(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、前記補正マップ上における前記取得点が前記補正マップ上における前記補正量の設定点として設定され、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の気体流量測定装置において、
前記位置情報は、前記入力流量軸における前記設定点の入力流量値および前記入力温度軸における前記設定点の入力温度値であることを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項３】
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正マップ上における前記取得点は、前記直交格子の前記格子点に一致するように再配置され、
前記位置情報は、前記取得点を前記格子点に対応付ける情報であり、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の気体流量測定装置において、
前記位置情報のうち前記入力流量軸に関する位置情報、または、前記入力温度軸に関する位置情報、または、前記入力流量軸に関する位置情報と前記入力温度軸に関する位置情報との両方は、２次以上の関数と前記関数の最高次数の係数とを含んで構成されることを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項５】
請求項２に記載の気体流量測定装置において、
前記流量検出素子が検出する流量検出信号を補正した流量補正信号に生じる誤差は、前記設定点の入力流量値で０％になり、
前記温度検出部で検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性と、前記温度検出部以外の温度センサで検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性とでは、異なる入力流量値で誤差が０％になることを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項６】
請求項３に記載の気体流量測定装置において、
前記流量検出素子が検出する流量検出信号を補正した流量補正信号に生じる誤差は、前記格子点の入力流量値で０％になり、
前記温度検出部で検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性と、前記温度検出部以外の温度センサで検出した温度検出信号を用いた場合の誤差特性とでは、異なる入力流量値で誤差が０％になることを特徴とする気体流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気流量を測定する熱式流量測定装置に係わり、補正定数を並べたマップ（テーブル）に基づいて、測定した空気流量を補正する気体流量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用エンジンにおいては、燃料噴射量を制御するために吸入空気流量を測定する必要がある。吸入空気流量を測定する装置の一種に、発熱抵抗体を用いた熱式流量測定装置がある。この熱式流量測定装置は、流量検出素子に形成される流量検出部と計測対象である吸入空気流量との間で熱伝達を行うことにより、吸入空気流量を計測するように構成されており、計測環境から受ける熱影響を正しく補正することで、高精度な吸入空気流量の計測を行うことができる。【０００３】
車載用の熱式流量測定装置は、エンジンに吸入空気を取り込むための吸気管に取り付けられている。このため、エンジンが発生する熱や自然環境における気温変化、さらには太陽の直射により加熱された車体から受ける熱などにより変化する温度の影響を受ける。従って、熱式流量測定装置では、この温度影響を小さくするために吸入空気流量を高精度に補正する必要があり、気体温度または基板温度等に基づいて吸入空気流量の検出信号を補正することで、温度影響を低減している。【０００４】
一方、検出信号を目標の出力特性に近づけるように調整する熱式流量測定装置として、特開２００７−０７１８８９号公報（特許文献１）に記載された熱式空気流量計が知られている。特許文献１の熱式空気流量計は、温度依存性を有する発熱抵抗素子を空気流路に配置して、この発熱抵抗素子を有するゲージ回路の出力値から空気流量を測定している。この熱式空気流量計は空気流量−出力特性に関するマップデータを有する演算回路を備え、この演算回路はマップデータの領域を空気流量の低流領域を高流領域よりも細かく分割し、空気流量領域ごとに出力特性を補正する。これにより、特許文献１の熱式空気流量計は、小規模な回路構成で高精度な空気流量測定を実現させている（要約参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−０７１８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年では、燃費改善や排気規制強化のため、熱式流量測定装置に要求される精度が向上されており、さらに、エンジン排気量のダウンサイジング化に伴い、エンジンルーム内のレイアウトの縮小化が進んでいる。そのため、熱式流量測定装置が使用される環境がエンジンに近づくことで、温度変化が激しい環境下で吸入空気流量の測定を高精度化することが要求されている。このような環境下で使用される熱式流量測定装置では、吸入空気の温度が大きく変化することで、流量毎に必要な補正値（補正量）も異なる。【０００７】
特許文献１の熱式空気流量計は、最低限の分解能で吸入空気流量の測定精度を向上させるために、データの領域を不等間隔に分割したマップ（補正マップ）を用いている。【０００８】
一般的に、温度影響を補正するためのマップは温度と流量との２次元マップである。吸気温度などの温度が変わった場合には、その温度に応じた吸気流量に補正するための補正値が２次元マップに基づいて算出され、吸入空気流量の測定値が補正される。【０００９】
２次元マップは、例えば図１２Ｂに示すように、横軸を温度、縦軸を吸入空気流量とするマップである。補正値（補正データ）は、等間隔で設定された各温度と等間隔で設定された各流量とに対応させて、黒丸で示す格子点に設定される。この場合、補正値は、横軸方向の並び（温度が変化する方向の列）と縦軸方向の並び（吸入空気流量が変化する方向の列）とが直交するように並ぶ直交格子の格子点に設定される。特許文献１のようにデータの領域を不等間隔に分割したとしても、格子の間隔が不等間隔になるだけで、補正値は直交格子の格子点に設定されることになる。【００１０】
一般的に、補正値を予め実験的などにより求めてマップに記憶する場合、得られる補正値が直交格子の格子点に一致するデータとなることはない。このため、得られた補正値から内挿するなどして、直交格子の格子点に対応する補正値を算出する方法が考えられる。しかし、単純に内挿して直交格子の格子点に対応する補正値を算出すると、算出した補正値の誤差が大きくなり、吸入空気流量の補正精度が悪化してしまう課題があった。【００１１】
本発明の目的は、温度と吸入空気流量とに対応させて補正値を記憶する補正マップを用いて吸入空気流量の高精度な温度補正が可能な熱式流量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の気体流量測定装置は、
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、前記補正マップ上における前記取得点が前記補正マップ上における前記補正量の設定点として設定され、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求める。
また上記課題を解決するために、本発明の気体流量測定装置は、
流量を環境温度の影響を有する状態で検出する流量検出素子と、
環境温度を検出する温度検出部と、
縦軸または横軸のいずれか一方を入力流量軸とし他方を入力温度軸とし、前記縦軸と前記横軸とにより構成される補正マップの上に設定される、前記流量検出素子が検出する流量検出信号の補正量を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記補正量を用いて前記流量検出信号を補正する補正演算部と、
を備えた気体流量測定装置において、
前記補正量は、前記補正マップ上において、相互に直交する縦格子と横格子とがそれぞれ前記横軸の方向と前記縦軸の方向とに複数ずつ配置された直交格子の格子点から外れた位置を取得点とする補正量であり、
前記記憶部は前記補正マップ上における前記取得点の位置情報を記憶し、
前記補正マップ上における前記取得点は、前記直交格子の前記格子点に一致するように再配置され、
前記位置情報は、前記取得点を前記格子点に対応付ける情報であり、
前記補正演算部は、流量測定時に、前記流量検出素子で検出される流量検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力流量を求め、また前記温度検出部で検出される温度検出信号から前記位置情報に基づいて前記補正マップを参照する参照入力温度を求め、前記参照入力流量に対応する前記入力流量軸の入力流量と前記参照入力温度に対応する前記入力温度軸の入力温度とに対応する補正量を求めることを特徴とする気体流量測定装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、適正な補正量に対して誤差の小さい補正値を補正マップに記憶でき、吸入空気流量の高精度な温度補正が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の熱式流量測定装置の空気通路ボディへの装着図である。
【図２】図1のA-A’断面図である。
【図３】本発明の第一実施例に係る熱式流量測定装置の回路（基板を用いた場合）である。
【図４】本発明の第一実施例に係る熱式流量測定装置の回路（チップパッケージを用いた場合）である。
【図５Ａ】本発明の第一実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。
【図５Ｂ】第一実施例のロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。
【図６Ａ】本発明の第二実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。
【図６Ｂ】第二実施例のロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。
【図７】第二実施例のロジックにおける流量信号の伸縮マップである。
【図８】第二実施例のロジックにおける温度信号の伸縮マップである。
【図９】本発明の第三実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。
【図１０】第三実施例のロジックにおける２次係数の伸縮マップである。
【図１１】本発明の実施例に係る熱式流量測定装置の出力誤差を示す図である。
【図１２Ａ】直交格子で構成された２次元マップを用いた場合の吸入空気流量信号の補正ロジック図である。
【図１２Ｂ】図１２Ａのロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。
【図１３】格子点の近傍にある二つの入力点から格子点の補正定数を算出する線形補間の概念図である。
【図１４】二つの格子点の中間にある参照入力流量Ｑ’の補正定数を算出する線形補間の概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明による熱式流量測定装置（気体流量測定装置）の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１６】
本発明の第一実施例について、図１から図５Ｂを用いて説明する。【００１７】
図１は、本発明の熱式流量測定装置の空気通路ボディへの装着図である。図２は、図1のA-A’断面図である。なお、図１および図２で説明する構成は、後述する第二実施例及び第三実施例にも共通して用いられる。【００１８】
熱式流量測定装置１は、内燃機関の吸気流路を形成する吸気通路ボディ（吸気管）３に取り付けられ、吸気通路ボディ３の内側に構成された主通路６を流れる気体（空気）８の流量を測定する。このために、熱式流量測定装置１は吸気通路ボディ３の内側で気体（空気）８にさらされる。熱式流量測定装置１の内部には基板５が設けられ、基板５に気体温度検出素子２が備え付けられている。気体温度検出素子２は吸入される気体にさらされるように、熱式流量測定装置１の上流側の部分に備え付けられている。なお気体温度検出素子２は、サーミスタあるいは気体温度測定抵抗体とも呼ばれる。【００１９】
熱式流量測定装置１には副通路７が設けられており、副通路７の内部に吸気流量検出素子４が配置されている。吸気流量検出素子４は流量検出素子４と呼んで接する場合もある。【００２０】
図３は、本発明の第一実施例に係る熱式流量測定装置の回路（基板を用いた場合）である。【００２１】
基板５には、気体温度検出素子２の他に、固定抵抗９や吸気流量検出素子４が備え付けられており、この固定抵抗９と気体温度検出素子２との直列回路で気体温度検出回路２２が構成されている。気体温度検出回路２２は副通路7から隔離された位置に配置されている。固定抵抗９は基板５に直接実装されてもよいが、基板５上に設けられる集積回路２１内に設けられても良い。ここで、集積回路２１としては、ＬＳＩやマイコンなどが考えられる。【００２２】
吸気流量検出素子４は副通路７を流れる気体（空気）の流量を検出する素子であり、熱式流量測定装置１は吸気流量検出素子４で検出した副通路７を流れる気体の流量に基づいて主通路６を流れる気体８の流量を測定する。【００２３】
図３において、気体温度検出素子２で検出した気体温度は、基板５上の気体温度検出回路２２により電圧信号に変換され、アナログ-デジタル変換器（ＡＤ３）１４に入力される。また、集積回路２１内には、基板５の温度を検出するために温度センサ１２が備え付けられている。
温度センサ１２は、集積回路２１内の温度を検出することで、基板５の温度に相当する温度を検出する。これにより、気体温度と熱式流量測定装置1のそれぞれの温度を検出することが出来る。【００２４】
気体温度検出回路２２は、主通路（吸気流路）６に露出するように配置した気体温度検出素子２と固定抵抗９とを直列接続して構成されており、気体温度検出回路２２にはレギュレータ２３から出力される定電圧が供給される。固定抵抗９と気体温度検出素子２との分圧値がアナログ-デジタル変換器（ＡＤ３）１４を介してデジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０に入力される。デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０には発振器２０からの信号も入力されている。【００２５】
気体温度検出素子２で検出される気体温度および温度センサ１２で検出される基板５の温度（基板温度）は、吸気流量検出素子４が配置された環境の温度（環境温度）として用いられ、吸気流量検出素子４で検出される気体流量検出信号Ｑａを補正して環境温度の影響を低減するために用いられる。すなわち、気体温度検出素子２および温度センサ１２は、気体流量検出信号Ｑａを補正するための環境温度を検出する温度検出部（温度検出素子）として用いられる。このような温度検出部として、気体温度検出素子２および温度センサ１２以外の温度センサを設けてもよい。【００２６】
吸気流量検出素子４で検出される気体流量検出信号Ｑａおよび気体温度検出素子２で検出した気体温度検出信号Ｔａは、デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０において補正される。【００２７】
この補正は、吸気流量検出素子４からの気体流量検出信号Ｑａをアナログ-デジタル変換器（ＡＤ１）１１によって変換したデジタル値、集積回路２１内の温度センサ１２からの基板温度検出信号Ｔｐをアナログ-デジタル変換器（ＡＤ２）１３によって変換したデジタル値、および気体温度検出素子２（気体温度検出回路２２）からの気体温度検出信号Ｔａをアナログ-デジタル変換器（ＡＤ３）１４によって変換したデジタル値等の複数のデジタル値に基づいて、補正マップを用いて行われる。以下、補正マップは単にマップと呼んで説明する。このマップを用いた補正については、後で詳細に説明する。【００２８】
ここで各信号を次のように定義する。補正された気体流量信号を気体流量補正信号と呼ぶ。同様に、補正された気体温度信号を気体温度補正信号と呼び、補正された基板温度検出信号Ｔｐを基板温度補正信号と呼ぶ。検出した気体流量検出信号Ｑａと補正した気体流量補正信号Ｑａｏｕｔとを特に区別する必要が無い場合は、気体流量信号と呼んで説明する。また検出した気体温度検出信号Ｔａと補正した気体温度補正信号とを特に区別する必要が無い場合は気体温度信号と呼んで説明し、基板温度検出信号Ｔｐと補正した基板温度補正信号とを特に区別する必要が無い場合は基板温度信号と呼んで説明する。【００２９】
気体流量補正信号および気体温度補正信号のデジタル値は、デジタル-アナログ変換（ＤＡ１）１６およびデジタル-アナログ変換器（ＤＡ２）１８を用いてアナログ変換され、電圧信号として出力される。一方、気体流量補正信号のデジタル値をフリーランニングカウンタ（ＦＲＣ１）１７を用いてアナログ変換すると、周波数信号として出力される。同様に、気体温度補正信号のデジタル値をフリーランニングカウンタ（ＦＲＣ２）１９を用いてアナログ変換すると、周波数信号として出力される。さらに、気体流量補正信号と気体温度補正信号とはＳＥＮＴ信号生成器２７を用いてＳＥＮＴ信号として複合信号で出力される。ここで、ＳＥＮＴとはＳＡＥで規定されるデジタル通信方式である。【００３０】
これら、デジタル-アナログ変換器１６，１８とフリーランニングカウンタ１７，１９とＳＥＮＴ生成器２７との出力は、マルチプレクサ（ＭＵＸ１）２４およびマルチプレクサ（ＭＵＸ２）２５の設定で選択され、気体流量信号の出力信号Ｑｏｕｔおよび気体温度信号の出力信号Ｔｏｕｔとして出力される。マルチプレクサの設定は，ＰＲＯＭ１５内の定数できりかえることができる。さらに、熱式流量測定装置１はＥＣＵ２６と電気的に接続され、気体流量信号の出力信号Ｑｏｕｔおよび気体温度信号の出力信号ＴｏｕｔをＥＣＵ２６に送っている。また、熱式流量測定装置１はＥＣＵ２６から電源Ｖｃｃと接地電源ＧＮＤの供給を受けている。【００３１】
上述した集積回路２１は、吸気流量（気体流量検出信号Ｑａ）を補正するための補正演算部（補正演算回路）を構成する。なお、補正演算部を補正部と呼んで説明する場合もある。【００３２】
図４は、本発明の第一実施例に係る熱式流量測定装置の回路（チップパッケージを用いた場合）である。【００３３】
図３では基板５に気体温度検出回路２２を設ける例を説明したが、図４に示すように、気体温度検出回路２２や吸気流量検出素子４が樹脂でパッケージされたチップパッケージ２８で構成されていても良い。【００３４】
次に、気体温度信号を用いて気体流量信号を補正する方法について説明する。【００３５】
本実施例では、気体流量信号を補正するためにマップを用いる。マップとは、規格化された気体流量信号と気体温度信号に対する補正定数とを格子状に並べたものをいい、このマップを用いて気体流量信号および気体温度信号に応じて気体流量信号の補正値を算出する方法をマップ補正という。【００３６】
図５Ａは、本発明の第一実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。【００３７】
本実施例では、気体流量検出信号Ｑａ、基板温度検出信号Ｔｐ、気体温度検出信号Ｔａをデジタル値に変換した信号を用いて補正を行うにあたって、補正に用いる温度信号に関しては、基板温度検出信号Ｔｐまたは気体温度検出信号Ｔａのいずれか一方を選択するスイッチ２９が設けられている。スイッチ２９はＰＲＯＭ（ＰＲＯＭは，ＥＰＲＯＭ，ＥＥＰＲＯＭ，フラッシュなどの不揮発メモリである）１５内の定数によって切り替えることが可能である。また、マップでは、任意の温度ごとに格子点が配列されており、格子点に各格子点の温度Ｔおよび流量Ｑに応じた補正定数（補正量）が格納されている。気体温度検出信号Ｔａまたは基板温度検出信号Ｔｐが示す温度Ｔと気体流量検出信号Ｑａが示す流量Ｑとが格子点間にある場合は、格子点間を線形補間することによって補正定数が算出され、算出された補正定数を用いて気体流量検出信号Ｑａが補正される。これによって広い範囲の温度の補正を可能としている。【００３８】
「発明が解決しようとする課題」の欄で説明したように、一般的なマップは、格子点が等間隔に並んだ直交格子で構成された２次元マップである。直交格子で構成された２次元マップについて、図１２Ａおよび図１２Ｂを用いて説明する。図１２Ａは、直交格子で構成された２次元マップを用いた場合の吸入空気流量信号の補正ロジック図である。図１２Ｂは、図１２Ａのロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。【００３９】
上述したように、温度信号としては、気体温度検出素子２からの気体温度検出信号Ｔａまたは温度センサ１２からの基板温度検出信号Ｔｐを用いることができる。以下、温度信号として、気体温度検出素子２からの気体温度検出信号Ｔａを用いる例について説明する。基板温度検出信号Ｔｐを用いる場合は、以下の説明における気体温度検出信号Ｔａを基板温度検出信号Ｔｐに置き換えることで、本発明に係る実施例を実施することができる。【００４０】
マップ１００’ では、規格化された気体流量信号（入力流量Ｑ）と気体温度信号（入力温度Ｔ）との交点を格子点１０１と呼び、格子点１０１に補正定数（補正量）が与えられている。すなわちマップ１００’は、直交格子で構成されている。ここで直交格子とは、格子点１０１が縦軸方向および横軸方向に直線状に並び、横格子１０３および縦格子１０４が相互に直交するように交わる格子を意味する。さらに一般的な直交格子では、横格子１０３および縦格子１０４が縦軸方向および横軸方向にそれぞれ等間隔に並び、両格子１０３，１０４の交点である格子点１０１が縦軸方向および横軸方向に等間隔に並んでいる。【００４１】
実際に得られる補正定数の流量と温度とは、図１２Ｂに白丸１０２で示すように、格子点１０１からずれている。白丸１０２は、補正定数が取得された補正定数取得点（温度Ｔ、流量Ｑ）を示す。以下、マップ上における白丸の入力温度軸上および入力流量軸上における位置（座標）を取得点１０２と呼んで説明する。【００４２】
取得点１０２の格子点１０１からのずれ量は、温度に応じて、横軸（入力温度軸）方向および縦軸（入力流量軸）方向に変化する。このため、例えば常温２５℃（Ｔ３）における取得点１０２は、一点鎖線Ｌ３上に並んでおり、マップ１００’の格子点１０１に近接するように格子点１０１の分解能（間隔）を最適に設定しても、他の温度Ｔ２，Ｔ４では一点鎖線Ｌ２，Ｌ４上に並ぶ取得点１０２が温度Ｔ２，Ｔ４上の格子点１０１から大きくずれる。このことから、各取得点１０２に最適な、入力温度軸方向および入力流量軸方向における格子の分解能（格子点の間隔）は温度に応じて変化し、各温度において同じではないことが見出された。【００４３】
取得点１０２と格子点１０１とがずれている場合、格子点１０１の近傍にある取得点１０２について線形補間を行い、格子点１０１の補正定数を算出する。この場合、算出される補正定数は大きな誤差を含む可能性がる。【００４４】
図１３は、格子点の近傍にある二つの入力点から格子点の補正定数を算出する線形補間の概念図である。【００４５】
図１３に示すように、補正定数（補正量）±Ｑは気体流量に対して曲線を描いて変化する。このため、隣り合う二つの取得点１０２における気体流量ＱｎとＱｎ＋１とを用いて格子点１０１における気体流量Ｑｍに対する補正定数を線形補間すると、格子点１０１に設定される補正定数にΔ±Ｑの誤差（補間誤差）が生じる。このため、直交格子で構成されたマップ１００’の格子点１０１を補正定数の設定点（格納点）１０５とすると、マップに格納される補正定数に補正の高精度化を制限する補間誤差が発生する可能性がある。その結果、気体流量補正信号に検出精度の高精度化を制限する誤差が生じ、熱式流量測定装置１で測定する吸入空気流量の高精度化に限界が生じることになる。【００４６】
そこで、本実施例では、図５Ｂに示すようなマップ１００Ａを用いる。図５Ｂは、第一実施例のロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。【００４７】
マップ１００Ａは、ひずみ格子で構成されることにより、得られる補正定数に対して格子の分解能が最適化される。このため、取得点１０２と格子点１０１とを一致させることができ、取得点１０２の補正定数がそのままマップ１００Ａに格納される。すなわち、取得点１０２が補正定数の設定点（格納点）１０５となる。このため、補間誤差を含まない補正定数をマップＡに格納することができる。すなわち、格子の分解能が最適化されることで、高精度に流量の温度特性を補正することが可能となる。【００４８】
ひずみ格子は、マップ１００Ａの横軸方向および縦軸方向の少なくともいずれか一方で、格子点の間隔が不均一になるように、格子点１０１が設定された状態を意味する。本実施例では、横軸方向および縦軸方向の両方において、格子点１０１の間隔が不均一になるように、格子点１０１が設定されている。この場合、格子点１０１は特定の温度Ｔ（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔ５）において一直線上に並ばず、縦軸方向に並ぶ格子点１０１の間隔が不均一である。また、格子点１０１は特定の入力流量Ｑ（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４，Ｑ５）において一直線上に並ばず、横軸方向に並ぶ格子点１０１の間隔が不均一である。すなわち、縦格子１０３および横格子１０４が直線ではなく、折れ線状になる。【００４９】
ひずみ格子としたことにより、各格子点１０１のマップ１００Ａ上における位置を記憶しておく必要がある。このため、各格子点１０１における図５Ｂの入力温度Ｔおよび入力流量Ｑの値をＰＲＯＭ（またはＥＰＲＯＭ）１５に記憶する。各格子点１０１の入力温度Ｔおよび入力流量Ｑの値は入力温度Ｔを横軸（縦軸）とし、入力流量Ｑを縦軸（横軸）とする直交座標系における座標値とみなすことができる。このように本実施例では、ひずみ格子を用いるために、マップ１００Ａ上における各格子点１０１（取得点１０２）の位置情報が記憶される。【００５０】
本実施例では、記憶される位置情報は、入力流量Ｑ軸における補正定数設定点１０５の入力流量値と、入力温度Ｔ軸における補正定数設定点１０５の入力温度値である。ここで、補正定数設定点１０５の入力流量値および入力温度値は、入力流量値および入力温度値に限定されることなく、これらの入力流量値および入力温度値に対応する値、またはこれらの入力流量値および入力温度値に相当する値を含む。【００５１】
次に、気体流量検出信号Ｑａを補正する動作について説明する。【００５２】
エンジンの稼働中に測定される気体温度検出信号Ｔａに基づいて気体流量検出信号Ｑａを補正する場合、検出された気体温度検出信号Ｔａを入力温度Ｔとして、また気体流量検出信号Ｑａを入力流量Ｑとして、マップ１００Ａを参照する。この場合、気体流量検出信号Ｑａおよび気体温度検出信号Ｔａは、マップ１００Ａを参照する参照入力流量Ｑおよび参照入力温度Ｔとして用いられる。【００５３】
以下、エンジンの稼働中に測定される気体温度検出信号Ｔａおよび気体流量検出信号Ｑａにより特定されるマップ上における位置を実測点と呼ぶ。【００５４】
気体温度検出信号Ｔａおよび気体流量検出信号Ｑａが格子点１０１の入力温度Ｔおよび入力流量Ｑに一致しない場合、デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０において、実測点の近傍に存在する複数の格子点１０１について線形補間を行い、実測点の気体温度検出信号Ｔａおよび気体流量検出信号Ｑａに対応する補正定数を算出する。そして、算出した補正定数に基づいて気体流量検出信号Ｑａを補正する。【００５５】
本実施例は、補正定数を格納するマップ１００Ａに特徴があり、マップ１００Ａに格納された補正定数を用いて気体流量検出信号Ｑａを補正する具体的な動作（方法）については、従来知られている動作（方法）を適用することができる。【００５６】
本実施例では、実測点の補正定数を算出する際に線形補間による誤差が生じるが、格子点１０１には高精度な補正定数が与えられているため、気体温度検出信号Ｔａおよび気体流量検出信号Ｑａに対応する高精度な補正定数を算出することができる。【００５７】
なお、実測点の補正定数を算出する際の補間の方法については、線形補間に限定される訳ではない。線形補間以外の補間方法により複数の格子点１０１の間を内挿して補正定数を求めてもよい。
【実施例２】
【００５８】
次に、第二実施例について、図６Ａ、図６Ｂ、図７および図８を用いて説明する。第一実施例と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。【００５９】
図６Ａは、本発明の第二実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。図６Ｂは、第二実施例のロジックにおけるマップ内のデータ配置図である。【００６０】
第一実施例では格子点１０１を理想的な位置（取得点１０２に一致する位置）に配列する例を示したが、第二実施例では、第一実施例で説明した取得点１０２を伸縮させることによって、取得点１０２の補正定数を直交格子（１０３，１０４）における格子点１０１の補正定数として設定する。すなわち、図６Ｂのマップ１００Ｂに示すように、取得点１０２が直交格子の格子点１０１に一致するように取得点１０２の位置をずらし、取得点１０２の補正定数（補正量）を格子点１０１に格納（設定）する。これにより、取得点１０２の位置が直交格子の格子点１０１の位置と対応するように変換され、取得点１０２の位置が直交格子の格子点１０１の位置と一致するように、取得点１０２が再配列される。【００６１】
本実施例では、直交格子（１０３，１０４）の格子点１０１が補正定数の設定点（格納点）となる。なお、本実施例および後述の実施例３における直交格子（１０３，１０４）は、格子点１０１が縦軸方向および横軸方向に直線上に並んだ格子であり、複数の格子１０３，１０４が等間隔に並んだものだけでなく、不等間隔に並んだ格子を含む。【００６２】
取得点１０２の再配列について、図７および図８を用いて説明する。図７は、第二実施例のロジックにおける流量信号の伸縮マップである。図８は、第二実施例のロジックにおける温度信号の伸縮マップである。【００６３】
本実施例では、伸縮テーブル３０Ａ（図７）と伸縮テーブル３０Ｂ（図８）とを備え、取得点１０２の位置が直交格子の格子点１０１の位置と一致するように、取得点１０２を再配列する。伸縮テーブル３０Ａは、取得点１０２における入力温度Ｔ（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，…，Ｔｎ）および入力流量Ｑ（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，…，Ｑｎ）を、取得点１０２を一致させる格子点１０１における入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）に対応付けるテーブルである。伸縮テーブル３０Ｂは、取得点１０２における入力温度Ｔ（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，…，Ｔｎ）および入力流量Ｑ（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，…，Ｑｎ）を、取得点１０２を一致させる格子点１０１における入力温度Ｔ’（Ｔ’１，Ｔ’２，Ｔ’３，…，Ｔ’ｎ）に対応付けるテーブルである。なお、第一実施例で説明したように、気体温度検出信号Ｔａに替えて基板温度検出信号Ｔｐを用いてもよいため、図７および図８における入力温度ＴはＴａ１（Ｔｐ１），Ｔａ２（Ｔｐ２），Ｔａ３（Ｔｐ３），…，Ｔａｎ（Ｔｐｎ））と表記している。【００６４】
以下の説明では、再配置された取得点１０２の入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）および入力温度Ｔ’（Ｔ’１，Ｔ’２，Ｔ’３，…，Ｔ’ｎ）を、変換入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）および変換入力温度Ｔ’（Ｔ’１，Ｔ’２，Ｔ’３，…，Ｔ’ｎ）と呼ぶ。変換入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）および変換入力温度Ｔ’（Ｔ’１，Ｔ’２，Ｔ’３，…，Ｔ’ｎ）は補正マップ１００Ｂにおける格子点１０１の入力流量および入力温度に一致する。【００６５】
伸縮テーブル３０Ａおよび伸縮テーブル３０Ｂは、マップ１００Ｂ上における格子点１０１と取得点１０２との間の位置関係を示す情報（位置情報）を格納する。すなわち、伸縮テーブル３０Ａおよび伸縮テーブル３０Ｂに格納される位置情報は、取得点１０２を再配置される格子点１０１に対応付ける位置情報である。【００６６】
本実施例のマップ１００Ｂは、格子点１０１を基準にすると、直交格子により構成されている。一方、取得点１０２を基準にすると、取得点１０２を格子点１０１に一致させるために、横軸（入力温度Ｔ軸）と縦軸（入力流量Ｑ軸）とを各取得点１０２に対応させて伸縮させていることになる。従って、特定の入力温度Ｔの直線上に一列に並んだ複数の取得点１０２は、実際には相互に異なる入力温度を有している。また、特定の入力流量Ｑの直線上に一列に並んだ複数の取得点１０２は、実際には相互に異なる入力流量を有している。すなわち、取得点１０２はひずみ格子のひずみ格子点に一致するように設定され、このひずみ格子点が直交格子点に一致するようにひずみ格子が伸縮されて直交格子に変換されることにより、取得点１０２が直交格子の直交格子点に再配列される。このことは、取得点１０２を基準にすると、マップ１００Ｂがひずみ格子により構成されていることに変わりないことを意味する。【００６７】
次に、気体流量検出信号Ｑａを補正する動作について説明する。【００６８】
エンジンの稼働中に測定される気体温度検出信号Ｔａに基づいて気体流量検出信号Ｑａを補正する場合、検出された気体温度検出信号Ｔａを入力温度Ｔとして、また気体流量検出信号Ｑａを入力流量Ｑとして、入力温度Ｔおよび入力流量Ｑを、マップ１００Ｂを参照する参照値に変換した後、マップ１００Ｂを参照する。マップ１００Ｂを参照するために変換された入力温度Ｔおよび入力流量Ｑを、参照入力温度Ｔおよび参照入力流量Ｑと呼ぶ。【００６９】
このために本実施例では、補正マップ１００Ｂの直前に、流量の入力信号Ｑ（気体流量検出信号Ｑａのデジタル値）を伸縮させるため、図７に示す伸縮テーブル３０Ａを設ける。これにより、補正マップ１００Ｂを参照する前に伸縮テーブル３０Ａを参照して、エンジンの稼働中に測定される入力信号Ｑ（気体流量検出信号Ｑａのデジタル値）を参照入力流量Ｑ’に変換する。また、温度の入力信号Ｔ（気体温度検出信号Ｔａのデジタル値）を伸縮させるため、補正マップ１００Ｂの直前に、図８に示す伸縮テーブル３０Ｂを設ける。これにより、補正マップ１００Ｂを参照する前に伸縮テーブル３０Ｂを参照して、入力信号Ｔを参照入力温度Ｔ’に変換する。次に、参照入力流量Ｑ’および参照入力温度Ｔ’を用いてマップ１００Ｂを参照し、補正定数を求める。【００７０】
本実施例においては、エンジンの稼働中に測定される気体温度検出信号Ｔａが取得点１０２の入力温度Ｔに一致しない場合、デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０において、気体温度検出信号Ｔａの近傍に存在する二つの取得点１０２の入力温度Ｔについて線形補間を行い、参照入力温度Ｔ’を算出する。同様に、エンジンの稼働中に測定される気体流量検出信号Ｑａが取得点１０２の入力流量Ｑに一致しない場合、デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０において、気体流量検出信号Ｑａの近傍に存在する二つの取得点１０２の入力流量Ｑについて線形補間を行い、参照入力流量Ｑ’を算出する。【００７１】
本実施例において、参照入力流量Ｑ’および参照入力温度Ｔ’は、変換入力流量Ｑ’および変換入力温度Ｔ’を変換するために用いた伸縮テーブル３０Ａおよび伸縮テーブル３０Ｂを用いて、同様な伸縮率（変換率）で変換される。【００７２】
参照入力流量Ｑ’および参照入力温度Ｔ’を用いて補正マップ１００Ｂを参照し、気体温度検出信号Ｔａおよび気体流量検出信号Ｑａに対応する補正定数を算出する。そして、算出した補正定数に基づいて気体流量検出信号Ｑａを補正する。補正マップ１００Ｂを用いて補正定数を求める動作（方法）および気体流量検出信号Ｑａを補正する動作（方法）は、第一実施例と同様である。【００７３】
また、流量信号を変換する伸縮テーブル３０Ａに入力される流量の入力信号Ｑは、温度依存性を有する。そこで、伸縮テーブル３０Ａを参照する際に、流量信号Ｑだけでなく、温度信号Ｔ（Ｔａ）を取り込み、温度依存性を緩和する構成にしている。もう一方の温度信号を変換する伸縮テーブル３０Ｂに入力される温度の入力信号Ｔは、流量依存性を有する。そこで、伸縮テーブル３０Ｂを参照する際に、流量信号Ｑを取り込み、流量依存性を緩和する構成となっている。【００７４】
なお、第一実施例で説明したように、気体温度検出信号Ｔａに替えて基板温度検出信号Ｔｐを用いてもよい。また、図７の伸縮テーブルに替えて伸縮関数を用いてもよい。また、図８の伸縮テーブルに替えて伸縮関数を用いてもよい。【００７５】
本実施例によれば、格子点１０１から見た補正マップ１００Ｂが直交格子であり、全格子点１０１の位置情報（座標）を記憶する必要が無い。すなわち、図６Ｂの縦軸におけるＱ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，Ｑ’４，Ｑ’５の５つの位置情報と、横軸におけるＴ’１，Ｔ’２，Ｔ’３，Ｔ’４，Ｔ’５の５つの位置情報とを記憶することにより、２５（５×５）個分の格子点１０１の位置を特定することができる。また、格子点に格納される補正定数は補間による誤差を含まない高精度なデータであり、第一実施例と同様の補正精度を得ることが可能である。従って本実施例では、補正精度を高め、かつメモリおよび演算負荷を低減できることから、演算処理部のサイズを低減し、演算速度を向上させた熱式流量測定装置１を得ることができる。
【実施例３】
【００７６】
次に、第三実施例について、図９および図１０を用いて説明する。図９は、第三実施例に係る吸入空気流量信号の補正ロジック図である。図１０は、第三実施例のロジックにおける２次係数の伸縮マップである。第一実施例および第二実施例と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。【００７７】
本実施例では、第二実施例における、補正マップ１００Ｂの直前に設けられる伸縮テーブル３０Ａが、テーブルと関数との組合せ３０Ｃに変更されている。すなわち本実施例では、図１０に示すテーブル３１と後述する（式１）、（式２）および（式３）とを用いて、取得点１０２の入力流量Ｑ（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，…，Ｑｎ）を図６Ｂの変換入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）に対応付ける。このテーブルと関数との組合せ３０Ｃに係る構成以外の構成及び動作は、第二実施例と同様である。以下、第二実施例と異なる、テーブル３１と（式１）、（式２）および（式３）とを用いて、入力流量Ｑ（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，…，Ｑｎ）を変換入力流量Ｑ’（Ｑ’１，Ｑ’２，Ｑ’３，…，Ｑ’ｎ）に対応付ける動作について、説明する。【００７８】
本実施例では、入力流量Ｑを変換入力流量Ｑ’に対応付ける式３の最高次数を２次としている。この場合、２次の係数が図１０に示すテーブル３１として設けられている。さらに、２次の係数Ｋａから各次数の係数Ｋｂ，Ｋｃは以下のように算出される。
Kb=Ka*a1  …（式１）    Kc=Ka*a2  …（式２）ここで、ａ１，ａ２は予め設定されている定数である。【００７９】
Ｑの変換方法としては、以下の式によって変換入力流量Ｑ’が算出される。すなわち、式３により、エンジンの稼働中に吸気流量検出素子４で検出される気体流量検出信号Ｑａが変換入力流量Ｑ’に変換される。
Q’=Q-(Ka*Tp^2(or Ta^2)+Kb*Tp(or Ta)+Kc)  …（式３）
第二実施例と同様に変換された変換入力温度Ｔ’と、本実施例の変換入力流量Ｑ’とを用いて、取得点１０２が補正マップ１００Ｂの格子点１０１に変換される。【００８０】
本実施例では、第二実施例の伸縮テーブル３０Ａの代わりに、テーブル３１のデータ、定数ａ１，ａ２、式１、式２および式３が、マップ１００Ｂ上における格子点１０１と取得点１０２との間の位置関係を示す情報として格納される。【００８１】
次に、気体流量検出信号Ｑａを補正する動作について説明する。【００８２】
エンジンの稼働中に測定される気体温度検出信号Ｔａに基づいて気体流量検出信号Ｑａを補正する場合、気体流量検出信号Ｑａを入力流量Ｑとしてテーブル３１を参照し、入力流量Ｑに対応する係数Ｋａを決定する。決定した係数Ｋａから式１および式２を用いて係数Ｋｂ，Ｋｃを算出し、式３を用いて参照入力流量Ｑ’を算出する。【００８３】
本実施例においては、エンジンの稼働中に測定される気体流量検出信号Ｑａが取得点１０２の入力流量Ｑ（０，Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，…，Ｑｎ）に一致しない場合、デジタル信号処理回路（ＤＳＰ）１０において、気体流量検出信号Ｑａの近傍に存在する二つの取得点１０２の入力流量Ｑについて線形補間を行い、係数Ｋａを算出する。【００８４】
補正マップ１００Ｂを用いて補正定数を求める動作（方法）および気体流量検出信号Ｑａを補正する動作（方法）は、第一実施例および第二実施例と同様である。【００８５】
本実施例においても、第二実施例と同様に、取得点１０２を基準にすると、マップ１００Ｂがひずみ格子により構成されていることに変わりない。【００８６】
本実施例によれば、伸縮テーブル３１の格子点数を簡易化でき、ソフト容量および計算負荷を最小限とし、ひずみ格子と同等の効果を得ることが可能である。また、２次以上の高次の関数を設ける場合においても、最高次数の係数のみテーブルで設け、その他の各次数の係数は最高次数から算出する。これにより、係数の記憶容量を低減することができる。【００８７】
なお、本実施例では気体流量検出信号Ｑａについて説明したが、気体温度信号ＴｐあるいはＴａに関して同じ変換を行っても同じ効果が得られる。【００８８】
以下、第一実施例、第二実施例および第三実施例に共通する特徴について説明する。【００８９】
まず、参照入力流量Ｑ’（第一実施例の参照入力流量Ｑ）における補正定数±Ｑ’ｍを、二つの格子点における流量値（以下、格子点流量値と呼ぶ）Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の間で線形補間を行って求める場合に発生する誤差（以下、補間誤差と呼ぶ）について説明する。【００９０】
図１４は、二つの格子点の中間にある参照入力流量Ｑ’の補正定数を算出する線形補間の概念図である。なお図１４では、参照入力温度Ｔ’は格子点の入力温度に一致しているものと仮定する。また、第一実施例では参照入力流量をＱと表記しているが、図１４では第一実施例における参照入力流量Ｑを含めて参照入力流量Ｑ’と表記する。【００９１】
参照入力流量Ｑ’の参照値Ｑ’ｍが二つの格子点流量値（取得点流量値）Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の中間にある場合、二つの格子点流量値Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の補正定数±Ｑ’ｎと±Ｑ’ｎ＋１との間を線形補間して、補正定数±Ｑ’ｍを算出する。この場合、算出した補正定数±Ｑ’ｍはΔ±Ｑ’の誤差（補間誤差）を有する。特に図１４のような曲線の場合、補間誤差は二つの格子点流量値Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の中央値で最大となる。補正定数の曲線によっては、二つの格子点流量値Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の中央値で補間誤差が最大になるとは限らないが、補間誤差が最大になる流量値は二つの格子点流量値Ｑ’ｎ，Ｑ’ｎ＋１の中間（必ずしも中央を意味しない）、すなわち二つの格子点１０１の中間（必ずしも中央を意味しない）に存在する。【００９２】
図１１は、本発明の実施例に係る熱式流量測定装置の出力誤差を示す図である。【００９３】
図１１において、出力１は気体温度検出素子２からの気体温度検出信号Ｔａまたは温度センサ１２からの基板温度検出信号Ｔｐを用いて気体流量検出素子４の気体流量検出信号Ｑａを補正した場合の補間誤差（％）を示す。また出力２は気体温度検出信号Ｔａおよび温度センサ１２以外のセンサ（例えば外付けしたサーミスタ）を用いて検出した温度を用いて気体流量検出素子４の気体流量検出信号Ｑａを補正した場合の補間誤差（％）を示す。出力１および出力２において、参照入力流量および参照入力温度が格子点１０１（設定点１０５）に一致する場合は、格子点１０１に設定された補正定数をそのまま用いることができ、線形補間を行う必要がないため、補間誤差が発生しない。このため、参照入力流量および参照入力温度が格子点１０１（設定点１０５）に一致する場合の補間誤差は０％になる。【００９４】
本発明に係る実施例では、図１１の出力２のように、気体温度検出素子２および温度センサ１２とは異なる温度センサの温度を用いて気体流量検出信号Ｑａを補正する場合、出力１と出力２との間で格子点１０１（設定点１０５）がずれる。このため、補間誤差が０％になる流量点はずれる。すなわち、出力１が流量軸（補間誤差０％）を横切る流量点と出力２が流量軸（補間誤差０％）を横切る流量点とが異なる位置になる。また、図１４を用いて説明したように、補間誤差が最大となる点（ピーク位置）は格子点１０１（設定点１０５）の中間に存在し、出力１のピーク位置と出力２のピーク位置とは異なる位置となる。【００９５】
一方、直交格子の格子点１０１に、複数の補正定数取得点１０２間を線形補間して求めた補正定数を格納する補正マップ１００’を用いた場合、補正定数が設定される格子点１０１が等間隔に並ぶ。また、どのような温度センサまたは温度検出素子を用いても、格子点１０１の間隔（すなわち補正定数の設定点の間隔）は一定であり、変化しない。その結果、出力１が流量軸（補間誤差０％）を横切る流量点と出力２が流量軸（補間誤差０％）を横切る流量点とは同じ位置になる。また、補間誤差が最大となる点（ピーク位置）は格子点１０１の中間に存在し、出力１のピーク位置（流量点）と出力２のピーク位置（流量点）とは同じ位置になる。【００９６】
ひずみ格子を用いた場合には、どのような方式を用いていても、図１１に示す特徴を有する。そして、本実施例に係る熱式流量測定装置１は各温度および各流量に格子位置を変更することが可能である。【００９７】
ここで、吸気流量検出素子４を支持する支持部として、吸気流量検出素子４の一部を樹脂により封止するパッケージ構造を例に挙げたが、セラミック基板やプリント基板、樹脂成型体等、吸気流量検出素子４を支持しつつ吸気を分流させるような他の構造でも良い。【００９８】
本発明に係る実施例によれば、吸気温度と吸気流量による２次元補正マップ（２次元補正テーブル）が設けられており、吸気温度が変わっても吸気流量補正マップの分割間隔が常温時の分割間隔と異なり、また各温度で最適な分割間隔とすることで、高精度な温度補正が可能な熱式流量測定装置を提供することができる。【００９９】
また本発明によれば、検出した吸気流量を補正するための補正マップ（補正テーブル）と吸気温度を検出するための吸気温度検出素子を備え、吸気温度に応じて吸気流量の補正マップの格子間隔（分解能）を最適化することで、温度変化の大きな環境下でも吸気温度に影響することなく、高精度に吸入空気流量を検出することができる。【０１００】
また、実験的などにより求められる補正値を単純に記憶しようとすると、補正値の記憶に必要なデータ量が膨大となり、装置が大掛かりなものとなる。しかし、本発明に係る実施例によれば、補正値の記憶に必要なデータ量を少なくすることができ、装置を小型化することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
１…熱式流量測定装置（気体流量測定装置）、２…気体温度検出素子、３…吸気通路ボディ（吸気管）、４…吸気流量検出素子、５…基板、６…主通路、７…副通路、８…気体（空気）の流れ、９…固定抵抗，１０…デジタル信号処理回路DSP、１１…アナログ-デジタル変換器AD1、１２…集積回路内の温度センサ、１３…アナログ-デジタル変換器AD2、１４…アナログ-デジタル変換器AD3、１５…PROM（EPROM）、１６…デジタル-アナログ変換器DA1、１７…フリーランニングカウンタFRC1、１８…デジタル-アナログ変換器DA2、１９…フリーランニングカウンタFRC2、２０…発振器、２１…集積回路、２２…気体温度検出回路、２３…レギュレータ、２４…マルチプレクサMUX1、２５…マルチプレクサMUX2、２６…エンジンコントロールユニットECU、２７…SENT生成器、２８…チップパッケージ、２９…スイッチ、３０Ａ…伸縮テーブル、３０Ｂ…伸縮テーブル、３１…テーブル、１００Ａ…補正マップ、１００Ｂ…補正マップ、１０１…格子点、１０２…補正定数取得点（取得点）、１０３…横格子、１０４…縦格子、１０５…補正定数の設定点。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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