(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイパッドと前記ダイパッドの周囲に設けられた電極端子部とを有し帯状に配列された複数の回路パターンと、前記電極端子部を構成する複数の電極端子の間を接続しつつ前記回路パターンの配列方向に延在するタイバーと、前記各回路パターン間に仕切り枠を有し前記複数の電極端子及び前記タイバーの両端部に接続され前記回路パターンを囲むように配置された枠部と、前記枠部と前記ダイパッドとの間を前記回路パターンの配列方向に接続する吊リードと、を有するリードフレームにおいて、前記ダイパッドに半導体素子を接合するダイボンディング工程と、
前記半導体素子と前記複数の電極端子とを金属ワイヤーによって電気的に接続するワイヤーボンディング工程と、
前記複数の電極端子の端部と前記枠部との接続部分、前記回路パターンの配列方向の両端部における前記枠部と前記タイバーとの接続部分、前記回路パターン間における前記枠部で前記タイバーとの接続部位から前記回路パターンの配列方向に延在する前記枠部の部位までの間の接続部分、をそれぞれ切断し、前記電極端子部における前記タイバーと前記ダイパッドとの間の部位を屈曲させて前記タイバーを含む前記電極端子部の端部を前記半導体素子の上面が向いている方向に延在せしめるリードフォーミング工程と、
前記電極端子部で前記タイバーより前記半導体素子の上面が向いている方向に位置する部位および前記タイバーが露出するように前記リードフレームを樹脂封止する樹脂封止工程と、
前記各回路パターン間をそれぞれ切断して個々の半導体装置へと分離するリードカット工程と、
を備える半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂封止工程において、前記リードフォーミング工程を経たリードフレームを金型の内部に配置し、前記金型の上部に設けられ配列方向が長手となる矩形状の開口を呈する端子孔を通して前記金型外部に露出した部位を可動クランプによってクランプすることにより前記タイバーを含む部位を挟持するとともに、前記可動クランプの先端部を前記端子孔に嵌合せしめることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記吊リードに、配列方向と直交する方向に平行な段差を設けることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記吊リードの厚みが０．４〜０．７ｍｍであり、配列方向と直交する方向の幅が１０〜２０ｍｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
ダイパッドと前記ダイパッドの周囲に設けられた電極端子部とを有し帯状に配列された複数の回路パターンと、前記電極端子部と接続して前記電極端子部と前記ダイパッドとを囲むように配置された枠部と、前記枠部と前記ダイパッドとの間を接続する吊リードと、
を有するリードフレームにおいて、前記ダイパッドに半導体素子を接合するダイボンディング工程と、
前記半導体素子と前記電極端子部とを金属ワイヤーによって電気的に接続するワイヤーボンディング工程と、
前記電極端子部と前記枠部との接続部位を切断し、前記半導体素子の上面が向いている方向に前記電極端子部を屈曲させて延在せしめるリードフォーミング工程と、
前記電極端子部で前記半導体素子の上面が向いている方向に位置する部位が露出するように前記リードフレームを樹脂封止する樹脂封止工程と、
前記各回路パターン間をそれぞれ切断して個々の半導体装置へと分離するリードカット工程と、
を備える半導体装置の製造方法。
【請求項６】
半導体素子の裏面と接合されたダイパッドを有するリードフレームと前記半導体素子と
が単一の熱硬化性の樹脂を用いてトランスファーモールドにより封止された半導体装置であって、
前記半導体素子の表面が向いている方向のみに前記リードフレームの電極端子部が前記樹脂から露出して延在し、
前記ダイパッドには、複数の回路パターンが帯状に連なった配列方向と直交する方向に平行な段差が設けられていることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に電極端子を半導体素子の上面に延在するように配置する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パワー半導体装置は、コスト低減やプリント基板への配置面積縮小のために装置の小型化に対する要求が高まっている。電極端子が半導体装置の側面（半導体素子の表面と平行方向）に延在している一般的な半導体装置では、プリント基板に配置する半導体素子数が増加すると配置面積が大きくなってしまう。そのため、電極端子が半導体装置の側面に延在するのではなく、半導体装置の上面（半導体素子の表面と垂直方向）に延在するように構成することで半導体装置を小型化し、また、プリント基板への配置面積を小さくできる半導体装置の製造方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３３４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された半導体装置の製造方法では、電極端子を半導体素子の上面に延在させた半導体装置において、リードフォーミング工程から樹脂封止工程まで単一のリードフレームから複数の半導体装置を一括して製造することができず、生産効率が悪くなるといった問題点があった。
【０００５】
本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、電極端子を半導体素子の上面に延在させた半導体装置において、単一のリードフレームから複数の半導体装置を一括して効率よく製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、ダイパッドとダイパッドの周囲に設けられた電極端子部とを有し帯状に配列された複数の回路パターンと、電極端子部を構成する複数の電極端子の間を接続しつつ回路パターンの配列方向に延在するタイバーと、各回路パターン間に仕切り枠を有し複数の電極端子及びタイバーの両端部に接続され回路パターンを囲むように配置された枠部と、枠部とダイパッドとの間を回路パターンの配列方向に接続する吊リードと、を有するリードフレームにおいて、ダイパッドに半導体素子を接合するダイボンディング工程と、半導体素子と複数の電極端子とを金属ワイヤーによって電気的に接続するワイヤーボンディング工程と、複数の電極端子の端部と枠部との接続部分、回路パターンの配列方向の両端部における枠部とタイバーとの接続部分、回路パターン間における枠部でタイバーとの接続部位から回路パターンの配列方向に延在する枠部の部位までの間の接続部分、をそれぞれ切断し、電極端子部におけるタイバーとダイパッドとの間の部位を屈曲させてタイバーを含む電極端子部の端部を半導体素子の上面が向いている方向に延在せしめるリードフォーミング工程と、電極端子部でタイバーより半導体素子の上面が向いている方向に位置する部位およびタイバーが露出するようにリードフレームを樹脂封止する樹脂封止工程と、各回路パターン間をそれぞれ切断して個々の半導体装置へと分離するリードカット工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、電極端子を半導体素子の上面に延在させた半導体装置を、リードフォーミング工程から樹脂封止工程まで単一のリードフレームから複数の半導体装置を一括して製造するため、生産効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法で製造された半導体装置を示す平面図である。
【図２】実施の形態１に係る図１の半導体装置におけるＡ−Ａ’線の断面図である。
【図３】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法のフローチャートである。
【図４】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法で製造された半導体装置におけるリードフレームの平面図である。
【図５】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法で製造された半導体装置におけるフレーム枠を示すリードフレームの平面図である。
【図６】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法におけるワイヤーボンディング工程後の半導体装置の構成を示す平面図である。
【図７】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法におけるフレーム枠切り離し後の半導体装置の構成を示す平面図である。
【図８】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法におけるリードフォーミング工程後の半導体装置の構成を示す平面図である。
【図９】実施の形態１に係る図８の半導体装置におけるL−L’線の断面図である。
【図１０】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法における樹脂封止金型の構成を示す断面図である。
【図１１】実施の形態１に係る半導体装置の製造方法における樹脂封止工程での可動クランプの構成を示す斜視図（ａ）と平面図（ｂ）と樹脂封止金型のクランプ位置（ｃ）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
実施の形態１における半導体装置の製造方法について説明する。図１は、実施の形態１の半導体装置の製造方法で製造された半導体装置を示す平面図である。半導体装置１００は、半導体素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄがリードフレーム２上に、はんだあるいは金属ワイヤー３等で電気的に接続され、樹脂４により封止されることで構成される。半導体素子は、例えば、ＩＧＢＴ、ダイオード、ＭＯＳＦＥＴ等が一例として挙げられる。
【００１０】
図１に示す回路においては、ＩＧＢＴ１ａとダイオード１ｂが並列回路を構成し、ＩＧＢＴ１ｃとダイオード１ｄとが並列回路を構成し、両者が電気的に直列接続してインバーター回路を構成する。電極端子は主端子１１、１２、１３と制御端子１４、１５とで構成され、電流経路として機能する。主端子１１は、ＩＧＢＴ１ａのコレクタ電極及びダイオード１ｂのアノード電極と電気的に接続されている。ＩＧＢＴ１ａのエミッタ電極とダイオード１ｂのカソード電極とは、ワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。また、制御端子１４とＩＧＢＴ１ａのゲート電極（図示せず）とは、ワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。さらに、ＩＧＢＴ１ａのエミッタ電極と主端子１２とは、ワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。主端子１２は、ＩＧＢＴ１ｃのコレクタ電極及びダイオード１ｄのアノード電極と電気的に接続されており、ＩＧＢＴ１ｃのエミッタ電極とダイオード１ｄのカソード電極とは、ワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。また、制御端子１５がＩＧＢＴ１ｃのゲート電極（図示せず）とワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。さらに、ダイオード１ｄのカソード電極は主端子１３とワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。なお、半導体素子の個数は４個に限定されるものではなく、任意の数を使用してもよい。
【００１１】
図２は、図１の半導体装置におけるＡ−Ａ’線の断面図である。リードフレームの電極端子部２ａが半導体装置の上面（半導体素子の表面と垂直方向）に延在するように配置されており、樹脂４の外部へ露出している。このような構成では、半導体装置の側面方向に電極端子が突出していない分、半導体装置を小型化することが可能となる。さらに、かかる半導体装置を外部基板へ配置する際には配置面積を小さくできる効果がある。以下、半導体装置１００の製造方法について説明する。
【００１２】
図３は実施の形態１の半導体装置の製造方法のフローチャート、図４及び図５は実施の形態１に係る半導体装置の製造方法に使用されるリードフレームの平面図であり、図４では半導体装置の電極端子部となるべき部位、図５では、フレーム枠の部位をそれぞれ破線で示している。
図４及び図５に基づき、リードフレームについて説明する。リードフレーム２は、個々の半導体装置に対応した回路パターンが、個々の電極端子が延在する方向が側面となるように一列に並ぶ、つまり、複数の回路パターンが帯状に連なるように配列される。配列方向に対する側面部分は、後述するリードフォーミング工程において、折り曲げられる部位に対応する。リードフレーム２の材質としては、例えば銅が挙げられるが、他の導電性に優れた金属材料でも良い。
【００１３】
リードフレーム２における構成要素として、個々の半導体装置に対応する回路パターンの電極端子部２ａとダイパッド部２ｂと、タイバー２ｃと、吊リード２ｄと、フレーム枠２eと、仕切り枠２ｆとを一体に備える。なお、フレーム枠２eと、仕切り枠２ｆとを総称して枠部と呼ぶ。電極端子部２aは、図１で説明した主端子１１、１２、１３と制御端子１４、１５とに対応する部位であり、複数の電極端子で構成される。
一方、ダイパッド部２ｂは半導体素子をリードフレームに搭載する際の搭載部分である。タイバー２ｃは、電極端子部２aにおいて、隣り合う二つの各電極端子の間に配設され、各電極端子を繋いでいる。すなわち、各電極端子部２ａと枠部とが、個々の電極端子が延在する方向に対して直角をなす方向に延在する各タイバー２ｃによってそれぞれ繋がれている。また、リードフレーム２の各半導体装置に対応する各タイバー２ｃは、リードフレーム全体としてみた場合、配列方向に、直線状となるようにそれぞれ配置されている。
なお、図５のフレーム枠２eとは、二つの破線の間で囲まれている範囲を指し、複数の半導体装置をリードフレーム単位で搬送する際に利用する部位である。ここでは、フレーム枠２eを明示するために、図４ではなく、図５中に破線で示している。さらに、フレーム枠２eで囲まれる領域は、仕切り枠２ｆにより各半導体装置に対応する個々の回路パターン領域に分けられている。配列方向において、仕切り枠２ｆはタイバー２ｃと交差して連結される。吊リード２ｄは、枠部（フレーム枠２e及び仕切り枠２ｆ）とダイパッド２ｂとの間に設けられ、リードフレーム単位で製造される各工程において、仕切り枠２ｆおよびタイバー２ｃと共働しつつ、ダイパッド部２ｂを支える機能を果している。
【００１４】
次に、図３の各工程について説明する。まず、ダイボンディング工程において、半導体素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを、ダイパッド部２ｂに、はんだによって接合する。次いで、ワイヤーボンディング工程において、半導体素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの表面側の電極（図示せず）と電極端子部２a、並びに、半導体素子１aの電極と半導体素子１ｂの表面との電極間、及び、半導体素子１ｃの電極と半導体素子１ｄの表面との電極間を、それぞれ、金属ワイヤー３により電気的に接続する。
【００１５】
次いで、リードフォーミング工程について説明する。図６はワイヤーボンディング工程後の半導体装置の構成を示す平面図、図７はリードフォーミング工程におけるフレーム枠切り離し後の半導体装置の構成を示す平面図、図８はリードフォーミング工程後の半導体装置の構成を示す平面図、図９は図８の半導体装置におけるL−L’線の断面図である。
【００１６】
リードフォーミング工程では、電極端子部２aを屈曲させるが、屈曲させる前段階として、リードフレーム２のフレーム枠２eから、電極端子部２a、タイバー２ｃ、及び仕切り枠２ｆをそれぞれ切り離す。
フレーム枠２eから、電極端子部２a、タイバー２ｃ、及び仕切り枠２ｆを切り離す位置は、Ｄ−Ｄ’線、Ｅ−Ｅ’線、Ｆ−Ｆ’線、Ｇ−Ｇ’線、Ｈ−Ｈ’線、I−I’線であり、これらの線に沿ってリードフレームを切断する。なお、切断方法はパンチング等により行う。吊リード２ｄが、仕切り枠２ｆおよびタイバー２ｃと共働しつつフレーム枠からダイパッド部２ｂに繋がることによって、ダイパッド部２ｂを支えている。したがって、上記の切り離し位置で切断する際に、電極端子部２aあるいはダイパッド部２ｂが切断によりリードフレームから落下することを防止できる。
【００１７】
かかるリードフレーム構成の採用により、電極端子部２aあるいはダイパッド部２ｂが変形することをも抑制でき、フレーム枠２eを屈曲させることなく電極端子部２aを屈曲できる。なお、吊リード２ｄの厚みを厚く、吊リードの幅を一定の範囲内の幅とすることで、ダイパッド部２ｂをより一層強固に支えることができる。吊リード２ｄの厚みは０．４〜０．７ｍｍ、幅は１０〜２０ｍｍで構成することが好ましい。さらに、図９に示すように、吊リード２ｄに、配列方向と直交する方向に平行な段差を設けることでダイパッド部２ｂをより一層強固に支えることができる。段差の曲率半径Ｒは０．３ｍｍ以上が好ましい。
【００１８】
フレーム枠２eから電極端子部２aとタイバー２ｃと各回路パターン間の仕切り枠２ｆとを切り離した後、電極端子部２aを、半導体素子の上面に延在する方向になるように屈曲する。屈曲位置は、図７中のＪ−Ｊ’線、および、Ｋ−Ｋ’線である。図２のように半導体装置が完成した際に、電極端子が樹脂外部に突出する位置になるように屈曲させる。
電極端子部２aは、タイバー２ｃよりも内側（半導体素子側）で、かつ、金属ワイヤーと電極端子部２aとの接続位置よりも外側の範囲内で屈曲させる。電極端子部２aの屈曲後は、図９のように電極端子部２aが半導体素子の上面に延在する。なお、電極端子部２aの屈曲方法としては、ローラー曲げまたはカム曲げのいずれを使用してもよい。
【００１９】
一方、フレーム枠２eは屈曲させないため、フレーム枠２e部分をハンドリング領域として使用できる結果、複数の半導体装置をリードフレーム一体の状態で容易に搬送できる。つまり、リードフレーム２を搬送する際には、フレーム枠を掴む、押す、引くなどの動作により搬送する。さらに、フレーム枠２eに位置決め用の窪みあるいは孔を設けることで（図示せず）、リードフレーム搬送時の位置決め精度を高めることが可能となり、各工程において搬送先の位置の再調整が容易となる結果、円滑に加工を行うことができる。
【００２０】
次いで、樹脂封止工程について説明する。図１０は、本実施の形態１に係る半導体装置の製造方法中の樹脂封止工程に用いられる樹脂封止金型の構成を示す断面図である。図１０の樹脂封止金型は、上型定盤２０に設けられた上金型２１と、下型定盤３０に設けられた下金型３１とを、上下一対の金型として備えている。上金型２１及び下金型３１の一部である上金型キャビティブロック２２の上金型パーティング面２２ａと下金型キャビティブロック３２の下金型パーティング面３２aとが合わせられることで、金型内部空間（２２ｂと３２ｂとにより形成される空間）が形成される。そして、当該金型内部空間に、電極端子部２ａの先端部とタイバー２ｃと仕切り枠２ｆの先端部以外の残りの部分とが収納される。上記収納作業と並行して、金型内部空間と連通した端子孔２２ｃに電極端子部２ａの先端部とタイバー２ｃと仕切り枠２ｆの先端部とが配置（挿入）される。フレーム枠２ｄと電極端子部２aとは、該金型内部空間と一致するようにリードフォーミング工程時に切り分けていることから、電極端子を半導体素子の上面に延在するように構成された複数の半導体装置をフレーム枠で繋がった状態で一括して樹脂封止できる。
【００２１】
図１１は、樹脂封止工程における可動クランプの構成を示す斜視図（ａ）と平面図（ｂ）と樹脂封止金型でのクランプ位置を示す図（ｃ）である。金型上面２３は樹脂封止金型の上面を示しており、端子孔２２ｃを備えている。端子孔２２ｃを通して樹脂封止金型の外部へ突出している電極端子部２aの先端部とタイバー２ｃと仕切り枠２ｆとを、可動クランプ４０でタイバー２ｃ、並びに、その周辺部分の表面及び裏面を挟み込み、可動クランプ４０の少なくとも一部を端子孔２２ｃに嵌合することで電極端子部２ａの一端側の空間と他端側（先端部側）の空間とを実質的に遮断した状態にする。
挟み込み後、電極端子部２ａの一端側から液状の樹脂を注入する。可動クランプを利用した製造方法によれば、液状の樹脂が、電極端子部２ａの他端側に流出するのを抑制することが可能となる。つまり、電極端子部２ａの他端（先端部）が、トランスファーモールド樹脂となる液状の樹脂に付着したり埋没したりすることをタイバー２ｃなどによって抑制することが可能となる。
【００２２】
液状の樹脂を注入する際は、樹脂注入口であるゲート（図示せず）から金型内部空間に、トランスファーモールド樹脂（図１）となる液状の樹脂を注入する。注入する樹脂としては、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂が適用される。なお、ダイパッド部２bの下に樹脂が注入されるフルモールド構造に限らず、ダイパッド部２ｂの下に絶縁シートや絶縁基板を設け、さらにその下にヒートシンクを金型内部空間に設けてから樹脂封止してもよい。
【００２３】
上型定盤２０及び下型定盤３０にはヒータ（図示せず）が埋め込まれており、このヒータによって上金型２１及び下金型３１が昇温される。金型内部空間に注入された樹脂は、加圧された後、上金型２１及び下金型３１からの熱量によって硬化されることによって、トランスファーモールド樹脂となり、樹脂封止工程が完了する。
なお、樹脂封止工程では、ダイパッド部２bを支える吊リード２ｄを設けることによって、樹脂注入中における樹脂の圧力によるダイパッド部の浮き沈みを抑制することができる。
【００２４】
樹脂封止工程後のリードカット工程では、タイバー２ｃと、仕切り枠２ｆと、吊リード２ｄ等がパンチングによりカットされる。かかるカットにより、複数の電極端子２ａが各電極端子間で電気的に独立し、また、電極端子が半導体素子の上面に延在するように構成された複数の半導体装置は、個々の半導体装置に分離されて、図２に示した半導体装置が完成する。
なお、吊リード２ｄをカットする際に、半導体装置１００を構成する樹脂４から吊リード２ｄを引き抜いてもよい。吊リード２ｄが樹脂内部から引き抜かれてカットされるため、電極端子の先端部から吊リードまでの絶縁距離を長くすることができる。
【００２５】
実施の形態１の半導体装置の製造方法によれば、ダイパッド部を支える吊リードをリードフレ−ムに設けることで、電極端子部をフレーム枠から選択的に切り離し、切り離した電極端子部を半導体素子の上面方向に延在するように屈曲させることで、ダイボンド工程から樹脂封止工程まで、特に、リードフォーミング工程から樹脂封止工程まで、単一のリードフレームを用いて電極端子が半導体素子の上面方向に延在するように構成された複数の半導体装置を一括して製造可能となる。また、上記各工程においてフレーム枠を利用することで簡便に搬送できるため、生産効率を向上できるという効果を奏する。
【００２６】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態及び変形例を自由に組み合わせ、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００２７】
１００  半導体装置、１ａ，  １ｂ，  １ｃ，  １ｄ  半導体素子、２  リードフレーム、２ａ  複数の電極端子（電極端子部）、２ｂ  ダイパッド部、２ｃ  タイバー、２ｄ  吊リード、２e  フレーム枠、２ｆ  仕切り枠、３  金属ワイヤー、４  樹脂、１１、１２、１３  主端子、１４、１５  制御端子、２０  上型定盤、２１  上金型、２２  上金型キャビティブロック、２２ａ  上金型パーティング面、２２ｃ端子孔、２３  金型上面、３０  下型定盤、３１  下金型、３２  下金型キャビティブロック、３２ａ  下金型パーティング面、４０  可動クランプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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