(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体収納容器の開口部に取り付けられるコネクタであって、
前記開口部に取り付けられるプラグと、
前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、
前記プラグが、
前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、
前記ソケットが、
前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成されたソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部に対して前記ソケット本体を固定するロック機構と、
前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、
前記開閉機構による前記閉状態から前記開状態への切り替えを規制する規制機構と、を有し、
前記開閉機構が、
前記ロック機構による前記開口部に対する前記ソケット本体の固定が前記開状態において解除されることを規制する規制部材と、
作業者による操作を受け付けて前記規制機構により前記閉状態から前記開状態への切り替えが規制された規制状態を解除する解除機構と、を有し、
前記開口部が、第１軸線を中心とした円筒状に形成されており、
前記ソケット本体には、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように前記第１軸線と交差する第２軸線に沿って円筒状の挿入穴が形成されており、
前記ソケットが、前記第２軸線上の前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２軸線上の前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有して前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブを有し、
前記規制機構が、前記第１軸線に沿って延びる軸状部材と、前記開閉機構へ向けて前記軸状部材を付勢する付勢部材と、を有し、
前記開閉機構が、前記ロータリバルブを前記第２軸線回りに回転させることにより前記開状態と前記閉状態とを切り替えるとともに前記閉状態となる場合に前記軸状部材を収容して前記ロータリバルブの回転を規制する収容穴を有し、
前記解除機構が、前記収容穴に収容された前記軸状部材を前記付勢部材による付勢力に対向する方向に付勢することにより前記規制状態を解除するコネクタ。
【請求項２】
前記開閉機構が、前記開状態となる場合に前記ロータリバルブの回転を規制せずに前記軸状部材の先端部を収容する凹部を有する請求項１に記載のコネクタ。
【請求項３】
前記開口部が、前記第１軸線を中心とした円筒状に形成されるとともに外周面に前記第１軸線回りの周方向に沿って係合溝が形成されており、
前記ロック機構が、
前記係合溝に係合される複数のロックボールと、
前記第１軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記ロックボールの外径よりも小径の複数の開口穴を有する第１円筒状部材と、
前記第１軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記第１円筒状部材の外周側に配置され、前記開口穴に収容される前記ロックボールを前記係合溝に係合した状態に規制する規制部を有する第２円筒状部材と、
前記第１軸線に沿った一端が前記第１円筒状部材に固定されるとともに前記第１軸線に沿った他端が前記第２円筒状部材に固定され、前記規制部が前記ロックボールに接触する位置に向けて前記第２円筒状部材を付勢する付勢力発生部とを有する請求項１または請求項２に記載のコネクタ。
【請求項４】
液体収納容器の開口部に取り付けられるプラグに着脱可能に取り付けられるソケットであって、
前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有しており、
前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成されたソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部に対して前記ソケット本体を固定するロック機構と、
前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、
前記開閉機構による前記閉状態から前記開状態への切り替えを規制する規制機構と、を有し、
前記開閉機構が、
前記ロック機構による前記開口部に対する前記ソケット本体の固定が前記開状態において解除されることを規制する規制部材と、
作業者による操作を受け付けて前記規制機構により前記閉状態から前記開状態への切り替えが規制された規制状態を解除する解除機構と、を有し、
前記開口部が、第１軸線を中心とした円筒状に形成されており、
前記ソケット本体には、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように前記第１軸線と交差する第２軸線に沿って円筒状の挿入穴が形成されており、
前記ソケットが、前記第２軸線上の前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２軸線上の前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有して前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブを有し、
前記規制機構が、前記第１軸線に沿って延びる軸状部材と、前記開閉機構へ向けて前記軸状部材を付勢する付勢部材と、を有し、
前記開閉機構が、前記ロータリバルブを前記第２軸線回りに回転させることにより前記開状態と前記閉状態とを切り替えるとともに前記閉状態となる場合に前記軸状部材を収容して前記ロータリバルブの回転を規制する収容穴を有し、
前記解除機構が、前記収容穴に収容された前記軸状部材を前記付勢部材による付勢力に対向する方向に付勢することにより前記規制状態を解除するソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コネクタおよびソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造に用いられる薬液等の液体収納容器に取り付けられるプラグおよびソケットが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示されるプラグおよびソケットは、ガス供給管からソケットに供給されるガスにより容器の内部を加圧し、容器に収容される液体をサイフォン管、プラグ、およびソケットを介して外部管路へ導くものである。また、特許文献１に開示されるソケットは、スリーブに設けられた内ネジを容器入口に形成された外ネジに締結することにより、容器入口に対して固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１７３３２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるソケットは、内部に形成される液体戻り流路を開閉する開閉機構を備えていない。そのため、ソケットをプラグから取り外す際に、液体戻り流路に存在する液体が外部へ流出してしまう。
また、特許文献１に開示されるソケットに開閉機構を設けたとしても、開状態において容器入口に対するソケットの固定を解除してしまうと、液体戻り流路に存在する液体が外部へ流出してしまう。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止したコネクタおよびソケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかるコネクタは、液体収納容器の開口部に取り付けられるコネクタであって、前記開口部に取り付けられるプラグと、前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、前記ソケットが、前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成されたソケット本体と、前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部に対して前記ソケット本体を固定するロック機構と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、を有し、前記開閉機構が、前記ロック機構による前記開口部に対する前記ソケット本体の固定が前記開状態において解除されることを規制する規制部材を有する。
【０００７】
本発明の一態様にかかるコネクタによれば、プラグが液体収納容器の開口部に取り付けられ、ソケットがプラグに取り付けられた状態で、外部のポンプにより液体を吸入することにより、プラグの第１液体流出流路から取り出される液体がソケットの第２液体流出流路を介して外部へ流出する。また、外部のポンプにより循環する液体が、ソケットの第２液体流入流路を介してプラグの第１液体流入流路から液体収納容器の内部へ導かれる。このように、本発明の一態様にかかるコネクタは、液体収納容器に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器への流入とが可能な構造となっている。
【０００８】
また、本発明の一態様にかかるコネクタによれば、開閉機構により、液体の流出および流入が可能な開状態と液体の流出および流入を遮断する閉状態とが切り替えられる。そのため、開閉機構により閉状態を維持することにより、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止することができる。
さらに、本発明の一態様にかかるコネクタによれば、開閉機構の開状態においては、規制部材により開口部に対するソケット本体の固定が解除されることが規制される。そのため、開状態のまま開口部に対するソケット本体の固定が解除されることが防止され、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止することができる。
【０００９】
本発明の一態様にかかるコネクタにおいては、前記ソケットが、前記開閉機構による前記閉状態から前記開状態への切り替えを規制する規制機構を有する構成としてもよい。
このようにすることで、例えば、液体収納容器の開口部に対するソケット本体の固定が解除されている場合に、開閉機構が意図せずに閉状態から開状態へ切り替えられてしまう不具合を防止することができる。
【００１０】
上記構成のコネクタにおいては、前記開閉機構が、作業者による操作を受け付けて前記規制機構により前記閉状態から前記開状態への切り替えが規制された規制状態を解除する解除機構を有する形態であってもよい。
このようにすることで、開閉機構の規制状態を、操作者から閉状態を開状態へ切り替えるための操作を受け付けた場合に限って解除することができる。
【００１１】
上記形態のコネクタにおいては、前記開口部が、第１軸線を中心とした円筒状に形成されており、前記ソケット本体には、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように前記第１軸線と交差する第２軸線に沿って円筒状の挿入穴が形成されており、前記ソケットが、前記第２軸線上の前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２軸線上の前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有して前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブを有し、前記規制機構が、前記第１軸線に沿って延びる軸状部材と、前記開閉機構へ向けて前記軸状部材を付勢する付勢部材と、を有し、前記開閉機構が、前記ロータリバルブを前記第２軸線回りに回転させることにより前記開状態と前記閉状態とを切り替えるとともに前記閉状態となる場合に前記軸状部材を収容して前記ロータリバルブの回転を規制する収容穴を有し、前記解除機構が、前記収容穴に収容された前記軸状部材を前記付勢部材による付勢力に対向する方向に付勢することにより前記規制状態を解除してもよい。
【００１２】
上記のコネクタによれば、開閉機構が、ソケット本体の円筒状の挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブを回転させることにより開状態と閉状態とを切り替える。
付勢部材により開閉機構へ向けて付勢される軸状部材は、閉状態となる場合に開閉機構が有する収容穴に収容される。これにより、意図しない操作等によりロータリバルブが回転して閉状態が開状態に切り替わる不具合が防止される。
また、操作者による操作を受け付けて収容穴に収容された軸状部材がロック機構へ付勢されると、開閉機構の規制状態が解除される。これにより、開閉機構の規制状態を、操作者から閉状態を開状態へ切り替えるための操作を受け付けた場合に限って解除することができる。
【００１３】
上記のコネクタにおいては、前記開閉機構が、前記開状態となる場合に前記ロータリバルブの回転を規制せずに前記軸状部材の先端部を収容する凹部を有していてもよい。
このようにすることで、作業者は、開閉機構を操作してロータリバルブを開状態としたことを、軸状部材の先端部が凹部へ収容される際の振動あるいは音により認識することができる。そのため、作業者が開状態であることを認識できずに開閉機構を過度に回転させてしまう不具合を抑制することができる。
【００１４】
本発明の一態様にかかるコネクタにおいては、前記開口部が、第１軸線を中心とした円筒状に形成されるとともに外周面に前記第１軸線回りの周方向に沿って係合溝が形成されており、前記ロック機構が、前記係合溝に係合される複数のロックボールと、前記第１軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記ロックボールの外径よりも小径の複数の開口穴を有する第１円筒状部材と、前記第１軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記第１円筒状部材の外周側に配置され、前記開口穴に収容される前記ロックボールを前記係合溝に係合した状態に規制する規制部を有する第２円筒状部材と、前記第１軸線に沿った一端が前記第１円筒状部材に固定されるとともに前記第１軸線に沿った他端が前記第２円筒状部材に固定され、前記規制部が前記ロックボールに接触する位置に向けて前記第２円筒状部材を付勢する付勢力発生部とを有する構成としてもよい。
【００１５】
本構成のコネクタによれば、作業者は、プラグが固定された液体収納容器の開口部にソケットを取り付ける際に、第２円筒状部材に触れずにソケットをプラグに押し込むことにより、ロックボールを退避した状態とすることができる。これは、作業者がソケットを押し込む力が付勢力発生部の付勢力に対抗する力となり、ロックボールが退避可能となるように第２円筒状部材が移動するからである。
そして、作業者は、ロックボールが係合溝の位置に到達するまでソケットをプラグに押し込むことにより、付勢力発生部の付勢力によってロックボールが係合溝に固定された状態とする。このように、作業者は、煩雑な作業を必要とせずにソケットが開口部の外周面に固定された状態とすることができる。
【００１６】
本発明の一態様にかかるソケットは、液体収納容器の開口部に取り付けられるプラグに着脱可能に取り付けられ、前記プラグが、前記液体収納容器に収納された液体を取り出す第１液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第１液体流入流路とが内部に形成されたプラグ本体を有しており、前記第１液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第２液体流出流路と前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第１液体流入流路へ導く第２液体流入流路とが内部に形成されたソケット本体と、前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部に対して前記ソケット本体を固定するロック機構と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通しかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通した開状態と、前記第１液体流出流路と前記第２液体流出流路とが連通せずかつ前記第１液体流入流路と前記第２液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、前記開閉機構による前記閉状態から前記開状態への切り替えを規制する規制機構と、を有し、前記開閉機構が、前記ロック機構による前記開口部に対する前記ソケット本体の固定が前記開状態において解除されることを規制する規制部材と、作業者による操作を受け付けて前記規制機構により前記閉状態から前記開状態への切り替えが規制された規制状態を解除する解除機構と、を有し、前記開口部が、第１軸線を中心とした円筒状に形成されており、前記ソケット本体には、前記第２液体流出流路および前記第２液体流入流路を貫通するように前記第１軸線と交差する第２軸線に沿って円筒状の挿入穴が形成されており、前記ソケットが、前記第２軸線上の前記第２液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第２軸線上の前記第２液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有して前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブを有し、前記規制機構が、前記第１軸線に沿って延びる軸状部材と、前記開閉機構へ向けて前記軸状部材を付勢する付勢部材と、を有し、前記開閉機構が、前記ロータリバルブを前記第２軸線回りに回転させることにより前記開状態と前記閉状態とを切り替えるとともに前記閉状態となる場合に前記軸状部材を収容して前記ロータリバルブの回転を規制する収容穴を有し、前記解除機構が、前記収容穴に収容された前記軸状部材を前記付勢部材による付勢力に対向する方向に付勢することにより前記規制状態を解除する。
【００１７】
本発明の一態様にかかるソケットによれば、上述したコネクタと同様に、開閉機構により、液体の流出および流入が可能な開状態と液体の流出および流入を遮断する閉状態とが切り替えられる。そのため、開閉機構により閉状態を維持することにより、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止することができる。
さらに、本発明の一態様にかかるソケットによれば、開閉機構の開状態においては、規制部材により開口部に対するソケット本体の固定が解除されることが規制される。そのため、開状態のまま開口部に対するソケット本体の固定が解除されることが防止され、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ソケットをプラグから取り外す際に液体が外部へ流出する不具合を防止したコネクタおよびソケットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態の液体供給システムを示す構成図である。
【図２】ソケットがプラグから離間し、かつキーリングが開口部から離間した状態のコネクタを正面からみた部分縦断面図である。
【図３】ソケットがプラグに装着され、かつキーリングが開口部に取り付けられた状態のコネクタを正面からみた部分縦断面図である。
【図４】図３に示すソケットの正面図である。
【図５】図４に示すソケットのII-II矢視断面図である。
【図６】図３に示す開状態のソケットの左側面図である。
【図７】閉状態のソケットの左側面図である。
【図８】図３のI部分の部分拡大図である。
【図９】図３のI部分の部分拡大図である。
【図１０】図３のI部分の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態の液体供給システムについて図面を参照して説明する。
図１に示す本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００に収容される液体をポンプ６００により吸引して複数の供給先装置７００へ供給するシステムである。
各供給先装置７００への液体の供給量は、供給先装置７００に設けられた流量調整弁により調整される。ポンプ６００により吸引された液体のうち、供給先装置７００に供給されなかった残りの分は、循環量調整弁８００を経由して再び液体収納容器５００に戻される。
【００２１】
このように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００から取り出された液体の一部を供給先装置７００へ供給し、残りの液体を再び液体収納容器５００に戻して循環させるようになっている。これは、液体収納容器５００に収容される液体が、固体粒子が分散した懸濁液であるスラリーであるため、固体粒子が液体収納容器５００の底部に沈殿しないようにするためである。
なお、液体供給システムが循環させる液体の流量は、循環量調整弁８００の開度により調整される。
【００２２】
ここで、本実施形態における液体として用いられるスラリーとは、例えば、半導体製造におけるウエハ研磨方法であるケミカル・メカニカル・ポリッシングに用いられるシリカ系あるいはセリア系の研磨材を含む液体である。
図１に示すように、本実施形態の液体供給システムが備える液体収納容器５００は、液体を収容する容器本体５２０と、容器本体５２０の上面（天板）に設けられ軸線（第１軸線）Ｘ１回りに円筒形状に形成された開口部５１０とを備える。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられるコネクタ４００を備えている。コネクタ４００は、液体収納容器５００に収容される液体を取り出してポンプ６００まで送る液体流出流路と、循環量調整弁８００を経由した液体を液体収納容器５００へ戻す液体流入流路と、液体収納容器５００から減少した液体量に応じた外気を導入する気体流路とを備えた装置である。本実施形態のコネクタ４００は、液体の流出と、液体の流入と、減少した液体量に応じた外気の置換とを、１箇所の開口部５１０に取り付けた１つの装置で実現するものである。
【００２４】
以下、本実施形態のコネクタ４００について、図面を参照して説明する。
図２および図３に示すように、本実施形態のコネクタ４００は、液体収納容器５００の上面に設けられた開口部５１０の内周面に形成された雌ねじ５１２に固定されるプラグ２００と、開口部５１０の外周面に取り付けられるキーリング（開口部）３００と、プラグ２００に着脱可能に取り付けられるソケット１００と、を備える。
図２は、ソケット１００がプラグ２００から離間し、かつキーリング３００が開口部５１０から離間した状態を示すコネクタ４００の縦断面図である。また、図３は、ソケット１００がプラグ２００に装着され、かつキーリング３００が開口部５１０に取り付けられた状態を示す。
【００２５】
図２に示すように、キーリング３００は、軸線Ｘ１に沿って延びる円筒状に形成される樹脂材料製の部材である。キーリング３００は、軸線Ｘ１周りに延びる無端状の係合溝３１０が外周面に形成され、軸線Ｘ１周りに延びる無端状の係合突起３２０が外周面に形成された部材である。係合突起３２０の内径は、液体収納容器５００の開口部５１０の外径よりも小さくなっている。また、係合突起３２０の内径は、開口部５１０に形成される係合溝５１１の外径と略一致している。
【００２６】
樹脂材料製のキーリング３００を、治具（図示略）を用いて開口部５１０に向けて押し付けることにより、キーリング３００が弾性変形する。これにより、キーリング３００の内周面に形成された係合突起３２０が開口部５１０の外周面に形成された係合溝５１１に係合する状態となり、キーリング３００が開口部５１０に固定される。
【００２７】
キーリング３００は、図４に示すソケット１００が備える複数のキーロッド１６０を収容する複数のキー穴部３３０（図５参照）を備える。ソケット１００が備える複数のキーロッド１６０の位置と、これらを収容するキー穴部の位置とが一致していない場合、ソケット１００をキーリング３００に固定することができない。これにより、ソケット１００が、適切でないキーリング３００が取り付けられた液体収納容器５００の開口部５１０に対して取り付けられてしまう誤接続を防止することができる。
【００２８】
以下、本実施形態のコネクタ４００が備えるプラグ２００について説明する。
図２に示すように、プラグ２００は、プラグ本体２１０と、プラグ本体２１０の下方に取り付けられるとともに軸線Ｘ１回りに円筒状に形成される内側管２２０と、プラグ本体２１０に取り付けられる円筒状の外側管２３０と、外側管２３０と内側管２２０の間を封止する封止部材２４０とを有する。
プラグ２００を構成する各部材は、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂材料あるいはＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン）等の結晶性の熱可塑性樹脂により形成されている。
【００２９】
プラグ本体２１０は、軸線Ｘ１回りに略円筒状に形成されるとともに上端部の外周面に雄ねじ２１０ａが形成された部材である。プラグ本体２１０の雄ねじ２１０ａを開口部５１０の内周面に形成される雌ねじ５１２に締結することにより、プラグ本体２１０が開口部５１０の内周面に固定される。
【００３０】
また、プラグ本体２１０の内部には、第１液体流出流路２１１と、第１液体流入流路２１２とが形成されている。
第１液体流出流路２１１は、液体収納容器５００に収納された液体を取り出して流出ポート１０へ導く流路である。第１液体流入流路２１２は、液体収納容器５００の外部から流入ポート２０を介して流入する液体を液体収納容器５００の内部へ導く流路である。
【００３１】
内側管２２０は、軸線Ｘ１に沿って円筒状に形成される部材である。図１に示すように、プラグ２００が液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられた状態で、内側管２２０の下端部２２０ａは、液体収納容器５００の底部近傍に配置される。
内側管２２０は、プラグ本体２１０の下端に熱溶着により取り付けられるとともに液体収納容器５００に収容される液体をプラグ本体２１０の第１液体流出流路２１１へ導く。
【００３２】
外側管２３０は、軸線Ｘ１に沿って円筒状に形成される部材である。図１および図２に示すように、プラグ２００が液体収納容器５００の開口部５１０に取り付けられた状態で、外側管２３０の下端部２３０ａは、内側管２２０の下端部２２０ａの上方に配置される。
外側管２３０は、プラグ本体２１０の下方の外周面に圧入により取り付けられるとともに内側管２２０の外側に配置される。外側管２３０の内周面は、内側管２２０の外周面との間に、プラグ本体２１０の第１液体流入流路２１２へ導かれた液体を液体収納容器５００の内部へ導く環状流路２１４を形成する。
外側管２３０の下端部２３０ａには、軸線Ｘ１回りの複数箇所（例えば、９０°間隔で４箇所）に、環状流路２１４から液体収納容器５００の内部へ液体を流出させる複数の流出孔２３１が形成されている。
【００３３】
封止部材２４０は、外側管２３０の下端部２３０ａの内周面と内側管２２０の外周面との間を封止する部材である。封止部材２４０は、環状流路２１４から流入する液体が軸線Ｘ１に沿ってそのまま液体収納容器５００の底面へ導かれることを防止する。環状流路２１４の下端が封止部材２４０により封止されているため、環状流路２１４の下端に到達した液体は、図２に矢印で示すように、流出孔２３１を介して液体収納容器５００の内部へ流出する。
【００３４】
環状流路２１４を沿って上方から下方へ向けて落下する液体が複数の流出孔２３１から水平方向（軸線Ｘ１に直交する方向）に流出するため、複数の流出孔２３１が開口する複数の方向に液体が流出し、液体収納容器５００の底面付近の液体が良好に流動する。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー（固体粒子が分散した懸濁液）である場合には、液体収納容器５００の底面付近において固体粒子と液体とが良好に混合した状態が維持される。
以上の説明においては、外側管２３０の下端部２３０ａに複数の流出孔２３１が形成されるものとしたが、外側管２３０の下端部２３０ａに単一の流出孔２３１を形成するようにしてもよい。
【００３５】
以下、本実施形態のコネクタ４００が備えるソケット１００について説明する。
図２に示すように、ソケット１００は、ソケット本体１１０と、ソケット本体１１０に取り付けられるボールロック機構１２０と、ソケット本体１１０に形成された円筒状の挿入穴１１４に挿入される円柱状のロータリバルブ１３０と、ロータリバルブ１３０を軸線（第２軸線）Ｘ２回りに回転させる開閉機構１４０と、開閉機構１４０によるロータリバルブ１３０の閉状態から開状態への切り替えを規制する規制機構１５０とを有する。
図３に示すように、ソケット１００は、ソケット本体１１０の下端がプラグ本体２１０に挿入された状態で、ボールロック機構１２０により液体収納容器５００の開口部５１０の外周面に取り付けられたキーリング３００に固定される。
【００３６】
ソケット本体１１０の内部には、第２液体流出流路１１１と、第２液体流入流路１１２とが形成されている。第２液体流出流路１１１は、流出ポート１０を介して第１液体流出流路２１１から取り出される液体を外部へ流出させる流路である。第２液体流入流路１１２は、液体収納容器５００の外部から流入ポート２０を介して流入する液体を第１液体流入流路２１２へ導く流路である。
【００３７】
ボールロック機構１２０は、キーリング３００の軸線Ｘ１回りの周方向に沿って形成された係合溝３１０に複数のロックボール１２１を係合させてから複数のロックボール１２１を係合溝３１０に固定する機構である。ボールロック機構１２０を用いてソケット本体１１０をキーリング３００に固定することにより、ソケット１００とプラグ２００とが連結された状態に維持される。
【００３８】
ボールロック機構１２０は、図５に示すように、複数のロックボール１２１と、ソケット部材（第１円筒状部材）１２２と、スリーブ（第２円筒状部材）１２３と、スプリング（付勢力発生部）１２４と、ストップリング１２５と、スプリング受け部材１２６とを有する。
【００３９】
ソケット部材１２２は、軸線Ｘ１回りに円筒状に形成されるとともに球状のロックボール１２１の外径よりも小径の複数の開口穴１２２ａを有する部材である。図５に示すように、ロックボール１２１は、ソケット部材１２２の開口穴１２２ａに収容される。開口穴１２２ａの径よりもロックボール１２１の外径が大きいため、ロックボール１２１が開口穴１２２ａからソケット部材１２２の内周側へ完全に抜けることはない。
なお、図５には１つのロックボール１２１のみが示されるが、ボールロック機構１２０は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で配置される複数（例えば、３０°間隔で配置される１２個）のロックボール１２１を備えている。同様に、ボールロック機構１２０は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で配置される複数（例えば、３０°間隔で配置される１２個）の開口穴１２２ａを備えている。
【００４０】
スリーブ１２３は、軸線Ｘ１回りに円筒状に形成されるとともにソケット部材１２２の外周側に配置される部材である。スリーブ１２３は、ソケット部材１２２により上端位置が規制され、ソケット部材１２２の下端側の外周面に取り付けられた環状のストップリング１２５により下端位置が規制される。スリーブ１２３は、軸線Ｘ１に沿って上端位置と下端位置との間でソケット部材１２２に対して相対的に移動可能となっている。
スリーブ１２３は、開口穴１２２ａに収容される複数のロックボール１２１をキーリング３００の係合溝３１０に係合した状態に規制する突起部１２３ａを有する。
【００４１】
スプリング１２４は、軸線Ｘ１に沿った上端（一端）がソケット部材１２２により規制されるとともに軸線Ｘ１に沿った下端（他端）がスプリング受け部材１２６を介してスリーブ１２３により規制される弾性部材である。スプリング１２４は、弾性変形による付勢力を発生し、スリーブ１２３の突起部１２３ａがロックボール１２１に接触する下端位置に向けてスリーブ１２３を付勢する。スプリング１２４は、軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で複数箇所（例えば、６０°間隔の６箇所）に配置される。スプリング１２４を均等の間隔で複数箇所に配置することにより、スリーブ１２３に均等な付勢力が与えられる。
【００４２】
ここで、スプリング受け部材１２６は、軸線Ｘ１回りに環状に形成される部材であり、スプリング１２４を収容するための開口穴が複数箇所に形成された部材である。
ここでは、スプリング１２４を軸線Ｘ１回りの周方向に均等の間隔で複数箇所に設けるものとしたが、軸線Ｘ１を中心としスプリング受け部材１２６と同径の単一のスプリングを設けるようにしても良い。
【００４３】
ロータリバルブ１３０は、図２および図３に示すように、軸線Ｘ１に直交する軸線Ｘ２上に沿って円柱状に形成される部材である。ロータリバルブ１３０は、軸線Ｘ２上の第２液体流出流路１１１が配置される位置に形成される流出用貫通穴１３１と、軸線Ｘ２上の第２液体流入流路１１２が配置される位置に形成される流入用貫通穴１３２とを有する。ロータリバルブ１３０は、軸線Ｘ２回りに回転可能な状態で、ソケット本体１１０に形成される挿入穴１１４に挿入されている。
【００４４】
開閉機構１４０は、ロータリバルブ１３０に連結される機構であり、ロータリバルブ１３０を軸線Ｘ２回りに回転させることにより、ロータリバルブ１３０を開状態または閉状態のいずれかの状態に切り替える機構である。
ここで、ロータリバルブ１３０の開状態とは、図３に示すように、ロータリバルブ１３０に形成される流出用貫通穴１３１とソケット本体１１０の第２液体流出流路１１１とが連通し、かつロータリバルブ１３０に形成された流入用貫通穴１３２とソケット本体１１０の第２液体流入流路１１２とが連通した状態をいう。
また、ロータリバルブ１３０の閉状態とは、図２に示すように、ロータリバルブ１３０に形成される流出用貫通穴１３１とソケット本体１１０の第２液体流出流路１１１とが連通せず、かつロータリバルブ１３０に形成された流入用貫通穴１３２とソケット本体１１０の第２液体流入流路１１２とが連通しない状態をいう。
【００４５】
図３に示すように、開状態においては、第１液体流出流路２１１と第２液体流出流路１１１とが連通しかつ第１液体流入流路２１２と第２液体流入流路１１２とが連通した状態となる。
また、閉状態においては、第１液体流出流路２１１と第２液体流出流路１１１とが連通せずかつ第１液体流入流路２１２と第２液体流入流路１１２とが連通しない状態となる。
【００４６】
開閉機構１４０は、ロータリバルブ１３０の両端部に連結されるとともに作業者による開閉動作を受け付ける一対の開閉アーム（規制部材）１４１を有する。
作業者は、プラグ２００を開口部５１０の内周面に固定し、ソケット１００をキーリング３００に取り付けた後、開閉アーム１４１を把持して軸線Ｘ２回りに回転させる。これにより、ロータリバルブ１３０は、図２に示す閉状態から図３に示す開状態に切り替わる。
【００４７】
ここで、図６〜図９を参照し、ボールロック機構１２０によるキーリング３００に対するソケット本体１１０の固定が開状態において解除されることを規制するための開閉アーム１４１の構造について説明する。
図６は図３に示す開状態のソケット１００の左側面図であり、図７は閉状態のソケット１００の左側面図である。図８は、図３のI部分の部分拡大図であり、開閉機構１４０の開状態を示している。図９は、図３のI部分の部分拡大図であり、開閉機構１４０の閉状態を示している。
【００４８】
図６に示すように、ロータリバルブ１３０の開状態において、開閉アーム１４１の段部１４１ｂは、スリーブ１２３の上面と対向しない位置に配置される。そのため、開閉アーム１４１が、スリーブ１２３が軸線Ｘ１に沿って開閉機構１４０へ向けて移動することを開状態において規制する。そして、開閉アーム１４１は、開状態においてスリーブ１２３の移動を規制することにより、ボールロック機構１２０によるキーリング３００に対するソケット本体１１０の固定が開状態において解除されることを規制する。
【００４９】
一方、図７および図９に示すように、ロータリバルブ１３０の閉状態において、開閉アーム１４１の段部１４１ｂは、スリーブ１２３の上面と対向する位置に配置される。そのため、開閉アーム１４１が、スリーブ１２３が軸線Ｘ１に沿って開閉機構１４０へ向けて移動することを閉状態においては許容する。そして、開閉アーム１４１は、閉状態においてスリーブ１２３の移動を許容することにより、ボールロック機構１２０によるキーリング３００に対するソケット本体１１０の固定が閉状態において解除されることを許容する。
ここで、図６および図７に示すストップピン１７０について説明する。
ストップピン１７０は、作業者が開閉機構１４０の開閉アーム１４１を過度に回転させてしまう不具合を防止するために設けられた軸状部材である。
図６に示すロータリバルブ１３０の開状態において、ストップピン１７０は、開閉アーム１４１が図６に示す位置で開閉アーム１４１と接触することにより、開閉アーム１４１が更に反時計回りに回転しないように規制する。
また、図７に示すロータリバルブ１３０の閉状態において、ストップピン１７０は、開閉アーム１４１が図７に示す位置で開閉アーム１４１と接触することにより、開閉アーム１４１が更に時計回りに回転しないように規制する。
このように、ストップピン１７０は、作業者が開閉機構１４０の開閉アーム１４１を過度に回転させてしまう不具合を防止する。また、ストップピン１７０は、開閉アーム１４１が過度に回転することに伴ってピン部材１５１が破損する不具合を防止する。
【００５０】
次に、開閉機構１４０による閉状態から開状態への切り替えを規制する規制機構１５０について説明する。規制機構１５０は、ロータリバルブ１３０が作業者の意図しない操作等により閉状態から開状態へ切り替わり、液体がコネクタ４００から外部へ流出する不具合を防止するための機構である。
【００５１】
図９に示すように、規制機構１５０は、軸線Ｘ１に沿って延びるピン部材（軸状部材）１５１と、開閉機構１４０へ向けてピン部材１５１を付勢するスプリング（付勢部材）１５２と、を有する。ピン部材１５１の先端部１５１ａは、ロータリバルブ１３０が閉状態となる場合に開閉アーム１４１に形成された貫通穴（収容穴）１４１ａに収容される。貫通穴１４１ａは、ピン部材１５１の先端部１５１ａを収容することにより、ロータリバルブ１３０が閉状態となる場合のロータリバルブ１３０の回転を規制する。
【００５２】
規制機構１５０は、ロータリバルブ１３０が閉状態となる場合のロータリバルブ１３０の回転を規制するものであるが、ロータリバルブ１３０が開状態となる場合のロータリバルブ１３０の回転を規制するものではない。図８に示すように、ロータリバルブ１３０が開状態となる場合には、ピン部材１５１の先端部１５１ａの一部のみが開閉アーム１４１に形成された凹部１４１ｃへ収容される。凹部１４１ｃの軸線Ｘ１に沿った深さは十分に小さいため、ロータリバルブ１３０の回転は規制されない。
作業者は、開閉機構１４０を操作してロータリバルブ１３０を開状態としたことを、ピン部材１５１の先端部１５１ａが凹部１４１ｃへ収容される際の振動あるいは音により認識することができる。
【００５３】
次に、コネクタ４００を操作する作業者による操作を受け付けてロータリバルブ１３０の回転が規制された規制状態を解除するプッシュロッド（解除機構）１４２について説明する。
図９に示すように、プッシュロッド１４２は軸線Ｘ１に沿って延びる軸状部材であり、貫通穴１４１ａに収容されている。プッシュロッド１４２の上端近傍には、貫通穴１４１ａの上端の内径よりも大きい外径を有する拡径部１４２ａが形成されている。
そのため、作業者がプッシュロッド１４２に対する操作を行わない状態では、スプリング１５２の付勢力がピン部材１５１を介してプッシュロッド１４２に伝達され、拡径部１４２ａが貫通穴１４１ａの上端に突き当てられた状態となる。
【００５４】
コネクタ４００を操作する作業者は、ロータリバルブ１３０の回転が規制された規制状態を解除する場合に、プッシュロッド１４２の頭部１４２ｂを下方に押し下げる操作を行う。プッシュロッド１４２が、ピン部材１５１をスプリング１５２による付勢力に対向する下方に付勢することによりピン部材１５１が下方に移動する。そして、図１０に示すように、ピン部材１５１の先端部１５１ａが貫通穴１４１ａに収容されない状態となる。これにより、ロータリバルブ１３０の回転が規制された規制状態が解除される。作業者は、プッシュロッド１４２の頭部１４２ｂを下方に押し下げた状態で開閉アーム１４１を軸線Ｘ２回りに回転させることにより、ロータリバルブ１３０を閉状態から開状態に切り替えることができる。
【００５５】
〔他の実施形態〕
以上の説明においては、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定し、ソケット１００のボールロック機構１２０をキーリング３００の係合溝３１０に係合させるものとした。すなわち、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定したものを液体収納容器５００の開口部とし、その開口部にソケット１００を固定するものであったが、他の態様であってもよい。
例えば、液体収納容器５００の開口部５１０にキーリング３００を固定せず、ソケット１００のボールロック機構１２０を開口部５１０の係合溝５１１に直接的に係合させるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１００    ソケット
１１０    ソケット本体
１１１    第２液体流出流路
１１２    第２液体流入流路
１１４    挿入穴
１２０    ボールロック機構
１２１    ロックボール
１２２    ソケット部材（第１円筒状部材）
１２３    スリーブ（第２円筒状部材）
１２３ａ  突起部
１２４    スプリング（付勢力発生部）
１３０    ロータリバルブ
１３１    流出用貫通穴
１３２    流入用貫通穴
１４０    開閉機構
１４１    開閉アーム（規制部材）
１４１ａ  貫通穴（収容穴）
１４１ｂ  段部
１４１ｃ  凹部
１４２    プッシュロッド（解除機構）
１５０    規制機構
１５１    ピン部材（軸状部材）
１５１ａ  先端部
１５２    スプリング（付勢部材）
１７０    ストップピン
２００    プラグ
２１０    プラグ本体
２１１    第１液体流出流路
２１２    第１液体流入流路
３００    キーリング（開口部）
４００    コネクタ
５００    液体収納容器
５１０    開口部
Ｘ１      軸線（第１軸線）
Ｘ２      軸線（第２軸線）
【図１】
0006650179.tif 000002
【図２】
0006650179.tif 000003
【図３】
0006650179.tif 000004
【図４】
0006650179.tif 000005
【図５】
0006650179.tif 000006
【図６】
0006650179.tif 000007
【図７】
0006650179.tif 000008
【図８】
0006650179.tif 000009
【図９】
0006650179.tif 000010
【図１０】
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