(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手状のスケール部と、スケール部に対して相対的にスライド移動可能に設けられたスライダと、を備え、前記スケール部に対する前記スライダの相対変位量あるいは相対位置を検出する直線変位測定装置であって、
前記スケール部は、長手状のスケールと、前記スケールを収容するスケールホルダと、を備え、
前記スケールは、前記スケールホルダの内部において、前記スケールホルダに形成されたスケール保持用のスケール保持溝に嵌め込まれた状態で保持されており、
さらに、前記スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置され、前記スケールを前記スケール保持溝に押し付ける支持部材を備え、
前記支持部材は、
前記スケールホルダの内壁と前記スケールとの間に配置された平行板バネで構成され、前記スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、
前記スケールの側面を前記スケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有しており、
前記支持部材は、
Ｔ字型の原板のＴ字の横棒の両端を同じ側に略９０度折り曲げて前記脚部とし、
Ｔ字の縦棒を前記脚部とは反対側に略９０度折り曲げて前記アーム部とした
ことを特徴とする直線変位測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の直線変位測定装置において、
前記支持部材は、前記スケールの両端またはいずれか一方の端に配設されている
ことを特徴とする直線変位測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の直線変位測定装置において、
前記スケール保持用の溝内において、前記スケールホルダと前記スケールとの間にはゴムが所定のピッチで配置されている
ことを特徴とする直線変位測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の直線変位測定装置において、
前記スケール保持用の溝内において、前記スケールホルダと前記スケールとの間には、前記ゴムに加えて接着剤が配置され、
前記接着剤は前記ゴムと前記ゴムとの間にあって、前記ゴムと前記接着剤とはそれぞれ所定のピッチで配置されている
ことを特徴とする直線変位測定装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の直線変位測定装置において、
前記スケールホルダは、アルミニウムあるいはアルミニウムを主成分とする合金で形成され、
前記スケールはガラスで構成されている
ことを特徴とする直線変位測定装置。
【請求項６】
直線変位測定装置のスケール部において、スケールホルダの内部にスケールを保持するスケール保持構造であって、
前記スケールは、前記スケールホルダの内部において、前記スケールホルダに形成されたスケール保持用のスケール保持溝に嵌め込まれた状態で保持されており、
さらに、前記スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置され、前記スケールを前記スケール保持溝に押し付ける支持部材を備え、
前記支持部材は、
前記スケールホルダの内壁と前記スケールとの間に配置された平行板バネで構成され、前記スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、
前記スケールの側面を前記スケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有し、
前記支持部材は、
Ｔ字型の原板のＴ字の横棒の両端を同じ側に略９０度折り曲げて前記脚部とし、
Ｔ字の縦棒を前記脚部とは反対側に略９０度折り曲げて前記アーム部とした
ことを特徴とするスケール保持構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は直線変位測定装置に関し、具体的には、スケールをスケールホルダに保持するためのスケール保持構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種産業機械において精密な位置制御を行うため、変位測定装置、いわゆるエンコーダが利用される。直線変位測定装置１００を図１に示す。直線変位測定装置１００は、長手状のスケール部２００と、スケール部２００に対して相対的にスライド移動可能に設けられたスライダ３００と、を有する。
【０００３】
直線変位測定装置１００は、例えば、移動ステージ９０に取り付けられる。移動ステージ９０が、基台９１と、基台９１に対してスライド移動可能なステージ９２と、で構成されているとする。このとき、スケール部２００がステージ９２の側端面にネジ止めされ、スライダ３００が基台９１にネジ止めされる。この構成により、基台９１に対するステージ９２の相対変位が精密に測定される。
【０００４】
図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
スケール部２００は、長手状のスケール２１０（図２参照）と、スケール２１０を収容するスケールホルダ２２０と、を備える。スケール２１０は、主としてガラス基板で構成されており、測長軸方向に目盛りが形成されている。光電式の例でいうと目盛りは回折格子である。
【０００５】
スケールホルダ２２０は中空かつ長尺状であり、例えばアルミニウム等の（軽量の）金属製であることが多い。スケールホルダ２２０は、その側面に軸方向に沿ったスリット２２２を有し、このスリット２２２を介して内側と外側とが繋がっている。スケールホルダ２２０には、取り付け固定用の孔１３が複数穿設されており、この孔１３によりスケールホルダ２２０はステージ９２にネジ止めされる。
スケール２１０は、スケールホルダ２２０の内部において、スケールホルダ２２０に形成されたスケール保持用の溝２４０（以後、スケール保持溝と称する）に嵌め込まれた状態で保持されている。
【０００６】
スライダ３００は、スケールホルダ２２０の長手方向に相対移動可能に設けられており、スケール２１０に対する相対変位量あるいは相対位置を検出する。スライダ３００は、スケール２１０上をスケール２１０に沿って走行する走行体４００と、スケールホルダ２２０の外部にあってスケール部２００に沿ってスライド移動するキャリッジ部３１０と、走行体４００とキャリッジ部３１０とを連結する連結手段５００と、を備える。
【０００７】
走行体４００は、ベースフレーム部４１０と、複数のローラ４２１、４２２と、ベースフレーム部４１０に取り付けられた検出部４３０と、を備える。
いま、スケール２１０の側面（図２で下側になっているスケールの側面）が基準面となっており、真直かつ平坦面に仕上げられている。ローラ４２２がスケール２１０の下側側面に当たりながら転動することで、走行体４００はスケール２１０の基準面にガイドされて真直に移動するようになる。
【０００８】
この構成において、ステージ９２がスライド移動すると、これに伴ってスケール部２００とキャリッジ部３１０とが相対変位する。連結手段５００によってキャリッジ部３１０と走行体４００とが連結されているので、キャリッジ部３１０とともに走行体４００がスケール２１０に対して相対移動する。このとき、検出部４３０がスケール２１０に対する相対変位量を検出し、外部に出力する。
【０００９】
ところで、スケールホルダ２２０は中空かつ長尺状であり、例えばアルミニウム等の（軽量の）金属製であることが多い。一方、スケール２１０は主としてガラス基板で構成されている。
スケール２１０とスケールホルダ２２０とでは材質が異なるわけであるから熱膨張係数が異なる。例えば、長尺のスケール２１０を考えると、保障温度内でも両者にはミリメートル単位の伸縮差が生じる。近年ではスケール２１０が３ｍを超えるような長尺化の傾向にある。
直線変位測定装置１００の保管保障温度は−２０℃から７０℃の範囲であるが、この場合、保障温度内でも両者には両端で１．５ｍｍ程度の伸縮差が生じる。
したがって、スケール２１０をスケールホルダ２２０に取り付けるにあたっては、完全に固定しまうのではなく、ある程度伸縮差を許容できるようにしておく必要がある。
【００１０】
図２からスケール２１０とスケールホルダ２２０とを抜き出して図３に示す。
また、図３のＩＶ−ＩＶ線断面図を図４に示した。
前述の通り、スケール２１０は、スケールホルダ２２０に形成されたスケール保持溝２４０に嵌め込まれた状態で保持されている。このとき、細い円柱状の丸ゴム２５０がスケールホルダ２２０とスケール２１０との間に押し込まれる。
図４に示されるように、丸ゴム２５０は測長方向に所定のピッチＰで配設される。
ゴム２５０の弾性によって、スケール２１０がスケールホルダ２２０に押し付けられ（付勢され）、スケール２１０がスケールホルダ２２０にしっかりと保持される。このとき、ゴム２５０は弾性変形できるので、スケールホルダ２２０とスケール２１０との間の伸縮差が許容される。
【００１１】
なお、伸縮の基点となる固定点を決めるため、スケールホルダ２２０とスケール２１０とは一箇所だけ接着剤２６０で固着されている（図４参照）。この接着剤２６０は、伸縮したりせず、スケールホルダ２２０とスケール２１０とを堅固に固着するものなので固定点接着剤２６０と称することにする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−３０１５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
前述のように近年スケールが長尺化している。
例えば、３ｍ程度の長尺のスケール２１０が求められることがある。この長尺のスケール２１０をスケールホルダ２２０に保持し、例えば４０Ｇ程度の耐衝撃性を確保したいとすると、必要になる丸ゴム２５０の数は計算で求まる。
ここで、計算通りに丸ゴム２５０を配置すれば耐衝撃性を確保できるのであるが、別の問題が発生することが分かった。
【００１４】
３ｍの長尺スケールを押さえるとなると、丸ゴム２５０の数がかなりの数になる。スケール２１０に対してスケールホルダ２２０が相対的に伸長（あるいは縮小）するとき、もちろん、丸ゴム２５０は変形する。その後、スケールホルダ２２０が縮小（あるいは伸長）するとき、丸ゴム２５０が完全に元に復元すればよいが、丸ゴム２５０に歪みが残ることがある。これは、おそらく、スケール２１０とスケールホルダ２２０とが伸縮するとき、スケール２１０とゴム２５０との間、あるいは、スケールホルダ２２０とゴム２５０との間にわずかな滑りが発生し、これが歪みとして残るためと考えられる。特に、スケール２１０とスケールホルダ２２０との伸縮差が大きいと、この滑りが発生しやすくなると考えられる。
【００１５】
ゴム２５０に歪みが残ると、スケール２１０の軸方向に力が掛かる。ゴム２５０の数が少なければ問題にならないかもしれないが、ゴム２５０の数が増えてくるとスケール２１０を歪ませる要因になる。
スケール２１０の歪みは測定誤差の要因となり、看過することはできない。しかし、単純にゴム２５０の数を減らすことはできない。ゴム２５０の数を減らしてしまうと耐衝撃性が不十分となり、スケール２１０がスケールホルダ２２０から浮き上がったりすると、やはり測定誤差の原因になる。
【００１６】
本発明の目的は、スケールの保持構造において、ゴムの残留歪みでスケールが歪まないようにしながらも十分な耐衝撃性を維持できるスケール保持構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の直線変位測定装置は、
長手状のスケール部と、スケール部に対して相対的にスライド移動可能に設けられたスライダと、を備え、前記スケール部に対する前記スライダの相対変位量あるいは相対位置を検出する直線変位測定装置であって、
前記スケール部は、長手状のスケールと、前記スケールを収容するスケールホルダと、を備え、
前記スケールは、前記スケールホルダの内部において、前記スケールホルダに形成されたスケール保持用のスケール保持溝に嵌め込まれた状態で保持されており、
さらに、前記スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置され、前記スケールを前記スケール保持溝に押し付ける支持部材を備え、
前記支持部材は、
前記スケールホルダの内壁と前記スケールとの間に配置された平行板バネで構成され、前記スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、
前記スケールの側面を前記スケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有する
ことを特徴とする。
【００１８】
本発明では、
前記支持部材は、前記スケールの両端またはいずれか一方の端に配設されている
ことが好ましい。
【００１９】
本発明では、
前記支持部材は、
Ｔ字型の原板のＴ字の横棒の両端を同じ側に略９０度折り曲げて前記脚部とし、
Ｔ字の縦棒を前記脚部とは反対側に略９０度折り曲げて前記アーム部とした
ことが好ましい。
【００２０】
本発明では、
前記スケール保持用の溝内において、前記スケールホルダと前記スケールとの間にはゴムが所定のピッチで配置されている
ことが好ましい。
【００２１】
本発明では、
前記スケール保持用の溝内において、前記スケールホルダと前記スケールとの間には、前記ゴムに加えて接着剤が配置され、
前記接着剤は前記ゴムと前記ゴムとの間にあって、前記ゴムと前記接着剤とはそれぞれ所定のピッチで配置されている
ことが好ましい。
【００２２】
本発明では、
前記ゴムと前記接着剤とは交互にそれぞれ所定のピッチで配置されている
ことが好ましい。
【００２３】
本発明では、
前記スケールホルダは、アルミニウムあるいはアルミニウムを主成分とする合金で形成され、
前記スケールはガラスで構成されている
ことが好ましい。
【００２４】
本発明のスケール保持構造は、
直線変位測定装置のスケール部において、スケールホルダの内部にスケールを保持するスケール保持構造であって、
前記スケールは、前記スケールホルダの内部において、前記スケールホルダに形成されたスケール保持用のスケール保持溝に嵌め込まれた状態で保持されており、
さらに、前記スケールホルダの内壁とスケールとの間に配置され、前記スケールを前記スケール保持溝に押し付ける支持部材を備え、
前記支持部材は、
前記スケールホルダの内壁と前記スケールとの間に配置された平行板バネで構成され、前記スケールの測長方向の変位を許容する脚部と、
前記スケールの側面を前記スケール保持溝に向けて付勢するアーム部と、を有する
ことを特徴とする。
【００２５】
本発明では、
前記ゴムは、所定長さの細長い丸ゴムであり、
１つの前記接着剤の長さは、前記ゴムの配置ピッチの二分の一以下であり、
前記接着剤は前記ゴムと干渉しない
ことが好ましい。
【００２６】
本発明では、
前記ゴムの弾性定数は、５〜１０［Ｎ／ｍｍ］であり、
前記接着剤の弾性定数は、１５〜２０［Ｎ／ｍｍ］である
ことが好ましい。
【００２７】
例えば、ゴムの弾性定数を７〜９［Ｎ／ｍｍ］、より具体的には８．４［Ｎ／ｍｍ］としてもよい。
また、例えば、接着剤の弾性定数を１６〜１８［Ｎ／ｍｍ］、より具体的には１７．２［Ｎ／ｍｍ］にしてもよい。
【００２８】
本発明では、
前記接着剤の伸び率は、１８０〜２２０［％］である
ことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】直線変位測定装置を本実施形態の取付け具で移動ステージに取り付けた状態を示す図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線における断面図である。
【図３】図２からスケールとスケールホルダとを抜き出した詳細図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図を示す図である。
【図５】本実施形態のスケール保持構造を示す図である。
【図６】支持部材がスケールを支持する様子を示す斜視図である。
【図７】図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図８】支持部材の斜視図である。
【図９】支持部材の原材を例示する図である。
【図１０】第２実施形態に係るスケール保持構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
図５は、スケール保持構造を示す図である。
図５は、図３に対応する図であり、スケール２１０はスケールホルダ２２０のスケール保持溝２４０に嵌っている。
ただし、丸ゴム２５０だけでスケール２１０を保持するのではなく、支持部材６００を併用している点に特徴がある。
支持部材６００は、スケールホルダ２２０の内壁２２１とスケール２１０との間に配置され、スケール２１０がスケール保持溝２４０から脱落しないようにスケール２１０をスケール保持溝２４０に押し付ける。
これにより、要求される耐衝撃性に対し、すべてをゴム２５０の押し付け力（付勢力）でカバーするのではなく、耐衝撃性の一部はゴム２５０でカバーしつつも、残りを支持部材６００で持たせるようにする。
【００３１】
図６は、支持部材６００がスケール２１０を支持する様子を示す斜視図である。
また、図７は、図５中のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
支持部材６００は、スケール２１０の両端に配設される。
これは、支持部材６００がスケール２１０の基準面を押さえるという構造の都合上、支持部材６００がスケール２１０の途中に配設されると、支持部材６００と走行体４００とが干渉してしまうからである。
【００３２】
なお、図７中では、スケール２１０の両端に支持部材６００を配設しているが、例えば、どちらか一方だけでもよい。
【００３３】
支持部材６００は、スケール２１０の基準面をスケール保持溝２４０に押し付けるように比較的強い付勢力を発揮する。一方、支持部材６００は、スケール２１０の測長方向に対しては変形できるようになっている。したがって、支持部材６００は、スケール２１０とスケールホルダ２２０との伸縮差を許容しながらも、スケール２１０をスケール保持溝２４０に押し付けてしっかり支持する作用を奏する。
【００３４】
支持部材６００の構造を説明する。
図８は、支持部材６００の斜視図である。
支持部材６００は、金属薄板を折り曲げることで形成される。もちろん、弾性を有するものであれば樹脂素材でもよい。
折り曲げる前の支持部材６００の原板６０１としては、図９のようなＴ字型の板を用意する。そして、Ｔ字の横棒６０２のところの両端を手前側に略９０度折り曲げて脚部６１０を構成する。続いて、Ｔ字の縦棒６０３を向こう側（すなわち脚部６１０とは反対側）に略９０度折り曲げてアーム部６５０を構成する。
脚部６１０の付け根とアーム部６５０の付け根とを繋ぐ平板部分を胴部６６０と称することにする。
【００３５】
脚部６１０は、胴部６６０の両端を折り曲げることで形成された互いに平行な二枚の板バネ６１１、６１２で構成されている。
脚部６１０を構成する二枚の板バネを脚板バネ６１１、６１２と称することにする。
二枚の脚板バネ６１１、６１２が平行に対向しており、これで脚部６１０が平行板バネとなっている。
脚板バネ６１１、６１２同士が向き合う方向（対向方向）は、スケール２１０の測長方向に平行である。すなわち、脚部６１０の平行板バネは、スケール２１０の測長方向には変位を許容できるようになっている。
脚板バネ６１１、６１２の足先６１３、６１４は外側に直角に折り曲げられており、このようにして形成された足先６１３、６１４の裏を利用して支持部材６００をスケールホルダ２２０の内壁２２１に取り付けられるようになっている。
【００３６】
アーム部６５０は、前述のように、Ｔ字の縦棒６０３が脚部６１０とは反対側に折り曲げられて形成されたものである。
このとき、アーム部６５０は、胴部６６０との連結部分に相当する付け根の部分を支点６５１（図５参照）とする片持ちの板バネになる。そして、側方視でアーム部６５０の中央が少し窪んだようにして、この窪みでスケール２１０の側面を受け止めるようにする。すると、アーム部６５０のバネ力（弾性力）により、スケール２１０をスケール保持溝２４０に向けて付勢することができる。
【００３７】
なお、アーム部６５０とスケール２１０との間には接着剤６５３を付けるようにしてもよい。
【００３８】
このように本実施形態では、スケール保持構造を構成にするにあたってゴム２５０だけでなく支持部材６００も併用するようにした。
ゴム２５０の数が少なくなるので、仮にゴム２５０に残留歪みが残ったとしても、ゴム２５０の残留歪みに起因してスケール２１０の軸方向に過剰な力が掛かることはない。
したがって、長尺の直線変位測定装置１００でありながらも、温度保障範囲が広く、かつ、高い精度保障もできる直線変位測定装置１００とできる。
【００３９】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、ゴム２５０と支持部材６００とを併用するスケール保持構造を説明したが、第２実施形態として、さらに、補強接着剤２７０を使用するようにしてもよい。
図１０は、第２実施形態に係るスケール保持構造を示す図である。
図１０は、図４あるいは図７に対応する図であり、スケール２１０はスケールホルダ２２０のスケール保持溝２４０に嵌っている。
ただし、丸ゴム２５０および支持部材６００だけでスケール２１０を保持するのではなく、接着剤２７０を併用している点に特徴がある。
すなわち、スケール２１０をスケールホルダ２２０に押し付けて保持するのにはゴム２５０および支持部材６００の弾性が必要であるから必要な個数のゴム２５０および支持部材６００も使い、併せて、弾性が極めて小さい接着剤２７０をスケール保持溝２４０に配置してスケール２１０とスケールホルダ２２０との間を接着することとする。
これにより、要求される耐衝撃性に対し、すべてをゴム２５０および支持部材６００の押し付け力（付勢力）でカバーするのではなく、耐衝撃性の一部はゴム２５０および支持部材６００でカバーしつつも、残りを接着剤２７０で持たせるようにする。
この接着剤２７０はスケール保持を補強する役目をもつことから、この接着剤２７０を補強接着剤２７０と称することにする。
【００４０】
補強接着剤２７０としては、例えば、シリコーン系接着剤を利用でき、例えば、信越化学工業株式会社のシリコーン系接着剤であるＫＥ−４８９７（製品番号）が好適である。
シリコーン系接着剤には、常温硬化型と加熱硬化型があるが、加熱によるスケールの伸びを考慮して、常温硬化型が望ましい。
参考としてＫＥ−４８９７の特性を表に示す。
【００４１】
【表１】
0006735136.tif 000002
【００４２】
補強接着剤２７０を選択する際のポイントの一点目は、硬化したときでもスケール２１０とスケールホルダ２２０との伸縮差を許容できるように変形可能な材質のものである。
硬化したときの伸び率が１８０〜２２０［％］程度あることが好ましい。
【００４３】
補強接着剤２７０を選択する際のポイントの二点目は、硬化したときに弾性が弱いことである。
スケール２１０とスケールホルダ２２０とに伸縮差が発生した場合でもスケール２１０に軸方向の過剰な力が掛からないようにするためである。
弾性定数が１５〜２０［Ｎ／ｍｍ］であることが好ましい。
【００４４】
補強接着剤２７０を選択する際のポイントの三点目は、硬化前の液状の段階で粘性が高いことである。
補強接着剤２７０はスケール２１０とスケールホルダ２２０とを接着して保持する必要があるが、単に堅固に保持すればよいわけではなく、両者の伸縮差を許容する必要がある。
例えば、スケール２１０とスケールホルダ２２０との間が全面的に補強接着剤２７０で接着されてはいけない。
これでは両者の伸縮差が許容されず、スケールホルダ２２０の伸縮に伴ってスケール２１０に軸方向に過剰な力が掛かってしまう。
前述のように、長尺のスケール２１０にあっては末端で１．５ｍｍの伸縮差が生じることがあるが、全面的に接着剤が付着してしまってはこれだけの伸縮差を許容することはできない。
そのため、力学的な計算に基づき、ゴム２５０および補強接着剤２７０の配置はある程度決まってくる。
【００４５】
ここで、表２にスケール２１０の長さに応じて好適なゴム２５０および補強接着剤２７０の配置の例を示す。
【表２】
0006735136.tif 000003
【００４６】
表２中のゴム２５０のピッチＰＧ、補強接着剤２７０のピッチＰＡ、補強接着剤２７０の長さＬＡは、図１０中の符号に対応している。
なお、ゴム２５０の硬度を５０°、スケール２１０はガラス基板で幅が４．８ｍｍのものとした。
このように、ゴム２５０と補強接着剤２７０とは交互にそれぞれ所定のピッチで配置され、１つの補強接着剤２７０の長さもある程度決まってくる。したがって、補強接着剤２７０はある程度の粘性を有し、設計通りの位置に留まる必要がある。逆に、粘性が低すぎて流れてしまうようではいけない。
【００４７】
ここで、もっとも単純に考えると、スケール保持溝２４０の底に全体的に接着剤を流し込み、それからスケール保持溝２４０にスケール２１０やゴム２５０を押し込む構造を採用しそうなものである。
しかし、まず第１に、これでは前述したように、スケール２１０とスケールホルダ２２０との伸縮差を許容することができなくなる。
スケール２１０の長さが一義的に決まっていれば、好適な特性の接着剤を選んでくることも可能かもしれないが、長尺のスケール２１０としては、１ｍから３ｍ、さらにはそれ以上の長さがあるのであり、スケール２１０の長さごとに接着剤の種類を変えるというのは融通が利かない。
それよりは、本実施形態のように、ゴム２５０と接着剤２７０とを併用し、それぞれのピッチや接着剤長さを変化させることで対応した方が製造工程を考える上で実際的である。
第２に、スケール保持溝２４０の底に全面的に接着剤を流しこむと、これを硬化させることが極めて難しくなる。
したがって、本実施形態においても、スケール２１０の前面とスケール保持溝２４０の側面との間に補強接着剤２７０を配置しているのである。
【００４８】
なお、表２中で、ゴム２５０がカバーする耐衝撃性と補強接着剤２７０がカバーする耐衝撃性とを足すと要求値を若干超えるようにしてあるのは、性能に余裕を持たせるためである。これに支持部材６００でカバーできる耐衝撃性を加えれば十分な耐衝撃性を発揮できる。
【００４９】
最後に、補強接着剤２７０を選択する際のポイントとしては、速乾性を有することが好ましい。補強接着剤２７０はスケール保持溝２４０に配設されるので、空気に触れにくく乾燥しにくい。場合によっては、熱硬化性や光（紫外線）硬化性があってもよいし、嫌気性接着剤でもよい。
【００５０】
このように本実施形態では、スケール保持構造を構成にするにあたってゴム２５０および支持部材６００だけでなく補強接着剤２７０も併用するようにした。ゴム２５０の数が少なくなるので、仮にゴム２５０に残留歪みが残ったとしても、ゴム２５０の残留歪みに起因してスケール２１０の軸方向に過剰な力が掛かることはない。したがって、長尺の直線変位測定装置１００でありながらも、温度保障範囲が広く、かつ、高い精度保障もできる直線変位測定装置１００とできる。
【００５１】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
ゴム２５０の位置をある程度固定しておくため、ゴム２５０に接着剤を付けてもよい。すなわち、ゴム２５０とスケール２１０との間、あるいは、ゴム２５０とスケールホルダ２２０との間を接着剤でとめるようにしてもよい。
この接着剤は、ゴム２５０が動かないようにすればよいのであるから特段に材質は限定されないが、例えば、信越化学工業株式会社のシリコーン系接着剤であるＫＥ−４８９７（製品番号）を使用してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１００…直線変位測定装置、
２００…スケール部、２１０…スケール、
２２０…スケールホルダ、２２１…内壁、２２２…スリット、２４０…スケール保持溝、
２５０…ゴム、
２６０…固定点接着剤、
２７０…補強接着剤、
３００…スライダ、３１０…キャリッジ部、
４００…走行体、４１０…ベースフレーム部、４２１…ローラ、４２２…ローラ、４３０…検出部、
５００…連結手段、
６００…支持部材、
６１０…脚部、６１１、６１２…脚板バネ、６１３、６１４…足先、
６５０…アーム部、６５１…支点、
６５３…接着剤、
６６０…胴部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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