(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に第１の強磁性層、非磁性層、第２の強磁性層を積層した構造を有する磁気抵抗素子であって、
ホイスラー合金からなる前記第１の強磁性層と、
ホイスラー合金からなる前記第２の強磁性層と、
Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体からなる前記非磁性層であって、前記非磁性層の厚さは０.５〜３ｎｍであり、
磁気抵抗（ＭＲ）変化率が４０％以上であり、素子抵抗（ＲＡ）が０．１［Ωμｍ２］以上３［Ωμｍ２］以下であることを特徴とする磁気抵抗素子。
【請求項２】
前記Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体は、Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）、Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓ２（０≦ｙ≦１）、Ａｇ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）、Ａｇ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓ２（０≦ｙ≦１）からからなる群から選択される一つであることを特徴とする請求項１に記載の磁気抵抗素子。
【請求項３】
前記ホイスラー合金はＣｏ２ＭｎＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＳｉｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧｅｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＳｎ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２−ｚＦｅｚＭｎＧｅ（０≦ｚ≦２）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＴｉｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＣｒＡｌ、Ｃｏ２ＣｒＧａ、Ｃｏ２ＭｎＳｎ、Ｃｏ２ＭｎＡｌ、Ｃｏ２ＭｎＧａ、Ｃｏ２ＦｅＳｉ、Ｃｏ２ＦｅＡｌ、Ｃｏ２ＭｎＧｅ、Ｃｏ２ＦｅＧｅ、Ｃｏ２ＦｅＧａ、Ｃｏ２ＴｉＳｎ、Ｃｏ２ＭｎＳｉ、Ｆｅ２ＶＡｌ、Ｃｏ２ＶＡｌ５５からなる群から選択されるＣｏ基ホイスラー合金であって、前記第１の強磁性層はＢ２あるいはＬ２１構造であり、前記第２の強磁性層はＢ２構造であることを特徴とする請求項１に記載の磁気抵抗素子。
【請求項４】
前記Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体は、Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）であり、
前記ホイスラー合金は、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）であることを特徴とする請求項１に記載の磁気抵抗素子。
【請求項５】
前記Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体は、Ｃｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２であり、
前記ホイスラー合金は、Ｃｏ２ＦｅＧａ０．５Ｇｅ０．５であることを特徴とする請求項４に記載の磁気抵抗素子。
【請求項６】
前記ホイスラー合金に代えて、
（ｉ）  膜面直方向に磁化配向したＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＴａＮｂからなる群から選択されるＣｏＣｒ系磁性層、
（ｉｉ）  ＴｂＦｅＣｏであるＲＥ-ＴＭ系アモルファス合金磁性層、
（ｉｉｉ）  Ｃｏ／Ｐｄ、Ｃｏ／Ｐｔ、ＣｏＣｒＴａ／Ｐｄ、ＦｅＣｏ／Ｐｔ、ＦｅＣｏ／Ｎｉからなる群から選択される人工格子磁性層、
（ｉｖ）  ＣｏＰｔ系やＦｅＰｔ系、ＦｅＰｄ系の合金磁性層、
（ｖ）  ＳｍＣｏ系合金磁性層、
（ｖｉ）  ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＺｒＮｂ、ＦｅＮ、ＦｅＳｉ、ＦｅＡｌＳｉ、ＣｏＦｅＢ、ＦｅＢからなる群から選択される軟磁性層、または
（ｖｉｉ）  膜面内方向に磁化が配向したＣｏＣｒ系の磁性合金膜、
の上記（ｉ）から（ｖｉｉ）までからなる群から選択される一つ又は複数の磁性体からなる磁性層を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気抵抗素子。
【請求項７】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の磁気抵抗素子を用いた磁気記憶装置であって、
前記磁気抵抗素子の一方の強磁性ホイスラー合金の層におけるスピンの向きを固定し、他方の強磁性ホイスラー合金の層におけるスピンの向きを反転可能とし、前記磁気抵抗素子の積層方向に電流を通電して、前記各層のスピンの向きに応じた値を出力することを特徴とする磁気記憶装置。
【請求項８】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の磁気抵抗素子を用いたスピントランジスタであって、
前記磁気抵抗素子のＩ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体の層にゲート電圧を印加し、前記磁気抵抗素子の一方の強磁性ホイスラー合金の層をソース層とし、他方の強磁性ホイスラー合金の層をドレイン層とすることを特徴とするスピントランジスタ。
【請求項９】
ＭｇＯ（００１）単結晶基板にＡｇ層を成膜し、３００℃〜４５０℃で１０分間乃至２時間の熱処理を行う工程と、
前記Ａｇ層に下部Ｃｏ２ＦｅＧａ0.5Ｇｅ0.5を成膜し、２７０℃〜５５０℃で１０分間乃至２時間の熱処理を行ってＢ２あるいはＬ２１構造に規則化させる工程と、
前記下部Ｃｏ２ＦｅＧａ0.5Ｇｅ0.5にＣｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２を０．５〜３ｎｍ成膜する工程と、
前記Ｃｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２に上部Ｃｏ２ＦｅＧａ0.5Ｇｅ0.5を成膜し、２７０℃〜３５０℃で１０分間乃至２時間で熱処理を行って上部Ｃｏ２ＦｅＧａ0.5Ｇｅ0.5の規則化させる工程と、
を有することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体を磁気抵抗素子のスペーサ材料に適用した磁気抵抗素子及びその製造方法に関する。
また本発明は、上記の磁気抵抗素子を用いた磁気ランダムアクセスメモリ、ハードディスクの再生ヘッド、スピンロジック素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
トンネル磁気抵抗素子（ＭＴＪ： magnetic tunnel junction）や巨大磁気抵抗（ＣＰＰ−ＧＭＲ： Current Perpendicular to Plane - Giant MagnetoResistance）素子といった磁気抵抗（ＭＲ： Magneto-Resistance）素子は、強磁性層／非磁性層／強磁性層の３層構造からなり、上下に配置する強磁性層の磁化の相対的な角度により抵抗が大きく変化する現象を利用した素子である。ＭＲ素子は磁気ランダムアクセスメモリ（ＭＲＡＭ： Magnetoresistive random-access memory）、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の再生ヘッド、スピンロジック素子への応用が期待されている。そのためには、大きな磁気抵抗（ＭＲ）変化・０．１〜１Ωμｍ２程度の素子抵抗を持つＭＲ素子の開発が望まれている。これらはＭＴＪ素子およびＣＰＰ−ＧＭＲ素子ともに達成困難な数字であった。【０００３】
ＭＴＪは、約１ｎｍ程度の薄いＭｇＯ等のトンネルバリア層の上下にＣｏＦｅＢ等の強磁性電極を配置した構造をしており、強磁性体電極間のトンネル磁気抵抗効果を利用している。１ｎｍ以上のＭｇＯ膜厚で１００％超の高いＭＲ比を特徴とする素子で、現在ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の再生素子として使われている。しかしながら、高密度媒体の高速読み出しに対応するためにデバイス抵抗（ＲＡ）の低減が求められている。ＭＴＪのＲＡの低減には、トンネルバリア層の厚さを１ｎｍ以下に低減しなければならないが、トンネルバリア膜厚の薄い領域で高いＭＲ比を得るのは難しい。【０００４】
一方で、すべての層が金属で構成されるＣＰＰ−ＧＭＲ素子は、低すぎるＲＡと低ＭＲ比が問題であった。多くの研究により、現在までに、ＭＴＪではＭＲ比２００％・ＲＡ＝１０Ωμｍ２が達成されている（非特許文献１参照）。しかし、金属非磁性層を用いたＣＰＰ−ＧＭＲ素子では高スピン偏極率材料であるホイスラー合金を用いた場合であっても、ＲＡ＜０．１Ωμｍ２・ＭＲ比=８０％という特性に留まっている。ＣＰＰ−ＧＭＲ素子ではＲＡをさらに増加させるために、電流狭窄（非特許文献２参照）や酸化物（非特許文献３−５参照）といった特殊なスペーサが使われる場合もあるが、所望のＭＲ比とＲＡを両立するには至っていない。【０００５】
他方で、ＭＲ素子で所望のＲＡ値を得る方法として、これまで酸化物や非磁性金属が使われてきたスペーサにＳｉ、ＧａＡｓ、ＺｎＳｅなどの半導体材料を使うことが挙げられる。これらの半導体材料のバンドギャップは、ＭｇＯの７．８ｅＶに対して１〜２ｅＶと小さいため、ＲＡの低減に有効と考えられる。しかし、強磁性金属上の半導体の成長は困難で、これまでにＦｅ／ＧａＡｓ／Ｆｅの磁気抵抗素子であって、低温で５％程度のＭＲ比が報告されているのみである（非特許文献６参照）。
ＩＶ族半導体であるＧｅあるいはＳｉＧｅについても強磁性体上に高品質成長させたという報告はあるが、磁気抵抗素子に最も重要な磁気抵抗比の提示がない（特許文献１参照）。他方で、本出願人は垂直磁気記録媒体について既に提案を行っているが（特許文献２、３参照）、高いＭＲ比とデバイス応用に適当なＲＡを有する磁気抵抗素子とするには、更に性能の向上が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ＷＯ２０１２／０８１６９４
【特許文献２】ＷＯ２０１５／０３７４２５
【特許文献３】特許第５６１７１１２号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】T. Kitada, K. Nakamura, Y. Tanaka, S. Furukawa, and T. Hatano, Dig. 59th Conf. on MMM, Vols. DE-02, (2014).
【非特許文献２】H. Fukuzawa, H. Yuasa, S. Hashimoto, K. Koi, H. Iwasaki, M. Takagishi, Y. Tanaka, and M. Sahashi: IEEE Trans. Magn. 40, 2236 (2004).
【非特許文献３】K. Shimazawa, Y. Tsuchiya, T. Mizuno, S. Hara, T. Chou, D. Miyauchi, T. Machita, T. Ayukawa, T. Ichiki, and K. Noguchi: IEEE Trans. Magn., 46, 1487 (2010).
【非特許文献４】A. M. H. R. Hakimi, N. Baberjee, A. Aziz, J. W. A. Robinson, and M. G. Blamire: Appl. Phys Lett., 96, 102514 (2010).
【非特許文献５】T. Nakatani G, Mihajlovic, J. C. Read, Y-S, Choi, and J. Childress: Appl. Phys. Express 8, 093003 (2015). 7. S. Kreuzer, J. Moser, W. Wegscheider, and D. Weiss: Appl. Phys. Lett. 80, 4582 (2002).
【非特許文献６】S. Kreuzer, J. Moser, W. Wegscheider, and D. Weiss: Appl. Phys. Lett. 80, 4582 (2002).
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明では、カルコパイライト型化合物半導体を中間層として用いることで高いＭＲ比とデバイス応用に適当なＲＡを有する磁気抵抗素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気抵抗素子は、例えば図１に示すように、基板１０上に第１の強磁性層１６、非磁性層１８、第２の強磁性層２０を積層した構造を有する磁気抵抗素子であって、ホイスラー合金からなる第１の強磁性層１６と、ホイスラー合金からなる第２の強磁性層２０と、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体からなる非磁性層１８であって、非磁性層１８の厚さは０．５〜３ｎｍに相当するものであり、磁気抵抗（ＭＲ）変化率が４０％以上であり、素子抵抗（ＲＡ）が０．１［Ωμｍ２］以上３［Ωμｍ２］以下であることを特徴とする。【００１０】
本発明の磁気抵抗素子において、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体は、Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）、Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓ２（０≦ｙ≦１）、Ａｇ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）、Ａｇ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓ２（０≦ｙ≦１）からからなる群から選択される一つであるとよく、特に好ましくはＣｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１）であるとよい。
本発明の磁気抵抗素子において、前記ホイスラー合金は、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＳｉｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧｅｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＳｎ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２−ｚＦｅｚＭｎＧｅ（０≦ｚ≦２）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＴｉｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）、Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＦｅＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）、Ｃｏ２ＣｒＡｌ、Ｃｏ２ＣｒＧａ、Ｃｏ２ＭｎＳｎ、Ｃｏ２ＭｎＡｌ、Ｃｏ２ＭｎＧａ、Ｃｏ２ＦｅＳｉ、Ｃｏ２ＦｅＡｌ、Ｃｏ２ＭｎＧｅ、Ｃｏ２ＦｅＧｅ、Ｃｏ２ＦｅＧａ、Ｃｏ２ＴｉＳｎ、Ｃｏ２ＭｎＳｉ、Ｆｅ２ＶＡｌ、Ｃｏ２ＶＡｌ５５からなる群から選択されるＣｏ基ホイスラー合金であって、前記第１の強磁性層はＢ２あるいはＬ２１構造であり、前記第２の強磁性層はＢ２構造であるとよい。
ここで、Ｃｏ２ＭｎＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＧａ０.５Ｇｅ０.５またはＣｏ２ＭｎＧａ０．２５Ｇｅ０.７５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＧａ０.５Ｓｎ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＳｉｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＳｉ０.７５Ｇｅ０.２５またはＣｏ２ＭｎＳｉ０.２５Ｇｅ０.７５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＦｅＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＦｅＧａ０.５Ｇｅ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）はＣｏ２Ｃｒ０.０２Ｆｅ０.９８Ｇａが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＧｅｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＧｅ０.５Ｓｎ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）はＣｏ２Ｍｎ０.９５Ｆｅ０.０５Ｓｎが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２−ｚＦｅｚＭｎＧｅ（０≦ｚ≦２）はＣｏ１.９５Ｆｅ０.０５ＭｎＧｅが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＧａ（０≦ｙ≦１）はＣｏ２Ｍｎ０.５Ｆｅ０.５Ｇａが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＣｒｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）はＣｏ２Ｃｒ０.０２Ｆｅ０.９８ＳｉまたはＣｏ２Ｃｒ０.１Ｆｅ０.９Ｓｉが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＴｉｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＴｉ０.２５Ｓｎ０.７５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｎ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＡｌ０.５Ｓｎ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＧａ０.２５Ｓｉ０.７５、が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎｙＦｅ１−ｙＳｉ（０≦ｙ≦１）はＣｏ２Ｍｎ０.５Ｆｅ０.５ＳｉまたはＣｏ２Ｍｎ０.６Ｆｅ０.４Ｓｉが望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＭｎＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＭｎＡｌ０.５Ｓｉ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＦｅＧａｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＦｅＧａ０.５Ｓｉ０.５が望ましいが、これに限定されない。Ｃｏ２ＦｅＡｌｘＳｉ１−ｘ（０≦ｘ≦１）はＣｏ２ＦｅＡｌ０.５Ｓｉ０.５が望ましいが、これに限定されない。
なお、ホイスラー合金において、上記の元素組成はホイスラー合金の代表的なものであり、上記の元素組成から多少の組成がズレていても、磁気抵抗素子の強磁性層として用いるには問題がない。【００１１】
本発明の磁気抵抗素子において、主に高磁気異方性特性が必要となるＭＲＡＭやスピントルク発振素子応用では、好ましくは、ホイスラー合金に代えて、
（ｉ）  膜面直方向に磁化配向したＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＴａＮｂからなる群から選択されるＣｏＣｒ系磁性層、
（ｉｉ）  ＴｂＦｅＣｏ等のＲＥ-ＴＭ系アモルファス合金磁性層、
（ｉｉｉ）  Ｃｏ／Ｐｄ、Ｃｏ／Ｐｔ、ＣｏＣｒＴａ／Ｐｄ、ＦｅＣｏ／Ｐｔ、ＦｅＣｏ／Ｎｉからなる群から選択される人工格子磁性層、
（ｉｖ）  ＣｏＰｔ系やＦｅＰｔ系、ＦｅＰｄ系の合金磁性層、
（ｖ）  ＳｍＣｏ系合金磁性層、
（ｖｉ）  ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＺｒＮｂ、ＦｅＮ、ＦｅＳｉ、ＦｅＡｌＳｉ、ＣｏＦｅＢ、ＦｅＢからなる群から選択される軟磁性層、または
（ｖｉｉ）  膜面内方向に磁化が配向したＣｏＣｒ系の磁性合金膜、
の上記（ｉ）から（ｖｉｉ）までからなる群から選択される一つ又は複数の磁性体からなる磁性層を有することを特徴とする【００１２】
本発明の磁気記憶装置は、上記の磁気抵抗素子を用いた磁気記憶装置であって、
前記磁気抵抗素子の一方の強磁性ホイスラー合金の層におけるスピンの向きを固定し、他方の強磁性ホイスラー合金の層におけるスピンの向きを反転可能とし、前記磁気抵抗素子の積層方向に電流を通電して、前記各層のスピンの向きに応じた値を出力することを特徴とする。【００１３】
本発明のスピントランジスタは、上記の磁気抵抗素子を用いたスピントランジスタであって、
前記カルコパイライト型化合物半導体の層にゲート電圧を印加し、前記磁気抵抗素子の一方の強磁性ホイスラー合金の層をソース層とし、他方の強磁性ホイスラー合金の層をドレイン層とすることを特徴とする。【００１４】
本発明の磁気抵抗素子の製造方法は、ＭｇＯ（００１）単結晶基板に形成する場合には、Ａｇ層を成膜し、３００℃〜４５０℃で１０分間乃至２時間の第１の熱処理を行う工程と、
前記Ａｇ層に下部Ｃｏ２ＦｅＧａＧｅを成膜し、３００℃〜６５０℃で１０分間乃至２時間の第２の熱処理を行う工程と、
前記下部Ｃｏ２ＦｅＧａＧｅにＣｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１であり、例えば０．２。以下、ＣＩＧＳと略して表記する場合がある。）を０.５〜３ｎｍまでの層厚で成膜する工程と、
前記Ｃｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２に上部Ｃｏ２ＦｅＧａＧｅを成膜し、２７０℃〜３５０℃で１０分間乃至２時間で第３の熱処理を行う工程と、を有することを特徴とする。【００１５】
第１の熱処理は、Ａｇ層の表面平坦性を改善するものである。第１の熱処理の熱処理温度が２７０℃未満では表面平坦性の改善が不足し、４５０℃を超えると表面の平坦性が悪化するという不都合がある。熱処理時間が１０分間未満では表面平坦性の改善が不足し、２時間を超えると徒に熱処理時間が延びるという不都合がある。
第２の熱処理は、下部Ｃｏ２ＦｅＧａ０．５Ｇｅ０．５をＢ２あるいはＬ２１構造に規則化させるために行う。第２の熱処理の熱処理温度が２７０℃未満ではＢ２構造への規則化が不足し、６５０℃を超えると層構造の破壊という不都合がある。熱処理時間が１０分間未満ではＢ２あるいはＬ２１構造への規則化が不足し、２時間を超えると徒に熱処理時間が延びるという不都合がある。
第３の熱処理は、上部Ｃｏ２ＦｅＧａＧｅをＢ２構造に規則化させるために行う。第３の熱処理の熱処理温度が２７０℃未満ではＢ２構造への規則化が不足し、３５０℃を超えると層構造の破壊という不都合がある。【００１６】
次に、カルコパイライトの結晶構造について説明する。
元素周期表において、ＩＶ族（Ｓｉ、Ｇｅなど）をはさんでＩＶ族から等間隔にある２種の元素で化合物をつくると、同様の化学結合ができて半導体になる。例えば、ＩＩＩ−Ｖ族の一例であるＧａＡｓにおいては、Ｇａから３ｓ２３ｐ１の３電子が供給され、Ａｓから４ｓ２４ｐ３の５電子が供給され再配分され、１原子あたり４個の電子はｓｐ３混成軌道を作る。ＩＩＩ−Ｖ族半導体はＩＶ族と等電子的（ｉｓｏｅｌｅｃｔｒｉｃ）である。ＩＶ族を出発点として、ＩＩ−ＶＩ族、ＩＩＩ−Ｖ族が得られ、さらに、ＩＩ−ＶＩ族においてＩＩ族をＩ族とＩＩＩ族の２つの元素で置き換えるとＩ−ＩＩＩ−ＶＩ２族の化合物が、次にＩ族を空格子点とＩＩ族で置換するとＩＩ−ＩＩＩ２ＶＩ４族の結晶ができる。このような系列をアダマンティン（ａｄａｍａｎｔｉｎｅ）系列と称する。アダマンティン系列の系統図を図９に示す。これらは等電子的でいずれも半導体的な物性を示す。【００１７】
その結晶構造は、ＩＶ族ではダイヤモンド構造（ｄｉａｍｏｎｄ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）、ＩＩＩ−Ｖ族とＩＩ−ＶＩ族では閃亜鉛鉱構造（ｚｉｎｃｂｌｅｎｄｅ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）またはウルツ鉱構造（ｗｕｒｔｚｉｔｅ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２、ＩＩ−ＩＶ−Ｖ２族では黄銅鉱（カルコパイライト）構造（ｃｈａｌｃｏｐｙｒｉｔｅ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）をとる。
【００１８】
図１０は、カルコパイライト型の結晶構造を説明する元素配置図である。Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２族、ＩＩ−ＩＶ−Ｖ２族など黄銅鉱構造は、閃亜鉛鉱構造をｃ軸方向に２階建てに積み重ねた単位胞をもつが、ｃ軸の長さは、ａ軸の長さの２倍からずれ、正方晶系（ｔｅｔｒａｈｅｄｒａｌ  ｓｙｓｔｅｍ）となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の磁気抵抗素子によれば、高いＭＲ比とデバイス応用に適当なＲＡを有する磁気抵抗素子が得られる。
本発明の磁気抵抗素子を用いた磁気記憶装置並びにスピントランジスタによれば、高密度の記憶容量を有する垂直磁気記録装置や不揮発ロジックデバイス等に応用可能なスピントランジスタが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施例を示すＣＩＧＳを用いた磁気抵抗素子の膜構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示すＣＩＧＳを用いた多層膜の断面図で、（ａ）はＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ像、（ｂ）は上部Ｃｏ２ＦｅＧａ０．５Ｇｅ０．５（以下ＣＦＧＧと略して表記する場合がある）、（ｃ）はＣＩＧＳ、（ｄ）は下部ＣＦＧＧのナノビーム電子回折像、（ｅ）は高分解能ＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ像である。
【図３】本発明の一実施例を示すＣＦＧＧ／ＣＩＧＳ／ＣＦＧＧ−磁気抵抗素子（白丸表記）およびＣＦＧＧ／Ａｇ／ＣＦＧＧ−ＣＰＰ−ＧＭＲ素子（白抜き四角表記）の室温での磁気抵抗曲線である。
【図４】本発明の一実施例を示すＣＦＧＧ／ＣＩＧＳ／ＣＦＧＧ−磁気抵抗素子のＭＲ比、ＲＡ、ΔＲＡをピラー面積の逆数（Ａ−１）依存性を示す図で、室温での値を示している。
【図５】本発明の一実施例を示すＣＦＧＧ／ＣＩＧＳ／ＣＦＧＧ−磁気抵抗素子のＭＲ比、ＲＡ、ΔＲＡをピラー面積の逆数（Ａ−１）依存性を示す図で、低温での値を示している。
【図６】本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドを搭載可能な磁気記録再生装置の一例を示す概略図である。
【図７】本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドアセンブリの一例を示す概略図である。
【図８】本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドの一例を示す概略図で、主磁極の先端部及び高周波発振子（スピントルク発振子）を拡大して示してある。
【図９】アダマンティン系列の系統図である。
【図１０】カルコパイライト型の結晶構造を説明する元素配置図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本実施形態において、基板上に第１の強磁性層、非磁性層、第２の強磁性層を積層した構造を有する磁気抵抗素子における非磁性層には、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体の１つであるＣｕ（Ｉｎ１−ｙＧａｙ）Ｓｅ２（０≦ｙ≦１であり、例えば０．２。以下ＣＩＧＳと略して表記する場合がある）をスペーサ材料として用いている。例えば、上記のＣＩＧＳにおいて、ｙ＝０．２を採用すると、Ｃｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２となるが、これはＣｕＩｎＳｅ２のＩｎの一部をＧａで置換したものである。Ｃｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２は太陽電池材料として知られており、カルコパイライト型の結晶構造を持つ。バンドギャップはＣｕＩｎＳｅ２は約１．０ｅＶ、ＣｕＧａＳｅ２は約１．７ｅＶであり、Ｇａの置換量により変化する。また、格子定数はＧａの置換により０．５６ｎｍから０．５８ｎｍへと変化する。なお、上記のＣＩＧＳにおいて、ｙ＝０．２に限られず、０≦ｙ≦１の範囲にあればよい。
【００２２】
本実施形態において、第１及び第２の強磁性層に用いるホイスラー合金として、Ｃｏ２ＦｅＧａｘＧｅ１−ｘ（０≦ｘ≦１）のうち、ｘ＝０．５を採用すると、Ｃｏ２Ｆｅ（Ｇａ０．５Ｇｅ０．５）（以下ＣＦＧＧと略して表記する場合がある）となる。このホイスラー合金の格子定数は０．５７３ｎｍであり、Ｃｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２との格子整合は非常によい。これまでにＣｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２をスペーサとしたＭＴＪあるいはＣＰＰ−ＧＭＲの報告例はない。
【実施例】
【００２３】
実験結果：図１に作製した磁気抵抗素子の膜構成を示す。膜構成はＭｇＯ（００１）基板／Ｃｒ（１０ｎｍ）／Ａｇ（１００ｎｍ）／ＣＦＧＧ（１０ｎｍ）／ＣＩＧＳ（２ｎｍ）／ＣＦＧＧ（１０ｎｍ）／Ｒｕ（８ｎｍ）である。成膜はすべて室温で行った。【００２４】
製造工程としては、ＭｇＯ（００１）単結晶基板は、膜を成膜する前にスパッタチャンバー内で５５０℃・１時間の熱洗浄を行った。Ａｇを成膜した後に、３００℃で熱処理を行うことにより、Ａｇの表面平坦性を改善した。下部ＣＦＧＧを成膜した後、Ｌ２１構造に規則化させるために５００℃で、全体を成膜した後に上部ＣＦＧＧの規則化のために３００℃で熱処理を行った。【００２５】
多層膜の構造測定については、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）で、輸送特性は４端子法で測定を行った。磁気抵抗素子は、電子ビームリソグラフィー・Ａｒイオンミリング・リフトオフによる微細加工により作製した。作製したピラーは楕円形で、サイズは２００＊１００ｎｍ２から４００＊２００ｎｍ２の範囲で複数用意した。【００２６】
図２に作製した多層膜のＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ像、ナノビーム電子回折像を示す。図２（ａ）のＨＡＡＤＦ-ＳＴＥＭ像からは、層構造が明瞭に観察できる。また図２（ｂ）〜図２（ｄ）のナノビーム電子回折像から、上部ＣＦＧＧはＢ２構造、下部ＣＦＧＧはＬ２１構造、ＣＩＧＳはカルコパイライト構造をもつことがわかる。またこれらの層はエピタキシャル成長をしており、ＣＦＧＧ（００１）［１１０］／／ＣＩＧＳ（００１）［１１０］の方位関係を持つ。図２（ｅ）には、高分解能ＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ像を示す。上下ＣＦＧＧ層はＢ２およびＬ２１構造に対応する周期的なコントラストが観察できる。また、ＣＦＧＧ／ＣＩＧＳ界面にはミスフィット転位は観測されず、格子整合が非常によいことがわかる。【００２７】
図３に典型的な磁気抵抗曲線を示す。白丸表記がＣＩＧＳ２ｎｍのスペーサ、白抜き四角表記がＡｇ５ｎｍのスペーサのものである。Ａｇのスペーサは参考のために示している。Ａｇスペーサの素子では、ＭＲ比＝２０％であるのに対し、ＣＩＧＳスペーサではＭＲ比＝４０％と非常に大きな値が得られている。【００２８】
図４に、ＭＲ比、ＲＡ、ΔＲＡをピラー面積の逆数（Ａ−１）に対してまとめたグラフを示す。測定は室温で行った。ＲＡが０．１〜３［Ωμｍ２］とばらついているものの、ＭＲ比は約４０％を示す。ＲＡのばらつきの原因は明らかではないが、ＨＤＤの再生素子やＭＲＡＭへの応用において好ましいＲＡが得られていることがわかる。【００２９】
図５にＭＲ比、ＲＡ、ΔＲＡの温度依存性を示す。８Ｋでは、ＭＲ比は１００％を超えている。ＲＡは低温で１０−２０％程度増加しており、ＭＲ比の低温での増加はΔＲＡの増加によるものであることがわかる。温度の減少に伴うＲＡの減少は、ＣＩＧＳスペーサの電子の伝導機構がトンネル的であることを示しており、ＣＰＰ−ＧＭＲ素子における電子の伝導機構とは異なっていると考えられる。【００３０】
図６は、本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドを搭載可能な磁気記録再生装置の概略構成を例示する要部斜視図である。図６において、磁気記録再生装置１００は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。同図において、記録用媒体ディスク１１０は、スピンドル１４０に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Ａの方向に回転する。磁気記録再生装置１００は、複数の媒体ディスク１１０を備えたものとしてもよい。【００３１】
図７に、本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドアッセンブリの一例を表す概略図を示す。
図７は、アクチュエータアーム１５４から先の磁気ヘッドアセンブリをディスク側から眺めた拡大斜視図である。すなわち、磁気ヘッドアッセンブリ１５０は、例えば駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム１５４を有し、アクチュエータアーム１５４の一端にはサスペンション１５２が接続されている。【００３２】
図６に示す媒体ディスク１１０に格納する情報の記録再生を行うヘッドスライダー１２０は、図７に示す薄膜状のサスペンション１５２の先端に取り付けられている。ここで、ヘッドスライダー１２０は、例えば、本発明の磁気抵抗素子が搭載される磁気ヘッドをその先端付近に搭載している。【００３３】
媒体ディスク１１０が回転すると、ヘッドスライダー１２０の媒体対向面（ＡＢＳ）は媒体ディスク１１０の表面から所定の浮上量をもって保持される。あるいはスライダが媒体ディスク１１０と接触するいわゆる「接触走行型」であってもよい。【００３４】
サスペンション１５２は、駆動コイルを保持するボビン部（図示せず）などを有するアクチュエータアーム１５４の一端に接続されている。アクチュエータアーム１５４の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１３０が設けられている。ボイスコイルモータ１３０は、アクチュエータアーム１５４のボビン部に巻き上げられた駆動コイル（図示せず）と、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路（図示せず）とから構成される。【００３５】
アクチュエータアーム１５４は、スピンドル１４０に設けられたボールベアリング（図示せず）によって保持され、ボイスコイルモータ１３０により回転摺動が自在にできるようになっている。【００３６】
また、サスペンション１５２は信号の書き込みおよび読み取り用のリード線１５８を有し、このリード線１５８とヘッドスライダー１２０に組み込まれた磁気ヘッドの各電極とが電気的に接続されている。図中１５６は磁気ヘッドアッセンブリ１５０の電極パッドである。【００３７】
図８は、主磁極および高周波発振子（スピントルク発振子）を模式的に示す斜視図である。図８に示すように、スピントルク発振子１８０は、主磁極１６０の先端部１６２と補助磁極１７０のリーディング側端面１７４との間に設けられている。スピントルク発振子１８０は、非磁性導電層からなる下地層１８２、スピン注入層（第１磁性層）１８４、中間層１８６（非磁性層）、発振層（第２磁性層）１８８、非磁性導電層からなるキャップ層１９０を、主磁極１６０側から補助磁極１７０側に順に積層して構成されている。発振層１８８は、軟磁性かつ飽和磁束密度が２Ｔと大きなＦｅＣｏＮｉにより形成され、中間層１８６はスピン拡散長が長いＣｕにより形成され、更に、スピン注入層１８４は、保磁力が高くかつスピン偏極率が高いＣｏ／Ｎｉ人工格子により形成されている。なお、図８では、スピン注入層１８４、中間層１８６、発振層１８８の順に積層した例を示したが、発振層、中間層、スピン注入層の順に積層してもよい。【００３８】
中間層１８６には、例えば、Ａｕ、Ａｇなどのスピン透過率の高い材料を用いることもできる。中間層１８６の層厚は、１原子層から３ｎｍとすることが望ましい。これによりスピン注入層１８４と発振層１８８の交換結合を最適な値に調節することが可能となる。【００３９】
また、スピン注入層１８４には、例えば、膜面直方向に磁化配向したＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＴａＮｂ等のＣｏＣｒ系磁性層、ＴｂＦｅＣｏ等のＲＥ−ＴＭ系アモルファス合金磁性層、Ｃｏ／Ｐｄ、Ｃｏ／Ｐｔ、ＣｏＣｒＴａ／Ｐｄ、ＦｅＣｏ／Ｐｔ、ＦｅＣｏ／Ｎｉ等の人工格子磁性層、ＣｏＰｔ系やＦｅＰｔ系の合金磁性層、ＳｍＣｏ系合金磁性層など、垂直配向性に優れた材料、ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＺｒＮｂ、ＦｅＮ、ＦｅＳｉ、ＦｅＡｌＳｉ等の比較的、飽和磁束密度の大きく膜面内方向に磁気異方性を有する軟磁性層や、ＣｏＦｅＳｉ、ＣｏＭｎＳｉ、ＣｏＭｎＡｌ等のグループから選択されるホイスラー合金、膜面内方向に磁化が配向したＣｏＣｒ系の磁性合金膜も適宜用いることができる。さらに、複数の上記材料を積層したものを用いてもよい。
【００４０】
さらに、発振層１８８には、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉまたは、これらを組み合わせた合金もしくは、これらを組み合わせた人工格子と、上記スピン注入層１８４に用いることができる各種の材料とを積層したものを用いてもよい。なお、発振層１８８には、ＦｅＣｏ系合金に、さらにＡｌ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｇａ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｂの少なくともいずれか１つ以上を添加した材料も用いても良い。これにより、例えば、発振層１８８とスピン注入層１８４との飽和磁束密度、異方性磁界、及びスピントルク伝達効率を調整することができる。
なお、発振層１８８の層厚は、５ないし２０ｎｍとすることが望ましく、スピン注入層１８４の層厚は、２ないし６０ｎｍとすることが望ましい。【００４１】
スピントルク発振子１８０は、その下端面１９２がディスク対向面（図示せず）に露出し、磁気ディスク（図示せず）の表面に対して、主磁極１６０の先端面とほぼ同一の高さ位置に設けられている。すなわち、スピントルク発振子１８０の下端面１９２は、スライダのディスク対向面と面一に、かつ、磁気ディスクの表面とほぼ平行に位置している。また、スピントルク発振子１８０は、ディスク対向面から最も離れ、下端面１９２とほぼ平行に延びる上端面１９４と、下端面から上端面まで延びる両側面１９６、１９８とを有している。
少なくとも一方の側面、ここでは、両側面１９６、１９８は、ディスク対向面に垂直な方向に対してトラック中心側、つまり、内側に傾斜している。また、主磁極１６０に対向する面のスピントルク発振子１８０の形状は、トラック幅方向に対称な台形となっている。【００４２】
スピントルク発振子１８０は、制御回路基板による制御信号に従って、電源（図示せず）から主磁極１６０、補助磁極１７０に電圧を印加することにより、スピントルク発振子１８０の膜厚方向に直流電流が印加される。通電することにより、スピントルク発振子１８０の発振層１８８の磁化が回転し、高周波磁界を発生させることが可能となる。これにより、スピントルク発振子１８０は、磁気ディスクの記録層に高周波磁界を印加する。このように、補助磁極１７０と主磁極１６０はスピントルク発振子１８０に垂直通電する電極として働くことになる。【００４３】
なお、上記の実施例では、基板上に第１の強磁性層、非磁性層、第２の強磁性層を積層した構造を有するトンネル磁気抵抗素子において、非磁性層にはＣｕ（Ｉｎ０．８Ｇａ０．２）Ｓｅ２を用い、第１及び第２の強磁性層にＣｏ２Ｆｅ（Ｇａ０．５Ｇｅ０．５）を用いたものを示しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、非磁性層には他のＩ−ＩＩＩ−ＶＩ２型カルコパイライト型化合物半導体を用いても良く、また第１及び第２の強磁性層には他のホイスラー合金や他の強磁性材料を用いても良いことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明によれば、大きな磁気抵抗（ＭＲ）変化・０．１〜３ Ωμｍ２程度の素子抵抗を持つ磁気抵抗素子が得られる。そこで、この磁気抵抗素子は磁気ランダムアクセスメモリ（ＭＲＡＭ）、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の再生ヘッド、スピンロジック素子に適用できる。
【符号の説明】
【００４５】
１００  磁気記録再生装置
１１０  記録用媒体ディスク
１２０  ヘッドスライダー
１３０  ボイスコイルモータ
１４０  スピンドル
１５０  磁気ヘッドアッセンブリ
１６０  主磁極
１７０  補助磁極
１８０  スピントルク発振子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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