(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（１）内に軸方向へ移動可能に挿入されるピストン（４）と、
前記ピストン（４）に軸方向に形成される収容孔（５）と、
前記収容孔（５）に軸方向へ移動可能に挿入される出力ロッド（６）と、
前記ピストン（４）と前記出力ロッド（６）との間に装着されると共に、前記ピストン（４）と前記出力ロッド（６）とを離間させるように付勢する付勢手段（９）と、
前記ピストン（４）の基端側に形成されると共に、圧力流体が供給および排出される作動室（１５）と、
前記ピストン（４）を軸方向の基端側へ付勢するように前記ハウジング（１）内で前記ピストン（４）の先端側に設けられるロックバネ（１６）と、
前記ピストン（４）の軸方向への移動を前記出力ロッド（６）の旋回運動に変換させる変換機構（２２）と、
前記収容孔（５）の内周壁および前記出力ロッド（６）の外周壁のうちのいずれか一方に周方向に形成される案内溝（２８）であって、その案内溝（２８）の周方向の端部に形成された係止部（２９）を有する案内溝（２８）と、
前記収容孔（５）の内周壁および前記出力ロッド（６）の外周壁のうちの他方に設けられる係合部材（３１）であって、前記案内溝（２８）に挿入されると共に、前記係止部（２９）に当接可能に周方向に所定の間隔をあけて対面される係合部材（３１）と、を備える、
ことを特徴とする旋回式クランプ。
【請求項２】
請求項１の旋回式クランプにおいて、
前記変換機構（２２）は、
前記収容孔（５）の内周壁に螺旋状に形成される操作溝（２３）と、
前記出力ロッド（６）の外周壁に形成される旋回溝（２４）と、
前記旋回溝（２４）の基端部（２４ａ）と前記旋回溝（２４）の先端部（２４ｂ）とを軸方向へ連通させるように前記出力ロッド（６）の外周壁に形成される循環溝（２５）と、
前記操作溝（２３）と前記旋回溝（２４）との間および前記収容孔（５）の内周面と前記循環溝（２５）との間に挿入される伝動部材（２６）と、を備える、
ことを特徴とする旋回式クランプ。
【請求項３】
請求項１または２の旋回式クランプにおいて、
検出用の圧力流体が供給されるように前記ハウジング（１）に形成される流路と、
前記ピストン（４）によって前記流路を開閉させる検出弁（４０，５０）であって、前記流路に設けられる検出弁（４０，５０）と、を備え、
前記流路は、
前記ハウジング（１）内に形成される供給路（３６，３７）と、
前記供給路（３６，３７）に連通されるように前記検出弁（４０，５０）内に形成される弁孔（４２，５２）と、
前記弁孔（４２，５２）に連通されるように前記ハウジング（１）と前記ピストン（４）との間に形成される排出路と、を備える、
ことを特徴とする旋回式クランプ。
【請求項４】
請求項３の旋回式クランプにおいて、
前記検出弁（４０，５０）は、
前記弁孔（４２，５２）の内周壁に形成される弁座（４４，５４）と、
前記弁座（４４，５４）に当接可能となるように前記弁孔（４２，５２）内に進退可能に挿入される弁部材（４５，５５）であって、前記弁孔（４２，５２）内に設けられる付勢手段（４６，５６）によって前記ピストン（４）に向けて付勢される弁部材（４５，５５）と、を備える、
ことを特徴とする旋回式クランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、出力ロッドを旋回させる形式のクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の旋回式クランプには、従来では、特許文献１(日本国・特開平１０−１０９２３９号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング内にピストンが上下方向へ移動可能に挿入される。そのピストンの上面に開口される収容孔に、出力ロッドの下部が上下方向へ移動可能に挿入される。ピストンの上側にロックバネが装着され、そのロックバネの下端部がピストンの上面に当接される。また、そのロックバネの下端部が、出力ロッドの外周壁に形成された段差部の上面に当接可能となるように所定の間隔をあけて対面される。ピストンの下側に、圧油が供給および排出される作動室が設けられる。上記の出力ロッドの下端部と収容孔の底壁との間に圧縮バネが装着される。収容孔の内周壁に操作溝が螺旋状に形成されると共に、その操作溝に対面するように旋回溝が出力ロッドの下部の外周壁に形成される。その操作溝と旋回溝との間に伝動ボールが挿入される。
そして、上記の旋回式クランプをロック駆動させるときには、作動室の圧油を排出すると、ロックバネがピストンを下方へ真っ直ぐに移動させていく。すると、圧縮バネがピストンと出力ロッドとを離間させることにより、ピストンが操作溝と伝動ボールと旋回溝を介して出力ロッドを回転させる。次いで、出力ロッドの段差部の上面がロックバネの下端部に当接されることにより、出力ロッドの回転が停止される。引き続いて、ピストンと出力ロッドとが一体的に下方へ真っ直ぐに移動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本国公開特許公報「特開平１０−１０９２３９号公報」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の従来技術は次の問題がある。
上記の従来の旋回式クランプのロック駆動行程の途中で、出力ロッドの段差部がロックバネの下端部に下方から緩やかに当接される場合には、出力ロッドがピストンに対して周方向の所定位置で停止される。これに対して、出力ロッドの段差部がロックバネの下端部に勢いよく当接される場合には、出力ロッドの周方向への慣性力によって当該出力ロッドの旋回溝が伝動ボールを介して収容孔の操作溝に強力にねじ込まれて、出力ロッドがピストンに対して上記の所定位置よりも周方向に行き過ぎた位置で停止される。
また、旋回溝や操作溝や伝動ボールの摩耗によって伝動ボールと旋回溝との係合隙間の寸法および伝動ボールと操作溝との係合隙間の寸法が増加されることにより、出力ロッドがピストンに対して上記の所定位置よりも周方向に行き過ぎた位置で停止される。
本発明の目的は、旋回式クランプの出力ロッドを周方向の所定位置に確実に停止させることができる旋回式クランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図３Ｃに示すように、旋回式クランプを次のように構成した。
ハウジング１内にピストン４が軸方向へ移動可能に挿入される。前記ピストン４に収容孔５が軸方向に形成される。前記収容孔５に出力ロッド６が軸方向へ移動可能に挿入される。前記ピストン４と前記出力ロッド６との間に装着される付勢手段９が、前記ピストン４と前記出力ロッド６とを離間させるように付勢する。前記ピストン４の基端側に作動室１５が形成され、その作動室１５に圧力流体が供給および排出される。前記ピストン４を軸方向の基端側へ付勢するように前記ハウジング１内で前記ピストン４の先端側にロックバネ１６が設けられる。前記ピストン４の軸方向への移動が変換機構２２によって前記出力ロッド６の旋回運動に変換される。前記収容孔５の内周壁および前記出力ロッド６の外周壁のうちのいずれか一方に案内溝２８が周方向に形成され、その案内溝２８の周方向の端部に係止部２９が形成される。前記収容孔５の内周壁および前記出力ロッド６の外周壁のうちの他方に設けられる係合部材３１が、前記案内溝２８に挿入される。その係合部材３１が前記係止部２９に当接可能に周方向に所定の間隔をあけて対面される。【０００６】
本発明は次のように作用効果を奏する。
上記の旋回式クランプでは、係合部材が案内溝の係止部に周方向に受け止め可能となるように構成されることにより、出力ロッドがピストンに対して周方向の所定位置に確実に停止される。【０００７】
上記の本発明は、下記の（１）から（３）の構成を加えることが好ましい。
（１）  前記変換機構２２は、操作溝２３と旋回溝２４と循環溝２５と伝動部材２６とを有する。前記収容孔５の内周壁に操作溝２３が螺旋状に形成される。前記出力ロッド６の外周壁に旋回溝２４が形成される。前記出力ロッド６の外周壁に形成される循環溝２５が、前記旋回溝２４の基端部２４ａと前記旋回溝２４の先端部２４ｂとを軸方向へ連通させる。前記操作溝２３と前記旋回溝２４との間および前記収容孔５の内周面と前記循環溝２５との間に伝動部材２６が挿入される。
この場合、ピストンを軸方向へ押す力を操作溝と伝動部材と旋回溝とを介して出力ロッドに確実に伝達させることができる。【０００８】
（２）  検出用の圧力流体が供給される流路が前記ハウジング１に形成される。前記ピストン４によって前記流路を開閉させる検出弁４０，５０が、前記流路に設けられる。前記流路は、供給路３６，３７と弁孔４２，５２と排出路とを有する。前記ハウジング１内に供給路３６，３７が形成される。前記検出弁４０，５０内に形成される弁孔４２，５２が前記供給路３６，３７に連通される。前記ハウジング１と前記ピストン４との間に形成される排出路が前記弁孔４２，５２に連通される。
この場合、ピストンが所定の位置に移動されたことが検出弁によって確実に検出される。【０００９】
（３）前記検出弁４０，５０は、弁座４４，５４と弁部材４５，５５とを有する。前記弁孔４２，５２の内周壁に弁座４４，５４が形成される。前記弁座４４，５４に当接可能となるように弁部材４５，５５が前記弁孔４２，５２内に進退可能に挿入される。その弁部材４５，５５が、前記弁孔４２，５２内に設けられる付勢手段４６，５６によって前記ピストン４に向けて付勢される。
この場合、ピストンが所定の位置に移動されると、そのピストンが弁部材を操作して弁部材が弁座から離間される。これにより、確実に検出される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態を示し、アンクランプ状態の旋回式クランプを示す断面図である。
【図２】図２は、上記の旋回式クランプのクランプ状態を示す断面図であって、上記図１に類似する図である。
【図３】図３Ａは、上記の図１中の３Ａ−３Ａ線矢視断面図である。図３Ｂは、上記の図３Ａ中の３Ｂ線に沿って旋回式クランプのピストンを切断して、その切断面を外方から見た状態を示す展開図である。図３Ｃは、旋回式クランプの上記の図３Ａ中の３Ｃ線に沿って旋回式クランプの出力ロッドを切断して、その切断面を外方から見た状態を示す展開図である。
【図４】図４Ａから図４Ｃは、本発明の第２実施形態を示している。図４Ａは、アンクランプ状態の旋回式クランプ装置を示す断面図であって、図３Ａに類似する図である。図４Ｂは、図４Ａ中の４Ｂ−４Ｂ線矢視断面図である。図４Ｃは、図４Ａ中の４Ｃ−４Ｃ線矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態を図１から図３Ｃによって説明する。
この実施形態では、シリンダ装置をワーク固定用の旋回式クランプに適用した場合を例示してある。まず、図１に基づいて上記の旋回式クランプの全体構造を説明する。
【００１２】
固定台としてのテーブルＴにハウジング１が複数のボルト（図示せず）によって取り付けられる。そのハウジング１は、下方から順に形成される下壁１ａと胴部１ｂと上壁１ｃとを有する。ハウジング１の胴部１ｂにシリンダ孔２が形成され、そのシリンダ孔２が、下側から順に形成された大径孔２ａと小径孔２ｂとを有する。
【００１３】
上記の大径孔２ａにピストン４が上下方向へ移動可能で保密状に挿入される。そのピストン４に収容孔５が上方に向けて開口される。その収容孔５に出力ロッド６の下部が上下方向へ移動可能に挿入されると共に、出力ロッド６の上部がハウジング１の上壁１ｃに上下方向へ移動可能かつ軸心回りに旋回可能で保密状に挿入される。その出力ロッド６の上部にクランプアーム７が装着される。その出力ロッド６の下部に装着孔８が形成され、その装着孔８に圧縮バネ（付勢手段）９が装着される。その圧縮バネ９の上端部が装着孔８の天井壁に当接されると共に、圧縮バネ９の下端部がバネ受け１０と係合ボール１１とを介して収容孔５の底壁に当接される。これにより、圧縮バネ９の付勢力がピストン４と出力ロッド６とを離間させる方向へ作用する。
【００１４】
上記ピストン４を上下方向（軸方向）へ移動させる駆動手段１３がハウジング１内に設けられる。その駆動手段１３は、次のように構成される。
上記ピストン４の上側にバネ室１４が形成されると共に、ピストン４の下側に作動室１５が形成される。バネ室１４内にロックバネ１６が装着され、そのロックバネ１６がハウジング１の上壁１ｃに対してピストン４を下方へ付勢する。そのバネ室１４には、外気と連通する呼吸孔１４ａが連通される。また、作動室１５に圧油（圧力流体）を給排する給排路１７が、ハウジング１の胴部１ｂに形成される。
【００１５】
図１（および図３Ａ）に示すように、上記のピストン４の外周壁に案内溝１８が上下方向に形成される。ハウジング１の胴部１ｂから半径方向の内方に突設されるピン１９が、案内溝１８に挿入される。そのピン１９と案内溝１８とによってピストン４が上下方向へ案内されると共に、ハウジング１に対して回り止めされる。
【００１６】
上記のピストン４の上下方向への移動を出力ロッド６の旋回運動に変換する変換機構２２が、ピストン４の収容孔５の内周壁と出力ロッド６の外周壁との間に設けられる。その変換機構２２は、図３Ａから図３Ｃに示すように、次のように構成される。
【００１７】
図３Ｂ（および図１）に示すように、ピストン４の収容孔５の内周壁に操作溝２３が螺旋状に形成される。また、図３Ｃ（および図１）に示すように、操作溝２３に対面するように旋回溝２４が出力ロッド６の外周壁にほぼ１ピッチ分だけ形成される。その旋回溝２４の下端部（基端部）２４ａと上端部（先端部）２４ｂとをほぼ上下方向へ連通させる循環溝２５が出力ロッド６の外周壁に形成される。このため、循環溝２５を上下方向に対して傾斜させた方向へ向けて形成した場合に比べて、循環溝２５の周方向の寸法を短くできる。また、操作溝２３と旋回溝２４との間、および、収容孔５の内周面と循環溝２５との間に複数の伝動ボール（伝動部材）２６が転動可能に挿入される。ピストン４が上下方向へ移動されると、そのピストン４が操作溝２３と伝動ボール２６と旋回溝２４とを介して出力ロッド６を旋回させながら上下方向へ移動させる。
【００１８】
図３Ａ（及び図１）に示すように、ピストン４の収容孔５の内周壁に案内溝２８が周方向に形成される。案内溝２８の周方向の端部に係止部２９が形成される。上記の出力ロッド６の外周壁に凹部３０が上下方向に形成され、その凹部３０に係合ピン（係合部材）３１が装着される。その係合ピン３１が案内溝２８に挿入され、係合ピン３１が案内溝２８の係止部２９に周方向に所定の間隔をあけて当接可能に対面される。また、係合ピン３１にネジ孔３１ａが当該上下方向に形成され、そのネジ孔３１ａに、係合ピン３１を凹部３０から取り外すためのネジが螺合可能となっている。
【００１９】
上記のシリンダ装置は、図１および図２に示すように、次のように作動する。
図１のリリース状態では、作動室１５に圧油が供給されている。その作動室１５の圧油がピストン４をロックバネ１６の付勢力に抗して上方へ押圧することにより、そのピストン４の収容孔５の底壁が出力ロッド６の下端部を上方へ押動させている。これにより、出力ロッド６の高さ方向の途中部に形成された段差部６ａが、ハウジング１の上壁１ｃに装着されたスラストベアリング３４に上限位置で受け止められている。
【００２０】
上記の旋回式クランプを図１のリリース状態から図２のロック状態へ切換えるときには、作動室１５の圧油が排出されて、ロックバネ１６がピストン４を下方へ移動させていく。すると、出力ロッド６の装着孔８に装着された圧縮バネ９によって出力ロッド６が上限位置に置き残された状態で、その出力ロッド６に対してピストン４が下方へ離間されていく。すると、ピストン４の操作溝２３が伝動ボール２６を介して出力ロッド６の旋回溝２４を下方へ押動させていく。次いで、ピストン４に対して出力ロッド６が平面視で時計回りの方向へ90°だけ回転される。このとき、図３Ｂ（および図３Ａ）中に実線で示すリリース位置の係合ピン３１が、図３Ｂ（および図３Ａ）中に二点鎖線で示す係合ピン３１のロック位置まで移動され、ピストン４の係止部２９に周方向から受け止められる。引き続いて、ロックバネ１６がピストン４と出力ロッド６とを下方へ真っ直ぐに移動させていく。これにより、クランプアーム７の左端部がワーク（図示しない）に上方から当接される。その結果、上記の旋回式クランプが図１のアンクランプ状態から図２のクランプ状態に切換えられる。
【００２１】
上記の旋回式クランプを図２のロック状態から図１のリリース状態へ切換えるときには、作動室１５に圧油を供給していくと、作動室１５の圧油に相当する押力がロックバネ１６の付勢力に抗してピストン４を上方へ移動させるように作用する。すると、ピストン４が圧縮バネ９を介して出力ロッド６を上方へ真っ直ぐに移動させていく。次いで、出力ロッド６の段差部６ａがスラストベアリング３４に上方から受け止められると、ピストン４が圧縮バネ９を押し縮めていく。すると、ピストン４の操作溝２３が伝動ボール２６を介して出力ロッド６の旋回溝２４を上方へ押圧していく。すると、ピストン４に対して出力ロッド６が平面視で反時計回りの方向へ９０°だけ回転される。引き続いて、ピストン４の収容孔５の底壁が出力ロッド６の下端部に上方から受け止められる。これにより、上記の旋回式クランプが図２のクランプ状態から図１のアンクランプ状態に切換えられる。
【００２２】
上記の第１実施形態は次の長所を奏する。
上記の旋回式クランプでは、出力ロッド６の係合ピン３１がピストン４の案内溝２８の係止部２９に周方向から受け止め可能に構成される。これにより、ピストン４が変換機構２２を介して出力ロッド６を周方向の所定位置に確実に停止させることができる。その結果、クランプアームがワーク上の所定位置で当該ワークを押圧できる。
【００２３】
（第２実施形態）
図４Ａから図４Ｃは、本発明の第２実施形態を示している。この第２実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００２４】
図４Ａから図４Ｃに示すように、前記ハウジング１の胴部１ｂには、ロック検出用エアを供給する第１供給路３６と、リリース検出用エアを供給する第２供給路３７とが形成される。その第１供給路３６に連通される第１装着孔３８がハウジング１の胴部１ｂに形成される。また、第２供給路３７に連通される第２装着孔３９がハウジング１の胴部１ｂに形成される。その第１装着孔３８と第２装着孔３９とは、それぞれ、シリンダ孔２の大径孔２ａに連通される。
【００２５】
前記の第１装着孔３８には、ピストン４がロック位置へ移動されたことを検出する第１検出弁（検出弁）４０が装着される。また、第２装着孔３９には、ピストン４がリリース位置へ移動されたことを検出する第２検出弁（検出弁）５０が装着される。
【００２６】
上記の第１検出弁４０は、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、次のように構成される。
前記の第１装着孔３８に第１検出弁４０の弁ケース４１が保密状に螺合される。弁ケース４１の左部に第１弁孔（弁孔）４２が形成される。その弁ケース４１の筒壁に第１連通孔４３が形成され、その第１連通孔４３によって第１供給路３６と第１弁孔４２とが連通される。その第１弁孔４２の内周壁にテーパー状の第１弁座（弁座）４４が形成される。第１弁孔４２内に第１係合ボール（弁部材）４５と第１進出バネ（付勢手段）４６とが装着され、その第１進出バネ４６によって第１係合ボール４５が第１弁座４４に向けて付勢される。
【００２７】
上記の第２検出弁５０は、図４Ａおよび図４Ｃに示すように、次のように構成される。
前記の第２装着孔３９に第２検出弁５０の弁ケース５１が保密状に螺合される。弁ケース５１の左部に第２弁孔（弁孔）５２が形成される。その弁ケース５１の筒壁に第２連通孔５３が形成され、その第２連通孔５３によって第２供給路３７と第２弁孔５２とが連通される。その第２弁孔５２の内周壁にテーパー状の第２弁座（弁座）５４が形成される。第２弁孔５２内に第２係合ボール（弁部材）５５と第２進出バネ（付勢手段）５６とが装着され、その第２進出バネ５６によって第２係合ボール５５が第２弁座５４に向けて付勢される。
【００２８】
前記ピストン４の外周壁に第１係合溝４７と第２係合溝５７とが、それぞれ、上下方向へ形成される。その第１係合溝４７の上側に連続するように第１退避溝４８がピストン４の外周壁に形成される。その第１係合溝４７および第１退避溝４８に第１検出弁４０の第１係合ボール４５が挿入される。また、上記の第２係合溝５７の下側に連続するように第２退避溝５８がピストン４の外周壁に形成される。その第２係合溝５７および第２退避溝５８に第２検出弁５０の第２係合ボール５５が挿入される。
【００２９】
上記の旋回式クランプの第１検出弁４０および第２検出弁５０は、次のように作動する。
図４Ａから図４Ｃのリリース状態では、作動室１５に供給された圧油によってピストン４が上限位置へ移動されている。
このとき、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、ピストン４の第１係合溝４７が第１係合ボール４５を右方へ移動させている。このため、その第１係合ボール４５が第１弁座４４から離間されている。従って、第１検出弁４０は、開弁されている。これにより、第１供給路３６内の圧縮エアが、第１連通孔４３と第１弁孔４２と開弁隙間と第１係合溝４７と第１退避溝４８と呼吸孔１４ａとを通って外部へ排出される。
また、図４Ａおよび図４Ｃに示すように、ピストン４の第２退避溝５８に第２係合ボール５５が挿入されている。このため、上記の第２進出バネ５６によって第２係合ボール５５が第２弁座５４に当接されている。従って、第２検出弁５０は、閉弁されている。これにより、第２供給路３７の圧縮エアの圧力が上昇し、その圧力上昇が（図示しない）圧力センサによって検出される。その結果、ピストン４がリリース位置（上限位置）に移動されていることが検出される。
【００３０】
上記の旋回式クランプを図４Ａから図４Ｃのリリース状態からロック状態へ切換えるときには、作動室１５の圧油が排出されると共に、ロックバネ１６がピストン４を下方へ移動させていく。すると、出力ロッド６の装着孔８に装着された圧縮バネ９によってピストン４が下方へ移動されていく。このとき、ピストン４の第２退避溝５８の上側周壁が第２検出弁５０の第２係合ボール５５を右方へ移動させる。このため、その第２係合ボール５５が第２弁座５４から離間され、第２検出弁５０が開弁される。これにより、第２供給路３７内の圧縮エアが、第２連通孔５３と第２弁孔５２と開弁隙間と第２係合溝５７と第２退避溝５８と呼吸孔１４ａとを通って外部へ排出される。
引き続いて、クランプアーム７の左端部がワーク（図示しない）に上方から当接される。その結果、上記の旋回式クランプが図１のアンクランプ状態から図２のクランプ状態に切換えられる。このとき、第１検出弁４０の第１係合ボール４５が第１退避溝４８に挿入される。このため、第１進出バネ４６が第１係合ボール４５を左方へ移動させ、その第１係合ボール４５が第１弁座４４に当接される。これにより、第１供給路３６内の圧縮エアの圧力が上昇され、その上昇圧力が（図示しない）圧力センサによって検出される。その結果、ピストン４がロック位置（下降位置）に移動されていることが検出される。
【００３１】
なお、本実施形態において、ロック検出用エアを供給する第１流路（流路）は、第１供給路３６と第１連通孔４３と第１弁孔４２と開弁隙間とシリンダ孔２（第１係合溝４７および第１退避溝４８）と呼吸孔１４ａとから構成される。また、リリース検出用エアを供給する第２流路（流路）は、第２供給路３７と第２連通孔５３と第２弁孔５２と開弁隙間とシリンダ孔２（第２係合溝５７および第２退避溝５８）と呼吸孔１４ａとから構成される。
本実施形態において、ロック検出用エアを排出する第１排出路（排出路）は、シリンダ孔２と第１係合溝４７および第１退避溝４８との間に形成される空間と、呼吸孔１４ａとによって構成される。また、リリース検出用エアを排出する第２排出路（排出路）は、シリンダ孔２と第２係合溝５７および第２退避溝５８との間に形成される空間と、呼吸孔１４ａとによって構成される。
【００３２】
上記の実施形態は次のように変更可能である。
上記の圧力流体は、例示した圧油に代えて、他の液体または圧縮空気等の気体であってもよい。
前記係合ピン３１を装着する凹部３０は、出力ロッド６の外周壁に形成されるのに代えて、ピストン４の収容孔５の内周壁に形成されてもよい。また、上記の案内溝２８は、ピストン４の収容孔５の内周壁に形成されるのに代えて、出力ロッド６の外周壁に形成されてもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３３】
１：ハウジング，４：ピストン，５：収容孔，６：出力ロッド，９：付勢手段，１５：作動室，１６：ロックバネ，２２：変換機構，２３：操作溝，２４：旋回溝，２４ａ：下端部（基端部），２４ｂ：上端部（先端部），２５：循環溝，２６：伝動ボール（伝動部材），２８：案内溝，２９：係止部，３１：係合ピン（係合部材），３６：供給路，３７：供給路，４０：第１検出弁（検出弁），４２：第１弁孔（弁孔），４４：第１弁座（弁座），４５：弁部材，４６：第１進出バネ（付勢手段），５０：第２検出弁（検出弁），５２：第１弁孔（弁孔），５４：第２弁座（弁座），５５：弁部材，５６：第２進出バネ（付勢手段）．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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