(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体を支持する支持手段と、
前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段と、
前記支持手段上を移動しながら前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収手段とを備え、
前記支持手段は、前記回収手段による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方が許容可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記支持手段は、前記被着体を支持する被着体支持手段と、当該被着体支持手段の外側に位置し前記不要シートを支持する不要シート支持手段と、前記被着体支持手段および前記不要シート支持手段を相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記不要シート支持手段は、前記被着体を出し入れ可能な開口を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記被着体支持手段および、当該被着体支持手段に支持された支持対象物の少なくとも一方の表面を清掃する清掃手段を備えていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のシート貼付装置。
【請求項５】
被着体を支持手段で支持する支持工程と、
前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧工程と、
前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断工程と、
前記支持手段上を移動しながら前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収工程とを備え、
前記回収工程による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方を実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に接着シートを貼付するとともに、当該接着シートを所定形状に切断可能なシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１９２３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置は、被着体を支持する支持手段へ被着体を搬入する動作および、接着シートが貼付された被着体を支持手段から搬出する動作が、接着シートの切断により生じた不要シートを回収する動作と別々に行われるため、単位時間当たりに被着体に接着シートを貼付する貼付能力（以下、単に「処理能力」という）が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、被着体を支持する支持手段と、前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段と、前記支持手段上を移動しながら前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収手段とを備え、前記支持手段は、前記回収手段による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方が許容可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置において、前記支持手段は、前記被着体を支持する被着体支持手段と、当該被着体支持手段の外側に位置し前記不要シートを支持する不要シート支持手段と、前記被着体支持手段および前記不要シート支持手段を相対的に移動させる移動手段とを備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記不要シート支持手段は、前記被着体を出し入れ可能な開口を備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置は、前記被着体支持手段および、当該被着体支持手段に支持された支持対象物の少なくとも一方の表面を清掃する清掃手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
本発明のシート貼付方法は、被着体を支持手段で支持する支持工程と、前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧工程と、前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断工程と、前記支持手段上を移動しながら前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収工程とを備え、前記回収工程による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方を実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、不要シートの回収中に、支持手段への被着体の搬入および、支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方を行うことができるので、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止することができる。
【００１０】
また、被着体支持手段を不要シート支持手段に対して移動可能に設ければ、不要シート支持手段で支持した不要シートを回収手段で回収している際、接着シート部分が貼付された被着体を不要シートや回収手段から切り離し、支持手段から被着体を搬出したり、支持手段へ別の被着体を搬入したりすることができるので、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止することができる。
また、不要シート支持手段が開口を備えていれば、当該開口を介して支持手段への被着体の搬入や支持手段からの被着体の搬出を行うことができる。
また、清掃手段を設ければ、被着体支持手段や被着体の被着面を清掃できるので、被着体に塵や埃などが付着することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持手段２０と、支持手段２０で支持されたウエハＷＦの被着面ＷＦ１に臨む位置に接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３０と、支持手段２０で支持されたウエハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段４０と、ウエハＷＦに接着シート部分ＡＳ１（図２参照）が残るように当該ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを所定形状に切断する切断手段５０と、接着シートＡＳにおける接着シート部分ＡＳ１以外の不要シートＵＳを回収する回収手段６０と、ウエハＷＦを移送する移送手段７０とを備えている。
【００１４】
支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面２１Ａを備え、ウエハＷＦを支持する被着体支持手段としての内側テーブル２１と、内側テーブル２１の外側に位置し不要シートＵＳを支持する不要シート支持手段としての外側テーブル２２と、内側テーブル２１および外側テーブル２２を相対的に移動させる移動手段であって、その出力軸２３Ａで内側テーブル２１を支持する駆動機器としての直動モータ２３とを備え、回収手段６０による不要シートＵＳの回収中に、支持手段２０からのウエハＷＦの搬出が許容可能に設けられている。
外側テーブル２２は、内側テーブル２１で支持されたウエハＷＦと共に接着シートＡＳが貼付され、切断手段５０の切断によって形成された不要シートＵＳを支持する不要シート支持面２２Ａと、その内部で直動モータ２３を支持する凹部２２Ｂと、凹部２２Ｂの後側面に設けられ、ウエハＷＦを出し入れ可能な開口２２Ｃとを備え、図示しない駆動機器によって昇降可能に設けられている。
【００１５】
繰出手段３０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２Ａ、３２Ｂと、ガイドローラ３２Ａとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材３３Ｂをその出力軸３３Ａで支持する駆動機器としての直動モータ３３と、ガイドローラ３２Ｂを支持し、接着シートＡＳの張力を測定可能な張力検出手段としてのロードセル３４Ａと、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板３４Ｂと、駆動機器としての回動モータ３５Ａによって駆動され、ピンチローラ３５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、図示しない駆動機器によって駆動され、所定の張力で剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３６と、当該繰出手段３０を構成する前述の構成部材のうち支持ローラ３１および回収ローラ３６以外の各部材を支持するフレーム３７と、その図示しないスライダでフレーム３７を支持し、駆動機器としてのリニアモータ３９のスライダ３９Ａ（図２参照）に支持された駆動機器としてのリニアモータ３８とを備えている。
【００１６】
押圧手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａにブラケット４２を介して支持された駆動機器としての直動モータ４３と、直動モータ４３の出力軸４３Ａにブラケット４３Ｂを介して回転可能に支持され、接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に押圧する押圧部材としての押圧ローラ４４とを備えている。
【００１７】
切断手段５０は、駆動機器としての多関節ロボット５１と、多関節ロボット５１の作業アーム５１Ａに着脱自在に支持された切断刃５２（図２参照）とを備えている。多関節ロボット５１は、その作業範囲内において作業アーム５１Ａに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。
【００１８】
回収手段６０は、リニアモータ４１のスライダ４１Ｂに支持されたフレーム６１と、フレーム６１に支持された駆動機器としての回動モータ６２によって駆動され、ピンチローラ６４とで不要シートＵＳを挟み込む駆動ローラ６３と、図示しない駆動機器によって駆動され、所定の張力で不要シートＵＳを回収する回収ローラ６５とを備えている。
【００１９】
移送手段７０は、多関節ロボット５１と、多関節ロボット５１の作業アーム５１Ａに着脱自在に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な吸着ツール７１とを備えている。
【００２０】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１に接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段３０および回収手段６０が回動モータ３５Ａおよび６２を駆動し、剥離シートＲＬおよび接着シートＡＳを巻き取り、支持手段２０上に位置する接着シートＡＳの張力が所定値となったことがロードセル３４Ａによって検知されると、回動モータ３５Ａおよび６２の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。その後、移送手段７０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール７１でウエハＷＦを吸着保持した後、開口２２Ｃ内に吸着ツール７１を差し込んでウエハＷＦを支持面２１Ａ上に載置すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。次に、押圧手段４０が直動モータ４３を駆動し、押圧ローラ４４を下降させて接着シートＡＳを不要シート支持面２２Ａに所定の押圧力で押圧する。このとき、支持手段２０上に位置する接着シートＡＳの張力の上昇がロードセル３４Ａによって検知されると、繰出手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、剥離シートＲＬを巻き取ることで接着シートＡＳを繰り出し、当該接着シートＡＳの張力を所定値に保つ制御が行われる。次いで、繰出手段３０が直動モータ３３を駆動し、押付部材３３Ｂとガイドローラ３２Ａとで接着シートＡＳを挟み込み、当該接着シートＡＳの繰り出しを抑制する。
【００２１】
そして、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、図２に示すように、内側テーブル２１を上方に移動させた後、押圧手段４０がリニアモータ４１を駆動し、押圧ローラ４４を右方に移動させ、当該押圧ローラ４４で接着シートＡＳを被着面ＷＦ１および不要シート支持面２２Ａに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ４４の移動に伴って、接着シートＡＳにさらなる張力が加わるが、ロードセル３４Ａがそれを検知した瞬間に、繰出手段３０がリニアモータ３８、３９を駆動し、ロードセル３４Ａで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム３７を左右方向および上下方向へ移動させる制御が行われる。なお、接着シートＡＳの貼付動作中に、切断手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、吸着ツール７１から切断刃５２にツール交換を行う。
【００２２】
接着シートＡＳの貼付が完了すると、切断手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、切断刃５２を接着シートＡＳに突き刺し、当該切断刃５２をウエハＷＦの外周に沿って移動させる。これにより、ウエハＷＦ上に接着シート部分ＡＳ１が残り、当該接着シート部分ＡＳ１の外周に不要シートＵＳが形成される。次いで、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、内側テーブル２１を初期位置に復帰させるとともに、移送手段７０が多関節ロボット５１を駆動し、切断刃５２から吸着ツール７１にツール交換を行う。また、回収手段６０および押圧手段４０が回動モータ６２およびリニアモータ４１を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、フレーム６１を右方向に移動させて不要シートＵＳを回収する。そして、回収手段６０で不要シートＵＳを回収している最中に、移送手段７０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、開口２２Ｃ内に吸着ツール７１を差し込んで当該吸着ツール７１でウエハＷＦを吸着保持し、内側テーブル２１からウエハＷＦを次工程に搬出する。
【００２３】
その後、支持手段２０が図示しない駆動機器を駆動し、外側テーブル２２を下降させて不要シート支持面２２Ａから不要シートＵＳを剥離させる。次いで、繰出手段３０が直動モータ３３を駆動し、押付部材３３Ｂとガイドローラ３２Ａとによる接着シートＡＳの挟み込みを解除する。そして、回収手段６０が回動モータ６２の駆動を停止させた状態で、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。この復帰動作により、所定の繰出量の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されて支持手段２０上に配置され、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような実施形態によれば、不要シートＵＳの回収中に、支持手段２０へのウエハＷＦの搬入および、支持手段２０からのウエハＷＦの搬出の少なくとも一方を行うことができるので、単位時間当たりの処理能力が低下することを防止することができる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２６】
例えば、シート貼付装置１０は、図１中二点鎖線で示すように、内側テーブル２１に支持された支持対象物としてのウエハＷＦの表面である被着面ＷＦ１を清掃する清掃手段８０を備えていてもよい。このような清掃手段８０は、凹部２２Ｂ内に設けられた駆動機器としてのリニアモータ８１のスライダ８１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ８２と、直動モータ８２の出力軸８２Ａにブラケット８３Ａを介して支持された除去部材としての粘着ローラ８３とを備えた構成が例示でき、移送手段７０がウエハＷＦを支持面２１Ａ上に載置した後、清掃手段８０がリニアモータ８１および直動モータ８２を駆動し、粘着ローラ８３を被着面ＷＦ１に付勢しつつ左右方向に往復移動させることができる。これにより、被着面ＷＦ１を清掃できる上、ウエハＷＦの姿勢を支持面２１Ａに沿って矯正することもできる。なお、清掃手段８０は、内側テーブル２１の支持面２１Ａを清掃してもよいし、支持面２１ＡとウエハＷＦの被着面ＷＦ１との両方を清掃してもよいし、支持対象物を接着シート部分ＡＳ１が貼付されたウエハＷＦとし、当該接着シート部分ＡＳ１の表面を清掃してもよい。
清掃手段８０は、除去部材としてブラシやブレード材を採用してもよいし、加圧ポンプやタービン等の気体吹付手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段等を採用してもよいし、なくてもよい。
【００２７】
支持手段２０は、回収手段６０による不要シートＵＳの回収中に、支持手段２０へのウエハＷＦの搬入が許容可能に設けられていてもよく、この場合、シート貼付装置１０は、切断手段５０が接着シートＡＳを所定形状に切断し、移送手段７０が支持面２１Ａ上のウエハＷＦを次工程に移送した後、回収手段６０が回動モータ６２およびリニアモータ４１を駆動し、フレーム６１を右方向に移動させて不要シートＵＳを回収する。そして、回収手段６０で不要シートＵＳを回収している最中に、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、内側テーブル２１を初期位置に復帰させるとともに、移送手段７０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール７１でウエハＷＦを支持面２１Ａ上に載置してもよい。なお、回収手段６０で不要シートＵＳを回収している最中に、上記実施形態のように、移送手段７０が支持面２１Ａ上のウエハＷＦを次工程に移送した後、別のウエハＷＦを支持面２１Ａに載置してもよい。
支持手段２０は、内側テーブル２１を上方に移動させた際、被着面ＷＦ１が不要シート支持面２２Ａと同一平面内に位置するように配置してもよいし、押圧ローラ４４で被着面ＷＦ１および不要シート支持面２２Ａに接着シートＡＳが貼付できる範囲内であれば、被着面ＷＦ１が不要シート支持面２２Ａよりも上方または下方に位置するように配置してもよい。
内側テーブル２１は、支持面２１Ａに対して突没自在な支持ピンやリフタ等の受取手段を設け、当該受取手段で移送手段７０からウエハＷＦを受け取ってもよい。
外側テーブル２２は、複数の開口２２Ｃを備えていてもよいし、開口２２Ｃを備えていなくてもよく、開口２２Ｃを備えていない場合、内側テーブル２１と外側テーブル２２との間にウエハＷＦを搬入、搬出ができる隙間があればよい。
移動手段は、内側テーブル２１を固定または移動させつつ、外側テーブル２２を移動させてもよいし、直動モータ２３に代えて内側テーブル２１を回動させる駆動機器を採用し、内側テーブル２１を凹部２２Ｂ内で回動させて支持面２１Ａの姿勢を垂直にしたり、斜めにしたりしてもよく、この場合、内側テーブル２１の回動角度に合わせて、開口２２Ｃを縦長や斜めに形成してもよい。
【００２８】
繰出手段３０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出す構成でもよく、この場合、剥離板３４Ｂはなくてもよいし、枚葉の接着シートＡＳを繰り出してもよい。
繰出手段３０は、支持ローラ３１および回収ローラ３６のうち少なくとも一方がフレーム３７に支持されていてもよいし、リニアモータ３８、３９を上下方向および左右方向の各々に対して傾斜して延設してもよいし、それらを互いに直交しない方向に延設してもよいし、リニアモータ３８のスライダでリニアモータ３９を支持し、リニアモータ３９のスライダ３９Ａでフレーム３７を支持してもよいし、張力検出手段として圧力センサやレギュレータ等、接着シートＡＳの張力を測定可能なものであれば何を採用してもよいし、支持ローラ３１をロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ３３を省いてもよいし、リニアモータ３８、３９を採用することなく、押圧ローラ４４の右方への移動に伴い、支持ローラ３１から原反ＲＳを繰り出す構成としてもよい。
【００２９】
切断手段５０は、ウエハＷＦ上に残す接着シート部分ＡＳ１の形状として、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１と同形状に切断することなく、異なる形状に切断したり、被着面ＷＦ１よりも大きく切断したり、被着面ＷＦ１よりも小さく切断したりしてもよい。
【００３０】
回収手段６０は、駆動ローラ６３およびピンチローラ６４を採用することなく、外側テーブル２２から直接回収ローラ６５で不要シートＵＳを回収する構成としてもよいし、フレーム６１や回収ローラ６５等を被着面ＷＦ１に沿って移動させることなく不要シートＵＳを回収する構成としてもよい。
【００３１】
移送手段７０は、内側テーブル２１を先に上昇させた後、開口２２Ｃを通さずに上方から支持面２１Ａ上にウエハＷＦを載置してもよいし、切断手段５０とは別体の独立した構成としてもよいし、他の装置で被着体の移送を行う場合、なくてもよい。
【００３２】
また、本発明における接着シートＡＳ、ウエハＷＦ上に残す接着シート部分ＡＳ１および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよびウエハＷＦ上に残す接着シート部分ＡＳ１は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、押圧手段は、被着体に接着シートを押圧して貼付するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１０    シート貼付装置
２０    支持手段
２１    内側テーブル（被着体支持手段）
２２    外側テーブル（不要シート支持手段）
２２Ｃ  開口
２３    直動モータ（移動手段）
４０    押圧手段
５０    切断手段
６０    回収手段
８０    清掃手段
ＡＳ    接着シート
ＡＳ１  接着シート部分
ＵＳ    不要シート
ＷＦ    ウエハ（被着体）
ＷＦ１  被着面（表面）
【図１】
0006678516.tif 000002
【図２】
0006678516.tif 000003