(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性樹脂をシート状に成形したものであるシート樹脂を準備する工程と、
（ａ）前記シート樹脂の中央部を凸となるように加圧して前記シート樹脂を曲げたまま、被供給物に対して前記シート樹脂の中央部から前記シート樹脂を押し付ける工程と、
（ｂ）前記（ａ）工程の後に、前記被供給物に対して前記シート樹脂の外周部へ向かって前記シート樹脂を押し付ける工程と、
を含むことを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項２】
請求項１記載の樹脂供給方法において、
前記（ａ）工程では、ローラによって前記シート樹脂の中央部が加圧されて前記被供給物に前記シート樹脂が押し付けられ、
前記（ｂ）工程では、前記ローラによって前記被供給物に前記シート樹脂を押し付ける際に、前記ローラを一方向に移動させた後、前記ローラを他方向に移動させることを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の樹脂供給方法において、
前記（ａ）工程では、前記被供給物の中央部に前記シート樹脂の中央部を位置合わせして、前記被供給物に前記シート樹脂を押し付けることを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の樹脂供給方法を用いて、
前記（ａ）工程および前記（ｂ）工程では、前記シート樹脂の前記被供給物側とは反対側にある保護フィルムを介して前記被供給物に対して前記シート樹脂を押し付け、
前記（ｂ）工程の後に、前記保護フィルムを剥離することを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の樹脂供給方法によって前記シート樹脂が供給された前記被供給物を成形金型にセットし、前記成形金型のキャビティ内で前記シート樹脂を加熱および加圧させることを特徴とする樹脂成形方法。
【請求項６】
請求項５記載の樹脂成形方法において、
前記被供給物がワークまたはリリースフィルムであることを特徴とする樹脂成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の樹脂（以下、シート樹脂という）を被供給物に供給する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２０１６−０２２６７１号公報（以下、特許文献１という）には、適宜のサイズ（樹脂量）に裁断加工されたシート樹脂をワーク（被供給物）に供給することが記載されている（その明細書段落［００３１］参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０２２６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウェハや大型基板の樹脂成形（樹脂封止）において用いられるシート樹脂が特に大判の場合、適切な状態で供給（セット）することが困難である。例えば、ワークや成形金型などの被供給物に対してシート樹脂を適切な位置に供給しようとした場合、被供給物とシート樹脂との相対位置の位置ズレが発生しやすく、キャビティ内で樹脂が充填されるときに不要な樹脂流れが生じることが考えられる。また、シート樹脂の位置が予期せず大きくずれるとキャビティの外側領域（金型部分）でシート樹脂を挟み込んでしまうことが考えられる。このような状態で樹脂成形を行うと成形不良となるおそれがある。また、ワークやフィルムなどの被供給物とシート樹脂との間にエアが挟み込まれたままであると、成形時にそのエアが膨張し、成形不良の原因となるおそれもある。
【０００５】
本発明の一目的は、シート樹脂を適切な状態で供給することのできる技術を提供することにある。なお、本発明の一目的および他の目的ならびに新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかにしていく。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂供給方法は、熱硬化性樹脂をシート状に成形したものであるシート樹脂を準備する工程と、（ａ）前記シート樹脂の中央部を凸となるように加圧して前記シート樹脂を曲げたまま、被供給物に対して前記シート樹脂の中央部から前記シート樹脂を押し付ける工程と、（ｂ）前記（ａ）工程の後に、前記被供給物に対して前記シート樹脂の外周部へ向かって前記シート樹脂を押し付ける工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
ここで、前記（ａ）工程では、ローラによって前記シート樹脂の中央部が加圧されて前記被供給物に前記シート樹脂が押し付けられ、前記（ｂ）工程では、前記ローラによって前記被供給物に前記シート樹脂を押し付ける際に、前記ローラを一方向に移動させた後、前記ローラを他方向に移動させることがより好ましい。これによれば、シート樹脂と被供給物との間のエアを外側に押し出しながら被供給物に対してシート樹脂を供給することができる。
【０００８】
また、前記（ａ）工程では、前記被供給物の中央部に前記シート樹脂の中央部を位置合わせして、前記被供給物に前記シート樹脂を押し付けることがより好ましい。これによれば、被供給物とシート樹脂との相対位置の位置ズレが発生し難くなり、被供給物に対してシート樹脂を適切な位置に供給することができる。
【０００９】
また、前記（ａ）工程および前記（ｂ）工程では、前記シート樹脂の前記被供給物側とは反対側にある保護フィルムを介して前記被供給物に対して前記シート樹脂を押し付け、前記（ｂ）工程の後に、前記保護フィルムを剥離することがより好ましい。これにより、押し付けられるシート樹脂を保護することができる。
【００１０】
また、前記シート樹脂が供給された前記被供給物を成形金型にセットし、前記成形金型のキャビティ内で前記シート樹脂を熱硬化させることがより好ましい。また、前記被供給物がワークまたはリリースフィルムであることがより好ましい。
【００１１】
被供給物に対してシート樹脂が適切な位置に供給されているので、キャビティの外側領域（金型部分）でシート樹脂の挟み込みを防止することができる。また、樹脂成形においてシート樹脂が成形金型のキャビティ内で充填されるときに不要な樹脂流れの発生を防止することができる。このようにシート樹脂を適切な位置に供給することで、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。また、エアの挟み込みを防止することで、樹脂成形においてボイドなどの成形不良の発生を防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段によれば、シート樹脂を適切な状態で供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る樹脂供給方法の説明図である。
【図２】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図３】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図４】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図５】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図６】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図７】図１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図８】本発明の実施形態１に係る樹脂成形方法の説明図である。
【図９】図８に続く樹脂成形方法の説明図である。
【図１０】本発明の実施形態２に係る樹脂供給方法の説明図である。
【図１１】図１０に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図１２】図１１に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図１３】図１２に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図１４】図１３に続く樹脂供給方法の説明図である。
【図１５】本発明の実施形態２に係る樹脂成形方法の説明図である。
【図１６】図１５に続く樹脂成形方法の説明図である。
【図１７】図１６に続く樹脂成形方法の説明図である。
【図１８】図１７に続く樹脂成形方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。
【００１５】
（実施形態１）
本発明の実施形態に係る樹脂供給方法について、図１〜図７を参照して説明する。図１〜図７は、樹脂供給方法の説明図であり、被供給物に供給されるシート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、本実施形態では、被供給物としてワークＷを用いる。
【００１６】
まず、図１に示すように、シート樹脂１０を準備する。シート樹脂１０は、例えばエポキシ系などの熱硬化性樹脂をシート状に半硬化（Ｂステージ）させて成形したものである。シート樹脂１０は、この両面（一方面を上面、他方面を下面とする）に貼り付けられた保護フィルム１１、１１を有する。保護フィルム１１は、例えばポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）をフィルム状に成形したものである。このようなシート樹脂１０は、例えばリールに巻き付けられており、適宜のサイズ（樹脂量）に裁断加工される。
【００１７】
続いて、図２に示すように、シート樹脂１０の下面側の保護フィルム１１を剥離する。これにより、シート樹脂１０の下面がワークＷと接するよう露出される。続いて、図３に示すように、樹脂シート１０が供給されるワークＷ（被供給物）を準備し、これをステージ１２にセットする。ワークＷは、例えばキャリア１３（ウェハ、テンポラリキャリア、基板など）上にチップ部品１４（例えばチップ状の半導体などの電子部品）がマトリクス状に設けられたものである。
【００１８】
そして、シート樹脂１０の上面側の中央部を加圧してシート樹脂１０を曲げる。なお、シート樹脂１０は、図３に示すように中央部分が凸となるような折り曲げる状態のみならず、中央部分が湾曲して凸となるように曲げることもできる。同図に示す場合において、具体的には、図示しないハンドによりシート樹脂１０の両端を保持しながら、その中央部をローラ１５によって加圧することで、シート樹脂１０の中央部が下側に凹まされて（換言すると、凸となるようにされて）、シート樹脂１０がＶ字状に折り曲げられる。このため、シート樹脂１０の中央部をワークＷの中央部に位置合わせ（センタリング）することが容易となる。なお、ローラ１５としては、例えば、金属性、ゴム製又はプラスチック製の円筒状部材の中心に軸を設けてその円筒状部材を回転可能に構成されたものを用いることができる。これにより、シート樹脂１０上からローラ１５で加圧してエアを押し出すことができる。また、上述の円筒状部材として、多数の空孔を含むスポンジ状の材質を用いることもできる。これによれば、シート樹脂１０を被供給物の凹凸に倣わせながらセットすることができる。また、ローラ１５を用いない加圧方法としては、弾性部材を用いたり、エアブローとしての押し付けや空気圧による加圧で行ったりすることができる。
【００１９】
続いて、図４に示すように、シート樹脂１０を折り曲げたまま、シート樹脂１０の中央部からワークＷに対してシート樹脂１０を押し付ける。本実施形態では、押し付け用のローラ１５によって、シート樹脂１０の上面側（ワークＷ側とは反対側）にある保護フィルム１１を介してワークＷに対してシート樹脂１０を押し付けている。保護フィルム１１を介して押し付けることでローラ１５とシート樹脂１０との接触によりこれらが汚れることから保護することができる。具体的には、シート樹脂１０がローラ１５に接触することにより、シート樹脂１０の成分がローラ１５に付着するのを防止することができる。また、例えば、ローラ１５に付着した付着物をシート樹脂１０の表面に転写してしまうことも防止することができる。また、ローラ１５によってシート樹脂１０の中央部がワークＷの中央部に位置合わせされた状態でシート樹脂１０の中央部が加圧される。そして、加圧されたまま、ワークＷにシート樹脂１０が押し付けられる。これにより、例えばワークＷとシート樹脂１０とを一端側において位置合わせしてセットするような場合と比較して、ワークＷとシート樹脂１０との相対位置の位置ズレが発生し難くなり、シート樹脂１０を適切な位置に供給することができるようになる。例えば、一端側において位置合わせしてセットするような場合では、最初に位置合わせしたときの位置や角度により、ワークＷとシート樹脂１０とが全体として大きくズレてしまうことが考えられる。しかしながら、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせすることでズレを小さくすることができる。
【００２０】
続いて、図５、図６および図７に示すように、ワークＷに対してシート樹脂１０の外周部へ向かってシート樹脂１０を押し付けて、シート樹脂１０を供給する。具体的には、ローラ１５によってワークＷにシート樹脂１０を押し付ける際に、ローラ１５を一方向に移動させた後（図５参照）、ローラ１５を他方向に移動させる（図６参照）。これにより、シート樹脂１０とワークＷとの間のエアを外側に押し出しながらワークＷに対してシート樹脂１０を供給（セット）することができる（図７参照）。すなわち、シート樹脂１０とワークＷとの間のエアを排出しながらワークＷに対してシート樹脂１０を沿わせて貼り付けるように供給することができる。本実施形態では、保護フィルム１１を用いているので、ローラ１５によって押し付けられるシート樹脂１０等を保護することができる。その後、ワークＷに供給されたシート樹脂１０の上面側の保護フィルム１１が剥離される。また、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせてからローラ１５を移動させているため、位置ズレを起こすことなくセットすることができる。例えば、ワークＷにおけるチップ部品１４の凹凸にシート樹脂１０が倣って貼り付けられるようなときには、シート樹脂１０のそのものの長さでワークＷを覆った状態とならず、一端側において位置合わせしてセットするような場合では、最初に位置合わせすべき位置が不明となり易く、ワークＷとシート樹脂１０とが全体として大きくズレてしまうことも考えられる。これに対して、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせてからローラ１５を移動させているため、適宜の位置からセットすることができるため好ましい。
【００２１】
なお、ワークＷにシート樹脂１０を貼り付けるように供給するにあたり、真空環境下で行ってもよい。例えば、ワークＷをチャンバ内に配置し、例えば真空ポンプを備える減圧機構でチャンバ内を減圧しながらワークＷにシート樹脂１０を貼り付けるようにして押し付ける。これにより、真空チャンバ内に配置されたワークＷに対してシート樹脂１０とワークＷとの間のエアをより排出することができる。また、ワークＷにシート樹脂１０を貼り付けた後に減圧を解除して圧力を上昇させることで加圧し、ワークＷに対してシート樹脂１０を密着させることができる。
【００２２】
次に、本発明の実施形態に係る樹脂成形方法について、図８および図９を参照して説明する。図８および図９は、成形金型５０を備える成形装置を用いた樹脂成形方法の説明図であり、シート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、樹脂成形方法は、前述の樹脂供給方法と区別しなくともよく、樹脂供給方法を含んでもよい。
【００２３】
まず、図８に示すように、成形金型５０を備える成形装置を用意する。成形金型５０は、型開閉可能な一対の金型（上型となる一方の金型５１および下型となる他方の金型５２）を備える（図８では型閉じした状態を示す）。成形金型５０の開閉には、例えば、固定プラテンに対して、電動モータ駆動のトグルリンクによって可動プラテンを進退動させる公知のプレス機構（型開閉機構）が用いられ、金型５１が固定プラテン、金型５２が可動プラテンに組み付けられる。また、成形金型５０の加熱に用いられるヒータが内蔵される。
【００２４】
また、成形金型５０は、金型５１に金型キャビティ５３（型閉じされてキャビティＣを構成する）を備える。金型５１は、キャビティ駒５４と、キャビティ駒５４が挿入される貫通孔５５ａを有するクランパ５５とを備えて構成される。そして、キャビティ駒５４の下面およびクランパ５５（貫通孔５５ａ）の内面で囲まれて、凹状の金型キャビティ５３が構成される。また、金型５２は、ワークＷがセットされるセット部５６（クランプ面、パーティング面でもある）を備える。
【００２５】
キャビティ駒５４は、貫通孔５５ａ内でクランパ５５に対して相対的に可動するよう構成される。例えば、キャビティ駒５４やクランパ５５の上方にあるベース（図示せず）に対して、キャビティ駒５４がスプリングを介して保持され、クランパ５５が固定して保持されることで、型開閉動作に伴ってキャビティ駒５４が可動される。
【００２６】
続いて、成形金型５０が型開きした状態で、シート樹脂１０が供給されたワークＷを成形金型５０にセットし、金型５１および金型５２を近づけていき型閉じした状態とする（図８参照）。これにより、ワークＷ（キャリア１３）が金型５１（クランパ５５）と金型５２（セット部５６）とで挟まれ、金型キャビティ５３の開口部が閉塞されてキャビティＣが形成される。ここでは、シート樹脂１０を金型５１側に向けてセット部５６にワークＷが位置合わせしてセットされ、キャビティＣ（金型キャビティ５３）内にワークＷのチップ部品１４と共にシート樹脂１０が収容される。また、型閉じの際には、例えば真空ポンプを備える減圧機構によって、キャビティＣが減圧されてエアが排出される。また、セット部５６にセットされるワークＷは、例えば真空ポンプを備える吸引機構によって、吸着保持されてもよい。
【００２７】
本実施形態では、前述したように、ワークＷに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、型閉じする際には、キャビティＣの外側領域（クランパ５５）でシート樹脂１０が挟み込まれるのを防止することができる。したがって、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。
【００２８】
続いて、図９に示すように、成形金型５０のキャビティＣ内でシート樹脂１０を加熱および加圧させる。具体的には、成形金型５０に内蔵されたヒータ（図示せず）によってシート樹脂１０が溶融樹脂Ｒとなり、更なる型閉じ動作により可動するキャビティ駒５４によって溶融樹脂ＲがキャビティＣ内で充填され、所定条件下で加熱および加圧される。これにより、ワークＷに樹脂成形がなされ、型開きした成形金型５０から成形品としてのワークＷが取り出される。なお、ワークＷを成形金型５０にセットする前にはシート樹脂１０の上面側の保護フィルム１１を剥離せずに、成形金型５０から取り出した後にその保護フィルム１１を剥離させてもよい。
【００２９】
本実施形態では、前述したように、ワークＷに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、樹脂成形においてシート樹脂１０（溶融樹脂Ｒ）が成形金型５０のキャビティＣ内で充填されるときに不要な樹脂流れの発生を防止することができる。また、前述したように、シート樹脂１０とワークＷとの間でエアの挟み込みが防止されて、ワークＷにシート樹脂１０が供給されているため、ボイドなどの成形不良の発生を防止することができる。
【００３０】
（実施形態２）
本発明の実施形態に係る樹脂供給方法について、図１０〜図１４を参照して説明する。図１０〜図１４は、樹脂供給方法の説明図であり、被供給物に供給されるシート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、本実施形態では、被供給物としてリリースフィルムＦを用い、前記実施形態１と相違する点を中心に説明する。
【００３１】
まず、図１０に示すように、シート樹脂１０を準備する。このように、前記実施形態１とは異なり、両面に保護フィルム１１、１１が貼り付いていないシート樹脂１０を用いることもできる。なお、このような保護フィルム１１が貼り付けられていないシート樹脂１０としては、同図に示す工程の前に保護フィルム１１を剥離しておいてもよいし、顆粒樹脂等からシート樹脂１０を製造してもよい。
【００３２】
続いて、図１１に示すように、樹脂シート１０が供給されるリリースフィルムＦ（被供給物）を準備し、これをステージ１２にセットする。リリースフィルムＦは、例えば、剥離性、耐熱性、柔軟性、伸展性を有するフィルム材から構成される。リリースフィルムＦとしては、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジンなどが好適に用いられる。
【００３３】
このリリースフィルムＦは、フィルム搬送用治具２０で吸着保持された状態でステージ１２にセット（載置）される。フィルム搬送用治具２０は、中央部に形成された貫通孔２０ａおよび外周部に形成されたエア吸引孔２０ｂを有して、環状に構成されている。エア吸引孔２０ｂは、例えば真空ポンプを備える吸引機構（図示せず）と接続され、吸引機構の駆動によりリリースフィルムＦを吸引する。このため、フィルム搬送用治具２０によれば、リリースフィルムＦの中央部が貫通孔２０ａから露出するよう、リリースフィルムＦの外周部が例えばエア吸引孔２０ｂによって吸着保持される。なお、フィルム搬送用治具２０としては、リリースフィルムＦの外周部を挟み込みなどの機械的な方法により保持してもよい。
【００３４】
また、図１１に示すように、貫通孔２０ａから露出するリリースフィルムＦの中央部に金属板２１をセットしてもよい。この金属板２１は、成形品を構成する一部となり、放熱板や電磁波等の遮蔽板などとして用いられる。なお、金属板２１に限らず、他のフィルムをリリースフィルムＦにセットしてもよい。
【００３５】
また、シート樹脂１０の上面側の中央部を加圧してシート樹脂１０を折り曲げる。シート樹脂１０の中央部をローラ１５によって加圧することで、シート樹脂１０の中央部が下側に凹まされて、シート樹脂１０がＶ字状に折り曲げられる。このため、シート樹脂１０の中央部をリリースフィルムＦの中央部に位置合わせ（センタリング）することが容易となる。
【００３６】
続いて、図１２に示すように、シート樹脂１０を折り曲げたまま、シート樹脂１０の中央部からリリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を押し付ける。具体的には、ローラ１５によってシート樹脂１０の中央部がリリースフィルムＦの中央部に位置合わせされた状態でシート樹脂１０の中央部が加圧される。そして、加圧されたまま、リリースフィルムＦにシート樹脂１０が押し付けられる。これにより、上述の実施形態と同様に、リリースフィルムＦとシート樹脂１０との相対位置の位置ズレが発生し難くなる。
【００３７】
続いて、図１３および図１４に示すように、リリースフィルムＦに対してシート樹脂１０の外周部へ向かってシート樹脂１０を押し付けて、シート樹脂１０を供給する。具体的には、ローラ１５によってリリースフィルムＦにシート樹脂１０を押し付ける際に、ローラ１５を一方向に移動させた後（図１３参照）、ローラ１５を他方向に移動させる（図１４参照）。これにより、シート樹脂１０とリリースフィルムＦとの間のエアを外側に押し出しながらリリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を供給（セット）することができる。本実施形態においては、平坦なリリースフィルムＦに対して平坦なシート樹脂１０を供給するときにエアを挟み込んでしまうことなくセットすることができる。これによれば、後述する樹脂成形の工程において挟み込まれたエアが膨張して成形品に跡が残ってしまうような不具合を防止することもできる。
【００３８】
次に、本発明の実施形態に係る樹脂成形方法について、図１５〜図１８を参照して説明する。図１５〜図１８は、成形金型５０Ａを備える成形装置を用いた樹脂成形方法の説明図であり、シート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。
【００３９】
まず、図１５に示すように、成形金型５０Ａを備える樹脂成形装置を用意する。成形金型５０Ａでは、前記実施形態１で示した成形金型５０の金型５１、５２（すなわちキャビティＣ）が上下逆に構成され、上型が金型５２、下型が金型５１となっている。
【００４０】
続いて、成形金型５０Ａが型開きした状態で、ワークＷを成形金型５０Ａにセットする。金型５２のセット部５６にセットされるワークＷは、例えば真空ポンプを備える吸引機構によって、吸着保持される。また、シート樹脂１０が供給されたリリースフィルムＦは、フィルム搬送用治具２０によって吸着保持された状態で成形金型５０Ａの内部まで搬送されてくる。
【００４１】
続いて、フィルム搬送用治具２０を下降させ、シート樹脂１０が供給されたリリースフィルムＦを成形金型５０Ａの金型５１（下型）にセットする。具体的には、キャビティ駒５４とクランパ５５との間などをエア吸引孔とし、これに接続される真空ポンプを備える吸引機構（図示せず）を用いて、リリースフィルムＦを金型５１に吸着保持する。この際、シート樹脂１０および金属板２１が金型キャビティ５３に収容される。その後、フィルム搬送用治具２０は成形金型５０Ａの内部から退出させられる。
【００４２】
続いて、図１７に示すように、金型５１および金型５２を近づけていき型閉じした状態とする。これにより、リリースフィルムＦを介してワークＷ（キャリア１３）が金型５１（クランパ５５）と金型５２（セット部５６）とで挟まれ、金型キャビティ５３の開口部が閉塞されてキャビティＣが形成される。リリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、型閉じする際には、例えばシート樹脂１０を適切な位置に供給できなかった場合にキャビティＣの外側領域（クランパ５５）でシート樹脂１０が挟み込まれてしまうような事態を防止することができる。したがって、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。
【００４３】
続いて、図１８に示すように、成形金型５０ＡのキャビティＣ内でシート樹脂１０を加熱および加圧させる。具体的には、成形金型５０Ａに内蔵されたヒータ（図示せず）によってシート樹脂１０が溶融樹脂Ｒとなり、更なる型閉じ動作により可動するキャビティ駒５４によって溶融樹脂ＲがキャビティＣ内で充填され、所定条件下で加熱および加圧される。これにより、ワークＷに樹脂成形がなされ、型開きした成形金型５０Ａから成形品としてのワークＷが取り出される。この際、リリースフィルムＦを用いているので、ワークＷを容易に取り出すことができる。このような本実施形態でも、例えば、上述したようなエアの挟み込みによる不具合の発生も防止することもできるほか、ボイドなどの成形不良の発生を防止することができるなど、前記実施形態１と同様の作用、効果がある。
【００４４】
以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４５】
前記実施形態では、被供給物としてワークやリリースフィルムに適用した場合について説明したが、成形金型にも適用することができる。例えば、成形金型のキャビティ内にシート樹脂を直接供給することができる。
【００４６】
また、前記実施形態では、一つの被供給物に一つのシート樹脂を供給する場合について説明したが、一つの被供給物に複数のシート樹脂（例えば一つのシート樹脂が分割されたもの）を供給することができる。その際、例えば、複数のシート樹脂のそれぞれに対応するよう設けられた複数のローラを用いることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０  シート樹脂
１５  ローラ
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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