(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１通気孔を有する第１板と、
第２通気孔を有する第２板と、
前記第１板および前記第２板に接合し、外部に連通する排気孔を有する流路形成部と、
前記流路形成部の内部に位置し、前記第１板と共に第１室を形成し、前記第２板と共に第２室を形成する弁体と、を備え、
前記流路形成部は、前記第１通気孔と前記第２通気孔とを結ぶ第１流路と、前記第２通気孔と前記排気孔とを結ぶ第２流路を有し、
前記第１室の圧力と、前記第２室の圧力とに基づいて、前記第１流路を接続し前記第２流路を遮断する、または前記第１流路を遮断し前記第２流路を接続するように、前記弁体は変形し、
前記第２板は一方主面と他方主面を有し、前記一方主面に前記第２通気孔の開口面を有し、前記他方主面は前記流路形成部と接合し、
前記第２通気孔の開口面と前記第２板の前記一方主面とは、面一に設けられており、
前記第２板が平板である、
バルブ。
【請求項２】
前記弁体は、
前記第１室の圧力が前記第２室の圧力以上であるとき、前記第１通気孔から前記第１流路に流入した気体を前記第２通気孔から外部へと流出するように、前記第１流路を接続するとともに前記第２流路を遮断し、
前記第１室の圧力が前記第２室の圧力未満であるとき、前記第２通気孔から前記第２流路に流入した気体を前記排気孔から外部へと流出するように、前記第１流路を遮断するとともに前記第２流路を接続する、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記第１板、前記第２板、及び前記流路形成部の材料は、金属である、請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記流路形成部は、
一方主面と他方主面を有し、少なくとも前記一方主面に開口するように排気路が形成された排気路形成板と、
前記排気路形成板の一方主面上に形成された前記排気路の開口の一部を覆うように、前記排気路形成板の一方主面に接合された中間板と、
を備え、
前記排気路の少なくとも一部は、前記中間板の外縁から突出している、
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のバルブ。
【請求項５】
前記流路形成部は、内部に前記第１室と前記第２室とを有する枠板をさらに備え、
前記中間板は、一方主面において前記排気路形成板に接合され、他方主面において前記枠板に接合され、
前記枠板は、少なくとも前記排気路が突出する領域において、前記枠板の外縁が前記中間板の外縁より内側に位置するように構成されてなる、
請求項４に記載のバルブ。
【請求項６】
前記第２通気孔は、複数の孔からなる、
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のバルブ。
【請求項７】
前記複数の貫通孔の各々の開口面積は、前記第２流路の最小面積より小さい、
請求項６に記載のバルブ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のバルブと、
吐出孔を有し、前記吐出孔が前記第１通気孔に接続するポンプと、
前記第２通気孔に接続し、体積が可変の容器と、を備え、
前記排気孔の開口面は、前記ポンプに向いている、気体制御装置。
【請求項９】
前記ポンプは、吸引孔を有し、
前記吸引孔と前記吐出孔は常時連通している、
請求項８に記載の気体制御装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の気体制御装置を備える血圧計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明の一実施形態は、気体の流れを調節するバルブ、気体制御装置、及び血圧計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、気体の流れを制御する気体制御装置が各種考案されている。例えば特許文献１には、圧電ポンプとバルブとカフとを備える気体制御装置が開示されている。圧電ポンプは吸引孔と吐出孔とを有する。バルブは、第１通気孔を有する第１板と、第２通気孔及び排気孔を有する第２板と、を有する。第２板はノズルを有し、ノズルの内部が第２通気孔を構成している。圧電ポンプの吐出孔はバルブの第１通気孔に接続している。カフはバルブのノズルに装着され、バルブの第２通気孔はカフに接続している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開２０１６／６３７１０パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、特許文献１の気体制御装置は、ユーザビリティの観点から低背化を要求されている。そこで、低背化の為にノズルを排除し、第２板における第２通気孔の周囲にカフを直接接合する方法が考えられる。この方法では、第２板において、カフを強固に接合するための領域が必要となる。例えば、第２板において、カフを接合するための広い接合面積が必要になる。【０００５】
しかしながら、第２板には排気孔が設けられている。そのため、第２板において、カフを強固に接合するための領域を設けることができない場合がある。例えば、第２板において、カフを接合するための広い接合面積を有することができない場合がある。よって、特許文献１の気体制御装置では、大量の空気を収容できる大型の容器を第２板に直接接合することが難しいという問題がある。【０００６】
本発明の一実施形態に係る目的は、低背化を実現できるとともに、主面にカフ等の部材を強固に接合するための領域を設けることができるバルブ、気体制御装置、及び血圧計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態に係るバルブは、第１板、第２板、流路形成部、第１流路、第２流路、および、弁体を備える。第１板は、第１通気孔を有する。第２板は、第２通気孔を有する。流路形成部は、第１板および第２板に接合し、外部と連通する排気孔を有する。流路形成部は、第１通気孔と第２通気孔とを結ぶ第１流路と、第２通気孔と排気孔とを結ぶ第２流路とを有する。弁体は、流路形成部の内部に位置し、第１板と共に第１室を形成し、第２板と共に第２室を形成する。第１室の圧力と第２室の圧力とに基づいて、第１流路を接続し第２流路を遮断する、または第１流路を遮断し第２流路を接続するように変形する。第２通気孔の開口面と第２板の一方主面とは、面一に設けられている。【０００８】
この構成では、排気孔は、第２板の一方主面に開口していない。そのため、第２板は、広い接合面積を有することができる。接合面積は、容器を接合するための面積である。【０００９】
したがって、本発明の一実施形態に係るバルブは、低背化を実現できるとともに、広い接合面積を有することができる。【００１０】
また、本発明の一実施形態に係るバルブでは、弁体は、第１室の圧力が第２室の圧力以上であるとき、第１通気孔から第１流路に流入した気体を第２通気孔から外部へと流出するように、第１流路を接続するとともに第２流路を遮断する。弁体は、第１室の圧力が第２室の圧力未満であるとき、第２通気孔から第２流路に流入した気体を排気孔から外部へと流出するように、第１流路を遮断するとともに第２流路を接続する。【００１１】
この構成では、第２通気孔に連通する容器への気体の注入、排出が確実に実現される。【００１２】
また、本発明の一実施形態に係るバルブでは、第１板、第２板、及び流路形成部の材料は、金属であることが好ましい。【００１３】
この構成では、バルブの剛性および構造的な信頼性が向上する。【００１４】
また、この発明の一実施形態に係るバルブは、一方主面と他方主面を有し、少なくとも一方主面に開口するように排気路が形成された排気路形成板と、排気路形成板の一方主面上に形成された排気路の開口の一部を覆うように、排気路形成板の一方主面に接合された中間板と、を備え、排気路の少なくとも一部は、中間板の外縁から突出している構成であることが好ましい。【００１５】
この構成では、排気孔から排出される気体が第１板側へ向かう。これにより、第２板に接合される容器へ外力がかかることを抑制できる。【００１６】
また、この発明の一実施形態に係るバルブは、流路形成部が内部に第１室と第２室とを有する枠板をさらに備え、中間板は、一方主面において排気路形成板に接合され、他方主面において枠板に接合され、枠板は、少なくとも排気路が突出する領域において、枠板の外縁が中間板の外縁より内側に位置するように構成されてなることが好ましい。【００１７】
この構成では、排気孔への接着剤の流入が抑制される。【００１８】
また、この発明の一実施形態に係るバルブでは、第２通気孔は、複数の孔からなることが好ましい。【００１９】
この構成では、容器内の異物が第２通気孔で止められ、第２室に入り込むことが抑制される。【００２０】
また、複数の貫通孔の各々の開口面積は、第２流路の最小面積より小さいことが好ましい。【００２１】
この構成では、貫通孔を通過した異物が第２流路を閉塞することを防止することができる。【００２２】
また、この発明の一実施形態に係る気体制御装置は、上述のいずれかに記載のバルブと、吐出孔を有し、吐出孔が第１通気孔に接続するポンプと、第２通気孔に接続し、体積が可変の容器と、を備える。排気孔の開口面は、ポンプに向いている。【００２３】
この構成では、排気孔から排出された気体がポンプに向かう。これにより、ポンプが冷却される。【００２４】
また、この発明の一実施形態に係る気体制御装置では、ポンプは、吸引孔を有し、吸引孔と吐出孔は常時連通していることが好ましい。【００２５】
この構成では、効率的な気体制御が可能になる。【００２６】
また、この発明の一実施形態に係る血圧計は、上述のいずれかに記載の気体制御装置を備える。【００２７】
この構成では、信頼性が高く、高効率な血圧計が構成される。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の一実施形態に係るバルブは、低背化を実現できるとともに、広い接合面積を有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る気体制御装置１００の要部の断面図である。
【図２】図１に示すポンプ１０の分解斜視図である。
【図３】図１に示すバルブ１０１の分解斜視図である。
【図４】図１に示すポンプ１０が駆動している間における気体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【図５】図１に示すポンプ１０が駆動を停止した直後における、気体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る気体制御装置２００の要部の断面図である。
【図７】図６に示すバルブ２０１の分解斜視図である。
【図８】図６に示すポンプ１０が駆動している間における気体制御装置２００の空気の流れを示す説明図である。
【図９】図６に示すポンプ１０が駆動を停止した直後における、気体制御装置２００の空気の流れを示す説明図である。
【図１０】（Ａ）は、第３の実施形態に係るバルブの排気孔の周辺を拡大した側面断面図であり、（Ｂ）は、第３の実施形態に係るバルブの排気孔の周辺を拡大した平面図である。
【図１１】第４の実施形態に係る気体制御装置の第２板の一方主面（外面）の一部を拡大した斜視図である。
【図１２】（Ａ）は、第４の実施形態に係る気体制御装置の第２通気孔付近の形状を示す部分断面図であり、（Ｂ）、（Ｃ）は、第２通気孔を形成する貫通孔の側面断面図である。
【図１３】（Ａ）は、第５の実施形態に係る気体制御装置の第２板の一方主面（外面）の一部を拡大した斜視図であり、（Ｂ）は、第５の実施形態に係る気体制御装置の第２通気孔付近の形状を示す部分断面図である。
【図１４】気体制御装置におけるバルブのノード領域の概略を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の第１実施形態に係る気体制御装置１００について説明する。
【００３１】
図１は、本発明の第１実施形態に係る気体制御装置１００の要部の断面図である。気体制御装置１００は、ポンプ１０とバルブ１０１とカフ１０９と制御部１１５とを備える。気体制御装置１００は例えば、被検者の血圧を測定する血圧計に設けられる。
【００３２】
バルブ１０１は、第１通気孔１１０及び第１通気孔１１１が設けられた第１板１９１と、排気孔１１３及び排気路１１４が設けられた流路形成部１９０と、第２通気孔１１２が設けられた第２板１９２と、縁切り板１９９と、を有する。流路形成部１９０は、排気路形成板１９３と中間板１９４と枠板１９５とによって構成されている。
【００３３】
バルブ１０１は、逆止弁１６０と排気弁１７０とを構成している。カフ１０９の腕帯ゴム管１０９Ａが第２板１９２における第２通気孔１１２の周囲に接着剤によって接合されることにより、バルブ１０１がカフ１０９に接続される。排気孔１１３は大気に開放されている。
【００３４】
ポンプ１０は、吐出孔５５及び吐出孔５６が設けられたポンプ筐体８０を有する。ポンプ筐体８０の上面は、バルブ１０１の縁切り板１９９の底面に接合されている。これにより、バルブ１０１の第１通気孔１１０及び第１通気孔１１１がポンプ１０の吐出孔５５及び吐出孔５６に接続される。
【００３５】
制御部１１５は、例えばマイクロコンピュータで構成され、気体制御装置１００の各部の動作を制御する。制御部１１５は、ポンプ１０に接続されており、ポンプ１０に制御信号を送信する。制御部１１５は、商用の交流電源から交流の駆動電圧を生成してポンプ１０に印加し、ポンプ１０を駆動する。そして、制御部１１５は、カフ１０９に収容される空気の圧力に基づいて血圧を測定する。カフ１０９に収容される空気の圧力値は、不図示の圧力センサによって検知され、制御部１１５に入力する。
【００３６】
なお、カフ１０９が本発明の「容器」の一例に相当する。
【００３７】
ここで、ポンプ１０とバルブ１０１との構造について詳述する。まず、図１、図２を用いてポンプ１０の構造について詳述する。
【００３８】
図２は、図１に示すポンプ１０の分解斜視図である。ポンプ１０は、基板９１、可撓板５１、スペーサ５３Ａ、補強板４３、振動板ユニット６０、圧電素子４２、スペーサ５３Ｂ、電極導通用板７０、スペーサ５３Ｃ及び蓋板５４を備え、これらが順に積層された構造を有する。
【００３９】
なお、基板９１、可撓板５１、スペーサ５３Ａ、振動板ユニット６０の一部、スペーサ５３Ｂ、電極導通用板７０、スペーサ５３Ｃ及び蓋板５４は、ポンプ筐体８０を構成している。そして、ポンプ筐体８０の内部空間がポンプ室４５に相当する。ポンプ筐体８０の材料は、例えば金属である。
【００４０】
振動板ユニット６０は、振動板４１、枠板６１、連結部６２及び外部端子６３によって構成される。振動板ユニット６０は、金属板に対して打ち抜き加工を施すことにより形成されている。
【００４１】
振動板４１の周囲には枠板６１が設けられている。枠板６１には電気的に接続するための外部端子６３が設けられている。振動板４１は枠板６１に対して連結部６２で連結されている。連結部６２は例えば細いリング状に形成されている。連結部６２は、小さなバネ定数の弾性を持つ弾性構造を有している。
【００４２】
したがって振動板４１は二つの連結部６２で枠板６１に対して２点で柔軟に弾性支持されている。そのため、振動板４１の屈曲振動を殆ど妨げない。すなわち、圧電アクチュエータ４０の周辺部が（勿論中心部も）実質的に拘束されていない状態となっている。
【００４３】
円板状の振動板４１の上面には圧電素子４２が設けられている。振動板４１の下面には補強板４３が設けられている。振動板４１と圧電素子４２と補強板４３とによって円板状の圧電アクチュエータ４０が構成される。圧電素子４２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる。
【００４４】
ここで、振動板４１を圧電素子４２および補強板４３よりも線膨張係数の大きな金属板で形成し、接着時に加熱硬化させてもよい。これにより、圧電アクチュエータ４０全体が反ることなく、圧電素子４２に適切な圧縮応力を残留させることができ、圧電素子４２が割れることを防止できる。
【００４５】
例えば、振動板４１をリン青銅（Ｃ５２１０）やステンレススチールＳＵＳ３０１など線膨張係数の大きな材料とし、補強板４３を４２ニッケルまたは３６ニッケルまたはステンレススチールＳＵＳ４３０などとするのがよい。
【００４６】
なお、振動板４１、圧電素子４２、補強板４３については、上から圧電素子４２、補強板４３、振動板４１の順に配置してもよい。この場合も圧電素子４２に適切な圧縮応力が残留するように、補強板４３、振動板４１を構成する材料を設定にすることで線膨張係数が調整されている。
【００４７】
枠板６１の上面には、スペーサ５３Ｂが設けられている。スペーサ５３Ｂは樹脂からなる。スペーサ５３Ｂの厚みは圧電素子４２の厚みと同じか少し厚い。枠板６１は、電極導通用板７０と振動板ユニット６０とを電気的に絶縁する。
【００４８】
スペーサ５３Ｂの上面には、電極導通用板７０が設けられている。電極導通用板７０は金属からなる。電極導通用板７０は、ほぼ円形に開口した枠部位７１と、この開口内に突出する内部端子７３と、外部へ突出する外部端子７２とからなる。
【００４９】
内部端子７３の先端は圧電素子４２の表面にはんだで接合される。はんだで接合される位置を圧電アクチュエータ４０の屈曲振動の節に相当する位置とすることにより内部端子７３の振動は抑制される。
【００５０】
電極導通用板７０の上面には、スペーサ５３Ｃが設けられている。スペーサ５３Ｃは樹脂からなる。スペーサ５３Ｃは圧電素子４２と同程度の厚さを有する。スペーサ５３Ｃは、圧電アクチュエータ４０が振動している時に、内部端子７３のはんだ部分が、蓋板５４に接触しないようにするためのスペーサである。また、圧電素子４２表面が蓋板５４に過度に接近して、空気抵抗により振動振幅が低下することを防止する。そのため、スペーサ５３Ｃの厚みは、圧電素子４２と同程度の厚みであればよい。スペーサ５３Ｃの上面には、蓋板５４が設けられている。蓋板５４には吐出孔５５及び吐出孔５６が設けられている。蓋板５４は、圧電アクチュエータ４０の上部を覆う。
【００５１】
一方、振動板ユニット６０の下面には、スペーサ５３Ａが設けられている。即ち、可撓板５１の上面と振動板ユニット６０の下面との間に、スペーサ５３Ａが挿入されている。スペーサ５３Ａは、補強板４３の厚みに数１０μｍ程度加えた厚みを有する。スペーサ５３Ａは、圧電アクチュエータ４０が振動している時に、圧電アクチュエータ４０が、可撓板５１に接触しないようにするためのスペーサである。スペーサ５３Ａの下面には、可撓板５１が設けられている。可撓板５１の中心には吸引孔５２が設けられている。
【００５２】
可撓板５１の下面には、基板９１が設けられている。基板９１の中央部には円柱形の開口部９２が形成されている。可撓板５１は、基板９１に固定された固定部５７と、固定部５７より中心側に位置し、開口部９２に面する可動部５８と、を有する。
【００５３】
可動部５８は、圧電アクチュエータ４０の振動に伴う空気の圧力変動により、圧電アクチュエータ４０と実質的に同一周波数で振動することができる。可動部５８の固有振動数は、圧電アクチュエータ４０の駆動周波数と同一か、やや低い周波数になるように設計している。
【００５４】
可撓板５１の振動位相が圧電アクチュエータ４０の振動位相よりも遅れた（例えば１８０°遅れの）振動に設計すれば、可撓板５１と圧電アクチュエータ４０との間の隙間の厚さ変動が実質的に増加する。
【００５５】
従って、外部端子６３、７２に交流の駆動電圧が制御部１１５により印加されると、圧電アクチュエータ４０が同心円状に屈曲振動する。さらに、圧電アクチュエータ４０の振動に伴って可撓板５１の可動部５８も振動する。これにより、ポンプ１０は、開口部９２及び吸引孔５２を介して空気をポンプ室４５へ吸引する。さらに、ポンプ１０は、ポンプ室４５の空気を吐出孔５５及び吐出孔５６から吐出する。また、吸引孔５２、吐出孔５５、及び吐出孔５６は、常時連通している。また、吸引孔５２、吐出孔５５、および、吐出孔５６は、常時連通している。
【００５６】
このとき、ポンプ１０では、圧電アクチュエータ４０の周辺部が実質的に固定されていない。そのため、ポンプ１０によれば、圧電アクチュエータ４０の振動に伴う損失が少なく、小型・低背でありながら高い吐出圧力と大きな吐出流量が得られる。
【００５７】
次に、ポンプ１０の温度と最大吐出圧力の関係について説明する。
【００５８】
圧電素子４２を駆動源とするポンプ１０が駆動し続けた場合、自己発熱によってポンプ１０の温度が上昇し続ける。ポンプ１０の温度が上昇し続けると、ポンプ１０の吐出性能が低下することが知られている。
【００５９】
なお、自己発熱の熱源は圧電アクチュエータ４０であるが、ポンプ筐体８０の材料は導電性の高い金属で構成されている。そのため、圧電アクチュエータ４０の熱は連結部６２を介して直ぐにポンプ筐体８０へ伝導する。
【００６０】
次に、図１、図３を用いてバルブ１０１の構造について詳述する。
【００６１】
図３は、図１に示すバルブ１０１の分解斜視図である。ここで、図３には、Ｚ軸方向、Ｙ軸方向、およびＸ軸方向を記載している。Ｚ軸方向は、バルブ１０１を構成する部材の積層方向を示している。Ｘ軸方向は、逆止弁１６０、及び排気弁１７０の配設方向を示している。Ｙ軸方向は、Ｚ軸方向およびＸ軸方向に対して垂直な方向を示している。
【００６２】
バルブ１０１は、図１、図３に示すように、縁切り板１９９と、第１通気孔１１０及び第１通気孔１１１が設けられた第１板１９１と、枠板１９５と、長方形状の薄膜からなるダイヤフラム１２０と、長方形状の薄膜からなるシール材１５２と、中間板１９４と、排気路形成板１９３と、第２通気孔１１２が設けられた第２板１９２と、を備え、それらが順に積層された構造を有している。これにより、第２板１９２の内面（本発明の第２板の他方主面）と排気路形成板１９３、中間板１９４によって排気路１１４が形成される。そのため、バルブ１０１が薄型化される。なお、ダイヤフラム１２０とシール材１５２は、枠板１９５の開口領域に設けられる。
【００６３】
第２通気孔１１２は、第２板１９２に設けられた貫通孔である。したがって、第２通気孔１１２の開口面は、第２板１９２の外面（本発明の第２板の一方主面）と面一（略同一平面）である。
【００６４】
排気路形成板１９３と中間板１９４と枠板１９５とは、流路形成部１９０を構成する。排気路形成板１９３の一側面は、部分的に突出している。排気路形成板１９３、中間板１９４、および、枠板１９５は、排気路形成板１９３の突出部分を除いて、それぞれの側面が面一になるように積層されている。
【００６５】
排気路形成板１９３は、第２板１９２と中間板１９４とともに排気路１１４を形成する溝を備える。溝の一方端は、側面の突出部分に達している。溝における第２板１９２側の開口は、当該第２板１９２によって覆われている。また、排気路形成板は前述の溝と異なる位置に貫通孔を有する。貫通孔は第１流路の一部を構成する。
【００６６】
排気路形成板１９３と中間板１９４が上述の関係で配置されているので、溝における中間板１９４側の開口は、一方端および他方端を除いて、中間板１９４によって覆われている。したがって、排気路形成板１９３の溝の一方端は、中間板１９４側に開口している。この開口部が排気孔１１３となる。これにより、排気孔１１３は、バルブ１０１の側面に設けられ、ポンプ１０側に開口する形状となる。すなわち、排気孔１１３の開口面はポンプ１０側を向く。また、排気孔１１３は、第２板１９２の表面、すなわち、カフ１０９が取り付けられる面には開口しない。
【００６７】
なお、中間板１９４における排気路形成板１９３の溝の他方端に対向する部分には、貫通孔が設けられており、この他方端の貫通孔は第２バルブ室１３２に連通している。これら溝および貫通孔によって、第２板１９２の面内方向に排気路１１４が形成される。すなわち排気路１１４は一方主面がバルブ１０１の天面を形成する第２板１９２の他方主面によって形成することができる。したがって、面内方向の排気路１１４を形成しながらも、バルブ１０１の薄型化が可能となる。また、中間板は当該貫通孔とは異なる貫通孔を有する。異なる貫通孔は第１流路の一部を構成する。
【００６８】
枠板１９５は第２板１９２及び第１板１９１とともに内部空間を形成する。また、内部空間にはダイヤフラム１２０が位置する。
【００６９】
縁切り板１９９の材料は例えばＰＥＴ樹脂である。第１板１９１と流路形成部１９０と第２板１９２との材料は例えば金属である。第２板１９２と排気路形成板１９３と中間板１９４と枠板１９５と第１板１９１との各接合は例えば、両面テープ、熱拡散接合、接着剤等によって行われる。
【００７０】
なお、ダイヤフラム１２０が本発明の「弁体」の一例を構成する。
【００７１】
第２板１９２は、図１、図３に示すように、カフ１０９に連通する第２通気孔１１２を有する。第２板１９２は、例えば金属や樹脂からなる。
【００７２】
第１板１９１は、図１、図３に示すように、ポンプ１０の吐出孔５６に連通する第１通気孔１１０とポンプ１０の吐出孔５５に連通する第１通気孔１１１とを有する。第１板１９１は、例えば金属からなる。
【００７３】
ダイヤフラム１２０には、図１、図３に示すように、弁座１３８に対向する領域の中心部に円形の孔部１２１が設けられている。孔部１２１の直径は、弁座１３８におけるダイヤフラム１２０に接触する面の直径よりも小さく設けられている。ダイヤフラム１２０の外周は、第１板１９１と第２板１９２のそれぞれの外周より小さい。ダイヤフラム１２０は、例えばＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）やシリコーンなどのゴムからなる。
【００７４】
ダイヤフラム１２０は、シール材１５２を介して第１板１９１および中間板１９４に挟持されている。これにより、ダイヤフラム１２０の一部が中間板１９４の弁座１３９に接触するとともに、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲が弁座１３８に接触する。弁座１３８は、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲を与圧するよう第１板１９１に設けられている。弁座１３８は、突起部１３８Ａ及び突起部１３８Ｂによって構成されている。突起部１３８Ａ及び突起部１３８Ｂの材料は例えば金属である。
【００７５】
ダイヤフラム１２０は、第２板１９２及び第１板１９１と枠板１９５とによって形成される内部空間を分割する。この内部空間における第１板１９１側は、第１バルブ室（第１室）１３１となり、この内部空間における第２板１９２側は、第２バルブ室（第２室）１３２となる。第１バルブ室１３１と、第２バルブ室１３２とのそれぞれの直径は例えば７．０ｍｍである。ダイヤフラム１２０に接触する弁座１３８の面の直径は例えば１．５ｍｍである。
【００７６】
バルブ１０１では、第２バルブ室１３２内にシール材１５２の一部が位置する。シール材１５２は、例えば両面テープや接着剤からなる。
【００７７】
次に、バルブ１０１が構成する逆止弁１６０と排気弁１７０とについて説明する。
【００７８】
まず、逆止弁１６０は、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲と、その周囲に接触して孔部１２１を被覆する弁座１３８と、によって構成されている。逆止弁１６０では、第１バルブ室１３１の圧力と第２バルブ室１３２の圧力とに基づいてダイヤフラム１２０が弁座１３８に対して接触または離間する。
【００７９】
次に、排気弁１７０は、ダイヤフラム１２０の一部と、排気路１１４の周囲に位置する弁座１３９と、によって構成されている。排気弁１７０では、第１バルブ室１３１の圧力と第２バルブ室１３２の圧力とに基づいてダイヤフラム１２０の一部が弁座１３９に対して接触または離間する。なお、ここではダイヤフラム１２０の一部が接触する部分を弁座１３９と称する。
【００８０】
次に、血圧測定時における気体制御装置１００の動作について説明する。
【００８１】
図４は、図１に示すポンプ１０が駆動している間における気体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。制御部１１５は、血圧の測定を開始するとき、ポンプ１０をオンする。ポンプ１０が駆動すると、まず空気が開口部９２及び吸引孔５２からポンプ１０内のポンプ室４５に流入する。次に、空気が吐出孔５５及び吐出孔５６から吐出され、バルブ１０１の第１バルブ室１３１に流入する。
【００８２】
これにより、排気弁１７０では、第１バルブ室１３１の圧力が第２バルブ室１３２の圧力より高くなる。このため、図４に示すように、ダイヤフラム１２０が排気路１１４をシールして第２通気孔１１２と排気路１１４との接続を遮断する。
【００８３】
また、逆止弁１６０では、第１バルブ室１３１の圧力が第２バルブ室１３２の圧力より高くなる。このため、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲が弁座１３８から離間し、第１通気孔１１１と第２通気孔１１２とが孔部１２１を介して接続する。第１通気孔１１１と第２通気孔１１２を結ぶ流路が本発明における第１流路に相当する。
【００８４】
この結果、空気がポンプ１０からバルブ１０１の第１通気孔１１１と、孔部１２１と、第２通気孔１１２と、を経由してカフ１０９へ送出され（図４参照）、カフ１０９内の圧力（空気圧）が高まっていく。また、ポンプ１０が駆動している間、自己発熱によってポンプ１０の温度が上昇し続ける。
【００８５】
なお、ダイヤフラム１２０は、ダイヤフラム１２０の孔部１２１の周囲が弁座１３８に接触するよう第２板１９２及び第１板１９１に固定されている。そして、この弁座１３８は、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲を与圧している。
【００８６】
これにより、バルブ１０１の第１通気孔１１１を経由して孔部１２１から流出する空気は、ポンプ１０の吐出圧力より若干低い圧力となって、孔部１２１から第２バルブ室１３２に流入する。一方、第１バルブ室１３１にはポンプ１０の吐出圧力が加わる。
【００８７】
この結果、バルブ１０１では、第１バルブ室１３１の圧力が第２バルブ室１３２の圧力より若干勝り、ダイヤフラム１２０が排気路１１４をシールして孔部１２１を開放した状態が維持される。
【００８８】
図５は、図１に示すポンプ１０が駆動を停止した直後における、気体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。血圧の測定が終了すると、制御部１１５は、ポンプ１０をオフする。ここで、ポンプ１０の駆動が停止すると、ポンプ室４５と第１バルブ室１３１の空気は、ポンプ１０の吸引孔５２および開口部９２から気体制御装置１００の外部へ速やかに排気される。また、第２バルブ室１３２には、カフ１０９の圧力が第２通気孔１１２から加わる。
【００８９】
この結果、逆止弁１６０では、第１バルブ室１３１の圧力が第２バルブ室１３２の圧力より低下する。ダイヤフラム１２０は、弁座１３８に接触して孔部１２１をシールする。また、排気弁１７０では、第１バルブ室１３１の圧力が第２バルブ室１３２の圧力より低下する。ダイヤフラム１２０は、弁座１３９から離間して排気路１１４を開放する。即ち、バルブ１０１では、第２通気孔１１２と排気路１１４とが第２バルブ室１３２を介して接続する。
【００９０】
上述のように、排気孔１１３がポンプ筐体８０側に開口しているので、カフ１０９内の空気は、第２通気孔１１２、第２バルブ室１３２及び排気路１１４を経由して排気孔１１３からポンプ筐体８０へ向けて急速に排出される。第２通気孔１１２と排気孔１１３を結ぶ流路が、本発明における第２流路に相当する。カフ１０９に収容される空気の体積は、ポンプ１０の体積に比べて極めて大きく、多量の空気が排気孔１１３からポンプ筐体８０へ向けて排出される。
【００９１】
そのため、気体制御装置１００は、専用のヒートシンクや専用の冷却装置を備えたりしなくても、ポンプ筐体８０を冷却でき、ポンプ１０の温度上昇を抑えることができる。従って、気体制御装置１００は、低背でありながら、冷却装置を用いずにポンプ１０を冷却することができる。
【００９２】
以後、制御部１１５は、血圧の測定を開始するときポンプ１０をオンし、血圧の測定を終了したときポンプ１０をオフする。これにより、気体制御装置１００は、血圧を複数回測定する場合、血圧の測定を終了する毎にポンプ１０を冷却できる。
【００９３】
また、以上の構成において排気孔１１３は、排気路形成板１９３から中間板１９４側に開口しており、第２板１９２の表面に開口していない。そのため、第２板１９２は、広い接合面積を有することができる。接合面積は、カフ１０９の腕帯ゴム管１０９Ａを接合するための面積である。
【００９４】
したがって、バルブ１０１及び気体制御装置１００は、低背化を実現できるとともに、広い接合面積を有することができる。
【００９５】
なお、バルブ１０１では前述したように、第２バルブ室１３２内にシール材１５２の一部が位置する。そのため、シール材１５２は、第１板１９１、第２板１９２及びダイヤフラム１２０の接着と、各バルブ室１３１、１３２内に存在する異物の捕捉とを行うことができる。したがって、バルブ１０１によれば、例えばバルブ１０１内に異物が混入したとしても、異物による誤動作を抑制することができる。特に排気弁１７０においては、異物による排気孔１１３又は排気路１１４の閉塞を抑制することができる。
【００９６】
次に、本発明の第２実施形態に係る気体制御装置について説明する。
【００９７】
図６は、本発明の第２実施形態に係る気体制御装置２００の要部の断面図である。図７は、図６に示すバルブ２０１の分解斜視図である。第２実施形態の気体制御装置２００が第１実施形態の気体制御装置１００と相違する点は、枠板２９６及び逆止板２９５によって構成される流路形成部２９０である。流路形成部２９０が第１実施形態の流路形成部１９０と相違する点は、ダイヤフラム２２０及び可動部２２１を有する点である。第１板２９１が第１実施形態の第１板１９１と相違する点は、形状である。その他の点に関しては同じであるため、説明を省略する。
【００９８】
バルブ２０１は、逆止弁２６０と排気弁２７０とを構成している。逆止弁２６０は、可動部２２１と、第１板２９１における第１通気孔１１１の周囲に位置する弁座２３８と、によって構成されている。逆止弁２６０では、第１バルブ室２３１の圧力と第２バルブ室２３２の圧力とに基づいて可動部２２１が弁座２３８に対して接触または離間する。
【００９９】
次に、排気弁２７０は、ダイヤフラム２２０と、排気路１１４の周囲に位置する弁座１３９と、によって構成されている。排気弁２７０では、第１バルブ室２３１の圧力と第２バルブ室２３２の圧力とに基づいてダイヤフラム２２０が弁座１３９に対して接触または離間する。
【０１００】
次に、血圧測定時における気体制御装置２００の動作について説明する。
【０１０１】
図８は、図１に示すポンプ１０が駆動している間における気体制御装置２００の空気の流れを示す説明図である。制御部１１５は、血圧の測定を開始するとき、ポンプ１０をオンする。ポンプ１０が駆動すると、まず空気が開口部９２及び吸引孔５２からポンプ１０内のポンプ室４５に流入する。次に、空気が吐出孔５５及び吐出孔５６から吐出され、バルブ２０１の第１バルブ室２３１に流入する。
【０１０２】
これにより、排気弁２７０では、第１バルブ室２３１の圧力が第２バルブ室２３２の圧力より高くなる。このため、図８に示すように、ダイヤフラム２２０が排気路１１４をシールして第２通気孔１１２と排気路１１４との接続を遮断する。また、逆止弁２６０では、第１通気孔１１１の圧力が第２バルブ室２３２の圧力より高くなる。このため、可動部２２１が弁座２３８から離間し、第１通気孔１１１と第２通気孔１１２とが接続する。
【０１０３】
この結果、空気がポンプ１０からバルブ２０１の第１通気孔１１１と、第２通気孔１１２と、を経由してカフ１０９へ送出され（図８参照）、カフ１０９内の圧力（空気圧）が高まっていく。また、ポンプ１０が駆動している間、自己発熱によってポンプ１０の温度が上昇し続ける。
【０１０４】
なお、バルブ２０１の第１通気孔１１１を経由して可動部２２１から流出する空気は、ポンプ１０の吐出圧力より若干低い圧力となって、可動部２２１から第２バルブ室２３２に流入する。一方、第１バルブ室２３１にはポンプ１０の吐出圧力が加わる。
【０１０５】
この結果、バルブ２０１では、第１バルブ室２３１の圧力が第２バルブ室２３２の圧力より若干勝り、ダイヤフラム２２０が排気路１１４をシールして可動部２２１を開放した状態が維持される。
【０１０６】
図９は、図１に示すポンプ１０が駆動を停止した直後における、気体制御装置２００の空気の流れを示す説明図である。血圧の測定が終了すると、制御部１１５は、ポンプ１０をオフする。ここで、ポンプ１０の駆動が停止すると、ポンプ室４５と第１バルブ室２３１の空気は、ポンプ１０の吸引孔５２および開口部９２から気体制御装置２００の外部へ速やかに排気される。また、第２バルブ室２３２には、カフ１０９の圧力が第２通気孔１１２から加わる。
【０１０７】
この結果、逆止弁２６０では、第１バルブ室２３１の圧力が第２バルブ室２３２の圧力より低下する。可動部２２１は、第１通気孔１１１をシールする。
【０１０８】
また、排気弁２７０では、第１バルブ室２３１の圧力が第２バルブ室２３２の圧力より低下する。ダイヤフラム２２０は、弁座１３９から離間して排気路１１４を開放する。即ち、バルブ２０１では、第２通気孔１１２と排気路１１４とが第２バルブ室２３２を介して接続する。
【０１０９】
これにより、第１の実施形態と同様に、カフ１０９内の空気が第２通気孔１１２、第２バルブ室２３２及び排気路１１４を経由して排気孔１１３からポンプ筐体８０へ向けて急速に排出される。カフ１０９に収容される空気の体積は、ポンプ１０の体積に比べて極めて大きく、多量の空気が排気孔１１３からポンプ筐体８０へ向けて排出される。
【０１１０】
そのため、気体制御装置２００は、専用のヒートシンクや専用の冷却装置を備えたりしなくても、ポンプ筐体８０を冷却でき、ポンプ１０の温度上昇を抑えることができる。従って、気体制御装置２００は、低背でありながら、冷却装置を用いずにポンプ１０を冷却することができる。
【０１１１】
以後、制御部１１５は、血圧の測定を開始するときポンプ１０をオンし、血圧の測定を終了したときポンプ１０をオフする。これにより、気体制御装置２００は、血圧を複数回測定する場合、血圧の測定を終了する毎にポンプ１０を冷却できる。
【０１１２】
また、第１の実施形態と同様に、以上の構成において排気孔１１３は、排気路形成板１９３から中間板１９４側に開口しており、第２板１９２の表面に開口していない。そのため、第２板１９２は、広い接合面積を有することができる。接合面積は、カフ１０９の腕帯ゴム管１０９Ａを接合するための面積である。
【０１１３】
したがって、バルブ２０１及び気体制御装置２００は、低背化を実現できるとともに、広い接合面積を有することができる。
【０１１４】
次に、本発明の第３の実施形態に係る気体制御装置について説明する。
【０１１５】
図１０（Ａ）は、第３の実施形態に係るバルブの排気孔の周辺を拡大した側面断面図である。図１０（Ｂ）は、第３の実施形態に係るバルブの排気孔の周辺を拡大した平面図である。図１０（Ｂ）は、第１板側、すなわちポンプ側から視た平面図である。
【０１１６】
第３の実施形態に係る気体制御装置は、バルブにおける排気孔の周辺の構造において、第１の実施形態に係る気体制御装置と異なる。第３の実施形態に係る気体制御装置の他の構成は、第１の実施形態に係る気体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【０１１７】
図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示すように、排気孔１１３は、排気路形成板１９３の溝の一方端にあり、当該溝における中間板１９４に覆われていない部分によって実現されている。すなわち、排気孔１１３は、排気路１１４における中間板の外縁から突出した領域であって、中間板１９４の側面１９４０に当接している。
【０１１８】
枠板１９５は、流路形成部１９０における排気孔１１３が有する面において、中間板１９４よりも内側に凹んだ位置に配置されている。言い換えれば、枠板１９５は排気孔１１３が設けられる側面において、中間板１９４よりも内側に凹んだ位置に配置されている。すなわち、平面視において、枠板１９５の側面１９５０は、中間板１９４の側面１９４０よりも流路形成部１９０中央側にある。言い換えれば、枠板１９５の側面１９５０は、中間板１９４の側面１９４０に対してセットバックした位置にある。
【０１１９】
これにより、排気孔１１３と枠板１９５における排気孔１１３に最も近い側面１９５０とは、離間している。したがって、枠板１９５と中間板１９４との接合面の端面、すなわち側面１９５０と、排気孔１１３との間には、中間板１９４の面が存在する。
【０１２０】
このような構成では、中間板１９４と枠板１９５とを接着剤で接合する場合、枠板１９５の側面１９５０からはみ出した接着剤は、中間板１９４における枠板１９５側の露出面に溜まる。したがって、接着剤が排気孔１１３まで流れ、排気孔１１３が接着剤によって塞がることを抑制できる。
【０１２１】
次に、本発明の第４の実施形態に係る気体制御装置について説明する。
【０１２２】
図１１は、第４の実施形態に係る気体制御装置の第２板の一方主面（外面）の一部を拡大した斜視図である。図１２（Ａ）は、第４の実施形態に係る気体制御装置の第２通気孔付近の形状を示す部分断面図である。図１２（Ｂ）、図１２（Ｃ）は、第２通気孔を形成する貫通孔の側面断面図である。
【０１２３】
第４の実施形態に係る気体制御装置は、バルブの第２通気孔の形状において、第１の実施形態に係る気体制御装置と異なる。第４の実施形態に係る気体制御装置の他の構成は、第１の実施形態に係る気体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【０１２４】
図１１に示すように、第２板１９２には、複数の貫通孔１１２０が形成されている。これら複数の貫通孔１１２０によって、第２通気孔が構成されている。
【０１２５】
複数の貫通孔１１２０は、略同じ形状であり、例えば、平面視において円形である。複数の貫通孔１１２０を平面視したそれぞれの開口面積は、第１の実施形態に示した第２通気孔の開口面積よりも小さい。例えば、複数の貫通孔１１２０のそれぞれの開口面積は、カフ１０９内で発生する一般的な異物、例えば、カフ１０９を形成する材料の破片等の大きさよりも小さい。
【０１２６】
これにより、カフ１０９の内部で異物が発生しても、当該異物がバルブ１０１の第２バルブ室１３２の内部に流入することを抑制できる。さらに、当該異物が排気流路１１４における第２バルブ室１３２側の開口面、すなわち、弁座１３９とダイヤフラム１２０との間に挟まることを抑制できる。
【０１２７】
したがって、排気路１１４の第２バルブ室１３２側の開口をダイヤフラム１２０で完全に塞ぐことができないという動作不具合を抑制でき、ポンプの動作不具合の発生を抑制できる。
【０１２８】
また、複数の貫通孔１１２０の開口面積の合計は、第２通気孔１１２の開口面積以上であることが好ましい。これにより、複数の貫通孔１１２０の個々の開口面積が小さくても、当該複数の貫通孔１１２０が気体の流れのボトルネックになることを抑制できる。
【０１２９】
さらに、図１２（Ｂ）、図１２（Ｃ）に示すように、複数の貫通孔１１２０は、それぞれ第２板１９２における一方主面（外面）から他方主面（流路形成部１９０側の面）に向かって、徐々に開口面積が小さくなる部分を有するテーパ形状ｔａを備えていることが好ましい。これにより、カフ１０９側からの異物は、第２バルブ室１３２の内部に、さらに流入し難くなる。
【０１３０】
また、複数の貫通孔１１２０の各々の開口の面積は第２流路の最小面積より小さいことが好ましい。第２流路の最小面積とは、第２流路の任意の場所における断面積の最小を示している。
【０１３１】
これにより、カフ１０９の内部で異物が発生し、貫通孔１１２０を通過しても、当該異物が排気路１１４を含む第２流路を閉塞することを防止できる。
【０１３２】
次に、本発明の第５の実施形態に係る気体制御装置について説明する。
【０１３３】
図１３（Ａ）は、第５の実施形態に係る気体制御装置の第２板の一方主面（外面）の一部を拡大した斜視図である。なお、図１３（Ａ）は、第２板の一方主面（外面）を下側にして視た図である。図１３（Ｂ）は、第５の実施形態に係る気体制御装置の第２通気孔付近の形状を示す部分断面図である。
【０１３４】
第５の実施形態に係る気体制御装置は、バルブの第２通気孔付近の形状において、第１の実施形態に係る気体制御装置と異なる。第５の実施形態に係る気体制御装置の他の構成は、第１の実施形態に係る気体制御装置と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
【０１３５】
図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）に示すように、排気路形成板１９３は、連通孔１１６を備える。連通孔１１６は、排気路形成板１９３に形成された溝からなる。連通孔１１６の一方端は、平面視において、第２通気孔１１２に重なっており、第２通気孔１１２に連通している。連通孔１１６の他方端は、図示していないが、第２バルブ室１３２に連通している。
【０１３６】
連通孔１１６の一方端は、平面視で円形の開口であり、当該開口と第２通気孔１１２とは重なっている。
【０１３７】
第２板１９２における排気路形成板１９３側（他方主面側）には、複数の突起１１２１が配置されている。複数の突起１１２１は、第２通気孔１１２の外周を囲むように所定の間隔で配置されている。この間隔は、カフ１０９から発生する異物の大きさに基づいて設定されている。
【０１３８】
複数の突起１１２１の高さは、排気路形成板１９３の高さと略同じである。したがって、複数の突起１１２１の先端は、中間板１９４に当接している。これにより、第２バルブ室１３２と第２通気孔１１２との間には、複数の突起１１２１、第２板１９２、および、中間板１９４によって囲まれる複数の孔１１６０が形成される。これら複数の孔１１６０の開口面積は、カフ１０９から発生する異物の大きさよりも小さい。
【０１３９】
このような構成であっても、第４の実施形態に係る気体制御装置と同様に、カフ１０９の内部で異物が発生しても、当該異物がバルブ１０１の第２バルブ室１３２の内部に流入することを抑制できる。したがって、排気路１１４の第２バルブ室１３２側の開口をダイヤフラム１２０で完全に塞げないということを抑制でき、ポンプの動作不具合の発生を抑制できる。
【０１４０】
さらに、複数の孔１１６０の開口面積の合計は、第２通気孔１１２の開口面積以上であることが好ましい。これにより、複数の貫通孔１１６０の個々の開口面積が小さくても、当該複数の貫通孔１１６０が気体の流れの律速になることを抑制できる。
【０１４１】
なお、複数の突起１１２１の先端は、中間板１９４に当接していなくてもよいが、突起１１２１と中間板１９４との隙間の高さは、カフ１０９の異物の大きさよりも小さい。これにより、上述の効果と同様の効果を得ることができる。また、このような複数の突起は、連通孔１１６における第２通気孔１１２に連通する端部と、第２バルブ室１３２に連通する端部との間に配置されていれば、その位置は限定されない。
【０１４２】
次に、本発明の気体制御装置の一派生例について説明する。
【０１４３】
図１４は、気体制御装置におけるバルブのノード領域の概略を示す平面図である。
【０１４４】
図１４に示すように、ノード領域９０１は、ポンプの駆動による第２板１９２の振動のノードＮＯＤＥを含む領域である。第２板１９２の振動は、円形に拡散する方向に伝搬し、この伝搬方向の途中にノードＮＯＤＥが生じる。したがって、ノードＮＯＤＥは円形となる。ノード領域９０１を含む第２板１９２の一方主面においてカフ１０９を接合することにより、カフ１０９は第２板１９２に確実に接合される。
【０１４５】
また、第２板１９２の平面形状に応じて、ノード領域９０１は変化する。例えば、正多角形であれば中心点（第２通気孔１１２の位置）から角までの距離Ｒに対して、円形であれば半径Ｒに対して、ａ×Ｒ（ａは定数）の位置にノードＮＯＤＥが生じるので、当該ノードＮＯＤＥを含む位置に、接合部９０１を配置すればよい。具体的には、正方形の場合、ａ＝０．５３であり、正六角形の場合、ａ＝０．６１であり、正八角形の場合、ａ＝０．６４であり、正十角形の場合、ａ＝０．６５であり、円形の場合、ａ＝０．６７である。
【０１４６】
《その他の実施形態》
なお、前述の実施形態では気体として空気を用いているが、これに限るものではない。実施の際、当該気体が、空気以外の気体でも適用できる。
【０１４７】
また、前述の実施形態におけるポンプ１０は、ユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ４０を備えるが、振動板の両面に圧電素子を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するアクチュエータを備えてもよい。
【０１４８】
また、前述の実施形態におけるポンプ１０は、圧電素子４２の伸縮によって屈曲振動するアクチュエータ４０を備えるが、これに限るものではない。例えば、電磁駆動で屈曲振動するアクチュエータを備えてもよい。
【０１４９】
また、前述の実施形態におけるポンプ１０は吐出孔５５及び吐出孔５６を備えるが、これに限るものではない。例えば、ポンプ１０は吐出孔５５又は吐出孔５６のいずれかを備えていてもよい。
【０１５０】
また、前述の実施形態において、圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなるが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などからなってもよい。
【０１５１】
また、前述の実施形態におけるバルブ１０１は第１通気孔１１０及び第１通気孔１１１を備えるが、これに限るものではない。例えば、バルブ１０１は第１通気孔１１０又は第１通気孔１１１のいずれかを備えていてもよい。
【０１５２】
また、前述の実施形態において排気孔１１３の開口面は、Ｚ軸方向、即ちポンプ１０に向いているが、これに限るものではない。例えば排気孔１１３の開口面は、Ｘ軸方向に向いていてもよい。
【０１５３】
なお、前述の実施形態において用いることができるポンプは、前述のポンプ１０に限るものではない。例えば、ポンプ１０に替えて特願２０１１−２４４０５３の図２に記載されているポンプなどを用いることができる。
【０１５４】
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であり、制限的なものではないと考えられるべきである。異なる実施形態を組み合わせて実施することも可能である。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲は、特許請求の範囲と均等の範囲とを含む。
【符号の説明】
【０１５５】
１０…ポンプ、４０…圧電アクチュエータ、４１…振動板、４２…圧電素子、４５…ポンプ室、５２…吸引孔、５５、５６…吐出孔、６０…振動板ユニット、６１…枠板、６２…連結部、８０…ポンプ筐体、１００、２００…気体制御装置、１０１…バルブ、１０９…カフ、１０９Ａ…腕帯ゴム管、１１０、１１１…第１通気孔、１１２…第２通気孔、１１３…排気孔、１１４…排気路、１１５…制御部、１２０…ダイヤフラム、１２１…孔部、１３１…第１室（第１バルブ室）、１３２…第２室（第２バルブ室）、１３８…弁座、１３８Ａ、１３８Ｂ…突起部、１３９…弁座、１５２…シール材、１６０…逆止弁、１７０…排気弁、１９０…流路形成部、１９１、２９１…第１板、１９２…第２板、１９３…排気路形成板、１９４…中間板、１９５…枠板、２０１…バルブ、２２０…ダイヤフラム、２２１…可動部、２３１…第１室（第１バルブ室）、２３２…第２室（第２バルブ室）、２３８…弁座、２６０…逆止弁、２７０…排気弁、２９０…流路形成部、２９５…逆止板、２９６…枠板、９０１…ノード領域、１１２０、１１６０…貫通孔、１１２１…突起、１９４０…中間板１９４の側面、１９５０…枠板１９５の側面
【図１】
0006760377.tif 000002
【図２】
0006760377.tif 000003
【図３】
0006760377.tif 000004
【図４】
0006760377.tif 000005
【図５】
0006760377.tif 000006
【図６】
0006760377.tif 000007
【図７】
0006760377.tif 000008
【図８】
0006760377.tif 000009
【図９】
0006760377.tif 000010
【図１０】
0006760377.tif 000011
【図１１】
0006760377.tif 000012
【図１２】
0006760377.tif 000013
【図１３】
0006760377.tif 000014
【図１４】
0006760377.tif 000015