(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が筒状に形成された基体から成る位置決め用治具を用いて、円柱状の磁石ホルダに円柱状の磁石を接着するための接着方法であって、
複数の前記磁石ホルダの夫々の一端を、基台の主面に形成された複数の凹部に夫々嵌挿させる第１ステップと、
常温よりも高い温度で硬化する１液型の接着剤を、複数の前記磁石ホルダの夫々の他端、または複数の前記磁石に塗布する第２ステップと、
前記第２ステップの後に、前記磁石を複数の前記磁石ホルダの夫々の他端に載置する第３ステップと、
前記第３ステップの後に、前記磁石が載置された複数の前記磁石ホルダの夫々の他端を前記位置決め用治具の筒状部分の開口部に嵌挿させる第４ステップと、
前記磁石が載置された複数の前記磁石ホルダが、前記位置決め用治具が嵌挿された状態で載置されている前記基台を、前記接着剤が硬化する温度環境に置く第５ステップとを含む
ことを特徴とする接着方法。
【請求項２】
請求項１に記載の接着方法において、
前記位置決め用治具の前記筒状部分は、
前記基体の一端を開口し、前記基体の軸方向に垂直な断面が前記磁石の径よりも長い径を有する円柱状の内部空間を形成するとともに、前記磁石が載置される前記磁石ホルダの外周面とすきまばめで嵌合する第１孔部と、
前記第１孔部と同軸の円錐形状または円錐台形状の内部空間を形成し、この内部空間の前記基体の軸方向に垂直な断面の径が前記基体の他端に向かって連続的に減少する第２孔部とを含む
ことを特徴とする接着方法。
【請求項３】
請求項２に記載の接着方法において、
前記第２孔部は前記円錐台形状であって、
前記基体は、前記基体の前記他端を開口し、前記基体の軸方向に垂直な断面が前記磁石の径よりも短い径を有する円柱状の内部空間を形成する第３孔部を更に含み、
前記第２孔部の内壁面は、前記第１孔部の内壁面の前記基体の前記他端側の端部と前記第３孔部の内壁面の前記基体の前記一端側の端部とを結ぶテーパ状に形成されている
ことを特徴とする接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、調節弁の弁開度検出用の磁石を弁軸上に接着するための接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
化学プラント等においては、流量のプロセス制御に調節弁（バルブ）が用いられており、近年では、調節弁に流量計の機能を追加した流量制御バルブも増えつつある。
【０００３】
流量制御バルブは、例えば、流体の流量を制御するための弁（弁体）と、上位装置から送られた弁開度の設定値（設定開度）と調節弁の弁開度の実測値（実開度）との偏差を算出し、その偏差に基づいて駆動モータ（電動機）を駆動することにより、弁体に連結された弁軸を回転させて弁開度を制御する電動アクチュエータとから成る電動弁としての構造を備えている。
【０００４】
上記電動アクチュエータは、調節弁の実開度を計測するための機能部として、調節弁の弁開度を弁軸の変位量として検出する変位量検出器を備えており、上記変位量検出器としては、ポテンショメータや非接触角度センサ（磁気センサ）がよく知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２２４７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本願発明者は、本願発明に先立って、流量制御バルブに熱量計の機能を追加した特定計量器を開発することを検討した。その検討の結果、以下に示す問題があることが明らかとなった。
【０００７】
熱量計の機能を付加した流量制御バルブが特定計量器として認められるためには、その構造や器差が省令で定められた技術基準を満足する必要がある。しかしながら、従来の流量制御バルブの構成をそのまま適用した場合、流量の計測精度に関して上記技術水準を満足することができないことが明らかとなった。
【０００８】
一般に、上述した電動弁に流量計の機能を付加した構成の流量制御バルブでは、弁の一次側および二次側の圧力と実際の弁開度（実開度）とに基づいて、流量制御バルブ内の流体の流量を計測（算出）している。そのため、流量の計測精度を上げるためには、弁開度の検出精度を上げる必要がある。
【０００９】
しかしながら、弁開度を計測するための部品としてポテンショメータを用いた場合、ポテンショメータは摺動部を有しており、抵抗値の線形性が保証できないことから、弁開度の検出精度を上げることは容易ではない。
【００１０】
そこで、本願発明者は、ポテンショメータの代わりに、非接触角度センサである磁気センサを用いることを検討した。
【００１１】
図９は、本願発明者が検討した、流量制御バルブ用の磁気センサを用いた電動アクチュエータの要部の断面構造を模式的に示す図である。
図９に示すように、例えばバタフライ弁等のロータリ式の調節弁を操作する電動アクチュエータ１００において、筐体８内に弁軸（ステム）５を回転可能に支持するとともに、弁軸５の弁体（図示せず）が接続される側と反対側の端部に磁石ホルダ４を介して磁石３を固定し、磁石３と対向する位置に非接触角度センサ（磁気センサ）６を基板７を介して設置する。
【００１２】
図１０は、図９のＥ方向から見たときの磁石および磁石ホルダの平面構造を示す図である。
図１０に示すように、磁石３は、平面視略円形状に形成され、Ｎ極とＳ極の両方が磁気センサ６に対向するように磁石ホルダ４の面４Ａに固定される。これにより、電動アクチュエータ１００が弁軸５を回転させると、弁軸５上に配置された磁石３が回転し、磁石３の周辺の磁束密度が変化する。この磁束密度の変化を、磁石３と対向配置された磁気センサ６によって検出することにより、弁軸の回転角度を検出し、調節弁の弁開度を計測することができる。
【００１３】
しかしながら、電動アクチュエータ１００において弁開度を高精度に計測するためには、磁気センサ６に対して磁石３を精度良く配置しなければならない。例えば、採用する磁気センサによっては、磁気センサ６の検出部と磁石の中心部との間のずれΔｘ１を０．０５ｍｍ以下にしなければ、弁開度を高精度に計測することができない。
【００１４】
この磁石の位置決めを高精度に行うためには、例えば、電子部品等を基板に実装するためのマウンタ等の装置を用いる必要があるが、これらの装置は非常に高価であるため、流量制御バルブの生産台数を考慮すると現実的な選択肢とは言えない。
【００１５】
また、仮に、磁石の位置決めを高精度に行うことができたとしても、磁石を磁石ホルダに固定することは容易ではない。すなわち、磁石は接着剤によって磁石ホルダに固定されるが、磁石を高精度に配置するためには、接着剤の種類、および接着剤を塗布するためのディスペンサの種類も考慮しなければならない。
【００１６】
例えば、外径Φ８±０．１の磁石を外径Φ１０の磁石ホルダの中心部分に高精度に設置するために必要な接着剤の塗布量は１μＬである。このような微小量の接着剤を塗布するためには、使用する接着剤およびディスペンサを適切に選別しないと製造コストの増大を招く。
【００１７】
例えば、２液型の接着剤を用いる場合、接着剤を硬化させるタイミングを制御することは容易となるが、２液型の接着剤は粘度が高いため、空気圧を利用した安価なディスペンサでは微小量を高精度に塗布することはできない。そのため、より高精度で高価なディスペンサを用いる必要があり、製造コストの増大を招く。
【００１８】
一方、１液型の接着剤を用いる場合、２液型の接着剤に比べて粘度が低いため、安価なディスペンサを用いて微小量を高精度に塗布することは可能となるが、接着剤が硬化するタイミングの制御が容易ではない。例えば、常温で硬化する１液型の接着剤を用いた場合、磁石ホルダの載置面に接着剤を塗布した後に、速やかに磁石を載置しなければならず、磁石の位置決めが完了する前に接着剤が硬化してしまうおそれがある。一方、常温よりも高い温度で硬化する接着剤を用いた場合、磁石を磁石ホルダに固定するために、接着剤が塗布され、位置決めされた磁石を載置した磁石ホルダをオーブン等の高温空間に一つひとつ移動させる必要がある。そのため、流量制御バルブを量産する際の作業効率が悪く、製造コストの増大を招く。
【００１９】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、調節弁の弁開度検出用磁石の弁軸上への接着を低コストに行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に係る磁石の接着方法は、少なくとも一部が筒状に形成された基体（１）から成る位置決め用治具（１０）を用いて、円柱状の磁石ホルダ（４）に円柱状の磁石（３）を接着するための接着方法であって、複数の磁石ホルダの夫々の一端を、基台（１２）の主面に形成された複数の凹部（１２０）に夫々嵌挿させる第１ステップ（Ｓ１）と、常温よりも高い温度で硬化する１液型の接着剤を複数の磁石ホルダの夫々の他端または複数の磁石に塗布する第２ステップ（Ｓ２）と、第２ステップの後に、磁石を磁石ホルダの他端に載置する第３ステップ（Ｓ３）と、第３ステップの後に、磁石が載置された磁石ホルダの他端を位置決め用治具の筒状部分の開口部（２Ａ）に嵌挿させる第４ステップ（Ｓ４）と、位置決め用治具が嵌挿された複数の磁石ホルダが載置されている基台を接着剤が硬化する温度環境に置く第５ステップ（Ｓ５）とを含むことを特徴とする。
【００２１】
上記接着方法において、基体の筒状部分は、基体の一端（１Ａ）を開口し、基体の軸方向に垂直な断面が磁石の径よりも長い径（Ｌａ）を有する円柱状の内部空間を形成するとともに、磁石が載置される棒状部材の外周面とすきまばめで嵌合する第１孔部（２Ａ）と、第１孔部と同軸の円錐形状または円錐台形状の内部空間を形成し、この内部空間の基体の軸方向に垂直な断面の径が基体の他端（１Ｃ）に向かって連続的に減少する第２孔部（２Ｂ）とを含むことを特徴とする。
【００２２】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の参照符号を、括弧を付して記載している。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したことにより、本発明によれば、調節弁の弁開度検出用磁石の弁軸上への接着を低コストに行うことにある。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る接着方法において用いる位置決め用治具の要部を示す断面図である。
【図２】図２は、図１のＣ方向から見たときの位置決め用治具の要部を示す平面図である。
【図３】図３は、図１のＡ方向から見たときの位置決め用治具の要部を示す平面図である。
【図４】図４は、位置決め用治具を磁石が載置されている磁石ホルダに嵌合させたときの位置決め用治具の断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る接着方法において用いられるトレーの平面構造を示す図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係る接着方法において用いられるトレーの断面構造を示す図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態に接着方法の流れ示すフロー図である。
【図８】図８は、別の実施の形態に係る位置決め用治具の要部を示す断面図である。
【図９】図９は、本願発明者が検討した、流量制御バルブ用の磁気センサを用いた電動アクチュエータの要部の断面構造を模式的に示す図である。
【図１０】図１０は、図９のＥ方向から見たときの磁石および磁石ホルダの平面構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【００２６】
本実施の形態に係る磁石の接着方法は、上述の図９に示した電動アクチュエータ１００の製造工程において、弁開度検出用の磁石３を、基板７上に設置された非接触角度センサ（磁気センサ）６と対向する弁軸５上の位置に精度良く設置するための方法である。
【００２７】
本実施の形態に係る接着方法では、先ず、専用のトレーに並べられた複数の磁石ホルダ４の夫々に専用の位置決め用治具を用いて接着剤が塗布された磁石３を載置し、その後、上記位置決め用治具が嵌挿された状態の磁石ホルダ４が並べられたトレーを高温環境下に置くことによって上記接着剤を硬化させる。以下、上記接着方法について具体的に説明する。
【００２８】
（１）位置決め用治具
はじめに、本実施の形態に係る接着方法において用いられる位置決め用治具について説明する。
【００２９】
図１乃至３は、本発明の実施の形態に係る接着方法において用いられる位置決め用治具の構造を示す図である。
図１には、Ｂ−Ｂ断面における位置決め用治具１０（以下、単に「治具１０」とも称する。）の断面構造が示され、図２には、Ｃ方向から見たときの治具１０の平面構造が示され、図３には、Ａ方向から見たときの治具１０の平面構造が示されている。
【００３０】
治具１０は、弁開度検出用の平面視略円形状に形成された磁石３を、磁石ホルダ４上に設置するための器具である。
【００３１】
ここで、磁石ホルダ４は、磁石３を弁軸５の先端部に載置するための台座となる棒状（柱状）部品であり、非磁性体（例えば、アルミや銅等）で構成されている。図９に示すように、磁石ホルダ４は、一端に磁石３を載置する面４Ａを有し、他端において弁軸５と嵌合される。例えば、磁石ホルダ４の面４Ａ側の先端部分は、円柱形状を有し、図１０に示すように平面視略円形状に形成されている。
【００３２】
具体的に、治具１０は、柱状の基体１と、基体１に形成された孔２とから構成されている。
基体１は、例えば、アルミ、銅、または樹脂等の非磁性体によって構成されている。図２、３に示すように、基体１は、例えば、少なくとも一部が筒状に形成され、平面視略円形状となっている。
【００３３】
孔２は、第１孔部２Ａ、第２孔部２Ｂ、および第３孔部２Ｃから構成された貫通孔であり、例えば公知の金属等の加工処理技術によって、基体１に形成されている。
【００３４】
第１孔部２Ａは、基体の端部１Ａを開口して円柱状の内部空間を形成する孔であり、基体１の軸方向と垂直な断面が径Ｌａを有している。具体的に、第１孔部２Ａの径Ｌａは、上述した弁開度検出用の磁石３の径よりも長く、且つ磁石３が載置される円柱状の磁石ホルダ４の外周面と第１孔部２Ａの内壁面Ｓとが、すきまばめで嵌合する長さである。例えば、磁石ホルダ４と第１孔部２Ａとのはめあい公差は、軸となる磁石ホルダ４の外径をΦ１０ｇ５としたとき、第１孔部２Ａの内径はΦ１０Ｈ６である。
【００３５】
第３孔部２Ｃは、基体の端部１Ｃを開口して円柱状の内部空間を形成する孔であり、基体１の軸方向と垂直な断面が径Ｌｃを有している。具体的に、第３孔部２Ｃは、図２，３に示すように、第１孔部２Ａと同軸上に平面視略円形状に形成されている。第３孔部２Ｃの径Ｌｃは、磁石３の径よりも短い。
【００３６】
第２孔部２Ｂは、第１孔部２Ａと同軸の円錐台形状の内部空間を形成し、この内部空間の基体１の軸方向に垂直な断面の径が基体１の他端１Ｃに向かって連続的に減少する孔である。具体的に、第２孔部２Ｂの内壁面は、第１孔部２Ａの内壁面の基体１の他端１Ｃ側の端部と第３孔部２Ｃの内壁面の基体１の一端１Ａ側の端部とを結ぶテーパ状に形成されている。
【００３７】
ここで、第２孔部２Ｂは、例えば、第１孔部２Ａの内壁面Ｓとテーパ状の第２孔部２Ｂの内壁面の中心（第１孔部２Ａの基体１の他端１Ｃ側の端部と第３孔部２Ｃの基体１の一端１Ａ側の端部とを結ぶ線分の中点）とのずれが、例えば０．０１ｍｍとなるように形成されている。
【００３８】
図４は、本実施の形態に係る治具を磁石が載置された磁石ホルダに嵌合させたときの治具の断面図である。
【００３９】
磁石３を磁石ホルダ４に固定する場合、図４に示すように、磁石ホルダ４の面４Ａに磁石３を載置した後に、治具１０を磁石ホルダ４の面４Ａ側の先端部に嵌め込む。具体的には、磁石３の縁部３Ａが治具１０の第２孔部２Ｂの内壁面に接するまで、治具１０を磁石ホルダ４に嵌め込む。これにより、磁石３を磁石ホルダ４の中心部分に精度良く配置することができる。
【００４０】
例えば、外径Φ１０ｇ５の磁石ホルダ４の中心部分に外径Φ８±０．１の磁石３を設置するために、第１孔部２Ａの内径をΦ１０Ｈ６とし、第１孔部２Ａの内壁面Ｓと第２孔部２Ｂの内壁面の中心とのずれを０．０１ｍｍとした治具１０を作製した場合、設計上、磁石３と磁石ホルダ４の中心のずれ幅Δｘ２を０．０２ｍｍ以下に収めることができる。
【００４１】
実際に、本願発明者が上記の条件で治具１０を試作し、その治具１０を用いて磁石３の位置決めを行ったところ、磁石３と磁石ホルダ４の中心のずれ幅Δｘ２は０．００５〜０．０１５ｍｍの範囲に収まることがわかった。したがって、治具１０を用いれば、磁気センサ６の検出部と磁石３の中心部との間のずれΔｘ１を０．０５ｍｍ以下にすることが可能となる。
【００４２】
（２）トレー
次に、本実施の形態に係る接着方法において用いられる専用のトレーについて説明する。
図５，６は、本発明の実施の形態に係る接着方法において用いられるトレーの構造を示す図である。
図５には、トレー１２の平面構造が示され、図６には、トレー１２の断面構造が示されている。
【００４３】
トレー１２は、接着剤を塗布した磁石３が載置された複数の磁石ホルダ４を一括して高温環境下に置くための器具である。トレー１２は、例えば上記接着剤を硬化させるのに必要な温度よりも十分に高い耐熱性を有した金属や樹脂等の材料から構成されている。
【００４４】
具体的に、トレー１２は、主面１２Ａに形成された複数の凹部１２０を有している。夫々の凹部１２０は、例えば、主面１２ＡのＸ方向およびＹ方向に沿って等間隔に形成されている。
【００４５】
夫々の凹部１２０は、磁石ホルダ４の形状に応じた形状を有している。具体的には、図６に示すように磁石ホルダ４をトレー１２の凹部１２０に挿入したときに、磁石ホルダ４をトレー１２上で安定させることができる形状を有している。
【００４６】
より具体的には、凹部１２０は、磁石ホルダ４の面４Ａと反対側の端部を挿入することができ、且つトレー１２上で磁石ホルダ４を保持可能な深さＬｆ（Ｚ方向の長さ）と内径Ｌｅ（Ｘ，Ｙ方向の長さ）を有している。例えば、磁石ホルダ４の軸方向の長さをＬｇとしたとき、凹部１２０の深さＬｆはＬｇの約１／４〜１／３の長さである。また、磁石ホルダ４の外径をＬｄとしたとき、凹部１２０の内径Ｌｅは“Ｌｄ＋ΔＬ”である。ここで、ΔＬは例えば０．５ｍ〜１ｍ程度である。
【００４７】
なお、磁石ホルダ４をトレー１２上でより安定して保持するためには、磁石ホルダ４と凹部１２０とがすきまばめで嵌め合うようにすることが好ましい。
【００４８】
（３）位置決め用治具を用いた磁石の接着方法
次に、治具１０およびトレー１２を用いた磁石３の接着方法について、具体的に説明する。
図７は、本発明の実施の形態に係る接着方法の処理手順を示すフロー図である。
【００４９】
図７に示すように、先ず、磁石３を載置していない状態の複数の磁石ホルダ４を、面４Ａと反対側の端部がトレー１２の夫々の凹部１２０に嵌挿させてトレー１２に載置する（Ｓ１）。
【００５０】
次に、トレー１２に載置された夫々の磁石ホルダ４の面４Ａに接着剤を塗布する（Ｓ２）。ここで、上記接着剤は、常温よりも高い温度（例えば１００℃程度）で硬化する１液型の接着剤である。
【００５１】
具体的に、ステップＳ２では、液体定量吐出装置を用いて所定量の接着剤を磁石ホルダ４の面４Ａに塗布する。ここで、上記液体定量吐出装置としては、例えば空気圧を利用したエアー吐出方式のディスペンサを用いることができる。また、上記接着剤の塗布量は、例えば、外形Φ８±０．１の磁石を外径Φ１０の磁石ホルダ４に固定する場合、約１μＬである。上記接着剤は、例えば、夫々の磁石ホルダ４の面４Ａの中心部分に塗布される。
【００５２】
次に、接着剤が塗布された複数の磁石ホルダ４の夫々の面４Ａに磁石３を載置する（Ｓ３）。磁石３の載置は、手作業で行ってもよいし、装置を用いて行ってもよい。
【００５３】
次に、複数の磁石ホルダ４に治具１０を夫々被せる（Ｓ４）。具体的には、上述したように、夫々の磁石ホルダ４の磁石３が載置された面４Ａ側の端部と治具１０の第２孔部２Ａとを嵌挿させることにより、夫々の磁石ホルダ４に治具１０を被せる（図４、図５参照）。
【００５４】
次に、トレー１２を高温環境下に置く（Ｓ５）。具体的には、図７に示されるように治具１０を被せた複数の磁石ホルダ４を載置したトレー１２を、接着剤硬化用のオーブンに入れ、上記オーブンを上記接着剤の硬化に必要な温度（上述の例の場合、約１００℃）に設定する。
【００５５】
その後、上記接着剤が硬化するのに十分な時間が経過したら、トレー１２を取り出し、夫々の磁石ホルダ４に嵌挿されている治具１０を取り外す。
以上により、磁石３を磁石ホルダ４上に固定することができる。
【００５６】
以上、本実施の形態に係る磁石の接着方法によれば、弁開度検出用磁石の弁軸上への接着を低コストに行うことができる。すなわち、トレー１２を用いることにより、治具１０を被せた複数の磁石ホルダ４を一括してオーブン等の高温環境下に置くことができるので、常温よりも高い温度で硬化する１液型の接着剤を用いた場合であっても、複数の磁石ホルダ４に対する磁石３の固定を効率良く行うことができる。また、トレー１２を用いることにより、２液型の接着剤よりも比較的粘度が低い１液型の接着剤を用いることができるので、例えば空気圧を利用したエアー吐出方式の安価なディスペンサを用いることができる。
【００５７】
また、位置決め用治具１０を用いることにより、弁開度検出用磁石の位置決めを高精度且つ低コストに行うことができる。すなわち、磁石３を接着剤を塗布した磁石ホルダ４上に載置した後に、治具１０の第１孔部２Ａに磁石ホルダ４を嵌挿することにより、治具１０のテーパ状に形成された第２孔部２Ｂの内壁面と磁石３の端部３Ａとの接触によって磁石３の位置を定めることができる。これにより、上述したような高価な装置を用いることなく、手作業によって、磁石３を磁気センサ６に対して精度良く配置することができる。
【００５８】
以上のように、本実施の形態に係る磁石の接着方法によれば、弁軸上に設置する弁開度検出用磁石の位置決めと弁開度検出用磁石の弁軸上への接着を、高精度且つ低コストに行うことができる。したがって、本実施の形態に係る磁石の接着方法を適用して、上述の磁気センサを用いた流量制御バルブを製造することにより、流量制御バルブの弁開度の検出精度を向上させることができるので、流量の計測精度の高い流量制御バルブをより低コストに実現することが可能となる。
【００５９】
また、治具１０において、基体１の他端１Ｃに第３孔部２Ｃが形成されているので、本実施の形態に係る磁石の接着方法による作業中に、作業者が磁石３の載置の有無等を目視で確認することが可能となるので、作業ミスの発生を防止することができ、作業効率の向上が期待できる。また、第３孔部２Ｃにより、孔２が貫通孔となるので、治具１０自体の加工処理が容易となり、治具１０の製造コストの低減に資する。
【００６０】
以上、本発明者らによってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
【００６１】
例えば、上記実施の形態では、複数の磁石ホルダ４をトレー１２に設置した後で、接着剤を磁石ホルダ４上に塗布する場合を例示したが（図７参照）、これに限られない。例えば、複数の磁石ホルダ４に接着剤を塗布した後に、それらの磁石ホルダ４をトレー１２に載置してもよいし、接着剤を介して磁石３を載置した磁石ホルダ４に治具１０を被せた後で、それらの磁石ホルダをトレー１２に載置してもよい。
【００６２】
また、上記実施の形態において、孔２を貫通孔とする場合を例示したが、治具の加工処理等を考慮しなくてもよい場合には、図８に示す治具１０Ａのように、第３孔部２Ｃを形成せず、孔２を貫通孔にしなくてもよい。
また、第３孔部２Ｃを形成しない場合には、第２孔部２Ｂを円錐台形状ではなく、円錐形状としてもよい。
【符号の説明】
【００６３】
１０，１０Ａ…治具、１…基体、１Ａ，１Ｃ…基体１の端部、２…孔、２Ａ…第１孔部、２Ｂ…第２孔部、２Ｃ…第３孔部、３…磁石、４…磁石ホルダ、４Ａ…面、５…弁軸、６…磁気センサ、７…基板、８…筐体、１２…トレー、１２Ａ…主面、１２０…凹部。
【図１】
0006670077.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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