(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられ前記第１開口部を密閉するように第１チャンバに接続する第１接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第２開口部を密閉するように第２チャンバに接続する第２接続部と、
を有し、
前記第１接続部が、前記第１開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と、
前記内シール領域よりも前記第１開口部の径方向外側に位置する複数の締結穴と、
前記締結穴よりも前記第１開口部の径方向外側に位置する外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記締結穴に締結される接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第１接続部では、前記弁箱の表面において前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる
ことを特徴とする仕切りバルブ。
【請求項２】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに接触している
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。
【請求項３】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに離間している
ことを特徴とする請求項１または２記載の仕切りバルブ。
【請求項４】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間が形成されている
ことを特徴とする請求項１または２記載の仕切りバルブ。
【請求項５】
仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第１開口部を密閉するように第１チャンバに接続する第１接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第２開口部を密閉するように第２チャンバに接続する第２接続部と、
を有し、
前記第１接続部が、前記第１開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第１開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第１開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第１接続部では、前記弁箱の表面において前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる
ことを特徴とする仕切りバルブ。
【請求項６】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに接触している
ことを特徴とする請求項５記載の仕切りバルブ。
【請求項７】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに離間している
ことを特徴とする請求項５または６記載の仕切りバルブ。
【請求項８】
前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間が形成されている
ことを特徴とする請求項５または６記載の仕切りバルブ。
【請求項９】
前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出するとともに、
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される
ことを特徴とする請求項５または６記載の仕切りバルブ。
【請求項１０】
前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出するとともに、
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される
ことを特徴とする請求項５または６記載の仕切りバルブ。
【請求項１１】
前記弁箱付勢部が、前記第２開口部の周囲に配置される
ことを特徴とする請求項５または６記載の仕切りバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は仕切りバルブに関し、特に振り子バルブに用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空装置等においては、チャンバ、配管、ポンプなどの間で、異なる真空度の２つの空間の間の流路を仕切り、また、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。
【０００３】
このようなバルブとして、バルブの密閉時に、バルブを閉塞する弁体を、流路を遮るように回動し、さらに、弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブが知られている。
本発明者らは、このような仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。
【０００４】
仕切りバルブは、仕切り動作により仕切る流路の上流および下流に対して密閉可能として接続されている。弁箱開口の外側に対してそれぞれが接続される。
この場合、仕切りバルブが流路となるチャンバに対して、非特許文献１に記載される日本工業規格で規定される真空装置用フランジを用いて接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６３５８７２７号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】日本工業規格ＪＩＳ＿Ｂ＿２２９０−１９９８  真空装置用フランジ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、最近は、真空装置での省スペースを図るために、仕切りバルブを流路となるチャンバに対して直接接続することが望まれている。また、依然として非特許文献1に記載される日本工業規格による接続もおこなわれている。このため、仕切りバルブとして、両方の接続様式に対応することが要求されるようになってきた。
【０００８】
また、ＦＰＤ（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ  ｄｉｓｐｌａｙ，フラットパネルディスプレイ）の製造等においては、基板の大型化が進み、これを製造する真空装置においても装置の大型化が著しい。このため、真空装置における個々の部品における小型化が要求されている。しかも、装置の大型化にともない、チャンバの外側における空間が減少したことにより、非特許文献1に記載される日本工業規格による接続では、締結部材の締結ですら困難を来すようになってきた。このため、仕切りバルブを流路となるチャンバに対して直接接続することが望まれている。
【０００９】
さらに、仕切りバルブは、製造に要する時間が長いため、真空装置の設計変更に対応することが求められる。特に、初期設計として、上述した非特許文献1に記載される日本工業規格による接続であったものが、省スペース化のために、仕切りバルブを流路となるチャンバに対して直接接続するように変更する可能性も否定できない。このため、仕切りバルブとして、両方の接続様式に対応することを可能としたいという要求がある。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．二通りの接続方法に対応可能な仕切りバルブを提供すること。
２．装置の省スペース化を図ること。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の仕切りバルブは、仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられ前記第１開口部を密閉するように第１チャンバに接続する第１接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第２開口部を密閉するように第２チャンバに接続する第２接続部と、
を有し、
前記第１接続部が、前記第１開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と、
前記内シール領域よりも前記第１開口部の径方向外側に位置する複数の締結穴と、
前記締結穴よりも前記第１開口部の径方向外側に位置する外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記締結穴に締結される接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第１接続部では、前記弁箱の表面において前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第１開口部を密閉するように第１チャンバに接続する第１接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第２開口部を密閉するように第２チャンバに接続する第２接続部と、
を有し、
前記第１接続部が、前記第１開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第１開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第１開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第１チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第１接続部では、前記弁箱の表面において前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに接触していることができる。
本発明の仕切りバルブが、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに離間していることが好ましい。
本発明の仕切りバルブにおいて、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間が形成されていることが可能である。
本発明においては、前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出するとともに、
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出するとともに、
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記弁箱付勢部が、前記第２開口部の周囲に配置されることができる。
また、本発明の仕切りバルブは、前記シール溝が前記チャンバの表面に形成され、
前記第１接続部では、前記第１チャンバの表面において、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側に比べて前記中空部に近接する方向に突出していることができる。
【００１２】
本発明の仕切りバルブは、仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第１開口部を密閉するように第１チャンバに接続する第１接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第２開口部を密閉するように第２チャンバに接続する第２接続部と、
を有し、
前記第１接続部が、前記第１開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第１開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第１開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有する。
これにより、接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式であっても、接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式であっても、兼用が可能でどちらの接続方式にも対応可能な仕切りバルブを提供することが可能となる。この場合、接続方式によって、内シール領域と外シール領域を切り替えて第１開口部を密閉することができる。
具体的には、接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式においては、接続部材が貫通する貫通孔の外側となる外シール領域によって、弁箱と第１チャンバとのシールをおこなうことができる。また、接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式においては、接続部材が貫通する貫通孔の内側となる内シール領域によって、弁箱と第１チャンバとのシールをおこなうことができる。これらにより、真空装置に対する仕切りバルブの実装時に、どちらの接続方式であっても対応して、同一の仕切りバルブを真空装置に容易に実装することが容易となる。したがって、製造期間の長い仕切りバルブの在庫を削減することが可能となる。
【００１３】
本発明の仕切りバルブは、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに接触している。
これにより、弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに接触するメタルタッチとなる領域に対して、メタルタッチ領域よりも第１開口部に近接した領域で仕切りバルブと第１チャンバとをシールすることが可能となる。
【００１４】
本発明の仕切りバルブが、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面とが互いに離間している。
これにより、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第１チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第１チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
【００１５】
本発明の仕切りバルブにおいて、前記第１接続部では、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間が形成されている。
これにより、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第１チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第１チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することが可能である。
【００１６】
また、本発明において、前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置される。
これにより、接続部材によって弁箱と第１チャンバとを締結することにより第１開口部の周りに周設されたシール部材をその全周で対向する面に押しつけて、弁箱と第１チャンバとをシールすることが可能となる。
【００１７】
本発明の仕切りバルブは、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、
前記第１接続部では、前記弁箱の表面において前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる。
これにより、弁箱における第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間を形成して、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第１チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第１チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
【００１８】
また、本発明の仕切りバルブは、前記シール溝が前記チャンバの表面に形成され、
前記第１接続部では、前記第１チャンバの表面において、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側が、前記第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側に比べて前記中空部に近接する方向に突出している。
これにより、第１チャンバにおける第１開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第１開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第１チャンバの表面との間に隙間を形成して、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第１チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第１チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
【００１９】
本発明においては、前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出するとともに、
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される。
これにより、締結ボルト等とされる接続部材によって弁箱と第１チャンバとを取り付け固定する際に、第１チャンバの内側となる真空側から接続部材を締結して、仕切りバルブと第１チャンバとをシールすることが可能となる。同時に、締結ボルト等とされる接続部材が貫通する貫通孔をシール溝のシール部材よりも真空側として、貫通孔の内部が大気側に連通することを防止して、シール状態を維持することができる。この場合、接続部材は、気抜きボルトとすることができる。
【００２０】
本発明の仕切りバルブは、前記第１接続部では、前記接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出するとともに、
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
これにより、締結ボルト等とされる接続部材によって弁箱と第１チャンバとを取り付け固定する際に、第１チャンバの外側となる大気側から接続部材を締結して、仕切りバルブと第１チャンバとをシールすることが可能となる。この場合、接続部材は、気抜きボルトではない通常の締結ボルトとすることができる。
【００２１】
本発明の仕切りバルブは、前記弁箱付勢部が、前記第２開口部の周囲に配置される。
これにより、油圧駆動とされる弁箱付勢部が、加熱状態であるチャンバから離間した位置において駆動する状態を維持することができ、弁箱付勢部の駆動確実性を維持することが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、接続部材が前記第１チャンバの真空側に露出する接続方式であっても、接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式であっても、仕切りバルブを第１チャンバに接続する際に兼用可能であり、また、真空装置への実装時に仕切りバルブを異なる構造のものに交換することなく、実装をおこなうことが可能となるという効果を奏することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態における一接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。
【図２】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態における他の接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。
【図３】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態における第１接続部を示す拡大断面図である。
【図４】本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態における第２接続部を示す拡大断面図である。
【図５】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における第１接続部を示す拡大断面図である。
【図６】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における第２接続部を示す拡大断面図である。
【図７】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における第１接続部を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における第２接続部を示す斜視図である。
【図９】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における流路と直交する断面図であり、弁体の退避位置と弁開口遮蔽位置とを示す。
【図１０】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における流路に沿った断面図であり、弁体の弁開口遮蔽位置を示す。
【図１１】図１０における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図１２】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体を流路と直交する方向視した上面図である。
【図１３】図１２における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図１４】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁枠による弁閉塞状態を示す。
【図１５】図１４における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図１６】本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁板部による逆圧キャンセルとなる弁閉塞状態を示す。
【図１７】図１６における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における仕切りバルブの一接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。
図２は、本実施形態における仕切りバルブの他の接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。図において、符号１００は、仕切りバルブである。
【００２５】
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１，図２に示すように、スプリングバックによるノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転軸駆動部２００と、油圧駆動部７００と、を備える。
【００２６】
弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。
回転軸駆動部２００は、回転軸２０を回転駆動可能である。
回転軸駆動部２００は、弁体５を往復回転動作させることが可能である。
【００２７】
弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。
中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。
【００２８】
弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。
【００２９】
可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。
【００３０】
可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。
【００３１】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。
【００３２】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、図１，図２に示すように、伸縮ロッド（可動部）７２と、付勢部材（押しつけバネ）と、固定部７１と、を有する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の可動部（伸縮ロッド）７２は、真空雰囲気とされたチャンバＣｈ内に向けて伸縮可能とされる。
【００３３】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、付勢部材（押しつけバネ）の付勢力によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、固定部７１に収納される。
【００３４】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動部７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。
【００３５】
弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。
【００３６】
また、仕切りバルブ１００は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持する機構を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置との間で、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。
【００３７】
回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。
【００３８】
中立弁部３０を回転軸駆動部２００によって回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。
【００３９】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は、弁箱１０に内蔵される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
【００４０】
また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧駆動部７００から油圧を供給されて（スプリングバック）、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。
この際、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
【００４１】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、付勢部材（押しつけバネ）によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。
これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。
【００４２】
この解除動作の後に、回転軸２０が回転軸駆動部２００によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。回転軸駆動部２００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
【００４３】
本実施形態において、仕切りバルブ１００は、図１，図２に示すように、流路Ｈを形成する第１チャンバ９１０と第２チャンバ９２０との間に配置される。第１チャンバ９１０は第１空間を構成する。第２チャンバ９２０は第２空間を構成する。
弁箱１０は、所定の厚みを有する板状である。弁箱１０の内部には、中空部１１が形成される。弁箱１０の両面には、中空部１１に連通する第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが形成される。
第１開口部１２ａは、第１チャンバ９１０に接続される。第２開口部１２ｂは、第２チャンバ９２０に接続される。ここで、流路Ｈを便宜上第１チャンバ９１０から第２チャンバ９２０へと向かう方向に設定する。
【００４４】
第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは流路Ｈ方向に直交して配置される。第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは互いに平行に配置される。第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは略同一の輪郭形状を有する。第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは円形輪郭を有することができる。第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは、流路Ｈ方向に見て互いに重なるように、略同一位置に配置される。
【００４５】
仕切りバルブ１００には、第１開口部１２ａを密閉するように第１チャンバ９１０に接続する第１接続部９３０が弁箱１０に設けられる。
仕切りバルブ１００には、第２開口部１２ｂを密閉するように第２チャンバ９２０に接続する第２接続部９４０が弁箱１０に設けられる。
【００４６】
仕切りバルブ１００は、第１接続部９３０によって、図１に示す接続方式と、図２に示す接続方式とを兼用することができる。
図１に示す接続方式を便宜上ＪＩＳタイプと称する。このタイプは、第１チャンバ９１０に対して、接続フランジ９１１を有する接続筒９１５を介して弁箱１０と第１チャンバ９１０とを接続する。このタイプは、後述する接続部材９３２が第１チャンバ９１０の大気側に露出する接続方式である。
図２に示す接続方式を便宜上ダイレクトタイプと称する。このタイプは、第１チャンバ９１０に対して、第１チャンバ９１０のチャンバ壁部９１２に直接弁箱１０を接続する。このタイプは、後述する接続部材９３２が第１チャンバ９１０の真空側に露出する接続方式である。
【００４７】
図３は、本実施形態における仕切りバルブの第１接続部を示す流路に沿った方向の拡大断面図である。
本実施形態の第１接続部９３０は、図１〜図３に示すように、第１開口部１２ａの周囲に沿って、内シール領域９３１と、接続部材９３２と、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４と、を有する。これら内シール領域９３１と、接続部材９３２と、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とは、第１開口部１２ａの周囲に沿って第１開口部１２ａの径方向外側に向けて同心状に配置される。
【００４８】
本実施形態の第１接続部９３０では、弁箱１０の第１チャンバ９１０に対向する表面１０ａに内シール領域９３１と、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４と、が形成される。また、本実施形態の第１接続部９３０では、弁箱１０の第１チャンバ９１０に対向する表面１０ａに、接続部材９３２を締結するための締結穴９３２ａが複数形成される。
接続部材９３２は、例えば締結ボルトとされる。
あるいは、接続部材９３２は、気抜きボルトとされる。
【００４９】
内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの輪郭に沿って配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａと同心状に配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの縁部よりも大きな寸法で周設される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの全周に設けられる。内シール領域９３１には、シール溝９３１ａが形成される。
【００５０】
シール溝９３１ａは、弁箱１０の第１チャンバ９１０に対向する表面１０ａに流路Ｈ方向の中空部１１に向けて凹んで形成される。シール溝９３１ａには、弾性体であるシール部材９３１ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、接続フランジ９１１の表面９１４に接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａと接続フランジ９１１との間を密閉可能である。
【００５１】
内シール領域９３１よりも第１開口部１２ａの径方向外側には、締結穴９３２ａが複数形成される。締結穴９３２ａは、第１開口部１２ａと同心状に互いに離間して複数配置される。締結穴９３２ａは、内シール領域９３１よりも大きな径寸法を有する同一の円周上に配置される。締結穴９３２ａの配置される円周は内シール領域９３１の外縁輪郭から離間している。
【００５２】
締結穴９３２ａの配置される円周よりも第１開口部１２ａの径方向外側には、外シール領域９３３が配置される。
外シール領域９３３は、第１開口部１２ａと同心状に配置される。外シール領域９３３は、第１開口部１２ａの輪郭に沿って配置される。外シール領域９３３は、第１開口部１２ａの全周に設けられる。外シール領域９３３には、シール溝９３３ａが形成される。
【００５３】
シール溝９３３ａは、弁箱１０の第１チャンバ９１０に対向する表面１０ａに流路Ｈ方向に凹んで形成される。シール溝９３３ａは、シール溝９３１ａと略等しい深さ寸法で略等しい径寸法（幅寸法）として形成される。シール溝９３３ａには、シール部材９３３ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、接続フランジ９１１の表面９１４に接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａと接続フランジ９１１との間を密閉可能である。
【００５４】
なお、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法は、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して、大きくするあるいは、小さくすることもできる。
特に、後述するＪＩＳタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
【００５５】
また、後述するダイレクトタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法と、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
【００５６】
外シール領域９３３よりも第１開口部１２ａの径方向外側には、メタルタッチ領域９３４が設けられる。
メタルタッチ領域９３４は、接続フランジ９１１における弁箱１０に対向する表面９１４とその全域で接触する。メタルタッチ領域９３４は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、接続フランジ９１１の外縁輪郭と等しい領域とされることができる。なお、メタルタッチ領域９３４は、弁箱１０と接続フランジ９１１とを固定して仕切りバルブ１００を第１チャンバ９１０に支持可能であれば、その大きさは限定されない。
【００５７】
本実施形態の第１接続部９３０では、外シール領域９３３から第１開口部１２ａの径方向内側に向けて凹部９３５が形成される。
つまり、メタルタッチ領域９３４よりも第１開口部１２ａに近接する弁箱１０の第１チャンバ９１０に対向する表面１０ａが、凹部９３５とされる。
凹部９３５は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部９３５は、シール溝９３１ａに収納されたシール部材９３１ｂまたはシール溝９３３ａに収納されたシール部材９３３ｂが接続フランジ９１１の表面９１４に接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０と接続フランジ９１１の表面９１４との間を密閉可能な深さ寸法である。
【００５８】
本実施形態の第１接続部９３０において、凹部９３５の全域には、外シール領域９３３から第１開口部１２ａの縁部まで、接続フランジ９１１の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとの間に隙間が形成される。
凹部９３５の内部においては、接続フランジ９１１の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとは接触していない。
【００５９】
図４は、本実施形態における仕切りバルブの第２接続部を示す流路に沿った方向の拡大断面図である。
本実施形態の仕切りバルブ１００において、第２接続部９４０では、図１，図２，図４に示すように、弁箱１０の第２チャンバ９２０に対向する表面１０ｂに内シール領域９４１と、メタルタッチ領域９３４と、が形成される。また、本実施形態の第２接続部９４０では、弁箱１０の第２チャンバ９２０に対向する表面１０ｂに、接続部材９４２を締結するための締結穴９４２ａが複数形成される。
【００６０】
接続部材９４２は、例えば締結ボルトとされる。
第２接続部９４０では、接続フランジ９２１を有する第２チャンバ９２０に対して、弁箱１０を接続する。
第２チャンバ９２０には、仕切りバルブ１００に近接する端部位置に接続フランジ９２１が設けられる。
【００６１】
接続フランジ９２１は、弁箱１０の表面１０ｂと対向する表面９２４を有する。接続フランジ９２１は、弁箱１０の表面１０ｂおよび、第２開口部１２ｂと平行な配置とされる。
接続フランジ９２１は、流路Ｈ方向に見て、第２開口部１２ｂと同一の内周断面形状を有する。
接続フランジ９２１には、接続部材９４２が貫通する貫通孔９２１ｂが設けられる。
【００６２】
貫通孔９２１ｂは、接続部材９４２によって、接続フランジ９２１と仕切りバルブ１００とを互いに取り付けられる。貫通孔９２１ｂは、接続フランジ９２１の周方向において互いに離間するように複数形成される。複数の貫通孔９２１ｂは、流路Ｈの中心に対して、同一の円周上に配置される。
【００６３】
内シール領域９４１は、第２開口部１２ｂの輪郭に沿って配置される。内シール領域９４１は、第２開口部１２ｂと同心状に配置される。内シール領域９４１は、第２開口部１２ｂの縁部よりも大きな寸法で周設される。内シール領域９４１は、第２開口部１２ｂの全周に設けられる。内シール領域９４１には、シール溝９４１ａが形成される。
【００６４】
内シール領域９４１は、第１接続部９３０における内シール領域９３１に対応する。つまり、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが略等しい輪郭形状である場合に、流路Ｈ方向に見て内シール領域９４１と内シール領域９３１とが重なるように配置することができる。
【００６５】
シール溝９４１ａは、弁箱１０の第２チャンバ９２０に対向する表面１０ｂに流路Ｈ方向の中空部１１に向けて凹んで形成される。シール溝９４１ａには、弾性体であるシール部材９４１ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、接続フランジ９２１の表面９２４に接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１との間を密閉可能である。
【００６６】
内シール領域９４１よりも第２開口部１２ｂの径方向外側には、締結穴９４２ａが複数形成される。締結穴９４２ａは、第２開口部１２ｂと同心状に互いに離間して複数配置される。締結穴９４２ａは、内シール領域９４１よりも大きな径寸法を有する同一の円周上に配置される。締結穴９４２ａの配置される円周は内シール領域９４１の外縁輪郭から離間している。
【００６７】
第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが略等しい輪郭形状である場合に、流路Ｈ方向に見て締結穴９４２ａの配置される円周と締結穴９３２ａの配置される円周とが重なるように配置することができる。
【００６８】
内シール領域９４１よりも第２開口部１２ｂの径方向外側には、メタルタッチ領域９４４が設けられる。
メタルタッチ領域９４４は、接続フランジ９２１における弁箱１０に対向する表面９２４とその全域で接触する。メタルタッチ領域９４４は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、接続フランジ９２１の外縁輪郭と等しい領域とされることができる。
【００６９】
なお、メタルタッチ領域９４４は、弁箱１０と接続フランジ９２１とを固定して、仕切りバルブ１００と第２チャンバ９２０とを支持可能であれば、その大きさは限定されない。
メタルタッチ領域９４４には、締結穴９４２ａが形成される。つまり、締結穴９４２ａの周囲では、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１の表面９２４とが接触している。
【００７０】
第２接続部９４０では、内シール領域９４１から第２開口部１２ｂの径方向内側に凹部９４５が形成される。
つまり、弁箱１０の第２チャンバ９２０に対向する表面１０ｂにおいて、メタルタッチ領域９４４よりも第２開口部１２ｂに近接している領域が、凹部９４５とされる。
凹部９４５は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部９４５は、シール溝９４１ａに収納されたＯリング等のシール部材９４１ｂが接続フランジ９２１の表面９２４に接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１との間を密閉可能な深さ寸法である。
【００７１】
第２接続部９４０において、凹部９４５の全域には、内シール領域９４１から第２開口部１２ｂの縁部まで、接続フランジ９２１の表面９２４と弁箱１０の表面１０ｂとの間に隙間が形成される。
凹部９４５の内部においては、接続フランジ９２１の表面９２４と弁箱１０の表面１０ｂとは接触していない。
【００７２】
接続フランジ９２１は、メタルタッチ領域９４４の全域で弁箱１０の表面１０ｂと接触する。接続フランジ９２１は、凹部９４５の全域で弁箱１０の表面１０ｂと接触していない。
【００７３】
第２接続部９４０では、接続部材９４２が貫通孔９２１ｂを貫通して締結穴９４２ａに締結される。
内シール領域９４１のシール溝９４１ａでは、Ｏリング等のシール部材９４１ｂが接続フランジ９２１の表面９２４に押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【００７４】
このとき、接続部材９４２は第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。貫通孔９２１ｂは第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。凹部９４５において、内シール領域９４１よりも第２開口部１２ｂの径方向外側となる領域は第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。
【００７５】
本実施形態の仕切りバルブ１００を図１に示すＪＩＳタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続する場合を説明する。
【００７６】
ＪＩＳタイプの接続方式で、図１，図３に示すように、第１チャンバ９１０における仕切りバルブ１００との接続部分には、接続筒９１５が配置されている。
接続筒９１５は、第１開口部１２ａと同一の断面形状を有する。
接続筒９１５には、仕切りバルブ１００に近接する端部位置に接続フランジ９１１が設けられる。
【００７７】
接続フランジ９１１は、弁箱１０の表面１０ａと対向する表面９１４を有する。接続フランジ９１１は、弁箱１０の表面１０ａおよび、第１開口部１２ａと平行な配置とされる。
接続フランジ９１１には、接続部材９３２が貫通する貫通孔９１１ｂが設けられる。
【００７８】
貫通孔９１１ｂは、接続フランジ９１１と仕切りバルブ１００とが互いに取り付けられた際に、締結穴９３２ａと対応する位置に配置される。つまり、貫通孔９１１ｂは、接続フランジ９１１の周方向において互いに離間するように複数形成される。複数の貫通孔９１１ｂは、流路Ｈの中心に対して、同一の円周上に配置される。複数の貫通孔９１１ｂは、凹部９３５の内部に対応する位置に形成される。
【００７９】
接続フランジ９１１は、メタルタッチ領域９３４の全域で弁箱１０の表面１０ａと接触する。接続フランジ９１１は、凹部９３５の全域で弁箱１０の表面１０ａと接触していない。
【００８０】
第１接続部９３０では、接続部材９３２が貫通孔９１１ｂを貫通して締結穴９３２ａに締結される。接続部材９３２は、締結ボルトとされる。
内シール領域９３１のシール溝９３１ａにはＯリング等のシール部材９３１ｂが配置される。
【００８１】
外シール領域９３３のシール溝９３３ａにはＯリング等のシール部材９３３ｂが配置されてもよいし、配置しないこともできる。
シール溝９３３ａではＯリング等のシール部材９３３ｂが接続フランジ９１１の表面９１４に押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【００８２】
このとき、接続部材９３２は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。貫通孔９１１ｂは第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。凹部９３５において、内シール領域９３１よりも第１開口部１２ａの径方向外側となる領域は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。
【００８３】
仕切りバルブ１００を図１に示すＪＩＳタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続には、流路Ｈ方向における接続筒９１５の長さだけ、第１チャンバ９１０から仕切りバルブ１００が離間して配置される。
なお、図３において、このＪＩＳタイプの接続方式と次のダイレクトタイプの接続方式とを示すため、別体である接続フランジ９１１とチャンバ壁部９１２とを同一箇所に示している。
【００８４】
この場合、第１チャンバ９１０が加熱された際にも、仕切りバルブ１００における温度上昇は緩やかになり、仕切りバルブ１００における加温の影響を低減できる。特に、油圧駆動される弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における加温の影響を低減できる。これにより、動作確実性を向上することができる。
【００８５】
本実施形態の仕切りバルブ１００を図２に示すダイレクトタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続する場合を説明する。
【００８６】
ダイレクトタイプの接続方式において、図２，図３に示すように、第１チャンバ９１０における仕切りバルブ１００との接続部分では、チャンバ壁部９１２に弁箱１０が直接接続されている。
チャンバ壁部９１２には、チャンバ開口部９１２ａが開口している。チャンバ開口部９１２ａは、第１開口部１２ａと同一の断面形状を有する。
チャンバ開口部９１２ａは、ＪＩＳタイプにおける接続フランジ９１１に対応する。
【００８７】
チャンバ壁部９１２は、弁箱１０の表面１０ａと対向する表面９１４を有する。チャンバ壁部９１２は、弁箱１０の表面１０ａおよび、第１開口部１２ａと平行な配置とされる。
チャンバ壁部９１２には、接続部材９３２が貫通する貫通孔９１２ｂが設けられる。
【００８８】
貫通孔９１２ｂは、ＪＩＳタイプにおける貫通孔９１１ｂに対応する。貫通孔９１２ｂは、チャンバ壁部９１２と仕切りバルブ１００とが互いに取り付けられた際に、締結穴９３２ａと対応する位置に配置される。つまり、貫通孔９１２ｂは、チャンバ開口部９１２ａの周方向において互いに離間するように複数形成される。複数の貫通孔９１１ｂは、流路Ｈとなるチャンバ開口部９１２ａの中心に対して、同一の円周上に配置される。複数の貫通孔９１１ｂは、凹部９３５の内部に対応する位置に形成される。
【００８９】
チャンバ壁部９１２は、メタルタッチ領域９３４の全域で弁箱１０の表面１０ａと接触する。チャンバ壁部９１２は、凹部９３５の全域で弁箱１０の表面１０ａと接触していない。
【００９０】
第１接続部９３０では、接続部材９３２が貫通孔９１１ｂを貫通して締結穴９３２ａに締結される。接続部材９３２は、気抜きボルトとされる。
外シール領域９３３のシール溝９３３ａにはＯリング等のシール部材９３３ｂが配置される。
【００９１】
内シール領域９３１のシール溝９３１ａにはＯリング等のシール部材９３１ｂが配置されてもよいし、配置しないこともできる。
シール溝９３３ａではＯリング等のシール部材９３３ｂがチャンバ壁部９１２の表面９１４に押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【００９２】
このとき、接続部材９３２は第１チャンバ９１０および弁箱１０の真空側に露出する。貫通孔９１１ｂは第１チャンバ９１０および弁箱１０の真空側に露出する。凹部９３５において、外シール領域９３３よりも第１開口部１２ａの径方向外側となる領域は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。
【００９３】
仕切りバルブ１００を図２に示すダイレクトタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続する際には、第１チャンバ９１０から仕切りバルブ１００が接触して配置される。これにより、接続筒９１５を用いるＪＩＳタイプに比べて、流路Ｈ方向における仕切りバルブ１００と第１チャンバ９１０と距離が短くなり、省スペースを図ることができる。
【００９４】
この場合、第１チャンバ９１０の外部となる大気側に様々な装置が配置されており、第１チャンバ９１０の外部が狭くて接続部材９３２を締結する際に、作業員が必要とする空間が足りない場合でも、装置の作動時に第１チャンバ９１０の真空側となる内部において接続部材９３２を締結することができる。仕切りバルブ１００を第１チャンバ９１０に対して取り外し、あるいは、取り付けをおこなう工程は、メンテナンス等の装置を作動させない状態でおこなうため、作業員が第１チャンバ９１０に設けられたメンテナンス口などから、第１チャンバ９１０の内部で接続部材９３２の締結・解除作業をおこなうことができる。特に、ＦＰＤを製造する装置など、第１チャンバ９１０の内部容積が大きな装置においては、接続部材９３２の締結・解除作業を容易におこなうこと可能となる。
【００９５】
本実施形態の仕切りバルブ１００は、図３に示すように、ＪＩＳタイプであっても、ダイレクトタイプであっても、っても、接続部材が前記第１チャンバの大気側に露出する接続方式であっても、兼用が可能でどちらの接続方式にも対応可能である。
【００９６】
具体的には、接続部材９３２が第１チャンバ９１０の真空側に露出するＪＩＳタイプの接続方式においては、接続部材９３２が貫通する貫通孔９１１ｂの外側となる外シール領域９３３によって弁箱１０と第１チャンバ９１０とのシールをおこなうことができる。同時に、接続部材９３２が第１チャンバ９１０の大気側に露出するダイレクトタイプの接続方式においては、接続部材９３２が貫通する貫通孔９１１ｂの内側となる内シール領域９３１によって弁箱１０と第１チャンバ９１０とのシールをおこなうことができる。
【００９７】
しかも、これらの両方の接続方式を、同一の構成である仕切りバルブ１００によって、兼用することが可能である。
【００９８】
これにより、第1チャンバ９１０を有する真空装置に対する仕切りバルブ１００の実装時に、どちらの接続方式であっても容易に対応して、同一構造である仕切りバルブ１００を真空装置に容易に実装することが可能となる。したがって、仕切りバルブ１００の設計を変更することなく、製造期間の長い仕切りバルブ１００の在庫を削減することが可能となる。
【００９９】
しかも、弁箱１０の表面１０ａと第１チャンバ９１０の表面９１４とが互いに接触するメタルタッチ領域９３４に対して、このメタルタッチ領域９３４よりも第１開口部１２ａに近接した領域で仕切りバルブ１００と第１チャンバ９１０とをシールすることが可能となる。したがって、両方の接続方式に対応可能な仕切りバルブ１００において、シール性を低下させることがない。
【０１００】
同時に、凹部９３５が形成されていることにより、第１接続部９３０において、真空側となる外シール領域９３３よりも内側において、弁箱１０および第１チャンバ９１０が互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブ１００と第１チャンバ９１０とのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
【０１０１】
以下、本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図５は、本実施形態における仕切りバルブの第１接続部を示す流路に沿った方向の拡大断面図である。
図７は、本実施形態における仕切りバルブの第１接続部を示す斜視図である。
本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、第１接続部と第２接続部との構成が形成される部位に関する点であり、これ以外の上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
【０１０２】
本実施形態の仕切りバルブ１００において、第１接続部９３０は、図５に示すように、接続フランジ９１１またはチャンバ壁部９１２にも形成されている。
弁箱１０の表面１０ａには、複数の締結穴９３２ａが設けられる。
弁箱１０の表面１０ａは、第１開口部１２ａの径方向外側において締結穴９３２ａを除いて面一となるように形成されている。
本実施形態の第１接続部９３０においても、ＪＩＳタイプおよびダイレクトタイプの両方の接続方式で兼用することができる。
【０１０３】
以下、まずＪＩＳタイプにおける接続について説明する。
【０１０４】
本実施形態の第１接続部９３０は、図５，図７に示すように、第１開口部１２ａの周囲に沿って、接続部材９３２を締結する複数の締結穴９３２ａが弁箱１０の表面１０ａに配置される。
複数の締結穴９３２ａは、第１実施形態と同様に、第１開口部１２ａの径方向外側に向けて同心状に配置される。
【０１０５】
これに対して、本実施形態の第１接続部９３０では、内シール領域９３１と、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とは、第１開口部１２ａの周囲に沿って、接続フランジ９１１の表面９１４に配置される。
つまり、内シール領域９３１と、貫通孔９１１ｂと、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とが、第１開口部１２ａの輪郭から接続フランジ９１１の径方向外側に向けて同心状に配置される。
流路Ｈ方向に沿って見た場合に、内シール領域９３１と、貫通孔９１１ｂと、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とは、第１実施形態における対応する構成と同じ位置となるように形成されている。
【０１０６】
本実施形態の第１接続部９３０では、外シール領域９３３から接続フランジ９１１の径方向で内側の輪郭に向けて凹部９３５が形成される。
つまり、接続フランジ９１１の表面９１４に、メタルタッチ領域９３４よりも接続フランジ９１１の径方向で内側の輪郭に近接する位置に、凹部９３５が形成されている。凹部９３５は、流路Ｈ方向に弁箱１０の表面１０ａから離間するように形成されている。
【０１０７】
凹部９３５は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部９３５には、弁箱１０の表面１０ａに対向する底部となる位置に、内シール領域９３１と、貫通孔９１１ｂと、外シール領域９３３と、が形成されている。
凹部９３５は、第１実施形態と同様に、シール溝９３１ａに収納されたＯリング等のシール部材９３１ｂまたはシール溝９３３ａに収納されたＯリング等のシール部材９３３ｂが弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａと接続フランジ９１１との間を密閉可能な深さ寸法である。
【０１０８】
内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの輪郭に沿って配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａと同心状に配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの縁部よりも大きな寸法で周設される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの全周に設けられる。内シール領域９３１には、シール溝９３１ａが形成される。
【０１０９】
シール溝９３１ａは、接続フランジ９１１の弁箱１０に対向する表面９１４に形成された凹部９３５の底部に形成される。シール溝９３１ａは、凹部９３５の底部から流路Ｈ方向の中空部１１から離間する向きにさらに凹んだ状態に形成される。シール溝９３１ａには、弾性体であるシール部材９３１ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａと接続フランジ９１１との間を密閉可能である。
【０１１０】
内シール領域９３１よりも接続フランジ９１１の径方向外側には、貫通孔９１１ｂが複数形成される。貫通孔９１１ｂは、接続フランジ９１１を貫通している。貫通孔９１１ｂは、第１開口部１２ａと同心状に互いに離間して複数配置される。貫通孔９１１ｂは、内シール領域９３１よりも大きな径寸法を有する同一の円周上に配置される。貫通孔９１１ｂの配置される円周は内シール領域９３１の外縁輪郭から離間している。
【０１１１】
貫通孔９１１ｂの配置される円周よりも接続フランジ９１１の径方向外側には、外シール領域９３３が配置される。
外シール領域９３３は、接続フランジ９１１と同心状に配置される。外シール領域９３３は、接続フランジ９１１の輪郭に沿って配置される。外シール領域９３３は、接続フランジ９１１の全周に設けられる。外シール領域９３３には、シール溝９３３ａが形成される。
【０１１２】
シール溝９３３ａは、接続フランジ９１１の弁箱１０に対向する表面９１４に形成された凹部９３５の底部に形成される。シール溝９３３ａは、凹部９３５の底部から流路Ｈ方向で中空部１１から離間する方向にさらに凹んだ状態に形成される。シール溝９３３ａは、シール溝９３１ａと略等しい深さ寸法で略等しい径寸法（幅寸法）として形成される。シール溝９３３ａには、弾性体のシール部材９３３ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａと接続フランジ９１１との間を密閉可能である。
【０１１３】
なお、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法は、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して、大きくするあるいは、小さくすることもできる。
特に、後述するＪＩＳタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
【０１１４】
また、後述するダイレクトタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法と、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
【０１１５】
外シール領域９３３よりも接続フランジ９１１の径方向外側には、メタルタッチ領域９３４が設けられる。
メタルタッチ領域９３４は、弁箱１０における接続フランジ９１１に対向する表面１０ａとその全域で接触する。メタルタッチ領域９３４は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、外シール領域９３３から接続フランジ９１１の外縁輪郭までと等しい領域とされる。なお、メタルタッチ領域９３４は、弁箱１０と接続フランジ９１１とを固定して仕切りバルブ１００を第１チャンバ９１０に支持可能な大きさとされる。
【０１１６】
本実施形態の第１接続部９３０において、凹部９３５の全域には、外シール領域９３３から第１開口部１２ａの縁部まで、接続フランジ９１１の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとの間に隙間が形成される。
凹部９３５の内部においては、接続フランジ９１１の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとは接触していない。
【０１１７】
弁箱１０の表面１０ａには、複数の締結穴９３２ａが設けられる。
締結穴９３２ａは、接続フランジ９１１と仕切りバルブ１００とが互いに取り付けられた際に、貫通孔９１１ｂと対応する位置に配置される。つまり、締結穴９３２ａは、第１開口部１２ａの周方向において互いに離間するように複数形成される。複数の締結穴９３２ａは、流路Ｈの中心に対して、同一の円周上に配置される。複数の締結穴９３２ａは、ほぼ面一とされる弁箱１０の表面１０ａに形成される。締結穴９３２ａは、凹部９３５に対応する位置に配置される。
【０１１８】
本実施形態の仕切りバルブ１００をＪＩＳタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続する場合を説明する。
【０１１９】
ＪＩＳタイプの接続方式で、図５に示すように、第１接続部９３０では、接続部材９３２が貫通孔９１１ｂを貫通して締結穴９３２ａに締結される。接続部材９３２は、締結ボルトとされる。
内シール領域９３１のシール溝９３１ａにはＯリング等のシール部材９３１ｂが配置される。
【０１２０】
外シール領域９３３のシール溝９３３ａにはＯリング等のシール部材９３３ｂが配置されてもよいし、配置しないこともできる。
シール溝９３３ａではＯリング等のシール部材９３３ｂが弁箱１０の表面１０ａに押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【０１２１】
このとき、接続部材９３２は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。貫通孔９１１ｂは第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。凹部９３５において、内シール領域９３１よりも第１開口部１２ａの径方向外側となる領域は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。
【０１２２】
仕切りバルブ１００をＪＩＳタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続するには、流路Ｈ方向における接続筒９１５の長さだけ、第１チャンバ９１０から仕切りバルブ１００が離間して配置される。
【０１２３】
次に、ダイレクトタイプの接続について説明する。
【０１２４】
ダイレクトタイプの接続方式において、図５に示すように、第１チャンバ９１０における仕切りバルブ１００との接続部分では、チャンバ壁部９１２に弁箱１０が直接接続されている。
チャンバ壁部９１２には、チャンバ開口部９１２ａが開口している。チャンバ開口部９１２ａは、第１開口部１２ａと同一の断面形状を有する。
【０１２５】
本実施形態の第１接続部９３０では、内シール領域９３１と、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とが、第１開口部１２ａの周囲に沿って、チャンバ壁部９１２の表面９１４に配置される。
つまり、内シール領域９３１と、貫通孔９１２ｂと、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とが、チャンバ開口部９１２ａの開口輪郭からチャンバ開口部９１２ａの径方向外側に向けて同心状に配置される。
【０１２６】
流路Ｈ方向に沿って見た場合に、内シール領域９３１と、貫通孔９１１ｂと、外シール領域９３３と、メタルタッチ領域９３４とは、第１実施形態における対応する構成と同じ位置となるように形成されている。
なお、本実施形態のダイレクトタイプの接続方式では、上述したＪＩＳタイプにおける接続方式における接続フランジ９１１が、チャンバ壁部９１２に対応する。
【０１２７】
本実施形態の第１接続部９３０では、外シール領域９３３からチャンバ開口部９１２ａの開口輪郭まで凹部９３５が形成される。
つまり、チャンバ壁部９１２の表面９１４には、チャンバ開口部９１２ａの径方向でメタルタッチ領域９３４よりも内側となるとともに、チャンバ開口部９１２ａの開口輪郭に近接する位置に、凹部９３５が形成されている。凹部９３５は、流路Ｈ方向に弁箱１０の表面１０ａから離間するように形成されている。
【０１２８】
凹部９３５は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部９３５には、弁箱１０の表面１０ａに対向する底部となる位置に、内シール領域９３１と、貫通孔９１１ｂと、外シール領域９３３と、が形成されている。
凹部９３５は、第１実施形態と同様に、シール溝９３１ａに収納されたＯリング等のシール部材９３１ｂまたはシール溝９３３ａに収納されたＯリング等のシール部材９３３ｂが弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａとチャンバ壁部９１２との間を密閉可能な深さ寸法である。
【０１２９】
内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの輪郭に沿って配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａと同心状に配置される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの縁部よりも大きな寸法で周設される。内シール領域９３１は、第１開口部１２ａの全周に設けられる。内シール領域９３１には、シール溝９３１ａが形成される。
【０１３０】
シール溝９３１ａは、チャンバ壁部９１２における表面９１４に形成された凹部９３５の底部に形成される。シール溝９３１ａは、凹部９３５の底部から流路Ｈ方向の中空部１１から離間するようにさらに凹んだ状態に形成される。シール溝９３１ａには、弾性体であるシール部材９３１ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａとチャンバ壁部９１２との間を密閉可能である。
【０１３１】
内シール領域９３１よりもチャンバ開口部９１２ａの径方向外側には、貫通孔９１１ｂが複数形成される。貫通孔９１１ｂは、チャンバ壁部９１２を貫通している。貫通孔９１１ｂは、チャンバ開口部９１２ａと同心状に互いに離間して複数配置される。貫通孔９１１ｂは、内シール領域９３１よりも大きな径寸法を有する同一の円周上に配置される。貫通孔９１１ｂの配置される円周は内シール領域９３１の外縁輪郭から離間している。
【０１３２】
貫通孔９１１ｂの配置される円周よりもチャンバ開口部９１２ａの径方向外側には、外シール領域９３３が配置される。
外シール領域９３３は、チャンバ開口部９１２ａと同心状に配置される。外シール領域９３３は、チャンバ開口部９１２ａの輪郭に沿って配置される。外シール領域９３３は、チャンバ開口部９１２ａの全周に設けられる。外シール領域９３３には、シール溝９３３ａが形成される。
【０１３３】
シール溝９３３ａは、チャンバ壁部９１２の表面９１４に形成された凹部９３５における底部に形成される。シール溝９３３ａは、凹部９３５の底部から流路Ｈ方向で中空部１１から離間する方向にさらに凹んだ状態に形成される。シール溝９３３ａは、シール溝９３１ａと略等しい深さ寸法で略等しい径寸法（幅寸法）として形成される。シール溝９３３ａには、弾性体のシール部材９３３ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、弁箱１０の表面１０ａに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ａとチャンバ壁部９１２との間を密閉可能である。
【０１３４】
なお、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法は、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して、大きくするあるいは、小さくすることもできる。
特に、後述するＪＩＳタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
【０１３５】
また、後述するダイレクトタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法をシール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝９３３ａの深さ寸法および幅寸法と、シール溝９３１ａの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
【０１３６】
外シール領域９３３よりもチャンバ開口部９１２ａの径方向外側には、メタルタッチ領域９３４が設けられる。
メタルタッチ領域９３４は、弁箱１０における表面１０ａとその全域で接触する。メタルタッチ領域９３４は、所定の幅寸法を有していればよい。なお、メタルタッチ領域９３４は、弁箱１０とチャンバ壁部９１２とを固定して仕切りバルブ１００を第１チャンバ９１０に支持可能な大きさとされる。
【０１３７】
本実施形態の第１接続部９３０において、凹部９３５の全域には、外シール領域９３３から第１開口部１２ａの縁部まで、チャンバ壁部９１２の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとの間に隙間が形成される。
凹部９３５の内部においては、チャンバ壁部９１２の表面９１４と弁箱１０の表面１０ａとは接触していない。
【０１３８】
本実施形態の仕切りバルブ１００をダイレクトタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続する場合を説明する。
【０１３９】
ダイレクトタイプの接続方式で、図５に示すように、第１接続部９３０では、接続部材９３２が貫通孔９１１ｂを貫通して締結穴９３２ａに締結される。接続部材９３２は、気抜きボルトとされる。
外シール領域９３３のシール溝９３３ａにはＯリング等のシール部材９３３ｂが配置される。
【０１４０】
内シール領域９３１のシール溝９３１ａにはＯリング等のシール部材９３１ｂが配置されてもよいし、配置しないこともできる。
シール溝９３１ａではＯリング等のシール部材９３１ｂが弁箱１０の表面１０ａに押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【０１４１】
このとき、接続部材９３２は第１チャンバ９１０および弁箱１０の真空側に露出する。貫通孔９１１ｂは第１チャンバ９１０および弁箱１０の真空側に露出する。凹部９３５において、外シール領域９３３よりも第１開口部１２ａの径方向外側となる領域は第１チャンバ９１０および弁箱１０の大気側に露出する。
【０１４２】
仕切りバルブ１００をダイレクトタイプの接続方式で第１チャンバ９１０と接続するには、ＪＩＳタイプの接続方式よりも、流路Ｈ方向において第１チャンバ９１０と仕切りバルブ１００とが近接して配置される。
【０１４３】
図６は、本実施形態における仕切りバルブの第２接続部を示す流路に沿った方向の拡大断面図である。
図８は、本実施形態における仕切りバルブの第２接続部を示す斜視図である。
本実施形態の第２接続部９４０は、図６，図８に示すように、第２開口部１２ｂの周囲に沿って、接続部材９４２を締結する複数の締結穴９４２ａが弁箱１０の表面１０ｂに配置される。
複数の締結穴９４２ａは、第１実施形態と同様に、第２開口部１２ｂの径方向外側に向けて同心状に配置される。
【０１４４】
これに対して、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の第２接続部９４０では、第２チャンバ９２０の接続フランジ９２１において、弁箱１０に対向する表面９２４に、内シール領域９４１と、貫通孔９２１ａと、メタルタッチ領域９３４と、が形成される。
【０１４５】
内シール領域９４１は、接続フランジ９２１の輪郭に沿って配置される。内シール領域９４１は、接続フランジ９２１と同心状に配置される。内シール領域９４１は、接続フランジ９２１の内周縁部よりも大きな寸法で周設される。内シール領域９４１は、接続フランジ９２１の全周に設けられる。内シール領域９４１には、シール溝９４１ａが形成される。
【０１４６】
内シール領域９４１は、第１接続部９３０における内シール領域９３１に対応する。つまり、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが略等しい輪郭形状である場合に、流路Ｈ方向に見て内シール領域９４１と内シール領域９３１とが重なるように配置することができる。
【０１４７】
シール溝９４１ａは、接続フランジ９２１の表面９２４に流路Ｈ方向において中空部１１から離間する向きに凹んで形成される。シール溝９４１ａには、弾性体であるシール部材９４１ｂとして、例えばＯリングが収納される。Ｏリングは、弁箱１０の表面１０ｂに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１との間を密閉可能である。
【０１４８】
内シール領域９４１よりも接続フランジ９２１の径方向外側には、貫通孔９２１ｂが複数形成される。貫通孔９２１ｂは、接続フランジ９２１と同心状に互いに離間して複数配置される。貫通孔９２１ｂは、内シール領域９４１よりも大きな径寸法を有する同一の円周上に配置される。貫通孔９２１ｂの配置される円周は内シール領域９４１の外縁輪郭から離間している。
【０１４９】
第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが略等しい輪郭形状である場合に、流路Ｈ方向に見て締結穴９４２ａの配置される円周と締結穴９３２ａの配置される円周とが重なるように配置することができる。
【０１５０】
内シール領域９４１よりも接続フランジ９２１の径方向外側には、メタルタッチ領域９４４が設けられる。
メタルタッチ領域９４４は、弁箱１０における接続フランジ９２１に対向する表面１０ｂとその全域で接触する。メタルタッチ領域９４４は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、内シール領域９４１から接続フランジ９２１の外縁までと等しい領域とされることができる。
【０１５１】
なお、メタルタッチ領域９４４は、弁箱１０と接続フランジ９２１とを固定して、仕切りバルブ１００と第２チャンバ９２０とを支持可能であれば、その大きさは限定されない。
メタルタッチ領域９４４には、締結穴９４２ａが形成される。つまり、締結穴９４２ａの周囲では、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１の表面９２４とが接触している。
【０１５２】
第２接続部９４０では、内シール領域９４１から接続フランジ９２１の径方向内側に凹部９４５が形成される。
つまり、接続フランジ９２１の表面９２４において、メタルタッチ領域９４４よりも接続フランジ９２１の内周縁に近接している領域が、凹部９４５とされる。
凹部９４５は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部９４５は、シール溝９４１ａに収納された弾性体であるＯリング等のシール部材９４１ｂが弁箱１０の表面１０ｂに接触した状態で押しつぶされて、弁箱１０の表面１０ｂと接続フランジ９２１との間を密閉可能な深さ寸法である。
【０１５３】
第２接続部９４０において、凹部９４５の全域には、内シール領域９４１から接続フランジ９２１の内縁輪郭まで、接続フランジ９２１の表面９２４と弁箱１０の表面１０ｂとの間に隙間が形成される。
凹部９４５の内部においては、接続フランジ９２１の表面９２４と弁箱１０の表面１０ｂとは接触していない。
【０１５４】
接続フランジ９２１は、メタルタッチ領域９４４の全域で弁箱１０の表面１０ｂと接触する。接続フランジ９２１は、凹部９４５の全域で弁箱１０の表面１０ｂと接触していない。
【０１５５】
第２接続部９４０では、接続部材９４２が貫通孔９２１ｂを貫通して締結穴９４２ａに締結される。
内シール領域９４１のシール溝９４１ａでは、Ｏリング等のシール部材９４１ｂが弁箱１０の表面１０ｂに押しつぶされることで、流路Ｈに対するシールがおこなわれる。
【０１５６】
このとき、接続部材９４２は第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。貫通孔９２１ｂは第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。凹部９４５において、内シール領域９４１よりも第２開口部１２ｂの径方向外側となる領域は第２チャンバ９２０および弁箱１０の大気側に露出する。
【０１５７】
本実施形態においては、上述した第１実施形態と同等の効果を奏することができる。
【０１５８】
以下、本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第２実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体等に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。
【０１５９】
図９は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路と直交する断面図である。
図１０は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った断面図である。
図１１は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
なお、本実施形態において、第1チャンバ９１０および第２チャンバ９２０は図示を省略している。
【０１６０】
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図９，図１０に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転軸駆動部２００と、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と、弁板付勢部（保持バネ）８０と、弁枠付勢部９０と、油圧駆動部７００と、を備える。
弁箱１０には、第１接続部９３０および第２接続部９４０が設けられる。
【０１６１】
第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは、略同一輪郭を有する。第１開口部１２ａは、円形輪郭を有する。第２開口部１２ｂは、円形輪郭を有する。
【０１６２】
中空部１１内には、弁体５が配置される。
弁体５は、弁閉塞位置において第1チャンバ９１０の第１空間と第２チャンバ９２０の第２空間とを遮断可能とされる。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、回転軸駆動部２００により回転駆動可能である。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して弁体５が固定される。あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに弁体５が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、弁体５の位置切り替え部として機能する。
【０１６３】
図１２は、本実施形態における仕切りバルブの弁体を示す流路と直交する方向視した上面図である。
弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。
弁体５は、弁閉塞位置と弁開口遮蔽位置と弁開放位置（退避位置）との間で動作する。
弁体５は、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能である。
【０１６４】
弁閉塞位置において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂに対して閉塞状態（図１４〜図１７）になる。
弁開放位置（退避位置）において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂから退避した開放状態（図９に破線で示す）になる。
【０１６５】
弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。
中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。
【０１６６】
中立弁部３０は、図９〜図１１に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きなリング状とされる。円形部３０ａの径方向内側となる位置には、可動弁部４０が配置される。円形部３０ａの内周は、流路Ｈ方向視して、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂとほぼ重なるように配置される。
【０１６７】
回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて拡径するように延在する平板形状で形成されている。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて複数本の腕が延びたアーム形状とされてもよい。
これら回転軸２０および中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。
【０１６８】
円形部３０ａと回転部３０ｂとは、一体とされてもよい。
この場合、平板状の中立弁部３０に可動弁部４０の嵌合される貫通孔が形成されて円形部３０ａとされる。円形部３０ａの周方向の一部分が、径方向外向きに延長された部分が回転部３０ｂとされる。
【０１６９】
円形部３０ａにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、回転部３０ｂの流路Ｈ方向の厚み寸法とほぼ等しくなるように形成される。円形部３０ａにおける中立弁部３０の径方向内側には、円フランジ部３０ｃが周設される。
【０１７０】
円フランジ部３０ｃにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、円形部３０ａの流路Ｈ方向の厚み寸法よりも小さくなるように形成される。円フランジ部３０ｃは、円形部３０ａの内周面において、流路Ｈ方向で第１開口部１２ａに近接する位置に周設される。
【０１７１】
流路Ｈ方向において、円フランジ部３０ｃよりも第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅが位置する。円フランジ部３０ｃは、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅと接続される。円フランジ部３０ｃと外枠板６０ｅとは、外周クランク部６０ｃの径方向外側に位置する。
【０１７２】
円フランジ部３０ｃにおける中立弁部３０の径方向となる幅寸法は、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。円形部３０ａおよび円フランジ部３０ｃは、外周クランク部６０ｃに対して可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。
なお、円形部３０ａと回転部３０ｂとは、流路Ｈ方向の厚み寸法が等しくなるように形成することもできる。
【０１７３】
可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、流路Ｈ方向に互いに移動可能な２つの部分からなる。可動弁部４０は、可動弁枠部６０（スライド弁枠）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。
【０１７４】
可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。可動弁枠部６０は、円形部３０ａにおける径方向内側に位置する。可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。
【０１７５】
可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して、振り子動作可能な位置と、第１開口部１２ａに接触可能な位置との間で移動可能とされる。
【０１７６】
可動弁枠部６０は、外周クランク部６０ｃと、内枠板６０ｄと、外枠板６０ｅと、を有する。
可動弁枠部６０は、内枠板６０ｄと外周クランク部６０ｃと外枠板６０ｅとが接続されて、径方向におけるリング状の断面形状が、略Ｚ字形状とされている。
【０１７７】
外周クランク部６０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな輪郭を有するリング状または円筒状に形成される。外周クランク部６０ｃは、可動弁枠部６０の外縁における全周に形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向における中立弁部３０の厚さ寸法とほぼ等しい流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。
【０１７８】
外周クランク部６０ｃは、摺動面６０ｂを有する。
摺動面６０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面６０ｂは、外周クランク部６０ｃの内周面において周方向の全長に設けられる。摺動面６０ｂは、後述する可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃの摺動面５０ｂと互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃには、内周クランク部５０ｃが嵌合している。
【０１７９】
内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向内側となる位置に周設される。内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する端部に周設される。内枠板６０ｄは、弁板５０ｄと平行なフランジ状に形成される。
【０１８０】
内枠板６０ｄは、流路Ｈ方向における外周クランク部６０ｃの厚さ寸法よりも小さな流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。内枠板６０ｄよりも流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する内周クランク部５０ｃが位置する。内枠板６０ｄにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法は、内周クランク部５０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。
【０１８１】
外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する端部に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側に周設される。
【０１８２】
外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃよりも流路Ｈ方向寸法の小さい突条とされる。外枠板６０ｅよりも流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する位置には、円フランジ部３０ｃが位置する。外枠板６０ｅには、後述するように、複数の弁枠付勢部９０が配置される。外枠板６０ｅには、弁枠付勢部９０を内蔵する付勢部穴６８が複数配置される。
【０１８３】
可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部（補助バネ）９０が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。可動弁枠部６０と円形部３０ａとは、同心状の二重円環とされる。
【０１８４】
可動弁枠部６０には、弁箱内面１０Ａに対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。弁枠シールパッキン６１は、円形となる外周クランク部６０ｃと内枠板６０ｄとの境界位置に配置される。弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃの第１開口部１２ａに対向する端面に設けられる。
【０１８５】
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着可能である。弁枠シールパッキン６１は、可動弁枠部６０に同心状として配置される。
【０１８６】
弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃにおける最外周に近接する位置に設けられる。弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。
【０１８７】
可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０における外周クランク部６０ｃの径方向内側に嵌合される。可動弁板部５０の径方向外側となる位置には、可動弁板部５０の周囲を囲むように可動弁枠部６０が配置される。
【０１８８】
可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃと可動弁枠部６０とは、同心状の二重円環とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。
【０１８９】
ここで、可動弁板部５０は、次の３つの位置の間で移動可能とされる。
第１の位置は、振り子動作可能な位置にある可動弁枠部６０と中立弁部３０とに対して同様に可動弁板部５０が振り子動作可能な位置である。
【０１９０】
第２の位置は、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａに接触可能な位置にある場合に、第１の位置における可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０と同じ位置である。
第３の位置は、第２の位置における可動弁枠部６０に対して、可動弁板部５０が第２開口部１２ｂに接触可能な位置である。
【０１９１】
可動弁板部５０は、内周クランク部５０ｃと、弁板５０ｄと、を有する。
可動弁板部５０は、弁板５０ｄにおける第１開口部１２ａに対向する面の周縁位置に内周クランク部５０ｃが周設されて、直径を通る断面形状が、略Ｕ字形状とされている。弁板５０ｄは、内周クランク部５０ｃの径方向内側を密閉するように設けられる。弁板５０ｄは、流路Ｈ方向と略直交する方向に配置された平板状とされる。
【０１９２】
内周クランク部５０ｃは、リング状または軸方向寸法が径方向寸法に比べて短い円筒状に形成される。内周クランク部５０ｃは、可動弁板部５０の外縁における全周に形成される。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな外周輪郭を有する。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや小さな内周輪郭を有する。
【０１９３】
内周クランク部５０ｃは、外周クランク部６０ｃよりも小さな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。内周クランク部５０ｃは、弁板５０ｄよりも大きな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。
【０１９４】
内周クランク部５０ｃは、摺動面５０ｂを有する。摺動面５０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面５０ｂは、内周クランク部５０ｃの外周面において周方向の全長に設けられる。内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとは、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとが接触した状態で嵌合している。摺動面５０ｂと可動弁枠部６０の摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
【０１９５】
内周クランク部５０ｃには、弁板付勢部（保持バネ）８０が収容される付勢部穴５８と周溝５９とが可動弁板部５０の周方向に交互に配置される。弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。複数の弁板付勢部（保持バネ）８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。
【０１９６】
本実施形態では、互いに離間する弁板付勢部（保持バネ）８０の配置として、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部（保持バネ）８０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部９０との角度位置と重なるように構成される。
【０１９７】
付勢部穴５８は、上記のような弁板付勢部（保持バネ）８０の配置に対応して、内周クランク部５０ｃの周方向に等間隔に４箇所設けられる。
周溝５９は、隣接する付勢部穴５８の間を結ぶように内周クランク部５０ｃの周方向に周設される。
【０１９８】
付勢部穴５８および周溝５９は、流路Ｈ方向における内周クランク部５０ｃの第１開口部１２ａに対向する面に開口を有する。
内周クランク部５０ｃには、周溝５９によって、周溝５９を挟んで流路Ｈ方向に立設された内周壁５９ａと、外周壁５９ｂと、内周壁５９ａおよび外周壁５９ｂの間の底部５９ｃとが形成される。
【０１９９】
内周壁５９ａと外周壁５９ｂとは、流路Ｈ方向に延在する。底部５９ｃは、弁板５０ｄと略平行な流路Ｈ方向と直交する方向に延在する。内周壁５９ａは、可動弁板部５０の径方向において、周溝５９よりも内側に周設される。
【０２００】
周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と内周壁５９ａの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｄが設けられる。周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と外周壁５９ｂの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｅが設けられる。
【０２０１】
周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置とされる。周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも厚く形成されている。
付勢部穴５８は、後述する弁板付勢部８０を収納可能として、略円筒状に形成される。付勢部穴５８の底部５８ｃは平面状とされており、湾曲部５９ｄ，５９ｅと同程度の曲率半形を有する湾曲部は設けないことができる。
【０２０２】
内周壁５９ａには、可動弁板部５０の径方向内側に弁板５０ｄが接続される。
可動弁板部５０において、内周クランク部５０ｃの内周壁５９ａと、弁板５０ｄの周縁部分とが、周溝５９の底部５９ｃよりも周溝５９の開口に近接した位置で接続される。
さらに、内周壁５９ａの径方向内側には、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも第１開口部１２ａに近接する位置に弁板５０ｄが接続されることが好ましい。
【０２０３】
なお、内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置としては、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部位置から、内周クランク部５０ｃの中心位置までの間で適宜設定することができる。
内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置として、流路Ｈ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部に近接した位置に設定することができる。
【０２０４】
外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、摺動面５０ｂが周設される。外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、板摺動シール部としてＯリング等からなる摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２が配される。外周壁５９ｂには、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２を収容するための溝５２ｍが周設される。
【０２０５】
摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接する位置に設けられる。
溝５２ｍは、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接した位置に設けられる。溝５２ｍは、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第１開口部１２ａに近接した位置に配される。
【０２０６】
外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側となる位置に、溝５１ｍの設けられた突条が周設される。溝５１ｍの設けられた突条は、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第２開口部１２ｂに近接して位置する。
溝５１ｍは、可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂよりも外側に位置する。溝５１ｍは、後述するカウンタークッション（シール部材）５１を収容する。溝５１ｍは、突条における第２開口部１２ｂに近接した位置となる端面に設けられる。
【０２０７】
可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂの外周面には、外周溝５６が設けられる。
外周溝５６は、流路Ｈ方向における溝５２ｍと溝５１ｍとの間に位置する。外周溝５６は、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２に接しないように配置される。
【０２０８】
摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとの間に配される。摺動シールパッキン５２により、摺動時における摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。
【０２０９】
摺動面５０ｂ、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２、摺動面６０ｂは、板摺動シール部を構成する。
【０２１０】
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。
【０２１１】
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１０に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
【０２１２】
可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する表面に、カウンタークッション（シール部材）５１が周設される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。カウンタークッション（シール部材）５１は、弾性体である。カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。
【０２１３】
カウンタークッション（シール部材）５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する端面に設けられる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃにおける最外周位置に設けられる。
【０２１４】
カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。
【０２１５】
カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。
【０２１６】
カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とが、流路Ｈ方向視して、互いに重なるように配置される。このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。
【０２１７】
可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
気抜き穴５３は、外周溝５６の内部と、カウンタークッション５１よりも中心Ｏに近接する位置で内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する面とを連通する。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。
【０２１８】
弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域、つまり、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとに配置される。
【０２１９】
弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。複数の弁板付勢部８０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁板付勢部８０は、それぞれ可動弁板部５０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０２２０】
複数の弁板付勢部８０は、組（セット）ごとに、可動弁板部５０の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁板付勢部８０の配置としては、図１２に示すように、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０２２１】
弁板付勢部８０は、可動弁板部５０の動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。
【０２２２】
図１３は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと、可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとを接続する。
【０２２３】
弁板付勢部８０は、板ガイドピン８１と、コイルバネ８２と、受圧部８３と、蓋部５８ｆと、規制筒８５と、を有する。
板ガイドピン８１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。板ガイドピン８１は、ボルト状とされる。板ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。板ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに固設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、内枠板６０ｄを貫通する。板ガイドピン８１の長軸部は、内枠板６０ｄから付勢部穴５８に向けて立設される。
【０２２４】
板ガイドピン８１は、内周クランク部５０ｃの付勢部穴５８と同軸に配置される。板ガイドピン８１の先端８１ａは、付勢部穴５８の内部に位置する。板ガイドピン８１の先端８１ａには、板ガイドピン８１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部８３が設けられる。
受圧部８３は、付勢部穴５８の底部５８ｃと当接可能であるか、底部５８ｃと当接しない程度の位置に配置される。受圧部８３は、板ガイドピン８１の先端８１ａにフランジ状に周設される。受圧部８３は、板ガイドピン８１から径方向外側に向いて突出する。
【０２２５】
板ガイドピン８１の長軸部には、径方向外側に規制筒８５が摺動可能に位置する。
規制筒８５は、板ガイドピン８１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒８５は、板ガイドピン８１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒８５は、一方の端部が、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆに接続される。規制筒８５の軸方向寸法は、板ガイドピン８１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒８５の径方向内側には、板ガイドピン８１と接触するブシュ８５ａが配置される。
【０２２６】
蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口を塞ぐように配置される。蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口位置に固定される。蓋部５８ｆには貫通孔として孔部５８ｇが設けられる。
孔部５８ｇは、規制筒８５と同軸かつ同径とされる。孔部５８ｇおよび規制筒８５には、板ガイドピン８１が嵌合している。
【０２２７】
蓋部５８ｆの内枠板６０ｄに近接する位置には、さらに、固定蓋５８ｆ１が蓋部５８ｆと接触するように設けられる。固定蓋５８ｆ１は、付勢部穴５８の開口に対する蓋部５８ｆの固定を補強する。固定蓋５８ｆ１には、孔部５８ｇよりも大きな貫通孔が同心状に設けられる。
【０２２８】
コイルバネ（保持バネ）８２は、例えばらせん状のスプリングなどの弾性部材とされる。コイルバネ（保持バネ）８２は、付勢部穴５８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。コイルバネ（保持バネ）８２は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。コイルバネ（保持バネ）８２は、二重螺旋とされて、径寸法の異なる内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとを有する。
【０２２９】
内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとは、いずれも板ガイドピン８１と同軸に配置される。
コイルバネ（保持バネ）８２は、二重に設けて付勢力を強化したが、一重とすることもできる。
【０２３０】
コイルバネ（保持バネ）８２は、一端が蓋部５８ｆに当接し、他端が受圧部８３に当接している。コイルバネ（保持バネ）８２は、これら蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧するように付勢されている。
【０２３１】
蓋部５８ｆおよび固定蓋５８ｆ１には、付勢部穴５８の内部で底部５８ｃ付近と、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、を連通する気抜き穴８５ｂが設けられる。
板ガイドピン８１の基部８１ｂおよび内枠板６０ｄには、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、内枠板６０ｄよりも弁箱内面１０Ａに近接する中空部１１と、を連通する気抜き穴８５ｃが設けられる。
【０２３２】
規制筒８５のブシュ８５ａよりも蓋部５８ｆに近接する位置には、Ｏリング等のシール部材８５ｄが周設されてもよい。
【０２３３】
板ガイドピン８１と規制筒８５とが、互いに軸方向に摺動することにより、板ガイドピン８１と規制筒８５との軸方向角度が変化せずに、板ガイドピン８１と規制筒８５との流路Ｈ方向の位置が変化する。これにより、板ガイドピン８１の基部８１ｂの固定された内枠板６０ｄと、規制筒８５の一端が固定された蓋部５８ｆとが、流路Ｈ方向に互いに移動する。これにより、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との位置規制を誘導する。
【０２３４】
コイルバネ（保持バネ）８２は、互いに離間する方向に蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧する。
受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、互いの位置関係が変化しない。このため、コイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とを常時付勢する。
【０２３５】
ここで、内枠板６０ｄと蓋部５８ｆとが離間するように流路Ｈ方向に移動した場合には、蓋部５８ｆと受圧部８３との距離が減少する。これにより、コイルバネ（保持バネ）８２が収縮する。この場合でも、受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、位置関係が変化しない。
【０２３６】
このため、収縮したコイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とをさらに付勢する。これにより、蓋部５８ｆと板ガイドピン８１の拡径した受圧部８３とが離間する方向に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに移動することになる。
【０２３７】
弁板付勢部８０においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、孔部５８ｇを貫通した板ガイドピン８１が、規制筒８５（ブシュ８５ａ）によって軸方向の向きを規制された状態で、蓋部５８ｆおよび規制筒８５に対して板ガイドピン８１の軸方向に移動する。すると、コイルバネ（保持バネ）８２が板ガイドピン８１の軸方向に収縮する。収縮したコイルバネ（保持バネ）８２によって、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆが、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに対して近接する方向に付勢される。
【０２３８】
これにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、流路Ｈ方向の厚み寸法が縮小する方向に、弁板付勢部８０の付勢力を受けることになる。
【０２３９】
弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。
【０２４０】
弁板付勢部８０（保持バネ）と弁枠付勢部（補助バネ）９０とは、互いに逆方向となる流路Ｈ方向に付勢可能な付勢力を有するように設けられる。
【０２４１】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと、流路Ｈ方向視して円フランジ部３０ｃと重なる可動弁枠部６０の位置規制部となる外枠板６０ｅと、の間に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。
【０２４２】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８に内蔵される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向視して中立弁部３０と可動弁枠部６０とが重なる領域、つまり、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとに配置される。
【０２４３】
複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃの周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁枠付勢部（補助バネ）９０を設ける箇所は、弁板付勢部８０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０２４４】
複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、組（セット）ごとに、可動弁枠部６０の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０の配置としては、図１２には、可動弁枠部６０の中心Ｏから見て、４個の弁枠付勢部（補助バネ）９０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０２４５】
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置と重なるように構成される。弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。
【０２４６】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃに対して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁枠部６０を往復動させる。
【０２４７】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとを接続する。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに設けられる。付勢部穴６８は、流路Ｈ方向に軸線を有する円筒状に形成される。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅを貫通するように設けられる。
【０２４８】
付勢部穴６８において、外枠板６０ｅにおける第２開口部１２ｂに対向する面の開口は、後述するように受圧部９３によって閉塞される。付勢部穴６８において、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接する位置の開口は閉塞されない。つまり、付勢部穴６８は、可動弁板部５０の付勢部穴５８と同じ向きに開口する。付勢部穴６８は、外枠板６０ｅでの可動弁枠部６０の径方向において、径方向内側寄りとなる外周クランク部６０ｃに近接した位置に設けられる。
【０２４９】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、枠ガイドピン９１と、枠コイルバネ９２と、規制筒９５と、を有する。
枠ガイドピン９１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。枠ガイドピン９１は、弁枠付勢部（補助バネ）９０内を貫通する。枠ガイドピン９１は、流路Ｈ方向に立設される。枠ガイドピン９１は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固設される。枠ガイドピン９１は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８と同軸に配置される。枠ガイドピン９１の基部９１ｂには、枠ガイドピン９１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部９３が設けられる。
【０２５０】
受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに対向する位置に固定される。受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに向かう開口を閉塞している。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部を形成している。つまり、枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、受圧部９３として付勢部穴６８の底部を形成している。受圧部９３は、付勢部穴６８の開口に螺合可能としてもよい。この場合、枠ガイドピン９１はボルト状とされることができる。
【０２５１】
受圧部９３は、可動弁枠部６０において、後述する弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に対向する面に露出している。枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固定される。
【０２５２】
枠ガイドピン９１の長軸部は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８から円フランジ部３０ｃに向けて立設される。円フランジ部３０ｃには第１開口部１２ａに対向する面に凹部３０ｃｍが設けられる。
凹部３０ｃｍの中央位置には、流路Ｈ方向に円フランジ部３０ｃを貫通する貫通孔３０ｇが設けられる。
貫通孔３０ｇには、枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。
【０２５３】
したがって、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃを貫通する。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃに設けられた凹部３０ｃｍに位置することが可能である。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、流路Ｈ方向において、弁枠シールパッキン６１よりも弁箱内面１０Ａに近接しないように軸方向長さが設定される。
枠ガイドピン９１の先端９１ａの周囲に中立スペーサ９４が設けられる。
【０２５４】
中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａによって、枠ガイドピン９１の先端９１ａ位置に取り付けられている。中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａは、凹部３０ｃｍの内部に位置することが可能である。
【０２５５】
枠ガイドピン９１の軸方向中央に位置する長軸部には、枠ガイドピン９１に対して摺動可能な規制筒９５が径方向外側に位置する。
規制筒９５は、枠ガイドピン９１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒９５は、枠ガイドピン９１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒９５の軸方向寸法は、枠ガイドピン９１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒９５の径方向内側には、枠ガイドピン９１と接触するブシュ９５ａが配置される。
【０２５６】
規制筒９５における一方の端部には、フランジ部９５ｆが周設される。
フランジ部９５ｆは、円フランジ部３０ｃにおける凹部３０ｃｍの裏面となる位置に固定接続される。規制筒９５は、フランジ部９５ｆによって、円フランジ部３０ｃにおける外枠板６０ｅに対向する面に固定される。
【０２５７】
フランジ部９５ｆおよび規制筒９５には、流路Ｈ方向に延在する貫通孔９５ｇを有する。貫通孔９５ｇは、フランジ部９５ｆおよび規制筒９５において連通している。貫通孔９５ｇは、貫通孔３０ｇと同軸位置とされる。貫通孔９５ｇには、貫通孔３０ｇと同様に枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。
【０２５８】
枠コイルバネ９２は、補助バネとして弁枠付勢部９０を構成する。枠コイルバネ９２は、付勢部穴６８の内部に収納されている。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の周囲となる位置に、同軸状態に配置される。
枠コイルバネ９２は、例えばスプリングなどの弾性部材とされて、付勢部穴６８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。
【０２５９】
枠コイルバネ９２の一端は、枠ガイドピン９１における基部９１ｂの周囲である受圧部９３に当接している。枠コイルバネ９２の他端は、貫通孔９５ｇの周囲となるフランジ部９５ｆに当接している。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂの周囲と、貫通孔９５ｇの周囲のフランジ部９５ｆとを、流路Ｈ方向にそれぞれ逆向きに付勢する。枠コイルバネ９２は、たとえば、二重のコイルバネからなる構成として、付勢力を強化することもできる。
【０２６０】
弁枠付勢部（補助バネ）９０においては、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して移動する際に、円フランジ部３０ｃに固定された規制筒９５の貫通孔９５ｇの軸方向に、枠ガイドピン９１が軸方向に移動する。この際、枠ガイドピン９１は、ブシュ９５ａに対して摺動する。すると、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、凹部３０ｃｍから弁箱内面１０Ａに向けて突出する。
【０２６１】
これにより、規制筒９５のフランジ部９５ｆと、付勢部穴６８の底部である受圧部９３とが、流路Ｈ方向に近接する。この際、枠コイルバネ９２が収縮する。収縮した枠コイルバネ９２の付勢力によって、受圧部９３とフランジ部９５ｆとが、互いに離間する方向に押圧される。
【０２６２】
つまり、付勢部穴６８の底部の受圧部９３と円フランジ部３０ｃの裏面のフランジ部９５ｆとが、流路Ｈ方向に互いに離間するように位置移動する。これにより、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して位置移動することになる。
【０２６３】
このように、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能となる。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向には位置移動しない中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動させる。
【０２６４】
このとき、弁枠付勢部（補助バネ）９０では、規制筒９５が枠ガイドピンの軸方向が傾かない。弁枠付勢部（補助バネ）９０により、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動する際に、可動弁枠部６０の移動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制する。したがって、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対する姿勢が変化せずに平行移動する。
【０２６５】
同時に、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向以外に移動しないように規制することができる。具体的には、円形部３０ａに嵌合されている可動弁枠部６０が、周方向に移動してしまうことを防止できる。これにより、弁体５の振り子動作において、中立弁部３０に対する可動弁枠部６０の保持状態を安定させて、仕切りバルブ１００の動作安定性を向上することができる。
【０２６６】
さらに、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動した際にも、枠ガイドピン９１と板ガイドピン８１とが平行なことにより、弁板付勢部８０により可動弁板部５０が追従して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動する。なお、弁板５０ｄに流路Ｈ方向の差圧が印加されている場合には、この限りではない。
【０２６７】
ここで、流路Ｈ方向における可動弁枠部６０の位置移動に関して、弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０により、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、これらの摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。
【０２６８】
弁箱１０には、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が内蔵されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向において第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第１〜第２実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０とされる。
【０２６９】
本実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在とされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が、真空側となる中空部１１に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
伸縮ロッド（可動部）７２の周囲には、例えば、可動弁枠部６０に近接する位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７７ｆが設けられる。伸縮ロッド（可動部）７２は、固定部７１と真空側となる中空部１１とにおける境界をシールした状態で伸縮自在とされる。
【０２７０】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに当接させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧して、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
【０２７１】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに押圧可能な位置として弁箱１０に配される。具体的には、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線が、弁枠付勢部（補助バネ）９０の枠ガイドピン９１の軸線と一致するように配置される。
【０２７２】
伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂとなるように配置される。つまり、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の受圧部９３となるように配置される。
【０２７３】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周囲に沿って互いに離間して設けられる。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。
【０２７４】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、弁枠付勢部（補助バネ）９０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、それぞれ第２開口部１２ｂの中心Ｏを通る直径（直線）における両端の径方向外側となる位置に配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０２７５】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、組（セット）ごとに、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置としては、図１２には、第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０２７６】
第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置と重なるように構成される。
【０２７７】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。
【０２７８】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）における流路連通状態（図１１，図１３）から閉弁状態（図１４〜図１７）とする場合に、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。
【０２７９】
このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。
【０２８０】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。
【０２８１】
ここで、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線を延長した位置にある受圧部９３に当接する。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部位置に固定されているため、伸縮ロッド（可動部）７２の押圧力は、受圧部９３および外枠板６０ｅを介して、外周クランク部６０ｃに伝達される。
【０２８２】
この際、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。この枠ガイドピン９１の軸線と伸縮ロッド（可動部）７２との軸線が一致していることにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。
【０２８３】
以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。
【０２８４】
まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、弁体５が、図９に破線で示すように、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂのいずれにも接していない。
【０２８５】
この状態で、回転軸駆動部２００によって回転軸２０を符号Ｒ０１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０および可動弁部４０が方向Ｒ０１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、弁体５は、退避位置から、図９に実線で示すように、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。
【０２８６】
弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は、可動弁枠部６０に当接して、可動弁枠部６０を押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
【０２８７】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、図１４〜図１７に示すように、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。
【０２８８】
逆に、流路Ｈが閉鎖された状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。これにより、伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。
【０２８９】
これにより、図１０〜図１３に示すように、流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。
【０２９０】
解除動作の後に、回転軸駆動部２００によって回転軸２０を符号Ｒ０２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。
【０２９１】
［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１０〜図１２には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。
【０２９２】
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、縮退した状態にある。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱内面１０Ａよりも固定部７１に近接した位置に埋没した状態にある。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁体５と接していない。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出していない。
【０２９３】
図１４は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図１５は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図１４，図１５に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、受圧部９３に当接する。
【０２９４】
これにより、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出する。
【０２９５】
このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
【０２９６】
［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図１４，図１５には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。
【０２９７】
正圧／差圧無の弁閉状態では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を維持する。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出した状態を維持する。
【０２９８】
［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図１６は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図１７は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図１６，図１７には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、弁体５の可動弁板部５０が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。
【０２９９】
伸縮ロッド（可動部）７２が伸長した状態で、弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図１６，図１７）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。
【０３００】
さらに、逆圧の弁閉状態から正圧／差圧無とする。この状態において、弁枠付勢部９０の枠コイルバネ９２の付勢力により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。
【０３０１】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、相互の位置規制をそれぞれ正確におこなうことが可能となる。つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。同時に、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。
特に、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との摺動方向を、いずれも往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
【０３０２】
また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。
【０３０３】
さらに、弁体５が振り子動作する際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、互いに一体的な位置関係を維持したまま振り子動作を行うことができる。
【０３０４】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０を押圧した際に、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。
【０３０５】
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する移動において、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する姿勢を非常に安定させることができる。
【０３０６】
同時に、伸縮ロッド（可動部）７２に押圧された可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向へ移動する際、この可動弁枠部６０の移動方向と、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力の作用方向とが一致する。また、可動弁枠部６０の移動方向に対して、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力が同一直線上となる位置で可動弁枠部６０に作用する。
これにより、可動弁枠部６０にモーメントが発生してしまうことを抑制できる。したがって、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することができる。
これらにより、可動弁枠部６０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。
【０３０７】
本実施形態においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが二組で４個ずつ設けられた構成としたが、これ以外の構成としてもよい。具体的には、三組で６個ずつ、あるいは、四組で８個ずつなど、仕切りバルブ１００の口径にあわせて、他の設置組数とすることも可能である。
また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０と、弁板付勢部（保持バネ）８０とが、それぞれ異なる組数として配置されることもできる。この場合でも、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０は同じ組数とすることが好ましい。
【０３０８】
本実施形態においては、上記の各実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０３０９】
本発明において、上記の各実施形態における個々の構成を、適宜選択して組み合わせることも可能である。
例えば、接続フランジ９１１またはチャンバ壁部９１２に凹部９３５を形成して、シール溝９３１ａ，９３３ａを弁体１０の表面１０ａに形成することができる。あるいは、接続フランジ９１１またはチャンバ壁部９１２にシール溝９３１ａ，９３３ａを形成して、凹部９３５を弁体１０の表面１０ａに形成することができる。
第２接続部９４０を第１節続部９３０と同じように、内シール領域９４１に加えて外シール領域を設け、第２チャンバ９２０に接続する際に、二つのタイプの接続方式が兼用可能になるようにすることもできる。
【符号の説明】
【０３１０】
５…弁体
１０…弁箱
１０ａ，１０ｂ…表面
１１…中空部
１２ａ…第１開口部
１２ｂ…第２開口部
２０…回転軸
３０…中立弁部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
６３…弁枠部
７０…弁箱付勢部（押しつけシリンダ）
８０…弁板付勢部（保持バネ）
９０…弁枠付勢部（補助バネ）
１００…仕切りバルブ
２００…回転軸駆動部
７００…油圧駆動部
９１０…第１チャンバ
９１１，９２１…接続フランジ
９１１ｂ，９１２ｂ，９２１ｂ…貫通孔
９１２…チャンバ壁部
９１２ａ…チャンバ開口部
９１４，９２４…表面
９１５…接続筒
９２０…第２チャンバ
９３０…第１接続部
９３１，９４１…内シール領域
９３１ａ，９３３ａ，９４１ａ…シール溝
９３１ｂ，９３３ｂ，９４１ｂ…シール部材
９３２，９４２…接続部材
９３２ａ，９４２ａ…締結穴
９３３…外シール領域
９３４，９４４…メタルタッチ領域
９３５，９４５…凹部
９４０…第２接続部
Ｈ…流路
Ｏ…中心
【要約】      （修正有）【課題】二つの接続方式に対応して兼用可能とする。【解決手段】仕切りバルブ１００であって、流路Ｈとなる中空部１１を有する弁箱１０と、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能な弁体５と、回転軸２０と、回転軸駆動部２００と、弁開口遮蔽位置の可動弁部を油圧で押圧する弁箱付勢部７０と、油圧駆動部７００と、弁箱に設けられた第１開口部１２ａを密閉するように第１チャンバ９１０に接続する第１接続部９３０と、を有し、第１接続部が、第１開口部の周囲に沿って設けられる内シール領域９３１と複数の接続部材９３２と外シール領域９３３とを有し、これらが第１開口部の径方向の外向きに順に配置されて弁箱の表面１０ａと第１チャンバの表面とをシール可能である。【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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