(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、当該固定部に対して弾性的に支持された可動台と、当該可動台を水平な第１方向に振動させる第１の加振手段と、前記可動台を水平で且つ前記第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段と、前記可動台を垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段とを備え、可動台の振動により可動台上に載せられた被搬送物を搬送する物品搬送装置であって、
前記第１、第２、第３の加振手段が、前記可動台に対し直接又は間接に取り付けられる取付部、当該取付部の両側に延伸する柱部、及び自由端である両端側に設定したウェイト部を有し、且つ前記取付部を支点として前記両端側で振り子運動を行う振動子と、前記可動台が前記被搬送物を搬送するように前記振動子を振動させる加振源とを具備してなることを特徴とする物品搬送装置。
【請求項２】
固定部と、当該固定部に対して弾性的に支持された可動台と、当該可動台を水平な第１方向に振動させる第１の加振手段と、前記可動台を水平で且つ前記第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段と、前記可動台を垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段とを備え、可動台の振動により可動台上に載せられた被搬送物を搬送する物品搬送装置であって、
前記第１、第２、第３の加振手段が、一端側に設定した前記可動台に対し直接又は間接に取り付けられる取付部、当該取付部の一方側に延伸する柱部、及び自由端である他端側に設定したウェイト部を有し、且つ前記取付部を支点として前記他端側で振り子運動を行う振動子と、前記可動台が前記被搬送物を搬送するように前記振動子を振動させる加振源とを具備し、
前記第１、第２、第３の加振手段の各々が、前記振動子を複数備えており、該複数の振動子に、各々の柱部を互いに逆方向に延伸させるようにして設けられる２個の振動子が含まれる、
ことを特徴とする物品搬送装置。
【請求項３】
複数の前記振動子を前記第１方向又は前記第２方向に沿って並べて配置している請求項１又は２に記載の物品搬送装置。
【請求項４】
前記可動台に固定され前記振動子を取り付ける可動部を有するものであり、
この可動部が、前記固定部と前記可動台との間に形成された内部空間に前記振動子を収容するように構成されたものであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の物品搬送装置。
【請求項５】
前記第１、第２、第３の加振手段が、前記可動部にそれぞれ独立して取り付けられていることを特徴とする請求項４記載の物品搬送装置。
【請求項６】
前記加振源が、圧電素子である請求項１〜５の何れかに記載の物品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動台の振動により可動台上に載せた物品の搬送または分別の少なくとも何れか一方を行う物品搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、物品の搬送を行うとともにその搬送ライン上で任意に搬送方向を変えることのできる物品搬送装置として、種々のタイプのものが知られている。
【０００３】
この種の物品搬送装置としては、固定部と、当該固定部に対して弾性的に支持された可動台と、当該可動台を水平な第１方向に振動させる第１の加振手段と、前記可動台を水平で且つ前記第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段と、前記可動台を垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段とを備え、可動台の振動により可動台上に載せられた物品を搬送するものが知られている（例えば、下記特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
これら特許文献記載のものをはじめ従来の物品搬送装置では、前記第１、第２、第３の加振手段が、両端を固定されて当該方向に振動し得る板バネをそれぞれ有している。これらそれぞれの板バネは、互いの振動が可動台に伝達されるよう、可動台を支持している一の板バネは中間台を介して順に他の板バネに支持されるという構成が適用されている。換言すれば、何れの板バネの振動も、直接的或いは中間台及び他の板バネを介して可動台へと伝達される構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−０１８５９８号公報（特許第５８０３３５９号公報）
【特許文献２】特開２０１３−１２１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような特許文献等に記載されているものの場合、被搬送物を搬送する可動台は、両端を固定された板バネの中央部のみで支えられている構造となるため、可動台の回転すなわちピッチングを招来してしまう事は避け難い。そして、斯かるピッチングの回避のためには一定以上の質量を有したウェイトが必須となり、結果として装置全体の総重量が重くなることとなる。
【０００７】
また、それぞれの方向に振動する各板バネは互いに間接的に連結されているため、相互にバネ変形が伝わってしまい、不要な振動が起こりやすい構成であるとも言える。
【０００８】
さらに、可動台の仕様により、各方向によりそれぞれ共振周波数は異なる。そのため、可動台交換時には、各方向別々に新たな仕様に応じたバネ常数を設定する場合がある。
【０００９】
本発明は、このような点に着目してなされたものであって、主たる目的は、従来の物品搬送装置とは全く異なる振動原理で振動させることを実現し、特に、被搬送物を正確に安定して搬送可能な物品搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は以上のような問題点を鑑み、次のような手段を講じたものである。
【００１１】
すなわち、本発明の物品搬送装置は、固定部と、当該固定部に対して弾性的に支持された可動台と、当該可動台を水平な第１方向に振動させる第１の加振手段と、前記可動台を水平で且つ前記第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段と、前記可動台を垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段とを備え、可動台の振動により可動台上に載せられた被搬送物を搬送する物品搬送装置であって、前記第１、第２、第３の加振手段が、前記可動台に対し直接又は間接に取り付けられる取付部、当該取付部の両側に延伸する柱部、及び自由端である両端側に設定したウェイト部を有し、且つ前記取付部を支点として前記両端側で振り子運動を行う振動子と、前記可動台が前記被搬送物を搬送するように前記振動子を振動させる加振源とを具備してなることを特徴とする。
また、別の態様に係る本発明の物品搬送装置は、固定部と、当該固定部に対して弾性的に支持された可動台と、当該可動台を水平な第１方向に振動させる第１の加振手段と、前記可動台を水平で且つ前記第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段と、前記可動台を垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段とを備え、可動台の振動により可動台上に載せられた被搬送物を搬送する物品搬送装置であって、前記第１、第２、第３の加振手段が、一端側に設定した前記可動台に対し直接又は間接に取り付けられる取付部、当該取付部の一方側に延伸する柱部、及び自由端である他端側に設定したウェイト部を有し、且つ前記取付部を支点として前記他端側で振り子運動を行う振動子と、前記可動台が前記被搬送物を搬送するように前記振動子を振動させる加振源とを具備し、前記第１、第２、第３の加振手段の各々が、前記振動子を複数備えており、該複数の振動子に、各々の柱部を互いに逆方向に延伸させるようにして設けられる２個の振動子が含まれる、ことを特徴とする。
【００１２】
このようなものであれば、振動子の振り子運動から直線振動のみ各部に伝わるので、取付部の取付箇所の曲げや撓みは最小限となり、安定した振動を得ることができる。また、振動子を構成する各部の厚み又はウェイト部の質量変更・追加により振動周波数を容易に変更することが可能である。加えてウェイト部の取付位置の移動により振り子運動を行わせる有効長を変化させることによっても振動周波数を容易に変更することが可能である。すなわち本発明によれば、従来の物品搬送装置とは全く異なる振動原理で振動させることを実現し、特に、被搬送物を正確に安定して搬送可能な物品搬送装置を提供することが可能となる。
【００１３】
振動子の振動を可動台により確実に伝達できるようにするためには、複数の振動子を第１方向又は第２方向に沿って並べて配置することが望ましい。また斯かる構成を適用すれば、複数設けた振動子のうち、どれか１個のみに加振したとしても、加振していない他の振動子は共振により振動するので、搬送が可能である。
【００１４】
そして、振動子の振り子運動をより可動台へ確実に伝達できるようにするためには、可動台に固定され前記振動子を取り付ける可動部を有するものとし、この可動部を、前記固定部と可動台との間に形成された内部空間に振動子を収容するように構成することが望ましい。斯かる構成では、ピッチング・ローリング・ヨーイング等の不要な振動が発生しにくい為バランスを取る為のウェイトが必要でなく、実際上、従来機に比較し全体質量を１／４〜１／５程度にすることが可能となる。
【００１５】
振動子の重心位置を物品搬送装置全体の重心位置を一致するように設計し易くするためには、第１、第２、第３の加振手段を、可動部にそれぞれ独立して取り付けるようにすることがのぞましい。このようにすれば第１、第２、第３の加振手段を構成する各振動子を任意の位置に設定することで振動子の重心位置を物品搬送装置全体の重心位置を一致するように設計して、回転モーメントの発生を極めて小さくすることができ、その結果可動台全体で安定した一定の振動を得ることができる。
【００１６】
振動子ごとの加振力を有効に大きくなるよう構成するためには、加振源を、圧電素子とすることが望ましい。すなわち振動子は概略弓状に変形させれば良いために面積の大きい圧電素子を用いることで、振動子１個あたりの加振力を大きくすることができるからである。
【発明の効果】
【００１７】
以上、説明した本発明によれば、従来の物品搬送装置とは全く異なる振動原理で振動させることを実現し、特に、被搬送物を正確に安定して搬送可能な物品搬送装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る物品搬送装置を示す正面図。
【図２】同平面図。
【図３】図２に係るＡ−Ａ線端面図。
【図４】同実施形態に係る要部の構成説明図。
【図５】本発明の第二実施形態に係る構成説明図。
【図６】同実施形態の変形例に係る説明図。
【図７】本発明の第三実施形態に係る構成説明図。
【図８】本発明の第四実施形態に係る構成説明図。
【図９】同実施形態の変形例に係る説明図。
【図１０】同上。
【図１１】同上。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
＜第一実施形態＞
【００２０】
以下、本発明の第一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２１】
本実施形態に係る物品搬送装置は、図１及び図２（図１は物品搬送装置の正面図であり、図２は側面図である。）に示すように、平面視概略矩形状をなすトラフとも称される可動台Ｔに振動を与えて、当該可動台Ｔ上に載置された被搬送物（図示省略）を搬送するためのものである。被搬送物としては、極小サイズの電子部品等を挙げることができるが、振動によって可動台Ｔを搬送可能なものであれば特に限定されない。
【００２２】
そして当該物品搬送装置は、固定部１と、この固定部１に支持された防振バネ３と、この防振バネ３に直接指示された可動部２と、固定部１に対しこれら防振バネ３並びに可動部２を介して弾性的に支持された、物品を載置、搬送するための可動台Ｔとを有している。
【００２３】
固定部１は、図１及び図３に示す床面Ｆ上に直接または間接的に固定されるものである。本実施形態では、床面Ｆ上に固定される台板１１を主体としたものである。本実施形態では、床面Ｆ上に固定部１を載置した態様を図示しているが、例えばネジ（図示省略）によって台板１１を床面Ｆに固定していてもよい。
【００２４】
防振バネ３は、固定部１に設けたバネ第１取付部１ａに一端を固定し、可動部２に設けたバネ第２取付部２ａに他端を固定したものである。当該防振バネ３の具体的な態様については既存の種々の構成を適用できるため、その詳細な説明並びに図示を省略している。
【００２５】
可動台Ｔはトラフとも称されるものであり、平面視矩形板状に形成されてなるものである。この可動台Ｔは、可動部２の上面側２固定且つ支持されることにより加振されるようになっており、可動台Ｔに生じさせる振動を制御することによって被搬送物が搬送される。当該可動台Ｔの具体的な構成、形状については既存の種々のものを適用できるため、具体的な説明を省略する。
【００２６】
可動部２は、防振バネ３に支持されるとともに上方に可動台Ｔを載置固定したものである。そして本実施形態では可動部２に、当該可動台Ｔを水平な第１方向に振動させる第１の加振手段Ｘと、可動台Ｔを水平で且つ第１方向に交差する第２方向に振動させる第２の加振手段Ｙと、可動台Ｔを垂直な第３方向に振動させる第３の加振手段Ｚとをそれぞれ独立して組み付けている。なお本明細書では、第１方向を各図面の平面図においての横方向とし、第２方向を縦方向とする。
【００２７】
ここで、本実施形態に係る物品搬送装置は、これら第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚが、一端側に設定した可動台Ｔに対し直接又は間接に取り付けられる取付部４１、当該取付部４１から延伸する柱部４２、及び自由端である他端側に設定したウェイト部４３を有し、且つ振り子運動を行う振動子４と、可動台Ｔが被搬送物を搬送するように振動子４を振動させる加振源５つまり圧電素子５とを具備してなることを特徴とする。
【００２８】
以下、可動部２並びに第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚについて、特に第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚが具備する振動子４及び圧電素子５の構成について具体的に説明する。
【００２９】
可動部２は、可動部２は、本実施形態では例えば剛性が高い金属により一体成形され上端部に可動台Ｔを固定したものであり、可動台Ｔの底面に密着する平面視概略四角環状をなす環状枠２１と、この環状枠２１の内方において上下方向左右方向に交差するように横架する横架部２２とを備えたものである。本実施形態では、図２に示すように、環状枠２１の幅方向両側中央を隆起させて第１の加振手段Ｘを取り付け得るようにした第１取付部２ｘを形成している。また環状枠２１の上下方向両側中央を隆起させて第２の加振手段Ｙを取り付け得るようにした第２取付部２ｙを形成している。そして図２及び図３に示すように、横架部２２の中央下面側には、第３の加振手段Ｚを取り付け得るようにした第３取付部２ｚを形成している。この第３取付部２ｚには、柱部４２の面方向が水平方向となるように配された２つの振動子４が取付部４１の位置で直交するよう交差させて配されている。そして本実施形態では、可動部２の内外における平面視において固定部１並びに可動台Ｔと重複する空間を内部空間Ｓとして、後述する振動子４の配置スペースとして利用される。
【００３０】
以下、第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚが具備している振動子４及び加振源について説明する。
【００３１】
振動子４は、図１、図２及び特に図４に示すように、長手方向中央に設けられ且つ可動部２に対して固定可能な取付部４１と、取付部４１から延伸する柱部４２と、自由端である両端側に設定したウェイト部４３とを備えたものである。すなわち振動子４は、本実施形態では一例として弾性変形し得る柱部４２を主体として構成されたものであり、弾性変形し得るよう厚みが設定された柱部４２の中央部に取付部４１が形成され、他端部にウェイト部４３がウェイト用ネジｎ２により組み付けられている。
【００３２】
本実施形態では、可動部２のうち上述した第１取付部２ｘ、第２取付部２ｙ及び第３取付部２ｚに対し、それぞれ４本の取付ネジｎ１により振動子４の取付部４１を固定するように設定している。
【００３３】
ウェイト部４３は、振動子４のうち自由端である両端側において柱部４２にウェイト用ネジを用いて組み付けられたものである。本実施形態では、ウェイト部４３は柱部４２とは別体に構成されたもので且つ、柱部４２を境に対照形状をなしているが勿論、ウェイト部４３は柱部４２を境に非対称形状をなしていてもよい。またウェイト部４３は柱部４２と一体に形成されたものであってもよい。また本実施形態ではウェイト部４３は柱部４２から隆起しつつ取付部４１側に延伸した形状をなしているため、ウェイト部４３と柱部４２との間には隙間が形成されているが勿論、ウェイト部４３の形状は、柱部４２の延伸方向から直交する方向にのみ延伸した形状であっても、柱部４２をそのまま延伸させた形状として柱部４２との形状的な境界が無い態様であっても良い。
【００３４】
そして、本実施形態に係る物品搬送装置では、取付部４１のうち、柱部４２との接続箇所を支点として振動子４が振り子運動を行うように設定している。この際、振動子４の柱部４２が、素材自体の弾性を利用してばねのように振る舞う。
【００３５】
本実施形態に係る物品搬送装置は、振動子４を振動させる加振源５を、板状をなす柱部４２の両面にそれぞれ設けた圧電素子５によって構成している。
【００３６】
圧電素子５は、本実施形態では柱部４２の端部近傍領域を除く大半の領域を被覆し得るサイズのものを一例として適用している。そして、柱部４２の対向面にそれぞれ設けた圧電素子５を伸縮させる（例えば、圧電素子５に正弦波状の電圧を印加して周期的な伸びを生じさせる）ことによって、柱部４２が取付部４１との接続部位を支点として全体的に弓状に撓み、振り子動作を行う。その結果、振動子４は、ウェイト部４３の重量も相俟って適度な振り子動作を行い、振動子４の振動が発生する。ここで、柱部４２の厚み寸法に沿った寸法を変えることで振動周波数を容易に変えることができる。また、柱部４２の厚み寸法を大きく設定して高周波振動（例えば１０００Ｈｚ乃至２０００Ｈｚ）を発生させた場合であっても、可動部２に対する振動子４の取付部４１では取付ネジｎ１により強固に固定されている。これにより、振り子運動時における柱部４２の大きな撓みを好適に支えることができる。また、柱部４２が弓形に撓み変形して振動減衰が少なく、共振による振動増幅率が大きいため、所望の振幅を得るために必要な圧電素子５の枚数を少なくすることも可能である。圧電素子５は、例えば貼付処理等の適宜の処理によって柱部４２の対向面に固定されている。圧電素子５とウェイト部４３との間には上述の通り所定の隙間が確保されているので、圧電素子５とウェイト部４３が相互に干渉する事態は有効に回避されている。
【００３７】
本実施形態に係る物品搬送装置は、加振源５が稼動状態（圧電素子５が伸縮するＯＮ状態）になると、振動子４が振り子動作を行い、振動することによって、その反作用で可動部２が振動し、その振動が可動台Ｔに伝播して可動台Ｔ自体も振動する。具体的には、少なくとも何れか一方の振動子４における加振源５を構成する圧電素子５を伸び縮みさせると、柱部４２が撓んで振動し、振動子４全体が、可動部２に固定されている取付部４１の所定箇所（柱部４２との接続箇所）を支点として自由端側を円弧状に往復移動させる振り子動作を行う。特に、振動子４のうち自由端側にウェイト部４３を設けているため、振動の反力が大きくなり、振動子４を効率良く振り子動作させることができる。また、１組の振動子４ペアを構成する２つの振動子４のうち、一方の振動子４に付帯させた圧電素子５のみを通電ＯＮ状態にし、他方の振動子４に付帯させた圧電素子５は通電ＯＦＦ状態にした場合であっても、通電ＯＦＦ状態の圧電素子５を付帯している振動子４は共振によって振動する。
【００３８】
特に、本実施形態に係る物品搬送装置は、第１の加振手段Ｘ並びに第２の加振手段Ｙに関しては、振動子４から加わる力の作用点が２箇所に分散しているので、ピッチング、ローリング・ヨーイング等の不要な振動が発生し難いものとなっている。
【００３９】
以上のように、本実施形態に係る物品搬送装置は、振動子４の振り子運動から直線振動のみ各部に伝わるので、取付部４１の取付箇所の曲げや撓みは最小限となり、安定した振動を得ることができる。また、振動子４を構成する各部の厚み又はウェイト部４３の質量変更・追加により振動周波数を容易に変更することが可能である。加えてウェイト部４３の取付位置の移動により振り子運動を行わせる有効長を変化させることによっても振動周波数を容易に変更することが可能である。すなわち本実施形態によれば、従来の物品搬送装置とは全く異なる振動原理で振動させることを実現し、特に、被搬送物を正確に安定して搬送可能な物品搬送装置を実現している。
【００４０】
振動子４の振動を可動台Ｔにより確実に伝達できるようにするためには、複数の振動子４を第１方向又は第２方向に沿って並べて配置することが望ましい。また斯かる構成を適用すれば、複数設けた振動子４のうち、どれか１個のみに加振したとしても、加振していない他の振動子４は共振により振動するので、搬送が可能である。
【００４１】
そして本実施形態では、可動台Ｔに固定され前記振動子４を取り付ける可動部２を有するものとし、この可動部２を、前記固定部１と可動台Ｔとの間に形成された内部空間に振動子４を収容するように構成することで、振動子４の振り子運動をより可動台Ｔへ確実に伝達できるようにしている。具体的にこのような構成では、ピッチング・ローリング・ヨーイング等の不要な振動が発生しにくい為バランスを取る為のウェイトが必要でなく、実際上、従来機に比較し全体質量を１／４〜１／５程度にすることが可能となる。
【００４２】
加えて本実施形態では、第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚを、可動部２にそれぞれ独立して取り付けるようにすることで、振動子４の重心位置を物品搬送装置全体の重心位置を一致するように設計し易くなり、実際に第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚを構成する振動子４の重心位置を物品搬送装置全体の重心位置を一致するように設計して、回転モーメントの発生を極めて小さくせしめ、その結果可動台Ｔ全体で安定した一定の振動を得ることを実現している。
【００４３】
加えて本実施形態では、加振源を、圧電素子とすることで、振動子４ごとの加振力を有効に大きくなるよう構成せしめている。すなわち振動子４は概略弓状に変形させれば良いために面積の大きい圧電素子５を用いることで、振動子４の１個あたりの加振力を大きくすることを実現している。
【００４４】
特に本実施形態では、全ての加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚとも同じ振動子４を使用している。このようにすることで、可動台Ｔの質量が変化しても各方向で「質量対バネ定数」の値が同じになる。そのため、共振周波数は各方向同一の変化をする。その結果、共振周波数を再調整する必要は無い。また本実施形態の場合、実際上、可動台Ｔの重量変化に伴う共振周波数の変動は従来に比して極端に少ない構成となっている。それ故、やはり共振周波数を再調整する必要は実質上無いと言うことができる。
【００４５】
更に本実施形態では、振動子４の柱部４２が弓状変形し振動減衰が少なく共振による振動増幅率が大きいので、圧電素子５が従来の半分の枚数でも実際上、従来同等の振幅が得られる。換言すれば、同じ枚数の圧電素子５であれば、要する電流が半分程度になる。
【００４６】
＜第二実施形態＞
【００４７】
以下、本発明の他の実施形態並びに変形例について説明する。これら各実施形態並びに変形例について、上記実施形態における構成要素に相当するものについては同じ符号を付すとともに、その詳細な説明を省略する。
【００４８】
本発明の第二実施形態では、図５及び図６に示すように、可動部２が平面視矩形枠状をなす連結枠２６を有するものとし、当該連結枠２６の立面に、第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚを構成する各振動子４ａ、４ｂを配置したものである。
【００４９】
また本実施形態では図５（ａ）に説明するように、上記実施形態に係る振動子４に相当するものとして同図左側に示す、立面に配されたときに柱部４２が縦方向に向き水平方向の振動をさせ得る水平用取付部４１ａを有する水平用振動子４ａと、同図右側に示す、柱部４２が水平方向に向き上下方向の振動をさせ得る垂直用取付部４１ｂを有する垂直用振動子４ｂを適用している。なおこれら水平用振動子４ａ並びに垂直用振動子４ｂにおける柱部４２、ウェイト部４３の形状並びに組み付けられる圧電素子５の態様は、それぞれ形状や大きさに違いはあるものの上記実施形態と同様の構成をなす。
【００５０】
水平用振動子４ａは、上述の通り水平用取付部４１ａを有している。この水平用取付部４１ａは柱部４２の面方向に直交する方向に取付ネジｎ１を組み付け得るように柱部４２に組み付けられる。そして立面に取り付けるときには取付ネジｎ１が柱部４２とともに共締めする構成をなす。
【００５１】
垂直用取付部４１ｂは、上述の通り垂直用取付部４１ｂを有している。この垂直用取付部４１ｂは柱部４２の面方向に沿って取付ネジｎ１が組み付けられ、この取付ネジｎ１が立面に取り付けられる。そして柱部４２は別途柱部用ネジｎ３によりこの水平用取付部４１ａに取り付けられる。
【００５２】
そして水平用振動子４ａを第１、第２の加振手段Ｘ、Ｙに適用するとともに、垂直用振動子４ｂを第３の加振手段Ｚに適用している。
【００５３】
そして、図５（ｂ）に示す本実施形態に係る物品搬送装置は、連結枠２６の内面２６ｂには垂直用振動子４ｂを４つ取り付ける第３取付部２ｚを設けることにより第３の加振手段Ｚを設けている。連結枠２６の外面２６ａには水平用振動子４ａを合計８つ取り付けている。具体的には、外面２６ａにおける同図幅方向に面する立面には図示上下２つずつ計４つの水平用振動子４ａを組み付ける第１取付部２ｘが設けられ、第１の加振手段Ｘが構成されている。そして外面２６ａにおける同図上下方向に面する立面には図示左右２つずつ計４つの水平用振動子４ａを組み付ける第２取付部２ｙが設けられることで、第２の加振手段Ｙが構成されている。
【００５４】
ここで、本実施形態に適用される可動部２の共通の構成について、図６（ｂ）に示して説明する。可動部２は、防振バネ３に支持される矩形板状をなす下板２３と、可動台Ｔの下面側に固定され可動部２の振動を可動台Ｔに直接的に伝える上板２５と、下板２３の所要の箇所から立設され上板２５に連結される連結支柱２４とを有する構成である。本実施形態では更に、下板２３の平面視中央に矩形枠状の連結枠２６を当該下板２３及び上板２５の間に介在させてなる。なお同実施形態及びこれ以降の実施形態においても同様か又は準ずる可動部２の構成となるため、以降における詳細な説明は適宜省略する。また同実施形態以降の平面図に関しては、上板２５及び連結支柱２４の図示を省略するとともに、防振バネ３の配置を模式的に示す。
また、同実施形態の変形例として図６に示すように各振動子４ａ、４ｂを配置しても良い。同図（ａ）の平面図では、連結枠２６の外面２６ａに各振動子４ａ、４ｂを取り付ける態様を図示している。そして同図（ｂ）に示すように、水平用振動子４ａの長手方向が上下方向となるように第１取付部２ｘ、第２取付部２ｙを構成している。このようなものであれば、被搬送物を可動台Ｔ上で回転させるような搬送も可能となる。
【００５５】
そして同実施形態に係る構成では、複数の振動子４ａ、４ｂを第一方向及び第２方向に沿って配置し、各振動子４ａ、４ｂから加わる力の作用点が４箇所に分散することで、ピッチング、ローリング・ヨーイング等の不要な振動が発生し難いものとなっている。
【００５６】
＜第三実施形態＞
【００５７】
本発明の第三実施形態では、振動子４が図７に示すように、柱部４２の一態様として、一方向のみに延伸する分割柱部４３ｃを適用し、対をなす分割柱部４３ｃがそれぞれ逆方向に延伸するように、同じく分割された分割取付部４１ｃに配置された態様を示している。
【００５８】
分割取付部４１ｃは、分割柱部４３ｃの一端部を柱部用ネジｎ３により固定しつつ、別途取付ネジｎ１により連結枠２６に取り付けられている。
【００５９】
このような本実施形態に係る振動子４であれば、同図（ｂ）に示すように上記実施形態に係る各振動子４と同様に分割取付部４１ｃの両側から分割柱部４３ｃが延伸するように配置しても、図示しないが、分割取付部４１ｃから一方向にのみ分割柱部４３ｃが延伸するように振動子４を組み付けても良い。
【００６０】
そして本実施形態では、連結枠２６の外面２６ａ側にそれぞれ振動子４を組み付けることにより、第１の加振手段Ｘ及び第２の加振手段Ｙを構成するとともに、連結枠２６よりも内側における下板２３に２つの振動子４を組み付け、第３の加振手段Ｚを構成している。このようなものであっても、上記各実施形態同様の効果を奏し得るものとなっている。
【００６１】
＜第四実施形態＞
【００６２】
本発明の第四実施形態では、振動子４の一態様として図８〜図１１に示すように、取付部４１、柱部４２、ウェイト部４３ともに一体に成形した一体型振動子４０を適用している。そして本実施形態及びその変形例では、当該一体型振動子４０としてそれぞれ同一のサイズのもののみを用いる態様、大小異なるサイズのものを用いた態様、並びに、可動部２における取付態様をそれぞれ異ならせた態様を順次説明していく。なお同実施形態についても、加振源５たる圧電素子５は柱部４２の両面に貼付された上記各実施形態並びに変形例同様の構成をなす。よって同実施形態では圧電素子５の図示を省略している。
【００６３】
一体型振動子４０は図８（ａ）に示すように、本実施形態では一例として厚み次第で弾性変形し得る素材の一体成形品であり、弾性変形し得るよう厚みが設定された柱部４２の一端部に取付部４１が形成され、他端部にウェイト部４３が形成されている。すなわちこの一体型振動子４０の取付部４１、柱部４２の構成は上記第三実施形態における分割取付部４１ｃ及び分割柱部４３ｃと略同一の構成をなす。しかしながら本実施形態ではこれら一体型振動子４０は個々単独に配置されるため、便宜上取付部４１、柱部４２と標記する。
【００６４】
本実施形態及びその変形例では、図８（ａ）に示すように、大きさが異なる２種類の一体型振動子４０である小型タイプ４０ｓ、大型タイプ４０ｂの何れか又は両方を適宜配置することにより物品搬送装置を実現している。本実施形態では一例として、一体型振動子４０の大型タイプ４０ｂは同小型タイプ４０ｓの２倍の加振力を発生し得るものとする。
【００６５】
図８（ｂ）は、本実施形態として、連結枠２６の外面２６ａにのみ一体型振動子４０の小型タイプ４０ｓを適用した態様を示している。同図では計１２の小型タイプ４０ｓを用いており、第１、第２、第３の加振手段Ｘ、Ｙ、Ｚはそれぞれ４つずつの小型タイプ４０ｓの一体型振動子４０が用いられる。ここで本実施形態における一体型振動子４０は、取付部４１が取り付けられる面に対する柱部４２の延伸方向が上記第一、第二及び第三実施形態とは直交する方向となる。それ故、具体的には第１の加振手段Ｘ及び第２の加振手段Ｙが設けられる位置は、上記第一、第二実施形態とは直交する側にあらわれるものとなる。
【００６６】
図９は、同実施形態の変形例として、第１、第２の加振手段Ｘ、Ｙに大型タイプ４０ｂの一体型振動子４０を２つずつ用いるとともに、第３の加振手段Ｚには４つの同小型タイプ４０ｓを放射状に配して用いた態様を示している。すなわち、連結枠２６に一体型振動子４０を配置する方向は種々の方向とすることが可能である。
【００６７】
図１０（ａ）、（ｂ）は、他の変形例として、第１、第２の加振手段Ｘ、Ｙに大型タイプ４０ｂの一体型振動子４０を２つずつ用いるとともに、４つの同小型タイプ４０ｓを放射状に配した態様である点は上記図９に示した態様と同じであるが、連結枠２６に代えて、平面視概略格子状をなす連結格子板２７を適用し、当該連結格子板２７によって仕切られた部屋にそれぞれ一体型振動子４０を配した態様を示している。同図（ａ）及び同図（ｂ）では、それぞれ一体型振動子４０の配置は同じであるが、連結格子板２７の形状が異ならせてある。また連結格子板２７の形状の違いから図示しない連結支柱２４の配置を適宜変更しても良いことは勿論である。
【００６８】
そして図１１は、更に他の変形例として、連結枠２６や連結格子板２７に代えて、下板２３の外縁に矩形状に立設された外枠２８の内面２８ｂに各一体型振動子４０を配した態様を示している。具体的には、同図（ａ）では第１、第２の加振手段Ｘ、Ｙには一体型振動子４０のうち大型タイプ４０ｂを適用し、第３の加振手段Ｚには同小型タイプ４０ｓを適用している。同図（ｂ）では全ての一体型振動子４０を小型タイプ４０ｓとした態様を示している。
【００６９】
すなわち本実施形態の通り、可動部２に振動子４を配する態様は種々の態様を適用することができる。
【００７０】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限られるものではない。例えば上記実施形態では加振源として圧電素子を適用した態様としたが勿論、電磁石を用いた加振源を適用しても良い。
【００７１】
また例えば上記実施形態では各振動子を可動部に固定した態様を開示したが勿論、配置を適宜変更し得る態様としても良い。また振り子動作を実現し得る柱部をはじめとした振動子の素材や各振動子の制御態様は、種々のものを適用することができる。
【００７２】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１・・・固定部姿勢変換装置
２・・・可動部
３・・・防振バネ
４・・・振動子
５・・・加振源（圧電素子）
４１・・・取付部
４２・・・柱部
４３・・・ウェイト部
Ｔ・・・可動台
Ｘ・・・第１の加振手段
Ｙ・・・第２の加振手段
Ｚ・・・第３の加振手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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