(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の移載先にわたって設置された軌道と、
前記軌道を走行する走行体、及び前記走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、
前記移載先ごとに前記移載装置により前記移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、前記走行体の停止位置を示す停止指標と、
前記搬送車を制御するコントローラと、を備え、
前記走行体が前記停止指標に基づいて停止した状態で、前記移載装置により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、
前記コントローラは、
第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により前記第１移載先に物品を載置した位置と、前記第１移載先の定められた位置との第１誤差と、
第２移載先の第２停止指標に基づき前記第１誤差を求めるために使用する前記第１搬送車の前記第１走行体が停止した際の、前記第１移載装置により前記第２移載先に物品を載置した位置と、前記第２移載先の定められた位置との第２誤差と、に基づいて、前記第１誤差と前記第２誤差との差であるズレ量を求め、
前記第１移載先及び前記第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき前記第１搬送車の前記第１走行体が停止した際の、前記第１移載装置により前記第ｎ移載先に物品を載置した位置と、前記第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を取得し、
前記第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、
前記第１移載先の前記第１停止指標に基づき前記第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により前記第１移載先に物品を載置した位置と、前記第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を取得した前記第ｍ搬送車においては、前記第ｎ移載先に対する前記第ｍ走行体の停止位置を前記第ｎ誤差及び前記第ｍ−１誤差で補正し、
前記第２移載先の前記第２停止指標に基づき前記第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により前記第２移載先に物品を載置した位置と、前記第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を取得した前記第ｍ搬送車においては、前記第ｎ移載先に対する前記第ｍ走行体の停止位置を前記第ｎ誤差及び前記第ｍ−２誤差、さらに前記ズレ量で補正する、搬送システム。
【請求項２】
前記第１誤差及び前記第２誤差は、１つの座標系における座標値で求められ、
前記ズレ量は、前記座標系における座標値で求められる、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記コントローラは、複数の前記搬送車を用いて求めた複数の前記ズレ量を統計処理し、得られた値を前記ズレ量として用いる、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
複数の移載先にわたって設置された軌道と、
前記軌道を走行する走行体、及び前記走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、
前記移載先ごとに前記移載装置により前記移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、前記走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、
前記走行体が前記停止指標に基づいて停止した状態で、前記移載装置により前記移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、
第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により前記第１移載先に物品を載置した位置と、前記第１移載先の定められた位置との第１誤差を求め、
第２移載先の第２停止指標に基づき前記第１誤差を求めるために使用する前記第１搬送車の前記第１走行体を停止させて、前記第１移載装置により前記第２移載先に物品を載置した位置と、前記第２移載先の定められた位置との第２誤差を求め、
前記第１誤差と前記第２誤差との差であるズレ量を求め、
前記第１移載先及び前記第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき前記第１搬送車の前記第１走行体を停止させて、前記第１移載装置により前記第ｎ移載先に物品を載置した位置と、前記第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を求め、
前記第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、
前記第１移載先の前記第１停止指標に基づき前記第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により前記第１移載先に物品を載置した位置と、前記第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を求めた前記第ｍ搬送車においては、前記第ｎ移載先に対する前記第ｍ走行体の停止位置を前記第ｎ誤差及び前記第ｍ−１誤差で補正し、
前記第２移載先の前記第２停止指標に基づき前記第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により前記第２移載先に物品を載置した位置と、前記第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を求めた前記第ｍ搬送車においては、前記第ｎ移載先に対する前記第ｍ走行体の停止位置を前記第ｎ誤差及び前記第ｍ−２誤差、さらに前記ズレ量で補正する、搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体生産工場では、設備内のスペース効率の向上を図るため、天井近傍に敷設された軌道に沿って走行する搬送車により、物品を搬送し、かつ、物品を移載先に移載する搬送システムが利用されている。この搬送車は、軌道を走行する走行体と、物品を移載先に受け渡す移載装置とを備えており、各移載先に対応して走行体を停止させ、移送装置により移載先に対して物品の受け渡しを行っている。複数の搬送車が各移載先に正確に物品を移載させるため、各搬送車が各移載先に実際に物品を移載して、移載先の教示を行うこともできるが、搬送車の数又は移載先の数が多くなると教示作業に係る労力が多大となる。そのため、このような搬送システムにおいては、基準となる搬送車により各移載先の移載位置を決定しておき、他の搬送車は、移載先の１つに物品を載置して先に決定した移載位置との誤差を求め、基準となった搬送車に対する誤差として各移載先の移載位置を補正することにより、複数の搬送車における移載先の教示作業について労力低減を図っている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−０３５４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した搬送システムでは、各移載先を教示する際に１つの移載先を用いて各搬送車における各移載先の補正を行っている。しかしながら、このような手法では、例えば、設備の巨大化に伴い搬送車の台数が増加すると、各搬送車の教示作業に時間が掛かり、搬送システムを稼働させるまでに長時間を要するといった問題がある。また、搬送車の搬送経路を複数のエリアに分割し、エリアごとに基準台を設置することも考えられるが、搬送車が別のエリアに移動した場合に、改めてそのエリアの基準台で教示を行う必要があり、搬送システムの稼働効率を低下させる可能性がある。また、上記した搬送システムでは、移載先ごとに停止指標を取り付け、搬送車がこの停止指標を検出して走行体を停止すれば、移載先の定められた位置に物品を移載できるように設定される場合がある。このような場合であっても、基準となった搬送車以外の搬送車は、１つの移載先を用いて各移載先の移載位置を補正するといった教示作業が必要であり、上記のように搬送車の台数が増えると教示作業に長時間を要することになる。【０００５】
本発明は、上記事情に鑑み、搬送車の台数が増大した場合でも搬送車の教示作業に要する時間を短縮することが可能な搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様の搬送システムは、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、搬送車を制御するコントローラと、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、コントローラは、第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第１誤差と、第２移載先の第２停止指標に基づき第１誤差を求めるために使用する第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第２誤差と、に基づいて、第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を求め、第１移載先及び第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第ｎ移載先に物品を載置した位置と、第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を取得し、第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、第１移載先の第１停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を取得した第ｍ搬送車においては、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−１誤差で補正し、第２移載先の第２停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を取得した第ｍ搬送車においては、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−２誤差、さらにズレ量で補正する。
本発明の態様の搬送システムは、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ前記移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、搬送車を制御するコントローラと、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムであって、コントローラは、第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第１誤差と、第２移載先の第２停止指標に基づき第１誤差を求めるために使用する第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第２誤差と、に基づいて、第１誤差と前記第２誤差との差であるズレ量を求め、第１移載先及び第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体が停止した際の、第１移載装置により第ｎ移載先に物品を載置した位置と、第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を取得し、第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、第１移載先の第１停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を用いて、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−１誤差で補正するか、第２移載先の第２停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体が停止した際の、第ｍ移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を用いて、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−２誤差、さらにズレ量で補正する。
【０００７】
また、第１誤差及び第２誤差は、１つの座標系における座標値で求められ、ズレ量は、座標系における座標値で求められてもよい。また、コントローラは、複数の搬送車を用いて求めた複数のズレ量を統計処理し、得られた値をズレ量として用いてもよい。【０００８】
本発明の態様の搬送方法は、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第１誤差を求め、第２移載先の第２停止指標に基づき第１誤差を求めるために使用する第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第２誤差を求め、第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を求め、第１移載先及び第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第ｎ移載先に物品を載置した位置と、第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を求め、第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、第１移載先の第１停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を求めた第ｍ搬送車においては、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−１誤差で補正し、第２移載先の第２停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を求めた第ｍ搬送車においては、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−２誤差、さらにズレ量で補正する。
また、本発明の態様の搬送方法は、複数の移載先にわたって設置された軌道と、軌道を走行する走行体、及び走行体に設けられて物品を保持しかつ移載先に物品を受け渡す移載装置を備える複数の搬送車と、移載先ごとに移載装置により移載先の定められた位置で物品の受け渡しを可能とするために取り付けられ、走行体の停止位置を示す停止指標と、を備え、走行体が停止指標に基づいて停止した状態で、移載装置により移載先に対して物品の受け渡しを行う搬送システムにおける搬送方法であって、第１移載先の第１停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第１誤差を求め、第２移載先の第２停止指標に基づき第１誤差を求めるために使用する第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第２誤差を求め、第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を求め、第１移載先及び第２移載先以外の少なくとも１つの移載先に対して、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先の第ｎ停止指標に基づき第１搬送車の第１走行体を停止させて、第１移載装置により第ｎ移載先に物品を載置した位置と、第ｎ移載先の定められた位置との第ｎ誤差を求め、第１搬送車以外の第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車について、第１移載先の第１停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により第１移載先に物品を載置した位置と、第１移載先の定められた位置との第ｍ−１誤差を求め、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−１誤差で補正するか、第２移載先の第２停止指標に基づき第ｍ搬送車の第ｍ走行体を停止させて、第ｍ移載装置により第２移載先に物品を載置した位置と、第２移載先の定められた位置との第ｍ−２誤差を求め、第ｎ移載先に対する第ｍ走行体の停止位置を第ｎ誤差及び第ｍ−２誤差、さらにズレ量で補正する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の搬送システム及び搬送方法によれば、第１搬送車により第１移載先及び第２移載先で検出した第１誤差及び第２誤差から両者の差であるズレ量、及び第ｎ移載先の第ｎ誤差を求め、第１搬送車以外の他の第ｍ搬送車について、第１移載先又は第２移載先で第ｍ誤差を検出することにより、第ｎ誤差及び第ｍ誤差を用いて、あるいは両者とズレ量を用いて走行体の停止位置を補正するので、第ｍ搬送車は複数の移載先を用いて走行体の停止位置の補正を行うことができる。この構成により、多くの搬送車を稼働させる場合、あるいは既存の設備に搬送車を追加して投入する場合などでも、搬送車に対して教示作業に要する時間を短出することができ、搬送システムを早期に稼働させることができる。【００１０】
また、ズレ量として１つの座標系における座標値を用いる場合、ズレ量の管理が容易となり、各搬送車がズレ量を容易に用いることができる。また、コントローラは、複数の搬送車により求めた複数のズレ量を統計処理し、得られた値をズレ量として用いる場合、ズレ量の精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態に係る搬送システムの一例を示す図である。
【図２】搬送車の一例を示す図である。
【図３】停止指標の一例を示す図である。
【図４】移載先、停止指標、及び搬送車の関係を模式的に示す図である。
【図５】上位コントローラの機能ブロック構成の一例を示す図である。
【図６】上位コントローラのデータ格納部に格納される搬送車の誤差の情報の一例を示す図である。
【図７】搬送車の台車コントローラの機能ブロック構成の一例を示す図である。
【図８】搬送システムの動作シーケンスの一例を示す図である。
【図９】上位コントローラの動作フローの一例を示す図である。
【図１０】搬送車の台車コントローラの動作フローの一例を示す図である。
【図１１】搬送システムの動作シーケンスの他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定されず、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、図２では、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
【００１３】
図１は、実施形態に係る搬送システム１００の一例を示す。搬送システム１００は、物品２を搬送するシステムである。ここで、物品２は、例えば、半導体生産に用いられるウエハやレクチル等の物体を収容し、内部を所定ガスでパージ可能なＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、レクチルＰｏｄ等である。搬送システム１００は、第１〜第ｍ（ｍ≧２かつ整数）搬送車Ｖ１〜Ｖｍ（以下、搬送車Ｖと総称する場合がある。）と、第１移載先ＬＰ１としての第１の基準台ＭＳＴ１と、第２移載先ＬＰ２としての第２の基準台ＭＳＴ２と、第ｎ（ｎ≧３かつ整数）移載先ＬＰ３〜ＬＰｎ（以下、第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２を基準台ＭＳＴと総称する場合があり、この基準台ＭＳＴを含めて第３~第ｎ移載先ＬＰ３~ＬＰｎを移載先ＬＰと総称する場合がある。）と、搬送システム１００のコントローラの１つである上位コントローラＣＵと、を備える。
【００１４】
搬送車Ｖは、軌道Ｔに沿って走行し、軌道Ｔの下方（下方かつ側方を含む）に配置された第１の基準台ＭＳＴ１、第２の基準台ＭＳＴ２、又は第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎとの間で物品２の受け渡しを行う。なお、図示では第１の基準台ＭＳＴ１、第２の基準台ＭＳＴ２、及び第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎが軌道Ｔの下方かつ側方に配置された例を示しているが、移載先ＬＰが軌道Ｔの下方（直下）に配置される場合もある。軌道Ｔは、例えば、吊り金具等によってクリーンルーム等の設備の天井から吊り下げられた状態で設けられている。搬送車Ｖは、この軌道Ｔに沿って走行する天井搬送車である。第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎは、例えば、処理装置又は保管装置などの一部に設けられる。また、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎの設置数は任意である。
【００１５】
第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２は、搬送車Ｖが物品２を載置した際に、第１の基準台ＭＳＴ１に物品２を載置した位置と、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置との誤差を検出するために設置される。本明細書において、誤差は、後述する停止指標Ｎの取付誤差と、各搬送車Ｖがそれぞれ有している特有の機差とを含む意味で用いている。第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２は、軌道Ｔの下方（下方かつ側方を含む）に配置されている。第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２は、互いに近傍に設置されてもよいし、互いに離れて設置されてもよい。また、第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２は、設備側の床面等に対して固定された位置に設けられるが、例えば、車輪等が設けられて、移動可能であってもよい。また、基準台ＭＳＴは２台に限定されず、３台以上設置されてもよい。
【００１６】
上位コントローラＣＵは、搬送車Ｖを制御する。第１〜第ｍ搬送車Ｖ１〜Ｖｍには、それぞれ台車コントローラＣ１〜Ｃｍ（以下、台車コントローラＣと総称する場合がある。）が搭載されている。台車コントローラＣは、搬送システム１００のコントローラの１つである。上位コントローラＣＵは、複数の台車コントローラＣと所定の通信手段を介して通信可能に接続される。ここで、所定の通信手段とは、例えば、軌道Ｔに沿って設けられたフィーダー線による通信、又は無線ＬＡＮネットワーク等である。
【００１７】
搬送システム１００では、第１の基準台ＭＳＴ１と第２の基準台ＭＳＴ２とのいずれかを利用して、搬送車Ｖが、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２に物品２を載置した際の第１誤差及び第２誤差（なお、基準搬送車により検出した第１〜第ｎ誤差、及び基準搬送車以外の搬送車Ｖにより検出した誤差を、単に誤差と総称する場合がある。）が検出される。第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２は、必ずしも同一の設置条件にあるとは限らない。そのため、搬送車Ｖで検出した誤差は、第１の基準台ＭＳＴ１を利用して検出された場合と、第２の基準台ＭＳＴ２を利用して検出された場合とで、異なる値となる。
【００１８】
搬送システム１００は、複数の第１〜第ｍ搬送車Ｖ１〜Ｖｍのうち、いずれかを基準搬送車として利用し、第１の基準台ＭＳＴ１（第１移載先ＬＰ１）で検出された基準搬送車の第１誤差と、第２の基準台ＭＳＴ２（第２移載先ＬＰ２）で検出された基準搬送車の第２誤差とを求め、第１誤差と第２誤差との差分であるズレ量を算出し、第２の基準台ＭＳＴ２で基準搬送車以外の搬送車Ｖの誤差を検出した場合、この誤差及びズレ量を用いて後述する走行体Ｍの停止位置（移載先ＬＰの載置位置）を補正する。本実施形態では、第１搬送車Ｖ１、第２搬送車Ｖ２、第３搬送車Ｖ３を基準搬送車とし、それぞれ、基準搬送車Ｖ１、基準搬送車Ｖ２、基準搬送車Ｖ３と称する場合がある。なお、基準搬送車の数は任意であり、１台の基準搬送車Ｖ１が用いられてもよい。また、基準搬送車Ｖ１以外の第ｍ搬送車Ｖｍにおいて、第１の基準台ＭＳＴ１で検出された誤差は、第ｍ−１誤差と表記し、第２の基準台ＭＳＴ２で検出された誤差は、第ｍ−２誤差と表記する。
【００１９】
上位コントローラＣＵは、図１に示すように、ズレ量算出部１２ＣＵと、ズレ量配信部１３ＣＵと、マップ生成部１５ＣＵと、マップ配信部１６ＣＵと、を有する。ズレ量算出部１２ＣＵは、第１の基準台ＭＳＴ１で検出した基準搬送車Ｖ１等の第１誤差と、第２の基準台ＭＳＴ２で検出した基準搬送車Ｖ１等の第２誤差と、の差分であるズレ量を算出する。なお、ズレ量を算出するために、同じ１台の搬送車Ｖが用いられる。ズレ量配信部１３ＣＵは、ズレ量算出部１２ＣＵが算出したズレ量を示すズレ量を、基準搬送車を除く複数の搬送車Ｖにそれぞれ配信する。なお、マップ生成部１５ＣＵ及びマップ配信部１６ＣＵについては後述する。
【００２０】
また、搬送車Ｖの台車コントローラＣは、例えば、第１搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１を代表して説明すると、ズレ量受信部２２Ｃ１と、マップ受信部２３Ｃ１と、基準台判定部２６Ｃ１と、補正部２４Ｃ１と、を有する。なお、他の第２〜第ｍ搬送車Ｖ２〜Ｖｍの台車コントローラＣ２〜Ｃｍについても、台車コントローラＣ１と同様の構成要素を有している。
【００２１】
ズレ量受信部２２Ｃ１は、上位コントローラＣＵが配信したズレ量を受信する。基準台判定部２６Ｃ１は、誤差を検出する際に第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれが使用されたかを判定する。なお、基準台判定部２６Ｃ１は、台車コントローラＣ１に備えることに代えて、上位コントローラＣＵが備えてもよい。この場合、上位コントローラＣＵは、各搬送車Ｖについてどの基準台ＭＳＴで誤差を検出したかを管理し、各搬送車Ｖに対して、誤差を検出した基準台ＭＳＴの情報を提供してもよい。補正部２４Ｃ１は、第１の基準台ＭＳＴ１が使用されたと基準台判定部２６Ｃ１が判定した場合には、移載先ＬＰ３〜ＬＰｎをマッピングしたマップを誤差で補正して、所定の移載先ＬＰに対する走行体Ｍの停止位置を補正する。また、補正部２４Ｃ１は、第２の基準台ＭＳＴ２が使用されたと基準台判定部２６Ｃ１が判定した場合には、マップを、誤差及びズレ量によって示されるズレ量で補正して（あるいはマップを、後述する修正誤差（図６参照）で補正して）、所定の移載先ＬＰに対する走行体Ｍの停止位置を補正する。なお、補正部２４Ｃ１は、各搬送車Ｖの走行体Ｍの停止位置を補正することに併せて、さらに、移載装置Ｕによる物品２の移載位置、すなわち、後述する横出し機構１１の横出し位置、及び昇降駆動部１４の昇降位置について補正してもよい。
【００２２】
図２は、搬送車Ｖの一例を示す図である。図２では、物品２がＦＯＵＰの例を示している。物品２は、本体部２ａと、蓋２ｃと、フランジ部２ｇとを備える。ウエハ等は、本体部２ａの内部に収容される。蓋２ｃは、本体部２ａの側面に着脱可能に設けられる。本体部２ａは、底面に位置決め用の放射状の複数の溝部２ｄを備える。
【００２３】
搬送車Ｖは、走行体Ｍ（第１〜第ｍ搬送車の走行体Ｍ１〜Ｍｍを走行体Ｍと総称している。）と、本体部３とを備える。走行体Ｍは、不図示の走行駆動部の駆動力によって軌道Ｔに沿って走行する。走行駆動部は、例えば、ステッピングモータなどの電動モータあるいはリニアモータが用いられる。走行体Ｍの走行輪７は、軌道Ｔに接して配置され、また、不図示のエンコーダに接続されている。エンコーダは、走行輪７の回転数等を検出する。台車コントローラＣは、例えば、ステッピングモータに供給するパルス数、あるいは上記したエンコーダの検出結果に基づいて搬送車Ｖの速度や停止位置の制御を行う。また、搬送車Ｖは、走行体Ｍの下方に、支持軸９を介して本体部３を備える。
【００２４】
本体部３は、物品２を保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を移動させる横出し機構１１と、を備えた移載装置Ｕ（第１〜第ｍ搬送車の第１〜第ｍ移載装置Ｕ１〜Ｕｍを移載装置Ｕと総称している。）を有する。物品保持部１３は、物品２のフランジ部２ｇを把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品２のフランジ部２ｇの下方に進入させることにより、物品２を吊り下げて保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂと接続されている。昇降駆動部１４は、例えば、ホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を降下させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。
【００２５】
横出し機構１１は、昇降駆動部１４を突出位置Ｐ２と格納位置Ｐ１との間でＹ方向に移動させる。横出し機構１１は、複数の可動板を有している。可動板は、不図示の駆動部によってＹ方向に移動し、昇降駆動部１４を突出位置Ｐ２と格納位置Ｐ１との間で移動させる。突出位置Ｐ２は、昇降駆動部１４が本体部３から軌道Ｔの側方に突出する位置である。格納位置Ｐ１は、昇降駆動部１４が本体部３内に格納される位置である。なお、横出し機構１１、物品保持部１３、及び昇降駆動部１４を含む移載装置Ｕは、台車コントローラＣによって制御される。移載装置Ｕを備える本体部３は、走行体Ｍと一体となって軌道ＴをＸ方向に移動する。
【００２６】
移載先ＬＰに対して物品２を移載する場合は、搬送車Ｖの横出し機構１１により昇降駆動部１４を突出位置Ｐ２まで突出させ、物品保持部１３を下降させることにより、基準台ＭＳＴ又は移載先ＬＰに対して物品２を移載可能である。なお、移載先ＬＰが軌道Ｔの下方（直下）に配置されている場合は、昇降駆動部１４を軌道Ｔの側方に突出させずに物品保持部１３を下降させることにより移載先ＬＰに対して物品２を移載可能である。図２は、物品２の移載先として第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２を示しているが、他の第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎであっても同様である。なお、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎには、不図示の複数の（例えば３本の）ピンが設けられている。それぞれのピンが、物品２の溝部２ｄに嵌まり込むことで第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎ上において物品２を位置決めする。
【００２７】
また、図１に示すように、走行体Ｍは、軌道Ｔに沿って配置された停止指標Ｎ１〜Ｎｎによって各移載先ＬＰのそれぞれに対応した位置に停止する。停止指標Ｎ１〜Ｎｎ（なお、停止指標Ｎ１〜Ｎｎを停止指標Ｎと総称する場合がある。）は、各搬送車Ｖの移載装置Ｕにより第１〜第ｎ移載先ＬＰ１〜ＬＰｎの定められた位置で物品２の受け渡しを可能とするように、例えば、軌道Ｔ又は軌道Ｔの近傍に取り付けられる。図３は、第１停止指標Ｎ１の一例を示す図である。なお、図３では、第１停止指標Ｎ１について示しているが、他の停止指標Ｎ２〜Ｎｎについても同様である。また、基準搬送車Ｖ１は、停止指標Ｎ１〜Ｎｎを検出するためのセンサＳ１を備えている。なお、他の第２〜第ｍ搬送車Ｖ２〜Ｖｍについても同様に停止指標Ｎ１〜Ｎｎを検出するためのセンサＳ２〜Ｓｍ（なお、センサＳ１〜ＳｍをセンサＳと総称する場合がある。）を備えている。
【００２８】
センサＳは、光学式又は磁気式などの非接触型のセンサが用いられてもよいし、接触型のセンサが用いられてもよい。なお、停止指標Ｎは、Ｘ方向（軌道Ｔに沿った方向）に長さを有しているので、Ｘ方向のいずれかを基準に設定する必要がある。以下に示す基準の設定方法は一例であって、この方法に限定されない。まず、第１走行体Ｍ１がステッピングモータで走行している場合、ステッピングモータに供給するパルス数により停止位置を設定可能である。したがって、図３に示すように、センサＳ１によって第１走行体Ｍ１の走行中に第１停止指標Ｎ１の端部を検出し、端部を検出した位置から、予め設定されたパルス数をステッピングモータ等に供給して停止させた位置を基準位置と設定してもよい。各搬送車Ｖは、各停止指標Ｎ１〜Ｎｎに対して上記した基準位置に停止するように設定されている。また、各搬送車Ｖは、上位コントローラＣＵから移載先ＰＬが指示されると、軌道Ｔを走行して、指示された移載先ＬＰに対応する停止指標Ｎの基準位置で停止する。
【００２９】
本実施形態における搬送システム１００は、走行体Ｍが停止指標Ｎに対して停止すると、各搬送車Ｖの台車コントローラＣが移載装置Ｕを駆動して移載先ＬＰに対して物品２の受け渡しを行うように設定されている。ただし、搬送システム１００において、このように設定するか否かは任意である。また、各移載先ＬＰにおいて、移載装置Ｕの横出し機構１１による横出し位置（あるいは横出し量）、及び昇降駆動部１４による昇降位置（あるいは昇降量）は、後述するマップにおいて移載先ＬＰごとに予め設定されている。
【００３０】
停止指標Ｎ１〜Ｎｎは、各移載先ＬＰに対応して取り付けられるが、その取付位置が本来取り付けるべき位置からずれる場合がある。図４は、移載先ＬＰ、停止指標Ｎ、及び搬送車Ｖの関係を模式的に示す図である。図４に示すように、第１の基準台ＭＳＴ１（第1移載先ＬＰ１）、第２の基準台ＭＳＴ２（第２移載先ＬＰ２）、及び第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎのそれぞれに対応して軌道Ｔ又は軌道Ｔの近傍に停止指標Ｎ１〜Ｎｎが取り付けられている。停止指標Ｎ１〜Ｎｎは、指標Ｒ１〜Ｒｎ（なお、指標Ｒ１〜Ｒｎは指標Ｒと総称する場合がある。）は、各移載先Ｌにおける基準Ｂ１〜Ｂｎ（なお、基準Ｂ１〜Ｂｎは基準Ｂと総称する場合がある。）に対応した理想的な指標の取付位置である。なお、基準Ｂは、各移載先ＬＰの定められた位置に物品２を載置したときの基準となる位置である。
【００３１】
停止指標Ｎ１〜Ｎｎは、指標Ｒ１〜Ｒｎの位置に走行体Ｍの走行方向に誤差なく取り付けられることが望ましいが、各停止指標Ｎ１〜Ｎｎにおいて、図４に示すように、それぞれ取付誤差ｂ１〜ｂｎだけずれて取り付けられることがある。なお、この基準Ｂに対してズレがなく停止指標Ｎが取り付けられた場合（指標Ｒの場合）、走行体Ｍがこの停止指標Ｎに停止することにより、移載装置Ｕによって移載先ＬＰの定められた位置に対して物品２を受け渡しすることが可能となる。
【００３２】
また、図４に示すように、基準搬送車Ｖ１は、物品としてのティーチングユニットＴＵを用いて、各移載先ＬＰ（第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２を含む。）にティーチングユニットＴＵを載置し、各移載先ＬＰにおいて、このティーチングユニットＴＵの載置した位置と、移載先ＬＰの定められた位置との誤差を検出する。誤差の検出は、ティーチングユニットＴＵに搭載されたセンサによって行ってもよいし、ティーチングユニットＴＵ以外のセンサによって行ってもよい。ティーチングユニットＴＵを用いて検出した第１〜第ｎ移載先ＬＰ１〜ＬＰｎの第１〜第ｎ誤差は、上記したように上位コントローラＣＵに送られる。なお、ティーチングユニットＴＵは、上位コントローラＣＵに対して無線通信等により誤差を送信可能であってもよい。
【００３３】
図４に示すように、基準搬送車（第１搬送車）Ｖ１は、第１の基準台ＭＳＴ１の第１停止指標Ｎ１に基づき基準搬送車Ｖ１の第１走行体Ｍ１（図１参照）を停止させた際の、第１移載装置Ｕ１（図１参照）で第１の基準台ＭＳＴ１にティーチングユニットＴＵを載置した位置と、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置との第１誤差を、例えばティーチングユニットＴＵによって検出させる。この第１誤差は、基準搬送車Ｖ１が有している固有の機差ａ１と、上記した第１停止指標Ｎ１の取付誤差ｂ１とを合わせた値となる。この値は、後述するように座標値で表される。
【００３４】
また、基準搬送車Ｖ１は、第２の基準台ＭＳＴ２の第２停止指標Ｎ２に基づき基準搬送車Ｖ１の第１走行体Ｍ１を停止させた際の、第１移載装置Ｕ１で第２の基準台ＭＳＴ２にティーチングユニットＴＵを載置した位置と、第２の基準台ＭＳＴ２の定められた位置との第２誤差を、例えばティーチングユニットＴＵによって検出させる。この第２誤差は、基準搬送車Ｖ１が有している固有の機差ａ１と、上記した第２停止指標Ｎ２の取付誤差ｂ２とを合わせた値となる。また、基準搬送車Ｖ２、Ｖ３においても、基準搬送車Ｖ２、３が有している固有の機差ａ２、ａ３と取付誤差ｂ１とを合わせた第１誤差の値が検出され、機差ａ２、ａ３と取付誤差ｂ２とを合わせた第２誤差の値が検出される。また、基準搬送車以外の第ｍ搬送車Ｖｍは、第１の基準台ＭＳＴ１の第１停止指標Ｎ１に基づき第ｍ走行体Ｍｍ（図１参照）を停止させた際の、第ｍ移載装置Ｕｍ（図１参照）で第１の基準台ＭＳＴ１にティーチングユニットＴＵを載置した位置と、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置との誤差を第ｍ−１誤差と表記し、同様に第２の基準台ＭＳＴ２に対しては第ｍ−２誤差と表記する。第ｍ−１誤差及び第ｍ−２誤差についても、上記と同様に、第ｍ搬送車Ｖｍが有している固有の機差ａｍと、上記した取付誤差ｂ１又は取付誤差ｂ２とを合わせた値となる。
【００３５】
上位コントローラＣＵは、上記した第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を求める。  基準搬送車Ｖ１によるズレ量は、
（ａ１＋ｂ１）−（ａ１＋ｂ２）＝ｂ１−ｂ２
であり、基準搬送車Ｖ１の機差ａ１がなくなって、第１停止指標Ｎ１の取付誤差ｂ１と、第２停止指標Ｎ２の取付誤差ｂ２との差（例えば座標値）として求められる。
【００３６】
また、基準搬送車Ｖ１は、第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２以外の第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎに対して、第３〜第ｎ停止指標Ｎ３〜Ｎｎに基づき基準搬送車Ｖ１の第１走行体Ｍ１を停止させて、第１移載装置Ｕ１により第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにティーチングユニットＴＵを載置した位置と、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎの定められた位置との第３〜第ｎ誤差を、例えばティーチングユニットＴＵによって検出させ、その検出結果を上位コントローラＣＵに送信する。上位コントローラＣＵは、この第３〜第ｎ誤差をマップとして各移載先ＬＰに関連付けて記憶してもよい。本明細書において、マップは、各移載先ＬＰにおける第３〜第ｎ誤差のデータであり、基準搬送車Ｖ１による第１誤差及び第２誤差を含んでもよい。
【００３７】
また、図４に示すように、基準搬送車Ｖ２、Ｖ３は、基準搬送車Ｖ１と同様に、第１〜第ｎ停止指標Ｎ１〜Ｎｎに基づき基準搬送車Ｖ２、Ｖ３の第２、第３走行体Ｍ２、Ｍ３（図１参照）を停止させて、第２、第３移載装置Ｕ２、Ｕ３（図１参照）により第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２にティーチングユニットＴＵを載置し、上記と同様に第２−１誤差及び第２−２誤差、並びに第３−１誤差及び第３−２誤差をそれぞれ検出させてもよい。上位コントローラＣＵは、基準搬送車Ｖ２、Ｖ３によって検出した誤差を用いて、基準搬送車Ｖ２による第２−１誤差と第２−２誤差との差であるズレ量、
（ａ２＋ｂ１）−（ａ２＋ｂ２）＝ｂ１−ｂ２
及び、基準搬送車Ｖ３による第３−１誤差と第３−２誤差との差であるズレ量、
（ａ３＋ｂ１）−（ａ３＋ｂ２）＝ｂ１−ｂ２
を算出する。いずれの場合も、基準搬送車Ｖ２の機差ａ２、基準搬送車Ｖ３の機差ａ３がなくなって、第１停止指標Ｎ１の取付誤差ｂ１と、第２停止指標Ｎ２の取付誤差ｂ２との差を含んだ値（例えば座標値）として求められる。
【００３８】
また、図示しないが、基準搬送車Ｖ２、Ｖ３以外の第４〜第ｍ搬送車Ｖ４〜Ｖｍについては、第１停止指標Ｎ１又は第２停止指標Ｎ２に基づき第ｍ搬送車Ｖｍの第ｍ走行体Ｍｍ（図１参照）を停止させて、第ｍ移載装置Ｕｍ（図１参照）により第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２にティーチングユニットＴＵを載置し、第ｍ−１誤差又は第ｍ−２誤差を検出させる。なお、第ｍ−１誤差又は第ｍ−２誤差は、第４〜第ｍ搬送車Ｖ４〜Ｖｍのそれぞれが有している機差ａ４〜ａｍを含んだ値である。
【００３９】
図５は、上位コントローラＣＵの機能ブロック構成の一例を示す。上位コントローラＣＵは、ズレ量算出部１２ＣＵ、ズレ量配信部１３ＣＵの他に、誤差受信部１１ＣＵと、誤差取得部１４ＣＵと、マップ生成部１５ＣＵと、マップ配信部１６ＣＵと、データ格納部１７ＣＵと、を有する。誤差受信部１１ＣＵは、第１の基準台ＭＳＴ１にティーチングユニットＴＵを載置した際に検出された基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３の第１誤差（第２−１誤差及び第３−１誤差を含む。）を、基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３の台車コントローラＣ１〜Ｃ３から受信する。また、誤差受信部１１ＣＵは、第２の基準台ＭＳＴ２にティーチングユニットＴＵを載置した際に検出された基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３の第１誤差（第２−１誤差及び第３−１誤差を含む。）を、基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３の台車コントローラＣ１〜Ｃ３から受信する。
【００４０】
誤差取得部１４ＣＵは、例えば、基準搬送車Ｖ１が第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにティーチングユニットＴＵを載置したときの第３〜第ｎ誤差を取得する。なお、第３〜第ｎ誤差は、誤差受信部１１ＣＵにより取得してもよく、この場合、誤差取得部１４ＣＵはなくてもよい。マップ生成部１５ＣＵは、例えば、基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにそれぞれ載置したときの第３〜第ｎ誤差を集約したマップを生成する。マップ配信部１６ＣＵは、マップを第ｍ搬送車Ｖｍの各台車コントローラＣｍに配信する。データ格納部１７ＣＵには、各種データが格納される。例えば、データ格納部１７ＣＵには、誤差受信部１１ＣＵが受信した基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３の第１誤差及び第２誤差、第２−１誤差、第２−２誤差、第３−１誤差、第３−２誤差、ズレ量算出部１２ＣＵが算出したズレ量、マップ生成部１５ＣＵが生成したマップ、などが格納される。
【００４１】
図６は、データ格納部１７ＣＵに格納される搬送車Ｖの誤差の一例をテーブル形式で示す。データ格納部１７ＣＵには、各搬送車Ｖが第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２の一方又は双方で検出した誤差が格納される。図６に示す「第１の基準台ＭＳＴ１」の欄は、第１の基準台ＭＳＴ１で検出した搬送車Ｖの第１誤差、第ｍ−１誤差、又は第２の基準台ＭＳＴ２で検出した搬送車Ｖの第ｍ−２誤差をズレ量で修正した修正誤差を示す情報である。同様に、「第２の基準台ＭＳＴ２」の欄は、第２の基準台ＭＳＴ２で検出した搬送車Ｖの第２誤差、第ｍ−２誤差、又は第１の基準台ＭＳＴ１で検出した搬送車Ｖの第ｍ−１誤差をズレ量で修正した修正誤差を示す情報である。図６では、修正誤差を四角で囲んで示している。修正誤差は、実際に誤差を検出した基準台ＭＳＴと異なる基準台ＭＳＴにおける誤差を示しており、実際に検出した誤差から、ズレ量算出部１２ＣＵで算出したズレ量を差し引いた値である。本実施形態では、図６に示す修正誤差を用いて移載先ＬＰに対する走行体Ｍｍの停止位置（あるいは物品２の載置位置）を補正する場合がある。
【００４２】
図６に示す例では、基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３における、第１の基準台ＭＳＴ１で検出した第１誤差、第２−１誤差、第３−１誤差と、第２の基準台ＭＳＴ２で検出した第２誤差、第２−２誤差、第３−２誤差とが格納されている。また、図６に示す例では、第４搬送車Ｖ４、第５搬送車Ｖ５における、第１の基準台ＭＳＴ１で検出した第４−１誤差、第５−１誤差と、第１の基準台ＭＳＴ１で検出した第４−１誤差、第５−１誤差に基づいてそれぞれズレ量で修正した修正誤差とが格納されている。また、図６に示す例では、第６搬送車Ｖ６、第７搬送車Ｖ７における、第２の基準台ＭＳＴ２で検出した第６−２誤差、第７−２誤差と、第２の基準台ＭＳＴ２で検出した第６−２誤差、第７−２誤差に基づいてそれぞれズレ量で修正した修正誤差と、が格納されている。
【００４３】
図６では、搬送車Ｖの誤差について、ＸＹＺ座標系を用いて（Ｘ方向の誤差，Ｙ方向の誤差，Ｚ方向の誤差）といった座標値で表現している。なお、図６において、各座標値の単位は、例えばｍｍである。例えば、基準搬送車Ｖ１の第１誤差（＋２，＋３，０）は、第１誤差が、Ｘ方向に＋２ｍｍ、Ｙ方向に＋３ｍｍ、Ｚ方向に±０ｍｍであることを示している。なお、第１誤差のうちＸ方向に関する値は、走行体Ｍの停止位置に関する誤差である。また、第１誤差のうちＹ方向に関する値は、横出し機構１１による物品２の横出し位置に関する誤差である。また、第１誤差のうちＺ方向に関する値は、昇降駆動部１４による物品２の昇降位置に関する誤差である。
【００４４】
図７は、搬送車Ｖの台車コントローラＣの機能ブロック構成の一例を示す。図７では、基準搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１を例として説明する。台車コントローラＣ１は、ズレ量受信部２２Ｃ１、基準台判定部２６Ｃ１、補正部２４Ｃ１の他に、誤差取得部２１Ｃ１と、マップ受信部２３Ｃ１と、誤差送信部２７Ｃ１と、データ格納部２５Ｃ１と、を有する。なお、他の台車コントローラＣ２〜Ｃｍについても台車コントローラＣ１と同様の構成を有している。
【００４５】
誤差取得部２１Ｃ１は、基準台ＭＳＴにティーチングユニットＴＵを載置した際に検出された第１誤差及び第２誤差の一方又は双方に関する誤差を取得する。マップ受信部２３Ｃ１は、上位コントローラＣＵから配信されたマップを受信する。誤差送信部２７Ｃ１は、誤差取得部２１Ｃ１が取得した誤差を、上位コントローラＣＵへ送信する。なお、ティーチングユニットＴＵが上位コントローラＣＵに誤差を送信可能な場合、誤差取得部２１Ｃ１及び誤差送信部２７Ｃ１はなくてもよい。データ格納部２５Ｃ１には、各種データが格納される。例えば、データ格納部２５Ｃ１には、ズレ量受信部２２Ｃ１が受信したズレ量、マップ受信部２３Ｃ１が受信したマップ、誤差取得部２１Ｃ１が取得した誤差、などが格納される。
【００４６】
図８は、基準搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１と、上位コントローラＣＵとの動作シーケンスの一例を示す図である。図８に示す動作フローを参照して、第１の基準台ＭＳＴ１及び第２の基準台ＭＳＴ２を用いて、基準搬送車Ｖ１により第１誤差及び第２誤差を検出することに伴う上位コントローラＣＵの動作について説明する。この動作フローの説明では、適宜、図１〜図７を参照する。
【００４７】
まず、第１の基準台ＭＳＴ１で基準搬送車Ｖ１の第１誤差を検出するために、基準搬送車Ｖ１の第１走行体Ｍ１を第１停止指標Ｎ１に停止させ、第１移載装置Ｕ１を駆動してティーチングユニットＴＵを第１の基準台ＭＳＴ１に載置する。基準搬送車Ｖ１の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラＣ１が第１の基準台ＭＳＴ１の位置を上位コントローラＣＵから取得して自動で行ってもよい。
【００４８】
基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵが第１の基準台ＭＳＴ１に載置されると、台車コントローラＣ１の誤差取得部２１Ｃ１（図７参照）あるいはティーチングユニットＴＵ（図４参照）は、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置と、実際にティーチングユニットＴＵを載置した位置との第１誤差を検出し、第１誤差を取得する（ステップＳ１０１）。なお、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置は、例えば、第１の基準台ＭＳＴ１に設けられた指標によって設定されてもよいし、上位コントローラＣＵから予め座標値として取得しておいてもよい。
【００４９】
また、ティーチングユニットＴＵを第１の基準台ＭＳＴ１に載置した位置は、ティーチングユニットＴＵに備えるセンサによって検出してもよいし、外部からティーチングユニットＴＵをカメラ等で撮像し、この画像から取得してもよい。画像による場合、第１の基準台ＭＳＴ１には、予め指標マークが設けられており、この指標マークとティーチングユニットＴＵとの相対位置から第１誤差を検出してもよい。また、ティーチングユニットＴＵの載置位置は、例えば、距離センサ等を用いて取得してもよい。
【００５０】
ステップＳ１０１において、誤差取得部２１Ｃ１あるいはティーチングユニットＴＵは、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置と、実際にティーチングユニットＴＵを載置した位置とを比較して、両者の誤差である第１誤差を取得する。
【００５１】
誤差取得部２１Ｃ１あるいはティーチングユニットＴＵは、第１誤差について、ＸＹＺ座標系におけるＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の差分をそれぞれ算出し、第１誤差として取得する。例えば、第１の基準台ＭＳＴ１の定められた位置に対するティーチングユニットＴＵの載置位置の差分が、Ｘ方向に＋２ｍｍ、Ｙ方向に＋３ｍｍ、Ｚ方向に０ｍｍであれば、誤差取得部２１Ｃ１は、第１誤差（＋２、＋３、０）を取得する。続いて、誤差取得部２１Ｃ１は、取得した第１誤差を、データ格納部２５Ｃ１（図７参照）に格納する。
【００５２】
データ格納部２５Ｃ１に第１誤差が格納されると、誤差送信部２７Ｃ１（図７参照）は、データ格納部２５Ｃ１に格納された第１誤差を読み出し、上位コントローラＣＵへ送信する（ステップＳ１０２）。なお、ステップＳ１０２において、ティーチングユニットＴＵが第１誤差を上位コントローラＣＵへ送信してもよい。上位コントローラＣＵの誤差受信部１１ＣＵ（図５参照）は、台車コントローラＣ１から送信された第１誤差を受信すると、その第１誤差を、データ格納部１７ＣＵ（図３参照）に格納する。データ格納部１７ＣＵには、例えば、図６に示すように、基準搬送車Ｖ１の第１誤差（＋２、＋３、０）が格納される。
【００５３】
次に、第２の基準台ＭＳＴ２で基準搬送車Ｖ１の第２誤差を検出するために、基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第２の基準台ＭＳＴ２に載置する。基準搬送車Ｖ１は、第１誤差を求めるために使用した搬送車と同一の搬送車である。上記と同様に、基準搬送車Ｖ１の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラＣ１が第２の基準台ＭＳＴ２の位置を上位コントローラＣＵ等から取得して自動で行ってもよい。
【００５４】
基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵが第２の基準台ＭＳＴ２に載置されると、台車コントローラＣ１の誤差取得部２１Ｃ１あるいはティーチングユニットＴＵは、第１誤差を取得したときと同様に、第２の基準台ＭＳＴ２の定められた位置と、ティーチングユニットＴＵを載置した位置との誤差である第２誤差を取得する（ステップＳ１０３）。誤差取得部２１Ｃ１は、取得した第２誤差を、データ格納部２５Ｃ１に格納する。
【００５５】
データ格納部２５Ｃ１に第２誤差が格納されると、台車コントローラＣ１の誤差送信部２７Ｃ１は、データ格納部２５Ｃ１に格納された第２誤差を読み出し、上位コントローラＣＵへ送信する（ステップＳ１０４）。なお、ステップＳ１０４において、ティーチングユニットＴＵが第２誤差を上位コントローラＣＵへ送信してもよい。上位コントローラＣＵの誤差受信部１１ＣＵは、基準搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１から送信された第２誤差を受信すると、その第２誤差を、データ格納部１７ＣＵに格納する。このようにして、データ格納部１７ＣＵには、例えば、図６に示すように、基準搬送車Ｖ１の第２誤差（＋３、＋２、−２）が格納される。
【００５６】
本実施形態では、第１搬送車Ｖ１と、第２搬送車Ｖ２と、第３搬送車Ｖ３とを基準搬送車として利用している。したがって、上位コントローラＣＵのデータ格納部１７ＣＵには、基準搬送車Ｖ２の第２−１誤差及び第２−２誤差、基準搬送車Ｖ３の第３−１誤差及び第３−２誤差についても、基準搬送車Ｖ１と同様に取得して格納される。
【００５７】
データ格納部１７ＣＵに第１誤差及び第２誤差（第２−１誤差及び第２−２誤差と、第３−１誤差及び第３−２誤差とを含む。）が格納されると、上位コントローラＣＵのズレ量算出部１２ＣＵ（図５参照）は、第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を算出する（ステップＳ１０５）。ズレ量算出部１２ＣＵは、２つの第１誤差及び第２誤差の差として、ＸＹＺ座標系におけるＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の差分をそれぞれ算出する。
【００５８】
例えば、図６に示すように、の第１誤差が（＋２、＋３、０）であり、第２誤差が（＋３、＋２、−２）である場合、ズレ量算出部１２ＣＵは、（＋２、＋３、０）−（＋３、＋２、−２）を求め、（−１、＋１、＋２）といったズレ量（座標値）を算出し、このズレ量をデータ格納部１７ＣＵに格納する。
【００５９】
本実施形態では、複数の基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３を用いている。したがって、ズレ量算出部１２ＣＵは、基準搬送車Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３ごとに第１誤差と第２誤差との差、第２−１誤差と第２−２誤差との差、第３−１誤差と第３−２誤差との差からそれぞれ３つのズレ量を算出し、いずれかのズレ量を代表値としてもよいし、３つのズレ量を統計処理した値を用いてもよい。例えば、ズレ量算出部１２ＣＵは、ズレ量がバラつく場合、３つのズレ量の平均値をズレ量としてもよいし、その中央値をズレ量としてもよい。また、３つのズレ量のバラつきの最頻値をズレ量としてもよい。データ格納部１７ＣＵにズレ量が格納されると、上位コントローラＣＵのズレ量配信部１３ＣＵ（図５参照)は、データ格納部１７ＣＵに格納されたズレ量を読み出して、そのズレ量を、複数の搬送車Ｖのそれぞれに配信する（ステップＳ１０６）。なお、ステップＳ１０６において、ズレ量配信部１３ＣＵは、例えば、基準搬送車Ｖ１を除いた搬送車Ｖにズレ量を配信してもよい。
【００６０】
図９は、上位コントローラＣＵの動作フローの一例を示す図である。図９に示す動作フローを参照して、基準搬送車Ｖ１等が複数の移載先ＬＰにティーチングユニットＴＵを載置したことに伴う上位コントローラＣＵの動作について説明する。この動作フローの説明では、適宜、図１〜図８を参照する。
【００６１】
基準台ＭＳＴによる基準搬送車Ｖ１等の第１誤差等の検出終了後、例えば、基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにそれぞれ載置する。なお、本実施形態では、ティーチングユニットＴＵを複数の移載先ＬＰ３等に載置するのに基準搬送車Ｖ１を利用するが、本実施形態のように複数の基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３がある場合、いずれの基準搬送車を利用してもよい。また、基準搬送車Ｖ１の動作は、例えば、オペレータが手動で操作して行ってもよいし、台車コントローラＣが第ｎ移載先ＬＰｎの停止位置に関するを上位コントローラＣＵ等から取得して自動で行ってもよい。
【００６２】
基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎに載置すると、上位コントローラＣＵの誤差取得部１４ＣＵあるいは誤差受信部１１ＣＵ（図５参照)は、基準搬送車Ｖ１が第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにティーチングユニットＴＵを載置したときの第ｎ誤差（第３〜第ｎ誤差）を取得する（ステップＳ２０１）。誤差取得部１４ＣＵあるいは誤差受信部１１ＣＵは、例えば、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎの定められた位置と、実際にティーチングユニットＴＵを載置した位置との差分である第３〜第ｎ誤差を取得する。この第ｎ誤差データは、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにおいて、ＸＹＺ座標系におけるＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の値として示されてもよい。なお、第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにおいて、それぞれ定められた位置は、移載先ごとに予め設定されている。
【００６３】
例えば、第ｎ移載先ＬＰｎの定められた位置に対し、実際にティーチングユニットＴＵが載置された位置が、Ｘ方向に４（ｍｍ）、Ｙ方向に６（ｍｍ）、Ｚ方向に１（ｍｍ）ずれていた場合、誤差取得部１４ＣＵあるいは誤差受信部１１ＣＵは、第ｎ移載先ＬＰｎの第ｎ誤差として（＋４、＋６、＋１）のように座標値を取得する。なお、誤差取得部１４ＣＵあるいは誤差受信部１１ＣＵは、このような誤差を、例えば、ティーチングユニットＴＵから送信されて取得してもよいし、基準搬送車Ｖ１を手動操作する操作端末あるいはキーボード等の操作により取得してもよい。また、基準搬送車Ｖ１あるいは第ｎ移載先ＬＰｎに設けられた各種センサによって検出した結果から誤差を取得してもよい。誤差取得部１４ＣＵあるいは誤差受信部１１ＣＵは、取得した誤差をデータ格納部１７ＣＵに格納する。
【００６４】
データ格納部１７ＣＵに第ｎ誤差が格納されると、上位コントローラＣＵのマップ生成部１５ＣＵ（図５参照）は、基準搬送車Ｖ１により検出した第３〜第ｎ移載先ＬＰ３〜ＬＰｎにおける第３〜第ｎ誤差をマッピングしたマップを生成する（ステップＳ２０２）。
【００６５】
マップ生成部１５ＣＵは、このように生成したマップを、データ格納部１７ＣＵに格納する。データ格納部１７ＣＵにマップが格納されると、上位コントローラＣＵのマップ配信部１６ＣＵ（図５参照）は、データ格納部１７ＣＵに格納されたマップを読み出し、基準搬送車Ｖ１を除く各搬送車Ｖの各台車コントローラＣにそれぞれ配信する（ステップＳ２０３）。
【００６６】
図１０は、搬送車Ｖの台車コントローラＣの動作フローの一例を示す図である。図１０に示す動作フローを参照して、搬送車Ｖにより物品２を移載先ＬＰに載置するときの台車コントローラＣの動作について説明する。この動作フローでは、基準搬送車Ｖ１〜Ｖ３以外の第４〜第ｍ搬送車Ｖ４〜Ｖｍ（図１及び図６参照）について説明し、適宜、図１〜図９を参照する。以下では、第４搬送車Ｖ４を例とするが、第５〜第ｍ搬送車Ｖ５〜Ｖｍについても同様である。
【００６７】
まず、第４搬送車Ｖ４の台車コントローラＣ４のズレ量受信部２２Ｃ４（図７の符号２２Ｃ１参照）は、図８のステップＳ１０６で配信されたズレ量を受信する（ステップＳ３０１）。受信したズレ量は、データ格納部２５Ｃ４に格納される。また、第４搬送車Ｖ４の台車コントローラＣ４のマップ受信部２３Ｃ４（図７の符号２３Ｃ１参照）は、図９のステップＳ２０３で配信されたマップを受信する（ステップＳ３０２）。受信したマップは、データ格納部２５Ｃ４に格納される。
【００６８】
また、オペレータは、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２で第４搬送車Ｖ４の誤差を検出するために、第４搬送車Ｖ４を例えば手動等により操作して、第４搬送車Ｖ４によりティーチングユニットＴＵを第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれかに載置する。第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれかにティーチングユニットＴＵが載置されると、台車コントローラＣ４の誤差取得部２１Ｃ４（図７の符号２１Ｃ１参照）あるいはティーチングユニットＴＵは、図８のステップＳ１０１と同様に、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれかで検出された第４−１誤差又は第４−２誤差を取得する（ステップＳ３０３）。なお、第５〜第ｍ搬送車Ｖ５〜Ｖｍの場合、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれかで検出された誤差は、第５−１〜第ｍ−１誤差又は第５−２〜第ｍ−２誤差で示される。誤差取得部２１Ｃ４は、取得した第４−１誤差又は第４−２誤差を、データ格納部２５Ｃ４に格納する。
【００６９】
次に、台車コントローラＣ４の基準台判定部２６Ｃ４（図７の符号２６Ｃ１参照）は、誤差を検出する際に第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれが使用されたかを判定する（ステップＳ３０４）。例えば、第４−１誤差又は第４−２誤差におけるデータのヘッダ情報として、誤差の検出に使用した基準台ＭＳＴの識別情報が記載され、基準台判定部２６Ｃ４は、このヘッダ情報を参照することにより、誤差の検出に第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれが使用されたかを判定してもよい。また、基準台判定部２６Ｃ４は、第４搬送車Ｖ４の第４走行体Ｍ４（図２参照）が第１停止指標Ｎ１又は第２停止指標Ｎ２によって停止した位置から、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれが使用されたかを判定してもよい。基準台判定部２６Ｃ４は、その判定結果を、補正部２４Ｃ４（図７の符号２４Ｃ１参照）へ送る。
【００７０】
基準台判定部２６Ｃ４の判定結果により、第１の基準台ＭＳＴ１を使用した場合（ステップＳ３０４；ＹＥＳ）、補正部２４Ｃ４は、各移載先ＬＰにおいて、第４走行体Ｍ４の停止位置をデータ格納部２５Ｃ４に格納されたマップ（第ｎ誤差）及び第４−１誤差で補正する。（ステップＳ３０５）。補正部２４Ｃ４は、例えば、マップの第ｎ誤差から、第４−１誤差を差し引いて第４走行体Ｍ４の停止位置を補正する。この補正した停止位置に第４走行体Ｍ４を停止させ、第４移載装置Ｕ４を駆動することにより、第４搬送車Ｖ４は、移載先ＬＰに対して正確に物品２の受け渡しを行うことができる。なお、ステップＳ３０５では、第４走行体Ｍ４の停止位置を補正することに加えて、各移載先ＬＰにおける横出し機構１１の横出し位置、及び昇降駆動部１４の昇降位置について補正してもよい。
【００７１】
また、基準台判定部２６Ｃ４の判定結果により、第２の基準台ＭＳＴ２を使用した場合（ステップＳ３０５；ＮＯ）、補正部２４Ｃ４は、各移載先ＬＰにおいて、第４走行体Ｍ４の停止位置をデータ格納部２５Ｃ４に格納されたマップ（第ｎ誤差）及び第４−２誤差、さらにデータ格納部２５Ｃ４に格納されたズレ量で補正する（ステップＳ３０７）。なお、ステップＳ３０７は、第４走行体Ｍ４の停止位置をマップ（第ｎ誤差）及び第４搬送車Ｖ４における修正誤差（図６参照）で補正してもよい。補正部２４Ｃ４は、例えば、マップの第ｎ誤差から、第４−１誤差とズレ量とを差し引いて第４走行体Ｍ４の停止位置を補正する。この補正した停止位置に第４走行体Ｍ４を停止させ、第４移載装置Ｕ４を駆動することにより、第４搬送車Ｖ４が第２の基準台ＭＳＴ２で第４−２誤差を検出した場合でも、移載先ＬＰに対して正確に物品２の受け渡しを行うことができる。
【００７２】
また、上記では基準搬送車でない第４〜第ｍ搬送車Ｖ４〜Ｖｍについて説明したが、第ｎ誤差（マップ）を検出していない基準搬送車Ｖ２、Ｖ３については、それぞれ第ｎ誤差（マップ）及びと第１の基準台ＭＳＴ１で検出した第２−１誤差、第３−１誤差で第２走行体Ｍ２、第３走行体Ｍ３の停止位置を補正することにより、移載先ＬＰに対して正確に物品２の受け渡しを行うことができる。
【００７３】
このように、本実施形態によれば、第２の基準台ＭＳＴ２で誤差を検出した場合であっても、第１の基準台ＭＳＴ１と第２の基準台ＭＳＴ２との差であるズレ量を用いて走行体Ｍの停止位置を補正することにより、各移載先ＬＰに対して正確に物品２を受け渡すことができる。この構成により、多くの搬送車Ｖを稼働させる場合、あるいは既存の設備に新たな搬送車Ｖを投入する場合などでも、搬送車Ｖの教示に要する時間を短縮することができる。
【００７４】
なお、上記した上位コントローラＣＵの誤差受信部１１ＣＵ、ズレ量算出部１２ＣＵ、ズレ量配信部１３ＣＵ、誤差取得部１４ＣＵ、マップ生成部１５ＣＵ、マップ配信部１６ＣＵ、及びデータ格納部１７ＣＵは、プログラムがコンピュータに読み込まれることにより、ソフトウェアとハードウェア資源とが協働した具体的手段として実現されてもよい。同様に、搬送車Ｖの台車コントローラＣの誤差取得部２１、ズレ量受信部２２、マップ受信部２３、補正部２４、データ格納部２５、基準台判定部２６、及び誤差送信部２７は、プログラムがコンピュータに読み込まれることにより、ソフトウェアとハードウェア資源とが協働した具体的手段として実現されてもよい。
【００７５】
以上、実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上記した記載に限定されない。また、上記した実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、上位コントローラＣＵは、いずれかの搬送車Ｖの台車コントローラＣに含まれてもよい。
【００７６】
図１１は、基準搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１が上位コントローラＣＵを含む場合の動作シーケンスの例を示している。台車コントローラＣ１が上位コントローラＣＵを含む場合、台車コントローラＣ１は、図５に示す上位コントローラＣＵの各構成要素を有している。なお、図８に示す動作シーケンスと重複する内容についは説明を省略又は簡略化する。まず、基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第１の基準台ＭＳＴ１に載置して第１誤差を検出する。この検出により、台車コントローラＣ１の誤差取得部２１Ｃ１は、第１の基準台ＭＳＴ１での第１誤差を取得する（ステップＳ４０１）。
【００７７】
次に、基準搬送車Ｖ１によりティーチングユニットＴＵを第２の基準台ＭＳＴ２に載置して第２誤差を検出する。この検出により、台車コントローラＣ１の誤差取得部２１Ｃ１は、第２の基準台ＭＳＴ２での第２誤差を取得する（ステップＳ４０２）。誤差取得部２１Ｃ１で取得した第１誤差及び第２誤差は、データ格納部２５Ｃ１に格納される。次に、台車コントローラＣ１（上位コントローラＣＵ）のズレ量算出部１２ＣＵは、第１誤差と第２誤差との差であるズレ量を算出する（ステップＳ４０３）。算出されたズレ量（座標値）は、データ格納部１７ＣＵに格納される。
【００７８】
データ格納部１７ＣＵに格納されたズレ量は、台車コントローラＣ１（上位コントローラＣＵ）のズレ量配信部１３ＣＵにより、他の搬送車Ｖ２〜Ｖｍのそれぞれに配信される（ステップＳ４０３）。他の搬送車Ｖ２〜Ｖｍのそれぞれは、基準搬送車Ｖ１の台車コントローラＣ１から配信されたズレ量を用いることにより、第１の基準台ＭＳＴ１又は第２の基準台ＭＳＴ２のいずれで誤差を検出した場合でも、移載先ＬＰに物品２を正確に載置することができる。このように、台車コントローラＣ１が上位コントローラＣＵを含む場合であっても、搬送車Ｖの教示に要する時間を短縮できる。さらに、搬送車Ｖの台車コントローラＣが上位コントローラＣＵとして機能するため、コストを低減することができる。
【００７９】
また、特許請求の範囲、明細書及び図面中において示したシステム、方法、装置、プログラム及び記録媒体における動作、ステップ等の各処理の実行順序は、前の処理の出力を後の処理で用いる構成でない限り、任意の順序で実現可能である。また、上記した実施形態における動作に関して、便宜上「まず」、「次に」、「続いて」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須ではない。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−０２０２２７、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００８０】
２・・・物品
１００・・・搬送システム
ＣＵ・・・上位コントローラ（コントローラ）
１２ＣＵ・・・ズレ量算出部
１３ＣＵ・・・ズレ量配信部
Ｃ１〜Ｃｍ・・・台車コントローラ（コントローラ）
２２Ｃ１・・・ズレ量受信部
２４Ｃ１・・・補正部
２６Ｃ１・・・基準台判定部
ＭＳＴ１・・・第１の基準台（第１移載先ＬＰ１）
ＭＳＴ２・・・第２の基準台（第２移載先ＬＰ２）
ＬＰ３〜ＬＰｎ・・・第３〜第ｎ移載先
Ｔ・・・軌道
Ｖ１〜Ｖ３・・・基準搬送車（第１〜第３搬送車）Ｖ４〜Ｖｍ・・・第４〜第ｍ搬送車
Ｍ・・・走行体
Ｕ・・・移載装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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