(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが開口されたノズル面を有する複数の液体噴射ユニットと、
ベース部材と、
前記ベース部材に取り付けられると共に積層部材が積層されたカバー部材と、を備え、
前記複数の液体噴射ユニットは、前記ベース部材の長手方向に並べられて前記ベース部材に固定され、
前記積層部材は、前記ベース部材の長手方向に長尺であり、
前記カバー部材は、前記積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有し、前記脆弱部の前記ベース部材への固定により当該ベース部材に取り付けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記カバー部材は、前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記固定部は、互いに向き合う前記側面の間に形成され、
前記脆弱部は、前記側面に形成され、
互いに向き合う前記側面の間隔は、当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
互いに向き合う前記側面のうち一方の側面に形成された前記脆弱部は、当該一方の側面から他方の側面に向けて延在し、
前記一方の側面に形成された前記脆弱部と前記ベース部材とは、前記一方の側面よりも前記他方の側面側で固定部材により固定されたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、
前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、
前記ベース部材に取り付けられると共に積層部材が積層されたカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は、前記積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有し、前記脆弱部の前記ベース部材への固定により当該ベース部材に取り付けられ、
前記カバー部材は、前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記固定部は、互いに向き合う前記側面の間に形成され、
前記脆弱部は、前記側面に形成され、
互いに向き合う前記側面の間隔は、当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きく、
互いに向き合う前記側面は、前記ベース部材の長手方向における位置を互いにずらして配置され、
前記脆弱部は、それぞれの側面において前記ベース部材の長手方向に沿って均等に配置されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
互いに向き合う前記側面の間隔は、前記ベース部材とは反対側から前記ベース部材側に向けて大きくなるように形成され、
前記脆弱部は、前記ノズル面に直交する方向において、前記側面の前記ベース部材側の端よりも外側に延在することを特徴とする請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記固定部と前記ベース部材との間に接続部材を備え、
前記積層部材は、前記固定部を間に挟んで、前記接続部材と接続されたことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記液体噴射ユニットに駆動信号を供給する回路基板を備え、
前記カバー部材は、金属からなり、前記回路基板に沿った面を有し、
前記積層部材は、前記ノズルに供給する液体が流れる液体流路を備えたことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記積層部材は、合成樹脂からなり、
前記カバー部材は、金属からなることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記積層部材は、前記固定部の前記ベース部材が設けられている側とは反対側に積層されていることを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
ノズルが開口されたノズル面を有する複数の液体噴射ユニットと、ベース部材と、積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有するカバー部材と、を備え、前記複数の液体噴射ユニットは前記ベース部材の長手方向に並べられて前記ベース部材に固定され、前記積層部材は前記ベース部材の長手方向に長尺である、液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記積層部材を前記固定部に固定する積層部材固定工程と、
前記脆弱部を前記ベース部材側に変形させて当該ベース部材に固定するカバー部材固定工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有するカバー部材と、を備え、前記カバー部材は前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、前記固定部は互いに向き合う前記側面の間に形成され、前記脆弱部は前記側面に形成され、互いに向き合う前記側面の間隔は当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きく、互いに向き合う前記側面は前記ベース部材の長手方向における位置を互いにずらして配置され、前記脆弱部はそれぞれの側面において前記ベース部材の長手方向に沿って均等に配置された、液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記積層部材を前記固定部に固定する積層部材固定工程と、
前記脆弱部を前記ベース部材側に変形させて当該ベース部材に固定するカバー部材固定工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射するインクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドが搭載される液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも液体噴射ヘッドが応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル、ノズルに連通する圧力室、及び、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子（アクチュエーターの一種）等を備えた液体噴射ユニットと、液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、液体噴射ユニットの圧力室に液体を供給する流路部材と、を備えている。ここで、流路部材は、内部に流路を有し、樹脂（合成樹脂）により成形されている。このため、この成形時において、流路部材に反りが発生する虞があった。特に、複数の液体噴射ユニットを備えた液体噴射ヘッドに取り付けられる流路部材は、長尺になり易く、反りが発生し易い。このため、流路部材を補強部材に取り付けて、流路部材の反りを矯正するように構成したものが開示されている（例えば、特許文献１）。そして、補強部材は、複数の箇所でねじ等によりベース部材に取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１３１１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、補強部材は、流路部材の反りを矯正できるようにある程度の剛性を有している。このため、補強部材をねじ等によりベース部材に取り付ける際に、補強部材から受ける反力によりベース部材が歪む虞がある。ベース部材が歪むと、液体噴射ユニットの姿勢が変化し、ノズルの位置が予定された位置からずれる虞がある。その結果、当該ノズルから記録媒体に向けて噴射された液滴の着弾位置が予定された位置からずれる虞がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路部材等の積層部材の反りを矯正しつつ、ベース部材の歪みを抑制できる液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明における液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、
前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、
前記ベース部材に取り付けられると共に積層部材が積層されたカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は、前記積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有し、前記脆弱部の前記ベース部材への固定により当該ベース部材に取り付けられたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、積層部材が歪んでいたとしても、固定部により積層部材の歪みを矯正できる。これにより、積層部材と積層部材が接続される他の部材との接続が容易になる。例えば、積層部材が複数の突出した部分を有し、この複数の突出した部分を他の部材に接続する場合でも、各突出した部分の他の部材に対する位置がずれ難くなるため、積層部材と他の部材との接続が容易になる。また、積層部材の内部に液体が流れる液体流路が形成されている場合、当該液体流路の歪みが抑制されるため、液体流路内に気泡が滞留することを抑制できる。さらに、カバー部材は脆弱部でベース部材に固定されているため、この固定により発生する反力を抑制できる。これにより、ベース部材に加わる力を抑制でき、ベース部材が歪むことを抑制できる。その結果、液体噴射ヘッドの位置ずれを抑制できる。
【０００９】
また、上記構成において、前記カバー部材は、前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記固定部は、互いに向き合う前記側面の間に形成され、
前記脆弱部は、前記側面に形成され、
互いに向き合う前記側面の間隔は、当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きいことが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、側面の間にベース部材を入れて、カバー部材をベース部材に固定する際に、側面の間にベース部材を入れ易くすることができる。その結果、カバー部材とベース部材との固定が容易になる。
【００１１】
さらに、上記構成において、互いに向き合う前記側面のうち一方の側面に形成された前記脆弱部は、当該一方の側面から他方の側面に向けて延在し、
前記一方の側面に形成された前記脆弱部と前記ベース部材とは、前記一方の側面よりも前記他方の側面側で固定部材により固定されることが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、固定部材が一方の側面よりも他方の側面とは反対側の外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、液体噴射ヘッドを小型化することができる。
【００１３】
また、上記各構成のいずれかにおいて、互いに向き合う前記側面は、前記ベース部材の長手方向における位置を互いにずらして配置され、
前記脆弱部は、それぞれの側面において前記ベース部材の長手方向に沿って均等に配置されることが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、カバー部材のそれぞれの側面において長手方向の均等な位置で脆弱部がベース部材に固定されるため、カバー部材とベース部材との固定が安定する。また、両側面のベース部材の長手方向における位置を揃えなくてもよいため、設計の自由度が増す。
【００１５】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、互いに向き合う前記側面の間隔は、前記ベース部材とは反対側から前記ベース部材側に向けて大きくなるように形成され、
前記脆弱部は、前記ノズル面に直交する方向において、前記側面の前記ベース部材側の端よりも外側に延在することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、側面の間にベース部材を入れて、カバー部材をベース部材に固定する際に、側面の間にベース部材を一層入れ易くすることができる。また、脆弱部が側面の端よりも外側に延在するため、側面の広がりを抑制することができる。その結果、液体噴射ヘッドを更に小型化することができる。
【００１７】
また、上記各構成のいずれかにおいて、前記固定部と前記ベース部材との間に接続部材を備え、
前記積層部材は、前記固定部を間に挟んで、前記接続部材と接続されることが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、積層部材と接続部材との接続が容易になる。特に、積層部材が複数の突出した部分を有し、この複数の突出した部分を接続部材に接続する場合において、各突出した部分の接続部材に対する位置がずれ難くなるため、積層部材と接続部材との接続が容易になる。
【００１９】
さらに、上記各構成のいずれかにおいて、前記液体噴射ユニットに駆動信号を供給する回路基板を備え、
前記カバー部材は、金属からなり、前記回路基板に沿った面を有し、
前記積層部材は、前記ノズルに供給する液体が流れる液体流路を備えた構成を採用することが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、回路基板に発生する熱をカバー部材に逃すことができる。また、積層部材が液体流路を備えているため、この液体流路を流れる液体によりカバー部材を冷却することができる。その結果、回路基板の放熱を効率よく行うことができる。
【００２１】
そして、本発明における液体噴射ヘッドの製造方法は、ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有するカバー部材と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記積層部材を前記固定部に固定する積層部材固定工程と、
前記脆弱部を前記ベース部材側に変形させて当該ベース部材に固定するカバー部材固定工程と、を含むことを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、積層部材が歪んでいたとしても、固定部により積層部材の歪みを矯正できる。また、脆弱部をベース部材側に変形させてベース部材に固定するため、ベース部材と脆弱部との間に製造誤差等による寸法誤差を吸収するための隙間を設けることができる。そして、脆弱部は固定部よりも剛性が低いため、脆弱部の変形により生じる反力を抑制できる。その結果、ベース部材が歪むことを抑制できる。
また、上記目的を達成するために提案される本発明は、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、ノズルが開口されたノズル面を有する複数の液体噴射ユニットと、
ベース部材と、
前記ベース部材に取り付けられると共に積層部材が積層されたカバー部材と、を備え、
前記複数の液体噴射ユニットは、前記ベース部材の長手方向に並べられて前記ベース部材に固定され、
前記積層部材は、前記ベース部材の長手方向に長尺であり、
前記カバー部材は、前記積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有し、前記脆弱部の前記ベース部材への固定により当該ベース部材に取り付けられたことを特徴とする（第１の構成）。
上記第１の構成において、前記カバー部材は、前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記固定部は、互いに向き合う前記側面の間に形成され、
前記脆弱部は、前記側面に形成され、
互いに向き合う前記側面の間隔は、当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きい構成を採用することが望ましい（第２の構成）。
上記第２の構成において、互いに向き合う前記側面のうち一方の側面に形成された前記脆弱部は、当該一方の側面から他方の側面に向けて延在し、
前記一方の側面に形成された前記脆弱部と前記ベース部材とは、前記一方の側面よりも前記他方の側面側で固定部材により固定された構成を採用することが望ましい（第３の構成）。
また、本発明は、ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、
前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、
前記ベース部材に取り付けられると共に積層部材が積層されたカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は、前記積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有し、前記脆弱部の前記ベース部材への固定により当該ベース部材に取り付けられ、
前記カバー部材は、前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、
前記固定部は、互いに向き合う前記側面の間に形成され、
前記脆弱部は、前記側面に形成され、
互いに向き合う前記側面の間隔は、当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きく、
互いに向き合う前記側面は、前記ベース部材の長手方向における位置を互いにずらして配置され、
前記脆弱部は、それぞれの側面において前記ベース部材の長手方向に沿って均等に配置されたことを特徴とする（第４の構成）。
上記第２から第４の何れか一の構成において、互いに向き合う前記側面の間隔は、前記ベース部材とは反対側から前記ベース部材側に向けて大きくなるように形成され、
前記脆弱部は、前記ノズル面に直交する方向において、前記側面の前記ベース部材側の端よりも外側に延在する構成を採用することが望ましい（第５の構成）。
上記第１から第５の何れか一の構成において、前記固定部と前記ベース部材との間に接続部材を備え、
前記積層部材は、前記固定部を間に挟んで、前記接続部材と接続された構成を採用することが望ましい（第６の構成）。
上記第１から第６の何れか一の構成において、前記液体噴射ユニットに駆動信号を供給する回路基板を備え、
前記カバー部材は、金属からなり、前記回路基板に沿った面を有し、
前記積層部材は、前記ノズルに供給する液体が流れる液体流路を備えた構成を採用することができる（第７の構成）。
又は、上記第１から第６の何れか一の構成において、前記積層部材は、合成樹脂からなり、
前記カバー部材は、金属からなる構成を採用することができる（第８の構成）。
上記第１から第８の何れか一の構成において、前記積層部材は、前記固定部の前記ベース部材が設けられている側とは反対側に積層されている構成を採用することが望ましい（第９の構成）。
さらに、本発明は、ノズルが開口されたノズル面を有する複数の液体噴射ユニットと、ベース部材と、積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有するカバー部材と、を備え、前記複数の液体噴射ユニットは前記ベース部材の長手方向に並べられて前記ベース部材に固定され、前記積層部材は前記ベース部材の長手方向に長尺である、液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記積層部材を前記固定部に固定する積層部材固定工程と、
前記脆弱部を前記ベース部材側に変形させて当該ベース部材に固定するカバー部材固定工程と、を含むことを特徴とする（第１の製造方法）。
さらに、本発明は、ノズルが開口されたノズル面を有する液体噴射ユニットと、前記液体噴射ユニットが固定されたベース部材と、積層部材が固定される固定部、及び、前記固定部よりも剛性が低い脆弱部を有するカバー部材と、を備え、前記カバー部材は前記ベース部材を間に挟んで互いに向き合う側面を有し、前記固定部は互いに向き合う前記側面の間に形成され、前記脆弱部は前記側面に形成され、互いに向き合う前記側面の間隔は当該側面の間に挟まれたベース部材の幅よりも大きく、互いに向き合う前記側面は前記ベース部材の長手方向における位置を互いにずらして配置され、前記脆弱部はそれぞれの側面において前記ベース部材の長手方向に沿って均等に配置された、液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記積層部材を前記固定部に固定する積層部材固定工程と、
前記脆弱部を前記ベース部材側に変形させて当該ベース部材に固定するカバー部材固定工程と、を含むことを特徴とする（第２の製造方法）。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】プリンターの内部構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの断面図である。
【図４】記録ヘッドの底面図である。
【図５】単位ヘッドの断面図である。
【図６】金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した断面図である。
【図７】金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した正面図である。
【図８】金属カバーの脆弱部の金属ベースへの固定を説明する断面図である。
【図９】金属カバーの脆弱部の金属ベースへの固定を説明する断面図である。
【図１０】第２の実施形態における金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した断面図である。
【図１１】第２の実施形態における金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した正面図である。
【図１２】第３の実施形態における金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した断面図である。
【図１３】第３の実施形態における金属カバーの脆弱部と金属ベースとの固定部を拡大した正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１に搭載されたインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３を例に挙げて行う。
【００２５】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数の液体噴射ユニット４を備える記録ヘッド３、記録媒体２を搬送する搬送機構５、及び、液体噴射ユニット４のノズル面に対向する位置に搬送された記録媒体２を支持する媒体支持部６（プラテンとも呼ばれる）等を筐体７の内部に備えている。
【００２６】
本実施形態における記録ヘッド３は、記録媒体２の搬送方向（図１等におけるＸ方向）に交差する方向（図１等におけるＹ方向）に複数（本実施形態では４つ）の液体噴射ユニット４を並べて取り付けた当該方向（Ｙ方向）に長尺なラインヘッドである。この記録ヘッド３には、液体の一種であるインクを貯留したインクカートリッジ８の内部と連通する液体供給チューブ９が接続されている。インクカートリッジ８からのインクは、液体供給チューブ９を介して記録ヘッド３に供給される。なお、インクカートリッジを記録ヘッド上に装着する構成を採用することもできる。また、記録ヘッド３には、図示しないポンプを用いて気体（本実施形態では空気）を記録ヘッドに供給する気体供給チューブ１０、及び、図示しない制御部からの駆動信号等を記録ヘッド３に供給するＦＦＣ等の配線部材１１が接続されている。
【００２７】
搬送機構５は、媒体支持部６よりも記録媒体２の搬送方向における上流側に上下一対に配置された第１の搬送ローラー１２ａと、媒体支持部６よりも搬送方向における下流側に上下一対に配置された第２の搬送ローラー１２ｂと、を備えている。供給側からの記録媒体２は、これらの搬送ローラー１２ａ，１２ｂの駆動により、上下のローラーに挟まれた状態で媒体支持部６上を通過して排出側に向けて搬送される。なお、図１において、上下一対のローラーのうち、上側のローラーの図示は省略されている。また、搬送機構が、無端ベルトやドラムにより構成されるものもあり、このような構成では、ベルトやドラムが媒体支持部として機能する。さらに、媒体支持部としては、記録媒体を静電力により吸着させる構成のものや、負圧を発生させることで記録媒体を吸着させる構成のものを採用することもできる。
【００２８】
図２は、記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。図３は、記録ヘッド３の断面図である。図４は、記録ヘッド３の底面図（あるいは下面図）である。なお、以下においては、記録ヘッド３の各構成部材の積層方向（Ｚ方向）を、適宜上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、図２及び図３に示すように、各液体噴射ユニット４へインクを供給する流路が形成された流路部材１３（本発明における積層部材の一種）と、内部を流れるインクの圧力を調整する圧力調整部材１４（本発明における接続部材の一種）と、各液体噴射ユニット４を制御する駆動信号を送信する回路基板１５と、圧力調整部材１４及び回路基板１５を内部に収容する金属シールド１６と、金属シールド１６の底面を構成する金属ベース５１（本発明におけるベース部材の一種）の下面に固定された液体噴射ユニット４と、を備えている。
【００２９】
流路部材１３は、内部にインクが流れる液体流路及び空気が流れる気体流路（何れも図示せず）が形成された、各液体噴射ユニット４にインクを供給する合成樹脂（例えば、ＰＰ（ポリプロピレン））製の板状部材である。本実施形態における流路部材１３は、後述する金属カバー５２（本発明におけるカバー部材の一種）の上面６５に固定（換言すると、積層）されている。図２に示すように、この流路部材１３の上面には、各色に対応した液体供給チューブ９が接続される液体供給チューブ接続部４１が複数（本実施形態では４つ）形成されている。液体供給チューブ接続部４１は、流路部材１３の内部の液体流路を介して流路部材１３の下面に形成された液体流出口４２と連通されている。本実施形態における液体流路は、１つの液体供給チューブ接続部４１から流入したインクが４つの液体噴射ユニット４に分配されるように途中で分岐され、４つの液体流出口４２と連通されている。すなわち、１つの液体供給チューブ接続部４１は、液体流路を介して４つの液体流出口４２と連通する。また、流路部材１３の上面には、気体供給チューブ１０が接続される気体供給チューブ接続部４３が複数（本実施形態では２つ）形成されている。気体供給チューブ接続部４３は、流路部材１３の内部の気体流路を介して流路部材１３の下面に形成された気体流出口４４と連通されている。本実施形態における気体流路も途中で分岐され、４つの気体流出口４４と連通されている。すなわち、１つの気体供給チューブ接続部４３は、気体流路を介して４つの気体流出口４４と連通する。
【００３０】
なお、本実施形態における気体流出口４４は、流路部材１３の長手方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）の略中央において、流路部材１３の長手方向（Ｙ方向）に沿って複数（具体的には、８つ）形成されている。また、本実施形態における液体流出口４２は、気体流出口４４の列のＸ方向の両側において、それぞれＹ方向に沿って並設されている。すなわち、複数（具体的には、８つ）の液体流出口４２が並べられてなる液体流出口４２の列が、気体流出口４４の列を挟んで２列に形成されている。さらに、本実施形態における液体流出口４２及び気体流出口４４は、円筒状に形成され、流路部材１３の下面から下方に向けて突設されている。液体流出口４２の径は、気体流出口４４の径よりも小さく形成されている。また、流路部材１３の四隅及び長手方向（Ｙ方向）における中央部には、当該流路部材１３を板厚方向に貫通する流路部材貫通孔８０が開設されている。図３に示すように、金属カバー５２の上面６５に流路部材１３の底面を当接させた状態で、流路部材貫通孔８０を通じて、金属カバー５２の上面６５に形成された流路部材固定用ネジ穴７９に流路部材固定用ネジ８１を固定することで、流路部材１３が金属カバー５２の上面６５に固定されている。
【００３１】
圧力調整部材１４は、金属カバー５２の上面６５を間に挟んで流路部材１３の下方（液体噴射ユニット４側）に接続された合成樹脂製の部材である。この圧力調整部材１４は、金属カバー５２の上面６５と金属ベース５１との間に配置されている。圧力調整部材１４の上面には、流路部材１３の液体流出口４２に対応する液体流入口４６、及び、流路部材１３の気体流出口４４に対応する気体流入口４７がそれぞれ複数形成されている。図３に示すように、液体流出口４２と液体流入口４６との接続部、及び、気体流出口４４と気体流入口４７との接続部は、金属カバー５２の上面６５の下方（すなわち、後述する収容空間６８内）で接続されている。液体流入口４６は、圧力調整部材１４の内部に形成された図示しない液体流路を介して圧力調整部材１４の下方に突設された液体流出管４８と連通されている。なお、この圧力調整部材１４の内部の液体流路は、気体流入口４７から流入した空気により当該液体流路内のインクを加圧可能に構成されている。このため、ポンプを駆動させて気体供給チューブ１０、流路部材１３及び気体流入口４７を介して圧力調整部材１４に空気を送れば、液体流路内の圧力を高めることができ、ひいては、液体噴射ユニット４内の圧力を高めることができる。そして、この液体噴射ユニット４内のインクの圧力を制御することで、例えば、各ノズル２４からインクを溢れさせた状態で図示しないワイパー等で液体噴射ユニット４のノズル面（すなわち、ノズルプレート２３の下面）を払拭するクリーニング動作等を行う。
【００３２】
図３に示すように、金属シールド１６は、内部に圧力調整部材１４及び回路基板１５を収容する収容空間６８が形成された金属製の部材である。この金属シールド１６は、上面に圧力調整部材１４及び回路基板１５が取り付けられ、下面に複数の液体噴射ユニット４が固定される剛性が高い金属ベース５１と、圧力調整部材１４及び回路基板１５を覆う薄板以状の金属カバー５２と、を備えている。金属ベース５１は、図２に示すようにＹ方向に長尺なＸ−Ｙ面に沿った板材である。本実施形態における金属ベース５１は、アルミニウムからなり、図４に示すように、平面視においてＹ方向に長尺な平行四辺形状に形成されている。また、金属ベース５１は、図３に示す接地線Ｇに電気的に接続されることで接地されている。この金属ベース５１の圧力調整部材１４が固定される領域には、圧力調整部材１４の液体流出管４８が挿通されるベース貫通孔５９が板厚方向に貫通した状態で複数開設されている。図３に示すように、圧力調整部材１４の液体流出管４８は、ベース貫通孔５９に挿通されて液体噴射ユニット４（詳しくは、液体導入口６０）と接続されている。
【００３３】
また、金属ベース５１のＸ方向における一側（図２及び図３における右側）の端部には、金属ベース５１の上面が一段下がった段差５４が形成されている。図２に示すように、この段差５４の側面には、液体噴射ユニット４に駆動信号を供給する回路基板１５を固定するための回路基板固定用ネジ穴５５が開設されている。これにより、回路基板１５（詳しくは回路基材６２）を段差５４の側面（すなわち、Ｙ−Ｚ面）に沿うようにして段差５４の上面に載置した状態で、回路基板１５に形成された基板貫通孔５６を通じて回路基板固定用ネジ穴５５に回路基板固定用ネジ５７を固定することで、回路基板１５が金属ベース５１に固定される。すなわち、本実施形態における回路基板１５は、Ｙ−Ｚ面に沿って金属ベース５１から起立した状態に固定される。従って、図３に示すように、金属カバー５２を金属ベース５１に取り付けた状態において、回路基板１５は、金属カバー５２の一側（段差５４側）の側面６６に沿って配置されることになる。換言すると、金属カバー５２の一側の側面６６が、回路基板１５に沿うように形成されている。なお、金属カバー５２と回路基板１５とは平行に配置されていなくても良い。すなわち、回路基板１５は、金属カバー５２の一側の側面６６に対して、多少傾いていても良い。要するに、「回路基板１５が側面６６に沿って配置」とは、回路基板１５が側面６６に対して平行に並べられている場合に限られず、回路基板１５が側面６６に対して多少傾いている場合も含む。
【００３４】
なお、回路基板固定用ネジ５７により、回路基板１５内の接地電位となる配線と、金属ベース５１とが導通される。また、回路基板１５は、配線等からなる圧電素子３２を駆動するための回路等が形成されたＹ方向に長尺な回路基材６２と、回路基材６２に形成された配線部材１１が接続されるコネクター６３と、を備えている。本実施形態におけるコネクター６３は、回路基材６２の上端部であって、Ｙ方向における一側（図２における左側）寄りに１つ配置されている。また、コネクター６３は、回路基材６２における内側（圧力調整部材１４側）の面に配置されている。
【００３５】
さらに、金属ベース５１のＸ方向における両側の側面には、内側に凹んだ凹部６９が形成されている（図２及び図６参照）。この凹部６９は、後述する脆弱部７３が収容される空間であり、当該脆弱部７３に対応する位置に形成されている。本実施形態における凹部６９は、金属ベース５１のそれぞれの側面において、５つ並設されている。そして、この凹部６９内の側面に沿った面（すなわち、Ｙ−Ｚ面）に、金属カバー固定用ネジ穴７０が開設されている。
【００３６】
金属カバー５２は、圧力調整部材１４及び回路基板１５に対して間隔を空けて覆う状態に形成されたＹ方向に長尺なカバー部材である。本実施形態における金属カバー５２は、電気亜鉛めっき鋼板（ＳＥＣＣ等）からなり、金属ベース５１と同様に、平面視においてＹ方向に長尺な平行四辺形状に形成されている。この金属カバー５２は、図３に示すように、金属ベース５１に取り付けられて、金属ベース５１との間で収容空間６８を形成する。具体的には、金属カバー５２は、圧力調整部材１４の上面を覆うＸ−Ｙ面に沿った上面６５、この上面６５のＸ方向における一側の端部から一段下がった段差状に形成された上面段差部６７、及び、金属ベース５１を間に挟んで互いに向き合う２つの側面６６を備えている。換言すると、２つの側面６６の間に、上面６５及び上面段差部６７が形成されている。すなわち、側面６６は、上面６５のＸ方向における他側の端、及び、上面段差部６７のＸ方向における一側の端からそれぞれ下方に向けて延在された部分である。また、上面６５は、流路部材１３が取り付けられると共に、この流路部材１３の歪みを矯正する矯正部として機能するため、ある程度の剛性を有している。なお、金属カバー５２の上面６５が本発明における固定部に相当する。
【００３７】
金属カバー５２の上面段差部６７には、図２及び図３に示すように、配線部材１１が挿通される第１の開口７６が形成されている。この第１の開口７６に配線部材１１が挿通されて、第１の開口７６よりも下方において配線部材１１と回路基板１５のコネクター６３とが接続される。なお、本実施形態における第１の開口７６は、その縁が外側に湾曲した状態に形成されている。また、金属カバー５２の上面６５には、流路部材１３の液体流出口４２が挿通される第２の開口７７、及び、流路部材１３の気体流出口４４が挿通される第３の開口７８が形成されている。すなわち、流路部材１３の液体流出口４２は第２の開口７７に挿通されて、この第２の開口７７よりも下方に位置する圧力調整部材１４の液体流入口４６に接続される。また、流路部材１３の気体流出口４４は第３の開口７８に挿通されて、この第３の開口７８よりも下方に位置する圧力調整部材１４の気体流入口４７に接続される。すなわち、第１の開口７６、第２の開口７７、及び、第３の開口７８は、収容空間６８と連通して当該収容空間６８の内側の空間と外側の空間とを繋ぐ接続口となっている。
【００３８】
図２及び図３に示すように、金属カバー５２の両側面６６の下端部には、上面６５及び側面６６よりも剛性が低い脆弱部７３が複数設けられている。本実施形態における脆弱部７３は、それぞれの側面６６においてＹ方向（換言すると、金属ベース５１の長手方向）に沿って均等に配置されている。すなわち、脆弱部７３は各側面６６において等ピッチに並設され、且つ、Ｙ方向における一方の端に位置する脆弱部７３と側面６６の一方の端との距離、及び、Ｙ方向における他方の端に位置する脆弱部７３と側面６６の他方の端との距離はそれぞれピッチの約半分の距離に設定されている。また、各脆弱部７３には、金属カバー固定用ネジ７２（本発明における固定部材の一種）が挿通される貫通孔７１が開設されている。図３に示すように、互いに向き合う側面６６の間に金属ベース５１を挿入した状態（換言すると金属ベース５１を側面６６間に挟んだ状態）で、脆弱部７３の貫通孔７１を通じて、金属ベース５１の金属カバー固定用ネジ穴７０に金属カバー固定用ネジ７２を固定することで、金属カバー５２の側面６６が金属ベース５１に固定されている。換言すると、脆弱部７３の金属ベース５１への固定により、金属カバー５２が当該金属ベース５１に取り付けられている。なお、金属カバー固定用ネジ７２により金属ベース５１と金属カバー５２とが導通されるため、金属カバー５２は接地電位となる。すなわち、金属カバー固定用ネジ７２により、金属ベース５１と金属カバー５２とが側面６６で導通且つ接合されている。
【００３９】
図６は、金属カバー５２の脆弱部７３と金属ベース５１との固定部を拡大した断面図である。図７は、金属カバー５２の脆弱部７３と金属ベース５１との固定部を拡大した正面図である。本実施形態における脆弱部７３は、Ｚ方向（すなわち、ノズル面に直交する方向）において、側面６６の下側（換言すると、金属ベース５１側）の端よりも外側（下側）に延在され、且つ、Ｘ方向において、一方の側面６６から他方の側面６６（或いは、他方の側面６６から一方の側面６６）に向けて延在されている。要するに、脆弱部７３は、側面６６から下側且つ内側に向けて延在されている。
【００４０】
より詳しく説明すると、図６及び図７に示すように、脆弱部７３は、側面６６の下端の一部を切欠いた切欠き部８８内に形成され、この切欠き部８８から側面６６の下側且つ内側に向けて延在された２本の腕部７４と、この２本の腕部７４の先端に形成された固定基部７５と、からなる。２本の腕部７４は、固定基部７５が金属ベース５１の凹部６９内の金属カバー固定用ネジ穴７０が形成された面（Ｙ−Ｚ面）に沿うように、途中で屈曲されている。そして、この固定基部７５の金属カバー固定用ネジ穴７０に対応する位置に、金属カバー固定用ネジ７２が挿通される貫通孔７１が形成されている。これにより、脆弱部７３が金属ベース５１の凹部６９内に収容された状態で、貫通孔７１を通じて、金属ベース５１の金属カバー固定用ネジ穴７０に金属カバー固定用ネジ７２が固定されると、脆弱部７３が凹部６９内に固定される。従って、脆弱部７３と金属ベース５１とは、一方の側面６６よりも他方の側面６６側（或いは、他方の側面６６よりも一方の側面６６側）で金属カバー固定用ネジ７２により固定される。換言すると、脆弱部７３と金属ベース５１とは、側面６６よりも内側で金属カバー固定用ネジ７２により固定される。この固定状態で、金属カバー固定用ネジ７２の一部又は全部は、金属ベース５１の凹部６９内に収容される。そして、各脆弱部７３とこれらに対応する凹部６９との固定により、金属カバー５２が金属ベース５１に固定されることになる。なお、本実施形態における脆弱部７３は、金属ベース５１の凹部６９の幅（Ｙ方向における寸法）よりも狭い幅、且つ、金属カバー５２の切欠き部８８の幅よりも狭い幅に形成されている。
【００４１】
また、図４に示すように、本実施形態における金属カバー５２の両側面６６は、Ｙ方向に長尺な平行四辺形状に形成された金属ベース５１の両側面に沿うように、金属ベース５１の長手方向（Ｙ方向）における位置を互いにずらして配置されている。このため、Ｘ方向から見て、Ｙ方向における金属カバー５２の両端部で両側面６６が重ならず、何れか一方のみとなっている。すなわち、Ｘ方向から見て、両側面６６が重なる領域と両側面６６が重ならない領域とが形成されている。そして、このようにお互いの位置がずれた両側面６６にそれぞれ脆弱部７３を均等に配置したので、これらの脆弱部７３の一部又は全部は、Ｘ方向から見て重ならない位置に配置されることになる。要するに、本実施形態における脆弱部７３は、Ｘ方向における金属カバー５２の中心を通る仮想線に対して非対称に配置されている。
【００４２】
さらに、図３に示すように、互いに向き合う金属カバー５２の側面６６の間の寸法（すなわち、側面６６の間隔）は、上面６５側（すなわち、金属ベース５１とは反対側）から金属ベース５１側に向けて大きくなるように形成されている。本実施形態では、上面６５側から金属ベース５１側に向けて次第に大きくなるように、側面６６がＹ−Ｚ面に対して僅かに傾斜した状態に形成されている。要するに、断面視において、金属ベース５１の外形は略台形状に形成されている。そして、この側面６６の間隔のうち、少なくとも金属ベース５１に対応する領域の側面６６の間隔Ｗ１（すなわち、側面６６の下端部の間隔Ｗ１）は、当該側面６６の間に挟まれた金属ベース５１の寸法Ｗ２よりも大きく形成されている。このため、金属カバー５２の側面６６と金属ベース５１との間には僅かな隙間が形成される。なお、本実施形態においては、金属カバー５２の各部の厚さは、略一定の厚さに揃えられている。
【００４３】
液体噴射ユニット４は、金属ベース５１の下面（すなわち、媒体支持部６側の面）に、それぞれ相対位置が規定された状態でＹ方向に並べてねじ止め若しくは接着剤により固定されている。図２に示すように、各液体噴射ユニット４は、複数の単位ヘッド８３（ヘッドチップともいう）と、各単位ヘッド８３に供給するインクが流れる供給流路（図示せず）が形成された流路構造体８４と、各単位ヘッド８３を保護する保護板８５とを備えている。単位ヘッド８３は、後述するようにノズル２４が開設されたノズルプレート２３や、ノズル２４と連通する流路が形成された基板や、インクを吐出させる駆動源であるアクチュエーターユニット１７等の構成部材が積層されて構成されている。単位ヘッド８３は、ノズルプレート２３の下面（ノズル２４からインクが噴射される側の面）からの平面視で略平行四辺形状を呈する。すなわち、図４に示すように、複数のノズル２４が並設されてなるノズル列２４ａが、記録媒体２の搬送方向（Ｘ方向）および液体噴射ユニット４の並設方向（Ｙ方向）に対して傾斜して設けられており、このノズル列２４ａの傾斜に合わせて単位ヘッド８３の外形が略平行四辺形となるように形成されている。なお、ノズル列２４ａの傾斜角は、ノズル２４の形成ピッチやＸ方向における記録解像度に応じて定められる。本実施形態においては、１つの単位ヘッド８３に合計２条のノズル列２４ａが設けられている。そして、各液体噴射ユニット４においては、合計６つの単位ヘッド８３が、液体噴射ユニット４の並設方向であるＹ方向に沿って並べて配置されている。したがって、本実施形態においては、各液体噴射ユニット４がそれぞれ１２条のノズル列２４ａを有していることになる。
【００４４】
保護板８５は、液体噴射ユニット４に設けられている各単位ヘッド８３に共通な金属製の板状板材である。この保護板８５には、各単位ヘッド８３のノズルプレート２３に対応する位置に、当該ノズルプレート２３に形成されたノズル２４を露出させるノズル露出開口８６が開口されている。本実施形態におけるノズル露出開口８６は、ノズル列方向（Ｘａ方向）に長尺な平行四辺形状を呈している。各単位ヘッド８３は、対応するノズル露出開口８６にノズル２４を露出させた状態で、保護板８５の上面（媒体支持部６側とは反対側の面）に接着剤により接合される。
【００４５】
流路構造体８４は、インクカートリッジ８から送られてきたインクを、当該流路構造体８４の下面側に接合された各単位ヘッド８３に分配・供給する複数の部材が積層されてなる部材である。この流路構造体８４の上面には、複数の液体導入口６０が開設されており、この液体導入口６０から内部の流路にインクを導入する。本実施形態においては、合計４色のインクに対応して液体導入口６０が流路構造体８４に設けられている。流路構造体８４の内部の各色に対応した供給流路の途中には、図示しないフィルターがそれぞれ配設されており、供給流路を流れるインクから気泡や異物を除去する。各供給流路は、流路構造体８４の内部において液体噴射ユニット４に設けられた単位ヘッド８３の数に応じた数の分岐流路に分岐され、当該複数の単位ヘッド８３の液体導入路２１と連通する。
【００４６】
図５は、単位ヘッド８３の断面図である。本実施形態における単位ヘッド８３は、図５に示すように、アクチュエーターユニット１７及び流路ユニット１８が積層された状態でヘッドケース１９に取り付けられている。
【００４７】
本実施形態におけるヘッドケース１９は、合成樹脂製の箱体状部材である。図５に示すように、ヘッドケース１９の中央部には、ノズル列方向に沿って長尺な空間であるアクチュエーター収容空間２０及び貫通空間２２が形成されている。アクチュエーター収容空間２０は、アクチュエーターユニット１７が収容される空間であり、アクチュエーターユニット１７の厚さの分だけヘッドケース１９の下面から板厚方向（すなわち、下面に直交する方向）の途中まで凹んだ状態に形成されている。貫通空間２２は、このアクチュエーター収容空間２０の上面側の天井面に連通し、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通した状態に形成されている。貫通空間２２及びアクチュエーター収容空間２０には、圧電素子３２（後述）に駆動信号を供給するフレキシブル基板３５が配置される。なお、図示を省略するが、フレキシブル基板３５は、貫通空間２２の上面開口から単位ヘッド８３の外側まで延在し、流路構造体８４に設けられた集合基板（図示せず）に接続されている。そして、集合基板は、図示しないケーブルを介して回路基板１５に接続されている。例えば、このケーブルは、金属ベース５１と金属カバー５２との隙間を通じて回路基板１５に接続される。また、図５に示すように、ヘッドケース１９の内部にはインクが流れる液体導入路２１が形成されている。この液体導入路２１の下端は、後述する共通液室２６と接続されている。本実施形態では、２列に形成されたノズル列２４ａに対応して、液体導入路２１が２つ形成されている。
【００４８】
ヘッドケース１９の下面には、流路ユニット１８が接続されている。この流路ユニット１８は、連通基板２５、ノズルプレート２３、及びコンプライアンス基板３７が積層されて成るノズル列方向に沿って長尺な基板である。連通基板２５は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この連通基板２５には、図５に示すように、液体導入路２１と連通し、各圧力室３０に共通なインクが貯留される共通液室２６と、この共通液室２６からのインクを各圧力室３０に個別に供給する個別連通路２７と、圧力室３０とノズル２４とを連通するノズル連通路２８とが、異方性エッチングにより形成されている。共通液室２６は、ノズル列方向に沿った長尺な空部であり、液体導入路２１対応して２列に形成されている。個別連通路２７及びノズル連通路２８は、圧力室３０の並設方向（換言すると、ノズル列方向）に沿って複数形成されている。
【００４９】
ノズルプレート２３は、連通基板２５の下面（すなわち、圧力室形成基板２９とは反対側の面）に接合されたシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。本実施形態のノズルプレート２３は、コンプライアンス基板３７と重ならないように、コンプライアンス基板３７から外れた領域に接合されている。換言すると、ノズルプレート２３は、連通基板２５の共通液室２６の下面側の開口から外れた領域に接合されている。このノズルプレート２３には、複数のノズル２４がノズルプレート２３の長手方向に沿って直線状（換言すると、列状）に開設されている。すなわち、ノズル列２４ａが形成されている。この並設された複数のノズル２４（ノズル列２４ａ）は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで等間隔に設けられている。なお、ノズルプレート２３の下面が本発明におけるノズル面に相当する。
【００５０】
コンプライアンス基板３７は、連通基板２５の下面であって、共通液室２６に対応する領域に接合された可撓性を有する基板である。すなわち、コンプライアンス基板３７は、連通基板２５のノズルプレート２３に覆われていない領域に接合されている。本実施形態におけるコンプライアンス基板３７は、金属等の硬質な材料からなる固定基板３８に、剛性が低く可撓性を有する封止膜３９が積層された板材である。固定基板３８の共通液室２６に対向する領域は、厚さ方向に除去された開口部となっている。このため、共通液室２６の下面は、封止膜３９のみで封止され、共通液室２６内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。
【００５１】
本実施形態におけるアクチュエーターユニット１７は、図５に示すように、圧力室形成基板２９、振動板３１、及び、封止板３３等の基板が積層されて成る複合基板である。このアクチュエーターユニット１７は、ヘッドケース１９のアクチュエーター収容空間２０内に収容可能な大きさに形成され、このアクチュエーター収容空間２０内に収容されている。
【００５２】
圧力室形成基板２９は、例えばシリコン単結晶基板から作製される基板である。この圧力室形成基板２９には、異方性エッチング等により一部が板厚方向に完全に除去されて、圧力室３０となるべき空間がノズル列方向に沿って複数並設されている。この空間は、下方が連通基板２５により区画され、上方が振動板３１により区画されて、圧力室３０を構成する。また、この空間、すなわち圧力室３０は、ノズル列方向に直交する方向に長尺に形成され、長手方向の一側の端部に個別連通路２７が連通すると共に、他側の端部にノズル連通路２８が連通する。また、本実施形態における圧力室３０は、ノズル列方向に沿って複数形成されている。
【００５３】
振動板３１は、例えば、圧力室形成基板２９の上面（すなわち、連通基板２５側とは反対側の面）に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る薄膜状の部材である。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。この振動板３１における圧力室３０（詳しくは、圧力室３０の上部開口）に対応する部分は、圧電素子３２の撓み変形に伴ってノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。すなわち、振動板３１における圧力室３０の上部開口に対応する領域が、撓み変形が許容される駆動領域となる。そして、この駆動領域（変位部）の変形（変位）により、圧力室３０の容積は変化する。一方、振動板３１における圧力室３０の上部開口から外れた領域が、撓み変形が阻害される非駆動領域となる。
【００５４】
振動板３１（詳しくは振動板３１の絶縁体膜）の上面（すなわち、振動板３１の圧力室形成基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域（すなわち、駆動領域）には、圧電素子３２（本発明における駆動素子に相当）がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、各ノズル２４に対応してノズル列方向に沿って複数並設されている。各圧電素子３２は、例えば、振動板３１上から順に、個別電極となる下電極層、圧電体層及び共通電極となる上電極層が順次積層されてなる。なお、駆動回路や配線の都合によって、下電極層を共通電極、上電極層を個別電極にすることもできる。このように構成された圧電素子３２は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、ノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。
【００５５】
封止板３３は、図５に示すように、圧電素子３２を収容可能な圧電素子収容空間３４が形成された基板である。この封止板３３は、圧電素子収容空間３４内に圧電素子３２を収容した状態で、振動板３１上に接合されている。本実施形態では、２列に形成された圧電素子３２の列に対応して、圧電素子収容空間３４が２列形成されている。この２つの圧電素子収容空間３４の間には、封止板３３が板厚方向に除去された接続空間３６が形成されている。接続空間３６は貫通空間２２と連通し、その内部には貫通空間２２に挿通されたフレキシブル基板３５の端部が配置される。そして、この接続空間３６において、フレキシブル基板３５と圧電素子３２から延在したリード配線（図示せず）と、が接続されている。
【００５６】
そして、上記のように構成された記録ヘッド３は、インクカートリッジ８からのインクの供給により、流路部材１３、圧力調整部材１４及び流路構造体８４を介して個々の単位ヘッド８３内にインクが供給される。単位ヘッド８３は、液体導入路２１から圧力室３０に至るまでの流路がインクで満たされた状態で、制御部からの駆動信号が配線部材１１、回路基板１５、フレキシブル基板３５等を介して圧電素子３２に供給されることにより、圧力室３０の容積を変化させる。この容積の変化に伴う圧力室３０内のインクの圧力変動を利用することで、ノズル連通路２８を介して圧力室３０と連通するノズル２４からインク滴を噴射する。
【００５７】
次に、記録ヘッド３の製造方法、特に、金属カバー５２の金属ベース５１への固定方法について、詳しく説明する。図８は、脆弱部７３の金属ベース５１への固定を説明する断面図である。図９は、脆弱部７３の金属ベース５１への固定を説明する断面図である。まず、金属ベース５１の下面に液体噴射ユニット４を固定し、上面に圧力調整部材１４、回路基板１５を固定する（図２等参照）。また、流路部材固定工程（本発明における積層部材固定工程に相当）において、金属カバー５２の上面６５に流路部材１３を固定する。この固定により、流路部材１３の歪みが矯正される。要するに、流路部材１３は合成樹脂からなり、その成形時に反りが発生し易い。また、流路部材１３が複数の部材を溶着してなる場合、溶着する際の熱により一層反り易くなる。しかしながら、本実施形態においては、流路部材１３が流路部材固定用ネジ８１により金属カバー５２の上面６５に固定されるため、このような流路部材１３の反りを抑制することができる。
【００５８】
金属ベース５１に液体噴射ユニット４等が固定され、金属カバー５２に流路部材１３が固定されたならば、金属ベース５１に金属カバー５２を固定する。具体的には、金属カバー５２又は金属ベース５１の何れか一方を、両者の相対位置を合わせつつ他方に向けて相対的に移動させる。そして、金属カバー５２の下方に突出した流路部材１３の複数の液体流出口４２及び複数の気体流出口４４を、対応する圧力調整部材１４の複数の液体流入口４６及び複数の気体流入口４７に接続させる。この際、図８に示すように、金属カバー５２の脆弱部７３が対応する金属ベース５１の凹部６９内に挿入される。なお、脆弱部７３は、凹部６９内において、金属カバー固定用ネジ穴７０が形成された面から僅かに離間した状態となっている。すなわち、図９において破線で示すように、脆弱部７３と凹部６９の金属カバー固定用ネジ穴７０が形成された面との間には、僅かな隙間が形成されている。そして、この状態で、金属カバー固定工程（本発明におけるカバー部材固定工程に相当）に移行する。具体的には、図９に示すように、脆弱部７３の貫通孔７１に金属カバー固定用ネジ７２を挿通し、脆弱部７３を内側（すなわち、金属ベース５１側）に変形させつつ、金属カバー固定用ネジ７２を金属カバー固定用ネジ穴７０に締め込んでいく。金属カバー固定用ネジ７２を金属カバー固定用ネジ穴７０に最後まで締め込むと、脆弱部７３が金属ベース５１の側面に当接して当該金属ベース５１に固定される。同様に、各脆弱部７３を金属カバー５２へ固定することで、金属カバー５２が金属ベース５１に固定され、上記した記録ヘッド３が製造される。
【００５９】
このように、製造された記録ヘッド３においては、金属カバー５２の上面６５に流路部材１３が固定されているため、たとえ流路部材１３が歪んでいたとしても、金属カバー５２の上面６５により流路部材１３の歪みを矯正できる。これにより、流路部材１３と圧力調整部材１４との接続が容易になる。すなわち、流路部材１３の複数の液体流出口４２及び複数の気体流出口４４の圧力調整部材１４に対する位置がずれ難くなるため、複数の液体流出口４２及び複数の気体流出口４４と、これらに対応する複数の液体流入口４６及び複数の気体流入口４７との接続が容易になる。また、流路部材１３の内部の液体流路の歪みが抑制されるため、液体流路内に気泡が滞留することを抑制できる。そして、金属カバー５２は脆弱部７３で金属ベース５１に固定されるため、この固定により発生する反力を抑制できる。これにより、金属ベース５１に加わる力を抑制でき、金属ベース５１が歪むことを抑制できる。要するに、例えば、脆弱部を有さない金属カバーを金属カバー固定用ネジにより金属ベースに固定すると、金属カバーが元の位置に戻ろうとする復元力が金属ベースに作用し、当該金属ベースが極僅かに（例えば、数ミクロン〜数十ミクロン程度）変形する。その結果、金属ベースに取り付けられた液体噴射ユニットの位置がずれ、当該液体噴射ユニットのノズル面に開設されたノズルの位置がずれる虞がある。特に、本実施形態のように、金属カバーと金属ベースとの固定部がＸ方向に非対称に配置されていると、金属ベースに働く力が非対称になり、金属ベースが歪み易い。しかしながら、本発明では、脆弱部７３で金属ベース５１に固定したので、脆弱部７３の復元力が弱まり、金属ベース５１が変形することを抑制できる。その結果、記録ヘッド３の位置ずれを抑制でき、ひいてはノズル２４の位置ずれを抑制できる。
【００６０】
また、本実施形態においては、Ｘ方向において、両側面６６の間隔を金属ベース５１の幅よりも大きくしたので、これらの側面６６の間に金属ベース５１を入れて、金属カバー５２を金属ベース５１に固定する際に、側面６６の間に金属ベース５１を入れ易くすることができる。特に、本実施形態においては、両側面６６の間隔は、下方に向けて大きくなるように形成されているため、金属カバー５２を金属ベース５１に固定する際に、側面６６の間に金属ベース５１を一層入れ易くすることができる。その結果、金属カバー５２と金属ベース５１の固定が容易になる。さらに、両側面６６は、Ｙ方向における位置を互いにずらして配置されているため、Ｙ方向における位置を揃えなくてもよく、設計の自由度が増す。
【００６１】
さらに、本実施形態における脆弱部７３は、凹部６９内で固定されたので、金属カバー固定用ネジ７２が側面６６よりもＸ方向の外側にはみ出ることを抑制できる。すなわち、金属カバー固定用ネジ７２の側面６６からのはみ出し量を少なくする（或いは、無くす）ことができる。その結果、記録ヘッド３を小型化することができる。加えて、脆弱部７３は、側面６６の下端よりも下側に延在するため、側面の下端が脆弱部の下端と同じ位置まで延在された記録ヘッドと比べて、側面６６の間隔の広がりを抑制することができる。その結果、記録ヘッド３を更に小型化することができる。また、脆弱部７３は、それぞれの側面６６においてＹ方向に沿って均等に配置されたので、金属カバー５２と金属ベース５１との固定が安定する。そして、脆弱部７３は、金属ベース５１側に変形させて金属ベース５１に固定されるため、金属ベース５１と脆弱部７３との間に製造誤差等による寸法誤差を吸収するための隙間を設けることができる。その結果、金属カバー５２を金属ベース５１に固定する際に、側面６６の間に金属ベース５１を更に入れ易くすることができる。
【００６２】
また、本実施形態における記録ヘッド３においては、金属カバー５２の側面６６に沿って回路基板１５を配置したので、回路基板１５に発生する熱を金属カバー５２に逃すことができる。さらに、流路部材１３が金属カバー５２の上面６５に固定されたので、流路部材１３内の液体流路を流れる液体により金属カバー５２を冷却することができる。その結果、回路基板１５の放熱を効率よく行うことができる。
【００６３】
ところで、脆弱部７３の形状は、上記した第１の実施形態の形状に限られない。要するに、脆弱部７３は、金属カバー５２の上面６５よりも剛性が低ければ、どのような形状であっても良い。例えば、図１０及び図１１に示す第２の実施形態における脆弱部７３は、Ｘ方向において、側面６６より内側に向けて延在されず、側面６６の下端と略同じ位置に揃えられている。具体的には、図１０及び図１１に示すように、本実施形態における脆弱部７３は、切欠き部８８から側面６６の下側に向けて延在された２本の腕部７４と、この２本の腕部７４の先端に形成され、貫通孔７１が開設された固定基部７５と、からなる。また、本実施形態における金属ベース５１のＸ方向における両側の側面は、凹部が形成されず、平坦に形成されている。さらに、この側面の脆弱部７３に対応する位置に金属カバー固定用ネジ穴７０が形成されている。このため、金属カバー５２の両側面６６の間に金属ベース５１を挿入し、脆弱部７３を金属ベース５１に固定していない状態では、脆弱部７３が金属ベース５１の側面との間に僅かな間隔を開けて当該側面に沿って延在する。そして、脆弱部７３の貫通孔７１を通じて金属カバー固定用ネジ穴７０に金属カバー固定用ネジ７２を締め込むことで、脆弱部７３が内側に僅かに変形すると共に金属ベース５１の側面に当接して当該金属ベース５１に固定される。これにより、本実施形態においても、金属カバー５２の上面６５により流路部材１３の歪みを矯正しつつ、金属ベース５１が歪むことを抑制できる。なお、その他の構成は上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６４】
また、図１２及び図１３に示す第３の実施形態における脆弱部７３は、腕部７４が設けられずに、単に金属カバー５２の側面６６の下端から一部が延在されてなる。この脆弱部７３の幅（すなわち、Ｙ方向における寸法）は、貫通孔７１が開設可能な範囲で可及的に狭く形成されている。このため、本実施形態における脆弱部７３も金属カバー５２のその他の部分と比較して剛性が低くなっている。また、本実施形態における金属ベース５１のＸ方向における両側の側面は、上記した第２の実施形態と同様に、平坦に形成されている。このため、金属カバー５２の両側面６６の間に金属ベース５１を挿入し、脆弱部７３を金属ベース５１に固定していない状態では、脆弱部７３が金属ベース５１の側面との間に僅かな間隔を開けて当該側面に沿って延在する。そして、本実施形態においても、脆弱部７３の貫通孔７１を通じて金属カバー固定用ネジ穴７０に金属カバー固定用ネジ７２を締め込むことで、脆弱部７３が内側に僅かに変形すると共に金属ベース５１の側面に当接して当該金属ベース５１に固定される。これにより、金属カバー５２の上面６５により流路部材１３の歪みを矯正しつつ、金属ベース５１が歪むことを抑制できる。なお、その他の構成は上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６５】
ところで、上記した各実施形態では、金属カバー５２に流路部材１３を固定したが、これには限られない。例えば、流路部材を金属カバーの内側であって圧力調整部材の上部に取り付け、金属カバーに液体供給チューブ及び気体供給チューブを挿通する貫通孔を設けるようにしても良い。このようにすれば、積層部材の一種として、例えば、集合回路基板を金属カバーの上面に固定することができる。これにより、この集合回路基板の歪みを矯正できる。その結果、金属カバーの上面を間に挟んでこの集合回路基板の下方に配置された接続部材の一種である回路基板（具体的には、回路基板に設けられた１つ或いは複数のコネクター）への接続が容易になる。また、金属カバーと流路部材や集合回路基板等の積層部材との接続は、金属カバーの上面と積層部材の下面とが当接した所謂面接触に限られない。例えば、金属カバーの上面又は積層部材の下面の何れか一方に支持ピンを突設し、この支持ピンを金属カバーの上面又は積層部材の下面の何れか他方に当接させた所謂点接触でもよい。その他、金属カバーと積層部材との間に中間部材を介在させて、金属カバーと積層部材とを固定しても良い。
【００６６】
また、上記した各実施形態では、記録ヘッド３が平面視で平行四辺形状に形成されたが、これには限られない。例えば、記録ヘッドが平面視で長方形状や正方形状、その他多角形状に形成された構成を採用することもできる。記録ヘッドが平面視で長方形状や正方形状に形成された場合、金属カバー及び金属ベースは平面視で長方形状や正方形状になり、金属カバーの両側面の長手方向（Ｙ方向）における位置が揃えられる。また、脆弱部は、短手方向（Ｘ方向）における金属カバーの中心を通る仮想線に対して左右対称に形成される。このようにすれば、脆弱部の固定に起因して金属ベースに作用する力が左右対称になり、金属ベースが歪むことを一層抑制できる。
【００６７】
さらに、上記した各実施形態では、記録ヘッド３として、液体噴射ユニット４を複数備えたラインヘッドを例示したが、これには限られない。記録媒体の搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に走査（往復移動）しつつインクの吐出を行う液体噴射ヘッド（所謂シリアルヘッド）にも本発明を適用できる。このような液体噴射ヘッドにおいては、液体噴射ユニットを１つだけ設けた構成を採用することができる。また、ラインヘッド及びシリアルヘッドの何れにおいても、液体噴射ユニットを構成する単位ヘッドの数は１つ以上であればよい。要するに、１つ以上の単位ヘッドを有する液体噴射ユニットが固定される金属ベースと、これに取り付けられる金属カバーと、を備えた記録ヘッドであれば、本発明を適用できる。また、ベース部材としては、金属製の金属ベース５１に限られず、その他の部材（例えば、合成樹脂等）からなるベース部材を採用することができる。さらに、カバー部材としては、金属製の金属カバー５２に限られず、その他の部材（例えば、合成樹脂等）からなるカバー部材を採用することができる。
【００６８】
また、上記した第１の実施形態及び第２の実施形態における脆弱部７３は、腕部７４を２本備えたが、これには限られない。少なくとも１つ以上の腕部を備えていれば良い。また、腕部の長さ（Ｚ方向における寸法）及び幅（Ｙ方向における寸法）は適宜に設定し得る。例えば、剛性を更に弱くしたい場合、腕部の長さを長くしたり、腕部の幅を狭くしたりすることができる。さらに、上記した各実施形態における脆弱部７３の厚さは、側面６６の厚さに揃えられたが、これには限られない。例えば、脆弱部の厚さを側面の厚さよりも薄くして、更に剛性を弱くすることもできる。
【００６９】
そして、以上においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、カバー部材とベース部材とを備えた他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００７０】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…液体噴射ユニット，５…搬送機構，６…媒体支持部，７…筐体，８…インクカートリッジ，９…液体供給チューブ，１０…気体供給チューブ，１１…配線部材，１２ａ…第１の搬送ローラー，１２ｂ…第２の搬送ローラー，１３…流路部材，１４…圧力調整部材，１５…回路基板，１６…金属シールド，１７…アクチュエーターユニット，１８…流路ユニット，１９…ヘッドケース，２０…アクチュエーター収容空間，２１…液体導入路，２２…貫通空間，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２４ａ…ノズル列，２５…連通基板，２６…共通液室，２７…個別連通路，２８…ノズル連通路，２９…圧力室形成基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…圧電素子収容空間，３５…フレキシブル基板，３６…接続空間，３７…コンプライアンス基板，３８…固定基板，３９…封止膜，４１…液体供給チューブ接続部，４２…液体流出口，４３…気体供給チューブ接続部，４４…気体流出口，４６…液体流入口，４７…気体流入口，４８…液体流出管，５１…金属ベース，５２…金属カバー，５４…段差，５５…回路基板固定用ネジ穴，５６…基板貫通孔，５７…回路基板固定用ネジ，５９…ベース貫通孔，６０…液体導入口，６２…回路基材，６３…コネクター，６５…上面，６６…側面，６７…上面段差部，６８…収容空間，６９…凹部，７０…金属カバー固定用ネジ穴，７１…貫通孔，７２…金属カバー固定用ネジ，７３…脆弱部，７４…腕部，７５…固定基部，７６…第１の開口，７７…第２の開口，７８…第３の開口，７９…流路部材固定用ネジ穴，８０…流路部材貫通孔，８１…流路部材固定用ネジ，８３…単位ヘッド，８４…流路構造体，８５…保護板，８６…ノズル露出開口，８８…切欠き部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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