(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光照射により剥離性を呈する感光剥離性接着フィルムであって、
基材の片面又は両面に所定の硬化波長域で接着硬化する感光接着剤と所定の励起波長域の光照射により活性化する光触媒でなる感光剥離剤とを用いた接着層が形成され、
前記感光接着剤中に前記感光剥離剤が分散されている、または、前記接着層の表面に前記感光剥離剤からなる点状又は線状パターンの感光剥離層が形成されており、
前記硬化波長域は少なくとも前記励起波長域外の波長域を含んで成ることを特徴とする感光剥離性接着フィルム。
【請求項２】
前記感光接着剤中に前記感光剥離剤が分散されている請求項１記載の感光剥離性接着フィルム。
【請求項３】
前記接着層の表面に前記感光剥離剤からなる点状又は線状パターンの感光剥離層が形成されている請求項１記載の感光剥離性接着フィルム。
【請求項４】
前記光触媒が、アナターゼ型酸化チタンである請求項１、２又は３記載の感光剥離性接着フィルム。
【請求項５】
前記感光接着剤が可視光感光接着剤である請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光剥離性接着フィルム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の感光剥離性接着フィルムの接着層を被着体の表面に圧着させる工程；
前記感光接着剤の硬化波長域内であり、且つ、前記光触媒の励起波長域外の波長域の光を照射することにより、前記接着層に含まれる前記感光接着剤を前記被着体に接着硬化させる工程； 
前記光触媒の励起波長域の光を照射して前記光触媒を活性化させる工程；及び
前記感光剥離性接着フィルムを前記被着体から剥離する工程、を含む感光剥離性接着フィルムの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射により剥離性を呈する感光剥離性接着フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
絆創膏などの医療用粘着テープや、液晶基板やシリコンチップのダイシング時の飛散防止に用いるダイシングテープなどの産業用粘着テープのように、最終的にこれを剥がすことを前提に用いられるものは、接着して使用する際は強い接着力が要求されるが、接着力が強ければ剥がしにくくなるという問題がある。
【０００３】
例えば、シリコンチップのダイシングに用いられるダイシングテープは、ダイシング時は十分な粘着力でウェハおよび分割されたチップを固定でき、ダイシング時の高速回転ブレードによる切削抵抗に耐え、チップの位置ずれや飛散を発生しない十分な保持力を有することが要求される一方で、ピックアップ時には破損させることなく容易にチップを剥離できることが要求され、両者の性能は相反する。
一般の粘着剤を使用した場合、程よい粘着力に調整する必要があるが、粘着力が一定であると、小さいサイズのチップはダイシング時に飛散しやすく、逆に大きいサイズのチップはピックアップ時に剥離不良を生じる不具合等が発生しやすかった。
【０００４】
このため、強力な接着性と易剥離性を備えた紫外光感光剥離性接着フィルムが開発された（特許文献１参照）。
この種の感光剥離性接着フィルムは、紫外光照射により粘着性が低下するので、ダイシングテープとして用いれば、チップをピックアップする前にダイシングテープに紫外光を照射することで粘着剤を硬化させ、粘着力を低下させるとともに粘着剤転着を僅少に抑制することができる。
【０００５】
このＵＶ硬化による粘着力低下の主たるメカニズムは、ＵＶ硬化性樹脂の光ラジカル重合による三次元網状化で生じる粘着剤の弾性率上昇と体積収縮であるが、そのような接着剤の化学組成物は、非常に複雑であり、製造も困難であり、コストが嵩むという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５６２４２０６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、極めて簡単、且つ、低コストで、市販されている既存の接着剤と組み合わせることによっても製造することができる感光剥離性接着フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するために、本発明は、光照射により剥離性を呈する感光剥離性接着フィルムであって、基材の片面又は両面に所定の硬化波長域で硬化する感光接着剤と所定の励起波長域の光照射により活性化する光触媒でなる感光剥離剤とを用いた接着層が形成され、前記硬化波長域は少なくとも前記励起波長域外の波長域を含んで成ることを特徴とする。
なお、前記感光剥離剤は、前記感光接着剤中に分散されるか、もしくは前記接着層の表面に点状又は線状パターンの感光剥離層を形成するものである。
【０００９】
ここで、本発明において、「接着」とは、粘着を含む概念として用いる。
「感光剥離性」とは、被着体に接着された状態で特定波長の光を照射することにより、その接着量が低下して剥がし易くなる特性を意味する。
また、「フィルム」は、「テープ」「シート」を含む概念として用いる。
なお、「光触媒」としては、アナターゼ型酸化チタンを用いることが望ましい。
アナターゼ型酸化チタンの励起波長域は３８８ｎｍ以下であるので、本発明に用いる感光接着剤は、硬化波長域として少なくとも前記励起波長域外の波長域を含んでいることが必要である。市販の可視光感光接着剤には硬化波長域のピーク波長が４７０ｎｍ近傍に存在するものがあるため、このような感光接着剤を用いればよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、感光接着剤の硬化波長域には光触媒の励起波長域外の波長域が含まれている。
例えば、感光接着剤の硬化波長域が５００ｎｍ以下であり、光触媒（アナターゼ型酸化チタン）の励起波長域が３８８ｎｍ以下である場合は、接着時は、４７０ｎｍ前後の可視光を照射することにより、光触媒を活性化させることなく感光接着剤を硬化させて被着体に固定することができる。
さらに、剥離時は、３７５ｎｍ前後の紫外光を照射することにより、感光接着剤中に分散された光触媒や、接着層表面に形成された感光剥離層に含まれる光触媒が活性化され、その光触媒作用により、接着剤を分解したり、接着剤の表面張力を低下させて、被着体との間の接着力を弱めることができる。
なお、紫外光も感光接着剤の硬化波長域ではあるが、既に硬化された接着剤に紫外光を照射してもこれ以上硬化されることはないため、剥離不良となることもない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る感光剥離性接着フィルムの一例を示す説明図。
【図２】他の実施形態を示す説明図。
【図３】さらに他の実施形態を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明は、感光剥離性接着フィルムを極めて簡単、且つ、低コストで、既存の接着剤と組み合わせることによっても製造することができるようにするという目的を達成するため、基材の片面又は両面に所定の硬化波長域で硬化する感光接着剤と所定の励起波長域の光照射により活性化する光触媒でなる感光剥離剤とを用いた接着層が形成され、前記硬化波長域は少なくとも前記励起波長域外の波長域を含んでいる。
なお、前記感光剥離剤は、前記感光接着剤中に分散されるか、もしくは前記接着層の表面に点状又は線状パターンの感光剥離層を形成している。
【実施例１】
【００１３】
図１（ａ）は、本発明に係る感光剥離性接着フィルムの一例を示す説明図、同図（ｂ）は、そのＸ−Ｘ線拡大断面図である。
光照射により剥離性を呈する感光剥離性接着フィルム１は、基材２の片面又は両面に接着層３が形成され、その接着層３を保護するセパレータ６が設けられており、接着層３は、所定の硬化波長域で硬化する感光接着剤４中に、所定の励起波長域の光照射により活性化する光触媒５でなる感光剥離剤が分散されて成る。
【００１４】
光触媒５としては、本例では、アナターゼ型酸化チタンが用いられており、アナターゼ型酸化チタンの励起波長は３８８ｎｍ以下である。
【００１５】
この感光剥離性接着フィルム１の使用時は、セパレータ６を剥がして、接着層３を被着体の表面に当接させ、接着層３に含まれる感光接着剤４の接着力により被着体に接着させる。
また、剥離時は、光触媒５の励起波長域の光を照射することにより剥離容易となる。
なお、感光接着剤４の硬化波長域は、少なくとも光触媒５の励起波長域外の波長域を含んでいる。
本例では、感光接着剤４として、「アロンタイトＶＬ」（東亜合成株式会社の商品名）を用いており、硬化波長域は４７０ｎｍをピーク波長とする３８０〜５００ｎｍである。
【００１６】
アナターゼ型酸化チタンを用いた光触媒５は、その励起波長が３８８ｎｍ以下であるので、感光接着剤４の硬化波長域に、光触媒５の励起波長域外の３８８〜５００ｎｍの波長域が含まれていることになる。
【００１７】
これによって、３８８〜５１０ｎｍの波長域（例えば４７０ｎｍ）の光を照射することにより、光触媒５を活性化させることなく感光接着剤４のみを硬化させることができ、その後、３８８ｎｍ以下（例えば３７５ｎｍ）の波長域の光を照射することにより、光触媒５を活性化させることができる。
【００１８】
したがって、使用時は、感光剥離性接着フィルム１の接着層３を被着体の表面に圧着させた状態で、感光接着剤４の硬化波長域内であり、且つ、光触媒５の励起波長域外の３８８〜５００ｎｍの波長域の光を照射することにより、光触媒５を活性化させることなく、接着層に含まれる感光接着剤４が被着体に接着硬化される。
具体的には、例えば、４７０ｎｍを中心とする４３０〜５１０ｎｍの光を照射する歯科用プラズマアーク照射器や、歯科重合用ＬＥＤ光照射器を用いて光照射する。
【００１９】
剥離時は、３５０nmを中心とする光を照射するブラックライトや、３６５ｎｍ〜３７５ｎｍを中心とする光を照射する紫外ＬＥＤにより、光照射することにより、感光接着剤４Ｂ中に分散された光触媒５としてのアナターゼ型酸化チタンが活性化され、その光触媒作用により、被着体との間の接着力を弱めることができ、これによって剥離容易となる。
【実施例２】
【００２０】
図２（ａ）は、本発明の他の実施形態を示す説明図，同図（ｂ）は、そのＹ−Ｙ線拡大断面図である。
本例の感光剥離性接着フィルム１１は、基材１２の片面又は両面に感光接着剤を主剤とする接着層１３が形成され、当該接着層１３の表面に、所定の励起波長域の光照射により活性化する光触媒でなる点状パターンの感光剥離層１４が形成され、その表面がセパレータ１５で保護されている。
【００２１】
感光剥離層１４を形成した部分の接着性は低下するので、感光剥離層１４の総面積は、接着層１３の露出している部分の面積の１／２以下が望ましく、点状パターンを構成するドット一つ当たりの面積は小さい方が望ましい。
【００２２】
使用時は、感光剥離性接着フィルム１１のセパレータ１５を剥がして、接着層１３を被着体に圧着させ、光触媒の励起波長域外の光（例えば４７０ｎｍ）を照射することにより、光触媒を活性化させることなく、接着層１３に含まれる感光接着剤が被着体に接着硬化される。
【００２３】
また、剥離時は、ブラックライトや紫外ＬＥＤにより光触媒の励起波長域の光（例えば３７５ｎｍ）を照射することにより、感光剥離層１４に含まれる光触媒が活性化し、これに接触している接着層１３の感光接着剤が分解されて接着力を喪失し、剥離容易となる。
【実施例３】
【００２４】
図３（ａ）は、感光剥離性接着フィルム１１の感光剥離層１４を線状パターンとした実施形態を示す説明図、同図（ｂ）は、そのＺ−Ｚ線拡大断面図であり、図２と共通する部分は同一符号を付して詳細説明は省略する。
図示の如く、感光剥離層１４のパターン図形は任意に選定し得る。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明は、絆創膏などの医療用粘着テープや、液晶基板やシリコンウェハの飛散防止に用いるダイシングテープのように、接着して使用した後、最終的にこれを剥離しなければならない接着フィルムとして有用なものである。
【符号の説明】
【００２６】
１    感光剥離性接着フィルム
２    基材
３    接着層
４    感光接着剤
５    光触媒
１１    感光剥離性接着フィルム
１２    基材  
１３    接着層
１４    感光剥離層
【図１】
0006644663.tif 000002
【図２】
0006644663.tif 000003
【図３】
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