(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルを構成するガラス基板を検査する検査装置であって、
前記ガラス基板を搬送する第１搬送部および第２搬送部と、
前記第１搬送部と前記第２搬送部との間に設けられ、前記ガラス基板を検査する検査部と、
を備え、
前記第１搬送部として第１クランプ部を備え、
前記第２搬送部として第２クランプ部を備え、
前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側に押し込み、前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側から引き込むことにより、前記第１クランプ部から前記第２クランプ部に前記ガラス基板を搬送するように構成されるとともに、
前記検査部は、前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリングと、前記ガラス基板を検査する検査ユニットと、を備え、
前記エアベアリングは、複数のエアベアリングユニットを有し、前記検査ユニットに近いものほど、前記ガラス基板のガタつきや揺れを抑える性能が高いガラス基板の検査装置。
【請求項２】
前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側に押し込み、前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側から引き込むことにより、前記第２クランプ部から前記第１クランプ部に前記ガラス基板を搬送する請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液晶パネルを構成するガラス基板を検査するガラス基板の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば液晶パネルを構成するガラス基板の表面パターンや光透過性などを検査するための検査装置の開発が進められている。この種の検査装置は、例えば特許文献１に開示されているように、検査対象物であるガラス基板のうち搬送方向に直交する方向の端部を保持してガラス基板を搬送方向に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２１４１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この種の検査装置では、ガラス基板を検査する検査部が搬送方向に直交する方向に長く延びている。そのため、ガラス基板のうち搬送方向に直交する方向の端部を保持する構成では、その保持部分が検査部に重なってしまうため、当該保持部分を検査することができない。そのため、ガラス基板の全面にわたって品質を保証することができない。
【０００５】
そこで、ガラス基板の全面に対して検査を行うことができるガラス基板の検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態に係るガラス基板の検査装置は、液晶パネルを構成するガラス基板を検査する検査装置であって、前記ガラス基板を搬送する第１搬送部および第２搬送部と、前記第１搬送部と前記第２搬送部との間に設けられ、前記ガラス基板を検査する検査部と、を備え、前記第１搬送部として第１クランプ部を備え、前記第２搬送部として第２クランプ部を備え、前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側に押し込み、前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側から引き込むことにより、前記第１クランプ部から前記第２クランプ部に前記ガラス基板を搬送するように構成されるとともに、前記検査部は、前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリングと、前記ガラス基板を検査する検査ユニットと、を備え、前記エアベアリングは、複数のエアベアリングユニットを有し、前記検査ユニットに近いものほど、前記ガラス基板のガタつきや揺れを抑える性能が高い。
【０００７】
この構成によれば、ガラス基板の搬送方向に沿って第１搬送部および第２搬送部が検査部を挟んで配列された構成となる。そのため、ガラス基板を第１搬送部から第２搬送部側に押し込むように搬送し、さらに、その押し込まれたガラス基板を第１搬送部から第２搬送部側に引き込むように搬送することにより、ガラス基板のうち搬送方向に直交する方向の端部を保持しなくとも、ガラス基板を第１搬送部から第２搬送部に搬送することができる。そして、ガラス基板が第１搬送部から第２搬送部に搬送される途中で検査部によりガラス基板を検査することができる。
【０００８】
また、ガラス基板を第２搬送部から第１搬送部側に押し込むように搬送し、さらに、その押し込まれたガラス基板を第２搬送部から第１搬送部側に引き込むように搬送することにより、ガラス基板のうち搬送方向に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板を第２搬送部から第１搬送部に搬送することができる。そして、ガラス基板が第２搬送部から第１搬送部に搬送される途中で検査部によりガラス基板を検査することができる。
【０００９】
以上の通り、本実施形態に係るガラス基板の検査装置によれば、検査部を挟む第１搬送部および第２搬送部によりガラス基板を搬送するように構成したので、ガラス基板のうち搬送方向に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板を搬送することができる。従って、ガラス基板の全面に対して検査を行うことができ、ガラス基板の全面の品質を保証することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を示す平面図
【図２】第１実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その１）
【図３】第１実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その２）
【図４】第２実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を示す平面図
【図５】第３実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を示す側面図
【図６】第３実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その１）
【図７】第３実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その２）
【図８】第４実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を示す側面図
【図９】第４実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その１）
【図１０】第４実施形態に係るガラス基板の検査装置による検査動作の一例を示す図（その２）
【図１１】第４実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を示す側面図
【図１２】従来のガラス基板の検査装置を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、ガラス基板の検査装置に係る複数の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各実施形態において実質的に同一の要素には同一の符号を付し、説明を省略する。図１２に例示するように、従来のガラス基板の検査装置は、検査対象物であるガラス基板Ｇのうち搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向の端部をクランプＣにより保持してガラス基板Ｇを搬送方向Ａ１，Ａ２に搬送するようになっている。しかし、この種の検査装置では、ガラス基板Ｇを検査する検査部Ｔが搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向に長く延びているため、ガラス基板ＧのうちクランプＣにより保持されている部分を検査することができない。即ち、従来の検査装置では、ガラス基板Ｇの全面に対して検査を行うことができない。そこで、本実施形態では、ガラス基板の全面に対して検査を行うことができるようにしたガラス基板の検査装置の一例を開示する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１に例示するガラス基板の検査装置１０は、第１ローラコンベア部１１、第２ローラコンベア部１２、検査部１３を備える。ガラス基板の検査装置１０は、検査部１３の前後に第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２を備える。以下、ガラス基板の検査装置１０を単に「検査装置１０」と称する。
【００１３】
第１ローラコンベア部１１は、ガラス基板を搬送するための第１搬送部の一例であり、第２ローラコンベア部１２は、ガラス基板を搬送するための第２搬送部の一例である。第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２は、それぞれ、ガラス基板の搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向に延びる複数のローラ１４を備える。また、第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２は、それぞれ、ガラス基板をガイドするためのガイド部１５を有する。
【００１４】
ガイド部１５は、ガラス基板の搬送方向Ａ１，Ａ２に沿うガイド板１６と、ガイド板１６に対し垂直な回転軸を有するガイドローラ１７と、を備える。第１ローラコンベア部１１に備えられるガイド部１５，１５間の間隔Ｄは、手動により、または、自動的に調整可能となっている。また、第２ローラコンベア部１２に備えられるガイド部１５，１５間の間隔Ｄは、手動により、または、自動的に調整可能となっている。
【００１５】
検査部１３は、第１ローラコンベア部１１と第２ローラコンベア部１２との間に設けられており、第１ローラコンベア部１１から第２ローラコンベア部１２に搬送されるガラス基板、第２ローラコンベア部１２から第１ローラコンベア部１１に搬送されるガラス基板を検査する。検査部１３としては、例えば、ガラス基板の表面パターン、ガラス基板の光透過性、ガラス基板の表面に形成された例えばポリイミドなどからなる配向膜の状態、ガラス基板の表面におけるキズの有無など、ガラス基板に関する種々の検査項目を検査可能な検査器を採用することができる。
【００１６】
検査部１３は、この場合、２つのエアベアリング１８，１８の間に検査ユニット１９を備えた構成である。エアベアリング１８は、図示しないエア噴出孔を有しており、このエア噴出孔から噴出するエアにより、第１ローラコンベア部１１から第２ローラコンベア部１２に搬送されるガラス基板、第２ローラコンベア部１２から第１ローラコンベア部１１に搬送されるガラス基板を浮かせる。エアベアリング１８から噴出するエア量を調整することにより、検査部１３とガラス基板との間の距離を高精度で制御することができ、より安定した状態でガラス基板を検査することができる。
【００１７】
第１ローラコンベア部１１側のエアベアリング１８および第２ローラコンベア部１２側のエアベアリング１８は、それぞれ、複数、この場合、３つのエアベアリングユニット１８ａを組み合わせた構成である。エアベアリングユニット１８ａは、同じ性能のものを組み合わせてもよいが、検査ユニット１９に近いものほど性能の高いものを用いるとよい。検査ユニット１９に近いエアベアリングユニット１８ａの性能を高くすることにより、検査ユニット１９近傍におけるガラス基板のガタつきや揺れを抑えることができ、ガラス基板の検査精度の向上を図ることができる。なお、１つのエアベアリング１８を構成するエアベアリングユニット１８ａの数は、１つ、２つ、４つ以上の複数であってもよい。また、第１ローラコンベア部１１側のエアベアリング１８および第２ローラコンベア部１２側のエアベアリング１８とでエアベアリングユニット１８ａの数を異ならせてもよい。
【００１８】
検査ユニット１９は、第１ローラコンベア部１１から搬送されるガラス基板、第２ローラコンベア部１２から搬送されるガラス基板を検査する主体となるユニットである。検査ユニット１９は、例えば、ガラス基板に検査用の光を照射する照射器などで構成される。なお、検査ユニット１９は、検査したいガラス基板の検査項目に応じて種々のユニットを採用することができる。
【００１９】
次に、検査装置１０による検査動作の一例を説明する。第１ローラコンベア部１１から第２ローラコンベア部１２にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ１に搬送する場合には、図２に例示するように、第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２は、複数のローラ１４を矢印Ｒ１方向に回転させる。そして、図２（ａ）に例示するように、第１ローラコンベア部１１は、ローラ１４を回転させることによりガラス基板Ｇを第２ローラコンベア部１２側に押し込む。これにより、ガラス基板Ｇは、第２ローラコンベア部１２側に搬送され、検査部１３の上方を通過する過程で検査部１３により検査される。そして、図２（ｂ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第２ローラコンベア部１２に到達すると、第２ローラコンベア部１２は、ローラ１４を回転させることによりガラス基板Ｇを第１ローラコンベア部１１側から第２ローラコンベア部１２側に引き込む。これにより、図２（ｃ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第２ローラコンベア部１２側に搬送される。
【００２０】
また、第２ローラコンベア部１２から第１ローラコンベア部１１にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ２に搬送する場合には、図３に例示するように、第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２は、複数のローラ１４を矢印Ｒ２方向に回転させる。そして、図３（ａ）に例示するように、第２ローラコンベア部１２は、ローラ１４を回転させることによりガラス基板Ｇを第１ローラコンベア部１１側に押し込む。これにより、ガラス基板Ｇは、第１ローラコンベア部１１側に搬送され、検査部１３の上方を通過する過程で検査部１３により検査される。そして、図３（ｂ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第１ローラコンベア部１１に到達すると、第１ローラコンベア部１１は、ローラ１４を回転させることによりガラス基板Ｇを第２ローラコンベア部１２側から第１ローラコンベア部１１側に引き込む。これにより、図３（ｃ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第１ローラコンベア部１１側に搬送される。
【００２１】
本実施形態に係る検査装置１０は、ガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って第１ローラコンベア部１１および第２ローラコンベア部１２が検査部１３を挟んで配列された構成である。この構成によれば、ガラス基板Ｇのうち搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板Ｇを搬送することができる。従って、ガラス基板Ｇの全面に対して検査を行うことができ、ガラス基板Ｇの全面の品質を保証することができる。
【００２２】
また、検査装置１０によれば、ガイド部１５，１５間の間隔Ｄを適宜調整することにより、例えば大型液晶テレビ用のガラス基板、小型液晶テレビ用のガラス基板など、種々の大きさのガラス基板の検査を行うことができる。
【００２３】
（第２実施形態）
図４に例示するガラス基板の検査装置２０は、第１ローラコンベア部２１および第２ローラコンベア部２２を備える。以下、ガラス基板の検査装置２０を単に「検査装置２０」と称する。第１ローラコンベア部２１および第２ローラコンベア部２２は、それぞれ、検査部１３側の所定数、この場合、４本のローラ１４間の間隔が、残りのローラ１４間の間隔よりも狭くなっている。本実施形態に係る検査装置２０によれば、検査部１３の近傍において、密に配置されたローラ１４により一層安定した状態でガラス基板を支えることができる。従って、搬送に伴うガラス基板のガタつきや揺れを抑えることができ、ガラス基板の検査精度の向上を図ることができる。
【００２４】
（第３実施形態）
図５に例示するガラス基板の検査装置３０は、第１搬送部の一例として第１クランプ部３１を備え、第２搬送部の一例として第２クランプ部３２を備える。以下、ガラス基板の検査装置３０を単に「検査装置３０」と称する。
【００２５】
第１クランプ部３１および第２クランプ部３２は、それぞれ、レール３３およびクランプ３４を備える。レール３３は、ガラス基板の搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って延びている。クランプ３４は、検査部１３側に向かって開口する保持部３５を備える。即ち、第１クランプ部３１側の保持部３５と第２クランプ部３２側の保持部３５は、その開口が搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って相互に向かい合っている。クランプ３４は、図示しない駆動機構部によりレール３３に沿って往復移動可能に設けられている。駆動機構部としては、例えばリニアモータを利用した機構部、サーボモータを利用した機構部などといった種々の機構部を採用することができる。なお、駆動機構部としては、搬送速度の制御をより高精度で行うことができる機構部を採用することが好ましい。
【００２６】
次に、検査装置３０による検査動作の一例を説明する。第１クランプ部３１から第２クランプ部３２にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ１に搬送する場合には、図６（ａ）に例示するように、第１クランプ部３１は、クランプ３４の保持部３５によりガラス基板Ｇの搬送方向Ａ２側の端部、つまり、第１クランプ部３１側の端部を保持する。そして、第１クランプ部３１は、クランプ３４を第２クランプ部３２側に移動させることにより、保持したガラス基板Ｇを第２クランプ部３２側に押し込む。これにより、ガラス基板Ｇは、第２クランプ部３２側に搬送され、検査部１３の上方を通過する過程で検査部１３により検査される。
【００２７】
そして、図６（ｂ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第２クランプ部３２に到達すると、第２クランプ部３２は、クランプ３４の保持部３５によりガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１側の端部、つまり、第２クランプ部３２側の端部を保持する。そして、第２クランプ部３２は、クランプ３４を検査部１３とは反対側に移動させることにより、保持したガラス基板Ｇを第１クランプ部３１側から第２クランプ部３２側に引き込む。これにより、図６（ｃ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第２クランプ部３２側に搬送される。なお、第１クランプ部３１は、第２クランプ部３２によりガラス基板Ｇが保持されたときにガラス基板Ｇの保持を解除するように構成してもよい。また、第１クランプ部３１は、第２クランプ部３２によりガラス基板Ｇが保持されてから所定時間経過後にガラス基板Ｇの保持を解除するように構成してもよい。
【００２８】
また、第２クランプ部３２から第１クランプ部３１にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ２に搬送する場合には、図７（ａ）に例示するように、第２クランプ部３２は、クランプ３４の保持部３５によりガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１側の端部、つまり、第２クランプ部３２側の端部を保持する。そして、第２クランプ部３２は、クランプ３４を第１クランプ部３１側に移動させることにより、保持したガラス基板Ｇを第１クランプ部３１側に押し込む。これにより、ガラス基板Ｇは、第１クランプ部３１側に搬送され、検査部１３の上方を通過する過程で検査部１３により検査される。
【００２９】
そして、図７（ｂ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第１クランプ部３１に到達すると、第１クランプ部３１は、クランプ３４の保持部３５によりガラス基板Ｇの搬送方向Ａ２側の端部、つまり、第１クランプ部３１側の端部を保持する。そして、第１クランプ部３１は、クランプ３４を検査部１３とは反対側に移動させることにより、保持したガラス基板Ｇを第２クランプ部３２側から第１クランプ部３１側に引き込む。これにより、図７（ｃ）に例示するように、ガラス基板Ｇが第１クランプ部３１側に搬送される。なお、第２クランプ部３２は、第１クランプ部３１によりガラス基板Ｇが保持されたときにガラス基板Ｇの保持を解除するように構成してもよい。また、第２クランプ部３２は、第１クランプ部３１によりガラス基板Ｇが保持されてから所定時間経過後にガラス基板Ｇの保持を解除するように構成してもよい。
【００３０】
本実施形態に係る検査装置３０は、ガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って第１クランプ部３１および第２クランプ部３２が検査部１３を挟んで配列された構成である。この構成によれば、ガラス基板Ｇのうち搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板Ｇを搬送することができる。従って、ガラス基板Ｇの全面に対して検査を行うことができ、ガラス基板Ｇの全面の品質を保証することができる。
なお、検査装置３０にもガイド部１５に相当する要素を備えるとよい。これにより、検査装置３０によっても、種々の大きさのガラス基板の検査を行うことが可能となる。
【００３１】
（第４実施形態）
図８に例示するガラス基板の検査装置４０は、第１搬送部の一例として第１押し込み部４１を備え、第２搬送部の一例として第２押し込み部４２を備える。以下、ガラス基板の検査装置４０を単に「検査装置４０」と称する。第１押し込み部４１および第２押し込み部４２は、それぞれ、シャフト４３および押し込み端部４４を備える。シャフト４３は、ガラス基板の搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って延びており、図示しない駆動機構部により搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って往復移動可能に構成されている。押し込み端部４４は、ガラス基板の搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向に延びており、シャフト４３の先端部に固定されている。押し込み端部４４は、検査部１３側の面にクッション材を備える構成としてもよい。
【００３２】
第１押し込み部４１は、ガラス基板を搬送方向Ａ１、つまり、第２押し込み部４２側に押し込む機能を有する。第１押し込み部４１は、ガラス基板の全体が検査部１３の検査ユニット１９を超えるまでガラス基板を第２押し込み部４２側に押し込むことが可能である。また、第２押し込み部４２は、ガラス基板を搬送方向Ａ２、つまり、第１押し込み部４１側に押し込む機能を有する。第２押し込み部４２は、ガラス基板の全体が検査部１３の検査ユニット１９を超えるまでガラス基板を第１押し込み部４１側に押し込むことが可能である。
【００３３】
次に、検査装置４０による検査動作の一例を説明する。第１押し込み部４１から第２押し込み部４２にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ１に搬送する場合には、図９（ａ），（ｂ）に例示するように、第１押し込み部４１は、ガラス基板Ｇを第２押し込み部４２側に押し込む。一方、第２押し込み部４２から第１押し込み部４１にガラス基板Ｇを搬送する場合、つまり、搬送方向Ａ２に搬送する場合には、図１０（ａ），（ｂ）に例示するように、第２押し込み部４２は、ガラス基板Ｇを第１押し込み部４１側に押し込む。
【００３４】
本実施形態に係る検査装置４０は、ガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って第１押し込み部４１および第２押し込み部４２が検査部１３を挟んで配列された構成である。この構成によれば、ガラス基板Ｇのうち搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板Ｇを搬送することができる。従って、ガラス基板Ｇの全面に対して検査を行うことができ、ガラス基板Ｇの全面の品質を保証することができる。
なお、検査装置４０にもガイド部１５に相当する要素を備えるとよい。これにより、検査装置４０によっても、種々の大きさのガラス基板の検査を行うことが可能となる。
【００３５】
（第５実施形態）
図１１に例示するガラス基板の検査装置５０は、第１搬送部の一例として第１ピンチローラ部５１を備え、第２搬送部の一例として第２ピンチローラ部５２を備える。以下、ガラス基板の検査装置５０を単に「検査装置５０」と称する。第１ピンチローラ部５１および第２ピンチローラ部５２は、ローラ５３を矢印Ｒ３方向に回転させることによりガラス基板Ｇを搬送方向Ａ１に搬送し、ローラ５３を矢印Ｒ４方向に回転させることによりガラス基板Ｇを搬送方向Ａ２に搬送する。
【００３６】
本実施形態に係る検査装置５０は、ガラス基板Ｇの搬送方向Ａ１，Ａ２に沿って第１ピンチローラ部５１および第２ピンチローラ部５２が検査部１３を挟んで配列された構成である。この構成によれば、ガラス基板Ｇのうち搬送方向Ａ１，Ａ２に直交する方向の端部を保持しなくともガラス基板Ｇを搬送することができる。従って、ガラス基板Ｇの全面に対して検査を行うことができ、ガラス基板Ｇの全面の品質を保証することができる。
なお、検査装置５０にもガイド部１５に相当する要素を備えるとよい。これにより、検査装置５０によっても、種々の大きさのガラス基板の検査を行うことが可能となる。
【００３７】
（その他の実施形態）
本実施形態は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
例えば、本実施形態に係る検査装置は、ガラス基板Ｇを搬送方向Ａ１，Ａ２の両方向に搬送可能な構成としてもよいし、搬送方向Ａ１，Ａ２の何れか一方向に搬送可能な構成としてもよい。また、本実施形態に係る検査装置を、液晶パネルの製造ラインに組み込むことで、ガラス基板の検査行程を含む液晶パネルの一連の製造行程を連続的に行うことができる。
【００３８】
また、第１搬送部および第２搬送部によるガラス基板の搬送速度は、検査対象物となるガラス基板の大きさ、厚さ、強度などに応じて適宜変更して実施することができる。また、検査部は、エアベアリングに代えて、例えば機械的なベアリングなどを備える構成としてもよい。また、検査部は、この種のベアリングを備えない構成としてもよい。また、上述した複数の実施形態を組み合わせて実施してもよい。
【符号の説明】
【００３９】
図面中、１０，２０，３０，４０，５０はガラス基板の検査装置、１１は第１ローラコンベア部（第１搬送部）、１２は第２ローラコンベア部（第２搬送部）、１３は検査部、１８はエアベアリング、２１は第１ローラコンベア部（第１搬送部）、２２は第２ローラコンベア部（第２搬送部）、３１は第１クランプ部（第１搬送部）、３２は第２クランプ部（第２搬送部）、４１は第１押し込み部（第１搬送部）、４２は第２押し込み部（第２搬送部）、５１は第１ピンチローラ部（第１搬送部）、５２は第２ピンチローラ部（第２搬送部）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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