(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、
前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、
前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、
前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、
前記収納領域の外部に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置され、
前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、
前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部と、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部と、を備え、
上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、
前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、
前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、
前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第２方向に空気を流出させる流出口が形成され、
前記副壁部における前記第１方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、
前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第２方向に位置するように設置されている容器収納設備。
【請求項２】
前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、
作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、
前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、
前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されている請求項１に記載の容器収納設備。
【請求項３】
収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、
前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、
作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床と、を備え、
前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、
前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、
前記収納領域の外部であって、前記作業床よりも下方に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置されている容器収納設備。
【請求項４】
前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、
前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部、を備え、
上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、
前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、
前記マスフローコントローラは、前記主壁部の下端と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置するように設置されている請求項３に記載の容器収納設備。
【請求項５】
前記複数の収納部は、上下方向に並べて配置され、
前記複数の収納部の夫々は、前記容器の底面部を下方から支持する支持部を備え、
前記複数の収納部における最下段の前記収納部に備えられている前記支持部より下方に前記設置領域が設定されている請求項１から４のいずれか１項に記載の容器収納設備。
【請求項６】
前記収納領域と前記設置領域とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を備えている請求項５に記載の容器収納設備。
【請求項７】
前記供給収納部群を構成する前記２つ以上の供給収納部が、上下方向にのみ並べて配置されている請求項６に記載の容器収納設備。
【請求項８】
前記複数の収納部は、上下方向及びこの上下方向と直交する横方向に並べて配置され、
前記収納部に前記容器を搬送するスタッカークレーンを備え、
前記スタッカークレーンは、前記横方向に走行する走行台車と、前記走行台車に立設されたマストと、前記マストに沿って上下方向に移動し且つ自己から前記収納部に前記容器を移載する移載装置と、を備え、
前記最下段の収納部に備えられている前記支持部より下方に、前記走行台車の少なくとも一部が位置している請求項５から７のいずれか１項に記載の容器収納設備。
【請求項９】
前記気体供給装置は、前記第１配管の夫々にオリフィスを備えている請求項１から８のいずれか１項に記載の容器収納設備。
【請求項１０】
前記容器が、レチクルを収納する容器であって、
前記気体供給装置により前記容器の内部に供給される気体が、前記収納部の気体に比べて湿度が低い気体である請求項１から９のいずれか１項に記載の容器収納設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる容器収納設備の従来例が、特開２０１３−１３３１９３号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の容器収納設備では、１つの区画に属する複数の供給収納部により供給収納部群を構成して、気体供給装置は、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して第１配管を備えている。そして、特許文献１の気体供給装置は、第２配管から供給される気体を分岐配管により２つ以上の第１配管に分岐させて、２つ以上の第１配管により、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して気体を供給する。
そして、特許文献１の容器収納設備では、気体供給装置におけるマスフローコントローラは、２つ以上の第１配管の夫々における流路上に設置されており、このマスフローコントローラは収納部が設置されている収納領域に設置されている。具体的には、マスフローコントローラは、収納部に容器が収納された場合に当該容器の横側方に隣接する位置に設置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１３３１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来の容器収納設備では、収納部が設置されている収納領域にマスフローコントローラが設置されているため、マスフローコントローラの温度が上昇した場合に、その温度上昇の影響が、収納部に収納されている容器、特に、容器に収容されている収容物に影響を与えてしまう可能性がある。
また、第１配管は、複数の供給収納部の夫々に対して設置されているが、その複数の第１配管の夫々にマスフローコントローラが設置されているため、マスフローコントローラの設置数が多く、気体供給装置の製造コストが高くなっていた。
【０００５】
そこで、収納領域の容器がマスフローコントローラの温度上昇の影響を受け難く、しかも、気体供給装置の製造コストを抑えることができる容器収納設備が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る容器収納設備の特徴構成は、収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、前記収納領域の外部に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置され、
前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部と、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部と、を備え、上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、
前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第２方向に空気を流出させる流出口が形成され、前記副壁部における前記第１方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第２方向に位置するように設置されている点にある。
【０００７】
この特徴構成によれば、第２配管にマスフローコントローラを設置することで、供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設けることとなる。そのため、マスフローコントローラの設置数を減らすことができ、気体供給装置の製造コストを抑えることができる。また、このように第１配管より上流側に位置する第２配管にマスフローコントローラを設けることで、マスフローコントローラを収納部から離れた位置に設置し易く、そのマスフローコントローラを、複数の収納部が備えられる収納領域の外部に設定された領域に設けることで、マスフローコントローラの温度が上昇した場合でも、その温度上昇の影響を、収納部に収納されている容器が受け難くできる。
更に、主壁部の上端に形成された流入口から壁体の内部に流入した気体は、壁体の内部における収納領域を下方に流動した後、主壁部と設置床との間から第２方向に流動して壁体の外部に流出する。そして、マスフローコントローラを、副壁部と設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が主壁部より第２方向に位置し且つマスフローコントローラの少なくとも一部が副壁部における第１方向の端部より第２方向に位置するように設置することで、マスフローコントローラを収納領域に対して気体の流れの下流側に設置できる。そのため、マスフローコントローラにより熱せられたマスフローコントローラの周囲の気体が収納領域に流動し難く、マスフローコントローラにより熱せられた気体により収納部に収納された容器が加熱されることを抑制できる。
また、壁体の内部の収納領域を下方に流動した気体は、主壁部と設置床との間から第２方向に流動し、副壁部の直下に形成された収納領域を流れた後、副壁部の端部の下方に形成された流出口から壁体の外部に流出される。つまり、壁体内の空気を、主壁部から直接に壁体の外部に流出させるのではなく、副壁部を設けることで形成された設置領域を流動させてから壁部の外部に流出させることで、設置領域を流動している間に気体が撹拌される。
説明を加えると、例えば、収納棚に収納されている物品が半導体基板を収容する容器である場合に、容器内に充満している窒素ガス等の不活性気体が容器から流出する場合がある。このように容器からガスが発生した場合に、そのガスの濃度が局所的に高くなる場合があり、換言すれば、酸素の濃度が局所的に低くなる場合がある。しかし、壁体内の空気を、副壁部を設けることで形成された設置領域を流動させて、この設置領域で気体を撹拌させてから壁体の外部に流出させることで、流出口から流出する気体の酸素濃度の均一化を図ることができる。
【０００８】
ここで、前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置され、作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されていると好適である。
【０００９】
この構成によれば、作業床は、設置床に対して上方に間隔を空けた位置に設置された副壁部よりも更に上方に設置されているため、収納棚における高い部分に対して作業者が作業を行うことができる。そして、作業床の下方の空間を利用して設置領域を形成できるために、周囲の邪魔になり難い状態で設置領域を形成することができる。
さらに、作業床における副壁部と上下方向に並ぶ部分は、副壁部の存在により通気が規制されるため、収納棚の近くにおいて作業床から気体が流出することを防止できる。そのため、収納棚に対して物品の出し入れ作業を行う作業者が壁体の近くに存在していたとしても、その作業者が存在している箇所よりも第２方向の箇所で気体が上方に流動することとなるので、流出した気体による作業者への影響を抑えることができる。
【００１０】
本発明に係る容器収納設備の特徴構成は、収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床と、を備え、
前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する２つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された２つ以上の第１配管と、気体の通流方向において前記２つ以上の第１配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第２配管と、前記第２配管から供給される気体を前記２つ以上の第１配管に分岐させる分岐配管と、を備え、
前記マスフローコントローラは、前記第２配管における前記単一の流路上に設置され、
前記収納領域の外部であって、前記作業床よりも下方に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置されている点にある。
【００１１】
この特徴構成によれば、第２配管にマスフローコントローラを設置することで、供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設けることとなる。そのため、マスフローコントローラの設置数を減らすことができ、気体供給装置の製造コストを抑えることができる。また、このように第１配管より上流側に位置する第２配管にマスフローコントローラを設けることで、マスフローコントローラを収納部から離れた位置に設置し易く、そのマスフローコントローラを、複数の収納部が備えられる収納領域の外部であって、作業床よりも下方に設定された領域に設けることで、マスフローコントローラの温度が上昇した場合でも、その温度上昇の影響を、収納部に収納されている容器が受け難くできる。
更に、作業床の下方の空間を利用して設置領域を形成できるために、周囲の邪魔になり難い状態で設置領域を形成することができる。
【００１２】
ここで、前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部、を備え、上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向とし、前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、前記マスフローコントローラは、前記主壁部の下端と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置するように設置されていると好適である。
【００１３】
この構成によれば、主壁部の上端に形成された流入口から壁体の内部に流入した気体は、壁体の内部における収納領域を下方に流動した後、主壁部と設置床との間から第２方向に流動して壁体の外部に流出する。そして、マスフローコントローラを、主壁部の下端と設置床との間で且つ上下方向に見てマスフローコントローラの少なくとも一部が主壁部より第２方向に位置するように設置することで、マスフローコントローラを収納領域に対して気体の流れの下流側に設置できる。そのため、マスフローコントローラにより熱せられたマスフローコントローラの周囲の気体が収納領域に流動し難く、マスフローコントローラにより熱せられた気体により収納部に収納された容器が加熱されることを抑制できる。
【００１４】
また、前記複数の収納部は、上下方向に並べて配置され、前記複数の収納部の夫々は、前記容器の底面部を下方から支持する支持部を備え、前記複数の収納部における最下段の前記収納部に備えられている前記支持部より下方に前記設置領域が設定されていると好適である。
【００１５】
この構成によれば、最下段の収納部に備えられている支持部より下方の空き空間を利用して、マスフローコントローラを設置できる。説明を加えると、例えば、収納部に対してスタッカークレーンが容器を搬送する場合に、最下段の収納部に対して容器を搬送できるように、最下段の収納部に備えられている支持部は、スタッカークレーンが搬送できる高さに設置される。このような場合では、最下段の収納部に備えられている支持部の下方に空き空間が形成されている場合が多い。マスフローコントローラを最下段の収納部に備えられている支持部の下方に設置することで、マスフローコントローラを空き空間を利用して設置できる。
また、容器収納設備には、収納領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を設置してダウンフローが生じている場合があり、このようにダウンフローが生じている場合では、マスフローコントローラの温度上昇により温度が上昇した周囲の気体は上方に流動し難くなるため、マスフローコントローラより上方に設置されている収納部に収納されている容器が、マスフローコントローラの温度上昇による熱の影響を受け難くなる。
【００１６】
また、前記収納領域と前記設置領域とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置を備えていると好適である。
【００１７】
この構成によれば、気流発生装置により、収納領域と設置領域とに亘って領域内の気体が下方に流動するダウンフローが発生しているため、マスフローコントローラの温度上昇により温度が上昇した周囲の気体は上方に流動し難くなり、マスフローコントローラより上方に設置されている収納部に収納されている容器が、マスフローコントローラの温度上昇による熱の影響を受け難くなる。
【００１８】
また、前記供給収納部群を構成する前記２つ以上の供給収納部が、上下方向にのみ並べて配置されていると好適である。
【００１９】
この構成によれば、配管により気体が供給される２つ以上の供給収納部は、上下方向に並んでいる。そして、その２つ以上の供給収納部に気体を供給する配管は、主に上下方向に延びる状態で設置されるため、配管における水平方向に延びる部分は比較的少ない。そのため、配管がダウンフローの邪魔になり難く、気流発生装置により適切に気体を流動させ易くなる。
【００２０】
また、前記複数の収納部は、上下方向及びこの上下方向と直交する横方向に並べて配置され、前記収納部に前記容器を搬送するスタッカークレーンを備え、前記スタッカークレーンは、前記横方向に走行する走行台車と、前記走行台車に立設されたマストと、前記マストに沿って上下方向に移動し且つ自己から前記収納部に前記容器を移載する移載装置と、を備え、前記最下段の収納部に備えられている前記支持部より下方に、前記走行台車の少なくとも一部が位置していると好適である。
【００２１】
この構成によれば、最下段の収納部に備えられて支持部は、その下方にスタッカークレーンの走行台車の少なくとも一部が位置する高さに設置されているため、最下段の収納部に備えられている支持部の下方に、空き空間が形成され易い。そして、マスフローコントローラを最下段の収納部に備えられている支持部の下方に設置することで、マスフローコントローラを空き空間を利用して設置できる。
【００２２】
また、前記気体供給装置は、前記第１配管の夫々にオリフィスを備えていると好適である。
【００２３】
この構成によれば、第１配管の夫々にオリフィスを備えているため、第２配管から供給される気体を、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部の夫々に対して気体を均等に供給し易くなる。
【００２４】
また、前記容器が、レチクルを収納する容器であって、前記気体供給装置により前記容器の内部に供給される気体が、前記収納部の気体に比べて湿度が低い気体であると好適である。
【００２５】
この構成によれば、容器に収容されているレクチルが、マスフローコントローラが発する熱の影響を受け難くできる。また、第２配管にマスフローコントローラを設置して供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設置した場合では、第１配管にマスフローコントローラを設置して供給収納部群を構成する複数の供給収納部の夫々に対してマスフローコントローラを設置した場合に比べて、複数の供給収納部に供給される気体の供給量の変動が大きくなり易い。しかし、一般的に、容器にレチクルを収容している場合では、半導体ウェハ等を収容している場合に比べて、容器に対する気体の供給量の変動の許容値が大きい。そのため、供給収納部群を構成する複数の供給収納部に対して１つのマスフローコントローラを設けた場合でも、供給量の変動が許容値以内に収まり易い。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態における容器収納設備の正面図
【図２】第１実施形態における容器収納設備の側面図
【図３】第１実施形態における供給収納部群に対する配管を示した図
【図４】第１実施形態における容器の側面図
【図５】第２実施形態における容器収納設備の正面図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
〔第１実施形態〕
以下、本発明にかかる容器収納設備の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、容器収納設備は、容器Ｗを収納する収納棚１と、容器Ｗを搬送するスタッカークレーン２と、気体供給装置３と、を備えている。また、容器収納設備には、収納棚１やスタッカークレーン２が設置される収納領域Ｅ１の側周囲を覆う壁体Ｋと、壁体Ｋを貫通する状態で設置されて容器Ｗを搬送する搬送コンベヤ４と、が備えられている。
【００２８】
収納棚１には、容器Ｗを収納可能な複数の収納部１ａが備えられている。気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部に、気体としてのクリーンドライエアー（以下、ドライエアーと略称する）を供給するように構成されている。つまり、気体供給装置３により容器Ｗの内部に供給される気体は、収納部１ａの気体に比べて湿度が低い気体となっている。
容器Ｗは、１枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をレチクルとし、容器Ｗを、レチクルを収納する容器Ｗとしている。
【００２９】
搬送コンベヤ４は、壁体Ｋの外側に位置する外部箇所と壁体Ｋの内側に位置する内部箇所との間で容器Ｗを搬送するように設置されている。高い位置に設置されている搬送コンベヤ４の外部箇所に対しては、天井搬送車（図示せず）が容器Ｗの載せ降しを行い、低い位置に設置されている搬送コンベヤ４の外部箇所に対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行うように、搬送コンベヤ４は高い位置と低い位置とに設置されている。尚、低い位置に設置されている搬送コンベヤ４は図示していない。
そして、スタッカークレーン２は、搬送コンベヤ４の内部箇所から収納棚１の収納部１ａに容器Ｗを搬送し、収納棚１の収納部１ａから搬送コンベヤ４の内部箇所に容器Ｗを搬送する。
【００３０】
容器収納設備は、内部領域Ｅを天井側から床側に向けて空気（気体）が下方に流動するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。説明を加えると、収納領域Ｅ１の真上には、下方に向けて気体を送風する送風ファン５が設置されている。この送風ファン５の送風作用により、収納領域Ｅ１及び設置領域Ｅ２を天井側から床側に向けて気体が下方に流動する。尚、送風ファン５が、収納領域Ｅ１と設置領域Ｅ２とに亘って領域内の気体を下方に流動させる気流発生装置に相当する。
【００３１】
クリーンルームの床部Ｆは、下床部Ｆ２と、下床部Ｆ２よりも上側に配設された上床部Ｆ１とにより構成されている。下床部Ｆ２は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリートによって構成されており、スタッカークレーン２はこの下床部Ｆ２上を走行する。上床部Ｆ１は、グレーチング床であり、上下方向Ｙに貫通する通気孔が複数形成されており、作業者はこの上床部Ｆ１上を歩行する。尚、上床部Ｆ１は、下天井部Ｃ２より下方に設置され且つ下床部Ｆ２より上方に設置されて、上下方向Ｙに気体を通気可能に構成された作業床に相当する。
【００３２】
以下、収納棚１の長手方向（スタッカークレーン２が走行する走行方向）に見て、収納棚１とスタッカークレーン２とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、収納棚１に対してスタッカークレーン２が存在する方向を内方Ｘ１とし、その反対方向を外方Ｘ２として説明する。尚、前後方向Ｘが、上下方向Ｙに見て床上壁３１の厚み方向となる。また、内方Ｘ１が、床上壁３１に対して収納領域Ｅ１が存在する方向である第１方向となり、外方Ｘ２が、第１方向とは反対の方向の第２方向となる。また、壁体Ｋにより覆われる領域と上床部Ｆ１より下方の領域とが内部領域Ｅである。
【００３３】
壁体Ｋは、収納領域Ｅ１の側周囲を空気の通流を規制するように覆っている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えており、床上壁３１は、上床部Ｆ１の上面より上方で且つ天井Ｃより下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ１の上面より下方で且つ下床部Ｆ２より上方に位置している。
図１に示すように、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａを備えている。床下壁部３２ａには、床下壁部３２ａの内方Ｘ１から外方Ｘ２に空気を流出させる流出口（図示せず）が形成されている。
【００３４】
床上壁３１は、四角筒状に形成された４面の床上壁部３１ａに加えて、上面を形成する上壁部３１ｂを備えている。床上壁部３１ａは、収納領域Ｅ１の側周囲を空気の通気を規制する状態で設置されている。尚、図１には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、上面を形成する上壁部３１ｂと、が示されている。
【００３５】
床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から空気を収納領域Ｅ１に流入させる流入口３３が形成されている。説明を加えると、床上壁３１の上端には、床上壁３１の上面を形成する上壁部３１ｂが備えられており、その上壁部３１ｂの一部に上下方向Ｙに空気の通流を許容する流入口３３が形成されている。送風ファン５は、その流入口３３を塞ぐように上壁部３１ｂに設置されている。尚、床上壁３１が、下床部Ｆ２に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向Ｙに沿う姿勢で設置された主壁部に相当する。
そして、送風ファン５の送風作用により壁体Ｋの上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入した空気は、壁体Ｋ内の収納領域Ｅ１を上方から下方に流動した後、壁体Ｋの床下壁部３２ａに形成された流出口から壁体Ｋの外部に流出するようになっている。
【００３６】
〔容器〕
図４に示すように、容器Ｗの底部には、給気部６と排気部７とを備えている。給気部６は、気体供給装置３の接続部１８から吐出されたドライエアーを容器Ｗの内部に給気するための部分である。給気部６には、給気用開閉弁（図示せず）が備えられている。また、排気部７は、容器Ｗの内部の気体を容器Ｗの外部に排気するための部分である。排気部７には、排気用開閉弁（図示せず）が備えられている。
【００３７】
給気部６の給気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、給気部６に気体供給装置３の接続部１８が接続された状態で、その接続部１８からドライエアーが噴出されると、その噴出したドライエアーの圧力により給気用開閉弁が開き操作されて、ドライエアーが給気部６から容器Ｗの内部に供給される。また、排気部７の排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、気体供給装置３によるドライエアーの供給により容器Ｗの内部の圧力が高まるとその圧力により排気用開閉弁が開き操作されて、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気される。
【００３８】
〔収納棚〕
図１に示すように、収納棚１には、上下方向Ｙ及び横方向に並ぶ状態で収納部１ａが配置されている。
図１及び図３に示すように、複数の収納部１ａの夫々には、容器Ｗを下方から支持する支持部９が備えられており、収納部１ａは、支持部９により下方から支持した状態で容器Ｗを収納するようになっている。支持部９には、水平方向での容器Ｗの規定位置を位置決めするための突起９ａが備えられている。また、支持部９は、収納部１ａに収納された容器Ｗに接続される接続部１８を支持している。この接続部１８は、支持部９の規定位置に容器Ｗを支持した状態で、その容器Ｗに備えられた給気部６に接続される箇所に設けられている。
【００３９】
つまり、容器Ｗが収納部１ａに収納されて支持部９に支持されると、当該容器Ｗは、突起９ａにより規定位置に位置決めされるとともに、接続部１８が給気部６に接続される。そして、容器Ｗが支持部９に支持されている状態において、接続部１８からドライエアーが吐出することにより、給気部６から容器Ｗの内部にドライエアーが供給されるとともに、容器Ｗの内部の気体が排気部７から排気されるように構成されている。
収納棚１に備えられている複数の収納部１ａの夫々について、備えられている支持部９にはその全部に接続部１８が支持されている。そのため、収納棚１における複数の収納部１ａの全部を、気体供給装置３によりドライエアーが供給される供給収納部としている。従って、以下の説明においては、供給収納部について単に収納部１ａと称して説明する。  
【００４０】
収納棚１は、下床部Ｆ２上に設置されている。収納棚１における複数の収納部１ａは、その全部が上床部Ｆ１より上方に位置するように配設されている。そのため、上下方向Ｙに並ぶ収納部１ａのうちの最も下方に位置する収納部１ａを最下段の収納部１ａとして、その最下段の収納部１ａに備えられている支持部９は、上床部Ｆ１より上方に設置されている。
内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。収納棚１に備えられている複数の収納部１ａは、その全部が収納領域Ｅ１に設置されている。また、内部領域Ｅのうち、上床部Ｆ１より下方の領域を設置領域Ｅ２としている。この設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方の領域をとなっている。つまり、内部領域Ｅは、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域である収納領域Ｅ１と、上床部Ｆ１より下方の領域である設置領域Ｅ２とにより構成されている。
尚、本実施形態では、収納棚１における複数の収納部１ａ（供給収納部）の全部を上床部Ｆ１より上方に設置しているため、上床部Ｆ１より上方において壁体Ｋに囲まれている領域を収納領域Ｅ１としている。しかし、収納棚１における収納部１ａの一部を上床部Ｆ１より下方に設置した場合には、例えば、収納領域Ｅ１を最下段の収納部１ａ（供給収納部）における支持部９の下端まで収納領域Ｅ１を下方に延ばすように、上床部Ｆ１より下方において壁体Ｋに囲まれている領域の一部又は全部を収納領域Ｅ１としてもよい。この場合、主壁部は上床部Ｆ１より下方まで延在することになる。
【００４１】
収納棚１に備えられている複数の収納部１ａは、複数の供給収納部群Ｇのいずれかに属している。図１及び図２に示すように、供給収納部群Ｇは、上下方向Ｙにのみ並ぶ２つ以上の収納部１ａにより構成されている。また、収納棚１において最上段から最下段までの１列に並ぶ複数の収納部１ａが、複数の供給収納部群Ｇに分けられており、収納棚１の１列が複数の供給収納部群Ｇにより形成されている。本実施形態では、図１に示すように、収納棚１には上下方向Ｙに３３の収納部１ａが並んでおり、供給収納部群Ｇは、上下方向Ｙに並ぶ１１の収納部１ａにより構成されている。つまり、上下方向Ｙに１列に並ぶ３３の収納部１ａが、３つの供給収納部群Ｇに分けられている。このように、供給収納部群Ｇは、収納棚１に備えられている複数の収納部１ａの一部により構成されており、供給収納部群Ｇを構成する２つ以上の収納部１ａは、上下方向Ｙにのみ並べて配置されている。
【００４２】
〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、スタッカークレーン２は、収納棚１の前方を走行方向（横方向）に走行する走行台車１１と、走行台車１１に立設されたマスト１２と、マスト１２に沿って昇降する昇降体１３と、昇降体１３に支持されている移載装置１４と、を備えている。
移載装置１４は、走行台車１１が走行することで走行方向に沿って移動し、昇降体１３が昇降することでマスト１２に沿って上下方向Ｙに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置１４には、容器Ｗを支持する支持体と、当該支持体を前後方向に沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置１４は、自己と収納部１ａとの間や、自己と搬送コンベヤ４との間で、容器Ｗを記載可能に構成されている。
そして、スタッカークレーン２は、走行台車１１の走行、昇降体１３の昇降及び移載装置１４の移載作動により、搬送コンベヤ４から収納部１ａに容器Ｗを搬送し、収納部１ａから搬送コンベヤ４に容器Ｗを搬送する。
【００４３】
走行台車１１は、下床部Ｆ２上に設置された走行レール１５上をその走行レール１５に沿って走行する。当該走行台車１１について、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方に、走行台車１１の少なくとも一部が位置している。本実施形態では、走行台車１１の全体が、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方で、且つ、上床部Ｆ１より下方に位置している。
【００４４】
〔気体供給装置〕
気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部にドライエアーを供給する。
気体供給装置３は、接続部１８と、配管１９と、マスフローコントローラ２０と、を備えている。接続部１８は、複数の収納部１ａの夫々に対して設置されており、気体供給装置３に複数備えられている。この接続部１８は、収納部１ａに収納された容器Ｗに接続される。配管１９は、収納領域Ｅ１の外部に設置された供給源２１から供給されるドライエアーを複数の接続部１８に分岐供給する。マスフローコントローラ２０は、配管１９内を通流するドライエアーの流量を制御するものであり、供給収納部群Ｇの夫々に対して設置されており、気体供給装置３に複数備えられている。ちなみに、図２では、第１配管２３及び第２配管２４について、横方向に隣接する２列の収納部１ａに対する第１配管２３及び第２配管２４についてのみ図示している。
【００４５】
配管１９は、第１配管２３と、第２配管２４と、第３配管２５と、第１分岐配管２６と、第２分岐配管２７と、を備えている。第１配管２３は、複数の収納部１ａの夫々に対して設置されている。第２配管２４は、複数の供給収納部群Ｇの夫々に対して設置されている。第３配管２５は、ドライエアーの供給源２１に接続されている。第１分岐配管２６は、収納棚１の前後方向（上下方向Ｙに見て走行方向（横方向）と直交する方向）に沿って設置されている。
【００４６】
第１分岐配管２６は、１つの第２配管２４と、１つの供給収納部群Ｇを構成する複数の収納部１ａ（２以上の収納部１ａであり、本実施形態では１１の収納部１ａ）に対応する複数の第１配管２３（２以上の第１配管２３であり、本実施形態では１１の第１配管２３）と、を接続し、第２配管２４から供給されるドライエアーを複数の第１配管２３に分岐させる。第２分岐配管２７は、１つの第３配管２５と、配管１９に備えられている複数の第２配管２４（列数×３の第２配管２４）と、を接続し、第３配管２５から供給されるドライエアーを複数の第２配管２４に分岐させる。尚、第１分岐配管２６が、分岐配管に相当する。
【００４７】
第２配管２４の夫々には、マスフローコントローラ２０が設置されている。換言すると、マスフローコントローラ２０は、第２配管２４における単一の流路上に設置されている。マスフローコントローラ２０は、第２配管２４を通流するドライエアーの質量流量を計測して第２配管２４を通流するドライエアーの流量を制御する。
第１配管２３の夫々には、オリフィス２９とフィルタ３０とが設置されている。１つの第２配管２４に接続されている複数の第１配管２３の夫々にオリフィス２９が設置されており管径が絞られているため、第２配管２４から複数の収納部１ａに供給されるドライエアーの流量の均一化が図られている。また、フィルタ３０により、第１配管２３を通流する塵埃を除去できる。
【００４８】
このように、収納部１ａ単位で設けられている第１配管２３ではなく、供給収納部群Ｇ単位で設けられている第２配管２４の夫々にマスフローコントローラ２０を設けることで、マスフローコントローラ２０を収納部１ａから離して設け易い。つまり、マスフローコントローラ２０を収納領域Ｅ１の外部に設定された設置領域Ｅ２に設け易く、マスフローコントローラ２０を設置領域Ｅ２に設けることで、マスフローコントローラ２０の発熱の影響を容器Ｗが受けることを抑えることができる。
【００４９】
マスフローコントローラ２０を設置する設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方、又は、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端より外方Ｘ２に設定されている。本実施形態では、設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方で、且つ、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端に対して前後方向Ｘに亘って設定されている。
そして、マスフローコントローラ２０は、床上壁３１の下端と下床部Ｆ２との間に設置されている。また、マスフローコントローラ２０は、床下壁３２の床下壁部３２ａを前後方向Ｘに貫通する状態で設置されており、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床下壁部３２ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。床上壁部３１ａと床下壁部３２ａとは前後方向において同じ位置に設置されており、上述の如くマスフローコントローラ２０を設置することで、上下方向Ｙに見てマスフローコントローラ２０の一部が床上壁部３１ａより外方Ｘ２に位置するように設置されている。
【００５０】
床上壁３１の上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入した空気は、壁体Ｋの内部を収納領域Ｅ１、設置領域Ｅ２の順に下方に流動して、床下壁３２に形成された流出口から壁体Ｋの外部に流出する。マスフローコントローラ２０は、空気の流動方向において収納領域Ｅ１より下流側に設置されている。そのため、マスフローコントローラ２０により熱せられた空気が収納領域Ｅ１に流動し難い。
【００５１】
〔第２実施形態〕
次に、本発明にかかる物品搬送設備の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
尚、第２実施形態を説明するにあたり、第１実施形態と異なる壁体Ｋの形状及びマスフローコントローラ２０の配置について主に説明し、第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００５２】
クリーンルームの天井Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない空気の通流を規制する天井であり、下天井部Ｃ２は、上下方向Ｙに通気可能な天井である。本実施形態では、上天井部Ｃ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、下天井部Ｃ２は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタにより構成されている。
尚、フィルタが備えられた下天井部Ｃ２は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井に相当する。下床部Ｆ２は、上下方向Ｙに気体の通流を規制する設置床に相当する。
【００５３】
図５に示すように、壁体Ｋは、下天井部Ｃ２の直下に設置されている。壁体Ｋは、床上壁３１と床下壁３２とを備えている。床上壁３１は、上床部Ｆ１より上方で且つ下天井部Ｃ２より下方に位置している。床下壁３２は、上床部Ｆ１より下方で且つ下床部Ｆ２より上方に位置している。床下壁３２は、床上壁３１に比べて前後方向Ｘに幅広に形成されており、壁体Ｋ全体として、長手方向に見て上下反転させたＴ字状に形成されている。
【００５４】
床上壁３１は、上下方向Ｙに貫通する四角筒状に形成されている。つまり、第２実施形態では、床上壁３１は、四角筒状に形成された４面の床上壁部３１ａを備えているが、第１実施形態で示した上壁部３１ｂは備えられていない。尚、図５には、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部３１ａと、が示されている。
【００５５】
床下壁３２は、上面の一部が開口する四角箱状に形成されている。説明を加えると、床下壁３２は、四角筒状に形成された４面の床下壁部３２ａに加えて、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、を備えている。図５では、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床下壁部３２ａと、上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂと、下面を形成する底壁部３２ｃと、が示されている。床下壁３２における上面を形成する一対の遮断壁部３２ｂは、下床部Ｆ２に対して上方に間隔を空けた位置に下床部Ｆ２に沿って設置されると共に空気の通流を規制する構成となっている。尚、遮断壁部３２ｂが、副壁部に相当する。
【００５６】
遮断壁部３２ｂは、その内方Ｘ１の端部は、前後方向Ｘにおいて床下壁部３２ａの内面と支持部９の外方側端との間に位置し、外方Ｘ２の端部は、床下壁部３２ａの外面より外方Ｘ２に位置している。
床下壁３２の外方Ｘ２の端部には、外方Ｘ２に向けて開口する流出口３４が形成されているが、この流出口３４は、空気を前後方向に通気可能な床下壁部３２ａにより閉じられている。つまり、床下壁３２の外方Ｘ２の端部には、空気が流出する流出口３４が形成されており、その流出口３４が、床下壁部３２ａにより部分的に閉じられている。
【００５７】
床上壁３１の下端に形成された開口と床下壁３２の上面に形成された開口とは、上床部Ｆ１を介して接続されており、床上壁３１に囲われた収納領域Ｅ１と遮断壁部３２ｂの直下の設置領域Ｅ２とが連通している。また、床上壁３１の上端に、床上壁３１の上方から収納領域Ｅ１に空気を流入させる流入口３３が形成されている。また、床下壁３２の外方Ｘ２の端部に、設置領域Ｅ２から床下壁３２の外方Ｘ２に空気を流出させる流出口３４が形成されている。この流出口３４は、遮断壁部３２ｂにおける外方Ｘ２の端部の下方に形成される。
【００５８】
そして、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の部分が、遮断壁部３２ｂと床上壁３１との間を空気の通流を規制する状態で床上壁３１における下端に接続されている。
説明を加えると、遮断壁部３２ｂは上床部Ｆ１の下面に連結されており、床上壁３１の床上壁部３１ａの下端は上床部Ｆ１の上面に連結されている。このように、床上壁３１における床上壁部３１ａの下端と遮断壁部３２ｂの上面との間に上床部Ｆ１を挟む状態で、床上壁３１及び遮断壁部３２ｂを設置することで、床上壁３１と遮断壁部３２ｂとの間を空気の通流を規制する状態となっている。
尚、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端部は、遮断壁部３２ｂにおける内方Ｘ１の端から１／３の部分としている。
【００５９】
本実施形態では、設置領域Ｅ２は、最下段の収納部１ａに備えられた支持部９より下方で、且つ、上下方向Ｙに並ぶ複数の収納部１ａの外方Ｘ２の端より外方Ｘ２に設定されている。そして、マスフローコントローラ２０は設置領域Ｅ２に設置されており、マスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部３２ｂの内方Ｘ１の端より外方Ｘ２に位置し且つマスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部３２ｂの外方Ｘ２の端より内方Ｘ１に位置している。また、マスフローコントローラ２０は、上下方向Ｙに見て支持部９と重ならないように支持部９に対して外方Ｘ２に設置されている。
【００６０】
下天井部Ｃ２から下方に流出した空気が、床上壁３１の上端に形成された流入口３３から壁体Ｋの内部に流入する。そして、床上壁３１内に流入した空気は、収納領域Ｅ１を下方に流動した後、設置領域Ｅ２を外方Ｘ２に通過し、その後、床下壁部３２ａを通って流出口３４から壁体Ｋの外部に流出する。
マスフローコントローラ２０は、空気の流動方向において収納領域Ｅ１より下流側に設置されている。そのため、マスフローコントローラ２０により熱せられた空気が収納領域Ｅ１に流動し難い。
【００６１】
〔別実施形態〕
（１）上記第１及び第２実施形態では、複数の収納部における最下段の収納部に備えられた支持部より下方に設置領域を設定したが、設置領域を設定する位置はこれに限定されない。つまり、複数の収納部における最上段の収納部より上方に設置領域を設定してもよく、また、収納棚を覆う壁体の外部、具体的には、上下方向において下床部と上床部の間で且つ前後方向において床下壁部より外方に設置領域を設定してもよい。
【００６２】
（２）上記第１及び第２実施形態では、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部を、上下方向にのみ並べたが、供給収納部群を構成する２つ以上の供給収納部を、横方向にのみ並べてもよく、また、上下方向と横方向との双方に並べてもよい。また、収納棚１の１列を１つの供給収納部群Ｇにより形成してもよい。
【００６３】
（３）上記第１及び第２実施形態では、容器を、レチクル（フォトマスク）を収納する容器としたが、容器は、ＦＯＵＰ等の半導体ウェハを収容する容器としてもよく、食料を収容する容器としてもよい。
【００６４】
（４）上記第１及び第２実施形態では、気体供給装置により容器の内部に供給される気体を、ドライエアーとしたが、気体供給装置により容器の内部に供給される気体は、ドライエアー以外でもよく、例えば、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体でもよい。
【００６５】
（５）上記実施形態では、収納棚に備えられている複数の収納部の全部を、供給収納部としたが、収納棚に備えられている複数の収納部の一部のみを、供給収納部としてもよい。つまり、複数の収納部のうちの一部を、気体供給装置により気体が供給される供給収納部とし、複数収納部のうちの残りを、気体供給装置により気体が供給されない通常の収納部としてもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１ａ  収納部（供給収納部）
２    スタッカークレーン
３    気体供給装置
５    送風ファン（気流発生装置）
９    支持部
１１    走行台車
１２    マスト
１４    移載装置
１８    接続部
１９    配管
２０    マスフローコントローラ
２３    第１配管
２４    第２配管
２６    第１分岐配管（分岐配管）
２９    オリフィス
Ｅ１  収納領域
Ｅ２  設置領域
Ｇ    供給収納部群
Ｗ    容器
【図１】
0006729115.tif 000002
【図２】
0006729115.tif 000003
【図３】
0006729115.tif 000004
【図４】
0006729115.tif 000005
【図５】
0006729115.tif 000006