(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの部材が接合された接合部材であって、
一方の部材の他方の部材と接合する接合面の外周縁部には、前記接合面側及び部材外周面側に開口する凹み部が設けられ、
前記凹み部には接着剤が保持され、
前記接合面の面直方向から見た平面視において、前記凹み部の底面の外縁は、前記部材外周面の外縁よりも前記接合面の面内方向内側に位置し、
前記凹み部は、前記接合面の中心線に対して線対称の位置に配置されている
ことを特徴とする接合部材。
【請求項２】
少なくとも２つの部材が接合された接合部材であって、
一方の部材の他方の部材と接合する接合面の外周縁部には、前記接合面側及び部材外周面側に開口する凹み部が設けられ、
前記凹み部には接着剤が保持され、
前記接合面の面直方向から見た平面視において、前記凹み部の底面の外縁は、前記部材外周面の外縁よりも前記接合面の面内方向内側に位置し、
前記部材外周面側には、前記凹み部の底面の外縁を前記部材外周面の外縁よりも前記接合面の面内方向内側に後退させる切欠部が形成されている
ことを特徴とする接合部材。
【請求項３】
前記凹み部は、前記接合面の中心線に対して線対称の位置に配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載の接合部材。
【請求項４】
前記凹み部は、前記接合面の面直方向から見た平面視において前記一方の部材の角部分に配置され、２方向の前記部材外周面に連続して開口している
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合部材。
【請求項５】
前記切欠部の部材周方向に沿う方向の長さが、前記凹み部の部材周方向に沿う方向の長さよりも長い
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の接合部材。
【請求項６】
前記切欠部の部材周方向に沿う方向の長さが、前記凹み部の部材周方向に沿う方向の長と同じである
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の接合部材。
【請求項７】
前記切欠部の壁面は、部材周方向において、傾斜形状又は曲面形状であり、若しくは、傾斜形状部分又は曲面形状部分を含む形状である
ことを特徴とする請求項２、３、５、６のいずれかに記載の接合部材。
【請求項８】
前記切欠部の壁面は、部材厚み方向において、傾斜形状又は曲面形状であり、若しくは、傾斜形状部分又は曲面形状部分を含む形状である
ことを特徴とする請求項２、３、５、６、７のいずれかに記載の接合部材。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の接合部材を備えている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記接合部材が、液体を吐出するノズルを有するノズル板と、前記ノズルが通じる個別液室を形成する流路部材である
ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記接合部材が、液体を吐出するノズルが通じる個別液室を形成する流路部材と、前記個別液室の液体を加圧する圧力発生手段を収容する保持基板である
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記接合部材が、液体を吐出するノズルが通じる個別液室の液体を加圧する圧力発生手段を収容する保持基板と、前記個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材である
ことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項９ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１４】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ユニット。
【請求項１５】
請求項１ないし８のいずれかに記載の接合部材、請求項９ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１３若しくは１４に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液体吐出ヘッドとして、ノズル板、流路板、壁面部材、保持基板、共通液室部材などのヘッド構成部材を接着剤で相互に接合したものがある。
【０００３】
従来、開口部を有する部材の開口部周辺に凹部を設けて、接合部分から開口部内への接着剤のはみだしを抑制するものが知られている（特許文献１）。
【０００４】
また、ヘッド構成部材を複数配置形成したウエハなどの基板を分割するとき、分割しようとする予定分割線のうち、第１の予定分割線と交差してＴ字形状を成す第２の予定分割線に沿って、第１の予定分割線との交差地点から所定の長さ及び深さでエッチング加工を行い、エッチング加工を行なっていない予定分割線の部分に対して基板を分割するためのレーザー加工を行う分割方法が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−０４７６２０号公報
【特許文献２】特開２００６−１７３４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、２つの部材を接着剤で接合する場合、接合位置決め精度を向上するために、仮接合用接着剤で仮接合して２つの部材の位置決めした後に本接合用接着剤を硬化させて接合することが行われる。
【０００７】
この場合、仮接合用接着剤を一方の部材に保持する必要があり、例えば仮接合用接着剤として紫外線硬化型接着剤などの光照射型接着剤を使用する場合、仮接合用接着剤を保持する部分は部材の外周面に開口していることが好ましい。
【０００８】
しかしながら、仮接合用接着剤を保持する部分を部材の外周縁部に配置して外周面に開口させると、仮接合用接着剤が部材外周面にはみ出し易いという課題が生じる。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、部材外周面への接着剤のはみ出しを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る接合部材は、
少なくとも２つの部材が接合された接合部材であって、
一方の部材の他方の部材と接合する接合面の外周縁部には、前記接合面側及び部材外周面側に開口する凹み部が設けられ、
前記凹み部には接着剤が保持され、
前記接合面の面直方向から見た平面視において、前記凹み部の底面の外縁は、前記部材外周面の外縁よりも前記接合面の面内方向内側に位置し、
前記凹み部は、前記接合面の中心線に対して線対称の位置に配置されている
ことを特徴とする接合部材。
構成とした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、部材外周面への接着剤のはみ出しを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の斜視説明図である。
【図２】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。
【図３】図２の要部拡大断面説明図である。
【図４】同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図５】本発明の第１実施形態におけるノズル板とアクチュエータ基板との接合部材の側面説明図である。
【図６】同じくアクチュエータ基板のノズル板との接合面側の平面説明図である。
【図７】同アクチュエータ基板の長辺側の側面説明図である。
【図８】同アクチュエータ基板の短辺側の側面説明図である。
【図９】同じくアクチュエー基板の段差部周りの要部拡大斜視説明図である。
【図１０】同じく段差部周りの断面説明図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。
【図１２】同実施形態の作用効果の説明に供する１つの角部部分の平面説明図である。
【図１３】比較例の説明に供する１つの角部部分の平面説明図である。
【図１４】本発明の第２実施形態の説明に供する凹部部分の斜視説明図である。
【図１５】は同じく断面説明図である。
【図１６】本発明の第３実施形態の説明に供する凹部部分の断面説明図である。
【図１７】本発明の第４実施形態におけるアクチュエータ基板のノズル板との接合面側の平面説明図である。
【図１８】同じく長辺側の側面説明図である。
【図１９】同じく凹部部分の断面説明図である。
【図２０】第１実施形態に係るアクチュエータ基板の製造工程の一例の説明に供する平面説明図である。
【図２１】同じく段差部となる部分の拡大平面説明図である。
【図２２】レーザー加工の説明に供する説明図である。
【図２３】レーザー加工の説明に供する説明図である。
【図２４】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２５】同装置の要部側面説明図である。
【図２６】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図２７】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図３は図２の要部拡大断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【００１４】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、配線部材６０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。
【００１５】
ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明における「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０と接合されることまで意味するものではない。また、流路板２及び振動板３を併せて流路部材とする。
【００１６】
ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００１７】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。
【００１８】
この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介してフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。
【００１９】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００２０】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。
【００２１】
複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン１２１に接続されている。なお、下部電極１３は、図４に示すように、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。
【００２２】
また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。個別配線１６は絶縁膜２２で被覆されている。
【００２３】
ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。
【００２４】
アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン１０１と接続されている。
【００２５】
配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。
【００２６】
そして、アクチュエータ基板２０上には、前述したように共通液室１０と個別液室６側を通じる流路となる開口部５１、圧電素子１１を収容する凹部５２、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が形成された保持基板５０を設けている。
【００２７】
この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。
【００２８】
フレーム部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、外部からの液体供給口７１（図１）を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給される。
【００２９】
フレーム部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。
【００３０】
フレーム部材７０はノズル板１の外周部と接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。
【００３１】
そして、ノズル板１の周縁部及びフレーム部材の７０の外周面の一部を覆うノズルカバー部材４５を設けている。
【００３２】
この液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。
【００３３】
このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。
【００３４】
次に、本発明の第１実施形態について図５ないし図１１も参照して説明する。図５は同実施形態におけるノズル板とアクチュエータ基板との接合部材の側面説明図である。図６は同じくアクチュエータ基板のノズル板との接合面側の平面説明図、図７は同アクチュエータ基板の長辺側の側面説明図、図８は同アクチュエータ基板の短辺側の側面説明図である。図９は同じくアクチュエー基板の段差部周りの要部拡大斜視説明図、図１０は同じく段差部周りの断面説明図である。図１１は図１０のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。なお、アクチュエータ基板の流路、圧電素子などについては図示を省略する。
【００３５】
本実施形態では、ノズル板１と流路板２を含むアクチュエータ基板２０とが接着剤８０で接合されて接合部材を構成している。そして、アクチュエータ基板２０を本発明における一方の部材とし、ノズル板１を他方の部材とする。
【００３６】
ここで、アクチュエータ基板２０のノズル板１と接合される面を接合面２０ａとする。また、アクチュエータ基板２０の接合面２０ａと交差する外周の側壁面の内、長辺方向の側壁面を部材外周面２０ｂ１、短辺方向の側壁面を部材外周面２０ｂ２（区別しないときは「部材外周面２０ｂ」という。）とする。
【００３７】
アクチュエータ基板２０は、接合面２０ａの面直方向から見た平面視において、矩形状の部材である。
【００３８】
アクチュエータ基板２０は、接合面２０ａの外周縁部である４つの角部分（部材角部分）に、接合面２０ａ側及び部材外周面２０ｂ１側、部材外周面２０ｂ２側の３方向に開口する凹み部２０１が設けられている。この凹み部２０１は接着剤８１を保持している。また、凹み部２０１は、接合面２０ａの中心線Ｏ１，Ｏ２に対して線対称の位置に配置される。
【００３９】
そして、接合面２０ａの面直方向から見た平面視において、凹み部２０１の底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂ（図９も参照）は、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２の外縁２０ｂ１１、２０ｂ２１よりも接合面２０ａの面内方向内側に位置している。
【００４０】
ここでは、部材外周面２０ｂ１、２０９ｂ２に対して切欠部２０２、２０２を設けることで、凹み部２０１の底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂを部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２の外縁２０ｂ１１、２０ｂ２１よりも接合面２０ａの面内方向内側に後退させている。なお、図９及び図１０では、切欠部２０２を分かり易くするために部材外周面２０ｂを延長した仮想線を図示している。また、本実施形態では、切欠部２０２は、アクチュエータ基板２０の厚み方向に接合面２０ａ側から接合面２０ａと反対側の面まで通じる形状としているが、厚み方向において、接合面２０ａ側の一部に設けることもできる。
【００４１】
まず、図１０に示すように、切欠部２０２の部材周方向に沿う方向の長さＬ１１は、凹み部２０１の部材周方向に沿う方向の部材外周面側の開口の長さＬ２１よりも長く形成している。
【００４２】
これにより、凹み部２０１の底面２１１を部材外周面２０ｂから確実に離間させることができる。
【００４３】
ここで、凹み部２０１の底面を形成している非貫通部分を段差部２００とすると、凹み部２０１の底面２１１となる段差面を形成する段差部２００は部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２に対して接合面２０ａの面内方向で凹んでいる。
【００４４】
より具体的に説明すると、凹み部２０１は、底面２１１の交差する２辺と接合面２０ａとの間に内壁面２１２、２１３を有し、底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂの２辺には壁がない。これにより、凹み部２０１は、接合面２０ａに開口するとともに、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２にも開口している。
【００４５】
また、切欠部２０２、２０２のそれぞれ底面を形成している外周壁面２１４、２１５と部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２との間の壁面２１６、２１７は、湾曲形状（傾斜形状でもよい。）としている。外周壁面２１４、２１５は、凹み部２０１の底面２１１から、接合面２０ａと反対側の面に向かって立ち下がっている面であるが、反対側の面まで到達していなくともよい。
【００４６】
次に、本実施形態の作用効果について図１２も参照して説明する。図１２は同説明に供する１つの角部部分の平面説明図である。
【００４７】
アクチュエータ基板２０とノズル板１とを接着剤８０で接合するときには、アクチュエータ基板２０の接合面２０ａに接着剤８０を塗布し、凹み部２０１内に仮接合用接着剤８１、例えば紫外線硬化型接着剤を塗布する。
【００４８】
なお、接着剤８０としては、必要な機械的強度、接液性、弾性率、部品との密着性から任意のものを用いることができる。例えば、エポキシ系樹脂接着剤、ウレタン系樹脂接着剤、エラストマー系樹脂接着剤などを挙げることができる。また、接着剤８０の塗布方法としては、薄膜印刷法、スプレー塗布法、ディスペンス法などがある。
【００４９】
そして、アクチュエータ基板２０とノズル板１とを位置決めし、仮接合用接着剤８１に対して紫外線を照射して硬化させることで、アクチュエータ基板２０とノズル板１とを仮接合する。
【００５０】
このとき、仮接合用接着剤８１を保持する凹み部２０１は、アクチュエータ基板２０の接合面２０ａだけでなく部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２側にも開口しているので、紫外線照射を容易に行うことができる。
【００５１】
また、凹み部２０１内に仮接合用接着剤８１を塗布したとき、図１２に示すように、接合面２０ａの面内方向では、凹み部２０１からはみ出した接着剤８１ａは切欠部２０２の外周壁面２１４、２１５及び壁面２１６、２１７を伝って留まる。また、アクチュエータ基板２０の厚み方向（接合面２０ａの面直方向）では切欠部２０２の外周壁面２１４、２１５を伝って留まる。
【００５２】
このとき、凹み部２０１の底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂは、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２の外縁２０ｂ１１、２０ｂ２１に対して接合面２０ａの面内方向内側に位置しているので、はみ出した接着剤８１ａが、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２まではみ出ることを抑えることができる。
【００５３】
この場合、切欠部２０２の外周壁面２１４、２１５には湾曲形状の壁面２１６、２１７が連続しているので、壁面２１６、２１７の表面積が大きくなり、壁面２１６、２１７で留められる接着剤量が多くなる。
【００５４】
これにより、凹み部２０１からはみ出した接着剤８１ａが、部材外周面２０ｂ１，２０ｂ２まではみ出ることをより確実に抑えることができる。
【００５５】
次に、比較例について図１３を参照して説明する。図１３は同比較例の説明に供する１つの角部部分の平面説明図である。
【００５６】
この比較例は、凹み部２０１の底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂが部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２の外縁２０ｂ１１、２０ｂ２１と同じ位置に位置している。つまり、本実施形態の切欠部２０２を有しない構成としたものである。
【００５７】
したがって、凹み部２０１内に仮接合用接着剤８１を塗布したとき、図１３に示すように、凹み部２０１からはみ出した接着剤８１ａは部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２まではみ出すことになる。
【００５８】
次に、本発明の第２実施形態について図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は同実施形態の説明に供する凹部部分の斜視説明図、図１５は同じく断面説明図である。
【００５９】
本実施形態では、切欠部２０２、２０２の外周壁面２１４、２１５は、接合面２０の面直方向（厚み方向）に沿う方向で、部材外周面２０ｂに対して角度θで傾斜する傾斜面としている。外周壁面２１５は、厚み方向で接合面２０ａと反対側の面に近づくに従って、部材外周面２０ｂに対する凹み量が多くなる。なお、ここでは、外周壁面２１４、２１５全体を傾斜面としているが、部分的に傾斜あるいは湾曲させた傾斜形状部分又は湾曲形状部分を有することもできる。
【００６０】
このように構成することで、切欠部２０２の外周壁面２１４、２１５の表面積が大きくなり、外周壁面２１４、２１５に留められる接着剤量が多くなる。
【００６１】
これにより、凹み部２０１からはみ出した接着剤８１ａが、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２まではみ出すことをより確実に抑えることができる。
【００６２】
次に、本発明の第３実施形態について図１６を参照して説明する。図１６は同実施形態の説明に供する凹部部分の断面説明図である。
【００６３】
本実施形態では、切欠部２０２の外周壁面２１５（外周壁面２１４も同じ）は、部材外周面２０ｂ２に対して凹み量が変化する湾曲面（傾斜面でもよい。）としている。外周壁面２１５は、第２実施形態とは逆に、厚み方向で接合面２０ａと反対側の面に近づくに従って、部材外周面２０ｂ２に対する凹み量が少なくなる。なお、ここでは、外周壁面２１５全体を湾曲面としているが、部分的に傾斜あるいは湾曲させた傾斜形状部分又は湾曲形状部分を有する構成とすることもできる。
【００６４】
次に、本発明の第４実施形態について図１７ないし図１９を参照して説明する。図１７は同実施形態におけるアクチュエータ基板のノズル板との接合面側の平面説明図、図１８は同じく長辺側の側面説明図、図１９は同じく凹部部分の断面説明図である。
【００６５】
本実施形態では、矩形状のアクチュエータ基板２０の各辺の途中に凹み部２０１及び切欠部２０２を設けている。ここでは、凹み部２０１、切欠部２０２は接合面２０ａの中心線Ｏ１、Ｏ２上に配置しているが、これに限るものではない。前記第１、第２実施形態との違いは、凹み部２０１が１つの部材外周面２０ｂに開口するだけで、３辺を囲まれる形状になる点である。
【００６６】
また、切欠部２０２の部材周方向に沿う方向の長さＬ１１と凹み部２０１の部材周方向に沿う方向の長さＬ２１とは同じとしている。
【００６７】
したがって、切欠部２０２の底面となる外周壁面２２５と部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２とをつなぐ壁面２２６、２２７は、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２に対してほぼ垂直な壁面となる。外周壁面２２５は、凹み部２０１の底面２１１から、接合面２０ａと反対側の面に向かって立ち下がっている面であるが、反対側の面まで到達していなくともよい。
【００６８】
このような構成でも、凹み部２０１の底面２１１の外縁２１１ａ、２１１ｂは、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２の外縁２０ｂ１１、２０ｂ２１に対して接合面２０ａの面内方向内側に位置しているので、はみ出した接着剤を外周壁面２２５、両側の壁面２２６、２２７で留めることができ、部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２へのはみ出しを抑制できる。
【００６９】
次に、前記第１実施形態に係るアクチュエータ基板の製造工程の一例について図２０及び図２１を参照して説明する。図２０は同説明に供する平面説明図、図２１は同じく段差部となる部分の拡大平面説明図である。
【００７０】
ここでは、図２０（ａ）に示すように、例えばシリコンウエハ３００に複数のアクチュエータ基板２０が形成され、これを分割予定線３０１で分割して、個々のアクチュエータ基板２０（チップ）に個片化する。
【００７１】
まず、図２０（ａ）及び図２１（ｂ）に示すように、個片化後のアクチュエータ基板２０の４隅の角部分となる分割予定線３０１の交差部分に、エッチングにより、個片化後に凹み部２０１を形成することになる非貫通凹部３０２を形成する。非貫通凹部３０２はウエハ３００を貫通しない。
【００７２】
その後、図２０（ｂ）及び図２１（ｂ）に示すように、分割予定線３０１の交差部分に、エッチングにより、非貫通凹部３０２を含めて、切欠部２０２を形成するスリット３０３を形成する。スリット３０３はウエハ３００を貫通する。
【００７３】
なお、スリット３０３を形成するエッチングは、ウエットエッチングによることが好ましい。ウエットエッチングにより表面を粗くすることで、接着剤が凹み部２０１からはみ出したときに、アンカー効果により接着剤と壁面の接合力が上がり、接着剤の脱落を低減できる。
【００７４】
そして、図２０（ｃ）及び図２１（ｃ）に示すように、分割予定線３０１に対してダイシングを行って加工線（ダイシング線）３０４のように切断加工を行う。
【００７５】
その後、エクスパンド等で応力を付加することにより、ウエハ３００を個々のアクチュエータ基板２０（チップ）に個片化する。
【００７６】
ここで、ダイシングには、回転刃（ブレード）でウェハを切断する方法、レーザー光の熱エネルギーで切断部を溶融又は蒸散させてウェハを切断する方法がある。ブレードで切断する場合には、ブレードの刃幅をスリット３０３の幅より狭いものを用いる。また、レーザーで切断する場合には、レーザー光のスポット径をスリット３０３の幅よりも小さくする。
【００７７】
ダイシングは、ステルスダイシングで行うことが好ましい、ブレード幅分の切りしろが必要となるブレードによるダイシングと比較して、ステルスダイシングは切りしろなしで個片化できることから、凹み部２０１を形成することになる非貫通凹部３０２をチップ（基板）外周面からよりチップ内側に配置することができる。
【００７８】
ステルスダイシングは、ウエハ等の板状の被加工物を分割するとき、被加工物に対して透過性を有するパルスレーザー光を用い、分割すべき領域の内部に集光点を合わせてパルスレーザー光を照射するレーザー加工方法である。
【００７９】
このレーザー加工方法を用いた分割方法は、被加工物の一方の面側から内部に集光点を合わせて被加工物に対して透過性を有する波長（例えば１０６４ｎｍ）のパルスレーザー光を照射し、被加工物の内部にストリートに沿って変質層を連続的に形成し、この変質層が形成されることによって強度が低下したストリートに沿って外力を加えることにより、被加工物を分割するものである。
【００８０】
このレーザー加工方法によって加工する場合、図２２に示すように、レーザー光４００でスキャニングする領域に非貫通凹部３０２が形成されて段差が生じていると、ウエハ３００の表面と非貫通凹部３０２の底面とで集光点の位置が変化し、加工精度の低下、加工不良が生じる。この場合、集光点を変化させることもできるが、生産性が低下する。
【００８１】
そこで、上述したように、非貫通凹部３０２で生じる段差構造部分に対し、エッチングなどによって、図２３に示すように、ウエハ３００を貫通するスリット３０３を予め形成する。
【００８２】
これにより、レーザースキャン領域から段差構造部分がなくなり、凹部部分でレーザー特性（集光点）を変更することなく、高い生産性で、高精度に加工することができる。
【００８３】
この場合、図２１を参照して、スリット３０３の長手方向の長さＬ１は、非貫通凹部３０２におけるスリット３０３の長手方向と同じ方向の長さＬ２よりも長くしている。
【００８４】
これにより、前述したように凹み部２０１と部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２とを確実に離間させることができ、凹み部２０１からはみ出た接着剤の部材外周面２０ｂ１、２０ｂ２への流れ出しをより確実に抑制できる。
【００８５】
また、スリット３０３の短手方向の長さＷ１は非貫通凹部３０２の短手方向の長さＷ２より短く、レーザー光のスポット径（図２１（ｃ）の幅ｃに相当する。）よりも長くしている。これにより、レーザー光が非貫通凹部３０２をスキャンすることがなくなる。
【００８６】
なお、上記実施形態では、液体吐出ヘッドにおけるアクチュエータ基板（流路部材ないし流路板）に凹み部及び切欠部を設ける例で説明したがこれに限るものではなく、ノズル板に凹み部及び切欠部を設けることもできる。
【００８７】
また、接合部材としては、アクチュエータ基板とノズル板との接合部材だけでなく。アクチュエータ基板と保持基板との接合部材、保持基板と共通液室部材ないしフレーム部材との接合部材などにも、本発明を適用することができる。
【００８８】
さらに、液体吐出ヘッド以外であっても２つの部材を接合した接合部材に本発明を適用することができる。
【００８９】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２４及び図２５を参照して説明する。図２４は同装置の要部平面説明図、図２５は同装置の要部側面説明図である。
【００９０】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００９１】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００９２】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００９３】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００９４】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００９５】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００９６】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００９７】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００９８】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００９９】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【０１００】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【０１０１】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【０１０２】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０１０３】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２６を参照して説明する。図２６は同ユニットの要部平面説明図である。
【０１０４】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【０１０５】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【０１０６】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２７を参照して説明する。図２７は同ユニットの正面説明図である。
【０１０７】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【０１０８】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【０１０９】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１１０】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１１１】
例えば、「液体を吐出する装置」として、液体を吐出させて媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１１２】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１１３】
上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１１４】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。
【０１１５】
また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【０１１６】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１１７】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【０１１８】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【０１１９】
例えば、液体吐出ユニットとして、図２５で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０１２０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０１２１】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図２６で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１２２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１２３】
また、液体吐出ユニットとして、図２７で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【０１２４】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１２５】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０１２６】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１２７】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
１１  圧電素子
１４  上部電極（個別電極）
１６  個別配線
２０  アクチュエータ基板
５０  保持基板
７０  フレーム部材
８０  接着剤
８１  仮接合用接着剤
２００  段差部
２０１  凹み部
２０２  切欠部
２１４、２１５  外周壁面
２１６、２１７  壁面
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0006645113.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0006645113.tif 000011
【図１１】
0006645113.tif 000012
【図１２】
0006645113.tif 000013
【図１３】
0006645113.tif 000014
【図１４】
0006645113.tif 000015
【図１５】
0006645113.tif 000016
【図１６】
0006645113.tif 000017
【図１７】
0006645113.tif 000018
【図１８】
0006645113.tif 000019
【図１９】
0006645113.tif 000020
【図２０】
0006645113.tif 000021
【図２１】
0006645113.tif 000022
【図２２】
0006645113.tif 000023
【図２３】
0006645113.tif 000024
【図２４】
0006645113.tif 000025
【図２５】
0006645113.tif 000026
【図２６】
0006645113.tif 000027
【図２７】
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