(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の供給源から供給される流体のそれぞれを第１方向に沿って流通させる複数の第１流路を有する第１流体ユニットと、
前記第１方向と交差する第２方向に沿って流体を流通させる複数の第２流路を有するとともに前記複数の第１流路から供給される流体を複数の供給先へ供給する第２流体ユニットと、
前記複数の第１流路と前記複数の第２流路とが交差する複数の交差位置のそれぞれに配置され、前記第１流路から前記第２流路への流体の流通状態を切り替える複数の開閉弁とを備え、
前記第１流体ユニットおよび前記第２流体ユニットは、前記複数の交差位置のそれぞれで前記第１流路の複数箇所に形成された流出口と、前記第２流路の複数箇所に形成された流入口とが接続されるように着脱可能に連結されており、
前記第１流体ユニットは、前記複数の第２流路と交差するドレン流路を有し、前記ドレン流路の流路径は前記複数の第１流路の流路径よりも小径となっている流体機器。
【請求項２】
前記第１流体ユニットは、それぞれ単一の前記第１流路を有する第１流路部材を複数備え、
前記第２流体ユニットは、それぞれ単一の前記第２流路を有する第２流路部材を複数備え、
前記複数の第１流路部材および前記複数の第２流路部材は、前記複数の交差位置のそれぞれで前記第１流路の複数箇所に形成された前記流出口と前記第２流路の複数箇所に形成された前記流入口とが接続されるように着脱可能に連結されている請求項１に記載の流体機器。
【請求項３】
円環状に形成される円環部と該円環部の周方向に沿って間隔を空けて配置される複数のナット部とを有する組立体を備え、
前記複数のナット部は、前記第２流路部材の上面または下面に開口する挿入穴に挿入され、
前記複数のナット部の一端側には、前記第１流路部材および前記第２流路部材のそれぞれに形成された貫通穴から挿入される複数の第１締結ボルトが締結され、
前記複数のナット部の他端側には、前記開閉弁および前記第２流路部材のそれぞれに形成された貫通穴から挿入される複数の第２締結ボルトが締結される請求項２に記載の流体機器。
【請求項４】
前記複数の前記第２流路部材の前記供給先側の端部にそれぞれ取り付けられ、前記第２流路から前記供給先へ供給される流体の圧力を検知する複数の圧力センサを備える請求項２または請求項３に記載の流体機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置に用いられる薬液や純水等の流体を、複数の供給先のそれぞれへ個別に供給可能な流体機器が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される流体機器は、薬液を循環させる薬液流路から２つの薬液流出流路へ薬液を導く２つの連結流路を備えている。特許文献１に開示される流体機器は、薬液流路から２つの連結流路への入口開口にそれぞれ操作弁を設け、操作弁の開閉状態を切り替えることにより薬液流路から連結流路への薬液の流通状態を切り替えるものである。
【０００３】
また、特許文献１に開示される流体機器は、超純水を循環させる超純水流路から２つの連結流路への入口開口にそれぞれ操作弁を設け、操作弁の開閉状態を切り替えることにより超純水流路から連結流路への超純水の流通状態を切り替えるものである。
このように、特許文献１に開示される流体機器は、操作弁の開閉状態を切り替えることにより、２つの薬液流出流路のそれぞれに、薬液流路から供給される薬液または超純水流路から供給される超純水のいずれか一方を供給するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２９１９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示される流体機器は、薬液流路と超純水流路とそれらを２つの薬液流出流路へ連結する連結流路とを、単一のベース部材の内部に形成したものである。そのため、薬液流路に薬液の一部（例えば、スラリー液に含まれる砥粒）が凝固して薬液流路を交換する場合や超純水流路を交換する場合には、連結流路を含む単一のベース部材の全体を交換する必要がある。
【０００６】
連結流路を含むベース部材の全体を交換する場合、ベース部材に取り付けられたすべての操作弁や全ての配管をベース部材から取り外す必要があり、交換作業に多大な労力を要する。また、ベース部材の連結流路部分が交換する必要のない状態であっても、単一のベース部材の全体を交換する必要があるため、交換に要する費用が増大してしまう。
【０００７】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、複数の供給源から供給される流体を複数の供給先へ供給する流体機器において、複数の供給源から供給される流体を流通させる流路を有するユニットと複数の供給先へ流体を供給する流路を有するユニットとをそれぞれ別個に交換可能とし、交換に要する労力および費用を減少させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかる流体機器は、複数の供給源から供給される流体のそれぞれを第１方向に沿って流通させる複数の第１流路を有する第１流体ユニットと、前記第１方向と交差する第２方向に沿って流体を流通させる複数の第２流路を有するとともに前記複数の第１流路から供給される流体を複数の供給先へ供給する第２流体ユニットと、前記複数の第１流路と前記複数の第２流路とが交差する複数の交差位置のそれぞれに配置され、前記第１流路から前記第２流路への流体の流通状態を切り替える複数の開閉弁とを備え、前記第１流体ユニットおよび前記第２流体ユニットは、前記複数の交差位置のそれぞれで前記第１流路の複数箇所に形成された流出口と前記第２流路の複数箇所に形成された流入口とが接続されるように着脱可能に連結されている。
【０００９】
本発明の一態様にかかる流体機器によれば、第１流体ユニットが有する第１流路と第２流体ユニットが有する第２流路とが交差する複数の交差位置のそれぞれに配置される開閉弁により、各交差位置での第１流路から第２流路への流体の流通状態が切り替えられる。
そのため、開閉弁の開閉状態を適宜に切り替えることにより、複数の供給先のそれぞれに、複数の供給源から供給される流体のうち任意の流体を供給することができる。
【００１０】
また、複数の供給源から供給される流体を流通させる第１流体ユニットと、複数の供給先へ流体を供給する第２流体ユニットとがそれぞれ別個のユニットとなっており、それらが着脱可能に連結されている。
そのため、第１流体ユニットおよび第２流体ユニットのいずれか一方の交換が必要となった場合、交換が必要な一方の流体ユニットのみを交換し、他方の流体ユニットを交換せずにそのまま利用することができる。また、一方の流体ユニットを交換する際に、交換しない他方の流体ユニットに取り付けられた配管等を取り外す必要はない。
【００１１】
このように、本発明の一態様にかかる流体機器によれば、複数の供給源から供給される流体を複数の供給先へ供給する流体機器において、複数の供給源から供給される流体を流通させる流路を有するユニットと複数の供給先へ流体を供給する流路を有するユニットとをそれぞれ別個に交換可能とし、交換に要する労力および費用を減少させることができる。
【００１２】
本発明の一態様にかかる流体機器においては、前記第１流体ユニットは、それぞれ単一
の前記第１流路を有する第１流路部材を複数備え、前記第２流体ユニットは、それぞれ単
一の前記第２流路を有する第２流路部材を複数備え、前記複数の第１流路部材および前記複数の第２流路部材は、前記複数の交差位置のそれぞれで前記第１流路の複数箇所に形成された前記流出口と前記第２流路の複数箇所に形成された前記流入口とが接続されるように着脱可能に連結されている構成であってもよい。
【００１３】
本構成によれば、第１流体ユニットが有する複数の第１流路のうち交換が必要な第１流路を有する第１流路部材のみを交換し、他の第１流路部材を交換せずにそのまま利用することができる。同様に、第２流体ユニットが有する複数の第２流路のうち交換が必要な第２流路を有する第２流路部材のみを交換し、他の第２流路部材を交換せずにそのまま利用することができる。
そのため、交換が必要な流路を有する単一の流路部材のみを交換可能とし、交換に要する労力および費用をさらに減少させることができる。
【００１４】
上記構成の流体機器においては、円環状に形成される円環部と該円環部の周方向に沿って間隔を空けて配置される複数のナット部とを有する組立体を備え、前記複数のナット部は、前記第２流路部材の上面または下面に開口する挿入穴に挿入され、前記複数のナット部の一端側には、前記第１流路部材および前記第２流路部材のそれぞれに形成された貫通穴から挿入される複数の第１締結ボルトが締結され、前記複数のナット部の他端側には、前記開閉弁および前記第２流路部材のそれぞれに形成された貫通穴から挿入される複数の第２締結ボルトが締結される形態であってもよい。
【００１５】
本形態の流体機器によれば、複数のナット部と第１締結ボルトとの締結力が円環部を介して隣接する部材に伝達され、複数のナット部と第２締結ボルトとの締結力が円環部を介して隣接する部材に伝達される。
円環部はその全周に渡って第２流路部材の上面または下面に接触しているため、複数対のナット部および第１締結ボルトの締結力に差が生じる場合や、複数対のナット部および第２締結ボルトの締結力に差が生じる場合であっても、円環部に隣接する部材に歪みが生じることが抑制される。
これにより、第１流路部材と第２流路部材との連結位置におけるシール性能と、第２流路部材と開閉弁との連結位置におけるシール性能とがそれぞれ向上する。
【００１６】
本発明の一態様にかかる流体機器においては、前記複数の前記第２流路部材の前記供給先側の端部にそれぞれ取り付けられ、前記第２流路から前記供給先へ供給される流体の圧力を検知する複数の圧力センサを備えるものであってもよい。
このようにすることで、複数の第２流路から供給先へ供給される流体の圧力を複数の圧力センサでそれぞれ検知することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数の供給源から供給される流体を複数の供給先へ供給する流体機器において、複数の供給源から供給される流体を流通させる流路を有するユニットと複数の供給先へ流体を供給する流路を有するユニットとをそれぞれ別個に交換可能とし、交換に要する労力および費用を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態の流体機器を示す上面図である。
【図２】図１に示す流体機器の概略構成図である。
【図３】図１に示す流体機器の流路系統図である。
【図４】図１に示す流体機器の底面図である。
【図５】図１に示す流体機器のＡ−Ａ矢視部分断面図である。
【図６】図１に示す流体機器のＢ−Ｂ矢視部分断面図である。
【図７】図１に示す開閉弁の上面図である。
【図８】図７に示す開閉弁のＣ−Ｃ矢視断面図である。
【図９】図７に示す開閉弁のＤ−Ｄ矢視端面図である。
【図１０】図７に示す開閉弁のＥ−Ｅ矢視断面図である。
【図１１】図１０に示す雌ねじ部組立体を示す図であり、（ａ）が正面図であり、（ｂ）が上面図である。
【図１２】図１０に示す雌ねじ部組立体を第２流路部材に取り付けた状態を示す上面図である。
【図１３】図１２に示す第２流路部材のＦ−Ｆ矢視断面図である。
【図１４】図１に示す圧力センサの上面図である。
【図１５】図１４に示す圧力センサのＧ−Ｇ矢視部分断面図である。
【図１６】図１４に示す圧力センサのＨ−Ｈ矢視断面図である。
【図１７】図１４に示す圧力センサの底面図である。
【図１８】図１７に示す圧力センサのＩ−Ｉ矢視部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態の流体機器１００を図面に基づいて説明する。
図１に示す流体機器１００は、複数の供給源から供給される流体（純水やフッ酸等の薬液）から任意の流体を選択的に複数の供給先へ供給することが可能な流体機器である。
【００２０】
図１の上面図に示すように、流体機器１００は、複数の供給源（図２に示すＩＮ１〜ＩＮ６）から流体が供給される第１流路部材１１〜１６を有する第１流体ユニット１０と、複数の供給先（図２に示すＯＵＴ１〜ＯＵＴ５）へ流体を供給する第２流路部材２１〜２５を有する第２流体ユニット２０と、複数の開閉弁３０と、第２流路部材２１〜２５の供給先側の端部にそれぞれ取り付けられる複数の圧力センサ４１〜４５と、複数の開閉弁３０の開閉状態を制御する制御部５０（図３参照）とを備える。
なお、第１流体ユニット１０は、ドレン流路部材１７を有しておりドレン流路部材１７のドレンポート１７ｃ，１７ｄは、それぞれ負圧源（図示略）に接続されている。負圧源としては、アスピレータ等を用いることができる。
【００２１】
図２は、図１に示す流体機器１００の概略構成を模式的に示した図である。図２は、図１に示す流体機器１００を上面側からみた場合に、第１流体ユニット１０の第１流路部材１１〜１６がそれぞれ有する第１流路１１ａ〜１６ａと、第１流体ユニット１０のドレン流路部材１７が有するドレン流路１７ａと、第２流体ユニット２０の第２流路部材２１〜２５がそれぞれ有する第２流路２１ａ〜２５ａとがどのように配置されるかを模式的に示している。
【００２２】
図１に示す複数の第１流路部材１１〜１６は、それぞれ単一の第１流路１１ａ〜１６ａを有する部材である。また、複数の第２流路部材２１〜２５は、それぞれ単一の第２流路２１ａ〜２５ａを有する部材である。第１流路部材１１〜１６および第２流路部材２１〜２５は、フッ素樹脂製（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ））の部材である。
図１および図２に示すように、複数の第１流路１１ａ〜１６ａは、複数の供給源ＩＮ１〜ＩＮ６から供給される流体のそれぞれを流入部１１ｃ〜１６ｃから流出部１１ｄ〜１６ｄへ向けて第１方向（図１および図２における上下方向）に沿って流通させる流路である。
【００２３】
複数の供給源ＩＮ１〜ＩＮ６から供給される流体のそれぞれは、複数の第１流路１１ａ〜１６ａから排出されて複数の循環流路ＲＥＴＵＲＮ１〜ＲＥＴＵＲＮ６に供給される。複数の循環流路ＲＥＴＵＲＮ１〜ＲＥＴＵＲＮ６は、それぞれ複数の供給源ＩＮ１〜ＩＮ６に流体を戻す流路である。複数の供給源ＩＮ１〜ＩＮ６に戻された流体は、再び第１流路１１ａ〜１６ａへ導かれる。
このように、複数の第１流路１１ａ〜１６ａには、複数の循環流路ＲＥＴＵＲＮ１〜ＲＥＴＵＲＮ６を介して流体が常時循環するようになっている。そのため、第１流路１１ａ〜１６ａの内部では、流体の一部（例えば、スラリー液に含まれる砥粒）が凝固しにくい。
【００２４】
また、図２に示すように、複数の第２流路２１ａ〜２５ａは、第１方向に直交する第２方向（図２における左右方向）に沿って流体を流通させて複数の供給先ＯＵＴ１〜ＯＵＴ５へ供給する流路である。
なお、図２では、複数の第１流路１１ａ〜１６ａが流体を流通させる第１方向と、複数の第２流路２１ａ〜２５ａが流体を流通させる第２方向とが直交するものとしたが、これらが交差する方向であれば必ずしも直交していなくてもよい。
【００２５】
図２に示すように、第１流路部材１１が有する第１流路１１ａは、第２流路部材２１〜２５が有する第２流路２１ａ〜２５ａのそれぞれと、位置Ｐ１１，Ｐ２１，Ｐ３１，Ｐ４１，Ｐ５１の５箇所で交差するように配置されている。同様に、第１流路１２ａ〜１６ａは、第２流路２１ａ〜２５ａのそれぞれと、位置Ｐ１２〜Ｐ５２，位置Ｐ１３〜Ｐ５３，位置Ｐ１４〜Ｐ５４，位置Ｐ１５〜Ｐ５５，位置Ｐ１６〜Ｐ５６の５箇所で交差するように配置されている。
【００２６】
また、ドレン流路部材１７が有するドレン流路１７ａは、第２流路部材２１〜２５が有する第２流路２１ａ〜２５ａのそれぞれと、位置Ｐ１７，Ｐ２７，Ｐ３７，Ｐ４７，Ｐ５７の５箇所で交差するように配置されている。
ドレン流路１７ａは、第２流路２１ａ〜２５ａの内部に滞留する流体を、ドレンポート１７ｃ，１７ｄと連通する負圧源（図示略）の作用によってドレンポート１７ｃ，１７ｄから外部へ排出するための流路である。
【００２７】
図２に示す位置Ｐ１１〜Ｐ５１，位置Ｐ１２〜Ｐ５２，位置Ｐ１３〜Ｐ５３，位置Ｐ１４〜Ｐ５４，位置Ｐ１５〜Ｐ５５，位置Ｐ１６〜Ｐ５６，位置Ｐ１７〜Ｐ５７の計３５箇所のそれぞれには、開閉弁３０が配置されている。
位置Ｐ１７〜Ｐ５７以外の他の位置に配置される開閉弁３０は、各位置において第１流路１１ａ〜１６ａから第２流路２１ａ〜２５ａへ流体を流入させる流入状態と、各位置において第１流路１１ａ〜１６ａから第２流路２１ａ〜２５ａへ流体を流入させない遮断状態とを切り替えるものである。
【００２８】
一方、位置Ｐ１７〜Ｐ５７に配置される開閉弁３０は、各位置において第２流路２１ａ〜２５ａから負圧源（図示略）と連通するドレン流路１７ａへ流体を排出させる排出状態と、各位置において第２流路２１ａ〜２５ａからドレン流路１７ａへ流体を排出させない遮断状態とを切り替えるものである。
【００２９】
次に、図３を用いて本実施形態の流体機器１００の流路系統について説明する。図３は、第１流路１１ａ〜１６ａと第２流路２１ａ〜２５ａと開閉弁３０と圧力センサ４１〜４５により構成される流路系統を模式的に示した図である。
図３に示すように、第１流路１１ａ〜１６ａと第２流路２１ａとの間に開閉弁３０がそれぞれ配置されている。
【００３０】
流体機器１００が備える制御部５０は、複数の第１流路１１ａ〜１６ａと第２流路２１ａとの間に配置される５つの開閉弁３０のうちいずれかを開状態とし、その他の開閉弁３０を閉状態とすることにより、第１流路１１ａ〜１６ａのうちのいずれか１つから流体を第２流路２１ａに供給することができる。
同様に、流体機器１００が備える制御部５０は、複数の第１流路１１ａ〜１６ａと第２流路２５ａとの間に配置される５つの開閉弁３０のうちいずれかを開状態とし、その他の開閉弁３０を閉状態とすることにより、第１流路１１ａ〜１６ａのうちのいずれか１つから流体を第２流路２５ａに供給することができる。
【００３１】
その他の第２流路２２ａ〜２４ａ（図示略）についても、複数の第１流路１１ａ〜１６ａと各第２流路２２ａ〜２４ａとの間に配置される５つの開閉弁３０のうちいずれかを開状態とし、その他の開閉弁３０を閉状態とすることにより、第１流路１１ａ〜１６ａのうちのいずれか１つから流体を第２流路２２ａ〜２４ａに供給することができる。
制御部５０は、圧縮空気源（図示略）から各開閉弁３０に圧縮空気を供給するように制御して各開閉弁３０を開状態とし、圧縮空気源（図示略）から各開閉弁３０に圧縮空気が供給されないように制御して各開閉弁３０を閉状態とする。
【００３２】
次に、図４を用いて本実施形態の流体機器１００を設置面Ｓに取り付ける構造について説明する。
図４の底面図に示すように、流体機器１００の底面側には、流体機器１００を設置面Ｓに取り付けるための一対の第１ベース部材６１，６２が取り付けられている。
【００３３】
第１ベース部材６１には、締結穴６１ａ，６１ｂが形成されており、締結穴６１ａ，６１ｂに締結ボルト（図示略）を挿入して設置面Ｓの締結穴（図示略）に締結することにより、第１ベース部材６１が設置面Ｓに固定される。同様に、第２ベース部材６２には、締結穴６２ａ，６２ｂが形成されており、締結穴６２ａ，６２ｂに締結ボルト（図示略）を挿入して設置面Ｓの締結穴（図示略）に締結することにより、第２ベース部材６２が設置面Ｓに固定される。
【００３４】
図４および図５（図１に示す流体機器のＡ−Ａ矢視部分断面図）に示すように、一対の第１ベース部材６１，６２には、第１流路部材１１，１３，１５，およびドレン流路部材１７が配置される位置において、第２ベース部材６３が締結ボルトにより固定されている。
各第２ベース部材６３は、後述するように、第１流路部材１１〜１６およびドレン流路部材１７を開閉弁３０との間に挟んだ状態で、それぞれ第２流路部材２１〜２５に取り付けられる部材である。
【００３５】
図４に示すように、一対の第１ベース部材６１，６２に第２ベース部材６３が固定されるため、第１流路部材１１，１３，１５およびドレン流路部材１７は、第２ベース部材６３および一対の第１ベース部材６１，６２を介して設置面Ｓに固定される。
一方、第１流路部材１２，１４，１６は、一対の第１ベース部材６１，６２に直接的に固定されるものではないが、第２ベース部材６３を介して第２流路部材２１〜２５に取り付けられている。
【００３６】
そのため、第１流路部材１２，１４，１６は、第２流路部材２１〜２５を介して第１流路部材１１，１３，１５およびドレン流路部材１７に固定され、最終的に第２ベース部材６３および一対の第１ベース部材６１，６２を介して設置面Ｓに固定される。
このように、第１流路部材１１〜１６およびドレン流路部材１７、並びに第２流路部材２１〜２５のそれぞれは、設置面Ｓに対して固定される。
【００３７】
次に、第１流体ユニット１０の第１流路部材１１〜１６と第２流体ユニット２０の第２流路部材２１〜２５とを接続する構造について図５および図６を用いて説明する。
図５（図１に示す流体機器のＡ−Ａ矢視部分断面図）に示すように、第１流路部材１３の内部には第１流路１３ａが形成されており、第１流路１３ａの複数箇所に流出口１３ｂが形成されている。流出口１３ｂが形成される位置は、図２に示す位置Ｐ１３〜Ｐ５３となっている。
【００３８】
なお、図５は第１流路部材１３を示す図であるが、第１流路部材１１，１２，１４〜１６およびドレン流路部材１７についても、同様の構造となっている。
すなわち、第１流路部材１１，１２，１４〜１６の内部には第１流路１１ａ，１２ａ，１４ａ〜１６ａが形成されており、第１流路１１ａ，１２ａ，１４ａ〜１６ａの複数箇所に流出口１１ｂ，１２ｂ，１４ｂ，１５ｂ，１６ｂが形成されている。流出口１１ｂ，１２ｂ，１４ｂ，１５ｂ，１６ｂが形成される位置は、図２に示す位置Ｐ１１〜Ｐ５１，位置Ｐ１２〜Ｐ５２，位置Ｐ１４〜Ｐ５４，位置Ｐ１５〜Ｐ５５，位置Ｐ１６〜Ｐ５６となっている。
【００３９】
また、ドレン流路部材１７の内部には、ドレン流路１７ａが形成されており、ドレン流路１７ａの複数箇所にドレン開口１７ｂが形成されている。ドレン開口１７ｂが形成される位置は、図２に示す位置Ｐ１７〜Ｐ５７となっている。
図６に示すように、ドレン流路１７ａの流路径は第１流路１１ａ〜１６ａの流路径よりも小径となっている。これは、ドレン流路１７ａの流路径を小径にしてドレン流路１７ａの体積を小さくすることにより、負圧源（図示略）による吸引性能を高めるためである。
【００４０】
図６（図１に示す流体機器のＢ−Ｂ矢視部分断面図）に示すように、第２流路部材２３の内部には第２流路２３ａが形成されており、第２流路２３ａの複数箇所に流入口２３ｂが形成されている。流入口２３ｂが形成される位置は、図２に示す位置Ｐ３１〜Ｐ３７となっている。
【００４１】
なお、図６は第２流路部材２３を示す図であるが、第２流路部材２１，２２，２４，２５についても、同様の構造となっている。
すなわち、第２流路部材２１，２２，２４，２５の内部には第２流路２１ａ，２２ａ，２４ａ，２５ａが形成されており、第２流路２１ａ，２２ａ，２４ａ，２５ａの複数箇所に流入口２１ｂ，２２ｂ，２４ｂ，２５ｂが形成されている。流入口２１ｂ，２２ｂ，２４ｂ，２５ｂが形成される位置は、それぞれ図２に示す位置Ｐ１１〜Ｐ１７，位置Ｐ２１〜Ｐ２７，位置Ｐ４１〜Ｐ４７，位置Ｐ５１〜Ｐ５７となっている。
【００４２】
このように、第１流体ユニット１０および第２流体ユニット２０は、位置Ｐ１１〜Ｐ５１，位置Ｐ１２〜Ｐ５２，位置Ｐ１３〜Ｐ５３，位置Ｐ１４〜Ｐ５４，位置Ｐ１５〜Ｐ５５，位置Ｐ１６〜Ｐ５６の計３０箇所のそれぞれで、第１流路１１ａ〜１６ａの複数箇所に形成された流出口１１ｂ〜１６ｂと第２流路２１〜２５の複数箇所に形成された流入口２１ｂ〜２５ｂとが連結されるように配置されている。また、各位置には、流入口２１ｂ〜２５ｂを閉鎖または開放するように開閉弁３０の弁体部が配置されている。
【００４３】
次に、開閉弁３０について図７から図９を用いて説明する。図７から図９に示す開閉弁３０は、図２の位置Ｐ１１に配置されるものであるが、他の位置に配置される開閉弁３０の構造も同様であるものとする。
図７に示すように、開閉弁３０は、本体部３０ａと空気ポート接続部３０ｂとを有する。また、図８に示すように、本体部３０ａは、第１ボディ３１と、第２ボディ３２と、ピストン部３３と、弁体部３４と、スプリング部３５とを備える。
【００４４】
図８（図７に示す開閉弁のＣ−Ｃ矢視断面図）に示すように弁体部３４は、軸線Ｘに沿って上下方向に移動することにより、第１流路１１ａの流出口１１ｂと連通する第２流路部材２１の流入口２１ｂから第２流路２１ａへ流体が流入する流入状態と、流入口２１ｂから第２流路２１ａへ流体が流入しない遮断状態とを切り替える部材である。図８に示す状態は、弁体部３４の先端が第２流路部材２１の流入口２１ｂに形成される弁座に接触した状態であり、流入口２１ｂから第２流路２１ａへ流体が流入しない遮断状態である。
【００４５】
弁体部３４の上端はピストン部３３の下端に取り付けられており、弁体部３４とピストン部３３とが一体となって軸線Ｘに沿って移動するようになっている。
図８に示すように、ピストン部３３は、第２ボディ３２に収容されている。ピストン部３３は、その外周面を第２ボディ３２の内周面に接触させながら軸線Ｘに沿って移動可能となっている。ピストン部３３の外周面の複数箇所には軸線Ｘ回りに延びる無端状のＸリング３３ａが配置されている。Ｘリング３３ａが第２ボディ３２の内周面に接触することにより、ピストン部３３と第２ボディ３２との間に形成される圧力室Ｐ１の気密性が保たれている。
【００４６】
スプリング部３５は、第１ボディ３１の内部に配置され、ピストン部３３に軸線Ｘに沿って下方に向けた付勢力を与えるようになっている。
圧力室Ｐ１が大気圧状態に維持される場合、スプリング部３５は、弁体部３４の先端を第２流路部材２１の流入口２１ｂに接触させる付勢力をピストン部３３に与える。
【００４７】
第２ボディ３２の外周面には、圧力室Ｐ１へ圧縮空気を導くための操作ポート３２ａが形成されている。操作ポート３２ａの外周面には空気ポート接続部３０ｂが取り付けられている。
また、操作ポート３２ａの内周面および空気ポート接続部３０ｂの内周面に接触するように連通部材３０ｄが配置されている。
【００４８】
第１ボディ３１の外周面には、圧力室Ｐ２へ圧縮空気を導くための操作ポート３１ａが形成されている。操作ポート３１ａの外周面には空気ポート接続部３０ｂが取り付けられている。
また、操作ポート３１ａの内周面および空気ポート接続部３０ｂの内周面に接触するように連通部材３０ｃが配置されている。
【００４９】
図９（図７に示す開閉弁のＤ−Ｄ矢視端面図）に示すように、空気ポート接続部３０ｂは、圧縮空気源（図示略）から圧縮空気が供給される圧縮空気配管７０が取り付けられるポート部３０ｅと、ポート部３０ｅから操作ポート３２ａの外周面に形成された流入口３２ｂへ圧縮空気を導く圧縮空気流路３０ｆとを備える。
圧縮空気流路３０ｆから流入口３２ｂへ導かれた圧縮空気は、連通部材３０ｄの外周面と操作ポート３２ａの内周面との間に形成される円環状流路３０ｇから連通部材３０ｄの内部に形成される流路へ導かれ、圧力室Ｐ１へ到達する。
【００５０】
圧力室Ｐ１へ到達した圧縮空気は、ピストン部３３を軸線Ｘに沿った上方へ移動させる付勢力を与える。ピストン部３３を軸線Ｘに沿った上方へ移動させる圧縮空気の付勢力が、ピストン部３３を軸線Ｘに沿った下方へ移動させるスプリング部３５の付勢力を上回ると、ピストン部３３が上方へ移動する。
ピストン部３３の上方への移動に伴って弁体部３４も上方へ移動して流入口２１ｂの弁座から離間し、第２流路部材２１の流入口２１ｂから第２流路２１ａへ流体が流入する流入状態となる。
【００５１】
なお、以上で説明した開閉弁３０は、圧力室Ｐ１が大気圧状態に維持される場合に遮断状態となるノーマルクローズ型の開閉弁であるが、ノーマルオープン型の開閉弁としてもよい。以下では、開閉弁３０をノーマルオープン型とする変形例について説明する。
図８および図９に示す開閉弁３０をノーマルオープン型の開閉弁とする場合、圧力室Ｐ２に配置しているスプリング部３５を圧力室Ｐ１に配置し、ポート部３０ｅに接続している圧縮空気配管７０をポート部３０ｈに取り付ける。
【００５２】
ポート部３０ｈから圧縮空気流路３０ｉへ導かれた圧縮空気は、第１ボディ３１の外周面に形成された操作ポート３１ａの流入口３１ｂへ導かれる。
流入口３１ｂへ導かれた圧縮空気は、連通部材３０ｃの外周面と操作ポート３１ａの内周面との間に形成される円環状流路３０ｊから連通部材３０ｃの内部に形成される流路へ導かれ、圧力室Ｐ２へ到達する。
【００５３】
圧力室Ｐ２へ到達した圧縮空気は、ピストン部３３を軸線Ｘに沿った下方へ移動させる付勢力を与える。ピストン部３３を軸線Ｘに沿った下方へ移動させる圧縮空気の付勢力が、ピストン部３３を軸線Ｘに沿った上方へ移動させるスプリング部３５の付勢力を上回ると、ピストン部３３が下方へ移動する。
ピストン部３３が下方へ移動するのに伴って弁体部３４も下方へ移動し、第２流路部材２１の流入口２１ｂから第２流路２１ａへ流体が流入しない遮断状態となる。
【００５４】
このように、本実施形態の開閉弁３０は、スプリング部３５を圧力室Ｐ１または圧力室Ｐ２のいずれかに配置し、圧縮空気配管７０をポート部３０ｅまたはポート部３０ｈのいずれかに取り付けることができる。
そのため、本実施形態の開閉弁３０は、スプリング部３５を圧力室Ｐ２に配置して圧縮空気配管７０をポート部３０ｅに取り付ける場合にはノーマルクローズ型の開閉弁となり、スプリング部３５を圧力室Ｐ１に配置して圧縮空気配管７０をポート部３０ｈに取り付ける場合にはノーマルオープン型の開閉弁となる。
【００５５】
ここで、開閉弁３０と第２流路部材２１との連結位置に形成されるシール領域について説明する。
図８に示すように、開閉弁３０は、第２流路部材２１の上面に連結されている。
開閉弁３０が備える弁体部３４は、ダイヤフラム一体型となっており、本体部３４ａと、ダイヤフラム部３４ｂとを有する。
【００５６】
弁体部３４の本体部３４ａは、軸線Ｘに沿って延びる軸状に形成される部材であり、流入口２１ｂの縁部と接触可能となっている。
弁体部３４のダイヤフラム部３４ｂは、本体部３４ａに連結されるとともに本体部３４ａの軸線Ｘに沿った移動に伴って変形可能な薄膜円環状の内周側領域と、第２流路部材２１の上面と第２ボディ３２の下面との間に挟まれた状態で保持される外周側領域とを有する部材である。
【００５７】
ダイヤフラム部３４ｂの外周側領域の縁部には、軸線Ｘに沿って下方に向けて突出する環状突起部３４ｃが形成されている。環状突起部３４ｃは、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）に形成されている。
この環状突起部３４ｃは、第２流路部材２１の上面に形成される環状凹部２１ｅに挿入されている。
【００５８】
環状凹部２１ｅは、第２流路部材２１の上面に形成される溝であり、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）に形成されている。
環状突起部３４ｃを環状凹部２１ｅへ挿入することにより、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）のシール領域（エッジシール領域）が形成される。このシール領域により、第２流路２１ａから第２流路部材２１とダイヤフラム部３４ｂの外周側領域との間に侵入する流体が、外部に流出することが抑制される。
【００５９】
環状突起部３４ｃと環状凹部２１ｅとにより形成されるシール領域の外周側には、Ｏリング２１ｆが配置されている。
図８に示すように、Ｏリング２１ｆは、軸線Ｘに直交する径方向の移動が第２流路部材２１とダイヤフラム部３４ｂの外周側領域によって規制された状態で配置される。Ｏリング２１ｆが第２流路部材２１とダイヤフラム部３４ｂの外周側領域のそれぞれに接触した状態で配置されることにより、シール領域が形成される。
【００６０】
このように、開閉弁３０と第２流路部材２１との連結位置には、環状突起部３４ｃと環状凹部２１ｅとにより形成されるシール領域に加え、その外周側にＯリング２１ｆにより形成されるシール領域が更に存在する。
そのため、開閉弁３０の交換により環状突起部３４ｃが傷つき、あるいは高温の流体により環状突起部３４ｃと環状凹部２１ｅとが変形する場合など、十分なシール領域が形成されない場合であっても、Ｏリング２１ｆにより形成されるシール領域によって流体の流出を確実に抑制することができる。
【００６１】
次に、第１流路部材１１と第２流路部材２１との連結位置に形成されるシール領域について説明する。
図８に示すように、第１流路部材１１の上面は、第２流路部材２１の下面に連結されている。
第２流路部材２１の下面には、軸線Ｘに沿って下方に向けて突出する環状突起部２１ｇが形成されている。環状突起部２１ｇは、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）に形成されている。
【００６２】
環状突起部２１ｇは、第１流路部材１１の上面に形成される環状凹部１１ｅに挿入されている。
環状凹部１１ｅは、第１流路部材１１の上面に形成される溝であり、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）に形成されている。
環状突起部２１ｇを環状凹部１１ｅへ挿入することにより、軸線Ｘ回りに延びる無端状（環状）のシール領域（エッジシール領域）が形成される。このシール領域により、第１流路１１ａから第１流路部材１１の上面と第２流路部材２１の下面との間に侵入する流体が、外部に流出することが抑制される。
【００６３】
環状突起部２１ｇと環状凹部１１ｅとにより形成されるシール領域の外周側には、Ｏリング１１ｆが配置されている。
図８に示すように、Ｏリング１１ｆは、軸線Ｘに直交する径方向の移動が第１流路部材１１と第２流路部材２１により規制された状態で配置される。Ｏリング１１ｆが第１流路部材１１と第２流路部材２１のそれぞれに接触した状態で配置されることにより、シール領域が形成される。
【００６４】
このように、第１流路部材１１と第２流路部材２１との連結位置には、環状突起部２１ｇと環状凹部１１ｅとにより形成されるシール領域に加え、その外周側にＯリング１１ｆにより形成されるシール領域が更に存在する。
そのため、第１流路部材１１の交換により環状突起部２１ｇが傷つき、あるいは高温の流体により環状突起部２１ｇと環状凹部１１ｅとが変形する場合など、十分なシール領域が形成されない場合であっても、Ｏリング１１ｆにより形成されるシール領域によって流体の流出を確実に抑制することができる。
【００６５】
なお、ダイヤフラム部３４ｂの環状突起部３４ｃが形成される径方向の位置は、第２流路部材２１の環状突起部２１ｇが形成される径方向の位置と一致している。同様に、第２流路部材２１の環状凹部２１ｅが形成される径方向の位置は、第１流路部材１１の環状凹部１１ｅが形成される径方向の位置と一致している。
そのため、後述する締結ボルト９０，９１の締結力が、環状突起部３４ｃが環状凹部２１ｅに挿入される位置と、環状突起部２１ｇが環状凹部１１ｅに挿入される位置との双方に確実に伝達され、各位置に形成されるシール領域のシール性を高めることができる。
【００６６】
次に、第１流体ユニット１０と第２流体ユニット２０と開閉弁３０を着脱可能に連結する連結構造について説明する。
図１０（図７に示す開閉弁のＥ−Ｅ矢視断面図）に示すように、第２ベース部材６３、第１流体ユニット１０、および第２流体ユニット２０のそれぞれ４箇所（図１０には２箇所が示されている）に形成された貫通穴に締結ボルト９０を挿入し、雌ねじ部組立体８０の４箇所のナット部８１の下端側に取り付けている。
また、開閉弁３０および第２流体ユニット２０のそれぞれ４箇所（図１０には２箇所が示されている）に形成された貫通穴に締結ボルト９１を挿入し、雌ねじ部組立体８０の４箇所のナット部８１の上端側に取り付けている。
【００６７】
図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示すように、雌ねじ部組立体８０は、円筒状に形成されるナット部８１を円環状に形成される円環部８２の周方向の等間隔の位置（図１１（ｂ）では９０°間隔の４箇所）に配置した形状となっている。円筒状に形成されるナット部８１の内周面には雌ねじが形成されている。
【００６８】
ナット部８１の下端側（一端側）の雌ねじには、図１０の下方から挿入される４本の締結ボルト９０（第１締結ボルト）の先端に形成された雄ねじが締結される。一方、ナット部８１の上端側（他端側）の雌ねじには、図１０の上方から挿入される４本の締結ボルト９１（第２締結ボルト）の先端に形成された雄ねじが締結される。
【００６９】
４本の締結ボルト９０は、第２ベース部材６３、第１流路部材１１、および第２流路部材２１のそれぞれに形成された貫通穴に下方から挿入される。一方、４本の締結ボルト９１は、開閉弁３０および第２流路部材２１のそれぞれに形成された貫通穴に上方から挿入される。
【００７０】
雌ねじ部組立体８０は、ナット部８１と円環部８２とを一体に成型した部材である。雌ねじ部組立体８０は、締結ボルト９０による締め付けに対して変型が生じにくい材料で形成するのが望ましい。雌ねじ部組立体８０を形成する材料として、ステンレス等の金属部材を用いるのが望ましい。
【００７１】
図１２に示すように、雌ねじ部組立体８０は、円環部８２が第２流路部材２１の流入口２１ｂを取り囲むように第２流路部材２１の上面に接触した状態で配置される。
また、図１３（図１２に示す第２流路部材のＦ−Ｆ矢視断面図）中に矢印で示すように、雌ねじ部組立体８０のナット部８１は、第２流路部材２１に形成される挿入穴２１ｃに挿入される。挿入穴２１ｃは、第２流路部材２１の上面に開口するように形成されている。
【００７２】
このように、雌ねじ部組立体８０は、円環部８２が全周に渡って第２流路部材２１の上面と接触し、ナット部８１が第２流路部材２１の挿入穴２１ｃに挿入された状態で、第２流路部材２１に取り付けられる。
そのため、第２流路部材２１の下方から挿入されてナット部８１に締結される４本の締結ボルト９０の締結力は、円環部８２の全周から第２流路部材２１の上面に伝達される。これにより、円環部８２を設けない場合に比べ、４本の締結ボルト９０の締結力に差が生じたとしても、第２流路部材２１の上面に歪みが生じることが抑制される。
【００７３】
同様に、第２流路部材２１の上方から挿入されてナット部８１に締結される４本の締結ボルト９０の締結力は、円環部８２の全周から開閉弁３０の下面に伝達される。これにより、円環部８２を設けない場合に比べ、４本の締結ボルト９０の締結力に差が生じたとしても、開閉弁３０の下面に歪みが生じることが抑制される。
【００７４】
このように、雌ねじ部組立体８０を用いることにより、第２流路部材２１〜２５の上面および開閉弁３０の下面に歪みが生じることが抑制される。そのため、第１流路部材１１〜１６と第２流路部材２１〜２５との連結位置におけるシール性能と、第２流路部材２１〜２５と開閉弁３０との連結位置におけるシール性能とが向上する。
【００７５】
以上においては、雌ねじ部組立体８０が第２流路部材２１の上面に開口する挿入穴２１ｃに挿入されるものとしたが、他の態様であってもよい。
例えば、挿入穴２１ｃが第２流路部材２１の下面に開口するように形成され、雌ねじ部組立体８０が第２流路部材２１の下面から挿入穴２１ｃに挿入されるものであってもよい。
【００７６】
この場合、雌ねじ部組立体８０は、円環部８２が全周に渡って第２流路部材２１の下面と接触し、ナット部８１が第２流路部材２１の挿入穴２１ｃに挿入された状態で、第２流路部材２１に取り付けられる。
また、第２流路部材２１の上方から挿入されてナット部８１に締結される４本の締結ボルト９１の締結力は、円環部８２の全周から第２流路部材２１の下面に伝達される。これにより、円環部８２を設けない場合に比べ、４本の締結ボルト９１の締結力に差が生じたとしても、第２流路部材２１の下面に歪みが生じることが抑制される。
【００７７】
同様に、第２流路部材２１の下方から挿入されてナット部８１に締結される４本の締結ボルト９０の締結力は、円環部８２の全周から第１流路部材１１の上面に伝達される。これにより、円環部８２を設けない場合に比べ、４本の締結ボルト９０の締結力に差が生じたとしても、第１流路部材１１の上面に歪みが生じることが抑制される。
【００７８】
以上のように、第１流体ユニット１０と第２流体ユニット２０と開閉弁３０とは、雌ねじ部組立体８０と締結ボルト９０，９１によって、着脱可能に連結されている。
具体的には、第１流体ユニット１０の第１流路部材１１〜１６とドレン流路部材１７は、下方に配置される第２ベース部材６３と上方に配置される第２流路部材２１〜２５に対して着脱可能に連結されている。また、第２流体ユニット２０の第２流路部材２１〜２５は、上方に配置される開閉弁３０と下方に配置される第１流路部材１１〜１６，ドレン流路部材１７に対して着脱可能に連結されている。また、複数の開閉弁３０のそれぞれは、下方に配置される第１流路部材１１〜１６，ドレン流路部材１７に対して着脱可能に連結されている。
【００７９】
そのため、雌ねじ部組立体８０に締結ボルト９０，９１を締結することによりこれらが連結された連結状態となり、雌ねじ部組立体８０から締結ボルト９０，９１を取り外すことによりこれらの連結が解除された分離状態となる。よって、第１流体ユニット１０と第２流体ユニット２０と開閉弁３０を、それぞれ別個に交換することができる。
【００８０】
次に、第２流路部材２１〜２５の供給先側の端部にそれぞれ取り付けられる圧力センサ４１〜４５について説明する。図１４は、図１に示す圧力センサ４１の上面図である。また、図１５は、図１４に示す圧力センサのＧ−Ｇ矢視部分断面図である。なお、以下では圧力センサ４１について説明するが、他の圧力センサ４２〜４５は圧力センサ４１と同様であるため説明を省略する。
図１５に示すように、圧力センサ４１は、第１ボディ４１ａと、第２ボディ４１ｂと、圧力検出素子４１ｃと、流体導入部材４１ｄと、プレート４１ｈと、アースプレート４１ｊとを備える。
【００８１】
図１４〜図１７に示すように、第１ボディ４１ａと第２ボディ４１ｂとは、それぞれ平面視が略正方形の部材である。第１ボディ４１ａを平面視した四隅には、締結ボルト４１ｉ（図１６参照）を貫通させる貫通穴が形成され、第２ボディ４１ｂには締結ボルト４１ｉが挿入される挿入穴が形成されている。
【００８２】
図１６に示すように、第１ボディ４１ａは、第１ボディ４１ａの貫通穴および第２流路部材２１の貫通穴に挿入した締結ボルト４１ｉをプレート４１ｈの締結穴に締結することにより、第２流路部材２１を挟んだ状態でプレート４１ｈに固定される。
プレート４１ｈと締結ボルト４１ｉはそれぞれ金属製であるため、第２流路部材２１の第２流路２１ａでの流体の流通により発生する静電気は、締結ボルト４１ｉを介してプレート４１ｈに伝達される。
【００８３】
このように、圧力センサ４１は、締結ボルト４１ｉをプレート４１ｈに締結することにより第２流路部材２１に対して固定することができ、かつ締結ボルト４１ｉを緩めて第２流路部材２１との固定を解除することができる。圧力センサ４１は、４本の締結ボルト４１ｉにより第２流路部材２１に着脱可能な構造となっているため、故障時のメンテナンスが容易である。
【００８４】
図１７および図１８に示すように、第２ボディ４１ｂは、第２ボディ４１ｂの貫通穴に挿入した締結ボルト４１ｌを第２流路部材２１の締結穴に締結することにより、プレート４１ｈを挟んだ状態で第２流路部材２１に固定される。
このように、プレート４１ｈは、締結ボルト４１ｉの締結状態にかかわらず、締結ボルト４１ｌによって第２ボディ４１ｂと第２流路部材２１の間に挟まれた状態で固定される。そのため、圧力センサ４１の交換のために締結ボルト４１ｉをプレート４１ｈから取り外しても、プレート４１ｈが脱落してしまうことはない。
【００８５】
また、図１８に示すように、アースプレート４１ｊは、アースプレート４１ｊの貫通穴および第２ボディ４１ｂの貫通穴に挿入した締結ボルト４１ｋをプレート４１ｈの締結穴に締結することにより、第２ボディ４１ｂを挟んだ状態でプレート４１ｈに固定される。
【００８６】
プレート４１ｈと締結ボルト４１ｋとアースプレート４１ｊとはそれぞれ金属製であるため、プレート４１ｈはアースプレート４１ｊと電気的に導通した状態となる。そのため、第２流路部材２１で発生してプレート４１ｈへ伝達された静電気は、アースプレート４１ｊへ伝達される。
アースプレート４１ｊは、アース端子（図示略）を介して接地されているため、アースプレート４１ｊへ伝達された静電気は外部に放電される。
【００８７】
このように、第２流路部材２１で発生した静電気は、締結ボルト４１ｉからプレート４１ｈへ伝達され、プレート４１ｈから締結ボルト４１ｋへ伝達され、締結ボルト４１ｋからアースプレート４１ｊへ伝達され、最終的に外部へ放電される。
そのため、第２流路部材２１で発生した静電気によって、圧力センサ４１の圧力検出素子４１ｃが誤動作し、あるいは故障することが防止される。
【００８８】
図１５に示すように、第１ボディ４１ａの内部には、圧力検出素子４１ｃと流体導入部材４１ｄとが配置されている。
流体導入部材４１ｄは、第２流路部材２１の第２流路２１ａに連通する流出口２１ｄから流出する流体を圧力検出室４１ｆへ導く導入流路４１ｅが内部に形成された部材である。
流出口２１ｄから導入流路４１ｅへ導かれた流体は、圧力検出素子４１ｃと流体導入部材４１ｄの上面との間に形成される圧力検出室４１ｆへ導かれる。
【００８９】
圧力検出素子４１ｃは、導入流路４１ｅから圧力検出室４１ｆへ導かれた流体の圧力に応じて検出信号を出力する素子である。圧力センサ４１は、圧力検出素子４１ｃが検出した検出信号をケーブル４１ｇに含まれる信号線を介して制御部５０に伝達する。
【００９０】
図１５に示すように、導入流路４１ｅの流路径は、第２流路部材２１の第２流路２１ａの流路径に対して十分に小さくなっている。導入流路４１ｅの流路径は、例えば０．５ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の値に設定するのが望ましい。特に、０．５ｍｍ以上かつ２ｍｍ以下の値に設定するのが望ましい。
【００９１】
導入流路４１ｅの流路径を十分に小さくすることで、第２流路２１ａにおいて流体に大きな圧力変動（ウォーターハンマー）が生じたとしても、導入流路４１ｅで圧力損失が生じるため、大きな圧力変動が圧力検出室４１ｆに伝達されにくくすることができる。これにより、第２流路２１ａにおいて流体に大きな圧力変動が生じた場合に、圧力検出素子４１ｃが損傷する不具合が抑制される。
【００９２】
また、導入流路４１ｅの流路径を十分に小さくすることで、導入流路４１ｅ内の流体の流通量に対する流路長が十分に確保される。したがって、例えば、導入流路４１ｅに導入される流体の温度が、急激に上昇した場合であっても、第２流路２１ａから圧力検出素子４１ｃに到達するまでに、流体の温度を十分に低下させることができる。よって、導入流路４１ｅ流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力検出素子４１ｃの検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。
【００９３】
図１５に示す圧力センサ４１は、第１ボディ４１ａを第２流路部材２１から取り外した場合に、圧力検出素子４１ｆが外部に露出せずに流体導入部材４１ｄで保護されるようになっている。
そのため、圧力センサ４１の取り付け時に圧力検出素子４１ｃが損傷する不具合が抑制される。
【００９４】
次に、圧力センサ４１と第２流路部材２１との連結位置に形成されるシール領域について説明する。
図１５に示すように、第２流路部材２１の上面は、圧力センサ４１の流体導入部材４１ｄの下面に連結されている。
流体導入部材４１ｄの下面には、下方に向けて突出して無端状（環状）に延びる環状突起部４１ｎが形成されている。
【００９５】
環状突起部４１ｎは、第２流路部材２１の上面に形成される環状凹部２１ｈに挿入されている。
環状凹部２１ｈは、第２流路部材２１の上面に形成される溝であり、無端状（環状）に形成されている。
環状突起部４１ｎを環状凹部２１ｈへ挿入することにより、無端状（環状）のシール領域（エッジシール領域）が形成される。このシール領域により、流出口２１ｄから第２流路部材２１の上面と流体導入部材４１ｄの下面との間に侵入する流体が、外部に流出することが抑制される。
【００９６】
環状突起部４１ｎと環状凹部２１ｈとにより形成されるシール領域の外周側には、Ｏリング２１ｉが配置されている。
図１５に示すように、Ｏリング２１ｉは、径方向の移動が第２流路部材２１と流体導入部材４１ｄにより規制された状態で配置される。Ｏリング２１ｉが第２流路部材２１と流体導入部材４１ｄのそれぞれに接触した状態で配置されることにより、シール領域が形成される。
【００９７】
このように、第２流路部材２１と流体導入部材４１ｄとの連結位置には、環状突起部４１ｎと環状凹部２１ｈとにより形成されるシール領域に加え、その外周側にＯリング２１ｉにより形成されるシール領域が更に存在する。
【００９８】
そのため、圧力センサ４１の交換により環状突起部４１ｎが傷つき、あるいは高温の流体により環状突起部４１ｎと環状凹部２１ｈとが変形する場合など、十分なシール領域が形成されない場合であっても、Ｏリング２１ｉにより形成されるシール領域によって流体の流出を確実に抑制することができる。
【００９９】
なお、第１ボディ４１ａの材質（例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ））は、流体導入部材４１ｄの材質（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ））よりも強度が高い材質となっている。
また、図１５に示すように、第１ボディ４１ａの内径Ｄ１は、環状突起部４１ｎの外径Ｄ２よりも小さくなっている。
【０１００】
そのため、第１ボディ４１ａが締結ボルト４１ｉによってプレート４１ｈに締結される際の締結力が、第１ボディ４１ａから環状突起部４１ｎに確実に伝達される。これにより、環状突起部４１ｎと環状凹部２１ｈとにより形成されるシール領域のシール性を高めることができる。
【０１０１】
次に、圧力センサ４１を一体構造とし、圧力センサ４１を交換する際の作業性を向上する点について説明する。
図１５に示す第１ボディ４１ａと流体導入部材４１ｄとは、第１ボディ４１ａの内周面に形成される溝に対して流体導入部材４１ｄの外周面に形成される突起を嵌め込む（打ち込む）ことにより、一体化された構造部材となっている。
【０１０２】
また、第１ボディ４１ａおよび流体導入部材４１ｄの上方に配置される圧力センサ４１の他の部材も、第１ボディ４１ａおよび流体導入部材４１ｄと一体化されている。
そのため、圧力センサ４１を第２流路部材２１の上面に取り付ける際には、これら一体化された構造部材を第２流路部材２１の上面に配置すればよい。
したがって、本実施形態の圧力センサ４１は、一体化された構造部材を第２流路部材２１の上面に配置し、第２ボディ４１ｂとの間に第２流路部材２１を挟んだ状態でこれらを締結するという簡易な作業により、第２流路部材２１に取り付けることができる。
【０１０３】
以上説明したように、本実施形態の流体機器１００によれば、第１流体ユニット１０が有する第１流路部材１１〜１６と第２流体ユニット２０が有する第２流路部材２１〜２５とが交差する複数の位置Ｐ１１〜Ｐ５６のそれぞれに配置される複数の開閉弁３０により、各位置で第１流路１１ａ〜１６ａから第２流路２１ａ〜２５ａへの流体の流通状態が開閉弁３０によって切り替えられる。
そのため、本実施形態の流体機器１００によれば、開閉弁３０の開閉状態を適宜に切り替えることにより、複数の供給先ＯＵＴ１〜ＯＵＴ５のそれぞれに、複数の供給源ＩＮ１〜ＩＮ６から供給される流体のうち任意の流体を供給することができる。
【０１０４】
また、本実施形態の流体機器１００によれば、複数の供給源から供給される流体を流通させる第１流体ユニット１０と、複数の供給先へ流体を供給する第２流体ユニット２０とがそれぞれ別個のユニットとなっており、それらが着脱可能に連結されている。そのため、第１流体ユニット１０および第２流体ユニット２０のいずれか一方の交換が必要となった場合、交換が必要な一方の流体ユニットのみを交換し、他方の流体ユニットを交換せずにそのまま利用することができる。また、一方の流体ユニットを交換する際に、交換しない他方の流体ユニットに取り付けられた配管等を取り外す必要はない。
【０１０５】
このように、本実施形態によれば、複数の供給源から供給される流体を流通させる流路を有する第１流体ユニット１０と複数の供給先へ流体を供給する流路を有する第２流体ユニット２０とをそれぞれ別個に交換可能とし、交換に要する労力および費用を減少させることができる。
【０１０６】
本実施形態の流体機器１００は、第１流体ユニット１０がそれぞれ単一の第１流路１１ａ〜１６ａを有する第１流路部材１１〜１６を備え、第２流体ユニット２０がそれぞれ単一の第２流路２１ａ〜２５ａを有する第２流路部材２１〜２５を備える。
そのため、第１流体ユニット１０が有する複数の第１流路１１ａ〜１６ａのうち交換が必要な第１流路を有する第１流路部材のみを交換し、他の第１流路部材を交換せずにそのまま利用することができる。同様に、第２流体ユニット２０が有する複数の第２流路２１ａ〜２５ａのうち交換が必要な第２流路を有する第２流路部材のみを交換し、他の第２流路部材を交換せずにそのまま利用することができる。
そのため、交換が必要な流路を有する単一の流路部材のみを交換可能とし、交換に要する労力および費用を減少させることができる。
【０１０７】
本実施形態の流体機器１００によれば、雌ねじ部組立体８０の複数のナット部８１と締結ボルト９０との締結力が円環部８２を介して隣接する部材に伝達され、複数のナット部８１と締結ボルト９１との締結力が円環部８２を介して隣接する部材に伝達される。
円環部８２はその全周に渡って第２流路部材２１〜２５の上面または下面に接触しているため、複数のナット部８１と複数の締結ボルト９０との締結力に差が生じる場合や、あるいは複数のナット部８１と複数の締結ボルト９１との締結力に差が生じる場合であっても、円環部８２に隣接する部材に歪みが生じることが抑制される。
これにより、第１流路部材１１〜１６と第２流路部材２１〜２５との連結位置におけるシール性能と、第２流路部材２１〜２５と開閉弁３０との連結位置におけるシール性能とが向上する。
【０１０８】
〔他の実施形態〕
以上の説明においては、第１流体ユニット１０がそれぞれ独立した複数の第１流路部材１１〜１６を有し、第２流体ユニット２０がそれぞれ独立した複数の第２流路部材２１〜２５を有するものとしたが、他の態様であってもよい。
例えば、第１流体ユニット１０を複数の第１流路部材１１〜１６およびドレン流路部材１７を一体に形成した単一の部材で形成し、第２流体ユニット２０を複数の第２流路部材２１〜２５を一体に形成した単一の部材で形成するようにしてもよい。
この場合、流体機器１００は、最下層に第１流体ユニット１０が配置され、その上方に第２流体ユニット２０を重ねて配置し、最上層に開閉弁３０を取り付けた３層構造の装置となる。
【０１０９】
この態様によれば、第１流体ユニット１０および第２流体ユニット２０のいずれか一方の交換が必要となった場合、交換が必要な一方の流体ユニットのみを交換し、他方の流体ユニットを交換せずにそのまま利用することができる。また、一方の流体ユニットを交換する際に、交換しない他方の流体ユニットに取り付けられた配管等を取り外す必要はない。
【０１１０】
以上の説明においては、ドレン流路部材１７のドレンポート１７ｃ，１７ｄを負圧源に接続し、第２流路２１ａ〜２５ａの内部に滞留する流体を、ドレンポート１７ｃ，１７ｄから外部へ排出するものとしたが、他の態様であってもよい。
【０１１１】
例えば、ドレン流路部材１７のドレンポート１７ｃ，１７ｄをそれぞれパージ流路部材１７’のパージポート１７’ｃ，１７’ｄとしてもよい。この場合、パージポート１７’ｃ，１７’ｄを加圧源（例えば、窒素ガス供給源）に接続し、第２流路２１ａ〜２５ａの内部を加圧して第２流路２１ａ〜２５ａの内部に滞留する流体を供給先側へ排出するようにする。この場合、第２流路２１ａ〜２５ａの内部を純水等で洗浄し、その後に第２流路２１ａ〜２５ａの内部に滞留する流体を供給先側へ排出させるのが望ましい。
【０１１２】
その他、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
１０    第１流体ユニット
１１〜１６  第１流路部材
１１ａ〜１６ａ  第１流路
１１ｂ〜１６ｂ  流出口
１１ｃ〜１６ｃ  流入部
１１ｄ〜１６ｄ  流出部
１７    ドレン流路部材
２０    第２流体ユニット
２１〜２５  第２流路部材
２１ａ〜２５ａ  第２流路
２１ｂ〜２５ｂ  流入口
３０    開閉弁
３１    第１ボディ
３２    第２ボディ
３３    ピストン部
３４    弁体部
４１〜４５  圧力センサ
５０    制御部
６１，６２    第１ベース部材
６３    第２ベース部材
７０    圧縮空気配管
８０    雌ねじ部組立体（組立体）
８１    ナット部
８２    円環部
９０    締結ボルト（第１締結ボルト）
９１    締結ボルト（第２締結ボルト）
１００  流体機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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