(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水を、イオン交換樹脂を用いて軟化する軟化工程と、
前記軟化工程で軟化された水を、ナノろ過膜を用いて、ナノろ過膜の透過水と濃縮液とに分離する、ナノろ過工程と、
前記ナノろ過膜の透過水を、逆浸透膜を用いて、逆浸透膜の透過水と濃縮水とに分離する、逆浸透工程と、
前記逆浸透膜の濃縮水を用いて前記イオン交換樹脂を再生する、イオン交換樹脂再生工程と、
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
水処理方法。
【請求項２】
前記軟化工程で軟化された水は、ＳＯ４２−濃度が１０ｍｇ／Ｌ以上１００００ｍｇ／Ｌ以下であり、ＣＯ３２−含有量がＣａＣＯ３換算で１０ｍｇ／Ｌ以下である、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ナノろ過膜の透過水において、ＳＯ４２−濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満である請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
前記２価アニオンがＳＯ４２−である、請求項１〜３の何れか一項記載の方法。
【請求項５】
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水が供給され、イオン交換樹脂を備える軟化装置と、
ナノろ過膜を備えるナノろ過装置と、
逆浸透膜を備える逆浸透装置と、
前記軟化装置の軟化水出口を前記ナノろ過装置入口に接続するラインと、
前記ナノろ過装置の透過水出口を前記逆浸透装置の入口に接続するラインと、
前記逆浸透装置の濃縮液出口を前記軟化装置の再生剤入口に接続するラインと
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
水処理装置。
【請求項６】
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水を、イオン交換樹脂を用いて軟化する軟化工程と、
前記軟化工程で軟化された水を、ナノろ過膜を用いて、ナノろ過膜の透過水と濃縮液とに分離する、ナノろ過工程と、
前記ナノろ過膜の透過水を、逆浸透膜を用いて、逆浸透膜の透過水と濃縮水とに分離する、逆浸透工程と、
前記逆浸透膜の濃縮水を用いてイオン交換樹脂を再生する、イオン交換樹脂再生工程と、
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
イオン交換樹脂の再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子産業における排水を処理するために好適な、水処理方法および装置に関する。本発明はまた、イオン交換樹脂の再生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いた水処理方法が知られている。特許文献１には、伸銅工業、メッキ工業、鉄鋼工業あるいは食品工業などにおける、遊離酸を含有する排水を、イオン交換樹脂に通液した後、逆浸透圧法で濃縮液と膜透過液に分離することが開示される。
【０００３】
また、特許文献２には、水の消費量を低減することのできる蒸気プラント及びその操作方法が開示される。この文献には、樹脂を備える軟化容器で軟化した水を、半透膜を備える逆浸透装置に通液し、逆浸透装置の浸透水をボイラーに供給し、逆浸透装置の濃縮液を軟化容器の再生に使用することが記載される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５０−１０５５４６号公報
【特許文献２】特開２０１３−２１２５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に記載の技術によれば、逆浸透装置の濃縮液を軟化容器（樹脂）の再生に使用することによって、通常軟化容器を洗浄するために使用される原水の使用を減少させることができる。
【０００６】
しかし、イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いる水処理方法では、被処理水に硫酸イオンＳＯ42-や炭酸イオンＣＯ32-が含まれる場合、これら２価アニオンはイオン交換樹脂を通過し、逆浸透膜の濃縮水中に濃縮されることになる。この濃縮水をイオン交換樹脂の再生に使用するとＣａＳＯ4やＣａＣＯ3が析出する恐れがあるので、このような場合には逆浸透膜の濃縮水をイオン交換樹脂の再生に使用することは回避すべきである。
【０００７】
一方、軟化処理のためのイオン交換樹脂を再生する再生剤として、一般的に高濃度ＮａＣｌ水溶液を用いることが多いが、再生剤のコストが高額になり、また固体のＮａＣｌを溶解させる工程が必要となるため操作が煩雑になる。
【０００８】
本発明の目的は、イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いる水処理方法において、被処理水に硫酸イオンＳＯ42-や炭酸イオンＣＯ32-が含まれる場合であっても、より低コストでより簡易にイオン交換樹脂の再生を行うことのできる方法を提供することである。
【０００９】
本発明の別の目的は、上記方法を実施するに好適な水処理装置を提供することである。
【００１０】
本発明のさらに別の目的は、より低コストでより簡易にイオン交換樹脂の再生を行うことのできるイオン交換樹脂再生方法を提供することであり、特には、イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いる水処理方法から得られる逆浸透膜濃縮水を、当該水処理の被処理水に硫酸イオンＳＯ42-や炭酸イオンＣＯ32-が含まれる場合であっても、イオン交換樹脂の再生に使用可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様により、
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水を、イオン交換樹脂を用いて軟化する軟化工程と、
前記軟化工程で軟化された水を、ナノろ過膜を用いて、ナノろ過膜の透過水と濃縮液とに分離する、ナノろ過工程と、
前記ナノろ過膜の透過水を、逆浸透膜を用いて、逆浸透膜の透過水と濃縮水とに分離する、逆浸透工程と、
前記逆浸透膜の濃縮水を用いて前記イオン交換樹脂を再生する、イオン交換樹脂再生工程と
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
水処理方法が提供される。
【００１２】
本発明の別の態様により、
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水が供給され、イオン交換樹脂を備える軟化装置と、
ナノろ過膜を備えるナノろ過装置と、
逆浸透膜を備える逆浸透装置と、
前記軟化装置の軟化水出口を前記ナノろ過装置入口に接続するラインと、
前記ナノろ過装置の透過水出口を前記逆浸透装置の入口に接続するラインと、
前記逆浸透装置の濃縮液出口を前記軟化装置の再生剤入口に接続するラインと
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
水処理装置が提供される。
【００１３】
本発明のさらなる態様により、
ＳＯ４２−及びＣＯ３２−からなる群から選ばれる１種もしくは２種の２価アニオンと、硬度成分と、Ｎａ＋と、Ｃｌ−と、を含む排水を、イオン交換樹脂を用いて軟化する軟化工程と、
前記軟化工程で軟化された水を、ナノろ過膜を用いて、ナノろ過膜の透過水と濃縮液とに分離する、ナノろ過工程と、
前記ナノろ過膜の透過水を、逆浸透膜を用いて、逆浸透膜の透過水と濃縮水とに分離する、逆浸透工程と、
前記逆浸透膜の濃縮水を用いてイオン交換樹脂（前記軟化工程で用いたイオン交換樹脂であっても、前記軟化工程で用いたイオン交換樹脂とは別のイオン交換樹脂であってもよい）を再生する、イオン交換樹脂再生工程と、
を含み、
前記ナノろ過膜の、ＮａＣｌ阻止率が７０％以下、前記２価アニオンの阻止率が９０％以上である
イオン交換樹脂の再生方法が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いる水処理方法において、被処理水に硫酸イオンＳＯ42-や炭酸イオンＣＯ32-が含まれる場合であっても、より低コストでより簡易にイオン交換樹脂の再生を行うことのできる方法が提供される。
【００１５】
また、本発明によれば、上記方法を実施するに好適な水処理装置が提供される。
【００１６】
さらに本発明によれば、より低コストでより簡易にイオン交換樹脂の再生を行うことのできるイオン交換樹脂再生方法が提供され、特には、イオン交換樹脂と逆浸透膜とを用いる水処理方法から得られる逆浸透膜濃縮水が、当該水処理の被処理水に硫酸イオンＳＯ42-や炭酸イオンＣＯ32-が含まれる場合であっても、イオン交換樹脂の再生に使用可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の水処理装置の一例を示すプロセスフローダイアグラムである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の水処理方法もしくはイオン交換樹脂の再生方法は、軟化工程、ナノろ過工程、逆浸透工程およびイオン交換樹脂再生工程を含む。
【００１９】
〔ナノろ過膜、逆浸透膜〕
本発明に関しては、ＮａＣｌ濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ６．５、温度２５℃、操作圧力１．５ＭＰａの条件下で、ＮａＣｌ阻止率が５％以上９３％未満の膜をナノろ過（ＮＦ）膜といい、同条件下で、ＮａＣｌ阻止率が９３％以上の膜を逆浸透（ＲＯ）膜という。
【００２０】
阻止率は次式によって求められる。
【００２１】
【数１】
0006764686.tif 000002
【００２２】
〔軟化工程〕
軟化工程では、イオン交換樹脂を用いて被処理水を軟化する。被処理水は、２価アニオンと、硬度成分と、ナトリウムイオンＮａ+と、塩素イオンＣｌ-と、を含む。２価アニオンは硫酸イオンＳＯ42-及び炭酸イオンＣＯ32-からなる群から選ばれる１種もしくは２種である。２価アニオンは特にはＳＯ42-である。
【００２３】
硬度成分は水処理の分野で知られているものであり、典型的には、Ｃａ2+およびＭｇ2+に代表される２価カチオンである。軟化工程において、硬度成分の濃度が低減される。
【００２４】
イオン交換樹脂としては、軟化処理に用いられる公知のイオン交換樹脂、特にはＮａ形の強酸性陽イオン交換樹脂を適宜使用することができ、ゲル型、ポーラス型、ＭＲ型があるが、いずれを用いてもよい。イオン交換樹脂として、例えばオルガノ株式会社製アンバージェット１０２０（商品名、以下同様）、アンバージェット１０２４、アンバーライトＩＲ１２４、アンバーライトＩＲ１２０Ｂなどを用いることができる。
【００２５】
〔ナノろ過工程〕
この工程では、軟化工程で軟化された水（軟化水）を、ＮＦ膜に通水して、ＮＦ膜の透過水と濃縮水とを得る。つまり、ＮＦ膜を用いて、軟化水を、ＮＦ膜の透過水（ＮＦ膜を透過した液）と、ＮＦ膜の濃縮水（ＮＦ膜を透過しなかった液）とに分離する。
【００２６】
ＮＦ膜の透過水は、逆浸透工程に供給される。ＮＦ膜の濃縮水は、２価アニオンの濃度等に応じて、適宜、外界に放流されるか、産業廃棄物として処理される。
【００２７】
ＮＦ膜は、ＲＯ膜に供給する液の２価アニオン（ＳＯ42-および／またはＣＯ32-）濃度を、前もって低減するために用いられる。これによって、ＲＯ膜の濃縮水をイオン交換樹脂の再生に用いた場合にＣａＳＯ4やＣａＣＯ3が析出することを防止する。したがって、２価アニオンはＮＦ膜の濃縮水中にできるだけ濃縮することが好ましい。一方、１価イオン（Ｎａ+およびＣｌ-）は、できるだけＮＦ膜を透過させ、ＲＯ膜の濃縮水中にできるだけ多く存在させ、イオン交換樹脂の再生剤として利用することが好ましい。
【００２８】
この観点から、ＮＦ膜のＮａＣｌの阻止率は７０％以下が好ましく、５０％以下がより好ましい。また、ＮＦ膜の２価アニオン（ＳＯ42-および／またはＣＯ32-）の阻止率は９０％以上が好ましく、９８％以上がより好ましい。
【００２９】
ＮＦ膜として、例えば、ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー社製のＮＦ−２４５（商品名）を用いることができる。
【００３０】
〔逆浸透工程〕
この工程では、ＮＦ膜の透過水を、ＲＯ膜に通水して、ＲＯ膜の透過水と濃縮水を得る。つまり、ＲＯ膜を用いて、ＮＦ膜の透過水を、ＲＯ膜の透過水（ＲＯ膜を透過した液）と、ＲＯ膜の濃縮水（ＲＯ膜を透過しなかった液）とに分離する。
【００３１】
ＲＯ膜の透過水は、純度の高い水である。したがって、外界に放流することもできるが、回収水として再利用することが好ましい。
【００３２】
ＲＯ膜の濃縮水中には、Ｎａ+およびＣｌ-が濃縮されている。一方、ＳＯ42-およびＣＯ32-はＮＦ膜において分離されており、ＲＯ膜の濃縮水中のＳＯ42-およびＣＯ32-の濃度は非常に低くできる。したがって、この濃縮水は、イオン交換樹脂の再生剤として好適であり、イオン交換樹脂再生工程に供給される。
【００３３】
ＲＯ膜としては、より多くのＮａ+およびＣｌ-がＲＯ膜濃縮水中に含まれるようにする観点から、より高圧で使用できるものが好ましい。
【００３４】
ＲＯ膜として、例えば、ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー社製のＳＷ−３０ＨＲ（商品名）を用いることができる。
【００３５】
〔イオン交換樹脂再生工程〕
この工程では、ＲＯ膜の濃縮水を用いて、イオン交換樹脂を再生する。ＲＯ膜の濃縮水は、軟化処理に用いたイオン交換樹脂の再生剤として利用できる。つまり、被処理水を、軟化工程、ナノろ過工程、次いで逆浸透工程で処理する場合に、当該軟化工程で用いたイオン交換樹脂の再生に、逆浸透工程から得られるＲＯ膜の濃縮水を利用することができる。水処理方法もしくは水処理装置においては、通例この形態が採用されるであろう。
【００３６】
しかし、その限りではなく、当該軟化工程で用いたイオン交換樹脂とは別のイオン交換樹脂の再生に、ＲＯ膜の濃縮水を利用してもよい。イオン交換樹脂の再生方法においては、前述の形態（軟化処理に用いたイオン交換樹脂を再生する）が採用されることも、またこのような形態を採用されることもあろう。
【００３７】
イオン交換樹脂の再生より前に、必要に応じて、ＲＯ膜の濃縮水にＮａＣｌを添加して、ＮａＣｌ濃度を上げることもできる。また、ＲＯ膜の濃縮水を、蒸発法などの、さらに別の方法で濃縮したうえで再生剤として利用することもできる。
【００３８】
イオン交換樹脂の再生より前に、必要に応じて、ＲＯ膜の濃縮水を、別の処理に付すこともできる。例えば、ＳＯ42-およびＣＯ32-を除去するため、あるいは、フッ素イオン（Ｆ-）を除去するために、イオン交換樹脂やフッ素吸着剤を用いる方法によってＲＯ膜の濃縮水を処理することができる。あるいは脱炭酸法などによって、ＲＯ膜の濃縮水を処理することができる。
【００３９】
〔水処理装置〕
以下、図面を参照しつつ、本発明について説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。本発明の方法は、図１に示すプロセスフローを有する水処理装置によって、実施することができる。
【００４０】
この水処理装置は、イオン交換樹脂を備える軟化装置３と、ナノろ過膜を備えるナノろ過装置（ＮＦ装置）４と、逆浸透膜を備える逆浸透装置（ＲＯ装置）５を含む。軟化装置、ナノろ過装置、逆浸透装置の個々の装置の構造には、公知の構造を適宜採用できる。
軟化装置３の軟化水出口とＮＦ装置４の入口とが、ラインＬ２によって接続されて、連通可能となっている。ＮＦ装置４の透過水出口とＲＯ装置５の入口とが、ラインＬ３によって接続されて、連通可能となっている。ＲＯ装置５の濃縮液出口と軟化装置３の再生剤入口とが、ラインＬ６およびＬ７（これらのラインの間に、ＲＯ膜濃縮水タンク６が設けられる）によって接続されて、連通可能となっている。
【００４１】
また、この水処理装置は被処理水タンク１を有し、被処理水タンク１と軟化装置３とを接続するライン（Ｌ１）に、ポンプ２が設けられている。被処理水タンク１、ポンプ２、ＲＯ膜濃縮水タンク６は、必ずしも必要ではなく、適宜設けられる。ＲＯ膜濃縮水タンク６を設けない場合、ＲＯ装置の濃縮液出口と軟化装置の再生剤入口とがラインで接続される。この場合、例えば、軟化装置を複数系統設け、１つの系統で水処理を行っている間に、他の系統のイオン交換樹脂を再生することができる。
【００４２】
各ラインは適宜配管を用いて構成することができる。各ラインには、水処理運転とイオン交換樹脂再生運転とを切り替えること等の目的に応じて、バルブや計装制御品を適宜設けることができる。
【００４３】
水処理を行う際には、被処理水タンク１から、ラインＬ１を通して、軟化装置３に被処理水が供給される。このとき被処理水がポンプ２によって昇圧される。軟化された水が軟化装置３からラインＬ２を通してＮＦ装置４に供給される。ＮＦ膜の透過液が、ラインＬ３を通してＲＯ装置に供給される。ＮＦ膜の濃縮水は、ラインＬ４を通して水処理装置から排出され、適宜、外界に放流されるか、産業廃棄物として処理される。ＲＯ膜の透過液は、ラインＬ５を通して装置外に排出され、適宜、回収水として利用されるか、外界に放流される。ＲＯ膜の濃縮液は、ラインＬ６を通してＲＯ膜濃縮水タンク６に供給される。
【００４４】
軟化装置３に備わるイオン交換樹脂を再生する際には、ＲＯ膜濃縮水タンク６からＲＯ膜濃縮水がラインＬ７を通して軟化装置に供給され、ＲＯ膜濃縮水によってイオン交換樹脂が再生される。再生廃液はラインＬ８から水処理装置外に排出され、適宜、外界に放流されるか、産業廃棄物として処理される。
【００４５】
〔プロセス条件〕
表１および２に、軟化工程供給液（被処理水）、ＮＦ工程供給液（軟化水）、ＲＯ工程供給液（ＮＦ膜透過水）について、プロセス条件の典型例を示す。
【００４６】
ＲＯ工程から得られる濃縮水中のＮａＣｌ濃度は、イオン交換樹脂を効率的に再生する観点から、２質量％以上が好ましく、４質量％以上がより好ましい。また、適正な浸透圧の観点から、１０質量％以下が好ましい。表１および２に示される典型的なプロセス条件を採用すれば、その結果として、ＲＯ膜濃縮水中のＮａＣｌ濃度を前記好ましい範囲にすることが容易である。
【００４７】
ＲＯ膜透過水中のＮａＣｌ濃度は、回収再利用する観点から１５０ｍｇ／Ｌ以下が好ましい。
【００４８】
【表１】
0006764686.tif 000003
【００４９】
【表２】
0006764686.tif 000004
【００５０】
本発明によれば、被処理水にＳＯ42-やＣＯ32-が含まれる場合であっても、ＲＯ膜濃縮液をイオン交換樹脂の再生に利用することができる。したがって、イオン交換樹脂の再生剤にかかるコストを削減でき、また、固体ＮａＣｌを溶解させる工程を省くことができるので運転管理が容易になる。
【００５１】
また本発明によれば、軟化水を、ＲＯ膜で処理する前に、ＮＦ膜で処理する。軟化水を直接ＲＯ膜で処理する場合と比べて、本発明によれば、ＲＯ膜処理すべき液中の塩濃度を低くすることができ、すなわち浸透圧を下げることができる。したがって、ＲＯ膜における濃縮倍率を高めてＲＯ膜濃縮液中のＮａＣｌ濃度を高くすることが容易であり、あるいは、ＲＯ膜の操作圧力をより低くすることができる。
【００５２】
またアルミニウムイオンは、イオン状シリカと共存するとシリカスケールの生成を促進することがある。しかし本発明によれば、被処理水中にアルミニウムイオンが共存する場合であっても、イオン交換樹脂にてアルミニウムイオンも除去することにより、後段のＮＦ膜およびＲＯ膜にアルミニウムイオンが流入することを防ぐことができる。
【実施例】
【００５３】
以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
【００５４】
〔実施例１〕
・軟化工程
被処理液として、表３に性状を示す半導体工場放流水を用いた。この放流水を、イオン交換樹脂を備えた軟化装置を用いて軟化処理し、Ｃａイオンを除去した。軟化処理された水の性状も表３に示す。
【００５５】
使用した軟化装置（イオン交換装置）と操作条件は次のとおりである：
イオン交換樹脂  ：オルガノ株式会社製、Ａｍｂｅｒｊｅｔ１０２０（商品名）、
樹脂量          ：１Ｌ、
使用カラム      ：Φ（直径）４５ｍｍ×Ｈ（高さ）６００ｍｍ、
通水量          ：４０Ｌ、
ＳＶ（空間速度）：２０（１／ｈ）、
操作温度、圧力  ：常温、常圧（２５℃、０．１０ＭＰａ）。
【００５６】
【表３】
0006764686.tif 000005
【００５７】
・ＮＦ工程
表３に示す軟化水を、ＮＦ平膜を用いて濃縮して、表４に示す濃縮水と透過水を得た。軟化後の水（４０Ｌ）が２倍に濃縮され、濃縮水２０Ｌと透過水２０Ｌが得られた。
【００５８】
使用したＮＦ膜と操作条件は次のとおりである：
ＮＦ膜：ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー社製ＮＦ−２４５（商品名）Φ７５ｍｍ平膜、
操作圧：０．７５ＭＰａ、
水温：２５℃。
【００５９】
・ＲＯ工程
次に、ＮＦ膜の透過水を、ＲＯ平膜を用いてさらに濃縮して、表４に示す濃縮水と透過水を得た。ＮＦ膜透過水（２０Ｌ）が約１２倍に濃縮され、濃縮水１．７Ｌと透過水１８．３Ｌが得られた。
【００６０】
使用したＲＯ膜と操作条件は次のとおりである：
ＲＯ膜：ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー社製ＳＷ３０−ＨＲ（商品名）Φ７５ｍｍ平膜、
操作圧：４．５ＭＰａ、
水温：２５℃。
【００６１】
【表４】
0006764686.tif 000006
【００６２】
このＲＯ膜濃縮水は、Ｎａ+およびＣｌ-の濃度が高く、そのままイオン交換樹脂の再生剤として利用可能である。なお、ＮＦ膜濃縮水およびＲＯ膜透過水は廃棄した。
【００６３】
〔比較例１〕
表３に示す軟化水（４０Ｌ）を、ＮＦ膜による処理を行わずに、ＲＯ平膜を用いて直接濃縮した。このとき使用したＲＯ膜と、ＲＯ工程の操作圧、水温は実施例１と同じであった。軟化水は約８倍に濃縮され、表５に示す濃縮水（５Ｌ）と、透過水（３５Ｌ）とが得られた。
【００６４】
【表５】
0006764686.tif 000007
【００６５】
実施例１と同じ操作圧（４．５ＭＰａ）では、浸透圧の影響で約８倍濃縮までしかできなかった。実施例１のＲＯ膜濃縮水と比較して、比較例１のＲＯ膜濃縮水はＮａ+、Ｃｌ-の濃度がやや低い。このＲＯ膜濃縮水は、ＳＯ42-を高濃度で含むためイオン交換樹脂の再生剤としては不適である（イオン交換樹脂再生時にＣａＳＯ4析出の可能性が高い）。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、半導体工場や精糖工場などの工場排水を処理し、純度の高い水を回収するために有用である。
【符号の説明】
【００６７】
１  被処理水タンク
２  ポンプ
３  軟化装置
４  ナノろ過装置（ＮＦ装置）
５  逆浸透装置（ＲＯ装置）
６  ＲＯ膜濃縮水タンク
【図１】
0006764686.tif 000008