(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器の容器本体に取り付けられて光線を蓋体方向に投射する蓋体用投受光素子と、蓋体に取り付けられて蓋体用投受光素子からの光線を蓋体用投受光素子に反射可能な回帰反射部材とを含み、蓋体用投受光素子が回帰反射部材からの反射光を受光できなくなった時間を計測して蓋体の開閉回数を検出する光電センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの蓋体の開閉回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された蓋体の開閉回数と蓋体の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、蓋体の開閉回数が蓋体の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。
【請求項２】
基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器に加熱された基板を収納してヒートショックが生じた場合に、ヒートショック時の温度を測定して基板収納容器のヒートショック回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からのヒートショック回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録されたヒートショック回数と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。
【請求項３】
基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器が洗浄して熱乾燥された場合に、基板収納容器の乾燥温度を測定して基板収納容器の洗浄回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の洗浄回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の洗浄回数と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の洗浄回数が基板収納容器の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。
【請求項４】
基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされる基板収納容器の管理システムであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、所定の関連周辺装置に基板収納容器が位置決め搭載された場合に、基板収納容器の水平度を検出する傾斜センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の水平値を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の水平値と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の水平値が少なくとも基板収納容器の検査点検値に近づいた場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果又は解析結果に応じた内容を報知することを特徴とする基板収納容器の管理システム。
【請求項５】
基板収納容器は、容器本体の内部両側に、複数枚の基板を略水平に支持する複数の支持片が対向して設けられ、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられるとともに、容器本体には、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで回転操作部材が回転することにより、容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられる請求項１ないし４のいずれかに記載の基板収納容器の管理システム。
【請求項６】
基板収納容器の容器本体の下部に、容器本体の外部から内部にガスを供給可能な給気バルブと、容器本体の内部から外部にガスを排気可能な排気バルブとがそれぞれ設けられ、容器本体にガス源が設けられており、給気バルブには、ガス源に接続されるノズルが立て設けられるとともに、このノズルの周壁には、容器本体内にガスを噴射する複数の噴射孔が穿孔される請求項１ないし５のいずれかに記載の基板収納容器の管理システム。
【請求項７】
検査点検装置は、基板収納容器の容器本体の位置決め機構にアクセスして位置決め搭載し、容器本体の正面に蓋体を蓋体開閉機構により取り付け取り外しするロードポート装置と、基板収納容器の寸法を測定する寸法測定装置とを含み、
ロードポート装置は、容器本体の給気バルブと排気バルブとに接続されて容器本体の内外にガスを流通させるバルブユニットと、このバルブユニットを流通するガスの流量を計測する複数の計測センサと、施錠機構の回転操作部材の回転トルクを測定するトルクセンサと、容器本体の正面に蓋体が押圧して取り付けられる際の押圧力を測定するロードセンサと、容器本体のガス源にガスを充填する充填ユニットとを含んでなる請求項６記載の基板収納容器の管理システム。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載した基板収納容器の管理システムを用いた基板収納容器の管理方法であって、
基板収納容器の使用状態を検出手段により検出し、この検出手段の検出値と基板収納容器に関する検査点検値とを無線通信手段により比較し、この比較結果により基板収納容器の検査点検時期を判断し、基板収納容器が検査点検時期にあると判断された場合には、基板収納容器を検査点検装置により検査点検するとともに、この検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果を無線通信手段に送信して記録させ、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果、あるいは検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知手段で報知することを特徴とする基板収納容器の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、液晶デバイス、ガラスウェーハ、マスクガラス等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送する基板収納容器及びその管理システム並びに基板収納容器の管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、図示しないが、φ３００ｍｍのシリコンウェーハからなる半導体ウェーハを上下方向に並べて複数枚整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体の正面に嵌合された蓋体を施錠する施錠機構とを備え、半導体加工装置に併設されたロードポート装置上に位置決め搭載されたり、半導体製造工場の天井搬送装置に把持して工程間を搬送される（特許文献１、２、３参照）。
【０００３】
容器本体は、所定の樹脂を含有する成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、内部両側に半導体ウェーハ用の支持片がそれぞれ対設されており、この一対の支持片が上下方向に所定のピッチで配列形成されている。また、容器本体の底板には、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられ、容器本体の背面壁等には、基板収納容器のロット番号や半導体ウェーハの生産履歴等、所定のデータを記憶したＲＦＩＤシステムの識別用のＲＦタグが装着されており、このＲＦタグのデータが電波を用いて非接触で読み書きされる（特許文献４参照）。
【０００４】
このような基板収納容器は、半導体の全ての生産工程で循環するよう使用されたり、生産工程のエリア毎に使用され、定期的に洗浄された後、繰り返し使用される。この繰り返し使用に際し、基板収納容器が古くなった場合や損傷が激しい場合には、半導体ウェーハに異常を来したり、品質の低下を招くので、基板収納容器の部品を交換したり、新たな基板収納容器に交換される。この交換時期については、明確な判断基準が存在せず、８年、９年、１０年等の使用年数が目安とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３６３６６６９号公報
【特許文献２】特許第４６７７５１７号公報
【特許文献３】特表２００５−５１３４５９号公報
【特許文献４】特許第４５５３８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、交換時期について明確な判断基準が存在せず、通常は使用年数が交換時期の基準とされているが、実際の使用状況により、交換時期に個体差が生じ、使用可能な年数に長短が発生するので、交換品の選定が容易ではなく、選定作業が煩雑になるという問題がある。また、半導体の全ての生産工程で基板収納容器が循環するよう使用される場合、基板収納容器毎に使用履歴が異なるので、各基板収納容器の交換時期にバラツキが生じ、交換時期の判断が困難になるという問題がある。
【０００７】
また、半導体の生産工程のエリア毎に基板収納容器が使用される場合、特に半導体ウェーハの金属配線の形成工程や熱処理工程で基板収納容器が使用される場合、熱変形等により、基板収納容器の性能劣化が激しく、基板収納容器の寿命が短くなることがある。この点に鑑み、生産工程のエリア毎に基板収納容器が使用される場合、エリア毎に基板収納容器の交換時期の判断基準を個別具体的に定める必要があるが、そうすると、交換品を選定する作業が実に困難になる。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することのできる基板収納容器及びその管理システム並びに基板収納容器の管理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされるものであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器の容器本体に取り付けられて光線を蓋体方向に投射する蓋体用投受光素子と、蓋体に取り付けられて蓋体用投受光素子からの光線を蓋体用投受光素子に反射可能な回帰反射部材とを含み、蓋体用投受光素子が回帰反射部材からの反射光を受光できなくなった時間を計測して蓋体の開閉回数を検出する光電センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの蓋体の開閉回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された蓋体の開閉回数と蓋体の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、蓋体の開閉回数が蓋体の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴としている。
【００１０】
また、本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされるものであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器に加熱された基板を収納してヒートショックが生じた場合に、ヒートショック時の温度を測定して基板収納容器のヒートショック回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からのヒートショック回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録されたヒートショック回数と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴としている。
【００１１】
また、本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされるものであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、基板収納容器が洗浄して熱乾燥された場合に、基板収納容器の乾燥温度を測定して基板収納容器の洗浄回数を検出する温度センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の洗浄回数を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の洗浄回数と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の洗浄回数が基板収納容器の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知することを特徴としている。
【００１２】
また、本発明においては上記課題を解決するため、基板収納容器と、この基板収納容器に設けられてその使用状態を検出する検出手段と、基板収納容器に設けられてその検査点検時期を判断する無線通信手段と、検査点検時期の基板収納容器を検査点検する検査点検装置と、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段とを備え、所定の関連周辺装置にアクセスされるものであって、
基板収納容器は、基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する蓋体とを含み、
検出手段は、所定の関連周辺装置に基板収納容器が位置決め搭載された場合に、基板収納容器の水平度を検出する傾斜センサであり、
無線通信手段は、検出手段からの基板収納容器の水平値を外部入力部に入力してデータ記録部に記録し、このデータ記録部に記録された基板収納容器の水平値と基板収納容器の検査点検値とを演算処理部で比較し、この演算処理部で比較した結果、基板収納容器の水平値が少なくとも基板収納容器の検査点検値に近づいた場合には、基板収納容器が検査点検時期にあると判断し、
報知手段は、無線通信手段が検査点検装置の検査点検結果を受信した場合に、基板収納容器の検査点検結果又は解析結果に応じた内容を報知することを特徴としている。
【００１３】
なお、基板収納容器は、容器本体の内部両側に、複数枚の基板を略水平に支持する複数の支持片が対向して設けられ、容器本体の下部に、所定の関連周辺装置にアクセスして位置決めされる位置決め機構が設けられるとともに、容器本体には、所定の関連周辺装置にアクセスして保持されるフランジが設けられており、蓋体には、所定の関連周辺装置からのアクセスで回転操作部材が回転することにより、容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構が設けられることが好ましい。
【００１４】
また、基板収納容器の容器本体の下部に、容器本体の外部から内部にガスを供給可能な給気バルブと、容器本体の内部から外部にガスを排気可能な排気バルブとがそれぞれ設けられ、容器本体にガス源が設けられており、給気バルブには、ガス源に接続されるノズルが立て設けられるとともに、このノズルの周壁には、容器本体内にガスを噴射する複数の噴射孔が穿孔されることが好ましい。
【００１５】
また、検査点検装置は、基板収納容器の容器本体の位置決め機構にアクセスして位置決め搭載し、容器本体の正面に蓋体を蓋体開閉機構により取り付け取り外しするロードポート装置と、基板収納容器の寸法を測定する寸法測定装置とを含み、
ロードポート装置は、容器本体の給気バルブと排気バルブとに接続されて容器本体の内外にガスを流通させるバルブユニットと、このバルブユニットを流通するガスの流量を計測する複数の計測センサと、施錠機構の回転操作部材の回転トルクを測定するトルクセンサと、容器本体の正面に蓋体が押圧して取り付けられる際の押圧力を測定するロードセンサと、容器本体のガス源にガスを充填する充填ユニットとを含むと良い。
【００１６】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし７のいずれかに記載した基板収納容器の管理システムを用いた基板収納容器の管理方法であって、
基板収納容器の使用状態を検出手段により検出し、この検出手段の検出値と基板収納容器に関する検査点検値とを無線通信手段により比較し、この比較結果により基板収納容器の検査点検時期を判断し、基板収納容器が検査点検時期にあると判断された場合には、基板収納容器を検査点検装置により検査点検するとともに、この検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果を無線通信手段に送信して記録させ、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果、あるいは検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果に応じた内容を報知手段で報知することを特徴としている。
【００２４】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００、３００、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、液晶デバイス、ガラスウェーハ、マスクガラス等が必要枚数（例えば、２枚以下、２０枚以上等）含まれる。基板収納容器は、透明、不透明、半透明を特に問うものではない。また、所定の関連周辺装置には、少なくとも半導体加工装置、この装置に併設されて蓋体を開閉するロードポート装置、基板収納容器用の各種搬送装置等が含まれる。外部の通信装置には、少なくとも検査点検装置、ロードポート装置、各種のサーバ等が含まれる。
【００２５】
基板収納容器、換言すれば、容器本体や蓋体の使用状態には、少なくとも蓋体の開閉、基板の有無、基板収納容器の加速度、基板収納容器の搬送回数、基板収納容器の搬送距離、基板収納容器のフランジ保持回数、基板収納容器に作用した衝撃回数、基板収納容器に作用した最大衝撃値、基板収納容器に作用した最大振動数、ヒートショック回数、基板収納容器の洗浄回数、基板収納容器の水平度、基板収納容器内の酸素濃度、湿度、パーティクル等が含まれる。
【００２６】
検出手段は、基板収納容器の内部、上部、下部、後部、側部に必要数が設けられ、基板収納容器の運用時、保管時、検査点検時に利用される。この検出手段には、少なくとも光電センサ、加速度センサ、温度センサ、温湿度センサ、湿度センサ、傾斜センサが含まれる。
【００２９】
本発明によれば、基板収納容器の使用時、保管時、試験時等に検出手段が基板収納容器の使用状態を検出し、検出値を無線通信手段に出力する。無線通信手段は、データ記録部が検出手段の検出値を記録し、演算処理部が検出値と基板収納容器の検査点検値とを比較し、その結果、検出値が基板収納容器の検査点検値未満であったり、基板収納容器の検査点検値に近づいていない場合には、基板収納容器が未だ検査点検時期ではないと判断する。基板収納容器が未だ検査点検時期にはないと判断された場合には、基板収納容器をそのまま継続して使用することができる。
【００３０】
これに対し、長期の使用等により、基板収納容器の性能や品質が低下し、検出値が基板収納容器の検査点検値に近づいたり、検査点検値以上となった場合には、演算処理部は、基板収納容器の検査点検時期と判断する。基板収納容器が検査点検時期と判断された場合、報知手段を点灯、点滅、対応する文字を表示等させ、基板収納容器の点検、交換、又は交換の準備等を報知することができる。
【００３１】
基板収納容器は、検査点検時期と判断された場合、検査点検装置により検査点検される。この検査点検装置による検査点検の結果、基板収納容器が不良の場合には、報知手段を点灯、点滅、対応する文字を表示等させ、基板収納容器の再点検あるいは交換を報知することができる。このような基板収納容器に関する報知により、基板収納容器を修理して性能を維持したり、部品を交換して性能を向上させたり、あるいは新たな基板収納容器と交換することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知するので、基板収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することができるという効果がある。また、基板収納容器のシール状態、蓋体や施錠機構の状態から基板収納容器の性能や品質、交換時期を判断することができる。
【００３３】
請求項２記載の発明によれば、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知するので、基板収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することができるという効果がある。また、基板収納容器に加熱された基板を収納した場合のヒートショックから基板収納容器の性能や品質、交換時期を判断することができる。
【００３４】
請求項３記載の発明によれば、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知するので、基板収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することができるという効果がある。また、基板収納容器の洗浄回数から基板収納容器の性能や品質、交換時期を判断することができる。
【００３５】
請求項４記載の発明によれば、無線通信手段による基板収納容器の検査点検時期の判断結果と検査点検装置による基板収納容器の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知するので、基板収納容器やその部品の交換時期を容易に判断することができ、交換品を簡単に選定することができるという効果がある。また、基板収納容器の水平度から基板収納容器の性能や品質、交換時期を判断し、基板収納容器の搭載時における傾斜を防ぐことが可能となる。
【００３６】
請求項５記載の発明によれば、位置決め機構の利用により、周辺関連装置上に基板収納容器の容器本体を高精度に位置決めして搭載することが可能になる。また、フランジの利用により、周辺関連装置に容器本体を保持させ、基板を収納した基板収納容器を安全に搬送することが可能になる。また、施錠機構の活用により、容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体の脱落を有効に防止することが可能になる。
【００３７】
請求項６記載の発明によれば、容器本体の給気バルブと排気バルブとを利用すれば、パージガス等のガスを容器本体の内外に流通させ、基板収納容器の内外圧力差を解消することができる。また、給気バルブから容器本体の内部にガスを単に供給するのではなく、パージノズルの複数の噴射孔から容器本体の内部にガスを噴射することができるので、容器本体内の相対湿度が均一に下がるよう、ガスの流通を制御することが容易となる。さらに、ガス供給装置等に容器本体の給気バルブを接続しなくても、必要に応じ、容器本体のガス源からパージノズルにガスを供給し、このパージノズルの噴射孔から容器本体内にガスを噴射することができる。
【００３８】
請求項７記載の発明によれば、検査点検装置のロードポート装置に基板収納容器を位置決め搭載して検査点検したり、蓋体の施錠機構をロードポート装置の蓋体開閉機構により解錠操作した後、蓋体を蓋体開閉機構により吸着して取り外し、検査点検することができる。また、基板収納容器の内外を流れるガスの流量から基板収納容器の密封性の良否を検査点検することができ、しかも、施錠機構を蓋体開閉機構が回転させる際の回転トルクの測定値から施錠機構の良否を検査点検することができる。また、寸法測定装置の測定結果、あるいは容器本体の開口した正面に蓋体が押圧して嵌合される際の押圧力の測定値から基板収納容器の容器本体や蓋体の良否を検査点検することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る基板収納容器の管理システムの実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の管理システムの実施形態における無線通信手段を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の管理システムの実施形態における検出手段、無線通信手段、及び報知手段を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の管理システムの実施形態における検査点検装置等を模式的に示す側面図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の管理システムの実施形態における検査点検装置等を模式的に示す平面図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の管理システムの別の実施形態における容器本体を模式的に示す正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の管理システムは、図１ないし図５に示すように、フロントオープンボックスタイプの基板収納容器１に設けられてそのシール状態等の使用状態を検出する検出手段３０と、基板収納容器１に設けられてその検査点検時期を判断する小型の無線通信手段４０と、検査点検時期にあると判断された基板収納容器１を検査点検する専用の検査点検装置５０と、無線通信手段４０による基板収納容器１の検査点検時期の判断結果と検査点検装置５０による基板収納容器１の検査点検結果のいずれかの結果に応じた内容を報知する報知手段７０とを備え、基板収納容器１が所定の関連周辺装置２０にアクセスされるシステムであある。
【００４４】
基板収納容器１は、図１に示すように、例えば複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納する透明の容器本体２と、この容器本体２の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体１０と、容器本体２の正面に嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構とを備え、半導体加工装置に併設されたロードポート装置上に位置決めして搭載されたり、半導体製造工場の天井搬送装置２２により搬送され、定期的に検査点検されたり、試験される。
【００４５】
各半導体ウェーハＷは、例えば７７５μｍの厚さを有するφ３００ｍｍのシリコンウェーハからなる。この半導体ウェーハＷは、半導体部品の製造工程（５００〜６００工程にも及ぶ）で各種の加工や処理が適宜施され、容器本体２に２５枚が水平に挿入して収納されるとともに、容器本体２の上下方向に整列する。
【００４６】
容器本体２、蓋体１０、及び施錠機構は、所定の樹脂を含有する成形材料により、複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料に含有される樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００４７】
これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。
【００４８】
容器本体２は、正面が開口した透明のフロントオープンボックスに形成され、開口した正面を水平横方向に向けた状態でロードポート装置上に位置決め搭載されたり、天井搬送装置２２の把持により、工程間を搬送される。この容器本体２は、その内部両側、換言すれば、両側壁の内面に、半導体ウェーハＷを略水平に支持する左右一対の支持片３がそれぞれ対設され、両側壁の内面後部に、半導体ウェーハＷの過剰な挿入を規制する位置規制部がそれぞれ一体形成される。
【００４９】
左右一対の支持片３は、上下方向に所定のピッチで配列され、上下方向に隣接する支持片３と支持片３との間に、支持片３から浮上した半導体ウェーハＷの周縁部側方を支持する断面略Ｕ字形の支持溝４が区画形成される。各支持片３は、半導体ウェーハＷの側部周縁を支持する細長い板形に形成され、前部の表面に、半導体ウェーハＷの前方への飛び出しを規制する段差部が一体形成される。
【００５０】
容器本体２の底板における前部あるいは後部には、複数（少なくとも２以上）の取付孔がそれぞれ貫通して穿孔され、各取付孔に気体置換用のフィルタバルブがガスケットを介して嵌着される。この複数のフィルタバルブは、容器本体２の底板に支持されて外部のパージガス供給装置から容器本体２内に窒素ガス等のパージガスを供給する少なくとも１個以上の給気バルブ５と、容器本体２の底板に支持されて容器本体２内から外部にエアを排気する少なくとも１個以上の排気バルブとからなり、パージガス等の気体を容器本体２の内外に流通させることにより、基板収納容器１の内外圧力差を解消するよう機能する。
【００５１】
容器本体２の底板裏面における前部両側と後部中央とには、基板収納容器１を位置決めする位置決め機構である位置決め具６がそれぞれ設けられ、これら複数の位置決め具６が平面略Ｙ字を描くよう配列される。各位置決め具６は、基本的には平面略楕円形を呈する断面略Ｖ字形に形成されてその一対の斜面を備えた凹部を下方に指向させ、ロードポート装置上の位置決めピン２１に上方から凹部を嵌合・摺接させることにより、容器本体２を高精度に位置決めするよう機能する。
【００５２】
容器本体２の底板裏面には、別体のボトムプレートが螺子具を介し水平に重ねて螺着され、このボトムプレートが複数の給気バルブ５と排気バルブ、位置決め具６をそれぞれ露出させる。
【００５３】
容器本体２の天板中央部には、半導体製造工場の天井搬送装置２２に把持される搬送用のトップフランジ７が着脱自在に装着され、容器本体２の正面内周における上下部の両側には、施錠機構用の施錠穴がそれぞれ穿孔される。また、容器本体２の背面壁内面の左右両側には、半導体ウェーハＷの周縁部後方を支持可能な左右一対のリアリテーナが並べて形成され、この一対のリアリテーナが容器本体２の上下方向に所定のピッチで配列される。また、容器本体２の両側壁中央部には、略Ｈ字形の装着部がそれぞれ区画形成され、各装着部に、握持操作用に機能するグリップ部が着脱自在に装着される。
【００５４】
蓋体１０は、容器本体２の開口した正面内に押圧して嵌合される蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を被覆する表面プレート１２とを備え、容器本体２の開口した正面内周に密封封止用のシールガスケットを介して接触する。
【００５５】
蓋本体１１は、基本的には底の浅い断面略皿形に形成され、内部に補強用や取付用のリブが複数配設されており、半導体ウェーハＷに対向する対向面である裏面に、半導体ウェーハＷを弾発的に保持するフロントリテーナが装着される。また、蓋本体１１の裏面周縁部には、枠形の嵌合溝が凹み形成され、この嵌合溝内に、容器本体２の正面内周に圧接する弾性変形可能なシールガスケットが密嵌されており、蓋本体１１の周壁における上下の両側部には、容器本体２の施錠穴に対向する施錠機構用の出没孔が貫通して穿孔される。
【００５６】
表面プレート１２は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート１２の両側部には、施錠機構用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
【００５７】
施錠機構は、蓋体１０の蓋本体１１における左右両側部にそれぞれ軸支されて外部から回転操作される左右一対の回転操作部材である回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い蓋体１０の上下方向にスライドする複数の進退動プレートと、各進退動プレートのスライドに伴い蓋本体１１の出没孔から出没して容器本体２の施錠穴に接離する複数の施錠爪とを備え、蓋体１０の蓋本体１１と表面プレート１２との間に介在される。
【００５８】
各回転プレートは、蓋体１０の表面プレート１２の操作孔に対向し、この操作孔を貫通したロードポート装置の操作キーにより回転操作される。また、各施錠爪は、基本的には断面略Ｌ字形に屈曲形成されてその先端部には回転可能なローラを備え、蓋本体１１内の出没孔付近に揺動可能に軸支されて進退動プレートの先端部にピンを介し連結されており、容器本体２の施錠穴にローラを接離する。
【００５９】
所定の関連周辺装置２０は、図１、図４、図５に示すように、例えば容器本体２の位置決め機構である複数の位置決め具６にアクセスして位置決めするロードポート装置と、容器本体２のトップフランジ７にアクセスして上方から保持する天井搬送装置２２とからなる。ロードポート装置は、容器本体２の複数の位置決め具６に起立した位置決めピン２１を下方からそれぞれ嵌合して自動救心することにより、基板収納容器１を位置決め搭載したり、施錠機構の回転プレートを操作キーで回転させることにより、施錠機構を施錠操作又は解錠操作するよう機能する。また、施錠機構の解錠後、容器本体２から蓋体１０を蓋体開閉機構により吸着して取り外したり、容器本体２の開口した正面に吸着した蓋体１０を蓋体開閉機構により押圧して嵌合したりする。
【００６０】
天井搬送装置２２は、半導体製造工場の天井搬送レール２３に案内されて移動する移動機構２４と、この移動機構２４に設置される昇降可能な把持機構２５とを備え、この把持機構２５がロードポート装置上に位置決め搭載された基板収納容器１のトップフランジ７を把持した後、基板収納容器１を吊持してロードポート装置５２から検査点検装置５０等、所定の装置や箇所に高速で搬送する。
【００６１】
検出手段３０は、図１に示すように、容器本体２の背面壁下部に装着されて光線を蓋体１０の下部方向に斜めに投射する基板用投受光素子３１と、容器本体２の背面壁下部に装着されて光線を蓋体１０の下部方向に水平に投射する蓋体用投受光素子３２と、蓋体１０の蓋本体１１の裏面下部に装着されて基板用投受光素子３１と蓋体用投受光素子３２からの光線を基板用投受光素子３１と蓋体用投受光素子３２とにそれぞれ反射可能な回帰反射板３３とを備えた回帰反射形の光電センサ３４からなり、無線通信手段４０に接続される。基板用投受光素子３１と蓋体用投受光素子３２とは、基板用投受光素子３１が蓋体用投受光素子３２の上方に位置する関係となるよう配設される。
【００６２】
係る検出手段３０は、基板用投受光素子３１が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間の計測により、半導体ウェーハＷの有無を検出し、蓋体用投受光素子３２が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間の計測により、蓋体１０の開閉回数を検出するよう機能する。例えば、基板用投受光素子３１が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間の計測により、半導体ウェーハＷ有を検出した後、蓋体用投受光素子３２が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間（例えば、１０秒以上）を計測したら、蓋体１０の開閉回数を検出する。
【００６３】
無線通信手段４０は、日本国の１円硬貨よりも軽くて小さい平面略矩形の超小型ＩｏＴモジュールからなり、容器本体２の底板や側壁、ボトムプレートに装着される。この無線通信手段４０は、図１や図２に示すように、例えば接続された検出手段３０からの検出値を入力する外部入力部４１と、少なくとも検出手段３０の検出値と基板収納容器１に関する検査点検値とを記録するデータ記録部４２と、検出手段３０の検出値と基板収納容器１に関する検査点検値とを比較したり、検出値をデータ記録部４２に保存する演算処理部４３と、外部の検査点検装置５０と通信する無線通信部４４と、検出手段３０、外部入力部４１、データ記録部４２、演算処理部４３、及び無線通信部４４に電力を供給するバッテリ部４６とを備えた超低消費電力タイプに構成され、電源４７から電力が供給される。
【００６４】
外部入力部４１は、例えば無線通信手段４０の四辺に所定のピッチで略切手形に形成され、プリント基板に表面実装される。
【００６５】
データ記録部４２は、メモリーのＲＡＭに検出手段３０の検出値として、蓋体１０の開閉回数、基板収納容器１の加速度値、基板収納容器１の搬送回数、基板収納容器１の搬送距離、基板収納容器１のトップフランジ７保持回数、基板収納容器１の衝撃回数、基板収納容器１の最大衝撃値、基板収納容器１の最大振動数、基板収納容器１のヒートショック回数、基板収納容器１の洗浄回数、基板収納容器１の水平値、基板収納容器１内の酸素濃度値、所定の工程における使用回数等が必要に応じて記録・蓄積される。また、無線通信部４４が検査点検装置５０から基板収納容器１の検査点検結果を受信した場合、この基板収納容器１の検査点検結果が記録・蓄積される。
【００６６】
また、データ記録部４２は、メモリーのＲＯＭに基板収納容器１に関する検査点検値として、蓋体１０の開閉回数、基板収納容器１の加速度値、基板収納容器１の搬送回数、基板収納容器１の搬送距離、基板収納容器１のトップフランジ７保持回数、基板収納容器１の衝撃回数、基板収納容器１の最大衝撃値、基板収納容器１の最大振動数、基板収納容器１のヒートショック回数、基板収納容器１の洗浄回数、基板収納容器１の水平値、基板収納容器１内の酸素濃度値、所定の工程における使用回数等が閾値として記録される。これら基板収納容器１に関する検査点検値は、検出手段３０の検出値との比較のため、テーブル試験により予め設定される。
【００６７】
演算処理部４３は、例えば最大３２ＭＨｚで動作する３２ｂｉｔのＣＰＵを備え、このＣＰＵがデータ記録部４２のＲＡＭ領域を作業領域としてデータ記録部４２のＲＯＭに記憶された所定のプログラムを読み込むことにより、コンピュータとして所定の機能を実現する。
【００６８】
具体的には、データ記録部４２に記録された蓋体１０の開閉回数と蓋体１０の検査点検値とを比較する機能、比較した結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する機能、比較した結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１が検査点検時期にあると判断する機能とを実現する。蓋体１０の開閉回数と蓋体１０の検査点検値との関係は、テーブル試験、過去の使用実績、実験結果等を考慮して設定される。
【００６９】
無線通信部４４は、例えば無指向性のアンテナ４５により、検査点検装置５０と２．４ＧＨｚ帯の無線で通信可能に接続される。この無線通信部４４のアンテナ４５は、無指向性の他、通信距離を延長可能な高利得の指向性タイプ、安価なマッチ棒タイプ、背を低く実装可能なワイヤタイプ、基板タイプ等が選択的に採用される。また、バッテリ部４６は、例えば小型のボタン電池等からなり、電源４７から電力が接触方式あるいは非接触方式により給電される。電源４７は、特に限定されるものではないが、例えばロードポート装置５２や検査点検装置５０等に設置される。
【００７０】
検査点検装置５０は、図４や図５に示すように、基板収納容器１の容器本体２の複数の位置決め具６に位置合わせピン５１をそれぞれアクセスして高精度に位置決め搭載し、容器本体２の正面に蓋体１０を昇降可能な蓋体開閉機構により取り付け取り外しするロードポート装置５２と、基板収納容器１の寸法を測定する寸法測定装置５９と、蓋体１０が取り外された容器本体２に対して所定枚数の半導体ウェーハＷを出し入れするロボットハンドラー６０とを備え、ロードポート装置５２が半導体加工装置に併設されたロードポート装置に準拠して構成されており、半導体の生産ラインに設置されて基板収納容器１の良否を検査点検する。
【００７１】
ロードポート装置５２は、容器本体２の内外にガスを流通させるバルブユニット５３を備え、このバルブユニット５３が、容器本体２の給気バルブ５に接続されてクリーンエアや窒素ガス等のガスを供給する供給バルブ５４と、容器本体２の排気バルブに接続されて容器本体２内のクリーンエアや窒素ガス等のガスを外部に排出する排出バルブ５５とから構成される。供給バルブ５４から容器本体２内に供給されるガスの供給量は、計測センサ５６に計測され、排出バルブ５５から容器本体２外に排出されるガスの排出量は、別の計測センサ５６Ａに計測される。これら複数の計測センサ５６・５６Ａが計測した計測値の演算結果は、基板収納容器１の検査点検項目として閾値と比較され、この閾値との比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【００７２】
また、ロードポート装置５２には、施錠機構の回転プレートを蓋体開閉機構の操作キーが回転させる際の回転トルクを測定するトルクセンサ５７と、容器本体２の開口した正面に蓋体１０が蓋体開閉機構により押圧して嵌合される際の押圧力を測定するロードセンサ５８とが配設される。
【００７３】
トルクセンサ５７とロードセンサ５８とが測定した測定値は、基板収納容器１の検査点検項目として初期回転トルク値又は初期押圧力と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。また、寸法測定装置５９は、基板収納容器１の寸法を複数の光電センサにより測定するが、この測定値も基板収納容器１の検査点検項目として寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【００７４】
報知手段７０は、図３に示すように、例えばＬＥＤ７１、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）７２、ブザー、基板収納容器１の無線通信手段４０と通信可能に接続されたサーバ等からなり、容器本体２やそのボトムプレート、一般的なロードポート装置、検査点検装置５０に配設される。
【００７５】
報知手段７０は、検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１が良好の場合には、何ら報知せず、基板収納容器１が不良の場合には、基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。具体的には、報知手段７０がＬＥＤ７１の場合、基板収納容器１の品質が未だ良好と判断されたときには、点滅・点灯せず、基板収納容器１の品質が低下して不良と判断されたときには、点灯したり、点灯し、基板収納容器１の再点検や交換を報知する。
【００７６】
上記構成において、基板収納容器１は、半導体ウェーハＷに複数の半導体チップが形成される場合には、ロードポート装置上に複数の位置決め具６を介して位置決め搭載され、蓋体１０の施錠機構がロードポート装置の蓋体開閉機構の操作キーにより解錠操作されるとともに、蓋体１０がロードポート装置の蓋体開閉機構の吸着機構により吸着して取り外され、その後、容器本体２の開口した正面から半導体ウェーハＷが専用のロボットのハンドに取り出される。こうして半導体ウェーハＷが専用のロボットに取り出されると、半導体ウェーハＷに半導体加工装置が各種の加工や処理を施し、これら加工や処理の終了後に半導体ウェーハＷが容器本体２に再度収納される。
【００７７】
次いで、容器本体２の正面に蓋体１０がロードポート装置５２の蓋体開閉機構の吸着機構により嵌合され、この蓋体１０の施錠機構がロードポート装置５２の蓋体開閉機構の操作キーにより施錠操作されることにより、容器本体２の正面に蓋体１０が完全に押圧嵌合され、次の加工工程に天井搬送装置２２により搬送される。このような加工処理の繰り返しにより、半導体ウェーハＷに複数の半導体チップが形成されることとなる。
【００７８】
基板収納容器１は、半導体ウェーハＷに複数の半導体チップが形成されると、この半導体ウェーハＷが容器本体２から後工程に搬送するための専用の容器に移し替えられ、空の容器本体２に未加工の半導体ウェーハＷが新たに収納される。新たな半導体ウェーハＷを収納した基板収納容器１は、上記と同様の作業に繰り返し使用されるが、所定の間隔で定期的に洗浄装置の洗浄水で洗浄され、乾燥した後に使用される。また、所定の期間を経過すると、定期的に基本性能が試験される。
【００７９】
さて、基板収納容器１の使用時に検出手段３０は、基板用投受光素子３１と蓋体用投受光素子３２とから蓋体１０の回帰反射板３３に光線をそれぞれ投射し、基板用投受光素子３１が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間を計測して半導体ウェーハＷの有無を検出し、蓋体用投受光素子３２が回帰反射板３３からの反射光を受光できなくなった時間を計測して蓋体１０の開閉回数を検出するとともに、検出値を無線通信手段４０に出力する。
【００８０】
無線通信手段４０は、データ記録部４２に蓋体１０の開閉回数が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された蓋体１０の開閉回数と蓋体１０の検査点検値とを比較し、比較の結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。無線通信手段４０の演算処理部４３により、基板収納容器１が未だ検査点検時期でないと判断された場合には、報知手段７０は、何ら報知せず、基板収納容器１の使用が継続される。
【００８１】
これに対し、蓋体１０の開閉回数が増加し、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の検査点検値以上となった場合には、演算処理部４３は、蓋体１０の品質低下により、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。演算処理部４３が基板収納容器１の検査点検時期と判断した場合には、基板収納容器１は、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検されたり、蓋体１０の施錠機構がロードポート装置５２の蓋体開閉機構の操作キーにより解錠操作された後、蓋体１０が蓋体開閉機構により吸着して取り外され、検査点検される。
【００８２】
この際、ロードポート装置５２のバルブユニット５３が動作して供給バルブ５４から容器本体２の給気バルブ５にガスを供給し、容器本体２内のガスが排気バルブから排出バルブ５５を経由して外部に排出され、ガスの供給量と排出量とが複数の計測センサ５６・５６Ａに計測される。これら複数の計測センサ５６・５６Ａが計測した計測値の減算結果は、基板収納容器１の検査点検項目として閾値と比較され、この閾値との比較結果から基板収納容器１のシール状態の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【００８３】
検査点検装置５０が基板収納容器１のシール状態の良否を検査点検した結果、基板収納容器１のシール状態が良好の場合には、報知手段７０は、何ら報知しないが、ガス排気量の低下等により、基板収納容器１のシール状態が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。
【００８４】
このような基板収納容器１の再点検あるいは交換準備の報知により、基板収納容器１を修理してシール状態を改善させたり、ガスケットやシールガスケットを交換してシール性能を向上させたり、あるいは新たな基板収納容器１と交換することができるので、基板収納容器１の品質低下を図ることができる。
【００８５】
また、蓋体１０の施錠機構が解錠操作される際、施錠機構の回転プレートを蓋体開閉機構の操作キーが回転させるときの回転トルクをトルクセンサ５７が測定し、このトルクセンサ５７が測定した測定値は、初期回転トルク値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の施錠機構の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。検査点検装置５０が施錠機構の良否を検査点検した結果、施錠機構が良好の場合には、報知手段７０は、何ら報知しないが、部品の摩耗等により、施錠機構が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。
【００８６】
また、ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１の寸法が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、部品の劣化や変形等により、基板収納容器１の寸法が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。
【００８７】
また、容器本体２の開口した正面に蓋体１０が蓋体開閉機構により押圧して嵌合される際、押圧力をロードセンサ５８が測定し、このロードセンサ５８が測定した測定値は、初期押圧力と比較され、この比較結果から基板収納容器１の蓋体１０の良否が検査点検され、この検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。検査点検装置５０が蓋体１０の良否を検査点検した結果、蓋体１０が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、シールガスケットやフロントリテーナの劣化等により、蓋体１０が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。
【００８８】
このような基板収納容器１の再点検あるいは交換の報知により、容器本体２を修理して品質を向上させたり、あるいは新たな基板収納容器１と交換することができるので、基板収納容器１の品質低下が大いに期待できる。
【００８９】
上記によれば、検出手段３０、無線通信手段４０、検査点検装置５０、及び報知手段７０の設置により、基板収納容器１の性能や品質の異常の有無を判定するので、例え基板収納容器１の交換時期について明確な判断基準が存在せず、交換時期に個体差があっても、交換品を容易に選定することができ、交換品の選定作業の簡素化や迅速化を図ることができる。また、基板収納容器１の交換時期を的確に判断することが可能になるので、ライフタイム管理が可能になり、生産工程の作業効率の向上が大いに期待できる。
【００９０】
また、半導体の全生産工程で基板収納容器１が循環するよう使用される場合、例え基板収納容器１毎に使用履歴が異なっても、交換時期を容易に判断することができる。さらに、半導体の生産工程のエリア毎に基板収納容器１が使用される場合にも、エリア毎に基板収納容器１の交換時期の判断基準を個別具体的に定める必要がなく、実に便利である。
【００９１】
次に、検査点検装置５０ではなく、サービス提供手段８０により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検査点検装置５０による基板収納容器１の検査点検内容を記録・蓄積するとともに、検査点検内容から基板収納容器１の性能を解析するサービス提供手段８０を備え、このサービス提供手段８０が解析した基板収納容器１の解析結果に応じた内容を報知手段７０により報知させるようにしている。
【００９２】
無線通信手段４０は、上記実施形態と同様に外部入力部４１、データ記録部４２、演算処理部４３、無線通信部４４、バッテリ部４６が配設されるが、無線通信部４４が検査点検装置５０とサービス提供手段８０のうち、少なくともサービス提供手段８０に通信可能に接続され、このサービス提供手段８０が解析した解析結果を受信して記録する。
【００９３】
サービス提供手段８０は、外部のインターネットのサーバ８１、あるいは検査点検装置５０に併設される大容量の専用のサーバ８１からなる。このサービス提供手段８０は、例えば多数の演算コア、大容量のメインメモリと各種解析ソフトウェアがインストールされ、検査点検装置５０の検査点検内容から基板収納容器１の性能や品質を初期値と比較して詳細に解析し、この解析結果を記録するとともに、無線通信手段４０の無線通信部４４に送信する。サービス提供手段８０は、必要に応じ、無線通信手段４０の演算処理部４３との間でデータを送受信する。
【００９４】
上記において、検査点検装置５０のロードポート装置５２上に基板収納容器１が位置決め搭載して検査点検されたり、蓋体１０の施錠機構がロードポート装置５２の蓋体開閉機構の操作キーにより解錠操作された後、蓋体１０が蓋体開閉機構により吸着して取り外され、検査点検されると、サービス提供手段８０は、検査点検装置５０の複数の計測センサ５６・５６Ａが計測した計測値、トルクセンサ５７が測定した測定値、複数の光電センサが測定した測定値、ロードセンサ５８が測定した測定値から基板収納容器１の性能や品質を詳細に解析するとともに、この解析結果を記録し、解析結果を無線通信手段４０に送信する。
【００９５】
サービス提供手段８０が基板収納容器１を詳細に解析した結果、基板収納容器１が良好の場合には、報知手段７０は、何ら報知しないが、ガス排気量の低下、部品の損耗、劣化や変形等により、基板収納容器１が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９６】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、無線通信手段４０や検査点検装置５０にサービス提供手段８０としてサーバ８１、特に大容量のサーバ８１を接続すれば、無線通信手段４０や検査点検装置５０よりも優れた解析能力を得ることができ、基板収納容器１の性能や品質、交換時期をより詳細に解析することができる。また、サービス提供手段８０により、詳細に解析された基板収納容器１の性能や品質を無線通信手段４０の無線通信部４４に送信して蓄積し、有効利用することができる。さらに、基板収納容器１の異常をサーバ８１が詳しく解析した場合には、報知手段７０により基板収納容器１の交換を促すことが可能になる。
【００９７】
次に、蓋体１０の開閉回数ではなく、加速度により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検出手段３０を、基板収納容器１の容器本体２の底板に装着されてその加速度値を検出する加速度センサ３５とし、この加速度センサ３５を無線通信手段４０に接続するようにしている（図３参照）。
【００９８】
加速度センサ３５には、静電容量検出方式、ピエゾ抵抗方式、熱検知方式等があるが、特に限定されるものではない。
無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からの基板収納容器１の加速度値が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された基板収納容器１の加速度値と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、基板収納容器１の加速度値が基板収納容器１の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。
【００９９】
これに対し、基板収納容器１の経年劣化等により、基板収納容器１の加速度値が基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。基板収納容器１の加速度値と基板収納容器１の検査点検値との関係は、過去の使用実績や実験結果等を考慮して設定される。
【０１００】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法、この寸法変化に伴う容器本体２の変形の有無を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検されてその検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【０１０１】
検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、変形等により、基板収納容器１が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１０２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１に作用した加速度から基板収納容器１の初期性能がどの程度劣化したかを把握し、基板収納容器１の性能や品質、交換時期を判断することができるのは明らかである。
【０１０３】
次に、蓋体１０の開閉回数ではなく、基板収納容器１の搬送回数等により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検出手段３０を、基板収納容器１の容器本体２の底板に装着されてその加速度から基板収納容器１の搬送回数、基板収納容器１の搬送距離、基板収納容器１のトップフランジ７保持回数、基板収納容器１に作用した衝撃回数、基板収納容器１に作用した最大衝撃値、及び基板収納容器１に作用した最大振動数の少なくともいずれかの情報値を検出する加速度センサ３５とし、この加速度センサ３５を無線通信手段４０に接続するようにしている（図３参照）。
【０１０４】
無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からの基板収納容器１の情報値が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された基板収納容器１の情報値と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、基板収納容器１の情報値が基板収納容器１の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。これに対し、基板収納容器１の損傷等により、基板収納容器１の情報値が基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。
【０１０５】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法、この寸法変化に伴う基板収納容器１の変形の有無を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検されてその検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【０１０６】
検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、変形等により、基板収納容器１が異常で不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１０７】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１の搬送回数、基板収納容器１の搬送距離、基板収納容器１のトップフランジ７保持回数、基板収納容器１に作用した衝撃回数、基板収納容器１に作用した最大衝撃値、又は基板収納容器１に作用した最大振動数から基板収納容器１の性能や品質、交換時期を判断することができるのは明白である。
【０１０８】
次に、蓋体１０の開閉回数ではなく、基板収納容器１のヒートショック回数により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検出手段３０を、基板収納容器１に加熱された半導体ウェーハＷ（ホットウェーハ）を収納して１００℃前後でヒートショックが生じたときに、ヒートショック時の温度を測定して基板収納容器１のヒートショック回数を検出する温度センサ３６とし、この温度センサ３６を無線通信手段４０に接続するようにしている（図３参照）。
【０１０９】
温度センサ３６は、接触式、非接触式、電気式、機械式等からなり、半導体ウェーハＷの収納に支障を来さない容器本体２の内部、例えば内部後方の背面壁寄り等に設置される。
【０１１０】
無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からのヒートショック回数が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録されたヒートショック回数と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器１の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。これに対し、比較した結果、ヒートショック回数が基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。
【０１１１】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、容器本体２の寸法、この寸法変化に伴う容器本体２の変形の有無、半導体ウェーハＷの支持位置を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検されてその検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【０１１２】
検査点検装置５０が容器本体２の良否を検査点検した結果、容器本体２が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、変形等により、容器本体２が不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１１３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１に加熱された半導体ウェーハＷを収納した場合のヒートショックから基板収納容器１の性能や品質を判断することができる。
【０１１４】
次に、基板収納容器１の洗浄回数により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検出手段３０を、基板収納容器１が洗浄水で洗浄して約６０℃程度で熱乾燥されたときに、基板収納容器１の乾燥温度を測定して基板収納容器１の洗浄回数を検出する温度センサ３６とし、この温度センサ３６を無線通信手段４０に接続するようにしている（図３参照）。
【０１１５】
温度センサ３６は、基板収納容器１の容器本体２と蓋体１０の外面にそれぞれ設置される。この温度センサ３６の測定温度は、基板収納容器１の洗浄条件や乾燥条件を考慮して設定される。また、無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からの基板収納容器１の洗浄回数が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された基板収納容器１の洗浄回数と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、基板収納容器１の洗浄回数が基板収納容器１の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。
【０１１６】
これに対し、比較した結果、基板収納容器１の洗浄回数が基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。基板収納容器１の洗浄回数は、基板収納容器１の洗浄条件や乾燥条件を考慮して設定される。
【０１１７】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法、この寸法変化に伴う基板収納容器１の変形の有無を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検されてその検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【０１１８】
検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、変形等により、基板収納容器１が不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１の洗浄回数から基板収納容器１の性能や品質を判断することが可能となる。
【０１１９】
次に、基板収納容器１の水平度により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には、検出手段３０を、ロードポート装置５２上の位置決めピン２１に基板収納容器１が位置決め具６を介して位置決め搭載されたときに、基板収納容器１の水平度を検出する傾斜センサ３７とし、この傾斜センサ３７を無線通信手段４０に接続するようにしている（図３参照）。
【０１２０】
傾斜センサ３７は、気泡や振り子を利用したタイプ、ポテンショメータや磁気を利用したタイプ、電解液の傾きを利用するタイプ等が用いられ、容器本体２の底板あるいはボトムプレートに高精度な水平状態に装着される。
【０１２１】
無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からの基板収納容器１の水平値が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された基板収納容器１の水平値と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、基板収納容器１の水平値が基板収納容器１の検査点検値未満の場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。これに対し、比較した結果、基板収納容器１の水平値が基板収納容器１の検査点検値に近づいたり、基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、位置決め具６の摩耗等により、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。
【０１２２】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法、この寸法変化に伴う基板収納容器１の変形の有無、支持片３の位置を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検されてその検査点検結果が無線通信手段４０に送信される。
【０１２３】
検査点検装置５０が基板収納容器１の良否を検査点検した結果、基板収納容器１が良好の場合には、報知手段７０は、報知しないが、位置決め具６の変形や損傷等により、基板収納容器１が不良の場合には、点滅したり、対応する文字を表示等して基板収納容器１の再点検あるいは交換を報知する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１の水平度から基板収納容器１の性能や品質を判断し、基板収納容器１の搭載時における傾斜を防ぐことが可能となる。
【０１２４】
次に、基板収納容器１内の酸素濃度により、基板収納容器１の性能や品質を判断する実施形態について説明する。この場合には図３や図６に示すように、検出手段３０を、基板収納容器１に半導体ウェーハＷが収納されたときに、基板収納容器１内の酸素濃度を一定間隔で検出する酸素濃度センサ３８とし、この酸素濃度センサ３８を無線通信手段４０と共に容器本体２に内蔵するようにしている。
【０１２５】
基板収納容器１の容器本体２には、金属配線の加工途中、あるいは加工完了後の半導体ウェーハＷが収納される。この容器本体２の内部後方両側には、窒素ガス等のパージガスを貯えるパージガスボンベ１３がそれぞれ立設され、一対の給気バルブ５上には、パージガスの流通制御に資する観点から、パージガスボンベ１３と連通する中空円柱形のパージノズル１４がそれぞれ連通して立設されており、各パージノズル１４の周壁には、容器本体２内の前方にパージガスを拡散させて噴射する複数の噴射孔１５が上下方向に並べて穿孔される。
【０１２６】
酸素濃度センサ３８は、半導体ウェーハＷの収納に支障を来さない容器本体２の内部後方、具体的には背面壁寄りに設置され、基板収納容器１の搬送時、保管時、検査点検時に利用される。この酸素濃度センサ３８には、ガルバニ電池式、ジルコニア固体電解質方式、磁気式、波長可変半導体レーザ分光式があるが、特に限定されるものではない。
【０１２７】
基板収納容器１は、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されるが、この検査点検装置５０のロードポート装置５２には、バルブユニット５３、複数の計測センサ５６・５６Ａ、トルクセンサ５７、ロードセンサ５８の他、容器本体２の複数のパージガスボンベ１３にパージガスをそれぞれ充填する充填ユニットが設置され、この充填ユニットの充填により、パージガスボンベ１３のパージガスが不足するのを防止することができる。
【０１２８】
無線通信手段４０は、データ記録部４２に、検出手段３０からの基板収納容器１内の酸素濃度値が記録され、演算処理部４３がデータ記録部４２に記録された基板収納容器１内の酸素濃度値と基板収納容器１の検査点検値とを比較し、この演算処理部４３で比較した結果、基板収納容器１内の酸素濃度値が基板収納容器１の検査点検値に近づいていない場合には、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断する。これに対し、比較した結果、基板収納容器１内の酸素濃度値が基板収納容器１の検査点検値に近づいた場合や基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、容器本体２の異常や劣化等により、基板収納容器１の検査点検時期と判断する。
【０１２９】
報知手段７０は、無線通信手段４０の演算処理部４３が比較した結果、基板収納容器１が未だ検査点検時期でない場合には、報知しないが、基板収納容器１が検査点検時期の場合には、基板収納容器１の点検、交換の準備、あるいは交換を報知する。
【０１３０】
また、パージガスボンベ１３は、無線通信手段４０の演算処理部４３が比較した結果、基板収納容器１内の酸素濃度値が基板収納容器１の検査点検値に近づいたり、あるいは基板収納容器１の検査点検値以上となった場合には、基板収納容器１が異常と判断し、パージガスをパージノズル１４の下部に供給し、パージガスをパージノズル１４の複数の噴射孔１５からそれぞれ拡散させて噴射させるよう機能する。
【０１３１】
基板収納容器１は、検査点検時期と判断された場合には、検査点検装置５０のロードポート装置５２に位置決め搭載されて検査点検される。ロードポート装置５２に基板収納容器１の容器本体２が位置決め搭載されると、基板収納容器１の寸法、この寸法変化に伴う基板収納容器１の変形の有無を寸法測定装置５９の複数の光電センサが測定し、この複数の光電センサ３４が測定した測定値は、寸法閾値と比較され、この比較結果から基板収納容器１の良否が検査点検される。
【０１３２】
この際、ロードポート装置５２の充填ユニットは、容器本体２の複数のパージガスボンベ１３にパージガスをそれぞれ充填する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【０１３３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基板収納容器１の容器本体２内の酸素濃度値から基板収納容器１の性能や品質、交換時期を判断することができる。さらに、容器本体２内の酸素濃度値が異常な場合には、パージノズル１４から容器本体２内にパージガスを供給するので、容器本体２内の雰囲気悪化を有効に防止することができ、半導体ウェーハＷに形成される半導体チップの歩留まり向上に大いに資することができる。
【０１３４】
なお、上記実施形態における検出手段３０を、容器本体２の背面壁下部に装着されて光線を蓋体１０の下部方向に水平に投射する蓋体用投受光素子３２と、蓋体１０の蓋本体１１の裏面下部に装着されて蓋体用投受光素子３２からの光線を蓋体用投受光素子３２に反射可能な回帰反射板３３とを備えた回帰反射形の光電センサ３４とし、無線通信手段４０に接続しても良い。
【０１３５】
また、検出手段３０を、容器本体２の正面周縁部に装着され、光線を容器本体２の正面周縁部の微小な透過孔を介して蓋体１０の周壁方向に投射する蓋体用投受光素子３２と、蓋体１０の周壁に装着され、蓋体用投受光素子３２からの光線を微小な透過孔を介して蓋体用投受光素子３２に反射可能な回帰反射板３３とを備えた反射形の光電センサ３４とし、蓋体１０が取り外されたことにより、蓋体用投受光素子３２が受光不能となった回数を計測して蓋体１０の開閉回数を検出するようにしても良い。
【０１３６】
また、検査点検装置５０やサービス提供手段８０の有無にかかわらず、報知手段７０には、無線通信手段４０の演算処理部４３が比較した結果、基板収納容器１が未だ検査点検時期ではないと判断された場合には、何ら報知させず、基板収納容器１が検査点検時期であると判断された場合には、基板収納容器１の点検、交換、あるいは交換の準備を報知させても良い。
【０１３７】
また、検査点検装置５０やサーバ８１については、検出手段３０からの検出値を入力する外部入力部４１と、検出手段３０の検出値と基板収納容器１に関する閾値とを記録するデータ記録部４２と、検出手段３０の検出値と基板収納容器１に関する閾値とを比較したり、検出信号をデータ記録部４２に保存する演算処理部４３と、外部の通信装置と通信する無線通信部４４とを備えた構造に構成することができる。
【０１３８】
そして、無線通信手段４０と同様、データ記録部４２に記録された蓋体１０の開閉回数と蓋体１０の開閉回数閾値とを比較する機能、比較した結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の開閉回数閾値に近づいていない場合には、基板収納容器１が未だ使用限度ではないと判断する機能、比較した結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の開閉回数閾値に近づいた場合には、基板収納容器１の使用限度が近いと判断する機能、比較した結果、蓋体１０の開閉回数が蓋体１０の開閉回数閾値を越えた場合には、基板収納容器１が使用限度を越えたと判断する機能とを実現させ、報知手段７０に報知させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本発明に係る基板収納容器及びその管理システム並びに基板収納容器の管理方法は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【０１４０】
１        基板収納容器
２        容器本体
３        支持片
５        給気バルブ
６        位置決め具（位置決め機構）
７        トップフランジ（フランジ）
１０      蓋体
１３      パージガスボンベ（ガス源）
１４      パージノズル（ノズル）
１５      噴射孔
２０      周辺関連装置
２１      位置決めピン
２２      天井搬送装置
２５      把持機構
３０      検出手段
３１      基板用投受光素子
３２      蓋体用投受光素子
３３      回帰反射板
３４      光電センサ
３５      加速度センサ
３６      温度センサ
３７      傾斜センサ
３８      酸素濃度センサ
４０      無線通信手段
４１      外部入力部
４２      データ記録部
４３      演算処理部
４４      無線通信部
４５      アンテナ
４６      バッテリ部
５０      検査点検装置（外部の通信装置）
５１      位置合わせピン
５２      ロードポート装置（外部の通信装置）
５３      バルブユニット
５６      計測センサ
５６Ａ    計測センサ
５７      トルクセンサ
５８      ロードセンサ
５９      寸法測定装置
７０      報知手段
７１      ＬＥＤ
８０      サービス提供手段
８１      サーバ（外部の通信装置）
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
0006689672.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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