(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体に設けられた動翼部と、静止体に固定された静翼部とで気体を移送するターボ分子ポンプ部を備えた真空ポンプにおいて、
前記静翼部は、所定角度で傾斜した固定翼と、該固定翼を支持するリム部と、を有し、
前記固定翼の側端部は、前記固定翼の傾斜根元からその傾斜先端に向けて形成された支持側壁部を備え、かつ、その支持側壁部を介して前記リム部に支持され、
前記支持側壁部を成形する絞り加工によって前記支持側壁部に亀裂が生じない条件として、前記絞り加工の前に、前記静翼部の前記絞り加工によって前記支持側壁部となる部分が、下記式（Ａ）を満たすように設定されていること
を特徴とする真空ポンプ。
《式》
Ｓ×Ｌ×ｔ１  ≧  Ｖ      …式（Ａ）
Ｓ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の前記回転体の半径方向の幅
Ｌ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の前記回転体の円周方向の長さ
ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の板厚
Ｓ×Ｌ×ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の体積
Ｖ  ：  絞り加工後の支持側壁部の体積
【請求項２】
前記静翼部は、前記固定翼の前記側端部と前記リム部の間に、前記固定翼の前記傾斜先端から前記傾斜根元に向けて切込まれた形態の切欠き部を有すること
を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記絞り加工の前に、前記切欠き部の前記回転体の半径方向の幅が、前記リム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていること
を特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記リム部の幅は、そのリム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていること
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記切欠き部の隅部は、円弧形状になっていること
を特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記切欠き部の吸気口側にガス分子逆流防止構造として庇部が設けられていること
を特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記静翼部に、
前記庇部が設けられていること
を特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記絞り加工の前に、前記静翼部の前記固定翼の前記傾斜先端となる部位と前記リム部の間に、固定翼長さ方向の切込みを形成した場合に、前記切込みの幅は、前記リム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていること
を特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記支持側壁部の前記リム部に対する傾斜角度は９０度未満に設定されていること
を特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記傾斜角度は、下記式（Ｄ）により決定されていること
を特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ。
《式》
ｃ≦Ｒ×ｂ      …式（Ｂ）
Ｒ＝（ｂ＋Δｒ）／ｂ    …式（Ｃ）
θ＝ｃｏｓ−１（ｂ／ｃ）      …式（Ｄ）
ｃ  ：  絞り加工後の支持側壁部の長さ
Ｒ  ：  素材の限界伸び率
ｂ  ：  絞り加工後の支持側壁部をリム部の表面を含む面に投影した長さ
Δｒ：  支持側壁部を構成する素材の限界伸び量
θ  ：  絞り加工後の支持側壁部のリム部に対する傾斜角度
【請求項１１】
前記リム部の前記固定翼の前記傾斜根元と連結している部分が、前記固定翼と同様に傾斜していること
を特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の前記真空ポンプを構成する静翼部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバ、その他のチャンバのガス排気手段等として利用される真空ポンプ及びそれに使用される静翼部に関し、特に、その真空ポンプを構成する固定翼として、絞り加工による亀裂を防止した高剛性の固定翼を備えることにより、真空ポンプとしての耐久性、信頼性および排気性能の向上を図ったものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来の真空ポンプは、例えば特許文献１に開示されている。同文献１の真空ポンプは、回転する動翼部（６）と固定の静翼部（７０）とで気体を移送するターボ分子部を備えている。
【０００３】
そして、特許文献１の真空ポンプにおける前記静翼部（７０）は、同文献１の図３や図４等に開示されている通り、所定角度で傾斜した固定翼（７１）と、該固定翼（７１）を支持するリム部（７５、７６）と、を有している。この固定翼（７１）は絞り加工で形成され、また、固定翼（７１）の剛性を高めるために、その固定翼（７１）の側端部には、絞り加工によって支持側壁部（７５Ｓ、７６Ｓ）を設けている（同文献１の段落００３１および同文献１の図３を参照）。
【０００４】
特許文献１では、前記のような固定翼側端部の支持側壁部（７５Ｓ）において絞り加工による亀裂が生じないようにするための技術として、固定翼（７１）の側端部に、固定翼（７１）の傾斜先端からその傾斜根元に向けて切込まれた形態の切欠き（７５Ｋ）を設ける構成を開示している（同文献１の段落００３１と同文献１の図３を参照）。
【０００５】
しかしながら、前記のような亀裂を生じさせない条件については特許文献１では何ら開示も示唆もない。そのような切欠き（７５Ｋ）を単に設けるだけの構成では、絞り加工によって支持側壁部（７５Ｓ）に生じる亀裂を確実かつ効果的に防止することはできず、真空ポンプの運転を継続することにより、次第にそのような亀裂が拡大する等、真空ポンプとしての耐久性、信頼性の問題が生じる。また、そのような亀裂が少しでも生じると、固定翼（７１）の剛性を高めるという支持側壁部（７５Ｓ）本来の機能が低下し、固定翼（７１）の傾斜角度が変化し易くなる。固定翼（７１）は気体分子の排気に最適な角度で傾斜するように設定されているため、その傾斜角度が少しでも変化すると、排気性能の低下を招くという問題が生じる。
【０００６】
なお、以上の説明中におけるカッコ内の符号は、特許文献１で用いられている符号である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１４−１５９８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、真空ポンプを構成する固定翼として、絞り加工による亀裂を防止した高剛性の固定翼を備えることにより、耐久性、信頼性および排気性能の向上を図るのに好適な真空ポンプ及びそれに使用される静翼部を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、回転体に設けられた動翼部と、静止体に固定された静翼部とで気体を移送するターボ分子ポンプ部を備えた真空ポンプにおいて、前記静翼部は、所定角度で傾斜した固定翼と、該固定翼を支持するリム部と、を有し、前記固定翼の側端部は、前記固定翼の傾斜根元からその傾斜先端に向けて形成された支持側壁部を備え、かつ、その支持側壁部を介して前記リム部に支持され、前記支持側壁部を成形する絞り加工によって前記支持側壁部に亀裂が生じない条件として、前記絞り加工の前に、前記静翼部の前記絞り加工によって前記支持側壁部となる部分が、下記式（Ａ）を満たすように設定されていることを特徴とする。
【００１０】
《式》
Ｓ×Ｌ×ｔ１  ≧  Ｖ      …式（Ａ）
Ｓ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の前記回転体の半径方向の幅
Ｌ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の前記回転体の円周方向の長さ
ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の板厚
Ｓ×Ｌ×ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の体積
Ｖ  ：  絞り加工後の支持側壁部の体積
【００１１】
前記本発明において、前記静翼部は、前記固定翼の前記側端部と前記リム部の間に、前記固定翼の前記傾斜先端から前記傾斜根元に向けて切込まれた形態の切欠き部を有することを特徴としてもよい。
【００１２】
前記本発明において、前記絞り加工の前に、前記切欠き部の前記回転体の半径方向の幅が、前記リム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていることを特徴としてもよい。
【００１３】
前記本発明において、前記リム部の幅は、そのリム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていることを特徴としてもよい。
【００１４】
前記本発明において、前記切欠き部の隅部は、円弧形状になっていることを特徴としてもよい。
【００１５】
前記本発明において、前記切欠き部の吸気口側にガス分子逆流防止構造として庇部が設けられていることを特徴としてもよい。
【００１６】
前記本発明において、前記静翼部に、前記庇部が設けられていることを特徴としてもよい。
【００１７】
前記本発明において、前記絞り加工の前に、前記静翼部の前記固定翼の前記傾斜先端となる部位と前記リム部の間に、固定翼長さ方向の切込みを形成した場合に、前記切込みの幅は、前記リム部の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていることを特徴としてもよい。
【００１８】
前記本発明において、前記支持側壁部の前記リム部に対する傾斜角度は９０度未満に設定されていることを特徴としてもよい。
【００１９】
前記本発明において、前記傾斜角度は、下記式（Ｄ）により決定されていることを特徴としてもよい。
【００２０】
《式》
ｃ≦Ｒ×ｂ      …式（Ｂ）
Ｒ＝（ｂ＋Δｒ）／ｂ    …式（Ｃ）
θ＝ｃｏｓ−１（ｂ／ｃ）      …式（Ｄ）
ｃ  ：  絞り加工後の支持側壁部の長さ
Ｒ  ：  素材の限界伸び率
ｂ  ：  絞り加工後の支持側壁部をリム部の表面を含む面に投影した長さ
Δｒ：  支持側壁部を構成する素材の限界伸び量
θ  ：  絞り加工後の支持側壁部のリム部に対する傾斜角度
【００２１】
前記本発明において、前記リム部の前記固定翼の前記傾斜根元と連結している部分が、前記固定翼と同様に傾斜していることを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、真空ポンプの具体的な構成として、前述の通り、支持側壁部を成形する絞り加工によって支持側壁部に亀裂が生じない条件として、その絞り加工の前に、静翼部の絞り加工によって支持側壁部となる部分が前記式（Ａ）を満たす構成を採用したため、絞り加工による亀裂が支持側壁部に生じることによる不具合、例えば、真空ポンプとしての耐久性の問題や、固定翼の剛性を高めるという支持側壁部本来の機能の低下による固定翼の剛性低下、並びに固定翼の傾斜角度の変化による真空ポンプとしての排気性能の低下等を防止することができ、耐久性、信頼性および排気性能に優れた真空ポンプ及びそれに使用される静翼部を提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明を適用した真空ポンプの全体断面図。
【図２】（ａ）は図１の真空ポンプを構成する静翼部の平面図、（ｂ）はその静翼部を構成する２つの分割静翼部の平面図。
【図３】図２（ａ）中Ａ部付近における静翼部の斜視模式図。
【図４】図３中のＢ矢視図。
【図５】絞り加工前の静翼部（分割静翼部）の平面図。
【図６】図５中のＣＣ断面図。
【図７】図１の真空ポンプに適用されるガス分子逆流防止構造の説明図。
【図８】図３中のＥＥ断面図。
【図９】図３中の矢印Ｄ方向から見た分割静翼部の説明図。
【図１０】静翼部（分割静翼部）の他の実施形態の説明図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明を適用した真空ポンプの全体断面図、図２（ａ）は図１の真空ポンプを構成する静翼部の平面図、図２（ｂ）はその静翼部を構成する２つの分割静翼部の平面図である。
【００２６】
図１の真空ポンプＰは、回転体であるロータ７に設けられた動翼部Ａ１と、静止体である外装ケース１にスペーサ１７を介して固定された静翼部Ａ２とで気体を移送するターボ分子ポンプ部Ｐｔ、およびネジ溝Ｂを利用して気体を移送するネジ溝ポンプ部Ｐｓを備えた複合ポンプとして構成したものであって、例えば、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバ、その他のチャンバのガス排気手段等として利用される。
【００２７】
図１を参照すると、同図の真空ポンプＰの外装ケース１は、筒状のポンプケース１Ａと有底筒状のポンプベース１Ｂとをその筒軸方向に締結ボルトで一体に連結した有底円筒形になっており、ポンプケース１Ａの上端部側は、ガスを吸気するための吸気口２として開口し、また、ポンプベース１Ｂの下端部側面には、ガスを排気するための排気ポート３を設けている。
【００２８】
吸気口２は、ポンプケース１Ａ上縁のフランジに設けた締結ボルトにより例えば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となるチャンバＣｈに接続される。また、排気ポート３は、図示しない配管やバルブを介して補助ポンプに接続される。
【００２９】
ポンプケース１Ａ内の中央部には円筒状のステータコラム４が立設されており、ステータコラム４の内側中心部にはロータ軸５が設けられている。また、ステータコラム４の内側には磁気軸受６が設置されており、この磁気軸受６によりロータ軸５はその軸心周りに回転可能に支持されている。
【００３０】
ステータコラム４の外側にはロータ７が設けられており、このロータ７は、ステータコラム４の外周面を覆う形状の筒部材７Ｂと、この筒部材７Ｂの一端側を塞ぐ形状の端部材７Ａとを備えた構造になっている。
【００３１】
そして、ロータ軸５の先端部はステータコラム４の一端から突出しており、このように突出したロータ軸５の先端部とロータ７の端部材７Ａとが連結されることにより、ロータ７はロータ軸５と一体化した構造になっている。
【００３２】
さらに、ステータコラム４の内側には駆動モータ８が設けられており、この駆動モータ８でロータ軸５をその軸心周りに回転駆動することにより、ロータ７はロータ軸５と一体に回転することができる。
【００３３】
ところで、図１の真空ポンプＰでは、ロータ７の略上半分がターボ分子ポンプ部Ｐｔとして機能し、同ロータ７の略下半分がネジ溝ポンプ部Ｐｓとして機能するように構成してある。このターボ分子ポンプ部Ｐｔとネジ溝ポンプ部Ｐｓは具体的には以下のように構成されている。
【００３４】
《ターボ分子ポンプ部Ｐｔの構造説明》
図１を参照すると、ターボ分子ポンプ部Ｐｔは、吸気口１から排気ポート３に向けて気体を移送する手段として、回転する動翼部Ａ１と固定の静翼部Ａ２とを、ポンプ軸心（具体的にはロータ７もしくはロータ軸５の軸心。以下同様）に沿って交互に複数配置した構造になっている。
【００３５】
動翼部Ａ１は、ロータ７の外周面に一体に形成された複数の回転翼９からなり、これら複数の回転翼９は、ポンプ軸心を中心としてポンプ径方向に放射状に設けられている。また、複数の回転翼９は、いずれも、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。
【００３６】
静翼部Ａ２は、真空ポンプＰの組立時に、ロータ７の外周面側から図２（ｂ）に示す２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を突合せることで、同図（ａ）のように環状に設定されている。
【００３７】
図２（ａ）（ｂ）を参照すると、それぞれの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）は、所定角度で傾斜した固定翼１０と、固定翼１０を支持する内側のリム部１２と、同様に固定翼１０を支持する外側のリム部１３とを、を有している。また、これらの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）は、それぞれの内側のリム部１２の端部又は外側のリム部１３の端部を突合せ端１２ａ又は突合せ端１３ａとして互いに突き合わせることで、同図（ａ）のような環状の静翼部Ａ２として構成される。なお、内外のリム部１２、１３で支持された固定翼１０もまた、先に説明した回転翼９と同様に、放射状に複数配置されている。
【００３８】
ポンプ軸心方向およびポンプ径方向（ポンプ軸心と直交する方向。以下同様）において固定翼１０を位置決め固定する方式として、図１の真空ポンプＰでは、ポンプケース１Ａの内周面に沿って複数のスペーサ１７を段積み積層し、積層したスペーサ１７間に外側のリム部１３を介在させる方式を採用している。
【００３９】
前記のような位置決め固定方式によって真空ポンプＰ内に複数の固定翼１０を配置セットした状態で、複数の固定翼１０は、いずれも、気体分子の排気に最適な角度で傾斜するように予め設定されている。
【００４０】
図３は、図２（ａ）中Ａ部付近における静翼部の斜視模式図、図４は、図３中のＢ矢視図、図５は、絞り加工前の静翼部（分割静翼部）の平面図、図６は図５中のＣＣ図断面図である。
【００４１】
図３を参照すると、固定翼１０の傾斜根元１０Ｅ付近には、内外のリム部１２、１３を繋ぐ繋ぎ部１８が設けられている。そして、この繋ぎ部１８に対して固定翼１０の傾斜根元１０Ｅが連結していることにより、固定翼１０は、内外のリム部１２、１３で支持されている。
【００４２】
固定翼１０の両側端部１０−Ｓ１、１０−Ｓ２のうち、外側のリム部１３に近い方の側端部１０−Ｓ１は、固定翼１０の傾斜先端１０Ｔからその傾斜根元１０Ｅに向けて切込まれた形態の切欠き部１０１（図５参照）と、固定翼１０の傾斜根元１０Ｅからその傾斜先端１０Ｔに向けて形成された支持側壁部１０２（図４参照）とを備え、かつ、その支持側壁部１０２を介して外側のリム部１３で支持されている。つまり、静翼部Ａ２は、固定翼１０の側端部１０−Ｓ１とリム部１３との間に、前記のように切込まれた形態の切欠き部１０１を有している。
【００４３】
固定翼１０の傾斜方向の剛性はこの支持側壁部１０２によって高められており、例えば真空ポンプの組立時において固定翼１０に他の部材が触れるような事態が生じても、最適に設定された固定翼１０の傾斜角度が容易に変化することはない。
【００４４】
前記のような固定翼１０および支持側壁部１０２を含む分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）は、固定翼１０や支持側壁部１０２の形状に対応した金型を用い、固定翼１０のプレス加工および支持側壁部１０２の絞り加工によって形成することができるが、プレス加工および絞り加工自体は周知であるので、その詳細説明は省略する。
【００４５】
固定翼１０の両側端部１０−Ｓ１、１０−Ｓ２のうち、内側のリム部１２に近い方の側端部１０−Ｓ２も、前記のような支持側壁部１０２を備えた構造になっている。なお、この側端部１０−Ｓ２に、前記のような切欠き部１０１を設けることも可能である。
【００４６】
前述の通り、固定翼１０はプレス加工によって形成され、支持側壁部１０２は絞り加工によって形成されるが、その支持側壁部１０２を成形する絞り加工によって支持側壁部１０２に亀裂が生じない条件として、図１の真空ポンプＰでは、絞り加工の前に、静翼部Ａ２の絞り加工によって支持側壁部１０２となる部分が下記式（１）を満たすように設定している。
【００４７】
Ｓ×Ｌ×ｔ１≧Ｖ      …式（１）
Ｓ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分のロータ７（回転体）の半径方向の幅（図５参照）
Ｌ  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分のロータ７（回転体）の半径方向の長さ（図５参照）
ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の板厚（図６参照）
Ｓ×Ｌ×ｔ１  ：  絞り加工によって支持側壁部となる部分の体積
Ｖ  ：  絞り加工後の支持側壁部の体積
【００４８】
前記Ｖの値は実験から求めてもよい。その実験は、例えば、前記Ｓ、Ｌ又はｔ１の値を何度か適宜変更して固定翼１０のプレス加工および支持側壁部１０２の絞り加工を行い、その後に支持側壁部１０２における亀裂の有無を観察することで、最終的に絞り加工による亀裂が生じないＳ、Ｌ、ｔ１を取得してＶを算出するというものである。
【００４９】
ここで、前記式（１）中の"Ｓ×Ｌ×ｔ１＝Ｖ"のように絞り加工前の支持側壁部１０２の体積"Ｓ×Ｌ×ｔ１"を"Ｖ"と同等に設定した場合（同等設定）は、その式の変形、すなわち"Ｓ×Ｌ×ｔ１＝Ｖ"から分かるように、絞り加工後の支持側壁部１０２の体積"Ｓ×Ｌ×ｔ１"は絞り加工による亀裂を防止するのに必要な支持側壁部１０２の体積"Ｖ"に等しいから、前記式（１）中の"Ｓ×Ｌ×ｔ１＝Ｖ"を満たすように絞り加工前の支持側壁部１０２の体積（Ｓ×Ｌ×ｔ１）を設定すると、支持側壁部１０２において絞り加工による亀裂は効果的に防止される。
【００５０】
また、式（１）中の"Ｓ×Ｌ×ｔ１＞Ｖ"のように絞り加工前の支持側壁部１０２の体積"Ｓ×Ｌ×ｔ１"を"Ｖ"より大きく設定した場合は、更に絞り加工対象となる部分（絞り加工前の支持側壁部１０２）の体積"Ｓ×Ｌ×ｔ１"が前述の同等設定に比べて増える分、支持側壁部１０２の絞り加工に余裕ができるので、より一層前述の支持側壁部１０２における亀裂は生じ難くなる。
【００５１】
前記切欠き部１０１の幅ｓ１（＝支持側壁部の幅Ｓ、図５参照）は、必要に応じて適宜変更可能であるが、切欠き部１０１を打ち抜き加工で形成する際、一般に打ち抜く素材の板厚より小さい幅の打ち抜き加工は困難であることや、固定翼１０のプレス加工や支持側壁部１０２の絞り加工のし易さを考慮すれば、下記式（２）で示されるように、絞り加工の前に、切欠き部１０１のロータ７（回転体）の半径方向の幅ｓ１は、リム部１２、１３の板厚ｔ２と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていることが好ましい。
【００５２】
ｓ１≧ｔ２      …式（２）
ｓ１  ：  切欠き部のロータ（回転体）の半径方向の幅（＝支持側壁部の幅Ｓ）
ｔ２    ：  リム部の板厚（図６参照）
【００５３】
前記切欠き部１０１の隅部１０１Ａ、１０１Ｂ（図５参照）は、支持側壁部１０２との境界に位置し、支持側壁部１０２の絞り加工で引き延ばされるので、引き延ばしによる隅部１０１Ａ、１０１Ｂからの亀裂を防止するために、切欠き部１０１の隅部１０１Ａ、１０１Ｂの形状は、円弧形状になっていることが好ましい。
【００５４】
前記外側のリム部１３の幅ｓ２（図５参照）も適宜変更可能であるが、その幅ｓ２は下記式（３）で示されるように、外側のリム部１３の板厚ｔ２（図６参照）と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定するのが好ましい。
【００５５】
ｓ２≧ｔ２      …式（３）
ｓ２  ：  外側のリム部の幅
ｔ２    ：  リム部の板厚
【００５６】
前記のようなリム部１３の幅ｓ２の設定が好ましい理由は、要するに、固定翼１０のプレス加工や支持側壁部１０２の絞り加工では外側のリム部１３を押え部として固定するため、当該素材の板厚ｔ２より外側のリム部１３の幅ｓ２が小さいと、絞り加工時に金型から外側のリム部１３が外れる等、絞り加工上の不具合が生じる可能性が高いからである。
【００５７】
以上のことは、内側のリム部１２を押え部として固定した状態で固定翼１０のプレス加工や支持側壁部１０２の絞り加工を行う場合も、同様である。したがって、その場合は、内側のリム部１２の幅は、そのリム部１２を構成する素材の板厚と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定するのが好ましい。
【００５８】
図７は、図１の真空ポンプに適用されるガス分子逆流防止構造の説明図である。なお図７中に示されている分割静翼部１１（１１Ａ）の断面図は、図３中の矢印Ｄ方向から見た分割静翼部１１（１１Ａ）の断面図に相当する。
【００５９】
先に説明した切欠き１０１は、支持側壁部１０２の絞り加工による亀裂を防止するために重要である反面、吸気口２側へのガス分子の逆流を生じさせ、真空ポンプＰとしての排気性能の低下をもたらす。
【００６０】
このため、図１の真空ポンプＰでは、図７に示したように、ガス分子逆流防止部材として切欠き部１０１の吸気口側に庇部１９を設け、この庇部１９によって切欠き部１０１を介するガス分子の逆流を防止し、真空ポンプＰとしての排気性能の向上を図っている。
【００６１】
図７の例では、前記庇部１９をスペーサ１７（図１参照）の内面に一体に形成しているが、これに限定されることはない。図示は省略するが、静翼部Ａ２に庇部１９が設けられる等、前記庇部１９は真空ポンプＰ内に存在する何らかの固定部材（静止体等）で支持されればよい。
【００６２】
固定翼１０をプレス加工によって形成する際は、絞り加工の前に、固定翼１０の傾斜先端となる部位とリム部１２、１３の間に、固定翼長さ方向の切込み２０（図５および図８参照）を形成する。このような固定翼長さ方向の切込み２０もまた、先に説明した切欠き部１０１と同じく、打ち抜き加工で形成するが、前述の通り、一般に打ち抜く素材の板厚より小さい幅の打ち抜き加工は困難である。このことから、固定翼長さ方向の切込み２０の幅ｓ３（図５および図８参照）は、リム部１２、１３の板厚ｔ２と同等の寸法か若しくはそれより大きい寸法に設定されていることが好ましい。
【００６３】
固定翼１０や支持側壁部１０２並びにリム部１２、１３を含む分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）はアルミ鋼板やステンレス鋼板で形成されるが、その素材の性質上、絞り加工による支持側壁部１０２のリム部１２、１３に対する傾斜角度θ（図９参照）は９０度未満に設定する必要がある。また、その傾斜角度θは下記式（６）により９０度未満の傾斜角度として決定することができる。
【００６４】
ｃ≦Ｒ×ｂ      …式（４）
Ｒ＝（ｂ＋Δｒ）／ｂ    …式（５）
θ＝ｃｏｓ−１（ｂ／ｃ）      …式（６）
ｃ  ：  絞り加工後の支持側壁部の長さ（図９参照）
Ｒ  ：  素材の限界伸び率
ｂ  ：  絞り加工後の支持側壁部をリム部の表面を含む面に投影した長さ（図９参照）
Δｒ：  支持側壁部を構成する素材の限界伸び量
θ  ：  絞り加工後の支持側壁部のリム部に対する傾斜角度
【００６５】
前記ｃ値が前記Ｒ×ｂ値を超えたら、支持側壁部１０２において絞り加工による亀裂が生じるから、そのような亀裂を防止するために、前記ｃ値が前記式（５）を満たす必要がある。つまり、前記式（５）を満たすｃ値であるなら、支持側壁部１０２での絞り加工による亀裂は生じ難い。そのようなｃ値を前記式（６）は含んでθを決定するものであるから、前記式（６）で決定したθの傾斜角度で絞り加工による支持側壁部１０２が形成されるなら、絞り加工による亀裂が支持側壁部１０２に生じる可能性は低いものである。
【００６６】
前記リム部１２、１３の固定翼１０の傾斜根元と連結している部分１８は、図３に示したように、傾斜のない平坦なフラット板状に形成してもよいが、例えば、図１０に示したように、固定翼１０と同様に傾斜してもよい。この場合は、傾斜した繋ぎ部１８もまた、固定翼１０と同じく、ガス分子に下向き方向（吸気口２から排気ポート３へ向かう方向）の運動量を付与する機能を備えるから、真空ポンプとしての更なる排気性能の向上が期待できる。
【００６７】
《ターボ分子ポンプ部Ｐｔの動作説明》
図１の真空ポンプＰでは、駆動モータ８の起動により、ロータ軸５、ロータ７および複数の回転翼９が一体に回転する。この際、ターボ分子ポンプ部Ｐｔでは、最上段の回転翼９が吸気口２から入射したガス分子に下向き方向（吸気口２から排気ポート３へ向かう方向）の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有するガス分子が固定翼１０によって次段の回転翼９側へ送り込まれる。以上のようなガス分子への運動量の付与と送り込み動作とが動翼部Ａ１と静翼部Ａ２の各段で繰り返し多段に行われることにより、吸気口２側のガス分子はロータ７の下流（図１ではロータ７の下方）に向かって順次移行するように排気される。
【００６８】
《ネジ溝ポンプ部Ｐｓの構造説明》
図１を参照すると、ネジ溝ポンプ部Ｐｓは、ロータ７の略下半分とそのロータ７の外周面側に位置するネジ溝ステータ１４とでネジ溝流路１５を形成し、ネジ溝流路１５を通じて気体を排気する。具体的には、図１の真空ポンプＰでは、ロータ７の略下半分が円筒形のネジ溝ステータ１４で囲まれており、このネジ溝ステータ１４の内周面に形成してあるネジ溝Ｂとロータ７の外周面とによって、当該ロータ７の外周面側にネジ溝流路１５が設けられている。
【００６９】
ネジ溝流路１５の入口（上流端側）はターボ分子ポンプ部Ｐｔの下流側に連通し、同ネジ溝流路１５の出口（下流端側）は、ポンプ内排気流路１６を通じて、排気ポート３に連通している。
【００７０】
前記ネジ溝流路１５の他の実施形態として、例えば、前記ネジ溝ステータ１４のネジ溝Ｂを省略し、そのようなネジ溝Ｂをロータ７の外周面に形成する構成や、前記ネジ溝Ｂをロータ７の外周面とネジ溝ステータ１４の内周面との双方に形成する構成を採用することができ、また、前記ネジ溝Ｂをロータ７の外周面の一部やネジ溝ステータ１４の内周面の一部に形成する構成も採用し得る。
【００７１】
前記のような構造からなるネジ溝ポンプ部Ｐｓでは、ネジ溝Ｂとロータ７の外周面でのドラッグ効果により、気体を圧縮しながら移送するため、ネジ溝Ｂの深さは、ネジ溝流路１５の入口側（吸気口２に近い方の流路開口端）で最も深く、その出口側（排気ポート３に近い方の流路開口端）で最も浅くなるように設定してある。
【００７２】
《ネジ溝ポンプ部の動作説明》
図１の真空ポンプＰでは、ターボ分子ポンプ部Ｐｔの排気動作によって、ネジ溝流路１５の入口側にガス分子が到達する。到達したガス分子は、ネジ溝流路１５に流入し、ロータ７の回転による効果、すなわちロータ７の外周面とネジ溝Ｂでのドラッグ効果によって遷移流から粘性流に圧縮されながらポンプ内排気流路１６に向かう。そして、ポンプ内排気流路１６に到達したガス分子の粘性流は、排気ポート３から図示しない補助ポンプによって外装ケース１の外へ排気される。
【００７３】
本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により多くの変形が可能である。
【００７４】
例えば、前記実施形態では、固定翼の両側端部のうち外側のリム部１３に近い方の側端部に支持側壁部が設けられる例について説明したが、本発明は、それに限定されるものではなく、固定翼の両側端部のうち内側のリム部１２に近い方の側端部に支持側壁部が設けられる例にも適用できる。
【００７５】
また、以上説明した各実施形態は組み合わせて使用しても良い。
【００７６】
前記実施形態では、ターボ分子ポンプ部Ｐｔおよびネジ溝ポンプ部Ｐｓを備えた複合ポンプを用いて説明したが、ターボ分子ポンプ部Ｐｔのみを備えた全翼ポンプに用いても良い。
【符号の説明】
【００７７】
１  外装ケース
１Ａ  ポンプケース
１Ｂ  ポンプベース
２  吸気口
３  排気ポート
４  ステータコラム
５  ロータ軸
６  磁気軸受
７  ロータ
７Ａ  端部材
７Ｂ  筒部材
８  駆動モータ
９  回転翼
１０  固定翼
１０Ｅ  固定翼の傾斜根元
１０Ｔ  固定翼の傾斜先端
１０−Ｓ１  外側のリム部に近い方の固定翼の側端部
１０−Ｓ２  内側のリム部に近い方の固定翼の側端部
１１  分割静翼部
１１Ａ  第１の分割静翼部
１１Ｂ  第２の分割静翼部
１２  内側のリム部
１２ａ  内側のリム部の端部
１３  外側のリム部
１４  ネジ溝ステータ
１５  ネジ溝流路
１６  ポンプ内排気流路
１７  スペーサ
１８  リム部の固定翼の傾斜根元と連結している部分
１９  庇部
Ａ１  動翼部
Ａ２  静翼部
Ｂ  ネジ溝
Ｃｈ  チャンバ
Ｐ  真空ポンプ
Ｐｔ  ターボ分子ポンプ部
Ｐｓ  ネジ溝ポンプ部
【図１】
0006735119.tif 000002
【図２】
0006735119.tif 000003
【図３】
0006735119.tif 000004
【図４】
0006735119.tif 000005
【図５】
0006735119.tif 000006
【図６】
0006735119.tif 000007
【図７】
0006735119.tif 000008
【図８】
0006735119.tif 000009
【図９】
0006735119.tif 000010
【図１０】
0006735119.tif 000011