(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、
前記収納容器は、
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、
底面から突出するように前記底面に設けられた少なくとも一対の脚部と、
を備え、
前記緩衝材は、前記蓋の上面と接触する上部収納部を備えた上部緩衝材と、前記底面と接触する下部収納部を備えた下部緩衝材と、前記蓋および前記底面と接触する中部緩衝材と、を有し、
前記上部収納部は、
前記蓋の上面と離間して対向する上部対向面と、前記上部対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する上部側リブと、
を備え、
前記上部側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられており、
前記下部収納部は、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する下部対向面と、前記下部対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する下部側リブを備え、
前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、
前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、
前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、
を備え、
前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする、緩衝材。
【請求項２】
請求項１に記載の緩衝材であって、
前記上部側リブは、平面形状が十字形であることを特徴とする、緩衝材。
【請求項３】
請求項２に記載の緩衝材であって、
前記上部側リブは、十字の交差部に上部側孔が設けられていることを特徴とする、緩衝材。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の緩衝材であって、
前記上部収納部、前記下部収納部、前記中部蓋収納部、前記中部底面収納部は複数組配列されていることを特徴とする、緩衝材。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の緩衝材であって、発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体で構成されることを特徴とする、緩衝材。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の緩衝材であって、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンのいずれかで構成されることを特徴とする、緩衝材。
【請求項７】
半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、
前記収納容器は、
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、
底面から突出するように前記底面の端部に設けられた少なくとも一対の脚部と、を備え、
前記緩衝材は、前記蓋の上面および前記収納容器の前記底面と接触する中部緩衝材を有し、
前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、
前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、
前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、
を備え、
前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする、緩衝材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は緩衝材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを輸送する場合、収納容器に複数の半導体ウェーハを収納し、梱包ケースに梱包した後で梱包ケースを搬送装置で輸送する。
輸送の際には、梱包ケースが搬送装置から落下する等して、衝撃力等の外力が収納容器に作用することがある。そのため、外力によって半導体ウェーハが変形・損傷しない構造が必要である。このような構造としては、収納容器と梱包ケースの間に緩衝材を設けた構造がある。
【０００３】
特許文献１には、包装体を収納する収納箱と、包装体を搭載する個別パレットと、包装体と個別パレットの少なくとも一方に接触する、緩衝材としての発泡材を設けた梱包体が記載されている。
特許文献１には、個別パレットを、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等の緩衝能力に優れる発泡材料で構成して、緩衝材とすることも記載されている。
【０００４】
特許文献２には、半導体ウェーハを収納する基板収納容器を、パレット上に搭載する構造において、パレットの搭載面に弾性緩衝体を設けた構造が記載されている。
特許文献２では、ショア００硬度が２０°〜１２０°の弾性緩衝体が好ましいとされている。具体的にはエラストマーやゴムが挙げられている。
【０００５】
特許文献３には、半導体収納容器の全方位面に密着して保護する複数の内側発泡緩衝材と、半導体収納容器を収納する段ボール箱と、内側発泡緩衝材と段ボール箱の内面の間に設けられた、複数の粘弾性固体緩衝材を備える梱包体が記載されている。
【０００６】
特許文献４には、半導体ウェーハケースとパレットの間に、底板を設ける構造が記載されている。底板は、円柱状弾性体を２枚の合成樹脂ダンボールで挟んだ緩衝材である。
特許文献４には、底板の代わりに発泡スチロール製の緩衝材を用いてもよいことが記載されている。半導体ウェーハケースの上面に蓋体を設け、蓋体の裏面にスポンジ状のポリウレタンを設け、衝撃を吸収する構造も記載されている。
【０００７】
特許文献５には、ウェーハ収納容器の上下を挟み込むように上部緩衝体および下部緩衝体を設けた梱包体が記載されている。
上部緩衝体は、ウェーハ収納容器の上部を収納するアッパ凹部と、アッパ凹部の外周に設けられ、ウェーハ収納容器の上端面に接触する押し付けリブを備えている。
下部緩衝体の底面には衝撃吸収用突起が設けられている。衝撃吸収用突起は、ウェーハ収納容器を収納したコンテナが落下して床に衝突した際に、衝突の衝撃で潰れることにより、衝撃エネルギーを吸収して半導体ウェーハに衝撃が伝わらないようにする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１４−５０７８号公報
【特許文献２】特開２０１３−２４９１２６号公報
【特許文献３】特開２０１０−１３２３３１号公報
【特許文献４】特開２０１１−０１６５４９号公報
【特許文献５】特開２０１４−１５１９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
収納容器は、半導体ウェーハが互いに接触しないように、かつ容器内で動かないように保持するために、内部に溝や突起等の保持部を備える。
収納容器の外形は単純な箱型に限られない。収納する半導体ウェーハの形状に沿った円弧状の部分や、収納容器を置く場合に、底面の片当たりを防ぐための脚部を備えた構造がある。
そのため、収納容器において、衝撃が加えられた場合に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位がどこであるかは、内部の構造や外形に依存する。
また、緩衝材を設けると、梱包体の重量や体積が増えて作業性が悪化するため、位置や寸法にも留意する必要がある。
【００１０】
しかしながら、特許文献１から特許文献５に記載の構造は、以下のように、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位と低い部位を区別せずに緩衝材を設けている。そのため、外力に対して半導体ウェーハを保護できない場合や、作業性が悪化する場合があるという問題があった。
【００１１】
特許文献１、４に記載の構造は、収納箱と緩衝材が接触する位置が上面または底面の全面であり、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位と低い部位を区別していない。
【００１２】
特許文献２に記載の構造は、パレット上に一定間隔で平面矩形の弾性緩衝体を設ける構造であり、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位と低い部位を区別していない。
【００１３】
特許文献３に記載の構造は、収納箱の全方位面に緩衝材を密着させる構造であり、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位と低い部位を区別していない。このような構造では収納箱の重量や体積が増えて作業性が悪化する。
【００１４】
特許文献５に記載の構造は、上面リブと収納箱の位置関係が特定されているが、これは蓋体とリブが接触しないようにして蓋の振動を防止する構造であり、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を保護する構造ではない。
特許文献５に記載の構造は、衝撃吸収用突起の位置および形状が特定されているが、収納箱と接触しない外側に設けられており、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を保護する構造ではない。
【００１５】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を保護可能で、作業効率に優れた構造の緩衝材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る緩衝材は、半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、前記収納容器は、
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、を備え、前記緩衝材は、前記蓋の上面と接触する上部収納部を備えた上部緩衝材を有し、前記上部収納部は、前記蓋の上面と離間して対向する上部対向面と、前記上部対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する上部側リブと、を備え、前記上部側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、保持部を押さえるように上部側リブが上部緩衝材に設けられる。保持部は半導体ウェーハと収納容器が接触する部位であり、衝撃が加えられた場合に、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い。そのため、保持部を押さえるように上部側リブを設けることにより、衝撃の際に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を、優先して保護できる。
【００１８】
本発明に係る緩衝材では、前記上部側リブは、平面形状が十字形であるのが好ましい。
この発明によれば、収納容器に対して緩衝材の平面上の設置角度が９０°ずれていても保持部を押さえられる位置に上部側リブが位置するため、緩衝材を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
【００１９】
本発明に係る緩衝材では、前記上部側リブは、十字の交差部に上部側孔が設けられていることが好ましい。
この発明によれば、緩衝材が収納容器と接触した状態でも孔から収納容器を視認できる。そのため、緩衝材が確実に収納容器に保持されているかを容易に確認できる。また、孔部の内周を掴むことにより、容易に収納容器から緩衝材を取り外せるため、作業効率に優れる。
【００２０】
本発明に係る緩衝材では、前記収納容器は、底面から突出するように前記底面に設けられた少なくとも一対の脚部を備え、前記緩衝材は、前記底面と接触する下部収納部を備えた下部緩衝材を有し、前記下部収納部は、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する下部対向面と、前記下部対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する下部側リブを備えることが好ましい。
【００２１】
この発明によれば、下部側リブが収納容器の底面と接触した状態で、脚部が下部対向面と離間する。よって、脚部が下部対向面に接触して下部側リブから収納容器の底面が浮くのを防ぐことができ、収納容器の底面を確実に保護できる。
【００２２】
本発明に係る緩衝材では、前記緩衝材は、前記蓋および前記底面と接触する中部緩衝材を有し、前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、を備え、前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることが好ましい。
【００２３】
この発明によれば、保持部を押さえるように蓋側リブが中部緩衝材に設けられる。保持部は半導体ウェーハと収納容器が接触する部位であり、衝撃が加えられた場合に、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い。そのため、保持部を押さえるように蓋側リブを設けることにより、衝撃の際に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を、優先して保護できる。
また、この発明によれば、底面側リブが収納容器の底面と接触した状態で、脚部が底面対向面と離間する。よって、脚部が底面対向面に接触して底面側リブから収納容器の底面が浮くのを防ぐことができ、収納容器の底面を確実に保護できる。
【００２４】
さらに、この発明によれば、中部緩衝材は収納容器の上面にも底面にも設けることが可能なので、上部緩衝材や下部緩衝材として用いることもできる。また、収納容器を高さ方向に多段に収納できる。
【００２５】
本発明に係る緩衝材では、前記上部収納部、前記下部収納部、前記中部蓋収納部、前記中部底面収納部は複数組配列されていることが好ましい。
この発明によれば、１組の上部緩衝材、中部緩衝材、下部緩衝材で４つ以上の収納容器を保護できるため、輸送や梱包の際の作業効率に優れる。
【００２６】
本発明に係る緩衝材は、発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体で構成されるのが好ましい。
この発明によれば、緩衝材を発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体で構成するので、外部からの衝撃に対して耐えられる硬さと、衝撃を吸収する柔らかさを両立できる。
【００２７】
本発明に係る緩衝材は、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンのいずれかで構成されるのが好ましい。
この発明によれば、緩衝材を発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体に容易にできる。
【００２８】
本発明に係る緩衝材は、半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、前記収納容器は、上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、底面から突出するように前記底面の端部に設けられた少なくとも一対の脚部と、を備え、前記緩衝材は、前記蓋の上面および前記収納容器の前記底面と接触する中部緩衝材を有し、前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、を備え、前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、保持部を押さえるように蓋側リブが中部緩衝材に設けられる。保持部は半導体ウェーハと収納容器が接触する部位であり、衝撃が加えられた場合に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い。そのため、衝撃の際に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を優先して保護できる。
【００３０】
また、この発明によれば、底面側リブが収納容器の底面と接触した状態で、脚部が底面対向面と離間する。よって、脚部が底面対向面に接触して底面側リブから収納容器の底面が浮くのを防ぐことができ、収納容器の底面を確実に保護できる。
【００３１】
さらに、この発明によれば、中部緩衝材は収納容器の上面にも底面にも設けることが可能なので、上部緩衝材や下部緩衝材として用いることもできる。また、収納容器を高さ方向に多段に収納できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】緩衝体を収納容器に設けた状態を示す斜視図。
【図２】図１のＡ１−Ａ１断面図。
【図３】図１のＡ２−Ａ２断面図の一部であって、収納容器は側面図で示す。
【図４】収納容器の斜視図。
【図５】（Ａ）は収納容器の上面図であり、（Ｂ）は蓋の裏面図である。
【図６】上部緩衝体を示す図であって、（Ａ）は底面側から見た斜視図、（Ｂ）は底面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＡ３−Ａ３断面図。
【図７】下部緩衝体を示す図であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は上面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＡ４−Ａ４断面図。
【図８】中部緩衝体を示す図であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は底面図。
【図９】中部緩衝体を示す図であって、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ５−Ａ５断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、図面に基づき本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。
まず、図１〜図３を参照して、本実施形態に係る緩衝材の概略構成について、簡単に説明する。
【００３４】
図１〜図３に示すように、緩衝材１００は、収納容器７を図示しない梱包ケースに梱包する際に、収納容器７と梱包ケースの間に配置される緩衝材であり、上部緩衝材１、下部緩衝材３、および中部緩衝材５を備える。
図１では、上部緩衝材１と中部緩衝材５の間に上段の収納容器７が３つ設けられ、中部緩衝材５と下部緩衝材３の間に下段の収納容器７が３つ設けられる。
緩衝材１００は、さらに、下部緩衝材３の底面に設けられた振動吸収材９を備える。
以上が本実施形態に係る緩衝材１００の概略構成の説明である。
【００３５】
次に、収納容器７、および本実施形態に係る緩衝材１００の構成の詳細について、説明する。
【００３６】
まず、収納容器７の構造について、図２、図４、および図５を参照して説明する。
収納容器７は、図２に示す半導体ウェーハ２００を収納する容器であり、例えばＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）である。収納容器７は、図４に示すように、上面が開放された箱型の本体８１と、上面を塞ぐ蓋８３を有する。
【００３７】
本体８１は、脚部８７を備える。
脚部８７は、本体８１の底面８６から突出するように底面８６の端部に設けられた、少なくとも一対の脚である。ここでは４隅に１つずつ設けられる。
【００３８】
図２および図４に示すように、収納容器７の本体８１内には、複数の半導体ウェーハ２００を間隔を空けて収納するための収納溝が形成された、櫛型のウェーハ収納部８５が設けられる。
ウェーハ収納部８５は、半導体ウェーハ２００の外縁側部と接触する側部収納部８５Ａと、半導体ウェーハ２００の外縁底部と接触する底部収納部８５Ｂから構成される。
ここでは、側部収納部８５Ａは、本体８１の対向する内周側面に１対設けられている。底部収納部８５Ｂは、底面８６の直上に２つ設けられている。２つの側部収納部８５Ａは、溝の配列方向に互いに平行に配置されている。
蓋８３は、平面形状が矩形の板状部材であり、図４および図５に示すように、一対のロック部８９と、保持部９１を有する。
【００３９】
ロック部８９は、蓋８３を本体８１に固定する部材であり、図５に示すように、ロック棒８９Ａ、８９Ｂとロックレバー８９Ｃを有する。
【００４０】
ロック棒８９Ａ、８９Ｂは蓋８３の対向する辺に沿って設けられた部材であり、図５のＤ１、Ｄ２の向きに移動可能である。
【００４１】
ロックレバー８９Ｃはロック部８９の側面から突き出したレバーである。
ロックレバー８９Ｃは、ロック部側に押し込むことにより、ロック棒８９ＡをＤ１の向きに、ロック棒８９ＢをＤ２の向きに移動させて蓋８３の外側に押し出す。押し出されたロック棒８９Ａ、８９Ｂの先端は本体８１の凹部８１Ａに係合し、蓋８３を本体８１にロックして固定する。ロックした状態で、ロックレバー８９Ｃの位置を元に戻すことで、ロック棒８９Ａ、８９Ｂを蓋８３の内側に引き戻し、ロックを解除する。
【００４２】
図５に示すように、保持部９１は、蓋８３の裏側に設けられた縦長の櫛形の部材であり、ロック部８９の間に設けられる。保持部９１は、本体８１内に収容された半導体ウェーハ２００の上部周縁を、櫛の歯の間に挿入して当接させることにより、半導体ウェーハ２００の軸方向の移動あるいは径方向の回動を規制し、半導体ウェーハ２００が互いに接触しないように保持する。
図５では、保持部９１は蓋８３の矩形を構成する辺の１つに平行になるように、蓋８３の中央部に、半導体ウェーハ２００の配列方向（縦方向）に平行に設けられている。
以上が収納容器７の構造の説明である。
【００４３】
次に、図２および図６を参照して、上部緩衝材１の構造を説明する。
上部緩衝材１は、上段の収納容器７の上面に設けられる緩衝材であり、平面形状が矩形の板材である。上部緩衝材１は、図６に示すように、収納容器７の蓋８３と接触する上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃを備える。
【００４４】
上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは、上部緩衝材１の底面に設けられ、収納容器７の上端に嵌まり込んで保持される形状の凹部である。ここでは、平面形状が矩形の凹部である。上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃは、上部対向面１４、上部側リブ１５、１７、上部側孔１９、補強リブ２１を備える。
【００４５】
上部対向面１４は、収納容器７の蓋８３と離間して対向する面であり、上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの底面である。
上部側リブ１５、１７は上部対向面１４から突出した縦長のリブであり、少なくとも一方が蓋８３の上面と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域（ここでは、図５の符号９１の示す点線で囲まれた領域）と接触する位置に設けられる。
ここでは、図２に示すように、保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域と接触する位置に上部側リブ１７が設けられる。さらに、上部側リブ１７は、その延在方向（縦方向）が、保持部９１の延在方向と一致する位置に設けられる。
保持部９１は半導体ウェーハ２００を保持する部材であり、衝撃の際に半導体ウェーハ２００を変形・損傷させる可能性が高いので、上部側リブ１７が保持部９１を押さえることにより、保持部９１を優先して保護できる。
【００４６】
上部側リブ１５と上部側リブ１７は、互いに直交するように設けられ、上部側リブ１５と上部側リブ１７で平面形状が十字形になる。十字形であることにより、上部緩衝材１の平面上の設置角度が９０°ずれていても、保持部９１を押さえられる位置に上部側リブ１５、１７のいずれかが位置する。
そのため、上部緩衝材１を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
【００４７】
上部側孔１９は、上部側リブ１５、１７の十字の交差部に設けられた貫通孔である。
上部側孔１９は、上部緩衝材１が収納容器７に設けられた状態で、収納容器７の上面を視認するために用いられる。上部側孔１９は、収納容器７から上部緩衝材１を取り外す際の取っ手の代わりにも用いられる。具体的には、上部側孔１９の内周を掴むことにより、容易に上部緩衝材１を取り外せる。
【００４８】
補強リブ２１は、上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの隣接する側面を連結するように設けられたＬ字型のリブであり、上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃの側面を補強する。
以上が上部緩衝材１の構造の説明である。
【００４９】
次に、図２、図３および図７を参照して、下部緩衝材３の構造を説明する。
下部緩衝材３は、下段の収納容器７の底面に設けられる緩衝材であり、平面形状が矩形の板材である。下部緩衝材３は、収納容器７の底面と接触する下部収納部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃを備える。
【００５０】
下部収納部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃは、収納容器７の下端に嵌まり込んで保持される形状の凹部である。ここでは平面形状が矩形の凹部である。下部収納部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃは、下部対向面３３、下部側リブ３５、下部側孔３７を備える。
下部対向面３３は、脚部８７と離間して収納容器７の底面８６と対向する面であり、下部収納部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃの底面である。
【００５１】
図２および図３に示すように、脚部８７は、下部側リブ３５をまたぐように設けられるので、下部側リブ３５は、脚部８７の底面とは接触しない。
下部対向面３３は脚部８７と離間するので、図２および図３に示すように、下部側リブ３５の高さＨ１は、収納容器７の底面８６と接触した状態で、脚部８７が下部対向面３３と離間する高さである。
よって、脚部８７が下部対向面３３に接触して、下部側リブ３５から収納容器７の底面８６が浮くのを防ぐことができ、収納容器７の底面８６を確実に保護できる。
【００５２】
下部側リブ３５は、下部対向面３３から突出したリブであり、図２および図３に示すように、収納容器７の底面８６と接触する位置に設けられる。
下部側リブ３５は、底部収納部８５Ｂと対向する位置（ここでは直下）に設けられるのが好ましい。理由は以下の通りである。
図２および図３では、底部収納部８５Ｂは、底面８６の直上に設けられているため、底面８６に衝撃が加えられると、衝撃が底部収納部８５Ｂに伝わり、半導体ウェーハ２００を変形・損傷させる可能性がある。そのため、下部側リブ３５を、底部収納部８５Ｂと対向する位置に設けることにより、底面８６を介して底部収納部８５Ｂを押さえることができる。これにより、底部収納部８５Ｂを優先して保護でき、好ましい。
【００５３】
下部側孔３７は、下部側リブ３５に設けられた貫通孔であり、下部緩衝材３が収納容器７に設けられた状態で、収納容器７の底面を視認するために用いられる。下部側孔３７は、収納容器７から下部緩衝材３を取り外す際の取っ手の代わりにも用いられる。具体的には、下部側孔３７の内周を掴むことにより、容易に下部緩衝材３を取り外せる。
以上が下部緩衝材３の構造の説明である。
【００５４】
次に、図２、図３、図８、および図９を参照して、中部緩衝材５の構造を説明する。
中部緩衝材５は、上段の収納容器７の底面、および下段の収納容器７の上面に設けられる緩衝材であり、板状の中部緩衝材本体５１を備える。
【００５５】
中部緩衝材本体５１は、底面に、中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃを有する。
中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃは、収納容器７の上端に嵌まり込んで保持される凹部である。ここでは、平面形状が矩形の凹部である。
中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃは、蓋対向面５４、蓋側リブ５５、５７、蓋側孔５９、蓋側補強リブ６１を備える。
【００５６】
蓋対向面５４は、収納容器７の蓋８３と対向する面であり、中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃの底面である。
蓋側リブ５５、５７は蓋対向面５４から突出したリブであり、少なくとも一方が蓋８３の上面と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域と接触する位置に設けられる。ここでは、図２に示すように、保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域と接触する位置に蓋側リブ５７が設けられる。さらに、蓋側リブ５７は、その延在方向（縦方向）が、保持部９１の延在方向と一致する位置に設けられる。
よって、上部側リブ１７と同様に、蓋側リブ５７が保持部９１を押さえることにより、保持部９１を優先して保護できる。
【００５７】
蓋側リブ５５と蓋側リブ５７は、互いに交差するように設けられ、蓋側リブ５５と蓋側リブ５７とで、平面形状が十字形になる。
十字形であることにより、中部緩衝材５の平面上の設置角度が９０°ずれていても、保持部９１を押さえられる位置に蓋側リブ５５、５７のいずれかが位置する。
【００５８】
蓋側孔５９は、蓋側リブ５５、５７の十字の交差部に設けられた貫通孔であり、収納容器７から中部緩衝材５を取り外す際の取っ手の代わりにも用いられる。
蓋側補強リブ６１は、中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃの隣接する側面を連結するように設けられたＬ字型のリブであり、中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃの側面を補強する。
【００５９】
中部緩衝材本体５１は、上面に、中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃを有する。
中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃは収納容器７の下端に嵌まり込んで保持される形状の凹部である。ここでは、平面形状が矩形の凹部である。中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃは、底面対向面７３、底面側リブ７５を備える。
【００６０】
底面対向面７３は、脚部８７と離間して収納容器７の底面８６と対向する面であり、中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃの底面である。
底面側リブ７５は中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃから突出したリブであり、図２および図３に示すように収納容器７の底面８６と接触する位置に設けられる。
底面対向面７３は脚部８７と離間するので、図２および図３に示すように、底面側リブ７５の高さＨ２は、収納容器７の底面８６と接触した状態で、脚部８７が底面対向面７３と離間する高さである。
よって、脚部８７が底面対向面７３に接触して、下部側リブ３５から収納容器７の底面８６が浮くのを防ぐことができ、収納容器７の底面８６を確実に保護できる。
以上が中部緩衝材５の構造の説明である。
【００６１】
次に、緩衝材１００を構成する材料について、説明する。
緩衝材１００は、外部からの衝撃に対して破損せずに耐えられる硬さと、衝撃を吸収して、収納容器７に衝撃が伝わらないようにできる程度の柔らかさが必要である。このような要件を満たす材料としては、発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体が好ましい。
具体的な発泡体としては、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンが挙げられる。
以上が、緩衝材１００を構成する材料の説明である。
【００６２】
次に、図２および図３を参照して、振動吸収材９の構造を説明する。
振動吸収材９は、収納容器７を緩衝材１００で梱包した状態で、床に置く際に生じる振動を吸収する部材であり、板材９Ａ、９Ｂ、および弾性体９Ｃを備える。
板材９Ａ、９Ｂは、互いに対向して設けられ、それぞれ緩衝材および床と接触する部材である。板材９Ａ、９Ｂは、例えばプラスチック板で構成される。
弾性体９Ｃは、振動に対して弾性変形することにより、振動を吸収する部材であり、板材９Ａ、９Ｂに挟まれるように設けられる。弾性体９Ｃは、例えばポリウレタン、合成ゴム、ポリエチレンで構成される。
以上が、振動吸収材９の構造の説明である。
【００６３】
以上が、本実施形態に係る緩衝材１００、および収納容器７の構成の詳細の説明である。
【００６４】
このように、本実施形態によれば、緩衝材１００は、上部緩衝材１を有し、上部緩衝材１は、蓋８３と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域と接触する位置に設けられた上部側リブ１７を備える。
そのため、上部緩衝材１を収納容器７に設けると、上部側リブ１７が保持部９１を押さえることができ、衝撃の際に半導体ウェーハ２００を変形・損傷させる可能性が高い、保持部９１を優先して保護できる。
【００６５】
本実施形態によれば、上部側リブ１５、１７は平面形状が十字形であるため、収納容器７に対して、上部緩衝材１の平面上の設置角度が９０°ずれていても、保持部９１を押さえられる位置に上部側リブ１５、１７のいずれかが位置する。
そのため、上部緩衝材１を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
【００６６】
本実施形態によれば、上部側リブ１５、１７の交差部に上部側孔１９が設けられているため、上部緩衝材１が収納容器７と接触した状態でも上部側孔１９から収納容器７を視認できる。
そのため、上部緩衝材１が確実に収納容器７に保持されているかを容易に確認できる。また、収納容器７から上部緩衝材１を取り外す際に、上部側孔１９の内周を取っ手の代わりに掴むことにより、容易に収納容器７から上部緩衝材１を取り外せるため、作業効率に優れる。
【００６７】
本実施形態によれば、緩衝材１００は、下部緩衝材３を有し、下部緩衝材３は、脚部８７と離間して収納容器７の底面８６と対向する下部対向面３３と、収納容器７の底面８６と接触する下部側リブ３５を備える。
そのため、脚部８７が下部対向面３３に接触して、下部側リブ３５から収納容器７の底面８６が浮くのを防ぐことができ、収納容器７の底面８６を確実に保護できる。
【００６８】
本実施形態によれば、緩衝材１００は中部緩衝材５を有し、中部緩衝材５は、蓋８３と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部９１が設けられた領域の直上に位置する、蓋８３の上面領域と接触する位置に設けられた蓋側リブ５７を備える。
そのため、中部緩衝材５を収納容器７に設けると、蓋側リブ５７が保持部９１を押さえることができ、衝撃の際に半導体ウェーハ２００を変形・損傷させる可能性が高い、保持部９１を優先して保護できる。
【００６９】
また、中部緩衝材５は、脚部８７と離間して収納容器７の底面８６と対向する底面対向面７３と、収納容器７の底面８６と接触する底面側リブ７５を備える。
そのため、脚部８７が底面対向面７３に接触して、底面側リブ７５から収納容器７の底面８６が浮くのを防ぐことができ、収納容器７の底面８６を確実に保護できる。
【００７０】
さらに、中部緩衝材５は蓋側リブ５５、５７と底面側リブ７５の両方を備えるので、収納容器７の上面にも底面にも設けられる。
よって中部緩衝材５は、上部緩衝材１や下部緩衝材３として用いることもできる。また、収納容器７を高さ方向に多段に収納できる。
【００７１】
本実施形態によれば、緩衝材１００は、発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体で構成される。そのため、外部からの衝撃に対して耐えられる硬さと、衝撃を吸収する柔らかさを両立できる。
【００７２】
本実施形態によれば、緩衝材１００は、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンのいずれかで構成される。
そのため、緩衝材１００を発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体に容易にできる。
【００７３】
本実施形態によれば、緩衝材１００では、上部収納部１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、下部収納部３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、中部蓋収納部５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃ、中部底面収納部７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃは複数組配列されている。ここでは３組配列されている。
そのため１組の上部緩衝材１、下部緩衝材３、中部緩衝材５で４つ以上（ここでは６つ）の収納容器７を保護できるため、輸送や梱包の際の作業効率に優れる。
【００７４】
以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の思想の範囲内において、各種変形例および改良例に想到するのは当然のことであり、これらも本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７５】
１…上部緩衝材、３…下部緩衝材、５…中部緩衝材、７…収納容器、１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ…上部収納部、１４…上部対向面、１５、１７…上部側リブ、１９…上部側孔、３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ…下部収納部、３３…下部対向面、３５…下部側リブ、５１…中部緩衝材本体、５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃ…中部蓋収納部、５４…蓋対向面、５５、５７…蓋側リブ、５９…蓋側孔、７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃ…中部底面収納部、７３…底面対向面、７５…底面側リブ、８１…本体、８３…蓋、８５…ウェーハ収納部、８６…底面、８７…脚部、９１…保持部、１００…緩衝材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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