(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、
前記フィルムに接続される枠状部材と、
平面視して前記枠状部材で囲われた内側の面積よりも面積が小さく、前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、
前記振動部と前記枠状部材とを接続し、前記振動部を支持する支持部と、
前記フィルムと前記振動部とを接続する第１接続部材と、
前記フィルムと前記枠状部材とを接続する第２接続部材と、を備え、
前記第１接続部材が、前記振動部を平面視して前記振動部の重心と前記第２接続部材との間に設けられている、振動構造体。
【請求項２】
電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、
前記フィルムに接続される枠状部材と、
平面視して前記枠状部材で囲われた内側の面積よりも面積が小さく、枠状の形状であり、前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、
前記振動部と前記枠状部材とを接続し、前記振動部を支持する支持部と、
前記フィルムと前記振動部とを接続する第１接続部材と、
前記フィルムと前記枠状部材とを接続する第２接続部材と、を備えた、振動構造体。
【請求項３】
前記第２接続部材が、前記振動部の側面に配置され、
前記第１接続部材が、前記枠状部材の前記第２接続部材が配置された側面と対向する側面に配置され、
前記フィルムが、前記第１接続部材および前記第２接続部材の間に配置されている、請求項１または２に記載の振動構造体。
【請求項４】
前記枠状部材、前記振動部、および前記支持部が、同一部材で形成されている、請求項１から３のいずれかに記載の振動構造体。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の振動構造体と、
前記振動構造体が配置される筐体と、
前記振動構造体と前記筐体との空間を確保するスペーサ部材と、を備えた、振動発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動を発生させる振動構造体および振動発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電素子などの電歪体を用いて振動を発生させる振動発生装置が提案されている。【０００３】
例えば、特開２００４−２５００９号公報（特許文献１）には、二つの圧電素子を用いてシーソー板を遥動し振動を発生させるシーソー型の振動発生装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、遥動などの回転運動を伴う振動や振動面に対し垂直方向の振動を発生させる構造の場合、振動音などのノイズ音が発生しやすくなる。【０００６】
そこで、本発明の目的は、振動音の発生を抑制する振動構造体および振動発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の第１の局面に係る振動構造体は、電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、前記フィルムに接続される枠状部材と、平面視して前記枠状部材で囲われた内側の面積よりも面積が小さく、前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、前記振動部と前記枠状部材とを接続し、前記振動部を支持する支持部と、前記フィルムと前記振動部とを接続する第１接続部材と、前記フィルムと前記枠状部材とを接続する第２接続部材と、を備え、前記第１接続部材が、前記振動部を平面視して前記振動部の重心と前記第２接続部材との間に設けられている。【０００８】
本開示の第２の局面に係る振動構造体は、電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、前記フィルムに接続される枠状部材と、平面視して前記枠状部材で囲われた内側の面積よりも面積が小さく、枠状の形状であり、前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、前記振動部と前記枠状部材とを接続し、前記振動部を支持する支持部と、前記フィルムと前記振動部とを接続する第１接続部材と、前記フィルムと前記枠状部材とを接続する第２接続部材と、を備えている。【０００９】
本開示の振動発生装置は、上記本開示の第１または第２の局面に係る振動構造体と、前記振動構造体が配置される筐体と、前記振動構造体と前記筐体との空間を確保するスペーサ部材と、を備えている。
【発明の効果】
【００１０】
これらの振動構造体および振動発生装置とすることにより、振動音の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１（Ａ）は、振動構造体１の斜視図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図２】振動構造体１の平面図である。
【図３】図３（Ａ）は、振動部の重心を挟んで第２接続部と反対側に第１接続部が配置される場合の断面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の状態から圧電フィルムが収縮した際に振動部に加えられる力の分解図である。図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）の状態からさらに圧電フィルムが収縮した際に振動部に加えられる力の分解図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１接続部材が振動部の重心と第２接続部材との間に配置されている場合における振動構造体の断面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の状態から圧電フィルムが収縮した場合に振動部に加えられる力の分解図である。
【図５】図３（Ｃ）の振動部の変位と図４（Ｂ）の振動部の変位を比較した図である。
【図６】図６（Ａ）は、振動構造体２の斜視図であり、図６（Ｂ）は、図４（Ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図７（Ａ）は、振動構造体３の斜視図であり、図７（Ｂ）は、図５（Ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図８】図８（Ａ）は、振動構造体４の斜視図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）におけるＤ−Ｄ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１（Ａ）に本発明第１の実施形態に係る振動構造体１の斜視図を示す。図１（Ｂ）に図１（Ａ）における振動構造体１のＡ−Ａ断面図を示す。
【００１３】
本実施形態の振動構造体１は、枠状部材１０と、圧電フィルム１２と、支持部１３と、振動部１４と、第１接続部材１５１および第２接続部材１５２を有する接続部材１５とを備えている。
【００１４】
枠状部材１０は、平面視した形状が長方形状であり、枠状部材１０で囲われた内側の領域を有する。枠状部材１０で囲われた領域内には、支持部１３と振動部１４とが配置される。枠状部材１０で囲われた領域は、支持部１３と振動部１４によって枠状部材１０の長手方向の両端に配置された２つの第１開口１１Ａと、短手方向の両端に配置された２つの第２開口１１Ｂとを形成する。第１開口１１Ａは、長方形状であり、枠状部材１０の短手方向に沿って長い形状となっている。第２開口１１Ｂは、長方形であり、枠状部材１０の長手方向に沿って長い形状となっている。第２開口１１Ｂの長手方向の両端は、枠状部材１０の中心軸（図中のＡ−Ａ線）に向かって延在している。
【００１５】
振動部１４は、平面視して長方形状であり、枠状部材１０で囲われた領域内に配置されている。振動部１４の面積は、枠状部材１０で囲われた領域の面積より小さくなっている。
【００１６】
支持部１３は、振動部１４と枠状部材１０とを接続し、振動部１４が枠状部材１０で支持されるようにする。この例では、支持部１３は、圧電フィルム１２が伸縮する方向に直交する方向である枠状部材１０の短手方向に沿って長い長方形状であり、振動部１４の長手方向の両端部で、該振動部１４を保持する。
【００１７】
この例では、枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、同一部材（例えば、アクリル樹脂、ＰＥＴ、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ガラスエポキシ、ＦＲＰ、金属、またはガラス等）で形成されている。つまり、枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、１枚の長方形状の板部材を、第１開口１１Ａおよび第２開口１１Ｂの形状に沿って打抜き加工することで形成される。枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、それぞれ別の部材であってもよいが、同一部材で形成されることで、容易に製造することができる。または、同一部材で形成されることで、振動部１４の支持にゴム等の別の部材（クリープ劣化のある部材）を用いる必要がなく、長期間安定して振動部１４を保持することができる。また、同一部材でかつ抜き打ち加工を行なう場合、複数の支持部１３の固有振動周期が全く同じになるため、振動部１４を振動させたときの振動部１４の振動バラツキを軽減することができる。ただし、本発明において、これら部材は、同一部材で形成される必要はない。例えば、複数の支持部１３にそれぞれ別の部材を用いた場合、振動部１４の動きを調整することができる。例えば、支持部１３にゴム等の弾性係数の高い材料を用いると、圧電フィルム１２に印加する電圧の大きさを小さくすることができる。
【００１８】
圧電フィルム１２は、枠状部材１０および振動部１４に接続される。圧電フィルム１２は、電圧を加えると面方向に変形するフィルムである。圧電フィルム１２は、平面視して枠状部材１０の長手方向に沿って長い長方形状である。圧電フィルム１２は、例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）からなる。他にも、圧電フィルム１２は、キラル高分子からなる態様であってもよい。キラル高分子は、例えば、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）またはＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ）等を用いる。
【００１９】
圧電フィルム１２にＰＶＤＦを用いた場合、ＰＶＤＦは耐水性があるため、この例における振動部材を備えた電子機器をどのような湿度環境下においても同じような振動をさせることができる。
【００２０】
また、圧電フィルム１２にＰＬＬＡを用いた場合、ＰＬＬＡは透過性の高い材料であるため、ＰＬＬＡに付加する電極および振動部１４が透明な材料であれば、機器の内部状況を視認出来るため、製造し易くなる。また、ＰＬＬＡは、焦電性が無いため、どのような温度環境下においても同じような振動をさせることができる。
【００２１】
圧電フィルム１２は、仮にＰＬＬＡで構成される場合、延伸方向に対して各外周辺が略４５°となるように裁断することで、圧電性を持たせる。
【００２２】
圧電フィルム１２の長手方向の第１端は、枠状部材１０の長手方向の第１端に接続される。圧電フィルム１２の第２端は、振動部１４の重心よりも第１端側に接続される。
【００２３】
圧電フィルム１２が振動部１４の重心よりも第１端側に接続されることで、振動部１４が振動した際に重心周りに回転することを抑制できる。
【００２４】
圧電フィルム１２は、接続部材１５を介して、枠状部材１０および振動部１４に接続される。平面視して枠状部材１０の短手方向に沿って長い長方形状である接続部材１５は、ある程度の厚みがあり、圧電フィルム１２を振動部１４に接触させないように、ある程度離れた位置で、圧電フィルム１２と振動部１４とを接続させる。これにより、圧電フィルム１２の両主面に設けられた不図示の電極が振動部１４に接触しないため、圧電フィルム１２が伸縮して振動部１４が振動したとしても、電極が削られることがない。なお、枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４が導電性部材である場合、接続部材１５と枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４との間に絶縁性部材またはコーティング膜を配置することが好ましい。この場合、枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４と圧電フィルム１２の電極との間で電気的な短絡を防ぐことができる。
【００２５】
接続部材１５は、例えば、金属、ＰＥＴ、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリイミド、またはＡＢＳ樹脂などからなる。接続部材１５は、圧電フィルム１２と振動部１４とを接着剤等で接続する第１接続部材１５１、および、圧電フィルム１２と枠状部材１０とを接着剤等で接続する第２接続部材１５２を有する。なお、接着剤等を介して、接続部材１５と各種構成とを接続することは、必須ではない。例えば、接続部材１５自体が、接着剤または両面テープであってもよい。この場合、接着剤等を別途用意する必要はない。
【００２６】
圧電フィルム１２は、ある程度のテンションが掛けられた状態で、接続部材１５を介して枠状部材１０および振動部１４に接続される。ただし、圧電フィルム１２にテンションが掛けられた状態で接続されることは必須ではない。圧電フィルム１２は、収縮した場合にテンションが掛けられる様に、接続されていてもよい。
【００２７】
圧電フィルム１２は、電圧を印加すると面方向に変形する。具体的には、圧電フィルム１２は、電圧を印加すると長手方向に伸縮する。圧電フィルム１２が長手方向に伸縮することにより、振動部１４は、長手方向に振動する。
【００２８】
圧電フィルム１２は、両主面に平面電極が形成されている。各電極には、不図示の駆動回路が接続される。駆動回路は、平面電極に電圧を印加することで、圧電フィルム１２を伸縮させる。例えば、駆動回路が、圧電フィルム１２に負の電圧を印加して、圧電フィルム１２が収縮する場合、図２に示すように、振動部１４が長手方向（図２中の右方向）に変位する。
【００２９】
また、駆動回路が圧電フィルム１２に正の電圧を印加すると、圧電フィルム１２は伸張する。ただし、圧電フィルム１２が伸張しても、圧電フィルム１２が撓むだけで、振動部１４を変位させるのは困難である。そのため、駆動回路は、主に圧電フィルム１２に負の電圧を印加して、圧電フィルム１２を伸縮させることにより、振動部１４を振動させる。なお、テンションを掛けられた状態で圧電フィルム１２が接続されている場合、フィルム伸張時に、初期のテンションで撓んでいた支持部１３は、元に戻ろうとして振動部１４は変位する。
【００３０】
以上の様な電圧の印加は、繰り返し行なわれる。つまり、駆動回路は、交流電圧を印加する。駆動波形は、矩形波、三角波、台形波等、どの様な波形であってもよい。例えば、サイン波を印加すると、不要な振動を低減し、当該不要な振動で発生する音を低減することができる。
【００３１】
次に、振動部１４の回転について説明する。以下、振動部１４は有限の厚みを持ち、第１接続部材１５１を介して圧電フィルム１２に接続される構造について説明を行なう。
【００３２】
図３（Ａ）は、振動部１４が水平な状態(非駆動状態)において圧電フィルム１２が収縮する場合の断面図である。
【００３３】
図３（Ｂ）は、図３（Ａ）において圧電フィルム１２が収縮したときに振動部１４にかかる力１６を示した図であり、さらに図３（Ｂ）においては、その力１６を振動部１４の重心周りの回転に関わる成分１７と回転に関わらない成分１８とに分解して示している。
【００３４】
図３（Ｂ）から、振動部１４が有限の厚みを有しているため、振動部１４の重心周りに回転する成分１７が発生することがわかる。
【００３５】
図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）の状態からさらに圧電フィルム１２が収縮した場合の振動部にかかる力を示している。
【００３６】
図３（Ｂ）の状態から圧電フィルム１２が収縮すると、振動部１４がさらに回転する方向の成分１７が増加していることが分かる。
【００３７】
この振動部１４の重心周りに回転する成分１７が発生することにより、振動構造体１が駆動した際振動板が重心周りに回転を開始する。つまり、回転を伴った水平方向の振動を発生させることとなる。
【００３８】
さらに、重心周りに回転する成分１７が増加することによって、振動部１４の回転が大きくなる挙動を示す。
【００３９】
図４（Ａ）は、圧電フィルム１２が振動部１４の重心よりも第１端側に接続される場合の図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の圧電フィルム１２が収縮したときを示している。
【００４０】
図４（Ｂ）は、図３（Ｂ）と同様に、圧電フィルム１２の伸縮中に振動部１４が傾いている際に圧電フィルム１２が収縮したときに振動部１４にかかる力１６を示した図であり、さらに図４（Ｂ）においては、その力を振動部１４の重心周りの回転に関わる成分１７と回転に関わらない成分１８とに分解して示している。
【００４１】
図４（Ｂ）のように、振動部１４が傾いている際に圧電フィルム１２が収縮すると、振動部１４の傾きを水平にする方向に回転させる成分１７が発生する。このため、振動部１４が傾いた際に回転することを抑制できる。
【００４２】
図５は、振動部１４の変位を示した図である。図５中の黒丸でプロットされるグラフは、図３（Ｃ）における圧電フィルム１２が振動部１４の重心よりも第２端側に接続される場合の振動部１４の変位を表し、図５中の黒四角でプロットされるグラフは、図４（Ｂ）において圧電フィルム１２が振動部１４の重心よりも第１端側に接続される場合の振動部１４の変位を表している。
【００４３】
それぞれの振動部１４の変位量からわかるように、圧電フィルム１２が振動部１４の重心よりも第１端側に接続される場合の振動部１４の変位が小さくなっていることが分かる。つまり、振動部１４の重心よりも第１端側に圧電フィルム１２が接続されることで振動部１４の回転を抑制し、振動構造体１にて発生する音を抑制することができる。すなわち、重心を支点とした振動部１４の回転に対し圧電フィルム１２が収縮することによる復元力が発生するため、垂直方向または回転を伴った振動の発生を抑制し、ノイズ音の発生を軽減できる。
【００４４】
図３（Ｃ）と図４（Ｂ）では、理解を容易にするために、振動部１４の第１端側の端部が第１接続部材１５１の配置されている側と反対側に変位する場合について示したが、これと逆向きに変位する場合についても、同様に振動部１４の回転が抑制される。
【００４５】
また、図３（Ｃ）と図４（Ｂ）では、理解を容易にするために、振動部１４の変位を実際よりも大きく示している。実際の振動部１４の変位は、より小さいものとなる。
【００４６】
図６（Ａ）に本発明第２の実施形態に係る振動構造体２の斜視図を示す。図６（Ｂ）に図６（Ａ）における振動構造体１のＢ−Ｂ断面図を示す。
【００４７】
図６（Ａ）は、振動構造体２が筐体２７のうちの１面にスペーサ２６を介して取り付けられる構造を示している。
【００４８】
スペーサ２６は、長方形の枠状部材２０の長辺に沿って取り付けられる。スペーサ２６は、振動部２４と同程度もしくはそれ以上の厚みを有し、直方体の形状である。
【００４９】
スペーサ２６は、振動構造体２と筐体２７との間の空間を確保する。振動構造体２の振動部２４が回転することによって振動構造体２と筐体２７との間の空気層に疎密が生じる際に、スペーサ２６によって一定の開口を設けることで空気の逃げ道を作り、音の発生を抑制する。
【００５０】
スペーサ２６は、図６（Ａ）に示した形状に限らない。枠状部材２０の短辺側に設けられてもよい。スペーサ２６は、直方体でなくてもよく、楕円体や球状の形をとってもよい。
【００５１】
以上の振動構造体２は、振動部２４が枠状部材２０の開口２１内で面方向に振動する。したがって、振動構造体２としての全体の厚みは、図４（Ｂ）に示すように、ほぼ圧電フィルム２２の厚みと接続部材２５の厚みと振動部２４板の厚みとの和であり、非常に薄くなる。また、圧電フィルム２２は、弾性があり、耐衝撃性を有する。さらに、枠状部材２０、振動部２４、および支持部２３が同一部材である１枚の長方形状の板部材からなる場合には、振動部２４の支持にゴム等の別の部材（クリープ劣化のある部材）を用いる必要がない。したがって、振動構造体２の構造によれば、長期間、安定して振動することができる。
【００５２】
なお、振動部２４の形状は、図４（Ａ）に示した形状に限らない。例えば、枠状部材２０は、平面視して全周を囲む環状である必要はなく、一部が開口した構造でもよい。また、枠状部材２０および振動部２４は、平面視して長方形状である必要はない。枠状部材２０および振動部１４は、多角形状、円形状、または楕円形状等であってもよい。
【００５３】
図７（Ａ）に本発明第３の実施形態に係る振動構造体３の斜視図を示す。図７（Ｂ）に図７（Ａ）における振動構造体３のＣ−Ｃ断面図を示す。
【００５４】
図７（Ａ）の振動構造体３においては、圧電フィルム３２が、振動部３４の第１接続部材３５１が配置される第１端側面に第１接続部材３５１を介して接続され、さらに振動部３４の第１端側面に対向する枠状部材３０の側面に第２接続部材３５２を介して接続されている。
【００５５】
図７（Ｂ）を見ると分かるように、圧電フィルム３２は、振動部３４の重心を通る振動部３４の主面に平行な平面上付近に接続される。そのため、圧電フィルム３２が収縮する際に、振動部３４の重心周りの回転を発生させる力の成分が発生しにくくなる。このことにより、振動構造体３にて発生する音をさらに抑制することができる。
【００５６】
さらに、圧電フィルム３２が振動部３４と枠状部材３０の主面上において接続部材３５を介して接続されないため、振動構造体３の全体の厚みを増加させない。
【００５７】
圧電フィルム３２は、接続部材３５を介さず振動部３４および枠状部材３０に接続されてもよい。例えば、振動部３４および枠状部材３０が薄い板状の部材を貼り合せて形成される構造にし、その間に圧電フィルム３２を挟み込むような形をとってもよい。この場合、より振動部３４の重心を通る振動部３４の主面に平行な平面付近に圧電フィルム３２を配置することが可能となる。
【００５８】
図８（Ａ）に本発明第４の実施形態に係る振動構造体４の斜視図を示す。図８（Ｂ）に図８（Ａ）における振動構造体４のＤ−Ｄ断面図を示す。
【００５９】
振動構造体４は、枠状部材４０と、開口４１と、圧電フィルム４２と、支持部４３と、振動部４４と、接続部材４５と、振動部開口４９とを備える。
【００６０】
振動部４４は振動部開口４９を有しており、振動部４４の形状は枠状になっている。
圧電フィルム４２は、枠状部材４０および振動部４４に接続される。圧電フィルム４２の長手方向の第１端は、枠状部材４０の長手方向の第１端に接続される。圧電フィルム４２の第２端は、振動部４４の長手方向の第２端に接続される。
【００６１】
この構成の振動構造体４は、振動部４４の重心周りの慣性モーメントが、振動部４４が同じ重さで均一な単板からなる場合に比べて大きくなる。そのため、圧電フィルム４２の収縮に伴って振動部４４の重心周りに回転を行なう力が加わった場合でも、慣性モーメントが大きくなるので角加速度が小さくなり、振動部４４の変位が小さくなる。
【００６２】
その結果、振動構造体４にて発生する音を抑制できる。
また、この構成では、振動部４４が同程度の回転しにくさを有する均一な単板からなる場合に比べて振動構造体４をより軽量に実現できる。
【００６３】
振動部４４の開口部は、この形状に限らず、均一な単板状に比べて慣性モーメントが大きくなるような形状であればよい。振動部開口４９は、複数の開口として振動部４４に設けられてもよい。好ましくは重心を含む箇所に開口を有している構造が好ましいが、この限りではない。さらに振動部４４が重心から遠い位置に錘が配置されている構成でもよい。その場合、振動構造体４と同様の効果を得ることができる。また、振動部４４は、単板であってもその密度や材質が不均一となっていてもよい。
【００６４】
また、第１の実施形態と同様に、圧電フィルム４２の長手方向の第１端は、枠状部材４０の長手方向の第１端に接続され、圧電フィルム４２の第２端は、振動部４４の重心よりも長手方向の第１端側に接続されてもよい。この場合、より回転しにくい構造となり、より音の発生を抑制できる。
【００６５】
以上において説明した本発明第１ないし第４の実施形態における特徴的な構成は、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて相互に組み合わせることができる。
【００６６】
今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって画定され、また請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００６７】
１  振動構造体、１０  枠状部材、１１  開口、１２  圧電フィルム、１３  支持部、１４  振動部、１５  接続部材、１５１  第１接続部材、１５２  第２接続部材、１６  振動部１４にかかる力、１７  振動部１４の重心周りの回転に関わる成分、１８  回転に関わらない成分、２６  スペーサ、２７  筐体、４９  振動部開口。
【要約】
振動構造体（１）は、電圧を加えることで面方向に変形する圧電フィルム（１２）と、圧電フィルム（１２）に接続された枠状部材（１０）と、枠状部材（１０）に支持部（１３）を介して支持され、圧電フィルム（１２）が変形することで面方向に振動する振動部（１４）と、圧電フィルム（１２）と振動部（１４）および枠状部材（１０）とを接続する接続部材（１５）とを備える。接続部材（１５）のうち、振動部（１４）と圧電フィルム（１２）とを接続する第１接続部材（１５１）は、振動部（１４）の重心と、枠状部材（１０）および圧電フィルム（１２）を接続する第２接続部材（１５２）との間に配置される。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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