(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料と空気とを混合した燃料ガスを火炉内に吹き込む燃料ノズルと、
該燃料ノズル内の先端側に、長手軸線が該燃料ノズルの一壁部側から対向する他壁部側へと延在して設けられ、燃料ガス流れ方向に幅が拡大する拡幅部によって燃料ガス流れを分割する複数のスプリッタと、
を備え、
前記スプリッタは、前記拡幅部の燃料ガス流れ下流端の幅を部分的に減少させるスリットが形成されたスリット付きスプリッタと、該スリット付きスプリッタの隣に配置され、前記拡幅部の燃料ガス流れの下流端の幅が前記長手軸線の方向に一定とされたスリット無しスプリッタと有していることを特徴とする燃焼バーナ。
【請求項２】
燃料と空気とを混合した燃料ガスを火炉内に吹き込む燃料ノズルと、
該燃料ノズル内の先端側に、長手軸線が該燃料ノズルの一壁部側から対向する他壁部側へと延在して設けられ、燃料ガス流れ方向に幅が拡大する拡幅部によって燃料ガス流れを分割するとともに、空気を噴射しない複数のスプリッタと、
を備え、
前記スプリッタは、前記拡幅部の燃料ガス流れ下流端の幅を部分的に減少させるスリットが形成された複数のスリット付きスプリッタを有し、
隣り合う各前記スリット付きスプリッタは、それぞれの前記拡幅部の前記スリットが形成されていない幅広面が対向していることを特徴とする燃焼バーナ。
【請求項３】
前記スリット付きスプリッタの前記スリットを形成する面が、燃料ガス流れを前記長手軸線の方向に偏向させる傾斜面とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の燃焼バーナ。
【請求項４】
前記スプリッタは、燃料ガス流れ方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の燃焼バーナ。
【請求項５】
前記スプリッタの前記長手軸線の方向における端部には、前記燃料ノズルの壁面側と前記スプリッタとを分離する整流板が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の燃焼バーナ。
【請求項６】
前記スプリッタの拡幅部の下流端における隅部には、角部が除去された角除去部が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の燃焼バーナ。
【請求項７】
火炉と、
該火炉に設けられた請求項１から請求項６のいずれかに記載の燃焼バーナと、
前記火炉の下流側に設けられた煙道と、
該煙道に設けられた熱交換器と、
を有することを特徴とするボイラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃焼バーナ及びこれを備えたボイラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
微粉炭燃料を燃焼させる燃焼バーナとして、スプリッタと呼ばれる保炎器をバーナの燃料ノズル内の出口に複数本設置したものが知られている。そして、スプリッタの下流に再循環領域を形成し、微粉炭の燃焼を維持している。このように、燃料ノズルの中心軸状付近で着火及び保炎を行うこと（以下「内部着火」ないし「内部保炎」という。）で空気不足下での還元燃焼を行い低ＮＯｘ燃焼を実現させている。
【０００３】
保炎性の向上には、保炎器の濡れ縁長さが長い方が良いが、スプリッタ本数を増やすとバーナ出口の閉塞率が高くなることでバーナ圧損が大きくなる。また、濡れ縁長さを確保するためにスプリッタ幅を小さくしてスプリッタ本数を増やしたとしても、燃料ノズルの壁部にスプリッタが近づくことになり、燃料ノズルの外周において着火が生じるおそれがある。燃料ノズルの外側には燃焼用空気供給ノズル等が存在しており酸素が多く存在するため、外部着火が生じるとＮＯｘが多く発生してしまうおそれがある。
【０００４】
下記特許文献１及び２には、スプリッタを下流側から正面視した場合に、スプリッタ形状を櫛歯状に形成した燃焼バーナが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５９−２０５５１０号公報
【特許文献２】特開２００９−２０４２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各上記特許文献のように、スプリッタを櫛歯状にすることにより、濡れ縁長さを確保することができる。
しかし、特許文献１に記載のスプリッタは、微粉炭をノズルの外周側に導くように構成されており、外部着火を行うようになっている。これでは低ＮＯｘ燃焼を実現することができない。
特許文献２は、スプリッタから空気を噴射するようになっており、燃料ノズル内部での燃焼が促進されて還元燃焼を阻害してしまい低ＮＯｘ燃焼が実現できない。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、スプリッタの濡れ縁長さを長くするとともに保炎性を向上させて内部保炎による低ＮＯｘ燃焼を実現できる燃焼バーナ及びこれを備えたボイラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の燃焼バーナ及びこれを備えたボイラは以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかる燃焼バーナは、燃料と空気とを混合した燃料ガスを火炉内に吹き込む燃料ノズルと、該燃料ノズル内の先端側に、長手軸線が該燃料ノズルの一壁部側から対向する他壁部側へと延在して設けられ、燃料ガス流れ方向に幅が拡大する拡幅部によって燃料ガス流れを分割する複数のスプリッタとを備え、前記スプリッタは、前記拡幅部の燃料ガス流れ下流端の幅を部分的に減少させるスリットが形成されたスリット付きスプリッタと、該スリット付きスプリッタの隣に配置され、前記拡幅部の燃料ガス流れの下流端の幅が前記長手軸線の方向に一定とされたスリット無しスプリッタと有していることを特徴とする。
【０００９】
スリット付きスプリッタは、スリットが形成されているため濡れ縁長さが長くなり、保炎性が向上する。これにより、燃料ノズルの内部で保炎する内部保炎が強化される。
スリット無しスプリッタは、拡幅部の下流に再循環領域を形成することによって保炎機能を有するが、拡幅部の傾斜面を利用して隣のスリット付きスプリッタに対して燃料を案内する案内部材としての機能も有する。これにより、スリット付きスプリッタでの内部保炎が更に強化される。
【００１０】
また、本発明の燃焼バーナは、燃料と空気とを混合した燃料ガスを火炉内に吹き込む燃料ノズルと、該燃料ノズル内の先端側に、長手軸線が該燃料ノズルの一壁部側から対向する他壁部側へと延在して設けられ、燃料ガス流れ方向に幅が拡大する拡幅部によって燃料ガス流れを分割するとともに、空気を噴射しない複数のスプリッタと、備え、前記スプリッタは、前記拡幅部の燃料ガス流れ下流端の幅を部分的に減少させるスリットが形成された複数のスリット付きスプリッタを有し、隣り合う各前記スリット付きスプリッタは、それぞれの前記拡幅部の前記スリットが形成されていない幅広面が対向していることを特徴とする。
【００１１】
スリット付きスプリッタが隣り合って配置されており、スリットが形成されていない幅広面が対向しているので、一方のスプリッタの幅広面に案内された燃料が他方のスプリッタの下流側へと導かれる。このように、隣り合って対向する幅広面どうしで燃料を案内し合うので、両方のスプリッタにおいても保炎が強化されることになる。
また、スプリッタからは空気を噴射しないので、案内された燃料の流れを妨げることがない。
【００１２】
さらに、本発明の燃焼バーナでは、前記スリット付きスプリッタの前記スリットを形成する面が、燃料ガス流れを前記長手軸線方向に偏向させる傾斜面とされていることを特徴とすることを特徴とする。
【００１３】
スリットを形成する傾斜面によりスプリッタの長手軸線の方向に燃料ガス流れを偏向させるので、燃料ガス流れを長手軸線方向にも乱すことができ、さらに保炎性能を向上させることができる。特に、スリットを構成する各面によってスリットを３次元的に形成することができ、保炎性能を向上させることができる。
【００１４】
さらに、本発明の燃焼バーナでは、前記スプリッタは、燃料ガス流れ方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする。
【００１５】
スプリッタを燃料ガス流れ方向において異なる位置、つまり燃料ガス流れ方向の上流側と下流側にずらして配置することにより、スプリッタを燃料ガス流れ方向の同じ位置に配置する場合に比べてスプリッタの拡幅部が占める面積を減少させることができる。これにより、燃料ガスの増速を抑えることで、燃料ガスの流れ方向の下流側に向かう燃料ガスの流速を、上流側に向かう燃料ガスの燃焼速度に近づけることができ、燃料ガスがさらに下流側へ流れる前に、早く着火させることができ、火炎の保炎性を向上させることができる。
また、燃料ガス流れ上流側に位置するスプリッタで早期に着火を図り、下流側に位置するスプリッタで着火ないし保炎を強化することができる。
また、燃料ガス流れ上流側に位置するスプリッタで燃料を下流側のスプリッタの再循環領域に導き、下流側のスプリッタの着火ないし保炎を強化することができる。この場合、上流側がスリット無しスプリッタで、下流側がスリット付きスプリッタであることが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明の燃焼バーナでは、前記スプリッタの前記長手方向における端部には、前記燃料ノズルの壁面側と前記スプリッタとを分離する整流板が設けられていることを特徴とする。
【００１７】
スプリッタの長手方向における端部では、この端部が基点として着火が生じ、燃料ノズルの外周部における外部着火が発生するおそれがある。燃料ノズルの外側には燃焼用空気供給ノズル等が存在しており酸素が多く存在するため、外部着火が生じるとＮＯｘが多く発生してしまう。
そこで、燃料ノズルの壁面側とスプリッタとを分離する整流板を設けることで、スプリッタの端部で着火する外部着火を抑制することができ、より内部での着火ないし保炎を強化することができる。
【００１８】
さらに、本発明の燃焼バーナでは、前記スプリッタの拡幅部の下流端における隅部には、角部が除去された角除去部が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
スプリッタの拡幅部の下流端における隅部に角部が形成されていると、燃料ノズル内周面側からの輻射を受けて角部を起点として着火が生じ、燃料ノズルの外周部における外部着火が発生するおそれがある。燃料ノズルの外側には燃焼用空気供給ノズル等が存在しており酸素が多く存在するため、外部着火が生じるとＮＯｘが多く発生してしまう。
そこで、角部を除去した角除去部を形成することとして着火ないし保炎を抑制することとした。
角部除去部としては、例えば、角部を面取りしたテーパ部が挙げられる。
【００２０】
また、本発明のボイラは、火炉と、該火炉に設けられた上記のいずれかに記載の燃焼バーナと、前記火炉の下流側に設けられた煙道と、該煙道に設けられた熱交換器とを有することを特徴とする。
【００２１】
上記の燃焼バーナを備えることにより、低ＮＯｘ燃焼を行うボイラを提供することができる。
【発明の効果】
【００２２】
スリットを設けることでスプリッタ前面の濡れ縁長さを長くするとともに、隣のスプリッタが形成する再循環領域に燃料を案内することができるので、燃料ノズルの中心領域での保炎性が向上し、内部保炎による低ＮＯｘ燃焼を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る燃料ノズルを示した正面図である。
【図２】図１の燃料ノズルを水平面で切断した断面図である。
【図３】スリット付きスプリッタを示した斜視図である。
【図４】第１実施形態の変形例を示した正面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る燃料ノズルを示した正面図である。
【図６】図５のテーパ部を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図３を用いて説明する。
本実施形態の燃焼バーナは、主として石炭をミルで砕いた微粉炭燃料（燃料）を燃焼するものであり、ボイラ（図示せず）に設けられる。燃焼バーナは、煙道に過熱器や蒸発器等の熱交換を備えたボイラに対して複数設けられ、火炉内で火炎を形成する。
図１には、燃焼バーナ１の正面図が示されている。燃焼バーナ１は、内側に位置する燃料ノズル３と、燃料ノズル３を取り囲む燃焼用空気供給ノズル４とを備えている。
燃焼用空気供給ノズル４は、２次空気のみが流通する流路となっており、火炉内に向けて直進するように空気を供給する。すなわち、燃焼用空気供給ノズル４から流出する空気は、燃料ノズル３から流出する燃料ガスと平行に交差しないように流される。なお、図示しないが、燃焼用空気供給ノズル４の外側には、燃焼用空気を供給する燃焼用３次空気ノズルが設けられる。
【００２５】
燃料ノズル３は、図１に示したように、正面視して矩形状の断面を有しており、内部に微粉炭と空気とが混合された燃料ガスが流される。なお、以下の各実施形態において、燃料ガス流れの下流側を単に下流側と言い、燃料ガス流れの上流側を単に上流側と言う。
燃料ノズル３内には、スプリッタ５，６，７が複数本設けられており、本実施形態では５本設けられている。各スプリッタ５，６，７は、長手軸線が燃料ノズル３の下壁部（一壁部）３ａ側から対向する上壁部（他壁部）３ｂ側へと延在して設けられている。すなわち、各スプリッタ５、６，７が縦方向に設けられた縦スプリッタとなっている。各スプリッタ５，６，７の上下端は、それぞれ支持部材８によって、燃料ノズル３の壁部に対して固定されている。
燃料ノズル３は、スプリッタ５，６，７とともに上下方向に回動可能とされたノズル角度調整機構を備えている。本実施形態では、縦スプリッタとされているので、上下方向にノズル角度の調整を行っても燃料ガスの流れを大きく偏向することがないので好ましい。
なお、スプリッタ５，６，７は、燃料ガス流れを分割する機能を有する部材であり、内部から空気を噴射する機能は備えていない。
【００２６】
スプリッタは、中央と水平方向における両端に設けられたスリット付きスプリッタ５，６と、中央のスリット付きスプリッタ５の両隣に設けられたスリット無しスプリッタ７とを備えている。このように、スリット付きスプリッタ５，６と隣り合う位置にスリット無しスプリッタ７が配置されている。
【００２７】
スプリッタ５、６，７は、図２に示されているように、燃料ガス流れ方向に幅が拡大する拡幅部１０を備えている。また、拡幅部１０の上流側には上下方向に延在する板状部１１が燃料ガス流れ方向に沿って設けられている。
拡幅部１０は、図２のように断面視した場合に略三角形状となっている。中央のスリット付きスプリッタ５とスリット無しスプリッタ７の拡幅部１０は、図２のように断面視した場合に両側に広がっている。一方、水平方向における両端に位置するスリット付きスプリッタ６の拡幅部１０は、燃料ノズル３の中央側に向けて広がっているが、燃料ノズル３の壁部側には広がっていない。このように両側に位置するスリット付きスプリッタ６の下流側を直線状とすることで、燃料ノズル３の壁面とスリット付きスプリッタ６との間を流れる燃料ガスを燃焼用空気供給ノズル４から流出する空気流側に偏向しないようにしている。これにより、燃料ノズル３の外周側で生じる外部着火を抑制することができる。
【００２８】
スリット付きスプリッタ５，６の下流端５ａ，６ａは、図２に示されているように、燃料ノズル３の下流端３ｃ位置に揃えられている。スリット無しスプリッタ７の下流端７ａは、スリット付きスプリッタ５，６の下流端５ａ，６ａよりも上流側に所定距離Ｓだけ離間した位置に設けられている。
ここで、所定距離Ｓは、燃料ノズル３の開口における等価円径をＤとすると、０．００１Ｄ以上１．０Ｄ以下、好ましくは０．０３Ｄ以上０．５Ｄ以下、さらに好ましくは０．０５Ｄ以上０．３Ｄ以下とされる。
上記の下限値および上限値は、次の観点から決定される。下限値を下回ると、スリット付きスプリッタ５，６とスリット無しスプリッタ７との距離が近くなりすぎて、これらスプリッタをずらして流路断面積を確保した利点が得られない。一方、上限値を上回ると、スリット無しスプリッタ７によって形成された再循環領域がスリット付きスプリッタ５，６の手前で消滅してしまい、スリット無しスプリッタ７の再循環領域にスリット付きスプリッタ５，６から燃料ガスを案内するという利点が得られない。
なお、図２の矢印Ａに示すように、上流側に位置するスリット無しスプリッタ７を燃料ガス流れ方向に移動させて所定距離Ｓを調整するようにしてもよい。
【００２９】
図１に示されているように、スリット無しスプリッタ７は、下流端７ａの幅がスリット無しスプリッタ７の長手軸線（縦方向軸線）の方向に一定とされている。一方、中央のスリット付きスプリッタ５には、下流端５ａの幅を部分的に減少させる複数のスリットＳＬが形成されている。中央のスリット付きスプリッタ５には、両側部にスリットＳＬが同じ高さ位置で設けられている。これらスリットにより、スリット付きスプリッタ５には、幅広部Ｗ１と幅狭部Ｗ２が形成されることになる。
【００３０】
図３には、スリットＳＬの具体的な形状が示されている。スリットＳＬは、スリット付きスプリッタ５の下流端５ａをコの字状に切り欠いている。さらに、スリットＳＬを形成する上面ＳＬ１及び下面ＳＬ２は、燃料ガス流れをスプリッタ５の長手軸線方向（本実施形態では上下方向）に偏向させる面とされている。すなわち、上面ＳＬ１によって燃料ガス流れは下方向に偏向され、下面ＳＬ２によって燃料ガス流れは上方向に偏向される。
【００３１】
図１に示されているように、両端のスリット付きスプリッタ６にも中央のスリット付きスプリッタ５と同様のスリットＳＬが形成されているが、燃料ノズル３の中央側の辺にのみスリットＳＬが設けられている。これは、燃料ノズル３の壁部側にもスリットＳＬを設けると、そこが着火面となり外部着火のおそれがあるからである。
【００３２】
スリットＳＬは、なるべく燃料ノズル３の中央側で着火ないし保炎が行われるように、スプリッタ５，６の長手方向における中央部に設け、上下の両端部にはスリットＳＬを設けないことが好ましい。
スリットＳＬを設ける範囲Ｌ１としては、スプリッタ５，６の長さをＬ０とした場合、Ｌ１／Ｌ０が０．８以下、好ましくは０．５以下とされる。
【００３３】
図１に示されているように、スプリッタ５，６，７の長手軸線の上下端には、これらスプリッタ５，６，７と燃料ノズル３の壁部とを分離する整流板１５が設けられている。したがって、上側の整流板１５によって、スプリッタ５，６，７側を流れる燃料ガスと、燃料ノズル３の上壁部３ｂ側を流れる燃料ガスとが分離される。また、下側の整流板１５によって、スプリッタ５，６，７側を流れる燃料ガスと、燃料ノズル３の下壁部３ａ側を流れる燃料ガスとが分離される。
【００３４】
上記構成の燃焼バーナ１によれば、以下の作用効果を奏する。
スリットＳＬを設けたスリット付きスプリッタ５，６によって濡れ縁長さを長くすることで、保炎性が向上する。これにより、燃料ノズル３の内部で保炎する内部保炎が強化される。スリット無しスプリッタ７は、拡幅部１０の下流に再循環領域を形成することによって保炎機能を有するが、拡幅部１０の傾斜面を利用して隣のスリット付きスプリッタ５，６に対して燃料を案内する案内部材としての機能も有する。これにより、スリット付きスプリッタ５，６での内部保炎が更に強化される。このように、スリット付きスプリッタ５，６とスリット無しスプリッタ７との組合せで内部保炎を強化することにより、還元燃焼を促進することでバーナ火炎領域で発生するＮＯｘを低減することができる。
【００３５】
スリットＳＬを形成する傾斜面となる上面ＳＬ１及び下面ＳＬ２によりスプリッタ５，６の長手軸線の方向に燃料ガス流れを偏向させるので、燃料ガス流れを長手軸線方向にも乱すことができ、さらに保炎性能を向上させることができる。特に、スリットＳＬを構成する各面によってスリットＳＬを３次元的に形成することができ、保炎性能を向上させることができる。
【００３６】
スプリッタ５，６，７を燃料ガス流れ方向において異なる位置に配置することにより、スプリッタ５，６，７を燃料ガス流れ方向の同じ位置に配置する場合に比べてスプリッタの拡幅部１０が占める面積を減少させることができる。これにより、燃料ガスの増速を抑えることで、燃料ガスの流れ方向の下流側に向かう燃料ガスの流速を、上流側に向かう燃料ガスの燃焼速度に近づけることができ、燃料ガスがさらに下流側へ流れる前に、早く着火させることができ、火炎の保炎性を向上させることができる。
燃料ガス流れ上流側に位置するスリット無しスプリッタ７で燃料を下流側のスリット付きスプリッタ５，６の再循環領域に案内し、下流側のスリット付きスプリッタ５，６の着火ないし保炎を強化することができる。このように、微粉炭を案内する機能を主とする場合にはスリット無しスプリッタ７を用いるのが好ましい。
【００３７】
燃料ノズル３の壁面側とスプリッタ５，６，７とを分離する整流板１５を設けることで、スプリッタ５，６，７の上下の端部で着火する外部着火を抑制することができ、より内部での着火ないし保炎を強化することができる。
【００３８】
なお、本実施形態では、スリット無しスプリッタ７を上流側に配置し、スリット付きスプリッタ５，６を下流側に配置することとしたが、この逆、すなわちスリット無しスプリッタ７を下流側に配置し、スリット付きスプリッタ５，６を上流側に配置することとしてもよい。この構成は、早期に着火を図りたい燃料の場合に用いられ、上流側のスリット付きスプリッタ５，６によって早期着火を図り、これらスリット付きスプリッタ５，６で形成された再循環領域にスリット無しスプリッタによって燃料ガスを案内するようにする。
【００３９】
また、図４に示すように、全てのスプリッタをスリット付きスプリッタ５，６としてもよい。このように配置すると、スリット付きスプリッタ５，６が隣り合っており、スリットＳＬが形成されていない幅広部Ｗ１が対向しているので、一方のスプリッタの幅広面に案内された燃料が他方のスプリッタの下流側へと導かれる。このように、隣り合って対向する幅広部Ｗ１どうしで燃料を案内し合うので、両方のスプリッタにおいても保炎が強化されることになる。
【００４０】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について、図５及び図６を用いて説明する。
本実施形態は、第１実施形態に対して、スプリッタ６の角部を除去したテーパ部が形成されている点で相違し、それ以外については同様である。したがって、共通する構成については同一符号を付しその説明を省略する。
図５に示されているように、両端のスリット付きスプリッタ６の燃料ノズル３の中央部側の上下の隅部には、テーパ部（角除去部）２０が形成されている。
テーパ部２０は、角部が除去されていればその形状は問わないが、図６に示すように、角部を形成する３面のそれぞれの頂角θ１，θ２，θ３が除去されるような形状であればよい。したがって、テーパ面のような平面であっても良いし、曲面で構成されていてもよい。
本実施形態では、第１実施形態と異なり、整流板１５ａ，１５ｂが２つ設けられている。各整流板１５ａ，１５ｂは、燃料ノズル３の高さ方向の中央位置から対称とされた高さ位置に設けられており、水平方向に延在する板状体とされている。
【００４１】
本実施形態によれば、角部を除去したテーパ部２０を形成することとしたので、燃料ノズル３の内周面側からの輻射を受けて角部を起点とする着火が生じ、燃料ノズル３の外周部で発生する外部着火を抑制することができる。
なお、テーパ部（角除去部）２０は、他のスプリッタ、すなわち中央のスリット付きスプリッタ５やスリット無しスプリッタ７に設けることとしても良い。
【００４２】
なお、上述した実施形態では、スプリッタの本数を５本としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、２〜４本であっても、６本以上であっても良い。スプリッタの本数は燃料ノズルの寸法により最適となるよう設計される。
また、上述した各実施形態では、スプリッタ５，６，７が上下方向に延在する縦スプリッタを一例として説明したが、スプリッタ５，６，７が水平方向に延在する横スプリッタに対しても本発明を適用できる。
また、上述した実施形態では、燃料として微粉炭を主に説明したが、これに限定されず、石油コークス、石油残渣物、バイオマス燃料（固形状，スラリ状）についても本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１  燃焼バーナ
３  燃料ノズル
４  燃焼用空気供給ノズル
５  スリット付きスプリッタ
６  スリット付きスプリッタ
７  スリット無しスプリッタ
１０  拡幅部
１５  整流板
２０  テーパ部（角除去部）
【図１】
0006642912.tif 000002
【図２】
0006642912.tif 000003
【図３】
0006642912.tif 000004
【図４】
0006642912.tif 000005
【図５】
0006642912.tif 000006
【図６】
0006642912.tif 000007