(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線遮蔽剤Ａと、重合体成分Ｂと、光酸発生剤Ｃとを含み、
前記赤外線遮蔽剤Ａが、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物から選ばれる少なくとも１種であり、下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満たす、感光性組成物；
（１）：前記重合体成分Ｂが、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１を含む；
（２）：前記重合体成分Ｂが、前記繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２と、前記繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３とを含む；
（３）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ２を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物を含み、前記架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物が、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基、アルコキシメチロール基、ブロックイソシアネート基およびエチレン性不飽和結合基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物である；
（４）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ３を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
【請求項２】
赤外線遮蔽剤Ａと、重合体成分Ｂと、光酸発生剤Ｃと、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材とを含み、下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満たす、感光性組成物；
（１）：前記重合体成分Ｂが、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１を含む；
（２）：前記重合体成分Ｂが、前記繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２と、前記繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３とを含む；
（３）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ２を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物を含み、前記架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物が、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基、アルコキシメチロール基、ブロックイソシアネート基およびエチレン性不飽和結合基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物である；
（４）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ３を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
【請求項３】
赤外線遮蔽剤Ａと、重合体成分Ｂと、光酸発生剤Ｃとを含み、
前記赤外線遮蔽剤Ａが、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物から選ばれる少なくとも１種であり、
下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満たし、
ポジ型感光性組成物である、感光性組成物；
（１）：前記重合体成分Ｂが、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１を含む；
（２）：前記重合体成分Ｂが、前記繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２と、前記繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３とを含む；
（３）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ２を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む；
（４）：前記重合体成分Ｂが前記重合体Ｂ３を含み、かつ、前記感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
【請求項４】
前記赤外線遮蔽剤Ａが、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物から選ばれる少なくとも１種である、請求項２に記載の感光性組成物。
【請求項５】
更に、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材を含む、請求項１または３に記載の感光性組成物。
【請求項６】
ポジ型感光性組成物である、請求項１または２に記載の感光性組成物。
【請求項７】
前記架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物が、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項８】
前記赤外線遮蔽剤Ａが、ジイミニウム化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物から選ばれる少なくとも１種である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項９】
前記赤外線遮蔽剤Ａが、ピロロピロール化合物である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
近赤外線カットフィルタまたは赤外線透過フィルタ用である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１１】
前記酸分解性基は、式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基のいずれかである、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性組成物；
式（Ｙ１）：−Ｃ（Ｒ３１）（Ｒ３２）（Ｒ３３）
式（Ｙ２）：−Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ３１）（Ｒ３２）（Ｒ３３）
式（Ｙ３）：−Ｃ（Ｒ３６）（Ｒ３７）（ＯＲ３８）
式（Ｙ４）：−Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ３１〜Ｒ３３は、各々独立に、アルキル基を表し、Ｒ３１〜Ｒ３３の二つが結合して環を形成していてもよい；
式（Ｙ３）中、Ｒ３６およびＲ３７は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ３６およびＲ３７の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ３８は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ３６またはＲ３７と、Ｒ３８とが結合して環を形成してもよい；
式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。
【請求項１２】
前記架橋性基は、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基から選ばれる少なくとも１種である、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１３】
前記重合体Ｂ１を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１４】
前記光酸発生剤Ｃが、オキシムスルホネート化合物である、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の感光性組成物から得られる硬化膜。
【請求項１６】
請求項１５に記載の硬化膜を有する光学フィルタ。
【請求項１７】
前記光学フィルタが、近赤外線カットフィルタまたは赤外線透過フィルタである、請求項１６に記載の光学フィルタ。
【請求項１８】
請求項１５に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
【請求項１９】
請求項１５に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【請求項２０】
請求項１５に記載の硬化膜を有する赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物、硬化膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および赤外線センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯電話などには、カラー画像の固体撮像素子である、ＣＣＤ（電荷結合素子）や、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）が用いられている。これら固体撮像素子は、その受光部において赤外線に感度を有するシリコンフォトダイオードを使用している。このために、近赤外線カットフィルタを使用して視感度補正を行うことがある。近赤外線カットフィルタとしては、赤外線遮蔽剤を含む組成物を用いて製造されているものがある。【０００３】
例えば、特許文献１には、波長７００〜２０００ｎｍの範囲内に極大吸収波長を有する赤外線遮蔽剤、及びシロキサンポリマーを含む赤外線遮蔽性組成物を用いて近赤外線カットフィルタなどを製造することが記載されている。【０００４】
一方、特許文献２には、（１）および（２）の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、光酸発生剤、および溶剤を含む感光性組成物に関する発明が記載されている。
（１）酸基がアセタール基で保護された基を有する構成単位（ａ１）、および架橋性基を有する構成単位（ａ２）を有する重合体、
（２）構成単位（ａ１）を有する重合体および構成単位（ａ２）を有する重合体。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２０１６／１０４４９１号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２０１５／０３３８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、赤外線遮蔽剤は耐熱性が低いものが多く、加熱によって分光特性が変化し易い傾向にある。例えば、可視領域の光に対する透過性が低下したり、近赤外領域の遮蔽性が低下することがある。このため、赤外線遮蔽剤を含む組成物を用いて形成される膜においては、耐熱性のさらなる向上が望まれている。また、特許文献１に記載された発明においても、耐熱性は十分とは言えなかった。【０００７】
なお、特許文献２は、半導体レジストに関する発明であって、赤外線遮蔽剤を用いることについての記載や示唆はない。【０００８】
よって、本発明の目的は、耐熱性およびパターン形成性に優れた硬化膜を形成できる感光性組成物、硬化膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および赤外線センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
かかる状況のもと、本発明者が鋭意検討を行った結果、後述する構成の感光性組成物とすることにより上記目的を達成できることを見出し本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
＜１＞  赤外線遮蔽剤Ａと、重合体成分Ｂと、光酸発生剤Ｃとを含み、下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満たす、感光性組成物；
（１）：重合体成分Ｂが、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１を含む；
（２）：重合体成分Ｂが、繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２と、繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３とを含む；
（３）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ２を含み、かつ、感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む；
（４）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ３を含み、かつ、感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
＜２＞  酸分解性基は、式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基のいずれかである、＜１＞に記載の感光性組成物；
式（Ｙ１）：−Ｃ（Ｒ31）（Ｒ32）（Ｒ33）
式（Ｙ２）：−Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ31）（Ｒ32）（Ｒ33）
式（Ｙ３）：−Ｃ（Ｒ36）（Ｒ37）（ＯＲ38）
式（Ｙ４）：−Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ31〜Ｒ33は、各々独立に、アルキル基を表し、Ｒ31〜Ｒ33の二つが結合して環を形成していてもよい；
式（Ｙ３）中、Ｒ36およびＲ37は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ36およびＲ37の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ38は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ36またはＲ37と、Ｒ38とが結合して環を形成してもよい；
式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。
＜３＞  架橋性基は、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基から選ばれる少なくとも１種である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性組成物。
＜４＞  重合体Ｂ１を含む、＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜５＞  赤外線遮蔽剤Ａが、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物から選ばれる少なくとも１種である、＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜６＞  光酸発生剤Ｃが、オキシムスルホネート化合物である、＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜７＞  更に、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材を含む、＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜８＞  ポジ型感光性組成物である、＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
＜９＞  ＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の感光性組成物から得られる硬化膜。
＜１０＞  ＜９＞に記載の硬化膜を有する光学フィルタ。
＜１１＞  光学フィルタが、近赤外線カットフィルタまたは赤外線透過フィルタである、＜１０＞に記載の光学フィルタ。
＜１２＞  ＜９＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１３＞  ＜９＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
＜１４＞  ＜９＞に記載の硬化膜を有する赤外線センサ。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、耐熱性およびパターン形成性に優れた硬化膜を形成できる感光性組成物、硬化膜、光学フィルタ、固体撮像素子、画像表示装置および赤外線センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】赤外線センサの一実施形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）測定でのポリスチレン換算値として定義される。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、例えば、ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）を用い、カラムとして、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−ＨとＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００とＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラムを用い、展開溶媒としてテトラヒドロフランを用いることによって求めることができる。
本明細書において、化学式中のＭｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。
本明細書において、近赤外線とは、極大吸収波長領域が波長７００〜２５００ｎｍの光（電磁波）をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
【００１３】
＜感光性組成物＞
本発明の感光性組成物は、赤外線遮蔽剤Ａと、重合体成分Ｂと、光酸発生剤Ｃとを含み、下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満たすことを特徴とする。
（１）：重合体成分Ｂが、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１を含む。
（２）：重合体成分Ｂが、繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２と、繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３とを含む。
（３）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ２を含み、かつ、感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
（４）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ３を含み、かつ、感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物を含む。
【００１４】
本発明の感光性組成物を用いることで、耐熱性およびパターン形成性に優れた硬化膜を形成できる。本発明の感光性組成物は、光酸発生剤を含むので、露光部においては光酸発生剤から発生した酸によって、酸分解性基が分解されて酸基または水酸基が生成される。これにより、露光部では現像液に対する溶解性が増大するので、露光部を現像除去することでポジ画像が形成される。また、現像後のポジ画像においては、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基（保護酸基等ともいう）を含む成分を含有しているが、現像後のポジ画像をさらに加熱することで、この保護酸基等が分解して酸基や水酸基が生成され、重合体や架橋剤の架橋性基と架橋したり、架橋性基同士の反応を促進できる。このため、膜中の架橋密度を高めることができると推測される。このため、本発明の感光性組成物によれば、耐熱性およびパターン形成性に優れた硬化膜を形成することができる。本発明の感光性組成物は、ポジ型感光性組成物として用いることができ、例えば、化学増幅型ポジ型感光性組成物として好ましく用いることができる。以下本発明を詳細に説明する。
【００１５】
＜＜赤外線遮蔽剤＞＞
本発明の感光性組成物は、赤外線遮蔽剤を含有する。赤外線遮蔽剤としては、赤外線を吸収する物質であってもよく、赤外線を反射させる物質であってもよい。赤外線を吸収する物質としては、波長７００〜２０００ｎｍの範囲のいずれかに吸収を有する化合物であることが好ましく、波長７００〜２０００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることがより好ましい。
【００１６】
本発明において、赤外線遮蔽剤としては、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物、タングステン化合物及び金属ホウ化物が好ましく、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、ピロロピロール化合物、金属ジチオール化合物、銅化合物およびタングステン化合物がより好ましく、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物およびピロロピロール化合物が更に好ましく、スクアリリウム化合物およびピロロピロール化合物が特に好ましい。
【００１７】
ピロロピロール化合物としては、式（ＰＰ）で表される化合物であることが好ましい。
【化１】
0006726317.tif 000002
式中、Ｒ1aおよびＲ1bは、各々独立にアルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、Ｒ2およびＲ3は、各々独立に水素原子または置換基を表し、Ｒ2およびＲ3は、互いに結合して環を形成してもよく、Ｒ4は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−ＢＲ4AＲ4B、または金属原子を表し、Ｒ4は、Ｒ1a、Ｒ1bおよびＲ3から選ばれる少なくとも一つと共有結合もしくは配位結合していてもよく、Ｒ4AおよびＲ4Bは、各々独立に置換基を表す。式（ＰＰ）の詳細については、特開２００９−２６３６１４号公報の段落番号００１７〜００４７、特開２０１１−６８７３１号公報の段落番号００１１〜００３６、国際公開ＷＯ２０１５／１６６８７３号公報の段落番号００１０〜００２４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００１８】
Ｒ1aおよびＲ1bは、各々独立に、アリール基またはヘテロアリール基が好ましく、アリール基がより好ましい。また、Ｒ1aおよびＲ1bが表すアルキル基、アリール基およびヘテロアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、−ＯＣＯＲ11、−ＳＯＲ12、−ＳＯ2Ｒ13などが挙げられる。Ｒ11〜Ｒ13は、それぞれ独立に、炭化水素基またはヘテロアリール基を表す。また、置換基としては、特開２００９−２６３６１４号公報の段落番号００２０〜００２２に記載された置換基が挙げられる。なかでも、置換基としては、アルコキシ基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基、−ＯＣＯＲ11、−ＳＯＲ12、−ＳＯ2Ｒ13が好ましい。Ｒ1a、Ｒ1bで表される基としては、分岐アルキル基を有するアルコキシ基を置換基として有するアリール基、ヒドロキシ基を置換基として有するアリール基、または、−ＯＣＯＲ11で表される基を置換基として有するアリール基であることが好ましい。分岐アルキル基の炭素数は、３〜３０が好ましく、３〜２０がより好ましい。
【００１９】
Ｒ2およびＲ3の少なくとも一方は電子求引性基が好ましく、Ｒ2は電子求引性基（好ましくはシアノ基）を表し、Ｒ3はヘテロアリール基を表すことがより好ましい。ヘテロアリール基は、５員環または６員環が好ましい。また、ヘテロアリール基は、単環または縮合環が好ましく、単環または縮合数が２〜８の縮合環が好ましく、単環または縮合数が２〜４の縮合環がより好ましい。ヘテロアリール基を構成するヘテロ原子の数は、１〜３が好ましく、１〜２がより好ましい。ヘテロ原子としては、例えば、窒素原子、酸素原子、硫黄原子が例示される。ヘテロアリール基は、窒素原子を１個以上有することが好ましい。式（ＰＰ）における２個のＲ2同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。また、式（ＰＰ）における２個のＲ3同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。
【００２０】
Ｒ4は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基または−ＢＲ4AＲ4Bで表される基であることが好ましく、水素原子、アルキル基、アリール基または−ＢＲ4AＲ4Bで表される基であることがより好ましく、−ＢＲ4AＲ4Bで表される基であることが更に好ましい。Ｒ4AおよびＲ4Bが表す置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、または、ヘテロアリール基が好ましく、アルキル基、アリール基、または、ヘテロアリール基がより好ましく、アリール基が特に好ましい。これらの基はさらに置換基を有していてもよい。式（ＰＰ）における２個のＲ4同士は同一であってもよく、異なっていてもよい。
【００２１】
式（ＰＰ）で表される化合物の具体例としては、下記化合物や後述の実施例に記載の化合物が挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。また、ピロロピロール化合物としては、特開２００９−２６３６１４号公報の段落番号００１６〜００５８、特開２０１１−６８７３１号公報の段落番号００３７〜００５２、特開２０１４−１３０３４３号公報の段落番号００１４〜００２７、国際公開ＷＯ２０１５／１６６８７３号公報の段落番号００１０〜００３３に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【化２】
0006726317.tif 000003
【００２２】
スクアリリウム化合物としては、下記式（ＳＱ）で表される化合物が好ましい。
【化３】
0006726317.tif 000004
式（ＳＱ）中、Ａ1およびＡ2は、それぞれ独立に、アリール基、ヘテロアリール基または式（Ａ−１）で表される基を表す；
【化４】
0006726317.tif 000005
式（Ａ−１）中、Ｚ1は、含窒素複素環を形成する非金属原子団を表し、Ｒ2は、アルキル基、アルケニル基またはアラルキル基を表し、ｄは、０または１を表し、波線は連結手を表す。式（ＳＱ）の詳細については、特開２０１１−２０８１０１号公報の段落番号００２０〜００４９の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２３】
なお、式（ＳＱ）においてカチオンは、以下のように非局在化して存在している。
【化５】
0006726317.tif 000006
【００２４】
スクアリリウム化合物の具体例としては、実施例に記載の化合物が挙げられる。また、特許第３０９４０３７号明細書、特開昭６０−２２８４４８号公報、特開平１−１４６８４６号明細書、特開平１−２２８９６０号公報、特開２０１２−２１５８０６号公報の段落番号０１７８、特開２０１１−２０８１０１号公報の段落番号００４４〜００４９に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００２５】
シアニン化合物としては、式（Ｃ）で表される化合物が好ましい。
式（Ｃ）
【化６】
0006726317.tif 000007
式中、Ｚ1およびＺ2は、それぞれ独立に、縮環してもよい５員または６員の含窒素複素環を形成する非金属原子団であり、
Ｒ101およびＲ102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基またはアリール基を表し、
Ｌ1は、奇数個のメチン基を有するメチン鎖を表し、
ａおよびｂは、それぞれ独立に、０または１であり、
ａが０の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、ｂが０の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のＣｙで表される部位がカチオン部である場合、Ｘ1はアニオンを表し、ｃは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のＣｙで表される部位がアニオン部である場合、Ｘ1はカチオンを表し、ｃは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のＣｙで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、ｃは０である。
【００２６】
シアニン化合物としては、特開２００２−１９４０４０号公報の段落番号００２６〜００３０、特開２００７−２７１７４５号公報の段落番号００４１〜００４２、特開２００７−３３４３２５号公報の段落番号００１６〜００１８、特開２００８−８８４２６号公報、特開２００９−１０８２６７号公報の段落番号００４４〜００４５、特開２００９−１８５１６１号公報、特開２００９−１９１２１３号公報、特開２０１２−２１５８０６号公報の段落番号０１６０、特開２０１３−１５５３５３号公報の段落番号００４７〜００４９、特開２０１５−１７２００４号公報、特開２０１５−１７２１０２号公報に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物の市販品としては、例えば、Ｄａｉｔｏ  ｃｈｍｉｘ  １３７１Ｆ（ダイトーケミックス社製）、ＮＫ−３２１２、ＮＫ−５０６０等のＮＫシリーズ（（株）林原製）等を挙げることができる。
【００２７】
銅化合物としては、銅錯体が好ましい。銅錯体としては、銅と、銅に対する配位部位を有する化合物（配位子）との錯体が好ましい。銅に対する配位部位としては、アニオンで配位する配位部位、非共有電子対で配位する配位原子が挙げられる。銅錯体は、配位子を２つ以上有していてもよい。配位子を２つ以上有する場合は、それぞれの配位子は同一であってもよく、異なっていてもよい。銅錯体は、４配位、５配位および６配位が例示され、４配位および５配位がより好ましく、５配位がさらに好ましい。また、銅錯体は、銅と配位子によって、５員環および／または６員環が形成されていることが好ましい。このような銅錯体は、形状が安定であり、錯体安定性に優れる。
【００２８】
銅化合物としては、例えば、式（Ｃｕ−１）で表される銅錯体を用いることができる。この銅錯体は、中心金属の銅に配位子Ｌが配位した銅化合物であり、銅は、通常２価の銅である。例えば銅成分に対して、配位子Ｌとなる化合物またはその塩を混合および／または反応等させて得ることができる。
Ｃｕ（Ｌ）n1・（Ｘ）n2      式（Ｃｕ−１）
上記式中、Ｌは、銅に配位する配位子を表し、Ｘは、対イオンを表す。ｎ１は、１〜４の整数を表す。ｎ２は、０〜４の整数を表す。
【００２９】
Ｘは、対イオンを表す。銅化合物は、電荷を持たない中性錯体のほか、カチオン錯体、アニオン錯体になることもある。この場合、銅化合物の電荷を中和するよう、必要に応じて対イオンが存在する。
【００３０】
Ｌは、銅に配位する配位子を表す。銅に配位する配位子としては、銅に対する配位部位を有する化合物が挙げられる。例えば、銅に対しアニオンで配位する配位部位、および、銅に対し非共有電子対で配位する配位原子から選ばれる１種以上を有する化合物が挙げられる。アニオンで配位する配位部位は、解離していてもよく、非解離でも良い。配位子Ｌは、銅に対する配位部位を２個以上有する化合物（多座配位子）が好ましい。また、配位子Ｌは、可視透明性を向上させるために、芳香族などのπ共役系が連続して複数結合していないことが好ましい。配位子Ｌは、銅に対する配位部位を１個有する化合物（単座配位子）と、銅に対する配位部位を２個以上有する化合物（多座配位子）とを併用することもできる。単座配位子としては、銅に対しアニオンで配位する配位部位または銅に対し非共有電子対で配位する配位原子を１個有する化合物が挙げられる。
【００３１】
配位子Ｌにおけるアニオンとしては、酸素アニオン、窒素アニオンまたは硫黄アニオンが好ましい。配位子Ｌにおける非共有電子対で配位する配位原子としては、酸素原子、窒素原子、硫黄原子またはリン原子が好ましく、酸素原子、窒素原子または硫黄原子がより好ましく、酸素原子、窒素原子がさらに好ましく、窒素原子が特に好ましい。非共有電子対で配位する配位原子が窒素原子である場合、窒素原子に隣接する原子が炭素原子、または、窒素原子であることが好ましく、炭素原子がより好ましい。また、非共有電子対で配位する配位原子は、環に含まれていてもよい。非共有電子対で配位する配位原子が環に含まれる場合、非共有電子対で配位する配位原子を含む環は、単環であっても多環であってもよく、また、芳香族であっても非芳香族であってもよい。非共有電子対で配位する配位原子を含む環は、５〜１２員環が好ましく、５〜７員環がより好ましい。また、配位子Ｌとしては、リン酸エステル化合物やスルホン酸化合物などを用いることもできる。配位子については、特開２０１４−４１３１８号公報の段落番号００２２〜００４２、特開２０１５−４３０６３号公報の段落番号００２１〜００３９、特開２０１６−００６４７６号公報の００１３〜００７０などの記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、銅化合物の具体例としては、特開２０１３−２５３２２４号公報、特開２０１４−０３２３８０号公報、特開２０１４−０２６０７０号公報、特開２０１４−０２６１７８号公報、特開２０１４−１３９６１６号公報、特開２０１４−１３９６１７号公報、特開２０１４−４１３１８号公報、特開２０１５−４３０６３号公報、特開２０１６−００６４７６号公報に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００３２】
ジイミニウム化合物としては、例えば、特開平１−１１３４８２号公報、特開平１０−１８０９２２号公報、国際公開第２００３／５０７６号、国際公開第２００４／４８４８０号公報、国際公開第２００５／４４７８２号公報、国際公開第２００６／１２０８８８号公報、特開２００７−２４６４６４号公報、国際公開第２００７／１４８５９５号公報、特開２０１１−０３８００７号公報、国際公開第２０１１／１１８１７１号公報の段落番号０１１８等に記載の化合物等が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ジイミニウム化合物の市販品としては、例えば、ＥＰＯＬＩＧＨＴ１１７８等のＥＰＯＬＩＧＨＴシリーズ（Ｅｐｏｌｉｎ社製）、ＣＩＲ−１０８５等のＣＩＲ−１０８Ｘシリーズ及びＣＩＲ−９６Ｘシリーズ（日本カーリット社製）、ＩＲＧ０２２、ＩＲＧ０２３、ＰＤＣ−２２０（日本化薬（株）製）等を挙げることができる。フタロシアニン化合物としては、例えば、特開昭６０−２２４５８９号公報、特表２００５−５３７３１９号公報、特開平４−２３８６８号公報、特開平４−３９３６１号公報、特開平５−７８３６４号公報、特開平５−２２２０４７号公報、特開平５−２２２３０１号公報、特開平５−２２２３０２号公報、特開平５−３４５８６１号公報、特開平６−２５５４８号公報、特開平６−１０７６６３号公報、特開平６−１９２５８４号公報、特開平６−２２８５３３号公報、特開平７−１１８５５１号公報、特開平７−１１８５５２号公報、特開平８−１２０１８６号公報、特開平８−２２５７５１号公報、特開平９−２０２８６０号公報、特開平１０−１２０９２７号公報、特開平１０−１８２９９５号公報、特開平１１−３５８３８号公報、特開２０００−２６７４８号公報、特開２０００−６３６９１号公報、特開２００１−１０６６８９号公報、特開２００４−１８５６１号公報、特開２００５−２２００６０号公報、特開２００７−１６９３４３号公報、特開２０１３−１９５４８０号公報の段落番号００２６〜００２７等に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フタロシアニン化合物の市販品としては、例えば、ＦＢ−２２、２４等のＦＢシリーズ（山田化学工業（株）製）、Ｅｘｃｏｌｏｒシリーズ、Ｅｘｃｏｌｏｒ  ＴＸ−ＥＸ７２０、同７０８Ｋ（（株）日本触媒製）、Ｌｕｍｏｇｅｎ  ＩＲ７８８（ＢＡＳＦ製）、ＡＢＳ６４３、ＡＢＳ６５４、ＡＢＳ６６７、ＡＢＳ６７０Ｔ、ＩＲＡ６９３Ｎ、ＩＲＡ７３５（Ｅｘｃｉｔｏｎ製）、ＳＤＡ３５９８、ＳＤＡ６０７５、ＳＤＡ８０３０、ＳＤＡ８３０３、ＳＤＡ８４７０、ＳＤＡ３０３９、ＳＤＡ３０４０、ＳＤＡ３９２２、ＳＤＡ７２５７（Ｈ．Ｗ．ＳＡＮＤＳ製）、ＴＡＰ−１５、ＩＲ−７０６（山田化学工業（株）製）等が挙げられる。ナフタロシアニン化合物としては、例えば、特開平１１−１５２４１３号公報、特開平１１−１５２４１４号公報、特開平１１−１５２４１５号公報、特開２００９−２１５５４２号公報の段落番号００４６〜００４９に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。クアテリレン化合物としては、例えば、特開２００８−００９２０６号公報の段落番号００２１に記載の化合物が挙げられ、これらの内��は本明細書に組み込まれる。クアテリレン化合物の市販品としては、例えば、Ｌｕｍｏｇｅｎ  ＩＲ７６５（ＢＡＳＦ社製）等が挙げられる。アミニウム化合物としては、例えば、特開平０８−０２７３７１号公報の段落番号００１８、特開２００７−０３９３４３号公報等に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。アミニウム化合物の市販品としては、例えばＩＲＧ００２、ＩＲＧ００３（日本化薬（株）製）等が挙げられる。イミニウム化合物としては、例えば、国際公開第２０１１／１１８１７１号の段落番号０１１６に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。アゾ化合物としては、例えば、特開２０１２−２１５８０６号公報の段落番号０１１４〜０１１７に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。アントラキノン化合物としては、例えば、特開２０１２−２１５８０６号公報の段落番号０１２８、０１２９に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。ポルフィリン化合物としては、例えば、特許第３８３４４７９号明細書の式（１）で表される化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。オキソノール化合物としては、例えば、特開２００７−２７１７４５号公報の段落番号００４６に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。クロコニウム化合物としては、例えば、特開２００７−２７１７４５号公報の段落番号００４９、特開２００７−３１６４４号公報、特開２００７−１６９３１５号公報等に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、クロコニウム化合物の具体例としては、後述の実施例に記載の化合物が挙げられる。ヘキサフィリン化合物としては、例えば、国際公開第２００２／０１６１４４号の式（１）で表される化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。金属ジチオール化合物としては、例えば、特開平１−１１４８０１号公報、特開昭６４−７４２７２号公報、特開昭６２−３９６８２号公報、特開昭６１−８０１０６号公報、特開昭６１−４２５８５号公報、特開昭６１−３２００３号公報等に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。タングステン化合物としては酸化タングステン化合物が好ましく、セシウム酸化タングステン、ルビジウム酸化タングステンがより好ましく、セシウム酸化タングステンが更に好ましい。セシウム酸化タングステンの組成式としてはＣｓ0.33ＷＯ3等が挙げられ、またルビジウム酸化タングステンの組成式としてはＲｂ0.33ＷＯ3等を挙げることができる。酸化タングステン化合物は、例えば、住友金属鉱山株式会社製のＹＭＦ−０２Ａ等のタングステン微粒子の分散物としても、入手可能である。金属ホウ化物としては、例えば、特開２０１２−０６８４１８号公報の段落番号００４９に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。中でも、ホウ化ランタンが好ましい。
【００３３】
また、赤外線遮蔽剤については、特開２０１６−２０６５０３号公報の段落番号００５７〜００９３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００３４】
本発明の感光性組成物において、赤外線遮蔽剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して０．１〜８０質量％であることが好ましい。上限は、６０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。下限は、１質量％以上が好ましく、３質量％以上がより好ましい。本発明の感光性組成物においては、赤外線遮蔽剤は１種単独で用いてもよく、２種以上併用してもよい。赤外線遮蔽剤を２種以上併用する場合は、その合計が上記範囲であることが好ましい。
【００３５】
＜重合体成分Ｂ＞
本発明の感光性組成物における重合体成分Ｂは、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１と、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２とを含む重合体Ｂ１、前述の繰り返し単位ｂ１を含む重合体Ｂ２、および、前述の繰り返し単位ｂ２を含む重合体Ｂ３から選ばれる少なくとも１種の重合体を含む。以下、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位ｂ１を、繰り返し単位ｂ１ともいう。また、架橋性基を有する繰り返し単位ｂ２を、繰り返し単位ｂ２ともいう。
【００３６】
ここで、本発明の感光性組成物は、下記の（１）〜（４）の少なくとも１つの要件を満し、（１）〜（３）の少なくとも１つの要件を満すことが好ましく、（１）または（２）の要件を満すことがより好ましく、（１）の要件を満すことが特に好ましい。
（１）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ１を含む。
（２）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ２と重合体Ｂ３とを含む；
（３）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ２を含み、かつ、感光性組成物が、更に、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物（後述する架橋剤）を含む；
（４）：重合体成分Ｂが重合体Ｂ３を含み、かつ、感光性組成物が、更に、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物（後述する化合物Ｅ）を含む。
【００３７】
重合体Ｂ１における繰り返し単位ｂ１の含有量は、全繰り返し単位の３〜７０モル％であることが好ましく、１０〜６０モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。重合体Ｂ１における繰り返し単位ｂ２の含有量は、全繰り返し単位の３〜７０モル％であることが好ましく、１０〜６０モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。
重合体Ｂ２における繰り返し単位ｂ１の含有量は、全繰り返し単位の５〜１００モル％であることが好ましく、５〜９０モル％であることがより好ましく、１０〜８５モル％であることが更に好ましい。
重合体Ｂ３における繰り返し単位ｂ２の含有量は、全繰り返し単位の５〜１００モル％であることが好ましく、５〜９０モル％であることがより好ましく、１０〜８５モル％であることが更に好ましい。
【００３８】
上記（２）の態様において、重合体Ｂ２と重合体Ｂ３の質量割合は、９５：５〜５：９５が好ましく、８０：２０〜２０：８０がより好ましく、７０：３０〜３０：７０がさらに好ましい。
また、上記（２）の態様において、重合体成分Ｂの全繰り返し単位中における、繰り返し単位ｂ１の含有量は、全繰り返し単位の３〜７０モル％であることが好ましく、１０〜６０モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。また、繰り返し単位ｂ２の含有量は、全繰り返し単位の３〜７０モル％であることが好ましく、１０〜６０モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。
【００３９】
重合体Ｂ１〜Ｂ３の重量平均分子量は、１，０００〜２００，０００であることが好ましく、３，０００〜２０，０００であることがより好ましく、５，０００〜１５，０００であることが更に好ましい。重合体Ｂ１〜Ｂ３の重量平均分子量が上記範囲であれば、耐熱性やドライエッチング耐性の劣化を防ぐことができ、且つ現像性が劣化したり、粘度が高くなって製膜性が劣化したりすることを防ぐことができる。重合体Ｂ１〜Ｂ３の分散度（分子量分布）は、１〜５であることが好ましく、１〜３であることがより好ましく、１．２〜３．０であることが更に好ましく、１．２〜２．０であることが一層好ましい。重合体の分散度が小さいほど、解像度及びパターン形成性が優れる。
【００４０】
重合体Ｂ１〜Ｂ３は、付加重合型の重合体であることが好ましく、（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する繰り返し単位、スチレンに由来する繰り返し単位およびビニル化合物に由来する繰り返し単位から選ばれる繰り返し単位を含む重合体であることがより好ましく、（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する繰り返し単位を含む重合体であることが更に好ましい。以下、各繰り返し単位について説明する。
【００４１】
（繰り返し単位ｂ１）
繰り返し単位ｂ１は、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する繰り返し単位である。重合体成分Ｂが繰り返し単位ｂ１を有する重合体を含むことにより、高感度な感光性組成物とすることができる。
【００４２】
本発明における「酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基（以下、保護酸基ともいう）」は、酸を触媒（または開始剤）として脱保護反応を起こし、酸基または水酸基を生じる基を意味する。重合体が保護酸基を有することにより、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する。保護酸基における酸基および水酸基としては、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、及び、スルホン酸基等が挙げられ、カルボキシル基、アルコール性水酸基、又は、フェノール性水酸基であることが好ましく、カルボキシル基、又は、フェノール性水酸基であることがより好ましい。
【００４３】
酸分解性基としては、例えば、式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基を挙げることができる。なかでも、より微細なパターン形成が可能な点で、式（Ｙ１）で表される基、式（Ｙ３）で表される基、または、式（Ｙ４）で表される基が好ましく、式（Ｙ３）で表される基、または、式（Ｙ４）で表される基がより好ましく、式（Ｙ３）で表される基がさらに好ましい。
式（Ｙ１）：−Ｃ（Ｒ31）（Ｒ32）（Ｒ33）
式（Ｙ２）：−Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ31）（Ｒ32）（Ｒ33）
式（Ｙ３）：−Ｃ（Ｒ36）（Ｒ37）（ＯＲ38）
式（Ｙ４）：−Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
【００４４】
式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ31〜Ｒ33は、各々独立に、アルキル基を表す。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は１〜１２であることが好ましく、１〜６であることがより好ましく、１〜４であることがさらに好ましい。Ｒ31〜Ｒ33の全てがアルキル基（直鎖若しくは分岐）である場合、Ｒ31〜Ｒ33のうち少なくとも２つはメチル基であることが好ましい。なかでも、Ｒ31〜Ｒ33は、各々独立に、直鎖又は分岐のアルキル基を表すことが好ましく、直鎖のアルキル基を表すことがより好ましい。式（Ｙ１）、（Ｙ２）において、Ｒ31〜Ｒ33の２つが結合して、環を形成してもよい。Ｒ31〜Ｒ33が表すアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基が好ましい。
Ｒ31〜Ｒ33の２つが結合して形成される環としては、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、並びに、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましく、炭素数５〜６の単環のシクロアルキル基がより好ましい。上記のシクロアルキル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、又は、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置き換わっていてもよい。
式（Ｙ１）又は（Ｙ２）で表される基は、例えば、Ｒ31がメチル基又はエチル基であり、Ｒ32とＲ33とが結合して上述のシクロアルキル基を形成している態様が好ましい。
【００４５】
式（Ｙ３）中、Ｒ36およびＲ37は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ36およびＲ37の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ38は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ36またはＲ37と、Ｒ38とが結合して環を形成してもよい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は１〜１２であることが好ましく、１〜６であることがより好ましく、１〜４であることがさらに好ましい。Ｒ36およびＲ37の一方は水素原子であることが好ましい。
Ｒ36またはＲ37と、Ｒ38とが結合して形成される環としては、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が挙げられる。
【００４６】
式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。Ａｒが表す芳香環基はアリール基であることが好ましい。
【００４７】
繰り返し単位ｂ１としては、下記式（ｂ１−１）または式（ｂ１−２）で表される繰り返し単位が好ましい。
【化７】
0006726317.tif 000008
式（ｂ１−１）において、Ｒｂ1は、水素原子またはアルキル基を表す。Ｌｂ1は、単結合又は２価の連結基を表す。Ｙは、酸分解性基を表す。
Ｌｂ1が表す２価の連結基としては、アルキレン基、−ＣＯＯ−Ｒｔ−基、−Ｏ−Ｒｔ−基等が挙げられる。Ｒｔは、炭素数１〜５のアルキレン基を表す。Ｌｂ1は、単結合又は−ＣＯＯ−Ｒｔ−基が好ましく、単結合がより好ましい。
Ｙは、式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基のいずれかであることが好ましい。
【００４８】
式（ｂ１−２）中、Ｒｂ2〜Ｒｂ4は、各々独立に、水素原子、アルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、又はアルコキシカルボニル基を表す。但し、Ｒｂ4はＡｒ1と結合して環を形成していてもよい。Ｑb1は、単結合、−ＣＯＯ−、又は−ＣＯＮＲ−を表す。Ｒは、水素原子又はアルキル基を表す。Ｌｂ2は、単結合又はアルキレン基を表す。Ａｒ1は、（ｎ＋１）価の芳香環基を表し、Ｒｂ4と結合して環を形成する場合には（ｎ＋２）価の芳香環基を表す。
Ｙ2は、水素原子または酸分解性基を表す。ｎは、１〜４の整数を表す。なお、ｎが２以上の場合には、複数のＹ2は同一でも異なっていてもよい。ただし、Ｙ2の少なくとも１つは、酸分解性基を表す。酸分解性基としては、式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基のいずれかであることが好ましい。
【００４９】
繰り返し単位ｂ１は、下記式ｂ１−３で表される繰り返し単位であることが好ましい。
【化８】
0006726317.tif 000009
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ1およびＲ2の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ3は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ1またはＲ2と、Ｒ3とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ4は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは単結合または２価の連結基を表す。
Ｒ1およびＲ2がアルキル基の場合、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましい。Ｒ1およびＲ2がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基が好ましい。Ｒ3は、アルキル基またはアリール基を表し、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましく、１〜６のアルキル基がより好ましい。Ｘは単結合が好ましい。
【００５０】
Ｘが表す２価の連結基としては、Ｌｂ1で説明した２価の連結基が挙げられる。Ｘとしては単結合であることが好ましい。
【００５１】
繰り返し単位ｂ１としては、国際公開ＷＯ２０１６／１３６４８１号公報の段落番号００５６〜０３１１、特開２０１４−２３８４３８号公報の段落番号００４０〜００７３の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００５２】
（繰り返し単位ｂ２）
繰り返し単位ｂ２は、架橋性基を有する繰り返し単位である。重合体成分Ｂが繰り返し単位ｂ２を有する重合体を含むことにより、耐熱性に優れた硬化膜を形成することができる。
【００５３】
架橋性基は、１気圧における加熱処理の際の架橋反応の開始温度が１００℃以上の基であれば特に限定はされない。架橋反応の開始温度は公知の手法を使って分析することができ、例えばＤＳＣ測定（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  ｓｃａｎｎｉｎｇ  ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）を用いた手法によって分析することができる。架橋性基としては、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基、アルコキシメチロール基、ブロックイソシアネート基およびエチレン性不飽和結合基が挙げられ、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基が好ましく、エポキシ基、オキセタニル基がより好ましく、エポキシ基が更に好ましい。繰り返し単位ｂ２としては特開２０１４−２３８４３８号公報の段落番号００７６〜００８７の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００５４】
（酸基または水酸基を有する繰り返し単位ｂ３）
重合体成分Ｂは、酸基または水酸基を有する繰り返し単位ｂ３（以下、繰り返し単位ｂ３ともいう）を有する重合体を含んでいてもよい。繰り返し単位ｂ３は、重合体Ｂ１〜Ｂ３のいずれかが含んでいてもよい。また、上記重合体Ｂ１〜Ｂ３以外の重合体が繰り返し単位ｂ３を含んでいてもよい。重合体成分Ｂが繰り返し単位ｂ３を含む重合体を含有することで、アルカリ現像液に溶けやすくなり、現像性が向上する。更には、感度に優れる。
【００５５】
酸基または水酸基としては、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、及び、スルホン酸基等が挙げられ、カルボキシル基、アルコール性水酸基、又は、フェノール性水酸基が好ましく、カルボキシル基、又は、フェノール性水酸基がより好ましい。
【００５６】
繰り返し単位ｂ３としては、スチレンに由来する繰り返し単位、ビニル化合物に由来する繰り返し単位、（メタ）アクリル酸に由来する繰り返し単位がより好ましい。繰り返し単位ｂ３としては、特開２０１２−８８４５９号公報の段落番号００２１〜００２３、００２９〜００４４、特開２０１４−２３２３０９号公報の段落番号０２７６〜０３００の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００５７】
上記重合体Ｂ１が更に繰り返し単位ｂ３を含有する場合、繰り返し単位ｂ３の含有量は、重合体Ｂ１の全繰り返し単位に対し、１〜３０モル％が好ましく、３〜２０モル％がより好ましく、５〜１５モル％が更に好ましい。
上記重合体Ｂ２または重合体Ｂ３が繰り返し単位ｂ３を含有する場合、繰り返し単位ｂ３の含有量は、重合体Ｂ２または重合体Ｂ３の全繰り返し単位に対し、１〜５０モル％が好ましく、５〜４５モル％がより好ましく、１０〜４０モル％が更に好ましい。
繰り返し単位ｂ３を含有する重合体が、繰り返し単位ｂ１および繰り返し単位ｂ２を含まない場合、繰り返し単位ｂ３の含有量は、重合体の全繰り返し単位に対し１〜５０モル％が好ましく、２〜４０モル％がより好ましく、３〜３０モル％が更に好ましい。
重合体成分Ｂの全繰り返し単位中における、繰り返し単位ｂ３の含有量は、全繰り返し単位の１〜３０モル％が好ましく、３〜２０モル％がより好ましく、５〜１５モル％が更に好ましい。
【００５８】
（他の繰り返し単位ｂ４）
重合体成分Ｂは、繰り返し単位ｂ１〜ｂ３以外の他の繰り返し単位ｂ４を含む重合体を含有することができる。繰り返し単位ｂ４は、繰り返し単位ｂ１〜ｂ３のいずれかの繰り返し単位を含む重合体が含んでいてもよく、繰り返し単位ｂ１〜ｂ３のいずれも含まない重合体が含んでいてもよい。繰り返し単位ｂ４としては、ラクトン基又はスルトン基を有する繰り返し単位、複数の芳香環を有する繰り返し単位、（メタ）アクリル酸アルキルエステル由来の繰り返し単位などが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチルなどが挙げられる。
【００５９】
ラクトン基又はスルトン基としては、ラクトン構造又はスルトン構造を含有していればいずれの基でも用いることができる。なかでも、好ましくは５〜７員環ラクトン構造又はスルトン構造を含有する基であり、５〜７員環ラクトン構造又はスルトン構造にビシクロ構造、スピロ構造を形成する形で他の環構造が縮環しているものが好ましい。ラクトン基又はスルトン基を有する繰り返し単位については、特開２０１４−２３２３０９号公報の段落番号０３０１〜０３１４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００６０】
芳香環基を有する繰り返し単位としては、下記式（Ｘ）で表される繰り返し単位が挙げられる。
【００６１】
【化９】
0006726317.tif 000010
【００６２】
式（Ｘ）中、Ｒ61、Ｒ62及びＲ63は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、又はアルコキシカルボニル基を表す。Ｒ63はＡｒと結合して環を形成していてもよい。Ａｒは、（ｎ＋１）価の芳香環基を表し、Ｒ63と結合して環を形成する場合には（ｎ＋２）価の芳香環基を表す。Ｒ7は、炭素数１〜１０のアルキル基、アルコキシ基、アシロキシ基、シアノ基、ニトロ基、アミノ基、ハロゲン原子、エステル基（−ＯＣＯＲ又は−ＣＯＯＲ：Ｒは炭素数１〜６のアルキル基又はフッ素化アルキル基）、又はカルボキシル基を表す。ｎは、０以上の整数を表す。式（Ｘ）で表される繰り返し単位の詳細については、特開２０１４−２３２３０９号公報の段落番号０３１８〜０３３２の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００６３】
重合体成分Ｂの全繰り返し単位中における、繰り返し単位ｂ４の含有量は、全繰り返し単位の５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下がより好ましく、３０モル％以下がさらに好ましい。下限値は、０モル％でもよいが、例えば、１モル％以上とすることもできる。
【００６４】
本発明の感光性組成物は、重合体成分Ｂを感光性組成物の固形分に対して１０〜９９質量％含有することが好ましい。下限は、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましい。上限は、９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。
【００６５】
＜＜光酸発生剤＞＞
本発明の感光性組成物は、光酸発生剤を含有する。光酸発生剤としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００〜４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましい。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、ｐＫａが４以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、２以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。なお本発明において、ｐＫａは、基本的に２５℃の水中におけるｐＫａを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のｐＫａが参考にできる。ｐＫａが４以下の酸としては、スルホン酸またはホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。
【００６６】
光酸発生剤としては、オニウム塩化合物、トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、および、オキシムスルホネート化合物などを挙げることができる。これらの中でも、オニウム塩化合物、イミドスルホネート化合物、オキシムスルホネート化合物が好ましく、オニウム塩化合物、オキシムスルホネート化合物がより好ましく、オキシムスルホネート化合物が特に好ましい。光酸発生剤の詳細については、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号００８２〜０１７２、特開２０１６−１８９００６号公報の段落番号００８４〜０１２２、国際公開ＷＯ２０１６／１３６４８１号公報の段落番号０４４０〜０５０９、特開２０１６−２０６５０３号公報の段落番号００４８〜００５５の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。スルホニウム塩としては、下記構造の化合物を用いることもできる。
【化１０】
0006726317.tif 000011
【００６７】
本発明において、オキシムスルホネート化合物としては、下記式（ＯＳ−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物が好ましいものとして例示できる。
【００６８】
式（ＯＳ−１）
【化１１】
0006726317.tif 000012
式（ＯＳ−１）中、Ｒ21は、アルキル基またはアリール基を表す。波線はオキシムスルホネート化合物を構成する他の基または原子との結合手を表す。
【００６９】
式（ＯＳ−１）のＲ21が表すアルキル基およびアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。Ｒ21がアルキル基の場合、Ｒ21としては、炭素数１〜１０の直鎖または分岐のアルキル基が好ましい。Ｒ21のアルキル基は、ハロゲン原子、炭素数６〜１１のアリール基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、または、環状のアルキル基（７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。Ｒ21がアリール基を表す場合、Ｒ21としては、炭素数６〜１１のアリール基が好ましく、フェニル基またはナフチル基がより好ましい。Ｒ21のアリール基は、アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。式（ＯＳ−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物の詳細については、国際公開ＷＯ２０１５／０３３８７９号公報の段落番号００７１〜００８７、特開２０１４−２３８４３８号公報の段落番号０１０８〜０１３３を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、式（ＯＳ−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物の具体例としては、例えば下記構造の化合物や後述の実施例に記載の化合物が挙げられる。
【化１２】
0006726317.tif 000013
【００７０】
本発明の感光性組成物において、光酸発生剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜２０質量％が好ましい。下限は、例えば、０．２質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、１０質量％以下がより好ましく、５質量％以下がさらに好ましい。
また、光酸発生剤の含有量は、重合性成分Ｂの１００質量部に対して０．１〜１０質量部が好ましく、１〜５質量部がより好ましい。
【００７１】
＜＜架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物（架橋剤）＞＞
本発明の感光性組成物は、架橋性基を有する分子量１，０００以下の化合物（以下、架橋剤ともいう）を含有することができる。本発明の感光性組成物が架橋剤を含有することにより、より強固な硬化膜を得ることができる。特に、上記重合体成分Ｂが、架橋性基を有する繰り返し単位を含む重合体を含有しない場合か、その含有量が少ない場合においては、架橋剤を含有することが好ましい。架橋剤としては、熱によって架橋反応が起こるものであれば制限は無い。例えば、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基、アルコキシメチロール基、ブロックイソシアネート基およびエチレン性不飽和結合基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物が好ましく、エポキシ基および／またはオキセタニル基を１個以上有する化合物がより好ましい。
【００７２】
エポキシ基および／またはオキセタニル基を有する化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。エポキシ基および／またはオキセタニル基を有する化合物は、市販品を用いることもできる。エポキシ基および／またはオキセタニル基を有する化合物の市販品としては、例えば、ＪＥＲ  ＹＸ４０００ＨＫ（三菱化学株式会社製、ビフェニル型２官能エポキシ）、ＪＥＲ  １０３１Ｓ（三菱化学株式会社製、４官能エポキシ）などが挙げられる。また、国際公開ＷＯ２０１５／０３３８７９号公報の段落番号０１０４、特開２０１６−２０６５０３号公報の段落番号００９８〜０１０１の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００７３】
ブロックイソシアネート基を有する化合物（ブロックイソシアネート化合物ともいう）としては、１分子内に２以上のブロックイソシアネート基を有する化合物であることが好ましい。なお、本発明におけるブロックイソシアネート基とは、熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であり、例えば、ブロック剤とイソシアネート基とを反応させイソシアネート基を保護した基が好ましく例示できる。また、上記ブロックイソシアネート基は、９０℃〜２５０℃の熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であることが好ましい。ブロックイソシアネート化合物の母構造としては、ビウレット型、イソシアヌレート型、アダクト型、２官能プレポリマー型等を挙げることができる。ブロックイソシアネート化合物のブロック構造を形成するブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物から選ばれるブロック剤が特に好ましい。ブロックイソシアネート化合物の詳細についえは、国際公開ＷＯ２０１５／０３３８７９号公報の段落番号０１０６〜０１０８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００７４】
メチロール基および／またはアルコキシメチロール基を有する化合物としては、アルコキシメチル化メラミン、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン、アルコキシメチル化グリコールウリル及びアルコキシメチル化尿素が挙げられる。これらは、それぞれメチロール化メラミン、メチロール化ベンゾグアナミン、メチロール化グリコールウリル、又は、メチロール化尿素のメチロール基をアルコキシメチル基に変換することにより得られる。メチロール基および／またはアルコキシメチロール基を有する化合物の詳細については、国際公開ＷＯ２０１６／０５４６２５号公報の段落番号００５１〜０１１９の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００７５】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物において、エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、スチレン基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。エチレン性不飽和結合基を有する化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。エチレン性不飽和結合基を有する化合物の詳細については、国際公開ＷＯ２０１６／１５８８１８号公報の段落番号０１４７〜０１５０の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００７６】
本発明において、架橋剤の分子量は、２００〜１，０００が好ましい。
【００７７】
本発明の感光性組成物が架橋剤を含有する場合、架橋剤の含有量は、重合体成分Ｂの１００質量部に対し、０．０１〜５０質量部であることが好ましく、０．１〜３０質量部であることがより好ましく、０．５〜２５質量部であることがさらに好ましい。この範囲で添加することにより、機械的強度および耐溶剤性に優れた硬化膜が得られる。架橋剤は１種類のみ含んでいても良いし、２種類以上含んでいても良い。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【００７８】
＜＜酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物（化合物Ｅ）＞＞
本発明の感光性組成物は、酸基および水酸基から選ばれる少なくとも一方の基が酸分解性基で保護された基を有する分子量１，０００以下の化合物（以下、化合物Ｅともいう）を含有することができる。化合物Ｅは、露光部における現像液に対する溶解性を増大させる役目を担う。なお、本発明において化合物Ｅは、上述した重合体成分Ｂとは異なる成分である。
【００７９】
酸基および水酸基としては、カルボキシル基、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、及び、スルホン酸基等が挙げられる。
【００８０】
酸分解性基としては、酸の作用で分解する基であれば特に制限はない。重合体成分Ｂで説明した式（Ｙ１）〜（Ｙ４）で表される基が挙げられる。酸分解性基の具体例としては、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニル基、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、エトキシエチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、トリメチルシリル基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチル基、トリメチルシリルエーテル基などが挙げられる。感度の観点からエトキシエチル基、テトラヒドロフラニル基が好ましい。
【００８１】
化合物Ｅの分子量は、１５０〜１０００であることが好ましく、３００〜１０００であることがより好ましい。
【００８２】
化合物Ｅは、組成物の溶解抑止能力向上の観点から、芳香環、複素環および脂環構造のいずれかを含む化合物であることが好ましい。また、化合物Ｅは、組成物の感度向上の観点から、分子内に保護された酸基または水酸基を２以上有する化合物であることが好ましい。化合物Ｅは、下記式（Ｅ１）で表される化合物であることが好ましい。
【化１３】
0006726317.tif 000014
式（Ｅ１）中、式中、Ｒ21は、１〜６価の有機基を表し、Ｒ22およびＲ23は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ22およびＲ23のいずれか一方はアルキル基またはアリール基であり、Ｒ24は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ24は、Ｒ22またはＲ23と結合して環状エーテルを形成していてもよく、ｎ１は１〜６の整数を表す。
【００８３】
Ｒ22およびＲ23は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ22およびＲ23のいずれか一方がアルキル基またはアリール基である。アルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜８がより好ましく、１〜６がさらに好ましく、１〜４が特に好ましい。また、アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよいが、直鎖のアルキル基が好ましい。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１４がより好ましく、６〜１０がさらに好ましい。
【００８４】
Ｒ24は、アルキル基またはアリール基を表す。アルキル基の炭素数は、１〜１６が好ましく、１〜１０がより好ましく、１〜６がさらに好ましく、１〜４が特に好ましい。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１４がより好ましく、６〜１０がさらに好ましい。
【００８５】
Ｒ24は、Ｒ22またはＲ23と結合して環状エーテルを形成してもよい。Ｒ22またはＲ23と結合して形成される環状エーテルとしては、３〜６員環の環状エーテルが好ましく、５〜６員環の環状エーテルがより好ましい。
【００８６】
Ｒ22およびＲ23は、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基であることが好ましい。また、Ｒ24は、炭素数１〜４のアルキル基であるか、Ｒ22またはＲ23と結合してテトラヒドロフラニル基を形成していることが好ましい。
【００８７】
Ｒ22〜Ｒ24が表す上記の基は、置換基を有していても良い。置換基としては炭素数１〜６のアルキル基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、およびヨウ素原子）などが挙げられ、これら置換基はさらに置換基を有していてもよい。
【００８８】
Ｒ21は、１〜６価の有機基を表す。Ｒ21が表わす有機基は、芳香環または複素環を含み、Ｃ、Ｈ、Ｏ、Ｎ原子以外を含まない有機基であることが好ましく、環状構造、および／またはカルボニル基を含む有機基であることがより好ましく、芳香族基、環状脂肪族基、カルボニル基、アルキレン基、フェニレン基、および酸素原子との組み合わせからなる基であることがさらに好ましい。
【００８９】
化合物Ｅとしては下記構造の化合物や後述の実施例に記載の化合物が挙げられる。化合物Ｅの詳細については、特開２００１−８３７０９号公報の段落番号００１８〜００２５、国際公開２０１６／０４３２０３号公報の段落番号０１１６〜０１３１の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【化１４】
0006726317.tif 000015
【００９０】
本発明の感光性組成物が化合物Ｅを含有する場合、化合物Ｅの含有量は、重合体成分Ｂの１００質量部に対して、５〜５０質量部が好ましく、１０〜４０質量部がより好ましい。化合物Ｅは１種類のみ含んでいても良いし、２種類以上含んでいても良い。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【００９１】
＜＜溶剤＞＞
本発明の感光性組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や感光性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤の例としては、例えば、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ジクロロメタン、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。本発明において有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
【００９２】
本発明においては、金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましく、溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【００９３】
溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。
【００９４】
溶剤は、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。
【００９５】
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。
【００９６】
溶剤の含有量は、感光性組成物の全量に対し、１０〜９０質量％であることが好ましく、２０〜８０質量％であることがより好ましく、２５〜７５質量％であることが更に好ましい。
【００９７】
＜＜有彩色着色剤＞＞
本発明の感光性組成物は、有彩色着色剤を含有することができる。本発明において、有彩色着色剤とは、白色着色剤および黒色着色剤以外の着色剤を意味する。有彩色着色剤は、波長４００ｎｍ以上６５０ｎｍ未満の範囲に吸収を有する着色剤が好ましい。
【００９８】
本発明において、有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料は、有機顔料であることが好ましい。有機顔料としては、以下にしめすものが挙られる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）。
【００９９】
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。また、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−３４９６６号公報に記載の染料を用いることもできる。
【０１００】
本発明の感光性組成物が、有彩色着色剤を含有する場合、有彩色着色剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して６０質量％以下であることが好ましく、５０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましく、２０質量％以下がより一層好ましく、１５質量％以下が特に好ましい。下限は、例えば、０．０１質量％以上とすることができ、０．５質量％以上とすることもできる。
【０１０１】
＜＜赤外線を透過させて可視光を遮光する色材＞＞
本発明の感光性組成物は、赤外線を透過させて可視光を遮光する色材（以下、可視光を遮光する色材ともいう）を含有することもできる。
本発明において、可視光を遮光する色材は、紫色から赤色の波長領域の光を吸収する色材であることが好ましい。また、本発明において、可視光を遮光する色材は、波長４５０〜６５０ｎｍの波長領域の光を遮光する色材であることが好ましい。また、可視光を遮光する色材は、波長９００〜１３００ｎｍの光を透過する色材であることが好ましい。
本発明において、可視光を遮光する色材は、以下の（Ａ）および（Ｂ）の少なくとも一方の要件を満たすことが好ましい。
（Ａ）：２種類以上の有彩色着色剤を含み、２種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。
（Ｂ）：有機系黒色着色剤を含む。
【０１０２】
有彩色着色剤としては、上述したものが挙げられる。有機系黒色着色剤としては、例えば、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ系化合物などが挙げられる。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０−５３４７２６号公報、特表２０１２−５１５２３３号公報、特表２０１２−５１５２３４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  ３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平１−１７０６０１号公報、特開平２−３４６６４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。
【０１０３】
２種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成する場合の、有彩色着色剤の組み合わせとしては、例えば以下が挙げられる。
（１）黄色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
（２）黄色着色剤、青色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
（３）黄色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
（４）黄色着色剤および紫色着色剤を含有する態様。
（５）緑色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
（６）紫色着色剤およびオレンジ色着色剤を含有する態様。
（７）緑色着色剤、紫色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
（８）緑色着色剤および赤色着色剤を含有する態様。
【０１０４】
本発明の感光性組成物が、可視光を遮光する色材を含有する場合、可視光を遮光する色材の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して６０質量％以下であることが好ましく、５０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましく、２０質量％以下がより一層好ましく、１５質量％以下が特に好ましい。下限は、例えば、０．０１質量％以上とすることができ、０．５質量％以上とすることもできる。
【０１０５】
＜＜分散剤＞＞
本発明の感光性組成物は、上述した重合体成分Ｂの他に、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
【０１０６】
分散剤は、グラフト共重合体であることも好ましい。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１０７】
また、本発明において、分散剤は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系分散剤を用いることも好ましい。オリゴイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造Ｘを有する構造単位と、原子数４０〜１０，０００の側鎖Ｙを含む側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。オリゴイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。オリゴイミン系分散剤としては、下記構造の樹脂が挙げられる。また、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１６８〜０１７４に記載の樹脂を用いることができる。
【化１５】
0006726317.tif 000016
【０１０８】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）、ソルスパース７６５００（日本ルーブリゾール（株）製）などが挙げられる。また、特開２０１４−１３０３３８号公報の段落番号００４１〜０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、上述した酸基を有する樹脂などを分散剤として用いることもできる。
【０１０９】
本発明の感光性組成物が分散剤を含有する場合、分散剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、０．１〜４０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、２０質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましい。また、分散剤の含有量は、顔料１００質量部に対して、１〜１００質量部が好ましい。上限は、８０質量部以下が好ましく、６０質量部以下がより好ましい。下限は、２．５質量部以上が好ましく、５質量部以上がより好ましい。
【０１１０】
＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の感光性組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、顔料の一部を、酸基、塩基性基、塩構造を有する基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体としては、式（Ｂ１）で表される化合物が好ましい。
【０１１１】
【化１６】
0006726317.tif 000017
式（Ｂ１）中、Ｐは色素構造を表し、Ｌは単結合または連結基を表し、Ｘは酸基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミドメチル基を表し、ｍは１以上の整数を表し、ｎは１以上の整数を表し、ｍが２以上の場合は複数のＬおよびＸは互いに異なっていてもよく、ｎが２以上の場合は複数のＸは互いに異なっていてもよい。
【０１１２】
式（Ｂ１）中、Ｐは、色素構造を表し、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造、アントラキノン色素構造、ジアントラキノン色素構造、ベンゾイソインドール色素構造、チアジンインジゴ色素構造、アゾ色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、ナフタロシアニン色素構造、ジオキサジン色素構造、ペリレン色素構造、ペリノン色素構造、ベンゾイミダゾロン色素構造、ベンゾチアゾール色素構造、ベンゾイミダゾール色素構造およびベンゾオキサゾール色素構造から選ばれる少なくとも１種が好ましく、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、キナクリドン色素構造およびベンゾイミダゾロン色素構造から選ばれる少なくとも１種が更に好ましく、ピロロピロール色素構造が特に好ましい。
【０１１３】
式（Ｂ１）中、Ｌは単結合または連結基を表す。連結基としては、１〜１００個の炭素原子、０〜１０個の窒素原子、０〜５０個の酸素原子、１〜２００個の水素原子、および０〜２０個の硫黄原子から成り立つ基が好ましく、無置換でもよく、置換基を更に有していてもよい。
【０１１４】
式（Ｂ１）中、Ｘは、酸基、塩基性基、塩構造を有する基またはフタルイミドメチル基を表し、酸基または塩基性基が好ましい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基等が挙げられる。塩基性基としてはアミノ基が挙げられる。
【０１１５】
顔料誘導体としては、特開昭５６−１１８４６２号公報、特開昭６３−２６４６７４号公報、特開平１−２１７０７７号公報、特開平３−９９６１号公報、特開平３−２６７６７号公報、特開平３−１５３７８０号公報、特開平３−４５６６２号公報、特開平４−２８５６６９号公報、特開平６−１４５５４６号公報、特開平６−２１２０８８号公報、特開平６−２４０１５８号公報、特開平１０−３００６３号公報、特開平１０−１９５３２６号公報、国際公開ＷＯ２０１１／０２４８９６号公報の段落番号００８６〜００９８、国際公開ＷＯ２０１２／１０２３９９号公報の段落番号００６３〜００９４等に記載の化合物を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１６】
本発明の感光性組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対し、１〜５０質量部が好ましい。下限値は、３質量部以上が好ましく、５質量部以上がより好ましい。上限値は、４０質量部以下が好ましく、３０質量部以下がより好ましい。顔料誘導体の含有量が上記範囲であれば、顔料の分散性を高めて、顔料の凝集を効率よく抑制できる。顔料誘導体は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１１７】
＜＜塩基性化合物＞＞
本発明の感光性組成物は、塩基性化合物を含有することができる。塩基性化合物としては、例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの化合物の詳細については、国際公開ＷＯ２０１６／１３６４８１号公報の段落番号０５１９〜０６０９の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号０２０４〜０２０７に記載の化合物を用いることもできる。
【０１１８】
本発明の感光性組成物が塩基性化合物を含有する場合、塩基性化合物の含有量は、感光性組成物中の全固形分に対して、０．００１〜３質量％であることが好ましく、０．００５〜１質量％であることがより好ましい。塩基性化合物は、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。２種類以上を併用する場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１１９】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、スチレン基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤は、特開２００９−２８８７０３号公報の段落番号００１８〜００３６に記載の化合物、特開２００９−２４２６０４号公報の段落番号００５６〜００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２０】
シランカップリング剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．０１〜１５．０質量％が好ましく、０．０５〜１０．０質量％がより好ましい。シランカップリング剤は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２１】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の組成物は、界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤は、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２３８〜０２４５、国際公開ＷＯ２０１６／１５８８１８号公報の段落番号０１６６〜０１６７の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２２】
本発明において、界面活性剤は、フッ素系界面活性剤であることが好ましい。本発明の感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。
【０１２３】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
【０１２４】
フッ素系界面活性剤として具体的には、特開２０１４−４１３１８号公報の段落番号００６０〜００６４（対応する国際公開２０１４／１７６６９号公報の段落番号００６０〜００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ  ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【０１２５】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられる。
【０１２６】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
【化１７】
0006726317.tif 000018
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【０１２７】
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物を用いることもできる。
【０１２８】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルなどが挙げられる。
【０１２９】
界面活性剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．００１質量％〜５．０質量％が好ましく、０．００５〜３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１３０】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。
【０１３１】
紫外線吸収剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましい。本発明において、紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１３２】
＜＜酸化防止剤＞＞
本発明の感光性組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性水酸基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１〜２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス［２−［［２，４，８，１０−テトラキス（１，１−ジメチルエチル）ジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン−６−イル］オキシ］エチル］アミン、トリス［２−［（４，６，９，１１−テトラ−ｔｅｒｔ−ブチルジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン−２−イル）オキシ］エチル］アミン、亜リン酸エチルビス（２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−６−メチルフェニル）などが挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブＡＯ−２０、アデカスタブＡＯ−３０、アデカスタブＡＯ−４０、アデカスタブＡＯ−５０、アデカスタブＡＯ−５０Ｆ、アデカスタブＡＯ−６０、アデカスタブＡＯ−６０Ｇ、アデカスタブＡＯ−８０、アデカスタブＡＯ−３３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ）などが挙げられる。
【０１３３】
本発明の感光性組成物において、酸化防止剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、０．０１〜２０質量％であることが好ましく、０．３〜１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１３４】
＜その他の成分＞
本発明の感光性組成物は、必要に応じて増感剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、酸増殖剤、現像促進剤、増粘剤、沈殿防止剤などを含有させることができる。これらの化合物としては、例えば特開２０１２−８８４５９号公報の段落番号０２０１〜０２２４、国際公開ＷＯ２０１６／１３６４８１号公報の段落番号００９９〜０１２１に記載された化合物を使用することができ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３５】
本発明の感光性組成物の粘度（２３℃）は、例えば、塗布により膜を形成する場合、１〜１００ｍＰａ・ｓであることが好ましい。下限は、２ｍＰａ・ｓ以上がより好ましく、３ｍＰａ・ｓ以上が更に好ましい。上限は、５０ｍＰａ・ｓ以下がより好ましく、３０ｍＰａ・ｓ以下が更に好ましく、１５ｍＰａ・ｓ以下が特に好ましい。
【０１３６】
本発明の感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収納容器として、原材料や感光性組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。
【０１３７】
本発明の感光性組成物の用途は、特に限定されない。例えば、赤外線透過フィルタなどの形成に好ましく用いることができる。
【０１３８】
＜感光性組成物の調製方法＞
本発明の感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した２つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性組成物として調製してもよい。
【０１３９】
また、本発明の感光性組成物が顔料などの粒子を含む場合は、粒子を分散させるプロセスを含むことが好ましい。粒子を分散させるプロセスにおいて、粒子の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における粒子の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、粒子を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また粒子を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１４０】
感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、感光性組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度であり、更に好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。
【０１４１】
フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第２のフィルタは、第１のフィルタと同様の素材等で形成されたものを使用することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。
【０１４２】
＜硬化膜＞
次に、本発明の硬化膜について説明する。本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性組成物から得られるものである。本発明の硬化膜は、近赤外線カットフィルタや赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。なお、本発明の硬化膜を赤外線透過フィルタとして用いる場合、赤外線透過フィルタとしては、例えば、可視光を遮光し、波長９００ｎｍ以上の波長の光を透過させるフィルタが挙げられる。本発明の硬化膜を、赤外線透過フィルタとして用いる場合、赤外線遮蔽剤と、可視光を遮光する色材とを含む感光性組成物を用いたフィルタであるか、赤外線遮蔽剤を含む層の他に、可視光を遮光する色材の層が別途存在するフィルタであることが好ましい。本発明の膜を赤外線透過フィルタとして用いる場合、赤外線遮蔽剤は、透過する光（近赤外線）をより長波長側に限定する役割を有している。
【０１４３】
本発明の硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。
【０１４４】
本発明の硬化は、有彩色着色剤を含むカラーフィルタと組み合わせて用いることもできる。例えば、本発明における硬化膜とカラーフィルタとを積層して積層体として用いることができる。積層体においては、本発明の硬化膜とカラーフィルタとは、両者が厚み方向で隣接していてもよく、隣接していなくてもよい。本発明の硬化膜とカラーフィルタとが厚み方向で隣接していない場合は、カラーフィルタが形成された支持体とは別の支持体に、本発明の硬化膜が形成されていてもよく、本発明の硬化膜とカラーフィルタとの間に、固体撮像素子を構成する他の部材（例えば、マイクロレンズ、平坦化層など）が介在していてもよい。
【０１４５】
なお、本発明において、近赤外線カットフィルタとは、可視領域の波長の光（可視光）を透過させ、近赤外領域の波長の光（近赤外線）の少なくとも一部を遮光するフィルタを意味する。近赤外線カットフィルタは、可視領域の波長の光をすべて透過させるものであってもよく、可視領域の波長の光のうち、特定の波長領域の光を透過させ、特定の波長領域の光を遮光するものであってもよい。また、本発明において、カラーフィルタとは、可視領域の波長の光のうち、特定の波長領域の光を透過させ、特定の波長領域の光を遮光するフィルタを意味する。また、赤外線透過フィルタとは、可視領域の波長の光を遮光し、近赤外領域の波長の光（近赤外線）の少なくとも一部を透過させるフィルタを意味する。
【０１４６】
本発明の硬化膜を、近赤外線カットフィルタとして用いる場合、波長４００〜５５０ｎｍの平均透過率が７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、８５％以上であることがさらに好ましく、９０％以上であることが特に好ましい。また、波長４００〜５５０ｎｍの全ての範囲での透過率が７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９０％以上であることが更に好ましい。また、近赤外線カットフィルタの近赤外線遮蔽性の好ましい範囲は用途によって異なるが、例えば、波長７００〜１０００ｎｍの範囲の少なくとも１点での透過率が２０％以下であることが好ましく、１５％以下がより好ましく、１０％以下がさらに好ましい。
【０１４７】
本発明の膜を赤外線透過フィルタとして用いる場合、本発明の硬化膜は、膜の厚み方向における光の透過率の、波長４００〜８３０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が８０％以上であることが好ましい。このような分光特性を有する硬化膜は、波長４００〜７５０ｎｍの範囲の光を遮光し、波長９００ｎｍ以上の光を透過させる赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。
【０１４８】
本発明の硬化膜は、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や、赤外線センサ、画像表示装置などの各種装置に用いることができる。
【０１４９】
＜硬化膜の製造方法＞
本発明の硬化膜の製造方法は、以下の工程Ａ〜Ｃを含むことが好ましい。
工程Ａ：感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する。
工程Ｂ：感光性組成物層をパターン状に露光する。
工程Ｃ：露光された感光性組成物層に対して現像液を用いて現像してポジ画像を形成する。
工程Ｄ：現像後のポジ画像を加熱する。
【０１５０】
工程Ａでは、感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する。支持体としては例えば、シリコン、無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスなどの材質で構成された基板が挙げられる。これらの基板には、有機膜や無機膜などが形成されていてもよい。また、支持体としては、樹脂で構成された基板を用いることもできる。また、支持体には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、支持体には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、支持体には、必要により、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。また、支持体としてガラス基板を用いる場合においては、ガラス基板上に無機膜を形成したり、ガラス基板を脱アルカリ処理して用いることが好ましい。
【０１５１】
感光性組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ〜１３３ページ）や、特開２００３−２６２７１６号公報、特開２００３−１８５８３１号公報、特開２００３−２６１８２７号公報、特開２０１２−１２６８３０号公報、特開２００６−１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。
【０１５２】
感光性組成物を塗布したのち、乾燥（プリベーク）を行ってもよい。乾燥温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。乾燥時間は、１０秒〜３０００秒が好ましく、４０〜２５００秒がより好ましく、８０〜２２００秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１５３】
工程Ｂでは、感光性組成物層をパターン状に露光する。例えば、感光性組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、感光性組成物層をパターン露光することができる。この工程では、露光によって光酸発生剤が分解して酸が発生する。発生した酸の触媒作用により、感光性組成物層に含まれる繰り返し単位ｂ１における酸分解性基が分解されて、酸基または水酸基が生成される。これにより、感光性組成物層の露光された部分における現像液に対する溶解性が低下する。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく、ｉ線がより好ましい。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ2が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ2がより好ましく、０．０８〜０．５Ｊ／ｃｍ2が最も好ましい。露光時における雰囲気中の酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ2〜１０００００Ｗ／ｍ2（例えば、５０００Ｗ／ｍ2、１５０００Ｗ／ｍ2、３５０００Ｗ／ｍ2）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ2、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ2などとすることができる。
【０１５４】
工程Ｂにおいては、露光後に加熱処理を行うことも好ましい。この態様によれば、露光部における酸分解性基の分解を促進させることができる。露光後に加熱処理を行う場合、加熱温度としては、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。加熱時間は、１０秒〜３０００秒が好ましく、４０〜２５００秒がより好ましく、８０〜２２００秒がさらに好ましい。乾燥は、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１５５】
工程Ｃでは、露光された感光性組成物層に対して現像液を用いて現像する。これにより、感光性組成物層の露光部が除去されてポジ画像が形成される。現像液としては、有機溶剤やアルカリ現像液を用いることができる。有機溶剤としては、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、及び、エーテル系溶剤等の極性溶剤、並びに、炭化水素系溶剤を用いることができる。アルカリ現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、及び、ｎ−プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、及び、ジ−ｎ−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルアミン、及び、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラペンチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ブチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、メチルトリアミルアンモニウムヒドロキシド、及び、ジブチルジペンチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルフェニルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキシド、トリエチルベンジルアンモニウムヒドロキシド、及び、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド等の第四級アンモニウム塩、並びに、ピロール、及び、ピぺリジン等の環状アミン類から選択されるアルカリ成分を含むアルカリ水溶液を使用することができる。アルカリ現像液は、アルコール類、及び／又は、界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。アルカリ現像液のアルカリ濃度（アルカリ現像液全質量に対するアルカリ成分濃度）は、０．１〜２０質量％であることが好ましい。アルカリ現像液のｐＨは１０．０〜１５．０であることが好ましい。
【０１５６】
現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な倍率に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。
【０１５７】
現像方法としては、特に限定はなく、公知の方法を用いることができる。例えば、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法などを適用することができる。
【０１５８】
現像液を用いて現像したのち、リンス処理を行ってもよい。リンス液としては水や有機溶剤を用いることができる。例えば、アルカリ現像液を用いて現像した場合は、純水でリンスすることが好ましい。
【０１５９】
工程Ｄでは、現像後のポジ画像に対して加熱する（以下、ポストベークともいう）。ポストベークを行うことで、酸分解性基が熱分解して酸基や水酸基が生成し、重合体や架橋剤の架橋性基と架橋したり、架橋性基同士の反応を促進できる。ポストベーク温度は、例えば１８０〜２５０℃が好ましい。ポストベーク時間は、５〜１２０分間が好ましい。ポストベークは、ホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、ポストベークは窒素雰囲気下で行うことも好ましい。この態様によれば、硬化膜の透明性をより向上させることもできる。
【０１６０】
また、ポストベークの前に、比較的低温で加熱（ミドルベーク）を行った後にポストベークすることもできる。また、ポストベークの前に、現像後のポジ画像に対して露光（ポスト露光）することも好ましい。これにより、現像後のポジ画像に存在する光酸発生剤から酸を発生させて、ポストベーク時において架橋性基の架橋反応が促進され、膜の硬化反応をより促進させることができる。ミドルベークおよびポスト露光の条件としては、特開２０１４−２３８４３８号公報の段落番号２０１に記載の条件を用いることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１６１】
＜光学フィルタ＞
次に、本発明の光学フィルタについて説明する。本発明の光学フィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明の光学フィルタは、近赤外線カットフィルタおよび赤外線透過フィルタから選ばれる少なくとも１種として好ましく用いることができる。また、本発明の膜を用いた画素と、赤、緑、青、マゼンタ、黄、シアン、黒および無色から選ばれる画素とを有する態様も本発明の光学フィルタの好ましい態様である。
【０１６２】
本発明の硬化膜を近赤外線カットフィルタとして用いる場合、本発明の硬化膜の他に、更に、銅を含有する層、誘電体多層膜、紫外線吸収層などを有していてもよい。近赤外線カットフィルタが、更に、銅を含有する層および／または誘電体多層膜を有することで、視野角が広く、近赤外線遮蔽性に優れた近赤外線カットフィルタが得られ易い。また、近赤外線カットフィルタが、更に、紫外線吸収層を有することで、紫外線遮蔽性に優れた近赤外線カットフィルタとすることができる。紫外線吸収層としては、例えば、国際公開ＷＯ２０１５／０９９０６０号公報の段落番号００４０〜００７０、０１１９〜０１４５に記載の吸収層を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。誘電体多層膜としては、特開２０１４−４１３１８号公報の段落番号０２５５〜０２５９の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。銅を含有する層としては、銅を含有するガラスで構成されたガラス基板（銅含有ガラス基板）や、銅錯体を含む層（銅錯体含有層）を用いることもできる。銅含有ガラス基板としては、銅を含有する燐酸塩ガラス、銅を含有する弗燐酸塩ガラスなどが挙げられる。銅含有ガラスの市販品としては、ＮＦ−５０（ＡＧＣテクノグラス（株）製）、ＢＧ−６０、ＢＧ−６１（以上、ショット社製）、ＣＤ５０００（ＨＯＹＡ（株）製）等が挙げられる。銅錯体としては、国際公開ＷＯ２０１６／０６８０３７号公報の段落番号０００９〜００４９に記載された化合物などが挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１６３】
本発明の硬化膜を、近赤外線カットフィルタまたは赤外線透過フィルタとして用いる場合、近赤外線カットフィルタと赤外線透過フィルタとを組み合わせて用いることもできる。近赤外線カットフィルタと、赤外線透過フィルタとを組み合わせて用いることで、特定波長の赤外線を検出する赤外線センサの用途に好ましく用いることができる。両者のフィルタを組み合わせて用いる場合、近赤外線カットフィルタおよび赤外線透過フィルタの両方を本発明の感光性組成物を用いて形成することもでき、いずれか一方のみを、本発明の感光性組成物を用いて形成することもできる。
【０１６４】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を含む。固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を有する構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はない。例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０１６５】
支持体上に、固体撮像素子の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、本発明の硬化膜を有する構成である。さらに、デバイス保護膜上であって、本発明の硬化膜の下（支持体に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、本発明の硬化膜上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各画素を形成する膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各画素よりも低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。
【０１６６】
＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、本発明の硬化膜を含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。画像表示装置は、白色有機ＥＬ素子を有するものであってもよい。白色有機ＥＬ素子としては、タンデム構造であることが好ましい。有機ＥＬ素子のタンデム構造については、特開２００３−４５６７６号公報、三上明義監修、「有機ＥＬ技術開発の最前線−高輝度・高精度・長寿命化・ノウハウ集−」、技術情報協会、３２６−３２８ページ、２００８年などに記載されている。有機ＥＬ素子が発光する白色光のスペクトルは、青色領域（４３０ｎｍ−４８５ｎｍ）、緑色領域（５３０ｎｍ−５８０ｎｍ）及び黄色領域（５８０ｎｍ−６２０ｎｍ）に強い極大発光ピークを有するものが好ましい。これらの発光ピークに加え更に赤色領域（６５０ｎｍ−７００ｎｍ）に極大発光ピークを有するものがより好ましい。
【０１６７】
＜赤外線センサ＞
本発明の赤外線センサは、上述した本発明の硬化膜を含む。赤外線センサの構成としては、赤外線センサとして機能する構成であれば特に限定はない。以下、本発明の赤外線センサの一実施形態について、図面を用いて説明する。
【０１６８】
図１において、符号１１０は、固体撮像素子である。固体撮像素子１１０上に設けられている撮像領域は、近赤外線カットフィルタ１１１と、赤外線透過フィルタ１１４とを有する。また、近赤外線カットフィルタ１１１上には、カラーフィルタ１１２が積層している。カラーフィルタ１１２および赤外線透過フィルタ１１４の入射光ｈν側には、マイクロレンズ１１５が配置されている。マイクロレンズ１１５を覆うように平坦化層１１６が形成されている。
【０１６９】
近赤外線カットフィルタ１１１は本発明の感光性組成物を用いて形成することができる。近赤外線カットフィルタ１１１の分光特性は、使用する赤外発光ダイオード（赤外ＬＥＤ）の発光波長に応じて選択される。
【０１７０】
カラーフィルタ１１２は、可視領域における特定波長の光を透過及び吸収する画素が形成されたカラーフィルタであって、特に限定はなく、従来公知の画素形成用のカラーフィルタを用いることができる。例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の画素が形成されたカラーフィルタなどが用いられる。例えば、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０２１４〜０２６３の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる
【０１７１】
赤外線透過フィルタ１１４は、使用する赤外ＬＥＤの発光波長に応じてその特性が選択される。例えば、赤外ＬＥＤの発光波長が８５０ｎｍである場合、赤外線透過フィルタ１１４は、膜の厚み方向における光透過率の、波長４００〜６５０ｎｍの範囲における最大値が３０％以下であることが好ましく、２０％以下であることがより好ましく、１０％以下であることがさらに好ましく、０．１％以下であることが特に好ましい。この透過率は、波長４００〜６５０ｎｍの範囲の全域で上記の条件を満たすことが好ましい。
【０１７２】
赤外線透過フィルタ１１４は、膜の厚み方向における光透過率の、波長８００ｎｍ以上（好ましくは８００〜１３００ｎｍ）の範囲における最小値が７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９０％以上であることがさらに好ましい。上記の透過率は、波長８００ｎｍ以上の範囲の一部で上記の条件を満たすことが好ましく、赤外ＬＥＤの発光波長に対応する波長で上記の条件を満たすことが好ましい。
【０１７３】
赤外線透過フィルタ１１４の膜厚は、１００μｍ以下が好ましく、１５μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましく、１μｍ以下が特に好ましい。下限値は、０．１μｍが好ましい。膜厚が上記範囲であれば、上述した分光特性を満たす膜とすることができる。
赤外線透過フィルタ１１４の分光特性、膜厚等の測定方法を以下に示す。
膜厚は、膜を有する乾燥後の基板を、触針式表面形状測定器（ＵＬＶＡＣ社製  ＤＥＫＴＡＫ１５０）を用いて測定した。
膜の分光特性は、紫外可視近赤外分光光度計（日立ハイテクノロジーズ社製  Ｕ−４１００）を用いて、波長３００〜１３００ｎｍの範囲において透過率を測定した値である。
【０１７４】
また、例えば、赤外ＬＥＤの発光波長が９４０ｎｍである場合、赤外線透過フィルタ１１４は、膜の厚み方向における光の透過率の、波長４５０〜６５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下であり、膜の厚み方向における、波長８３５ｎｍの光の透過率が２０％以下であり、膜の厚み方向における光の透過率の、波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上であることが好ましい。
【０１７５】
図１に示す赤外線センサにおいて、平坦化層１１６上には、近赤外線カットフィルタ１１１とは別の近赤外線カットフィルタ（他の近赤外線カットフィルタ）がさらに配置されていてもよい。他の近赤外線カットフィルタとしては、銅を含有する層および／または誘電体多層膜を有するものなどが挙げられる。これらの詳細については、上述したものが挙げられる。また、他の近赤外線カットフィルタとしては、デュアルバンドパスフィルタを用いてもよい。
【実施例】
【０１７６】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０１７７】
＜重量平均分子量の測定＞
重合体の重量平均分子量は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
装置名：東ソー（株）製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂【０１７８】
［試験例１］
＜感光性組成物の調製＞
（実施例１〜１７、２０、２１）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。なお、実施例１３においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１とＡ−６とを質量比でＡ−１：Ａ−６＝１：１の割合で混合して用いた。実施例２１においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１３とＡ−１４とＡ−１５とを質量比でＡ−１３：Ａ−１４：Ａ−１５＝３：５：３の割合で混合して用いた。また、実施例１７においては、重合体成分として、Ｂ２−１とＢ３−１とを質量比でＢ２−１：Ｂ３−１＝１：１の割合で混合して用いた。
赤外線遮蔽剤（下記表に記載の赤外線遮蔽剤）・・・２．５４質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１６．９１質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
界面活性剤１・・・０．０２質量部
塩基性化合物１・・・０．０２質量部
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）・・・８０．１８質量部【０１７９】
（実施例２２）
下記構造の赤外線遮蔽剤（顔料）Ａ−１６を１０質量部、下記構造の顔料誘導体ａ−１を３質量部、下記構造の分散樹脂Ｆ−１を７．８質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）１５０質量部および直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散組成物を調製した。
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、実施例２２の感光性組成物を調製した。
顔料分散組成物・・・３３．３７質量部
重合体Ｂ１−１・・・１５．３９質量部
光酸発生剤Ｃ−１・・・０．３４質量部
界面活性剤１・・・０．０２質量部
塩基性化合物１・・・０．０２質量部
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）・・・５０．８６質量部【０１８０】
（実施例３４〜４４、４９〜５２、５９〜６１、６６〜６７、６９〜７０）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
赤外線遮蔽剤（下記表に記載の赤外線遮蔽剤）・・・２．５４質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１６．９０質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
塩基性化合物（下記表に記載の塩基性化合物）・・・０．０２質量部
界面活性剤（下記表に記載の界面活性剤）・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・８０．１８質量部
なお、実施例５９においては、重合体成分として、Ｂ１−１とＢ１−３とを質量比でＢ１−１：Ｂ１−３＝１：１の割合で混合して用いた。実施例６０においては、重合体成分として、Ｂ１−１とＢ３−１とを質量比でＢ１−１：Ｂ３−１＝４：１の割合で混合して用いた。実施例６１においては、光酸発生剤として、Ｃ−１とＣ−３とを質量比でＣ−１：Ｃ−３＝１：１の割合で混合して用いた。実施例６６においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１０とＡ−１１とを質量比でＡ−１０：Ａ−１１＝１：１の割合で混合して用いた。実施例６７においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１０とＡ−１２とを質量比でＡ−１０：Ａ−１２＝１：１の割合で混合して用いた。実施例６９においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１９とＡ−２０とを質量比でＡ−１９：Ａ−２０＝１：１の割合で混合して用いた。実施例７０においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−２１とＡ−２２とを質量比でＡ−２１：Ａ−２２＝１：１の割合で混合して用いた。【０１８１】
（実施例３１〜３３、５３〜５４、６８）
下記表に記載の赤外線遮蔽剤を１０質量部、下記表に記載の顔料誘導体を３質量部、下記表に記載の分散樹脂を７．８質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）１５０質量部および直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散組成物を調製した。
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
顔料分散組成物・・・３３．３７質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１５．３９質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
塩基性化合物（下記表に記載の塩基性化合物）・・・０．０２質量部
界面活性剤（下記表に記載の界面活性剤）・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・５０．８６質量部
なお、実施例６８においては、赤外線遮蔽剤として、Ａ−１６とＡ−１７とを質量比でＡ−１６：Ａ−１７＝１：１の割合で混合し、顔料誘導体として、ａ−１とａ−３とを質量比でａ−１：ａ−３＝１：１の割合で混合して用いた。【０１８２】
（実施例１８、４５〜４７、６２、６５）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
赤外線遮蔽剤（下記表に記載の赤外線遮蔽剤）・・・２．５４質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１４．０８質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
架橋剤（下記表に記載の架橋剤）・・・２．８２質量部
塩基性化合物（下記表に記載の塩基性化合物）・・・０．０２質量部
界面活性剤（下記表に記載の界面活性剤）・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・８０．１８質量部
なお、実施例６２においては、架橋剤として、Ｄ−１とＤ−２とを質量比でＤ−１：Ｄ−２＝１：１の割合で混合して用いた。実施例６５においては、架橋剤として、Ｄ−１とＤ−３とを質量比でＤ−１：Ｄ−３＝２：１の割合で混合して用いた。【０１８３】
（実施例１９、４８、５７〜５８、６３）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
赤外線遮蔽剤（下記表に記載の赤外線遮蔽剤）・・・２．５４質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１４．０８質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
化合物Ｅ（下記表に記載の化合物Ｅ）・・・２．８２質量部
塩基性化合物（下記表に記載の塩基性化合物）・・・０．０２質量部
界面活性剤（下記表に記載の界面活性剤）・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・８０．１８質量部
なお、実施例６３においては、架橋剤として、Ｅ−１とＥ−２とを質量比でＥ−１：Ｅ−２＝１：１の割合で混合して用いた。【０１８４】
（実施例５５〜５６）
下記表に記載の赤外線遮蔽剤（顔料）を１０質量部、下記表に記載の顔料誘導体を３質量部、下記表に記載の分散樹脂を７．８質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）１５０質量部および直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散組成物を調製した。
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
顔料分散組成物・・・３３．３７質量部
重合体成分（下記表に記載の重合体成分）・・・１２．８３質量部
光酸発生剤（下記表に記載の光酸発生剤）・・・０．３４質量部
架橋剤（下記表に記載の架橋剤）・・・２．５６質量部
塩基性化合物（下記表に記載の塩基性化合物）・・・０．０２質量部
界面活性剤（下記表に記載の界面活性剤）・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・５０．８６質量部【０１８５】
（実施例６４）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
赤外線遮蔽剤Ａ−２５・・・２．５４質量部
重合体Ｂ１−１・・・１２．０６質量部
光酸発生剤Ｃ−１・・・０．３４質量部
架橋剤Ｄ−１・・・２．４２質量部
化合物Ｅ−１・・・２．４２質量部
塩基性化合物２・・・０．０２質量部
界面活性剤１・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・８０．１８質量部【０１８６】
（比較例１）
下記の原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）を用いてろ過し、感光性組成物を調製した。
赤外線遮蔽剤Ａ−１・・・２．５４質量部
光酸発生剤Ｃ−１・・・０．３４質量部
架橋剤Ｄ−１・・・８．４５質量部
化合物Ｅ−１・・・８．４５質量部
塩基性化合物１・・・０．０２質量部
界面活性剤１・・・０．０２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・８０．１８質量部【０１８７】
【表１】
0006726317.tif 000019
【表２】
0006726317.tif 000020
【０１８８】
（赤外線遮蔽剤）
Ａ−１：ＮＫ−５０６０（（株）林原製。シアニン系化合物。極大吸収波長８６５ｎｍ（膜））
Ａ−２：Ｅｘｃｏｌｏｒ  ＴＸ−ＥＸ  ７０８Ｋ（日本触媒（株）、フタロシアニン化合物。極大吸収波長７５５ｎｍ（膜））
Ａ−３：特許第５０４６５１５号明細書の実施例１に従って合成したフタロシアニン化合物（極大吸収波長９９０ｎｍ（膜））
Ａ−４：Ｌｕｍｏｇｅｎ  ＩＲ７６５（ＢＡＳＦ社製、クアテリレン化合物、極大吸収波長７０５ｎｍ（膜））
Ａ−５：特開２０１４−１３９６１７号公報の段落番号０２６３に記載の方法に従って合成したリン酸エステル銅錯体（銅化合物。極大吸収波長８６８ｎｍ（膜））
Ａ−６：特開２０１１−６８７３１号公報の合成例２に従って合成したピロロピロール化合物（極大吸収波長７８０ｎｍ（膜））
Ａ−７：特開昭６１−４２５８５号公報の化合物（１）（金属ジチオール化合物、極大吸収波長９０８ｎｍ（膜））
Ａ−８：特許第４１６８０３１号明細書の実施例３に従って合成したビス｛ビス（トリフルオロメタンスルホン）イミド酸｝Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラキス（ｐ−ジベンジルアミノフェニル）−ｐ−フェニレンジイモニウム（ジイミニウム化合物、極大吸収波長１０６０ｎｍ（膜））
Ａ−９：ＹＭＦ−０２（住友金属鉱山株式会社製。セシウム酸化タングステン化合物であるＣｓ0.33ＷＯ3（平均分散粒径８００ｎｍ以下、極大吸収波長１５５０〜１６５０ｎｍ（膜）の１８．５質量％分散液）
Ａ−１０〜Ａ−２６：下記構造の化合物Ａ−１０〜Ａ−２６【０１８９】
（顔料誘導体）
ａ−１〜ａ−４：下記構造の化合物ａ−１〜ａ−４【０１９０】
なお、Ａ−１０は国際公開ＷＯ２０１４／１９９９３７号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−１１、Ａ−１２は国際公開ＷＯ２０１７／１３０８２５号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−１３、Ａ−１４、Ａ−１５は特開２０１６−１４６６１９号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−１６、Ａ−１７、ａ−１、ａ−３、ａ−４は国際公開ＷＯ２０１７／１４６０９２号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−１８は特開２０１６−７４９４９号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−１９は特開２０１７−６７９６３号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２０は特開２０１７−８２０２９号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２１は特開２０１６−７９３３１号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２２は特開２０１７−１４１４２５号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２３は特開２０１７−１３７２６４号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２４は特開２０１１−２０８１０１号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２５は特開２０１０−１８０３０８号公報に記載の方法に従って合成した。Ａ−２６は特開２０１７−１９７４３７号公報に記載の方法に従って合成した。【０１９１】
【化１８】
0006726317.tif 000021
【化１９】
0006726317.tif 000022
【化２０】
0006726317.tif 000023
【０１９２】
（重合体成分）
重合体Ｂ１−１：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１５０００
重合体Ｂ１−２：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１５０００
重合体Ｂ１−３：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１５０００
重合体Ｂ１−４：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１９０００
重合体Ｂ２−１：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１５０００
重合体Ｂ３−１：下記構造の重合体。繰り返し単位に付記した数値はモル比である。重量平均分子量＝１５０００
【化２１】
0006726317.tif 000024
【０１９３】
（光酸発生剤）
Ｃ−１：下記構造の化合物（ＰＡＧ−１０３、ＢＡＳＦ社製）
Ｃ−２：下記構造の化合物（ＧＳＩＤ−２６−１、ＢＡＳＦ社製、トリアリールスルホニウム塩）
Ｃ−３：下記構造の化合物
Ｃ−４：下記構造の化合物
【化２２】
0006726317.tif 000025
【０１９４】
（架橋剤）
Ｄ−１：下記構造の化合物（ＪＥＲ ＹＸ４０００ＨＫ、三菱化学株式会社製、ビフェニル型２官能エポキシ、分子量３５４）
Ｄ−２：下記構造の化合物（ＪＥＲ  １０３１Ｓ、三菱化学株式会社製、４官能エポキシ、分子量６２３）
Ｄ−３：下記構造の化合物（２官能オキセタン、分子量３６４）
Ｄ−４：下記構造の化合物（２官能オキセタン、分子量３３４）
【化２３】
0006726317.tif 000026
【０１９５】
（化合物Ｅ）
Ｅ−１：下記構造の化合物（９，９−ビス（ヒドロキシフェニル）フルオレン（ＪＦＥケミカル社製）のフェノール性水酸基をエチルビニルエーテルで定法に従って保護、分子量４９４）
Ｅ−２：下記構造の化合物（分子量７３１）
【化２４】
0006726317.tif 000027
【０１９６】
（分散樹脂）
Ｆ−１：下記構造の分散樹脂（主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝２２９００）
Ｆ−２：下記構造の分散樹脂（主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝３８９００）
【化２５】
0006726317.tif 000028
界面活性剤１：シリコーン系界面活性剤（（株）東レ・ダウコーニング製、ＳＨ８４００ＦＬＵＩＤ）
界面活性剤２：フッ素系界面活性剤（ネオス社製、フタージェントＦＴＸ−２１８）
界面活性剤３：パーフルオロアルキル基含有ノニオン系界面活性剤（ＤＩＣ社製、Ｆ−５５４）
塩基性化合物１：１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン
塩基性化合物２：下記構造の化合物
【化２６】
0006726317.tif 000029
【０１９７】
＜評価＞
下記の原料を混合して下塗り層用組成物を調製した。
・ＰＧＭＥＡ    ・・・１９．２０質量部
・乳酸エチル    ・・・３６．６７質量部
・樹脂：（メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２０：２０）４１％酢酸エチル溶液）・・・３０．５１質量部・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・１２．２０質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）・・・０．００６質量部
・界面活性剤（下記混合物）・・・０．８３質量部
【化２７】
0006726317.tif 000030
・光重合開始剤（ＴＡＺ−１０７、みどり化学社製）    ・・・０．５９質量部【０１９８】
下塗り層付ガラスウェハの作製
８インチ（＝２０３．２ｍｍ）ガラスウェハ上に、上記下塗り層用組成物をスピンコートして塗布膜を形成した。ついで、形成された塗布膜を１２０℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理した。尚、スピンコートの塗布回転数は、加熱処理後の塗布膜の膜厚が約０．５μｍとなるように調整した。加熱処理後の塗布膜を、さらに２２０℃のオーブンで１時間処理し、塗布膜を硬化させて、下塗り層を形成した。以上のようにして、ガラスウェハ上に下塗り層が形成された、下塗り層付ガラスウェハを得た。【０１９９】
（近赤外線遮蔽性（赤外遮蔽性）の評価）
各感光性組成物を、下塗り層付ガラスウェハ上に乾燥後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、その後ホットプレートで、１００℃で２分間、２００℃で５分間加熱して硬化膜を形成した。上記で作製した硬化膜について、分光器Ｕ４１００（日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、極大吸収波長における入射角度０°での吸光度を測定した。判定基準は以下の通りである。
Ａ：６５０〜１２００ｎｍの最小透過率が５％未満
Ｂ：６５０〜１２００ｎｍの最小透過率が５％を超え、１０％未満
Ｃ：６５０〜１２００ｎｍの最小透過率が１０％を超え、２０％未満
Ｄ：６５０〜１２００ｎｍの最小透過率が２０％以上【０２００】
（耐熱性）
近赤外線遮蔽性の評価に用いた硬化膜をホットプレートを用いて２６５℃、５分間加熱して耐熱試験を行った。耐熱試験前後の硬化膜の波長４００〜１２００ｎｍの範囲の透過率を測定し、下記の式から各波長における透過率変化を算出し、４００〜１２００ｎｍの範囲における透過率変化の最大値を用いて下記の基準により耐熱性を評価した。
透過率変化＝｜（耐熱試験前の透過率−耐熱試験後の透過率）｜
Ａ：透過率変化の最大値が３％未満である。
Ｂ：透過率変化の最大値が３％を超え５％未満である。
Ｃ：透過率変化の最大値が５％を超え１０％未満である。
Ｄ：透過率変化の最大値が１０％を超える。【０２０１】
（パターン形成性）
各感光性組成物を、下塗り層付ガラスウェハ上に乾燥後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、その後ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で２μｍのＢａｙｅｒパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて２３０℃で５分間加熱し、パターンを形成した。
得られたパターンについて走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察し、以下の基準でパターン形成性を評価した。
Ａ：パターン間に残渣が見られない。
Ｂ：パターン間に残渣がわずかに観察される。
Ｃ：パターン間の残渣が多く観察される。
Ｄ：パターンを形成できない。【０２０２】
【表３】
0006726317.tif 000031
【０２０３】
【表４】
0006726317.tif 000032
【０２０４】
上記表に示す通り、実施例は、耐熱性およびパターン形成性に優れていた。各実施例において、光酸発生剤、架橋剤、化合物Ｅおよび分散樹脂Ｆを２種併用しても、各実施例と同様の効果が得られる。また、各実施例の感光性組成物に対し、更に架橋剤として（Ｄ−３）または（Ｄ−４）の化合物を添加しても各実施例と同様の効果が得られる。【０２０５】
［試験例２］
（感光性組成物の調製）
（実施例１０１）
下記組成を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、実施例１０１の感光性組成物を調製した。
実施例１の感光性組成物・・・２２．６７質量部
顔料分散液１０１・・・５１．２３質量部【０２０６】
（顔料分散液１０１）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ３２を６０質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：６を２０質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１３９を２０質量部、ソルスパース７６５００（日本ルーブリゾール（株）製、固形分濃度５０質量％）を８０質量部（固形分濃度５０質量％）、下記のアルカリ可溶性樹脂（Ｅ−１）を含む溶液を１２０質量部（固形分濃度３５質量％）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを７００質量部を混合し、ペイントシェーカーを用いて８時間分散し、顔料分散液１０１を得た。
（アルカリ可溶性樹脂（Ｅ−１）を含む溶液）
反応容器に、ベンジルメタクリレート１４ｇ、Ｎ−フェニルマレイミド１２ｇ、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５ｇ、スチレン１０ｇ 及びメタクリル酸２０ｇ をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００ｇに溶解し、更に２，２’−アゾイソブチロニトリル３ｇ及びα−メチルスチレンダイマー５ｇ を投入した。反応容器内を窒素パージ後、攪拌及び窒素バブリングしながら８０℃で５時間加熱し、アルカリ可溶性樹脂（Ｅ−１）を含む溶液（固形分濃度３５質量％）を得た。アルカリ可溶性樹脂（Ｅ−１）は、重量平均分子量（Ｍｗ）が９７００、数平均分子量（Ｍｎ）が５７００であり、Ｍｗ／Ｍｎが１．７０であった。【０２０７】
実施例１０１の感光性組成物を用いて試験例１と同様の評価を行ったところ、実施例１と同様の効果が得られた。また、実施例１０１の感光性組成物を用いて得られた硬化膜は、可視領域の波長の光を遮光し、近赤外領域の波長の光（近赤外線）の少なくとも一部を透過させることができた。【０２０８】
［試験例３］
実施例１２の感光性組成物を、製膜後の膜厚が１．０μｍになるように、シリコンウェハ上にスピンコート法で塗布した。その後ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ホットプレートを用いて、２３０℃で５分間加熱した。次いでドライエッチング法により２μｍのＢａｙｅｒパターン（近赤外線カットフィルタ）を形成した。
次に、近赤外線カットフィルタのＢａｙｅｒパターン上に、Ｒｅｄ組成物を製膜後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で２μｍのドットパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、２００℃で５分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのＢａｙｅｒパターン上に、Ｒｅｄ組成物をパターニングした。同様にＧｒｅｅｎ組成物、Ｂｌｕｅ組成物を順次パターニングし、赤、青および緑の着色パターンを形成した。
次に、上記パターン形成した膜上に、実施例１０１の感光性組成物を、製膜後の膜厚が２．０μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、１０００ｍＪ／ｃｍ2で２μｍのＢａｙｅｒパターンをマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、２３０℃で５分間加熱することで、近赤外線カットフィルタのＢａｙｅｒパターンの抜け部分に、赤外線透過フィルタのパターニングを行った。これを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。得られた固体撮像素子について、低照度の環境下（０．００１Ｌｕｘ）で９４０ｎｍの赤外発光ダイオード（赤外ＬＥＤ）光源から光を照射し、画像の取り込みを行い、画像性能を評価した。画像上で被写体をはっきりと認識できた。また、入射角依存性が良好であった。
実施例１２の感光性組成物を用いた近赤外線カットフィルタのパターン形成について、フォトリソグラフィ法でパターン形成した場合でも同様の効果が得られる。【０２０９】
試験例３で用いたＲｅｄ組成物、Ｇｒｅｅｎ組成物およびＢｌｕｅ組成物は以下の通りである。【０２１０】
（Ｒｅｄ組成物）
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｒｅｄ組成物を調製した。
Ｒｅｄ顔料分散液    ・・５１．７質量部
樹脂２０４（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ・・・０．６質量部
重合性化合物２０４    ・・・０．６質量部
光重合開始剤（ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＢＡＳＦ社製）    ・・・０．３質量部
界面活性剤２０１    ・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）    ・・・４２．６質量部【０２１１】
（Ｇｒｅｅｎ組成物）
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｇｒｅｅｎ組成物を調製した。
Ｇｒｅｅｎ顔料分散液    ・・・７３．７質量部
樹脂２０４（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ・・・０．３質量部
重合性化合物２０１    ・・・１．２質量部
光重合開始剤（ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＢＡＳＦ社製）・・・０．６質量部
界面活性剤２０１    ・・・４．２質量部
紫外線吸収剤（ＵＶ−５０３、大東化学（株）製）    ・・・０．５質量部
ＰＧＭＥＡ    ・・・１９．５質量部【０２１２】
（Ｂｌｕｅ組成物）
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｂｌｕｅ組成物を調製した。
Ｂｌｕｅ顔料分散液    ４４．９質量部
樹脂２０４（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ・・・２．１質量部
重合性化合物２０１    ・・・１．５質量部
重合性化合物２０４    ・・・０．７質量部
光重合開始剤２０１（ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＢＡＳＦ社製）・・・０．８質量部
界面活性剤２０１    ・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ    ・・・４５．８質量部【０２１３】
Ｒｅｄ組成物、Ｇｒｅｅｎ組成物、Ｂｌｕｅ組成物および赤外線透過フィルタ形成用組成物に使用した原料は以下の通りである。【０２１４】
・Ｒｅｄ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４を９．６質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９を４．３質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を６．８質量部、ＰＧＭＥＡを７９．３質量部とからなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ3の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｒｅｄ顔料分散液を得た。【０２１５】
・Ｇｒｅｅｎ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６を６．４質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ
Ｙｅｌｌｏｗ  １５０を５．３質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を５．２質量部、ＰＧＭＥＡを８３．１質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ3の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液を得た。【０２１６】
・Ｂｌｕｅ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６を９．７質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３を２．４質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を５．５質量部、ＰＧＭＥＡを８２．４質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ3の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｂｌｕｅ顔料分散液を得た。【０２１７】
・重合性化合物２０１：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製）
・重合性化合物２０４：下記構造の化合物
【化２８】
0006726317.tif 000033
【０２１８】
・樹脂２０４：下記構造の樹脂（酸価：７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１１０００、主鎖に付記した数値はモル比である）
【化２９】
0006726317.tif 000034
【０２１９】
・界面活性剤２０１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００）の１質量％ＰＧＭＥＡ溶液。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。
【化３０】
0006726317.tif 000035
【符号の説明】
【０２２０】
１１０：固体撮像素子、１１１：近赤外線カットフィルタ、１１２：カラーフィルタ、１１４：赤外線透過フィルタ、１１５：マイクロレンズ、１１６：平坦化層
【図１】
0006726317.tif 000036