(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、前記モータが収容されるモータケースと、前記モータの駆動により生じた回転運動を前記モータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換する運動変換機構とを備え、前記運動変換機構は、前記出力軸と平行に配設されて前記直線運動を行う可動部を有する電動アクチュエータにおいて、
前記可動部と前記モータは、前記モータの径方向で重なっており、
前記可動部にセンサターゲットが配設されると共に、
前記モータケースに、前記センサターゲットの前記直線運動方向の位置を非接触に検出する非接触センサが配設されると共に、前記モータケースに、前記可動部の周囲を覆う軸カバーが一体的に設けられ、
前記モータケースのうち前記モータが収容されるケース本体と前記軸カバーとの間に、前記モータケースの外周面がその周囲に比べて内側に後退している後退部が形成されており、
前記非接触センサは前記後退部に取り付けられていることを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記非接触センサは、前記モータと前記可動部との間に配設されている請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記ケース本体と前記軸カバーはともに円筒状をなし、互いに外周面同士を当接させた状態で連結されており、
前記軸カバーのうち前記モータケースとの連結部近傍に、前記非接触センサが取り付けられている請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項４】
前記軸カバーのうち前記ケース本体との連結部近傍に開口部が形成されると共に、この開口部に、前記非接触センサを配設した状態のセンサベースが取付けられている請求項３に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、車両等の省力化、低燃費化を目的とした電動化が進んでおり、例えば、自動車の自動変速機やブレーキ、ステアリング等の操作をモータなど電動機の力で行うシステムが開発され、市場に投入されている。このような用途に使用されるアクチュエータとして、電動機の駆動により生じた回転運動を直線方向の運動に変換するボールねじ機構を用いた電動アクチュエータが知られている（特許文献１を参照）。
【０００３】
また、この種のアクチュエータにおいては、上述した直線運動を出力する操作部（すなわちアクチュエータヘッド）のストローク量又はストローク方向の位置を制御することが重要となる。そこで、上記ストローク量又はストローク方向の位置を検出するための手段として、例えば直線運動を行う可動部（すなわちストローク軸）に複数のリンク部材からなるリンク機構を連結して、上記リンク部材の角度を検出することで、可動部の位置を検出する方法がある（特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２４３０１８号公報
【特許文献２】特許第５４１７１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、可動部に連結したリンクの角度を検出すれば、例えばモータの回転角を利用して可動部の位置を算出する場合に比べて直接的に可動部の位置情報を取得できるので、構成部品のガタ等の問題が少なく検出精度の向上が期待できる。しかしながら、リンク機構を用いた位置検出装置だと、位置検出に必要な部品点数が増加する。部品点数の増加は製品の大型化につながる。そのため、この種の電動アクチュエータを上述した理由でシリーズ化することを考えた場合、上記リンク機構を用いた位置検出装置は必ずしも適切な構成であるとは言い難い。
【０００６】
また、リンク機構を用いた位置検出装置であっても、リンク部材のバックラッシは避けようがないため、依然として十分な位置検出精度を得ることは難しい。
【０００７】
以上の事情に鑑み、本発明は、従来に比べて部品の数を減らして装置のコンパクト化を図りつつ、高精度にアクチュエータヘッドの位置を検出可能とすることにより、電動アクチュエータのシリーズ化を低コストに達成することを解決すべき技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題の解決は、本発明に係る電動アクチュエータによって達成される。すなわちこのアクチュエータは、モータと、モータが収容されるモータケースと、モータの駆動により生じた回転運動をモータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換する運動変換機構とを備え、運動変換機構は、出力軸と平行に配設されて直線運動を行う可動部を有する電動アクチュエータにおいて、可動部とモータは、モータの径方向で重なっており、可動部にセンサターゲットが配設されると共に、モータケースに、センサターゲットの直線運動方向の位置を非接触に検出する非接触センサが配設されている点をもって特徴付けられる。
【０００９】
本発明では、可動部とモータを、モータの径方向で重なり合う位置に配置し、これにより非接触センサをモータケースに配設可能としたので、非接触センサを取り付けるための専用のケースを既存のケースと別個に製作せずに済む。よって、ケースの数を増やすことなく可動部の位置検出が可能な構成をとることができる。また、位置検出装置を、可動部に配設したセンサターゲットと、センサターゲットの直線運動方向の位置を非接触に検出する非接触センサとで構成したので、従来に比べて可動部の位置をより直接的に検出することができ、これにより位置検出精度の向上が可能となる。また、このようにセンサターゲットと非接触センサで位置検出装置を構成することで、位置検出に直接関係する部品の数を減らして位置検出装置のコンパクト化を図ることができる。よって、製品（電動アクチュエータ）の小型化ひいてはシリーズ化にとって好適である。もちろん部品点数の削減化は一般的に低コスト化につながるため、コスト面においても好ましい。
【００１０】
また、本発明に係る電動アクチュエータは、非接触センサが、モータと可動部との間に配設されているものであってもよい。
【００１１】
例えば可動部から見てモータと対向する向きに直交する向きに非接触センサを配置しようとした場合、センサの配置スペースを新たに設ける分だけ、製品（電動アクチュエータ）における上記ストローク方向の外形寸法がセンサの配置スペースの分だけ増大するおそれがある。これに対して、本発明に係る電動アクチュエータは、モータの出力軸と可動部とが互いに平行で、かつモータとアクチュエータヘッドが可動部の長手方向で同じ側に位置する構成をなすことから、モータと可動部との間には非接触センサを配置するためのスペースを無理なく作りやすい。よって、上記位置に非接触センサを配設することで、電動アクチュエータの外形寸法をなるべく増大させることなく可動部の位置検出を行うことが可能となる。
【００１２】
また、本発明に係る電動アクチュエータは、モータケースに、可動部の周囲を覆う軸カバーが一体的に設けられると共に、モータケースのうちモータが収容されるケース本体と軸カバーとの間に、モータケースの外周面がその周囲に比べて内側に後退している後退部が形成されており、非接触センサは後退部に取り付けられているものであってもよい。
【００１３】
このようにモータケースを構成すると共に非接触センサを配置することで、可動部と軸カバーとの間のスペースをなるべく小さくしつつ、センサターゲットとの間で適切な距離を保持しながらその位置検出を行うことができる。従って、製品のコンパクト化を図りつつも、可動部の位置を高精度に検出することが可能となる。
【００１４】
また、この場合、本発明に係る電動アクチュエータは、ケース本体と軸カバーがともに円筒状をなし、互いに外周面同士を当接させた状態で連結されており、軸カバーのうちモータケースとの連結部近傍に、非接触センサが取り付けられているものであってもよい。
【００１５】
このようにモータを直接収容するケース本体と軸カバーをともに円筒状とすることで、さらに無駄なスペースを省いて、製品の更なるコンパクト化を図ることができる。また、この場合において、ケース本体と軸カバーとの連結部近傍に非接触センサを取り付けることで、製品寸法の増大化を招くことなく電動アクチュエータに非接触センサを搭載することができる。
【００１６】
また、この場合、本発明に係る電動アクチュエータは、軸カバーのうち前記ケース本体との連結部近傍に開口部が形成されると共に、この開口部に、非接触センサを配設した状態のセンサベースが取付けられているものであってもよい。
【００１７】
このように構成することで、軸カバーをモータケースと共に他のケースと組みつけた状態から、センサベースを軸カバーに取り付けて、非接触センサをセンサターゲットに対し所定の位置に配設することができる。これにより非接触センサの組付けを容易に行うことができる。また、開口した部分に非接触センサを取り付けることにより、非接触センサを開口部及びセンサベースで覆った状態でモータケースに取り付けることができる。よって、非接触センサを保護しつつもモータケースに外側から容易に取り付けることが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、従来に比べて部品の数を減らして装置のコンパクト化を図りつつ、高精度にアクチュエータヘッドの位置を検出可能とすることにより、電動アクチュエータのシリーズ化を低コストに達成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図である。
【図２】電動アクチュエータの外観斜視図である。
【図３】電動アクチュエータの分解斜視図である。
【図４】モータケースを開口部側から見た図である。
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿った断面を矢印Ａの向きから見た横断面図である。
【図６】減速機構部の分解斜視図である。
【図７】軸ケースと、これに取り付けられるロック機構部の分解斜視図である。
【図８】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面を矢印Ｂの向きから見た横断面図である。
【図９】図１のＣ−Ｃ線に沿った断面を矢印Ｃの向きから見た横断面図である。
【図１０】図１のＤ−Ｄ線に沿った断面を矢印Ｄの向きから見た横断面図である。
【図１１】図１０のＥ−Ｅ線に沿った断面を矢印Ｅの向きから見た断面図である。
【図１２】磁石が取り付けられた状態のボールねじ軸の斜視図である。
【図１３】ボールねじ軸の斜視図である。
【図１４】磁石及び磁石ホルダからなるセンサターゲットの（ａ）斜視図、並びに（ｂ）正面図である。
【図１５】ボールねじ軸が前進した状態における図１１の断面図である。
【図１６】電動アクチュエータの制御ブロック図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付の図面に基づき、本発明について説明する。なお、本発明を説明するための各図面において、同一の機能もしくは形状を有する部材や構成部品等の構成要素については、判別が可能な限り同一符号を付すことにより一度説明した後ではその説明を省略する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの組み立て状態を示す縦断面図、図２は、前記電動アクチュエータの組み立て状態を示す外観斜視図、図３は、前記電動アクチュエータの分解斜視図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態の電動アクチュエータ１は、駆動力を発生させる駆動部２と、駆動部２からの回転運動を直線運動に変換する運動変換機構部３と、駆動部２から運動変換機構部３へ駆動力を伝達する駆動力伝達部４と、運動変換機構部３を支持する運動変換機構支持部５と、運動変換機構部３の運動を出力する操作部６と、運動変換機構部の駆動を防止するロック機構部７とを備える。駆動部２は、モータ部８と減速機構部９とで構成されている。
【００２３】
上記電動アクチュエータ１を構成する各部分は、それぞれケースを有し、各ケース内に構成部品が収容されている。具体的に、モータ部８は、駆動力発生用のモータ（駆動用モータ１０）を収容するモータケース１１を有し、減速機構部９は、減速ギヤ機構１６を収容する減速ギヤケース１７を有する。また、駆動力伝達部４は、伝達ギヤ機構２８を収容する伝達ギヤケース２９を有し、運動変換機構支持部５は、支持軸受４０を収容する軸受ケース４１を有する。本実施形態では、モータ部８と減速機構部９、減速機構部９と駆動力伝達部４、駆動力伝達部４と運動変換機構支持部５は、互いにケースごと連結分離可能に構成されている。さらに、軸受ケース４１に対しては、軸ケース５０が連結分離可能に構成されている。以下、電動アクチュエータ１を構成する各部の詳細な構成について説明する。
【００２４】
モータ部８は主に、運動変換機構部３を駆動させるための駆動用モータ（例えばＤＣモータ）１０と、駆動用モータ１０を収容するモータケース１１とで構成されている。モータケース１１は、内部に駆動用モータ１０が収容される有底円筒状のケース本体１２と、ケース本体１２の底部１２ａから外部に突出する突出部１３とを有する。突出部１３は、ケース本体１２の内部空間と連通する孔部１３ａが形成されている。この孔部１３ａは、突出部１３の外面を覆う樹脂製の封止部材１４によって封止されている。
【００２５】
駆動用モータ１０は、ケース本体１２の開口部１２ｄから内部に挿入された状態にある。この際、駆動用モータ１０の挿入方向奥側の端面がケース本体１２の底部１２ａに当接している。また、底部１２ａの中央部には嵌合孔１２ｃが形成されており、この嵌合孔１２ｃに駆動用モータ１０の挿入方向奥側の突起１０ｂが嵌合することで、突起１０ｂから突出する駆動用モータ１０の出力軸１０ａの後端（図１の左端部）がモータケース１１の底部１２ａと干渉する事態を回避可能としている。さらに、ケース本体１２の周壁部１２ｂの内周面は、開口部１２ｄ側から底部１２ａ側に向かってテーパ状に縮径しており、駆動用モータ１０がケース本体１２内に挿入されると駆動用モータ１０の挿入方向奥側の外周面が周壁部１２ｂの内周面に接触するように構成されている。このように、駆動用モータ１０は、ケース本体１２内に収容された状態で、ケース本体１２の内周面との接触と嵌合孔１２ｃとの嵌合によって支持される。
【００２６】
また、モータケース１１を開口部１２ｄ側から見た図４に示すように、ケース本体１２には、駆動用モータ１０を動力電源に接続するための一対のバスバー１５が取り付けられている。各バスバー１５の一端部１５ａはモータ端子１０ｃに対して加締めることで接続され、他端部１５ｂはケース本体１２から外部に露出している（図２、図３を参照）。この外部に露出するバスバー１５の他端部１５ｂが動力電源に接続される。
【００２７】
図１に示すように、減速機構部９は主に、駆動用モータ１０の駆動力を減速して出力する減速ギヤ機構１６と、減速ギヤ機構１６を収容する減速ギヤケース１７とで構成されている。減速ギヤ機構１６は、複数の歯車等からなる遊星歯車減速機構１８で構成される。なお、遊星歯車減速機構１８の詳細な構成については後述する。
【００２８】
減速ギヤケース１７には、遊星歯車減速機構１８を駆動用モータ１０とは反対の側から収容するための収容凹部１７ａが設けられている。また、減速ギヤケース１７には、モータアダプタ１９が取付け可能に構成されている。モータアダプタ１９は筒状の部材で、その内周面に駆動用モータ１０の出力側（図１の右側）の突起１０ｄが挿入されることでモータアダプタ１９に駆動用モータ１０が嵌合（内嵌）されている。減速ギヤケース１７には、モータアダプタ１９が嵌合される嵌合孔１７ｂが形成されており、この嵌合孔１７ｂに対してモータアダプタ１９を駆動用モータ１０側から挿入することで減速ギヤケース１７にモータアダプタ１９が取り付けられている。
【００２９】
減速ギヤケース１７は、モータケース１１に対して嵌合可能に構成されると共に、モータケース１１とは反対の側に配置される後述の伝達ギヤケース２９に対して嵌合可能に構成されている。減速ギヤケース１７のうち、モータケース１１側に配置される部分がモータケース１１の開口部１２ｄ側に内嵌されると共に、伝達ギヤケース２９側に配置される部分が伝達ギヤケース２９に外嵌されている。この場合、減速ギヤケース１７は、モータケース１１に対して嵌合された状態でモータアダプタ１９と一緒にボルト２１（図３、図６を参照）によって駆動用モータ１０に締結される。減速ギヤケース１７の駆動用モータ１０側には、減速ギヤケース１７とモータケース１１とが嵌合された状態で、駆動用モータ１０から突出するモータ端子１０ｃ及びこのモータ端子１０ｃに加締められた状態のバスバー１５の一端部１５ａと減速ギヤケース１７との干渉を回避するための凹部１７ｃが形成されている。また、減速ギヤケース１７の外周面のうちモータケース１１の内周面と嵌合する小径外周面には、Ｏリング２０を装着するための装着溝１７ｄが形成されている。
【００３０】
運動変換機構部３は、本実施形態ではボールねじ２２で構成される。ボールねじ２２は、回転体としてのボールねじナット２３と、直線運動する可動部としてのボールねじ軸２４と、多数のボール２５、及び循環部材としてのこま２６とで構成されている。ボールねじナット２３の内周面とボールねじ軸２４の外周面にそれぞれ螺旋状溝２３ａ，２４ａが形成されている。両螺旋状溝２３ａ，２４ａの間にボール２５が充填され、こま２６が組み込まれ、これにより２列のボール２５が循環する。
【００３１】
ボールねじナット２３は、駆動用モータ１０で発生させた駆動力を受けて正逆何れかの方向に回転する。一方、ボールねじ軸２４は、その後端部（図１の右端部）に設けられた回転規制部材としてのピン２７によって回転が規制されている。このため、ボールねじナット２３が回転すると、ボール２５が両螺旋状溝２３ａ，２４ａ及びこま２６に沿って循環し、ボールねじ軸２４がその軸方向に沿って直線運動を行う。図１は、ボールねじ軸２４が最も図の右側へ後退した初期位置に配置された状態を示している。このボールねじ軸２４は、駆動用モータ１０の出力軸１０ａと平行に配置されており、駆動力伝達部４を介して駆動用モータ１０から伝達された回転運動はボールねじ軸２４によって出力軸１０ａと平行な軸方向の直線運動に変換される。この場合、ボールねじ軸２４の前進方向の先端部（図１の左端部）が、操作対象を操作する操作部（アクチュエータヘッド）６として機能する。
【００３２】
駆動力伝達部４は主に、駆動部２が有する駆動用モータ１０から運動変換機構部３を構成するボールねじ２２へ駆動力及び回転運動を伝達する伝達ギヤ機構２８と、伝達ギヤ機構２８を収容する伝達ギヤケース２９とで構成されている。伝達ギヤ機構２８は、駆動側のドライブギヤ３０と、これと噛み合う従動側のドリブンギヤ３１、及びギヤボス３２を有する。
【００３３】
ドライブギヤ３０の回転中心部にはギヤボス３２が圧入等により嵌合されている。ドライブギヤ３０は、このギヤボス３２を介して伝達ギヤケース２９と後述する軸受ケース４１それぞれに装着される２つの転がり軸受３３，３４によって回転可能に支持されている。一方、ドリブンギヤ３１は、ボールねじナット２３の外周面に圧入等により嵌合されることで固定されている。駆動用モータ１０からの駆動力が遊星歯車減速機構１８を介してドライブギヤ３０に伝達されると、ドライブギヤ３０とドリブンギヤ３１との噛み合いにより上記駆動力がドリブンギヤ３１に伝達される。これによりドリブンギヤ３１とボールねじナット２３が一体的に回転し、ボールねじ軸２４がその長手方向に沿って前進又は後退する。
【００３４】
伝達ギヤケース２９は、ドライブギヤ３０およびドリブンギヤ３１が収容される収容凹部２９ａを有する。また、伝達ギヤケース２９には、ギヤボス３２を挿通するための挿通孔２９ｂが形成され、挿通孔２９ｂの内周面には、ギヤボス３２を支持する一方の転がり軸受３３が装着される軸受装着面２９ｃが形成されている。また、伝達ギヤケース２９は、減速ギヤケース１７の内周面と嵌合する環状突起２９ｄを有する。この環状突起２９ｄの外周面（嵌合面）には、Ｏリング３５を装着するための装着溝２９ｅが形成されている。また、伝達ギヤケース２９の軸受ケース４１側の面には、軸受ケース４１と嵌合する溝状の嵌合凹部２９ｆが形成されている。
【００３５】
また、伝達ギヤケース２９は、ボールねじ軸２４の先端部側（図１の左側）へ突出する円筒部２９ｇを有する。この円筒部２９ｇは、伝達ギヤケース２９内にドリブンギヤ３１が収容され、これにボールねじ２２が組み付けられた状態で、ボールねじ軸２４の周囲を覆うように配置される部分である。円筒部２９ｇとボールねじ軸２４の間には、伝達ギヤケース２９内への異物侵入を防止するブーツ３６が取り付けられる。ブーツ３６は樹脂製又はゴム製であり、大径端部３６ａと小径端部３６ｂとこれらを繋いで軸方向に伸縮する蛇腹部３６ｃで構成されている。大径端部３６ａが円筒部２９ｇの外周面の取付け部位にブーツバンド３７によって締め付け固定され、小径端部３６ｂがボールねじ軸２４の外周面の取付け部位にブーツバンド３８によって締め付け固定される。円筒部２９ｇには、ブーツ３６が伸縮したときに内外で通気させるための通気孔２９ｈが設けられている。また、上記モータケース１１には、ブーツ３６の周囲に配置されるブーツカバー３９が一体に設けられている。
【００３６】
運動変換機構支持部５は主に、運動変換機構部３であるボールねじ２２を支持する支持軸受４０と、支持軸受４０を収容する軸受ケース４１とで構成されている。支持軸受４０は、本実施形態では、外輪４２と内輪４３とこれらの間に介在する複列のボール４４を主要な構成要素とする背面合わせの複列アンギュラ玉軸受で構成される。
【００３７】
支持軸受４０は、軸受ケース４１と一体に形成されたスリーブ４５内に収容され、スリーブ４５の内周面に装着された止め輪４６で固定されている。また、支持軸受４０の固定位置は、ボールねじナット２３の外周面に対して上記ドリブンギヤ３１よりもボールねじ軸２４の後端側（図１の右側）に圧入嵌合されている。ボールねじナット２３の外周面に固定される支持軸受４０とドリブンギヤ３１は、ボールねじナット２３のドリブンギヤ３１側に設けられた規制突起２３ｂと、支持軸受４０側に装着された規制部材４７によって軸方向の移動が規制される。規制部材４７は、一対の半円弧状部材で構成され、これらを環状に組み合わせた状態でボールねじナット２３の外周面に装着される。さらに、ボールねじナット２３の外周面には、規制部材４７を保持する押さえ用カラー４８と、この押さえ用カラー４８の軸方向の脱落を防止する止め輪４９が装着される。
【００３８】
軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側には、伝達ギヤケース２９の嵌合凹部２９ｆと嵌合する突条部４１ａが設けられている。また、軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側には、軸受ケース４１が伝達ギヤケース２９と嵌合した状態で、伝達ギヤケース２９から突出するギヤボス３２の一部が収容されるギヤボス収容部４１ｂが設けられている。このギヤボス収容部４１ｂの内周面には、ギヤボス３２を支持する転がり軸受３４を装着するための軸受装着面４１ｃが形成されている。
【００３９】
軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側とは反対側には、ボールねじ軸２４の後端部側（図１の右端部側）を収容する有底筒状の軸ケース５０がボルト５１（図３を参照）で締結可能に構成されている。軸ケース５０の軸受ケース４１との当接面には、Ｏリング５２を装着するための装着溝５０ａが形成されている。また、軸ケース５０の内周面には、ボールねじ軸２４に設けられたピン２７の両端部が挿入される案内溝５０ｂが軸方向に延在するように形成されている。ピン２７の両端部にはそれぞれガイドカラー５３が回転可能に装着されており、ボールねじ軸２４が軸方向に進退する際、ガイドカラー５３が案内溝５０ｂに沿って回転しながら移動する。
【００４０】
図３に示すように、上記モータケース１１、減速ギヤケース１７、伝達ギヤケース２９、軸受ケース４１の各ケースの半径方向外側周辺には、これらを組み立て締結するためのボルト５４を挿通するボルト挿通孔１１ａ，１７ｅ，２９ｉ，４１ｄが設けられている。
さらに、伝達ギヤケース２９と軸受ケース４１の両方の半径方向外側周辺には、組立てられた電動アクチュエータ１を設置場所に取付けるための貫通孔２９ｊ，４１ｅが設けられている。
【００４１】
ここで、図１、図５および図６に基づき遊星歯車減速機構１８について説明する。図５は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面を矢印Ａの向きから見た横断面図、図６は、遊星歯車減速機構１８の分解斜視図である。
【００４２】
遊星歯車減速機構１８は、リングギヤ５５と、サンギヤ５６と、複数の遊星ギヤ５７と、遊星ギヤキャリア５８（図１を参照）と、遊星ギヤホルダ５９（図１を参照）から構成される。リングギヤ５５は、軸方向に突出する複数の凸部５５ａを有し、減速ギヤケース１７の収容凹部１７ａには凸部５５ａと同数の係合凹部１７ｆが設けられている（図１を参照）。減速ギヤケース１７の係合凹部１７ｆにリングギヤ５５の凸部５５ａを位相合わせした状態で組み込むことにより、リングギヤ５５が減速ギヤケース１７に対して回り止めされて収容されている。
【００４３】
リングギヤ５５の中央にサンギヤ５６が配置され、サンギヤ５６には駆動用モータ１０の出力軸１０ａが圧入嵌合される。また、リングギヤ５５とサンギヤ５６との間には各遊星ギヤ５７がこれらリングギヤ５５及びサンギヤ５６と噛み合うように配置されている。各遊星ギヤ５７は、遊星ギヤキャリア５８と遊星ギヤホルダ５９によって回転可能に支持されている。遊星ギヤキャリア５８はその中央部に円筒部５８ａを有し、円筒部５８ａは上述の如くギヤボス３２の外周面と転がり軸受３３の内周面との間に圧入嵌合されている（図１を参照）。なお、他方の転がり軸受３４の内周面とギヤボス３２の外周面との間には、環状のカラー７５が装着されている。
【００４４】
上記の如く構成された遊星歯車減速機構１８は、駆動用モータ１０が回転駆動すると、駆動用モータ１０の出力軸１０ａに連結されたサンギヤ５６が回転し、これに伴って各遊星ギヤ５７が自転しながらリングギヤ５５に沿って公転する。そして、この遊星ギヤ５７の公転運動により遊星ギヤキャリア５８が回転する。これより、駆動用モータ１０の回転運動が減速されてドライブギヤ３０に伝達されると共に、駆動力としての回転トルクが増加した状態でドライブギヤ３０に伝達される。このように、遊星歯車減速機構１８を介して駆動力が伝達されることで、ボールねじ軸２４に伝達される駆動力、ひいてはボールねじ軸２４の出力が大きく得られるようになるので、駆動用モータ１０の小型化を図ることが可能となる。
【００４５】
続いて、図１、図７および図８に基づき、ロック機構部７の詳細を説明する。図７は、軸ケース５０と、これに取り付けられるロック機構部７の分解斜視図、図８は、図１のＢ−Ｂ線に沿った断面を矢印Ｂの向きから見た横断面図である。
【００４６】
ロック機構部７は、ロック部材６０と、滑りねじナット６１と、滑りねじ軸６２と、ロック部材固定板６３と、ロック用駆動源としてのロック用モータ（例えばＤＣモータ）６４と、ばね６５を主な構成とする。ロック機構部７は例えば以下の手順で組み立てられる。まず、ロック部材６０を、滑りねじナット６１に対してロック部材固定板６３を介してボルト８４（図７を参照）で締結する。次いで、ロック用モータ６４を、軸ケース５０に設けられたホルダ部６６内に収容し、ホルダ部６６から突出するロック用モータ６４の出力軸６４ａに滑りねじ軸６２を取り付ける。そして、滑りねじ軸６２の外周にばね６５を配置すると共に、ロック部材６０が取り付けられた滑りねじナット６１を滑りねじ軸６２に対して螺合して装着する。このようにして、ロック機構部７の組み立てが完了する。
【００４７】
ホルダ部６６は、有底筒状に形成され、その底部６６ａとは反対側にキャップ６７が装着されている。ロック用モータ６４がホルダ部６６内に挿入され、キャップ６７を装着した状態で、ロック用モータ６４は、ホルダ部６６の底部６６ａとキャップ６７の内面に当接する。また、この状態で、ロック用モータ６４の出力側（図１の左側）の突起６４ｂがホルダ部６６の底部６６ａに形成された嵌合孔６６ｃに嵌合する。ロック用モータ６４の本体外周面とホルダ部６６の周壁部６６ｂの内周面はいずれも円筒形ではない同じ形状に形成されているため、ホルダ部６６の周壁部６６ｂ内にロック用モータ６４が挿入されることで、ロック用モータ６４の回転が規制される。このように、ホルダ部６６にロック用モータ６４が収容されることで、ホルダ部６６によってロック用モータ６４が保持され、ロック機構部７全体が保持される。また、キャップ６７には、ロック用モータ６４のモータ端子６４ｄに接続されるケーブル６８を挿通するための孔部６７ａが形成されている（図８を参照）。なお、ホルダ部６６は、本実施形態では軸ケース５０にその一部として一体的に設けられているが、もちろんホルダ部６６を軸ケース５０と別体に形成して、軸受ケース４１に取り付けるようにしてもかまわない。
【００４８】
軸ケース５０のホルダ部６６が設けられた部分とこれに対向する軸受ケース４１の部分には、それぞれロック機構収容凹部６６ｄ，４１ｆが形成され、軸受ケース４１側のロック機構収容凹部４１ｆには貫通孔４１ｇが形成されている。図１に示すように、軸ケース５０が軸受ケース４１に取り付けられた状態で、ロック機構収容凹部６６ｄ，４１ｆ内には、ホルダ部６６から突出するロック用モータ６４の出力軸６４ａ、滑りねじ軸６２、滑りねじナット６１、ロック部材固定板６３、ばね６５およびロック部材６０の一部が収容され、貫通孔４１ｇ内には、ロック部材６０の先端部側が挿入される。また、軸ケース５０が軸受ケース４１に取り付けられた状態では、ばね６５がホルダ部６６の底部６６ａとロック部材固定板６３との間で軸方向に圧縮され、この圧縮されたばね６５によってロック部材６０は前進する方向（図１の左側）へ常時付勢されている。
【００４９】
ロック部材６０が前進する方向にはドライブギヤ３０が配置されており、ドライブギヤ３０にはロック部材６０の先端部が係合可能な係合孔３０ａが形成されている。図１のＣ−Ｃ線に沿った断面を矢印Ｃの向きから見た横断面図である図９に示すように、係合孔３０ａは、ドライブギヤ３０の周方向にわたって複数箇所に設けられている。ロック部材６０はこれらの係合孔３０ａのうちのいずれかに係合されることで、ドライブギヤ３０の回転が規制される。また、各係合孔３０ａの入口部には傾斜面３０ｂが形成されていてもよい（図９を参照）。このように係合孔３０ａを形成することで、この傾斜面３０ｂに沿ってロック部材６０が係合孔３０ａにスムーズに挿入される効果が期待できる。
【００５０】
軸受ケース４１には、ロック状態を検知するためのロックセンサ６９が装着されている（図８を参照）。ロックセンサ６９は、板バネ等の弾性部材で構成された接触子６９ａを有する接触式センサであり、ロック部材６０が前進して係合孔３０ａに係合されると（ロック状態になると）、ロック部材６０が接触子６９ａを押すことで、ロック状態となったことが検知される。
【００５１】
上記構成のロック機構部７は、例えば以下に述べる動作を行う。すなわち、ロック用モータ６４に電力が供給されていない状態では、ロック部材６０はばね６５によって前進した位置に保持されており、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａに係合したロック状態にある。この状態から、ボールねじ軸２４の駆動を開始するために駆動用モータ１０に電力が供給されると、ロック用モータ６４にも電力が供給され、ロック用モータ６４はロック部材６０を後退させる方向に駆動する。これにより、滑りねじ軸６２が回転し、一方、滑りねじナット６１は貫通孔４１ｇに対するロック部材６０の平板状先端部の挿入によって回転が規制されているため、滑りねじ軸６２が回転すると、滑りねじナット６１がばね６５の付勢力に抗して後退し、これと一体的にロック部材６０も後退する。これにより、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａから離脱し、ロック状態が解除される。こうして、ボールねじ軸２４を駆動させている間は、ロック部材６０が後退した位置に保持され、ドライブギヤ３０がロックされない状態に保持される。
【００５２】
その後、駆動用モータ１０への電力供給が遮断され、ボールねじ軸２４の駆動が停止すると、ロック用モータ６４への電力供給も遮断される。これにより、ロック部材６０を後退させておくための駆動力が生じなくなるため、ロック部材６０はばね６５によって前進する方向へ押し動かされる。そして、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａに係合することでロック状態となり、ドライブギヤ３０の回転が規制される。
【００５３】
このように、ロック部材６０によってドライブギヤ３０の回転が規制されることで、ボールねじ軸２４が進退しない状態で保持される。これにより、操作対象装置側からボールねじ軸２４側へ外力が入力されたとしても、ボールねじ軸２４の位置を所定の位置に保持しておくことができる。上記構成は、特に位置保持が必要なアプリケーションに電動アクチュエータを適用する場合に好適である。
【００５４】
本実施形態では、ロック用モータ６４を駆動させることにより、ロック部材６０を後退させるようにしているが、反対に、ロック部材６０を前進させるために、ロック用モータ６４を駆動させてもよい。また、ロック用モータ６４を正逆回転させることで、ロック部材６０を前進させたり後退させたりすることも可能である。
【００５５】
電動アクチュエータ１には、ボールねじ軸２４に設けられた操作部６のストローク方向の位置を検出するための位置検出装置が搭載される。この位置検出装置は、ボールねじ軸２４に設けられるセンサターゲットとしての永久磁石７３（図１を参照）と、ブーツ３６を覆うブーツカバー３９に、永久磁石７３のストローク方向の位置を検出する非接触センサとしての磁気センサ７０が配設されている（図２及び図３を参照）。
【００５６】
ここで、磁気センサ７０は、モータケース１１と一体的に形成されたブーツカバー３９に設けられている。具体的には、図１０に示すように、モータケース１１のうち駆動用モータ１０が収容される部分（ケース本体１２）とブーツカバー３９との連結部近傍に、モータケース１１の外側に向けて開口したセンサケース７６が設けられている。そして、このセンサケース７６に、二個の磁気センサ７０を取り付けたセンサベース７１がボルト７２で締結固定されている（図３を参照）。これにより、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９を介して永久磁石７３と対向した状態となる。正確には、磁気センサ７０の検知面７０ａが、図１０に示す向きから見て、永久磁石７３と向かい合う状態となるように、磁気センサ７０がボールねじ軸２４の半径方向外側に配設されている。本実施形態では、モータケース１１のケース本体１２とブーツカバー３９がともに円筒状をなし、互いに外周面同士を当接させた状態で連結されている（図３を参照）。センサケース７６はこれらケース本体１２とブーツカバー３９との連結部近傍に設けられているため、言い換えるとブーツカバー３９とモータケース１１の外周面が内側に後退している箇所（後退部）にセンサケース７６が設けられているため、モータケース１１の外側に向けたセンサケース７６の突出度合いが極力抑えられた状態となっている。この場合、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９とセンサケース７６、及びセンサベース７１とで覆われた状態となる。また、この場合、ブーツ３６の内側には可動部としてのボールねじ軸２４が配設されていることから、ブーツカバー３９は、可動部の少なくとも長手方向の一部を覆う軸カバーとしても機能する。
【００５７】
また、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９の軸方向（ストローク方向）中間位置に配設されている（図１１を参照）。この際、永久磁石７３との位置関係でいえば、ボールねじ軸２４に取り付けられる永久磁石７３のストローク範囲内（図１１及び図１５を参照）に磁気センサ７０を配設するのがよい。
【００５８】
磁気センサ７０としては、任意のタイプが使用でき、その中でもホールＩＣ、リニアホールＩＣなどホール効果を利用して磁場の向き及び大きさを検出可能なタイプの磁気センサが好適に使用可能である。もちろん、本発明に係る位置検出装置のストロークセンサは磁気センサ７０には限られない。磁気以外の検出媒体を利用してセンサターゲットの位置を非接触に検出可能な限りにおいて公知のセンサが適用可能である。
【００５９】
また、磁気センサ７０の周囲を覆うセンサベース７１（特にセンサベース７１のうち磁気センサ７０と接するベースプレート７１a）、センサケース７６、及びブーツカバー３９は何れも非磁性材料で形成されるのがよく、例えば樹脂で形成される。
【００６０】
一方、センサターゲットとなる永久磁石７３は、可動部としてのボールねじ軸２４に配設されている。詳細には、図１に示すように、ボールねじ軸２４のうち操作部６と螺旋状溝２４ａとの間に永久磁石７３が配設されている。
【００６１】
また、磁気センサ７０との位置関係でみると、図１１に示すように、永久磁石７３は、ボールねじ軸２４の外周面のうちブーツ３６で覆われた部分に配設されている。これにより磁気センサ７０と永久磁石７３との間には常にブーツ３６が存在した状態になっている。もちろん、本発明に係る非接触センサ（磁気センサ７０）とセンサターゲット（永久磁石７３）との配置態様はこれには限られない。可能であればボールねじ軸２４のうちブーツ３６の取付け部位よりも操作部６に近い側にセンサターゲットを配置してもよい。
【００６２】
図１２は、軸方向所定位置に永久磁石７３を含むセンサターゲットが取り付けられた状態のボールねじ軸２４（ボールねじ軸ユニット）の斜視図を示している。また、図１３は、ボールねじ軸２４単体の斜視図を示している。これらの図に示すように、ボールねじ軸２４の軸方向所定位置には切欠き部２４１が形成されており、この切欠き部２４１にセンサターゲットが取り付けられている。切欠き部２４１の形状は、取り付け対象となる磁石ホルダ７４の形状に応じて適宜設定される。本図示例では、ボールねじ軸２４の中心から半径方向にずれた位置を通る仮想平面でボールねじ軸２４を切断して得られる平坦面２４１ａと、平坦面２４１ａの軸方向両側に位置して平坦面２４１ａからボールねじ軸２４の半径方向に立ち上がった形状をなしている一対の軸方向端面２４１ｂ，２４１ｂとで切欠き部２４１が構成されている。
【００６３】
図１４は、永久磁石７３を含むセンサターゲットの（ａ）斜視図と（ｂ）正面図をそれぞれ示している。これらの図に示すように、センサターゲットは、永久磁石７３と、永久磁石７３を保持する磁石ホルダ７４とを備える。磁石ホルダ７４には、ボールねじ軸２４の外周面、本実施形態であれば切欠き部２４１に嵌合可能な一対又は複数対（図示例では四対）の嵌合爪７４１が設けられている。また、嵌合爪７４１の突出側と反対の側に、永久磁石７３を嵌合可能な嵌合凹部７４２が設けられている。
【００６４】
嵌合爪７４１は取り付け対象となるボールねじ軸２４の外周面に倣った形状をなしており（図１０及び図１４を参照）、例えば切欠き部２４１の側から磁石ホルダ７４を押し込むことで、各対の嵌合爪７４１が互いに離間する向きに変形（弾性変形）し、切欠き部２４１の平坦面２４１ａに当接した状態で、元の位置に復元するようになっている。
【００６５】
嵌合凹部７４２は、一対の側壁部７４３と、一対の側壁部７４３と一体に形成される第一の挟持部７４４と、一対の側壁部７４３及び第一の挟持部７４４と別体に形成されて第一の挟持部７４４との間に永久磁石７３を挟持可能な第二の挟持部７４５とで構成されている。この場合、嵌合凹部７４２を囲む略矩形状の四方のうち軸方向一方の側のみが開口しており、この開口部７４６（図１４（ａ）を参照）の側から永久磁石７３と第二の挟持部７４５を嵌合凹部７４２に向けて挿入可能としている。
【００６６】
また、一対の側壁部７４３は、その先端側に向かうにつれて互いに近づく形状をなしている（図１４（ｂ）を参照）。これにより、嵌合凹部７４２に嵌合された永久磁石７３の半径方向外側への移動を規制している。
【００６７】
上記構成の磁石ホルダ７４の材質は、一対又は複数対の嵌合爪７４１の弾性変形を伴うボールねじ軸２４への嵌合が可能な限りにおいて基本的に任意であるが、例えば永久磁石７３がその周囲に形成する磁場に及ぼす影響を考慮した場合、非磁性材料で形成するのがよく、嵌合爪７４１の弾性変形性を併せて考慮した場合、樹脂製とするのがよい。
【００６８】
また、永久磁石７３は、その両端面７３ａ，７３ｂに直交する向きを着磁方向としている。すなわち、一方の端面７３ａがＮ極、他方の端面７３ｂがＳ極となるように着磁された状態にある。これにより、ボールねじ軸２４に取り付けられた状態における永久磁石７３の着磁方向が、ボールねじ軸２４の直線運動方向に一致している（図１１を参照）。
【００６９】
以上のように構成された位置検出装置において、ボールねじ軸２４が進退すると、磁気センサ７０に対する永久磁石７３の位置が変化し（図１１及び図１５を参照）、これに伴って磁気センサ７０の配設箇所における磁場も変化する。よって、この磁場（例えば磁束密度の向き及び強さ）の変化を磁気センサ７０によって検出することで、永久磁石７３のストローク方向位置ひいてはボールねじ軸２４の一端側に設けられた操作部６のストローク方向位置を取得することができる。
【００７０】
続いて、図１６に基づき、磁気センサ７０を用いたフィードバック制御について説明する。
【００７１】
図１６に示すように、目標値が制御装置８０に送られると、制御装置８０のコントローラ８１から駆動用モータ１０に制御信号が送られる。なお、この目標値は、例えば、車両上位のＥＣＵに操作量が入力された際に、その操作量に基づいてＥＣＵが演算したストローク値である。
【００７２】
制御信号を受け取った駆動用モータ１０は回転駆動を開始し、この駆動力が上記遊星歯車減速機構１８、ドライブギヤ３０、ドリブンギヤ３１、ボールねじナット２３を介してボールねじ軸２４に伝達される。その結果、ボールねじ軸２４が駆動用モータ１０の出力軸１０ａと平行な向きに前進（又は後退）する。これにより、ボールねじ軸２４の先端部側（アクチュエータヘッド側）に配置される操作対象が操作される。
【００７３】
このとき、磁気センサ７０によってボールねじ軸２４のストローク値（軸方向位置）が検出される。磁気センサ７０によって検知された検出値は制御装置８０の比較部８２に送られ、検出値と上記目標値との差分が算出される。そして、検出値が目標値と一致するようになるまで、駆動用モータ１０を駆動させる。このように、磁気センサ７０によって検出されたストローク値がフィードバックされてボールねじ軸２４の位置が制御されることで、本実施形態の電動アクチュエータ１を、例えば、シフトバイワイヤに適用した場合、シフト位置を確実にコントロールすることができる。
【００７４】
本実施形態の電動アクチュエータ１の構成および動作については以上の通りである。以下、本実施形態の電動アクチュエータ１に関して、本発明の作用効果を説明する。
【００７５】
上述のように、本実施形態の電動アクチュエータ１は、アクチュエータヘッドとしての操作部６と駆動用モータ１０をボールねじ軸２４の長手方向で同じ側に配置し、これにより磁気センサ７０をモータケース１１に配設可能としてなる（図１を参照）。この構成によれば、磁気センサ７０を取り付けるための専用のケースを既存のケース（モータケース１１や伝達ギヤケース２９）と別個に製作せずに済む。よって、ケースの数を増やすことなくボールねじ軸２４の位置検出が可能な構成をとることができる。また、位置検出装置を、ボールねじ軸２４に配設したセンサターゲットと、センサターゲットの直線運動方向の位置を非接触に検出する磁気センサ７０とで構成したので、従来に比べてボールねじ軸２４の位置をより直接的に検出することができ、これにより位置検出精度の向上が可能となる。また、このように永久磁石７３及び磁石ホルダ７４とで構成されるセンサターゲットと磁気センサ７０で位置検出装置を構成することで、位置検出に直接関係する部品の数を減らして位置検出装置のコンパクト化を図ることができる。よって、電動アクチュエータ１の小型化ひいてはシリーズ化にとって好適である。もちろん部品点数の削減化は一般的に低コスト化につながるため、コスト面においても好ましい。なお、電動アクチュエータ１のシリーズ化に伴う多品種展開の具体例としては、二輪車を含む自動車用の電動パーキングブレーキ機構や、電動油圧ブレーキ機構、電動シフト切替機構、電動パワーステアリングのほか、２ＷＤ／４ＷＤ電動切替機構、船外機用（船舶推進機用）の電動シフト切替機構などを例示することができる。
【００７６】
なお、減速機構部９とロック機構部７が必要ない場合は、図１７に示すように、減速機構部９とロック機構部７とを有しない電動アクチュエータ１を構成することができる。図１７に示す電動アクチュエータ１は、図１に示す電動アクチュエータ１と比べて、減速機構部９をなくして、モータ部８と駆動力伝達部４を直接連結し、軸ケース５０を、ロック機構部７を取り付けるホルダ部６６のないものに取り換えている。この場合、駆動用モータ１０の出力軸１０ａは、減速機構部９がないので、ギヤボス３２に圧入嵌合し、ギヤボス３２を支持する伝達ギヤケース２９側の転がり軸受３３は省略している。また、駆動用モータ１０の出力軸１０ａが取り付けられるモータアダプタ１９は、嵌合する相手部材が減速ギヤケース１７から伝達ギヤケース２９に変わるので、相手部材の嵌合形状に合った別の形状のものに換えている。その他の構成は、図１に示す実施形態と同様である。なお、図１７に示す実施形態の電動アクチュエータ１は、駆動用モータ１０からの駆動力が減速機構部９を介さずに駆動力伝達部４に直接伝達される以外、図１に示す実施形態と基本的に同様に制御されて動作するので、制御および動作に関する説明は省略する。
【００７７】
このように、図１に示す電動アクチュエータ１と図１７に示す電動アクチュエータ１とでは、一部の部品を取り換えるだけで、その他の多くの部品を共通の部品で構成することができ、低コストでシリーズ化を実現できる。特に、上述の実施形態では、モータケース１１の開口部１２ｄ側の内径と、減速ギヤケース１７のモータケース１１側の外径、および伝達ギヤケース２９の減速ギヤケース１７側の外径は、いずれも同じ径に形成されており、モータケース１１は減速ギヤケース１７と伝達ギヤケース２９のいずれに対しても嵌合可能に構成されている。このため、減速機構部９を省略しても、モータアダプタ１９を別のものに換えるだけで、モータ部８と駆動力伝達部４を互いに連結することができる。また、ブーツカバー３９が一体的に形成されたモータケース１１と伝達ギヤケース２９を変更することなくそのまま使用できるので、位置検出装置を構成する磁気センサ７０及びセンサベース７１についても先の実施形態と同様、全く同じものを使用することができる。これにより位置検出装置を搭載する場合においても、電動アクチュエータ１のシリーズ化を低コストに達成することが可能となる。
【００７８】
また、以上の実施形態では、減速機構部９とロック機構部７の両方とも有するものと両方とも有しないものを例に説明したが、いずれか一方を有する電動アクチュエータを構成することも可能である。また、上述の例では、ロック機構部７の有無に応じて軸ケース５０を変更しているが、軸ケース５０を、ボールねじ軸２４の長さに応じて異なる形状又はサイズのものに変更してもよい。
【００７９】
運動変換機構部３は、ボールねじ２２に限らず、滑りねじ装置であってもよい。ただし、回転トルクを低減して、駆動用モータ１０を小型化する観点からすれば、ボールねじ２２の方が好適である。また、上述の実施形態では、運動変換機構部３を支持する支持軸受４０として、複列のアンギュラ玉軸受を使用した構成を例示したが、これに限らず、一対の単列のアンギュラ玉軸受を組み合せて使用してもよい。また、支持軸受４０には、アンギュラ玉軸受に限らず、例えば、深溝玉軸受等を用いた他の複列軸受を適用することも可能である。
【００８０】
減速機構部９は、遊星歯車減速機構１８以外の減速機構でもよい。また、ドライブギヤ３０とドリブンギヤ３１とのギヤ比を変えることで、駆動力伝達部４が減速機構としての機能を兼ねるようにしてもよい。
【００８１】
また、本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
【符号の説明】
【００８２】
１      電動アクチュエータ
２      駆動部
３      運動変換機構部
４      駆動力伝達部
５      運動変換機構支持部
６      操作部（アクチュエータヘッド）
７      ロック機構部
８      モータ部
９      減速機構部
１０    駆動用モータ
１０ａ  出力軸
１１    モータケース
１６    減速ギヤ機構
１７    減速ギヤケース
２４    ボールねじ軸（可動部）
２８    伝達ギヤ機構
２９    伝達ギヤケース
３９    ブーツカバー（軸カバー）
４０    支持軸受
４１    軸受ケース
５０    軸ケース
７０    磁気センサ（非接触センサ）
７３    永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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