(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空排気すべき排気対象気体が導入される真空排気槽と、
Ｈｅガスを冷媒とする冷凍機と、
前記真空排気槽の内部に設けられ、冷却された前記冷凍機によって低温に冷却される極低温板と、を有し、
前記真空排気槽の内部の前記排気対象気体を、前記極低温板の表面に凝縮又は吸着して前記排気対象気体を排気するクライオポンプであって、
前記冷凍機は、前記真空排気槽に、防振装置を介して固定され、
前記極低温板は、前記冷凍機と前記防振装置とを介して前記真空排気槽によって支持されており、
前記防振装置は、
第一、第二の底板と、
前記第一の底板に固定された筒形形状の外筒体と、
前記第二の底板に固定された挿入体と、
前記第一の底板と前記第二の底板の間に設けられ、前記第一の底板と前記第二の底板に固定された弾性部材と、を有し、
前記外筒体と前記挿入体との間と、前記外筒体と前記第二の底板との間と、前記第一の底板と前記挿入体との間は、それぞれ離間して隙間が形成されており、前記外筒体と前記挿入体との間の隙間と、前記外筒体と前記第二の底板との間の隙間と、前記第一の底板と前記挿入体との間の隙間とには、前記弾性部材が配置され、
前記挿入体の中心軸線と前記外筒体の中心軸線は水平に配置され、
前記第一、第二の底板のうち、いずれか一方に前記冷凍機が固定され、他方が前記真空排気槽に固定されたクライオポンプ。
【請求項２】
前記冷凍機に固定されたモータ部側フランジと、
前記真空排気槽に固定されたポンプケース側フランジと、
を有し、
複数個の前記防振装置が、前記モータ部側フランジと前記ポンプケース側フランジとの間に配置され、前記第一、第二の底板のうち、いずれか一方に前記モータ部側フランジが固定され、他方に前記ポンプケース側フランジが固定された請求項１記載のクライオポンプ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のクライオポンプと、
前記真空排気槽が取りつけられた真空室とを有する真空処理装置。
【請求項４】
前記真空室には、処理対象物とシャドウマスクとを位置合わせする位置合わせ装置を有する請求項３記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記真空室の内部に成膜材料の蒸気を放出する蒸着源が設けられた請求項３又は請求項４のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記成膜材料は有機物であり、前記成膜材料の蒸気は、前記有機物の蒸気である請求項５記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クライオポンプと、クライオポンプを用いた真空処理装置に係り、特に、低振動が求められるクライオポンプと、クライオポンプを用いた真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クライオポンプは真空容器内に極低温面を設置し、これに容器内の気体分子を凝縮又は吸着させて捕捉し、排気するポンプである。
クライオポンプの特徴としては、水に対する排気速度が大きく、清浄な真空を簡単な操作で得られることから、真空蒸着やスパッタ装置などの高品質な薄膜を必要とする真空装置に広く使用されている。
【０００３】
クライオポンプの極低温面を得るためにＨｅガスを冷媒とする小型ヘリウム冷凍機、主にＧＭ冷凍機、ソルベイ式冷凍機を用いており、冷凍機にはモータとその回転運動を直線運動にする機械部品とその先端にはディスプレーサーが取り付けられており、１Ｈｚ又は１．２Ｈｚでピストン運動をしている。冷凍機にＨｅガスを圧縮して供給するコンプレッサとはフレキシブルホースで接続されている。真空装置に設置されているクライオポンプとは離れた場所に配置されるため、コンプレッサの振動は真空装置に直接的に伝達されないが、クライオポンプは真空装置に直接的に設置されているため、冷凍機の機械振動が真空装置に伝達されると装置内部での精密作業に影響を与えてしまう。
【０００４】
低振動のクライオポンプとしては、低振動型のモーターや、防振型のベローズ等が採用されたクライオポンプが提供されている。
しかしながら、真空雰囲気中で形成する薄膜パターンは益々微細化しており、そのため、アラインメントを行う真空処理装置等には、一層の低振動が必要とされ、振動に起因する問題が発生しないクライオポンプが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５８−１８３８７８号公報
【特許文献２】特開平５−１４１３４８号公報
【特許文献３】特開２００７−５１８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、一層の低振動のクライオポンプと、そのクライオポンプを用いた真空処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、真空排気すべき排気対象気体が導入される真空排気槽と、Ｈｅガスを冷媒とする冷凍機と、前記真空排気槽の内部に設けられ、冷却された前記冷凍機によって低温に冷却される極低温板と、を有し、前記真空排気槽の内部の前記排気対象気体を、前記極低温板の表面に凝縮又は吸着して前記排気対象気体を排気するクライオポンプであって、前記冷凍機は、前記真空排気槽に、防振装置を介して固定され、前記極低温板は、前記冷凍機と前記防振装置とを介して前記真空排気槽によって支持されており、前記防振装置は、第一、第二の底板と、前記第一の底板に固定された筒形形状の外筒体と、前記第二の底板に固定された挿入体と、前記第一の底板と前記第二の底板の間に設けられ、前記第一の底板と前記第二の底板に固定された弾性部材と、を有し、前記外筒体と前記挿入体との間と、前記外筒体と前記第二の底板との間と、前記第一の底板と前記挿入体との間は、それぞれ離間して隙間が形成されており、前記外筒体と前記挿入体との間の隙間と、前記外筒体と前記第二の底板との間の隙間と、前記第一の底板と前記挿入体との間の隙間とには、前記弾性部材が配置され、前記挿入体の中心軸線と前記外筒体の中心軸線は水平に配置され、前記第一、第二の底板のうち、いずれか一方に前記冷凍機が固定され、他方が前記真空排気槽に固定されたクライオポンプである。
また、本発明は、前記冷凍機に固定されたモータ部側フランジと、前記真空排気槽に固定されたポンプケース側フランジと、を有し、複数個の前記防振装置が、前記モータ部側フランジと前記ポンプケース側フランジとの間に配置され、前記第一、第二の底板のうち、いずれか一方に前記モータ部側フランジが固定され、他方に前記ポンプケース側フランジが固定されたクライオポンプである。
また、本発明は、上記のクライオポンプと、前記真空排気槽が取りつけられた真空室とを有する真空処理装置である。
また、本発明は、前記真空室には、処理対象物とシャドウマスクとを位置合わせする位置合わせ装置を有する真空処理装置である。
また、本発明は、前記真空室の内部に成膜材料の蒸気を放出する蒸着源が設けられた真空処理装置である。
前記成膜材料は有機物であり、前記成膜材料の蒸気は、前記有機物の蒸気である真空処理装置である。
【０００８】
＜冷凍機の動作原理＞
一段式冷凍機を例にとって、冷凍機の冷凍サイクルを説明する。
図５(ａ)〜図５(ｄ)は、冷凍機の内部構造を説明するための図であり、図６は、その冷凍機のＧ−Ｍサイクルの作動原理を説明するためのグラフである。
【０００９】
図５(ａ)〜図５(ｄ)を参照し、冷凍機はシリンダー１０１を有しており、シリンダー１０１の内部には、ディスプレーサー１０２が配置されている。
【００１０】
ここで、シリンダー１０１の一端を低温部側１１３、他端を室温部側１１４とすると、一サイクルの開始時には、排出バルブ１０９と吸入バルブ１１８とは閉じられ、ディスプレーサー１０２はシリンダー１０１の低温部側１１３に位置しているものとする。この状態の体積と圧力の関係は、図６のグラフ上では、Ａの点に位置している。
【００１１】
次いで、排出バルブ１０９は閉じられた状態で、図５(ａ)に示すように、ディスプレーサー１０２はシリンダー１０１の低温部側１１３に位置している状態で吸入バルブ１１８を開け、圧縮機１０６の高圧部側１１６から高圧のＨｅガスを放出すると、高圧のＨｅガスは、蓄冷器１０４を通過せずに、シリンダー１０１内の室温部側１１４に導入され、シリンダー１０１内の圧力が上昇する。圧力が上昇中の状態では、体積と圧力の関係は、図６のグラフの(ａ)の直線上を移動する。
【００１２】
そして、シリンダー１０１が高圧のＨｅガスで充填されると、シリンダー１０１の内部は高圧になる。この状態は、図６のグラフのＢの点に位置している。
【００１３】
次に、図５(ｂ)に示すように、低温部側１１３に位置するディスプレーサー１０２の室温部側１１４への移動を開始すると、室温部側１１４に充填されたＨｅガスは、ディスプレーサー１０２の移動に伴ってシリンダー１０１から押し出され、蓄冷器１０４を通り、蓄冷器１０４で冷却されながら低温部側１１３とディスプレーサー１０２の間の膨張室１０７に充填される。充填中の状態は、図６のグラフの(ｂ)の直線を移動する。
【００１４】
ディスプレーサー１０２が室温部側１１４に到着したときには、低温部側１１３は最大容積となる。このときは、図６のグラフのＣの点に位置している。
【００１５】
次いで、吸入バルブ１１８を閉じ、排出バルブ１０９を開け、膨張室１０７に位置する高圧のＨｅガスをシリンダー１０１から放出させる。放出中は、図６のグラフの(ｃ)の直線上を移動する。
【００１６】
放出されたＨｅガスはサイモン膨張により温度が低下し、温度が低下したＨｅガスは、蓄冷器１０４を通るときに蓄冷器１０４を冷却しながら圧縮機１０６に戻り、膨張室１０７内は、最低圧力になる。その状態では、図６のグラフのＤ点に位置している。
【００１７】
次いで、ディスプレーサー１０２を室温部側１１４から低温部側１１３に向けて移動させると、ディスプレーサー１０２の移動によって、膨張室１０７内に位置するＨｅガスはシリンダー１０１から放出され、放出されたＨｅガスは、蓄冷器１０４を冷却しながら室温部側１１４並びに排出バルブ１０９を通過して圧縮機１０６の低圧側１１７に移動する。ディスプレーサー１０２の移動による放出中は、図６のグラフの(ｄ)の直線上を移動する。
【００１８】
そして、ディスプレーサー１０２が低温部側１１３に到着すると、一サイクルが終了し、排出バルブ１０９が閉じられると、最初の状態に戻る。
ＧＭ冷凍機はこのような冷凍サイクルを繰り返すことで極低温が得られている。
実際のクライオポンプに使用される冷凍機は、１５Ｋ以下の極低温を得る為に２段式構造のシリンダ１０１とディスプレーサー１０２となっており、さらに構造を簡素化するために蓄冷器１０４はディスプレーサー１０２の内部に組み込まれている。
【００１９】
１段目は冷凍能力が大きく８０Ｋ以下まで冷却することができ、２段目は冷凍能力は小さいが１２Ｋまで冷却することができる。１段目では８０Ｋシールドと８０Ｋバッフルを冷却して主にＨ2Ｏを凝縮する。２段目は１５Ｋクライオパネルを冷却してＮ2，Ｏ2，Ａｒを凝縮し、Ｈ2を吸着して排気する。
【発明の効果】
【００２０】
冷凍機のモータやディスプレーサー等の稼働部品によって発生した振動は、防振構造のクライオポンプを用いることで振動を減衰させ、真空装置内で高精度の処理を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の真空処理装置を説明するための図
【図２】(ａ)(ｂ)防振装置を説明するための図
【図３】本発明のクライオポンプを説明するための一部の断面を表した側面図
【図４】本発明のクライオポンプを説明するための概略断面図
【図５】(ａ)〜(ｄ)：冷凍サイクルを説明するための図
【図６】冷凍サイクルの体積−圧力の関係を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２２】
＜真空処理装置＞
図１の符号１０は、本発明のクライオポンプ１１が用いられる真空処理装置を示している。
【００２３】
この真空処理装置１０は、真空室１６を有しており、真空室１６は蒸着装置であるものとすると、真空室１６の内部には蒸発源１８が配置されており、蒸発源１８の上方には、基板配置装置１３が配置されている。
【００２４】
基板配置装置１３の上方には、カメラ１４が配置されている。基板配置装置１３上には、シャドウマスク１５が配置されている。
【００２５】
真空室１６には、粗引き用の真空ポンプ１９とクライオポンプ１１とが接続されており、先ず、真空室１６の内部は粗引き用の真空ポンプ１９によって真空排気され、所定圧力に低下したところで、本発明のクライオポンプ１１が動作して真空室１６の内部の圧力を高真空雰囲気の圧力まで低下させる。
【００２６】
真空室１６は、搬送室４７に接続されており、搬送室４７には、他の真空処理装置４０が複数台接続されている。
【００２７】
前工程の真空処理装置４０内で処理された搬送対象物は、搬送室４７を介して、真空雰囲気を維持しながら、真空室１６の内部に搬入される。符号１２は、搬入された処理対象物である。
【００２８】
カメラ１４と、基板配置装置１３を移動させる移動装置と、カメラ１４の撮影結果と、移動装置による基板配置装置１３の移動を制御する制御装置とによって、処理対象物１２とシャドウマスク１５とを位置合わせさせる位置合わせ装置が構成されており、処理対象物１２とシャドウマスク１５とは、カメラ１４で撮影しながら相対的に移動され、位置合わせ装置によって処理対象物１２とシャドウマスク１５との間の位置合わせが行われ、処理対象物１２はシャドウマスク１５上に配置される。
【００２９】
基板配置装置１３の中央には、貫通孔１７が設けられており、蒸着源１８から、気体にされた有機材料等の蒸気を放出させると、蒸気は貫通孔１７を通過してシャドウマスク１５に到達し、シャドウマスク１５の開口を通過した蒸気が、処理対象物１２に到達して開口のパターンに応じたパターンの薄膜が形成される。
【００３０】
＜クライオポンプ＞
次に、クライオポンプ１１の構造を説明すると、図３を参照し、クライオポンプ１１は、ポンプ本体部２１と、冷凍機２２とを有しており、冷凍機２２は、モータ部２３と冷凍部２４とを有している。
【００３１】
ポンプ本体部２１は、真空気密を保持できるポンプケース３３（真空排気槽）の内部に８０Ｋバッフル２７及び８０Ｋシールド３２を有して、真空装置から流入する大部分の輻射熱を吸収できるように配置され、さらに内部に極低温面となる１５Ｋクライオパネル２６（極低温板）が配置されている。
【００３２】
真空室１６の底面には、排気口３７が設けられており、排気口３７とクライオポンプ１１の間にバルブ４６が配置され、バルブ４６を開けるとクライオポンプ吸気口３９にて高真空排気できるように取り付けられている。 
モータ部２３は、クライオポンプ１１の真空雰囲気の外に配置されており、モータ部２３には交流電源にて駆動するモータが内蔵されている。
【００３３】
図４は、モータ部２３と、冷凍部２４と、クライオポンプ内部部品３５の位置関係を説明するためのクライオポンプ１１の概要の部分断面図である。
【００３４】
冷凍部２４は、輻射による入熱、熱伝導による入熱の影響を受けないように断熱真空雰囲気に配置される。具体的にはポンプケース３３と溶接され、ポンプケース３３側の筒体４１と、ポンプケース側フランジ４２と、ベローズ４３と、モータ部側フランジ４４と、モータ部側筒体４５とを有しており、全ての部品は溶接又は弾性体により気密が保持できるようになっている。冷凍部２４を囲むように前記４１，４２，４３，４４，４５は配置されており、冷凍部２４との間には空間６２が存在する。
【００３５】
ポンプケース側フランジ４２とモータ部側フランジ４４とは、防振装置５によって互いに固定されている。
ポンプケース側フランジ４２とモータ部側フランジ４４との間には、伸縮可能なベローズ４３が配置されている。
【００３６】
冷凍部２４を囲む空間はポンプケース３３と８０Ｋシールド３２の間のスキマ３１と連通しており、クライオポンプ内部部品３５と同様な真空状態となる。
冷凍部２４は、上述したシリンダー１０１と、シリンダー１０１の内部に配置され、モータによって移動される第一、第二のディスプレーサーとが配置されている。
【００３７】
シリンダー１０１は一端がモータ部２３に固定されており、シリンダー１０１のモータ部２３に取りつけられた部分を根元側とすると、シリンダー１０１の根元側に対する反対の先端側は、８０Ｋシールド３２まで非接触の状態で挿入され、８０Ｋシールド３２と接続されている。また、８０Ｋバッフル２７と８０Ｋシールドも接続されており、その荷重は全てシリンダー１０１の１段目で受ける。
【００３８】
真空室１６、排気口３７、バルブ４６から、クライオポンプ吸気口３９に入射した気体は、冷凍部２４のシリンダー１０１の一段目により８０Ｋ程度の温度に冷却された８０Ｋバッフル２７と、８０Ｋシールド３２により、蒸気圧の低い気体、主にＨ2Ｏを凝縮し、その他の蒸気圧の高いＮ2，Ｏ2，Ａｒ，Ｈ2等は、８０Ｋバッフル２７を通過して、さらにシリンダー１０１の二段目により１５Ｋ以下に冷却されている１５Ｋクライオパネル２６により凝縮又は吸着して真空排気するようになっている。
【００３９】
１５Ｋクライオパネル２６は、取付部材３８を介してシリンダー１０１の先端部で接続されており、シリンダー１０１の二段目で荷重を受けている。
【００４０】
従って、クライオポンプ内部部品３５は全てシリンダー１０１で荷重を受けており、そのシリンダー１０１の根元となるモータ部２３により支持されている。
【００４１】
モータ部２３は、モータ部側筒体４５によってモータ部側フランジ４４に固定されており、モータ部側フランジ４４は、防振装置５によって、ポンプケース側フランジ４２に固定されている。
【００４２】
ポンプケース側フランジ４２は、ポンプケース３３側の筒体４１によって、ポンプケース３３に固定されており、従って、１５Ｋクライオパネル２６と、冷凍部２４及びその内部に配置されたシリンダー１０１と、モータ部２３とは、防振装置５を介してポンプケース３３によって支持されている。
【００４３】
防振装置５の構造を説明する。
図２(ａ)は、防振装置５の側面図、同図(ｂ)は断面図である。
【００４４】
防振装置５は、第一の底板５０を有しており、第一の底板５０上には、弾性部材５２が配置され、弾性部材５２上には、第一の底板５０と平行に第二の底板５３が配置されている。第一の底板５０と第二の底板５３とは接触しておらず、第一の底板５０と第二の底板５３との間には弾性部材５２が位置することになる。
【００４５】
弾性部材５２は柔軟性を有し、力が加えられると変形し、加えられた力が除去されると元の形状に復帰する材料であり、例えば、合成ゴムや天然ゴム等が挙げられる。
【００４６】
第一の底板５０上には、筒形状の外筒体５１が、その一端が第一の底板５０上に固定されて配置されており、外筒体５１の上端は、第二の底板５３が位置する方向に向けられている。
第一の底板５０と第二の底板５３の間には、棒状又は筒状の挿入体５５が、第一の底板５０と第二の底板５３とに垂直に配置されている。
【００４７】
挿入体５５の上端は、第二の底板５３に固定され、下端は外筒体５１の上端よりも、第一の底板５０に近い位置にあり、即ち、挿入体５５は外筒体５１の内部に挿入されている。
符号ｔは、挿入体５５の下端と外筒体５１の上端との間の距離であり、ゼロよりも大きな数値である。
【００４８】
外筒体５１と挿入体５５との間と、外筒体５１と第二の底板５３との間と、第一の底板５０と挿入体５５との間は、それぞれ離間して、離間して形成された隙間には弾性部材５２が配置されている。従って、挿入体５５の外周面は弾性部材５２と接触する。
【００４９】
また、弾性部材５２は、外筒体５１の周囲をリング状に覆い、外筒体５１の外周面と接触して配置されて、外筒体５１の外周面と内周面と上端とは、それぞれ弾性部材５２に接触されている。
従って、外筒体５１と挿入体５５は、弾性部材５２に埋没しており、防振装置５の外観からは、弾性部材５２を観察できても、外筒体５１と挿入体５５を観察できないようになっている。
【００５０】
弾性部材５２は一体の構造であり、また、弾性部材５２は、少なくとも第一の底板５０と第二の底板５３とに固定されており、従って、弾性部材５２を破壊しない限り、弾性部材５２の一部を分離できないようになっている。
【００５１】
第二の底板５３の、弾性部材５２が固定された表面とは反対側の表面には、棒状のネジ部５４が第二の底板５３と垂直に設けられている。
【００５２】
ネジ部５４の側面には、ネジ山及びネジ溝が設けられており、ポンプケース側フランジ４２やモータ部側フランジ４４に、ネジ部５４を挿入する貫通孔が形成されていれば、ネジ部５４をその貫通孔に挿入した後、貫通孔よりも大径のナットをネジ部５４に取りつけて、ナットを回転させて、ネジ部５４が挿入されたポンプケース側フランジ４２又はモータ部側フランジ４４にナットを密着させると共に、ポンプケース側フランジ４２又はモータ部側フランジ４４を第２の底板５３に密着させると、防振装置５は、ネジ部５４が挿入されたポンプケース側フランジ４２又はモータ部側フランジ４４に固定される。
【００５３】
第一の底板５０の弾性部材５２からはみ出た部分には、ネジ止め孔５９が設けられており、第一の底板５０をポンプケース側フランジ４２やモータ部側フランジ４４に密着させ、第一の底板５０のネジ止め孔５９と、ポンプケース側フランジ４２やモータ部側フランジ４４に設けられた貫通孔とに、頭部がネジ止め孔５９や貫通孔よりも大径のネジの先端側を挿通し、頭部を第一の底板５０に密着させ、挿通したネジの先端にナットを取りつけて回転させ、ナットをポンプケース側フランジ４２やモータ部側フランジ４４に密着させると、防振装置５をポンプケース側フランジ４２に固定することができる。
外筒体５１と、挿入体５５と、ネジ部５４とは、それらの中心軸線が、第一の底板５０と第二の底板５３とに対してそれぞれ垂直になるように形成されている。
【００５４】
ポンプケース側フランジ４２とモータ部側フランジ４４とは鉛直に配置されており、防振装置５は、外筒体５１と、挿入体５５と、ネジ部５４の中心軸線を水平にし、第一の底板５０と第二の底板５３とを鉛直にしてポンプケース側フランジ４２とモータ部側フランジ４４との間に配置され、第一の底板５０と第二の底板５３とのうち、いずれか一方がポンプケース側フランジ４２に接触して固定され、他方がモータ部側フランジ４４に接触し、上述したナットによって固定されている。
【００５５】
１５Ｋクライオパネル２６の重量と、シリンダー１０１及びシリンダー１０１内部のディスプレーサー等の部材の重量と、モータ部２３の重量とに基づいて発生する力は、下向きのモーメントとなってモータ部側フランジ４４に印加されるから、そのモーメント力は、弾性部材５２を介して、ポンプケース側フランジ４２に印加される。
【００５６】
このとき、外筒体５１と挿入体５５との間に位置する弾性部材５２と、第二の底板５３と第一の底板５０との間に位置する弾性部材５２とが変形する。
【００５７】
ポンプケース側フランジ４２はポンプケース３３側の筒体４１を介してポンプケース３３に固定され、ポンプケース３３は、移動しない真空室１６に固定されているから、真空室は支持脚４８によって床面上に置かれ、モータ部側フランジ４４が支持する重量は、防振装置５を介してポンプケース３３によって支持される。
【００５８】
モータ部２３の内部でモータが動作したときに発生する振動や、ディスプレーサーの往復移動によって発生する振動は、モータ部側フランジ４４から防振装置５を介してポンプケース側フランジ４２に伝達されるが、その際、振動は弾性部材５２内を進行して第一の底板５０と第二の底板５３との間で伝達されるため、弾性部材５２の内部で減衰し、モータ部側フランジ４４の振動よりも、ポンプケース側フランジ４２の振動の方が小さくなる。
【００５９】
ポンプケース３３は真空室１６に固定されており、ポンプケース３３に伝達された振動は真空室１６に伝達されるが、その振動は減衰されているので、処理対象物１２とシャドウマスク１５との間の位置合わせを正確に行うことができる。
【００６０】
このように、本発明のクライオポンプ１１は、減衰した振動がポンプケース３３に伝達されるので、真空室１６内で精密な作業を行うことができる。
【００６１】
防振装置５は、力のモーメントに対して抵抗力を有するから、防振装置５の外筒体５１と挿入体５５との中心軸線を水平にしてモータ部２３等をポンプケース３３に固定した横型のクライオポンプに適している。
【符号の説明】
【００６２】
５……防振装置
１０……真空処理装置
１１……クライオポンプ
２２……冷凍機
３３……ポンプケース
５０……第一の底板
５１……外筒体
５２……弾性部材
５３……第二の底板
５５……挿入体 
【図１】
0006672054.tif 000002
【図２】
0006672054.tif 000003
【図３】
0006672054.tif 000004
【図４】
0006672054.tif 000005
【図５】
0006672054.tif 000006
【図６】
0006672054.tif 000007