(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量％で、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｎｉ：３０〜５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなるメタルマスク用素材であって、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、０．０５μｍ≦Ｒａ≦０．２５μｍ、Ｒｚ≦１．５μｍ以下であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向と直交する方向におけるスキューネスＲｓｋが０以上であり、
前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の６０％を除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であり、板厚が０．１０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であるメタルマスク用素材。
【請求項２】
前記メタルマスク用素材の圧延方向におけるスキューネスＲｓｋが前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向におけるＲｓｋよりも小さい、請求項１に記載のメタルマスク用素材。
【請求項３】
前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向における表面粗さＲａが、前記メタルマスク用素材の圧延方向における表面粗さＲａよりも大きい、請求項１または２に記載のメタルマスク用素材。
【請求項４】
前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向におけるＲｓｋが１.０以下である、請求項１〜３のいずれかに記載のメタルマスク用素材。
【請求項５】
前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の２０％、３０％、５０％のいずれかを除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のメタルマスク用素材。
【請求項６】
質量％で、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｎｉ：３０〜５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる冷間圧延用素材を冷間圧延してメタルマスク用素材を得るメタルマスク用素材の製造方法であって、
前記冷間圧延用素材に対する仕上冷間圧延工程における最終パスの条件が、圧下率：３５％以下、圧延ロールの噛み込み角：１．０°以上であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、０．０５μｍ≦Ｒａ≦０．２５μｍ、Ｒｚ≦１．５μｍ以下であり、圧延方向と直交する方向におけるスキューネスＲｓｋが０以上であるとともに、
前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の６０％を除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であり、
仕上冷間圧延後の素材の板厚が０．１０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることを特徴とするメタルマスク用素材の製造方法。
【請求項７】
前記圧延ロールの噛み込み角が３．０°以下である、請求項６に記載のメタルマスク用素材の製造方法。
【請求項８】
前記仕上冷間圧延工程における最終パスの圧下率が、１５％〜３５％である、請求項６または７に記載のメタルマスク用素材の製造方法。
【請求項９】
前記仕上冷間圧延工程の最終パスに用いるロールの円周方向と直交する方向の表面粗さＲａが０．０５〜０．２５μｍである、請求項６〜８のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。
【請求項１０】
前記仕上冷間圧延工程の圧延速度が１５０ｍ／ｍｉｎ以下である、請求項６〜９のいずれかに記載のメタルマスク用素材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタルマスク用素材およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば有機ＥＬディスプレイの作製において、基板へ蒸着しカラーパターニングを生成する為にメタルマスクが用いられる。このようなメタルマスクは、開孔部を作製する方法の一つとして、Ｆｅ−Ｎｉ合金の薄板にエッチング加工を行う方法が知られている。このエッチング特性を向上させるために、種々の提案がなされている。例えば特許文献１には、高精細なエッチングパターンの形成を可能とするために、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、Ｒａ：０．０８〜０．２０μｍであり、圧延方向に測定した表面粗さが、Ｒａ：０．０１〜０．１０μｍであり、且つ、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、圧延方向に測定した表面粗さより、Ｒａで０．０２μｍを超えて粗い表面粗さを有することを特徴とするエッチング加工用素材について記載されている。また特許文献２には、圧延面の結晶方位（１１１）、（２００）、（２２０）、（３１１）のＸ線回折強度を調整することでエッチング性を向上させたメタルマスク材料について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１４４４７号公報
【特許文献２】特開２０１４−１０１５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
高精彩な有機ＥＬディスプレイ等の製品を作製するために、使用するマスクにはより高精度なパターンの形成が必要である。そのためにはエッチングが均一に進行できる表面肌に加えて、サイドエッチング抑制のためにレジストと素材との密着性をより向上させることも求められる。特許文献１、特許文献２はそれぞれエッチング加工性を向上させる点において優れた発明だが、密着性も同時に向上させる点に関しては、さらなる検討の余地が残されている。
本発明の目的は、エッチング後の形状変化を抑制するとともに、良好なレジスト密着性とエッチング加工性を得るうえで好適なメタルマスク用素材とその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等は上記目的を達成するために、化学組成、表面粗さ、残留応力等のエッチング加工に影響を及ぼす種々の要因について鋭意検討した。その結果、レジストとの密着性向上や均一なエッチング加工を可能とし、さらにエッチング後の形状変化抑制に有効な構成を知見し、本発明に想到した。【０００６】
すなわち本発明の一態様は  質量％で、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｎｉ：３０〜５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなるメタルマスク用素材であって、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、０．０５μｍ≦Ｒａ≦０．２５μｍ、Ｒｚ≦１．５μｍ以下であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向と直交する方向におけるスキューネスＲｓｋが０以上であり、
前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の６０％を除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であり、板厚が０．１０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であるメタルマスク用素材である。
好ましくは、前記メタルマスク用素材の圧延方向におけるスキューネスＲｓｋが前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向におけるＲｓｋよりも小さい。
好ましくは、前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向における表面粗さＲａが、前記メタルマスク用素材の圧延方向における表面粗さＲａよりも大きい。
好ましくは、前記メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向におけるＲｓｋが１以下である。
好ましくは、前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の２０％、３０％、５０％のいずれかを除去したときの反り量が１５ｍｍ以下である。  【０００７】
本発明の他の一態様は、質量％で、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｎｉ：３０〜５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなる冷間圧延用素材を冷間圧延してメタルマスク用素材を得るメタルマスク用素材の製造方法であって、
前記冷間圧延用素材に対する仕上冷間圧延工程における最終パスの条件が、圧下率：３５％以下、圧延ロールの噛み込み角：１．０°以上であり、
前記メタルマスク用素材は、圧延方向における表面粗さと圧延方向と直交する方向における表面粗さとがともに、０．０５μｍ≦Ｒａ≦０．２５μｍ、Ｒｚ≦１．５μｍ以下であり、圧延方向と直交する方向におけるスキューネスＲｓｋが０以上であるとともに、
前記メタルマスク用素材から長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の６０％を除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であり、
仕上冷間圧延後の素材の板厚が０．１０ｍｍ以上０．５ｍｍ未満であることを特徴とするメタルマスク用素材の製造方法である。
好ましくは、前記圧延ロールの噛み込み角が３．０°以下である。
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程における最終パスの圧下率が、１５％〜３５％である。
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程の最終パスに用いるロールの円周方向と直交する方向の表面粗さＲａが０．０５〜０．２５μｍである。
好ましくは、前記仕上冷間圧延工程の圧延速度が１５０ｍ／ｍｉｎ以下である。
【発明の効果】
【０００８】
上記の特徴を有する本発明によれば、エッチング加工後の形状変化も少なく、レジストとの密着性向上に好適なメタルマスク用素材を得ることが可能である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。ただし、本発明は、ここで取り挙げた実施形態に限定されるものではなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜組み合わせや改良が可能である。なお本発明のメタルマスク用素材とは、コイル状に巻き回されている鋼帯や、その鋼帯を切断して作製された矩形状の薄板も含む。
本発明のメタルマスク用素材を、質量％で、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、Ｎｉ：３０〜５０％を含有し、残部がＦｅ及び不可避的不純物である化学組成のＦｅ−Ｎｉ合金とした理由は以下のとおりである。
[Ｃ：０．０１質量％以下]
Ｃは、エッチング性に影響を及ぼす元素である。Ｃが過度に多く含まれるとエッチング性を阻害するため、Ｃの上限を０．０１％とした。Ｃは０％でも良いが、製造工程上少なからず含まれるものであるため、下限は特に限定しない。
[Ｓｉ：０．５質量％以下、Ｍｎ：１．０質量％以下]
Ｓｉ、Ｍｎは、通常、脱酸の目的で使用され、Ｆｅ−Ｎｉ合金に微量含有されているが、過剰に含有すれば偏析を起こし易くなるため、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下とした。好ましいＳｉ量とＭｎ量は、Ｓｉ：０．１％以下、Ｍｎ：０．５％以下である。ＳｉとＭｎの下限は、例えばＳｉは０．０５％、Ｍｎは０．０５％と設定することができる。
[Ｎｉ：３０〜５０質量％]
Ｎｉは、熱膨張係数を調整する作用を有し、低熱膨張特性に大きな影響を及ぼす元素である。含有量が３０％より少なく、または５０％を越えるものでは熱膨張係数を低める効果がなくなるため、Ｎｉの範囲は３０〜５０％とする。好ましいＮｉ量は３２〜４５％である。
上記以外を構成するのはＦｅ及び不可避的不純物である。
【００１０】
まず、本発明のメタルマスク用素材について説明する。
（表面粗さ）
本発明のメタルマスク用素材の表面粗さは、算術平均粗さＲａ（ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−２００１に準拠）が０．０５〜０．２５μｍであり、かつ最大高さＲｚ（ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−２００１に準拠）が１．５μｍ以下であることを特徴とする。上記範囲内のＲａおよびＲｚを有することで、本発明の素材は高精度なエッチング加工が可能となる。Ｒａが０．２５μｍを超える場合、素材表面が粗すぎるためエッチングの進行にばらつきが生じ、高精度なエッチング加工が困難となる。Ｒａが０．０５μｍ未満の場合、レジストの密着性が低下する傾向にある。また上記Ｒａの範囲を満たしていても、Ｒｚが１．５μｍを超える場合、素材表面の一部に、粗さ曲線における大きな山部分が形成され、その山部からエッチングが進行してエッチングムラの要因となるため、好ましくない。Ｒｚの下限は特に限定しないが、より高い密着性を得るために、Ｒｚの下限を０．３μｍに設定すると好ましい。より好ましいＲａの上限は０．２０μｍであり、より好ましいＲｚの上限は１.２μｍである。上記の表面粗さの規定は、局所的なエッチングムラを抑制するために、メタルマスク用素材の圧延方向と直交する方向（以降、「幅方向」または「圧延直角方向とも記載する）の表面粗さと、圧延方向（以降、「長手方向」とも記載する）の表面粗さとの両方で満たすことが好ましい。また、本実施形態におけるメタルマスク用素材の幅方向の表面粗さは、圧延方向に測定した表面粗さよりも大きくなっていることが好ましい。これにより圧延油をロールと素材との間から排出させやすくなり、圧延油の噛み込みによって形成されるオイルピットを抑制することが可能である。具体的には幅方向のＲａは圧延方向のＲａより１０％以上高い値であると、上述したオイルピット抑制効果を得やすくなるため好ましい。なお表面粗さの測定には、一般的に使用されている接触式または非接触式の粗さ計を用いることができる。
【００１１】
本実施形態のメタルマスク用素材は、上述した表面粗さに加えて、素材の圧延方向と直交する方向におけるスキューネスＲｓｋ（ＪＩＳ−Ｂ−０６０１−２００１に準拠）≧０であることを特徴とする。上記の数値範囲を満たすことで、素材表面の粗さ曲線において、尖った形状の山部が多く形成されるため、高いアンカー効果が得ることができる。これによりメタルマスク用素材とレジストとの密着性を向上させ、エッチング液が素材とレジストとの境界に侵入することが要因で発生するサイドエッチングを抑制することが可能である。Ｒｓｋの値が過度に高くなり過ぎるとエッチングの均一な進行を阻害する可能性があるため、Ｒｓｋの上限は１．０が好ましく、０．５がさらに好ましい。さらに素材の圧延方向のＲｓｋを幅方向におけるＲｓｋよりも小さくすることで、前述したオイルピット抑制効果を向上させることができる。圧延方向のＲｓｋは幅方向のＲｓｋの値よりも小さければ、０未満の値（負値）をとってもよい。なお本実施形態のメタルマスク用素材は、上述したＲｓｋの効果を十分に得るためには、板厚０．５ｍｍ以下の素材に適用する。好ましくは、板厚０．２ｍｍ以下である。また板厚の下限は、後述する噛み込み角を１．０°以上に調整し易くするために、０．１０ｍｍに設定する。
【００１２】
（反り量）
本実施形態のメタルマスク用素材は、長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍの試料を切り出し、前記試料を片側からエッチングし、前記試料の板厚の６０％を除去したときの反り量が１５ｍｍ以下であることを特徴とする。上記に示すように、板厚の６０％の領域の残留応力も低減させることで、応力のバランスがより崩れる板厚中央付近のエッチングを行っても、変形を抑制し、良好にエッチング加工を進行させることができる。そのため多様な深さのハーフエッチングに対応でき、エッチングパターンの自由度を向上させることができる。好ましくは、前記試料の板厚の２０％、３０％、５０％のいずれかを除去したときの反り量が１５ｍｍ以下である。より好ましくは、前記試料の板厚の２０、３０、５０％のいずれを除去しても反り量が１５ｍｍ以下である。この反り量は１３ｍｍ以下が好ましく、１１ｍｍ以下がより好ましく、９ｍｍ以下がさらに好ましい。最も好ましくは、応力バランスが崩れやすく、大きな反りが発生しやすい、試料の板厚を５０％除去した際における反り量が９ｍｍ以下であり、板厚の２０％または３０％を除去した際における反り量が７ｍｍ以下であることが好ましい。本実施形態では、長手方向が圧延方向となるように試料を切断し、反りを測定している。なお本実施形態における反り量の測定方法は、試料の片側からエッチングで除去した後、カットサンプルの上端を垂直定盤に接する状態で吊り下げ、反りにより垂直定盤から離れたカットサンプルの下端と、垂直定盤との水平距離を反り量として測定している。
【００１３】
続いて、本発明のメタルマスク用素材の製造方法について説明する。
本実施形態の製造方法は、例えば、真空溶解−熱間鍛造−熱間圧延−冷間圧延という工程を適用することができる。必要に応じて、冷間圧延前の段階で１２００℃程度で均質化熱処理を行い、冷間圧延工程中には、冷間圧延材の硬さを低減するために８００〜９５０℃の焼鈍を１回以上行うことができる。上記冷間圧延工程では、表面のスケールを除去する研磨工程や、素材端部のオフゲージ部（板厚が厚い部分）の除去および圧延加工で発生する耳波部を除去するために耳切り工程を行ってもよい。熱処理工程時に使用する炉も、縦型炉、横型炉（水平炉）等既存のものを使用しても良いが、通板中の折れの防止や、素材の急峻度をより高めるために、自重によるたわみが発生し難い縦型炉を使用することが好ましい。
【００１４】
本実施形態の製造方法は、仕上冷間圧延工程における最終パスにおける圧下率を３５％以下に調整する。上記の圧下率が３５％を超える場合、素材の残留歪が大きくなり、エッチング加工時に変形の発生が増加する傾向にある。好ましい圧下率の上限は３０％である。なお過度に圧下率が少ないと、上述する表面粗さに調整することが困難となるため、圧下率の下限は１５％に設定することが好ましい。より好ましい圧下率の下限は１８％であり、さらに好ましい圧下率の下限は、２０％である。なお仕上冷間圧延におけるパス回数は特に規定せず、複数回（例えば、３回以上）行っても良いが、後述する研磨痕が潰れないように圧延するために、１回のパス数で仕上圧延を行うことが好ましい。
【００１５】
本実施形態の製造方法において、仕上冷間圧延に使用するロールは、ロールの円周方向（ロールの回転方向）と直交する方向の表面粗さがＲａ：０．０５〜０．２５μｍのロールを用いることができる。好ましいＲａの上限は０．１５μｍである。これによりメタルマスク用素材に所望の粗さを付与することができる。ロールの材質は特に限定せず、例えばＪＩＳ−Ｇ４４０４に規定される合金工具鋼ロールを使用することができる。また、圧延時のオイルが圧延材料表面とロールの間を通り抜けて行き易くする粗さをロールに付与することで、オイルピットの発生を抑制することができるため、本発明に係る製造方法のロール表面には、ロールの円周方向に研磨痕を形成することが好ましい。この研磨痕の形成には、ロールの円周方向と直交する方向の粗さがＲａ：０．０５〜０．２５μｍとすることができる粗さを有する砥石を用意し、ロールを転動しながら砥石を押し当てることで、形成することができる。この研磨痕により、本実施形態におけるロールの円周方向粗さと、円周方向に直交する方向の表面粗さとの差がＲａで０．０２μｍ以上であることがより好ましい。この特徴により、メタルマスク用素材の圧延直角方向の表面粗さと、圧延方向の表面粗さとの間に意図的に差を設けることができ、圧延油がより排出されやすくなるため、オイルピットの発生をさらに抑制することが可能である。
【００１６】
本発明に係る製造方法は仕上冷間圧延において、被圧延材とワークロールとが接触を開始する角度である噛み込み角を１．０°以上に設定する。噛み込み角をこのように調整することで、オイルピットの過度の発生を抑制しつつ、所望の表面粗さを得ることが可能である。ここで噛み込み角が大きすぎると、圧延荷重が過大となって所望の圧延形状が得られない可能性があるため、噛み込み角の上限を３．０°に設定することができる。好ましい噛み込み角の上限は、２．０°である。また上記噛み込み角の規定は、仕上冷間圧延の全パスに適用されることが好ましい。なお本実施形態における噛み込み角をθとしたとき、θ＝１８０／π・ａｒｃｃｏｓ（（Ｒ−（ｈ０−ｈ１）／２）／Ｒ）の計算式より噛み込み角を導出することができる。ここでＲ：ロール半径、ｈ０：圧延前の素材板厚、ｈ１：圧延後の素材板厚である。
【００１７】
本実施形態の製造方法は、圧延速度を１５０ｍ／ｍｉｎ以下に設定することが好ましい。圧延速度を１５０ｍ／ｍｉｎ以下に設定することで、ワークロールとメタルマスク用素材との間に導入される圧延油量を少なくしてオイルピットの発生を抑制し、より確実にＲｓｋを正値に調整することが可能である。より好ましい圧延速度の上限は、１２０ｍ／ｍｉｎである。さらに好ましくは１００ｍ／ｍｉｎに上限を設定する。なお、圧延速度の下限は特に設定しないが、遅すぎると生産効率が低下するため、２０ｍ／ｍｉｎと設定することができる。好ましくは３０ｍ／ｍｉｎである。
【００１８】
本実施形態の製造方法において、仕上圧延後にエッチング加工用素材に残留する歪を除去し、素材に発生する形状不良を抑制するために、歪取り焼鈍を行っても良い。歪取り焼鈍は、４００〜７００℃程度の温度で行うことが好ましい。なお焼鈍時間は特に限定しないが、長すぎると引張強さ等の特性が大幅に劣化し、短すぎると歪みを除去する効果が得られないため、０．５〜３．０ｍｉｎ程度とすることが好ましい。より好ましい歪取り焼鈍時間の下限は１．２ｍｉｎであり、さらに好ましい歪取り焼鈍時間の下限は１．５ｍｉｎである。
【実施例】
【００１９】
以下の実施例で本発明を更に詳しく説明する。
本実施例のメタルマスク用素材の化学組成を表１に示す。本実施例のＦｅ−Ｎｉ合金は、真空溶解−熱間鍛造−均質化熱処理−熱間圧延で厚さ２〜３ｍｍに仕上げる工程の後、冷間圧延を実施した。熱間圧延後のＦｅ−Ｎｉ合金には２回の焼鈍を含む冷間圧延を行い、Ｆｅ−Ｎｉ合金冷間圧延材を作製した。仕上冷間圧延の最終パス前のＦｅ−Ｎｉ合金冷間圧延材のそれぞれの厚さは、０．１２５ｍｍ（試料Ｎｏ．１）と０．２７５ｍｍ（試料Ｎｏ．２）であり、試料Ｎｏ．１は仕上冷間圧延後に０．１０ｍｍ（圧下率２０％）、試料Ｎｏ．２は仕上冷間圧延後に０．２０ｍｍ（圧下率２７％）となるように圧延条件を調整した。この時の試料Ｎｏ．１のロールの噛み込み角は１．２８°であった。また試料Ｎｏ．２のロールの噛み込み角は２．２２°であった。また、試料Ｎｏ．１と試料Ｎｏ．２において、仕上冷間圧延時の圧延速度はおよそ１００ｍ／ｍｉｎであった。また、仕上冷間圧延に用いたロールの円周方向（ロールの回転方向）と直交する方向の粗さＲａが０．０８〜０．２５μｍの範囲内であるロールを用いた。仕上冷間圧延後には、Ｎｏ．１の試料は６００℃の温度で２分間、Ｎｏ．２の試料は６３０℃の温度で１分間歪取り焼鈍を行った。また比較例として、圧延条件を調整してロール噛み込み角を１．０°未満に調整した試料Ｎｏ．１１を作成した。試料Ｎｏ．１１の化学組成や最終板厚、歪取り焼鈍条件は試料Ｎｏ．１と同様である。【００２０】
【表１】
0006646882.tif 000002
【００２１】
続いて得られた試料の表面粗さと反りを測定した。表面粗さＲａ、Ｒｚ、Ｒｓｋの測定は、ＪＩＳＢ０６０１，ＪＩＳＢ０６５１で示される測定方法に従い、ランダムに３箇所を選んで長手方向と幅方向の表面粗さを測定した。測定装置には触針式粗さ計を使用し、評価長さ４ｍｍ、測定速度０．３ｍｍ／ｓ、カットオフ値０．８ｍｍの条件で測定した。表２には、３箇所の平均値を示す。また反りの測定は、長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍのカットサンプルを作成し、板厚の２／５（板厚の６０％を除去）となるように片側からエッチングした後、カットサンプルを垂直上盤に吊下げた際の反り量を測定し、評価を行った。なお上記カットサンプルは、長さ方向が圧延方向となるように、作製した試料の幅方向中央部から採取した。エッチング液は塩化第二鉄水溶液を使用し、液温５０℃のエッチング液を噴霧させ試験片の腐食を実施した。結果を表２に示す。【００２２】
【表２】
0006646882.tif 000003
【００２３】
表２の結果より、本発明例のメタルマスク用素材である試料Ｎｏ．１と試料Ｎｏ．２は、良好な密着性と均一なエッチング加工性を発揮するために最適な表面状態であり、板厚の半分を超える深いエッチング後の形状変化も抑制できることが確認できた。一方で比較例である試料Ｎｏ．１１は、Ｒｓｋの幅方向が負値となっているため、密着性が本発明例よりも劣る可能性が高いことが確認できた。【００２４】
（実施例２）
次に、試料Ｎｏ．１および試料Ｎｏ．２の長さ１５０ｍｍ、幅３０ｍｍのカットサンプルを複数準備し、エッチングの除去量を表３に示すように変更した本発明例の試料Ｎｏ．３〜８を作成し、反り量の測定を行った。表３において、試料Ｎｏ．３〜５が試料Ｎｏ．１から作成した試料であり、試料Ｎｏ．６〜８が試料Ｎｏ．２から作成した試料である。反り量の測定方法や使用したエッチング液は、実施例１で使用したものと同様である。結果を表３に示す。【００２５】
【表３】
0006646882.tif 000004
【００２６】
表３の結果より、本発明のメタルマスク用素材は、エッチング深さを変更しても、反り量を抑制できることを確認した。特にエッチングによる素材の除去量が板厚の５０％の場合、圧縮残留応力と引張残留応力のバランスが崩れ、過大な反りが発生しやすい傾向にあるが、本発明例の素材には過大な反りは発生せず、エッチング用途に適することが確認できた。さらに、試料Ｎｏ．３〜５は、試料Ｎｏ．６〜８よりも反りが少ないことが確認できた。これは試料作製時において、試料Ｎｏ．６〜８の歪取り焼鈍時間が試料Ｎｏ．３〜５よりも短いため、残存する歪み量がわずかに大きくなったためと考えられる。