(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（１）に形成されたシリンダ孔（２）に軸方向に移動可能に挿入されると共に、磁性体によって構成された操作部（６）を有する出力部材（３）と、
位置検出用の圧力流体が供給されるように前記ハウジング（１）に形成された流路（１４）と、
前記ハウジング（１）の先端壁（１ａ）または基端壁（１ｂ）に前記シリンダ孔（２）の軸方向に形成されると共に、前記シリンダ孔（２）に連通する装着孔（１５）と、
前記流路（１４）を開閉すると共に、前記装着孔（１５）に装着される検出弁（１６）と、を備え、
前記検出弁（１６）は、
前記装着孔（１５）に挿入される弁ケース（１７）と、
前記弁ケース（１７）の先端壁によって構成されると共に、非磁性体によって構成された隔壁（２０）と、
前記隔壁（２０）を挟んで前記シリンダ孔（２）とは軸方向の反対側で前記弁ケース（１７）内に形成された収容孔（１９）と、
前記収容孔（１９）に軸方向に移動可能となるように挿入される検出部材（２１）であって、その少なくとも一部が磁石（２５）によって構成された検出部材（２１）と、
前記検出部材（２１）を前記操作部（６）から遠ざける方向へ付勢する付勢手段（２６）と、を備え、
前記出力部材（３）が前記検出部材（２１）に近づくように所定の位置に移動したときに、その検出部材（２１）が前記磁石（２５）の磁力によって前記操作部（６）に引き寄せられることにより、前記検出弁（１６）が前記流路（１４）を開閉する、
ことを特徴とする位置検出機能付きシリンダ装置。
【請求項２】
請求項１の位置検出機能付きシリンダ装置において、
前記隔壁（２０）の前記収容孔（１９）側の壁面に形成された弁座（３５）に、前記検出部材（２１）に形成された弁面（３６）が当接可能に対面され、
前記弁面（３６）の中央に開口された筒孔（２３）が、前記流路（１４）の一部を構成する、
ことを特徴とする位置検出機能付きシリンダ装置。
【請求項３】
請求項１の位置検出機能付きシリンダ装置において、
前記検出部材（２１）を挟んで前記隔壁（２０）の反対側に形成された前記収容孔（１９）の端壁に弁座（３５）が形成され、
前記弁座（３５）に当接可能に対面する弁面（３６）が前記検出部材（２１）に形成され、
前記弁座（３５）の中央に形成された弁孔（２９ａ）が前記流路（１４）の一部を構成する、
ことを特徴とする位置検出機能付きシリンダ装置。
【請求項４】
ハウジング（１）に形成されたシリンダ孔（２）に軸方向に移動可能に挿入されると共に、磁性体によって構成された操作部（６）を有する出力部材（３）と、
位置検出用の圧力流体が供給されるように前記ハウジング（１）に形成された流路（１４）と、
前記流路（１４）を開閉する検出弁（１６）と、を備え、
前記検出弁（１６）は、
非磁性体によって構成された隔壁（２０）を挟んで前記シリンダ孔（２）とは軸方向の反対側で前記ハウジング（１）の先端壁（１ａ）または基端壁（１ｂ）に形成された収容孔（１９）と、
前記収容孔（１９）に軸方向に移動可能となるように挿入される検出部材（２１）であって、その少なくとも一部が磁石（２５）によって構成された検出部材（２１）と、
前記検出部材（２１）を前記操作部（６）から遠ざける方向へ付勢する付勢手段（２６）と、を備え、
前記出力部材（３）が前記検出部材（２１）に近づくように所定の位置に移動したときに、その検出部材（２１）が前記磁石（２５）の磁力によって前記操作部（６）に引き寄せられることにより、前記検出弁（１６）が前記流路（１４）を開閉し、
前記シリンダ孔（２）と前記収容孔（１９）と弁室（４３）とが前記ハウジング（１）内に直線状に並べられて配置され、
前記弁室（４３）が連結部（４３ａ）を介して前記収容孔（１９）に連通され、
前記収容孔（１９）に挿入された前記検出部材（２１）から押部（４４）が前記弁室（４３）に挿入可能となるように突設され、
前記押部（４４）に当接可能な弁部材（４５）が、前記弁室（４３）に軸方向に移動可能に挿入され、
前記連結部（４３ａ）の周縁に形成された弁座（３５）に向けて、前記弁部材（４５）に形成された弁面（３６）が閉弁バネ（４６）によって付勢される、
ことを特徴とする位置検出機能付きシリンダ装置。
【請求項５】
請求項１の位置検出機能付きシリンダ装置において、
前記検出弁（１６）に対面するように挿入孔（４９）が前記出力部材（３）の壁面に開口され、
前記挿入孔（４９）に操作部材（５０）が軸方向に移動可能に挿入され、
前記操作部材（５０）が進出バネ（５１）によって前記検出弁（１６）に向けて付勢され、
前記操作部材（５０）の先端部に前記操作部（６）が設けられ、
前記出力部材（３）が基端側限界位置と先端側限界位置との間の所定の途中位置に移動したときに、前記操作部（６）が前記検出部材（２１）に近接したことにより、前記検出部材（２１）が前記磁石（２５）の磁力によって前記操作部（６）側に移動され、前記検出弁（１６）が前記流路（１４）を開閉する、
ことを特徴とする位置検出機能付きのシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、出力部材の位置を検出する機能を備えたシリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の位置検出機能付きシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・実開昭５８−５０２８１号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
従来技術の第１実施例（特許文献１の図１を参照）では、ハウジング内に形成されたシリンダ孔に、ピストン（出力部材）が左右方向に移動可能に挿入される。ピストンの外周部に磁石が装着される。ハウジングの周壁の外周面に検出弁が装着される。検出弁の弁ケース内に収容孔が形成されると共に、その収容孔の上壁面に弁座が形成される。その弁座の中央に流路の入口部が形成される。収容孔内に弁部材としてのボールが、ピストンの進退方向（左右方向）に直交する上下方向に移動可能に挿入され、そのボールがバネによって閉弁方向に付勢されている。そして、ピストンがボールに対面する位置に移動されたときに、磁性体であるボールが磁石の磁力によって下方に移動されることにより、検出弁が開弁される。
従来技術の第２実施例（特許文献１の図２を参照）では、検出弁の弁ケース内に収容孔が形成される。その収容孔に、磁石によって形成された検出部材が挿入される。その検出部材が、引っ張りバネによって弁ケースの上端壁から吊り下げられている。収容孔の下端壁の上面に形成された弁座に、検出部材の下面に形成された弁面が当接可能に対面される。弁ケースの下端壁内に流路の入口部が形成され、その入口部が弁座の中央に開口される。また、弁ケースの周壁に流路の出口部が形成される。そして、ピストンが検出部材に対面する位置に移動されたときに、磁石である検出部材が磁性体のピストンに引き寄せられることにより、検出弁が流路を閉じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５８−５０２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の従来技術は次の問題がある。
前記の磁石の磁力は、検出部材とピストンとの間でシリンダ孔とピストンの外周面との摺動部分に作用する。このため、その摺動部分に、シリンダ孔内の圧油などの作動流体に含入される摩擦粉等の異物が磁気吸着されて集積される。この場合、ピストンが左右方向に移動することにより、上記異物が上記の摺動部分を過度に摩耗させたり破損させたりする。
本発明の目的は、出力部材等の摺動部分が過度に摩耗されたり破損されたりするのを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図２Ｂ,又は図５Ａから図５Ｃに示すように、位置検出機能付きシリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１に形成されたシリンダ孔２に出力部材３が軸方向に移動可能に挿入される。前記出力部材３が、磁性体によって構成された操作部６を有する。前記ハウジング１に形成された流路１４に位置検出用の圧力流体が供給される。検出弁１６が前記流路１４を開閉する。前記検出弁１６は、前記ハウジング１の先端壁１ａまたは基端壁１ｂに形成された収容孔１９を有する。非磁性体によって構成された隔壁２０を挟んで前記シリンダ孔２とは軸方向の反対側で前記ハウジング１の先端壁１ａまたは基端壁１ｂに収容孔１９が形成される。前記収容孔１９に検出部材２１が軸方向に移動可能となるように挿入される。その検出部材２１の少なくとも一部が磁石２５によって構成される。前記検出部材２１を付勢手段２６によって前記操作部６から遠ざける方向へ付勢する。そして、前記出力部材３が前記検出部材２１に近づくように所定の位置に移動したときに、その検出部材２１が前記磁石２５の磁力によって前記操作部６に引き寄せられることにより、前記検出弁１６が前記流路１４を開閉する。
【０００６】
本発明は次の作用効果を奏する。
上記の出力部材が検出弁に近づくように所定の位置に移動されたときに、出力部材の操作部に検出部材が磁石の磁力によって引き寄せられる。これにより、検出弁が開弁または閉弁される。
また、出力部材が上記の所定の位置から遠ざかるように移動されときに、検出弁の付勢手段の付勢力によって検出部材が隔壁から離間される。これにより、検出弁が閉弁または開弁される。
上記の磁石を有する検出部材がハウジングの先端壁または基端壁の収容孔に挿入されると共に、その磁石に対面する操作部が出力部材に設けられることにより、磁石の磁力が検出弁と出力部材との間で軸方向に作用する。このため、従来技術のように、磁石の磁力がシリンダ孔の内周面と出力部材の外周面との摺動部分に軸方向と交差する方向に作用する場合とは異なり、本発明では、摺動部分に摩擦粉等の異物が磁気吸着されないので、堆積もされない。その結果、その異物によって出力部材やシリンダ孔との摺動部分が過度に摩耗されたり破損されたりすることを防止できる。
【０００７】
本発明は、下記（１）から（４）の構成を加えることが好ましい。
（１）  例えば、図１から図２Ｂに示すように、前記隔壁２０の前記収容孔１９側の壁面に弁座３５が形成される。その弁座３５に、前記検出部材２１に形成された弁面３６が当接可能に対面される。前記弁面３６の中央に筒孔２３が形成され、前記筒孔２３が前記流路１４の一部を構成する。
この場合、弁面の中央に、流路の一部を構成する筒孔が形成されるので、従来技術の第２実施例のように、隔壁に流路を設ける必要がない。従って、隔壁の厚みを薄くすることができるので、磁石の磁力を操作部に強力に作用させることができる。その結果、検出弁によって流路を確実に開閉する。
【０００８】
（２）  例えば、図３に示すように、前記検出部材２１を挟んで前記隔壁２０と反対側の前記収容孔１９の端壁に弁座３５が形成される。前記弁座３５に当接可能に対面する弁面３６が前記検出部材２１に形成される。前記弁座３５の中央に形成された弁孔２９ａが、前記流路１４の一部分を構成する。
この場合、出力部材が検出弁に近接したときに、磁石の磁力によって検出部材が出力部材に向けて移動され隔壁に受け止められる。これにより、検出部材の弁面が収容孔の端壁の弁座から離間され、検出弁が流路を確実に開ける。また、出力部材が検出弁から離間される方向に移動されたときに、付勢手段の付勢力によって検出部材が隔壁から遠ざけられる方向に移動される。これにより、検出部材の弁面が、収容孔の端壁に形成された弁座に当接され、検出弁が流路を確実に閉じる。
【０００９】
（３）  例えば、図４に示すように、前記シリンダ孔２と前記収容孔１９と弁室４３とが前記ハウジング１内に直線状に並べられて配置される。前記弁室４３が連結部４３ａを介して前記収容孔１９に連通される。前記収容孔１９に挿入された検出部材２１から押部４４が前記弁室４３に挿入可能となるように突設される。前記押部４４に当接可能な弁部材４５が、前記弁室４３に軸方向に移動可能に挿入される。前記連結部４３ａの周縁に形成された弁座３５に向けて、前記弁部材４５に形成された弁面３６が閉弁バネ４６によって付勢される。
この場合、出力部材が検出弁に近接したときに、磁石の磁力によって検出部材が出力部材に向けて移動され隔壁に受け止められる。これにより、検出部材の押部が検出部材から離間され、検出部材の弁面が弁室の弁座に当接される。その結果、検出弁が流路を確実に閉じる。また、出力部材が検出弁から離間されたときに、付勢手段の付勢力によって検出部材が隔壁から離間される方向に移動される。これにより、検出部材の押部が検出部材の弁面を弁室の弁座から離間させる。その結果、検出弁が流路を確実に開ける。
【００１０】
（４）  例えば、図５Ａから図５Ｂに示すように、前記検出弁１６に対面する挿入孔４９が前記出力部材３の壁面に開口される。前記挿入孔４９に操作部材５０が軸方向に移動可能に挿入される。前記操作部材５０が進出バネ５１によって前記検出弁１６に向けて付勢される。前記操作部材５０の先端部に前記操作部６が設けられる。前記出力部材３が基端側限界位置と先端側限界位置との間の所定の途中位置に移動したときに、前記操作部６が前記検出部材１６に近接する。これにより、前記検出部材２１が前記磁石２５の磁力によって前記操作部６側に移動され、前記検出弁１６が前記流路１４を開閉する。
この場合、出力部材が基端側限界位置および先端側限界位置以外の所定の途中位置に移動したときに、前記検出弁が磁石の磁力によって前記流路を確実に開閉する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態を示し、位置検出機能付きシリンダ装置の断面図である。
【図２】図２Ａは、図１中の２Ａ部分を拡大した部分図である。図２Ｂは、上記シリンダ装置の出力部材が下限位置に移動した状態を示し、図２Ａに類似する図である。
【図３】図３は、第１実施形態の第１変形例を示し、上記の図２Ａに類似する図である。
【図４】図４は、第１実施形態の第２変形例を示し、上記の図２Ａに類似する図である。
【図５】図５Ａは、本発明に係るシリンダ装置の第２実施形態を示し、上記の図１に類似する図である。図５Ｂは、上記シリンダ装置の出力部材が所定の途中位置に移動した状態を示す部分図であり、図５Ａに類似する図である。図５Ｃは、上記の出力部材が下降位置に移動した状態を示す部分図であり、図５Ａに類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１から図２Ｂは、本発明の第１実施形態を示している。
固定台としてのテーブルＴにシリンダ装置のハウジング１が固定される。そのハウジング１は、その上端部に形成された上壁（先端壁）１ａと下端部に形成された下壁（基端壁）１ｂとを備える。そのハウジング１内にシリンダ孔２が形成され、そのシリンダ孔２に出力部材３が上下方向に移動可能で保密状に挿入される。その出力部材３は、ピストン４と、そのピストン４から上方に突設された出力ロッド５とを有する。本実施形態では、ピストン４の全体が磁性体によって構成され、そのピストン４の下部の一部分が操作部６を構成する。
【００１３】
前記のピストン４の上側に第１作動室８が形成され、そのピストン４の下側に第２作動室９が形成される。作動流体としての圧油が、ハウジング１に形成された第１給排路１０を介して第１作動室８に供給および排出される。また、ハウジング１に形成された第２給排路１１を介して第２作動室９に圧油が供給および排出される。
【００１４】
前記のハウジング１の下壁１ｂに流路１４が設けられ、その流路１４に位置検出用の圧力流体としての圧縮エアが供給される。ハウジング１の下壁１ｂに装着孔１５がシリンダ孔２に連通するように上下方向に形成される。その装着孔１５に検出弁１６が装着される。
【００１５】
前記の検出弁１６は、次のように構成される。
図２Ａに示すように、装着孔１５の上寄り部分に弁ケース１７が保密状に挿入される。装着孔１５の下寄り部分に蓋部材１８がネジ固定される。その蓋部材１８によって弁ケース１７が装着孔１５に固定される。弁ケース１７には、下方に向けて開口される収容孔１９が形成される。その弁ケース１７の上壁が、上下方向に隣接するシリンダ孔２と収容孔１９とを隔離する隔壁２０を構成する。その隔壁２０は、磁石に吸着されにくいアルミ等の被磁性体によって構成される。その収容孔１９に筒状の検出部材２１が上下方向に移動可能に挿入されると共に、蓋部材１８から上方に突設された小径部２２に検出部材２１の筒孔２３が上下方向に移動可能で保密状に外嵌めされる。その検出部材２１の上部にネオジウム磁石等からなる磁石２５が装着される。その検出部材２１が、当該検出部材２１と隔壁２０との間に装着された復帰バネ（付勢手段）２６によって下方に付勢される。
【００１６】
前記の蓋部材１８内に、前記の圧縮エアを供給する第１流路２９が形成される。前記の検出部材２１の筒孔２３の上半部と磁石２５の外周面との間に、溝状の第２流路３０が形成される。収容孔１９の下半部と検出部材２１の外周面との間にも、溝状の第３流路３１が形成される。弁ケース１７の下端面と蓋部材１８の上端面との間に第４流路３２が形成される。ハウジング１の下壁に第５流路３３が形成される。この実施形態では、前記の第１流路２９に順に連通される検出部材２１の筒孔２３と第２流路３０と弁ケース１７の収容孔１９と第３流路３１と第４流路３２と第５流路３３とが流路１４を構成する。その流路１４に圧縮エアが供給される。
【００１７】
前記の隔壁２０の下端面に検出弁１６の弁座３５が形成される。検出部材２１の上端面に形成された弁面３６が弁座３５に下側から当接可能に対面する。
【００１８】
上記の位置検出機能付きシリンダ装置は、図１から図２Ｂに示すように、次のように作動する。
図１および図２Ａの初期状態では、第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給され、出力部材３のピストン４が上限位置に移動されている。このとき、ピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５に対して上方に離間されている。これにより、検出弁１６の検出部材２１が、復帰バネ２６によって下方へ移動されて蓋部材１８の上部に受け止められている。
【００１９】
上記のピストン４を上記の上限位置から下限位置に移動させるときには、前記の第２作動室９から圧油が排出されると共に、第１作動室８に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置付近に移動されると、ピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５に近接する。すると、検出部材２１が、磁石２５の磁力によって復帰バネ２６の付勢力に抗して上方へ移動され隔壁２０に受け止められる。このとき、検出部材２１の弁面３６が隔壁２０の弁座３５に当接され、検出弁１６が閉弁されるので、流路１４の第１流路２９に供給された圧縮エアの圧力が上昇する。その上昇圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が下限位置に移動されたことが検出される。
【００２０】
上記のピストン４を下限位置から上限位置に移動させるときには、前記の第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置から上方に移動されていくと、検出弁１６の復帰バネ２６の付勢力が磁石２５の磁力を上回ることにより、検出部材２１が下方へ移動されて蓋部材１８の上部に受け止められる。これにより、隔壁２０の弁座３５から検出部材２１の弁面３６が下方に離間されて、検出弁１６が開弁される。その結果、流路１４内の圧縮エアの圧力が下降し、その下降圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が下限位置よりも上方へ移動されたことが検出される。
【００２１】
上記の実施形態は次の長所を奏する。
前記の弁面３６の中央に、流路１４の一部を構成する筒孔２３の上部が開口されるので、前述した従来技術の第２実施例のように、隔壁に流路を設ける必要がない。従って、隔壁２０の厚みを薄くすることができる。これにより、出力部材３のピストン４が検出部材２１に近接したときに、操作部６から検出部材２１までの距離を短くできるので、磁石２５の磁力が操作部６に強力に作用する。その結果、検出弁１６が流路１４を確実に閉じる。
【００２２】
図３および図４は、本発明の第１実施形態の第１変形例および第２変形例を示す。図５Ａから図５Ｃは、本発明の第２実施形態を示している。この第１実施形態の第１変形例と第２変形例と第２実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００２３】
この第１実施形態の第１変形例が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
前記の検出部材２１の下面に凹部３９が下方に向けて開口され、その凹部３９にボール４０が挿入される。そのボール４０の下面に弁面３６が形成される。蓋部材１８の上面に、第１流路２９の一部を構成する弁孔２９ａが形成され、その弁孔２９ａの周縁に弁座３５が形成される。その弁面３６が弁座３５に当接可能に上側から対面される。
【００２４】
上記の位置検出機能付きシリンダ装置は、図３（及び図１）に示すように、次のように作動する。
図３の初期状態では、第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給され、出力部材３のピストン４が上限位置に移動されている。このとき、ピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５から離間されていることにより、検出弁１６の検出部材２１が復帰バネ２６によって下方へ移動されて蓋部材１８の上面に受け止められている。
【００２５】
上記のピストン４を前記の上限位置から下限位置に移動させるときには、前記の第２作動室９から圧油が排出されると共に、第１作動室８に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置付近に移動されると、そのピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５に近接する。すると、検出部材２１が磁石２５の磁力によって復帰バネ２６の付勢力に抗して上方へ移動されて隔壁２０に受け止められる。このため、検出部材２１の弁面３６が蓋部材１８の弁座３５から上方に離間され、検出弁１６が開弁される。これにより、流路１４に供給された圧縮エアの圧力が下降する。その下降圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が下限位置に移動されたことが検出される。
【００２６】
上記のピストン４を下限位置から上限位置に移動させるときには、前記の第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置から上方に移動されていくと、検出弁１６の復帰バネ２６の付勢力が磁石２５の磁力を上回ることにより、復帰バネ２６が検出部材２１を下方へ移動させてボール４０を介して蓋部材１８に受け止められる。このとき、蓋部材１８の弁座３５に検出部材２１の弁面３６が当接され検出弁１６が閉弁される。これにより、流路１４内の圧縮エアの圧力が上昇する。その上昇降圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が下限位置よりも上方へ移動されていることが検出される。
【００２７】
図４は、本発明の第１実施形態の第２変形例を示す。上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
前記シリンダ孔２と前記収容孔１９と弁室４３とがハウジング１に上側から順に直線状に設けられる。その弁室４３が蓋部材１８内に形成され、その弁室４３と弁ケース１７の収容孔１９とが連結する部分に連結部４３ａが形成される。前記の収容孔１９に挿入された検出部材２１から押部４４が下方に突設され、その押部４３が弁室４３に挿入可能となっている。弁室４３の上壁であって連結部４３ａの周縁に弁座３５が形成される。弁室４３にボール（弁部材）４５が挿入され、そのボール４５の上面に弁面３６が形成される。また、そのボール４５が弁室４３内に装着された閉弁バネ４６によって閉弁方向（上方）へ付勢されると共に、押部４４に当接可能となっている。
【００２８】
上記の位置検出機能付きシリンダ装置は、図４に示すように、次のように作動する。
図４の初期状態では、第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給され、出力部材３のピストン４が上限位置に移動されている。このとき、ピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５から離間されていることにより、検出弁１６の検出部材２１が、復帰バネ２６によって下方へ移動されて蓋部材１８の上面に受け止められている。
【００２９】
上記のピストン４を上限位置から下限位置に移動させるときには、前記の第２作動室９から圧油が排出されると共に、第１作動室８に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置付近に移動されると、ピストン４の操作部６が検出弁１６の磁石２５に近接する。すると、検出部材２１が、磁石２５の磁力によって復帰バネ２６の付勢力に抗して上方へ移動され、隔壁２０に受け止められる。このとき、検出部材２１の押部４４がボール４５から上方に離間されると共に、閉弁バネ４６がボール４５を上方へ移動させる。すると、弁面３６が弁座３５に当接され、検出弁１６が閉弁されるので、流路１４の弁室４３内の圧縮エアの圧力が上昇する。その上昇圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が下限位置に移動されたことが検出される。
【００３０】
上記のピストン４を下限位置から上限位置に移動させるときには、前記の第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給される。そして、ピストン４が下限位置から上方に移動されていくと、検出弁１６の復帰バネ２６の付勢力が磁石２５の磁力を上回ることにより、検出部材２１がボール４５を閉弁バネ４６の付勢力に抗して下方へ移動させる。このとき、検出部材２１の弁面３６が蓋部材１８の弁座３５から下方に離間され検出弁１６が開弁されるので、流路１４内の圧縮エアの圧力が下降する。その下降圧力を圧力センサ（図示しない）によって検出することにより、ピストン４が上限位置よりも上方へ移動されたことが検出される。
【００３１】
図５は、本発明の第２実施形態を示す。上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
ピストン４の下面に挿入孔４９が開口され、その挿入孔４９に上下方向に移動可能に操作部材５０が挿入される。その操作部材５０は進出バネ５１によって下方に付勢されている。その操作部材５０の先端部に操作部６が形成され、その操作部６が磁性体によって構成されている。
ハウジング１の下壁１ｂに形成された装着孔１５に、図２Ａおよび図２Ｂで示した検出弁１６と同じ検出弁が装着されている。
【００３２】
上記の位置検出機能付きシリンダ装置は、図５Ａから図５Ｃに示すように、次のように作動する。
図５Ａの初期状態では、第１作動室８から圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給され、出力部材３のピストン４が上限位置に移動されている。このとき、操作部材５０が進出バネ５１の付勢力によって下方に付勢され、操作部材５０の操作部６が検出弁１６の磁石２５に対して上方に離間されている。これにより、検出弁１６は開弁されている。
【００３３】
前記のピストン４を図５Ａの上限位置から図５Ｃの下限位置に移動させるときには、第２作動室９から圧油が排出されると共に、第１作動室８に圧油が供給される。そして、ピストン４が図５Ｂに示す途中位置（所定の途中位置）に移動されると、その操作部６が検出弁１６の磁石２５に近接する。すると、検出部材２１が、磁石２５の磁力によって復帰バネ２６の付勢力に抗して上方へ移動されて、隔壁２０に受け止められる。このとき、検出弁１６が閉弁されるので、流路１４に供給された圧縮エアの圧力が上昇する。その上昇圧力を圧力センサ（図示せず）によって検出することにより、ピストン４が所定の途中位置に移動されたことが検出される。
引き続いて、ピストン４が下降途中位置（所定の途中位置）から下限位置に移動されると、操作部材５０が進出バネ５１の付勢力に抗してピストン４の挿入孔４９に挿入されていく。このとき、検出弁１６は、上記の閉弁状態が維持される。
【００３４】
前記のピストンを図５Ｃの下限位置から図５Ａの上限位置に移動させるときには、第１作動室８の圧油が排出されると共に、第２作動室９に圧油が供給される。すると、位置検出機能付きシリンダ装置は、上述した上限位置から下限位置への移動とはほぼ逆の手順で下限位置から上限位置へ移動される。
【００３５】
上記の各実施形態は次のように変更可能である。
本発明のシリンダ装置は、クランプ装置に適用することが好ましいが、そのクランプ装置の技術分野に限定されず、クランプの技術分野とは異なる技術分野に利用することも可能である。
上記の作動流体は、例示した圧油に代えて、他の液体または圧縮エア等の気体であってもよい。
上記の位置検出用の圧力流体は、圧縮エアに代えて、他の気体又は圧油等の液体であってもよい。
上記の操作部６は、ピストン４に設けられるのに代えて、出力ロッド５に設けられてもよい。出力部材の全体を磁性体によって構成するのに代えて、出力部材の一部分を磁性体の部材によって構成してもよい。
上記の検出弁１６は、ハウジング１の下壁１ｂに形成された装着孔１５に設けられるのに代えて、ハウジング１の上壁１ａに形成された装着孔に設けられてもよい。
上記の隔壁２０は、ハウジング１の装着孔１５に挿入された弁ケース１７の一部分によって構成されるのに代えて、ハウジング１の下壁の一部分によって構成されてもよい。また、隔壁２０は、アルミで構成されることに限定されず、他の非磁性体、例えば、アルミ合金や銅や銅合金やステンレス鋼等であってもよい。
上記の検出部材２１は、非磁性体によって構成された検出部材２１に磁石２５が装着されるのに代えて、検出部材２１の全体が磁石によって構成されてもよい。
上記の磁石２５は、例示したネオジウム磁石に限定されず、フェライト磁石やサマリウムコバルト磁石やアルニコ磁石等であってもよい。
上記の付勢手段は、例示した復帰バネ２６に代えて、流体圧シリンダによって構成してもよい。
上記の検出弁１６は、例示したポペット式の開閉弁に限定されず、他の開閉弁、例えばスプール式の開閉弁であってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３６】
１：ハウジング，１ａ：先端壁（上壁）,１ｂ：基端壁（下壁）,２：シリンダ孔,３：出力部材,６：操作部,１４：流路,１６：検出弁,１９：収容孔,２０：隔壁,２１：検出部材,２３：筒孔,２５：磁石,２６：付勢手段（復帰バネ）,２９ａ：弁孔,３５：弁座,３６：弁面,４３：弁室,４３ａ：連結部,４４：押部,４５：弁部材,４６：閉弁バネ,４９挿入孔,５０：操作部材,５１：進出バネ．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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