(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数変調された加熱用のレーザ光を被測定物に照射し、被測定物から放射される赤外線を検出することで、被測定物の周期的な温度変化から熱拡散率を測定する周期加熱放射測温法を用いた熱物性測定装置であって、
被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、
レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を検出する赤外線検出手段と、
赤外線検出手段によって測定される複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する熱拡散率演算手段と、
レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御する変調周波数制御手段と、
前記レーザ光照射手段から照射されたレーザ光を、赤外線検出手段と被測定物とを結ぶ直線と略平行な方向で被測定物へと反射するレーザ光反射手段を備え、
レーザ光照射手段と、赤外線検出手段とが、被測定物に対して同一側に配置される、熱物性測定装置。
【請求項２】
さらに、レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を集光して赤外線検出手段に入力する赤外線集光手段を備え、
赤外線集光手段が、赤外線検出手段と被測定物とを結ぶ直線上に光軸を有するように配置され、
レーザ光反射手段が、
該光軸上における赤外線集光手段と被測定物との間に、前記レーザ光照射手段から照射されたレーザ光を、該光軸と略平行な方向で被測定物へと反射する、請求項１に記載の熱物性測定装置。
【請求項３】
さらに、被測定物の各測定点における前記位相差または前記熱拡散率を、色相、彩度、及び明度からなる群より選ばれた少なくとも１つ以上の色情報と対応させ、２次元的または３次元的にマッピングして表示する表示出力手段を備える、請求項１または２に記載の熱物性測定装置。
【請求項４】
周波数変調された加熱用のレーザ光を被測定物に照射し、被測定物の温度変化を検出することで、被測定物の周期的な温度変化から熱拡散率を測定する周期加熱放射測温法を用いた熱物性測定方法であって、
レーザ光の照射において利用するレーザ光照射手段と、赤外線の検出において利用する赤外線検出手段とが、被測定物に対して同一側に配置され、
被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射する照射ステップと、
前記照射ステップで照射されたレーザ光を、赤外線検出手段と被測定物とを結ぶ直線と略平行な方向で被測定物へと反射する反射ステップと、
レーザ光の照射による被測定物の温度変化を検出する検出ステップと、
検出された複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する算出ステップと、
照射されるレーザ光の変調周波数を制御することで、温度波が被測定物に浸透する深さを制御する浸透深さ制御ステップとを有する、熱物性測定方法。
【請求項５】
前記検出ステップが、赤外線放射温度計、赤外線カメラ、またはサーモリフレクタンス法を用いて被測定物の温度変化を検出するステップである、請求項４に記載の熱物性測定方法。
【請求項６】
前記照射ステップと、前記検出ステップと、前記算出ステップと、前記浸透深さ制御ステップとを、赤外線カメラを備えた熱物性測定装置により実行する熱物性測定方法であって、
前記熱物性測定装置が、
被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、
レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を集光する赤外線集光手段と、
赤外線集光手段によって集光された赤外線を検出する赤外線カメラと、
赤外線カメラによって測定される複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する熱拡散率演算手段と、
レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御する変調周波数制御手段とを備え、
レーザ光照射手段と、赤外線カメラとが、被測定物に対して同一側に配置され、
赤外線集光手段が、赤外線カメラと被測定物とを結ぶ直線上に光軸を有するように配置され、
さらに、該光軸上における赤外線集光手段と被測定物との間に、前記レーザ光照射手段から照射されたレーザ光を、該光軸と略平行な方向で被測定物へと反射するレーザ光反射手段を備える、請求項５に記載の熱物性測定方法。
【請求項７】
さらに、被測定物の各測定点における前記位相差または前記熱拡散率を、色相、彩度、及び明度からなる群より選ばれた少なくとも１つ以上の色情報と対応させ、２次元的または３次元的にマッピングして表示出力する表示出力ステップを備える、請求項４〜６のいずれかに記載の熱物性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周期加熱放射測温法を用いた熱物性測定装置及び熱物性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器、デバイスなどの開発において、それらの性能や安全性を向上させるために、材料の熱物性を正確に測定することの重要性が高まっている。熱物性の一つである熱拡散率を測定する装置としては、周波数変調されたレーザ光により被測定物を加熱し、被測定物の温度変化の周期とレーザ光の周期との位相差から、熱拡散率を測定する装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、試料を非接触でスポット周期加熱し、加熱された試料から放射される熱エネルギを温度に換算して、温度分布として画像表示し、さらに、加熱周期と熱画像計測周期との位相差に基いて試料の面内方向の熱拡散率を演算することができる熱拡散率測定装置が記載されている。特許文献１の熱拡散率測定装置は、試料に一定の周波数のレーザ光を照射し、照射面とは反対側の面における試料の温度変化を赤外線サーモグラフィにより計測することによって、異方性のある試料であっても、試料全体の面内方向（レーザ光の照射方向と直交する面に平行な方向を面内方向という）の熱拡散率を測定することを可能としている。
【０００４】
また、特許文献２には、試料に加熱用のレーザ光を周期的に照射し、試料の周期的な温度変化から熱拡散率の測定を行う熱物性測定装置が記載されている。特許文献２には、光ファイバを試料に対して所定の角度に配置し、光ファイバ光学系における試料表面側の加熱軸と、赤外線検出器における試料表面側の検出軸をずらすことで、試料表層全体の面内方向の熱拡散率を測定することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１０８５４６号公報
【特許文献２】特開２００９−１３９１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、例えば、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）などの複合材料は、表層の繊維構造の一部分を見れば異方性を有しているが、材料全体としては異方性を有しないことがある。また、２種以上の材料を積層させた積層体などにおいては、積層体全体の熱拡散率と、各層における熱拡散率とは、当然に異なるものである。このように、測定面からの深さによって熱拡散率が異なる試料については、任意の深さにおける熱拡散率を測定することで、試料の熱物性をより正確に把握することができる。しかし、特許文献１に記載されている熱物性測定装置では、試料のレーザ光の照射された面を表面とすると、裏面にて熱エネルギーを検出しているため、材料の表層の異方性を評価することは困難であった。また、試料の厚さが厚くなると、精度の高い測定ができなくなるという課題も有していた。また、特許文献２に記載されている熱物性測定装置では、レーザ光の照射された試料の表面で赤外線を検知しているため、試料の厚さに関係なく、材料の表層の異方性を評価することができるが、光ファイバ光学系における試料表面側の加熱軸と、赤外線検出器における試料表面側の検出軸が同方向ではないため、異方性の測定が十分に正確に行われない、という課題を有した。
【０００７】
本発明は、上記のような課題を鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の課題は、試料の任意の深さにおける熱拡散率を測定し、試料の異方性を評価することが可能な熱物性測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、周波数変調された加熱用のレーザ光を被測定物に照射し、被測定物から放射される赤外線を検出することで、被測定物の周期的な温度変化から熱拡散率を測定する周期加熱放射測温法を用いた熱物性測定装置であって、被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を検出する赤外線検出手段と、赤外線検出手段によって測定される複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する熱拡散率演算手段と、レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御する変調周波数制御手段とを備えた熱物性測定装置に関する。
【０００９】
本発明は、さらに、レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を集光して赤外線検出手段に入力する赤外線集光手段を備え、レーザ光照射手段と、赤外線検出手段とが、被測定物に対して同一側に配置され、赤外線集光手段が、赤外線検出手段と被測定物とを結ぶ直線上に光軸を有するように配置され、該光軸上における赤外線集光手段と被測定物との間に、前記レーザ光照射手段から照射されたレーザ光を、該光軸と略平行な方向で被測定物へと反射するレーザ光反射手段を備えることが好ましい。
【００１０】
本発明は、さらに、被測定物の各測定点における前記位相差または前記熱拡散率を、色相、彩度、及び明度からなる群より選ばれた少なくとも１つ以上の色情報と対応させ、２次元的または３次元的にマッピングして表示する表示出力手段を備えることが好ましい。
【００１１】
本発明は、周波数変調された加熱用のレーザ光を被測定物に照射し、被測定物の温度変化を検出することで、被測定物の周期的な温度変化から熱拡散率を測定する周期加熱放射測温法を用いた熱物性測定方法であって、被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射する照射ステップと、レーザ光の照射による被測定物の温度変化を検出する検出ステップと、検出された複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する算出ステップと、照射されるレーザ光の変調周波数を制御することで、温度波が被測定物に浸透する深さを制御する浸透深さ制御ステップとを備えた熱物性測定方法に関する。
【００１２】
本発明は、さらに、前記検出ステップが、赤外線放射温度計、赤外線カメラ、またはサーモリフレクタンス法を用いて被測定物の温度変化を検出するステップであることが好ましい。
【００１３】
本発明は、さらに、前記照射ステップと、前記検出ステップと、前記算出ステップと、前記浸透深さ制御ステップとを、赤外線カメラを備えた熱物性測定装置により実行し、該熱物性測定装置が、被測定物に周波数変調された加熱用のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、レーザ光の照射によって被測定物から放射される赤外線を集光する赤外線集光手段と、赤外線集光手段によって集光された赤外線を検出する赤外線カメラと、赤外線カメラによって測定される複数の測定点における被測定物の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から熱拡散率を算出する熱拡散率演算手段と、レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御する変調周波数制御手段とを備え、レーザ光照射手段と、赤外線カメラとが、被測定物に対して同一側に配置され、赤外線集光手段が、赤外線カメラと被測定物とを結ぶ直線上に光軸を有するように配置され、さらに、該光軸上における赤外線集光手段と被測定物との間に、前記レーザ光照射手段から照射されたレーザ光を、該光軸と略平行な方向で被測定物へと反射するレーザ光反射手段を備えることが好ましい。
【００１４】
本発明は、さらに、被測定物の各測定点における前記位相差または前記熱拡散率を、色相、彩度、及び明度からなる群より選ばれた少なくとも１つ以上の色情報と対応させ、２次元的または３次元的にマッピングして表示出力する表示出力ステップを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の熱物性測定装置によれば、試料の表層の一部分に存在するような異方性を熱物性によって評価することができ、また、試料の任意の深さまでにおける熱拡散率を測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる、熱物性測定装置の構成を表す模式図である。
【図２】測定例１及び２における、熱拡散率の測定方法を示す模式図である。
【図３】測定例１における、試料の位相分布図、及び加熱点からの距離Ｌと位相差との関係を示すグラフである。
【図４】測定例２における、試料の位相分布図、及び加熱点からの距離Ｌと位相差との関係を示すグラフである。
【図５】測定例３及び４における、試料の位相分布図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明するが、本発明の趣旨に反しない限り、以下の実施の形態に限定されない。
【００１８】
（熱物性測定装置）
図１は、本発明の実施の形態にかかる、熱物性測定装置の構成を表す模式図である。本実施の形態における熱物性測定装置は、被測定物２１の表面加熱用のレーザ光照射手段１と、ビームスプリッタ２と、ミラー３と、楕円形ミラー４と、赤外線集光手段５と、赤外線検出手段６と、可視用レンズ７と、可視カメラ８と、被測定物２１の裏面加熱用のレーザ光照射手段９と、ミラー１０と、レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御する変調周波数制御手段（図示せず）と、熱拡散率演算手段（図示せず）を備えている。
【００１９】
レーザ光照射手段１は、被測定物２１に対して赤外線検出手段６と同一側に配置され、変調周波数制御手段により周波数変調されたレーザ光を発生させる。該レーザ光は、ミラー３及び楕円形ミラー４を介して、赤外線集光手段５の光軸と略平行な方向で、被測定物２１へとスポット照射される。本実施の形態では、赤外線検出手段６と被測定物２１を結ぶ線分上にレーザ光照射手段１を配置せず、ミラー３及び楕円形ミラー４を介して、レーザ光を照射することで、赤外線検出手段６と被測定物２１を結ぶ線分上の遮蔽物を減らし、赤外線検出手段６の赤外線検出感度を向上させている。また、赤外線集光手段５の光軸と略平行な方向でレーザ光を照射することにより、被測定物２１におけるレーザ光の照射位置と、赤外線検出手段６の検出軸（赤外線集光手段５の光軸）を一致させること、及び特定の距離だけずらすことが容易となり、熱拡散率の測定精度を向上させている。
【００２０】
楕円形ミラー４は、例えば、被測定物２１の測定面に対して４５度傾けた際に、被測定物２１及びミラー３から見て略正円形となるような楕円形であることが好ましい。このような構成により、レーザ光の反射効率を向上させ、また、レーザ光の照射軸の調整を容易にすることができる傾向にある。
【００２１】
また、楕円形ミラー４の径は、赤外線集光手段５の径よりも十分に小さいものであることが好ましい。このような構成により、被測定物２１から放射される赤外線を赤外線集光手段５によって十分に集光することができ、熱拡散率の測定誤差を低下させることができる傾向にある。楕円形ミラー４の径としては、例えば、赤外線集光手段５の径の１／３以下とすることが好ましく、１／５以下とすることがより好ましい。仮に、楕円形ミラー４の代わりにビームスプリッタを配置した場合、ビームスプリッタによる赤外線の減衰が大きく、熱拡散率の測定に誤差が生じやすくなる。また、ジンクセレン等の高価な材料を用いる必要があるため、装置作成のコストが上昇するといった問題もある。
【００２２】
周波数変調されたレーザ光によってスポット加熱された被測定物２１では、該レーザ光による加熱点から被測定物２１の内部へと温度波が伝播し、周期的な温度変化を生じる。その際に被測定物２１から放射される赤外線を赤外線集光手段５によって集光し、赤外線検出手段６によって検出することで、被測定物２１の周期的な温度変化を測定する。
【００２３】
赤外線集光手段５としては、被測定物２１から放射される赤外線を集光し、赤外線検出手段６に入力できるものであれば、特に限定はされないが、メニスカスレンズを用いることが好ましい。赤外線集光手段５としてメニスカスレンズを用いることで、レンズの球面収差を小さくすることができ、赤外線検出手段６における赤外線の検出感度が向上する傾向にある。
【００２４】
ここで、周波数変調されたレーザ光によって被測定物２１に生じる温度波について詳述する。温度波とは、ほぼ１周期で減衰する温度の波である。温度波の１周期の長さを熱拡散長といい、熱拡散長μは、以下の式（１）で表すことができる。
【数１】
0006730792.tif 000002
【００２５】
上記の式（１）から、熱拡散長μは、熱拡散率ｋが高くなるほど長くなり、また、加熱周波数ｆが低くなるほど長くなることがわかる。つまり、加熱周波数を制御することによって、熱拡散長μを制御することができる。上述のように、温度波は、ほぼ１周期で減衰するものであるため、熱拡散長μを制御することで、温度波が被測定物２１に浸透する深さを制御することが可能となる。本実施の形態の熱物性測定装置では、変調周波数制御手段により、レーザ光照射手段から照射されるレーザ光の変調周波数を制御することで、温度波が被測定物２１に浸透する深さ、及び被測定物２１の面内方向への伝播距離を制御している。例えば、レーザ光の変調周波数を高くすれば、温度波が被測定物２１に浸透する深さは浅くなり、また、温度波が被測定物２１の面内方向へと伝播する距離は短くなる。このような構成により、本実施の形態の熱物性測定装置は、被測定物の表層の一部分に存在するような異方性を熱物性によって評価することや、被測定物の任意の深さまでにおける熱拡散率を測定することを可能としている。なお、変調周波数制御手段としては、特に限定はされないが、ファンクションジェネレータなどを用いることができる。
【００２６】
赤外線検出手段６による被測定物２１の周期的な温度変化についての測定結果は、熱拡散率演算手段へと入力される。熱拡散率演算手段は、複数の測定点における被測定物２１の温度変化の周期と、レーザ光の周期との複数の位相差から、被測定物２１の熱拡散率を算出する。
【００２７】
被測定物の面内方向の熱拡散率ｋは、横軸にレーザ光による加熱点から測定点までの距離Ｌ、縦軸に該測定点における位相差をプロットしたグラフの傾きａを用いて、以下の式（２）から算出することができる。なお、熱拡散率ｋは、被測定物の比熱と密度の値を用いることにより、熱伝導率又は熱浸透率などの熱物性値に換算することが可能である。熱拡散率演算手段は、熱拡散率ｋを、熱伝導率又は熱浸透率に換算する機能を有していることが好ましい。
【数２】
0006730792.tif 000003
【００２８】
被測定物２１の映像は、楕円形ミラー４、ミラー３、ビームスプリッタ２、及び可視用レンズ７を介して、可視カメラ８によって観察できる。
【００２９】
本実施の形態の熱物性測定装置は、被測定物２１におけるレーザ光の周期との位相差を、色相、彩度、及び明度からなる群より選ばれた少なくとも１つ以上の色情報と対応させ、２次元的または３次元的にマッピングして表示する表示出力手段を備えることが好ましい。位相差または熱拡散率をマッピングすることで、被測定物２１の表面構造を容易に把握することができる。また、被測定物の内部における欠陥の検出や均質性の評価、積層体の層間における密着性の評価なども容易となる。
【００３０】
本実施の形態の熱物性測定装置は、被測定物２１の裏面加熱用のレーザ光照射手段９と、ミラー１０とを備えている。レーザ光照射手段９は、被測定物２１の表面加熱用のレーザ光照射手段１と同様に、変調周波数制御手段により周波数変調されたレーザ光を発生させ、該レーザ光は、ミラー１０を介して被測定物の裏面へとスポット照射される。被測定物２１の裏面から被測定物をスポット加熱することにより、被測定物２１の厚み方向の熱拡散率を測定することができる。また、変調周波数制御手段によりレーザ光の変調周波数を制御することにより、温度波が被測定物２１に浸透する深さ、及び被測定物２１の面内方向への伝播距離を制御することができる。なお、本発明の熱物性測定装置は、レーザ光照射手段９及びミラー１０を備えていることが好ましいが、レーザ光照射手段９及びミラー１０を備えない構成とした場合でも、本発明の課題を解決することは可能である。
【００３１】
本実施の形態の熱物性測定装置は、被測定物２１の温度変化を検出する手段として、赤外線検出器６（例えば、赤外線カメラ）を用いているが、例えば、赤外線放射温度計やサーモリフレクタンス法を用いてもよい。赤外線放射温度計やサーモリフレクタンス法の場合も、レーザ光による加熱点から測定点までの距離Ｌを変えながら、各測定点における位相差を測定することで、熱拡散率を算出することができる。
【００３２】
赤外線放射温度計やサーモリフレクタンス法を用いた場合であっても、被測定物２１に照射されるレーザ光の変調周波数を制御することで、温度波が被測定物２１に浸透する深さ、及び被測定物２１の面内方向への伝播距離を制御でき、被測定物２１の表層の一部分に存在するような異方性を熱物性によって評価することや、被測定物２１の任意の深さまでにおける熱拡散率を測定することが可能である。
【実施例】
【００３３】
本実施の形態の熱物性測定装置を用いて、試料の熱拡散率を測定した。図２に、熱拡散率測定の模式図を示す。試料としては、厚み１２５μｍのポリイミドシート（熱拡散率：０．４×１０−６ｍ２ｓ−１）と、厚み１０μｍのタンタル箔（熱拡散率：２５×１０−６ｍ２ｓ−１）を張り合わせて積層させたものを用いた。該試料の表面に周波数変調されたレーザ光を照射し、赤外線カメラ（赤外線検出手段６）によって、該試料の表面における温度の周期的な変化を測定した。横軸にレーザ光による加熱点からの距離Ｌ、縦軸に加熱点から距離Ｌ離れた測定点における試料の温度変化の周期とレーザ光の周期との位相差をプロットしたグラフの傾きを用いて、熱拡散率を算出した。
【００３４】
（測定例１）
図３に、レーザ光の変調周波数を０．１Ｈｚとして測定した場合における、試料の位相分布、及び加熱点からの距離Ｌと位相差との関係をプロットしたグラフを示す。該グラフの傾き（グラフの太線部分の傾き）を上記の式（２）に代入して算出された熱拡散率は、２．２×１０−６ｍ２ｓ−１であった。また、上記の式（１）により算出された熱拡散長は、２．６５ｍｍであった。
【００３５】
（測定例２）
図４に、レーザ光の変調周波数を５Ｈｚとして測定した場合における、試料の位相分布、及び加熱点からの距離Ｌと位相差との関係をプロットしたグラフを示す。測定例１と同様の方法により算出された熱拡散率は０．４×１０−６ｍ２ｓ−１であり、熱拡散長は０．１６ｍｍであった。
【００３６】
図３及び４に示す位相分布から、周波数５Ｈｚのレーザ光を照射した測定例２は、周波数０．１Ｈｚのレーザ光を照射した測定例１と比べて、温度波の伝播距離が短いことがわかる。また、測定例１と測定例２とでは、算出された熱拡散率が異なっており、測定例２で測定された熱拡散率はポリイミドシートの熱拡散率と一致したのに対して、測定例１で測定された熱拡散率は、ポリイミドシート及びタンタル箔のどちらの熱拡散率とも一致していないことがわかる。これは、レーザ光の周波数を変えることにより、温度波が試料に伝搬する距離が変化し、評価できる深さが変化したためである。レーザ光の周波数５Ｈｚである測定例２では、温度波が試料に伝搬する距離が短いため、ポリイミドシート層の熱拡散率が測定され、レーザ光の周波数０．１Ｈｚである測定例１では、温度波が試料に伝搬する距離が長いため、ポリイミドシート層のみではなく、タンタル箔層を含む試料全体の平均的な熱拡散率が測定されたといえる。
【００３７】
（測定例３及び４）
表層の繊維構造に異方性のある、厚み５００μｍのＣＦＲＰ（株式会社エービーシーホビー製、ＣＦＲＰ板）を試料として用い、測定例１と同様の手法により、該試料の表面における温度の周期的な変化を測定した。レーザ光の周波数を０．１Ｈｚとした場合を測定例３とし、レーザ光の周波数を５Ｈｚとした場合を測定例４とした。図５に、測定例３における、試料の位相分布を示し、図６に、測定例４における、試料の位相分布を示す。
【００３８】
図５に示すように、レーザ光の周波数を０．１Ｈｚとした測定例３では、温度波の広がりが大きく、試料の表層の構造に存在する異方性を確認することは困難である。一方、レーザ光の周波数を５Ｈｚとした測定例４では、温度波の広がりが小さく、試料の表層の構造に異方性があることが確認できる。
【符号の説明】
【００３９】
１        レーザ光照射手段（表面加熱用）
２        ビームスプリッタ
３        ミラー
４        楕円形ミラー
５        赤外線集光手段
６        赤外線検出手段
７        可視用レンズ
８        可視カメラ
９        レーザ光照射手段（裏面加熱用）
１０      ミラー
２１      試料
２２      ポリイミドシート層
２３      タンタル箔層
【図１】
0006730792.tif 000004
【図２】
0006730792.tif 000005
【図３】
0006730792.tif 000006
【図４】
0006730792.tif 000007
【図５】
0006730792.tif 000008