(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を外周縁で保持して板状物を周方向に回転させる保持手段と、該保持手段によって保持され回転している板状物を洗浄する洗浄手段と、該保持手段に保持された板状物の上面及び下面のそれぞれに洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段とを備えた洗浄装置であって、
該洗浄手段は、板状物の上面に当接して板状物を洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を板状物の径方向に揺動させると共に湾曲した板状物の上面に追従する揺動部とを備え、
該保持手段に保持された板状物の上面に当接し該洗浄部材が板状物の上面に沿って板状物の上面を洗浄し、
該揺動部の該先端に配設され鉛直下向きに延伸しているピストン部材と、該ピストン部材に係合する凹部を備え鉛直方向に駆動可能なシリンダ部材と、該シリンダ部材の該凹部内に鉛直下向きに圧縮エアーを噴射するエアー噴射口とを備え、該洗浄部材が該シリンダ部材の下面側に配設され、
該ピストン部材の該エアー噴射口から該凹部内に圧縮エアーが噴射され該凹部内に空間を有する状態で該洗浄部材が板状物に当接し、該ピストン部材に沿って該シリンダ部材及び該洗浄部材が上下に揺動して湾曲した板状物の上面に追従することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
該揺動部は、
揺動する先端に配設され該洗浄部材を鉛直方向にガイドする鉛直ガイドと、
該洗浄部材を保持し且つ該鉛直ガイドにガイドされるホルダと、
該ホルダを該鉛直ガイドにガイドされた状態で該揺動部の該先端に固定するスプリングと、を備え、
該スプリングが伸縮することで該鉛直ガイドに沿って該ホルダ及び該洗浄部材が上下に揺動して湾曲した板状物の上面に追従することを特徴とする、請求項１記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを洗浄する洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置で加工されたウェーハ等の板状物にはコンタミ等の加工屑が付着するため、スピンナ装置等の洗浄装置によって板状物が洗浄される。この種の洗浄装置として、板状物の外周縁を保持して板状物の上面及び下面を非接触で洗浄するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の洗浄装置では、把持クランプで板状物の外周縁の３点が保持された状態で、上方のノズルから板状物の上面に洗浄液が噴射されると共に、下方のノズルから板状物の下面に洗浄液が噴射されて、板状物の上面及び下面が同時に洗浄される。
【０００３】
また、洗浄装置として、ノズルから洗浄液の噴射による洗浄力不足を補うために、スポンジ等で板状物の上面を擦ってスクラブ洗浄する洗浄装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の洗浄装置では、洗浄テーブル上の板状物に対して上方のノズルから洗浄液が噴射されて、筒状のスポンジロールが板状物の上面に回転当接することで板状物の上面が洗浄される。このとき、板状物の直径以上のスポンジロールが使用されて、スポンジロールに対して板状物が相対移動することで板状物の上面全体にスポンジロールを当接させることが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−０３１６４３号公報
【特許文献２】特開２０１４−１１０２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、板状物の外周縁を保持する洗浄装置でスポンジロールを用いたスクラブ洗浄を実施する場合には、反りの激しい板状物に対してはスポンジロールで良好に洗浄することができない。すなわち、板状物の反りが激しいと、スポンジロールと板状物とが部分的にしか当接せず、板状物の全面をスポンジロールでスクラブ洗浄することが困難であった。板状物の反りに応じてスポンジロールを鉛直方向に上下動させる機構を備えることも考えられるが、洗浄装置の装置構成が複雑になってコストが増大してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、反りの激しい板状物であっても、簡易な構成で板状物の全面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の洗浄装置は、板状物を外周縁で保持して板状物を周方向に回転させる保持手段と、該保持手段によって保持され回転している板状物を洗浄する洗浄手段と、該保持手段に保持された板状物の上面及び下面のそれぞれに洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段とを備えた洗浄装置であって、該洗浄手段は、板状物の上面に当接して板状物を洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を板状物の径方向に揺動させると共に湾曲した板状物の上面に追従する揺動部とを備え、該保持手段に保持された板状物の上面に当接し該洗浄部材が板状物の上面に沿って板状物の上面を洗浄し、該揺動部の該先端に配設され鉛直下向きに延伸しているピストン部材と、該ピストン部材に係合する凹部を備え鉛直方向に駆動可能なシリンダ部材と、該シリンダ部材の該凹部内に鉛直下向きに圧縮エアーを噴射するエアー噴射口とを備え、該洗浄部材が該シリンダ部材の下面側に配設され、該ピストン部材の該エアー噴射口から該凹部内に圧縮エアーが噴射され該凹部内に空間を有する状態で該洗浄部材が板状物に当接し、該ピストン部材に沿って該シリンダ部材及び該洗浄部材が上下に揺動して湾曲した板状物の上面に追従することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、板状物の外周縁が保持された状態で板状物の上面及び下面に洗浄液が噴射されると共に、板状物の上面に洗浄部材が当接されて板状物がスクラブ洗浄される。このとき、板状物が周方向に回転された状態で、洗浄部材が板状物の上面の湾曲に追従しながら板状物の径方向に揺動されるため、板状物の上面全体に洗浄部材を当接させることができる。また、洗浄部材が板状物の上面に当接して板状物の上面に沿って洗浄部材の動きが追従されるため、洗浄部材を上下方向に移動させる機構が不要になって装置構成が複雑になることがない。このように、反りの激しい板状物であっても、簡易な構成で板状物の全面を良好に洗浄することができる。
【０００９】
本発明の洗浄装置において、該揺動部は、揺動する先端に配設され該洗浄部材を鉛直方向にガイドする鉛直ガイドと、該洗浄部材を保持し且つ該鉛直ガイドにガイドされるホルダと、該ホルダを該鉛直ガイドにガイドされた状態で該揺動部の該先端に固定するスプリングと、を備え、該スプリングが伸縮することで該鉛直ガイドに沿って該ホルダ及び該洗浄部材が上下に揺動して湾曲した板状物の上面に追従する。
【００１０】
本発明の洗浄装置において、該揺動部の該先端に配設され鉛直下向きに延伸しているピストン部材と、該ピストン部材に係合する凹部を備え鉛直方向に駆動可能なシリンダ部材と、該シリンダ部材の該凹部内に鉛直下向きに圧縮エアーを噴射するエアー噴射口と、該シリンダ部材の下面側に配設された該洗浄部材と、を備え、該ピストン部材の該エアー噴射口から該凹部内に圧縮エアーが噴射され該凹部内に空間を有する状態で該洗浄部材が板状物に当接し、該ピストン部材に沿って該シリンダ部材及び該洗浄部材が上下に揺動して湾曲した板状物の上面に追従する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、洗浄部材が湾曲した板状物の上面に押し込まれることで、板状物の上面に洗浄部材の動きを追従させて、反りの激しい板状物であっても、簡易な構成で板状物の全面を良好に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態の洗浄装置の模式図である。
【図２】比較例の洗浄手段による洗浄動作の説明図である。
【図３】本実施の形態の洗浄手段の斜視図及び側面模式図である。
【図４】本実施の形態の洗浄手段による洗浄動作の一例を示す図である。
【図５】第１の変形例の洗浄手段の斜視図である。
【図６】第２の変形例の洗浄手段の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の洗浄装置について説明する。図１は、本実施の形態の洗浄装置の模式図である。なお、以下に示す洗浄装置は一例を示すものであり、この構成に限定されない。
【００１４】
図１に示すように、洗浄装置１は、いわゆるエッジクランプ式の洗浄装置であって、加工済みの板状物Ｗの外周縁を保持することによって、保持手段１０のテーブル面１３から板状物Ｗを浮かせた状態で洗浄するように構成されている。洗浄装置１ではテーブル面１３に対して板状物Ｗが非接触で洗浄されるため、板状物Ｗの下面Ｗｂにコンタミ等の加工屑の付着し難くなっている。なお、板状物Ｗは、洗浄対象になるものであればよく、例えば、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板、サファイア、炭化ケイ素等の無機材料基板、電子部品に使用される各種セラミック基板でもよい。
【００１５】
洗浄装置１の保持手段１０は、板状物Ｗの外周縁を複数（本実施の形態では４つ）のクランプアーム１１で保持して、各クランプアーム１１が取り付けられた回転テーブル１２によって板状物Ｗを週方向に回転させている。各クランプアーム１１は、回転テーブル１２の外周部分に揺動可能に連結されており、バネやエアーシリンダ等から成る開閉機構によって動かされている。各クランプアーム１１の先端側が回転テーブル１２の内側に傾くことで板状物Ｗの外周縁が保持され、各クランプアーム１１の先端側が回転テーブル１２の外側に傾くことで板状物Ｗの外周縁が解放される。
【００１６】
回転テーブル１２の下部には駆動モータ（不図示）が連結されており、駆動モータによって回転テーブル１２が鉛直軸回りに回転される。回転テーブル１２のテーブル面１３の中心には、板状物Ｗの下面Ｗｂに洗浄液を噴射する噴射口１４が形成されている。回転テーブル１２の上方には、板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄液を噴射する噴射ノズル１５が位置付けられている。噴射口１４及び噴射ノズル１５には洗浄液の供給源１６、１７が接続されており、これら噴射口１４、噴射ノズル１５、供給源１６、１７によって洗浄液噴射手段が構成されている。また、洗浄装置１には、保持手段１０に保持されている回転中の板状物Ｗを洗浄する洗浄手段２０が設けられている。
【００１７】
ところで、図２の比較例に示すように、一般的な洗浄手段９０は、水平方向にスクラブ洗浄するように構成されており、板状物Ｗが保持手段１０（図１参照）に対して水平姿勢で保持されていることが前提になっている。このため、板状物Ｗに反りが生じていると、板状物Ｗの全面に均一に洗浄部材９１を当接させることができない。すなわち、板状物Ｗの高い位置と低い位置とでは洗浄部材９１の当たり具合やスポンジ部分の潰れ具合が変わり、板状物Ｗに対して均一な条件でスクラブ洗浄することができない。このため、板状物Ｗの表面にコンタミ等の加工物が残ってしまうおそれがあった。
【００１８】
この場合、板状物Ｗの反りに応じて洗浄手段９０を鉛直方向に上下動させる機構を設けることも考えられるが、電気的な制御が必要になって洗浄手段９０の構造が複雑になるという問題があった。また通常、機械的な構造には強度を考慮して金属製の部品が用いられるが、重量が増加すると共に洗浄液に使用される薬品によって腐食する恐れがあった。そこで、本実施の形態では、板状物Ｗに洗浄部材２３が当接したときに板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄部材２３の動きを追従させるようにしている。また、軽量で耐薬品性の高い樹脂材料を用いて洗浄手段２０を形成するようにしている。
【００１９】
以下、図３を参照して、本実施の形態の洗浄手段について詳細に説明する。図３は、本実施の形態の洗浄手段の斜視図及び側面模式図である。なお、図３Ａは洗浄手段の斜視図、図３Ｂは洗浄手段の側面模式図をそれぞれ示している。
【００２０】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、洗浄手段２０は、保持手段１０（図１参照）によって板状物Ｗが周方向に回転した状態で、揺動部２１で洗浄部材２３を板状物Ｗの径方向に揺動させ、洗浄部材２３を板状物Ｗの上面Ｗａに当接させて板状物Ｗの上面Ｗａを洗浄するように構成されている。揺動部２１の揺動アーム２９は、樹脂材料によって長尺に形成されており、基端側の揺動軸（不図示）に回転可能に軸支されている。揺動部２１は、洗浄部材２３を板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に追従させる追従機構２２を備えている。また、揺動部２１には、この追従機構２２を介して部材ホルダ３６に収容された洗浄部材２３が取り付けられている。
【００２１】
追従機構２２は、揺動アーム２９の先端側に固定されたガイドプレート２５と洗浄部材２３を保持するホルダプレート（ホルダ）３１とがスプリング３５で連結されて構成されている。ガイドプレート２５は、樹脂材料の縦板部２６と横板部２７とによって側面視逆Ｌ字状に形成されている。ガイドプレート２５の縦板部２６の前面には、ホルダプレート３１を介して洗浄部材２３を鉛直方向にガイドする一対の鉛直ガイド２８が水平方向に間を空けて設けられている。ガイドプレート２５の横板部２７の下面には、樹脂材料で形成されたスプリング３５の上端が連結されている。
【００２２】
ホルダプレート３１は、樹脂材料で揺動部２１の延長方向に延びる長尺状に形成されている。ホルダプレート３１の基端側には、一対の鉛直ガイド２８によって鉛直方向にガイドされるスライダ３２が立設しており、スライダ３２の上面にはスプリング３５の下端が連結されている。ホルダプレート３１の先端側には、部材ホルダ（ホルダ）３６を取り付け可能な開口３３が形成されている。部材ホルダ３６は、樹脂材料で円筒状に形成された上部ホルダ３７と下部ホルダ３８とからなっており、各ホルダの上端側のフランジ部分を介してホルダプレート３１にネジ止めされている。
【００２３】
上部ホルダ３７と下部ホルダ３８は、下部ホルダ３８の筒状部分の内側に上部ホルダ３７の筒状部分が入り込むようにして組み合わされ、上部ホルダ３７の筒状部分の下端と下部ホルダ３８の底壁部分との間に洗浄部材２３が取り付けられている。下部ホルダ３８の底壁部分には開口３９が形成されており、この開口３９を通じて洗浄部材２３が下部ホルダ３８から下方に突出している。洗浄部材２３は、ＰＶＡ（Polyvinyl  Alcohol）でスポンジ状に形成されており、上部ホルダ３７の筒状部分と下部ホルダ３８の底壁部分とで挟み込むようにして部材ホルダ３６に固定されている。
【００２４】
洗浄手段２０では、湾曲した板状物Ｗの上面Ｗａによって洗浄部材２３が押し込まれることで、洗浄部材２３が板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に追従される。すなわち、湾曲した板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄部材２３が当接すると、板状物Ｗの湾曲に応じてスプリング３５が伸縮することで、一対の鉛直ガイド２８に沿ってホルダプレート３１、部材ホルダ３６、洗浄部材２３が一体的に上下に揺動する。これにより、板状物Ｗが周方向に回転された状態で、洗浄部材２３が板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に追従しながら板状物Ｗの径方向に揺動されるため、板状物Ｗの上面全体に洗浄部材２３が当接される。なお、スプリング３５としては、板状物Ｗの種類に応じて適切なバネ定数のものが使用される。
【００２５】
図４を参照して、洗浄手段による洗浄動作について説明する。図４は、本実施の形態の洗浄手段による洗浄動作の一例を示す図である。なお、図４Ａは板状物の外周縁側の洗浄状態、図４Ｂは板状物の中央側の洗浄状態をそれぞれ示している。
【００２６】
図４Ａに示すように、保持手段１０の複数のクランプアーム１１によって板状物Ｗの外周縁が保持され、回転テーブル１２によって複数のクランプアーム１１に保持された板状物Ｗが周方向に回転される。また、回転テーブル１２の噴射口１４から板状物Ｗの下面Ｗｂに向けて洗浄液が噴射されると共に、回転テーブル１２の上方の噴射ノズル１５から板状物Ｗの上面Ｗａに向けて洗浄液が噴射される。そして、揺動部２１が回転中の板状物Ｗの中心と外周縁との間で洗浄部材２３を揺動させて、追従機構２２によって板状物Ｗの湾曲に追従させながら板状物Ｗの上面全体に洗浄部材２３を当接させている。
【００２７】
この場合、板状物Ｗが中央から外周縁側に向かって高くなるように反っているため、洗浄部材２３が板状物Ｗの外周縁側に位置付けられると、洗浄部材２３が板状物Ｗの上面Ｗａによって上方に押し込まれる。これにより、ホルダプレート３１のスライダ３２がガイドプレート２５の一対の鉛直ガイド２８によってガイドされながら上動して、ガイドプレート２５とホルダプレート３１を連結するスプリング３５が収縮される。このように、板状物Ｗの上面Ｗａの高い位置ではスプリング３５の反力に抗して洗浄部材２３が上動することで、板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に洗浄部材２３を追従させている。
【００２８】
一方、洗浄部材２３が板状物Ｗの中央側に位置付けられると、洗浄部材２３がスプリング３５の反発力によって洗浄部材２３が下方に僅かに押し戻される。これにより、ホルダプレート３１のスライダ３２がガイドプレート２５の一対の鉛直ガイド２８によってガイドされながら下動して、ガイドプレート２５とホルダプレート３１を連結するスプリング３５が伸長される。このように、板状物Ｗの上面Ｗａの低い位置ではスプリング３５の反力によって、板状物Ｗの上面Ｗａの高低差分だけ洗浄部材２３が下動することで、板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に洗浄部材２３を追従させている。
【００２９】
このように、板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に洗浄部材２３を追従させることで、板状物Ｗの上面全体に洗浄部材２３を当接させている。よって、板状物Ｗの高い位置と低い位置とで洗浄部材２３の当たり具合やスポンジ部分の潰れ具合を略同じにして、板状物Ｗに対して略均一な条件でスクラブ洗浄することが可能になっている。また、洗浄手段２０の全体が耐薬品性の高い樹脂材料を用いて形成されているため、洗浄液に薬品が含まれる場合であっても、金属のように薬品によって洗浄手段２０が腐食することがなく、さらに金属と比較して軽量化を図ることができる。
【００３０】
以上のように、本実施の形態の洗浄装置１では、板状物Ｗの外周縁が保持された状態で板状物Ｗの上面Ｗａ及び下面Ｗｂに洗浄液が噴射されると共に、板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄部材２３が当接されて板状物Ｗがスクラブ洗浄される。このとき、板状物Ｗが周方向に回転された状態で、洗浄部材２３が板状物Ｗの上面Ｗａの湾曲に追従しながら板状物Ｗの径方向に揺動されるため、板状物Ｗの上面全体に洗浄部材２３を当接させることができる。また、洗浄部材２３が板状物Ｗの上面Ｗａに当接して、板状物Ｗの上面Ｗａに沿って洗浄部材２３の動きが追従されるため、洗浄部材２３を上下方向に移動させる機構が不要になって装置構成が複雑になることがない。このように、反りの激しい板状物Ｗであっても、簡易な構成で板状物Ｗの全面を良好に洗浄することができる。
【００３１】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００３２】
例えば、本実施の形態では、洗浄手段２０がスプリング３５の伸縮によってホルダプレート３１が上下方向に揺動させて、ホルダプレート３１の先端に固定された洗浄部材２３を板状物Ｗの湾曲に追従させる構成にしたが、この構成に限定されない。洗浄手段２０は、湾曲した板状物Ｗの上面に当接することで洗浄部材２３が板状物Ｗの上面に追従する追従機構２２を備えていればよい。以下、図５及び図６を参照して、洗浄手段の変形例について説明する。なお、変形例の洗浄手段では、本実施の形態と同一の構成については説明を省略する。
【００３３】
図５に示すように、第１の変形例の洗浄手段４０において、揺動部４１の追従機構４２は、揺動アーム４９の先端側にＬ字プレート４５を介して延長プレート４８が取り付けられ、延長プレート４８と部材ホルダ５６とを複数（本実施の形態では３つ）のスプリング５５で連結して構成されている。Ｌ字プレート４５は、樹脂材料の縦板部４６と横板部４７とによって側面視逆Ｌ字状に形成されている。Ｌ字プレート４５の横板部４７には樹脂材料で形成された延長プレート４８が固定されており、延長プレート４８の下面には樹脂材料で形成された複数のスプリング５５の上端が連結されている。
【００３４】
Ｌ字プレート４５の縦板部４６には、Ｌ字状のホルダプレート５１の縦板部５２が固定されており、ホルダプレート５１の横板部５３には部材ホルダ５６を鉛直方向にガイド可能な開口（不図示）が形成されている。ホルダプレート５１の開口には部材ホルダ５６の筒状部分が入り込んで、部材ホルダ５６のフランジ部分によってホルダプレート５１に抜け止め可能に支持されている。このように、第１の変形例のホルダプレート５１は、上記本実施の形態のホルダプレート３１（図３参照）のように部材ホルダ５６と一体に揺動する揺動部材ではなく、部材ホルダ５６の鉛直方向のガイドとして機能している。
【００３５】
部材ホルダ５６は、上記したように上部ホルダ５７と下部ホルダ５８とからなり、上部ホルダ５７の上面には複数のスプリング５５の下端が連結されている。複数のスプリング５５は、部材ホルダ５６から均一な力を受けるように、部材ホルダ５６の周方向で等間隔に配置されている。この場合、洗浄部材４３と板状物Ｗの上面Ｗａとの当接位置の真上に複数のスプリング５５が位置しているため、当接位置から複数のスプリング５５に対して当接時の反力がダイレクトに伝達される。このように、第１の変形例の洗浄手段４０では、当接時の反力が真っ直ぐにスプリング５５に作用するため、部材ホルダ５６の揺動時のブレが抑えられた状態で、湾曲した板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄部材４３の動きが追従させることが可能になっている。
【００３６】
図６Ａ及び図６Ｂに示すように、第２の変形例の洗浄手段６０において、揺動部６１の追従機構６２は、揺動アーム６４の先端側にＬ字プレート６５を介して延長プレート６８が取り付けられ、延長プレート６８のピストン部材７１と部材ホルダ８１の凹部８２によって空気バネを構成している。Ｌ字プレート６５は、樹脂材料の縦板部６６と横板部６７とによって側面視逆Ｌ字状に形成されている。Ｌ字プレート６５の横板部６７には樹脂材料で形成された延長プレート６８が固定されており、延長プレート６８には樹脂材料で形成されたピストン部材７１が取り付けられる開口６９が形成されている。
【００３７】
ピストン部材７１は、延長プレート６８の開口６９から鉛直下向きに筒状部分が延伸し、筒状部分の基端のフランジ部分で延長プレート６８に固定されている。ピストン部材７１の筒状部分にはエアー流路が形成されており、筒状部分の上端側にはコネクタ７２を介してコンプレッサー等が接続されている。ピストン部材７１の筒状部分は部材ホルダ８１の凹部８２に入り込み、ピストン部材７１の下端には凹部８２内に鉛直下向きの圧縮エアーを噴射するエアー噴射口７３が形成されている。このエアー噴射口７３からの圧縮エアーの噴射によって部材ホルダ８１の凹部８２内の圧力が調整されている。
【００３８】
Ｌ字プレート６５の縦板部６６には、Ｌ字状のホルダプレート７５の縦板部７６が固定されており、ホルダプレート７５の横板部７７には部材ホルダ８１を鉛直方向にガイド可能な開口７８が形成されている。ホルダプレート７５の開口７８には部材ホルダ８１の筒状部分が入り込んで、部材ホルダ８１のフランジ部分によってホルダプレート７５に抜け止め可能に支持されている。このように、第２の変形例のホルダプレート７５は、上記本実施の形態のホルダプレート３１（図３参照）のように部材ホルダ８１と一体に揺動する揺動部材ではなく、部材ホルダ８１の鉛直方向のガイドとして機能している。
【００３９】
部材ホルダ８１は、上記したように上部ホルダ８３と下部ホルダ８４とからなり、上部ホルダ８３にピストン部材７１の筒状部分が差し込まれる凹部８２が形成されている。このように、第２の変形例では、部材ホルダ８１の上部ホルダ８３が、ピストン部材７１が入り込む凹部８２を有するシリンダ部材として機能している。この場合、ピストン部材７１のエアー噴射口７３から凹部８２内に圧縮エアーが噴射され、凹部８２の底面とピストン部材７１の下面の間の空間の圧力が高められている。そして、凹部８２内の空間を有する状態で洗浄部材６３が板状物Ｗに当接することで、凹部８２内の空間を潰しながらピストン部材７１に沿って部材ホルダ８１ごと洗浄部材６３が上下に揺動される。
【００４０】
このように、第２の変形例の洗浄手段６０では、スプリングの代わりに空気バネを使用することでスプリング等を使用することなく、湾曲した板状物Ｗの上面Ｗａに洗浄部材４３の動きを追従させることが可能になっている。また、洗浄部材６３と板状物Ｗの上面Ｗａとの当接位置の真上で部材ホルダ８１が上下方向に揺動しているため、部材ホルダ８１の揺動時のブレが抑えられている。なお、凹部８２内の圧力は、板状物Ｗの種類に応じて適切な値に調整される。
【００４１】
なお、洗浄手段２０は、上記した第１、第２の変形例の洗浄手段４０、６０に他にも、他の変形例が考えられる。例えば、第１の変形例の洗浄部材４０からホルダプレート５１を外した構成にしてもよいし、延長プレート４８に単一のスプリング５５を介して部材ホルダ５６を連結した構成にしてもよい。
【００４２】
また、本実施の形態及び各変形例では、洗浄手段２０、４０、６０が耐薬品性の高い樹脂材料で形成されることが好ましいが、この構成に限定されない。例えば、耐薬品性の高い金属材料で形成されてもよいし、薬品を含まない洗浄液であれば、耐薬品性の低い材料を使用してもよい。
【００４３】
また、本実施の形態及び各変形例では、保持手段１０が複数のクランプアーム１１によって板状物Ｗの外周縁を保持する構成にしたが、この構成に限定されない。保持手段１０は、板状物Ｗの外周縁を保持可能な構成であればよく、例えば、複数の進退ピンを板状物Ｗの外周縁に当接させることで保持する構成にしてもよい。
【００４４】
また、本実施の形態及び各変形例では、洗浄液噴射手段が回転テーブル１２の噴射口１４と噴射ノズル１５で構成されたが、この構成に限定されない。洗浄液噴射手段は、板状物Ｗの上面Ｗａ及び下面Ｗｂに洗浄液を噴射可能な構成であればよく、例えば、板状物Ｗの上方及び下方に設けた上下の噴射ノズルで構成されてもよい。
【００４５】
また、本実施の形態及び各変形例では、洗浄部材２３がスポンジ状に形成されたが、この構成に限定されない。洗浄部材２３は、板状物Ｗをスクラブ洗浄可能なものであればよく、例えば、ブラシ状に形成されていてもよい。
【００４６】
また、本実施の形態及び各変形例では、揺動部２１が洗浄部材２３を旋回させることで、洗浄部材２３を板状物Ｗの径方向に揺動させる構成にしたが、この構成に限定されない。揺動部２１は、洗浄部材２３を板状物Ｗの径方向に揺動させる構成であればよく、例えば、洗浄部材２３を直線的に移動させることで、洗浄部材２３を板状物Ｗの径方向に揺動させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上説明したように、本発明は、反りの激しい板状物であっても、簡易な構成で板状物の全面を良好に洗浄することができるという効果を有し、特に、激しい反りを生じた板状物を洗浄する洗浄装置に有用である。
【符号の説明】
【００４８】
１  洗浄装置
１０  保持手段
１４  噴射口（洗浄液噴射手段）
１５  噴射ノズル（洗浄液噴射手段）
１６、１７  供給源（洗浄液噴射手段）
２０、４０、６０  洗浄手段
２１、４１、６１  揺動部
２２、４２、６２  追従機構
２３、４３，６３  洗浄部材
２８  鉛直ガイド
３１  ホルダプレート（ホルダ）
３５、５５  スプリング
３６、５６、８１  部材ホルダ（ホルダ）
７１  ピストン部材
７３  エアー噴射口
８２  部材ホルダの凹部
８３  上部ホルダ（シリンダ部材）
Ｗ  板状物
Ｗａ  板状物の上面
Ｗｂ  板状物の下面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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