(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一搬送機によって搬送されるチップを第二搬送機に移載するチップ移載装置において、
上から見て閉じた経路の形状に形成され、前記第一搬送機の搬送路と並列した第一並走区間を有し、前記第二搬送機の搬送路と並列した第二並走区間を有するガイドと、
前記ガイドに沿って移動する移動体と、
前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられたクランプ機構と、
前記ガイドに沿って設けられ、前記クランプ機構を開閉させる開閉動作用カムと、
前記移動体に設けられ、前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように昇降可能に設けられた突き部と、
前記ガイドに沿って設けられ、前記突き部を昇降させる昇降動作カムと、を備え、
前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構を閉じて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップを前記クランプ機構が挟持し、
前記移動体が前記第一搬送機側の前記第一並走区間から前記第二搬送機側の前記第二並走区間へ移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保ち、
前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保ちつつ前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させることによって、前記クランプ機構に挟まれた前記チップを前記突き部が突き落すことを特徴とするチップ移載装置。
【請求項２】
前記クランプ機構に設けられ、前記クランプ機構に挟持力を付与する挟持力発生機構を更に備え、
前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記挟持力発生機構に挟持力を発生させて、前記クランプ機構がその挟持力で前記チップを挟持し、
前記移動体が前記第一搬送機側の前記第一並走区間から前記第二搬送機側の前記第二並走区間へ移動する際に前記開閉動作用カムが前記挟持力発生機構の挟持力の付与状態及び前記クランプ機構の閉じ状態を保ち、
前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保った状態で前記挟持力発生機構の挟持力を減少させた後に、前記昇降動作用カムによる前記突き部の下降及び前記チップの突き落としが行われることを特徴とする請求項１に記載のチップ移載装置。
【請求項３】
前記クランプ機構が前記開閉動作用カムによって閉じられる際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップの上から前記突き部が前記チップを支持することを特徴とする請求項１又は２に記載のチップ移載装置。
【請求項４】
第一搬送機によって搬送されるチップを第二搬送機に移載するチップ移載装置において、
上から見て閉じた経路の形状に形成され、前記第一搬送機の搬送路と並列した第一並走区間を有し、前記第二搬送機の搬送路と並列した第二並走区間を有するガイドと、
前記ガイドに沿って移動する移動体と、
前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられたクランプ機構と、
前記ガイドに沿って設けられ、前記クランプ機構を開閉させる開閉動作用カムと、
前記移動体に設けられ、前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように昇降可能に設けられた突き部と、
前記ガイドに沿って設けられ、前記突き部を昇降させる昇降動作用カムと、を備え、
前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構を閉じて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップを前記クランプ機構が挟持し、
前記クランプ機構が前記開閉動作用カムによって閉じられる際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップの上から前記突き部が前記チップを支持することを特徴とするチップ移載装置。
【請求項５】
前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記クランプ機構に挟まれた前記チップを前記突き部が突き落すことを特徴とする請求項４に記載のチップ移載装置。
【請求項６】
前記第一搬送機の搬送路のうち前記第一並走区間の下流部位が下流側向けて下りに傾斜することを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のチップ移載装置。
【請求項７】
閉じた経路に沿って移動し、チップをピックアップするピックアップ機において、
前記閉じた経路に沿って移動する移動体と、
前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられ、閉じることによって前記チップを挟持するクランプ機構と、
前記クランプ機構に設けられ、前記チップを挟持した前記クランプ機構に挟持力を付与する挟持力発生機構と、を備え、
前記クランプ機構が、
前記移動体に固定された固定ベース部と、
前記固定ベース部から延出した固定クランプ爪と、
前記固定ベース部に回転可能に設けられた可動ベース部と、
前記可動ベース部から延出し、前記可動ベース部の回転により前記固定クランプ爪に対して接離し、前記固定クランプ爪に近づくことによって前記固定クランプ爪に前記チップを挟む込む可動クランプ爪と、を有し、
前記挟持力発生機構が、
前記可動ベース部に回転可能に設けられることによって、前記可動ベース部の端面に対して接離する作用レバーと、
前記作用レバーに設けられ、前記作用レバーを前記可動ベース部の前記端面に向けて付勢する付勢部と、を有することを特徴とするピックアップ機。
【請求項８】
中間部が前記固定ベース部に連結され、その中間部を中心にして回転可能に設けられた開閉レバーと、
前記開閉レバーの一端部に設けられた押当て部と、
前記開閉レバーの他端部に設けられ、カムに接するカムフォロワーと、
前記開閉レバーを付勢して、前記カムフォロワーを前記カムに押し付ける閉じ付勢部と、を更に備え、
前記クランプ機構が、前記作用レバーから前記固定ベース部側に離れた位置において前記可動ベース部に設けられたアーム部を更に有し、
前記押当て部が前記アーム部と前記作用レバーとの間に挿入され、
前記閉じ付勢部によって前記押当て部が前記作用レバー側から前記アーム部側に向けて付勢されることを特徴とする請求項７に記載のピックアップ機。
【請求項９】
前記作用レバーが前記可動ベース部の前記端面に接した場合の前記作用レバーと前記アーム部との間の間隔が前記押当て部の直径よりも大きいことを特徴とする請求項８に記載のピックアップ機。
【請求項１０】
突き部と、
前記移動体に設けられ、前記突き部が前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように前記突き部を上下に案内する案内機構と、
前記案内機構に設けられ、前記突き部を下方に向けて付勢する下方付勢部と、
前記突き部とともに前記案内機構によって上下に案内される昇降部と、
前記昇降部をその下から受け、上下動可能に設けられた受け部材と、
前記受け部材とともに上下動可能に設けられた昇降レバーと、
前記昇降レバーに設けられ、第二カムに接する第二カムフォロワーと、
前記昇降レバーを付勢することにより前記第二カムフォロワーを前記第二カムに押し付けるとともに、前記受け部材を付勢することにより前記受け部材を前記昇降部に押し付ける第二付勢部と、を備えることを特徴とする請求項７から９の何れか一項に記載のピックアップ機。
【請求項１１】
閉じた経路に沿って移動し、チップをピックアップするピックアップ機において、
前記閉じた経路に沿って移動する移動体と、
前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられ、閉じることによって前記チップを挟持するクランプ機構と、
突き部と、
前記移動体に設けられ、前記突き部が前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように前記突き部を上下に案内する案内機構と、
前記案内機構に設けられ、前記突き部を下方に向けて付勢する下方付勢部と、
前記突き部とともに前記案内機構によって上下に案内される昇降部と、
前記昇降部をその下から受け、上下動可能に設けられた受け部材と、
前記受け部材とともに上下動可能に設けられた昇降レバーと、
前記昇降レバーに設けられ、第二カムに接する第二カムフォロワーと、
前記昇降レバーを付勢することにより前記第二カムフォロワーを前記第二カムに押し付けるとともに、前記受け部材を付勢することにより前記受け部材を前記昇降部に押し付ける第二付勢部と、を備えるピックアップ機。
【請求項１２】
前記クランプ機構に設けられ、前記チップを挟持した前記クランプ機構に挟持力を付与する挟持力発生機構を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載のピックアップ機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第一搬送機によって搬送されるチップを第二搬送機に移載するチップ移載装置に関するとともに、そのチップ移載装置に設けられたピックアップ機に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、電子部品を回路基板に装着する電子部品装着機が開示されている。この電子部品装着機は、電子部品をピックアップする吸着ノズルと、この吸着ノズルを水平面に沿って移動させる移動装置とを備えるものである。移動装置によって吸着ノズルがキャリアテープの上に移動されると、正負圧供給装置によって吸着ノズルに負圧が生じ、キャリアテープ上の電子部品が吸着ノズルに吸着される。一方、移動装置によって吸着ノズルが回路基板の上に移動されると、正負圧供給装置によって吸着ノズルに正圧が生じ、電子部品が吸着ノズルから離脱して、電子部品が回路基板に装着される。
【０００３】
一方、特許文献２には、上杵及び下杵を用いて臼内の粉末を圧縮することによって錠剤を生成する粉末圧縮成形装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１４９６３９号公報
【特許文献２】特許５４４８５０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、電子部品等の小片（チップ）を錠剤に埋め込むことが要望されている。そこで、特許文献１に記載の電子部品装着機を特許文献２に記載の粉末圧縮成形装置に適用して、キャリアテープ上の電子部品をその電子部品装着機によって臼に供給することが考えられる（但し、公知技術ではない）。しかし、粉末圧縮成形装置は粉末を取り扱うものなので、粉末が吸着ノズルの負圧によって吸着ノズルに吸引されたり、臼内の粉末が吸着ノズルの正圧によって飛散したりする。
【０００６】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものである。本発明が解決しようとする課題は、吸着ノズルを用いずとも電子部品等のチップをピックアップできるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の課題を解決するべく、第一搬送機によって搬送されるチップを第二搬送機に移載するチップ移載装置が、上から見て閉じた経路の形状に形成され、前記第一搬送機の搬送路と並列した第一並走区間を有し、前記第二搬送機の搬送路と並列した第二並走区間を有するガイドと、前記ガイドに沿って移動する移動体と、前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられたクランプ機構と、前記ガイドに沿って設けられ、前記クランプ機構を開閉させる開閉動作用カムと、前記移動体に設けられ、前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように昇降可能に設けられた突き部と、前記ガイドに沿って設けられ、前記突き部を昇降させる昇降動作カムと、を備え、前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構を閉じて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップを前記クランプ機構が挟持し、前記移動体が前記第一搬送機側の前記第一並走区間から前記第二搬送機側の前記第二並走区間へ移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保ち、前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保ちつつ前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させることによって、前記クランプ機構に挟まれた前記チップを前記突き部が突き落す。
【０００８】
以上のように、クランプ機構によってチップが挟持された状態で、そのクランプ機構とともに移動体が第一搬送機側の第一並走区間から第二搬送機側の第二並走区間へ走行することにより、チップを第二搬送機に移載することができる。
クランプ機構は開閉するものであるので、クランプ機構の動作により風圧が発生しない。よって、第一搬送機側や第二搬送機側において粉末が取り扱われていても、クランプ機構の動作による粉末の飛散を抑制することができる。
【００１０】
また、クランプ機構によって挟まれたチップが突き棒によって突き落とされる際には、風圧が発生しない。よって、第二搬送機側において粉末が取り扱われていても、突き棒の動作による粉末の飛散を抑制することができる。
【００１１】
好ましくは、前記チップ移載装置が、前記クランプ機構に設けられ、前記クランプ機構に挟持力を付与する挟持力発生機構を更に備え、前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記挟持力発生機構に挟持力を発生させて、前記クランプ機構がその挟持力で前記チップを挟持し、前記移動体が前記第一搬送機側の前記第一並走区間から前記第二搬送機側の前記第二並走区間へ移動する際に前記開閉動作用カムが前記挟持力発生機構の挟持力の付与状態及び前記クランプ機構の閉じ状態を保ち、前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構の閉じ状態を保った状態で前記挟持力発生機構の挟持力を減少させた後に、前記昇降動作用カムによる前記突き部の下降及び前記チップの突き落としが行われる。
更に好ましくは、前記クランプ機構が前記開閉動作用カムによって閉じられる際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップの上から前記突き部が前記チップを支持する。
【００１２】
以上のように、移動体が第一搬送機側の第一並走区間を走行する際には、挟持力発生機構によって挟持力がクランプ機構に付与されるので、チップがクランプ機構に確実にピックアップされる。
移動体が第一搬送機側の第一並走区間から第二搬送機側の第二並走区間へ走行する際には、挟持力発生機構によって挟持力がクランプ機構に付与されるので、クランプ機構からチップの脱落を防止することができる。
移動体が第二搬送機側の第二並走区間を走行する際には、挟持力が減少された状態で、クランプ機構に挟まれたチップが突き部によって突き落とされるので、チップが安定した姿勢で第二搬送機へ落下する。
【００１３】
以上の課題を解決するために、第一搬送機によって搬送されるチップを第二搬送機に移載するチップ移載装置が、上から見て閉じた経路の形状に形成され、前記第一搬送機の搬送路と並列した第一並走区間を有し、前記第二搬送機の搬送路と並列した第二並走区間を有するガイドと、前記ガイドに沿って移動する移動体と、前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられたクランプ機構と、前記ガイドに沿って設けられ、前記クランプ機構を開閉させる開閉動作用カムと、前記移動体に設けられ、前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように昇降可能に設けられた突き部と、前記ガイドに沿って設けられ、前記突き部を昇降させる昇降動作用カムと、を備え、前記移動体が前記ガイドのうち前記第一搬送機側の前記第一並走区間を移動する際に前記開閉動作用カムが前記クランプ機構を閉じて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップを前記クランプ機構が挟持し、前記クランプ機構が前記開閉動作用カムによって閉じられる際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記第一搬送機によって搬送される前記チップの上から前記突き部が前記チップを支持する。
好ましくは、前記移動体が前記ガイドのうち前記第二搬送機側の前記第二並走区間を移動する際に前記昇降動作用カムが前記突き部を下降させて、前記クランプ機構に挟まれた前記チップを前記突き部が突き落す。
【００１４】
以上のように、第一搬送機によって搬送されるチップが突き部によって上から支持されているので、クランプ機構がチップを挟持する際にチップがクランプ機構によって飛散することを防止することができる。
【００１５】
以上の課題を解決するべく、閉じた経路に沿って移動し、チップをピックアップするピックアップ機が、前記閉じた経路に沿って移動する移動体と、前記移動体に設けられ、横方向に開閉可能に設けられ、閉じることによって前記チップを挟持するクランプ機構と、前記クランプ機構に設けられ、前記チップを挟持した前記クランプ機構に挟持力を付与する挟持力発生機構と、を備え、前記クランプ機構が、前記移動体に固定された固定ベース部と、前記固定ベース部から延出した固定クランプ爪と、前記固定ベース部に回転可能に設けられた可動ベース部と、前記可動ベース部から延出し、前記可動ベース部の回転により前記固定クランプ爪に対して接離し、前記固定クランプ爪に近づくことによって前記固定クランプ爪に前記チップを挟む込む可動クランプ爪と、を有し、前記挟持力発生機構が、前記可動ベース部に回転可能に設けられることによって、前記可動ベース部の端面に対して接離する作用レバーと、前記作用レバーに設けられ、前記作用レバーを前記可動ベース部の前記端面に向けて付勢する付勢部と、を有する。
【００１６】
以上によれば、クランプ機構は開閉するものであるので、クランプ機構の動作により風圧が発生しない。よって、クランプ機構の動作による粉末の飛散を抑制することができる。
【００１８】
また、挟持力発生機構によって挟持力がクランプ機構に付与されるので、チップがクランプ機構に確実にピックアップされる。
【００２０】
また、固定クランプ爪と可動クランプ爪との間にチップが挟まれた状態で、作用レバーが付勢部の付勢力に抗して可動ベースから離れると、付勢部の付勢力が作用レバーを介して可動ベース部及び可動クランプ爪に作用し、挟持力が発生する。逆に作用レバーが付勢部の付勢力によって可動ベースから近づくと、挟持力が減少する。
【００２１】
更に好ましくは、前記ピックアップ機が、中間部が前記固定ベース部に連結され、その中間部を中心にして回転可能に設けられた開閉レバーと、前記開閉レバーの一端部に設けられた押当て部と、前記開閉レバーの他端部に設けられ、カムに接するカムフォロワーと、前記開閉レバーを付勢して、前記カムフォロワーを前記カムに押し付ける閉じ付勢部と、を更に備え、前記クランプ機構が、前記作用レバーから前記固定ベース部側に離れた位置において前記可動ベース部に設けられたアーム部を更に有し、前記押当て部が前記アーム部と前記作用レバーとの間に挿入され、前記閉じ付勢部によって前記押当て部が前記作用レバー側から前記アーム部側に向けて付勢される。
【００２２】
以上によれば、開閉レバーの回転によって作用レバーが押当て部によって押されると、可動ベース部が回転し、可動クランプ爪が固定クランプ爪に向けて近づく。これにより、チップが固定クランプ爪と可動クランプ爪との間に挟まれる。更に、開閉レバーの回転によって作用レバーが押当て部によって押されると、作用レバーが付勢部の付勢力に抗して可動ベースから離れるので、付勢部の付勢力が作用レバーを介して可動ベース部及び可動クランプ爪に作用し、挟持力が発生する。その後、開閉レバーの回転が逆に回転すると、作用レバーが付勢部の付勢力によって可動ベースから近づき、挟持力が除荷される。更に開閉レバーの回転が逆に回転すると、アーム部が押当て部によって押されて、可動ベース部が回転して、可動クランプ爪が固定クランプ爪から離れる。
【００２３】
更に好ましくは、前記作用レバーが前記可動ベース部の前記端面に接した場合の前記作用レバーと前記アーム部との間の間隔が前記押当て部の直径よりも大きい。
【００２４】
以上によれば、押当て部が作用レバーにもアーム部にも当接しない状態にすることができる。よって、固定クランプ爪と可動クランプ爪との間にチップが挟まれつつ、挟持力が除荷された状態に確実にすることができる。
【００２５】
好ましくは、前記ピックアップ機が、突き部と、前記移動体に設けられ、前記突き部が前記クランプ機構に挟持された前記チップの位置を通るように前記突き部を上下に案内する案内機構と、前記案内機構に設けられ、前記突き部を下方に向けて付勢する下方付勢部と、前記突き部とともに前記案内機構によって上下に案内される昇降部と、前記昇降部をその下から受け、上下動可能に設けられた受け部材と、前記受け部材とともに上下動可能に設けられた昇降レバーと、前記昇降レバーに設けられ、第二カムに接する第二カムフォロワーと、前記昇降レバーを付勢することにより前記第二カムフォロワーを前記第二カムに押し付けるとともに、前記受け部材を付勢することにより前記受け部材を前記昇降部に押し付ける第二付勢部と、を備える。
【００２６】
以上によれば、昇降レバーが上昇すると、受け部材によって昇降部が上に押されて、下方付勢部の付勢力に抗して、突き部が上昇する。その後、昇降レバーが下降すると、下方付勢部の付勢力によって突き部及び昇降部が下降し、突き部がチップに当接する。ここで、チップが支えられていなければ、昇降レバーが更に下降することによって、下方付勢部の付勢力によって突き部及び昇降部が更に下降し、チップがクランプ機構から突き落とされる。一方、チップが支えられていれば、昇降レバーが更に下降しても、受け部材が昇降部から離れ、突き部及び昇降部がそれ以上下降しない。そのため、チップの厚みや姿勢に誤差・ばらつきがあっても、チップが下方へ過度に押し付けられることがない。
ここで、突き棒が昇降しても、殆ど風圧が発生しない。よって、突き棒の昇降動作による粉末の飛散を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、粉末を取り扱う装置にチップ移載装置及びピックアップ機を用いても、クランプ機構の動作による粉末の飛散を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】チップ移載装置の平面図である。
【図２】ピックアップ機の側面図である。
【図３】ピックアップ機の平面図である。
【図４】ピックアップ機の平面図である。
【図５】ピックアップ機の平面図である。
【図６】ピックアップ機の正面図である。
【図７】ピックアップ機の正面図である。
【図８】ピックアップ機の正面図である。
【図９】ピックアップ機の底面図である。
【図１０】カムの形状の説明図である。
【図１１】変形例に係るチップ移載装置の平面図である。
【図１２】別の変形例に係るチップ移載装置の平面図である。
【図１３】図１２に示すチップ移載装置に設けられるピックアップ機の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているので、本発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
【００３０】
１．  チップ移載装置（チップ供給装置）の概要
図１は、チップ移載装置１の平面図である。
【００３１】
このチップ移載装置１の前側と後ろ側に、第一搬送機１０と処理機２０がそれぞれ設けられている。そして、チップ移載装置１は、第一搬送機１０によって等間隔で順次送られるチップ２を処理機２０の第二搬送機２４に順次移載するものである。ここで、チップ２は電子部品であるが、電子部品以外の小片であってもよい。
【００３２】
第一搬送機１０はベルトコンベア型の搬送機である。第一搬送機１０は無端状ベルト１１、複数の支持部１２、モーター１３及び複数のプーリー等を備える。図１の図示方向に見て複数のプーリーが左右方向に配列され、これらプーリーの回転軸が前後方向に延び、無端状ベルト１１がこれらプーリーに支持されている。何れかのプーリーがモーター１３によって駆動されることによって、無端状ベルト１１が循環し、無端状ベルト１１の上部が矢印Ａの方向に送られ、無端状ベルト１１の下部が矢印Ａの反対向きに送られる。無端状ベルト１１の外周面（無端状ベルト１１の上部の上面や無端状ベルト１１の下部の下面）には、複数の支持部１２がベルト１１の長手方向に沿って等間隔で配列されるよう設けられている。これら支持部１２は吸着ノズルにより構成されている。吸着ノズルの先端がベルト１１の外方に向けて突き出るように設けられており、その先端に吸引口が設けられている。チップ２は矢印Ａの方向に移動する支持部１２の吸引口に載置され、支持部１２が負圧によってチップ２を吸着する。
【００３３】
処理機２０は打錠処理を行うものである。具体的には、チップ移載装置１によって供給されたチップ２とともに粉末を圧縮により固形化することによって、チップ２が埋め込まれた錠剤を成形するものである。処理機２０は、チップ受け部としての複数の臼２１、上杵（図示略）、下杵（図示略）及び臼送り装置２３を備える。上から見て、複数の臼２１が閉じた経路（例えば、オーバル形状の経路）に沿って配列され、これら臼２１が臼送り装置２３によって閉経路に沿って移動されることによってこれら臼２１が周回する。この臼送り装置２３及びこれら臼２１を有する装置が第二搬送機２４である。
【００３４】
各臼２１には臼孔２２が上下に貫通し、下杵及び上杵が臼孔２２の貫通方向に沿って昇降可能となって各臼２１に設けられている。臼２１が閉経路に沿って一周する間に、チップ２がチップ移載装置１によって臼孔２２に供給され、粉末が粉末供給装置によって臼孔２２に供給され、臼孔２２内の粉末及びチップ２が上杵と下杵によって上下に挟まれ、臼孔２２内の粉末が上杵及び下杵の圧力によって固形化される。臼２１がチップ移載装置１の後ろ側を矢印Ｂの方向に通過する際には、下杵が臼２１の下方から臼孔２２に差し込まれた状態にあり、上杵が臼孔２２から上に抜けた状態にあり、チップ２がチップ移載装置１によって臼２１の上から臼孔２２に供給される。なお、臼２１の軌跡となる閉経路がオーバル形状である場合、臼２１が閉経路の一部の直線状区間を移動する際に、チップ２がチップ移載装置１によって臼孔２２に供給される。
【００３５】
チップ移載装置１はピックアップ機列３、走行ガイド１１０、開閉動作用カム１２０、昇降動作用カム１３０及び周運動用駆動装置１４０等を備える。
走行ガイド１１０は、閉じた経路状に形成されたガイドレールである。より具体的には、上から見て、走行ガイド１１０は、オーバル形状（角丸長方形）に形成されているので、前側の直線状並走区間１１０ａと左側の半円弧状搬送区間１１０ｃと後ろ側の直線状並走区間１１０ｂと右側の半円弧状戻り区間１１０ｄから構成されている。前側の並走区間１１０ａは、第一搬送機１０の搬送路（その搬送路ではチップ２が矢印Ａの方向に直線状に搬送される。）に対して並列した区間（第一並走区間）である。後ろ側の並走区間１１０ｂは、第二搬送機２４の搬送路（その搬送路では臼２１が矢印Ｂの方向に直線状に走行する。）に対して並列した区間（第二並走区間）である。並走区間１１０ａ，１１０ｂの左端同士が搬送区間１１０ｃによって接続され、並走区間１１０ａ，１１０ｂの右端同士が戻り区間１１０ｄによって接続されている。
【００３６】
ピックアップ機列３は、モジュール化された複数のピックアップ機３０（図２〜図８参照）を有する。これらピックアップ機３０が走行ガイド１１０に沿って等間隔で配列されることによって、ピックアップ機列３が構成される。これらピックアップ機３０は走行ガイド１１０の全周に渡って配列されているが、図１において走行ガイド１１０、開閉動作用カム１２０及び昇降動作用カム１３０を見やすくするために、一部のピックアップ機３０を図示する。
【００３７】
これらピックアップ機３０は、走行ガイド１１０上に支持されているとともに、走行ガイド１１０に沿って案内される。周運動用駆動装置１４０は、ピックアップ機３０に動力を付与して、上から見て時計回りの方向へピックアップ機３０を走行させる。これにより、ピックアップ機３０が走行ガイド１１０に沿って周回される。ピックアップ機３０の走行速度はベルト１１及び臼２１の走行速度に等しい。
【００３８】
開閉動作用カム１２０は、ピックアップ機３０の走行に伴って、ピックアップ機３０に開閉動作を行わせるものである。昇降動作用カム１３０は、ピックアップ機３０の走行に伴って、ピックアップ機３０にチップ２の抑え動作及び突き落とし動作を行わせるものである。ピックアップ機３０が支持部１２と並行して並走区間１１０ａを走行する際に、ピックアップ機３０がチップ２を挟み込んでピックアップする動作を開閉動作用カム１２０によって行うとともに、ピックアップ機３０がチップ２を上から抑える動作を昇降動作用カム１３０によって行う。その後、ピックアップ機３０が並走区間１１０ａから並走区間１１０ｂに向かって搬送区間１１０ｃを走行する際には、ピックアップ機３０がチップ２をピックアップした状態を維持する。その後、ピックアップ機３０が臼２１と並行して並走区間１１０ｂを走行する際に、ピックアップ機３０がチップ２を突き落とす動作を昇降動作用カム１３０によって行う。その後、ピックアップ機３０が並走区間１１０ｂから並走区間１１０ａに向かって戻り区間１１０ｄを走行する際に、ピックアップ機３０が開いた状態を維持する。
【００３９】
２．  ピックアップ機の構成
図２〜図８を参照して、ピックアップ機３０について詳細に説明する。図２はピックアップ機３０の側面図であり、図３〜図５はピックアップ機３０の平面図であり、図６〜図８はピックアップ機３０の正面図である。なお、ピックアップ機３０の前面とは、走行ガイド１１０の外側を向く面をいい、ピックアップ機３０の後面とは、走行ガイド１１０の内側を向く面をいう。
【００４０】
ピックアップ機３０は移動体（走行体）４０、クランプ機構５０、挟持力発生機構６０、開閉レバー７０、突き棒（突き部）８０、直動案内機構９０、昇降レバー機構１００等を備える。
【００４１】
（１）移動体４０
図２及び図６〜図８に示すように、移動体４０はキャリッジ４１、走行ローラー４２，４３及び支柱４４を有する。キャリッジ４１の上面には、支柱４４が立てられた状態に設けられ、キャリッジ４１の下面には、走行ローラー４２，４３が回転可能に取り付けられている。走行キャリッジ４１が走行ガイド１１０上に配され、走行ローラー４２，４３の回転軸がキャリッジ４１の下面から下方へ延び、走行ローラー４２，４３がそれぞれ走行ガイド１１０の外側と内側に配置される。走行ローラー４２と走行ローラー４３がこれらの間に走行ガイド１１０を挟み込むことによって、移動体４０が走行ガイド１１０上に支持される。走行ローラー４２，４３が走行ガイド１１０に対して転動し、これにより移動体４０が走行ガイド１１０に沿って走行する。
【００４２】
（２）クランプ機構５０
支柱４４の上端には、横方向（水平方向）に開閉するとともにチップ２を挟持するクランプ機構５０が取り付けられている。図３〜図５に示すように、このクランプ機構５０は固定クランパー５１及び可動クランパー５５等を備える。
【００４３】
固定クランパー５１は固定ベース部５２及び固定クランプ爪５３を有する。この固定ベース部５２が支柱４４の上端面に伏せた状態で固定されている。上から見て、固定ベース部５２が支柱４４の上端面よりも大きく、固定ベース部５２が支柱４４の上面から前方及び左方へはみ出ている。固定クランプ爪５３が固定ベース部５２の前端に設けられている。ここで、図２に示すように、固定クランプ爪５３は横から見てクランク状に形作られており、固定クランプ爪５３の上部５３ａが固定ベース部５２の前端から垂下し、固定クランプ爪５３の中部５３ｂが上部５３ａの下端から前方へ曲折し、固定クランプ爪５３の下部５３ｃが中部５３ｂの前端から下方へ曲折する。
【００４４】
図３〜図５に示すように、固定クランパー５１には、可動クランパー５５が組み付けられている。可動クランパー５５は可動ベース部５６、アーム部５７及び可動クランプ爪５８を有する。可動ベース部５６が上下方向に延びた回転軸５６ａによって固定クランパー５１の固定ベース部５２に連結され、可動ベース部５６が回転軸５６ａを中心にして回転可能に設けられている。可動ベース部５６が固定ベース部５２の左側の縁５２ａから左方へはみ出ており、そのはみ出た部位の前端には可動クランプ爪５８が設けられている。横から見てこの可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３（図２参照）とほぼ同形状に形作られ（図２参考）、可動クランプ爪５８の上部が可動ベース部５６の前端から垂下し、可動クランプ爪５８の中部が上部から前方へ曲折し、可動クランプ爪５８の下部が中部から下方へ曲折する。
【００４５】
可動ベース部５６の回転によって可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３に対して接離する。ここで、可動クランプ爪５８の下部と固定クランプ爪５３の下部５３ｃが回転軸５６ａの周方向に互いに向き合い、これらの互いに向き合う部位には窪み５８ｄ，５３ｄがそれぞれ形成されている（図３参照）。可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３に近接した場合（図４及び図５参照）、チップ２が窪み５８ｄ，５３ｄに収まるようにしてクランプ爪５８，５３の間に挟まれる。
【００４６】
可動ベース部５６の後端には、アーム部５７が可動ベース部５６の後端から後方に延出するように設けられている。可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３から離れた場合（図３参照）、アーム部５７が固定クランパー５１の固定ベース部５２に重なり、可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３に近接した場合（図４及び図５参照）、アーム部５７が固定ベース部５２の左側の縁５２ａから左方へはみ出る。
【００４７】
（３）挟持力発生機構６０
可動クランパー５５には、挟持力発生機構６０が組み付けられている。この挟持力発生機構６０は、チップ２が固定クランプ爪５３と可動クランプ爪５８との間に挟まれた状態において（図４参照）、可動クランプ爪５８を固定クランプ爪５３側へ押し付けることによってチップ２を挟む力を発生させるものである。この挟持力発生機構６０は作用レバー６１、支持シャフト６２及び付勢バネ（付勢部）６３を有する。
【００４８】
作用レバー６１の基端が上下方向に延びた回転軸６１ａによって可動ベース部５６の左端部に連結され、作用レバー６１が回転軸６１ａを中心にして回転可能に設けられている。この作用レバー６１が回転軸６１ａから後方に延び、作用レバー６１とアーム部５７がこれらの間に間隔を置いて並列されている。支持シャフト６２はねじ部材であり、支持シャフト６２の基端が可動ベース部５６の左端面５６ｂに固定され、その支持シャフト６２が可動ベース部５６の左端面５６ｂから左方に延びて作用レバー６１を貫通して支持シャフト６２がコイルバネである付勢バネ６３に通され、その付勢バネ６３が支持シャフト６２の頭部６２ａと作用レバー６１との間に挟まれている。
【００４９】
（４）開閉レバー７０
可動クランパー５５は開閉レバー７０によって回転させられる。この開閉レバー７０の中間部が上下方向に延びた回転軸７０ａによって固定クランパー５１の固定ベース部５２の後端部に連結され、その開閉レバー７０が回転軸７０ａを中心にして回転可能に設けられている。開閉レバー７０の一端側の部位が回転軸７０ａから前方に延び、開閉レバー７０の一端部に押当てコロ７１が設けられている。この押当てコロ７１はアーム部５７と作用レバー６１との間に挿入されている。ここで、作用レバー６１が可動ベース部５６の左端面５６ｂに当接している場合の作用レバー６１とアーム部５７との間の間隔は押当てコロ７１の直径よりも大きい。
一方、開閉レバー７０の他端側の部位が回転軸７０ａから後方に延び、開閉レバー７０の他端部にカムフォロワー７２が設けられている。
【００５０】
また、開閉レバー７０には閉じバネ（閉じ付勢部）７３の一端が接続されている。閉じバネ７３の他端は固定クランパー５１の固定ベース部５２に接続されている。図３〜図５の図示方向に見て、開閉レバー７０がこの閉じバネ７３によって反時計回りの向きに付勢され、これによりカムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０に押し当てられている。図３〜５に示すように開閉レバー７０が開閉動作用カム１２０によって回転されることによって、クランプ機構５０が開閉動作をする。クランプ機構５０の開閉動作については後に詳細に説明する。
【００５１】
（５）突き棒８０
図２に示すように、固定クランプ爪５３の上側には、突き棒８０が配置されている。図４及び図５に示すように、上から見て、突き棒８０の下部８１は、クランプ機構５０が閉じた場合のクランプ爪５３，５８の窪み５３ｄ，５８ｄ間の隙間に重なる。
【００５２】
（６）直動案内機構９０
図２及び図６〜図８に示すように、突き棒８０は、直動案内機構９０によって上下動可能となって固定クランパー５１の固定ベース部５２に組み付けられている。直動案内機構９０は突き棒８０を上下方向に案内するものである。これにより、突き棒８０の下部８１は、チップ２が窪み５８ｄ，５３ｄに収まるようにしてクランプ爪５８，５３の間に挟まれた場合のチップ２の位置を上下方向に通るようになっている。ここで、直動案内機構９０はシャフト９１、保持体９２、ブラケット９３及びブラケット９４を有する。保持体９２が固定ベース部５２上に設けられている。シャフト９１が保持体９２及び固定ベース部５２を上下に貫通して、保持体９２によって上下動可能に支持されている。シャフト９１の上端にブラケット９３が取り付けられ、シャフト９１の下端にブラケット９４が取り付けられている。下側のブラケット９４には昇降コロ（昇降部）９７が設けられている。一方、図３〜図５に示すように、上側のブラケット９３が保持体９２の上端面から前にはみ出て左方へ曲折しており、ブラケット９３の先端部に突き棒８０の上端８２が固定されている。
【００５３】
図２及び図６〜図８に示すように、保持体９２の上部とブラケット９３との間にはバネ９５が設けられており、固定クランパー５１の固定ベース部５２とブラケット９４との間にはバネ９６が設けられている。バネ９５とバネ９６の組み合わせによってブラケット９３、シャフト９１、ブラケット９４及び突き棒８０が下方に向けて付勢されるので、バネ９５とバネ９６の組み合わせが下方付勢部である。
【００５４】
（７）昇降レバー機構１００
突き棒８０、ブラケット９３、ブラケット９４及び昇降コロ９７は昇降レバー機構１００によって昇降される。図６〜図８に示すように、昇降レバー機構１００は、昇降レバー１０１、カムフォロワー１０２、連結シャフト１０３、受け部材１０４及び付勢バネ（第二付勢部）１０５等を備える。連結シャフト１０３がベアリング等によって支柱４４に取り付けられ、その連結シャフト１０３のラジアル荷重がベアリング及び支柱４４に受けられる。連結シャフト１０３が支柱４４を前後に貫通し、支柱４４の後ろ側において連結シャフト１０３が昇降レバー１０１の基端部に連結され、支柱４４の前側において連結シャフト１０３が受け部材１０４に連結されている。受け部材１０４及び昇降レバー１０１は連結シャフト１０３を中心にして回転する。
【００５５】
昇降レバー１０１は連結シャフト１０３から連結シャフト１０３の径方向外方（より具体的には図６〜図８において右方）に延出し、昇降レバー１０１の先端部にはカムフォロワー１０２が設けられている。このカムフォロワー１０２は昇降動作用カム１３０に当接する。
【００５６】
受け部材１０４には、上下一対の突片１０４ａ，１０４ｂが設けられている。これら突片１０４ａ，１０４ｂは連結シャフト１０３から連結シャフト１０３の径方向外方（より具体的には図６〜図８において右方）に延出する。上側突片１０４ａが下側突片１０４ｂから上に離れており、これらの間に昇降コロ９７が挿入されている。上側突片１０４ａと下側突片１０４ｂの間の間隔は昇降コロ９７の直径よりも大きい。
【００５７】
受け部材１０４には付勢バネ１０５の上端部が接続され、付勢バネ１０５の下端部が支柱４４に接続されている。そのため、図６〜図８の図示方向に見て、受け部材１０４及び昇降レバー１０１がこの付勢バネ１０５によって反時計回りの向きに付勢されている。これによって受け部材１０４の下側突片１０４ｂが昇降コロ９７に押し当てられている。
また、付勢バネ１０５が受け部１０４及び昇降レバー１０１を反時計回りの向きに振り上げる力は、バネ９５，９６が昇降コロ９７を下方へ押し下げる力よりも強い。そのため、受け部材１０４の下側突片１０４ｂが昇降コロ９７に押し当てられると、昇降コロ９７の下降が規制される。更に、カムフォロワー１０２が付勢バネ１０５の力によって昇降動作用カム１３０に押し当てられており、昇降動作用カム１３０によって昇降レバー１０１の振り上げ・振り下げがなされる。ここで、昇降レバー１０１及び受け部材１０４が昇降動作用カム１３０によって付勢バネ１０５の力に抗して時計回りの向きに振り下げられると、昇降コロ９７がバネ９５，９６の弾性力によって下側突片１０４ｂの下降に追従する。一方、昇降レバー１０１及び受け部材１０４が昇降動作用カム１３０及び付勢バネ１０５によって反時計回りの向きに振り上げられると、昇降コロ９７が受け部材１０４の下側突片１０４ｂによって押し上げられる。
なお、付勢バネ１０５の上端部が昇降レバー１０１に接続されていてもよい。
【００５８】
図６〜８に示すように昇降レバー１０１が昇降動作用カム１３０によって回転されることによって、昇降コロ９７と一緒にブラケット９３、シャフト９１、ブラケット９４及び突き棒８０も昇降する。ここで、昇降コロ９７の直径が上側突片１０４ａと下側突片１０４ｂの間の間隔よりも小さいので、昇降コロ９７及び突き棒８０の昇降が規制されると、下側突片１０４ｂが昇降コロ９７から下方へ離れ得る。
【００５９】
３．  ピックアップ機の連結
以上のように構成された複数のピックアップ機３０はオーバル状に配列されている。隣り合うピックアップ機３０の移動体４０（特にキャリッジ４１）は、図９の底面図に示すように、連結リンク３１によって連結されている。
【００６０】
４．  周運動用駆動装置
続いて、図１を参照して、周運動用駆動装置１４０について説明する。周運動用駆動装置１４０は、モーター１４１及び駆動スプロケット１４２を有する。モーター１４１の出力軸が駆動スプロケット１４２に連結されている。
【００６１】
一方、図２及び図８に示すように、移動体４０の上面には２本のピン１４３が立設されている。より具体的には、ピン１４３が連結リンク３１の回転軸と同軸になるように設けられている。上述のように複数のピックアップ機３０がオーバル状に配列されているので、ピックアップ機３０の数の２倍の数のピン１４３がオーバル状に配列され、これらピン１４３の列が駆動スプロケット１４２に噛み合う。モーター１４１が作動すると、ピン１４３の列及び移動体４０の列が走行ガイド１１０に沿って周回する。
【００６２】
５．  開閉動作用カム
開閉動作用カム１２０は、ピックアップ機３０の走行時の動力を開閉レバー７０の回転運動の動力に変換するものである。図１に示すように、開閉動作用カム１２０が走行ガイド１１０に沿って周方向に設けられている。図２に示すように、カムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０の径方向外側から開閉動作用カム１２０に当接している。
【００６３】
上から見て、走行ガイド１１０から開閉動作用カム１２０までの間隔は、一定ではなく、周方向の位置に応じて設定されている。そのため、カムフォロワー７２が移動体４０の走行により開閉動作用カム１２０に沿って周方向に摺動すると、そのカムフォロワー７２が上から見て走行ガイド１１０の直交方向に変位し、これにより開閉レバー７０が回転する。より具体的には、図１０を参照して説明する。
【００６４】
ここで、図１０において、実線で示す曲線１２９は、開閉動作用カム１２０の形状を表した曲線である。つまり、曲線１２９は移動体４０の位置とカムフォロワー７２の変位との関係を示した曲線であり、図１０の横方向は走行ガイド１１０に沿う移動体４０の位置を表し、図１０の縦方向は開閉動作用カム１２０によるカムフォロワー７２の変位を表す。また、図１０に示す位置Ｐ２１は、図１に示す並走区間１１０ａと戻り区間１１０ｄとの接続箇所に相当する位置であり、図１０に示す位置Ｐ２２は、図１に示す並走区間１１０ａと搬送区間１１０ｃとの接続箇所の位置であり、図１０に示す位置Ｐ２３は、図１に示す並走区間１１０ｂと搬送区間１１０ｃとの境界部の位置であり、図１０に示す位置Ｐ１３は、図１に示す並走区間１１０ｂと戻り区間１１０ｄとの境界部の位置である。位置Ｐ１〜位置Ｐ６は並走区間１１０ａ内にあり、位置Ｐ７〜位置Ｐ１２は並走区間１１０ｂ内にある。
【００６５】
図１０に示すように、移動体４０が位置Ｐ１３から位置Ｐ２１を経由して位置Ｐ２までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一基準値（ゼロ）に維持される。そのため、開閉レバー７０の回転が規制される。
【００６６】
移動体４０が位置Ｐ２から位置Ｐ５までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一基準値から第一最大値に増加する。そのため、上から見て（図３〜図５参照）、開閉レバー７０が時計回りの向きに回転する。
【００６７】
移動体４０が位置Ｐ５から位置Ｐ７までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一最大値に維持される。そのため、開閉レバー７０の回転が規制される。
【００６８】
移動体４０が位置Ｐ７から位置Ｐ９までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一最大値から第一所定値（第一所定値は第一基準値よりも大きく、第一最大値よりも小さい。）に減少する。そのため、上から見て（図３〜図５参照）、開閉レバー７０が反時計回りの向きに回転する。
【００６９】
移動体４０が位置Ｐ９から位置Ｐ１１までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一所定値に維持される。そのため、開閉レバー７０の回転が規制される。
【００７０】
移動体４０が位置Ｐ１１から位置Ｐ１３までの区間を走行している間、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一所定値から第一基準値に減少する。そのため、上から見て、開閉レバー７０が反時計回りの向きに回転する。
【００７１】
６．  昇降動作用カム
昇降用動作カム１３０は、ピックアップ機３０の走行時の動力を昇降レバー機構１００の回転運動の動力に変換するものである。図１に示すように、昇降動作用カム１３０が走行ガイド１１０に沿って周方向に設けられている。図２に示すように、カムフォロワー１０２が昇降動作用カム１３０の下から昇降動作用カム１３０に当接している。
【００７２】
昇降動作用カム１３０の上下方向の位置（例えば、走行ガイド１１０の高さを基準とする。）は、一定ではなく、周方向の位置に応じて設定されている。そのため、カムフォロワー１０２が移動体４０の走行により昇降動作用カム１３０に沿って周方向に摺動すると、カムフォロワー１０２が上下方向に変位し、これにより昇降レバー１０１が回転する。より具体的には、図１０を参照して説明する。
【００７３】
ここで、図１０において、実線で示す曲線１３９は、昇降用動作用カム１３０の形状を表したものである。つまり、曲線１３９は移動体４０の位置とカムフォロワー１０２の変位との関係を示した曲線であり、図１０の横方向は走行ガイド１１０に沿う移動体４０の位置を表し、図１０の縦方向は昇降動作用カム１３０によるカムフォロワー１０２の変位を表す。なお、カムフォロワー１０２の位置が低くになるにつれて、カムフォロワー１０２の変位が増えるものとする。
【００７４】
図１０に示すように、移動体４０が位置Ｐ１２から位置Ｐ２１を経由して位置Ｐ１までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値（ゼロ）に維持される。そのため、昇降レバー１０１の回転が規制される。
【００７５】
移動体４０が位置Ｐ１から位置Ｐ３までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１２０によって第二基準値から第二所定値（第二所定値は第二基準値よりも大きく、後述の第二最大値よりも小さい。）に増加する。そのため、前から見て（図６〜図８参照）、昇降レバー１０１が時計回りの向きに振り下げられる。
【００７６】
移動体４０が位置Ｐ３から位置Ｐ４までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二所定値に維持される。そのため、昇降レバー１０１の回転が規制される。
【００７７】
移動体４０が位置Ｐ４から位置Ｐ６までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二所定値から第二基準値に減少する。そのため、前から見て（図６〜図８参照）、昇降レバー１０１が反時計回りの向きに振り上げられる。
【００７８】
移動体４０が位置Ｐ６から位置Ｐ８までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値に維持される。そのため、昇降レバー１０１の回転が規制される。
【００７９】
移動体４０が位置Ｐ８から位置Ｐ１０までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値から第二最大値に増加する。そのため、前から見て（図６〜図８参照）、昇降レバー１０１が時計回りの向きに振り下げられる。
【００８０】
移動体４０が位置Ｐ１０から位置Ｐ１１までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二最大値に維持される。そのため、昇降レバー１０１の回転が規制される。
【００８１】
移動体４０が位置Ｐ１１から位置Ｐ１２までの区間を走行している間、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二最大値から第二基準値に減少する。そのため、前から見て（図６〜図８参照）、昇降レバー１０１が反時計回りの向きに振り上げられる。
【００８２】
７．  チップ移載装置の動作
続いて、チップ移載装置１の動作について説明する。
周運動用駆動装置１４０のモーター１４１が定速制御回路によって定速制御されると、ピックアップ機３０の移動体４０が走行ガイド１１０に沿って周回する。移動体４０は、支持部１２と並行して、走行ガイド１１０の並走区間１１０ａに沿って図１の矢印Ａの方向に直動している際には、位置Ｐ２１、位置Ｐ１〜Ｐ６及び位置Ｐ２２をこれらの順に通過する。ここで、移動体４０が位置Ｐ２１を通過するのと同期して支持部１２が位置Ｐ２１を通過するので、その位置Ｐ２１においてピックアップ機３０の突き棒８０の下端が支持部１２に支持されたチップ２の真上に重なる。
【００８３】
また、移動体４０は、臼２１と並行して、走行ガイド１１０の並走区間１１０ｂに沿って図１の矢印Ｂの方向に直動している際には、位置Ｐ２３及び位置Ｐ７〜位置Ｐ１３をこれらの順に通過する。ここで、移動体４０が位置Ｐ２３を通過するのと同期して臼２１が位置Ｐ２３を通過するので、その位置Ｐ２３においてピックアップ機３０の突き棒８０の下端が臼２１の臼孔２２の真上に重なる。
【００８４】
以下に、移動体４０が走行ガイド１１０に沿って一周する間のピックアップ機３０の動作について詳細に説明する。
【００８５】
（１）位置Ｐ１の到達直前の状態
ピックアップ機３０の移動体４０が位置Ｐ１に到達する直前では、ピックアップ機３０のクランプ機構５０、挟持力発生機構６０及び開閉レバー７０が図３に示す状態になっている。つまり、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一基準値になっているので（図１０参照）、開閉レバー７０に設けられた押当てコロ７１がアーム部５７に押し当てられ、可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３から離れ、クランプ機構５０が開いた状態にある。また、押当てコロ７１が作用レバー６１から離れているとともに、付勢バネ６３によって作用レバー６１が可動ベース部５６の左端面５６ｂに当接している。
【００８６】
更に、移動体４０が位置Ｐ１に到達する直前では、ピックアップ機３０の突き棒８０、直動案内機構９０及び昇降レバー機構１００が図６に示す状態になっている。つまり、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値になっているので（図１０参照）、昇降レバー１０１が振り上げられた状態にあるとともに、昇降コロ９７が受け部材１０４の下側突片１０４ｂによって押し上げられた状態にある。また、突き棒８０が上昇した状態にあり、突き棒８０の下端が支持部１２上のチップ２から上に離れている。この際の突き棒８０の位置を最上位置という。
【００８７】
（２）位置Ｐ１から位置Ｐ３までの抑え動作区間
移動体４０が位置Ｐ１から位置Ｐ３まで移動する際に、突き棒８０、直動案内機構９０及び昇降レバー機構１００が図６の状態から図８の状態へ変化する。
【００８８】
具体的には、カムフォロワー１０２が昇降動作用カム１３０によって第二基準値から第二所定値に変位し、これに伴い昇降レバー１０１が付勢バネ１０５の弾性力に抗して振り下げられるので、受け部材１０４の突片１０４ａ，１０４ｂが下降する。そうすると、昇降コロ９７が受け部材１０４の突片１０４ｂに当接した状態で、昇降コロ９７及び突き棒８０がバネ９５，９６の弾性力によって下降する。そして、突き棒８０の下端がチップ２に当接して、チップ２がその上から突き棒８０によって抑えられる。
【００８９】
突き棒８０の下端がチップ２に当接した後も、昇降レバー１０１が昇降動作用カム１３０によって振り下げられる。ところが、突き棒８０及び昇降コロ９７の下降がチップ２及び支持部１２によって規制されているので、受け部材１０４の突片１０４ｂが昇降コロ９７から下方に離れる（図８参照）。従って、チップ２の厚みや姿勢に誤差・ばらつきがあっても、チップ２が昇降動作用カム１３０によって過度に下方へ押し付けられることがない。
なお、チップ２が薄い場合には、カムフォロワー１０２の変位が第二所定値に到達した時点で、突き棒８０の下端がチップ２に当接するので、受け部材１０４の突片１０４ｂが昇降コロ９７から下方に離れないこともある。
【００９０】
（３）位置Ｐ３から位置Ｐ４までの抑え維持区間
移動体４０が位置Ｐ３から位置Ｐ４まで移動する際には、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二所定値に維持され、昇降レバー１０１が振り下げられた状態に保たれる。更に、突き棒８０の下端がバネ９５，９６の弾性力によってチップ２に当接している状態（図８参照）に保たれる。
【００９１】
（４）位置Ｐ２から位置Ｐ５までの閉じ動作区間
移動体４０が位置Ｐ２から位置Ｐ５まで移動する際に、クランプ機構５０、挟持力発生機構６０及び開閉レバー７０が図３の状態から図４の状態へ変化する。
【００９２】
具体的には、カムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０によって第一基準値から第一最大値に変位するので、開閉レバー７０が閉じバネ７３に抗して時計回りの向きに回転する。そうすると、作用レバー６１が押当てコロ７１によって押されるので、可動クランパー５５が回転軸５６ａを中心にして反時計回りの向きに回転するとともに、可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３に近づく。そして、チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれると、可動クランパー５５の回転が停止する。ここで、上述したようにチップ２がその上から突き棒８０によって抑えられているので、可動クランプ爪５８がチップ２に当たったときの衝撃力によってチップ２が飛散してしまうことを防止することができる。なお、チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれた時点における移動体４０の位置は位置Ｐ４よりも僅かに上流側である。
【００９３】
チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれた時点では、カムフォロワー７２の変位が未だ第一最大値に至っていない。そのため、チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれた後も、開閉レバー７０が開閉動作用カム１２０により時計回りに回転する。そうすると、作用レバー６１が回転軸６１ａを中心にして回転し、付勢バネ６３が圧縮される（図４参照）。圧縮された付勢バネ６３の弾性力が作用レバー６１及び可動クランパー５５に掛かって、可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３側へ押される。これにより、クランプ機構５０に挟持力が付与されて、その挟持力によってチップ２が挟持される。
【００９４】
（５）位置Ｐ４から位置Ｐ６までの抑え解除動作区間
移動体４０が位置Ｐ４から位置Ｐ６まで移動する際には、突き棒８０、直動案内機構９０及び昇降レバー機構１００が図８の状態から図６の状態へ変化する。
【００９５】
具体的には、カムフォロワー１０２が昇降動作用カム１３０によって第二所定値から第二基準値に変位し、これに伴い昇降レバー１０１が付勢バネ１０５の弾性力により振り上げられ、受け部材１０４の突片１０４ａ，１０４ｂが上昇する。そうすると、受け部材１０４の突片１０４ｂが昇降コロ９７に当接する。
【００９６】
突片１０４ｂが昇降コロ９７に当接した時点では、カムフォロワー１０２の変位が第二基準位置に至っていない。そのため、受け部材１０４の突片１０４ｂと昇降コロ９７の当接後も、昇降レバー１０１が昇降動作用カム１３０及び付勢バネ１０５により振り上げられる。そうすると、昇降コロ９７が受け部材１０４の突片１０４ｂによって押し上げられ、それに伴い、突き棒８０が上昇して突き棒８０の下端がチップ２から上へ離れる。そして、移動体４０が位置Ｐ６に到達した時点で、カムフォロワー１０２の変位が第二基準値に至るので、昇降レバー１０１の振り上げが止まって、突き棒８０が最上位置に到達する。
【００９７】
なお、突き棒８０の下端がチップ２から上に離れた時点では、上述のようにチップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれた状態にあるとともに、挟持力が挟持力発生機構６０からクランプ機構５０に付与された状態にある。
【００９８】
（６）位置Ｐ５から位置Ｐ７までの挟持力付与状態維持区間
移動体４０が位置Ｐ５から位置Ｐ７まで移動する際には、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一最大値に維持されるので、開閉レバー７０の位置が開閉動作用カム１２０によって保持される（図４参照）。そのため、チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３の間に挟まれた状態が保たれる。更に、付勢バネ６３の圧縮状態が保たれて、付勢バネ６３からクランプ機構５０に挟持力が付与された状態が掛かった状態も保たれる。
チップ２がクランプ機構５０によって挟持されているので、移動体４０が位置Ｐ５から位置Ｐ７まで移動することによって、チップ２が位置Ｐ５から位置Ｐ７まで搬送される。
【００９９】
なお、ベルト１１のうち図１に示す位置Ｐ６から左方の部位（下流部）は、僅かに下りに傾斜している。それゆえ、支持部１２が位置Ｐ６から下流側へ移動する際に僅かに下降する。そのため、移動体４０が位置Ｐ６よりも下流側の位置Ｐ２２において直線運動から円運動に変わる際に、クランプ爪５８，５３と支持部１２の上端との干渉を防止することができる。
【０１００】
（７）位置Ｐ６から位置Ｐ８までの抑え解除状態維持区間
移動体４０が位置Ｐ６から位置Ｐ８まで移動する際には、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値に保たれる。そのため、昇降レバー１０１が振り上げられた状態に保たれ、突き棒８０の位置が最上位置に保たれる。
【０１０１】
（８）位置Ｐ７から位置Ｐ９までの挟持力減少区間
移動体４０が位置Ｐ７から位置Ｐ９まで移動する時に、クランプ機構５０、挟持力発生機構６０及び開閉レバー７０が図４の状態から図５の状態へ変化する。
【０１０２】
具体的には、カムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０によって第一最大値から第一所定値に変位するので、開閉レバー７０が閉じバネ７３の弾性力により反時計回りの向きに回転する。そうすると、作用レバー６１が付勢バネ６３の弾性力によって押当てコロ７１に追従する。この際、可動クランパー５５が停止しており、クランプ機構５０が閉じた状態に保たれ、チップ２が可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に挟まれている。ところが、付勢バネ６３の弾性力が付勢バネ６３の復元によって減少するので、チップ２に対する挟持力が減少する。
【０１０３】
カムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０によって第一最大値から第一所定値に変位している最中に、作用レバー６１が可動ベース部５６の左端面５６ｂに当接すると、作用レバー６１の動きが止まる。作用レバー６１の停止後も、開閉レバー７０が開閉動作用カム１２０及び閉じバネ７３により反時計回りの向きに回転する。そして、押当てコロ７１が作用レバー６１から離れてアーム部５７に当接する前に、カムフォロワー７２が第一所定値に至るので、開閉レバー７０が止まる（図５参照）。
【０１０４】
図５に示す状態では、付勢バネ６３が圧縮されておらず、付勢バネ６３から可動クランパー５５に弾性力が作用していない。そのため、チップ２に対する挟持力がほぼゼロに除荷されるものの、チップ２が摩擦力等で可動クランプ爪５８と固定クランプ爪５３との間に支持されている。
【０１０５】
（９）位置Ｐ９から位置Ｐ１１までの除荷状態維持区間
移動体４０が位置Ｐ９から位置Ｐ１１まで移動する際に、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一所定値に維持されるので、開閉レバー７０の位置が開閉動作用カム１２０によって保持される（図５参照）。この際、後述するようにチップ２が突き棒８０によって突き落とされる。
【０１０６】
（１０）位置Ｐ８から位置Ｐ１０までの突き落とし動作区間
移動体４０が位置Ｐ８から位置Ｐ１０まで移動する際に、突き棒８０、直動案内機構９０及び昇降レバー機構１００が図６の状態から図７の状態へ変化する。
【０１０７】
具体的には、カムフォロワー１０２が昇降動作用カム１３０によって第二基準値から第二最大値に変位するので、これに伴い昇降レバー１０１が付勢バネ１０５の弾性力に抗して振り下げられるので、受け部材１０４の突片１０４ａ，１０４ｂが下降する。そうすると、昇降コロ９７が受け部材１０４の突片１０４ｂに当接した状態で、昇降コロ９７及び突き棒８０がバネ９５，９６の弾性力によって下降する。そして、突き棒８０の下端がチップ２に当たって、チップ２が突き棒８０によって突き落とされる。そのチップ２は臼２１の臼孔２２に落下する。
【０１０８】
チップ２が突き棒８０によって突き落とされる際には、上述のようにチップ２を挟み込む力がほぼゼロとなっている。そのため、チップ２がクランプ爪５３，５８から外れるときにクランプ爪５３，５８からチップ２に作用する力は小さく、チップ２が安定した姿勢で落下する。
【０１０９】
（１１）位置Ｐ１０から位置Ｐ１１までの最下位置維持区間
移動体４０が位置Ｐ１０から位置Ｐ１１まで移動する際には、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二最大値に維持されるので、昇降レバー１０１が振り下げられた状態に保たれ、突き棒８０の高さが保たれる（図７参照）。
【０１１０】
（１２）位置Ｐ１１から位置Ｐ１２までの戻し動作区間
移動体４０が位置Ｐ１１から位置Ｐ１２まで移動する際には、突き棒８０、直動案内機構９０及び昇降レバー機構１００が図７の状態から図６の状態へ変化する。
【０１１１】
具体的には、カムフォロワー１０２が昇降動作用カム１３０によって第二最大値から第一基準値に変位し、これに伴い昇降レバー１０１が昇降動作用カム１３０及び付勢バネ１０５によって振り上げられる。そうすると、昇降コロ９７が受け部材１０４の突片１０４ｂによって押し上げられ、それに伴い、突き棒８０が上昇する。そして、移動体４０が位置Ｐ１２に到達した時点で、カムフォロワー１０２の変位が第二基準値に至るので、昇降レバー１０１の振り上げが止まって、突き棒８０が最上位置に到達する（図６参照）。
【０１１２】
（１３）位置Ｐ１１から位置Ｐ１３までの開き動作区間
移動体４０が位置Ｐ１１から位置Ｐ１３まで移動する際には、クランプ機構５０、挟持力発生機構６０及び開閉レバー７０が図４の状態から図３の状態へ変化する。
【０１１３】
具体的には、カムフォロワー７２が開閉動作用カム１２０によって第一所定値から第一基準値に変位するので、開閉レバー７０が閉じバネ７３の弾性力によって反時計回りの向きに回転する。そうすると、アーム部５７が押当てコロ７１によって押されて、可動クランパー５５が回転軸５６ａを中心にして時計回りの向きに回転する。そのため、クランプ機構５０が開いて、可動クランプ爪５８が固定クランプ爪５３から離れる。
そして、移動体４０が位置Ｐ１３に到達した時点で、カムフォロワー７２が第一基準値に至るので、開閉レバー７０が止まるとともに、可動クランパー５５も止まる（図３参照）。
【０１１４】
（１４）位置Ｐ１２から位置Ｐ１３及び位置Ｐ１を経由して位置Ｐ２までの区間
移動体４０が位置Ｐ１２から位置Ｐ１まで移動する際には、カムフォロワー１０２の変位が昇降動作用カム１３０によって第二基準値に維持されるので、昇降レバー１０１が振り上げられた状態に保たれる。これにより、突き棒８０の位置が最上位置に保たれる（図６参照）。
また、移動体４０が位置Ｐ１３から位置Ｐ２に移動する際には、カムフォロワー７２の変位が開閉動作用カム１２０によって第一基準値に維持されるので、開閉レバー７０の位置が開閉動作用カム１２０によって保持される。これにより、クランプ機構５０が開いた状態に保たれる（図３参照）。
【０１１５】
８．  効果・利点
以上の実施形態には次のような効果・利点がある。
（１）  ピックアップ機３０にはクランプ機構５０及び突き棒８０が採用されているが、吸着ノズルは採用されていない。クランプ機構５０によって挟まれたチップ２が突き棒８０によって突き落とされる際には、臼２１や臼孔２２に向けて風圧が発生しない。よって、臼孔２２内の粉末が飛散することを抑制することができる。
【０１１６】
（２）  位置Ｐ９から位置Ｐ１１までの区間ではチップ２が付勢バネ６３の弾性力を利用しない僅かな摩擦力でクランプ機構５０によって支持されているので、チップ２が位置Ｐ１０の近傍において突き棒８０によって突き落とされても、チップ２が安定した姿勢で落下する。
【０１１７】
（３）  ピックアップ機３０が位置Ｐ９から位置Ｐ１１まで直線運動している。その際に、チップ２に対する挟持力が除荷されても、チップ２がピックアップ爪５３，５８から離脱することを防止することができる。
特に、ピックアップ機３０が等速度運動をしているので、チップ２に慣性力が作用しない。そのため、チップ２がピックアップ爪５３，５８から離脱することを防止することができる。
【０１１８】
（４）  位置Ｐ２から位置Ｐ５の範囲において、チップ２は突き棒８０によって支持された状態でクランプ機構５０によって挟持される。そのため、チップ２の飛散を防止することができる。
【０１１９】
（５）  チップ２が位置Ｐ２の近傍において突き棒８０の下端によって抑えられた後、突き棒８０が昇降動作用カム１３０から遮断される。そのため、チップ２の厚みに誤差・ばらつきがあっても、チップ２を適切な力で抑えることができる。
【０１２０】
９．  変更例
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、上記実施形態は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。また、本発明はその趣旨を逸脱することなく変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。以上の実施形態からの変更点について以下に説明する。以下に説明する各変更点を組み合わせて適用してもよい。また、以下の（１）〜（７）の変形例は、以下に説明する変更点を除いて、上述の実施形態と同様であるので、変更点以外の説明について省略する。
【０１２１】
（１）  上記実施形態では、隣り合うピックアップ機３０が連結リンク３１によって連結されていた。それに対して、無端ベルトによって複数のピックアップ機３０が連結されていてもよい。この場合、スプロケット１４２の代わりにプーリーを設け、そのプーリーによって無端ベルトが周回するものとしてもよい。
【０１２２】
（２）  作用レバー６１が可動ベース部５６の左端面５６ｂに当接している場合の作用レバー６１とアーム部５７との間の間隔が押当てコロ７１の直径に等しくてもよい。この場合、移動体４０が位置Ｐ９に到達した時点で、押当てコロ７１がアーム部５７に当接するとともに、作用レバー６１が可動ベース部５６の左端面５６ｂに当接する。
【０１２３】
（３）  昇降コロ９７の直径が受け部材１０４の上側突片１０４ａと下側突片１０４ｂとの間の間隔にほぼ等しく、昇降コロ９７が上側突片１０４ａと下側突片１０４ｂとの間に挟まれていてもよい。この場合、移動体４０が位置Ｐ３に到達した時点（カムフォロワー１０２の変位が第二所定値に到達した時点）で、突き棒８０の下端がチップ２に当接する。
【０１２４】
（４）  上記実施形態では、走行ガイド１１０がオーバル形状であり、並走区間１１０ｂが直線状であった。それに対して、図１１に示すように、並走区間１１０ｂが走行ガイド１１０の内側に向けて凹状の円弧状であってもよい。この場合、臼２１の軌道となる閉経路の一部となる円弧状区間が走行ガイド１１０の並走区間１１０ｂに並列されている。なお、臼２１が臼送り装置２３によって円に沿って移動され、臼２１の軌跡となる閉経路が円状であることが好ましい。
【０１２５】
（５）  上記実施形態では、走行ガイド１１０が所謂レール部材であり、移動体４０が走行ガイド１１０上を走行する構成であった。それに対して、固定溝カム部材がピックアップ機列３の下方に設けられ、その固定溝カム部材にガイド溝が凹設され、上から見て、ガイド溝が走行ガイド１１０の平面形状と合同形状又は相似形状に形成されていてもよい。この場合、走行ローラー４２，４３が移動体４０（特に、キャリッジ４１）の下面に設けられている代わりに、ピン等からなる摺動部材が下方に突出するように移動体４０（特に、キャリッジ４１）に設けられ、その摺動部材がガイド溝に挿入されている。そうすると、ガイド溝の幅方向における摺動部材の動きがガイド溝によって拘束されるので、摺動部材とともに移動体４０がガイド溝に沿って走行する。
【０１２６】
（６）  上記実施形態では、走行ガイド１１０の並走区間１１０ａ及び並走区間１１０ｂが搬送区間１１０ｃ及び戻り区間１１０ｄよりも長かった。それに対して、並走区間１１０ａ及び並走区間１１０ｂの長さが搬送区間１１０ｃ及び戻り区間１１０ｄの長さ以下であってもよい。
【０１２７】
（７）  上記実施形態では、隣り合うピックアップ機３０が連結リンク３１によって連結されており、周回運動用駆動装置１４０のモーター１４１の動力が駆動スプロケット１４１及びピン１４３によってピックアップ機３０の周回運動の動力としてピックアップ機３０に伝動される構成であった。それに対して、周回運動用駆動装置１４０を図１２の平面図に示すような周回運動用駆動装置１４０Ａに変更してもよい。以下、周回運動用駆動装置１４０Ａについて詳細に説明するが、上記（４）〜（６）の変形例における変更点も併せて採用するので、それらについてまず説明する。なお、周方向に配列された複数のピックアップ機３０を見やすくするために、図１２では、開閉動作用カム１２０及び昇降動作用カム１３０の図示を省略する。
【０１２８】
上記（４）の変形例で説明したように、並走区間１１０ｂが走行ガイド１１０の内側に向けて凹状の円弧状であり、臼２１の軌道となる閉経路の一部となる円弧状区間が走行ガイド１１０の並走区間１１０ｂに並列され、臼２１が臼送り装置２３によって円に沿って移動され、臼２１の軌跡となる閉経路が円状である。また、上記（６）の変形例で説明したように、走行ガイド１１０の並走区間１１０ａ及び並走区間１１０ｂが搬送区間１１０ｃ及び戻り区間１１０ｄよりも長い。そのため、ピックアップ機３０の数は図１又は図１１の場合よりも図１２の場合の方が少ない上、臼２１の円形軌跡の半径は図１又は図１１の場合よりも図１２の場合の方が短い。よって、コンパクト且つ低コストな装置を提供することができる。
【０１２９】
上記（５）の変形例で説明したように、ピックアップ機３０の移動体４０が走行ガイド１１０と相似形状のガイド溝１１６によって周方向に案内される。具体的には、図１３に示すように、ピックアップ機３０の移動体４０には棒材４５の一端部が固定され、その棒材４５が移動体４０から固定クランプ爪５３の反対側へ延出し、図１２に示すように、棒材４５の他端部に摺動部材４６が下方に突出するように設けられ、その摺動部材４６がガイド溝１１６に挿入され、ガイド溝１１６の幅方向における摺動部材４６の動きがガイド溝１１６によって拘束される。ここで、後述の回転盤１４３Ａの下方に固定溝カム部材１１５が設けられ、その固定溝カム部材１１５にガイド溝１１６が形成され、上から見て、ガイド溝１１６と走行ガイド１１０が同心状に配置されている。ガイド溝１１６のうち並走区間１１６ａ、並走区間１１６ｂ、搬送区間１１６ｃ及び戻り区間１１６ｄが走行ガイド１１１の並走区間１１１ａ、並走区間１１１ｂ、搬送区間１１１ｃ及び戻り区間１１１ｄにそれぞれ対応する。
【０１３０】
続いて、周運動用駆動装置１４０Ａについて詳細に説明する。周運動用駆動装置１４０Ａはモーター１４１Ａと回転盤１４３Ａを有する。モーター１４１Ａの出力軸１４２Ａが回転盤１４３Ａに連結され、回転盤１４３Ａがモーター１４１Ａによって回転駆動される。回転盤１４３Ａには、複数の棒材４５がモーター１４１Ａの出力軸を中心にして放射状に取り付けられている。これら棒材４５は、リニア軸受等によって、回転盤１４３Ａに対して、モーター１４１Ａの出力軸の径方向に移動可能に設けられている。そのため、回転盤１４３Ａが回転すると、ピックアップ機３０の移動体４０及び棒材４５がモーター１４１Ａの出力軸周りに周回するとともに、ガイド溝１１６及び走行ガイド１１０の形状に応じてモーター１４１Ａの出力軸の径方向に変位する。これにより移動体４０が走行ガイド１１０に沿って走行する。
【０１３１】
なお、移動体４０がガイド溝１１６によって案内されるので、走行ガイド１１０が設けられていなくてもよい。
【符号の説明】
【０１３２】
１…チップ移載装置，  ２…チップ，  ３…ピックアップ機列，  １０…第一搬送機，１１…ベルト，  １２…支持部，  １３…モーター，  ２０…処理機，  ２１…臼，  ２２…臼孔，  ２３…臼送り装置，  ２４…第二搬送機，  ３０…ピックアップ機，  ３１…リンク，  ４０…移動体，  ４１…キャリッジ，  ４２…ローラー，  ４３…ローラー，  ４４…支柱，  ４５…棒材，  ５０…機構，  ５１…固定クランパー，  ５２…固定ベース部，  ５３…固定クランプ爪，  ５３ａ…上部，  ５３ｂ…中部，  ５３ｃ…下部，  ５５…可動クランパー，  ５６…可動ベース部，  ５６ａ…回転軸，  ５６ｂ…左端面，  ５７…アーム部，  ５８…可動クランプ爪，  ６０…挟持力発生機構，  ６１…作用レバー，  ６１ａ…回転軸，  ６２…支持シャフト，  ６２ａ…頭部，  ６３…付勢バネ（付勢部），  ７０…開閉レバー，  ７０ａ…回転軸，  ７１…押当てコロ（押当て部），  ７２…カムフォロワー，  ７３…閉じバネ（閉じ付勢部）  ８０…突き棒（突き部），  ８１…下部，  ８２…上端，  ９０…直動案内機構，  ９１…シャフト，  ９２…保持体，  ９３…ブラケット，  ９４…ブラケット，  ９５…バネ（下方付勢部），  ９６…バネ（下方付勢部），  ９７…昇降コロ（昇降部），  １００…昇降レバー機構，  １０１…昇降レバー，  １０２…カムフォロワー（第二カムフォロワー），  １０３…連結シャフト，  １０４…受け部材，  １０４ａ…上側突片，  １０４ｂ…下側突片，  １０５…付勢バネ，  １１０…走行ガイド，  １１５…固定カム溝部材，  １１６…ガイド溝（ガイド），  １２０…開閉動作用カム，  １２９…曲線，  １３０…昇降動作用カム（第二カム），  １３９…曲線，  １４０…周運動用駆動装置，  １４１…モーター，  １４２…スプロケット，  １４０Ａ…周運動用駆動装置，  １４１Ａ…モーター，  １４３Ａ…回転盤
【図１】
0006760742.tif 000002
【図２】
0006760742.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006760742.tif 000008
【図８】
0006760742.tif 000009
【図９】
0006760742.tif 000010
【図１０】
0006760742.tif 000011
【図１１】
0006760742.tif 000012
【図１２】
0006760742.tif 000013
【図１３】
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