(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と相対変位する第２部材を制振する制振装置であって、
圧電素子を有し、前記第１部材に支持されるとともに前記第２部材に連結され、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第１部材に対して前記第２部材を押し引きし、前記第２部材に制振力を付与するアクチュエータと、
前記アクチュエータと前記第１部材との間、及び前記アクチュエータと前記第２部材との間の少なくとも一方に介在するゴムからなる弾性体と、
を備え、
前記アクチュエータは、前記第１部材と前記第２部材との間に配置されるとともに、該第２部材側に凸状に湾曲された湾曲板を有し、
前記圧電素子は、前記湾曲板の表面に設けられ、伸縮に伴って前記湾曲板の曲率を変化させる、
制振装置。
【請求項２】
前記アクチュエータは、前記第２部材の片側にのみ配置される、
請求項１に記載の制振装置。
【請求項３】
前記アクチュエータに設けられ、前記第２部材を貫通する軸部材と、
前記第２部材の両側に配置され、前記軸部材にそれぞれ固定される一対の挟持部材と、
を備え、
前記弾性体は、前記第２部材と前記一対の挟持部材との間にそれぞれ設けられる、
請求項１又は請求項２に記載の制振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
設備機器等の振動源を支持する載置台の振動を低減する制振装置（アクティブ制振装置）が知られている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【０００３】
特許文献１に開示された制振装置では、載置台を支持するベース部材に設けられた一対の膜型圧電素子セラミックスによって、載置台の固定板を両側から挟み込むことで、載置台の振動を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２０９９５９号公報
【特許文献２】特開２０１４−０２０５０２号公報
【特許文献３】特開２０１０−１６４１０７号公報
【特許文献４】特開２０１２−０１７８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、ベース部材の振動が一対の膜型圧電素子セラミックスを介して載置台に伝達される。したがって、ベース部材に対して相対変位する載置台の振動を低減するためには、さらなる改善の余地がある。
【０００６】
本発明は、上記の事実を考慮し、第１部材と相対変位する第２部材の振動を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１態様に係る制振装置は、第１部材と相対変位する第２部材を制振する制振装置であって、圧電素子を有し、前記第１部材に支持され、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第２部材に制振力を付与するアクチュエータと、前記アクチュエータと前記第１部材との間、及び前記アクチュエータと前記第２部材との間の少なくとも一方に介在する弾性体と、を備える。
【０００８】
第１態様に係る制振装置によれば、アクチュエータは、圧電素子を有し、第１部材に支持される。このアクチュエータは、圧電素子の伸縮に伴って第２部材に制振力を付与する。これにより、第２部材の振動が低減される。
【０００９】
また、アクチュエータと第１部材との間、及びアクチュエータと第２部材との間の少なくとも一方には、弾性体が介在する。この弾性体によって、第１部材からアクチュエータを介して第２部材に伝達される振動が低減される。したがって、第２部材の振動を低減することができる。
【００１０】
第２態様に係る制振装置は、第１態様に係る制振装置において、前記アクチュエータは、前記第２部材に連結され、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第１部材に対して前記第２部材を押し引きする。
【００１１】
第３態様に係る制振装置によれば、アクチュエータは、第２部材に連結されており、圧電素子の伸縮に伴って第１部材に対して第２部材を押し引きする。これにより、アクチュエータから第２部材に制振力が付与され、第２部材の振動が低減される。
【００１２】
このように本発明では、アクチュエータによって第２部材を押し引きすることにより、アクチュエータによって第２部材を片側から押すだけの場合と比較して、第２部材の振動をより効率的に低減することができる。
【００１３】
第３態様に係る制振装置は、第２態様に係る制振装置において、前記アクチュエータに設けられ、前記第２部材を貫通する軸部材と、前記第２部材の両側に配置され、前記軸部材にそれぞれ固定される一対の挟持部材と、を備え、前記弾性体は、前記第２部材と前記一対の挟持部材との間にそれぞれ設けられる。
【００１４】
第３態様に係る制振装置によれば、アクチュエータには、第２部材を貫通する軸部材が設けられる。また、第２部材の両側には、軸部材にそれぞれ固定される一対の挟持部材が配置される。この第２部材と一対の挟持部材との間に、弾性体がそれぞれ設けられる。
【００１５】
これにより、一対の挟持部材によって第２部材を押し引き可能にしつつ、一対の挟持部材の各々から第２部材に伝達される振動を弾性体によって低減することができる。
【００１６】
第４態様に係る制振装置は、第１態様〜第３態様の何れか１つに係る制振装置において、前記アクチュエータは、前記第１部材と前記第２部材との間に配置されるとともに、該第２部材側に凸状に湾曲された湾曲板を有し、前記圧電素子は、前記湾曲板の表面に設けられ、伸縮に伴って前記湾曲板の曲率を変化させる。
【００１７】
第４態様に係る制振装置によれば、アクチュエータは、第１部材と第２部材との間に配置されるとともに、第２部材側に凸状に湾曲された湾曲板を有する。この湾曲板の表面には、圧電素子が設けられる。そして、圧電素子の伸縮に伴って、湾曲板の曲率を変化（増減）させることにより、第２部材が第１部材に対して押し引きされる。
【００１８】
このように圧電素子の伸縮によって湾曲板の曲率を変化させることにより、第２部材を押し引きする力、すなわち第２部材を制振する制振力（推力）を効率的に得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明に係る制振装置によれば、第１部材と相対変位する第２部材の振動を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一実施形態に係る制振装置が適用されたアクティブ除振台を示す立面図である。
【図２】図１に示される制振装置を示す拡大立面図である。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、図２に示されるアクチュエータの作動状態を示す立面図である。
【図４】図１に示される制振装置を示す平面図である。
【図５】図２に示される連結ユニットの他端側連結部を示す拡大断面図である。
【図６】図１に示されるアクティブ除振台、及び比較例１，２に係るアクティブ除振台の除振性能を示すグラフである。
【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は、図１に示されるアクチュエータの変形例を示す立面図である。
【図８】図１に示されるアクチュエータの変形例を示す立面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながら、一実施形態に係る制振装置について説明する。
【００２２】
（アクティブ除振台）
図１には、本実施形態に係る制振装置５０が適用（実装）されたアクティブ除振台１０が示されている。アクティブ除振台１０は、架台１２と、複数の弾性支持部材２０と、載置台２２と、振動センサ３０と、制振装置５０とを備えている。
【００２３】
架台１２は、架台本体１４と、複数の支柱１６とを有している。架台本体１４は、平面視にて矩形の板状に形成されている。この架台本体１４の各角部には、床等の設置面１８に設置される支柱１６が設けられている。また、複数の支柱１６の上には、弾性支持部材２０がそれぞれ設けられている。
【００２４】
弾性支持部材２０は、例えば、空気の供給又は排出により、推力を発生可能な空気ばねとされる。この弾性支持部材２０の上には、載置台２２が設けられている。つまり、載置台２２は、弾性支持部材２０を介して支柱１６に支持されている。これにより、設置面１８から架台１２の支柱１６を介して載置台２２に伝達される振動が、弾性支持部材２０によって低減（吸収）される。また、載置台２２は、弾性支持部材２０を介して架台１２に、上下方向及び横方向（水平方向）に相対変位可能に支持されている。
【００２５】
載置台２２は、例えば、平面視にて矩形の板状に形成される。この載置台２２の上には、振動を嫌う精密機器（嫌振機器）等の除振対象物２４が載置されている。この除振対象物２４は、作動状況（作動モード）に応じて、振動を発生する振動源にもなり得る。
【００２６】
載置台２２の下面には、後述する制振装置５０が連結される連結ベース２６が設けられている。連結ベース２６は、板状に形成されている。この連結ベース２６は、架台１２の架台本体１４と矢印Ｔ方向に対向して配置されている。なお、架台本体１４は、第１部材の一例であり、連結ベース２６は、架台本体１４に対して相対変位する第２部材の一例である。
【００２７】
ここで、弾性支持部材２０には、制御部２８が電気的に接続されている。制御部２８は、載置台２２の振動に基づき、当該載置台２２の振動が低減されるように、弾性支持部材２０の推力を制御する。具体的には、制御部２８には、振動センサ３０が電気的に接続されている。
【００２８】
振動センサ３０は、例えば、加速度センサ、速度センサ、又は変位センサ等とされており、載置台２２の連結ベース２６に設置されている。この振動センサ３０は、載置台２２の加速度、速度又は変位等の振動を検出し、当該振動（振動情報）を制御部２８に出力する。なお、振動センサ３０の配置は、適宜変更可能であり、振動センサ３０は、例えば、載置台２２や除振対象物２４に設置しても良い。
【００２９】
制御部２８は、振動センサ３０で検出された載置台２２の振動が低減されるように、各弾性支持部材２０に空気を供給し又は各弾性支持部材２０から空気を排出し、これらの弾性支持部材２０の推力を増減させる。これにより、載置台２２及び除振対象物２４の振動が低減される。
【００３０】
（制振装置）
制振装置５０は、架台１２の架台本体１４と、載置台２２の連結ベース２６との間に設置されている。この制振装置５０は、除振対象物２４が振動を発生した場合に、除振対象物２４及び載置台２２の振動を低減するものである。
【００３１】
図２に示されるように、制振装置５０は、アクチュエータ６０と、連結ユニット８０とを有している。アクチュエータ６０は、圧電素子６６の伸縮を利用して、載置台２２を制振する制振力（制御力）Ｆ１，Ｆ２を発生する。
【００３２】
具体的には、アクチュエータ６０は、アクチュエータ本体６２と、固定軸受け部７０と、可動軸受け部７４と、傾斜台７６とを有している。アクチュエータ本体６２は、基材としての湾曲板６４と、圧電素子６６とを有している。
【００３３】
湾曲板６４は、板バネ等の金属板で形成されている。また、湾曲板６４は、連結ベース２６側（上側）に凸状に湾曲されている。この湾曲板６４における連結ベース２６側の表面には、圧電素子６６が設けられている。なお、圧電素子６６には、後述するアクチュエータ制御部９６が電気的に接続されている。
【００３４】
圧電素子６６は、例えば、可撓性を有するシート状の膜型圧電素子とされている。ここで、膜型圧電素子とは、例えば、繊維状の圧電セラミックの束で形成された繊維シートの両面に、電極がプリントされたポリイミドフィルム等をエポキシ樹脂により接着したものである。この圧電素子６６は、印加された電圧に応じて所定方向（矢印Ｋ方向）に伸縮される。
【００３５】
圧電素子６６は、湾曲板６４の表面に重ねられており、湾曲板６４とともに連結ベース２６側に凸状に湾曲されている。そして、例えば、図３（Ａ）に示されるように、圧電素子６６に正の電圧を印加し、当該圧電素子６６を伸長させると、湾曲板６４がさらに湾曲変形（弾性変形）し、その曲率が大きくなる。
【００３６】
一方、図３（Ｂ）に示されるように、圧電素子６６に負の電圧を印加し、当該圧電素子６６を収縮させると、湾曲板６４の湾曲変形が復元し、その曲率が小さくなる。このアクチュエータ本体６２の変形に伴って、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍが、架台本体１４と連結ベース２６（図２参照）との対向方向（矢印Ｔ方向）に変位する。
【００３７】
なお、圧電素子６６の伸縮は、圧電素子６６に印加する電圧の正負を入れ替えることで変更可能である。
【００３８】
図４に示されるように、湾曲板６４の一端部６４Ａには、回転軸６８が設けられている。回転軸６８は、湾曲板６４の一端部６４Ａに沿って設けられている。この回転軸６８を介して湾曲板６４の一端部６４Ａが、一対の固定軸受け部７０に回転可能に支持（ピン支持）されている。
【００３９】
一方、湾曲板６４の他端部６４Ｂには、回転軸７２が設けられている。回転軸７２は、湾曲板６４の他端部６４Ｂに沿って設けられている。この回転軸７２を介して湾曲板６４の他端部６４Ｂが、一対の可動軸受け部７４に回転可能に支持（ピン支持）されている。
【００４０】
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示されるように、可動軸受け部７４は、傾斜台７６の傾斜面７６Ａに設けられたガイドレール７８にスライド可能に支持されている。つまり、湾曲板６４の他端部６４Ｂは、架台本体１４にピンローラー支持されている。
【００４１】
ガイドレール７８は、架台本体１４と連結ベース２６との対向方向（矢印Ｔ方向）に対し、回転軸６８と反対側へ所定角度θ（図２参照）で傾斜されている。これにより、アクチュエータ本体６２の変形に伴って、一対の可動軸受け部７４がガイドレール７８に沿ってスライドする。この結果、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍの矢印Ｔ方向の変位が大きくなる。なお、ガイドレール７８の所定角度θは、例えば、４０度〜５０度が望ましい。
【００４２】
図２に示されるように、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍには、連結ユニット８０が設けられている。連結ユニット８０は、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍと連結ベース２６とを連結している。この連結ユニット８０は、軸部材８２と、軸部材８２の一端側に設けられた一端側連結部８０Ａと、軸部材８２の他端側に設けられた他端側連結部８０Ｂとを有している。
【００４３】
軸部材８２は、例えば、ボルト等によって形成されており、架台本体１４と連結ベース２６との対向方向（矢印Ｔ方向）に沿って配置されている。この軸部材８２の一端側（下端側）に、一端側連結部８０Ａが設けられている。
【００４４】
一端側連結部８０Ａは、ベース部材８４と、連結ボルト８６と、ナット８８とを有している。図４に示されるように、ベース部材８４は、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍに、当該アクチュエータ本体６２の幅方向に沿って配置されている。このベース部材８４の長手方向の中央部及び両端部は、連結ボルト８６及びナット８８（図２参照）によってアクチュエータ本体６２に連結されている。これにより、連結ユニット８０の一端側連結部８０Ａが、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍに連結されている。
【００４５】
図５に示されるように、軸部材８２の他端側は、連結ベース２６に形成された貫通孔３２に貫通されている。貫通孔３２は、例えば、円形状の孔とされている。この貫通孔３２の直径Ｄは、軸部材８２の直径ｄよりも十分に大きくされている。これにより、貫通孔３２の内周面３２Ａに、軸部材８２の外周面が接触しないようになっている。つまり、軸部材８２は、連結ベース２６の貫通孔３２に、当該貫通孔３２の内周面３２Ａと非接触状態で挿入されている。
【００４６】
軸部材８２の他端側（上端側）には、他端側連結部８０Ｂが設けられている。他端側連結部８０Ｂは、一対のナット９０と、一対のワッシャ９２と、一対の弾性体９４とを有している。一対の挟持部材としての一対のナット９０は、連結ベース２６の両側に配置されている。各ナット９０は、弾性体９４及びワッシャ９２を介して、軸部材８２にそれぞれ締め込まれている。これにより、連結ユニット８０の他端側連結部８０Ｂが、連結ベース２６に連結（固定）されている。
【００４７】
なお、本実施形態では、ナット９０がダブルナットとされているが、ナット９０は、シングルナットとされても良い。
【００４８】
一対の弾性体９４は、例えば、リング状の板ゴム等によって形成されている。各弾性体９４は、内側に軸部材８２が貫通された状態で、連結ベース２６とワッシャ９２との間に配置されている。この一対の弾性体９４によって、軸部材８２から連結ベース２６に伝達される振動が低減（吸収）される。
【００４９】
ここで、図２に示されるように、アクチュエータ６０の圧電素子６６には、アクチュエータ制御部９６が電気的に接続されている。アクチュエータ制御部９６には、前述した振動センサ３０が電気的に接続されている。このアクチュエータ制御部９６は、振動センサ３０で検出された載置台２２の振動、あるいは除振対象物２４の振動に基づいて圧電素子６６に電圧を印加し、載置台２２の振動、あるいは除振対象物２４の振動を打ち消すように、アクチュエータ６０から連結ユニット８０を介して連結ベース２６に制振力（推力）Ｆ１，Ｆ２を付与する。これにより、載置台２２の振動、あるいは除振対象物２４の振動が低減される。
【００５０】
なお、本実施形態では、制御部２８及びアクチュエータ制御部９６には、同じ振動センサ３０が接続されているが、制御部２８及びアクチュエータ制御部９６には、別々の振動センサが接続されても良い。
【００５１】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【００５２】
図１に示されるように、本実施形態によれば、アクティブ除振台１０の載置台２２の上に、除振対象物２４が設置されている。この載置台２２は、複数の弾性支持部材２０を介して架台１２の支柱１６に支持されている。これにより、設置面１８から支柱１６を介して伝達される振動が、複数の弾性支持部材２０によって低減（吸収）される。
【００５３】
また、弾性支持部材２０には、制御部２８が電気的に接続されている。制御部２８は、振動センサ３０で検出された載置台２２の振動が低減されるように、各弾性支持部材２０の推力を増減する。これにより、載置台２２の振動が効率的に低減される。
【００５４】
ここで、除振対象物２４は、その作動モードによって振動を発生する。この場合、載置台２２及び除振対象物２４の振動が大きくなる可能性がある。この対策として本実施形態では、アクティブ除振台１０に制振装置５０が設けられている。
【００５５】
図２に示されるように、制振装置５０のアクチュエータ６０には、アクチュエータ制御部９６が電気的に接続されている。アクチュエータ制御部９６は、振動センサ３０で検出された載置台２２の振動、あるいは除振対象物２４の振動に基づいて圧電素子６６に電圧を印加し、アクチュエータ６０から連結ユニット８０を介して連結ベース２６に制振力Ｆ１，Ｆ２を付与する。これにより、載置台２２及び除振対象物２４の振動が低減される。
【００５６】
具体的には、図３（Ａ）に示されるように、例えば、アクチュエータ制御部９６が圧電素子６６に正の電圧を印加すると、圧電素子６６が伸長し、湾曲板６４が湾曲変形する。この湾曲板６４の湾曲変形に伴い、湾曲板６４の一端部６４Ａが固定軸受け部７０に対して回転軸６８を中心に回転するとともに、湾曲板６４の他端部６４Ｂが可動軸受け部７４に対して回転軸７２を中心に回転する。この際、可動軸受け部７４が、ガイドレール７８に沿って架台本体１４側（矢印Ｓ１側）へスライドする。
【００５７】
これにより、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍが連結ベース２６側へ移動し、連結ユニット８０を介して連結ベース２６を載置台２２側へ押圧する。つまり、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍから連結ユニット８０を介して連結ベース２６に、載置台２２側へ向かう制振力Ｆ１が付与される。
【００５８】
一方、図３（Ｂ）に示されるように、アクチュエータ制御部９６が圧電素子６６に対して負の電圧を印加すると、圧電素子６６が収縮し、湾曲板６４の湾曲変形が復元する。この湾曲板６４の復元に伴い、湾曲板６４の一端部６４Ａが固定軸受け部７０に対して回転軸６８を中心に回転するとともに、湾曲板６４の他端部６４Ｂが可動軸受け部７４に対して回転軸７２を中心に回転する。この際、可動軸受け部７４が、ガイドレール７８に沿って連結ベース２６側（矢印Ｓ２側）へスライドする。
【００５９】
これにより、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍが架台本体１４側へ移動し、連結ユニット８０を介して連結ベース２６を架台本体１４側へ引き込む。つまり、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍから連結ユニット８０を介して連結ベース２６に、架台本体１４側へ向かう制振力Ｆ２が付与される。
【００６０】
このように載置台２２の振動、あるいは除振対象物２４の振動に応じて、アクチュエータ本体６２の頂部６２Ｍから連結ベース２６に制振力Ｆ１，Ｆ２を付与することにより、載置台２２及び除振対象物２４の振動が低減される。
【００６１】
また、圧電素子６６の伸縮によって湾曲板６４の曲率を変化させることにより、載置台２２を制振する制振力Ｆ１，Ｆ２を効率的に得ることができる。
【００６２】
さらに、アクチュエータ６０は、連結ユニット８０を介して連結ベース２６と連結されており、圧電素子６６の伸縮に伴って架台本体１４に対して連結ベース２６を押し引きする（矢印Ｆ１，Ｆ２方向）。これにより、本実施形態では、アクチュエータによって連結ベース２６を片側から押すだけの場合と比較して、載置台２２及び除振対象物２４の振動をより効率的に低減することができる。
【００６３】
しかも、アクチュエータ６０は、連結ベース２６の片側（下側）にのみ設置される。これにより、制振装置５０の小型化を図ることができる。
【００６４】
ところで、アクチュエータ６０と連結ベース２６とを連結ユニット８０を介して連結すると、架台１２（設置面１８）の振動が、アクチュエータ６０及び連結ユニット８０を介して連結ベース２６に伝達される可能性がある。
【００６５】
これに対して本実施形態では、図５に示されるように、連結ユニット８０の他端側連結部８０Ｂには、軸部材８２と、一対のナット９０と、一対の弾性体９４とが設けられている。軸部材８２は、連結ベース２６の貫通孔３２に、当該貫通孔３２の内周面３２Ａと非接触状態で挿入されている。これにより、架台１２（設置面１８）の振動が、軸部材８２を介して連結ベース２６に伝達されることが抑制される。
【００６６】
また、一対のナット９０は、連結ベース２６の両側に配置されており、一対のワッシャ９２を介して軸部材８２に締め込まれている。この一対のナット９０によって連結ベース２６を両側から把持することにより、連結ベース２６に連結ユニット８０が連結（固定）されている。
【００６７】
ここで、本実施形態では、一対のナット９０と連結ベース２６との間に、弾性体９４がそれぞれ設けられている。これにより、一対のナット９０の各々から連結ベース２６に伝達される振動が、一対の弾性体９４によって低減（吸収）される。したがって、架台１２（設置面１８）から、一対のナット９０を介して連結ベース２６に伝達される振動が低減される。
【００６８】
このように本実施形態では、一対のナット９０によって連結ユニット８０を連結ベース２６に連結しつつ、一対のナット９０の各々から連結ベース２６に伝達される振動を低減することができる。したがって、載置台２２及び除振対象物２４の振動がさらに低減される。
【００６９】
また、本実施形態では、軸部材８２に対する一対のナット９０の締め込み量によって、弾性体９４の剛性を容易に調整することができる。
【００７０】
次に、比較例と対比しながら、本実施形態に係るアクティブ除振台１０の除振性能について説明する。
【００７１】
図６には、アクティブ除振台が設置される設置面の振動の振動数と、アクティブ除振台の載置台の振幅倍率との関係が示されている。なお、振幅倍率とは、設置面の振動振幅に対する載置台の振動振幅の比であり、その値が１未満の場合、載置台の振動が低減（除振）されたことを意味する。
【００７２】
図６には、比較例１，２に係るアクティブ除振台のグラフＣ１，Ｃ２と、本実施形態に係るアクティブ除振台１０のグラフＥが示されている。比較例１に係るアクティブ除振台は、制振装置５０を備えない点で、本実施形態に係るアクティブ除振台１０と相違している。また、比較例２に係るアクティブ除振台は、連結ベース２６と一対のナット８８との間に弾性体９４が配置されておらず、連結ベース２６に一対のナット８８が接触される点で、本実施形態に係るアクティブ除振台１０と相違している。
【００７３】
グラフＥ，Ｃ２から分かるように、本実施形態に係るアクティブ除振台１０の除振性能は、比較例２に係るアクティブ除振台の除振性能よりも優れていることが分かる。これは、本実施形態に係るアクティブ除振台１０では、連結ベース２６と一対のナット８８との間に介在する弾性体９４によって、設置面１８から載置台２２に伝達される振動が低減（吸収）されたためと考えられる。
【００７４】
なお、グラフＣ１から分かるように、比較例１に係るアクティブ除振台の除振性能が最も優れている。これは、比較例１は、本実施形態における制振装置５０を備えておらず、本実施形態に係るアクティブ除振台１０よりも設置面から載置台への振動の伝達経路が少ないためと考えられる。
【００７５】
次に、上記実施形態の変形例について説明する。
【００７６】
上記実施形態では、湾曲板６４の片面に圧電素子６６を設けたが、圧電素子６６は、湾曲板６４の両面に設けても良い。
【００７７】
また、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示されるように、圧電素子６６は、平板状の基材１００の表面に設けても良い。具体的には、図７（Ａ）に示される変形例では、一対の基材１００が略三角形状に連結されている。この一対の基材１００の一端部１００Ａは、架台本体１４に回転可能に支持（ピン支持）されている。
【００７８】
一方、一対の基材１００の他端部１００Ｂ同士は、互いに回転可能に接合（ピン接合）されている。この一対の基材１００の表面には、圧電素子６６がそれぞれ設けられている。なお、一対の基材１００の他端部１００Ｂは、図示しない連結ユニットを介して連結ベースに連結されている。
【００７９】
これにより、例えば、二点鎖線で示されるように、圧電素子６６の伸長（矢印Ｋ方向）に伴って一対の基材１００がそれぞれ伸長すると、連結ベース２６（図２参照）を載置台２２側へ押圧する制振力Ｆ１が発生する。一方、圧電素子６６の収縮に伴って一対の基材１００がそれぞれ収縮すると、連結ベース２６を架台本体１４側へ引き込む制振力Ｆ２が発生する。これにより、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８０】
また、図７（Ｂ）に示される変形例では、１枚の基材１００の表面に圧電素子６６が設けられている。この変形例では、例えば、二点鎖線で示されるように、圧電素子６６の伸長に伴って基材１００が伸長（矢印Ｋ方向）すると、連結ベース２６（図２参照）を載置台２２側へ押圧する制振力Ｆ１が発生する。一方、圧電素子６６の収縮に伴って、基材１００が収縮すると、連結ベース２６を架台１２側へ引き込む制振力Ｆ２が発生する。これにより、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８１】
また、例えば、図８に示される変形例では、架台本体１４に第１アクチュエータ１１０が設けられており、連結ベース２６に第２アクチュエータ１２０が設けられている。第１アクチュエータ１１０及び第２アクチュエータ１２０は、湾曲板６４及び圧電素子６６をそれぞれ有している。
【００８２】
ここで、第１アクチュエータ１１０は、弾性体１３０を介して第２アクチュエータ１２０に連結されている。これにより、架台本体１４から第１アクチュエータ１１０及び第２アクチュエータ１２０を介して連結ベース２６に伝達される振動が、弾性体１３０によって吸収される。したがって、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８３】
なお、弾性体１３０は、第１アクチュエータ１１０及び第２アクチュエータ１２０の少なくとも一方に固定されていれば良い。また、図８に示される変形例では、架台本体１４が第１部材となり、第２アクチュエータ１２０が第２部材となる。また、第１アクチュエータ１１０がアクチュエータとなる。
【００８４】
また、上記実施形態では、連結ユニット８０の他端側連結部８０Ｂに弾性体９４を設けたが、上記実施形態はこれに限らない。弾性体は、連結ユニット８０の一端側連結部８０Ａに設けても良い。また、弾性体は、固定軸受け部７０と架台本体１４との間や、傾斜台７６と架台本体１４との間に設けても良い。つまり、弾性体は、アクチュエータ６０と第１部材としての架台本体１４との間、及びアクチュエータ６０と第２部材としての連結ベース２６との間の少なくとも一方に介在させることができる。
【００８５】
また、上記実施形態では、一対の把持部材としての一対のナット８８によって軸部材８２が連結ベース２６に連結されるが、上記実施形態はこれに限らない。一対の把持部材としては、例えば、軸部材８２に固定されるクリップ等であっても良い。
【００８６】
また、上記実施形態では、アクチュエータ６０が連結ユニット８０を介して連結ベース２６に連結されるが、連結ユニット８０の構成は、適宜変更可能である。また、連結ユニット８０を省略し、アクチュエータ６０を弾性体を介して連結ベース２６に連結しても良い。
【００８７】
また、上記実施形態では、アクチュエータ６０が連結ベース２６に連結されるが、上記実施形態はこれに限らない。アクチュエータ６０を連結ベース２６に連結せずに、弾性体を介して連結ベース２６に接触させても良い。この場合、弾性体は、連結ベース２６及びアクチュエータ６０の一方に固定される。
【００８８】
また、上記実施形態では、アクチュエータ６０が湾曲板６４及び圧電素子６６によって構成されるが、湾曲板６４を省略し、圧電素子によってアクチュエータを構成しても良い。
【００８９】
また、上記実施形態では、制振装置５０が、載置台２２の上下方向の振動を低減するように制振力Ｆ１，Ｆ２を発揮するが、上記実施形態はこれに限らない。例えば、図１に示される制振装置５０を９０度回転させ、載置台２２の横方向（水平方向）の振動を低減するように、制振装置５０に制振力を発揮させても良い。
【００９０】
また、上記実施形態では、第１部材としての架台本体１４と、第２部材としての連結ベース２６とが上下方向に対向するが、上記実施形態はこれに限らない。第１部材と第２部材とは、横方向（水平方向）や斜め方向に対向しても良い。この場合、第１部材と第２部材との間に制振装置５０が適宜設置される。
【００９１】
また、上記実施形態では、弾性支持部材２０が空気ばねとされるが、上記実施形態はこれに限らない。弾性支持部材としては、例えば、天然ゴムや剛性ゴム、コイルスプリング等であって良い。また、上記実施形態では、弾性支持部材２０がアクティブ制御されるが、弾性支持部材は、アクティブ制御されなくても良い。つまり、上記実施形態に係る制振装置５０は、パッシブ除振台にも適用可能である。
【００９２】
また、上記実施形態に係る制振装置５０は、除振台に限らず、例えば、防振装置等にも適宜強可能である。さらには、上記実施形態に係る制振装置５０は、第１部材に対して相対変位する種々の第２部材に適用可能である。
【００９３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に限定されるものでなく、一実施形態及び各種の変形例を適宜組み合わせて用いても良いし、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００９４】
１４    架台本体（第１部材）
２６    連結ベース（第２部材）
５０    制振装置
６０    アクチュエータ
６４    湾曲板
６６    圧電素子
８２    軸部材
９０    ナット（一対の把持部材）
９４    弾性体
１１０  第１アクチュエータ（アクチュエータ）
１３０  弾性体
【図１】
0006735606.tif 000002
【図２】
0006735606.tif 000003
【図３】
0006735606.tif 000004
【図４】
0006735606.tif 000005
【図５】
0006735606.tif 000006
【図６】
0006735606.tif 000007
【図７】
0006735606.tif 000008
【図８】
0006735606.tif 000009