(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理水の流路となる主配管と前記主配管に接続された分岐配管とを有するとともに、前記主配管において、前記分岐配管と前記主配管との接続部の開口を臨む位置に取付け孔が形成された被処理水配管と、
前記被処理水配管の前記取付け孔に水密的に取付けられたレンズと、
２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射する紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線照射装置とを備え、
前記紫外線発光ダイオードは、その光放出面を前記レンズ側に向けて、前記レンズの背面側に配置され、
前記レンズは、前記紫外線発光ダイオードから放射された前記紫外線を拡散又は収束させる光学特性を有し、かつ、前記紫外線の所定の光量が前記分岐配管の開口内に照射されるように配置され、
前記分岐配管に、前記被処理水の水質測定を行うための水質測定器が配置されていることを特徴とする紫外線殺菌装置。
【請求項２】
前記水質測定器が、前記被処理水の抵抗率を測定する抵抗率測定セルであることを特徴とする請求項１に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項３】
前記レンズは、前記紫外線発光ダイオードの放射する紫外線を拡散させる光学特性を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項４】
前記主配管に形成された取付け孔は、前記主配管と、前記分岐配管の前記主配管との接続部近傍の軸線とが交差する位置に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項５】
前記分岐配管は、前記分岐配管の前記主配管との接続部近傍の軸線が前記主配管の軸線に対して傾斜させて、前記主配管に接続されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項６】
前記レンズは、石英ガラスからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項７】
前記主配管は、超純水を製造する超純水製造システムに備えられることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の紫外線殺菌装置。
【請求項８】
被処理水の流路となる主配管と前記主配管に接続された分岐配管を有する被処理水配管の内壁面、及び前記被処理水配管内の被処理水を殺菌する紫外線殺菌方法であって、
前記主配管において、前記分岐配管と前記主配管との接続部の開口を臨む位置に取付け孔が形成され、前記取付け孔にレンズが水密的に取付けられており、
２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線発光ダイオードを光源として、前記光源から紫外線を放射し、
前記放射された紫外線を前記レンズによって拡散又は収束させて、前記紫外線の所定の光量を前記分岐配管の開口内に照射し、
前記分岐配管内に配置された、前記被処理水の水質測定を行うための水質測定器を用い、前記被処理水の水質を測定することを特徴とする紫外線殺菌方法。
【請求項９】
前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を備え、
前記一次純水製造部及び前記二次純水製造部がそれぞれ混床式イオン交換樹脂装置を備えた超純水製造システムであって、
前記混床式イオン交換樹脂装置で処理された処理水の流路となる主配管と前記主配管の少なくとも１つに接続された分岐配管とを有するとともに、前記主配管において、前記分岐配管と前記主配管との接続部の開口を臨む位置に取付け孔が形成された被処理水配管と、
前記被処理水配管の前記取付け孔に水密的に取付けられたレンズと、
２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射する紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線照射装置とを備え、
前記紫外線発光ダイオードは、その光放出面を前記レンズ側に向けて、前記レンズの背面側に配置され、
前記レンズは、前記紫外線発光ダイオードから放射された前記紫外線を拡散又は収束させる光学特性を有し、かつ、前記紫外線の所定の光量が前記分岐配管の開口内に照射されるように配置され、
前記分岐配管内に、前記被処理水の水質測定を行うための水質測定器が配置されていることを特徴とする超純水製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線殺菌装置及び紫外線殺菌方法に係り、特に、純水製造装置の流路の分岐部の殺菌に用いられる紫外線殺菌装置及び紫外線殺菌方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子（ＬＳＩ）の集積度の向上にともない、シリコン基板等の基板表面上への超純水中の極微量物質による汚染の影響が問題となっており、イオン状物質、微粒子、有機物、金属、溶存ガス等の不純物質の極めて少ない超純水が要求されている。特に、半導体製造工程において、洗浄水中の有機物は、熱処理工程で炭化して線間短絡や絶縁不良を起こす原因となるため、全有機炭素濃度（ＴＯＣ）の特に少ない超純水が求められている。
【０００３】
一般に、超純水製造システムは、前処理部と、一次純水製造部と、二次純水製造部とから構成されている。前処理部は、凝集・沈澱・ろ過装置などによって原水中の濁質やコロイド物質を除去して前処理水を生成する区画である。一次純水製造部は、例えば、逆浸透膜装置（ＲＯ）や２床３塔型装置等により、前処理水中の大部分のイオンなどの溶解性物質や微粒子を除去する区画である。二次純水製造部は、一次純水製造部で得られた一次純水の精密仕上げを目的とした最終段階の区画である。
【０００４】
このような超純水製造システムにおいては、イオン性の有機物は、イオン交換樹脂装置等によって吸着除去される。非イオン性の有機物は、紫外線酸化装置等によって、二酸化炭素と低分子量の有機酸に分解された後、生成した有機酸がイオン交換樹脂装置等によって吸着除去される。超純水の製造において除去対象となる有機物としては、原水由来の有機物の他、装置内の配管や、各装置内で生じる細菌や微生物由来の有機物がある。
【０００５】
有機物を分解する紫外線酸化装置としては、例えば、１８０〜１９０ｎｍあるいは２５０〜２６０ｎｍの波長の紫外線を放射する低圧紫外線ランプを用いた装置が一般的である。また、３６０〜４００ｎｍの波長を含む紫外線を放射する発光ダイオードと、光触媒を用いた紫外線酸化装置も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
また、光触媒を用いずに紫外線によって水の殺菌を行う方法として、加圧空間内を通流する液体又は気体に、紫外線を照射することで、大量のガスや加圧状態の液体を効率よく紫外線殺菌するための紫外線殺菌装置を用いる方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１３６３７２号公報
【特許文献２】特開２０１６−６４１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、一般的に、超純水製造システムは、被処理水の流路に分岐配管を有していることがあるが、この分岐配管の分岐部には、流速の低下や渦による水の滞留部分、いわゆる溜まり水が生じるおそれがある。このような溜まり水に細菌や微生物が滞留した場合、これらが配管壁面に付着して増殖し、やがてコロニーを形成し、さらにはバイオフィルムを生じ、洗浄によって除去することが困難になる。
【０００９】
従来の紫外線殺菌装置では、このような溜まり水を確実に殺菌できていないことがあり、効果が限定的であるという難点があった。また、紫外線を発する光源の形状が限られているうえに、分岐配管の溜まり水の領域に確実に紫外線を照射するための配慮がなされていないため、分岐配管内の微細空間内の溜まり水を殺菌することが極めて困難であった。
【００１０】
本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであって、分岐配管接続部等の微細空間の溜まり水を効果的に殺菌することのできる、紫外線殺菌装置、紫外線殺菌方法及び超純水製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の紫外線殺菌装置は、被処理水の流路となる主配管と前記主配管に接続された分岐配管とを有するとともに、前記主配管の前記分岐配管の接続部の開口を臨む位置に取付け孔の形成された被処理水配管と、前記被処理水配管の前記取付け孔に水密的に取付けられたレンズと、２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射する紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線照射装置とを備え、前記紫外線発光ダイオードは、その光放出面を前記レンズ側に向けて、前記レンズの背面側に配置され、前記レンズは、前記紫外線照射装置の光源から放射された前記紫外線の所定の光量が前記分岐配管の開口内に照射されるように前記紫外線を拡散又は収束させる光学特性を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の紫外線殺菌装置において、前記主配管に形成された取付け孔は、前記主配管と、前記分岐配管の末端部近傍の軸線とが交差する位置に形成されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の紫外線殺菌装置は、前記分岐管内に、被処理水の抵抗率を測定する抵抗率測定セルが配置されたことが好ましい。
【００１４】
本発明の紫外線殺菌装置において、前記分岐配管は、前記分岐配管の末端部近傍の軸線が前記主配管の軸線に対して傾斜させて前記主配管に接続されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の紫外線殺菌装置において、前記レンズは、前記紫外線発光ダイオードの放射する前記紫外線を拡散させる光学特性を有することが好ましい。また、前記レンズは、石英ガラスからなることが好ましい。
【００１６】
本発明の紫外線殺菌装置において、前記主配管は、超純水を製造する超純水製造システムに備えられることが好ましい。
【００１７】
本発明の紫外線殺菌方法は、被処理水の流路となる主配管と前記主配管に接続された分岐配管を有する被処理水配管の内壁面、及び前記被処理水配管内の被処理水を殺菌する紫外線殺菌方法であって、前記主配管の、前記分岐配管の接続部の開口を臨む位置に取付け孔を形成し、前記取付け孔にレンズを水密的に取付け、２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線発光ダイオードを光源として、前記光源から放射される紫外線を前記レンズによって拡散又は収束させて、前記光源から放射された前記紫外線の所定の光量を前記分岐配管の開口内に照射することを特徴とする。
【００１８】
本発明の超純水製造システムは、前処理部、一次純水製造部及び二次純水製造部を備え、前記一次純水製造部及び前記二次純水製造部がそれぞれ混床式イオン交換樹脂装置を備えた超純水製造システムであって、前記混床式イオン交換樹脂装置の処理水を排出する主配管と前記主配管の少なくとも１つに接続された分岐配管とを有するとともに、前記主配管の、前記分岐配管の接続部の開口を臨む位置に取付け孔の形成された被処理水配管と、前記被処理水配管の前記取付け孔に水密的に取付けられたレンズと、２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射する紫外線発光ダイオードを光源とする紫外線照射装置とを備え、前記紫外線発光ダイオードは、その光放出面を前記レンズ側に向けて、前記レンズの背面側に配置され、前記レンズは、前記紫外線照射装置の光源から放射された前記紫外線の所定の光量が前記分岐配管の開口内に照射されるように前記紫外線を拡散又は収束させる光学特性を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の紫外線殺菌装置、紫外線殺菌方法及び超純水製造システムによれば、分岐配管接続部等の微細空間の溜まり水を効果的に殺菌することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る紫外線殺菌装置を表す概略図である。
【図２】分岐配管内に抵抗率測定セルが挿入された場合の紫外線殺菌装置を表す概略図である。
【図３】実施形態に係る超純水製造システムを表わす概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、実施形態を詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る紫外線殺菌装置１を概略的に示す図である。紫外線殺菌装置１は、例えば、超純水製造システムにおいて、被処理水の流路となる主配管１３ａと、主配管１３ａに分岐して設けられた分岐配管１３ｂとを有する被処理水配管１３に備えられる。
【００２３】
主配管１３ａと分岐配管１３ｂの接続部の配管内に溜まり水が生じた場合、この溜まり水に細菌類１８が滞留し、配管壁面に付着して増殖するおそれがある。紫外線殺菌装置１は、紫外線発光ダイオードからの紫外線によってこの溜まり水中に混入する細菌類１８を分解、死滅させて、被処理水及び配管内壁面を殺菌するものである。
【００２４】
紫外線殺菌装置１は、波長２３０〜２９０ｎｍの発光ピーク波長を有する紫外線を放射する紫外線発光ダイオード１１を光源とする紫外線照射装置と、レンズ１２とを備えている。紫外線照射装置は、紫外線発光ダイオード１１を駆動させる電源装置１５を備えている。
【００２５】
紫外線発光ダイオード１１は、光放出面１１ａが、主配管１３ａ内に露出するように、主配管１３ａの壁面に設けられる。紫外線発光ダイオード１１は、主配管１３ａと、分岐配管１３ｂの接続部に紫外線を照射するように配置される。
【００２６】
紫外線発光ダイオード１１は、電源装置１５によって電力が供給されて紫外線を放射するものである。細菌類は、２３０〜２９０ｎｍの紫外線により分解あるいは死滅させることができる。そのため、紫外線発光ダイオード１１は、２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射するものであればよい。紫外線発光ダイオード１１は、２５０〜２６０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を放射することが好ましい。また、紫外線発光ダイオード１１は、上記波長の紫外線以外にも、２００ｎｍ付近に発光ピーク波長を有する紫外線を放射してもよい。
【００２７】
紫外線発光ダイオード１１は、例えば、紫外線を発光する半導体素子と、当該半導体素子を内包する透明封止樹脂を有している。この、透明封止樹脂の外表面が、光放出面１１ａを構成する。光放出面１１ａの形状は特に限定されず、略平面状であってもよく、ドーム状等の曲率を有する形状であってもよい。紫外線発光ダイオード１１は、チップ型、砲弾型のいずれであってもよいが、砲弾型であると、主配管１３ａに設置し易い。紫外線発光ダイオード１１の大きさは、例えば、光放出面１１ａの大きさが、４〜１６ｍｍ２程度である。光放出面１１ａの大きさが、上記範囲であると、主配管１３ａに設置し易く、また、発光ダイオード１１の放射する紫外線を照射領域外に拡散させずに、そのほとんどを、照射領域に向けて照射することができ、効率的である。
【００２８】
紫外線発光ダイオード１１の放射する紫外線は直進性が高い、すなわち、紫外線の広がり角が小さい方が好ましい。紫外線の直進性が高い方が、単位面積当たりの紫外線照射量を大きくして、殺菌効率を高めることができるためである。また、紫外線発光ダイオード１１の放射する紫外線の直進性が高いほど、後述のレンズ１２による光量及び照射領域の調節がし易くなる。紫外線発光ダイオード１１の放射する紫外線の広がり角は、紫外線を、照射領域に効率的に照射するために、例えば、４〜２０°とすることが好ましい。
【００２９】
紫外線発光ダイオード１１の紫外線放射量は、照射領域において細菌類を殺菌するのに必要な光量を得られる出力に調整することができる。照射領域における細菌類の増殖を防止するように、例えば、細菌類が２倍に増殖する時間内に、細菌類が死滅する光量の紫外線を照射できるように紫外線発光ダイオード１１の紫外線放射量を調整する。このとき、例えば、レンズ１２及び被処理水配管１３内の水による紫外線の減衰や散乱による光量の損失は４０〜６０％に設定することができる。紫外線発光ダイオード１１の紫外線放射量は、紫外線殺菌装置１の設置個所や、主配管１３ａ、分岐配管１３ｂの内径、被処理水の流量等にもよるが、照射領域における後述の光量を得るために、例えば、１ｍＷ〜３０ｍＷである。
【００３０】
レンズ１２は、紫外線発光ダイオード１１から放射される紫外線を収束又は発散させる光学特性を有する。これにより、レンズ１２は、紫外線発光ダイオード１１から放射される紫外線を所定の照射領域に所定の光量で照射する。照射領域は、細菌類の付着し易い領域であり、具体的には、分岐配管１３ｂの主配管１３ａとの接続部の開口内、及び当該開口の近傍である。レンズ１２により照射領域に照射される紫外線の光量は、照射領域に存在する細菌類を殺菌できる光量であり、例えば、５０００μＷ・ｓｅｃ／ｃｍ２〜５０００００μＷ・ｓｅｃ／ｃｍ２である。照射領域に照射される紫外線の光量は、小さすぎると、殺菌効果が不十分となることがあり、大きすぎると紫外線が照射される配管が劣化するおそれがある。
【００３１】
レンズ１２は、紫外線発光ダイオード１１の光放出面１１ａ上に配置されて、主配管１３ａ内に露出した光放出面１１ａを水密的に封止する。レンズ１２の材質は、耐水性を有し、かつ、紫外線発光ダイオード１１の放射する２３０〜２９０ｎｍに発光ピーク波長を有する紫外線を透過するものであり、例えば、天然石英ガラス、合成石英ガラス等の石英ガラスである。
【００３２】
レンズ１２の形状は、上記光学特性を有する形状であり、紫外線を照射しようとする照射領域の範囲や位置、照射領域に照射する紫外線の光量に応じて、適宜設計することができる。
【００３３】
レンズ１２の形状は、例えば、両主面を球面にしたレンズ、主面の一方を球面、他方を平面としたレンズ、主面の一方又は両者を球面及び平面以外の形状とした非球面レンズ等であるが、これに限定されない。例えば、レンズ１２は、紫外線発光ダイオード１１の放射する紫外線を収束させる凸レンズ、紫外線を発散させる凹レンズ等である。例えば、より直進性の高い紫外線発光ダイオード１１を用いる場合、紫外線発光ダイオード１１の放射する紫外線が、照射領域の全体に照射されるように、紫外線を発散させる凹レンズが使用可能である。
【００３４】
また、レンズ１２は、紫外線発光ダイオード１１から放射された紫外線の所定の光量が照射領域に照射されるように、厚みや大きさが設計される。
【００３５】
紫外線殺菌装置１は、例えば、被処理水配管１３の、分岐配管１３ｂの接続部の開口を臨む位置に取付け孔を設け、当該取付け孔にレンズ１２をはめ込み固定して、さらに、レンズ１２を介して紫外線が照射されるように、紫外線発光ダイオード１１を配置、固定することで設置される。
【００３６】
取付け孔は、主配管１３ａと、分岐配管１３ｂの末端部近傍の軸線Ｌｂが交差する位置に形成されることが好ましい。これにより、紫外線殺菌装置１は、分岐配管１３ｂの軸線Ｌｂと略平行方向に紫外線を照射するため、照射領域に、より大きな照射量の紫外線を照射することができる。
【００３７】
被処理水配管１３に設置される紫外線殺菌装置１の数は１つであっても２つ以上であってもよい。２つ以上の紫外線殺菌装置１を設置する場合には、所望の照射領域に集中して紫外線が照射されるように、各々レンズ１２の形状を設計する。２つ以上の紫外線殺菌装置１を用いることで、照射領域に照射される光量を増やすことができるので、殺菌効果の向上を得ることができる。
【００３８】
また、被処理水配管１３に２つ以上の紫外線殺菌装置１を設置する場合には、これらの紫外線殺菌装置１は、例えば、主配管１３ａの外周に沿って配置してもよいし、主配管１３ａの軸線Ｌａと平行に配置してもよい。また、２つ以上の紫外線殺菌装置１を設置する場合には、これら２つ以上の紫外線殺菌装置の紫外線放射量が上記好ましい範囲になるように設計する。
【００３９】
被処理水配管１３の主配管１３ａ及び分岐配管１３ｂは、超純水中への成分の溶出の少ない材料で構成される。このような材料は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ステンレス鋼等であるが、これらに限定されない。
【００４０】
分岐配管１３ｂは、例えば、主配管１３ａに設けられた接続口に、継手等によって接続される。また、上記材料によって、主配管１３ａと分岐配管１３ｂを有する形状の被処理水配管１３を作成して、使用してもよい。
【００４１】
被処理水配管１３において、分岐配管１３ｂには必要に応じて被処理水が通流されるように、バルブなどが介挿される。このバルブは例えば、水質を測定するためのサンプル水を採取するサンプリングバルブである。また、被処理水の水質を測定するために、分岐配管１３ｂに抵抗率計、導電率計、温度計等の水質測定機器が挿入されることもある。水質測定用のサンプル水に細菌類が混入した場合、水質を正確に測定できない。そのため、本実施形態の紫外線殺菌装置１は、水質測定用のサンプル水を採取する箇所や、主配管１３ａの、水質を測定する箇所に設置すると効果的である。
【００４２】
主配管１３ａと分岐配管１３ｂの接続態様は、例えば、分岐配管１３ｂの末端近傍の軸線Ｌｂが主配管１３ａの軸線Ｌａに対して略垂直の配置、分岐配管１３ｂの末端近傍の軸線Ｌｂが主配管１３ａの軸線Ｌａに対して傾斜させて接続された配置等であり、特に限定されない。
【００４３】
主配管１３ａ及び分岐配管１３ｂの内径は、主配管１３ａを設置する装置の構造に応じて適宜設定される。例えば、超純水製造装置では、主配管１３ａの内径は例えば１０〜２００ｍｍである。分岐配管１３ｂの内径は主配管１３ａより小さいと、溜まり水を生じやすいため、多大な効果が得られる。分岐配管１３ｂの内径は、例えば、５〜５０ｍｍである。
【００４４】
本実施形態の紫外線殺菌装置１によれば、主配管１３ａと分岐配管１３ｂの接続部分の溜まり水等を効果的に殺菌することができる。そのため、溜まり水での細菌や微生物の滞殖を防ぐことができる。また、紫外線の光源として、低圧紫外線ランプ等に比べて極めて小型の紫外線発光ダイオードを用いるため、設置個所や設置方法の自由度が高く、所望の照射領域を効果的に殺菌することができる。
【００４５】
図２に、抵抗率計等の水質測定器機の測定セルが分岐配管１３ｂ内に挿入された被処理水配管１３に設置される紫外線殺菌装置２を概略的に示す図である。図２において、図１に示す紫外線殺菌装置１と同様の機能を奏する構成には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４６】
紫外線殺菌装置２の設置される被処理水配管１３１では、分岐配管１３１ｂの末端近傍の軸線Ｌｃが主配管１３１ａの軸線Ｌｄに対して傾斜して接続されている。分岐配管１３１ｂには抵抗率計１９が配置されている。
【００４７】
抵抗率計１９は、被処理水と接触して抵抗率を測定する測定セル１９ａを備えており、測定セル１９ａが、分岐配管１３１ｂ内に挿入されて配置される。測定セル１９ａの近傍で細菌類が発生、増殖した場合、水質を正確に測定できなくなる。実施形態の紫外線殺菌装置２を設置することで、このような懸念を解消することができる。また、紫外線殺菌装置２は、紫外線発光ダイオード１１を光源としているため、小型化が容易であり、消費電力も小さい。そのため、分岐配管接続部等の微細空間の溜まり水を効率的かつ効果的に、殺菌することができる。
【００４８】
（超純水製造システム）
図３は、第１の実施形態の紫外線殺菌装置１を備えた超純水製造システム３を概略的に示す図である。超純水製造システム３は、前処理部３１、一次純水製造部４１、二次純水製造部５１を備えている。
【００４９】
前処理部３１は、凝集・ろ過・沈殿装置等を備えて、原水中の濁質分等を除去し、前処理水を生成するものである。原水は、市水、井水、工業用水等や、半導体製造工場で使用された超純水を回収して処理した使用済み超純水であるが、これらに限定されない。
【００５０】
一次純水製造部４１は、前処理水中のほとんどのイオン成分及び非イオン成分を除去して、一次純水を生成する。一次純水製造部４１は、陽イオン交換樹脂装置、脱炭酸塔及び陰イオン交換樹脂装置からなる２床３塔型装置（２Ｂ３Ｔ）４２、逆浸透膜装置（ＲＯ）４３、紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）４４、混床式イオン交換樹脂装置（ＭＢ）４５を備えている。一次純水製造部４１において、２床３塔型装置（２Ｂ３Ｔ）４２に代えて逆浸透膜装置（ＲＯ）を配置した、２段ＲＯ装置を用いてもよい。紫外線酸化装置４４は、例えば、被処理水に、低圧紫外線ランプ又は発光ダイオードによって、波長１８０〜１９０ｎｍにピーク波長を有する紫外線を照射して有機物を分解するものである。一次純水製造部４１で製造された一次純水はタンク４６に貯留される。
【００５１】
二次純水製造部５１は、タンク４６内の一次純水を供給して、該一次純水中の微量有機物や微量微粒子を除去する。二次純水製造部５１は、紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）５２、膜脱気装置（ＭＤＧ）５３、非再生型混床式イオン交換樹脂装置（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）５４、限外ろ過装置（ＵＦ）５５を組み合わせて構成される。二次純水製造部５１で得られた超純水は使用場所であるユースポイント（ＰＯＵ）５６に供給される。二次純水製造部５１で得られる超純水は、例えば、ＴＯＣ濃度が５μｇＣ／Ｌ以下、抵抗率が１７．５ＭΩ・ｃｍ以上である。
【００５２】
超純水製造システム３は、一次純水製造部４１の混床式イオン交換樹脂装置（ＭＢ）４５の後段と、二次純水製造部５１の、非再生型混床式イオン交換樹脂装置（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）５４の後段に、抵抗率計１９を備えている。混床式イオン交換樹脂装置（ＭＢ）４５の処理水の排出管（主配管１３ａ）及び非再生型混床式イオン交換樹脂装置（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）５４の処理水の排出管（主配管１３ａ）に、分岐配管１３ｂが接続され、分岐配管１３ｂにそれぞれ、測定セル１９ａが挿入されることで、抵抗率計１９が設置されている。
【００５３】
また、超純水製造システム３は、上記実施形態の紫外線殺菌装置１を備えている。紫外線殺菌装置１は、主配管１３ａの、分岐配管１３ｂの接続口と対向する壁面に、紫外線発光ダイオード１１の光放出面１１ａが位置するように設置されている。
【００５４】
超純水製造システム３における水質の測定に際して、測定セル１９ａの近傍で細菌類が発生、増殖した場合、水質を正確に測定できない。実施形態の紫外線殺菌装置１を設置することで、このような懸念を解消することができ、効果的である。また、紫外線殺菌装置１は、紫外線発光ダイオード１１を光源としているため、小型化が容易であり、消費電力も小さい。特に、極めて純度の高い超純水を製造する場合、分岐配管接続部等の微細空間の溜まり水を効果的に殺菌することで、水質向上効果も得られる。また、純度の高い超純水を製造する場合には、超純水製造システムのユニット数が多くなるが、実施形態の紫外線殺菌装置１によれば、設置態様の自由度が高く、設置スペースも小さくできるので、このような大型の超純水製造システムにも適している。
【００５５】
なお、超純水製造システム３では、混床式イオン交換樹脂装置（ＭＢ）４５の後段と、非再生型混床式イオン交換樹脂装置（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）５４の後段に、抵抗率計１９を設けた態様を示したが、抵抗率計１９の設置個所はこれに限られず、限外ろ過装置５５の後段に配置されてもよい。また、超純水製造システム３における抵抗率計１９の設置台数は、１台でもよく、２台以上であってもよい。抵抗率計１９の設置台数は、必要に応じて適宜設定される。また、必要に応じて、紫外線殺菌装置１の設置台数も適宜変更することができる。
【００５６】
また、超純水製造システム３では、抵抗率計１９の配置個所に紫外線殺菌装置１を設置する態様を示したが、例えば、水質測定機器として、導電率計を使用する場合には、逆浸透膜装置４３の後段等に、導電率計と紫外線殺菌装置１を組み合わせて設置される。水質測定機器として、温度計を使用する場合には、例えば、タンク４６の後段に設置される熱交換器（図示せず）の後段等に、温度計と紫外線殺菌装置１を組み合わせて設置される。これらの場合も、上記抵抗率計１９と紫外線殺菌装置１を組み合わせて用いた場合と同様の効果が得られる。
【符号の説明】
【００５７】
１，２…紫外線殺菌装置、３…超純水製造システム、１１…紫外線発光ダイオード、１１ａ…光放出面、１２…レンズ、１３，１３１…被処理水配管、１３ａ，１３１ａ…主配管、１３ｂ，１３１ｂ…分岐配管、１５…電源装置、１８…細菌類、１９…抵抗率計、１９ａ…測定セル、３１…前処理部、４１…一次純水製造部、４２…２床３塔型装置装置（２Ｂ３Ｔ）、４３…逆浸透膜装置（ＲＯ）、４４…紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）、４５…混床式イオン交換樹脂装置、４６…タンク、５１…二次純水製造部、５２…紫外線酸化装置（ＴＯＣ−ＵＶ）、５３…膜脱気装置（ＭＤＧ）、５４…非再生型混床式イオン交換樹脂装置（Ｐｏｌｉｓｈｅｒ）、５５…限外ろ過装置（ＵＦ）、５６…ユースポイント（ＰＯＵ）。
【図１】
0006697961.tif 000002
【図２】
0006697961.tif 000003
【図３】
0006697961.tif 000004