(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
情報処理を行う情報処理部と、
無線ネットワークを介して外部と通信する無線通信部と、
前記筐体の一の面に設けられ、画面を表示する表示部と、
測定装置と、
を備える携帯端末であって、
前記測定装置は、
外気を吸着させる吸着部と、
光路上において前記吸着部の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する光学系と、
前記吸着部および前記光学系を通過した光成分を検出する光センサ部と
を備え、
前記測定装置は、前記情報処理部、前記無線通信部、または電源の少なくとも一部の部品から放射される赤外光を前記入射光として受ける
携帯端末。
【請求項２】
前記測定装置は、前記光センサ部により検出された前記光成分を測定する測定部を更に備える請求項１に記載の携帯端末。
【請求項３】
前記測定部は、検出された前記光成分を用いて、前記吸着部に吸着された対象の気体成分を測定する請求項２に記載の携帯端末。
【請求項４】
前記測定部は、
検出された前記光成分を用いて前記対象の気体成分の吸着量を測定し、
前記吸着量に基づいて、外気中における前記対象の気体成分の濃度を算出する
請求項３に記載の携帯端末。
【請求項５】
前記測定装置は、前記吸着部に吸着された外気を脱気する脱気部を更に備える請求項３または４に記載の携帯端末。
【請求項６】
前記脱気部は、前記吸着部に含まれる吸着剤を加熱することにより、前記吸着剤に吸着された外気を脱気する請求項５に記載の携帯端末。
【請求項７】
前記測定部は、前記脱気部による脱気をしていない状態において前記光センサ部により検出された光成分と、前記脱気部による脱気をした状態において前記光センサ部により検出された光成分との強度差を用いて前記対象の気体成分を測定する請求項６に記載の携帯端末。
【請求項８】
一の測定タイミングにおいて前記対象の気体成分の濃度が前回の測定タイミングにおける前記対象の気体成分の濃度以下であると判定されたことに応じて、前記脱気部は、前記吸着部に吸着された外気を脱気し、
前記測定部は、前記一の測定タイミングにおいて前記吸着部に吸着された外気が脱気されたことに応じて、前記一の測定タイミングにおける前記対象の気体成分の濃度を再測定する
請求項６または７に記載の携帯端末。
【請求項９】
前記測定装置は、前記光学系に含まれる光学部品を駆動して前記対象波長を変更する駆動部を更に備える請求項１から８のいずれか一項に記載の携帯端末。
【請求項１０】
前記光学系は、
前記入射光の一部を反射し、一部を通過させるビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタを通過した光を反射して、前記ビームスプリッタを介して前記光センサ部へと入射させる第１ミラーと、
前記ビームスプリッタにより反射された光を反射して、前記ビームスプリッタを介して前記光センサ部へと入射させる第２ミラーと、
を有し、
前記駆動部は、前記第１ミラー及び前記第２ミラーの一方を駆動する
請求項９に記載の携帯端末。
【請求項１１】
前記光学系は、前記光学部品として分光プリズムを有する請求項９に記載の携帯端末。
【請求項１２】
前記光学系は、前記光学部品としてのエタロンを含むファブリペロー干渉計である請求項９に記載の携帯端末。
【請求項１３】
前記光学系は、前記光学部品としてのグレーティングを含む干渉計である請求項９に記載の携帯端末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置、測定方法、および携帯端末に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、入射光の成分を検出する場合、分光器および干渉計等の光学装置を用いて分光し、対象波長の光成分を抽出して検出していた。また、このような光検出を簡易的に実行する場合、入射光に対象波長を透過させるバンドパスフィルタ等の光フィルタを挿入し、透過光の光成分を検出していた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような測定装置は、気体等の光吸収を観測する場合、当該気体を通過する入射光の光路長を長くして測定精度を向上させていた。しかしながら、光路長を長くすると、測定装置は大型になり、また、光軸の調整等に手間がかかることがあった。また、分光器および干渉計等の光学装置は、抽出する光成分の対象波長を変更すべく、高い位置精度と、広い移動範囲とを有する駆動装置を用いて光学部品等を移動させていた。しかしながら、このような駆動装置は、大型でコストがかかるので、小型の測定装置を低コストで提供することは困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、外気を吸着させる吸着部と、光路上において吸着部の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する光学系と、吸着部および光学系を通過した光成分を検出する光センサ部とを備える測定装置および測定方法を提供する。
【０００５】
本発明の第２の態様においては、筐体と、情報処理を行う情報処理部と、無線ネットワークを介して外部と通信する無線通信部と、筐体の一の面に設けられ、画面を表示する表示部と、第１の態様の測定装置と、を備える携帯端末を提供する。
【０００６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態に係る検出装置１０の構成例を示す。
【図２】本実施形態に係る測定装置１００の第１構成例を示す。
【図３】本実施形態に係る測定装置１００の第２構成例を示す。
【図４】本実施形態に係る吸着部１０２が、外気の気体成分の濃度に対して気体成分を吸着する吸着量の一例を示す。
【図５】本実施形態に係る測定装置１００の第３構成例を示す。
【図６】本実施形態に係る測定装置１００の第４構成例を示す。
【図７】本実施形態に係る測定装置１００の第５構成例を示す。
【図８】本実施形態に係る測定装置１００の第６構成例を示す。
【図９】本実施形態に係る携帯端末３００の構成例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、本実施形態に係る検出装置１０の構成例を示す。検出装置１０は、対象波長の光成分を検出する。検出装置１０は、光フィルタ１２と、光センサ部１４とを備える。光フィルタ１２は、対象波長の光成分を透過させる。光フィルタ１２は、一例として、バンドバスフィルタである。光センサ部１４は、光フィルタ１２を通過した光を検出する。光センサ部１４は、フォトダイオード等でよい。
【００１０】
このような検出装置１０は、入射光に含まれる対象波長の光成分を検出することができるので、例えば、当該入射光の経路に測定対象を挿入し、挿入前後の検出結果を比較することにより、測定対象の光吸収および光放出等を測定することができる。なお、測定対象は、気体、液体、および固体等でよい。また、検出装置１０を用いて光吸収および光放出等を測定することにより、当該測定対象を同定してもよい。
【００１１】
一例として、測定対象を気体とし、光フィルタ１２の透過波長を一の気体成分の吸収線と略一致させることにより、検出装置１０は、測定対象の吸収線における光吸収の有無を測定して、当該測定対象が一の気体成分を含むか否かを判定することができる。また、検出装置１０は、光吸収量から、一の気体成分の濃度を測定してもよい。
【００１２】
このように、検出装置１０は、単一の波長を透過させる光フィルタ１２の透過波長を光吸収線等の対象波長と略一致させることにより、測定対象に含まれる成分の濃度等を測定できる。したがって、検出装置１０は、例えば、小型で低コストのガスセンサ等を提供することができる。
【００１３】
しかしながら、検出装置１０を小型にすると、入射光の光路長も短くなるので、当該入射光が測定対象を通過する距離も短くなってしまい、測定対象の光吸収量が低減して測定精度が悪化することがあった。また、検出装置１０は、入射光が当該気体を通過する光路長を長くして、光吸収等の測定精度を向上できるが、入射光の光路長を長くすると、測定装置が大型になり、また、光軸の調整等に手間がかかることがあった。したがって、簡便に光吸収等を測定する装置の測定精度の低下を防止しつつ、当該装置の大きさを小型にすることは困難であった。
【００１４】
また、光フィルタ１２の透過波長は固定されているので、検出装置１０は、複数の吸収線の吸収量を測定することができない。このような複数の対象波長の光吸収および光放出等を測定する場合、検出装置１０は、光フィルタ１２に代えて、分光器および干渉計等の光学装置を用いて、入射光から抽出する光成分の対象波長を変更し、吸収スペクトルおよび放出スペクトル等を測定していた。
【００１５】
このような分光器および干渉計等の光学装置は、モータ等の駆動装置を搭載し、光学部品を移動させて入射光の透過波長を可変させていた。したがって、駆動装置は、光学部品の位置精度を保ったまま、光スペクトルが得られる程度に光学部品を移動させることが望ましく、大型でコストのかかる装置となっていた。即ち、複数の対象波長の光吸収等を測定する装置の大きさを小型にすることは、困難であった。そこで、本実施形態に係る測定装置１００は、光吸収等の測定精度を向上させつつ、小型、かつ低コストの測定装置を提供する。このような測定装置１００について、次に説明する。なお、本実施形態において、測定対象を外気とする例を説明する。
【００１６】
図２は、本実施形態に係る測定装置１００の第１構成例を示す。測定装置１００は、測定対象の外気を吸着させ、入射光における対象波長の光成分の測定精度を向上させる。なお、入射光は、平行光で測定装置１００に入射することが望ましい。測定装置１００は、吸着部１０２と、光学系１１０と、光センサ部１２０と、測定部１７０と、を備える。
【００１７】
吸着部１０２は、外気を吸着させる。吸着部１０２は、測定対象の外気を吸着させ、周囲と比較して外気の濃度を増加させる。吸着部１０２は、例えば、物理吸着および化学吸着等によって、外気の成分を吸着する。吸着部１０２は、温度および／または圧力等に応じて、可逆的に吸着および脱気してよい。吸着部１０２は、赤外光を透過させつつ、測定対象の気体成分を吸着する物質であることが望ましい。吸着部１０２は、シリカ、アルミナ、ゼオライト、グラファイト、金属ナノ粒子、白金、セラミック酸化物、およびセシウム酸化物等の材料のうち１または複数を吸着剤として有してよい。また、吸着部１０２は、水素と金属の化合物等でよい。
【００１８】
光学系１１０は、光路上において吸着部１０２の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する。図２の測定装置１００は、光学系１１０が光フィルタ１２を有し、入射光の光路上において吸着部１０２の前に設けられた例を示す。光フィルタ１２は、対象波長の光成分を透過させる。光フィルタ１２は、例えば、外気の一の気体成分に固有の一の光吸収線等に略一致する対象波長を透過させる。光フィルタ１２は、一例として、バンドバスフィルタである。これにより、光学系１１０は、対象波長の光成分を吸着部１０２に照射させる。
【００１９】
光センサ部１２０は、吸着部１０２および光学系１１０を通過した光成分を検出する。光センサ部１２０は、図２に示すように、入射光の光路上において光学系１１０が吸着部１０２の前に設けられた場合、吸着部１０２を透過した光成分を検出する。また、光センサ部１２０は、光学系１１０が吸着部１０２の後ろに設けられた場合、光学系１１０が抽出して出射する光成分を検出する。光センサ部１２０は、フォトダイオードおよび光伝導セル等の半導体光検出器でよい。これに代えて、光センサ部１２０は、焦電型検出器でもよい。
【００２０】
測定部１７０は、光センサ部１２０により検出された光成分を測定する。測定部１７０は、入射光の光路上に測定対象が無い状態における光センサ部１２０の検出結果を、第１測定結果として測定してよい。また、測定部１７０は、入射光の光路上に測定対象の外気を挿入した状態における光センサ部１２０の検出結果を、第２測定結果として測定してよい。そして、測定部１７０は、第１測定結果および第２測定結果の光強度の比を算出することにより、対象波長における外気の光吸収量を測定してよい。また、第１測定結果および第２測定結果を各々用いて光吸収量を測定してもよい。なお、測定部１７０は、入射光の光路に外気を挿入する前の光成分の光強度を、初期状態として予め測定して記憶部等に記憶してよい。
【００２１】
また、測定部１７０は、入射光の光路上に測定対象がある状態で、吸着部１０２を加熱し、吸着したガスを所定の濃度に脱気した状態における光センサ部１２０の検出結果を、第１測定結果として測定してよい。また、既知の吸着時間が経過した後に、測定部１７０は、入射光の光路上に測定対象の外気を挿入した状態における光センサ部１２０の検出結果を、第２測定結果として測定してよい。そして、測定部１７０は、第１測定結果および第２測定結果の光強度の比を算出することにより、対象波長における外気の光吸収量を測定してよい。また、第１測定結果および第２測定結果を各々用いて光吸収量を測定してもよい。また、この場合、入射光の光路上に測定対象が無い状態における光センサ部１２０の検出結果を光吸収の計算に使用してもよい。
【００２２】
測定部１７０は、外気の一の気体成分に固有の一の対象波長における光吸収の有無から、外気に当該一の気体成分が含まれるか否かを特定してよい。また、測定部１７０は、当該一の対象波長における光吸収量に基づき、当該気体成分の濃度を特定してよい。例えば、測定部１７０は、検出された光成分を用いて、吸着部１０２に吸着された測定対象の気体成分の吸着量を測定し、測定した吸着量に基づいて、外気中における測定対象の気体成分の濃度を算出する。ここで、測定部１７０は、吸着部１０２による一の気体成分の吸着量と、外気中における当該一の気体成分の濃度との関係を、予め記憶部等に記憶して、吸着量の測定結果から当該気体成分の濃度を算出してよい。
【００２３】
以上のように、本実施形態に係る測定装置１００は、外気の気体成分を吸着部１０２に吸着させ、当該気体成分の濃度を高めた吸着部１０２に対象波長の光成分を照射する。したがって、測定装置１００は、図１に示す検出装置１０のように外気をそのまま検出する装置等と比較して、高い検出感度で測定することができる。測定装置１００は、例えば、吸着部１０２により気体成分の濃度を略１００倍にした場合、同一の光路長で比較した場合、理想的には略１００倍に感度を向上できる。また、この場合、測定装置１００は、一例として、光路長を略１／１０にしつつ、感度を略１０倍向上できる。
【００２４】
即ち、本実施形態に係る測定装置１００は、光路長を長くすること、および、光軸調整等の複雑な手間が増加するなしに、測定精度を向上させることができる。なお、第１構成例の測定装置１００は、光フィルタ１２を光学系１１０として用いる例なので、対象波長を複数にすることは困難である。対象波長を複数にさせた測定装置１００について、次に説明する。
【００２５】
図３は、本実施形態に係る測定装置１００の第２構成例を示す。図３に示す第２構成例の測定装置１００において、図２に示された本実施形態に係る測定装置１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第２構成例の測定装置１００は、入射光における複数の対象波長の吸収および放出を測定してよい。測定装置１００は、吸着部１０２と、光学系１１０と、光センサ部１２０と、磁石１３０と、コイル１４０と、磁気センサ１５０と、駆動部１６０と、測定部１７０と、を備える。なお、吸着部１０２については、図２に示す吸着部１０２の動作と略同一の動作なので、ここでは説明を省略する。
【００２６】
第２構成例の光学系１１０は、抽出する光成分の対象波長を可変とする。光学系１１０は、干渉計、分光器、または可変波長フィルタ等を有してよい。図３は、光学系１１０がマイケルソン干渉計を有する例を示す。光学系１１０は、ビームスプリッタ１１２と、第１ミラー１１４と、第２ミラー１１６と、を有する。
【００２７】
ビームスプリッタ１１２は、入射光の一部を透過させ、一部を反射する。ビームスプリッタ１１２は、ハーフミラーでよい。ビームスプリッタ１１２は、入射光の進行方向と略同一方向に入射光の一部を透過させ、入射光の進行方向に対して略垂直方向に入射光の一部を反射する。図３は、ビームスプリッタ１１２が−Ｘ方向に入射する入射光の一部を−Ｘ方向に透過させ、入射光の残りの一部を＋Ｙ方向に反射する例を示す。
【００２８】
第１ミラー１１４は、ビームスプリッタ１１２を透過した光を当該ビームスプリッタ１１２の方向に反射する。第２ミラー１１６は、ビームスプリッタ１１２により反射された光を当該ビームスプリッタ１１２の方向に反射する。図３は、ビームスプリッタ１１２が−Ｘ方向に透過させた光を第１ミラー１１４が＋Ｘ方向に反射し、ビームスプリッタ１１２が＋Ｙ方向に反射した光を第２ミラー１１６が−Ｙ方向に反射する例を示す。
【００２９】
このように、光学系１１０は、入射した光を２つの方向に分岐し、分岐した光を再び合波して略同一方向に出射する。これにより、光学系１１０は、２つの異なる光路を進行した光を合成させて干渉させる。即ち、光学系１１０は、第１ミラー１１４および第２ミラー１１６の配置に応じて、２つの光路に光路差を生じさせ、当該光路差が０および波長の半分の偶数倍となる光の強度を強くし、当該光路差が波長の半分の奇数倍となる光の強度を弱くする。これにより、光学系１１０は、第１ミラー１１４および第２ミラー１１６の位置を調節することにより、対象波長の光成分を抽出する。
【００３０】
光センサ部１２０は、光学系により抽出された光成分を検出する。光センサ部１２０は、光学系１１０が出射した光を受光する。即ち、光センサ部１２０は、第１ミラー１１４が反射してビームスプリッタ１１２を介して出射する光と、第２ミラー１１６が反射してビームスプリッタ１１２を介して出射する光とが、入射する。
【００３１】
磁石１３０およびコイル１４０のうちの一方は、当該測定装置１００の筐体に対して固定され、他方は、光学系１１０に含まれる光学部品に取り付けられる。即ち、磁石１３０およびコイル１４０の一方が、光学部品としての第１ミラー１１４または第２ミラー１１６に取り付けられる。磁石１３０は、永久磁石でよい。コイル１４０は、電流が流れることにより、磁石１３０を吸引または反発する磁場を発生させる。これにより、コイル１４０は、磁石１３０を光学部品ごと移動させてよい。
【００３２】
図３は、磁石１３０が第１ミラー１１４に取り付けられ、コイル１４０が筐体に固定された例を示す。この場合、コイル１４０は、電流が流れることに応じて、第１ミラー１１４を移動させることになる。即ち、図３は、第１ミラー１１４が移動鏡であり、第２ミラー１１６が固定鏡となる例を示す。図３の例において、コイル１４０は、第１ミラー１１４をＸ方向と略平行に移動させる。
【００３３】
磁気センサ１５０は、コイル１４０に対して固定された位置に設けられ、当該磁石１３０の磁場の強さを検出する。即ち、磁気センサ１５０は、コイル１４０によって移動する磁石１３０の磁場を検出する。即ち、磁気センサ１５０は、磁石１３０の位置に応じた磁場の強さを検出する。磁気センサ１５０は、ホール素子、磁気抵抗素子（ＭＲ）、巨大磁気抵抗素子（ＧＭＲ）、トンネル効果磁気抵抗素子（ＴＭＲ）、マグネトインピーダンス素子（ＭＩ素子）ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子、および／またはインダクタンスセンサ等を有してよい。また、当該磁気センサ１５０は、光学系の位置制御を行う駆動部１６０と共に集積されてよい。なお、駆動部１６０は、ＰＩＤコントローラ、およびコイルを駆動するドライバー等を含んでよい。このような集積化により、モジュールを更に小型化することができる。
【００３４】
駆動部１６０は、光学系１１０に含まれる光学部品を駆動して対象波長を変更する。駆動部１６０は、コイル１４０に駆動電流を流して光学部品を駆動して、光学系１１０が抽出する光成分の対象波長を変更してよい。駆動部１６０は、例えば、第１ミラー１１４及び第２ミラー１１６の一方を駆動する。図３は、駆動部１６０が第１ミラー１１４を移動させて、光学系１１０において分岐した２つの光の光路差を調節する例を示す。また、駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定してよい。駆動部１６０は、一例として、磁石１３０の位置に応じた磁場の強さに応じて第１ミラー１１４の位置を特定し、特定した位置に基づき、第１ミラー１１４を移動させる。
【００３５】
これにより、駆動部１６０は、第１ミラー１１４の位置を予め定められた位置に移動させるようにフィードバック制御して、精度良く第１ミラー１１４を位置決めできる。これにより、駆動部１６０は、光学系１１０が抽出する光成分の対象波長を、測定対象の吸収線等に略一致させることができる。また、これに加えて、駆動部１６０は、第１ミラー１１４を予め定められた第１位置から第２位置までを移動させてもよい。これにより、駆動部１６０は、光学系１１０が抽出する光成分の対象波長を掃引させることができる。
【００３６】
測定部１７０は、光センサ部１２０により検出された光成分を測定する。測定部１７０は、例えば、第１ミラー１１４の複数の位置に対する光センサ部１２０の検出結果をフーリエ変換することにより、光学系１１０に入射する光の光スペクトラムを測定する。測定部１７０は、入射光の光スペクトラムと、入射光の経路に測定対象を挿入した場合に測定される光スペクトラムとの波長毎の比を算出することにより、測定対象の光透過スペクトルを測定してよい。
【００３７】
測定部１７０は、物質に固有の吸収線等に対応する吸収の有無、および吸収量から、測定対象に含まれる成分を特定してよい。また、測定部１７０は、対象波長を掃引した帯域の光透過スペクトルを測定できるので、複数の吸収線等に対応する吸収量を測定することができる。即ち、測定部１７０は、測定対象に含まれる成分を複数特定してもよい。なお、測定対象が挿入する前の初期状態の光スペクトラムは、予め測定して記憶部等に記憶されてよい。
【００３８】
これにより、測定部１７０は、入射光の光成分が通過する領域に位置し、測定対象の成分を吸着させた吸着部１０２に当該光成分を照射して、光吸収スペクトルを測定することができる。なお、吸着部１０２を光学系１１０の後ろに配置した場合、光学系１１０は、入射光から光成分を抽出して吸着部１０２に供給し、測定部１７０は、当該吸着部１０２を透過した光成分を用いて測定対象の気体成分を測定してよい。また、吸着部１０２を光学系１１０の前に配置した場合、光学系１１０は、吸着部１０２を透過した入射光から光成分を抽出して測定部１７０に供給し、測定部１７０は、当該光学系１１０が抽出した光成分を用いて測定対象の気体成分を測定してよい。
【００３９】
以上のように、第２構成例の測定装置１００は、外気の気体成分の濃度を高めた吸着部１０２に対象波長の光成分を照射するので、第１構成例の測定装置１００と同様に、高い検出感度で測定することができる。また、第２構成例の測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０を用いて光学部品である第１ミラー１１４を移動させることにより、対象波長を変更することができるので、第１ミラー１１４を移動させた距離に応じた波長帯域の光吸収（透過）スペクトルを測定できる。このような磁石１３０およびコイル１４０は、光学部品の大きさと比較して小さくすることができ、モータ、動力シリンダ、およびリニアアクチュエータ等と比較して、より小さい駆動装置を形成することができる。
【００４０】
なお、磁石１３０およびコイル１４０の組み合わせは、光学部品の可動範囲を数百μｍ程度以上にすることができる。また、磁石１３０およびコイル１４０は、それぞれ複数設けられてよく、この場合、光学部品の可動範囲を更に広くすることができる。また、測定装置１００は、このような光学部品の移動を、磁気センサ１５０を用いてフィードバック制御することができるので、位置精度を数μｍ程度以下にすることができる。したがって、本実施形態に係る測定装置１００によれば、精度を向上させつつ、小型、低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。
【００４１】
以上の本実施形態に係る測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０を用いて、第１ミラー１１４を移動させることを説明した。これに代えて、測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０を用いて、第２ミラー１１６を移動させてもよい。即ち、第１ミラー１１４が固定鏡であり、第２ミラー１１６が移動鏡であってもよく、この場合、コイル１４０は、第２ミラー１１６の近傍に配置されて当該第２ミラー１１６をＹ方向と略平行に移動させる。
【００４２】
また、測定装置１００は、第１ミラー１１４の移動に加えて、第２ミラー１１６を更に移動させてもよい。即ち、第１ミラー１１４および第２ミラー１１６がそれぞれ移動鏡であってもよい。この場合、測定装置１００は、第１ミラー１１４に対応する磁石１３０およびコイル１４０に加えて、第２ミラー１１６に固定された第２磁石と、第２磁石を第２ミラー１１６ごと移動させる第２コイルを備えてよい。また、測定装置１００は、第２ミラー１１６の位置に応じた磁場を検出する第２磁気センサを更に備えてもよい。
【００４３】
磁石１３０、コイル１４０、および磁気センサ１５０は、小型に形成することができるので、測定装置１００は、複数の光学部品に対応してこれらをそれぞれ設け、当該複数の光学部品をそれぞれ移動可能にしてよい。測定装置１００は、例えば、第１ミラー１１４および第２ミラー１１６を移動可能とすることにより、対象波長の掃引幅および掃引速度を向上させることができる。また、一方の可動鏡が故障した場合に、他方の移動鏡を移動させることにより、装置を長寿命化させることもできる。
【００４４】
図４は、本実施形態に係る吸着部１０２が、外気の気体成分の濃度に対して気体成分を吸着する吸着量の一例を示す。図４の横軸は、外気の気体成分の濃度を示し、縦軸は吸着部１０２に吸着される吸着量を示す。なお、気体成分の濃度は、気体の圧力としてもよい。また、気体の温度は一定温度とする。
【００４５】
測定部１７０は、吸着部１０２における光成分の光吸収量と、吸着部１０２における気体成分の吸着量との関係を予め測定して記憶してよい。これにより、測定部１７０は、光成分の光吸収量に応じた吸着部１０２の吸着量を算出できる。そして、測定部１７０は、図４に示すような気体成分の濃度および吸着量の関係を用いて、算出した吸着量に対応する気体成分の濃度を測定結果として算出できる。
【００４６】
測定装置１００は、図４に示すような気体成分の濃度に対する吸着部１０２の吸着量の関係を予め測定して、記憶部等に記憶してよい。また、測定装置１００は、ＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ−Ｅｍｍｅｔｔ−Ｔｅｌｌｅｒ）型吸着等温線、Ｆｒｅｕｎｄｌｉｃｈ型吸着等温線、およびＬａｎｇｍｕｉｒ型吸着等温線等の換算式を用いてもよい。
【００４７】
以上の本実施形態に係る測定装置１００は、吸着部１０２の吸着剤に外気を吸着させ、周囲の外気と比較して吸着部１０２に吸着させた外気の濃度を高める。そして、測定装置１００は、入射光の光路上において吸着部１０２の前に設けられた光学系１１０により、光学系１１０の入射光における対象波長の光成分を抽出して、吸着部１０２に照射する。測定装置１００は、吸着部１０２および光学系１１０を通過した光成分を検出し、検出された光成分を測定する。これにより、測定装置１００は、検出された光成分を用いて、吸着剤に吸着された測定対象の気体成分を測定することができ、例えば、ガスセンサとして機能することができる。
【００４８】
これに代えて、測定装置１００は、吸着部１０２の吸着剤に外気を吸着させ、周囲の外気と比較して吸着部１０２に吸着させた外気の濃度を高め、入射光を吸着部１０２に照射する。測定装置１００は、入射光の光路上において吸着部１０２の後ろに設けられた光学系１１０により、吸着部１０２を透過した入射光における対象波長の光成分を抽出する。測定装置１００は、吸着部１０２および光学系１１０を通過した光成分を検出し、検出された光成分を測定する。これにより、測定装置１００は、検出された光成分を用いて、吸着剤に吸着された測定対象の気体成分を測定することができ、例えば、ガスセンサとして機能することができる。
【００４９】
図５は、本実施形態に係る測定装置１００の第３構成例を示す。図５に示す第３構成例の測定装置１００において、図３に示された第２構成例の測定装置１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第３構成例の測定装置１００は、磁石１３０が筐体に固定され、コイル１４０が第１ミラー１１４に取り付けられた例を示す。また、第３構成例の測定装置１００は、脱気部１８０を更に備える。
【００５０】
第３構成例の測定装置１００の場合、磁石１３０は、磁性材料等の芯の周囲にコイルが巻かれ、当該コイルに電流を流すことによって磁場が発生する電磁石でよい。駆動部１６０は、磁石１３０に電流を供給することにより、コイル１４０を吸引して第１ミラー１１４を移動させる。また、測定装置１００は、このような磁石１３０を複数備えてよく、駆動部１６０は、複数の磁石１３０にそれぞれ供給する電流を変更して、第１ミラー１１４を移動させてよい。この場合、測定装置１００は、コイル１４０に代えて、またはコイル１４０に加えて、ヨークを備えてもよい。
【００５１】
これに代えて、駆動部１６０は、第１ミラー１１４に取り付けられたコイル１４０に電流を供給し、筐体に固定された磁石１３０を吸引または反発させて第１ミラー１１４を移動させてもよい。また、駆動部１６０は、同様に、第２ミラー１１６を移動させてもよい。
【００５２】
また、第３構成例の測定装置１００は、光学部品に取り付けられた位置検出用磁石２１０を更に備える。この場合、磁気センサ１５０は、測定装置１００の筐体に対して固定される。駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された、位置検出用磁石２１０による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定する。
【００５３】
これに代えて、第２構成例の測定装置１００は、磁気センサ１５０が光学部品に取り付けられ、位置検出用磁石２１０が測定装置の筐体に対して固定されてもよい。この場合においても、駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された、位置検出用磁石２１０による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定することができる。
【００５４】
脱気部１８０は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気する。脱気部１８０は、一例として、吸着部１０２を加熱する加熱部を有し、吸着部１０２に含まれる吸着剤を加熱することにより、当該吸着剤に吸着された外気を脱気する。ここで、加熱部は、電熱線等のヒータでよい。この場合、脱気部１８０は、駆動部１６０から電流が供給されてよい。これにより、駆動部１６０および脱気部１８０の電源回路を共通化できるので、回路の実装面積等を小さくすることができる。脱気部１８０は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気して、吸着部１０２を初期化させてよい。
【００５５】
この場合、測定部１７０は、脱気部１８０による脱気をしていない状態において光センサ部１２０により検出された光成分と、脱気部１８０による脱気をした状態において光センサ部１２０により検出された光成分との強度差を用いて、測定対象の気体成分を測定してよい。即ち、測定部１７０は、初期化した吸着部１０２を用いた測定結果と、外気を吸着させた吸着部１０２を用いた測定結果とを比較することで、外気の光吸収スペクトルを測定し、当該光吸収スペクトルに基づき、外気に含まれる気体成分を特定してよい。なお、脱気部１８０による吸着部１０２の初期化は、外気を吸着させた吸着部１０２を用いた測定の前に実行してよく、これに代えて、外気を吸着させた吸着部１０２を用いた測定の後に実行してもよい。
【００５６】
なお、測定装置１００が連続して測定する場合、測定部１７０による気体成分の濃度の測定結果が、前回の測定結果と比較して低減したことに応じて、脱気部１８０は、吸着部１０２を脱気してよい。即ち、例えば、一の測定タイミングにおいて測定対象の気体成分の濃度が前回の測定タイミングにおける測定対象の気体成分の濃度以下であると判定されたことに応じて、脱気部１８０は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気する。
【００５７】
そして、測定部１７０は、一の測定タイミングにおいて吸着部１０２に吸着された外気が脱気されたことに応じて、一の測定タイミングにおける測定対象の気体成分の濃度を再測定する。これにより、気体成分の濃度が低減しても、脱気部１８０が吸着部１０２を初期化するので、吸着部１０２に前回までの測定において吸着された外気が、次の測定のバックグラウンドノイズとなることを防止して、測定装置１００は、精度良く外気を測定することができる。なお、図２および図３で説明した測定装置１００においても、このような脱気部１８０を有してよい。
【００５８】
図６は、本実施形態に係る測定装置１００の第４構成例を示す。図６に示す第４構成例の測定装置１００において、図３および図５に示された本実施形態に係る測定装置１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。
【００５９】
第４構成例の測定装置１００は、磁石１３０が第１ミラー１１４に取り付けられ、コイル１４０が筐体に固定された例を示す。この場合の磁石１３０およびコイル１４０の動作は、図３で説明した動作と略同一である。また第４構成例の測定装置１００は、光学部品に取り付けられた位置検出用磁石２１０を更に備える。磁気センサ１５０は、測定装置１００の筐体に対して固定される。駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された、位置検出用磁石２１０による磁場の強さを用いて、光学部品の位置を特定する。
【００６０】
以上の第３構成例および第４構成例で示した測定装置１００のように、光学部品を移動させる場合に用いる磁石と、光学部品の位置を特定する場合に用いる磁石は、別個独立に設けられてよい。このような第４構成例で示した測定装置１００においても、外気を吸着させる吸着部１０２を用いるので、精度を向上させつつ、小型、低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。また、測定装置１００は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気する脱気部１８０を有してよい。
【００６１】
図７は、本実施形態に係る測定装置１００の第５構成例を示す。図７に示す第５構成例の測定装置１００において、図３に示された本実施形態に係る測定装置１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第５構成例の測定装置１００は、光学系１１０が、光学部品として分光プリズム２２０を有する。分光プリズム２２０は、入射光が光センサ部１２０に受光される前に当該分光プリズム２２０を通過するように、入射光の入力部および光センサ部１２０の間に設けられる。
【００６２】
分光プリズム２２０は、入射光を波長分散させて光スペクトルを出射する。即ち、分光プリズム２２０は、入射光を波長に応じた方向に屈折させて射出する。したがって、光センサ部１２０を対象波長に対応する屈折方向に配置することで、当該光センサ部１２０は、当該対象波長の光成分を受光できる。また、複数の対象波長の屈折方向が光センサ部１２０の方向を向くように分光プリズム２２０を移動させることで、光センサ部１２０は、複数の対象波長の光成分を分光プリズム２２０の移動に伴って受光できる。
【００６３】
そこで、第５構成例の測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０のうちの一方を、測定装置１００の筐体に固定し、他方を分光プリズム２２０に取り付ける。そして、駆動部１６０は、コイル１４０に駆動電流を流して光学部品である分光プリズム２２０を駆動して、対象波長を変更する。駆動部１６０は、入射光の分光プリズム２２０に対する入射角を変更させるように、分光プリズム２２０を移動させる。駆動部１６０は、例えば、ＸＹ平面における−Ｙ方向に入射光が入射する場合、当該ＸＹ平面と略垂直なＺ方向を回転軸として分光プリズム２２０を回転させる。
【００６４】
図７は、分光プリズム２２０に磁石１３０を取り付け、コイル１４０を測定装置１００の筐体に固定した例を示す。測定装置１００は、図３で説明したように、コイル１４０に対して固定された位置に設けられる磁気センサ１５０が設けられてよく、この場合、駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された磁場の強さを用いて分光プリズム２２０の位置を特定してよい。また、駆動部１６０は、特定した分光プリズム２２０の位置を用いて、分光プリズム２２０の位置をフィードバック制御してよい。
【００６５】
なお、本実施形態における測定装置１００においても、図５および図６で説明したように、コイル１４０が分光プリズム２２０に取り付けられて磁石１３０が固定されてよく、また、位置検出用磁石２１０が更に設けられてもよい。
【００６６】
本実施形態における測定装置１００は、分光プリズム２２０を移動させて対象波長を変更する例を説明したが、これに代えて、光センサ部１２０を移動させてもよい。分光プリズム２２０は、入射光を波長に応じた方向に屈折させて射出するので、光センサ部１２０を対象波長に対応する位置に配置することで、当該光センサ部１２０は、対象波長の光成分を受光することができる。したがって、光センサ部１２０を複数の対象波長に対応する複数の位置に移動させれば、当該光センサ部１２０は、当該複数の対象波長の光成分を移動に伴って受光することができる。
【００６７】
そこで、測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０のうちの一方を、測定装置１００の筐体に固定し、他方を光センサ部１２０に取り付けてよい。そして、駆動部１６０は、コイル１４０に駆動電流を流して光センサ部１２０を駆動して、対象波長を変更する。この場合、磁気センサ１５０は、光センサ部１２０に取り付けられた磁石１３０または位置検出用磁石２１０の磁場を検出し、駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された磁場の強さを用いて光センサ部１２０の位置を特定してよい。
【００６８】
また、測定装置１００は、分光プリズム２２０および光センサ部１２０をそれぞれ移動させてもよい。以上のように、第５構成例の測定装置１００は、分光プリズム２２０および／または光センサ部１２０を磁石１３０およびコイル１４０を用いて移動させて、光スペクトルを測定することができるので、図３で説明したように、測定対象の光吸収スペクトルを測定することもできる。
【００６９】
この場合、分光プリズム２２０は、光路上において吸着部１０２の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する。また、測定装置１００は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気する脱気部１８０を有してよい。即ち、本実施形態に係る測定装置１００においても、精度を向上させつつ、小型かつ低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。また、測定装置１００は、測定タイミングに対応させて、吸着部１０２を初期化させることができる。
【００７０】
図８は、本実施形態に係る測定装置１００の第６構成例を示す。図８に示す第６構成例の測定装置１００において、図３および図７に示された本実施形態に係る測定装置１００の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第６構成例の測定装置１００は、光学系１１０が光学部品としてのエタロン２３０を含むファブリペロー干渉計である。エタロン２３０は、入射光が光センサ部１２０に受光される前に当該エタロン２３０を通過するように、入射光の入力部およびエタロン２３０の間に設けられてよい。
【００７１】
エタロン２３０は、入射光を多重干渉させる２つの対向する反射面を有し、当該２つの反射面の光路差に応じた周期的な透過ピークを有する波長フィルタである。したがって、エタロン２３０は、２つの対向する反射面の間隔に応じた波長を透過させる波長フィルタとなる。また、エタロン２３０の２つの反射面に入射光が入射する角度に応じて、当該２つの反射面に対する当該入射光の光路差が変化するので、当該エタロン２３０の透過波長は、入射角度に応じて変化することになる。
【００７２】
したがって、測定装置１００がエタロン２３０の入射光に対する角度を調整することで、当該エタロン２３０の透過波長を対象波長に略一致させることができ、光センサ部１２０は、当該対象波長の光成分を受光できる。また、測定装置１００が、エタロン２３０の透過波長を複数の対象波長と一致させるようにエタロン２３０を移動させることで、光センサ部１２０は、複数の対象波長の光成分をエタロン２３０の移動に伴って受光できる。
【００７３】
そこで、第６構成例の測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０のうちの一方を、測定装置１００の筐体に固定し、他方をエタロン２３０に取り付ける。そして、駆動部１６０は、コイル１４０に駆動電流を流して光学部品であるエタロン２３０を駆動して、対象波長を変更する。駆動部１６０は、入射光のエタロン２３０に対する入射角を変更させるように、エタロン２３０を移動させる。駆動部１６０は、例えば、ＸＹ平面における−Ｙ方向に入射光が入射する場合、当該ＸＹ平面と略垂直なＺ方向を回転軸としてエタロン２３０を回転させる。
【００７４】
図８は、エタロン２３０に磁石１３０を取り付け、コイル１４０を測定装置１００の筐体に固定した例を示す。測定装置１００は、図３で説明したように、コイル１４０に対して固定された位置に設けられる磁気センサ１５０が設けられてよく、この場合、駆動部１６０は、磁気センサ１５０により検出された磁場の強さを用いてエタロン２３０の位置を特定してよい。また、駆動部１６０は、特定したエタロン２３０の位置を用いて、エタロン２３０の位置をフィードバック制御してよい。
【００７５】
なお、本実施形態における測定装置１００においても、図５および図６で説明したように、コイル１４０がエタロン２３０に取り付けられて磁石１３０が固定されてよく、また、位置検出用磁石２１０が更に設けられてもよい。以上のように、第６構成例の測定装置１００は、エタロン２３０を磁石１３０およびコイル１４０を用いて移動させて、複数の対象波長の光成分を測定することができるので、測定対象の光吸収スペクトルを測定することもできる。
【００７６】
この場合、エタロン２３０は、光路上において吸着部１０２の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する。また、測定装置１００は、吸着部１０２に吸着された外気を脱気する脱気部１８０を有してよい。即ち、本実施形態に係る測定装置１００においても、精度を向上させつつ、小型かつ低コストで、複数の対象波長の光成分を測定することができる。また、測定装置１００は、測定タイミングに対応させて、吸着部１０２を初期化させることができる。
【００７７】
以上の本実施形態に係る測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０を用いて光学系１１０の光学部品および／または光センサ部１２０を移動させて、測定すべき対象波長を変更して、複数の対象波長の光成分を測定することを説明した。ここで、光学系１１０の光学部品は、図３、図５から図８で説明したミラー、分光プリズム、およびエタロンといった光学部品に限定されない。光学部品は、グレーティング、長手方向の位置に応じて通過波長が異なるバンドパスフィルタ、液晶フィルタ、または導波路型フィルタ等でもよい。また、これらの場合においても、光学部品は、光路上において吸着部１０２の前または後ろに設けられ、入射光における対象波長の光成分を抽出する。
【００７８】
以上のように、本実施形態に係る測定装置１００は、吸着部１０２を用いて外気の気体成分を吸着させて濃度を高め、高い検出感度で光吸収を測定する。したがって、測定装置１００は、光路長を長くすること、および、光軸調整等の複雑な手間が増加するなしに、測定精度を向上させることができる。
【００７９】
これに加えて、測定装置１００は、吸着部１０２を駆動させてもよい。この場合、測定装置１００は、対象波長の光成分の光路上に吸着部１０２が無い場合を初期状態として測定し、初期状態の測定結果と当該光路上に吸着部１０２を移動させた場合の測定結果とを用いて、外気を測定できる。この場合、磁石およびコイルのうちの一方を、測定装置１００の筐体に固定し、他方を吸着部１０２に取り付ける。そして、駆動部１６０は、コイルに駆動電流を流して吸着部１０２を駆動して、光路上に吸着部１０２を挿入するか否かを切り換えてよい。
【００８０】
また、測定装置１００は、吸着部１０２の温度を検出する温度センサを備えてよい。また、測定装置１００は、吸着部１０２の温度を調節する温度調節部を更に備えてもよい。これにより、測定装置１００は、吸着部１０２の気体成分の吸着量を制御することができる。なお、温度調節部は、駆動部１６０の一部または駆動部１６０と一体に形成されてよい。
【００８１】
測定装置１００は、磁石１３０およびコイル１４０を用いた簡素な構成で光学部品等を移動させて対象波長を変更するので、当該測定装置１００を小型にすることができる。したがって、このような測定装置１００は、携帯型の測定装置として形成されてよく、また、携帯型の装置または携帯端末等に組み込まれてもよい。測定装置１００が携帯端末に組み込まれた場合の例を次に説明する。
【００８２】
図９は、本実施形態に係る携帯端末３００の構成例を示す。携帯端末３００は、例えば、スマートフォン、携帯電話、タブレット型ＰＣ、時計、またはパソコン等である。携帯端末３００は、測定装置１００と、筐体３１０と、情報処理部３２０と、無線通信部３３０と、表示部３４０と、光源部３５０と、を備える。測定装置１００は、以上で説明した測定装置１００のうちのいずれかでよい。本実施形態において、測定装置１００は、携帯端末３００の周囲の外気に含まれる気体の成分を測定するガスセンサとして機能する例を説明する。
【００８３】
筐体３１０は、測定装置１００を含む各部を収容する。筐体３１０は、外気を測定装置１００の測定対象とするように、外気を内部に取り入れる穴部３１２を有する。測定装置１００は、穴部３１２から取り入れた外気に含まれる気体の成分を測定する。
【００８４】
情報処理部３２０は、情報処理を行う。情報処理部３２０は、ＣＰＵを含み、通信、データ処理、および計算処理等を実行してよい。また、情報処理部３２０は、測定装置１００の測定部１７０として機能してもよい。
【００８５】
無線通信部３３０は、ネットワークを介して外部と通信する。無線通信部３３０は、インターネットへのアクセス、メール送受信、および電話機能等を実行してよい。また、無線通信部３３０は、測定装置１００の測定結果を、ネットワークを介して外部に送信してもよい。また、無線通信部３３０は、測定装置１００の動作指示、動作プログラムの更新、および用いるデータの更新等を、ネットワークを介して外部から受信してもよい。
【００８６】
表示部３４０は、筐体の一の面に設けられ、画面を表示する。表示部３４０は、情報処理部３２０の処理結果、処理状況、および処理データ等を表示してよい。また、表示部３４０は、測定装置１００の測定結果を表示してよい。
【００８７】
光源部３５０は、測定装置１００に入射光を供給する。光源部３５０は、赤外波長領域の光を出射することが望ましい。光源部３５０は、ＬＥＤ、ＬＤ、ランプ、およびヒータ等でよい。光源部３５０は、筐体３１０における一の面と平行でない面に略垂直に入射光を測定装置１００に供給してよい。即ち、光源部３５０は、携帯端末３００の側面側から当該一の面に略平行に光を照射してよい。これにより、携帯端末３００の厚さが増加することを低減させて、測定装置１００を当該携帯端末３００に搭載することができる。
【００８８】
以上のように、測定装置１００は、携帯端末３００に搭載され、携帯型のガスセンサとして機能してよい。本実施形態に係る携帯端末３００は、光源部３５０を備え、測定装置１００に入射光を供給することを説明したが、これに限定されるものではない。例えば、携帯端末３００は、太陽光、照明、および街灯等を光源として用いる。また、携帯端末３００は、発熱体、暖房装置、および動物の体温等、外部の熱源等を光源として用いてもよい。
【００８９】
この場合、携帯端末３００は、筐体３１０に光入力用の穴部を設けることで、外部から入射する光を光源として用いることができる。なお、筐体３１０は、表示部３４０が設けられる位置の面と略垂直な側面側に光入力用の穴部が設けられてよい。そして、測定装置１００は、筐体３１０における一の面と平行でない面から入射光を入射してよい。
【００９０】
これに代えて、携帯端末３００は、内部の発熱体を光源として用いてもよい。この場合、測定装置１００は、情報処理部３２０、無線通信部３３０、または電源の少なくとも一部の部品から放射される赤外光を入射光として受けてよい。これにより、測定装置１００は、更に小型化することができる。
【００９１】
以上の本実施形態に係る携帯端末３００は、測定装置１００を搭載してガスセンサの機能を加えたデバイスの例を説明した。これに代えて、測定装置１００は、単独のセンサ装置として形成されてもよい。このようなセンサ装置は、例えば、赤外光を出力する光源部と、測定装置１００を備え、当該測定装置１００は、光源部からの赤外光を入射光として受ける。これにより、高精度、小型、かつ、低コストのガスセンサ等を提供することができるので、このようなセンサ装置を複数個所に設置することで、異常等の発生をより早期に発見することができる。
【００９２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００９３】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００９４】
１０  検出装置、１２  光フィルタ、１４  光センサ部、１００  測定装置、１０２  吸着部、１１０  光学系、１１２  ビームスプリッタ、１１４  第１ミラー、１１６  第２ミラー、１２０  光センサ部、１３０  磁石、１４０  コイル、１５０  磁気センサ、１６０  駆動部、１７０  測定部、１８０  脱気部、２１０  位置検出用磁石、２２０  分光プリズム、２３０  エタロン、３００  携帯端末、３１０  筐体、３１２  穴部、３２０  情報処理部、３３０  無線通信部、３４０  表示部、３５０  光源部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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