(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
映像を検知し、増倍し、表示するための映像増倍管センサであって、真空容器を備え、  前記映像増倍管センサは、フォトカソードと、アノードと、前記映像増倍管センサに電力を供給するための給電ユニットと、を更に備え、
前記フォトカソードは、映像からの電磁放射の衝突を受けると、前記真空容器内に光電子を放出するように構成され、
前記アノードは、前記フォトカソードに対して距離を隔てて、対向して配置され、
前記アノードは、前記光電子を受信し、該光電子に基づいて映像を表示するために前記光電子を光子に変換するように構成され、
前記映像増倍管センサは、ポッティング材を更に備え、
前記ポッティング材は軽量のポッティング材を備え、前記軽量のポッティング材は発泡材を備える点で特徴付けられる、映像増倍管センサ。
【請求項２】
前記軽量のポッティング材は発泡スチロールを備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項３】
前記軽量のポッティング材はエポキシ樹脂を備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項４】
軽量のポッティング材でない前記ポッティング材はシリコンを備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項５】
前記軽量のポッティング材はポリウレタンフォームを備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項６】
前記軽量のポッティング材は、シリコンフォーム、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）フォーム、ポリエステルフォーム、ポリアミドフォーム、ポリイミドフォーム、フェノールフォーム、ポリイソシアヌレートフォーム、ポリアイシネンフォーム、メラミンフォーム及びポリエチレンフォームからなるグループの中の１つ又は複数の材料を備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項７】
請求項２から６のいずれかに記載のポッティング材を複数備える、請求項１に記載の映像増倍管センサ。
【請求項８】
前記フォトカソードの周囲に高電圧分離ポッティング材を備える、請求項７に記載の映像増倍管センサ。
【請求項９】
前記真空容器の周囲に軽量のポッティング材を備える、請求項７又は８に記載の映像増倍管センサ。
【請求項１０】
前記給電ユニットの周囲に耐高電圧性のポッティング材を備える、請求項７から９のいずれかに記載の映像増倍管センサ。
【請求項１１】
電子増倍手段を更に備え、
前記電子増倍手段は、前記フォトカソードと前記アノードとの間に配置され、
前記電子増倍手段は、前記フォトカソードからの光電子を増倍し、前記増倍された光電子を前記アノードに向けて放出するように構成され、
前記電子増倍手段はマイクロチャネルプレートを備える、請求項１から１０のいずれかに記載の映像増倍管センサ。
【請求項１２】
直視型システムのために構成され、
前記アノードは蛍光スクリーンを備える、請求項１から１１のいずれかに記載の映像増倍管センサ。
【請求項１３】
デジタル映像センサであって、
前記アノードは、電荷結合素子（ＣＣＤ）又は相補型ＭＯＳ（ＣＭＯＳ）半導体の半導体映像センサを備える、請求項１から１２のいずれかに記載の映像増倍管センサ。
【請求項１４】
前記アノードは、可視光又は赤外光のために構成される、請求項１から１３のいずれかに記載の映像増倍管センサ。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれかに記載の映像増倍管センサを備える、頭部又は武器に装着可能な暗視装置のような微弱光映像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、映像を検知し、増倍し、表示するための映像増倍管センサに関する。
【０００２】
更に本発明は、上記の映像増倍管センサを備える微弱光映像装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
映像増倍管センサは、微弱光レベルの映像を、人間の目に見えるレベルの光に増強、すなわち増倍する装置である。既知のように、映像増倍管には概して３つの主要部品、すなわち、フォトカソード、電子増倍管及びアノードが備えられ、これらの部品は真空容器に格納される。
【０００４】
より具体的にはフォトカソードは、映像から電磁放射を検知し、この電磁放射が該フォトカソードに衝突すると、真空容器内に光電子を放出するように構成される。
【０００５】
アノードは、フォトカソードに対して距離を隔てて、対向して配置される。アノードは、フォトカソードからの光電子を受信し、この光電子に基いて映像（映像の増強）が生成され得るために、光電子を光子に変換するように構成される。
【０００６】
このセンサはまた、電子増倍手段を備えてもよい。センサがアナログの直視型システムの場合、この電子増倍手段は一般的なものであり、フォトカソードとアノードとの間に配置される。この電子増倍手段は、フォトカソードからの光電子を増倍し、増倍された電子をアノードに向けて放出するように構成される。このステップで、光電子の各々は更なる複数の光電子を放出することができ、光電子の増倍が実現する。
【０００７】
このセンサでは、給電ユニットにより例えば１つ以上のバッテリー電圧をシステムが要求する電圧に変換することで、電力供給が行われる。フォトカソードと電子増倍手段との間、電子増倍手段の入力面と出力面との間、及び電子増倍手段とアノードとの間に高電圧ポテンシャルを与えることにより、光電子が加速され増倍効果が向上する。
【０００８】
このセンサは、例えば微弱光映像装置に組み込まれてもよい。例えば暗視装置に使われる場合、このセンサは、レンズまたはレンズアセンブリとともに組み込まれてもよい。
【０００９】
暗視装置は、前述の映像増倍管センサの典型的な適用例である。暗視装置は、アノードとしての半導体を備えたデジタルシステムであっても、アノードとしての蛍光スクリーンを備えたアナログの直視型システムであってもよい。暗視装置はまた、増強すなわち増倍された表示映像、すなわち静止映像や連続映像を得るための映像増倍管センサを備えてもよい。このような暗視装置はしばしば、武器やヘルメットに装着されたり、ゴーグルとして直接頭部に装着されたりする。暗視装置はまた、１つか２つ、あるいは更に多くの映像増倍管センサを備える。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
暗視装置は通常人間が携行する装置である。このためその重量が、暗視装置を選択する際の主要な指標の１つとなる。重量は、このような装置を使用する際の主要な欠点となったり、作戦結果に悪い影響を与えたり、長時間使用により使用者に健康リスクを与えたりする可能性がある。映像増倍管センサは、このような装置の重量に大きく寄与する。
【００１１】
作戦に関する要求条件は益々高度化している。また暗視装置の使用者は、（暗視野装置とともに）他の大量の装備を携行しながら、長距離を移動できる必要がある。従って、作成遂行時における装備の軽量化が長年要求されている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
映像増倍管センサは、暗視装置の重量に大きく寄与する。本発明の目的は、機能や品質を損なうことなく、軽量化した映像増倍管センサを与えることにより、先行技術による映像増倍管センサの欠点の少なくとも一部を克服することにある。
【００１３】
第１の例において、この目的は、以下の映像増倍管センサ、すなわち、映像を検知し、増倍し、表示するための映像増倍管センサであって、真空容器を備え、前記映像増倍管センサは、フォトカソードと、アノードと、前記映像増倍管センサに電力を供給するための給電ユニットと、を更に備え、前記フォトカソードは、映像からの電磁放射の衝突を受けると、前記真空容器内に光電子を放出するように構成され、前記アノードは、前記フォトカソードに対して距離を隔てて、対向して配置され、前記アノードは、前記光電子を受信し、該光電子に基づいて映像を表示するために前記光電子を光子に変換するように構成され、前記映像増倍管センサは、ポッティング材を更に備える、映像増倍管センサを与えることによって達成される。
【００１４】
特に本発明は、前記ポッティング材は微弱光ポッティング材を備え、前記微弱光ポッティング材は発泡材を備える点で特徴付けられる。
【００１５】
前述の通り、映像増倍管センサは、暗視装置の総重量に大きく寄与する。特に映像増倍管センサが、このような暗視装置の総重量の２０―４０％に達することもある。装置の重量は、異なる複数の要因により説明され得る。要因の１つは、高度な環境的要求、すなわち、動作時や格納時における広範囲に亘る温度耐性、耐衝撃性および耐震性、耐湿性、その他の要求に対する適合性である。これらの要求は、映像増倍管センサが、典型的には軍用品質の暗視装置に搭載され使用される可能性を示す。要因のもう１つは、映像増倍管センサ自身が、高電圧漏れ電流や高電圧放電の防止といった、部品上の制約を有している点である。
【００１６】
これらの要求や制約に適合するために、先行技術による映像増倍管センサはポッティングされている。ポッティングは、衝撃と振動に対する耐性向上を目的に、電子部品や脆弱部品が固体化合物で充填されるプロセスである。先行技術による映像増倍管センサで使用されるポッティング材は、典型的には熱硬化性ポッティング材、例えば硬化樹脂や熱硬化性プラスティックなどから形成され、装置内部の種々の部品を保護する。
【００１７】
軍用目的での使用の場合、映像増倍管センサに対する要求は高度で特別であることから、要求条件と仕様への適合のために前述の固体化合物を使用することは、通常用いられる技術であった。しかしながらこのタイプのポッティング材は非常に重いため、映像増倍管センサすなわち暗視装置の総重量に大きく寄与する。
【００１８】
本発明者らは、映像増倍管センサに対する要求条件が、暗視装置の異なる部品に対応する、複数の特定機能要求条件に分解できることを見出した。これらの部品は暗視装置内の異なる場所、すなわち真空容器の入力側や出力側、あるいは給電ユニット等に配置される。従って、装置の異なる場所には異なる条件が要求される。これらの要求条件の少なくとも一部は、先行技術で通常使用される硬化樹脂のような標準的な熱硬化性ポッティング材とは異なる、代替的なポッティング材によって達成され得る。
【００１９】
本発明に従い、映像増倍管センサの標準的なポッティング材を、少なくとも部分的に、より軽量のポッティング材で置き換えることが提案される。これにより、より軽量の映像増倍管センサであって、暗視装置に組み込んだとき、その暗視装置の重量を低減する目的で使用できる映像増倍管センサが得られる。
【００２０】
一例ではこのポッティング材は、以下の任意の材料、すなわち、ポリスチレン、ポリスチレンフォーム、発泡スチロール、押出ポリスチレン、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン、軽量熱硬化性エポキシ樹脂、シリコン、ポリウレタン、ポリウレタンフォーム、軽量エポキシ等を、あるいはその他の同様の材料を備えてよい。
【００２１】
異なる種類のポリマー、シリコン及びエポキシはそれぞれ異なる機能的特性を持ち、これらが利用され得ることを、当業者は理解するだろう。ある材料は他の材料に比較して、軽かったり、高電圧分離特性が良好だったり、気密性が良好だったり、湿気の侵入を防止したり、衝撃吸収性が良好だったりする。このようにして最適な材料が使用され得る。
【００２２】
別の例では映像増倍管センサは、前述のポッティング材の中の任意の複数を備える。ポッティング材は、そのすべてが通常使われるものより軽いポッティング材で置き換えられる必要はなく、映像増倍管センサ内の特定のパーツのみが部分的に置き換えられてよい。ポッティング材は、単一の新たな軽量ポッティング材で置き換えられてもよく、また前述のポッティング材の組み合わせで置き換えられてもよい。
【００２３】
更なる例では映像増倍管センサは、フォトカソードの周囲であって、光子が入力する入力面の近辺に、高電圧分離ポッティング材を備える。かつ／又は、該映像増倍管センサは、前記真空容器の周囲であって、該映像増倍管センサの中央部分及び出力面（ここにアノードが位置する）の近辺に、充填材として軽量のポッティング材を備える。かつ／又は、該映像増倍管センサは、給電ユニットの周囲又はそのハウジング内に、高電圧分離ポッティング材を備える。
【００２４】
前述の通り、特に暗視装置は、少なくとも１つの映像増倍管センサを備える。同様にそのような映像増倍管センサは、少なくとも１つの真空容器と給電ユニットとを備える。そして真空容器は、フォトカソードと、電子増倍手段と、アノード（例えば蛍光スクリーン）とを備える。
【００２５】
給電ユニットは、特に光電子をアノードに向けて加速する目的で真空容器に印加される高電圧を発生する必要がある。この高電圧は電圧破壊のリスクを増大させる。従って給電ユニットには、電圧破壊に対する耐性の強い、すなわち耐高電圧性のポッティング材が与えられてよい。このような材料の一例は、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものである。
【００２６】
給電ユニットにポッティング材が与えられると、真空容器の周囲には軽量のポッティング材が与えられてもよい。給電ユニットにより真空容器内に高電圧ポテンシャルが印加されるため、真空容器をポッティングするポッティング材に対しては、この高電圧に耐え得ることも要求される。すなわち、耐高電圧性のポッティング材が与えられることにより、電圧破壊や真空容器外への放射漏れが防止される。従って、特に真空容器の周囲には、例えばエポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものを与えることができる。
【００２７】
映像増倍管センサのハウジングのその他の部分には、軽量のポッティング材が与えられてもよい。ハウジングのその他の部分への主要な要求条件は、耐衝撃性や衝撃吸収性を増すことである。これは、例えば起泡性に基づく非常に軽量のフィルタポッティング材を用いることで達成することができる。この材料の好適な例は、ポリスチレンフォーム、発泡スチロール、押出ポリスチレン、ポリウレタンフォーム、軽量エポキシ、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものである。
【００２８】
更なる例では、本発明に係る映像増倍管センサは、蛍光スクリーンを備えるアノードを備える。直視型映像増倍管センサのアノードは、通常蛍光スクリーンを備える。この蛍光スクリーンはリンを含む薄い発光層で、映像増倍管センサの出力ウインドウ（通常は光ファイバ）の内側に堆積される。蛍光スクリーンは、電子増倍管ユニットから出て該蛍光スクリーンに衝突した電子を、光子、すなわち可視光に逆変換する。通常映像増倍管センサは、光電子を可視映像に逆変換するアノードとして蛍光スクリーンを備えるが、本発明ではそのようなアノードに限定されない。デジタル画像センサなど、他の半導体ベースのアノードが適用されてもよい。
【００２９】
更なる例では、本発明に係る映像増倍管センサは、マイクロチャネルプレートを備える電子増倍手段を備える。最近の最新式映像増倍管センサは、マイクロチャネルプレートを備える。フォトカソードに衝突した光子によって生成された光電子は、高電圧ポテンシャルを印加されることにより、真空容器内のマイクロチャネルプレートに向けて加速され、フォーカスされる。光電子がマイクロチャネルプレートのチャネルの１つの内壁に衝突すると、この衝突により複数の二次電子が生成される。これらの二次光電子の各々は、前述とは別の高電圧ポテンシャルにより、マイクロチャネルプレート内で加速される。加速された二次電子の各々はチャネルの内壁に再度衝突し、更に多くの二次光電子が生成される。このプロセスは、マイクロチャネルプレートの深さ全体に亘って連続する。チャネルに入力する光電子の各々に対し、チャネルの出力において約１０００個の二次電子が生成される。その後これらの二次電子は、マイクロチャネルプレートと蛍光スクリーンに印加された更なる高電圧ポテンシャルにより加速される。これらのプロセス全体を通して、増倍された映像、すなわち元の映像より遥かに明るい映像が生成される。これにより暗視装置の映像は、明瞭で人間の目で観測できるものとなる。通常映像増倍管センサは、電子増倍手段としてマイクロチャネルプレート（又は複数のマイクロチャネルプレート）を備えるが、本発明ではそのような増倍管に限定されない。他の二次放出手段が適用されてもよい。
【００３０】
一例において、本発明に係る映像増倍管センサは、可視光、かつ／又は、赤外光のために構成されるアノードを備える。本発明はいかなる意味においても、特定の放射スペクトルに限定されない。例えば最も一般的な応用例では、本発明に係る映像増倍管センサは可視光のために構成される。しかしこの映像増倍管センサは、熱放射に基づく増倍映像生成のために、赤外光のために構成されてもよい。更に別の例では、暗視装置は、１つ、２つ又はそれより多い可視光映像増倍管センサを備えても、１つ、２つ又はそれより多い赤外光映像増倍管センサを備えても、更にこれらの組み合わせを備えてもよい。
【００３１】
第２の例において、前述の映像増倍管センサのいずれかを少なくとも１つ備える、頭部又は武器に装着可能な暗視装置のような微弱光映像装置が与えられる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】暗視装置の一例を示す斜視図である。
【図２】映像増倍管センサを示す切断斜視図である。
【図３】先行技術に係る映像増倍管センサを示す垂直断面図である。
【図４ａ】ポッティング材を備える先行技術の映像増倍管センサを示す垂直断面図である。
【図４ｂ】本発明の一例に係る、ポッティング材を備える映像増倍管センサを示す垂直断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
明確化のため以下の説明では、同一の部品には同一の参照番号が付され、表示、参照される。
【００３４】
図１に、暗視装置の一例が斜視図で詳細に示される。各部分は一例に過ぎず、本発明の映像増倍管センサは、いかなる意味においても、図１に示される特定の暗視装置に組み込まれるような限定はされない。特徴は正確な縮尺で描かれてはおらず、図解されているに過ぎない。当業者は、添付の特許請求の範囲内で、本発明の様々な変形や応用が可能であることを理解できるであろう。
【００３５】
図１には、単独でも使用でき、武器や頭部、例えばヘルメットに装着しても使用できる暗視装置１００が開示される。暗視装置１００の入力面にはレンズ部品１１０を備えられる。レンズ部品１１０は、１つ以上のレンズを備え、ここから周辺光が入力できる。暗視装置１００の他端である出力面にはアイピース１２０が備えられる。使用者はアイピース１２０を用いて、暗視装置１００が捉えた増強映像、すなわち増倍映像を見ることができる。映像の焦点調節のための回転式焦点合わせ手段１０４が更にあってもよい。暗視装置１００の内部で、レンズ部品１１０の後方、レンズ部品１１０とアイピース１２０との間には、映像増倍管センサが備えられる。
【００３６】
図２に、図１の暗視装置１００に備えられる映像増倍管センサが切断斜視図で示される。映像増倍管センサ２００は、フォトカソード２２０、電子増倍手段２３０及びアノード２６０を備える。フォトカソード２２０は非常に薄い感光性フィルムであって、該センサの入力面に配置されるガラスプレート２１０の裏面に接着又は堆積される。映像の光子がガラスプレート２１０を通してフォトカソード２２０に照射されると、該フォトカソードは、電子増倍手段２３０及びアノード２６０に向けて、真空容器内に光電子を放出する。該フォトカソードにより放出された光電子のパターンは、入力面で捉えられた映像、すなわちフォトカソード２２０に衝突する光子のパターンに一致する。この光電子は、フォトカソードに印加された高負電圧ポテンシャルによって、フォトカソード２２０から電子増倍手段２３０の入力面に向けて加速される。
【００３７】
最も一般的な実施形態では、電子増倍手段はマイクロチャネルプレート２３０の形で与えられる。前述のように、フォトカソード２２０に衝突した光子によって生成された光電子は、付加された高電圧ポテンシャルを用いて、真空容器内のマイクロチャネルプレート２３０に向けて加速され、フォーカスされるだろう。光電子がマイクロチャネルプレート２３０のチャネルの１つの内壁に衝突すると、この衝突により複数の二次電子が生成される。これらの二次光電子の各々は、前述とは別の高電圧ポテンシャルにより、マイクロチャネルプレート内で加速される。加速された二次光電子の各々はチャネルの内壁に再度衝突し、更に多くの二次電子が生成される。このプロセスは、マイクロチャネルプレート２３０の深さ全体に亘って連続する。チャネルに入力する光電子の各々に対し、チャネルの出力において約１０００個の二次電子が生成される。その後これらの二次電子は、マイクロチャネルプレートと蛍光スクリーンに印加された更なる高負電圧ポテンシャルにより、アノード２６０に向けて加速される。これらの高電圧は、暗視装置１００の出力面に配置された給電ユニット２５０によって与えられる。通常映像増倍管センサは、電子増倍手段としてマイクロチャネルプレート２３０（又は複数のマイクロチャネルプレート）を備えるが、本発明ではそのような増倍管に限定されない。他の二次放出手段が適用されてもよい。
【００３８】
マイクロチャネルプレート２３０からの一次及び二次の光電子は、アノードに衝突するだろう。このアノードは最も一般的には、蛍光スクリーン２６０の形で映像増倍管センサ内に与えられる。蛍光スクリーン２６０は、衝突した光電子を光子、すなわち可視光に逆変換するだろう。これにより、映像増倍管センサ２００の入力面で捉えられた映像が、可視光で出力面に表示され、図１に示されるアイピース１２０を用いて利用者により観測される。蛍光スクリーンは、ガラス円盤２４０又は光ファイバ２４０の入力面上に堆積される。このガラス円盤２４０又は光ファイバ２４０は、光を暗視装置の後面に導き、利用者による観測を可能とする。
【００３９】
図３に、図２の映像増倍管センサの垂直断面を、より詳細に示す。映像増倍管センサ２００は、フォトカソード２２０、マイクロチャネルプレート２３０及び蛍光スクリーン２６０を備える。図３は真空容器を明確に図示する。該真空容器は、一方の側にガラスプレート２１０とその上に堆積されたフォトカソード２２０とを含み、他方の側に光ファイバ２４０とその上に堆積された蛍光スクリーンとを含む。それらの間に、二次電子放出デバイスとして機能するマイクロチャネルプレート２３０が配置される。更に図３は、１つ以上の給電ユニット２５０の位置を示す。すなわち給電ユニット２５０は、該映像増倍管センサの端部すなわち出口／出力面の付近で、該映像増倍管センサの周辺部に与えられる。
【００４０】
前述の通り映像増倍管センサは、暗視装置の重量に大きく寄与する。特に映像増倍管センサが、このような暗視装置の総重量の２０―４０％に達することもある。暗視装置の重量は、異なる複数の要因により説明され得る。要因の１つは、高度な環境的要求、すなわち、動作時や格納時における広範囲に亘る温度耐性、耐衝撃性および耐震性、耐湿性、その他の要求に対する適合性である。これらの要求は、映像増倍管センサが、典型的には軍用品質の暗視装置に搭載され使用される可能性を示す。要因のもう１つは、映像増倍管センサ自身が、高電圧漏電の防止といった、部品上の制約を有している点である。
【００４１】
これらの要求及び制約に適合するために、先行技術による映像増倍管センサはポッティングされている。ポッティングは、衝撃と振動に対する耐性向上を目的に、電子部品や脆弱部品が固体化合物で充填されるプロセスである。先行技術による映像増倍管センサで使用されるポッティング材は、典型的には熱硬化性プラスティックなどから形成され、装置内部の種々の部品を保護する。これらの先行技術による映像増倍管センサでは、同じポッティング材が装置全体に適応される。
【００４２】
軍事目的での使用の場合、映像増倍管センサに対する要求は高度で特別であることから、要求条件と仕様への適合のためにこれらの固体化合物を使用することは、通常用いられる技術であった。しかしながらこのタイプのポッティング材は非常に重いため、映像増倍管センサ、従って暗視装置の総重量に大きく寄与する。
【００４３】
図４ａに、先行技術に従う映像増倍管センサを示す。前述の理由により、装置２００のハウジング内の空間は、ポッティング剤で充填される。しかしながらポッティング材３１０’、３２０’は前述の要求条件に基づいて選択されるため、重いという欠点がある。そのような重いポッティング材の例として、エポキシ樹脂などがある。
【００４４】
しかしながら本発明者らは、映像増倍管センサに対する要求条件が、暗視装置の異なる部品に対応する、複数の特定機能要求条件に分解できることを見出した。これらの部品は暗視装置内の異なる場所、すなわち真空容器の入力側や出力側、あるいは給電ユニット等に配置される。従って、装置の異なる場所には異なる条件が要求される。これらの要求条件の少なくとも一部は、先行技術で通常使用される硬化樹脂のような標準的な熱硬化性ポッティング材とは異なる、代替的なポッティング材によって達成され得る。
【００４５】
図４ｂに従い、映像増倍管センサのための代替的なポッティング方法が与えられる。センサ２００は、各位置にある部品の機能に応じて分割して取り扱われ得る。位置３２０には給電ユニット２５０が与えられる。給電ユニット２５０は、真空容器内で光電子を加速するために必要な高電圧を発生するが故に、耐高電圧性を要求する。すなわち、耐高電圧性のポッティング材が与えられることにより、電圧破壊や真空容器外への放射漏れが防止される。従って、特に給電ユニットの周囲に、例えばエポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものを与えることができる。
【００４６】
既に給電ユニット２５０のポッティング材３２０’’により、耐高電圧性、すなわち真空容器とセンサ２００のハウジングとの間の良好な絶縁性が与えられているため、同等の耐高電圧性を持つポッティング材を与える必要性はより低いものとなる。従って、センサ２００内の空間３１０’’の少なくとも一部、あるいは空間３１０’’及び空間３３０’’のすべては、例えば起泡性に基づく非常に軽量のポッティング材で充填されてもよい。この材料の好適な例は、ポリスチレンフォーム、発泡スチロール、押出ポリスチレン、ポリウレタンフォーム、軽量エポキシ、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものである。
【００４７】
代替的に、空間３３０’’と空間３１０’’にはそれぞれ異なるポッティング材が与えられてもよい。例えば、空間３３０’’には起泡性に基づく非常に軽量のポッティング材が与えられる。一方、空間３１０’’はセンサ２００の入力面に近いために高電圧ポテンシャルを持つが故、ここには電圧破壊を防ぐための良好な耐高電圧性を備えた軽量のポッティング材が与えられる、といった具合である。従って空間３１０’’、特にその周囲に、例えばエポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル、あるいは前述のポッティング材の中の任意のものを与えることができる。
【００４８】
前述の説明に従い、当業者は、以上開示された装置に変更や追加を与えることができる。これらの変更や追加は、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明の範囲を限定するものではない。
【図１】
0006730256.tif 000002
【図２】
0006730256.tif 000003
【図３】
0006730256.tif 000004
【図４ａ】
0006730256.tif 000005
【図４ｂ】
0006730256.tif 000006