(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体に第１放射線を照射する放射線照射部と、
前記第１放射線が照射された前記物体から発生する第２放射線を検出する放射線検出部と、
前記物体と前記放射線検出部との間に配置され、前記第２放射線を前記放射線検出部に収束させる放射線収束部と、
前記放射線収束部と前記放射線検出部との相対的な位置関係を可変にする位置可変部と、
前記位置可変部が可変にする前記位置関係を変化させる駆動部と、
前記放射線検出部が検出した前記第２放射線の計数率を算出する計数率算出部と、
前記計数率算出部が算出した前記計数率に基づく回帰曲線の最大値を算出し、算出した前記最大値に基づいて、前記放射線検出部に対する前記放射線収束部の位置を算出する位置算出部と、
前記位置算出部が算出した前記位置に基づいて前記駆動部を駆動させる第２駆動制御部と、
を備える放射線分析装置。
【請求項２】
ユーザーから受け付けた操作に基づいて前記駆動部を駆動させる第１駆動制御部を備える、
請求項１に記載の放射線分析装置。
【請求項３】
前記放射線照射部は、電子線を前記第１放射線として照射し、
前記放射線検出部は、前記電子線が照射された前記物体から発生するＸ線を前記第２放射線として検出する超伝導転移端センサーである、
請求項１又は２に記載の放射線分析装置。
【請求項４】
物体に第１放射線を放射線照射部により照射する第１ステップと、
前記第１放射線が照射された前記物体から発生する第２放射線を放射線検出部により検出する第２ステップと、
前記物体と前記放射線検出部との間に配置された放射線収束部により前記第２放射線を前記放射線検出部に収束する第３ステップと、
前記放射線収束部と前記放射線検出部との相対的な位置関係を可変にする位置可変部に前記位置関係を変化させる駆動部を駆動させる第４ステップと、
前記放射線検出部が検出した前記第２放射線の計数率を算出する第５ステップと、
前記第５ステップにより算出された前記計数率に基づく回帰曲線の最大値を算出し、算出した前記最大値に基づいて、前記放射線検出部に対する前記放射線収束部の位置を算出する第６ステップと、
前記第６ステップにより算出された前記位置に基づいて前記駆動部を駆動させる第７ステップと、
を有する放射線分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、放射線分析装置、及び放射線分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
物体に放射線を照射し、物体の性質や構造を分析する技術の研究や開発が行われている。
【０００３】
これに関し、試料、複数のＸ線用レンズ、検出器の順に一列に並ぶように複数のＸ線用レンズを試料と検出器の間に配置し、試料から発散されたＸ線が当該複数のＸ線用レンズを通過して検出器に集光されるように、試料に最も近い側のＸ線用レンズの焦点が試料位置に合うように、かつ検出器に最も近い側のＸ線用レンズの焦点が検出器位置に合うように当該複数のＸ線用レンズを配置した超伝導Ｘ線分析装置であって、検出器を搭載した極低温部が冷凍機から突起上に引き出されることなく真空容器内に収められた構造である超伝導Ｘ線分析装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５７３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような超伝導Ｘ線分析装置では、Ｘ線用レンズと検出器との相対的な位置関係を変化させる場合にユーザーが手で当該位置関係を変化させなければならず、当該位置関係を変化させる操作に熟練したユーザーでなければ、当該位置関係をユーザーが所望する位置関係に変化させることが困難な場合があった。その結果、当該超伝導Ｘ線分析装置では、検出器によるＸ線の検出効率を向上させることが困難な場合があった。
【０００６】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、放射線の検出効率を容易に向上させることができる放射線分析装置、及び放射線分析方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、物体に第１放射線を照射する放射線照射部と、前記第１放射線が照射された前記物体から発生する第２放射線を検出する放射線検出部と、前記物体と前記放射線検出部との間に配置され、前記第２放射線を前記放射線検出部に収束させる放射線収束部と、前記放射線収束部と前記放射線検出部との相対的な位置関係を可変にする位置可変部と、前記位置可変部が可変にする前記位置関係を変化させる駆動部と、を備える放射線分析装置である。
【０００８】
本発明の他の態様は、上記の放射線分析装置において、ユーザーから受け付けた操作に基づいて前記駆動部を駆動させる第１駆動制御部を備える、構成が用いられてもよい。
【０００９】
本発明の他の態様は、上記の放射線分析装置において、前記放射線検出部が検出した前記第２放射線の計数率を算出する計数率算出部と、前記計数率算出部が算出した前記計数率に基づいて前記駆動部を駆動させる第２駆動制御部と、を備える、構成が用いられてもよい。
【００１０】
本発明の他の態様は、上記の放射線分析装置において、前記放射線照射部は、電子線を前記第１放射線として照射し、前記放射線検出部は、前記電子線が照射された前記物体から発生するＸ線を前記第２放射線として検出する超伝導転移端センサーである、構成が用いられてもよい。
【００１１】
本発明の他の態様は、第１放射線が照射された物体から発生する第２放射線が検出された計数率に応じて、前記第２放射線を検出する放射線検出部に前記第２放射線を収束させる放射線収束部を移動させる、放射線分析装置である。
【００１２】
本発明の他の態様は、物体に第１放射線を放射線照射部により照射する第１ステップと、前記第１放射線が照射された前記物体から発生する第２放射線を放射線検出部により検出する第２ステップと、前記物体と前記放射線検出部との間に配置された放射線収束部により前記第２放射線を前記放射線検出部に収束する第３ステップと、前記放射線収束部と前記放射線検出部との相対的な位置関係を可変にする位置可変部に前記位置関係を変化させる駆動部を駆動させる第４ステップと、を有する放射線分析方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、放射線の検出効率を容易に向上させることができる放射線分析装置、及び放射線分析方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係る放射線分析装置の構成の一例を示す図である。
【図２】第１制御装置及び第２制御装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図３】第１制御装置及び第２制御装置の機能構成の一例を示す図である。
【図４】第２制御装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図５】放射線検出部と、位置可変部が有するステージに載置された放射線収束部との相対的な位置関係の一例を示す図である。
【図６】位置可変部が有するステージに載置された放射線収束部と放射線検出部との相対的な位置関係の一例を示す図である。
【図７】第１制御装置及び第２制御装置の機能構成の一例を示す図である。
【図８】第２制御装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図９】位置算出部が読み出した計数率のヒストグラムの一例を示す図である。
【図１０】ステップＳ２８０において位置算出部４６８が読み出した計数率のヒストグラムに基づいて算出された回帰曲線の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
＜放射線分析装置の構成＞
まず、放射線分析装置１の構成について説明する。
図１は、実施形態に係る放射線分析装置１の構成の一例を示す図である。
放射線分析装置１は、検出装置１０と、制御装置２０を備える。
【００１７】
検出装置１０は、放射線照射部１１と、放射線検出部１２と、放射線収束部１３と、位置可変部１４と、駆動部１５と、冷却装置１６と、筐体１７を備える。
【００１８】
放射線照射部１１は、物体に第１放射線Ｒ１を照射する。放射線照射部１１は、例えば、電子銃である。この場合、第１放射線Ｒ１は、電子線である。なお、放射線照射部１１は、電子銃に代えて、物体にＸ線等の電子線と異なる放射線を第１放射線Ｒ１として照射する装置であってもよい。
【００１９】
放射線検出部１２は、第１放射線Ｒ１が照射された物体から発生する第２放射線Ｒ２を検出する。放射線検出部１２は、例えば、超伝導転移端センサー（ＴＥＳ、Transition  Edge  Sensor）を有し、超伝導転移端センサーにより第２放射線Ｒ２を検出する。以下では、一例として、第２放射線Ｒ２が当該物体から発生する蛍光Ｘ線等の特性Ｘ線である場合について説明する。すなわち、放射線分析装置１は、この一例において、超伝導Ｘ線分析装置である。なお、第２放射線Ｒ２は、Ｘ線に代えて、他の放射線であってもよい。また、放射線検出部１２は、超伝導転移端センサーによって第２放射線Ｒ２を検出する構成に代えて、他の検出素子によって第２放射線Ｒ２を検出する構成であってもよい。
【００２０】
ここで、超伝導転移端センサーは、超伝導状態の金属薄膜にＸ線が入射した際に生じる抵抗変化によって第２放射線Ｒ２を検出する。超伝導状態の金属薄膜にＸ線が入射した場合、当該金属薄膜の温度が上昇し、当該金属薄膜の状態が超伝導状態から常伝導状態へ遷移する。この際、当該金属薄膜の電気抵抗が、当該金属薄膜に入射したＸ線のエネルギー（すなわち、上昇した当該金属薄膜の温度）に比例して急激に変化する（例えば、温度変化が数ｍＫの場合における抵抗変化が０．１Ω等）。この性質を利用し、超伝導転移端センサーは、当該抵抗変化の大きさによって第２放射線Ｒ２のエネルギーを検出する。このようにして第２放射線Ｒ２のエネルギーを検出した場合、放射線検出部１２は、検出したエネルギーに比例した大きさの電気信号を、第２放射線Ｒ２を検出したことを示す検出情報として制御装置２０に出力する。
【００２１】
放射線検出部１２は、サーマルシールドＳＤの内部に配置される。サーマルシールドＳＤは、サーマルシールドＳＤの外部からの輻射熱を遮蔽し、サーマルシールドＳＤの内部の温度が上昇することを抑制する。すなわち、サーマルシールドＳＤは、放射線検出部１２の温度が当該輻射熱によって上昇してしまうことを抑制する。これにより、放射線検出部１２が有する超伝導転移端センサーの超伝導状態は、超伝導転移端センサーにＸ線が入射するまで保持される。
【００２２】
放射線収束部１３は、第１放射線Ｒ１が照射された物体から発生した第２放射線Ｒ２を放射線検出部１２に収束（集光）させる光学部材である。より具体的には、放射線収束部１３は、第２放射線Ｒ２を所定の焦点距離において所定の焦点径となるように収束させる。放射線収束部１３は、放射線照射部１１により第１放射線Ｒ１が照射される物体と放射線検出部１２との間に配置される。
【００２３】
位置可変部１４は、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を可変にする機構部材である。位置可変部１４は、例えば、放射線収束部１３を載置することができるステージＳＴを有する。ステージＳＴは、放射線収束部１３を放射線検出部１２に対して相対的に移動させることが可能なステージである。ステージＳＴには、放射線収束部１３が載置される。なお、位置可変部１４は、放射線検出部１２を載置することができるステージを有する構成であってもよい。この場合、当該ステージは、放射線検出部１２を放射線収束部１３に対して相対的に移動させることが可能なステージである。
【００２４】
駆動部１５は、位置可変部１４が有するステージＳＴを移動させ、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を変化させる。駆動部１５は、例えば、ステージＳＴを移動させるアクチュエーターである。駆動部１５は、制御装置２０から取得する制御信号に基づいてステージＳＴを移動させる。
【００２５】
冷却装置１６は、サーマルシールドＳＤの内部を冷却する。これにより、冷却装置１６は、サーマルシールドＳＤの内部に配置された放射線検出部１２が有する超伝導転移端センサーの状態を超伝導状態にすることができる。
【００２６】
筐体１７は、検出装置１０の筐体である。この一例において、筐体１７の内部には、放射線照射部１１から第１放射線Ｒ１が照射される照射口と、放射線照射部１１から第１放射線Ｒ１が照射される物体と、放射線収束部１３と、位置可変部１４が有するステージＳＴと、サーマルシールドＳＤの内部に配置された放射線検出部１２とが配置される。図１に示した例では、筐体１７の内部には、第１放射線Ｒ１が照射される物体として物体Ｗが配置されている。物体Ｗは、ユーザーが性質や構造を分析したい所望の物体の試料であれば如何なる物体であってもよい。なお、筐体１７の内部には、これらに加えて、駆動部１５が配置される構成であってもよい。筐体１７の内部の状態は、図示しない真空ポンプによって真空状態にされている。
【００２７】
検出装置１０は、ケーブルによって制御装置２０と通信可能に接続されている。これにより、検出装置１０が備える放射線照射部１１、放射線検出部１２、駆動部１５、冷却装置１６のそれぞれは、制御装置２０から取得される制御信号に基づく動作を行う。なお、ケーブルを介した有線通信は、例えば、イーサネット（登録商標）やＵＳＢ（Universal  Serial  Bus）等の規格によって行われる。また、検出装置１０は、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）等の通信規格により行われる無線通信によって制御装置２０と接続される構成であってもよい。
【００２８】
制御装置２０は、第１制御装置３０と、第２制御装置４０を備える。この一例では、制御装置２０は、第１制御装置３０と、第１制御装置３０と別体の第２制御装置４０とによって構成されているが、これに代えて、第２制御装置４０と一体の第１制御装置３０、又は第１制御装置３０と一体の第２制御装置４０によって構成されてもよい。この場合、制御装置２０は、第１制御装置３０が有する機能と、第２制御装置４０が有する機能を有する。
【００２９】
第１制御装置３０は、例えば、デスクトップＰＣ（Personal  Computer）やノートＰＣ、ワークステーション等の情報処理装置である。なお、第１制御装置３０は、これらに代えて、タブレットＰＣや多機能携帯電話、ＰＤＡ（Personal  Data  Assistant）等の他の情報処理装置であってもよい。第１制御装置３０は、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる。冷却装置１６は、図示しない冷却制御装置によってサーマルシールドＳＤの内部を冷却させる。
【００３０】
第２制御装置４０は、例えば、デスクトップＰＣ（Personal  Computer）やノートＰＣ、ワークステーション等の情報処理装置である。なお、第２制御装置４０は、これらに代えて、タブレットＰＣや多機能携帯電話、ＰＤＡ（Personal  Data  Assistant）等の他の情報処理装置であってもよい。
【００３１】
第２制御装置４０は、放射線検出部１２から検出情報を取得する。第２制御装置４０は、取得した検出情報に基づいて、第１放射線Ｒ１が照射された物体の性質や構造を分析する。また、第２制御装置４０は、駆動部１５を駆動させ、位置可変部１４が有するステージＳＴに載置された放射線収束部１３を、放射線検出部１２に対して相対的に移動させる。これにより、第２制御装置４０は、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
以下では、第２制御装置４０が駆動部１５を駆動させ、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を位置可変部１４に変化させる処理について詳しく説明する。
【００３２】
＜第１制御装置及び第２制御装置のハードウェア構成＞
以下、図２を参照し、第１制御装置３０及び第２制御装置４０のハードウェア構成について説明する。図２は、第１制御装置３０及び第２制御装置４０のハードウェア構成の一例を示す図である。図２は、第１制御装置３０のハードウェア構成（図２における３０番台の符号が付された機能部）と、第２制御装置４０のハードウェア構成（図２における４０番台の符号が付された機能部）とを便宜的に重ねて示した図である。
【００３３】
第１制御装置３０は、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）３１と、記憶部３２と、入力受付部３３と、通信部３４と、表示部３５を備える。また、第１制御装置３０は、通信部３４を介して他の装置と通信を行う。これらの構成要素は、バスＢｕｓを介して相互に通信可能に接続されている。
【００３４】
第２制御装置４０は、例えば、ＣＰＵ４１と、記憶部４２と、入力受付部４３と、通信部４４と、表示部４５を備える。また、第２制御装置４０は、通信部４４を介して他の装置と通信を行う。これらの構成要素は、バスＢｕｓを介して相互に通信可能に接続されている。
【００３５】
ＣＰＵ３１は、記憶部３２に格納された各種プログラムを実行する。
記憶部３２は、例えば、ＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）やＳＳＤ（Solid  State  Drive）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically  Erasable  Programmable  Read−Only  Memory）、ＲＯＭ（Read−Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）等を含む。なお、記憶部３２は、第１制御装置３０に内蔵されるものに代えて、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポート等によって接続された外付け型の記憶装置であってもよい。記憶部３２は、第１制御装置３０が処理する各種情報や画像、各種のプログラムを格納する。
【００３６】
入力受付部３３は、例えば、キーボードやマウス、タッチパッド等の入力装置である。なお、入力受付部３３は、表示部３５と一体に構成されたタッチパネル等の他の入力装置であってもよい。
通信部３４は、例えば、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポートやイーサネット（登録商標）ポート等を含んで構成される。
表示部３５は、例えば、液晶ディスプレイパネル、あるいは、有機ＥＬ（ElectroLuminescence）ディスプレイパネルである。
【００３７】
ＣＰＵ４１は、記憶部４２に格納された各種プログラムを実行する。
記憶部４２は、例えば、ＨＤＤやＳＳＤ、ＥＥＰＲＯＭ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を含む。なお、記憶部４２は、第２制御装置４０に内蔵されるものに代えて、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポート等によって接続された外付け型の記憶装置であってもよい。記憶部４２は、第２制御装置４０が処理する各種情報や画像、各種のプログラムを格納するテーブルである。
【００３８】
入力受付部４３は、例えば、キーボードやマウス、タッチパッド等の入力装置である。なお、入力受付部４３は、表示部４５と一体に構成されたタッチパネル等の他の入力装置であってもよい。
通信部４４は、例えば、ＵＳＢ等のデジタル入出力ポートやイーサネット（登録商標）ポート等を含んで構成される。
表示部４５は、例えば、液晶ディスプレイパネル、あるいは、有機ＥＬディスプレイパネルである。
【００３９】
＜第１制御装置及び第２制御装置の機能構成＞
以下、図３を参照し、第１制御装置３０及び第２制御装置４０の機能構成について説明する。図３は、第１制御装置３０及び第２制御装置４０の機能構成の一例を示す図である。
【００４０】
第１制御装置３０は、制御部３６を備える。
【００４１】
制御部３６は、第１制御装置３０の全体を制御する。制御部３６は、放射線照射制御部３６１を備える。制御部３６が備える機能部は、例えば、ＣＰＵ３１が、記憶部３２に記憶された各種プログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうち一部又は全部は、ＬＳＩ（Large  Scale  Integration）やＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）等のハードウェア機能部であってもよい。
【００４２】
放射線照射制御部３６１は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる。
【００４３】
第２制御装置４０は、記憶部４２と、入力受付部４３と、表示部４５と、制御部４６を備える。
【００４４】
制御部４６は、第２制御装置４０の全体を制御する。制御部４６は、表示制御部４６１と、第１駆動制御部４６３と、検出情報取得部４６５と、記憶制御部４６７と、分析部４６９を備える。制御部４６が備えるこれらの機能部は、例えば、ＣＰＵ４１が、記憶部４２に記憶された各種プログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうち一部又は全部は、ＬＳＩやＡＳＩＣ等のハードウェア機能部であってもよい。
【００４５】
表示制御部４６１は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて各種の画面を生成する。表示制御部４６１は、生成した画面を表示部４５に表示させる。
第１駆動制御部４６３は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて駆動部１５を駆動させる。
検出情報取得部４６５は、検出装置１０が備える放射線検出部１２から検出情報を取得する。
記憶制御部４６７は、検出情報取得部４６５が取得した検出情報を記憶部４２に記憶させる。
分析部４６９は、記憶制御部４６７が記憶部４２に記憶させた検出情報に基づいて、物体Ｗの性質や構造を分析する。
【００４６】
＜第２制御装置が行う処理の具体例＞
以下、図４を参照し、第２制御装置４０が行う処理の具体例について説明する。図４は、第２制御装置４０が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、物体Ｗが筐体１７の内部のうちの放射線照射部１１から第１放射線Ｒ１を照射される所定の配置位置に予め配置されている場合について説明する。
【００４７】
表示制御部４６１は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を変化させる操作をユーザーから受け付ける操作画面を生成する。そして、表示制御部４６１は、生成した操作画面を表示部４５に表示させる（ステップＳ１１０）。
【００４８】
次に、第１駆動制御部４６３は、ステップＳ１１０において表示部４５に表示された操作画面からユーザーによる操作を受け付ける（ステップＳ１２０）。当該操作は、駆動部１５により位置可変部１４が有するステージＳＴを移動させる移動量と移動方向とを第２制御装置４０に入力する操作である。
【００４９】
次に、第１駆動制御部４６３は、ステップＳ１２０において受け付けた操作に基づいて、駆動部１５を駆動させる（ステップＳ１３０）。具体的には、第１駆動制御部４６３は、位置可変部１４が有するステージＳＴが、ステップＳ１２０において受け付けた操作によって入力された移動方向に、当該操作によって入力された移動量だけ移動するように駆動部１５を駆動させる。
【００５０】
次に、第１駆動制御部４６３は、ステップＳ１１０において表示部４５に表示された操作画面から、ユーザーによる操作の受け付けを終了する操作が受け付けられたか否かを判定する（ステップＳ１４０）。ユーザーによる操作の受け付けを終了する操作が受け付けられていないと判定した場合（ステップＳ１４０−ＮＯ）、第１駆動制御部４６３は、ステップＳ１２０に遷移し、再び当該操作画面からユーザーによる操作を受け付ける。一方、第１駆動制御部４６３は、ユーザーによる操作の受け付けを終了する操作が受け付けられたと判定した場合（ステップＳ１４０−ＹＥＳ）、第１駆動制御部４６３は、処理を終了する。
【００５１】
＜駆動部が駆動することによるステージの移動の具体例＞
以下、図５を参照し、駆動部１５が駆動することによるステージＳＴの移動の具体例について説明する。図５は、放射線検出部１２と、位置可変部１４が有するステージＳＴに載置された放射線収束部１３との相対的な位置関係の一例を示す図である。図５には、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＹ軸の正方向から負方向に向かって当該位置関係を見た場合の側面図が示されている。放射線検出部座標系ＴＣは、放射線検出部１２に対する放射線収束部１３の位置を示す三次元局所座標系である。放射線収束部１３の位置は、例えば、放射線収束部１３の重心の位置のことである。なお、放射線収束部１３の位置は、これに代えて、放射線収束部１３に対応付けられた他の位置であってもよい。
【００５２】
図５に示した例では、放射線検出部座標系ＴＣのＺ軸方向は、放射線検出部１２の光軸ＡＸ方向と一致している。また、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＹ軸方向は、当該Ｚ軸と直交する方向である。また、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向は、当該Ｚ軸及び当該Ｙ軸に直交する方向である。
【００５３】
この一例における駆動部１５は、図５に示したように、筐体１７の外部に配置される。駆動部１５は、図４に示したステップＳ１３０において、第１駆動制御部４６３から移動方向と移動量とを示す情報を含む制御信号を取得する。そして、駆動部１５は、ステージＳＴを、取得した制御信号に含まれた情報が示す移動方向に、当該情報が示す移動量だけ移動させる。この一例において、駆動部１５は、ステージＳＴを、放射線検出部座標系ＴＣのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動させる。また、駆動部１５は、筐体１７の外部に配置された駆動部１５と、筐体の内部に配置されたステージＳＴとを繋ぐ部材（機構）を動かすことによってステージＳＴを移動させる。これにより、第２制御装置４０は、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を、ユーザーが所望する位置関係に変更することができる。その結果、第２制御装置４０は、放射線検出部１２が有する超伝導転移端センサーによって第２放射線Ｒ２を検出する検出効率を容易に向上させることができる。
【００５４】
＜実施形態の変形例１＞
以下、図６を参照し、実施形態の変形例１について説明する。なお、実施形態の変形例１では、実施形態と同様な構成部に対して同じ符号を付して説明を省略する。実施形態の変形例１に係る検出装置１０では、図６に示したように、駆動部１５が筐体１７の内部に配置されている。
【００５５】
図６は、位置可変部１４が有するステージＳＴに載置された放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係の一例を示す図である。図５には、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＹ軸の正方向から負方向に向かって当該位置関係を見た場合の側面図が示されている。
【００５６】
図６に示した例では、放射線検出部座標系ＴＣのＺ軸方向は、放射線検出部１２の光軸ＡＸ方向と一致している。また、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＹ軸方向は、当該Ｚ軸と直交する方向である。また、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向は、当該Ｚ軸及び当該Ｙ軸に直交する方向である。
【００５７】
図６に示した例では、駆動部１５は、位置可変部１４が有するステージＳＴの下側に配置されている。当該下側は、放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸の負方向側である。駆動部１５は、図４に示したステップＳ１３０において、第１駆動制御部４６３から移動方向と移動量とを示す情報を含む制御信号を取得する。そして、駆動部１５は、ステージＳＴを、取得した制御信号に含まれた情報が示す移動方向に、当該情報が示す移動量だけ移動させる。この一例において、駆動部１５は、ステージＳＴを、放射線検出部座標系ＴＣのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のそれぞれに移動させる。これにより、第２制御装置４０は、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を、ユーザーが所望する位置関係に変更することができる。その結果、第２制御装置４０は、放射線検出部１２が有する超伝導転移端センサーによって第２放射線Ｒ２を検出する検出効率を容易に向上させることができる。
【００５８】
また、図６に示したように、駆動部１５がステージＳＴの下側に配置されている場合、駆動部１５とステージＳＴとの間に配置される部材が少なく、当該部材の長さも短くなるため、当該部材の剛性及び当該部材の取付けに起因する誤差が少なくなる。当該誤差は、駆動部１５が取得した制御信号に含まれた情報が示す移動方向及び移動量についての誤差のことである。これにより、第２制御装置４０は、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を、より確実にユーザーが所望する位置関係に変更することができる。
【００５９】
＜実施形態の変形例２＞
以下、図７〜図９を参照し、実施形態の変形例２について説明する。なお、実施形態の変形例２では、実施形態と同様な構成部に対して同じ符号を付して説明を省略する。
【００６０】
実施形態の変形例２に係る放射線分析装置１ａは、検出装置１０と、制御装置２０ａを備える。制御装置２０ａは、第１制御装置３０ａと、第２制御装置４０ａを備える。放射線分析装置１ａでは、第２制御装置４０は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて駆動部１５を駆動させる構成に代えて、検出情報取得部４６５が放射線検出部１２から取得した検出情報に基づいて駆動部１５を駆動させる。なお、第１制御装置３０ａのハードウェア構成は、第１制御装置３０のハードウェア構成と同様のハードウェア構成であるため説明を省略する。また、第２制御装置４０ａのハードウェア構成は、第２制御装置４０のハードウェア構成と同様のハードウェア構成であるため説明を省略する。
【００６１】
＜第１制御装置及び第２制御装置の機能構成＞
以下、図７を参照し、第１制御装置３０ａ及び第２制御装置４０ａの機能構成について説明する。図７は、第１制御装置３０ａ及び第２制御装置４０ａの機能構成の一例を示す図である。
【００６２】
第１制御装置３０ａは、制御部３６ａを備える。
【００６３】
制御部３６ａは、第１制御装置３０ａの全体を制御する。制御部３６ａは、放射線照射制御部３６１ａを備える。制御部３６ａが備える機能部は、例えば、ＣＰＵ３１が、記憶部３２に記憶された各種プログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうち一部又は全部は、ＬＳＩやＡＳＩＣ等のハードウェア機能部であってもよい。
【００６４】
放射線照射制御部３６１ａは、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる。また、放射線照射制御部３６１ａは、第２制御装置４０ａから取得した制御信号に基づいて、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる。
【００６５】
第２制御装置４０ａは、記憶部４２と、入力受付部４３と、表示部４５と、制御部４６ａを備える。
【００６６】
制御部４６ａは、第２制御装置４０ａの全体を制御する。制御部４６ａは、表示制御部４６１と、放射線照射制御部４６２と、第１駆動制御部４６３と、第２駆動制御部４６４と、検出情報取得部４６５と、計数率算出部４６６と、記憶制御部４６７ａと、位置算出部４６８と、分析部４６９を備える。制御部４６ａが備えるこれらの機能部は、例えば、ＣＰＵ４１が、記憶部４２に記憶された各種プログラムを実行することにより実現される。また、当該機能部のうち一部又は全部は、ＬＳＩやＡＳＩＣ等のハードウェア機能部であってもよい。
【００６７】
放射線照射制御部４６２は、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる処理を実行させる情報を含む制御信号を放射線照射制御部３６１ａに出力する。
【００６８】
第２駆動制御部４６４は、位置算出部４６８が算出した位置に基づいて駆動部１５を駆動させ、当該位置に放射線収束部１３を移動させる。また、第２駆動制御部４６４は、記憶部４２に予め記憶された複数の測定位置を示す測定位置情報に基づいて駆動部１５を駆動させる。測定位置は、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を決めるための測定を行う位置のことである。また、測定位置は、放射線収束部１３の放射線検出部座標系ＴＣにおける位置である。
【００６９】
計数率算出部４６６は、記憶制御部４６７が放射線収束部１３の位置毎に記憶部４２に記憶させた検出情報に基づいて、単位時間あたりに第２放射線Ｒ２が検出される数である計数率を放射線収束部１３の位置毎に算出する。当該単位時間は、この一例において、１秒である。なお、当該単位時間は、これに代えて、１分や１０分、１時間等の他の単位時間であってもよい。
【００７０】
記憶制御部４６７ａは、検出情報取得部４６５が取得した検出情報を、第２駆動制御部４６４が移動させた放射線収束部１３の位置毎に記憶部４２に記憶させる。
位置算出部４６８は、計数率算出部４６６が放射線収束部１３の位置毎に算出した計数率に基づいて、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する。当該位置は、物体Ｗの性質や構造を分析する際に放射線収束部１３を配置させる位置であって放射線検出部１２に対する相対的な放射線収束部１３の位置のことである。
【００７１】
＜第２制御装置が行う処理の具体例＞
以下、図８を参照し、第２制御装置４０ａが行う処理の具体例について説明する。図８は、第２制御装置４０ａが行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、物体Ｗが筐体１７の内部のうちの放射線照射部１１から第１放射線Ｒ１を照射される所定の配置位置に予め配置されている場合について説明する。
【００７２】
第２駆動制御部４６４は、記憶部４２に予め記憶された測定位置情報を読み出す（ステップＳ２１０）。次に、第２駆動制御部４６４は、ステップＳ２１０において記憶部４２から読み出した測定位置情報が示す複数の測定位置毎に、ステップＳ２３０〜ステップＳ２７０の処理を繰り返し行う（ステップＳ２２０）。なお、当該複数の測定位置のそれぞれは、放射線検出部座標系ＴＣのＸ軸方向の位置と、放射線検出部座標系ＴＣのＹ軸方向の位置と、放射線検出部座標系ＴＣのＺ軸方向の位置とのうちの少なくとも１つが互いに異なる。
【００７３】
第２駆動制御部４６４は、駆動部１５を駆動させ、ステップＳ２２０において選択した測定位置に、放射線収束部１３の位置を一致させる（ステップＳ２３０）。次に、放射線照射制御部４６２は、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる処理を実行させる情報を含む制御信号を放射線照射制御部３６１ａに出力する。これにより、放射線照射制御部４６２は、物体Ｗへの第１放射線Ｒ１の照射を放射線照射部１１に開始させる（ステップＳ２４０）。
【００７４】
次に、検出情報取得部４６５は、放射線検出部１２が第２放射線Ｒ２を検出する毎に、放射線検出部１２から検出情報を取得する処理の実行を開始する（ステップＳ２５０）。当該処理において検出情報取得部４６５が検出情報を取得した場合、記憶制御部４６７ａは、ステップＳ２２０において選択された測定位置を示す情報を、取得した検出情報に対応付けて記憶部４２に記憶させる。そして、検出情報取得部４６５は、ステップＳ２５０において開始した当該処理を、測定時間が経過するまで継続する（ステップＳ２６０）。
【００７５】
測定時間は、ステップＳ２２０において選択された測定位置のそれぞれにおいて、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を決めるための試験を行う時間のことである。測定時間は、例えば、１分である。なお、測定時間は、１分より短い時間でもよく、１分より長い時間でもよい。また、測定時間は、図示しない計時部によって計時される。当該計時部は、制御部４６ａが備える機能部である。
【００７６】
ステップＳ２６０において測定時間が経過した場合（ステップＳ２６０−ＹＥＳ）、放射線照射制御部４６２は、放射線照射部１１に第１放射線Ｒ１を照射させる処理を停止させる情報を含む制御信号を放射線照射制御部３６１ａに出力する。そして、計数率算出部４６６は、ステップＳ２２０において選択された測定位置を示す情報に対応付けられた検出情報を記憶部４２から読み出す。当該検出情報は、ステップＳ２５０〜ステップＳ２６０の処理において記憶制御部４６７ａが記憶部４２に記憶させた検出情報である。計数率算出部４６６は、記憶部４２から読み出した検出情報に基づいて計数率を算出する（ステップＳ２７０）。より具体的には、計数率算出部４６６は、当該検出情報の数を、測定時間によって除することにより、単位時間あたりに第２放射線Ｒ２が検出された数を計数率として算出する。記憶制御部４６７ａは、算出した計数率にステップＳ２２０において選択された測定位置を示す情報を対応付けて記憶部４２に記憶させる。
【００７７】
このように、ステップＳ２２０〜ステップＳ２７０の処理を繰り返し行うことにより、第２制御装置４０ａは、各測定位置に対応付けられた計数率を算出することができる。
【００７８】
次に、位置算出部４６８は、記憶部４２に記憶された計数率であって各測定位置に対応付けられた計数率を読み出す。そして、位置算出部４６８は、読み出した当該計数率に基づいて、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する（ステップＳ２８０）。この一例において、位置算出部４６８は、読み出した当該計数率のうちの最も大きな値の計数率に対応付けられた測定位置を、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置として算出（特定）する。そして、第２駆動制御部４６４は、駆動部１５を駆動させ、ステップＳ２８０において算出された位置に放射線収束部１３の位置を一致させ（ステップＳ２９０）、処理を終了する。
【００７９】
このように、第２制御装置４０ａは、検出情報取得部４６５が放射線検出部１２から取得した検出情報に基づいて駆動部１５を駆動させる。これにより、第２制御装置４０ａは、ユーザーからステージＳＴを移動させる操作を受け付けることなく、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を、ユーザーが所望する位置関係、すなわち放射線検出部１２の検出効率が高い位置関係に変化させることができる。
【００８０】
なお、計数率算出部４６６は、ステップＳ２７０において読み出した検出情報に基づいて計数率を算出する構成に代えて、読み出した検出情報の数を総和した検出頻度を算出する構成であってもよい。この場合、位置算出部４６８は、ステップＳ２８０において最も大きな値の検出頻度に対応付けられた測定位置を、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置として算出（特定）する。
【００８１】
また、位置算出部４６８は、ステップＳ２８０において放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する際、読み出した計数率に基づく統計量を算出し、算出した統計量に基づいて放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する構成であってもよい。例えば、位置算出部４６８は、当該統計量として、ステップＳ２８０において読み出した計数率に基づく回帰曲線の最大値を算出し、算出した最大値に対応する位置を、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置として算出する構成であってもよい。
【００８２】
図９は、ステップＳ２８０において位置算出部４６８が読み出した計数率のヒストグラムの一例を示す図である。図９では、一例として、放射線収束部１３の放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向の位置に対する計数率の変化を表すヒストグラムに基づいて、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる当該Ｘ軸方向の位置を算出する方法について説明する。なお、実際には、位置算出部４６８は、図９において説明する算出方法によって、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置であって放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向それぞれの位置を算出する。
【００８３】
図９に示したヒストグラムの縦軸は、計数率を示す。また、当該ヒストグラムの横軸は、放射線収束部１３の放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向の位置を示す。位置Ｘ１〜位置Ｘ１０のそれぞれは、各測定位置におけるＸ軸方向の位置を示す。位置算出部４６８は、位置Ｘ１〜位置Ｘ１０それぞれにおける計数率に基づいて、図９に示した回帰曲線ＲＬを算出する。位置算出部４６８は、算出した回帰曲線ＲＬにおける最大値ＭＹを算出する。そして、位置算出部４６８は、算出した最大値ＭＹに対応する当該Ｘ軸方向の位置ＸＳを、放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる当該Ｘ軸方向の位置として算出する。
【００８４】
なお、第２制御装置４０ａは、図８に示したフローチャートによって放射線検出部座標系ＴＣにおけるＸ軸方向及びＹ軸方向の位置であって放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出した後、当該位置においてステージＳＴをＺ軸方向に沿って予め決められた移動量ずつ移動させながら（走査しながら）、計数率が最大となる位置を特定する構成であってもよい。この場合、第２制御装置４０ａは、図１０に示した三次元グラフの極大値に対応する位置を、図９において説明した方法によって当該Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置として算出する。図１０は、ステップＳ２８０において位置算出部４６８が読み出した計数率のヒストグラムに基づいて算出された回帰曲線の一例を示す図である。
【００８５】
このように、第２制御装置４０ａは、ステップＳ２８０において放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する際、読み出した計数率に基づく統計量を算出し、算出した統計量に基づいて放射線収束部１３に第２放射線Ｒ２を収束させる位置を算出する。これにより、第２制御装置４０ａは、ユーザーからステージＳＴを移動させる操作を受け付けることなく、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を、より確実にユーザーが所望する位置関係、すなわち放射線検出部１２の検出効率が高い位置関係に変化させることができる。
【００８６】
＜実施形態の他の変形例＞
第２制御装置４０ａは、例えば、表示部４５に筐体１７の内部を仮想的に表す仮想空間を表示し、当該仮想空間からユーザーによる操作を受け付け、当該仮想空間内におけるステージＳＴの位置を変化させる構成であってもよい。そして、第２制御装置４０ａは、当該仮想空間内においてステージＳＴが移動した移動方向及び移動量に応じて駆動部１５を駆動させ、放射線収束部１３と放射線検出部１２との相対的な位置関係を変化させる構成であってもよい。
【００８７】
また、第１駆動制御部４６３は、多機能携帯電話端末やリモートコントローラー等から、ステージＳＴを移動させる際の移動方向及び移動量を示す情報を取得する構成であってもよい。
【００８８】
＜実施形態において得られる効果とその背景＞
Ｘ線のエネルギーを弁別することが可能なＸ線分析装置が有するＸ線検出器として、エネルギー分散型Ｘ線検出器と、波長分散型Ｘ線検出器とが知られている。エネルギー分散型Ｘ線検出器は、エネルギー分散型Ｘ線検出器内に入射したＸ線のエネルギーを電気信号に変換し、変換した電気信号の大きさによって当該エネルギーを算出する。一方、波長分散型Ｘ線検出器は、波長分散型Ｘ線検出器に入射したＸ線を分光して単色化し、単色化したＸ線を比例計数管で検出する。
【００８９】
エネルギー分散型Ｘ線検出器としては、シリコンリチウム型検出器や、シリコンドリフト型検出器、ゲルマニウム検出器等の半導体検出器が知られている。例えば、シリコンリチウム型検出器やシリコンドリフト型検出器は、電子顕微鏡の元素分析装置に多用され、０〜２０ｋｅＶ程度のエネルギーを検出することができる。しかし、これらの検出器は、シリコンを用いているため、エネルギー分解能がシリコンのバンドギャップ（１．１ｅＶ）に依存し、エネルギー分解能を１３０ｅＶ程度以上に改善することが難しく、波長分散型Ｘ線検出器と比べてエネルギー分解能が１０倍以上劣る。
【００９０】
エネルギー分解能が１３０ｅＶであるエネルギー分散型Ｘ線検出器にＸ線が入射した場合、当該エネルギー分散型Ｘ線検出器は、入射したＸ線のエネルギーを１３０ｅＶ程度の誤差を伴って検出することが可能である。従って、当該誤差が小さいほど、エネルギー分解能は高くなる。
【００９１】
実施形態において放射線分析装置１の一例として挙げた超伝導Ｘ線分析装置は、前述したように、超伝導転移端センサーを超伝導Ｘ線検出器として有する。超伝導転移端センサーは、波長分散型Ｘ線検出器のエネルギー分解能と同程度のエネルギー分解能を有するエネルギー分散型Ｘ線検出器として知られている超伝導Ｘ線検出器の一種である。超伝導転移端センサーは、マイクロカロリーメーターとも称される。超伝導Ｘ線検出器としては、超伝導転移端センサーの他に、ジョセフソン効果を利用したジョセフソントンネル接合素子や、超伝導ラインを利用した超伝導単一光子検出素子、超伝導力学インダクタンス検出器等が知られている。
【００９２】
例えば、超伝導転移端センサーは、他の超伝導Ｘ線検出器よりも高いエネルギー分解能を有している。例えば、５．９ｋｅＶの特性Ｘ線のエネルギーを検出する場合の超伝導転移端センサーのエネルギー分解能は、１０ｅＶ以下にすることができる。
【００９３】
タングステンフィラメント型等の電子発生源を有する走査電子顕微鏡に超伝導転移端センサーを取り付けた場合、電子線が照射された物体から発生する特性Ｘ線のエネルギーを超伝導転移端センサーによって検出することにより、半導体型Ｘ線検出器では弁別不可能な特性Ｘ線（例えば、Ｓｉ−ｋα、Ｗ−Ｍα、β）を弁別することができる。
【００９４】
Ｘ線検出器の性能を示す指標としては、上記において説明したエネルギー分解能の他に、計数効率が知られている。計数効率は、Ｘ線検出器の放射線受光部の面積、厚さや材料、放射線発生源とＸ線検出器の距離、Ｘ線検出器の最大計数率等により決まる。例えば、一般的なシリコンドリフト型検出器では、数ｍｍ２〜数百ｍｍ２の当該面積を有し、最大計数率は、数万ｃｐｓ〜数十万ｃｐｓである。一方、超伝導転移端センサーの当該面積は、一般的に１ｍｍ２よりも小さく、最大計数率は、数百ｃｐｓ程度である。
【００９５】
このことから、実施形態において説明したように、超伝導転移端センサーを超伝導Ｘ線検出器として有する放射線分析装置１が、位置可変部１４及び駆動部１５を有し、放射線収束部１３を駆動部１５によりユーザーが所望する移動方向にユーザーが所望する移動量だけ移動させることができることは、放射線分析装置１の計数効率を向上させる上で非常に重要であると言える。ユーザーが手動で放射線検出部１２に対する相対的な放射線収束部１３の位置を変化させる場合、計数効率を向上させることは困難である。このような困難さは、放射線収束部１３によって直径が２００μｍ程度にまで収束された第２放射線Ｒ２を、１ｍｍ２よりも小さな面積の受光部に効率よく入射させなければならないことからも容易に理解できる。
【００９６】
以上説明したように、実施形態における放射線分析装置（この一例において、放射線分析装置１又は放射線分析装置１ａ）は、物体（この一例において、物体Ｗ）に第１放射線（この一例において、第１放射線Ｒ１）を放射線照射部（この一例において、放射線照射部１１）により照射し、第１放射線が照射された物体から発生する第２放射線（この一例において、第２放射線Ｒ２）を放射線検出部（この一例において、放射線検出部１２）により検出し、物体と放射線検出部との間に配置された放射線収束部（この一例において、放射線収束部１３）により第２放射線を放射線検出部に収束し、放射線収束部と放射線検出部との相対的な位置関係を可変にする位置可変部（この一例において、位置可変部１４）に位置関係を変化させる駆動部（この一例において、駆動部１５）を駆動させる。これにより、放射線分析装置は、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
【００９７】
また、放射線分析装置は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて前記駆動部を駆動させる。これにより、放射線分析装置は、ユーザーから受け付けた操作に基づいて、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
【００９８】
また、放射線分析装置は、放射線検出部が検出した第２放射線の計数率を算出し、算出した計数率に基づいて駆動部を駆動させる。これにより、放射線分析装置は、放射線検出部が検出した第２放射線の計数率に基づいて、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
【００９９】
また、放射線分析装置は、電子線を第１放射線として照射し、電子線が照射された物体から発生するＸ線を第２放射線として超伝導転移端センサーによって検出する。これにより、放射線分析装置は、超伝導Ｘ線分析装置であり、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
【０１００】
また、放射線分析装置は、第１放射線が照射された物体から発生する第２放射線が検出された計数率に応じて、第２放射線を検出する放射線検出部に第２放射線を収束させる放射線収束部を移動させる。これにより、放射線分析装置は、放射線の検出効率を容易に向上させることができる。
【０１０１】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない限り、変更、置換、削除等されてもよい。
【０１０２】
また、以上に説明した装置（例えば、制御装置２０）における任意の構成部の機能を実現するためのプログラムを、コンピューター読み取り可能な記録媒体に記録し、そのプログラムをコンピューターシステムに読み込ませて実行するようにしてもよい。なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、ＯＳ（Operating  System）や周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ（Compact  Disk）−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバーやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリー（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【０１０３】
また、上記のプログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピューターシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピューターシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記のプログラムは、前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【符号の説明】
【０１０４】
１…放射線分析装置、１０…検出装置、１１…放射線照射部、１２…放射線検出部、１３…放射線収束部、１４…位置可変部、１５…駆動部、１６…冷却装置、１７…筐体、２０…制御装置、３０…第１制御装置、３１、４１…ＣＰＵ、３２、４２…記憶部、３３、４３…入力受付部、３４、４４…通信部、３５、４５…表示部、３６、４６…制御部、４０…第２制御装置、３６１、３６１ａ、４６２…放射線照射制御部、４６１…表示制御部、４６３…第１駆動制御部、４６４…第２駆動制御部、４６５…検出情報取得部、４６６…計数率算出部、４６７…記憶制御部、４６８…位置算出部、４６９…分析部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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