(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力測定装置（１，１００，２００，３００）であって、
中空室（１２）を備えたケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）と、
第１シール構造部（２６，１２６，２２６）を備えたセンサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）であって、前記第１シール構造部（２６，１２６，２２６）は、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）によって前記中空室（１２）の開口部（１３）を閉鎖できるように、前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）に間接または直接に係合し、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）は、前記中空室（１２）に印加される、測定すべき圧力を測定するように形成されている、センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）と、
シール装置（５０，１５０）であって、該シール装置（５０，１５０）は、少なくとも一部分が、前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）と、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）との間に配置されており、かつ、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）に押圧力を加えることにより、前記第１シール構造部（２６，１２６，２２６）が間接的または直接的に前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）を押圧するように構成されている、シール装置（５０，１５０）と、
を備え、
前記センサ装置（１２０）の前記第１シール構造部は、第１外側円錐部（１２６）を有しており、
前記ケーシング（１１０）は、第１内側円錐部（１１４）を有しており、
前記第１外側円錐部（１２６）は前記第１内側円錐部（１１４）に形状結合的に押圧可能である、
ことを特徴とする、圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項２】
前記センサ装置（１２０，２２０，４２０）は、
前記中空室（１２）に連通しているダイヤフラム（１２２）と、
前記中空室（１２）に印加される、測定すべき圧力を前記ダイヤフラム（１２２）の変形に基づいて測定するように構成された測定ユニット（６０）とを有する、請求項１に記載の圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項３】
前記シール装置（１５０）は、予荷重の下で前記ケーシング（１１０，２１０，３１０）に取り付けられており、これによって前記シール装置（１５０）が、前記予荷重によって、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）に押圧され、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）の前記第１シール構造部（２６，１２６，２２６）が、間接的または直接的に前記ケーシング（１１０，２１０，３１０）に押圧される、請求項１または２に記載の圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項４】
前記センサ装置（２２０）の前記第１シール構造部は、シーリングエッジ（２２６）を有する、請求項１から３までのいずれか１項に記載の圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項５】
前記センサ装置（１２０，２２０，４２０）は、前記シール装置（１５０）の第３シール構造部（１５４）と共働してシール作用を及ぼすように形成されている第２シール構造部（１２４，４２４）を有しており、
前記センサ装置（１２０）の前記第２シール構造部は、第２内側円錐部（１２４）を有しており、
前記シール装置（１５０）の前記第３シール構造部は、第２外側円錐部（１５４）を有しており、当該第２外側円錐部（１５４）に前記第２内側円錐部（１２４）が係合させられるようになっている、請求項１から４までのいずれか１項に記載の圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項６】
前記シール装置（１５０）は少なくとも一部分が、前記ケーシング（１１０，２１０，３１）の有底孔（１５７，２５７，３５７）内に配置される、請求項１から５までのいずれか１項に記載の圧力測定装置（１，１００，２００，３００）。
【請求項７】
圧力測定装置を製造する方法であって、
中空室（１２）を備えたケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）を形成するステップ（Ｓ０１）と、
第１シール構造部（２６，１２６，２２６）を備えたセンサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）を形成するステップ（Ｓ０２）と、
前記第１シール構造部（２６，１２６，２２６）が間接的または直接的に前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）に係合可能であるようにし、前記中空室（１２）の開口部（１３）が前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）によって閉鎖可能になるように、前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）に前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）を当て付けるステップ（Ｓ０３）と、
シール装置（５０，１５０）が、前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２）に押圧力を加えることにより、前記第１シール構造部（２６，１２６，２２６）が間接的または直接的に前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）を押圧するように、前記シール装置（５０，１５０）の少なくとも一部分を、前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）と前記センサ装置（２０，１２０，２２０，４２０）との間に配置するステップ（Ｓ０４）と、を有し、
前記センサ装置（１２０）の前記第１シール構造部は、第１外側円錐部（１２６）を有しており、
前記ケーシング（１１０）は、第１内側円錐部（１１４）を有しており、
前記第１外側円錐部（１２６）は前記第１内側円錐部（１１４）に形状結合的に押圧可能である、
ことを特徴とする、圧力測定装置を製造する方法。
【請求項８】
前記シール装置（５０，１５０）を配置して、前記センサ装置（２０，１２０，２２０）に前記押圧力を加える前記ステップ（Ｓ０４）の際に、前記シール装置（１５０）を、前記ケーシング（１１０，２１０，３１０）の有底孔（１５７，２５７，３５７）内に圧入して、少なくとも、前記シール装置（５０，１５０）と前記センサ装置（２０，１２０，２２０）との間に予荷重が発生するようにする、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記シール装置（５０，１５０）を配置して、前記センサ装置（２０，１２０，２２０）に前記押圧力を加える前記ステップ（Ｓ０４）の際に、前記シール装置（１５０）を前記ケーシング（１０，１１０，２１０，３１０）内の有底孔（１５７，２５７，３５７）内にはめこみ、溶接シーム（１５６）によって前記ケーシング（１０）に固定する、請求項７または８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力測定装置および圧力測定装置を製造する方法に関する。本発明は特に圧力センサ、好適には高圧センサに関する。高圧センサとは特に、2000barを上回る、好適には2500barを上回る、特に好適には3000barを上回る圧力を測定するように設計されているセンサのことであり、この高圧センサは壊されないことが有利である。ここで1barは10000Pascalである。
【背景技術】
【０００２】
ハイドロリック機構およびプロセス技術の多くの分野において、圧力センサ、すなわち圧力測定装置、特に50barを上回る圧力測定装置が果たす役割は大きい。特に自動車製造においてこのような装置は、例えば燃料直接噴射および走行動特性制御において、さまざまなシステムに使用される。一般的には、特に精度が高くかつ頑強であると共に比較的わずかなコストで製造可能ないわゆる圧電抵抗式高圧センサが使用される。
【０００３】
圧電抵抗式圧力センサでは、適切に設計されたスチールダイヤフラム上に、膨張を検知しかつホイートストーンブリッジに接続される複数の電気抵抗が設けられている。スチールダイヤフラムに加わる、測定すべき圧力によってこのスチールダイヤフラムが変形する。これにより、スチールダイヤフラムの表面上でこれらの抵抗の材料が膨張し得る。これらの抵抗は、これらの膨張ないしは圧縮を検出できるように配置される。抵抗ブリッジとも称されるホイートストーンブリッジに結果的に発生する平衡のずれは、スチールダイヤフラムがわずかなダイヤフラム変位する際に示される圧力に比例し、これは適切な電子回路によって評価することができる。
【０００４】
独国特許出願公開第10 2009 025 486号明細書には２つの部分からなる圧力センサが記載されており、その２つの部分は、溶接シームによって互いに固定されている。第１の部分は、雄ねじを備えたケーシングであり、この第１の部分は、圧力を測定すべき液体と接触しない。第２の部分は、測定区間を有しており、ここでは、測定すべき圧力によって生じるこの測定区間の変形が測定され、測定すべき圧力を測定するために評価される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】独国特許出願公開第10 2009 025 486号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明には、請求項１の特徴部分に記載された特徴的構成を有する装置と、請求項８に記載された特徴を有する、装置の製造方法とが開示されている。
【０００７】
これによれば、本発明により、圧力測定装置が得られ、この装置は、中空室を備えたケーシングと、第１シール構造部を備えたセンサ装置とを有しており、この第１シール構造部は、センサ装置によって中空室の開口部を閉鎖できるようにケーシングに間接的または直接的に係合し、上記センサ装置は、中空室に印加される、測定すべき圧力を測定するように形成されており、上記装置は、さらにシール装置を有しており、このシール装置は、少なくとも一部分が、ケーシングとセンサ装置との間に配置されており、かつ、センサ装置に押圧力を加えることにより、第１シール構造部が間接また直接的にケーシングを押圧するように構成されている。
【０００８】
上記測定すべき圧力は特に、中空室に導入可能な液体の圧力であり、この液体には、測定すべき圧力が印加され、これによってこの中空室にも、測定すべき圧力が印加される。この装置のケーシングは、圧力ソケットと称することができる。シール装置とセンサ装置とは接合相手と称することができる。中空室の開口部とは、中空室から装置の外側面へ至る液体連通路のことである。液体連通路とは、１つの箇所から別の箇所に到達するために液体が進み得るパスのことである。
【０００９】
さらに本発明により、圧力測定装置を製造する方法が得られ、この方法は、中空室を備えたケーシングを形成するステップと、第１シール構造部を備えたセンサ装置を形成するステップと、ケーシングにセンサ装置を載置して、第１シール構造部が間接的または直接的にケーシングに係合可能であるようにし、これによって中空室の開口部がセンサ装置によって閉鎖可能となるかまたは閉鎖されるようにするステップと、シール装置の少なくとも一部分を、ケーシングとセンサ装置との間に配置して、シール装置がセンサ装置に押圧力を加えることにより、第１シール構造部が間接的または直接的にケーシングを押圧するようにするステップとを有する。
【００１０】
発明の利点
本発明の根底にある知識は、圧力センサを複数の部分から作製することによって有利にも、個々の部分を別個に、かつ、必要な製造コストについても最適化して製造することができることである。さらに、圧力を測定すべき部分のあらゆる変形が最小化されるように、これらの個々に製造した部分を互いに接続するないしはこれらが接続されているようにすることが可能である。高圧センサでは、例えば、およそ０．５％ＦＳ（英語："Full Scale"＝フルスケール）の新品部品精度が要求されることが多い。このような精度を達成するために有利であるのは、圧力センサの個々の部品を組み立てる際にこの圧力センサ、すなわち圧力測定装置のゼロ信号のシフトが生じないようにすることである。
【００１１】
さらに本発明による装置は、引張力の負荷が加わる溶接シームを省略でき、これによっての装置の頑強さが高まる。さらに本発明による装置の組み立て方式により、装置を製造する際にも、また現場でこの装置を使用するないしは組み込む際にも共に、この装置のセンサ装置を外部の影響からより良好に機械的にデカップリングすることが保証される。
【００１２】
さらにここで説明している本発明による装置の利点は、この装置のセンサ装置を製造するのに使用される詳細な方法には依存しない。以下では、センサ装置のダイヤフラムベースの測定ユニットを有する一実施形態を説明するが、これは複数の例のうちの一例である。
【００１３】
有利な実施形態および発展形態は、従属請求項および図面を参照して行われる以下の説明から得られる。
【００１４】
有利な一実施形態によれば、上記のセンサ装置は、中空室に連通しているダイヤフラムを有し、かつ、さらに、中空室に印加される、測定すべき圧力をダイヤフラムの変形に基づいて測定するように構成された測定ユニットを有する。この測定ユニットは特に、ホイートストーンブリッジを有し得る。上記のダイヤフラムは、例えばスチールとして、および／または、センサ装置の一体型の基体の薄くした部分として形成することができ、この部分は、例えばスチール製とすることができる。これにより、測定すべき圧力を特に正確に測定することができる。
【００１５】
別の実施形態によれば、シール装置は、予荷重の下でケーシングに取り付けられており、これによってシール装置が、この予荷重によって、センサ装置に押圧され、センサ装置の第１シール構造部が、間接的または直接的にケーシングに押圧される。これにより、センサ装置とケーシングとの間の接続が密閉性を有することが、中空室におけるセンサ装置に印加される、測定すべき圧力においても保証される。
【００１６】
別の実施形態によれば、センサ装置の第１シール構造部は、第１外側円錐部を有しており、ケーシングは、第１内側円錐部を有しており、第１外側円錐部は第１内側円錐部を形状結合的に押圧可能である。これにより、第１内側円錐部と第１外側円錐部との間の特に密な接合を実現することができる。別の実施形態によれば、センサ装置の第１シール構造部は、シーリングエッジを有する。
【００１７】
別の実施形態によれば、センサ装置は、シール装置の第３シール構造部と共にシール作用を及ぼすように形成されている第２シール構造部を有しており、センサ装置の第２シール構造部は、第２内側円錐部を有しており、シール装置の第３シール構造部は、第２外側円錐部を有しており、この第２外側円錐部に第２内側円錐部を係合させることできる。言い換えると、第２内側円錐部は、第２外側円錐部に気密に圧入することができる。外側円錐部とは特に、一部材における円錐形または部分円錐形の凹部の側面のことである。内側円錐部とは特に、円錐形または部分円錐形の、一部材の外面のことである。
【００１８】
別の実施形態によれば、シール装置は少なくとも一部分が、有利に全部が、ケーシングの有底孔に配置される。これにより、有利にもケーシングと、シール装置と、センサ装置との間の予荷重をさらに可能にする、特にコンパクトな構造を具現化することができる。このために好適には、シール装置を溶接シームによってケーシングに、特に有底孔内に固定することができる。
【００１９】
本発明による方法の別の一実施形態によれば、シール装置を配置して、センサ装置に押圧力を加える際に、シール装置を、ケーシングの有底孔内に圧入して、少なくとも、シール装置とセンサ装置との間に予荷重が発生するようにする。
【００２０】
別の実施形態によれば、シール装置を配置して、センサ装置に押圧力を加える際に、シール装置をケーシング内の有底孔にはめこみ、好適には圧入し、溶接シームによってケーシングに固定する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態による圧力測定装置１の概略ブロック図である。
【図２】本発明の別の実施形態による圧力測定装置１００の概略断面図である。
【図３】本発明のさらに別の実施形態による圧力測定装置２００の概略断面図である。
【図４】本発明のさらに別の実施形態による圧力測定装置３００の概略断面図である。
【図５】図２の装置１００のセンサ装置１２０の概略詳細図である。
【図６ａ】本発明の装置のセンサ装置１２０を通る概略断面図である。
【図６ｂ】本発明の装置のセンサ装置２２０を通る概略断面図である。
【図６ｃ】本発明の装置のセンサ装置４２０を通る概略断面図である。
【図７】本発明による、圧力測定装置の製造方法を説明する概略流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面の複数の概略図に示した実施例に基づき、本発明を詳しく説明する。
【００２３】
すべての図において、同じないしは機能的に同じ部材および装置（特に断らない限り）には同じ参照符号が付されている。方法のステップの番号付けは、わかりやすくするために使用しているのであり、特に断らない限り、所定の時間的な順序を特に示してはいない。例えば複数のステップを同時に実行することも可能である。
【００２４】
図１には、本発明の一実施形態による圧力測定装置１の概略ブロック図が示されている。
【００２５】
装置１は、中空室１２を備えたケーシング１０を有しており、中空室１２は、この中空室からケーシング１０の外部に通じている開口部１３を有する。装置１には、第１シール構造部２６を有するセンサ装置２０がさらに含まれている。第１シール構造部２６は、中空室１２の開口部１３が、センサ装置２０によって閉鎖可能または閉鎖されるように、間接的または直接的にケーシング１０と係合している。
【００２６】
センサ装置２０は、中空室に印加される所定の圧力を求めるように構成されており、ここでこれは、例えば、測定すべき圧力が加えられている液体が中空室に導入されるかまたは導入されていることによって行われる。
【００２７】
装置１はシール装置５０をさらに有しており、このシール装置は、少なくとも一部分が、好適には全体が、ケーシング１０とセンサ装置２０との間に配置されており、かつ、センサ装置２０に押圧力を作用させることにより、第１シール構造部２６がケーシング１０を間接的または直接的に押圧して、開口部１３を気密に閉鎖するように形成されている。
【００２８】
センサ装置２０と、シール装置５０と、ケーシング１０は好適には互いに別々に製造される部材である。すなわち、これらの３つの部材のうちのどの２つの部材も互いに一体で製造されることはないのである。
【００２９】
図２には、本発明の別の実施形態による圧力測定装置１００の概略ブロック図が示されている。
【００３０】
装置１００は、装置１の変形形態である。装置１００のセンサ装置１２０は、ダイヤフラム１２２を有しており、このダイヤフラムは、センサ装置１２０の一体型の基体１２３の一部である。基体１２３は好適にはスチールから形成される。ダイヤフラム１２２は、例えば基体１２３を穴開けすることによって形成することができ、これにより、基体１２３の残りの部分に比べて薄い部分が、ダイヤフラム１２２として得られる。中空室１２とは反対側を向いた、ダイヤフラム１２２の第１外側面には、ダイヤフラム１２２の変形に基づいて圧力を測定するため、測定ユニット６０が形成されている。以下、図５に関連して装置１００の測定ユニット６０を詳しく説明する。
【００３１】
センサ装置１２０の基体１２３は、回転対称軸Ａに関して回転対称に形成されており、この回転対称軸Ａは、ダイヤフラム１２２に交わり、特にダイヤフラム１２２に対して垂直になっている。以下で、軸方向、接線方向または半径方向という場合、これはつねに回転対称軸Ａを基準して定められるものとする。
【００３２】
基体１２３は、第１シール構造部として、第１外側円錐部１２６，すなわち、装置１００のケーシング１１０側を向いた、基体１２３の外側面の円錐状部分をさらに有しており、第１外側円錐部１２６は、ダイヤフラム１２２から軸方向に遠ざかると半径方向に大きくなる。装置１００のケーシング１１０は、第１内側円錐部１１４を有している。この円錐部は、センサ装置１２０側を向いており、第１開口部１３を取り囲み、回転対称軸Ａに関して回転対称である。中空室１２は、回転対称軸Ａに関して回転対称な貫通孔として形成されている。中空室１２は、軸方向にみて第１開口部１３とは反対側の端部にある、ケーシング１１０の外側面１１１に第２開口部１１５を有し、この開口部を介し、測定すべき圧力を中空室１２に印加することができる。第１内側円錐部１１４は、中空室１２の第１開口部１３が、センサ装置１２０によって閉鎖可能になるように第１外側円錐部１２６に係合されている。センサ装置１２０のダイヤフラム１２２は、中空室１２と連通している。
【００３３】
センサ装置１２０の基体１２３は、第２シール構造部を有しており、このシール構造部は、回転対称軸Ａおよび第１外側円錐部１２６と共軸な第２内側円錐部１２４として形成されており、この第２内側円錐部１２４は、半径方向に、第１外側円錐部１２６を取り囲んで形成されている。
【００３４】
第１開口部１３ならびにケーシング１１０の第１内側円錐部１１４は、有底孔１５７内に配置されており、この有底孔は、ケーシング１１０の第１外側面１１１とは反対側を向いた、ケーシング１１０の第２外側面に軸方向に形成される。装置１００では、回転対称軸Ａに関して回転対称に形成されているシール装置１５０は完全に、有底孔１５７内に配置されている。
【００３５】
シール装置１５０は、有底孔１５７にはめられ、ケーシング１１０の第１外側面１１１の方向に予荷重が加えられて、溶接シーム１５６によって固定される。シール装置１５０は、センサ装置１２０の少なくとも一部分が貫通する、その貫通孔に第２外側円錐部１５４を有する。第２外側円錐部１５４は、これが、センサ装置１２０の第２内側円錐部１２４と形状結合的に係合できるように構成されている。
【００３６】
さらに上記予荷重、すなわちこの予荷重の下でシール装置１５０がケーシング１１０に溶接される予荷重は、次のように選択され、かつ、シール装置１５０は、有底孔１５７に次のように挿入される。すなわち、第２外側円錐部１５４がまず半径方向に、第２内側円錐部１２４に押し付けられるように選択および挿入されるのである。半径方向に押し付けることにより、第２外側円錐部１５４の側面に対して垂直な成分を有する押圧力が発生し、ひいては、装置１００でも、第１外側円錐部１２６および第１内側円錐部１１４の側面に対して垂直な成分を有する押圧力が発生する。したがってシール装置１５０をケーシング１１０に固定する上記予荷重により、第１外側円錐部１２６が第１内側円錐部１１４に押し付けられ、ひいてはセンサ装置１２０がケーシング１１０に押し付けられて開口部１３が、気密に閉鎖されるのである。
【００３７】
特に好適にはシール装置１５０は、有底孔１５７に圧入されて次に溶接によって固定される。この圧入力は、上で説明したように、所望の予荷重が具現化されるように選択される。このような仕方は、圧入および溶接による固定が、異なる２つの製造ステップにおいて行うことができ、これによって製造コストを低減することができるという特別な利点を有するさ
【００３８】
ここで上記予荷重は好適には、中空室１２内で、印加されておりかつ測定すべき圧力によってセンサ素子１２０がケーシング１１０から前方に押圧される場合であっても、センサ装置１２０とケーシング１１０との間の気密の接続に対して、第１外側面１１１の方向に作用する押圧力の正味値が十分に大きくなるように設定される。
【００３９】
中空室１２とは反対側を向いた外側面に、ケーシング１１０は雄ねじ１１７を有しており、この雄ねじを用いて、圧力ソケットとしてケーシング１１０を、例えば噴射システムに、例えば車両の燃料噴射システムにねじ込むことができる。圧力側の端部と称することも可能な、ケーシング１１０の外側面１１には、ケーシング１１０のシーリングエッジ１１６が形成されており、このシーリングエッジにより、システムにケーシング１１０を組み込む際に気密の接続を形成することができる。軸方向において、ケーシング１１０のダイヤフラム１２２側端部にはカバー１１８を設けることができ、このカバーを通して、測定ユニット６０が接触接続することができる。ケーシング１１０とは反対側の、カバー１８の面にはプリント基板１１９を配置することができ、このプリント基板１１９を用いて、測定ユニット６０からのデータ信号を評価および／または伝送することができる。
【００４０】
図３には、本発明の別の実施形態による、圧力測定装置２００の概略断面図が示されている。装置２００は、図２の装置１００の変形形態であり、この装置は、センサ装置２２０およびケーシング２１０の構成が装置１００と異なっている。
【００４１】
装置２００においてセンサ装置２２０は、第１外側円錐部１２６の代わりに、第１シール構造部としての第２開口部１１５の方向を向いたシーリングエッジ２２６を有しており、このシーリングエッジは、回転対称軸Ａに関して回転対称に形成されている。装置２００の有底孔２５７は、開口部１３の周りの第１内側円錐部１１４を有してはおらず、平らな底面２５１によって形成されているため、シーリングエッジ２２６が、ケーシング２１０の有底孔２５７の平らな底面２５１と共に、シール装置１５０がセンサ装置２２０に加える押圧力により、気密の接合を形成する。
【００４２】
図４には、本発明の別の実施形態にしたがい、圧力測定装置３００の概略断面図が示されている。装置３００は、図３の装置２００の変形形態であり、この装置は、ケーシング３１０の構成が装置２００と異なっている。
【００４３】
装置３００では、有底孔３５７に、回転対称軸Ａに関して回転対称な別の第２の有底孔３４７が形成されており、この有底孔では、シールリング３４８が使用されている。センサ装置２２０のシーリングエッジ２２６は、予荷重により、すなわち、シール装置１５０によってセンサ装置２２０に加えられる押圧力により、シールリング３４８と気密に係合する。
【００４４】
ケーシング３１０には別のシーリングエッジ３１６がさらに形成されており、このシーリングエッジは、シールリング３４８と気密に係合する。この別のシーリングエッジ３１６は好適には、センサ装置２２０側を向きかつ開口部１３を取り囲む、第２有底孔２３４７の底面に構成される。ここでこの底面には回転対称軸Ａが垂直に交わっている。シールリング３４８は、回転対称軸Ａに関して回転対称であり、好適には金属製であり、かつ、シーリングエッジ２２６，３１６によって変形可能である。さらにシールリング３４８の半径方向の中心における穴を通し、ダイヤフラム１２２は中空室１２に接触する。
【００４５】
図５には、図２の装置１００のセンサ装置１２０の詳細図が略示されている。図５の左側にはケーシング１１０の第１外側面１１１からこのケーシングの第２外側面１１２に至る方向に見た概略平面図が、また右側にはセンサ装置１２０の一部分を通る概略断面図が示されている。
【００４６】
ケーシング１１０とは反対側の、センサ装置１２０の外側面６１には測定ユニット６０が配置されており、この測定ユニットは、図５ではダイヤフラム構造体として形成されている。このダイヤフラム構造体は、例えば酸化ケイ素の絶縁層６２と、機能層６４とを有するかまたはこれらから構成される。機能層６４としては、あらゆる圧電抵抗材料、例えばニッケル・クロム合金、白金、ポリシリコン、チタン酸窒化物などを使用可能である。
【００４７】
機能層６４には、例えば本発明による製造方法の間に、少なくとも４つの抵抗６１０が、例えば湿式エッチング、乾式エッチング、レーザ切削によって構造化される。これらの抵抗６１０は、１つのホイートストーンブリッジに結線され、また、メアンダ状領域６１２を有するため、ダイヤフラム１２２の変形、特に伸張によってこれらの抵抗６１０の電気抵抗値が変化する。このホイートストーンブリッジおよびコンタクト面に至る電気線路は、機能層６４の面または付加的なメタライゼーション面に実施することができる。付加的にはこの機能層を、パッシベーション層、例えば窒化ケイ素により、または別の手段、例えばゲル化によって保護することができる。
【００４８】
プリント基板１１９は、評価回路を有することができ、この評価装置を用いてホイートストーンブリッジにおける電圧を評価することができ、この評価に基づき、測定すべき電圧に比例する出力信号を、例えば０から５ボルトの電圧の形で、または例えば４から２０ミリアンペアの電流の形で、デジタルの形で供給することができる。この出力信号は、プリント基板において取り出すことができ、例えばカバー１１８の上側部分を構成する適切なプラグを用いて外部に案内することができる。
【００４９】
図６ａ）〜図６ｃ）には、本発明による装置の考えられ得るさまざまなセンサ装置１２０，２２０，４２０の概略断面図が示されている。図６ａ）には図２のセンサ装置１２０の基体１２３が示されている。図６ｂ）には図３および図４のセンサ装置２２０の基体２２３が示されている。図６ｃ）にはセンサ装置４２０の基体４２３の考えられ得る別の形態が示されており、この基体は、第２シール構造体として付加部４２４を有しており、この付加部に対し、対応する凹部を伴って形成されるシール装置を押し付けることができる。
【００５０】
図７には、圧力測定装置を製造する、本発明による方法を説明するためのフローチャートが略示されている。この製造方法は特に、装置１，１００，２００，３００のうちの１つを製造するのに適しており、その一部は、図１〜図６ｃ）に関連してすでに説明した。特にこの製造方法は、本発明の装置に関連して説明したすべての変形形態および発展形態にカスタマイズすることができる。
【００５１】
ステップＳ０１では、中空室１２を有するケーシング１０，１１０，２１０，３１０が形成される。ステップＳ０２では、第１シール構造部２６，１２６，２２６を有するセンサ装置２０，１２０，２２０，４２０が形成される。ステップＳ０３では、第１シール構造部２６，１２６，２２６が、ケーシング１０，１１０，２１０，３１０に間接的または直接的に係合されて、中空室１２の開口部１３がセンサ装置２０，１２０，２２０，４２０によって閉鎖できるように、センサ装置２０，１２０，２２０，４２０が、ケーシング１０，１１０，２１０，３１０に載置される。
【００５２】
ステップＳ０４では、シール装置５０，１５０の少なくとも一部分が、ケーシング１０，１１０，２１０，３１０と、センサ装置２０，１２０，２２０，４２０との間に配置されて、シール装置５０，１５０が、センサ装置２０，１２０，２２０，４２０に押圧力を作用させることにより、第１シール構造部２６，１２６，２２６が間接的または直接的にケーシング１０，１１０，２１０，３１０に押圧される。
【００５３】
シール装置１５０は好適には、ステップＳ０４において、少なくとも、シール装置５０，１５０と、センサ装置２０，１２０，２２０との間で、予荷重が加えられるようにケーシング１１０，２１０，３１０の有底孔１５７，２５７，３５７に圧入される。シール装置５０は好適には、溶接シーム１５６によって、特に有底孔１５７内の溶接シーム１５６によってケーシング１１０，２１０，３１０に固定することができる。
【００５４】
ここまで複数の有利な実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明はこの実施例に限定されることはなく多様に変更可能である。特に本発明は、その核心から逸脱することなく、多種多様に変更または修正可能である。
【図１】
0006629127.tif 000002
【図２】
0006629127.tif 000003
【図３】
0006629127.tif 000004
【図４】
0006629127.tif 000005
【図５】
0006629127.tif 000006
【図６ａ】
0006629127.tif 000007
【図６ｂ】
0006629127.tif 000008
【図６ｃ】
0006629127.tif 000009
【図７】
0006629127.tif 000010