(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が搭載される配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に、前記配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線であって、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なる配線と、
前記第２領域の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有し、前記配線を支持する支持部と、を備える、配線基板。
【請求項２】
前記伸縮部は、前記第１領域に位置する第１部材と、前記第１領域において前記第１部材に重なるとともに前記第１領域及び前記第２領域に広がり、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材と、を備える、請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並ぶ第１部材を含む複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材を含む第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に少なくとも前記第２領域に重なる配線と、
前記第２領域の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有し、前記配線を支持する支持部と、を備える、配線基板。
【請求項４】
前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第１面側に位置している、請求項２又は３に記載の配線基板。
【請求項５】
前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第１面及び前記第２面のいずれにも現れないように配置されている、請求項２又は３に記載の配線基板。
【請求項６】
前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第２面側に位置している、請求項２又は３に記載の配線基板。
【請求項７】
前記伸縮部の前記第１部材は、前記第２部材の面上に配置されている、請求項６に記載の配線基板。
【請求項８】
前記伸縮部の前記第２部材は、熱可塑性エラストマー、シリコーンゴム、ウレタンゲル又はシリコンゲルを含む、請求項２乃至７のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項９】
前記伸縮部と前記支持部とを接合する接着層を更に備える、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項１０】
前記伸縮部の前記第１部材は、前記配線基板の面内方向において前記接着層と接している、請求項４を引用する請求項９に記載の配線基板。
【請求項１１】
前記伸縮部は、前記配線と前記第２部材との間に位置する接着層を更に有し、
前記伸縮部の前記第１部材は、前記第２部材の面のうち前記配線側の面よりも前記配線側に位置し、前記配線基板の面内方向において前記接着層と接している、請求項２乃至４のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項１２】
前記支持部は、前記配線と前記接着層との間に位置し、前記配線の蛇腹形状部の山部及び谷部に対応する山部及び谷部を有し、
前記伸縮部の前記第１部材は、前記支持部に接している、請求項１１に記載の配線基板。
【請求項１３】
前記伸縮部の前記第１部材は、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、アクリル樹脂、又はポリエチレンテレフタラートを含む、請求項２乃至８のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項１４】
前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域の前記第１部分又は前記第２部分の少なくとも一方に沿って並び、前記第２領域よりも高い弾性係数を有する複数の伸縮制御部を更に備える、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項１５】
電子部品が搭載される配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に、前記配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線であって、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なる配線と、
前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域の前記第１部分又は前記第２部分の少なくとも一方に沿って並び、前記第２領域よりも高い弾性係数を有する複数の伸縮制御部と、を備える、配線基板。
【請求項１６】
配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並ぶ第１部材を含む複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材を含む第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に少なくとも前記第２領域に重なる配線と、
前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域の前記第１部分又は前記第２部分の少なくとも一方に沿って並び、前記第２領域よりも高い弾性係数を有する複数の伸縮制御部と、を備える、配線基板。
【請求項１７】
前記支持部は、前記伸縮部の前記第３領域に位置し、前記支持部を貫通する孔を含む、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項１８】
前記伸縮部の前記第３領域は、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記支持部の前記孔に重なる部材を含む、請求項１７に記載の配線基板。
【請求項１９】
前記伸縮部の前記第３領域は、前記伸縮部を貫通する孔を含む、請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項２０】
前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域と重なるとともに前記配線上に位置する絶縁層を更に備える、請求項１乃至１９のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項２１】
配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、第１方向に延びる複数の第１配線と、前記伸縮部の第１面側に位置し、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１配線に交差する複数の第２配線と、を有する配線と、
前記伸縮部の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有し、前記配線を支持する支持部と、を備える、配線基板。
【請求項２２】
前記配線は、前記伸縮部の前記第１面の法線方向における山部及び谷部が前記伸縮部の前記第１面の面内方向に沿って繰り返し現れる蛇腹形状部を有する、請求項１乃至２１のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項２３】
前記配線の前記蛇腹形状部の振幅が１μｍ以上である、請求項２２に記載の配線基板。
【請求項２４】
前記支持部は、１０μｍ以下の厚みを有する、請求項１、３又は２１に記載の配線基板。
【請求項２５】
前記伸縮部は、前記支持部よりも大きい厚みを有する、請求項２４に記載の配線基板。
【請求項２６】
前記配線に電気的に接続された電子部品を更に備える、請求項１乃至２５のいずれか一項に記載の配線基板。
【請求項２７】
電子部品が搭載される配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に、前記配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、
前記第１領域及び前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
前記配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線を、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なるように、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備え、
前記第２領域の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有する支持部上に前記配線を設ける配線準備工程を更に備え、
前記配線工程は、前記配線が設けられた支持部を、前記伸長した状態の前記伸縮部に前記第１面側から接合する接合工程を含む、配線基板の製造方法。
【請求項２８】
配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並ぶ第１部材を含む複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材を含む第２領域と、
前記第１領域及び前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
配線を、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なるように、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備え、
前記第２領域の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有する支持部上に前記配線を設ける配線準備工程を更に備え、
前記配線工程は、前記配線が設けられた支持部を、前記伸長した状態の前記伸縮部に前記第１面側から接合する接合工程を含む、配線基板の製造方法。
【請求項２９】
前記伸長工程は、前記伸縮部の厚み方向において前記第１領域を挟持した状態で実施される、請求項２７又は２８に記載の配線基板の製造方法。
【請求項３０】
配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
第１方向に延びる複数の第１配線と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１配線に交差する複数の第２配線と、を有する配線を、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備え、
前記伸縮部の弾性係数の１００倍以上の弾性係数を有する支持部上に前記配線を設ける配線準備工程を更に備え、
前記配線工程は、前記配線が設けられた支持部を、前記伸長した状態の前記伸縮部に前記第１面側から接合する接合工程を含む、配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、伸縮性を有する伸縮部と、配線とを備える配線基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、伸縮性などの変形性を有する電子デバイスの研究がおこなわれている。例えば特許文献１は、基板と、基板に設けられた配線と、を備え、伸縮性を有する配線基板を開示している。特許文献１においては、予め伸長させた状態の基板に回路を設け、回路を形成した後に基板を弛緩させる、という製造方法を採用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２８１４０６号公報
【発明の開示】
【０００４】
第１方向及び第２方向において基板に引張応力を加えて基板を伸長させ、基板に配線を設けた後、基板を弛緩させた場合、第１方向及び第２方向に沿って並ぶ複数のシワが、基板及び配線を備える配線基板に生じる。この場合、第１方向に沿って並ぶシワと第２方向に沿って並ぶシワとが干渉するので、シワを制御することが困難になる。
【０００５】
本開示の実施形態は、このような課題を効果的に解決し得る配線基板及び配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
本開示の一実施形態は、電子部品が搭載される配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に、前記配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線であって、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なる配線と、を備える、配線基板である。
【０００７】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部は、前記第１領域に位置する第１部材と、前記第１領域において前記第１部材に重なるとともに前記第１領域及び前記第２領域に広がり、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材と、を備えていてもよい。
【０００８】
本開示の一実施形態は、配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並ぶ第１部材を含む複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材を含む第２領域と、
前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に少なくとも前記第２領域に重なる配線と、を備える、配線基板である。
【０００９】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第１面側に位置していてもよい。また、前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第１面及び前記第２面のいずれにも現れないように配置されていてもよい。また、前記伸縮部の前記第１部材は、前記伸縮部の前記第２面側に位置していてもよい。また、前記伸縮部の前記第１部材は、前記第２部材の面上に配置されていてもよい。
【００１０】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部の前記第２部材は、熱可塑性エラストマー、シリコーンゴム、ウレタンゲル又はシリコンゲルを含んでいてもよい。
【００１１】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記配線と前記伸縮部の前記第１面との間に位置し、前記配線の蛇腹形状部の山部及び谷部に対応する山部及び谷部を有し、前記配線を支持する支持部を更に備えていてもよい。この場合、前記配線基板は、前記伸縮部と前記支持部とを接合する接着層と、を更に備えていてもよい。また、前記伸縮部の前記第１部材は、前記配線基板の面内方向において前記接着層と接していてもよい。
【００１２】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部は、前記配線と前記第２部材との間に位置する接着層を更に有し、前記伸縮部の前記第１部材は、前記第２部材の面のうち前記配線側の面よりも前記配線側に位置し、前記配線基板の面内方向において前記接着層と接していてもよい。
【００１３】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記配線と前記接着層との間に位置し、前記配線の蛇腹形状部の山部及び谷部に対応する山部及び谷部を有し、前記配線を支持する支持部を更に備え、前記伸縮部の前記第１部材は、前記支持部に接していてもよい。
【００１４】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部の前記第１部材は、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、アクリル樹脂、又はポリエチレンテレフタラートを含んでいてもよい。
【００１５】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域の前記第１部分又は前記第２部分の少なくとも一方に沿って並び、前記第２領域よりも高い弾性係数を有する複数の伸縮制御部を更に備えていてもよい。
【００１６】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部の前記第３領域は、前記伸縮部を貫通する孔を含んでいてもよい。
【００１７】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域と重なるとともに前記配線上に位置する絶縁層を更に備えていてもよい。
【００１８】
本開示の一実施形態は、配線基板であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部と、
前記伸縮部の第１面側に位置し、第１方向に延びる複数の第１配線と、前記伸縮部の第１面側に位置し、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１配線に交差する複数の第２配線と、を有する配線と、を備える、配線基板である。
【００１９】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記配線は、前記伸縮部の前記第１面の法線方向における山部及び谷部が前記伸縮部の前記第１面の面内方向に沿って繰り返し現れる蛇腹形状部を有していてもよい。
【００２０】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記配線の前記蛇腹形状部の振幅が１μｍ以上であってもよい。
【００２１】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記配線と前記伸縮部の前記第１面との間に位置し、前記配線の前記蛇腹形状部の前記山部及び前記谷部に対応する山部及び谷部を有し、前記配線を支持する支持部を更に備えていてもよい。
【００２２】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記支持部は、１０μｍ以下の厚みを有していてもよい。
【００２３】
本開示の一実施形態による配線基板において、前記伸縮部は、前記支持部よりも大きい厚みを有していてもよい。
【００２４】
本開示の一実施形態による配線基板は、前記配線に電気的に接続された電子部品を更に備えていてもよい。
【００２５】
本開示の一実施形態は、電子部品が搭載される配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に、前記配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、
前記第１領域及び前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
前記配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線を、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なるように、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備える、配線基板の製造方法である。
【００２６】
本開示の一実施形態は、配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部であって、
第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並ぶ第１部材を含む複数の第１領域と、
前記第１方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び前記第２方向において隣り合う２つの前記第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、前記第１部材よりも低い弾性係数を有する第２部材を含む第２領域と、
前記第１領域及び前記第２領域によって囲まれた第３領域と、
を備える伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
配線を、前記伸縮部の前記第１面の法線方向に沿って見た場合に前記第２領域に重なるように、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備える、配線基板の製造方法である。
【００２７】
本開示の一実施形態による配線基板の製造方法において、前記伸長工程は、前記伸縮部の厚み方向において前記第１領域を挟持した状態で実施されてもよい。
【００２８】
本開示の一実施形態は、配線基板の製造方法であって、
伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部を準備する工程と、
前記伸縮部の前記第１面の面内方向における少なくとも２つの方向に沿って前記伸縮部に引張応力を加えて、前記伸縮部を伸長させる伸長工程と、
第１方向に延びる複数の第１配線と、前記第１方向に交差する第２方向に沿って延び、前記第１配線に交差する複数の第２配線と、を有する配線を、伸長した状態の前記伸縮部の前記第１面に設ける配線工程と、
前記伸縮部から前記引張応力を取り除く収縮工程と、を備える、配線基板の製造方法である。
【００２９】
本開示の一実施形態による配線基板の製造方法は、支持部上に前記配線を設ける配線準備工程を更に備え、前記配線工程は、前記配線が設けられた支持部を、前記伸長した状態の前記伸縮部に前記第１面側から接合する接合工程を含んでいてもよい。
【００３０】
本開示の実施形態によれば、第１方向に沿って並ぶシワと第２方向に沿って並ぶシワとが干渉することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】一実施の形態に係る配線基板を示す断面図である。
【図２Ａ】一実施の形態に係る配線基板を示す平面図である。
【図２Ｂ】一実施の形態に係る配線基板のその他の例を示す平面図である。
【図３】一実施の形態に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図４Ａ】図２Ａの配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図４Ｂ】図２Ａの配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図のその他の例である。
【図４Ｃ】図２Ａの配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図のその他の例である。
【図４Ｄ】図２Ａの配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図のその他の例である。
【図４Ｅ】図２Ａの配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図のその他の例である。
【図５】一実施の形態に係る配線基板の配線及びその周辺の構成要素の一例を拡大して示す断面図である。
【図６Ａ】一実施の形態に係る配線基板の配線及びその周辺の構成要素のその他の例を拡大して示す断面図である。
【図６Ｂ】一実施の形態に係る配線基板の配線及びその周辺の構成要素のその他の例を拡大して示す断面図である。
【図６Ｃ】一実施の形態に係る配線基板の配線及びその周辺の構成要素のその他の例を拡大して示す断面図である。
【図７Ａ】伸縮部を作製するための型の一例を示す断面図である。
【図７Ｂ】伸縮部を作製するための型の一例を示す平面図である。
【図８Ａ】型に複数の第１部材を配置する工程を示す断面図である。
【図８Ｂ】型に複数の第１部材を配置する工程を示す平面図である。
【図９Ａ】型に第２部材を充填する工程を示す断面図である。
【図９Ｂ】型に第２部材を充填する工程を示す平面図である。
【図１０】支持部と伸縮部とを組み合わせる工程を説明する図である。
【図１１】第１の変形例に係る配線基板を示す断面図である。
【図１２】第１の変形例に係る配線基板を示す平面図である。
【図１３】第１の変形例に係る配線基板の配線及びその周辺の構成要素の一例を拡大して示す断面図である。
【図１４】第２の変形例に係る配線基板を示す断面図である。
【図１５Ａ】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１５Ｂ】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１５Ｃ】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１５Ｄ】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１５Ｅ】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１６】第３の変形例に係る配線基板の一例を示す断面図である。
【図１７】第４の変形例に係る配線基板を示す平面図である。
【図１８】第５の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図１９】第６の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２０】第７の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２１】第８の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２２】第９の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２３】第１０の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２４】第１１の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２５】第１２の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図２６】第１２の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図２７】第１３の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図２８】第１３の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図２９Ａ】第１５の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図２９Ｂ】第１５の変形例に係る配線基板のその他の例を示す断面図である。
【図３０】第１５の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面図である。
【図３１】第１６の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す平面断面図である。
【図３２】第１６の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図３３】第１６の変形例に係る配線基板の伸縮部を示す断面図である。
【図３４】第１６の変形例に係る配線基板のその他の例を示す断面図である。
【図３５】第１６の変形例に係る配線基板のその他の例を示す断面図である。
【図３６】一実施の形態に係る配線基板の蛇腹形状部を拡大して示す断面図である。
【図３７】伸長した状態の配線基板の蛇腹形状部を拡大して示す断面図である。
【図３８】第１８の変形例に係る配線基板の伸縮部の第１領域を示す平面図である。
【図３９】第１９の変形例に係る配線基板の伸縮部の第１領域の一例を示す平面図である。
【図４０】第１９の変形例に係る配線基板の伸縮部の第１領域のその他の例を示す平面図である。
【図４１】第１９の変形例に係る配線基板の伸縮部の第１領域のその他の例を示す平面図である。
【図４２】第１９の変形例に係る配線基板の伸縮部の第１領域のその他の例を示す平面図である。
【図４３Ａ】蛇腹形状部の一例を拡大して示す断面図である。
【図４３Ｂ】蛇腹形状部の一例を拡大して示す断面図である。
【図４４】実施例３に係る配線基板を示す平面図である。
【図４５】図４４の配線基板のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本開示の実施形態に係る配線基板の構成及びその製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は本開示の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態に限定して解釈されるものではない。また、本明細書において、「基板」、「基材」、「シート」や「フィルム」など用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「基板」は、基材、シートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。更に、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。また、本実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。
【００３３】
以下、図１乃至図１０を参照して、本開示の一実施の形態について説明する。
【００３４】
（配線基板）
まず、本実施の形態に係る配線基板１０について説明する。図１及び図２Ａはそれぞれ、配線基板１０を示す断面図及び平面図である。図１に示す断面図は、図２Ａの配線基板１０を線Ａ−Ａに沿って切断した場合の図である。
【００３５】
図１に示す配線基板１０は、複数の電子部品５１及び複数の配線５２が設けられた支持部４０と、伸縮性を有する伸縮部２０と、伸縮部２０と支持部４０とを接合する接着層６０と、を備える。以下、配線基板１０の各構成要素について説明する。
【００３６】
〔支持部〕
支持部４０の伸縮性は、伸縮部２０の伸縮性よりも低い。支持部４０は、電子部品５１及び配線５２側に位置する第１面４１と、第１面４１の反対側に位置する第２面４２と、を含む。図１に示す例において、支持部４０の第２面４２側には接着層６０及び伸縮部２０が位置している。
【００３７】
後述するように、支持部４０に接合された伸縮部２０から引張応力が取り除かれて伸縮部２０が収縮するとき、支持部４０には蛇腹形状部が形成される。支持部４０の特性や寸法は、このような蛇腹形状部が形成され易くなるよう設定されている。例えば、支持部４０は、伸縮部２０の厚みよりも小さい厚みを有する。支持部４０の厚みは、例えば１０μｍ以下であり、より好ましくは５μｍ以下である。支持部４０の厚みを小さくすることにより、伸縮部２０の収縮に伴って支持部４０に蛇腹形状部が形成され易くなる。また、支持部４０は、伸縮部２０の後述する第２領域よりも大きい弾性係数を有していてもよい。支持部４０の弾性係数は、例えば１００ＭＰａ以上であり、より好ましくは１ＧＰａ以上である。支持部４０の弾性係数は、伸縮部２０の第２領域の弾性係数の１００倍以上であってもよく、１０００倍以上であってもよい。支持部４０の弾性係数を高くすることにより、支持部４０に電子部品５１又は配線５２を形成する工程や、支持部４０を伸縮部２０に接合する工程の際に、支持部４０に加えられる張力などの力に基づいて支持部４０が伸張することを抑制することができる。これにより、支持部４０の位置合わせなどの、支持部４０のハンドリングが容易になる。
【００３８】
支持部４０を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタラート等を用いることができる。
【００３９】
なお、支持部４０の弾性係数は、伸縮部２０の第２領域の弾性係数の１００倍未満であってもよい。また、支持部４０の厚みは、５００ｎｍ以上であってもよい。
【００４０】
〔電子部品〕
図１に示す例において、複数の電子部品５１はそれぞれ、配線５２に接続される電極を少なくとも有する。図１に示すように、電子部品５１は、樹脂などからなる封止部５８によって覆われていてもよい。
【００４１】
また、電子部品５１は、配線５２に接続される電極を有していなくてもよい。例えば、電子部品５１は、配線基板１０の複数の構成要素のうちの少なくとも１つの構成要素と一体的な部材を含んでいてもよい。このような電子部品５１の例として、配線基板１０の配線５２を構成する導電層と一体的な導電層を含むものや、配線５２を構成する導電層とは別の層に位置する導電層を含むものを挙げることができる。例えば、電子部品５１は、配線５２を構成する導電層よりも平面視において広い幅を有する導電層によって構成されたパッドであってもよい。パッドには、検査用のプローブ、ソフトウェア書き換え用の端子などが接続される。また、電子部品５１は、所定の機能を有するようにパターニングされた配線パターンであってもよい。例えば、電子部品５１は、導電層が平面視においてらせん状に延びることによって構成された配線パターンであってもよい。また、電子部品５１は、蛇行しながら延びる配線パターンであってもよい。蛇行する配線パターンの具体的な形態は特には限られないが、例えば、配線パターンは９０°の角度で方向転換してもよい。このように、導電層がパターニングされて所定の機能が付与された部分も、電子部品５１となり得る。
【００４２】
電極を有する電子部品５１は、能動部品であってもよく、受動部品であってもよく、機構部品であってもよい。電極を有する電子部品５１の例としては、トランジスタ、ＬＳＩ(Large-Scale Integration)、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)、リレー、ＬＥＤ、ＯＬＥＤ、ＬＣＤなどの発光素子、センサ、ブザー等の発音部品、振動を発する振動部品、冷却発熱をコントロールするペルチェ素子や電熱線などの冷発熱部品、抵抗器、キャパシタ、インダクタ、圧電素子、スイッチ、コネクタなどを挙げることができる。電子部品５１の上述の例のうち、センサが好ましく用いられる。センサとしては、例えば、温度センサ、圧力センサ、光センサ、光電センサ、近接センサ、せん断力センサ、生体センサ、レーザーセンサ、マイクロ波センサ、湿度センサ、歪みセンサ、ジャイロセンサ、加速度センサ、変位センサ、磁気センサ、ガスセンサ、GPSセンサ、超音波センサ、臭いセンサ、脳波センサ、電流センサ、振動センサ、脈波センサ、心電センサ、光度センサ等を挙げることができる。これらのセンサのうち、生体センサが特に好ましい。生体センサは、心拍や脈拍、心電、血圧、体温、血中酸素濃度等の生体情報を測定することができる。
【００４３】
次に、電極を有さない電子部品５１の用途について説明する。例えば、上述のパッドは、検査用のプローブ、ソフトウェア書き換え用の端子などが接続される部分として機能し得る。また、所定の機能を有するようにパターニングされた配線パターンは、アンテナなどとして機能し得る。
【００４４】
図２Ａに示すように、複数の電子部品５１は、第１方向Ｄ１及び第１方向Ｄ１に交差する第２方向Ｄ２のそれぞれに沿って並んでいる。本実施の形態において、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２は互いに直交している。
【００４５】
〔配線〕
配線５２は、電子部品５１の電極に接続された、導電性を有する部材である。図１及び図２Ａに示すように、複数の配線５２はそれぞれ、隣り合う２つの電子部品５１の一方から他方まで延びている。本実施の形態において、複数の配線５２は、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの電子部品５１の一方から他方まで延びる第１配線５２１と、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの電子部品５１の一方から他方まで延びる第２配線５２２と、を含んでいる。
【００４６】
後述するように、支持部４０に接合された伸縮部２０から引張応力が取り除かれて伸縮部２０が収縮するとき、配線５２は蛇腹状に変形する。この点を考慮し、好ましくは、配線５２は、変形に対する耐性を有する構造を備える。配線５２の材料は、それ自体が伸縮性を有していてもよく、伸縮性を有していなくてもよい。配線５２に用いられ得る、それ自体は伸縮性を有さない材料としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、白金、クロム等の金属や、これらの金属を含む合金が挙げられる。配線５２の材料自体が伸縮性を有さない場合、配線５２としては、金属膜を用いることができる。
配線５２に用いられる材料自体が伸縮性を有する場合、材料の伸縮性は、例えば、伸縮部２０の伸縮性と同様である。例えば、配線５２は、ベース材と、ベース材の中に分散された複数の導電性粒子とを有する。この場合、ベース材として、樹脂などの変形可能な材料を用いることにより、伸縮部２０の伸縮に応じて配線５２も変形することができる。また、変形が生じた場合であっても複数の導電性粒子の間の接触が維持されるように導電性粒子の分布や形状を設定することにより、配線５２の導電性を維持することができる。
【００４７】
配線５２のベース材を構成する材料としては、例えば、一般的な熱可塑性エラストマーおよび熱硬化性エラストマーを用いることができ、例えば、スチレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ポリブタジエン、ポリクロロプレン等を用いることができる。中でも、ウレタン系、シリコーン系構造を含む樹脂やゴムが、その伸縮性や耐久性などの面から好ましく用いられる。また、配線５２の導電性粒子を構成する材料としては、例えば銀、銅、金、ニッケル、パラジウム、白金、カーボン等の粒子を用いることができる。中でも、銀粒子が、価格と導電性の観点から好ましく用いられる。
【００４８】
ベース材と、ベース材の中に分散された複数の導電性粒子とを有する配線５２の厚みは、電子部品５１の厚みよりも小さく、例えば５０μｍ以下である。ベース材と、ベース材の中に分散された複数の導電性粒子とを有する配線５２の幅は、例えば５０μｍ以上且つ１０ｍｍ以下である。
【００４９】
また、配線５２に用いられ得る、それ自体は伸縮性を有さない材料の形成方法としては、薄い金属膜を形成するための蒸着法やめっき法などを挙げることができる。金属膜を含む配線５２の厚みは、例えば５０μｍ以下である。金属膜を含む配線５２の幅は、例えば１０μｍ以上である。
【００５０】
〔接着層〕
接着層６０は、支持部４０の第２面４２と伸縮部２０の第１面２１との間に位置する、接着剤を含む層である。接着層６０の接着剤としては、例えばアクリル系接着剤、シリコーン系接着剤等を用いることができる。接着層６０の厚みは、例えば５μｍ以上且つ２００μｍ以下である。また、常温接合や分子接着によって支持部４０の第２面４２が伸縮部２０の第１面２１に接合されていてもよい。この場合、例えば図６Ｃに示すように、伸縮部２０と支持部４０との間に接着層が設けられていなくてもよい。この場合、第１部材３５が第２部材３６に埋まっていてもよい。すなわち、第１部材３５が伸縮部２０の第１面２１及び第２面２２のいずれにも現れないように配置されていてもよい。また、伸縮部２０の第１面２１又は支持部４０の第２面４２の一方又は両方に、常温接合、分子接着の接着性を向上させるプライマー層を設けてもよい。
【００５１】
〔伸縮部〕
伸縮部２０は、伸縮性を有するよう構成された部材である。伸縮部２０は、電子部品５１及び配線５２側に位置する第１面２１と、第１面２１の反対側に位置する第２面２２と、を含む。伸縮部２０の厚みは、例えば１０ｍｍ以下であり、より好ましくは１ｍｍ以下である。伸縮部２０の厚みを小さくすることにより、伸縮部２０の伸縮に要する力を低減することができる。また、伸縮部２０の厚みを小さくすることにより、配線基板１０を用いた製品全体の厚みを小さくすることができる。これにより、例えば、配線基板１０を用いた製品が、人の腕などの身体の一部に取り付けるセンサである場合に、装着感を低減することができる。伸縮部２０の厚みは、５０μｍ以上であってもよい。
【００５２】
図１及び図２Ａに加えて図３及び図４Ａを参照して、伸縮部２０について詳細に説明する。図３は、配線基板１０の伸縮部２０を第１面２１側から見た場合を示す平面図である。図４Ａは、図２Ａの配線基板１０を線Ｂ−Ｂに沿って切断した場合の図である。なお、図３の線Ａ−Ａ及び線Ｂ−Ｂは、図２Ａの線Ａ−Ａ及び線Ｂ−Ｂと同一の位置に示されている。
【００５３】
図３に示すように、伸縮部２０は、複数の第１領域３１と、複数の第２領域３２と、複数の第３領域３３と、を備える。複数の第１領域３１は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに沿って並んでいる。図３に示す例において、第１領域３１は、４つの辺及び４つの角部を含む四角形の形状を有する。
【００５４】
複数の第２領域３２はそれぞれ、隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びている。本実施の形態において、複数の第２領域３２は、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第１部分３２１と、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第２部分３２２と、を含んでいる。図３に示す例において、第２領域３２の一端は、隣り合う２つの第１領域３１の一方の、四角形の一辺に接続され、第２領域３２の他端は、隣り合う２つの第１領域３１の他方の、四角形の一辺に接続されている。複数の第２領域３２はそれぞれ、第１領域３１よりも低い弾性係数を有している。なお、配線基板１０の端部に位置する第２領域３２に関しては、第２領域３２の一端又は他端の一方が第１領域３１に接続され、他方が自由端になっている場合もある。
【００５５】
第３領域３３は、図３に示すように、複数の第２領域３２によって囲まれた領域である。本実施の形態において、第３領域３３は、図４Ａに示すように、伸縮部２０を貫通する孔３７である。なお、第３領域３３を囲う輪郭は、第２領域３２だけでなく部分的に第１領域３１によって構成されていてもよい。なお、配線基板１０の端部に位置する第３領域３３に関しては、４辺のうちの２辺又は３辺は第２領域３２によって囲われているが、１辺又は２辺は自由端になっている場合もある。
【００５６】
図４Ｂ乃至図４ＥＣはそれぞれ、第３領域３３のその他の例を示す断面図である。図４Ｂ及び図４Ｃに示すように、第３領域３３においては、支持部４０及び接着層６０にも孔３７が形成されていてもよい。伸縮部２０の孔３７に連通する孔３７を支持部４０及び接着層６０に設けることにより、配線基板１０全体として通気性を持たせることができる。これにより、配線基板１０を生体に貼付ける場合に、蒸れ改善の効果を示すことができる。
【００５７】
また、図４Ｄ及び図４Ｅに示すように、第３領域３３にも第２部材３６が存在していてもよい。この場合であっても、第３領域３３に位置する支持部４０及び接着層６０に孔を形成することにより、第３領域３３が第２領域３２に比べて伸縮し易くなる。
【００５８】
第３領域３３の支持部４０及び接着層６０の孔３７は、図４Ｂ及び図４Ｄに示すように、１つの第３領域３３に１つ設けられていてもよく、若しくは、図４Ｃ及び図４Ｅに示すように、１つの第３領域３３に複数設けられていてもよい。
【００５９】
図２Ｂは、図４Ｃ及び図４Ｅに示すように１つの第３領域３３に複数の孔３７が設けられている場合の、配線基板１０の一例を示す平面図である。図４Ｃ及び図４Ｅは、図２Ｂの配線基板１０を線Ｂ−Ｂに沿って切断した場合の図に相当する。図２Ｂに示すように、第３領域３３の複数の孔３７は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿って並んでいてもよい。
【００６０】
１つの第３領域３３に複数の孔３７が設けられている場合、配線５２の表面に現れる後述する山部Ｐ１は、図２Ｂに示すように、第１方向Ｄ１に沿って見た場合に、第１方向Ｄ１に並ぶ複数の孔３７に重なる位置に現れてもよい。また、山部Ｐ１は、第２方向Ｄ２に沿って見た場合に、第２方向Ｄ２に並ぶ複数の孔３７に重なる位置に現れてもよい。
【００６１】
次に、伸縮部２０の第１領域３１及び第２領域３２の構造について説明する。図１及び図２Ａに示すように、伸縮部２０は、複数の第１領域３１にそれぞれ位置する複数の第１部材３５と、第１領域３１において第１部材３５に重なるとともに第１領域３１及び第２領域３２に広がる第２部材３６と、を備える。言い換えると、第１領域３１は、互いに積層された第１部材３５及び第２部材３６を含み、第２領域３２は、第２部材３６を含む。図１に示す例において、第２領域３２に位置する第２部材３６の厚みは、第１領域３１に位置する第１部材３５の厚み及び第２部材３６の厚みの合計に等しい。
【００６２】
第２部材３６は、第１部材３５よりも低い弾性係数を有する。このため、第２部材３６を含む第２領域３２の弾性係数は、第１部材３５及び第２部材３６を含む第１領域３１の弾性係数よりも低い。従って、伸縮部２０に引張応力を加えたとき、第２領域３２は第１領域３１よりも伸長し易い。
【００６３】
第１部材３５の弾性係数は、例えば１００ＭＰａ以上であり、より好ましくは１ＧＰａ以上である。第１部材３５の厚みは、例えば２５μｍ以上であり、１００μｍ以上であってもよい。また、第１部材３５の厚みは、例えば１０ｍｍ以下であり、１ｍｍ以下であってもよい。第１領域３１全体の厚みＴ０に対する第１部材３５の厚みＴ１の比率は、例えば５％以上であり、１０％以上であってもよい。また、第１領域３１全体の厚みＴ０に対する第１部材３５の厚みＴ１の比率は、例えば１００％以下であり、５０％以下であってもよい。
【００６４】
第１部材３５の材料の例としては、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタラート等のフィルム素材、セラミックやガラスなどの絶縁性無機材料、銅やアルミニウム等の金属類などを挙げることができる。
【００６５】
第２部材３６の弾性係数は、例えば１０ＭＰａ以下であり、より好ましくは１ＭＰａ以下である。第２部材３６の弾性係数は、１ｋＰａ以上であってもよい。第２領域３２に位置する第２部材３６の厚みＴ２は、例えば２５μｍ以上であり、１００ｍｍ以上であってもよい。また、第２領域３２に位置する第２部材３６の厚みＴ２は、例えば１０ｍｍ以下であり、１ｍｍ以下であってもよい。
【００６６】
第２部材３６の材料の例としては、熱可塑性エラストマー、シリコーンゴム、ウレタンゲル、シリコンゲル等を挙げることができる。熱可塑性エラストマーとしては、ポリウレタン系エラストマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩ビ系熱可塑性エラストマー、エステル系熱可塑性エラストマー、アミド系熱可塑性エラストマー、１，２−ＢＲ系熱可塑性エラストマー、フッ素系熱可塑性エラストマー等を用いることができる。機械的強度や耐磨耗性を考慮すると、ウレタン系エラストマーを用いることが好ましい。さらに、シリコーンゴムは、耐熱性・耐薬品性・難燃性に優れており、伸縮部２０の材料として好ましい。また、配線基板１０を衣類に設置する場合を考慮し、アクリル、ポリエステルやウレタン材料等を繊維状にしたものを編込みあるいは織り込んだ生地や不織布などを第２部材３６として用いてもよい。これにより、配線基板１０と衣類との親和性を高めることができる。
【００６７】
積層された第１部材３５及び第２部材３６を含む第１領域３１の弾性係数は、例えば１００ＭＰａ以上であり、より好ましくは１ＧＰａ以上である。第１領域３１の厚みは、例えば５０μｍ以上であり、１００μｍ以上であってもよい。また、第１領域３１の厚みは、例えば１０ｍｍ以下であり、１ｍｍ以下であってもよい。
【００６８】
第２領域３２の弾性係数の好ましい範囲は、上述の第２部材３６の弾性係数の好ましい範囲と同一である。また、第２領域３２の厚みの好ましい範囲は、第２領域３２に位置する上述の第２部材３６の厚みの好ましい範囲と同一である。
【００６９】
弾性係数を算出する方法としては、対象となる部材から抽出したサンプルを用いて引張試験を実施するという方法を採用することができる。引張試験の規格は、対象となる部材に応じて適宜選択されてもよい。例えば、第１部材３５や支持部４０から抽出したサンプルの引張試験は、ＡＳＴＭ  Ｄ８８２に準拠して実施されてもよい。また、第２部材３６から抽出したサンプルの引張試験は、ＪＩＳ Ｋ６２５１に準拠して実施されてもよい。また、サンプルの弾性係数を、ＩＳＯ１４５７７に準拠してナノインデンテーション法によって測定するという方法を採用することもできる。ナノインデンテーション法において用いる測定器としては、ナノインデンターを用いることができる。第１領域３１及び第２領域３２のサンプルを準備する方法としては、配線基板１０の伸縮部２０の第１領域３１及び第２領域３２の一部をサンプルとして取り出す方法や、配線基板１０を構成する前の第１領域３１及び第２領域３２の一部をサンプルとして取り出す方法が考えられる。また、第１部材３５のサンプルを取り出す方法としては、第１領域３１のサンプルにおいて第１部材３５を第２部材３６から分離させる方法や、第２部材３６と積層される前の第１部材３５の一部をサンプルとして取り出す方法が考えられる。その他にも、弾性係数を算出する方法として、対象となる部材の材料を分析し、材料の既存のデータベースに基づいて弾性係数を算出するという方法を採用することもできる。
【００７０】
伸縮部２０の伸縮性を表すパラメータのその他の例として、伸縮部２０の曲げ剛性を挙げることができる。曲げ剛性は、対象となる部材の断面二次モーメントと、対象となる部材を構成する材料の弾性係数との積であり、単位はＮ・ｍ２又はＰａ・ｍ４である。伸縮部２０の各領域又は各部材の断面二次モーメントは、配線基板１０の伸縮方向に直交する平面によって伸縮部２０を切断した場合の断面に基づいて算出される。好ましくは、複数の第２領域３２はそれぞれ、第１領域３１よりも低い曲げ剛性を有している。
【００７１】
次に、伸縮部２０の第１領域３１及び第２領域３２の配置について説明する。
【００７２】
図１及び図２Ａに示すように、伸縮部２０の第１領域３１は、配線基板１０に搭載される電子部品５１に少なくとも重なっている。第１領域３１は、第２領域３２を構成する第２部材３６よりも高い弾性係数を有する第１部材３５を含む。このため、第１領域３１の弾性係数は、第２領域３２の弾性係数よりも高い。従って、配線基板１０に引張応力などの力を加えたときに、第１領域３１には第２領域３２に比べて伸縮などの変形が生じにくい。このため、伸縮部２０の変形に起因する応力が電子部品５１に加わることを抑制することができ、電子部品５１が変形したり破損したりしてしまうことを抑制することができる。なお、「重なる」とは、伸縮部２０の第１面２１の法線方向に沿って見た場合に２つの構成要素が重なることを意味している。
【００７３】
図１乃至図４Ａに示すように、伸縮部２０の第２領域３２は、配線５２に重なっている。具体的には、第２領域３２の第１部分３２１は配線５２の第１配線５２１に重なっており、第２領域３２の第２部分３２２は配線５２の第２配線５２２に重なっている。
【００７４】
〔配線の構造〕
続いて、配線５２の断面構造について、図５を参照して詳細に説明する。図５は、第１配線５２１、第２配線５２２などの配線５２及びその周辺の構成要素の一例を拡大して示す断面図である。
【００７５】
上述のように、配線５２は伸縮部２０の第２領域３２に重なっている。このため、伸縮部２０の第２領域３２が伸縮して伸縮部２０に生じた応力は、支持部４０及び支持部４０上の配線５２にまで伝わる。例えば、伸張状態の伸縮部２０から引張応力を取り除いて伸縮部２０の第２領域３２を弛緩させると、伸縮部２０に圧縮応力が生じ、この圧縮応力が、伸縮部２０の第２領域３２と重なっている支持部４０及び支持部４０上の配線５２にまで伝わる。この結果、図５に示すように、配線５２に蛇腹形状部５７が生じる。
【００７６】
蛇腹形状部５７は、伸縮部２０の第１面２１の法線方向における山部及び谷部を含む。図５において、符号Ｐ１は、配線５２の表面に現れる山部を表し、符号Ｐ２は、配線５２の裏面に現れる山部を表す。また、符号Ｂ１は、配線５２の表面に現れる谷部を表し、符号Ｂ２は、配線５２の裏面に現れる谷部を表す。表面とは、配線５２の面のうち伸縮部２０から遠い側に位置する面であり、裏面とは、配線５２の面のうち伸縮部２０に近い側に位置する面である。
【００７７】
山部Ｐ１，Ｐ２及び谷部Ｂ１，Ｂ２は、伸縮部２０の第１面２１の面内方向に沿って繰り返し現れる。例えば、配線５２の第１配線５２１の山部Ｐ１，Ｐ２及び谷部Ｂ１，Ｂ２は、第１方向Ｄ１に沿って繰り返し現れる。また、配線５２の第２配線５２２の山部Ｐ１，Ｐ２及び谷部Ｂ１，Ｂ２は、第２方向Ｄ２に沿って繰り返し現れる。山部Ｐ１，Ｐ２及び谷部Ｂ１，Ｂ２が繰り返し現れる周期Ｆは、例えば１０μｍ以上且つ１００ｍｍ以下である。
【００７８】
図５において、符号Ｓ１は、配線５２の表面における蛇腹形状部５７の振幅を表す。振幅Ｓ１は、例えば１μｍ以上であり、より好ましくは１０μｍ以上である。振幅Ｓ１を１０μｍ以上とすることにより、伸縮部２０の伸張に追従して配線５２が変形し易くなる。また、振幅Ｓ１は、例えば５００μｍ以下であってもよい。
【００７９】
振幅Ｓ１は、例えば、配線５２の長さ方向における一定の範囲にわたって、隣り合う山部Ｐ１と谷部Ｂ１との間の、第１面２１の法線方向における距離を測定し、それらの平均を求めることにより算出される。例えば、第１配線５２１の蛇腹形状部５７の振幅Ｓ１は、第１方向Ｄ１における一定の範囲にわたって、隣り合う山部Ｐ１と谷部Ｂ１との間の、第１面２１の法線方向における距離を測定し、それらの平均を求めることにより算出される。第２配線５２２の振幅も同様である。「一定の範囲」は、例えば１０ｍｍである。隣り合う山部Ｐ１と谷部Ｂ１との間の距離を測定する測定器としては、レーザー顕微鏡などを用いた非接触式の測定器を用いてもよく、接触式の測定器を用いてもよい。また、断面写真などの画像に基づいて、隣り合う山部Ｐ１と谷部Ｂ１との間の距離を測定してもよい。
【００８０】
図５において、符号Ｓ２は、配線５２の裏面における蛇腹形状部５７の振幅を表す。振幅Ｓ２は、振幅Ｓ１と同様に、例えば１μｍ以上であり、より好ましくは１０μｍ以上である。また、振幅Ｓ２は、例えば５００μｍ以下であってもよい。
【００８１】
図５に示すように、支持部４０、接着層６０や伸縮部２０の第１面２１にも、配線５２と同様の蛇腹形状部が形成されていてもよい。図５において、符号Ｓ３は、伸縮部２０の第２部材３６の第１面２１における蛇腹形状部の振幅を表す。振幅Ｓ３は、例えば１μｍ以上であり、より好ましくは１０μｍ以上である。また、振幅Ｓ３は、例えば５００μｍ以下であってもよい。
【００８２】
図６Ａは、図１に示す配線基板１０の配線５２及びその周辺の構成要素のその他の例を拡大して示す断面図である。図６Ａに示すように、伸縮部２０の第２部材３６の第１面２１には蛇腹形状部が形成されていなくてもよい。
【００８３】
図６Ｂは、図１に示す配線基板１０の配線５２及びその周辺の構成要素のその他の例を拡大して示す断面図である。図６Ｂに示すように、配線５２の表面における蛇腹形状部５７の周期Ｆ１は、伸縮部２０の第２部材３６の第２面２２における蛇腹形状部の周期Ｆ２と異なっていてもよい。例えば、図６Ｂに示すように、伸縮部２０の第２部材３６の第２面２２における周期Ｆ２が、配線５２の表面における周期Ｆ１よりも大きくてもよく、図示はしないが小さくてもよい。
【００８４】
図３６は、蛇腹形状部５７の一例を拡大して示す断面図である。図３６において、符号Ｍ１及びＭ２はそれぞれ、配線基板１０に張力が加えられていない状態の山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の、配線５２が延びる方向における幅を表す。図３６に示す例において、山部Ｐ１の幅Ｍ１及び谷部Ｂ１の幅Ｍ２は略同一である。配線基板１０に張力が加えられていない状態の蛇腹形状部５７における山部Ｐ１の比率を、符号Ｘ１で表す。比率Ｘ１は、Ｍ１／（Ｍ１＋Ｍ２）によって算出される。比率Ｘ１は、例えば０．４０以上０．６０以下である。
【００８５】
図５や図６に示す蛇腹形状部５７が配線５２に形成されていることの利点について説明する。
【００８６】
配線基板１０に引張応力を加えると、伸縮部２０の特に第２領域３２が弾性変形によって伸長する。伸縮部２０が伸張する際、配線５２は、蛇腹形状部５７の起伏を低減するように変形することによって、すなわち蛇腹形状を解消することによって、伸縮部２０の伸張に追従することができる。このため、伸縮部２０の伸張に伴って配線５２の全長が増加することや、配線５２の断面積が減少することを抑制することができる。このことにより、配線基板１０の伸張に起因して配線５２の抵抗値が増加することを抑制することができる。また、配線５２にクラックなどの破損が生じてしまうことを抑制することができる。
【００８７】
配線５２の蛇腹形状部５７によって得られる、配線５２の抵抗値に関する効果の一例について説明する。ここでは、伸縮部２０の第１面２１の面内方向に沿う引張応力が伸縮部２０に加えられていない第１状態における配線５２の抵抗値を、第１抵抗値と称する。また、伸縮部２０に引張応力を加えて伸縮部２０を第１面２１の面内方向において第１状態に比べて３０％伸長させた第２状態における配線５２の抵抗値を、第２抵抗値と称する。本実施の形態によれば、配線５２に蛇腹形状部５７を形成することにより、第１抵抗値に対する、第１抵抗値と第２抵抗値の差の絶対値の比率を、２０％以下にすることができ、より好ましくは１０％以下にすることができ、更に好ましくは５％以下にすることができる。
【００８８】
図３７は、第１面２１の面内方向、例えば第１方向Ｄ１において配線基板１０に張力を加えて配線基板１０を第１状態に比べて２５％伸長させた状態における配線基板１０を拡大して示す断面図である。図３７において、符号Ｓ１０は、配線基板１０を２５％伸長させた状態における蛇腹形状部５７の振幅を表している。また、符号Ｆ１０は、配線基板１０を２５％伸長させた状態における蛇腹形状部５７の周期を表している。２５％伸長した状態の配線基板１０における蛇腹形状部５７の振幅Ｓ１０は、伸長していない状態の配線基板１０における蛇腹形状部５７の振幅Ｓ１０の例えば０．８倍以下であり、０．７倍以下であってもよく、０．６倍以下であってもよい。また、振幅Ｓ１０は、振幅Ｓ１の例えば０．２倍以上であり、０．３倍以上であってもよく、０．４倍以上であってもよい。
【００８９】
また、図３７において、符号Ｍ１０及びＭ２０はそれぞれ、２５％伸長した状態の配線基板１０における蛇腹形状部５７の山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の、配線５２が延びる方向における幅を表す。図３７に示すように、２５％伸長した状態の配線基板１０における山部Ｐ１の幅Ｍ１０及び谷部Ｂ１の幅Ｍ２０は、伸長していない状態の配線基板１０における山部Ｐ１の幅Ｍ１及び谷部Ｂ１の幅Ｍ２に比べて大きい。
【００９０】
配線基板１０を伸長させるとき、蛇腹形状部５７の山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の幅は、両者の比率を維持しながら増加してもよい。配線基板１０に張力が加えられていない状態の蛇腹形状部５７における山部Ｐ１の比率を、符号Ｘ２で表す。比率Ｘ２は、Ｍ１０／（Ｍ１０＋Ｍ２０）によって算出される。比率Ｘ２は、配線基板１０に張力が加えられていない状態における上述のＸ１と同等であり、例えば０．４０以上０．６０以下である。また、比率Ｘ１と比率Ｘ２の差の絶対値は、例えば０．２０以下であり、０．１５以下であってもよく、０．１０以下であってもよく、０．０８以下であってもよく、０．０６以下であってもよく、０．０４以下であってもよい。
【００９１】
張力を加える前後での配線基板１０の蛇腹形状部５７における振幅並びに山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の幅の変化率を測定した例を以下に示す。以下の例１及び例２のいずれにおいても、配線５２を構成する材料は銅であり、配線５２の厚みは１μｍであり、配線５２の幅は２００μｍである。また、後述する配線工程の際の伸縮部２０の伸長倍率は１．６倍である。また、配線基板１０に張力を加えた状態で蛇腹形状部５７における振幅並びに山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の幅を測定する際の、伸縮部２０の伸長倍率は１．２５倍である。
【００９２】
（例１）
配線基板１０に張力を加えていない場合
・蛇腹形状部の振幅Ｓ１：１９２μｍ
・山部Ｐ１の幅Ｍ１：２５４μｍ
・谷部Ｂ１の幅Ｍ２：２８６μｍ
・山部の比率Ｘ１：２５４／（２５４＋２８６）＝０．４７
配線基板１０に張力を加えて１．２５倍に伸長させている場合
・蛇腹形状部の振幅Ｓ１０：１０８μｍ
・山部Ｐ１の幅Ｍ１０：２９６μｍ
・谷部Ｂ１の幅Ｍ２０：３７０μｍ
・山部の比率Ｘ２：２９６／（２９６＋３７０）＝０．４４
・Ｓ１０／Ｓ１＝０．５６
【００９３】
（例２）
配線基板１０に張力を加えていない場合
・蛇腹形状部の振幅Ｓ１：２５６μｍ
・山部Ｐ１の幅Ｍ１：３２２μｍ
・谷部Ｂ１の幅Ｍ２：３１８μｍ
・山部の比率Ｘ１：３２２／（３２２＋３１８）＝０．５０
配線基板１０に張力を加えて１．２５倍に伸長させている場合
・蛇腹形状部の振幅Ｓ１０：１４０μｍ
・山部Ｐ１の幅Ｍ１０：３８６μｍ
・谷部Ｂ１の幅Ｍ２０：４１８μｍ
・山部の比率Ｘ２：３８６／（３８６＋４１８）＝０．４８
・Ｓ１０／Ｓ１＝０．５４
【００９４】
図４３Ａは、蛇腹形状部５７の一例を拡大して示す断面図である。図４３Ａにおいて、符号Ｍ１及びＭ２はそれぞれ、配線基板１０に張力が加えられていない状態の山部Ｐ１及び谷部Ｂ１の、配線５２が延びる方向における幅を表す。図４３Ａに示すように、山部Ｐ１の幅Ｍ１は、谷部Ｂ１の幅Ｍ２よりも小さくてもよい。山部Ｐ１の幅Ｍ１は、谷部Ｂ１の幅Ｍ２の０．３倍以上であってもよく、０．４倍以上であってもよく、０．５倍以上であってもよく、０．６倍以上であってもよい。また、山部Ｐ１の幅Ｍ１は、谷部Ｂ１の幅Ｍ２の０．９倍以下であってもよく、０．８倍以下であってもよく、０．７倍以下であってもよい。山部Ｐ１の幅Ｍ１及び谷部Ｂ１の幅Ｍ２は、蛇腹形状部５７の振幅Ｓ１の中間点を境界として山部Ｐ１と谷部Ｂ１とを区別することによって算出される。
【００９５】
また、図４３Ｂに示すように、配線基板１０に張力が加えられていない状態において、配線５２が延びる方向における谷部Ｂ１の幅Ｍ２は、山部Ｐ１の幅Ｍ１よりも小さくてもよい。谷部Ｂ１の幅Ｍ２は、山部Ｐ１の幅Ｍ１の０．０５倍以上であってもよく、０．１倍以上であってもよく、０．２倍以上であってもよく、０．３倍以上であってもよい。また、谷部Ｂ１の幅Ｍ２は、山部Ｐ１の幅Ｍ１の０．９倍以下であってもよく、０．８倍以下であってもよく、０．７倍以下であってもよい。
【００９６】
伸縮部２０の第１面２１側に位置する配線５２、支持部４０などの構成要素の剛性の総和が大きくなるほど、山部Ｐ１の幅Ｍ１に対する谷部Ｂ１の幅Ｍ２の比率が小さくなり、図４３Ｂの形状になり易い。反対に、伸縮部２０の第１面２１側に位置する配線５２、支持部４０などの構成要素の剛性の総和が小さくなるほど、谷部Ｂ１の幅Ｍ２に対する山部Ｐ１の幅Ｍ１の比率が小さくなり、図４３Ａの形状になり易い。
【００９７】
配線基板１０の用途としては、ヘルスケア分野、医療分野、介護分野、エレクトロニクス分野、スポーツ・フィットネス分野、美容分野、モビリティ分野、畜産・ペット分野、アミューズメント分野、ファッション・アパレル分野、セキュリティ分野、ミリタリー分野、流通分野、教育分野、建材・家具・装飾分野、環境エネルギー分野、農林水産分野、ロボット分野などを挙げることができる。例えば、人の腕などの身体の一部に取り付ける製品を、本実施の形態による配線基板１０を用いて構成する。配線基板１０は伸張することができるので、例えば配線基板１０を伸長させた状態で身体に取り付けることにより、配線基板１０を身体の一部により密着させることができる。このため、良好な着用感を実現することができる。また、配線基板１０が伸張した場合に配線５２の抵抗値が低下することを抑制することができるので、配線基板１０の良好な電気特性を実現することができる。他にも配線基板１０は伸長することができるので、人などの生体に限らず曲面や立体形状に沿わせて設置や組込むことが可能である。それらの製品の一例としては、バイタルセンサ、マスク、補聴器、歯ブラシ、絆創膏、湿布、コンタクトレンズ、義手、義足、義眼、カテーテル、ガーゼ、薬液パック、包帯、ディスポーザブル生体電極、おむつ、リハビリ用機器、家電製品、ディスプレイ、サイネージ、パーソナルコンピューター、携帯電話、マウス、スピーカー、スポーツウェア、リストバンド、はちまき、手袋、水着、サポーター、ボール、グローブ、ラケット、クラブ、バット、釣竿、リレーのバトンや器械体操用具、またそのグリップ、身体トレーニング用機器、浮き輪、テント、水着、ゼッケン、ゴールネット、ゴールテープ、薬液浸透美容マスク、電気刺激ダイエット用品、懐炉、付け爪、タトゥー、自動車、飛行機、列車、船舶、自転車、ベビーカー、ドローン、車椅子、などのシート、インパネ、タイヤ、内装、外装、サドル、ハンドル、道路、レール、橋、トンネル、ガスや水道の管、電線、テトラポッド、ロープ首輪、リード、ハーネス、動物用のタグ、ブレスレット、ベルトなど、ゲーム機器、コントローラーなどのハプティクスデバイス、ランチョンマット、チケット、人形、ぬいぐるみ、応援グッズ、帽子、服、メガネ、靴、インソール、靴下、ストッキング、スリッパ、インナーウェア、マフラー、耳あて、鞄、アクセサリー、指輪、時計、ネクタイ、個人ID認識デバイス、ヘルメット、パッケージ、ICタグ、ペットボトル、文具、書籍、ペン、カーペット、ソファ、寝具、照明、ドアノブ、手すり、花瓶、ベッド、マットレス、座布団、カーテン、ドア、窓、天井、壁、床、ワイヤレス給電アンテナ、電池、ビニールハウス、ネット(網)、ロボットハンド、ロボット外装を挙げることができる。
【００９８】
以下、配線基板１０の製造方法について説明する。まず、図７Ａ乃至図９Ｂを参照して、配線基板１０の伸縮部２０の製造方法について説明する。
【００９９】
（伸縮部の製造方法）
まず、伸縮部２０を成型するための型７０を準備する。図７Ａ及び図７Ｂはそれぞれ、型７０を示す断面図及び平面図である。
【０１００】
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、型７０は、基材７１と、基材７１に形成された溝７２と、を備える。溝７２は、図７Ｂに示すように、第１方向Ｄ１に延びる第１溝７２１と、第２方向Ｄ２に延びる第２溝７２２と、を有する。第１溝７２１と第２溝７２２とは互いに交差している。
【０１０１】
続いて、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、型７０の溝７２のうち第１溝７２１と第２溝７２２とが交差する位置にそれぞれ第１部材３５を配置する。続いて、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、型７０の溝７２に第２部材３６を充填する。例えば、溶媒中に分散された第２部材３６を型７０の溝７２に流し込む。この際、図９Ａに示すように、第１部材３５が第２部材３６によって覆われるようになるまで第２部材３６を流し込んでもよい。その後、溶媒を蒸発させることにより、溝７２中に第２部材３６を設けることができる。続いて、第１部材３５及び第２部材３６を型７０の溝７２から取り出す。このようにして、積層された第１部材３５及び第２部材３６を含む第１領域３１と、隣り合う２つの第１領域３１の間において第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に延びる第２領域３２と、第２領域３２によって囲まれた孔３７を含む第３領域３３と、を備える伸縮部２０を得ることができる。
【０１０２】
（配線基板の製造方法）
続いて、図１０（ａ）〜（ｄ）を参照して、配線基板１０の製造方法について説明する。
【０１０３】
まず、支持部４０を準備する。続いて、図１０（ａ）に示すように、支持部４０の第１面４１に電子部品５１及び配線５２を設ける。配線５２を設ける方法としては、例えば、ベース材及び導電性粒子を含む導電性ペーストを支持部４０の第１面４１に印刷する方法を採用することができる。
【０１０４】
また、図１０（ｂ）に示すように、伸縮部２０に引張応力を加えて伸縮部２０を伸長させる伸長工程を実施する。伸長工程においては、第１引張応力Ｔ１を伸縮部２０に加える。また、図示はしないが、第１引張応力Ｔ１とは異なる方向に作用する第２引張応力を伸縮部２０に加える。第１引張応力Ｔ１は、例えば第１方向Ｄ１に作用する力であり、第２引張応力は、例えば第２方向Ｄ２に作用する力である。
【０１０５】
第１引張応力Ｔ１が作用する方向、及び第２引張応力が作用する方向における伸縮部２０の伸張率は、例えば１０％以上且つ２００％以下である。伸張工程は、伸縮部２０を加熱した状態で実施してもよく、常温で実施してもよい。伸縮部２０を加熱する場合、伸縮部２０の温度は例えば５０℃以上且つ１００℃以下である。
【０１０６】
続いて、図１０（ｃ）に示すように、伸長した状態の伸縮部２０の第１面２１に配線５２を設ける配線工程を実施する。本実施の形態において、配線工程は、電子部品５１及び配線５２が設けられた支持部４０を、伸長した状態の伸縮部２０に第１面２１側から接合する接合工程を含む。接合工程は、支持部４０に設けられている電子部品５１が伸縮部２０の第１領域３１に重なり、配線５２が伸縮部２０の第２領域３２に重なるよう実施される。接合工程の際、伸縮部２０と支持部４０との間に接着層６０を設けてもよい。
【０１０７】
その後、伸縮部２０から引張応力を取り除く収縮工程を実施する。これにより、図１０（ｄ）において矢印Ｃ１で示すように、第１方向Ｄ１において伸縮部２０が収縮する。図示はしないが、第２方向Ｄ２においても伸縮部２０が収縮する。この結果、支持部４０及び支持部４０によって支持されている配線５２にも変形が生じる。例えば、支持部４０及び配線５２に上述の蛇腹形状部５７が形成される。
【０１０８】
上述のように第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿って伸縮部２０に引張応力を加えて伸縮部２０を伸長させた後、伸縮部２０から引張応力を取り除いて伸縮部２０を収縮させた場合、蛇腹形状部５７は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿ってそれぞれ現れる。仮に蛇腹形状部５７が支持部４０及び配線５２に無秩序に現れる場合、支持部４０及び配線５２の一部において、第１方向Ｄ１に沿って現れる蛇腹形状部５７と第２方向Ｄ２に沿って現れる蛇腹形状部５７とが干渉することが考えられる。この場合、蛇腹形状部５７同士の干渉に起因して、蛇腹形状部５７の振幅が局所的に大きくなったり、蛇腹形状部５７の周期が局所的に乱れたりすることが考えられる。
【０１０９】
ここで本実施の形態においては、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿って伸長される伸縮部２０の第２領域３２が、第１方向Ｄ１に沿って延びる第１部分３２１及び第２方向Ｄ２に沿って延びる第２部分３２２を有している。この場合、第１方向Ｄ１に作用する第１引張応力Ｔ１に起因する伸長は、伸縮部２０のうち主に第１部分３２１に生じる。このため、第１引張応力Ｔ１を取り除くことに起因する収縮も、伸縮部２０のうち主に第１部分３２１に生じる。また、第２方向Ｄ２に作用する第１引張応力に起因する伸長は、伸縮部２０のうち主に第２部分３２２に生じる。このため、第２引張応力を取り除くことに起因する収縮も、伸縮部２０のうち主に第２部分３２２に生じる。
【０１１０】
上述のように、本実施の形態においては、伸縮部２０の第１部分３２１には主に第１方向Ｄ１における収縮が生じるので、第１部分３２１に重なる支持部４０及び第１配線５２１には、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。同様に、伸縮部２０の第２部分３２２には主に第２方向Ｄ２における収縮が生じるので、第２部分３２２に重なる支持部４０及び第２配線５２２には、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。このように、本実施の形態によれば、第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに優先的に現れる蛇腹形状部５７の方向を制御することができる。このため、異なる方向に沿って現れる蛇腹形状部５７同士の干渉が生じることを抑制することができる。従って、蛇腹形状部５７の振幅が局所的に大きくなったり、蛇腹形状部５７の周期が局所的に乱れたりすることを抑制することができる。例えば、後述する実施例によって支持されるように、蛇腹形状部５７の周期の標準偏差を、周期の平均値の３／４以下にすることができ、より好ましくは１／２以下にすることができる。なお、本実施の形態においては、伸縮部２０の収縮に起因して蛇腹形状部５７が生じるので、蛇腹形状部５７の周期の標準偏差をゼロにすることは容易ではない。蛇腹形状部５７の周期の標準偏差は、例えば、周期の平均値の１／５０以上であり、１／１０以上であってもよく、１／４以上であってもよい。
【０１１１】
また、本実施の形態においては、第２領域３２の第１部分３２１と第２部分３２２との間には、第２領域３２よりも高い弾性係数を有する第１領域３１が位置している。このため、伸縮部２０を伸長させる際や、伸縮部２０及び支持部４０を備える配線基板１０を伸長させる際、第１部分３２１に生じる応力が第２部分３２２に伝わることを抑制することができ、また、第２部分３２２に生じる応力が第１部分３２１に伝わることを抑制することができる。このことも、第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに現れる蛇腹形状部５７の方向を制御することに寄与し得る。
【０１１２】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、必要に応じて図面を参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。
【０１１３】
（第１の変形例）
図１１及び図１２は、第１の変形例に係る配線基板１０を示す断面図及び平面図である。図１１に示す断面図は、図１２の配線基板１０を線Ａ−Ａに沿って切断した場合の図である。配線基板１０は、伸縮部２０の第１面２１の法線方向に沿って見た場合に第２領域３２の第１部分３２１又は第２部分３２２の少なくとも一方に沿って並ぶ複数の伸縮制御部３９を更に備えていてもよい。図１２に示す例において、伸縮制御部３９は、第１部分３２１が延びる第１方向Ｄ１に沿って並ぶとともに第１部分３２１に重なる複数の第１制御部３９１、及び、第２部分３２２が延びる第２方向Ｄ２に沿って並ぶとともに第２部分３２２に重なる複数の第２制御部３９２を有する。第１制御部３９１、第２制御部３９２などの伸縮制御部３９は、配線５２に現れる蛇腹形状部５７の周期を制御するための部材である。
【０１１４】
本変形例において、伸縮制御部３９は伸縮部２０の一部である。例えば、伸縮制御部３９は、第１部材３５と同様に、伸縮部２０の第１面２１を部分的に構成している。
【０１１５】
伸縮制御部３９は、第１部分３２１、第２部分３２２などの第２領域３２よりも高い弾性係数を有していてもよい。伸縮制御部３９の弾性係数は、例えば１００ＭＰａ以上５００ＧＰａ以下であり、より好ましくは１ＧＰａ以上３００ＧＰａ以下である。このような伸縮制御部３９を配線基板１０に設けることにより、配線基板１０のうち伸縮制御部３９と重なる部分が伸縮することを抑制することができる。これにより、配線基板１０を、伸縮が生じやすい部分と、伸縮が生じにくい部分とに区画することができる。このことにより、配線基板１０に現れる蛇腹形状部５７の周期や振幅などを制御することができる。
【０１１６】
伸縮制御部３９の第２の弾性係数が第２領域３２の弾性係数よりも高い場合、伸縮制御部３９を構成する材料として、例えば金属材料を用いることができる。金属材料の例としては、銅、アルミニウム、ステンレス鋼等を挙げることができる。また、伸縮制御部３９を構成する材料として、一般的な熱可塑性エラストマーや、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系、ポリエステル系、エポキシ系、ビニルエーテル系、ポリエン・チオール系又はシリコーン系等のオリゴマー、ポリマーなどを用いてもよい。また、伸縮制御部３９を構成する材料として、第１領域３１の第１部材３５と同一の材料を用いてもよい。伸縮制御部３９の厚みは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下である。
【０１１７】
若しくは、伸縮制御部３９の弾性係数は、第２領域３２の弾性係数以下であってもよい。伸縮制御部３９の弾性係数は、例えば１０ＭＰａ以下であり、１ＭＰａ以下であってもよい。伸縮制御部３９の弾性係数は、第２領域３２の弾性係数の１倍以下であってもよく、０．８倍以下であってもよい。この場合、伸縮制御部３９の第２の弾性係数が第２領域３２の弾性係数よりも高い場合に比べて、第２領域３２に重なる配線５２に現れる蛇腹形状部の振幅が大きくなるので、配線基板１０の伸縮性も大きくなる。また、伸縮制御部３９の弾性係数が第２領域３２の弾性係数以下の場合であっても、伸縮部２０のうち伸縮制御部３９に重なる部分と伸縮制御部３９に重ならない部分との間で、伸縮性の差が生じる。すなわち、伸縮部２０を、伸縮が生じやすい部分と、伸縮が生じにくい部分とに区画することができる。このことにより、伸縮部２０に重なる配線５２に現れる蛇腹形状部の周期や振幅などを制御することができる。
【０１１８】
伸縮制御部３９の第２の弾性係数が第２領域３２の弾性係数以下の場合、伸縮制御部３９を構成する材料として、一般的な熱可塑性エラストマーおよび熱硬化性エラストマーを用いることができ、例えば、スチレン系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ポリブタジエン、ポリクロロプレンが挙げられる。伸縮制御部３９の厚みは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下である。
【０１１９】
図１３は、第１配線５２１、第２配線５２２などの配線５２及びその周辺の構成要素の一例を拡大して示す断面図である。本変形例によれば、伸縮部２０の第２領域３２を、第２領域３２が延びる方向に沿って、伸縮が生じやすい部分と、伸縮が生じにくい部分とに区画することができる。この場合、第２領域３２を弛緩させたとき、図１３に示すように、配線５２に、伸縮制御部３９の周期に対応した周期Ｆを有する蛇腹形状部５７が生じ易くなる。すなわち、伸縮制御部３９によって蛇腹形状部５７の周期Ｆを制御することができる。
【０１２０】
（第２の変形例）
第１の変形例においては、伸縮制御部３９が伸縮部２０の一部である例を示したが、伸縮制御部３９の構成や配置は特には限られない。例えば図１４に示すように、複数の伸縮制御部３９は、配線５２上に設けられていてもよい。
【０１２１】
（第３の変形例）
上述の実施の形態及び各変形例においては、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５が伸縮部２０の第１面２１を部分的に構成している例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図１５Ａに示すように、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、伸縮部２０の第２面２２を部分的に構成するように配置されていてもよい。若しくは、図１５Ｂに示すように、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、伸縮部２０の第１面２１及び第２面２２のいずれにも現れないように配置されていてもよい。また、図示はしないが、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、伸縮部２０の第１面２１から第２面２２まで伸縮部２０の厚み方向の全域に広がっていてもよい。また、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、第２部材３６の面上に配置されていてもよい。例えば、図１５Ｃに示すように、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、第２部材３６の面のうち配線５２側の面の上に配置され、配線基板１０の面内方向において接着層６０と接していてもよい。この場合、第１部材３５の配線５２側の面は、図１５Ｃに示すように接着層６０によって覆われていてもよく、若しくは、図示はしないが、支持部４０の第２面４２に接していてもよい。また、図１５Ｄに示すように、伸縮部２０の第１領域３１に含まれる第１部材３５は、第２部材３６の面のうち配線５２とは反対側の面の上に配置されていてもよい。
【０１２２】
また、図１５Ｅに示すように、第１領域３１の第１部材３５は、第２部材３６の面のうち配線５２側の面よりも配線５２側に位置し、配線基板１０の面内方向において接着層６０と接していてもよい。この場合、接着層６０は、伸縮部２０の一構成要素であると言える。図１５Ｅに示す例において、伸縮部２０は、第２部材３６と、第２部材３６の面のうち配線５２側の面上に位置する接着層６０と、第１領域３１に対応する位置で接着層６０中に配置された第１部材３５と、を有する。
【０１２３】
また、図１６に示すように、伸縮部２０は、積層された２つの第２部材３６を含んでいてもよい。この場合、２つの第２部材３６のうち、配線５２側に位置する第２部材３６に、第２部材３６よりも高い弾性係数を有する第１部材３５が設けられていてもよい。２つの第２部材３６がいずれも第１部材３５よりも低い弾性係数を有する限りにおいて、２つの第２部材３６の弾性係数は任意である。図１６に示す例において、配線５２は、配線５２側に位置する第２部材３６上に設けられている。２つの第２部材３６の間には、接着層６１などが介在されていてもよい。
【０１２４】
（第４の変形例）
図１７は、本変形例に係る配線基板１０を示す平面図である。図１７に示すように、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う２つの電子部品５１の間には、一方の電子部品５１から他方の電子部品５１まで延びる複数の配線５２が設けられていてもよい。この場合、好ましくは、複数の配線５２はいずれも、伸縮部２０の第１面２１の法線方向に沿って見た場合に伸縮部２０の第２領域３２に重なるよう配置されている。
【０１２５】
（第５の変形例）
図１８は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０を示す平面図である。図１８に示すように、第１領域３１の角部３１ｃは、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のいずれに対しても傾斜した方向に延びる部分を含んでいてもよい。
【０１２６】
（第６の変形例）
図１９は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０を示す平面図である。図１９に示すように、第１領域３１の角部３１ｃは、湾曲した形状を含んでいてもよい。
【０１２７】
（第７の変形例）
図２０は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０を示す平面図である。図２０に示すように、複数の第２領域３２によって囲まれた第３領域３３は、少なくとも部分的に湾曲した形状を有していてもよい。例えば、第３領域３３は円形の形状を有していてもよい。この場合、第２領域３２は、第１領域３１に接する一対の端部３２ｅと、一対の端部３２ｅの間に位置する中央部３２ｃと、を含み、中央部３２ｃの幅が端部３２ｅの幅よりも小さくなっていてもよい。例えば、第２領域３２の第１部分３２１は、第１方向Ｄ１に並ぶ２つの第１領域３１に接する一対の端部３２ｅと、一対の端部３２ｅの間に位置する中央部３２ｃと、を含む。第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、第１部分３２１の中央部３２ｃの寸法は、第１部分３２１の端部３２ｅの寸法よりも小さい。
【０１２８】
（第８の変形例）
図２１は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０を示す平面図である。図２１に示すように、複数の第２領域３２によって囲まれた第３領域３３は、楕円形の形状を有していてもよい。図２１に示す例において、楕円形の第３領域３３は、第１方向Ｄ１に平行な長軸と、第２方向Ｄ２に平行な短軸とを有する。
【０１２９】
本変形例においても、第７の変形例の場合と同様に、第２領域３２は、第１領域３１に接する一対の端部３２ｅと、一対の端部３２ｅの間に位置する中央部３２ｃと、を含み、中央部３２ｃの幅が端部３２ｅの幅よりも小さくなっていてもよい。
【０１３０】
（第９の変形例）
図２２は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０の一例を示す平面図である。図２２に示すように、伸縮部２０の複数の第１領域３１は、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３のそれぞれに沿って並んでいる。第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３は、互いに異なる方向である。図２２に示す例において、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが成す角度、及び第２方向Ｄ２と第３方向Ｄ３とが成す角度はそれぞれ６０度である。図２２に示す例において、第１領域３１は、６つの辺及び６つの角部を含む六角形の形状を有する。
【０１３１】
図２２に示すように、伸縮部２０の複数の第２領域３２は、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第１部分３２１と、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第２部分３２２と、第３方向Ｄ３において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第３部分３２３と、を含んでいる。図２２に示す例において、第２領域３２の一端は、隣り合う２つの第１領域３１の一方の、六角形の一辺に接続され、第２領域３２の他端は、隣り合う２つの第１領域３１の他方の、六角形の一辺に接続されている。図２２に示す例において、複数の第２領域３２によって囲まれた第３領域３３は、三角形の形状を有する。
【０１３２】
図示はしないが、本変形例において、配線５２は、第２領域３２の第１部分３２１に重なるよう第１方向Ｄ１に延びる第１配線と、第２領域３２の第２部分３２２に重なるよう第２方向Ｄ２に延びる第２配線と、第２領域３２の第３部分３２３に重なるよう第３方向Ｄ３に延びる第３配線と、を含んでいてもよい。
【０１３３】
（第１０の変形例）
図２３は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０の一例を示す平面図である。図２３に示すように、伸縮部２０の複数の第１領域３１は、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３及び第４方向Ｄ４のそれぞれに沿って並んでいる。第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３及び第４方向Ｄ４は、互いに異なる方向である。図２３に示す例において、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが成す角度、及び第３方向Ｄ３と第４方向Ｄ４とが成す角度はそれぞれ９０度である。また、第１方向Ｄ１と第３方向Ｄ３とが成す角度、及び第２方向Ｄ２と第４方向Ｄ４とが成す角度はそれぞれ４５度である。第１領域３１は、８つの辺及び８つの角部を含む八角形の形状を有する。また、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第１領域３１の間の間隔、及び、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の間の間隔は、第３方向Ｄ３において隣り合う２つの第１領域３１の間の間隔、及び、第４方向Ｄ４において隣り合う２つの第１領域３１の間の間隔よりも小さい。
【０１３４】
図２３に示すように、伸縮部２０の複数の第２領域３２は、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第１部分３２１と、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第２部分３２２と、第３方向Ｄ３において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第３部分３２３と、第４方向Ｄ４において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第４部分３２４と、を含んでいる。
【０１３５】
図２３に示す例において、第２領域３２の一端は、隣り合う２つの第１領域３１の一方の、八角形の一辺に接続され、第２領域３２の他端は、隣り合う２つの第１領域３１の他方の、八角形の一辺に接続されている。第１部分３２１の長さ及び第２部分３２２の長さは、第３部分３２３の長さ及び第４部分３２４の長さよりも小さい。また、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１のうち、一方の第１領域３１においては、八角形の８つの辺に、２つの第１部分３２１、２つの第２部分３２２、２つの第３部分３２３及び２つの第４部分３２４が接続されている。また、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１のうち、他方の第１領域３１においては、八角形の８つの辺のうちの４つの辺に、２つの第１部分３２１、２つの第２部分３２２が接続されているが、第３部分３２３及び第４部分３２４は接続されていない。
【０１３６】
図示はしないが、本変形例において、配線５２は、第２領域３２の第１部分３２１に重なるよう第１方向Ｄ１に延びる第１配線と、第２領域３２の第２部分３２２に重なるよう第２方向Ｄ２に延びる第２配線と、第２領域３２の第３部分３２３に重なるよう第３方向Ｄ３に延びる第３配線と、第２領域３２の第４部分３２４に重なるよう第４方向Ｄ４に延びる第４配線と、を含んでいてもよい。
【０１３７】
（第１１の変形例）
図２４は、本変形例に係る配線基板１０の伸縮部２０の一例を示す平面図である。図２４に示すように、１つの第１領域３１の周りには、当該第１領域３１に隣接する３つの第１領域３１が存在している。３つの第１領域３１のうちの１つめの第１領域３１は、第１方向Ｄ１において当該第１領域３１と隣接しており、２つめの第１領域３１は、第２方向Ｄ２において当該第１領域３１と隣接しており、３つめの第１領域３１は、第３方向Ｄ３において当該第１領域３１と隣接している。図２４に示す例において、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが成す角度、第２方向Ｄ２と第３方向Ｄ３とが成す角度、及び第３方向Ｄ３と第１方向Ｄ１とが成す角度はそれぞれ１２０度である。第１領域３１は、６つの辺及び６つの角部を含む六角形の形状を有する。
【０１３８】
図２４に示すように、伸縮部２０の複数の第２領域３２は、第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第１部分３２１と、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第２部分３２２と、第３方向Ｄ３において隣り合う２つの第１領域３１の一方から他方まで延びる第３部分３２３と、を含んでいる。
【０１３９】
図２３に示す例において、第２領域３２の一端は、隣り合う２つの第１領域３１の一方の、六角形の一辺に接続され、第２領域３２の他端は、隣り合う２つの第１領域３１の他方の、六角形の一辺に接続されている。第１領域３１においては、六角形の６つの辺のうちの３つの辺に、１つの第１部分３２１、１つの第２部分３２２及び１つの第３部分３２３が接続されている。
【０１４０】
図示はしないが、本変形例において、配線５２は、第２領域３２の第１部分３２１に重なるよう第１方向Ｄ１に延びる第１配線と、第２領域３２の第２部分３２２に重なるよう第２方向Ｄ２に延びる第２配線と、第２領域３２の第３部分３２３に重なるよう第３方向Ｄ３に延びる第３配線と、を含んでいてもよい。
【０１４１】
（第１２の変形例）
上述の実施の形態及び各変形例においては、伸縮部２０の第３領域３３が、伸縮部２０を貫通する孔３７を含む例を示した。しかしながら、第１部分３２１に生じる応力が第２部分３２２に伝わることを抑制することができ、また、第２部分３２２に生じる応力が第１部分３２１に伝わることを抑制することができる限りにおいて、第３領域３３の具体的な構成が特に限られることはない。例えば、図２５に示すように、第３領域３３は、第３部材３８を含んでいてもよい。図２６は、伸縮部２０を図２５のＣ−Ｃ線に沿って切断した場合を示す断面図である。第３部材３８を含む第３領域３３は、第２領域３２よりも低い曲げ剛性を有する。例えば、第３領域３３の第３部材３８は、第２部材３６と同一の材料によって第２部材３６と一体的に構成された、第２部材３６よりも小さい厚みを有する部材である。
【０１４２】
（第１３の変形例）
上述の第１２の変形例においては、第３領域３３の第３部材３８が、第２領域３２の第２部材３６よりも小さい厚みを有する例を示した。しかしながら、伸縮部２０を備える配線基板１０において、第２領域３２と重なる部分が第３領域と重なる部分に比べて高い曲げ剛性を有する限りにおいて、伸縮部２０の第２領域３２及び第３領域３３の構成は任意である。例えば、第３領域３３の第３部材３８は、第２部材３６と同一の材料によって第２部材３６と一体的に構成された、第２部材３６と同一の厚みを有する部材である。
【０１４３】
図２７は、伸縮部２０を備える配線基板１０を、図２５のＤ−Ｄ線に沿って切断した場合を示す断面図である。図２８は、伸縮部２０を備える配線基板１０を、図２５のＥ−Ｅ線に沿って切断した場合を示す断面図である。図２７及び図２８に示すように、第３領域３３の第３部材３８は、第２部材３６と同一の材料によって第２部材３６と一体的に構成された、第２部材３６と同一の厚みを有する部材である。また、第２領域３２の第１部分３２１と重なる配線５２の上には、絶縁層５９が設けられている。これにより、配線基板１０のうち第２領域３２と重なる部分の曲げ剛性を、配線基板１０のうち第３領域３３と重なる部分の曲げ剛性よりも高くすることができる。
【０１４４】
絶縁層５９を構成する材料として、例えば、一般的な熱可塑性エラストマーや、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系、ポリエステル系、エポキシ系、ビニルエーテル系、ポリエン・チオール系又はシリコーン系等のオリゴマー、ポリマーなどを用いることができる。絶縁層５９の厚みは、例えば１μｍ以上１００μｍ以下である。
【０１４５】
（第１４の変形例）
伸縮部２０に引張応力を加えて伸縮部２０を伸長させる伸長工程は、伸縮部２０の厚み方向において第１領域３１を挟持した状態で実施されてもよい。これにより、伸長工程において、第１領域３１に隣接する第２領域３２を均一に伸長させ易くなる。
【０１４６】
（第１５の変形例）
上述の実施の形態及び各変形例においては、配線基板１０が、支持部４０の第１面２１側に搭載された電子部品５１を備える例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、配線基板１０は、電子部品５１を備えていなくてもよい。例えば、電子部品５１が搭載されていない状態の支持部４０が伸縮部２０に接合されてもよい。また、配線基板１０は、電子部品５１が搭載されていない状態で出荷されてもよい。また、配線基板１０は、電子部品５１が搭載されない状態で使用されてもよい。図２９Ａ及び図３０は、電子部品５１が搭載されない配線基板１０の一例を示す断面図及び平面図である。図２９Ａに示す断面図は、図３０の配線基板１０を線Ｅ−Ｅに沿って切断した場合の図である。
【０１４７】
図２９Ａ及び図３０に示すように、配線基板１０に電子部品５１が搭載されない場合、配線基板１０のうち第１部材３５を含む部分が第１領域３１を構成し、隣り合う２つの第１領域３１の間に位置し、第１部材３５よりも低い弾性係数を有する第２部材３６を含み、第１部材３５を含まない部分が第２領域３２を構成する。また、第２領域３２によって囲まれた部分が第３領域３３を構成する。この場合、第１領域３１及び第２領域３２の両方に配線５２が位置していてもよい。第３領域３３には配線５２が位置していない。
【０１４８】
本変形例においても、上述の実施の形態の場合と同様に、配線基板１０の第２領域３２の第１部分３２１には主に第１方向Ｄ１における収縮が生じるので、第１部分３２１に重なる支持部４０及び第１配線５２１には、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。同様に、配線基板１０の第２領域３２の第２部分３２２には主に第２方向Ｄ２における収縮が生じるので、第２部分３２２に重なる支持部４０及び第２配線５２２には、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。また、配線基板１０の第１領域３１には蛇腹形状部５７が現れにくい。このように、本実施の形態によれば、第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに優先的に現れる蛇腹形状部５７の方向を制御することができる。このため、異なる方向に沿って現れる蛇腹形状部５７同士の干渉が生じることを抑制することができる。従って、蛇腹形状部５７の振幅が局所的に大きくなったり、蛇腹形状部５７の周期が局所的に乱れたりすることを抑制することができる。
【０１４９】
図２９Ｂは、本変形例に係る配線基板１０のその他の例を示す断面図である。図２９Ｂに示すように、第１方向Ｄ１に延びる第１配線５２１と第２方向Ｄ２に延びる第２配線５２２とが平面視において交わる部分においては、配線基板１０の厚み方向において、第１配線５２１と第２配線５２２との間には絶縁層５９Ａが介在されていてもよい。これにより、第１配線５２１と第２配線５２２とを電気的に接続することなく、平面視において第１配線５２１と第２配線５２２とを交差させることができる。
【０１５０】
（第１６の変形例）
上述の実施の形態及び各変形例においては、電子部品５１又は伸縮部２０の弾性係数に基づいて配線基板１０の第１領域３１、第２領域３２及び第３領域３３が画定される例を示した。しかしながら、第１領域３１が第２領域３２に比べて伸縮し難く、且つ、第２領域３２が第３領域３３に比べて伸縮し難い限りにおいて、第１領域３１、第２領域３２及び第３領域３３の具体的な構造は特には限られない。例えば、図３１乃至図３３に示すように、第１領域３１は第１部材３５を含んでいなくてもよい。
【０１５１】
図３１は、本変形例に係る配線基板１０を示す平面図である。また、図３２及び図３３はそれぞれ、図３１の配線基板１０を線Ｆ−Ｆ及び線Ｇ−Ｇに沿って切断した場合の断面図である。本変形例において、伸縮部２０は、図３２及び図３３に示すように、全域にわたって均一な厚みの部材によって、例えば上述の第２部材３６によって構成されている。配線５２は、伸縮部２０の第１面２１側に位置し、第１方向Ｄ１に延びる複数の第１配線５２１と、伸縮部２０の第１面２１側に位置し、第２方向Ｄ２に沿って延び、第１配線５２１に交差する複数の第２配線５２２と、を有している。この場合、配線基板１０のうち第１配線５２１と第２配線５２２とが交差する部分は、その他の配線５２の部分に比べて伸縮し難い。また、配線基板１０のうち配線５２が存在する部分は、配線基板１０のうち配線５２が存在しない部分に比べて伸縮し難い。従って、本変形例においては、配線基板１０のうち第１配線５２１と第２配線５２２とが交差する部分に重なる領域が第１領域３１を画成する。また、配線基板１０のうち第１配線５２１又は第２配線５２２に重なるが第１配線５２１と第２配線５２２とが交差はしていない部分に重なる領域が第２領域３２を画成する。また、配線基板１０のうち第１配線５２１及び第２配線５２２のいずれにも重ならない部分が第３領域３３を画成する。
【０１５２】
本変形例においても、上述の実施の形態の場合と同様に、配線基板１０の第２領域３２の第１部分３２１には主に第１方向Ｄ１における収縮が生じるので、第１部分３２１に重なる支持部４０及び第１配線５２１には、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。同様に、配線基板１０の第２領域３２の第２部分３２２には主に第２方向Ｄ２における収縮が生じるので、第２部分３２２に重なる支持部４０及び第２配線５２２には、第２方向Ｄ２に沿う蛇腹形状部５７は現れやすいが、第１方向Ｄ１に沿う蛇腹形状部５７は現れにくい。また、配線基板１０の第１領域３１には蛇腹形状部５７が現れにくい。このように、本実施の形態によれば、第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに優先的に現れる蛇腹形状部５７の方向を制御することができる。このため、異なる方向に沿って現れる蛇腹形状部５７同士の干渉が生じることを抑制することができる。従って、蛇腹形状部５７の振幅が局所的に大きくなったり、蛇腹形状部５７の周期が局所的に乱れたりすることを抑制することができる。
【０１５３】
なお、図３３においては、第１領域３１及び第２領域３２に位置する伸縮部２０の部材（第２部材３６）と同一の部材が第３領域３３にも存在する例を示したが、これに限られることはない。図３４に示すように、第３領域３３は、伸縮部２０に形成された孔を含んでいてもよい。
【０１５４】
図３５は、本変形例に係る配線基板１０のその他の例を示す断面図である。図３５も、図３２と同様に、図３１の配線基板１０を線Ｆ−Ｆに沿って切断した場合の断面図である。図３５に示すように、第１方向Ｄ１に延びる第１配線５２１と第２方向Ｄ２に延びる第２配線５２２とが平面視において交わる部分においては、配線基板１０の厚み方向において、第１配線５２１と第２配線５２２との間には絶縁層５９Ａが介在されていてもよい。これにより、第１配線５２１と第２配線５２２とを電気的に接続することなく、平面視において第１配線５２１と第２配線５２２とを交差させることができる。
【０１５５】
また、図３５に示す例においては、第１配線５２１と第２配線５２２とが平面視において交わる部分である第１領域３１は、第１配線５２１を構成する導電層、絶縁層５９Ａ及び第２配線５２２を構成する導電層を含む。このため、第１領域３１が、第２領域３２に比べてより伸縮し難くなる。
【０１５６】
（第１７の変形例）
上述の実施の形態及び各変形例においては、配線５２が、配線５２と伸縮部２０との間に位置する支持部４０によって支持される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、配線基板１０は、支持部４０を備えていなくてもよい。例えば、配線５２や電子部品５１が伸縮部２０に直接的に設けられていてもよい。
【０１５７】
（第１８の変形例）
上述の実施の形態においては、第２領域３２を構成する第２部材３６よりも高い弾性係数を有する第１部材３５が、平面視において第１領域３１の全域に配置されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図３８に示すように、第１部材３５は、枠状の形状を有していてもよい。この場合、伸縮部２０を伸長させた場合、伸縮部２０のうち枠状の第１部材３５の内側に位置する部分には張力が及びにくく、変形しにくい。このため、図３８に示す例においては、伸縮部２０のうち枠状の第１部材３５が位置する部分及び第１部材３５の内側に位置する部分が、第２領域３２よりも高い弾性係数を有する第１領域３１として機能し得る。
【０１５８】
図３８に示すように、電子部品５１は、平面視において枠状の第１部材３５の内側に位置していてもよい。また、伸縮部２０のうち枠状の第１部材３５の内側には、第２部材３６が存在していてもよい。また、図３８に示すように、枠状の第１部材３５は、平面視において配線５２と重なる位置において、配線５２が延びる方向に直交するように延びていてもよい。
【０１５９】
（第１９の変形例）
図３８に示す第１８の変形例においては、枠状の第１部材３５を、電子部品５１を備える配線基板１０に適用する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、枠状の第１部材３５を、上述の図３０に示す第１５の変形例のような、電子部品５１を備えない配線基板１０に適用してもよい。この場合、図３９〜図４２に示すように、異なる方向に延びる配線が交差したり交わったりしている部分が、平面視において枠状の第１部材３５の内側に位置していてもよい。
【０１６０】
図３９及び図４０においては、互いに異なる２方向に延びる配線が交差したり交わったりしている部分が、平面視において枠状の第１部材３５の内側に位置している。図４１及び図４２においては、互いに異なる３方向に延びる配線が交差したり交わったりしている部分が、平面視において枠状の第１部材３５の内側に位置している。図３９〜図４２に示すように、枠状の第１部材３５は、平面視において配線５２と重なる位置において、配線５２が延びる方向に直交するように延びていてもよい。
【０１６１】
なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【実施例】
【０１６２】
次に、本発明を実施例及び比較例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。【０１６３】
（実施例１）
≪伸縮部の準備≫
伸縮部２０を成型するための型として、図７Ａ及び図７Ｂに示すような、基材７１と、基材７１に格子状に形成された溝７２と、を備える型７０を準備した。溝７２の幅は１０ｍｍであった。第１方向Ｄ１において隣り合う２つの第２溝７２２の間隔、及び第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１溝７２１の間隔は、いずれも１０ｍｍであった。【０１６４】
続いて、第１溝７２１及び第２溝７２２の底面に、接着層６０として粘着シートを設置した。接着層６０としては、３Ｍ社製の８１４６を用いた。その後、第１方向Ｄ１に延びる第１溝７２１と、第２方向Ｄ２に延びる第２溝７２２とが交差する位置において、接着層６０上に第１部材３５を配置した。第１部材３５としては、一辺１０ｍｍの正方形状に切断されたポリイミドフィルムを用いた。ポリイミドフィルムとしては、宇部興産社製の、１２５μｍの厚みを有するユーピレックスを用いた。また、ポリイミドフィルムの弾性係数を、ＡＳＴＭ  Ｄ８８２に準拠した引張試験により測定した。結果、弾性係数は７Ｇｐａであった。【０１６５】
続いて、２液付加縮合のポリジメチルシロキサン（以下、ＰＤＭＳと称する）を、厚さが約１ｍｍになるように型７０の溝７２に充填した。この際、第１部材３５はＰＤＭＳに埋没する。その後、ＰＤＭＳを硬化させて第２部材３６を形成した。このようにして、格子状に広がる第２部材３６と、第２部材３６の格子の交差領域においてＰＤＭＳに埋没したポリイミドフィルムからなる第１部材３５と、を有する格子状の伸縮部２０を得た。また、ＰＤＭＳの弾性係数を、ＪＩＳ Ｋ６２５１に準拠した引張試験により測定した。結果、弾性係数は０．０５ＭＰａであった。【０１６６】
≪支持部の準備≫
支持部４０として機能する、厚さ２．５μｍのポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルムを準備した。続いて、支持部４０の第１面４１に、１μｍの厚みを有する銅層を蒸着法により形成した。続いて、フォトリソグラフィー法およびエッチング法を用いて銅層を加工した。これにより、第１方向Ｄ１に延び、２００μｍの幅を有する複数の第１配線５２１を得た。また、支持部４０の弾性係数を、ＡＳＴＭ  Ｄ８８２に準拠した引張試験により測定した。結果、支持部４０の弾性係数は２．２Ｇｐａであった。【０１６７】
続いて、溶解したウレタン樹脂を含むインキを、第１配線５２１を覆うようにスクリーン印刷法で第１配線５２１上に塗布した。具体的には、一辺１０ｍｍの正方形状を有する複数のインキ層が、第１配線５２１が延びる方向に沿って間隔を空けて設けられるよう、印刷を行った。続いて、１２０℃のオーブンを用いて３０分にわたって乾燥処理を実施した。これにより、１０μｍの厚みを有し、第１配線５２１が延びる方向に沿って第１配線５２１上に並ぶ複数の絶縁層を形成した。絶縁層は、後の工程で支持部４０に接合される伸縮部２０の第１領域３１と重なるよう配置されている。【０１６８】
続いて、銀粒子を含む導電性ペーストをスクリーン印刷により支持部４０にパターニングした。これにより、第１配線５２１に直交する第２方向Ｄ１に延び、２００μｍの幅を有する複数の第２配線５２２を得た。この際、第１配線５２１と第２配線５２２とが交差する場所に絶縁層が位置するよう、印刷を行った。【０１６９】
続いて、第１配線５２１と第２配線５２２とが交差する場所の近傍にＬＥＤチップを配置した。また、導電性接着剤を用いて、ＬＥＤチップのアノード電極を第１配線５２１に接続し、カソード電極を第２配線５２２に接続した。導電性接着剤としては、化研テック社製のＣＬ−３１６０）を用いた。続いて、ＬＥＤチップの周囲に、シリコーン系ポッティング剤を塗布し、シリコーン系ポッティング剤を硬化させることにより、ＬＥＤチップを覆う封止部５８を得た。シリコーン系ポッティング剤としては、スリーボンド社製のＴＢ１２２０Ｇを用いた。【０１７０】
≪接合工程≫
続いて、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の２軸において伸縮部２０を１．５倍に伸長させた。また、１．５倍に伸長された状態の伸縮部２０と、配線５２及びＬＥＤチップが設けられた支持部４０とを接合した。具体的には、伸縮部２０に設けられた接着層６０を、支持部４０のうち配線５２及びＬＥＤチップが設けられていない面に貼り合わせた。この際、以下の状態が実現されるよう、伸縮部２０及び支持部４０の位置合わせを行った。
・伸縮部２０の第１部材３５を含む第１領域３１が、支持部４０上のＬＥＤチップ及び第１配線５２１と第２配線５２２の交差部分に重なる。
・支持部４０上の第１配線５２１及び第２配線５２２が、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１領域３１の間に位置する第２領域３２に重なる。
・伸縮部２０の第２領域３２が延びる方向が、支持部４０上の配線５２が延びる方向と平行になる。【０１７１】
続いて、支持部４０のうち伸縮部２０の第２部材３６と接合されていない部分、すなわち伸縮部２０の孔３７と重なる部分を、切断して除去した。その後、伸縮部２０から引張応力を取り除いて、伸縮部２０及び伸縮部２０に接合された支持部４０を収縮させた。この結果、支持部４０上の第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに蛇腹形状部５７が形成された。蛇腹形状部５７は、配線５２１，５２２が延びる方向に直交する山部及び谷部を含んでいた。【０１７２】
（実施例２）
≪伸縮部の準備≫
まず、適切な支持台の上に、接着層６０として粘着シートを設置した。続いて、接着層６０上に複数の第１部材３５を、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿って配置した。第１部材３５としては、一辺１０ｍｍの正方形状に切断されたポリイミドフィルムを用いた。ポリイミドフィルムとしては、宇部興産社製の、１２５μｍの厚みを有するユーピレックスを用いた。第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１部材３５の間の間隔は１０ｍｍであった。【０１７３】
続いて、接着層６０及び第１部材３５を覆うよう、２液付加縮合のＰＤＭＳを塗布した。続いて、凹凸形状を持つ型枠をＰＤＭＳに押し当てて、ＰＤＭＳを硬化させた。型枠としては、型枠の凸部が、図２５に示す第３領域３３に位置するＰＤＭＳを押圧し、型枠の凹部が、図２５に示す第１領域３１及び第２領域３２に位置するＰＤＭＳを押圧するよう構成されたものを用いた。この結果、第１部材３５及び型枠の凹部によって押圧されたＰＤＭＳを含む第１領域３１の厚みは約１ｍｍであり、型枠の凹部によって押圧されたＰＤＭＳを含む第２領域３２の厚みは約１ｍｍであり、型枠の凸部によって押圧されたＰＤＭＳを含む第３領域３３の厚みは約１００μｍであった。このようにして、図２５に示す、第１領域３１及び第２領域３２に比べて薄いＰＤＭＳを含む第３領域３３を有する伸縮部２０を準備した。【０１７４】
≪支持部の準備≫
実施例１の場合と同様にして、支持部４０を準備し、支持部４０上に配線５２を形成し、支持部４０上にＬＥＤチップを配置した。【０１７５】
≪接合工程≫
実施例１の場合と同様にして、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の２軸において伸縮部２０を１．５倍に伸長させた。また、１．５倍に伸長された状態の伸縮部２０と、配線５２及びＬＥＤチップが設けられた支持部４０とを接合した。その後、伸縮部２０から引張応力を取り除いて、伸縮部２０及び伸縮部２０に接合された支持部４０を収縮させた。この結果、実施例１の場合と同様に、支持部４０上の第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに蛇腹形状部５７が形成された。蛇腹形状部５７は、配線５２１，５２２が延びる方向に直交する山部及び谷部を含んでいた。【０１７６】
（実施例３）
≪伸縮部の準備≫
まず、適切な支持台の上に、接着層６０として粘着シートを設置した。続いて、接着層６０上に複数の第１部材３５を、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿って配置した。第１部材３５としては、一辺１０ｍｍの正方形状に切断されたポリイミドフィルムを用いた。ポリイミドフィルムとしては、宇部興産社製の、１２５μｍの厚みを有するユーピレックスを用いた。第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１部材３５の間の間隔は１０ｍｍであった。【０１７７】
続いて、接着層６０及び第１部材３５を覆うよう、２液付加縮合のＰＤＭＳを塗布した。その後、ＰＤＭＳを硬化させて、第２部材３６を形成した。第２部材３６のうち第１部材３５と重なっていない部分の厚みは１．５ｍｍであった。このようにして、上述の図４Ｄに示すような、第１領域３１、第２領域３２及び第３領域３３に位置する第２部材３６と、第１領域３１に位置する第１部材３５と、を含む伸縮部２０を準備した。【０１７８】
≪支持部の準備≫
実施例１の場合と同様にして、支持部４０を準備し、支持部４０上に配線５２を形成し、支持部４０上にＬＥＤチップを配置した。続いて、支持部４０のうち伸縮部２０の第３領域３３と重なる部分を除去するよう支持部４０を切断した。この結果、支持部４０は、伸縮部２０の第１領域３１及び第２領域３２に重なる格子状の形状を有する。【０１７９】
≪接合工程≫
実施例１の場合と同様にして、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の２軸において伸縮部２０を１．５倍に伸長させた。また、１．５倍に伸長された状態の伸縮部２０と、配線５２及びＬＥＤチップが設けられた支持部４０とを接合した。その後、伸縮部２０から引張応力を取り除いて、伸縮部２０及び伸縮部２０に接合された格子状の支持部４０を収縮させた。この結果、実施例１の場合と同様に、支持部４０上の第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに蛇腹形状部５７が形成された。蛇腹形状部５７は、配線５２１，５２２が延びる方向に直交する山部及び谷部を含んでいた。図４４は、このようにして得られた配線基板１０を示す平面図である。また、図４５は、図４４の配線基板１０を線Ｂ−Ｂに沿って切断した場合の図である。なお、図４４の配線基板１０を線Ａ−Ａに沿って切断した場合の図は、図１に示す図と同一である。【０１８０】
第１配線５２１及び第２配線５２２の蛇腹形状部５７の周期の平均値及び標準偏差を算出した。具体的には、第１配線５２１の蛇腹形状部５７の２０箇所において、隣り合う２つの山部の間の第１方向Ｄ１における距離を測定した。また、第２配線５２２の蛇腹形状部５７の２０箇所において、隣り合う２つの山部の間の第２方向Ｄ２における距離を測定した。その後、４０箇所における山部の間の距離の平均値及び標準偏差を算出した。結果、距離の平均値は６６０μｍであり、標準偏差は２３０μｍであった。測定器としては、株式会社ニコン製のＣＮＣ画像測定システム  ＮＥＸＩＶ  ＶＭＺ−Ｈ３０３０を用いることができる。測定器の仕様を下記に示す。
・倍率：８１倍
・視野：３ｍｍ×３ｍｍ【０１８１】
（比較例）
接着層６０として設置した粘着シートの上に複数の第１部材３５を配置することなく、接着層６０上にＰＤＭＳを塗布したこと以外は、実施例２の場合と同様にして、伸縮部２０を作製した。また、実施例１の場合と同様にして、支持部４０を準備し、支持部４０上に配線５２を形成し、支持部４０上にＬＥＤチップを配置した。【０１８２】
続いて、実施例１の場合と同様にして、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の２軸において伸縮部２０を１．５倍に伸長させた。また、１．５倍に伸長された状態の伸縮部２０と、配線５２及びＬＥＤチップが設けられた支持部４０とを接合した。その後、伸縮部２０から引張応力を取り除いて、伸縮部２０及び伸縮部２０に接合された支持部４０を収縮させた。この結果、支持部４０上の第１配線５２１及び第２配線５２２のそれぞれに蛇腹形状部５７が形成された。蛇腹形状部５７の山部及び谷部が延びる方向は不規則であった。すなわち、蛇腹形状部５７の方向を制御することができなかった。
【符号の説明】
【０１８３】
１０  配線基板
２０  伸縮部
２１  第１面
２２  第２面
３１  第１領域
３１ｃ  角部
３２  第２領域
３２１  第１部分
３２２  第２部分
３２３  第３部分
３２４  第４部分
３２ｃ  中央部
３２ｅ  端部
３３  第３領域
３５  第１部材
３６  第２部材
３７  孔
３８  第３部材
３９  伸縮制御部
３９１  第１制御部
３９２  第２制御部
４０  支持部
４１  第１面
４２  第２面
５１  電子部品
５２  配線
５２１  第１配線
５２２  第２配線
Ｐ１、Ｐ２  山部
Ｂ１、Ｂ２  谷部
５７  蛇腹形状部
５８  封止部
６０  接着層
７０  型
７１  基材
７２  溝
７２１  第１溝
７２２  第２溝
【要約】
電子部品が搭載される配線基板は、伸縮性を有し、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含む伸縮部と、伸縮部の第１面側に位置し、配線基板に搭載される電子部品に電気的に接続される配線と、を備える。伸縮部は、第１方向及び第１方向に交差する第２方向のそれぞれに沿って並び、伸縮部の第１面の法線方向に沿って見た場合に、配線基板に搭載される電子部品に重なる複数の第１領域と、第１方向において隣り合う２つの第１領域の一方から他方まで延びる第１部分、及び第２方向において隣り合う２つの第１領域の一方から他方まで延びる第２部分を含み、第１領域よりも低い弾性係数を有する第２領域と、第２領域によって囲まれた第３領域と、を備える。配線は、伸縮部の第１面の法線方向に沿って見た場合に第２領域に重なる。【図１】
0006774657.tif 000002
【図２Ａ】
0006774657.tif 000003
【図２Ｂ】
0006774657.tif 000004
【図３】
0006774657.tif 000005
【図４Ａ】
0006774657.tif 000006
【図４Ｂ】
0006774657.tif 000007
【図４Ｃ】
0006774657.tif 000008
【図４Ｄ】
0006774657.tif 000009
【図４Ｅ】
0006774657.tif 000010
【図５】
0006774657.tif 000011
【図６Ａ】
0006774657.tif 000012
【図６Ｂ】
0006774657.tif 000013
【図６Ｃ】
0006774657.tif 000014
【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
0006774657.tif 000018
【図９Ａ】
0006774657.tif 000019
【図９Ｂ】
0006774657.tif 000020
【図１０】
0006774657.tif 000021
【図１１】
0006774657.tif 000022
【図１２】
0006774657.tif 000023
【図１３】
0006774657.tif 000024
【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
0006774657.tif 000028
【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
0006774657.tif 000030
【図１６】
0006774657.tif 000031
【図１７】
0006774657.tif 000032
【図１８】
0006774657.tif 000033
【図１９】
0006774657.tif 000034
【図２０】
0006774657.tif 000035
【図２１】
0006774657.tif 000036
【図２２】
0006774657.tif 000037
【図２３】
0006774657.tif 000038
【図２４】
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【図２５】
0006774657.tif 000040
【図２６】
0006774657.tif 000041
【図２７】
0006774657.tif 000042
【図２８】
0006774657.tif 000043
【図２９Ａ】
0006774657.tif 000044
【図２９Ｂ】
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【図３０】
0006774657.tif 000046
【図３１】
0006774657.tif 000047
【図３２】
0006774657.tif 000048
【図３３】
0006774657.tif 000049
【図３４】
0006774657.tif 000050
【図３５】
0006774657.tif 000051
【図３６】
0006774657.tif 000052
【図３７】
0006774657.tif 000053
【図３８】
0006774657.tif 000054
【図３９】
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【図４０】
0006774657.tif 000056
【図４１】
0006774657.tif 000057
【図４２】
0006774657.tif 000058
【図４３Ａ】
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【図４３Ｂ】
0006774657.tif 000060
【図４４】
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【図４５】
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