(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの式：
【化１】
0006744298.tif 000074
の単位及び少なくとも１つの式：
【化２】
0006744298.tif 000075
の単位を含むコポリマーであって、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
ｑは０、１、２、３、４、５又は６であり、
Ａｒ１、Ａｒ２及びＡｒ３は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、及びＸ４は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる、前記コポリマー。
【請求項２】
少なくとも１つの式：
【化３】
0006744298.tif 000076
の単位を含むポリマー及び溶媒を含む組成物であって、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、及びＲ２は、それぞれ互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
ここで、前記組成物は、更に式：
【化４】
0006744298.tif 000077
（式中、
ｒは０又は１であり、
Ｒａは、それぞれＨ、ハロゲン、ＳＯ３Ｍ及びＣ１〜２０アルキルからなる群から選択され、このＣ１〜２０アルキルは１つ以上のハロゲンで置換することができ、
ここでＭはＮａ、Ｋ又はＬｉであり、且つ
Ｌは連結基である）
のものである、架橋剤を含む、前記組成物。
【請求項３】
請求項２に記載の組成物であって、
Ｌが式：
【化５】
0006744298.tif 000078
（式中、
ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ及びｇは、互いに独立して０又は１であるが、但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ及びｇは全て同時に０ではなく、
Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３及びＹ４は、Ｃ（Ｏ）、Ｃ（Ｏ）Ｏ、Ｃ（Ｏ）−ＮＲｂ、ＳＯ２−ＮＲｂ、ＮＲｂ、ＮＲｂＲｂ＋、ＣＲｃ＝ＣＲｃ及びエチニレンからなる群から選択され、
ここで、
Ｒｂ及びＲｃは互いに独立してＨ又はＣ１〜１０アルキルであるか、又は異なるＹ１、Ｙ２、Ｙ３若しくはＹ４由来であり得る２つのＲｂ又はＲｃ基が、結合原子と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成し、前記環は１〜３個のＣ１〜６アルキルで置換されてよく、
Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３及びＺ４は、Ｃ１〜１０アルキレン、Ｃ５〜７シクロアルキレン、６〜１４員のアリーレン及び５〜１４員のヘテロアリーレンからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜１０アルキレン、Ｃ５〜７シクロアルキレン、６〜１４員のアリーレン及び５〜１４員のヘテロアリーレンは、１〜５個のＣ１〜１０アルキル又はフェニルで置換され得る）
で示される連結基である、前記組成物。
【請求項４】
組成物から形成された層を含む電子デバイスの製造方法であって、前記組成物は、
少なくとも１つの式：
【化６】
0006744298.tif 000079
の単位を含むポリマー及び溶媒を含む、組成物であって、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、及びＲ２は、それぞれ互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる、
前記組成物を電子デバイスの前駆体上に適用して層を形成する工程を含む、前記方法。
【請求項５】
電子デバイスの前駆体及び電子デバイスの前駆体上に形成された層を含む電子デバイスであって、前記層は誘電体材料、若しくは、誘電体材料の硬化した製品を含み、前記誘電体材料は、ポリマー及び溶媒を含み、前記ポリマーは、
少なくとも１つの式：
【化７】
0006744298.tif 000080
の単位を含み、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、及びＲ２は、それぞれ互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる、前記電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の詳細な説明
本発明は、ポリマー、これらのポリマーを含む組成物、及び前記組成物から形成された層を含む電子デバイスに関する。好ましくは、電子デバイスは有機電界効果トランジスタであり、層は誘電体層である。
【０００２】
誘電体材料は、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）などの多くの電子デバイスに適用することができる。電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）は、ディスプレイ、大面積センサ及び高周波識別（ＲＦＩＤ）タグなどの電子機能を必要とする用途に使用され得る。
【０００３】
電界効果トランジスタは、薄い誘電体層によって金属ゲート電極から隔てられた半導体層を含む。ゲートと半導体との間に電圧を印加すると、薄いシートの可動電荷が、半導体において半導体／誘電体界面の近くに作られる。この電荷層は、ゲート電極に位置する（反対極性の）電荷とのバランスをとる。ゲート電圧を調整することにより、半導体チャネルの電荷密度を広範囲に変調することができ、その結果、電荷キャリアチャネルの導電率が大幅に変化する。半導体に２つの金属接点（ソースコンタクトとドレインコンタクト）を取り付けることで、ゲート電圧を調整するだけで、トランジスタに流れる電流を広範囲に効率的に制御することができる。
【０００４】
液体処理技術は電界効果トランジスタを含む低コストの電子デバイスの製造を可能にするため、誘電体層を形成する誘電体材料は、スピンコートなどの液体処理技術に適合する有機材料であることが望ましい。また、液体処理技術はプラスチック基材にも適合しているので、電界効果トランジスタを含む軽量で且つ機械的にフレキシブルな電子デバイスの製造が可能である。
【０００５】
誘電体材料は、理想的には大きなゲート結合（即ち、１単位面積当たりの大きなゲート誘電体容量）と小さな漏れ電流を示すべきである。大きなゲート結合（即ち、１単位面積当たりの大きなゲート誘電体容量）は、トランジスタが低電圧で動作し得ることを意味し、このことは、電界効果トランジスタが、小型バッテリによって又は近傍界無線周波数結合によって駆動されるポータブルデバイス又はハンドヘルドデバイス用に設計されている場合に重要である。また、大きな誘電体容量は、チャネル中のキャリア密度がソース−ドレイン電圧ではなく、ゲート−ソース電圧によって制御されることを保証し、このことはチャネル長の短い電界効果トランジスタにとって特に重要である。
【０００６】
ポリスチレンは、有機電界効果トランジスタ用の一般的な誘電体材料である。
【０００７】
しかしながら、電界効果トランジスタにおける誘電体層の製造に適した誘電体材料、特に低電圧で動作し得る電界効果トランジスタにおける誘電体層の製造に適した誘電体材料が依然として必要とされている。
【０００８】
従って、本発明の課題は、電界効果トランジスタにおける誘電体層の製造に適した、好ましくは低電圧で動作し得る電界効果トランジスタにおける誘電体層の製造に適した誘電体材料を提供することであった。
【０００９】
この課題は、請求項１に記載のポリマー、請求項１３に記載の組成物、請求項１５に記載の方法、及び請求項１６に記載の電子デバイスによって解決される。
【００１０】
本発明の誘電体材料は、少なくとも１つの式：
【化１】
0006744298.tif 000002
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、Ｃ１〜１０アルキル、ＣＮ、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の単位を含むポリマーである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、それぞれ−３Ｖ（三角形）、−３０Ｖ（四角形）のソース電圧Ｖｄｓで誘電体材料としてポリマーＰＢを含むトップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタについて、ドレイン電流Ｉｄｓと、ゲート電圧Ｖｇｓ（伝達曲線）との関係性を示す。
【図２】図２は、それぞれ−５Ｖ（三角形）、−３０Ｖ（四角形）のソース電圧Ｖｄｓで誘電体材料としてポリマーＰｅを含むトップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタについて、ドレイン電流Ｉｄｓと、ゲート電圧Ｖｇｓ（伝達曲線）との関係性を示す。
【００１２】
ハロゲンはＦ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩであってよい。
【００１３】
Ｃ１〜６アルキル、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ１〜２０アルキル及びＣ１〜３０アルキルは分枝鎖状又は非分枝鎖状であってよい。Ｃ１〜６アルキルの例は、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル、ネオペンチル、イソペンチル、ｎ−（１−エチル）プロピル及びｎ−ヘキシルである。Ｃ１〜１０アルキルの例は、Ｃ１〜６アルキル及びｎ−ヘプチル、ｎ−オクチル、ｎ−（２−エチル）ヘキシル、ｎ−ノニル及びｎ−デシルである。Ｃ１〜２０アルキルの例は、Ｃ１〜１０アルキル及びｎ−ウンデシル、ｎ−ドデシル、ｎ−トリデシル、ｎ−テトラデシル、ｎ−ペンタデシル、ｎ−ヘキサデシル、ｎ−ヘプタデシル、ｎ−オクタデシル、ｎ−ノナデシル及びｎ−イコシル（Ｃ２０）である。Ｃ１〜３０アルキルの例は、Ｃ１〜２０アルキル及びｎ−ドコシル（Ｃ２２）、ｎ−テトラコシル（Ｃ２４）、ｎ−ヘキサコシル（Ｃ２６）、ｎ−オクタコシル（Ｃ２８）及びｎ−トリアコンチル（Ｃ３０）である。
【００１４】
Ｃ１〜１０アルキレンは分枝鎖状又は非分枝鎖状であってよい。Ｃ１〜１０アルキレンの例は、メチレン、エチレン、ｎ−プロピレン、ｎ−ブチレン、ｎ−ペンチレン、ｎ−ヘキシレン、ｎ−ヘプチレン、ｎ−オクチレン、ｎ−ノニレン、及びｎ−デシレンである。
【００１５】
Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜３０アルケニルは分枝鎖状又は非分枝鎖状であってよい。Ｃ２〜１０アルケニルの例は、ビニル、プロペニル、シス−２−ブテニル、トランス−２−ブテニル、３−ブテニル、シス−２−ペンテニル、トランス−２−ペンテニル、シス−３−ペンテニル、トランス−３−ペンテニル、４−ペンテニル、２−メチル−３−ブテニル、ヘキセニル、ヘプテニル、オクテニル、ノネニル及びドセニルである。Ｃ２〜２０アルケニルの例は、Ｃ２〜１０アルケニル、及びリノレイル（Ｃ１８）、リノレニル（Ｃ１８）、オレイル（Ｃ１８）、及びアラキドニル（Ｃ２０）である。Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜６０アルケニル及びＣ２〜１００アルケニルの例は、Ｃ２〜２０アルケニル及びエルシル（Ｃ２２）である。
【００１６】
Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ２〜２０アルキニル及びＣ２〜３０アルキニルは、分枝鎖状又は非分枝鎖状であってよい。Ｃ２〜１０アルキニルの例は、エチニル、２−プロピニル、２−ブチニル、３−ブチニル、ペンチニル、ヘキシニル、ヘプチニル、オクチニル、ノニニル及びデシニルである。Ｃ２〜２０アルキニル及びＣ２〜３０アルケニルの例は、Ｃ２〜１０アルキニル及びウンデシニル、ドデシニル、ウンデシニル、ドデシニル、トリデシニル、テトラデシニル、ペンタデシニル、ヘキサデシニル、ヘプタデシニル、オクタデシニル、ノナデシニル及びイコシニル（Ｃ２０）である。
【００１７】
Ｃ５〜６シクロアルキルの例は、シクロペンチル及びシクロヘキシルである。Ｃ５〜８シクロアルキルの例は、Ｃ５〜６シクロアルキル及びシクロヘプチル及びシクロオクチルである。
Ｃ５〜７シクロアルキレンの例は、シクロペンチレン、シクロヘキシレン及びシクロヘプチレンである。
【００１８】
Ｃ６〜１０アリールの例はフェニル、
【化２】
0006744298.tif 000003
である。
【００１９】
Ｃ６〜１４アリールの例はＣ６〜１０アリール、並びに
【化３】
0006744298.tif 000004
である。
【００２０】
Ｃ６〜１４アリーレンは６〜１４員の単環式又は多環式、例えば二環式、三環式又は四環式の環系であり、前記環系は少なくとも１つのＣ芳香環を含み、また、＝Ｏ又はＣ＝ＣＨ２で置換され得る非芳香環も含み得る。
【００２１】
Ｃ６〜１４アリーレンの例は、
【化４】
0006744298.tif 000005
である。
【００２２】
５〜１０員のヘテロアリールは、５〜１０員の単環式又は多環式、例えば二環式、三環式又は四環式の環系であり、前記環系は少なくとも１つの複素芳香環を含み、また、＝Ｏ又はＣ＝ＣＨ２で置換され得る非芳香環も含み得る。
【００２３】
５〜１４員のヘテロアリールは、５〜１４員の単環式又は多環式、例えば、二環式、三環式又は四環式の環系であり、前記環系は少なくとも１つの複素芳香環を含み、また、＝Ｏ又はＣ＝ＣＨ２で置換され得る非芳香環も含み得る。
【００２４】
５〜１０員ヘテロアリールの例は、
【化５】
0006744298.tif 000006
【化６】
0006744298.tif 000007
【化７】
0006744298.tif 000008
である。
【００２５】
５〜１４員のヘテロアリールの例は、５〜１０員のヘテロアリールの場合に示された例及び
【化８】
0006744298.tif 000009
【化９】
0006744298.tif 000010
である。
【００２６】
５〜１４員のヘテロアリーレンは、５〜１４員の単環式又は多環式、例えば二環式、三環式又は四環式の環系であり、前記環系は少なくとも１つのヘテロ芳香族環を含み、また、＝Ｏ又はＣ＝ＣＨ２によって置換され得る非芳香環も含み得る。
【００２７】
５〜１４員のヘテロアリーレンの例は、
【化１０】
0006744298.tif 000011
【化１１】
0006744298.tif 000012
【化１２】
0006744298.tif 000013
【化１３】
0006744298.tif 000014
である。
【００２８】
好ましくは、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではない。
【００２９】
より好ましくは、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎとｐの合計は少なくとも２である。
【００３０】
最も好ましくは、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎとｐの合計は少なくとも３である。
【００３１】
好ましくは、Ａｒ１及びＡｒ２は互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００３２】
より好ましくは、Ａｒ１及びＡｒ２は互いに独立して、Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００３３】
最も好ましくは、Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して非置換のフェニレン又はフェニルである。
【００３４】
好ましくは、Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３はＯである。
【００３５】
好ましくは、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル、Ｃ２〜２０アルキニル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００３６】
より好ましくは、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜１０アルキル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜１０アルキルは、ハロゲン及びフェニルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン及びＣ１〜６アルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００３７】
更により好ましくは、Ｒ１及びＲ２はＣ１〜６アルキルであり、
ここで
Ｃ１〜６アルキルは１〜３個のハロゲンで置換することができる。
【００３８】
最も好ましくは、Ｒ１及びＲ２はメチルであり、
ここで、
メチルは１〜３個のハロゲンで置換することができる。
【００３９】
本発明の好ましいポリマーは、少なくとも１つの式：
【化１４】
0006744298.tif 000015
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール、５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｘ１、Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の単位を含む。
【００４０】
本発明のより好ましいポリマーは、少なくとも１つの式：
【化１５】
0006744298.tif 000016
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎとｐの合計は少なくとも２であり、
Ａｒ１及びＡｒ２は互いに独立して、Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３はＯであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜１０アルキル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜１０アルキルは、ハロゲン及びフェニルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン及びＣ１〜６アルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の単位を含む。
【００４１】
本発明の最も好ましいポリマーは、少なくとも１つの式：
【化１６】
0006744298.tif 000017
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎとｐの合計は少なくとも３であり、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して非置換のフェニレン又はフェニルであり、
Ｘ１、Ｘ２、及びＸ３はＯであり、且つ
Ｒ１及びＲ２はＣ１〜６アルキルであり、
ここで、
Ｃ１〜６アルキルは１〜３個のハロゲンで置換することができる）
の単位を含む。
【００４２】
好ましくは、本発明のポリマーは、１，０００〜１，０００，０００Ｄａの範囲の質量平均分子量Ｍｗを有する。より好ましくは、本発明のポリマーは、１０，０００〜５００，０００Ｄａの範囲の質量平均分子量Ｍｗを有する。最も好ましくは、本発明のポリマーは、５０，０００〜２５０，０００Ｄａの範囲の質量平均分子量Ｍｗを有する。質量平均分子量は、標準としてポリスチレンを使用するゲル浸透クロマトグラフィによって測定できる。
【００４３】
好ましくは、本発明のポリマーは２．０〜４．５の範囲の比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃で）を有する。より好ましくは、本発明のポリマーは、２．８〜４．５の範囲の比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃で）を有する。最も好ましくは、本発明のポリマーは、３．２〜４．２の範囲の比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃で）を有する。比誘電率は次のように測定できる：電極としてインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）と金を使用し、誘電体材料として本発明のポリマーを使用してコンデンサを作製する。容量を、ＬＣＲメーター（Agilent E4980 A）を使用して２５℃で測定する。比誘電率ｋは、次の式
ｋ＝Ｃｄ／εＡ
（式中、Ｃは測定された容量、εは真空の誘電定数、ｄは２つの電極間の距離、且つＡは２つの電極の重複面積である）
から導き出される。
【００４４】
好ましくは、本発明のポリマーは、ポリマーの質量を基準として少なくとも３０質量％の式（１）の単位を含む。
【００４５】
ポリマーは、実質的に式（１）の単位からなるホモポリマー又はコポリマーのいずれかであり得る。
【００４６】
好ましいコポリマーは、少なくとも１つの式：
【化１７】
0006744298.tif 000018
の単位及び少なくとも１つの式：
【化１８】
0006744298.tif 000019
の単位を含み、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
ｑは０、１、２、３、４、５又は６であり、
Ａｒ１、Ａｒ２及びＡｒ３は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、及びＸ４は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００４７】
より好ましいコポリマーは少なくとも１つの式：
【化１９】
0006744298.tif 000020
の単位及び少なくとも１つの式：
【化２０】
0006744298.tif 000021
の単位を含み、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
ｑは０、１、２、３又は４であり、
Ａｒ１、Ａｒ２及びＡｒ３は、互いに独立してＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール、５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３及びＸ４は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ互いに独立してＣ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル、Ｃ２〜２０アルキニル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００４８】
最も好ましいコポリマーは少なくとも１つの式：
【化２１】
0006744298.tif 000022
の単位及び少なくとも１つの式：
【化２２】
0006744298.tif 000023
の単位を含み、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎ及びｐの合計は少なくとも２であり、
ｑは０、１、２、３又は４であり、
Ａｒ１、Ａｒ２及びＡｒ３は、互いに独立してＣ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得るフェニレン又はフェニルであり、
ここで、
Ｃ１〜２０アルキル、Ｃ２〜２０アルケニル及びＣ２〜２０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３及びＸ４はＯであり、
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ互いに独立してＣ１〜１０アルキル及びフェニルからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜１０アルキルは、ハロゲン及びフェニルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
フェニルは、ハロゲン及びＣ１〜６アルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる。
【００４９】
特に、コポリマーは少なくとも１つの式：
【化２３】
0006744298.tif 000024
の単位及び少なくとも１つの式：
【化２４】
0006744298.tif 000025
の単位を含み、
前記式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３又は４であるが、
但し、ｎとｐの合計は少なくとも３であり、
ｑは０、１、２又は３である、
Ａｒ１、Ａｒ２及びＡｒ３は、互いに独立してフェニレン又はフェニルであり、
Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３及びＸ４はＯであり、且つ
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はＣ１〜６アルキルであり、
ここで、
Ｃ１〜６アルキルは１〜３個のハロゲンで置換することができる。
【００５０】
コポリマー中の式（１）の単位／式（１０）の単位のモル比は、通常、１／５〜５／１の範囲にある。好ましくは、コポリマー中の式（１）の単位／式（１０）の単位のモル比は、１／３〜３／１の範囲にある。より好ましくは、コポリマー中の式（１）の単位／式（１０）の単位のモル比は、１／２〜１／１の範囲にある。
【００５１】
コポリマーは好ましくはランダムコポリマーである。
【００５２】
特に好ましい本発明のポリマーは式
【化２５】
0006744298.tif 000026
【化２６】
0006744298.tif 000027
【化２７】
0006744298.tif 000028
【化２８】
0006744298.tif 000029
のポリマーである。
【００５３】
本発明のポリマーは当該技術分野で公知の方法によって製造され得る。
【００５４】
例えば、少なくとも１つの式：
【化２９】
0006744298.tif 000030
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の単位を含む本発明のポリマーは、式：
【化３０】
0006744298.tif 000031
（式中、ｎ、ｍ、ｐ、Ａｒ１、Ａｒ２、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｒ１及びＲ２は式（１）の化合物について定義された通りである）
の化合物を重合することによって製造することができる。
【００５５】
重合は、通常、高められた温度で、例えば６０〜１５０℃の範囲の温度で実施される。重合は重合開始剤の存在下で実施され得る。適切な重合開始剤は、アゾ化合物、例えば１，１’−アゾ−ビス（シクロヘキサンカルボニトリル）又はペルオキシド化合物、例えばジクミルペルオキシドである。重合は適切な他のビニル化合物の存在下で実施され得る。
【００５６】
好ましいコポリマーは式：
【化３１】
0006744298.tif 000032
（式中、
ｑは０、１、２、３、４、５又は６であり、
Ａｒ３は、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ４はそれぞれＯ又はＳであり、
Ｒ３は、それぞれＣ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の化合物の存在下で調製される。
【００５７】
式：
【化３２】
0006744298.tif 000033
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の化合物は、式：
【化３３】
0006744298.tif 000034
（式中、ｎ、ｍ、ｐ、Ａｒ１、Ａｒ２、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｒ１及びＲ２は、式（２）の化合物について定義された通りである）
の化合物を、
適切な塩基、例えばカリウムｔｅｒｔ−ブトキシドの存在下で、メチルトリフェニルホスホニウムブロミドで処理することによって調製することができる。
【００５８】
通常、反応は−４０℃〜０℃の範囲の温度で実施される。通常、反応は適切な溶媒、例えばＴＨＦ中で実施される。
【００５９】
式：
【化３４】
0006744298.tif 000035
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ１、Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の化合物は、式：
【化３５】
0006744298.tif 000036
の化合物を、
式：
【化３６】
0006744298.tif 000037
（式中、ｎ、ｍ、ｐ、Ａｒ１、Ａｒ２、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｒ１及びＲ２は、式（３）の化合物について定義された通りであり、且つＬＧはＮＯ２又はハロゲンである）
の化合物と、
適切な触媒、例えば、Ｃｕ（ＯＡｃ）２の存在下で反応させることによって調製することができる。
【００６０】
反応は通常、高められた温度、例えば、６０℃〜１５０℃の範囲の温度で実施される。反応は通常、適切な溶媒、例えばジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、アセトニトリル及びジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）中で実施される。
【００６１】
式：
【化３７】
0006744298.tif 000038
（式中、
ｎは０又は１であり、
ｍ及びｐは互いに独立して０、１、２、３、４、５又は６であるが、
但し、ｎ、ｍ及びｐの合計は少なくとも２であり、且つｎ及びｐは同時に０ではなく、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜４個の置換基で置換され得る、Ｃ６〜１４アリーレン又はＣ６〜１４アリールであり、
Ｘ２及びＸ３は、それぞれ互いに独立してＯ又はＳであり、
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ互いに独立して、Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル、Ｃ２〜３０アルキニル、Ｃ５〜８シクロアルキル、Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜３０アルキル、Ｃ２〜３０アルケニル及びＣ２〜３０アルキニルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ５〜６シクロアルキル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、
Ｃ５〜８シクロアルキルは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル、Ｃ６〜１０アリール及び５〜１０員のヘテロアリールからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができ、且つ
Ｃ６〜１４アリール及び５〜１４員のヘテロアリールは、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ１〜１０アルキル、Ｃ２〜１０アルケニル、Ｃ２〜１０アルキニル及びＣ５〜６シクロアルキルからなる群から独立して選択される１〜５個の置換基で置換することができる）
の化合物は、式：
【化３８】
0006744298.tif 000039
の化合物を、
式：
【化３９】
0006744298.tif 000040
（式中、ｎ、ｍ、ｐ、Ａｒ１、Ａｒ２、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｒ１及びＲ２は、式（３）の化合物について定義された通りであり、且つＨａｌはハロゲン、好ましくはＢｒである）
の化合物と、
適切な触媒、例えばＰｄ（ＰＰｈ３）４及び適切な塩基、例えばＫ２ＣＯ３の存在下で反応させることによって調製できる。
【００６２】
反応は、通常、高められた温度、例えば６０℃〜１５０℃の範囲の温度で実施される。反応は、通常、適切な溶媒、例えばトルエン中で実施される。
【００６３】
また、本発明のポリマー及び溶媒を含む組成物も本発明の一部である。
【００６４】
溶媒は任意の適切な溶媒であり得る。好ましくは、溶媒は、Ｃ１〜６アルキル−Ｏ−Ｃ１〜１０アルキレン−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｃ１〜６アルキル、５〜７員の環状ケトン及びＣ１〜１０アルキルＣ１〜１０アルカノエート及びそれらの混合物からなる群から選択される。Ｃ１〜６アルキル−Ｏ−Ｃ１〜６アルキレン−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｃ１〜６アルキルの例は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）である。５〜７員の環状ケトンの例は、シクロペンタノン及びシクロヘキサノンである。Ｃ１〜１０アルキルＣ１〜１０アルカノエートの例は、ブタン酸エチル及び酢酸ブチルである。より好ましくは、溶媒は、Ｃ１〜１０アルキルＣ１〜１０アルカノエート又はＣ１〜１０アルキルＣ１〜１０アルカノエートとＣ１〜６アルキル−Ｏ−Ｃ１〜６アルキレン−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−Ｃ１〜６アルキル若しくは５〜７員の環状ケトンとの混合物である。最も好ましくは、溶剤は酢酸ブチルである。
【００６５】
好ましくは、本発明のポリマー及び溶媒を含む組成物は架橋剤も含む。
【００６６】
架橋剤は任意の適切な架橋剤であり得る。
【００６７】
好ましくは、架橋剤は式：
【化４０】
0006744298.tif 000041
（式中、
ｒは０又は１であり、
Ｒａは、それぞれＨ、ハロゲン、ＳＯ３Ｍ及びＣ１〜２０アルキルからなる群から選択され、このＣ１〜２０アルキルは１つ以上のハロゲンで置換することができ、
ここでＭはＮａ、Ｋ又はＬｉであり、且つ
Ｌは連結基である）
のものである。
【００６８】
Ｌは任意の適切な連結基であり得る。好ましくは、Ｌは式：
【化４１】
0006744298.tif 000042
（式中、
ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ及びｇは、互いに独立して０又は１であるが、但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ及びｇは全て同時に０ではなく、
Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３及びＹ４は、Ｃ（Ｏ）、Ｃ（Ｏ）Ｏ、Ｃ（Ｏ）−ＮＲｂ、ＳＯ２−ＮＲｂ、ＮＲｂ、ＮＲｂＲｂ＋、ＣＲｃ＝ＣＲｃ及びエチニレンからなる群から選択され、
ここで、
Ｒｂ及びＲｃは互いに独立してＨ又はＣ１〜１０アルキルであるか、又は異なるＹ１、Ｙ２、Ｙ３若しくはＹ４由来であり得る２つのＲｂ又はＲｃ基が、結合原子と一緒に５員環、６員環又は７員環を形成し、前記環は１〜３個のＣ１〜６アルキルで置換されてよく、
Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３及びＺ４は、Ｃ１〜１０アルキレン、Ｃ５〜７シクロアルキレン、６〜１４員のアリーレン及び５〜１４員のヘテロアリーレンからなる群から選択され、
ここで、
Ｃ１〜１０アルキレン、Ｃ５〜７シクロアルキレン、６〜１４員のアリーレン及び５〜１４員のヘテロアリーレンは、１〜５個のＣ１〜１０アルキル又はフェニルで置換され得る）
の連結基である。
【００６９】
連結基Ｌの例は
【化４２】
0006744298.tif 000043
【化４３】
0006744298.tif 000044
である。
【００７０】
より好ましくは、組成物は実質的に
（ｉ）溶媒１ｍＬ当たり１０〜５００ｍｇの本発明のポリマー、
（ｉｉ）溶媒、及び
（ｉｉｉ）ポリマーの質量を基準として０．１〜２０質量％の架橋剤
を含有する。
【００７１】
最も好ましくは、組成物は実質的に
（ｉ）溶媒１ｍＬ当たり３０〜２５０ｍｇの本発明のポリマー、
（ｉｉ）溶媒、及び
（ｉｉｉ）ポリマーの質量を基準として１〜１０質量％の架橋剤
を含有する。
【００７２】
また、本発明の組成物から形成された層を含む電子デバイスの製造方法であって、層を形成するために本発明の組成物を電子デバイスの前駆体に適用する工程を含む、前記製造方法も本発明の一部である。
【００７３】
本発明の組成物は、当該技術分野において知られている技術によって適用することができる。好ましくは、組成物は、組成物のスピンコーティング、ブレーディング、スロットダイコーティング、ドロップキャスティング、スプレーコーティング、インクジェット又は浸漬などの液体処理技術によって電子デバイスの前駆体に適用（塗布）される。好ましくは、組成物はスピンコーティングによって適用（塗布）される。
【００７４】
組成物が式（１１）の架橋剤を含む場合、組成物は、好ましくは、電子デバイスの前駆体に適用された後、適切な波長の光で処理される。
【００７５】
電子デバイスは、電界効果トランジスタ、コンデンサ、発光ダイオード、光起電力装置、検出装置又は高周波識別（ＲＦＩＤ）タグであり得る。
【００７６】
好ましくは、電子デバイスは、電界効果トランジスタ、より好ましくは有機電界効果トランジスタである。有機電界効果トランジスタは、半導体層が有機半導体材料を含む電界効果トランジスタである。
【００７７】
本発明の組成物から形成される層は、誘電体層、レジスト層、絶縁層、パッシベーション層、平坦化層、封止層（カプセル化層）又はコーティング層であり得る。好ましくは、本発明の組成物から形成される層は誘電体層である。
【００７８】
好ましくは、電子デバイスは有機電界効果トランジスタであり、本発明の組成物から形成された層は誘電体層である。
【００７９】
通常、有機電界効果トランジスタは、誘電体層、半導体層、基材、ゲート電極、及びソース／ドレイン電極を含む。
【００８０】
誘電体層は、１０〜２０００ｎｍ、好ましくは５０〜１０００ｎｍ、より好ましくは１００〜８００ｎｍの厚さを有し得る。誘電体層が本発明の組成物から形成される場合、誘電体層は、通常、１００〜１０００ｎｍ、好ましくは２００〜６００ｎｍ、より好ましくは３００〜５００ｎｍの厚さを有する。
【００８１】
半導体層は有機半導体材料を含む。有機半導体材料の例は、ポリチオフェン、例えば、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）（Ｐ３ＨＴ）、ポリフルオレン、ポリジアセチレン、ポリ（２，５−チエニレンビニレン）、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）（ＰＰＶ）及びジケトピロロピロール基を有する繰り返し単位を含むポリマー（ＤＰＰポリマー）である。ＤＰＰポリマー及びその合成の例は、例えば、欧州特許第１０７８９７０号明細書（EP1078970）、国際公開第２００５／０４９６９５号（WO2005/049695）、国際公開第２００８／０００６６４号（WO2008/000664）、国際公開第２０１０／０４９３２１号（WO2010/049321）、国際公開第２０１０／０４９３２３号（WO2010/049323）、国際公開第２０１０／１０８８７３号（WO2010/108873）、国際公開第２０１０／１１５７６７号（WO2010/115767）、国際公開第２０１０／１３６３５３号（WO2010/136353）及び国際公開第２０１０／１３６３５２号（WO2010/136352）に記載されている。
【００８２】
好ましくは、半導体材料は、ジケトピロロピロール基を有する単位を含むポリマー（ＤＰＰポリマー）である。
【００８３】
好ましくは、半導体層は、５〜５００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍ、より好ましくは２０〜５０ｎｍの厚さを有し得る。
【００８４】
ソース／ドレイン電極は、任意の適切な有機又は無機ソース／ドレイン材料から作ることができる。無機ソース／ドレイン材料の例は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）又は銅（Ｃｕ）、並びにこれらの金属のうち少なくとも１つを含む合金である。ソース／ドレイン電極は、１〜１００ｎｍ、好ましくは２０〜７０ｎｍの厚さを有し得る。
【００８５】
ゲート電極は、高ドープシリコン、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、インジウムスズ酸化物又は金（Ａｕ）などの任意の適切なゲート材料、又はこれらの金属のうち少なくとも１つを含む合金から作られ得る。ゲート電極は１〜２００ｎｍ、好ましくは５〜１００ｎｍの厚さを有し得る。
【００８６】
基材は、任意の適切な基材、例えばガラス、又はプラスチック基材、例えばポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）及びポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）であり得る。有機電界効果トランジスタの設計によっては、ゲート電極、例えば高ドープシリコンも基材として機能し得る。
【００８７】
有機電界効果トランジスタのチャネル幅（Ｗ）は、典型的には１０〜２０００μｍの範囲であり、有機電界効果トランジスタのチャネル長（Ｌ）は、典型的には５〜１００μｍの範囲である。
【００８８】
電子デバイスの前駆体は、任意の適切な前駆体であり得る。電子デバイスが有機電界効果トランジスタである場合、前駆体はゲート電極を有する基材、又はソース／ドレイン電極と半導体層を有する基材であり得る。
【００８９】
電子デバイスが有機電界効果トランジスタであり、且つ本発明の組成物から形成された層が誘電体層である場合、有機電界効果トランジスタは、例えば以下のように製造され得る：
【００９０】
ソース電極及びドレイン電極は、適切なソース／ドレイン材料、例えば金を、適切な基材、例えばＰＥＴ上にリソグラフィでパターニングすることによって形成することができる。次に、半導体材料の溶液、例えば適切な溶媒、例えばトルエン中のＤＰＰポリマーを基材上にスピンコーティングすることにより、ソース／ドレイン電極を半導体層で覆うことができる。湿った半導体層は加熱され得る。次に、本発明の組成物を半導体層上にスピンコーティングすることによって、半導体層を誘電体層で覆うことができる。湿潤した誘電体層は８０〜１００℃に加熱することができ、次に、本発明の組成物が式（１１）の架橋剤を含む場合、光処理により硬化される。ゲート電極は、次に、例えば、適切なソース／ドレイン材料、例えば金の蒸着によって、誘電体層上に堆積され得る。
【００９１】
また、本発明の組成物から形成され、本発明の方法に従って調製された層を含む電子デバイスも本発明の一部である。
【００９２】
また、誘電体層、レジスト層、絶縁層、パッシベーション層、平坦化層、封止層（カプセル化層）又はコーティング層、好ましくは誘電体層を形成するための本発明の組成物の使用も本発明の一部である。
【００９３】
本発明のポリマーは、トランジスタが低電圧で動作し得る有機電界効果トランジスタにおける誘電体層の製造に適しているので有利である。また、本発明のポリマーは、一般的な有機溶媒に可溶であり、従って液体処理技術に適合するので有利である。さらに、本発明のポリマーを含む組成物は、（温度、湿度、空気に関する）周囲条件下で処理して電子デバイスの層を形成することができ、この組成物が周囲条件下で処理されても、高信頼性の長持ちする電子デバイスが得られる。
【００９４】
本発明のポリマーは、処理中並びに電子デバイス製造後でも、特に湿気を吸収しにくいので、本発明のポリマーから形成された誘電体層を含む電子デバイスは、追加の不動態化層又は封止層（カプセル化層）を必要としない。この点で、本発明のポリマーは、湿気を吸収しやすいポリビニルフェノールなどの他のポリマーよりも明らかに有利である。さらに、本発明のポリマー及び架橋剤、例えば式（１１）の架橋剤を含む組成物は、（温度、湿度、空気に関して）周囲条件下で光処理により硬化することができ、硬化が周囲条件下で行われても、硬化した層は溶媒の溶解に対して非常に安定している。
【実施例】
【００９５】
実施例
実施例１
化合物２ａの調製
【化４４】
0006744298.tif 000045
【００９６】
化合物３ａの調製
４−ニトロベンズアルデヒド（３０．０ｇ、１９８．５ミリモル、１ｅｑ）、Ｃｕ（ＯＡｃ）２水和物（０．０５ｅｑ）、Ｃｓ２ＣＯ３（２ｅｑ）及び化合物４ａ（２ｅｑ）を、不活性雰囲気（Ｎ２）下でＤＭＦ（４５０ｍＬ）に溶解した。次に、反応混合物を１００℃で４時間撹拌した。反応混合物を酢酸エチルで希釈し、ブフナー漏斗で濾過し、ＮａＯＨ水溶液（１×２０ｍＬ）及び水（１×２０ｍＬ）で洗浄した。有機相を集め、ＭｇＳＯ４で乾燥し、減圧下で蒸発させた。溶離液としてヘキサン／ＤＣＭ（７：３）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物３ａを黄色油状物として得た（収率８６％）。１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ３），δ（ｐｐｍ）：９．９４（ｓ，１Ｈ），７．８７（ｍ，２Ｈ），７．２６（ｍ，２Ｈ），７．１１〜７．０６（ｍ，４Ｈ）
ｍ／ｚ（ＥＩ）＝（Ｍ＋Ｈ）＋＝２８３
【００９７】
化合物２ａの調製
臭化メチルトリフェニルホスホニウム（１４８ｇ、３．４ｅｑ）をＮ２下で無水ＴＨＦ（５００ｍＬ）に溶解し、得られた溶液を−４０℃に冷却した。次にカリウムｔｅｒｔ−ブトキシド（６ｅｑ）を加え、反応混合物を３０分間撹拌した。無水ＴＨＦ（２００ｍＬ）に溶解した化合物３ａ（１ｅｑ）を続けて加え、反応混合物を−４０℃で３時間撹拌し、次いで室温まで温めた。反応混合物をブフナー漏斗でろ過し、溶媒を減圧下で除去した。溶離液としてヘキサン／ＤＣＭ（９：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで化合物２ａを精製した。化合物２ａが無色油状物として８４％で得られた。
【数１】
0006744298.tif 000046
【００９８】
実施例２
化合物２ｂの製造
【化４５】
0006744298.tif 000047
【００９９】
化合物３ｂの調製
化合物３ｂを、化合物４ａの代わりに化合物４ｂを用いた以外は、実施例１の化合物３ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物３ｂを橙色固体として得た（収率４８％）。１Ｈ−ＮＭＲ（４００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ３），δ（ｐｐｍ）：９．８８（ｓ，１Ｈ），７．８０（ｄ，２Ｈ），７．０２（ｍ，４Ｈ），６．９５（ｄ，２Ｈ），３．８１（ｓ，３Ｈ）
データは文献Tetrahedron 2013, 69, 6884に報告されたデータと一致する。
【０１００】
化合物２ｂの調製
化合物２ｂは、化合物３ａの代わりに化合物３ｂを用いた以外は、実施例１の化合物２ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物２ｂを白色固体（収率７２％）として得た。
【数２】
0006744298.tif 000048
【０１０１】
実施例３
化合物２ｃの調製
【化４６】
0006744298.tif 000049
【０１０２】
化合物３ｃの調製
化合物３ｃを、化合物４ａの代わりに化合物４ｃを用いた以外は、実施例１の化合物３ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物３ｃを橙色油状物として得た（収率７７％）。
【数３】
0006744298.tif 000050
【０１０３】
化合物２ｃの調製
化合物２ｃを、化合物３ａの代わりに化合物３ｃを用いた以外は、実施例１の化合物２ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで化合物２ｃを精製した。化合物２ｃを黄色固体として収率４０％で得た。
【数４】
0006744298.tif 000051
【０１０４】
実施例４
化合物２ｄの調製
【化４７】
0006744298.tif 000052
【０１０５】
化合物３ｄの調製
化合物３ｄを、化合物４ａの代わりに化合物４ｄを用いた以外は、実施例１の化合物３ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物３ｄを黄色油状物として得た（収率３０％）。
【数５】
0006744298.tif 000053
【０１０６】
化合物２ｄの調製
化合物２ｄを、化合物３ａの代わりに化合物３ｄを用いた以外は、実施例１の化合物２ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで化合物２ｄを精製した。化合物２ｄを淡黄色固体として収率８１％で得た。
【数６】
0006744298.tif 000054
【０１０７】
実施例５
化合物２ｅの調製
【化４８】
0006744298.tif 000055
【０１０８】
化合物３ｅの調製
化合物３ｅを、化合物４ａの代わりに化合物４ｅを用いた以外は、実施例１の化合物３ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで精製し、化合物３ｅを黄色固体として得た（収率５０％）。
【数７】
0006744298.tif 000056
【０１０９】
化合物２ｅの調製
化合物２ｅを、化合物３ａの代わりに化合物３ｅを用いた以外は、実施例１の化合物２ａと同様にして調製した。溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（５：１）を用いるカラムクロマトグラフィーで化合物２ｅを精製した。化合物２ｅを淡黄色油状物として収率６６％で得た。
【数８】
0006744298.tif 000057
【０１１０】
実施例６
化合物２ｆの調製
【化４９】
0006744298.tif 000058
【０１１１】
化合物６ａの調製
（４−ホルミルフェニル）ボロン酸（８ａ）（０．４ｇ、２．６ミリモル）、３，４，５−トリメトキシブロモベンゼン（７ａ）（０．５ｇ、２．０ミリモル）及び臭化テトラ−ｎ−ブチルアンモニウム（０．１ｇ、０．４ミリモル）をトルエン（５ｍＬ）に溶解し、続いてＫ２ＣＯ３水溶液（５Ｎ、１．６ｍＬ）を加えた。二重層混合物をＮ２で脱気し、最後に不活性雰囲気下にてテトラキス（トリフェニルホスフィン）パラジウム（０．１ｇ、０．１ミリモル）を加えた。反応混合物を１００℃で一晩加熱した。反応混合物をＤＣＭ（２×２５ｍｌ）で抽出した。合わせた有機画分をＭｇＳＯ４で脱水し、減圧下で蒸発させた。粗化合物６ａを、溶離液としてヘキサン／酢酸エチルを用いるクロマトグラフィーカラムで精製した。化合物６ａを無色油状物として収率８５％で得た。
【数９】
0006744298.tif 000059
【０１１２】
化合物２ｆの調製
臭化メチルトリフェニルホスホニウム（２．４ｇ、６．８ミリモル）をＮ２下で無水ＴＨＦ（１５ｍＬ）に溶解し、反応混合物を−４０℃に冷却した。次に、カリウムｔｅｒｔブトキシド（１．３ｇ、１２ミリモル）を加えると、溶液が暗くなった。３０分間撹拌した後、５ｍＬのＴＨＦ中の化合物６ａ（０．５ｇ、２．０ミリモル）を添加し、反応混合物を一晩撹拌しながら室温まで温めた。反応混合物をブフナー漏斗で濾過し、溶媒を減圧下で除去し、粗化合物２ｆを、溶離液としてヘキサン／酢酸エチル（８／２）を用いるシリカゲル上のカラムクロマトグラフィーで精製した。化合物２ｆを白色固体として収率７６％で得た。
【数１０】
0006744298.tif 000060
【０１１３】
実施例７
ポリマーＰａの調製
【化５０】
0006744298.tif 000061
【０１１４】
化合物２ａ（１ｇ、４．７ミリモル）を、ニート条件下で窒素雰囲気下にて１２５℃で加熱した。一晩加熱後、生成したポリマーをトルエンに溶解し、この溶液をメタノールに注いで沈殿させ、白色固体を得た。単離したポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰａを収率５３％で得た。
Ｍｗ１５１０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．５；Ｔｇ  ６２℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）２．７
【０１１５】
実施例８
ポリマーＰｂの調製
【化５１】
0006744298.tif 000062
【０１１６】
化合物２ｂ（１ｇ、４．４ミリモル）及び１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（１０ｍｇ、０．０４ミリモル、１％ｅｑ）を無水トルエン（３ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて８０℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰｂを白色固体として収率６０％で得た。
Ｍｗ７００００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．１；Ｔｇ  ８０℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．２
【０１１７】
実施例９
ポリマーＰｃの調製
【化５２】
0006744298.tif 000063
【０１１８】
化合物２ｃ（１ｇ、４．４ミリモル）と１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（１０ｍｇ、０．０４ミリモル、１％ｅｑ）を無水トルエン（３ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて８０℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰｃを白色固体として収率３３％で得た。
Ｍｗ１２９０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．２；Ｔｇ  ９７℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．１
【０１１９】
実施例１０
ポリマーＰｄの調製
【化５３】
0006744298.tif 000064
【０１２０】
化合物２ｄ（３ｇ、１１．７ミリモル）と１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（１２ｍｇ、０．０５ミリモル、１％ｅｑ）を、無水トルエン（７ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて８０℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰｄが白色固体として収率３７％で得られた。
Ｍｗ１７６０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．２；Ｔｇ  １４８℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．６
【０１２１】
実施例１１
ポリマーＰｅの調製
【化５４】
0006744298.tif 000065
【０１２２】
化合物２ｅ（１ｇ、４．５ミリモル）と１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（８ｍｇ、０．０３ミリモル、１％ｅｑ）を、無水トルエン（３ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて８０℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰｅを白色固体として収率８５％で得た。
Ｍｗ２２００００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．１；Ｔｇ  １０４℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．７
【０１２３】
実施例１２
ポリマーＰｆの調製
【化５５】
0006744298.tif 000066
【０１２４】
化合物２ｆ（５ｇ、１８ミリモル）とジクミルペルオキシド（５０ｍｇ、０．１８ミリモル）を、無水トルエン（１１ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて９５℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ポリマーＰｆを白色固体として収率９３％で得た。
Ｍｗ１１４０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．５；Ｔｇ  １４５℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．６
【０１２５】
実施例１３
ポリマーＰｇの調製
【化５６】
0006744298.tif 000067
【０１２６】
化合物９ａ（１．１ｇ、７．９ミリモル）、化合物２ｃ（１．２ｇ、５．３ミリモル）及びジクミルペルオキシド（３６ｍｇ、０．１３ミリモル、１％ｅｑ）を、無水トルエン（６ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて９５℃で２日間撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ランダムポリマーＰｇを白色固体として収率４４％で得た。
Ｍｗ１３７０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．４；Ｔｇ  １０２℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．３
【０１２７】
実施例１４
ポリマーＰｈの調製
【化５７】
0006744298.tif 000068
【０１２８】
化合物９ａ（１．２ｇ、８．７ミリモル）、化合物２ｄ（１．５ｇ、５．８ミリモル）及びジクミルペルオキシド（３９ｍｇ、０．１４ミリモル、１％ｅｑ）を、無水トルエン（６ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて９５℃で一晩撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ランダムポリマーＰｈを白色固体として収率４８％で得た。
Ｍｗ１１５０００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）２．１；Ｔｇ  １３８℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．４
【０１２９】
実施例１５
ポリマーＰｉの調製
【化５８】
0006744298.tif 000069
【０１３０】
化合物９ａ（０．８ｇ、６．３ミリモル）、化合物２ｅ（１．２ｇ、４．２ミリモル）及び１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）（２５ｍｇ、０．１０ミリモル、１％ｅｑ）を、無水トルエン（６ｍＬ）に溶解した。溶液を凍結−ポンプ−解凍の３サイクルで脱気した。反応混合物を、窒素雰囲気下にて９５℃で一晩撹拌した。反応混合物を周囲条件下にてトルエンで希釈し、希釈した反応混合物をメタノールに注いでポリマーを沈殿させた。単離されたポリマーをＴＨＦに再溶解し、この溶液をメタノールに注ぐことで再び沈殿させた。沈殿プロセスをもう一度繰り返した。ランダムポリマーＰｉを白色固体として収率４２％で得た。
Ｍｗ１４００００Ｄａ；多分散性（ＰＤＩ）１．９；Ｔｇ  １０７℃；比誘電率（１ｋＨｚ、２５℃）３．０
【０１３１】
実施例１６
誘電体材料としてポリマーＰｂを含むトップゲート・ボトムコンタクト電界効果トランジスタの製造
金をＰＥＴ基材上にスパッタリングして、厚さ約４０ｎｍの金のソース／ドレイン電極を形成した。国際公開第２０１０／０４９３２１号（WO2010/049321）の実施例１のジケトピロロピロール（ＤＰＰ）−チオフェン−ポリマーのトルエン溶液０．７５％（質量／質量）を、０．４５マイクロメートルのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターで濾過し、次いでスピンコーティング（１０００ｒｐｍ、３０秒）により適用した。湿った有機半導体層を、ホットプレート上で、９０℃で６０秒間乾燥させた。ポリマーＰｂの質量を基準として４質量％の２，７−ビス［２−（４−アジド−２，３，５，６−テトラフルオロ−フェニル）エチニル］−９，９−ジヘキシル−フルオレンを架橋剤として含有する、実施例８に記載される通りに調製したポリマーＰｂの酢酸ブチル溶液１００ｍｇ／ｍｌを、０．４５マイクロメートルのフィルターで濾過した。溶液を半導体層上にスピンコート（１５００ｒｐｍ、３０秒）した。湿った誘電体層を９０℃で２分間プリベークし、続いて周囲条件下にて約６０ｍＪ／ｃｍ２の線量で、３６５ｎｍで照射することによりＵＶ硬化させた。金のゲート電極（厚さ約８０ｎｍ）を誘電体層上でシャドウマスクを介して蒸発させた。
【０１３２】
トップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタを、Keithley 4200-SCS半導体特性評価システムを使用して測定した。
【０１３３】
それぞれ−３Ｖ（三角形）、−３０Ｖ（四角形）のソース電圧Ｖｄｓで、トップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタのゲート電圧Ｖｇｓ（伝達曲線）に対するドレイン電流Ｉｄｓを図１に示す。
【０１３４】
電荷キャリア移動度を、ゲート−ソース間電圧Ｖｇｓに対する平方根ドレイン電流Ｉｄｓ１／２の傾きから飽和領域で抽出した。閾値電圧Ｖｏｎを次の等式を用いて得た：μ＝２Ｉｄｓ／｛（Ｗ／Ｌ）Ｃｉ（Ｖｇｓ−Ｖｏｎ）２｝（式中、Ｃｉは誘電体層の１単位当たりの容量である）。
【０１３５】
有機電界効果トランジスタの電荷キャリア移動度μ、Ｉｏｎ／Ｉｏｆｆ比、及びオンセット電圧Ｖｏｎの平均値を第１表に示す。
【表１】
0006744298.tif 000070
【０１３６】
実施例１７
ポリマーＰｂから形成された誘電体層を含むコンデンサの製造
実施例８に記載される通りに調製したポリマーＰｂの酢酸ブチル溶液６０ｍｇ／ｍｌを、０．４５マイクロメートルのフィルターで濾過し、スピンコーティング（１０００ｒｐｍ、３０秒）によりインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）電極で予め被覆した清浄なガラス基材上に適用した。湿った誘電体層を、ホットプレート上で、９０℃で２分間乾燥させて厚さ約４００ｎｍの層を得た。金電極（面積＝０．７８５ｍｍ２）を、次いでシャドウマスクを介して誘電体層上に１×１０−６トール（１．３×１０−４Ｐａ）未満で真空蒸着した。
【０１３７】
得られたコンデンサ（キャパシタ）を次のように特性決定した：比誘電率をAgilent E4980A Precision LCRメーター（信号振幅１Ｖ）で測定した容量から推測した。
【０１３８】
結果を第２表に示す。
【表２】
0006744298.tif 000071
【０１３９】
実施例１８
ポリマーＰｂから形成された硬化した誘電体層の溶媒溶解に対する安定性
ポリマーＰｂの質量を基準として４質量％の２，７−ビス［２−（４−アジド−２，３，５，６−テトラフルオロ−フェニル）エチニル］−９，９−ジヘキシル−フルオレンを架橋剤として含有する、実施例８に記載される通りに調製したポリマーＰｂの酢酸ブチル中の誘電体溶液８０ｍｇ／ｍｌを使用して架橋試験を行った。この溶液を０．４５マイクロメートルのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターでろ過し、スピンコーティング（１５００ｒｐｍ、３０ｓ）により清浄な二酸化ケイ素基材上に被覆した。湿った誘電体層をホットプレート上で、９０℃で２分間プリベークして厚さ約５００ｎｍの膜を得た。誘電体層を、周囲条件下にて約６０ｍＪ／ｃｍ２の線量を使用して３６５ｎｍのＵＶ線に曝した。ポストベーキングをホットプレート上で、９０℃で２分間行った。誘電体層を酢酸ブチルに１分間浸し、続いて窒素を吹き込み、９０℃で５分間乾燥することにより誘電体層を現像した。誘電体層の厚さを、硬化後に現像前（ｄ１）と現像後（ｄ２）にVeeco Dektak 150を用いて測定し、膜保持率（ｄ２／ｄ１）を得た。平均膜保持率は９７％であった。
【０１４０】
実施例１９
誘電体材料としてポリマーＰｅを含むトップゲート・ボトムコンタクト電界効果トランジスタの製造
金をＰＥＴ基材上にスパッタリングして、厚さ約４０ｎｍの金のソース／ドレイン電極を形成した。国際公開第２０１３／０８３５０６号（WO 2013/083506）の実施例１のジケトピロロピロール半導体ポリマーのトルエン溶液０．７５％（質量／質量）を、０．４５マイクロメートルのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターを通して濾過し、次いでスピンコーティング（１，２００ｒｐｍ、３０秒）により適用した。湿った有機半導体層を、ホットプレート上で、９０℃で６０秒間乾燥させた。ポリマーＰｅの質量を基準として３質量％の２，７−ビス［２−（４−アジド−２，３，５，６−テトラフルオロ−フェニル）エチニル］−９，９−ジヘキシル−フルオレンを架橋剤として含有する、実施例１１に記載される通りに調製したポリマーＰｅの、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）と酢酸ブチル（ＢｕＡｃ）との混合物（７０／３０）の溶液１００ｍｇ／ｍｌを、０．４５マイクロメートルのフィルターで濾過した。
【０１４１】
この溶液を半導体層上にスピンコーティング（２０００ｒｐｍ、３０秒）した。湿った誘電体層を９０℃で２分間プリベークし、続いて周囲条件下にて約１００ｍＪ／ｃｍ２の線量で、３６５ｎｍで照射することによりＵＶ硬化させた。その後、デバイスをＰＧＭＥＡ／ＢｕＡｃ（７０／３０）の溶液で１分間ぬらして誘電体を現像し、（２０００ｒｐｍ、１分）でスピンコーティングして乾燥させ、続いてホットプレート上で、９０℃で５分間ポストベークした。金のゲート電極（厚さ約８０ｎｍ）を誘電体層上でシャドウマスクを介して蒸発させた。
【０１４２】
トップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタを、Keithley 2612Bソースメータを使用して測定した。
【０１４３】
それぞれ−５Ｖ（三角形）、−３０Ｖ（四角形）のソース電圧Ｖｄｓで、トップゲート・ボトムコンタクト（ＴＧＢＣ）電界効果トランジスタのゲート電圧Ｖｇｓ（伝達曲線）に対するドレイン電流Ｉｄｓを図２に示す。
【０１４４】
電荷キャリア移動度を、ゲート−ソース間電圧Ｖｇｓに対する平方根ドレイン電流Ｉｄｓ１／２の傾きから飽和領域で抽出した。閾値電圧Ｖｏｎを以下の式を用いて求めた：μ＝２Ｉｄｓ／｛（Ｗ／Ｌ）Ｃｉ（Ｖｇｓ−Ｖｏｎ）２｝（式中、Ｃｉは誘電体層の１単位当たりの容量であり、Ｗ／Ｌは２５である）。誘電体の厚さを、プロフィロメーターにより４６８ｎｍまで測定した。
【０１４５】
有機電界効果トランジスタの電荷キャリア移動度μ、Ｉｏｎ／Ｉｏｆｆ比、及びオンセット電圧Ｖｏｎの平均値を第３表に示す。
【表３】
0006744298.tif 000072
【０１４６】
実施例２０
誘電体材料としてのポリマーＰｅを含むコンデンサの製造
実施例１１に記載される通りに調製したポリマーＰｅの、ＰＧＭＥＡ／ＢｕＡｃ（７０／３０）溶液１００ｍｇ／ｍｌを０．４５マイクロメートルのフィルターで濾過し、スピンコーティング（２０００ｒｐｍ、３０秒間）によりインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）電極で予め被覆した清浄なガラス基材上に適用した。湿った誘電体層を９０℃で２分間乾燥して厚さ約５５０ｎｍの層を得た。次に金電極（面積＝３．０ｍｍ２）を、シャドウマスクを介して誘電体層上に１×１０−５ミリバール未満で真空蒸着した。
【０１４７】
得られたコンデンサ（キャパシタ）を次のように特性決定した：比誘電率をAgilent 4284A Precision LCRメーター（信号振幅１Ｖ）で測定した容量から推測した。
【０１４８】
結果を第４表に示す。
【表４】
0006744298.tif 000073
【０１４９】
実施例２１
ポリマーＰｅから形成された硬化した誘電体層の溶媒溶解に対する安定性
ポリマーＰｅの質量を基準として４質量％の２，７−ビス［２−（４−アジド−２，３，５，６−テトラフルオロ−フェニル）エチニル］−９，９−ジヘキシル−フルオレンを架橋剤として含有する、ポリマーＰｅ（Ｍｗ１３００００）の酢酸ブチル中の誘電体溶液４０ｍｇ／ｍｌを使用して架橋試験を行った。この溶液を０．４５マイクロメートルのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターでろ過し、スピンコーティング（３５００ｒｐｍ、３０ｓ）により清浄な二酸化ケイ素基材上に被覆した。湿った誘電体層をホットプレート上で、９０℃で２分間プリベークして厚さ５２０ｎｍの膜を得た。酸素の存在下にて周囲条件下で３６５ｎｍ（放射線量６０ｍＪ／ｃｍ２）を使用して硬化する前にシャドウマスクを誘電体層の上に整列させた。膜を酢酸ブチルに１分間浸漬し、続いて窒素を吹き込み、９０℃で５分間加熱することにより硬化した膜を現像した。誘電体層の厚さを、硬化後に現像前（ｄ１）と現像後（ｄ２）にVeeco Dektak 150を用いて測定し、膜保持率（ｄ２／ｄ１）を得た。平均膜保持率は９４％であった。
【０１５０】
比較例１
ポリスチレンから形成された硬化した誘電体層の溶媒溶解に対する安定性
ポリスチレンの質量を基準として４質量％の２，７−ビス［２−（４−アジド−２，３，５，６−テトラフルオロ−フェニル）エチニル］−９，９−ジヘキシル−フルオレンを架橋剤として含有する、ポリスチレン（Ｍｗ約２００００００、Pressure Chemicalsにより供給）の酢酸ブチル中の誘電体溶液４０ｍｇ／ｍｌを使用して架橋試験を行った。この溶液を０．４５マイクロメートルのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターでろ過し、スピンコーティング（３５００ｒｐｍ、３０ｓ）により清浄な二酸化ケイ素基材上に被覆した。湿った誘電体層を、ホットプレート上で、９０℃で２分間プリベークして厚さ５２０ｎｍの膜を得た。酸素の存在下にて周囲条件下で３６５ｎｍ（放射線量６０ｍＪ／ｃｍ２）を使用して硬化する前にシャドウマスクを誘電体層の上に整列させた。膜を酢酸ブチルに１分間浸漬し、続いて窒素を吹き込み、９０℃で５分間加熱することにより硬化した膜を現像した。誘電体層の厚さを、硬化後に現像前（ｄ１）と現像後（ｄ２）にVeeco Dektak 150を用いて測定し、膜保持率（ｄ２／ｄ１）を得た。平均膜保持率は５０％であった。
【０１５１】
実施例２１及び比較例１は、ポリマーを周囲条件下で適用し、硬化し、現像する際に、ポリマーＰｅから形成された硬化した誘電体層の溶媒溶解に対する安定性が、ポリスチレン（Ｍｗ約２，０００，０００、Pressure Chemicalsにより供給）からの硬化した誘電体層の溶媒溶解に対する安定性よりも高いことを示す。
【図１】
0006744298.tif 000081
【図２】
0006744298.tif 000082