(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を乾燥させる乾燥室と、
該乾燥室に基板を搬入する搬入手段と、
前記乾燥室から基板を搬出する搬出手段とを備えた乾燥装置であって、
前記乾燥室が、
基板が載置される複数段の棚部と、
これら各棚部に重ねて配置される基板押え手段と、
前記各棚部に対応して設けられた搬入用開閉扉と、
前記各棚部に対応して設けられた搬出用開閉扉と、
前記複数段の棚部に載置される基板の各辺に沿った一定方向に風を送り出す送風手段と、
前記乾燥室内の気体を吸引する吸引手段とを備え、
前記搬入手段が、前記棚部と前記基板押え手段との間に基板を搬入するように構成され、
前記搬出手段が、前記棚部と前記基板押え手段との間から基板を搬出するように構成されていることを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記棚部が、
前記搬入用開閉扉側に設けられた搬入側下枠部と、
前記搬出用開閉扉側に設けられた搬出側下枠部と、
前記搬入側下枠部と前記搬出側下枠部との間に架設された複数の桟部材とを含み、
前記搬入手段が、
基板が載置される搬入用フォーク部と、
該搬入用フォーク部を昇降させる昇降手段と、
前記搬入用フォーク部を水平方向に移動させる水平移動手段とを備え、
前記搬出手段が、
基板が載置される搬出用フォーク部と、
該搬出用フォーク部を昇降させる昇降手段と、
前記搬出用フォーク部を水平方向に移動させる水平移動手段とを備え、
前記搬入用フォーク部と前記搬出用フォーク部とが、前記複数の桟部材の間を昇降可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記搬入側下枠部に前記搬入用開閉扉が起倒回動可能に取り付けられ、
前記搬出側下枠部に前記搬出用開閉扉が起倒回動可能に取り付けられ、
前記搬入用開閉扉の下辺部に、前記搬入用フォーク部の先端部で押下げ可能な押下片が形成され、
前記搬出用開閉扉の下辺部に、前記搬出用フォーク部の先端部で押下げ可能な押下片が形成されていることを特徴とする請求項２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記搬入用開閉扉の両側に、搬入側縦枠部が前記搬入側下枠部に固定された状態で配設され、
前記搬出用開閉扉の両側に、搬出側縦枠部が前記搬出側下枠部に固定された状態で配設され、
前記搬入用開閉扉が閉じている状態で、前記搬入用開閉扉と前記搬入側縦枠部とが磁力で互いに引き合うように、前記搬入用開閉扉と前記搬入側縦枠部とに磁石が設けられ、
前記搬出用開閉扉が閉じている状態で、前記搬出用開閉扉と前記搬出側縦枠部とが磁力で互いに引き合うように、前記搬出用開閉扉と、前記搬出側縦枠部とに磁石が設けられていることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記基板押え手段が、
基板を押えるための枠部と、
該枠部から基板の搬入方向と交差する方向に張り出して設けられた張出部と、
該張出部に、前記基板の搬入方向に回転可能に取り付けられた複数の回転部材とを備え、
これら複数の回転部材が、前記搬入用フォーク部の外側フォーク部、及び前記搬出用フォーク部の外側フォーク部の上にそれぞれ乗り上げ可能に構成されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかの項に記載の乾燥装置。
【請求項６】
前記搬入側下枠部、及び／又は前記搬出側下枠部に、前記回転部材の水平方向に対する位置ずれを規制する位置規制部が設けられていることを特徴とする請求項５記載の乾燥装置。
【請求項７】
前記桟部材が、前記搬入側下枠部、及び／又は前記搬出側下枠部に対して、前記桟部材の長手方向に遊びを持たせて固定する固定部を備えていることを特徴とする請求項２〜６のいずれかの項に記載の乾燥装置。
【請求項８】
前記各棚部に載置された全ての基板押え手段を、前記各棚部から一度に持ち上げる持ち上げ手段を備えていることを特徴とする請求項２〜７のいずれかの項に記載の乾燥装置。
【請求項９】
前記送風手段が、
前記乾燥室内に設けられた縦型の送風用筒状部と、
該送風用筒状部の側面に設けられた縦長の吹き出し口とを備え、
前記送風用筒状部に送風機が接続され、
前記吸引手段が、
前記乾燥室内に設けられた縦型の吸引用筒状部と、
該吸引用筒状部の側面に設けられた縦長の吸引口とを備え、
前記吸引用筒状部に吸引機が接続され、
該吸引機により吸引された気体が前記送風機に送り出されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかの項に記載の乾燥装置。
【請求項１０】
前記乾燥室内の気体を外部に排出する排気手段を備え、
前記吸引手段が、外気を取り込む外気取込み部を備えていることを特徴とする請求項９記載の乾燥装置。
【請求項１１】
基板の端面又は該端面を含む周縁部に液剤を塗布する塗布装置と、
請求項１〜１０のいずれかの項に記載の乾燥装置とを備えていることを特徴とする塗布システム。
【請求項１２】
液剤が塗布された基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する光照射装置をさらに備え、
前記光照射装置が、
基板を搬送する搬送手段と、
該搬送手段で搬送される基板の位置決めを行う位置決め手段と、
基板の搬送方向と交差する向きに配設され、該交差する向きの基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する第１の光照射手段と、
基板の搬送方向と平行する向きに配設され、該並行する向きの基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する第２の光照射手段と、
前記搬送手段で搬送される基板の搬送位置を検出する基板検出手段と、
該基板検出手段により検出される基板の搬送位置に基づいて、前記第１の光照射手段及び前記第２の光照射手段の照射制御を行う光照射制御手段と、
該基板検出手段により検出される基板の搬送位置に基づいて、前記搬送手段による基板の搬送速度を制御する搬送制御手段とを備えていることを特徴とする請求項１１記載の塗布システム。
【請求項１３】
前記第１の光照射手段が、
ＬＥＤ方式の紫外線照射手段であり、
前記搬送手段の上下位置に、上方向と下方向への照射角度をずらした状態で配置され、
前記第２の光照射手段が、
ＬＥＤ方式の紫外線照射手段であり、
前記搬送手段の上下位置に、上方向と下方向への照射位置をずらした状態で配置されていることを特徴とする請求項１２記載の塗布システム。
【請求項１４】
前記光照射制御手段が、
前記基板の端面又は該端面を含む周縁部が、前記第１の光照射手段及び前記第２の光照射手段の照射域をそれぞれ通過するタイミングで光照射する制御を行うものであり、
前記搬送制御手段が、
前記基板の搬送方向と交差する向きの基板の端面が前記第１の光照射手段の照射域を通過する速度が、前記基板の搬送方向と平行する向きの基板の端面が前記第２の光照射手段の照射域を通過する速度より小さくなるように制御するものであることを特徴とする請求項１２又は請求項１３記載の塗布システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は乾燥装置、光照射装置、及び塗布システムに関し、より詳細には、基板の端面や該端面を含む周縁部に塗布された液剤を乾燥させることができる乾燥装置、前記液剤を光化学反応により硬化・乾燥させることができる光照射装置、前記乾燥装置及び／又は前記光照射装置を含んで構成される塗布システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の実装用基板としてガラスエポキシ部材を使用したプリント基板が一般的に使用されている。ガラスエポキシ部材は、ガラス繊維布を重ねたものにエポキシ樹脂を含浸させたものである。そのためガラスエポキシ部材を切断すると、エポキシ樹脂又はガラス繊維からなる細かい塵埃が発生する。このような細かい塵埃は基板回路の接触不良や品位の低下などを引き起こすおそれがある。そのため、基板の切断時に生じた塵埃はプリント基板の製造時に除去しておく必要がある。
しかし、プリント基板の端面から塵埃を取り除いたとしても、プリント基板の端面部分は脆いため、崩壊して更なる塵埃が発生するおそれがあるという課題があった。
【０００３】
そこで本発明者は先に、プリント基板や銅張積層基板（パッケージ基板ともいう）等の基板の端面や該端面を含む周縁部に液体（膜形成液）を塗布して塗膜を形成し、後の生産工程での基板端面部分の崩壊や該崩壊による塵埃の発生を防止することのできる塗布ユニットを含む塗布システムを提案した（特許文献１、２）。
上記特許文献１、２で提案された塗布システムによれば、前記塗布ユニットにおいて、基板の端面を含む周縁部に膜形成液を薄く且つ均一な膜厚で効率良く塗布することが可能となった。また、前記塗布ユニットを通過した基板は、その後、乾燥装置（乾燥炉）に搬送され、該乾燥装置で、基板の周縁部に形成された塗膜が乾燥されるようになっている。
【０００４】
［発明が解決しようとする課題］
上記乾燥装置が、基板を１枚ずつ乾燥処理する方式となっている場合、塗膜の乾燥時間が短い場合は比較的効率良く乾燥処理を行うことができる一方、乾燥しにくい液剤を使用した場合、塗膜の乾燥時間が長くなるため乾燥処理を効率良く行うことが難しく、前記塗布ユニットの上記効果を十分に発揮させることができないという課題があった。
また、前記乾燥装置をコンベア方式にすることは可能であるが、乾燥室が大型となるため設置スペースが多く必要となり、またコンベアでの基板搬送時に、基板の周縁部に形成された未乾燥の塗膜が剥がれるおそれがあるという課題があった。
【０００５】
また、基板の端面や周縁部に塗布する液剤に紫外線硬化性材料が含まれる場合、前記乾燥装置による乾燥処理の他に、前記液剤を硬化させるために紫外線照射装置を使用する方法が考えられる。しかしながら、一般的なランプ方式の紫外線照射装置では、基板の端面や周縁部のみに適切に紫外線を照射することが難しく、基板の端面や周縁部にのみ紫外線を適切に照射することができる装置についてはこれまで提案されていなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５７３５０３５号公報
【特許文献２】特許第５７３５０４７号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段及びその効果】
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、基板の端面や周縁部に液剤が塗布された基板を複数枚まとめて効率良く、きれいに乾燥処理することができ、しかも小型化を図ることができる乾燥装置、基板の端面や周縁部に、液剤を硬化・乾燥させるための光を適切に照射することができる光照射装置、及びこれら乾燥装置及び／又は光照射装置を備えた塗布システムを提供することを目的としている。
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る乾燥装置（１）は、基板を乾燥させる乾燥室と、該乾燥室に基板を搬入する搬入手段と、前記乾燥室から基板を搬出する搬出手段とを備えた乾燥装置であって、前記乾燥室が、基板が載置される複数段の棚部と、これら各棚部に重ねて配置される基板押え手段と、前記各棚部に対応して設けられた搬入用開閉扉と、前記各棚部に対応して設けられた搬出用開閉扉と、前記複数段の棚部に載置される基板の各辺に沿った一定方向に風を送り出す送風手段と、前記乾燥室内の気体を吸引する吸引手段とを備え、前記搬入手段が、前記棚部と前記基板押え手段との間に基板を搬入するように構成され、前記搬出手段が、前記棚部と前記基板押え手段との間から基板を搬出するように構成されていることを特徴としている。
【０００９】
上記乾燥装置（１）によれば、前記乾燥室の各棚部に一枚ずつ基板を搬入出することができるとともに、前記乾燥室に複数の基板を収容することができ、装置の省スペース化、小型化を図ることができる。また、乾燥中は、前記基板押え手段で基板が押えられるため、送風による基板の浮き上りや位置ずれを防止することができ、また、前記送風手段により、基板の各辺（端面や周縁部）に効率良く風を吹き付けることができ、基板の端面や周縁部に塗布された液剤を効率よく、しかもきれいに乾燥させることができる。
【００１０】
また本発明に係る乾燥装置（２）は、上記乾燥装置（１）において、前記棚部が、前記搬入用開閉扉側に設けられた搬入側下枠部と、前記搬出用開閉扉側に設けられた搬出側下枠部と、前記搬入側下枠部と前記搬出側下枠部との間に架設された複数の桟部材とを含み、前記搬入手段が、基板が載置される搬入用フォーク部と、該搬入用フォーク部を昇降させる昇降手段と、前記搬入用フォーク部を水平方向に移動させる水平移動手段とを備え、前記搬出手段が、基板が載置される搬出用フォーク部と、該搬出用フォーク部を昇降させる昇降手段と、前記搬出用フォーク部を水平方向に移動させる水平移動手段とを備え、前記搬入用フォーク部と前記搬出用フォーク部とが、前記複数の桟部材の間を昇降可能に構成されていることを特徴としている。
【００１１】
上記乾燥装置（２）によれば、前記搬入用フォーク部と前記搬出用フォーク部とが、前記複数の桟部材の間を昇降可能に構成されているので、基板１枚当りの搬入出に必要な高さを抑えることができ、複数枚収納可能な乾燥室の高さを低くすることができ、コンパクトかつメンテナンス性に優れた装置とすることができる。
【００１２】
また本発明に係る乾燥装置（３）は、上記乾燥装置（２）において、前記搬入側下枠部に前記搬入用開閉扉が起倒回動可能に取り付けられ、前記搬出側下枠部に前記搬出用開閉扉が起倒回動可能に取り付けられ、前記搬入用開閉扉の下辺部に、前記搬入用フォーク部の先端部で押下げ可能な押下片が形成され、前記搬出用開閉扉の下辺部に、前記搬出用フォーク部の先端部で押下げ可能な押下片が形成されていることを特徴としている。
【００１３】
上記乾燥装置（３）によれば、前記搬入用開閉扉と前記搬出用開閉扉の開閉動作を前記搬入用フォーク部と前記搬出用フォーク部の動作で行うので、前記搬入用開閉扉と前記搬出用開閉扉を開閉するための個別の動力が不要となり、装置の省エネ化を図ることができる。
【００１４】
また本発明に係る乾燥装置（４）は、上記乾燥装置（２）又は（３）において、前記搬入用開閉扉の両側に、搬入側縦枠部が前記搬入側下枠部に固定された状態で配設され、前記搬出用開閉扉の両側に、搬入側縦枠部が前記搬出側下枠部に固定された状態で配設され、前記搬入用開閉扉が閉じている状態で、前記搬入用開閉扉と前記搬入側縦枠部とが磁力で互いに引き合うように、前記搬入用開閉扉と前記搬入側縦枠部とに磁石が設けられ、前記搬出用開閉扉が閉じている状態で、前記搬出用開閉扉と前記搬出側縦枠部とが磁力で互いに引き合うように、前記搬出用開閉扉と前記搬出側縦枠部とに磁石が設けられていることを特徴としている。
【００１５】
上記乾燥装置（４）によれば、前記搬入用開閉扉と前記搬出用開閉扉とが閉じられる際、前記磁石の磁力により、前記搬入側縦枠部と前記搬出側縦枠部とにそれぞれ引き付けられて閉じやすく、また、閉じた状態を前記磁石の磁力により安定させることができる。
【００１６】
また本発明に係る乾燥装置（５）は、上記乾燥装置（２）〜（４）のいずれかにおいて、前記基板押え手段が、基板を押えるための枠部と、該枠部から基板の搬入方向と交差する方向に張り出して設けられた張出部と、該張出部に、前記基板の搬入方向に回転可能に取り付けられた複数の回転部材とを備え、これら複数の回転部材が、前記搬入用フォーク部の外側フォーク部、及び前記搬出用フォーク部の外側フォーク部の上にそれぞれ乗り上げ可能に構成されていることを特徴としている。
【００１７】
上記乾燥装置（５）によれば、前記基板押え部の前記張出部に設けられた複数の回転部材が、前記搬入用フォーク部の外側フォーク部、及び前記搬出用フォーク部の外側フォーク部の上にそれぞれ乗り上げ可能に構成されているので、前記基板押え手段の上下方向の動作を、前記搬入用フォーク部や前記搬出用フォーク部の動作で実現することができ、また、前記搬入用フォーク部の外側フォーク部や前記搬出用フォークの外側フォーク部の上に、前記基板押え手段をスムーズに載せることができ、基板の搬入及び搬出動作をスムーズに行わせることができる。
【００１８】
また本発明に係る乾燥装置（６）は、上記乾燥装置（５）において、前記搬入側下枠部、及び／又は前記搬出側下枠部に、前記回転部材の水平方向に対する位置ずれを規制する位置規制部が設けられていることを特徴としている。
【００１９】
上記乾燥装置（６）によれば、前記位置規制部により前記回転部材の水平方向に対する位置ずれが規制され、前記基板押え手段の位置ずれを防止することができる。
【００２０】
また本発明に係る乾燥装置（７）は、上記乾燥装置（２）〜（６）のいずれかにおいて、前記桟部材が、前記搬入側下枠部、及び／又は前記搬出側下枠部に対して、前記桟部材の長手方向に遊びを持たせて固定する固定部を備えていることを特徴としている。
【００２１】
上記乾燥装置（７）によれば、前記固定部に遊びを持たせているので、例えば、前記乾燥室内の熱（熱風）により前記桟部材が長手方向に熱膨張しても、該熱膨張による歪みを適切に逃がすことができ、前記桟部材の変形などを防止することができる。
前記固定部は、例えば、前記桟部材の両端に固定された固定部材、該固定部材に形成された長孔、該長孔に配置された筒状のスペーサ、該スペーサを介して、前記搬入側下枠部又は前記搬出側下枠部に固定する固定具とを含んで構成することができる。
【００２２】
また本発明に係る乾燥装置（８）は、上記乾燥装置（２）〜（７）のいずれかにおいて、前記各棚部に載置された全ての基板押え手段を、前記各棚部から一度に持ち上げる持ち上げ手段を備えていることを特徴としている。
【００２３】
上記乾燥装置（８）によれば、前記持ち上げ手段により前記各棚部に載置された全ての基板押え手段を前記各棚部から一度に持ち上げることができ、搬入した基板の位置ずれ等が生じた場合のメンテナンス作業などを容易に行うことができる。
前記持ち上げ手段は、例えば、前記搬入側下枠部の両側及び前記搬出側下枠部の両側に配設され、前記基板押え手段の一部を係止させる係止部を備えた昇降用縦枠部材と、該昇降用縦枠部材を昇降させる昇降部とを含んで構成することができる。
【００２４】
また本発明に係る乾燥装置（９）は、上記乾燥装置（１）〜（８）のいずれかにおいて、前記送風手段が、前記乾燥室内に設けられた縦型の送風用筒状部と、該送風用筒状部の側面に設けられた縦長の吹き出し口とを備え、前記送風用筒状部に送風機が接続され、前記吸引手段が、前記乾燥室内に設けられた縦型の吸引用筒状部と、該吸引用筒状部の側面に設けられた縦長の吸引口とを備え、前記吸引用筒状部に吸引機が接続され、該吸引機により吸引された気体が前記送風機に送り出されるように構成されていることを特徴としている。
【００２５】
上記乾燥装置（９）によれば、前記送風手段が、前記縦型の送風用筒状部と前記縦長の吹き出し口とを備えているので、前記乾燥室のいずれの高さ位置の棚部に載置された基板に対しても、ほぼ同じ条件で均等に効率良く気体を吹き付けることができる。
また、前記吸引手段が、前記縦型の吸引用筒状部と前記縦長の吸引口とを備えているので、前記送風手段による乾燥室内の気体の流れに沿って気体を吸引することができる。
また、前記吸引機により吸引された気体が前記送風機に送り出されるので、前記乾燥室内の気体を循環させることができ、特に、温風（熱風）を使用した場合には熱エネルギーの損失を減らすことができ、省エネ化を図ることができる。
【００２６】
また本発明に係る乾燥装置（１０）は、上記乾燥装置（９）において、前記乾燥室内の気体を外部に排出する排気手段を備え、前記吸引手段が、外気を取り込む外気取込み部を備えていることを特徴としている。
【００２７】
上記乾燥装置（１０）によれば、前記排気手段により前記乾燥室内の気体を必要に応じて外部に排出することができ、また、前記吸引手段により、外気を適宜取り込むことができ、前記乾燥室内の温度や湿度などの条件を適切に調整することができる。
また本発明に係る塗布システム（１）は、基板の端面又は該端面を含む周縁部に液剤を塗布する塗布装置と、上記乾燥装置（１）〜（１０）のいずれかを備えていることを特徴としている。
上記塗布システム（１）によれば、上記乾燥装置（１）〜（１０）のいずれかを備えているので、乾燥時間が短い液剤を使用する場合でも乾燥時間が長い液剤を使用する場合でも、液剤の特性にかかわらず、基板の端面や周辺部への塗布処理と、乾燥処理とを効率良く行うことができる。
【００２８】
また本発明に係る塗布システム（２）は、上記塗布システム（１）において、液剤が塗布された基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する光照射装置をさらに備え、前記光照射装置が、基板を搬送する搬送手段と、該搬送手段で搬送される基板の位置決めを行う位置決め手段と、基板の搬送方向と交差する向きに配設され、該交差する向きの基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する第１の光照射手段と、基板の搬送方向と平行する向きに配設され、該並行する向きの基板の端面又は該端面を含む周縁部に光を照射する第２の光照射手段と、前記搬送手段で搬送される基板の搬送位置を検出する基板検出手段と、該基板検出手段により検出される基板の搬送位置に基づいて、前記第１の光照射手段及び前記第２の光照射手段の照射制御を行う光照射制御手段と、該基板検出手段により検出される基板の搬送位置に基づいて、前記搬送手段による基板の搬送速度を制御する搬送制御手段とを備えていることを特徴としている。
【００２９】
上記塗布システム（２）によれば、前記光照射装置をさらに備えているので、紫外線硬化性樹脂などの光硬化剤を含む液剤を使用する場合でも、基板の端面や周縁部のみに適切に、光硬化剤などを含む液剤を硬化・乾燥させる光を照射することができ、基板の端面や周辺部に塗布された液剤の硬化・乾燥処理を効率良く実行することができる。
【００３０】
また本発明に係る塗布システム（３）は、上記塗布システム（２）において、前記第１の光照射手段が、ＬＥＤ方式の紫外線照射手段であり、前記搬送手段の上下位置に、上方向と下方向への照射角度をずらした状態で配置され、前記第２の光照射手段が、ＬＥＤ方式の紫外線照射手段であり、前記搬送手段の上下位置に、上方向と下方向への照射位置をずらした状態で配置されていることを特徴としている。
【００３１】
上記塗布システム（３）によれば、前記光照射装置の前記第１の光照射手段と前記第２の光照射手段が、ＬＥＤ方式の紫外線照射手段であるので、紫外線硬化樹脂を含む前記液剤を短時間で硬化・乾燥させることができ、装置の小型化を図ることができ、さらに装置の長寿命化及びメンテナンスに係るコストを減らすことができる。
【００３２】
また本発明に係る塗布システム（４）は、上記塗布システム（２）又は（３）において、前記光照射制御手段が、前記基板の端面又は該端面を含む周縁部が、前記第１の光照射手段及び前記第２の光照射手段の照射域をそれぞれ通過するタイミングで光照射する制御を行うものであり、前記搬送制御手段が、前記基板の搬送方向と交差する向きの基板の端面が前記第１の光照射手段の照射域を通過する速度が、前記基板の搬送方向と平行する向きの基板の端面が前記第２の光照射手段の照射域を通過する速度より小さくなるように制御するものであることを特徴としている。
【００３３】
上記塗布システム（４）によれば、前記光照射装置の前記光照射制御手段と前記搬送制御手段とにより、搬送中の前記基板の搬送方向と交差する向きの基板の端面への光照射と、搬送中の前記基板の搬送方向と平行する向きの基板の端面への光照射とを適切に制御することができ、前記基板の全周に渡ってバラツキのない均一な硬化・乾燥処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係る塗布システムの概略構成を示したブロック図である。
【図２】実施の形態に係る乾燥装置の一部省略斜視図である。
【図３】実施の形態に係る乾燥装置の開放側面図である。
【図４】実施の形態に係る乾燥装置の内部構造を示す概略図であり、（ａ）は横断面図、（ｂ）は部分側面図である。
【図５】実施の形態に係る乾燥装置の基板搬入動作を説明するための図である。
【図６】実施の形態に係る乾燥装置の基板搬出動作を説明するための図である。
【図７】実施の形態に係る光照射装置の内部構造を示した概略平面図である。
【図８】実施の形態に係る光照射装置の内部構造を示した概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明に係る乾燥装置、光照射装置、及び塗布システムの実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００３８】
図１は、実施の形態（１）に係る塗布システムの概略構成を示したブロック図である。塗布システム１は、塗布装置１０、乾燥装置３０、及び光照射装置としての紫外線照射装置１００を含んで構成されている。
塗布システム１を構成する塗布装置１０は、基板の端面、又は該端面を含む周縁部（例えば、幅１ｍｍ〜１０ｍｍ前後）に液剤を塗布するための装置である。被塗布対象となる基板には、略矩形形状をした薄形（数十μｍ〜数百μｍ）の銅張積層基板（パッケージ基板ともいう）、アルミ基板、ガラス基板等の種々の基板が含まれる。
【００３９】
また、前記液剤（膜形成液、基板コーティング剤ともいう）は、基板の端面や周縁部に塗膜（例えば、硬化後の膜厚が、１０μｍ〜２００μｍ前後）を形成して、基板の端面部分の崩壊による塵埃の発生を防止するとともに、前記塗膜により基板の周縁部を補強して、後工程における基板の取扱性を高め、基板の不良品発生率を低下させるために使用されるものである。
前記液剤としては、基板処理工程（エッチング工程やメッキ工程など）で剥がれない特性（酸及び／又はアルカリに対する耐性）があり、基板表面への付着性等に優れるように複数の樹脂成分が混合されたもの、例えば、水系媒体の溶剤に対し、水性ウレタン樹脂、水性スチレン樹脂及び水性増粘剤を含むコーティング剤など、目的用途に応じて調製された液剤などが使用できる。また、前記液剤を塗布する膜厚に応じて適宜粘度を調整する、例えば、膜厚を薄くする場合は粘度を下げることが好ましい。
【００４０】
塗布装置１０は、基板を搬送するコンベア部１１、コンベア部１１で基板の位置決めを行う位置決め部１２、基板移載部１３、塗布部２０、各部の駆動動作等を制御する制御部１４、及び作業者が必要な操作を行うための操作部１５などを含んで構成されている。
【００４１】
位置決め部１２は、コンベア部１１の両側に設けられた位置決めガイド部（図示せず）を備え、基板を挟み込む方向に前記位置決めガイド部を移動させて基板を挟み、基板を所定位置に位置決め配置する機能を備えている。前記位置決めガイド部の内側面には、基板を傷つけることなく把持するための部材が配設されている。
【００４２】
塗布部２０は、基板を支持する支持テーブル２１と、支持テーブル２１の周囲に配設された１台以上、例えば４台の塗布ユニット２２と、これら塗布ユニット２２を支持テーブル２１の各辺に沿ってそれぞれ移動させる移動ユニット２３とを備えている。各塗布ユニット２２には、例えば、基板の端部を挿入し得る隙間を有して上下に対向配置される上側ヘッド及び下側ヘッドを備えた一対の塗布ヘッド（図示せず）が装備されている。
さらに塗布部２０には、塗布ユニット２２の各塗布ヘッドに樹脂成分を含む膜形成液を供給する液供給ユニット２４が装備されている。移動ユニット２３は、例えば、塗布ユニット２２を２軸（ＸＹ軸）方向に水平移動させる２軸（ＸＹ軸）直動機構で構成することができる。
【００４３】
前記一対の塗布ヘッドは、例えば、当該一対の塗布ヘッドの対向面に、膜形成液を溜める液溜部と、該液溜部を通過させた基板の端部に付着した膜形成液を薄膜状に塗工する塗工部と（いずれも図示せず）を備えた構成とすることができる。また、前記塗工部は、例えば、基板の端部に付着した前記膜形成液をならす（均す）こて（鏝）部と、該こて部を通過させた前記基板の端部に付着した余分な膜形成液を掻き取る掻取部と（いずれも図示せず）を備えた構成とすることができる。
【００４４】
なお、塗布ユニット２２は、前記一対の塗布ヘッドを備えたものに限定されない。例えば、別の実施の形態では、塗布ユニット２２として、外周面に環状溝が形成された、円盤状、円柱状、又は略円錐台形状などをした塗布ローラを備えたもの、或は、基板の端部を挟み得るように対向配置された一対の塗布ローラを備えたものなどが採用され得る。
【００４５】
また、前記一対の塗布ヘッドの退避位置に塗布ヘッド用保護具（図示せず）が設定されていてもよい。該塗布ヘッド用保護具は、例えば、前記一対の塗布ヘッドの隙間に当接させるパッド部と、該パッド部の下方に配設される液受け部と、前記パッド部及び前記液受け部を支持する支持部とを備えて構成することができる（いずれも図示せず）。この塗布ヘッド用保護具は、図示しない昇降機構によって、塗布時は支持テーブル２１の下方に降下し、退避時に前記一対の塗布ヘッドの位置まで上昇して、パッド部が前記一対の塗布ヘッドの正面の隙間部分に当接されるようになっている。
【００４６】
また、液供給ユニット２４は、膜形成液が収容される液収容部と、液収容部から各塗布ヘッドに膜形成液を供給する電動式ポンプと、塗布ヘッドの液受け部で受けた膜形成液を液収容部に移送（回収）する電動式ポンプと（いずれも図示せず）を含んで構成されている。
【００４７】
制御部１４は、位置決め部１２における搬送・位置決め制御、基板移載部１３による基板の移載制御、移動ユニット２３のＸＹ軸直動制御、及び液供給ユニット２４のポンプの駆動制御など、塗布装置１０各部の制御を行う機能を有しており、マイコン、ドライバ回路、記憶部及び電源部など（いずれも図示せず）を含んで構成されている。なお、制御部１４は１つ又は複数の制御ユニット（例えば、搬入・位置決め制御用、塗布部制御用等）で構成することができる。
また、制御部１４は、前記一対の塗布ヘッドの隙間に、支持テーブル２１に支持された基板の４辺の端部をそれぞれ挿し込み、その状態で各塗布ヘッドを基板の周縁部に沿って移動させるように移動ユニット２３を駆動制御する機能を有している。
【００４８】
操作部１５は、図示しない液晶操作パネルを備えている。前記液晶操作パネルを通じて、塗布装置１０の各部の動作条件の設定、各部の動作指示、動作モード（手動、自動など）の切り替えなどの各種操作を行うことが可能となっている。前記液晶操作パネルを介して入力された操作信号や設定信号が制御部１４などに送信されるようになっている。
【００４９】
基板移載部１３は、コンベア部１１で位置決めされた基板を塗布部の支持テーブル２１に移載する機能と、塗布部２０での塗布処理が完了後、基板を支持テーブル２１から乾燥装置３０の搬入装置８１に移載する機能を備えている。基板移載部１３は、基板を吸着するための複数の吸着保持具を備えた１以上の基板保持部と、該基板保持部を基板搬送方向に往復移動させる水平移動機構と、基板保持部を垂直方向に往復移動させる垂直移動機構とを備えている（いずれも図示せず）。前記吸着保持具により基板が吸着保持されるようになっている。
【００５０】
次に、塗布システム１を構成する乾燥装置３０について説明する。
図２は、実施の形態に係る乾燥装置３０の一部省略斜視図である。図３は、実施の形態に係る乾燥装置３０の開放側面図である。図４は、実施の形態に係る乾燥装置３０の内部構造を示す概略図であり、（ａ）は横断面図、（ｂ）は部分側面図である。
【００５１】
乾燥装置３０は、基板２を乾燥させる乾燥室３１と、乾燥室３１に基板２を搬入する搬入装置８１と、乾燥室３１から基板２を搬出する搬出装置９１とを含んで構成されている。
乾燥室３１は、基板２が載置される複数段の棚部３２と、これら各棚部３２に重ねて配置される基板押え部材４１と、各棚部３２に対応して設けられた略帯板状の搬入用開閉扉５１と、各棚部３２に対応して設けられた略帯板状の搬出用開閉扉５２と、複数段の棚部３２に載置される基板２の各辺に沿った一定方向に風（例えば、熱風）を送り出す送風部６２と、乾燥室３１内の気体を吸引する吸引部６３とを備えている。
搬入装置８１は、棚部３２と基板押え部材４１との間に基板２を搬入するように構成され、搬出装置９１は、棚部３２と基板押え部材４１との間から基板２を搬出するように構成されている。
【００５２】
制御部４０は、搬入装置８１や搬出装置９１の駆動制御、送風機７２や吸引機７４の駆動制御など、乾燥装置３０の各部の制御を行う機能を有しており、マイコン、ドライバ回路、記憶部及び電源部など（いずれも図示せず）を含んで構成されている。なお、制御部４０は１つ又は複数の制御ユニット（例えば、搬入装置制御用、搬出装置制御用、送風機制御用、吸引機制御用等）で構成することができる。
【００５３】
棚部３２は、搬入用開閉扉５１の手前に設けられた帯板状の搬入側下枠部３３と、搬出用開閉扉５２の手前に設けられた帯板状の搬出側下枠部３４と、搬入側下枠部３３と搬出側下枠部３４との間に架設された複数（本実施の形態では５本）の桟部材（金属製の細い角材）３６とを含んで構成されている。
【００５４】
搬入装置８１は、基板２が載置される搬入用フォーク部（フォーク形状部）８２と、搬入用フォーク部８２を昇降させる昇降機構８６と、搬入用フォーク部８２を水平方向に移動させる水平移動機構８７とを備えている。
【００５５】
搬出装置９１は、基板２が載置される搬出用フォーク部（フォーク形状部）９２と、搬出用フォーク部９２を昇降させる昇降機構９６と、搬出用フォーク部９２を水平方向に移動させる水平移動機構９７とを備えている。
【００５６】
昇降機構８６、９６には、バランスウェイト（つり合い錘）を用いた滑車機構が設けられ、少ない動力で搬入用フォーク部８２や搬出用フォーク部９２の昇降動作が可能となっている。水平移動機構８７、９７は、図示しない固定レール上をスライド移動可能な直動機構などにより構成されている。
搬入用フォーク部８２と搬出用フォーク部９２とは、複数の桟部材３６の間を昇降可能に構成されている。すなわち、搬入用フォーク部８２及び搬出用フォーク部９２と、複数の桟部材３６とが平面視互い違いの位置関係となるように配置構成されている。
【００５７】
搬入用フォーク部８２及び搬出用フォーク部９２は、２本の外側フォーク部８３、９３と、外側フォーク部８３、９３の内側に設けられた複数（この場合、４本）の内側フォーク部８４、９４とを含んで構成され、内側フォーク部８４、９４には、基板２を吸着させるための吸着機構８５、９５が設けられている。外側フォーク部８３、９３の先端部は、傾斜状をした樹脂材料で形成されている。
吸着機構８５、９５は、内側フォーク部８４、９４の上面に形成された複数の吸着孔、内側フォーク部８４、９４の内部に、吸着孔に接続するように設けられた吸着ノズル（図示せず）などを含んで構成されている。
【００５８】
搬入側下枠部３３に搬入用開閉扉５１が蝶番等の取付具（図示せず）を用いて起倒回動可能に取り付けられ、搬出側下枠部３４に搬出用開閉扉５２が蝶番等の取付具（図示せず）を用いて起倒回動可能に取り付けられている。
搬入用開閉扉５１の下辺部の両端に、搬入用フォーク部８２の外側フォーク部８３先端部で押下げ可能な押下片５１ａが突出した状態で形成され、搬出用開閉扉５２の下辺部の両端に、搬出用フォーク部９２の外側フォーク部９３先端部で押下げ可能な押下片５２ａが突出した状態で形成されている。
【００５９】
搬入用開閉扉５１の両側には、縦長細帯形状をした搬入側縦枠部３８が搬入側下枠部３３に固定された状態で配設され、搬出用開閉扉５２の両側には、縦長細帯形状をした搬出側縦枠部３９が搬出側下枠部３４に固定された状態で配設されている。
搬入用開閉扉５１が閉じている状態で、搬入用開閉扉５１と搬入側縦枠部３８とが磁力で互いに引き合うように、搬入用開閉扉５１の両端部と、搬入側縦枠部３８の両端部と対面する箇所に磁石５１ｂ、３８ａがそれぞれ設けられている。
また、搬出用開閉扉５２が閉じている状態で、搬出用開閉扉５２と搬出側縦枠部３９とが磁力で互いに引き合うように、搬出用開閉扉５２の両端部と、搬出側縦枠部３９の両端部と対面する箇所とに磁石５２ｂ、３９ａがそれぞれ設けられている。
【００６０】
基板押え部材４１は、基板２を押えるための略矩形形状をした枠部４２と、枠部４２から基板２の搬入方向と交差する方向に張り出して設けられた複数の薄板状の張出部４３と、これら張出部４３に、基板２の搬入方向に回転可能に取り付けられた複数の回転部材４４と含んで構成されている。枠部４２は、金属製の細角材で構成されている。基板押え部材４１の重量は、１ｋｇ程度とすることができる。
回転部材４４には、小型のベアリング部材を使用することができ、張出部４３に形成された軸部に前記ベアリングが回転可能に挿着されている。
基板押え部材４１のこれら複数の回転部材４４が、搬入用フォーク部８２の外側フォーク部８３、及び搬出用フォーク部９２の外側フォーク部９３の上にそれぞれ乗り上げ可能となっている。
【００６１】
搬入側下枠部３３、及び／又は搬出側下枠部３４の両端部に、基板押え部材４１の回転部材４４の水平方向に対する位置ずれを規制する位置規制具３５が設けられている。
位置規制具３５には、例えば、回転部材４４の水平方向に対する位置ずれを規制できる平面視凸部（凸状部）３５ａが形成されている。位置規制具３５の形状は、回転部材４４の水平方向に対する位置ずれを規制できる一方、回転部材４４の鉛直方向に対する移動が可能な形状、かつ搬入側下枠部３３や搬出側下枠部３４に取り付け可能な形状あれば特に限定されない。
【００６２】
基板２の搬入時や搬出時に、搬入用フォーク部８２や搬出用フォーク部９２により基板押え部材４１が持ち上げられた場合、持ち上げ機構４６により基板押え部材４１が持ち上げられた場合などに、一段上の搬入側下枠部３３及び搬出側下枠部３４の位置規制具３５の凸部３５ａと、持ち上げられた基板押え部材４１の四隅に設けられた回転部材４４の外側面とが当接し、回転部材４４の水平外側方向に対する位置ずれが規制されるようになっている。
【００６３】
桟部材３６は、搬入側下枠部３３及び／又は搬出側下枠部３４に対して、桟部材３６の長手方向に遊びを持たせて固定する固定部３７を備えている。
固定部３７は、例えば、桟部材３６の両端に固定された階段形状の固定部材、該固定部材に形成された長孔、該長孔に配置された筒状のスペーサ、該スペーサを介して、搬入側下枠部３３又は搬出側下枠部３４に固定する固定具（ネジ部材）とを含んで構成されているが、この構成に限定されない。
また、乾燥室３１の上面にも桟部材３６が設けられている。乾燥室３１上面に桟部材３６が設けられていることにより、基板２を、乾燥室３１を通過させずに、紫外線照射装置１００に搬送することも可能となっている。
【００６４】
乾燥室３１には、各棚部３２に載置された全ての基板押え部材４１を、各棚部３２から一度に持ち上げる持ち上げ機構４６が装備されている。持ち上げ機構４６は、搬入側下枠部３３の両側、及び搬出側下枠部３４の両側に配設され、各基板押え部材４１の一部、すなわち、枠部４２四隅の張出部４３に設けられた回転部材４４の軸部を係止させる係止部４７ａを備えた昇降用縦枠部材４７と、昇降用縦枠部材４７を昇降させるための駆動ハンドルや昇降機構（図示せず）とを含んで構成することができる。
【００６５】
また、乾燥室３１内への基板押え部材４１の出し入れには、専用の支持具９８が使用される。支持具９８は平面視略コの字形状に形成され、乾燥室３１の開閉扉６１を開けた状態で、基板搬入方向と交差する方向から、桟部材３６と基板押え部材４１との間に挿入し、支持具９８の上に基板押え部材４１を載せた状態で、乾燥室３１から支持具９８を引き出すことにより、基板押え部材４１を乾燥室３１から取り出すことができるようになっている。また、基板押え部材４１を乾燥室３１内の各棚部３２に載置する場合は、取り出し時と逆の動作により行う。すなわち、支持具９８の上に基板押え部材４１を載せた状態で、支持具９８を乾燥室３１の棚部３２の上に水平に挿入し、所定位置まで挿入後、支持具９８を引き抜きながら、基板押え部材４１を棚部３２の上に載置すればよい。
【００６６】
乾燥室３１における基板搬入方向と交差する向きの両側面には、観音開き式の開閉扉６１が設けられている。開閉扉６１の内側（乾燥室３１内）に、送風部６２と吸引部６３とが設けられている。
送風部６２は、開閉扉６１の内側に設けられた縦型の送風用筒状部６２ａと、送風用筒状部６２ａの側面に突出した状態で（略口ばし状に）設けられた縦長の吹き出し口６２ｂとを備え、送風用筒状部６２ａの上部が、送風ダクト７１を介して送風機（ブロア装置）７２に接続されている。送風機７２は、乾燥室３１の外部（上方）に配置され、熱風（〜８０℃）を送り出すことが可能となっている。
【００６７】
送風用筒状部６２ａは、乾燥室３１内と略同じ高さに形成され、吹き出し口６２ｂは、乾燥室３１内と略同じ高さ（縦長）で細幅のスリット状に形成され、棚部３２に載置された基板の各辺に沿う向きに向けられ、乾燥室３１の内壁面に沿った一定方向に気流（循環流）が形成されるようになっている。また、吹き出し口６２ｂは、そのスリット幅（約１ｍｍ〜）を調整することが可能となっている。
【００６８】
吸引部６３は、開閉扉６１の内側に設けられた縦型の吸引用筒状部６３ａ（空洞部）と、吸引用筒状部６３ａの側面に設けられた縦長の吸引口６３ｂとを備え、吸引用筒状部６３ａの上部が、吸引ダクト７３を介して吸引機（吸引ファン等）７４に接続されている。
吸引用筒状部６３ａは、乾燥室３１内と略同じ高さに形成され、吸引口６３ｂは、乾燥室３１内と略同じ高さ（縦長）で細幅のスリット状に形成されている。吸引口６３ｂは、スリット幅調整板６３ｃをずらすことにより、そのスリット幅（約１ｍｍ〜）を調整することが可能となっている。
吸引機７４と送風機７２とはダクト７６で接続されており、吸引機７４で吸引された気体が送風機７２に送り出され、乾燥室３１内の気体（熱風）が循環できるように構成されている。
【００６９】
乾燥室３１には、内部の気体を外部に排出するための排気部６４が設けられている。排気部６４は、乾燥室３１の開閉扉６１の上部に設けられた排気孔６４ａと、排気孔６４ａに接続された排気ダクト７７とを含んで構成され、排気ダクト７７は、例えば、工場内の排気機構７８に接続されるようになっている。また、吸引機７４には、外気を取り込む外気取込み部（取り込み弁）７５が装備されている。排気部６４により乾燥室３１内の一部の気体が排気可能に構成され、吸引機７４に設けられた外気取込み部７５により外気を適宜取り込み可能に構成され、乾燥室３１内の湿度等の状態が調整可能となっている。
【００７０】
実施の形態に係る乾燥装置３０の動作について説明する。
まず、乾燥室３１に基板２を搬入する動作について説明する。図５は、実施の形態に係る乾燥装置３０の基板搬入動作を説明するための図である。
塗布装置１０で、基板の端面又は該端面を含む周縁部への液剤の塗布処理が完了すると、塗布装置１０の基板移載部１３によって、基板２が搬入装置８１の搬入用フォーク部８２の上に移送されて、搬入用フォーク部８２の内側フォーク部８４の上に載置される。このとき、基板２は、吸着機構８５により内側フォーク部８４に吸着された状態で保持される。
【００７１】
搬入用フォーク部８２に基板２が載置されると、乾燥室３１への搬入動作に移る。制御部４０が、乾燥室３１内への基板２の搬入・搬出状態（履歴）に基づいて、基板２を載置する棚部３２を決定し、該棚部３２が設けられている高さ位置の搬入用開閉扉５１の正面位置まで搬入用フォーク部８２を昇降移動させる（図５（ａ））。
【００７２】
次に搬入用フォーク部８２を搬入用開閉扉５１の方向に水平移動させて、搬入用フォーク部８２の外側フォーク部８３で搬入用開閉扉５１を乾燥室３１の内側に押し倒し、搬入用開閉扉５１を開けた状態にする。外側フォーク部８３の先端部上面の高さ位置を、基板押え部材４１の回転部材４４が乗り上げ可能な位置、かつ桟部材３６の上面よりも高くなる位置に微調整した後、搬入用フォーク部８２を水平方向に移動させる。
【００７３】
搬入用フォーク部８２の水平移動に伴い、基板押え部材４１の回転部材４４が外側フォーク部８３の上に順次乗り上げていき、桟部材３６の間に内側フォーク部８４が挿入されていく。
基板押え部材４１の回転部材４４は枠部４２よりも下に位置しているため、外側フォーク部８３の上に基板押え部材４１の回転部材４４が乗り上げた状態では、内側フォーク部８４上面と枠部４２下面との間に、隙間（回転部材４４の枠部４２下方への張り出し分の隙間）が形成され、また、内側フォーク部８４上面が桟部材３６の上面より高い位置にあるため、この隙間に基板２が挿入されるようになっている（図５（ｂ））。
【００７４】
基板押え部材４１の全ての回転部材４４が外側フォーク部８３に乗り上げて、搬入用フォーク部８２の先端部が搬出用開閉扉５２手前の所定位置まで到達すると、次に搬入用フォーク部８２を降下させる。
搬入用フォーク部８２の降下に伴い、まず、内側フォーク部８４上の基板２が桟部材３６の上に載置され、次に、基板押え部材４１の枠部４２が基板２の上に載置される。この時、基板２の周縁部は、桟部材３６及び基板押え部材４１の枠部４２からはみ出した状態となっている。その後、基板押え部材４１の回転部材４４が外側フォーク部８３から離れる位置まで搬入用フォーク部８２を降下させる（図５（ｃ））。
【００７５】
次に搬入用フォーク部８２を搬入方向と逆向きに水平移動させて、乾燥室３１から搬入用フォーク部８２を引き出す。外側フォーク部８３の先端部が、搬入用開閉扉５１の押下片５１ａの上部に到達すると、搬入用フォーク部８２を少し降下させて、外側フォーク部８３の先端部で押下片５１ａを押下げる。該押下げ動作に伴い、内側に倒れていた搬入用開閉扉５１が起き上がり、搬入用開閉扉５１が閉じられる。その後、搬入用フォーク部８２を所定の位置まで退避させて、搬入動作を終える。
【００７６】
次に乾燥室３１での乾燥動作について説明する。
ヒーター機能を有する送風機７２からの熱風（例えば、８０℃程度の空気）が送風ダクト７１を介して乾燥室３１の四隅に配置された送風部６２の送風用筒状部６２ａにそれぞれ送り込まれる。
送風用筒状部６２ａに導入された熱風は、送風用筒状部６２ａの縦長スリット状の吹き出し口６２ｂから吹き出される。送風部６２が乾燥室３１の四隅に配置され、送風用筒状部６２ａの吹き出し口６２ｂが基板の各辺に沿った一定方向に向けられているため、基板の４辺（乾燥室３１の内壁面）に沿った一定方向に流れる気流（循環流）が生成される。
【００７７】
また、乾燥室３１内の熱風の一部が、吸引用筒状部６３ａに形成された縦長スリット状の吸引口６３ｂから吸引され、吸引ダクト７３を介して吸引機７４に送り込まれる。吸引機７４で吸引された熱風は、送風機７２に送り込まれるようになっている。また、乾燥室３１に設けられた排気孔６４ａから、乾燥室３１内の気体が適宜排気されると共に、吸引機７４に設けられた吸気弁から外気が適宜導入され、乾燥室３１内の湿度や温度などの条件が調整されるようになっている。
【００７８】
次に、乾燥室３１から基板２を搬出する動作について説明する。図６は、実施の形態に係る乾燥装置３０の基板搬出動作を説明するための図である。
基板２が乾燥室３１に搬入された後、所定の乾燥時間が経過すると、基板２の搬出動作が開始される。乾燥室３１内への基板２の搬入状態（履歴）に基づいて、搬出する基板２が載置されている棚部３２を判断し、該棚部３２が設けられている高さ位置の搬出用開閉扉５２の正面位置まで搬出用フォーク部９２を昇降移動させる。
【００７９】
次に搬出用フォーク部９２を搬出用開閉扉５２の方向に水平移動させて、搬出用フォーク部９２の外側フォーク部９３で搬出用開閉扉５２を乾燥室３１の内側に押し倒し、搬出用開閉扉５２を開けた状態にする。外側フォーク部９３の先端部上面の高さ位置を、基板が載置されている桟部材３６の上面より下になる位置に調整した後、搬出用フォーク部９２を水平方向に移動させる（図６（ａ））。
【００８０】
搬出用フォーク部９２の先端部が、搬入用開閉扉５１手前の所定位置に到達すると、次に搬出用フォーク部９２を上昇させる。搬出用フォーク部９２の上昇に伴い、まず、基板押え部材４１の回転部材４４が外側フォーク部９３の上に載り、基板押え部材４１が、基板２が載置された桟部材３６から持ち上げられていく。さらに上昇させると、桟部材３６に載置されている基板２が内側フォーク部９４の上に載置される。なお、内側フォーク部９４に設けた吸着機構９５により、基板２は、内側フォーク部９４に吸着された状態で保持される（図６（ｂ））。
【００８１】
次に搬出用フォーク部９２を逆向きに水平移動させて、乾燥室３１から搬出用フォーク部９２を引き出す。搬出用フォーク部９２を引き出す動作を開始すると、外側フォーク部９３に乗り上げていた基板押え部材４１の回転部材４４が、外側フォーク部９３から順次外れてゆき、基板押え部材４１の枠部４２が、桟部材３６の上に載置されるようになっている（図６（ｃ））。
【００８２】
そして、外側フォーク部９３の先端部が、搬出用開閉扉５２の押下片５２ａの上部に到達すると、搬出用フォーク部９２を少し降下させて、外側フォーク部９３の先端部で押下片５２ａを押下げる。該押下げ動作に伴い、内側に倒れていた搬出用開閉扉５２が起き上がり、搬出用開閉扉５２が閉じられる。その後、搬出用フォーク部９２を所定の位置まで退避させて、搬出動作を終える（図６（ｄ））。搬出用フォーク部９２上の基板２は、その後、基板移載部１０１により紫外線照射装置１００に移送されるようになっている。
【００８３】
次に塗布システム１を構成する光照射装置としての紫外線照射装置１００について説明する。図７は、実施の形態に係る紫外線照射装置１００の内部構造を示した概略平面図である。図８は、実施の形態に係る紫外線照射装置１００の内部構造を示した概略側面図である。
紫外線照射装置１００は、紫外線硬化剤などを含む液剤が塗布された基板の端面又は該端面を含む周縁部に紫外線を照射して、塗膜を硬化・乾燥させるための装置である。
紫外線照射装置１００は、基板２を移送する基板移載部１０１と、基板２を搬送する搬送装置１１１と、搬送装置１１１で搬送される基板２の位置決めを行う位置決め装置１２１と、基板２の搬送方向と交差する向きに配設された第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂと、基板２の搬送方向と平行する向きに配設された第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂと、搬送装置１１１で搬送される基板の搬送位置を検出する複数の基板検出センサ１５１〜１５４とを含んで構成されている。図７、８中の矢印は基板２の搬送方向を示している。
【００８４】
さらに、紫外線照射装置１００は、基板検出センサ１５１〜１５４により検出される基板２の搬送位置に基づいて、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂ及び第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの照射制御を行う照射制御部１６１と、基板検出センサ１５１〜１５４により検出される基板２の搬送位置に基づいて、搬送装置１１１による基板の搬送速度を制御する搬送制御部１７１とを備えている。
【００８５】
基板移載部１０１は、乾燥装置３０から搬送装置１１１に基板２を移載する機能を備えている。基板移載部１０１は、基板保持部１０２と、基板保持部１０２を基板搬送方向に往復移動させる水平移動機構１０４と、基板保持部１０２を垂直方向に往復移動させる垂直移動機構１０５とを備えている。また、基板保持部１０２には、基板２を吸着保持する吸着保持具１０３が配設されている。吸着保持具１０３は、吸着ノズルなどで構成され、図示しないエアチューブを介して真空ポンプに連結されている。
【００８６】
搬送装置１１１は、基板２との接触面積が少なくなるように、細幅のローラ（車輪部）１１２が所定間隔を設けて配設されたローラ式のコンベア装置が採用され、複数のローラ１１２を備えたコンベア部１１３と、これらローラ１１２の間に昇降可能に配設された基板持上げ部１１４と含んで構成されている。また、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの前後には、搬送される基板２の落下を防止するための落下防止板１１５がローラ１１２の上端部のみを臨ませた状態で配設されている。また落下防止板１１５の表面には、基板２の搬送を補助するための小型のベアリング（回転）部材１１６が複数配設されている。
【００８７】
位置決め装置１２１は、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂ及び第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂによる紫外線照射を行う前段で基板２の位置決めを行うために設けられている。位置決め装置１２１は、乾燥装置３０から搬送装置１１１上に移送されてきた基板２の位置決め（位置調整）を行う位置決めガイド部１２２と、位置決めガイド部１２２を所定方向に駆動させる駆動部１２３とを含んで構成されている。
【００８８】
位置決め装置１２１による基板２の位置決め工程は、乾燥装置３０から搬送装置１１１の上に基板を移送した後、基板持上げ部１１４により基板２をローラ１１２から一旦持ち上げた状態にする。その後、コンベア部１１３の両側に設けられた位置決めガイド部１２２を、基板２を挟み込む方向に所定位置まで移動させて、基板２を位置決めガイド部１２２で挟むようにして所定位置に位置決めする。位置決め後、基板持上げ部１１４を降下させて、基板２をローラ１１２上に配置して終了する。位置決めガイド部１２２の内側面には、基板２を傷つけることなく把持するための部材を配設してもよい。
【００８９】
第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂは、搬送装置１１１の上下位置に１台ずつ、上方向と下方向への照射角度を所定角度ずらした状態で配置され、照射部１３２には、多数個の紫外線照射用ＬＥＤが列設されている。第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂは、基板２の搬送方向と交差する向きに配設され、該交差する向きの基板２の端面や周縁部に紫外線を照射するためのものであり、照射制御部１６１により照射状態（ＯＮ／ＯＦＦ）の切替等の制御が可能になっている。第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂが、上方向と下方向への照射角度を所定角度ずらした状態で配設することにより、互いの照射部１３２を保護することが可能となっている。
【００９０】
第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂは、搬送装置１１１の上下に１台ずつ、上方向と下方向への照射位置を搬送方向にずらした状態で配置され、照射部１４２には、多数個の紫外線照射用ＬＥＤが列設されている。第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂは、搬送装置１１１の両側（基板の搬送方向と平行する向き）に配設され、該平行する向きの基板２の端面や周縁部に紫外線を照射するためのものであり、照射制御部１６１により照射状態（ＯＮ／ＯＦＦ）の切替等の制御が可能となっている。
前記紫外線照射用ＬＥＤには、例えば、３５０ｎｍ〜４００ｎｍ前後、好ましくは３６０ｎｍの波長、指向角が３０°前後のものを使用することが好ましいが、これに限定されない。
【００９１】
第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂや第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの周辺部には、搬送されてくる基板２を検知するための複数の基板検知センサ１５１〜１５４が設置されている。基板検知センサ１５１〜１５４は、例えば、光センサや赤外線センサ、画像センサなどで構成することができる。
【００９２】
照射制御部１６１は、これら基板検出センサ１５１〜１５４により検出される基板２の搬送位置に基づいて、すなわち基板２の端部が、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂと第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂのそれぞれの照射域を通過するタイミングで、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂと第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの照射ＯＮ／ＯＦＦ制御を行う機能を有している。照射制御部１６１は、マイコン、ドライバ回路、記憶部及び電源部など（いずれも図示せず）を含んで構成されている。なお、照射制御部１６１は１つ又は複数の制御ユニットで構成することができる。
【００９３】
搬送制御部１７１は、基板２の搬送方向と交差する向きの基板２の端面が第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの照射域を通過する第１の速度と、基板の搬送方向と平行する向きの基板２の端面が第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの照射域を通過する第２の速度とを制御する。搬送制御部１７１では、第１の速度が第２の速度より小さくなるように搬送制御が実行されるようになっている。搬送制御部１７１は、マイコン、ドライバ回路、記憶部及び電源部など（いずれも図示せず）を含んで構成されている。なお、搬送制御部１７１は１つ又は複数の制御ユニットで構成することができる。
【００９４】
実施の形態に係る紫外線照射装置１００の動作について説明する。
基板移載部１０１を駆動させて、乾燥装置３０の搬出装置９１（搬出用フォーク部９２）から搬送装置１１１のローラ１１２上に基板を移送し、基板２をローラ１１２に載置する。
次に搬送装置１１１の基板持上げ部１１４と、位置決め装置１２１とを駆動させて、基板２を所定の位置、すなわち、基板２の搬送方向と平行な向きの基板両辺の位置が、第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの照射部１４２と一致するように位置決めする。
【００９５】
該位置決め後、基板２がローラ１１２に載置されて搬送装置１１１が駆動される。第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの手前で、基板検出センサ１５１により基板２が検知されると、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂによる照射が開始されるとともに、基板２の搬送速度が第１の速度（例えば、５ｍｍ／ｓｅｃ）に制御され、搬送方向に対して前方の基板２の端面及び該端面を含む周縁部に紫外線が照射される。
【００９６】
その後、基板検出センサ１５２により、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの間を通過した基板２が検知されると、第１の紫外線照射ユニットによる照射を終了するとともに、基板２の搬送速度が第２の速度（例えば、６０ｍｍ／ｓｅｃ）に制御される。
【００９７】
その後、第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂの手前で、基板検出センサ１５３により基板が検知されると、第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂによる照射が開始され、搬送方向に対して両側の基板２の端面及び該端面を含む周縁部に紫外線が照射される。
【００９８】
その後、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの手前で、基板検出センサ１５１により基板２が検知されなくなる（基板２が通過して非検知状態になる）と、再度、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂによる照射が開始されるとともに、基板２の搬送速度が第１の速度に制御され、搬送方向に対して後方の基板２の端面及び該端面を含む周縁部に紫外線が照射される。
【００９９】
その後、基板検出センサ１５２により、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂの間を通過した基板２が検知されなくなる（基板２が通過して非検知状態になる）と、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂによる照射を終了するとともに、基板の搬送速度が第２の速度に制御される。
【０１００】
その後、基板検出センサ１５４により、第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂを通過した基板が検知されなくなる（基板が通過して非検知状態になる）と、第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂによる照射を終了し、その後、基板２が搬送装置１１１により、紫外線照射装置１００の外に搬送されたことが外部センサで検知されると、搬送装置１１１の駆動が停止される。
【０１０１】
上記実施の形態に係る乾燥装置３０によれば、乾燥室３１の各棚部３２に一枚ずつ基板２を搬入出することができるとともに、乾燥室３１に複数の基板２を収容することができ、装置の省スペース化、小型化を図ることができる。また、乾燥中は、基板押え部材４１で基板２が適切に押えられるため、搬入出時や乾燥時に送風による基板２の浮き上りや位置ずれを防止することができ、また、送風部６２により、基板２の各辺（端面や周縁部）に効率良く風を吹き付けることができ、基板２の端面や周縁部に塗布された液剤を効率よく、しかもきれいに乾燥させることができる。
【０１０２】
また、乾燥装置３０によれば、搬入用フォーク部８２と搬出用フォーク部９２とが、複数の桟部材３６の間を昇降可能に構成されているので、基板１枚当りの搬入出に必要な高さを５０ｍｍ以下（４０ｍｍ〜５０ｍｍ程度）に抑えることができ、２４枚程度収納可能な乾燥室３１でも、その高さを１２０〜１３０ｃｍ程度の高さに抑えることができ、コンパクトかつメンテナンス性に優れた装置とすることができる。
【０１０３】
また、乾燥装置３０によれば、搬入用開閉扉５１と搬出用開閉扉５２の開閉動作を搬入用フォーク部８２と搬出用フォーク部９２の動作で行うので、搬入用開閉扉５１と搬出用開閉扉５２を開閉するための個別の動力が不要となり、装置の省エネ化を図ることができる。
【０１０４】
また、乾燥装置３０によれば、搬入用開閉扉５１と搬出用開閉扉５２とが閉じられる際、磁石５１ｂ、５２ｂ、３８ａ、３９ａの磁力により、搬入用開閉扉５１と搬出用開閉扉５２とが、それぞれ搬入側縦枠部３８と搬出側縦枠部３９とに引き付けられて閉じやすく、また、閉じた状態を磁石の磁力により安定させることができる。
【０１０５】
また、乾燥装置３０によれば、基板押え部材４１の張出部４３に設けられた複数の回転部材４４が、搬入用フォーク部８２の外側フォーク部８３、及び搬出用フォーク部９２の外側フォーク部９３の上にそれぞれ乗り上げ可能に構成されているので、基板押え部材４１の上下方向の動作を、搬入用フォーク部８２や搬出用フォーク部９２の動作で実行することができ、基板押え部材４１のための個別の動力が不要となり、装置の省エネ化を図ることができ、また、搬入用フォーク部８２の外側フォーク部８３や搬出用フォーク部９２の外側フォーク部９３の上に、基板押え部材４１をスムーズに載せることができ、基板２の搬入・搬出動作をスムーズに行わせることができる。
【０１０６】
また、乾燥装置３０によれば、搬入側下枠部３３、及び／又は搬出側下枠部３４に設けられた位置規制具３５により回転部材４４の水平方向に対する位置ずれが規制され、基板押え部材４１の位置ずれを防止することができる。
【０１０７】
また、乾燥装置３０によれば、桟部材３６の固定部３７に遊びを持たせているので、例えば、乾燥室３１内の熱（熱風）により桟部材３６が長手方向に熱膨張しても、該熱膨張による歪みを適切に逃がすことができ、桟部材３６の変形などを防止することができる。
【０１０８】
また、乾燥装置３０によれば、持ち上げ機構４６により各棚部３２に載置された全ての基板押え部材４１を各棚部３２から一度に持ち上げることができ、搬入した基板２の位置ずれ等が生じた場合のメンテナンス作業などを容易に行うことができる。
【０１０９】
また、乾燥装置３０によれば、送風部６２が、縦型の送風用筒状部６２ａと縦長の吹き出し口６２ｂとを備えているので、乾燥室３１のいずれの高さ位置の棚部３２に載置された基板２に対しても、ほぼ同じ条件で均等に効率良く気体を吹き付けることができる。
また、吸引部６３が、縦型の吸引用筒状部６３ａと縦長の吸引口６３ｂとを備えているので、送風部６２による乾燥室３１内の気体の流れに沿って気体を吸引することができ、送風の流れを一定に保つことができる。また、吸引機７４により吸引された気体が送風機７２に送り出されるので、乾燥室３１内の気体を循環させることができ、特に、温風（熱風）を使用した場合には熱エネルギーの損失を減らすことができ、省エネ化を図ることができる。
【０１１０】
また、乾燥装置３０によれば、排気機構７８により乾燥室３１内の気体を必要に応じて外部に排出することができ、また、吸引機構により、外気を適宜取り込むことができ、乾燥室３１内の温度や湿度などの条件を適切に調整することができる。
【０１１１】
また、上記実施の形態に係る紫外線照射装置１００によれば、基板２の端面や周縁部のみに正確に紫外線を照射することができ、基板２の端面や周辺部に塗布された液剤の硬化処理を効率良く実行することができる。また、第１の紫外線照射ユニット１３１Ａ、１３１Ｂと第２の紫外線照射ユニット１４１Ａ、１４１Ｂとが、ＬＥＤ方式の紫外線照射ユニットであるので、紫外線硬化樹脂を含む液剤を短時間で硬化・乾燥させることができ、装置の小型化を図ることができ、さらに、装置の長寿命化及びメンテナンスに係るコストを減らすことができる。
【０１１２】
また、照射制御部１６１と搬送制御部１７１とにより、基板２の搬送方向と交差する向きの基板２の端面への紫外線照射と、基板２の搬送方向と平行する向きの基板２の端面への紫外線照射とを適切に制御することができ、基板２の全周に渡ってバラツキのない均一な硬化・乾燥処理を行うことができる。
【０１１３】
なお、上記実施の形態では、光照射装置が紫外線照射装置１００である場合について説明したが、本発明に係る光照射装置は、紫外線照射装置１００に限定されるものではなく、電子線等の放射線や可視光線で硬化する樹脂を含む液剤が塗布された基板に、放射線や可視光線などの光を照射する装置にも適用可能である。
【０１１４】
また、上記実施の形態に係る塗布システム１によれば、乾燥時間が短い液剤を使用する場合でも乾燥時間が長い液剤を使用する場合でも、液剤の特性にかかわらず、基板２の端面や周辺部への塗布処理と、乾燥処理とを効率良く行うことができる。また、紫外線硬化剤を含む液剤を使用する場合でも、基板２の端面や周辺部に塗布された液剤の硬化処理を効率良く実行することができ、塗布作業から乾燥・硬化処理の一連の処理を効率良く、省スペースで実現することができる。
【０１１５】
なお、上記塗布システム１は、塗布装置１０、乾燥装置３０、及び紫外線照射装置１００で構成されているが、別の実施の形態では、塗布装置１０と乾燥装置３０で構成された塗布システム、又は塗布装置１０と紫外線照射装置１００で構成された塗布システムとすることもできる。
【０１１６】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は、上記した実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、本発明の実施の形態に対して種々の変形や変更を施すことができ、そのような変形や変更もまた本発明の技術的範囲に含まれる。また、発明の実施の形態に記載された、作用及び効果は、本発明から生じる最も好適な作用及び効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用及び効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１１７】
１  塗布システム
１０  塗布装置
３０  乾燥装置
３１  乾燥室
３２  棚部
４１  基板押え部材
５１  搬入用開閉扉
５２  搬出用開閉扉
６２  送風部
６３  吸引部
８１  搬入装置
８２  搬入用フォーク部
９１  搬出装置
９２  搬出用フォーク部
１００  紫外線照射装置（光照射装置）
１１１  搬送装置
１２１  位置決め装置
１３１Ａ、１３１Ｂ  第１の紫外線照射ユニット
１４１Ａ、１４１Ｂ  第２の紫外線照射ユニット
１５１、１５２、１５３、１５４  基板検出センサ
１６１  照射制御部
１７１  搬送制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006660246.tif 000008
【図８】
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