(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止体と、
前記静止体よりも径方向内側に設けられ、回転軸回りに回転する回転体と、
前記静止体の内周部と前記回転体の外周部との間に形成され、高圧側から低圧側に軸方向に流体が流れるように構成される隙間と、
を備える回転機械に設けられるラビリンスシールであって、
前記回転体の外周部に形成され、かつ、高圧側に小径部が形成され低圧側に大径部が形成されるように構成される段差部と、
前記段差部よりも高圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる高圧側フィンと、
前記段差部よりも低圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる低圧側フィンと、
前記回転体の外周部に形成され、前記段差部よりも低圧側かつ前記低圧側フィンよりも高圧側の領域の少なくとも一部に配置される環状溝と、
を備え、
前記低圧側フィンの先端部は、前記低圧側フィンの基端部よりも高圧側に配置される、
ラビリンスシール。
【請求項２】
静止体と、
前記静止体よりも径方向内側に設けられ、回転軸回りに回転する回転体と、
前記静止体の内周部と前記回転体の外周部との間に形成され、高圧側から低圧側に軸方向に流体が流れるように構成される隙間と、
を備える回転機械に設けられるラビリンスシールであって、
前記回転体の外周部に形成され、かつ、高圧側に小径部が形成され低圧側に大径部が形成されるように構成される段差部と、
前記段差部よりも高圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる高圧側フィンと、
前記段差部よりも低圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる低圧側フィンと、
前記回転体の外周部に形成され、前記段差部よりも低圧側かつ前記低圧側フィンよりも高圧側の領域の少なくとも一部に配置される環状溝と、
を備え、
前記段差部、前記低圧側フィン、および前記環状溝は、それぞれ複数設けられ、
複数の前記段差部は、前記回転体の外周部の径が高圧側から低圧側に順次大きくなるように形成され、
前記低圧側フィンおよび前記環状溝は、複数の前記段差部それぞれの低圧側に配置される、
ラビリンスシール。
【請求項３】
請求項１または２に記載のラビリンスシールであって、
回転体周方向から見た前記環状溝の底部の断面は、円弧状である、
ラビリンスシール。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記環状溝は、前記環状溝の高圧側部分および低圧側部分の少なくともいずれかに設けられる傾斜部を備え、
回転体周方向から見た断面において、前記傾斜部の径方向内側端部は、前記傾斜部の径方向外側端部よりも、前記環状溝の軸方向中心側に配置される、
ラビリンスシール。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記段差部と、前記環状溝の径方向外側端部かつ低圧側端部と、の軸方向における距離をＬ、
前記段差部と、前記低圧側フィンの先端部かつ高圧側端部と、の軸方向における距離をＧ、
前記低圧側フィンの先端部での軸方向の幅をｔ、
としたとき、０＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たす、
ラビリンスシール。
【請求項６】
請求項５に記載のラビリンスシールであって、
０．６＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たす、
ラビリンスシール。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のラビリンスシールであって、
前記小径部の外周面と、前記大径部の外周面と、の径方向における距離をＨ、
前記環状溝の底部と、前記大径部の外周面と、の径方向における距離をＤ、
としたとき、０．６＜Ｄ／Ｈ、を満たす、
ラビリンスシール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラビリンスシールに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１、２には、回転機械を構成する回転体と静止体との間の隙間を通って、高圧側から低圧側に流体が漏れることを抑制するためのラビリンスシールが開示されている。このラビリンスシールは、回転体の外周部に形成された段差部と、段差部よりも低圧側に配置されるとともに静止体の内周部に設けられた低圧側フィンと、を備えている。例えば特許文献１の図１のように、このラビリンスシールでは、低圧側フィンよりも高圧側の空間に渦を発生させ、流体のエネルギー損失を生じさせることで、流体の漏れ量の低減を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２８０１４号公報
【特許文献２】実開昭５３−１０４８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の図１に記載の技術では、渦を形成する流体が、低圧側フィンに沿って径方向内側に流れ、回転体の外周面に当たる（吹き付けられる）。このとき、流体が、渦に沿う向きの流れと、流出出口に向かう向きの流れと、に分岐する。上記の流出出口とは、低圧側フィンと回転体との隙間である。従来のステップシールでは、流出出口からの流体の漏れ量が大きいことが問題であった。
【０００５】
そこで本発明は、流体の漏れ量を抑制できるラビリンスシールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のラビリンスシールは、回転機械に設けられる。前記回転機械は、静止体と、回転体と、隙間と、を備える。前記回転体は、前記静止体よりも径方向内側に設けられ、回転軸回りに回転する。前記隙間は、前記静止体の内周部と前記回転体の外周部との間に形成され、高圧側から低圧側に軸方向に流体が流れるように構成される。前記ラビリンスシールは、段差部と、高圧側フィンと、低圧側フィンと、環状溝と、を備える。前記段差部は、前記回転体の外周部に形成され、かつ、高圧側に小径部が形成され低圧側に大径部が形成されるように構成される。前記高圧側フィンは、前記段差部よりも高圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる。前記低圧側フィンは、前記段差部よりも低圧側に配置され、前記静止体の内周部から径方向内側に延びる。前記環状溝は、前記回転体の外周部に形成され、前記段差部よりも低圧側かつ前記低圧側フィンよりも高圧側の領域の少なくとも一部に配置される。
【発明の効果】
【０００７】
上記構成により、流体の漏れ量を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態の回転機械を示す断面図である。
【図２】Ｌ／Ｇ（図１参照）と、漏れ量と、の関係を示すグラフである。
【図３】Ｄ／Ｈ（図１参照）と、漏れ量と、の関係を示すグラフである。
【図４】第２実施形態の図１相当図である。
【図５】第３実施形態の図１相当図である。
【図６】第４実施形態の回転機械を示す断面図である。
【図７】第５実施形態の図１相当図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１実施形態）
図１〜図３を参照して第１実施形態の回転機械１について説明する。
【００１０】
回転機械１は、例えば圧縮機であり、例えばターボ圧縮機などである。回転機械１は、静止体１０と、回転体２０と、ラビリンスシール３０と、を備える。静止体１０は、ケーシング（図示なし）内に配置され、ケーシングに固定される。
【００１１】
回転体２０は、静止体１０よりも径方向内側Ｙ２に設けられ、静止体１０との間に隙間２５をあけて配置される。回転体２０は、軸受（図示なし）を介してケーシングに回転自在に取り付けられ、静止体１０に対して回転軸回りに回転する。軸方向Ｘ（高圧側Ｘ１、低圧側Ｘ２）、径方向Ｙ（径方向外側Ｙ１、径方向内側Ｙ２）、および周方向（回転体周方向）は、回転体２０の回転軸を基準とする。回転体２０は、小径部２１と、大径部２２と、を備える。大径部２２は、小径部２１よりも大径であり、小径部２１よりも低圧側Ｘ２に配置される。
【００１２】
隙間２５は、静止体１０の内周部（径方向内側Ｙ２部分）と回転体２０の外周部（径方向外側Ｙ１部分）との間に形成される。隙間２５は、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に流体が隙間２５を流れるように構成される。隙間２５のうち、高圧側フィン５０（下記）と低圧側フィン６０（下記）との間の領域を、空間２５ａとする。
【００１３】
ラビリンスシール３０は、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２への、隙間２５での流体の漏れを抑制する。ラビリンスシール３０は、静止体１０と回転体２０とを接触させることなく（非接触で）、流体の漏れ流れの量（以下、漏れ量ともいう）を抑制するための軸封装置である。ラビリンスシール３０は、段差部４０と、高圧側フィン５０と、低圧側フィン６０と、環状溝７０と、を備える。
【００１４】
段差部４０は、回転体２０の外周部に形成される。段差部４０よりも高圧側Ｘ１の回転体２０の外周部に小径部２１が形成され、段差部４０よりも低圧側Ｘ２の回転体２０の外周部に大径部２２が形成されるように、段差部４０が構成される。段差部４０は、小径部２１の低圧側Ｘ２端部と大径部２２の高圧側Ｘ１端部とをつなぐ。
【００１５】
高圧側フィン５０および低圧側フィン６０は、静止体１０の内周部から径方向内側Ｙ２に延び、回転体２０の外周面の近傍まで延び、隙間２５を仕切る、リング状の部分である。
【００１６】
高圧側フィン５０の先端部（径方向内側Ｙ２端部）と回転体２０との間には、径方向Ｙの隙間δがある。高圧側フィン５０は、段差部４０よりも高圧側Ｘ１に配置され、小径部２１と径方向Ｙに対向する位置に配置される。高圧側フィン５０の先端部は、大径部２２の外周面よりも径方向内側Ｙ２に配置される。
【００１７】
低圧側フィン６０の先端部（径方向内側Ｙ２端部）と回転体２０との間には、隙間ε（流体の流出出口）がある。低圧側フィン６０は、段差部４０よりも低圧側Ｘ２に配置される。低圧側フィン６０は、大径部２２と径方向Ｙに対向する位置に配置され、環状溝７０と径方向Ｙに対向する位置に配置されてもよい。低圧側フィン６０は、高圧側Ｘ１の側面である高圧側側面６０ａと、低圧側Ｘ２の側面である低圧側側面６０ｂと、を備える。高圧側側面６０ａおよび低圧側側面６０ｂは、軸方向Ｘに直交する面である。上記「直交」は、略直交を含む（以下同様）。
【００１８】
環状溝７０は、渦Ｖ２（下記）を流入させるための溝である。環状溝７０は、環状溝７０に囲まれた空間（環状溝７０の内部）に渦Ｖ２が流入するように構成される。環状溝７０は、回転体２０の外周部に形成され、大径部２２に形成され、大径部２２の径方向外側Ｙ１端部よりも径方向内側Ｙ２に凹む。環状溝７０は、段差部４０よりも低圧側Ｘ２、かつ、低圧側フィン６０よりも高圧側Ｘ１の領域の、少なくとも一部に配置される。環状溝７０の一部は、高圧側側面６０ａよりも低圧側Ｘ２に配置されてもよい。環状溝７０は、環状であり、周方向に沿って形成される。周方向から見た断面において、環状溝７０に囲まれた部分（環状溝７０の内部）の形状は、矩形状である。上記「周方向から見た断面」は、回転体２０の回転軸と平行かつ回転軸を含む断面である。環状溝７０は、高圧側Ｘ１の側面である高圧側側面７０ａと、低圧側Ｘ２の側面である低圧側側面７０ｂと、底面７０ｃと、を備える。高圧側側面７０ａおよび低圧側側面７０ｂは、軸方向Ｘに直交する面である。底面７０ｃは、環状溝７０の径方向内側Ｙ２部分（底部）の面であり、径方向Ｙに直交する面である。
【００１９】
（流体の流れ）
隙間２５を流れる流体は、次のように流れる。流体は、高圧側フィン５０よりも高圧側Ｘ１から、隙間δを通過し、空間２５ａに流入し、渦Ｖ１を形成する。渦Ｖ１は次のように形成される。流体は、小径部２１の外周面に沿って低圧側Ｘ２に直進し、段差部４０に当たり（衝突し）、段差部４０に沿って径方向外側Ｙ１に流れる（転向する）。段差部４０に沿って流れた流体は、静止体１０の内周面に当たり、静止体１０の内周面に沿って高圧側Ｘ１に流れ、高圧側フィン５０に当たり、高圧側フィン５０に沿って径方向内側Ｙ２に流れ、小径部２１に当たり、低圧側Ｘ２に流れる。このように渦Ｖ１が形成される。
【００２０】
段差部４０に沿って大径部２２の外周部の近傍まで達した流体は、渦Ｖ１と、渦Ｖ１よりも低圧側Ｘ２に向かう流れと、に分岐する。分岐した流体は、渦Ｖ２を形成する。渦Ｖ２は次のように形成される。上記「分岐した流体」は、静止体１０の内周面に当たり、静止体１０の内周面に沿って低圧側Ｘ２に流れ、低圧側フィン６０の高圧側側面６０ａに当たり、高圧側側面６０ａに沿って径方向内側Ｙ２に流れる。高圧側側面６０ａに沿って流れた流体は、環状溝７０内に流入し、環状溝７０の内面に沿って流れ、環状溝７０から径方向外側Ｙ１に流れ、環状溝７０から流出する。このように渦Ｖ２が形成される。
【００２１】
高圧側側面６０ａに沿って径方向内側Ｙ２に流れた流体は、大径部２２に当たり、渦Ｖ２と、隙間εに向かう流れ（分岐流Ｆ）と、に分岐する。分岐流Ｆは、隙間εを通過し、低圧側Ｘ２に流れることで、空間２５ａの外に漏れる（流出する）。
【００２２】
高圧側側面６０ａに沿って径方向内側Ｙ２に流れた流体が、環状溝７０に流入することで、分岐流Ｆの流量が抑制されるので、流体の漏れ量が抑制される。また、空間２５ａに形成された渦Ｖ１および渦Ｖ２によって流体間摩擦が発生し、流体のエネルギー損失が生じることによって、流体の漏れ量が抑制される。この流体間摩擦には、流体どうしの摩擦、および、流体と壁面との摩擦が含まれる。上記壁面は、流速がゼロの流体とみなせるものであり、例えば環状溝７０の表面などが含まれる。
【００２３】
（寸法について）
段差部４０よりも低圧側Ｘ２かつ低圧側フィン６０よりも高圧側Ｘ１の領域の少なくとも一部に環状溝７０があれば、環状溝７０による効果（漏れ量の抑制）が得られる。さらに、下記の条件を満たすことで環状溝７０による効果をより向上させることができる。
【００２４】
周方向から見た断面における、軸方向Ｘに関する距離を次のように定義する。
距離Ｅは、段差部４０と、環状溝７０の径方向外側Ｙ１端部かつ高圧側Ｘ１端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。例えば、距離Ｅは、段差部４０と、高圧側側面７０ａの径方向外側Ｙ１端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。なお、段差部４０に軸方向Ｘの幅がある場合（例えば段差部４０に傾斜がある場合など）は、距離Ｅの高圧側Ｘ１の起点は、段差部４０の径方向外側Ｙ１端部かつ低圧側Ｘ２端部とする（下記の距離Ｇ、距離Ｌについても同様）。
開口幅Ｗは、環状溝７０の開口の軸方向Ｘにおける幅である。さらに詳しくは、開口幅Ｗは、環状溝７０の径方向外側Ｙ１端部での軸方向Ｘにおける幅である。
距離Ｌは、段差部４０と、環状溝７０の径方向外側Ｙ１端部かつ低圧側Ｘ２端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。例えば、距離Ｌは、段差部４０と、低圧側側面７０ｂの径方向外側Ｙ１端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。
距離Ｇは、段差部４０と、低圧側フィン６０の先端部かつ高圧側Ｘ１端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。例えば、距離Ｇは、段差部４０と、高圧側側面６０ａの径方向内側Ｙ２端部と、の軸方向Ｘにおける距離である。
厚さｔは、低圧側フィン６０の先端部での軸方向Ｘにおける幅である。
【００２５】
周方向から見た断面における、径方向Ｙに関する距離を次のように定義する。
高さＨは、段差部４０の径方向Ｙにおける幅である。さらに詳しくは、高さＨは、小径部２１の外周面の低圧側Ｘ２端部と、大径部２２の外周面の高圧側Ｘ１端部と、の径方向Ｙにおける距離である。
深さＤは、環状溝７０の径方向Ｙにおける幅である。さらに詳しくは、深さＤは、環状溝７０の径方向内側Ｙ２端部（例えば底面７０ｃ）と、大径部２２の外周面と、の径方向Ｙにおける距離である。
【００２６】
（距離Ｅに関する好ましい条件）
高圧側側面６０ａに対する高圧側側面７０ａの軸方向Ｘにおける距離（Ｇ−Ｅ）を大きくすることで、渦Ｖ２を大きく形成できる。その結果、上記のエネルギー損失をより増加させることができる。例えば、０＜Ｅ／Ｇ＜０.８、を満たすことが好ましい。
【００２７】
（開口幅Ｗに関する好ましい条件）
開口幅Ｗを大きくすることで、渦Ｖ２が環状溝７０に流入しやすくなり、また、渦Ｖ２を大きく形成できる。その結果、上記のエネルギー損失をより増加させることができる。例えば、Ｗ／Ｇ＞０.２、を満たすことが好ましい。
【００２８】
（距離Ｌに関する好ましい条件）
高圧側側面６０ａの軸方向Ｘ位置に対して、低圧側側面７０ｂの軸方向Ｘ位置が、等しい位置（同一面上）、または、低圧側Ｘ２であることが好ましい（Ｇ≦Ｌが好ましい）。Ｇ≦Ｌとすることで、低圧側フィン６０に沿って径方向内側Ｙ２に流れた渦Ｖ２が、環状溝７０に流入しやすくなり、分岐流Ｆの流量を抑制できる。流体が環状溝７０に流入しやすいので、渦Ｖ２の流速をより速くできる結果、上記のエネルギー損失を大きくすることができる。
【００２９】
高圧側側面７０ａの位置を固定し、高圧側側面６０ａと低圧側側面７０ｂとの位置関係、および、漏れ量について調査した。その結果、図２に示すように、Ｌ／Ｇによって漏れ量が変化するという知見を得た。なお、図２においては、縦軸の漏れ量の単位を無次元化した。図２の「従来技術」は、環状溝７０を備えないラビリンスシールである。図１に示す高圧側側面６０ａに対して低圧側側面７０ｂが高圧側Ｘ１に離れすぎると、低圧側フィン６０に沿って径方向内側Ｙ２に流れた流体が、環状溝７０に流入しにくくなる。その結果、漏れ量抑制の効果は小さくなる。また、高圧側側面６０ａに対して低圧側側面７０ｂが低圧側Ｘ２に離れすぎると、低圧側フィン６０と回転体２０との隙間εが大きくなるので、流体が隙間εを通りやすくなり、漏れ量抑制の効果は小さくなる。そこで、図２に示すように、０＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たすことが好ましい。この場合、従来技術に比べ、確実に漏れ量を抑制できる。また、０．６＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たすことがさらに好ましい。この場合、漏れ量をより抑制できる。
【００３０】
（深さＤに関する好ましい条件）
図１に示す高さＨ、深さＤ、および漏れ量について調査した。その結果、図３に示すようにＤ／Ｈによって漏れ量が変化するという知見を得た。なお、図３においては、縦軸の漏れ量の単位を無次元化した。図１に示す深さＤが小さいと、環状溝７０に流入できる渦Ｖ２の流れが少なくなり、分岐流Ｆの流量が増えるので、漏れ量が増加する。そこで、図３に示すように、０．６＜Ｄ／Ｈ、を満たすことが好ましい。この場合、従来技術に比べ、確実に漏れ量を抑制できる。なお、０＜Ｄ／Ｈであれば、従来技術に比べ、漏れ量抑制の効果はある。
【００３１】
（第１の発明の効果）
図１に示すラビリンスシール３０による効果は次の通りである。ラビリンスシール３０は、回転機械１に設けられる。回転機械１は、静止体１０と、回転体２０と、隙間２５と、を備える。回転体２０は、静止体１０よりも径方向内側Ｙ２に設けられ、回転軸回りに回転する。隙間２５は、静止体１０の内周部と回転体２０の外周部との間に形成され、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に軸方向Ｘに流体が流れるように構成される。ラビリンスシール３０は、段差部４０と、高圧側フィン５０と、低圧側フィン６０と、環状溝７０と、を備える。
［構成１−１］段差部４０は、回転体２０の外周部に形成される。段差部４０は、段差部４０よりも高圧側Ｘ１に小径部２１が形成され、段差部４０よりも低圧側Ｘ２に大径部２２が形成されるように構成される。
［構成１−２］高圧側フィン５０は、段差部４０よりも高圧側Ｘ１に配置され、静止体１０の内周部から径方向内側Ｙ２に延びる。低圧側フィン６０は、段差部４０よりも低圧側Ｘ２に配置され、静止体１０の内周部から径方向内側Ｙ２に延びる。
［構成１−３］環状溝７０は、回転体２０の外周部に形成される。環状溝７０は、段差部４０よりも低圧側Ｘ２、かつ、低圧側フィン６０よりも高圧側Ｘ１、の領域の少なくとも一部に配置される。
【００３２】
上記［構成１−１］および［構成１−２］により、段差部４０よりも低圧側Ｘ２、かつ、低圧側フィン６０よりも高圧側Ｘ１の領域に、流体の渦Ｖ２が生じる。そこで、ラビリンスシール３０は、上記［構成１−３］を備える。よって、渦Ｖ２が環状溝７０に流入する。よって、渦Ｖ２から隙間εに向かって分岐する分岐流Ｆの量を抑制できるので、隙間２５での流体の漏れを抑制できる。また、渦Ｖ２が環状溝７０に流入するので、渦Ｖ２の流量を多くでき、渦Ｖ２の流速を速くできる。よって、渦Ｖ２とその周辺との流体間摩擦を増大させることができるので、流体のエネルギー損失を増大させることができる。その結果、隙間２５での流体の漏れを抑制できる。
【００３３】
（第４の発明の効果）
［構成４］段差部４０と、環状溝７０の径方向外側Ｙ１端部かつ低圧側Ｘ２端部と、の軸方向Ｘにおける距離をＬとする。段差部４０と、低圧側フィン６０の先端部かつ高圧側Ｘ１端部と、の軸方向Ｘにおける距離をＧとする。低圧側フィン６０の先端部での軸方向Ｘの幅をｔとする。このとき、０＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たす。
【００３４】
上記［構成４］により、１．１＋ｔ／Ｇ≦Ｌ／Ｇの場合に比べ、低圧側フィン６０と回転体２０との隙間εを小さくできる。よって、隙間εからの流体の漏れを確実に抑制でき、隙間２５での流体の漏れをより抑制できる。
【００３５】
（第５の発明の効果）
［構成５］０．６＜Ｌ／Ｇ＜１．１＋ｔ／Ｇ、を満たす。
上記［構成５］により、Ｌ／Ｇ≦０．６の場合に比べ、環状溝７０に流入する渦Ｖ２の流量を多くできる。よって、流体のエネルギー損失をより増大させることができ、隙間２５での流体の漏れをより抑制できる。
【００３６】
（第６の発明の効果）
［構成６］小径部２１の外周面と、大径部２２の外周面と、の径方向Ｙにおける距離をＨとする。大径部２２の外周面と、環状溝７０の底部と、の径方向Ｙにおける距離をＤとする。このとき、０．６＜Ｄ／Ｈ、を満たす。
【００３７】
上記［構成６］により、Ｄ／Ｈ≦０．６の場合に比べ、環状溝７０に流入する渦Ｖ２の流量を多くできる。その結果、流体のエネルギー損失をより増大させることができ、隙間２５での流体の漏れをより抑制できる。
【００３８】
（第２実施形態）
図４を参照して、第２実施形態のラビリンスシール２３０について、第１実施形態のラビリンスシール３０（図１参照）との相違点を説明する。なお、ラビリンスシール２３０のうち、第１実施形態のラビリンスシール３０（図１参照）との共通点については、第１実施形態と同一の符号を付し、説明を省略した（共通点の説明を省略する点については他の実施形態の説明も同様）。相違点は、環状溝７０が、円弧状部２７０ｄを備える点である。
【００３９】
円弧状部２７０ｄは、環状溝７０の底部に設けられる。周方向から見た円弧状部２７０ｄの断面は、円弧状である。周方向から見た環状溝７０の底部の断面は、円弧状である。周方向から見た円弧状部２７０ｄの断面は、半円弧状（円弧の中心角が１８０°）である。円弧の中心角は１８０°未満でもよい。上記「円弧状」は、略円弧状（例えば略半円弧状）を含む。なお、図１に示す高圧側側面７０ａおよび低圧側側面７０ｂは、図４に示す円弧状部２７０ｄと連続するように設けられる。図１に示す高圧側側面７０ａおよび低圧側側面７０ｂは、設けられなくてもよい。
【００４０】
（第２の発明の効果）
図４に示す第２実施形態のラビリンスシール２３０による効果は次の通りである。
［構成２］周方向から見た環状溝７０の底部の断面は、円弧状である（円弧状部２７０ｄを参照）。
【００４１】
上記［構成２］では、第１実施形態のように環状溝７０（図１参照）の内部が矩形状である場合に比べ、環状溝７０の形状が、渦Ｖ２の流れの形に近い形状となる。よって、環状溝７０の底部に沿って渦Ｖ２が流れるので、渦Ｖ２の流速を保つことができる。よって、渦Ｖ２によるエネルギー損失をより増大できる。
【００４２】
（第３実施形態）
図５を参照して、第３実施形態のラビリンスシール３３０について、第１実施形態のラビリンスシール３０との相違点を説明する。相違点は、環状溝７０が、高圧側傾斜部３７０ｅ（傾斜部）および低圧側傾斜部３７０ｆ（傾斜部）を備える点である。
【００４３】
高圧側傾斜部３７０ｅは、環状溝７０の高圧側Ｘ１部分に設けられる。周方向から見た断面において、高圧側傾斜部３７０ｅの径方向内側Ｙ２端部は、高圧側傾斜部３７０ｅの径方向外側Ｙ１端部よりも、低圧側Ｘ２（環状溝７０の軸方向Ｘ中心側）に配置される。周方向から見た断面において、高圧側傾斜部３７０ｅは、直線状であり、径方向Ｙに対して角度θだけ傾く。
【００４４】
低圧側傾斜部３７０ｆは、環状溝７０の低圧側Ｘ２部分に設けられる。周方向から見た断面において、低圧側傾斜部３７０ｆの径方向内側Ｙ２端部は、低圧側傾斜部３７０ｆの径方向外側Ｙ１端部よりも、高圧側Ｘ１（環状溝７０の軸方向Ｘ中心側）に配置される。周方向から見た断面において、低圧側傾斜部３７０ｆは、直線状であり、径方向Ｙに対して角度φだけ傾く。なお、高圧側傾斜部３７０ｅおよび低圧側傾斜部３７０ｆのうち、一方のみが設けられてもよい。
【００４５】
（第３の発明の効果）
本実施形態のラビリンスシール３３０による効果は次の通りである。ラビリンスシール３３０は、下記［構成３−１］および下記［構成３−２］の少なくともいずれかを備える。
［構成３−１］環状溝７０は、環状溝７０の高圧側Ｘ１部分に設けられる高圧側傾斜部３７０ｅを備える。周方向から見た断面において、高圧側傾斜部３７０ｅの径方向内側Ｙ２端部は、高圧側傾斜部３７０ｅの径方向外側Ｙ１端部よりも、環状溝７０の軸方向Ｘ中心側に配置される。
［構成３−２］環状溝７０は、環状溝７０の低圧側Ｘ２部分に設けられる低圧側傾斜部３７０ｆを備える。周方向から見た断面において、低圧側傾斜部３７０ｆの径方向内側Ｙ２端部は、低圧側傾斜部３７０ｆの径方向外側Ｙ１端部よりも、環状溝７０の軸方向Ｘ中心側に配置される。
【００４６】
上記［構成３−１］により、第１実施形態のように環状溝７０（図１参照）の内部が矩形状である場合に比べ、環状溝７０の形状が、渦Ｖ２の流れの形に近い形状となる。よって、渦Ｖ２の流れが高圧側傾斜部３７０ｅに沿って流れるので、渦Ｖ２の流速を保つことができる。よって、渦Ｖ２によるエネルギー損失をより増大できる。また、上記［構成３−２］により、上記［構成３−１］と同様の効果が得られる（ただし、高圧側傾斜部３７０ｅを低圧側傾斜部３７０ｆに読み替える）。
【００４７】
（第４実施形態）
図６を参照して、第４実施形態のラビリンスシール４３０について、第１実施形態のラビリンスシール３０などとの相違点を説明する。相違点は、ラビリンスシール４３０が、複数段のステップシール（階段状のシール）である点である。ラビリンスシール４３０は、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に順に配置される単位構造４３１〜４３５（４３１・４３２・４３３・４３４・４３５）を備える。単位構造４３１〜４３５それぞれは（各段の構造は）、第１〜第３実施形態および第５実施形態（下記）のいずれかの実施形態のラビリンスシール（３０、２３０、３３０、または５３０）の条件を満たす。単位構造４３１〜４３５は、互いに軸方向Ｘに隣接する。ある単位構造４３２は、この単位構造４３２よりも１段だけ高圧側Ｘ１の単位構造４３１に対して、径方向外側Ｙ１にずれるように配置される（単位構造４３３〜単位構造４３５についても同様）。単位構造４３１〜４３５が上記の条件を満たすように、静止体４１０と、回転体４２０と、ラビリンスシール４３０と、が構成される。
【００４８】
静止体４１０は、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に径が順次大きくなる静止体径部４１１〜４１５（４１１・４１２・４１３・４１４・４１５）を備える。回転体４２０は、高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に径が順次大きくなる回転体径部４２１〜４２６（４２１・４２２・４２３・４２４・４２５・４２６）を備える。複数の段差部４４１〜４４５（４４１・４４２・４４３・４４４・４４５）は、上記のように径が順次大きくなる回転体径部４２１〜４２６が形成されるように構成される。複数の低圧側フィン４６１〜４６５および複数の環状溝４７１〜４７５は、複数の段差部４４１〜４４５それぞれの低圧側Ｘ２に配置される。さらに詳しくは、ある単位構造４３２の低圧側フィン４６２および環状溝４７２は、この単位構造４３２の段差部４４２よりも低圧側Ｘ２に配置される。ある単位構造４３２の低圧側フィン４６２は、この単位構造４３２よりも１段だけ低圧側Ｘ２の単位構造４３３の高圧側フィン５０と兼用される（単位構造４３３および単位構造４３４についても同様）。
【００４９】
（第８の発明の効果）
［構成８］段差部４４１〜４４５、低圧側フィン４６１〜４６５、および環状溝４７１〜４７５は、それぞれ複数設けられる。複数の段差部４４１〜４４５は、回転体４２０の外周部の径が高圧側Ｘ１から低圧側Ｘ２に順次大きくなるように形成される。低圧側フィン４６１〜４６５および環状溝４７１〜４７５は、複数の段差部４４１〜４４５それぞれの低圧側Ｘ２に配置される。
【００５０】
上記［構成８］により、段差部４４１〜４４５、低圧側フィン４６１〜４６５、および環状溝４７１〜４７５が１つずつのみ設けられる場合に比べ、隙間２５での流体の漏れをより抑制できる。
【００５１】
（第５実施形態）
図７を参照して、第５実施形態のラビリンスシール５３０について、第１実施形態のラビリンスシール３０との相違点を説明する。相違点は、高圧側フィン５５０および低圧側フィン５６０の構成である。
【００５２】
低圧側フィン５６０の先端部は、低圧側フィン５６０の基端部よりも高圧側Ｘ１に配置される。周方向から見た断面において、低圧側フィン５６０は直線状であり、低圧側フィン５６０の高圧側側面６０ａは直線状である。周方向から見た断面において、高圧側側面６０ａは、径方向Ｙに対して角度βだけ傾く。なお、周方向から見た断面において、低圧側フィン５６０は、湾曲形状でもよく、Ｌ字形状などの屈曲形状でもよい（高圧側フィン５５０も同様）。
【００５３】
高圧側フィン５５０は、例えば低圧側フィン５６０と同様に構成される。周方向から見た断面において、高圧側フィン５５０は、径方向Ｙに対して角度αだけ傾く。角度αは、角度βと同じでもよく、異なってもよい。
【００５４】
（第７の発明の効果）
［構成７］低圧側フィン５６０の先端部は、低圧側フィン５６０の基端部よりも高圧側Ｘ１に配置される。
【００５５】
上記［構成７］により、渦Ｖ２は、低圧側フィン５６０に沿って径方向内側Ｙ２に流れるとき、高圧側Ｘ１に流れる。よって、低圧側Ｘ２に向かう分岐流Ｆの量を抑制でき、かつ、環状溝７０に流入する渦Ｖ２の流量を多くできる。よって、隙間２５での流体の漏れをより抑制できる。
【００５６】
（変形例）
上記の各実施形態は様々に変形されてもよい。
例えば、互いに異なる実施形態の構成要素どうしが組み合わされてもよい。例えば、図４に示す第２実施形態のように円弧状部２７０ｄを備える環状溝７０に対し、図５に示す第３実施形態の高圧側傾斜部３７０ｅおよび低圧側傾斜部３７０ｆの少なくともいずれかが付加されてもよい。また例えば、図６では、環状溝４７１〜４７５内部の断面形状が矩形状のものを示した。しかし、複数の環状溝４７１〜４７５の一部または全部は、円弧状部２７０ｄ（図４参照）、高圧側傾斜部３７０ｅ（図５参照）および低圧側傾斜部３７０ｆ（図５参照）の少なくともいずれかを備えてもよい。また例えば、図７に示すように径方向Ｙに対して傾く高圧側フィン５５０および低圧側フィン５６０の一方が、図１に示すように径方向Ｙに対して傾かない高圧側フィン５０または低圧側フィン６０に置換されてもよい。
上記実施形態の構成要素の一部が設けられなくてもよい。上記実施形態の構成要素の数が変更されてもよい。例えば、図６に示す単位構造４３１〜４３５の段数は、第４実施形態では５であるが、２以上かつ５以外の数でもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１  回転機械
１０  静止体
２０  回転体
２１  小径部
２２  大径部
２５  隙間
３０、２３０、３３０、４３０、５３０  ラビリンスシール
４０、４４１〜４４５  段差部
５０、５５０  高圧側フィン
６０、４６１〜４６５、５６０  低圧側フィン
７０、４７１〜４７５  環状溝
３７０ｅ  高圧側傾斜部（傾斜部）
３７０ｆ  低圧側傾斜部（傾斜部）
Ｘ１  高圧側
Ｘ２  低圧側
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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