(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置された下部炉体と、
前記搬送装置の上方に配置されるように、前記下部炉体と対向して配置された上部炉体と、
前記下部炉体、前記上部炉体及び前記搬送装置を収納する筐体を構成する下部筐体及びフードと、
前記下部炉体及び前記上部炉体の間に第１の開口を形成するように、前記上部炉体を昇降、又は回転させ、前記上部炉体の移動量又は回転量が所定値以上となると、前記下部筐体及び前記フードの間の第２の開口を形成するように、接触部によって前記上部炉体及び前記フードの両者を移動させる駆動機構と、
前記駆動機構を制御することによって、前記第１の開口及び前記第２の開口を形成しない加熱状態と、前記第１の開口を形成する段取り替え状態と、前記第１の開口及び前記第２の開口を形成するメインテナンス状態とを切り替える制御部と
を備えた搬送加熱装置。
【請求項２】
前記上部炉体及び前記フードを垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
単一の駆動手段と前記複数の昇降機構の間に設けられた回転伝達機構とを有する請求項１に記載の搬送加熱装置。
【請求項３】
前記搬送装置が搬送方向に沿って並列に設けられた複数の搬送コンベアを有する請求項１又は２に記載の搬送加熱装置。
【請求項４】
前記複数の搬送コンベアのそれぞれの間に隔壁が設けられ、前記隔壁が上部隔壁及び下部隔壁が接続位置で分離又は嵌合するようになされた請求項３に記載の搬送加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばプリント基板のリフローを行うリフロー装置に対して適用できる搬送加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品又はプリント基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベアで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベアと、この搬送コンベアによって被加熱物例えばプリント基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。
【０００３】
リフロー炉本体は上部炉体及び下部炉体を有する。例えば上部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させてプリント基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。リフロー装置では、加熱時の温度を所望の温度プロファイルにしたがって制御することによって、所望のはんだ付けがなされる。
【０００４】
最近では多品種少量生産に対応するために、リフロー装置の温度条件の変更作業が頻繁に行われるようになっている。この変更作業（すなわち、段取り替え作業）に要する時間が生産タクトのボトルネックになっている。炉体の温度を例えば２２０℃から２００℃へ低下させたい時に時間がかかる問題があった。
【０００５】
従来では炉体上部と炉体を覆うフードが一体に開く構成で一般的である。したがって、炉体及びフードの両方を開けて外気を取込み急速に炉体を冷却することは可能である。しかしながら、特に炉内の窒素雰囲気が外部に飛散することにより作業環境（生産現場）の悪化、つまり作業者の危険性から炉体及びフードを開けることによる段取り替え作業を行うことができない。特許文献１に記載のものでは、加熱炉の温度降下にかかる時間を短縮化するために、上部カバーを開口することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５６９４５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の構成では、上部カバーのみを開けるので、炉体が断熱材で覆われている最近の構成の場合では、炉内の温度低下に長い時間要する問題があった。
【０００８】
したがって、この発明の目的は、段取り替え作業時に、作業環境の悪化を防止しつつ温度を急速に低下させることができ、さらに、メインテナンス作業のための状態を提供できる搬送加熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被加熱体を搬送する搬送装置と、
搬送装置の下方に配置された下部炉体と、
搬送装置の上方に配置されるように、下部炉体と対向して配置された上部炉体と、
下部炉体、上部炉体及び搬送装置を収納する筐体を構成する下部筐体及びフードと、
下部炉体及び上部炉体の間に第１の開口を形成するように、上部炉体を昇降、又は回転させ、上部炉体の移動量又は回転量が所定値以上となると、下部筐体及びフードの間の第２の開口を形成するように、接触部によって上部炉体及びフードの両者を移動させる駆動機構と、
駆動機構を制御することによって、第１の開口及び第２の開口を形成しない加熱状態と、第１の開口を形成する段取り替え状態と、第１の開口及び第２の開口を形成するメインテナンス状態とを切り替える制御部と
を備えた搬送加熱装置である。
【発明の効果】
【００１０】
少なくとも一つの実施形態によれば、下部炉体及び上部炉体間に開口が形成され、筐体及びフード間に開口が形成されない段取り替え状態を形成することによって、安全性を確保しつつ段取り替えに要する時間を短縮でき、さらに、メインテナンス状態も同一の機構で提供が可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。
【図２】この発明の第１の実施の形態における昇降機構の説明に用いる斜視図である。
【図３】この発明の昇降機構の制御の説明に用いる略線図である。
【図４】この発明の昇降機構の制御の説明に用いるブロック図である。
【図５】この発明の第１の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図６】この発明の第１の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図７】この発明の第１の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【図８】この発明の第２の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図９】この発明の第２の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図１０】この発明の第２の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【図１１】この発明の第３の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図１２】この発明の第３の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図１３】この発明の第３の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【図１４】この発明の第４の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図１５】この発明の第４の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図１６】この発明の第４の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【図１７】この発明の第５の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図１８】この発明の第５の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図１９】この発明の第５の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【図２０】この発明の第６の実施の形態の通常位置の説明に用いる断面面である。
【図２１】この発明の第６の実施の形態の段取り替え位置の説明に用いる断面図である。
【図２２】この発明の第６の実施の形態のメインテナンス位置の説明に用いる断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．第１の実施の形態＞
＜３．第２の実施の形態＞
＜４．第３の実施の形態＞
＜５．第４の実施の形態＞
＜６．第５の実施の形態＞
＜７．第６の実施の形態＞
＜８．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
【００１３】
＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、この発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。リフロー装置１０１は、炉体１０２と、被加熱物例えば両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント基板（以下、ワークと称する）Ｗを炉体１０２内を通過させる搬送コンベア１０３と、搬送コンベア１０３の移動経路を規定する回転体１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄと、下部筐体１０４及びフード１０６を備える。
【００１４】
炉体１０２は、下部炉体１及び上部炉体２によってワークＷを上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送コンベア１０３は、シングル搬送の場合は搬送方向に延びる一つの搬送コンベアであり、デュアル搬送の場合は搬送方向に平行して配されている二つの搬送コンベアである。例えば搬送コンベア１０３として、ローラチェーンが使用されている。リフロー装置１０１の下部全体を覆う下部筐体１０４と上部全体を覆うフード１０６が設けられている。下部筐体１０４上にフード１０６が載置され、炉体１０２の全体が下部筐体１０４上にフード１０６によって囲まれて閉空間が形成されている。
【００１５】
ワークＷは、搬入口１０７から炉体１０２内に搬入された後、搬送コンベア１０３によって所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ搬送され、最終的に搬出口１０８から取り出される。図示しないが、搬入口１０７の前段には、ワークＷを搬入するためのワーク搬入装置が設けられ、搬出口１０８の後段には、ワークＷを外部へ送り出すためのワーク搬出装置が配置されている。
【００１６】
搬入口１０７から搬出口１０８に至る搬送経路に沿って、炉体１０２が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。搬入口１０７側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、搬出口１０８側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット（図示しない）が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークＷの温度を制御する。加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む下部炉体１及び上部炉体２を有する。
【００１７】
最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間は温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間がリフロー（リフロー）部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０℃〜１７０℃）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、ワークの加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０℃〜２４０℃）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、無鉛ハンダの場合では、リフロー部における温度は、より高温（例えば２４０℃〜２６０℃）となる。
【００１８】
かかる構成のリフロー装置１０１では、昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。リフロー部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。
【００１９】
＜２．第１の実施の形態＞
上述したリフロー装置１０１において、炉体１０２の上部炉体２が上方に平行移動され、下部炉体１と上部炉体２間に炉体１０２の搬送方向に沿った両側に炉体内の雰囲気排出用の第１の開口が形成される。第１の開口は第１の駆動機構によって形成される。この開口を通じて雰囲気が炉体外に排出され、炉体内の温度を迅速に降下させることができ、段取り替え作業の作業性を向上できる。さらに、メインテナンス時には、上部炉体と下部炉体間の雰囲気排出用の第１の開口に加えて下部筐体１０４及びフード１０６間に炉体１０２の搬送方向に沿った両側にメインテナンス用の第２の開口が形成される。第２の開口は第２の駆動機構によって形成される。メインテナンス用の第２の開口を通じて作業を行い、フラックス除去等のメインテナンス作業がなされる。以下に説明する第１乃至第４の実施の形態において、上部炉体２が所定の高さまで上昇すると、第１の開口が形成され、さらに、上部炉体２がより高い位置まで上昇すると、第２の開口が形成される。すなわち、この構成では、第１の駆動機構と第２の駆動機構が共通の駆動源によって動作される単一の駆動機構の構成とされている。なお、第１の駆動機構と第２の駆動機構を共通の駆動源によって動作させる場合でも、別々の昇降（又は回転）機構を第１及び第２の駆動機構として使用したり、別々の駆動源によって別々の第１及び第２の駆動機構を動作させたりする構成も可能である。
【００２０】
図２は、第１の実施の形態における上部炉体２の上昇のための構成を示す。図２においては、フード１０６を図示しないが、フードフレームに対して金属板（外板）が貼り付けられてフード１０６が構成される。フード１０６は炉体１０２の上方全体を覆う屋根状に例えば角柱部材を組み立てたものである。
【００２１】
炉体１０２の上部炉体２（２点鎖線で示す）の両側面にそれぞれ２個の連結部としてのブラケット３ａ，３ｂ，３ｃ及び３ｄ（これらのブラケットを特に区別する必要がない場合は単にブラケット３と称する）が固定されている。連結部としては板状のものに限らず、棒状のものなどを使用してもよい。なお、図２Ａ及び図２Ｂでは、上部炉体２を矩形の箱体として示している。上部炉体２に対してそのワーク搬入側から等距離の位置に２個のブラケット３ａ及び３ｃが取り付けられ、そのワーク搬出側から等距離の位置に２個のブラケット３ｂ及び３ｄが取り付けられる。すなわち、上部炉体２の４隅の近傍にブラケット３が取り付けられる。ブラケット３は、金属板をＬ字状に加工して水平板と垂直板が約９０度の角度をなすもので、垂直板が上部炉体２の側面と固定されている。
【００２２】
第１の実施の形態では、上部炉体２が垂直方向に昇降するようになされる。図２Ａは上部炉体２が通常位置にある状態（加熱状態）を示す。図２Ｂは上部炉体２がメインテナンス位置にある状態（メインテナンス状態）を示す。これらの通常位置とメインテナンス位置との間の高さであって、且つフード１０６が下部筐体１０４上に載置されて下部筐体１０４及びフード１０６が閉じている高さが段取り替え時の位置（段取り替え状態）である。
【００２３】
通常位置（加熱状態）では、下部炉体１及び上部炉体２間が閉じており、炉体側面に第１の開口が形成されない。段取り替え位置（状態）では、下部炉体１及び上部炉体２間が開いており、炉体１０２の搬送方向に沿った両側に第１の開口が形成される。さらに、メインテナンス位置（状態）ではフードが上方に平行移動され、炉体側面の第１の開口に加えてフードと筐体の間に炉体１０２の搬送方向に沿った両側に第２の開口が形成される。これらの開口を通じてメインテナンス作業を行うことができる。
【００２４】
段取り替え時の昇降動作によって上部炉体２が平行移動され、メインテナンス時の昇降動作によってフードが平行移動される。平行移動とは上部炉体２又はフードの全ての点が等しい距離移動することである。但し、歯車のバックラッシュ等の誤差に起因して通常生じる程度の相違が存在する場合も平行移動と称する。必要に応じて初期的な調整がなされ、上部炉体２又はフードが水平に位置するようになされる。
【００２５】
ブラケット３の水平板の下側に駆動機構としての昇降機構４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（これらの昇降機構を特に区別する必要がない場合は単に昇降機構４と称する）が配置されている。昇降機構４に対して単一の駆動手段としてモータ５が設けられる。モータ５の回転が図示しない制御部によって制御される。炉体１０２（上部炉体２）はリフロー動作時に非動作時に比較して数ミリ程度熱膨張する。この炉体１０２の熱膨張によってブラケット３の位置が変化する。この変化を吸収するために、ブラケット３と昇降機構４の取付箇所において、ブラケット３の水平板がスライド可能とされている。
【００２６】
モータ５と昇降機構４との間に、モータ５の駆動力を昇降機構４に伝達するための回転伝達機構部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ（これらの回転伝達機構部を特に区別する必要がない場合は単に回転伝達機構部６と称する）が設けられている。昇降機構４は、台形ねじで構成されたスクリュー軸７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ（これらのスクリュー軸を特に区別する必要がない場合は単にスクリュー軸７と称する）と、スクリュー軸７の回転によって昇降する可動支柱８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ（これらの可動支柱を特に区別する必要がない場合は単に可動支柱８と称する）を有している。
【００２７】
回転伝達機構部６には回転を伝達するための軸９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ（これらの軸を特に区別する必要がない場合は単に軸９と称する）が設けられている。モータ５は、一つの昇降機構例えば昇降機構４ａと回転伝達機構部６ａを介して結合されている。さらに、昇降機構４ｄの回転伝達機構部６ｄに手動で回転力を発生するためのハンドル１０が取り付けられている。なお、モータ５及び回転伝達機構部６は下部炉体の下側例えばリフロー装置の底部に設置される。下部炉体から離れるほどリフロー時の炉体の熱の影響を受けにくいので、モータ５及び回転伝達機構部６が熱で故障するおそれを低くできる。
【００２８】
回転伝達機構部６ａにおいて、モータ５の回転がスクリュー軸７ａ、軸９ａ及び９ｂに伝達される。モータ５の軸とほぼ同一の延長方向を有する軸９ａに対しては軸継手（カップリング）を介して回転力が伝えられる。モータ５の軸と異なる方向のスクリュー軸７ａ及び軸９ｂに対してはかさ歯車を介して回転力が伝えられる。軸９ａの回転が回転伝達機構部６ｂに伝達され、軸９ｂの回転が回転伝達機構部６ｃに伝達される。なお、かさ歯車は回転伝達機構の一例であり、ウォームギヤ等の他の機構を使用してもよい。
【００２９】
回転伝達機構部６ｂにおいて、かさ歯車を介して軸９ａの回転がスクリュー軸７ｂ及び軸９ｄに伝達される。回転伝達機構部６ｃにおいて、かさ歯車を介して軸９ｂの回転がスクリュー軸７ｃに伝達される。回転伝達機構部６ｄにおいて、かさ歯車を介して軸９ｄの回転がスクリュー軸７ｄに伝達される。軸９ｄに代えて軸９ｃによって回転を伝達するようにしてもよい。４本の軸９が水平面上で矩形を構成し、ねじれ等に対する強度を増すことができる。
【００３０】
上述したように、回転伝達機構部６ａにおいて、モータ５の回転がスクリュー軸７ａ、軸９ａ及び軸９ｂに伝達される。そして（軸９ａ→回転伝達機構部６ｂ（スクリュー軸７ｂ）→軸９ｄ→回転伝達機構部６ｄ（スクリュー軸７ｄ））の経路と、（軸９ｂ→回転伝達機構部６ｃ（スクリュー軸７ｃ））の経路でモータ５の回転が伝達される。軸９ａ，９ｂ，９ｄの回転が同期しているので、４本のスクリュー軸７ａ〜７ｄも同期して回転する。
【００３１】
スクリュー軸と噛み合う台形ねじのナットが可動支柱８に取り付けられている。スクリュー軸７の所定方向の回転によってナットが上昇し、反対方向の回転によってナットが下降するため、スクリュー軸７の回転によって可動支柱８が昇降する。このナットに可動支柱８が取り付けられているので、スクリュー軸７の回転によって可動支柱８が昇降する。可動支柱８の上側の端部の支持板がブラケット３の水平板の下面に取り付けられている。上述したように、上部炉体２が熱膨張するので、ブラケット３が変位可能に可動支柱８によって支持される。図２Ａ及び図２Ｂに示すように、スクリュー軸７の回転によって可動支柱８が昇降すると、上部炉体２が昇降する。図２Ａが通常位置を示し、図２Ｂがメインテナンス時の位置を示す。
【００３２】
スクリュー軸７とナットの噛み合わせの構造は、セルフロック機能を有し、スクリュー軸７の回転が静止した時の可動支柱８の位置が保持される。したがって、モータ５及び回転伝達機構部６にブレーキ機構を設ける必要がない。ブレーキ機構を設けないので、例えば停電時にはハンドル１０を回転することによって、スクリュー軸を回転させて上部炉体２が昇降させることができる。すなわち、ハンドル１０の回転が（回転伝達機構部６ｄ（スクリュー軸７ｄ）→軸９ｄ→回転伝達機構部６ｂ（スクリュー軸７ｂ）→軸９ａ→回転伝達機構部６ａ（スクリュー軸７ａ）→軸９ｂ→回転伝達機構部６ｃ（スクリュー軸７ｃ））の経路で伝達される。軸９ａ，９ｂ，９ｄの回転が同期するので、４本のスクリュー軸７ａ〜７ｄが同期して回転する。
【００３３】
回転伝達機構部６の損傷等の理由によって、４本のスクリュー軸７が同期して回転しない場合にはリフロー装置に損傷が与えられるおそれがある。そこで、可動支柱８にスクリュー軸７の回転を監視するために例えば光学式の回転検出センサを設けるようにしている。スクリュー軸７の回転の検出の代わりに可動支柱８の昇降を検出するようにしてもよい。４本のスクリュー軸７が全て回転している場合を正常動作として検出し、スクリュー軸７の１本でも正常に回転していない場合（停止及び回転速度の異常）を異常動作として検出する。異常動作の場合には、モータ５を強制的に停止させる。
【００３４】
図３に示すように、可動支柱８の昇降を検出するために、可動支柱８にセンサドグＳＤが取り付けられ、可動支柱８の昇降方向と平行し、且つ異なる高さの位置にセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３が配されている。センサドグＳＤがセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３と接近すると、光学的な検出動作、磁気的な検出動作又は静電的な検出動作に基づいて検出信号が発生する。さらに、非接触式に限らず、接触式のものを使用してもよい。一例としてマイクロフォトセンサが使用される。センサＳ１が例えば生産を行う通常位置と対応して設けられ、センサＳ２が段取り替え位置と対応して設けられ、センサＳ３がメインテナンス位置と対応して設けられている。なお、図３では、一つの可動支柱８についてのみ示されているが、全ての可動支柱と関連してセンサが同様に設けられている。また、図３では、回転伝達機構部６としてかさ歯車が示されている。
【００３５】
可動支柱８の昇降動作は、駆動手段としてのモータ５によってなされるので、図４に示すように、モータ５の駆動を制御する制御部３１に対して全ての可動支柱と関連するセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３の検出信号が供給される。制御部３１は、マイクロプロセッサを有し、ソフトウェアにしたがってモータ５の回転を制御する。例えば初期位置からモータ５の回転が開始してセンサＳ１の検出信号が発生すると、モータ５の回転を停止し、可動支柱８の位置を通常位置とする。入力部３２から段取り替え指令が制御部３１に供給されると、制御部３１はモータ５の回転を開始する。そして、センサＳ２からの検出信号が得られると、制御部３１はモータ５の回転を停止する。さらに、入力部３２からメインテナンス指令が制御部３１に供給されると、制御部３１はモータ５をさらに回転させる。そして、センサＳ３からの検出信号が得られると、制御部３１はモータ５の回転を停止する。制御部３１は、センサＳ１、センサＳ２及びセンサＳ３の検出信号同士の時間間隔を測定することによって、可動支柱８の昇降速度を測定することができる。４個の昇降機構の可動支柱８の昇降速度が予め設定した値以上ばらつく場合には、制御部３１がモータ５の回転を緊急停止する。なお、図３及び図４に示すモータ５の回転の制御の構成は一例であって、他の構成を使用してもよい。
【００３６】
上述したように、この発明の第１の実施の形態では、駆動手段としてのモータ５が単一であって、４個の昇降機構４が設けられている。この発明と異なり、各昇降機構にモータを設けることも考えうる構成である。しかしながら、このように別々のモータを設けると、モータ間の同期をとることが難しく軸の噛み込みによる昇降不良が発生し、平行移動ができないおそれが高い。さらに、停電時には全てのモータが停止してしまうので、別々に手動で動かすことになり、平行移動が難しい問題がある。したがって、この発明のように、単一の駆動手段によって駆動する構成によって昇降機構の昇降動作を同期させることができ、また、停電時に手動で駆動することができる利点がある。なお、第１の実施の形態における昇降機構と同様の昇降機構が第２乃至第４の実施の形態においても同様に設けられている。
【００３７】
さらに、この発明をシングル搬送に適用した第１の実施の形態について図面を参照して説明する。図５は、加熱ゾーンの一つのゾーンを搬送方向と直交する面で切断した場合の断面を搬入口側から見た断面図である。図５に示すように、下部炉体１と上部炉体２の対向間隙内で、ワークＷが、搬送コンベア１０３上に置かれて搬送される。下部炉体１に当接する上部炉体２の端面には、耐熱性を有するパッキング２１ａ及び２１ｂが設けられている。
【００３８】
下部炉体１に対して弁１１ａが設けられ、上部炉体２に対して弁１１ｂが設けられている。上部炉体２の上面に逆円錐状の突起１２ａ及び１２ｂが形成され、これらの突起１２ａ及び１２ｂが嵌合する孔１３ａ及び１３ｂがフード１０６のフレームに設けられている。突起１２ａ及び１２ｂの他に昇降機構４ａ及び４ｃの位置付近にも突起が設けられている。同様に、孔がフードフレームに形成されている。突起１２ａ及び１２ｂは、上部炉体２がフード１０６に作用する接触部である。フード１０６の上部には排気用のダクト１４が設けられている。
【００３９】
下部炉体１及び上部炉体２により形成される空間内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ2）ガスが充満している。なお、雰囲気ガスは窒素（Ｎ2）ガスに代えて大気ガスであってもよい。下部炉体１及び上部炉体２は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。下部炉体１及び上部炉体２のそれぞれには例えばターボファンの構成の送風機と、ヒータと、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）からなる加熱ユニットが配されている。なお、この発明では、下部炉体１及び上部炉体２の一方にのみ加熱ユニットを有する構成も可能である。
【００４０】
図５に示す通常位置（加熱状態）では、弁１１ａ及び１１ｂが閉じられており、突起１２ａ及び１２ｂが孔１３ａ及び１３ｂと嵌合していない。下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。フード１０６は、フードフレームに対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３によって搬送されるワークＷに対して上側から吹きつけられる。下部炉体１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００４１】
段取り替え時には、昇降機構４によって上部炉体２が上方に平行移動され、上部炉体２の移動量が所定値以上になると孔１３ａ及び１３ｂに突起１２ａ及び１２ｂが嵌合し、さらに上部炉体２が上昇することによって、図６に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂが形成される。また、弁１１ａ及び１１ｂが開かれる。開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂを通じて冷気が炉内に導入され、矢印で示すように、弁１１ａ及び１１ｂを通じて炉内の熱い雰囲気ガスが炉外へ排出され、さらに、ダクト１４を通じて外部へ排出される。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排気、並びに外気の吸気を速く行うことができる。
【００４２】
メインテナンス時には、昇降機構４によって段取り替え時の位置よりもさらに上方に上部炉体２及びフード１０６が平行移動され、図７に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂと、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２ａ及びＳ２ｂを通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。弁１１ａ及び１１ｂは閉じた状態とされている。
【００４３】
＜３．第２の実施の形態＞
この発明をシングル搬送に適用した場合の第２の実施の形態について図８、図９及び図１０を参照して説明する。図８に示すように、下部炉体１及び上部炉体２の当接位置付近の炉体外にダクト１５ａ及び１５ｂが設けられる。ダクト１５ａ及び１５ｂは、断面が逆Ｃ字状のもので、その開口が下部炉体１及び上部炉体２の当接位置（パッキング２１ａ及び２１ｂの位置）に対向している。ダクト１５ａ及び１５ｂが炉体１０２の延長方向に沿って設けられており、ダクト１５ａ及び１５ｂ内を通って炉内の雰囲気ガスが外部に放出されるようになされている。第１の実施の形態における弁１１ａ及び１１ｂは、第２の実施の形態では設けられていないが、必要であれば、弁を設けてもよい。
【００４４】
図８に示す通常位置（加熱状態）では、下部炉体１及び上部炉体２が閉じている。突起１２ａ及び１２ｂが孔１３ａ及び１３ｂと嵌合していない。下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。フード１０６は、フードフレームに対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３によって搬送されるワークＷに対して上側から吹きつけられる。下部炉体１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００４５】
段取り替え時には、昇降機構４によって上部炉体２が上方に平行移動され、上部炉体２の移動量が所定値以上になると、孔１３ａ及び１３ｂに突起１２ａ及び１２ｂが嵌合し、さらに上部炉体２が上昇することによって、図９に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂが形成される。開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂはダクト１５ａ及び１５ｂの開口と通じている。したがって、矢印で示すように、開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂ、並びにダクト１５ａ及び１５ｂを通じて炉内の熱い雰囲気ガスをダクト１４を経由して外部へ排出する。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排出を速く行うことができる。
【００４６】
メインテナンス時には、昇降機構４によって段取り替え時の位置よりもさらに上方に上部炉体２及びフード１０６が平行移動され、図１０に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂと、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２ａ及びＳ２ｂを通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。
【００４７】
＜４．第３の実施の形態＞
さらに、この発明をデュアル搬送に適用した第３の実施の形態について説明する。図１１は、加熱ゾーンの一つのゾーンを搬送方向と直交する面で切断した場合の断面を搬入口側から見た断面図である。図１１に示すように、下部炉体１と上部炉体２の対向間隙内で、ワークＷａが、搬送コンベア１０３ａ上に置かれて搬送され、ワークＷｂが、搬送コンベア１０３ｂ上に置かれて搬送される。下部炉体１に当接する上部炉体２の端面には、耐熱性を有するパッキング２１ａ及び２１ｂが設けられている。
【００４８】
下部炉体１に対して弁１１ａ及び１１ｃが設けられ、上部炉体２に対して弁１１ｂ及び１１ｄが設けられている。弁１１ａ及び１１ｂが搬送コンベア１０３ａが配される空間と外側空間の間の気体の流れの制御のために設けられ、弁１１ｃ及び１１ｄが搬送コンベア１０３ｂが配される空間と外側空間の間の気体の流れの制御のために設けられている。上部炉体２の上面に逆円錐状の突起１２ａ及び１２ｂが形成され、これらの突起１２ａ及び１２ｂが嵌合する孔１３ａ及び１３ｂがフード１０６のフレームに設けられている。突起１２ａ及び１２ｂの他に昇降機構４ａ及び４ｃの位置付近にも突起が設けられている。同様に、孔がフードフレームに形成されている。フード１０６の上部には排気用のダクト１４が設けられている。
【００４９】
下部炉体１及び上部炉体２内に、第１の搬送コンベア１０３ａと第２の搬送コンベア１０３ｂとが平行して設けられている。これらの搬送コンベア間に設けられた隔壁によって、炉体内の空間が第１の搬送コンベア１０３ａ側の空間と、第２の搬送コンベア１０３ｂ側の空間に仕切られている。隔壁は、上部炉体側の上部隔壁１８ａと下部炉体側の下部隔壁１８ｂとにより構成されている。
【００５０】
隔壁は、例えば、断熱作用を有するものである。上部隔壁１８ａ及び下部隔壁１８ｂは、例えばそれぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。上部隔壁１８ａ及び下部隔壁１８ｂの対向する対向端部の一方は先細り形状とされ、他方は開放形状とされている。先細り形状とされた一方の対向端部は、開放形状とされた他方の対向端部に嵌合／分離可能とされている。
【００５１】
下部炉体１、上部炉体２、上部隔壁１８ａ及び下部隔壁１８ｂによって形成される搬送コンベア１０３ａ側の空間では、上部炉体２内の加熱ユニット及び下部炉体１内の加熱ユニットがワークＷａに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷａを加熱する。下部炉体１及び上部炉体２には例えばターボファンの構成の送風機と、ヒータと、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）からなる加熱ユニットがそれぞれ設けられている。搬送コンベア１０３ｂ側の空間においては同様の加熱ユニットによってワークＷｂが加熱される。
【００５２】
図１１に示す通常位置（加熱状態）では、下部炉体１及び上部炉体２が閉じている。弁１１ａ乃至１１ｄが閉じられており、突起１２ａ及び１２ｂが孔１３ａ及び１３ｂと嵌合していない。下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。フード１０６は、フードフレームに対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３ａ及び１０３ｂによってそれぞれ搬送されるワークＷａ及びＷｂに対して上側から吹きつけられる。下部炉体１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷａ及びＷｂに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００５３】
段取り替え時には、昇降機構４によって上部炉体２が上方に平行移動され、孔１３ａ及び１３ｂに突起１２ａ及び１２ｂが嵌合し、さらに上部炉体２が上昇することによって、図１２に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂが形成される。また、弁１１ａ乃至１１ｄが開かれる。開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂを通じて冷気が炉内に導入され、矢印で示すように、弁１１ａ乃至１１ｄを通じて炉内の熱い雰囲気ガスが炉外へ排出され、さらに、ダクト１４を通じて外部へ排出される。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排気、並びに外気の吸気を速く行うことができる。
【００５４】
メインテナンス時には、昇降機構４によって段取り替え時の位置よりもさらに上方に上部炉体２及びフード１０６が平行移動され、図１３に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂと、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２ａ及びＳ２ｂを通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。弁１１ａ及び１１ｂは閉じた状態とされている。
【００５５】
＜５．第４の実施の形態＞
さらに、この発明をデュアル搬送に適用した第４の実施の形態について図１４、図１５及び図１６を参照して説明する。図１４に示すように、下部炉体１及び上部炉体２の当接位置付近の炉体外にダクト１５ａ及び１５ｂが設けられる。ダクト１５ａ及び１５ｂは、断面が逆Ｃ字状のもので、その開口が下部炉体１及び上部炉体２の当接位置（パッキング２１ａ及び２１ｂの位置）に対向している。ダクト１５ａ及び１５ｂが炉体１０２の延長方向に沿って設けられており、ダクト１５ａ及び１５ｂ内を通って炉内の雰囲気ガスが外部に放出されるようになされている。第３の実施の形態における弁１１ａ乃至１１ｄは、第２の実施の形態では設けられていないが、必要であれば、弁を設けてもよい。
【００５６】
図１４に示す通常位置（加熱状態）では、下部炉体１及び上部炉体２が閉じている。突起１２ａ及び１２ｂが孔１３ａ及び１３ｂと嵌合していない。下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。フード１０６は、フードフレームに対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３ａ及び１０３ｂによってそれぞれ搬送されるワークＷａ及びＷｂに対して上側から吹きつけられる。下部炉体１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷａ及びＷｂに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００５７】
段取り替え時には、昇降機構４によって上部炉体２が上方に平行移動され、孔１３ａ及び１３ｂに突起１２ａ及び１２ｂが嵌合し、さらに上部炉体２が上昇することによって、図１５に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂが形成される。開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂはダクト１５ａ及び１５ｂの開口と通じている。したがって、矢印で示すように、開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂ、並びにダクト１５ａ及び１５ｂを通じて炉内の熱い雰囲気ガスが外部へ排出される。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排出を速く行うことができる。
【００５８】
メインテナンス時には、昇降機構４によって段取り替え時の位置よりもさらに上方に上部炉体２及びフード１０６が平行移動され、図１６に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１ａ及びＳ１ｂと、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２ａ及びＳ２ｂを通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。このように炉体の延長方向に沿った両側の開口を通じてメインテナンス作業を行うことができるので、デュアル搬送のように、幅が広いリフロー装置のメインテナンス作業が容易となる利点がある。
【００５９】
＜６．第５の実施の形態＞
この発明の第５の実施の形態について図１７、図１８及び図１９を参照して説明する。第５の実施の形態は、シングル搬送であって片側ヒンジ機構を備えるものである。上部炉体２がヒンジ部２２によって回転自在に支持される。フード１０６がヒンジ部２３によって回転自在に支持される。ヒンジ部２２及び２３が同一の側に配置されている。
【００６０】
ヒンジ部２２が設けられていない側の上部炉体２の側面にブラケット２４が取り付けられる。スクリュー軸２５及び可動支柱２６からなる駆動機構が設けられ、可動支柱２６の端部がブラケット２４を押し上げることによって上部炉体２の片側が持ち上げられる。上部炉体２の上面に突起１２が設けられ、フード１０６の上面から下方（内方）に向かって突出する規制板１６が設けられている。さらに、第１の実施の形態と同様に、弁１１ａ及び１１ｂが下部炉体１及び上部炉体２のそれぞれに設けられている。
【００６１】
図１７に示す通常位置（加熱状態）では、弁１１ａ及び１１ｂが閉じられており、下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。フード１０６は、フードフレームに対して金属板（外板）を貼り付けた構成を有する。パネルの小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０３によって搬送されるワークＷに対して上側から吹きつけられる。下部炉体１内にも同様の加熱ユニットが設けられ、ワークＷに対して下側から熱風が吹きつけられる。
【００６２】
段取り替え時には、駆動機構の可動支柱２６によって上部炉体２がヒンジ部２２を支点として回転される。所定角度まで上部炉体２が回転すると、図１８に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１が形成される。また、弁１１ａ及び１１ｂが開かれる。矢印で示すように、開口Ｓ１を通じて冷気が炉内に導入され、弁１１ａ及び１１ｂを通じて炉内の熱い雰囲気ガスが炉外へ排出され、さらに、ダクト１４を通じて外部へ排出される。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排気、並びに外気の吸気を速く行うことができる。
【００６３】
メインテナンス時には、駆動機構の可動支柱２６によって上部炉体２がヒンジ部２２を支点としてより大きい角度で回転され、突起１２が規制板１６と当接し、フード１０６がヒンジ部２３を支点として回転されて図１９に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１と、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２を通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。弁１１ａ及び１１ｂは閉じた状態とされている。
【００６４】
＜７．第６の実施の形態＞
この発明の第６の実施の形態について図２０、図２１及び図２２を参照して説明する。第６の実施の形態は、第５の実施の形態と同様にシングル搬送であって片側ヒンジ機構を備えるものである。上部炉体２がヒンジ部２２によって回転自在に支持される。フード１０６がヒンジ部２３によって回転自在に支持される。ヒンジ部２２及び２３が同一の側に配置されている。
【００６５】
第５の実施の形態と相違する点は、接触部としてローラ１７を備える点である。ある角度以上上部炉体２が回転すると、ローラ１７がフード１０６の上部内面に当接してフード１０６を上に押し上げる。その結果、フード１０６と下部筐体１０４の間に開口が形成され、メインテナンス作業が可能とされる。なお、接触部として突起、ローラ等を設けずに、上部炉体２の天板自身でフード１０６を上昇又は回転させるようにしてもよい。
【００６６】
図２０に示す通常位置（加熱状態）では、弁１１ａ及び１１ｂが閉じられており、下部筐体１０４上にフード１０６が載置されており、下部炉体１上にパッキング２１ａ及び２１ｂを介在させて上部炉体２が載置されている。下部炉体１及び上部炉体２のそれぞれの加熱ユニットによって、搬送コンベア１０３によって搬送されるワークＷに対して熱風が吹きつけられ、リフローがなされる。
【００６７】
段取り替え時には、駆動機構の可動支柱２６によって上部炉体２がヒンジ部２２を支点として回転される。所定角度まで上部炉体２が回転すると、図２１に示す段取り替え時の位置（段取り替え状態）とされる。この位置において、下部炉体１と上部炉体２との間に炉体１０２の搬送方向に沿った第１の開口Ｓ１が形成される。また、弁１１ａ及び１１ｂが開かれる。ローラ１７がフード１０６の上部内面と当接していない。矢印で示すように、開口Ｓ１を通じて冷気が炉内に導入され、弁１１ａ及び１１ｂを通じて炉内の熱い雰囲気ガスが炉外へ排出され、さらに、ダクト１４を通じて外部へ排出される。したがって、作業者が働いている場所に対しては炉内の雰囲気ガスが排出されず、安全性を保ちつつ、炉内の温度を迅速に低下させることができる。この場合、加熱ユニットの送風機を回転させることによって炉内の雰囲気ガスの排気、並びに外気の吸気を速く行うことができる。
【００６８】
メインテナンス時には、駆動機構の可動支柱２６によって上部炉体２がヒンジ部２２を支点としてより大きい角度で回転され、ローラ１７がフード１０６の上部内面と当接し、フード１０６がヒンジ部２３を支点として回転されて図２２に示す位置（メインテナンス状態）とされる。この位置において、下部炉体１及び上部炉体２間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された開口Ｓ１と、下部筐体１０４とフード１０６との間に炉体１０２の延長方向に沿って形成された第２の開口Ｓ２を通じて内部の清掃等のメインテナンス作業を行うことができる。弁１１ａ及び１１ｂは閉じた状態とされている。
【００６９】
＜８．変形例＞
以上、本開示の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、この発明は、片側ヒンジ機構のデュアル搬送のリフロー装置に対しても適用することができる。また、複数の昇降機構間の回転伝達機構としては軸以外にチェーンを使用するようにしてもよい。また、昇降機構の個数は、上述した実施の形態以外の数を設けてもよい。さらに、上述した実施の形態では上部炉体を移動させる第１の駆動機構とフードを移動させる第２の駆動機構が単一の駆動機構によって構成されている。しかしながら、第１の駆動機構と第２の駆動機構を別々に設けて、上部炉体が所定量移動したことを検出してからフードの移動を開始するようにしてもよい。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。
【００７０】
また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本開示の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００７１】
Ｗ，Ｗａ，Ｗｂ・・・ワーク
１・・・下部炉体
２・・・上部炉体
３，３ａ〜３ｄ・・・ブラケット
４，４ａ〜４ｄ・・・昇降機構
５・・・モータ
６，６ａ〜６ｄ・・・回転伝達機構部
７，７ａ〜７ｄ・・・スクリュー軸
８，８ａ〜８ｄ・・・可動支柱
９，９ａ〜９ｄ・・・軸
１０・・・ハンドル
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ・・・弁
１２ａ，１２ｂ・・・突起
１３ａ，１３ｂ・・・孔
１４・・・ダクト
１５ａ，１５ｂ・・・ダクト
１８ａ・・・上部隔壁
１８ｂ・・・下部隔壁
２２，２３・・・ヒンジ部
１０１・・・リフロー装置
１０２・・・炉体
１０３，１０３ａ，１０３ｂ・・・搬送コンベア
１０６・・・フード
【図１】
0006715651.tif 000002
【図２】
0006715651.tif 000003
【図３】
0006715651.tif 000004
【図４】
0006715651.tif 000005
【図５】
0006715651.tif 000006
【図６】
0006715651.tif 000007
【図７】
0006715651.tif 000008
【図８】
0006715651.tif 000009
【図９】
0006715651.tif 000010
【図１０】
0006715651.tif 000011
【図１１】
0006715651.tif 000012
【図１２】
0006715651.tif 000013
【図１３】
0006715651.tif 000014
【図１４】
0006715651.tif 000015
【図１５】
0006715651.tif 000016
【図１６】
0006715651.tif 000017
【図１７】
0006715651.tif 000018
【図１８】
0006715651.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
0006715651.tif 000021
【図２１】
0006715651.tif 000022
【図２２】
0006715651.tif 000023