(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面に第１電極を有し、電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、
前記フィルムに接続される枠状部材と、
前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、
前記フィルムの前記第１主面と前記枠状部材とを接続する第１接続部材と、
前記フィルムの前記第１主面と前記振動部とを接続する第２接続部材と、
前記第１電極に接続され、外部へと引出される引出電極と、を備え、
前記フィルムの前記第１主面において前記第１接続部材に接する接続領域に、前記第１電極が形成されていない非形成領域が設けられている、振動構造体。
【請求項２】
前記フィルムの前記第１主面と対向する第２主面に第２電極を有し、
前記第２主面上の前記接続領域と対向する領域に、前記第２電極が形成されていない非形成領域が設けられている、請求項１に記載の振動構造体。
【請求項３】
前記引出電極が、前記第１接続部材と前記第２接続部材の間において前記第１電極に接続されている、請求項１または２に記載の振動構造体。
【請求項４】
前記引出電極が、前記第１接続部材よりも端部側において前記第１電極に接続されている、請求項１または２に記載の振動構造体。
【請求項５】
前記第１接続部材が、前記フィルムの変形する前記面方向と直交する幅方向に延在している、請求項１から４のいずれかに記載の振動構造体。
【請求項６】
前記第１接続部材が、前記フィルムの変形する前記面方向と直交する幅方向に複数配置されている、請求項１から５のいずれかに記載の振動構造体。
【請求項７】
前記振動部が、平面視した状態において、前記枠状部材で囲われた領域の面積よりも面積が小さい、請求項１から６のいずれかに記載の振動構造体。
【請求項８】
前記振動部と前記枠状部材とを接続し、前記振動部を支持する支持部を備える、請求項１から７のいずれかに記載の振動構造体。
【請求項９】
前記支持部が、複数配置されている、請求項８に記載の振動構造体。
【請求項１０】
前記第１電極が、前記第１接続部材に最も近い支持部と平面視して重なる領域以外の前記フィルムの前記第１主面上に設けられている、請求項１から９のいずれかに記載の振動構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特開平５−１２６６２６号公報（特許文献１）は、圧電型振動センサにおいて膜状圧電体が剛体からなる基板に接続されてなる構造体を開示している。【０００３】
特許文献１に開示の構造体は、圧電体と圧電体の両主面に誘電性接着剤を用いて接着一体化された電極から成る膜状圧電体と、膜状圧電体の主面に配置される基板を有する。基板は、ガラスエポキシなどの剛体からなり、膜状圧電体の電極上に接着一体化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１２６６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、圧電体の逆圧電性を用いて膜状圧電体をアクチュエーターとして振動させる場合、膜状圧電体の表面に配置された電極が基板と直接接触して配置されているため、振動によって電極のはがれなどが発生し、信頼性が低下する虞がある。【０００６】
そこで、本発明は、圧電体と基板とを信頼性の低下を抑制し接着する振動構造体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に基づく振動構造体は、第１主面に第１電極を有し、電圧を加えることで面方向に変形するフィルムと、前記フィルムに接続される枠状部材と、前記フィルムに接続され、前記フィルムが前記面方向に変形することにより、前記面方向に振動する振動部と、前記フィルムの前記第１主面と前記枠状部材とを接続する第１接続部材と、前記フィルムの前記第１主面と前記振動部とを接続する第２接続部材と、前記第１電極に接続され、外部へと引出される引出電極と、を備え、前記フィルムの前記第１主面において前記第１接続部材に接する接続領域に、前記第１電極が形成されていない非形成領域が設けられている。【０００８】
この構成によると、平面視して接続領域上に電極が存在しないため、フィルムが伸縮した際に接続領域上の電極がはがれるということがない。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に基づく振動構造体では、フィルム上の電極の信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１（Ａ）は、振動構造体１の斜視図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、振動構造体２の斜視図であり、図２（Ｂ）は、振動構造体２の平面図である。
【図３】図３（Ａ）は、振動構造体３の斜視図であり、図３（Ｂ）は、振動構造体３の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１（Ａ）は、本開示の第１の実施形態である振動構造体１の斜視図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）における振動構造体１のＡ−Ａ断面図である。
【００１２】
振動構造体１は、枠状部材１０と、枠状部材１０で囲われた領域１１と、圧電フィルム１２と、第１電極１２１と、第２電極１２２と、支持部１３と、振動部１４と、第１接続部材１５１および第２接続部材１５２を有する接続部材１５と、引出電極１６と、第１接続領域１７と、第２接続領域１８とを備えている。
【００１３】
枠状部材１０は、平面視した形状が長方形状であり、枠状部材１０で囲われた内側の領域を有する。ただし、枠状部材１０で囲われた領域内には、支持部１３と振動部１４とが配置される。枠状部材１０で囲われた領域１１は、支持部１３と振動部１４によって枠状部材１０の長手方向の両端に配置された２つの第１開口１１Ａと、短手方向の両端に配置された２つの第２開口１１Ｂとを形成する。第１開口１１Ａは、長方形状であり、枠状部材１０の短手方向に沿って長い形状となっている。第２開口１１Ｂは、長方形であり、枠状部材１０の長手方向に沿って長い形状となっている。第２開口１１Ｂの長手方向の両端は、枠状部材１０の中心軸（図中のＡ−Ａ線）に沿って延在している。
【００１４】
振動部１４は、平面視して長方形状であり、枠状部材１０で囲われた領域内に配置されている。振動部１４の面積は、枠状部材１０で囲われた領域の面積より小さくなっている。
【００１５】
支持部１３は、振動部１４と枠状部材１０とを接続し、振動部１４が枠状部材１０で支持されるようにする。この例では、支持部１３は、圧電フィルム１２が伸縮する方向に直交する方向である枠状部材１０の短手方向に沿って長い長方形状であり、振動部１４の長手方向の両端部で、該振動部１４を保持する。
【００１６】
この例では、枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、同一部材（例えば、アクリル樹脂、ＰＥＴ、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ガラスエポキシ、ＦＲＰ、金属、またはガラス等）で形成されている。つまり、枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、１枚の長方形状の板部材を、第１開口１１Ａおよび第２開口１１Ｂの形状に沿って打抜き加工することで形成される。枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、それぞれ別の部材であってもよいが、同一部材で形成されることで、容易に製造することができる。または、同一部材で形成されることで、振動部１４の支持にゴム等の別の部材（クリープ劣化のある部材）を用いる必要がなく、長期間安定して振動部１４を保持することができる。また、同一部材でかつ抜き打ち加工を行なう場合、複数の支持部１３の固有振動周期が全く同じになるため、振動部１４を振動させたときの振動部１４の振動バラツキを軽減することができる。ただし、本発明において、これら部材は、同一部材で形成される必要はない。例えば、複数の支持部１３にそれぞれ別の部材を用いた場合、振動部１４の動きを調整することができる。例えば、支持部１３にゴム等の弾性係数の高い材料を用いると圧電フィルム１２に印加する電圧の大きさを小さくすることができる。
【００１７】
圧電フィルム１２は、枠状部材１０および振動部１４に接続される。圧電フィルム１２は、電圧を加えると面方向に変形するフィルムである。圧電フィルム１２は、平面視して枠状部材１０の長手方向に沿って長い長方形状である。圧電フィルム１２は、例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）からなる。他にも、圧電フィルム１２は、キラル高分子からなる態様であってもよい。キラル高分子は、例えば、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）またはＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ）等を用いる。
【００１８】
圧電フィルム１２にＰＶＤＦを用いた場合、ＰＶＤＦは耐水性があるため、この例における振動部材を備えた電子機器をどのような湿度環境下においても同じような振動をさせることができる。
【００１９】
また、圧電フィルム１２にＰＬＬＡを用いた場合、ＰＬＬＡは透過性の高い材料であるため、ＰＬＬＡに付加する電極および振動部が透明な材料であれば、機器の内部状況を視認出来るため、製造し易くなる。また、ＰＬＬＡは、焦電性が無いため、どのような温度環境下においても同じような振動をさせることができる。
【００２０】
圧電フィルム１２は、仮にＰＬＬＡで構成される場合、延伸方向に対して各外周辺が略４５°となるように裁断することで、圧電性を持たせる。
【００２１】
圧電フィルム１２の長手方向の第１端は、図１（Ａ）において図面右手側に配置される枠状部材１０の長手方向の第１端に接続される。圧電フィルム１２の長手方向の第２端は、図１（Ａ）において図面左手側に配置される振動部１４の長手方向の第２端に接続される。
【００２２】
圧電フィルム１２は、電圧を印加すると面方向に変形する。具体的には、圧電フィルム１２は、電圧を印加すると長手方向に伸縮する。圧電フィルム１２が長手方向に伸縮することにより、振動部１４は、長手方向に振動する。
【００２３】
圧電フィルム１２は、両主面に平面電極が形成されている。振動部１４と対向する主面に第２電極１２２、振動部１４と逆側の主面に第１電極１２１が形成されている。第１電極１２１と第２電極１２２に外部から電圧が印加されると、圧電フィルム１２は伸縮を行なう。
【００２４】
図１（Ｂ）に示すように、圧電フィルム１２は、接続部材１５を介して、枠状部材１０および振動部１４に接続される。接続部材１５は、平面視して枠状部材１０の短手方向に沿って長い長方形状である。接続部材１５は、圧電フィルム１２と枠状部材１０とを接続する第１接続部材１５１と、圧電フィルム１２と振動部１４を接続する第２接続部材１５２とを有する。第１接続部材１５１および第２接続部材１５２は、ある程度の厚みがあり、圧電フィルム１２を振動部１４、枠状部材１０および支持部１３に接触させないように、ある程度離れた位置で、圧電フィルム１２と振動部１４および圧電フィルム１２と枠状部材１０とを接続させる。これにより、圧電フィルム１２の両主面に設けられた電極が振動部１４に接触しないため、圧電フィルム１２が伸縮して振動部１４が振動したとしても、電極が削られることがない。なお、枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４が導電性部材である場合、接続部材１５と枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４との間に絶縁性部材またはコーティング膜を配置することが好ましい。この場合、枠状部材１０、支持部１３、および振動部１４と圧電フィルム１２の電極との間で電気的な短絡を防ぐことができる。
【００２５】
接続部材１５は、例えば、金属、ＰＥＴ、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリイミド、またはＡＢＳ樹脂などからなる。接続部材１５は、圧電フィルム１２と振動部１４と（および圧電フィルム１２と枠状部材１０と）を接着剤等で接続する。なお、接着剤等を介して、接続部材１５と各種構成とを接続することは、必須ではない。例えば、接続部材１５自体が、接着剤または両面テープであってもよい。この場合、接着剤等を別途用意する必要はない。接続部材１５は、熱硬化性樹脂を用いてもよい。第１接続部材１５１は、圧電フィルム１２上に電極を設けない箇所に対して直接接着される。
【００２６】
圧電フィルム１２は、ある程度のテンションが掛けられた状態で、接続部材１５を介して枠状部材１０および振動部１４に接続される。ただし、圧電フィルム１２にテンションが掛けられた状態で接続されることは必須ではない。圧電フィルム１２は、収縮した時のみテンションが掛けられる様に、接続されていてもよい。
【００２７】
また、第１接続部材１５１は、第１接続領域１７において圧電フィルム１２と枠状部材１０とを接続する。第１接続領域１７には、圧電フィルム１２を平面視して、圧電フィルム１２の長手方向の第１端で第１電極１２１および第２電極１２２は形成されていない箇所と、第１接続部材が配置される箇所を含む。
【００２８】
第１接続領域１７上に電極が形成されていないことから、圧電フィルム１２が収縮し、第１接続部材１５１と圧電フィルム１２との間に力が加わった場合でも、電極に直接力が加わり剥がれなどがおきることを抑制できる。さらに、第１接続部材１５１が配置される箇所の圧電フィルム１２は、第１接続部材が配置されていない箇所の圧電フィルム１２に比べて伸縮が起きにくくなっているため、圧電フィルム１２が伸縮した際に、第１接続部材１５１の境界で圧電フィルム１２上に形成される電極に応力が加わる虞がある。振動構造体１の構成では、第１接続部材１５１上に電極が配置されないため、圧電フィルム１２が伸縮した際に、第１接続部材の境界で電極に応力が加わり剥がれなどが起きることを抑制できる。
【００２９】
そのため、圧電フィルム１２上に形成された電極の導通がより確保されやすくなり、信頼性が向上する。
【００３０】
圧電フィルム１２には、振動部１４と対向する主面に第２電極１２２が、また、振動部１４と逆側の主面に第１電極１２１が形成されている。第１電極１２１と第２電極１２２に外部から電圧が印加されると、圧電フィルム１２は伸縮を行なう。
【００３１】
引出電極１６は、圧電フィルム１２の電極に接続される。引出電極１６は、さらに不図示の駆動部へ接続される。圧電フィルム１２の電極へ駆動部から駆動信号が引出電極１６を介して印加され、圧電フィルム１２が伸縮する。
【００３２】
引出電極１６は、第１接続部材１５１よりも振動部１４側に配置される。第１接続部材１５１上には、圧電フィルム１２上に電極が配置されていないため、引出電極１６は、第１接続部材１５１よりも振動部１４側に配置され、圧電フィルム１２の電極に接続される。
【００３３】
引出電極１６は、第１電極１２１と第２電極１２２からそれぞれ引出されてもよい。また、第１電極１２１と第２電極１２２の同じ箇所から引出され、重ねられて引出されてもよい。この場合、第１電極１２１から引出された引出電極と第２電極１２２から引出された引出電極とが短絡しないように絶縁して重ねられている。引出電極１６が引出される方向は、振動部１４の振動方向と垂直方向に引出される。
【００３４】
圧電フィルム１２の電極から引出された引出電極１６は、枠状部材１０の平面視で圧電フィルムが配置されない領域まで延在している。延在箇所からさらに接続線などで外部へと接続されてもよいし、引出電極１６の端部に接続用の端子を設けてもよい。
【００３５】
圧電フィルム１２は、第１接続部材１５１で枠状部材１０に接続されている。圧電フィルム１２の主面を平面視して第１接続部材１５１上の第１接続領域１７には、第１電極１２１および第２電極１２２は形成されていない。さらに、圧電フィルム１２の主面を平面視して第２接続部材１５２上の第２接続領域１８には、第１電極１２１および第２電極１２２は形成されていない。
【００３６】
この構成によって、圧電フィルム１２上の第１電極１２１および第２電極１２２が第１接続部材１５１および第２接続部材１５２に接続される部分で直接力が加わることを抑制でき、信頼性が向上する。
【００３７】
図１（Ａ）では、第１接続部材１５１の第１接続領域１７上に第１電極１２１および第２電極１２２が形成されない例を示したが、この限りではなく、第２接続部材１５２が圧電フィルム１２と接続する領域上に電極が形成されていない構成でもよい。
【００３８】
その場合、より電極の剥がれにくさが向上し、信頼性が高くなる。
以上の振動構造体１は、振動部１４が枠状部材１０で囲われた領域１１内で面方向に振動する。したがって、振動構造体１としての全体の厚みは、図１（Ｂ）に示すように、圧電フィルム１２の厚み、接続部材１５の厚み、および振動部１４の厚みとなり、非常に薄くなる。また、圧電フィルム１２は、弾性があり、耐衝撃性を有する。さらに、枠状部材１０、振動部１４、および支持部１３は、１枚の長方形状の板部材が同一部材からなる場合には、振動部１４の支持にゴム等の別の部材（クリープ劣化のある部材）を用いる必要がない。したがって、振動構造体１の構造によれば、長期間、安定して振動することができる。
【００３９】
なお、振動部１４の形状は、図１（Ａ）に示した形状に限らない。枠状部材１０は、平面視して全周を囲む環状である必要はなく、一部が開口した構造でもよい。また、枠状部材１０および振動部１４は、平面視して長方形状である必要はない。枠状部材１０および振動部１４は、多角形状、円形状、または楕円形状等であってもよい。
【００４０】
なお、圧電フィルム１２は、長手方向の両端部で接続部材１５に接続されることで、振幅を大きくすることができるが、長手方向の両端部で接続部材１５に接続されることは必須ではない。また、圧電フィルム１２の長手方向は、振動部１４の振動方向に沿っている必要はない。また、図１（Ａ）に示した例では、平面視して圧電フィルム１２が振動部１４を覆うようになっているが、例えば、振動部１４の第１端（図中の右端）と、枠状部材１０の第１端と、を接続するだけでもよい。
【００４１】
また、支持部１３は、少なくとも１箇所で振動部１４を支持していればよい。
また、圧電フィルム１２は、１つに限らない。振動構造体１は、複数の圧電フィルム１２を有していてもよい。この場合、複数の圧電フィルム１２を、それぞれ個別に駆動させることができる。また、複数の圧電フィルム１２は、互いに積層された構造であってもよい。この場合、複数の圧電フィルム１２の各層に印加電圧をかけてもよい。
【００４２】
図２（Ａ）に本開示の第２の実施形態である振動構造体２の斜視図を示す。図２（Ｂ）は図２（Ａ）における振動構造体２の平面図である。
【００４３】
振動構造体２は、枠状部材２０と、開口２１と、圧電フィルム２２と、第１電極２２１と、第２電極２２２と、切欠き２２３と、支持部２３と、振動部２４と、第１接続部材２５１および第２接続部材２５２を有する接続部材２５と、引出電極２６と、第１接続領域２７と、第２接続領域２８とを備えている。
【００４４】
振動構造体２は、切欠き２２３を圧電フィルム２２上に備える点で振動構造体１と異なる。そのため、以下においては、相違点にのみ焦点を当てて記述する。
【００４５】
圧電フィルム２２は、第１接続領域２７において第１接続部材２５１を介して枠状部材２０に接続される。また、圧電フィルム２２は、第２接続領域２８において第２接続部材２５２を介して振動部３４へ接続される。
【００４６】
圧電フィルム２２の振動部２４と対向する主面には、第２電極２２２が配置され、振動部２４と対向する主面とは逆の主面には、第１電極２３１が配置される。
【００４７】
第１電極２２１および第２電極２２２は、切欠き２２３を有する。圧電フィルム２２および第１電極２２１、第２電極２２２を平面視して、第１接続領域２７よりも振動部２４側に切欠き２２３は設けられる。切欠き２２３は、振動構造体２を平面視して支持部２３と重なる領域に配置される。
【００４８】
切欠き２２３が振動構造体２の平面視で支持部２３と重なる領域に配置されることで、圧電フィルム２２の電極が支持部２３と接触しにくくなる。このことによって振動構造体２の信頼性がより向上する。
【００４９】
また、引出電極２６は、第１接続領域２７と切欠き２２３との間に配置される。切欠き２２３が設けられる圧電フィルム２２の領域は、第１電極２２１および第２電極２２２が存在しないため伸縮を行なわない。そのため、圧電フィルム２２の伸縮によって引出電極２６に加わる力および振動が抑制される。このことによって引出電極２６が圧電フィルム２２の電極から剥がれる虞が軽減され、振動構造体２の信頼性が向上する。
【００５０】
切欠き２２３は、単数ではなく圧電フィルム２２上に複数設けてもよい。その場合、支持部２３が振動構造体２を平面視して切欠き２２３に重なるように設けることが好ましいが、この限りではない。
【００５１】
また、切欠き２２３は、引出電極２６上に設けてもよい。その場合、圧電フィルム２２と引出電極２６が接続される箇所が振動しにくくなるため、信頼性が向上する。
【００５２】
図３（Ａ）は本開示の第３の実施形態に係る振動構造体３の斜視図である。図３（Ｂ）は図３（Ａ）に示した振動構造体３の平面図である。
【００５３】
振動構造体３は、枠状部材３０と、開口３１と、圧電フィルム３２と、第１電極３２１と、第２電極３２２と、切欠き３２３と、支持部３３と、振動部３４と、第１接続部材３５１および第２接続部材３５２を有する接続部材３５と、引出電極３６と、第１接続領域３７と、第２接続領域３８とを備えている。
【００５４】
振動構造体３は、第１接続領域３７および第１接続部材３５１が引出電極３６と振動部３４との間に配置され、さらに切欠き３２３が第１接続部材３５１上に配置される点で振動構造体２と異なる。
【００５５】
そのため、以下においては、振動構造体２と振動構造体３との相違点にのみ焦点を当てて記述する。
【００５６】
圧電フィルム３２は、振動部３４と第２接続領域３８において第２接続部材３５２を介して接続される。さらに、圧電フィルム３２は、枠状部材３０と第１接続領域３７において第１接続部材３５１を介して接続される。
【００５７】
圧電フィルム３２の振動部３４と対向する主面には、第２電極３２２が配置され、振動部３４と対向する主面とは逆の主面には、第１電極３３１が配置される。
【００５８】
引出電極３６は、圧電フィルム３２の電極と圧電フィルム３２の第１接続部材３５１を挟んで第２接続部材３５２と反対側の端部で接続される。引出電極３６は、圧電フィルム３２の第１接続部材３５１を挟んで第２接続部材３５２と反対側の端部で圧電フィルム３２電極に接続されることで、第１接続部材３５１より第２接続部材３５２寄りの圧電フィルム３２による振動の影響を受けにくい。この構成によると、引出電極３６への振動や振動に伴って加えられる力の影響を抑制でき、信頼性が向上する。
【００５９】
また、切欠き３２３は、振動構造体４を平面視して第１接続部材３５１上に設けられる。第１接続部材３５１は、振動構造体４を平面視して切欠き３２３の部分において振動部３４と圧電フィルム３２とを接着する。この構成によって、第１接続部材３５１が引出電極３６よりも振動部４４側に設けられていたとしても、切欠き３２３が設けられていない部分において、第１電極３２１および第２電極３２２と引出電極３６との導通を確保しつつ引出電極３６の信頼性を向上することができる。
【００６０】
また、第１接続部材３５１は、切欠き３２３の形状に沿って設けられてもよい。つまり、振動構造体３を平面視して切欠き３２３が短手方向に複数の長方形を配列した形状の場合、第１接続部材３５１は、切欠き３２３と重なるように振動構造体３の短手方向に複数の長方形の接続部材を配列してもよい。この場合、切欠き３２３以外の電極と第１接続部材３５１とが振動構造体３の駆動時に接触し、信頼性が低下することを抑制できる。
【００６１】
以上において説明した本開示の第１ないし第３の実施形態における特徴的な構成は、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて相互に組み合わせることができる。
【００６２】
今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって画定され、また請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００６３】
１  振動構造体、１０  枠状部材、１１  囲われた領域、１２  圧電フィルム、１２１  第１電極、１２２  第２電極、１３  支持部、１４  振動部、１５  接続部材、１５１  第１接続部材、１５２  第２接続部材、１６  引出電極、１７  第１接続領域。
【要約】
振動構造体（１）は、第１主面に第１電極（１２１）を有し、電圧を加えることで面方向に変形するフィルム（１２）と、フィルム（１２）に接続される枠状部材（１０）と、フィルム（１２）に接続され、フィルム（１２）が面方向に変形することにより、面方向に振動する振動部（１４）と、フィルム（１２）の第１主面と枠状部材（１０）とを接続する第１接続部材（１５１）と、フィルム（１２）の第１主面と振動部（１４）とを接続する第２接続部材（１５２）と、第１電極（１２１）に接続され、外部へと引出される引出電極（１６）と、を備え、フィルム（１２）の第１主面において第１接続部材（１５１）に接する接続領域に第１電極（１２１）が形成されない非形成領域が設けられる。【図１】
0006743997.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006743997.tif 000004