(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
輸送粒子を有するガス流を受けるための入力部と、
前記ガス流を粒子センサに通過させるための手段と、
開口部を有する外側エンクロージャを有する電離箱、及び
前記ガス流が前記電離箱を通過し、一部がイオン風の結果として前記開口部を通って前記電離箱に入ることになる、前記電離箱内のイオン化電極
を含む、粒子を帯電させるための静電粒子帯電部と、
帯電した粒子を沈降させるための粒子沈降部と、
センサ信号を生成するために沈降した粒子を検出する、センサユニットと
を含む、前記粒子センサであって、
当該粒子センサは、
前記電離箱の外側と前記電離箱の内側との間のガス流の流量を表す信号を生成するためのセンサ装置と、
前記イオン化電極に印加される駆動レベルを制御するためのコントローラであって、前記流量を表す信号に依存して前記駆動レベルを選択するコントローラ、及び／又は
前記流量を表す信号に依存して前記粒子センサを通過する流量を制御するためのコントローラと、
を含む、粒子センサ。
【請求項２】
前記センサ装置は、流量計の装置を含む、請求項１に記載の粒子センサ。
【請求項３】
前記流量計の装置は、前記静電粒子帯電部の入口端部及び／又は出口端部の付近の前記電離箱の外側の第１の流量計と、前記イオン化電極の先端付近の前記電離箱の外側の第２の流量計とを含む、請求項２に記載の粒子センサ。
【請求項４】
前記第２の流量計は、前記静電粒子帯電部の前記入口端部と前記イオン化電極の前記先端との間に存在する、請求項３に記載の粒子センサ。
【請求項５】
前記センサ装置は、圧力センサの装置を含む、請求項１に記載の粒子センサ。
【請求項６】
前記圧力センサの装置は、前記電離箱の内側の第１の圧力センサと、前記電離箱の外側の第２の圧力センサとを含む、請求項５に記載の粒子センサ。
【請求項７】
前記第１の圧力センサは、前記電離箱の入口端部に存在し、前記第２の圧力センサは、前記静電粒子帯電部の出口端部に存在する、請求項６に記載の粒子センサ。
【請求項８】
前記粒子沈降部は、平行板粒子沈降部を含む、請求項１乃至７の何れか一項に記載の粒子センサ。
【請求項９】
前記電離箱内に非金属シールドをさらに含む、請求項１乃至８の何れか一項に記載の粒子センサ。
【請求項１０】
輸送粒子を有するガス流を受けるステップと、
開口部を有する外側エンクロージャを有する電離箱、及び前記電離箱内のイオン化電極を含む、粒子を帯電させるための静電粒子帯電部に前記ガス流を通すステップであって、前記ガス流は前記電離箱を通過して提供されるが、一部がイオン風の結果として前記電離箱に入るステップと、
粒子沈降部を使用して、センサ信号を生成するために沈降した粒子の電荷を検出するステップと、
前記電離箱の外側と前記電離箱の内側との間のガス流の流量を表す信号を生成するステップと、
前記流量を表す信号に応答して、前記イオン化電極への駆動信号を調整するステップ、及び／又は、粒子センサを通過する流量を調節するステップと
を含む、粒子感知方法。
【請求項１１】
前記流量を表す信号を生成するステップは、前記静電粒子帯電部の入口端部及び／又は出口端部付近の前記電離箱の外側の第１の流量を測定するステップと、前記イオン化電極の先端付近の前記電離箱の外側の第２の流量を測定するステップとを含み、前記信号は前記第１の流量及び前記第２の流量の相対的な大きさに基づく、請求項１０に記載の粒子感知方法。
【請求項１２】
前記流量を表す信号を生成するステップは、前記電離箱の内側の第１の圧力及び前記電離箱の外側の第２の圧力を測定するステップを含み、前記流量を表す信号は、前記第１の圧力及び前記第２の圧力の間の差に基づく、請求項１０に記載の粒子感知方法。
【請求項１３】
前記電離箱の入口端部で前記第１の圧力を測定するステップと、前記静電粒子帯電部の出口端部で前記第２の圧力を測定するステップとを含む、請求項１２に記載の粒子感知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡散帯電によって帯電されている超微粒子の沈降から得られる電流を測定する原理に基づき動作する、粒子センサ、特に超微粒子センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
拡散帯電とは、ニードルチップ電極又はコロナワイヤ等のイオン化電極によって生成されている気体イオン（一般的には陽イオン）との衝突によって、粒子帯電部に浮遊粒子が帯電される、粒子帯電プロセスのことを指す。
【０００３】
このタイプの既知の粒子センサは、一般的に、センサ（例えば人工呼吸器、ファン、又はポンプ）を通過する空気流を確立するための手段を含む。空気流は、粒子帯電部を通過し、実質的にすべての浮遊粒子を空気流から除去するために、次いで粒子沈降部を通過する。
【０００４】
センサは、粒子沈降部の単位時間当たりの粒子結合電荷の堆積から得られる電流を測定するための電流計を有する、粒子測定部をさらに含む。
【０００５】
測定された電流から、所謂見かけ上の超微粒子個数濃度が計算され得る。見かけ上の超微粒子個数濃度は、粒子の長さ濃度（すなわち、ストリングとしてそれらがその中に並ぶ場合の、単位空気量中の全ての浮遊ＵＦＰのストリングの全長）と所定の平均粒径との比に等しい。
【０００６】
粒子沈降部は、ファラデー箱内にアレンジメントされた機械的粒子フィルタ、又は平行板静電粒子沈降分離装置を含む。平行板静電粒子沈降分離装置の場合、帯電した陽性粒子はコンデンサの陰極板に沈降され、測定された派生電流は粒子濃度と粒径との積に比例する。
【０００７】
超微粒子センサの粒子帯電部は、例えば、導電性エンクロージャによって囲まれたニードルチップ電極の形態の高電圧イオン化電極で設計される。エンクロージャには、少なくとも部分的に開口部が提供される。ニードルチップ電極と導電性エンクロージャとの間に電位差を印加することによって、エンクロージャに隣接するガス状イオンを含む領域を確立する開口部を通過して逃げるための、ニードルチップ電極からエンクロージャに向かって引き出されるガス状イオンが生成され得る。エンクロージャは、コロナ電離箱を形成し、ガス状イオンは金属グリッドを通過して隣接するガス流路に発される。
【０００８】
超微粒子を運ぶ空気流がこの領域を通過する場合、浮遊粒子は拡散帯電によって帯電される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このような構造の場合、ニードルチップ電極の性能は経時的に低下することが分かる。これは、電極の周囲に存在する化合物による電極の外面の汚染に起因するものであることが分かっている。例えば、シラン化合物は、電気絶縁層として作用するイオン化電極の外面上に二酸化ケイ素層を形成する。このような汚染物質は、一般的に、監視されるべき超微粒子を運ぶ空気流に存在する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、請求項によって規定される。
【００１１】
本発明の一態様による実施例によれば、
輸送粒子を有するガス流を受けるための入力部、
電離箱内にイオン化電極を含む静電粒子帯電部であって、ガス流は電離箱を通過し一部が電離箱に入る、静電粒子帯電部、
粒子沈降部、及び、
センサ信号を生成するために沈降した粒子を検出する、センサユニット
を含む、粒子センサが提供され、
粒子センサは、電離箱の外側と電離箱の内側との間のガス流の流量を表す信号を生成するためのセンサアレンジメント（装置）を含む。
【００１２】
本発明は、イオン化電極が電離箱の外側エンクロージャによって主空気流から分離されるが、空気流の少なくとも一部は依然としてこのエンクロージャの開口部を介してエンクロージャに入り得、結果として、“イオン風”と呼ばれる電気流体力学的現象が生じる、という認識に基づく。イオン化電極からのガス状イオンの反発は、拡大するイオン雲を生成し、次いで電極から発するこのイオン風を生成する。この風の存在から生じる圧力差は、空気流の少なくとも一部を、開口部を通過してエンクロージャ内へ入り得させ、それによりイオン化電極を有害な汚染物質にさらす。
【００１３】
電離箱内のこのイオン風は、ガス流の大部分（又はすべて）が電離箱を通過して移動するように、特にガス流の再配分をもたらす。動作時、イオン化電極の性能は、空気流からの汚染にさらされて徐々に低下する。この性能低下は、流れの不安定性、イオン化電極（すなわち、コロナニードル）の寿命問題、及び帯電粒子の損失として明らかになり得る。
【００１４】
この状況は、活性炭フィルタ等のプレフィルタが使用される場合にも生じ、というのは、このようなフィルタは、有害な汚染物質の全てを除去することはなく、及び／又は経時的に劣化するからである。適切な動作条件を確保するために、イオン化電極に印加される電圧は、この性能の低下を補うように調整される。しかし、電圧の上昇は、一般的に、より多くの空気流を引き込むより強いイオン風を生じ、電圧があるレベルを超えて上昇される場合、性能は急激に非常に強く低下する。
【００１５】
本発明は、電離箱の外側と電離箱の内側との間のガス流の流量を表す信号を生成するためのセンサ装置を提供する。信号が所定の閾値レベルを超える場合、イオン風の大きさ及び／又は空気流の流量が調整される。このようにして、装置の動作寿命が増加される。
【００１６】
１つのセットの実施例において、センサ装置は、流量計の装置を含む。これらの流量計は、空気流の流量を測定する。異なる位置で流量条件を測定することによって、流れ条件が決定され得る。
【００１７】
例えば、流量計の装置は、粒子帯電部の入口端部及び／又は出口端部の付近の電離箱の外側の第１の流量計と、イオン化電極の先端付近の電離箱の外側の第２の流量計とを含む。
【００１８】
電離箱の外側であるがイオン化電極に最も近い（すなわち、イオン化電極の側面に横方向の）流量は、電離箱の内側と外側との間の流れの量に変化が存在する場合、読取値の最大の変化を有する。第２の流量計は、例えば粒子帯電部の入口端部とイオン化電極の先端との間に存在する。流量の最大の変化は、イオン化電極の入口側（すなわち、直前）に存在する。
【００１９】
（第１の流量計によって測定された装置を通過する一般的な流量に対して）空気流量が所定の閾値レベルを下回る場合、空気流は、エンクロージャに非常に強く引き込まれると考慮され、これは妨害された流れを示す。
【００２０】
第２のセットの例において、センサ装置は、圧力センサの装置を含む。異なる位置で圧力条件を測定することによって、流れ条件が決定され得る。
【００２１】
例えば、圧力センサの装置は、電離箱の内側の第１の圧力センサ、及び電離箱の外側の第２の圧力センサを含む。
【００２２】
第１の圧力センサは、電離箱の入口端部に存在し、第２の圧力センサは、粒子帯電部の出口端部に存在する。
【００２３】
次いで、第１及び第２の圧力センサによって測定された圧力差が決定される。圧力差が所定の閾値レベルを超える場合、空気流は再度エンクロージャに非常に強く引き込まれると考慮される。
【００２４】
何れの場合においても、粒子センサは、イオン化電極に印加された駆動レベルを制御するコントローラをさらに含む。コントローラは、信号に応答して駆動レベルを選択する。特に、流れ条件が、電離箱内への非常に大きな流れが存在することを示す場合、駆動レベルが低下される。
【００２５】
粒子センサは、代わりに又は追加的に、粒子センサを通過する流量を制御するためのコントローラを含み、流量は信号に応答して選択される。特に、流れ条件が、電離箱内への非常に大きな流れが存在することを示す場合、流量が低下される。
【００２６】
沈降部は、平行板粒子沈降部を含む。
【００２７】
電離箱に非金属シールドが提供される。この非金属シールドは、ニードルチップ電極の近くで生成されたイオン流を、流路から電離箱を分離するグリッドに向かって導くために提供される。
【００２８】
粒子センサは、空気流から有害な汚染物質（より大きな粒子等）を除去するためのプレフィルタを含む。次いで、センサシステムの出力はまた、主チャネルを通過するガス流の低下を測定することによって、プレフィルタが交換されるべき程度まで劣化した場合を決定するために使用される。ガス流が所定の係数（例えば、２倍）減少する場合、フィルタが交換される必要のあることが消費者に示され得る。
【００２９】
本発明の別の態様による実施例は、
輸送粒子を有するガス流を受けること、
電離箱内にイオン化電極を含む静電粒子帯電部にガス流を通すことであって、ガス流は電離箱を通過して提供されるが一部が電離箱に入ること、
粒子沈降部を使用して、センサ信号を生成するために沈降した粒子の電荷を検出すること、及び
電離箱の外側と電離箱の内側との間のガス流の量を表す信号を生成すること
を含む、粒子感知方法を提供する。
【００３０】
この方法は、電離箱内及びその周囲の流れ条件が不適切になった場合を評価するために使用され得る信号を生成し、結果として是正措置が取られる。
【００３１】
信号を生成することは、粒子帯電部の入口端部及び／又は出口端部付近の電離箱の外側の第１の流量を測定すること、及び、イオン化電極の先端付近の電離箱の外側の第２の流量を測定することを含み、信号は第１及び第２の流量の相対的な大きさに基づく。
【００３２】
信号を生成することは、電離箱の内側の第１の圧力及び電離箱の外側の第２の圧力を測定することを代わりに含み、信号は、第１及び第２の圧力の間の差に基づく。
【００３３】
次いで、イオン化電極への駆動信号が信号に応答して調整され、及び／又は、粒子センサを通過する流量が制限される。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
以下、添付図面を参照して本発明の実施例が詳細に説明される。
【００３５】
【図１】粒子センサの第１の既知の例を示す。
【図２】粒子センサの第２の既知の例を示す。
【図３】粒子帯電部内及びその周辺の第１の流れ条件を示す。
【図４】粒子帯電部内及びその周辺の第２の流れ条件を示す。
【図５】粒子帯電部内及びその周辺の第３の流れ条件を示す。
【図６】図１又は図２のセンサを修正するために使用され得る流れセンサ装置の第１の例を示す。
【図７】図１又は図２のセンサを修正するために使用され得る流れセンサ装置の第２の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
本発明は、電離箱の形態の静電粒子帯電部を使用する粒子センサを提供する。流れセンサ装置は、電離箱の外側と電離箱の内側との間のガス流の流量を表す信号を生成するために使用される。この情報は流れ条件を示し、粒子センサの性能又は寿命に悪影響を及ぼす流れ条件がいつ存在するかを決定するために使用され得る。
【００３７】
既知の電気超微粒子（ＵＦＰ）センサの設計及び動作が、まず詳細に説明される。これらのセンサは、例えば、約１０ｎｍ及び５００ｎｍの粒子サイズ範囲の粒子を測定する。これらのセンサは、例えば、大気汚染物質への屋内曝露を最小限に抑えながら、新鮮な換気の供給を目的とした建物又は車内の空気処理ユニットの自動制御に使用される。
【００３８】
最も基本的なセンサーの実施が、図１に示される。
【００３９】
センサは、流量ΦCで空気を受ける入口１０を含む。
【００４０】
ＵＦＰ帯電部１２は、多孔質のスクリーン電極１６によって囲まれた空気イオン化高電圧イオン化電極１４を含む。
【００４１】
さらに下流には、ＵＦＰセンサを通過するサンプリングされた空気流から全ての浮遊粒子を実質的に濾過可能な粒子フィルタを含むファラデー箱２０を含む、ＵＦＰ沈降部１８が存在する。
【００４２】
電流計２２は、ファラデー箱に接続される。これは、電流Ｉｓｅｎｓｏｒとしてファラデー箱の内側の単位時間当たりに堆積する粒子結合電荷の量を測定する。Ｉｓｅｎｓｏｒは、センサ信号を構成する。
【００４３】
浮遊ＵＦＰを含むサンプリングされた空気流をセンサに通過させるための手段２４が存在する。これは、人工呼吸器、ファン、ポンプ、又はイオン風装置とされ得る。流量ΦCで空気を排出する空気流出口２６が存在する。
【００４４】
イオン化は、高電圧イオン化電極１４に印加された高電圧Ｖｃｏｒによって生成される。電圧は、コントローラ２７の制御下で可変である。
【００４５】
サンプリングされた空気流における、推測された見掛け上のＵＦＰ個数濃度Ｎａｐｐ（上で規定した通り）は、次のように測定された信号Ｉｓｅｎｓｏｒに関連する。
【数１】
0006797846.tif 000002
【００４６】
Ｓは較正定数であり、これは粒度分布の特性とは実質的に独立し、ひいては数平均値ＵＦＰ直径ｄｐ，ａｖとは実質的に独立する。さらに、見掛け上の粒子個数濃度Ｎａｐｐは、次のように規定される。
【数２】
0006797846.tif 000003
【００４７】
Ｎは総ＵＦＰ個数濃度であり、ｄｐ，ａｖは数平均値粒径であり、ｄ＊ｐ，ａｖは任意の予め選択されたデフォルト平均粒径（通常ｄ＊ｐ，ａｖ＝５０ｎｍ）であり得る。
【００４８】
したがって、Ｎａｐｐは、Ｎとｄｐ，ａｖとの積に比例する。積Ｎｄｐ，ａｖは、粒子の長さ濃度（ｍ／ｍ３）を示す。Ｎａｐｐのみの知識は、ＵＦＰ関連の大気汚染レベルの相対的な重大度を評価するのに十分である。Ｎ及びｄｐ，ａｖの両方の別個の知識は、その目的のためには必要とされない。
【００４９】
式２は、平均ＵＦＰ粒径範囲２５ｎｍ≦ｄｐ，ａｖ≦１２０ｎｍに対して有効である。 この範囲は、ＵＦＰの直径範囲１０ｎｍ≦ｄｐ≦５００ｎｍ全体に亘って一般的に発生するＵＦＰサイズ分布を含む。
【００５０】
図１に示されるＵＦＰセンサ実施形態の代わりに、図２の代替実施形態が使用され得る。
【００５１】
同一の部品については、図１と同じ参照番号が使用される。ファラデー箱２０の代わりに、平行板静電粒子沈降分離装置３０が提供され、電流計２２がプレート電極に取り付けられ、すると帯電粒子が沈降される。平行板沈降分離装置は、例えば、２つの平行な平らな電極プレートとして、又は外側電極によって囲まれた内側電極を含む同心電極セットとして、具体化され得る。代替の実施形態は、当業者には明らかである。
【００５２】
図１の実施形態の代わりに図２の実施形態を使用することは、ＵＦＰセンサが低コストで小型で大量生産される場合に、アセンブリの容易性の理由から好ましい。
【００５３】
本発明は、電離箱での望ましくない流れ条件の検出及び／又は防止に関する。
【００５４】
図３は、粒子帯電部１２内の所望のガス流状況の例を示す。軸の単位はｍｍである。主ガス流路は、図の下部にあり、流れは右から入り、左に出ている。電離箱は、金属グリッド１６（高電圧イオン化電極１４の先端を原点として、−２．７５ｍｍで垂直に位置する）の上にアレンジメントされる。ガス流のごく一部のみが電離箱を通過して移動している。
【００５５】
図４は、粒子帯電部１２内の望ましくないガス流状況の例を示す。この流れパターンは、高電圧電極１４の上、＋１．５ｍｍの垂直位置、及び高電圧イオン化電極１４と同じ電位で、楕円形金属シールド４０を追加することによって生成されている。シールドは、イオン電流の上向きの部分を遮り、ひいては下向きのみに方向づけられる強く非対称な“イオン風”力場を生成する。これは既知のアプローチである。
【００５６】
流れ条件の分析は、完全なガス流が次いで電離箱を通過することを示す。
【００５７】
イオン流及びガス速度は、両方の例において同一である。
【００５８】
図４は、コロナ放電装置の動作電圧を数キロボルト上昇させるため、流れ条件が考慮される場合、金属シールドが非常に不利であることを示す。さらに、それは、“イオン風”の強い方向性の流れをもたらし、結果として、流路から電離箱を通過するガス流の劇的な増加につながる。
【００５９】
図５は、非導電性シールド４２が高電圧電極１４の上に使用される場合、流れパターンへの変化がはるかに重要でないことを示す。したがって、金属シールドと同じ目的のために、非金属シールドを使用することが非常に好ましい。本発明は、不利な流れ条件を検出及び防止するための手段に関する。
【００６０】
第１の態様は、望ましくない流れ条件の検出に関する。
【００６１】
第１のアプローチは、主ガス流路の中心における流速を測定することである（例えば、図３から図５の領域１ｍｍ＜ｘ＜４ｍｍ）。
【００６２】
この速度は、主流路の入口又は出口での速度の設定された割合より小さくすべきではない。この設定された割合は、例えば、０．４から０．７の範囲、例えば、０．４、０．５、又は０．６であり得る。
【００６３】
図６は、入口側の第１のフローセンサＳ１、入口側と出口側との間の第２のフローセンサＳ２、及び出口側の第３のフローセンサＳ３を有する、粒子帯電部１２を示す。この例におけるセンサは、すべて電離箱の外側、すなわち主空気流路に存在する。
【００６４】
主空気流路が電離箱の周りで環状である場合、次いで、センサは、環状部の周りの１つの角度位置のみに存在するか、又は環状部の周りの複数の位置に存在する。デザインは回転対称である必要はない。さらに、開口部は、側壁のみでなく、電離箱の上部又は底部に提供される。
【００６５】
（それは閉鎖系なので）それらは同じ流れ読取値を有するべきであるため、Ｓ１及びＳ３のうちの１つのみが実際に必要とされる。第２のセンサＳ２は、高電圧電極チップと一般的に整合され、図４に示されるように、最大の流れ低下が発生される場所に位置されるように、好ましくはわずかに入口側に向かって位置する。例えば、入口と高電圧電極チップとの間の粒子帯電部１２に沿って少なくとも７５％の位置に位置される。距離ｄ１は、電離箱の入口端部（特に、一般的な流れ方向に平行な部品）から流れセンサの距離であり、距離ｄ２は、電離箱の入口端部からイオン化電極の先端の距離である。したがって、一例では、ｄ２＞ｄ１及びｄ１＞０．７５ｄ２である。
【００６６】
第２のアプローチは、電離箱の入口端部での圧力ｐｃｏｒと主空気流路の出口での圧力ｐｅｘｉｔとの間の差圧を測定することであり、Δｐ=ｐｃｏｒ−ｐｅｘｉｔである。Δｐが負の場合、これは図４に示されるタイプの流れを示す。これは、箱の内側の大きな流れによって誘導されたより低い圧力が電離箱に存在することを意味する。
【００６７】
図７は、（ｐｃｏｒを測定するための）コーナー部の電離箱の入口端部の第１の圧力センサＰ１、及び（ｐｅｘｉｔを測定するための）主チャネル出口の第２の圧力センサＰ２を有する、粒子帯電部１２を示す。
【００６８】
第２の態様は、逆の流れ条件が検出されている場合に、センサの動作をどのように変更するかに関する。
【００６９】
望ましくない流れ条件が検出される場合、高電圧電極（コロナワイヤ／ニードル電極）に供給される電流は、測定された信号、すなわち相対流速又は圧力差に応答して低下される。
【００７０】
したがって、高電圧電極駆動電圧Ｖｃｏｒは、図１及び図２に示されるコントローラ２７によって可変であり、流れセンサ装置からの情報を使用して調整される。粒子センサを通過する流量は、追加的又は代替的に、流れ条件に影響を及ぼすように制御されてもよい。
【００７１】
上記の手法は、望ましくない流れ条件の検出及び防止に関する。また、望ましくない流れ条件の発生を防止及び低下するようにシステムを設計することも可能である。
【００７２】
設計ルールには、例えば次のものが含まれる。
【００７３】
（ｉ）図４に示されるように、例えばコロナポテンシャルで金属シールドによって誘導されるような非対称イオン流の状況を避けること。
【００７４】
（ｉｉ）高電圧電極チップの上のシールドが必要な場合、次いで非導通にすること。このようにしてイオン雲が広がり、有利である。
【００７５】
（ｉｉｉ）イオン流によっては到達できないが、ガス流についてのみ到達可能なグリッド開口部を避けること。図５は、端部チャネル開口部間の流路が高電圧電極１４を通過しないため、結果として、これらのチャネルを通過する流れがイオン化に大きく寄与しないことを示す。
【００７６】
（ｉｖ）横方向電極の代わりに、コロナ箱が流れ方向（入口から出口方向）にまたがる水平コロナワイヤが使用される。これにより、広いイオン雲と広い“イオン風”分布が得られる。
【００７７】
所与の設計の有効性は、主流路及びコロナ箱における静電の数値モデリング、イオン電流連続方程式、及び層流によって検証され得る。
【００７８】
センサ装置に関して、様々な例が上述されている。センサ装置は、一般的に、感知された信号が流れ条件によって影響されるという点において“流れセンサ装置”であると考慮され、又は“流れ及び／又は圧力センサ装置”であると考慮される。それは、流量センサ若しくは圧力センサ、又はこれらの組み合わせを含み、その各々は一般的に流れ条件に関連する測定値を提供する。電離箱の内側及び／又は外側にセンサ素子が存在する。箱の内側の圧力センサの一例が示されているが、他の例は、電離箱の内側に１つ以上の流量センサを提供する。本質的には、目的は、図３に示される一般的なタイプの流れと図４に示される一般的なタイプの流れとを区別し得ることである。これを達成するために、圧力センサ及び流量センサの様々な組み合わせが使用される。流量を感知する代わりに（又は同様に）、例えば熱線風速計を使用して流量を感知可能である。
【００７９】
沈降部の２つの例が示されている。しかし、他にも例が存在する。例えば、複数の測定値‐１つは静電段階が作動されたもので、１つは静電段階が停止されたもの‐が得られるように、フィルタ沈降段階及び静電段階の両方を提供することが既知である。これにより、数平均粒径及び粒子個数濃度の両方が求められる。
【００８０】
開示された実施形態に対する他の変更は、図面、開示、及び添付の特許請求の範囲の研究から、請求された発明を実施する際の当業者によって理解され得、達成され得る。特許請求の範囲において、「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という単語は他の要素又はステップを排除するものではなく、不定冠詞「ａ」又は「ａｎ」は複数を除外しない。 特定の手段が相互に異なる従属請求項に列挙されているという単なる事実は、これらの測定された組み合わせが有利に使用できないことを示すものではない。 特許請求の範囲内のいかなる参照符号も、範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
【図１】
0006797846.tif 000004
【図２】
0006797846.tif 000005
【図３】
0006797846.tif 000006
【図４】
0006797846.tif 000007
【図５】
0006797846.tif 000008
【図６】
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【図７】
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