(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ系の自動非点収差補正の方法であって、
レンズのスティグメータ設定を第１スティグメータ設定（９６）に設定して、焦点が合っていない視点の第１画像を提供するステップと、
第１値を有する前記第１スティグメータ設定（９６）の前記第１画像に基づき、算出装置が第１フーリエスペクトル画像（３１２）を算出するステップと、
前記第１フーリエスペクトル画像（３１２）の他の部分より明るい部分における最も長く伸びる第１主方向での長さを示す第１ベクトル（１３４）、及び前記第１フーリエスペクトル画像（３１２）の前記他の部分より明るい部分の、前記第１主方向に直交する方向での長さを示す第２ベクトル（１３２）を算出するステップと、
前記レンズのスティグメータ設定を前記第１スティグメータ設定（９６）から、前記第１値とは異なる第２値を有する第２スティグメータ設定（９８）へと変更して、焦点が合っていない視点の第２画像を提供するステップであって、前記第２スティグメータ設定の前記第２画像が、前記第１スティグメータ設定の前記視点の前記第１画像と同じ視点であるステップと、
前記算出装置が前記第２スティグメータ設定（９８）の前記第２画像に基づいて、第２フーリエスペクトル画像（３１４）を算出するステップと、
前記第２フーリエスペクトル画像（３１４）の前記他の部分より明るい部分における最も長く伸びる第２主方向での長さを示す第３ベクトル、及び前記第２フーリエスペクトル画像（３１４）の前記他の部分より明るい部分の、前記第２主方向に直交する方向での長さを示す第４ベクトルを算出するステップと、
前記第１ベクトル（１３４）で示される長さの、前記第２ベクトル（１３２）で示される長さに対する比率が、前記第３ベクトルで示される長さの、前記第４ベクトルで示される長さに対する比率より１に近い場合、前記第１スティグメータ設定（９６）を選択し、前記第３ベクトルで示される長さの、前記第４ベクトルで示される長さに対する比率が、前記第１ベクトル（１３４）で示される長さの、前記第２ベクトル（１３２）で示される長さに対する比率より１に近い場合、前記第２スティグメータ設定（９８）を選択するステップと、
前記第１スティグメータ設定（９６）が選択された場合、前記スティグメータ設定を前記第１値から前記第２値への増減方向とは反対方向に前記第１値より変更し、前記第２スティグメータ設定（９８）が選択された場合、前記スティグメータ設定を前記第１値から前記第２値への増減方向と同じ方向で前記第２値から更に変更するステップと、
上記の各ステップを繰り返すことにより、フーリエスペクトル画像の前記他の部分より明るい部分における、最も長く伸びる主方向の長さの、該主方向に直交する方向での長さに対する比率が最も１に近い前記スティグメータ設定をサーチするステップと、を含む方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記フーリエスペクトル画像から円形画像（１２６）を切り抜き、前記円形画像（１２６）の正規化グレー加重モーメント共分散行列の固有ベクトル及び固有値により、前記フーリエスペクトル画像の前記他の部分より明るい部分の方向及び範囲を示すステップを更に含む方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、前記スティグメータ設定は、Ｘ方向の非点収差を補正するＸスティグメータ、及びＹ方向の非点収差を補正するＹスティグメータの設定を含む方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法において、前記Ｘスティグメータ及び前記Ｙスティグメータの設定を同時に変更するステップを更に含む方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法において、前記補正の処理では、前記第１画像及び前記第２画像を不足焦点又は過焦点に設定するステップを更に含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡におけるレンズなどの非点収差を自動補正する方法に関する。より具体的には、電子顕微鏡における画像ベース対物レンズの非点収差の自動補正を含む。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡の高品質な画像取得においては、画像コントラスト及び細部の最適化のために、電子ビームの慎重な整列及び精密な焦点合わせが必要である。従来、電子顕微鏡の物理的特徴は重要であり、整列を行うために用いられてきた。電子ビームは電磁装置を使って整列される。電子ビームのずれは、アーチファクト（リップル）、画像のぼけ及び細部に関する情報の消失をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明による方法の重要な特徴は、画像データのみを使用し、顕微鏡自体の複雑かつ煩雑な特徴に頼らずに、整列プロセス中にレンズの非点収差を自動的に補正することである。本発明による方法は、上述の課題に対する解決策を提供する。具体的に言えば、本方法は、一組のレンズによって一方向に自動で非点収差補正を行うものである。もちろん本発明は一方向のみの補正に限定されるわけではない、というのも補正は、Ｘ方向及びＹ方向というように、同時に多数の方向に行うことも可能だからである。第１画像をレンズの第１スティグメータ設定で提供する。好適には、不足焦点の画像である。第１画像に基づき、算出装置は第１フーリエスペクトル画像を算出する。フーリエスペクトル画像の画素の分布及び方向は、明るい画素の主な方向及び範囲に対応する第１ベクトル及び第１ベクトルに垂直で、その方向の範囲に対応する第２ベクトルを算出することによって決定する。 第１ベクトルを第２ベクトルと比較する。一組のレンズを第１のスティグメータ設定から第２のスティグメータ設定へと変更し、 第２の不足焦点画像を提供する。第２画像に基づき、第２の対応するフーリエスペクトル画像を算出する。第２のフーリエスペクトル画像の画素の分布及び方向を、第３ベクトル及び第４ベクトルを算出することによって決定する。第３ベクトルを第４ベクトルと比較する。第１ベクトル及び第２ベクトルの方が第３ベクトル及び第４ベクトルよりも類似している場合、第１画像を第２画像よりも丸い画像として選択する。第３ベクトル及び第４ベクトルの方が第１ベクトル及び第２ベクトルよりも類似している場合、第２画像を第１画像よりも丸い画像として選択する。最も丸みを帯びたフーリエスペクトル画像のフーリエスペクトルを提供するスティグメータ設定が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本方法は、強度分布の方向及び範囲を測定する手段として、円形のフーリエスペクトル画像のグレー加重モーメントを算出するステップを更に含んでいる。
【０００５】
別の実施形態において、第１フーリエスペクトル画像における固有ベクトルの第１比率を第２フーリエスペクトル画像における固有ベクトルの第２比率と比較する。
【０００６】
比率の最も低い画像を選択する。
【０００７】
Ｘスティグメータ及びＹスティグメータの設定を、比率の最も低い画像に対応するスティグメータ設定に変更する。
【０００８】
Ｘスティグメータ及びＹスティグメータの設定は同時に変更することもできる。
【０００９】
更に別の実施形態において、フーリエスペクトル画像の伸び値を最小にするスティグメータ設定を求める。
【００１０】
第１画像及び第２画像を不足焦点又は過焦点に設定する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、異なるＸ及びＹのスティグメータ設定の対物レンズで取得した画像例の概略図である。
【図２】図２は、図１の画像に対応するフーリエスペクトルの概略図である。
【図３】図３は、非点収差のレンズによる、数ミクロンの不足焦点画像の概略図である。
【図４】図４は、図３の画像の対数フーリエスペクトルの概略図である。
【図５】図５は、図４の図の切り出し円形画像である。
【図６】図６は、ベクトルの長さが固有ベクトルの大きさに対応する、円内にグレー値のグレー加重モーメントの固有ベクトルを含む図５の図である。
【図７】図７は、不足焦点がない、又は不足焦点が僅かにある場合の、図４と同じ図である。
【図８】図８は、本発明における方法ステップの情報フローの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１及び図２は、略円形状の物体の非点収差画像の概略図１００（図１参照）及び対応するフーリエスペクトル画像１２０（図２参照）である。画像が何であるかは関係ないが、図１に示す物体はウィルス様粒子である。
【００１３】
レンズ系の非点収差により、画像にリップル様アーチファクトやディテールの損失が生じ、対応するフーリエスペクトル画像は、ずれの方向に関連する方向に伸びる。図１は異なる方向の非点収差を有する画像の例を示している。具体的に、図１は異なるＸ及びＹのスティグメータ設定で取得したサンプル画像を示している。図１は、異なるＸ及びＹのスティグメータ設定の透過型電子顕微鏡によって同じ画像を４９バージョンで示したものである。
【００１４】
設定が異なるため、画像は種々にぼけ、また異なる方向の波形を有している。本発明の一つの目的は、（最も丸い画素の分布を有するフーリエスペクトル画像に対応する）最良のバージョンを決定することである。これを行なうのは、現在最も頻繁に使用されている、手作業や目視による方法を用いるだけでは難しい。本発明の特徴は、画像データを使用するだけでどの画像が最も丸みを帯びているかを自動的に決定する方法である。そして、画像が無収差になるように顕微鏡のレンズを自動的に調整するため、この方法を使用する。
【００１５】
図２は対応するフーリエスペクトル画像１２０を示している。変換画像は、スティグメータ設定によって生じるレンズのずれ方向に関連する方向に伸びている。一般に、フーリエ変換により、画像の円形度や伸びなどの非点収差効果がより簡単にわかるようになる。図１における４９のバージョンは、図２ではフーリエ変換後の４９の新しいバージョン（白い伸びた形状／形）として示されている。中心の画像１２２はほんの僅かな非点収差（フーリエスペクトルにおいて丸い画像として示される）を有している。中心の画像はＸスティグメータ設定が０でＹスティグメータ設定が０である。尚、それが別のＸ及びＹのスティグメータ値に対応しても、フーリエスペクトルはこれらの設定において最も円形の画素分布を有しているので、それがソリューションであると理解されよう。図２の中心から更に離れると、より多くのリップル及びぼけが画像に存在し、より伸びた画素分布がフーリエスペクトル画像に現れる。このようにしてコンピュータはスティグメータ設定を徐々に変更し、スティグメータ設定が変更される前に画像がより丸みを帯びているか否かを決定する。以下に詳述する様に、Ｘ又はＹ方向にスティグメータの設定を調整した結果、画像が丸くなったと決定された場合、コンピュータは、好適には、顕微鏡のスティグメータ設定を再度同じ方向に変更する。画像が丸くなっていない場合、コンピュータのサーチを停止するか、又はスティグメータ設定を反対方向に変更して円形度を比較してもよい。
【００１６】
図３は非点収差レンズ系で不足焦点がいくらか見られる画像１２４を示している。以下に説明するように、不足焦点の使用は、複雑な形状のフーリエ画像の生成を回避するための、本発明による方法の重要な特徴である。レンズの過焦点を使用することもできる。本発明のもう一つの重要な特徴は、フーリエスペクトル画像において伸びが最小（すなわち最適な真円度）の形状を探すことによって非点収差を補正することである。従って、一つの重要な目的は、フーリエスペクトル画像において最も円形の画素の分布を生成する、すなわち非点収差がないか、又は非常に僅かであるＸ及びＹのスティグメータ設定を選択することである。
【００１７】
非点収差の補正は少なくとも２つの異なるやり方で行うことができる。一つの方法では、一組の電磁レンズに対応して、一つの非点収差方向の伸びを一度に最小化する、すなわち、Ｙスティグメータ設定の変更を考える前にＸスティグメータの設定のみを変更して、一つの方向に最小化する。もう一つの方法では、Ｘ及びＹの非点収差の比率に対応する伸びの方向を算出し、同時にＸ及びＹのスティグメータ設定を最適化する。グレー加重モーメントを使って、図２のフーリエスペクトル画像の伸びを測定する。これは一次元の状態、すなわち、一方向のみに設定を調整する場合においても使用することができる。グレー加重モーメントは画像内の明るい画素の方向、すなわち明るい強度分布を算出する方法である。
【００１８】
以下、第１の手法を段階的に説明する。Ｘ非点収差は以下によって補正することができる。
【００１９】
１）画像の取得及び対応するフーリエスペクトルの算出を行う。図３は、レンズ設定が不足焦点である場合のウィルス様粒子を示す適切な画像例１２４である。図４は対応するフーリエスペクトルを示す画像１２９である。左上から右下へと、中心を通って延びる明るい、又は明るいグレーの楕円部１２８は、レンズ系の非点収差を示している。楕円部が見易いように、この部分１２８を点線で示している。中心にも印を付けている。楕円部の大きさ及び長さは画像の倍率及び内容に一部依存する。一般に、明るいグレーの部分が丸い又は丸みを帯びている場合、レンズ系の設定を補正して非点収差を最小化する。
【００２０】
２）例えば像側の半分の径を有する円形画像１２９の切り抜きを行う。対象画像の一部分のグレー加重モーメントを算出する限り、円形画像を使用する必要はないが、全方向への分布に貢献するものと同じ数の画素を有するためには好ましい／推奨される。切り抜きの大きさはレンズによって提供される倍率と一致しなければならない。図５は図４に示す画像１２９の切り抜き画像１２６である。画像の中心から外周への半径が同じで、中心から全ての方向への距離及び情報が同じであるような円形画像が好適である。フーリエスペクトルの中心及び中心に非常に近い低い周波数と、中心から非常に離れた高い周波数とは、レンズ系の非点収差を示す重要性の低い情報を伝達する。
【００２１】
３）例えば円形画像のグレー加重モーメント（オーダー１及び２）を使って、フーリエスペクトル画像の強度分布の算出を行う。また、最初にフーリエスペクトル画像バイナリ（楕円形／円形の明るい形状の抜き出し）を作成し、次に、例えば、主成分の分析を行い、バイナリ形状の分布及び主方向を算出して決定する手法を用いることもできる。また、半径方向密度プロファイルに依存する方法を用いることもできる。好適には、数学的方法を用いて画像の強度の分布及び方向を算出する。
【００２２】
グレー加重モーメントを算出する適切な式は、
【数１】
0006684717.tif 000002
であり、ｘ及びｙは画像内の画素位置（座標）であり、Ｉ（ｘ，ｙ）は画像位置ｘ，ｙにおける強度（グレー値）である。モーメントのオーダーはｉ＋ｊなので、オーダー１の２つのモーメントｍ０１及びｍ１０と、オーダー２の３つのモーメントｍ２０，ｍ０２及びｍ１１とがある。
【００２３】
強度が高くなると画像は明るくなる。画像画素が明るくなって中心から離れると、非点収差を決定するために使用するグレー加重モーメントを算出する際、より多くの重みを与える。換言すれば、各画素の重みは各画素の白色度及び中心からの距離に基づき、中心から更に離れた明るい画素にはより多くの重みを与える。しかし、中心から非常に離れた画素（フーリエスペクトル画像の明るく細長い形状の外側）は、非点収差に関する情報を含んでいない。
【００２４】
図６は図５の１２６と同じである１３０を示しているが、図６では、ベクトルの長さが固有ベクトルの大きさに対応する円内に、グレー値のグレー加重モーメントの固有ベクトル１３２及び１３４が含まれている。グレー加重モーメントは、中心点１３８の周りの強度分布を算出するために使用することができる。換言すると、グレー加重モーメントは、好適には、明るい色の部分１２８が中心１３８に対してどの方向に、そしてどのように延びているかを示すために使用する。また、明るい色の部分１２８の楕円度及び非円形度を判断することが可能である。画像の非円形度は、レンズの非点収差の度合いを示し、画像の方向は非点収差をどのように補正するかに関する情報を含んでいる。よってモーメントは、画像内における強度の主方向の導出、並びに直交方向に対し、どれくらいより多くの強度が主方向に沿って分布されるのかの導出のために使用される。第２方向の分布と主方向の分布との比率は、分布がどのくらい伸びているかを示すものである。尚、比率は単に例示的なものであり、ベクトル間の差などのその他の比較パラメータは、フーリエスペクトル画像において、より丸い形状を導くスティグメータ設定の変更を決定することを目標とする限り使用できると理解されよう。
【００２５】
４）正規化モーメント共分散行列＝［ｍ２０／ｍ００，ｍ１１／ｍ００；ｍ１１／ｍ００，ｍ０２／ｍ００］の固有ベクトル１３２と１３４との比率に対応する伸びの決定を行う。固有ベクトル１３４は最も長い伸び（すなわち白っぽい画素の分布の長さ）を示し、明るい色の楕円形方向に沿って延在する。固有ベクトル１３２は、２次元画像の固有ベクトル１３４に垂直な２番目に長い伸びを示している。固有ベクトル１３４の方向及び長さは最も興味深い。固有ベクトル１３４が固有ベクトル１３２と同一又はそれに近い長さを持つ場合、スティグメータ設定はレンズ系の非点収差を補償するように適切に設定される、すなわち、固有ベクトル間の比率は１又は１に近い。比率が１から遠くなると、レンズの非点収差は大きくなる。
【００２６】
５）伸び値を最小にするスティグメータ設定を求める反復最適化アルゴリズムにおいて、上述のステップ１〜４を反復して行う。このようにして調整を行い、比率を可能な限り１に近づける。
【００２７】
本明細書で決定した最良の設定にＸスティグメータを維持することによって、上述のＸ非点収差の補正と同様にＹの非点収差の補正を行い、上述のＸスティグメータの場合と同様の手順をＹスティグメータに対して反復して行う。換言すれば、上述の様にＸスティグメータを最良の設定に維持することによってＹ非点収差の補正を行い、上述のステップ１〜５をＹスティグメータのみに対して反復して行う。図１のＸ方向の一つの行に沿った全ての画像の中でどれが最も丸い画像であるかを手作業で決定する代わりに、本発明による方法では、各画像のフーリエスペクトルを分析することによって伸びの量を決定し、最小の伸びを有する画像を選択し、その後、顕微鏡のスティグメータを対応する値に設定することによってこの決定を自動的に行う。換言すれば、図２に示す様に、Ｘ方向の一つの行に沿った最も丸い画像を見つけ、対応するＸスティグメータ値を顕微鏡に設定すると、本方法においては、Ｘ方向の行で見つけた最も丸い画像の列に沿ったＹ方向の最も丸い画像を決定することができる。
【００２８】
補正手順の速度を上げ、より安定したものにするために、モーメントを算出する前にフーリエスペクトルをダウンサンプリングし、平滑化フィルタ（例えば、平均フィルタ、メジアンフィルタ、ガウスフィルタ）にかけることができる。
【００２９】
本発明の一つの重要な特徴は、補正を好適には比較的大きな不足焦点（又は過焦点）で行なうことである。画像の焦点がほぼ合っている、又は合っている場合、フーリエスペクトルにおける非点収差効果を選び出して測定することはそう簡単にはできず、非点収差を補正するためにこれらのスペクトルを使用するのは困難である。
【００３０】
そして非点収差のため、異なる方向を僅かに異なる不足（又は過）焦点で合わせる。このため、鮮明な画像のディテールの情報と共に、レンズ系における非点収差の方向及び量の決定に関して、フーリエスペクトル内に強い妨害信号が生成される。換言すれば、焦点が合わない、又は焦点に近づかないようにサンプルを設定することにより、非点収差による欠点は他の要因による妨害をさほど受けない。図７は図６の例と同じ程度の非点収差を持つが、対応する画像は焦点が合っているサンプル１４０を示している。サンプルを不足焦点とすることにより、レンズの正しい焦点を持つことに関連する問題によって混乱されることなく、非点収差の問題は最初に解決される。不足焦点を用いることにより、レンズ系のスティグメータ設定が変更された場合、フーリエスペクトルの円形度が向上したか否かをより容易に決定することができる。図１４０は、目立った伸びがないため、非点収差の方向及び範囲を把握するのがいかに困難であるかを示している。更にフーリエスペクトルは画像内容にも依存する。起こりそうもないが、画像内容によってフーリエスペクトルに強度が生成され、本方法は最初成功しないことがある。これはサンプル画像の別の場所で最適化手順を反復して行い、同じ回答が得られることを確かめることによって解決することができる。
【００３１】
本発明の方法の操作における特定のステップの概要を図８に示す。提供ステップ２００において、（図１の第１画像９６のような）不足焦点画像２０２を、Ｘスティグメータ設定の第１値とＹスティグメータ設定の第１値とで提供する。算出ステップ２０３において、（図２の画像３１２のような）対応するフーリエスペクトル画像２０４を、コンピュータなどの算出装置で算出する。決定ステップ２０６において、画像２０４のグレー加重モーメント２０７をコンピュータによって算出し、画像内の画素の分布及び方向を決定する。比較ステップ２０８において、固有ベクトル間の比率２０９又は差をコンピュータで比較し、画像２０４の円形度を決定する。設定ステップ２１０において、コンピュータは顕微鏡のＸスティグメータ（又はＹスティグメータ）２１１の設定を第１の値から第２の値に変更する。好適には、図１に示す様に、第１の値と比較して第２の値を、例えば−０．１２から−０．０８へと順次増減させ、Ｘスティグメータの第２の値で新しい画像が表示されるようにする。その後対応するフーリエスペクトル画像を算出する。ベクトル比率が向上する限りＸスティグメータを同じ方向に変更し続け、比率が増えるとＸスティグメータの設定を反対方向に変更するようにコンピュータをプログラムしてもよい。また、最初にスティグメータ設定の比較的大きな変更を行い、その後、比率が向上する、すなわち１に近づく、又はＸスティグメータの最良と思われる設定が渡されたと判断されると、Ｘスティグメータ設定の変更を減少させることもできる。例えば、比率が徐々に減少し、そして増え始めると、スティグメータ設定の変更の大きさを減少させて方向を変える。好適には、Ｙスティグメータを、図１及び図２の１行目に対応する−０．１２のような第１の値に維持する。図１及び図２はＸスティグメータ及びＹスティグメータの好適な例の値を示している。スティグメータ値はシステムによって異なってもよい。その他の値及び間隔も使用することができる。コンピュータは同じ反復を開始し、Ｘスティグメータを第２の値に設定して算出ステップ２０３及び決定ステップ２０６を行う。比較ステップ２０８において、第２の値における第２の固有ベクトル比率をＸスティグメータ設定の第１の値における第１の固有ベクトル比率と比較する。第１比率が第２比率よりも１に近いのであれば、コンピュータはＸ方向のサーチを停止する。第２比率が第１比率よりも１に近いのであれば、コンピュータは設定ステップ２１０においてＸスティグメータの設定値を第２の値から−０．０４などの第３の値へと変更する。この反復は、コンピュータが次のＸ値が丸い画像にならないと決定するまで、すなわち、新しい固有ベクトル比率が前のＸスティグメータ値と関連するベクトル比率と比較して１に近くない場合、第４、第５などの値で続ける。
【００３２】
最良のＸスティグメータ値が見つかると、コンピュータは設定ステップ２１２において、Ｙスティグメータ２１３の設定を、図１及び図２に示す−０．１２のような第１の値から−０．０８のような第２の値へと変更する。コンピュータは最良のＹスティグメータ設定が見つかるまで、Ｘスティグメータ設定で行なわれたものと同じ反復を行なう。しかしながら、Ｘスティグメータは第１の反復で決定された値に固定されるため、図８に点線２１４で示すように設定ステップ２１０をとばす。
【００３３】
（Ｘスティグメータのように）スティグメータ設定を一度に一つの方向のみに調整する代わりに、スティグメータ設定をＸ及びＹ方向に同時に調整することも可能である。これを図２に示し、この場合、画像３００は開始画像として選択された画像であってもよい。その後システムにおいて、（スティグメータ設定をＸ方向のみに調整することによって）画像３０２の固有ベクトル比率を調べるだけでなく、画像３００を取り囲む画像のスティグメータ設定の結果としての比率も調べて、画像３０４，３０６，３０８，３１０，３１２，３１４及び３１６の固有ベクトル比率を決定する。その後システムは上述の最低のベクトル比率となるようなＸ及びＹのスティグメータ設定を選択する。これは大抵図２に示す様な開始画像３００よりも中心に近い。図８に示す様に、最低の比率が見つかり、画像が最も丸い画像を示すように決定されるまでこれらのステップを反復して行う。これは、レンズ系の非点収差を最良に補償するために使用されるべき好適なＸ及びＹのスティグメータ設定である。図６を見ると良く分かるが、２つの固有ベクトル１３２及び１３４の大きさは、楕円画像１３０の角度αと共に、どの方向が最も良さそうであるかを示すために使用することができる。上述の様に、比率が向上する、すなわち１に近づく限り、全ての方向の比率を算出せず、同じ方向のみを継続して行うことも可能である。比率が再び増え始めると、上述の様に、コンピュータによって全ての方向の調査を開始してもよい。
【００３４】
好適な構成及び実施形態に従って本発明を説明してきたが、以下の請求項の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明の特定の代替及び変更を行うことができると理解されよう。
【図１】
0006684717.tif 000003
【図２】
0006684717.tif 000004
【図３】
0006684717.tif 000005
【図４】
0006684717.tif 000006
【図５】
0006684717.tif 000007
【図６】
0006684717.tif 000008
【図７】
0006684717.tif 000009
【図８】
0006684717.tif 000010