(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の被塗布面に対して、レジスト液を塗布してレジスト膜付マスクブランクを製造する塗布装置において、
前記基板を吸着して保持する略平面とされる吸着面を有する保持手段と、
前記レジスト液を供給可能な塗布液供給手段と、
一方向に伸びるレジスト液供給口を有する塗布ノズルと、
前記塗布ノズルと前記基板とを前記被塗布面に沿って前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる移動手段と、
前記基板と前記保持手段の前記吸着面との間に位置し、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から接液を開始させて前記レジスト液供給口に沿って接液を進行させるとともに前記レジスト液供給口の他端部で接液を完了させるように、前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔であるギャップを調節するギャップ調節手段と、
を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記ギャップ調節手段が、前記保持手段の吸着面と前記基板との間に貼り付けられるシート部材とされることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
前記シート部材が、前記基板と前記塗布ノズルとの間隔である前記ギャップを均一にするように、前記保持手段の吸着面における貼り付け条件を設定さ(0042)れることを特徴とする請求項２記載の塗布装置。
【請求項４】
前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられることを特徴とする請求項２又は３記載の塗布装置。
【請求項５】
前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長よりも短い所定の長さ寸法を有することを特徴とする請求項４記載の塗布装置。
【請求項６】
前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、
前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法を有することを特徴とする請求項４記載の塗布装置。
【請求項７】
前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、
前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長と等しい長さ寸法を有することを特徴とする請求項４記載の塗布装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか記載の塗布装置でレジスト膜付マスクブランクを製造する製造方法において、
前記基板を吸着しない状態で前記塗布ノズルを前記吸着面に接触させ、前記レジスト液供給口の一端部位置および他端部位置における前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔の状態を測定するギャップ測定工程と、
前記ギャップ測定工程によって得られたデータに基づいて、所定の厚さに前記ギャップ調節手段を設定するシート設定工程と、
前記シート設定工程によって設定された前記ギャップ調節手段を前記吸着面の所定位置に配置するシート貼り付け工程と、
前記シート貼り付け工程後に、前記吸着面に前記基板を吸着し(0046,fig4,6)、前記レジスト液供給手段からレジスト液を供給しつつ、前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを近接させ、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から開始して前記レジスト液供給口に沿って進行させ前記レジスト液供給口の他端部で完了するように前記被塗布面に沿って前記一方向にレジスト液を接液させる接液工程と、
前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる塗布工程と、
を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
【請求項９】
前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材を貼り付けた付近における前記ギャップを狭くすることにより前記接液速度を設定することを特徴とする請求項８記載のマスクブランクの製造方法。
【請求項１０】
前記シート貼り付け工程において、前記接液工程(0049)での前記基板と前記塗布ノズルとの間隔であるギャップを均一にするように、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面における貼り付け条件(0042)を設定されることを特徴とする請求項８記載のマスクブランクの製造方法。
【請求項１１】
前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられ、該レジスト液供給口の一端部位置における前記ギャップを狭くすることを特徴とする請求項９記載のマスクブランクの製造方法。
【請求項１２】
前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法として設定されることを特徴とする請求項１１記載のマスクブランクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布装置、マスクブランクの製造方法に関し、特にマスクブランクの製造に用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示デバイス（ＬＣＤ）、プラズマ表示デバイス（ＰＤＰ）、半導体デバイスおよび各種電子部品などの製造プロセスにおいて、ＬＣＤまたはＰＤＰ用ガラス基板、半導体基板およびプリント基板などの基板表面に対して、マスクブランク、フォトレジスト膜、カラーフィルタ材、平坦化材、層間絶縁膜、絶縁膜および導電膜などを形成するために各種塗布液を毛細管現象で汲み上げて塗布する塗布装置に関して、特許文献１のような技術が知られている。
【０００３】
特許文献２には、「ＣＡＰコータ」と通称される塗布装置を用いて、接液ギャップの制御によって、接液走りをコントロールし、泡を噛むなどの現象によって発生する塗布ムラを低減する技術が記載されている。
【０００４】
また、これらの製造技術において、基板の大型化や、製造されるデバイスでの高精細化が求められており、フォトレジスト等の膜厚レンジの正確性に対する要求度が高まっているとともに、近い将来、さらにこれらの要求度が厳しくなることが予想されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２７７４６６号公報
【特許文献２】特開２００８−３１１３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高精細化の進行に伴い、フォトマスクにおける臨界寸法（ＣＤ：critical dimension）分布をさらに改善していかなければならない。
フォトリソグラフィーでは、フォトレジストの感光部と未感光部の境界を明確にすることがＣＤ改善に繋がる。これは、露光時における定在波の影響、光の屈折の影響を受けていることによるものである。露光時の入射光の屈折は、露光装置の能力によるものが大きいが、反射光の屈折は、反射光を抑えることで低減できる。しかし、反射光（エネルギー）をゼロにすることは難しく、反射エネルギーを均一、すなわち、フォトレジストにおける反射率を均一にすることが重要となる。
また、フォトレジスト膜厚でも定在波が変化してしまうため、フォトレジスト膜厚を均一にすることが極めて重要である。
【０００７】
特許文献２に、接液を一方向に走らせることは記載されているが、ここに記載された技術では、基板の大型化に伴った接液長さの増大や、塗布膜厚のバラツキ（レンジ）の厳密化などに対応できておらず、実際は、接液が一方向に走らずに途中で泡を噛んでしまい、レジストの膜厚のバラツキ（レジストムラ）を発生させるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．    フォトレジスト膜厚分布の改善を図ること。
２．    フォトレジスト膜厚分布に起因する反射率の改善を図ること。
３．    フォトレジスト塗布ムラの改善を図ること。
４．    フォトレジスト膜厚分布に起因するＣＤ分布の改善を図ること。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の塗布装置は、基板の被塗布面に対して、レジスト液を塗布してレジスト膜付マスクブランクを製造する塗布装置において、
前記基板を吸着して保持する略平面とされる吸着面を有する保持手段と、
前記レジスト液を供給可能な塗布液供給手段と、
一方向に伸びるレジスト液供給口を有する塗布ノズルと、
前記塗布ノズルと前記基板とを前記被塗布面に沿って前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる移動手段と、
前記基板と前記保持手段の前記吸着面との間に位置し、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から接液を開始させて前記レジスト液供給口に沿って接液を進行させるとともに前記レジスト液供給口の他端部で接液を完了させるように、前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔であるギャップを調節するギャップ調節手段と、
を有することにより上記課題を解決した。
本発明において、前記ギャップ調節手段が、前記保持手段の吸着面と前記基板との間に貼り付けられるシート部材とされることがより好ましい。
また、本発明において、前記シート部材が、前記基板と前記塗布ノズルとの間隔である前記ギャップを均一にするように、前記保持手段の吸着面における貼り付け条件を設定されることができる。
本発明の塗布装置は、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられることが可能である。
また、本発明において、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長よりも短い所定の長さ寸法を有することができる。
また、本発明は、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、
前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法を有することができる。
また、本発明において、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、
前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長と等しい長さ寸法を有する手段を採用することもできる。
本発明のマスクブランクの製造方法は、上記のいずれか記載の塗布装置でレジスト膜付マスクブランクを製造する製造方法において、
前記基板を吸着しない状態で前記塗布ノズルを前記吸着面に接触させ、前記レジスト液供給口の一端部位置および他端部位置における前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔の状態を測定するギャップ測定工程と、
前記ギャップ測定工程によって得られたデータに基づいて、所定の厚さに前記ギャップ調節手段を設定するシート設定工程と、
前記シート設定工程によって設定された前記ギャップ調節手段を前記吸着面の所定位置に配置するシート貼り付け工程と、
前記シート貼り付け工程後に、前記吸着面に前記基板を吸着し、前記レジスト液供給手段からレジスト液を供給しつつ、前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを近接させ、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から開始して前記レジスト液供給口に沿って進行させ前記レジスト液供給口の他端部で完了するように前記被塗布面に沿って前記一方向にレジスト液を接液させる接液工程と、
前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる塗布工程と、
を有することができる。
本発明のマスクブランクの製造方法は、
前記シート貼り付け工程において、前記接液工程での前記基板と前記塗布ノズルとの間隔であるギャップを均一にするように、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面における貼り付け条件を設定されることができる。
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材を貼り付けた付近における前記ギャップを狭くすることにより前記接液速度を設定することができる。
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられ、該レジスト液供給口の一端部位置における前記ギャップを狭くすることができる。
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法として設定されることができる。
【００１０】
本発明の塗布装置は、基板の被塗布面に対して、レジスト液を塗布してレジスト膜付マスクブランクを製造する塗布装置において、
前記基板を吸着して保持する略平面とされる吸着面を有する保持手段と、
前記レジスト液を供給可能な塗布液供給手段と、
一方向に伸びるレジスト液供給口を有する塗布ノズルと、
前記塗布ノズルと前記基板とを前記被塗布面に沿って前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる移動手段と、
前記基板と前記保持手段の前記吸着面との間に位置し、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から接液を開始させて前記レジスト液供給口に沿って接液を進行させるとともに前記レジスト液供給口の他端部で接液を完了させるように、前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔であるギャップを調節するギャップ調節手段と、
を有することにより、ギャップ調節手段によって吸着面に対する基板の被塗布面の厚さ方向位置を調節して、基板の被塗布面に対してレジスト液供給口の一方向に沿った方向における位置によって異なる長さ（寸法）を有する状態とされる基板の被塗布面と塗布ノズルのレジスト液供給口とのギャップに対して、この基板の被塗布面と塗布ノズルのレジスト液供給口との位置関係を設定することが可能となるとともに、ギャップ調節手段が基板の被塗布面に対する裏面側となる吸着面に位置することで、接液時においてギャップ調節手段が直接、基板の被塗布面およびレジスト液に接触することがないため、接液状態に対して悪影響を及ぼすことを防止することが可能となる。
【００１１】
本発明において、前記ギャップ調節手段が、前記保持手段の吸着面と前記基板との間に貼り付けられるシート部材とされることにより、吸着面の所定位置にシート部材を貼り付けるだけで、基板の被塗布面およびレジスト液に接触しない状態で、基板の被塗布面の厚さ方向位置を容易に調節することが可能となる。これにより、接液状態に対する悪影響を防止可能として、ギャップ調整をおこなうことができる。
【００１２】
また、本発明において、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記基板と前記塗布ノズルとの間隔であるギャップを均一にするように設けられることにより、塗布ノズル幅方向から見て、塗布ノズルと基板の間隔（ギャップ）が幅方向全域にわたって同値（２０μm以下で良好、１０μm以下であればさらに良好）となっている状態とする（バラツキの差を小さくする）ためにギャップの比較的大きい部分に、そのギャップの大きい分に対応する厚みのシート部材を選択して貼り付けることで、膜厚分布が小さく、ムラ状態の良好なレジスト塗布を可能とすることができる。
【００１３】
本発明の塗布装置は、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられることにより、接液の開始時において接液の状態を安定させ、塗布ノズルのレジスト液供給口の一端部から他端部まで接液の状態を安定させ、大型の基板であっても塗布ムラをなくすことが可能である。
【００１４】
また、本発明において、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長よりも短い所定の長さ寸法を有する手段を採用することにより、接液の開始時において接液の状態を安定させて、大型の基板であっても塗布ムラをなくすことができる。
【００１５】
また、本発明は、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法を有することにより、接液の開始時において接液の状態を安定させ、塗布ノズルのレジスト液供給口の一端部から他端部まで接液の状態を安定させ、接液の完了時において接液の状態を安定させ、大型の基板であっても塗布ムラをなくすことができる。
【００１６】
また、本発明において、前記シート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記一方向に交差する方向において前記基板の全長と等しい長さ寸法を有する手段を採用することにより、接液の完了時において接液の状態を安定させ、大型の基板であっても塗布ムラをなくすことができる。
【００１７】
本発明のマスクブランクの製造方法は、上記のいずれか記載の塗布装置でレジスト膜付マスクブランクを製造する製造方法において、
前記基板を吸着しない状態で前記塗布ノズルを前記吸着面に接触させ、前記レジスト液供給口の一端部位置および他端部位置における前記塗布ノズルと前記基板の被塗布面との間隔の状態を測定するギャップ測定工程と、
前記ギャップ測定工程によって得られたデータに基づいて、所定の厚さに前記ギャップ調節手段を設定するシート設定工程と、
前記シート設定工程によって設定された前記ギャップ調節手段を前記吸着面の所定位置に配置するシート貼り付け工程と、
前記レジスト液供給手段からレジスト液を供給しつつ、前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを近接させ、前記塗布ノズルにおける前記レジスト液供給口の一端部から開始して前記レジスト液供給口に沿って進行させ前記レジスト液供給口の他端部で完了するように前記被塗布面に沿って前記一方向にレジスト液を接液させる接液工程と、
前記移動手段によって、前記塗布ノズルと前記基板とを前記一方向に交差する方向へ相対的に走査させる塗布工程と、
を有することにより、ギャップ測定工程によって得られた一方向に沿った塗布ノズルのレジスト液供給口と吸着面との間隔のデータに基づいて、ギャップ調節手段を前記吸着面の所定位置に配置することで、一方向に沿った塗布ノズルのレジスト液供給口と基板の被塗布面との間隔を塗布ムラができないように接液がレジスト液供給口に沿って走る状態を実現して、接液に起因する塗布ムラの発生を防止することができる。
【００１８】
発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材を貼り付けた付近における前記ギャップを狭くすることにより前記接液速度を設定することができる。
【００１９】
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記基板と前記塗布ノズルとの間隔であるギャップを均一にするように設定されることにより、塗布ノズル幅方向から見て、塗布ノズルと基板の間隔（ギャップ）が幅方向全域にわたって同値（例えば１０μｍ程度）となっている状態とする（バラツキの差を小さくする）ためにギャップの比較的大きい部分に、そのギャップの大きい分に対応する厚みのシート部材を選択して貼り付けることで、膜厚分布が小さく、ムラ状態の良好なレジスト塗布を可能とすることができる。
【００２０】
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を開始させる前記レジスト液供給口の一端部位置に設けられ、該レジスト液供給口の一端部位置における前記ギャップを狭くすることにより、シート部材の厚さおよび吸着面における平面形状とその位置を最適状態となるように設定して、塗布ムラのできない接液を実現することができる。
【００２１】
本発明のマスクブランクの製造方法は、前記シート貼り付け工程において、前記ギャップ調節手段としてのシート部材が、前記保持手段の吸着面において、前記塗布ノズルにおいて接液を完了させる前記レジスト液供給口の他端部位置に設けられ、前記レジスト液供給口の一端部位置に貼り付けられる前記シート部材が、前記レジスト液供給口の他端部位置に貼り付けられる前記シート部材よりも大きな厚さ寸法として設定されることにより、シート部材の厚さおよび吸着面における平面形状とその位置を最適状態となるように設定して、塗布ムラのできない接液を実現することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、方向に沿った塗布ノズルのレジスト液供給口と基板の被塗布面との間隔であるギャップを最適化して、レジスト液の被塗布面における塗布ムラの発生を防止して、所定の膜厚で、かつ、所定のレンジ範囲を有するレジスト膜を形成したマスクブランクを提供することができるという効果を奏することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る塗布装置の第１実施形態における吸着面側を示す平面図である。
【図２】本発明に係る塗布装置、マスクブランクの製造方法の第１実施形態におけるギャップ測定工程における塗布ノズル付近を示す正面図である。
【図３】本発明に係る塗布装置、マスクブランクの製造方法の第１実施形態におけるシート貼り付け工程における塗布ノズル付近を示す正面図である。
【図４】本発明に係る塗布装置、マスクブランクの製造方法の第１実施形態における塗布工程における塗布ノズル付近を示す側断面図である。
【図５】本発明に係る塗布装置の第１実施形態における塗布ノズル付近を示す側断面図である。
【図６】本発明に係るマスクブランクの製造方法の第１実施形態を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係る塗布装置、マスクブランクの製造方法の第１実施形態におけるシート貼り付け工程における塗布ノズル付近を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る塗布装置、マスクブランクの製造方法の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における塗布装置の吸着面側を示す平面図であり、図２は、本実施形態における塗布装置のギャップ測定工程における塗布ノズル付近を示す正面図であり、図３は、本実施形態における塗布装置のシート貼り付け工程における塗布ノズル付近を示す正面図であり、図４は、本実施形態における塗布装置の塗布工程における塗布ノズル付近を示す側断面図であり、図５は、本実施形態における塗布装置の塗布ノズル付近を示す側断面図であり、図６は、本実施形態におけるマスクブランクの製造方法を示すフローチャートであり、図において、符号１は、塗布装置である。
【００２５】
本実施形態に係る塗布装置１は、「ＣＡＰコータ」と通称される塗布装置とされ、フォトレジスト膜付のマスクブランクの製造において使用することができ、図１に示すように、基板１０を吸着して保持する略平面とされる吸着面３ａを有する保持手段３と、レジスト液２１を供給可能な塗布液供給手段２ａと、一方向Ａ１に伸びるレジスト液供給口２３を有しレジスト液供給口２３が一方向に交差する方向Ａ２を軸線方向とする円筒状の円弧状とされる塗布ノズル２２と、塗布ノズル２２と基板１０とを被塗布面１０ａに沿って一方向に交差する方向Ａ２へ相対的に走査させる移動手段４と、基板１０と保持手段３の吸着面３ａとの間に位置し、塗布ノズル２２におけるレジスト液供給口２３の一端部２３ａから接液を開始させてレジスト液供給口２３に沿って接液を進行させるとともにレジスト液供給口２３の他端部２３ｂで接液を完了させるように、塗布ノズル２２と基板１０の被塗布面１０ａとの間隔であるギャップｇを調節するギャップ調節手段５０と、を有する。
【００２６】
本実施形態において、製造するマスクブランクには、フォトマスクブランク、位相シフトマスクブランク、インプリント用転写プレート基板を含むことができる。また、マスクブランクには、レジスト膜付きマスクブランクが含まれる。位相シフトマスクブランクには、ハーフトーン膜と、遮光性膜とを有する場合を含む。なお、この場合、マスクパターンを形成するための薄膜は、ハーフトーン膜や遮光性膜を指すことができる。インプリント用転写プレートの場合には、転写プレートとなる基材上にクロム系材料等の転写パターン形成用薄膜が形成される構成を含むことができる。マスクには、フォトマスク、位相シフトマスク、インプリント用転写プレートが含まれる。マスクにはレチクルを含むことができる。
【００２７】
本実施形態において、マスクパターンを形成するための薄膜として、露光光等を遮断する遮光膜、露光光等の透過量を調整・制御する半透光性膜、露光光等の反射率を調整・制御する反射率制御膜（反射防止膜を含む）、露光光等に対する位相を変化させる位相シフト膜、遮光機能と位相シフト機能を有するハーフトーン膜等を有することができる。
【００２８】
本実施形態で製造されるマスクブランクにおいて、前記マスクパターンを形成するための薄膜としては、金属膜が挙げられる。金属膜としては、クロム、タンタル、モリブデン、チタン、ハフニウム、タングステンや、これらの元素を含む合金、又は上記元素や上記合金を含む材料からなる膜を挙げることができる。
また、本実施形態で製造されるマスクブランクにおいて、前記マスクパターンを形成するための薄膜としては、珪素を含む珪素含有膜が挙げられる。珪素含有膜としては、珪素膜や、珪素とクロム、タンタル、モリブデン、チタン、ハフニウム、タングステンの金属を含む金属シリサイド膜、さらに、珪素膜や金属シリサイド膜に、酸素、窒素、炭素の少なくとも一つを含むことができる。
【００２９】
本実施形態で製造されるマスクブランクとしては、ＦＰＤ用のものとされ、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ等のＦＰＤデバイスを製造するためのマスクブランクを挙げることができる。マスクブランクを適用するＬＣＤ用マスクとしては、ＬＣＤの製造に必要なすべてのマスクが含まれ、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）、特にＴＦＴチャンネル部やコンタクトホール部、低温ポリシリコンＴＦＴ、カラーフィルタ、反射板（ブラックマトリクス）等を形成するためのマスクが含まれ、他の表示デバイス製造用マスクには、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の製造に必要なすべてのマスクが含まれる。
【００３０】
塗布ノズル２２は、図４，５に示すように、支持杆２８に支持されて、液槽２０内に収納されている。この塗布ノズル２２及び液槽２０は、基板１０の横方向（図４，５において紙面に直交する方向）Ａ１の一辺の長さに相当する長さを有して構成され、この長手方向Ａ１に沿って、スリット状の毛管状隙間２３を有している。
【００３１】
この塗布ノズル２２は、この毛管状隙間２３を挟んで、上端側の幅が狭くなされて嘴のように尖った断面形状を有して構成されている。毛管状隙間２３の上端部は、塗布ノズル２２の上端部において、この塗布ノズル２２の略全長に亘るスリット状に開口したレジスト液供給口２３とされている。また、この毛管状隙間２３は、塗布ノズル２２の下方側に向けても開口されている。
【００３２】
塗布ノズル２２は、後述する接液工程Ｓ４および塗布工程Ｓ５においては、図４に示すように、所定の液面位置までレジスト液２１が溜められている液槽２０と、このレジスト液２１中に完全に沈んだ状態の塗布ノズル２２とをともに上昇させ、塗布ノズル２２の上端側をこの液槽２０内のレジスト液２１の液面から上方側に突出させて、基板１０の被塗布面１０ａに下方側より接近させた状態とする。
【００３３】
このとき、塗布ノズル２２は、レジスト液２１中に完全に沈んでいた状態から、このレジスト液２１の液面の上方側に突出されるので、毛管状隙間２３内にレジスト液２１が満たされた状態となっている。さらに、塗布ノズル２２を上昇させて、この塗布ノズル２２の上端部のレジスト液２１を基板１０の被塗布面１０ａに接液させることになる（図５参照）。
【００３４】
塗布ノズル２２は、図１〜３に示すように、基板１０の横方向Ａ１において、両端部２３ｂ、２３ｂに比べて、中央部部分２３ｃが突出するように、円弧状に形成されている。
【００３５】
保持手段３は、図１〜３に示すように、基板１０を吸着して保持する略平面とされる吸着面３ａを有するものとされ、吸着手段として、吸着面３ａに図示しない多数の吸引孔を有し、これらの吸引孔が負圧となるように図示しない減圧手段に接続されている。
吸着面３ａは、基板１０の平面形状よりも大きい範囲となるように設定されることが好ましい。
【００３６】
本実施形態の塗布装置１において、ギャップ調節手段５０は、図１，図３に示すように、保持手段３の吸着面３ａと基板１０との間に貼り付けられるシート部材５０ａ，５０ｂとされる。
ギャップ調節手段５０としてのシート部材５０ａ，５０ｂとしては、レジスト液を扱うことの可能な雰囲気条件、例えば真空雰囲気で使用可能な耐熱材であれば特に限定はされないが、ポリイミドフィルムにシリコン樹脂系粘着材を塗布したものを適用することができる。また、シート部材５０ａ，５０ｂとしては、５μｍ程度を目安としてこの厚さ単位刻みで厚さ寸法の異なるものを用意して、これらを組み合わせて積層することで、所望の厚さとすることが可能である。
シート部材５０ａ，５０ｂは、図１，図３に示すように、塗布ノズル２２において接液を開始させるレジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置と、接液を完了させるレジスト液供給口２３の他端部２３ｂ位置となる吸着面３ａに貼り付けられる。
【００３７】
また、本実施形態の塗布装置１では、レジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置に貼り付けられるシート部材５０ａが、レジスト液供給口２３の他端部２３ｂ位置に貼り付けられるシート部材５０ｂよりも大きな厚さ寸法を有するように設定されることができる。
また、レジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置に貼り付けられるシート部材５０ａが、レジスト液供給口２３の他端部２３ｂ位置に貼り付けられるシート部材５０ｂよりも一方向Ａ１において大きな幅寸法を有することができる。
【００３８】
また、本実施形態の塗布装置１において、レジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置に貼り付けられるシート部材５０ａが、一方向に交差する方向Ａ２において基板１０の全長よりも短い所定の長さ寸法を有することができる。さらに、レジスト液供給口２３の他端部２３ｂ位置に貼り付けられるシート部材５０ｂが、一方向に交差する方向Ａ２において基板１０の全長と等しい長さ寸法を有することもできる。
【００３９】
次に、本実施形態におけるマスクブランクの製造方法について説明する。
【００４０】
本実施形態におけるマスクブランクの製造方法においては、図６に示すように、ギャップ測定工程Ｓ１と、シート設定工程Ｓ２と、シート貼り付け工程Ｓ３と、接液工程Ｓ４と、塗布工程Ｓ５と、を有する。
【００４１】
まず、図６に示すギャップ測定工程Ｓ１においては、図２に示すように、上記の塗布装置１において基板１０を吸着しない状態で塗布ノズル２２を吸着面３ａに接触させる。この状態で、レジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置および他端部２３ｂ位置における塗布ノズル２２と吸着面３ａとの間隔の状態（ゼロギャップ）を測定する。これにより、ほぼ一定の厚さ寸法を有することになる基板１０の被塗布面１０ａと、塗布ノズル２２のレジスト液供給口２３との間隔であるギャップｇを、塗布ノズル２２と吸着面３ａとの間隔（ゼロギャップ）から推定し、このデータが一方向Ａ１にどのような分布を有しているかという情報を得ることができる。このレジスト液供給口２３との間隔であるギャップｇにより、接液が走る際の状態を推定することが可能となる。特に、一端部２３ａ位置における接液開始時の状態と、ギャップ測定工程Ｓ１において吸着面３ａに接触している中央部２３ｃから他端部２３ｂにかけての接液の走る速度を推定する。
【００４２】
次に、図６に示すシート設定工程Ｓ２においては、図２に示すように、ギャップ測定工程Ｓ１で取得した実ギャップｇのデータに基づいて、塗布ムラの起きない状態に接液を実施するように、ギャップ分布を修正するために、ギャップ調節手段５０としてのシート部材の厚さ、貼り付け位置などの貼り付け条件を設定する。
例えば、ギャップ調節手段５０としてのシート部材と貼り付けることにより、シート部材を貼り付けた部分およびその近傍の領域におけるギャップｇを、シート部材を貼り付けない場合に比べて狭くする。これにより、その領域における接液速度が早くなるように設定することが可能である。
【００４３】
したがって、ギャップ調節手段５０としてのシート部材の貼り付け条件を設定することで、接液速度が所定の値となるように設定することができる。ここで、ギャップｇが狭くなるとは、ギャップｇが相対的に大きい部分で、他のギャップの狭い部分のギャップｇの寸法に近づくことを意味する。また、ギャップｇが狭くなることにより接液速度が速くなるものである。
【００４４】
特に、接液は一端部２３ａから他端部２３ｂへと走るため、一端部２３ａから中央部２３ｃに向かってギャップｇが拡大するとともに、中央部２３ｃから他端部２３ｂに向かってギャップｇが縮小するように設定することができる。つまり、一端部２３ａにおけるギャップｇａが中央部２３ｃにおけるギャップｇｃよりも小さく、また、他端部２３ｂにおけるギャップｇｂが中央部２３ｃにおけるギャップｇｃよりも小さくなるように設定できる。
【００４５】
次に、図６に示すシート貼り付け工程Ｓ３においては、図１，図３に示すように、シート設定工程Ｓ２において設定した貼り付け条件に基づいて、ギャップ調節手段５０としてのシート部材５０ａ，５０ｂを吸着面３ａに貼り付ける。
【００４６】
次に、図６に示す接液工程Ｓ４においては、塗布液供給手段２ａからレジスト液２１を塗布ノズル２２に供給するとともに、図４に示すように、所定の液面位置までレジスト液２１が溜められている液槽２０と、このレジスト液２１中に完全に沈んだ状態の塗布ノズル２２とをともに上昇させ、塗布ノズル２２の上端側をこの液槽２０内のレジスト液２１の液面から上方側に突出させて、基板１０の被塗布面１０ａに下方側より接近させた状態とする。これにより、一端部２３ａにおいて接液を開始し、この一端部２３ａから他端部２３ｂへと接液を走らせ、基板１０の横方向（図４においては紙面に直交する方向）Ａ１に塗布ノズル２２のレジスト液供給口２３に沿って接液が進行していく際に泡の巻き込みが起こらない接液速度になる。
【００４７】
次に、図６に示す塗布工程Ｓ５においては、図１に示すように、基板１０を塗布ノズル２２の上端部においてレジスト液供給口２３が形成するスリットに直交する方向（図４中矢印Ａ２で示す方向）に移動させ、図４に示すように、塗布ノズル２２の上端部を被塗布面１０ａの全面に亘って走査させ、この被塗布面１０ａの全面に亘ってレジスト液２１の塗布膜２１ａを形成する。尚、基板１０と塗布ノズル２２との相対走査速度は、予め設定されている塗布ノズル間隔、レジスト液２１の粘度、液面高さ及び塗布ギャップｇを前提として、塗布膜２１ａが所望の膜厚となるように移動手段４によって制御される。
【００４８】
本実施形態においては、ギャップ調節手段５０としてのシート部材５０ａ，５０ｂを吸着面３ａに貼り付けて、ギャップｇ調整をおこなった状態で接液を一端部２３ａから他端部２３ｂまでおこなうことで、塗布ムラのない状態でレジスト液の塗布をおこなってマスクブランクの製造をおこなうことが可能となる。
【００４９】
本実施形態においては、シート貼り付け工程Ｓ３において、ギャップ調節手段５０としてのシート部材５０ａ、５０ｂが、保持手段３の吸着面３ａにおいて、塗布ノズル２２において接液を開始させる一端部２３ａ位置と、接液を完了させる他端部２３ｂ位置とに設けられ、レジスト液供給口２３の一端部２３ａ位置に貼り付けられるシート部材５０ａが、レジスト液供給口２３の他端部２３ｂ位置に貼り付けられるシート部材５０ｂよりも大きな厚さ寸法として設定されることにより、いつでも良好な接液の走りを実現し、レジストムラのない良好な塗布をおこなうことができる。
これにより、塗布ノズル２２と基板１０とのギャップｇ制御を所定のレベルに到達させて、基板１０へのレジスト液２１塗布のバラツキ発生を防止することが可能となる。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例に基づき本発明を更に詳細に説明する。
【００５１】
（実施例１）
上述した発明の実施の形態で記載した方法によって、マスクブランク上にレジストを塗布して、レジスト膜付マスクブランクを形成した。
その際、マスクブランクとしては、大型ガラス基板（合成石英（ＱＺ）１３ｍｍ厚、サイズ１２２０ｍｍ×１４００ｍｍ）を準備し使用した。なお、基板１０の横方向Ａ１を１２２０ｍｍとした。
【００５２】
ギャップ測定工程（ゼロギャップ調整）Ｓ１において、塗布ノズル２２の中央位置が吸着面３ａと接触しており、一端部２３ａ位置および他端分２３ｂ位置におけるギャップｇは、約２０μｍであった。なお基板１０の横方向Ａ１を１４００ｍｍとした場合、一端部２３ａ位置および他端分２３ｂ位置におけるギャップｇは、約４０μｍであった。
【００５３】
また、目標レジスト膜厚は７６５．０ｎｍとし、許容される膜厚レンジは３０．０ｎｍである。
一端部２３ａ位置と他端部２３ｂ位置に、厚さを変えてシート部材５０ａ，５０ｂを貼り付けて挟み込んだ。シート部材５０ａの横方向Ａ１寸法は２０ｍｍ、シート部材５０ｂの横方向Ａ１寸法は５０ｍｍとし、シート部材５０ａの縦方向Ａ２寸法は２０ｍｍ、シート部材５０ｂの縦方向Ａ２寸法は１２２０ｍｍとした。
【００５４】
その後、レジスト液を塗布し、塗布ムラの有無を黄色蛍光灯下から目視することにより観察した。
塗布ムラは、一端部２３ａ位置と中央部２３ｃと他端部２３ｂ位置とのそれぞれにおいて、基板１０の縦方向Ａ２に延びる領域において観察した。
これらの結果を表１から表５に示す。
【００５５】
なお、これらの表において、ＩＮ側とは、一端部２３ａ位置（接液開始側）を意味し、ＯＵＴ側とは、他端部２３ｂ位置（接液完了側）を意味し、中央ムラとは、中央部２３ｃ位置を意味している。
表において、二重丸は、レジスト膜のムラに起因すると思われる異常が全く見られなかったことを意味し、一重○は、レジスト膜のムラに起因すると思われる異常がほとんど見られなかったことを意味し、×はレジスト膜のムラに起因すると思われる異常が発生したことを示している。
【００５６】
さらに、表において、ＩＮ側厚みとはシート部材５０ａの厚さ寸法、ＯＵＴ側とは、シート部材５０ｂの厚さ寸法を意味している。
【００５７】
【表１】
0006659422.tif 000002
【００５８】
【表２】
0006659422.tif 000003
【００５９】
【表３】
0006659422.tif 000004
【００６０】
【表４】
0006659422.tif 000005
【００６１】
【表５】
0006659422.tif 000006
【００６２】
また、同時に、狙い膜厚に対して、実際の膜厚レンジ（膜厚の最大値と最小値との差）を測定した。この結果も表１〜５に、Ｒａｎｇｅとして示す。単位はオングストロームである。
【００６３】
比較のため、シート部材を設けないで、塗布をおこなった。同様に、この結果を表６に示す。
【００６４】
【表６】
0006659422.tif 000007
【００６５】
これらの結果から、一端部２３ａ位置と他端部２３ｂ位置に貼り付けるシート部材５０ａ，５０ｂの厚さの比を、それぞれ基板１０の横方向（接液走り方向）Ａ１寸法１２２０ｍｍに対して設定すると、
他端部２３ｂ位置（ＯＵＴ側位置）厚さ寸法／一端部２３ａ位置（ＩＮ側位置）厚さ寸法＝０／３５〜１２／３５、０／５０〜２５／５０、０／５５〜２５／５５、０／６０〜２５／６０、０／７０〜２５／７０とすることができる。
として設定することで、膜厚レンジが所定の幅に収まり、かつ、塗布ムラのないレジスト膜を有するマスクブランクを製造することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明の活用例として、レジスト膜厚が、１００００，７６５０，５０００，４０００オングストロームのマスクブランクに対応することができる。
【符号の説明】
【００６７】
１…塗布装置
２ａ…塗布液供給手段
３…保持手段
３ａ…吸着面
４…移動手段
１０…基板
１０ａ…被塗布面
２１…レジスト液
２２…塗布ノズル
２３…レジスト液供給口
２３ａ…一端部
２３ｂ…他端部
５０…ギャップ調節手段
Ａ１…横方向（一方向）
Ａ２…縦方向（一方向に交差する方向）
ｇ，ｇａ，ｇｂ，ｇｃ…ギャップ
【図１】
0006659422.tif 000008
【図２】
0006659422.tif 000009
【図３】
0006659422.tif 000010
【図４】
0006659422.tif 000011
【図５】
0006659422.tif 000012
【図６】
0006659422.tif 000013
【図７】
0006659422.tif 000014