(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の波長領域の光を有する照明光路を個々にもしくは共通に形成する１つもしくは複数の光源（３０）と、
複数の波長領域を含む光路区間（７２）の、対物光学系（１２）とチューブレンズ（２４）との間に配置されたダイクロイックミラー面（５４）を有する、ダイクロイックビームスプリッタ装置（５２）と、
を含む顕微鏡（１０）であって、
前記ダイクロイックビームスプリッタ装置（５２）は、反射により反射光路（６６）へ向かう反射部分光（３２）を形成し、かつ、透過により透過光路（７０）へ向かう透過部分光（６８）を形成し、前記透過光路の透過波長領域は前記反射部分光（３２）の反射波長領域とは異なっており、
前記ビームスプリッタ装置（５２）は、前記反射部分光（３２）の伝搬方向を前記照明光路に対して所定の偏向角（α）だけ変化させる、
顕微鏡（１０）において、
前記ダイクロイックミラー面（５４）は、角度２２．５±７．５°で前記光路区間（７２）に配置されており、
前記ビームスプリッタ装置（５２）は、前記反射光路（６６）に配置された少なくとも１つの別のミラー（５６）を有しており、
前記反射部分光（３２）の伝搬方向は、前記ダイクロイックミラー面（５４）と少なくとも１つの前記別のミラー（５６）とにおける全ての反射の和によって、前記所定の偏向角（α）だけ変化しており、
前記ダイクロイックミラー面（５４）を前記光路区間（７２）に導入するか又は前記光路区間（７２）から除去する調整装置（７４）が設けられており、
前記別のミラー（５６）は、前記顕微鏡（１０）に固定に取り付けられており、
オートフォーカス光源（３０）から前記ビームスプリッタ装置（５２）へ送光されたオートフォーカス光は、赤外領域の波長を有する、
ことを特徴とする顕微鏡（１０）。
【請求項２】
前記偏向角（α）は、９０°である、
請求項１に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項３】
前記別のミラー（５６）が、１つだけ設けられている、
請求項１又は２に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項４】
前記ダイクロイックミラー面（５４）は、平行平面状の透明な支持板（５８）上に被着された層構造体から形成されている、
請求項１から３までのいずれか１項に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項５】
前記オートフォーカス光源（３０）を含むオートフォーカスモジュール（４０）が設けられている、
請求項１から４までのいずれか１項に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項６】
前記オートフォーカス光源（３０）は、前記オートフォーカス光を、共通の前記光路区間（７２）の外側に配置された前記別のミラー（５６）へ送光し、
前記別のミラー（５６）は、前記オートフォーカス光を、前記ダイクロイックミラー面（５４）へ反射し、
前記ダイクロイックミラー面（５４）は、前記反射部分光（３２）を、共通の前記光路区間（７２）へ反射する、
請求項１から５までのいずれか１項に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項７】
前記透過部分光（６８）は、共通の前記光路区間（７２）では、前記反射部分光（３２）の伝搬方向に対して反対向きに、前記ダイクロイックミラー面（５４）へ入射する、
請求項６に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項８】
前記ダイクロイックミラー面（５４）は、前記反射部分光（３２）の伝搬方向で見て、共通の前記光路区間（７２）の前記対物光学系（１２）より前方に配置されている、
請求項７に記載の顕微鏡（１０）。
【請求項９】
前記ダイクロイックミラー面（５４）は、無限光路に配置されている、
請求項１から８までのいずれか１項に記載の顕微鏡（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日の顕微鏡、例えば研究用倒立型顕微鏡では、種々の実験のために、照明用、操作用及び測定用の付加的な光源が、結像光路、好ましくは対物系とチューブレンズとの間の無限光路に導入される。また、こうした顕微鏡では、ふつう、試料から出た結像光の所定のスペクトル成分の出力に用いられる手段が設けられている。光源として通常はレーザーが使用され、このレーザーのレーザー光は本来の検出光として長波長もしくは短波長を有する。光の入出力は、ふつう、入出力光が伝搬する一方の光路の光軸と検出光が伝搬する他方の光軸とが相互に９０°の角度で配置される直角配置で行われる。
【０００３】
相応に構成される顕微鏡の一例が米国特許第７０７１４５１号明細書（ＵＳ７０７１４５１Ｂ２）に記載されている。当該顕微鏡はレーザー光源を有するオートフォーカスモジュールを含み、このレーザー光源は、以下では反射部分光と称される、波長スペクトルの赤外領域の波長を有する第１の光ビームを送光する。当該反射部分光は、ダイクロイックミラー面が設けられたミラーに入射する。当該ミラーは、第１の反射部分光を検査すべき試料へ反射させるように構成されている。ダイクロイックミラー面での反射により、反射部分光の伝搬方向は９０°の偏向角で変化する。オートフォーカスモジュールは、試料で反射した反射部分光を用いて信号を検出し、この信号に基づいて顕微鏡の結像光学系をフォーカシングする。このために、試料から出る反射部分光は、オートフォーカスモジュールへの導波のために、ダイクロイックミラー面で再び反射される。
【０００４】
つまり、公知の顕微鏡で使用されているダイクロイックミラー面は、赤外光を反射し、可視領域の検出光を透過する。したがって、反射部分光のほか、試料から出た検出光の形態の、ダイクロイックミラー面を透過する第２の光ビームが設けられる。第２の光ビームは以下では透過部分光と称される。このように、ダイクロイックミラー面は、反射部分光と透過部分光とが伝搬する２つの光路を結合している。よって、２つの光路はダイクロイックミラー面と試料との間に共通の光路区間を有する。この場合、ダイクロイックミラー面は、その面法線が共通の光路区間の光軸に対して４５°の角度の位置にくるように配置される。
【０００５】
従来技術で行われているダイクロイックミラー面の配置は、以下では単に４５°配置と称するが、簡単に実現可能である。しかし、この４５°配置には一連の欠点が存在する。まず、４５°配置は、ダイクロイックミラー面の偏光中性、すなわち、ミラー面に入射する光の反射及び透過の割合である偏光状態を不変のままとする特性を損なう。つまり、光入射方向に対するダイクロイックミラー面の面法線の傾きが強くなるにつれて、偏光中性の実現が困難となる。このため、傾斜角が大きくなると、偏光光学の適用分野での負の影響が増大する。４５°配置によって負の影響を受ける適用分野の例として、観察すべき対象物における光路長さの差を画像輝度差へ変換してこれにより透明相の対象物を可視とする、微分干渉法又は短くＤＩＣ法と称される方法が挙げられる。
【０００６】
また、ダイクロイックミラー面の４５°配置では、ミラー面によって反射又は透過を行う２つのスペクトル領域を鮮鋭に分離することの達成が困難である。ここで、ダイクロイックミラー面の所望の反射／透過作用は、通常、規定通りの、例えば透明な平行平面状のプレートに被着された相応の層構造体によって形成される光波の干渉に基づいている。当該層構造体の面法線と光入射方向とのなす角度が大きくなるにつれて、層構造体を用いた各スペクトル領域の鮮鋭な分離の達成が困難となる。こうした問題は、従来技術では、反射領域と透過領域とを相互に鮮鋭に分離するための付加的な光学デバイスを設けることによって対処されることが多かった。これについて、例えば米国特許第７０７１４５１号明細書（ＵＳ７０７１４５１Ｂ２）では、付加的な赤外阻止フィルタが、透過された検出光の光路においてダイクロイックミラー面の後方に配置されている。
【０００７】
さらに、従来利用されているダイクロイックミラー面の４５°配置では、顕微鏡の適用のフレキシビリティを高めるために、適用形態に応じてダイクロイックミラー面を顕微鏡光路に導入可能又は顕微鏡光路から除去可能に構成する場合にも不都合が生じる。このケースでは、４５°配置での、ダイクロイックミラー面が顕微鏡の光路にあるときとないときの２つの動作状態間で光路の光軸にかなり大きなずれが発生し、光学結像の品質が損なわれたり、又は、他のデバイスを用いて補償しなければならなくなったりする。
【０００８】
従来技術を補充するものとして独国特許第４２３１２６７号明細書（ＤＥ４２３１２６７Ｂ４）が挙げられるが、ここでは「スミススプリッタ」として知られるミラー装置が記載されている。当該ミラー装置は２つのミラーから成っており、そのうち１つは光軸に対して４５°ではなく２２．５°の角度で配置される分割面として形成されている。なお、当該分割面は、波長から独立した反射透過作用を有するニュートラルスプリッタとして構成されている。よって、種々のスペクトル成分を相互に分離することには適さない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、冒頭に言及した形式の顕微鏡を改善し、技術的コストを低下させ、上述した欠点を回避しつつ、各スペクトル領域を精密に分離できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題は、本発明の請求項１に記載の特徴を有する顕微鏡により解決される。有利な実施形態は各従属請求項に記載されている。こうした顕微鏡は、複数の波長領域の光を有する照明光路を個々にもしくは共通に形成する１つもしくは複数の光源と、複数の波長領域を有する光路区間の対物光学系とチューブレンズとの間に配置されたダイクロイックミラー面を有するダイクロイックビームスプリッタ装置とを含み、このダイクロイックビームスプリッタ装置は、反射により反射光路へ向かう反射部分光を形成し、かつ、透過により透過光路へ向かう透過部分光を形成し、透過光路の透過波長領域は反射部分光の反射波長領域とは異なっており、ここで、ビームスプリッタ装置は、反射部分光の伝搬方向を照明光路に対して所定の偏向角だけ変化させる。本発明によれば、ダイクロイックミラー面は角度２２．５±７．５°で光路区間に配置されている。ビームスプリッタ装置は、反射光路に配置された少なくとも１つの別のミラーを有する。反射部分光の伝搬方向は、ダイクロイックミラー面と少なくとも１つの別のミラーとにおける全ての反射の和によって、所定の偏向角だけ変化している。
【００１１】
つまり、本発明によれば、顕微鏡は、ダイクロイックミラー面を有するダイクロイックビームスプリッタ装置を有し、このダイクロイックビームスプリッタ装置が、反射光路に沿って伝搬する反射部分光を反射し、透過光路に沿って伝搬する、反射部分光の波長とは異なる波長を有する透過部分光を透過する。また、顕微鏡は、反射光路内で、反射光路と透過光路とを有する共通の光路区間の外に配置された、少なくとも１つの別のミラーを有する。当該別のミラーは、ダイクロイックミラー面により、所望の偏向角が得られるように連続反射において反射部分光を偏向する反射装置を形成している。この場合、偏向角とは、ビームスプリッタ装置に入射する光ビームの伝搬方向とビームスプリッタ装置から出る光ビームの伝搬方向とのなす角度を意味する。
【００１２】
別のミラーを設けることにより、ダイクロイックミラー面の面法線が共通の光路区間の光軸に対して角度２２．５±７．５°で傾斜するように、このダイクロイックミラー面を配向することができる。つまり、本発明では、従来の４５°配置に代え、ダイクロイックミラー面を共通の光路区間の光軸に対して４５°よりも小さい角度で配向できる。この角度が小さくなればなるほど、ダイクロイックミラー面の実現に通常使用されるような層構造体によって、各スペクトル領域の所望の鮮鋭な分離を簡単に達成できる。特に、本発明の装置によれば、例えば赤外阻止フィルタなどの他の光学素子をこのために設ける必要なく、各スペクトル領域の鮮鋭な分離が可能である。こうした鮮鋭な分離は特に、高感度カメラが使用される生体細胞への蛍光の適用にとって必須である。この場合、他のスペクトル領域の残留光は障害となるグラウンドパターンと認識されてしまうからである。
【００１３】
本発明では、ダイクロイックミラー面の面法線が共通の光路区間の光軸に対して通常よりも小さい角度で配向されるように構成したことにより、ダイクロイックミラー面の所望の偏光中性を保証することもできる。これにより、本発明の顕微鏡は、偏光光学の適用分野全体にわたって、例えばＤＩＣプロセスにおいて、特に有益に利用可能である。
【００１４】
本発明のダイクロイックミラー面の配向により、さらに、従来の４５°配置の場合に生じていた光路の光軸に沿ったミラー面の拡大を小さくすることができる。このため、ダイクロイックミラー面は、光軸に沿って、４５°配置の場合より小さなスペースしか要さない。このことは特にコンパクトな顕微鏡構造をもたらし、ダイクロイックビームスプリッタ装置にふつう存在している対物光学系とチューブレンズとの間の距離感応領域を設計する際に特に有利に作用する。
【００１５】
ダイクロイックミラー面が、適用のフレキシビリティを高めるために、光路へ導入可能となるようにかつ光路から除去可能となるように構成される場合、本発明のミラー面の配向によって、光路へのミラー面導入の動作状態と光路からのミラー面除去の動作状態との間で生じる光路の光軸ずれが低減される。さらに、この場合にも、光軸に沿って小さなスペースしか要さないので好都合である。
【００１６】
本発明の構成では、ダイクロイックミラー面の面法線は、共通の光路区間の光軸に対し、通常使用される４５°配置に比べて１／２の強さでしか傾斜されない。こうした２２．５°未満の配置により、特に各スペクトル領域の所望の鮮鋭な分離と所望の偏光中性とに関し、特に有利であることが判明している。
【００１７】
本発明の解決手段が上述した２２．５°配置のみに厳密に限定されるものでないことは明らかであると理解される。相応に、ダイクロイックミラー面を共通の光路区間の光軸に対して配置する際の角度は±７．５°の許容範囲で変化してよい。この手段を行っても依然として、通常行われる４５°配置よりも角度が小さくなることは保証される。したがって、意図した技術的作用、すなわち、ビームずれの低減、各スペクトル領域の鮮鋭な分離、及び／又は、一貫した偏光中性が達成される。
【００１８】
好ましくは、別のミラーが設けられる。本発明のビームスプリッタ装置はこのケースでは２つのミラー面のみから形成され、これにより光学構造を単純に保つことができる。
【００１９】
好ましくは、本発明の顕微鏡は、ダイクロイックミラー面を光路区間から除去するか又は光路区間に導入する調整装置を有する。これにより、顕微鏡の適用のフレキシビリティが向上する。
【００２０】
特に好ましい構成では、ダイクロイックミラー面が切り替え可能なスプリッタ面として構成される場合、すなわち、適用形態に応じて光路区間に導入可能又は光路区間から除去可能なスプリッタ面として構成されるのに対して、別のミラーを顕微鏡に固定に、例えば架台に取り付けることも有利である。これは、当該別のミラーが共通の光路区間の外に位置することから可能になっている。したがって、ダイクロイックミラー面が光路区間から除去される動作状態では、当該別のミラーも動作しない。
【００２１】
別の有利な一実施形態では、オートフォーカス光をビームスプリッタ装置へ送光するオートフォーカス光源を含むオートフォーカスモジュールが設けられる。こうした実施形態により、例えば、それまで光路区間から除去されていたダイクロイックミラー面をオートフォーカスモジュールの使用開始時にこの光路区間へ導入するように構成可能である。この場合、オートフォーカスモジュールのオートフォーカス光源は、好ましくは、反射部分光を、赤外領域の波長を有する光の形態で送光する。
【００２２】
好ましい一実施形態では、ダイクロイックミラー面は無限光路に配置される。これは特に、ダイクロイックミラー面を切り替え可能な素子として構成する場合、すなわち、適用形態に応じて光路区間に導入される素子又は光路区間から除去される素子として構成する場合に、有利である。
【００２３】
本発明を以下に図に即して詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施形態である顕微鏡の各部品を示す概略図である。
【図２】図１の顕微鏡に設けられているダイクロイックビームスプリッタ装置を示す概略図である。
【図３】比較例としての顕微鏡を示す概略図である。
【図４】図３の顕微鏡で使用されているダイクロイックビームスプリッタ装置を示す概略図である。
【図５】図１の顕微鏡で使用されているダイクロイックミラー面の波長依存性の透過率を示すグラフである。
【図６】ａは従来技術で使用されている比較例としてのダイクロイックミラー面の波長依存性の透過率を示すグラフであり、ｂは従来技術で使用されている赤外阻止フィルタの波長依存性の透過率を示すグラフである。
【図７】ガラスプレートでの反射の例における偏光中性の角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１には、本発明の第１の実施形態の顕微鏡１０が示されている。ここで、図１には、顕微鏡１０の素子のうち本発明の理解に必要なものしか示していない。
【００２６】
図１の顕微鏡１０は、複数のレンズ群１４，１６，１８，２０から形成される対物光学系１２を含む。対物光学系１２は、チューブレンズ２４を介して試料２２を中間像面２６へ結像するために用いられる。
【００２７】
顕微鏡１０は、さらに、対物光学系１２をそれ自体公知の手段によって試料２２へフォーカシングする機能を有するオートフォーカスモジュール２８を含む。オートフォーカスモジュール２８は、赤外領域の波長を有する反射部分光３２を送光するレーザー光源３０を有する。レーザー光源３０から送光された反射部分光３２は、可視波長スペクトルにある反射部分光３２のスペクトル成分を除去する阻止フィルタ３４を通過する。当該反射部分光３２は、集光レンズ３１及びフィールドレンズ３６を通過し、ミラー素子３８で反射されて、複数のレンズ群４２，４４，４６，４８及び絞り５０から形成される伝送光学系４０に入る。
【００２８】
伝送光学系４０を通過した後、当該反射部分光３２は、ダイクロイックミラー面５４とミラー５６とから形成されるダイクロイックビームスプリッタ装置５２へ入射する。ダイクロイックビームスプリッタ装置５２は、図２にさらに詳細に示されている。図２に示されているように、ダイクロイックミラー面５４は、層構造体として透明な平行平面状の支持板５８上に被着されている。全反射を行うミラー５６は、別の平行平面状の支持板６０上に設けられている。
【００２９】
反射部分光３２は、まずミラー５６で、続いて第１のダイクロイックミラー面５４で反射される。ミラー５６が全反射性を有するように構成されているのに対して、ダイクロイックミラー面５４は例えば層構造体の形態で、赤外領域の波長を有する反射部分光３２を反射し、可視領域の波長を有する光を透過するように構成されている。
【００３０】
ダイクロイックミラー面５４での反射の後、反射部分光３２は対物光学系１２へ到達し、そこから試料２２へフォーカシングされる。反射部分光３２のうち試料２２で反射された成分は、対物光学系１２を介してダイクロイックミラー面５４へ戻り、このダイクロイックミラー面５４が反射部分光３２を第２のミラー面５６へ偏向する。当該第２のミラー面５６は、反射部分光３２を伝送系４０へ戻す。この場合、反射部分光３２は、ピューピルスプリッタ部を介してミラー素子３８で反射され、フィルタ６２を通過して検出器６４へ結像される。フィルタ６２及び検出器６４はオートフォーカスモジュール２８の一部である。オートフォーカスモジュール２８は、反射部分光３２が検出器６４上に形成する信号を評価し、この信号によって、試料２２への対物光学系１２を鮮鋭化すべく、フォーカシング装置を調整する。こうした調整のために設けられる素子は、図１では省略されている。
【００３１】
反射部分光３２は、顕微鏡１０内で、図１に全体として６６で示された反射光路に沿って伝搬する。これに対して、試料２２から出た検出光は、対物光学系１２及びチューブレンズ２４を介して中間像面２６へ案内され、透過部分光６８の形態で図１に７０で示された透過光路に沿って伝搬する。この実施形態では、透過部分光の波長は可視波長スペクトルにあってよい。したがって、ダイクロイックミラー面５４は、可視領域の波長を有する光を透過するように構成されている。
【００３２】
反射光路６６及び透過光路７０は、ダイクロイックミラー面５４と試料２２との間に、光軸Ｏを有する、図１に７２で示されている共通の光路区間を有する。図２に示されているように、共通の光路区間７２の光軸Ｏは、面法線Ｎ１に対して角度β＝２２．５°をなすようにダイクロイックミラー面５４上に定められる。相応に、第２のミラー面５６の、図２にＮ２で示されている面法線は、入射する反射部分光３２の入射方向に対して同様に角度２２．５°をなし、この角度は図２にγで示されている。ミラー面５４，５６ではそれぞれ光入射角が光出射角に等しいので、ダイクロイックビームスプリッタ装置５２は、自身に入射する反射部分光３２を、図２では下方のミラー５６へ配向された照明光路に対して全体で偏向角α＝９０°だけ反射する。
【００３３】
ダイクロイックミラー面５４で行われる、反射光路３２から対物光学系１２への反射は、オートフォーカスモジュール２８の動作中にのみ必要となるので、ダイクロイックミラー面５４を上部に配置した支持板５８を反射光路６６から除去可能である。このために、図１に概略的にのみ示されている調整装置７４が設けられている。支持板５８が反射光路から除去されると、反射部分光３２は対物光学系１２へは入力されない。これに対して、第２のミラー面５６を上部に配置した支持板６０は、顕微鏡１０に固定に取り付けられている。
【００３４】
図３，図４には、ふつう従来技術で使用されるような、本発明ではない比較例が示されている。ここで、図３，図４では、図１，図２に示した実施形態の素子に対応する素子に同じ参照番号を付してある。
【００３５】
図１，図２に示されている実施形態は、主にダイクロイックビームスプリッタ装置５２の点で図３，図４の比較例と異なっている。図２に関連して上述したように、本発明の実施形態では、ミラー５６を設けたことにより、ダイクロイックミラー面５４の面法線Ｎ１が共通の光路区間７２の光軸Ｏに対して角度β＝２２．５°（のみ）をなすように、このダイクロイックミラー面５４を反射光路６６に配置できる。これに対して、比較例では、唯一のミラー面、すなわち、５４’で示されているダイクロイックミラー面しか設けられていない。偏向角α＝９０°を実現するため、当該ダイクロイックミラー面５４’は、その面法線Ｎ’１が共通の光路区間７２の光軸Ｏに対して角度β’＝４５°をなすように反射光路６６に配置されている。このことは、冒頭に言及した従来技術での通常の４５°配置に対応する。
【００３６】
図２と図４とを比較してわかるように、本発明の実施形態で適用される２２．５°配置は、２つの動作状態間すなわち支持板５８，５８’が反射光路６６へ導入された状態とそこから除去された状態との間で生じるビームずれ量ｘが小さいという利点を有する。こうしたそのつどのビームずれ量の大きさを理解するために、単に例としてではあるが、各支持板５８，５８’がＢＫ７から形成される２ｍｍ厚さのプレートであるとする。この例では、４５°配置での０．６７ｍｍのビームずれ量が、本発明の２２．５°配置での０．２８ｍｍへ低減される。
【００３７】
本発明の解決手段のさらなる利点が、図５及び図６のａ，ｂから理解される。ここで、図５には本発明の２２．５°配置でのダイクロイックミラー面５４の波長依存性の透過率が示されており、通常の４５°配置（図４を参照）でのダイクロイックミラー面５４’の透過率を示した図６のａの相応のグラフと比較される。図５と図６のａとを比較して明らかなように、本発明の配置では、観察されるスペクトル領域、すなわち、この実施形態では可視領域と赤外領域との格段に鮮鋭な分離が可能である。したがって、ダイクロイックミラー面５４’での通常の４５°配置ではしばしば赤外阻止フィルタが後置されるが、その波長依存性の透過率が図６のｂに示されている。こうしたフィルタは、図１，図２に示した実施形態ではもはや必要ない。
【００３８】
さらに、図７には、ダイクロイックミラー面５４を反射光路６６に配置することが偏光中性にどのように作用するかが示されている。このために、図７には、屈折率１．５のガラスプレートでの、垂直偏光した又は水平偏光した光の反射の反射率ＲＳ，ＲＰが示されている。図７のグラフに示されているように、偏向角αが大きくなるにつれ、２つの反射率ＲＳ，ＲＰの相互偏差が強くなる。したがって、本発明でのダイクロイックミラー面５４の２２．５°配置は、偏光中性の点で、従来の４５°配置よりも格段に良好である。
【００３９】
上述したように、本発明の解決手段は、具体的に説明した実施形態で提案した２２．５°配置に限定されるものではない。共通の光路区間７２の光軸Ｏに対してダイクロイックミラー面５４の面法線Ｎ１がなす角度は、この角度が本発明の目指す技術的効果、すなわち、ビームずれ量の低減、スペクトル領域の鮮鋭な分離、及び／又は、一貫した偏光中性の実現などを達成できる程度に充分に小さいかぎり、±７．５°の範囲で異なってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０  顕微鏡、  １２  対物光学系、  １４，１６，１８，２０，４２，４４，４６，４８  レンズ群、  ２２  試料、  ２４  チューブレンズ、  ２６  中間像面、  ２８  オートフォーカスモジュール、  ３０  レーザー光源、  ３１  集光レンズ、  ３２  反射部分光、  ３４  阻止フィルタ、  ３６  フィールドレンズ、  ３８  ミラー素子、  ４０  伝送光学系、  ５０  絞り、  ５２  ダイクロイックビームスプリッタ装置、  ５４  ダイクロイックな第１のミラー面、  ５６  第２のミラー面、  ５８，６０  支持板、  ６２  フィルタ、  ６４  検出器、  ６６  反射光路、  ６８  透過部分光、  ７０  透過光路、  ７２  共通の光路区間、  ７４  調整装置、  Ｎ１，Ｎ２  面法線、  α，β，γ  角度、  ｘ  ビームずれ量
【図１】
0006742984.tif 000002
【図２】
0006742984.tif 000003
【図３】
0006742984.tif 000004
【図４】
0006742984.tif 000005
【図５】
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【図６】
0006742984.tif 000007
【図７】
0006742984.tif 000008