(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブロワと、前記ブロワから供給された気体を異物除去対象面へ吹付ける吹付けノズルと、前記吹付けノズルから吹付けられた前記気体により前記異物除去対象面から除去された異物及び前記気体を取り込む集塵ボックスと、を有する異物除去装置であって、
前記集塵ボックスで取り込んだ気体の一部が前記ブロワへ送られ、前記集塵ボックスで取り込んだ気体の残部が前記集塵ボックス外へ排出され、
前記集塵ボックスは、第１の集塵口と第２の集塵口とを有し、
前記第１の集塵口で取り込んだ気体を前記集塵ボックス外へ排出し、
前記第２の集塵口で取り込んだ気体を前記ブロワへ送る、異物除去装置。
【請求項２】
前記第１の集塵口は、前記第２の集塵口に対して前記吹付けノズル側に配置されている、請求項１に記載の異物除去装置。
【請求項３】
前記集塵ボックス外へ排出される気体から前記異物を分離する第１のフィルター装置を有する、請求項１又は２に記載の異物除去装置。
【請求項４】
前記集塵ボックスから前記吹付けノズルへ向かう気体から前記異物を分離する第２のフィルター装置を有する、請求項１〜３のいずれかに記載の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物除去対象面に付着した異物を除去する異物除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルム等の製品上に塵埃等の異物が付着することによる外観不良や機能不良を防止するために、当該製品上からの異物除去を行っている。異物の除去は、水洗、粘着ロールによる除去、エアー等の噴出気流による除去等、種々の方法で行われ得る。中でも管理が容易であることや製品へ与えるダメージが小さいこと等から、噴出気流による異物除去が行われる場合が多い。しかしながら、この噴出気流による異物除去では、製品の異物除去対象面に吹付けた気流によって除去された異物が周囲に飛散し得る。これを放置しておくと、飛散した異物が製品に再度付着し製品を汚染する可能性が高いことから、噴出気流による異物除去を行う箇所の周囲に、強制排気による集塵機構を取り付ける必要がある。
【０００３】
特許文献１には、シート状物にエアーを吹付けるエアーノズルと、当該エアーの反射する方向に設置された吸引フードとを有する異物除去装置が開示されている。この異物除去装置では、シート状物の表面に付着した異物は、エアーノズルから連続して吹付けられるエアーによって吹き飛ばされ、吸引フードの中へ飛散する。吸引フードは、集塵ホースを介して集塵機構に接続されており、集塵機構の吸引ブロワにより異物を吸引する。これにより、シート状物の表面に付着した異物が除去され、シート状物の表面への再付着が防止されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２３７９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に示されているような従来の異物除去装置においては、吸引フードでエアーを吸引する際に当該エアーと一緒に吸引フードの周囲のエアーをも引き込む引き込み気流が生じ、これにより、吸引フードから吸引されるエアーの流量はエアーノズルから吹出すエアーの流量よりも大きくなる。したがって従来の異物除去装置においては、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとは、別個のものとする必要があった。すなわち、異物除去装置に、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとをそれぞれ設ける必要があった。これにより、従来の異物除去装置においては、装置全体が大型化し、コストが増大するという課題があった。また、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと、吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとを個別に制御する必要があることから、各ブロワの制御が複雑化していた。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、異物除去装置の吹付けノズルに気体を供給するブロワと集塵ボックスから気体を吸引するブロワとを共通化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による異物除去装置は、
ブロワと、前記ブロワから供給された気体を異物除去対象面へ吹付ける吹付けノズルと、前記吹付けノズルから吹付けられた前記気体により前記異物除去対象面から除去された異物及び前記気体を取り込む集塵ボックスと、を有し、
前記集塵ボックスで取り込んだ気体の一部が前記ブロワへ送られ、前記集塵ボックスで取り込んだ気体の残部が前記集塵ボックス外へ排出される。
【０００８】
本発明による異物除去装置において、前記集塵ボックスは、第１の集塵口と第２の集塵口とを有し、前記第１の集塵口で取り込んだ気体を前記集塵ボックス外へ排出し、前記第２の集塵口で取り込んだ気体を前記ブロワへ送ってもよい。
【０００９】
本発明による異物除去装置において、前記第１の集塵口は、前記第２の集塵口に対して前記吹付けノズル側に配置されていてもよい。
【００１０】
本発明による異物除去装置において、前記集塵ボックス外へ排出される気体から前記異物を分離する第１のフィルター装置を有してもよい。
【００１１】
本発明による異物除去装置において、前記集塵ボックスから前記吹付けノズルへ向かう気体から前記異物を分離する第２のフィルター装置を有してもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、異物除去装置の吹付けノズルに気体を供給するブロワと集塵ボックスから気体を吸引するブロワとを共通化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明による一実施の形態を説明するための図であって、異物除去装置が適用されたフィルム製造装置の一例を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１の異物除去装置の集塵ボックスの断面を拡大して示す図である。
【図３】図３は、図２の集塵ボックスを示す斜視図であり、とりわけ集塵ボックスの第１の集塵口及び第２の集塵口の形状の一例を示す図である。
【図４】図４は、集塵ボックスの一変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００１５】
また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件ならびにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００１６】
図１〜図４は、本発明による一実施の形態を説明するための図である。このうち図１は、異物除去装置１０の一例を概略的に示している。
【００１７】
図１に示された例では、異物除去装置１０は、フィルム製造装置１に適用され、フィルム製造装置１で製造されたフィルム（異物除去対象物）５上の異物を除去するために用いられる。フィルム製造装置１において、製造されたフィルム５は、ローラ８等の搬送装置を用いて搬送方向に沿って搬送される。フィルム５は異物除去対象面５ａを有し、異物除去装置１０により当該異物除去対象面５ａ上の異物が除去される。なお、これに限られることなく、異物除去装置１０は、他の装置に適用され、他の異物除去対象面上の異物を除去するために用いられてもよい。
【００１８】
本実施の形態の異物除去装置１０は、ブロワ１１と、ブロワ１１から供給された気体を異物除去対象面５ａへ吹付ける吹付けノズル１２と、吹付けノズル１２から吹付けられた気体により異物除去対象面５ａから除去された異物及び気体を取り込む集塵ボックス２０と、を有している。吹付けノズル１２から空気等の気体がフィルム５の異物除去対象面５ａに吹き付けられ、この気体により異物除去対象面５ａから異物が除去される。異物除去対象面５ａから除去された異物は、吹付けノズル１２から異物除去対象面５ａに吹き付けられた気体とともに集塵ボックス２０内へ流入する。
【００１９】
ブロワ１１は、集塵ボックス２０から気体を吸引し、当該気体を吹付けノズル１２へ供給する。ブロワ１１は、例えばリングブロワ等で構成されることができる。ブロワ１１は、図示しない制御装置によりその回転数等が制御され、これにより集塵ボックス２０から吸引される気体及び吹付けノズル１２から吹付けられる気体の流量が制御される。
【００２０】
吹付けノズル１２は、ブロワ１１から供給された空気等の気体をフィルム５の異物除去対象面５ａへ向けて吹付ける。図１に示された例では、吹付けノズル１２は、フィルム５の搬送方向における上流側に向けて、且つ、フィルム５の搬送方向に対して傾斜した方向に向けて気体を吹出す。
【００２１】
次に、集塵ボックス２０について、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。図２は、異物除去装置１０の集塵ボックス２０の断面を拡大して示す図である。
【００２２】
図２に示された集塵ボックス２０は、吹付けノズル１２から吹付けられた気体によりフィルム５の異物除去対象面５ａから除去された異物及び気体を取り込む。集塵ボックス２０は、異物除去対象面５ａに対面するように配置される。すなわち、集塵ボックス２０は、フィルム５に対して異物除去対象面５ａ側に配置される。集塵ボックス２０と異物除去対象面５ａとは、例えば数ｍｍ程度以下の間隔を有して離間している。図２における参照符号２９は、集塵ボックス２０の筐体を示している。
【００２３】
図示された例では、集塵ボックス２０は、異物及び気体を取り込む第１の集塵口２１及び第２の集塵口２２を有している。第１の集塵口２１は、第２の集塵口２２に対して吹付けノズル１２側に配置されている。言い換えると、第１の集塵口２１は、吹付けノズル１２と第２の集塵口２２との間に位置するように配置されている。また、集塵ボックス２０は、吹付けノズル１２に対して、吹付けノズル１２から気体が噴出される側すなわちフィルム５の搬送方向における上流側に配置されている。したがって、図示された例では、第１の集塵口２１は、第２の集塵口２２に対してフィルム５の搬送方向における下流側に配置されている。言い換えると、第２の集塵口２２は、第１の集塵口２１に対してフィルム５の搬送方向における上流側に配置されている。
【００２４】
集塵ボックス２０は、第１の集塵口２１に対応して設けられた第１の排気口２３と、第２の集塵口２２に対応して設けられた第２の排気口２４と、をさらに有している。第１の排気口２３は、第１の集塵口２１で取り込まれた気体を集塵ボックス２０の外へ排出する。また、第２の排気口２４は、図示しない連結ホース等を介して第２の集塵口２２で取り込まれた気体をブロワ１１へ向けて排出する。したがって、第２の集塵口２２は、ブロワ１１による吸引により、第２の集塵口２２近傍の気体や異物を吸引する機能を発揮する。
【００２５】
図３は、集塵ボックス２０を示す斜視図である。とりわけ図３は、集塵ボックス２０の第１の集塵口２１及び第２の集塵口２２の形状の一例を示している。
【００２６】
図２及び図３に示された例では、第２の集塵口２２には、第２の集塵口２２を覆うパンチングメタル２６が設けられている。パンチングメタル２６は多数の開口２７を有し、この開口２７は、吹付けノズル１２から吹付けられた気体により異物除去対象面５ａから除去された異物及び気体が通過可能な大きさを有している。ここで、第２の集塵口２２がパンチングメタル２６を有しない場合、第２の集塵口２２から流入する気体が側面に沿って流れるようになり、第２の集塵口２２内で吸引力にばらつきが生じることがある。この場合、第２の集塵口２２が充分な吸引力を発揮し得ない虞がある。また、側面付近に集中する気体の流れにより、異物除去対象物（フィルム）５が第２の集塵口２２に吸着されてしまう虞もある。これに対して、本実施の形態では、第２の集塵口２２がパンチングメタル２６を有しているので、第２の集塵口２２内での吸引力のばらつきが効果的に抑制される。これにより、第２の集塵口２２が充分な吸引力を発揮することができる。また、異物除去対象物５が第２の集塵口２２に吸着されてしまうことも効果的に防止することができる。なお、パンチングメタル２６に代えて、網状に形成されたメッシュ部材を第２の集塵口２２を覆って設けるようにしてもよい。また、第２の集塵口２２は、パンチングメタル２６やメッシュ部材で覆われるものに限られない。例えば、第２の集塵口２２は、単純な開口等で構成されてもよい。
【００２７】
一方、図２及び図３に示された例では、第１の集塵口２１は、それ自体は他の部材で覆われておらず、単純な開口として構成されている。したがって、第１の集塵口２１内への異物除去対象面５ａから除去された異物及び気体の流入が妨げられることなく、これにより第１の集塵口２１による集塵機能が適切に発揮され得る。
【００２８】
図２に示された例において、フィルム５の搬送方向と平行をなし、且つ、フィルム５の異物除去対象面５ａへの法線方向と平行をなす面内において、第１の集塵口２１の吹付けノズル１２側（第２の集塵口２２と反対側、フィルム５の搬送方向下流側）の端部２１ａと、第１の集塵口２１の吹付けノズル１２と反対側（第２の集塵口２２側、フィルム５の搬送方向上流側）の端部２１ｂと、を結ぶ仮想直線をＬ１とする。仮想直線Ｌ１は、第１の集塵口２１の端部２１ｂに対して吹付けノズル１２の反対側（第２の集塵口２２側、フィルム５の搬送方向上流側）でフィルム５の異物除去対象面５ａと交わっている。図示された例では、フィルム５の搬送方向と平行をなし、且つ、フィルム５の異物除去対象面５ａへの法線方向と平行をなす平面内において、仮想直線Ｌ１と異物除去対象面５ａとのなす角度θ１は、一例として９０°以下となっている。仮想直線Ｌ１と異物除去対象面５ａとのなす角度θ１が９０°以下であると、吹付けノズル１２から吹出し、フィルム５の異物除去対象面５ａによってその流れる方向を曲げられた気体及びこの気体により異物除去対象面５ａから除去された異物を効果的に取り込むことができる。
【００２９】
図２に示された例において、フィルム５の搬送方向と平行をなし、且つ、フィルム５の異物除去対象面５ａへの法線方向と平行をなす平面内において、第２の集塵口２２の吹付けノズル１２側（第１の集塵口２１側、フィルム５の搬送方向下流側）の端部２２ａと、第２の集塵口２２の吹付けノズル１２と反対側（第１の集塵口２１と反対側、フィルム５の搬送方向上流側）の端部２２ｂと、を結ぶ仮想直線をＬ２とする。仮想直線Ｌ２は、第２の集塵口２２の端部２２ｂに対して吹付けノズル１２の反対側（第１の集塵口２１と反対側、フィルム５の搬送方向上流側）でフィルム５の異物除去対象面５ａと交わっている。図示された例では、フィルム５の搬送方向と平行をなし、且つ、フィルム５の異物除去対象面５ａへの法線方向と平行をなす面内において、仮想直線Ｌ２と異物除去対象面５ａとのなす角度θ２は、仮想直線Ｌ１と異物除去対象面５ａとのなす角度θ１よりも大きくなっている。すなわちθ２＞θ１の関係を満たすようになっている。また、図示された例では、角度θ２は３０°以上となっている。すなわち、３０°≦θ２の関係を満たすようになっている。仮想直線Ｌ２と異物除去対象面５ａとのなす角度θ２がこのような角度を有していると、異物除去対象物５が第２の集塵口２２に吸着されてしまうことを効果的に防止することができる。図２に示された例では、仮想直線Ｌ２とパンチングメタル２６の板面とは、平行をなしている。とりわけ仮想直線Ｌ２は、パンチングメタル２６の板面上を延びている。なお、本明細書において、「板面」とは、対象となる板状の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材の平面方向と一致する面のことを指す。図示された例では、仮想直線Ｌ２は、第２の集塵口２２に流入する気体の流れの流入方向と直交している。
【００３０】
本実施の形態の異物除去装置１０では、集塵ボックス２０の第１の排気口２３に、集塵ボックス２０の外へ排出される気体から異物を分離する第１のフィルター装置２５が設けられている。とりわけ図２に示された第１のフィルター装置２５は、第１の排気口２３の全体を覆うようにして設けられ、第１の集塵口２１から流入した気体及び異物から当該異物を分離し、気体のみを集塵ボックス２０の外へ排出する機能を有している。このような第１のフィルター装置２５としては、特に限定されることなく、フィルター装置として用いられ得る種々のものを採用することができる。第１の排気口２３に第１のフィルター装置２５が設けられていることにより、第１の集塵口２１から流入した異物が集塵ボックス２０の外へ排出されることを防止することができ、これにより異物が異物除去対象物５へ再付着することを防止することができる。
【００３１】
さらに、本実施の形態の異物除去装置１０には、図１に示すように、第２の集塵口２２から流入し集塵ボックス２０から吹付けノズル１２へ向かう気体から異物を分離する第２のフィルター装置１５が設けられている。とりわけ図示された例では、ブロワ１１と吹付けノズル１２との間に、ブロワ１１から吹付けノズル１２へ向かう気体から異物を分離する第２のフィルター装置１５が設けられている。なお、これに限られず、第２のフィルター装置１５を、集塵ボックス２０とブロワ１１との間に設け、この第２のフィルター装置１５により集塵ボックス２０からブロワ１１へ向かう気体から異物を分離するようにしてもよい。このような第２のフィルター装置１５としては、特に限定されることなく、フィルター装置として用いられ得る種々のものを採用することができる。例えば第２のフィルター装置１５として、第１のフィルター装置２５と同様のフィルター装置を用いることもできる。異物除去装置１０に、第２の集塵口２２から流入し集塵ボックス２０から吹付けノズル１２へ向かう気体から異物を分離する第２のフィルター装置１５が設けられていることにより、第２の集塵口２２から流入した異物が吹付けノズル１２から異物除去対象物５へ向けて吹出されることを防止することができ、これにより吹付けノズル１２から吹出された異物が異物除去対象物５に再付着することを防止することができる。また、吹付けノズル１２から吹出された異物が異物除去対象物５に衝突することにより、異物除去対象物５に傷を生じることを防止することができる。
【００３２】
次に、本実施の形態の異物除去装置１０が適用されたフィルム製造装置１の動作について説明する。
【００３３】
フィルム製造装置１で製造されたフィルム（異物除去対象物）５は、ローラ８等の搬送装置を用いて搬送方向に沿って搬送される。搬送中のフィルム５の異物除去対象面５ａへ向けて、異物除去装置１０の吹付けノズル１２から空気等の気体が吹付けられる。とりわけ図１に示された例では、吹付けノズル１２は、フィルム５の搬送方向における上流側に向けて、且つ、フィルム５の搬送方向に対して傾斜した方向に向けて気体を吹出す。
【００３４】
吹付けノズル１２から吹出された気体は、フィルム５の異物除去対象面５ａに衝突し、異物除去対象面５ａ上の異物を異物除去対象面５ａから除去する。吹付けノズル１２から吹出された気体は、異物除去対象面５ａによってその流れる方向を曲げられ、当該気体及びこの気体により異物除去対象面５ａから除去された異物は、集塵ボックス２０の集塵口２１，２２で取り込まれる。
【００３５】
集塵ボックス２０で取り込んだ気体及び異物の一部は、集塵ボックス２０の第２の集塵口２２で取り込まれ、集塵ボックス２０で取り込んだ気体及び異物の残部は、集塵ボックス２０の第１の集塵口２１で取り込まれる。
【００３６】
集塵ボックス２０の第１の集塵口２１で取り込まれた異物は、集塵ボックス２０の第１の排気口２３に設けられた第１のフィルター装置２５により、集塵ボックス２０の第１の集塵口２１で取り込まれた気体から分離され、集塵ボックス２０内に貯留される。第１のフィルター装置２５により異物と分離された気体は、そのまま集塵ボックス２０外へ排出される。
【００３７】
本実施の形態の異物除去装置１０では、集塵ボックス２０の第２の集塵口２２は、ブロワ１１による吸引により、第２の集塵口２２近傍の気体や異物を吸引する機能を発揮する。したがって、集塵ボックス２０の第１の集塵口２１で取り込まれず、第１の集塵口２１に対して吹付けノズル１２の反対側（フィルム５の搬送方向上流側）へ向けて流出する異物は、第２の集塵口２２近傍の気体とともに第２の集塵口２２内へ吸引され、取り込まれる。第２の集塵口２２で取り込まれた気体及び異物は、ブロワ１１の吸引により、第２の排気口２４及び図示しない連結ホース等を介してブロワ１１へ向けて送られる。
【００３８】
ブロワ１１は、集塵ボックス２０の第２の集塵口２２で取り込まれた気体及び異物を吸引し、この気体及び異物を吹付けノズル１２へ向けて送る。図１に示された例では、ブロワ１１と吹付けノズル１２との間に第２のフィルター装置１５が設けられており、この第２のフィルター装置１５により、ブロワ１１から吹付けノズル１２へ向かう気体から異物が分離される。第２のフィルター装置１５により異物と分離された気体は、吹付けノズル１２へ向かい、吹付けノズル１２から搬送中のフィルム５の異物除去対象面５ａへ向けて吹付けられる。
【００３９】
特許文献１に示されているような従来の異物除去装置においては、吸引フードでエアーを吸引する際に当該エアーと一緒に吸引フードの周囲のエアーをも引き込む引き込み気流が生じ、これにより、吸引フードから吸引されるエアーの流量はエアーノズルから吹出すエアーの流量よりも大きくなる。したがって従来の異物除去装置においては、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとは、別個のものとする必要があった。
【００４０】
これに対して、本実施の形態の異物除去装置１０は、ブロワ１１と、ブロワ１１から供給された気体を異物除去対象面５ａへ吹付ける吹付けノズル１２と、吹付けノズル１２から吹付けられた気体により異物除去対象面５ａから除去された異物及び気体を取り込む集塵ボックス２０と、を有し、集塵ボックス２０で取り込んだ気体の一部がブロワ１１へ送られ、集塵ボックス２０で取り込んだ気体の残部が集塵ボックス２０外へ排出される。したがって、異物除去装置１０のブロワ１１では、集塵ボックス２０で取り込んだ気体の一部のみを吸引するので、ブロワ１１で吸引される気体の流量が吹付けノズル１２から吹出される気体の流量よりも大きくなることを防止することができる。とりわけ、ブロワ１１で吸引される気体の流量と吹付けノズル１２から吹出される気体の流量とを一致させることができる。したがって、異物除去装置１０の吹付けノズル１２に気体を供給するブロワ１１と集塵ボックス２０から気体を吸引するブロワ１１とを共通化することができる。また、これにより異物除去装置１０を効果的に小型化することができる。
【００４１】
また、従来、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとの２つのブロワが必要であったところ、本実施の形態の異物除去装置１０では、このブロワを１つにすることができるので、異物除去装置１０のコストを低減させることができる。
【００４２】
さらに、従来、エアーノズルにエアーを供給するためのブロワと、吸引フードからエアーを吸引するためのブロワとを個別に制御する必要があったところ、本実施の形態の異物除去装置１０では、１つのブロワ１１で吹付けノズル１２による気体の吹出しと、集塵ボックス２０からの気体の吸引の両方を調整することができるので、このブロワ１１の制御を単純化することができる。
【００４３】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を適宜参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。
【００４４】
異物除去装置１０の変形例について図４を参照して説明する。図４は、異物除去装置１０の集塵ボックス２０の一変形例を示す断面図である。
【００４５】
図４に示された集塵ボックス２０には、第１の集塵口２１で取り込んだ異物を集塵ボックス２０内に貯留しておくための貯留部２８が設けられている。図示された例では、集塵ボックス２０における第１の集塵口２１及び第２の集塵口２２に対向する面の全体が第１の排気口２３とされ、この第１の排気口２３全体を覆うようにして第１のフィルター装置２５が設けられている。また、貯留部２８は、集塵ボックス２０の第１の排気口２３に対して鉛直方向下側に位置するように設けられ、これにより、第１の排気口２３に設けられた第１のフィルター装置２５で第１の集塵口２１で取り込まれた気体から分離された異物が、当該第１のフィルター装置２５から落下したとしても、落下した異物は貯留部２８に貯留されるので、この異物がフィルム５の異物除去対象面５ａへ再付着することを、より効果的に防止することができる。
【００４６】
なお、図４では、第２の排気口２４が集塵ボックス２０の下面側に設けられた例を示したが、これに限られず、第２の排気口２４は、図４における紙面と垂直方向に対向する側面に設けられてもよい。すなわち、第２の集塵口２２で取り込まれた気体及び異物が、図４における紙面と垂直方向に排出され、図示しない連結ホース等を介してブロワ１１へ送られるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１    フィルム製造装置
５    フィルム（異物除去対象物）
５ａ  異物除去対象面
１０    異物除去装置
１１    ブロワ
１２    吹付けノズル
１５    第２のフィルター装置
２０    集塵ボックス
２１    第１の集塵口
２２    第２の集塵口
２３    第１の排気口
２４    第２の排気口
２５    第１のフィルター装置
２６    パンチングメタル
２７    開口
２８    貯留部
２９    筐体
【図１】
0006781944.tif 000002
【図２】
0006781944.tif 000003
【図３】
0006781944.tif 000004
【図４】
0006781944.tif 000005