(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも３つの個別のシステムモジュールを有する、電子部品を成形するためのモジュールシステム（３０）であって、
前記システムモジュールとして、
インテリジェント電子制御システムを含むサービスモジュール（３１）と、
電子部品を成形するためのプレス構造を有する少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）と、
成形すべき前記電子部品をカセットから前記プレスモジュール（３３、３４）に装入するための少なくとも１つのローダーモジュール（３２）と、を有し、
前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）および前記少なくとも１つのローダーモジュール（３２）を横方向に直列に整列して相互に連結固定するための協働カップリング（８）を備え、
前記インテリジェント電子制御システムは前記少なくとも１つのプレスモジュールおよび前記少なくとも１つのローダーモジュールの各々を少なくとも部分的に制御するように構成されており、
前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）の前記協働カップリング（８）は、前記プレス構造に一体に設けられていることを特徴とするモジュールシステム（３０）。
【請求項２】
成形された電子部品をプレスから取り外してカセットへの導くための少なくとも１つのオフ・ローダーモジュール（３５）をさらに備え、前記オフ・ローダーモジュール（３５）は、少なくとも一方の側に、前記オフ・ローダーモジュール（３５）を前記プレスモジュール（３３、３４）に直列に整列して連結固定するための協働カップリング（８）を備える、請求項１に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項３】
封入する材料を前記プレスモジュール（３３、３４）に供給するための少なくとも１つの供給モジュールをさらに備える、請求項１または２に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項４】
成形すべき電子部品を伴ったウエファーをＦＯＵＰ支持体から隣接するモジュールに装入するためのＦＯＵＰ・ローダーモジュール（４１）をさらに備える、請求項１から３のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項５】
電子部品を伴った成形されたウエファーを隣接するモジュールから取り出してＦＯＵＰ・カセットへと導くためのＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュール（４２）をさらに備える、請求項１から４のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項６】
前記ローダーモジュール（３２）が、少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）へと延在するように構成されたローダーヘッド（１０）を有する、請求項１から５のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項７】
各プレスモジュール（３３、３４）が、両側に覆い可能な移動用開口（３８）を有するハウジング（３７）を備える、請求項１から６のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項８】
前記オフ・ローダーモジュール（３５）が、前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）へと延在するように構成されたクリーニングおよびオフ・ローダーヘッド（１１）を備えている、請求項２に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項９】
少なくとも２つの前記プレスモジュール（３３、３４）を備える、請求項１から８のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１０】
前記プレスモジュール（３３、３４）が協働するガイドパーツ（１３、１４、１５、１６）を備える、請求項９に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１１】
成形された電子部品をプレスから取り外してカセットへの導くための少なくとも１つのオフ・ローダーモジュール（３５）を備え、前記オフ・ローダーモジュール（３５）は、少なくとも一方の側に、前記オフ・ローダーモジュール（３５）を前記プレスモジュール（３３、３４）に直列に整列して連結固定するための協働カップリング（８）を備え、
封入する材料を前記プレスモジュール（３３、３４）に供給するための少なくとも１つの供給モジュールを備え、
前記供給モジュールが、前記オフ・ローダーモジュール（３５）に一体化されている、請求項１に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１２】
前記プレスモジュール（３３、３４）、前記サービスモジュール（３１）、前記ローダーモジュール（３２）、および前記オフ・ローダーモジュール（３５）が、それらが備えられている場合に限り、横方向に同じ幅を有する、請求項２に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１３】
成形された電子部品をプレスから取り外してカセットへの導くための少なくとも１つのオフ・ローダーモジュール（３５）を備え、前記オフ・ローダーモジュール（３５）は、少なくとも一方の側に、前記オフ・ローダーモジュール（３５）を前記プレスモジュール（３３、３４）に直列に整列して連結固定するための協働カップリング（８）を備え、
封入する材料を前記プレスモジュール（３３、３４）に供給するための少なくとも１つの供給モジュールを備え、
成形すべき電子部品を伴ったウエファーをＦＯＵＰ支持体から隣接するモジュールに装入するためのＦＯＵＰ・ローダーモジュール（４１）を備え、
電子部品を伴った成形されたウエファーを隣接するモジュールから取り出してＦＯＵＰ・カセットへと導くためのＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュール（４２）を備え、
前記プレスモジュール（３３、３４）、前記ローダーモジュール（３２）、前記オフ・ローダーモジュール（３５）、前記供給モジュール、前記ＦＯＵＰ・ローダーモジュール（４１）、および前記ＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュール（４２）が、それらが備えられている場合に限り、前記サービスモジュール（３１）によって少なくとも部分的に制御される、請求項１に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１４】
前記協働カップリング（８）が雄型および雌型カップリング要素を有する、請求項１から１３のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１５】
前記プレスモジュール（３３、３４）が、両側に２つの前記協働カップリング（８）を有し、その２つの前記協働カップリング（８）が水平である、請求項１から１４のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１６】
前記システムモジュールの全ての前記協働カップリング（８）が１つの水平平面にある、請求項１５に記載のモジュールシステム（３０）。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれか１項に記載のモジュールシステム（３０）を組み立てるためのパーツキットであって、
インテリジェント電子制御システムを含む前記サービスモジュール（３１）と、
電子部品を成形するためのプレス構造を有する前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）と、
成形すべき電子部品をカセットから前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）に装入するための前記少なくとも１つのローダーモジュール（３２）と、を有し、
前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）および前記少なくとも１つのローダーモジュール（３２）を横方向に直列に整列して相互に連結固定するための協働カップリング（８）を備え、
前記インテリジェント電子制御システムは前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）および前記少なくとも１つのローダーモジュール（３２）の各々を少なくとも部分的に制御するように構成されており、
前記少なくとも１つのプレスモジュール（３３、３４）の前記協働カップリング（８）が前記プレス構造に一体的に設けられていることを特徴とするパーツキット（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を成形するための製造モジュールのモジュールシステムに関する。本発明は、また、そのようなモジュールシステムを組み立てるためのパーツキットに関する。
【背景技術】
【０００２】
支持体上に載置された電子部品の成形とは、電子部品を少なくとも部分的に封入するプロセスのことであり、特に、通常、半導体回路（チップ）/集積回路（ＩＣ）の成形のことをいう。従来技術によると、電子部品の成形は、少なくとも２つの協働する金型部分を備えた成形プレスで為される。１つもしくは複数の金型キャビティが前記金型部分の少なくとも１つに凹むようにして形成されている。電子部品は支持体によって保持され、この支持体は、例えば、それらに限定されるものではないが、リードフレーム、（ＢＧＡのような）ボードまたはウエファーのような、異なる形状を有しうる。封入するための電子部品を保持した支持体は、前記金型部分の間に置かれ、それら金型部分同士が互いの方向に、例えば、前記支持体を型締めするように、動かされる。標準的に加熱された液体成形材料が前記凹部、すなわち金型キャビティ内に、例えば、トランスファー成形材料（エポキシあるいは樹脂とも称される）を用いて、あるいは、金型部分を閉じる前に既に金型に入れられていた成形材料を圧縮することにより、圧入される。前記金型キャビティ内で成形材料を少なくとも部分的に（化学）硬化した後、金型部分は互いに分離され、封入された電子部品を保持した支持体が、封入プレスから取り出される。その後の処理工程において、封入された製品同士は、例えば、のこ引き、レーザ切断、および/または水切断により、互いに分離し得る。このように少なくとも部分的に被覆された電子部品は、種々の用途に使用し得る。この成形方法は、大規模な商業スケールで実施でき、電子部品の十分に制御された成形を可能とする。電子部品を成形するための成形装置には、数段階レベルの自動化があり、また、市場で入手可能な成形装置の能力には、かなりの違いがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、電子部品を成形するための成形装置の機能性および能力を有効に変更できる機会を与える電子部品を成形するための製造モジュールのモジュールシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的は、電子部品を成形するための少なくとも１つのプレスモジュール、成形すべき電子部品をカセットからプレスモジュールに装入するための少なくとも１つのローダー、その他のシステムモジュールの各々を少なくとも部分的に制御するように構成されたインテリジェント電子制御システムを含むサービスモジュールを備えた、少なくとも３つの個別のシステムモジュールを有し、このシステムモジュールは、隣接するシステムモジュールの相互の整列および固定のための協働カップリングを備えており、このシステムモジュールの協働カップリングは隣接するシステムモジュールを直列に整列および固定するように構成された、すなわち、システムモジュールは連続的に配置されている（すなわち、列状にあるいは隣同士に配置されている）、電子部品を成形するためのモジュールシステムによって達成される。このモジュールシステムは、さらに、前記少なくとも１つのプレスモジュールの協働カップリングが、隣接するシステムモジュールの相互の整列および固定のための、例えば、校正の、基準点として働くことを特徴とする。前記サービスモジュールは、このモジュールシステムにあるサービスモジュール以外の他のモジュールの各々の動作の少なくとも一部を制御するための電子制御システムを備える。
【０００５】
本発明のモジュールシステムによる利点の１つは、複数のレベルで適応性および規模選択性を同時に得られ、およびそれらを組み合わせられることである。第１の利点は、製造能力が、特に、モジュールシステムに組み込むプレスモジュールの数により量れるが、他のモジュール（例えば、ローダーおよびオフ・ローダーモジュール）の容量によっても量れることである。本発明のモジュールシステムの１つの実施態様において、２つのプレスモジュールが備えられるが、それより多くのプレスモジュールを１つのモジュールシステムの一部とすることができ、例えば、３つのプレスモジュール、４つのプレスモジュール、５つのプレスモジュール、あるいは５つを超えるプレスモジュールを備えることもできる。第２のそして重要な利点は、自動化レベルを、モジュールシステムに組み込むモジュールのタイプによる比較的少ない工程の増加において（例えば、より詳細に後述する、オフ・ローダーモジュール、供給モジュール等のモジュールを加えたり除外したりすることにより）、組み換え容易な規格単位で左右できることである。かなり妥当性のある第３の利点は、本発明のモジュールシステムで処理できる製品のタイプを、（ＢＧＡのような）ボード、ファンアウトパッケージングのためのＥ−ＷＬＰのような支持体、リードフレームに載置された電子部品、あるいは、さらに、シリコン、セラミック、またはガラスウエファーに積層または蝕刻された電子部品の成形について、（他えば、ローダーモジュールおよびオフ・ローダーモジュールを変更あるいは加えることにより）左右できる。第４の利点は、本発明のモジュールシステムは、行う成形処理のタイプに関連して変更することもできる。例えば、オーバーモールド成形やエクスポーズド・ダイ成形（exposed die moulding）のためのトランスファー成形プレスなどのプレスモジュールが、上部金型、下部金型および成形材料の供給と共に行い得るが、圧縮成形プレス等の他の選択肢も、本発明の範囲内で可能である。このように、上述の４つの利点によって示されるように、本発明のモジュールシステムの適応性および規模選択性が、複数のレベルの自由度を提供する。これにより、製造環境が変わった際に、装置の耐用年数の間、モジュールシステムの能力および機能性を適合させ得るので、モジュールシステムの購入を決定することが容易となる。この標準化により、本発明によれば、モジュールシステムは他のモジュールシステムと容易に統合し得るので、不必要となった場合は後に売却するという選択肢すらある。
【０００６】
本発明のモジュールシステムは、前記少なくとも１つのプレスモジュールの協働カップリングが隣接するモジュールシステムの相互整列および固定のための基準点として機能するシステムを提供することにより、容易かつ信頼性をもって実現される。組み立てるべきモジュールシステムの出発点として使用するプレスモジュールを提供することにより、このモジュールシステムの組み立ては強固で信頼性がある。それでも、本発明のモジュールシステムを再組立てしても、例えば、プレスモジュールおよび隣接するシステムモジュールのような重要なシステムモジュールの予測不能で意図しない誤整列が生じない。
【０００７】
更なる利点は、適応性も大変容易に実現できることである。モジュールシステムの他のモジュールの各々を少なくとも部分的に制御するように構成されたサービスモジュールは、極めて簡単なモジュールシステムの拡張（拡大）または適合（調整）を可能とする。プレスモジュール、ローダーモジュール、オフ・ローダーモジュール、供給モジュール、オープン・カセットローダーおよびオフ・ローダー、並びにＦＯＵＰ・ローダーおよびＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュールによる密閉カセットモジュール（enclosed cassettes modules）（異なるタイプのモジュールについては後述する）は、それらが設けられている限り、全て、サービスモジュールによって少なくとも部分的に制御される。
【０００８】
上述した制御サービスモジュールは、更なるモジュールをモジュールシステムに電子的に結合することにより（または、余分なモジュールの切り離しにより）、それら更なるモジュールの容易なプラグアンドプレイを提供する。本発明によるモジュールシステムの電子制御の容易な拡張または適合に合わせて、システムモジュールの備える協働カップリングモジュールが容易にモジュールを直列に整列および固定できるため、モジュールシステムの機械的な拡張または適合も簡単である。この目的のため、ローダーモジュールをプレスモジュールに直列に整列および固定するためのカップリングをローダーモジュールの少なくとも一方の側に設けることができる。本発明によれば、このように、簡単な電子的および物理的結合および分離の両方が促進される。
【０００９】
１つの実施態様において、このシステムは、成形された電子部品をプレスから取り外してカセットへの導くための少なくとも１つのオフ・ローダーモジュールをさらに備えていても良い。このオフ・ローダーモジュールは、少なくとも一方の側に、このオフ・ローダーモジュールをプレスモジュールに相互配列および固定するためのカップリングを備えている。モジュールシステムの基本的な構成は、プレスモジュール、ローダーモジュール、およびサービスモジュールを有する。ローダーモジュールとサービスモジュールはプレスモジュールより体積が小さくて済むので、サービスモジュールは、１ユニット（「シングルモジュール」据付面積を組み合わせて使用）で、ローダーユニットと組み合わせても良い。これらのモジュールがモジュールシステムの基本構成の一部である理由は、プレスモジュールおよびサービスモジュールがないと成形ができないからである。さらに、成形すべき電子部品は大変傷つきやすく、手動装入は選択肢ではなく、複数のプレスモジュールを使用する場合にサービスモジュールの追加の機能性のみが有益であるという経済的な論拠もある。複数のプレスモジュールを備えるシステムの場合、プレスモジュールとオフ・ローダーは、ローダーモジュールから最も距離のある側に直列に配されたプレスモジュールのカップリングによって固定されても良い。
【００１０】
更なる実施態様において、このシステムは、封入材料をプレスモジュールに供給するための少なくとも１つの供給モジュールを更に備えていても良い。成形材料の供給は、（特に、トランスファー成形工程のために）ペレットフィーダーとして実施しても良いが、例えば、液体成形材料供給モジュールおよび/またはサイズド成形材料体（sized moulding material bodies）（例えば、成形材料シート）をプレスモジュールに供給する圧縮成形のための供給モジュールのような、ペレットフィーダーに代わる供給モジュールを備えるようにしても良い。ローダーモジュールとサービスモジュールを統合する可能性に合わせて、供給モジュールをオフ・ローダーモジュールへ統合しても良い。この時、供給モジュールは通常、クリーンルーム条件へのより大きな障害となるため、供給モジュールを製品があまり傷つくことのないモジュールと統合することが最適処理条件を得るために実際的であるという更なる利点がある。伝統的なペレットフィードは、通常、外部ペレットホッパー、重量検定、フィルターユニットおよび他の種々の更なる機能を備える。
【００１１】
本発明のモジュールシステムのさらにもう１つの実施態様において、このシステムは、成形すべき電子部品を伴ったウエファーをＦＯＵＰ支持体から隣接するモジュールに装入するためのＦＯＵＰ・ローダーモジュールをさらに備えても良い。ＦＯＵＰ支持体は「フロント・オープン・ユニバーサルプロダクト支持体（Front Opening Universal Product carrier）」であり、ウエファーを装入するために使用される。本発明によるモジュールシステムに組み込まれたＦＯＵＰ・ローダーは専用の設計からなるか、あるいは、本発明によるモジュールシステムに適用されるインタフェース（ＦＯＵＰ・ローダーのサービスモジュールへの結合の提供および隣接するシステムモジュールの相互整列および固定のためのカップリングの提供）が提供される限り「既製品」であっても良い。ＦＯＵＰ・ローダーに合わせて、このシステムは、電子部品を伴った成形されたウエファーを隣接するモジュールから取り出してＦＯＵＰ・カセットへと導くためのＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュールも備えていても良い。
【００１２】
ローダーモジュールは、少なくとも１つのプレスモジュールへと延在するように構成されたローダーヘッドを有し得る。特定の実施態様において、ローダーモジュールは、１つもしくはそれ以上のプレスモジュールに沿って延在しかつそれによって支持されたガイドと協働するようにし得る。１つ追加のプレスモジュールがモジュールシステムに加えられる状況下では、上記ガイドはまた、１つのプレスモジュール幅で延長されるので、ローダーモジュールのローダーヘッドそれ自体は、そのような状況下でのどのような修正をも不要とする。モジュールシステムの（生産能力に関する）構成の非常に容易な適合を可能とする技術的な解決手段である。同様の理由により、オフ・ローダーモジュール（それがシステムモジュールの一部である場合）は、少なくとも１つのプレスモジュールへと延在するように構成されたクリーニングおよびオフ・ローダーヘッドを備えていても良い。そのようなオフ・ローダーヘッドは、前記少なくとも１つのプレスモジュールに沿って延在しかつそれによって支持されたガイドと協働するようにし得るが、ローダーヘッドおよびオフ・ローダーヘッド両方のための１つのガイドもまた、適用し得る。従って、プレスモジュールは、協働するガイド部材を備え得る。ここでも、モジュールシステムの（自動化レベルに関する）構成の非常に容易な適合を可能とする技術的な解決手段である。ローダーヘッドおよびオフ・ローダーヘッドに関し、それらは、例えば、基板またはリードフレームを取り扱うヘッドを備えていても良いが、ローダーヘッドおよびオフ・ローダーヘッドはまた、ウエファータイプの支持体を取り扱うように構成されていても良い。
【００１３】
さらなる選択肢は、各プレスモジュールに、両側に覆い可能な移動用開口を有するハウジングを備えるようにすることであってもよい。そのような覆い可能な移動用開口は、例えば、プレスモジュールの一方の側には隣接するモジュールが設けられていない場合など、開口を通して製品の交換が不要な状況下において、好ましくは、透明な対応する安全窓および/または部分金属窓によって覆われるように設けられても良いが、一方、２つの隣接するモジュールがそれらモジュール間で製品の交換が必要な場合に、開口を通して製品の移動を妨げないために開口が開かれ得る。この特徴はまた、手動操作装置から、自動製品装填による部分的自動化、そして最大レベルの完全自動製品脱装填まで、および/またはペレットまたは液体エポキシ供給の追加的自動化までの、全ての自動化レベルをサポートする。
【００１４】
本発明によるモジュールシステムの拡張または縮小における簡素化の更なる向上のため、プレスモジュール、サービスモジュール、ローダーモジュール、およびオフ・ローダーモジュールを、それらが備わっている限りにおいて、同じ幅にしても良い。
【００１５】
プレスモジュールの固定および堅固な結合を可能とするため、プレスモジュールに設けられたカップリングはプレス構造の一体的部分とすることができる。というのは、プレス構造（「フレーム」）は成形プロセスの「ハート（hart）」の位置調整を制御するので、プレスモジュールに設けられたカップリングをプレス構造の一体的部分とすることにより、プレスモジュールへの隣接するモジュールのより確実な整列が可能となる。比較的重いモジュールを特別な用具を使用することなく容易に結合するため（特にプレスモジュールは重く、通常、少なくとも数トンの重量がある）、カップリングは雄型カップリング要素と雌型カップリング要素を有し得る。さらに、このような係合カップリングは、装置の組立設置時に最適なインライン位置調整が完了する前に隣接するモジュールを一緒に固定するボールド（bolds）も有し得る。
【００１６】
簡素でさらに信頼性のある構成のため、プレスモジュールは、その両側に２つのカップリングを有し得る。その２つのカップリングは水平か、または、システムモジュールの全てのカップリングさえをも１つの水平平面に配置する。これにより、モジュールシステムのモジュールの正確な水平の相対的な位置調整が可能となり、さらに、モジュールおよび/または設置時または製造中の憂慮すべき環境条件の偏りを正確で小さくする。
【００１７】
本発明は、また、本発明によるモジュールシステムを組み立てるためのパーツキットであって、電子部品を成形するための少なくとも１つのプレスモジュール、成形すべき電子部品をカセットからプレスモジュールへ装入するための少なくとも１つのローダーモジュール、および他のシステムモジュールの各々を少なくとも部分的に制御するように構成されたインテリジェント電子制御システムを含むサービスモジュールを有してなり、システムモジュールが隣接するシステムモジュールの相互整列および固定のための協働カップリングを備え、システムモジュールのこの協働カップリングは隣接するシステムモジュールを直列に整列し固定するように構成されているパーツキットにおいて、前記少なくとも１つのプレスモジュールの協働カップリングが隣接するシステムモジュールの相互整列および固定のための基準点として機能することを特徴とするパーツキットを提供する。このようなパーツキットを用いて本発明のモジュールシステムが実現でき、そのモジュールシステムの効果が実現可能となる。本発明によるパーツキットの効果に関しては、本発明によるモジュールシステムに関して既に上述した効果について参照されたい。
【００１８】
本発明について、以下の図面に示された非限定的な例示的実施態様に基づいて更に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明によるモジュールシステムの最低限の構成を組み立てるためのパーツキットの斜視図である。
【図２】モジュールシステムに沿ってローダーヘッドおよびオフ・ローダーヘッドをガイドするガイド構造を含む、ローダーヘッドおよびオフ・ローダーヘッドの斜視図である。
【図３】ＦＯＵＰ・ローダーの斜視図である。
【図４】サービスモジュール、ローダーモジュール、２つのプレスモジュール、およびオフ・ローダーモジュールを有する、本発明による電子部品を成形するためのモジュールシステムの斜視図である。
【図５】図４に示される実施態様による電子部品を成形するためのモジュールシステムであるが更にＦＯＵＰ・ローダーモジュールおよびＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュールを含むもう１つの実施態様の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、モジュール成形システムの他の全ての他のシステムモジュールを制御するためのインテリジェント電子制御システムを含むサービスモジュール２、成形すべき電子部品をカセットから装入するローダーモジュール３、および電子部品を成形するためのプレスモジュール４を有する、電子部品を成形するためのモジュールシステムの最低限の構成を組み立てるためのパーツキット１の斜視図である。ローダーモジュール３は、後述の図４および図５に示されるように、サービスモジュール２が適合する、オープンスペース５を有する。サービスモジュール２は、コントロールパネル６、およびサービスモジュールを外部の電源に繋げるための接続ポール７を有する。ローダーモジュール３は、図面で見て裏側にドア（図示されていない）を有していても良い。このドアは、ローダーモジュール３内に成形すべき電子部品の支持体を備えたカセットを置くために設けられる。ローダーモジュール３は、図２に示されるように、ローダーヘッド１０の動きを制御する。ローダーモジュール３およびプレスモジュール４は、システムモジュールがこれら隣接するモジュール３，４の相互整列および固定のための協働するカップリング８を備えるようにして、提供される。プレスモジュール４の内部には、図２により詳細に示されるように、ガイド要素を置くために中央スペース９が設けられている。
【００２１】
図２は、ローダーヘッド１０およびオフ・ローダーヘッド１１と共に、これらヘッド１０，１１を電子部品を成形するためのモジュールシステムに沿ってガイドするためのガイド構造１２を示す。ローダーヘッド１０は、（図１に示される）ローダーモジュール３によって制御され、オフ・ローダーヘッド１１は、図４および図５に示されるように、オフ・ローダーモジュールによって制御されることになっている。ガイド構造１２は、複数のガイドパーツ１３−１６（図２では４つ）の直列集成体である。第１のガイドパーツ１３はローダーモジュール３に配置されることになっており、第２のガイドパーツ１４と第３のガイドパーツ１５は、プレスモジュール４に配置されることになっており、最後のガイドパーツ１６は、オフ・ローダーモジュールに配置されることになっている。ガイド構造の長さは、電子部品を成形するための特定のモジュールシステムにおけるモジュールパーツの数およびタイプに応じて、選択されることになっている。
【００２２】
図３は、（傷つきやすい）ウエファー２２の収納のために用いられる密閉式カセット２１を受容するＦＯＵＰ・ローダーモジュール２０（「前面開放ユニバーサル製品支持体（Front Opening universal Product carrier）」）を示す。ＦＯＵＰ・ローダーモジュール２０は、図１に示されるように、ローダーモジュール３に結合されることになっている。ＦＯＵＰ・ローダーモジュール２０は、ウエファー２２を密閉式カセット２１から取り出し、図３に示されるように、選択されたウエファー２２を横に差し出す。図示されるように差し出されたウエファー２２は、次に、図２に示されるように、ローダーヘッド１０を有して取り扱われる隣接するローダーモジュール３（図３には図示されていない）の内部に置かれる。
【００２３】
図４は、サービスモジュール３１、ローダーモジュール３２、２つのプレスモジュール３３，３４、およびオフ・ローダーモジュール３５を有する、本発明による電子部品を成形するためのモジュールシステム３０の斜視図を示す。ここで、このモジュールシステム３０は、ローダーヘッド１０およびオフ・ローダーヘッド１１がモジュール３２−３５に沿って移動できる側である前面側から示されている。モジュール３１−３５はオンライン式の構成で結合され、そのため、カップリング要素８（図４では見えず、図１を参照）が協働する。成形された製品がモジュールシステムから取り出せるように、成形された電子部品の支持体を装入すべきカセットへのアクセスを提供する、オフ・ローダーモジュール３５内のドア３６も示されている。このオフ・ローダーモジュール３５は、ローダーモジュール３２およびプレスモジュール３３，３４と共に、両側に覆い可能な移動用開口３８を備えるハウジング３７を有する。これらの覆い可能な移動用開口３８を開けることにより、隣接するモジュールへの接続ができ、（結合すべき隣接するモジュールがない）端部位置において、移動用開口３８が覆われる。
【００２４】
図５は、図４に示されるモジュールシステム３０の一部としての全てのモジュールを含むが、さらにＦＯＵＰ・ローダーモジュール４１およびＦＯＵＰ・オフ・ローダーモジュール４２をも含む、電子部品を成形するためのモジュールシステム４０の代替実施態様の斜視図を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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