(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数の吐出口と、
前記複数の吐出口それぞれについて設けられ、前記吐出口から液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生素子と、
前記圧力発生素子が設けられた基板を貫通して設けられた第１の開口および第２の開口と、
１つの前記吐出口に対応して設けられ、前記吐出口と前記第１の開口とに連通した第１の流路と、
１つの前記吐出口に対応して設けられ、前記吐出口と前記第２の開口とに連通した第２の流路と、を備え、
前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記吐出口を挟んで設けられ、
前記第１の流路および前記第２の流路とこれらの流路に対応する前記吐出口が、前記第１の開口と前記第２の開口との間に配置された記録素子基板において、
前記複数の吐出口は、隣接する前記第１の流路にそれぞれ連通する第１の吐出口と第２の吐出口とを含み、前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とは、相互に、前記第１の流路が隣接する方向と交差する方向にずれて配置され、
前記圧力発生素子は、前記第１の吐出口に対応する第１の圧力発生素子と、前記第２の吐出口に対応する第２の圧力発生素子と、を含み、
前記第１の吐出口に連通する前記第２の流路は前記第２の圧力発生素子に隣接する部分を備え、前記第２の流路の前記部分の幅が前記第１の吐出口に連通する前記第１の流路または前記第２の流路における前記部分とは別の部分の幅よりも狭く、
前記第２の吐出口に連通する前記第１の流路は前記第１の圧力発生素子に隣接する部分を備え、前記第１の流路の前記部分の幅が前記第２の吐出口に連通する前記第２の流路または前記第１の流路における前記部分とは別の部分の幅よりも狭いことを特徴とする記録素子基板。
【請求項２】
前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とは、前記隣接する方向に所定の間隔でずれて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の記録素子基板。
【請求項３】
前記第１の開口および前記第２の開口は、前記隣接する方向に列を成した複数の開口であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の記録素子基板。
【請求項４】
前記第１の吐出口に連通する前記第１の流路と前記第２の吐出口に連通する前記第１の流路とは幅が異なり、前記第１の吐出口に連通する前記第２の流路と前記第２の吐出口に連通する前記第２の流路とは幅が異なることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項５】
前記第１の吐出口に対応する前記第１の流路と前記第２の流路とは、異なる幅を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項６】
複数の前記第１の吐出口は、前記隣接する方向に列を成して設けられた第１の吐出口列を形成しており、複数の前記第２の吐出口は、前記隣接する方向に列を成して設けられた第２の吐出口列を形成しており、
前記第１の開口に近い位置に設けられた前記第１の吐出口列に対応する前記第１の流路と、
前記第１の開口から遠い位置に設けられた前記第２の吐出口列に対応する前記第２の流路と、は、略等しい幅を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項７】
複数の前記第１の吐出口は、前記隣接する方向に列を成して設けられた第１の吐出口列を形成しており、複数の前記第２の吐出口は、前記隣接する方向に列を成して設けられた第２の吐出口列を形成しており、
前記第１の開口に近い位置に設けられた前記第１の吐出口列に対応する前記第２の流路と、
前記第１の開口から遠い位置に設けられた前記第２の吐出口列に対応する前記第１の流路と、は、略等しい幅を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項８】
前記第１の吐出口に対応する前記第１の流路と前記第２の流路とのいずれか一方は、複数の幅を備えた流路であることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項９】
前記第１の吐出口を挟んで隣接する前記第１の流路の部分と前記第２の流路の部分とは、略等しい幅を備えていることを特徴とする請求項８に記載の記録素子基板。
【請求項１０】
円柱状のフィルタを備えており、該フィルタは、第１のフィルタと、該第１のフィルタよりも断面積の小さな第２のフィルタであることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項１１】
前記フィルタは、前記第１の流路および第２の流路に対応して設けられており、
前記第１のフィルタが対応する前記第１の流路の幅は、前記第２のフィルタが対応する前記第１の流路の幅よりも広く、
前記第１のフィルタが対応する前記第２の流路の幅は、前記第２のフィルタが対応する前記第２の流路の幅よりも広いことを特徴とする請求項１０に記載の記録素子基板。
【請求項１２】
前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とは、前記隣接する方向において、同じ位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の記録素子基板。
【請求項１３】
前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とが前記隣接する方向において交互に配列されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項１４】
前記第２の吐出口に連通する前記第１の流路は、前記隣接する方向において前記第１の圧力発生素子に挟まれている部分を備えており、前記第２の吐出口に連通する前記第１の流路の当該部分の幅は、前記第２の吐出口に連通する前記第２の流路の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の記録素子基板。
【請求項１５】
請求項１ないし請求項１４のいずれか１項に記載の記録素子基板を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１５に記載の液体吐出ヘッドを用いることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１７】
第１の方向に配列される、液体を吐出するための第１の吐出口及び第２の吐出口と、
前記第１の方向と交差する第２の方向に延在し、前記第１の吐出口に連通する第１の流路及び第２の流路と、
前記第２の方向に延在し、前記第２の吐出口に連通する第３の流路及び第４の流路と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記第１の吐出口と前記第２の吐出口は、前記第２の方向にずれて配されており、
前記第１の吐出口に対向する位置に第１の圧力発生素子が設けられており、前記第２の吐出口に対向する位置に第２の圧力発生素子が設けられており、
前記第１の流路と前記第３の流路とは並置され、かつ前記第２の流路と前記第４の流路とは並置されており、
前記第１の流路の前記第２の圧力発生素子に隣接する部分の幅は前記第３の流路の幅より狭く、かつ前記第２の流路の幅は前記第４の流路の前記第１の圧力発生素子に隣接する部分の幅より広いことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記第１の圧力発生素子または前記第２の圧力発生素子が内部に設けられた圧力室を備え、
前記圧力室の内部の液体は、当該圧力室の内部と当該圧力室の外部との間で循環される、ことを特徴とする請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１９】
前記第１の流路の長さは前記第２の流路の長さより長く、前記第３の流路の長さは前記第４の流路の長さより短いことを特徴とする請求項１７または請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２０】
前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とが交互に配列されて形成された吐出口列を備えることを特徴とする請求項１７ないし請求項１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路を通して供給されたインクを吐出する、記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関し、詳しくは、記録素子基板における吐出口列の配置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドを構成する記録素子基板における吐出口列の配置として、インクを供給、流出させる通路の間に吐出口列が配置されるものがある（特許文献１）。この配列の液体吐出ヘッドでは、通路を介して圧力室に供給されたインクに、吐出エネルギを付与することで、圧力室に連通する吐出口からインクを吐出して記録が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１８８５７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように、インクを供給、流出させる通路の間に１列の吐出口列が形成され、その吐出口列の吐出口に対するインクの流れが、吐出口列の全ての吐出口で同じ方向の流れとなる配置構成では、多列化によって記録素子基板が大型化するという問題がある。すなわち、全ての吐出口で同じ方向の流れとなる吐出口列を、同じ方向の流れのまま多列化しようとすると、増加させる吐出口列に伴ってインクを供給、流出させる通路も設けることが必要となり、記録素子基板のサイズが増加し装置が大型化してしまう。
【０００５】
よって本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、記録素子基板のサイズの増加を抑制しながら多列化した吐出口列配置を可能とする記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そのため本発明の記録素子基板は、液体を吐出するための複数の吐出口と、前記複数の吐出口それぞれについて設けられ、前記吐出口から液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生素子と、前記圧力発生素子が設けられた基板を貫通して設けられた第１の開口および第２の開口と、１つの前記吐出口に対応して設けられ、前記吐出口と前記第１の開口とに連通した第１の流路と、１つの前記吐出口に対応して設けられ、前記吐出口と前記第２の開口とに連通した第２の流路と、を備え、前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記吐出口を挟んで設けられ、前記第１の流路および前記第２の流路とこれらの流路に対応する前記吐出口が、前記第１の開口と前記第２の開口との間に配置された記録素子基板において、前記複数の吐出口は、隣接する前記第１の流路にそれぞれ連通する第１の吐出口と第２の吐出口とを含み、前記第１の吐出口と前記第２の吐出口とは、相互に、前記第１の流路が隣接する方向と交差する方向にずれて配置され、前記圧力発生素子は、前記第１の吐出口に対応する第１の圧力発生素子と、前記第２の吐出口に対応する第２の圧力発生素子と、を含み、前記第１の吐出口に連通する前記第２の流路は前記第２の圧力発生素子に隣接する部分を備え、前記第２の流路の前記部分の幅が前記第１の吐出口に連通する前記第１の流路または前記第２の流路における前記部分とは別の部分の幅よりも狭く、前記第２の吐出口に連通する前記第１の流路は前記第１の圧力発生素子に隣接する部分を備え、前記第１の流路の前記部分の幅が前記第２の吐出口に連通する前記第２の流路または前記第１の流路における前記部分とは別の部分の幅よりも狭いことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、記録素子基板のサイズの増加を抑制しつつ多列化した吐出口列を高密度に配置した記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】液体吐出装置の要部を示した斜視図である。
【図２】液体吐出ヘッドに接続される液体吐出装置のインク供給系の説明図である。
【図３】第１の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【図４】第２の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【図５】第３の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【図６】第４の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【図７】第５の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【図８】その他の実施形態の記録素子基板およびその断面を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施形態）  
図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドを適用可能な液体吐出装置（以下、単に記録装置ともいう）１の要部を示した斜視図である。液体吐出装置１は、フルライン式の記録装置である。すなわち、液体吐出ヘッド２は、記録媒体３の搬送方向に対してその記録幅全体に対応して吐出口を配列したヘッドである。そして、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）のインクについて液体吐出ヘッド２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋが搬送方向に並ぶよう設けられている。これらの液体吐出ヘッド２に対して記録媒体３を搬送ベルト４によって移動させるとともに、各液体吐出ヘッド２から記録データに応じて吐出口から液体（以下、インクともいう）を吐出することにより、記録媒体３に対して記録を行う。
【００１０】
図２は、図１に示した液体吐出ヘッド２に接続されるインク循環機構を説明する図である。液体吐出ヘッド２には、供給口２５Ａ、２５Ｂ、および排出口２６Ａ、２６Ｂが設けられている。供給口２５Ａは、チューブポンプ１０３ａを介してサブタンク１０４ａに接続され、供給口２５Ｂは、サブタンク１０４ａに直接接続されている。一方、排出口２６Ａは、チューブポンプ１０３ｂを介してサブタンク１０４ｂに接続され、排出口２６Ｂは、サブタンク１０４ｂに直接接続されている。また、メインタンク１０７は、ポンプ１０５を介してサブタンク１０４ａ、１０４ｂそれぞれに連通している。メインタンク１０７とサブタンク１０４ａ、１０４ｂそれぞれとの連通路にはそれぞれの弁１０２ａ、１０２ｂが設けられている。さらに、サブタンク１０４ａ、１０４ｂはそれぞれの水位センサ１０６ａ，１０６ｂを備えている。
【００１１】
コントローラ１１０は、ポンプ１０５および弁１０２ａ，１０２ｂを制御することにより、メインタンク１０７内のインクをサブタンク１０４ａ，１０４ｂに供給し、またサブタンク１０４ａ，１０４ｂ内のインクをメインタンク１０７に戻すことができる。詳しくは、コントローラ１１０は、水位センサが検出するそれぞれのサブタンクの水位に基づいて、ポンプ１０５および弁１０２ａ，１０２ｂを制御し、サブタンク１０４ａ，１０４ｂそれぞれのインクの液面の位置を調整する。これにより、液体吐出ヘッド２とサブタンク１０４ａとの間のインクの水頭差Ｈ１、および液体吐出ヘッド２とサブタンク１０４ｂとの間のインクの水頭差Ｈ２を所定の大きさに維持する。ここで、水頭差Ｈ２は、水頭差Ｈ１よりも大きい値である（Ｈ２＞Ｈ１）。
【００１２】
以上の制御の下、記録動作時（インク吐出時）は、コントローラ１１０は、チューブポンプ１０３ａ，１０３ｂを開放状態とし、サブタンク１０４ａと供給口２５Ａとを、また、サブタンク１０４ｂと排出口２６Ａとを、それぞれ連通させる。この結果、供給口２５Ａ、２５Ｂに供給されるインクには、水頭差Ｈ１に相当する比較的小さい負圧が作用し、排出口２６Ａ、２６Ｂから排出されるインクには、水頭差Ｈ２に相当する比較的大きい負圧が作用する。そして、これらの圧力差によって、供給口２５Ａ、２５Ｂから液体吐出ヘッド２内に入り、図３およびそれ以降の図で後述されるように各圧力室において一方向に流れ、最終的に排出口２６Ａ、２６Ｂから出て行くインクの循環を生じさせることができる。
【００１３】
インクを循環させる方法は、本実施形態のように水頭差を利用する方法のみに限定されず、例えば、サブタンク１０４ａ，１０４ｂを圧力室として構成し、それぞれの圧力室の圧力を調整することにより上述した所定の圧力差を生じさせるようにしてもよい。
【００１４】
図３（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を除いて示している。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）のIIIＢ−IIIＢ線における断面図である。この図に示すように、記録素子基板は、吐出口形成部材１０と基板２０とが接合されて構成されている。また、図３（ａ）に示すように、吐出口形成部材１０には、複数の吐出口１２が所定の配列をなすよう設けられている。詳しくは、複数の吐出口１２が図３（ａ）に示す矢印Ｙ方向（第１の方向）に配列した吐出口列１２Ａと、この吐出口列１２Ａと同じ配列ピッチの吐出口列１２Ｂとからなる配列を有している。そして、吐出口列１２Ａと吐出口列１２Ｂは、相互に、図３（ａ）に示す矢印Ｘ方向（第２の方向）に所定の間隔でずれた位置であり、かつ矢印Ｙ方向にそれぞれの吐出口配列ピッチの半分ずれた配置である。
【００１５】
吐出口形成部材１０には、流路壁２２が設けられており、基板２０と接合されることで、複数の吐出口１２の夫々に対して、２つの流路１５、１６およびこれら流路と連通する圧力室１７を形成している。２つの流路１５、１６を流路１１とも称する。２つの流路１５、１６は、矢印Ｘ方向（第２の方向）に延在して並置されており、圧力室１７の内部には、圧力発生素子１３が設けられている。また、圧力発生素子１３と対向する位置に吐出口１２が設けられており、これにより電圧パルスの印加に応じて圧力発生素子１３が発生する熱によって圧力室１７内のインクに気泡を生じさせ、この気泡の圧力によって吐出口１２からインクを吐出することができる。
【００１６】
本実施形態では、図２にて上述した循環機構によって、記録動作時を含め、圧力室１７に対して一定方向のインクの循環流１４を生じさせている。つまり、圧力室１７に供給されたインクが圧力室１７の外部に排出された後、再度圧力室１７に供給されることができるように構成されており、すなわち、インクが圧力室１７の内部と圧力室１７の外部との間で循環するように構成されている。なお、インク吐出がなされる圧力室１７（吐出口１２）では、インク吐出に伴って上記一定方向とは逆の方向のインクの流れが生じ得るが、その後その圧力室１７で吐出動作がなされない場合は、ある時間を経た後、上記一定方向の循環の流れに戻る。この循環は、図３（ａ）に示す吐出口配列において、矢印Ｘ方向の循環である。したがって、流路１５を圧力室１７に向かってインクが流入する流入路１５とも称し、流路１６を圧力室１７からインクが流出する流出路１６とも称する。また、基板２０には、その表面と裏面を貫通して流入口１８および流出口１９が形成されている。流入口（開口）１８は、配列する複数の流入路１５に共通に連通し、流出口１９は、配列する複数の流出路１６に共通に連通している。これにより、流入口１８と流出口１９は、吐出口列１２Ａおよび吐出口列１２Ｂを挟むように、配置されることになる。
【００１７】
本発明の実施形態は、以上のように配列する複数の吐出口（圧力室）について同じ一定方向（矢印Ｙ方向と交差する矢印Ｘ方向）の循環が存在する吐出口列の、特に、吐出口の配列方向（矢印Ｙ方向）のサイズを低減するものである。すなわち本実施形態の吐出口列の配列は、複数の吐出口について同じ一定方向（矢印Ｘ方向）の循環が存在する吐出口列が直線状の配列をなしていたと仮定した時、この列を、隣接する吐出口の位置を上記一定方向（矢印Ｘ方向）において相互にずらしたものである。このような構成により、流入口や流出口を新たに設けることなく吐出口列を多列化することができ、記録素子基板のサイズを小さくすることができる。
【００１８】
上記配列による具体的構成としては、流入口１８から近い位置にある吐出口列１２Ａに連通する流入路１５は、流入口１８から遠い位置にある吐出口列１２Ｂに連通する流入路１５に比べて断面積が広い。また、流入口１８から近い位置にある吐出口列１２Ａに連通する流出路１６は、流入口１８から遠い位置にある吐出口列１２Ｂに連通する流出路１６に比べて断面積が狭い。そして、流入口１８に近い位置に存在する吐出口列１２Ａに連通する流入路１５と流出口１９に近い位置に存在する吐出口列１２Ｂに連通する流出路１６の形状が実質的に同じに構成されている。更に、流入口１８に近い位置に存在する吐出口列１２Ａに連通する流出路１６と流出口１９に近い位置に存在する吐出口列１２Ｂに連通する流入路１５の形状が実質的に同じに構成されている。
【００１９】
これにより隣接する流路１１つまり吐出口列１２Ａに対応する流路１１と吐出口列１２Ｂに対応する流路１１の流抵抗を実質的に同等にすることができ、流入口１８と流出口１９の間に圧力差を設けた場合、隣接する流路１１における流速を略同速にすることができる。このように、隣接する流路１１におけるインク流速が略等しくなることで、隣接する流路１１における吐出口１２で、略同等の吐出特性を得ることができる。
【００２０】
また、吐出口列１２Ａと吐出口列１２Ｂの吐出口１２の位置が吐出口１２の配列方向（矢印Ｙ方向）に半ピッチずれているため、吐出口列１２Ａと吐出口列１２Ｂとを１列に配置した構成に比べて、圧力室１７のサイズを大きくすることができる。よって、インクの量を多く吐出させるのに必要な大きな吐出口や大きな圧力発生素子を配置することが可能になり、大吐出量の液体吐出ヘッドを実現することができる。
【００２１】
このように隣接する流路同士のそれぞれが連通する吐出口列１２Ａの吐出口と吐出口列１２Ｂの吐出口とを、矢印Ｘ方向に所定の間隔でずれた位置でありかつ矢印Ｙ方向にそれぞれの吐出口配列ピッチの半分ずれた位置に配置し、各吐出口が独立した流路を備える。更に、流入口１８と流出口１９の間に吐出口列１２Ａと吐出口列１２Ｂとを設ける。これによって、流入口１８や流出口１９を追加することなく、記録素子基板のサイズを抑制することができ、複数の吐出口列を高密度に配置することができる。
【００２２】
このようにして、記録素子基板のサイズの増加を抑制しながら多列化した吐出口列を高密度に配置した記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができた。
【００２３】
（第２の実施形態）  
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００２４】
図４（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を取り除いて示している。図４（ｂ）は、図４（ａ）のIVＢ−IVＢ線における断面図である。
【００２５】
本実施形態における吐出口列１２Ａ、１２Ｂや流路１１の構成は、第１の実施形態と同様である。本実施形態と第１の実施形態とは、流入口と流出口の構成が異なる。本実施形態における流入口１８Ａおよび流出口１９Ａは、図のように、複数の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａのそれぞれが吐出口列１２Ａ、１２Ｂに沿って１列に配置された構成になっている。なお、流入口１８Ａおよび流出口１９Ａは複数設けられているが、個別の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａが個別の流路に対応しているものではない。つまり、流入口１８Ａは、配列する複数の流入路１５に共通に連通し、流出口１９Ａは、配列する複数の流出路１６に共通に連通している。このように、複数の流入口１８Ａや複数の流出口１９Ａを備えた構成は、流入口１８Ａ同士の間、また流出口１９Ａ同士の間が梁の役割をはたすので、基板２０の強度を高めるのに有効である。
【００２６】
このように、隣接する流路同士のそれぞれが連通する吐出口列１２Ａの吐出口と吐出口列１２Ｂの吐出口とを、矢印Ｘ方向に所定距離ずれた位置でありかつ矢印Ｙ方向にそれぞれの吐出口配列ピッチの半分ずれた位置に配置し、各吐出口が独立した流路を備える。更に、複数の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａを吐出口列に沿って１列に配置する。このような構成でも、記録素子基板のサイズの増加を抑制しつつ多列化した吐出口列を高密度に配置した記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができた。
【００２７】
（第３の実施形態）  
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００２８】
図５（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を除いて示している。図５（ｂ）は、図５（ａ）のVＢ−VＢ線における断面図である。本実施形態の構成は、第２の実施形態と流路の構成が異なっている。
【００２９】
本実施形態では、第１、第２の実施形態と同様に各吐出口１２には、それぞれ独立した流路１１が設けられている。そして、吐出口１２を挟んで隣接する流路と流路の一部との幅が実質的に同じ幅となるように構成されている。
【００３０】
具体的には、流入口１８Ａから近い位置にある吐出口列１２Ａに連通する流入路１５Ｂと、流入口１８Ａから遠い位置にある吐出口列１２Ｂに連通する流出路１６Ｂとは、実質的に同じ幅を備えた流路であり、均一な幅から成る流路となっている。
【００３１】
これに対し、流入口１８Ａから近い位置にある吐出口列１２Ａに連通する流出路１６Ａと、流入口１８Ａから遠い位置にある吐出口列１２Ｂに連通する流入路１５Ａとは、異なる２つの幅を備えた流路となっている。そして、流入路１５Ａおよび流出路１６Ａの一部である幅の狭い流路の幅は、流入路１５Ｂおよび流出路１６Ｂの幅と実質的に同じ幅に形成されている。また、いずれの流路においても、吐出口１２（圧力室１７）にインクを流入させる流入路（流入路の一部）と、吐出口１２（圧力室１７）からのインクの流出を導く流出路（流出路の一部）は、実質的に同一幅の流路となっている。
【００３２】
このように吐出口１２（圧力室１７）にインクを流入させる流入路（流入路の一部）と、吐出口１２（圧力室１７）からのインクの流出を導く流出路（流出路の一部）と、を実質的に同一幅にすることで、吐出口１２（圧力室１７）の前後で流抵抗が同等となる。そのため、吐出口から吐出するインクの直進性を良くすることができる。
【００３３】
また、流入口１８Ａから流出口１９Ａに流れる循環流１４が、流入口１８Ａから近い位置にある吐出口列１２Ａと、遠い位置にある吐出口列１２Ｂとのそれぞれの流入路１５Ａ、１５Ｂの流抵抗の差が、第１および第２の実施形態のそれよりも更に少なくなる。そして、流入口１８と流出口１９の間に圧力差を設けた場合、隣接する流路１１におけるインク流速を略同速にすることができる。隣接する流路１１におけるインク流速が略同等になることで、隣接する流路１１におけるそれぞれの吐出口１２で、略同等の吐出特性を得ることができる。
【００３４】
なお、本実施形態において、流入口１８Ａから近い位置にある吐出口列１２Ａに連通する流出路１６Ａと、流入口１８Ａから遠い位置にある吐出口列１２Ｂに連通する流入路１５Ａとは、異なる２つの幅を備えた流路としたが、これに限定するものではない。吐出口１２（圧力室１７）にインクを流入させる流入路（流入路の一部）と、吐出口１２（圧力室１７）からのインクの流出を導く流出路（流出路の一部）とを実質的に同一幅にすれば、２つよりも多い複数の幅を備えた構成でもよい。
【００３５】
このように、隣接する流路同士のそれぞれが連通する吐出口列１２Ａの吐出口と吐出口列１２Ｂの吐出口とを、矢印Ｘ方向に所定距離ずれた位置でありかつ矢印Ｙ方向にそれぞれの吐出口配列ピッチの半分ずれた位置に配置し、各吐出口が独立した流路を備える。更に、複数の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａを吐出口列を挟んで設け、吐出口を挟んで隣接する流路の幅が実質的に同じ幅となるように構成する。これによって、記録素子基板のサイズの増加を抑制しながら多列化した吐出口列配置を可能とする記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができた。
【００３６】
（第４の実施形態）  
以下、図面を参照して本発明の第４の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００３７】
図６（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を除いて示している。図６（ｂ）は、図６（ａ）のVIＢ−VIＢ線における断面図である。本実施形態の構成は、流路の形状は第１の実施形態および第２の実施形態と同様であるが、フィルタを備えているため、その分の流路の長さが第１の実施形態および第２の実施形態よりも短くなっている。
【００３８】
本実施形態では、流入口１８Ａと吐出口１２（圧力室１７）との間の流路の流入部および流出口１９Ａと吐出口１２（圧力室１７）との間の流路の流出部に、円柱状のフィルタ２１が設けられている。フィルタ２１は断面の面積が大きなフィルタ２１Ａと断面の面積が小さなフィルタ２１Ｂとの２種類があり、断面積の大きなフィルタ２１Ａは幅の広い流入路および流出路に、断面積の小さなフィルタは幅の狭い流入路および流出路にそれぞれ対応して設けられている。
【００３９】
このように、各流路の流入路１５および流出路１６に対応したフィルタを設けることで、吐出特性に影響する流入路１５および流出路１６の流抵抗をほぼ同等にすることができる。また、フィルタ２１が流入路１５に存在するため、循環流１４に含まれる異物が流路に入り込むのを防ぐことができる。これによって、異物が流路に詰まって吐出口１２からインクを吐出しなくなる不吐出を抑制することができる。
【００４０】
このように、隣接する流路同士のそれぞれが連通する吐出口列１２Ａの吐出口と吐出口列１２Ｂの吐出口とを、矢印Ｘ方向に所定距離ずれた位置でありかつ矢印Ｙ方向にそれぞれの吐出口配列ピッチの半分ずれた位置に配置し、各吐出口が独立した流路を備える。更に、複数の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａを吐出口列を挟んで設け、各流路の流入路１５および流出路１６に対応したフィルタを設ける。これによって、記録素子基板のサイズの増加を抑制しながら多列化した吐出口列配置を可能とする記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができた。
【００４１】
（第５の実施形態）  
以下、図面を参照して本発明の第５の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
【００４２】
図７（ａ）は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を除いて示している。図７（ｂ）は、図７（ａ）のVIIＢ−VIIＢ線における断面図である。吐出口形成部材１０には、複数の円形の吐出口１２が列を成して設けられた吐出口列１２Ａと、吐出口列１２Ａと同じピッチで矢印Ｘ方向に所定距離ずれた位置でありかつ矢印Ｙ方向の同じ位置に吐出口列１２Ｂと、が設けられている。上記各実施形態では、各流路におけるインクの流れは、流入口１８Ａから流出口１９Ａまで、直線的な流れを形成していた。しかし本実施形態の流路では、流入路１５と流出路１６とは、矢印Ｙ方向にずれた位置に設けられていることから、インクの流れも直線的ではなく、部分的に曲がった流れとなっている。
【００４３】
つまり、幅の広い流入路１５で、流入口１８Ａに近い吐出口列１２Ａの吐出口１２（圧力室１７）に向かって流れ込んだインクは、その後、流入口１８Ａから遠い吐出口列１２Ｂの吐出口１２同士の間を通る幅の狭い流出路１６を経て流出口１９Ａへと向かう。また流入口１８Ａに近い吐出口列１２Ａの吐出口１２同士の間を通る幅の狭い流入路１５を経たインクの流れは、その後、流入口１８Ａから遠い吐出口列１２Ｂの吐出口１２（圧力室１７）へと向かい、幅の広い流出路１６を経て流出口１９Ａへと向かう。
【００４４】
このような構成によって、吐出口の配列を更に高密度化することができ、記録素子基板のサイズの増加を更に抑制することができる。更に、吐出口列１２Ａに対応する流路１１と吐出口列１２Ｂに対応する流路１１の流抵抗を実質的に同等にすることができる。
【００４５】
また、吐出口が吐出口列方向（矢印Ｙ方向）に揃って配置されていることから、配線を直線で通すことが出来るため、圧力変換素子に通電するための配線や、圧力変換素子に通電するための駆動素子の駆動に用いる配線を配置し易い構成となっている。
【００４６】
このように、隣接する流路同士のそれぞれが連通する吐出口列１２Ａの吐出口と吐出口列１２Ｂの吐出口とを、矢印Ｘ方向に所定距離ずれた位置に配置し、各吐出口が独立した流路を備える。更に、複数の流入口１８Ａおよび流出口１９Ａを吐出口列を挟んで設ける。これによって、記録素子基板のサイズの増加を抑制しながら多列化した吐出口列配置を可能とする記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を実現することができた。
【００４７】
（その他の実施形態）  
図８（ａ）は、その他の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を構成する記録素子基板における吐出口１２やこれに対応する圧力発生素子１３などの配列を示す図であり、吐出口形成部材の一部を除いて示している。図８（ｂ）は、図８（ａ）のVIIIＢ−VIIIＢ線における断面図である。
【００４８】
上記各実施形態では、インクは流入口１８から流入して、流出口１９から流出する構成を説明したが、その他の実施形態として、流入口１８と流出口１９の両方からインクを流入して、その流入したインクを吐出口から吐出する構成を説明する。
【００４９】
本実施形態における記録素子基板９の構成は、第１の実施形態の記録素子基板９と同じ構成である。第１の実施形態では、インクは流入口１８から流入して、流出口１９から流出する構成だったが、本実施形態ではインクは流入口１８から流入して、流出口１９からも流入する。流入口１８および流出口１９から流入したインクは、流入路１５および流出路１６を圧力室１７に向かって流れ、各吐出口１２から吐出される。
【００５０】
ここでは、第１の実施形態の記録素子基板の構成を例に説明したが、第２から第５の各実施形態の記録素子基板の構成でも同様のインクの流れにすることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  液体吐出装置
２  液体吐出ヘッド
３  記録媒体
１１  流路
１２  吐出口
１８  流入口
１８Ａ  流入口
１９  流出口
１９Ａ  流出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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