(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板の両面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、下向きの傾斜面を設けた第１のクランプ具及び上向きの傾斜面を設けた第２のクランプ具を備えることによって、基板の先端面の上下の端縁に線接触することで基板を保持する基板保持機構と、基板保持機構により保持された基板から粘着力でフィルムを剥離する粘着剥離機構と、粘着剥離機構により捲り挙げられた基板の両面に貼られたフィルムの先端部を、それぞれ把持するフィルム保持具と、フィルムを把持したフィルム保持具を基板搬送方向と反対方向に搬送するフィルム搬送部駆動機構と、フィルム保持具で把持されて搬送されてきたフィルムを収納する回収容器とを備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に貼り付けられたフィルムを剥離するフィルム装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に貼り付けられたフィルムを剥離するための手段として、特許文献１に記載されているように、フィルムが貼り付けられた基板の表面に剥離用粘着テープを押し付けた状態で、基板を圧接ローラで挟んだ状態で、基板を搬送路上を下流側に移動させることによって、フィルムを捲り上げ、その部分をクランプ部で把持するフィルム把持搬送機構と、搬送方向へ移動させながら剥離する方法がある。
【０００３】
また、特許文献２に記載されているように、基板の先端部をクランプ部で把持し、剥離用粘着テープを押し付けた状態で搬送路上を下流側に移動させて捲り上げ、その持ち上がったフィルムをクランプ部で把持するフィルム把持搬送機構を用い、搬送方向へ移動させながら剥離する方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７７９１３２号公報
【特許文献２】特許第４２３１０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１及び２に記載の方法では、基板の両面に貼り付けられたフィルムを基板から分離する際に、基板の先端部をクランプする必要がある。
そのため、基板に貼付されたフィルムを剥離するには、フィルムの貼付位置を基板先端から間隔を空けてフィルムを貼り付け、基板クランプ代を設ける必要があり、基板の先端まで貼付されたフィルムは剥離することができなかった。
また、基板の先端部をクランプせずに剥離動作を行うと基板が上下に折れ曲がり破損することがあった。
【０００６】
本発明は、上記従来のフィルム剥離装置の有する問題点に鑑み、基板の先端まで貼付されたフィルムを基板から剥離しながら搬送する段階までに発生する基板の変形などを防止し、基板に損傷を与えることなく、基板の品質を阻害しないフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のフィルム剥離装置は、基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送されてきた基板の両面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、下向きの傾斜面を設けた第１のクランプ具及び上向きの傾斜面を設けた第２のクランプ具を備えることによって、基板の先端面の上下の端縁に線接触することで基板を保持する基板保持機構と、基板保持機構により保持された基板から粘着力でフィルムを剥離する粘着剥離機構と、粘着剥離機構により捲り挙げられた基板の両面に貼られたフィルムの先端部を、それぞれ把持するフィルム保持具と、フィルムを把持したフィルム保持具を基板搬送方向と反対方向に搬送するフィルム搬送部駆動機構と、フィルム保持具で把持されて搬送されてきたフィルムを収納する回収容器とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のフィルム剥離装置によれば、基板の先端を線接触で保持する基板保持機構と、基板保持機構により保持された基板から粘着力でフィルムを剥離する粘着剥離機構と、粘着剥離機構により捲り挙げられた基板の両面に貼られたフィルムの先端部を、それぞれ把持するフィルム保持具と、フィルムを把持したフィルム保持具を基板搬送方向と反対方向に搬送するフィルム搬送部駆動機構と、フィルム保持具で把持されて搬送されてきたフィルムを収納する回収容器とを備えることにより、フィルムの剥離時や基板のクランプ時に発生する基板の振動、変形を防ぎ、フィルムの貼付位置に制限を設けることなく剥離ができ、基板の先端まで貼付されたフィルムを基板から剥離しながら搬送する段階までに発生する基板の変形などを防止し、基板に損傷を与えることなく、基板の品質を阻害することを防止することができる。
【００１０】
また、前記基板保持機構が、基板の先端に接触する部分に傾斜角度を設けるようにすることにより、基板の先端を線接触で確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のフィルム剥離装置の概略構造を示す平面図である。
【図２】同フィルム剥離装置の一実施形態の概略構造を示す正面図である。
【図３】図２の実施形態における基板保持機構及び剥離部の構造を示す拡大正面図である。
【図４】図２の実施形態における基板保持機構及び剥離部の構造を示す部分斜視図である。
【図５】図２の実施形態における基板保持機構の一実施形態を示す部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のフィルム剥離装置の一実施形態を図１〜図４により説明する。
ここで、図１はフィルム剥離装置の概略構造を示す平面図、図２はフィルム剥離装置の概略構造を示す正面図、図３は図２の実施形態における基板保持機構及びフィルム保持機構の概略構造を示す拡大正面図、図４は図２の実施形態における基板保持機構及びフィルム保持機構の構造を示す部分斜視図である。
【００１３】
以下の実施形態の説明においては、後述する基板２より上側に位置するものについて引用符号末尾に添字Ａ、また、基板２より下側に位置するものについては添字Ｂを付加し、総称する場合は添字を除くものとする。例えば、基板２より上側に位置するクランプ具を４１Ａ、下側に位置するクランプ具を４１Ｂ、クランプ具を総称して呼ぶ場合は４１と記す。
【００１４】
図１に示すように、フィルム剥離装置１００は、基板搬送ローラ１と、粘着力でフィルム端部を剥離する粘着剥離機構３０と、基板前端部を保持する基板保持機構４０と、粘着剥離機構３０で基板２から剥離されたフィルムの先端部を把持して搬送するフィルム剥離搬送機構５０と、フィルム２ｂの回収容器３等から構成されている。
【００１５】
基板搬送ローラ１は、基板２を搬送するために、水平に複数個並べられ、基板２の搬送路を形成している。
基板２は、図２に矢印Ａで示すように、フィルム剥離装置１００の左側（搬入口）から右側（搬出口）に向かって搬送される。
【００１６】
基板２の上面及び下面には、図３に示すように、レジスト膜２ａが接着されており、さらに、レジスト膜２ａには、フィルム２ｂが積層して貼られている。
レジスト膜２ａは、熱処理により基板２の表面に接着され、フィルム２ｂは、レジスト膜２ａ自体が持つ粘着性でレジスト膜２ａに貼られている。
フィルム２ｂは、基板２が基板製造工程で処理される際にその表面に接着されたレジスト膜２ａを保護するためのものである。
【００１７】
先に説明したように、複数の基板搬送ローラ１よりなる基板２の搬送路の途中には、粘着剥離機構３０、基板保持機構４０及びフィルム剥離搬送機構５０が設けられ、基板保持機構４０は、搬送された基板２の搬送側端面を挟んで、基板２のフィルム前端部の基板端部付近に設けている。
【００１８】
基板のフィルムの粘着剥離機構３０は、図１及び図２に示すように、フィルム２ｂの幅方向の先端近くの中央部に配置し上下の分を含めて合計２箇所設けてある。
【００１９】
基板保持機構４０は、基板２の先端（フィルム２ｂの先端）付近を保持するために、基板上面のＬ型のクランプ具４１Ａ及び基板下面のＬ型のクランプ具４１Ｂを、基板２に対して上下方向に移動させるため、それぞれシリンダ４２Ａ、４２Ｂに連結されて設けている。
【００２０】
クランプ具４１Ａ及びクランプ具４１Ｂには、基板２を保持するためのブロック４３Ａ及び４３Ｂが設けられている。
このブロック４３Ａ、４３Ｂは、基板端面接触部に傾斜角度を設けた傾斜面、具体的には、ブロック４３Ａは下向きの傾斜面、ブロック４３Ｂは上向きの傾斜面が設けてあり、基板２をクランプせずに、初期剥離時の基板２が上下に振れないように、基板２の端面の上下の端縁に線接触することで保持することができるようにしている。
【００２１】
フィルム剥離搬送機構５０は、図１及び図２に示すように粘着剥離機構３０の近くに上下の分を含めて合計２箇所設けている。
このフィルム剥離搬送機構５０は、フィルム２ｂの端部を保持するフィルム保持具５２と、このフィルム保持具５２を伸張させるためのシリンダ５４と、このシリンダ５４を左右に取り付けた支持部材５６と、支持部材５６を伸張させるシリンダ５３と、シリンダ５３を移動させるためのフィルム搬送部駆動機構５５とから構成されている。
【００２２】
このフィルム剥離搬送機構５０より搬送されたフィルム２ｂは、フィルム剥離装置１００の入口側に設けてあるフィルム２ｂの回収容器３に送り込まれる。
【００２３】
次に、上記のように構成されたフィルム剥離装置１００の動作を説明する。
【００２４】
基板２は、図２の矢印Ａ方向にフィルム剥離装置１００の投入口から基板搬送ローラ１によりフィルム剥離装置１００の出口に向かって搬送されていく。
【００２５】
基板２が基板搬送ローラ１により搬送路上を搬送され、図示していない光学式センサにより検知されると、シリンダ１１の作動により圧接ローラ４が下降し、基板搬送ローラ１との間で基板２を挟み込み搬送されていく。
【００２６】
基板２が基板搬送ローラ１により搬送路上を搬送され、粘着剥離機構３０の所定位置に到達すると、図示していない光学式センサにより検知される。
【００２７】
センサが基板２を検知すると、シリンダ４２Ａ、４２Ｂが作動され、クランプ具４１Ａ，４１Ｂが基板側に移動してブロック４３Ａ、４３Ｂで、基板２を拘束する。
このブロック４３Ａ、４３Ｂは、基板端面接触部に傾斜角度を設けた傾斜面、具体的には、ブロック４３Ａは下向きの傾斜面、ブロック４３Ｂは上向きの傾斜面が設けてあり、基板２をクランプせずに、初期剥離時の基板２が上下に振れないように、基板２の端面の上下の端縁に線接触することで保持する。
【００２８】
基板２が保持されると、図３に示すように、基板保持機構４０により保持された基板２のフィルム２ｂの前端部の基板端部付近にシリンダ３１Ａ，３１Ｂの作動により剥離用粘着テープを配した板状押し付け具３２Ａ，３２Ｂで基板に押し付ける。
【００２９】
その後、剥離用粘着テープを配した板状押し付け具３２Ａ，３２Ｂを元の位置に戻すことにより、基板２よりフィルム２ｂの先端部を初期剥離し、剥離されたフィルム２ｂの先端部をフィルム保持具５２により把持する。
【００３０】
フィルム２ｂがフィルム保持具５２によって把持された後に、フィルム剥離搬送機構５０により基板２からフィルム２ｂを剥離しつつ基板搬送Ａ方向に搬送する。
【００３１】
フィルム剥離搬送機構５０で剥離されたフィルム２ｂは、基板搬送Ａ方向とは逆方向、すなわち、フィルム剥離装置１００の基板搬入口側に搬送され、回収容器３に収納される。
【００３２】
フィルム２ｂの剥離後の基板２は、基板搬送ローラ１でフィルム剥離装置の後段に設けた洗浄処理工程などを行う装置に搬送される。
【００３３】
以上説明したように、本実施例では基板２に貼られたレジスト膜２ａ上に貼られているフィルム２ｂを剥離する場合に、基板２を基板搬送ローラ１と圧接ローラ４により拘束した状態で基板２の前端を基板保持機構４０のブロック４３により基板２の前端部をクランプすることなく、線接触で保持することにより、基板２の前端まで貼り付けたフィルム２ｂを剥離時に生じる変形を防止しながら剥離することができる。
【００３４】
図５は基板保持機構の他の実施例を示す、図２の実施形態における基板保持機構の一実施形態を示す部分斜視図である。
図５において、図４との相違点は次の点である。
図４ではクランプ具４１が４つの場合を示していたが、図５ではクランプ具４１及びブロック４３を基板２の全幅に設置したものである。
本構成とすることで、基板２に作用する保持力を調整でき、図４に比べてさらに均一に保持することが可能である。
【００３５】
本発明は以上の実施形態に限らず、次のように実施してもよい。
（１）基板保持機構４０のブロック４３は単数でも複数個設置でもよい。
（２）基板に貼付されたフィルムが基板先端より間隔が空いている場合は、基板保持機構４０のブロック４３の平面部分で基板先端をクランプしてもよい。
（３）基板保持機構４０の駆動用のシリンダ４２は単数でも複数でもよい。
（４）基板保持機構４０の駆動用のシリンダ４２の駆動源は空圧でも電動でもよい。
（５）基板はガラス、セラミック、樹脂、半導体、積層板の基板でもよい。
（６）基板の上面あるいは下面の片側に貼られたフィルムを剥離させるものでもよい。
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、基板先端をクランプすることなく保持することで、基板端面まで貼付されたフィルムを基板の破損なく剥離することができ、品質を阻害せずにフィルム剥離可能なフィルム剥離装置を得ることができる。
【００３７】
以上、本発明のフィルム剥離装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明のフィルム剥離装置は、基板の先端まで貼付されたフィルムを基板から剥離しながら搬送する段階までに発生する基板の変形などを防止し、基板に損傷を与えることなく、基板の品質を阻害しない特性を有していることから、基板の先端まで貼付されたフィルムを基板から剥離するフィルム剥離装置の用途に広く用いることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１  基板搬送ローラ
２  基板
２ａ  レジスト膜
２ｂ  フィルム
３  回収容器
４  圧接ローラ
１１  シリンダ
３０  粘着剥離機構
３１  シリンダ
３２  板状押し付け具
４０  基板保持機構
４１  クランプ具
４２  シリンダ
４３  ブロック
５０  フィルム剥離搬送機構
５２  フィルム保持具
５３  シリンダ
５４  シリンダ
５５  フィルム搬送部駆動機構
１００  フィルム剥離装置
【図１】
0006665021.tif 000002
【図２】
0006665021.tif 000003
【図３】
0006665021.tif 000004
【図４】
0006665021.tif 000005
【図５】
0006665021.tif 000006