(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電部と対向電極との間の静電的な相互作用を利用して電力と動力の間の変換を行う電気機械変換器であって、
可動支持部とともに移動可能な可動部材と、
前記可動部材に対向して固定配置された固定基板と、
前記可動部材と前記固定基板のうちの一方の同一面上に、前記可動部材の移動方向に間隔を空けて前記移動方向に配置された複数の帯電部と、
前記可動部材と前記固定基板のうちの他方における前記複数の帯電部に対向する面上に、前記移動方向に配置された複数の対向電極と、を有し、
前記複数の帯電部のそれぞれが、
導電性材料で構成された基台、
前記基台の上に形成され、絶縁性材料で構成された第１の絶縁層、
前記第１の絶縁層の上に形成され、導電性材料で構成された導電層、および
前記導電層の上に形成された帯電層
を有し、前記導電層は接地されず前記基台が接地されている
ことを特徴とする電気機械変換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレット基板、その製造方法、および電気機械変換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半永久的に電荷を保持する性質を持つエレクトレットを利用することで発生する静電的な相互作用により電力と動力の間の変換を行う電気機械変換器が知られている。例えば、特許文献１には、エレクトレット電極とその対向電極とを相対移動させることによって生じる静電誘導を利用して発電する発電装置が記載されている。また、特許文献２には、電極に電圧を印加したときにエレクトレットとの間で生じる静電気力を利用して移動子を駆動するエレクトレット駆動装置が記載されている。
【０００３】
また、特許文献３には、Ｓｉ基板の表面にウェット酸化（熱酸化）によりＫ＋イオンを含むＳｉＯ２層を形成し、その基板の上下端を電極で挟んでヒーターで加熱しながらバイアス電圧を印加して、Ｋ＋イオンをＳｉＯ２層の表面に移動させることで、Ｋ＋イオンを含むＳｉＯ２層のエレクトレットを備えたエレクトレット基板を製造する方法が記載されている。
【０００４】
特許文献４には、Ｓｉ基板の上に、このＳｉの基材に接するように設けられた第１のＳｉＯ２層と、第１のＳｉＯ２層の上に、この第１のＳｉＯ２層に接するように設けられたイオン不透過膜と、イオン不透過膜の上に、このイオン不透過膜に接するように設けられた第２のＳｉＯ２層とを備え、第１のＳｉＯ２層にアルカリイオンを含有しているエレクトレット膜が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１９２５７７号公報
【特許文献２】特開２００５−３４１６７５号公報
【特許文献３】特開２０１４−０４９５５７号公報
【特許文献４】特開２０１３−０１３２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電気機械変換器にエレクトレットを利用するためには、エレクトレットの表面電位（エレクトレット基板の基台部分と帯電層との間の電位差）はなるべく高いことが望ましい。エレクトレットの表面電位Ｖは、帯電層の電荷密度σおよび膜厚ｄに比例する（Ｖ∝σｄとなる）ので、表面電位Ｖを増加させるためには、電荷密度σまたは膜厚ｄを増加させる必要がある。しかしながら、特許文献３，４の方法で製造されたエレクトレットでは、電荷密度σはカリウムの含有量に依存するため、その量は大きく増加させることは難しい。また、膜厚ｄはＳｉＯ２層の熱酸化膜の厚さであるため、膜厚を大きくするには長時間を要し、膜厚の大きさにも限界がある。したがって、表面電位Ｖを大きくすることは困難である。
【０００７】
そこで、本発明は、エレクトレット基板の基台部分と帯電層との間の電位差を大きくすること、およびエレクトレット基板を利用する電気機械変換器の出力を大きくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
帯電部と対向電極との間の静電的な相互作用を利用して電力と動力の間の変換を行う電気機械変換器の帯電部を構成するエレクトレット基板であって、Ｓｉで構成された基台と、基台の上に形成された第１のＳｉＯ２層と、第１のＳｉＯ２層の上に形成されたＳｉ層と、Ｓｉ層の上に形成されており正イオンを含有する第２のＳｉＯ２層とを有することを特徴とするエレクトレット基板が提供される。
【０００９】
上記のエレクトレット基板では、第１のＳｉＯ２層の厚さは第２のＳｉＯ２層の厚さよりも大きいことが好ましい。
【００１０】
また、帯電部と対向電極との間の静電的な相互作用を利用して電力と動力の間の変換を行う電気機械変換器の帯電部を構成するエレクトレット基板の製造方法であって、Ｓｉで構成された基台、基台の上に形成された第１のＳｉＯ２層、および第１のＳｉＯ２層の上に形成されたＳｉ層を有する基板を、正イオンを含む雰囲気中で熱酸化させて、正イオンを含有する第２のＳｉＯ２層をＳｉ層の上に形成する工程と、第２のＳｉＯ２層の上方に負極を設置し、Ｓｉ層を正極に接続して、第２のＳｉＯ２層に電圧を印加することにより、第２のＳｉＯ２層を帯電させる工程とを有することを特徴とする製造方法が提供される。
【００１１】
また、帯電部と対向電極との間の静電的な相互作用を利用して電力と動力の間の変換を行う電気機械変換器であって、可動支持部とともに移動可能な可動部材と、可動部材に対向して固定配置された固定基板と、可動部材と固定基板のうちの一方の同一面上に、可動部材の移動方向に間隔を空けて移動方向に配置された複数の帯電部と、可動部材と固定基板のうちの他方における複数の帯電部に対向する面上に、移動方向に配置された複数の対向電極とを有し、複数の帯電部のそれぞれが、Ｓｉで構成された基台、基台の上に形成された第１のＳｉＯ２層、第１のＳｉＯ２層の上に形成されたＳｉ層、およびＳｉ層の上に形成されており正イオンを含有する第２のＳｉＯ２層を有することを特徴とする電気機械変換器が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、本構成を有しない場合と比べて、エレクトレット基板の基台部分と帯電層との間の電位差が大きくなり、また、エレクトレット基板を利用する電気機械変換器の出力が大きくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】エレクトレット基板５０の製造工程を説明する模式的な断面図である。
【図２】電気機械変換器１の概略構成図である。
【図３】電気機械変換器１内のアクチュエータ１０の斜視図である。
【図４】エレクトレット基板５０における下側のＳｉＯ２層５２の厚さと電気機械変換器１で発生する力の大きさとの関係を示すグラフである。
【図５】他の電気機械変換器２の概略構成図である。
【図６】電気機械変換器２内の発電部１０’の斜視図である。
【図７】さらに他の電気機械変換器３の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、エレクトレット基板、その製造方法、および電気機械変換器について詳細に説明する。ただし、本発明は図面または以下に記載される実施形態には限定されないことを理解されたい。
【００１５】
図１（Ａ）〜図１（Ｄ）は、エレクトレット基板５０の製造工程を説明する模式的な断面図である。
【００１６】
エレクトレット基板５０は、単なるＳｉ基板ではなく、図１（Ａ）に示すＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板５０’を用いて作製される。ＳＯＩ基板５０’は、Ｓｉで構成された基台５１、基台５１の上に形成されたＳｉＯ２層５２、およびＳｉＯ２層５２の上に形成されたＳｉ層５３を有する基板である。ＳＯＩ基板５０’としては、市販のＳＯＩ基板を使用してもよいし、Ｓｉウエハ上にＳｉＯ２層を蒸着またはスパッタなどで形成し、その上にＳｉ層を蒸着またはスパッタなどで形成して作製された基板を使用してもよい。なお、Ｓｉ層５３のＳｉは単結晶である必要はない。
【００１７】
エレクトレット基板５０の製造時には、まず、図１（Ｂ）に示すように、Ｋ＋イオン（カリウムイオン）を含む雰囲気中でＳＯＩ基板５０’の表面のＳｉ層５３を熱酸化させて、Ｋ＋イオンを含有するＳｉＯ２層５４をＳｉ層５３の上に形成する（熱酸化工程）。熱酸化は、ＳＯＩ基板５０’を熱酸化炉の中に入れ、水酸化カリウム（ＫＯＨ）の水溶液内に窒素ガスを通過させて（バブリング）、ＫＯＨの蒸気と窒素ガスを炉内に導入することにより行われる。その際、Ｓｉ層５３の厚さ方向の全体ではなく、上層部のみを熱酸化させてＳｉＯ２層５４とし、Ｓｉ層５３の下層部はＳｉのままにする。これにより、Ｋ＋イオンが内部に浸透した酸化膜であるＳｉＯ２層５４が、Ｓｉ層５３の表面に形成される。ＳｉＯ２層５２は第１のＳｉＯ２層に、ＳｉＯ２層５４は第２のＳｉＯ２層に相当する。
【００１８】
続いて、図１（Ｃ）に示すように、ＳｉＯ２層５４の上方に負極５５を設置し、Ｓｉ層５３を正極（ＧＮＤ）に接続して、例えばヒーターで加熱しながら１０００Ｖ程度の電圧をＳｉＯ２層５４に印加することにより、ＳｉＯ２層５４を帯電させる（帯電工程）。これにより、ＳｉＯ２層５４内のＫ＋イオンはＳｉＯ２層５４の上面に移動し、その上面からＳＯＩ基板５０’の外部に飛散するので、ＳｉＯ２層５４の上面には負電荷が残り、結果としてＳｉＯ２層５４は負に帯電する。下側のＳｉＯ２層５２は絶縁層であるため、帯電時には、Ｓｉの基台５１ではなく、ＳｉＯ２層５２の上側にあるＳｉ層５３を正極とする。なお、Ｓｉ層５３は厚さが例えば数μｍと薄く、側面からＧＮＤ用の電極端子を当てることが難しいので、電圧を印加するためには、上側のＳｉＯ２層５４にエッチングなどにより部分的に穴を開けて、上側からＳｉ層５３に電極端子が当てられる。
【００１９】
以上の熱酸化工程と帯電工程により、図１（Ｄ）に示すエレクトレット基板５０が完成する。エレクトレット基板５０は、Ｓｉで構成された基台５１と、基台５１の上に形成されたＳｉＯ２層５２と、ＳｉＯ２層５２の上に形成されたＳｉ層５３と、Ｓｉ層５３の上に形成されておりＫ＋イオンを含有するＳｉＯ２層（帯電層）５４とを有する。エレクトレット基板５０の使用時には、基台５１が接地（ＧＮＤに接続）される。
【００２０】
エレクトレット基板５０では、図１（Ｄ）に示すように、２つのＳｉＯ２層５２，５４をコンデンサの直列接続とみなすことができる。下側のＳｉＯ２層５２の静電容量をＣ１、上側のＳｉＯ２層５４の静電容量をＣ２とすると、基台５１を接地としたときのＳｉＯ２層５４の表面電位Ｖは、Ｃ１とＣ２を直列に繋いだ合成容量Ｃによって決まる。すなわち、Ｃ＝Ｃ１Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）であるからＣ＜Ｃ２であり、表面電位Ｖは、ＳｉＯ２層５４の電荷量をＱとすると、Ｖ＝Ｑ／Ｃ＞Ｑ／Ｃ２である。Ｓｉ基板上にＫ＋イオン含有のＳｉＯ２層５４を直接形成してエレクトレットを作製した場合の表面電位Ｖ２は、電荷量Ｑが同じであるとするとＶ２＝Ｑ／Ｃ２であるから、Ｖ＞Ｖ２である。すなわち、ＳＯＩ基板５０’から作製されたエレクトレット基板５０の表面電位は、Ｓｉ基板から作製されたエレクトレットの表面電位と比べて大きくなる。
【００２１】
エレクトレットを駆動装置（モータ）または発電装置などの電気機械変換器に利用した場合の出力は、エレクトレットの表面電位の大きさに比例する。このため、電気機械変換器のエレクトレットとして上記のエレクトレット基板５０を利用すれば、モータの発生力や発電装置の出力も大きくすることができる。
【００２２】
エレクトレット基板５０における上側のＳｉＯ２層５４の厚さは例えば１μｍ程度であり、この場合、下側のＳｉＯ２層５２の厚さは１μｍ以上あればよい。誘電率はＳｉＯ２層５２，５４のどちらも同じであるから、同程度の厚さの絶縁層が２つあれば、全体の合成容量は上側のＳｉＯ２層５４が単独である場合よりも小さくなる。下側のＳｉＯ２層５２は厚い方がよいが、厚くしすぎると製造コストが高くなるため、実用上は、ＳｉＯ２層５２の厚さの上限は２０μｍ程度である。したがって、ＳｉＯ２層５２の厚さは、ＳｉＯ２層５４の厚さよりも大きく、１〜２０μｍの範囲内であることが好ましく、実用上は５μｍ程度であることが最も好ましい。また、Ｓｉ層５３の厚さは２〜数十μｍの範囲内であればよく、数μｍ程度であることが好ましい。なお、基台５１の厚さは２００〜６００μｍ程度あればよい。
【００２３】
なお、エレクトレット基板を製造するための正イオンは、必ずしもＫ＋イオンでなくてもよい。すなわち、上記で説明した製造方法の熱酸化工程では、水酸化カリウム水溶液の代わりに、Ｋ＋イオン以外の正イオンまたはアルカリイオンを含有する水溶液を用いてもよい。
【００２４】
エレクトレット基板５０における下側のＳｉＯ２層５２は、１層に限らず、複数層であってもよい。例えば、基台５１の上にＳｉＯ２層とＳｉ層が複数回交互に積層され、エレクトレット基板の上端に、Ｋ＋イオンを含有するＳｉＯ２層５４が形成されていてもよい。この場合でも、１つのＳｉＯ２層５２の厚さを大きくしたのと同じ効果が得られるので、Ｓｉ基板から作製された場合と比べて、エレクトレットの表面電位を大きくすることができる。
【００２５】
また、エレクトレット基板の製造には、ＳＯＩ基板として、図１（Ａ）のＳＯＩ基板５０’の上にＣＹＴＯＰ（登録商標）などによる樹脂層が形成されたものを使用してもよい。この場合、上記の帯電工程では、ＳＯＩ基板の上側のＳｉ層をＧＮＤとして、コロナ放電により帯電させてもよい。こうして製造されたエレクトレット基板でも、Ｓｉの基台をＧＮＤとして使用すれば、エレクトレット基板５０と同様に、Ｓｉ基板から作製された場合と比べて表面電位が大きくなり、モータまたは発電機に利用した際の出力も大きくなる。
【００２６】
以下では、エレクトレット基板５０を利用した電気機械変換器の例を説明する。
【００２７】
図２は、電気機械変換器１の概略構成図である。また、図３は、電気機械変換器１内のアクチュエータ１０の斜視図である。電気機械変換器１は、アクチュエータ１０および駆動部２０を有する。アクチュエータ１０は、主要な構成要素として、回転軸１１、回転部材１２、固定基板１３、エレクトレット部１４および対向電極１５，１６を有する。電気機械変換器１は、駆動部２０に入力された電気信号をもとに、エレクトレット部１４と対向電極１５，１６との間の静電気力を利用して回転部材１２を回転させることにより電力から動力を取り出す駆動装置（モータ）である。
【００２８】
回転軸１１は、可動支持部の一例であり、回転部材１２の回転中心となる軸である。その上下端は、軸受けを介して、図示しない電気機械変換器１の筐体に固定されている。
【００２９】
回転部材１２は、可動部材の一例であり、金属、ガラスまたはシリコン基板などの周知の基板材料で構成される。回転部材１２は、例えば円板状の形状を有し、その中心で回転軸１１に接続している。回転部材１２は、駆動部２０に入力された電気信号に応じてエレクトレット部１４と対向電極１５，１６との間で発生する静電気力により、回転軸１１の周りを、図３の矢印Ｃ方向（すなわち、時計回りおよび反時計回り）に回転可能である。回転部材１２には、重量を軽くするために、円周方向に沿って等間隔に、略台形状の複数の貫通孔１２２が形成されている。
【００３０】
固定基板１３は、ガラスエポキシ基板などの周知の基板材料で構成された部材である。固定基板１３は、例えば円板状の形状を有し、回転部材１２の下側で回転部材１２に対向して配置され、その中心を回転軸１１が貫通している。ただし、固定基板１３は、回転部材１２とは異なり、回転可能な部材ではなく、電気機械変換器１の筐体に対して固定されている。
【００３１】
エレクトレット部１４は、帯電層を備えた帯電部の一例であり、固定基板１３に対向する回転部材１２の下面１２１に形成されている。アクチュエータ１０では、回転部材１２の下面１２１に、略台形状の複数のエレクトレット部１４が、略台形状の貫通孔１２２を間に挟んで、回転部材１２の回転方向に間隔を空けて回転軸１１の周りに等間隔に配置されている。各エレクトレット部１４は、図１（Ｄ）に示したエレクトレット基板５０で構成されており、ＳｉＯ２層５４が対向電極１５，１６に対向するように配置され、基台５１が接地されている。
【００３２】
対向電極１５，１６は、回転部材１２に対向する固定基板１３の上面１３１に形成されている。アクチュエータ１０では、固定基板１３の上面１３１に、エレクトレット部１４と同じ略台形状の対向電極１５，１６が、回転軸１１の周りに交互に配置されている。エレクトレット部１４と対向電極１５の個数、およびエレクトレット部１４と対向電極１６の個数は、それぞれ同じである。
【００３３】
なお、エレクトレット部１４は回転部材１２と固定基板１３のいずれか一方に配置し、対向電極１５，１６は回転部材１２と固定基板１３のうちの他方に配置すればよい。このため、上記とは逆に、エレクトレット部１４を固定基板１３の上面１３１に配置し、対向電極１５，１６を回転部材１２の下面１２１に配置してもよい。
【００３４】
駆動部２０は、アクチュエータ１０を駆動するための回路であり、クロック２１および比較器２２，２３を有する。駆動部２０は、極性が交互に切り替わる電圧を複数の対向電極１５，１６に印加して、複数のエレクトレット部１４と複数の対向電極１５，１６との間で発生する静電気力により回転部材１２を回転させる。
【００３５】
クロック２１の出力は比較器２２，２３の入力に接続され、比較器２２の出力は複数の対向電極１５に、比較器２３の出力は複数の対向電極１６に、それぞれ電気配線を介して接続されている。比較器２２，２３は、それぞれクロック２１からの入力信号の電位と接地電位とを比較し、その結果を２値で出力するが、比較器２２，２３の出力信号は互いに逆の符号である。クロック２１からの入力信号がＨのときには、対向電極１５は＋Ｖ、対向電極１６は−Ｖの電位になり、入力信号がＬのときには、対向電極１５は−Ｖ、対向電極１６は＋Ｖの電位になる。こうして、極性が交互に切り替わる電圧を駆動部２０が対向電極１５と対向電極１６の間に印加することにより、回転部材１２を回転させることができる。
【００３６】
図４は、エレクトレット基板５０における下側のＳｉＯ２層５２の厚さと電気機械変換器１で発生する力の大きさとの関係を示すグラフである。グラフの横軸ｄはＳｉＯ２層５２の厚さ（μｍ）を表し、グラフの縦軸Ｆは、駆動部２０でアクチュエータ１０を駆動したときに回転部材１２の回転方向に発生する力の大きさ（ｍＮ）を表す。このグラフは、ＳｉＯ２層５２の厚さｄを０〜５μｍの範囲内で変化させたときの発生力Ｆの変化をシミュレーションにより計算した結果を示す。
【００３７】
図４に示すように、ＳｉＯ２層５２がある（厚さｄが０μｍよりも大きい）と、Ｓｉ基板上にＫ＋イオン含有のＳｉＯ２層５４を直接形成してエレクトレットを作製した場合（厚さｄが０μｍである場合）よりも、発生力Ｆは大きくなる。そして、発生力Ｆは、ＳｉＯ２層５２の厚さｄが０〜５μｍの範囲内では、厚さｄに比例し、厚さｄとともに増加する。なお、詳細は図示しないが、ＳｉＯ２層５２の厚さが大きくなると、アクチュエータ１０の回転軸１１方向の引っ張り力も強くなり、軸受けとの間の摩擦力が発生するため、厚さｄと発生力Ｆの関係は単純な比例関係ではなくなる。
【００３８】
図５は、他の電気機械変換器２の概略構成図である。また、図６は、電気機械変換器２内の発電部１０’の斜視図である。電気機械変換器２は、発電部１０’および蓄電部３０を有する。発電部１０’は、主要な構成要素として、回転軸１１、回転部材１２、固定基板１３、複数のエレクトレット部１４、複数の対向電極１５，１６および回転錘１７を有する。電気機械変換器２は、外部環境の運動エネルギーを用いて回転部材１２を回転させ、発電部１０’内で静電誘導により静電気を発生させることで動力から電力を取り出す発電装置である。
【００３９】
発電部１０’の構成要素のうち、回転軸１１、回転部材１２、固定基板１３、エレクトレット部１４および対向電極１５，１６は、アクチュエータ１０のものと同じである。電気機械変換器１と共通するこれらの構成要素についての重複する説明は省略する。電気機械変換器２は、電気機械変換器１のアクチュエータ１０に代えて蓄電部３０を有し、電気機械変換器２の対向電極１５，１６は、それぞれ電気配線を介して蓄電部３０に接続されている。
【００４０】
回転錘１７は、回転軸１１の周りを図６の矢印Ｃ方向に回転可能な、重量バランスの偏りを有する錘であり、回転部材１２の上側に配置されている。回転錘１７は、例えば電気機械変換器２を携帯する人体の運動または電気機械変換器２が取り付けられた機械などの振動によって回転駆動されることで、回転部材１２を矢印Ｃ方向に回転させる。なお、回転軸１１に回転錘１７を取り付ける代わりに、回転部材１２に錘を取り付けて、回転部材１２自体を回転錘としてもよい。
【００４１】
回転錘１７が回転駆動されると、それに伴い、回転部材１２が回転して、エレクトレット部１４と対向電極１５，１６の間の重なり面積が増減する。例えば、エレクトレット部１４の内面に負電荷が保持されているとすると、回転部材１２の回転に伴い、対向電極１５，１６に引き寄せられる正電荷が増減して、対向電極１５と対向電極１６の間に交流電流が発生する。このようにして電流を発生させることにより、発電部１０’は静電誘導を利用した発電を行う。
【００４２】
蓄電部３０は、整流回路３１および二次電池３２を有し、回転部材１２の回転に応じて複数のエレクトレット部１４と複数の対向電極１５，１６との間で静電誘導により発生した電力を蓄積する。対向電極１５と対向電極１６からの出力は整流回路３１に接続され、整流回路３１は二次電池３２に接続されている。整流回路３１は、４個のダイオードを有するブリッジ式の回路であり、対向電極１５と対向電極１６の間で生成された電流を整流する。二次電池３２は、リチウム二次電池などの充放電可能な電池であり、発電部１０’によって発電された電力を蓄積し、図示しない駆動対象の回路にその電力を供給する。
【００４３】
図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、さらに他の電気機械変換器３の概略構成図である。電気機械変換器３は、アクチュエータ４０および駆動部２０’を有する。アクチュエータ４０は、主要な構成要素として、筐体４１、固定基板４２、スライド板４３、複数のエレクトレット部４４および複数の対向電極４５を有する。電気機械変換器３は、駆動部２０’に入力された電気信号をもとに、エレクトレット部４４と対向電極４５との間の静電気力を利用してスライド板４３をスライド移動させることにより、電力から動力を取り出す駆動装置である。図７（Ｂ）および図７（Ｃ）は、エレクトレット部４４および対向電極４５の配置、ならびにスライド板４３の移動方向を示す平面図である。
【００４４】
図７（Ａ）に示すように、固定基板４２は、箱型の筐体４１の底面に配置されている。スライド板４３は、可動部材の一例であり、筐体４１内において、図示しない可動支持部により支持され、固定基板４２の上方で水平方向に移動可能である。エレクトレット部４４は、帯電部の一例であり、図７（Ａ）〜図７（Ｃ）に示すように、スライド板４３の底面に、その移動方向（矢印Ａ方向）に間隔を空けて，その移動方向と直交する方向に帯状に形成されている。エレクトレット部４４も、図１（Ｄ）に示したエレクトレット基板５０で構成されており、ＳｉＯ２層５４が対向電極１５，１６に対向するように配置され、基台５１が接地されている。対向電極４５は、固定基板４２の上面に、各エレクトレット部４４と平行に帯状に形成されている。
【００４５】
駆動部２０’は、アクチュエータ４０を駆動するための回路であり、複数の対向電極４５に電気配線を介して接続されている。駆動部２０’は、電気機械変換器１の駆動部２０と同様の構成を有し、極性が交互に切り替わる電圧を複数の対向電極４５に印加することにより、図７（Ｂ）および図７（Ｃ）に示すように、スライド板４３を筐体４１内で水平方向（矢印Ａ方向）にスライド移動させる。電気機械変換器の可動部材は、電気機械変換器１，２の回転部材１２のように回転するものに限らず、電気機械変換器３のスライド板４３のようにスライド移動するものであってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１，２，３    電気機械変換器
１０，４０    アクチュエータ
１０’    発電部
１１    回転軸
１２    回転部材
１３    固定基板
１４，４４    エレクトレット部
１５，１６，４５    対向電極
２０，２０’    駆動部
３０    蓄電部
５０    エレクトレット基板
５１    基台
５２，５４    ＳｉＯ２層
５３    Ｓｉ層
【図１】
0006678526.tif 000002
【図２】
0006678526.tif 000003
【図３】
0006678526.tif 000004
【図４】
0006678526.tif 000005
【図５】
0006678526.tif 000006
【図６】
0006678526.tif 000007
【図７】
0006678526.tif 000008