(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性材料により形成されるチューブを間欠的に押し潰すチューブポンプにより間欠的に圧送される液体の流量を制御する流量制御装置であって、
流入端から流出端へ向けた流通方向に延在するとともに前記チューブポンプが配置される流路と、
前記チューブポンプよりも前記流通方向の下流側に配置されるとともに前記流路を流通する液体の流量を計測する流量計と、
前記流量計により計測される流量が目標流量となるように前記チューブポンプが吐出する液体の吐出量を制御する制御部とを備え、
前記流路は、
前記チューブポンプよりも前記流通方向の下流側に配置されるとともに液体の圧力によって弾性変形する可撓性を有する直管状の可撓性流路と、
前記可撓性流路の前記流通方向の下流側の端部にのみ連結されるとともに前記流通方向に直交する流路断面の断面積が前記流路において最小となる縮径部とを有する流量制御装置。
【請求項２】
前記流路は、前記縮径部の下流側に配置される下流側流路を有し、
前記下流側流路は、前記可撓性流路よりも高い剛性を有する材料により形成されている請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記チューブポンプよりも前記流通方向の下流側に配置される逆止弁を備える請求項１または請求項２に記載の流量制御装置。
【請求項４】
前記縮径部は、前記流通方向に直交する流路断面の断面積が一定の直管状の流路である請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項５】
前記流量計は、前記縮径部よりも前記流通方向の下流側に配置されている請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項６】
前記可撓性流路の前記流通方向に直交する流路断面の断面積は、前記流路において最大である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項７】
前記逆止弁は、ダックビル型の逆止弁である請求項３に記載の流量制御装置。
【請求項８】
前記チューブポンプを備える請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプにより間欠的に圧送される液体の流量を制御する流量制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性部材により形成されるチューブを複数のローラによって間欠的に押し潰すことによってチューブ内の液体を圧送するチューブポンプが知られている。チューブポンプが吐出する液体の吐出量は、複数のローラが取り付けられるロータの回転数によって変化する。
チューブポンプにより間欠的に圧送される液体の流量を制御するには、チューブポンプの下流側の流路に流量計を設けて液体の流量を測定し、測定された流量に応じてチューブポンプのロータの回転数を制御すればよい。
【０００３】
しかしながら、チューブポンプにより間欠的に圧送される液体に脈動が生じる場合、流量計による液体の流量の計測を正確に行うことができない。そのため、チューブポンプにより圧送される液体の流量を適切に制御することができない。特に、チューブポンプのロータの回転数が低くチューブポンプによる液体の吐出量が少ない場合に、液体の脈動が顕著となり易い。
【０００４】
なお、ポンプによって圧送される液体に生じる脈動を抑制する装置として、内部に設けた気室と液室との圧力バランスを保持することで液室に導かれる液体の脈動を抑制するダンパーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２０５２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されたダンパーをチューブポンプの下流側の流路に設けることにより、脈動が抑制された液体を流量計に導くことができる。
しかしながら、特許文献１に開示されたダンパーは、一定量の液体を収容する液室を設けた構造であるため、液室内に流通しない液体が保持される空間（いわゆるデッドボリューム）を有する。そのため、この空間に滞留する液体に雑菌等が発生し、液体の純度が適切に維持されない可能性がある。
また、特許文献１に開示されたダンパーは、気室と液室とを設けた比較的複雑かつ容積を必要とするため、液体の流量を制御する装置全体が複雑化しかつ大型化してしまう。
【０００７】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、流通しない液体が保持される空間を設けることなくポンプにより間欠的に圧送される液体の脈動を抑制し、適切に流量を制御することが可能な流量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様に係る流量制御装置は、可撓性材料により形成されるチューブを間欠的に押し潰すチューブポンプにより間欠的に圧送される液体の流量を制御する流量制御装置であって、流入端から流出端へ向けた流通方向に延在するとともに前記チューブポンプが配置される流路と、前記チューブポンプよりも前記流通方向の下流側に配置されるとともに前記流路を流通する液体の流量を計測する流量計と、前記流量計により計測される流量が目標流量となるように前記チューブポンプが吐出する液体の吐出量を制御する制御部とを備え、前記流路が、前記チューブポンプよりも前記流通方向の下流側に配置されるとともに液体の圧力によって弾性変形する可撓性を有する直管状の可撓性流路と、前記可撓性流路よりも前記流通方向の下流側の端部にのみ連結されるとともに前記流通方向に直交する流路断面の断面積が前記流路において最小となる縮径部とを有する。
【０００９】
本発明の一態様に係る流量制御装置によれば、ポンプよりも流通方向の下流側に直管状の可撓性流路が配置され、さらにその下流側に流路断面の断面積が流路において最小となる縮径部が配置される。縮径部における配管抵抗が流路において最大となるため、可撓性流路の下流側に縮径部を設けない場合に比べ、可撓性流路を流通する液体は動圧が低くかつ静圧が高い状態となる。
【００１０】
本発明の一態様に係る流量制御装置によれば、直管状の可撓性流路が液体の圧力によって流路断面積が変化する可撓性を有する。そのため、液体の脈動によって可撓性流路内の液体の静圧がさらに上昇した場合に可撓性流路が弾性変形し、液体の脈動が下流側に伝達されることが抑制される。
また、本発明の一態様に係る流量制御装置によれば、直管状の可撓性流路によって液体の脈動を抑制することができるので、液体の脈動を抑制するための液室を有するダンパーなど流通しない液体が保持される空間を有する装置を必要としない。
【００１１】
このように、本発明の一態様に係る流量制御装置によれば、流通しない液体が保持される空間を設けることなくポンプにより間欠的に圧送される液体の脈動を抑制し、適切に流量を制御することが可能な流量制御装置を提供することができる。
【００１２】
本発明の一態様に係る流量制御装置は、前記ポンプよりも前記流通方向の下流側に配置される逆止弁を備える構成であってもよい。
本構成によれば、ポンプにより間欠的に圧送される液体に大きな脈動が発生する場合であっても、流入端から流出端へ向けた流通方向の逆方向に液体が導かれることが防止される。
【００１３】
本発明の一態様に係る流量制御装置において、前記ポンプは、可撓性材料により形成されるチューブを間欠的に押し潰すことによって前記チューブ内の液体を圧送するチューブポンプであってもよい。
このようにすることで、チューブポンプにより間欠的に圧送される液体の脈動を抑制し、適切に流量を制御することが可能な流量制御装置を提供することができる。
【００１４】
本発明の一態様に係る流量制御装置において、前記縮径部は、前記流通方向に直交する流路断面の断面積が一定の直管状の流路である構成としてもよい。
このようにすることで、縮径部を比較的簡易な構造の直管状の流路とすることができる。
【００１５】
本発明の一態様に係る流量制御装置において、前記流量計は、前記縮径部よりも前記流通方向の下流側に配置されている構成であってもよい。
このようにすることで、縮径部の上流側に配置された可撓性流路で脈動が抑制され、さらに縮径部を通過した後の脈動が確実に抑制された液体を流量計に供給することができる。
【００１６】
本発明の一態様に係る流量制御装置において、前記可撓性流路の前記流通方向に直交する流路断面の断面積は、前記流路において最大であってもよい。
このようにすることで、可撓性流路の内部に収容される液体の量を十分に確保し、液体の脈動をより確実に抑制することができる。
【００１７】
本発明の一態様に係る流量制御装置において、前記逆止弁は、ダックビル型の逆止弁であってもよい。
このようにすることで、ポンプにより圧送される液体の流量が微少となる場合であっても、流入端から流出端へ向けた流通方向の逆方向に液体が導かれることが適切に防止される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、流通しない液体が保持される空間を設けることなくポンプにより間欠的に圧送される液体の脈動を抑制し、適切に流量を制御することが可能な流量制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態に係る流量制御装置を示す構成図である。
【図２】図１に示すチューブポンプによる液体の圧送状態を示す概略構成図であり、（ａ）が第１時刻における液体の圧送状態を示し、（ｂ）が第２時刻における液体の圧送状態を示す。
【図３】図１に示す逆止弁の縦断面図である。
【図４】流量計が計測する液体の流量の時間変化を示す図である。
【図５】流量計が計測する液体の流量の時間変化を示す図である。
【図６】第２実施形態に係る流量制御装置を示す構成図である。
【図７】オリフィスを示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態の流量制御装置１００について図面を参照して説明する。
本実施形態の流量制御装置１００は、チューブポンプ２０により圧送される液体の流量を制御する装置である。本実施形態の流量制御装置１００は、例えば、０．１ｃｃ／ｍｉｎ〜３０ｃｃ／ｍｉｎの微少流量を制御するのに適している。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態の流量制御装置１００は、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けた流通方向に延在する流路１０と、間欠的に液体を圧送するチューブポンプ２０と、チューブポンプ２０よりも流通方向の下流側に配置される逆止弁３０と、流路１０を流通する液体の流量を計測する流量計４０と、チューブポンプ２０が吐出する液体の吐出量を制御する流量コントローラ５０（制御部）とを備える。
以下、本実施形態の流量制御装置１００が備える各構成について説明する。
【００２２】
流路１０は、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けた流通方向に延在するとともに流入端１０ａの近傍にチューブポンプ２０が配置された管状の部材である。
図１に示すように、流路１０は、流通方向の上流側から順に、第１流路１１と、第２流路１２（可撓性流路）と、第３流路１３（縮径部）と、第４流路１４とが接続された流路である。第１流路１１と第２流路１２とは継手６０によって連結されており、第２流路１２と第３流路１３とは継手７０によって連結されている。
【００２３】
第１流路１１，第２流路１２，第３流路１３，および第４流路１４は、いずれも直管状の流路である。各流路においては、液体の流通方向のいずれの位置においても内径が一定となっている。
ここで、第１流路１１の内径と、第２流路１２の内径と，第３流路１３の内径と，および第４流路１４の内径をそれぞれＩＤ１，ＩＤ２，ＩＤ３，ＩＤ４とすると、これらは以下の式（１）の関係となっている。
ＩＤ３＜ＩＤ１＝ＩＤ２＝ＩＤ４          （１）
ＩＤ１，ＩＤ２，ＩＤ３，ＩＤ４の具体的数値として、例えば、ＩＤ１，ＩＤ２，ＩＤ４を２ｍｍとし、ＩＤ３を０．５ｍｍと設定することができる。
【００２４】
なお、第１流路１１の外径と、第２流路１２の外径と，第３流路１３の外径と，および第４流路１４の外径をそれぞれＯＤ１，ＯＤ２，ＯＤ３，ＯＤ４とすると、これらは以下の式（２）の関係となっている。
ＯＤ１＝ＯＤ３＝ＯＤ４＜ＯＤ２          （２）
ＯＤ１，ＯＤ２，ＯＤ３，ＯＤ４の具体的数値として、例えば、ＯＤ１，ＯＤ３，ＯＤ４を３ｍｍとし、ＯＤ２を４ｍｍと設定することができる。
【００２５】
第１流路１１，第２流路１２，第３流路１３，および第４流路１４は、耐腐食性を有する樹脂材料により形成されている。このうち、第２流路１２は、チューブポンプ２０により圧送される液体の圧力によって弾性変形する可撓性を有する樹脂材料（例えば、シリコン樹脂）により形成されている。一方、第１流路１１，第３流路１３，および第４流路１４は、第２流路１２よりも高い剛性を有する樹脂材料（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ））により形成されている。
【００２６】
図１に示すように、第２流路１２の流通方向の長さをＬ１と、第３流路１３の流通方向の長さをＬ２とは、例えば、以下の式（３），（４）の範囲に設定するのが望ましい。
１００ｍｍ≦Ｌ１≦５００ｍｍ          （３）
５０ｍｍ≦Ｌ２≦２５０ｍｍ            （４）
また、Ｌ１，Ｌ２は、式（５）を満たすように設定するのが望ましい。
Ｌ１＞Ｌ２                            （５）
また、Ｌ１，Ｌ２は、式（６）を満たすように設定するのが更に望ましい。
Ｌ１≧２・Ｌ２                        （６）
【００２７】
第２流路１２は、液体の圧力によって弾性変形する可撓性を有するため、Ｌ１を長くするほど、より大きな脈動低減効果が得られる。ただし、Ｌ１が長くなるほど装置全体の寸法が大きくなってしまう。そのため、式（３）に示す範囲にＬ１を設定している。
第３流路１３は、内径ＩＤ３を他の流路より小さくして抵抗の効果（オリフィスとしての機能）を得ている。この抵抗の効果は、第３流路１３の長さＬ２がある程度短い場合であっても得られる。そのため、式（４）に示す範囲にＬ２を設定している。
【００２８】
また、第３流路１３の長さＬ２を第２流路１２の長さＬ１より相対的に短くしても、前述した第３流路１３の抵抗の効果（オリフィスとしての機能）は十分に得られる。
そのため、式（５）あるいは式（６）に示すようにＬ１，Ｌ２を設定している。
【００２９】
以上のように、第３流路１３の内径ＩＤ３は、流路１０において最小の内径となっている。そのため、第３流路１３の流通方向に直交する流路断面の断面積は流路１０において最小となっている。
第３流路１３の断面積を流路１０において最小としているのは、第３流路１３の配管抵抗を流路１０において最も高くするためである。そのため、第３流路１３の上流側の第２流路１２内の液体の静圧が高い状態に維持される。
【００３０】
また、内部の液体の静圧が高い状態に維持される第２流路１２を可撓性の樹脂材料によって形成しているのは、液体の脈動によって第２流路１２内の静圧がさらに上昇した場合に弾性変形することにより、液体の脈動が下流側に伝達されることを抑制するためである。
このように、流路１０において最も配管抵抗の高い第３流路１３の上流側に可撓性の樹脂材料によって形成される第２流路１２を配置することにより、チューブポンプ２０から間欠的に圧送される液体の脈動を抑制することができる。
【００３１】
次に、流量制御装置１００が備えるチューブポンプ２０について説明する。
チューブポンプ２０は、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けて間欠的に液体を圧送する装置である。
図２の概略構成図に示すように、チューブポンプ２０は、シリコン樹脂等の可撓性材料により形成されるチューブ２１と、ローラ２２およびローラ２３と、これらのローラが取り付けられるロータ２４とを有する。
【００３２】
図２に示すように、ローラ２２およびローラ２３が取り付けられるロータ２４は、モータ（図示略）の駆動力によって軸線Ｘ回りに図中の矢印の方向に回転する。図２（ａ）は第１時刻における液体Ｌｑの圧送状態を示し、図２（ｂ）は第１時刻から一定時間後の第２時刻における液体Ｌｑの圧送状態を示す。
【００３３】
図２に示すように、チューブ２１はロータ２４とともに回転するローラ２２およびローラ２３によって各位置が間欠的に押し潰される（扱かれる）ようになっている。図２に示すように第１時刻において左下方に位置していたローラ２２は軸線Ｘ回りに回転し、第２時刻では最上部まで移動している。
そして、ローラ２２が軸線Ｘを中心として時計回りに回転することにより、チューブ２１内の液体Ｌｑもチューブ２１内を時計回りに移動する。ロータ２４が軸線Ｘ回りに回転すると、ローラ２２によるチューブ２１の押し潰しと、ローラ２３によるチューブ２１の押し潰しとが間欠的に行われる。これにより、チューブ２１内の液体Ｌｑが流通方向に沿って間欠的に圧送される。
【００３４】
図３に示すように、逆止弁３０は、ビルハウジング３１と、ビルハウジング３１に取り付けられるボディ３２と、ボディ３２の流通方向の一端部に取り付けられるナット３３と、ビルハウジング３１の流通方向の一端部に取り付けられるナット３４と、ダックビル３５とを有する。
【００３５】
図３に示すように、ダックビル３５は、流通方向の下流側の先端が閉塞したくちばし形状（ダックビル形状）の部材である。ダックビル３５は、上下に配置される一対の可撓性の面体が先端で当接してスリットを形成した部材である。そのため、ダックビル３５は、流通方向への液体の流通を可能にしつつ、流通方向の逆方向への流通を阻止するようになっている。
ダックビル３５を形成する材料としては、可撓性を有する各種材料を採用することができる。例えば、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）やフッ素ゴム等を採用することができる。
【００３６】
ダックビル３５は、液体の圧力によって変形することによって液体の流通状態を切り替えるものである。そのため、弁体とスプリングの組み合わせ等の機械要素によって構成される逆止弁に比べ、微小な流量（０．１ｃｃ／ｍｉｎ〜３０ｃｃ／ｍｉｎ）を流通させる流路に特に適している。
【００３７】
図３に示すように、ダックビル３５は、ビルハウジング３１に収容されるとともにビルハウジング３１に取り付けられるボディ３２との間に挟まれた状態で固定されている。
第１流路１１は、ボディ３２に挿入された状態でナット３３によってボディ３２に固定されるようになっている。また、第１流路１１は、ビルハウジング３１に挿入された状態でナット３４によってビルハウジング３１に固定されるようになっている。
【００３８】
流量計４０は、チューブポンプ２０よりも流通方向の下流側に配置されるとともに流路１０を流通する液体の流量を計測する装置である。流量計４０が流量を計測する方式としては、液体をヒータにより加熱してヒータより下流側に設けた温度検出素子による温度の検出タイミングから流量を測定する熱式を採用することができる。また、例えば、オリフィスの上流側および下流側の液体の圧力を検出してその差圧から流量を計測する差圧式を採用することができる。
【００３９】
流量コントローラ５０は、流量計４０により計測される流量が目標流量となるようにチューブポンプ２０が吐出する液体の吐出量を制御する装置である。
図１に示すように、流量コントローラ５０には流量計４０により計測される流量が入力されるようになっている。流量コントローラ５０は、設定部（図示略）を介して設定される目標流量と流量計４０により計測される流量とが一致するように、チューブポンプ２０に対してロータ２４の回転数を制御するための制御指令値を伝達する。
【００４０】
具体的に、流量コントローラ５０は、流量計４０により計測される流量が目標流量よりも少ない場合は、チューブポンプ２０の吐出量を増加させるための制御指令値をチューブポンプ２０に伝達する。また、流量コントローラ５０は、流量計４０により計測される流量が目標流量よりも多い場合は、チューブポンプ２０の吐出量を減少させるための制御指令値をチューブポンプ２０に伝達する。
【００４１】
次に、本実施形態の流量計４０が計測する液体の流量について説明する。
図４および図５は、いずれも流量計４０が計測する液体の流量の時間変化を示す図である。
図４は、チューブポンプ２０が圧送する液体の流量（単位時間当たりの吐出量）が比較的少なく、その平均値がＱ１である例を示す。一方、図５は、チューブポンプ２０が圧送する液体の流量（単位時間当たりの吐出量）が比較的多く、その平均値がＱ２である例を示す。
【００４２】
図４および図５における実線は、本実施形態の流量制御装置１００における流量計４０が計測した流量の時間変化を示している。一方、図４および図５における破線は、比較例の流量制御装置における流量計が計測した流量の時間変化を示している。
ここで、比較例の流量制御装置とは、本実施形態の流量制御装置１００における第２流路１２および第３流路１３とをそれぞれ第１流路１０と同じ内径および外径としかつ同じ材料で形成した装置である。すなわち、比較例の流量制御装置は、流入端１０ａから流出端１０ｂに至るまでの流路１０の全領域における流路断面積と流路を形成する材料が同じとなる。
【００４３】
図４および図５に示すように、比較例（破線）に対して本実施形態の流量計４０が計測する流量は流量の変動（脈動）が抑制されている。これは、可撓性の第２流路１２が流量の変動を弾性変形によって吸収しているためである。
【００４４】
また、図４に示す比較例では、チューブポンプ２０が圧送する液体の流量の変動により一部の期間で流量が０以下となっている。流量が０以下となることは、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けた液体の流通方向とは逆方向に液体が流れていることを示している。このような現象は、チューブポンプ２０の液体の吐出量が少ない場合に生じる。
【００４５】
そして、図４に示すように、本実施形態では比較例のように流量が０以下となる期間が存在せず、比較例で流量が０以下となる期間において本実施形態では流量が０となっている。これは、逆止弁３０によって液体の流通方向とは逆方向に液体が流れることが阻止されているからである。
このように、本実施形態によれば、チューブポンプ２０の液体の吐出量が少ない場合であっても、液体の流通方向とは逆方向に液体が流れることが抑制される。
【００４６】
なお、図４における液体の脈動の周期Ｔ１は、図５における液体の脈動の周期Ｔ２よりも長くなっている。これは、図４におけるチューブポンプ２０が圧送する液体の流量が少なく、チューブポンプ２０のロータ２４の回転速度が遅いためである。
【００４７】
以上説明した本実施形態の流量制御装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の流量制御装置１００によれば、チューブポンプ２０よりも流通方向の下流側に直管状の第２流路１２が配置され、さらにその下流側に流路断面の断面積が流路１０において最小となる第３流路１３が配置される。第３流路１３における配管抵抗が流路１０において最大となるため、第２流路１２の下流側に配管抵抗が最大となる第３流路１３を設けない場合に比べ、第２流路１２を流通する液体は動圧が低くかつ静圧が高い状態となる。
【００４８】
本実施形態の流量制御装置１００によれば、直管状の第２流路１２が液体の圧力によって流路断面積が変化する可撓性を有する。そのため、液体の脈動によって第２流路１２内の液体の静圧がさらに上昇した場合に第２流路１２が弾性変形し、液体の脈動が下流側に伝達されることが抑制される。
また、本実施形態の流量制御装置１００によれば、直管状の第２流路１２によって液体の脈動を抑制することができるので、液体の脈動を抑制するための液室を有するダンパーなど流通しない液体が保持される空間を有する装置を必要としない。
【００４９】
このように、本実施形態によれば、流通しない液体が保持される空間を設けることなくチューブポンプ２０により間欠的に圧送される液体の脈動を抑制し、適切に流量を制御することが可能な流量制御装置１００を提供することができる。
【００５０】
本実施形態の流量制御装置１００は、チューブポンプ２０よりも流通方向の下流側に配置される逆止弁３０を備える。そのため、チューブポンプ２０により間欠的に圧送される液体に大きな脈動が発生する場合であっても、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けた流通方向の逆方向に液体が導かれることが防止される。
【００５１】
本実施形態の流量制御装置１００において、第３流路１３は、流通方向に直交する流路断面の断面積が一定の直管状の流路である。このようにすることで、比較的簡易な構造の直管状の流路で第３流路１３の配管抵抗を流路１０で最大とすることができる。
【００５２】
本実施形態の流量制御装置１００において、流量計４０は、第３流路１３よりも流通方向の下流側に配置されている。このようにすることで、第３流路１３の上流側に配置された第２流路１２で脈動が抑制され、さらに第３流路１３を通過した後の脈動が確実に抑制された液体を流量計４０に供給することができる。
【００５３】
本実施形態の流量制御装置１００において、逆止弁３０は、ダックビル型の逆止弁である。このようにすることで、チューブポンプ２０により圧送される液体の流量が微少となる場合であっても、流入端１０ａから流出端１０ｂへ向けた流通方向の逆方向に液体が導かれることが適切に防止される。
【００５４】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態の流量制御装置について図６を用いて説明する。
第２実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。
第１実施形態の流量制御装置１００は、流量計４０を、第３流路１３よりも流通方向の下流側に配置するものであった。
それに対して本実施形態の流量制御装置１００’は、流量計４０を、第３流路１３よりも流通方向の上流側に配置するものである。
【００５５】
本実施形態のように流量計４０を、第３流路１３よりも流通方向の上流側に配置しても、第３流路１３よりも上流側に配置される第２流路１２によって液体の脈動が抑制される。そのため、第２流路１２の下流側に配置される流量計４０は、脈動が抑制された状態の液体の流量を計測することができる。
【００５６】
〔他の実施形態〕
本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【００５７】
以上の説明において、第２流路１２の流路断面積は、第１流路１１の流路断面積および第４流路１４の流路断面積と同じであったが、他の態様であってもよい。
例えば、第２流路１２の流通方向に直交する流路断面の断面積を、流路１０において最大としてもよい。
このようにすることで、第２流路１２の内部に収容される液体の量を十分に確保し、液体の脈動をより確実に抑制することができる。
【００５８】
以上の説明においては、流路１０において配管抵抗が最大となる部分を直管状の第３流路１３により形成するものであったが、他の態様であってもよい。
例えば、直管状の第３流路１３の代わりに、部分的に流路径（および流路断面積）を縮小した図７に示すオリフィス８０を設けるようにしてもよい。
【００５９】
図７に縦断面図で示されるオリフィス８０は、流入口８０ａから流入する液体を流出口８０ｂから流出させる部材である。オリフィス８０は、オリフィス部８１と、第２流路１２からの液体が流入する流入側ボディ８２と、オリフィス部８１が取り付けられる流出側ボディ８３とを備える。
オリフィス部８１は、流入側ボディ８２と流出側ボディ８３との間でそれぞれに挟まれた状態で支持されており、流路断面積をオリフィス８０内部の他の流路よりも小さくした縮径部となっている。
【００６０】
オリフィス部８１（縮径部）の内径は、例えば０．２ｍｍに設定される。この値は、第３流路１３の内径ＩＤ３の一例である０．５ｍｍよりも小さい値となっている。
図１に示す第３流路１３の代わりにオリフィス８０を用いることにより、第３流路１３を用いる場合よりも流路長を短くして流量制御装置１００全体の寸法を小さくすることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１０    流路
１１    第１流路
１２    第２流路（可撓性流路）
１３    第３流路（縮径部）
１４    第４流路
２０    チューブポンプ
２１    チューブ
２２    第１ローラ
２３    第２ローラ
２４    ロータ
３０    逆止弁
３１    ビルハウジング
３２    ボディ
３３，３４  ナット
３５    ダックビル
４０    流量計
５０    流量コントローラ（制御部）
６０，７０  継手
８０    オリフィス
１００，１００’  流量制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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