(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤ基板と、前記ＬＥＤ基板上に配置されるレンズアレイとを具備する４つの照射ユニットと、
４つの前記照射ユニットがそれぞれ押し当てられ、４つの前記照射ユニットを規定の位置に配置させる４つの配置基準面を具備する位置決め部材とを備え、
前記ＬＥＤ基板が、ＬＥＤ基準端面と、前記ＬＥＤ基準端面を基準として当該ＬＥＤ基準端面からの距離に基づいて配列された複数のＬＥＤとを具備し、
前記レンズアレイが、レンズ基準端面と、前記レンズ基準端面を基準として当該レンズ基準端面からの距離に基づいて配列された複数のレンズとを具備し、
４つの前記照射ユニット及び４つの配置基準面が、４回回転対称となるように配置されており、
１つの前記配置基準面に対して１つの前記照射ユニットにおける前記ＬＥＤ基準端面及び前記レンズ基準端面が押し当てられていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記配置基準面が、第１側面と、前記第１側面と直交関係にある第２側面とからなり、
前記ＬＥＤ基準端面が、前記第１側面に押し当てられる第１ＬＥＤ端面と、前記第１ＬＥＤ端面と直交関係にあるとともに前記第２側面に押し当てられる第２ＬＥＤ端面とからなり、
前記レンズ基準端面が、前記第１側面に押し当てられる第１レンズ端面と、前記第１レンズ端面と直交関係にあるとともに前記第２側面に押し当てられる第２レンズ端面とからなる請求項１記載の光照射装置。
【請求項３】
前記位置決め部材が、十字状に形成されており、各象限ごとに前記第１側面及び前記第２側面が形成されている請求項２記載の光照射装置。
【請求項４】
前記位置決め部材の上面に取り付けられ、隣接する前記照射ユニットの前記レンズアレイの両方を押圧固定する押圧体をさらに備えた請求項３記載の光照射装置。
【請求項５】
４つの前記照射ユニットの下側に設けられたヒートシンクをさらに備え、
前記ヒートシンクが、４つの前記ＬＥＤ基板へ接続される電力供給ケーブルを通すための貫通穴を４つ備えており、
各貫通穴が、４回回転対称となるように配置されている請求項１乃至４いずれかに記載の光照射装置。
【請求項６】
前記ＬＥＤ基板が、前記ＬＥＤ基準端面とは反対側に前記電力供給ケーブルが接続される電源コネクタを具備し、
前記ＬＥＤ基板が前記位置決め部材に押し当てられた状態において、前記貫通穴が前記ＬＥＤ基板の外側かつ前記電源コネクタの近傍に配置されている請求項５記載の光照射装置。
【請求項７】
前記ヒートシンクが板状であり、
前記ヒートシンクにおいて前記照射ユニットが設けられていない側に設けられた中継ユニットをさらに備え、
前記中継ユニットが、前記ＬＥＤ基板と前記電力供給ケーブルで接続されるとともに、電源ケーブルで外部電源と接続されるように構成されている請求項５又は６記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤ基板が複数配列された光照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子回路基板向けの露光装置では、従来、光源として水銀ランプが用いられている（特許文献１参照）。近年、消費電力や排出ＣＯ２の削減、光源の長寿命化、水銀未使用等により環境負荷の低減を実現するために、露光装置においても水銀ランプの代わりにＬＥＤ光源への置き換えが求められつつある。
【０００３】
ところが、ＬＥＤ１個の紫外光の光出力は、水銀ランプに比べて小さいため、同等の光出力を得るためには、多数のＬＥＤを使用する必要があり、露光装置に使用するには、大面積の面光源となる。また、ＬＥＤは拡散光源であるため、露光装置のフライアイレンズに紫外光を効率よく照射するためには、各ＬＥＤから出た紫外光をレンズで概略平行な方向へ出射し、コンデンサレンズによって各概略平行な紫外光をフライアイレンズへ集光する必要がある。
【０００４】
このような構成にすることで、複数のＬＥＤが配列されたＬＥＤ基板の内、１個又は２個程度のＬＥＤが不点灯になったり、放射照度が低下したりしたとしても、基板を露光する露光面では、全体としての放射照度ムラを抑えることができる。
【０００５】
しかしながら、各ＬＥＤから射出される光が特に紫外光の場合、レンズアレイを樹脂製とすると、その劣化によってその機能が損なわれてしまうため、ガラス等の材料を用いる必要がある。
【０００６】
ところが、ガラスは樹脂に比べて比重が大きいので、例えば露光装置に必要とされるほどの面積を有した１枚物のレンズアレイを作成しようとすると非常に重くなってしまう。このため、大きな１枚物のレンズアレイを作成することは製造上の限界やコストの問題によって実現が難しい。また、レンズを接着剤で繋ぎ合わせると、レンズ同士の位置精度が悪化することや、紫外光による接着剤の劣化により長期の耐久性に問題がある。したがって、必要となる面積よりも小さい複数のレンズアレイに分割して形成することになる。
【０００７】
しかしながら、レンズアレイが複数に分割されて形成されていると、それに合わせてＬＥＤ基板を分割して形成する必要がある。さらに、全体としての放射照度ムラを抑え、均一な光が全体から射出されるようにするには各レンズアレイと各ＬＥＤ基板の光軸をそれぞれ高精度に位置合わせしなくてはならない。
【０００８】
このため、露光装置に用いられるような大面積の面光源を有した光照射装置を製造しようとすると、水銀ランプと比較して組み立てにかかる手間が大きくなり、製造コストが上昇するため安価なものにするのが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−３３０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上述したような問題を鑑みてなされたものであり、簡単な位置合わせだけで複数のＬＥＤ基板上に配置された複数のＬＥＤの光軸と、複数のレンズアレイに形成された複数のレンズの光軸とを精度よく一致させることができ、大面積の面光源を安価に実現することができる光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明に係る光照射装置は、ＬＥＤ基板と、前記ＬＥＤ基板上に配置されるレンズアレイとを具備する４つの照射ユニットと、４つの前記照射ユニットがそれぞれ押し当てられ、４つの前記照射ユニットを規定の位置に配置させる４つの配置基準面を具備する位置決め部材とを備え、前記ＬＥＤ基板が、ＬＥＤ基準端面と、前記ＬＥＤ基準端面を基準として当該ＬＥＤ基準端面からの距離に基づいて配列された複数のＬＥＤとを具備し、前記レンズアレイが、レンズ基準端面と、前記レンズ基準端面を基準として当該レンズ基準端面からの距離に基づいて配列された複数のレンズとを具備し、４つの前記照射ユニット及び４つの配置基準面が、４回回転対称となるように配置されており、１つの前記配置基準面に対して１つの前記照射ユニットにおける前記ＬＥＤ基準端面及び前記レンズ基準端面が押し当てられていることを特徴とする。
【００１２】
このようなものであれば、光照射装置を大面積の面光源とするために照射ユニットを１種類だけ製造すればよい。さらに、各照射ユニットを位置決め部材の配置基準面に対してそれぞれ周方向に対して同じ向きに押し当てていくだけで、複数のＬＥＤと複数のレンズを同じ位置に配置し、それぞれの光軸を一致させることができる。したがって、大面積の面光源を得るために複数要素に分割しているにもかかわらず、面光源全体における放射照度ムラを抑えつつ、組み立て時における各ＬＥＤと各レンズ間の光軸合わせの手間やコストを大幅に低減できる。このため、本発明に係る光照射装置であれば、例えば露光装置に求められるような大面積の面光源をＬＥＤで安価に実現することが可能となる。
【００１３】
複数のＬＥＤの二次元的な位置と、複数のレンズの二次元的な位置とが一致するように簡単に配置して、それぞれの光軸を精度よく一致できるようにするには、前記配置基準面が、第１側面と、前記第１側面と直交関係にある第２側面とからなり、前記ＬＥＤ基準端面が、前記第１側面に押し当てられる第１ＬＥＤ端面と、前記第１ＬＥＤ端面と直交関係にあるとともに前記第２側面に押し当てられる第２ＬＥＤ端面とからなり、前記レンズ基準端面が、前記第１側面に押し当てられる第１レンズ端面と、前記第１レンズ端面と直交関係にあるとともに前記第２側面に押し当てられる第２レンズ端面とからなるものであればよい。
【００１４】
大面積の面光源としやすく、位置決め部材に対する照射ユニットの取り付け作業を簡単にするには、前記位置決め部材が、十字状に形成されており、各象限ごとに前記第１側面及び前記第２側面が形成されていればよい。
【００１５】
ＬＥＤとレンズの光軸が一致するようにＬＥＤ基板とレンズアレイが配置された状態で固定するための作業数を減らせるとともに、レンズアレイに大きな力がかかって割れてしまうことを防ぐには、ＬＥＤ基板と位置決め部材の上面に取り付けられ、隣接する前記照射ユニットの前記レンズアレイの両方を押圧固定する押圧体をさらに備えたものであればよい。
【００１６】
各ＬＥＤ基板で発生する熱を放熱するヒートシンクがある場合でも、各ＬＥＤ基板に電力を供給するための電力供給ケーブルをヒートシンクの外側へ回す必要がなく、例えば各照射ユニットとヒートシンクを収容するケーシング構造が複雑化するのを防ぎ、製造コストを低減できるようにするには、４つの前記照射ユニットの下側に設けられたヒートシンクをさらに備え、前記ヒートシンクが、４つの前記ＬＥＤ基板へ接続される電力供給ケーブルを通すための貫通穴を４つ備えており、各貫通穴が、４回回転対称となるように配置されていればよい。
【００１７】
前記電力供給ケーブルをヒートシンクの上側の面から下側の面へ導く場合における取り回しをさらに良くし、組み立てにかかる製造コストを低減できるようにするには、前記各ＬＥＤ基板が、前記ＬＥＤ基準端面とは反対側に前記電力供給ケーブルが接続される電源コネクタを具備し、前記ＬＥＤ基板が前記位置決め部材に押し当てられた状態において、前記貫通穴が前記ＬＥＤ基板の外側かつ前記電源コネクタの近傍に配置されていればよい。
【００１８】
ヒートシンクにおける下側の面でも電力供給ケーブルの取り付けを簡単にできるようにするための具体的な構成としては、前記ヒートシンクが板状であり、前記ヒートシンクにおいて前記照射ユニットが設けられていない側に設けられた中継ユニットをさらに備え、前記中継ユニットが、前記ＬＥＤ基板と前記電力供給ケーブルで接続されるとともに、電源ケーブルで外部電源と接続されるように構成されているものが挙げられる。
【発明の効果】
【００１９】
このように本発明に係る光照射装置によれば、同じ形状の照射ユニットについてその向きを回転方向に対して揃えながら位置決め部材に対して押し付けていくだけで、ＬＥＤ基板及びレンズアレイ上にあるＬＥＤ及びレンズの光軸を一致させることができる。したがって、簡単な取り付け作業のみで面光源としての放射照射ムラを小さくすることができ、ＬＥＤによって大面積の面光源を安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る光照射装置を示す模式的斜視図。
【図２】同実施形態において光照射装置のカバー、コンデンサレンズ、及び、レンズアレイを取り外した状態を示す模式的上面図。
【図３】同実施形態において光照射装置のカバー及びコンデンサレンズを取り外した状態を示す模式的上面図。
【図４】同実施形態におけるＬＥＤ基板の構造を示す模式図。
【図５】同実施形態におけるレンズアレイの構造を示す模式図。
【図６】同実施形態における位置決め部材の構造について示す模式的斜視図。
【図７】同実施形態におけるレンズアレイの固定構造について示す模式的断面図。
【図８】同実施形態における光照射装置の下面側におけるＬＥＤ基板から中継ユニットまでの配線を示す模式的斜視図。
【図９】同実施形態における光照射装置の下面側における中継ユニットから電源接続コネクタまでの配線を示す模式的斜視図。
【図１０】同実施形態における中継ユニットを示す模式的斜視図。
【図１１】本発明の別の実施形態に係る光照射装置を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の一実施形態に係る光照射装置１００について各図を参照しながら説明する。本実施形態の光照射装置１００は、例えば電子回路基板の製造に用いられる露光装置の光源として用いられる面光源であり、図１乃至図３に示すように、露光装置として必要とされる発光面積を４つに分割し、分割された発光面積をそれぞれ４つの照射ユニット２が担うようにしてある。
【００２２】
より具体的には、前記光照射装置１００は、上面側の照射部ＩＲと、下面側の電力供給部ＳＰとからなる。
【００２３】
前記照射部ＩＲは、概略板状に形成された水冷式のヒートシンク１と、ヒートシンク１の上側の面に配置され、概略正方形状の発光面を有する４つの照射ユニット２と、ヒートシンク１上に設けられ、４つの照射ユニット２を所定位置に配置させるための基準となる位置決め部材３と、照射ユニット２及び位置決め部材３の上側に設けられるコンデンサレンズ４と、各部材を覆うケーシング５と、を備えている。
【００２４】
前記照射ユニット２は、ＬＥＤ基板６と、ＬＥＤ基板６の上側に重ねて設けられるレンズアレイ７とを備えており、ＬＥＤ基板６は、少なくとも２つの端面が直交するプリント基板６１と、基板上において正方形格子状に配列されたＬＥＤ６２と、前記レンズアレイ７を支持するための支持体（位置決め部材３、後述の押圧体８、保持体８１、固定部材８２）と、を備えたものである。
【００２５】
前記プリント基板６１は、複数のＬＥＤ６２の当該プリント基板６１上における二次元座標位置の基準となるＬＥＤ基準端面を備えている。このＬＥＤ基準端面は、位置決め部材３の側面に対して押し当てられる面であり、第１ＬＥＤ端面６Ａと、第１ＬＥＤ端面６Ａと直交関係にある第２ＬＥＤ端面６Ｂとからなる。このプリント基板６１は図４の拡大図に示されるように平面視において正方形の１つの角が外側へ膨出した膨出部を有した形状となっている。そして、第１ＬＥＤ端面６Ａと第２ＬＥＤ端面６Ｂは前記膨出部とは反対側の端面をなすものである。前記膨出部には、複数のＬＥＤ６２に対して電力を供給するための電力供給ケーブルＣが接続される電源コネクタ６３がＬＥＤ６２と同じ側の面に設けてある。また、ヒートシンク１には電源コネクタ６３の近傍において電力供給ケーブルＣを当該ヒートシンク１の下側の面へと導くための貫通穴１１が設けてある。図１乃至図３に示されるようにヒートシンク１には４つの照射ユニット２に対応させてそれぞれ貫通穴１１が形成してあり、中心点を回転中心として４回回転対象となるように配置してある。
【００２６】
複数のＬＥＤ６２は、紫外光を射出するものであって、前記ＬＥＤ基準端面を基準として当該ＬＥＤ基準端面からの距離に基づいて正方形格子状に配列してある。すなわち、第１ＬＥＤ端面６Ａからの垂直な方向への距離と、第２ＬＥＤ端面６Ｂからの垂直な方向への距離において各ＬＥＤ６２のプリント基板６１上における二次元座標位置が設定してある。
【００２７】
前記レンズアレイ７は、図５の拡大図に示すようにＬＥＤ６２と同数のレンズ７１を二次元的に配列させて例えばガラスで一体形成した概略正方形状の面板部を有する薄板状のものである。このレンズアレイ７は、各レンズ７１のレンズアレイ７における二次元座標位置の基準となるレンズ基準端面を有している。前記レンズ基準端面は、位置決め部材３の側面に押し当てられる第１レンズ端面７Ａと、前記第１レンズ端面７Ａと直交関係にある第２レンズ端面７Ｂとからなる。すなわち、レンズアレイ７におけるレンズ７１の２次元座標位置は、第１レンズ端面７Ａに対して垂直な方向の距離と、第２レンズ端面７Ｂに対して垂直な方向の距離で設定してある。なお、第１レンズ端面７Ａ及び前記第２レンズ端面７Ｂは外側へ突出する突起として設けてある。また、本実施形態では１つのＬＥＤ基板６上に３枚のレンズアレイ７が積層してある。
【００２８】
位置決め部材３は、ヒートシンク１上において概略十字状となるように設けてある。より具体的には、直交する２つの方向に延びる突条により位置決め部材３は形成してある。前記突条は、横断面視においてプリント基板６１よりも若干厚みのある土台部３１と、土台部３１よりも細く、土台部３１の中央部から上側へと突出する突出部３２からなる。土台部３１の側面にはＬＥＤ基板６のＬＥＤ基準端面が押し当てられ、突出部３２の側面には３枚のレンズアレイ７のレンズ基準端面が押し当てられる。
【００２９】
すなわち、位置決め部材３は４つの照射ユニット２がそれぞれ押し当てられ、４つの照射ユニット２を規定の位置に配置させる４つの配置基準面を側面に具備する。配置基準面は、第１側面３Ａと、第１側面３Ａと直交関係にある第２側面３Ｂとからなる。第１側面３Ａ及び第２側面３Ｂは各象限ごとに形成してある。第１側面３Ａ及び第２側面３Ｂは、土台部３１の側面と突出部３２の側面によって段差を有した面として構成してある。第１側面３Ａ及び第２側面３Ｂは、位置決め部材３の中心を中心点として４回回転対象となるように配置してある。
【００３０】
このように構成された照射ユニット２及び位置決め部材３によるヒートシンク１上における位置決め及び組み立てについて説明する。
【００３１】
４つの照射ユニット２は、前述したようにすべて同じ形状かつ構成であり、位置決め部材３の中心を中心点として４回回転対称となるようにヒートシンク１上に配置してある。より具体的には、各ＬＥＤ基板６は第１ＬＥＤ端面６Ａが位置決め部材３（土台部３１）の第１側面３Ａに押し当てられるとともに、第２ＬＥＤ端面６Ｂが位置決め部材３（土台部３１）の第２側面３Ｂに押し当てられている。このようにして、位置決め部材３を基準としてＬＥＤ基板６及び当該ＬＥＤ基板６上に配列されているＬＥＤ６２のヒートシンク１上の位置が決定される。各ＬＥＤ基板６の向きは９０°ずつ回転しながら位置決め部材３の側面に対してＬＥＤ基準端面が押し当てられるようにしてある。
【００３２】
ＬＥＤ基板６が位置決めされた後、１枚目のレンズアレイ７についてレンズアレイ７の第１レンズ端面７Ａが位置決め部材３（突出部３２）の第１側面３Ａに押し当てられるとともに第２レンズ端面７Ｂが位置決め部材３（突出部３２）の第２側面３Ｂに押し当てられる。その際、レンズアレイ７は、土台部３１と保持体８１の載置部（土台部３１と同一高さ）に掛け渡された状態で載置される。このようにして、位置決め部材３を基準としてヒートシンク１上におけるレンズ７１の位置が決定される。各レンズアレイ７の向きは９０°ずつ回転しながら位置決め部材３の側面に対してレンズ基準端面が押し当てられるようにしてある。このような組み立て作業を２枚目及び３枚目のレンズアレイ７についても同様に行われる。
【００３３】
このようにすることで、位置決め部材３に対して各ＬＥＤ６２の位置の基準となるＬＥＤ基準端面と、各レンズ７１の位置の基準となるレンズ基準端面を設計位置に精度よく配置することができる。したがって、各ＬＥＤ６２と各レンズ７１とのヒートシンク１上における二次元座標位置をほぼ一致させることができる。すなわち、各ＬＥＤ６２の光軸と各レンズ７１の光軸がすべての組み合わせで一致するので、面光源として最も設計状態に近くなり、放射照度ムラを小さくすることができる。
【００３４】
さらに図７に示すようにレンズアレイ７は位置決めされた後に位置決め部材３の上面側から下面側へと押圧して固定してある。より具体的には、位置決め部材３の突出部３２の上面にレンズアレイ７を下方へと押圧固定する押圧体８が設けてあり、この押圧体８は、土台部３１の上面との間に挟み込まれた３枚のレンズアレイ７のみに対して押圧力を直接作用させる。この押圧体８は樹脂製のワッシャとネジからなるものであり、前記ワッシャとレンズアレイ７との間にはワッシャが紫外光により劣化することを防ぐためにワッシャより大径且つ薄板の金属製シム（図示せず）が挟み込まれる。このワッシャは突出部３２の幅寸法よりも大きい直径を有するものであり、突出部３２の上面に取り付けられた状態でその外縁部が外側へはみ出すようにしてある。これにより、隣接するレンズアレイ７の両方を１つのワッシャで同時に押圧固定でき、各レンズアレイ７を固定するのに必要なネジ数を減らして組み立てコストを低減できる。なお、レンズアレイ７は、保持体８１に設けられる、押圧体８と同構造の固定部材８２によっても固定される。
【００３５】
次に前記電力供給部ＳＰについて図８乃至図１０を参照しながら説明する。
【００３６】
各ＬＥＤ基板６の電源コネクタ６３に接続された電力供給ケーブルＣはＦＦＣケーブルを用いており、前記貫通穴１１を介してヒートシンク１の下側面へと導かれる。図８に示すように２つのＬＥＤ基板６からヒートシンク１の下側面に導かれた２本の電力供給ケーブルＣは、１つの中継ユニット９に接続される。
【００３７】
前記中継ユニット９は、基板の裏面と表面のそれぞれに第１コネクタ９１が１つずつ設けてあり、また、基板の表面には第２コネクタ９２が設けてある。第１コネクタ９１にはＬＥＤ基板６と接続された電力供給ケーブルＣが接続され、第２コネクタ９２には外部電源接続コネクタＯＣと接続される電源ケーブルＬが接続される。
【００３８】
図１０に示されるように１組の第１コネクタ９１は基板に対して上下方向に対称となるように配置してあり、図８に示すように表側の第１コネクタ９１の向きが前記貫通穴１１から導かれた電力供給ケーブルＣを折り曲げることなくそのまま接続できるようにしてある。一方、裏側の第１コネクタ９１には前記貫通穴１１から導かれた電力供給ケーブルＣを折り曲げることで接続できるようにしてある。
【００３９】
このように構成された本実施形態の光照射装置１００であれば、大面積の面光源とするためにＬＥＤ基板６及びレンズアレイ７を１種類だけ製造すればよい。さらに、各照射ユニット２を位置決め部材３の前記配置基準面に対してそれぞれ周方向に対して同じ向きに押し当てていくだけで、ＬＥＤ基板６とレンズアレイ７を基板上の設計位置へ精度よく位置決めすることができる。そして、位置決め部材３によって各ＬＥＤ６２と各レンズ７１の位置の基準となるＬＥＤ基準端面及びレンズ基準端面が精度よく位置決めされるので、各ＬＥＤ６２と複数の対応する各レンズ７１を同じ位置に配置し、それぞれの光軸を一致させることができる。
【００４０】
したがって、大面積の面光源とするために複数に分割して製作しているにもかかわらず、面光源全体における放射照度ムラを抑えつつ、組み立て時における各ＬＥＤ６２と各レンズ７１間の光軸合わせの手間やコストを大幅に低減できる。
【００４１】
このため、露光装置に求められるような大面積の面光源をＬＥＤで安価に実現することができる。
【００４２】
また、ヒートシンク１に貫通穴１１が設けてあるので、この貫通穴１１を介して各ＬＥＤユニットに接続された電力供給ケーブルＣをヒートシンク１の下面側に導くことができる。したがって、ヒートシンク１の外側を迂回させて電力供給ケーブルＣを接続する必要がないので、ケーシング５に隙間ができず、例えば紫外線の漏れ対策等が容易になる。また、ヒートシンク１の裏面側に導かれた電力供給ケーブルＣは中継ユニット９により接続されるので、外部電源までの配線の取り回しをよくすることができる。
【００４３】
これらのことから、本実施形態の光照射装置１００であれば、大面積の面光源を実現しつつ、その製造コストを大幅に低減でき、現在露光装置において光源として使われている水銀灯との置き換えが可能となる。
【００４４】
その他の実施形態について説明する。
【００４５】
１つのＬＥＤ基板６の上に積層されるレンズアレイ７の枚数は３枚に限られず、１枚または２枚であってもよいし、４枚以上であっても構わない。また、レンズアレイ７の形状や構造はそれぞれ異なっていても、同じであっても良い。
【００４６】
位置決め部材３の配置形状やＬＥＤ基準端面及びレンズ基準端面の向きは前記実施形態に示したものに限られない。位置決め部材３は、ＬＥＤ６２とレンズ７１の位置関係を高精度にするため一体ものを用いることが好ましいが、許容範囲内の位置精度が得られるのであれば、別体で構成しても構わない。例えば、図１１に示すように正方形枠状の位置決め部材３とし、当該位置決め部材３の内側面に配置基準面が形成されているものであってもよい。この場合には前記ＬＥＤ基準端面及び前記レンズ基準端面は回転中心に対して内周側の端面ではなく、外周側の端面に設定すればよい。要するに前記照射ユニット２が４回回転対称となるように配置すればよい。なお、前記位置決め部材３については回転対称が一部くずれていてもよい。例えば図１１の例のように四角枠がすべて一続きになるものではなく、途中で途切れていてもよい。また、図１１に示すように位置決め部材３を構成する突条の形状はＬＥＤ基板６とレンズアレイ７が当接する部分ごとに異なる形状とせず、同一の形状としてもよい。
【００４７】
また、中継ユニットは１つであってもよく、電源コネクタについては各照射ユニットが配置された状態において中央部に配置するようにしてもよい。
【００４８】
さらに、ＬＥＤ基板上に配列されるＬＥＤは、砲弾型のＬＥＤやＬＥＤチップであっても構わない。また、ＬＥＤ及びレンズの配列についても正方形格子状に限られず例えば正三角格子状や正六角格子状等様々な配置であっても構わない。
【００４９】
また、本発明の光照射装置は露光装置以外にも様々な大面積の面光源が必要な用途に用いることができる。
【００５０】
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の組み合わせや変形を行っても構わない。
【符号の説明】
【００５１】
１００・・・光照射装置
１    ・・・ヒートシンク
２    ・・・照射ユニット
３    ・・・位置決め部材
３１  ・・・土台部
３２  ・・・突出部
３Ａ  ・・・配置基準面の第１側面
３Ｂ  ・・・配置基準面の第２側面
４    ・・・コンデンサレンズ
５    ・・・ケーシング
６    ・・・ＬＥＤ基板
６１  ・・・プリント基板
６２  ・・・ＬＥＤ
６３  ・・・電源コネクタ
６Ａ  ・・・第１ＬＥＤ端面
６Ｂ  ・・・第２ＬＥＤ端面
７    ・・・レンズアレイ
７１  ・・・レンズ
７Ａ  ・・・第１レンズ端面
７Ｂ  ・・・第２レンズ端面
８    ・・・押圧体
９    ・・・中継ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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