(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機または真空ポンプであって、
‐冷却用ガスを流通させることができる冷却用ガス入口（３）と冷却用ガス出口（４）を備えたケーシング（２）を有し、
‐前記冷却用ガス入口（３）のところに設けられていてファンハウジングを備えたファン（１２）を有し、前記ファンは、前記冷却用ガスを前記ケーシング（２）中に吹き込むよう構成され、
‐第１のハウジング（６）、プロセスガスを流通させることができるプロセスガス入口（７）とプロセスガス出口（８）および少なくとも１つの回転要素（９）を備えた圧縮または真空チャンバ（５）を有し、
‐第２のハウジング（１６）および前記少なくとも１つの回転要素（９）を支持する少なくとも１つの軸受（１７）を備えた駆動モジュール（１５）を有し、
‐カバー（１９）を備えていて前記圧縮機または真空ポンプ（１）によって生じた騒音を減衰させるよう構成されている消音器（１８）を有する、圧縮機または真空ポンプにおいて、
前記消音器（１８）は、前記消音器のカバー（１９）に設けられていて、前記ファン（１２）からの前記冷却用ガス流を前記駆動モジュール（１５）に向かってそらすよう構成された凹部構造（２０）を有する、圧縮機または真空ポンプ。
【請求項２】
前記駆動モジュール（１５）は、前記少なくとも１つの軸受（１７）を冷却する及び／又は潤滑する油浴を有する、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項３】
前記少なくとも１つの軸受（１７）は、油が前記駆動モジュール（１５）を出るのを阻止するシール（２１）を有する、請求項２記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項４】
前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）と前記駆動モジュール（１５）の前記第２のハウジング（１６）との間に設けられていて冷却用ガスを前記第１のハウジング（６）と前記第２のハウジング（１６）との間で流通させることができるチャネル構造を更に有する、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項５】
前記駆動モジュール（１５）は、前記ファン（１２）と前記圧縮または真空チャンバ（５）との間に配置されている、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項６】
前記ファン（１２）および前記少なくとも１つの軸受（１７）は、共通シャフトに取り付けられている、請求項５記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項７】
前記ケーシング（２）の外部に配置されていて前記少なくとも１つの回転要素（９）を駆動するモータ（２４）を更に有する、請求項６記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項８】
前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）上に配置された放熱器（２５）を更に有する、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項９】
前記消音器（１８）は、前記圧縮または真空チャンバ（５）の下に配置されている、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項１０】
前記ケーシング（２）は、前記冷却用ガス流を前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）の第１の表面に沿ってそらす手段と、前記冷却用ガス流を前記消音器（１８）の方向に前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）の第２の表面に沿って更に向け直す手段と、前記冷却用ガス流を前記ケーシング（２）の外部に差し向ける手段とを更に有する、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項１１】
前記圧縮機または真空ポンプ（１）は、クロー圧縮機または真空ポンプである、請求項１記載の圧縮機または真空ポンプ。
【請求項１２】
圧縮機または真空ポンプを冷却する方法であって、前記方法が、以下のステップ、すなわち、
‐ある量の冷却用ガスを前記圧縮機または真空ポンプ（１）のケーシング（２）の冷却用ガス入口（３）に通して吹き込むステップを含み、
‐前記ある量の冷却用ガスを少なくとも１つの軸受（１７）を備えた駆動モジュール（１５）の第２のハウジング（１６）の表面に向かってそらすステップを含み、
‐前記冷却用ガス流を圧縮または真空チャンバ（５）の第１のハウジング（６）の第１の表面に向かって案内するステップを含み、前記圧縮または真空チャンバ（５）は、少なくとも１つの回転要素（９）を有し、
‐前記圧縮機または真空ポンプ（１）によって生じた騒音を減衰させる消音器（１８）を用意するステップを含み、前記消音器（１８）は、カバー（１９）を有する、方法において、
前記冷却用ガス入口（３）を通って入る前記ある量の冷却用ガスを前記駆動モジュール（１５）の前記第２のハウジング（１６）の表面に向かってそらす前記ステップは、前記ある量の冷却用ガスを前記消音器（１８）の前記カバー（１９）に設けられた凹部構造（２０）中に差し向けるステップを更に含む、圧縮機または真空ポンプの冷却方法。
【請求項１３】
前記第１の表面からの前記冷却用ガス流を前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）の第２の表面に沿ってかつ更に前記ケーシング（２）の冷却用ガス出口（４）中に案内するステップを更に含む、請求項１２記載の圧縮機または真空ポンプの冷却方法。
【請求項１４】
前記圧縮または真空チャンバ（５）の前記第１のハウジング（６）と前記駆動モジュール（１５）の前記第２のハウジング（１６）との間にチャネルを設けることによって前記そらされた冷却用ガス流を前記駆動モジュール（１５）の高さに沿って案内するステップを更に含む、請求項１２記載の圧縮機または真空ポンプの冷却方法。
【請求項１５】
圧縮機または真空ポンプの駆動モジュールを冷却するための消音器の使用であって、前記消音器（１８）は、前記消音器のカバー（１９）の表面に設けられていて冷却用ガス流を前記駆動モジュール（１５）に向かってそらす凹部構造（２０）を有し、前記駆動モジュール（１５）は、少なくとも１つの軸受（１７）を有する、使用。
【請求項１６】
圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させる消音器であって、前記消音器（１８）は、カバー（１９）を有する、消音器において、前記消音器（１８）は、前記カバー（１９）に設けられていて高さＨおよび長さＬを備えた凹部構造（２０）を有し、前記凹部構造（２０）は、冷却用ガスをそらして前記消音器（１８）から遠ざけ、そして駆動モジュール（１５）の方へ差し向けるために距離ｘにわたって比較的真っ直ぐな表面および距離Ｌ−ｘにわたって比較的湾曲した表面を有する、消音器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮機または真空ポンプであって、冷却用ガスを流通させることができる冷却用ガス入口と冷却用ガス出口を備えたケーシングと、冷却用ガス入口のところに設けられていてファンハウジングを備えたファンとを有し、ファンが冷却用ガスをケーシング中に吹き込むよう構成され、第１のハウジング、プロセスガスを流通させることができるプロセスガス入口とプロセスガス出口および少なくとも１つの回転要素を備えた圧縮または真空チャンバと、第２のハウジングおよび少なくとも１つの回転要素を支持する少なくとも１つの軸受を備えた駆動モジュールと、カバーを備えていて圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させるよう構成されている消音器とを更に有する形式の圧縮機または真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機または真空ポンプの互いに異なるコンポーネントの温度を制御下に維持することは、設計者が直面する課題である。
【０００３】
既存の設計の中には、圧縮機または真空ポンプのケーシング内から空気を取り出し、そしてこの空気を周囲環境中に吹き込むものがあれば、コンポーネントを製造するために用いられる互いに異なるカバー材料の対流能力を用いるものもある。
【０００４】
一例がヒタチ・コウキ・カンパニー（Hitachi Koki Co.）名義の米国特許出願公開第２００９／０１９４１７７（Ａ１）号明細書に見受けられ、この米国特許出願公開は、２つの空気流を生じさせて圧縮機ユニットの互いに異なるゾーンを冷却する２つのファンを用いた空気圧縮機のレイアウトを開示している。
【０００５】
この設計例は２つのファンを用いているので、ケーシングは、空気がケーシング内に入ることができるようにする３つの互いに異なる領域および空気がこのケーシングから流れ出て外部環境中に流れ込むことができるようにする３つの他の領域を備えている。
【０００６】
３つの入口および３つの出口を提供することによって、ケーシングの製造はまた、更に複雑になる。と言うのは、追加の切削および仕上げステップを実施しなければならないからである。ある場合、かかる入口および出口は、ケーシングの弱い構造箇所となる。このために、追加の補強材を追加する必要があり、それにより、製造時間が長くなるとともに言わずと知れたことであるが製造費が増大する。
【０００７】
かかる設計例のもう１つの欠点は、レイアウトが複雑であることであり、その理由は、２つのファンの各々を駆動ユニットに連結しなければならないからである。
【０００８】
別の例がバリアン・アソシエーツ（Varian Associates）名義の米国特許第４，２８３，１６７（Ａ）号明細書に見受けられ、この米国特許は、空気を外部環境から取り込んでこれをポンプケーシングに向かって差し向けるファンを有する真空ポンプを開示している。ケーシングは、冷却目的でその表面に沿って垂直方向および水平方向に延びるフィンを更に有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００９／０１９４１７７（Ａ１）号明細書
【特許文献２】米国特許第４，２８３，１６７（Ａ）号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
試験結果の示すところによれば、真空ポンプの機能の実行中、温度の互いに異なる領域がそのコンポーネント相互間に生じるとともに隣り合って位置決めされたコンポーネントが互いの温度に影響を及ぼし合う。上述の真空ポンプの欠点のうちの１つは、かかる領域を突き止めることができずまたは冷却の面で別々に処理されないということにある。このために、冷却プロセスは、効率が良くない状態になる。
【００１１】
さらに、隣り合って位置決めされた互いに異なるコンポーネントの影響のために、高い熱抵抗を有する材料が必ずしもこれを必要としない要素について選択される必要があり、それにより、ユニットの製造費が増大する。他方、かかる材料が用いられない場合、真空のプロセスで関与する高い温度がかかる材料を時期尚早に摩耗させることになる。
【００１２】
上述の欠点を考慮に入れて、本発明の目的は、コンポーネントの所望の温度を効果的に維持する圧縮機または真空ポンプを提供することにある。
【００１３】
本発明の別の目的は、既存のユニットよりもフットプリントが小さくかつレイアウトが単純な圧縮機または真空ポンプを提供することにある。
【００１４】
さらに、本発明の目的は、用いられるコンポーネントの寿命を延ばし、しかも互いに異なる隣り合うコンポーネントが互いの温度に影響を及ぼし合う恐れを減少させることにある。
【００１５】
本発明の別の目的は、圧縮機または真空ポンプを組立てたり分解したりするのが容易であるようにすることにある。このために、製造および保守時間を減少させることができる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、圧縮機または真空ポンプであって、
‐冷却用ガスを流通させることができる冷却用ガス入口と冷却用ガス出口を備えたケーシングを有し、
‐冷却用ガス入口のところに設けられていてファンハウジングを備えたファンを有し、ファンは、冷却用ガスをケーシング中に吹き込むよう構成され、
‐第１のハウジング、プロセスガスを流通させることができるプロセスガス入口とプロセスガス出口および少なくとも１つの回転要素を備えた圧縮または真空チャンバを有し、
‐第２のハウジングおよび少なくとも１つの回転要素を支持する少なくとも１つの軸受を備えた駆動モジュールを有し、
‐カバーを備えていて圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させるよう構成されている消音器を有し、
消音器は、消音器のカバーに設けられていて、ファンからの冷却用ガス流を駆動モジュールに向かってそらすよう構成された凹部構造を有することを特徴とする圧縮機または真空ポンプを提供することによって、上述の問題および／または他の問題のうちの少なくとも１つを解決する。
【００１７】
消音器は、この消音器のカバーに凹部構造を有しているので、ファンから来た冷却用ガス流を駆動モジュールの方へそらすことができ、それにより駆動モジュールのコンポーネントを保護してこれが高い温度に達するのを阻止する。
【００１８】
ケーシングは、冷却用ガス流を流通させることができるようにするための冷却用ガス入口および冷却用ガス出口しか備えていないので、本発明の圧縮機または真空ポンプは、圧縮または真空プロセスを達成するのに必要なコンポーネントだけを用いることによって互いに異なるコンポーネントの効率的な冷却を達成する。
【００１９】
本発明の圧縮機または真空ポンプは、冷却が必要とされる場合にはどこでも、冷却用ガス流を案内するケーシングを含むそのコンポーネントを用いる。したがって、これら全てのコンポーネントの温度を効率的な仕方で所望のしきい値未満に維持する。
【００２０】
冷却は、このように行われるので、コンポーネントを隣り合うコンポーネント相互間の空間が、高い温度が現れることが知られている場所ではどこでも冷却用ガス流を集中させるためのチャネルを作るに足るほど狭いようにコンポーネントを位置決めすることによって圧縮機または真空ポンプのフットプリントをかなり減少させることができる。
【００２１】
このために、圧縮機または真空ポンプの互いに異なるコンポーネントを冷却する順序もまた、設計を通じて定めることができる。したがって、効率を高めるため、冷却用ガス流をこれが他のコンポーネントよりも低い温度に達することが知られているコンポーネントに最初に達することができるよう差し向けるのが良く、その後にのみ、ケーシングの外側に差し向け、そして高い温度に達することが知られているコンポーネントの方へ案内するのが良い。これを考慮に入れることによって、冷却プロセスの効率が高められる。
【００２２】
好ましくは、駆動モジュールは、ファンと圧縮または真空チャンバとの間に配置される。
【００２３】
試験結果の示すところによれば、圧縮または真空プロセスのために、圧縮または真空チャンバ内およびかくして圧縮または真空チャンバのコンポーネント要素内のプロセスガスは、駆動モジュールのコンポーネント要素よりも極めて高い温度に達する。
【００２４】
ファンから来た冷却ガス流が駆動モジュールに向かって差し向けられない場合、圧縮または真空チャンバの温度は、駆動モジュール内のコンポーネント要素の温度に著しい影響を及ぼし、その結果、これらコンポーネント要素の寿命が短くなる。
【００２５】
このレイアウトのために、圧縮機または真空ポンプの冷却プロセスは、極めて効率が高い。
【００２６】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプを冷却する方法であって、この方法が、以下のステップ、すなわち、
‐ある量の冷却用ガスを圧縮機または真空ポンプのケーシングの冷却用ガス入口に通して吹き込むステップを含み、
‐ある量の冷却用ガスを少なくとも１つの軸受を備えた駆動モジュールの第２のハウジングの表面に向かってそらすステップを含み、
‐冷却用ガス流を圧縮または真空チャンバの第１のハウジングの第１の表面に向かって案内するステップを含み、圧縮または真空チャンバは、少なくとも１つの回転要素を有し、
‐圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させる消音器を用意するステップを含み、消音器は、カバーを有し、
冷却用ガス入口を通って入るある量の冷却用ガスを駆動モジュールの第２のハウジングの表面に向かってそらすステップは、ある量の冷却用ガスを消音器のカバーに設けられた凹部構造中に差し向けるステップを更に含むことを特徴とする圧縮機または真空ポンプの冷却方法に関する。
【００２７】
本発明の方法がかかるステップに従って実施されるので、冷却プロセスは、効率が公知の圧縮機または真空ポンプよりも非常に高い。と言うのは、最初に冷却用ガス流が機能実行中に低い温度に達することが知られているコンポーネントに達し、その後にのみ、高い温度に達することが知られているコンポーネントに達する。
【００２８】
したがって、互いに異なるコンポーネントは、かかるコンポーネントが冷却状態になったときに別々の処理されており、このために、かかるコンポーネントについて選択された材料は、圧縮機または真空ポンプが高い温度を生じさせることが知られている高い圧縮限度または低い真空限度に達するよう設計されている場合であっても、標準の材料であって良い。
【００２９】
冷却用ガス流をそらしたり案内したりするステップは、互いに異なるコンポーネントの助けにより実施されているので、圧縮機または真空ポンプのフットプリントは、かなり減少する。
【００３０】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプの駆動モジュールを冷却するための消音器の使用であって、消音器は、この消音器のカバーの表面に設けられていて冷却用ガス流を駆動モジュールに向かってそらす凹部構造を有し、駆動モジュールは、少なくとも１つの軸受を有することを特徴とする使用に関する。
【００３１】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させる消音器であって、消音器は、カバーを有する、消音器において、消音器は、カバーに設けられていて高さＨおよび長さＬを備えた凹部構造を有し、凹部構造は、冷却用ガスをそらして消音器から遠ざけ、そして駆動モジュールの方へ差し向けるために距離ｘにわたって比較的真っ直ぐな表面および距離Ｌ−ｘにわたって比較的湾曲した表面を有することを特徴とする消音器に関する。
【００３２】
本発明の特徴を良好に示す意図で、以下において、添付の図面を参照して例示として本発明の幾つかの好ましい形態を説明するが、これは本発明のなんら限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態としての圧縮機または真空ポンプを概略的に示す図である。
【図２】本発明の実施形態としての圧縮機または真空ポンプの内部レイアウトを概略的に示す図である。
【図３】本発明の実施形態としてのファンのレイアウトを概略的に示す図である。
【図４】軸線ＡＡ′によって１８０°回転させてある図３に示されているファンの略図である。
【図５】本発明の実施形態としての消音器のレイアウトの概略分解組立て図である。
【図６】本発明の実施形態としての真空チャンバおよび駆動モジュールの内部コンポーネントを概略的に示す図である。
【図７】本発明の実施形態としての駆動モジュールを概略的に示す図である。
【図８】本発明の実施形態としての圧縮または真空チャンバを概略的に示す図である。
【図９】図５のＸＩＸ‐ＸＩＸ線に沿って見た凹部構造の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１は、ケーシング２を有する圧縮機または真空ポンプ１を示しており、ケーシング２は、ある量の冷却用ガスを流通させることができる冷却用ガス入口３と冷却用ガス出口４を更に有する。
【００３５】
代表的には、冷却用ガスは、空気であるが、理解されるべきこととして、本発明は、冷却用ガスとして空気に限定されることはなく、本発明は、他種類のガスでも有用である。
【００３６】
図２に示されているように、圧縮機または真空ポンプ１は、第１のハウジング６、プロセスガスを流通させることができるプロセスガス入口７とプロセスガス出口８と少なくとも１つの回転要素９（図６）とを更に有する。
【００３７】
プロセスガス入口７を外部モジュール１０（図１）に連結するのが良く、この外部モジュールは、圧縮機の場合、ガス源であり、真空ポンプの場合、ガスの受け器であるのが良い。プロセスガス出口８は更に、ユーザのネットワーク１１に連結されるのが良く、このネットワークにおいて、圧縮ガスを提供しまたは真空を作る。
【００３８】
本発明との関係で、圧縮機または真空ポンプ１は、一軸スクリュー圧縮機、多軸スクリュー圧縮機、スクロール圧縮機、一クロー（single claw）真空ポンプ、多クロー（multiple claw）真空ポンプ、一軸スクリュー真空ポンプ、多軸スクリュー真空ポンプ、スクロール真空ポンプ、回転ベーン真空ポンプなどを含むものと理解されるべきである。上述した形式の圧縮機または真空ポンプの各々は、油冷式であっても良くまたはオイルレス式であっても良い。
【００３９】
さらに理解されるべきこととして、少なくとも１つの回転要素９は、上述の圧縮機または真空ポンプ１の少なくとも１つのスクリュー、スクロールまたはクロー要素を表わしており、かかる要素は、回転によって、真空または圧縮ガスを生じさせる。
【００４０】
本発明の圧縮機または真空ポンプ１は、冷却用ガス入口３のところに設けられていて羽根車（図示せず）およびファンハウジング１３を有するファン１２を更に有し、このファンは、冷却用ガスをケーシング２内に吹き込むよう構成されている。
【００４１】
好ましくは、ファンハウジング１３は、ケーシング２に向いた側がボリュートの形をしており（図３）、このボリュートは、羽根車によって駆動された冷却用ガスをケーシング２の内側に向かって差し向けるチャネル１４を有する。
【００４２】
ファンハウジング１３は、ボリュートの反対側に、冷却用ガスがケーシング２の内側に入って羽根車の運動によってケーシング２の内側に向かって移動することができるようにする少なくとも１つのオリフィスを有する。
【００４３】
好ましくは、ファンハウジング１３は、横方向側部に設けられていて多量の冷却用ガスが羽根車に達することができるようにするオリフィスを更に有する。
【００４４】
圧縮機または真空ポンプ１は、第２のハウジング１６および少なくとも１つの回転要素９を支持する少なくとも１つの軸受１７（図６）を備えた駆動モジュール１５（図２および図７）を更に有する。
【００４５】
さらに、本発明の圧縮機または真空ポンプ１は、カバー１９を備えた消音器１８を有し、この消音器は、圧縮機または真空ポンプ１（図５）によって生じた騒音を減衰させるよう構成されている。
【００４６】
好ましくは、消音器１８は、そのカバー１９のところに設けられていてファン１２からの冷却用ガス流を駆動モジュール１５の方にそらすよう構成された凹部構造２０を有する。
【００４７】
本発明の好ましい実施形態では、図９に示されているように、凹部構造２０は、高さＨおよび長さＬを有し、この凹部構造は、好ましくは、ファン１２から来た冷却用ガス流が凹部構造２０内で距離ｘにわたってその軌道を維持することができるよう設計されている。凹部構造２０は、好ましくは、距離Ｌ−ｘにわたり、冷却用ガス流を消音器１８から遠ざけて駆動モジュール１５に向かってそらす勾配または湾曲面を有する。
【００４８】
本発明の一実施形態では、凹部構造２０は、距離Ｌ全体にわたって勾配を有しても良く、この場合、ｘは、ゼロである。
【００４９】
本発明の別の実施形態では、凹部構造２０は、上述したのと同様に高さＨおよび長さＬを備えた２本または３本以上のチャネルを有するのが良い。
【００５０】
本発明の更に別の実施形態では、凹部構造２０は、丸形縁部を備えた三角形の形をしているのが良く、この三角形は、ファン１２のチャネル１４に向いた側にこの三角形の底辺を有し、三角形の頂点は、駆動モジュール１５の付近に位置している。三角形は、距離Ｌにわたって連続した勾配を作ることができ、この場合、ｘは、ゼロであり、または勾配は、距離ｘ（この場合、ｘは、ゼロとは異なる値を有する）後に消音器１８のカバー１９の縁から始まっても良い。
【００５１】
凹部構造２０の助けにより、圧縮機または真空ポンプ１は、ファン１２から来た冷却用ガス流の方向を制御するためにそのコンポーネントを利用し、しかもコンポーネントの表面の制御を可能にして冷却用ガス流がこの凹部構造と接触関係をなして流入するようにする。そのため、より制御された冷却プロセスを効率的かつ予測可能な結果が得られる状態で設計できる。
【００５２】
好ましくは、駆動モジュール１５は、第２のハウジング１６内に設けられていて少なくとも１つの軸受１７を冷却するとともに／あるいは潤滑する油浴を更に有し、この油浴は、図面に示されていない。
【００５３】
封止目的で、シール２１が第２のハウジング１６内に設けられており（図６）、シール２１は、好ましくは、油が駆動モジュール１５を出るのを阻止するために圧縮または真空チャンバ５に向いた側に位置決めされる。
【００５４】
代表的には、第２のハウジング１６は、金属、例えば鉄、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、または任意他の金属もしくはこれらの合金（これらは例示であってこれらに限定されるわけではない）から製造されるのが良い。
【００５５】
本発明との関係で、理解されるべきこととして、少なくとも１つの回転要素９は、圧縮または真空チャンバ５内に収容されたロータ本体および駆動モジュール１５内に収容されたロータシャフトを有し、軸受１７およびシール２１がこのロータシャフトの周りに設けられている。好ましくは、少なくとも１つの回転要素９は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６を出る前に位置するガスシール２２を更に有する。このために第１および第２のハウジング６，１６は、互いに封止されており、ただし、駆動モジュール１５の第２のハウジング１６に入る少なくとも１つの回転要素９のロータシャフトを除く。
【００５６】
代表的には、効率の目的で、シール２１とガスシール２２の両方は、例えば互いに異なる形式のポリマーまたはゴム（合成または天然）のような材料で製造されるのが良く、かかる材料は、他のコンポーネント要素、例えば少なくとも１つの軸受１７または第２のハウジング１６と比較して、比較的低い融点を有することが知られている。
【００５７】
このために、駆動モジュール１５の温度は、シール２１に用いられた材料に基づいて定められるある特定のしきい値未満に維持される必要がある。さらに、油浴内の油の温度もまた、油の特性を改質することがないようにするためにある特定のしきい値未満に維持される必要がある。
【００５８】
ファン１２から来た冷却用ガス流を凹部構造２０の助けにより駆動モジュール１５に向かってそらすことによって、コンポーネントの温度は、しきい値未満に維持され、シール２１および油浴内の油の寿命が延びる。このために、圧縮機または真空ポンプ１の定期的な保守が長期間経過後に実施されるのが良く、それにより本発明の圧縮機または真空ポンプ１が安価にかつ高信頼度に製作される。
【００５９】
本発明との関連で、理解されるべきこととして、圧縮機または真空ポンプ１が二軸スクリューもしくは二重歯または二重クロー圧縮機または真空ポンプ１である場合、駆動モジュール１５は、各々が各回転要素９をそれぞれ支持するために用いられかつ少なくとも１つのシール２１を有するとともに各ロータシャフト周りにそれぞれ設けられている２つの軸受１７を有する。
【００６０】
本発明の好ましい実施形態では、圧縮機または真空ポンプ１は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６と駆動モジュール１５の第２のハウジング１６との間に設けられていて冷却用ガスが第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間で流れることができるようにするチャネル構造２３を更に有する（図７および図８）。
【００６１】
好ましくは、チャネル構造２３は、冷却用ガス流が圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６または駆動モジュール１５の第２のハウジング１６に入るのが阻止されるような仕方で作られる。
【００６２】
このため、冷却用ガス層が圧縮機または真空ポンプ１の機能を実行中、第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間に維持される。
【００６３】
一例として、図７に示されているように、このチャネル構造２３は、駆動モジュール１５の第２のハウジング１６の外壁の付近にかつ第１のハウジング６に向いた側に、しかも両方の側壁の付近に作られた溝の形をしているのが良い。したがって、駆動モジュール１５の第２のハウジング１６および圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６が圧縮機または真空ポンプ１内に設けられると、チャネル構造２３が第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間に作られ、その結果、冷却用ガスが凹部構造２０によってそらされた後に第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間を移動することができ、更に消音器１８が設けられている側とは反対の側でケーシング２に達することができるようになる。
【００６４】
本発明の別の実施形態では、圧縮機または真空ポンプ１が２つの軸受１７を有している場合、チャネル構造２３を２つの軸受１７相互間にも作ることができまたはチャネル構造２３は、側壁の近くにかつ第１のハウジング６および２つの軸受相互間に作られたチャネル構造２３に向いた側に作られる溝を有することができる。
【００６５】
冷却チャネル構造２３は、例えば第２のハウジング１６の外壁とほぼ平行であり、かつ／あるいは２つの軸受１７相互間のチャネルに関する場合にはほぼ真っ直ぐである単純な構造を有することができまたはより複雑で不規則なまたは曲がりくねった形状を有することができる。
【００６６】
本発明の別の実施形態では、チャネル構造２３および／または溝型の構造は、フィンを更に有するのが良く、これらフィンは、これらが放熱器として働いているので冷却プロセスの効率を高める。
【００６７】
本発明の更に別の実施形態では、第１および第２のハウジング６，１６は、単一のハウジングとして作られても良く、冷却チャネル構造２３は、鋳造によって作られても良い。
【００６８】
試験結果の示すところによれば、圧縮または真空チャンバ５内のプロセスガスの温度は、軸受１７および駆動モジュール１５内の油よりも非常に高い温度に達する。このため、作られた冷却ガス層は、極めて重要になり、と言うのは、かかる冷却ガス層が第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間の温度の影響の恐れを伝導により減少させるからである。それと同時に、冷却ガス流は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６と駆動モジュール１５の第２のハウジング１６の両方について効率的な冷却を達成する。
【００６９】
本発明の好ましい実施形態では、駆動モジュール１５は、ファン１２と圧縮または真空チャンバ５との間に配置されている。
【００７０】
かかるレイアウトを採用することによって、圧縮機または真空ポンプ１の保守を極めて容易に実施することができる。
【００７１】
真空ポンプ１の実施例を採用した場合、少なくとも１つの回転要素９の定期的クリーニングを実施することが必要であることが知られている。駆動モジュール１５をファン１２と真空チャンバ５との間に配置することによって、本発明の真空ポンプのユーザは、真空ポンプ１および真空チャンバ５の真空ポンプ１のケーシング２および真空チャンバ５の第１のハウジング６を開けばすみ、少なくとも１つの回転要素９を取り出してこれをクリーニングし、そして本発明の用途では真空ポンプの使用を続行することができる。
【００７２】
このため、保守をユーザによって実施することができ、その結果、保守費が非常に安くなり、しかも真空ポンプが用いられない期間が非常に短縮される。
【００７３】
製造を容易にするためかつコンパクトさを得るため、ファン１２および少なくとも１つの軸受１７は、好ましくは、共通シャフトに取り付けられる。
【００７４】
本発明は、上述のレイアウトには限定されず、ファン１２および少なくとも１つの軸受１７を互いに異なるシャフトに取り付けても良いことは理解されるべきである。
【００７５】
好ましくは、圧縮機または真空ポンプ１は、ケーシング２の外部に配置された状態で少なくとも１つの回転要素９を駆動するモータ２４を更に有する。
【００７６】
圧縮機または真空ポンプ１は、モータ２４とファン１２との間に設けられた熱遮蔽体（図示せず）を更に有するのが良い。熱遮蔽体は、金属プレート、放熱器、断熱材、モータのケーシング内に設けられた状態で冷却用ガス流を圧縮機または真空ポンプ１から遠ざかる方向に差し向けるファンから成る群から選択されるのが良く、あるいは、モータ２４をこれと圧縮機または真空ポンプ１との間の考えられる熱による影響をなくすよう圧縮機または真空ポンプ１から最小距離を置いたところに配置されても良い。
【００７７】
本発明の別の実施形態では、ファン１２は、ケーシング２内に配置され、ファン１２は、ファン１２がモータ２４により生じる熱の温度に対する影響を受けないで、冷却用ガスをケーシング２の外側から回収することができるようにする有孔材料の領域を更に有するのが良い。かかる領域は、ケーシング２の少なくとも一方の側にまたはケーシング２の両方の側に作られるのが良く、好ましくは、かかる領域は、ケーシングの３つの側に作られるのが良く、更により好ましくは、かかる領域は、ファン１２の周囲に沿ってケーシング２に作られるのが良い。
【００７８】
さらに別の実施形態では、ファン１２は、少なくとも、ある量の冷却用ガスが羽根車に達することができるようにするオリフィス２６を有するのが良い。好ましくは、冷却効率を高めるため、ファン１２は、その周囲全体にわたりかつ／あるいはその中心を通って複数のオリフィス２６を有する（これには限定されない）。
【００７９】
好ましくは、モータ２４は、シャフトが駆動モジュール１５の第２のハウジング１６内の少なくとも１つの軸受１７に連結されているので、シャフトを駆動し、このシャフトは、ファン１２を回転させるとともに更に少なくとも１つの回転要素９を回転させる。
【００８０】
圧縮機または真空ポンプ１が２つの回転要素９を有する場合、モータによって駆動される回転要素９の運動と他方の回転要素９の運動と同期させるためにブルギヤ２７（図６）を用いるのが良い。
【００８１】
本発明の別の実施形態では、モータ２４は、ファン１２が少なくとも１つの回転要素９を駆動するシャフトとは別個独立に取り付けられているシャフトを駆動することができる。
【００８２】
本発明の更に別の実施形態では、ファン１２は、少なくとも１つの回転要素９の場合とは別のモータ（図示せず）によって駆動されても良い。
【００８３】
ファン１２は、ファンハウジング１３のボリュートが駆動モジュール１５の第２のハウジング１６と直接的な接触状態にありかつこれとオーバーラップするよう取り付けられても良く、あるいは、ファン１２は、駆動モジュール１５の第２のハウジング１６に垂直に配置されても良い。
【００８４】
さらにより高い効率的な冷却を得るため、圧縮機または真空ポンプ１は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６上に配置された放熱器２５を更に有するのが良い。
【００８５】
圧縮機または真空ポンプ１がかかるレイアウトを有しているので、コンポーネントの全ての効率的な冷却が実施され、しかも諸領域が高い温度に達することによって生じる場合がある変形の恐れが最小限に抑えられまたはそれどころかなくなる。
【００８６】
本発明の好ましい実施形態では、消音器１８は、圧縮または真空チャンバ５の下に配置される。
【００８７】
このため、本発明の圧縮機または真空ポンプ１は、既存の圧縮機または真空ポンプと比較すると、極めてコンパクトである。
【００８８】
好ましくは、消音器１８は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６が凹部構造２０の長さＬの後で始まるように圧縮または真空チャンバ５の下に配置される。さらにより好ましくは、消音器１８は、凹部構造２０を通って流れる冷却用ガスが圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６と駆動モジュール１５の第２のハウジング１６との間に差し向けられるよう配置される。
【００８９】
圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６は、消音器１８のカバー１９上に直接配置されるのが良い。
【００９０】
このため、ファン１２から来る冷却用ガス流は、長さＬに沿って凹部構造２０内を、そして更に第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間のチャネル構造を通って差し向けられる。したがって、ファン１２から来た冷却用ガスは、ケーシング２全体内で消散するようになり、その経路は、圧縮機または真空ポンプ１のレイアウトによって制御される。
【００９１】
冷却用ガス流が第１のハウジング６と第２のハウジング１６との間でチャネル構造を通過した後、冷却用ガス流は、ケーシング２に達し、ケーシング２は、好ましくは、冷却用ガス流を圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６の第１の表面に沿ってそらす手段と、冷却用ガス流を消音器１８の方向に圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６の第２の表面に沿って更に向け直す手段と、冷却用ガス流をケーシング２の外部に差し向ける手段とを更に有する。
【００９２】
好ましくは、冷却用ガス流をそらし、向け直し、そして差し向ける上述の手段は、ケーシング２の特定の曲がり部の形をしていても良く、またはケーシング２に取り付けられた追加のコンポーネントであっても良く、あるいは圧縮機または真空ポンプ１の互いに異なるコンポーネントであっても良く、その結果、冷却用ガス流は、方向を変える。
【００９３】
したがって、冷却用ガス流は、外部環境に差し向けられる前に、圧縮または真空チャンバ５の３つのフェースに沿って流れる。このため、最も高い温度が生じる圧縮または真空チャンバ５は、圧縮機または真空ポンプ１の機能全体によって効果的に冷却される。
【００９４】
好ましくは、圧縮機または真空ポンプ１は、クロー圧縮機または真空ポンプ（これらには限定されない）である。
【００９５】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプ１を冷却する方法に関し、外部環境からのある量の冷却用ガスを圧縮機または真空ポンプ１のケーシング２の冷却用ガス入口３を通って吹き込む。かかるある量の冷却用ガスをケーシングの冷却のために駆動モジュール１５の第２のハウジング１６の表面に向かってそらす。駆動モジュール１５は、少なくとも１つの軸受１７を有する。
【００９６】
次に、冷却用ガス流を圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６の第１の表面に向かって案内し、この圧縮または真空チャンバは、これまた冷却される少なくとも１つの回転要素９を有する。
【００９７】
本発明の方法は、圧縮機または真空ポンプ１によって生じた騒音および場合によっては振動もまた減衰さるために消音器１８を用意するステップを更に含み、消音器１８は、カバー１９を有する。
【００９８】
好ましくは、ある量の冷却用ガスを消音器１８のカバー１９に設けられている凹部構造２０を通って差し向けることによってある量の冷却用ガスを駆動モジュール１５の第２のハウジング１６の表面に向かってそらす。
【００９９】
圧縮機または真空ポンプ１の完全な冷却のため、本方法は、冷却ガス流を第１の表面から圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６の第２の表面に沿って、そしてケーシング２の冷却用ガス出口４中に案内するステップを更に含む。
【０１００】
好ましくは、本発明の方法は、圧縮または真空チャンバ５の第１のハウジング６と駆動モジュール１５の第２のハウジング１６との間にチャネルを設けることによってそらされた冷却用ガス流を駆動モジュール１５の高さに沿って案内するステップを更に含む。
【０１０１】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプ１の駆動モジュール１５を冷却する消音器１８の使用に関し、消音器１８は、そのカバー１９の表面に設けられていて冷却用ガス流を駆動モジュール１５に向かってそらす凹部構造２０を有し、駆動モジュール１５は、少なくとも１つの軸受１７を有する。
【０１０２】
本発明は、更に、圧縮機または真空ポンプによって生じた騒音を減衰させる消音器であって、消音器１８がカバー１９を有する消音器において、消音器１８は、カバー１９に設けられていて高さＨおよび長さＬを備えた凹部構造２０を有し、凹部構造２０は、冷却用ガスをそらして消音器１８から遠ざけ、そして駆動モジュール１５の方へ差し向けるために距離ｘにわたって比較的真っ直ぐな表面および距離Ｌ−ｘにわたって比較的湾曲した表面を有することを特徴とする消音器に関する。
【０１０３】
本発明は、例示として説明されかつ図面に示された実施形態には何ら限定されず、かかる圧縮機または真空ポンプ１および／または消音器１８は、本発明の範囲から逸脱することなく、全ての種類の変形例の状態で実現できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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