(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉱油で噴霧洗浄して多環式芳香族炭化水素を捕捉するステップを含む、前記炭化水素を含有する排ガスの処理方法であって、前記鉱油が芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物を含むことを特徴とする、方法。
【請求項２】
前記鉱油混合物が、前記混合物の総体積を基準にして芳香族鉱油を少なくとも２０体積％、有利には芳香族鉱油を少なくとも３０体積％含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記鉱油混合物が、直径０．８８ｍｍの毛管を有するウベローデ粘度計を用いてＡＳＴＭ  Ｄ４４５規格に従って測定される０℃において１５０ｍｍ2／秒以下の粘度を有することを特徴とする、請求項１および２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４】
前記方法が、前記鉱油がナフテン系鉱油を含まず芳香族鉱油を含む開始段階を含み、その結果、多環式芳香族炭化水素を添加され、かつ直径０．８８ｍｍの毛管を有するウベローデ粘度計を用いてＡＳＴＭ  Ｄ４４５規格に従って測定される０℃において１５０ｍｍ2／秒を超える粘度を有する芳香族鉱油を得ることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
ナフテン系鉱油が、前記開始段階の間に得られる多環式芳香族炭化水素を添加された芳香族鉱油を含む前記鉱油に加えられることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記加えられるナフテン系鉱油が、ナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物の形態であること、および前記添加が、多環式芳香族炭化水素を添加された前記芳香族鉱油の一部を、同じ体積比のナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物で置き換えることによって、有利には多環式芳香族炭化水素を添加された前記芳香族鉱油の体積の２０％〜３５％の間を置き換えることによって行われることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記加えられる油混合物が、前記混合物の総体積を基準にして芳香族鉱油を少なくとも２０体積％、有利には少なくとも３０体積％含有することを特徴とする、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記芳香族鉱油が、０℃において１Ｐａ未満の蒸気圧を有することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記芳香族鉱油が、キシレン系の油であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記ナフテン系鉱油が、直径０．８８ｍｍの毛管を有するウベローデ粘度計を用いてＡＳＴＭ  Ｄ４４５規格に従って測定される０℃において７５ｍｍ2／秒以下、有利には０℃において７０ｍｍ2／秒以下、特に０℃において６０ｍｍ2／秒以下の粘度を有することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記ナフテン系鉱油が、０℃において１Ｐａ未満の蒸気圧を有することを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記排ガスを洗浄する前記ステップが、スプレー塔を通って移動する排ガスの流れに鉱油を注入することによって行われることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記鉱油が、多環式芳香族炭化水素を添加された前記鉱油を受ける再循環槽と、排ガスの流れに油を噴霧するための少なくとも１個のスプレーノズルの間を連続的に循環することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記鉱油が、前記再循環槽と前記スプレーノズルの間のその経路全体にわたって冷却されることを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記排ガスが、基材上に熱分解炭素堆積層を形成するための、または熱分解炭素マトリックスによる多孔質基材の緻密化のための化学蒸気浸透または蒸着によって生成されることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多環式芳香族炭化水素を含有する排ガスの処理に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の応用分野は、より具体的には基材上に熱分解炭素堆積層を形成するための、または熱分解炭素マトリックスにより多孔質基材を緻密化するための工業用化学蒸気浸透または蒸着設備によって生ずる排ガスの処理の分野である。
【０００３】
このような設備は非常によく知られている。熱分解炭素によって被覆または緻密化される基材は、その炭素の１種類または複数種類の前駆体を含有する反応ガスが導入される炉中に置かれる。前駆体ガスは、炭化水素、一般にはメタン、プロパン、またはこれら２種類の混合物である。炉中の圧力および温度は、基材と接触する前駆体ガスの分解（クラッキング）によって熱分解炭素の被膜剤またはマトリックスを生成するように調整される。反応副生物を含有する排ガスは、連続的にポンプを使用することによって炉から除去される。
【０００４】
反応副生物は、比較的高い凝固温度を有する有機化合物、具体的には多環式芳香族炭化水素（ＰＡＨ）、例えばとりわけナフタレン、ピレン、アントラセン、アセナフチレンなどを含む。ＰＡＨのリストを下記の表中に示す。
【０００５】
【表１】
0006730190.tif 000002
【０００６】
凝縮させることによってこれらの反応副生物はタールを形成する。このタールは、排ガス冷却物として炉の送出ライン中に堆積する傾向がある。このタールはまた、ポンプ装置中、例えば真空ポンプのオイル中または蒸気エジェクタの凝縮物にも見出される。
【０００７】
同様の問題は、反応ガスとして炭化水素を使用する化学蒸気浸透または蒸着炉以外の工業用設備、例えば浸炭炉で遭遇することもある。
【０００８】
芳香族鉱油を使用して、この油で噴霧洗浄するステップによってタールを含有する排ガス、具体的には多環式芳香族炭化水素（ＰＡＨ）を処理することが、国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットから知られる。ＰＡＨの捕捉は、タールの液だめのレベルを上昇させる。捕獲されたＰＡＨの一定の閾値に基づいてそのＰＡＨが添加された油を除去して新鮮な油と取り替える。一般に知られている閾値は、体積を基準にして吸収量約３０％である。本発明者等は、この油を使用し続けることによってトラッピング効率が最大６０体積％超まで維持されることを示した。トラッピングをこれらのレベルまで維持できるとしても、不幸にしてＰＡＨが添加された油の物理化学的特性（密度、粘度）は、そのＰＡＨ含量の関数として経時的に変化する。特にその粘度は、そのポンプ輸送および噴霧を妨げることになる許容できない値まで増加することになる。したがってこの芳香族鉱油の利用時間は限定され、それは油の交換を必要にし、したがってプロセスを高価にする。
【０００９】
国際公開第２０１０／０８５２４４号特許出願パンフレットは、食用油を使用してガスからＰＡＨを除去する方法について述べている。しかしながらこの種の油は、熱で劣化するという短所を有する。したがってこの油による洗浄の前にガスを冷却して８０℃未満、さらには５０℃未満の洗浄温度を得ることが必要である（７頁の［００２３］）。この文献の１４頁の表１にはナフテン油類が挙げられているが、それらの油中へのＰＡＨの溶解レベルが低いせいで考察対象とはみなされない。
【００１０】
米国特許第５，０１９，１４３号出願明細書は、パラフィン系溶剤、ナフテン系溶剤、芳香族化合物、または他の溶剤からなる群から選択される様々な溶媒を使用して、ガス（より重質の不飽和および飽和炭化水素もまた含有する）からエチレンを抽出する方法について述べている。しかしながら列挙されているナフテン系溶剤は、ナフテン油ではない。これに加えてこの文献は、様々な種類の溶剤の混合を奨励していない。さらにこの文献は、いつでもその処理されるガスがＰＡＨを含有するということを示唆していない。最後にそのプロセスの作動圧力はきわめて高い（５０〜４００ｐｓｉの間、すなわち０．３４ＭＰａ〜２．７６ＭＰａの間）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明者等は、芳香族鉱油にナフテン系芳香族油を加えてその粘度を低減し、かつその油のより長期の使用を可能にすることができるが、それがＰＡＨの捕捉能力を妨げることはないことを発見した。この鉱油は、芳香族鉱油の粘度を下げることを可能にし、それはその利用時間を延ばすことを可能にする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
したがって本発明は、鉱油で噴霧洗浄して多環式芳香族炭化水素を捕捉するステップを含む、上記多環式芳香族炭化水素を含有する排ガスを処理する方法に関し、その鉱油が、芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物を含む（有利にはこの混合物からなる）ことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載の方法で使用される「Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０」油の５℃における粘度を利用時間の関数として表した図である。
【図２】国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載の方法で使用される「Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０」油の５℃における粘度をそのＰＡＨ添加量（ＰＡＨ体積含有量）の関数として表した図である。
【図３】国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載の方法において、Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０芳香族油の使用と、この油を７０体積％およびＩＳＯＶＯＬＴＩＮＥ  ＩＩナフテン油とＡＺＯＬＬＡ  ＮＥＴ  ＨＣ芳香族油の混合物を３０体積％（この付加される混合物は、体積を基準としてＩＳＯＶＯＬＴＩＮＥ  ＩＩナフテン油７５％とＡＺＯＬＬＡ  ＮＥＴ  ＨＣ芳香族油２５％の比を有する）含む油混合物の使用との比較を、油１リットル当たりの捕獲されるタールの量に関して利用時間（単位：時間）の関数として表した図である。
【図４】国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載の方法において、国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載されているＪａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０芳香族油の使用と、Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＤＢＴ０６芳香族油の使用との比較を、油１リットル当たりの捕獲されるタールの量に関して利用時間（単位：時間）の関数として表した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
他のガス洗浄技術と比較して噴霧洗浄は、例えばプレートスクラブ塔に関する場合に起こり得るガスによって被る圧力低下を制限し、また壁上へのタール堆積物の形成を最小限に抑えることを可能にする。一つの有利な実施形態では、たとえそのような圧力が、油によるＰＡＨの吸収を制限するＰＡＨの凝縮を促進させないとしても、洗浄のステップは１×１０3〜１×１０5Ｐａの間の圧力で、有利には１０００Ｐａ（１０ミリバール（絶対圧））で行われる。別の有利な実施形態ではその洗浄のステップは、２０℃未満、有利には０℃未満の温度で行われる。
【００１５】
有利にはこの油混合物は、混合物の総体積を基準にして少なくとも２０体積％の芳香族鉱油、有利には少なくとも３０体積％の芳香族鉱油を含む。ナフテン系鉱油の含量は、その混合物が達成すべき粘度によって決まる。この油混合物は、混合物の総体積を基準にしてせいぜい８０体積％のナフテン系鉱油、具体的にはせいぜい７０体積％のナフテン系鉱油を含む。一つの有利な実施形態ではこの油混合物は、混合物の総体積を基準にして少なくとも１０体積％のナフテン系鉱油、具体的には少なくとも１４体積％のナフテン系鉱油、より具体的には少なくとも２０体積％のナフテン系鉱油を含む。さらに一層有利にはこの油混合物は、０℃において１５０ｍｍ2／秒以下の粘度を有する。本発明による油の動粘性率の測定は、ＡＳＴＭ  Ｄ４４５規格に従って直径０．８８ｍｍの毛管を有するウベローデ粘度計を用いて行われる。粘度は５℃および１０℃において測定され、また０℃における粘度は直線外挿法によって得られる。これは、０℃の部分と分析システムの間の大きな温度差のために形成される凝縮のせいで０℃における測定を直接行うことができないためである。粘度計の定数は、ウンデカンで測定される。
【００１６】
有利には本発明による方法において使用される芳香族鉱油は、国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載されているようなものである。具体的には芳香族鉱油は、排ガスに取り込まれた蒸気を生成しないように洗浄過程の間ずっと液相の状態を保たねばならない。特に化学蒸気浸透または蒸着炉からの排ガスの場合、炉の出口における排ガスの圧力は相対的に低い。したがって使用される油は、排ガスが油の蒸気を含まないように、炉の出口で見られる圧力において気化しないだけの十分に低い蒸気圧を有さなければならない。使用可能範囲としては浸透手順の様々な段階の間の炉中の圧力は約２００Ｐａ未満であることができる。したがって洗浄油は、有利には低い蒸気圧、好ましくは０℃において１Ｐａ未満の圧力を有しなければならない。これに加えて油の組成は、捕捉されるタールの良好な吸収を可能にしなければならない。こういうわけでＰＨＡを吸収、溶解することができる芳香族鉱油が好ましくは選択される。
【００１７】
有利には油はまた、ＰＨＡが加えられる以前は、循環させるのに、またノズルの出口でミストを形成するのに十分な低い粘度、具体的には０℃において７５ｍｍ2／秒以下、より具体的には０℃において７３ｍｍ2／秒以下の粘度を最初に有していなければならない。この粘度は油混合物について上記で示したと同様に測定される。一つの有利な実施形態では芳香族鉱油は、キシレン系の油である。フランスの会社であるＡｒｋｅｍａによって「Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０」という名称で販売され、８５重量％のモノキシリル−キシレンと１５重量％のジキシリル−キシレンから形成された合成油などのキシレン系の油が有効であることが分かった。この油は、０℃において７３ｍｍ2／秒の粘度および０℃において１Ｐａ未満の蒸気圧を有する。「Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＤＢＴ０６」という名称で会社ＴＯＴＡＬ  ＬＵＢＲＩＣＡＮＴＳによって販売され、ジベンジルトルエン異性体の混合物から形成されたキシレン系芳香族鉱油もまた、有効であることが分かった。同様に、会社ＴＯＴＡＬ  ＬＵＢＲＩＣＡＮＴＳによって販売されているＡＺＯＬＬＡ  ＮＥＴ  ＨＣ芳香族油もまた、特に有効であることが分かった。
【００１８】
本発明により使用することができるナフテン系鉱油は、ナフテン系水素化脱硫精製軽質留分であることができる。そのパラフィン油の含量は有利には５０％未満である。同様に芳香族鉱油に関しては、そのナフテン系鉱油は有利には、排ガスに取り込まれた蒸気を生成しないように洗浄過程の間ずっと液相の状態を保つべきである。したがって使用される油は有利には、排ガスが油の蒸気を含まないように炉の出口で見られる圧力において気化しないだけの十分に低い蒸気圧を有するべきである。したがってナフテン系鉱油は、有利には低い蒸気圧、好ましくは０℃において１Ｐａ未満の蒸気圧を有するべきである。ナフテン系鉱油はまた有利には、循環させるのに十分な、かつノズルの出口でミストを形成するのに十分な、また同時に芳香族鉱油がＰＡＨを添加された場合にその粘度を下げるのに十分な低い粘度を有するべきである。したがって有利にはナフテン系鉱油は、０℃において７５ｍｍ2／秒以下、より有利には０℃において７０ｍｍ2／秒以下、具体的には０℃において６０ｍｍ2／秒以下の粘度を有する。粘度は、油混合物について上記に示したと同様に測定される。したがって大気圧において有利には本発明によるナフテン系鉱油は、≧２００℃、有利には≧２１０℃、より有利には≧２４０℃、さらに一層有利には≧２５０℃の温度において液体のままである。具体的には「ＩＳＯＶＯＬＴＩＮＥ  ＩＩ」の名称で会社ＴＯＴＡＬ  ＬＵＢＲＩＣＡＮＴＳによって販売されているナフテン系鉱油が、本発明による方法の脈絡内では特に有利である。
【００１９】
第一の変形態様ではナフテン系鉱油は、プロセスの開始から存在する。したがって排ガスの洗浄に使用されることになる鉱油は、初めから前述の芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物を含み（具体的にはそれからなり）、かつ具体的には０℃において７０ｍｍ2／秒の粘度を有する。
【００２０】
第二の変形態様では本発明による方法は、その鉱油がナフテン系鉱油を含まず、芳香族鉱油を含む（具体的にはそれからなる）初期段階を含み、その結果、多環式芳香族炭化水素が添加され、かつ０℃において１５０ｍｍ2／秒を超える粘度を有する芳香族鉱油を得る。次いでその粘度を低減させるために、初期段階の終わりにその多環式芳香族炭化水素が添加された鉱油にナフテン系鉱油が加えられる。
【００２１】
一つの特に有利な実施形態ではそのナフテン系鉱油は、前述のナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物の形態で加えられる。さらに一層有利にはこの添加は、芳香族炭化水素が添加された芳香族鉱油の一部を、同じ体積比のナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物で置き換えることによって、より有利には多環式芳香族炭化水素が添加された芳香族鉱油の体積の２０％〜３５％の間を、同じ体積比のナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物で置き換えることによって行われる。ナフテン油がナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物の形態である場合、その混合物は、混合物の総体積を基準にして少なくとも２０体積％の芳香族鉱油、有利には少なくとも３０体積％の芳香族鉱油を含むことができる。この混合物はまた、混合物の総体積を基準にしてせいぜい８０体積％のナフテン系鉱油、具体的にはせいぜい７０体積％のナフテン系鉱油を含むことができる。有利にはこの油混合物は、０℃において１５０ｍｍ2／秒以下の粘度を有する。
【００２２】
したがってこの第二の事例では芳香族鉱油がすでにＰＡＨが添加されてからナフテン系鉱油を加えられるまでの待ち時間が存在する。したがってこのプロセスは、排ガスを洗浄するために芳香族鉱油のみが使用される開始段階と呼ばれる第一段階と、この同じ洗浄の目的で芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物が使用される第二段階の２つの段階を含む。
【００２３】
これらの２つの変形態様では任意選択の開始段階の後、ＰＡＨの添加のせいで洗浄に使用された油混合物がもはや望ましい粘度を有しなくなる（すなわち０℃において１５０ｍｍ2／秒を超える粘度を有する）とすぐにナフテン系鉱油、具体的にはナフテン系鉱油と芳香族鉱油の混合物の形態のナフテン系鉱油を連続的に加えることができ、その結果、洗浄に使用される油混合物は、そのナフテン油がこの混合物の多数派成分、有利には洗浄に使用されたる混合物のせいぜい８０体積％、より具体的には洗浄に使用される混合物のせいぜい７０体積％になるまで、次第に大量（体積で）のナフテン油を含むことができる。
【００２４】
これらの２つの変形態様では洗浄のステップは、具体的には国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載されているようなものである。したがってこのような方法では有利には排ガスの洗浄のステップは、スプレー塔、例えばベンチュリ塔を通って移動する排ガスの流れに鉱油（使用される変形態様およびプロセスの段階に応じて芳香族鉱油を含む鉱油、または芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物を含む鉱油のいずれか）を注入することによって行われる。
【００２５】
有利には国際公開第０３／０４７７２５号特許出願パンフレットに記載されているようにその鉱油（使用される変形態様およびプロセスの段階に応じて芳香族鉱油を含む鉱油、または芳香族鉱油とナフテン系鉱油の混合物を含む鉱油のいずれか）は、多環式芳香族炭化水素を添加された鉱油を受ける再循環槽と、排ガスの流れに油を噴霧するための少なくとも１個のスプレーノズルの間を連続的に循環する。鉱油は、好ましくは再循環槽とスプレーノズルの間のその経路全体にわたって冷却される。実際にこの冷却は、ＰＡＨが噴霧の間に鉱油によって取り込まれるように、処理される排ガス中に存在するＰＡＨの凝縮の促進を可能にする。したがってこのような方法では有利にはスプレーノズルの入口における鉱油の温度は２０℃未満、有利には０℃未満である。有利には処理される排ガスは、洗浄場所に到達する以前には冷えない。したがって有利には洗浄の時点における処理される排ガスの温度は２００℃未満である。
【００２６】
具体的には本発明による方法は、排ガスが、基材上に熱分解炭素堆積層を形成するための、あるいは熱分解炭素マトリックスによって多孔質基材を緻密化するための化学蒸気浸透または蒸着によって生成することを特徴とする。これらの浸透および蒸着方法は、当業熟練者によく知られている。
【００２７】
一つの有利な実施形態では本発明による方法は、洗浄のステップの後に、排ガスをポンプ装置に送る追加のステップを含む。本発明による方法の脈絡内では当業熟練者に知られている任意のポンプ装置を使用することができる。有利には排ガスのポンプ輸送は、洗浄されたガスを少なくとも１個のスチームエジェクタ−コンデンサ中に送ることによって行われる。有利にはエジェクタ−コンデンサからのガスの少なくとも一部が、そのエジェクタ−コンデンサに供給する蒸気を生成するための装置の燃焼ガスとして使用される。
【００２８】
また有利にはエジェクタ−コンデンサの出口における蒸気凝縮液は、軽質炭化水素、具体的にはベンゼン炭化水素や、凝縮液に含まれるＰＡＨの任意の残分などを回収するために活性炭素を通過させることによって処理される。
【００２９】
熱分解炭素マトリックスは、基材の孔の内部でガス状の前駆物質の分解により形成される。
【００３０】
本発明による方法の実施のために使用することができる設備は、国際公開第０３／０４７７２５号特許出願のパンフレットに具体的に記載されている。
【００３１】
本発明はまた、多環式芳香族炭化水素を添加された芳香族鉱油の、有利には多環式芳香族炭化水素をせいぜい３０体積％含有する芳香族鉱油の粘度を下げるためのナフテン系鉱油の使用法に関する。
【００３２】
有利にはこの多環式芳香族炭化水素は、表１に示す一覧表およびそれらの混合物、有利にはナフタレン、ピレン、アントラセン、アセナフチレン、およびこれらの混合物から選択される。
【００３３】
本発明は、下記の実施例および前述の図面の簡単な説明に照らしてより良く理解されるはずである。
【実施例】
【００３４】
国際公開第０３／０４７７２５号特許出願のパンフレットに記載されている方法を、
（１）この出願書類中に記載されているＪａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０芳香族油、
（２）Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＤＢＴ０６芳香族油、および
（３）Ｊａｒｙｔｈｅｒｍ  ＡＸ  ３２０芳香族油を７０体積％と、ＩＳＯＶＯＬＴＩＮＥ  ＩＩナフテン系の油およびＡＺＯＬＬＡ  ＮＥＴ  ＨＣ芳香族油の混合物（この加えられる混合物は、７５体積％のＩＳＯＶＯＬＴＩＮＥ  ＩＩナフテン油と２５体積％のＡＺＯＬＬＡ  ＮＥＴ  ＨＣ芳香族油の比率を有する）を３０体積％含む油混合物
を使用して実施する。
【００３５】
これら２種類の芳香族油が同一挙動を有すること（図４）、およびそれらの粘度が利用時間の、したがってそれらのＰＡＨ含量の関数として増加すること（図１および２）が観察される。
【００３６】
さらにナフテン油／芳香族油（少なくとも３０体積％）の混合物、したがってナフテン油の存在は、捕獲されるタールの量に影響を与えない。したがってこの油混合物は、より低い粘度（ナフテン油の粘度は芳香族油よりも低い）を維持したままの状態でタール、したがってＰＡＨを捕獲するために今まで通り効果的に使用することができ、それは混合物をより長時間にわたって使用することを可能にする。
【図１】
0006730190.tif 000003
【図２】
0006730190.tif 000004
【図３】
0006730190.tif 000005
【図４】
0006730190.tif 000006