(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に凹部が設けられた圧電基板と、
前記凹部の底面に形成された第１の共振子電極と、
前記圧電基板の前記表面における前記凹部と異なる領域に形成された第２の共振子電極と、
前記圧電基板の前記表面に形成され、前記第１の共振子電極および前記第２の共振子電極を覆い、前記圧電基板の前記表面に当接する面と反対側の天面が平坦な第１の保護膜と、
を備え、
前記第１の共振子電極の全体は、前記凹部の底面に形成され、
前記第２の共振子電極の全体は、前記凹部と異なる領域に形成され、
前記第１の共振子電極を備える第１の共振子と前記第２の共振子電極を備える第２の共振子とで１つのフィルタを構成する、
弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記第１の共振子電極と前記第２の共振子電極とを接続する配線電極を前記圧電基板の前記表面に備える、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記第１の共振子と、前記第２の共振子とがラダー型に接続されている、
請求項１または請求項２に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記第１の共振子は直列腕共振子であり、前記第２の共振子は並列腕共振子である、
請求項３に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
前記第１の共振子は並列腕共振子であり、前記第２の共振子は直列腕共振子である、
請求項３に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
前記第１の保護膜の前記天面に形成された第２の保護膜を備える、
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電基板の表面にＩＤＴ電極を形成してなる弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種の弾性表面波フィルタが実用化されている。弾性表面波フィルタは、例えば、特許文献１に示すような構造を備える。特許文献１の弾性表面波フィルタは、圧電基板と櫛形電極（ＩＤＴ電極）とを備える。櫛形電極は、圧電基板の表面に形成されている。圧電基板の表面には、櫛形電極を覆う第１の保護膜が形成されている。第１の保護膜は、例えば、ＳｉＯ２からなる。第１の保護膜の表面には、第２の保護膜が形成されている。第２の保護膜は、例えば、ＳｉＯ２からなる。
【０００３】
特許文献１の弾性表面波フィルタでは、圧電基板の表面に、二組の櫛歯電極が形成されている。第１の櫛歯電極の形成領域における第１の保護膜の厚みは、第２の櫛歯電極の形成領域における第１の保護膜の厚みよりも大きい。これにより、第１の櫛歯電極を含む第１の共振子と、第２の櫛歯電極を含む第２の共振子とは、周波数特性が異なる。特許文献１の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子を直列腕共振子に設定し、第２の共振子を並列腕共振子に設定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１５２２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子の部分と第２の共振子の部分とで厚みが異なり、第１の保護膜の表面に段差が生じる。
【０００６】
このように、弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタを形成する電子部品）の外面に段差を有する場合、当該段差からクラックが生じ易く、弾性表面波フィルタの物理的な強度が低下してしまう。また、第１の保護膜の表面に第２の保護膜を形成する場合、段差の面に第２の保護膜を形成し難く、耐環境性等が低下してしまう。また、段差を有することによって、第１の保護膜の表面の平坦化処理時にレジストの残渣が発生する等の問題が生じ、安定な共振子特性およびフィルタ特性を実現することが容易でなくなる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、１つの圧電基板に周波数特性の異なる複数の共振子を形成しても、共振子特性が安定し、信頼性の高い弾性表面波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板、第１の共振子電極、第２の共振子電極、および、第１の保護膜を備える。圧電基板は、表面に凹部が設けられている。第１の共振子電極は、凹部の底面に形成されている。第２の共振子電極は、圧電基板の表面における凹部と異なる領域に形成されている。第１の保護膜は、圧電基板の表面に形成され、第１の共振子電極および前記第２の共振子電極を覆っている。第１の保護膜における圧電基板の表面に当接する面と反対側の天面は平坦である。
【０００９】
この構成では、第１の保護膜における第１の共振子電極を覆う部分の厚みは、第１の保護膜における第２の共振子電極を覆う部分の厚みよりも大きい。したがって、第１の共振子電極を備える第１の共振子の周波数特性と、第２の共振子電極を備える第２の共振子の周波数特性とは、異なる。
【００１０】
また、この発明の弾性表面波フィルタは、第１の共振子電極と第２の共振子電極とを接続する配線電極を、圧電基板の表面に備えることが好ましい。
【００１１】
この構成では、第１の共振子電極と第２の共振子電極とが短距離で接続され、配線電極が第１の保護膜によって保護される。
【００１２】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子電極を備える第１の共振子と、第２の共振子電極を備える第２の共振子とが異なるフィルタを構成していてもよい。
【００１３】
この構成では、１つの圧電基板で、フィルタ特性の異なる複数のフィルタが形成される。
【００１４】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子電極を備える第１の共振子と、第２の共振子電極を備える第２の共振子とがラダー型に接続されており、１つのフィルタを構成していてもよい。
【００１５】
この構成では、１つの圧電基板で、ラダー型回路を構成する直列腕共振子の共振子特性と並列腕共振子の共振子特性とを異ならせられる。
【００１６】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子電極を備える第１の共振子と、第２の共振子電極を備える第２の共振子とが縦結合型に接続されており、１つのフィルタを構成していてもよい。
【００１７】
この構成では、１つの圧電基板で、縦結合型回路を構成する複数の共振子の共振子特性を異ならせられる。
【００１８】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子は直列腕共振子であり、第２の共振子は並列腕共振子であってもよい。
【００１９】
この構成では、通過帯域の高周波数側の温度特性が優れ、通過帯域の広いフィルタが実現される。
【００２０】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の共振子は並列腕共振子であり、第２の共振子は直列腕共振子であってもよい。
【００２１】
この構成では、通過帯域の低周波数側の温度特性が優れ、通過帯域の広いフィルタが実現される。
【００２２】
また、この発明の弾性表面波フィルタでは、第１の保護膜の天面に形成された第２の保護膜を備えることが好ましい。
【００２３】
この構成では、弾性表面波フィルタの信頼性が向上する。また、第１の保護膜の天面が平坦であるので、第１の保護膜の全面に第２の保護膜を形成し易い。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、１つの圧電基板に周波数特性の異なる複数の共振子を形成しても、それぞれの共振子特性が安定し、高い信頼性が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（Ａ）は本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す側面図であり、（Ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図２】共振子特性を示すグラフであり、横軸は周波数を示し、縦軸はインピーダンスを示す。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】（Ａ）は本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す側面図であり、（Ｂ）は本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す弾性表面波フィルタの等価回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタについて、図を参照して説明する。図１（Ａ）は本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す側面図である。図１（Ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。図１（Ｂ）では、保護膜４０および保護膜５０の図示を省略している。
【００２７】
図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すように、弾性表面波フィルタ１０は、圧電基板２０、複数の共振子電極３１、３２、保護膜４０、および、保護膜５０を備える。
【００２８】
圧電基板２０は、ニオブ酸リチウム基板（ＬＮ基板）、タンタル酸リチウム基板（ＬＴ基板）、水晶基板、または、ＺｎＯ基板からなる。なお、圧電基板２０の材料は、弾性表面波フィルタとして用いられる材料であれば、これらの材料に限るものでない。
【００２９】
圧電基板２０の表面２０１には、凹部２１が形成されている。表面２０１は、凹部２１を除き平坦である。凹部２１の底面は平坦である。なお、凹部２１の底面は、さらなる凹部を備えていてもよい。すなわち、凹部２１の底面は、複数段で凹む形状であってもよい。
【００３０】
共振子電極３１および共振子電極３２には、保護膜４０よりも比重の大きな材料、例えば、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｗのいずれかを用いるとよい。さらには、共振子電極３１および共振子電極３２には、前記いずれかの金属の表面にＡｌ等の導電性の高い金属を積層してもよい。
【００３１】
共振子電極３１は、凹部２１の底面に形成されている。共振子電極３１は、二つのＩＤＴ電極３１１、３１２、および、二つの反射器電極３１３を備える。
【００３２】
二つのＩＤＴ電極３１１、３１２は、それぞれにバスバー電極と複数の電極指とによって形成されている。ＩＤＴ電極３１１の複数の電極指と、ＩＤＴ電極３１２の複数の電極指とは、ＩＤＴ電極３１１のバスバー電極とＩＤＴ電極３１２のバスバー電極との間に配置されている。ＩＤＴ電極３１１の複数の電極指と、ＩＤＴ電極３１２の複数の電極指とは、二つのバスバー電極の配列方向に対して直交する方向に沿って、交互に配置されている。二つの反射器電極３１３は、二つのＩＤＴ電極３１１、３１２を構成する複数の電極指の配置領域を挟むように配置されている。二つの反射器電極３１３は、これら複数の電極指の配列方向の各端部にそれぞれ配置されている。
【００３３】
共振子電極３２は、圧電基板２０の表面２０１における凹部２１と異なる領域に形成されている。共振子電極３２は、二つのＩＤＴ電極３２１、３２２、および、二つの反射器電極３２３を備える。二つのＩＤＴ電極３２１、３２２が、本発明の第２のＩＤＴ電極に対応する。
【００３４】
二つのＩＤＴ電極３２１、３２２は、それぞれにバスバー電極と複数の電極指とによって形成されている。ＩＤＴ電極３２１の複数の電極指と、ＩＤＴ電極３２２の複数の電極指とは、ＩＤＴ電極３２１のバスバー電極とＩＤＴ電極３２２のバスバー電極との間に配置されている。ＩＤＴ電極３２１の複数の電極指と、ＩＤＴ電極３２２の複数の電極指とは、二つのバスバー電極の配列方向に対して直交する方向に沿って、交互に配置されている。二つの反射器電極３２３は、二つのＩＤＴ電極３２１、３２２を構成する複数の電極指の配置領域をはさむように配置されている。二つの反射器電極３２３は、これら複数の電極指の配列方向の各端部にそれぞれ配置されている。
【００３５】
保護膜４０は、例えば、ＳｉＯ２膜からなる。なお、保護膜４０の材料は、共振子電極３１、３２と圧電基板２０とからなる共振子の温度特性に対して、反対の温度特性を有する材料であればよい。保護膜４０は、本発明の「第１の保護膜」に対応する。
【００３６】
保護膜４０は、圧電基板２０の表面２０１の全体に当接している。すなわち、保護膜４０は、表面２０１における凹部２１以外の部分だけでなく、凹部２１にも充填されている。保護膜４０は、共振子電極３１および共振子電極３２を完全に覆っており、所定の厚みを有する。保護膜４０の天面４０１（圧電基板２０の表面２０１に当接する面と反対側の面）は、平坦である。言い換えれば、保護膜４０の天面４０１は、凹部２１に重なる領域と、凹部２１に重ならない領域（凹部２１と異なる領域）とで、段差を有さない。
【００３７】
したがって、保護膜４０における凹部２１に重なる領域の厚みは、保護膜４０における凹部２１と異なる領域の厚みよりも大きい。言い換えれば、保護膜４０における共振子電極３１が形成される領域の厚みは、保護膜３０における共振子電極３２が形成される領域の厚みよりも大きい。
【００３８】
これにより、共振子電極３１を備える第１の共振子と、共振子電極３２を備える第２の共振子とは、共振子特性が異なる。図２は、共振子特性を示すグラフであり、横軸は周波数を示し、縦軸はインピーダンスを示す。
【００３９】
具体的には、第１の共振子は、第２の共振子と比較して、共振子の温度特性が良い。また、第１の共振子は、第２の共振子と比較して、電気機械結合係数が小さくなり、比帯域幅が小さくなる。この場合、図２の実線に示す第１の共振子の特性を有する。すなわち、共振点ｆｒ３１および反共振点ｆａ３１でのインピーダンス変化が第２の共振子よりも急峻で、且つ、共振点ｆｒ３１と反共振点ｆａ３１間の周波数差が第２の共振子よりも小さい。
【００４０】
一方、第２の共振子は、第１の共振子と比較して、共振子の温度特性が劣化する。また、第２の共振子は、第１の共振子と比較して、電気機械結合係数が大きくなり、比帯域幅が大きくなる。この場合、図２の破線に示す第２の共振子の特性を有する。すなわち、共振点ｆｒ３２および反共振点ｆａ３２でのインピーダンス変化が第１の共振子よりも緩やかで、且つ、共振点ｆｒ３１と反共振点ｆａ３１間の周波数差が第１の共振子よりも大きい。
【００４１】
このように、本実施形態の弾性表面波フィルタ１０は、１つの圧電基板２０によって、共振子特性が異なる二つの共振子を備えることができる。そして、保護膜４０の天面４０１に段差が無いので、当該段差によるクラックを防止できる。これにより、弾性表面波フィルタ１０の物理的な強度は向上する。また、弾性表面波フィルタ１０は、高い信頼性を実現できる。
【００４２】
なお、これら第１の共振子と第の２共振子とは、それぞれ異なるフィルタの構成要素であってもよく、一つのフィルタの構成要素であってもよい（第２の実施形態および第３の実施形態を参照）。
【００４３】
保護膜５０は、例えば、ＳｉＮ膜、ＳｉＯ２膜、ガラス等の無機膜、有機膜、有機と無機のハイブリッド膜等からなる。なお、保護膜５０は、所望とする信頼性の内容に応じて、これら以外の膜からなっていてもよい。保護膜５０は、本発明の「第２の保護膜」に対応する。
【００４４】
保護膜５０は、保護膜４０の天面４０１の全面を覆っている。この構成により、弾性表面波フィルタ１０は、保護膜５０の材質に応じて、より高い信頼性または安定した共振子特性を実現できる。
【００４５】
また、弾性表面波フィルタ１０では、保護膜４０の天面４０１が平坦である。したがって、段差に保護膜５０が形成されない等の問題が生じず、保護膜４０の天面４０１の全面に、保護膜５０を容易且つ確実に形成できる。これにより、より高い信頼性および安定した共振子特性を有する弾性表面波フィルタ１０を、容易に実現できる。
【００４６】
このような構成からなる弾性表面波フィルタ１０は、次に示すように製造される。図３は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタの製造方法の一例を示すフローチャートである。
【００４７】
圧電基板２０の表面２０１に凹部２１を形成する（Ｓ１０１）。具体的には、圧電基板２０の表面２０１における凹部２１以外の領域に、レジスト膜を形成する。レジスト膜付きの圧電基板２０に対して、ＲＩＥ法、または、エッチング液への浸漬を行う。これにより、圧電基板２０の表面２０１の一部が凹み、凹部２１が形成される。凹部２１の形成後、レジスト膜は除去される。
【００４８】
凹部２１の底面に共振子電極３１を形成する（Ｓ１０２）。表面２０１における凹部２１と異なる領域に共振子電極３２を形成する（Ｓ１０２）。共振子電極３１および共振子電極３２の形成方法は、ＰＶＤ、ＣＶＤ等の蒸着法、または、パターンメッキ等の既知の方法を用いればよい。なお、共振子電極３１の形成および共振子電極３２の形成は、同時であってもよい。
【００４９】
圧電基板２０の表面２０１（凹部２１を含む）を覆う保護膜（ＳｉＯ２膜）４０を形成する（Ｓ１０４）。保護膜４０の天面４０１を、ＣＭＰ法等を用いて、平坦化する（Ｓ１０５）。
【００５０】
平坦化された保護膜（ＳｉＯ２膜）４０の天面４０１に、保護膜５０を形成する（Ｓ１０６）。保護膜（ＳｉＯ２膜）４０の天面４０１が平坦化されていることにより、保護膜５０を、天面４０１の全面に容易に且つ確実に形成できる。
【００５１】
なお、図１の構成では、凹部２１と、表面２０１における凹部２１と異なる領域とのそれぞれに、１つずつ共振子電極を形成する態様を示した。しかしながら、凹部２１に複数の共振子電極を形成してもよく、表面２０１における凹部２１と異なる領域に複数の共振子電極を形成してもよい。
【００５２】
次に、本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタについて、図を参照して説明する。図４（Ａ）は本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す側面図である。図４（Ｂ）は本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。図４（Ｂ）では、保護膜４０および保護膜５０の図示を省略している。
【００５３】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０Ａは、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０に対して、複数の配線電極４１１、４１２、４２１、４２２を備えた点で異なる。弾性表面波フィルタ１０Ａの他の構成は、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０と同じであり、同じ箇所の説明は、省略する。
【００５４】
配線電極４１１、４１２、４２１、４２２のそれぞれは、圧電基板２０の表面２０１に形成されている。配線電極４１１、４１２、４２１、４２２は、共振子電極３１、３２と同じ材料からなる。なお、配線電極４１１、４１２、４２１、４２２は、共振子電極３１、３２と異なる材料からなっていてもよい。
【００５５】
配線電極４１１および配線電極４１２は、弾性表面波フィルタ１０Ａを平面視して、共振子電極３１を挟むように配置されている。配線電極４１１は、ＩＤＴ電極３１１に近接して配置されている。配線電極４１２は、ＩＤＴ電極３１２に近接して配置されている。配線電極４１１および配線電極４１２は、凹部２１の底面まで繋がる形状である。
【００５６】
配線電極４１１は、ＩＤＴ電極３１１に接続されている。配線電極４１１におけるＩＤＴ電極３１１に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ１１が形成されている。入出力端子Ｐ１１は、配線電極４１１の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ１１は、表面２０１における凹部２１と異なる領域にある。
【００５７】
配線電極４１２は、ＩＤＴ電極３１２に接続されている。配線電極４１２におけるＩＤＴ電極３１２に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ１２が形成されている。入出力端子Ｐ１２は、配線電極４１２の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ１２は、表面２０１における凹部２１と異なる領域にある。
【００５８】
配線電極４２１および配線電極４２２は、弾性表面波フィルタ１０Ａを平面視して、共振子電極３２を挟むように配置されている。配線電極４２１は、ＩＤＴ電極３２１に近接して配置されている。配線電極４２２は、ＩＤＴ電極３２２に近接して配置されている。
【００５９】
配線電極４２１は、ＩＤＴ電極３２１に接続されている。配線電極４２１におけるＩＤＴ電極３２１に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ２１が形成されている。入出力端子Ｐ２１は、配線電極４２１の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ２１は、表面２０１における凹部２１と異なる領域にある。
【００６０】
配線電極４２２は、ＩＤＴ電極３２２に接続されている。配線電極４２２におけるＩＤＴ電極３２２に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ２２が形成されている。入出力端子Ｐ２２は、配線電極４２２の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ２２は、表面２０１における凹部２１と異なる領域にある。
【００６１】
このような構成であっても、図４（Ａ）に示すように、弾性表面波フィルタ１０Ａでは、保護膜４０の天面４０１は平坦である。これにより、弾性表面波フィルタ１０Ａは、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０と同様の作用効果を有する。
【００６２】
また、共振子電極３１を備える第１の共振子の入出力端子Ｐ１１、Ｐ１２と、共振子電極３２を備える第２の共振子の入出力端子Ｐ２１、Ｐ２２は、圧電基板２０の表面２０１における凹部２１にあってもよいが、凹部２１と異なる領域にあるとより好ましい。その場合、入出力端子Ｐ１１、Ｐ１２を形成するために保護膜４０、５０に空ける孔の深さと、入出力端子Ｐ２１、Ｐ２２を形成するために保護膜４０、５０に空ける孔の深さが同じになるため、入出力端子Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２の形成工程は容易になる。
【００６３】
また、入出力端子Ｐ１１、Ｐ１２を第１のフィルタの入出力端子とし、入出力端子Ｐ２１、Ｐ２２を第２のフィルタの入出力端子として外部回路に接続することによって、弾性表面波フィルタ１０は、周波数特性の異なる二つのフィルタを一つの圧電基板２０で形成できる。また、入出力端子Ｐ１１と、入出力端子Ｐ２１または入出力端子Ｐ２２とを接続することによって、周波数特性の異なる二つの共振子を接続した１つのフィルタを実現できる。
【００６４】
次に、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタについて、図を参照して説明する。図５（Ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。図５（Ａ）では、保護膜４０および保護膜５０の図示を省略している。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す弾性表面波フィルタの等価回路図である。
【００６５】
図５（Ａ）に示すように、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０に対して、共振子電極３３、配線電極４１１Ｂ、４２２、４３２、４４０を追加した点、および凹部２１Ｂの形状において異なる。弾性表面波フィルタ１０Ｂの他の構成は、弾性表面波フィルタ１０と同じであり、同じ箇所の説明は、省略する。
【００６６】
共振子電極３３は、二つのＩＤＴ電極３３１、３３２、および、二つの反射器電極３３３を備える。二つのＩＤＴ電極３３１、３３２が、本発明の第１のＩＤＴ電極に対応する。共振子電極３３の基本構造および材料は、共振子電極３１および共振子電極３２と同じであり、説明は省略する。
【００６７】
圧電基板２０Ｂは、表面２０１に凹部２１Ｂを備える。共振子電極３１と共振子電極３３とは、圧電基板２０Ｂの凹部２１Ｂの底面に形成されている。共振子電極３２は、圧電基板２０Ｂの表面２０１における凹部２１Ｂと異なる領域に形成されている。
【００６８】
共振子電極３１、３２、３３は、共振子電極３１、３２、３３のそれぞれを構成する複数の電極指の配列方向が並行になるように、配置されている。共振子電極３１と共振子電極３３とは、複数の電極指の延びる方向に沿って、間隔を空けて配置されている。共振子電極３２と共振子電極３３とは、複数の電極指の配列方向に沿って、間隔を空けて配置されている。
【００６９】
配線電極４１１Ｂ、４２２、４３２、４４０のそれぞれは、圧電基板２０Ｂの表面２０１に形成されている。配線電極４１１Ｂ、４２２、４３２、４４０は、共振子電極３１、３２、３３と同じ材料からなる。なお、配線電極４１１Ｂ、４２２、４３２、４４０は、共振子電極３１、３２、３３と異なる材料からなっていてもよい。
【００７０】
配線電極４１１Ｂおよび配線電極４４０は、弾性表面波フィルタ１０Ｂを平面視して、共振子電極３１を挟むように配置されている。配線電極４１１Ｂは、ＩＤＴ電極３１１に近接して配置されている。配線電極４４０は、ＩＤＴ電極３１２に近接して配置されている。配線電極４１１Ｂおよび配線電極４４０は、凹部２１Ｂの底面まで繋がる形状である。
【００７１】
配線電極４１１Ｂは、ＩＤＴ電極３１１に接続されている。配線電極４１１ＢにおけるＩＤＴ電極３１１に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ１１が形成されている。入出力端子Ｐ１１は、配線電極４１１Ｂの一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ１１は、表面２０１における凹部２１Ｂにあってもよいが、凹部２１Ｂと異なる領域にあるとより好ましい。
【００７２】
配線電極４４０および配線電極４２２は、弾性表面波フィルタ１０Ｂを平面視して、共振子電極３２を挟むように配置されている。配線電極４４０は、ＩＤＴ電極３２１に近接して配置されている。配線電極４２２は、ＩＤＴ電極３２２に近接して配置されている。
【００７３】
配線電極４２２におけるＩＤＴ電極３２２に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ２２が形成されている。入出力端子Ｐ２２は、配線電極４２２の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ２２は、表面２０１における凹部２１Ｂにあってもよいが、凹部２１Ｂと異なる領域にあるとより好ましい。
【００７４】
配線電極４４０および配線電極４３２は、弾性表面波フィルタ１０Ｂを平面視して、共振子電極３３を挟むように配置されている。配線電極４４０は、ＩＤＴ電極３３１に近接して配置されている。配線電極４３２は、ＩＤＴ電極３３２に近接して配置されている。
【００７５】
配線電極４３２におけるＩＤＴ電極３３２に接続する側と反対側の端部には、入出力端子Ｐ３２が形成されている。入出力端子Ｐ３２は、配線電極４３２の一部が保護膜４０および保護膜５０に覆われていない構造によって実現されている。入出力端子Ｐ３２は、表面２０１における凹部２１Ｂにあってもよいが、凹部２１Ｂと異なる領域にあるとより好ましい。
【００７６】
配線電極４４０は、ＩＤＴ電極３１２、ＩＤＴ電極３２１、および、ＩＤＴ電極３３１に接続されている。
【００７７】
なお、図示していないが、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０と同様に、圧電基板２０Ｂの表面２０１には、凹部２１Ｂも含んで、保護膜４０が形成されている。保護膜４０における表面２０１と反対側の天面４０１は平坦である。保護膜４０の天面４０１には、保護膜５０が形成されている。
【００７８】
このような構成により、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０および第２の実施形態に係る弾性表面波フィルタ１０Ａと同様の作用効果を有する。
【００７９】
また、弾性表面波フィルタ１０Ｂでは、配線電極４４０によって、複数の共振子電極３１、３２、３３をそれぞれ接続している。したがって、複数の共振子電極３１、３２、３３を個別に形成して、外部の導体パターンで接続する構成と比較して、複数の共振子電極３１、３２、３３を短い距離で接続できる。これにより、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、伝送損失を抑制できる。特に、図５に示すように、配線電極４４０の幅を、他の配線電極４４０よりも大きくすることによって、伝送損失をさらに抑制できる。また、配線電極４４０の全体が保護膜４０に覆われていることにより、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、配線電極４４０の耐環境性を向上できる。
【００８０】
また、このような構成により、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、図５（Ｂ）に示す回路を実現する。弾性表面波フィルタ１０Ｂは、共振子３１０、３２０、３３０、および、入出力端子Ｐ１１、Ｐ２２、Ｐ３２を備える。共振子３１０は、共振子電極３１を備える。共振子３２０は、共振子電極３２を備える。共振子３３０は、共振子電極３３を備える。
【００８１】
共振子３１０と共振子３３０は、入出力端子Ｐ１１と入出力端子Ｐ２２との間に直列接続されている。共振子３１０は、入出力端子Ｐ１１に接続されており、共振子３３０は、入出力端子Ｐ３３に接続されている。共振子３２０の第１端は、共振子３１０における入出力端子Ｐ１１と反対側の端部、および、共振子３３０における入出力端子Ｐ３３と反対側の端部に接続されている。共振子３２０の第２端は、入出力端子Ｐ２２に接続されている。
【００８２】
この構成により、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、共振子３１０、３２０、３３０から構成されるラダー型回路を備える。
【００８３】
ここで、入出力端子Ｐ２２をグランド電位に接続することによって、共振子３１０、３３０は、直列腕共振子となり、共振子３２０は、並列腕共振子となる。この構成とすることで、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、温度特性が良好な直列腕共振子と、電気機械結合係数が大きな並列腕共振子とを備えるラダー型フィルタとなる。これにより、弾性表面波フィルタ１０Ｂの減衰特性は、所望の通信バンドの通過帯域の高周波数側で急峻になり、温度特性に優れる。さらに、所望の通信バンドとこれに隣り合う通信バンドと間の周波数差が小さくても、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、これに適応できる。また、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、所望の通信バンドに対して周波数範囲が広い通過帯域を実現できる。
【００８４】
これにより、例えば、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、ＵＭＴＳのＢａｎｄ２に対応した送信フィルタの条件を満足できる。そして、弾性表面波フィルタ１０Ｂは、このようなフィルタ特性を１つの圧電基板２０で実現できる。
【００８５】
一方、図示していないが、並列腕共振子に共振子３１０や共振子３３０の構造を適用し、直列腕共振子に共振子３２０の構造を適用することもできる。この場合、弾性表面波フィルタは、電気機械結合係数が大きな直列腕共振子と、温度特性が良好な並列腕共振子とを備えるラダー型フィルタとなる。これにより、弾性表面波フィルタの減衰特性は、所望の通信バンドの通過帯域の低周波数側で急峻になり、温度特性に優れる。さらに、所望の通信バンドとこれに隣り合う通信バンドと間の周波数差が小さくても、弾性表面波フィルタは、これに適応できる。また、弾性表面波フィルタは、所望の通信バンドに対して周波数範囲が広い通過帯域を実現できる。
【００８６】
これにより、例えば、弾性表面波フィルタは、ＵＭＴＳのＢａｎｄ２に対応した受信フィルタの条件を満足できる。そして、弾性表面波フィルタは、このようなフィルタ特性を１つの圧電基板２０で実現できる。
【００８７】
なお、上述の説明では、複数の共振子によって、ラダー型回路を形成する態様を示した。しかしながら、上述の構成を備える複数の共振子によって、縦結合型回路からなるフィルタを形成してもよい。これにより、縦結合型回路を構成する共振子を個別に所望の特性にでき、所望のフィルタ特性を有する縦結合型フィルタを、１つの圧電基板を用いて容易に実現できる。
【符号の説明】
【００８８】
１０、１０Ａ、１０Ｂ：弾性表面波フィルタ
２０、２０Ｂ：圧電基板
２１、２１Ｂ：凹部
３０：保護膜
３１、３２、３３：共振子電極
４０：保護膜
５０：保護膜
２０１：表面
３１０：共振子
３１１、３１２：ＩＤＴ電極
３１３：反射器電極
３２０：共振子
３２１、３２２：ＩＤＴ電極
３２３：反射器電極
３３０：共振子
３３１、３３２：ＩＤＴ電極
３３３：反射器電極
４０１：天面
４１１、４１１Ｂ、４１２、４２１、４２２、４４０：配線電極
Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ３２、Ｐ３３：入出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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