(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともガラス板からなる第１ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルの第１面と所定の間隔をあけて第１面が対向するように配置される少なくともガラス板からなる第２ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置されて前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合する枠体と、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記枠体とで囲まれる内部空間と、前記枠体に設けられ、前記内部空間と外部空間とをつなぐ排気口と、を備える、ガラスパネルユニットの仮組立て品を、
前記第１ガラスパネルの第２面と前記第２ガラスパネルの第２面とを近づく方に押すように移動可能でかつ熱伝導性を有する押し当て部を一部に有し、外部空間に通じる排気用の通気路が設けられるチャンバー部内に収納して、前記通気路を介して前記チャンバー部内を排気して減圧状態とし、前記チャンバー部は、一部に開口部が設けられる変形可能な金属製の袋を備え、前記開口部の周縁部にシール部材が設けられ、前記シール部材を介して前記開口部を着脱可能に閉塞する閉塞部材が設けられ、前記閉塞部材に前記通気路が形成されるものであり、
前記排気を継続して前記内部空間を排気しながら加熱装置により前記チャンバー部内に収納された前記仮組立て品の前記枠体を加熱して、前記枠体を変形させることにより前記排気口を閉塞する
ことを特徴とするガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記開口部より前記チャンバー部内に前記仮組立て品が収納されて前記チャンバー部内が減圧された後、前記開口部が封止されて封止部が形成されることを特徴とする請求項１記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１は、ガラスパネルユニットを開示する。特許文献１に開示されたガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、第１ガラスパネルと所定の間隔をあけて対向するように配置される第２ガラスパネルとを備える。さらに、ガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとの間に配置されて、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとを気密に接合するシールと、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとシールとで囲まれる内部空間とを備える。【０００３】  このガラスパネルユニットにあっては、製造過程において、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとの間にこれらを気密に接合する枠体が設けられ、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルと枠体とで囲まれる内部空間と外部空間とをつなぐ排気口を備える仮組立て品を封着排気炉に入れ、真空状態にし、かつ、枠体を加熱させることにより排気口を封止している。これにより、完成品としてのガラスパネルユニットを得るものである。【０００４】  特許文献１に示すガラスパネルユニットでは、封着排気炉という特殊な大がかりな装置に仮組立て品を挿入して真空状態にするとともに排気口を封止するものであり、簡易に製造する方法が望まれるものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１７２０３３号
【発明の概要】
【０００６】  本発明は、簡易にガラスパネルユニットを製造することができるガラスパネルユニットの製造方法を得ることを目的とする。
【０００７】  本発明に係るガラスパネルユニットの製造方法は、仮組立て品をチャンバー部内に収納して、通気路を介してチャンバー部内を排気して減圧状態とする。前記仮組立て品は、少なくともガラス板からなる第１ガラスパネルと、前記第１ガラスパネルの第１面と所定の間隔をあけて第１面が対向するように配置される少なくともガラス板からなる第２ガラスパネルと、枠体と、内部空間と、を備える。前記枠体は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間に配置されて前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを気密に接合する。前記内部空間は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記枠体とで囲まれる。前記枠体に、前記内部空間と外部空間とをつなぐ排気口が設けられる。前記チャンバー部は、前記第１ガラスパネルの第２面と前記第２ガラスパネルの第２面とを近づく方に押すように移動可能でかつ熱伝導性を有する押し当て部を一部に有し、外部空間に通じる排気用の通気路が設けられる。加熱装置により前記チャンバー部内に収納された前記仮組立て品の前記枠体を加熱して、前記枠体を変形させることにより前記排気口を閉塞する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の第一実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法における、ガラスパネルユニットの完成品の概略断面図である。
【図２】図２は、同上の完成品の概略平面図である。
【図３】図３は、同上のガラスパネルユニットの仮組立て品の概略断面図である。
【図４】図４は、同上の仮組立て品の概略平面図である。
【図５】図５は、同上の第４工程終了後の仮組立て品の斜視図である。
【図６】図６は、同上の第５工程を説明する仮組立て品の斜視図である。
【図７】図７は、同上の製造方法における第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程を説明する温度のタイムチャートである。
【図８】図８は、同上の組立工程終了後の仮組立て品の斜視図である。
【図９】図９は、同上の製造方法におけるチャンバー装置の断面図である。
【図１０】図１０は、第二実施形態の製造方法におけるチャンバー装置の断面図である。
【図１１】図１１は、第三実施形態の製造方法におけるチャンバー装置の断面図である。
【図１２】図１２は、ガラスパネルユニットの変形例の概略断面図である。
【図１３】図１３は、同上のガラスパネルユニットの変形例の一部破断した概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】  以下の第一実施形態〜第三実施形態は、ガラスパネルユニットおよびその製造方法に関し、特に、第１ガラスパネルと、第１ガラスパネルと所定の間隔をあけて対向するように配置される第２ガラスパネルと、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとの間に配置されて、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとを気密に接合するシールと、を備えるガラスパネルユニットおよびその製造方法に関する。
【００１０】  図１および図２は、第一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種である。
【００１１】  第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００１２】  ガラスパネルユニット（完成品）１０は、図３および図４に示される仮組立て品１００に所定の処理を行うことによって得られる。
【００１３】  仮組立て品１００は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、枠体４１０と、内部空間５００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。
【００１４】  第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定めるガラス板２１と、コーティング２２と、を備える。
【００１５】  ガラス板２１は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の一方の面（図３における下面）および他方の面（図３における上面）を有する。ガラス板２１の一方の面および他方の面はいずれも平面である。ガラス板２１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００１６】  コーティング２２は、ガラス板２１の一方の面に形成される。コーティング２２は、赤外線反射膜である。なお、コーティング２２は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
【００１７】  コーティング２２の第２ガラスパネル３０側の面が、第１ガラスパネル２０の第１面２０１を構成し、ガラス板２１の他方の面が、第１ガラスパネル２０の第２面２０２を構成する。
【００１８】  第２ガラスパネル３０は、第２ガラスパネル３０の平面形状を定めるガラス板３１を備える。ガラス板３１は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の一方の面（図３における上面）および他方の面（図３における下面）を有する。ガラス板３１の一方の面および他方の面はいずれも平面である。
【００１９】  ガラス板３１の一方の面が、第２ガラスパネル３０の第１面３０１を構成し、ガラス板３１の他方の面が、第２ガラスパネル３０の第２面３０２を構成する。
【００２０】  ガラス板３１の平面形状および平面サイズは、ガラス板２１と同じである。また、ガラス板３１の厚みは、ガラス板２１と同じである。ガラス板３１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００２１】  第２ガラスパネル３０は、ガラス板３１のみで構成されている。第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０に対向するように配置される。具体的には、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、第１ガラスパネル２０の第１面２０１と第２ガラスパネル３０の第１面３０１とが互いに平行かつ対向するように配置される。
【００２２】  枠体４１０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置され、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００２３】  枠体４１０は、熱接着剤で形成されている。熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
【００２４】  枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１，３１と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１，３１より小さい。枠体４１０は、第２ガラスパネル３０の外周に沿って形成されている。
【００２５】  第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、熱接着剤の軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１（図７参照）で枠体４１０の熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。
【００２６】  枠体４１０には、排気口７００が設けられる。排気口７００は、内部空間５００と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、内部空間５００を排気するために用いられる。
【００２７】  ガス吸着体６０は、内部空間５００内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺状であり、第２ガラスパネル３０の長さ方向の端（図４における左端側）に、第２ガラスパネル３０の幅方向に沿って形成されている。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、排気口７００から離れた位置にある。そのため、内部空間５００の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
【００２８】  ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、枠体４１０が加熱された際に、枠体４１０から放出されるガスである。
【００２９】  ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（たとえば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
【００３０】  ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体が分散された溶液を塗布することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、内部空間５００が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【００３１】  複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。
【００３２】  複数のスペーサ７０は、内部空間５００内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、２ｃｍである。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
【００３３】  スペーサ７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
【００３４】  スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。たとえば、スペーサ７０の材料は、熱接着剤の軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
【００３５】  このような仮組立て品１００は、ガラスパネルユニット（完成品）１０を得るために、上記所定の処理に供される。
【００３６】  上記所定の処理では、所定温度（排気温度）Ｔｅ（図７参照）で、内部空間５００を排気して内部空間５００を減圧空間５０とする。排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度より高くしている。これによって、内部空間５００の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。
【００３７】  また、上記所定の処理では、図２に示されるように、枠体４１０を変形させて、排気口７００を塞ぐことで、減圧空間５０を囲むシール４０を形成する。枠体４１０は、軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で熱接着剤を一旦溶融させることで、シール４０を形成することができる。なお、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２より低くしている。これによって、枠体４１０で第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを接合する際に、枠体４１０が変形して排気口７００が塞がれることを防止できる。
【００３８】  このようにして得られるガラスパネルユニット（完成品）１０は、図２に示されるように、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、と、を備える。
【００３９】  減圧空間５０は、上述したように、排気口７００を介して内部空間５００を排気することで形成される。換言すれば、減圧空間５０は、内部の圧力が所定値以下の内部空間５００である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａで、このように内部の圧力が真空といえる圧力以下の場合には減圧空間５０は真空空間となる。
【００４０】  シール４０は、減圧空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。
【００４１】  次に、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図５〜図８を参照して説明する。
【００４２】  第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してよい。
【００４３】  準備工程は、仮組立て品１００を得るために、第１ガラスパネル２０、第２ガラスパネル３０、枠体４１０、内部空間５００、排気口７００、およびガス吸着体６０を形成する工程である。準備工程は、第１工程〜第５工程を有する。なお、第２工程〜第５工程の順番は、適宜変更してもよい。
【００４４】  第１工程は、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０を洗浄する。
【００４５】  第２工程は、枠体４１０を形成する工程（シール材形成工程）である。第２工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（熱接着剤）を第２ガラスパネル３０（第１面３０１）上に塗布する。
【００４６】  このとき、図５に示すように、枠体４１０の一部分に、他の部分の厚みよりも小さい厚みを有する低段部４１１が形成される。この低段部４１１により、仮組立て品１００の排気口７００が形成される。低段部４１１が形成される部分に枠体４１０の材料がディスペンサより吐出されるときに、ディスペンサのノズルの移動速度が速められる。これにより、他の部分の厚みよりも小さい厚みを有する低段部４１１が形成される。
【００４７】  なお、ディスペンサのノズルの移動速度が一定で、低段部４１１が形成される部分に枠体４１０の材料が配置されるときに、ディスペンサのノズルからの枠体４１０の材料の単位時間あたりの吐出量を少なくしてもよい。また、排気口７００は、このような低段部４１１が枠体４１０に形成されなくても、枠体４１０を構成する材料（熱接着剤）が、第２溶融温度Ｔｍ２で溶融されるまでポーラス状をして通気性を有するものであってもよい。この場合、枠体４１０を構成する材料が、第２溶融温度Ｔｍ２で溶融されることで、通気性が失われる。
【００４８】  枠体４１０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料が塗布された第２ガラスパネル３０を加熱する。
【００４９】  第３工程は、スペーサ７０を形成する工程（スペーサ形成工程）である。第３工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラスパネル３０の所定位置に配置する。なお、複数のスペーサ７０は、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のスペーサ７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のスペーサ７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００５０】  第４工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第４工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラスパネル３０の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。
【００５１】  第１工程から第４工程が終了することで、図５に示されるような、枠体４１０、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラスパネル３０が得られる。
【００５２】  第５工程は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを配置する工程（配置工程）である。図６に示されるように、第５工程では、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、第１ガラスパネル２０の第１面２０１と第２ガラスパネル３０の第１面３０１とが互いに平行かつ対向するように配置して、重ね合わせられる。
【００５３】  組立工程は、仮組立て品１００を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを接合することで、仮組立て品１００を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを枠体４１０により気密に接合する工程（第１溶融工程）である。
【００５４】  第１溶融工程では、熱接着剤の軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。具体的には、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０は、後述するチャンバー部８１内に配置され、図７に示されるように、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される。
【００５５】  第１溶融温度Ｔｍ１および第１溶融時間ｔｍ１は、枠体４１０の熱接着剤によって第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とが気密に接合されるが、枠体４１０の変形によって排気口７００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、熱接着剤の軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、枠体４１０の変形によって排気口７００が塞がれることがないように設定される。
【００５６】  上述した組立工程（第１溶融工程）によって、図８に示される仮組立て品１００が得られる。
【００５７】  密閉工程は、仮組立て品１００に上記所定の処理を行ってガラスパネルユニット（完成品）１０を得る工程である。密閉工程は、排気工程と、溶融工程（第２溶融工程）と、を有する。つまり、排気工程および第２溶融工程が上記所定の処理に相当する。密閉工程には、図９に示すチャンバー装置８０が用いられる。
【００５８】  チャンバー装置８０は、仮組立て品１００を内部に収納して外部空間に対して密閉するチャンバー部８１を備えるものである。
【００５９】  チャンバー部８１は、第１ガラスパネル２０の第２面２０２と第２ガラスパネル３０の第２面３０２とを近づく方に押すように移動可能であるとともに熱伝導性を有する押し当て部８２を一部に有するものである。
【００６０】  第一実施形態では、チャンバー部８１は、容易に変形可能な袋を備えている。チャンバー部８１が備える袋は、たとえば金属製の袋が用いられるが、金属製に限定されない。第一実施形態では、チャンバー部８１がアルミニウム製の袋を備えている。このチャンバー部８１が備える袋の厚みは、１０μｍ、５０μｍ、１００μｍ、５００μｍ等であり、厚みは特に限定されず、材質により適宜決められる。また、チャンバー部８１が備える袋（たとえばアルミニウム製袋）に、第２溶融温度Ｔｍ２よりも高い温度に耐えられる耐熱性を有する、袋が破れるのを抑えるフィルムが貼り付けられてもよい。このように、袋という簡易な構成で、チャンバー部８１を構成することができる。
【００６１】  押し当て部８２は、このチャンバー部８１の袋の任意の部分により構成される。すなわち、押し当て部８２は、チャンバー部８１のうち、実際に第１ガラスパネル２０の第２面２０２または第２ガラスパネル３０の第２面３０２に押し当てられている部分が該当する。押し当て部８２は、熱伝導性を要するもので、少なくともガラス以上の熱伝導率を有する材料が好ましく、さらに、金属類（たとえばアルミニウム）と同等の熱伝導率を有する材料がより好ましい。
【００６２】  チャンバー部８１には、仮組立て品１００を内部に入れ、完成品としてのガラスパネルユニット１０を内部より取り出すための開口部８３が設けられる。チャンバー部８１の開口部８３の周縁部には、シール部材８４を介して閉塞部材８５が設けられる。シール部材８４は、第一実施形態では、第２溶融温度Ｔｍ２よりも高い温度に耐えられる耐熱性を有するＯリングにより構成される。なお、シール部材８４は、水冷機構により水冷されてもよい。閉塞部材８５は、第一実施形態では金属製の板状をした部材を備えている。
【００６３】  チャンバー部８１には、外部空間に通じる通気路８６が設けられるものである。第一実施形態では、閉塞部材８５に、チャンバー部８１の内外に通じる通気路８６が形成されている。閉塞部材８５の通気路８６の外部空間側の端部には、排気管８７が設けられる。
【００６４】  排気工程は、所定温度（排気温度）Ｔｅで、内部空間５００を、排気口７００を介して排気して減圧空間５０とする工程である。
【００６５】  排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、排気管８７にシールヘッド（不図示）が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。真空ポンプにより排気されると、チャンバー部８１内の気圧が下がり、大気圧により押し当て部８２が押されて、押し当て部８２が第１ガラスパネル２０の第２面２０２と第２ガラスパネル３０の第２面３０２とを互いに近づく方に押す。
【００６６】  第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０（枠体４１０、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラスパネル３０）をチャンバー部８１内に配置したまま行われる。
【００６７】  排気工程では、排気温度Ｔｅで所定時間（排気時間）ｔｅだけ、排気口７００とを介して内部空間５００を排気する（図７参照）。
【００６８】  排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（たとえば、３５０℃）より高く、かつ、軟化点（たとえば、４３４℃）より低く設定される。
【００６９】  このようにすれば、枠体４１０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、内部空間５００、および、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。
【００７０】  排気時間ｔｅは、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の減圧空間５０が得られるように設定される。
【００７１】  第２溶融工程は、枠体４１０を変形させて、排気口７００を塞ぐシール４０を形成することで、減圧空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０を変形させてシール４０を形成する。具体的には、第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０は、チャンバー部８１内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図７参照）。
【００７２】  図９に示すように、押し当て部８２の外側から、加熱装置８８により押し当て部８２を介して第１ガラスパネル２０および第２ガラスパネル３０を加熱する。加熱装置８８としては、たとえば電熱線等を用いたホットプレートが用いられるが、特にホットプレートに限定されない。
【００７３】  第２溶融温度Ｔｍ２および第２溶融時間ｔｍ２は、熱接着剤が軟化し、排気口７００を塞ぐ枠体４１０が形成されるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、軟化点（４３４℃）である。ただし、第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、枠体４１０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（４４０℃）Ｔｍ１より高くしている。
【００７４】  第１溶融工程でも、枠体４１０が加熱されているから、枠体４１０からガスが放出されることがある。枠体４１０から放出されたガスはガス吸着体６０に吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６０の吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度以上の排気温度Ｔｅで内部空間５００の排気を行い、これによって、ガス吸着体６０の吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６０は、第２溶融工程において、枠体４１０から放出されたガスを十分に吸着できる。
【００７５】  また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、排気口７００を介して内部空間５００を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、排気口７００を介して内部空間５００を排気しながら、枠体４１０を変形させて排気口７００を塞いでシール４０を形成するもので、第２溶融工程は実質的に排気工程に含まれる。これによって、第２溶融工程中に、減圧空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。
【００７６】  上述した、準備工程、組立工程、密閉工程、および除去工程を経て、ガラスパネルユニット１０が得られる。
【００７７】  第一実施形態においては、従来例のように封着排気炉という特殊な大がかりな装置が用いられずに、ガラスパネルユニット１０が製造可能である。すなわち、上述したようなチャンバー部８１を有するチャンバー装置８０が用いられている。これにより、チャンバー部８１の一部を構成する押し当て部８２により第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを押し当てて、チャンバー部８１内の容積が小さくてすむ。また、押し当て部８２が熱伝導性を有するため、チャンバー部８１外から加熱装置８８により加熱して仮組立て品１００の枠体４１０を加熱することができる。これによっても、チャンバー部８１内の容積が小さくてすみ、大がかりな装置を要さず、簡易にガラスパネルユニット１０を製造することが可能となる。また、排気する気体（空気）の量が少なくてすみ、動力が小さくてすみ、省エネルギー化が図られる。
【００７８】  また、チャンバー装置８０の変形や切除等が伴わないため、チャンバー装置８０の再利用が可能である。
【００７９】  次に、第二実施形態について図１０に基いて説明する。第二実施形態では、第一実施形態のチャンバー装置８０と異なるチャンバー装置８０Ａが用いられる。なお、第二実施形態は大部分において第一実施形態と同じであるため、同じ構成については同符号の末尾に「Ａ」を付けた符号を用いて説明を省略し、主に異なる構成について説明する。
【００８０】  チャンバー装置８０Ａは、仮組立て品１００Ａを内部に収納するチャンバー部８１Ａを備えるものである。
【００８１】  チャンバー部８１Ａは、第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとを近づく方に押すように移動可能であるとともに熱伝導性を有する押し当て部８２Ａを一部に有する。具体的には、チャンバー部８１Ａは、押し当て部８２Ａとなる二枚のプレートと、シール部材８１１Ａと、を備えている。
【００８２】  押し当て部８２Ａは、第１プレート８２１Ａと、第２プレート８２２Ａと、を備えている。第１プレート８２１Ａおよび第２プレート８２２Ａは、透光性を有するガラスで形成されている。
【００８３】  第１プレート８２１Ａと第２プレート８２２Ａとの間に、これらの周縁部に沿って、第２溶融温度Ｔｍ２よりも高い温度に耐えられる耐熱性および弾性を有するＯリングにより構成されるシール部材８１１Ａが設けられる。シール部材８１１Ａは、水冷機構８９Ａにより水冷される。
【００８４】  真空ポンプにより排気されると、チャンバー部８１Ａ内の気圧が下がり、大気圧により第１プレート８２１Ａと第２プレート８２２Ａとが押される。第１プレート８２１Ａと第２プレート８２２Ａとは、それぞれ第１ガラスパネル２０Ａと第２ガラスパネル３０Ａとを押す。すなわち、シール部材８１１Ａは弾性を有するため、第１プレート８２１Ａと第２プレート８２２Ａとが近づくようにこれらを押すことができる。
【００８５】  第二実施形態の加熱装置８８Ａは、赤外線ヒータであるが、たとえば電熱線等を用いたホットプレートが用いられてもよく、特に限定されない。
【００８６】  また、第１ガラスパネル２０Ａを貫通する通気路８６Ａが形成されており、第１ガラスパネル２０Ａの通気路８６Ａの外部空間側の端部に排気管８７Ａが設けられる。また、ガス吸着体６０Ａ、スペーサ７０Ａはそれぞれ第一実施形態のガス吸着体６０、スペーサ７０と同じである。
【００８７】  第二実施形態では、真空ポンプにより排気されてチャンバー部８１Ａ内が減圧された状態で、加熱装置８８Ａにより枠体４１０Ａが加熱されて排気口７００Ａが閉塞される。これにより、内部に減圧空間を有するガラスパネルユニットが形成される。
【００８８】  また、第１プレート８２１Ａおよび第２プレート８２２Ａは、ガラスではなく、金属で形成されてもよく、材質は特に限定されない。第１プレート８２１Ａおよび第２プレート８２２Ａがガラスでない場合（すなわち透光性を有しない場合）には、加熱装置８８Ａとしてホットプレートが好適に用いられる。
【００８９】  第二実施形態にあっても、第一実施形態と同様に、従来のように封着排気炉という特殊な大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易にガラスパネルユニットを製造することが可能となる。特に、第１プレート８２１Ａ、第２プレート８２２Ａ、シール部材８１１Ａという簡易な構成で、チャンバー部８１Ａを構成することができる。
【００９０】  また、チャンバー装置８０Ａの変形や切除等が伴わないため、チャンバー装置８０Ａの再利用が可能である。
【００９１】  次に、第三実施形態について図１１に基いて説明する。第三実施形態では、第一実施形態のチャンバー装置８０と異なるチャンバー装置８０Ｂが用いられる。なお、第三実施形態は大部分において第一実施形態と同じであるため、同じ構成については同符号の末尾に「Ｂ」を付けた符号を用いて説明を省略し、主に異なる構成について説明する。
【００９２】  チャンバー装置８０Ｂは、仮組立て品１００Ｂを内部に収納するチャンバー部８１Ｂを備えるものである。
【００９３】  チャンバー部８１Ｂは、容易に変形可能な袋を備えている。チャンバー部８１Ｂが備える袋は、たとえば金属製の袋が用いられるが、金属製に限定されない。第三実施形態のチャンバー部８１Ｂは、第一実施形態と同様のアルミニウム製の袋を備えている。
【００９４】  チャンバー部８１Ｂには、開口部が設けられるが、この開口部は、チャンバー部８１Ｂ内に仮組立て品１００Ｂが収納され、チャンバー部８１Ｂ内が減圧された後、溶接等により封止された封止部９０Ｂとなり、密閉される。
【００９５】  また、チャンバー部８１Ｂ内には、ガス吸着体９１Ｂが挿入される。ガス吸着体９１Ｂは、ガス吸着体６０Ｂと同様のゲッタを有している。ガス吸着体９１Ｂは、パック９２Ｂに封入されている。チャンバー部８１Ｂ内が減圧された後、パック９２Ｂが破られて、ガス吸着体９１Ｂを構成するゲッタが活性化される。パック９２Ｂは、チャンバー部８１Ｂの袋の上から摘まんで破ることが可能である。
【００９６】  第三実施形態の加熱装置８８Ｂは、たとえば電熱線等を用いたホットプレートであるが、特に限定されない。封止部９０Ｂが形成されて密閉によりチャンバー部８１Ａ内が減圧された状態で、加熱装置８８Ｂにより枠体４１０Ｂが加熱されて排気口７００Ｂが閉塞される。このとき、枠体４１０Ｂから発生するガスがガス吸着体９１Ｂにより吸着される。これにより、内部に減圧空間を有するガラスパネルユニットが形成される。
【００９７】  真空ポンプにより排気されてチャンバー部８１Ｂ内が減圧されると、大気圧により押し当て部８２Ｂが押されて、押し当て部８２Ｂが第１ガラスパネル２０Ｂと第２ガラスパネル３０Ｂを互いに近づく方に押す。スペーサ７０Ｂは第一実施形態のスペーサ７０と同じである。
【００９８】  第三実施形態にあっても、第一実施形態と同様に、従来のように封着排気炉という特殊な大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易にガラスパネルユニットを製造することが可能となる。
【００９９】  次に、上述した第一実施形態〜第三実施形態の製造方法により製造するガラスパネルユニット１０の変形例について図１２、図１３に基いて説明する。なお、変形例に係るガラスパネルユニット１０は、上述したガラスパネルユニット１０において追加の構成を有するものであるため、上述したガラスパネルユニット１０と共通する構成については同符号を付して説明を省略する。
【０１００】  変形例におけるガラスパネルユニット１０は、第２パネル３０と対向するように配置される第３パネル９３を備える。なお、変形例においては、第３パネル９３は、便宜上、第２パネル３０と対向しているが、第１パネル２０と対向してもよい。
【０１０１】  第３パネル９３は、第３ガラス板９４を備える。第３パネル９３が備える第３ガラス板９４は、平坦な表面を有し、所定の厚みを有する。変形例では、第３ガラス板９４により第３パネル９３が構成される。
【０１０２】  なお、第３パネル９３は、いずれかの表面にコーティングを備えていてもよい。コーティングは、赤外線反射膜等の所望の物理特性を有する膜である。この場合には、第３パネル９３が第３ガラス板９４およびコーティングにより構成される。要するに、第３パネル９３は、少なくとも第３ガラス板９４により構成される。
【０１０３】  さらに、ガラスパネルユニット１０は、第２パネル３０と第３パネル９３との間に配置されて第２パネル３０と第３パネル９３とを気密に接合する第２シール４１を備える。なお、この場合、シール４０が第１シールとなる。第２シール４１は、第２パネル３０の周縁部と第３パネル９３の周縁部との間に環状に配置されている。第２シール４１は、シール４０と同様の材質からなるものであってもよいし、異なる材質からなるものであってもよい。
【０１０４】  ガラスパネルユニット１０は、第２パネル３０と第３パネル９３と第２シール４１とで密閉され、乾燥ガスが封入された第２内部空間５１０を備える。なお、この場合、内部空間５００が第１内部空間となる。乾燥ガスとしては、アルゴン等の乾燥した希ガス、乾燥空気等が用いられるが、特に限定されない。
【０１０５】  また、第２パネル３０の周縁部と第３パネル９３の周縁部との間の第２シール４１の内側には、中空の枠部材９５が環状に配置されている。枠部材９５には、第２内部空間５１０に通じる貫通孔９５１が形成されており、内部にたとえばシリカゲル等の乾燥剤９６が収容されている。
【０１０６】  また、第２パネル３０と第３パネル９３との接合は、第１パネル２０と第２パネル３０との接合と同様の要領で行うことが可能であり、一例について以下に説明する。
【０１０７】  まず、第３パネル９３と、第１パネル２０および第２パネル３０を有する組立品（第一実施形態または第二実施形態におけるガラスパネルユニット１０）とを準備する。
【０１０８】  後に第２シール４１となる第２熱接着剤が、第３パネル９３または第２パネル３０の表面の周縁部に枠状に配置される（第２熱接着剤配置工程）。熱接着剤は、枠体４１０となる熱接着剤（第１熱接着剤）と同様の材質からなるものであってもよいし、異なる材質からなるものであってもよい。さらにこの工程では、熱接着剤に、第２内部空間５１０と外部空間とを通じさせる貫通孔からなる通気路（第２通気路）が形成される。
【０１０９】  次に、第３パネル９３と、第２パネル３０とを対向配置させる（第３パネル対向配置工程）。
【０１１０】  次に、第２シール４１となる熱接着剤が溶融する温度まで温度を上昇させて熱接着剤を一旦溶融させることで、第２パネル３０と第３パネル９３とが第２シール４１によって気密に接合される（接合工程）。なお、このとき、第２通気路は完全に塞がれないようにする。
【０１１１】  次に、第２通気路を介して第２内部空間５１０に乾燥ガスを流入させる（乾燥ガス流入工程）。この工程では、第２内部空間５１０内を乾燥ガスのみで満たしてもよいし、空気が残ってもよい。
【０１１２】  次に、第２シール４１を加熱して第２通気路を塞いで第２内部空間５１０を封止する（第２空間封止工程）。
【０１１３】  以上のようにして、ガラスパネルユニット１０が形成される。変形例のガラスパネルユニット１０によれば、より一層の断熱性が得られる。
【０１１４】  以上述べた第一実施形態〜第三実施形態から明らかなように、本発明に係る第１の形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、仮組立て品１００をチャンバー部８１内に収納して、通気路８６を介してチャンバー部８１内を減圧状態とする。仮組立て品１００は、少なくともガラス板２１からなる第１ガラスパネル２０と、第１ガラスパネル２０の第１面２０１と所定の間隔をあけて第１面３０１が対向するように配置される少なくともガラス板３１からなる第２ガラスパネル３０と、枠体４１０と、内部空間５００と、を備える。枠体４１０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置されて第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。内部空間５００は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０と枠体４１０とで囲まれる。枠体４１０に、内部空間５００と外部空間とをつなぐ排気口７００が設けられる。チャンバー部８１は、第１ガラスパネル２０の第２面２０２と第２ガラスパネル３０の第２面３０２とを近づく方に押すように移動可能でかつ熱伝導性を有する押し当て部８２を一部に有し、外部空間に通じる排気用の通気路８６が設けられる。加熱装置８８によりチャンバー部８１内に収納された仮組立て品１００の枠体４１０を加熱して、枠体４１０を変形させることにより排気口７００を閉塞する。
【０１１５】  第１の形態によれば、簡易にガラスパネルユニット１０を製造することが可能となる。
【０１１６】  本発明に係る第２の形態のガラスパネルユニットの製造方法は付加的なものであり、第１の形態との組み合わせにより実現される。第２の形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、チャンバー部８１が、一部に開口部８３が設けられる変形可能な袋を備え、開口部８３の周縁部にシール部材８４が設けられ、シール部材８４を介して開口部８３を着脱可能に閉塞する閉塞部材８５が設けられる。閉塞部材８５には通気路８６が形成されている。
【０１１７】  第２の形態によれば、袋という簡易な構成で、チャンバー部８１を構成することができる。また、チャンバー部８１の変形、破損を伴わないため、チャンバー部８１の再利用が可能である。
【０１１８】  本発明に係る第３の形態のガラスパネルユニットの製造方法は付加的なものであり、第１の形態との組み合わせにより実現される。第３の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、チャンバー部８１Ａが、押し当て部８２Ａとしての第１プレート８２１Ａおよび第２プレート８２２Ａと、シール部材８１１Ａと、を備えている。シール部材８１１Ａは、第１プレート８２１Ａと第２プレート８２２Ａとの間に設けられる、耐熱性および弾性を有するものである。
【０１１９】  第３の形態によれば、第１プレート８２１Ａ、第２プレート８２２Ａ、シール部材８１１Ａという簡易な構成で、チャンバー部８１Ａを構成することができる。また、チャンバー部８１Ａの変形、破損を伴わないため、チャンバー部８１Ａの再利用が可能である。
【０１２０】  本発明に係る第４の形態のガラスパネルユニットの製造方法は付加的なものであり、第１の形態との組み合わせにより実現される。第４の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、チャンバー部８１Ｂが、一部に開口部が設けられる変形可能な袋を備える。この開口部よりチャンバー部８１Ｂ内に仮組立て品１００Ｂが収納されてチャンバー部８１Ｂ内が減圧された後、開口部が封止されて封止部９０Ｂが形成される。
【０１２１】  第４の形態によれば、袋という簡易な構成で、チャンバー部８１Ｂを構成することができる。また、チャンバー部８１Ｂの変形、破損を伴わないため、チャンバー部８１Ｂの再利用が可能である。
【符号の説明】
【０１２２】  １０    ガラスパネルユニット  １００  仮組立て品  １００Ｂ  仮組立て品  ２０    ガラスパネル  ２０１  第１面  ２０２  第２面  ３０    ガラスパネル  ３０１  第１面  ３０２  第２面  ４１０  枠体  ５００  内部空間  ７００  排気口  ８１    チャンバー部  ８１Ａ  チャンバー部  ８１Ｂ  チャンバー部  ８１１Ａ  シール部材  ８２    押し当て部  ８２Ａ  押し当て部  ８２１Ａ  第１プレート  ８２２Ａ  第２プレート  ８３    開口部  ８４    シール部材  ８５    閉塞部材  ８６    通気路  ８８    加熱装置  ９０Ｂ  封止部
【図１】
0006715485.tif 000002
【図２】
0006715485.tif 000003
【図３】
0006715485.tif 000004
【図４】
0006715485.tif 000005
【図５】
0006715485.tif 000006
【図６】
0006715485.tif 000007
【図７】
0006715485.tif 000008
【図８】
0006715485.tif 000009
【図９】
0006715485.tif 000010
【図１０】
0006715485.tif 000011
【図１１】
0006715485.tif 000012
【図１２】
0006715485.tif 000013
【図１３】
0006715485.tif 000014