(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物が載置されるステージであって、走査方向に移動しないステージと、
前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、
前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、
前記偏光光照射部を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光源移動部と、
前記偏光光照射部を前記ステージの上を通過させて前記対象物に偏光光を照射し、その後前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部を移動させて前記光学測定器に偏光光を照射し、その後前記偏光光照射部を待機位置に移動させる、又は、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部を移動させて前記光学測定器に偏光光を照射し、その後前記偏光光照射部を前記ステージの上を通過させて前記対象物に偏光光を照射し、その後前記偏光光照射部を待機位置に移動させる制御部と、
を備え、
前記偏光光照射部が前記待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる
ことを特徴とする偏光光照射装置。
【請求項２】
対象物が載置されるステージであって、走査方向に移動しないステージと、
前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、
前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、
前記偏光光照射部を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光源移動部と、
前記光学測定器を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光学測定器移動部と、
前記偏光光照射部を前記ステージの上を通過させて前記対象物に偏光光を照射し、その後前記偏光光照射部を待機位置に移動させ、前記偏光光照射部が前記待機位置に位置するときに、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記光学測定器を移動させる制御部と、
を備え、
前記偏光光照射部が前記待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる
ことを特徴とする偏光光照射装置。
【請求項３】
前記偏光光照射部が前記待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器が、前記偏光光照射部を挟んで前記ステージの反対側に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
【請求項４】
前記光学測定器で測定された結果及び点灯時間を示す情報に基づいて、露光量及び照度を測定する光学測定部と、を備え、
前記偏光光照射部が前記待機位置にあるときには、前記光学測定器の水平方向の位置は、前記ステージの水平方向の位置と前記偏光光照射部の水平方向の位置との間であり、
前記制御部は、前記偏光光照射部を前記光学測定器の上及び前記ステージの上を連続して通過させ、かつ、前記偏光光照射部を移動させる間、前記偏光光照射部を点灯させるように前記偏光光照射部の点灯及び消灯を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
【請求項５】
露光に必要な全体距離である総移動距離及び露光に必要な速度である露光速度を含む情報を入力する入力部と、
前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の加速度、減速度、加速時間、減速時間、及び露光時間を算出する移動速度算出部と、を備え、
前記制御部は、前記加速度で前記加速時間だけ前記偏光光照射部を加速しながら前記走査方向に移動させ、前記露光速度で前記露光時間だけ前記偏光光照射部を前記走査方向に移動させて前記ステージの上を通過させ、前記減速度で前記減速時間だけ前記偏光光照射部を減速しながら前記走査方向に移動させる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の偏光光照射装置。
【請求項６】
前記偏光光照射部が前記待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器と前記偏光光照射部とが隣接して設けられ、前記光学測定器及び前記偏光光照射部の両側に前記ステージが２つ設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
【請求項７】
前記光源移動部は、前記偏光光照射部を回動させる回動部を有する
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
【請求項８】
前記偏光光照射部は、光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有する
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
【請求項９】
対象物が載置される走査方向に移動しないステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、
前記ステージに前記対象物を載置する工程と、
前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、
前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記ステージの上を通過させて露光処理を行う工程と、
前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部又は前記光学測定器を走査方向に沿って移動させ、前記偏光光照射部から光を照射して偏光光の測定処理を行う工程と、
前記待機位置に前記偏光光照射部を移動させる工程と、
を含むことを特徴とする偏光光照射方法。
【請求項１０】
対象物が載置される走査方向に移動しないステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、
前記ステージに前記対象物を載置する工程と、
前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、
前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記光学測定器及び前記ステージの上を連続して通過させて露光処理及び偏光光の測定処理を行う工程と、
前記待機位置に前記偏光光照射部を移動させる工程と、
を含むことを特徴とする偏光光照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏光光照射装置及び偏光光照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、隣接して配置された複数の単位偏光子を備えた偏光手段と、ステージもしくは偏光光照射手段の少なくとも一方を移動させることでステージに載置された基板に対して偏光光照射手段からの紫外線を所定の走査方向に走査する走査手段を備え、単位偏光子の隣接面及び単位偏光子の隣接方向が走査方向に対して傾斜していることにより、良好な配向特性の実現を図る光配向照射装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５１３１８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の発明では、ステージを走査方向に沿って移動させるため、光配向照射装置の長手方向、ここでは走査方向に沿った方向の長さを、ステージに載置される基板等（以下、対象物Ｗという）の走査方向に沿った方向の長さ（対象物Ｗを走査方向に対して傾斜した状態で走査を行う場合には、傾斜した状態における対象物Ｗの走査方向に沿った長さ）の２倍以上とする必要がある。このように、特許文献１に記載の発明では、装置が大型化してしまうという問題がある。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置を小型化する、特に走査方向に沿った方向の長さを短くすることができる偏光光照射装置及び偏光光照射方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射装置は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定部と、前記偏光光照射部を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光源移動部と、を備え、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定部とは、水平方向の位置が重ならないように設けられることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る露光装置によれば、対象物が載置されるステージと、対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定部とは、偏光光照射部が待機位置にあるときは水平方向の位置が重ならないように設けられる。光源移動部は、偏光光照射部を対象物の走査方向に沿って移動させて、ステージの上を通過させる。このように、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化する、特に長手方向の長さを短くすることができる。
【０００８】
ここで、情報を入力する入力部と、前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、また、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ移動するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、を備えてもよい。これにより、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、対象物Ｗへの露光と、光学測定器での測定（偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）及び積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２））を行うことができる。
【０００９】
ここで、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器が、前記偏光光照射部を挟んで前記ステージの反対側に設けられてもよい。これにより、光学測定器に必要以上の偏光光が照射されることを防止することができる。
【００１０】
ここで、前記光源の点灯及び消灯を制御する光源制御部と、前記光学測定器で測定された結果及び前記入力部により入力された情報に基づいて、露光量及び照度を測定する光学測定部と、を備え、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、前記光学測定器の水平方向の位置は、前記ステージの水平方向の位置と前記偏光光照射部の水平方向の位置との間であり、前記光源移動制御部は、前記偏光光照射部を前記光学測定器の上及び前記ステージの上を連続して通過させ、前記光源制御部は、前記光源移動制御部が前記偏光光照射部を移動させる間、前記光源を点灯させてもよい。これにより、露光処理とほぼ同時に光学測定器での測定を行うことができる。
【００１１】
ここで、情報を入力する入力部と、前記光学測定器を前記対象物の走査方向に沿って移動させる光学測定器移動部と、前記入力部により入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する移動速度算出部と、前記移動速度算出部により算出された移動速度で前記偏光光照射部が前記ステージの上を通過するように、前記光源移動部を制御する光源移動制御部と、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記光学測定器を移動させるように、前記光学測定器移動部を制御する光学測定部移動制御部と、を備えてもよい。これにより、装置の大きさをより小さくすることができる。
【００１２】
ここで、前記偏光光照射部が待機位置にあるときには、水平方向において、前記光学測定器と前記偏光光照射部とが隣接して設けられ、前記光学測定器及び前記偏光光照射部の両側に前記ステージが２つ設けられてもよい。これにより、効率よく複数の対象物に偏光光を照射することができる。
【００１３】
ここで、前記光源移動部は、前記偏光光照射部を回動させる回動部を有してもよい。これにより、ステージを動かすことなく、露光する偏光光の長手方向が走査方向に対して傾斜させることができ、その結果良好な配向特性を得ることができる。
【００１４】
ここで、前記偏光光照射部は、光源と、前記光源から照射された光を導光する導光部材であって、前記光源の光が供給される光入射部と、前記ステージの上方に略帯状に設けられ、前記ステージへ光を照射する光出射部と、を有する導光部材と、を有してもよい。このように、導光部材を用いることで、光源移動部が移動させる部分を小さくかつ軽くし、これにより、偏光光照射装置をより小型化することができる。
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射方法は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、前記ステージに前記対象物を載置する工程と、前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記ステージの上を通過させる工程と、前記偏光光照射部の水平方向の位置と前記光学測定器の水平方向の位置とが一致する測定位置へ前記偏光光照射部又は前記光学測定器を走査方向に沿って移動させ、前記偏光光照射部から光を照射する工程と、を含むことを特徴とする。このように、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化する、特に長手方向の長さを短くすることができる。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射方法は、例えば、対象物が載置されるステージと、前記対象物の走査方向と略直交する方向に沿った略帯状の偏光光を照射する偏光光照射部と、前記偏光光照射部から照射された光の特性を測定する光学測定器と、情報を入力する入力部と、を有し、前記偏光光照射部が待機位置にあるときに、前記ステージと、前記偏光光照射部と、前記光学測定器とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる偏光光照射装置を使用する偏光光照射方法であって、前記ステージに前記対象物を載置する工程と、前記入力部から入力された情報に基づいて、前記偏光光照射部の移動速度を算出する工程と、前記偏光光照射部から光を照射した状態で、前記偏光光照射部を前記待機位置から前記対象物の走査方向に沿って前記算出された移動速度で移動させて、前記光学測定器及び前記ステージの上を連続して通過させる工程と、を含むことを特徴とする。これにより、ステージを走査方向に移動させず、偏光光照射部を走査方向に移動させることで、偏光光照射装置を小型化し、かつ、露光処理とほぼ同時に光学測定器での測定を行うことで、１枚の対象物Ｗに対して処理を行うのに要する時間を短くすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、装置を小型化する、特に走査方向に沿った方向の長さを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。
【図２】偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。
【図３】偏光光照射部１０の詳細を示す斜視図である。
【図４】偏光光照射装置１の機能構成の概略を示すブロック図である。
【図５】制御部５０の概略構成の一例を示すブロック図である。
【図６】偏光光照射装置１が行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】移動速度算出部５２に入力される情報及び移動速度算出部５２が算出する情報の一例である。
【図８】第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。
【図９】偏光光照射装置２が行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す平面図である。
【図１１】第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す正面図である。
【図１２】制御部５０Ａの概略構成の一例を示すブロック図である。
【図１３】偏光光照射装置３が行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図１４】偏光光照射装置４の概略を示す平面図である。
【図１５】偏光光照射装置４の概略を示す正面図である。
【図１６】導光部材６２の概略を示す斜視図である。
【図１７】照射面６２ｅにおける、出射部６２ｃ（光ファイバー素線６２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。
【図１８】第４の実施の形態の変形例に係る偏光光照射装置４Ａの概略を示す平面図である。
【図１９】偏光光照射装置４Ａの概略を示す正面図である。
【図２０】第５の実施の形態に係る偏光光照射装置５の概略を示す平面図である。
【図２１】偏光光照射装置５が行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図２２】従来の偏光光照射装置１００の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１の概略を示す平面図である。図２は、偏光光照射装置１の概略を示す正面図である。偏光光照射装置１は、例えば、偏光子を通過させて偏光した光（以下、偏光光という）をガラス基板等の対象物Ｗの被露光面に照射して光配向処理を行い、液晶パネル等の配向膜を生成する装置である。ここで、光配向処理とは、直線偏光紫外線を高分子膜上に照射して、膜内の分子の再配列や異方的な化学反応を誘起することで、膜に異方性を持たせる処理である。ただし、偏光光照射装置１を用いて行うことができる処理は光配向処理に限定されず、例えば偏光光照射装置１を用いて露光後の対象物Ｗを検査することもできる。
【００２１】
以下、対象物Ｗの搬送方向をｘ方向とし、搬送方向に直交する方向をｙ方向とし、鉛直方向をｚ方向とする。なお、図２においては、説明のため、装置手前側（−ｙ側）の一部について図示を省略している。また、図１においては、説明のため、装置枠の天面（＋ｚ側の面）について図示を省略している。
【００２２】
偏光光照射装置１は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０と、ロボット４０と、を備える。
【００２３】
偏光光照射部１０は、対象物Ｗに偏光を照射する。図３は、偏光光照射部１０の詳細を示す斜視図である。偏光光照射部１０は、主として、光源１１と、光学部材１２と、ミラー１３と、筐体１４と、を有する。
【００２４】
光源１１は、棒状の部材であり、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。光源１１は、長さが略１ｍ〜略２ｍ程度であり、直径が略１０ｍｍ程度である。なお、光源１１はこの形態に限られるものではなく、例えば点光源を一列に並べて棒状の光源としてもよい。
【００２５】
光学部材１２は、光源１１の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の部材である。光学部材１２は、その長手方向が光源１１の長手方向に略一致するように、光源１１の下側（−ｚ側）に設けられる。光学部材１２は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光膜であるが、偏光膜に限定されるものではない。また、光学部材１２は、一個の部材で構成してもよいし、平行四辺形（正方形、長方形を含む）の小片を列状に並べて構成してもよい。
【００２６】
ミラー１３は、断面が略半楕円形であり、光源１１から出射された光を反射する。ミラー１３は、その長手方向が光源１１の長手方向と一致するように、光源１１の上側（＋ｚ側）に設けられる。これにより、光源１１から出射された光は、光学部材１２を通って、細い線状の光として下方（−ｚ方向）に向けて照射される（図３の２点鎖線参照）。
【００２７】
筐体１４には、光源１１、光学部材１２、及びミラー１３が設けられる。筐体１４の上側（＋ｚ側）の面には、回動部３３（後に詳述）が設けられる。回動部３３は、筐体１４、すなわち偏光光照射部１０の略中央に設けられる。
【００２８】
図１及び図２の説明に戻る。ステージ２１は、図示しない回転機構により回転可能に設けられる（図１点線参照）。ステージ２１の上面には、対象物Ｗが載置される。
【００２９】
光学測定器２２は、偏光光照射部１０から照射される光の照度、積算露光量や、偏光の軸の向き等の、偏光光照射部１０から照射される光の特性を測定する。図１に示すように、光学測定器２２には、光の照度を測定するセンサ２２ａと、偏光の軸の向きを測定するセンサ２２ｂとを有する。なお、センサ２２ａ、２２ｂの位置及び数は図１に示す形態に限定されない。光学測定器２２は、すでに公知の様々な技術を用いることができる。
【００３０】
光源移動部３０は、主として、支持台３１と、支持台移動部３２と、回動部３３と、を有する。
【００３１】
図３に示すように、支持台３１は、回動部３３を介して偏光光照射部１０を保持する。回動部３３は、支持台３１の裏面（−ｚ側の面）に設けられる。
【００３２】
回動部３３は、主として、支持台３１に対して筐体１４を回動させる回動軸３３ａと、回動軸を駆動させる回動軸駆動部３３ｂ（図３では図示せず、図４参照、後に詳述）と、を有する。
【００３３】
なお、回動部３３は必須の構成ではない。回動部３３を設けない形態では、支持台３１に筐体１４を直接設ければよい。
【００３４】
図１及び図２の説明に戻る。支持台移動部３２は、棒状のレール３２ａと、支持台駆動部３２ｂ（図１、２では図示せず、図４参照、後に詳述）と、支持台駆動部３２ｂの駆動力によってレール３２ａに沿って支持台３１を往復移動させる平行移動機構部（図示せず）と、を有する。
【００３５】
支持台３１の表面（＋ｚ側の面）又は側面（＋ｙ側の面及び−ｙ側の面）には、図示しない摺動部が設けられ、この摺動部がレール３２ａに沿って摺動することで、支持台３１がレール３２ａに沿って移動する。平行移動機構部は、公知の様々な技術を用いることができる。
【００３６】
ロボット４０は、対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、対象物Ｗをステージ２１から移動させたりする移動手段である。ロボット４０の位置は、図１、２に示す位置には限定されない。ロボット４０は、すでに公知であるため、説明を省略する。
【００３７】
なお、偏光光照射部１０及び支持台３１が図１、２に示す待機位置（破線及び実線で示す位置）にあるときは、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２とは、水平方向の位置が重ならないように設けられる。これにより、光学測定器２２において光の特性を測定したり、対象物Ｗに対して配向処理をしたりすることを問題なく行うことができる。
【００３８】
図４は、偏光光照射装置１の機能構成の概略を示すブロック図である。制御部５０は、主として、支持台移動制御部５１と、移動速度算出部５２と、回動制御部５３と、光源制御部５４と、ステージ回動制御部５５と、ロボット制御部５６と、光学測定部５７と、統括制御部５９と、を有する。
【００３９】
支持台移動制御部５１は、支持台３１を走査方向（＋ｘ方向又は−ｘ方向）に沿って、ステージ２１や光学測定器２２の上を通過させるように、支持台駆動部３２ｂを制御する。支持台駆動部３２ｂは、例えばアクチュエータである。支持台移動制御部５１は、アクチュエータのエンコーダー値等により支持台３１のｘ方向の位置を把握することができる。
【００４０】
移動速度算出部５２は、入力された情報等に基づいて、支持台３１の移動速度を算出する。移動速度算出部５２で算出された結果は支持台移動制御部５１に出力される。支持台移動制御部５１は、移動速度算出部５２で算出された速度で支持台３１をｘ方向に移動させる。移動速度算出部５２が行う具体的な処理については、後に詳述する。
【００４１】
回動制御部５３は、入力装置（図５参照）等により指示が入力されると、回動軸駆動部３３ｂを制御して支持台３１を回動させる。回動軸駆動部３３ｂは、例えばアクチュエータである。回動制御部５３は、アクチュエータのエンコーダー値等により支持台３１の回動角度を把握することができる。なお、すでに説明したように、回動部３３は必須の構成ではなく、回動部３３が設けられていない場合には回動制御部５３も不要である。
【００４２】
光源制御部５４は、光源１１の点灯及び消灯を制御する。ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回動駆動する。ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御する。光源制御部５４及びステージ回動制御部５５はすでに公知であるため、説明を省略する。
【００４３】
光学測定部５７は、センサ２２ａで測定された結果に基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）及び積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）を算出する。また、光学測定部５７は、センサ２２ｂで測定された偏光の軸の向きが正しいかどうか判定する。光学測定部５７が行う処理については、後に詳述する。
【００４４】
統括制御部５９は、偏光光照射装置１を構成する各部や制御部５０の各機能構成部を統括的に制御する。また、統括制御部５９は、情報（データ）入力、処理結果等に基づき、装置各部へ指令信号を送出する機能を有する。
【００４５】
図５は、制御部５０の概略構成の一例を示すブロック図である。図示するように、例えばコンピュータなどで構成される制御部５０は、演算装置であるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）５０１と、揮発性の記憶装置であるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）や不揮発性の記憶装置であるＲＯＭ（Ｒｅａｄ  ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）からなるメモリ５０２と、外部記憶装置５０３と、偏光光照射装置１の外部の装置と通信を行う通信装置５０４と、マウスやキーボード等の入力装置５０５と、ディスプレイ等の出力装置５０６と、制御部５０と他のユニットを接続するインターフェース（Ｉ／Ｆ）５０７とを備える。
【００４６】
図４に記載の各機能部は、例えば、ＣＰＵ５０１がメモリ５０２のうちの不揮発性の記憶装置に格納された所定のプログラムをメモリ５０２のうちの揮発性の記憶装置に読み出して実行することにより実現される。なお、所定のプログラムは、例えば、予めメモリ５０２にインストールされてもよいし、通信装置５０４を介してネットワークからダウンロードされてインストール又は更新されてもよい。
【００４７】
このように構成された偏光光照射装置１の作用について説明する。図６は、偏光光照射装置１が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置１を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図１、２に示す待機位置にある。
【００４８】
まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ１２）。これにより、対象物Ｗに対して偏光光を照射するための準備が終了する。
【００４９】
次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、往路の露光処理を行う（ステップＳ１４）。以下、往路の露光処理（ステップＳ１４）について説明する。支持台移動制御部５１は、支持台３１を−ｘ方向に移動させて、ステージ２１の上を通過させる。このとき、光源制御部５４は光源１１を点灯して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射する。支持台移動制御部５１は、支持台３１を−ｘ側の端近傍（図１、２における左側の２点鎖線参照）で停止させる。この往路の露光処理において、支持台移動制御部５１は、あらかじめ移動速度算出部５２が算出した速度、時間等で支持台３１を−ｘ方向に移動させる。
【００５０】
図７は、移動速度算出部５２に入力される情報及び移動速度算出部５２が算出する情報の一例である。図７中、「入力」と記載されている列は、入力装置５０５を介してメモリ５０２に記憶され、移動速度算出部５２に入力される情報であり、「算出」と記載されている列は、メモリ５０２に記憶された情報に基づいて移動速度算出部５２が算出する情報を示す。
【００５１】
移動速度算出部５２は、数式（１）に基づいて加速度及び減速度を算出する。例えば、支持台駆動部３２ｂの駆動力が０．１２Ｇと入力された場合には、移動速度算出部５２は、加速度及び減速度を０．１２（Ｇ）×９．８０６６５×１０００＝１１７６．８（ｍｍ／秒２）と算出する。なお、支持台駆動部３２ｂの駆動力は、０．１２Ｇ〜０．１５Ｇの範囲内であることが望ましい。
［数１］
加速度、減速度＝支持台駆動部３２ｂの駆動力×重力加速度×１０００  ・・・（１）
【００５２】
移動速度算出部５２は、数式（２）、（３）に基づいて、加速又は減速に必要な時間を算出する。例えば、加速度及び減速度が１１７６．８ｍｍ／秒２であり、露光速度が１００ｍｍ／秒であり、初期速度及び最終速度が０ｍｍ／秒である場合には、移動速度算出部５２は、加速時間及び減速時間を、（１００（ｍｍ／秒）−０（ｍｍ／秒））／１１７６．８（ｍｍ／秒２）＝０．０８５（秒）と算出する。
［数２］
加速時間＝（露光速度−初期速度）÷加速度  ・・・（２）
［数３］
減速時間＝（露光速度−最終速度）÷減速度  ・・・（３）
【００５３】
移動速度算出部５２は、数式（４）、（５）に基づいて、加速及び減速に必要な距離Ｌ１、Ｌ２（図１参照）を算出する。例えば、加速時間及び減速時間が０．１秒、初期速度及び最終速度が０ｍｍ／秒である場合には、移動速度算出部５２は、加速距離Ｌ１及び減速距離Ｌ２を１／２×１１７６．８（ｍｍ／秒２）×０．０８５（秒）２＝４．２５（ｍｍ）と算出する。また、移動速度算出部５２は、数式（６）に基づいて、露光距離Ｌ３（図１参照）を算出する。例えば、総移動距離Ｌ（図１参照）が２８００ｍｍであり、加速距離Ｌ１及び減速距離Ｌ２が４．２５ｍｍである場合には、移動速度算出部５２は、露光距離Ｌ３を２８００（ｍｍ）−４．２５（ｍｍ）−４．２５（ｍｍ）＝２７９１．５（ｍｍ）と算出する。
［数４］
加速距離Ｌ１＝１／２×加速度×加速時間２＋初期速度×加速時間  ・・・（４）
［数５］
減速距離Ｌ２＝１／２×減速度×減速時間２＋最終速度×減速時間  ・・・（５）
［数６］
露光距離Ｌ３＝総移動距離Ｌ−加速距離Ｌ１−減速距離Ｌ２  ・・・（７）
【００５４】
移動速度算出部５２は、数式（７）、（８）に基づいて、露光時間及び総所要時間を算出する。例えば、露光距離が２７９１．５ｍｍ、露光速度が１００ｍｍ／秒の場合には、露光時感は２７９１．５（ｍｍ）÷１００（ｍｍ／秒）＝２７．９１５（秒）と算出する。また、加速時間及び減速時間が０．０８５秒の場合には、総所要時間を０．０８５（秒）＋２７．９１５（秒）＋０．０８５（秒）＝２８．０７（秒）と算出する。
［数７］
露光時間＝露光距離÷露光速度  ・・・（７）
［数８］
総所要時間＝加速時間＋露光時間＋減速時間  ・・・（８）
【００５５】
以上より、往路の露光処理（ステップＳ１４）において、支持台３１を、最初の０．１秒は１１７６．８ｍｍ／秒２で１００ｍｍ／秒まで加速し、１００ｍｍ／秒で２７．９秒移動させ、最後の０．１秒は１１７６．８ｍｍ／秒２で１００ｍｍ／秒まで減速することが移動速度算出部５２により求められる。支持台移動制御部５１は、このようにして移動速度算出部５２が算出した速度、時間等で支持台３１を−ｘ方向に移動させる。以下、支持台３１が加速移動する範囲を加速域といい、支持台３１が定速移動する範囲を定速域といい、支持台３１が減速移動する範囲を減速域という。
【００５６】
往路の露光処理（ステップＳ１４）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。復路の露光処理（ステップＳ１６）において、支持台移動制御部５１は、往路の露光処理（ステップＳ１４）と同じ速度、時間等で支持台３１を＋ｘ方向に移動させて、ステージ２１の上を通過させる。このとき、光源制御部５４は光源１１を点灯して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射する。以上により、往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了する。
【００５７】
偏光光照射装置１においては、偏光光照射部１０が待機位置にあるときは、水平方向において、光学測定器２２が、偏光光照射部１０を挟んでステージ２１と反対側に設けられる。光学測定器２２は、光、特に紫外線が過剰に照射されることで劣化が加速する。したがって、往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）時に、光学測定器２２に光（紫外線）が照射されることを防止し、光学測定器２２の性能が早期に劣化しないようにすることができる。
【００５８】
往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了したら、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１８）。それと同時に、支持台移動制御部５１は、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置にくるように、支持台３１を＋ｘ方向に移動させる（ステップＳ１８）。
【００５９】
光源１１が測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ２０）。具体的には、偏光光照射部１０が測定位置にあるときに、光源制御部５４が光源１１を一定時間だけ点灯する。また、偏光光照射部１０から光学測定器２２に偏光光が照射される時間は、あらかじめメモリ５０２に記憶されている。したがって、光学測定部５７は、センサ２２ａで測定された結果及び点灯時間を示す情報に基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。
【００６０】
偏光光の測定処理と同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２０）。
【００６１】
なお、ステップＳ２０において、統括制御部５９は、偏光光の測定処理によって測定された結果と、メモリ５０２に記憶された情報とを比較し、偏光光の測定処理によって測定された結果が正しいかどうか、すなわち対象物Ｗが正確に露光されたかどうかを判定してもよい。そして、統括制御部５９は、対象物Ｗが正確に露光されていないと判定した場合には、処理を終了してもよい。
【００６２】
統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。例えば、統括制御部５９は、入力装置５０５より処理を終了することを示す情報が入力されていない場合には、次の対象物Ｗに対して処理を行うと判定する。
【００６３】
次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を図１、２に示す待機位置に移動させる（ステップＳ２４）。そして、ロボット制御部５６は、ステップＳ１０と同様に、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ２４）。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ１２に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
【００６４】
次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を図１、２に示す待機位置に移動させて（ステップＳ２６）、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
【００６５】
なお、ステップＳ１８、Ｓ２０及びＳ２４においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、これらの処理は順番に行ってもよい。
【００６６】
また、走査方向（ｘ方向）に対して一定角度だけ傾いた対象物Ｗに対して、偏光光照射部１０から対象物Ｗに偏光光を照射したが、対象物Ｗが偏光光照射部１０に対して傾いていればよく、例えばステージ２１を回動させず、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾いていてもよいし、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾けるとともにステージ２１をｘ方向に対して傾いていてもよい。例えば、ステージ２１を回動させず、光源１１の長手方向をｙ方向に対して傾ける場合には、ステージ２１を動かすことなく光源１１の長手方向を走査方向に対して傾斜させることができ、その結果、良好な配向特性を得ることができる。
【００６７】
本実施の形態によれば、ステージ２１を走査方向に移動させず、偏光光照射部１０を走査方向に移動させるようにしたため、偏光光照射装置１の長手方向の長さを短くし、偏光光照射装置１を小型化することができる。
【００６８】
従来の偏光光照射装置の一例として、ステージ１０１を走査方向に移動させる偏光光照射装置１００を図２２に示す。なお、図２２において、比較のため、本発明の偏光光照射装置１の大きさを２点鎖線で示す。偏光光照射装置１００では、偏光光照射部１０２の両側にステージ１０１が配置可能な領域が必要であり、またその外側に光学測定器１０３を配置する必要がある。そのため、偏光光照射装置１００のｘ方向の長さは、偏光光照射部１０のｘ方向の長さ、光学測定器１０３のｘ方向の長さ、及びステージ１０１のｘ方向の長さ（ステージ１０１が走査方向に対して傾く場合は、傾いた状態におけるｘ方向の長さ）の２倍の長さの合計以上の長さが必要となる。
【００６９】
しかしながら、ステージ２１を走査方向に移動させず、偏光光照射部１０を走査方向に移動させる場合には、ステージ２１を移動させて走査するための領域、具体的にはステージ２１のｘ方向の長さ（ステージ２１が走査方向に対して傾く場合は、傾いた状態におけるｘ方向の長さ）の分が不要となる。したがって、偏光光照射装置１を小型化することができる。具体的には、偏光光照射装置１の長手方向の長さをステージ２１のｘ方向の長さ（又は走査方向に対して傾いた状態におけるステージ２１のｘ方向の長さ）の２倍以下とすることができる。
【００７０】
本発明の偏光光照射装置１は、対象物Ｗの大きさが大きい場合に有効である。特に、対象物Ｗの走査方向に沿った方向の長さが３００ｍｍ以上と大きい場合に有効である。これは、対象物Ｗの走査方向に沿った方向の長さが長くなればなるほど、偏光光照射装置１をより小型化することができるためである。
【００７１】
＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、図１、２に示す待機位置において、ステージ２１と光学測定器２２との間に偏光光照射部１０が設けられるが、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２とは、待機位置において水平方向の位置が重ならないように設けられればよく、これらの構成要素の配置は図１、２に示す場合に限られない。
【００７２】
第２の実施の形態は、待機位置において、ステージ２１と偏光光照射部１０との間に光学測定器２２を設ける形態である。以下、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００７３】
図８は、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置２の概略を示す平面図である。図８においては、偏光光照射部１０及び支持台３１の待機位置を破線及び実線で示す。この待機位置においては、偏光光照射部１０が＋ｘ側の端近傍に設けられる。言い換えると、待機位置においては、ステージ２１と偏光光照射部１０との間に光学測定器２２が設けられる。
【００７４】
偏光光照射装置２は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０Ａと、ロボット４０と、を備える。
【００７５】
光源移動部３０Ａは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ａと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ａは、棒状のレール３２ｃと、支持台駆動部３２ｂ（図示せず）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｃとの差異はｘ方向の長さのみである。
【００７６】
偏光光照射装置２の作用について説明する。図９は、偏光光照射装置２が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置２を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図８に示す待機位置にある。
【００７７】
まず、ロボット制御部５６は、対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させる回転処理を行う（ステップＳ１２）。
【００７８】
その後、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、光源１１を点灯しながら支持台３１を−ｘ方向に移動させて、往路の露光処理及び測定処理を行う（ステップＳ１５）。往路の露光処理に関して、ステップＳ１４（図６参照）とステップＳ１５との違いは定速域の距離（総移動距離Ｌ−１及び露光距離Ｌ３−１）であり、その他はステップＳ１４とステップＳ１５とで同一である。
【００７９】
偏光光照射装置２においては定速域に光学測定器２２が設けられる。したがって、偏光光照射装置２における総移動距離Ｌ−１及び露光距離Ｌ３−１は、少なくとも光学測定器２２の分だけ、偏光光照射装置１における総移動距離Ｌ及び露光距離Ｌ３より長い。
【００８０】
ステップＳ１５では、定速域における定速移動中において、支持台３１（偏光光照射部１０）が光学測定器２２の上を通過し、そのまま連続してステージ２１の上を通過する。したがって、ステップＳ１５において、往路の露光処理とほぼ同時に測定処理を行うことができる。光学測定部５７は、光学測定器２２での測定結果と、移動速度算出部５２が算出した速度とに基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。
【００８１】
往路の露光処理及び測定処理（ステップＳ１５）後には、支持台移動制御部５１は、支持台３１を−ｘ側の端近傍（図８における２点鎖線参照）で停止させる。
【００８２】
往路の露光処理及び測定処理（ステップＳ１５）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、光源１１を点灯しながら支持台３１を＋ｘ方向に移動させて、復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。復路の露光処理（ステップＳ１６）後には、支持台３１が図８に示す待機位置に戻る。
【００８３】
往復の露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了したら、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１７）。そして、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２１）。
【００８４】
統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、ロボット制御部５６は、統括制御部５９は処理をステップＳ１０に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
【００８５】
次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
【００８６】
本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様、偏光光照射装置２の長手方向の大きさを小さくすることができる。
【００８７】
また、本実施の形態によれば、支持台３１（偏光光照射部１０）を一往復（−ｘ方向に移動させてから＋ｘ方向に移動させる）させればよいため、制御部５０が行う処理内容を容易にし、また、１枚の対象物Ｗに対して処理を行うのに要する時間を短くすることができる。
【００８８】
＜第３の実施の形態＞
第１の実施の形態では、偏光光照射部１０が移動可能に設けられたが、偏光光照射部１０以外の部材を移動可能に設けてもよい。
【００８９】
第３の実施の形態は、偏光光照射部１０及び光学測定器２２を移動可能に設ける形態である。以下、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置３について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００９０】
図１０は、第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す平面図である。図１１は、第３の実施の形態に係る偏光光照射装置３の概略を示す正面図である。図１０、１１に示す待機位置においては、光学測定器２２が＋ｘ側の端近傍に設けられ、その−ｘ側に隣接して偏光光照射部１０が設けられる。言い換えると、待機位置においては、上（＋ｚ方向）からみて、ステージ２１と光学測定器２２との間に偏光光照射部１０が設けられる。
【００９１】
偏光光照射装置３は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光学測定器移動部２３と、光源移動部３０Ｂと、ロボット４０と、を備える。
【００９２】
光学測定器移動部２３は、棒状のレール２３ａと、光学測定器駆動部２３ｂ（図１０、１１では図示せず、図１２参照、後に詳述）と、光学測定器駆動部２３ｂの駆動力によってレール２３ａに沿って光学測定器２２を往復移動させる平行移動機構部（図示せず）と、を有する。
【００９３】
光学測定器２２の底面（−ｚ側の面）には、図示しない摺動部が設けられ、この摺動部がレール２３ａに沿って摺動することで、光学測定器２２がレール２３ａに沿って移動する。平行移動機構部は、公知の様々な技術を用いることができる。
【００９４】
光源移動部３０Ｂは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ｂと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ｂは、棒状のレール３２ｄと、支持台駆動部３２ｂ（図１０、１１では図示せず、図１２参照）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｄとの差異はｘ方向の長さのみである。
【００９５】
図１２は、偏光光照射装置３の機能構成の概略を示すブロック図である。制御部５０Ａは、主として、支持台移動制御部５１と、移動速度算出部５２と、回動制御部５３と、光源制御部５４と、ステージ回動制御部５５と、ロボット制御部５６と、光学測定部５７と、光学測定器移動制御部５８と、統括制御部５９と、を有する。
【００９６】
光学測定器移動制御部５８は、光学測定器２２を走査方向（＋ｘ方向又は−ｘ方向）に沿って移動させるように、光学測定器駆動部２３ｂを制御する。光学測定器駆動部２３ｂは、例えばアクチュエータである。光学測定器移動制御部５８は、アクチュエータのエンコーダー値等により光学測定器２２のｘ方向の位置を把握することができる。
【００９７】
このように構成された偏光光照射装置３の作用について説明する。図１３は、偏光光照射装置３が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置３を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図１０、１１に示す待機位置にある。
【００９８】
まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ１０）。次に、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させる回転処理を行う（ステップＳ１２）。次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、往路の露光処理（ステップＳ１４）及び復路の露光処理を行う（ステップＳ１６）。
【００９９】
露光処理（ステップＳ１４、Ｓ１６）が終了すると、ステージ回動制御部５５は、ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ１９）。この処理は、ステップＳ１８（図６参照）における処理と同一である。それと同時に、光学測定器移動制御部５８は、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置にくるように、光学測定器２２を−ｘ方向に移動させる（ステップＳ１９）。
【０１００】
光源１１が測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ２０）。それと同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ２０）。
【０１０１】
統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ２２）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、光学測定器移動制御部５８は、光学測定器２２が待機位置にくるように、光学測定器２２を＋ｘ方向に移動させる（ステップＳ２５）。そして、ロボット制御部５６は、ステップＳ１０と同様に、ロボット４０を制御して対象物Ｗをステージ２１の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ２５）。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ１２に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
【０１０２】
次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、光学測定器２２を＋ｘ方向に移動させて（ステップＳ２７）、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
【０１０３】
なお、ステップＳ１９、Ｓ２０及びＳ２５においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、複数の処理は順番に行ってもよい。
【０１０４】
本実施の形態によれば、偏光光照射装置３の大きさをより小さくすることができる。具体的には、偏光光照射装置３の大きさを、偏光光照射装置１の大きさよりも、支持台３１のｘ方向の長さの分だけ小さくすることができる。
【０１０５】
＜第４の実施の形態＞
第１の実施の形態では、光源１１を用いた偏光光照射部１０を走査方向に移動させたが、移動させる偏光光照射部はこれに限られない。
【０１０６】
第４の実施の形態は、光源の光をステージ２１の上へ導く導光部材を用いる形態である。以下、第４の実施の形態に係る偏光光照射装置４について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１０７】
図１４は、第４の実施の形態に係る偏光光照射装置４の概略を示す平面図である。図１５は、偏光光照射装置４の概略を示す正面図である。
【０１０８】
偏光光照射部６０は、主として、光源６１と、導光部材６２と、光学部材６３（図１４では図示せず）と、を有する。図１４、１５に示す待機位置では、水平方向において、偏光光照射部６０は、ステージ２１と光学測定器２２との間に設けられる。
【０１０９】
光源６１は、主として、ランプ６１ａと、光学フィルタ６１ｂと、を有する。光源６１は、例えば偏光光照射装置１の装置枠の外側に設けられる。ただし、光源６１を設ける位置は、図１４、１５に示す位置に限られない。
【０１１０】
ランプ６１ａは、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。ランプ６１ａは、例えば、電極間距離が１〜１０ｍｍ程度と短い高輝度の点光源であるショートアークタイプのランプである。なお、ランプ６１ａは、ショートアークタイプのランプに限られず、ＬＥＤ等の様々な種類の発光装置を用いることができる。
【０１１１】
光学フィルタ６１ｂは、ランプ６１ａから照射された光の中から所定の波長の光のみを通過させる。光学フィルタ６１ｂの背面にはランプ６１ａが設けられ、光学フィルタ６１ｂの前面には導光部材６２の入射部６２ｂ（後に詳述）が設けられる。
【０１１２】
図１６は、導光部材６２の概略を示す斜視図である。導光部材６２は、光源６１から照射された光を、光源から離れた場所に導くものである。本実施の形態では、導光部材６２は、複数本の光ファイバー素線６２ａが束ねられて束状に形成された光ファイバー束である。光ファイバー素線６２ａは、入射部６２ｂから供給された光を出射部６２ｃへ導光する。
【０１１３】
導光部材６２は、部分的に光ファイバー素線６２ａが束ねられている。この束ねられた本体６２ｄは、複数の光ファイバー素線６２ａを束ねて束状にし、これを融着処理等により一体にすることで形成される。
【０１１４】
光ファイバー素線６２ａのうちの、光ファイバー素線６２ａが束ねられた側の端面は、入射部６２ｂである。入射部６２ｂにおいては、複数の光ファイバー素線６２ａの端面は、均一に分布して固定されている。
【０１１５】
光ファイバー素線６２ａのうちの、光ファイバー素線６２ａが束ねられていな側の端面は、出射部６２ｃである。出射部６２ｃの近傍では、光ファイバー素線６２ａを広げることができる。本実施の形態では、出射部６２ｃが略帯状となるように光ファイバー素線６２ａを広げて並べる。以下、略帯状に並べた出射部６２ｃ全体を、対象物Ｗに光を照射する照射面６２ｅと定義する。
【０１１６】
図１７は、照射面６２ｅにおける、出射部６２ｃ（光ファイバー素線６２ａの端面）の分布状態を模式的に示した一例である。図１７では、光ファイバー素線６２ａを部分的に表示している。
【０１１７】
出射部６２ｃは、照射面６２ｅから照射される光のムラが目立たないように、千鳥状に配置される。すなわち、第一列（列Ｉ）における出射部６２ｃの中心が、第一列に隣接する列（列ＩＩ）における出射部６２ｃの中心の間に位置するように、光ファイバー素線６２ａを配置する。ただし、出射部６２ｃの配置はこの形態に限られない。
【０１１８】
図１４、１５の説明に戻る。照射面６２ｅ及びの光学部材６３は、ステージ２１の上方（＋ｚ方向）に設けられる。
【０１１９】
光学部材６３は、照射面６２ｅと略同じ長さの長辺を持つ長方形の部材である。光学部材６３は、その長手方向が照射面６２ｅの長手方向と略一致するように、光源６１の下側（−ｚ側）に設けられる。光学部材６３は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光子であるが、これに限定されるものではない。
【０１２０】
支持台３１は、照射面６２ｅと、光学部材６３とを支持する。支持台３１には、本体６２ｄが貫通する孔（図示せず）が設けられている。支持台３１の下面側には、光ファイバー素線６２ａが広げて設けられ、照射面６２ｅが形成される。支持台３１をレール３２ａに沿って移動させると、導光部材６２及び光学部材６３が移動され、光源６１は移動されない。
【０１２１】
偏光光照射装置４においては、光源制御部５４は光源６１の点灯及び消灯を制御する。その他、偏光光照射装置４の処理内容は、偏光光照射装置１の処理内容と同一であるため、説明を省略する。
【０１２２】
本実施の形態によれば、光源６１を移動させず、導光部材６２及び光学部材６３のみを移動させるため、支持台３１が支持する部分（言い換えると、支持台駆動部３２ｂが移動させる部分）を小さくかつ軽くすることができる。その結果、偏光光を照射する部分を移動させることが容易となる。その結果、出力が小さい支持台駆動部３２ｂを使用することができ、また偏光光照射装置３をより小さくすることができる。
【０１２３】
例えば、第１の実施の形態の偏光光照射装置１では、光源１１から熱が発生するため、偏光光照射部１０には排熱のためのダクトが設けられることが多い。そのため、支持台駆動部３２ｂは、偏光光照射部１０を移動する時にダクトも一緒に移動させなくてはならず、支持台駆動部３２ｂとして出力が大きいアクチュエータ等を使用する必要がある。
【０１２４】
それに対し、本実施の形態の偏光光照射装置４は移動させる部分が軽いため、支持台駆動部３２ｂとして出力が小さい小型のアクチュエータを使用することができる。また、支持台３１が支持する部分が小さくかつ軽いため、その分偏光光照射装置３を小型化することができる。
【０１２５】
なお、本実施の形態では、導光部材６２として光ファイバー束を用いたが、導光部材はこれに限定されない。光源６１の光を導光する導光部材として拡散板を用いてもよい。
【０１２６】
図１８は、第４の実施の形態の変形例に係る偏光光照射装置４Ａの概略を示す平面図である。図１９は、偏光光照射装置４Ａの概略を示す正面図である。
【０１２７】
偏光光照射部６０Ａは、主として、光源６１と、導光部材６４と、光学部材６３と（図１１では図示せず）と、を有する。図１８、１９に示す待機位置では、水平方向において、偏光光照射部６０Ａは、ステージ２１と光学測定器２２との間に設けられる。
【０１２８】
光源６１は、導光部材６４の側面（ここでは、ｙ側（短手方向）の側面）に隣接して設けられる。光学部材６３は、導光部材６４の下方に設けられる。
【０１２９】
導光部材６４は、アクリル等の透明な材料で形成された板材であり、略帯状に形成されている。導光部材６４の裏面（−ｚ側の面）が面発光するように、導光部材６４の表面（＋ｚ側の面）には、金属製の反射拡散板が設けられる。また、導光部材６４の光源６１が隣接して設けられていない側面には、光が逃げないように、金属製の遮光板が設けられる。
【０１３０】
支持台３１は、偏光光照射部６０Ａを支持する。偏光光照射部６０Ａは光源６１を有するが、光源６１は光源１１より小さくかつ軽いため、偏光光照射装置１、２と比べて支持台３１の移動は容易である。したがって、偏光光照射装置１、２と比べて、偏光光照射装置４Ａを小型化することができる。
【０１３１】
＜第５の実施の形態＞
第１の実施の形態では、ステージ２１が１つ設けられたが、ステージ２１の数はこれに限られない。
【０１３２】
第５の実施の形態は、ステージ２１を２つ設ける形態である。以下、第５の実施の形態に係る偏光光照射装置５について説明する。なお、第１の実施の形態に係る偏光光照射装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１３３】
図２０は、第２の実施の形態に係る偏光光照射装置５の概略を示す平面図である。図２０においては、待機位置における偏光光照射部１０及び支持台３１の位置を破線及び実線で示す。この待機位置においては、偏光光照射部１０がｘ方向の略中央に設けられる。また、待機位置においては、偏光光照射部１０に隣接して光学測定器２２が設けられ、これらの両側にステージ２１が設けられる。なお、図２０においては、偏光光照射部１０の右側（＋ｘ側）に光学測定器２２が設けられているが、偏光光照射部１０の左側（−ｘ側）に光学測定器２２が設けられていてもよい。
【０１３４】
偏光光照射装置５は、主として、偏光光照射部１０と、ステージ２１と、光学測定器２２と、光源移動部３０Ｃと、ロボット４０（図２０では図示せず）と、を備える。
【０１３５】
光源移動部３０Ｃは、主として、支持台３１と、支持台移動部３２Ｃと、回動部３３と、を有する。支持台移動部３２Ｃは、棒状のレール３２ｅと、支持台駆動部３２ｂ（図示せず）と、平行移動機構部（図示せず）と、を有する。なお、レール３２ａとレール３２ｅとの差異はｘ方向の長さのみである。
【０１３６】
ロボット４０は、偏光光照射装置５の＋ｘ側の端及び−ｘ側の端に対向して設けられる。−ｘ側の端に設けられるロボット４０の位置は、偏光光照射装置１と同様である。
【０１３７】
このように構成された偏光光照射装置５の作用について説明する。図２１は、偏光光照射装置５が行う処理の流れを示すフローチャートである。偏光光照射装置５を動作させる前は、偏光光照射部１０は、図２０に示す待機位置にある。
【０１３８】
まず、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを−ｘ側に設けられたステージ２１（以下、第１ステージ２１という）の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ３０）。当該処理は、ステップ１０（図６参照）と同様である。
【０１３９】
次に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ３２）。当該処理は、ステップ１２（図６参照）と同様である。
【０１４０】
次に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ３４）。当該処理は、ステップＳ１４（図６参照）と同じである。
【０１４１】
往路の露光処理（ステップＳ３４）が終了したら、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対する復路の露光処理を行う（ステップＳ３６）。ステップＳ３６における復路の露光処理は、ステップＳ１６（図６参照）と同じである。それと同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを＋ｘ側に設けられたステージ２１（以下、第２ステージ２１という）の上に載置する投入処理を行う（ステップＳ３６）。
【０１４２】
第１ステージ２１に対する往復の露光処理（ステップＳ３４、Ｓ３６）が終了したら、光源制御部５４は光源１１を点灯して、支持台移動制御部５１は支持台３１を＋ｘ方向に移動させ始める（ステップＳ３８）。それと同時に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理、及び、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ３８）。
【０１４３】
光源１１が、光源１１の水平方向（ｘ方向）の位置が光学測定器２２のｘ方向の位置と重なる測定位置に移動されたら、偏光光照射部１０から照射される偏光光の測定処理を行う（ステップＳ４０）。そして、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ４２）。
【０１４４】
統括制御部５９は、ステップＳ３８で支持台３１移動させ始めてから、支持台３１を止めずに連続してステップＳ４０、Ｓ４２を行う。移動速度算出部５２は、あらかじめ支持台移動制御部５１が支持台３１を移動させる速度、時間等を算出しておく。ステップＳ４０において、光学測定部５７は、光学測定器２２での測定結果と、移動速度算出部５２が算出した速度とに基づいて、偏光光照射部１０から照射された偏光光の積算露光量（ｍＪ／ｃｍ２）及び偏光光の照度（ｍＷ／ｃｍ２）を算出する。このように、ステップＳ３８〜Ｓ４２において、露光処理と測定処理とが連続してほぼ同時に行われる。
【０１４５】
往路の露光処理と同時に、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第１ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ４２）。
【０１４６】
統括制御部５９は、次に処理を行う対象物Ｗがあるか否かを判定する（ステップＳ４４）。次に処理を行う対象物Ｗがある場合（ステップＳ４４でＹＥＳ）には、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対する復路の露光処理と、第１ステージ２１に対する対象物Ｗの投入処理と、を行う（ステップＳ４６）。ステップＳ４６における、第２ステージ２１に対して行う復路の露光処理は、ステップＳ３８〜Ｓ４２における速度と同じ速度で支持台３１を−ｘ方向に移動させて、偏光光照射部１０を待機位置に戻す。ステップＳ４６における第１ステージ２１への対象物Ｗの投入処理は、ステップＳ３０と同じである。
【０１４７】
次に、ステージ回動制御部５５は、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ４８）。当該処理は、ステップ３２と同様である。それと同時に、ステージ回動制御部５５は、第１ステージ２１を回転させて、対象物Ｗを走査方向に対して一定角度だけ傾ける回転処理を行う（ステップＳ４８）。
【０１４８】
そして、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第２ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ５０）。それと同時に、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第１ステージ２１に対して往路の露光処理を行う（ステップＳ５０）。この露光処理は、ステップＳ３４と同一である。その後、統括制御部５９は処理をステップＳ３６に戻し、次の対象物Ｗに対して処理を行う。
【０１４９】
次に処理を行う対象物Ｗが無い場合（ステップＳ４４でＮＯ）には、光源制御部５４及び支持台移動制御部５１は、第２ステージ２１に対する復路の露光処理を行う（ステップＳ５２）。当該処理は、ステップＳ４６における処理と同じである。次に、ステージ回動制御部５５は、第２ステージ２１を回転させて、対象物Ｗが走査方向に対して一定角度だけ傾いた状態から元に戻す回転処理を行う（ステップＳ５４）。当該処理は、ステップＳ４８と同様である。その後、ロボット制御部５６は、ロボット４０を制御して対象物Ｗを第２ステージ２１から排出する排出処理を行う（ステップＳ５６）。当該処理は、ステップＳ５０における処理と同じである。そして、統括制御部５９は一連の処理を終了する。
【０１５０】
なお、ステップＳ３６、Ｓ３８、Ｓ４２、Ｓ４６、Ｓ４８及びＳ５０においては、処理時間短縮のため複数の処理を同時に行ったが、複数の処理は順番に行ってもよい。
【０１５１】
本実施の形態によれば、従来の装置と同等の大きさの装置を用いて、より効率よく処理を行うことができる。
【０１５２】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【０１５３】
また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略中央とは、厳密に中央の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
【符号の説明】
【０１５４】
１、２、３、４、４Ａ、５    ：偏光光照射装置
１０                        ：偏光光照射部
１１                        ：光源
１２                        ：光学部材
１３                        ：ミラー
１４                        ：筐体
２１                        ：ステージ
２２                        ：光学測定器
２２ａ、２２ｂ              ：センサ
２３                        ：光学測定器移動部
２３ａ                      ：レール
２３ｂ                      ：光学測定器駆動部
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ：光源移動部
３１                        ：支持台
３２、３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ：支持台移動部
３２ａ                      ：レール
３２ｂ                      ：支持台駆動部
３２ｃ                      ：レール
３２ｄ                      ：レール
３２ｅ                      ：レール
３３                        ：回動部
３３ａ                      ：回動軸
３３ｂ                      ：回動軸駆動部
４０                        ：ロボット
５０、５０Ａ                ：制御部
５１                        ：支持台移動制御部
５２                        ：移動速度算出部
５３                        ：回動制御部
５４                        ：光源制御部
５５                        ：ステージ回動制御部
５６                        ：ロボット制御部
５７                        ：光学測定部
５８                        ：光学測定器移動制御部
５９                        ：統括制御部
６０、６０Ａ                ：偏光光照射部
６１                        ：光源
６１ａ                      ：ランプ
６１ｂ                      ：光学フィルタ
６２、６４                  ：導光部材
６２ａ                      ：光ファイバー素線
６２ｂ                      ：入射部
６２ｃ                      ：出射部
６２ｄ                      ：本体
６２ｅ                      ：照射面
６３                        ：光学部材
５０１                      ：ＣＰＵ
５０２                      ：メモリ
５０３                      ：外部記憶装置
５０４                      ：通信装置
５０５                      ：入力装置
５０６                      ：出力装置
５０７                      ：インターフェース
【図１】
0006714992.tif 000002
【図２】
0006714992.tif 000003
【図３】
0006714992.tif 000004
【図４】
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【図５】
0006714992.tif 000006
【図６】
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【図７】
0006714992.tif 000008
【図８】
0006714992.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0006714992.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0006714992.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
0006714992.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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