(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一駆動軸の周りに揺動可能に支持されると共に、前記第一駆動軸と交差する第二駆動軸の周りに揺動可能に支持され、前記第一駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値であり、前記第二駆動軸に対する揺動の共振周波数が前記第一の値よりも低い第二の値である、ミラーと、
前記ミラーを前記第一駆動軸の周りに揺動させる第一駆動部と、
前記ミラーを前記第二駆動軸の周りに揺動させる第二駆動部と、
前記ミラーを前記第一駆動軸の周りに揺動させる動作に起因して前記第二駆動部に発生する誘起信号を含む合成信号を前記第二駆動部から得ると共に、前記合成信号から前記誘起信号を抽出する信号抽出部と、
前記信号抽出部によって抽出された前記誘起信号に応じて、前記第一駆動軸に対する前記ミラーの揺動が共振状態となるように前記第一駆動部を制御するための駆動信号を生成する信号生成部と、を備える、ミラー装置。
【請求項２】
前記信号生成部は、前記信号生成部から前記第一駆動部に入力される前記駆動信号の位相と、前記信号抽出部において得られた前記誘起信号の位相との位相差に応じて前記駆動信号を生成する、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記信号生成部は、前記位相差が一定値になるように、前記駆動信号を生成する、請求項２に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記一定値は、ゼロである、請求項３に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記信号生成部は、前記信号抽出部において得られた前記誘起信号の振幅に応じて前記駆動信号を生成する、請求項１〜４の何れか一項に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記信号生成部は、前記誘起信号の振幅が大きくなるように、前記駆動信号を生成する請求項５に記載のミラー装置。
【請求項７】
前記信号抽出部は、信号増幅部を含み、
前記信号増幅部は、前記第二の値より大きい周波数を含む信号を増幅する、請求項１〜６の何れか一項に記載のミラー装置。
【請求項８】
前記信号抽出部は、信号フィルタ部を含み、
前記信号フィルタ部は、前記第二の値より大きい周波数を含む信号を通過させる、請求項１〜７の何れか一項に記載のミラー装置。
【請求項９】
前記信号フィルタ部は、前記第二の値より小さい周波数を含む信号を減衰させる、請求項８に記載のミラー装置。
【請求項１０】
対象物に光を照射する光照射装置であって、
前記光を出力する光源と、
前記光源から出力された前記光を走査する請求項１〜９のいずれか一項に記載のミラー装置と、を備える、光照射装置。
【請求項１１】
対象物の画像を取得する画像取得装置であって、
請求項１０に記載の光照射装置と、
前記光照射装置による前記光の照射に伴って前記対象物で発生する光を検出する光検出器と、を備える、画像取得装置。
【請求項１２】
第一駆動軸の周りに揺動可能に支持されると共に、前記第一駆動軸と交差する第二駆動軸の周りに揺動可能に支持され、前記第一駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値であり、前記第二駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値よりも小さい第二の値である、ミラーの駆動方法であって、
第一駆動部を制御して、前記ミラーを前記第一駆動軸の周りに揺動させる搖動ステップと、
前記ミラーを前記第一駆動軸の周りに揺動させる動作に起因して、前記ミラーを前記第二駆動軸の周りに揺動させる第二駆動部に発生する誘起信号を含む合成信号を前記第二駆動部から得る取得ステップと、
前記合成信号から前記誘起信号を抽出する抽出ステップと、
前記誘起信号に応じて、前記第一駆動軸に対する前記ミラーの揺動が共振状態となるように前記第一駆動部を制御するための駆動信号を生成する生成ステップと、を有する、ミラーの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ミラー装置、ミラーの駆動方法、光照射装置及び画像取得装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、電磁駆動型の走査ミラーが開示されている。走査ミラーは、所定軸の周りに共振状態として揺動するように制御される。走査ミラーを駆動するための制御信号は、走査ミラーの駆動によって発生する逆起電力を利用して生成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２５８３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の装置において、逆起電力は、駆動信号に加算された形で検出されるので、検出された信号から逆起電力に対応する信号成分を抽出する必要がある。しかし、駆動信号の周波数と逆起電力の周波数とが同じであるうえに、駆動信号の振幅に対して逆起電力の振幅が小さい。従って、検出された信号から逆起電力の成分を抽出することは難しかった。走査ミラーの駆動信号は、逆起電力を利用して生成されるので、逆起電力の成分の抽出が難しい場合には、走査ミラーを確実に共振状態として駆動することも困難であった。【０００５】
そこで、実施形態は、ミラーを共振状態として駆動できるミラー装置、ミラーの駆動方法、光照射装置及び画像取得装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態は、ミラー装置である。ミラー装置は、第一駆動軸の周りに揺動可能に支持されると共に、第一駆動軸と交差する第二駆動軸の周りに揺動可能に支持されたミラーであって、第一駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値であり、第二駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値よりも低い第二の値であるミラーと、ミラーを第一駆動軸の周りに揺動させる第一駆動部と、ミラーを第二駆動軸の周りに揺動させる第二駆動部と、ミラーを第一駆動軸の周りに揺動させる動作に起因して第二駆動部に発生する誘起信号を含む合成信号を第二駆動部から得ると共に、合成信号から誘起信号を抽出する信号抽出部と、抽出された誘起信号に応じて、第一駆動軸に対するミラーの揺動が共振状態となるように第一駆動部を制御するための駆動信号を生成する信号生成部と、を備える。【０００７】
別の実施形態は、ミラーの駆動方法である。ミラーの駆動方法は、第一駆動軸の周りに揺動可能に支持されると共に、第一駆動軸と交差する第二駆動軸の周りに揺動可能に支持されたミラーであって、第一駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値であり、第二駆動軸に対する揺動の共振周波数が第一の値よりも小さい第二の値であるミラーの駆動方法であって、第一駆動部を制御して、ミラーを第一駆動軸の周りに揺動させるステップ（搖動ステップ）と、ミラーを第一駆動軸の周りに揺動させる動作に起因して第二駆動部に発生する誘起信号を含む合成信号を第二駆動部から得るステップ（取得ステップ）と、合成信号から誘起信号を抽出するステップ（抽出ステップ）と、抽出された誘起信号に応じて、第一駆動軸に対するミラーの揺動が共振状態となるように第一駆動部を制御するための駆動信号を生成するステップ（生成ステップ）と、を有する。【０００８】
ミラーは、第一駆動部によって、第一駆動軸の周りに揺動される。このミラーが第一駆動軸の周りに揺動している間に、信号抽出部は、第二駆動部から合成信号を得る。この合成信号は、ミラーを第一駆動軸の周りに揺動させる動作に起因して第二駆動部に発生した誘起信号を含む。誘起信号は、第一駆動部の動作に起因するので、その周波数は第一駆動軸に対するミラーの揺動における周波数に対応する。第一駆動軸に対するミラーの揺動における周波数は、第二駆動軸に対するミラーの周波数よりも高いので、第二駆動部から得られる信号から誘起信号を容易に抽出することが可能である。そして、信号生成部は、誘起信号に応じて、第一駆動部に提供する駆動信号を生成する。従って、第一駆動部によってミラーを揺動させた結果を、第二駆動部から誘起信号として得ることが可能になる。これにより、第一駆動軸に対するミラーの揺動に関するフィードバックループ系が構成されるので、第一駆動軸に対するミラーを確実に共振状態として駆動することができる。【０００９】
信号生成部は、信号生成部から第一駆動部に入力される駆動信号の位相と信号抽出部において得られた誘起信号の位相との位相差に応じて駆動信号を生成してもよい。また、生成ステップは、第一駆動部に入力される駆動信号の位相と抽出ステップにおいて得られた誘起信号の位相との位相差に応じて駆動信号を生成してもよい。さらに、信号生成部は、位相差が一定値になるように、駆動信号を生成してもよい。また、生成ステップは、位相差が一定値になるように、駆動信号を生成してもよい。さらに、信号生成部は、位相差が小さくなるように、駆動信号を生成してもよい。生成ステップは、位相差が小さくなるように、駆動信号を生成してもよい。これらの構成によれば、駆動信号の周波数と第一駆動軸に対するミラーの揺動における共振周波数とのずれが、駆動信号の位相と誘起信号の位相との位相差として示される。この位相差を一定値とする、或いは小さくするように、駆動信号の周波数を調整することにより、駆動信号の周波数を共振周波数に容易に調整することができる。この一定値は、ゼロであってもよい。【００１０】
信号生成部は、信号抽出部において得られた誘起信号の振幅に応じて駆動信号を生成してもよい。また、生成ステップは、抽出ステップにおいて得られた誘起信号の振幅に応じて駆動信号を生成してもよい。さらに、信号生成部は、誘起信号の振幅が大きくなるように、駆動信号を生成してもよい。また、生成ステップは、誘起信号の振幅が大きくなるように、駆動信号を生成してもよい。これらの構成によれば、駆動信号の周波数と第一駆動軸に対するミラーの揺動における共振周波数とのずれが、誘起信号の振幅として示される。この振幅が大きくなるように、駆動信号の周波数を調整することにより、駆動信号の周波数を共振周波数に容易に調整することができる。【００１１】
信号抽出部は、信号フィルタ部を含み、信号フィルタ部は、第二の値より大きい周波数を含む信号を通過させてもよい。また、抽出ステップは、信号フィルタ部により、第二の値より大きい周波数を含む信号を通過させてもよい。さらに、信号フィルタ部は、第二の値より小さい周波数を含む信号を減衰させてもよい。また、抽出ステップは、信号フィルタ部により、第二の値より小さい周波数を含む信号を減衰させてもよい。これらの構成によれば、合成信号から精度よく誘起信号を抽出することができる。【００１２】
信号抽出部は、信号増幅器を含み、信号増幅部は、第二値より大きい周波数を含む信号を増幅してもよい。また、また、抽出ステップは、信号増幅器により、第二の値より大きい周波数を含む信号を増幅してもよい。この構成によれば、合成信号から精度よく誘起信号を抽出することができる。【００１３】
また、さらに別の実施形態は、対象物に光を照射する光照射装置である。光照射装置は、光を出力する光源と、光源から出力された光を走査する上述のミラー装置と、を備える。また、別の実施形態は、対象物に光を照射する光照射方法である。光照射方法は、光源から光を出力する出力ステップと、光源から出力された光を走査する上述のミラー駆動方法、を備える。さらに、別の形態は、対象物の画像を取得する画像取得装置である。画像取得装置は、上述の光照射装置と、光照射装置による光の照射に伴って対象物で発生する光を検出する光検出器と、を備える。また、別の実施形態は、対象物の画像を取得する画像取得方法である。画像取得方法は、上述の光照射方法と、光照射方法による光の照射に伴って対象物で発生する光を検出する検出ステップと、を備える。これらの形態によれば、ミラー装置によって、ミラーを第一駆動軸の周りにおいて確実に共振状態として駆動することができるため、光の照射及び画像取得を確実に行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
実施形態によれば、走査ミラーを確実に共振状態として駆動できるミラー装置、ミラーの駆動方法、光照射装置及び画像取得装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、実施形態に係るミラー装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示されたミラーユニットを分解して示す斜視図である。
【図３】図３は、図２に示されたミラー構造体を示す斜視図である。
【図４】図４は、ミラー構造体における第一コイル及び第二コイルの配置を示す斜視図である。
【図５】図５は、図１に示された制御ユニットの構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、制御ユニットにおいて扱われる信号を例示する図である。
【図７】図７は、図５に示された信号抽出部において抽出される信号の帯域を示す図である。
【図８】図８は、図５に示されたコントローラの構成を示すブロック図である。
【図９】図９は、駆動信号及び誘起信号の位相関係及び駆動信号及び誘起信号の振幅関係を示すグラフである。
【図１０】図１０は、ミラーの駆動方法における主要なステップを示す図である。
【図１１】図１１は、変形例に係る制御ユニットが有するコントローラの構成を示すブロック図である。
【図１２】図１２は、別の変形例に係る制御ユニットが有するコントローラの構成を示すブロック図である。
【図１３】図１３は、さらに別の変形例に係る制御ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１４】図１４は、ミラー装置を備える光照射装置の構成を示す概略図である。
【図１５】図１５は、ミラー装置を備える画像取得装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながらミラー装置、ミラーの駆動方法、光照射装置及び画像取得装置を詳細に説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
図１に示されるように、実施形態に係るミラー装置１は、ミラーユニット２と、制御ユニット３と、を有する。ミラーユニット２には、光Ｌ１が入射する。光Ｌ１は、例えば、レーザ光などのコヒーレント光あるいは発光ダイオードから出力された光などのインコヒーレント光を含む。そして、ミラーユニット２は、反射光Ｌ２の光路を変更しながら、入射された光Ｌ１を反射する。制御ユニット３は、ミラーユニット２に対して駆動信号を入力する。反射光Ｌ２の光路は、この駆動信号に基づいて制御される。
【００１８】
図２は、ミラーユニット２の分解斜視図である。説明の便宜のために、各図にはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を付す。図２に示されるように、ミラーユニット２は、ミラー構造体１０と、下部磁性体２０と、キャップ構造体３０と、筐体４０と、を有する。筐体４０は、略直方体形状を有し、ミラー構造体１０及び下部磁性体２０を収容する。下部磁性体２０は、筐体４０の底面４２上に配置される。ミラー構造体１０は、下部磁性体２０の上方（Ｚ軸正方向の側）に配置される。キャップ構造体３０は、筐体４０の開口部４１を覆うように配置される。
【００１９】
図３及び図４を参照して、ミラー構造体１０の構成について詳細に説明する。図３は、ミラー構造体１０の斜視図である。図４は、ミラー構造体１０における第二コイル１７ａ及び第一コイル１８ａの配置を示す斜視図である。図３及び図４に示されるように、ミラー構造体１０は、支持部１１と、第二可動部１２と、第一可動部１３と、ミラー１６とを有する。第二可動部１２は、支持部１１に連結される。第一可動部１３は、第二可動部１２に連結される。ミラー１６は、第一可動部１３に支持される。
【００２０】
支持部１１は、枠体であり、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈する。支持部１１には、矩形の開口部１１ａが設けられる。開口部１１ａの外縁のうち、Ｘ軸方向に延びる２辺には、略矩形の一対の凹部１１ｂ，１１ｂが設けられる。
【００２１】
第二可動部１２は、支持部１１の開口部１１ａ内に配置される。第二可動部１２は、一対の第二梁部１４，１４により、支持部１１に連結される。また、第二可動部１２は、一対の第一梁部１５，１５により、第一可動部１３に物理的に連結される。一対の第二梁部１４，１４は、Ｙ軸に平行な直線Ａ２上に位置し、第二可動部１２の両側に設けられる。第二梁部１４は、第二可動部１２を支持部１１に対して直線Ａ２の周りに揺動可能に支持する。第二梁部１４は、Ｚ方向から見て蛇行形状とされる。このような形状によれば、第二梁部１４は、直線Ａ２の周りにおける比較的小さいねじり剛性を有する。第二可動部１２は、矩形の開口部１２ａを有する。
【００２２】
第一可動部１３は、枠体であり、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈する。第一可動部１３には、矩形の開口部１３ａが設けられる。第一可動部１３は、一対の第一梁部１５，１５により、第二可動部１２に連結される。また、第一可動部１３は、ミラー１６に物理的に連結される。一対の第一梁部１５，１５は、Ｘ軸に平行な直線Ａ１上に位置し、第一可動部１３の両側に設けられる。第一梁部１５は、第一可動部１３を第二可動部１２に対して直線Ａ１の周りに揺動可能に支持する。第一梁部１５は、Ｘ軸方向に直線状に延びる。このような形状によれば、第一梁部１５は、直線Ａ１の周りにおける比較的大きいねじり剛性を有する。例えば、第一梁部１５のねじり剛性は、第二梁部１４のねじり剛性より大きい。
【００２３】
ミラー１６は、第一可動部１３上において、キャップ構造体３０に対向する面の上に配置される。ミラー１６は、金属薄膜等により構成された光反射膜を有する。
【００２４】
上述したように、ミラー１６は、直線Ａ２の周りに揺動すると共に、直線Ａ１の周りに揺動する。この揺動動作についてさらに説明する。まず、ミラー構造体１０は、第一可動部１３及びミラー１６を質量要素とし、一対の第一梁部１５を弾性要素とする第一振動系を構成する。この第一振動系は、第一可動部１３及びミラー１６の合計質量と、第一梁部１５の弾性係数とに基づく共振周波数を有する。以下、第一振動系の共振周波数を第一共振周波数という。より詳細には、第一振動系は、直線Ａ１の周りにおける揺動（往復回転運動）であるので、合計質量は直線Ａ１の周りにおける慣性モーメントであり、弾性係数は第一梁部１５のねじり剛性である。
【００２５】
さらに、ミラー構造体１０は、第二可動部１２、第一可動部１３及びミラー１６を質量要素とし、一対の第二梁部１４を弾性要素とする第二振動系を構成する。この第二振動系は、第二可動部１２、第一可動部１３及びミラー１６の合計質量と、第二梁部１４の弾性係数とに基づく共振周波数を有する。以下、第二振動系の共振周波数を第二共振周波数という。より詳細には、第二振動系は、直線Ａ２の周りにおける揺動（往復回転運動）であるので、合計質量は直線Ａ２の周りにおける慣性モーメントであり、弾性係数は第二梁部１４のねじり剛性である。
【００２６】
ここで、第一振動系の慣性モーメントは、第二可動部１２の慣性モーメントの分だけ第二振動系の慣性モーメントよりも小さい。また、第一振動系のねじり剛性は、第二振動系のねじり剛性よりも大きい。共振周波数（より正確には固有周波数）は、慣性モーメント（質量）に反比例し、ねじり剛性（弾性係数）に比例する。このため、第一振動系の共振周波数は、第二振動系の共振周波数よりも大きい。
【００２７】
図４に示されるように、ミラー構造体１０は、第二コイル１７ａと、第一コイル１８ａとをさらに有する。第二コイル１７ａは、第二可動部１２に配置される。第二コイル１７ａは、下部磁性体２０（図２参照）及びキャップ構造体３０（図２参照）と協働して、ミラー１６を直線Ａ２（図３参照）の周りに揺動させる電磁力を発生させる。従って、第二コイル１７ａ、下部磁性体２０及びキャップ構造体３０は、第二駆動部Ｄ２を構成する。第二駆動部Ｄ２は、第一駆動部Ｄ１と物理的に連結される。第二コイル１７ａは、Ｚ方向から見て長方形状を有する。なお、以下の説明において、長方形には、正方形が含まれるものとする。第二コイル１７ａは、一方の第二梁部１４上に配置された配線１７ｂにより、支持部１１上の一対のパッド１７ｃ，１７ｃに電気的に接続される。従って、一対のパッド１７ｃ，１７ｃの間に電流を供給することにより、第二コイル１７ａに電流が供給される。
【００２８】
第一コイル１８ａは、第一可動部１３に配置される。第一コイル１８ａは、下部磁性体２０及びキャップ構造体３０と協働して、ミラー１６を直線Ａ１の周りに揺動させる電磁力を発生させる。従って、第一コイル１８ａ、下部磁性体２０（図２参照）及びキャップ構造体３０（図２参照）は、第一駆動部Ｄ１を構成する。従って、第一駆動部Ｄ１は、ミラー１６と物理的に連結される。また、第一コイル１８ａは、Ｚ方向から見て長方形状を有する。第一コイル１８ａは、第一梁部１５上、第二可動部１２上及び他方の第二梁部１４上に配置された配線１８ｂにより、支持部１１上の一対のパッド１８ｃ，１８ｃに電気的に接続される。従って、一対のパッド１８ｃ，１８ｃの間に電流を供給することにより、第一コイル１８ａに電流が供給される。
【００２９】
上述した構成を有するミラー構造体１０は、例えば、シリコン等の半導体基板に対して異方性エッチング等の加工を行って第二可動部１２、第一可動部１３、第二梁部１４、第一梁部１５を形成することにより、一体として形成される。
【００３０】
図２に示されるように、下部磁性体２０は、一体として形成された直方体形状を有する。下部磁性体２０は、ミラー構造体１０のミラー１６が配置された面の裏面側、すなわちＺ軸負方向側に配置される。
【００３１】
下部磁性体２０は、第一磁性部２１と、第二磁性部２２と、第三磁性部２３と、を有する。第一磁性部２１及び第二磁性部２２は、第二コイル１７ａ及び第一コイル１８ａの各辺が延びる方向（すなわちＸ軸方向及びＹ軸方向）に交差する方向に配置される。より詳細には、第一磁性部２１及び第二磁性部２２は、それぞれ、下部磁性体２０において、下部磁性体２０の底面の対角線方向における一端側及び他端側に配置される。第三磁性部２３は、第一磁性部２１と第二磁性部２２との間に配置される。このように第一磁性部２１、第二磁性部２２及び第三磁性部２３が配置されることにより、第一磁性部２１、第二磁性部２２及び第三磁性部２３は、例えば筐体４０の底面の対角線方向に平行な方向の磁界を発生させる。
【００３２】
キャップ構造体３０は、板状部材であり、Ｚ軸方向から見た場合に矩形を呈する。キャップ構造体３０は、ミラー構造体１０のミラー１６が配置された面側、すなわちＺ軸正方向側に配置される。キャップ構造体３０は、例えばネオジム系磁石又はサマリウムコバルト系磁石を用いて構成してよい。第一領域３１及び第二領域３２は、第二コイル１７ａ及び第一コイル１８ａの各辺が延びる方向（すなわちＸ軸方向及びＹ軸方向）に交差する方向に配列される。
【００３３】
ところで、第一振動系の共振周波数が第二振動系の共振周波数よりも高いことは、既に述べた。この関係に基づいて、以下の説明において、第一振動系に関する構成について「ファスト」の名称を利用して説明することがある。例えば、第一振動系に関する直線Ａ１は、「ファスト軸」（第一駆動軸）ともいい、第一振動系の共振周波数は「ファスト軸共振周波数」ともいい、第一振動系に関する第一コイルは、「ファスト軸コイル」ともいう。一方、第二振動系に関する構成について「スロー」の名称を利用して説明することがある。例えば、第二振動系に関する直線Ａ２は、「スロー軸」（第二駆動軸）ともいい、第二振動系の共振周波数は「スロー軸共振周波数」ともいい、第二振動系に関する第二コイルは、「スロー軸コイル」ともいう。
【００３４】
図５は、制御ユニット３の構成を示すブロック図である。制御ユニット３は、ミラーユニット２を制御するための駆動信号を生成する。制御ユニット３は、コントローラ５１と、ファスト軸コイル駆動回路５２と、スロー軸コイル駆動回路５３と、信号抽出部５４と、を有する。
【００３５】
コントローラ５１は、ファスト軸制御信号（第１制御信号）Ｎ１ａ（図６の（ａ）部参照）とスロー軸制御信号（第２制御信号）Ｎ２ａ（図６の（ｂ）部参照）とを生成する。ファスト軸制御信号Ｎ１ａは、ミラー１６をファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動させる動作のための制御信号である。また、ファスト軸制御信号Ｎ１ａは、第一振動系の共振周波数であるファスト軸共振周波数の成分が含まれた信号である。コントローラ５１は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの波形を正弦波状に設定すると共に、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数（ファスト軸制御周波数）をファスト軸共振周波数（第一の値）に設定する。なお、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの波形は、正弦波状に限らず、矩形状など他の形状であってもよい。スロー軸制御信号Ｎ２ａは、ミラー１６を直線Ａ２の周りに揺動させる動作のための制御信号である。コントローラ５１は、スロー軸制御信号Ｎ２ａの波形をノコギリ波状又は三角波に設定すると共に、スロー軸制御信号Ｎ２ａの周波数（スロー軸制御周波数）を設定する。スロー軸制御周波数は、一般的に、スロー軸共振周波数（第二の値）よりも低く設定される。また、一般的に、スロー軸共振周波数（第二の値）は、ファスト軸共振周波数（第一の値）の１／１００〜１／１０００程度であるため、第二の値は、第一の値よりも小さくなる。なお、スロー軸制御信号Ｎ２ａの波形は、ノコギリ歯状又は三角波に限られない。
【００３６】
ここで、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数は、ミラーユニット２の状態に応じて適宜変更される。ファスト軸共振周波数は、ミラーユニット２が配置された環境や使用時間によって変化する。例えば、温度が変化すると、第一梁部１５を構成する材料のねじり剛性が変化するので、ファスト軸共振周波数も変化する。このため、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を予め設定された固定値とした場合、実際のファスト軸共振周波数（すなわち、第一の値）に対してファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数がずれることがあり得る。そこで、コントローラ５１は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を適宜調整する構成を有する。このファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を調整する構成については、後に詳細に説明する。
【００３７】
ファスト軸コイル駆動回路５２は、コントローラ５１に接続され、コントローラ５１からファスト軸制御信号Ｎ１ａを受け取る。ファスト軸コイル駆動回路５２は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａに応じてファスト軸駆動信号Ｎ１（図６の（ｃ）部参照）を生成する。そして、ファスト軸コイル駆動回路５２は、ファスト軸コイル１８ｆに電気的に接続され、ファスト軸駆動信号Ｎ１をファスト軸コイル１８ｆに出力する。スロー軸コイル駆動回路５３は、コントローラ５１に接続され、コントローラ５１からスロー軸制御信号Ｎ２ａを受け取る。スロー軸コイル駆動回路５３は、スロー軸制御信号Ｎ２ａに応じてスロー軸駆動信号Ｎ２（図６の（ｄ）部参照）を生成する。そして、スロー軸コイル駆動回路５３は、スロー軸コイル１７ｓに電気的に接続され、当該スロー軸駆動信号Ｎ２をスロー軸コイル１７ｓに出力する。
【００３８】
信号抽出部５４は、スロー軸コイル駆動回路５３とスロー軸コイル１７ｓとに電気的に接続される。つまり、信号抽出部５４は、スロー軸駆動部（第二駆動部Ｄ２）と電気的に接続される。信号抽出部５４は、スロー軸コイル１７ｓから出力される合成信号Ｎ３（図６の（ｅ）部参照）を取得する。そして、信号抽出部５４は、取得した合成信号Ｎ３からファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数の生成に用いられる誘起信号Ｎ４（図６の（ｆ）部参照）を抽出する。信号抽出部５４は、抽出された誘起信号Ｎ４をコントローラ５１に出力する。
【００３９】
ここで、発明者は、ファスト軸コイル１８ｆとスロー軸コイル１７ｓとは磁気的には相互に結合され、ファスト軸コイル１８ｆが揺動したときにスロー軸コイル１７ｓにはその揺動に応じて逆起電力が発生することを見出した。この逆起電力に起因する信号が、誘起信号Ｎ４である。この誘起信号Ｎ４は、信号抽出部５４により得られる。信号抽出部５４は、スロー軸コイル１７ｓから得られる合成信号Ｎ３から誘起信号Ｎ４を抽出する。ここで、信号抽出部５４に入力される合成信号Ｎ３（図６の（ｅ）部参照）は、逆起電力に起因する誘起信号Ｎ４（図６の（ｆ）部）に加えて、スロー軸駆動信号Ｎ２（図６の（ｄ）部参照）も含む。そのため、信号抽出部５４は、信号増幅器（シグナルアンプリファイア）５４ａ（信号増幅部）、あるいは信号フィルタ（信号フィルタ部）５４ｂなどを用いて、合成信号Ｎ３から誘起信号Ｎ４を抽出する。例えば、信号増幅器５４ａは、誘起信号Ｎ４が有する周波数成分を増幅する。また、信号フィルタ５４ｂは、誘起信号Ｎ４が有する周波数成分を通過させ、スロー軸駆動信号Ｎ２が有する周波数成分を減衰させる。信号抽出部５４は、信号増幅器５４ａと信号フィルタ５４ｂの両方を含んでもよいし、どちらか一方を含んでもよい。
【００４０】
ここで、信号抽出部５４が抽出する周波数帯域について説明する。図７に示されるように、信号抽出部５４が抽出する帯域（ＢＡ）の周波数は、少なくともスロー軸共振周波数（Ｆｒｓ）より大きい。
【００４１】
例えば、帯域Ｂ１に示される第一範囲（Ｆ１≦Ｆ≦Ｆ２）は、信号抽出部５４が抽出する帯域として適当である。第一下限周波数（Ｆ１）は、ファスト軸共振周波数（Ｆｒｆ）より小さく、且つ、スロー軸駆動信号Ｎ２の周波数（Ｆｄｓ）及びスロー軸共振周波数（Ｆｒｓ）より大きい。第一上限周波数（Ｆ２）は、ファスト軸共振周波数（Ｆｒｆ）より大きい。また、帯域Ｂ２に示される第二範囲（Ｆ３＜Ｆ≦Ｆ２）は、信号抽出部５４が抽出する帯域として適当である。第二下限周波数（Ｆ３）は、スロー軸共振周波数（Ｆｒｓ）以下であり、且つ、スロー軸駆動信号Ｎ２の周波数（Ｆｄｓ）より大きい。すなわち、第二下限周波数（Ｆ３）は、スロー軸駆動信号Ｎ２の周波数（Ｆｄｓ）を含まない。
【００４２】
一方、帯域Ｂ３に示される第三範囲（Ｆ４≦Ｆ≦Ｆ２）は、信号抽出部５４が抽出する帯域として適当でない。第三下限周波数（Ｆ４）は、スロー軸駆動信号Ｎ２の周波数（Ｆｄｓ）以下である。また、帯域Ｂ４に示される第四範囲（Ｆ５≦Ｆ≦Ｆ６）は、信号抽出部５４が抽出する帯域として適当でない。第四下限周波数（Ｆ５）は、スロー軸共振周波数（Ｆｒｓ）より大きい。第二上限周波数（Ｆ６）は、スロー軸共振周波数（Ｆｒｓ）より大きく、且つ、ファスト軸共振周波数（Ｆｒｆ）より小さい。
【００４３】
以下、コントローラ５１の構成と動作とについて具体的に説明する。図８は、コントローラ５１の構成を示すブロック図である。
【００４４】
スロー軸コイル１７ｓにおいて発生した誘起信号Ｎ４は、ファスト軸コイル１８ｆの揺動の周波数と振幅とに依存する。従って、誘起信号Ｎ４を観察することにより、ファスト軸Ａ１ｆの周りにおけるミラー１６の揺動状態を知ることができる。換言すると、誘起信号Ｎ４は、ファスト軸駆動信号Ｎ１ではなく、ファスト軸共振周波数と関連する。図９は、時間波形Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を示す。時間波形Ｇ１は、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数がファスト軸共振周波数（２２．０５ｋＨｚ）と一致した場合における誘起信号Ｎ４を示す。時間波形Ｇ２は、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数がファスト軸共振周波数に１０Ｈｚを加算した周波数（２２．０６ｋＨｚ）と一致した場合における誘起信号Ｎ４を示す。時間波形Ｇ３は、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数がファスト軸共振周波数に１０Ｈｚを減算した周波数（２２．０４ｋＨｚ）と一致した場合における誘起信号Ｎ４を示す。図９からわかるように、例えば、ファスト軸共振周波数とファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数とが一致した場合には、ファスト軸駆動信号Ｎ１の位相とミラー１６のファスト軸Ａ１ｆの周りにおける揺動の位相とのずれ（位相差）は一定値（例えば、ゼロ）である。一方、ファスト軸共振周波数と、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数とが一致しない場合には、ファスト軸駆動信号Ｎ１の位相とミラー１６のファスト軸Ａ１ｆの周りにおける揺動の位相との間にずれ（位相差）が生じる。すなわち、ファスト軸駆動信号Ｎ１の位相とスロー軸コイル１７ｓに発生した誘起信号Ｎ４の位相との間の位相差（図９の位相差Δφ１、Δφ２参照）を得ることにより、ファスト軸Ａ１ｆの周りにおけるミラー１６の揺動が共振状態であるか否かを知ることができる。従って、ファスト軸駆動信号Ｎ１の位相とスロー軸コイル１７ｓに発生した誘起信号Ｎ４の位相との位相差が一定値（例えば、ゼロ）になるように、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数を調整すればよい。
【００４５】
そこで、コントローラ５１は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を調整して位相差を一定値（例えば、ゼロ）に近づける。図８に示されるように、コントローラ５１は、制御部６１と、スロー軸波形生成部６２と、ファスト軸波形生成部６３と、含む。制御部６１は、スロー軸波形生成部６２とファスト軸波形生成部６３との動作を制御する。
【００４６】
スロー軸波形生成部６２は、ノコギリ波状のスロー軸制御信号Ｎ２ａを生成する。そして、スロー軸波形生成部６２は、生成した信号をスロー軸コイル駆動回路５３に出力する。
【００４７】
ファスト軸波形生成部６３は、正弦波状のファスト軸制御信号Ｎ１ａを生成する。そして、ファスト軸波形生成部６３は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａをファスト軸コイル駆動回路５２に出力する。
【００４８】
ファスト軸波形生成部６３は、位相比較器６３ａと、ループフィルタ６３ｂと、電圧制御発振器６３ｃとを有する。これらの構成によれば、ファスト軸波形生成部６３は、いわゆる位相同期回路（ＰＬＬ：Phase Lock Loop）としての機能を有する。つまり、ファスト軸波形生成部６３は、電圧制御発振器６３ｃにおいて生成されたファスト軸制御信号Ｎ１ａの位相と信号抽出部５４から入力された誘起信号Ｎ４の位相とを同期させる。位相比較器６３ａは、信号抽出部５４から入力された誘起信号Ｎ４と電圧制御発振器６３ｃから入力されたファスト軸制御信号Ｎ１ａとを比較することにより位相差を得る。そして、位相比較器６３ａは、位相差に対応する位相信号をループフィルタ６３ｂに出力する。ループフィルタ６３ｂは、位相信号に含まれる不要な高周波成分を減衰させることにより処理位相信号を得る。そして、ループフィルタ６３ｂは、電圧制御発振器６３ｃに処理位相信号を出力する。電圧制御発振器６３ｃは、ループフィルタ６３ｂから入力された処理位相信号の大きさ（電圧）に対応する周波数を出力する。
【００４９】
続いて、ミラー装置１の駆動方法について説明する。図１０は、ミラーの駆動方法における主要なステップを示す図である。図１０に示されるように、まず、ミラー１６をファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動させるステップ（搖動ステップ）Ｓ１を行う。このステップＳ１は、制御ユニット３のコントローラ５１、ファスト軸コイル駆動回路５２及びファスト軸コイル１８ｆにより行われる。次に、スロー軸駆動部Ｄ２から合成信号Ｎ３を得るステップ（取得ステップ）Ｓ２を行う。このステップＳ２は、スロー軸コイル１７ｓ及び制御ユニット３の信号抽出部５４により行われる。
【００５０】
次に、合成信号Ｎ３から誘起信号Ｎ４を抽出するステップ（抽出ステップ）Ｓ３を実行する。このステップＳ３は、制御ユニット３の信号抽出部５４により行われる。次に、誘起信号Ｎ４に応じて、ファスト軸制御信号Ｎ１ａを生成するステップ（生成ステップ）Ｓ４を実行する。このステップＳ４は、制御ユニット３のコントローラ５１により行われる。より詳細には、ステップＳ４は、コントローラ５１の制御部６１、ファスト軸波形生成部６３、電圧制御発振器６３ｃ、ループフィルタ６３ｂ及び位相比較器６３ａによって行われる。
【００５１】
上記ステップＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４を繰り返し実行することにより、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの位相と誘起信号Ｎ４の位相との間の位相差が一定値（例えば、ゼロ）に近づく。従って、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数が、ファスト軸共振周波数（Ｆｒｆ）に維持されるため、ファスト軸Ａ１ｆの周りにおけるミラー１６の揺動が共振状態に維持される。
【００５２】
ミラーユニット２では、ミラー１６が、ファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動される。このミラー１６がファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動する間に、信号抽出部５４は、スロー軸駆動部Ｄ２から合成信号Ｎ３を得る。具体的には、信号抽出部５４は、スロー軸駆動部Ｄ２のスロー軸コイル１７ｓから合成信号Ｎ３を得る。この合成信号Ｎ３は、誘起信号Ｎ４を含む。誘起信号Ｎ４は、ミラー１６をファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動させる動作に起因してスロー軸駆動部Ｄ２に発生した信号である。つまり誘起信号Ｎ４は、ミラー１６の動作に起因するので、誘起信号Ｎ４の周波数はファスト軸Ａ１ｆに対するミラー１６の揺動における周波数に対応する。ファスト軸Ａ１ｆに対するミラー１６の揺動における周波数は、スロー軸Ａ２ｓに対するミラー１６の周波数よりも高い。従って、スロー軸駆動部Ｄ２から得られる合成信号Ｎ３から容易に誘起信号Ｎ４を抽出することが可能である。そして、信号生成部５０は、信号抽出部５４及びファスト軸駆動部（第一駆動部Ｄ１）と電気的に接続されており、誘起信号Ｎ４に応じて、ファスト軸コイル１８ｆに提供する駆動信号を生成する。従って、ファスト軸コイル１８ｆによってミラー１６を揺動させた結果を、スロー軸コイル１７ｓから誘起信号Ｎ４として得ることが可能になる。これにより、ファスト軸Ａ１ｆに対するミラー１６の揺動に関するフィードバックループ系が構成されるので、ファスト軸Ａ１ｆに対するミラー１６を確実に共振状態として駆動することができる。
【００５３】
なお、上述した実施形態はミラー装置及びミラーの駆動方法の一例を示すものである。ミラー装置及びミラーの駆動方法は、実施形態に係るミラー装置及びミラーの駆動方法に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、変形し又は他のものに適用したものであってもよい。
【００５４】
上記実施形態では、ミラー１６をファスト軸Ａ１ｆ及びスロー軸Ａ２ｓの周りに揺動させたが、この構成に限定されない。例えば、ミラー１６は、ファスト軸Ａ１ｆの周りにのみ揺動させる構成であってもよい。この場合であっても、ミラー１６をファスト軸Ａ１ｆの周りに揺動させると、スロー軸コイル１７ｓに逆起電力が生じる。従って、この逆起電力を用いることにより、フィードバックループ系を容易に構成することができるので、ミラー１６を確実に共振状態として駆動できる。
【００５５】
上記実施形態では、ファスト軸波形生成部６３は、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの位相と誘起信号Ｎ４の位相との間の位相差に応じて、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を調整した。図９からわかるように、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数とファスト軸共振周波数とのずれは、位相差だけでなく、誘起信号Ｎ４の振幅にも影響を及ぼす。そこで、誘起信号Ｎ４の振幅に応じて、ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数を調整してもよい。ファスト軸制御信号Ｎ１ａの周波数がファスト軸共振周波数に対してずれていると、ミラー１６の揺動は共振状態ではない。そうすると、ミラー１６の揺動が共振動作であるときの揺動角よりも、揺動が共振状態ではないミラー１６の揺動角が小さくなる。揺動角が小さい場合には、ファスト軸コイル１８ｆが発生させる磁界の変動の大きさも小さくなる。従って、スロー軸コイル１７ｓに生じる逆起電力の大きさ（即ち誘起信号Ｎ４の振幅）も小さくなる（図９の振幅Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３参照）。そこで、ファスト軸波形生成部６３は、ファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数を所定の周波数帯域において掃引する。そして、ファスト軸波形生成部６３は、誘起信号Ｎ４の振幅が最大値となる周波数がファスト軸共振周波数であると決定する。このような振幅を用いたファスト軸駆動信号Ｎ１の周波数の調整によっても、フィードバックループ系を容易に構成することができるので、ミラー１６を確実に共振状態として駆動できる。
【００５６】
上記実施形態では、ファスト軸波形生成部６３における位相同期機能は、アナログ回路として構成した。ファスト軸波形生成部６３における位相同期機能は、アナログ回路だけでなく、デジタル回路として構成されてもよいし（図１１参照）、アナログ回路とデジタル回路とを組み合わせた構成であってもよい（図１２参照）。
【００５７】
図１１に示されるように、デジタル回路として構成されたコントローラ５１Ａは、デジタル制御部６１Ａと、スロー軸波形生成部６２Ａと、ファスト軸波形生成部６３Ａと、を有する。デジタル制御部６１Ａは、スロー軸波形生成部６２Ａとファスト軸波形生成部６３Ａとの動作を制御する。スロー軸波形生成部６２Ａは、スロー軸コイル駆動回路５３に提供されるスロー軸制御信号Ｎ２ａを生成する。スロー軸波形生成部６２Ａは、ＤＡコンバータ６２ａを有する。ＤＡコンバータ６２ａは、デジタル値としてデジタル制御部６１Ａからスロー軸波形生成部６２Ａに出力されたスロー軸制御信号Ｎ２ａを、アナログ値に変換する。そして、ＤＡコンバータ６２ａは、アナログ値に変換されたスロー軸制御信号Ｎ２ａをスロー軸コイル駆動回路５３に出力する。ファスト軸波形生成部６３Ａは、ファスト軸コイル駆動回路５２に提供されるファスト軸制御信号Ｎ１ａを生成する。ファスト軸波形生成部６３Ａは、ＡＤコンバータ６３ｄと、ＤＡコンバータ６３ｅと、を有する。ＡＤコンバータ６３ｄは、信号抽出部５４からアナログ値である誘起信号Ｎ４を受け入れて、誘起信号Ｎ４をデジタル値に変換する。そして、ＡＤコンバータ６３ｄは、デジタル値に変換された誘起信号Ｎ４をデジタル制御部６１Ａに出力する。デジタル制御部６１Ａは、誘起信号Ｎ４に応じて周波数が調整されたファスト軸制御信号Ｎ１ａをデジタル値としてＤＡコンバータ６３ｅに出力する。このコントローラ５１Ａでは、位相の比較をデジタル制御部６１Ａによって行う。ＤＡコンバータ６３ｅは、デジタル値としてデジタル制御部６１Ａからファスト軸波形生成部６３Ａに出力されたファスト軸制御信号Ｎ１ａを、アナログ値に変換する。そして、ＤＡコンバータ６３ｅは、アナログ値に変換されたファスト軸制御信号Ｎ１ａをファスト軸コイル駆動回路５２に出力する。
【００５８】
図１２に示されるように、デジタル回路として構成されたコントローラ５１Ｂは、デジタル制御部６１Ａと、スロー軸波形生成部６２Ａと、ファスト軸波形生成部６３Ｂと、を有する。デジタル制御部６１Ａ及びスロー軸波形生成部６２Ａは、図１１に示されたコントローラ５１Ａが有するデジタル制御部６１Ａ及びスロー軸波形生成部６２Ａと同様の構成を有するため、詳細な説明は省略する。ファスト軸波形生成部６３Ｂは、位相比較器６３ａと、ＡＤコンバータ６３ｄと、ＤＡコンバータ６３ｅと、を有する。位相比較器６３ａは、ＤＡコンバータ６３ｅから出力されるファスト軸制御信号Ｎ１ａの位相と、信号抽出部５４から出力される誘起信号Ｎ４の位相との位相差に関する信号を得る。そして、位相比較器６３ａは、位相差に関する信号をＡＤコンバータ６３ｄに出力する。ＡＤコンバータ６３ｄは、位相比較器６３ａから出力された位相差に関する信号を受け入れて、位相差に関する信号をデジタル値に変換する。そして、ＡＤコンバータ６３ｄは、デジタル値に変換された信号をデジタル制御部６１Ａに出力する。このコントローラ５１Ｂでは、位相の比較を位相比較器６３ａによって行う。
【００５９】
上記実施形態では、信号抽出部５４は、誘起信号Ｎ４を電圧として取り扱った。信号抽出部５４は、誘起信号Ｎ４を電流として取り扱ってもよい。換言すると、スロー軸コイル１７ｓに発生する逆起電力は、電流の変動として扱ってもよい。この場合には、電流の変動を示された合成信号Ｎ３から、直接に誘起信号Ｎ４を抽出してもよい。また、図１３に示されるように、ミラー装置１Ｃの制御ユニット３Ｃは、スロー軸コイル１７ｓと信号抽出部５４との間に電流電圧変換回路５８を有してもよい。そして、電流電圧変換回路５８において、電流の変動として出力された合成信号Ｎ３を電圧に変換した後に、変換された合成信号Ｎ３を信号抽出部５４に入力してもよい。
【００６０】
また、ミラー装置１は、光照射装置や画像取得装置に用いられる。例えば、図１４は、ヘッドアップディスプレイあるいはプロジェクターなどである光照射装置７を示す。光照射装置７は、光源７１及びミラー装置１を備えており、フロントガラスやスクリーンといった対象物Ｓに光を照射する。また、図１５は、顕微鏡装置などの画像取得装置８を示す。顕微鏡装置としては、例えば、反射型顕微鏡あるいは透過型顕微鏡、蛍光顕微鏡、共焦点顕微鏡、ライトシート顕微鏡、ＳＴＥＤ顕微鏡が挙げられる。画像取得装置８は、光照射装置７に加え、光照射装置７から出力された光を対象物Ｓに照射する対物レンズ８１と、光の照射に伴い対象物Ｓで発生する光（例えば、蛍光あるいは透過光、反射光など）を検出する光検出器８２と、光検出器８２から出力される検出信号に基づいて対象物Ｓの画像を生成するコンピュータ８３とを備える。光検出器８２として、イメージセンサあるいはフォトダイオード、光電子増倍管などが挙げられる。また、対象物Ｓで発生する光は、ミラー装置１を介して光検出器８２で検出されてもよいし、ミラー装置１を介さずに光検出器８２で検出されてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１…ミラー装置、２…ミラーユニット、３…制御ユニット、１０…ミラー構造体、１１…支持部、１２…第二可動部、１３…第一可動部、１４…第二梁部、１５…第一梁部、１６…ミラー、１７ａ…第二コイル、１７ｓ…スロー軸コイル、１８ａ…第一コイル、１８ｆ…ファスト軸コイル、２０…下部磁性体、３０…キャップ構造体、４０…筐体、５０…信号生成部、５１，５１Ａ，５１Ｂ…コントローラ、５２…ファスト軸コイル駆動回路、５３…スロー軸コイル駆動回路、５４…信号抽出部、５４ａ…信号増幅器、５４ｂ…信号フィルタ、６３ａ…位相比較器、６３ｂ…ループフィルタ、６３ｃ…電圧制御発振器、５８…電流電圧変換回路、６１…制御部、６１Ａ…デジタル制御部、６２，６２Ａ…スロー軸波形生成部、６２ａ，６３ｅ…ＤＡコンバータ、６３，６３Ａ，６３Ｂ…ファスト軸波形生成部、６３ｄ…ＡＤコンバータ、Ａ１ｆ…ファスト軸、Ａ２ｓ…スロー軸、Ｄ１…第一駆動部、Ｄ２…第二駆動部、Ｎ１…ファスト軸駆動信号、Ｎ２…スロー軸駆動信号、Ｎ３…合成信号、Ｎ４…誘起信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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