(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部の先の先端面に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記ノズルの前記吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第１対向部材と、
前記第１対向部材の前記移動方向の上流側で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接した状態で前記移動方向へ移動可能な当接部材と、
前記ノズルが前記吐出口から塗布液を吐出してから、前記第１対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記先端面と前記第１対向部材との間から前記先端部の前記側面と前記第１対向部材との間に進入して前記先端部に付着した塗布液を前記第１対向部材により前記側面に広げるとともに、前記当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられた塗布液を前記当接部材により前記側面から除去する部材移動動作を実行する移動部と
を備えるノズル清掃装置。
【請求項２】
先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記ノズルの前記吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第１対向部材と、
前記第１対向部材の前記移動方向の上流側で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接した状態で前記移動方向へ移動可能な当接部材と、
前記ノズルの前記先端部にリンス液を供給するリンス液供給部と、
前記第１対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記リンス液供給部により供給されて前記先端部に付着したリンス液を前記第１対向部材により前記側面に広げるとともに、前記当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられたリンス液を前記当接部材により前記側面から除去する部材移動動作を実行する移動部と
を備え、
前記リンス液供給部は、前記第１対向部材に設けられた液供給孔から、前記第１対向部材と前記ノズルの前記先端部との間にリンス液を供給し、
前記第１対向部材は、前記液供給孔から供給されたリンス液を前記部材移動動作の実行中において前記側面に広げるノズル清掃装置。
【請求項３】
前記移動方向における前記第１対向部材と前記当接部材との間で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記移動方向へ移動可能な第２対向部材をさらに備え、
前記移動部は、前記部材移動動作において前記第２対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記第１対向部材により前記側面に広げられたリンス液を前記第２対向部材によりさらに前記側面に広げる請求項２に記載のノズル清掃装置。
【請求項４】
前記第１対向部材および前記当接部材を一体的に支持しつつ前記ノズルの前記先端部へ向けて付勢する支持部を備え、
前記当接部材が前記支持部の付勢力により前記ノズルの前記先端部の前記側面に突き当てられた状態で、前記第１対向部材と前記ノズルの前記先端部の前記側面との間隔が規定される請求項１ないし３のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。
【請求項５】
前記当接部材は弾性体であり、前記第１対向部材は前記当接部材より硬い硬質体である請求項１ないし４のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。
【請求項６】
先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のノズル清掃装置と
を備える塗布装置。
【請求項７】
先端部の先の先端面に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部に塗布液を付着させる工程と、
前記ノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向する第１対向部材を前記吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、前記先端面と前記第１対向部材との間から前記先端部の前記側面と前記第１対向部材との間に進入して前記先端部に付着した塗布液を前記第１対向部材により前記側面に広げる工程と、
前記第１対向部材の前記移動方向の上流側で前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接する当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられた塗布液を前記当接部材により前記側面から除去する工程と
を備えるノズル清掃方法。
【請求項８】
先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部にリンス液を付着させる工程と、
前記ノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向する第１対向部材を前記吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、前記先端部に付着したリンス液を前記第１対向部材により前記側面に広げる工程と、
前記第１対向部材の前記移動方向の上流側で前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接する当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられたリンス液を前記当接部材により前記側面から除去する工程と
を備え、
前記リンス液は、前記第１対向部材に設けられた液供給孔から、前記第１対向部材と前記ノズルの前記先端部との間に供給されることで、前記先端部に付着し、
前記第１対向部材は、前記液供給孔から供給されたリンス液を前記移動方向への移動中において前記側面に広げるノズル清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶表示装置用ガラス基板、半導体基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板等の精密電子装置用基板、矩形ガラス基板、フィルム液晶用フレキシブル基板、有機ＥＬ用基板（以下、単に「基板」と称する）に対してノズルの吐出口から塗布液を吐出して塗布する塗布装置、上記ノズルの吐出口に付着する付着物を除去するノズル清掃部材、ならびにノズル清掃部材によりノズルを清掃するノズル清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に対して塗布液を塗布するために、塗布液を吐出口から吐出するノズルが一般に用いられている。このようなノズルでは、吐出口が設けられた先端部の側面に付着し、乾燥して硬化した塗布液等の付着物が落下して基板を汚す場合があった。そこで、特許文献１のスリットコータは、ノズル（スリットノズル）による塗布の開始前に、清掃部材である拭き取りヘッドをノズルに摺動させることで、ノズルの先端部の側面に付着した塗布液を除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４９８５００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、清掃部材をノズルに摺動させる構成では、磨耗によって粉状に削れた清掃部材の一部が磨耗粉となり、清掃部材の消耗や、磨耗粉の落下による基板の汚染等が生じる場合があった。特許文献１では、清掃部材をノズルに摺動させる前にノズルの吐出口から塗布液が吐出されるため、この塗布液が潤滑剤として機能すれば、清掃部材の磨耗を抑制しうる。しかしながら、実際には、清掃部材とノズルとの間に十分な量の塗布液が入り込まないまま清掃部材がノズルに摺動されるために、塗布液が潤滑剤として十分に機能せず、清掃部材の磨耗がやはり問題となる場合があった。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材の磨耗を抑制可能とする技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の第１態様に係るノズル清掃装置は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向した状態でノズルの吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第１対向部材と、第１対向部材の移動方向の上流側で、ノズルの先端部の側面に当接した状態で移動方向へ移動可能な当接部材と、ノズルが吐出口から塗布液を吐出してから、第１対向部材を移動方向へ移動させることで、先端部に付着した塗布液を第１対向部材により側面に広げるとともに、当接部材を移動方向へ移動させることで、側面に広げられた塗布液を当接部材により側面から除去する部材移動動作を実行する移動部とを備える。
【０００７】
この発明の第１態様に係る塗布装置は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、上記の第１態様に係るノズル清掃装置とを備える。
【０００８】
この発明の第１態様に係るノズル清掃方法は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部に塗布液を付着させる工程と、ノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向する第１対向部材を吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、先端部に付着した塗布液を第１対向部材により側面に広げる工程と、第１対向部材の移動方向の上流側でノズルの先端部の側面に当接する当接部材を移動方向へ移動させることで、側面に広げられた塗布液を当接部材により側面から除去する工程とを備える。
【０００９】
このように構成された本発明の第１態様（ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法）では、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部の側面を清掃するために、ノズルの吐出口に沿った移動方向へ第１対向部材および当接部材を移動させる部材移動動作が実行される。この部材移動動作において、第１対向部材は、ノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向した状態で移動することで、先端部に付着した塗布液を先端部の側面に広げる。また、当接部材は、ノズルの先端部の側面に当接した状態で移動することで、側面に広げられた塗布液を除去する。つまり、当接部材がノズルの先端部の側面に摺動される前に、第１対向部材が側面に塗布液を予め広げている。そのため、当接部材をノズルの先端部の側面に摺動させる際には、第１対向部材により予め広げられた塗布液がノズルの先端部の側面と当接部材との間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材（当接部材）の磨耗を抑制することが可能となっている。
【００１０】
この発明の第２態様に係るノズル清掃装置は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向した状態でノズルの吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第１対向部材と、第１対向部材の移動方向の上流側で、ノズルの先端部の側面に当接した状態で移動方向へ移動可能な当接部材と、ノズルの先端部にリンス液を供給するリンス液供給部と、第１対向部材を移動方向へ移動させることで、リンス液供給部により供給されて先端部に付着したリンス液を第１対向部材により側面に広げるとともに、当接部材を移動方向へ移動させることで、側面に広げられたリンス液を当接部材により側面から除去する部材移動動作を実行する移動部とを備える。
【００１１】
この発明の第２態様に係る塗布装置は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、上記の第２態様に係るノズル清掃装置とを備える。
【００１２】
この発明の第２態様に係るノズル清掃方法は、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部にリンス液を付着させる工程と、ノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向する第１対向部材を吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、先端部に付着したリンス液を第１対向部材により側面に広げる工程と、第１対向部材の移動方向の上流側でノズルの先端部の側面に当接する当接部材を移動方向へ移動させることで、側面に広げられたリンス液を当接部材により側面から除去する工程とを備える。
【００１３】
このように構成された本発明の第２態様（ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法）では、先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの先端部の側面を清掃するために、ノズルの吐出口に沿った移動方向へ第１対向部材および当接部材を移動させる部材移動動作が実行される。この部材移動動作において、第１対向部材は、ノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向した状態で移動することで、先端部に付着したリンス液を先端部の側面に広げる。また、当接部材は、ノズルの先端部の側面に当接した状態で移動することで、側面に広げられたリンス液を除去する。つまり、当接部材がノズルの先端部の側面に摺動される前に、第１対向部材が側面にリンス液を予め広げている。そのため、当接部材をノズルの先端部の側面に摺動させる際には、第１対向部材により予め広げられたリンス液がノズルの先端部の側面と当接部材との間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材（当接部材）の磨耗を抑制することが可能となっている。
【００１４】
また、リンス液供給部は、第１対向部材に設けられた液供給孔から、第１対向部材とノズルの先端部との間にリンス液を供給し、第１対向部材は、液供給孔から供給されたリンス液を部材移動動作の実行中において側面に広げるように、ノズル清掃装置を構成しても良い。かかる構成では、第１対向部材とノズルの先端部との間に液供給孔から供給されたリンス液がノズルの先端部の側面と当接部材との間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。よって、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材（当接部材）の磨耗を抑制することが可能となっている。
【００１５】
また、移動方向における第１対向部材と当接部材との間で、ノズルの先端部の側面に対して間隔を空けつつ先端部の吐出口および側面に対向した状態で移動方向へ移動可能な第２対向部材をさらに備え、移動部は、部材移動動作において第２対向部材を移動方向へ移動させることで、第１対向部材により側面に広げられたリンス液を第２対向部材によりさらに側面に広げるように、ノズル清掃装置を構成しても良い。かかる構成では、当接部材がノズルの先端部の側面に摺動される前に、先端部の側面のより広範囲にリンス液を広げることができる。そのため、当接部材をノズルの先端部の側面に摺動させる際には、リンス液が当接部材とノズルの先端部の側面との間のより広範囲に入り込んで潤滑剤として効果的に機能することができる。よって、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材（当接部材）の磨耗をより確実に抑制することができる。
【００１６】
また、第１対向部材および当接部材を一体的に支持しつつノズルの先端部へ向けて付勢する支持部を備え、当接部材が支持部の付勢力によりノズルの先端部の側面に突き当てられた状態で、第１対向部材とノズルの先端部の側面との間隔が規定されるように、ノズル清掃装置を構成しても良い。かかる構成では、支持部の付勢力により当接部材をノズルの先端部の側面に突き当てることで、第１対向部材とノズルの先端部の側面との間隔を適切に規定してこの側面にリンス液を均一に広げられるとともに、ノズルの先端部の側面に当接部材を密着させてこの側面からリンス液を確実に除去できる。
【００１７】
また、当接部材は弾性体であり、第１対向部材は当接部材より硬い硬質体であるように、ノズル清掃装置を構成しても良い。かかる構成では、硬質の第１対向部材によりノズルの先端部の側面にリンス液を均一に広げられるとともに、当接部材の接触によりノズルの先端部の側面が損傷するのを抑制できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、当接部材をノズルの先端部の側面に摺動させる際には、第１対向部材により予め広げられた塗布液あるいはリンス液がノズルの先端部の側面と当接部材との間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、ノズルの清掃のためにノズルに摺動される部材（当接部材）の磨耗を抑制することが可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る塗布装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す塗布装置を模式的に示す側面図である。
【図３】図１に示す塗布装置の各部の配置を概略的に示す上面図である。
【図４】スリットノズルをＸ方向から見た側面図である。
【図５】ノズル清掃装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図６】ノズル清掃装置が用いるノズル清掃部材の一例を示す図である。
【図７】ノズル清掃装置によるクリーニング処理の一例を示すフローチャートである。
【図８】図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す正面図である。
【図９】図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す側面図である。
【図１０】図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す斜視図である。
【図１１】ノズル清掃装置の第２実施形態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は本発明に係る塗布装置を模式的に示す斜視図である。また、図２は図１に示す塗布装置を模式的に示す側面図である。さらに、図３は図１に示す塗布装置の各部の配置を概略的に示す上面図である。なお、図１、図２、図３および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためＺ方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を適宜付するとともに、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。また、図２および図３では、ノズル支持体等の一部の構成を省略している。
【００２１】
塗布装置１は、スリットノズル２を用いて基板３の表面３１に塗布液を塗布するスリットコータと呼ばれる塗布装置である。塗布装置１は、その塗布液として、耐エッチング被膜なるフォトレジスト液、カラーフィルター用フォトレジスト液、ポリイミド前駆体、シリコン、ナノメタルインクまたは導電性材料を含むスラリー（ペースト）等、種々の塗布液を用いることが可能である。また、塗布対象となる基板３についても、液晶表示装置用ガラス基板、半導体基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板等の精密電子装置用基板、矩形ガラス基板、フィルム液晶用フレキシブル基板、有機ＥＬ用基板等の種々の基板に適用可能である。なお、本明細書中で、「基板３の表面３１」とは基板３の両主面のうち塗布液が塗布される側の主面を意味する。
【００２２】
塗布装置１は、基板３を水平姿勢で吸着保持可能なステージ４と、ステージ４に保持される基板３にスリットノズル２を用いて塗布処理を施す塗布処理部５と、塗布処理に先立ってスリットノズル２に対してクリーニング処理を施すノズル清掃装置６と、これら各部を制御する制御部８とを備える。
【００２３】
図４はスリットノズルをＸ方向から見た側面図である。スリットノズル２はＸ方向に延びる長尺スリット状の開口部である吐出口２１を有している。吐出口２１はＸ方向においてスリットノズル２の全長より短く、スリットノズル２のＸ方向の両端では吐出口２１が開口しない。このスリットノズル２はステージ４に保持された基板３の表面３１に向けて吐出口２１から塗布液を吐出可能な構成を有する。具体的には、スリットノズル２は、ノズル支持体５１（図１）によって固定支持される本体部２２と、図外の供給機構から供給される塗布液を吐出口２１まで送液する内部流路２３と、本体部２２より下方に突出するリップ部２４とを有している。
【００２４】
リップ部２４は、上記突出の先端（下端）に設けられた平坦状の先端面２５と、上記突出の＋Ｙ側に形成される斜面である傾斜面２６ａと、上記突出の−Ｙ側に形成される斜面である傾斜面２６ｂとを有する。以下の説明では、傾斜面２６ａと傾斜面２６ｂとを区別しないときは、単に傾斜面２６と呼ぶ。このようにリップ部２４はその長手方向であるＸ方向からの側面視において先細りの凸形状を有し、凸形状の先端（下端）に吐出口２１が設けられ、凸形状の各側面が傾斜面２６となっている。
【００２５】
このように構成されたスリットノズル２では、図外の供給機構より塗布液が供給されると、塗布液は内部流路２３を通じてスリットノズル２の長手方向（Ｘ方向）に均等に拡幅されて送液され、リップ部２４の先端面２５に設けられた吐出口２１より下方に向けて吐出される。このようにスリットノズル２の吐出口２１から塗布液を吐出しつつ基板３に対する塗布動作を実行すると、スリットノズル２の吐出口２１の周囲部分（リップ部２４）には塗布液が付着することがある。付着した塗布液は、乾燥して残渣となり、これを放置すると、良好な吐出の妨げや、基板３に形成される膜の汚れの原因になる。そこで、塗布装置１ではこの付着物を除去するクリーニング処理をノズル清掃装置６により行う。この詳細については後述する。
【００２６】
図１ないし図３に戻って構成説明を続ける。ステージ４は略直方体の形状を有する花崗岩等の石材で構成されており、その上面（＋Ｚ側）のうち−Ｙ側には、略水平な平坦面に加工されて基板３を保持する保持面４１を備える。保持面４１には図示しない多数の真空吸着口が分散して形成されている。これらの真空吸着口により基板３が吸着されることで、塗布処理の際に基板３が所定の位置に略水平状態に保持される。なお、基板３の保持態様はこれに限定されるものではなく、例えば機械的に基板３を保持するように構成してもよい。
【００２７】
また、ステージ４において保持面４１の占有する領域より＋Ｙ側にはノズル調整エリアＡＲ１が設けられており、このノズル調整エリアＡＲ１にノズル清掃装置６が配置されている。このノズル清掃装置６については後に詳述する。
【００２８】
塗布装置１では、スリットノズル２をＹ方向に移動させる後述する移動機構が塗布処理部５に設けられており、保持面４１の上方とノズル調整エリアＡＲ１の上方との間でスリットノズル２を往復移動させる。そして、スリットノズル２がノズル調整エリアＡＲ１の上方に移動している期間、すなわち、ステージ４において保持面４１の占有する領域の上方にスリットノズル２がない期間に、塗布処理後の先行基板３の搬出と塗布処理前の後続基板３の搬入とがステージ４上で行なわれる。一方、スリットノズル２が保持面４１の上方を移動している間に当該保持面４１上の基板３の表面３１に塗布液が塗布される。
【００２９】
塗布処理部５の移動機構は、主としてステージ４の上方をＸ方向に横断しスリットノズル２を支持するブリッジ構造のノズル支持体５１と、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール５２に沿ってノズル支持体５１およびこれに支持されるスリットノズル２を水平移動させるスリットノズル移動部５３とを有する。このノズル支持体５１は、スリットノズル２を固定する固定部材５１ａと、固定部材５１ａを支持するとともに昇降させる２つの昇降機構５１ｂとを有している。なお、固定部材５１ａは、Ｘ方向を長手方向とするカーボンファイバ補強樹脂等の断面矩形の棒状部材で構成される。
【００３０】
２つの昇降機構５１ｂは固定部材５１ａの長手方向の両端部に連結されており、それぞれＡＣサーボモータおよび及びボールネジ等を有する。これらの昇降機構５１ｂにより、固定部材５１ａおよびそれに固定されたスリットノズル２が鉛直方向（Ｚ方向）に昇降され、スリットノズル２の吐出口２１と基板３との間隔、すなわち、基板３に対する吐出口２１の相対的な高さが調整される。なお、固定部材５１ａの鉛直方向の位置は、例えば、図示を省略しているが、昇降機構５１ｂの側面に設けられたスケール部と、当該スケール部に対向してスリットノズル２の側面等に設けられた検出センサとで構成されるリニアエンコーダにより検出できる。
【００３１】
このように構成されたノズル支持体５１は、図１に示すように、ステージ４の左右両端部をＸ方向に沿って掛け渡し、保持面４１を跨ぐ架橋構造を有している。スリットノズル移動部５３は、この架橋構造体としてのノズル支持体５１とそれに固定保持されたスリットノズル２とを、ステージ４上に保持される基板３に対してＹ方向に沿って相対移動させる相対移動手段として機能する。具体的には、スリットノズル移動部５３は、±Ｘ側のそれぞれにおいて、スリットノズル２の移動をＹ方向に案内するガイドレール５２と、駆動源であるリニアモータ５４と、スリットノズル２の吐出口の位置を検出するためのリニアエンコーダ５５とを有する。
【００３２】
２つのガイドレール５２はそれぞれ図２に示すように、ステージ４のＸ方向の両端部にＹ方向に沿ってノズル洗浄位置（ノズル清掃装置６の配設位置）Ｙ１から塗布終了位置（保持面４１の−Ｙ側端部位置）Ｙ３までの区間を含むように延設されている。そのため、スリットノズル移動部５３によって２つの昇降機構５１ｂの下端部が上記２つのガイドレール５２に沿って案内されることで、スリットノズル２はノズル洗浄位置Ｙ１とステージ４上に保持される基板３に対向する位置との間を移動する。なお、図２においては、上記位置Ｙ１、Ｙ３以外に、位置Ｙ２が図示されている。この位置Ｙ２は基板３の塗布領域ＲＴのＹ方向範囲に対応する塗布開始位置を意味している。
【００３３】
また、各リニアモータ５４は、固定子５４ａと移動子５４ｂとを有するＡＣコアレスリニアモータである。固定子５４ａは、ステージ４のＸ方向の両側面にＹ方向に沿って設けられている。一方、移動子５４ｂは、昇降機構５１ｂの外側に固設されている。リニアモータ５４は、これら固定子５４ａと移動子５４ｂとの間に生じる磁力によってスリットノズル移動部５３の駆動源として機能する。
【００３４】
また、各リニアエンコーダ５５はそれぞれ、スケール部５５ａと検出部５５ｂとを有している。スケール部５５ａはステージ４に固設されたリニアモータ５４の固定子５４ａの下部にＹ方向に沿って設けられている。一方、検出部５５ｂは、昇降機構５１ｂに固設されたリニアモータ５４の移動子５４ｂのさらに外側に固設され、スケール部５５ａに対向配置される。リニアエンコーダ５５は、スケール部５５ａと検出部５５ｂとの相対的な位置関係に基づいて、Ｙ方向におけるスリットノズル２の吐出口２１の位置を検出する。
【００３５】
以上のような構成によって、スリットノズル２は、基板３が保持される保持面４１の上部空間を、保持面４１に対して相対的に略水平なＹ方向へ移動可能となっている。そして、塗布装置１は、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液を吐出しながらスリットノズル２を相対移動させることで、保持面４１で保持した基板３の表面３１に塗布層を形成する。なお、基板３の各辺の端部から所定の幅の領域（額縁状の領域）は、塗布液の塗布対象とならない非塗布領域となっている。そして、基板３のうち、この非塗布領域を除いた矩形領域が、塗布液を塗布すべき塗布領域ＲＴとなっている（図３）。このため、スリットノズル２の移動区間のうち基板３の塗布領域ＲＴのＹ方向範囲に対応する塗布開始位置Ｙ２（塗布領域ＲＴの＋Ｙ側端部）から塗布終了位置Ｙ３（塗布領域ＲＴの−Ｙ側端部）の区間で吐出口２１より塗布液が吐出される。
【００３６】
また、塗布装置１と外部搬送機構との基板３の受渡し期間（基板３の搬入・搬出期間）等ステージ４上で塗布処理が行われない期間には、スリットノズル２は、基板３の保持面４１から＋Ｙ側に外れたノズル調整エリアＡＲ１に待避され（図１に示す状態）、ノズル清掃装置６によるクリーニング処理を受ける。続いては、このノズル清掃装置６の構成および動作について図２、図３、図５および図６等を参照しつつ詳述する。
【００３７】
図５はノズル清掃装置の第１実施形態を示す斜視図である。また、図６はノズル清掃装置が用いるノズル清掃部材の一例を示す図である。ノズル清掃装置６は、スリットノズル２のリップ部２４に沿った清掃方向Ｄｃへノズル清掃部材６１を伴って移動することでリップ部２４に付着する付着物を除去する除去ユニット６Ａと、除去ユニット６Ａを清掃方向Ｄｃに駆動する駆動ユニット６Ｂとを有する。ここで、清掃方向ＤｃはＸ方向の矢印と逆向きの一方を向いたＸ方向に平行な方向であり、駆動ユニット６Ｂは除去ユニット６ＡをＸ方向へ往復移動させることが可能である。また、除去ユニット６Ａによる除去対象となる付着物としては、スリットノズル２のリップ部２４に付着しうる種々の物質が挙げられ、例えば塗布液の溶質が乾燥・固化したものがある。例えば塗布液がカラーフィルター用のフォトレジストである場合には、塗布液に含まれる顔料が付着物としてスリットノズル２のリップ部２４に付着する。
【００３８】
また、ノズル清掃装置６は、ノズル清掃部材６１を密閉することで形成した密閉空間の内部でノズル清掃部材６１を洗浄する洗浄ユニット６Ｃ（図３）を備える。この洗浄ユニット６Ｃは、スリットノズル２のリップ部２４に付着する付着物を拭き取って除去したノズル清掃部材６１に対して、上記密閉空間内で洗浄液を供給することでノズル清掃部材６１に付着する上記付着物を洗い流すユニットである。この洗浄ユニット６Ｃとしては、例えば特開２０１４−１７６８１２号公報に記載されたものを用いることができる。
【００３９】
さらに、ノズル清掃装置６は、スリットノズル２のリップ部２４のクリーニングに用いるリンス液を供給するリンス液供給ユニット６Ｅを有する。このリンス液供給ユニット６Ｅは、その先端が除去ユニット６Ａに取り付けられた可撓性のリンス液供給管（図示省略）を介して除去ユニット６Ａにリンス液を供給する。
【００４０】
除去ユニット６Ａは主として、スリットノズル２の傾斜面２６に対応する傾斜面を有するノズル清掃部材６１と、ノズル清掃部材６１を支持する支持部６２とを有する。なお、図５では、スリットノズル２の清掃方向Ｄｃの上流側端部よりさらに清掃方向Ｄｃの上流側の位置に除去ユニット６Ａが位置するときの、スリットノズル２および除去ユニット６Ａの構成が示されている。
【００４１】
除去ユニット６Ａは、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂの２種類のノズル清掃部材６１を有する。これらノズル清掃部材６１のうち、スプレッダ６１Ａはリンス液をスリットノズル２のリップ部２４に塗り広げるリンス液供給機能を担い、スクレーパ６１Ｂはスプレッダ６１Ａの清掃方向Ｄｃの上流側でスリットノズル２のリップ部２４からリンス液を除去する液切り機能を担う。これによって、スリットノズル２のリップ部２４の付着物をリンス液とともに除去することができる。つまり、乾燥して固化した塗布液等の付着物がリップ部２４の傾斜面２６に付着している場合、スプレッダ６１Ａにより塗り広げられたリンス液が付着物をある程度溶解し、この溶解物（付着物）を含むリンス液がスクレーパ６１Ｂによって除去される。このようにノズル清掃部材６１は、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを用いて、スリットノズル２のリップ部２４から付着物を除去するクリーニング処理を実行する。これらスプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂはリンス液を供給する液供給孔６１０の有無を除いて共通する外形を有する。そのため、図６ではスプレッダ６１Ａの外形が２種類のノズル清掃部材６１を代表して示されている。
【００４２】
図６に示すように、ノズル清掃部材６１は支持部６２により支持可能な本体６１１で構成されている。スクレーパ６１Ｂの本体６１１は例えば９００〜４０００ＭＰａ（メガパスカル）の弾性率を有する弾性体で形成されており、スプレッダ６１Ａの本体６１１はスクレーパ６１Ｂの本体６１１より硬い硬質体で形成されている。そして、本体６１１の中央部が支持部６２に支持される被支持部６１２となっている。本体６１１は、被支持部６１２から延設された延設部６１３を有し、この延設部６１３の先端に、略Ｖ字型の溝であるＶ字溝６１４が形成されている。Ｖ字溝６１４は、スリットノズル２のリップ部２４に対応した形状をしており、傾斜面２６ａに応じた傾斜を持った傾斜面６１５ａと、傾斜面２６ｂに応じた傾斜を持った傾斜面６１５ｂとを有する。そして、スプレッダ６１Ａの各傾斜面６１５ａ、６１５ｂには、リンス液供給ユニット６Ｅのリンス液供給管が取り付けられた液供給孔６１０が形成されており、リンス液供給管を介して供給されたリンス液が液供給孔６１０から吐出される。一方、スクレーパ６１Ｂの各傾斜面６１５ａ、６１５ｂには液供給孔６１０が形成されていない。なお、以下において、傾斜面６１５ａ、６１５ｂを区別しないときには単に傾斜面６１５と称する。
【００４３】
このように構成された各ノズル清掃部材６１は図５に示すように２本の締結金具、例えばボルト６４によって支持部６２に着脱自在に固定される。つまり、支持部６２は、Ｚ方向に昇降可能な昇降部６２１と、昇降部６２１の上面にＺ方向へ立設されてＸ方向に並ぶ２本の柱部６２２Ａ、６２２Ｂとを有する。そして、柱部６２２Ａ、６２２Ｂのうち、清掃方向Ｄｃの下流側の柱部６２２Ａの上端に対してスプレッダ６１Ａが締結され、清掃方向Ｄｃの上流側の柱部６２２Ｂの上端に対してスクレーパ６１Ｂが締結されている。より具体的には、各ノズル清掃部材６１の被支持部６１２は、対応する柱部６２２Ａ、６２２Ｂの上端部に係合可能な形状に仕上げられている。そして、各ノズル清掃部材６１は、それぞれのＶ字溝６１４をスリットノズル２側に向けつつ、Ｘ方向に延設されるスリットノズル２に対して所定の傾斜角度θ（例えば、５０度）で傾いた状態で、柱部６２２Ａ、６２２Ｂの上端部に締結される。なお、柱部６２２Ｂの上端は柱部６２２Ａの上端よりも高く、スクレーパ６１Ｂはスプレッダ６１Ａよりも高い位置に支持される。
【００４４】
支持部６２は、このように各ノズル清掃部材６１が固定された昇降部６２１の下方にベース部６２３を有する。そして、昇降部６２１はベース部６２３によって昇降可能に支持されている。つまり、支持部６２では、ベース部６２３の上面からＺ方向に立設されたガイドレール６２４と、ベース部６２３と昇降部６２１との間に設けられた付勢部材６２５（例えば、圧縮バネ）とが設けられている。そして、ガイドレール６２４が昇降部６２１の移動をＺ方向に案内しつつ、付勢部材６２５がベース部６２３に対して昇降部６２１を上方へ付勢する。そのため、昇降部６２１に固定された各ノズル清掃部材６１は、付勢部材６２５の付勢力により上方へ付勢される。
【００４５】
また、支持部６２のベース部６２３は、駆動ユニット６Ｂに取り付けられている。この駆動ユニット６Ｂは、Ｘ方向においてスリットノズル２の両外側に配置された一対のローラ６５１、６５１と、ローラ６５１、６５１に掛け渡された無端ベルト６５２とを有し、無端ベルト６５２の上面に支持部６２のベース部６２３が取り付けられている。このように構成された駆動ユニット６Ｂは、ローラ６５１、６５１を回転させて無端ベルト６５２の上面をＸ方向へ駆動して、支持部６２に伴って各ノズル清掃部材６１をＸ方向へ移動させる。
【００４６】
そして、以上のように構成されたノズル清掃装置６は、ノズル洗浄位置Ｙ１に位置するスリットノズル２のリップ部２４に各ノズル清掃部材６１を下方から近接させつつ各ノズル清掃部材６１を清掃方向Ｄｃに移動させることで、スリットノズル２のリップ部２４をクリーニングする。続いては、このクリーニング処理について詳述する。
【００４７】
図７はノズル清掃装置によるクリーニング処理の一例を示すフローチャートである。図８は図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す正面図である。図９は図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す側面図である。図１０は図７のフローチャートに従って実行される動作を模式的に示す斜視図である。図７のフローチャートは、制御部８が塗布装置１の各部を制御することにより実行される。
【００４８】
ステップＳ１０１では、駆動ユニット６Ｂによる駆動を受けて、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に移動する。この清掃開始位置Ｐ１は、スリットノズル２のリップ部２４の清掃方向Ｄｃの上流端部２０Ａに対して設定されており、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に位置する状態において、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂは、リップ部２４の上流端部２０Ａに下方から対向する（図８の「Ｓ１０１」の欄）。なお、吐出口２１はＸ方向においてスリットノズル２のリップ部２４の全長より短いため、スリットノズル２のＸ方向の両端、すなわち清掃方向Ｄｃの上流端部２０Ａおよび下流端部２０Ｂのそれぞれでは吐出口２１が開口しない。つまり、ステップＳ１０１では、スリットノズル２のリップ部２４のうち、吐出口２１よりも清掃方向Ｄｃの上流側の上流端部２０Ａにスプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂが対向する。
【００４９】
また、ステップＳ１０１においては、スリットノズル２は上方位置に位置しており、リップ部２４の上流端部２０Ａと、これに対向するスクレーパ６１ＢとはＺ方向に離間している。ちなみに、スクレーパ６１Ｂはスプレッダ６１Ａよりも高い位置に支持されるため、スクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間の間隔ΔＢは、スプレッダ６１Ａの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間の間隔ΔＡ１よりも狭い（図９の「Ｓ１０１」の欄）。
【００５０】
こうして清掃開始位置Ｐ１への除去ユニット６Ａの移動が完了すると、スリットノズル２は吐出口２１から所定量の塗布液Ｌａを吐出する（ステップＳ１０２）。ここでの塗布液Ｌａの吐出は、クリーニング処理に続いて実行される塗布処理の前に吐出口２１の全域を塗布液Ｌａで満たすことを目的としている。したがって、図８では誇張されているが、塗布液Ｌａは吐出口２１から下方に僅かに出る程度に吐出される。
【００５１】
ステップＳ１０３では、上方位置より低い下方位置へスリットノズル２が下降する。詳しくは、スリットノズル２が下降を開始するとスリットノズル２のリップ部２４とスクレーパ６１Ｂとの間の間隔が減少し、リップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とが接触する。スリットノズル２はさらに下降し、付勢部材６２５の付勢力に抗してスクレーパ６１Ｂを下方へ押し下げる。また、スプレッダ６１Ａは、その両傾斜面６１５の間に入り込んだリップ部２４の傾斜面２６と各傾斜面６１５との間に一定の間隔ΔＡ２を保ったまま、スクレーパ６１Ｂとともに下方へ移動する。こうして、スクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５が付勢部材６２５の付勢力によりリップ部２４の傾斜面２６に押し付けられるとともに、スプレッダ６１Ａの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間には一定の間隔ΔＡ２が確保される（図９の「Ｓ１０３」の欄）。なお、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂのそれぞれは、リップ部２４の傾斜面２６に当接する位置関係であるため、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂのそれぞれとリップ部２４の先端面２５との間には間隔が形成され、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂのそれぞれはリップ部２４の先端面２５に接触しない。ただし、ステップＳ１０３の実行によってスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５がリップ部２４の傾斜面２６に当接するのであれば、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂのそれぞれがリップ部２４の先端面２５に当接するように構成しても構わない。
【００５２】
上述のように、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂは共通する外形を有し、また、スクレーパ６１Ｂはスプレッダ６１Ａよりも高い位置に支持される。その結果、スクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５はリップ部２４の傾斜面２６に押し付けられて当接するとともに、スプレッダ６１Ａの傾斜面６１５はリップ部２４の傾斜面２６に一定の間隔ΔＡ２を空けて対向した状態となる。このようにスプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを共通する外形とすることにより（特にＶ字溝６１４を同じ形状とすることにより）、上記間隔ΔＡ２を確実に形成することができる。なお、スプレッダ６１ＡのＶ字溝６１４を、スクレーパ６１ＢのＶ字溝６１４より大きくすることにより、上記間隔ΔＡ２を確保しても良い。
【００５３】
こうしてスリットノズル２の下降が完了すると、スプレッダ６１Ａの液供給孔６１０からリンス液Ｌｂが吐出され、スリットノズル２のリップ部２４とスプレッダ６１Ａとの間へのリンス液の供給が開始される（ステップＳ１０４）。このリンス液Ｌｂの単位時間あたりの供給量は、図９の「Ｓ１０４」の欄に示すように、リップ部２４の先端面２５より上方にリンス液Ｌｂの液面が維持されてリップ部２４の傾斜面２６にリンス液Ｌｂが付着する程度が好ましい。なお、リンス液Ｌｂとしては種々の液体を利用でき、例えば塗布液を組成する溶媒であっても良い。この場合、溶媒であるリンス液に溶質を溶かした溶液が塗布液となる。
【００５４】
続いて、駆動ユニット６Ｂが清掃方向Ｄｃへ除去ユニット６Ａを駆動することで、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを清掃方向Ｄｃへ移動させる部材移動動作を開始する（ステップＳ１０５）。この部材移動動作の実行中は、液供給孔６１０からのリンス液Ｌｂの供給が継続されている。したがって、スプレッダ６１Ａは、液供給孔６１０から供給されたリンス液Ｌｂをリップ部２４の傾斜面２６に広げつつ清掃方向Ｄｃへ移動する。その結果、図８の「Ｓ１０５−Ｓ１０６」の欄や図１０に示すように、清掃方向Ｄｃにおけるスプレッダ６１Ａとスクレーパ６１Ｂとの間では、リップ部２４の傾斜面２６にリンス液Ｌｂが塗り広げられている。
【００５５】
また、部材移動動作において、その傾斜面６１５で当接しながら清掃方向Ｄｃに移動するスクレーパ６１Ｂは、スプレッダ６１Ａにより広げられたリンス液Ｌｂをリップ部２４の傾斜面２６から除去する。この際、スプレッダ６１Ａより広げられたリンス液Ｌｂがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間の僅かな隙間に毛細管現象により入り込む。こうして、リンス液Ｌｂがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間を満たして、これらの間に生じる摩擦力を緩和する。また、スクレーパ６１Ｂは、リンス液Ｌｂの除去と並行して、スリットノズル２の吐出口２１から下方に突出した塗布液Ｌａを掻き取って、吐出口２１を満たす塗布液Ｌａの下部を清掃方向Ｄｃに沿って均す。
【００５６】
そして、除去ユニット６Ａが清掃終了位置Ｐ２に到達して、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂがスリットノズル２よりも清掃方向Ｄｃの下流側に移動すると、駆動ユニット６Ｂが除去ユニット６Ａを停止させる（ステップＳ１０６）。また、液供給孔６１０からのリンス液の供給が停止し（ステップＳ１０７）、図７のフローチャートを終了する。
【００５７】
以上のように構成された第１実施形態では、スリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６を清掃するために、スリットノズル２の吐出口２１に沿った清掃方向Ｄｃへスプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを移動させる部材移動動作が実行される。この部材移動動作において、スプレッダ６１Ａは、スリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に対して間隔ΔＡ２を空けつつリップ部２４の吐出口２１および傾斜面２６に対向した状態で移動する。これによって、リップ部２４に付着したリンス液Ｌｂが毛細管現象により間隔ΔＡ２内に満たされる。換言すれば、リップ部２４に付着したリンス液Ｌｂがスプレッダ６１Ａによりリップ部２４の傾斜面２６側面に広げられる。また、スクレーパ６１Ｂは、スリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に当接した状態で移動することで、傾斜面２６に広げられたリンス液Ｌｂを除去する。つまり、スクレーパ６１Ｂがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動される前に、スプレッダ６１Ａが傾斜面２６にリンス液Ｌｂを予め広げている。そのため、スクレーパ６１Ｂをスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動させる際には、スプレッダ６１Ａにより予め広げられたリンス液Ｌｂがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制することが可能となっている。
【００５８】
なお、乾燥して固化した塗布液等の付着物がリップ部２４の傾斜面２６に付着している場合、スプレッダ６１Ａにより塗り広げられたリンス液が付着物をある程度溶解し、この溶解物（付着物）を含むリンス液がスクレーパ６１Ｂによって除去される。この際の付着物は上述のとおり、例えば塗布液の溶質が乾燥・固化したもの等が挙げられる。
【００５９】
また、このようなスクレーパ６１Ｂの磨耗の抑制は、スクレーパ６１Ｂの交換頻度の減少につながり、環境保全の観点からも有効である。
【００６０】
また、かかる構成は、スクレーパ６１Ｂの磨耗の抑制のみならず、クリーニング処理の高速化にも寄与しうる。つまり、リンス液は毛細管現象によってリップ部２４とスクレーパ６１Ｂとの間へ入り込む。したがって、リップ部２４の傾斜面２６に付着する液量が少なかったり、まばらであったりすると、リップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間が液で満たされるのに時間を要する。そのため、スクレーパ６１Ｂの移動速度を抑える必要が生じる。これに対して、第１実施形態では、スプレッダ６１Ａによってリップ部２４の傾斜面２６にリンス液Ｌｂが予め塗り広げられているため、リップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間をリンス液により速やかに満たすことができる。そのため、スクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制しつつスクレーパ６１Ｂを高速で移動させることができ、クリーニング処理の高速化を図ることが可能となっている。
【００６１】
また、スプレッダ６１Ａは、当該スプレッダ６１Ａとスリットノズル２のリップ部２４との間にリンス液Ｌｂを供給する液供給孔６１０を有し、液供給孔６１０から供給されたリンス液Ｌｂを部材移動動作の実行中においてリップ部２４の傾斜面２６に広げる。かかる構成では、液供給孔６１０から供給されたリンス液Ｌｂがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。よって、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制することが可能となっている。
【００６２】
また、支持部６２は、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを一体的に支持しつつこれらをスリットノズル２のリップ部２４へ向けて付勢部材６２５により付勢する。そして、スクレーパ６１Ｂが支持部６２の付勢部材６２５の付勢力によりスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に突き当てられた状態で、スプレッダ６１Ａとスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６との間隔ΔＡ２が規定される。かかる構成では、支持部６２の付勢部材６２５の付勢力によりスクレーパ６１Ｂをスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に突き当てることで、スプレッダ６１Ａとリップ部２４の傾斜面２６との間隔ΔＡ２を適切に規定してこの傾斜面２６にリンス液Ｌｂを均一に広げられるとともに、リップ部２４の傾斜面２６にスクレーパ６１Ｂを密着させてこの傾斜面２６からリンス液Ｌｂを確実に除去できる。
【００６３】
また、スクレーパ６１Ｂは弾性体であり、スプレッダ６１Ａはスクレーパ６１Ｂより硬い硬質体である。したがって、硬質のスプレッダ６１Ａによりスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６にリンス液Ｌｂを均一に広げられるとともに、スクレーパ６１Ｂの接触によりスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６が損傷するのを抑制できる。また、スプレッダ６１Ａは硬質体であるので、精度良く、加工や成形することができる。その結果、スプレッダ６１Ａの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間隔ΔＡ２を傾斜面６１５、２６に沿って均一に確保することができる。弾性体であるスクレーパ６１Ｂの材質は、例えばエチレン・プロピレン・ジエンゴム（EPDM）、シリコンゴムである。硬質体であるスプレッダ６１Ａの材質は、例えばPEEK（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、PI（ポリイミド）樹脂である。
【００６４】
また、クリーニング処理の終了の際には、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂをスリットノズル２より清掃方向Ｄｃの下流側へ外していることから、スリットノズル２からの液垂れによる基板３の汚染が抑制されている。つまり、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを例えばスリットノズル２の下流端部２０Ｂに対向させた状態でこれらを停止させてクリーニング処理を終了した場合、スリットノズル２の下流端部２０Ｂには塗布液Ｌａやリンス液Ｌｂが滞留することとなる。そのため、塗布処理の際にスリットノズル２の下流端部２０Ｂから基板３へ液が垂れて、基板３が汚染されることも想定される。これに対して、第１実施形態では、スリットノズル２の下流端部２０Ｂでの液の滞留を抑えて、基板３の汚染を抑制可能となっている。
【００６５】
また、上では詳述しなかったが、ステップＳ１０２で吐出口２１からの塗布液Ｌａの吐出を開始してから、ステップＳ１０３でスリットノズル２の下降を開始するように構成すると、次のような効果も奏しうる。つまり、吐出口２１から塗布液Ｌａを吐出させる吐出用ポンプの動作が開始してから安定するまでには多少の時間を要する。これに対して、ステップＳ１０２、Ｓ１０３で示した順序であれば、スリットノズル２の下降途中に吐出用ポンプの動作を安定させることができ、スリットノズル２の下降が完了した時点で、スリットノズル２の先端面２５の長手方向（Ｘ方向）にわたって均一にリンス液Ｌｂを付着させることが可能となる。
【００６６】
図１１はノズル清掃装置の第２実施形態を示す斜視図である。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は主として、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂの他にスプレッダ６１Ｃが設けられている点である。したがって、以下では第１実施形態と異なる構成を中心に説明し、第１実施形態と共通する構成は適宜説明を省略する。ただし、第１実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果が奏されることは言うまでもない。
【００６７】
図１１に示すノズル清掃装置６の除去ユニット６Ａは、清掃方向Ｄｃにおいてスプレッダ６１Ａとスクレーパ６１Ｂとの間に配置されたスプレッダ６１Ｃを有する。このスプレッダ６１Ｃは、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂと同様に上述のノズル清掃部材６１の一種であり、液供給孔６１０を有しない点を除いてスプレッダ６１Ａと同一の構成を有する。つまり、スプレッダ６１Ｃの本体６１１は、スプレッダ６１Ａの本体と同じ硬質体で形成されている。一方、昇降部６２１の上面では、Ｘ方向における柱部６２２Ａ、６２２Ｂの間に柱部６２２ＣがＺ方向に立設されている。そして、スプレッダ６１Ｃは、そのＶ字溝６１４をスリットノズル２側に向けつつ、Ｘ方向に延設されるスリットノズル２に対して所定の傾斜角度θ（例えば、５０度）で傾いた状態で柱部６２２Ｃの上端部に締結される。また、柱部６２２Ｃの上端は柱部６２２Ａの上端と同じ高さであり、スプレッダ６１Ｃはスプレッダ６１Ａと同じ高さに支持される。
【００６８】
そして、第２実施形態においても、図７に示すフローチャートに従ってスリットノズル２にクリーニング処理を実行できる。つまり、ステップＳ１０１において、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に移動すると、スプレッダ６１Ａ、スプレッダ６１Ｃおよびスクレーパ６１Ｂがリップ部２４の上流端部２０Ａに下方から対向する。そして、吐出口２１から所定量の塗布液Ｌａが吐出されると（ステップＳ１０２）、スリットノズル２が下降する（ステップＳ１０３）。その結果、スクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５が付勢部材６２５の付勢力によりリップ部２４の傾斜面２６に押し付けられるとともに、スプレッダ６１Ａおよびスプレッダ６１Ｃそれぞれの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間には同一の間隔ΔＡ２が確保される。
【００６９】
こうしてスリットノズル２の下降が完了すると、スプレッダ６１Ａの液供給孔６１０からリンス液Ｌｂが吐出され、スリットノズル２のリップ部２４とスプレッダ６１Ａとの間へのリンス液の供給が開始される（ステップＳ１０４）。続いて、駆動ユニット６Ｂが清掃方向Ｄｃへ除去ユニット６Ａを駆動することで、スプレッダ６１Ａ、スプレッダ６１Ｃおよびスクレーパ６１Ｂを清掃方向Ｄｃへ移動させる部材移動動作を開始する（ステップＳ１０５）。そして、この部材移動動作においては、スプレッダ６１Ａは第１実施形態と同様に、リップ部２４の傾斜面２６にリンス液Ｌｂを広げるとともに、スプレッダ６１Ｃはスプレッダ６１Ａにより広げられたリンス液Ｌｂをさらにリップ部２４の傾斜面２６に広げる。
【００７０】
また、スクレーパ６１Ｂは、スプレッダ６１Ａおよびスプレッダ６１Ｃにより広げられたリンス液Ｌｂをリップ部２４の傾斜面２６から除去する。この際、スプレッダ６１Ａおよびスプレッダ６１Ｃより広げられたリンス液Ｌｂがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間の僅かな隙間に毛細管現象により入り込む。こうして、リンス液Ｌｂがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間を満たして、これらの間に生じる摩擦力を緩和する。また、スクレーパ６１Ｂは、リンス液Ｌｂの除去と並行して、スリットノズル２の吐出口２１から下方に突出した塗布液Ｌａを掻き取って、吐出口２１を満たす塗布液Ｌａの下部を清掃方向Ｄｃに均す。
【００７１】
そして、除去ユニット６Ａが清掃終了位置Ｐ２に到達して、スプレッダ６１Ａ、スプレッダ６１Ｃおよびスクレーパ６１Ｂがスリットノズル２よりも清掃方向Ｄｃの下流側に位置するタイミングで、駆動ユニット６Ｂが除去ユニット６Ａを停止させる（ステップＳ１０６）。続いて、液供給孔６１０からのリンス液の供給が停止し（ステップＳ１０７）、図７のフローチャートを終了する。
【００７２】
以上のように構成された第２実施形態では、スクレーパ６１Ｂをスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動させる際には、スプレッダ６１Ａおよびスプレッダ６１Ｃにより予め広げられたリンス液Ｌｂがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制することが可能となっている。
【００７３】
特に第２実施形態では、スプレッダ６１Ａとスクレーパ６１Ｂとの間に設けられたスプレッダ６１Ｃが、スリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に対して間隔ΔＡ２を空けつつリップ部２４の吐出口２１および傾斜面２６に対向する。そして、このスプレッダ６１Ｃが清掃方向Ｄｃへ移動することで、スプレッダ６１Ａにより広げられたリンス液Ｌをさらに広げる。かかる構成では、例えばスプレッダ６１Ａの移動速度が速いために、スプレッダ６１Ａが液供給孔６１０から供給されたリンス液Ｌｂを傾斜面２６の上部まで広げることが難しい場合であっても、続くスプレッダ６１Ｃによってリンス液Ｌｂを傾斜面２６の上部まで広げることが可能となる。そのため、スクレーパ６１Ｂがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動される前に、リップ部２４の傾斜面２６のより広範囲（上部）にリンス液Ｌｂを広げることができる。したがって、スクレーパ６１Ｂをスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動させる際には、リンス液Ｌｂがスクレーパ６１Ｂとスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６との間のより広範囲に入り込んで潤滑剤として効果的に機能することができる。よって、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗をより確実に抑制することができる。
【００７４】
以上のように上記実施形態では、ノズル清掃装置６が本発明の「ノズル清掃装置」の一例に相当し、スプレッダ６１Ａが本発明の「第１対向部材」の一例に相当し、スクレーパ６１Ｂが本発明の「当接部材」の一例に相当し、駆動ユニット６Ｂが本発明の「移動部」の一例に相当し、清掃方向Ｄｃが本発明の「移動方向」の一例に相当し、スリットノズル２が本発明の「ノズル」の一例に相当し、リップ部２４が本発明の「先端部」の一例に相当し、吐出口２１が本発明の「吐出口」の一例に相当し、傾斜面２６が本発明の「側面」の一例に相当し、塗布装置１が本発明の「塗布装置」の一例に相当する。また、リンス液供給ユニット６Ｅが本発明の「リンス液供給部」の一例に相当し、液供給孔６１０が本発明の「液供給孔」の一例に相当し、スプレッダ６１Ｃが本発明の「第２対向部材」の一例に相当し、支持部６２が本発明の「支持部」の一例に相当する。
【００７５】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、リンス液をリップ部２４に供給する具体的構成は、スプレッダ６１Ａの液供給孔６１０からリンス液を吐出する態様に限られない。そこで、例えば第２実施形態に対して次のような変形を加えることもできる。つまり、第２実施形態でのスプレッダ６１Ａはリンス液を供給する機能と、リンス液を広げる機能とを有する。これに対して、この変形例では、リンス液を供給する機能のみを有する部材（リンス液供給部材）にスプレッダ６１Ａが置き換えられる。具体的にはスプレッダ６１Ｃの清掃方向Ｄｃの下流側（換言すれば、第２実施形態におけるスプレッダ６１Ａの配置位置）に、リップ部２４の傾斜面２６ａ、２６ｂにその先端が対向するパイプ状のリンス液供給管（リンス液供給部材）が設けられ、リンス液供給ユニット６Ｅがリンス液供給管から吐出したリンス液をリップ部２４の傾斜面２６ａ、２６ｂに供給する。この変形例では、リンス液供給管の先端が除去ユニット６Ａに伴って清掃方向Ｄｃへ移動しつつリップ部２４の傾斜面２６にリンス液を吐出し、リンス液供給管の先端より清掃方向Ｄｃの上流側のスプレッダ６１Ｃ（第１対向部材）によってリンス液Ｌｂが傾斜面２６に広げられることとなる。
【００７６】
また、上記実施形態ではスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に広げる液体としてリンス液Ｌｂが用いられていた。しかしながら、傾斜面２６に広げる対象として利用できる液体はリンス液Ｌｂに限られない。そこで、次に示す変形例のように、塗布液Ｌａをリップ部２４の傾斜面２６に広げても良い。
【００７７】
この変形例では、図７のフローチャートのステップＳ１０２において、第１実施形態での吐出量より多い量の塗布液Ｌａが吐出口２１から吐出される。具体的には、次のステップＳ１０３でスリットノズル２を下降した際のスリットノズル２の先端面２５とスプレッダ６１Ａとの間隔よりも広い突出幅で、塗布液Ｌａがスリットノズル２の先端面２５から下方へ突出する。そして、ステップＳ１０３でのスリットノズル２の下降後、ステップＳ１０４のリンス液の供給開始を省略して、ステップＳ１０５の除去ユニット６Ａの駆動が開始される（部材移動動作）。なお、この変形例ではリンス液Ｌｂを用いないため、スプレッダ６１Ａは液供給孔６１０を有さない。
【００７８】
この変形例での部材移動動作では、スプレッダ６１Ａの移動に伴ってスリットノズル２の先端面２５とスプレッダ６１Ａとの間に入り込んだ塗布液Ｌａは、これらの間から側方に追い遣られてスリットノズル２の傾斜面２６とスプレッダ６１Ａの傾斜面６１５との間に進入する。こうしてスプレッダ６１Ａは、スリットノズル２のリップ部２４に付着する塗布液Ｌａをリップ部２４の傾斜面２６に広げつつ清掃方向Ｄｃへ移動する。また、スクレーパ６１Ｂは、スプレッダ６１Ａにより広げられた塗布液Ｌａをリップ部２４の傾斜面２６から除去する。この際、スプレッダ６１Ａより広げられた塗布液Ｌａがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間の僅かな隙間に毛細管現象により入り込む。こうして、塗布液Ｌａがスクレーパ６１Ｂの傾斜面６１５とリップ部２４の傾斜面２６との間を満たして、これらの間に生じる摩擦力を緩和する。
【００７９】
以上の変形例では、スクレーパ６１Ｂをスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６に摺動させる際には、スプレッダ６１Ａにより予め広げられた塗布液Ｌａがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。その結果、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制することが可能となっている。
【００８０】
また、部材移動動作の開始前にスリットノズル２の吐出口２１から塗布液Ｌａが吐出され、スプレッダ６１Ａは吐出口２１から吐出された塗布液Ｌａを部材移動動作の実行中においてリップ部２４の傾斜面２６に広げる。かかる構成では、スリットノズル２の吐出口２１から吐出された塗布液Ｌａがスリットノズル２のリップ部２４の傾斜面２６とスクレーパ６１Ｂとの間に入り込んで潤滑剤として機能することができる。よって、スリットノズル２の清掃のためにスリットノズル２に摺動されるスクレーパ６１Ｂの磨耗を抑制することが可能となっている。
【００８１】
また、かかる変形例以外にも種々の変形を加えることができる。例えば上記第１・第２実施形態のクリーニング処理では、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液Ｌａを吐出するステップＳ１０２が設けられていた。しかしながら、このステップＳ１０２は省略しても構わない。
【００８２】
また、第１実施形態ではスプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂを一体的に清掃方向Ｄｃに移動させていた。しかしながら、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂをそれぞれ個別に清掃方向Ｄｃに移動させても良い。第２実施形態に対しても同様の変形が可能である。
【００８３】
また、スプレッダ６１Ａおよびスクレーパ６１Ｂが同一の外形を有することは必須ではなく、スプレッダ６１Ａおよびスプレッダ６１Ｃが同一の外形を有することも必須ではない。
【００８４】
スプレッダ６１Ａ、スクレーパ６１Ｂあるいはスプレッダ６１Ｃと、スリットノズル２のリップ部２４との間の間隔も適宜変更が可能である。したがって、第２実施形態において、スプレッダ６１Ａとリップ部２４との間隔ΔＡ２と比べて、スプレッダ６１Ａとリップ部２４との間隔ΔＡ２が狭くてもあるいは広くても構わない。
【００８５】
また、スプレッダ６１Ａ、スクレーパ６１Ｂあるいはスプレッダ６１Ｃの材料についても、適宜変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
この発明は、ノズルに付着する付着物を除去するノズル清掃技術全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１…塗布装置、
６…ノズル清掃装置、
６Ａ…除去ユニット、
６Ｂ…駆動ユニット、
６Ｅ…リンス液供給ユニット、
６１Ａ…スプレッダ、
６１Ｂ…スクレーパ、
６１Ｃ…スプレッダ、
６１０…液供給孔６１０、
６２…支持部、
２…スリットノズル、
２１…吐出口、
２４…リップ部、
２６…傾斜面、
Ｄｃ…清掃方向
【図１】
0006697324.tif 000002
【図２】
0006697324.tif 000003
【図３】
0006697324.tif 000004
【図４】
0006697324.tif 000005
【図５】
0006697324.tif 000006
【図６】
0006697324.tif 000007
【図７】
0006697324.tif 000008
【図８】
0006697324.tif 000009
【図９】
0006697324.tif 000010
【図１０】
0006697324.tif 000011
【図１１】
0006697324.tif 000012