(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連結して固定される複数のチャンバーで構成される基板処理装置であって、
前記複数のチャンバーのうちの少なくとも１つが、
チャンバーの筐体に配設された、３個以上のボール型のキャスタと、
前記チャンバーを、これが設置される基台に対して固定する固定状態と、前記基台に対して移動可能とする移動可能状態との間で切り替える制動部と、
を備え、
前記制動部が、前記基台に形成された長孔と、上端が前記筐体に対して固定され、下端部が前記長孔内を移動可能に該長孔に挿通されたボルトと、該ボルトのうち前記長孔の上側の部分に螺合された第１ナット及び前記長孔の下側の部分に螺合された第２ナットとを有し、前記チャンバーは、前記第１ナット及び前記第２ナットを締めつけることで前記固定状態とされ、前記第１ナット及び前記第２ナットを緩めることで前記移動可能状態とされる、基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記筐体と前記キャスタとの高さ方向の相対位置関係を変更する高さ変更部、
をさらに備える、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のチャンバーで構成される基板処理装置に関する。
ここでいう「チャンバー」には、半導体基板やガラス基板等の各種の基板（以下、単に「基板」という）に対して各種の処理を施すための処理チャンバー、処理チャンバーに基板を出し入れする際に当該処理チャンバーの真空を保持するために配置されるロードロックチャンバー、処理チャンバー等に対する基板の搬出入を行うための搬送装置が配置される搬送チャンバー、等が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
基板に対して各種の処理を施す基板処理装置においては、その多くが、複数の個別のチャンバーを組み合わせて構成される。
具体的には例えば、真空下で基板に対して成膜、エッチング等の処理を行う処理チャンバーに連結してロードロックチャンバーが配置され、該ロードロックチャンバーに連結して搬送チャンバーが配置されることがある。場合によっては、ロードロックチャンバーに搬送装置が配置されて、搬送チャンバーが省略されることもある。
また、並行処理によりスループットを高めるべく、処理チャンバーが複数設けられることもあり、このような装置においては、複数の処理チャンバーが、１台のロードロックチャンバー（あるいは、搬送装置が配置された搬送チャンバー）を取り囲むようにして、これと連結して配置されることが多い（所謂、クラスター型の基板処理装置）。
【０００３】
特許文献１，２には、複数の処理チャンバーが搬送チャンバーの周囲にこれと連結して配置されて固定された、クラスター型の基板処理装置において、処理チャンバーとこれが設置される床（台座）との間に、レールとこれに沿って摺動する部材（具体的には、特許文献１では「レール２１」と「キャスター２２」、特許文献２では「ガイドレール２０」と「ガイドローラ１９」）を設ける構成が提案されている。
この構成によると、処理チャンバーをレールに沿って移動させることで、処理チャンバーを搬送チャンバーから容易に切り離すことができる。例えば特許文献１の装置においては、処理チャンバーをレールに沿って移動させて搬送チャンバーから離れた位置に配置すると、処理チャンバーに設けられている保守用扉を大きく開くことができるようになり、これによって、作業者が当該扉を介して処理チャンバーの内部に容易にアクセスしてそのメンテナンス作業をスムーズに行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2009-267416号公報
【特許文献２】特開H09-64149号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１，２の構成では、一旦レールを敷設すると、その延在方向だけにしか処理チャンバーを移動させることができず、また、処理チャンバーの向きを変更することもできない。つまり、当該構成においては、処理チャンバーの移動の自由度が低く、画一的な使用態様にしか対応できないという難点があった。
【０００６】
また、特許文献１，２の構成では、レールの敷設位置が処理チャンバーと搬送チャンバーの間の位置合わせの精度に直結しており、レールが適切に敷設されていないと両チャンバーの間のシール部分からの真空漏れや処理精度の悪化等といった問題が生じる虞がある。したがって、レールが定められた位置に精確に敷設されるように、慎重にレールの敷設作業を行わなければならず、当該敷設作業に時間と手間がかかってしまうという難点もあった。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、複数のチャンバーで構成される基板処理装置において、簡易な構成であり、且つ高い自由度でチャンバーを移動させることができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために成された本発明は、
連結して固定される複数のチャンバーで構成される基板処理装置であって、
前記複数のチャンバーのうちの少なくとも１つが、
チャンバーの筐体に配設された、３個以上のボール型のキャスタ、
を備える。
【０００９】
この発明においては、レール等を必要としない簡易な構成でありながら、チャンバーをそれが設置される基台の表面に沿う自由な方向に移動させることができるとともに、チャンバーの向きを自由に変更することもできる。
【００１０】
好ましくは、前記基板処理装置は、
前記筐体と前記キャスタとの高さ方向の相対位置関係を変更する高さ変更部、
をさらに備える。
【００１１】
この構成によると、高さ変更部によって筐体とキャスタとの高さ方向の相対位置関係を変更することで、チャンバーを高さ方向にも移動させることができるとともに、チャンバーの姿勢を変更することもできる。
【００１２】
好ましくは、前記基板処理装置は、
前記チャンバーを、これが設置される基台に対して固定する固定状態と、前記基台に対して移動可能とする移動可能状態との間で切り替える制動部、
をさらに備える。
【００１３】
この構成によると、チャンバーを所望の位置に移動させた後に、制動部によってチャンバーを移動可能状態から固定状態に切り替えることによって、チャンバーを当該位置に固定することができる。したがって、振動等によってチャンバーの位置がずれる、といった事態の発生を未然に回避できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、レール等を必要としない簡易な構成でありながら、チャンバーをそれが設置される基台の表面に沿う自由な方向に移動させることができるとともに、チャンバーの向きを自由に変更することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係る基板処理装置を模式的に示す側面図。
【図２】前記基板処理装置を模式的に示す上面図。
【図３】キャスタユニットの拡大図。
【図４】キャスタ部の拡大図。
【図５】変形例に係る基板処理装置を模式的に示す上面図。
【図６】別の変形例に係る基板処理装置を模式的に示す上面図。
【図７】さらに別の変形例に係る基板処理装置を模式的に示す側面図。
【図８】さらに別の変形例に係る基板処理装置を模式的に示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１７】
＜１．基板処理装置１００の構成＞
実施形態に係る基板処理装置の構成について、図１、図２を参照しながら説明する。図１は、基板処理装置１００の構成を模式的に示す側面図である。図２は、基板処理装置１００の構成を模式的に示す上面図である。
【００１８】
基板処理装置１００は、連結して固定される複数のチャンバー１，２を備える。具体的には、基板処理装置１００は、処理チャンバー１と、これと連結して固定されるロードロックチャンバー２と、を備える。処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の間には、ゲートバルブ３が設けられる。
【００１９】
処理チャンバー１は、基板に対して定められた真空処理（ここでは、真空プラズマ処理による成膜、エッチング等の処理）を施すチャンバーであり、その内部に形成される処理空間において基板を保持する保持部、処理空間に各種の処理ガスを供給するガス供給部、処理空間にプラズマを生成するためのプラズマ生成部、処理空間を真空状態と大気状態との間で切り替える排気部、等を備える（いずれも図示省略）。
【００２０】
ロードロックチャンバー２は、その内部に形成される空間を真空状態と大気状態との間で切り替える排気部を備える。また、ロードロックチャンバー２には、処理対象となる基板を装置外部から受け取って処理チャンバー１に搬入するとともに、処理チャンバー１から処理済みの基板を受け取って外部に搬出する搬送装置が配置される（いずれも図示省略）。
【００２１】
ロードロックチャンバー２は、処理チャンバー１に基板を出し入れする際に処理チャンバー１の真空を保持するために配置されるチャンバーである。すなわち、処理チャンバー１に未処理の基板を搬入する際には、ロードロックチャンバー２と外部との間に設けられたゲートバルブ（図示省略）を開いて、そこから当該基板をロードロックチャンバー２内に搬入する。そして、当該ゲートバルブを閉鎖して、ロードロックチャンバー２を真空にする。その後、ゲートバルブ３（すなわち、ロードロックチャンバー２と処理チャンバー１との間に設けられたゲートバルブ３）を開いて、真空状態のロードロックチャンバー２から真空状態の処理チャンバー１に基板を移動させる。また、処理済みの基板を処理チャンバー１から搬出する際には、ゲートバルブ３を開いて、真空状態の処理チャンバー１から真空状態のロードロックチャンバー２に基板を移動する。そして、ゲートバルブ３を閉鎖した後、ロードロックチャンバー２を大気状態にする。その後、ロードロックチャンバー２と外部との間に設けられたゲートバルブを開いて、ロードロックチャンバー２から外部に基板を搬出する。このように、ロードロックチャンバー２が設けられることによって、基板の搬出入の度毎に処理チャンバー１を大気状態と真空状態との間で切り替える必要がなく、一群の基板を次々と処理する間、処理チャンバー１を常に真空状態に維持することができる。
【００２２】
処理チャンバー１とロードロックチャンバー２は、共通の基台１０１上に設置される。具体的には、処理チャンバー１は、その筐体１０に固定された４個のキャスタユニット４を備え、筐体１０は当該４個のキャスタユニット４を介して基台１０１上に支持される。また、ロードロックチャンバー２は、その筐体２０に固定された４個の固定脚部９を備え、筐体２０は当該４個の固定脚部９を介して基台１０１上に固定的に支持される。
【００２３】
キャスタユニット４は、後に明らかになるように、処理チャンバー１（具体的には、その筐体１０）を基台１０１に対して移動可能に支持する。したがって、例えば、処理チャンバー１を連結位置（すなわち、ロードロックチャンバー２と連結されている位置）から移動させて、ロードロックチャンバー２から離間した位置に配置し、各チャンバー１，２の間に隙間を形成することによって、当該隙間から処理チャンバー１の筐体内部やゲートバルブ３に直接に（すなわち、ロードロックチャンバー２を介さずに）アクセスすることが可能となる。これによって、例えば、処理チャンバー１やゲートバルブ３等のメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００２４】
処理チャンバー１とロードロックチャンバー２との間には、これらの位置合わせを行うためのガイド構造５が、好ましくは複数個（図の例では、ゲートバルブ３を挟んで２個）、設けられている。ガイド構造５は、具体的には、一方のチャンバー（図の例では、ロードロックチャンバー２）に形成された凸部である位置決めピン５１と、他方のチャンバー（図の例では、処理チャンバー１）に形成され、位置決めピン５１とはまり合う形状の凹部であるピン受け部５２とを含んで構成され、処理チャンバー１がロードロックチャンバー２と精確に位置合わせされた状態において、位置決めピン５１がピン受け部５２にはまり合うような構成となっている。つまり、位置決めピン５１がピン受け部５２にはまった状態となるように処理チャンバー１を移動させることによって、処理チャンバー１をロードロックチャンバー２に対して精確に位置合わせすることができる。
【００２５】
＜２．キャスタユニット４＞
処理チャンバー１は、上述したとおり、４個のキャスタユニット４を備える。各キャスタユニット４は、処理チャンバー１の筐体１０における、下側の４頂点の付近の位置に固定配置される。図示の例では、各キャスタユニット４は筐体１０の下面に固定配置されているが、各キャスタユニット４は筐体１０の側面に固定配置されてもよい。
【００２６】
キャスタユニット４の構成について、図１、図２に加え、図３、図４を参照しながら説明する。図３は、キャスタユニット４を示す側面図である。図４は、キャスタ部６を示す側断面図である。なお、図２においては、説明の便宜上、筐体１０の一部を透視状態で示して１個のキャスタユニット４を、基台１０１に形成された長孔１０２とともに、図３の矢印Ａから見た断面図にて示している。
【００２７】
キャスタユニット４は、キャスタ部６と、高さ変更部７と、制動部８とを備える。
【００２８】
＜キャスタ部６＞
キャスタ部６は、ボール型のキャスタ（所謂、ボールキャスタ）であり、全方向に回転可能な球体（ボール）６１を備える。ボール６１は、ベアリング６２を介して受け部６３に回転自在に支持されている。また、受け部６３内には、ボール６１の衝撃を吸収するための部材（例えば、バネ）６４が配設される。受け部６３は、後述する高さ変更部７のナット７２の下端に固定されており、これによって、キャスタ部６は筐体１０に、間接的に（すなわち、後述する高さ変更部７を介して）、連結されている。
【００２９】
＜高さ変更部７＞
高さ変更部７は、ボルト７１を備える。ボルト７１は、上端が筐体１０に対して固定されて、鉛直方向に延在配置されており、その下端にナット７２が螺合されている。ナット７２の下端には、上述したキャスタ部６が取り付けられている。この構成において、ナット７２を回転させることによって、ボルト７１におけるナット７２の上側に突出する部分の長さが変更され、これによって、筐体１０とキャスタ部６との高さ方向の相対位置関係（つまりは、筐体１０の高さ）が変更される。
【００３０】
＜制動部８＞
制動部８は、ボルト８１を備える。ボルト８１は、上端が筐体１０に対して固定され、鉛直方向に延在して基台１０１に形成された長孔１０２に挿通されて、下端が長孔１０２の下側に配置されている。図２に示されるように、長孔１０２は、その長尺方向が、処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の連結方向に沿うような向きに、形成されている。また、同図に示されるように、長孔１０２は、その長尺方向の長さ、および、その短尺方向の長さ（幅）の両方が、ボルト８１の軸径よりも十分大きな寸法とされており、ボルト８１が所定の二次元領域内を自由に移動することを妨げないようになっている。
【００３１】
ボルト８１における長孔１０２の上側の部分には、長孔１０２の幅よりも大きな径を有するナット（第１ナット）８２が螺合されている。また、長孔１０２の下側の部分にも、長孔１０２の幅よりも大きな径を有するナット（第２ナット）８３が螺合されている。
【００３２】
この構成において、第１ナット８２および第２ナット８３をそれぞれ回転させて、基台１０１から離間させた位置に配置しておけば、ボルト８１は、長孔１０２により規定される二次元領域内において、自由に移動することができる状態となる。つまり、この状態において、処理チャンバー１は、基台１０１の表面に沿う自由な方向に移動可能な状態（移動可能状態）となる。一方、第１ナット８２および第２ナット８３をそれぞれ回転させて、第１ナット８２と第２ナット８３で基台１０１を挟み込むように締め付けると、ボルト８１と基台１０１とが固定的に連結された状態となる。つまり、この状態において、処理チャンバー１は、基台１０１に対して固定された状態（固定状態）となる。このように、制動部８は、処理チャンバー１を固定状態と移動可能状態との間で切り替える。
【００３３】
＜３．処理チャンバー１の移動＞
処理チャンバー１を連結位置から移動させるにあたっては、まず、制動部８の第１ナット８２および第２ナット８３をそれぞれ回転させて、これらを基台１０１から離間させた位置に配置して、処理チャンバー１を移動可能状態とする。この状態で、処理チャンバー１に例えば作業者が力を加えると、キャスタ部６のボール６１が回転し、処理チャンバー１は当該力が加えられた方向に簡単に移動する。例えば、処理チャンバー１をロードロックチャンバー２との連結方向に沿って、ロードロックチャンバー２から離間させる方向に移動させて、処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の間に隙間を形成することができる。この隙間から処理チャンバー１やゲートバルブ３に直接にアクセスすることによって、処理チャンバー１やゲートバルブ３のメンテナンス作業等を行うことができる。
【００３４】
処理チャンバー１を元の位置（連結位置）に戻すにあたっては、位置決めピン５１がピン受け部５２にはまった状態となるように、処理チャンバー１をロードロックチャンバー２に近付けていく。上述したとおり、制動部８のボルト８１が挿通される長孔１０２の長さおよび幅はいずれもボルト８１の軸径よりも十分大きいので、このときに、処理チャンバー１を、基台１０１の表面に沿う自由な方向に移動させながら、処理チャンバー１の位置（当該表面内における二次元位置）および向きを微調整することができる。さらに、必要に応じて、高さ変更部７のナット７２を回転させることで、処理チャンバー１の高さを微調整することもできる。このように、処理チャンバー１の位置、向き、および高さを微調整しながら、処理チャンバー１をロードロックチャンバー２に近付けていくことによって、処理チャンバー１の位置合わせを高精度に行うことができる。
【００３５】
位置決めピン５１とピン受け部５２が完全にはまり合った状態となって、処理チャンバー１がロードロックチャンバー２に対して精確に位置合わせされた状態となると、当該位置に処理チャンバー１を固定する。具体的には、第１ナット８２および第２ナット８３をそれぞれ回転させて、第１ナット８２と第２ナット８３で基台１０１を挟み込むように締め付けて、処理チャンバー１を固定状態とする。
【００３６】
＜４．効果＞
上記の実施形態においては、レール等を必要としない簡易な構成でありながら、処理チャンバー１をそれが設置される基台１０１の表面に沿う自由な方向に移動させることができるとともに、処理チャンバー１の向きを自由に変更することもできる。したがって、例えば上記のように、処理チャンバー１の位置や向きを微調整しながら当該処理チャンバー１をロードロックチャンバー２に精確に位置合わせすることができる。つまり、簡易な構成で、チャンバーの位置合わせを精確に行うことができる。
【００３７】
また、例えば、特許文献１，２のように、レールとこれに沿って摺動する部材（例えば、タイヤ型のキャスタや円筒状のローラ）でチャンバーを移動させる態様の場合、当該部材とレールとの接触領域は、線状である。これに対し、上記の実施形態においては、キャスタ部６がボール型のキャスタであり、点状のごく小さい領域で基台１０１に接触する。つまり、上記の実施形態においては、処理チャンバー１と基台１０１の接触面積が、特許文献１，２の構成と比べて格段に小さくなる。したがって、キャスタ部６を介して基台１０１から処理チャンバー１に熱や振動が伝わりにくい。その結果、処理チャンバー１の温度コントロールの精密性や、処理の精密性が損なわれにくくなる。
【００３８】
また、上記の実施形態によると、高さ変更部７によって筐体１０とキャスタ部６との高さ方向の相対位置関係を変更することで、処理チャンバー１を高さ方向にも移動させることができるとともに、処理チャンバー１の姿勢を変更することもできる。
【００３９】
また、上記の実施形態によると、処理チャンバー１を所望の位置に移動させた後に、制動部８によって処理チャンバー１を移動可能状態から固定状態に切り替えることによって、処理チャンバー１を当該位置に固定することができる。したがって、振動等によって処理チャンバー１の位置がずれる、といった事態の発生を未然に回避できる。
【００４０】
＜５．他の実施形態＞
上記の実施形態においては、処理チャンバー１の筐体１０に、４個のキャスタユニット４が配設されていたが、キャスタユニット４の配設個数は３個であってもよいし、５個以上であってもよい。
【００４１】
また、上記の実施形態においては、処理チャンバー１が、固定配置されるロードロックチャンバー２に対して移動可能とされていたが、ロードロックチャンバー２が、固定配置される処理チャンバー１に対して移動可能とされてもよい。すなわち、図５に示される基板処理装置１００ａのように、ロードロックチャンバー２の筐体２０に、固定脚部９に換えて、キャスタユニット４を配設し、処理チャンバー１の筐体１０に、キャスタユニット４に換えて、固定脚部９を配設してもよい。
【００４２】
また例えば、処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の両方が移動可能とされてもよい。すなわち、ロードロックチャンバー２の筐体２０に３個以上のキャスタユニット４を配設するとともに、処理チャンバー１の筐体１０にも３個以上のキャスタユニット４を配設してもよい。
【００４３】
また、上記の各実施形態に係る基板処理装置１００では、ロードロックチャンバー２に１個の処理チャンバー１を連結していたが、図６に示される基板処理装置１００ｂのように、複数（図の例では３個）の処理チャンバー１，１，１を、ロードロックチャンバー２を取り囲むようにして、これと連結して配置してもよい。この構成においては、複数の処理チャンバー１，１，１の各々の筐体１０に、３個以上（図の例では４個）のキャスタユニット４を配設し、各処理チャンバー１が、固定配置されるロードロックチャンバー２に対して移動できる構成とすればよい。もっとも、この構成において、ロードロックチャンバー２の筐体２０にも、３個以上（好ましくは、４個）のキャスタユニット４を配設してもよい。
【００４４】
また、上記の各実施形態においては、各キャスタユニット４は、キャスタ部６と高さ変更部７と制動部８とを備えていたが、少なくとも１個のキャスタユニット４において、高さ変更部７と制動部８との少なくとも一方を省略してもよい。
例えば、図７に示される基板処理装置１００ｃのように、処理チャンバー１に設けられた４個のキャスタユニット４の全てにおいて、制動部８を省略してもよい。この構成によると、処理チャンバー１を、基台１０１の表面に沿う自由な方向に自由な距離だけ移動させることができる。したがって、例えば、処理チャンバー１を、処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の連結方向と直交する方向に移動させたり、処理チャンバー１をその配設位置で鉛直軸を中心に回転させたりすることで、メンテナンス作業のための隙間を十分大きく形成することができる。したがって、基板処理装置１００ｃが設置される部屋が比較的小さい場合でも、当該部屋の形状に応じて柔軟に隙間を形成することが可能となり、メンテナンス作業等を難なく行うことができる。また、処理チャンバー１が故障等した場合にこれを交換する作業等も容易になる。
また、制動部８を省略した場合、当該キャスタユニット４は、ボール５１を介してのみ基台１０１に接触することになるので、基台１０１から各チャンバー１に熱や振動が特に伝わりにくくなる。したがって、チャンバー１の温度コントロールの精密性や、処理の精密性が損なわれにくくなる。特に、複数の処理チャンバー１を、ロードロックチャンバー２を取り囲むようにしてこれと連結して配置する装置構成（図６参照）において、各処理チャンバー１に設けられる４個のキャスタユニット４の全てにおいて制動部８を省略すれば、各処理チャンバー１が外部から受ける熱や振動の絶対量が小さくなることによって処理チャンバー１間の機差が小さくなり、処理の均一性が高まる。
【００４５】
また、上記の実施形態において、長孔１０２の形状や向きは適宜変更することができる。例えば、長孔１０２は、その長尺方向が、処理チャンバー１とロードロックチャンバー２の連結方向と直交する向きに形成されてもよい。また、長孔１０２の形状は、十字状、Ｌ字状、リング状、弧状、等であってもよい。
【００４６】
また、上記の実施形態において、制動部８のボルト８１を、筐体１０に対して着脱可能に構成してもよい。この構成によると、ボルト８１を筐体１０から取り外せば、処理チャンバー１の移動範囲が長孔１０２の内部領域に限定されない状態となり、キャスタ部６によって処理チャンバー１を任意の位置まで移動させることができる。
【００４７】
また、制動部８の構成は、上記に例示したものに限らない。図８には、別の態様に係る制動部８ａの構成が例示されている。この制動部８ａは、Ｌ字状の金具８４と、複数のボルト８５，８６とを含んで構成される。Ｌ字状の金具８４は、折れ曲がり部分を挟んで一方の部分８４１が筐体１０の側面に沿い、他方の部分８４２が基台１０１に沿うように配置され、当該一方の部分８４１が、第１ボルト８５によって筐体１０の側面に固定され、当該他方の部分８４２が、第２ボルト８６によって基台１０１に固定される。
この構成において、第１ボルト８５および第２ボルト８６をそれぞれ締め付けると、Ｌ字状の金具８４を介して、筐体１０と基台１０１が固定的に連結された状態となる。つまり、この状態において、処理チャンバー１は、基台１０１に対して固定された状態（固定状態）となる。一方、第２ボルト８６を取り外すことにより、Ｌ字状の金具８４と基台１０１との連結が解除される。つまり、この状態において、処理チャンバー１は、基台１０１の表面に沿う自由な方向に移動可能な状態（移動可能状態）となる。
この制動部８ａによると、移動可能状態において、処理チャンバー１の移動範囲が長孔１０２の内部領域等に限定されない状態となり、キャスタ部６によって処理チャンバー１を任意の位置まで移動させることができる。
なお、図の例では、処理チャンバー１の側方から見て、制動部８ａとキャスタ部６がずれた位置に配置されているが、制動部８ａとキャスタ部６は、処理チャンバー１の側方から見て重なる位置に配置されてもよい。
また、制動部８ａにおいては、Ｌ字状の金具８４に形成される、第１ボルト８５が挿通される貫通孔８４３が、長尺方向が鉛直方向に沿うように形成された長孔であることが好ましい。この構成によると、第２ボルト８６を取り外してＬ字状の金具８４と基台１０１との連結を解除した後、第１ボルト８５を緩めて、Ｌ字状の金具８４を長孔８４３に沿って微小量だけ上方に移動させてから、再び第１ボルト８５を締めてＬ字状の金具８４を筐体１０に固定しておく。こうしておけば、Ｌ字状の金具８４の下面と基台１０１との間に微小な隙間ができるので、Ｌ字状の金具８４と基台１０１との間の摩擦により処理チャンバー１が動きにくくなる、といった事態の発生を、未然に回避できる。
【００４８】
また、上記の実施形態において、処理チャンバー１が固定状態とされた後、処理チャンバー１を支持する部材を、キャスタ部６から制動部８に完全に切り換えてもよい。具体的には、処理チャンバー１が固定状態とされた後、高さ変更部７のナット７２を回転させることによって、キャスタ部６の位置を上昇させて、ボール６１を基台１０１から離間させてもよい。ボール６１を基台１０１から離間させておけば、基台１０１からボール６１を介して処理チャンバー１に熱や振動が伝わることを防止できる。
【符号の説明】
【００４９】
１  処理チャンバー
１０  筐体
２  ロードロックチャンバー
２０  筐体
３  ゲートバルブ
４  キャスタユニット
５  ガイド構造
５１  位置決めピン
５２  ピン受け部
６  キャスタ部
６１  ボール
６２  ベアリング
６３  受け部
６４  バネ
７  高さ変更部
７１  ボルト
７２  ナット
８，８ａ  制動部
８１  ボルト
８２  第１ナット
８３  第２ナット
８４  Ｌ字状の金具
８５  第１ボルト
８６  第２ボルト
９  固定脚部
１００，１００ａ，１００ｂ  基板処理装置
１０１  基台
１０２  長孔
【図１】
0006663093.tif 000002
【図２】
0006663093.tif 000003
【図３】
0006663093.tif 000004
【図４】
0006663093.tif 000005
【図５】
0006663093.tif 000006
【図６】
0006663093.tif 000007
【図７】
0006663093.tif 000008
【図８】
0006663093.tif 000009