(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の装置と、
全体の電源を開閉する電源スイッチと、
前記電源スイッチに接続され、前記各装置の電源を制御する電源管理コントローラと、を具備するラインシステムであって、
前記各装置は、
内部機器の電源を制御する電源管理部と、
前記電源管理部から供給される電源によって動作する制御回路部と、
夫々各装置に設けられドアの開放時にオフとなるドアスイッチと、
前記ラインシステムの少なくとも１つの装置に設けられた非常停止スイッチと、を有し、
前記電源管理コントローラは、前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチに接続されており、前記電源スイッチの投入によって前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチの出力に応じて前記各装置の電源管理部を介して電源を制御するものであり、夫々の非常停止スイッチは直列接続され、いずれかの装置のドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するようにしたラインシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の装置と上位制御装置で構成されるラインシステムに関し、特にその電源管理に特徴を有するラインシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来機器の製造等においては、複数の装置を直列に配置して製造ラインを構成し、１つの装置で加工した製品を次の装置に順次搬送することによって複雑な加工を行うシステムが用いられている。特許文献１には複数の基板処理装置が通信ラインを介してホストコンピュータに接続された基板処理システムが示されている。
【０００３】
又特許文献２には複数台の電源盤から成り、各電源盤を同時に起動させる電源盤起動回路において、各起動スイッチの投入情報に基づいて論理処理し、論理回路の制御によって電源盤の出力を制御する制御回路が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４９５１５１６号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５０３２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに従来の複数の装置がライン状に接続されて構成されるシステム（以下、ラインシステムという）においては、各装置は夫々電源スイッチを有しており、ラインシステム全体を動作させるためにはラインシステムを構成する各装置の夫々の電源スイッチをオン状態とする必要があった。
【０００６】
このため複数の装置でラインシステムを構成する場合には、電源スイッチや電源管理コントローラが装置の数だけ用いられているため、ほとんどが重複するものとなり、システム全体の構造が複雑になるという問題点があった。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、複数台の装置から成るラインシステムについて、システム全体の電源を制御することができるラインシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するために、本発明のラインシステムは、複数の装置と、全体の電源を開閉する電源スイッチと、前記電源スイッチに接続され、前記各装置の電源を制御する電源管理コントローラと、を具備するラインシステムであって、前記各装置は、内部機器の電源を制御する電源管理部と、前記電源管理部から供給される電源によって動作する制御回路部と、夫々各装置に設けられドアの開放時にオフとなるドアスイッチと、前記ラインシステムの少なくとも１つの装置に設けられた非常停止スイッチと、を有し、前記電源管理コントローラは、前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチに接続されており、前記電源スイッチの投入によって前記各装置のドアスイッチ及び非常停止スイッチの出力に応じて前記各装置の電源管理部を介して電源を制御するものである。
【０００９】
ここで前記各装置は夫々非常停止スイッチを有し、夫々の非常停止スイッチは直列接続されたものとしてもよい。
【００１０】
ここで前記ドアスイッチは、いずれかの装置のドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するものとしてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
このような特徴を有する本発明によれば、ラインシステム全体を１つの電源スイッチで電源投入状態とすることができる。又電源スイッチと電源管理コントローラとはラインシステム全体で１つであり、重複した構成が削除できるため、システム全体の構造を簡略化できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は本発明の第１の実施の形態によるラインシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】図２は本実施の形態によるラインシステムの電源管理コントローラと１つの装置の詳細な構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は本発明の実施の形態によるラインシステムの構成を示すブロック図である。本実施の形態のラインシステム１は図示のように複数の装置１０，２０，３０，４０から構成されている。ここでローダ（ＬＤ）装置１０は基板をこの製造システムに搬入するローダ装置であり、スクライブ装置２０は基板をスクライブするスクライブ装置、ブレイク装置３０はスクライブした基板をブレイクするブレイク装置、アンローダ装置４０はブレイクされた基板をアンロードするアンローダ装置とする。これらの装置１０，２０，３０，４０について各装置に固有の構成は省略しており、本実施の形態に関連のある電源部分のみを示している。
【００１４】
さて図１に示すようにローダ装置１０は電源管理部１１と制御回路部１２を有している。電源管理部１１は後述する電源コントローラからの信号によって電源を供給するものであり、制御回路部１２はローダ装置１０の各部の制御回路を示している。又ローダ装置１０には、ローダ装置１０を非常停止させるための非常停止スイッチ（非常ＳＷ）１３と、ドアスイッチ（ドアＳＷ）１４が設けられる。非常停止スイッチ１３はユーザが機器に異常があることを感じたときに投入するスイッチである。又ドアスイッチ１４はローダ装置１０のドアに設けられ、ドアの開閉を検出するスイッチである。ドアスイッチ１４は通常はオン状態にあり、点検等のために装置のドアを開放すると自動的にオフとなる。
【００１５】
他の装置２０，３０，４０についてもローダ装置１０と同様に、夫々電源管理部２１，３１，４１、制御回路部２２，３２，４２を有しており、非常停止スイッチ２３，３３，４３とドアスイッチ２４，３４，４４を有している。これらの非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３は直列に接続されており、電源管理コントローラに出力される。又同様にしてドアスイッチ１４，２４，３４，４４についても直列接続されており、その信号が電源管理コントローラに接続されている。
【００１６】
次にこれらの装置１０、２０，３０，４０で構成されるラインシステムには、全体の電源を制御するキースイッチ（キーＳＷ）５１，電源管理コントローラ５２及びシステムコントローラ５３が設けられる。キースイッチ５１はこのラインシステム全体の電源を投入するための電源スイッチである。又電源管理コントローラ５２はキースイッチ５１が投入されたときに、各装置の非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３やドアスイッチ１４，２４，３４，４４がオン状態であれば各装置１０，２０，３０，４０に電源を供給するように制御信号を出力するものである。このとき各装置の非常スイッチ１３，２３，３３，４３、ドアスイッチ１４，２４，３４，４４がオフとなれば電源を停止する。システムコントローラ５３はこのラインシステム１の上位制御装置であり、通信回線を介して各装置１０，２０，３０，４０の各制御回路部１２，２２，３２，４２に接続され、夫々の装置のセンサから信号を受信すると共に、必要なタイミング信号等を出力するものである。
【００１７】
次に各装置のこの発明に関連する部分について説明する。図２はキースイッチ５１と電源管理コントローラ５２、及びローダ装置１０の詳細を示すブロック図である。電源管理コントローラ５２は非常停止ユニット５２ａとドアインターロックユニット５２ｂを有している。非常停止ユニット５２ａは各装置の非常停止ボタン１３，２３・・・に接続されており、これらのスイッチのうち１つのスイッチでもユーザによって非常時に投入された場合に、各装置の電源管理コントローラへの電源供給を遮断するものである。又ドアインターロックユニット５２ｂは各装置のドアスイッチ１４，２４・・・に接続されている。ドアインターロックユニット５２ｂはいずれかの装置のドアが開放されたときに異常状態として各装置での電源供給を停止するものである。
【００１８】
さて図２に示すようにローダ装置１０の電源管理部１１は非常停止ユニット５２ａによって駆動されるリレーＸ１，Ｘ２及びドアインターロックユニット５２ｂによって駆動されるリレーＸ３と、各リレーのリレー接点回路から構成されている。リレーＸ１，Ｘ２の接点は入力となる商用交流であるＡＣ２００Ｖの３相のラインに接続されており、リレー接点を介して制御回路部１２の回路１２ａに接続される。又リレーＸ３も同様にしてリレーＸ２の出力側接点から分岐してリレーＸ３の接点を介して回路１２ｂに接続される。回路１２ａはこのローダ装置１０の各部の安全を保持するセンサ等の回路部である。又回路１２ｂはシステムコントローラ５３からの信号に基づいてローダ装置１０の各部を制御するモータ等に接続されたプログラマブルコントローラの回路部であり、動作に必要なモータやアクチュエータ，モニタ等は省略している。
【００１９】
次に本実施の形態の動作について説明する。まず各装置の非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３は投入されておらず、ドアが閉じられている状態にあるものとすると、非常停止スイッチ１３，２３，３３，４３及びドアスイッチ１４，２４，３４，４４はオン状態となっている。さて動作を開始する場合に、使用者はキースイッチ５１を投入し、電源管理コントローラ５２に電源の供給を指示する。このときには電源管理コントローラ５２の非常停止ユニット５２ａ，ドアインターロックユニット５２ｂは各部に電源を供給するように指令する。即ちこの場合にはリレーＸ１〜Ｘ３が通電され、リレーＸ１〜Ｘ３の接点を介して制御回路部１２の２つの回路１２ａ，１２ｂに電源が供給されることとなる。
【００２０】
そしてシステムコントローラ５３と各装置１０，２０，３０，４０の制御回路部１２，２２，３２，４２との相互の通信によりラインシステムが順次必要な動作を行い、ラインシステムが稼働する。
【００２１】
さていずれか１つの装置、例えばスクライブ装置２０のドアが開放されると、ドアスイッチ２４がオフとなる。これによって電源管理コントローラ５２のドアインターロックユニット５２ｂに信号が伝えられ、ドアインターロックユニット５２ｂからの各装置の電源管理部１１，２１，３１，４１のリレーＸ３への通電が停止され、接点が開放する。従って各装置１０，２０，３０，４０では回路１２ｂへの電源供給が停止されることとなる。この場合には回路１２ａにはそのまま電源が供給されているため、各装置のセンサ等はそのまま動作状態となっている。
【００２２】
又ラインシステム１が稼働状態でいずれか１つの非常停止スイッチ、例えばローダ装置１０の非常停止スイッチ１３が何らかの異常を発見したユーザにより投入されると、非常停止スイッチ１３はオフとなる。このため電源管理コントローラ５２は各装置１０，２０，３０，４０の電源管理部１１，２１，３１，４１のリレーＸ１，Ｘ２の動作を停止する。従って電源ＡＣ２００Ｖから各装置の回路１２ａ，１２ｂのいずれにも電源が供給されなくなり、動作を停止する。このような動作停止は全ての装置１０，２０，３０，４０の全てで同時に起こることとなる。
【００２３】
このように本実施の形態ではキースイッチや電源管理コントローラを各装置から切り離し、共通した装置として用いているため、システム全体の回路構成を簡略化することができる。
【００２４】
尚この実施の形態では各ドアスイッチや非常停止スイッチを直列的に接続し、いずれかのドアが開放されドアスイッチがオフとなった場合、又はいずれかの非常停止スイッチが投入された場合に電源管理コントローラ５２より電源管理部に信号を供給して電源の供給を停止するようにしているが、これらのスイッチは必ずしも直列的に接続する必要はない。例えばいずれかの装置のドアが開いてドアスイッチがオフとなった場合には、その装置のみの電源を遮断するようにしてもよい。
【００２５】
又本実施の形態では各装置に夫々非常停止スイッチを設けるようにしているが、装置自体が小型であり、装置間の間隔が小さい場合には、複数の装置に１つの非常停止スイッチを設け、それらの装置のいすれかに異常状態があっても非常停止スイッチを投入するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明はシステム全体の表示を行うことができるため、複数の装置が連結して構成されているラインシステムの電源制御に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１  ラインシステム
１０，２０，３０，４０  装置
１１，２１，３１，４１  電源管理部
１２，２２，３２，４２  制御回路部
１２ａ，１２ｂ  回路
１３，２３，３３，４３  非常停止スイッチ
１４，２４，３４，４４  ドアスイッチ
５１  キースイッチ
５２  電源管理コントローラ
５３  システムコントローラ
【図１】
0006672625.tif 000002
【図２】
0006672625.tif 000003