(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力端と出力端とを備える複合スイッチ回路であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第２ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備え、
前記制御回路は、
前記第２ノードに、周期的に変化する電圧を印加する、複合スイッチ回路。
【請求項２】
請求項１に記載の複合スイッチ回路であって、
前記制御回路は、
前記第２ノードに、前記第１制御が行われている期間内に周期的に変化する電圧を印加する、複合スイッチ回路。
【請求項３】
第１入力端と、第２入力端と、第１出力端と、第２出力端とを備える複合スイッチ回路
であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記第１入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記第１出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
第７端子と第８端子とを含み、前記第７端子が前記第２入力端に接続さている第４スイッチと、
第９端子と第１０端子とを含み、前記第９端子が前記第８端子と接続され、前記第１０端子が前記第２出力端に接続されている第５スイッチと、
第１１端子と第１２端子とを含み、前記第１１端子が、前記第８端子と前記第９端子とが接続されている第３ノードに接続され、前記第１２端子が、第４ノードに接続されている第６スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
前記第１制御の位相を９０度遅らせた、前記第４スイッチおよび前記第５スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第６スイッチをＯＮに切り替えるための第３制御と、
前記第４スイッチおよび前記第５スイッチをＯＮに切り替え、前記第６スイッチをＯＦＦに切り替えるための第４制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御および前記第３制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第３ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備えている、複合スイッチ回路。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の複合スイッチ回路を含む同期検波回路を備えている、物理量検出装置。
【請求項５】
複合スイッチ回路を含む同期検波回路と、
レジスターと、
異常判定回路と、
を備え、
前記複合スイッチ回路は、
入力端と出力端とを備える複合スイッチ回路であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第
２ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備え、
前記異常判定回路は、
前記比較回路が前記比較した結果に基づいて異常が生じていることを判定し、前記判定の結果が異常である場合に前記レジスターにエラー情報を書き込む、物理量検出装置。
【請求項６】
複合スイッチ回路を含む同期検波回路と、
異常判定回路と、
を備え、
前記複合スイッチ回路は、
入力端と出力端とを備える複合スイッチ回路であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第２ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備え、
前記異常判定回路は、
前記比較回路が前記比較した結果に基づいて異常が生じていることを判定し、前記判定の結果が異常である場合に外部にエラー情報信号を出力する、物理量検出装置。
【請求項７】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の複合スイッチ回路を含む、電子機器。
【請求項８】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の複合スイッチ回路を含む、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合スイッチ回路、物理量検出装置、電子機器および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な物理量を検出する物理量検出装置が知られている。例えば、物理量として角速度を検出する角速度検出装置が知られており、角速度検出装置を搭載し、角速度検出装置により検出された角速度に基づいて所定の制御を行う様々な電子機器やシステムが広く利用されている。例えば、自動車の車両走行制御システムでは角速度検出装置により検出された角速度に基づいて、自動車の横滑りを防止する走行制御が行なわれている。
【０００３】
このような物理量検出装置の一例として、特許文献１には、スイッチを用いた同期検波回路を備えている物理量測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１６８６５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の物理量測定装置では、同期検波回路に用いられているスイッチが閉じた状態で固着するなどの故障が発生した場合に、当該スイッチが故障したことを検出することができなかった。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路、物理量検出装置、電子機器および移動体を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係る複合スイッチは、
入力端と出力端とを備える複合スイッチ回路であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第
２ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備えている、複合スイッチ回路である。
【０００９】
本適用例によれば、第１スイッチおよび第２スイッチが正常な場合には、第１ノードと第２ノードとの間の電圧は小さく、第１スイッチおよび第２スイッチの少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第１ノードと第２ノードとの間の電圧は大きくなる。したがって、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路を実現できる。
【００１０】
［適用例２］
上述の複合スイッチ回路であって、
前記制御回路は、
前記第２ノードに、周期的に変化する電圧を印加してもよい。
【００１１】
本適用例によれば、第１スイッチおよび第２スイッチの少なくとも一方がＯＮで固着している場合に、第２ノードと入力端または出力端との間の電圧が偶発的に小さくなる場合においても、第２ノードの電圧が変化することで、第１ノードと第２ノードとの間の電圧はいずれ大きくなる。したがって、スイッチの故障の少なくとも一部を精度よく検出できる複合スイッチ回路を実現できる。
【００１２】
［適用例３］
上述の複合スイッチ回路であって、
前記制御回路は、
前記第２ノードに、前記第１制御が行われている期間内に周期的に変化する電圧を印加してもよい。
【００１３】
本適用例によれば、第１スイッチおよび第２スイッチの少なくとも一方がＯＮで固着している場合に、第２ノードと入力端または出力端との間の電圧が偶発的に小さくなる場合においても、第１制御が行われている期間内に第２ノードの電圧が変化することで、第１ノードと第２ノードとの間の電圧は第１制御が行われている期間内にいずれ大きくなる。したがって、スイッチの故障の少なくとも一部を精度よく検出できる複合スイッチ回路を実現できる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係る複合スイッチは、
第１入力端と、第２入力端と、第１出力端と、第２出力端とを備える複合スイッチ回路であって、
第１端子と第２端子とを含み、前記第１端子が前記第１入力端に接続さている第１スイッチと、
第３端子と第４端子とを含み、前記第３端子が前記第２端子と接続され、前記第４端子が前記第１出力端に接続されている第２スイッチと、
第５端子と第６端子とを含み、前記第５端子が、前記第２端子と前記第３端子とが接続されている第１ノードに接続され、前記第６端子が、第２ノードに接続されている第３スイッチと、
第７端子と第８端子とを含み、前記第７端子が前記第２入力端に接続さている第４スイッチと、
第９端子と第１０端子とを含み、前記第９端子が前記第８端子と接続され、前記第１０端子が前記第２出力端に接続されている第５スイッチと、
第１１端子と第１２端子とを含み、前記第１１端子が、前記第８端子と前記第９端子とが接続されている第３ノードに接続され、前記第１２端子が、第４ノードに接続されている第６スイッチと、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第３スイッチをＯＮに切り替えるための第１制御と、
前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをＯＮに切り替え、前記第３スイッチをＯＦＦに切り替えるための第２制御と、
前記第４スイッチおよび前記第５スイッチをＯＦＦに切り替え、前記第６スイッチをＯＮに切り替えるための第３制御と、
前記第４スイッチおよび前記第５スイッチをＯＮに切り替え、前記第６スイッチをＯＦＦに切り替えるための第４制御と、
を行う制御回路と、
少なくとも前記第１制御および前記第３制御が行われている期間において、前記第１ノードの電圧と前記第３ノードの電圧とを比較する比較回路と、
を備えている、複合スイッチ回路である。
【００１５】
本適用例によれば、第１スイッチおよび第２スイッチが正常な場合には、第１ノードと第２ノードとの間の電圧は小さく、第１スイッチおよび第２スイッチの少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第１ノードと第２ノードとの間の電圧は大きくなる。また、第４スイッチおよび第５スイッチが正常な場合には、第３ノードと第４ノードとの間の電圧は小さく、第４スイッチおよび第５スイッチの少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第３ノードと第４ノードとの間の電圧は大きくなる。その結果、第１スイッチ、第２スイッチ、第４スイッチおよび第５スイッチのいずれかがＯＮで固着している場合には、第１ノードと第３ノードとの間の電圧が大きくなる。したがって、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路を実現できる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係る物理量検出装置は、
上述のいずれかの複合スイッチ回路を含む同期検波回路を備えている、物理量検出装置である。
【００１７】
本適用例によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した物理量検出装置を実現できる。
【００１８】
［適用例６］
上述の物理量検出装置において、
レジスターと、
前記比較回路が前記比較した結果に基づいて異常が生じていることを判定し、前記判定の結果が異常である場合に前記レジスターにエラー情報を書き込む、異常判定回路と、
を備えてもよい。
【００１９】
本適用例によれば、他の回路ブロックや装置でエラー情報を容易に利用できる。
【００２０】
［適用例７］
上述の物理量検出装置であって、
前記比較回路が前記比較した結果に基づいて異常が生じていることを判定し、前記判定の結果が異常である場合に外部にエラー情報信号を出力する異常判定回路を備えてもよい。
【００２１】
本適用例によれば、他の回路ブロックや装置でエラー信号を容易に利用できる。
【００２２】
［適用例６］
本適用例に係る電子機器は、
上述のいずれかの複合スイッチ回路を含む、電子機器である。
【００２３】
本適用例によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した電子機器を実現できる。
【００２４】
［適用例７］
本適用例に係る移動体は、
上述のいずれかの複合スイッチ回路を含む、移動体である。
【００２５】
本適用例によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した移動体を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態の複合スイッチ回路の回路図である。
【図２】第２実施形態の複合スイッチ回路の回路図である。
【図３】第３実施形態の複合スイッチ回路の回路図である。
【図４】第４実施形態の複合スイッチ回路の回路図である。
【図５】第１実施形態の角速度検出装置の構成例を示す図である。
【図６】ジャイロセンサー素子の振動片の平面図である。
【図７】ジャイロセンサー素子の動作について説明するための図である。
【図８】ジャイロセンサー素子の動作について説明するための図である。
【図９】第２実施形態の角速度検出装置の構成例を示す図である。
【図１０】第３実施形態の物理量検出装置の機能ブロック図である。
【図１１】本実施形態に係る電子機器の機能ブロック図である。
【図１２】電子機器の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。
【図１３】本実施形態に係る移動体の一例を示す図（上面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２８】
１．複合スイッチ回路
１−１．第１実施形態
図１は、第１実施形態の複合スイッチ回路９０の回路図である。
【００２９】
本実施形態の複合スイッチ回路９０は、入力端ＩＮと出力端ＯＵＴとを備えている。図１に示される例では、複合スイッチ回路９０は、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２および第３スイッチＳＷ３を含むスイッチ部９００と、制御回路９２０と、比較回路９３０と、を含んで構成されている。
【００３０】
第１スイッチＳＷ１は、第１端子９０１と第２端子９０２とを含み、第１端子９０１が入力端ＩＮに接続さている。
【００３１】
第２スイッチＳＷ２は、第３端子９０３と第４端子９０４とを含み、第３端子９０３が第２端子９０２と接続され、第４端子９０４が出力端ＯＵＴに接続されている。
【００３２】
第３スイッチＳＷ３は、第５端子９０５と第６端子９０６とを含み、第５端子９０５が、第２端子９０２と第３端子９０３とが接続されている第１ノードＮ１に接続され、第６
端子９０６が、第２ノードＮ２に接続されている。図１に示される例では、第２ノードＮ２は接地電位に接続されているが、これに限らず、他の固定電位であってもよい。
【００３３】
制御回路９２０は、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２をＯＦＦに切り替え、第３スイッチＳＷ３をＯＮに切り替えるための第１制御と、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２をＯＮに切り替え、第３スイッチＳＷ３をＯＦＦに切り替えるための第２制御と、を行う。制御回路９２０が、第１制御を行うことによって、入力端ＩＮと出力端ＯＵＴとの間をＯＦＦにでき、第２制御を行うことによって、入力端ＩＮと出力端ＯＵＴとの間をＯＮにできる。
【００３４】
図１に示される例では、制御回路９２０は、制御信号Ｓ１によって第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２を制御し、制御信号Ｓ２によって第３スイッチＳＷ３を制御している。また、図１に示される例では制御回路９２０は、基準クロック信号の入力を受け付けて基準電圧と比較することで制御信号Ｓ１を生成するコンパレーター９２１と、制御信号Ｓ１を反転して制御信号Ｓ２を生成するインバーター９２２と、を含んで構成されている。
【００３５】
比較回路９３０は、少なくとも第１制御が行われている期間において、第１ノードＮ１の電圧と第２ノードＮ２の電圧とを比較し、比較信号９３を出力する。比較回路９３０は、第１ノードＮ１の電圧と第２ノードＮ２との間の電圧が基準値以上である場合にはハイレベルを出力し、基準値未満である場合にはローレベルを出力する。
【００３６】
本実施形態によれば、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２が正常な場合には、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧は小さく、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧は大きくなる。したがって、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０を実現できる。
【００３７】
１−２．第２実施形態
図２は、第２実施形態の複合スイッチ回路９０ａの回路図である。第１実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３８】
複合スイッチ回路９０ａは、スイッチ部９００と、制御回路９２０ａと、比較回路９３０と、を含んで構成されている。
【００３９】
制御回路９２０ａは、第２ノードＮ２に、周期的に変化する電圧を印加する。図２に示される例では、制御回路９２０ａは、第２ノードＮ２に、周期的に変化する電圧信号である制御信号Ｓ３を出力する。また、図２に示される例では、制御回路９２０ａは、制御信号Ｓ１を２分周する分周回路９２３を含んで構成されている。分周回路９２３の分周比は、特に限定されない。
【００４０】
本実施形態によれば、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の少なくとも一方がＯＮで固着している場合に、第２ノードＮと入力端ＩＮまたは出力端ＯＵＴとの間の電圧が偶発的に小さくなる場合においても、第２ノードＮ２の電圧が変化することで、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧はいずれ大きくなる。したがって、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の故障の少なくとも一部を精度よく検出できる複合スイッチ回路９０ａを実現できる。
【００４１】
１−３．第３実施形態
図３は、第３実施形態の複合スイッチ回路９０ｂの回路図である。第１実施形態と同様
の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４２】
複合スイッチ回路９０ｂは、スイッチ部９００と、制御回路９２０ｂと、比較回路９３０と、を含んで構成されている。
【００４３】
制御回路９２０ｂは、第２ノードＮ２に、第１制御が行われている期間内に周期的に変化する電圧を印加する。図３に示される例では、制御回路９２０ｂは、第２ノードＮ２に、第１制御が行われている期間内に周期的に変化する電圧信号である制御信号Ｓ４を出力する。また、図３に示される例では、制御回路９２０ｂは、制御信号Ｓ１の位相を９０度遅らせる移相回路９２４を含んで構成されている。
【００４４】
本実施形態によれば、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の少なくとも一方がＯＮで固着している場合に、第２ノードＮ２と入力端ＩＮまたは出力端ＯＵＴとの間の電圧が偶発的に小さくなる場合においても、第１制御が行われている期間内に第２ノードＮ２の電圧が変化することで、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧は第１制御が行われている期間内にいずれ大きくなる。したがって、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の故障の少なくとも一部を精度よく検出できる複合スイッチ回路９０ｂを実現できる。
【００４５】
１−４．第４実施形態
図４は、第４実施形態の複合スイッチ回路９０ｃの回路図である。
【００４６】
本実施形態の複合スイッチ回路９０ｃは、第１入力端ＩＮ１と、第２入力端ＩＮ２と、第１出力端ＯＵＴ１と、第２出力端ＯＵＴ２とを備える複合スイッチ回路９０ｃである。図４に示される例では、複合スイッチ回路９０ｃは、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２および第３スイッチＳＷ３を含むスイッチ部９００と、第４スイッチＳＷ４、第５スイッチＳＷ５および第６スイッチＳＷ６を含むスイッチ部９００ａと、制御回路９２０ｃと、比較回路９３０ａと、を含んで構成されている。
【００４７】
第１スイッチＳＷ１は、第１端子９０１と第２端子９０２とを含み、第１端子９０１が第１入力端ＩＮ１に接続さている。
【００４８】
第２スイッチＳＷ２は、第３端子９０３と第４端子９０４とを含み、第３端子９０３が第２端子９０２と接続され、第４端子９０４が第１出力端ＯＵＴ１に接続されている。
【００４９】
第３スイッチＳＷ３は、第５端子９０５と第６端子９０６とを含み、第５端子９０５が、第２端子９０２と第３端子９０３とが接続されている第１ノードＮ１に接続され、第６端子９０６が、第２ノードＮ２に接続されている。
【００５０】
第４スイッチＳＷ４は、第７端子９０７と第８端子９０８とを含み、第７端子９０７が第２入力端ＩＮ２に接続さている。
【００５１】
第５スイッチＳＷ５は、第９端子９０９と第１０端子９１０とを含み、第９端子９０９が第８端子９０８と接続され、第１０端子９１０が第２出力端ＯＵＴ２に接続されている。
【００５２】
第６スイッチＳＷ６は、第１１端子９１１と第１２端子９１２とを含み、第１１端子９１１が、第８端子９０８と第９端子９０９とが接続されている第３ノードＮ３に接続され、第１２端子９１２が、第４ノードＮ４に接続されている。
【００５３】
制御回路９２０ｃは、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２をＯＦＦに切り替え、第３スイッチＳＷ３をＯＮに切り替えるための第１制御と、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２をＯＮに切り替え、第３スイッチＳＷ３をＯＦＦに切り替えるための第２制御と、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５をＯＦＦに切り替え、第６スイッチＳＷ６をＯＮに切り替えるための第３制御と、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５をＯＮに切り替え、第６スイッチＳＷ６をＯＦＦに切り替えるための第４制御と、を行う。制御回路９２０が、第１制御を行うことによって、第１入力端ＩＮ１と第１出力端ＯＵＴ１との間をＯＦＦにでき、第２制御を行うことによって、第１入力端ＩＮ１と第１出力端ＯＵＴ１との間をＯＮにできる。また、制御回路９２０が、第３制御を行うことによって、第２入力端ＩＮ２と第２出力端ＯＵＴ２との間をＯＦＦにでき、第４制御を行うことによって、第２入力端ＩＮ２と第２出力端ＯＵＴ２との間をＯＮにできる。
【００５４】
図４に示される例では、制御回路９２０ｃは、制御信号Ｓ１によって第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２を制御し、制御信号Ｓ２によって第３スイッチＳＷ３を制御し、制御信号Ｓ５によって第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５を制御し、制御信号Ｓ６によって第６スイッチＳＷ６を制御している。また、図４に示される例では制御回路９２０ｃは、基準クロック信号の入力を受け付けて基準電圧と比較することで制御信号Ｓ１を生成するコンパレーター９２１と、制御信号Ｓ１を反転して制御信号Ｓ２を生成するインバーター９２２と、制御信号Ｓ１の位相を９０度遅らせて制御信号Ｓ５を生成する移相回路９２５と、制御信号Ｓ５を反転して制御信号Ｓ６を生成するインバーター９２６と、を含んで構成されている。
【００５５】
比較回路９３０ａは、少なくとも第１制御および第３制御が行われている期間において、第１ノードＮ１の電圧と第３ノードＮ３の電圧とを比較し、比較信号９３ａを出力する。比較回路９３０ａは、第１ノードＮ１の電圧と第３ノードＮ３との間の電圧が基準値以上である場合にはハイレベルを出力し、基準値未満である場合にはローレベルを出力する。
【００５６】
本実施形態によれば、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２が正常な場合には、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧は小さく、第１スイッチＳＷ１および第２スイッチＳＷ２の少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧は大きくなる。また、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５が正常な場合には、第３ノードＮ３と第４ノードＮ４との間の電圧は小さく、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５の少なくとも一方がＯＮで固着している場合には、第３ノードＮ３と第４ノードＮ４との間の電圧は大きくなる。その結果、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５のいずれかがＯＮで固着している場合には、第１ノードＮ１と第３ノードＮ３との間の電圧が大きくなる。したがって、第１スイッチＳＷ１、第２スイッチＳＷ２、第４スイッチＳＷ４および第５スイッチＳＷ５の故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０ｃを実現できる。
【００５７】
２．物理量検出装置
２−１．第１実施形態
以下では、物理量として角速度を検出する物理量検出装置（角速度検出装置）を例にとり説明するが、本発明は、角速度、加速度、地磁気、圧力等の様々な物理量のいずれかを検出することができる装置に適用可能である。
【００５８】
図５は、第１実施形態の角速度検出装置１の構成例を示す図である。角速度検出装置１は、複合スイッチ回路９０を含む同期検波回路を備えている。
【００５９】
第１実施形態の角速度検出装置１は、ジャイロセンサー素子１００と角速度検出回路４（物理量検出回路の一例）を含んで構成されている。
【００６０】
ジャイロセンサー素子１００（振動子の一例）は、駆動電極と検出電極が配置された振動片が不図示のパッケージに封止されて構成されている。一般的に、振動片のインピーダンスをできるだけ小さくして発振効率を高めるためにパッケージ内の気密性が確保されている。
【００６１】
ジャイロセンサー素子１００の振動片は、例えば、水晶（ＳｉＯ２）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）等の圧電単結晶やジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電セラミックスなどの圧電性材料を用いて構成してもよいし、シリコン半導体の表面の一部に、駆動電極に挟まれた酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等の圧電薄膜を配置した構造であってもよい。
【００６２】
本実施形態では、ジャイロセンサー素子１００は、Ｔ型の２つの駆動振動腕を有するいわゆるダブルＴ型の振動片により構成される。ただし、ジャイロセンサー素子１００の振動片は、例えば、音叉型であってもよいし、三角柱、四角柱、円柱状等の形状の音片型であってもよい。
【００６３】
図６は、本実施形態のジャイロセンサー素子１００の振動片の平面図である。
【００６４】
本実施形態のジャイロセンサー素子１００は、Ｚカットの水晶基板により形成されたダブルＴ型の振動片を有する。水晶を材料とする振動片は、温度変化に対する共振周波数の変動が極めて小さいので、角速度の検出精度を高めることができるという利点がある。なお、図６におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は水晶の軸を示す。
【００６５】
図６に示すように、ジャイロセンサー素子１００の振動片は、２つの駆動用基部１０４ａ、１０４ｂからそれぞれ駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂが＋Ｙ軸方向および−Ｙ軸方向に延出している。駆動振動腕１０１ａの側面および上面にはそれぞれ駆動電極１１２および１１３が形成されており、駆動振動腕１０１ｂの側面および上面にはそれぞれ駆動電極１１３および１１２が形成されている。駆動電極１１２、１１３は、それぞれ、図１に示した角速度検出回路４の外部出力端子１１、外部入力端子１２を介して駆動回路２０に接続される。
【００６６】
駆動用基部１０４ａ、１０４ｂは、それぞれ−Ｘ軸方向と＋Ｘ軸方向に延びる連結腕１０５ａ、１０５ｂを介して矩形状の検出用基部１０７に接続されている。
【００６７】
検出振動腕１０２は、検出用基部１０７から＋Ｙ軸方向および−Ｙ軸方向に延出している。検出振動腕１０２の上面には検出電極１１４および１１５が形成されており、検出振動腕１０２の側面には共通電極１１６が形成されている。検出電極１１４、１１５は、それぞれ、図１に示した角速度検出回路４の外部入力端子１３、１４を介して検出回路３０に接続される。また、共通電極１１６は接地される。
【００６８】
駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの駆動電極１１２と駆動電極１１３との間に駆動信号として交流電圧が与えられると、図７に示すように、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂは逆圧電効果によって矢印Ｂのように、２本の駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの先端が互いに接近と離間を繰り返す屈曲振動（励振振動）をする。
【００６９】
この状態で、ジャイロセンサー素子１００の振動片にＺ軸を回転軸とした角速度が加わると、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂは、矢印Ｂの屈曲振動の方向とＺ軸の両方に垂直な
方向にコリオリの力を得る。その結果、図８に示すように、連結腕１０５ａ、１０５ｂは矢印Ｃで示すような振動をする。そして、検出振動腕１０２は、連結腕１０５ａ、１０５ｂの振動（矢印Ｃ）に連動して矢印Ｄのように屈曲振動をする。このコリオリ力に伴う検出振動腕１０２の屈曲振動と駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの屈曲振動（励振振動）とは位相が９０°ずれている。
【００７０】
ところで、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂが屈曲振動（励振振動）をするときの振動エネルギーの大きさまたは振動の振幅の大きさが２本の駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂで等しければ、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの振動エネルギーのバランスがとれており、ジャイロセンサー素子１００に角速度がかかっていない状態では検出振動腕１０２は屈曲振動しない。ところが、２つの駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの振動エネルギーのバランスがくずれると、ジャイロセンサー素子１００に角速度がかかっていない状態でも検出振動腕１０２に屈曲振動が発生する。この屈曲振動は漏れ振動と呼ばれ、コリオリ力に基づく振動と同様に矢印Ｄの屈曲振動であるが、駆動信号とは同位相である。
【００７１】
そして、圧電効果によってこれらの屈曲振動に基づいた交流電荷が、検出振動腕１０２の検出電極１１４、１１５に発生する。ここで、コリオリ力に基づいて発生する交流電荷は、コリオリ力の大きさ（言い換えれば、ジャイロセンサー素子１００に加わる角速度の大きさ）に応じて変化する。一方、漏れ振動に基づいて発生する交流電荷は、ジャイロセンサー素子１００に加わる角速度の大きさに関係せず一定である。
【００７２】
なお、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの先端には、駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂよりも幅の広い矩形状の錘部１０３が形成されている。駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂの先端に錘部１０３を形成することにより、コリオリ力を大きくするとともに、所望の共振周波数を比較的短い振動腕で得ることができる。同様に、検出振動腕１０２の先端には、検出振動腕１０２よりも幅の広い錘部１０６が形成されている。検出振動腕１０２の先端に錘部１０６を形成することにより、検出電極１１４、１１５に発生する交流電荷を大きくすることができる。
【００７３】
以上のようにして、ジャイロセンサー素子１００は、Ｚ軸を検出軸としてコリオリ力に基づく交流電荷（検出信号）と、励振振動の漏れ振動に基づく交流電荷（漏れ信号）とを検出電極１１４、１１５を介して出力する。
【００７４】
図１に戻り、角速度検出回路４は、駆動回路２０および検出回路３０を含んで構成されている。
【００７５】
駆動回路２０は、ジャイロセンサー素子１００を励振振動させるための駆動信号２１を生成し、外部出力端子１１を介してジャイロセンサー素子１００の駆動電極１１２に供給する。また、駆動回路２０は、ジャイロセンサー素子１００の励振振動により駆動電極１１３に発生する駆動信号２２が外部入力端子１２を介して入力され、この駆動信号２２の振幅が一定に保持されるように駆動信号２１の振幅レベルをフィードバック制御する。
【００７６】
駆動回路２０は、Ｉ／Ｖ変換回路（電流電圧変換回路）２１０、ＡＣ増幅回路２２０および振幅調整回路２３０を含んで構成されている。
【００７７】
ジャイロセンサー素子１００の振動片に流れた駆動電流は、Ｉ／Ｖ変換回路２１０によって交流電圧信号に変換される。
【００７８】
Ｉ／Ｖ変換回路２１０から出力された交流電圧信号は、ＡＣ増幅回路２２０および振幅調整回路２３０に入力される。ＡＣ増幅回路２２０は、入力された交流電圧信号を増幅し
、所定の電圧値でクリップさせて方形波電圧信号２３を出力する。振幅調整回路２３０は、Ｉ／Ｖ変換回路２１０が出力する交流電圧信号のレベルに応じて、方形波電圧信号２３の振幅を変化させ、駆動電流が一定に保持するようにＡＣ増幅回路２２０を制御する。
【００７９】
方形波電圧信号２３は、駆動信号２１として外部出力端子１１を介してジャイロセンサー素子１００の振動片の駆動電極１１２に供給される。このように、ジャイロセンサー素子１００は図３に示すような所定の駆動振動を継続して励振している。また、駆動電流を一定に保つことにより、ジャイロセンサー素子１００の駆動振動腕１０１ａ、１０１ｂは一定の振動速度を得ることができる。そのため、コリオリ力を発生させる元となる振動速度は一定となり、感度をより安定にすることができる。
【００８０】
検出回路３０は、外部入力端子１３，１４を介して、ジャイロセンサー素子１００の検出電極１１４、１１５に発生する交流電荷（検出電流）３１，３２がそれぞれ入力され、これらの交流電荷（検出電流）に含まれる所望の成分を抽出する。
【００８１】
検出回路３０は、チャージアンプ３１０，３１２、差動増幅回路３２０、ＡＣ増幅回路３３０、複合スイッチ回路９０、積分回路３６０およびＤＣ増幅回路３７０を含んで構成されている。
【００８２】
チャージアンプ３１０には、外部入力端子１３を介してジャイロセンサー素子１００の振動片の検出電極１１４から検出信号と漏れ信号を含む交流電荷が入力される。
【００８３】
同様に、チャージアンプ３１２には、外部入力端子１４を介してジャイロセンサー素子１００の振動片の検出電極１１５から検出信号と漏れ信号を含む交流電荷が入力される。
【００８４】
このチャージアンプ３１０および３１２は、それぞれ入力された交流電荷を、基準電圧Ｖｒｅｆを基準とした交流電圧信号に変換する。なお、Ｖｒｅｆは、不図示の基準電源回路により、外部から入力された外部電源に基づいて生成される。
【００８５】
差動増幅回路３２０は、チャージアンプ３１０の出力信号とチャージアンプ３１２の出力信号を差動増幅する。差動増幅回路３２０は、同相成分を消去し、逆相成分を加算増幅するためのものである。
【００８６】
ＡＣ増幅回路３３０は、差動増幅回路３２０の出力信号を増幅する。ＡＣ増幅回路３３０の出力信号は、複合スイッチ回路９０の入力端ＩＮに入力される。このＡＣ増幅回路３３０の出力信号には物理量（角速度）の大きさに応じた検出信号と、駆動信号に基づく振動の漏れ信号が含まれている。
【００８７】
複合スイッチ回路９０は、入力端ＩＮに入力される信号に対して方形波電圧信号２３に基づいて生成される制御信号Ｓ１に基づいて検出信号を同期検波して。出力端ＯＵＴを介して積分回路３５０に出力する。すなわち、複合スイッチ回路９０は、同期検波回路として機能する。
【００８８】
複合スイッチ回路９０の出力端ＯＵＴからの出力信号は、積分回路３６０で直流電圧信号に平滑化され、角速度信号３６ａとしてＤＣ増幅回路３７０に入力される。
【００８９】
ＤＣ増幅回路３８０は、角速度信号３６ａを所望のレベルになるように増幅または減衰し、角速度信号３７ａとして外部出力端子１６を介して外部に出力する。そして、外部装置（不図示）は、この角速度信号３７ａをモニターすることで角速度の情報を得ることができる。
【００９０】
異常判定回路４０は、複合スイッチ回路９０の比較回路９３０からの比較信号９３に基づいて、異常の有無を判定して、判定結果に関する情報をエラー情報信号４１として外部出力端子１９に出力する。本実施形態においては、異常判定回路４０は、比較回路９３０が比較信号９３としてハイレベルを出力した場合に異常が生じているものと判定する。
【００９１】
本実施形態において、角速度検出装置１（物理量検出装置）が異常と判定された場合に、異常判定回路４０が、判定結果が異常であったことを表すエラー情報信号４１を外部出力端子１９へ出力してもよい。これによって、他の回路ブロックや装置でエラー情報信号を容易に利用できる。
【００９２】
本実施形態において、角速度信号処理回路４は、レジスター４３を備えている。レジスター４３は、記憶されている情報をデジタル信号４４として外部端子１８を介して外部に出力可能に構成されている。また、異常判定回路４０は、比較信号９３に基づいて角速度検出装置１（物理量検出装置）が異常と判定した場合に、レジスター４３にエラー情報を書き込んでもよい。図１に示される例では、異常判定回路４０は、エラー情報信号４２をレジスター４３に出力することによって、レジスター４３にエラー情報を書き込む。レジスター４３を有することによって、他の回路ブロックや装置でエラー情報を容易に利用できる。
【００９３】
本実施形態によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した角速度検出装置１（物理量検出装置）を実現できる。
【００９４】
なお、複合スイッチ回路９０に代えて、複合スイッチ回路９０ａまたは複合スイッチ回路９０ｂを用いた場合においても、同様の効果を奏する。
【００９５】
２−２．第２実施形態
図９は、第２実施形態の角速度検出装置１ａの構成例を示す図である。角速度検出装置１ａは、複合スイッチ回路９０ｃを含む同期検波回路を備えている。なお、第１実施形態の角速度検出装置１と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００９６】
複合スイッチ回路９０ａは、第１入力端ＩＮ１に入力される信号に対して方形波電圧信号２３に基づいて生成される制御信号Ｓ１に基づいて検出信号を同期検波して。第１出力端ＯＵＴ１を介して積分回路３６０に出力する。また、複合スイッチ回路９０ａは、第２入力端ＩＮ２に入力される信号に対して制御信号Ｓ１位相を９０度遅らせた制御信号Ｓ５に基づいて漏れ信号を同期検波して。第２出力端ＯＵＴ２を介して積分回路３６２に出力する。すなわち、複合スイッチ回路９０ｃは、同期検波回路として機能する。
【００９７】
複合スイッチ回路９０ｃの第１出力端ＯＵＴ１からの出力信号は、積分回路３６０で直流電圧信号に平滑化され、角速度信号３６ａとしてＤＣ増幅回路３７０に入力される。
【００９８】
複合スイッチ回路９０ｃの第２出力端ＯＵＴ２からの出力信号は、積分回路３６２で直流電圧信号に平滑化され、漏れ信号３６ｂとしてＤＣ増幅回路３７２に入力される。
【００９９】
ＤＣ増幅回路３８０は、角速度信号３６ａを所望のレベルになるように増幅または減衰し、角速度信号３７ａとして外部出力端子１６を介して外部に出力する。そして、外部装置（不図示）は、この角速度信号３７ａをモニターすることで角速度の情報を得ることができる。
【０１００】
ＤＣ増幅回路３８２は、漏れ信号３６ｂを所望のレベルになるように増幅または減衰し、漏れ信号３７ｂとして外部出力端子１７を介して外部に出力する。そして、外部装置（不図示）は、この漏れ信号３７ｂを監視することで、ジャイロセンサー素子１００の故障や断線等の故障の有無を判定することができる。
【０１０１】
異常判定回路４０ａは、複合スイッチ回路９０ｃの比較回路９３０ａからの比較信号９３ａに基づいて、異常の有無を判定して、判定結果に関する情報をエラー情報信号４１ａとして外部出力端子１９に出力する。本実施形態においては、異常判定回路４０ａは、比較回路９３０ａがハイレベルを出力した場合に異常が生じているものと判定する。
【０１０２】
また、異常判定回路４０ａは、比較信号９３ａに基づいて角速度検出装置１ａ（物理量検出装置）が異常と判定した場合に、レジスター４３にエラー情報を書き込んでもよい。図９に示される例では、異常判定回路４０ａは、エラー情報信号４２をレジスター４３に出力することによって、レジスター４３にエラー情報を書き込む。レジスター４３を有することによって、他の回路ブロックや装置でエラー情報を容易に利用できる。
【０１０３】
本実施形態によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０ｃを含んでいるので、信頼性の高い用途に適した角速度検出装置１（物理量検出装置）を実現できる。
【０１０４】
２−３．第３実施形態
図１０は、第３実施形態の物理量検出装置１０００の機能ブロック図である。第１実施形態の物理量検出装置（角速度検出装置１）と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【０１０５】
物理量検出装置１０００は、物理量として１軸方向の角速度と２軸方向の加速度とを検出する。物理量検出装置１０００は、角速度を検出する構成として、ジャイロセンサー素子１００と、角速度検出回路４と、を備えている。物理量検出装置１０００は、加速度を検出する構成として、検出素子４００ｘと、検出素子４００ｙと、加速度検出回路５と、を備えている。また、物理量検出装置１０００は、温度に基づく補正を行うために、温度センサー３を備えている。
【０１０６】
本実施形態の物理量検出装置１０００は、さらに、選択回路６、ＡＤＣ（Analog-to-digital converter）７、デジタル処理回路８、インターフェイス回路９および故障診断回路１０を備えている。
【０１０７】
本実施形態においては、ジャイロセンサー素子１００、検出素子４００ｘおよび検出素子４００ｙを除く構成は、物理量検出回路（集積回路装置）２として構成されている。なお、本実施形態の物理量検出装置１０００は、これらの一部の構成（要素）を省略したり、新たな構成（要素）を追加した構成としたりしてもよい。
【０１０８】
温度センサー３は、温度に応じた温度信号４０８を選択回路６に出力する。
【０１０９】
角速度検出回路４は、角速度に応じた角速度信号３７ａを選択回路６に出力する。また、角速度検出回路４は、エラー情報信号４１を故障診断回路１０に出力する。
【０１１０】
検出素子４００ｘおよび検出素子４００ｙは、静電容量型の加速度検出素子で構成されている。検出素子４００ｘは、加速度検出回路５から搬送波信号４０１を受け、検出した加速度に応じた検出信号４０２および検出信号４０３を加速度検出回路５に差動出力する。検出素子４００ｙは、加速度検出回路５から搬送波信号４０１を受け、検出した加速度
に応じた検出信号４０４および検出信号４０５を加速度検出回路５に差動出力する。
【０１１１】
加速度検出回路５は、検出信号４０２〜４０５に基づいて、加速度に応じた加速度信号４０６を選択回路６に出力する。また、加速度検出回路５は、加速度検出回路５内で生じた異常に関する情報をエラー情報信号４０７として故障診断回路１０に出力する。
【０１１２】
選択回路６は、入力される信号から１つを順次選択して信号４０９としてＡＤＣ７に出力する。
【０１１３】
ＡＤＣ７は、入力される信号をデジタル信号に変換して信号４１０としてデジタル処理回路８に出力する。
【０１１４】
デジタル処理回路８は、入力される信号に対して種々のデジタル処理を行って信号４１１としてインターフェイス回路９に出力する。デジタル処理としては、例えば、フィルター処理や温度特性を補正する処理などを行ってもよい。
【０１１５】
故障診断回路１０は、入力される信号に基づいて、角速度検出回路４、加速度検出回路５、ジャイロセンサー素子１００、検出素子４００ｘおよび検出素子４００ｙの少なくともいずれかで異常が発生しているか否かを判定して、判定結果を信号４１２としてインターフェイス回路９に出力する。
【０１１６】
インターフェイス回路９は、入力される信号を所定の通信フォーマットに変換して信号４１３として外部に出力する。
【０１１７】
第３実施形態の物理量検出装置１０００においても、第１実施形態と同様の理由により同様の効果を奏する。また、角速度検出回路４に代えて角速度検出回路４ａを用いた場合においても、同様の効果を奏する。
【０１１８】
３．電子機器
図１１は、本実施形態に係る電子機器５００の機能ブロック図である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【０１１９】
本実施形態に係る電子機器５００は、複合スイッチ回路９０を含む角速度検出回路４（物理量検出回路）を備えている角速度検出装置１（物理量検出装置）を含む電子機器５００である。図１１に示される例では、電子機器５００は、角速度検出装置１、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５２０、操作部５３０、ＲＯＭ（Read Only Memory）５４０、ＲＡＭ（Random Access Memory）５５０、通信部５６０、表示部５７０、音出力部５８０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る電子機器５００は、図１１に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【０１２０】
ＣＰＵ５２０は、ＲＯＭ５４０等に記憶されているプログラムに従い、不図示のクロック信号生成回路が出力するクロックパルスを用いて各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、ＣＰＵ５２０は、操作部５３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部とデータ通信を行うために通信部５６０を制御する処理、表示部５７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部５８０に各種の音を出力させる処理等を行う。
【０１２１】
操作部５３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号をＣＰＵ５２０に出力する。
【０１２２】
ＲＯＭ５４０は、ＣＰＵ５２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
【０１２３】
ＲＡＭ５５０は、ＣＰＵ５２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ５４０から読み出されたプログラムやデータ、操作部５３０から入力されたデータ、ＣＰＵ５２０が各種プログラムにしたがって実行した演算結果等を一時的に記憶する。
【０１２４】
通信部５６０は、ＣＰＵ５２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
【０１２５】
表示部５７０は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）や電気泳動ディスプレイ等により構成される表示装置であり、ＣＰＵ５２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
【０１２６】
そして、音出力部５８０は、スピーカー等の音を出力する装置である。
【０１２７】
ＣＰＵ５２０は、角速度検出装置１に何らかの異常があったことを表すエラー信号を角速度検出装置１から受信した場合に、異常が発生した箇所を特定するために、上述した第１実施形態の角速度信号処理回路４または第２実施形態の角速度信号処理回路４ａによって、スイッチの少なくとも一部に異常が生じているか否かを異常判定回路４０に判定するよう命令するコマンドを、角速度検出装置１に対して送信してもよい。
【０１２８】
本実施形態に係る電子機器５００によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した電子機器５００を実現することができる。複合スイッチ回路９０に代えて、複合スイッチ回路９０、９０ａ、９０ｂまたは９０ｃを用いた場合においても、同様の効果を奏する。
【０１２９】
電子機器５００としては種々の電子機器が考えられる。例えば、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター）、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ（point of sale）端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、電力計、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等が挙げられる。
【０１３０】
図１２は、電子機器５００の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器５００であるスマートフォンは、操作部５３０としてボタンを、表示部５７０としてＬＣＤを備えている。そして、電子機器５００であるスマートフォンは、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した電子機器５００を実現することができる。
【０１３１】
４．移動体
図１３は、本実施形態に係る移動体６００の一例を示す図（上面図）である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【０１３２】
本実施形態に係る移動体６００は、複合スイッチ回路９０を含む角速度検出回路４（物理量検出回路）を備えている物理量検出装置１０００を含む移動体４００である。また、図１３に示される例では、移動体６００は、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー６２０、コントローラー６３０、コントローラー６４０、バッテリー６５０およびバックアップ用バッテリー６６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体６００は、図１３に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【０１３３】
本実施形態に係る移動体６００によれば、スイッチの故障の少なくとも一部を検出できる複合スイッチ回路９０を含んでいるので、信頼性の高い用途に適した移動体６００を実現することができる。複合スイッチ回路９０に代えて、複合スイッチ回路９０、９０ａ、９０ｂまたは９０ｃを用いた場合においても、同様の効果を奏する。
【０１３４】
このような移動体６００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【０１３５】
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【０１３６】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０１３７】
本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１３８】
１…角速度検出装置、２…物理量検出回路（集積回路装置）、３…温度センサー、４，４ａ…角速度検出回路、５…加速度検出回路、６…選択回路、７…ＡＤＣ、８…デジタル処理回路、９…インターフェイス回路、１０…故障診断回路、１１，１６〜１９…外部出力端子、１２〜１４…外部入力端子、２０…駆動回路、２１，２２…駆動信号、２３…方形波電圧信号、３０，３０ａ…検出回路、３１，３２…交流電荷（検出電流）、３６ａ，３７ａ…角速度信号、３６ｂ，３７ｂ…漏れ信号、４０，４０ａ…異常判定回路、４１，４１ａ…エラー情報信号、４２，４２ａ…書き込み信号、４３…レジスター、４４…デジタル信号、９０，９０ａ，９０ｂ，９０ｃ…複合スイッチ回路、９３，９３ａ…比較信号、１００…ジャイロセンサー素子、１０１ａ〜１０１ｂ…駆動振動腕、１０２…検出振動腕、１０３…錘部、１０４ａ〜１０４ｂ…駆動用基部、１０５ａ〜１０５ｂ…連結腕、１０６…錘部、１０７…検出用基部、１１２〜１１３…駆動電極、１１４〜１１５…検出電極、１１６…共通電極、２１０…Ｉ／Ｖ変換回路（電流電圧変換回路）、２２０…ＡＣ増幅回路、２３０…振幅調整回路、３１０，３１２…チャージアンプ、３２０…差動増幅回路、３３０…ＡＣ増幅回路、３６０，３６２…積分回路、３７０，３７２…ＤＣ増幅回路、４００ｘ，４００ｙ…検出素子、４０１…搬送波信号、４０２〜４０５…検出信号、４０
６…加速度信号、４０７…エラー情報信号、４０８…温度信号、４０９〜４１３…信号、５００…電子機器、５２０…ＣＰＵ、５３０…操作部、５４０…ＲＯＭ、５５０…ＲＡＭ、５６０…通信部、５７０…表示部、５８０…音声出力部、６００…移動体、６２０…コントローラー、６３０…コントローラー、６４０…コントローラー、６５０…バッテリー、６６０…バックアップ用バッテリー、９００，９００ａ…スイッチ部、９０１…第１端子、９０２…第２端子、９０３…第３端子、９０４…第４端子、９０５…第５端子、９０６…第６端子、９０７…第７端子、９０８…第８端子、９０９…第９端子、９１０…第１０端子、９１１…第１１端子、９１２…第１２端子、９２０，９２０ａ，９２０ｂ，９２０ｃ…制御回路、９２１…コンパレーター、９２２…インバーター、９２３…分周回路、９２４…移相回路、９２５…移相回路、９２６…インバーター、９３０，９３０ａ…比較回路、ＩＮ…入力端、ＩＮ１…第１入力端、ＩＮ２…第２入力端、Ｎ１…第１ノード、Ｎ２…第２ノード、Ｎ３…第３ノード、Ｎ４…第４ノード、ＯＵＴ…出力端、ＯＵＴ１…第１出力端、ＯＵＴ２…第２出力端、Ｓ１…制御信号、Ｓ２…制御信号、Ｓ３…制御信号、Ｓ４…制御信号、Ｓ５…制御信号、Ｓ６…制御信号、ＳＷ１…第１スイッチ、ＳＷ２…第２スイッチ、ＳＷ３…第３スイッチ、ＳＷ４…第４スイッチ、ＳＷ５…第５スイッチ、ＳＷ６…第６スイッチ、１０００…物理量検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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