(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流量又は圧力を測定する流体制御機器と、前記流体制御機器との間で信号を授受する回路基板と、前記流体制御機器及び前記回路基板を収容するケーシングと、ケーブルが接続される装置側コネクタとを具備する流体制御装置であって、
前記回路基板とは別に、前記装置側コネクタが搭載されたコネクタ基板をさらに具備し、
前記コネクタ基板が、少なくとも一部が前記回路基板に重なった状態で、前記回路基板に固定されており、
前記コネクタ基板における前記回路基板との対向面が前記装置側コネクタを搭載する搭載面であり、
前記コネクタ基板が、前記回路基板に面接触している流体制御装置。
【請求項２】
前記コネクタ基板において、前記搭載面に電子部品が設けられている請求項１記載の流体制御装置。
【請求項３】
前記回路基板には、前記装置側コネクタの少なくとも一部が配置される切欠部が形成されており、
前記コネクタ基板が、前記切欠部を覆うように配置されている請求項１又は２記載の流体制御装置。
【請求項４】
前記回路基板又は前記コネクタ基板の一方が、その外周部における他方の基板と重なる位置に設けられた端面スルーホールを有しており、
前記回路基板又は前記コネクタ基板の他方が、前記端面スルーホールに対応した位置に設けられた接続端子部を有している請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の流体制御装置。
【請求項５】
前記ケーシングの幅寸法が１０ｍｍ以下である請求項１乃至４のうち何れか一項に記載の流体制御装置。
【請求項６】
流体の流量又は圧力を測定する流体制御機器と、前記流体制御機器との間で信号を授受する回路基板と、前記流体制御機器及び前記回路基板を収容するケーシングと、ケーブルが接続される装置側コネクタとを具備する流体制御装置であって、
前記回路基板とは別に、前記装置側コネクタが搭載されたコネクタ基板をさらに具備し、
前記装置側コネクタに接続されたケーブル側コネクタが前記ケーシングの幅内に収まるように、前記コネクタ基板が前記ケーシング内に配置されており、
前記コネクタ基板が、前記回路基板に面接触している流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体プロセスで用いられる材料ガス等の流体を測定したり制御したりする流体制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の流体制御装置である例えばマスフローコントローラは、特許文献１に示すように流量センサや流量制御バルブなどの流体制御機器と、これらの流体制御機器との間で信号を授受する電気回路基板と、流体制御機器及び電気回路基板を収容するケーシングとを具備し、電気回路基板に設けられたコネクタを介し、例えばユーザ用情報処理装置にケーブル接続されるように構成されたものがある。
【０００３】
近年、このようなマスフローコントローラなどの流体制御装置は、設置面積を縮小するために、スリム化が求められている。そのために、例えば本発明者等は、ケーシングの面板部と直交する方向である幅方向の寸法が非常に小さいマスフローコントローラを開発しつつある。
【０００４】
このようなマスフローコントローラの開発により、複数のマスフローコントローラをケーシングの面板部同士が互いに対向するように配置することで、互いに隣り合うマスフローコントローラを隙間なく隣接配設することができ、非常にコンパクトな流体制御システムを構築できる。
【０００５】
ところで、幅方向の寸法が非常に小さいマスフローコントローラを製造するためには、電気回路基板に搭載されている種々の電子部品や流体制御機器などとケーシングの内面とを干渉させないようにしつつ、これらの隙間をできるだけ狭くする必要がある。
このことから、電気回路基板や流体制御機器などは、ケーシングの幅方向における配置がある程度決まってしまい、例えば電気回路基板はケーシング内において幅方向における中央から一方又は他方の面板部側にずれた位置に設けられる。その結果、電気回路基板に設けられているコネクタは、ケーシングの幅方向において中央よりも一方又は他方の面板部側にずれて配置されることになる。
【０００６】
このように、コネクタがケーシングの幅方向における中央からずれて配置されると、このコネクタに接続されるケーブル側コネクタがケーシングの幅内に収まらずにはみ出てしまう。そうすると、例えば隙間無く隣接配置されているマスフローコントローラのうち１つを取り出す場合や、２つのマスフローコントローラの間に別のマスフローコントローラを隣接配置させる場合など、ケーブルを挿したまま作業をすると非常に作業性が悪くなるし、１つ１つケーブルを付け外ししながら作業をすると効率が非常に悪くなるという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１６−２１２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、複数の流体制御装置を隣接配置した場合でも、作業性や作業効率の悪化を招くことなくケーブル接続することのできる流体制御装置を提供することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る流体制御装置は、流体の流量又は圧力を測定する流体制御機器と、前記流体制御機器との間で信号を授受する回路基板と、前記流体制御機器及び前記回路基板を収容するケーシングと、ケーブルが接続される装置側コネクタとを具備するものであって、前記回路基板とは別に、前記装置側コネクタが搭載されたコネクタ基板をさらに具備し、前記コネクタ基板が、少なくとも一部が前記回路基板に重なった状態で、前記回路基板に固定されていることを特徴とするものである。
【００１０】
このような流体制御装置であれば、コネクタ基板を回路基板に面接触させた状態又は隙間を介して重ねた状態で固定しているので、コネクタ基板と回路基板とを厚み方向、すなわちケーシングの幅方向にずらして配置することができる。したがって、回路基板の配置によらず、コネクタ基板に搭載された装置側コネクタをケーシングの幅方向における中央又はその近傍に設けることができ、装置側コネクタに接続されるケーブル側コネクタをケーシングの幅内に収めることができる。これにより、本発明に係る流体制御装置を幅方向に隣接配置した場合にも、流体制御装置の取り外しや取り付け時の作業性や作業効率を悪化させることなくケーブル接続することが可能となる。
【００１１】
コネクタ基板における搭載面の裏面とケーシングの内面との隙間を可及的に小さくして、流体制御装置の幅方向の寸法を小さく維持するためには、前記コネクタ基板における前記回路基板との対向面が前記装置側コネクタを搭載する搭載面である構成や、前記コネクタ基板において、前記搭載面に電子部品が設けられている構成が挙げられる。
【００１２】
流体制御装置の幅方向の寸法をより小さくするためには、前記コネクタ基板が、前記回路基板に面接触していることが好ましい。
【００１３】
コネクタ基板を回路基板に固定した状態において、装置側コネクタがケーシングから高さ方向に飛び出していると、その分流体制御装置の高さ方向の寸法が大きくなってしまう。
そこで、前記回路基板に前記装置側コネクタの少なくとも一部が配置される切欠部が形成されており、前記コネクタ基板が、前記切欠部を覆うように配置されていることが好ましい。
このような構成であれば、装置側コネクタの少なくとも一部を切欠部に配置させることで、装置側コネクタにおけるケーシングから飛び出る部分を無くす又は短くすることができ、流体制御装置の高さ方向の寸法を小さくすることができる。
【００１４】
前記回路基板又は前記コネクタ基板の一方が、その外周部における他方の基板と重なる位置に設けられた端面スルーホールを有しており、前記回路基板又は前記コネクタ基板の他方が、前記端面スルーホールに対応した位置に設けられた接続端子部を有していることが好ましい。
このような構成であれば、端面スルーホールと接続端子部とを例えば半田付けすることで、コネクタ基板を回路基板に固定するとともに電気的に接続することができるうえ、端面スルーホールと接続端子部とが確実に半田付けされているかを確認しながら作業を進めていくことができる。
【００１５】
本発明の効果がより顕著に発揮される態様としては、前記ケーシングの幅寸法が１０ｍｍ以下であることが挙げられる。
【００１６】
また、本発明に係る流体制御装置は、流体の流量又は圧力を測定する流体制御機器と、前記流体制御機器との間で信号を授受する回路基板と、前記流体制御機器及び前記回路基板を収容するケーシングと、ケーブルが接続される装置側コネクタとを具備する流体制御装置であって、前記回路基板とは別に、前記装置側コネクタが搭載されたコネクタ基板をさらに具備し、前記装置側コネクタに接続されたケーブル側コネクタが前記ケーシングの幅内に収まるように、前記コネクタ基板が前記ケーシング内に配置されていることを特徴とするものである。
このような流体制御装置であれば、ケーブル側コネクタがケーシングの幅内に収まるように構成されているので、本発明に係る流体制御装置を幅方向に隣接配置した場合にも、それぞれの流体制御装置に無理なくケーブルを接続することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
このように構成した本発明によれば、複数を隣接配置した場合でも、それぞれに無理なくケーブル接続することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態の流体制御システムの全体構成を模式的に示す図。
【図２】同実施形態の流体制御装置の構成を模式的に示す図。
【図３】同実施形態のコネクタ基板の構成を模式的に示す図。
【図４】同実施形態のコネクタ基板とメイン基板との構成を模式的に示す図。
【図５】同実施形態の端面スルーホールを模式的に示す図。
【図６】変形実施形態のコネクタ基板とメイン基板との構成を模式的に示す図。
【図７】変形実施形態のコネクタ基板を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に本発明に係る流体制御装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態に係る流体制御装置１００は、図１に示すように、例えば複数のガスを使用する半導体製造プロセスなどに用いられる流体制御システム２００を構成するものであり、複数のガスラインそれぞれに設けられて、各ガスラインを流れる流体の流量、圧力、温度、粘性などの物性を独立して制御するものである。
【００２１】
具体的にこの流体制御装置１００は、図２に示すように、流体が流れる内部流路１ａを有するボディ１と、前記内部流路１ａ上に設けられた流体機器たる流量調整弁２と、この流量調整弁２よりも下流側に設けられて前記内部流路１ａを流れる流体の質量流量を測定するための流体機器たる圧力センサ３と、前記流量調整弁２や前記圧力センサ３との間で信号を授受する電気回路基板４（以下、メイン基板４ともいう）と、前記流体制御弁２、前記圧力センサ３、及び前記メイン基板４を収容するケーシング５とを具備している。
【００２２】
ボディ１は、図２に示すように、長細い直方体形状をなす例えば金属製のものである。このボディ１における長手方向と平行な１つの面は、部品取付面１ｃとして設定してあり、この部品取付面１ｃに、前記流量調整弁２や圧力センサ３などの部品が取り付けられるように構成してある。また、この取付面１ｃの反対側の面を、当該ボディ１をパネルなどに固定するための固定面１ｂとしている。そして、この実施形態では、前記固定面１ｂの長手方向における一端部に内部流路１ａの入力ポート１ｄが開口させてあるとともに、他端部に内部流路１ａの出力ポート１ｅが開口させてある。なお、長手方向と平行な他の２面（以下、側面と言う）には何も取り付けないようにして、複数の流体制御装置１００をそのボディ１の側面同士が密着乃至近接させて配置できるように構成してある。
【００２３】
内部流路１ａは、ボディ１の長手方向における一端部から他端部に向かって延びるもので、前記部品取付面１ｃに垂直な方向である平面方向から視たときに、流体が長手方向と略平行に流れていくように構成してある。なお、以下、平面方向から視て長手方向と垂直な方向を幅方向という。
【００２４】
流量調整弁２は、柱状をなすものであり、前記部品取付面１ｃに鉛直に取り付けられている。この流量調整弁２の最大幅寸法は、前記部品取付面１ｃの幅寸法（長手方向と直交する方向の寸法）よりも小さいか又は同一に設定してあり、この流量調整弁２をボディ１に取り付けた状態で、流量調整弁２がボディ１よりも幅方向に突出しないように構成してある。
【００２５】
圧力センサ３は、扁平な形状をなすものであり、その面板部（扁平面）が部品取付面１ｃに略垂直でなおかつボディ１の長手方向と略平行、すなわち平面視すると、流体の流れ方向と略平行となるように、該部品取付面１ｃに取り付けてある。また、圧力センサ３の厚み寸法は、部品取付面１ｃの幅方向寸法よりも小さいか又は同一に設定してあり、取付状態で圧力センサ３がボディ１よりも幅方向に突出しないように構成してある。
【００２６】
メイン基板４は、部品取付面１ｃに対して略垂直に起立させた状態でケーシング５に螺子などで固定されている。具体的にこのメイン基板４は、シート部材にＣＰＵ、メモリ、通信回路などのデジタル回路、及び、増幅器、バッファなどのアナログ回路が形成されており、前記メモリに格納したプログラムにしたがってＣＰＵやその他周辺機器が協働することによって、圧力センサ３による測定圧力に基づいて内部流路を流れる流量を算出するとともに、その測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁２を制御するように構成されている。
本実施形態のメイン基板４は、シート部材の厚み寸法が１ｍｍ程度のものであり、図３に示すように、上述したデジタル回路やアナログ回路が主として形成されている面４ａ（以下、表面４ａともいう）とケーシング５の内面５ａとの隙間が、表面４ａと反対側の面４ｂ（以下、裏面４ｂともいう）とケーシング５の内面５ａとの隙間よりも広くなるように配置されている。
【００２７】
ケーシング５は、その幅寸法（１つの流体制御装置１００における一方の外面５ｂから他方の外面５ｂまでの距離）がボディ１の幅寸法と略同一に設定してあり、ここでは前記幅寸法が１０ｍｍの直方体形状のものである。
【００２８】
このように構成された流体制御装置１００は、図１に示すように、幅方向に複数が隣接配置されて流体制御システム２００を構成しており、例えば外部のユーザ用情報処理装置と各流体制御装置１００との間で種々の情報を通信すべく、各流体制御装置１００は、前記ユーザ用情報処理装置とケーブル接続されるように構成されている。
【００２９】
より具体的に各流体制御装置１００は、ケーシング５の上面にケーブル差込口５Ｈが形成されるとともに、このケーブル差込口５Ｈの下方に設けられたコネクタ６（以下、装置側コネクタ６）に図示しないケーブルのコネクタ（以下、ケーブル側コネクタともいう）を接続できるように構成されている。なお、ケーブル側コネクタ及び装置側コネクタ６は所定の規格の通信用コネクタである。
なお、流体制御装置１００が用いられる半導体製造ライン等では、流体制御装置１００の設置スペース等において特に高さ方向に制限があることから、流体制御装置１００の上方でケーブルが干渉することを防ぐべく、前記ケーブル側コネクタとしてはＬ字コネクタが使用されることが多い。本実施形態の装置側コネクタ６もＬ字コネクタであるケーブル側コネクタが接続されることを想定したものである。
り、ケーブル側コネクタは例えばＬ字コネクタである。
【００３０】
そして、本実施形態の流体制御装置１００は、図３及び図４に示すように、上述した装置側コネクタ６が搭載されたコネクタ基板７をさらに具備してなる。
【００３１】
このコネクタ基板７は、図３に示すように、メイン基板４とは別体のものであり、前記装置側コネクタ６が電気的に接続されて固定されている。具体的にこのコネクタ基板７は、例えば矩形状の平板状をなし、そのシート部材の厚み寸法が前記メイン基板４のシート部材と同じ厚み寸法（ここでは１ｍｍ程度）のものである。ここではコネクタ基板７の一方の面７ａ（以下、搭載面７ａともいう）に装置側コネクタ６を搭載しており、この搭載面７ａにのみその他の電子部品を搭載して他方の面７ｂ（搭載面７ａと反対側の面）には電子部品を搭載しないようにしてある。
【００３２】
このコネクタ基板７は、メイン基板４に対して幅方向（基板の厚み方向）にずれた状態で固定されるとともに、メイン基板４と電気的に接続されており、ここでは流体制御装置１００の幅寸法を可及的に小さくすべく、コネクタ基板７の一部をメイン基板４に重なった状態で固定されている。ここでいう「重なった状態」とは、平面視においてメイン基板４とコネクタ基板７とが重なり合っている状態であり、メイン基板４とコネクタ基板７とが接触している状態のみならず、メイン基板４とコネクタ基板７との間に空隙が介在している状態も含まれる。
本実施形態では、図３及び図４に示すように、前記搭載面７ａをメイン基板４の裏面４ｂに対向させてこれらの面を接触させた状態で、コネクタ基板７をメイン基板４に固定している。
【００３３】
上述した構成により、コネクタ基板７の搭載面７ａは、メイン基板４の表面４ａからメイン基板４の裏面４ｂ側に向かってメイン基板４の厚み寸法分（ここでは１ｍｍ程度）ずれており、これにより、装置側コネクタ６は、仮にメイン基板４の表面４ａに装置側コネクタ６を搭載した場合と比べて、メイン基板４の裏面４ｂ側にメイン基板４の厚み寸法分（ここでは１ｍｍ程度）ずれた位置に設けられる。
なお、コネクタ基板７とメイン基板４とを必ずしも面接触させる必要はなく、例えばこれらの基板の間に所定の厚み寸法のスペーサを介在させても良い。この場合、装置側コネクタ６は、仮にメイン基板４の表面４ａに装置側コネクタ６を搭載した場合と比べて、メイン基板４の裏面４ｂ側にメイン基板４及びスペーサの厚み寸法を合わせた分ずれた位置に設けられる。
【００３４】
本実施形態のコネクタ基板７には、図４に示すように、装置側コネクタ６の少なくとも一部が配置される切欠部４ｈが形成されており、この切欠部４ｈをコネクタ基板７で覆うように、コネクタ基板７がメイン基板４に固定されている。すなわち、前記切欠部４ｈは、コネクタ基板７によって全体が覆われるサイズに形成されており、ここでは例えばコネクタ基板７よりも小さい矩形状をなす。
なお、切欠部４ｈの形状は矩形状に限らず、例えば装置側コネクタ６の輪郭に沿った形状など適宜変更して構わないし、コネクタ基板７としては、切欠部４ｈが形成されていない既存のものを用いても良い。
【００３５】
続いて、メイン基板４に対するコネクタ基板７の固定及び電気接続について説明する。
【００３６】
本実施形態のメイン基板４及びコネクタ基板７には、図４に示すように、それぞれ対応する位置に貫通孔Ｈが形成されており、まずはこの貫通孔Ｈに表面実装用の位置決めピンＰを挿通し半田付けすることで、コネクタ基板７をメイン基板４に対して位置決めする。
【００３７】
次に、メイン基板４及びコネクタ基板７を例えば半田付けにより電気的に接続する。
ここでは、図４に示すように、コネクタ基板７は、外周部におけるメイン基板４と重なり合う位置に設けられた複数の端面スルーホール７１を有している。また、メイン基板４は、コネクタ基板７が位置決めされた状態で各端面スルーホール７１それぞれに対応する位置に設けられて各端面スルーホール７１が電気接続される複数の接続端子部４１を有している。
【００３８】
前記各端面スルーホール７１は、コネクタ基板７の１つの辺部（ここでは長辺部）において搭載面７ａからその裏面７ｂに貫通するとともに、コネクタ基板７の側面の一部が当該端面スルーホール７１の内側面となる例えば半円柱状などの導電性を有するものである。
【００３９】
前記接続端子部４１は、メイン基板４においてコネクタ基板７の外周部が重なり合う位置に設けられた例えば薄板円形状などの導電性を有するものである。
【００４０】
かかる構成により、メイン基板４にコネクタ基板７を位置決めした状態で、各端面スルーホール７１と各接続端子部４１とを半田付けすることにより、コネクタ基板７をメイン基板４に電気接続するとともに固定することができる。
【００４１】
このように、端面スルーホール７１を用いてメイン基板４とコネクタ基板７とを半田付けすることで、図５に示すように、端面スルーホール７１と接続端子部４１とに亘って半田が流れ込んでいるかを確認しながら作業を進めていくことができ、円柱状のスルーホールに半田を流し込む場合に比べて確実に半田付けすることが可能となる。
【００４２】
このように構成された本実施形態に係る流体制御装置１００によれば、コネクタ基板７をメイン基板４に重ねた合わせた状態で固定しているので、装置側コネクタ６の位置を、仮にメイン基板４の表面４ａに装置側コネクタ６を搭載した場合と比べて、メイン基板４の裏面４ｂ側にメイン基板４の厚み寸法分ずらすことができる。
これにより、ケーシング５内におけるメイン基板４の配置を変更することなく、装置側コネクタ６を、ケーシング５の幅方向における中央又はその近傍に設けることができ、装置側コネクタ６に接続されるケーブル側コネクタをケーシング５の幅寸法内に収めることができる。
その結果、例えば幅方向に隣接配置された流体制御装置１００のうち１つの流体制御装置１００を取り出す場合や、２つの流体制御装置１００の間に別の流体制御装置１００を隣接配置させる場合など、流体制御装置１００に接続されているケーブルが邪魔にならず、作業性や作業効率の悪化を防ぐことができる。
【００４３】
また、コネクタ基板７の搭載面７ａと反対側の面７ｂに電子部品を搭載していないので、この反対側の面７ｂとケーシング５の内面５ａとの隙間を可及的に小さくすることができ、流体制御装置１００の幅方向の寸法を小さく維持することができる。
【００４４】
さらに、メイン基板４に装置側コネクタ６の一部が収容される切欠部４ｈを形成しているので、装置側コネクタ６におけるケーシング５の上面から飛び出す部分を無くす又は少なくすることができ、流体制御装置１００の高さ方向の寸法を小さくすることができる。
【００４５】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４６】
例えば、前記実施形態では、端面スルーホール及び接続端子部を用いてメイン基板とコネクタ基板とを半田付けしていたが、表面実装用の接続ピンを介してメイン基板とコネクタ基板とを電気的に接続しても良い。
具体的な実施態様としては、図６に示すように、メイン基板及びコネクタ基板の対応した位置に複数の貫通孔ｈ（例えばキリ穴）を形成するとともに、これらの貫通孔ｈの周囲にリング状のランドＬを設けた構成が挙げられる。この構成により、各貫通孔ｈに接続ピンＱを差し込んだ状態でランドＬと接続ピンＱとを半田付けすることで、メイン基板４とコネクタ基板７とを電気接続することができる。なお、半田付けを効率良く行なうためには、接続ピンＱとして例えばライトアングルピンヘッダのように屈曲したものを用いることが好ましい。
【００４７】
また、前記実施形態では、コネクタ基板７の搭載面７ａをメイン基板４の裏面４ｂに接触させていたが、コネクタ基板７の搭載面７ａと反対側の面をメイン基板４の表面４ａに接触させても良い。
このような構成であれば、コネクタ基板７の搭載面７ａをメイン基板４の表面４ａからコネクタ基板７の厚み寸法分さらにメイン基板４の表面４ａ側にずらすことができる。
【００４８】
さらに、前記実施形態では、コネクタ基板が端面スルーホールを有し、メイン基板が接続端子部を有していたが、メイン基板が端面スルーホールを有し、コネクタ基板が接続端子部を有していても構わない。
また、前記実施形態では、コネクタ基板の外周部における１つの辺部に端面スルーホールを設けていたが、複数の辺部に端面スルーホールを設けても構わない。
【００４９】
そのうえ、図７に示すように、コネクタ基板７は、必ずしもメイン基板４に固定されている必要はなく、例えばフレキシブルプリント配線板ＦＰＣなどを介してメイン基板４と電気的に接続されていても良い。
より具体的には、装置側コネクタ６に接続された図示しないケーブル側コネクタがケーシング５の幅内に収まるように、コネクタ基板７をケーシング５内に配置して、この状態でコネクタ基板７を例えば螺子などを用いてケーシング５の上面に固定すれば良い。
上述した構成であれば、複数の流体制御装置１００を幅方向に隣接させた場合に、互いに隣接する流体制御装置１００の装置側コネクタ６に接続されたケーブル側コネクタは互いに干渉せず、それぞれの流体制御装置１００に無理なくケーブルを接続することが可能となる。
【００５０】
加えて、メイン基板とコネクタ基板との接続や、流体制御装置と外部の情報処理装置との接続は、電気接続に限らず例えば光接続などであっても良い。
【００５１】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５２】
１００・・・流体制御装置
４    ・・・メイン基板（電気回路基板）
５    ・・・ケーシング
６    ・・・装置側コネクタ
７    ・・・コネクタ基板
７１  ・・・端面スルーホール
７ａ  ・・・搭載面
【図１】
0006745125.tif 000002
【図２】
0006745125.tif 000003
【図３】
0006745125.tif 000004
【図４】
0006745125.tif 000005
【図５】
0006745125.tif 000006
【図６】
0006745125.tif 000007
【図７】
0006745125.tif 000008