(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
当接部材と機械的に当接させずに基板を基板搬送経路上に予め設定された停止ポイントに停止させるストッパレス基板停止装置であって、
前記基板を前記基板搬送経路に沿って搬送する搬送コンベアと、
前記搬送コンベアの搬送動作とその停止を行う、ブレーキを有したブレーキ付モータと、
前記停止ポイントに設けられ、前記停止ポイントに基板が到着しているか否かを検出する停止センサと、
前記停止ポイントよりも上流側に設定された中間ポイントに搬送途中の基板が到着しているか否かを検出する中間センサと、
前記停止センサ及び前記中間センサの検出に基づいて前記ブレーキ付モータによる前記搬送コンベアの駆動を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、基板搬送を開始した時点から当該基板が前記中間ポイントよりも上流側を移動している間に、予め高速側に設定された第１の速度まで搬送速度を加速して当該基板を当該第１の速度で中間ポイントに搬送し、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出してから前記停止ポイントに到着するよりも前までに、当該基板が急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度に搬送速度を減速し、当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出したときに、前記ブレーキ付モータのブレーキの作動によって前記搬送コンベアの搬送動作を急停止させる、ことを特徴とするストッパレス基板停止装置。
【請求項２】
請求項１に記載のストッパレス基板停止装置において、
前記制御装置は、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを前記中間センサが検出した後、前記ブレーキ付モータの制動を準備するのに要する時間に対応する距離を基板が移動した後で減速動作を開始するように、前記ブレーキ付モータによる前記搬送コンベアの駆動を制御する
ことを特徴とするストッパレス基板停止装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のストッパレス基板停止装置と、
前記ストッパレス基板停止装置の搬送コンベア上に間隔を隔てて設定される第１の実装作業位置及び第２の実装作業位置と、
前記第１の実装作業位置及び前記第２の実装作業位置の一方から他方に基板の搬送方向を設定するように構成された設定手段と
を備え、前記ストッパレス基板停止装置は、第１の実装作業位置及び第２の実装作業位置ごとに前記停止センサと前記中間センサとを備えている
ことを特徴とする部品実装装置。
【請求項４】
当接部材と機械的に当接させずに、ブレーキを有したブレーキ付モータによる搬送コンベアの駆動によって搬送されている基板を、基板搬送経路上に予め設定された停止ポイントに停止させる基板停止方法であって、
基板搬送を開始した時点から当該基板が前記停止ポイントよりも上流側に設定された中間ポイントよりも上流側を移動している間に、予め高速側に設定された第１の速度まで搬送速度を加速して当該基板を当該第１の速度で中間ポイントに搬送するステップと、
当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出するステップと、
当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出してから前記停止ポイントに到着するよりも前までに、当該基板が急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度に搬送速度を減速するステップと、
減速後に当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出するステップと、
当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出したときに、前記ブレーキ付モータのブレーキの作動によって前記搬送コンベアの搬送動作を急停止させるステップと
を備えていることを特徴とする基板停止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストッパレス基板停止装置および部品実装装置並びに基板停止方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板を所定位置に搬送して位置決めするための搬送装置を開示している。同搬送装置は、搬送コンベアに搬送される基板を目的位置に位置決めするために、当該基板と機械的に当接するストッパと、基板がストッパに当接したことを検出する位置決め検出器と、基板が搬送を開始する搬送開始位置と搬送を終了する目的位置の途中の所定位置に到着したことを検出するための到着検出器とを備えており、前記位置決め検出器および到着検出器からの検出信号に応じて、基板の到着が遅れた場合や、基板がストッパからはね返った場合の補正動作を行い、前記駆動装置の駆動を制御するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３２６８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、電子部品の高集積化のために、ウエハステージ上に保持されたダイシング済みのウエハからベアチップ（半導体チップ）を取出して基板上に実装する部品実装装置が知られている。かかる部品実装装置において、近年の製品では、ベアチップのバンプが相当小さく（例えば、３０μｍ〜５０μｍ）、フラックスを塗布して止めていても、僅かな振動や衝撃で位置ずれ等を来す恐れがある。そのため、従来のように、ストッパを用いて基板を当接させる方法では、停止時にベアチップが移動したり、落下したりする恐れがある。
【０００５】
一方、多品種少量生産等に対応するため、基板への高速装着化、高精度装着化のために、プリント基板を所定位置に、迅速にかつ高精度で搬送して位置決めする要請は益々高まっている。
【０００６】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、基板に衝撃を与えることなく精緻かつ可及的に高速に停止することのできるストッパレス基板停止装置および部品実装装置並びに基板停止方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、当接部材と機械的に当接させずに基板を基板搬送経路上に予め設定された停止ポイントに停止させるストッパレス基板停止装置であって、前記基板を前記基板搬送経路に沿って搬送する搬送コンベアと、前記搬送コンベアの搬送動作とその停止を行う、ブレーキを有したブレーキ付モータと、前記停止ポイントに設けられ、前記停止ポイントに基板が到着しているか否かを検出する停止センサと、前記停止ポイントよりも上流側に設定された中間ポイントに搬送途中の基板が到着しているか否かを検出する中間センサと、前記停止センサ及び前記中間センサの検出に基づいて前記ブレーキ付モータによる前記搬送コンベアの駆動を制御する制御装置と、を備える。前記制御装置は、基板搬送を開始した時点から当該基板が前記中間ポイントよりも上流側を移動している間に、予め高速側に設定された第１の速度まで搬送速度を加速して当該基板を当該第１の速度で中間ポイントに搬送し、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出してから前記停止ポイントに到着するよりも前までに、当該基板が急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度に搬送速度を減速し、当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出したときに、前記ブレーキ付モータのブレーキの作動によって前記搬送コンベアの搬送動作を急停止させる、ことを特徴とするストッパレス基板停止装置である。
【０００８】
また、本発明の別の態様は、当接部材と機械的に当接させずに、ブレーキを有したブレーキ付モータによる搬送コンベアの駆動によって搬送されている基板を、基板搬送経路上に予め設定された停止ポイントに停止させる基板停止方法であって、基板搬送を開始した時点から当該基板が前記停止ポイントよりも上流側に設定された中間ポイントよりも上流側を移動している間に、予め高速側に設定された第１の速度まで搬送速度を加速して当該基板を当該第１の速度で中間ポイントに搬送するステップと、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出するステップと、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを検出してから前記停止ポイントに到着するよりも前までに、当該基板が急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度に搬送速度を減速するステップと、減速後に当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出するステップと、当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出したときに、前記ブレーキ付モータのブレーキの作動によって前記搬送コンベアの搬送動作を急停止させるステップとを備えていることを特徴とする基板停止方法である。
【０００９】
これらの態様では、基板搬送を開始した時点から当該基板が前記中間ポイントよりも上流側を移動している間に、高速側の第１の速度で基板が搬送されるので、可能な限り、基板を高速で搬送することが可能になる。しかも、搬送されている基板が所定の中間ポイントに到着した後は、当該基板が停止ポイントに到着するよりも前までに、搬送速度が低速側の第２の速度に減速される。この第２の速度は、基板が急停止しても滑りが生じない速度に設定され、停止センサが減速された基板を検出したときに当該基板が停止する。そのため、ストッパ等による機械的な当接を要することなく基板を停止ポイントに停止させることができる。
【００１０】
好ましい態様のストッパレス基板停止装置において、前記制御装置は、当該基板が前記中間ポイントに到着したことを前記中間センサが検出した後、前記ブレーキ付モータの制動を準備するのに要する時間に対応する距離を基板が移動した後で減速動作を開始するように、前記ブレーキ付モータによる前記搬送コンベアの駆動を制御する。この態様では、停止センサと中間センサとの間に設けられる所定距離だけ高速で基板が移動した後、減速搬送が開始されるので、ロバストな搬送制御、すなわち、安定性の高い搬送制御を実現することができる。高速側の第１の速度から低速側の第２の速度に減速するときの減速度は、個々の装置の仕様要求に応じて、ユーザが任意に設定することが可能である。そのため、高速側の第１の速度から減速を開始する場合において、何らかの原因で中間センサが基板を検出したときの速度が第１の速度よりも高速になっていたときや、低速側の第２の速度の減速度が低いときには、その直後に減速を開始しても所望の速度に減速させることができない恐れがある。これに対し、本態様では、ブレーキ付モータの制動を準備するのに要する時間に対応する距離を基板が移動した後に減速するので、中間センサが基板を検出したときの速度が第１の速度よりも高速になっていたときや、低速側の第２の速度の減速度が低いときにおいても、搬送制御の安定性を高めることができるのである。また、可及的に高速で基板を搬送できるので、搬送時間の短縮や高速化に寄与することができる。
【００１１】
本発明のさらに別の態様は、前記ストッパレス基板停止装置と、前記ストッパレス基板停止装置の搬送コンベア上に間隔を隔てて設定される第１の実装作業位置及び第２の実装作業位置と、前記第１の実装作業位置及び前記第２の実装作業位置の一方から他方に基板の搬送方向を設定するように構成された設定手段とを備え、前記ストッパレス基板停止装置は、第１の実装作業位置及び第２の実装作業位置ごとに前記停止センサと前記中間センサとを備えていることを特徴とする部品実装装置である。この態様では、バンプを有する電子部品が実装された基板を搬送する際に、基板を第１の実装作業位置から第２の実装作業位置に搬送する場合においても、第２の実装作業位置から第１の実装作業位置に搬送する場合においても、同様に基板をストッパレスで停止させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明によれば、基板の搬送開始後は、高速側の第１の速度Ｖ１で基板を搬送し、搬送速度の迅速化を図ることができるとともに、搬送されている基板が所定の中間ポイントに到着した後は、基板が急停止しても滑りが生じない第２の速度Ｖ２で基板が減速され、その後は、ストッパ等による機械的な当接を要することなく基板を停止ポイントに停止させることができるので、基板に衝撃を与えることなく精緻かつ可及的に高速に停止することができるという顕著な効果を奏する。
【００１３】
本発明のさらなる特徴、目的、構成、並びに作用効果は、添付図面と併せて読むべき以下の詳細な説明から容易に理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の一形態におけるストッパレス基板停止装置を含む部品実装装置の平面略図である。
【図２】図１の部品実装装置の動作を概略的に記載した説明図である。
【図３】図１の実施形態に係る搬送コンベアのモータの制御処理を示すフローチャートである。
【図４】図３の制御処理を実行したときの説明図であり、（Ａ）〜（Ｃ）は、基板の搬送過程を示す平面略図、（Ｄ）〜（Ｈ）は、同搬送過程における経過時間と搬送速度との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１６】
本実施形態に係る部品実装装置Ｍは、ダイシングされたウエハＷからベアチップＣを取り出してプリント配線板（ＰＷＢ；Printed Wiring Board）等の基板Ｐ上に実装（搭載）するとともに、電子部品等を基板Ｐ上に実装することが可能ないわゆる複合型の装置である。そして、本実施形態に係る部品実装装置Ｍは、後述するように、ストッパ等による当接部材と機械的に当接させずに基板Ｐを基板搬送経路ＰＨ上に予め設定された停止ポイントＰＴ０に停止させるストッパレス基板停止装置Ａを備えている。
【００１７】
なお、以下の説明では、方向を明確にするため、部品実装装置Ｍが加工する基板Ｐを搬送する水平方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平方向をＹ軸方向とするＸＹ直角座標系を用いることとする。また、Ｙ軸方向の一方（図１の下側に対応する方向）を仮に前方とする。
【００１８】
図１を参照して、部品実装装置Ｍは、Ｙ軸方向に長く延びる平面視略長方形の基台１を有し、この基台１の幅方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる搬送コンベア２を有している。
【００１９】
搬送コンベア２は、モータ３で駆動される一対のベルトコンベアで具体化されている。モータ３は、ベルトコンベアを双方向に駆動することができ、図１の右から左にも左から右にも基板Ｐを搬送し得る。本実施形態では、基板Ｐが左から右に搬送されるものとする。搬送コンベア２には、搬送方向に間隔を隔てた二つの実装作業位置Ｓ１、Ｓ２が基板搬送経路上に設定される。
【００２０】
基台１の上には、搬送コンベア２の前方に配置されたウエハ収納装置１０と、搬送コンベア２の後方に配置され、ウエハ収納装置１０からウエハＷを受け取って支持するウエハ支持装置１１と、ウエハ支持装置１１のウエハヘッド１２からベアチップＣを受け取る吸着ノズル１４を有する部品実装ユニット１３と、吸着ノズル１４が受け取ったベアチップＣのバンプ形成面を撮像する固定カメラ１５と、撮像後のベアチップＣのバンプ形成面にフラックスを塗布するフラックス塗布装置１６と、ベアチップＣの実装後に実装される電子部品を供給する電子部品供給装置１７とを備えている。
【００２１】
図２を参照して、ウエハＷのベアチップＣを基板Ｐに実装する場合、部品実装装置Ｍは、概略的には、ウエハ支持装置１１により実装対象のベアチップＣを取り出し、ウエハ支持装置１１（図１参照）のウエハヘッド１２にベアチップＣを吸着し、保持する。次に、このウエハヘッド１２は、回動してベアチップＣを反転（フリップ）し、ベアチップＣを所定の受け渡し位置に配置する。これに対応して、部品実装ユニット１３の吸着ノズル１４が受け渡し位置の上方で受け渡し高さ位置まで下降されて、ベアチップＣが吸着される。
【００２２】
ベアチップＣが吸着された後、部品実装ユニット１３がフラックス塗布装置１６の上方に移動される。部品実装ユニット１３の吸着ノズル１４が転写高さ位置まで下降されて、ベアチップＣのバンプ形成面にフラックスが転写（塗布）される。その後、部品実装ユニット１３が、固定カメラ１５の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル１４に吸着されたベアチップＣのバンプ形成面が撮像される。これにより、ベアチップＣのバンプ形成面の不良判定や、吸着位置ずれの認識が行われる。なお、この転写動作と撮像動作とは、順序が逆になる場合もある。すなわち、転写前の状態の方が良好に撮像（画像認識）を行える場合には、撮像動作が先に実施される。
【００２３】
撮像後、部品実装ユニット１３がさらに移動され、搬送コンベア２に設定されている実装作業位置（第１の実装装置Ｓ１、又は第２の実装作業位置Ｓ２）に保持された基板Ｐの上方で吸着ノズル１４が実装高さ位置まで下降されて、ベアチップＣが基板Ｐ上に載置（実装）される。
【００２４】
また、電子部品供給装置１７（図１参照）の供給部品を実装する場合、部品実装ユニット１３が電子部品供給装置１７の所定の部品取出位置の上方に移動される。そして、吸着ノズル１４が下降されて電子部品が取り出される。その後、部品実装ユニット１３が、固定カメラ１５の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル１４に吸着された電子部品の下面が撮像される。そして、部品実装ユニット１３が基板Ｐの上方に移動される。その後、吸着ノズル１４が下降されて、電子部品が基板Ｐ上に載置（実装）される。なお、ベアチップＣがキャリアテープに個別収納され電子部品供給装置１７から供給される場合には、電子部品供給装置１７からベアチップＣが取り出された後、図１に示すように転写および撮像が実施され、基板Ｐ上にベアチップＣが載置（実装）される。
【００２５】
なお、上述した各機構のさらに詳細な構成等については、例えば本件出願人が先に提案した出願（例えば特開２０１４−２０３９１６号公報）に詳細に記載されているので、その詳細については省略する。
【００２６】
上述した各部の制御は、制御装置２０によって制御される。制御装置２０は、ＣＰＵや各種メモリ、ＨＤＤ等を備えている。この制御装置２０には、図外の入力装置が電気的に接続されており、オペレータによる各種情報がこの入力装置の操作に基づき入力される。また、制御装置２０には、モータ３等の各種駆動モータに内蔵される図外のエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号も入力される。さらに制御装置２０には、搬送コンベア２のモータ３を含む各種駆動モータ、固定カメラ１５等がそれぞれ電気的に接続されている。よって、制御装置２０は、搬送コンベア２をはじめとする各機構の動作を統括的に制御することができる。なお、制御装置２０には、設定手段としての設定部２１が機能的に設けられており、この設定部２１によって、制御装置２０は、第１の実装作業位置Ｓ１及び第２の実装作業位置Ｓ２の一方から他方に基板Ｐの搬送方向を設定するように構成されている。具体的には、モータ３の回転方向が右回り又は左回りに択一的に設定され、関連する部位の上流側及び下流側の関係が逆に変更され、前後方向の関係が同一となるように設定される。また、制御装置２０は、本実施形態におけるストッパレス基板停止装置Ａの制御装置でもある。
【００２７】
制御装置２０による搬送コンベア２の制御のため、搬送コンベア２には、それぞれの実装作業位置Ｓ１、Ｓ２ごとに二つの一組のセンサＤｓ、Ｄｉが設けられている。
【００２８】
まず、一方のセンサとして、各実装作業位置Ｓ１、Ｓ２には、停止センサＤｓが設けられている。停止センサＤｓは、基板Ｐが所定の停止ポイントＰＴ０、すなわち第１、第２の実装作業位置Ｓ１、Ｓ２に基板Ｐが到着していることを確認できる位置に到着したときにこれを検知し、検出結果を制御装置２０に出力する。制御装置２０は、停止センサＤｓの検出に基づいて、モータ３を制動し、基板Ｐを停止する。この停止センサＤｓが基板Ｐを検出する位置は、本実施形態における停止ポイントＰＴ０の一例である。
【００２９】
他方のセンサは、中間センサＤｉである。中間センサＤｉは、停止センサＤｓの上流側に設けられている。中間センサＤｉは、基板Ｐの搬送を開始した後、この基板Ｐが搬送経路途中の所定位置（それぞれの実装作業位置Ｓ１、Ｓ２における停止ポイントＰＴ０よりも上流側の所定位置）に到着したときにこれを検知し、検出結果を制御装置２０に出力する。制御装置２０は、中間センサＤｉの検出に基づいて、モータ３の速度を減速する。すなわち、搬送を開始した後、最初は、基板Ｐへの振動等が問題にならない限りにおいてできるだけ加速し、処理速度を速めるように、高速側の速度Ｖ１で基板Ｐが搬送される。その後、中間センサＤｉが基板Ｐを検出した後、所定の移動距離（以下、この距離を「残高速移動距離」という）をとった後、減速を開始するようにしている。残高速移動距離は、標準の設定で必要な距離よりも長い距離に設定される。また、この残高速移動距離は、モータの制動を準備するための距離であってもよい。残高速移動距離を設けることにより、本実施形態では、ロバストな搬送制御、すなわち、安定性の高い搬送制御を実現することができる。高速側の第１の速度Ｖ１から低速側の第２の速度Ｖ２に減速するときの減速度は、個々の装置の仕様要求に応じて、ユーザが任意に設定することが可能である。そのため、高速側の第１の速度Ｖ１から減速を開始する場合において、何らかの原因で中間センサＤｉが基板Ｐを検出したときの速度が高速側の速度Ｖ１よりもさらに高速になっていたときや、低速側の第２の速度の減速度が低いときには、その直後に減速を開始しても所望の速度に減速させることができない恐れがある。これに対し、本実施形態では、残高速移動距離において、標準の設定で必要な距離よりも長い距離を移動した後に減速するので、中間センサＤｉが基板Ｐを検出したときの速度が第１の速度Ｖ１よりも高速になっていたときや、低速側の第２の速度Ｖ２の減速度が低いときにおいても、搬送制御の安定性を高めることができるのである。また、減速後の第２の速度Ｖ２は、基板Ｐを急停止しても振動等によって、基板Ｐや基板上のベアチップＣに影響を与えないレベル、すなわち、基板Ｐを急停止しても振動等によって、基板や基板上のベアチップＣに影響を与えないレベルの低速側の速度に設定される。これにより、ストッパを用いなくても、モータ３の制動のみによって、高い精度で基板Ｐを停止することができる。
【００３０】
一方、本実施形態においては、基板Ｐを停止するためのストッパは設けられていない。これは、特に、上流側の第１実装作業位置Ｓ１で実装されたベアチップＣが、フラックスによって基板Ｐ上に留まっている仕様になっているため、ストッパを基板Ｐに当接させることによって生じるベアチップＣの位置ずれ等の発生を防止するためのものである。
【００３１】
ストッパを用いずに基板Ｐを各実装作業位置Ｓ１、Ｓ２に停止するため、制御装置２０には、次のような手順でモータ３を制動する構成が採用されている。
【００３２】
図３及び図４を参照して、制御装置２０にプログラムされている搬送コンベア２のモータの制御処理が実行されると、まず、制御装置２０は、モータ３の駆動を開始する（ステップＳＴ１）。この処理が実行されると、基板Ｐは、図４（Ａ）の破線で示す位置から下流側（図４の左から右）に向かって進行する。図４（Ｄ）のグラフに示すように、モータ３は、出発時点から基板Ｐの搬送速度を高め、搬送速度が高速側の第１の速度Ｖ１に達した後は、等速で基板Ｐを搬送する。第１の速度Ｖ１は、上述のように、基板Ｐへの振動等が問題にならない限りにおいてできるだけ加速し、処理速度を速めるように高速側に設定された速度であり、これによって可及的速やかに基板Ｐを搬送することが可能となる。
【００３３】
次いで、制御装置２０は、中間センサＤｉが基板を検出するのを判別し（ステップＳＴ２）、基板Ｐが検出されるのを待機する。図４（Ａ）（Ｄ）の例では、基板Ｐがタイミングｔ１で検出されたことを示している。
【００３４】
本実施形態の例では、制御装置２０は、残高速移動距離だけ移動するまで、残高速移動距離に対応した残高速移動期間Ｔ１の間、第１の速度Ｖ１を維持するようにモータ３を制御する（図４（Ｂ）（Ｅ）参照）。残高速移動期間Ｔ１は、図４（Ｅ）に示すように、中間センサＤｉが基板Ｐを検出したタイミングｔ１から予め定められた残高速移動距離だけ進行した後のタイミングｔ２までに移動した期間をいう。
【００３５】
この制御装置２０は、基板Ｐが残高速移動期間Ｔ１だけ移動したか否かを判別する（ステップＳＴ３）。この処理は、例えば、中間センサＤｉが基板Ｐを検出した後にモータ３を駆動した駆動量、モータ３を駆動した時間を計測する手段で実現可能である。このように基板Ｐが残高速移動期間Ｔ１だけ移動したか否かを計測する計測手段として、当該処理を実行するプログラムを制御装置２０に設けたり、中間センサＤｉと停止センサＤｓとの間に残高速移動距離を計測する別のセンサ等を設けたりしてもよい。
【００３６】
中間センサＤｉによる検出後、基板Ｐがさらに残高速移動期間Ｔ１だけ移動したと判別すると、制御装置２０は、減速運転を開始する（ステップＳＴ４）。この減速運転では、モータ３の回転数を一定の勾配で減速し、所定の第２の速度Ｖ２まで減速する。上述したように、第２の速度Ｖ２は、基板Ｐを急停止しても振動等によって、基板や基板上のベアチップＣに影響を与えないレベルの低速側の速度である。この減速過程で基板Ｐが停止ポイントＰＴ０に到着しないように、中間センサＤｉの検出位置（中間ポイントＰＴ１）、残高速移動期間Ｔ１、減速期間（減速を開始するタイミングｔ２から減速を終了するタイミングｔ３までの期間）が、基板Ｐや搬送コンベア２の仕様に基づき、或いは必要に応じて実験等により適切に設定される。この結果、基板Ｐは、所定の減速期間Ｔ２の間減速を続け、その後は、第２の速度Ｖ２で定速移動を続ける。
【００３７】
その後、制御装置２０は、停止センサＤｓが基板Ｐを検出したか否かを判別し（ステップＳＴ５）、停止センサＤｓが基板Ｐを検出するまで待機する。そして、当該基板が前記停止ポイントに到着したことを検出したときに、搬送動作を停止する（ステップＳＴ６）。この停止動作は、単にモータ３を止めるだけでもよいが、ブレーキ付モータ等を採用して、ブレーキで急停止させることが好ましい。そのような急停止動作によっても、基板Ｐは、相当な低速Ｖ２で移動しているので、基板Ｐ自身は、勿論、基板Ｐに上に実装されたベアチップＣにも影響は生じなくなる。これにより、基板Ｐは、比較的精緻に停止ポジションＰＴ０に停止され、部品実装位置ＳＴ２に位置決めされる。
【００３８】
基板Ｐは、その個体差等により、種々の態様で到着する。
【００３９】
図４（Ｆ）のグラフに示すように、基板Ｐが設定通りに到着した場合、タイミングｔ３から所定のマージン期間Ｔ３を経た後、基板Ｐが停止センサＤｓに検出され（ステップＳＴ２において、ＹＥＳの場合）、モータ３が制動されて基板Ｐは、タイミングｔ４で停止する。このタイミングｔ３からタイミングｔ４までのマージン期間Ｔ１は、制動時における滑りを吸収するバッファ機能を奏する。
【００４０】
これは、仮に図４（Ｇ）に示すように、進みが生じて、設定されていたタイミングよりも早いタイミング（図示の例では、タイミングｔ５）で停止センサＤｓが基板Ｐを検出した場合でも、問題なく基板Ｐを停止できるようにするためである。
【００４１】
またこれとは逆に、仮に図４（Ｈ）に示すように、遅れが生じて、設定されていたタイミングよりも遅いタイミング（図示の例では、タイミングｔ６）で停止センサＤｓが基板Ｐを検出した場合には、依然、問題なく基板Ｐを停止することが可能となる。
【００４２】
以上説明したように、本実施形態の部品実装装置Ｍは、ストッパ等の当接部材と機械的に当接させずに基板Ｐを基板搬送経路ＰＨ上に予め設定された停止ポイントＰＴ０（本実施形態の例では、停止センサＤｓの配置された位置）に停止させるストッパレス基板停止装置Ａを備えている。同停止装置Ａは、基板Ｐを基板搬送経路ＰＨに沿って搬送する搬送コンベア２と、停止ポイントＰＴ０に基板Ｐが到着しているか否かを検出する停止センサＤｓと、基板搬送経路ＰＨにおいて停止センサＤｓよりも上流側に設定された中間ポイントＰＴ１（本実施形態の例では、中間センサＤｉが配置されている位置）ＰＴに搬送途中の基板Ｐが到着しているか否かを検出する中間センサＤｉと、停止センサＤｓ及び中間センサＤｉの検出に基づいて搬送コンベア２の駆動を制御する制御装置２０を備えている。
【００４３】
制御装置２０は、基板Ｐの搬送を開始した時点から当該基板Ｐが中間ポイントＰＴ１よりも上流側を移動している間に、予め高速側に設定された第１の速度Ｖ１まで基板Ｐの搬送速度を加速し、当該基板Ｐが第１の速度Ｖ１に到達した後は、当該速度Ｖ１で基板Ｐを搬送させる。さらに、制御装置２０は、この搬送過程にある基板Ｐが中間ポイントＰＴ１に到達したことを中間センサＤｉが検出した後は、当該基板Ｐが停止ポイントＰＴ０に到着するよりも前（タイミングｔ３）までに、当該基板Ｐが急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度Ｖ２に基板Ｐの搬送速度を減速させる。そして、制御装置２０は、停止センサＤｓが基板Ｐを検出したときに、当該基板Ｐが停止するように搬送コンベア２の搬送動作を停止させる。
【００４４】
かかる構成により、本実施形態は、基板搬送を開始した時点から当該基板が中間ポイントＰＴ１よりも上流側を移動している間に、第１の速度Ｖ１まで搬送速度を加速して当該基板Ｐを当該第１の速度Ｖ１で中間ポイントＰＴ１に搬送するステップＳＴ１と、当該基板Ｐが中間ポイントＰＴ１に到着したことを検出するステップＳＴ２と、当該基板Ｐが中間ポイントＰＴ１に到着したことを検出してから停止ポイントＰＴ０に到着するよりも前までに、当該基板Ｐが急停止しても滑りが生じない低速側の第２の速度Ｖ２に搬送速度を減速するステップＳＴ４と、減速後に当該基板Ｐが停止ポイントＰＴ０に到着したことを検出するステップＳＴ５と、当該基板Ｐが停止ポイントＰＴ０に到着したときに搬送動作を停止するステップＳＴ６とを実行する基板停止方法を実現することができる。
【００４５】
このため本実施形態では、基板Ｐの搬送を開始した時点から当該基板が中間ポイントＰＴ１よりも上流側を移動している間に、高速側の第１の速度Ｖ１で基板Ｐが搬送されるので、可能な限り基板Ｐを高速で搬送することが可能になる。しかも、搬送されている基板Ｐが所定の中間ポイントＰＴ１に到着してから停止ポイントＰＴ０に到着するよりも前までに、搬送速度が低速側の第２の速度Ｖ２に減速される。この第２の速度Ｖ２は、基板Ｐが急停止しても滑りが生じない速度に設定され、停止センサＤｓが減速された基板Ｐを検出したときに当該基板Ｐが停止する。そのため、図４（Ｆ）の場合のように、正常な停止態様の場合は、もちろん、基板Ｐの搬送が進みすぎた場合（図４（Ｇ）の場合）や、基板Ｐの搬送が遅れている場合（図４（Ｈ）の場合）においても、ストッパを用いることなく高い精度で基板Ｐを第１の実装作業位置Ｓ１又は第２の実装作業位置Ｓ２に停止することができる。
【００４６】
また、本実施形態のストッパレス基板停止装置Ａにおいて、制御装置２０は、中間センサＤｉが搬送過程にある基板Ｐを検出した後、搬送コンベア２が予め設定される残高速移動期間Ｔ１だけ当該基板Ｐを第１の速度Ｖ１で搬送した後で減速動作を開始するように搬送コンベア２を制御するように構成されている。このため本実施形態では、停止センサＤｓと中間センサＤｉとの間に設けられる所定距離だけ高速で基板Ｐが移動した後（タイミングｔ２経過後）、減速搬送が開始されるので、中間センサＤｉが基板Ｐを検出したときの速度が第１の速度Ｖ１よりも高速になっていたときや、低速側の第２の速度Ｖ２の減速度が低いときにおいても、ロバストな搬送制御、すなわち、安定性の高い搬送制御を実現することができる。また、可及的に高速で基板Ｐを搬送できるので、搬送時間の短縮や高速化に寄与することができる。
【００４７】
また本実施形態は、上述のようなストッパレス基板停止装置Ａを備えた部品実装装置Ｍである。同部品実装装置Ｍは、ストッパレス基板停止装置Ａの搬送コンベア２上に間隔を隔てて設定される第１の実装作業位置Ｓ１及び第２の実装作業位置Ｓ２と、第１の実装作業位置Ｓ１及び第２の実装作業位置Ｓ２の一方から他方に基板Ｐの搬送方向を設定するように構成された設定手段としての設定部２１とを備えている。このような態様において、本実施形態に係る部品実装装置Ｍに構成されるストッパレス基板停止装置Ａは、第１及び第２の実装作業位置Ｓ１、Ｓ２ごとに停止センサＤｓと中間センサＤｉとを備えている。このため本実施形態では、バンプを有する電子部品が実装された基板Ｐを搬送する際に、基板Ｐを第１の実装作業位置Ｓ１から第２の実装作業位置Ｓ２に搬送する場合においても、第２の実装作業位置Ｓ２から第１の実装作業位置Ｓ１に搬送する場合においても、同様に基板Ｐをストッパレスで停止させることができる。
【００４８】
すなわち、上述した実施形態では、第１の実装作業位置Ｓ１から第２の実装作業位置Ｓ２に基板Ｐを搬送する場合を例に説明したが、基板Ｐが第２の実装作業位置Ｓから第１の実装作業位置Ｓ１に搬送される場合に、上述のような基板停止方法で基板Ｐを停止するようにしてもよい。また、部品実装装置Ｍから下流側の装置に基板Ｐを搬送する場合でも、下流側の装置に基板停止装置Ａを構成し、同様の方法で基板を制動するようにしてもよい。
【００４９】
その他、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００５０】
Ａ     ストッパレス基板停止装置
Ｍ     部品実装装置
２     搬送コンベア
３     モータ
２０   制御装置
２１   設定部
Ｃ     ベアチップ
Ｄｉ   中間センサ
Ｄｓ   停止センサ
Ｐ     基板
ＰＨ   基板搬送経路
ＰＴ０ 停止ポイント
ＰＴ１ 中間ポイント
Ｓ１   第１の実装作業位置
Ｓ２   第２の実装作業位置
Ｔ１   残高速移動期間
Ｔ２   減速期間
Ｔ３   マージン期間
ｔ１   検出タイミング
ｔ２   減速開始タイミング
ｔ３   減速終了タイミング
ｔ４   正常時の停止タイミング
ｔ５   進み発生時の停止タイミング
ｔ６   遅れ発生時のタイミング
Ｖ１   第１の速度
Ｖ２   第２の速度
Ｗ     ウエハ
【図１】
0006630585.tif 000002
【図２】
0006630585.tif 000003
【図３】
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【図４】
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