(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部材（５）に設けられた孔（６）に挿入可能となるように基準部材（４）から先端方向へ突出された環状の心柱（７）と、
前記基準部材（４）に軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン（１１）と、
前記ピストン（１１）に連結されると共に、前記心柱（７）の内周孔（１８）に挿入される出力ロッド（１９）と、
前記心柱（７）の外周に先端側に向かうにつれて軸心に近づくように設けられた外傾斜面（２８）と、
前記外傾斜面（２８）に先端側から楔係合すると共に、半径方向へ拡大及び縮小可能とされる押圧部材（２９）であって、前記出力ロッド（１９）の先端部に連結される押圧部材（２９）と、
前記基準部材（４）に形成された動作検出用の流路（４７）と、
前記出力ロッド（１９）によって操作可能となっており、前記内周孔（１８）と前記出力ロッド（１９）の外周面との間に形成された弁室（４４）に軸方向に移動可能に挿入された筒状の弁部材（５０）を有する検出弁（４０）と、を備え、
前記検出弁（４０）が、前記ピストン（１１）および前記出力ロッド（１９）が所定の先端位置と所定の基端位置との間の途中位置から前記所定の先端位置へ移動したことを検出すると共に、前記ピストン（１１）および前記出力ロッド（１９）が前記途中位置から前記所定の基端位置に移動したことを検出する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
請求項１の位置決め装置において、
前記弁部材（５０）は、付勢手段（５３）によって基端側または先端側へ付勢され、
前記弁部材（５０）の基端側に形成された第１弁面（５４）が、前記弁室（４４）の基端側壁面に形成された第１弁座（５５）に当接可能に対面し、
前記弁部材（５０）の先端側に形成された第２弁面（５６）が、前記弁室（４４）の先端側壁面に形成された第２弁座（５７）に当接可能に対面する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】
請求項１の位置決め装置において、
前記弁部材（５０）は、基端側から順に設けられた第１弁部分（７０）と付勢手段（７１）と第２弁部分（７２）とによって構成され、
前記第１弁部分（７０）の基端側に形成された第１弁面（７７）が、前記弁室（４４）の基端側壁面に形成された第１弁座（７８）に当接可能に対面し、
前記第２弁部分（７２）の先端側に形成された第２弁面（７９）が、前記弁室（４４）の先端側壁面に形成された第２弁座（８０）に当接可能に対面する、
ことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、位置決め用の構成部材の動作を検出する機能を備える位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の動作検出機能付き位置決め装置には、従来では、特許文献１(日本国・特開２０１４−８５９８号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジングのシリンダ孔にピストンが挿入され、そのピストンに出力ロッドが連結される。シリンダ孔はピストンによって上下に区画される。そのピストンの上側にロック室が設けられ、ピストンの下側にリリース室が設けられる。ハウジングに形成される流路の途中部に検出弁が設けられ、その検出弁の弁室が出力ロッドの外周に環状に形成される。その弁室に挿入される筒状の弁部材が、ピストンから上方に所定の間隔をあけて当接可能に対面される。
そして、リリース状態の位置決め装置ではピストン及び出力ロッドが上方に移動されることにより、ピストンが弁部材を上方へ閉弁操作して検出弁が上記の流路を閉鎖させている。その流路にオーバーストローク検出用の加圧エアを供給すると、流路の圧力が上昇する。その上昇圧力を圧力センサで検出することにより、ピストンが下限位置に移動されていないこと（位置決め装置がオーバーストローク状態ではないこと）が検出される。
これに対して、位置決め装置がオーバーストローク状態では、出力ロッドを下限位置に下降され、出力ロッドが弁部材を開弁操作して流路が開放される。その流路に加圧エアを供給すると、流路の圧力が上昇しない。その流路の圧力が上昇しないことを圧力センサで検出することにより、ピストンが下限位置に移動されたこと（位置決め装置がオーバーストローク状態であること）が検出される。（特許文献１の図１から図３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−８５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術では、ピストン及び出力ロッドが下方にロック駆動して下限位置に移動したことを検出することにより、位置決め装置がオーバーストローク状態であることが検出される。
ところで、本来は、位置決め装置がオーバーストローク状態であることを検出することに加えて、位置決め装置がリリース状態であることを検出できることが好ましい。しかしながら、上記の位置決め装置では、リリース状態からオーバーストローク直前状態まで流路が検出弁によって閉鎖される。従って、そのリリース状態と、リリース状態からオーバーストローク直前状態までの途中状態との区別をつけることができない。
このため、従来の位置決め装置は、リリース状態とオーバーストローク状態との２つの動作状態を検出できるようにする点で改善の余地が残されていた。
本発明の目的は、位置決め装置のリリース状態とオーバーストローク状態との２つの動作状態を検出することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図４Ｂに示すように、動作検出機能付き位置決め装置を次のように構成した。
可動部材５に設けられた孔６に挿入可能となるように環状の心柱７が基準部材４から先端方向へ突出される。前記基準部材４にピストン１１が軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。前記ピストン１１に連結される出力ロッド１９が、前記心柱７の内周孔１８に挿入される。前記心柱７の外周に外傾斜面２８が先端側に向かうにつれて軸心に近づくように設けられる。前記外傾斜面２８に先端側から楔係合する押圧部材２９が、半径方向へ拡大及び縮小可能とされる。その押圧部材２９が前記出力ロッド１９の先端部に連結される。前記基準部材４に動作検出用の流路４７が形成される。前記ピストン１１又は前記出力ロッド１９によって検出弁４０が操作可能となっている。その検出弁４０は、前記の内周孔１８と前記出力ロッド１９の外周面との間に形成された弁室４４に軸方向に移動可能に挿入された筒状の弁部材５０を有する。前記検出弁４０は、前記ピストン１１および前記出力ロッド１９が所定の先端位置と所定の基端位置との間の途中位置から前記所定の先端位置へ移動したことを検出すると共に、前記ピストン１１および前記出力ロッド１９が前記途中位置から前記所定の基端位置に移動したことを検出する。
【０００６】
本発明は次の作用効果を奏する。
上記の位置決め装置のピストンおよび出力ロッドが所定の先端位置（例えば、リリース位置）と所定の基端位置（例えば、オーバーストローク位置）との間の途中位置から前記の所定の先端位置へ移動したときに、ピストンまたは出力ロッドが検出弁を操作し、または、操作することを止めることにより、ピストンおよび出力ロッドが前記の先端位置に移動したことを検出弁が確実に検出する。
また、位置決め装置のピストンおよび出力ロッドが前記の途中位置から前記の所定の基端位置へ移動したときに、ピストンまたは出力ロッドが検出弁を操作し、または、操作することを止めることにより、ピストンおよび出力ロッドが前記の所定の基端位置に移動したことを検出弁が確実に検出する。
これらにより、位置決め装置のリリース状態とオーバーストローク状態との２つの動作状態を検出することができる。
【０００７】
本発明は、下記（１）および（２）の構成を加えることが好ましい。
（１）前記弁部材５０は、付勢手段５３によって基端側または先端側へ付勢される。前記弁部材５０の基端側に形成された第１弁面５４が、前記弁室４４の基端側壁面に形成された第１弁座５５に当接可能に対面する。前記弁部材５０の先端側に形成された第２弁面５６が、前記弁室４４の先端側壁面に形成された第２弁座５７に当接可能に対面する。
この場合、位置決め装置のリリース状態とオーバーストローク状態との２つの動作状態を簡素な構成で検出できる。
【０００８】
（２）前記弁部材５０は、基端側から順に設けられた第１弁部分７０と付勢手段７１と第２弁部分７２とによって構成される。前記第１弁部分７０の基端側に形成された第１弁面７７が、前記弁室４４の基端側壁面に形成された第１弁座７８に当接可能に対面する。前記第２弁部分７２の先端側に形成された第２弁面７９が、前記弁室４４の先端側壁面に形成された第２弁座８０に当接可能に対面する。
この場合、位置決め装置のリリース状態とオーバーストローク状態との２つの動作状態を簡素な構成で検出できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態を示し、位置決め装置のリリース状態を示す断面図である。
【図２】図２Ａは、上記の位置決め装置のロック状態を示し、図１に類似する図である。図２Ｂは、上記の位置決め装置の空ロック状態を示し、図１に類似する図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態を示し、図１に類似する図である。
【図４】図４Ａは、上記の位置決め装置のロック状態を示し、図２Ａに類似する図である。図４Ｂは、上記の位置決め装置の空ロック状態を示し、図２Ｂに類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図１から図２Ｂまたは図３から図４Ｂによって説明する。
図１から図２Ｂは、本発明の第１実施形態を示している。まず、リリース状態を示す図１に基づいて上記位置決め装置の構造を説明する。
【００１１】
工作機械のテーブル（図示しない）にベースプレート１を固定し、そのベースプレート１に位置決め装置のハウジング２をボルト３で固定する。本実施形態では、ベースプレート１とハウジング２によって基準部材４が構成される。図２Ａに示すように、そのハウジング２の上部（先端部）に形成された支持面２ａに、可動部材としてのワークパレット５の被支持面５ａが受け止められる。その被支持面５ａに形成された孔６に、ハウジング２から上方へ突出された環状の心柱７が挿入可能となっている。
【００１２】
上記ハウジング２の下部（基端部）にシリンダ孔１０が形成され、そのシリンダ孔１０にピストン１１が上下方向（軸方向）へ移動可能で保密状に挿入される。そのシリンダ孔１０がピストン１１によって上下方向へ区画され、ピストン１１の下側にリリース室１２が形成されると共に、ピストン１１の上側にロック室１３が形成される。そのリリース室１２に連通されるリリース用の給排路１４がベースプレート１に設けられる。ロック室１３に連通されるロック用の給排路１５がハウジング２に形成される。本実施形態では、上記のピストン１１とリリース室１２とロック室１３とによって複動式の油圧シリンダ（駆動手段）Ｄが構成される。
【００１３】
上記の環状の心柱７が内周孔１８を有し、その内周孔１８がシリンダ孔１０に連通される。その心柱７の内周孔１８に出力ロッド１９が上下方向に移動可能で保密状に挿入され、その出力ロッド１９がピストン１１に連結される。その出力ロッド１９は、下半部分２０と、その下半部分２０の上端部に螺合された上半部分２１とを備えると共に、下半部分２０の上端面と上半部分２１に形成されたキャップ部２２との間に装着された筒部材２３を備える。その筒部材２３の上端から環状のフランジ部分２４が半径方向の外方に突設される。そのフランジ部分２４の外周壁に溝２５が周方向に形成される。なお、本実施形態では、ピストン１１と出力ロッド１９を構成する上記下半部分２０とは一体形成されている。
【００１４】
上記の心柱７の外周に外傾斜面２８が上方に向かうにつれて軸心に近づくようにテーパー状に形成され、その外傾斜面２８に押圧部材２９が周方向へ環状に係合される。また、その押圧部材２９の上端部から環状の突出部３０が半径方向の内方へ突設される。その突出部３０が筒部材２３の溝２５に挿入され、押圧部材２９が出力ロッド１９に連結される。その押圧部材２９の周壁にスリット３１が設けられることにより、その押圧部材２９が半径方向に弾性変形可能に構成される。また、押圧部材２９の外周部に密着面３２が形成され、その密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着可能となっている。また、上記の心柱７の外周面からピン３３が半径方向の外方に突出されている。そのピン３３が上記の押圧部材２９の回り止めを構成している。
【００１５】
上記のピストン１１および出力ロッド１９が上限位置（リリース位置）と下限位置（オーバーストローク位置）との間の途中位置から上限位置へ移動したことを検出すると共に、ピストン１１および出力ロッド１９が途中位置から下限位置に移動したことを検出する検出弁４０が、次のように構成される。
上記の内周孔１８の途中高さ部に小径孔４１と大径孔４２と中径孔４３とが下側から順に形成される。それらの孔４１,４２,４３と出力ロッド１９の下半部分２０の外周面との間に環状空間が形成され、その環状空間によって弁室４４が構成される。その中径孔４３に供給路４５が連通されると共に、小径孔４１に排出路４６が連通される。本実施形態において、供給路４５と弁室４４と排出路４６とによって動作検出用の流路４７が構成される。
【００１６】
上記の弁室４４に筒状の弁部材５０が内封止部材を介して保密状で上下方向に移動可能に挿入される。前記の弁部材５０が、下方から順に形成された小径部５１と大径部５２とを有する。その小径部５１が小径孔４１よりも小径に設定されると共に、大径部５２が大径孔４２よりも小径に設定される。その弁部材５０の上面と中径孔４３の上端面との間に進出バネ（付勢手段）５３が装着される。その進出バネ５３が弁部材５０を下方へ付勢する。
【００１７】
上記の大径部５２の下面に環状の第１弁面５４が形成される。上記の大径孔４２の下端面に環状の第１弁座５５が形成される。第１弁面５４が第１弁座５５に当接可能に上方から対面する。大径部５２の上面に環状の第２弁面５６が形成される。大径孔４２の上端面に環状の第２弁座５７が形成される。第２弁面５６が第２弁座５７に当接可能に下方から対面する。
【００１８】
上記の出力ロッド１９の下半部分２０は、下方から順に形成された大径部２０ａと小径部２０ｂとを有する。その大径部２０ａと小径部２０ｂとの間に形成された段部に、操作部６０が形成される。その操作部６０が、弁部材５０の下端面に形成された被操作部６１に当接可能に対面する。
【００１９】
上記の位置決め装置は、図１から図２Ｂに示すように、次のように作動する。
図１のリリース状態では、ロック室１３の圧油が排出されると共に、リリース室１２に圧油が供給される。これにより、ピストン１１と出力ロッド１９とが上限位置に移動される。このとき、上記押圧部材２９が、当該押圧部材２９の弾性力によって縮径状態に切り換えられている。
また、このとき、出力ロッド１９が操作部６０と被操作部６１とを介して弁部材５０を上限位置に押し上げている。このため、弁部材５０の第２弁面５６が第２弁座５７に当接され、検出弁４０が閉弁されている。この状態で加圧エア(圧力流体)が供給路４５を通って弁室４４に供給されると、その弁室４４の圧力が上昇する。その上昇圧力が所定の設定値を上回ることが圧力センサ（図示しない）によって検出される。その結果、出力ロッド１９が上限位置に移動したこと（リリース状態であること）が検出される。
【００２０】
上記リリース状態でワークパレット５を何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレット５がその孔６部分で出力ロッド１９と押圧部材２９と心柱７とに外嵌められていく。すると、上記ワークパレット５の被支持面５ａが、ハウジング２の支持面２ａに受け止められる。
【００２１】
上記の位置決め装置を図１のリリース状態から図２Ａのロック状態へ切り換えるときには、リリース室１２の圧油を排出するとともに、ロック室１３に圧油を供給する。すると、まず、ロック室１３の油圧力がピストン１１を介して出力ロッド１９を下降させていく。次いで、出力ロッド１９が押圧部材２９を下降位置（上限位置と下限位置との間の途中位置）に移動させると、その押圧部材２９が心柱７の外傾斜面２８によって縮径状態から拡径される（半径方向の外方へ移動される）。その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着される。これにより、位置決め装置は、図２Ａのロック状態に切り換えられる。
また、ロック状態では、検出弁４０の進出バネ５３が弁部材５０を下方に向けて付勢するので、弁部材５０が下方へ移動され出力ロッド１９の操作部６０に受け止められる。これにより、弁部材５０の第２弁面５６が第２弁座５７から下方に離間され、検出弁４０が開弁される。また、第１弁面５４と第１弁座５５とは、開弁隙間をあけて対面している。この状態で加圧エア(圧力流体)が供給路４５に供給されると、その加圧エアが弁室４４と排出路４６とを通って外部へ排出される。このため、その弁室４４の圧力は、上昇しない。その結果、出力ロッド１９が途中位置に移動したことが検出される。
【００２２】
上記の位置決め装置を図２Ａのロック状態から図１のリリース状態へ切り換えるときには、ロック室１３の圧油を排出すると共にリリース室１２へ圧油を供給する。これにより、位置決め装置は、上述したロック動作とはほぼ逆の手順でリリース状態へ切り換えられる。
【００２３】
上記の位置決め装置は、図２Ｂに示すように、ワークパレット５が未搬入である状態、または、ワークパレット５の孔６が想定した寸法よりも大きいことにより押圧部材２９の密着面３２と前記孔６との間に隙間が生じた状態で、次のように作動する。
上記の位置決め装置をロック駆動させると、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを介して押圧部材２９を下降させると共に、心柱７の外傾斜面２８に沿って半径方向の外方へ移動させる。次いで、その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に受け止められないので、過度に拡径する。引き続いて、出力ロッド１９及びピストン１１が下限位置（オーバーストローク位置）まで下降すると、上記出力ロッド１９のフランジ部２４の下面が心柱７の上端面に受けとめられる（オーバーストローク状態）。
【００２４】
上記のオーバーストローク状態では、検出弁４０の弁部材５０が進出バネ５３の付勢力によって下方へ付勢され、その弁部材５０の第１弁面５４が第１弁座５５に受け止められる。これにより、検出弁４０は閉弁される。この状態で加圧エア(圧力流体)が供給路４５を通って弁室４４に供給されると、その弁室４４の圧力が上昇する。その上昇圧力が所定の設定値を上回ることが圧力センサ（図示しない）によって検出される。その結果、出力ロッド１９が下限位置に移動したことが検出される。その結果、出力ロッド１９が下限位置または下限位置近傍に移動したこと（オーバーストローク状態であること）が検出される。
【００２５】
第１実施形態は次の長所を奏する。
上記の位置決め装置を上限位置にリリース駆動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０の弁部材５０によって閉鎖されることにより、弁室４４の圧力が上昇する。その弁室４４の圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサなどによって検出する。これにより、ピストン１１及び出力ロッド１９が上限位置に移動されたことが確実に検出される。その結果、位置決め装置がリリース状態であることが検出される。
また、上記の位置決め装置を上限位置からロック方向へ移動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０によって開放されることにより、その流路４７の圧力が上昇しない。その弁室４４の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサなどによって検出する。その結果、ピストン１１及び出力ロッド１９が上限位置と下限位置との間の途中位置に移動されたことが確実に検出される。
また、上記の位置決め装置を上記の途中位置から下限位置に移動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０によって再び閉鎖されることにより、弁室４４の圧力が上昇する。その弁室４４の圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサなどによって検出する。これにより、ピストン１１及び出力ロッド１９が下限位置に移動されたことが確実に検出される。その結果、位置決め装置がオーバーストローク状態であることが検出される。
【００２６】
図３から図４Ｂは本発明の第２実施形態を示している。この第２実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００２７】
図３から図４Ｂの第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
上記のピストン１１および出力ロッド１９が上限位置および下限位置に移動したことを検出する検出弁（検出手段）４０が、次のように構成される。
上記の内周孔１８の途中高さ部に小径孔４１と大径孔４２とが下側から順に形成される。それらの孔４１,４２と出力ロッド１９の下半部分２０の外周面との間に環状空間が形成され、その環状空間によって弁室４４が構成される。その大径孔４２の内周面に供給路６５が開口される。また、小径孔４１の内周面に第１排出路６６が開口される。大径孔４２の上端面に第２排出路６７が開口される。本実施形態において、供給路６５と弁室４４と第１排出路６６と第２排出路６７とによって流路４７が構成される。
【００２８】
上記の弁室４４に筒状の第１弁部分７０と進出バネ（付勢手段）７１と第２弁部分７２とが下方から順に挿入され、上下方向に移動可能に挿入される。本実施形態において、第１弁部分７０と進出バネ（付勢手段）７１と第２弁部分７２とによって弁部材５０が構成される。その第１弁部分７０が、下方から順に形成された小径部７３と大径部７４とを有する。その小径部７３が小径孔４１よりも小径に設定されると共に、大径部７４が大径孔４２よりも小径に設定される。
【００２９】
上記の第１弁部分７０の大径部７４の下面に環状の第１弁面７７が形成される。大径孔４２の下壁面に環状の第１弁座７８が形成される。第１弁面７７が第１弁座７８に当接可能に対面する。大径孔４２の上面に環状の第２弁面７９が形成される。大径孔４２の上壁面に環状の第２弁座８０が形成される。第２弁面７９が第２弁座８０に当接可能に対面する。
【００３０】
上記の出力ロッド１９の下半部分２０の段部に、第１操作部８１が形成される。その第１操作部８１が、第１弁部分７０の下端面に形成された第１被操作部８２に当接可能に対面する。上記の出力ロッド１９の下半部分２０の途中高さ部に形成された溝に、止め輪からなる第２操作部８３が外嵌めされる。その第２操作部８３が、第２弁部分７２の上面に形成された第２被操作部８４に当接可能に対面する。
【００３１】
上記の位置決め装置は、図３から図４Ｂに示すように、次のように作動する。
図３のリリース状態では、ロック室１３の圧油が排出されると共に、リリース室１２に圧油が供給される。これにより、ピストン１１と出力ロッド１９とが上昇位置に移動される。このとき、上記押圧部材２９が、当該押圧部材２９の弾性力によって縮径状態に切り換えられている。
また、このとき、出力ロッド１９が第１弁部分７０を押し上げるので、その第１弁部分７０が進出バネ７１を介して第２弁部分７２を上方へ押し上げる。このため、第２弁部分７２の第２弁面７９が第２弁座８０に当接されている。また、出力ロッド１９が第１操作部８１と第１被操作部８２とを介して第１弁部分７０を上限位置に押し上げる。このため、第１弁部分７０の第１弁面７７が第１弁座７８から離間されている。従って、検出弁４０は開弁され、供給路６５の加圧エアが弁室４４を通って第１排出路６６から排出される。これにより、弁室４４の圧力が所定の設定値を下回ることが圧力センサ（図示しない）によって検出される。その結果、出力ロッド１９が上限位置に移動したこと（リリース状態であること）が検出される。
【００３２】
上記リリース状態でワークパレット５を何らかの昇降手段または自重によって下降させると、ワークパレット５がその孔６部分で出力ロッド１９と押圧部材２９と心柱７とに外嵌められていく。すると、上記ワークパレット５の被支持面５ａが、ハウジング２の支持面２ａに受け止められる。
【００３３】
上記の位置決め装置を図３のリリース状態から図４Ａのロック状態へ切り換えるときには、リリース室１２の圧油を排出するとともに、ロック室１３に圧油を供給する。すると、まず、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを下降させていく。次いで、出力ロッド１９が押圧部材２９を下降位置に移動させると、その押圧部材２９が心柱７の外傾斜面２８によって縮径状態から拡径される（半径方向の外方へ移動される）。その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着される。これにより、位置決め装置は、図４Ａのロック状態に切り換えられる。
また、ロック状態では、検出弁４０の進出バネ７１が第１弁部分７０を下方に移動させて第１弁部分７０の第１弁面７７が第１弁座７８に当接される。また、出力ロッド１９の下半部分２０の第２操作部８３と第２弁部分７２の第２被操作部８４とが、所定の隙間をあけて対面されているので、第２弁部分７２の第２弁面７９が第２弁座８０と当接されている。このため、検出弁４０が閉弁されている。この状態で供給路６５から加圧エアが弁室４４に供給されると、弁室４４の圧力が上昇する。その結果、出力ロッド１９が下降位置に移動したこと（ロック状態であること）が検出される。
【００３４】
上記の位置決め装置を図４Ａのロック状態から図３のリリース状態へ切り換えるときには、ロック室１３の圧油を排出すると共にリリース室１２へ圧油を供給する。これにより、位置決め装置は、上述したロック動作とはほぼ逆の手順でリリース状態へ切り換えられる。
【００３５】
上記の位置決め装置は、図４Ｂに示すように、ワークパレット５が未搬入である状態、および、ワークパレット５の孔６が想定した寸法よりも大きいことにより押圧部材２９の密着面３２と前記孔６との間に隙間が生じた状態で、次のように作動する。
上記の状態の位置決め装置をロック駆動させると、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを介して押圧部材２９を下降させると共に、心柱７の外傾斜面２８に沿って半径方向の外方へ移動させる。次いで、その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に受け止められないので、過度に拡径する。引き続いて、出力ロッド１９及びピストン１１が下限位置（オーバーストローク位置）まで下降すると、図４Ｂに示すように、上記出力ロッド１９のフランジ部２４の下面が心柱７の上端面に受けとめられる（オーバーストローク状態）。
【００３６】
上記のオーバーストローク状態では、第１弁部分７０の第１弁面７７が第１弁座７８に当接された状態が維持されると共に、出力ロッド１９の下半部分２０の第２操作部８３が第２弁部分７２の第２被操作部８４を下方へ押下げる。このため、第２弁部分７２の第２弁面７９が第２弁座８０から離間される。これにより、検出弁４０は開弁される。この状態で加圧エア(圧力流体)が供給路６５を通って弁室４４に供給されると、その弁室４４の圧力が上昇しない。その弁室４４の圧力が所定の設定値を下回ることが圧力センサ（図示しない）によって検出される。その結果、出力ロッド１９が下限位置に移動されたことが検出される。その結果、出力ロッド１９が下限位置または下限位置近傍に移動したこと（オーバーストローク状態であること）が検出される。
【００３７】
第２実施形態は次の長所を奏する。
上記の位置決め装置の出力ロッド１９を上限位置と下限位置との間の途中位置からその上限位置へリリース駆動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０によって開放されることにより、弁室４４の圧力が上昇しない。その弁室４４の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサなどによって検出する。これにより、ピストン１１及び出力ロッド１９が前記の上限位置に移動されたことが確実に検出される。その結果、位置決め装置がリリース状態であることが検出される。
また、上記の位置決め装置の出力ロッド１９を前記の上限位置から前記の途中位置に移動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０によって閉鎖されることにより、その流路４７の圧力が上昇する。その弁室４４の圧力が所定の設定値を上回ることを圧力センサなどによって検出する。その結果、ピストン１１及び出力ロッド１９が前記の途中位置に移動されたことが確実に検出される。
また、上記の位置決め装置の出力ロッド１９を前記の途中位置から下限位置に移動させたときに、動作検出用の流路４７が検出弁４０によって再び開放されることにより、弁室４４の圧力が上昇しない。その弁室４４の圧力が所定の設定値を下回ることを圧力センサなどによって検出する。これにより、ピストン１１及び出力ロッド１９が前記の下限位置に移動されたことが確実に検出される。その結果、位置決め装置がオーバーストローク状態であることが検出される。
【００３８】
上記の各実施形態は次のように変更可能である。
上記の基準部材４は、例示したように、工作機械のテーブルに固定されたベースプレート１に限られず、その他の固定台であってもよい。
上記の可動部材は、例示したワークパレット５に限られず、ワークや金型などであってもよい。
上記の駆動手段は、複動式の油圧シリンダＤに代えて単動式の油圧シリンダであってもよい。また、駆動手段は、例示の油圧シリンダに代えて、空圧シリンダや電動アクチュエータであってもよい。
上記の外傾斜面２８は、心柱７の外周面の全体にテーパー状に形成されるのに代えて、心柱の外周面の一部分に平面状に形成されてもよい。
上記の押圧部材２９は、前記外傾斜面２８に周方向へ環状に配置されるのに代えて、複数の押圧部材が外傾斜面に周方向へ所定の間隔をあけて配置されてもよい。
上記の弁室４４に供給される圧力流体は、例示した加圧エアに代えて、他の気体または圧油や水等の液体であってもよい。
上記の付勢手段は、例示した進出バネ５３,７１に代えて、ゴム等の弾性部材や圧力流体によって上方へ付勢する流体圧シリンダなどであってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３９】
４：基準部材，５：可動部材（ワークパレット）,６：孔,７：心柱, １１：ピストン,１８：心柱の内周孔,１９：出力ロッド,２８：外傾斜面,２９：押圧部材,４０：検出弁,４４：弁室,４７：流路,５０：弁部材,５３：進出バネ（付勢手段）,５４：第１弁面,５５：第１弁座,５６：第２弁面,５７：第２弁座,７０：第１弁部分,７１：進出バネ（付勢手段）,７２：第２弁部材,７７：第１弁面,７８：第１弁座,７９：第２弁面,８０：第２弁座．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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