(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１圧縮機本体と、前記第１圧縮機本体が吐き出す圧縮気体を吸気してより高圧の圧縮気体を吐き出す第２圧縮機本体とを少なくとも備える多段圧縮機であって、
前記第１圧縮機本体を駆動する第１駆動源と、
前記第２圧縮機本体を駆動する第２駆動源と、
前記第１圧縮機本体の吐出側と、前記第２圧縮機本体の吸気側とを接続する中間配管と、
前記中間配管から分岐する低圧側吐出配管系統と、
前記低圧側吐出配管系統に配置し、前記第１圧縮機本体が吐き出した圧縮気体の流通を許可及び禁止を切り替える開閉弁と、
前記第２圧縮機本体の吐出配管と前記低圧側吐出配管の前記開閉弁よりも上流側を接続するバイパス配管と、
前記吐出配管を介して流通する圧縮気体の前記バイパス配管への流通を許可及び禁止を切り替えるバイパス弁と、
前記中間配管又は前記第２圧縮機本体の吸込側と接続し、前記第１圧縮機本体を経由せずに気体が流通する吸気配管と、
前記吸気配管に配置し、前記気体の流通を許可・禁止する弁体と、
前記第１駆動源と第２駆動源の駆動を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置が、
前記開閉弁、前記バイパス弁及び前記弁体が開のときに前記第２駆動源のみを駆動するものである多段圧縮機。
【請求項２】
請求項１に記載の多段圧縮機であって、
前記制御装置が、
前記弁体及び前記バイパス弁が閉で、前記開閉弁が開のときに、前記第２駆動源に代えて、前記第１駆動源のみを駆動するものである多段圧縮機。
【請求項３】
請求項１に記載の多段圧縮機であって、
前記制御装置が、前記バイパス弁及び前記弁体が閉で、前記開閉弁が開の時、前記第１駆動源も駆動するものである多段圧縮機。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の多段圧縮機であって、
前記開閉弁、前記バイパス弁及び前記弁体の少なくとも１つが電磁弁であり、前記制御装置が該電磁弁の制御を行うものである多段圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多段圧縮機に係り、複数の圧縮機本体からなる多段圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体（例えば空気）を吸い込み圧縮気体（例えば、圧縮空気）を生成する気体圧縮機では、複数の圧縮機本体の気体経路を直列に接続する所謂多段構成の圧縮機が知られている（以下、「多段圧縮機」という。）。多段圧縮機では、低圧段圧縮機本体の気体吐出側と、高圧段圧縮機本体の気体吸込側とを中間冷却器（インタクーラ）を介して接続し、２段階で圧縮する構成をとるもの等がある。
【０００３】
圧縮機本体を１台とする所謂単段圧縮機では、中間冷却器が無く、それに伴って配管部品も少ないことから主にコストメリットの面で有利とも言える。
他方、二段機は中間冷却することで、単段圧縮機よりも等温圧縮に近い圧縮過程となることから圧縮効率を高くできるとともに、ロータ、ケーシングといった各部品の温度がより低くなり、材料等について耐熱上の制約も少ないというメリットがあるとも言える。
【０００４】
二段機では、一段側圧縮機(低圧段)の圧縮比と、２段側圧縮機(高圧段)の圧縮比とを等しくしたときに最も高い効率となることが知られており、したがって、二段機の設計においては、一般に定格点において低圧段の圧縮比と高圧段の圧縮比とが等しくなるように各段の速度を決めている。
【０００５】
一方、近年は省エネの観点から、必要気体量が変化したときには圧縮機の運転速度を変化させて流量調整をする可変速機が多く使用されている。この場合、気体量の変化により中間圧損が変化するため、例えば気体量が減って中間圧損が低下すると、高圧段の吸込圧力が高くなり、定格点とは異なった圧力条件での運転となる。その結果、低圧段と高圧段の最適な速度比が定格点とは異なってくる。一般に、二段機では駆動源（例えば、モータ）が１つであり又低圧段と高圧段への動力伝達はそれぞれの段に対して一定の増速比のギアで行うため、低圧段と高圧段の速度比を変えることはできない。そのため、部分負荷使用時には最適な速度比での運転とはならない場合もある。
【０００６】
低圧段と高圧段の運転速度比を最適にする手段として、各段の圧縮機本体を独立駆動とする構成がある。特許文献１は、低圧段及び高圧段圧縮機本体の夫々にモータを備え、独立駆動を可能に構成し、中間圧力を検出し、検出圧力に基づいて回転速度を調整する運転方法を開示する。例えば使用空気量が減って回転速度が低下した場合、中間圧力が高くなるので、ある設定圧力以上になった場合に低圧段圧縮機本体の回転速度を低下又は高圧段圧縮機本体の回転速度を上昇させるような制御信号を制御部からインバータに出力するようになっている。特許文献１によれば、部分負荷時にも各段の圧縮比を等しくすることができ、効率の良い運転が実現できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３３５２１８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１は、圧縮機システムの主要部品であるモータが２台必要となる。また、ギアやベルトなどにより増速する場合、これらの部品点数も増えることとなる。このように、中間圧力の最適化のためだけに、各段の回転速度を独立制御するのは、部品点数が増加し、材料費や必要スペース、更にはメンテナンス費用の増加といった種々の課題が残る。
【０００９】
他方、圧縮機ユーザの中には、用途によって高圧の気体と低圧の気体を使い分ける場合がある。この場合、高圧用と低圧用の圧縮機を別個に備えることもあるが、設置或いは据え付け面積の増加、コストの増加という課題がある。
【００１０】
この点、１台の圧縮機で両者の使い分けを実現することもできる。例えば、圧縮機からは高圧の圧縮気体を生成し、これをリザーバタンクに貯め、低圧の圧縮気体が必要なときは、所望の圧力まで減圧して使用する場合等である。このように減圧して仕様するケースは、折角の高圧圧縮気体エネルギーをロスすることになる。
より簡便且つ効率的に圧力の異なる圧縮気体を得る技術が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の問題点を解決するために、例えば、特許請求の範囲に記載の構成を適用する。即ち第１圧縮機本体と、前記第１圧縮機本体が吐き出す圧縮気体を吸気してより高圧の圧縮気体を吐き出す第２圧縮機本体とを少なくとも備える多段圧縮機であって、前記第１圧縮機本体を駆動する第１駆動源と、前記第２圧縮機本体を駆動する第２駆動源と、前記第１圧縮機本体の吐出側と、前記第２圧縮機本体の吸気側とを接続する中間配管と、前記中間配管から分岐する低圧側吐出配管系統と、前記低圧側吐出配管系統に配置し、前記第１圧縮機本体が吐き出した圧縮気体の流通を許可及び禁止を切り替える開閉弁と、前記第２圧縮機本体の吐出配管と前記低圧側吐出配管の前記開閉弁よりも上流側を接続するバイパス配管と、前記吐出配管を介して流通する圧縮気体の前記バイパス配管への流通を許可及び禁止を切り替えるバイパス弁と、前記中間配管又は前記第２圧縮機本体の吸込側と接続し、前記第１圧縮機本体を経由せずに気体が流通する吸気配管と、前記吸気配管に配置し、前記気体の流通を許可・禁止する弁体と、前記第１駆動源と第２駆動源の駆動を制御する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記開閉弁、前記バイパス弁及び前記弁体が開のときに前記第２駆動源のみを駆動するものである構成である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、高圧及び低圧の圧縮気体を効率よく生成することができる。本発明の他の課題、構成、効果は、以下の記載から明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を適用した実施例１による無給油式スクリュー圧縮機の構成を模式的に示したブロック図である。
【図２】実施例１による無給油式スクリュー圧縮機の圧縮機本体構成等を詳細に示した断面及び制御系統図を模式的に示した図である。
【図３】本発明を適用した実施例２による無給油式スクリュー圧縮機の構成を模式的に示したブロック図である。
【図４】本発明を適用した実施例３による無給油式スクリュー圧縮機の構成を模式的に示したブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１に、本発明を適用した実施例１による二段スクリュー空気圧縮機（以下、単に「圧縮機」という。）２０Ａ及び圧縮機システム（高圧・低圧空気ラインやリザーバランク８等を含む）の構成並びに気体の流れを模式的に示す。なお、本実施例では無給油式のスクリュー空気圧縮機を適用するものとするが、本発明はこれに限定されるものではなく給液（油・水等）式圧縮機であってもよいし、スクロール、レシプロ、ベーン等の圧縮機構であってもよいし、種々の形式等の組合せから多段構成とするものであってもよく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の構成に適用できるものである。
【００１７】
圧縮機２０Ａは、低圧段圧縮機本体１と、これを駆動する駆動源（例えばモータ３）、高圧段圧縮機本体２、これを駆動する駆動源（モータ４）、インタクーラ６及びアフタクーラ７を備える。低圧段圧縮機本体１の吐出側と、高圧段圧縮本体２の吸込み側とは配管系統を直列的に接続し、外部からの吸込み大気を低圧段圧縮機本体１が圧縮し、吐き出された圧縮空気がインタクーラ６で中間冷却され、その後、高圧段圧縮機本体２がこれを吸い込んで更に昇圧し、より高圧の圧縮空気を吐出し、アフタクーラ７によって所定の温度まで冷却されるようになっている。
【００１８】
インタクーラ６から高圧段圧縮機本体２に接続する中間配管系統は途中で分岐し、一方の分岐配管は低圧段吐出逆止弁１９及び低圧ライン吐出弁（開閉弁）１３を配置して、１又は複数の低圧空気ライン１００に接続して、需要先に低圧の圧縮空気を供給するようになっている。低圧ライン吐出弁１３及び低圧談吐出逆止弁１９は、中間配管から低圧空気ライン１００の流通を許可・禁止する。
また、他方の分岐配管は高圧段吸込み弁１４を介して、高圧段圧縮機本体２の吸込み側に接続する。高圧段圧縮機本体２の吐出側配管系統は、上流側から高圧段吐出逆止弁１８及びアフタクーラ７を配置し、圧縮機２０Ａの外部に配置するリザーバタンク８と接続する。リザーバタンク８は、１又は複数の高圧空気ライン２００と接続し、需要先に高圧の圧縮空気を供給するようになっている。
【００１９】
圧縮機２０Ａは、インタクーラ６の下流且つ中間配管の分岐点までの間に、低圧段圧縮機本体１の吐出圧力を検出する圧力センサ２１を備える。また、リザーバタンク８には、リザーバタンク８の内圧を検出する圧力センサ２２を備える。なお、圧力センサ２２は、圧縮機２０Ａにおいて、高圧段吐出逆止弁１８から下流の配管系統に配置してもよい。各圧力センサ２１、２２の検出圧力は、通信可能に接続された制御装置１０に入力され、制御装置１０は、これらの圧力値に応じてモータ３及び４の駆動回転を制御するようになっている。本実施例では、モータ３及び４について夫々インバータ１１Ａ、１１Ｂを備え、制御装置１０がこれらを介して可変速制御するようになっている。
【００２０】
図２に、低圧段側及び高圧段側の各圧縮機本体、モータ等の具体的な構成を示す。低圧段圧縮機本体１は、圧縮機本体ケーシング５０に形成された圧縮室に、雌雄一対のスクリューロータ５１ａ及び５１ｂを内包する。各スクリューロータは、所定の隙間を介して非接触で噛み合い、これらと圧縮室内壁によって圧縮作動室として機能する。
雄ロータの軸は、モータ３の主軸５２と軸同に直列に構成され、モータ３と軸方向で反対側端部には、雌ロータ端部に設置されたギアと噛み合って動力を伝えるタイミングギア５３を備える。圧縮機本体ケーシング５０と、モータケーシング５５とは、軸に沿って一体に接続される。なお、本実施例では、ロータ５１ａと、モータの主軸５２とが直結の構成であるが、これに代えてギア接続やベルト駆動を排除するものでない。また、モータ３等もラジアルモータを例とするが、アキシャルモータ等の他の形式のモータであってもよい。
【００２１】
高圧段圧縮機本体２は、低圧段圧縮機本体１と略同様の構成を有するが、高圧段圧縮機本体１の方が、圧縮容積が小で回転数が高い点が異なる。
【００２２】
上述のように、各圧縮機本体に設置するモータ３及び４は、夫々インバータ１１ａ及び１１ｂから電力の供給を受ける。各インバータ１１ａ及び１１ｂには、制御装置１０が独立して回転周波数指令値を送信できるようになっている。このため、低圧段圧縮機本体１及び高圧段圧縮機本体２を夫々独立して制御できるようになっている。
この点、例えば、駆動源は１つで、ギアやベルトを介して、低圧側・高圧側の駆動を同時に行う構成の多段圧縮機の場合、各圧縮機本体の回転駆動比は固定であり又何れか一方のみを駆動制御するのができないが、本実施例の圧縮機２０Ａでは、何れか一方の駆動制御もできるという特徴を有する。
【００２３】
制御装置１０は、演算装置とプログラムの協働によって実現される機能部である。外部入出力インタフェース（不図示）を備え、種々の設定値や運転態様の切り替え等の入力を受け、適宜、運転状況や種々の制御情報を出力可能とする。
【００２４】
また、制御装置１０は、圧力センサ２１及び２２と通信可能に接続（図の一点鎖線）し、検出圧力に応じた制御を行う。更に、低圧ライン吐出弁１３や高圧段吸込弁１４といった電磁弁と接続（図の点線）し、これらの開閉動作を制御するようになっている。
【００２５】
このような構成を有する圧縮機２０Ａは、低圧段圧縮機本体１のみによって生成された低圧の圧縮空気と、低圧段圧縮機本体１及び高圧段圧縮機本体２から生成された高圧の圧縮空気との両方を使い分けてユーザ側に供給できるものであることを特徴の一つとする。具体的には、（１）低圧段圧縮機本体１のみによって生成された低圧圧縮空気を利用する場合、低圧ライン吐出弁１３を「開」として高圧側吸込弁１４を「閉」とし、高圧段圧縮機本体２の運転は停止とする。（２）高圧圧縮空気を利用する場合、低圧ライン吐出弁１３は「閉」として高圧段吸込弁１４を「開」とし、低圧段及び高圧段圧縮機本体の両方を運転とする。（３）低圧段及び高圧段圧縮機本体１及び２の両方の圧縮空気を利用する場合、低圧段吐出弁１３及び高圧段吸込弁１４の両方を「開」とし、低圧段及び高圧段圧縮機本体の両方を運転とする。
【００２６】
以下、各運転態様について具体的に説明する。
通常の二段機圧縮機として使用する場合には、低圧ライン吐出弁１３は「閉」、高圧段吸込み弁１４は「開」として運転する。低圧段圧縮機本体１から吐き出された圧縮空気は全て高圧段圧縮機本体２に吸い込まれて更に高圧に圧縮され、リザーバタンク８に吐き出される。この場合、使用空気流量に応じて両段圧縮機本体の運転速度を変化させるが、例えば使用空気量が少ない場合には、定格運転時に対して中間圧力が高くなるため、低圧段圧縮機本体１の速度ｎ１と、高圧段圧縮機本体の速度ｎ２の比(ｎ１／ｎ２)を、定格に対して小さくすれば中間圧力を適切に下げることができる。
【００２７】
次に、低圧段圧縮機本体１が生成する圧縮空気のみを使用する場合には、低圧ライン吐出弁１３は「開」、高圧段吸込み弁１４は「開」とし、高圧段圧縮機本体２の運転は停止する。これにより高圧段圧縮機本体２は運転系統から切り離され、低圧空気ライン１００のみへの圧縮空気の供給が実現できる。
【００２８】
最後に、低圧段圧縮機本体１の圧縮空気と、高圧段圧縮機本体２とが生成する圧縮空気とを同時に使用する場合、低圧ライン吐出弁１３と、高圧段吸込弁１４とは共に「開」とする。
ここで、低圧段圧縮機本体１から低圧空気ラインに供給すると、供給する空気量に応じて中間圧力が低下する。中間圧力の低下は、高圧段圧縮機本体２の適正な吸込み圧力をえることができない。この為、二段圧縮機として効率のよい圧力バランスが崩れ、効率の悪い運転になるばかりでなく、高圧段圧縮機本体２での圧力比が大きくなり、これに伴って動力が過大となると、高圧段側で必要とする圧力を得るのが困難になったり、温度上昇が大きくなって運転不可能となったりする虞がある
そこで、本実施例では、低圧段圧縮機本体１の速度ｎ１と、高圧段圧縮機本体２の速度ｎ２の比(ｎ１／ｎ２)を、定格に対して大きくすることにより中間圧力を上昇させるようになっている。具体的には、制御装置１０が、圧力センサ２１、２２の出力に基づいて、例えば低圧段圧縮機本体１での圧縮比と高圧段圧縮機本体２での圧縮比が等しくなるように回転速度比を設定する。
【００２９】
以上、実施例１について説明したが、圧縮機２０Ａによれば、低圧段圧縮機本体１のみの駆動によって生成する圧縮空気、通常の二段圧縮機本体１・２の駆動によって生成する圧縮空気及び二段圧縮機本体１並びに２と、低圧段圧縮機本体１のみとの駆動によって生成する３種類の供給態様を任意に実現することができる。
【００３０】
また、低圧の圧縮空気を生成する場合、低圧段圧縮機本体１のみを駆動することで、高圧空気を減圧して利用する場合と比してエネルギーロスが無くなるという利点がある。
【００３１】
また、二段圧縮機として高圧な圧縮空気と、単段機として低圧な圧縮空気を同時に生成することが可能となる。
【００３２】
更に、１台の二段圧縮機の構成で、単段圧縮機、二段圧縮機及び単段・二段同時駆動圧縮機として利用することができ、設置場所やコスト面での使用者メリットを始め部品点数の削減といった製造側メリットも同時に実現することができる。
【実施例２】
【００３３】
本発明を適用した実施例２による圧縮機２０Ｂについて説明する。実施例１との主な相違点は、実施例１の高圧段吸込弁１４が無く、高圧段圧縮機本体１の吐出し側から、低圧空気ライン１００側配管系統の低圧段吐出逆止弁１９と低圧ライン吐出弁１３の間に接続するバイパス配管２５を備える点と、このバイパス配管２５の途中に吐出側バイパス弁２６を備える点と、更に高圧段圧縮機本体２の吐出し側配管で、バイパス配管２５との分岐点より下流側に、調圧逆止弁２７を備える点である。
【００３４】
また、実施例２の圧縮機２０Ｂは、低圧段圧縮機本体１のみが生成する圧縮空気を低圧空気ラインに供給する運転と、通常の二段圧縮機の運転とが可能であり、両圧縮機本体の駆動で高圧空気ラインと低圧空気ラインの両方に圧縮空気を供給する運転はしない。なお、他の構成は実施例１と同様であり、同一部材・要素は同符号を用い、詳細な説明は省略する。
【００３５】
実施例１の高圧段吸込弁１４は、これを通過する圧縮空気の圧力損失を僅かながら招来するが、実施例２の構成の場合、通常の二段機運転時にこのような圧力損失が生じないという利点がある。
【００３６】
調圧逆止弁２７は、所定の圧力以下の場合には圧縮空気の流通を制限する逆止弁であり、本実施例では、低圧段圧縮機本体１のみが駆動する圧力環境では「閉」となり、通常の二段機運転時の高圧吐出環境で「開」となるようになっている。
【００３７】
吐出側バイパス弁２６は、電磁弁であり制御装置１０によって制御される。吐出側バイパス弁２６は、低圧段圧縮機本体１のみを駆動し、低圧空気ラインに圧縮空気を供給する場合に「開」、通常の二段圧縮機運転のときに「閉」となる。
【実施例３】
【００３８】
本発明を適用した実施例３による圧縮機２０Ｃについて説明する。実施例３と他の実施例との主な相違点は、低圧空気ラインのみに圧縮空気を供給する場合、低圧段圧縮機本体１或いは高圧段圧縮機本体２の何れか一方のみを選択運転して、圧縮空気供給できるように構成した点である。
【００３９】
低圧空気ラインのみに圧縮機空気を供給する際、使用する空気量が少ない場合には、一般に低圧段を低速で運転するよりも、容積の小さい高圧段を高速で運転する方が、効率が高くなる傾向がある。
【００４０】
図４に、実施例３による圧縮機２０Ｃの構成を模式的に示す。なお、以下の説明では同一部材・要素には同一符号を用い、詳細な説明を省略する。
【００４１】
低圧段圧縮機本体１の吸込み側配管系統は分岐し、一方配管は低圧段圧縮本体１の吸込系となり、他方の配管４０は中間配管と連通するように接続する吸気配管となる。なお、配管４０は、中間配管と接続せずに、これとは別に高圧段圧縮機本体３の吸込み側と接続する吸気配管構成でもよい。配管４０は電磁弁（弁体）３６を備え、制御装置１０によって開閉が制御されることで配管４０に気体の流通が許可・禁止されるようになっている。
【００４２】
また、実施例２と同様に、高圧段圧縮機本体２の吐出し側配管系から低圧空気ライン１００に向けて分岐するバイパス配管２５を有するが、本実施例では、バイパス配管２５が、アフタクーラ７の途中乃至出口から低圧空気ライン１００に向かって分岐する構成とする。
【００４３】
以上の構成を有する圧縮機２０Ｃは、低圧空気ラインのみに圧縮空気を供給する際、空気量が多い場合には、低圧ライン吐出弁１３を「開」、電磁弁３６及びバイパス弁２６を「閉」として、低圧段圧縮機本体１のみを運転する。他方、空気量が小さい場合には、圧縮機２０Ｃは、低圧ライン吐出弁１３、電磁弁３６及びバイパス弁２６を全て「開」として、高圧段圧縮機本体２のみを運転する。
つまり、高圧段圧縮機本体２は、低圧段圧縮機本体１の吐出口を経由しない外気を吸気して、低圧空気ライン１００に供給する圧縮機空気を生成する。
【００４４】
なお、通常の二段圧縮機の運転により高圧空気ラインのみに高圧の圧縮空気を供給する場合、圧縮機２０Ｃは、低圧ライン吐出弁１３、電磁弁３６及びバイパス弁２６を全て「閉」とする。更に、両空気ラインに空気を供給する場合には、低圧ライン吐出弁１３を「開」、電磁弁３６及びバイパス弁２６を「閉」にすると共に使用空気量に応じて低圧段圧縮機本体１と、高圧段圧縮機本体２の運転速度比を変化させて運転を行うようになっている。
【００４５】
このように実施例３の圧縮機２０Ｃによれば、低圧空気ラインのみに圧縮空気を供給する際、供給する圧縮空気量に応じて、低圧段圧縮機本体１又は高圧段圧縮機本体２の何れかを選択し、より効率的に圧縮空気を供給できる。
【００４６】
以上、本発明を実施するための例を説明したが、本発明は上記種々の構成等に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特定の実施例の構成を他の実施例に置換することも可能である。
【００４７】
例えば、上記実施例では、低圧ライン吐出弁１３等を、制御装置１０によって制御する態様としたが、これに代えて電磁弁の一部又は全部を手動の弁体とし、制御装置１０を介したユーザの運転切替操作によって、低圧空気ラインに圧縮空気を供給する運転とするようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１…低圧段圧縮機本体、２…高圧段圧縮機本体、３・４…モータ（駆動源）、６…インタクーラ、７…アフタクーラ、８…リザーバタンク、１０…制御装置、１１ａ・１１ｂ…インバータ、１３…低圧ライン吐出弁、１４…高圧段吸込弁、１５…吐出側バイパス弁、１６…吸込側バイパス弁、１７…低圧側吐出弁、１８…高圧段吐出逆止弁、１９…低圧段吐出逆止弁、２０Ａ・２０Ｂ・２０Ｃ…圧縮機、２１…圧力センサ、２２…圧力センサ２、２４…ギアケース、２５…バイパス配管、２６…バイパス弁、３６…電磁弁、４０…配管、５０・６０…圧縮機本体ケーシング、５１ａ・５１ｂ・６１ａ・６１ｂ…スクリューロータ、５２・６２…主軸、５３・６３…タイミングギア、５５・６５…モータケーシング、１００…低圧空気ライン、２００…高圧空気ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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