(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定装置であって、
測定対象に押し付けられる第一接触子及び第二接触子と、
前記第一接触子及び前記第二接触子が取り付けられるベース部と、
前記ベース部を駆動して前記第一接触子及び前記第二接触子を所定の押し付け方向に沿って前記測定対象に押し付ける駆動機構と、
電気信号を伝送する伝送部と、
前記伝送部と前記第一接触子及び前記第二接触子とを電気的に接続すると共に、前記ベース部が駆動されるのに伴って変形して前記伝送部に対する前記第一接触子及び前記第二接触子の相対移動を許容する接続部と、を備え、
前記第一接触子は、
前記ベース部に取り付けられ前記伝送部に電気的に接続される第一取付部と、
前記測定対象に押し付けられ、前記測定対象への押し付けに伴い前記第一取付部に優先して弾性変形する第一端子部と、を有し、
前記第二接触子は、
前記ベース部に取り付けられ前記伝送部に電気的に接続される第二取付部と、
前記測定対象に押し付けられ、前記測定対象への押し付けに伴い前記第二取付部に優先して弾性変形する第二端子部と、を有し、
前記第一接触子の前記第一端子部と前記第二接触子の前記第二端子部とが、それぞれ前記第一取付部及び前記第二取付部から、互いに沿うようにして延びる、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の測定装置であって、
前記第一端子部は、
前記押し付け方向に沿って延び前記測定対象に押し付けられる第一接触部と、
前記第一接触部から曲がって形成される第一曲部と、を有し、
前記第二端子部は、
前記押し付け方向に沿って延び前記測定対象に押し付けられる第二接触部と、
前記第二接触部から曲がって形成されると共に前記第一曲部に沿うように形成される第二曲部と、を有する、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の測定装置であって、
前記第一曲部は、前記測定対象への前記第一接触部の押し付けに伴い、前記第一接触部が前記押し付け方向に沿って移動するように弾性変形し、
前記第二曲部は、前記測定対象への前記第二接触部の押し付けに伴い、前記第二接触部が前記押し付け方向に沿って移動するように弾性変形する、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の測定装置であって、
前記第一曲部及び前記第二曲部は、前記押し付け方向に垂直な一方向に向けて凸となるように形成され、
前記第一曲部と前記第一接触部との境界部分及び前記第一曲部と前記第一取付部との境界部分は、前記押し付け方向に沿って設けられ、
前記第一曲部の凸の頂部は、前記押し付け方向に沿った位置が、前記第一曲部と前記第一接触部との境界部分及び前記第一曲部と前記第一取付部との境界部分の中央となるように設けられ、
前記第二曲部と前記第二接触部との境界部分及び前記第二曲部と前記第二取付部との境界部分は、前記押し付け方向に沿って設けられ、
前記第二曲部の凸の頂部は、前記押し付け方向に沿った位置が、前記第二曲部と前記第二接触部との境界部分及び前記第二曲部と前記第二取付部との境界部分の中央となるように設けられる、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の測定装置であって、
前記第一接触子の前記第一取付部と前記第二接触子の前記第二取付部とは、それぞれ前記押し付け方向に平行な板状に形成され、互いの板厚方向に並んで配置される、
ことを特徴とする測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の測定装置であって、
前記第一端子部と前記第二端子部とが、前記第一取付部と前記第二取付部とから、前記第一取付部及び前記第二取付部の前記板厚方向に向けて、かつ、前記測定対象に向けて延びる、
ことを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体素子の電極端子に接触して半導体素子の特性測定を行う複数の測定プローブと、複数の測定プローブを前後左右および上下方向に移動させる駆動機構と、を備えるプローブ装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１８９０５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載される測定装置では、一対のプローブの間隔が、測定対象に向かうにつれて狭くなるため、この一対のプローブが構成する伝送経路では、測定対象に向かうにつれ特性インピーダンスが連続的に変化する。つまり、特許文献１に開示される一対のプローブでは、プローブが構成する伝送経路において特性インピーダンスの不整合が生じる。また、このようなプローブを測定対象に押し付けて高周波特性等の電気的特性を測定するような場合には、押し付けに伴ってプローブの間隔が変わるため、押し付けに伴う特性インピーダンスの変化も生じる。その結果、プローブの押し付けの際、一対のプローブが構成する伝送経路において特性インピーダンスの不整合が助長されるおそれがある。このような特性インピーダンスの不整合が発生すると、電気的特性を測定する際に不整合箇所で電気信号が反射するため、測定装置において電気的特性を精度よく測定するのが困難となる。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、高周波特性を精度よく測定できる測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様によれば、測定装置は、それぞれ導体により形成される第一接触子及び第二接触子と、第一接触子及び第二接触子が取り付けられるベース部と、ベース部を駆動して第一接触子及び第二接触子を測定対象に押し付ける駆動機構と、電気信号を伝送する伝送部と、伝送部と第一接触子及び第二接触子とを電気的に接続すると共に、ベース部が駆動されるのに伴って変形して伝送部に対する第一接触子及び第二接触子の相対移動を許容する接続部と、を備え、第一接触子は、ベース部に取り付けられ伝送部に電気的に接続される第一取付部と、測定対象に押し付けられ、測定対象への押し付けに伴い第一取付部に優先して弾性変形する第一端子部と、を有し、第二接触子は、ベース部に取り付けられ伝送部に電気的に接続される第二取付部と、測定対象に押し付けられ、測定対象への押し付けに伴い第二取付部に優先して弾性変形する第二端子部と、を有し、第一接触子の第一端子部と第二接触子の第二端子部とが、それぞれ第一取付部及び第二取付部から、互いに沿うようにして延びる。
【発明の効果】
【０００７】
この態様によれば、第一端子部と第二端子部とは、互いに沿うようにして延びているため、測定対象に押し付けられる際にも第一端子部と第二端子部との間隔が一定に保たれる。よって、第一接触子及び第二接触子において特性インピーダンスを整合させることができ、電気的特性を精度よく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る測定装置を示す正面図である。
【図２】図２は、図１の二点鎖線部を拡大した拡大図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る測定装置の側面図である。
【図４】図４は、第１実施形態の第一接触子を示す斜視図である。
【図５】図５は、第１実施形態の第二接触子を示す斜視図である。
【図６】図６は、第１実施形態に係る測定装置において、第一接触子及び第二接触子を測定対象に接触させた状態を示す正面図である。
【図７】図７は、第１実施形態に係る測定装置において、第一接触子及び第二接触子を測定対象に押し付けた状態を示す正面図である。
【図８】図８は、第１実施形態の第１変形例に係る第一接触子及び第二接触子を示す正面図である。
【図９】図９は、第１実施形態の第２変形例に係る第一接触子及び第二接触子を示す正面図である。
【図１０】図１０は、第１実施形態の第３変形例に係る第一接触子及び第二接触子の一態様を示す正面図である。
【図１１】図１１は、第１実施形態の第３変形例に係る第一接触子及び第二接触子のその他の態様を示す正面図である。
【図１２】図１２は、第２実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。
【図１３】図１３は、第２実施形態の伝送基板を示す正面図である。
【図１４】図１４は、第２実施形態の第一接触子及び第二接触子を示す正面図である。
【図１５】図１５は、第３実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。
【図１６】図１６は、第４実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。
【図１７】図１７は、第４実施形態に係る測定装置を示す正面図である。
【図１８】図１８は、第４実施形態の第一接触子を示す斜視図である。
【図１９】図１９は、第４実施形態の第二接触子を示す斜視図である。
【図２０】図２０は、第４実施形態の伝送基板を示す図であり、（ａ）は表面を示す正面図、（ｂ）は裏面を示す背面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、本発明の各実施形態に係る測定装置について説明する。なお、各図面においては、説明の便宜上、各構成の縮尺を適宜変更しており、必ずしも厳密に図示されたものではない。
【００１０】
（第１実施形態）
図１〜図７を参照して、第１実施形態に係る測定装置１００について説明する。以下では、説明の便宜上、図１等に示すように、互いに直交するＸ，Ｙ及びＺの三軸を設定し、測定装置の構成について説明する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向に平行な方向である。
【００１１】
図１は、本実施形態に係る測定装置１００の正面図である。図２は、図１において二点鎖線で示した部分を拡大した拡大図である。測定装置１００は、図１及び図２に示すように、例えばチップ部品といった測定対象Ｔを電気的に検査する検査装置1に用いられる。
【００１２】
検査装置1は、図１に示すように、測定対象Ｔの電気的特性を測定するための測定装置１００と、電気的特性を測定するための測定位置に測定対象Ｔを搬送する搬送装置２と、測定対象Ｔに印加した電気信号を受信して所定の信号処理を行う制御装置６と、を備える。
【００１３】
測定装置１００は、測定対象Ｔの高周波特性等の電気的特性を測定するために、測定位置にある測定対象Ｔに対して、第一接触子１０及び第二接触子２０を鉛直方向の下方から押し付けて、測定対象Ｔと制御装置６との間で電気信号を伝送する伝送機構である。測定装置１００は、例えば、数百ＭＨｚといった特定の周波数の電磁波を測定対象Ｔに印加し、これに伴い測定対象Ｔにおいて発生する高周波信号を制御装置６に伝送する。これにより、測定対象Ｔの高周波特性の測定が行われる。
【００１４】
搬送装置２は、図２に示すように、測定対象Ｔを収容する収容溝３ａが複数形成される搬送テーブル３と、回転軸を中心に搬送テーブル３を間欠的に回転させるインデックス機構（図示省略）と、を有する。搬送テーブル３は、円板状の部材である。複数の収容溝３ａは、搬送テーブル３の外周面から径方向に延びて放射状に形成される。インデックス機構は、搬送テーブル３の中心軸を回転軸として間欠的に搬送テーブル３を回転させる。これにより、搬送テーブル３の収容溝３ａ内に収容された測定対象Ｔが測定位置に搬送され、測定装置１００によって高周波特性の測定が行われる。また、インデックス機構によって搬送テーブル３が回転することで、高周波特性の測定が完了した測定対象Ｔが測定位置から搬出される。
【００１５】
搬送テーブル３の鉛直方向の上方には、鉛直方向下方からの第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付けに伴う測定対象Ｔの浮き上がりを抑制する押さえ部材４が設けられる。搬送テーブル３の鉛直方向の下方には、測定対象Ｔを支持する支持部材５が設けられる。支持部材５には、第一接触子１０及び第二接触子２０の通過を許容する通過孔５ａ，５ｂが形成される。通過孔５ａ，５ｂは、隔壁５ｃによって隔てられる。測定対象Ｔは、隔壁５ｃによって鉛直方向下方から支持され、搬送テーブル３の収容溝３ａからの脱落が規制される。
【００１６】
次に、主に図１及び図３を参照して、測定装置１００の構成について説明する。図３は、測定装置１００の側面図である。なお、図３は、測定装置１００のみを図示するものであり、測定対象Ｔや搬送テーブル３等の構成の図示は省略している。
【００１７】
図１及び図３に示すように、測定装置１００は、それぞれ測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられるベース部３０と、ベース部３０を駆動して第一接触子１０及び第二接触子２０を所定の押し付け方向に沿って測定対象Ｔに押し付ける駆動機構４０と、制御装置６に入出力される電気信号を伝送する伝送部としての同軸ケーブル５０と、同軸ケーブル５０に対して第一接触子１０及び第二接触子２０を電気的に接続する接続部としての伝送基板６０と、を備える。本実施形態では、押し付け方向は、Ｚ軸に平行な方向である。
【００１８】
第一接触子１０及び第二接触子２０は、それぞれ導体によって形成され測定対象Ｔに押し付けられて高周波信号が入力される電極である。本実施形態では、第一接触子１０がグランド電極であり、第二接触子２０がシグナル電極である。第一接触子１０及び第二接触子２０の具体的構成については、後に詳細に説明する。
【００１９】
ベース部３０には、ボルト等の取付手段（図示省略）によって、第一接触子１０及び第二接触子２０が取り付けられる。
【００２０】
駆動機構４０は、ベース部３０を一方向に沿って進退させるアクチュエータである。駆動機構４０によるベース部３０の駆動方向が、測定対象Ｔに対する第一接触子１０及び第二接触子２０の押し付け方向（本実施形態ではＺ軸に平行な方向）に相当する。ベース部３０が駆動機構４０によって押し付け方向に沿って進退されることにより、第一接触子１０及び第二接触子２０が測定対象Ｔに対して接触・離間する。
【００２１】
駆動機構４０は、図３に示すように、電動モータ４１と、電動モータ４１の回転を直線運動に変換するボールねじ機構４２と、ベース部３０の直線運動を案内するためのガイド部４４と、を有する。
【００２２】
ボールねじ機構４２は、押し付け方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられ電動モータ４１によって回転するボールねじ４２ａと、ボールねじ４２ａの回転に伴いボールねじ４２ａの軸線方向に沿って移動するボールナット４２ｂと、を有する。
【００２３】
ガイド部４４は、押し付け方向に沿って設けられるレール４４ａを有する。ボールねじ機構４２のボールナット４２ｂは、ガイド部４４のレール４４ａに沿ってスライド可能にガイド部４４に取り付けられる。
【００２４】
ベース部３０は、ボールねじ機構４２のボールナット４２ｂに取り付けられる。電動モータ４１が回転駆動されると、ボールねじ４２ａの回転がボールナット４２ｂの直線運動に変換され、ガイド部４４のレール４４ａによって案内されながらボールナット４２ｂが軸方向に移動する。これにより、ボールナット４２ｂに取り付けられたベース部３０がレール４４ａによって案内されながら押し付け方向に沿って直線駆動される。なお、駆動機構４０は、ベース部３０を一方向に沿って進退させることが可能なものであれば、本実施形態の構成に限られない。例えば、駆動機構４０は、電動モータ４１とボールねじ機構４２との組み合わせに代えて、流体圧シリンダを用いてもよい。
【００２５】
同軸ケーブル５０は、図１に示すように、特性測定用の電気信号を送受信する制御装置６に電気的に接続され、制御装置６により送受信される電気信号を伝送する。同軸ケーブル５０は、図３に示すように、中心導体５１と、中心導体５１の周囲に設けられる絶縁層である絶縁体５２と、絶縁体５２の周囲に設けられる外部導体５３と、が同心円上に配置される同軸伝送部である。
【００２６】
伝送基板６０は、同軸ケーブル５０の外周の外部導体５３と第一接触子１０とを電気的に接続する第一銅箔基板６１と、同軸ケーブル５０の中心にある中心導体５１と第二接触子２０とを電気的に接続する第二銅箔基板６２と、により構成される。第一銅箔基板６１と第二銅箔基板６２とは、それぞれ平板状に形成され、互いに所定の間隔を空けて設けられる（図１参照）。図３に示すように、第一銅箔基板６１は、一端が同軸ケーブル５０の外部導体５３に対してはんだ付け等の手段により連結され、他端が第一接触子１０及びベース部３０に対してボルト等の手段により連結される。第二銅箔基板６２は、一端が同軸ケーブル５０の中心導体５１に対してそれぞれはんだ付け等の手段により連結され、他端が第二接触子２０及びベース部３０に対してボルト等の手段により連結される。
【００２７】
次に、主に図１、図４、及び図５を参照して、第一接触子１０及び第二接触子２０の具体的構成について説明する。図４は、第一接触子１０の斜視図である。図５は、第二接触子２０の斜視図である。
【００２８】
第一接触子１０は、図１及び図４に示すように、ベース部３０に取り付けられ第一銅箔基板６１に電気的に接続される第一取付部１１と、測定対象Ｔに押し付けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第一取付部１１に優先して弾性変形する第一端子部１５と、を有する。
【００２９】
第一接触子１０の第一取付部１１は、平板状に形成されベース部３０に取り付けられる。第一取付部１１は、図４に示すように、平坦に形成される第一狭小面１１ａと、平坦に形成され第一狭小面１１ａよりも大きな面積を有する第一広大面１１ｂと、第一広大面１１ｂより小さな面積を有し第一端子部１５が接続される第一先端面１１ｃと、を有する。第一狭小面１１ａ、第一広大面１１ｂ、及び第一先端面１１ｃは、互いに直交する平面である。第一接触子１０は、第一取付部１１の第一広大面１１ｂが、Ｙ軸に垂直であり、Ｘ軸及びＺ軸を含むＸＺ平面に平行となるように、ベース部３０に取り付けられる（図１参照）。Ｙ軸方向に沿った第一狭小面１１ａの寸法（以下、「第一狭小面１１ａの幅」、「第一取付部１１の板厚」とも称する。）は、Ｘ軸方向に沿った第一広大面１１ｂの寸法よりも小さい。
【００３０】
第一端子部１５は、第一取付部１１と同一の板厚（Ｙ軸方向の寸法）を有する。つまり、第一接触子１０は、均一な板厚を有している。第一端子部１５は、図４に示すように、押し付け方向に沿って（Ｚ軸方向に平行に）延び測定対象Ｔに押し付けられる第一接触部１６と、第一接触部１６から曲がって形成される第一曲部１７と、を有する。
【００３１】
第一接触部１６の先端の端面は、押し付け方向に垂直な垂直面１６ａとして形成される。第一接触部１６の垂直面１６ａが、測定対象Ｔに接触する。
【００３２】
第一曲部１７は、第一接触部１６から曲がって形成される。具体的には、第一曲部１７は、ＸＺ平面に平行な平面上（図１における紙面上）において、押し付け方向（Ｚ軸方向）及びＸ軸方向のそれぞれに対して傾斜するように直線状に延びる。
【００３３】
第二接触子２０は、図１及び図５に示すように、ベース部３０に取り付けられ第二銅箔基板６２に電気的に接続される第二取付部２１と、測定対象Ｔに押し付けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第二取付部２１に優先して弾性変形する第二端子部２５と、を有する。
【００３４】
第二接触子２０の第二取付部２１は、平板状に形成されベース部３０に取り付けられる。第二取付部２１は、図５に示すように、平坦に形成される第二狭小面２１ａと、平坦に形成され第二狭小面２１ａよりも大きな面積を有する第二広大面２１ｂと、第二広大面２１ｂより小さな面積を有し第二端子部２５が接続される第二先端面２１ｃと、を有する。第二狭小面２１ａ、第二広大面２１ｂ、及び第二先端面２１ｃは、互いに直交する平面である。第二接触子２０は、第二取付部２１の第二広大面２１ｂが、Ｙ軸に垂直であり、Ｘ軸及びＺ軸を含むＸＺ平面に平行となるように、ベース部３０に取り付けられる。Ｙ軸方向に沿った第二狭小面２１ａの幅（以下、「第二取付部２１の幅」、「第二取付部２１の板厚」とも称する。）は、Ｘ軸方向に沿った第二広大面２１ｂの幅よりも小さい。また、第一狭小面１１ａの幅と第二狭小面２１ａの幅とは互いに等しく、第一広大面１１ｂの幅と第二広大面２１ｂの幅とは互いに等しい。
【００３５】
第二端子部２５は、第二取付部２１と同一の板厚を有する。つまり、第二接触子２０は、均一な板厚を有しており、その板厚は第一接触子１０の板厚と同一である。第二端子部２５は、第一端子部１５と対応する形状に形成される。具体的には、第二端子部２５は、押し付け方向に沿って延び測定対象Ｔに押し付けられる第二接触部２６と、第二接触部２６から曲がって形成される第二曲部２７と、を有する。
【００３６】
第二接触部２６の先端の端面は、押し付け方向に垂直な垂直面２６ａとして形成される。第二接触部２６の垂直面２６ａが、測定対象Ｔに接触する。第一接触部１６の先端（垂直面１６ａ）と第二接触部２６の先端（垂直面２６ａ）は、押し付け方向における位置が略同一となるように設けられる。
【００３７】
第二曲部２７は、第二接触部２６から曲がって形成され、ＸＺ平面に平行な平面上において、押し付け方向（Ｚ軸方向）及びＸ軸方向のそれぞれに対して傾斜するように直線状に延びる。
【００３８】
第一接触子１０と第二接触子２０とは、図１に示すように、第一取付部１１と第二取付部２１とが、ＸＺ平面に平行であり、ＸＺ平面に平行な同一平面上となるように設けられる。より具体的には、第一取付部１１の第一狭小面１１ａと第二取付部２１の第二狭小面２１ａとは、押し付け方向であるＺ軸に対して平行である。よって、第一狭小面１１ａと第二狭小面２１ａとは、互いに平行に対向する。また、第一広大面１１ｂと第二広大面２１ｂとは、ＸＺ平面に平行な同一平面上に配置される。
【００３９】
第一取付部１１の第一狭小面１１ａと第二取付部２１の第二狭小面２１ａとは互いに平行に対向するため、第一狭小面１１ａと第二狭小面２１ａの間隔は略一定となる。第一狭小面１１ａと第二狭小面２１ａとの間隔は、第一取付部１１と第二取付部２１との結合強度が所望のものとなるように、言い換えれば、伝送経路が所望の特性インピーダンス（例えば５０Ω）となるように設定される。
【００４０】
また、第一端子部１５と第二端子部２５とは、それぞれ第一取付部１１及び第二取付部２１から互いに沿うようにして延びるように形成される。第一接触部１６と第二接触部２６との間隔は、測定対象Ｔの形状に応じて、伝送経路の特性インピーダンスが所望の値となるように設定される。
【００４１】
別の観点からいえば、第一曲部１７と第二曲部２７とは、Ｘ軸及びＺ軸のいずれとも平行ではない直線状に形成される。第一曲部１７と第二曲部２７との直線部分は、同一方向に向けて互いに沿うように平行に形成される。これにより、第一曲部１７と第二曲部２７との間隔（第一曲部１７と第二曲部２７とによって構成される伝送経路の間隔）が一定に保たれるため、第一曲部１７及び第二曲部２７における特性インピーダンスを一定に保つことができる。
【００４２】
なお、第一曲部１７及び第二曲部２７が第一接触部１６及び第二接触部２６から「曲がって形成される」とは、第一端子部１５及び第二端子部２５が押し付け方向に沿った直線状の部位のみによって形成される構成（図８に示す構成）ではないことを意味するものである。「曲がって形成される」とは、第一曲部１７と第二曲部２７の形状を表現するものであり、曲げ加工によって形成されることを意味するものではない。第一曲部１７及び第二曲部２７は、曲げ加工を含む塑性加工以外にも、打ち抜きや切削などの機械加工によって形成することができる。
【００４３】
次に、図６及び図７を参照して、測定装置１００の作用について説明する。図６は、第一接触子１０及び第二接触子２０が測定対象Ｔに接触した状態を示す図である。図７は、図６の状態から第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに向けて押し付け方向の前方に移動させ、測定対象Ｔに対して押し付けた状態を示す図である。なお、図６及び図７では、測定対象Ｔ、第一接触子１０、及び第二接触子２０のみを図示し、その他の構成は図示を省略している。また、図７では、図６の状態における第一接触子１０及び第二接触子２０を破線で示している。
【００４４】
測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、ベース部３０を押し付け方向の前方（鉛直方向の上方）に移動させ、鉛直方向の下方から第一接触子１０の第一接触部１６及び第二接触子２０の第二接触部２６を測定対象Ｔに接触させる（図６に示す状態）。この際、ベース部３０の移動によって第一銅箔基板６１及び第二銅箔基板６２（図１，２参照）が弾性変形する。これにより、同軸ケーブル５０に対する第一接触子１０、第二接触子２０、及びベース部３０の押し付け方向への相対移動が許容される。
【００４５】
第一接触部１６及び第二接触部２６が測定対象Ｔに接触した状態からベース部３０をさらに鉛直方向上方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触部１６及び第二接触部２６をさらに押し付けるのに伴い、図７に示すように、第一接触子１０の第一端子部１５及び第二接触子２０の第二端子部２５が、第一取付部１１及び第二取付部２１を含む測定装置１００の他部に優先して弾性変形する。より具体的には、第一曲部１７が、第一取付部１１との境界部分Ｂ１２を支点として、撓むように弾性変形する。同様に、第二曲部２７が、第二取付部２１との境界部分Ｂ２２を支点として、撓むように弾性変形する。よって、第一曲部１７及び第二曲部２７の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触部１６及び第二接触部２６を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。
【００４６】
ここで、一般に、測定装置では、接触子を測定対象に押し付けるのに伴い、接触子、同軸ケーブル、伝送基板等が変形する。接触子、同軸ケーブル、伝送基板等のいずれかが変形すると、変形した箇所でグランド線路とシグナル線路との相対的な位置関係（より具体的には間隔）が変化し、特性インピーダンスが変化してしまう。これにより、伝送経路における特性インピーダンスの不整合が発生することがある。伝送経路において特性インピーダンスの不整合が発生すると、不整合箇所で電気信号が反射するため、伝送損失が生じる。
【００４７】
これに対し、本実施形態では、第一接触子１０の第一端子部１５と第二接触子２０の第二端子部２５とは、互いに沿うようにして延びる。第一端子部１５の第一接触部１６と第二端子部２５の第二接触部２６とは互いに平行に延びるものであり、かつ、第一端子部１５の第一曲部１７と第二端子部２５の第二曲部２７とは互いに平行に延びる。また、第一接触部１６の先端と第二接触部２６の先端とは、押し付け方向における位置が互いに同一である。このため、第一接触部１６及び第二接触部２６を測定対象Ｔに接触させた状態からさらに測定対象Ｔに向け押し付けても、第一曲部１７と第二曲部２７とは、同じ方向に同程度の変形量だけ変形する。よって、第一端子部１５と第二端子部２５の間隔は変形の前後において変化しない。このように、第一端子部１５と第二端子部２５とが変形しても間隔が変化しないため、測定対象Ｔへの第一端子部１５と第二端子部２５との押し付けによる特性インピーダンスの変化を抑制して伝送損失の発生を抑制することができる。
【００４８】
次に、図８〜図１１を参照して、第１実施形態の変形例について説明する。
【００４９】
（１）図８は、第１実施形態の第１変形例に係る第一接触子１０及び第二接触子２０を示す正面図である。上記実施形態では、図６等に示すように、第一端子部１５は第一曲部１７を有し、第二端子部２５は第二曲部２７を有する。これに対し、図８に示す第１変形例では、第一端子部１５は、第一曲部１７を有しておらず、押し付け方向に平行な直線状に形成される。また、第二端子部２５は、第二曲部２７を有しておらず、押し付け方向に平行な直線状に形成される。
【００５０】
このような第１変形例においても、第一端子部１５と第二端子部２５とが互いに対応する形状に形成され、同一方向に互いに沿って延びる。よって、第一端子部１５と第二端子部２５との間隔も一定となる。したがって、第一接触子１０及び第二接触子２０において特性インピーダンスを整合させることができ、高周波特性を精度よく測定することができる。
【００５１】
（２）図９は、第１実施形態の第２変形例に係る第一接触子１０及び第二接触子２０を示す正面図である。上記実施形態では、図６等に示すように、第一接触子１０の第一曲部１７と第二接触子２０の第二曲部２７は、それぞれ押し付け方向に対して傾斜する直線状に形成される。これに対し、第２変形例における第一曲部１７ａと第二曲部２７ａは、図９に示すように、弧状に湾曲した形状に形成される。この場合であっても、第一曲部１７ａと第二曲部２７ａとは、互いに対応した形状であって、互いに沿って延びるように形成される。このような第２変形例であっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。また、図示は省略するが、第一曲部１７と第二曲部２７とは、直線状の形状と、湾曲した形状と、を組み合わせた形状に形成されてもよい。
【００５２】
（３）図１０は、第１実施形態の第３変形例に係る第一接触子１０及び第二接触子２０を示す正面図である。上記実施形態では、図６に示すように、第一曲部１７と第一接触部１６との境界部分Ｂ１１は、第一曲部１７と第一取付部１１との境界部分Ｂ１２に対して、押し付け方向に垂直な方向（Ｘ軸方向、図６中左右方向）にずれている。同様に、第二曲部２７と第二接触部２６との境界部分Ｂ２１は、第二曲部２７と第二取付部２１との境界部分Ｂ２１に対して、押し付け方向に垂直な方向（Ｘ軸方向、図６中左右方向）にずれている。
【００５３】
これに対し、第３変形例では、図１０に示すように、第一曲部１７ｂは、押し付け方向に垂直な一方向（図１０中左方向）に凸となるような半円弧状に形成される。このため、第一曲部１７ｂと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１と、第一曲部１７ｂと第一取付部１１との境界部分Ｂ２１とは、押し付け方向に沿って配置される。第一曲部１７ｂの凸の頂部Ｔ１は、押し付け方向（Ｚ軸方向）における位置が、第一曲部１７ｂと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１と、第一曲部１７ｂと第一取付部１１との境界部分Ｂ１２との中央となるように設けられる。
【００５４】
また、第二曲部２７ｂは、第一曲部１７ｂと同じ一方向に凸となるような半円弧状に形成される。第二曲部２７ｂと第二接触部２６との境界部分Ｂ２１と、第二曲部２７ｂと第二取付部２１との境界部分Ｂ２２とは、押し付け方向に沿って設けられる。第二曲部２７の凸の頂部Ｔ２は、押し付け方向における位置が、第二曲部２７ｂと第二接触部２６との境界部分Ｂ２１及び第二曲部２７ｂと第二取付部２１との境界部分Ｂ２２の中央となるように設けられる。
【００５５】
このように、第３変形例では、第一曲部１７ｂと第二曲部２７ｂとは、互いに対応する形状に形成され、互いに沿って形成される。よって、第一曲部１７ｂと第二曲部２７ｂとの間隔も一定となる。このような第３変形例においても、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００５６】
また、第一曲部１７ｂと第二曲部２７ｂとが上記のような形状に形成されるため、押し付け方向に沿って第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付けると、第一接触部１６及び第二接触部２６が押し付け方向に沿って移動するように、第一曲部１７ｂ及び第二曲部２７ｂが弾性変形する。つまり、第一接触部１６及び第二接触部２６が押し付け方向に垂直な方向には移動しないように、第一曲部１７ｂ及び第二曲部２７ｂは変形する。第一接触部１６と第二接触部２６とが押し付け方向に対して垂直方向に移動しないため、第一接触部１６と第二接触部２６とを安定した姿勢で測定対象Ｔに接触させることができる。さらに、第一接触部１６と第二接触部２６とが押し付け方向に垂直な方向に移動しないため、両者の間隔の変化も抑制できる。したがって、測定対象Ｔへの押し付けに伴う第一接触子１０及び第二接触子２０での伝送損失の発生や特性インピーダンスの変化をより一層抑制することができる。
【００５７】
なお、第一接触部１６及び第二接触部２６が押し付け方向に沿って移動するように第一曲部及び第二曲部が変形するものであれば、第一曲部及び第二曲部の形状は、半円弧状に限られない。例えば、図１１に示すように、第一曲部１７ｃ及び第二曲部２７ｃは、直線部によって構成され押し付け方向に垂直な一方向に凸となる「くの字」状に形成されてもよい。また、第一曲部及び第二曲部は、弧状に湾曲する部分と直線状に延びる部分とを組み合わせた形状であってもよい。
【００５８】
また、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１と、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一取付部１１との境界部分Ｂ１２とが「押し付け方向に沿って設けられる」とは、図１０、１１に示すように、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１と、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一取付部１１との境界部分Ｂ１２とが押し付け方向に平行な同一の仮想線Ｌ１上に配置されることを意味するものである。第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二接触部２６との境界部分Ｂ２１と、第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二取付部２１との境界部分Ｂ２２とが「押し付け方向に沿って設けられる」との意味についても同様に、押し付け方向に平行な同一の仮想線Ｌ２上に配置されることを意味する。
【００５９】
（４）次に、その他の変形例について説明する。
上記第１実施形態、第２変形例、第３変形例において、第一曲部１７、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ及び第二曲部２７、２７ａ，２７ｂ，２７ｃは、押し付け方向に平行な直線部分を含むことを除外するものではない。第一曲部１７、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ及び第二曲部２７、２７ａ，２７ｂ，２７ｃの一部に、押し付け方向に平行な直線部分が設けられていてもよい。
【００６０】
（第２実施形態）
次に、図１２〜図１４を参照して、第２実施形態に係る測定装置２００について説明する。以下では、上記第１実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第１実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００６１】
測定装置２００は、上記第１実施形態における第一銅箔基板６１及び第二銅箔基板６２により構成される伝送基板６０に代えて、接続部として、柔軟性を有する伝送基板１６０を備える。また、測定装置２００では、第一接触子１１０の第一取付部１１１と第二接触子１２０の第二取付部１２１の構成は上記第１実施形態と同様である一方、第一端子部１１５と第二端子部１２５の構成が上記第１実施形態とは異なる。以下、具体的に説明する。
【００６２】
伝送基板１６０は、柔軟性を有する帯状のフレキシブルプリント基板である。伝送基板１６０の一端部（図１３中上端部）には、第一接触子１１０及び第二接触子１２０が接着される。伝送基板１６０の他端部は、コネクタ１７０（図１２参照）を通じて、同軸ケーブル５０に電気的に接続される。なお、コネクタ１７０は、公知の構成を採用することができるため、具体的な説明は省略する。また、コネクタ１７０は、必須の構成ではなく、コネクタ１７０を介さずに伝送基板１６０と同軸ケーブル５０を直接接続してもよい。
【００６３】
第一接触子１１０及び第二接触子１２０から出力される電気信号は、伝送基板１６０の高周波伝送線路によって伝送され、同軸ケーブル５０を通じて制御装置６（図１参照）に入力される。伝送基板１６０は、外力により変形が可能であり、駆動機構４０（図１参照）によってベース部３０が駆動されるのに伴って撓み変形する。これにより、同軸ケーブル５０及びコネクタ１７０に対する押し付け方向に沿ったベース部３０、第一接触子１１０、及び第二接触子１２０の相対移動が許容される。
【００６４】
伝送基板１６０は、図１３に示すように、高周波伝送線路としてコプレーナ線路を形成する積層構造を有する基板である。伝送基板１６０では、絶縁層である基材１６１の一方の面に、導体層であるグランド線１６２と、導体層であるシグナル線１６３と、がプリントされる。
【００６５】
基材１６１は、柔軟性を有する材質で形成される。グランド線１６２及びシグナル線１６３は、それぞれ所定の幅を有して基材１６１の長手方向に沿って延びて設けられる。グランド線１６２の一端部が第一接触子１１０の第一取付部１１１に電気的に接続され、シグナル線１６３の一端部が第二接触子１２０の第二取付部１２１に電気的に接続される（図１２参照）。図１３で図示を省略したグランド線１６２の他端部は、コネクタ１７０を通じて同軸ケーブル５０の外部導体５３に電気的に接続される。図示を省略したシグナル線１６３の他端部は、コネクタ１７０を通じて同軸ケーブル５０の中心導体５１に電気的に接続される。
【００６６】
第１実施形態と同様に、第一接触子１１０の第一端子部１１５は、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第一取付部１１１に優先して弾性変形する。また、第二接触子１２０の第二端子部１２５は、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第二取付部１２１に優先して弾性変形する。
【００６７】
図１４に示すように、本実施形態では、第一接触子１１０の第一端子部１１５と第二接触子１２０の第二端子部１２５とは、互いに沿って設けられるものではない。第一端子部１１５は、測定対象Ｔに接触する第一接触部１１６と、押し付け方向に対して傾斜するように第一接触部１１６から曲がって形成される第一傾斜部１１７と、を有する。第二端子部１２５は、測定対象Ｔに接触する第二接触部１２６と、押し付け方向に対して傾斜するように第二接触部１２６から曲がって形成される第二傾斜部１２７と、を有する。
【００６８】
第一傾斜部１１７は、押し付け方向に対して所定の角度で傾斜して延びる直線状に形成される。第二傾斜部１２７は、第一傾斜部１１７とは異なる角度によって押し付け方向に対して傾斜して延びる直線状に形成される。このように、本実施形態では、第一傾斜部１１７と第二傾斜部１２７とは互いに沿って延びるものではなく、互いに異なる角度によって押し付け方向に対して傾斜する。本実施形態では、第一傾斜部１１７と第二傾斜部１２７とは、押し付け方向に平行な基準線に対して線対称となるような「ハの字」状に延びるように構成される。
【００６９】
次に、測定装置２００の作用について説明する。
【００７０】
上記第１実施形態と同様、測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、ベース部３０を鉛直方向の上方に移動させ、鉛直方向の下方から第一接触子１１０の第一接触部１１６及び第二接触子１２０の第二接触部１２６を測定対象Ｔに接触させる。この際、ベース部３０の移動によって伝送基板１６０が撓み変形する。これにより、同軸ケーブル５０に対する第一接触子１１０、第二接触子１２０、及びベース部３０の相対移動が許容される。
【００７１】
第一接触部１１６及び第二接触部１２６が測定対象Ｔに接触した状態からベース部３０をさらに鉛直方向上方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子１１０及び第二接触子１２０を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触部１１６及び第二接触部１２６をさらに押し付けるのに伴い、第一接触子１１０の第一端子部１１５及び第二接触子１２０の第二端子部１２５が、測定装置２００の他部に優先して弾性変形する。
【００７２】
より具体的には、図１４に示すように、第一傾斜部１１７及び第二傾斜部１２７が、それぞれ第一取付部１１１との境界部分Ｂ１２及び第二取付部１２１との境界部分Ｂ２２を支点として、撓むように優先して弾性変形する。よって、第一傾斜部１１７及び第二傾斜部１２７の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触部１１６及び第二接触部１２６を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。
【００７３】
ここで、一般に、測定装置では、接触子を測定対象に押し付けるためにベース部を直線駆動すると、同軸ケーブルと接触子とを電気的に接続する伝送基板が変形する。伝送基板が変形すると、接触子が変形する場合と同様に、伝送基板上のグランド線とシグナル線との相対的な位置関係が変化し、特性インピーダンスの不整合が生じるおそれがある。
【００７４】
さらに、ベース部は駆動機構によって駆動されるものであるため、駆動機構の作動誤差等の影響により、ベース部の移動は厳密には接触子の押し付け毎に一定ではない。このため、ベース部の移動による伝送基板の変形も一定ではなく、ベース部が移動する毎（接触子を測定対象Ｔに押し付ける毎）に異なることがある。このように、伝送基板の変形の再現性が乏しい場合には、測定装置のキャリブレーションを行っても、正確な高周波特性を測定することが困難となる。
【００７５】
これに対し、本実施形態では、伝送基板１６０は、リジットな基板ではなく、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。フレキシブルプリント基板では、変形が生じても、グランド線１６２とシグナル線１６３との相対的な位置関係はほとんど変化しない。よって、ベース部３０の移動によって伝送基板１６０が変形しても、また、ベース部３０の移動の再現性が乏しい場合であっても、伝送基板１６０における特性インピーダンスの変化が抑制される。これにより、測定装置１００のキャリブレーションを高精度で行うことができ、測定装置１００の測定精度を向上させることができる。
【００７６】
（第３実施形態）
次に、図１５を参照して、第３実施形態に係る測定装置３００について説明する。第３実施形態は、上記第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたものである。以下では、上記第１実施形態及び第２実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００７７】
第３実施形態に係る測定装置３００は、第１実施形態に係る第一接触子１０及び第二接触子２０を備えると共に、接続部として第２実施形態に係る伝送基板１６０を備える。
【００７８】
このような第３実施形態では、第一接触子１０の第一端子部１５と第二接触子２０の第二端子部２５とは、互いに沿うようにして延びるため、測定対象Ｔへの押し付けによっても、相対的な位置関係（互いの間隔）が変化しない。よって、測定対象Ｔへの押し付けの際における第一接触子１０と第二接触子２０により構成される伝送経路の特性インピーダンスの変化を抑制して伝送損失の発生を抑制することができる。
【００７９】
また、伝送基板１６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板であるため、第一接触子１０及び第二接触子２０を押し付けるためベース部３０を移動させて伝送基板１６０が変形しても、伝送基板１６０に設けられるグランド線１６２とシグナル線１６３の相対的な位置関係は変化しない。よって、測定対象Ｔへの第一接触子１０と第二接触子２０の押し付けの際においても、伝送基板１６０における特性インピーダンスの変化を抑制して、伝送損失の発生を抑制することができる。
【００８０】
ここで、例えば、伝送基板において特性インピーダンスの不整合が大きい場合には、電気信号は伝送基板においてほとんど反射されることとなり、第一接触子及び第二接触子においてインピーダンス整合が取れていたとしても伝送特性は悪くなってしまう。その反対も同様に、第一接触子及び第二接触子において特性インピーダンスの不整合が大きい場合には、伝送基板においてインピーダンス整合がとれていたとしても伝送特性は悪くなってしまう。このように、伝送経路において特性インピーダンスの不整合が大きい箇所があると、伝送経路のその他の箇所で特性インピーダンスを整合させても、伝送特性を向上させることが難しくなる。
【００８１】
これに対し、第３実施形態では、第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付ける際、第一接触子１０及び第二接触子２０における特性インピーダンスの変化が抑制されると共に、伝送基板１６０における特性インピーダンスの変化を抑制することができる。これにより、伝送経路全体で特性インピーダンスを整合させることができるため、より精度よく、より安定して伝送特性を向上させることができる。
【００８２】
（第４実施形態）
次に、図１６〜図２０を参照して、第４実施形態に係る測定装置４００について説明する。以下では、上記第３実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第３実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００８３】
第４実施形態に係る測定装置４００では、第３実施形態と同様、第一接触子３１０の第一端子部３１５と第二接触子３２０の第二端子部３２５とが互いに沿うように延びると共に、接続部が柔軟性を有する伝送基板（フレキシブルプリント基板）３６０である。
【００８４】
第一接触子３１０及び第二接触子３２０は、ベース部３３０に取り付けられる。ベース部３３０は、上記各実施形態におけるベース部３０と形状が異なるものであり、その機能は同様のものであるため、詳細な説明は省略する。
【００８５】
第一接触子３１０は、主に図１６及び図１８に示すように、板状に形成される第一取付部３１１と、第一取付部３１１から延びる第一端子部３１５と、を有する。
【００８６】
図１７及び図１８に示すように、上記各実施形態と同様に、第一取付部３１１は、第一狭小面３１１ａ、第一広大面３１１ｂ、及び第一先端面３１１ｃを有する。また、第一取付部３１１の第一広大面３１１ｂには、切り欠き３１１ｄが形成される。切り欠き３１１ｄが形成されることによって、第一取付部３１１には、相対的に板厚が薄い薄肉部３１２と、相対的に板厚が厚い厚肉部３１３と、が形成される。薄肉部３１２は、第一広大面３１１ｂと平行な端面（以下、「対向面３１２ａ」とする）を有している。
【００８７】
第一端子部３１５は、主に図１６及び図１８に示すように、押し付け方向に対して平行に延びる第一接触部３１６と、押し付け方向に対して傾斜して延びる第一曲部３１７と、を有する。第一曲部３１７は、第一取付部３１１の薄肉部３１２に接続される。第一曲部３１７は、押し付け方向に延びると共に、Ｘ軸方向に延びる。つまり、第一曲部３１７は、板状の第一取付部３１１に垂直な方向（言い換えれば、第一取付部３１１の板厚方向）であるＸ軸方向に延びる。また、第一曲部３１７は、第一接触子３１０に向かうにつれて、伝送経路における幅（本実施形態では、Ｙ軸に沿った寸法）が小さくなるように形成される。第一接触部３１６の幅（Ｙ軸方向に沿った寸法）、言い換えれば、第一端子部３１５の最小幅は、第一端子部３１５の板厚よりも大きく形成される。なお、第一端子部３１５の板厚は、一様である。
【００８８】
第二接触子３２０の第二取付部３２１は、図１６及び図１９に示すように、板状に形成される第二取付部３２１と、第二取付部３２１から延びる第二端子部３２５と、を有する。
【００８９】
第二取付部３２１は、図１９に示すように、平板状に形成される。上記各実施形態と同様に、第二取付部は、第二狭小面３２１ａ、第二広大面３２１ｂ、及び第２先端面３２１ｃを有する。
【００９０】
第二端子部３２５は、第二接触部３２６と、第二曲部３２７と、を有する。第二曲部３２７は、第一曲部３１７と同様、押し付け方向に延びると共に、第二取付部３２１の板厚方向であるＸ軸方向に延びる。また、第二曲部３２７は、第二接触子３２０に向かうにつれて、伝送経路における幅が小さくなるように形成される。第二接触部３２６の幅（第二端子部３２５の最小幅）は、第二端子部３２５の板厚よりも大きく形成される。なお、第二端子部３２５の板厚は一様である。
【００９１】
本実施形態では、第一接触子３１０と第二接触子３２０とは、第一取付部３１１と第二取付部３２１とが互いに平行かつ面対向するように配置される。具体的には、第一取付部３１１の薄肉部３１２の対向面３１２ａと第二取付部３２１の第二広大面３２１ｂとが、互いに所定の間隔を空けて平行に対向する（図１８参照）。また、第一取付部３１１の第一広大面３１１ｂと第二取付部３２１の第二広大面３２１ｂとは、伝送基板３６０の厚さ程度の間隔を空けて対向する。第一広大面３１１ｂと第二広大面３２１ｂとは、それぞれ押し付け方向であるＺ軸に対して平行であって、Ｘ軸に対して垂直である。つまり、第一接触子３１０と第二接触子３２０とは、Ｘ軸方向に並んで配置される。
【００９２】
また、第一端子部３１５と第二端子部３２５とは、互いに対応する形状に形成されて互いに沿って延びる。このため、第一端子部３１５と第二端子部３２５との間隔を一定にすることができる。
【００９３】
伝送基板３６０には、図２０に示すように、高周波伝送線路としてマイクロストリップ線路が設けられる。基材３６１の一方の面（表面）にシグナル線３６３が形成され（（ａ）参照）、反対側の面（裏面）にグランド線３６２が形成される（（ｂ）参照）。
【００９４】
伝送基板３６０の一方の面のシグナル線３６３は、図１６に示すように、第二接触子３２０の第二取付部３２１と電気的に接続される。伝送基板３６０の他方の面のグランド線３６２は、第一接触子３１０の第一取付部３１１、より具体的には、第一取付部３１１の厚肉部３１３と電気的に接続される（図１７参照）。つまり、伝送基板３６０は、第一接触子３１０における第一取付部１１の厚肉部３１３（第一広大面３１１ｂ）と第二接触子３２０の第二取付部３２１（第二広大面３２１ｂ）とによって挟まれるようにして、第一接触子３１０及び第二接触子３２０と接続される。
【００９５】
第一端子部３１５の板厚と第一取付部３１１の薄肉部３１２との板厚は、同一に形成される。これにより、第一端子部３１５と第二端子部３２５との間隔と、第一取付部３１１の薄肉部３１２と第二取付部３２１（第二広大面３２１ｂ）との間隔とが、同一になる。言い換えれば、第一取付部３１１に切り欠き３１１ｄを形成することによって、第一取付部３１１と第二取付部３２１との間隔を、第一端子部３１５と第二端子部３２５との間隔に一致させることができる。これにより、測定装置４００における伝送線路の結合強度の変化を抑制することができる。
【００９６】
次に、測定装置４００の作用について説明する。
【００９７】
測定対象Ｔの高周波特性を測定するには、ベース部３３０を鉛直方向の上方に移動させ、鉛直方向の下方から第一接触子３１０の第一接触部３１６及び第二接触子３２０の第二接触部３２６を測定対象Ｔに接触させる。この際、ベース部３３０の移動によって伝送基板３６０が撓み変形する。これにより、同軸ケーブル５０に対する第一接触子３１０、第二接触子３２０、及びベース部３３０の相対移動が許容される。
【００９８】
第一接触部３１６及び第二接触部３２６が測定対象Ｔに接触した状態からベース部３３０をさらに鉛直方向上方へ移動させることで、所定の押し付け力により第一接触子３１０及び第二接触子３２０を測定対象Ｔに押し付けて電気的に接続させる。測定対象Ｔに接触した状態から第一接触部３１６及び第二接触部３２６をさらに押し付けるのに伴い、第一接触子３１０の第一端子部３１５及び第二接触子３２０の第二端子部３２５が、測定装置４００の他部に優先して弾性変形する。より具体的には、第一曲部３１７及び第二曲部３２７が、それぞれ第一取付部３１１との境界部分Ｂ１２及び第二取付部３２１との境界部分Ｂ２２を支点として、撓むように弾性変形する。よって、第一曲部３１７及び第二曲部３２７の弾性変形によって生じる弾性力により、第一接触部３１６及び第二接触部３２６を測定対象Ｔに押し付ける押し付け力が確保される。
【００９９】
本実施形態では、第一接触子３１０の第一端子部３１５と第二接触子３２０の第二端子部３２５とは、互いに沿うようにして延びるため、測定対象Ｔへの押し付けによっても、相対的な位置関係（互いの間隔）が変化しない。よって、測定対象Ｔへの押し付けの際における第一接触子３１０と第二接触子３２０の特性インピーダンスの変化を抑制して伝送損失の発生を抑制することができる。
【０１００】
また、伝送基板３６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板であるため、第一接触子３１０及び第二接触子３２０を押し付けるためベース部３３０を移動させて伝送基板３６０が変形しても、伝送基板３６０に設けられるグランド線３６２とシグナル線３６３の相対的な位置関係は変化しない。よって、測定対象Ｔへの第一接触子３１０と第二接触子３２０の押し付けの際においても、伝送基板３６０における特性インピーダンスの変化を抑制して、伝送損失の発生を抑制することができる。
【０１０１】
このように、本実施形態では、第一接触子３１０及び第二接触子３２０を測定対象Ｔに押し付ける際、第一接触子３１０及び第二接触子３２０における特性インピーダンスの変化が抑制されると共に、伝送基板３６０における特性インピーダンスの変化を抑制することができる。これにより、伝送経路全体で特性インピーダンスの整合状態を維持することができるため、より精度よく、より安定して伝送特性を向上させることができる。
【０１０２】
さらに、本実施形態では、第一接触子３１０の第一取付部３１１と第二接触子３２０の第二取付部３２１とが、平行に対向する。つまり、第一取付部３１１の第一狭小面３１１ａと第二取付部３２１の第二狭小面３２１ａとが対向するものではなく、第一広大面３１１ｂと第二広大面３２１ｂとが対向する。このため、第一接触子３１０及び第二接触子３２０の板厚に制限されることなく第一端子部３１５及び第二端子部３２５を加工できるため、第一端子部３１５及び第二端子部３２５の幅を容易に大きくすることができる。これにより、第一端子部３１５と第二端子部３２５とが対向する面積を広くすることができ、伝送経路の結合強度をより高めることができる。したがって、特性インピーダンスを所望の値（例えば５０Ω）としやすく、測定装置４００が測定可能な周波数帯域をより高周波側に広げることができる。
【０１０３】
また、例えば第１実施形態のように、第一曲部と第二曲部とが平板状の第一取付部及び第二取付部に平行な平面に沿って延びるものである場合、第一曲部と第二曲部とは、その平面上において変形しやすい。このため、第一接触子及び第二接触子を測定対象に押し付けて第一曲部と第二曲部とが変形しても、第一曲部と第二曲部との相対的な位置関係はほとんど変化しない。しかしながら、このような構成において第一曲部と第二曲部における板厚と幅の比（板厚／幅）が小さすぎる場合や第一曲部及び第二曲部の長さが板厚に対して長すぎる場合などには、第一曲部及び第二曲部は、板厚方向（Ｙ軸方向）に向けて変形しやすくなる。これにより、第一接触子及び第２接触子を測定対象に押し付けても、第一取付部及び第二取付部に平行な平面上での変形という意図した変形よりも、板厚方向に変形するといった意図しない変形が生じる場合がある。このような意図しない変形が生じると、第一端子部と第二端子部との相対的な位置関係が変化するため、特性インピーダンスの不整合が生じるおそれがある。
【０１０４】
これに対し、本実施形態では、第一曲部３１７と第二曲部３２７とは、第一接触子３１０及び第二接触子３２０の板厚方向であるＸ軸方向に向け延びるように形成される。これにより、第一曲部及び第二曲部の板厚と幅の比が小さすぎるような場合であっても、意図する変形の方向と、変形しやすい方向とが一致するため、意図しない変形による特性インピーダンスの不整合の発生を抑制することができる。したがって、第一曲部３１７及び第二曲部３２７の変形の再現性が向上するため、ほぼ同一の条件によって高周波特性の測定を繰り返し行うことができ、測定装置４００の測定精度が向上する。
【０１０５】
また、本実施形態では、伝送基板３６０に設けられる高周波伝送線路は、基材３６１の表面にシグナル線３６３が形成され、裏面にグランド線３６２が形成されるマイクロストリップ線路である。マイクロストリップ線路は、グランド線３６２及びシグナル線３６３が同一面に設けられる高周波伝送線路と比較して、特性インピーダンスを決定する因子（パラメータ）が少なく、これに伴い誤差因子も少ない。よって、高周波伝送線路をマイクロストリップ線路とすることで、伝送基板３６０の特性インピーダンスを所望の値に整合させやすく、より良い伝送特性を得ることができる。
【０１０６】
また、本実施形態では、第一接触子３１０の第一取付部３１１と第二接触子３２０の第二取付部３２１とが互いに平行かつ面対向して設けられる。伝送基板３６０は、第一接触子３１０の第一取付部３１１と第二接触子３２０の第二取付部３２１とに挟まれて設けられる。これによれば、伝送基板３６０の一方側にある第一接触子３１０と裏面のグランド線３６２とを容易に電気的に接続できると共に、伝送基板３６０の他方側にある第二接触子３２０と表面のシグナル線３６３とを容易に電気的に接続できる。よって、伝送基板３６０に設けられる高周波伝送路は、本実施形態のように、マイクロストリップ線路であることが望ましい。
【０１０７】
次に、第４実施形態の変形例について説明する。
【０１０８】
上記実施形態では、第一接触子３１０の第一曲部３１７と第二接触子３２０の第二曲部３２７は、それぞれ押し付け方向に対して傾斜する直線状に形成される。
【０１０９】
これに対し、第４実施形態における第一曲部３１７と第二曲部３２７とは、第１実施形態における第２変形例と同様に、弧状に湾曲した形状に形成されてもよい。また、第一曲部３１７と第二曲部３２７とは、直線状の形状と、湾曲した形状と、を組み合わせた形状に形成されてもよい。このような変形例であっても、上記実施形態と同様の作用効果を奏する。
【０１１０】
また、第一接触子３１０の第一曲部３１７は、第１実施形態の第３変形例（図１０，１１参照）のように、第一接触部３１６との境界部分Ｂ１１と第一取付部３１１との境界部分Ｂ１２とが、押し付け方向に沿って並ぶように構成されてもよい。この場合、第一曲部３１７に対応して、第二曲部３２７は、第二接触部３２６との境界部分Ｂ２１と第二取付部３２１との境界部分Ｂ２２とが、押し付け方向に沿って並ぶように構成すればよい。このような変形例によれば、第１実施形態の第３変形例と同様に、第一曲部３１７及び第二曲部３２７を変形させたい方向と変形しやすい方向とが一致すると共に、第一接触部３１６及び第二接触部３２６が押し付け方向に沿って移動する。これにより、第一端子部３１５と第二端子部３２５との相対的な位置関係の変化がより一層抑制されると共に、測定対象Ｔに対する第一接触部３１６及び第二接触部３２６の接触姿勢がより一層安定する。したがって、測定装置４００における伝送特性の再現性が高まり、繰り返し行われる測定の測定精度が向上する。
【０１１１】
また、上記実施形態では、第一接触子３１０及び第二接触子３２０と同軸ケーブル５０とを接続する接続部は、フレキシブルプリント基板である伝送基板３６０である。これに対し、第４実施形態に係る測定装置４００では、伝送基板３６０に代えて、第１実施形態における第一銅箔基板６１及び第二銅箔基板６２を接続部としてもよい。言い換えれば、第１実施形態において、第一接触子１０及び第二接触子２０に代えて、第４実施形態における第一接触子３１０及び第二接触子３２０を適用してもよい。
【０１１２】
次に、各実施形態の作用効果についてまとめて説明する。
【０１１３】
第１、第３、第４実施形態に係る測定装置１００，３００，４００は、測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０，３１０及び第二接触子２０，３２０と、第一接触子１０，３１０及び第二接触子２０，３２０が取り付けられるベース部３０と、ベース部３０を駆動して第一接触子１０，３１０及び第二接触子２０，３２０を所定の押し付け方向に沿って測定対象Ｔに押し付ける駆動機構４０と、電気信号を伝送する同軸ケーブル５０と、同軸ケーブル５０と第一接触子１０，３１０及び第二接触子２０，３２０とを電気的に接続すると共に、ベース部３０が駆動されるのに伴って変形して同軸ケーブル５０に対する第一接触子１０，３１０及び第二接触子２０，３２０の相対移動を許容する伝送基板６０，１６０，３６０と、を備え、第一接触子１０，３１０は、ベース部３０に取り付けられ同軸ケーブル５０に電気的に接続される第一取付部１１，３１１と、測定対象Ｔに押し付けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第一取付部１１，３１１に優先して弾性変形する第一端子部１５，３１５と、を有し、第二接触子２０，３２０は、ベース部３０に取り付けられ同軸ケーブル５０に電気的に接続される第二取付部２１，３２１と、測定対象Ｔに押し付けられ、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第二取付部２１，３２１に優先して弾性変形する第二端子部２５，３２５と、を有し、第一接触子１０，３１０の第一端子部１５，３１５と第二接触子２０，３２０の第二端子部２５，３２５とが、それぞれ第一取付部１１，３１１及び第二取付部２１，３２１から、互いに沿うようにして延びる。
【０１１４】
第１、第３、第４実施形態によれば、第一端子部１５，３１５と第二端子部２５,３２５とは、互いに沿うようにして延びているため、第一端子部１５，３１５と第二端子部２５，３２５との間隔を一定に保ちやすく、測定対象Ｔへの押し付けの際にも間隔が変化しにくい。よって、第一接触子１０，３１０と第二接触子２０，３２０とにより構成される伝送経路において特性インピーダンスを一定に保ちやすく、同軸ケーブル５０との特性インピーダンスの整合が図られるため、測定対象Ｔの高周波特性を精度よく測定することができる。
【０１１５】
また、第１実施形態、第１実施形態の第２、第３変形例、第３、第４実施形態では、第一端子部１５，３１５は、押し付け方向に沿って延び測定対象Ｔに押し付けられる第一接触部１６，３１６と、第一接触部１６，３１６から曲がって形成される第一曲部１７，１７ｂ，１７ｃ、３１７と、を有し、第二端子部２５，３２５は、押し付け方向に沿って延び測定対象Ｔに押し付けられる第二接触部２６，３２６と、第二接触部２６，３２６から曲がって形成されると共に第一曲部１７，１７ｂ，１７ｃ、３１７に沿うように形成される第二曲部２７，２７ｂ，２７ｃ，３２７と、を有する。
【０１１６】
第１実施形態、第１実施形態の第２、第３変形例、第３、第４実施形態によれば、第二曲部２７，２７ｂ，２７ｃ，３２７は第一曲部１７，１７ｂ，１７ｃ、３１７に沿って形成されるため、第一接触部１６，３１６及び第二接触部２６，３２６を測定対象Ｔに押し付ける際、第一曲部１７，１７ｂ，１７ｃ、３１７と第二曲部２７，２７ｂ，２７ｃ，３２７とは、同じ方向に同程度の変形量だけ変形する。よって、第一端子部１５，３１５と第二端子部２５，３２５の間隔は変形の前後において変化しない。このように、第一端子部１５，３１５と第二端子部２５，３２５とが変形しても間隔が変化しないため、測定対象Ｔへの第一端子部１５，３１５と第二端子部２５，３２５との押し付けによる特性インピーダンスの変化を抑制して伝送損失の発生を抑制することができる。
【０１１７】
また、第１実施形態の第３変形例では、第一曲部１７ｂ，１７ｃは、測定対象Ｔへの第一接触部１６の押し付けに伴い、第一接触部１６が押し付け方向に沿って移動するように弾性変形し、第二曲部２７ｂ，２７ｃは、測定対象Ｔへの第二接触部２６の押し付けに伴い、第二接触部２６が押し付け方向に沿って移動するように弾性変形する。
【０１１８】
また、第１実施形態の第３変形例に係る測定装置１００では、第一曲部１７ｂ，１７ｃ及び第二曲部２７ｂ，２７ｃは、押し付け方向に垂直な一方向に向けて凸となるように形成され、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１及び第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一取付部１１との境界部分Ｂ１２は、押し付け方向に沿って設けられ、第一曲部１７ｂ，１７ｃの凸の頂部Ｔ１は、押し付け方向に沿った位置が、第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一接触部１６との境界部分Ｂ１１及び第一曲部１７ｂ，１７ｃと第一取付部１１との境界部分Ｂ１２の中央となるように設けられ、第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二接触部２６との境界部分Ｂ２１及び第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二取付部２１との境界部分Ｂ２２は、押し付け方向に沿って設けられ、第二曲部２７ｂ，２７ｃの凸の頂部Ｔ２は、押し付け方向に沿った位置が、第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二接触部２６との境界部分Ｂ２１及び第二曲部２７ｂ，２７ｃと第二取付部２１との境界部分Ｂ２２の中央となるように設けられる。
【０１１９】
第１実施形態の第３変形例によれば、第一接触子１０及び第二接触子２０を測定対象Ｔに押し付けると、第一接触部１６及び第二接触部２６が押し付け方向に沿って移動するように、第一曲部１７ｂ，１７ｃ及び第二曲部２７ｂ，２７ｃが弾性変形する。つまり、第一接触部１６及び第二接触部２６が押し付け方向に垂直な方向には移動しないように、第一曲部１７ｂ，１７ｃ及び第二曲部２７ｂ，２７ｃは変形する。第一接触部１６と第二接触部２６とが押し付け方向に垂直方向に移動しないため、測定対象Ｔに対して第一接触部１６と第二接触部２６とを安定した姿勢で接触させることができると共に、第一接触部１６と第二接触部２６との間隔の変化も抑制できる。したがって、測定対象Ｔへの押し付けに伴う第一接触子１０及び第二接触子２０での伝送損失の発生をより一層抑制することができる。
【０１２０】
また、第１〜第４実施形態では、第一接触子１０，１１０，３１０の第一取付部１１，１１１，３１１と第二接触子２０，１２０，３２０の第二取付部２１，１２１，３２１とは、それぞれ押し付け方向に平行な板状に形成され、互いに対向するように配置される。
【０１２１】
また、第４実施形態では、第一端子部３１５と第二端子部３２５とが、第一取付部３１１と第二取付部３２１とから、第一取付部３１１及び第二取付部３２１に対して垂直な方向に向けて、かつ、測定対象Ｔに向かう押し付け方向の前方に向けて延びる。
【０１２２】
第４実施形態によれば、第一曲部３１７と第二曲部３２７とは、第一接触子３１０及び第二接触子３２０の板厚方向であるＸ軸方向に向け延びるように形成される。これにより、意図する変形の方向と、変形しやすい方向とが一致するため、意図しない変形による特性インピーダンスの不整合の発生を抑制することができる。したがって、第一曲部３１７及び第二曲部３２７の変形の再現性が向上するため、繰り返し行われる測定対象Ｔの電気的特性の測定についての再現性が向上し、測定精度が向上する。
【０１２３】
また、第２、第３、第４実施形態に係る測定装置２００，３００，４００は、測定対象Ｔに押し付けられ測定対象Ｔへの押し付けに伴って変形する第一接触子１０，１１０，３１０及び第二接触子２０，１２０，３２０と、第一接触子１０，１１０，３１０及び第二接触子２０，１２０，３２０が取り付けられるベース部３０と、ベース部３０を駆動して第一接触子１０，１１０，３１０及び第二接触子２０，１２０，３２０を測定対象Ｔに押し付ける駆動機構４０と、電気信号を伝送する同軸ケーブル５０と、シグナル線１６３，３６３及びグランド線１６２，３６２を含む高周波伝送線路が設けられ、同軸ケーブル５０と第一接触子１０，１１０，３１０及び第二接触子２０，１２０，３２０とを電気的に接続すると共に、柔軟性を有する伝送基板１６０，３６０と、を備える。
【０１２４】
第２実施形態によれば、伝送基板１６０，３６０が柔軟性を有するため、伝送基板１６０，３６０が変形しても、伝送基板１６０，３６０のグランド線１６２，３６２とシグナル線１６３，３６３との相対的な位置関係はほとんど変化しない。よって、ベース部３０を移動させて第一接触子１０，１１０，３１０及び第二接触子２０，１２０，３２０を測定対象Ｔに押し付ける際の伝送基板１６０，３６０における特性インピーダンスの変化が抑制される。これにより、測定装置２００，３００，４００のキャリブレーションを高精度で行うことができ、測定装置２００，３００，４００の測定精度を向上させることができる。
【０１２５】
また、第４実施形態では、第一接触子３１０と第二接触子３２０とは、第一取付部３１１と第二取付部３２１とが互いに平行かつ面対向するように配置され、伝送基板３６０の一方の面には、第二接触子３２０の第二取付部３２１を電気的に接続可能なシグナル線３６３が形成され、伝送基板３６０の他方の面には、第一接触子３１０の第一取付部３１１を電気的に接続可能なグランド線３６２が形成される。
【０１２６】
次に、各実施形態間で共通する変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記各実施形態の各構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。また、上記実施形態の説明において記載された変形例についても同様に、他の変形例と任意に組み合わせることが可能である。
【０１２７】
上記各実施形態において、グランド線路とシグナル線路との経路長とは、等しく形成されることが望ましい。具体的には、接続部におけるグランド線路（第一銅箔基板６１、伝送基板１６０，３６０におけるグランド線１６２，３６２）とシグナル線路（第二銅箔基板６２、伝送基板１６０，３６０におけるシグナル線１６３，３６３）との経路長が等しいことが望ましく、第一接触子１０，１１０，３１０と第二接触子２０，１２０，３２０の経路長が等しいことが望ましい。これによれば、グランド線路とシグナル線路との結合強度を一定に保ちやすく、特性インピーダンスの不整合を抑制できる。しかしながら、各実施形態は、グランド線路とシグナル線路の経路長が等しいものに限定されるものではなく、経路長が異なっていてもよい。
【０１２８】
また、上記第２、第３、第４実施形態では、伝送基板１６０，３６０は、柔軟性を有するフレキシブルプリント基板である。これに対し、柔軟性を有する伝送基板１６０，３６０としては、柔軟性を有する部位と有していない部位とを含むフレックスリジット基板であってもよい。
【０１２９】
また、上記第２及び第３実施形態では、伝送基板１６０に設けられる高周波伝送線路は、コプレーナ線路である。また、第４実施形態では、伝送基板３６０に設けられる高周波伝送線路は、マイクロストリップ線路である。これに対し、高周波伝送線路は、上記実施形態に記載の構成に限られるものではなく、その他のものであってもよい。接触子は、高周波伝送線路の種類に応じた数だけ備えられるように構成すればよい。つまり、測定装置２００，３００，４００は、高周波伝送線路の種類に応じて、三つ以上の接触子を備えるものでもよい。
【０１３０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【０１３１】
また、本明細書において、「平行」、「垂直」、「直交」、「同一」、「均一」、「一定」、「一様」等の語は、厳密な意味ではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲においてずれが許容される。
【符号の説明】
【０１３２】
１０，１１０，３１０              第一接触子
１１，１１１，３１０              第一取付部
１５，１１５，３１５              第一端子部
１６，１１６，３１６              第一接触部
１７，３１７                      第一曲部
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ            第一曲部
２０，１２０，３２０              第二接触子
２１，１２１，３２１              第二取付部
２５，１２５，３２５              第二端子部
２６，１２６，３２６              第二接触部
２７，３２７                      第二曲部
２７ａ，２７ｂ，２７ｃ            第二曲部
３０，３３０                      ベース部
４０                              駆動機構
５０                              同軸ケーブル（伝送部、同軸伝送部）
６０，１６０，３６０              伝送基板（接続部）
１６２，３６２                    グランド線
１６３，３６３                    シグナル線
１００，２００，３００，４００    測定装置
【要約】
【課題】電気的特性を精度よく測定する。
【解決手段】測定装置１００は、測定対象Ｔに押し付けられる第一接触子１０及び第二接触子２０と、同軸ケーブル５０と第一接触子１０及び第二接触子２０とを電気的に接続すると共に、同軸ケーブル５０に対する第一接触子１０及び第二接触子２０の相対移動を許容する伝送基板６０と、を備え、第一接触子１０は、同軸ケーブル５０に電気的に接続される第一取付部１１と、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第一取付部１１に優先して弾性変形する第一端子部１５と、を有し、第二接触子２０は、同軸ケーブル５０に電気的に接続される第二取付部２１と、測定対象Ｔへの押し付けに伴い第二取付部２１に優先して弾性変形する第二端子部２５と、を有し、第一端子部１５と第二端子部２５とは、それぞれ互いに沿うようにして延びる。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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