(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状に形成され、内部にダイヤフラム取付部が設けられるとともに一端部がモータに取付けられるハウジング本体と、  
前記ハウジング本体の他端側の開口部に嵌合し、この開口部を閉塞する蓋体と、
前記ハウジング本体と前記蓋体との嵌合部分に設けられ、前記ハウジング本体に嵌合した前記蓋体の取り外し方向への移動を規制する係止構造と、
前記ダイヤフラム取付部と前記蓋体とに挟まれて保持され、前記蓋体との間にポンプ室を構成するダイヤフラムと、
前記蓋体に設けられ、前記ポンプ室に吸気弁を介して空気を導く吸気通路と、
前記蓋体に設けられ、前記ポンプ室から吐出弁を介して空気が吐出される吐出通路と、
前記モータの回転を往復運動に変換して前記ダイヤフラムに伝達し、前記ポンプ室の容積を増減させる駆動機構とを備え、
前記係止構造は、
前記蓋体に突設され、この蓋体における前記ハウジング本体と嵌合する嵌合面から前記ハウジング本体に向けて突出する凸部と、
前記ハウジング本体における前記蓋体と嵌合する部分に形成され、前記モータの軸線方向から見て前記凸部と重なる壁部とによって構成され、
前記凸部は、前記蓋体の前記嵌合面であって、嵌合方向とは直交する方向に所定の間隔をおいて離間する位置にそれぞれ突設され、
前記壁部における前記モータ側となる一端部には、前記凸部の一部が係入可能な凹部が形成され、
前記壁部における前記モータとは反対側となる他端部には、丸め部が形成され、
前記壁部の前記凹部と前記丸め部との間に前記蓋体の嵌合面と重なる端面が形成されているダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、
前記凸部は、半球状に形成されていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば血圧計等に圧縮空気を供給するために使用されるダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のダイヤフラムポンプは、モータに一端部が取付けられた筒状のハウジング本体と、このハウジング本体の他端部に取付けられたパーツ保持用の板状部材や蓋部材と、これらの板状部材や蓋部材をハウジング本体に固定するための固定構造とを備えている。この固定構造としては、例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように固定用の部材を用いるものや、図４および図５に図示したように係止片を用いるものなどが知られている。
【０００３】
特許文献１に開示されたダイヤフラムポンプは、モータに一端部が取付けられた筒状のハウジング本体と、このハウジング本体の他端部に取付けられた複数のパーツ保持用の板状部材と蓋部材とを備えている。複数の板状部材と蓋部材は、互いに重ね合わされた状態でハウジング本体の他端部に接続され、これらの部材を貫通する、固定用の部材としてのボルトによって筒状のハウジング本体に固定されている。
【０００４】
特許文献２に開示されたダイヤフラムポンプは、モータに一端部が取付けられた筒状のハウジング本体と、このハウジング本体の他端部にダイヤフラムを介して取付けられたパーツ保持用の板状部材と、この板状部材に重ねられた蓋部材などを備えている。これらのダイヤフラムと、板状部材と、蓋部材は、ハウジング本体に組み付けられた状態で、固定用の部材としての棒状のばね部材によってハウジング本体に押し付けられてハウジング本体に固定されている。棒状のばね部材は、ハウジング本体と蓋部材との間にダイヤフラムと板状部材とが挟まれる状態でこれらの全ての部材を軸方向の両側から挟んでいる。
【０００５】
図４および図５に図示されたダイヤフラムポンプ１は、モータ２に一端部が取付けられた円筒状のハウジング本体３と、このハウジング本体３の他端部に取付けられた蓋体４と、ハウジング本体３に蓋体４を固定するための固定構造５とを備えている。
ハウジング本体３の外周部には、ハウジング本体３の他端（図４においては上端）からモータ側の一端部に向けて延びる第１の凹溝６と、この第１の凹溝６の中に突設された係止用突起７と、第１の凹溝６からハウジング本体３の一端まで延びる第２の凹溝８とが形成されている。
【０００６】
第１の凹溝６は、蓋体４に突設されたアーム９を収容可能な大きさに形成されている。このアーム９は、係止用突起７が係合する穴９ａを有する板状に形成されている。固定構造５は、これらの係止用突起７とアーム９とによって構成されている。
第２の凹溝８は、係止用突起７を成型するための金型（図示せず）の一部を離型時に通すために形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１１５７９号公報
【特許文献２】特開２００４−２７０４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１や特許文献２に開示された固定構造では、固定用の部材（固定用ボルトや棒状のばね部材）が必要で、製造コストが高くなるという問題があった。また、図４および図５に示すダイヤフラムポンプ１は、固定用の部材は不要であるが、以下の二つの問題がある。
【０００９】
第１の問題は、ハウジング本体３に第１および第２の凹溝６，８が形成され、蓋体４に穴９ａを有するアーム９が形成されているため、ハウジング本体３と蓋体４とを成型するための金型の製造費用が高くなることである。第２の問題は、騒音が大きくなることである。騒音が大きくなる理由は、第１および第２の凹溝６，８の底の厚みがハウジング本体３の他の周壁３ａより薄いからであると考えられる。すなわち、相対的に厚みが薄い第１および第２の凹溝６，８の底を通過して音がハウジング本体３の外に漏れると考えられる。
【００１０】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、製造コストを低く抑えることができるとともに騒音が小さくなるダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的を達成するために、本発明に係るダイヤフラムポンプは、筒状に形成され、内部にダイヤフラム取付部が設けられるとともに一端部がモータに取付けられるハウジング本体と、前記ハウジング本体の他端側の開口部に嵌合し、この開口部を閉塞する蓋体と、前記ハウジング本体と前記蓋体との嵌合部分に設けられ、前記ハウジング本体に嵌合した前記蓋体の取り外し方向への移動を規制する係止構造と、前記ダイヤフラム取付部と前記蓋体とに挟まれて保持され、前記蓋体との間にポンプ室を構成するダイヤフラムと、前記蓋体に設けられ、前記ポンプ室に吸気弁を介して空気を導く吸気通路と、前記蓋体に設けられ、前記ポンプ室から吐出弁を介して空気が吐出される吐出通路と、前記モータの回転を往復運動に変換して前記ダイヤフラムに伝達し、前記ポンプ室の容積を増減させる駆動機構とを備え、前記係止構造は、前記蓋体に突設され、この蓋体における前記ハウジング本体と嵌合する嵌合面から前記ハウジング本体に向けて突出する凸部と、前記ハウジング本体における前記蓋体と嵌合する部分に形成され、前記モータの軸線方向から見て前記凸部と重なる壁部とによって構成され、前記凸部は、前記蓋体の前記嵌合面であって、嵌合方向とは直交する方向に所定の間隔をおいて離間する位置にそれぞれ突設され、前記壁部における前記モータ側となる一端部には、前記凸部の一部が係入可能な凹部が形成され、前記壁部における前記モータとは反対側となる他端部には、丸め部が形成され、前記壁部の前記凹部と前記丸め部との間に前記蓋体の嵌合面と重なる端面が形成されているものである。
【００１２】
本発明は、前記ダイヤフラムポンプにおいて、前記凸部は、半球状に形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るダイヤフラムポンプにおいては、ハウジング本体のダイヤフラム取付部にダイヤフラムを装着し、ハウジング本体の開口部に蓋体を挿入して係止構造の凸部を壁部に係止させることによって、蓋体がハウジング本体に固定される。このため、ボルトやばね部材などの固定用の部材を使用することなく、蓋体がハウジング本体に固定される。
また、このダイヤフラムポンプにおいては、係止構造がハウジング本体と蓋体との嵌合部に設けられているから、ハウジング本体の壁に部分的に薄い部分が形成されることはない。
したがって、本発明によれば、製造コストを低く抑えることが可能になるとともに騒音が小さくなるダイヤフラムポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るダイヤフラムポンプの断面図である。
【図２】要部を拡大して示す断面図である。
【図３】係止構造の他の実施の形態を示す断面図である。
【図４】従来のダイヤフラムポンプの斜視図である。
【図５】図４における係止部分のV-V線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係るダイヤフラムポンプの一実施の形態を図１および図２によって詳細に説明する。
この実施の形態によるダイヤフラムポンプ１１は、モータ１２によって駆動されて動作し、モータ１２の近傍に設けられている吸気口１３から大気を吸引して図１において上端部に位置する吐出パイプ１４から吐出するものである。以下において、ダイヤフラムポンプ１１の構成を説明するにあたっては、便宜上、モータ１２側となる端部をダイヤフラムポンプ１１の一端部とし、吐出パイプ１４側となる端部をダイヤフラムポンプ１１の他端部として説明する。
【００１７】
ダイヤフラムポンプ１１は、モータ１２に一端部が固定されたハウジング１５の中に後述する機能部品を収容して構成されている。ハウジング１５は、一端部がモータ１２に嵌合する円筒状のハウジング本体１６と、このハウジング本体１６の他端側の開口部に嵌合してこの開口部を閉塞する円板状の蓋体１７とによって構成されている。これらのハウジング本体１６および蓋体１７は、プラスチック材料を金型（図示せず）により所定の形状に成型することによって形成されている。
【００１８】
上述した吐出パイプ１４は、蓋体１７の中央部に一体成形によって一体に形成されている。この蓋体１７は、本発明に係る係止構造２１によってハウジング本体１６に固定されている。係止構造２１は、詳細は後述するが、ハウジング本体１６の他端部に嵌合した蓋体１７の取り外し方向（モータ１２とは反対方向）への移動を規制している。
モータ１２は、円筒状を呈するモータハウジング２２の軸線方向の一端部から回転軸２３が突出する構成のものである。回転軸２３は、モータハウジング２２と同一軸線上に位置付けられている。このモータ１２の回転軸２３には、ダイヤフラムポンプ１１の機能部品の一つであるクランク２４が一体に回転する状態に取付けられている。
【００１９】
ダイヤフラムポンプ１１のハウジング本体１６は、モータハウジング２２の外周面に嵌合している。このため、ハウジング本体１６は、回転軸２３と同一軸線上に位置付けられている。ハウジング本体１６のモータハウジング２２への固定は、図示してはいないが、例えばハウジング本体１６に設けた係止用フックをモータハウジング２２の係合穴に係合させて実施することができる。
【００２０】
ハウジング本体１６におけるモータハウジング２２の軸線方向の端面２２ａと隣り合う部位には、上述した吸気口１３が形成されている。この吸気口１３は、ハウジング本体１６の周壁１６ａを貫通する貫通孔として形成されている。
ダイヤフラムポンプ１１の機能部品は、上述したクランク２４と、このクランク２４に接続された駆動子２５と、この駆動子２５に連結されたダイヤフラム２６などである。
【００２１】
クランク２４は、ダイヤフラムポンプ１１の他端側に向けて開口する環状溝２７と、この環状溝２７の中に設けられた突起２８とを有している。
駆動子２５は、クランク２４と協働して本発明でいう駆動機構３１を構成するもので、回転軸２３の軸線Ｃに対して傾斜した棒状の軸部３２と、この軸部３２から径方向の外側に延びる複数の腕部３３とによって構成されている。
軸部３２の一端部には、クランク２４に接続される第１の軸３２ａが設けられている。この第１の軸３２ａは、クランク２４の環状溝２７内に移動自在に挿入され、クランク２４が回転することにより突起２８によって押される。
【００２２】
軸部３２の他端部には、第２の軸３２ｂが突設されている。この第２の軸３２ｂは、後述するダイヤフラム取付部３４の凹部３５に回転自在に接触している。この凹部３５は、自動調心形の球面滑り軸受を構成するもので、回転軸２３と同一軸線上に位置付けられている。
ダイヤフラム取付部３４は、ハウジング本体１６内をモータ側空間Ｓ１と他端側とに分けており、ハウジング本体１６の内周部に一体成形により一体に形成されている。ダイヤフラム２６は、このダイヤフラム取付部３４に装着され、ダイヤフラム取付部３４と蓋体１７とによって挟まれている。
【００２３】
駆動子２５の複数の腕部３３は、軸部３２を中心として放射状に延びる形状に形成されている。これらの腕部３３は、軸部３２を周方向において３等分する位置にそれぞれ設けられている。これらの腕部３３は、後述するダイヤフラム２６の連結片３６がそれぞれ貫通し、この連結片３６を介してダイヤフラム２６に連結されている。
【００２４】
この駆動子２５の傾斜する方向は、クランク２４が回転軸２３と一体に回転し、第１の軸３２ａが回転軸２３の軸線の周囲を移動することによって変化する。駆動子２５の傾斜する方向が変わることによって、モータ１２の軸線方向において腕部３３の位置が変化する。このため、この駆動子２５と上述したクランク２４とからなる駆動機構３１は、モータ１２の回転を往復運動に変換してダイヤフラム２６に伝達する。
【００２５】
ダイヤフラム２６を支持するダイヤフラム取付部３４は、ダイヤフラム２６の後述するダイヤフラム部４１が挿入される第１の貫通穴４２と、ダイヤフラム２６の後述するチャンバー部４３が挿入される第２の貫通穴４４と、上述した凹部３５とが設けられている。
第１の貫通穴４２と第２の貫通穴４４は、ダイヤフラム２６の構成に応じてハウジング本体１６の周方向に等間隔で並ぶ３箇所にそれぞれ設けられている。
【００２６】
ダイヤフラム２６は、図１に示すようにハウジング本体１６の径方向に並ぶ複数の機能部からなるポンプ本体部４５を有している。複数の機能部とは、ハウジング本体１６の径方向の一方側（図１においては右側）に位置するダイヤフラム部４１および吸入用弁体４６と、径方向の他方側に位置するチャンバー部４３、吐出用弁体４７および吐出通路形成用の凹部４８などである。このポンプ本体部４５は、複数の機能部がハウジング本体１６の径方向に並ぶ状態で、ハウジング本体１６の軸心を中心として、ハウジング本体１６を周方向に３等分する角度だけ回転した位置にそれぞれ設けられている。
【００２７】
ダイヤフラム部４１は、ダイヤフラムポンプ１１の他端側に向けて開口するカップ状に形成されている。このダイヤフラム部４１と蓋体１７との間にポンプ室５１が形成されている。カップ状に形成されたダイヤフラム部４１の底部には、上述した連結片３６を有するピストン５２が設けられている。ポンプ本体部４５毎に設けられているピストン５２の連結片３６は、上述した駆動子２５の３つの腕部３３にそれぞれ連結されている。
【００２８】
吸入用弁体４６は、カップ状を呈するダイヤフラム部４１の開口を部分的に狭くする形状に形成されている。この吸入用弁体４６の位置は、蓋体１７の一端側の端面１７ａに押し付けられる位置であって、この端面１７ａに開口する第１の凹陥部５３が閉塞される位置である。この実施の形態においては、吸入用弁体４６と、この吸入用弁体４６が接触する第１の凹陥部５３の開口部分とによって、吸気弁５４が構成されている。
【００２９】
第１の凹陥部５３は、蓋体１７内とダイヤフラム２６内とを通って延びる吸入用通路５５を介してハウジング本体１６内のモータ側空間Ｓ１に接続されている。このため、ダイヤフラム２６のピストン５２が蓋体１７から離間する方向に移動してポンプ室５１の容積が増大することによって、吸気弁５４が開き、第１の凹陥部５３内の空気がポンプ室５１に吸引される。この実施の形態においては、第１の凹陥部５３と吸入用通路５５とが本発明でいう「吸気通路」に相当する。なお、吸入用通路５５は、図１中に二点鎖線で示すように、第１の凹陥部５３の底と蓋体１７の他端側の端面１７ｂとに開口する貫通孔によって構成することもできる。
【００３０】
チャンバー部４３は、蓋体１７に向けて開口するカップ状に形成されており、蓋体１７の第２の凹陥部５６と連通路５７とによってポンプ室５１に接続されている。第２の凹陥部５６は、蓋体１７の一端側の端面１７ａに開口している。第２の凹陥部５６の開口部分の一部は吐出用弁体４７によって閉塞され、他の部分はチャンバー部４３に開放されている。
吐出用弁体４７は、ダイヤフラム２６の吐出通路形成用凹部４８に臨む形状に形成されている。吐出用弁体４７の位置は、蓋体１７の一端側の端面１７ａに押し付けられる位置であって、この端面１７ａに開口する第２の凹陥部５６の一部が閉塞される位置である。この実施の形態においては、吐出用弁体４７と、この吐出用弁体４７が接触する第２の凹陥部５６の開口部分の一部とによって、吐出弁５８が構成されている。
【００３１】
このため、ポンプ室５１から送られた空気が連通路５７を通って第２の凹陥部５６とチャンバー部４３の中に流入し、これらの内部空間Ｓ２の圧力が増大することによって、吐出弁５８が開いて空気が吐出通路形成用凹部４８に吐出される。吐出通路形成用凹部４８は、蓋体１７の他端側の端面に開口する第３の凹陥部５９と、蓋体１７内の吐出用通路６０とによって吐出パイプ１４の内部空間に接続されている。この内部空間の一端部は、蓋体１７の一端側の端面１７ａに開口し、ダイヤフラム２６によって閉塞されている。内部空間の他端部は、吐出パイプ１４の他端に開口している。なお、図１に示す吐出用通路６０と、上述した吸入用通路５５および連通路５７は、構成を理解し易くするために実際とは異なる形状に描いてある。
【００３２】
蓋体１７をハウジング本体１６に固定する係止構造２１は、図２に示すように、ハウジング本体１６と蓋体１７との嵌合部分に設けられており、蓋体１７に設けられた複数の突起６１と、ハウジング本体１６に設けられた突起６１毎の突壁６２とによって構成されている。
突起６１は、蓋体１７の外周面１７ｃから径方向の外側へ向けて（ハウジング本体１６に向けて）突出する半球状に形成されている。この実施の形態においては、外周面１７ｃが「蓋体におけるハウジング本体と嵌合する嵌合面」に相当する。この突起６１は、蓋体１７の外周面１７ｃにおけるダイヤフラム２６に近接する一端部に配置されている。また、この突起６１は、蓋体１７の周方向に所定の間隔をおいて離間する位置にそれぞれ突設されている。この実施の形態においては、蓋体１７の周方向が「嵌合方向とは直交する方向」に相当する。
【００３３】
蓋体１７の外周部には、図示してはいないが、これらの突起６１からなる凸部の他に、位置決め部が設けられている。この位置決め部は、ハウジング本体１６に対して蓋体１７を周方向において所定の位置に位置決めするものである。この所定の位置とは、蓋体１７の第１〜第３の凹陥部５３，５６，５９がダイヤフラム２６のポンプ本体部４５と正しく対向する位置である。
【００３４】
係止構造２１を構成する突起６１は、図１に示すように、ハウジング本体１６の周方向において、ダイヤフラム２６のポンプ本体部４５と同一位置にも配置することができる。図１に示す突起６１は、吐出弁５８の近傍に配置されている。
この実施の形態においては、これらの突起６１が本発明でいう「凸部」に相当する。なお、凸部は、このように半球状の突起６１によって構成する他に、蓋体１７の周方向に延びる断面半円状あるいは断面山形状の突条によって構成することも可能である。
【００３５】
係止構造２１の突壁６２は、ハウジング本体１６の他端部の内周部（蓋体１７と嵌合する部分）に設けられており、ハウジング本体１６の周壁１６ａよりも径方向の内側に向けて（蓋体１７に向けて）突出している。この突壁６２は、モータ１２の軸線方向から見て突起６１と重なる形状に形成されている。この実施の形態による突壁６２の一端部には、図２に示すように、突起６１の一部が係入可能な凹部６２ａが形成されている。また、突壁６２の他端部には、蓋体１７をハウジング本体１６に取り付けるときに突壁６２が突起６１によって押されて径方向の外側に向けて偏位し易くなるように、丸め部６２ｂが形成されている。この実施の形態においては、この突壁６２が本発明でいう「壁部」に相当する。
【００３６】
このように構成されたダイヤフラムポンプ１１のハウジング１５を組立てるためには、ハウジング本体１６のダイヤフラム取付部３４にダイヤフラム２６を装着した状態でハウジング本体１６の他端部に蓋体１７を押し込んで嵌合させることによって行う。このとき、蓋体１７がハウジング本体１６の他端側の開口部に押し込まれると、蓋体１７の突起６１がハウジング本体１６の突壁６２を径方向の外側に押し、ハウジング本体１６の他端側の開口部が拡径するように弾性変形する。そして、蓋体１７が更に押し込まれることにより、突起６１が突壁６２における径方向内側の端面６２ｃに接触しながら進み、突壁６２の凹部６２ａに係入する。
【００３７】
このように突起６１が凹部６２ａに係入することによって、ダイヤフラム２６が蓋体１７とダイヤフラム取付部３４とによって挟まれ、蓋体１７がダイヤフラム２６から受ける反力で突起６１が突壁６２に押し付けられる。この結果、ボルトやばね部材などのコストアップになる固定用の部材を使用することなく、蓋体１７がハウジング本体１６に固定される。
また、このダイヤフラムポンプ１１においては、係止構造２１がハウジング本体１６と蓋体１７との嵌合部に設けられているから、ハウジング本体１６の周壁１６ａに部分的に薄い部分が形成されることはなく、周壁１６ａの全域を遮音性が高くなるように厚く形成することができる。
したがって、この実施の形態によれば、製造コストを低く抑えることが可能になるとともに騒音が小さくなるダイヤフラムポンプを提供することができる。
【００３８】
この実施の形態によるハウジング本体１６は、円筒状に形成されている。蓋体１７は、ハウジング本体１６の内部に嵌合する円板状に形成されている。係止構造２１の突起６１は、蓋体１７の外周面１７ｃであって、蓋体１７の周方向に所定の間隔をおいて離間する位置にそれぞれ突設されている。係止構造２１の突壁６２は、ハウジング本体１６の内周部に形成されている。
このため、ハウジング本体１６の内周部に突起６１が形成される場合と較べると、ハウジング本体１６を成型する金型の構造が単純になり、ハウジング本体１６に薄肉部が形成され難くなる。この結果、より一層騒音が小さいダイヤフラムポンプを提供することができる。
【００３９】
（係止構造の参考例）
係止構造２１の参考例を図３に示す。図３において、図１および図２によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
【００４０】
図３に示す係止構造２１は、ハウジング本体１６の内周面１６ｂに蓋体１７に向けて突設された凸部７１と、蓋体１７の外周部（ハウジング本体１６と嵌合する部分）に設けられた壁部７２とによって構成されている。この参考例においては、ハウジング本体１６の内周面１６ｂが「ハウジング本体における蓋体が嵌合する嵌合面」に相当する。
凸部７１は、断面半球状の突起あるいは断面半円状の突条などによって構成することができる。壁部７２は、モータ１２の軸線方向から見て凸部７１と重なる形状に形成されており、凸部７１が係入する凹部７２ａと、凸部７１をハウジング本体１６の径方向の外側に向けて押すための丸め部７２ｂとが設けられている。この参考例の構成を採る場合であっても、ハウジング本体１６および蓋体１７の周方向（嵌合方向とは直交する方向）において、複数の位置に凸部７１と壁部７２とからなる係止構造２１を設けることができる。
図３に示す構成を採る場合であっても、図１に示した形態を採るときと同等の効果が得られる。
【００４１】
上述した実施の形態においては、ポンプ室５１がハウジング１５の周方向の３箇所に位置する、いわゆる３気筒型のダイヤフラムポンプ１１に本発明を適用する例を示した。しかし、本発明は、このような限定にとらわれることはなく、１気筒または２気筒、あるいは４気筒以上のダイヤフラムポンプに適用することができる。２気筒や４気筒とする場合は、ハウジング本体１６が角筒状に形成されることがある。このような場合、蓋体１７は、平面視において４つの辺を有する板状に形成される。
【符号の説明】
【００４２】
１１…ダイヤフラムポンプ、１２…モータ、１５…ハウジング、１６…ハウジング本体、１６ｂ…内周面、１７…蓋体、１７ｃ…外周面、２１…係止構造、２６…ダイヤフラム、３１…駆動機構、３４…ダイヤフラム取付部、５１…ポンプ室、５３…第１の凹陥部、５４…吸気弁、５５…吸入用通路（吸気通路）、５６…第２の凹陥部、５８…吐出弁、５９…第３の凹陥部、６０…吐出用通路（吐出通路）、６１…突起（凸部）、６２…突壁（壁部）、７１…凸部、７２…壁部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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