(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
伝動ユニット、真空封入ユニット、運動制御ユニット及び測定ユニットを備える高精度
の曲線伝動測定システムであって、
前記伝動ユニットは、ガイド（１）、車（３）、伝動バー（６）、電動シリンダ（１０
）を含み、ガイド（１）に若干の車（３）が置かれ、伝動バー（６）は、一端が若干の車
（３）の最後の１つに接続され、他端が電動シリンダ（１０）に接続され、
前記真空封入ユニットは、仕切り弁（７）、真空室（８）、真空封入機構（９）を含み
、ガイド（１）の直線ガイド（１６）及び伝動バー（６）が真空封入ユニット全体を貫通
し、
前記運動制御ユニットは、サーボモータ、減速機構、モータドライブ、光学格子、実時
間制御装置及びリミットスイッチを含み、電動シリンダ（１０）はサーボモータにより駆
動され、
前記測定ユニットはセンサー（１７）を含み、若干の車に位置する先頭の車の前端にセ
ンサー（１７）が取り付けられ、
前記仕切り弁（７）は、一端が被測定対象に接続され、他端が真空室（８）に接続され
、真空室（８）がまた真空封入機構（９）に接続され、センサー（１７）及び車（３）の
操作やメンテナンスを便利にするために、真空室（８）の１つの蓋板を開けることができ
、仕切り弁（７）を閉じると、被測定対象の真空雰囲気を外側動作からの影響を受けずに
保護し、前記真空封入機構（９）は、自由に伸縮する溶接真空ベローズであり、仕切り弁
（７）、真空室（８）及び真空封入機構（９）の何れの両端にも真空封入フランジが設け
られ、仕切り弁（７）と被測定対象との間、仕切り弁（７）と真空室（８）との間、真空
室（８）と真空封入機構（９）との間の何れもフランジによって接続され、真空封入機構
（９）の別の側に盲フランジが固定され、その上に穴を開けて真空フィードスルーが取り
付けられることを特徴とする精度の曲線伝動測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械伝動技術及び精密測定の分野に属し、高精度の曲線伝動測定システムに
関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の運動手段としてほとんど直線伝動装置を採用し、環境構造が複雑であり、空間が
制限を受ける場合、直線伝動装置の運動の被覆範囲が限られて、正確で完璧した運動及び
測定を達成することはできない。真空雰囲気に合うと、真空雰囲気を作ることで異なるタ
イプのセンサー及び運動装置を取り替え、真空破壊及び真空ピックアップの過程を繰り返
す必要があり、作業効率が低く、時間、人力、物力等のコストが増える。現在の直線伝動
装置の上記問題を改善するために、運動の範囲が広く、精度が高く、真空破壊をせずに取
り替え操作を達成可能な伝動測定システムは必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、真空雰囲気又は他の限られた空間内の非直線運動、高精度の測定、高
精度運動制御及び真空破壊をせずに取り替え操作を達成すること等の問題を解决するため
の、高精度の曲線伝動測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の目的は、下記技術案によって達成されることができる。
【０００５】
伝動ユニット、真空封入ユニット、運動制御ユニット及び測定ユニットを備える高精度
の曲線伝動測定システムであって、前記伝動ユニットは、ガイド、車、伝動バー、電動シ
リンダを含み、ガイドに若干の車が置かれ、伝動バーは、一端が若干の車の最後の１つに
接続され、他端が電動シリンダに接続され、前記真空封入ユニットは仕切り弁、真空室、
真空封入機構を含み、ガイドの直線ガイド及び伝動バーが真空封入ユニット全体を貫通し
、前記運動制御ユニットは、サーボモータ、減速機構、モータドライブ、光学格子、実時
間制御装置及びリミットスイッチを含み、電動シリンダはサーボモータにより駆動され、
前記測定ユニットはセンサーを含み、若干の車に位置する先頭の車の前端にセンサーが取
り付けられる高精度の曲線伝動測定システムである。
【０００６】
前記ガイドは異なる曲線部、直線部からつなぎ合わせてなり、ガイドにＴ形の溝があり
、スライドは、円錐台状であり、ガイドのＴ形の溝内で摺動するように取り付けられ、車
の各々の底部にスナップリングによって２つのスライドが接続され、接続箇所が回転可能
である。隣接する車同士、車と伝動バーとの間の何れも蝶番によって接続され、ガイド、
スライド、車、蝶番、伝動バー、電動シリンダが合わせて、車によってセンサーを一定の
軌跡に沿って正確に運動するように連動させることを達成し、ガイドがガイド支持に取り
付けられる。
【０００７】
前記仕切り弁は、一端が被測定対象に接続され、他端が真空室に接続され、真空室がま
た真空封入機構に接続され、センサー及び車の操作やメンテナンスを便利にするために、
真空室の１つの蓋板を開けることができ、仕切り弁を閉じると、被測定対象の真空雰囲気
を外側動作からの影響を受けずに保護し、前記真空封入機構は、自由に伸縮する溶接真空
ベローズであり、仕切り弁、真空室及び真空封入機構の何れの両端にも真空封入フランジ
が設けられる。仕切り弁と被測定対象の間、仕切り弁と真空室の間、真空室と真空封入機
構の間の何れもフランジによって接続される。真空封入机の別の側に盲フランジが固定さ
れ、その上に穴を開けて真空フィードスルーが取り付けられる。
【０００８】
前記伝動ユニット及び真空封入ユニットが支持台機構によって支持を提供し好適な高度
まで調節し、支持台機構はラック及び高度調節機構を含み、前記ラックの上方に、真空室
、真空封入機構、電動シリンダが取り付けられ、前記高度調節機構は、支持フレーム、支
持板及び調節スクリューを含み、支持板がラックに固着され、調節スクリューが支持フレ
ーム及び支持板を固定接続する。
【０００９】
前記ガイドの直線ガイド及び伝動バーが真空封入ユニット全体を貫通し、真空室にハン
ドホイール、ラックアンドピニオン機構、調節ガイドを含むガイド調節機構が内蔵され、
ハンドホイールの出力軸とラックアンドピニオン機構とが互いに噛み合い、ラックアンド
ピニオン機構が調節ガイドに接続され、調節ガイドのスライド平台が直線ガイドに固着さ
れ、作業する場合、ハンドホイールをひねてラックアンドピニオン機構を駆動させ、更に
調節ガイドを運動するように連動させ、直線ガイドが調節ガイドにつれて往復運動し、ガ
イドの曲線部との結合及び分離を達成し、仕切り弁を閉じる前に、電動シリンダが伝動バ
ー及び車連動センサーを完全に真空室内に後退するように駆動させ、ハンドホイールをひ
ねて直線ガイドとガイドの曲線部とを分離させると、仕切り弁を閉じることができる。
【００１０】
前記電動シリンダ判断伝動バーを連動させて車がガイドで滑走するように押し、その運
行速度が０〜１５０ｍｍ/ｓであるため、測定が完成した後で、電動シリンダが伝動バー
を元へ運動するように連動させ、センサー及び車がそれにつれて元へ運動し、センサーが
真空室内に後退すると、真空室内部のガイド調節機構によってガイドの直線ガイド部分を
後ろへ５０ｍｍ調節し、ガイドの曲線部から分離するようにし、その後、仕切り弁を閉じ
、真空室における蓋板を開ける。
【００１１】
前記サーボモータの前端に減速機構が接続され、ベルト車によって電動シリンダに接続
され、電動シリンダを運動するように駆動し、前記光学格子の読取ヘッドが伝動ユニット
につれてともに運動し、伝動ユニットの実際的な運動シフトを測定することに用いられ、
読取ヘッドの信号線がモータドライブに接続され、信号のフィートバックを達成する。前
記実時間制御装置は下流の装置として、モータドライブによってサーボモータの運動を制
御する。前記リミットスイッチは、それぞれモータドライブのＤＩ口及びＳＴＯ口に連結
される光電リミット及び機械リミットスイッチを含む。
【００１２】
前記センサーの信号はケーブルによって伝動バーの内部空間を介して、真空封入機構の
フランジの外側に引き出され、対応する信号収集処理設備に連結され、測定された信号が
その後で実時間制御装置に送られて後処理を行う。
【００１３】
電動シリンダは伝動バーをアクセラレータの内部に伸ばすように押し、伝動バーは車を
ガイドで摺動するように押し、実時間制御装置がモータドライブに接続され、サーボモー
タを制御し、減速機構によって電動シリンダを運動するように駆動させ、光学格子をサー
ボモータの第２フィートバックとし、光電リミット及び機械リミットスイッチはシステム
を運動が行程を超えないように保護し、先頭の車の前端にビーム測定探知装置が取り付け
られ、探知装置の捕捉した電流信号が真空から引き出された後で、ピコ電流計によって読
み取られ、ピコ電流計は、ＲＳ２３２シリアルポートを介して測定された電流信号を出力
し、シリアルポートサーバによって複数台のピコ電流計の信号を実時間制御装置に取りま
とめ、ピコ電流計は測定された電流信号をアナログ電圧信号に転換し、アナログ電圧信号
をＣｏｍｐａｃｔＲＩＯシャーシに挿入されたアナログ信号収集ボードに連結し、信号の
収集、処理・保存を達成する。
【００１４】
電動シリンダは伝動バーを被測定装置の内部に伸ばすように押し、伝動バーは更に車を
ガイドで摺動するように押し、先頭の車の前端に小型の漏れ検知器が取り付けられ、電動
シリンダの尾部に視覚センサーが取り付けられ、導体ケーブルが小型の漏れ検知器から出
発して車、伝動バーを介して視覚センサーに引き出され、センサーの取得したデータに基
づいて真空雰囲気での材料の気体放出速度を判断する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、真空雰囲気で曲線伝動装置を採用するので、伝動装置の運動半径の範囲を大
きくすることができる。伝動バーをそれぞれ電動シリンダ及び車に接続し、仕切り弁、真
空室及び真空封入機構に合わせることで、車が所望の位置に正確に到達するようにするこ
とができ、正確性が高く及び運動の範囲を大きくするという特徴を有する。その同時に、
真空雰囲気を破壊せずに異なる検出装置に変更することができ、構造が簡単であり、使用
が便利であり、信頼性が高く、作業効率が高く及びコストが低いという特徴を有し、真空
内部の関連デバッグ及び後期のメンテナンスに信頼的なサービスを提供する。センサーの
捕捉した電流信号をピコ電流計によって測定するので、精度が高く、リアルタイム性が良
いというメリットを有する。セミクローズドループのサーボ運動制御システムを採用する
ので、位置決めの精度が高く、安定性が良いというメリットを有する。前記曲線伝動測定
システムは、真空内部又は他の限られた空間の高精度の測定に信頼的なサービスを提供す
る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
当業者を理解させるために、以下、添付図面に合わせて本発明を更に説明する。
【００１７】
【図１】本発明の曲線伝動測定システムの局部模式図である。
【図２】本発明における図１の局部拡大図である。
【図３】本発明の曲線伝動測定システムの構造模式図である。
【図４】本発明に係る真空室の構造模式図である。
【図５】本発明に係る真空封入機構の構造模式図である。
【図６】本発明の運動制御ユニット、測定ユニットの配置模式図である。
【図７】本発明の曲線伝動測定システムの配置模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、実施例に合わせて本発明の技術案を明確且つ完璧に記述するが、述べられた実施
例は、全ての実施例ではなく、単に本発明の一部の実施例であることは明確である。本発
明における実施例に基づいて、当業者であれば、創造的な工夫をせずに取得した全ての他
の実施例も、本発明の保護する範囲に属する。
【００１９】
図１〜７を参照されたい。本発明は、曲線伝動によって真空内部又は他の限られた空間
の高精度運動及び測定を達成し、伝動ユニット、真空封入ユニット、運動制御ユニット及
び測定ユニットを備える高精度の曲線伝動測定システムである。
【００２０】
前記伝動ユニットは、ガイド１、スライド２、車３、伝動バー６、電動シリンダ１０、
支持台機構を含む。
【００２１】
ガイド１は、特定の運動軌跡及び空間制限に対応するために、異なる曲線部（曲線ガイ
ド）と直線部（直線ガイド）からつなぎ合わせてなる。ガイド１にＴ形の溝がある。スラ
イド２は、円錐台状であり、ガイド１のＴ形の溝内で摺動するように取り付けられる。車
３の各々の底部にスナップリングによって２つのスライド２が接続され、接続箇所が回転
可能である。隣接する車３同士、車３と伝動バー６との間の何れも蝶番５によって接続さ
れる。伝動バー６の尾端が高精度電動シリンダ１０に固着される。ガイド１、スライド２
、車３、蝶番５、伝動バー６、電動シリンダ１０が組み合わせて、車３によってセンサー
１７を一定の軌跡に沿って正確に運動するように連動させることを達成することができる
。
【００２２】
ガイド支持４は、被測定対象の内部に固定され、ガイド１を支持することに用いられ、
調節スタンド、ステーボルト及び底板を含む。ステーボルトは、下端が底板に接続され、
上端が調節スタンドを貫通して相応の２つのナットによって調節スタンドに固定される。
ガイド１とガイド支持４の調節スタンドとは、ボルトによって固定される。ガイド支持４
として、「工」形の構造を採用し、支持強度を増えると共に、装置全体の運動過程中の騒
動を減少する。
【００２３】
ガイド１の直線ガイド１６及び伝動バー６が真空封入ユニット全体を貫通する。前記真
空封入ユニットは、仕切り弁７、真空室８、真空封入機構９を含む。伝動バー６は、一端
が若干の車３の最後の１つに接続され、他端が電動シリンダ１０に固着される。伝動バー
６は、運動の途中で、真空室８、真空封入機構９によって封入される。真空室８にガイド
調節機構が内蔵させる。前記ガイド調節機構は、ハンドホイール１３、ラックアンドピニ
オン機構１４、調節ガイド１５を含む。ハンドホイール１３の出力軸とラックアンドピニ
オン機構１４とが互いに噛み合う。ラックアンドピニオン機構１４が調節ガイド１５に接
続される。調節ガイド１５のスライド平台が直線ガイド１６に固着される。作業する場合
、ハンドホイール１３をひねてラックアンドピニオン機構１４を駆動させ、更に調節ガイ
ド１５を運動するように連動させ、直線ガイド１６が調節ガイド１５につれて往復運動し
、ガイド１の曲線部との結合や分離を達成する。仕切り弁７を閉じる前に、電動シリンダ
１０が伝動バー６及び車３を駆動させてセンサー１７を完全に真空室内に後退するように
連動させ、またハンドホイール１３をひねて直線ガイド１６とガイド１の曲線部とを分離
させると、仕切り弁７を閉じることができる。
【００２４】
伝動ユニット及び真空封入ユニットが支持台機構によって支持を提供し好適な高度まで
調節する。支持台機構は、ラック１１及び高度調節機構１２を含む。前記ラック１１の上
方に、真空室８、真空封入機構９、電動シリンダ１０が取り付けられる。前記高度調節機
構１２は、支持フレーム１２１、支持板１２２及び調節スクリュー１２３を含む。支持板
１２２がラック１１に固着される。調節スクリュー１２３が支持フレーム１２１及び支持
板１２２を固定接続する。高度を調整する必要がある場合、高度調節機構１２における締
付ナットを緩めて、調節スクリュー１２３を転動して高度を調節し、所定の高度になると
締付ナットをきつくねじって、高度の調節を完成する。高度調節機構１２の高度に対する
調節によって、運動軌道全体が面一であるように保証することができる。
【００２５】
先頭の車３の前端にセンサー１７が取り付けられる。電動シリンダ１０は伝動バー６を
連動させて車３がガイド１を滑走するように押し、その運行速度が０〜１５０ｍｍ/ｓで
あるため、車３及び伝動バー６の運動による機械騒動を最低にする。
【００２６】
測定が完成した後で、電動シリンダ１０が伝動バー６を元へ運動するように連動させ、
センサー１７及び車３がそれにつれて元へ運動する。センサー１７が真空室８内に後退す
ると、真空室８の内部のガイド調節機構によってガイド１の直線ガイド１６の部分を後ろ
へ５０ｍｍ調節し、ガイド１の曲線部から分離するようにし、その後、仕切り弁７を閉じ
、真空室８における蓋板を開けることで、被測定対象の真空雰囲気を破壊せずに、センサ
ーの取り替え又は他の操作を達成することができる。
【００２７】
前記真空封入ユニットは、前記システムの真空封入を保証する。仕切り弁７を閉じると
、被測定対象の真空雰囲気を保護することができる。前記真空封入機構９は、自由に伸縮
する溶接真空ベローズである。仕切り弁７、真空室８及び真空封入機構９の何れの両端に
も真空封入フランジが設けられる。仕切り弁７と被測定対象との間、仕切り弁７と真空室
８との間、真空室８と真空封入機構９との間の何れもフランジによって接続される。真空
封入機構９の別の側に盲フランジが固定され、その上に穴を開けて真空フィードスルーが
取り付けられ、センサー１７の信号を引き出すと共に、全体装置が真空雰囲気にあること
を保証する。
【００２８】
前記運動制御ユニットは、サーボモータ、減速機構、モータドライブ、光学格子、実時
間制御装置及びリミットスイッチを含む。電動シリンダ１０及びその前端の伝動部材がサ
ーボモータにより駆動される。サーボモータの前端に減速機構が接続され、ベルト車によ
って電動シリンダに接続される。モータドライブとサーボモータとはパワーケーブル及び
フィートバックケーブルによって接続され、サーボモータのエンコーダは速度フィートバ
ック源とされる。第２フィートバック、つまりシフトフィートバック源として、絶対式光
学格子を採用する。前記光学格子の読取ヘッドが伝動ユニットにつれてともに運動し、伝
動ユニットの実際的な運動シフトを測定し、読取ヘッドの信号線がモータドライブに接続
され、信号のフィートバックを達成する。前記実時間制御装置は下流の装置として、モー
タドライブによってサーボモータの運動を制御する。前記リミットスイッチは、伝動ユニ
ットがその運動行程を超えないように、それぞれモータドライブのＤＩ口及びＳＴＯ口に
連結される光電リミット及び機械リミットスイッチを含む。
【００２９】
前記測定ユニットは、センサー１７及び対応する信号収集処理設備を含む。センサー１
７の信号は、ケーブルによって伝動バー６の内部空間を介して、真空封入機構９のフラン
ジの外側に引き出され、対応する信号収集処理設備に連結される。測定された信号がその
後で実時間制御装置に送られて後処理を行う。
【００３０】
実時間制御装置は、ピコ電流計の制御及び信号捕捉、アナログ信号の収集と処理、及び
モータの運動制御を達成し、データ収集と運動制御との同期を達成することができる。
【００３１】
対応する信号収集処理設備は、ピコ電流計、シリアルポートサーバ、アナログ信号収集
ボードを含む。
【００３２】
ピコ電流計は、センサーにより捕捉された電流信号を測定することに用いられる。１列
の電流信号ごとに１つのピコ電流計によって測定する。ピコ電流計は、測定された電流信
号をシリアルポートによって出力してよい。被測定の電流信号を電圧信号に転換して、ア
ナログ電圧出力口から出力してもよい。
【００３３】
ピコ電流計の信号ケーブルとしてＲＳ２３２ケーブルを採用する。シリアルポートサー
バによってピコ電流計のシリアルポートをイーサネットインタフェースに転換して、Ｃｏ
ｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置に接続される。
【００３４】
前記シリアルポートサーバは、複数のピコ電流計のシリアルポートをイーサネットイン
タフェースに転換することに用いられる。シリアルポートサーバを使用する場合、シリア
ルポート通信の代わりにＴＣＰ/ＩＰプロトコル通信を採用して、通信速度を大幅に向上
させることができる。
【００３５】
前記ＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置は、ピコ電流計の初期化、パラメーター設定
、電流信号捕捉、データの処理・保存の機能を達成する。
【００３６】
前記アナログ信号収集ボードは、ピコ電流計により出力されたアナログ電圧信号を収集
し、アナログ信号収集ボードをＣｏｍｐａｃｔＲＩＯシャーシに挿入し、更に信号の処理
・保存を達成する。
【００３７】
サーボモータによって伝動ユニットを往復運動するように駆動させる。モータドライブ
とサーボモータとはパワーケーブル及びフィートバックケーブルによって接続される。サ
ーボモータのエンコーダは速度フィートバック源とされる。第２フィートバック、つまり
シフトフィートバック源として、絶対式光学格子を採用する。光電リミット及び機械リミ
ットという２つのリミットスイッチによってサーボモータが伝動ユニットの行程を超えな
いように確保して、運行の安全性を確保する。
【００３８】
具体的には、ピコ電流計とセンサーとはツイストペアケーブルによって接続される。１
列の信号ごとに１つのピコ電流計が接続される。シリアルポートサーバによってピコ電流
計とＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置とを接続し、導体ケーブルによってピコ電流計
のアナログ電圧出力口及びアナログ信号収集ボードを接続し、また収集ボードをＣｏｍｐ
ａｃｔＲＩＯシャーシに挿入する。サーボモータとモータドライブとはパワーケーブル及
びフィートバックケーブルによって接続される。光学格子の読取ヘッドと電動シリンダの
滑り台とがボルトによって固定される。読取ヘッドが信号線によってモータドライブの第
２フィートバックインタフェースに接続される。光電リミット及び機械リミットスイッチ
がそれぞれモータドライブに接続される。モータドライブがネットケーブルによってＣｏ
ｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置に繋がる。
【００３９】
車の最前端に、被測定の電流信号を捕捉するためのセンサーが接続される。センサーの
捕捉した電流信号をピコ電流計によって測定する。ピコ電流計は、信号線によって測定値
を出力してこの場合シリアルポートサーバを通過させて、その後ＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実
時間制御装置に送って後処理を行い、一方、入力された電流信号を電圧信号に転換して、
その後アナログ信号収集ボードによって収集し、またＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装
置に送って後処理を行ってよい。
【００４０】
ＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置は、ピコ電流計の制御及び信号捕捉、アナログ信
号の収集と処理、及びモータの運動制御を達成し、データ収集と運動制御との同期を達成
することができる。
【００４１】
実施例１：
【００４２】
サイクロトロンによるビーム測定の途中で、アクセラレータ内は高真空雰囲気であり、
プローブの測定軌跡及び活動空間が大きな制約を受けた。アクセラレータ内に曲線ガイド
１が架設された。測定半径は要求に応じて中心領域から引出領域までの直径方向全体の範
囲を覆ってよかった。ガイド１及び車３の断面は、４８ｍｍ×４８ｍｍの孔道を介してア
クセラレータを引き出すことができるように保証した。アクセラレータと仕切り弁７は、
フランジによって接続された。電動シリンダ１０は伝動バー６をアクセラレータの内部に
伸ばすように押し、伝動バー６は車３をガイド１で摺動するように押した。Ｃｏｍｐａｃ
ｔＲＩＯ実時間制御装置がモータドライブに接続され、サーボモータを制御し、減速機構
によって電動シリンダを運動するように駆動させ、光学格子をサーボモータの第２フィー
トバックとし、光電リミット及び機械リミットスイッチはシステムを運動が行程を超えな
いように保護した。先頭の車３の前端にビーム測定探知装置、つまりセンサー１７が取り
付けられ、探知装置の捕捉した電流信号が真空から引き出された後で、ピコ電流計によっ
て読み取られた。ピコ電流計は、ＲＳ２３２シリアルポートを介して測定された電流信号
を出力し、シリアルポートサーバによって複数台のピコ電流計の信号をＣｏｍｐａｃｔＲ
ＩＯ実時間制御装置に取りまとめて、ピコ電流計の初期化、パラメーター設定等の操作を
実施することができた。ピコ電流計は、測定された電流信号をアナログ電圧信号に転換し
、アナログ電圧信号をＣｏｍｐａｃｔＲＩＯシャーシに挿入されたアナログ信号収集ボー
ドに連結し、信号の収集、処理・保存を達成することもできた。
【００４３】
具体的には、ピコ電流計と探知装置とはツイストペアケーブルによって接続された。探
知装置の１列の電流信号ごとに１つのピコ電流計が接続された。ピコ電流計は、シリアル
ポート信号線によって測定値を出力してこの場合シリアルポートサーバを通過させて、そ
の後ＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置に送って後処理を行い、一方、入力された電流
信号を電圧信号に転換して、導体ケーブルによってピコ電流計のアナログ電圧出力口及び
アナログ信号収集ボードを接続し、また収集ボードをＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装
置のスロットに挿入し、最後に収集アナログ信号の結果をＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制
御装置に送って後処理を行ってよかった。サーボモータとモータドライブとはパワーケー
ブル及びフィートバックケーブルによって接続された。サーボモータのエンコーダは速度
フィートバック源とされた。第２フィートバック、つまりシフトフィートバック源として
、絶対式光学格子を採用した。光学格子の読取ヘッドと電動シリンダの滑り台とがボルト
によって固定された。読取ヘッドが信号線によってモータドライブの第２フィートバック
インタフェースに接続された。光電リミット及び機械リミットスイッチがそれぞれモータ
ドライブのＤＩ口及びＳＴＯ口に繋がり、モータドライブ器がネットケーブルによってＣ
ｏｍｐａｃｔＲＩＯ実時間制御装置に繋がった。まとめていうと、ＣｏｍｐａｃｔＲＩＯ
実時間制御装置は、ピコ電流計の制御及び信号捕捉、アナログ信号の収集と処理、及びモ
ータの運動制御を達成し、データ収集と運動制御との同期を達成することができた。
【００４４】
実施例２：
【００４５】
特定の真空雰囲気で、測定された部材に対して気体放出速度診断を行った。下記のよう
に測定した。電動シリンダ１０は伝動バー６を被測定装置の内部に伸ばすように押し、伝
動バー６は更に車３をガイド１で摺動するように押し、先頭の車３の前端に小型の漏れ検
知器、つまりセンサー１７が取り付けられ、測位置決め置及び分布要求によってガイド１
の被覆領域を確定した。電動シリンダ１０の尾部に視覚センサーが取り付けられ、導体ケ
ーブルが小型の漏れ検知器から出発して車３、伝動バー６を介して視覚センサーまで引き
出され、センサーの取得したデータに基づいて真空雰囲気での材料の気体放出速度が要求
に満たすかを判断した。
【００４６】
本発明は、真空雰囲気で曲線伝動装置を採用するので、様々な測位置決め置の要求に柔
軟的に対応することができ、曲線ガイドをつなぎ合わせて設計することで、伝動バーをそ
れぞれ電動シリンダ及び車に接続し、車が所望の位置に正確に到達するようにすると共に
、仕切り弁、真空室及び真空封入機構に合わせて、真空雰囲気を破壊せずにセンサーを取
り替えること等の機能を達成することができる。システム全体は、構造が簡単であり、使
用が便利であり、信頼性が高く、作業効率が高く、コストが低く、真空内部の関連デバッ
グ及び後期のメンテナンスに正確で信頼的なサービスを提供することができる。
【００４７】
上記で公開された本発明の好ましい実施例は、単に本発明を説明するためのものである
。好ましい実施例は、全ての細部を詳しく説明するものではなく、前記発明を記載された
具体的な実施形態に制限することもない。明らかに、本明細書の内容によると、多くの校
正や変更を加えてもよい。本明細書は、本発明の原理や実際的な適用をより好適に解釈し
て、当業者が本発明をよりよく理解及び利用できるように、これらの実施例を選用して具
体的に記述する。本発明は、特許請求の範囲及びその全ての範囲及び同等物のみにより制
限される。
【００４８】
１  ガイド
２  スライド
３  車
４  ガイド支持
５  蝶番
６  伝動バー
７  仕切り弁
８  真空室
９  真空封入機構
１０  電動シリンダ
１１  ラック
１２  高度調節機構
１２１  支持フレーム
１２２  支持板
１２３  調節スクリュー
１３  ハンドホイール
１４  ラックアンドピニオン機構
１５  調節ガイド
１６  直線ガイド
１７  センサー
【要約】
本発明は、伝動ユニット、真空封入ユニット、運動制御ユニット及び測定ユニットを備え
る高精度の曲線伝動測定システムであって、前記の伝動ユニットは、ガイド、スライド、
車、伝動バー、電動シリンダ、支持機構を含み、ガイドに若干の車が置かれ、先頭の車の
前端にセンサーが取り付けられ、前記真空封入ユニットは、仕切り弁、真空室、真空封入
機構を含み、伝動バー及びガイドが真空封入ユニットを貫通し、車及び電動シリンダに接
続され、前記運動制御ユニットはサーボモータ、減速機構、モータドライブ、光学格子及
び実時間制御装置、リミットスイッチを含み、制御器はモータによってサーボモータを駆
動させ、減速機構によって電動シリンダを運動するように連動させ、光学格子は位置フィ
ートバックに参与し、リミットスイッチは保護し、前記測定ユニットはセンサー及び対応
する信号収集処理設備を含む高精度の曲線伝動測定システムを開示する。本発明は、真空
雰囲気で曲線伝動を採用し、真空内部又は他の限られた空間の高精度運動及び測定を達成
する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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