(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低硬度層と、前記低硬度層の片面又は両面に積層され前記低硬度層より硬度が高い補強層と備える熱伝導シートであって、
前記低硬度層は、アクリルポリマー１８〜２５質量％と、平均粒径６０μｍ〜１００μｍの炭化ケイ素３０〜３５質量％と、平均粒径１０μｍ〜５０μｍの水酸化アルミニウム１５〜２３質量％と、平均粒径１μｍ〜２μｍの水酸化マグネシウム１８〜３０質量％と、可塑剤１〜５質量％とを含有し、
前記補強層は、アクリルポリマー２０〜３０質量％と、平均粒径１０〜５０μｍの水酸化アルミニウム６０〜８０質量％とを含有し、
前記低硬度層と前記補強層とが互いに接合した境界部分からなり、前記低硬度層と前記補強層とが互いに入り込み混合した状態で重合あるいは架橋しつつ硬化した接合境界部を備える熱伝導シート。
【請求項２】
前記炭化ケイ素の一部が、前記補強層に入り込む形で前記接合境界部に配されている請求項１に記載の熱伝導シート。
【請求項３】
前記低硬度層の両面に一対の前記補強層が積層されるとともに、前記一対の補強層のうち一方側に、平均粒径１〜２μｍの水酸化マグネシウム１５〜２０質量％が含まれている、請求項１または請求項２に記載の熱伝導シート。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の熱伝導シートの製造方法であって、
（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、熱重合開始剤、可塑剤、炭化ケイ素、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムを含有する前記低硬度層の組成物材料と、
（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、熱重合開始剤及び水酸化アルミニウム含む前記補強層の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、
前記混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、
前記押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する、熱伝導シートの製造方法。
【請求項５】
前記押出工程において、前記低硬度層の前記組成物材料の混合物は、前記補強層の前記組成物材料の混合物よりも粘度が高い請求項４に記載の熱伝導シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器や素子等から発生する熱をヒートシンクに伝熱するための熱伝導シートとして、従来、アクリル系樹脂に熱伝導性が高い炭化ケイ素や水酸化アルミニウム等の熱伝導フィラーを充填した熱伝導シートが使用されている（特許文献１を参照）。
【０００３】
この種の熱伝導シートにおいては、発熱体である電子機器や素子等になるべく隙間なく、かつ、荷重をかけずに密着させるために、低硬度であることが求められている。しかし、硬度が低くなると取り扱い性が悪くなるとともに、圧縮変形後に復元力が働き難くなるため、発熱体やヒートシンクとの密着性が低下する等の問題が生じる。
【０００４】
そこで、低硬度シートに補強用の薄膜シートを貼り合わせた構成の熱伝導シートが提案されている（特許文献２を参照）。このような熱伝導シートでは、薄膜シートにより強度が付与され、取扱い性が向上するとともに、低硬度シートの過度な圧縮変形を抑制することが期待された。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２２６００７号公報
【特許文献２】特許第３４３４１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、低硬度シートと補強用の薄膜シートとを単に貼り合わせた構成では、両者の界面接合性が不十分であり、圧縮変形時に低硬度シートと薄膜シートとの接合面がずれる場合がある。この場合には、圧縮変形された低硬度シートが薄膜シートからはみ出して復元せず、もって、熱伝導シートと被着物との密着性が十分に得られないという問題がある。
【０００７】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、熱伝導シートを複層構造とした場合でも、層間の接合性が高い熱伝導シート、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本発明は、低硬度層と、前記低硬度層の片面又は両面に積層され前記低硬度層より硬度が高い補強層と備える熱伝導シートであって、前記低硬度層は、アクリルポリマー１８〜２５質量％と、平均粒径６０μｍ〜１００μｍの炭化ケイ素３０〜３５質量％と、平均粒径１０μｍ〜５０μｍの水酸化アルミニウム１５〜２３質量％と、平均粒径１μｍ〜２μｍの水酸化マグネシウム１８〜３０質量％と、可塑剤１〜５質量％とを含有し、前記補強層は、アクリルポリマー２０〜３０質量％と、平均粒径１０〜５０μｍの水酸化アルミニウム６０〜８０質量％とを含有し、前記低硬度層と前記補強層とが互いに接合した境界部分からなり、前記低硬度層と前記補強層とが互いに入り込み混合した状態で重合あるいは架橋しつつ硬化した接合境界部を備えている。
【０００９】
このような構成によれば、低硬度層と補強層とが互いに入り込んだ接合境界部が、低硬度層と補強層とを強固に連結する役割を果たすから、両層間の接合性が向上する。すなわち、低硬度層が押し潰された場合でも、低硬度層が補強層からずれることが抑制されることにより低硬度層の過度な変形が防止され、熱伝導シートの被着物に対する密着性が保持される。
【００１０】
上記熱伝導シートは、以下の構成を備えていてもよい。
【００１１】
炭化ケイ素の一部は、補強層に入り込む形で接合境界部に配されている構成としてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、砥粒であり粒径が大きい炭化ケイ素が補強層に入り込んで引っ掛かるから、両層間の接合性がさらに向上する。
【００１３】
また、低硬度層の両面に一対の補強層が積層されるとともに、一対の補強層のうち一方側に、平均粒径１〜２μｍの水酸化マグネシウム１５〜２０質量％が含まれている構成としてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、熱伝導シートの表裏両面に剥離用のシートを設けた場合に、一方側の補強層が他方側と比較して剥離シートから剥離し易くなる。このように、剥離性に差を持たせることにより、伝熱シートを被着物に貼り付ける際に剥離し易い側の剥離シートを選択的に剥すことができるから、作業性が向上する。
【００１５】
また上記熱伝導シートを得るための製造方法は  （メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、重合開始剤、可塑剤、炭化ケイ素、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムを含有する前記低硬度層の組成物材料と、（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、重合開始剤及び水酸化アルミニウム含む前記補強層の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、前記混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、前記押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する。
【００１６】
このような製造方法によれば、各混合物が一対の高分子フィルムの間に向けて押し出された際に、隣り合って押し出された各混合物同士は未だ粘度が低いため、その境界付近において互いに入り込むように混ざり合う。そしてその後、硬化工程において加熱されると、隣り合う混合物（層）の混ざり合った組成物材料同士が反応し、重合あるいは架橋しつつ硬化する。これにより上述したような接合境界部を有する熱伝導シートを得ることができる。
【００１７】
上記製造方法においては、押出工程において、低硬度層の組成物材料の混合物は、補強層の組成物材料の混合物よりも粘度が高くなる構成としてもよい。
【００１８】
このような構成とすると、低硬度層の比較的粘度が高い混合物中に含まれている粒径が大きい炭化ケイ素が、隣接する補強層の比較的粘度が低い混合物に向けて容易に移動し、一部が接合境界部または補強層の組成物材料中に食い込む。その後硬化工程により硬化されることにより、炭化ケイ素の一部が補強層に入り込む形で接合境界部に配された熱伝導シートを実現することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、熱伝導シートを複層とした場合でも、層間の接合性が高い熱伝導シート、及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る熱伝導シートの構成を模式的に表した断面図
【図２】同じく熱伝導シートの構成を模式的に表した側面図
【図３】他の実施形態の熱伝導シートの構成を模式的に表した側面図
【図４】コーターを模式的に表した概念図
【図５】ダイヘッドを模式的に表した断面図
【図６】圧縮率と圧縮力の関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は本発明の一実施形態にかかる熱伝導シート１０を模式的に表した断面図である。以下の説明においては、図１の上方を上、下方を下とする。図１に示される熱伝導シート１０は、低硬度層１１の上下両面に、低硬度層１１より硬度が高い第１補強層１２および第２補強層１３がそれぞれ積層されてなる。また、低硬度層１１と第１補強層１２との境界部には、後述する第１接合境界部１８が形成されている。さらに、低硬度層１１と第２補強層１３との境界部には、後述する第２接合境界部１９が形成されている。
【００２２】
低硬度層１１は、母材としてのアクリルポリマー１４Ａに炭化ケイ素１５、水酸化アルミニウム１６、水酸化マグネシウム１７が分散されてなる。また第１補強層１２は、母材としてのアクリルポリマー１４Ｂに水酸化アルミニウム１６が分散されてなる。さらに第２補強層１３は、母材としてのアクリルポリマー１４Ｂに水酸化アルミニウム１６、および、水酸化マグネシウム１７が分散されてなる。
【００２３】
本発明においてアクリルポリマーとは、（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂を重合または共重合させてなるものである。
【００２４】
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ―ブチル（メタ）アクリレート、ｉ―ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−アミル（メタ）アクリレート、ｉ−アミル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−ミリスチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、ｉ―ノニル（メタ）アクリレート、ｉ―デシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ｉ―ステアリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは、（共）重合する際に単独で用いる他、２種類以上を併用してもよい。
【００２５】
アクリルポリマーは、上述したアクリル系樹脂に、多官能モノマー、重合開始剤、可塑剤等の添加剤を適宜添加し、加熱硬化させることにより得られる。
【００２６】
多官能モノマーとしては、例えば、分子内に２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有するもの等があげられる。分子内に２つの（メタ）アクリロイル基を有する２官能（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えば１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオール（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシプロポキシフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシテトラエトキシフェニル］プロパン等があげられる。
【００２７】
３官能（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えばトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス［（メタ）アクリロキシエチル］イソシアヌレート等があげられ、４官能以上の（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えばジメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等があげられる。
【００２８】
これらの多官能モノマーのうち、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが好ましい。
【００２９】
上述した多官能モノマーは、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、低硬度層においては０．００５〜０．０１５重量部、補強層においては０．０５〜０．１０重量部の割合で配合されることが好ましい。
【００３０】
重合開始剤としては、ジ−（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ラウロイルパーオキサイド、ｔ−アミルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物があげられる。これらの重合開始剤のうち、ジ−（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネートが好ましい。
【００３１】
重合開始剤は、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、０．１〜０．３重量部の割合で配合されることが好ましい。
【００３２】
可塑剤は汎用のものを使用することができ、例えば、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系、トリメリット酸系、ポリエステル系等が好適である。これらの可塑剤は、いずれか一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。可塑剤を配合することにより、熱伝導シートに柔軟性が付与される。
【００３３】
可塑剤は、低硬度層において、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、２．０〜４．０重量部の割合で配合されることが好ましい。可塑剤の配合割合少ないと、可塑剤を加えたことによる効果が弱くなり、熱伝導シートの硬度が高くなる。また、可塑剤の配合割合が多すぎると、熱伝導シートの表面から可塑剤が滲み出す（ブリードする）傾向がある。
【００３４】
また、さらに添加剤として、酸化防止剤を加えてもよい。酸化防止剤としては、例えば、ラジカル補足作用をもつフェノール系の酸化防止剤を使用することができる。このような酸化防止剤を配合すると、シート製造時のアクリル系樹脂の重合反応を抑制することができ、もって、シートの硬度を低く抑えることができる。
【００３５】
酸化防止剤は、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、０．０５〜０．１０重量部の割合で配合されることが好ましい。酸化防止剤の配合割合が少ないと、アクリル系樹脂の重合反応が進み、シートの硬度が高くなる。また、酸化防止剤の配合割合が多いと、樹脂の硬化が妨げられる傾向がある。
【００３６】
一方、熱伝導フィラーとしての炭化ケイ素１５は砥粒形であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径Ｄ50で示される。本実施形態では、平均粒径６０〜１００μｍの炭化ケイ素が使用される。
【００３７】
上記炭化ケイ素の平均粒径が６０μｍを下回ると、補強層との間の保持力が低下する。また、１００μｍより大きくなると、熱伝導シートを作製する際に、炭化ケイ素の粒子がシートから脱落する虞がある。
【００３８】
熱伝導フィラーとしての水酸化アルミニウム１６は略球形であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径Ｄ50で示される。本実施形態では、低硬度層においては平均粒径１０〜５０μｍ、より好ましくは、３０〜５０μｍの水酸化アルミニウムが、補強層においては平均粒径１０〜５０μｍの水酸化アルミニウムが使用される。
【００３９】
熱伝導フィラーとしての水酸化マグネシウム１７は六角板状であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径Ｄ50で示される。本実施形態では、平均粒径が１〜２μｍの水酸化マグネシウムが使用される。径が小さい水酸化マグネシウムが含まれることにより、アクリル系樹脂の粘度が高くなる。
【００４０】
熱伝導シート１０全体の厚み寸法は、１ｍｍ以上６ｍｍ以下であることが好ましい。より詳細には、熱伝導シート１０の低硬度層１１の厚み寸法は、低硬度層１１の両面に補強層１２，１３を設ける場合には、０．４ｍｍ以上５．６ｍｍ以下であることが好ましく、低硬度層１１の片面だけに補強層を設ける場合には、０．７ｍｍ以上５．８ｍｍ以下であることが好ましい。また、補強層１２，１３の厚み寸法は、０．２ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることが好ましい。さらに、低硬度層１１のアスカーＣ硬度は０〜５であり、補強層１２，１３のアスカーＣ硬度は３０〜５０であることが好ましい。この範囲内であると、成形性が良好で、圧縮力が低く抑えられるためである。
【００４１】
例えば３層構造の熱伝導シート１０は、低硬度層１１の組成物材料と、第１補強層１２の組成物材料と、第２補強層１３の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行することにより得られる。
【００４２】
図４は、熱伝導シート１０を製造するためのコーター３０の構成を模式的に表した図であり、図５はダイヘッド３２の構成を模式的に表した図である。上述した各混合物はそれぞれ別個のホッパ３１に貯蔵されており、各ホッパ３１は、各混合物がダイヘッド３２の３つの吐出口３２Ａに流れ込むようにホース３７により連結されている。より詳細には、図５に示すように、ダイヘッド３２は上下方向に並んだ３つの吐出口３２Ａを有しており、これらの各吐出口３２Ａに各混合物が別々に流れ込むように、ホース３７を介してホッパ３１が連結されている。
【００４３】
ダイヘッド３２は、上下方向に対向配置された一対のロール３３，３３間に向けて吐出口３２Ａが開口するように配置されている。また、一対のロール３３，３３にはそれぞれ高分子フィルム３４，３４が巻回されており、ロール３３，３３の回転に伴い、一対の高分子フィルム３４，３４が同方向（ホッパ３１の反対方向）に向けて所定の距離を隔てて送り出されるようになっている。
【００４４】
上述した各混合物は、それぞれ３つの吐出口３２Ａから同時に一気に押し出されて積層される（押出工程）とともに、一対の高分子フィルム３４，３４に挟まれた状態でロール３３，３３から送り出されて、定格の厚さのシート状（積層体）に成形される（図２参照）。
【００４５】
このように、各混合物が一対の高分子フィルム３４，３４の間に向けて押し出された際には、各混合物は未硬化で粘度が低いため、隣り合って押し出された各混合物同士はその境界付近において互いに入り込むように混ざり合う。この時、低硬度層１１の組成物材料（混合物）中に含まれている炭化ケイ素１５等も、補強層１２，１３の組成物材料（混合物）側に入り込む。
【００４６】
そしてその後、硬化工程において積層物が加熱されると、隣り合う混合物の混ざり合った組成物材料同士が反応し、重合あるいは架橋しつつ硬化する。このようにして、低硬度層１１と補強層１２、１３とが互いに入り込むとともに、炭化ケイ素１５の一部が補強層１２，１３に入り込む形とされた第１接合境界部１８および第２接合境界部１９が形成される。
【００４７】
上記製造方法においては、押出工程において、低硬度層１１の組成物材料の混合物は、補強層１２，１３の組成物材料の混合物よりも粘度が高いことが好ましい。このような場合には、低硬度層１１の混合物中に含まれている比較的粒径が大きい炭化ケイ素１５が、隣接する補強層１２，１３の混合物に向けて比較的容易に移動して入り込むことができる。その後硬化工程により硬化されることにより、炭化ケイ素１５の一部が補強層１２，１３に入り込む形で接合境界部１８，１９に配された熱伝導シート１０が得られる。
【００４８】
なお、２層構造の熱伝導シート４０の場合も、上述した３層構造の熱伝導シート１０と同様の製造方法で製造される（図３参照）。
【００４９】
＜実施例＞
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、本発明は、これらの実施例に限られるものでない。
【００５０】
（熱伝導シート１０の作製）
（実施例１）
第１補強層１２、低硬度層１１、第２補強層１３の各組成物材料を表１ないし表３に示す配合割合で混合し、３種類の混合物を作製した（混合工程）。これらの混合物のうち低硬度層１１の組成物材料の混合物は、第１補強層１２および第２補強層１３の組成物材料の混合物と比較して、粘度が高かった。
【００５１】
次に、上述したコーター３０にて３層用のダイヘッド３２を使用してそれぞれの組成物材料（混合物）を一対のロール３３，３３（高分子フィルム３４，３４）間に同時に一気に押し出して積層し（積層工程）、オーブン３５にて１０５℃で加熱重合を行って（硬化工程）、３層構造の熱伝導シート１０を作製した。
【００５２】
完成した熱伝導シート１０は、低硬度層１１の厚みが１．４ｍｍ、第１補強層１２および第２補強層１３の厚みがいずれも０．３ｍｍになるように製造条件を整えた。また、低硬度層１１のアスカーＣ硬度は０、第１補強層１２のアスカーＣ硬度は３８、第２補強層１３のアスカーＣ硬度は４２であった。
【００５３】
（実施例２）
低硬度層１１および第２補強層１３の各組成物材料を表２および表３に示す配合割合で混合し、実施例１と同様のコーターにて２層用のダイヘッドを使用してそれぞれの材料を一対のロール（高分子フィルム）間に同時に一気に押し出して積層し、オーブンにて１０５℃で加熱重合を行って、２層構造の熱伝導シート４０を作製した。完成した熱伝導シート４０は、低硬度層１１の厚みが１．７ｍｍ、第２補強層１３の厚みが０．３ｍｍになるように製造条件を整えた。低硬度層１１のアスカーＣ硬度は０、第２補強層１３のアスカーＣ硬度は４２であった。
【００５４】
（比較例１）
比較例１として、低硬度層、第１補強層、第２補強層の各組成物材料を表１ないし表３に示す配合割合で混合し、実施例１と同様のコーターにて単層用のダイヘッドを使用してそれぞれの層を別個に成形、硬化させ、完成した単層の各シートを接着剤を介して積層させた熱伝導シートを用意した。完成した熱伝導シートは、低硬度層の厚みが１．４ｍｍ、第１補強層および第２補強層の厚みが０．３ｍｍになるようにした。低硬度層のアスカーＣ硬度は０、第１補強層のアスカーＣ硬度は３８、第２補強層１３のアスカーＣ硬度は４２であった。
【００５５】
【表１】
0006710828.tif 000002
【００５６】
【表２】
0006710828.tif 000003
【００５７】
【表３】
0006710828.tif 000004
【００５８】
（圧縮力の測定）
上記実施例１，２および比較例１の各熱伝導シートに対し、１０ｍｍ×１０ｍｍの試験片を切り出し、測定装置（製品名「テンシロン万能試験機ＲＴＣ−１２１０Ａ」、エー・アンド・デイ株式会社製)を用いて、使用ロードセル５００ｋｇｆ／ｃｍ2、クロスヘッドスピード１．０ｍｍ／ｍｉｎの条件で圧縮力を測定した。測定結果を表４および図６に示す。
【００５９】
【表４】
0006710828.tif 000005
【００６０】
表４および図６に示す結果より、実施例１および実施例２の熱伝導シート１０，４０は、従来の熱伝導シート（比較例１）と比較して、シートの圧縮率に対する圧縮力がいずれも小さいことが確認された。これは、被着体に対する追従性に優れることを意味している。
【００６１】
また、圧縮率を高めた場合でも、低硬度層および補強層間のずれが認められず、低硬度層が過度に変形することが抑制されていることが確認できた。すなわち、層間の接合性が高いことが確認できた。一方、比較例１ものは、圧縮率を高めるに従って低硬度層および補強層の間にずれが生じ、低硬度層が補強層からはみだす現象が認められた。圧縮を解除した場合でも、低硬度層はもとの位置に戻らず、補強層からはみだしたままであった。
【００６２】
これは、実施例１および２の熱伝導シート１０，４０では、上記製造方法で製造したことにより、低硬度層１１と補強層１２，１３とが互いに入り込んだ接合境界部１８，１９が、低硬度層１１と補強層１２，１３とを強固に連結しているためと考えられる。また、低硬度層１１に含まれている炭化ケイ素１５の一部が補強層１２，１３に入り込む形で接合境界部１８，１９に配され、引っ掛かっているためと考えられる。
【００６３】
（熱抵抗の測定）
上記実施例１および比較例１の各熱伝導シートに対し、２５ｍｍ×２５ｍｍの試験片を切り出し、ＡＳＴＭ  Ｄ５４７０に準拠しつつ、熱抵抗測定器を用いて熱抵抗を測定した。測定結果を表５に示す。
【００６４】
【表５】
0006710828.tif 000006
【００６５】
表５に示す結果より、本発明の熱伝導シート１０は、従来品と比較して同等の熱抵抗が得られることが確認できた。
【００６６】
（オイルブリード評価）
上記実施例１の熱伝導シート１０に対し、２５ｍｍ×２５ｍｍの試験片を切り出して薬包紙に載置し、室温約２０℃の温度条件下で約３００時間放置するオイルブリード評価を行った。また、同様のオイルブリード評価を、市販品のシリコン系熱伝導シートについても行った。
【００６７】
観察の結果、市販品のシリコン系熱伝導シートではオイルブリードが観察されたが、実施例１の熱伝導シート１０ではオイルブリードはほとんど観察されなかった。
【００６８】
（剥離性の確認）
実施例１の熱伝導シート１０の両面に積層されている高分子フィルム３４を剥したところ、第２補強層１３に積層されている高分子フィルム３４の方が第１補強層１２に積層されている高分子フィルム３４よりも剥し易いことが確認できた。これは、第２補強層１３に含まれている水酸化マグネシウム１７による効果と考えられる。
【００６９】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００７０】
（１）熱伝導シートは、低硬度層１１の一方側の面に補強層１３が設けられた例えば上記実施例２の構成を有する一対の熱伝導シート４０を、低硬度層１１側が対向するように重ねて貼り合わせることにより、低硬度層１１の両面に補強層１３が設けられた熱伝導シートとしてもよい。この場合、貼り合わせられる低硬度層１１は粘度が高いため互いに馴染み易く、界面でずれ難い。
【００７１】
（２）上記実施例１では、第１補強層１２と第２補強層１３とを異なる組成としたが、同じ組成で構成してもよい。
【００７２】
（３）低硬度層１１、第１補強層１２および第２補強層１３の厚さや硬さは上記実施形態に限るものでなく、適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１０，４０：熱伝導シート
１１：低硬度層
１２：第１補強層
１３：第２補強層
１４：アクリルポリマー
１５：炭化ケイ素
１６：水酸化アルミニウム
１７：水酸化マグネシウム
１８：第１接合境界部
１９：第２接合境界部
３０：コーター
３２：ダイヘッド
３２Ａ：吐出口
３３：ロール
３４：高分子フィルム
３５：オーブン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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