(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種のガスセンサを備える検出部と、
判定対象ガスに対する各前記ガスセンサの出力値が入力される入力部と、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに記憶してある記憶部と、
記憶してある前記対応関係と前記入力された各前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する判定部と、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能であるガス分析システム。
【請求項２】
前記対応関係は、判定対象とするガス種ごとの、当該ガス種と当該ガス種についての各前記ガスセンサの出力値の所定の閾値に対する大小関係のパターンとの対応関係を含み、
前記判定部は、各前記出力値について前記閾値を超えているか否かの閾値判定を行い、前記対応関係と各前記出力値についての前記閾値判定の結果とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する請求項１に記載のガス分析システム。
【請求項３】
前記対応関係は、判定対象とするガス種について定めた前記ガスセンサの特定の組み合わせと、当該ガス種に対する前記組み合わせの中の各前記ガスセンサ間の前記出力値の比率と、を含み、
前記判定部は、前記対応関係と前記組み合わせの中の前記出力値間の比率とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する請求項１又は２に記載のガス分析システム。
【請求項４】
前記記憶部には、判定対象とするガス種ごとに、濃度を算出するときの基準とする主のガスセンサの種類及びこの主のガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含む濃度算出情報を記憶してあり、
前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したときに、前記濃度算出情報に基づいて、前記主のガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出する請求項１〜３のいずれか一項に記載のガス分析システム。
【請求項５】
前記濃度算出情報は、判定対象とするガス種ごとに定めたサブのガスセンサの種類及びそのサブのガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含み、
前記判定部は、前記主のガスセンサの前記出力値が検出限界値に達していたときは、前記濃度算出情報に基づいて、前記サブのガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出する請求項４に記載のガス分析システム。
【請求項６】
前記検出部は、少なくとも一つの光イオン化センサを備え、
前記対応関係は、前記光イオン化センサが検知可能なガス種と前記光イオン化センサ以外の所定の前記ガスセンサの前記出力値の傾向との関係を含み、
前記判定部は、前記光イオン化センサの出力があったときに、前記対応関係と所定の前記ガスセンサにおける前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する請求項１〜５のいずれか一項に記載のガス分析システム。
【請求項７】
前記記憶部には、判定対象とするガス種の濃度と前記光イオン化センサの前記出力値との相関関係を記憶してあり、
前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したとき、前記相関関係に基づいて、前記光イオン化センサの出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出する請求項６に記載のガス分析システム。
【請求項８】
複数種のガスセンサを用いて判定対象ガスの測定を行うステップと、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応関係と各前記ガスセンサの前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定するステップと、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能であるガス分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数種のガスセンサを用いて判定対象ガスのガス種を特定するためのガス分析システム、及び、ガス分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
判定対象ガスに含まれるガス種を特定しようとする場合、その検知対象ガス種が異なる複数種のガスセンサを用いてその判定対象ガスの測定を行い、個々のガスセンサの出力を個別に判定して、所定値以上の出力のあったガスセンサの対象ガスを判定対象ガスに含まれるガス種として特定する方法が考えられる。
【０００３】
この場合、特定したいガス種の数だけガスセンサを用いる必要があり、その分コストと設置スペースが必要となる。また、特定のガス種を検知対象ガスとするガスセンサであっても、他のガス種にもある程度の出力は生じるものであるため、ガス種によってはガスセンサの干渉性のため複数のガスセンサから所定値以上の出力を生じる場合もあり、確実にガス種を特定しがたい状況も存在する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
判定対象ガスのガス種を特定するために要するガスセンサの数を削減可能で、且つ、確度高くガス種を特定できるガス分析システム及びガス分析方法が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るガス分析システムは、
複数種のガスセンサを備える検出部と、
判定対象ガスに対する各前記ガスセンサの出力値が入力される入力部と、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応
関係をガス種ごとに記憶してある記憶部と、
記憶してある前記対応関係と前記入力された各前記出力値の傾向とに基づいて前記判定
対象ガスのガス種を特定する判定部と、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能である。
【０００６】
発明者は、判定しようとする各ガス種と出力値間の大小関係パターンやどのガスセンサにどの程度の出力があるかなどの各ガスセンサからの出力値の傾向とに１対１の対応関係があることを見出した。そこで、この構成によれば、発明者が見出した対応関係を採用し、判定対象とするガス種と各ガスセンサからの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに求めておき、個々の出力値を個別に判定するだけでなく、個々の出力値を組み合わせてその傾向を予め求めた対応関係と参照することにより判定対象ガスに含まれるガス種を特定できる。これにより、たとえ、複数のガスセンサから所定値以上の出力があったとしても、確度高くガス種を特定できる。
【０００７】
さらに、検出部に備えるガスセンサのいずれもその検知対象ガスとしていないガス種であっても、そのガス種と各ガスセンサからの出力値の傾向との対応関係を求めておけば、検出部に備えるガスセンサの検知対象ガス以外のガス種についてもガス種の特定が可能となる。これにより、検出部に備えるガスセンサの種類以上のガス種の特定が可能となり、判定しようとするガス種と同じ数だけガスセンサを用いるのに比べ、必要なガスセンサの数を削減することも可能となる。
【０００８】
以下、本発明に係るガス分析システムの好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。
【０００９】
１つの態様として、前記対応関係は、判定対象とするガス種ごとの、当該ガス種と当該ガス種についての各前記ガスセンサの出力値の所定の閾値に対する大小関係のパターンとの対応関係を含み、前記判定部は、各前記出力値について前記閾値を超えているか否かの閾値判定を行い、前記対応関係と各前記出力値についての前記閾値判定の結果とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。
【００１０】
この構成によれば、各出力値について細かく数値範囲等を設定するのではなく、各出力値が閾値を超えているか否かという単純な傾向に基づいて判定を行うから、容易にガス種の特定を行うことができる。
【００１１】
１つの態様として、前記対応関係は、判定対象とするガス種について定めた前記ガスセンサの組み合わせと、当該ガス種に対する前記組み合わせの中の各前記ガスセンサ間の前記出力値の比率と、を含み、前記判定部は、前記対応関係と前記組み合わせの中の前記出力値間の比率とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。
【００１２】
上記した閾値判定を用いた手段では、ガス種の判定のために、少なくとも閾値を超える程度の出力、言い換えれば、ある程度のガス濃度が必要となるところ、この構成によれば、上記した閾値判定を用いた手段の判定に必要な濃度を下回るガス濃度であっても、特定のガスセンサの組み合わせの中の前記出力値の比率さえ判別できれば、判定対象ガスのガス種を特定することができる。これにより、一層確度高くガス種を特定できる。
【００１３】
１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種ごとに、濃度を算出するときの基準とする主のガスセンサの種類及びこの主のガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含む濃度算出情報を記憶してあり、前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したときに、前記濃度算出情報に基づいて、前記主のガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。
【００１４】
この構成によれば、予め濃度の算出の基準とする主のガスセンサを定めておき、ガス種の特定だけでなく、その濃度も精度よく算出できるから、より有効なガス分析を行うことができる。
【００１５】
１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種ごとに定めたサブのガスセンサの種類及びそのサブのガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含み、前記判定部は、前記主のガスセンサの前記出力値が検出限界値に達していたときは、前記濃度算出情報に基づいて、前記サブのガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。
【００１６】
ガスセンサは対象ガスの濃度に比例してその出力も変化するが、その出力値にはフルスケールと呼ばれる検出限界値があり、この検出限界値を超える以上の濃度を測定することはできないという問題がある。そこで、この構成によれば、主のガスセンサと同じく対象ガスの濃度に応答してその出力が変化するガスセンサ等をサブのガスセンサとしておき、主のガスセンサが検出限界値を超えたときは、サブのガスセンサの出力値に基づいてガス種の濃度を算出するから、上記問題が生じるのを効果的に抑制することができる。
【００１７】
１つの態様として、前記検出部は、少なくとも一つの光イオン化センサを備え、前記対応関係は、前記光イオン化センサが検知可能なガス種と前記光イオン化センサ以外の所定の前記ガスセンサの前記出力値の傾向との関係を含み、前記判定部は、前記光イオン化センサの出力があったときに、前記対応関係と所定の前記ガスセンサにおける前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。
【００１８】
光イオン化センサ（ＰＩＤセンサ）は、有機溶剤を中心に多くのガスに反応するセンサであるが、その出力値からおおまかなガス種の絞り込みは可能であっても、その出力値から確度高くガス種の判定をすることはできない。これに対し、発明者は、光イオン化センサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、上記と同様の要領でこれらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能であることを見出した。そこで、この構成によれば、光イオン化センサが検知可能なガス種と前記光イオン化センサ以外の所定の前記ガスセンサの前記出力値の傾向との対応関係を求めておき、この対応関係に基づいて、光イオン化センサが検知しているガス種を特定することができる。このように、光イオン化センサのみ、及び、光イオン化センサ以外のガスセンサのみでは特定できないガス種を、光イオン化センサと光イオン化センサ以外のガスセンサとを組み合わせることによって特定することが可能となる。これにより、判定可能なガス種を増やすことができ、また、これは様々なガス種の特定に必要なガスセンサの数の削減にもなるという利点がある。
【００１９】
１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種の濃度と前記光イオン化センサの前記出力値との相関関係を記憶してあり、前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したとき、前記相関関係に基づいて、前記光イオン化センサの出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。
【００２０】
この構成によれば、特定したガス種の濃度を光イオン化センサの出力から容易に算出することができる。
【００２１】
本発明に係るガス分析方法は、
複数種のガスセンサを用いて判定対象ガスの測定を行うステップと、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応
関係と各前記ガスセンサの前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特
定するステップと、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ガス分析システムの概略構成図
【図２】分析器のブロック図
【図３】ＰＨ３ガスに対する各ガスセンサからの出力の時間変化を示すグラフ
【図４】０．３ｐｐｍのＣｌ２ガスに対するＣｌ２センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフ
【図５】０．５ｐｐｍのＣｌ２ガスに対するＣｌ２センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフ
【図６】０．３ｐｐｍのＰＨ３ガスに対するＰＨ３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフ
【図７】１．０ｐｐｍのＰＨ３ガスに対するＰＨ３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフ
【図８】２．０ｐｐｍのＰＨ３ガスに対するＰＨ３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフ
【図９】ＰＨ３ガスの濃度とＰＨ３センサ及びＮＯセンサの出力との関係を示すグラフ
【図１０】有機溶剤ガス種の濃度とＥ２０センサの出力値との関係を示すグラフ
【図１１】有機溶剤ガス種の濃度とＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフ
【図１２】トルエンに対するＰＩＤセンサ、Ｅ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフ
【図１３】アセトンに対するＰＩＤセンサ、Ｅ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明に係るガス分析システム及び分析方法について、図面を参照して説明する。本実施形態に係るガス分析システム１は、複数種のガスセンサを備える検出部２と、判定対象ガスに対する各前記ガスセンサの出力値が入力される入力部４と、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに記憶してある記憶部５と、記憶してある前記対応関係と前記入力された各前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する判定部６と、を備える。これにより、判定対象ガスのガス種を特定するために要するガスセンサの数を削減可能で、且つ、確度高くガス種を特定できる。以下、本実施形態に係るガス分析システム１について、詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態に係るガス分析システム１の一例を示す。ガス分析システム１は、検出器２と分析器３とを備えている。検出器２は可搬式であり、後述する複数種のガスセンサ（図示は省略する）を備えたセンサアレイである。また、検出器２は各ガスセンサからの出力信号σを分析器３に送信可能な通信部（図示しない）を有する。
【００２５】
分析器３は本実施形態ではＰＣとしてあり、図２に示すように、入力部４、記憶部５、及び判定部６とを備える。入力部４には、検出器３からの出力信号σが入力される。つまり、検出器２が判定対象とするガスに対する各ガスセンサの出力値が入力されることになる。そして、記憶部５には後述する判定を行うためのガス種と各ガスセンサの出力値との関係等を保存したデータベースや、分析部６がガス種の特定等を行うためのアルゴリズムを実現する分析用プログラムを格納してある。分析部６は、記憶部５に格納されている分析用プログラムに従って、データベースに保存された各種関係を利用して、検出器２からの出力信号に基づき判定対象ガスのガス種を特定する。
【００２６】
つまり、ガス分析システム１では、検出器２の備える複数種のガスセンサからの出力値が分析器３の入力部４に入力され、記憶部５に保存してあるガス種と各ガスセンサの出力値との関係等に基づいて、入力された各出力値から判定部６が判定対象ガスのガス種を特定するものである。なお、図示したガス分析システム１はあくまでも例示であり、同様の手順で判定対象ガスのガス種を特定できるものであれば特に限定されない。例えば、検出器２は無線通信により出力信号を分析器３に入力可能でなくとも、何らかの記録媒体を介してや有線通信により分析器３にガスセンサの出力信号を入力するものであってもよく、また、可搬式でなくとも据置式のものであってもよい。また、分析器３もＰＣに限定されず、少なくとも入力部４、記憶部５、分析部６の有する機能と同等の機能を備えるものであれば特に限定されない。また、検出器２と分析器３とが一体となった装置から構成されていても良い。
【００２７】
本実施形態に係るガス分析システム１は、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用して、この対応関係と各ガスセンサからの出力値の示す傾向とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定することを特徴とする。そのために、データベース（記憶部５）には、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに記憶してあり、また、判定部６はデータベースに記憶してある対応関係と入力部４に入力された各出力値の傾向とを参照することにより判定対象ガスのガス種を特定するように構成してある（より具体的には以下に示す手順で判定を行うように分析用プログラムを作成してある）。
【００２８】
ここで、各ガスセンサの出力値の傾向としては、出力値が正の値か負の値か、又はほぼ０であるかといった当該ガス種に対する各ガスセンサの応答の傾向や、どのガスセンサの出力値が予め定めた閾値を上回っているか（又は下回っているか）の閾値判定をしたときの各出力値の閾値判定の傾向、どのガスセンサが最も感度が高いかや、最も検出感度が高いガスセンサの出力値に対する他のガスセンサの出力値の比率、各ガスセンサの出力の時間変化の傾向（応答波形がどのように立ち上がるかなど）等が挙げられる。そして、これらの出力値の傾向を判定対象のガス種と１対１に対応付けたものを対応関係としてデータベースに記憶することにより、判定部６はこの対応関係と入力部４に入力された各出力値の傾向とを参照することによって判定対象ガスのガス種を特定することが可能となる。以下ではまず、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用したガス種の特定方法の一例として、各出力値の閾値判定の傾向に基づきガス種の特定を行う手順について説明する。
【００２９】
〈閾値判定に基づくガス種の特定〉
あるガス種について、正の応答（出力値が正）を示すガスセンサ、負の応答（出力値が負）を示すガスセンサ、感度の乏しい（出力値の絶対値がある値以下）ガスセンサの種類は決まっている。つまり、ガス種ごとに、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせは決まっている。そのため、あるガス種Ａについて正の応答を示すとされているガスセンサの出力値のみがある一定の値を上回っており、あるガス種Ａについて負の応答を示すとされているガスセンサの出力値のみがある一定の値を下回っており、当該ガス種Ａについて感度がないとされている他のガスセンサについては出力値が０付近の場合、検出器２が測定している判定対象ガスのガス種はガス種Ａであると特定することが可能である。そこで、本実施形態のガス分析システム１では、判定部６に検出器２からの各出力値について予め定めた正の閾値及び負の閾値（例えばフルスケールの２５％）を超えているか否かの閾値判定を行わせる。閾値判定の結果に応じて、出力値が正の閾値を超えているガスセンサを正の応答を示すガスセンサとし、出力値が負の閾値を下回っているガスセンサを負の応答を示すガスセンサとし、正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すガスセンサを感度に乏しいガスセンサとする。これにより、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせを得ることができ、その組み合わせに対応するガス種を特定することとしている。
【００３０】
具体的には、まず、判定対象とするガス種ごとの、当該ガス種と当該ガス種についての各前記ガスセンサの出力値の所定の閾値に対する大小関係のパターン（つまり、閾値判定結果のパターンであり、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせ）との対応関係を求め、データベース（記憶部５）に、この対応関係を、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係として記憶する。そして、検出器２から出力信号σの入力があったときは、判定部６は各出力値について閾値判定を行う。例えば、閾値判定は、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいて行う。その後、記憶してある対応関係（閾値判定結果のパターン）と各出力値についての閾値判定の結果とを参照することにより判定対象ガスのガス種を特定する。つまり、閾値判定の結果とその閾値判定結果のパターンが一致するガス種を判定対象ガス種のガス種と特定する。
【００３１】
例えば、検出器２が、以下の１０個のガスセンサを備えている場合、その１０個のガスセンサにおけるガス種ごとの閾値に対する対応関係表（閾値判定結果パターン）は、次の表１のようになる。
〔ガスセンサの種類〕
・ＮＨ３センサ（検知対象ガスがＮＨ３、表１におけるＮＨ３）
・Ｏ３センサ（検知対象ガスがＯ３、表１におけるＯ３）
・ＰＨ３センサ（検知対象ガスがＰＨ３、表１におけるＰＨ３）
・ＨＣｌセンサ（検知対象ガスがＨＣｌ、表１におけるＨＣｌ）
・Ｅ２０Ｃセンサ（検知対象ガスがトルエンを主としたアルコール等を除く有機溶剤、表１におけるＥ２０Ｃ）
・ＨＦセンサ（検知対象ガスがＨＦ、表１におけるＨＦ）
・Ｈ２Ｓセンサ（検知対象ガスがＨ２Ｓ、表１におけるＨ２Ｓ）
・Ｃｌ２センサ（検知対象ガスがＣｌ２、表１におけるＣｌ２）
・ＮＯセンサ（検知対象ガスがＮＯ、表１におけるＮＯ）
・Ｅ２０センサ（検知対象ガスがエタノールを主とした有機溶剤、表１におけるＥ２０）
【００３２】
【表１】
0006731710.tif 000002
【００３３】
ここで、表１におけるＭａｘが正の閾値を超える場合（つまり、正の応答を示す場合）であり、Ｍｉｎが負の閾値を下回る場合（つまり、負の応答を示す場合）であり、Ｎｏｒｍが正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、感度に乏しい場合）、空白は出力値がどのような値であってもガス種の特定とは無関係であることを意味する。そして、アルゴリズム判定の欄は、各ガスセンサの閾値判定の結果がそこに示されているパターンを示すことにより特定されるガス種である。ガス種が複数記載されている場合は、そのいずれか一方、又は両方が含まれていることを示す。
【００３４】
例えば、入力された出力値の閾値判定の結果が、少なくともＰＨ３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ３センサ、Ｏ３センサ、ＨＣｌセンサ、ＨＦセンサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＣｌ２センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであったとき（表１のＮｏ．３）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＰＨ３と特定する。また、少なくともＯ３センサ及びＣｌ２センサについては負の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＰＨ３センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＮＯセンサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ３センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであるとき（表１のＮｏ．８）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＨ２Ｓと特定する。なお、閾値判定の結果が表１のいずれのパターンにも当てはまらなかった場合は、複数種のガス種が含まれていると判定する。
【００３５】
具体的なガス種特定の手順を、上記１０種のガスセンサを備える検出器２を用いてある判定対象ガスの測定を行ったときの各ガスセンサの出力を示す図３を例に説明する。まず、検出器２による測定を開始すると、その応答として、測定しているガス種に対し正の応答を示すガスセンサについて出力が生じる。そして、あるガスセンサ（図３ではＮＯセンサ）の出力値が正の閾値として設定した２５％ＦＳ（フルスケールの２５％の出力値）を超えると（図３におけるＴ１）、時間計測を開始し、その時点Ｔ１から６０秒経過した時点Ｔ２における各ガスセンサの出力値に基づいて閾値判定を行う。そうすると、時点Ｔ２における閾値判定の結果は、ＰＨ３センサ、Ｅ２０Ｃセンサ、ＮＯセンサ、Ｅ２０センサについては正の閾値を超えている（Ｍａｘ）と判定され、他のセンサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す（Ｎｏｒｍ）と判定される。そして、この判定結果を表１の対応関係表と照合して、判定結果と合致する閾値判定結果パターンがあるかを判定する。図３の場合、少なくともＰＨ３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ３センサ、Ｏ３センサ、ＨＣｌセンサ、ＨＦセンサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＣｌ２センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであるＮｏ．３の閾値判定結果パターンに合致するため、判定対象ガスのガス種がＰＨ３であると特定される。
【００３６】
また、例えば、検出器２が、以下の５個のガスセンサを備えている場合、その５個のガスセンサにおけるガス種ごとの閾値に対する対応関係表（閾値判定結果パターン）は、次の表２のようになる。
〔ガスセンサの種類〕
・ＮＨ３センサ（検知対象ガスがＮＨ３、表１におけるＮＨ３）
・Ｏ３センサ（検知対象ガスがＯ３、表１におけるＯ３）
・ＰＨ３センサ（検知対象ガスがＰＨ３、表１におけるＰＨ３）
・ＨＣｌセンサ（検知対象ガスがＨＣｌ、表１におけるＨＣｌ）
・Ｅ２０Ｃセンサ（検知対象ガスがトルエンを主としたアルコール等を除く有機溶剤、表１におけるＥ２０Ｃ）
【００３７】
【表２】
0006731710.tif 000003
【００３８】
ここで、表２におけるＭａｘ／Ｎｏｒｍは出力値が正の閾値を超えるか、又は正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、負の閾値以上の出力値を示す場合）であることを意味し、Ｍｉｎ／Ｎｏｒｍは出力値が負の閾値を下回るか、又は正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、正の閾値未満の出力値を示す場合）であることを意味する。
【００３９】
例えば、入力された出力値の閾値判定の結果が、少なくともＰＨ３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、ＮＨ３センサ、Ｏ３センサ、ＨＣｌセンサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示し、Ｅ２０Ｃセンサについて少なくとも負の閾値以上の出力値を示すものであったとき（表２のＮｏ．４）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＰＨ３と特定する。また、ＮＨ３センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示し、Ｏ３センサについては正の閾値未満の出力値を示し、ＰＨ３センサ、ＨＣｌセンサ及びＥ２０Ｃセンサについては正の閾値を上回る出力値を示すものであったとき（表２のＮｏ．９）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＨ２Ｓと特定する。
【００４０】
なお、１０個のガスセンサを用いる場合も５個のガスセンサを用いる場合と同様にＭａｘ／Ｎｏｒｍ、Ｍｉｎ／Ｎｏｒｍとの基準を表１の空白部分等に追加するようにしてもよい。
【００４１】
次に、各ガスセンサの出力値の傾向を利用したガス種の特定方法の他の一例として、各出力値間の比率を利用してガス種の特定を行う手順について説明する。閾値判定を用いた手段では、ガス種の判定のために、少なくとも閾値を超える程度の出力が得られるガス濃度が必要となるところ、各出力値間の比率を利用する手段では、閾値判定を用いた手段の判定に必要な濃度を下回るガス濃度であっても、出力値の比率さえ判別できれば、判定対象ガスのガス種を特定することができるという利点がある。以下、各出力値間の比率に基づくガス種の特定の手順について説明する。
【００４２】
〈各出力値間の比率に基づくガス種の特定〉
上記したように、あるガス種について、正の応答を示すガスセンサ、負の応答を示すガスセンサ、感度の乏しいガスセンサの種類は決まっているが、さらに、正の応答を示すガスセンサ及び負の応答を示すガスセンサの中では、当該ガス種の濃度にかかわらず、各ガスセンサ間の出力値の比率は決まっている。例えば、図４，５は、各濃度におけるＣｌ２ガスに対するＣｌ２センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフであり、図４，５によれば、Ｃｌ２センサに対するＨ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力値の比率はＣｌ２ガスの濃度が０．３ｐｐｍと０．５ｐｐｍのときとでほぼ同じとなっている。そして、発明者による実験の結果、Ｃｌ２センサに対するＨ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力値の比率は、Ｃｌ２センサの出力値を１００％とすると、Ｃｌ２センサの出力値に対してＨ２Ｓセンサの出力値は−５０〜−３０％であり、ＨＦセンサの出力値は８０〜１００％になることが求められた。これを利用すれば、Ｃｌ２センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＨＦセンサ間の出力値の比率がこの比率に収まるときには、判定対象ガスのガス種がＣｌ２ガスであることが特定できることとなる。つまり、各ガスセンサ間の出力値の比率がわかれば、判定対象ガスのガス種を特定することが可能となる。
【００４３】
そこで、本実施形態のガス分析システム１では、まず、実験の結果等に基づいて、判定対象とするガス種についてガスセンサの特定の組み合わせを定め（例えば、当該ガス種に対して感度の高いガスセンサの組み合わせなど）、その組み合わせの中の各ガスセンサ間の出力値の比率と当該ガス種との対応関係を求める。そして、データベース（記憶部５）に、これら判定対象とするガス種について定めたガスセンサの特定の組み合わせと、当該ガス種に対する当該組み合わせの中の各ガスセンサ間の出力値の比率とを、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係として記憶する。つまり、判定対象のガス種ごとに、どの種類のガスセンサを用いてその出力値間の比率を求めるのかと、そのガス種に対応する出力値間の比率をデータベース（記憶部５）に記憶する。そして、検出器２から出力信号σの入力があったときは、判定部６は、記憶してある対応関係と当該組み合わせの中の出力値の比率とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定する。
【００４４】
例えば、判定部６は、いずれかのガスセンサから何らかの出力があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいてガス種の特定を行うこととする。そして、その一定時間経過後の各ガスセンサの出力値から、判別対象のガス種ごとに、そのガス種について定めたガスセンサの組み合わせにおける出力値間の比率を求める。その比率が記憶してある当該ガス種に対応する出力値間の比率に合致するか（その範囲内に収まるか）を順次判定し、合致するものがあったときに、判定対象ガスのガス種がその合致するガス種であると特定する。例えば、Ｃｌ２センサ、Ｈ２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力が、Ｃｌ２センサの出力値を１００％としたとき、Ｈ２Ｓセンサの出力値が−５０〜−３０％で、ＨＦセンサの出力値が８０〜１００％の比率に収まるのであれば、判定対象ガスのガス種がＣｌ２ガスであることが特定される。
【００４５】
〈特定したガス種の濃度の算出〉
次に、上記いずれかの手段でガス種の特定をした後に、その特定したガス種の濃度を算出する手順について説明する。一般に、ガスセンサの出力値は検知対象のガスの濃度と相関するので、この相関関係を利用して、ガスセンサの出力値から濃度を求めることができる。そのため、本実施形態に係るガス分析システム１では、ガス種によっては複数のガスセンサからの出力があることを考慮して、判定対象とするガス種ごとにその濃度を算出するときの基準とする主のガスセンサを定めておく。例えば、主のガスセンサとするガスセンサとしては、当該ガス種に対する感度が高いガスセンサなどが挙げられる。さらに、この主のガスセンサの出力値と当該ガス種の濃度との相関関係も求めておき、データベース（記憶部５）に、ガス種ごとの主のガスセンサの種類とその出力値と当該ガス種の濃度との相関関係とを濃度算出情報として記憶する。これにより、判定部６は、判定対象ガスのガス種を特定したときに、この濃度算出情報に基づいて、主のガスセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。
【００４６】
ただし、この場合、ガスセンサは対象ガスの濃度に比例してその出力も変化するが、その出力値にはフルスケールと呼ばれる検出限界値があり、この検出限界値を超える以上の濃度を測定することはできないという問題がある。そして、精度よく濃度を算出するためには、その対象のガス種に対して感度の高いガスセンサを主のガスセンサに用いることが好ましいのであるが、感度が高い分だけ、検出限界値に達しやすくなる。そこで、本実施形態に係るガス分析システム１では主のガスセンサの他に、判定対象とするガス種ごとにサブのガスセンサを定めている。また、そのサブのガスセンサの出力値と当該ガス種の濃度との相関関係も求めておき、データベース（記憶部５）に、ガス種ごとのサブのガスセンサの種類とその出力値と当該ガス種の濃度との相関関係とをさらに濃度算出情報として記憶してある。これにより、判定部６は、主のガスセンサの出力値が検出限界値に達していたときは、この濃度算出情報に基づいて、サブのガスセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。
【００４７】
例えば、ＰＨ３ガスの場合を例に、このサブのガスセンサによる濃度算出について説明する。図６〜８は、各濃度におけるＰＨ３ガスに対するＰＨ３センサ（１．０ｐｐｍＦ．Ｓ．）及びＮＯセンサ（０．５ｐｐｍＦ．Ｓ．）の出力を示すグラフである。なお、１．０ｐｐｍＦ．Ｓ．とは、ＰＨ３センサがフルスケール（１００％Ｆ．Ｓ．）の出力のときＰＨ３ガスの濃度が１．０ｐｐｍであることを意味する。つまり、ＰＨ３ガスの濃度は、ＰＨ３センサの出力値（％Ｆ．Ｓ．）から、次の式のように求められる。
【００４８】
ＰＨ３ガス濃度（ｐｐｍ）＝ＰＨ３センサ出力／１００×１．０（ｐｐｍ）（式１）
【００４９】
なお、ＰＨ３センサは、１５０％Ｆ．Ｓ．が検出限界値であり、これを超えると出力が頭打ちになってしまい、そうすると、ガス濃度を正確に算出できなくなる。例えば、ＰＨ３ガスの濃度が０．３ｐｐｍのとき（図６）と１．０ｐｐｍのとき（図７）のときは、その出力値は検出限界値まで達しておらず、出力値がＰＨ３ガスの濃度を反映したものとなっているが、ＰＨ３ガスの濃度が２．０ｐｐｍのとき（図８）は、その出力値が検出限界値（１５０％Ｆ．Ｓ．）を超え頭打ちになっており、出力値がＰＨ３ガスの濃度を反映したものとなっていない。
【００５０】
一方、ＮＯセンサの場合、ＰＨ３センサに比べＰＨ３ガスに対する感度は低いが、その分、ＰＨ３ガスの濃度が２．０ｐｐｍのときも出力値は頭打ちとなっていない。そして、図９はＰＨ３ガスの濃度と各センサの出力値の関係を示すグラフであるが、図９によれば、ＮＯセンサの出力値がＰＨ３ガスの濃度とある程度比例関係にあることがわかる。そして、ＮＯセンサの出力値について近似直線を引くと、その傾きは２１．２１となる。ＰＨ３センサの出力値についての傾きがおよそ１００であることを考えると、同じ濃度のＰＨ３ガスを検知しているとき、ＰＨ３センサの出力値は、ＮＯセンサの出力値の１００／２１．２１倍の値となるといえる（ＰＨ３センサ出力＝ＮＯセンサ出力×（１００／２１．２１））。そうすると、上記式１を用いれば、ＰＨ３ガスとＮＯセンサの出力値（％Ｆ．Ｓ．）との関係は、次の式のようになる。
【００５１】
ＰＨ３ガス濃度（ｐｐｍ）＝ＮＯセンサ出力／２１．２１×１．０（ｐｐｍ）（式２）
【００５２】
このように、ＰＨ３センサによる濃度算出よりも制度は劣るものであっても、上記式２に基づき、ＮＯセンサの出力値からもＰＨ３ガスの濃度を算出することが可能である。そこで、ＰＨ３ガスの濃度算出における主のガスセンサをＰＨ３センサとすること、ＮＯセンサをそのサブのガスセンサとすること、及び上記した式１，２のＰＨ３ガスの濃度とＰＨ３センサ及びＮＯセンサの出力値との関係を濃度算出情報としてデータベース（記憶部５）に記憶しておけば、判定部６により、ＰＨ３センサの出力値が検出限界値に達するまでは、ＰＨ３センサの出力値から上記式１に基づきＰＨ３ガスの濃度が算出され、ＰＨ３センサの出力値が検出限界値に達したときは、ＮＯセンサの出力値から上記式２に基づきガス濃度が算出されることになる。
【００５３】
〈ＰＩＤセンサを利用したガス分析〉
光イオン化センサ（ＰＩＤセンサ）は、有機溶剤を中心に多くのガスに反応するセンサであり、単一のセンサで様々なガス種の濃度分析が可能となる利点がある。しかし、その出力値からおおまかなガス種の絞り込みは可能であっても、確度高くガス種の判定をすることはできない問題がある。これに対し、発明者は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、上記と同様の要領でこれらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能であることを見出した。つまり、複数のガスセンサからの出力値の傾向とガス種との対応関係を求めるにしても、判定しようとするガス種を多くするとその判定基準が複雑になったり、他のガス種との区別がつきにくくなり、確度高く判定できない虞があるが、ＰＩＤセンサを用いることで、ＰＩＤセンサの出力があったときは、少なくともＰＩＤセンサが検知できるガス種であることが絞り込める（反対に、ＰＩＤセンサの出力がないときは、少なくともＰＩＤセンサが検知できないガス種であることが絞り込めることになる）。そして、ガス種を絞り込むことで、区別しなければならないガス種の数が減るから、複数のガスセンサからの出力値の傾向とガス種との対応関係を求めるのが容易となる。その結果、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、これらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能となる。
【００５４】
そこで、本実施形態に係るガス分析システム１では、検出器２が少なくとも一つのＰＩＤセンサを備えたものとしてある。本実施形態では、１０ｐｐｍＦ．Ｓ．イソブチレンのＰＩＤセンサを用いる。また、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種とＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向との対応関係を求めておき、これをデータベース（記憶部５）に記憶してある。そして、判定部６は、ＰＩＤセンサの出力があったときに、この対応関係と所定のガスセンサにおける出力値の傾向とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定する。さらに、データベースには、判定対象とするガス種の濃度とＰＩＤセンサの出力値との相関関係を記憶してあり、判定部６は、判定対象ガスのガス種を特定したとき、この相関関係に基づいて、ＰＩＤセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。ガス種の濃度の算出は、ガス種ごとに係数が決まっており、その係数を出力値にかけることにより、そのガス種の濃度を算出する。具体的には、１０ｐｐｍＦ．Ｓ．イソブチレンのＰＩＤセンサを用いた場合、次のような式で、ガス種の濃度が求められる。
【００５５】
ガス濃度（ｐｐｍ）＝係数×ＰＩＤセンサ出力値／１００×１０（ｐｐｍ）  （式３）
【００５６】
例えば、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種と対応付けるＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向としては、そのガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率が挙げられる。図１０，１１は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種の濃度とＥ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示す。図１０，１１から明らかなように、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとでは、対象ガスがアルコールかアルコールでないかによってその感度に大きな違いがあり、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率は異なっている。
【００５７】
一例として、トルエンを検出器２が測定しているとき、図１２に示すような出力が得られる（前半はトルエンの濃度を１ｐｐｍとし、後半はトルエンの濃度を５ｐｐｍとして測定を行った）。このとき、ＰＩＤセンサから出力が得られ、また、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとからも出力が得られている。そして、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率はＥ２０Ｃセンサを１００％とした際にＥ２０センサは３０〜４０％となっている。一方、アセトンを検出器２が測定しているとき、図１３に示すような出力が得られる。図１２と同様に、ＰＩＤセンサから出力が得られ、また、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとからも出力が得られている。そして、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率はＥ２０Ｃセンサを１００％とした際にＥ２０センサは４０〜５０％となっている。このように、ガス種によりＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率は異なっている。そして、これを利用すれば、Ｅ２０Ｃセンサの出力値を１００％とした際のＥ２０センサの出力値が３０〜４０％のときはそのガス種はトルエンであり、Ｅ２０Ｃセンサの出力値を１００％とした際のＥ２０センサの出力値が４０〜５０％のときはそのガス種はアセトンであることがわかる。そこで、上記対応関係として各ガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率を予め求めてデータベース（記憶部５）に記憶しておけば、検出器２から検出されたＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率に基づいて、判定部６によるガス種の判定が可能となる。そして、さらに、判定部６は、上記式３に基づいて、データベースに記憶してあるそのガス種についての係数を用いて、ＰＩＤセンサ出力値からそのガス種の濃度を算出できる。
【００５８】
〔その他の実施形態〕
最後に、本発明に係るガス分析システム及びガス分析方法のその他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
【００５９】
（１）上述の実施形態では、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用したガス種の特定の手法として、閾値判定に基づくガス種の特定、各出力値間の比率に基づくガス種の特定を例に説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されず、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用してガス種の特定が可能なものであればどのようなものであってもよい。
【００６０】
（２）上述の実施形態では、閾値判定に基づくガス種の特定、各出力値間の比率に基づくガス種の特定において、判定部６は、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力（又は出力）があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいてその判定を行う構成を例に説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力があったときからその後一定時間に至るまでの間にも、その時点での各ガスセンサの出力から同様の閾値判定や各出力値間の比率に基づくガス種の特定を行い、その結果を予測ガス種として示すことで、ガス種の早期特定を可能にしても良い。また、一定時間経過後に判定を行った後も、所定時間間隔ごとに再度判定を行い、その結果を更新するようにすることでガス種特定の精度を上げるようにしても良い。
【００６１】
（３）上述の実施形態では、ＰＩＤセンサを利用したガス分析において、ＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向としては、そのガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率を用いた例を説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されず、ＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種と対応付けられるものであればどのようなものであってもよい。
【００６２】
（４）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本発明の範囲はそれらによって限定されることはないと理解されるべきである。当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜改変が可能であることを容易に理解できるであろう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された別の実施形態も、当然、本発明の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、複数種のガスセンサを用いた判定対象ガスのガス種の特定に利用することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１          ガス分析システム
２          検出器（検出部）
４          入力部
５          記憶部
６          判定部
【図１】
0006731710.tif 000004
【図２】
0006731710.tif 000005
【図３】
0006731710.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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