(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持した状態で所定の作業を行なう装置において、基板搬送装置により搬送された前記基板を支持する基板支持装置であって、
前記所定の作業の前に上昇し、前記所定の作業が終了すると下降するように上下動が可能な金属製のテーブルと、
底面に永久磁石が設けられ、前記永久磁石が前記底面を前記テーブルに吸着することにより前記テーブルに設置され、前記基板の裏面に吸着して該基板を支持する支持体と、
を備え、
前記支持体は、吸着面が凹状の曲面であり、前記基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤が設けられ、
前記テーブルに対する前記永久磁石の吸着力は、前記吸盤の吸着力よりも強くされ、
前記テーブルの下降により前記吸盤を前記基板の裏面から剥離する剥離部材を備え、
前記支持体には、上下方向が長手方向となる長孔または長溝が形成され、
前記剥離部材は、一端側が前記長孔または前記長溝に摺動可能に取り付けられると共に、他端側が前記吸盤の外側縁に取り付けられている
ことを特徴とする基板支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板の裏面を支持するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。例えば、特許文献１には、スクリーン印刷機において、吸引口に真空装置を接続し、吸引口によって被印刷板を吸着することにより、被印刷板を支持する複数の支持体を備えるものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１１６７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の技術では、複数の支持体のそれぞれに吸引口に連通する空気通路を設け、これら空気通路と真空装置とを継手や配管によって接続しなければならない。このため、装置が複雑化すると共に、配管が支持体の配置の邪魔となり配置レイアウトの自由度が阻害されてしまう。また、真空装置をオンとしてから吸引口に十分な負圧が作用するまでと、真空装置をオフとしてから吸引口が大気圧に戻るまでとにそれぞれ時間がかかるため、サイクルタイムが伸びてしまう。
【０００５】
本発明は、より簡易な構成により基板を適切に支持する基板支持装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
本発明の基板支持装置は、
基板搬送装置により搬送された基板を支持する基板支持装置であって、
上下動が可能なテーブルと、
該テーブルに設置され、前記基板の裏面に吸着して該基板を支持する支持体と、
を備え、
前記支持体は、吸着面が凹状の曲面であり、前記基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤が設けられている
ことを要旨とする。
【０００８】
この本発明の基板支持装置では、基板の裏面に吸着して基板を支持するものにおいて、基板との吸着に、吸着面が凹状の曲面であり、基板の裏面に押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤を用いる。これにより、吸盤を基板の裏面に押し付けることで、基板と吸盤とを密着させて基板を吸着固定させることができる。この結果、簡易な構成により基板を適切に支持することができる。
【０００９】
こうした本発明の基板支持装置において、前記テーブルの下降により前記吸盤を前記基板の裏面から剥離する剥離部材を備えるものとすることもできる。この態様の本発明の基板支持装置において、前記支持体には、上下方向が長手方向となる長孔または長溝が形成され、前記剥離部材は、一端側が前記長孔または前記長溝に摺動可能に取り付けられると共に、他端側が前記吸盤の外側縁に取り付けられているものとすることもできる。こうすれば、別途動力源を必要とすることなしに、テーブルを下降させることにより、吸盤を基板から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】印刷装置１０の構成の概略を示す構成図である。
【図２】バックアップピン３０の構成の概略を示す構成図である。
【図３】基板Ｓをバックアップする様子とバックアップを解除する様子とを示す説明図である。
【図４】部品装着装置１１０の構成の概略を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態を説明する。
【００１２】
図１は印刷装置１０の構成の概略を示す構成図であり、図２はバックアップピン３０の構成の概略を示す構成図である。本実施形態の印刷装置１０は、図示するように、スキージ２８ａ，２８ｂを用いてスクリーンマスクＭ上のはんだをローリングさせながらスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔に押し込むことにより、下方の基板Ｓにはんだを塗布（印刷）するものである。ここで、図１の左右方向は印刷方向であり、前（手前）後（奥）方向は基板Ｓの搬送方向を示す。
【００１３】
印刷装置１０は、図１に示すように、筐体１２と、筐体１２の下段部に設けられた基台１４と、基台１４上に設置された基板搬送装置２２と、基台１４上に設置された本実施形態の基板支持装置としてのバックアップ装置２４と、筐体１２の中段部に設けられたスクリーンマスク台１６と、筐体１２の上段部に設けられたスキージ装置２６と、を備える。
【００１４】
スクリーンマスク台１６は、スクリーンマスクＭを水平な姿勢で支持固定するものである。
【００１５】
基板搬送装置２２は、左右一対のベルトコンベア装置２２ａ，２２ｂを備えており、ベルトコンベア装置２２ａ，２２ｂの駆動により基板Ｓを図１の奥から手前へと搬送する。
【００１６】
バックアップ装置２４は、図示しない昇降装置によって昇降（上下動）が可能な金属製のバックアップテーブル２５と、バックアップテーブル２５上に設置されたバックアップピン３０と、を備える。このバックアップ装置２４は、基板搬送装置２２により基板Ｓが搬送された状態で、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、基板Ｓを裏面側からバックアップする。
【００１７】
スキージ装置２６は、矩形の板状部材としての２つのスキージ２８ａ，２８ｂをスクリーンマスクＭに対して所定角度傾斜させた状態で保持しており、図示しない昇降装置によって２つのスキージ２８ａ，２８ｂの一方を下降させると共に図示しない直線送り機構（ボールねじ機構など）によって左右方向に移動させることにより印刷を行う。
【００１８】
バックアップピン３０は、図２に示すように、本体３２と、本体３２の上端に設けられた吸盤３４と、本体３２の下端（底面）に設けられた永久磁石３６と、本体３２と吸盤３４とをつなぐレバー３８と、を備える。このバックアップピン３０は、金属製のバックアップテーブル２５に本体３２の底面（磁石面）を吸着させることにより、バックアップテーブル２５上の任意の位置に直立姿勢で設置可能となっている。
【００１９】
本体３２は、円柱形状の部材であり、バックアップテーブル２５に直立姿勢で設置することで、基板Ｓの裏面を支持可能となっている。また、本体３２は、中心軸上に長手方向が上下方向となる長孔３２ａが形成されている。
【００２０】
吸盤３４は、吸着面が凹状の曲面に形成された弾性部材であり、基板Ｓの裏面に押し付けられると、弾性変形により略平面となり、基板Ｓと吸盤３４との間を負圧（真空）状態として基板Ｓに吸着する。
【００２１】
永久磁石３６は、吸盤３４が基板Ｓを吸着した際に、本体３２がバックアップテーブル２５から浮き上がらないように、バックアップテーブル２５に対して吸盤３４の吸着力よりも強い吸引力を発生させるものが選定されている。
【００２２】
レバー３８は、その両端にフック部３８ａ，３８ｂを有しており、一方のフック部３８ａが本体３２に形成された長孔３２ａに摺動自在に挿通され、他方のフック部３８ｂが吸盤３４の外側縁に設けられた係合穴３４ａに係合されている。
【００２３】
次に、こうして構成された本実施形態の基板支持装置としてのバックアップ装置２４の動作、特に、印刷前に基板Ｓをバックアップ（クランプ）する際の動作と、印刷後に基板Ｓのバックアップ（クランプ）を解除する際の動作について説明する。図３は、基板Ｓをバックアップする様子とバックアップを解除する様子とを示す説明図である。基板搬送装置２２により基板Ｓが機内に搬送されると、バックアップ装置２４は、昇降装置を駆動制御して、バックアップテーブル２５を上昇させる。吸盤３４が基板Ｓの裏面に接触した後（図３（ａ）参照）、バックアップ装置２４がバックアップテーブル２５をさらに上昇させると、吸盤３４の吸着面は、基板Ｓに押し付けられて弾性変形し、略平面となる（図３（ｂ）参照）。これにより、吸盤３４と基板Ｓとの間は瞬時に負圧（真空）状態となるため、吸盤３４が基板Ｓに吸着されて、基板Ｓがバックアップされることとなる。その後、印刷が終了すると、バックアップ装置２４は、昇降装置を駆動制御して、バックアップテーブル２５を下降させる。バックアップテーブル２５が下降すると、吸盤３４は外側縁がレバー３８によって引き離された状態となる（図３（ｃ）参照）。これにより、吸盤３４と基板Ｓとの間は瞬時に大気圧に達するため、吸盤３４が基板Ｓから剥離されて、基板Ｓのバックアップが解除されることとなる。なお、バックアップ装置２４によりバックアップが解除された基板Ｓは、基板搬送装置２２により機外へ搬出される。
【００２４】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のバックアップ装置２４が本発明の基板支持装置に相当し、バックアップテーブル２５がテーブルに相当し、バックアップピン３０（本体３２）が支持体に相当し、吸盤３４が吸盤に相当する。また、レバー３８が剥離部材に相当する。
【００２５】
以上説明した本実施形態の基板支持装置は、バックアップテーブル２５に設置されて基板Ｓの裏面に吸着して基板Ｓを支持するバックアップピン３０を備え、バックアップピン３０の先端に、吸着面が凹状の曲面であり、基板Ｓに押し付けられたときに、弾性変形により略平面となる吸盤３４を設ける。これにより、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、基板Ｓを吸盤３４とを密着させて、基板Ｓを吸着固定することができる。この結果、バックアップピンの吸着部に負圧源からの負圧を導入して基板Ｓを吸着させるものに比して、より簡易な構成で基板Ｓを支持することができると同時に、低コスト化を図ることができる。また、本実施形態の基板支持装置は、吸盤３４を基板Ｓに押し付けることで、直ちに基板Ｓに吸着することができるから、印刷動作へ素早く移行することが可能となり、サイクルタイムを向上させることができる。また、バックアップピンの吸着部に負圧源からの負圧を導入する場合、各バックアップピンと負圧源とを配管や継手によって接続しなければならず、配管がバックアップピン配置の邪魔となり配置レイアウトの自由度が阻害されるおそれがある。これに対して、本実施形態の基板支持装置は、こうした配管や継手が不要となるため、配置レイアウトの自由度を高くすることができる。また、配管の引き回しが不要となるため、生産する基板の種類を変更する段取り替えを行う場合に、バックアップピン３０をバックアップテーブル２５から取り外して次の基板の生産に適した配置レイアウトで配置し直すだけでよく、段取り替えの作業時間を大幅に短縮することができる。さらに、配管の引き回しが不要となるため、バックアップピン３０の配置を装置によって自動で行うように設計することも可能となる。
【００２６】
また、本実施形態の基板支持装置は、本体３２の長孔３２ａと吸盤３４の外側縁とをつなぐレバー３８を設けるから、バックアップテーブル２５を下降させるだけで、レバー３８によって吸盤３４を基板Ｓから剥離することができる。この結果、別途動力源を必要とすることなしに、吸盤３４を基板Ｓから剥離することができる。また、本実施形態の基板支持装置は、レバー３８によって吸盤３４と基板Ｓとの間に大気を導入して吸盤３４を直ちに基板Ｓから剥離させることができるから、次の基板Ｓの搬入動作へ素早く移行することが可能となり、サイクルタイムをさらに向上させることができる。
【００２７】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２８】
例えば、上述した実施形態では、本体３２に長孔３２ａを形成し、レバー３８のフック部３８ａを長孔３２ａに摺動自在に挿通するものとしたが、例えば、長孔３２ａに代えて長溝を形成し、長溝にレバーのフック部を摺動自在に係合するもの等、レバーの一端を摺動自在に係合可能なものであれば、如何なる構成としてもよい。
【００２９】
また、上述した実施形態では、バックアップテーブル２５を上昇させることにより、バックアップテーブル２５に設置されたバックアップピン３０の吸盤３４を基板Ｓに押し付けるものとしたが、プッシャなどによって基板Ｓの表面を下方向に押さえることで、基板Ｓを吸盤３４に押し付けるものとしてもよい。
【００３０】
また、上述した実施形態では、基板支持装置を、基板Ｓに配線パターンを印刷する印刷装置に適用して説明したが、これに限定されるものではなく、配線パターンが印刷された基板Ｓに部品を装着する部品装着装置に適用する等、基板Ｓを支持した状態で所定の作業を行う装置であれば、如何なる装置にも適用可能である。ここで、本実施形態の基板支持装置（バックアップ装置２４）を用いて構成された部品装着装置１１０の一例を図４に示す。なお、部品装着装置１１０は、図示するように、上述した構成と同様の基板搬送装置２２と、上述した構成と同様のバックアップ装置２４と、部品を供給する部品供給装置１２４と、供給された部品を吸着して基板Ｓに装着可能なノズル１２７を有するヘッド１２６と、ヘッド１２６を移動させる移動装置１２８と、を備える。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、基板支持装置の製造産業などに利用可能である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  印刷装置、１２  筐体、１４  基台、１６  スクリーンマスク台、２２  基板搬送装置、２２ａ，２２ｂ  ベルトコンベア装置、２４  バックアップ装置、２５  バックアップテーブル、２６  スキージ装置、２８ａ，２８ｂ  スキージ、３０  バックアップピン、３２  本体、３２ａ  長孔、３４  吸盤、３４ａ  係合穴、３６  永久磁石、３８  レバー、３８ａ，３８ｂ  フック部、１１０  部品装着装置、１２４  部品供給装置、１２６  ヘッド、１２７  ノズル、１２８  移動装置、Ｓ  基板、Ｍ  スクリーンマスク。
【図１】
0006804186.tif 000002
【図２】
0006804186.tif 000003
【図３】
0006804186.tif 000004
【図４】
0006804186.tif 000005