(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱伝導性フィラーと、バインダー樹脂とを含み、
前記熱伝導性フィラーは、コア粒子と、前記コア粒子の表面を被覆しているシェル部とを有し、
前記コア粒子の材料が、樹脂であり、
前記シェル部の材料が、熱伝導性材料であり、
前記熱伝導性フィラーは、接着シートの厚みの０．５倍以上、０．８倍以下の粒子径を有する第１の熱伝導性フィラーと、接着シートの厚みの０．１倍以上、０．３倍以下の粒子径を有する第２の熱伝導性フィラーとを含み、
前記第１の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下であり、
前記第２の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下である、接着シート。
【請求項２】
前記第１の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径の、前記第２の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径に対する比が、１．７以上、８以下である、請求項１に記載の接着シート。
【請求項３】
接着シートの厚み１／３の一方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の他方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の中央の領域とに関して、
前記一方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多いか、又は、前記他方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多い、請求項１又は２に記載の接着シート。
【請求項４】
前記一方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多く、かつ、前記他方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多い、請求項３に記載の接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導性フィラーを含む接着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオード（ＬＥＤ）装置やパワー半導体等の発熱デバイスにおいては、並びに、該発熱デバイスを含むモジュールにおいては、使用時の温度上昇を抑えるために、熱伝導性フィラーを含む接着シートが用いられている。具体的には、半導体チップなどの発熱体と、ヒートシンクなどの放熱体とを接着するために、接着シートが用いられることがある。
【０００３】
下記の特許文献１には、硬化状態の有機樹脂と、該有機樹脂中に熱伝導性フィラーとを含む熱伝導シートが開示されている。上記熱伝導性フィラーは、プラスチック粒子の表面が、熱伝導性材料によりコーティングされた粒子である。上記熱伝導性フィラーのＣＶ値は、１０％以下である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２０１４／１１９３８４Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のような従来の熱伝導シートでは、高い熱伝導性と高い接着性とを両立することが困難である。
【０００６】
本発明の目的は、高い熱伝導性と高い接着性とを両立することができる接着シートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の広い局面によれば、熱伝導性フィラーと、バインダー樹脂とを含み、前記熱伝導性フィラーは、コア粒子と、前記コア粒子の表面を被覆しているシェル部とを有し、前記コア粒子の材料が、樹脂であり、前記シェル部の材料が、熱伝導性材料であり、前記熱伝導性フィラーは、接着シートの厚みの０．５倍以上、０．８倍以下の粒子径を有する第１の熱伝導性フィラーと、接着シートの厚みの０．１倍以上、０．３倍以下の粒子径を有する第２の熱伝導性フィラーとを含み、前記第１の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下であり、前記第２の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下である、接着シートが提供される。
【０００８】
本発明に係る接着シートのある特定の局面では、前記第１の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径の、前記第２の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径に対する比が、１．７以上、８以下である。
【０００９】
本発明に係る接着シートのある特定の局面では、接着シートの厚み１／３の一方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の他方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の中央の領域とに関して、前記一方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多いか、又は、前記他方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多く、他の特定の局面では、前記一方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多く、かつ、前記他方の表面側の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、前記中央の領域における前記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る接着シートは、熱伝導性フィラーと、バインダー樹脂とを含み、上記熱伝導性フィラーは、コア粒子と、上記コア粒子の表面を被覆しているシェル部とを有し、上記コア粒子の材料が、樹脂であり、上記シェル部の材料が、熱伝導性材料であり、上記熱伝導性フィラーは、接着シートの厚みの０．５倍以上、０．８倍以下の粒子径を有する第１の熱伝導性フィラーと、接着シートの厚みの０．１倍以上、０．３倍以下の粒子径を有する第２の熱伝導性フィラーとを含み、上記第１の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下であり、上記第２の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下であるので、高い熱伝導性と高い接着性とを両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の第２の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の第３の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１３】
本発明に係る接着シートは、熱伝導性フィラーと、バインダー樹脂とを含む。上記熱伝導性フィラーは、コア粒子と、上記コア粒子の表面を被覆しているシェル部とを有する。上記コア粒子の材料は、樹脂である。上記シェル部の材料は、熱伝導性材料である。上記熱伝導性フィラーは、接着シートの厚みの０．５倍以上、０．８倍以下の粒子径を有する第１の熱伝導性フィラーと、接着シートの厚みの０．１倍以上、０．３倍以下の粒子径を有する第２の熱伝導性フィラーとを含む。本明細書では、接着シートの厚みの０．５倍以上、０．８倍以下の粒子径を有する熱伝導性フィラーを、第１の熱伝導性フィラーと呼ぶ。本明細書では、接着シートの厚みの０．１倍以上、０．３倍以下の粒子径を有する熱伝導性フィラーを、第２の熱伝導性フィラーと呼ぶ。上記第１の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下である。上記第２の熱伝導性フィラーの全体でのＣＶ値が１０％以下である。
【００１４】
本発明では、上述した構成が備えられているので、高い熱伝導性と高い接着性とを両立することができる。
【００１５】
例えば、異なる粒子径を有する熱伝導性フィラーを用いずに、単に熱伝導性フィラーの含有量を多くしただけでは、熱伝導性を高めることができたとしても、接着性をかなり高くすることは困難である。本発明では、異なる粒子径を有する特定の熱伝導性フィラーを用いているために、高い熱伝導性と高い接着性とを両立することができる。
【００１６】
高い熱伝導性と高い接着性とをバランスよく高める観点からは、上記第１の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径の、上記第２の熱伝導性フィラーの全体での平均粒子径に対する比は、好ましくは１．７以上、好ましくは８以下、より好ましくは７以下である。上記比が上記上限以下であると、熱伝導性がより一層高くなる。
【００１７】
上記熱伝導性フィラーの粒子径は、最大径を意味する。上記熱伝導性フィラーの平均粒子径は、体積平均粒子径を意味する。
【００１８】
以下、本発明の具体的な実施形態を説明する。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【００２０】
図１に示す接着シート１は、第１の熱伝導性フィラー２と、第２の熱伝導性フィラー３と、バインダー樹脂４とを含む。接着シート１は、単層のシートである。
【００２１】
図２は、本発明の第２の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【００２２】
図２に示す接着シート１Ａは、第１の熱伝導性フィラー２と、第２の熱伝導性フィラー３と、バインダー樹脂４とを含む。
【００２３】
接着シート１Ａは、多層のシートであり、具体的には３層のシートである。接着シート１Ａは、第１の表面１ａ側に第１の層１Ａａと、第２の表面１ｂ側に第２の層１Ａｂと、中央に第３の層１Ａｃとを有する。
【００２４】
第１の層１Ａａは、第２の熱伝導性フィラー３を含む。第２の層１Ａｂは、第２の熱伝導性フィラー３を含む。第３の層１Ａｃは、第１の熱伝導性フィラー２を含む。
【００２５】
図３は、本発明の第３の実施形態に係る接着シートを模式的に示す断面図である。
【００２６】
図３に示す接着シート１Ｂは、第１の熱伝導性フィラー２と、第２の熱伝導性フィラー３と、バインダー樹脂４とを含む。接着シート１Ｂは、単層のシートである。
【００２７】
接着シート１，１Ａ，１Ｂの厚み１／３の一方の表面１ａ（第１の表面）側の領域を領域Ｒａとし、接着シート１，１Ａ，１Ｂの厚み１／３の他方の表面１ｂ（第１の表面とは反対の第２の表面）側の領域を領域Ｒｂとし、接着シート１，１Ａ，１Ｂの厚み１／３の中央の領域を領域Ｒｃとする。
【００２８】
接着シート１では、領域Ｒａにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量は、領域Ｒｃにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量よりも多く、かつ、領域Ｒｂにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量は、領域Ｒｃにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量よりも多い。接着シート１では、領域Ｒａにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量は、領域Ｒｃにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量よりも少なく、かつ、領域Ｒｂにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量は、領域Ｒｃにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量よりも少ない。
【００２９】
接着シート１Ａでは、領域Ｒａにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量は、領域Ｒｃにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量よりも多く、かつ、領域Ｒｂにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量は、領域Ｒｃにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量よりも多い。接着シート１Ａでは、領域Ｒａにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量は、領域Ｒｃにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量よりも少なく、かつ、領域Ｒｂにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量は、領域Ｒｃにおける第１の熱伝導性フィラー２の含有量よりも少ない。
【００３０】
接着シート１Ｂでは、領域Ｒａにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量は、領域Ｒｃにおける第２の熱伝導性フィラー３の含有量よりも多い。
【００３１】
接着シート１，１Ａ，１Ｂのような状態が好ましく、接着シートの表面近傍において、第２の熱伝導性フィラーが多く存在しているように、第２の熱伝導性フィラーが偏在していることが好ましい。第２の熱伝導性フィラーが表面近傍に多く存在すると、第２の熱伝導性フィラーを多く含む表面において、熱伝導性が高くなる。比較的粒子径が小さい第２の熱伝導性フィラーが表面近傍に多く存在すると、接着シートと接着対象部材との界面において、熱伝導部位の数が多くなりやすい。なお、接着シート１Ｂのように、接着シートの片側の表面近傍においてのみ、第２の熱伝導性フィラーが多く存在しているように、第２の熱伝導性フィラーが偏在していてもよい。この場合に、より高い接着性が求められる方に、第２の熱伝導性フィラーを多く含む表面側から接着シートを接着させることができる。
【００３２】
従って、接着性を効果的に高める観点からは、接着シートの厚み１／３の一方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の他方の表面側の領域と、接着シートの厚み１／３の中央の領域とに関して、上記一方の表面側の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、上記中央の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多いか、又は、上記他方の表面側の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、上記中央の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多いことが好ましく、上記一方の表面側の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、上記中央の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多く、かつ、上記他方の表面側の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量が、上記中央の領域における上記第２の熱伝導性フィラーの含有量よりも多いことがより好ましい。
【００３３】
なお、熱伝導性フィラーの存在位置（例えば、領域Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃの内のいずれに存在するか）は、熱伝導性フィラーの中心点を基準として判断される。
【００３４】
以下、接着シートに含まれる成分、並びに、接着シートの他の詳細を説明する。
【００３５】
（熱伝導性フィラー）
上記熱伝導性フィラーは、コア粒子と、上記コア粒子の表面を被覆しているシェル部とを有する。上記熱伝導性フィラーは、コアシェル粒子であり、被覆熱伝導性粒子である。
【００３６】
上記コア粒子の材料は、樹脂である。樹脂により形成されたコア粒子は、樹脂粒子である。上記シェル部の材料は、熱伝導性材料である。上記コア粒子の材料は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。上記シェル部の材料は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３７】
上記コア粒子の材料として、種々の有機物が好適に用いられる。上記樹脂粒子を形成するための樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン等のポリオレフィン樹脂；ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂；ポリアルキレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン及び、エチレン性不飽和基を有する種々の重合性単量体を１種もしくは２種以上重合させて得られる重合体等が用いられる。エチレン性不飽和基を有する種々の重合性単量体を１種もしくは２種以上重合させることにより、接合に適した任意の圧縮時の物性を有する樹脂粒子を設計及び合成することができる。
【００３８】
上記樹脂粒子を、エチレン性不飽和基を有する単量体を重合させて得る場合には、上記エチレン性不飽和基を有する単量体としては、非架橋性の単量体と架橋性の単量体とが挙げられる。
【００３９】
上記非架橋性の単量体としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン系単量体；（メタ）アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基含有単量体；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート化合物；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレン（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート等の酸素原子含有（メタ）アクリレート化合物；（メタ）アクリロニトリル等のニトリル含有単量体；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル等のビニルエーテル化合物；酢酸ビニル、酪酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル等の酸ビニルエステル化合物；エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン等の不飽和炭化水素；トリフルオロメチル（メタ）アクリレート、ペンタフルオロエチル（メタ）アクリレート、塩化ビニル、フッ化ビニル、クロルスチレン等のハロゲン含有単量体等が挙げられる。
【００４０】
上記架橋性の単量体としては、例えば、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等の多官能（メタ）アクリレート化合物；トリアリル（イソ）シアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルアクリルアミド、ジアリルエーテル、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルスチレン、ビニルトリメトキシシラン等のシラン含有単量体等が挙げられる。
【００４１】
上記シェル部の材料である上記熱伝導性材料の熱伝導率は、２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。本発明の効果が効果的に発揮されるので、上記熱伝導性材料は、アルミナ、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ、グラフェン又はグラファイトであることが好ましく、アルミナ、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ又はグラフェンであってもよい。
【００４２】
熱伝導性を効果的に高める観点からは、上記熱伝導性材料が、アルミナ、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、又は結晶性シリカであることが好ましい。
【００４３】
上記シェル部の厚みが厚くなると、熱伝導性フィラーの熱伝導性を効果的に高めることができ、シェル部の過度のひび割れを抑制できる。シェル部の割れを抑制できる結果、シェル部の厚みをより一層均一にできるので、シェル部の熱伝導性が部分的に低くなるのを抑制することもできる。上記シェル部の厚みが薄くなると、コア粒子とシェル部との熱膨張率の差による界面の応力が緩和され、コア粒子からシェル部が剥離し難くなる。なお、上記シェル部の厚みは、１つの熱伝導性フィラーあたりのシェル部の平均厚みである。
【００４４】
上記熱伝導性フィラーの表面及び上記シェル部の外表面は、４５０℃で溶融しないことが好ましく、４００℃で溶融しないことがより好ましい。上記シェル部は、接着シートを用いた接着時に溶融しないことが好ましい。この場合には、接着シートを用いた接着時に、上記熱伝導性フィラーが過度に変形するのを抑制できる。
【００４５】
（バインダー樹脂）
上記バインダー樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂としては、一般的には絶縁性の樹脂が用いられる。上記バインダー樹脂としては、例えば、ビニル樹脂、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、熱可塑性ブロック共重合体及びエラストマー等が挙げられる。上記バインダー樹脂は、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂であることが好ましい。上記バインダー樹脂は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００４６】
上記ビニル樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体及びポリアミド樹脂等が挙げられる。上記硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。なお、上記硬化性樹脂は、常温硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂又は湿気硬化型樹脂であってもよい。上記硬化性樹脂は、硬化剤と併用されてもよい。上記熱可塑性ブロック共重合体としては、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体の水素添加物、及びスチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体の水素添加物等が挙げられる。上記エラストマーとしては、例えば、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、及びアクリロニトリル−スチレンブロック共重合ゴム等が挙げられる。
【００４７】
接着シート１００体積％中、上記バインダー樹脂の含有量は、好ましくは１０体積％以上、より好ましくは１５体積％以上、好ましくは７０体積％以下、より好ましくは６５体積％以下である。
【００４８】
接着シート１００体積％中、上記第１の熱伝導性フィラーと上記第２の熱伝導性フィラーとの合計の含有量は、好ましくは３０体積％以上、より好ましくは３５体積％以上、好ましくは９０体積％以下、より好ましくは８５体積％以下である。
【００４９】
（接着シートの他の詳細）
上記接着シートは、上記熱伝導性フィラー及び上記バインダー樹脂の他に、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
【００５０】
上記接着シートの作製方法としては、離型フィルム上に、組成物を塗工し、乾燥する方法等が挙げられる。例えば、離型フィルム上に、第２の熱伝導性フィラーを含む組成物を塗工し、乾燥させ、次に第１の熱伝導性フィラーを含む組成物を塗工し、乾燥させた後、第２の熱伝導性フィラーを含む組成物を塗工し、乾燥させて、多層の接着シートを得てもよい。また、塗工工程又は乾燥工程において、接着シート中で熱伝導性フィラーを偏在させてもよい。また、複数の層を別々に形成した後、複数の層を貼り合わせて、接着シートを得てもよい。接着シート内にフィラーを良好に存在させることが容易であることから、上記接着シートは、多層の接着シートであることが好ましい。接着シート内にフィラーを良好に存在させることが容易であることから、上記多層の接着シートは、２層以上の接着シートであることが好ましく、３層以上の接着シートであることがより好ましく、３層の接着シートであることが特に好ましい。
【００５１】
上記接着シートは、発光ダイオード（ＬＥＤ）装置やパワー半導体等の発熱デバイス、並びに、該発熱デバイスを含むモジュール等において、部材の接着に用いることができる。
【００５２】
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。
【００５３】
（実施例１）
熱伝導電性フィラーの作製：
（フィラー１の作製）
ジビニルベンゼン（ＤＶＢ）樹脂粒子（粒子径５０μｍ、ＣＶ値４％）１５重量部と窒化ホウ素粉末（三井化学社製「ＭＢＮ−０１０Ｔ」、平均粒子径０．８μｍ）５重量部とを、４重量％濃度のアルミナコロイド（日産化学社製「アルミナコロイド５２０」）溶液１００重量部に加え、撹拌し、さらにアセトンを２０重量部加え、ロータリーエバポレーターで撹拌しながら溶媒を留去し、コアシェル粒子を得た。得られたコアシェル粒子を空気雰囲気下１５０℃で３時間、さらに窒素雰囲気下３０℃で１時間ロータリーキルンを使用して加熱し、さらにふるいにかけて、微粒と粗粒とを除去した。表面に窒化ホウ素とアルミナの複合物であるシェル部を有する熱伝導性フィラー１を作製した。フィラー１の平均粒子径は６５．６μｍ、ＣＶ値は６％であった。
【００５４】
（フィラー２の作製）
樹脂粒子としてジビニルベンゼン（ＤＶＢ）樹脂粒子（粒子径１８μｍ、ＣＶ値４％）を使用したこと以外は上記フィラー１と同様にして、表面に窒化ホウ素とアルミナの複合物であるシェル部を有するフィラー２を作製した。熱伝導性フィラー２の平均粒子径は２４．８μｍ、ＣＶ値は７％であった。
【００５５】
接着シートの作製：
＜シート配合＞
硬化性化合物であるビスフェノールＡ型液状エポキシ樹脂（三菱化学社製「エピコート８２８ＵＳ」）７重量部と、硬化性化合物であるビスフェノールＡ型フェノキシ樹脂（三菱化学社製「Ｅ１２５６」）１．５重量部と、硬化剤であるジシアンジアミド０．５重量部と、イソシアヌル変性固体分散型イミダゾール（四国化成工業社製「２ＭＺＡ−ＰＷ」）０．５重量部と、溶剤であるメチルエチルケトン２０重量部とを配合し、シート作製用の組成物を得た。
【００５６】
＜塗工＞
上記組成物７０重量部に対し、熱伝導性フィラー２を３０重量部添加し、混合し、混合物２を得た。この混合物２を離型ＰＥＴシート（厚み５０μｍ）上に塗工し、８０℃オーブン内で２０分乾燥して、ＰＥＴシート上に１層目を形成した。
【００５７】
次に、上記組成物５５重量部に熱伝導性フィラー１を４５重量部添加し、混合し、混合物１を得た。１層目上に混合物１を同様に塗工し、２層目を形成した。さらに２層目上に混合物２を塗工し、９０℃オーブン内で３０分乾燥して、ＰＥＴシート上に３層目を形成し、３層構成の接着シートを作製した。
【００５８】
（実施例２）
フィラー２を得る際に、樹脂粒子をポリシロキサン粒子（粒子径１８μｍ、ＣＶ値８％）に変更したこと以外は同様にして、フィラー２を得た。フィラー２を変更したこと以外は実施例１と同様にして、３層構成の接着シートを得た。なお、コア粒子の圧縮弾性率に関しては、ＤＶＢ樹脂粒子では５６１０Ｎ／ｍｍ２、ポリシロキサン粒子では３４２０Ｎ／ｍｍ２であった。
【００５９】
（実施例３〜６及び比較例２〜６）
配合する熱伝導性フィラー１，２の組み合わせを下記の表１に示すように設定したこと以外は実施例１と同様にして、接着シートを得た。
【００６０】
（実施例７）
１層目の塗工工程を省略したこと、並びに接着シートの厚みを下記の表１に示すように設定したこと以外は実施例１と同様にして、２層構成の接着シートを得た。
【００６１】
（実施例８）
実施例１で得られたシート作製用の組成物を用意した。シート作製用の組成物６２．５重量部に熱伝導性フィラー１を２２．５重量部添加し、さらに熱伝導性フィラー２を１５重量部添加し、混合物３を得た。この混合物３を離型ＰＥＴシート（厚み５０μｍ）上に塗工し、８０℃オーブン内で２０分乾燥して、１層構成の接着シートを得た。
【００６２】
（比較例１）
１層目及び３層目の塗工工程を省略したこと、並びに接着シートの厚みを下記の表１に示すように設定したこと以外は実施例１と同様にして、１層構成の接着シートを得た。
【００６３】
（評価）
（１）熱伝導性
キセノンフラッシュ熱分析装置（ネッチＬＦＡ４４７ナノフラッシュ）により熱拡散率を測定し、密度、比重を代入して、熱伝導率を算出した。
【００６４】
［熱伝導性の判定基準］
○○：熱伝導率が５Ｗ／ｍ・Ｋ以上
○：熱伝導率が２Ｗ／ｍ・Ｋ以上、５Ｗ／ｍ・Ｋ未満
△：熱伝導率が０．８Ｗ／ｍ・Ｋ以上、２Ｗ／ｍ・Ｋ未満
×：熱伝導率が０．８Ｗ／ｍ・Ｋ未満
【００６５】
（２）接着性（接着強度）
接着シートに電解銅箔（厚み３５μｍ）を１ＭＰａの圧力で押し付けながら、２００℃で１時間加熱して、接合構造体を得た。その後、硬化物である絶縁層と銅箔との剥離強度を、９０°剥離試験により測定した。
【００６６】
［接着性の判定基準］
○○：剥離強度が１６Ｎ／ｃｍ以上
○：剥離強度が１３Ｎ／ｃｍ以上、１６Ｎ／ｃｍ未満
△：剥離強度が１０Ｎ／ｃｍ以上、１３Ｎ／ｃｍ未満
×：剥離強度が１０Ｎ／ｃｍ未満
【００６７】
（３）厚み方向のフィラーの含有量評価
接着シートをアルミニウム板に挟み、加圧加熱し、硬化したシートの断面を電界走査型電子顕微鏡でイオンビームで削りながら観察し、画像を３次元トモグラフィー処理をした。
【００６８】
実施例１〜６の接着シートでは、厚み１／３の中央の領域では、フィラー１の含有量が多く、厚み１／３の一方の表面側の領域及び厚み１／３の他方の表面側の領域では、フィラー２の含有量が多かった。
【００６９】
接着シートの組成及び評価結果を下記の表１に示す。
【００７０】
【表１】
0006683563.tif 000002
【符号の説明】
【００７１】
１，１Ａ，１Ｂ…接着シート
１Ａａ…第１の層
１Ａｂ…第２の層
１Ａｃ…第３の層
１ａ…第１の表面
１ｂ…第２の表面
２…第１の熱伝導性フィラー
３…第２の熱伝導性フィラー
４…バインダー樹脂
Ｒａ…第１の表面側の領域
Ｒｂ…第２の表面側の領域
Ｒｃ…中央の領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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