(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されるウエーハを回転可能に装着した切削ブレードにより切削する切削手段と、該切削ブレードの側面に切削水を供給する切削水供給手段と、を備える切削装置の該切削水供給手段の高さ位置を調節するための調節治具であって、
該切削手段は、
該切削ブレードを前端に装着し回転するスピンドルと、
該スピンドルを収容して回転可能に支持し磁性体で構成される平坦な底面を有するスピンドルハウジングと、
該スピンドルハウジングで回転可能に支持される該スピンドルを回転させるモータと、を備え、
該切削水供給手段は、
該保持面に平行で切削送り方向に延在し該切削ブレードを挟み該切削ブレードの側面に向く噴射口を有する２本のパイプノズルと、
該２本のパイプノズルを上下方向に調節可能に支持する支持部材と、を備え、
該調節治具は、
磁石を埋没させ該スピンドルハウジングの該底面に磁着させる磁着面と、
該切削ブレードを進入させる溝が形成されパイプノズルを載置させる載置面と、を備え、
該スピンドルハウジングの該底面に該磁着面を磁着させ該載置面に該パイプノズルを載置させて該パイプノズルの高さ位置を調節する調節治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に備えられ切削ブレードに向けて切削水を供給するノズルの高さ位置を調節することができる調節治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、回転可能な切削ブレードを備えた切削装置によって切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。切削加工において、回転する切削ブレードがウエーハと接触する加工点及びその周囲は、摩擦熱により温度が上昇する。加工点が高温になりすぎると、切削ブレードの異常磨耗、及びウエーハの焼けやチッピングが発生し加工品質が著しく悪化する。これらを防止するために、切削装置には加工点及びその周囲を冷却するために切削ブレードの側面に向けて切削水を供給する切削水供給手段が設けられている（例えば、特許文献１参照）。この切削水供給手段は、例えば、切削ブレードを挟んで切削送り方向に延在する２本のパイプノズルを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０３３８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記２本のパイプノズルは、例えば、スピンドルを支持するスピンドルハウジングに装着されるホイールカバーに、切削ブレードの切り刃の厚み方向に切削水を噴射できるように、切削ブレードを挟むようにして支持部材等を介して配設されている。すなわち、２本のパイプノズルは、それぞれ切削ブレードの表面及び裏面に沿うように延在しており、切削ブレードの面方向にパイプノズルの噴射口が複数に整列するようになっている。パイプノズルの切削ブレードに対する高さ位置が適切な位置となっていない場合には、加工点が十分に冷却されず、切削ブレードの破損やウエーハの品質劣化を生じさせることになる。
【０００５】
スピンドルに装着する切削ブレードには、例えば、アルミ合金鋳物等で作られた台金の外周部分から径方向外側に向かって切り刃が延出して形成されているハブブレードと、砥粒を適宜のバインダーで固定し環状に成形したワッシャー型の環状ブレードとがある。ハブブレードと環状ブレードとでは、切削加工時におけるパイプノズルの適切な高さ位置に違いがあり、また、同種類の切削ブレードであっても、その外径が異なるものであれば、パイプノズルの高さ位置を個別に調節する必要が生じる。
【０００６】
パイプノズルの高さ位置の調節を行う場合においては、例えば、切削ブレードを下方に向かって切り込み送りし、切削ブレードの先端がチャックテーブルの保持面に僅かに接触する位置で切り込み送りを停止させる。この状態で、チャックテーブルの保持面からパイプノズルの下端までの距離を測定してパイプノズルの高さ位置を調節したり、チャックテーブルの保持面とパイプノズルの下端との間にブロックを挿入し、ブロック上にパイプノズルを載置してパイプノズルの高さ位置を調節したりしていた。
【０００７】
しかし、チャックテーブルの保持面上に切削ブレードを僅かに接触させるまで切削ブレードを切り込み送りし停止させるため、パイプノズルの高さ位置を調節する前段階にすぎないチャックテーブルと切削手段との所定の高さ位置への位置付けに多くの時間を要していた。また、切削ブレードを切り込み送りする際に、切削手段の切り込み送り位置の設定を誤ると、切削ブレードが装着されている切削手段がチャックテーブルに接触して破損する危険があった。
【０００８】
したがって、切削装置に備えるパイプノズルの高さ位置を調節する場合においては、高さ位置の調節に時間を多く取られることなく、また、切削手段が破損するおそれが無いようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明は、ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されるウエーハを回転可能に装着した切削ブレードにより切削する切削手段と、該切削ブレードの側面に切削水を供給する切削水供給手段と、を備える切削装置の該切削水供給手段の高さ位置を調節するための調節治具であって、該切削手段は、該切削ブレードを前端に装着し回転するスピンドルと、該スピンドルを収容して回転可能に支持し磁性体で構成される平坦な底面を有するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングで回転可能に支持される該スピンドルを回転させるモータと、を備え、該切削水供給手段は、該保持面に平行で切削送り方向に延在し該切削ブレードを挟み該切削ブレードの側面に向く噴射口を有する２本のパイプノズルと、該２本のパイプノズルを上下方向に調節可能に支持する支持部材と、を備え、該調節治具は、磁石を埋没させ該スピンドルハウジングの該底面に磁着させる磁着面と、該切削ブレードを進入させる溝が形成され該パイプノズルを載置させる載置面と、を備え、該スピンドルハウジングの該底面に該磁着面を磁着させ該載置面に該パイプノズルを載置させて該パイプノズルの高さ位置を調節する調節治具である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る調節治具は、ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されるウエーハを回転可能に装着した切削ブレードにより切削する切削手段と、切削ブレードの側面に切削水を供給する切削水供給手段と、を備える切削装置の切削水供給手段の高さ位置を調節するための調節治具であって、切削手段は、切削ブレードを前端に装着し回転するスピンドルと、スピンドルを収容して回転可能に支持し磁性体で構成される平坦な底面を有するスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングで回転可能に支持されるスピンドルを回転させるモータと、を備え、切削水供給手段は、保持面に平行で切削送り方向に延在し切削ブレードを挟み切削ブレードの側面に向く噴射口を有する２本のパイプノズルと、２本のパイプノズルを上下方向に調節可能に支持する支持部材と、を備え、調節治具は、磁石を埋没させスピンドルハウジングの底面に磁着させる磁着面と、切削ブレードを進入させる溝が形成されパイプノズルを載置させる載置面と、を備えているため、スピンドルハウジングの底面に調節治具を磁着させ調節治具の載置面にパイプノズルを載置させるだけで、パイプノズルの高さ位置を正確に調節できるようになる。したがって、パイプノズルの高さ位置の調節に時間を多く取られることなく、また、調節の際に切削手段をチャックテーブルに対して切り込み送りする必要もないことから、切削手段を破損させるおそれもない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】切削手段及び調節治具の一例を示す斜視図である。
【図３】調節治具を用いてパイプノズルの高さ位置を調節している状態を示す斜視図である。
【図４】切削ブレードがワッシャータイプの環状ブレードである場合において、調節治具を用いてパイプノズルの高さ位置を調節している状態を正面から見た場合の模式的な説明図である。
【図５】切削ブレードがハブブレードである場合において、調節治具を用いてパイプノズルの高さ位置を調節している状態を正面から見た場合の模式的な説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す切削装置１は、チャックテーブル３０の保持面３００ａに保持されたウエーハに対して、切削手段６が備える回転する切削ブレード６０を切り込ませて、切削加工を施す装置である。
【００１３】
切削装置１の基台１０上には、切削送り方向（Ｘ軸方向）にチャックテーブル３０を往復移動させる切削送り手段１１が配設されている。切削送り手段１１は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０と平行に配設された一対のガイドレール１１１と、ボールネジ１１０を回動させるモータ１１２と、内部のナットがボールネジ１１０に螺合し底部がガイドレール１１１に摺接する可動板１１３とから構成される。そして、モータ１１２がボールネジ１１０を回動させると、これに伴い可動板１１３がガイドレール１１１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１１３上に配設されたチャックテーブル３０が可動板１１３の移動に伴いＸ軸方向に移動することで、チャックテーブル３０に保持されたウエーハが切削送りされる。
【００１４】
可動板１１３上に配設されたチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ウエーハを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面である保持面３００ａ上でウエーハを吸引保持する。チャックテーブル３０は、チャックテーブル３０の底面側に配設された回転手段３０２により駆動されて回転可能となっている。また、チャックテーブル３０の周囲には、ウエーハが環状フレームによって支持されている場合に、この環状フレームを固定するための固定クランプ３０４が、図示の例では４つ配設されている。
【００１５】
基台１０上の後方側（−Ｘ方向側）には、門型コラム１４が切削送り手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１４の前面には、Ｙ軸方向に切削手段６を往復移動させる割り出し送り手段１２が配設されている。
【００１６】
割り出し送り手段１２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１２０と、ボールネジ１２０と平行に配設された一対のガイドレール１２１と、ボールネジ１２０を回動させるモータ１２２と、内部のナットがボールネジ１２０に螺合し側部がガイドレール１２１に摺接する可動板１２３とから構成される。そして、モータ１２２がボールネジ１２０を回動させると、これに伴い可動板１２３がガイドレール１２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１２３上に配設された切削手段６が可動板１２３の移動に伴いＹ軸方向に割り出し送りされる。
【００１７】
可動板１２３上には、Ｚ軸方向に切削手段６を往復移動させる切り込み送り手段１６が配設されている。切り込み送り手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１６０と、ボールネジ１６０と平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジ１６０を回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジ１６０に螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する支持部材１６３とから構成される。そして、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い支持部材１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１６３により支持されている切削手段６が、支持部材１６３の移動に伴いＺ軸方向に切り込み送りされる。
【００１８】
図２に示す切削手段６は、切削ブレード６０を前端６１ａ（−Ｙ方向側の端）に装着し回転するスピンドル６１と、スピンドル６１を収容して回転可能に支持し磁性体で構成される平坦な底面６２ｂを有するスピンドルハウジング６２と、スピンドルハウジング６２で回転可能に支持されるスピンドル６１を回転させるモータ６３と、を少なくとも備えている。
【００１９】
スピンドルハウジング６２は、本実施形態においては、例えば、その全体が鉄等の強磁性体から構成され、外形が直方体状に形成されており、その内部には、スピンドル６１及びモータ６３が収容されている。スピンドルハウジング６２の上面６２ａには、支持部材１６３の下端面が固定されており、支持部材１６３の上下動に伴って、スピンドルハウジング６２も上下動する。
【００２０】
スピンドルハウジング６２の＋Ｘ方向側の側面６２ｃには、ウエーハの切削すべき位置を撮像して検出するためのアライメント手段６４が配設されている。アライメント手段６４は、ウエーハの被切削面を撮像するアライメント用カメラ６４０を備えており、アライメント用カメラ６４０により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によってウエーハの切削すべき位置を検出することができる。
【００２１】
スピンドルハウジング６２の底面６２ｂは、平坦に形成されており、例えば、Ｚ軸に対し直交する水平面となっている。スピンドルハウジング６２の底面６２ｂは、強磁性体で構成されていることから、磁石が磁着することができる。
【００２２】
スピンドルハウジング６２内に収容されるスピンドル６１は、その軸方向がチャックテーブル３０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）であり、スピンドルハウジング６２によって、回転可能に支持されている。すなわち、例えば、スピンドルハウジング６２の内部には、エア軸受けが配設されており、このエア軸受けにより、非接触状態でスピンドル６１が回転可能に支持されている。そして、スピンドル６１の後端６１ｂ（＋Ｙ方向側の端）には、モータ６３が連結されている。スピンドル６１の前端６１ａは、スピンドルハウジング６２から−Ｙ方向に突出しており、切削ブレード６０を装着できるようになっている。
【００２３】
本実施形態においては、切削ブレード６０は、例えば、ハブレスタイプ、すなわち、台金を有しないワッシャー型の環状ブレードであるが、これに限定されるものではなく、合金鋳物等で作られた台金の外周部分に切り刃が延出して形成されているハブブレードであってもよい。例えば、スピンドル６１の前端６１ａには、図示しないマウントフランジが装着され、さらに切削ブレード６０をスピンドル６１の前端６１ａに装着してから、固定フランジ６１０を取り付け、さらにナット等をスピンドル６１に締めこむことで、固定フランジ６１０と図示しないマウントフランジとで切削ブレード６０をスピンドル６１の前端６１ａに挟持固定することができる。
【００２４】
切削手段６は、例えば、切削ブレード６０をカバーするブレードカバー６５を備えている。ブレードカバー６５は、その略中央部に切削ブレード６０を取り付けるための開口部を備えており、スピンドルハウジング６２の前面６２ｄ（−Ｙ方向側の面）に連結部材６５０を介して装着されることで、開口部に切削ブレード６０を位置付け、切削ブレード６０を上方から覆うことができる。
【００２５】
図２に示す切削水供給手段５は、図１に示すチャックテーブル３０の保持面３００ａに平行で切削送り方向（Ｘ軸方向）に延在する２本のパイプノズル５０と、２本のパイプノズル５０を上下方向に調節可能に支持する支持部材５１と、を備えている。２本のパイプノズル５０は、切削ブレード６０を挟んで配設されており、それぞれのパイプノズル５０は、切削ブレード６０の側面に向く噴射口５００を備えている。支持部材５１は、例えば、ブレードカバー６５の−Ｘ方向側の側面に取り付けられており、調整ネジ５１０によりＺ軸方向にスライド移動可能に締結されている。調整ネジ５１０は支持部材５１に形成された長孔に挿通されており、調整ネジ５１０を緩めて支持部材５１を長孔に沿って動かすことで、支持部材５１はＺ軸方向にスライド移動できる。
【００２６】
２本のパイプノズル５０は、−Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の形状を備えており、支持部材５１によって上下方向に調節可能に支持されている。すなわち、２本のパイプノズル５０は、それぞれその上端５０ａ側が固定ナットにより支持部材５１に固定されており、支持部材５１内を通り支持部材５１底面から下方に延びた後、図１に示すチャックテーブル３０の保持面３００ａに平行な水平状態を保ちつつ、切削ブレード６０の下部を挟むようにして＋Ｘ方向側に互いに平行に延びている。２本のパイプノズル５０のそれぞれの上端５０ａは、図示しない切削水供給源と連通している。
【００２７】
図２に示すように、２本パイプノズル５０の切削ブレード６０の側面に向く位置には、切削水を噴射する噴射口５００がＸ軸方向に整列して複数設けられており、複数の噴射口５００によってＹ軸方向両側から切削水が噴射されて、切削ブレード６０とウエーハとの加工点の冷却及び洗浄が行われる。そして、支持部材５１の上下方向の移動に伴って、２本のパイプノズル５０も上下動する。
【００２８】
切削水供給手段５を構成するパイプノズル５０の高さ位置の調節には、図２に示す調節治具８を用いる。調節治具８は、磁石８１０を埋没させスピンドルハウジング６２の底面６２ｂに磁着させる磁着面８１と、切削ブレード６０を進入させる溝８２０が形成されパイプノズル５０を載置させる載置面８２と、を備えている。
【００２９】
例えば、調節治具８は、平面視で外形が略長方形に形成されており、その上面８ａには、例えば、段差が１段形成されている。図示の例においては、上面８ａ中、一段高い方の上面が磁着面８１となり、一段低い方の上面が載置面８２となる。
【００３０】
磁着面８１には、磁石８１０（例えば、フェライト磁石や金属磁石）が、図示の例においては４つ均等に埋没しており、磁石８１０が埋没した状態において磁着面８１は平坦な面となっている。図２に示す例以外にも、例えば、磁石８１０を平板状に形成し、平板状に形成された磁石８１０を、磁着面８１にはめ込み埋没させることで、磁着面８１の大部分が磁石８１０で形成された平坦面となるようにしてもよい。例えば、本実施形態においては、磁着面８１の−Ｙ方向側の一辺からは、仕切り板８１１が立設されており、その＋Ｙ方向側の側面は、スピンドルハウジング６２の前面６２ｄが当接する接触面８１１ａとなるが、磁着面８１上に仕切り板８１１を設けないものとしてもよい。
【００３１】
載置面８２は、平坦面であり、切削ブレード６０を進入させる溝８２０がＸ軸方向に延びるように形成されている。溝８２０の形成位置は、例えば、スピンドルハウジング６２の前面６２ｄが仕切り板８１１の接触面８１１ａに当接した場合に、切削ブレード６０の厚み方向中央に溝８２０の中心線が位置するように、載置面８２上において決められている。溝８２０のＹ軸方向両側には、載置面８２の高さ調整用の一対のスペーサー８３を装着するための装着孔８２１が並列して形成されている。
【００３２】
一対のスペーサー８３は、例えば、切削ブレード６０の種類や外径の違いに合わせて決められた所定の高さを備える長方形状の平板２枚から構成されており、それぞれを載置面８２上に装着することで、スペーサー８３の高さの分だけ載置面８２の高さ位置をかさ上げして調整することができる。一対のスペーサー８３が載置面８２上に装着された場合においては、各スペーサー８３の平坦面である上面が、パイプノズル５０を載置させる載置面８３ａとなる。載置面８２に形成される溝８２０は、例えば、スペーサー８３を装着していない調節治具８を用いて切削水供給手段５の高さ位置を調節する際に、少なくとも切削ブレード６０の最下端が調節治具８に接触しない程度の深さを有する。
【００３３】
以下に、図２〜５を用いて、調節治具８により切削水供給手段５のパイプノズル５０の高さ位置を調整する場合の調整方法及び調節治具８の各構成の動作について説明する。
【００３４】
パイプノズル５０の高さ位置を調整するにあたっては、例えば、まず、図２に示すように、一対のスペーサー８３を調節治具８の載置面８２上に装着し、スペーサー８３の上面をパイプノズル５０を、載置させる載置面８３ａとする。なお、切削ブレード６０の外径等によっては、スペーサー８３を調節治具８の載置面８２上に装着せずともよい。そして、図３に示すように、作業者が、スピンドルハウジング６２の底面６２ｂに磁着面８１を磁着させ、切削ブレード６０を溝８２０に進入させ、また、スピンドルハウジング６２の前面６２ｄを仕切り板８１１の接触面８１１ａに当接させた状態にする。スピンドルハウジング６２の前面６２ｄが仕切り板８１１の接触面８１１ａに当接した状態となっていることで、作業者から調節治具８を＋Ｙ方向へ押しやる力が加わった場合に、調節治具８のＹ軸方向のずれを規制することができる。
【００３５】
ここで、パイプノズル５０の高さ位置が、例えば、調節治具８の載置面８３ａよりも高い位置にある場合は、図３に示す調整ネジ５１０を緩めて、支持部材５１を長孔に沿って下方に動かしていき、支持部材５１に固定されている２本のパイプノズル５０を載置面８３ａに載置させる。すなわち、パイプノズル５０の側面５０ｃの下端が載置面８３ａに当接した状態となる。この状態で、調整ネジ５１０を締めて支持部材５１を固定する。
【００３６】
本実施形態のように、切削ブレード６０がワッシャー型の環状ブレードである場合には、例えば、図４に示す固定フランジ６１０の最下端からパイプノズル５０の側面５０ｃの下端までの距離Ｌ１が重要となる。このため、スペーサー８３が装着された調節治具８は、図３に示すスピンドルハウジング６２の底面６２ｂに磁着された状態で、固定フランジ６１０の外径から距離Ｌ１（例えば、０．７５ｍｍ程度）だけ高い位置に載置面８３ａが位置付けられるように設計されている。したがって、パイプノズル５０の側面５０ｃの下端を載置面８３ａに当接させることで、パイプノズル５０の高さ位置が適切に調節される。
【００３７】
例えば、切削ブレード６０が、図５に示すようなハブブレード６０Ａである場合は、パイプノズル５０の高さ位置は以下のように調節される。図５に示す切削ブレード６０Ａは、例えば、円盤状に形成されたアルミニウム製の基台６００と、基台６００の外周部から径方向外側に延出して形成された切り刃６０１とを備える。なお、図５においては、ナット等の切削ブレード６０をスピンドル６１に装着するための部品は省略して示している。切削ブレード６０がハブブレード６０Ａである場合においては、切り刃６０１の最下端からパイプノズル５０の側面５０ｃの下端までの距離Ｌ２が重要となる。このため、スペーサー８３が装着された調節治具８は、図３に示すスピンドルハウジング６２の底面６２ｂに磁着された状態で、ハブブレード６０Ａの切り刃６０１の最下端から距離Ｌ２（例えば、１．７５ｍｍ）だけ高い位置に載置面８３ａが位置付けられるように設計されている。したがって、パイプノズル５０の側面５０ｃの下端を載置面８３ａに当接させることで、パイプノズル５０の高さ位置が適切に調節される。
【００３８】
調節治具８は、磁石８１０を埋没させスピンドルハウジング６２の底面６２ｂに磁着させる磁着面８１と、切削ブレード６０を進入させる溝８２０が形成されパイプノズル５０を載置させる載置面８２と、を備えているため、スピンドルハウジング６２の底面６２ｂに調節治具８を磁着させ調節治具８の載置面８２にパイプノズル５０を載置させるだけで、パイプノズル５０の高さ位置を正確に調節できるようになる。したがって、パイプノズル５０の高さ位置の調節に時間を多く取られることなく、また、調節の際に切削手段６をチャックテーブル３０に対して切り込み送りする必要もないことから、切削手段６を破損させるおそれもない。
【００３９】
なお、本発明に係る調節治具８や、調節治具８によりパイプノズル５０を調節する切削装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている洗浄装置の各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、切削手段６のスピンドルハウジング６２は、外形が直方体状に限られるものではなく、少なくともその底面６２ｂが磁性体で構成されており平坦な面であればよい。
【符号の説明】
【００４０】
１：切削装置  １０：基台  １４：門型コラム
１１：切削送り手段  １１０：ボールネジ  １１１：一対のガイドレール  
１１２：モータ  １１３：可動板
１２：割り出し送り手段  １２０：ボールネジ  １２１：一対のガイドレール  
１２２：モータ  １２３：可動板
１６：切り込み送り手段  １６０：ボールネジ  １６１：一対のガイドレール  
１６２：モータ  １６３：支持部材
３０：チャックテーブル  ３００：吸着部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体  
３０２：回転手段  ３０４：固定クランプ
６：切削手段  
６０：切削ブレード  ６０Ａ：ハブブレード  ６００：基台  ６０１：切り刃
６１：スピンドル  ６１ａ：スピンドルの前端  ６１０：固定フランジ
６２：スピンドルハウジング  ６２ａ：スピンドルハウジングの上面  
６２ｂ：スピンドルハウジングの底面  ６２ｃ：スピンドルハウジングの側面  
６２ｄ：スピンドルハウジングの前面  ６３：モータ
６４：アライメント手段  ６４０：アライメント用カメラ  
６５：ブレードカバー  ６５０：連結部材
５：切削水供給手段  ５０：パイプノズル  ５００：噴射口  
５０ａ：パイプノズルの上端  ５０ｃ：パイプノズルの下側の側面
５１：支持部材  ５１０：調整ネジ
８：調節治具  ８ａ：調節治具の上面
８１：磁着面  ８１０：磁石  ８１１：仕切り板  ８１１ａ：仕切り板の接触面
８２：載置面  ８２０：溝  ８２１：装着孔
８３：スペーサー  ８３ａ：スペーサーの上面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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