(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有し、エッチング処理で形成されたループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とが接続されるように前記エッチング処理によって形成された線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅が、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と、
前記エッチング処理によって前記接続部が分断されたことによって形成された第３突出部であって、前記複数の第２突出部に沿って前記第２基部から突出する第３突出部と
のいずれか一方をさらに備える、ＲＦＩＤタグ。
【請求項２】
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有するループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とを接続する線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と
を備える、ＲＦＩＤタグ。
【請求項３】
前記第１接続部は、平面視で前記第２接続部の線幅よりも狭くなるテーパ形状を有する、請求項１又は２記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項４】
前記第１接続部は、前記第１基部に接続される側に位置し、前記第２接続部は、前記第２基部に接続される側に位置する、請求項１乃至３のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項５】
前記接続部は、平面視で前記複数の第２突出部のうち最も外側に位置する第２突出部の隣に配置される、請求項１乃至４のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項６】
前記第２アンテナエレメントは、複数の前記接続部を備え、前記複数の接続部の前記第１接続部の線幅は、互いに異なり、前記第２接続部の線幅よりも狭い、請求項１乃至５のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項７】
前記複数の接続部は、前記第１接続部の線幅が太い接続部ほど、平面視で前記複数の接続部のうちの外側に配置され、前記第１接続部の線幅が細い接続部ほど、平面視で前記複数の接続部のうちの内側に配置される、請求項６記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項８】
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有するループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、前記複数の第２突出部のうちの少なくとも１つの先端の前記突出する方向に対する幅は、前記第２基部から突出する部分の幅よりも狭い、ＲＦＩＤタグ。
【請求項９】
前記複数の第１突出部と、前記複数の第２突出部とは、インターデジタル部を構築する、請求項１乃至８のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
【請求項１０】
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１エレメント及び第２エレメントを有し、エッチング処理で形成されたループエレメントと
を含み、
前記第１エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、先端に第１端子を備える第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、先端に第２端子を備える第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とが接続されるように前記エッチング処理によって形成された線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と、
前記エッチング処理によって前記接続部が分断されたことによって形成された第３突出部であって、前記複数の第２突出部に沿って前記第２基部から突出する第３突出部と
のいずれか一方をさらに備える、高周波回路。
【請求項１１】
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１エレメント及び第２エレメントを有するループエレメントと
を含み、
前記第１エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、先端に第１端子を備える第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、先端に第２端子を備える第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とを接続する線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と
を備える、高周波回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦＩＤタグ、及び、高周波回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プリント基板の表面または内層面に形成されたパターンコイルと、前記パターンコイルに並列接続または直列接続され前記プリント基板の表面または内層面に形成され複数の小面積パターンで構成されたパターンコンデンサから成る共振器がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１９８７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の共振器は、パターンコンデンサの容量の増減が相殺してＬＣ積が一定となるようにパターンコイルおよびパターンコンデンサの大きさを選ぶことができると記載されているが、ＬＣ積を一定にすることは、実際には非常に困難である。
【０００５】
また、エッチング処理でパターンコイルとパターンコンデンサを形成すると、エッチングレートのばらつきにより、ＬＣ積が一定にならず、実際には、共振周波数は変動するおそれがある。
【０００６】
このため、従来の共振回路は、エッチングレートのばらつきが大きくなればなるほど、共振周波数のずれが大きくなり、良好な動作を行えなくなるおそれがあるという課題がある。
【０００７】
そこで、良好な動作が可能なＲＦＩＤタグ、及び、高周波回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施の形態のＲＦＩＤタグは、誘電体製で板状のベース部と、前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有し、エッチング処理で形成されたループアンテナと、前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップとを含み、前記第１アンテナエレメントは、前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部とを備え、前記第２アンテナエレメントは、前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部とを備え、前記第２アンテナエレメントは、前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とが接続されるように前記エッチング処理によって形成された線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と、前記エッチング処理によって前記接続部が分断されたことによって形成された第３突出部であって、前記複数の第２突出部に沿って前記第２基部から突出する第３突出部とのいずれか一方をさらに備える。
【発明の効果】
【０００９】
良好な動作が可能なＲＦＩＤタグ、及び、高周波回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００を示す図である。
【図２】図１に示すＲＦＩＤタグ１００からカバー部１４０を取り除いた構成を示す図である。
【図３】図１に示すＲＦＩＤタグ１００からＩＣチップ１３０とカバー部１４０を取り除いた構成を示す図である。
【図４】ベース部１０１、シート部１０５、アンテナエレメント１１０、１２０、ＩＣチップ１３０を示す図である。
【図５】インレイ１５０を示す図である。
【図６】図５に示すインレイ１５０からＩＣチップ１３０を取り除いた素子１５０Ａを示す図である。
【図７】ＲＦＩＤタグ１００の等価回路を示す図である。
【図８】テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１と分断されたＲＦＩＤタグ１００を示す図である。
【図９】テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された直後のＲＦＩＤタグ１００の等価回路を示す図である。
【図１０】ＲＦＩＤタグ１００の読み取り距離の周波数特性を示す図である。
【図１１】エッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。
【図１２】ＲＦＩＤタグ１００のシミュレーションモデルを示す図である。
【図１３】読み取り距離の共振周波数特性のシミュレーション結果を示す図である。
【図１４】エッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。
【図１５】実施の形態の変形例によるインレイ１５０Ｂを示す図である。
【図１６】インレイ１５０Ｂを用いたＲＦＩＤタグ１００におけるエッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。
【図１７】高周波回路２００を示す図である。
【図１８】高周波回路２００の実装例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明のＲＦＩＤタグ、及び、高周波回路を適用した実施の形態について説明する。
【００１２】
＜実施の形態＞
図１は、実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００を示す図である。
【００１３】
実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００は、ベース部１０１、シート部１０５、アンテナエレメント１１０、１２０、ＩＣチップ１３０、及びカバー部１４０を含む。
【００１４】
以下、ＲＦＩＤタグ１００の構成を説明するにあたり、図１に加えて図２乃至図６を用いる。図１乃至図６では、共通のＸＹＺ座標系を定義する。
【００１５】
図２は、図１に示すＲＦＩＤタグ１００からカバー部１４０を取り除いた構成を示す図である。図３は、図１に示すＲＦＩＤタグ１００からＩＣチップ１３０とカバー部１４０を取り除いた構成を示す図である。図４は、ベース部１０１、シート部１０５、アンテナエレメント１１０、１２０、ＩＣチップ１３０を示す図である。図４（Ａ）は、ＲＦＩＤタグ１００からカバー部１４０を取り除いた構成を示し、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＡ−Ａ矢視断面を示す。図５は、インレイ１５０を示す図である。図６は、図５に示すインレイ１５０からＩＣチップ１３０を取り除いた素子１５０Ａを示す図である。素子１５０Ａは、アンテナ装置として取り扱うことができる。
【００１６】
なお、インレイ１５０は、シート部１０５、アンテナエレメント１１０、１２０、及びＩＣチップ１３０によって構築される。
【００１７】
以下では、図１乃至図３を用いて、ＲＦＩＤタグ１００の全体構成を示す。図１乃至図３では、内部構成を分かり易くするために、透過的に示している。また、アンテナエレメント１１０、１２０、ＩＣチップ１３０、インレイ１５０等の詳細な構成は、図４乃至図６を用いて説明する。
【００１８】
また、薄板状のＲＦＩＤタグ１００のＩＣチップ１３０が実装される面を上面と称し、上面とは反対側の面を底面と称す。底面は、接着剤等を用いて、ＲＦＩＤタグ１００を金属製の物体又は非金属製の物体等に貼り付ける貼付面である。
【００１９】
また、以下では、一例として、共振周波数が８９２ＭＨｚのＲＦＩＤタグ１００について説明する。すなわち、実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００は、共振周波数が８９２ＭＨｚになるように、各部の寸法、インダクタンス、及び静電容量等が最適化されている。共振周波数を８９２ＭＨｚ以外の周波数にする場合は、各部の寸法、インダクタンス、及び静電容量等を所望の共振周波数に合わせて最適化すればよい。
【００２０】
ベース部１０１は、図１乃至図４に示すように、薄板状（直方体状）の部材である。ベース部１０１は、誘電体製であればよく、例えば、ＡＢＳ樹脂、ＰＥＴ(Polyethylene  terephthalate)樹脂、ポリカーボネイト樹脂、ＰＶＣ(polyvinyl  chloride)樹脂等で作製することができる。
【００２１】
ベース部１０１には、図１に示すように、インレイ１５０（図５参照）がＸ軸方向に巻回される。ベース部１０１は、Ｘ軸方向の長さが約３１ｍｍ、Ｙ軸方向の幅が約２３ｍｍ、Ｚ軸方向の厚さが約１．２ｍｍである。
【００２２】
ここでは、ベース部１０１のＸ軸方向の両端を端部１０１Ａ、１０１Ｂと称す。
【００２３】
シート部１０５は、図５に示すように、平面視で長方形のフィルムであり、一方の面にアンテナエレメント１１０及び１２０が形成される。シート部１０５は、シート部材の一例である。シート部１０５は、例えば、ＰＥＴフィルム又はＰＥＴ樹脂又は紙製のフィルム状の部材である。
【００２４】
シート部１０５は、一方の面にアンテナエレメント１１０及び１２０が形成され、さらにＩＣチップ１３０が実装された状態で、ベース部１０１に巻き付けた状態で接着される。すなわち、シート部１０５は、インレイ１５０（図６参照）が完成し、ＩＣチップ１３０が実装された状態で、シート部１０５に巻き付けられて接着される。
【００２５】
アンテナエレメント１１０は、図５及び図６に示すように、シート部１０５の一方の面の長手方向（Ｘ軸方向）における約半分の領域内に形成されている。アンテナエレメント１１０は、第１アンテナエレメントの一例である。
【００２６】
アンテナエレメント１１０は、エレメント１１１、突出部１１２、及び配線部１１３を有する。アンテナエレメント１１０は、アンテナエレメント１２０とループアンテナ１８０を構築する。ループアンテナ１８０は、ベース部１０１をＸ軸方向に巻くように設けられる。ループアンテナ１８０のＸ軸方向の長さは約３１ｍｍ、Ｙ軸方向の幅は約２１ｍｍ、Ｚ軸方向の高さは約１．２ｍｍである。
【００２７】
アンテナエレメント１１０は、金属製であればよく、アルミニウム又は銅等であってもよい。アンテナエレメント１１０は、例えば、アンテナエレメント１２０とともに、ウェットエッチング処理によって作製することができる。シート部１０５の一方の表面に銅箔等の金属箔を設け、ウェットエッチング処理を行うことにより、アンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングすることができる。
【００２８】
ウェットエッチング処理を行う前に、金属箔の上に形成されるレジストにフォトリソグラフィで露光を行う際に用いるマスクは、アンテナエレメント１１０及び１２０の形状に合わせて開口されている。
【００２９】
エレメント１１１は、平面視で矩形状の放射部であり、Ｘ軸正方向側の端部１１１Ａに突出部１１２及び配線部１１３と、後述するアンテナエレメント１２０の接続部１２４Ａの先端のテーパ部１２４Ａ１とが接続され、端部１１１Ａの反対側に端部１１１Ｂを有する。エレメント１１１は、第１基部の一例である。
【００３０】
エレメント１１１は、ベース部１０１の上面側に位置する端部１１１Ａから、ベース部１０１の底面側に位置する端部１１１Ｂにかけて設けられており、ベース部１０１の端部１０１Ａにおいて折り曲げられている。
【００３１】
端部１１１Ｂは、図４（Ｂ）に示すように、インレイ１５０がベース部１０１に巻回された状態で、ベース部１０１の底面側で、後述するエレメント１２１の端部１２１Ｂと重ね合わされている。
【００３２】
端部１１１Ｂと端部１２１Ｂが平面視で重複する部分は、重複部１６０を構築している。重複部１６０において、端部１１１Ｂと端部１２１Ｂとは、シート部１０５によって絶縁されている。
【００３３】
突出部１１２は、図４乃至図６に示すように、エレメント１１１の端部１１１ＡからＸ軸正方向に突出するように伸延している。突出部１１２は、配線部１１３よりもＹ軸正方向側に３本、配線部１１３よりもＹ軸負方向側に３本設けられている。６本の突出部１１２のＸ軸方向の長さは、すべて等しい。突出部１１２は、第１突出部の一例である。なお、図１乃至図３は、後述するシミュレーションモデルをベースにして示してあるため、突出部１１２は１２本設けられている。
【００３４】
６本の突出部１１２の幅（Ｙ軸方向の幅）は、互いに等しく、それぞれ、エレメント１１１に接続される側から、Ｘ軸正方向側の先端まで均一な幅（Ｙ軸方向の幅）を有する。突出部１１２は、アンテナエレメント１２０の突出部１２２と平面視で入れ子式に配置されている。
【００３５】
突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、配線部１２３は、インターデジタル部１７０を構築する。インターデジタル部１７０は、所定の静電容量を有するキャパシタとして機能する。インターデジタル部１７０は、アンテナエレメント１１０及び１２０が構築するループアンテナ１８０に対して並列に接続されるキャパシタとして取り扱うことができる。
【００３６】
なお、突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、配線部１２３のＸ軸方向の長さ、Ｙ軸方向の幅、Ｚ軸方向の高さ、Ｘ軸方向の間隔、及びＹ軸方向の間隔等の各寸法は、インターデジタル部１７０の静電容量を所望の値に設定するために最適な値に設定すればよい。
【００３７】
配線部１１３は、エレメント１１１の端部１１１ＡからＸ軸正方向に突出するように伸延している。配線部１１３は、第１配線部の一例である。配線部１１３の幅（Ｙ軸方向の幅）は、エレメント１１１に接続される側から、Ｘ軸正方向側の先端まで均一である。配線部１１３の幅は、一例として、突出部１１２の幅の約２倍である。
【００３８】
ＲＦＩＤタグ１００の通信時に、配線部１１３には電流が流れるため、配線部１１３の抵抗値を小さくするために、配線部１１３の幅を太くすることが好ましい。このため、実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００では、配線部１１３の幅を突出部１１２よりも太くしている。配線部１１３の幅は、ＩＣチップ１３０を介して接続される配線部１２３の幅と等しい。
【００３９】
配線部１１３は、３本の突出部１１２と３本の突出部１１２との間に位置する。配線部１１３は、先端に端子１１３Ａを有し、端子１１３ＡにはＩＣチップ１３０が接続される。配線部１１３は、一例として、アンテナエレメント１２０のＸ軸に平行な中心軸上に配置されている。
【００４０】
配線部１１３は、ＩＣチップ１３０を接続する前の状態では、図６に示すように、配線部１２３の先端の端子１２３Ａとの間に、Ｘ軸方向に間隔を空けて形成されている。端子１１３Ａには、ＩＣチップ１３０の２つの端子のうちの一方がはんだ等によって接続される。ここでは、一例として、配線部１１３が配線部１２３よりも短く、ＩＣチップ１３０が図４における平面視でＸ軸負方向側にオフセットしている形態について説明するが、配線部１１３が配線部１２３よりも長くてもよく、長さが等しくてもよい。ＩＣチップ１３０のＸ軸方向における位置は、配線部１１３と配線部１２３の長さに応じて決められる。
【００４１】
また、アンテナエレメント１２０の接続部１２４Ａの先端のテーパ部１２４Ａ１は、Ｙ軸方向において最も正方向側に位置する突出部１１２のＹ軸正方向側に設けられている。接続部１２４Ａ及びテーパ部１２４Ａ１については、後述する。
【００４２】
アンテナエレメント１２０は、図５及び図６に示すように、シート部１０５の一方の面の長手方向における約半分の領域内に形成されている。アンテナエレメント１２０は、第２アンテナエレメントの一例である。
【００４３】
アンテナエレメント１２０は、エレメント１２１、突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａを有する。アンテナエレメント１２０は、アンテナエレメント１２０とループアンテナ１８０を構築する。
【００４４】
アンテナエレメント１２０は、金属製であればよく、アルミニウム又は銅等であってもよい。アンテナエレメント１２０は、例えば、アンテナエレメント１１０とともに、ウェットエッチング処理によって作製することができる。シート部１０５の一方の表面に銅箔等の金属箔を設け、ウェットエッチング処理を行うことにより、アンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングすることができる。
【００４５】
エレメント１２１は、平面視で矩形状の放射部であり、Ｘ軸負方向側の端部１２１Ａに突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａが接続され、端部１２１Ａの反対側に端部１２１Ｂを有する。エレメント１２１は、第２基部の一例である。
【００４６】
エレメント１２１は、ベース部１０１の上面側に位置する端部１２１Ａから、ベース部１０１の底面側に位置する端部１２１Ｂにかけて設けられており、ベース部１０１の端部１０１Ｂ側において折り曲げられている。
【００４７】
エレメント１２１は、端部１２１Ｂにおいて、エレメント１１１と重ね合わされている。
【００４８】
端部１２１Ｂは、図４（Ｂ）に示すように、インレイ１５０がベース部１０１に巻回された状態で、ベース部１０１の底面側で、エレメント１１１の端部１１１Ｂと重ね合わされている。
【００４９】
端部１２１Ｂと端部１１１Ｂが平面視で重複する部分は、重複部１６０を構築し、重複部１６０において、端部１２１Ｂと端部１１１Ｂとは、シート部１０５によって絶縁されている。
【００５０】
突出部１２２は、図４乃至図６に示すように、エレメント１２１の端部１２１ＡからＸ軸負方向に突出するように伸延している。突出部１２２は、配線部１２３よりもＹ軸正方向側に２本、配線部１２３よりもＹ軸負方向側に３本設けられている。５本の突出部１２２のＸ軸方向の長さは、すべて等しい。突出部１２２は、第２突出部の一例である。なお、図１乃至図３は、後述するシミュレーションモデルをベースにして示してあるため、突出部１２２は１１本設けられている。
【００５１】
５本の突出部１２２の幅（Ｙ軸方向の幅）は等しく、それぞれ、エレメント１２１に接続される側から、Ｘ軸負方向側の先端まで均一な幅（Ｙ軸方向の幅）を有する。突出部１２２の幅は、突出部１１２の幅と等しい。５本の突出部１２２は、６本の突出部１１２と平面視で入れ子式に配置されている。
【００５２】
配線部１２３は、エレメント１２１の端部１２１ＡからＸ軸負方向に突出するように伸延している。配線部１２３は、第２配線部の一例である。
【００５３】
配線部１２３の幅（Ｙ軸方向の幅）は、エレメント１２１に接続される側から、Ｘ軸負方向側の先端まで均一である。配線部１２３の幅は、配線部１１３の幅と等しく、突出部１２２の幅の約２倍である。
【００５４】
ＲＦＩＤタグ１００の通信時に、配線部１２３には電流が流れるため、配線部１２３の抵抗値を小さくするために、配線部１２３の幅を太くすることが好ましい。このため、実施の形態１のＲＦＩＤタグ１００では、配線部１２３の幅を突出部１２２よりも太くしている。
【００５５】
配線部１２３は、Ｙ軸正方向側の２本の突出部１２２と、Ｙ軸負方向側の３本の突出部１２２との間に位置している。配線部１２３の先端には、端子１２３Ａが設けられている。端子１２３Ａには図１に示すようにＩＣチップ１３０が接続される。配線部１２３は、一例として、アンテナエレメント１２０のＸ軸に平行な中心軸上に配置されている。
【００５６】
配線部１２３は、ＩＣチップ１３０を接続する前の状態では、図６に示すように、配線部１１３の先端の端子１１３Ａとの間に、Ｘ軸方向に間隔を空けて形成されている。端子１２３Ａには、ＩＣチップ１３０の２つの端子のうちの他方がはんだ等によって接続される。
【００５７】
このような配線部１２３は、突出部１２２、突出部１１２、及び配線部１１３とともに、インターデジタル部１７０を構築する。
【００５８】
接続部１２４Ａは、Ｙ軸方向において最も正方向側に配置される突出部１２２のＹ軸正方向側において、Ｙ軸方向において最も正方向側に配置される突出部１１２よりもＹ軸正方向側に配置される。
【００５９】
接続部１２４Ａは、エレメント１２１の端部１２１ＡからＸ軸負方向に突出するように伸延しており、先端にテーパ部１２４Ａ１を有する。テーパ部１２４Ａ１は、Ｘ軸正方向側の端部におけるＹ軸方向の幅が、テーパ部１２４Ａ１以外の接続部１２４Ａの幅と等しく、Ｘ軸負方向側の先端に向かって、Ｙ軸方向の幅が狭くなるテーパ状の形状を有する。テーパ部１２４Ａ１のＸ軸負方向側の先端は、アンテナエレメント１１０のエレメント１１１に接続されている。
【００６０】
アンテナエレメント１１０及び１２０を、ウェットエッチング処理によってパターニングする場合に、エッチング量が多くなると、突出部１１２、配線部１１３、５本の突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａの幅が細くなる。突出部１１２、配線部１１３、５本の突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａの幅が細くなると、インターデジタル部１７０の静電容量値が小さくなる。
【００６１】
インターデジタル部１７０の静電容量値が小さくなると、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数が高周波数側にシフトする。ＲＦＩＤタグ１００が利用可能な周波数帯域は、利用する国毎又は地域毎に決められているため、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数が決められた周波数帯域から外れてしまうと、利用できなくなるおそれがある。
【００６２】
そこで、ＲＦＩＤタグ１００は、テーパ部１２４Ａ１を有する接続部１２４Ａを設けている。テーパ部１２４Ａ１は、エッチング量が、設計値と設計値に所定の許容値を加えた値との間の所定の範囲内にあるときには、アンテナエレメント１１０のエレメント１１１に接続され、エッチング量が設計値に所定の許容値を加えた値を超えると、先端がエレメント１１１から分断されるようになっている。
【００６３】
なお、エッチング量とは、エッチングレートと、エッチング処理を行う時間とによって決まる、金属箔等を除去する量である。また、エッチング量の設計値とは、アンテナエレメント１１０及び１２０の設計値を実現するエッチング量であり、アンテナエレメント１１０及び１２０の設計値とは、ここでは一例として、ＲＦＩＤタグ１００が設計上の理想的な形状のテーパ部１２４Ａ１を有する接続部１２４Ａを含む値をいう。
【００６４】
テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断されると、Ｙ軸方向において、最も正方向側に配置される突出部１１２と、接続部１２４Ａとの間にキャパシタが構築されるため、インターデジタル部１７０の静電容量が増大する。
【００６５】
インターデジタル部１７０の静電容量が増大すれば、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数を低下させることができる。
【００６６】
ＲＦＩＤタグ１００は、テーパ部１２４Ａ１を有する接続部１２４Ａを設けることにより、ウェットエッチング処理におけるエッチング量のばらつきが生じても、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数が、ある一定の範囲に収まるようにしている。このような一定の範囲が、利用する国毎又は地域毎に決められている周波数帯域に収まるように設定すれば、エッチング量のばらつきが生じても、決められた周波数帯域で通信可能なＲＦＩＤタグ１００を製造することができる。
【００６７】
このような理由から、ＲＦＩＤタグ１００は、テーパ部１２４Ａ１を有する接続部１２４Ａを設けている。
【００６８】
なお、６本の突出部１１２、配線部１１３、５本の突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４ＡがＹ軸方向において隣り合う間隔は、一例として、すべて等しくされている。
【００６９】
ＩＣチップ１３０は、２つの端子１３１、１３２を有し、シート部１０５の表面に実装される。ＩＣチップ１３０の２つの端子１３１、１３２は、それぞれ、端子１１３Ａ、１２３Ａにはんだ等で接続される。ＩＣチップ１３０は、アンテナエレメント１１０、１２０に電気的に接続されており、固有のＩＤを表すデータを内部のメモリチップに格納している。
【００７０】
ＩＣチップ１３０は、アンテナエレメント１１０、１２０を介してＲＦＩＤタグ１００のリーダライタからＲＦ（Radio  Frequency）帯域の読み取り用の信号を受信すると、受信信号の電力で作動し、ＩＤを表すデータをアンテナエレメント１１０、１２０を介して発信する。これにより、リーダライタでＲＦＩＤタグ１００のＩＤを読み取ることができる。
【００７１】
重複部１６０は、アンテナエレメント１１０の端部１１１Ｂと、アンテナエレメント１２０の端部１２１Ｂとが重複する部分である。アンテナエレメント１１０及び１２０には、８９２ＭＨｚの高周波電流が流れるため、重複部１６０は、交流的に接続されており、アンテナエレメント１１０及び１２０は、ループアンテナ１８０を構築する。
【００７２】
また、重複部１６０は、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数を調整するために利用することができる。重複部１６０の静電容量は、端部１１１Ｂと１２１Ｂとの重複する面積と、端部１１１Ｂと１２１Ｂとの間の間隔とで決まる。
【００７３】
また、重複部１６０は、インターデジタル部１７０と重複する部分を有する。このように、重複部１６０とインターデジタル部１７０がＺ軸方向において重複することにより、重複部１６０とインターデジタル部１７０との間にも静電容量を確保することができる。このような重複部１６０に関する静電容量を調整することによっても、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数を調整することができる。
【００７４】
インターデジタル部１７０は、平面視で並列に入れ子式に配列される、突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、配線部１２３によって構築される。
【００７５】
インターデジタル部１７０は、突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、配線部１２３が互いに近接して配設されることによって生じる静電容量を稼ぐことにより、ＲＦＩＤタグ１００のループアンテナ１８０の共振周波数を調整するために設けられている。
【００７６】
インターデジタル部１７０は、アンテナエレメント１１０と１２０とにわたって形成されている。なお、接続部１２４Ａのテーパ部１２４Ａ１の先端がエレメント１１１と分断されている場合には、接続部１２４Ａもインターデジタル部１７０に含まれることになる。
【００７７】
図７は、ＲＦＩＤタグ１００の等価回路を示す図である。
【００７８】
アンテナエレメント１１０及び１２０で構築されるループアンテナ１８０は、抵抗器ＲａｐとインダクタＬａｐで表すことができる。実施の形態のＲＦＩＤタグ１００では、ループアンテナ１８０には重複部１６０とインターデジタル部１７０が設けられるため、図７では、抵抗器ＲａｐとインダクタＬａｐに、キャパシタＣａｐを並列に接続してある。キャパシタＣａｐは、重複部１６０とインターデジタル部１７０とを合成して１つのキャパシタとして表したものである。
【００７９】
なお、アンテナエレメント１１０及び１２０には、配線部１１３及び１２３と、エレメント１１１及び１２１と、接続部１２４Ａとを含むループも存在するが、このループは、ループアンテナ１８０よりも短く、インダクタンスが大きい。このため、ループアンテナ１８０と、配線部１１３及び１２３と、エレメント１１１及び１２１と、接続部１２４Ａとを含むループとの合成インダクタンスは、ループアンテナ１８０のインダクタンスが支配的になる。
【００８０】
実施の形態では、配線部１１３及び１２３と、エレメント１１１及び１２１と、接続部１２４Ａとを含むループのインダクタンスが、ループアンテナ１８０のインダクタンスよりも十分に大きくなるように、アンテナエレメント１１０及び１２０を設計してある。
【００８１】
また、ＲＦＩＤタグ１００のＩＣチップ１３０は、抵抗器ＲｃｐとキャパシタＣｃｐで表すことができる。
【００８２】
すなわち、ループアンテナ１８０は、抵抗成分とインダクタンス成分を含むとともに、キャパシタンス成分が接続されており、ＩＣチップ１３０は、抵抗成分とキャパシタンス成分とで表すことができる。
【００８３】
ここで、抵抗器Ｒａｐは抵抗値Ｒａｐの抵抗器であり、インダクタＬａｐはインダクタンスがＬａｐのインダクタであり、キャパシタＣａｐはキャパシタンスがＣａｐのキャパシタである。また、抵抗器Ｒｃｐは抵抗値Ｒｃｐの抵抗器であり、キャパシタＣｃｐはキャパシタンスがＣｃｐのキャパシタである。
【００８４】
例えば、Ｒｃｐは２０００Ω、Ｃｃｐは１．０ｐＦ程度である。これは、一般的なＩＣチップで得られる平均的な値である。
【００８５】
ＲＦＩＤタグ１００は、図７に示す等価回路で共振を生じさせることによって通信を行う。すなわち、ＲＦＩＤタグ１００が読み取り用の信号を受信し、ＩＤを表すデータを発信するときに、ＩＣチップ１３０と、アンテナエレメント１１０及び１２０とには、共振による電流が流れる。
【００８６】
共振電流の共振周波数は、主に、ＩＣチップ１３０の静電容量、アンテナエレメント１１０及び１２０のインダクタンス、重複部１６０の静電容量、及びインターデジタル部１７０の静電容量によって決まる。
【００８７】
ここで、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数は、式（１）で得られる。
【００８８】
【数１】
0006627627.tif 000002
【００８９】
式（１）において、Ｌａｐは、アンテナエレメント１１０及び１２０のインダクタンスＬａｐであり、Ｃｃｐは、ＩＣチップ１３０のキャパシタンスＣｃｐであり、Ｃａｐは、重複部１６０及びインターデジタル部１７０のキャパシタンスＣａｐである。
【００９０】
このように、ＲＦＩＤタグ１００の共振周波数は、ループアンテナ１８０（アンテナエレメント１１０及び１２０）だけで決まるのではなく、ループアンテナ１８０（アンテナエレメント１１０及び１２０）、重複部１６０、インターデジタル部１７０、及びＩＣチップ１３０によって決まる。
【００９１】
この点において、ＲＦＩＤタグ１００に含まれるループアンテナ１８０は、ループ長が共振周波数における１波長の長さに設定されることによって共振を生じさせる、所謂ループアンテナとは異なる。
【００９２】
実施の形態のＲＦＩＤタグ１００における共振電流の共振周波数は、ＲＦＩＤタグ１００が通信を行う周波数（通信周波数）であり、一例として、８９２ＭＨｚに設定される。アンテナエレメント１１０及び１２０が構築するループアンテナ１８０のループ長は、約６５ｍｍであり、共振周波数における波長よりも短く設定されている。
【００９３】
一例として、共振周波数が８９２ＭＨｚの場合には、共振周波数における波長は約３３６．１ｍｍであるが、ＲＦＩＤタグ１００のループアンテナ１８０のループ長は、約６５ｍｍである。
【００９４】
このように、ループアンテナ１８０のループ長は共振周波数における１波長の長さよりも短いため、ループ長を共振周波数における１波長に設定する所謂ループアンテナとは異なり、ループアンテナ１８０を構築するアンテナエレメント１１０と１２０は、インダクタとして機能する。
【００９５】
ただし、アンテナエレメント１１０と１２０を合わせた長さ（ループ長）は、上述のように比較的短く、アンテナエレメント１１０と１２０のインダクタンスは長さに比例するため、ループアンテナ１８０のインダクタンスは比較的小さい。そこで、ＲＦＩＤタグ１００では、インダクタンスが小さいことを補うために、ループアンテナ１８０に重複部１６０とインターデジタル部１７０を設けることにより、共振周波数を調整している。
【００９６】
なお、アンテナエレメント１１０及び１２０で構築されるループアンテナ１８０に重複部１６０及びインターデジタル部１７０を付け加えたアンテナのインピーダンスは、図７に示す抵抗器Ｒａｐの抵抗値（Ｒａｐ）、インダクタＬａｐのインダクタンス（Ｌａｐ）、及びキャパシタＣａｐのキャパシタンス（Ｃａｐ）によって決まる。
【００９７】
また、ＩＣチップ１３０のインピーダンスは、抵抗器Ｒｃｐの抵抗値（Ｒｃｐ）とキャパシタＣｃｐのキャパシタンス（Ｃｃｐ）によって決まる。
【００９８】
ループアンテナ１８０とＩＣチップ１３０との間で良好なインピーダンス整合を得るためには、インダクタンスＬａｐ、キャパシタンスＣａｐ、及びキャパシタンスＣｃｐの調整に加えて、抵抗値Ｒａｐと抵抗値Ｒｃｐを調整すればよい。
【００９９】
次に、アンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングするときのエッチング量が多く、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１と分断されたＲＦＩＤタグ１００について説明する。
【０１００】
図８は、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１と分断されたＲＦＩＤタグ１００を示す図である。図８は、図４に対応し、ＲＦＩＤタグ１００からカバー部１４０を取り除いた構成を示す。図８（Ａ）は、平面視の構成を示し、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面を示す。
【０１０１】
図８（Ａ）では、図４（Ａ）に示すテーパ部１２４Ａ１をパターニングする場合よりもエッチング量が多いことにより、テーパ部１２４Ｂ１がエレメント１１１から分断されている。このため、図４（Ａ）に示す接続部１２４Ａは、突出部１２４Ｂになり、突出部１２４Ｂの先端にはテーパ部１２４Ｂ１が設けられている。突出部１２４Ｂは、第３突出部の一例である。
【０１０２】
また、図４（Ａ）に示す場合よりもエッチング量が多いため、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３は、図４（Ａ）よりも細くなっている。
【０１０３】
突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３が細くなると、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３の間隔が広がるため、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３の間で得られる静電容量は小さくなる。
【０１０４】
しかしながら、インターデジタル部１７０に突出部１２４Ｂが加わることにより、重複部１６０及びインターデジタル部１７０の合成の静電容量Ｃａｐ１は、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断される直前の静電容量Ｃａｐよりも低下する。
【０１０５】
実施の形態では、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された直後の状態での重複部１６０及びインターデジタル部１７０の合成の静電容量Ｃａｐ１が、エッチング量が設計値の場合の静電容量Ｃａｐと等しくなるように、アンテナエレメント１１０及び１２０を設計する。
【０１０６】
ここで、分断された直後の状態とは、エッチング量が増大してテーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断され、接続部１２４Ａが突出部１２４Ｂに変化した状態よりもエッチングが進行していない状態をいう。
【０１０７】
なお、図４（Ａ）に示す場合よりもエッチング量が多くなっても、エレメント１１１、１２１、配線部１１３、１２３は、十分な太さを有するため、ループアンテナ１８０の抵抗値ＲａｐとインダクタンスＬａｐは、殆ど変化しない。
【０１０８】
図９は、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された直後のＲＦＩＤタグ１００の等価回路を示す図である。
【０１０９】
図７の等価回路図に比べると、アンテナエレメント１１０及び１２０の静電容量Ｃａｐが静電容量Ｃａｐ１に変わっている。静電容量Ｃａｐ１は、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された状態での重複部１６０及びインターデジタル部１７０の合成の静電容量Ｃａｐ１である。
【０１１０】
また、ループアンテナ１８０の抵抗値ＲａｐとインダクタンスＬａｐは、殆ど変化しないため、抵抗値ＲａｐとインダクタンスＬａｐのままである。
【０１１１】
このため、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された直後のＲＦＩＤタグ１００の共振周波数ｆ０は、式（２）で得られる。
【０１１２】
【数２】
0006627627.tif 000003
【０１１３】
式（２）において、分断された直後のＲＦＩＤタグ１００における静電容量Ｃａｐ１は、エッチング量が設計値の場合の静電容量Ｃａｐと等しいため、式（２）で表される共振周波数ｆ０は、式（１）で表される共振周波数ｆ０と等しくなる。
【０１１４】
図１０は、ＲＦＩＤタグ１００の読み取り距離の周波数特性を示す図である。図１０において、横軸は、リーダライタでＲＦＩＤタグ１００を読み取る際の周波数を示し、縦軸は、リーダライタで読み取り可能な距離の最大値（Read  Range）を表す。図１０に示す読み取り距離の周波数特性は、電磁界シミュレーションで得たものである。
【０１１５】
実線で示す特性は、設計値であり、読み取り距離が最大になる共振周波数ｆ０は８９２ＭＨｚに設定されている。
【０１１６】
一点鎖線で示す特性は、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断された直後のＲＦＩＤタグ１００で得られた特性であり、読み取り距離が最大になる共振周波数は、実線で示す特性の共振周波数ｆ０に略等しい値になっている。
【０１１７】
破線で示す特性は、比較用に示す特性であり、接続部１２４Ａを含まないＲＦＩＤタグ１００で、エッチング量が、ある所定のオーバーエッチングを与える量になっている場合に得られた特性である。ここで、ある所定のオーバーエッチングを与えるエッチング量とは、テーパ部１２４Ａ１が分断されるエッチング量よりも多いエッチング量である。
【０１１８】
破線で示す特性で読み取り距離が最大になる共振周波数は、実線で示す特性の共振周波数ｆ０から大幅にずれている。このように共振周波数が大きくずれると、共振周波数ｆ０において読み取り可能な距離が大幅に短くなり、ＲＦＩＤタグとして利用できなくなるおそれがある。
【０１１９】
ウェットエッチング処理は、エッチング溶液の濃度の分布により、エッチング量に分布が生じる場合がある。特に、素子１５０Ａ（図６参照）を個片化する前の状態で、複数の素子１５０Ａのアンテナエレメント１１０及び１２０を同時にパターニングするような場合には、複数のアンテナエレメント１１０及び１２０の間で、エッチング量に分布が生じる場合がある。
【０１２０】
このようなエッチング量の分布による個体差の発生を抑制するために、実施の形態のＲＦＩＤタグ１００は、設計値に接続部１２４Ａを含ませてある。
【０１２１】
アンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングするためのウェットエッチング処理を行う前に、レジストにフォトリソグラフィで露光を行う際に用いるマスクは、アンテナエレメント１１０及び１２０の形状に合わせて開口されている。すなわち、マスクには、接続部１２４Ａに対応する開口がある。
【０１２２】
図１１は、エッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。図１１において、横軸は、エッチング量の設計値に対する変動量ΔＷ（ｍｍ）を示す。横軸の値が０（右端）であることは、エッチング量が設計値であることを示し、左方に行くほど、エッチング量の変動量ΔＷが大きくなる（オーバーエッチングになる）。
【０１２３】
ここでは、変動量ΔＷは、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３のＹ軸方向における幅に最も大きく影響する。このため、横軸が左に行くほど、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３の幅は細くなる。
【０１２４】
なお、ここでは一例として、エッチング量が設計値である場合を基準として、エッチング量の変動量ΔＷが設計値よりも増える場合について検討する。また、変動量ΔＷが負の場合には、エッチング量が設計値に足りていない状態であり、アンテナエレメント１１０及び１２０が未完成であるため、ここでは変動量ΔＷが負の場合については検討しない。
【０１２５】
図１１の縦軸は、共振周波数ｆ０の設計値に対する変動量Δｆ０（ＭＨｚ）を示す。変動量Δｆ０は、共振周波数ｆ０が設計値のときに０である。また、エッチング量が設計値よりも増える（オーバーエッチングになる）と、インターデジタル部１７０の静電容量が小さくなって共振周波数が上昇するため、変動量Δｆ０は０以上になる。
【０１２６】
また、図１１の縦軸には、変動量Δｆ０の許容値Δｆ０Ａを示す。許容値Δｆ０Ａは、一例として、１５ＭＨｚ程度である。
【０１２７】
図１１に示すように、エッチング量の変動量ΔＷが大きくなると、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０が増大する。インターデジタル部１７０の静電容量が小さくなって共振周波数が上昇するためである。
【０１２８】
エッチング量の変動量ΔＷがΔＷ１に達すると、接続部１２４Ａの先端のテーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断され、突出部１２４Ｂが出現する。突出部１２４Ｂが出現すると、Ｙ軸方向において最も正方向側にある突出部１１２と突出部１２４Ｂとの間の静電容量がインターデジタル部１７０に加わるため、インターデジタル部１７０の静電容量が増大して共振周波数が低下する。このため、エッチング量の変動量ΔＷがΔＷ１に達すると、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０が略ゼロになる。
【０１２９】
なお、エッチング量の変動量ΔＷがΔＷ１に達する直前では、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０が許容値Δｆ０Ａに達しないようになっている。これは、例えば、テーパ部１２４Ａ１の幅を設定することによって実現することができる。
【０１３０】
エッチング量の変動量ΔＷがΔＷ１を超える領域では、再び変動量Δｆ０が増大するため、エッチング量に関しては、変動量Δｆ０が許容値Δｆ０Ａに達するまでの領域を利用することができる。
【０１３１】
図１２は、ＲＦＩＤタグ１００のシミュレーションモデルを示す図である。図１２に示すＲＦＩＤタグ１００のシミュレーションモデルは、接続部１２４Ａを２つ含む。より具体的には、図１乃至図６に示すＲＦＩＤタグ１００のＹ軸方向において、最も負方向側に位置する突出部１２２を接続部１２４Ａに置き換えた構成を有する。
【０１３２】
このため、ＲＦＩＤタグ１００のシミュレーションモデルでは、アンテナエレメント１１０は、エレメント１１１と、６本の突出部１１２と、配線部１１３とを有し、アンテナエレメント１１０は、エレメント１２１と、４本の突出部１２２と、配線部１２３と、２本の接続部１２４Ａとを有する。２本の接続部１２４Ａの先端には、テーパ部１２４Ａ１が設けられている。２つのテーパ部１２４Ａ１のサイズは同一である。
【０１３３】
また、ＲＦＩＤタグ１００のシミュレーションモデルでは、ループアンテナ１８０のＸ軸方向の長さは約３１ｍｍ、Ｙ軸方向の幅は約２１ｍｍ、Ｚ軸方向の高さは約１．２ｍｍである。
【０１３４】
インターデジタル部１７０では、突出部１１２及び１２２はそれぞれ１２本ずつある。また、突出部１１２、１２２、接続部１２４Ａの幅は０．２ｍｍであり、Ｙ軸方向における突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、接続部１２４Ａの間隔は、０．６２ｍｍに設定した。
【０１３５】
カバー部１４０は、難燃樹脂製であり、難燃樹脂の比誘電率は３．２、誘電正接tan  δは０．０２であり、Ｘ軸方向の長さが約３５ｍｍ、Ｙ軸方向の幅が約２５ｍｍ、Ｚ軸方向の厚さが約２ｍｍである。
【０１３６】
このようなシミュレーションの条件の下で、エッチング量の設計値に対する変動量ΔＷが０ｍｍの場合と、変動量ΔＷが０．０１ｍｍの場合と、変動量ΔＷが０．０２ｍｍの場合とについて、読み取り距離の共振周波数特性を求めた。突出部１１２、配線部１１３、突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａの幅Ｗは、変動量ΔＷが０ｍｍ、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍの場合に、それぞれ、０．２ｍｍ、０．１９ｍｍ、０．１８ｍｍである。
【０１３７】
なお、変動量ΔＷが０ｍｍの場合と０．０１ｍｍの場合には、テーパ部１２４Ａ１はエレメント１１１に接続されており、変動量ΔＷが０．０２ｍｍの場合には、テーパ部１２４Ａ１はエレメント１１１から分断され、突出部１２４Ｂが出現した。これらは、２つの接続部１２４Ａについて同一である。
【０１３８】
図１３は、読み取り距離の共振周波数特性のシミュレーション結果を示す図である。図１３において、三角のマーカーは、変動量ΔＷが０ｍｍで幅Ｗが０．２ｍｍの場合を示す。これは、設計値の場合であり、テーパ部１２４Ａ１はエレメント１１１に接続されている。
【０１３９】
丸のマーカーは、変動量ΔＷが０．０１ｍｍで幅Ｗが０．１９ｍｍであり、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１に接続されている場合を示す。四角のマーカーは、変動量ΔＷが０．０２ｍｍで幅Ｗが０．１８ｍｍであり、テーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断され、突出部１２４Ｂが出現している場合を示す。
【０１４０】
また、設計値での共振周波数は、８９２ＭＨｚであり、これは日本国内でのＲＦＩＤタグの通信周波数のうちの１つである。横軸には、ＥＵ（欧州連合）とＵＳ（米国）での通信周波数を示す。ＥＵの通信周波数帯は、８６５ＭＨｚ〜８６８ＭＨｚであり、ＵＳの通信周波数帯は、９０２ＭＨｚ〜９２８ＭＨｚである。一例として、日本国内用に共振周波数を合わせたＲＦＩＤタグ１００で、ＥＵとＵＳの通信周波数で、どの程度の読み取り距離が得られるか検証するためである。
【０１４１】
また、縦軸に示す読み取り距離の下限値を０．８ｍに設定した。
【０１４２】
シミュレーションの結果、設計値（三角のマーカー）の場合は、共振周波数が８９２ＭＨｚであり、８９２ＭＨｚにおける読み取り距離は、約１．７ｍであった。また、変動量ΔＷが０．０１ｍｍで幅Ｗが０．１９ｍｍ（丸のマーカー）の場合は、共振周波数が約９００ＭＨｚであり、８９２ＭＨｚにおける読み取り距離は、約１．６ｍであった。また、変動量ΔＷが０．０２ｍｍで幅Ｗが０．１８ｍｍ（四角のマーカー）の場合は、共振周波数が約８９３ＭＨｚであり、８９２ＭＨｚにおける読み取り距離は、約１．８ｍであった。
【０１４３】
また、いずれの場合においても、ＥＵの通信周波数帯（８６５ＭＨｚ〜８６８ＭＨｚ）と、ＵＳの通信周波数（９０２ＭＨｚ〜９２８ＭＨｚ）とにおいて、読み取り距離は０．８ｍを超えており、３つの仕向地用に１つの設計値のＲＦＩＤタグ１００で対応できることが確認できた。
【０１４４】
以上の結果から、０．０１ｍｍのオーバーエッチングが生じても、共振周波数のずれは８ＭＨｚであって許容範囲内であり、十分な読み取り距離が得られることが分かった。また、０．０２ｍｍのオーバーエッチングが生じて、突出部１２４Ｂが出現したＲＦＩＤタグ１００では、共振周波数のずれは約１ＭＨｚであって設計値と略同一であり、また、十分な読み取り距離が得られることが分かった。
【０１４５】
図１４は、エッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。図１４に示す特性図は、図１３に示すシミュレーション結果に基づいて作成したものである。
【０１４６】
図１４において、横軸は、エッチング量の設計値に対する変動量ΔＷを示し、縦軸は、共振周波数ｆ０の設計値に対する変動量Δｆ０を示す。これらは、図１１と同様である。
【０１４７】
また、図１３と同様に、三角のマーカーは設計値の場合を示し、丸のマーカーは変動量ΔＷが０．０１ｍｍで幅Ｗが０．１９ｍｍの場合を示し、四角のマーカーは変動量ΔＷが０．０２ｍｍで幅Ｗが０．１８ｍｍの場合を示す。
【０１４８】
エッチング量の変動量ΔＷがゼロ（０）から増大し、０．０１ｍｍに達すると、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０は、８ＭＨｚに達する。また、エッチング量の変動量ΔＷがさらに増大し、０．０２ｍｍに達する直前では、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０は、約１２ＭＨｚに達する。この値は、許容値Δｆ０Ａ（１５ＭＨｚ）以下の値である。
【０１４９】
エッチング量の変動量ΔＷが０．０２ｍｍに達して、接続部１２４Ａの先端のテーパ部１２４Ａ１がエレメント１１１から分断され、突出部１２４Ｂが出現すると、インターデジタル部１７０の静電容量が増大して共振周波数が低下し、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０は約１ＭＨｚになる。
【０１５０】
エッチング量の変動量ΔＷがさらに増大すると、共振周波数ｆ０の変動量Δｆ０は、再び増大する。エッチング量の変動量ΔＷが０．０２ｍｍ以上でも、変動量Δｆ０が許容値Δｆ０Ａに達するまでの領域は利用することができる。
【０１５１】
以上のように、実施の形態のＲＦＩＤタグ１００は、エッチング量の変動量ΔＷの増大に伴って共振周波数が上昇しても、変動量ΔＷがある値に達すると、接続部１２４Ａが突出部１２４Ｂに変わることによってインターデジタル部１７０の静電容量が増大する。これにより、共振周波数が設計値に近い値まで低下する。
【０１５２】
このため、設計値よりもエッチング量が増大しても（オーバーエッチングが生じても）、変動量Δｆ０は、ある一定の範囲内に収まる。
【０１５３】
従って、変動量Δｆ０の最大値が許容値Δｆ０Ａ以下になるように、テーパ部１２４Ａ１とエッチングレートとの関係を設計しておけば、ウェットエッチング処理でアンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングしても、所望の通信周波数で良好な動作が可能なＲＦＩＤタグ１００を提供することができる。
【０１５４】
特に、複数の素子１５０Ａ（図６参照）のアンテナエレメント１１０及び１２０を同時にパターニングするような場合には、複数のアンテナエレメント１１０及び１２０の間で、エッチング量に分布が生じる場合がある。エッチング量が少ない素子１５０Ａは、接続部１２４Ａを含み、エッチング量が多い素子１５０Ａは、突出部１２４Ｂを含むことになり得る。
【０１５５】
このような場合でも、変動量Δｆ０の最大値が許容値Δｆ０Ａ以下になるように、テーパ部１２４Ａ１とエッチングレートとの関係を設計しておけば、ウェットエッチング処理でアンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングしても、接続部１２４Ａを含む素子１５０Ａと、突出部１２４Ｂを含む素子１５０Ａとを作製することができる。
【０１５６】
接続部１２４Ａを含む素子１５０Ａを用いて作製したＲＦＩＤタグ１００と、突出部１２４Ｂを含む素子１５０Ａを用いて作製したＲＦＩＤタグ１００とは、ともに、変動量Δｆ０が許容値Δｆ０Ａ以下であり、所望の通信周波数の帯域で通信可能である。
【０１５７】
従って、ウェットエッチング処理で同時に作製した複数の素子１５０Ａを個片化して複数のＲＦＩＤタグ１００は、エッチング量に分布が生じても、良好な動作が可能である。
【０１５８】
以上、実施の形態によれば、所望の通信周波数で良好な動作が可能なＲＦＩＤタグ１００を提供することができる。
【０１５９】
なお、以上では、アンテナエレメント１１０及び１２０をシート部１０５の表面に設け、シート部１０５をベース部１０１に巻回することによって、ループアンテナ１８０を構築する形態について説明した。
【０１６０】
しかしながら、ベース部１０１とシート部１０５を用いる変わりに、次のようにしてもよい。例えば、配線基板の上面に、エレメント１１１及び１２１のうち図４（Ａ）に示す部分、突出部１１２、１２２、配線部１１３、１２３、及び接続部１２４Ａを設けるとともに、配線基板の下面に金属箔を設け、配線基板を厚さ方向に貫通するビアによって、配線基板の上面のエレメント１１１、１２１と下面の金属箔とを接続してもよい。
【０１６１】
このようにすれば、アンテナエレメント１１０及び１２０をシート部１０５の表面に設け、シート部１０５をベース部１０１に巻回する場合と同様に、ループアンテナを構築することができる。
【０１６２】
また、ビアの代わりに、配線基板の側面にめっき層を設けて、配線基板の上面のエレメント１１１、１２１と下面の金属箔とを接続してもよい。
【０１６３】
また、以上では、接続部１２４Ａの先端に設けられたテーパ部１２４Ａ１の幅が、エレメント１１１に向かって細くなる形態について説明した。しかしながら、テーパ部１２４Ａ１の幅は、エレメント１１１側で接続部１２４Ａの幅と等しく、接続部１２４Ａに向かって細くなるようになっていてもよい。すなわち、図４乃至図６等に示すテーパ形状とは、Ｘ軸方向において逆の形状であってもよい。また、テーパ部１２４Ａ１の形状は、平面視でテーパ状であれば、どのような形状であってもよい。
【０１６４】
また、以上では、接続部１２４Ａの先端にテーパ部１２４Ａ１が設けられる形態について説明したが、接続部１２４Ａは、テーパ部１２４Ａ１の代わりに、接続部１２４Ａの幅よりも狭い幅を有する区間（幅狭区間）を有していてもよい。このような幅狭区間は、Ｘ軸方向において、接続部１２４Ａのどこに設けられていてもよい。
【０１６５】
このような幅狭区間を用いれば、テーパ部１２４Ａ１を用いる場合と同様に、エッチング量の変動量ΔＷがある所定の量を超えると、接続部１２４Ａが分断されて、インターデジタル部１７０の静電容量値を増大させることができるからである。
【０１６６】
また、以上では、ＲＦＩＤタグ１００が、１つの接続部１２４Ａを含む形態について説明した。唯一の例外として、図１２に示すシミュレーションモデルのＲＦＩＤタグ１００は、２つの接続部１２４Ａを含むが、２つのテーパ部１２４Ａ１のサイズは同一である。
【０１６７】
ＲＦＩＤタグ１００は、サイズの異なる複数のテーパ部１２４Ａ１を有する接続部１２４Ａを含んでいてもよい。
【０１６８】
図１５は、実施の形態の変形例によるインレイ１５０Ｂを示す図である。図１５では、実施の形態のＲＦＩＤタグ１００及びインレイ１５０と同様の構成要素には、同一符号を付し、その説明を省略する。
【０１６９】
インレイ１５０Ｂは、シート部１０５、アンテナエレメント１１０Ａ、１２０Ａ、及びＩＣチップ１３０を含む。
【０１７０】
アンテナエレメント１１０Ａは、エレメント１１１、突出部１１２、配線部１１３、及び接続部１１４Ａ、１１４Ｃを有する。接続部１１４Ａ、１１４Ｃは、図４乃至図６に示す接続部１２４Ａと同様であり、エレメント１１１からＸ軸正方向に伸延する。
【０１７１】
接続部１１４Ａは、Ｙ軸方向において最も正方向側に位置する突出部１２２と、接続部１２４Ａとの間に位置する。接続部１１４Ｃは、Ｙ軸方向において最も負方向側に位置する突出部１２２と、接続部１２４Ｃとの間に位置する。
【０１７２】
接続部１１４Ａ、１１４Ｃは、先端にテーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１を有し、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１は、エレメント１２１に接続される。テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１は、Ｘ軸正方向に向かって幅が狭くなるテーパ状の形状を有する。
【０１７３】
アンテナエレメント１２０Ａは、エレメント１２１、突出部１２２、配線部１２３、及び接続部１２４Ａ、１２４Ｃを有する。接続部１２４Ａは、図４乃至図６に示す接続部１２４Ａと同様である。接続部１２４Ｃは、図４乃至図６に示す接続部１２４Ａと同様であり、エレメント１２１からＸ軸負方向に伸延する。
【０１７４】
接続部１２４Ａは、接続部１１４ＡよりもＹ軸正方向側に位置する。すなわち、接続部１２４Ａは、Ｙ軸方向において、最も正方向側に位置する。接続部１２４Ｃは、接続部１１４ＣよりもＹ軸負方向側に位置する。すなわち、接続部１２４Ｃは、Ｙ軸方向において最も負方向側に位置する。
【０１７５】
接続部１２４Ａ、１２４Ｃは、先端にテーパ部１２４Ａ１、１２４Ｃ１を有し、テーパ部１２４Ａ１、１２４Ｃ１は、エレメント１１１に接続される。テーパ部１２４Ａ１、１２４Ｃ１は、Ｘ軸負方向に向かって幅が狭くなるテーパ状の形状を有する。
【０１７６】
以上のようなアンテナエレメント１１０Ａ及び１２０Ａは、アンテナエレメント１１０及び１２０と同様に、ベース部１０１に巻回されることにより、ループアンテナを構築する。
【０１７７】
ここで、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１は、互いに太さが異なる。テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の先端における太さは、それぞれ、ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４（ｄ１＜ｄ２＜ｄ３＜ｄ４）に設定されている。
【０１７８】
テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の先端における太さとは、次の通りである。テーパ部１１４Ａ１と１１４Ｃ１については、Ｘ軸正方向の端部でエレメント１２１に接続される部分（テーパ部１１４Ａ１と１１４Ｃ１の最も細い部分）におけるＹ軸方向の幅である。テーパ部１２４Ａ１と１２４Ｃ１については、Ｘ軸負方向の端部でエレメント１１１に接続される部分（テーパ部１２４Ａ１と１２４Ｃ１の最も細い部分）におけるＹ軸方向の幅である。
【０１７９】
このように、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の太さｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４がｄ１＜ｄ２＜ｄ３＜ｄ４の関係を満たすように設定するのは、ウェットエッチング処理において、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の順に分断されるようにして、インターデジタル部１７０の静電容量を順番に増大させるためである。
【０１８０】
また、接続部１１４Ａを接続部１２４Ａよりも内側に配置しているのは、テーパ部１１４Ａ１がテーパ部１２４Ａ１よりも先に分断されることにより、接続部１１４ＡとＹ軸負方向側の突出部１２２との間に静電容量が得られるようにするためである。
【０１８１】
もしテーパ部１２４Ａ１がテーパ部１１４Ａ１よりも先に分断されると、テーパ部１１４Ａ１が分断されていないことにより、テーパ部１２４Ａ１が分断されることによって出現する突出部１２４Ｂ（図８参照）による静電容量がインターデジタル部１７０に含まれないからである。
【０１８２】
また、テーパ部１１４Ａ１が分断されて突出部が出現した後にテーパ部１２４Ａ１が分断されれれば、テーパ部１１４Ａ１が分断されることによって出現する突出部と、テーパ部１２４Ａ１の分断によって出現する突出部１２４Ｂとの間に静電容量が得られ、この静電容量がインターデジタル部１７０に含まれることになるからである。
【０１８３】
同様の理由から、接続部１１４Ｃを接続部１２４Ｃよりも内側に配置している。テーパ部１１４Ｃ１がテーパ部１２４Ｃ１よりも先に分断されてＹ軸負方向側の突出部１２２との間に静電容量を結合するようにするためである。
【０１８４】
太さｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４がｄ１＜ｄ２＜ｄ３＜ｄ４の関係を満たすように設定するとともに、接続部１１４Ａ、１１４Ｃをそれぞれ接続部１２４Ａ、１２４Ｃよりも内側に配置することにより、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の順に分断され、インターデジタル部１７０の静電容量を順番に増大させることができる。
【０１８５】
図１６は、インレイ１５０Ｂを用いたＲＦＩＤタグ１００におけるエッチング量と共振周波数の変動量との関係を示す特性図である。図１６において、横軸は、エッチング量の設計値に対する変動量ΔＷを示す。また、縦軸は、共振周波数ｆ０の設計値に対する変動量Δｆ０を示す。図１６の横軸及び縦軸は、図１１及び図１４の横軸及び縦軸と同様である。
【０１８６】
エッチング量の設計値に対する変動量ΔＷが、ゼロ（０）から増大すると、インターデジタル部１７０の静電容量が低下するため、共振周波数ｆ０が上昇する。これにより、変動量Δｆ０が増大する。
【０１８７】
変動量ΔＷがｄ１に達すると、テーパ部１１４Ａ１が分断されることにより、接続部１１４Ａが突出部に代わり、接続部１１４Ａに基づく突出部によって得られる静電容量がインターデジタル部１７０に加わるため、共振周波数が低下する。これにより、変動量Δｆ０が低下する。図１６では、変動量Δｆ０がゼロ（０）より下回っているが、このようにゼロ（０）を下回っても、共振周波数ｆ０から許容値Δｆ０Ａを引いて得る周波数以上であれば、通信に支障は生じない。
【０１８８】
同様に、変動量ΔＷがｄ１からさらに増大してｄ２に達すると、テーパ部１１４Ｃ１が分断されることにより、接続部１１４Ｃが突出部に変わり、接続部１１４Ｃに基づく突出部によって得られる静電容量がインターデジタル部１７０に加わるため、共振周波数が低下する。これにより、変動量Δｆ０が低下する。
【０１８９】
また、変動量ΔＷがｄ２からさらに増大してｄ３に達すると、テーパ部１２４Ａ１が分断されることにより、接続部１２４Ａが突出部１２４Ｂ（図８参照）に変わり、突出部１２４Ｂによって得られる静電容量がインターデジタル部１７０に加わるため、共振周波数が低下する。これにより、変動量Δｆ０が低下する。
【０１９０】
また、変動量ΔＷがｄ３からさらに増大してｄ４に達すると、テーパ部１２４Ｃ１が分断されることにより、接続部１２４Ｃが突出部に変わり、接続部１２４Ｃに基づく突出部によって得られる静電容量がインターデジタル部１７０に加わるため、共振周波数が低下する。これにより、変動量Δｆ０が低下する。
【０１９１】
変動量ΔＷがｄ４からさらに増大してｄ５に達すると、変動量Δｆ０が許容値Δｆ０Ａに到達する。
【０１９２】
このように、実施の形態の変形例のインレイ１５０Ｂを用いたＲＦＩＤタグ１００は、アンテナエレメント１１０Ａ及び１２０Ａをパターニングするためのウェットエッチング処理において、変動量ΔＷがゼロ（０）からｄ５まで変動しても、良好な動作が可能である。
【０１９３】
以上、実施の形態の変形例によれば、所望の通信周波数で良好な動作が可能なＲＦＩＤタグ１００を提供することができる。また、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の幅が互いに異なる４つの接続部１１４Ａ、１１４Ｃ、１２４Ａ、１２４Ｃを含むことにより、エッチング量の分布が大きい場合等に特に有効なＲＦＩＤタグ１００を提供することができる。
【０１９４】
なお、実施の形態の変形例では、テーパ部１１４Ａ１、１１４Ｃ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１の幅が互いに異なる４つの接続部１１４Ａ、１１４Ｃ、１２４Ａ、１２４Ｃを含む形態について説明したが、このようなテーパ部を有する接続部を複数設ける場合には、接続部の数は２個以上であれば、幾つあってもよい。
【０１９５】
なお、以上では、インレイ１５０又は１５０Ｂをベース部１０１に巻回し、カバー部１４０で覆うことによってＲＦＩＤタグ１００として用いる形態について説明したが、ＩＣチップ１３０を取り付ける前の素子１５０Ａ（図６参照）をベース部１０１に巻回したものを高周波回路として利用することができる。
【０１９６】
図１７は、高周波回路２００を示す図である。図１８は、高周波回路２００の実装例を示す図である。図１７（Ａ）は、高周波回路２００の平面視での構成を示し、図１７（Ｂ）は、図１７（Ａ）のＣ−Ｃ矢視断面を示す。
【０１９７】
高周波回路２００は、素子１５０Ａとベース部１０１とを含み、素子１５０Ａをベース部１０１に巻回することによって得られる。高周波回路２００は、端子１１３Ａ及び１２３Ａのいずれか一方を入力端子とし、いずれか他方を出力端子とする回路である。
【０１９８】
図１８に示すように、高周波回路２００は、例えば、アンテナ２０１とＰＡ(Power  Amplifier)２０２とを結ぶマイクロストリップライン２０３から分岐する分岐線路２０３Ａに接続される。アンテナ２０１、ＰＡ２０２、マイクロストリップライン２０３、及び分岐線路２０３Ａは、通信機２０４に含まれる。通信機２０４は、例えば、スマートフォン端末機、携帯電話端末機、タブレットコンピュータ、又は携帯型のゲーム機等である。
【０１９９】
アンテナ２０１は、通信機２０４の筐体に内蔵されており、例えば、１．５ＧＨｚの通信帯域で通信を行う。ＰＡ２０２とアンテナ２０１との間には、デュプレクサが設けられていてもよいが、ここでは省略する。また、ＰＡ２０２には、例えば、変調／復調器を介してＣＰＵ(Central  Processing  Unit)チップが接続されるが、ここでは省略する。
【０２００】
マイクロストリップライン２０３は、配線基板の表面に設けられている。この配線基板は、平面視でマイクロストリップライン２０３と重なるグランドプレーンを含む。
【０２０１】
分岐線路２０３Ａは、グランドプレーンと重なるマイクロストリップラインであり、高周波回路２００の端子１１３Ａ（図１７参照）に接続されている。高周波回路２００の端子１２３Ａ（図１７参照）は、分岐線路２０３Ａが設けられる配線基板のグランドプレーンにビア等を介して接続されている。
【０２０２】
高周波回路２００の共振周波数ｆ０は、一例として、２．５ＧＨｚに設定されており、２．５ＧＨｚの±１５％が共振周波数ｆ０の許容範囲として設定されている。２．５ＧＨｚは、例えば、無線ＬＡＮ(Local  Area  Network)に利用されている通信帯域である。
【０２０３】
通信機２０４は、アンテナ２０１を通じて、１．５ＧＨｚの通信帯域で通信するが、アンテナ２０１を通じて、例えば、２．５ＧＨｚの信号を受信する場合がある。すなわち、通信機２０４は、アンテナ２０１を通じて、１．５ＧＨｚの信号に加えて、２．５ＧＨｚの信号を受信する場合がある。
【０２０４】
このような場合に、高周波回路２００の共振周波数ｆ０は２．５ＧＨｚに設定されているため、アンテナ２０１によって受信された２．５ＧＨｚの信号は、アンテナ２０１からマイクロストリップライン２０３及び分岐線路２０３Ａを介して高周波回路２００に入力されて共振する。このため、アンテナ２０１によって受信された２．５ＧＨｚの信号がＰＡ２０２に伝送されることはない。
【０２０５】
これは、高周波回路２００のノッチ機能を利用したものであり、高周波回路２００のノッチ機能によって２．５ＧＨｚの信号はカットされる。
【０２０６】
高周波回路２００をウェットエッチング処理で作製すると、アンテナエレメント１１０及び１２０をパターニングするときに、エッチング量のばらつきにより、高周波回路２００の共振周波数がシフトする場合がある。
【０２０７】
このような場合に、接続部１２４Ａによって、共振周波数ｆ０（２．５ＧＨｚ）の±１５％の許容範囲を実現できるようにしておけば、エッチング量のばらつきが生じても、動作の良好な高周波回路２００を提供することができる。
【０２０８】
ここで、接続部１２４Ａを用いて共振周波数ｆ０（２．５ＧＨｚ）の±１５％の許容範囲を実現する場合には、例えば、図１乃至図１６を用いて説明した設計値を−１５％のレベルに設定し、許容値Δｆ０Ａを＋１５％のレベルに設定し、０％のレベルを、−１５％のレベルと＋１５％のレベルとの中央値に設定すればよい。
【０２０９】
なお、ここでは、高周波回路２００の用途としてノッチ機能について説明したが、その他の用途で利用してもよい。
【０２１０】
以上、本発明の例示的な実施の形態のＲＦＩＤタグ、及び、高周波回路について説明したが、本発明は、具体的に開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
以上の実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有し、エッチング処理で形成されたループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とが接続されるように前記エッチング処理によって形成された線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅が、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と、
前記エッチング処理によって前記接続部が分断されたことによって形成された第３突出部であって、前記複数の第２突出部に沿って前記第２基部から突出する第３突出部と
のいずれか一方をさらに備える、ＲＦＩＤタグ。
（付記２）
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有するループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とを接続する線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と
を備える、ＲＦＩＤタグ。
（付記３）
前記第１接続部は、平面視で前記第２接続部の線幅よりも狭くなるテーパ形状を有する、付記１又は２記載のＲＦＩＤタグ。
（付記４）
前記第１接続部は、前記第１基部に接続される側に位置し、前記第２接続部は、前記第２基部に接続される側に位置する、付記１乃至３のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
（付記５）
前記接続部は、平面視で前記複数の第２突出部のうち最も外側に位置する第２突出部の隣に配置される、付記１乃至４のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
（付記６）
前記第２アンテナエレメントは、複数の前記接続部を備え、前記複数の接続部の前記第１接続部の線幅は、互いに異なり、前記第２接続部の線幅よりも狭い、付記１乃至５のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
（付記７）
前記複数の接続部は、前記第１接続部の線幅が太い接続部ほど、平面視で前記複数の接続部のうちの外側に配置され、前記第１接続部の線幅が細い接続部ほど、平面視で前記複数の接続部のうちの内側に配置される、付記６記載のＲＦＩＤタグ。
（付記８）
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１アンテナエレメント及び第２アンテナエレメントを有するループアンテナと、
前記ループアンテナに直列に挿入され、第１電極及び第２電極を有するＩＣチップと
を含み、
前記第１アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、前記第１電極に接続される第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２アンテナエレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、前記第２電極に接続される第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、前記複数の第２突出部のうちの少なくとも１つの先端の前記突出する方向に対する幅は、前記第２基部から突出する部分の幅よりも狭い、ＲＦＩＤタグ。
（付記９）
前記複数の第１突出部と、前記複数の第２突出部とは、インターデジタル部を構築する、付記１乃至８のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
（付記１０）
前記第１配線部は、先端に第１端子を備え、
前記第２配線部は、先端に第２端子を備える、付記１乃至８のいずれか一項記載のＲＦＩＤタグ。
（付記１１）
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１エレメント及び第２エレメントを有し、エッチング処理で形成されたループエレメントと
を含み、
前記第１エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、先端に第１端子を備える第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、先端に第２端子を備える第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とが接続されるように前記エッチング処理によって形成された線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と、
前記エッチング処理によって前記接続部が分断されたことによって形成された第３突出部であって、前記複数の第２突出部に沿って前記第２基部から突出する第３突出部と
のいずれか一方をさらに備える、高周波回路。
（付記１２）
誘電体製で板状のベース部と、
前記ベース部の外周に沿ってループ状に配置される第１エレメント及び第２エレメントを有するループエレメントと
を含み、
前記第１エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第１基部と、
前記第１基部から突出し、先端に第１端子を備える第１配線部と、
前記第１基部から前記第１配線部に沿って櫛歯状に突出する複数の第１突出部と
を備え、
前記第２エレメントは、
前記ベース部の外周に沿って配設される第２基部と、
前記第２基部から前記第１端子に向かって突出し、先端に第２端子を備える第２配線部と、
前記第２基部から前記第２配線部に沿って櫛歯状に突出し、前記複数の第１突出部と入れ子状に配置される複数の第２突出部と、
前記第１突出部及び前記第２突出部に沿って配置され、前記第１基部と前記第２基部とを接続する線状の接続部であって、前記第１基部と前記第２基部との間で直列に配設される第１接続部と第２接続部とを有し、前記第１接続部の線幅は、前記第２接続部の線幅よりも狭い、接続部と
を備える、高周波回路。
【符号の説明】
【０２１１】
１００  ＲＦＩＤタグ
１０１  ベース部
１０５  シート部
１１０、１１０Ａ、１２０、１２０Ａ  アンテナエレメント
１１１、１２１  エレメント
１１２、１２２  突出部
１１３、１２３  配線部
１１４Ａ、１１４Ｃ  接続部
１１４Ａ１、１１４Ｃ１  テーパ部
１２４Ａ  接続部
１２４Ａ１、１２４Ａ１、１２４Ｃ１  テーパ部
１２４Ｂ  突出部
１２４Ｂ１  テーパ部
１３０  ＩＣチップ
１４０  カバー部
１５０Ｂ  インレイ
１６０  重複部
１７０  インターデジタル部
１８０  ループアンテナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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