(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面及び該第１の面とは反対側の第２の面を有する透明基板と、
前記第１の面を完全に覆うように前記第１の面に直接付着された反射防止層と、
前記反射防止層上に直接配置された、第１のパターンを有する第１の遮光層と、
前記第２の面上に直接配置された、第２のパターンを有する第２の遮光層と、
劣化要因となるダメージを前記第１の遮光層が受けないように、前記第１の遮光層上に直接配置された保護層と、
を有するパターン化ライトガイド構造。
【請求項２】
前記第１のパターンは前記第２のパターンに対応する、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項３】
前記第１の遮光層及び前記第２の遮光層は同じ材料のものである、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項４】
前記保護層は、前記第１の遮光層上に選択的に配置されている、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項５】
前記保護層は、上下方向に延在して前記第１の遮光層を覆うことなく、水平方向にだけ延在して前記第１の遮光層に付着されている、請求項４に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項６】
前記保護層は、前記第１の遮光層をコンフォーマルに覆っている、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項７】
前記第１のパターンは前記反射防止層を露出させている、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項８】
前記第２のパターンは前記第２の面を露出させている、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項９】
前記保護層は、少なくとも６Ｈの硬度を持つ、請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項１０】
前記第２の遮光層上に配置されたバッファ層と、
前記バッファ層、前記第２の面、及び前記第２の遮光層を覆う回折格子パターン層と、
前記回折格子パターン層に付着されたマルチレイヤと、
前記マルチレイヤに付着された頂部層と、
を更に有する請求項１に記載のパターン化ライトガイド構造。
【請求項１１】
パターン化ライトガイド構造を形成する方法であって、
ライトガイドピースを用意し、当該ライトガイドピースは、
第１の面及び該第１の面とは反対側の第２の面を有する透明基板と、
前記第１の面を完全に覆うように前記第１の面に直接付着された反射防止層と、
前記第２の面上に直接配置された、第２のパターンを有する第２の遮光層と、
前記第２の遮光層上に配置されたバッファ層と、
前記バッファ層、前記第２の遮光層、及び前記第２の面を覆う回折格子パターン層と、
前記回折格子パターン層に付着されたマルチレイヤと、
前記マルチレイヤに付着された頂部層と
を有し、
前記頂部層を保護するために、前記ライトガイドピースに直接付着させて、除去可能な保護層を形成し、
前記除去可能な保護層の存在下で、前記反射防止層上に直接配置した、第１のパターンを有する第１の遮光層を形成し、
前記除去可能な保護層を完全に除去して前記頂部層を露出させることで、前記パターン化ライトガイド構造を得る、
ことを有するパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１２】
前記第１のパターンは前記第２のパターンに対応する、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１３】
前記第１の遮光層及び前記第２の遮光層は同じ材料のものである、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１４】
前記除去可能な保護層は前記頂部層を完全に覆う、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１５】
前記除去可能な保護層は前記頂部層に直接付着される、請求項１４に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１６】
前記除去可能な保護層は、水によって完全に除去される、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１７】
前記除去可能な保護層は、洗浄によって完全に除去される、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【請求項１８】
前記除去可能な保護層は粘着性物質である、請求項１１に記載のパターン化ライトガイド構造を形成する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、パターン化ライトガイド構造と、パターン化ライトガイド構造を形成する方法とに関する。特に、本発明は、劣化要因となるダメージをパターン化ライトガイド構造が受けないように堅牢な保護層を備えたパターン化ライトガイド構造と、劣化要因となるダメージをパターン化ライトガイド構造が受けないように除去可能な保護層の存在下でパターン化ライトガイド構造を形成する方法とに向けられる。
【背景技術】
【０００２】
ライトガイドは、光を輸送及び分配するように設計された例えば透明ガラス基板などの透明光学材料を含む。ライトガイドの主な機能は、光源から送り先まで光を輸送することである。ライトガイドは、広範な用途に使用されている。例えば、ライトガイドの用途は、ＬＣＤ用の又は照明目的での背面照明を含み得る。
【０００３】
ライトガイドにおけるスタック層の製造プロセスにおいて、しばしば、粒子がガラス基板の背面にくっついてしまう。これら望ましくない粒子を除去するために、洗浄手順が必要であるが、それが、ライトガイドの脆弱な黒色フォトレジストを損傷してしまうことがある。そのような損傷（ダメージ）は、ライトガイド製品の品質及び歩留まりを低下させるので、従来技術における問題を克服するためのソリューションを考え出すことが産業上必要である。
【発明の概要】
【０００４】
以上の問題に鑑み、本発明は、新規なパターン化ライトガイド構造と、パターン化ライトガイド構造を形成する方法とを提案する。本発明はまた、製造プロセス中に劣化要因となるダメージをパターン化ライトガイド構造が受けないように、除去可能な保護層の存在下でパターン化ライトガイド構造を形成する方法を提案する。換言すれば、従来技術における上述の問題を克服するために、劣化要因となるダメージをパターン化ライトガイド構造が受けないように堅牢な保護層を備えたパターン化ライトガイド構造が得られる。
【０００５】
第１の態様における本発明は、パターン化ライトガイド構造を提案する。当該パターン化ライトガイド構造は、透明基板、反射防止層、第１の遮光層、第２の遮光層、及び保護層を含む。透明基板は、第１の面と、該第１の面の反対側である第２の面とを有する。反射防止層は、第１の面を完全に覆うように第１の面に直接付着される。第１の遮光層は、第１のパターンを有し、反射防止層上に直接配置される。第２の遮光層は、第２のパターンを有し、第２の面上に直接配置される。保護層は、劣化要因となるダメージを第１の遮光層が受けないように、第１の遮光層上に直接配置される。
【０００６】
本発明のパターン化ライトガイド構造の一実施形態において、第１のパターンは第２のパターンに対応し得る。
【０００７】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、第１の遮光層及び第２の遮光層は同じ材料のものとし得る。
【０００８】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、保護層は第１の遮光層上に選択的に配置され得る。
【０００９】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、保護層は、上下方向に延在して前記第１の遮光層を覆うことなく、水平方向にだけ延在して第１の遮光層に付着され得る。
【００１０】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、保護層は、第１の遮光層をコンフォーマルに覆ってもよい。
【００１１】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、第１のパターンは反射防止層を露出させ得る。
【００１２】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、第２のパターンは第２の面を露出させ得る。
【００１３】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、保護層は、６Ｈ以上の硬度を持つとし得る。
【００１４】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態において、パターン化ライトガイド構造は更に、バッファ層、回折格子パターン層、マルチレイヤ、及び頂部層を含み得る。バッファ層は第２の遮光層上に配置される。回折格子パターン層は、バッファ層、第２の遮光層、及び第２の面を覆う。マルチレイヤは回折格子パターン層に付着される。頂部層はマルチレイヤに付着される。
【００１５】
第２の態様における本発明は、パターン化ライトガイド構造を形成する方法を提案する。第１に、ライトガイドピースが用意される。このライトガイドピースは、透明基板、反射防止層、第２の遮光層、バッファ層、回折格子パターン層、マルチレイヤ、及び頂部層を含む。透明基板は、第１の面と、該第１の面の反対側である第２の面とを有する。反射防止層は、第１の面を完全に覆うように第１の面に直接付着される。第２の遮光層は、第２のパターンを有し、第２の面上に直接配置される。バッファ層は第２の遮光層上に配置される。回折格子パターン層は、バッファ層、第２の遮光層、及び第２の面を覆う。マルチレイヤは回折格子パターン層に付着される。頂部層はマルチレイヤに付着される。第２に、頂部層を保護するために、ライトガイドピースに直接付着されるように、除去可能な保護層が形成される。次に、除去可能な保護層の存在下で、反射防止層上に直接配置されるように、第１のパターンを有する第１の遮光層が形成される。そして、頂部層を露出させるように除去可能な保護層が完全に除去されることで、パターン化ライトガイド構造が得られる。
【００１６】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一実施形態において、第１のパターンは第２のパターンに対応し得る。
【００１７】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、第１の遮光層及び第２の遮光層は同じ材料のものとし得る。
【００１８】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、除去可能な保護層は頂部層を完全に覆い得る。
【００１９】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、除去可能な保護層は頂部層に直接付着され得る。
【００２０】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、除去可能な保護層は、水によって完全に除去され得る。
【００２１】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、除去可能な保護層は、洗浄によって完全に除去され得る。
【００２２】
本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一実施形態において、除去可能な保護層は、例えば接着剤などの粘着性物質とし得る。
【００２３】
本発明のこれらの目的及びその他の目的が、様々な図に例示される好適実施形態の以下の詳細な説明を読んだ後には、疑いなく当業者に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１から図４は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。
【図２】図１から図４は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。
【図３】図１から図４は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。
【図３Ａ】図１から図４は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。
【図４】図１から図４は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。
【図５】本発明のパターン化ライトガイド構造の一例を示している。
【図６】図６から図９は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一例を示している。
【図７】図６から図９は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一例を示している。
【図８】図６から図９は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一例を示している。
【図９】図６から図９は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の他の一例を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
第１の態様における本発明は、パターン化ライトガイド構造を形成する方法を提案する。図１から図５は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する方法の一例を示している。先ず、図１を参照するに、透明基板１１０が用意される。透明基板１１０は、例えば０．７ｍｍといった好適厚さのガラスとし得る。透明基板１１０は、第１の面１１１と、第１の面１１１の反対側である第２の面１１２とを有する。さらに、例えば透明基板１１０の第１の面１１１とする透明基板１１０の一方の面に、直に、透明基板１１０の第１の面１１１を完全に覆うように、反射防止層１２０が付着される。反射防止層１２０及び透明基板１１０は当該分野において知られているので、反射防止層１２０及び透明基板１１０の詳細については詳しく述べないこととする。
【００２６】
次に、図２に示すように、反射防止層１２０上に、第１の遮光層１３０すなわち第１のＢＰＲ層が形成される。第１の遮光層１３０は、第１のパターン１３１を有し、反射防止層１２０上に直接配置される。特に、第１のパターン１３１は、反射防止層１２０を部分的に露出させ得る。第１の遮光層１３０は、スピンコーティング又は蒸着によって形成され得る。第１の遮光層１３０は軟質材料で作製され得る。
【００２７】
次に、図３に示すように、軟質の第１の遮光層１３０が後の工程において劣化要因となるダメージを受けないように、軟質の第１の遮光層１３０を覆うために、保護層１４０が必要とされる。特に、保護層１４０は、軟質の第１の遮光層１３０を十分に保護するために、第１の遮光層１３０の形成の直後に形成される。
【００２８】
保護層１４０の形成は、様々なやり方を有し得る。例えば、本発明の一実施形態では、図３Ａに示すように、保護層１４０は、軟質の第１の遮光層１３０を完全に覆ってもよい。この第１のやり方では、保護層は、第１の遮光層１３０をコンフォーマルに覆い得る。この第１のやり方では、先ず、反射防止層１２０、第１の遮光層１３０、及び第１のパターン１３１を完全に覆うように、軟質の保護材料（図示せず）が透明基板１１０の第１の面１１１側に付与される。続いて、その軟質の保護材料（図示せず）が適切に硬化されることで、第１の遮光層１３０を完全に覆う硬質の保護層１４０が形成される。硬質の保護層１４０は、第１の遮光層１３０を保護するために、第１の遮光層１３０よりも硬くあるべきである。好ましくは、保護層１４０は、第１の遮光層１３０が例えばダスト、小粒子、又は引っかき傷などの劣化要因となるダメージを受けないように、６Ｈ以上の硬度を持つとし得る。
【００２９】
本発明のパターン化ライトガイド構造の他の一実施形態では、図３に示すように、保護層１４０は、第１の遮光層１３０を完全に覆うことなく第１の遮光層１３０上に選択的に配置されてもよい。例えば、保護層１４０は、上下方向に延在して第１の遮光層１３０を覆うことなく、水平方向にだけに延在して第１の遮光層１３０に付着され得る。用語“水平方向に”は、第１の面１１１の延在方向と平行な方向を指す。
【００３０】
この第２のやり方では、例えば、先ず、犠牲材料（図示せず）を用いて第１のパターン１３１を充填し、次いで、その犠牲材料（図示せず）及び第１の遮光層１３０を完全に覆うように軟質の保護材料（図示せず）が付与され得る。次に、その犠牲材料（図示せず）が除去され、その後、残存している軟質の保護材料（図示せず）が硬化されることで、上下方向に延在して第１の遮光層１３０を覆うことなく軟質の第１の遮光層１３０の水平面を選択的に覆うような保護層１４０となる。
【００３１】
あるいは、それに代えて、第２のやり方は、軟質の保護材料（図示せず）を画成する助けとなるマスク（図示せず）の存在下で実行されてもよく、その結果得られる保護層１４０は、やはり、上下方向に延在して第１の遮光層１３０を覆うことなく、水平方向にだけ延在して第１の遮光層１３０に付着されることができる。
【００３２】
軟質の保護材料（図示せず）は、好適条件下で硬化され得る。例えば、軟質の保護材料（図示せず）は、２２１℃±３℃のオーブン内で５分間硬化され得る。好ましくは、保護層１４０は、薄くて堅牢なフォトレジスト層とし得る。
【００３３】
保護層１４０の形成完了後、他方側の遮光層が第２の面１１２上に形成され得る。例えば、図４に示すように、第２の面１１２上に第２の遮光層１５０すなわち第２のＢＰＲ層が形成される。第２の遮光層１５０は、第２のパターン１５１を有し、透明基板１１０上に直接配置される。特に、第２のパターン１５１は、透明基板１１０の第２の面１１２を部分的に露出させ得る。本発明の一実施形態において、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し得る。例えば、第１のパターン１３１及び第２のパターン１５１は、同じ形状を有するが、大きさにおいて異なるとすることができ、その場合、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し、第２のパターン１５１に類似であるが、第２のパターン１５１に一致はしない。
【００３４】
第２の遮光層１５０は、例えば第１の遮光層１３０と同じ材料などの軟質材料で作製され得る。好ましくは、これらの遮光層は黒色フォトレジストとし得る。
【００３５】
本発明の他の一実施形態では、第１の遮光層１３０の形成前に第２の遮光層１５０が形成されてもよい。そうである場合、やはり、軟質の第１の遮光層１３０を十分に保護するために、第１の遮光層１３０の形成の直後に保護層１４０が形成される。
【００３６】
第２の遮光層１５０及び第１の遮光層１３０の双方が形成された後、続いて、他のスタック層が第２の遮光層１５０上に形成される。例えば、図５に示すように、スタック層１６０は、バッファ層１６１、回折格子パターン層１６２、第１のマルチレイヤ１６３、第２のマルチレイヤ１６４、及び頂部層１６５を含み得る。
【００３７】
構造に関して言うと、バッファ層１６１は、第２の遮光層１５０上に配置されるように形成される。回折格子パターン層１６２は、バッファ層１６１及び第２の遮光層１５０を覆うように形成される。第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４は、回折格子パターン層１６２に付着されるように形成される。頂部層１６５は、第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４に付着されるように形成される。第１のマルチレイヤ１６３は、例えばシリカ層などの酸化物層とすることができ、第２のマルチレイヤ１６４は、例えば酸化チタン層など、他の酸化物層とすることができる。スタック層の形成及び詳細は知られているので、それらについてここで詳述することはしない。
【００３８】
以上の手順後、結果としてパターン化ライトガイド構造が得られる。第２の態様における本発明は、パターン化ライトガイド構造を提案する。図５を参照されたい。図５は、本発明のパターン化ライトガイド構造を例示している。パターン化ライトガイド構造１００は、透明基板１１０、反射防止層１２０、第１の遮光層１３０、保護層１４０、第２の遮光層１５０、及びスタック層１６０を含んでいる。特に、第１の遮光層１３０は、ダメージ又は引っかき傷を有しない。
【００３９】
スタック層１６０は、バッファ層１６１、回折格子パターン層１６２、第１のマルチレイヤ１６３、第２のマルチレイヤ１６４、及び頂部層１６５を含み得る。第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４は、異なる酸化物材料の層とし得る。例えば、下にある第１のマルチレイヤ１６３はシリカ層とすることができ、第２のマルチレイヤ１６４は酸化チタン層とすることができる。
【００４０】
透明基板１１０は、例えば０．７μｍといった好適厚さのガラスとし得る。透明基板１１０は、第１の面１１１と、第１の面１１１の反対側である第２の面１１２とを有する。さらに、例えば透明基板１１０の第１の面１１１とする透明基板１１０の一方の面に、直に、透明基板１１０の第１の面１１１を完全に覆うように、反射防止層１２０が付着される。反射防止層１２０及び透明基板１１０は当該分野において知られているので、反射防止層１２０及び透明基板１１０の詳細については詳しく述べないこととする。
【００４１】
第１の遮光層１３０は、第１のパターン１３１を有し、反射防止層１２０上に直接配置される。第２の遮光層１５０は、第２のパターン１５１を有し、透明基板１１０上に直接配置される。特に、第１のパターン１３１は、反射防止層１２０を部分的に露出させ、第２のパターン１５１は、透明基板１１０の第２の面１１２を部分的に露出させ得る。第１の遮光層１３０は軟質材料で作製され得る。第２の遮光層１５０は、例えば第１の遮光層１３０と同じ材料などの軟質材料で作製され得る。好ましくは、これらの遮光層は黒色フォトレジストとし得る。
【００４２】
本発明の一実施形態において、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し得る。例えば、第１のパターン１３１及び第２のパターン１５１は、同じ形状を有するが、大きさにおいて異なるとすることができ、その場合、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し、第２のパターン１５１に類似であるが、第２のパターン１５１に一致はしない。
【００４３】
保護層１４０は、劣化要因となるダメージを第１の遮光層１３０が受けないようにするために、第１の遮光層１３０上に直接配置される。本発明の一実施形態では、図３に示したように、保護層１４０は、第１の遮光層１３０を完全に覆うことなく第１の遮光層１３０上に選択的に配置され得る。本発明の他の一実施形態では、図３Ａに示したように、保護層１４０は、第１の遮光層１３０を完全に覆い得る。本発明の更なる他の一実施形態では、図３に示したように、保護層１４０は、第１のパターン１３１で配置されて反射防止層１２０を覆い得る。好ましくは、保護層１４０は、６Ｈ以上の硬度を持つとし得る。
【００４４】
第３の態様における本発明は、パターン化ライトガイド構造を形成する新規な他の方法を提案する。図６から図９は、本発明のパターン化ライトガイド構造を形成する他の方法を示している。第１に、図６を参照するに、ライトガイドピース１０５が用意される。ライトガイドピース１０５は、透明基板１１０、反射防止層１２０、第２の遮光層１５０、及びスタック層１６０を含んでいる。スタック層１６０は、バッファ層１６１、回折格子パターン層１６２、第１のマルチレイヤ１６３、第２のマルチレイヤ１６４、及び頂部層１６５を含み得る。
【００４５】
透明基板１１０は、第１の面１１１と、第１の面１１１の反対側である第２の面１１２とを有する。例えば透明基板１１０の第１の面１１１とする透明基板１１０の一方の面に、直に、透明基板１１０の第１の面１１１を完全に覆うように、反射防止層１２０が付着される。
【００４６】
第２の遮光層１５０は、第２のパターン１５１を有し、透明基板１１０の第２の面１１２上に直接配置される。バッファ層１６１は、第２の遮光層１５０上に配置されるように形成される。回折格子パターン層１６２は、バッファ層１６１及び第２の遮光層１５０を覆うように形成される。第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４は、回折格子パターン層１６２に付着されるように形成される。頂部層１６５は、第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４に付着されるように形成される。スタック層の形成及び詳細は知られているので、それらについてここで詳述することはしない。
【００４７】
第２に、図７に示すように、頂部層１６５を保護するために、ライトガイドピース１０５の頂部層１６５に直接付着されるように、除去可能な保護層１７０が形成される。除去可能な保護層１７０は、例えば接着剤などの粘着性物質とし得る。除去可能な保護層１７０は、以下のように形成され得る。先ず、頂部層１６５を完全に覆うように頂部層１６５の表面上に除去可能材料（図示せず）が付与される。次いで、その除去可能材料（図示せず）が、例えばＵＶ光の存在下などの好適条件下で硬化されて、除去可能な保護層１７０となる。
【００４８】
除去可能な保護層１７０は除去可能材料を含み得る。その除去可能材料は、例えばＵＶ硬化接着剤などの硬化可能で水溶性の接着剤とし得る。一態様におけるＵＶ硬化接着剤は、例えば金属、プラスチック又はガラスなどの様々な一般的な材料に対して高い親和性を持つとともに、低エネルギーのＵＶ光によってＵＶ硬化可能であり、常温の水に迅速且つ完全に可溶である。さらに、それは、パッド又はコンタクト箇所に対して実質的に腐食性ではない。それは好ましくは、適当な粘度を持つとともに、例えば２４０℃で１時間にわたって安定であるなど、高温条件下で安定であり、製造プロセスに適合する。
【００４９】
次に、図８に示すように、除去可能な保護層１７０の存在下で、反射防止層１２０上に直接配置されるように、第１のパターン１３１を有する第１の遮光層１３０が形成される。第１のパターン１３１は、反射防止層１２０を部分的に露出させ得る。第１の遮光層１３０は軟質材料で作製され得る。好ましくは、第１の遮光層１３０及び第２の遮光層１５０は、例えば黒色フォトレジストなどの同じ材料で作製され得る。
【００５０】
第１の遮光層１３０は、スピンコーティング又は蒸着によって形成され得る。この工程において、除去可能な保護層１７０は、例えばダスト、小粒子、又は引っかき傷などの、第１の遮光層１３０の形成における劣化要因となるダメージを、頂部層１６５が受けないようにする。
【００５１】
本発明の一実施形態において、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し得る。例えば、第１のパターン１３１及び第２のパターン１５１は、同じ形状を有するが、大きさにおいて異なるとすることができ、その場合、第１のパターン１３１は、第２のパターン１５１に対応し、第２のパターン１５１に類似であるが、第２のパターン１５１に一致はしない。
【００５２】
次いで、図９に示すように、頂部層１６５を露出させるように除去可能な保護層１７０が完全に除去され、結果としてパターン化ライトガイド構造１０２が得られる。本発明の一実施形態において、除去可能な保護層１７０は、水によって完全に除去され得る。本発明の他の一実施形態では、除去可能な保護層１７０は、洗浄によって完全に除去され得る。例えば、除去可能な保護層１７０は、水の中での洗浄によって完全に除去され得る。
【００５３】
除去可能な保護層１７０の除去完了後、頂部層１６５が露出されており、結果としてパターン化ライトガイド構造１０２が得られる。得られたパターン化ライトガイド構造１０２は、透明基板１１０、反射防止層１２０、第１の遮光層１３０、第２の遮光層１５０、及びスタック層１６０を含む。
【００５４】
スタック層１６０は、バッファ層１６１、回折格子パターン層１６２、第１のマルチレイヤ１６３、第２のマルチレイヤ１６４、及び頂部層１６５を含み得る。第１のマルチレイヤ１６３及び第２のマルチレイヤ１６４は、異なる酸化物材料の層とし得る。例えば、下にある第１のマルチレイヤ１６３はシリカ層とすることができ、第２のマルチレイヤ１６４は酸化チタン層とすることができる。特に、露出された頂部層１６５は、ダメージ又は引っかき傷を有しない。
【００５５】
当業者がただちに気づくことには、本発明の教示を保持しながら装置及び方法の数多く変更及び改変が為され得る。従って、以上の開示は、添付の請求項の境界及び範囲によってのみ限定されると解釈されるべきである。
【要約】
【課題】  パターン化ライトガイド構造、及びパターン化ライトガイド構造を形成する方法を提供する。
【解決手段】  パターン化ライトガイド構造は、第１の面及び第２の面を有する透明基板と、第１の面に直接付着された反射防止層と、該反射防止層上に直接配置された第１の遮光層と、第２の面上に直接配置された第２の遮光層と、劣化要因となるダメージを第１の遮光層が受けないように第１の遮光層上に直接配置された保護層とを含む。
【選択図】  図４【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図３Ａ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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