(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱処理物を収容して真空圧状態で加熱するための真空乾燥機であって、
開口部を有し、前記加熱処理物を収容して加熱するための真空加熱処理空間を有する本体部と、
前記本体部の前記開口部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、
前記真空加熱処理空間の内部を前記真空圧状態になるように真空吸引する真空引き経路と、
前記真空加熱処理空間の内部が前記真空圧状態から大気圧状態になったかどうかを検知して圧力信号を出す圧力センサと、
前記圧力センサからの前記圧力信号により、前記真空加熱処理空間の内部が前記真空圧状態から前記大気圧状態になると、前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を前記本体部の外部に排気する排気ファンを有する排気経路と、
前記開閉扉を開けるための指示を検知する検知部と、
前記検知部からの信号により前記排気ファンを起動して前記排気経路を通じて前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を排出させる制御部と、を備えることを特徴とする真空乾燥機。
【請求項２】
前記開閉扉は、開閉操作用の取手を有し、前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記検知部は、前記開閉扉を開けるための前記指示として前記取手に配置され前記取手に触れるのを検知して前記制御部に通知し、前記制御部の指令により前記排気ファンを起動させて、前記大気圧状態の前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させるための接触センサであることを特徴とする請求項１に記載の真空乾燥機。
【請求項３】
前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記検知部は、前記開閉扉を開けるための前記指示としてオン操作することで前記制御部に通知して、前記制御部の指令により前記排気ファンを起動させて、前記大気圧状態の前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させるための排気スイッチであることを特徴とする請求項１または２に記載の真空乾燥機。
【請求項４】
前記開閉扉が開かないようにロックするドアロック部を備え、前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記制御部は、前記排気ファンを起動して所定時間後に、前記ドアロック部による前記開閉扉のロック状態を解除させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の真空乾燥機。
【請求項５】
前記開閉扉が前記開口部を閉鎖しているロック状態を解除させた後に、前記開閉扉を開けて前記開口部の開放を行って前記加熱処理物を取り出す際に、前記本体部の排気風量は、前記開閉扉が前記開口部を閉鎖している前記ロック状態の排気風量よりも、大きくなるように切り替えられることを特徴とする請求項４に記載の真空乾燥機。
【請求項６】
前記排気ファンは、ＨＥＰＡフィルタを備え、使用後の前記ＨＥＰＡフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内の粉体が外部に飛散されない構成であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の真空乾燥機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空圧状態で加熱処理物を加熱するための真空乾燥機に関する。
【背景技術】
【０００２】
乾燥機は、槽内に加熱処理物を収容して加熱処理するのに用いられる。この種の乾燥機であるオーブンが、特許文献１に開示されている。乾燥機の槽は箱型に作られており、開閉扉を有し、槽内の雰囲気はヒータにより加熱される構造である。
【０００３】
作業者は、この扉を開けて槽内に加熱処理物を配置して、その後この扉を閉じて槽内の加熱処理物を加熱した後、再び扉を開けて加熱処理済みの加熱処理物を取り出すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７１１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の乾燥機は、再び扉を開けて加熱処理した加熱処理物を取り出す際に、槽内の雰囲気には加熱処理物を加熱処理した際に発生する粉体等が含まれている。
【０００６】
このため、作業者が扉を開ける前に、扉を含む乾燥機の槽の前側に、別に用意したエンクロージャ（粉体等を含む噴気が槽の外部に漏れるのを防止する密閉状の袋状の曝露防止具）を取り付けて、槽の内部から粉体等が漏れ出ないようにすることが提案されている。このエンクロージャが扉を含む乾燥機の槽の前側に取り付けられることで、槽内の粉体等を含む雰囲気の空気が、乾燥機の外部に漏れ出ないように封じ込める。
【０００７】
しかも、乾燥機が、真空圧状態で加熱処理物を乾燥する真空乾燥機である場合には、扉を開ける際には、真空状態を大気圧状態に戻してから開ける必要がある。作業者が、扉を開けようとする度に、このような特注品の大型のエンクロージャを別途用意して、エンクロージャを、扉を含む乾燥機の槽の前側に取り付けて、真空状態を大気圧状態に戻してから扉を開ける作業を、現場で行う。この作業は、とても手間がかかりであり大変面倒であり、実用的ではない。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、エンクロージャのような曝露防止具を別途用意する必要が無く、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる真空乾燥機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成するため、請求項１に記載の真空乾燥機は、加熱処理物を収容して真空圧状態で加熱するための真空乾燥機であって、開口部を有し、前記加熱処理物を収容して加熱するための真空加熱処理空間を有する本体部と、前記本体部の前記開口部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、前記真空加熱処理空間の内部を前記真空圧状態になるように真空吸引する真空引き経路と、前記真空加熱処理空間の内部が前記真空圧状態から前記大気圧状態になったかどうかを検知して圧力信号を出す圧力センサと、前記圧力センサからの前記圧力信号により、前記真空加熱処理空間の内部が前記真空圧状態から前記大気圧状態になると、前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を前記本体部の外部に排気する排気ファンを有する排気経路と、前記開閉扉を開けるための指示を検知する検知部と、前記検知部からの信号により前記排気ファンを起動して前記排気経路を通じて前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を排出させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の真空乾燥機では、圧力センサからの圧力信号により、真空加熱処理空間の内部が真空圧状態から大気圧状態になると、検知部が、開閉扉を開けるための指示を検知すると、この検知部からの信号により排気ファンを起動して排気経路を通じて真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を排出させる。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機において、エンクロージャのような特注品の大型の曝露防止具を別途用意する必要が無く、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【００１１】
請求項２に記載の真空乾燥機では、前記開閉扉は、開閉操作用の取手を有し、前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記検知部は、前記開閉扉を開けるための前記指示として前記取手に配置され前記取手に触れるのを検知して前記制御部に通知し、前記制御部の指令により前記排気ファンを起動させて、前記大気圧状態の前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させるための接触センサであることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の真空乾燥機では、検知部は接触センサであり、この接触センサは、開閉扉を開けるための指示として取手に配置され取手に触れるのを検知して制御部に通知し、制御部の指令により排気ファンを起動させて真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機において、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【００１３】
請求項３に記載の真空乾燥機では、前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記検知部は、前記開閉扉を開けるための前記指示としてオン操作することで前記制御部に通知して、前記制御部の指令により前記排気ファンを起動させて、前記大気圧状態の前記真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させるための排気スイッチであることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の真空乾燥機では、検知部は排気スイッチであり、この排気スイッチは、開閉扉を開けるための指示としてオン操作することで制御部に通知して、制御部の指令により排気ファンを起動させて真空加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機において、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【００１５】
請求項４に記載の真空乾燥機では、前記開閉扉が開かないようにロックするドアロック部を備え、前記真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、前記制御部は、前記排気ファンを起動して所定時間後に、前記ドアロック部による前記開閉扉のロック状態を解除させることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の真空乾燥機では、制御部は、排気ファンを起動して所定時間後に、扉ロックによる開閉扉のロック状態を解除させるので、作業者は、真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、加熱処理空間の内部の雰囲気の空気を排出した後でなければ、開閉扉を開けることができない。従って、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機において、真空加熱処理空間の内部が前記大気圧状態になっている際に、真空加熱処理空間内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないように、作業安全性を確保できる。
【００１７】
請求項５に記載の真空乾燥機では、前記開閉扉が前記開口部を閉鎖しているロック状態を解除させた後に、前記開閉扉を開けて前記開口部の開放を行って前記加熱処理物を取り出す際に、前記本体部の排気風量は、前記開閉扉が前記開口部を閉鎖している前記ロック状態の排気風量よりも、大きくなるように切り替えられることを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の真空乾燥機では、開閉扉を開けて加熱処理物を取り出そうとする場合に、本体部内に粉体が残留していたとしても、開口部を通じて外部に漏れ出るのを確実に防ぐことができる。
【００１９】
請求項６に記載の真空乾燥機では、前記排気ファンは、ＨＥＰＡフィルタを備え、使用後の前記ＨＥＰＡフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内の粉体が外部に飛散されない構成であることを特徴とする。
【００２０】
請求項６に記載の真空乾燥機では、使用後のＨＥＰＡフィルタは、バッグに入れてから、バッグごと使用後のＨＥＰＡフィルタを排気経路から取り外すことができ、排気経路より本体部内の粉体を外部に飛散させない構成である。このため、ＨＥＰＡフィルタに付着している粉体等が、本体部の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、エンクロージャのような曝露防止具を別途用意する必要が無く、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる真空乾燥機を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の真空乾燥機の実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す真空乾燥機の平面図である。
【図３】図１に示す真空乾燥機の右側の側面図である。
【図４】図１に示す真空乾燥機の背面図である。
【図５】制御ボックスを示す正面図である。
【図６】真空乾燥機の系統システムを示す系統図である。
【図７】真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
【図８】図７に続く真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。
【００２４】
図１は、本発明の真空乾燥機の実施形態を示す正面図である。図２は、図１に示す乾燥機の平面図である。図３は、図１に示す真空乾燥機の右側の側面図である。図４は、図１に示す真空乾燥機の背面図である。
【００２５】
図１ないし図４に示す真空乾燥機１は、耐熱性を有する金属により作られた箱型の槽（チャンバ）を有する加熱処理装置であり、真空圧状態で、例えば薬品等の粉体等の加熱処理物を封じ込めて加熱する機能を有する。
【００２６】
この真空乾燥機１は、本体部２と、開閉扉３と、外部機器４を有している。本体部２と開閉扉３は、箱型の密閉可能な槽を構成している。
【００２７】
図１と図２に示すように、この本体部２は、上面部２Ａ、底面部２Ｂ、左側面部２Ｃ、右側面部２Ｄ、背面部２Ｅ、そして前面部２Ｆを有する直方体形状の箱部材である。本体部２の内部は、真空状態で所定の温度で加熱可能な直方体形状の真空加熱処理空間ＳＰである。
【００２８】
図１と図３に示すように、底面部２Ｂの四隅位置には、本体部２の支持用の脚部材２Ｇが設けられている。図２と図３に示すように、本体部２の前面部２Ｆには、矩形の前面開口部２Ｈが設けられている。開閉扉３が、この前面開口部２Ｈを密閉状態で閉鎖可能になっている。これにより、本体部２の真空加熱処理空間ＳＰ内で加熱処理された加熱処理物から例えば粉体が発生しても、その粉体が真空加熱処理空間ＳＰ内から外部には出ないようになっている。
【００２９】
図１に示すように、開閉扉３は、耐熱ガラス窓３Ｇを有している。このため、作業者は、この耐熱ガラス窓３Ｇを通じて、内部の真空加熱処理空間ＳＰ内の様子を見ることができる。
【００３０】
図１と図２に示すように、開閉扉３の一端部３Ａは、ヒンジ部材ＨＢを用いて、左側面部２Ｃの前端部分に対して取り付けられており、開閉扉３は、図２に示すようにヒンジ部材ＨＢを中心として、ＲＲ方向に開くことができる。開閉扉３の他端部３Ｂの表面には、図３に示すように取手５が設けられている。
【００３１】
これにより、使用者は、図２に示す取手５を把持してＲＲ方向に引くことで、ヒンジ部材ＨＢを中心にして、開閉扉３をＲＲ方向に開けることにより、使用者は、加熱処理物を、この開口部２Ｈを通じて本体部２内の真空加熱処理空間ＳＰ内に挿入できる。また、使用者は、真空加熱処理空間ＳＰ内を真空圧状態下から大気圧状態に戻してから、開口部２Ｈを通じて処理後の加熱処理物を取り出すことができる。
【００３２】
図１と図３に例示するように、本体部２内には、真空加熱処理空間ＳＰ内に配置された加熱処理物を所定の温度で加熱するために、例えば破線で示すように、パネル状のヒータＨが配置されている。このパネル状のヒータＨは、例えば真空加熱処理空間ＳＰを形成する上面部、下面部、左右側面部、背面部や、必要に応じて、開閉扉３内にも配置されている。
【００３３】
図１に示すように、本体部２の上面部２Ａには、扉スイッチ（ドアスイッチ）６が配置されている。この扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ信号を発生するが、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを少しでも開けた状態になるとオン信号を発生する。
【００３４】
図１に示すように、本体部２の下部２Ｍには、制御ボックス７が配置されている。図５は、この制御ボックス７を示す正面図である。この制御ボックス７は、図５に拡大して例示するように、ドア開閉ランプ８と、排気ファン起動ランプ９と、排気スイッチ１０を有する。
【００３５】
図５に示すドア開閉ランプ８は、開閉扉３が閉じているか開いているかを示す。ドア開閉ランプ８は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態を示す例えば緑色のランプ８Ａと、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを開けている状態を示す例えば赤色のランプ８Ｂを有する。緑色のランプ８Ａは、扉スイッチ６がオフ信号を発生していて安全な状態であると発光し、赤色のランプ８Ｂは、扉スイッチ６がオン信号を発生していて注意喚起の状態であると発光するようになっている。
【００３６】
図１に示す排気ファン起動ランプ９は、後で説明する排気ファン１６（図６を参照）が起動している時に点灯するランプである。排気スイッチ１０は、作業者が後で説明する排気ファン１６を起動して、本体部２内の真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気を、真空加熱処理空間ＳＰの外部に排気する際に、作業者がオン操作するためのスイッチである。
【００３７】
図４に示すように、本体部２の背面部２Ｅには、真空ポンプ接続口３１Ａと自動バルブ３２が設けられている。
【００３８】
図２と図３に示すように、本体部２の背面部２Ｅには、逆止弁２１の付いた排気口１１が設けられている。この排気口１１は、例えばフレキシブルチューブ等の連結チューブ１２を用いて、外部機器４の吸入口１３に接続されている。
【００３９】
図１に示すように、この外部機器４は、本体ユニット１５と、排気ファン１６と、排気口１７を有する。本体ユニット１５は、ＨＥＰＡフィルタ１８を交換可能に内蔵している。本体ユニット１５は、排気ファン１６を内蔵しており、排気口１７は本体ユニット１５の下部に設けられている。このＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）フィルタ１８は、空気清浄が求められる分野で使用される高性能フィルタである。
【００４０】
図１に示す排気ファン１６が起動すると、本体部２内の真空加熱処理空間ＳＰ内の例えば粉体を含む雰囲気の空気は、排気口１１と連結チューブ１２と吸入口１３を介して、本体ユニット１５のＨＥＰＡフィルタ１８を通ることで、粉体等がＨＥＰＡフィルタ１８により捕獲された後、クリーンな空気が排気口１７から排気される。
【００４１】
ただし、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８には、例えば加熱処理物を加熱する際に発生する粉体等が付着している。このため、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８を交換する際には、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８を、図示しないバッグに包み込むようにして入れた状態で、本体ユニット１５内から取り外すことで、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８に付着している粉体が、漏れ出ないようにする。これにより、真空乾燥機１を使用する際に、粉体等を含む空気が外部に暴露することは無く、作業安全性がさらに向上する。
【００４２】
次に、図６を参照して、図１から図３に示す真空乾燥機１の構造例を、さらに説明する。
【００４３】
図６は、真空乾燥機１の系統システムを示す系統図である。
【００４４】
図６に示すように、本体部２の排気口１１に接続されている連結チューブ１２から、排気口１７までは、排気経路（排気ライン）２０を構成している。排気口１１の付近には、逆止弁２１が設けられている。この逆止弁２１が連結チューブ１２の途中に配置されていることで、外部の空気等が、排気口１７側から連結チューブ１２と本体部２の排気口１１を経て、真空加熱処理空間ＳＰ内に逆流して入ってしまうのを、確実に防止することができる。
【００４５】
図６に示すように、逆止弁２１と自動バルブ２２は、ＨＥＰＡフィルタ１８を介して、排気ファン１６に接続されている。これにより、制御部１００が。排気ファン１６を起動することにより、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、本体部２の排気口１１と連結チューブ１２と逆止弁２１を経て、矢印Ｔ方向に送られ、粉体等を含む雰囲気の空気は、ＨＥＰＡフィルタ１８を通る。
【００４６】
これにより、ＨＥＰＡフィルタ１８は、粉体等を含む雰囲気の空気から粉体等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１７から、外部に排出される。
【００４７】
一方、図６に示すように、本体部２には、排気経路２０の他に、真空引き経路（真空引きライン）３０が設けられている。真空引き経路３０は、チューブ３１と、自動バルブ３２と、真空ポンプ３３と、逆流防止用自動バルブ３４と、排気口３５を有している。チューブ３１Ａと排気口３５の間に配置されている。真空ポンプ３３が作動すると、真空加熱処理空間ＳＰ内の雰囲気の空気は、排気経路２０を通じて、Ｔ方向に真空引きされる。これにより、真空加熱処理空間ＳＰ内は所定の真空度の真空圧状態に維持される。
【００４８】
図６に示すように、自動バルブ３２と真空ポンプ３３の間には、パージライン４０が接続されており、このパージライン４０には、逆流防止用自動バルブ３４が配置されている。
【００４９】
この逆流防止ライン４０が接続されている理由は、次の通りである。自動バルブ３２が開いていて、真空ポンプ３３が作動している場合に、外気が排気口３５から真空ポンプ３３を介して自動バルブ３２側へ入り込むのを防ぐために、逆流防止用自動バルブ３４を開ける。これにより、逆流防止用自動バルブ３４から真空ポンプ３３側に外気を送り込んで、排気口３５から真空ポンプ３３を介して自動バルブ３２側へ外気が入り込むのを防ぐ。
【００５０】
図６に示すように、本体部２は、給気部ともいうパージライン４５を有する。このパージライン４５には、パージ用自動バルブ４６が配置されている。外部の空気は、パージ用自動バルブ４６を開けることで、外気がパージライン４５を通じて本体部２の真空加熱処理空間ＳＰ内に供給できる。
【００５１】
図６に示すように、制御ボックス７は制御部１００を有している。この制御部１００は、ドア開閉ランプ８と排気ファン起動ランプ９の点灯制御を行い、排気スイッチ１０のオン／オフ信号を受ける。また、制御部１００は、図６に示すように、排気経路２０の自動バルブ２２と、真空引き経路３１の自動バルブ３２と、逆流防止用自動バルブ３４と、パージ用自動バルブ４６のそれぞれの開閉動作の制御を行う。制御部１００は、排気ファン１６と、真空ポンプ３３のそれぞれの起動制御を行う。
【００５２】
図６に示すように、取手５は、接触センサ２５を有している。この接触センサ２５は、作業者が取手５に触れると、接触信号ＣＳを制御部１００に送る。扉スイッチ６は、作業者が開閉扉３をわずかでも開けると、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。これにより、制御部１００は、開閉扉３が開いて前面開口部２Ｈが開放されている状態であることを、確実に認識できる。
【００５３】
図６に示すように、制御部１００は、タイマ１０１を有している。作業者は、このタイマ１０１を用いて、図６に示す排気スイッチ１０を押して排気ファン１６が起動して排気を開始した後にこの排気ファン１６の稼働を停止させるまでの、予め定められた所定時間等を設定することができる。
【００５４】
さらに、好ましくは、真空乾燥機１は、ドアロック部２６を有する。このドアロック部２６は、開閉扉３の開閉操作ができないようにロックして、開閉扉３が本体部２側から、不用意に開かないようにするために設けられている。このドアロック部２６は、制御部１００からのドア開成信号ＤＳを受けると、解除される。これにより、開閉扉３のロックが外れて、作業者は、開閉扉３を開くことができる。
【００５５】
また、制御部１００は、真空乾燥機１のパネル状のヒータＨに対して通電することで、ヒータＨを発熱させて、真空加熱処理空間ＳＰ内を所定の温度に設定可能である。なお、真空乾燥機１の本体部２と制御ボックス７は、商用電源Ｇから電源供給を受けている。
【００５６】
次に、図７と図８を参照して、上述した真空乾燥機１の動作例を説明する。図７は、真空乾燥機１の動作例を示すフロー図であり、図８は、図７に続く真空乾燥機１の動作例を示すフロー図である。なお、図７と図８に示す真空乾燥機１の動作例は、あくまで一例であり、真空乾燥機１の動作は任意に設定することができる。
【００５７】
図７に示す真空乾燥機１の動作例は、ステップＳ１０からステップＳ１６を有し、このステップＳ１６は、図８に示す続きの動作例のステップＳ２１に続く。図８では、続きの動作例のステップＳ２１からステップＳ２９を有する。図８に示す真空乾燥機１の続きの動作例では、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）と、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）が含まれている。
【００５８】
まず、図７に示すステップＳ１０からステップＳ１６を参照して、真空乾燥機１の動作を説明する。
【００５９】
図７のステップＳ１０に示すように、図６に示す本体部２の真空加熱処理空間ＳＰ内が、真空乾燥機１を使用する前の状態であって、大気圧状態になっている。この場合には、例えば、制御部１００の指令により、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じており、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６も閉じており、そして排気経路２０の自動バルブ２２は閉じている。
【００６０】
ステップＳ１１では、作業者が図６の開閉扉３を開けて、真空乾燥機１の本体部２の真空加熱処理空間ＳＰ内に加熱処理物を入れて、真空圧状態下で所定の温度で加熱をする。この場合には、制御部１００が、図６の自動バルブ３２を開けて真空ポンプ３３を起動して、真空加熱処理空間ＳＰ内を真空引きして、真空引き後は自動バルブ３２を閉じて真空ポンプ３３を止める。これにより、制御部１００の指令により、真空加熱処理空間ＳＰ内の加熱処理物は、真空圧状態で、ヒータＨにより所定の温度で加熱処理される。
【００６１】
図７のステップＳ１２では、真空加熱処理空間ＳＰ内で、真空圧状態での加熱処理物の加熱処理作業が終わると、ステップＳ１３に移る。そして、例えば制御部１００は、真空引き経路３０の自動バルブ３２と、排気経路２０の自動バルブ２２を閉じた状態で、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６は開ける。そして、制御部１００は、排気経路２０の自動バルブ２２を開けて、ステップＳ１４に移る。
【００６２】
ステップＳ１４では、真空加熱処理空間ＳＰ内が、真空圧状態から大気圧状態になったら、ステップＳ１５に移る。なお、真空加熱処理空間ＳＰ内の圧力は、図６に示す圧力センサ２９により検知して、圧力信号ＰＧを制御部１００に送る。
【００６３】
ステップＳ１５では、制御部１００は、真空加熱処理空間ＳＰ内が真空圧状態から大気圧状態になったら、真空引き経路３０の自動バルブ３２と、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６を閉じて、排気経路２０の自動バルブ２２を開けた状態にする。これにより、ステップＳ１６に示すように、真空加熱処理空間ＳＰ内の加熱処理物の粉末等を含む雰囲気の空気を、真空加熱処理空間ＳＰ内から排気する作業の準備が完了するので、次の図８に示すステップＳ２１に移る。
【００６４】
すでに説明したように、図８に示す真空乾燥機１の続きの動作例では、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）と、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）が含まれている。
【００６５】
＜作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）＞
まず、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例を、図６と図８を参照して説明する。
【００６６】
図８のステップＳ２１では、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったかどうかを、制御部１００が判断する。すなわち、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ると、接触センサ２５が接触信号ＣＳを制御部１００に送ることにより、制御部１００は、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったと判断する。
【００６７】
ただし、この場合には、ドアロック部２６が、まだ開閉扉３をロックしており、開閉扉３が本体部２側から、不用意に開かない。このため、本体部２の前面開口部２Ｈが不用意には開放されず、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、真空乾燥機１の外部に漏れ出ない。これにより、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、乾燥機１の外部に暴露しないようにして、作業安全性を確保している。
【００６８】
図８のステップＳ２１において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったと、制御部１００が判断すると、図８のステップＳ２３に移る。
【００６９】
ステップＳ２３では、図８の制御部１００は、排気ファン１６を起動する。排気ファン１６を起動中は、自動バルブ２２は開いているが、真空ポンプ３３の起動は不可であり、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じており、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６も閉じている。この時には、図６の排気ファン起動ランプ９が点灯して、作業者に排気ファン１６を起動していることを明示することで、作業者は、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が排気経路２０を通じて排気中であることが分かる。
【００７０】
そして、図８のステップＳ２４では、排気ファン１６が、予め定めた所定時間、例えば１０秒間排気ファン１６を稼働させた状態で経過すると、制御部１００は、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、真空加熱処理空間ＳＰ内から排出できたと判断する。
【００７１】
そして、この所定時間が経過すると、図６に示す制御部１００は、ドアロック部２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部２６は、開閉扉３のロックを外して、作業者が開閉扉３を開くことができる状態になる。
【００７２】
この所定時間は、図６に示す制御部１００のタイマ１０１に予め記憶されている。この所定時間とは、排気ファン１６を稼働し続けることで、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、排気経路（排気ライン）２０のＨＥＰＡフィルタ１８に通して、真空加熱処理空間ＳＰ内から排出できるのに要する排出時間以上の時間である。
【００７３】
次に、図８のステップＳ２５では、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を、タイマ１０１に記憶されている所定時間開かない場合には、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られない。
【００７４】
従って、制御部１００は、オン信号ＯＳが所定時間送られてこないと、作業者が開閉扉３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ２６において、タイマ１０１に記憶されている所定時間経過後、例えば１０秒後に、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【００７５】
一方、図８のステップＳ２５において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３をタイマ１０１に記憶されている所定時間内に開いて、扉スイッチ６が、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。この場合には、制御部１００は、開閉扉３を開いたと判断して、ステップ２７に移る。
【００７６】
図８のステップＳ２７では、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ２８においては、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られないことから、制御部１００は、作業者が開閉扉３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ２９に移る。
【００７７】
また、ステップＳ２８において、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ２７に戻り、引き続き、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。
【００７８】
図８のステップＳ２９では、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、タイマ１０１に記憶されている予め定めた所定時間、例えば１０秒間、排気ファン１６を稼働させた後、排気ファン１６の稼働を停止する。
【００７９】
このようにして、図６に示す制御部１００は、開閉扉３が不用意には開かないようにしていることで、真空乾燥機１の真空加熱処理空間ＳＰ内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部２Ｈから外部に暴露しないように、真空乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００８０】
また、作業者が、実際に開閉扉３を開けようとする場合には、開閉扉３を開ける前に、真空乾燥機１の真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、真空加熱処理空間ＳＰ内から排出できるようにする。これにより、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉３を開けたことにより、前面開口部２Ｈから外部に暴露しないようにして、真空乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００８１】
さらに、ドア開閉ランプ８の緑色のランプ８Ａは、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態で点灯し、赤色のランプ８Ｂは、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを開けている状態で点灯する。これにより、作業者は、開閉扉３の開閉状態を、目視で確認できるので、乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００８２】
＜作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）＞
次に、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例を、図６と図８を参照して説明する。
【００８３】
図８のステップＳ２１において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を触っていないと、制御部１００が判断すると、図８のステップＳ２２に移る。ステップＳ２２では、制御部１００は、作業者が、図６に示す排気スイッチ１０を押したかどうかを判断する。作業者が図６に示す排気スイッチ１０を押すと、排気スイッチ１０は、制御部１００にオン信号ＦＳを送ることから、制御部１００は排気スイッチ１０が押されたと判断して、図８のステップＳ２３に移る。
【００８４】
ステップＳ２３では、図８の制御部１００は、排気ファン１６を起動する。排気ファン１６を起動中は、真空ポンプ３３の起動は不可であり、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じており、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６も閉じている。この時には、図６の排気ファン起動ランプ９が点灯する。この時には、図４の排気ファン起動ランプ９が点灯して、作業者に排気ファン１６を起動していることを明示することで、作業者は、加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が排気経路２０を通じて排気中であることが分かる。
【００８５】
そして、図８のステップＳ２４では、排気ファン１６が、予め定めた所定時間、例えば１０秒間排気ファン１６を稼働させた状態で経過すると、制御部１００は、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、真空加熱処理空間ＳＰ内から排出できたと判断する。
【００８６】
そして、この所定時間が経過すると、図６に示す制御部１００は、ドアロック部２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部２６は、開閉扉３のロックを外して、作業者が開閉扉３を開くことができる状態になる。
【００８７】
次に、図８のステップＳ２５では、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を、タイマ１０１に記憶されている所定時間開かない場合には、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られない。
【００８８】
従って、制御部１００は、オン信号ＯＳが所定時間送られてこないと、作業者が開閉扉３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ２６において、タイマ１０１に記憶されている所定時間経過後、例えば１０秒後に、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【００８９】
一方、図８のステップＳ２５において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３をタイマ１０１に記憶されている所定時間内に開いて、扉スイッチ６が、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。この場合には、制御部１００は、開閉扉３を開いたと判断して、ステップ２７に移る。
【００９０】
図８のステップＳ２７では、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ２８においては、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られないことから、制御部１００は、作業者が開閉扉３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ２９に移る。
【００９１】
また、ステップＳ２８において、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ２７に戻り、引き続き、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。
【００９２】
図８のステップＳ２９では、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、タイマ１０１に記憶されている予め定めた所定時間、例えば１０秒間、排気ファン１６を稼働させた後、排気ファン１６の稼働を停止する。
【００９３】
このようにして、図６に示す制御部１００は、開閉扉３が不用意には開かないようにしていることで、乾燥機１の真空加熱処理空間ＳＰ内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部２Ｈから外部に暴露しないように、乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００９４】
また、作業者が、実際に開閉扉３を開けようとする場合には、開閉扉３を開ける前に、乾燥機１の真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、真空加熱処理空間ＳＰ内から排出できるようにする。これにより、真空加熱処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉３を開けたことにより、前面開口部２Ｈから外部に暴露しないように、乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００９５】
以上説明したように、本発明の実施形態の真空乾燥機１は、加熱処理物を収容して真空圧状態で加熱するための真空乾燥機である。この真空乾燥機１は、開口部２Ｈを有し、加熱処理物を収容して加熱するための真空加熱処理空間ＳＰを有する本体部２と、本体部２の開口部２Ｈを開閉可能に閉鎖する開閉扉３と、真空加熱処理空間ＳＰの内部を真空圧状態になるように真空吸引する真空引き経路３０と、真空加熱処理空間ＳＰの内部が真空圧状態から大気圧状態になったかどうかを検知して圧力信号を出す圧力センサ２９と、圧力センサ２９からの圧力信号により、真空加熱処理空間の内部が真空圧状態から大気圧状態になると、真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を本体部２の外部に排気する排気ファン１６を有する排気経路２０と、開閉扉３を開けるための指示を検知する検知部（排気スイッチ１０や接触センサ２５）と、検知部（排気スイッチ１０や接触センサ２５）からの信号により排気ファン１６を起動して排気経路２０を通じて真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を排出させる制御部１００を備える。
【００９６】
これにより、真空乾燥機１では、圧力センサ２９からの圧力信号により、真空加熱処理空間の内部が真空圧状態から大気圧状態になると、検知部（排気スイッチ１０や接触センサ２５）が、開閉扉を開けるための指示を検知すると、この検知部（排気スイッチ１０や接触センサ２５）からの信号により排気ファン１６を起動して排気経路２０を通じて真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を排出させる。
【００９７】
このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機１において、エンクロージャのような特注品の大型の曝露防止具を別途用意する必要が無く、作業者が開閉扉を開けても、真空加熱処理空間の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【００９８】
真空乾燥機１では、開閉扉３は、開閉操作用の取手５を有し、真空加熱処理空間ＳＰの内部が大気圧状態になっている際に、検知部である接触センサ２５は、開閉扉３を開けるための指示として取手５に配置され取手５に触れるのを検知して制御部１００に通知し、制御部１００の指令により排気ファン１６を起動させて、大気圧状態の真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。
【００９９】
これにより、接触センサ２５は、開閉扉を開けるための指示を制御部１００に通知し、制御部の指令により排気ファン１６を起動させて真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機１において、作業者が開閉扉３を開けても、真空加熱処理空間ＳＰ内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【０１００】
真空乾燥機１では、真空加熱処理空間ＳＰの内部が大気圧状態になっている際に、検知部である排気スイッチ１０は、開閉扉３を開けるための指示としてオン操作することで制御部１００に通知して、制御部１００の指令により排気ファンを起動させて、大気圧状態の真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。
【０１０１】
これにより、排気スイッチ１０は、開閉扉を開けるための指示を制御部１００に通知して、制御部１００の指令により排気ファン１６を起動させて真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を一時的に排気させる動作を開始させる。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機１において、作業者が開閉扉３を開けても、真空加熱処理空間ＳＰ内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないようにすることができる。
【０１０２】
真空乾燥機１では、開閉扉３が開かないようにロックするドアロック部２６を備え、真空加熱処理空間ＳＰの内部が大気圧状態になっている際に、制御部１００は、排気ファン１を起動して所定時間後に、ドアロック部２６による開閉扉３のロック状態を解除させる。
【０１０３】
これにより、制御部１００は、排気ファン１６を起動して所定時間後に、ドアロック部２６による開閉扉３のロック状態を解除させるので、作業者は、真空加熱処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を排出した後でなければ、開閉扉３を開けることができない。このため、真空圧状態で加熱処理物を加熱する真空乾燥機１において、真空加熱処理空間ＳＰの内部が大気圧状態になっている際に、真空加熱処理空間ＳＰ内の雰囲気が外部に確実に漏れ出ないように、作業安全性を確保できる。
【０１０４】
また、真空乾燥機１では、開閉扉３が開口部２Ｈを閉鎖しているロック状態を解除させた後に、開閉扉３を開けて開口部２Ｈの開放を行って加熱処理物を取り出す際に、本体部２の排気風量は、開閉扉３が開口部２Ｈを閉鎖しているロック状態の排気風量よりも、大きくなるように切り替えられる。これにより、開閉扉３を開けて加熱処理物を取り出そうとする場合に、本体部２内に粉体が残留していたとしても、粉体が開口部２Ｈを通じて外部に漏れ出るのを確実に防ぐことができる。
【０１０５】
さらに、真空乾燥機１では、排気ファン１６は、ＨＥＰＡフィルタ１８を備えている。好ましくは使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、バッグに収容され、ＨＥＰＡフィルタを収容したバッグが、排気経路２０から取り外されることで、排気経路２０より、フィルタに付着している粉体等を外部に飛散させない構造である。
【０１０６】
特に好ましくは、使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内に収容用のバッグごとＨＥＰＡフィルタ１８を入れた状態でＨＥＰＡフィルタ１８を排気経路２０から取り外すことできる。このため、ＨＥＰＡフィルタ１８に付着している残留粉体等が、排気経路２０から本体部２の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【０１０７】
このように、使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、好ましくは、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内には、収容用のバッグごとＨＥＰＡフィルタ１８を入れた状態で、ＨＥＰＡフィルタ１８を排気経路２０内から取り外す方式を、バッグイン・バッグアウト方式（Ｂａｇｉｎ−Ｂａｇｏｕｔ方式）と呼ぶことができる。
【０１０８】
なお、加熱処理空間ＳＰ内の粉体としては、例えば薬品を常圧で加熱する際に生じる粉体等であるが、特に限定されない。
【０１０９】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。
【０１１０】
本発明の実施形態の構成は、新規に製造される真空乾燥機に搭載できるだけでなく、既存の真空燥機に対しても、後付けで装備して機能を発揮させることが可能である。実施形態の構成を既存の真空乾燥機に対して後付けで装備する場合には、例えばドアロック部２６の設定は、無くても良い。
【０１１１】
本発明の真空乾燥機としては、槽の本体の開口部を、ヒンジで取り付けた開閉扉を開閉可能に取り付けている。しかし、扉はヒンジで開閉可能に取り付けられている形式の他に、両開きの扉や、例えば扉がスライドすることで開閉可能に取り付けられている扉であっても良い。
【０１１２】
また、真空乾燥機としては、真空圧下で加熱処理物を乾燥する恒温器、定温乾燥機、恒温乾燥機等の各種の機器を含んでいる。
【符号の説明】
【０１１３】
１      真空乾燥機
２      本体部
２Ｈ    前面開口部（開口部）
３      開閉扉
５      取手
６      扉スイッチ
７      制御ボックス
１０    排気スイッチ（検知部の例）
１６    排気ファン
１７    排気口
２０    排気経路（排気ライン）
２２    自動バルブ
２５    接触センサ（検知部の例）
２６    ドアロック部
３０    真空引き経路
３２    自動バルブ
３３    真空ポンプ
１００  制御部
Ｈ      ヒータ
ＳＰ    真空加熱処理空間
【図１】
0006655375.tif 000002
【図２】
0006655375.tif 000003
【図３】
0006655375.tif 000004
【図４】
0006655375.tif 000005
【図５】
0006655375.tif 000006
【図６】
0006655375.tif 000007
【図７】
0006655375.tif 000008
【図８】
0006655375.tif 000009