(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
最大で４００μｍの厚さを有している薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って、前記薄板ガラスシート（１）を分断するための、とりわけ前記薄板ガラスシート（１）の縁領域を、特にビード（１０、１１）を切り離すための方法において、
薄板ガラスシート（１）を、該薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って、搬送装置（５）を用いて浮揚支持部（３）の上を通過するように案内し、
前記浮揚支持部（３）の領域において、レーザビーム（７）を前記薄板ガラスシート（１）に向け、該レーザビーム（７）が前記薄板ガラスシート（１）を、該レーザビーム（７）の入射点（７０）において加熱し、かつ該レーザビーム（７）のもとで前記薄板ガラスシート（１）を長手方向（１００）において前方に向かって移動させ、それによって、前記レーザビーム（７）が、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に延びる経路（７１）を描き、
冷却ビーム発生器（１４）を用いて、冷却流体を、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路（７１）に吹き付け、それによって、前記レーザビーム（７）によって加熱された領域を再び冷却して、機械的な応力を形成し、該機械的な応力によって、前記薄板ガラスシート（１）を長手方向（１００）において、前記レーザビーム（７）の前記経路（７１）に沿って切断する応力亀裂（１５）の進展をもたらし、
前記冷却流体は、少なくとも０．５の飽和度で液体の蒸気を含んでいるか、または液滴を含んでおり、
前記液滴は、前記薄板ガラスシート（１）の表面において、同一の表面上での水の接触角よりも小さい接触角を成し、
前記入射点（７０）は、前記経路（７１）を中心に、２つの入射領域（２１１、２１２）が相互に斜めに方向付けられることにより、前記２つの入射領域（２１１、２１２）間に凹部（２１４）が存在している作用フィールド（２０４）を形成する、
方法。
【請求項２】
前記冷却ビーム発生器（１４）は、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路に、冷却流体としてエアロゾルを吹き付けるエアロゾル発生器（１４１）として形成されている、
請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記冷却ビーム発生器（１４）は、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路に、冷却流体として液滴を吐出するインクジェットプリントヘッド（１４２）として形成されている、
請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記レーザビーム（７）の入射前に、スクライビング装置（９）を用いて前記薄板ガラスシート（１）の始端部に、前記レーザビーム（７）の前記入射点（７０）を通るように延びる初期欠陥を導入し、それによって前記応力亀裂を惹起する、
請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
前記応力亀裂の惹起後の亀裂進展中に、前記スクライビング装置（９）を、前記薄板ガラスシート（１）の表面から離し、それによって損傷の形成を終了する、
請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記スクライビング装置（９）は、スクライビングホイール（９１）を含んでおり、
前記初期欠陥の導入時の前記スクライビングホイール（９１）の押付力は、４Ｎ未満、好適には１．５Ｎ未満である、
請求項４または５記載の方法。
【請求項７】
ビード（１０、１１）を、少なくとも１０ｍ、特に１０ｍから１，０００ｍまでの範囲の長さを有している薄板ガラスシート（１）から、該薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）において切り離す、
請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
前記浮揚支持部（３）に、０．１ｂａｒから４ｂａｒまでの範囲、とりわけ０．１ｂａｒから２ｂａｒまでの範囲、特に好適には０．２ｂａｒから１．０ｂａｒまでの範囲の圧力を有している流体を供給する、
請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記搬送装置（５）を用いて、少なくとも前記浮揚支持部（３）の領域において長手方向（１００）に作用する引張応力を前記薄板ガラスシート（１）に加える、
請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記浮揚支持部（３）の領域において、前記薄板ガラスシート（１）に、０．５ＭＰａから１０ＭＰａまでの範囲の、とりわけ０．８ＭＰａから３．５ＭＰａまでの範囲の、長手方向の引張応力を加える、
請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
前記薄板ガラスシート（１）を、ローラ装置（１８０）の間を通過させながら、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って前方へ送り出す、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
前記薄板ガラスシート（１）を、前記浮揚支持部（３）の両側のローラ装置（１８０）の間を通過させながら、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って前方へ送り出し、特に、前記浮揚支持部（３）の領域において長手方向（１００）に作用する引張応力を前記薄板ガラスシート（１）に加えるように前方へ送り出す、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
前記薄板ガラスシート（１）の上面（１０１）に、前記浮揚支持部（３）の領域においてガス流を吹き付け、特に前記薄板ガラスシート（１）にわたり伝播する横波を緩和させる、
請求項１から１２までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
−界面活性剤を含む水の液滴、および／または
−１価または多価のアルコール、とりわけエチレングリコールを含有する液滴、
を含んでいる冷却流体を吹き付ける、
請求項１から１３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１５】
ガラス表面において４０°よりも小さい、特に好適には２０°よりも小さい接触角を有する液滴を含んでいる冷却流体を吐出する、
請求項１から１４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１６】
前記浮揚支持部（３）の領域において、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）において上面（１０１）に作用する機械的な応力と、下面（１０２）に作用する機械的な応力と、の間に０．２５ＭＰａ未満の差が存在するように前記薄板ガラスシート（１）を案内する、
請求項１から１５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１７】
前記薄板ガラスシート（１）に引張力を長手方向（１００）において加え、
前記浮揚支持部（３）の領域において、比Δσ／σは、０．５未満、とりわけ０．１２５未満であり、
Δσは、長手方向において上面（１０１）に作用する引張応力と、下面（１０２）に作用する引張応力と、の差を表し、σは、長手方向（１００）に加えられる引張力によって形成される引張応力を表す、
請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記薄板ガラスシート（１）の湾曲によって、前記レーザビーム（７）の入射点（７０）において、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に対して垂直な方向に引張応力を加え、それによって、線形の熱膨張率αに対する引張応力σの比σ／αは、少なくとも０．０７×１０-6ＭＰａ×Ｋ-1となる、
請求項１から１７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１９】
前記レーザビーム（７）を用いた加熱および前記冷却流体を用いた冷却によって達成される温度差ΔＴは、少なくとも値ΔΤ＝（７・ＫIc）／（５・ａ1/2・ＣＴＥ・Ｅ）を取り、
パラメータＫIcは、破壊靱性を表し、パラメータａは、クリティカルな亀裂長さを表し、係数ＣＴＥは、線形の熱膨張率を表し、Ｅは、ガラスの弾性率を表す、
請求項１から１８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２０】
前記レーザビーム（７）のビームプロフィール（７３）が長く延びる形状を有するように、前記レーザビーム（７）を成形し、
前記ビームプロフィール（７３）の長手方向（７４）が送り方向にあるように、前記レーザビーム（７）を前記薄板ガラスシート（１）の表面に向け、
前記ビームプロフィールの前記長く延びる形状は、非対称的であり、それによって、前記薄板ガラスシート（１）が最初に通過する前端部（７５）における強度の上昇は、反対側に位置する後端部（７６）における強度の低下よりも急峻となるように、前記ビームプロフィール（７３）の前記端部（７５、７６）における強度経過は異なっている、
請求項１から１９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２１】
請求項１から２０までのいずれか１項記載の方法を実行するように形成されており、かつ最大で４００μｍの厚さを有している薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って、前記薄板ガラスシート（１）を分断するための、特に前記薄板ガラスシート（１）の縁領域を、特にビード（１０、１１）を切り離すための装置（２）において、
前記装置（２）は、浮揚支持部（３）と、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って、前記浮揚支持部（３）の上を通過するように前記薄板ガラスシート（１）を案内する搬送装置（５）と、を含んでおり、
前記装置（２）は、さらにレーザ（７２）を含んでおり、該レーザ（７２）によって、前記浮揚支持部（３）の領域において、レーザビーム（７）が前記薄板ガラスシート（１）に向けられ、かつ前記薄板ガラスシート（１）を、前記レーザビーム（７）の入射点（７０）において加熱し、前記薄板ガラスシート（１）が前記搬送装置（５）を用いて、前記レーザビーム（７）のもとで長手方向（１００）において前方に向かって移動されると、前記レーザビーム（７）が、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に延びる経路（７１）を描き、
前記装置（２）は、さらに冷却ビーム発生器（１４）を有しており、該冷却ビーム発生器（１４）によって、冷却流体が、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路（７１）に吹き付けられ、それによって、前記レーザビーム（７）によって加熱された領域が再び冷却され、かつ機械的な応力が形成され、該機械的な応力によって、前記薄板ガラスシート（１）を長手方向（１００）において、前記レーザビーム（７）の前記経路（７１）に沿って切断する応力亀裂（１５）の進展がもたらされ、
前記装置（２）は、さらに少なくとも１つの液体リザーバを含んでおり、該液体リザーバは、少なくとも０．５の飽和度で液体の蒸気を含んでいるか、または液滴を含んでいる冷却流体を形成する液体を含んでおり、
前記液滴は、前記薄板ガラスシート（１）の表面において、同一の表面上での水の接触角よりも小さい接触角を成す、
装置。
【請求項２２】
前記冷却ビーム発生器（１４）は、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路に、冷却流体としてエアロゾルを吹き付けるエアロゾル発生器（１４１）として形成されている、
請求項２１記載の装置。
【請求項２３】
前記冷却ビーム発生器（１４）は、前記レーザビーム（７）によって加熱された前記経路に、冷却流体として液滴を吹き付けるインクジェットプリントヘッド（１４２）として形成されている、
請求項２１記載の装置。
【請求項２４】
前記浮揚支持部（３）は、平坦な表面（３０）を有しているか、または前記薄板ガラスシート（１）の前記長手方向（１００）に沿った成分を有している湾曲軸線を有している表面（３０）を有している、
請求項２１から２３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項２５】
前記搬送装置（５）は、ローラ装置（１８０）を含んでおり、
前記ローラ装置（１８０）は、前記薄板ガラスシート（１）を前方へ送り出すための少なくとも１つの搬送ローラ（１８２）と、該搬送ローラ（１８２）に対向する位置に配置されておりかつ逆方向に回転している、前記薄板ガラスシート（１）を前記搬送ローラ（１８２）に押し付けるための少なくとも１つの対向ローラ（１８４）と、を含んでおり、これによって、前記薄板ガラスシート（１）が、前記搬送ローラ（１８２）と前記対向ローラ（１８４）との間を通過しながら、前記薄板ガラスシート（１）の長手方向（１００）に沿って前方へ送り出される、
請求項２１から２４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項２６】
前記搬送装置（５）は、前記浮揚支持部（３）の両側にローラ装置（１８０）を含んでおり、これによって特に、前記浮揚支持部（３）の領域において長手方向（１００）に作用する引張応力が前記薄板ガラスシート（１）に加えられる、
請求項２１から２５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項２７】
前記浮揚支持部（３）に対向する位置に送風装置（１９０）を含んでおり、該送風装置（１９０）は、ガス流を前記薄板ガラスシート（１）の上面（１０１）に吹き付け、これによって特に、前記薄板ガラスシート（１）にわたり伝播する横波が緩和される、
請求項２１から２６までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、ガラスの分割に関する。特に本発明は、ガラスシートのビードの切り離しに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスを分割するための一般的な方法は、スクライブによる割断である。この場合、機械的に、典型的にはスクライビングホイールを用いて、線状の損傷ゾーンがガラスに形成される。機械的な応力を加えることによって、ガラスをその損傷ゾーンに沿って容易に分割することができる。もっともこの分割の欠点は、そのようにして得られたガラス部材のガラスエッジが、事前に形成された損傷ゾーンの損傷を依然として有している可能性があるということである。まさにそれらのエッジは、引張応力によるガラスの機械的な酷使に関して特にクリティカルなので、スクライブによる割断でのガラスの分割は、特に曲げ負荷時に強度を顕著に低下させる可能性がある。
【０００３】
平板ガラス、特に２００μｍ未満の厚さの薄板ガラスおよび超薄板ガラスは、今日では多方面において、長いシートの形態で製造されている。製造に起因して、例えばプリフォームからのガラスシートのリドローの際に、または溶融物の引き延ばしの際に、通常の場合、ガラスシートの縁には、厚くなった縁領域、いわゆるビードが形成される。ガラスシートの製造後に、特に薄板ガラスの場合にはロールへの巻き付けを容易にするために、または一般的にはさらなる処理を容易にするために、それらのビードが切り離されることは好適である。
【０００４】
これによって、例えばより厚いビードに起因する機械的な応力の発生のような問題を回避することができる。機械的な応力によって、薄板ガラスの捻れまたは反り（いわゆる「撓み」）ももたらされる。
【０００５】
米国特許出願公開第２０１３／０１２６５７６号明細書（ＵＳ２０１３／０１２６５７６Ａ１）からは、薄いガラスシートのエッジを連続的に切り離すための装置と方法が公知である。この装置においては、スクライビング装置によって、ガラスに初期損傷が導入される。スクライビング装置は、研磨媒体を備えているローラとして構成されており、このローラによって、ガラスシートの長手方向を横断する方向において損傷が導入される。ガラスシートがその長手方向に沿って、湾曲した浮揚支持部の上方を通過して案内される間に、ガラスシートがレーザビームを用いて加熱され、また流体によって冷却され、その結果、ガラスシート内では熱応力が誘起される。これによって、ガラスシートは初期損傷から出発して、その長手方向に沿って割れる。ここでの欠点は、特に、初期損傷が部分的にガラスシートの優れた品質領域にも到達し、その結果、切断された薄板ガラスシートの縁に損傷が残存する可能性があるということである。
【０００６】
国際公開第２０１１／０２６０７４号（ＷＯ２０１１／０２６０７４Ａ１）には、溝をガラス基板に導入するための方法が記載されている。この方法においては、レーザビームが損傷個所に向けられ、ガラス表面にわたりさらに移動される。さらに流体ビームが直接的に、ガラス表面のレーザスポットに向けられ、その結果、レーザビームによって生じた温度がガラス基板の全厚にわたって平衡化される前に、ガラスが冷却される。これによって、熱応力がガラス基板の厚みの一部に制限され、また生じた溝はガラス基板の厚みの一部にのみ延在する。
【０００７】
米国特許出願公開第２０１３／０１２６５７６号明細書（ＵＳ２０１３／０１２６５７６Ａ１）から公知の装置および方法においても、またＷＯ２０１１／０２６０７４から公知の方法においても、ガラスを分断するために熱応力が形成される個所が、ガラス表面における流体の入射個所によって決定されている。それら２つの刊行物に記載の装置および方法の欠点は、流体の前述の入射個所が、流体ビームが向けられているガラス表面の個所とは異なる可能性があるということである。その原因は、流体ビームの入射後に、ガラス表面における流体の分布を場合によっては制御できないことにある。もっとも、流体の入射個所を正確に制御することは、薄板ガラスシートの加工にとって、特に均一なエッジ品質および強度を保証するために有利である。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
したがって本発明の課題は、ガラスシートのビードを切り離すことによってエッジ品質および強度が改善されている、４００μｍ未満の、有利には２００μｍ未満の厚さを有している薄板ガラスを、特に薄板ガラスシートを処理することである。この課題は、独立請求項に記載されている対象によって解決される。本発明の有利な発展形態は、各従属請求項に記載されている。
【０００９】
以下では、添付の図面も参照しながら、本発明をより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ガラスを連続的に分断するための装置の概略図を示す。
【図２】湾曲した浮揚支持部３と、その上の案内される薄板ガラスシートの斜視図を示す。
【図３】薄板ガラスシートを長手方向から見た、平坦な表面を備えており、かつその表面に薄板ガラスシートが置かれている、浮揚支持部を示す。
【図４】薄板ガラスシートの表面上の液滴を示す。
【図５】エアロゾル発生器を示す。
【図６】インクジェットプリントヘッドを示す。
【図７】ガラスを連続的に分断するための装置の１つの別の実施の形態の概略図を示す。
【図８】ガラスを連続的に分断するための装置の１つの別の実施の形態の概略図を示す。
【図９】ガラスを連続的に分断するための装置の１つの別の実施の形態の側面図を示す。
【図１０】非対称的なビームプロフィールを示す。
【図１１】作用フィールドの好適な種々の形状を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１には、薄板ガラスシート１を、その長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための装置２の一例が示されている。装置２を用いて実行可能である、薄板ガラスシート１をその長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための方法は、以下のことを基礎としている。すなわち、最大で４００μｍの厚さを有している薄板ガラスシート１が、その長手方向１００に沿って、搬送装置５を用いて浮揚支持部３の上を通過するように案内され、浮揚支持部３の領域においては、レーザビーム７が薄板ガラスシート１に向けられ、このレーザビーム７が薄板ガラスシート１を、そのレーザビーム７の入射点７０において加熱し、またこのレーザビーム７のもとでは薄板ガラスシート１が長手方向１００において前方に向かって移動され、その結果、レーザビーム７は、薄板ガラスシート１の長手方向１００に延びる経路７１を描く。冷却ビーム発生器１４を用いて、冷却流体が、レーザビーム７によって加熱された経路７１に吹き付けられ、その結果、レーザビーム７によって加熱された領域が再び冷却され、かつ機械的な応力が形成され、この機械的な応力は、ガラスシート１を長手方向１００において、レーザビーム７の経路７１に沿って切断する応力亀裂１５の進展をもたらす。
【００１２】
冷却流体が、少なくとも０．５の飽和度で液体の蒸気を含んでいるか、または液滴を含んでいることが予定されており、液滴は、薄板ガラスシート１の表面において、特に同一の表面上での水の接触角よりも小さい接触角を成す。冷却流体として、例えば少なくとも５０％の相対湿度を有している空気、エアロゾルまたは個別化された液滴を使用することができる。図５に示されているように、エアロゾルが冷却流体として使用される場合には、冷却ビーム発生器１４は、エアロゾル発生器１４１として形成されている。図６に示されているように、冷却ビーム発生器１４を、個別化された液滴を吐出するノズル１４３を備えたインクジェットプリントヘッド１４２として形成することもできる。冷却流体は、冷却ビーム発生器１４を用いて、冷却ビーム１６として、事前にレーザビーム７によって加熱された各分断個所に吹き付けられ、冷却ビーム１６は、少なくとも０．５の飽和度で液体の蒸気を含んでいるか、または液滴を含んでいる。冷却流体が液体の蒸気を、すなわち気化した液体の気相を含んでいる場合には、冷却ビームは、特に少なくとも５０％の相対湿度を有している空気ビームであってよい。エアロゾルが使用される場合には、冷却ビーム１６は、エアロゾルビーム１６１であり、また個別化された液滴が使用される場合には、冷却ビームは、液滴ビーム１６２である。
【００１３】
蒸気または液滴を含んでいる冷却流体を予定することができる。何故ならば、冷却流体の気相ないし液相によって高い冷却能力を達成することができ、この高い冷却能力はやはり高い熱応力を生じさせることができ、したがってガラスにおいて大きい応力差を生じさせることができる。
【００１４】
図４に示されているように、必要に応じて冷却流体に含まれている液滴は、薄板ガラス表面１０３と接触すると直ちに、その薄板ガラス表面１０３を湿潤させる。必要に応じて冷却流体に含まれている蒸気も、その気相が接触時に液化すると、薄板ガラス表面１０３を湿潤させる場合もある。ここで、濡れ角とも称される接触角８３とは、一般的な定義によれば、薄板ガラス表面１０３上に存在する液滴８の接触面８１と、液滴表面における正接面８２と、の間において三重点によって生じる角度である。接触角８３のこの定義は、特に、接触角８３が一般的には関与する物質の表面エネルギに応じて０°から１８０°までの値を取ることができ、接触角が小さくなればなるほど、滴による薄板ガラス表面の湿潤が一層強くなることを意味している。相応に、接触角が大きくなればなるほど、湿潤は一層弱くなる。すなわち、薄板ガラスシート１の表面１０３と共に、同一の表面上での水の接触角よりも小さい接触角８３を形成する、冷却流体に含まれている液滴の特性とは、特に液滴が薄板ガラス表面１０３を強く湿潤させることを意味している。
【００１５】
薄板ガラス表面１０３における液滴の高い湿潤性の利点は、冷却ビーム１６の入射後に、薄板ガラス表面１０３における冷却流体の分散を制御できることである。特に、液滴の高い湿潤性によって、薄板ガラス表面１０３における冷却ビーム１６の入射個所が、冷却流体自体の入射個所と可能な限り正確に一致することが達成される。したがって、液滴は高い湿潤によって入射直後にガラス表面に付着することから、冷却流体自体の入射個所を、冷却ビーム１６の入射個所によって正確に規定することができる。とりわけ冷却ビーム１６に基づいて、冷却流体の入射個所を正確に規定できるということは有利である。何故ならば、まさにその個所において熱応力が形成され、その熱応力によってガラスを分断させることができるからである。さらに、液滴の高い湿潤性と、その結果生じる、薄板ガラス表面１０３との大きい接触面８１と、によって、冷却流体の高い冷却能力が達成される。
【００１６】
本発明の１つの好適な実施の形態によれば、冷却流体に含まれている液体の蒸気として、水蒸気が予定されている。冷却流体が空気である場合、冷却流体の飽和度は、相対湿度を表している。その場合、相対湿度は、少なくとも７０％、特に有利には少なくとも８０％、さらに有利には少なくとも９０％である。
【００１７】
湿り空気として形成された冷却流体を、例えば、圧縮空気源から乾燥した空気を水中に放出させ、その空気を水中から上昇させることによって形成することができる。そのようにして湿らされた空気を、冷却ビーム発生器１４に供給することができる。
【００１８】
冷却ビーム発生器１４を用いて、事前にレーザビーム７によって加熱された分断個所に吹き付けられる体積流量、すなわち単位時間あたりの冷却流体量は、一方では、過度に少なく選定されるべきではない。何故ならば、体積流量が過度に少なく選定された場合には、分断プロセスの開始が円滑に行かなくなるか、分断プロセスの経過が不安定になるか、または分断プロセスが中断される虞が生じるからである。他方では、体積流量は、過度に多く選定されるべきではない。何故ならば、体積流量が過度に多く選定された場合には、熱的または機械的に惹起される波がガラスに形成されるからである。体積流量を、特に薄板ガラスシート１のガラス厚さに依存させることができる。驚くべきことに、ガラスが厚くなるほど、単位時間あたりのより少ない冷却空気量を達成できることが分かった。
【００１９】
冷却ビームの流量を、すなわち冷却流体の体積流量を、ガラスの厚さに応じて選定することが好適であると分かった。特に、冷却ビームの流量を、より薄いガラスではより多く選定すると好適である。すなわち、プロセス中にガラスがより厚いものからより薄いものに変わると、冷却ビームの流量が増大され、またそれとは逆に、より薄いものからより厚いものに変わると、冷却ビームの流量が低減される。特に、流量をガラス厚さに比例させて調整することもできる。つまり、５０μｍのガラス厚さでは、１００μｍの厚さのガラスに特に適している流量の約２倍の多さの流量が好適であると分かった。一般的には、非常に少ない流量でも十分であり、１００μｍのガラス厚さでの最適な冷却ビームの流量は既にほぼ０である。しかしながら、冷却ビームの流量がある程度あることは、常に好適である。冷却ビームを全く用いない場合には、切断プロセスが不安定になる可能性があるか、または切断プロセスの開始が円滑に行かなくなる可能性があり、それによって亀裂がもはや進展しなくなってプロセスが中断する可能性もある。その一方で、流量が過度に多いと、熱的または機械的に惹起される波がガラスに形成される虞がある。
【００２０】
上記の実施例に限定されることなく、冷却ビームの流量、すなわち冷却流体の体積流量は、特に０．００１ｌ／ｈ（リットル毎時）から１．０ｌ／ｈまでの間であってよい。７５μｍから４００μｍまでの間のガラス厚さ、例えば１００μｍ（特に±１０μｍ）のガラス厚さに関して、０．００１ｌ／ｈから０．３／ｈまでの間の、とりわけ０．０５ｌ／ｈ（特に±０．０１ｌ／ｈ）の体積流量が非常に好適であると考えられる。５μｍから７５μｍまでの間のガラス厚さ、例えば５０μｍ（特に±１０μｍ）のガラス厚さに関して、０．０６ｌ／ｈから１．０ｌ／ｈまでの間の、とりわけ０．４ｌ／ｈ（特に±０．１ｌ／ｈ）の体積流量が非常に好適であると考えられる。
【００２１】
本発明の１つの実施の形態によれば、冷却流体の液滴として、界面活性剤を含む水滴が適している。界面活性剤は、水の表面張力を低下させ、かつ湿潤を高める。代替的または付加的な実施の形態によれば、液滴は、１価または多価のアルコールを含有することができる。アルコールも、一般的には、水よりも小さい表面張力を有している。１種または複数種のアルコールを、水に混合して使用することもできる。液滴の成分として、エチレングリコールも特に適している。エチレングリコールの表面張力は、水の表面張力よりも小さいだけでなく、エチレングリコールはさらに、より高い沸点も有している。
【００２２】
とりわけ、ガラス表面には冷却流体が吹き付けられ、その冷却流体の液滴は、ガラス表面において４０°よりも小さい、特に好適には２０°よりも小さい接触角度を有している。
【００２３】
小さい接触角の他に、さらに液相の高い沸点も好適である。これに関して、液滴の成分として、２価のアルコールとしてのエチレングリコールも特に適している。エチレングリコールを、任意の混合比で水と混合することができる。エチレングリコールの表面張力は、水の表面張力よりも小さいだけでなく、エチレングリコールはさらに、より高い沸点（１９７℃）も有している。沸点が高くなると、ライデンフロスト効果によって冷却能力が低下する温度点を、より高い温度にずらすことができる。
【００２４】
本発明の１つの発展形態においては、レーザビーム７の入射前に、スクライビング装置９を用いて薄板ガラスシート１の始端部に、レーザビーム７の入射点７０を通るように延びる損傷ないし初期欠陥が導入され、それによって応力亀裂が惹起される。
【００２５】
応力亀裂の惹起後の亀裂進展中に、とりわけスクライビング装置９が、薄板ガラスシート１の表面から離され、それによって損傷の形成が終了される。したがって、相応の装置２は、とりわけ応力亀裂の惹起後の亀裂進展中に、スクライビング装置９を薄板ガラスシート１の表面から離すための装置を有している。つまり、米国特許出願公開第２０１３／０１２６５７６号明細書（ＵＳ２０１３／０１２６５７６Ａ１）において予定されているものとは異なり、スクライビングはとりわけ最初にしか行われない。亀裂は惹起後に、レーザビーム７による加熱と、それに続く冷却流体による冷却と、によってもたらされる温度勾配だけによっても進展することが分かった。
【００２６】
スクライビング装置９として、好適にはスクライビングホイール９１、特に好適には構造化されたスクライビング面または押付面を備えたスクライビングホイールが使用される。ここで図１には、表層的な亀裂の形態の初期損傷が導入された後の薄板ガラスシートが示されている。したがって、ここではスクライビング小ホイール９１が引き上げられており、ガラス表面にはもはや接触していない。それに応じて、応力亀裂分断は、図示した時点では、亀裂進展だけに基づいて行われ、この場合、応力亀裂１５は、薄板ガラスシート１の移動方向に沿って進展し、また典型的には冷却流体の入射領域の範囲において生じ始める。切断ホイールが、ガラス表面と短時間接触され、それによってガラスシートに表層的な亀裂の形態の初期損傷が導入され、その一方で、更なる亀裂形成および亀裂進展が、レーザによる加熱と、それに続く冷却流体による冷却と、によって形成される温度勾配によって行われる。表層的な亀裂が規定通りに導入されることを保証するために、ガラスシートは、小ホイール側とは反対側の面において、対向支持部１２としてのローラ９３によって支持される。対向支持部１２として、その他の装置または手段も使用することができる。例えば、スクライビング装置を浮揚支持部３の上に配置することも可能である。この場合、浮揚支持部３は、対向支持部を形成する。スクライビングホイール９１の押付力は、とりわけ４Ｎ未満、特に好適には１．５Ｎ未満である。
【００２７】
本発明による方法は、非常に長い縁領域またはビードの切り離しに、したがって長いガラスシートの縁側の切断に特に適している。特に、本発明の発展形態においては、ガラスシート１が少なくとも１０ｍ、特に１０ｍから１，０００ｍまでの範囲の長さを有しており、縁領域が薄板ガラスシート１の長手方向１００において切り離される。
【００２８】
浮揚支持部３には、圧力源を用いて、例えばポンプ３３を用いて、圧縮された流体、とりわけ空気が供給される。圧縮された流体は、薄板ガラスシート１に対向する表面における開口部を介して流出するので、薄板ガラスシート１と浮揚支持部３の表面との間にガスクッションが形成され、このガスクッションに薄板ガラスシート１が担持および載置される。ポンプ３３の代わりに、例えば圧縮された流体を含んでいるリザーバも考えられる。さらに、リザーバおよび／またはポンプ３３および浮揚支持部３の絞り弁を介在させて、均一な出力圧力を提供することもできる。すなわち、薄板ガラスシート１は、切断プロセスの環境において、ガス浮揚によって浮揚した状態で搬送されるので、その結果、一方では周囲空気が熱絶縁体として機能し、他方では切断領域としてのレーザ焦点の全体のレイリー長を利用することができる。とりわけ、浮揚搬送の体積流量は、ガラス厚さおよびその厚さによりもたらされる重量に応じて、圧縮された流体の圧力を介して適合され、それによってシートの最適な位置が、レーザ７２の作業体積内で調整される。４００μｍ未満、とりわけ２００μｍ未満の、薄板ガラスシート１の好適なガラス厚さに関して、１つの実施の形態によれば、浮揚支持部に供給される流体の圧力は、０．１ｂａｒから４ｂａｒまでの範囲、とりわけ０．１ｂａｒから２ｂａｒまでの範囲、特に好適には０．２ｂａｒから１．０ｂａｒまでの範囲にある。
【００２９】
搬送装置５は、１つの実施の形態によれば、図１にも示されているように、１つまたは複数のコンベヤベルト５０、５１を含んでいる。この場合、本発明の１つの発展形態によれば、搬送装置５を用いて、少なくとも浮揚支持部３の領域において薄板ガラスシートの長手方向１００に作用する引張応力が薄板ガラスシート１に加えられる。つまり搬送プロセスの間は、ガラスシート１は、引張応力が加えられた状態で保持される。このことは、浮揚搬送時の局所的な歪みまたは高さ変動のような未定義の搬送状態を回避するために特に好適である。このために、レーザ切断プロセス前後の個々の搬送装置によって、とりわけユニット毎に増大する引張応力がシートに加えられる。
【００３０】
搬送装置５の搬送ユニットは、有利には、１つまたは複数のコンベヤベルトを含んでいる。図１の例においては、２つのコンベヤベルトが設けられており、コンベヤベルト５０は、搬送方向において浮揚支持部３の手前に配置されており、またコンベヤベルト５１は、搬送方向において浮揚支持部３の奥に配置されている。特に好適には、搬送方向において浮揚支持部３の手前に配置されているコンベヤベルト（つまり図１の例においてはコンベヤベルト５０）が、負圧吸引部５３を有しており、これによって薄板ガラスシートがコンベヤベルトに吸着されて固定される。これによって、引張力が先行するプロセスステップに、例えば溶融物またはプリフォームからの引き延ばしプロセス、またはロールからの薄板ガラスシートの繰り出しに場合によっては影響を及ぼすことなく、十分に高い引張力を加えることができる。
【００３１】
一般的に、図１の特別な実施例に限定されることなく、本発明による応力亀裂分断にとって、浮揚支持部３の領域において長手方向で薄板ガラスシート１に作用する引張応力が最大で１０ＭＰａである場合には好適である。さらに、薄板ガラスシート１を予定されている垂直方向の位置に良好に固定できるようにするために、少なくとも０．５ＭＰａの引張応力も好適である。長手方向１００に沿った０．８ＭＰａから３．５ＭＰａまでの範囲の引張応力が特に好適である。１つの実施例によれば、浮揚支持部３の領域において、ここでは特に冷却流体の入射領域において、２ＭＰａの引張応力が加えられる。
【００３２】
図１に示した実施の形態の代わりに、浮揚支持部は、平坦な表面３０、または薄板ガラスシート１の長手方向１００に沿った、とりわけ長手方向１００に平行な成分を有している湾曲軸線３１を有している表面３０を有することもできる。特に、図２に示したような、凸状に湾曲した表面が好適である。薄板ガラスシート１の長手方向１００に沿った湾曲軸線を有しているそのような浮揚支持部３が、図２の斜視図に示されている。平坦に形成されている平面、または長手方向に平行な湾曲軸線を備えており、かつ凸状に湾曲した平面を備えている浮揚支持部３によって、薄板ガラスシート１が湾曲し、したがってその湾曲部の湾曲軸線もまた薄板ガラスシートの長手方向１００に延びている。平坦な表面の場合には、薄板ガラスの凸状の湾曲が圧力フィールドの経過によってもたらされる。切り離されるべきビードを備えており、相互に対向しているエッジにおいては、ガスが漏れ出ることによって圧力が低くなっているので、その個所では浮揚支持部３までの距離が短くなっている。これに関して図３には、薄板ガラスシート１の長手方向１００から見た、浮揚支持部３と、その上に置かれている薄板ガラスシート１と、が概略的に示されている。厚くなっているビード１０、１１は、表面３０により近接しており、それに対して、薄板ガラスシート１の中心領域は凸状に湾曲している。したがって、図２および図３の２つの実施の形態においては、薄板ガラスシート１の湾曲部が生じ、その湾曲部の湾曲軸線は薄板ガラスシート１の長手方向１００にある。これによって、薄板ガラスシート１の上面１０１における機械的な応力と下面１０２における機械的な応力との間に差が生じる。特に、薄板ガラスシート１の上面１０１には、横断方向を有している、特にシートの長手方向１００に対して垂直な方向を有している引張応力σquerが生じる。ここで、本発明の意味における上面１０１とは、薄板ガラスシート１の、浮揚支持部３とは反対側の面を表しており、また下面１０２とは、薄板ガラスシート１の、浮揚支持部３に対向する面を表している。図２および図３においては、説明のために、引張応力σquerの方向が示されている。湾曲部、したがって発生した引張応力が小さい場合であっても、亀裂進展を支援するために、そのような引張応力を浮揚支持部３の領域に、すなわちビード１０、１１が応力亀裂分断によって切り離される領域に加えることは特に有利である。長手方向を横断する方向における引張応力によって、亀裂端部に、その亀裂を広げる力が作用する。
【００３３】
それに対して、長手方向における応力差は、米国特許出願公開第２０１３／０１２６５７６号明細書（ＵＳ２０１３／０１２６５７６Ａ１）から公知の装置における応力差とは異なり、僅かでしかない。確かに、上記において説明したように、長手方向に作用する引張力を加えることは好適であるが、しかしながらこの引張力は、薄板ガラスシート１の上面１０１および下面１０２に均等に作用する。したがって、特に本発明の１つの好適な構成によれば、浮揚支持部３の領域において、シートの長手方向１００において上面１０１に作用する機械的な応力と、下面１０２に作用する機械的な応力と、の間に０．２５ＭＰａ未満の差が存在するように薄板ガラスシート１が案内される。
【００３４】
さらには、とりわけ、浮揚支持部３の領域において長手方向で薄板ガラスシートに加えられる引張力でもって、比Δσ／σが０．５未満となる。ここで、Δσは、長手方向において上面１０１に作用する引張応力と、長手方向において下面１０２に作用する引張応力と、の差であり、またσは、長手方向に加えられる引張力によって形成される引張応力である。とりわけ、この比Δσ／σは、０．１２５未満である。
【００３５】
薄板ガラスシート１を本発明に従い、浮揚支持部３の上を通過するように案内することによって生じる、薄板ガラスシート１の面のうちの一方における引張応力は、熱膨張率が低いガラスにおけるビードの切り離しにも特に適している。ここで、レーザによって熱的に誘起される引張応力および冷却流体によって誘起される引張応力は、より小さい熱膨張率に応じて小さくなる。特にこのことは、線形の熱膨張率α＜４×１０-6Ｋ-1を有しているガラスに該当する。そのようなガラスは、例えば、３．５×１０-6Ｋ-1未満の線形の熱膨張率を有している、アルカリを包含しないホウケイ酸塩ガラスである。ここではとりわけ、浮揚支持部３の領域においては、特にレーザビーム７の入射点７０においては、薄板ガラスシート１の湾曲によって、長手方向１００に対して垂直な方向に引張応力が加えられ、その結果、線形の熱膨張率αに対する引張応力σの比σ／αは、少なくとも０．０７×１０-6ＭＰａ×Ｋ-1となる。
【００３６】
レーザを用いた加熱およびそれに続く冷却ビームを用いた冷却によって形成された温度差には、機械的な応力
【数１】
0006751407.tif 000002
が関連付けられる。
【００３７】
この式中、係数ＣＴＥは、線形の熱膨張率を表しており、Ｅは、ガラスの弾性率を表しており、またΔＴは、生じた温度差を表している。この応力によって、応力が最小破壊応力
【数２】
0006751407.tif 000003
よりも大きくなったときに亀裂進展が生じる。
【００３８】
この関係において、パラメータＫIcは、破壊靱性であり、パラメータａは、クリティカルな亀裂長さである。クリティカルな亀裂長さは、半分の亀裂幅ｃに相当する。破壊靱性ＫIcは、クリティカルな応力拡大係数とも称される。ここで、特に有利な切断特性は、応力
【数３】
0006751407.tif 000004
に対して得られる。
【００３９】
すなわち本発明の１つの発展形態によれば、レーザおよび冷却ビームを用いることによって、式（１）から（３）の組合せにおいて、少なくとも値
【数４】
0006751407.tif 000005
を有している温度差が生じる。
【００４０】
装置２は、本発明による方法の閉ループ制御プロセスおよび開ループ制御プロセスを制御する制御装置を有している。制御装置は、例えばスクライビング装置の押し付けおよび／またはスクライビング装置の接触解除または引き上げを制御する。別の例は、レーザの出力制御、冷却ビーム発生器１４の流量制御、浮揚支持部３に関する圧力制御、長手方向において薄板ガラスシート１に作用する引張力の調整である。
【００４１】
レーザビーム７を形成するためのレーザ７２として、例えばＣＯ2レーザが適している。ここで、図１に示されている例においては、薄板ガラスシート１の２つのエッジにおけるビード１０、１１を切り離すための分断線を加熱するために、２つのレーザ７２が設けられている。この場合、好適なレーザ出力は、特定のタイプのレーザに限定されることなく、２００Ｗまでの範囲にある。
【００４２】
薄板ガラスシート１の最初に予め損傷が導入された表面領域は、搬送装置５による前進でもって、レーザの、例えばＣＯ2レーザの焦点７０に運ばれ、そこにおいて、注入されたレーザエネルギによって温度Ｔ＜Ｔgに加熱され、続いてエアロゾル発生器１４１を用いたエアロゾルの吹き付けによって高速に冷却される。１つの実施の形態によれば、エアロゾル発生器１４１は、したがって噴射されるエアロゾルビーム１６１は、薄板ガラスシートの表面垂線に対して、もしくは相応に浮揚支持部３の表面の垂線に対して、−２０°から＋２０°までの範囲の角度で傾斜している。１つの実施例によれば、エアロゾル発生器１４１は、ガラスシートの垂線に対して７°の角度で傾斜している。特に、エアロゾルビーム１６１が搬送方向に対して逆平行の速度成分を有している傾斜が好適である。
【００４３】
液滴を含んでいる冷却流体の使用によって、レーザビーム７によって加熱されたガラスを非常に高速に再び冷却することができる。ここで、レーザスポットから冷却ビーム発生器１４までの距離は、もしくはより詳細には、レーザビーム７の入射点７０から冷却ビーム１６の入射点までの距離は、ガラスシートの厚み方向における体積全体が熱伝導によって十分に加熱されるように選定される場合には好適である。
【００４４】
本発明の１つの発展形態によれば、本発明に従い実施されるレーザ支援式の応力亀裂分断後に、ビード１０、１１は差し当たり薄板ガラスシート１の隣でさらに移動し、その後、粉砕ローラによって最終的には薄板ガラスシート１から分離されて、破片貯蔵部に供給される。粉砕ローラを相互に向かい合う２つの位置で隆起させて形成することができ、それによって、機械的な応力の過度の上昇でもって亀裂が連続的に開くことが保証される。
【００４５】
長い薄板ガラスシートを加工する場合、シートは低い剛性しか有していないので、一般的には、切り離し方法のやり方を問わず、シートの案内が問題になる可能性があることが分かった。これによって、シートが側方に逸れる可能性があり、またシートに波状の歪みが生じる可能性もある。この効果によって切断プロセスが妨害され、またシートの寸法が不正確になる可能性がある。
【００４６】
冷却流体が設けられるか否か、または冷却流体がどの成分ないしどの相を含むことができるかに依存せずに、前述の問題を解決することができる、図７から図９に例示的に示した実施の形態を設けることができる。
【００４７】
図７には、薄板ガラスシート１を、その長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための装置２の一例が示されている。装置２を用いて実行可能である、薄板ガラスシート１をその長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための方法は、冷却ビームの使用に限定されることなく、一般的に以下のことを基礎としている。すなわち、最大で４００μｍの厚さを有している薄板ガラスシート１が、その長手方向１００に沿って、搬送装置５を用いて浮揚支持部３の上を通過するように案内され、浮揚支持部３の領域においては、レーザビーム７が薄板ガラスシート１に向けられ、このレーザビーム７が薄板ガラスシート１を、そのレーザビーム７の入射点７０において加熱し、またこのレーザビーム７のもとでは薄板ガラスシート１が長手方向１００において前方に向かって移動され、その結果、レーザビーム７は、薄板ガラスシート１の長手方向１００に延びる経路７１を描き、かつレーザビーム７の経路７１に沿った長手方向１００における局所的な加熱によって、薄板ガラスシートを切断する応力亀裂１５の亀裂進展をもたらす。
【００４８】
図７の例においてはローラベルトコンベヤとして形成されている搬送装置５は、一般的にローラ装置１８０を含んでおり、図示されている例のような本発明の１つの発展形態によれば、浮揚支持部３の直ぐ手前および直ぐ奥にそれぞれローラ装置１８０を１つずつ含んでいる。ローラ装置１８０は、薄板ガラスシート１を前方へ送り出すための搬送ローラ１８２と、その搬送ローラ１８２に対向する位置に配置されておりかつ逆方向に回転している、薄板ガラスシート１を搬送ローラ１８０に押し付けるための対向ローラ１８４と、を含んでいる。薄板ガラスシート１は、その都度、ローラ装置１８０の間を通過しながら、換言すれば搬送ローラ１８２と対向ローラ１８４との間を通過しながら、長手方向１００に沿って、とりわけ滑ることなく前方へ送り出される。
【００４９】
したがって、薄板ガラスシートは、ローラ装置１８０を用いて、装置の入口においてこのローラ装置１８０へと入り込み、またこの装置を通って案内される。これによって、ガラスシートの確実な誘導が実現され、また不所望な側方への逸れならびに振動を最小限にすることができる。
【００５０】
オプションとして、図１の実施の形態と同様に、冷却ビーム発生器１４を用いて、冷却流体が、レーザビーム７によって加熱された経路７１に吹き付けられ、その結果、レーザビーム７によって加熱された領域が再び冷却され、かつ付加的な機械的な応力が形成され、この機械的な応力は、ガラスシート１を長手方向１００において、レーザビーム７の経路７１に沿って切断する応力亀裂１５の進展をもたらす。
【００５１】
ローラ装置１８０の搬送ローラ１８２は、とりわけ駆動部と、例えばモータと接続されているが、他方、対向ローラ１８４は必ずしも駆動部を必要としない。対向ローラ１８４は、前進のために十分な摩擦を保証するために、何よりも薄板ガラスシート１を押え付けるためのものである。
【００５２】
図７に簡略化して示されているように、特に、それぞれが薄板ガラスシート１の縁領域において回転する２つの対向ローラ１８４を設けることができる。そのような縁に位置する対向ローラ１８４を用いることによって、対向ローラ１８４間の領域において、すなわち良好な品質のガラス領域において、薄板ガラスシート１に傷が生じることを回避することができる。さらにオプションとして、縁に位置する対向ローラ１８４によって異なる強さの押え付け力が加えられることによって、ドリフト制御を行なうことができる。このようにして、薄板ガラスシート１を必要に応じて、制御しながら偏向させることができる。
【００５３】
浮揚支持部３の手前および奥におけるローラ装置１８０の搬送ローラ１８２は、同期された前進を保証するために、１つの連結された駆動部を有することができる。
【００５４】
他方では、浮揚支持部３の両側に配置されているローラ装置１８０を用いて、浮揚支持部３の領域において長手方向１００に作用する引張応力を薄板ガラスシート１に加えることができる。このために、各搬送ローラの前進運動を種々に調整することができる。
【００５５】
図８には、薄板ガラスシート１を、その長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための装置２の一例が示されている。装置２を用いて実行可能である、薄板ガラスシート１をその長手方向１００に沿って分断するための、この場合には薄板ガラスシート１の縁領域を、特にビード１０、１１を切り離すための方法は、以下のことを基礎としている。すなわち、最大で４００μｍの厚さを有している薄板ガラスシート１が、その長手方向１００に沿って、搬送装置５を用いて浮揚支持部３の上を通過するように案内され、浮揚支持部３の領域においては、レーザビーム７が薄板ガラスシート１に向けられ、このレーザビーム７が薄板ガラスシート１を、そのレーザビーム７の入射点７０において加熱し、またこのレーザビーム７のもとでは薄板ガラスシート１が長手方向１００において前方に向かって移動され、その結果、レーザビーム７は、薄板ガラスシート１の長手方向１００に延びる経路７１を描き、かつレーザビーム７の経路７１に沿った長手方向１００における局所的な加熱によって、薄板ガラスシートを切断する応力亀裂１５の亀裂進展をもたらす。オプションとして、冷却ビーム発生器１４を用いて、冷却流体を、レーザビーム７によって加熱された経路７１に吹き付けることができ、その結果、レーザビーム７によって加熱された領域が再び冷却され、かつ機械的な応力が形成され、この機械的な応力は、ガラスシート１を長手方向１００において、レーザビーム７の経路７１に沿って切断する応力亀裂１５の進展をもたらす。
【００５６】
図８に示されている装置２は、浮揚支持部３に対向する位置に送風装置１９０を含んでおり、この送風装置１９０は、ガス流を薄板ガラスシート１の上面１０１に吹き付ける。これによって、薄板ガラスシート１にわたり伝播する横波を緩和することができる。この波は、例えば、ビード１０、１１の破損、機械的な衝突または案内における振動の原因となる可能性がある。シートの安定性を改善するために、この解決手段を、図７による実施の形態に代替的または付加的に設けることができる。
【００５７】
送風装置１９０がガス流を薄板ガラスシート１の上面１０１に吹き付けている間に、浮揚支持部３によって、ガス流が薄板ガラスシート１の下面１０２に吹き付けられ、その結果、全体として両面式ガスクッションが形成される。したがって、送風装置１９０および浮揚支持部３は、薄板ガラスシート１のための空気式のダンパを形成している。
【００５８】
送風装置１９０には、圧力源を用いて、例えばポンプ３３を用いて、圧縮された流体、とりわけ空気が供給される。浮揚支持部３と同様に、送風装置１９０は、薄板ガラスシート１に対向する表面に複数の開口部を有することができる。圧縮された流体は、薄板ガラスシート１に対向する表面における開口部を介して流出するので、薄板ガラスシート１と送風装置１９０の表面との間にガスクッションが形成され、このガスクッションは、薄板ガラスシート１のためのダンパとして機能する。ポンプ３３ないし代替的な圧縮空気源に関しては、浮揚支持部３について上記において述べた事項が該当する。特に、浮揚支持部３および送風装置１９０を、同一のポンプまたは圧縮空気源に接続することもできる。したがって、送風装置１９０の体積流量を、浮揚支持部３の体積流量に、場合によってはガラス重量に相当する割合を差し引いた後の体積流量に一致させることができる。
【００５９】
図９を参照すると、薄板ガラスシート１を分断するための装置２は、浮揚支持部３の手前および奥に位置するローラ装置１８０と、浮揚支持部３に対向する送風装置１９０と、を含んでいる。図９に示した例においては、薄板ガラスシート１は、浮揚支持部３の奥にあるローラ装置１８０を離れた後に、すなわち分断プロセス後に、分離させるために撓み部１９５に案内され、その後にロール２００に巻き付けられる。
【００６０】
さらには、特に薄いガラスの分断に関して、上面１０１と下面１０２との間に温度勾配を形成するために、特定のビームプロフィールが好適であることが分かった。そのような温度勾配は、亀裂進展時の高い方向安定性を達成するために特に有利である。
【００６１】
このために、本発明の１つの発展形態によれば、一般的に、冷却ビームの使用に限定されることなく、４００μｍ未満の厚さ、とりわけ２５０μｍ未満の厚さを有している薄板ガラスを、特に薄板ガラスシート１を分断するための方法が予定されており、この方法においては、薄板ガラスが、送り方向に沿った、すなわち長手方向１００に沿った分断線を形成する経路７１に沿って、レーザビーム７によって漸進的に加熱され、その結果、加熱されたガラスの、周囲のガラスに対する、そのようにして生じた温度差によって、機械的な応力がガラスに形成され、応力亀裂１５の形態の亀裂が機械的な応力に従って分断線に沿って進展し、かつ薄板ガラスを切断し、レーザビーム７は、例えばビーム成形光学系を用いて、そのビームプロフィール７３が長く延びる形状を有するように成形され、またレーザビーム７は、ビームプロフィール７３の長手方向７４が送り方向にあるように薄板ガラスの表面に向けられ、ビームプロフィールの長く延びる形状は非対称的であり、薄板ガラスが最初に通過する前端部７５における強度の上昇は、反対側に位置する後端部７６における強度の低下よりも急峻となるように、ビームプロフィール７３の端部７５、７６における強度経過は異なっている。
【００６２】
図１０には、例示的に、前述のビームプロフィール７３が、薄板ガラスシート１の長手方向１００と共に示されている。ビームプロフィールの長く延びる形状は非対称的であり、この場合、ビームプロフィールの端部７５、７６は異なる形状であり、前進時にガラスが最初に通過する前端部７５は、送り方向１００に対して横方向に延びるエッジ７７によって形成される。さらに、ビームプロフィール７３の後端部７６は、その端部に向かって低下し続ける強度を有している。したがって、ビームプロフィールは、後端部７６に向かって延びる形状も有している。例えば、ビームプロフィール７３を、端部７６に向かって楕円状にまたは先細るように延ばすことができる。
【００６３】
そのような非対称的なビームプロフィールの使用は、プロセスの安定性を高め、したがって形成されるガラスエッジの強度および規定された経過も改善する。プロフィールの形状を、例えばレーザスポットの端部のマスキングまたは遮蔽によって簡単に形成することができる。
【００６４】
さらに、亀裂進展の案内が達成されるようにビームプロフィールを、したがって温度プロフィールを形成することは好適であり、その結果、亀裂は安定して送り方向に従い、側方に逸れないようになる。このこともまた、加熱によって形成することができる応力勾配はいずれにせよ厚いガラスにおける応力勾配よりも小さいことから、薄いガラスでは困難である。
【００６５】
このために、本発明の別の１つの発展形態によれば、４００μｍ未満の厚さ、とりわけ５μｍから１５０μｍまでの範囲の厚さを有している薄板ガラスを、特に薄板ガラスシート１を分断するための方法が予定されており、この方法においては、薄板ガラスが、分断線２０３を形成する経路７１に沿って漸進的に加熱され、ガラスの加熱が、薄板ガラスにおいて、少なくとも１つのエネルギ源のエネルギによって、エネルギ源の作用フィールド２０４内で行われ、とりわけ少なくとも１つのレーザビーム７のエネルギによって、そのレーザビーム７のレーザスポット内で行われ、作用フィールド２０４が、分断線２０３に沿って薄板ガラスにわたり移動されて、少なくとも１つのエネルギ源を用いて加熱されたガラスの、周囲のガラスに対する温度勾配によって、機械的な応力がガラスに形成され、機械的な応力によって、応力亀裂１５の形態の亀裂が機械的な応力に従って分断線２０３に沿って進展し、作用フィールド２０４の２つの部分領域は、分断線２０３に対して横方向に距離を置いており、かつ作用フィールド２０４内に凹部２１４を画定しており、距離を置いた部分では、分断線２０３に隣接する薄板ガラスの領域が分断線２０３上の領域よりも強く加熱されるように、分断線２０３は凹部を通って延びており、作用フィールド２０４は、分断線２０３に沿った薄板ガラスの移動時に、部分領域が薄板ガラスの移動方向において収束するように延び、かつ分断線２０３上で重なるように成形されている。
【００６６】
前述の方法を、特に次のように準備することもできる。すなわち、薄板ガラスが、分断線２０３を形成する経路７１に沿って漸進的に加熱され、ガラスの加熱が、２つのエネルギ源を用いて、特に２つのレーザビームを用いて行われ、エネルギ源はそれぞれ、入射領域２１１、２１２においてガラスに入射し、作用フィールド２０４が、少なくとも、第１の入射領域および第２の入射領域によって形成され、エネルギ源は、入射領域２１１、２１２が分断線２０３に対して垂直な方向において相互に横方向にずらされているようにガラスに向けられ、２つの入射領域２１１、２１２が、重畳領域２１３において交差することによって、分断線２０３は、その重畳領域２１３を通って延び、かつ周囲のガラスに対する、特に分断線２０３に沿って重畳領域に進入するガラスに対する、エネルギ源を用いて加熱されたガラスの温度差によって、機械的な応力がガラスに形成され、機械的な応力によって、応力亀裂１５の形態の亀裂が、機械的な応力に従って分断線２０３に沿って進展するように、前述の方法を準備することもできる。
【００６７】
図１１（ａ）には、全体として２つの入射領域２１１、２１２が示されており、それら２つの入射領域２１１、２１２が一緒に１つの作用フィールドまたは作用ゾーン２０４を形成している。２つの入射領域２１１、２１２が相互に斜めに方向付けられていることに起因して、それら２つの入射領域２１１、２１２間に凹部２１４が存在している。入射領域２１１、２１２は、重畳領域２１３において交差している。したがって、この領域では最大エネルギ密度も達成される。ガラスがこの重畳領域２１３を通過する場合、分断線２０３に沿って重畳領域へと進入する冷たいガラスに対する非常に急激な温度上昇が生じる。相応に、ここでは高い応力勾配および亀裂の進展が生じる。入射領域の重畳していない２つの領域は、亀裂の安定したガイドに使用される。その経過が分断線から逸れると、それらの領域におけるガラスの同様に存在する加熱部によって、温度勾配、したがって応力勾配が低下する。
【００６８】
作用フィールド２０４の一部を、マスキング装置（ここでは図示せず）によってマスキングすることができ、これによって凹部２１４が形成される。図１１（ｂ）には、一例として、搬送方向に向けられているＶ字形の凹部２１４を前方に備えている作用フィールド２０４が示されており、この凹部２１４は、作用フィールド２０４の２つの部分領域２４２、２４４を隔て、その結果、それらの部分領域２４２、２４４は、分断線２０３に対して横方向において距離を置いて設けられている。部分領域の相互に対向している縁は相互に開くように延びており、また分断線２０３の交点において作用フィールド２０４と重なる。そのような作用フィールド２０４を、例えば上記において述べたようにマスキングを行うことによって、単一のエネルギ源によって形成することもできる。例えば、エネルギ源はレーザビームであってよく、入射領域を形成するレーザスポットの一部が遮蔽され、それによって凹部２１４が形成される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１（ａ）】
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【図１１（ｂ）】
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