(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズマウントに着脱可能に取り付けられて被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットであって、
前記対物レンズマウントは、
中心軸方向に沿って延出し、前記対物レンズマウントに取り付けられる前記対物レンズユニットを前記中心軸方向に沿ってガイドするガイド部と、
前記中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、
前記対物レンズ挿入口の内側面に前記対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、
前記対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、前記中心軸と直交するフランジ端面と、
を備え、
前記ガイド部は、前記フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとともに、前記直管部における前記フランジ端面とは反対側の端部に連設され、前記フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備えるものであり、
前記対物レンズユニットは、
対物レンズと、
前記対物レンズを収納する鏡筒と
を備え、
前記鏡筒は、
前記鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが前記対物レンズマウントに取り付けられるときに、前記対物レンズマウントの前記ガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、
前記鏡筒の中心軸と直交し、前記直胴部の一端において端面を成す胴付き面と、
前記胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って前記対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、
を備え、
前記対物レンズマウントが備える前記内テーパ部における内径の変化幅をＬ１、前記胴付き面の幅をＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２であることを特徴とする、対物レンズユニット。
【請求項２】
前記直管部のフランジ端面の近傍に、直管部の内部と外部とを連通する通気孔が設けられたことを特徴とする、請求項１に記載の対物レンズユニット。
【請求項３】
前記直管部の中心軸方向の長さは、前記雄ネジ部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項１または２に記載の対物レンズユニット。
【請求項４】
前記直胴部の中心軸方向の長さは、前記直管部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の対物レンズユニット。
【請求項５】
前記直胴部と前記胴付き面との境界部に、テーパが形成された外テーパ部をさらに備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の対物レンズユニット。
【請求項６】
被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウントと、
請求項１から５のいずれか１項に記載の対物レンズユニットと、
前記対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系と
を備える光学式測定機であって、
前記対物レンズマウントは、
中心軸方向に沿って延出し、前記対物レンズマウントに取り付けられる前記対物レンズユニットを前記中心軸方向に沿ってガイドするガイド部と、
前記中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、
前記対物レンズ挿入口の内側面に前記対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、
前記対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、前記中心軸と直交するフランジ端面と、
を備え、
前記ガイド部は、前記フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとともに、前記直管部における前記フランジ端面とは反対側の端部に連設され、前記フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備え、
当該対物レンズマウントの中心軸が前記本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする、光学式測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は顕微鏡等の光学式測定機に対し取り付けられる対物レンズユニット、当該光学式測定機において対物レンズユニットを保持する対物レンズマウント、及び対物レンズユニットと対物レンズマウントを備える光学式測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学式測定機の一種である顕微鏡において、観察倍率を変更する方法は、１）ズーム光学系の様に顕微鏡内部の光学倍率を変更する方法、２）対物レンズを変更する方法、３）その両方を変更できる方法、の３種類に大別される。後者の２つの方法を採用する場合に、複数の対物レンズが予め取り付けられたレボルバを搭載する顕微鏡ではレボルバを回転させることによって倍率を変更し、レボルバを搭載しない顕微鏡においては変倍の都度、対物レンズを手動で脱着することによって倍率を変更する。
【０００３】
図５は従来の顕微鏡１への対物レンズユニット２０を取り付けるための取付機構の一例を示しており、図５（ａ）は、対物レンズユニット２０が取り外された状態、図５（ｂ）は対物レンズユニット２０が取り付けられた状態を示している。図５に示したように、対物レンズユニット２０は、鏡筒２２の胴付き面２２２から突設した雄ネジ部２２１を、雄ネジ部２２１と螺合する雌ネジ部１１２を有する対物レンズマウント１１にねじ込むことにより取り付けられるのが一般的である。この場合、対物レンズユニット２０を対物レンズマウント１１に取り付けるべく、雄ネジ部２２１を対物レンズマウント１１に近づける際に、対物レンズユニット２０の姿勢を注意深く目視して、対物レンズマウント１１と対物レンズユニット２０の仮想中心線を一致させ、ゆっくりとお互いのねじの先頭（引っ掛かり）を合わせつつ、対物レンズユニット２０の胴付き面２２２が対物レンズマウント１１のフランジ端面１１３に当接するまでねじ込むことで、取り付けが完了する。特許文献１には、このような対物レンズマウントを複数備えるレボルバを備え、当該レボルバに倍率の異なる複数の対物レンズを取り付け可能とした顕微鏡が開示されている。レボルバを備えない顕微鏡においても同様の対物レンズマウントが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−０４７９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、不注意等により雄ネジ部２２１と雌ネジ部１１２との引っ掛かりを確認しないでねじ込んだ場合や、対物レンズマウント１１の周囲に視界を妨げる構造（例えばリング照明機構等）が存在することによって引っ掛かりを目視できず、手探りで姿勢調整をせざるを得ない場合等には、図６に示したように、対物レンズマウント１１と対物レンズユニット２０の仮想中心線が合っていない状態で雄ネジ部２２１を雌ネジ部１１２にねじ込んでしまい、雄ネジ部２２１及び／または雌ネジ部１１２を破損してしまうことがあった。
【０００６】
本発明は、容易に正しく取り付けることが可能な対物レンズユニット、当該対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウント、およびこれらの対物レンズユニットと対物レンズマウントとを備える光学式測定機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）上記課題を解決するために、本発明に係る対物レンズマウントは、被測定物を観察するための対物レンズを備える対物レンズユニットが取り付けられる対物レンズマウントであって、中心軸方向に沿って延出し、対物レンズマウントに取り付けられる対物レンズユニットを中心軸方向に沿ってガイドするガイド部を備えたことを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、対物レンズユニットを対物レンズマウントに容易に正しく取り付けることができる。
【０００９】
（２）本発明の対物レンズマウントは、中心軸を中心とする円形の開口部である対物レンズ挿入口と、対物レンズ挿入口の内側面に対物レンズユニットと螺合する雌ネジが設けられた雌ネジ部と、対物レンズ挿入口の周縁部に設けられた円環状の平面であり、中心軸と直交するフランジ端面とをさらに備え、ガイド部は、フランジ端面の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部を備えるとよい。このようにすれば、直管部によって対物レンズユニットを中心軸に沿ってガイドし、雌ネジ部に対し正しい角度で雄ネジ部をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部と雌ネジ部とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。
【００１０】
（３）本発明の対物レンズマウントにおいて、直管部のフランジ端面の近傍に、直管部の内部と外部とを連通する通気孔が設けられるとよい。これにより、対物レンズユニットが取り付けられることにより密閉される空間内の空気が圧縮され、その反発力によって光軸方向への移動に抵抗が生じることを防ぐことができる。
【００１１】
（４）本発明の対物レンズマウントにおいて、ガイド部は、直管部におけるフランジ端面とは反対側の端部に連設され、フランジ端面から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部をさらに備えるとよい。これにより、取り付けられる対物レンズユニットを中心軸が一致するようにガイドすることができる。
【００１２】
（５）本発明に係る対物レンズユニットは、上記（２）から（４）のいずれかに記載の対物レンズマウントに着脱可能な対物レンズユニットであって、対物レンズと、対物レンズを収納する鏡筒とを備え、鏡筒は、鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが対物レンズマウントに取り付けられるときに、対物レンズマウントのガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、鏡筒の中心軸と直交し、直動部の一端において端面を成す胴付き面と、胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、を備え、直管部の中心軸方向の長さは、雄ネジ部の中心軸方向の長さ以上であることを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、（２）から（４）のいずれかに記載の対物レンズマウントに取り付ける際に、直胴部が直管部によってガイドされ、雌ネジ部に対し正しい角度で雄ネジ部をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部と雌ネジ部とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。
【００１４】
（６）本発明の対物レンズユニットにおいて、直胴部の中心軸方向の長さは、対物レンズマウントの直管部の中心軸方向の長さ以上とするとよい。これにより、直胴部が直管部内に入ってから胴付き面がフランジ端面に当接するまで、直管部によって確実にガイドされることができる。
【００１５】
（７）本発明に係る対物レンズユニットの他の例では、上記（４）に記載の対物レンズマウントに着脱可能な対物レンズユニットであって、対物レンズと、対物レンズを収納する鏡筒とを備え、鏡筒は、鏡筒の中心軸方向に一定の外径で延伸し、当該対物レンズユニットが対物レンズマウントに取り付けられるときに、対物レンズマウントのガイド部における直管部によって、対物レンズマウントの中心軸方向に沿った移動のみを許容されるようガイドされる直胴部と、鏡筒の中心軸と直交し、直動部の一端において端面を成す胴付き面と、胴付き面から円筒状に延出し、外側面に周方向に沿って対物レンズマウントの雌ネジ部と螺合する雄ネジが形成された雄ネジ部と、を備え、対物レンズマウントが備える内テーパ部における内径の変化幅をＬ１、胴付き面の幅をＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２であることを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、内テーパ部によって対物レンズユニットの中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するようにガイドすることができる。
【００１７】
（８）本発明の対物レンズユニットにおいて、直胴部と胴付き面との境界部に、テーパが形成された外テーパ部をさらに備えるとよい。これにより、外テーパ部が内テーパ部と当接して、対物レンズユニットの中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するように滑らかにガイドすることが可能となる。
【００１８】
（９）本発明に係る光学式測定機は、上記（２）から（４）のいずれかに記載の対物レンズマウントと、上記（５）または（６）に記載の対物レンズユニットと、対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系とを備え、対物レンズマウントは、当該対物レンズマウントの中心軸が本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする。
【００１９】
（１０）本発明に係る光学式測定機は、上記（４）に記載の対物レンズマウントと、上記（７）または（８）に記載の対物レンズユニットと、対物レンズユニットが有する対物レンズとともに被測定物を観察するための光学系を構成する本体側光学系とを備え、対物レンズマウントは、当該対物レンズマウントの中心軸が本体側光学系の光軸と一致するように配置されることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】顕微鏡１の本体１０における、対物レンズマウント１１の周辺の断面図である。
【図２】対物レンズユニット２０の断面図である。
【図３】雄ネジ部２２１が直管部１１５に挿入され触れた状態を示す模式的断面図である。
【図４】本体１０に対物レンズユニット２０を取り付ける様子を示す模式的な断面図である。
【図５】従来の顕微鏡１への対物レンズユニット２０を取り付けるための取付機構の一例を示している。
【図６】従来の取付機構において、対物レンズマウント１１と対物レンズユニット２０の仮想中心線が合っていないで取り付けようとした状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
【００２２】
顕微鏡１は、被測定物（図示略）を観察するための対物レンズ２１が鏡筒２２に収納された対物レンズユニット２０と、対物レンズユニット２０が取り付けられる本体１０とを備える。
【００２３】
図１は、光学式測定機の一例である顕微鏡１の本体１０における、対物レンズユニット２０が取り付けられる対物レンズマウント１１の周辺の断面図である。なお、図１では、本体側光学系１２の光軸方向を通る平面で顕微鏡１を切断している。
本体１０は、対物レンズユニット２０が取り付けられる対物レンズマウント１１と、本体側光学系１２とを備える。本体側光学系１２は、図１には詳細を図示しないが、ビームスプリッタ、レンズ、等により構成される。対物レンズマウント１１に対物レンズユニット２０が正しく取り付けられた状態において、本体側光学系１２は、対物レンズ２１とともに被測定物を観察するための光学系を構成する。
【００２４】
対物レンズマウント１１は、対物レンズ挿入口１１１と、フランジ端面１１３と、ガイド部１１４とを備える。対物レンズマウント１１は、その中心軸が本体側光学系１２の光軸と一致するように配置される。
対物レンズ挿入口１１１は、中心軸を中心とする円形の開口部である。対物レンズ挿入口１１１の内側面には、対物レンズユニットの雄ネジ部２２１と螺合する雌ネジ部１１２が設けられる。フランジ端面１１３は、対物レンズ挿入口１１１の周縁部に設けられた円環状の平面であり、この平面は中心軸と直交する。
【００２５】
ガイド部１１４は、対物レンズマウント１１に取り付けられる対物レンズユニット２０を対物レンズマウント１１の中心軸方向（すなわち、本体側光学系１２の光軸方向）に沿ってガイドする。ガイド部１１４は、中心軸に沿ってフランジ端面１１３の外縁部から延出する。ガイド部１１４は、フランジ端面１１３の外縁部から延出し一定の内径を有する直管部１１５と、直管部１１５におけるフランジ端面１１３とは反対側の端部に連設され、フランジ端面１１３から離れるほど内径が大きくなるようにテーパが形成された内テーパ部１１６とを備える。直管部１１５の中心軸は対物レンズマウント１１の中心軸である。内テーパ部１１６のテーパは、例えば４５度の勾配角とするとよい。内テーパ部１１６によって、取り付けられる対物レンズユニット２０を、その中心軸が対物レンズマウントの中心軸と一致するようにガイドすることができる。また、直管部１１５におけるフランジ端面１１３の近傍には、直管部１１５の内部と外部とを連通する通気孔１１７が設けられる。通気孔１１７を設けない場合、対物レンズユニット２０をガイド部１１４でガイドしつつ中心軸方向に移動させる際に、対物レンズユニット２０が取り付けられることにより密閉される空間内の空気が圧縮され、その反発力によって中心軸方向への移動に抵抗が生じる。通気孔１１７は、対物レンズユニット２０が取り付けられることにより密閉される空間と外部とを連通させることにより、対物レンズユニット２０の移動によって内圧が高まることを防ぎ、対物レンズユニット２０が円滑に移動することを可能とする。
【００２６】
図２は、対物レンズユニット２０の断面図である。対物レンズユニット２０は、被測定物を観察するための対物レンズ２１と、この対物レンズ２１を収納する鏡筒２２とを備える。対物レンズ２１は、本体側光学系１２ととともに被測定物を観察するための光学系を構成する。対物レンズ２１は１枚の場合もあるし複数枚のレンズによるレンズ群である場合もある。鏡筒２２は、略円筒形に形成され、その中心軸と収納する対物レンズ２１の光軸とが一致し、かつ、胴付き面２２２から中心軸方向に所定の距離に位置するように対物レンズ２１を保持する。
【００２７】
鏡筒２２は、本体１０に取り付けられる側の端部に、周方向に沿って雄ネジが形成される雄ネジ部２２１を有している。この雄ネジ部２２１は、対物レンズマウント１１の雌ネジ部１１２と螺合する。雄ネジ部２２１は、鏡筒２２の中心軸と直交する胴付き面２２２から延出する。胴付き面２２２は鏡筒２２の中心軸方向に一定の外径で延伸する直胴部２２３の一端において端面を成す。胴付き面２２２は、対物レンズユニット２０が対物レンズマウント１１に取り付けられたときに、フランジ端面１１３と当接する円環状の平面である。直胴部２２３と胴付き面２２２との境界部には、面取りされてテーパが形成された外テーパ部２２４が設けられる。外テーパ部２２４のテーパは、例えば４５度の勾配角とするとよい。
【００２８】
直胴部２２３は、対物レンズユニット２０が本体の対物レンズマウント１１に取り付けられるときに、ガイド部１１４における直管部１１５によって、対物レンズマウント１１の中心軸方向（すなわち、本体側光学系の光軸方向）に沿った移動のみを許容されるようガイドされる部位である。したがって、直胴部２２３の外径は、直管部１１５の内径よりも直管部１１５内を摺動可能な微小なクリアランスが得られる程度（例えば０．１ｍｍ）小さく形成される。直胴部２２３の他端には、直胴部２２３より大径の拡径部２２５が設けられる。拡径部２２５は、対物レンズユニット２０を対物レンズマウント１１に対する取り付け及び取り外しする際に、把持される部位である。把持しやすいように、拡径部２２５の外径はガイド部１１４の外径と同程度以上とするとよい。
【００２９】
ガイド部１１４が、対物レンズユニット２０を円滑に対物レンズマウントの中心軸方向に沿ってガイドすることができるよう、ガイド部１１４と鏡筒２２とは、次のような寸法関係を有する。
【００３０】
直管部１１５の中心軸方向の長さは、雄ネジ部２２１の中心軸方向の長さ以上とされる。このようにすれば、雄ネジ部２２１が対物レンズ挿入口１１１に螺入される直前の位置において、対物レンズユニット２０を、その中心軸と対物レンズマウント１１の中心軸（すなわち本体側光学系１２の光軸）とが一致するようにガイドすることができる。したがって、直管部１１５によって対物レンズユニット２０を中心軸に沿ってガイドし、雌ネジ部１１２に対し正しい角度で雄ネジ部２２１をアプローチさせることができる。その結果、雄ネジ部２２１と雌ネジ部１１２とを確実に正しく螺合させることができ、ネジの破損を防ぐことができる。実際の設計においては、直管部１１５の中心軸方向の長さは、ネジが破損しないために許容される対物レンズユニット２０の中心軸と対物レンズマウント１１の中心軸のずれ量、及び直管部１１５と直胴部２２３とのクリアランスに基づいて決定するとよい。
【００３１】
直胴部２２３の中心軸方向の長さは、直管部１１５の中心軸方向の長さ以上とされる。このようにすれば、直胴部２２３が直管部１１５内に入ってから胴付き面２２２がフランジ端面１１３に当接するまで、直管部１１５によって確実にガイドすることができる。
【００３２】
図３に示したように、雄ネジ部２２１が直管部１１５の内側面に触れた状態で、直胴部２２３と胴付き面２２２のエッジに設けられた外テーパ部２２４が、ガイド部１１４の内テーパ部１１６と当接することができる関係とされる。具体的には、内テーパ部１１６における内径の変化幅（つまり、直管部１１５の内径と内テーパ部１１６の最大内径との差）をＬ１、胴付き面２２２の幅（つまり、円環状である胴付き面２２２の内径と外径の差）をＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２とすることが好ましい。雄ネジ部２２１の外径は直管部１１５の内径よりも小さいため、比較的容易に雄ネジ部２２１を直管部１１５内に挿入することができる。しかし、直胴部２２３の外径と直管部１１５の内径はほぼ等しいため、直胴部２２３を直管部１１５内に挿入するのは必ずしも容易ではない。上記の寸法関係とすることで、外テーパ部２２４が内テーパ部１１６に沿ってガイドされ、対物レンズユニット２０の中心軸が対物レンズマウント１１の中心軸と一致するようにガイドされる。これにより、雄ネジ部２２１が直管部１１５に挿入された状態から直胴部２２３を直管部１１５内に円滑に導くことができる。なお、外テーパ部２２４を設けずとも、単にＬ１≧Ｌ２とすることもできるが、この場合、直管部１１５と胴付き面２２２の境界のエッジが内テーパ部１１６に当接することとなり、滑らかにガイドしにくい。これに対し、外テーパ部２２４を設けることで外テーパ部２２４が内テーパ部１１６と当接して滑らかにガイドすることが可能となる。
【００３３】
また、内テーパ部１１６の勾配角と外テーパ部２２４の勾配角は等しく（例えば両方とも４５度）するとよい。これにより、内テーパ部１１６と外テーパ部２２４とが接したときに、対物レンズユニット２０の中心軸が対物レンズマウント１１の中心軸と平行になり易く、内テーパ部１１６に沿って対物レンズユニット２０をガイドしたときに、直胴部２３を直管部１１５内に導くことができる。
【００３４】
図４は、本体１０に対物レンズユニット２０を取り付ける様子を示す模式的な断面図である。
はじめに、図４（ａ）に示したように、ガイド部１１４の端部に鏡筒２２の雄ネジ部２２１が挿入される。このとき、対物レンズユニット２０の中心軸が対物レンズマウント１１の中心軸からずれていると、外テーパ部２２４が内テーパ部１１６に当接する。この状態から対物レンズユニット２０を押し込もうとすると、内テーパ部１１６の勾配により対物レンズユニット２０の中心軸が対物レンズマウント１１の中心軸と一致するようにガイドされ、直胴部２２３が直管部１１５に入るように導かれる。
【００３５】
図４（ｂ）に示したように、直胴部２２３が直管部１１５に嵌ると、直胴部２２３は直管部１１５内を本体側光学系１２の光軸方向に沿ってガイドされる。この状態で鏡筒２２を摺動させ、雄ネジ部２２１が対物レンズ挿入口１１１の雌ネジ部１１２に当たる位置まで移動させる。対物レンズユニット２０が取り付けられることにより密閉される空間は対物レンズユニット２０の移動によって圧縮されるが、通気孔１１７によって内外の空間が連通しているため、内圧が高まることはなく、直胴部２２３はガイド部１１４内を円滑に摺動することができる。
【００３６】
続いて、図４（ｃ）に示したように、対物レンズユニット２０を回転させて雄ネジ部２２１と雌ネジ部１１２と螺合させ、胴付き面２２２とフランジ端面１１３とが当接するまでねじ込む。これにより、本体１０への対物レンズユニット２０の取り付けが完了する。対物レンズユニット２０の取り付けが完了した状態では、通気孔１１７は直胴部２２３によって塞がれるので、対物レンズユニット２０が取り付けられることにより密閉される空間に埃やオイルミスト等が混入するのを防ぐことができる。
【００３７】
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、光学式測定機として顕微鏡を用いているが、画像測定装置等、対物レンズを着脱する光学式測定機であればその種類は問わず適用可能である。
【００３８】
また、上記実施形態では通気孔１１７を直管部１１５におけるフランジ端面１１３の近傍に設けたが、対物レンズユニット２０が取り付けられることにより密閉される空間の内外が連通すれば、他の場所に通気手段を設けてもよい。例えば、直管部１１５や直胴部２２３に中心軸方向に沿って通気用の溝を設けてもよいし、対物レンズユニット２０が取り付けられた状態で塞がれない位置に通気孔を設けてもよい。
【００３９】
また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上のように、本発明は、対物レンズユニットを着脱可能な光学式測定機に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００４１】
１…顕微鏡
１０…本体
１１…対物レンズマウント
１１１…対物レンズ挿入口
１１２…雌ネジ部
１１３…フランジ端面
１１４…ガイド部
１１５…直管部
１１６…内テーパ部
１１７…通気孔
１２…本体側光学系
２０…対物レンズユニット
２１…対物レンズ
２２…鏡筒
２２１…雄ネジ部
２２２…胴付き面
２２３…直胴部
２２４…外テーパ部
２２５…拡径部
【図１】
0006697330.tif 000002
【図２】
0006697330.tif 000003
【図３】
0006697330.tif 000004
【図４】
0006697330.tif 000005
【図５】
0006697330.tif 000006
【図６】
0006697330.tif 000007