(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料（１１８）内の実質的に丸い穴（１１６）についての検査システム（１０２）用のプローブ（１００）であって、当該プローブ（１００）が、
前記実質的に丸い穴（１１６）の内部（１１４）の一部分（１１２）に実質的に一致するように形作られた可撓性シート（１１０）と、
前記可撓性シート（１１０）上に配設された複数のセンサ（１２０）であって、各センサ（１２２）が、前記実質的に丸い穴（１１６）を検査するため前記材料（１１８）内に非破壊信号を送信するように構成されている、複数のセンサ（１２０）と、
前記実質的に丸い穴（１１６）に対して前記可撓性シート（１１０）を支持するための、前記可撓性シート（１１０）に結合したプローブ支持体（１３０）と、
プローブ（１００）の位置を制御するための、前記プローブ支持体（１３０）に結合したハンドル（１３２）と、
ガイド支持体（１３４）であって、ガイド支持体（１３４）の第１の端（１３６）で前記ハンドル（１３２）に枢動可能に結合された、ガイド支持体（１３４）と、
前記実質的に丸い穴（１１６）の前記内部（１１４）の前記可撓性シート（１１０）から対向する部分（１４２）に係合するための前記ガイド支持体（１３４）の第２の端（１４０）に結合したガイド部材（１３８）と、
前記ガイド部材（１３８）を前記対向する部分（１４２）に押付けるよう前記ガイド支持体（１３４）を偏倚させる偏倚要素（１５０）であって、偏奇要素（１５０）の一方の端部が前記ハンドル（１３２）に結合し、偏奇要素（１５０）の他方の端部が前記ガイド支持体（１３４）に結合した偏奇要素（１５０）と
を備えており、前記ガイド部材（１３８）が、前記一部分（１１２）に沿って前記可撓性シート（１１０）を誘導するため、前記可撓性シート（１１０）と共にかつ前記対向する部分（１４２）を基準にして可動である、プローブ（１００）。
【請求項２】
前記非破壊信号が、渦電流信号及び超音波信号の一方を含む、請求項１に記載のプローブ（１００）。
【請求項３】
前記可撓性シート（１１０）がポリスチレン基材を含む、請求項１又は請求項２に記載のプローブ（１００）。
【請求項４】
前記ポリスチレン基材が、前記実質的に丸い穴（１１６）の前記内部（１１４）の一部分（１１２）に実質的に一致するように構成された形状を有する、請求項３に記載のプローブ（１００）。
【請求項５】
前記ガイド部材（１３８）がホイールを含む、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のプローブ（１００）。
【請求項６】
前記可撓性シート（１１０）が、前記実質的に丸い穴（１１６）の端に嵌まるサイズに作られた第１の圧縮位置と、前記実質的に丸い穴（１１６）の内部（１１４）の部分（１１２）に実質的に一致するサイズに作られた第２の拡張位置との間で撓むことが可能である、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のプローブ（１００）。
【請求項７】
前記部分（１１２）が、前記実質的に丸い穴（１１６）の前記内部（１１４）の実質的に半円の部分（１１２）を含み、前記可撓性シート（１１０）が、前記実質的に丸い穴（１１６）の前記内部（１１４）の前記実質的に半円の部分（１１２）に実質的に一致するサイズに作られる、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のプローブ（１００）。
【請求項８】
前記複数のセンサ（１２０）が前記可撓性シート（１１０）上のライン（１２４）に沿って延在する、請求項７に記載のプローブ（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、一般に、検査システムに関し、より詳細には、渦電流又は超音波を使用する実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービン等の産業機械は、穴を有する多数の部品を有し、部品は、渦電流又は超音波を使用する検査を必要とする。例えば、ガスタービン部品内のボルト穴は、クラック等を特定するため、こうした検査を必要とする場合がある。渦電流及び超音波検査法を使用するときの１つの難題は、その検査方法が、検査プローブの非常に精密な操作を必要とすることである。大きな（例えば、２．５センチメートルより大きい）直径の内径表面に関して検査を実施することは、プローブ操作を非常に難しくする。別の難題は、単一センサを使用するプローブが、適切な検査カバリジ要件のせいで非常に長い検査時間を必要とすることである。更に、単一センサプローブは、適切な検査カバリジを保証するために複雑な操作を必要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第８６８０８５２号明細書
【発明の概要】
【０００４】
本開示の第１の態様は、材料内の実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブを提供し、プローブは、実質的に丸い穴の内部の一部分に実質的に一致するように形作られ偏倚された可撓性シートと、可撓性シート上に配設された複数のセンサとを備え、各センサは、実質的に丸い穴を検査するため材料内に非破壊信号を送信するように構成される。
【０００５】
本開示の第２の態様は、材料内の実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブを提供し、プローブは、細長いセンサ支持体と、細長いセンサ支持体を実質的に丸い穴の位置内に回転可能に支持するように構成されるベアリングプレートと、実質的に丸い穴の内部の部分に実質的に一致するように形作られたセンサ搭載表面と、センサ搭載表面上に配設された複数のセンサであって、各センサは、実質的に丸い穴を検査するため、材料内に非破壊信号を送信するように構成される、複数のセンサと、センサ搭載表面及び細長いセンサ支持体を結合する偏倚要素とを備え、偏倚要素は、実質的に丸い穴の内部の部分に実質的に一致するようにセンサ搭載表面を偏倚させる。
【０００６】
本開示の例証的な態様は、本明細書で述べた問題及び／又は論じられていない他の問題を解決するように設計される。
【０００７】
本開示のこれらのまた他の特徴は、本開示の種々の実施形態を示す添付図面と共に考えられる本開示の種々の態様の以下の詳細な説明からより容易に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態による、実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブの斜視図である。
【図２】図１のプローブ上のガイド部材の拡大平面図である。
【図３】動作中の図１のプローブの斜視図である。
【図４】本発明の別の実施形態による、実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブの斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による図１のプローブのベアリングプレートの側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による図４のプローブのセンサ搭載表面の平面図である。
【図７】本発明の一実施形態による図４のプローブのセンサ搭載表面の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の図面が一定比例尺に従っていないことが留意される。図面は、本開示の典型的な態様だけを示すことを意図され、したがって、本開示の範囲を制限するものとして考えられるべきでない。図面において、同様の番号付けは、図面間で同様の要素を示す。
【００１０】
先に示したように、本開示は、実質的に丸い穴についての検査システム用のプローブを提供する。
【００１１】
図１〜３を参照すると、一実施形態において、材料内の実質的に丸い穴についての検査システム１０２用のプローブ１００が示される。検査システム１０２は、本発明による、プローブに動作可能に結合することが可能な、現在知られているか又は後で開発される任意の渦電流又は超音波検査システムを含むことができる。理解されるように、検査システム１０２は、図１〜３のプローブ１００又は図４〜６のプローブ２００等のプローブを通して渦電流又は超音波信号を送信し、戻り信号を受信し、戻り信号を解析するための制御システムを含み、それにより、信号がその上に送信される材料の構造を解析及び／又は画像化することができる。こうした検査システム１０２は、とりわけ、クラック又は他の欠陥等の材料内の割目を特定することが可能である。
【００１２】
本明細書で使用されるとき、「実質的に丸い穴（ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ  ｒｏｕｎｄ  ｈｏｌｅ）」は、材料、例えば、鋼、アルミニウム、又は他の金属、或はその合金内の、少なくとも、丸みを帯びた、卵形の、円形の、又はほぼ円形の断面を有する部分を有する穴を指す。一例において、穴は、ガスタービンの部品内のボルト穴等のねじ山付き開口である場合がある。いろいろな代替の例が当業者に明らかになるであろう。
【００１３】
図１を参照すると、プローブ１００は、材料１１８内の実質的に丸い穴１１６の内部１１４の一部分１１２に実質的に一致するように形作られ偏倚された可撓性シート１１０を含むことができる。一実施形態において、可撓性シート１１０はポリスチレン基材を含むことができる。しかし、限定はしないが、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）及びビニル等の種々の他の可撓性シート材料を使用することができる。複数のセンサ１２０は、可撓性シート１１０上に配設され、それにより、各センサ１２２は、非破壊信号を送信して、実質的に丸い穴を検査するようにする、すなわち、検査システム１０２はセンサ１２２によって受信される戻り信号を解析する。本明細書で述べるように、非破壊信号は、渦電流信号及び超音波信号の一方を含むことができる。各センサ１２２は、使用される信号のタイプに基づいて任意の適切な形態、例えば、渦電流用のコイルの任意の組合せ、又は、超音波信号の送受信用の超音波トランスジューサを採用することができる。一実施形態において、図１に示すように、複数のセンサ１２０は、可撓性シート１１０上のライン１２４に沿って、かつ、可撓性シート１１０の実質的に全長に沿って延在することができる。こうして、プローブ１００が穴１１６に入るか又は穴１１６を出るとき、プローブ１００は、穴の少なくとも半分、例えば、丸い穴の少なくとも１８０°を評価する。直線状配置構成が示されたが、部分１１２の形状に応じて他の配置構成を設けることができる。例えば、センサの２つのライン、正弦波状ライン、センサのアレイ等を使用することができる。
【００１４】
可撓性シート１１０は、例えば、特定の長さ及び曲率半径を有することによって、部分１１２に実質的に一致するように最初に形作ることができる。例えば、ポリスチレン基材は、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の部分１１２に実質的に一致するように構成される形状を有することができる。例えば、穴１１６が１．２センチメートルの直径を有する場合、可撓性シート１１０は、０．６ｃｍの曲率半径（穴１１６の半径）及び長さ約１．９ｃｍ（ちょうど穴１１６の円周の半分を超える値）を有することができる。更に、図２に示すように、可撓性シートは、実質的に丸い穴１１６の端に嵌まるサイズに作られた第１の圧縮位置（図２の１１０Ｃの破線）と、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の部分１１２に実質的に一致するサイズに作られた第２の拡張位置（図２の１１０Ｅの実線）との間で撓むことが可能であることができる。この方式で、プローブ１００は、第１の圧縮位置において、急激な量の操作なしで、穴１１６に容易に挿入され、その後、使用するため、第２の拡張位置に拡張することを許容される可能性がある。一例において、図１に示すように、部分１１２は、実質的に丸い穴１１６の実質的に半円の部分を含むことができ、可撓性シート１１０は、実質的に丸い穴の内部の実質的に半円の部分に実質的に一致するサイズに形作ることができる。代替的に、図２に示すように、部分１１２は、実質的に半円より弧状である可能性があり、穴１１６は正確に円でない。
【００１５】
図１及び２に示すように、プローブ１００はまた、実質的に丸い穴１１６に対して可撓性シートを支持するための、可撓性シート１１０に結合したプローブ支持体１３０（図２のみ）を含むことができる。ハンドル１３２は、プローブの位置を制御するため、プローブ支持体１３０に結合することができる。プローブ支持体１３０及びハンドル１３２は、可撓性シート１１０の位置を操作するのに十分な強度を有する任意の材料、例えば金属又は硬質プラスチックで作ることができる。プローブ支持体１３０は、現在知られているか又は後で開発される任意の方式で、例えば、ねじ等の機械式締結具、接着剤等で可撓性シートに結合することができる。プローブ支持体１３０及びハンドル１３２は、同様な方式で結合することができるか又はワンピース構造として作ることができる。
【００１６】
全ての場合に必要であるわけではないが、一実施形態において、部分に沿って可撓性シートを誘導するため、可撓性シート１１０と共にかつ実質的に丸い穴１１６の内部１１４の（部分１１２に）対向する部分１４２を基準にして可動であるガイド１３５を設けることができる。一実施形態において、ガイド１３５は、ガイド支持体１３４であって、ガイド支持体の第１の端１３６において、例えばピンによってハンドル１３２に枢動可能に結合された、ガイド支持体１３４を含むことができる。ガイド支持体１３４は、ハンドル１３２内の溝（図示せず）内に位置決めするか又は単にハンドルの外部に枢動可能に結合することができる。ガイド部材１３８は、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の、可撓性シート１１０から対向する部分１４２に係合するため、ガイド支持体１３４の第２の端１４０に結合することができる。図示する例において、ガイド部材１３８は、第２の端１４０に回転可能に結合したホイールを含む。しかし、対向する部分１４２を押付け、例えば、ローリング又は摺動によって対向する部分１４２に沿って移動することが可能ないろいろな構造を使用することができる。例えば、摺動部材又は材料のブロックのスキッドが、同様に適用可能である場合がある。ガイド部材１３８は、対向する部分１４２に対する、係合、ローリング、摺動、又はその他に耐えることが可能な任意の材料、例えば、金属又はプラスチックで作ることができる。ガイド支持体１３４は、プローブ支持体１３０又はハンドル１３２と同じ材料で作ることができる。図１に示すように、ガイド１３５はまた、対向する部分１４２にガイド部材１３８を押付けるようガイド支持体１３４を偏倚させる偏倚要素１５０を含むことができる。この方式で、ガイド部材１３８は、部分１１２に沿って実質的に一致する方法で可撓性シートを誘導するため、可撓性シート１１０（及びセンサ１２０）と共にかつ対向する部分１４２を基準にして可動である。偏倚要素１５０は、種々の形態、例えば、ばね、空気式ラム、油圧式ラム等の形態をとることができる。ガイド支持体１３４及び／又は偏倚要素１５０は、異なるサイズの穴１１６に対処するため、例えば、サイズ、強度、場所等が変化することができる。適用可能である場合、偏倚要素１５０の制御は、例えば、空気式制御、電気式制御又は油圧式制御を使用して、検査システム１０２によって行われる可能性がある。
【００１７】
図１に示すように、検査システム１０２をセンサ１２０又は偏倚要素１５０に結合するために必要である場合がある任意の配線１５２が、ハンドル１３２に沿うか若しくはハンドル１３２内に及び／又はプローブ支持体１３０に沿うか若しくはプローブ支持体１３０内に設置される可能性がある。例えばハンドル内の開口又は可動部品に対して配線を保護するために必要な現在知られているか又は後で開発される任意のトランジションシール又はハードウェアを使用することができる。
【００１８】
動作時、図２及び３に示すように、プローブ１００は、センサ１２０を含むプローブを穴の中に給送することによって穴１０６の検査を可能にすることができる。プローブ１００が穴１１６の内部に方向付けられると、センサは、穴の約半分、例えば、約１８０°に入る適切な信号を送受信し、穴の約半分の検査を行う。プローブ１００が一方向に給送されると、プローブ１００は、約１８０°回転し、穴を通して引戻され、穴の残りの半分の検査を行うことができる。挿入及び後退中、可撓性シート１１０は、使用される場合おそらくガイド部材１３８と共に、穴１１６の内部１１４の部分１１２との良好な一致を維持し、検査システム１０２用の良品質の渦電流又は超音波データを提供する。
【００１９】
図４〜６を考えると、材料１１８内の実質的に丸い穴１１６についての検査システム１０２用のプローブ２００の別の実施形態が示される。この実施形態において、プローブ２００は細長いセンサ支持体２１０を含むことができる。細長いセンサ支持体２１０は、穴１１６の長さにわたって全センサカバリジを保証するのに十分に長い。すなわち、穴１１６の全ての関連する部分が評価されることが可能である。ベアリングプレート２１２は、細長いセンサ支持体を実質的に丸い穴１１６の位置内に回転可能に支持するように構成される。示すように、ベアリングプレート２１２は、細長いセンサ支持体２１０が穴１１６内で心出しされるように細長いセンサ支持体２１０を位置決めする。しかし、これは、例えば横長の丸みを帯びた穴の場合、全ての事例において必要であるわけではない。いずれにしても、ベアリングプレート２１２は、細長いセンサ支持体２１０を位置決めするため実質的に丸い穴１１６の端１１６に嵌合するように構成される搭載表面２１４を含む。搭載表面２１４は、ベアリングプレート２１２がセンサ支持体２１０を適切に位置決めするように端１１６に一致するように形作ることができ、また、端１１６内で回転することができ、端１１６及び支持体２１４は実質的に同心である。図５に示すように、ベアリングプレート２１２はまた、（必要である場合）センサ２２０（図６及び７）に配線が結合されることを可能にするため、穴１１６の中を観察する等のための、ベアリングプレート２１２を貫通する少なくとも１つの通路２１８を含むことができる。４つの通路が示されるが、任意の数を使用することができる。搭載表面２１４は図５において実質的に円の部材として示されるが、ベアリングプレート２１２上の円周方向に離間した部材を使用することができるため、搭載表面２１４は連続である必要はない。
【００２０】
細長いセンサ支持体２１０は、ベアリング２２２によってベアリングプレート２１２に回転可能に結合され、ベアリング２２２は、細長いセンサ支持体２１０の回転を、ちょうど３６０°を超える値（例えば、３６２°、３６５°、３７０°等）に制限することができ、その目的は本明細書で述べられる。「ちょうど３６０°を超える値（ｊｕｓｔ  ｇｒｅａｔｅｒ  ｔｈａｎ  ３６０°）」は、大きなオーバラップ量なしで穴の全てが評価されてしまうことを保証する３６０°に近い任意の量である可能性がある。ベアリング２２２は、知られている任意の方式で、例えば、ベアリング２２２上の、内の、若しくは、に隣接する及び／又は支持体２１０上の、内の、若しくは、に隣接する回転停止部によって、細長いセンサ支持体２１０の回転を制限することができる。更に、開始場所は、ベアリング２２２によって設定又はキー付けされて、全ての測定が同じ場所で開始することを保証することができる。支持体２１０、ベアリングプレート２１２、及びベアリング２２２は、センサ２２０を支持するのに十分な強度を有する任意の材料、例えば、金属又は硬質プラスチックで作ることができる。
【００２１】
図６は平面図を示し、図７は、本発明の一実施形態による図４のプローブ２００のセンサ搭載表面２３０の側面図を示す。示すように、センサ搭載表面２３０は、実質的に丸い穴１１６（図４）の内部１１４（図４）の部分１１２（図４）に実質的に一致するように形作ることができる。本明細書で述べるように、部分１１２は、実質的に丸い穴の内部の実質的に半円の部分を含むことができ、センサ搭載表面は、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の実質的に半円の部分の少なくとも或る部分に実質的に一致するサイズに作られる。したがって、一実施形態において、センサ搭載表面２３０は、プローブ２００（図４）がそれについて適用されることができる、最小の穴１１６、すなわち、部分１１２に対処するための固定曲率を有することができる。この場合、センサ搭載表面２３０は、金属又は硬質プラスチック等の剛性材料２３２で作ることができる。別の実施形態において、センサ搭載表面２３０は、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の部分１１２に実質的に一致するように形作られ偏倚された可撓性シート２３４を含むことができる。可撓性シート２３４は、本明細書で述べる可撓性シート１１０と同じ材料、例えば、ポリスチレン基材である場合がある。可撓性シート１１０の場合と同様に、可撓性シート２３４は、圧縮状態と拡張状態との間で撓むことが可能であることができる。可撓性シート２３４は、細長いセンサ支持体２１０と共に、それぞれ、穴１１６の長さの完全な測定を保証する長さを有し、また、異なる長さの穴に対処するため、長さを変更することができる。
【００２２】
図６の平面図に示すように、複数のセンサ２２０を、センサ搭載表面２３０上に配設することができる。各センサ２２０は、実質的に丸い穴１１６（図４）を検査するため材料１１８内に非破壊信号を送信するように構成することができる。本明細書で述べるように、非破壊信号は、渦電流信号及び超音波信号を含むことができる。更に、複数のセンサ２２０は、例えば、平行ライン、正弦波状ライン、アレイ等、いろいろな配置構成でセンサ搭載表面２３０上に配置されて、異なる穴１１６に対処することができる。示す実施形態において、例えば、センサ２２０は、センサ搭載表面２３０上の長手方向ラインに沿って延在し、かつ、実質的にセンサ搭載表面２３０の全長に沿って延在することができる。一実施形態において、センサ搭載表面２３０は、図７の側面図に示すように、センサ搭載表面２３０の長手方向軸に沿うチャネル２３６を含むことができる。複数のセンサ２２０は、チャネル２３６内に配設されて、粗い表面内部を有する穴１１６内等で、保護が必要である状況においてセンサ２２０を保護することができる。
【００２３】
図４に戻ると、プローブ２００はまた、センサ搭載表面２３０及び細長いセンサ支持体２１０を結合する偏倚要素２５０を含むことができる。偏倚要素２５０は、実質的に丸い穴１１６の内部１１４の部分１１２に実質的に一致するようにセンサ搭載表面２３０を偏倚させる。図示する例において、偏倚要素２５０は、センサ搭載表面２３０の長さに沿って分配された複数の空気式ラム２５２を含む。３つのラム２５２が示されるが、センサ搭載表面２３０を十分に偏倚させるため、任意の数を使用することができる。更に、空気式ラムが示されるが、偏倚要素は、ばね、油圧式ラム等のような、現在知られているか又は後で開発される任意の形態の偏倚システムを使用することができる。偏倚要素２５０のサイズ及び／又は場所は、異なるサイズの穴１１６に対処するために変更することができる。偏倚要素２５０、例えばラム２５２は、現在知られているか又は後で開発される任意の解決策を使用して、例えば、ヒンジ、ピボット継手、ねじ等のような機械式締結具、溶接、接着剤等を使用して、センサ支持体２１０及びセンサ搭載表面２３０に結合することができる。更に、偏倚要素２５０は、センサ搭載表面２３０を基準にして直線方式で配置されたラム２５２を有するものとして示されるが、ラム又は他の偏倚要素は、弧状センサ搭載表面２３０に沿って円周方向に配設されて、表面の円周の周りに偏倚を分配することができる。更に、それぞれの軸方向場所に１つのラムだけが示されるが、１つ又は複数のラム或は他の偏倚要素を、支持体２１０に沿う各軸方向場所で使用することができる。
【００２４】
動作時、図４に示すように、プローブ２００は、穴１１６の検査を可能にすることになる。プローブ２００が穴１１６内に設置されると、偏倚要素２５０が、例えば空気圧をラム２５２に加えることによって起動されて、センサ２２０が動作するために、センサ搭載表面２３４が部分１１２に適切に接触するか又は部分１１２に十分に近くなることを保証する可能性がある。この時点で、検査システム１００は、センサ２２０を起動し、センサ支持体２１０は、センサ支持体２１０のちょうど３６０°を超える回転（例えば、３６１°、３６４°、３６９°等）を通して、穴１１６の全体をセンサ２２０に露出するように回転することができる。この方式で、穴１１６の完全な検査が遂行され、そのとき、偏倚要素２５０は穴１１６の内部１１４の部分１１２との良好な一致を維持し、検査システム１０２用の良質の渦電流又は超音波が提供される可能性がある。
【００２５】
実施形態のいずれもが、内部に穴１１６を有する産業用部品、例えば、ガスタービンコンポーネントの動作寿命を延長するために使用することができる情報を提供する。
【００２６】
本明細書で使用される用語は、特定の実施形態を述べるためだけのものであり、本開示を制限するものであることを意図されない。本明細書で使用されるとき、単数形「或る（ａ）」、「或る（ａｎ）」、及び「その（ｔｈｅ）」は、文脈が別途明確に指示しない限り、複数形も含むことが意図される。用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」及び／又は「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」が、本明細書で使用されるとき、述べられる特徴、整数、ステップ、動作、要素、及び／又はコンポーネントを指定するが、１つ又は複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、コンポーネント、及び／又はそのグループの存在又は追加を排除しないことが更に理解されるであろう。
【００２７】
添付特許請求の範囲における全ての手段又はステッププラス機能要素の対応する構造、材料、行為、及び等価物は、具体的に特許請求される他の特許請求される要素と組合せて機能を実施するための任意の構造、材料、又は行為を含むことを意図される。本開示の説明は、例証及び説明のために提示されたが、網羅的であるか又は開示される形態の開示に限定されることを意図されない。多くの変更及び変形が、本開示の範囲及び精神から逸脱することなく当業者に明らかになるであろう。実施形態は、本開示の原理及び実用的なアプリケーションを最もよく説明するため、また、当業者が、企図される特定の使用に適する種々の変更を有する種々の実施形態についての開示を理解することを可能にするために選択され述べられた。
【符号の説明】
【００２８】
１００  プローブ
１０２  検査システム
１１０  可撓性シート
１１２  部分
１１４  内部
１１６  丸い穴
１１８  材料
１２０  複数のセンサ
１２２  センサ
１２４  ライン
１３０  プローブ支持体
１３２  ハンドル
１３４  ガイド支持体
１３５  ガイド
１３６  第１の端
１３８  ガイド部材
１４０  第２の端
１４２  対向する部分
１５０  偏倚要素
２００  プローブ
２１０  細長いセンサ支持体
２１２  ベアリングプレート
２１４  搭載表面
２１８  通路
２２０  複数のセンサ
２２２  ベアリング
２３０  センサ搭載表面
２３２  剛性材料
２３６  チャネル
２５２  ラム
【図１】
0006760727.tif 000002
【図２】
0006760727.tif 000003
【図３】
0006760727.tif 000004
【図４】
0006760727.tif 000005
【図５】
0006760727.tif 000006
【図６】
0006760727.tif 000007
【図７】
0006760727.tif 000008