(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置であって、
前記包装袋を載置するテーブルと、
前記テーブルをスライド移動させるスライド機構と、
前記テーブル上の前記包装袋を囲う位置に配設されるガイド枠と、
前記テーブル上の前記包装袋に挿入させて気体を注入する注入管と、
前記注入管を前記包装袋に対して前進および後退させる駆動機構と、
前記ガイド枠に配設されており、前記注入管により気体が注入されて膨張した状態の前記包装袋の外周面を吸着して該ガイド枠に保持する吸着盤と、
前記ガイド枠に保持された状態の前記包装袋の切断を行う切断機構と、
を備えること
を特徴とする開封装置。
【請求項２】
昇降移動可能に設けられたバーを有し、該バーで前記切断機構により切断された状態の前記包装袋を押し下げて開封する開封機構を備えること
を特徴とする請求項１記載の開封装置。
【請求項３】
前記切断機構は、前記包装袋の切断を行うカッターとして、固定刃カッター、回転刃カッター、もしくは、熱溶融カッターを有し、
前記カッターを、前記包装袋の全周もしくはその一部に沿って移動させる移動機構をさらに備えること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の開封装置。
【請求項４】
前記移動機構として、少なくとも前記包装袋の一側面、上面、および他側面に沿う周回軌道を有するチェーンもしくはベルトと、該チェーンもしくはベルトの駆動および支持を行うギヤもしくはプーリーとが、前記ガイド枠に保持されて設けられており、
前記カッターは、前記チェーンもしくはベルトに固定されていること
を特徴とする請求項３記載の開封装置。
【請求項５】
前記吸着盤は、前記周回軌道に沿って前記カッターを挟み込むように二列で配設されていること
を特徴とする請求項４記載の開封装置。
【請求項６】
前記二列に配設されたそれぞれの前記吸着盤は、前記周回軌道に沿う方向において複数の吸着部に仕切られていること
を特徴とする請求項５記載の開封装置。
【請求項７】
前記切断機構は、前記包装袋の切断を行うカッターとして、固定刃カッターを有し、
前記固定刃カッターは、長手方向の両端にＶ字状の切欠き溝を有し、少なくとも該切欠き溝の端部寄りの一辺が切断用の刃として形成されると共に、該一辺の上端縁が切り込み用の尖った刃先として形成されており、全体として長手方向において対称な形状に形成されていること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の開封装置。
【請求項８】
前記切断機構は、前記包装袋の切断を行う熱線を有し、
前記熱線は、少なくとも前記包装袋の一側面、上面、および他側面を囲うように張設されており、
前記熱線の内径を縮径させて前記包装袋に当接させる熱線移動機構をさらに備えること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の開封装置。
【請求項９】
前記テーブルのスライド移動方向における前方もしくは後方の少なくとも一方に配設されており、前記注入管により気体が注入されて膨張した状態の前記包装袋の外周面が当接してさらに膨張することを規制する規制板を備えること
を特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の開封装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開封装置に関し、さらに詳細には、ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」という）を製造するメーカーから、当該ウェーハを加工して使用するデバイスメーカーへ向けて輸送を行う場合等のような、いわゆるウェーハの工場間輸送に際して、従来より、ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）に例示されるウェーハの保持（収納）を行う容器（以下、「ウェーハ保持容器」という）が用いられている。
【０００３】
ウェーハ保持容器を用いるウェーハの輸送においては、輸送中における損傷や汚染等を防止するために、ウェーハを保持したウェーハ保持容器をさらに樹脂製の包装袋に収納し、袋口を密封した状態で行われることが一般的である。一例として、ウェーハ保持容器を樹脂製の包装袋によって包装する包装装置が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−５８９５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、特許文献１に例示される包装装置のように、ＦＯＳＢに例示されるウェーハ保持容器の工場間輸送を行うために当該ウェーハ保持容器を包装袋で包装する技術が開示されている。しかし、その一方で、包装された包装袋からウェーハ保持容器を取り出す場合においては、依然として作業者がハンドカッターを用いて人力により一つずつ包装袋を開封して取り出す作業を行っている。例えば、ウェーハ保持容器は５〜１０ｋｇ程度の重量があり、且つ、一日で数百個程度の開封を必要とする場合が多いために、上記の人力による作業は、非常に効率が悪く、また重労働となっていた。さらに、開封作業中に誤ってウェーハ保持容器を落下させてしまう等の事故が発生する危険性もあった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされ、ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行うことが可能な開封装置を実現することによって、当該開封作業の効率化と重労働の解消を図ると共に、ウェーハ保持容器の落下等の事故防止を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。
【０００８】
本発明に係る開封装置は、ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置であって、前記包装袋を載置するテーブルと、前記テーブルをスライド移動させるスライド機構と、前記テーブル上の前記包装袋を囲う位置に配設されるガイド枠と、前記テーブル上の前記包装袋に挿入させて気体を注入する注入管と、前記注入管を前記包装袋に対して前進および後退させる駆動機構と、前記ガイド枠に配設されており、前記注入管により気体が注入されて膨張した状態の前記包装袋の外周面を吸着して該ガイド枠に保持する吸着盤と、前記ガイド枠に保持された状態の前記包装袋に切り込みを入れて切断を行う切断機構と、を備えることを要件とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置が実現できるため、従来、人力によって行っていた開封作業を機械装置によって行うことが可能となる。これにより、開封作業の効率化と重労働の解消を図ることが可能となる。また、開封作業中にウェーハ保持容器を落下させてしまう等の事故を防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る開封装置の例を示す概略図（斜視図）である。
【図２】図１の開封装置の内部構造を示す概略図（斜視図）である。
【図３】図１の開封装置の内部構造を示す概略図（正面図）である。
【図４】図１の開封装置のテーブルの変形例を示す概略図（側面図）である。
【図５】図１の開封装置のカッター刃の例を示す概略図である。
【図６】図１の開封装置の開封機構の例を示す概略図（側面図）である。
【図７】本発明の第二の実施形態に係る開封装置の内部構造を示す概略図（正面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第一の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明の第一の実施形態について詳しく説明する。図１は、本発明の実施形態に係る開封装置１の例を示す斜視図（概略図）である（ウェーハ保持容器２に保持されているウェーハＷは不図示）。また、図２は、開封装置１においてガイド枠３０の化粧パネル３４を取り外した状態の内部構造を示す斜視図（概略図）である（構造を分かり易く示すため、ウェーハ保持容器２および包装袋３は不図示）。また、図３は、開封装置１においてガイド枠３０の化粧パネル３４を取り外した状態の内部構造を示す正面図（概略図）である（装置の上部は不図示）。ここで、包装袋３に関しては表示する図中において二点鎖線で示している。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
【００１２】
この開封装置１は、ＦＯＳＢに例示されるウェーハ保持容器２が内部に収容された状態で密封包装された包装袋３を切断して開封する装置である。例えば、外径３００［ｍｍ］のウェーハＷに対応するウェーハ保持容器２を収容する場合には、包装袋３の外形は一辺５００［ｍｍ］程度の略直方体（立方体）形状となる。ここで、包装袋３の形成材料としては、一般的に、ナイロン、ポリアミド、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂材料が用いられる。なお、異種材料を用いた二層あるいは三層等の積層構造を有するものもある。さらには、アルミニウム等の金属が蒸着されたものもある。
【００１３】
本実施形態に係る開封装置１は、図１〜図３に示すように、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３を載置するテーブル１０と、当該テーブル１０をスライド移動させるスライド機構１２とを備えている。スライド機構１２の例として、水平レール１２Ａが設けられると共に、これに係合して転動する車輪１１がテーブル１０の裏面に設けられている。なお、テーブル１０をスライド移動させる機構として、本実施形態においては手動で押動する構成としているが、これに限定されるものではなく、駆動源としてエアシリンダ、サーボモータ等を用いる構成としてもよい（不図示）。
【００１４】
概略の動作例は次の通りである。先ず、テーブル１０を水平レール１２Ａの前端部１２ａの位置に移動させて、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３を載置させる。次いで、テーブル１０を水平レール１２Ａの後端部１２ｂの位置に移動させて、包装袋３を切断して開封する。次いで、テーブル１０を水平レール１２Ａの前端部１２ａの位置に移動させて、包装袋３からウェーハ保持容器２を取り出すと共に、切断した包装袋３を取り除く。
【００１５】
なお、変形例として、テーブルとスライド機構とを兼ねる機構としてベルトコンベアを配設し、当該ベルトコンベアによってウェーハ保持容器２を収容した包装袋３の載置およびスライド移動を行う構成としてもよい（不図示）。
【００１６】
ここで、開封装置１は、包装袋３の切断・開封を行うために、以下の特徴的な機構を備えている。
【００１７】
先ず、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３をテーブル１０上に載置した状態で、当該包装袋３に挿入させて気体を注入する注入管２０と、包装袋３に対して注入管２０を前進（図３中における上昇動作）させて挿入する作用と後退（図３中における下降動作）させて抜き取る作用とを成す駆動機構２２とを備えている。なお、当該気体の例としては、空気、あるいは窒素等の不活性ガスが挙げられる。
【００１８】
注入管２０の例として、内径３〜６［ｍｍ］程度の金属製の管状部材が用いられる。注入管２０の先端部は包装袋３への挿入が容易になるように軸線方向とのなす角が１５０［°］程度の傾斜を有するように斜めに切断されており、後端部は気体供給機構（不図示）に連通するように構成されている。
【００１９】
一方、駆動機構２２の例として、注入管２０を包装袋３へ向けた進退（ここでは、上下動）を行うために、エアシリンダにより駆動する構成としている。ただし、これに限定されるものではなく、駆動源としてサーボモータ等を用いる構成としてもよい（不図示）。なお、図１、図２中の符号１４は、駆動機構２２等の駆動制御を行う制御部である。
【００２０】
概略の動作例は次の通りである。前述の通り、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３を載置したテーブル１０を水平レール１２Ａの後端部１２ｂの位置に移動させる。その位置で、駆動機構２２を駆動させて注入管２０を移動（ここでは上昇）させ、その先端部を包装袋３の内部へ挿入させる。次いで、注入管２０から包装袋３の内部へ気体を送出して包装袋３を膨張させる。その状態で、包装袋３の切断・開封動作を実行する。
【００２１】
ここで、テーブル１０の変形例を図４に示す（包装袋３は不図示）。この変形例に係るテーブル１０には、注入管２０により気体が注入されて膨張した状態の包装袋３の外周面が当接してさらに膨張することを規制するための規制板１６が設けられている。一例として、規制板１６は、テーブル１０のスライド移動方向における前方（水平レール１２Ａの後端部１２ｂ側）に配設されている。ただし、これには限定されず、テーブル１０のスライド移動方向における後方（水平レール１２Ａの前端部１２ａ側）に設けてもよく、あるいは前方および後方の両方に設けてもよい（いずれも不図示）。
【００２２】
なお、規制板１６の形状は、一例として、テーブル１０の幅と同程度の幅、および、ウェーハ保持容器２の高さと同程度の高さを有する板状に形成されている。ただし、これには限定されず、格子状、メッシュ状等の部材を用いて形成される構成としてもよい。
【００２３】
次に、開封装置１は、テーブル１０が切断・開封動作を実行するための所定位置（ここでは、水平レール１２Ａの後端部１２ｂに移動した位置）において、当該テーブル１０上の包装袋３を囲う位置に配設されるガイド枠３０を備えている。本実施形態に係るガイド枠３０は、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３の一側面３ａ、上面３ｂ、および他側面３ｃに沿う逆Ｕ字状のゲート形状に構成されている。
【００２４】
このガイド枠３０には、ゲート状部分の内周部において包装袋３を囲う配置（ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３の一側面３ａ、上面３ｂ、および他側面３ｃに対向する位置）で吸着盤３２が配設されている。当該吸着盤３２は、注入管２０により気体が注入されて包装袋３が膨張したとき、包装袋３の外周面（ここでは、一側面３ａ、上面３ｂ、および他側面３ｃ）を吸着してガイド枠３０に保持する作用をなす部材である。より具体的には、包装袋３と対向する前部に吸着部となる開口部３２ａを有しており、後部は真空吸引を行う真空源（不図示）に連通するように構成されている。
【００２５】
ここで、開封装置１は、吸着盤３２で吸着されてガイド枠３０に保持された状態の包装袋３の切断を行う切断機構３８を備えている。本実施形態に係る切断機構３８は、当該包装袋３に切り込みを入れて切断を行うカッター４０が、包装袋３と当接する位置に設けられる構成となっている。
【００２６】
当該カッター４０の例としては、図３等に示すように固定刃カッターを用いる構成が挙げられる（詳細は後述）。あるいは、変形例として、回転刃カッターを用いる構成としてもよい（不図示）。さらに別の変形例として、熱溶融カッターを用いる構成としてもよい（不図示）。ここで、熱溶融カッターとは、加熱可能な熱線・熱板等の部材を有し、当該部材によって対象物（包装袋３）を溶融して切断を行うカッターの総称である。
【００２７】
さらに、開封装置１は、カッター４０を、包装袋３の外周に沿って移動させる移動機構５０を備えている。
【００２８】
本実施形態に係る移動機構５０は、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３の一側面３ａ、上面３ｂ、および他側面３ｃに沿う逆Ｕ字状の周回軌道を有するチェーン５２と、チェーン５２の駆動および支持を行うギヤ５４Ａ、５４Ｂが、ガイド枠３０に保持され、テンショナー５６が、チェーン５２の伸びを吸収するように設けられている。例えば、図２中、符号５４Ａが駆動（および支持）を行うギヤであり、符号５４Ｂが支持を行うギヤである。なお、本実施形態においては、ギヤ５４Ａはサーボモータ等で駆動される構成としている。また、テンショナー５６の有無、および、ギヤ５４Ａ、５４Ｂの数は、チェーン５２の長さ等の条件に応じて適宜、設定すればよい。
【００２９】
ここで、カッター４０は、ギヤ５４Ａ、５４Ｂとチェーン５２との噛合を阻害しない位置（例えば、チェーン５２の側面位置）で当該チェーン５２に固定されている。一例として、カッター４０を複数個備える構成となっているが、一つのみ備える構成としてもよい（不図示）。
【００３０】
特に、開封装置１は、主としてウェーハを保持したウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う装置として使用されるため、コンタミネーションを防止することが極めて重要となる。この点、本実施形態においては、潤滑剤を必要としない樹脂材料（例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ナイロン等）を用いてチェーン５２およびギヤ５４Ａ、５４Ｂを構成している。これにより、移動機構５０における機械的強度、耐摩耗性を高めつつ、当該移動機構５０を駆動してカッター４０により包装袋３を切断する際にもコンタミネーションの防止を図ることができる。
【００３１】
なお、変形例として、チェーンおよびギヤは、それぞれベルトおよびプーリーに代えて構成してもよい（不図示）。
【００３２】
ここで、図２に示すように、本実施形態に係る吸着盤３２は、周回軌道で移動するカッター４０を挟み込むように、当該周回軌道に沿って（すなわち、ガイド枠３０のゲート状部分の内周部に沿って）二列で配設されている（図中、符号３２Ａ、３２Ｂ）。これによれば、カッター４０が通過する位置を挟み込む両側で包装袋３を吸着して保持することができる。したがって、カッター４０により包装袋３に切り込みを入れる作用および切断を行う作用を確実に行うことが可能となる。
【００３３】
なお、二列に配設された吸着盤３２Ａ、３２Ｂは、それぞれ、周回軌道に沿う方向において複数の吸着部（すなわち複数の開口部３２ａ）に分割配置されるように仕切り部３２ｂが設けられている。仮に、吸着盤３２Ａ、３２Ｂを、それぞれ、分割無しの一連の開口構造とした場合には、所要の吸着力を発生させるために大きな真空流量を必要とする。しかし、上記構成によれば、圧力損失を低減できる効果が得られるため、相対的に真空流量を低減することが可能となる。
【００３４】
さらに、上記の分割配置によれば、特に開口部３２ａ間に仕切り部３２ｂが設けられていることによって、包装袋３を吸着する面積が細分化されると共に、当該仕切り部３２ｂが包装袋３の吸着時に支持部として作用するため、吸着の偏りが発生することが防止できる。したがって、吸着される包装袋３によれが生じてしまうことを防止できるため、カッター４０による切断を確実に行うことができる。
【００３５】
ここで、本実施形態に係るカッター４０の例である固定刃カッターの構成例を図５に示す。当該固定刃カッターは、一般的なカッター刃と同様に炭素工具鋼、ステンレス鋼等の金属材料を用いて形成されている。ただし、特徴的な構成として、長手方向の両端においてＶ字状の切欠き溝４０ａを有しており、全体として長手方向において対称（中心線Ｌについて線対称）な形状に形成されている。この切欠き溝４０ａ内の端部寄りの一辺４０ｂが切断用の刃として形成されると共に、当該一辺４０ｂの上端縁が切り込み用の尖った刃先４０ｄとして形成されている。なお、本実施形態においては、切欠き溝４０ａ内の中央寄りの他辺４０ｃも切断用の刃として形成されている。一例として、一辺４０ｂと他辺４０ｃとの挟角αは、α＝９０［°］に設定されている。ただし、この角度に限定されるものではない。
【００３６】
上記のカッター４０（ここでは固定刃カッター）の構成によれば、尖った刃先４０ｄによって包装袋３に確実に切り込みを入れることができ、当該刃先４０ｄを包装袋３の内部に進入させることができる。ここで、図３中において破線で示したカッター４０の位置が、包装袋３に対して切り込みを入れる（開始する）位置となる。
【００３７】
また、包装袋３の切断を一辺４０ｂの刃で行うことができ、あるいは一辺４０ｂの刃の位置で切断が行われなかった場合に当該一辺４０ｂの刃に沿って包装袋３が誘導されて、一辺４０ｂと他辺４０ｃとで挟まれる切欠き溝４０ａの底部において包装袋３の切断を行うことができる。この構成によれば、気体を注入して膨張した包装袋３に切り込みを入れるとよれが発生してしまう場合があるが、そのように包装袋３によれが発生しているような場合であっても、確実に切断を行うことが可能となる。
【００３８】
また、カッター４０（ここでは固定刃カッター）は長手方向に対称の形状に形成されているため、一方の切欠き溝４０ａの刃の切れ味が低下してきた場合には、もう一方の切欠き溝４０ａで切断をするように取付位置を逆転させて使用することができる。したがって、極めて簡単に刃の切れ味を復元させることができ、カッター４０（ここでは固定刃カッター）全体を新品にする必要が無いため、コスト的にも有利である。なお、変形例として、カッター４０（ここでは固定刃カッター）は長手方向において対称（中心点Ｃについて点対称）な形状に形成してもよい（不図示）。
【００３９】
さらに、包装袋３の材質等の条件に応じて、超音波または熱をカッター４０（ここでは固定刃カッター）に作用させて、包装袋３を確実に切断できるように構成してもよい。ただし、その際は、超音波発生器（不図示）または加熱器（不図示）の追加等が必要となる。
【００４０】
次に、本実施形態に係る開封機構６０について説明する。前述の通り、ウェーハ保持容器２を収容した包装袋３は、テーブル１０に載置され、水平レール１２Ａの後端部１２ｂの位置に移動されて、切断が行われる。その位置において、開封機構６０は、カッター４０により切断された状態の包装袋３を押し下げて開封する作用をなすものである。
【００４１】
ここで、開封機構６０の概略図（側面図）を図６に示す。開封機構６０は、テーブル１０の移動方向と直交する方向（カッター４０の移動方向すなわち包装袋３の切断方向と平行の方向）に水平に保持された棒状部材であるバー６２を有しており、当該バー６２が昇降駆動機構６４の下端に固定されて昇降移動可能（図６中の矢印方向に移動可能）に構成されている。
【００４２】
本実施形態においては、バー６２および昇降駆動機構６４が、テーブル１０の移動方向の前後方向に二組設けられている。より具体的には、平面視においてウェーハ保持容器２に当接しない位置であって、包装袋３に当接する位置で、当該ウェーハ保持容器２をテーブル１０の移動方向における前後方向で挟み込むように配設されている。ただし、これには限定されず、バー６２および昇降駆動機構６４を、移動方向の前方もしくは後方において一組のみ設ける構成としてもよい（不図示）。
【００４３】
本実施形態においては、バー６２の昇降移動を行う昇降駆動機構６４の駆動源にエアシリンダを用いる構成としている。ただし、これに限定されるものではなく、駆動源としてサーボモータ等を用いる構成としてもよい（不図示）。
【００４４】
概略の動作例は次の通りである。前述の通り、包装袋３が吸着盤３２により吸着されてガイド枠３０に保持された状態で、カッター４０を用いて包装袋３に切り込みを入れ、包装袋３の外周に沿って移動させて切断を行う。次いで、吸着盤３２による包装袋３の吸着を解除する。次いで、昇降駆動機構６４を駆動して一対のバー６２を降下させ、切断された状態の包装袋を押し下げることによって包装袋３の開封を行う（バー６２は図６中の破線位置まで降下する）。その後は、前述の通り、テーブル１０を水平レール１２Ａの前端部１２ａの位置に移動させて、包装袋３からウェーハ保持容器２を取り出すと共に、切断した包装袋３を取り除く。
【００４５】
上記の開封機構６０の構成によれば、切断された包装袋３を機械的に押し下げる作用が得られるため、包装袋３の開封作業を容易に且つ確実に行うことができる。
【００４６】
（第二の実施形態）
続いて、本発明の第二の実施形態に係る開封装置１について説明する。本実施形態に係る開封装置１は、前述の第一の実施形態と基本的な構成は同様であるが、特に、包装袋の切断を行う切断機構において相違点を有する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。
【００４７】
本実施形態に係る切断機構３９について、図７を用いて説明する。当該図７は、前述の第一の実施形態における図３に相当する部分を示す正面図（概略図）である。ただし、切断機構３９の構成を解り易くするために、ステージ、スライド機構等の図示を省略している。
【００４８】
本実施形態に係る切断機構３９は、包装袋３の切断を行う熱線４２および熱線４２を加熱する加熱手段（不図示）を備えている。より具体的には、少なくとも包装袋３の一側面３ａ、上面３ｂ、および他側面３ｃを囲うように張設された熱線４２を備えて構成されている。当該熱線４２を加熱した状態でその内径を縮径させて包装袋３に当接させることによって、当該包装袋３の切断を行う作用を得るものである。
【００４９】
ここで、本実施形態においては、熱線４２の内径を縮径させる熱線移動機構４４が設けられている。一例として、熱線移動機構４４は、熱線４２の両端部を引張・押動可能な駆動機構４５（モーターもしくはシリンダー等）を備えて構成されている。これによれば、駆動機構４５を駆動して、熱線４２の両端部を引張することによって当該熱線４２の内径が縮径する作用が得られる。一方、駆動機構４５を逆に駆動して、熱線４２の両端部を押動することによって当該熱線４２の内径が拡径する作用が得られる。このように、熱線４２は、両端部の引張・押動によって、内径が縮径・拡径可能となる作用を得るものであることから、比較的固い素材で形成されることが好適である。
【００５０】
さらに、熱線４２の内径を縮径・拡径させる際に、その位置（テーブル１０の移動方向の前後方向位置）が変化しないように当該熱線４２をガイドする熱線ガイド４６を設けておくことが好適である。より具体的には、熱線ガイド４６は、熱線４２をテーブル１０の移動方向の前後方向に沿って挟むように位置して、且つ、熱線４２の動く範囲（縮径・拡径する範囲）をカバーするように設けられている。なお、熱線ガイド４６を構成する材料は特に限定されないが、熱線４２と接するため、金属材料等の耐熱性を有する材料を用いて構成される。
【００５１】
以上、説明した通り、本発明に係る開封装置によれば、ウェーハを保持したウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置が実現できる。したがって、従来、人力によって行っていた開封作業の機械化を図ることが可能となる。これにより、開封作業の効率化と重労働の解消を図ることが可能となる。また、人力による開封作業中に発生するリスクのあったウェーハ保持容器を落下させてしまうといった事故の防止を図ることが可能となる。
【００５２】
なお、本発明は、以上説明した実施例に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。特に、ウェーハの工場間輸送に用いられるＦＯＳＢを例に挙げて説明を行ったが、これに限定されるものではなく、他のワーク（基板等）の保持容器の場合にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１  開封装置
２  ウェーハ保持容器
３  包装袋
１０  テーブル
１２  スライド機構
１４  制御部
１６  規制板
２０  注入管
２２  駆動機構
３０  ガイド枠
３２、３２Ａ、３２Ｂ  吸着盤
３８、３９  切断機構
４０  カッター
４０ａ  切欠き溝
４２  熱線
４４  熱線移動機構
４５  駆動機構
４６  熱線ガイド
５０  移動機構
５２  チェーン
５４Ａ、５４Ｂ  ギヤ
５６  テンショナー
６０  開封機構
６２  バー
６４  昇降駆動機構
Ｗ  ウェーハ
【図１】
0006655411.tif 000002
【図２】
0006655411.tif 000003
【図３】
0006655411.tif 000004
【図４】
0006655411.tif 000005
【図５】
0006655411.tif 000006
【図６】
0006655411.tif 000007
【図７】
0006655411.tif 000008