(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は、前記設置部の設置面の上方に前記基準物を配置可能に構成されており、
前記調整部は、前記設置面の上方において前記基準物の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする放射線画像撮影装置。
【請求項２】
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、
前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、
を備えていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像撮影装置。
【請求項３】
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、
前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、
を備え、
前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、
前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、
前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の放射線画像撮影装置。
【請求項４】
測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、
前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、
を備えていることを特徴とする放射線画像撮影装置。
【請求項５】
測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、
前記調整部は、
前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、
前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、
を備え、
前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、
前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、
前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする放射線画像撮影装置。
【請求項６】
前記支持アームには、当該支持アームの長さ方向に対して斜めに交差する傾斜面が設けられており、
前記基準物は、前記支持アームの前記傾斜面に設置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の放射線画像撮影装置。
【請求項７】
前記支持部のうち少なくとも各放射線画像に含まれる部分の放射線吸収率が前記基準物及び前記測定物の放射線吸収率よりも低いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の放射線画像撮影装置。
【請求項８】
測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、
基準物と、
前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、
前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、
を備え、
前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、
前記支持部を前記設置部の周方向に移動可能な移動手段と、
前記移動手段により移動された前記支持部の位置を保持する保持手段と、
を備えていることを特徴とする放射線画像撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線画像撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定物を回転させながら測定物に放射線を照射するとともに、測定物を透過した放射線を検出し、所定回転位置ごとの放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置がある。この放射線画像撮影装置は、撮影により得られた各回転位置の放射線画像から測定物の３次元画像や断層面画像を生成する。これらの３次元画像等は、測定物や測定物の内部構造、測定物の内部に生じた欠陥等の寸法計測に利用される。計測寸法は撮影倍率等の撮影条件を加味して導かれるため、寸法を精度良く計測するには撮影条件を正確に把握することが重要となる。
【０００３】
例えば、特許文献１には、寸法が既知の基準物に放射線を照射して放射線画像を撮影するとともに、その放射線画像から基準物の寸法を計測し、計測寸法値と基準物の実寸とに基づいて撮影条件を把握する放射線画像撮影装置が開示されている。
【０００４】
しかしながら、上記従来の放射線画像撮影装置では、測定物の撮影とは独立して基準物の撮影を行うため、例えば、測定物を回転撮影している間に放射線源の温度が上昇して放射線に揺らぎが生じるなど、測定物の撮影中に撮影条件が変化した場合に対処することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１８５８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記問題に鑑み、例えば測定物の回転撮影を行う際の撮影可能空間内に基準物を配置し、基準物と測定物とを同時に撮影することが考えられる。このような構成の下、基準物の放射線画像から撮影条件の変化を把握することで、その把握内容に基づいて測定物の３次元画像や計測寸法値を補正等することが可能になる。
【０００７】
しかしながら、基準物を測定物とともに撮影可能空間内に配置した場合には、測定物が回転する際に測定物と基準物とが接触し、測定物や基準物の位置が変化したり、測定物の損傷を招いたりするおそれがある。
【０００８】
この場合、測定物が回転しても基準物に届かないように基準物を測定物から遠ざけて配置することで、基準物と測定物との接触を回避することが考えられる。
【０００９】
しかしながら、基準物を測定物から遠ざけて配置した場合、基準物及び測定物の両方を撮影可能空間内に含ませるには、撮影可能空間を拡大する必要が生じる。その結果、放射線画像における１画素当たりの実空間上の寸法が大きくなるとともに、放射線画像に占める測定物の割合が低下し、放射線画像における測定物の分解能が低下する。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基準物と測定物とを同時に撮影可能としながら、基準物と測定物との接触を回避するとともに、分解能の低下を抑制することが可能な放射線画像撮影装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は、前記設置部の設置面の上方に前記基準物を配置可能に構成されており、前記調整部は、前記設置面の上方において前記基準物の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、前記調整部は、前記設置部の設置面に交差する面内において前記支持アームを回動可能とする回動手段と、前記基準物と前記支持アームの回動軸との距離を変更可能とする変更手段と、を備えていることを特徴とする。
また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部は前記基準物を支持する支持アームを備え、前記調整部は、前記支持アームを長さ方向へ進退可能に支持する第１支持体と、前記第１支持体を回動可能に支持する第２支持体と、を備え、前記第１支持体は、前記支持アームをクランプして当該支持アームの進退位置を保持可能なクランプ部を備え、前記第２支持体は、前記第１支持体をクランプして当該第１支持体の回動角を保持可能な一対の押え部を備え、前記第２支持体における前記一対の押え部の間には、当該一対の押え部による締め付け力が前記クランプ部のクランプ方向に作用するようにして前記第１支持体が配置されていることを特徴とする。
また、本発明の放射線画像撮影装置は、測定物が設置される設置部と、前記測定物に向けて放射線を照射する放射線源と、前記測定物を透過した前記放射線に基づいて放射線画像を撮影する撮影部と、前記測定物と前記放射線とを相対的に回転させる回転機構と、を備え、前記回転機構による前記回転を行いながら前記撮影部により各回転位置における前記放射線画像を撮影する放射線画像撮影装置において、基準物と、前記基準物が各放射線画像に含まれるように前記基準物を配置可能に支持するものであり、前記各放射線画像の撮影期間において前記回転機構の前記回転にかかわらず前記基準物と前記測定物との相対位置を固定可能な支持部と、前記測定物に対する前記基準物の位置を調整する調整部と、を備え、前記支持部は、前記調整部により調整された前記基準物の位置で当該基準物と前記測定物との相対位置を固定可能であり、前記支持部を前記設置部の周方向に移動可能な移動手段と、前記移動手段により移動された前記支持部の位置を保持する保持手段と、を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の放射線画像撮影装置によれば、基準物が各放射線画像に含まれるように配置可能に支持されるため、基準物と測定物とを同時に撮影することができるとともに、回転機構の回転にかかわらず基準物と測定物との相対位置が固定可能であるため、基準物と測定物との接触を回避することができる。基準物と測定物との接触を回避できることから、基準物を測定物に近づけて配置することができ、分解能の低下を抑制することが可能になる。さらに、基準物の位置を調整可能であるため、利便性を向上させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】放射線画像撮影装置の全体構成図。
【図２】（ａ）ステージ装置の平面図、（ｂ）ステージ装置の正面図、（ｃ）Ａ部の拡大図。
【図３】（ａ）基準物の位置調整を説明するための図、（ｂ）比較例を示す図。
【図４】Ｘ線画像の撮影方法を示すフローチャート。
【図５】基準物の位置調整を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本実施形態に係る放射線画像撮影装置１０について図面を参照しながら説明する。図１は、放射線画像撮影装置１０の全体構成図である。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、図１における左右方向をＸ軸方向、図１における前後方向をＹ軸方向、図１における上下方向をＺ軸方向とする。
【００１７】
本実施形態に係る放射線画像撮影装置１０は、測定物１１の内部構造や測定物１１の内部に生じた欠陥等の情報を取得したり、それらの寸法を計測したりするＸ線ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置として構成されている。
【００１８】
図１に示すように、放射線画像撮影装置１０は、ステージ装置１４と、Ｘ線照射器１５と、Ｘ線検出器１６と、駆動機構１７と、制御装置１８と、を備えている。
【００１９】
ステージ装置１４は、測定物１１が設置される設置部として機能するものである。測定物１１としては、例えば機械部品や電気部品等の産業部品が用いられる。ステージ装置１４には、基準物１２を支持する支持部としての支持機構５２が設けられている。なお、ステージ装置１４及び支持機構５２の詳細は後述する。
【００２０】
基準物１２は、寸法が既知の物体であり、２〜３ｍｍの直径を有する球体である。基準物１２は、測定物１１と同程度のＸ線吸収率を有することが好ましく、例えば測定物１１がアルミ製である場合には、サファイア等によって形成することができる。
【００２１】
Ｘ線照射器１５は、測定物１１及び基準物１２に向けてＸ線を照射するものである。Ｘ線照射器１５は、例えばＸ線管等のＸ線源によって構成され、フィラメントから放出される電子をターゲットに衝突させて波長１ｐｍ〜３０ｎｍのＸ線を発生する。Ｘ線としては、約５０ｅＶの超軟Ｘ線、約０．１〜２ｋｅＶの軟Ｘ線、約２〜２０ｋｅＶのＸ線及び約２０〜１００ｋｅＶの硬Ｘ線等を用いることができる。
【００２２】
Ｘ線照射器１５は、測定物１１及び基準物１２に対して略円錐状に広がるコーンビームＸ線を照射するように構成されている。なお、コーンビームＸ線に限らず、扇状に広がるファンビームＸ線や線状のペンシルビームＸ線を照射してもよい。
【００２３】
Ｘ線検出器１６は、測定物１１及び基準物１２を透過したＸ線を検出するものであり、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像（透視画像）を撮影する撮影部として機能する。Ｘ線検出器１６には、測定物１１及び基準物１２を透過したＸ線が入射されるシンチレータ部１６ａと、シンチレータ部１６ａの出力に基づいて画像信号を生成する受光部１６ｂとが設けられている。シンチレータ部１６ａは、Ｘ線を可視光に変換する蛍光物質を備えて構成されており、受光部１６ｂは、シンチレータ部１６ａによって変換された可視光を受光して光電変換し、電気信号の画像信号を出力する。
【００２４】
駆動機構１７は、ステージ装置１４を回転させたり、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動させたりするものであり、回転駆動部２１と、第１駆動部２２と、第２駆動部２３と、第３駆動部２４と、を備えている。
【００２５】
回転駆動部２１は、ステージ装置１４を回転させる回転機構として機能するものである。回転駆動部２１は、回転盤２１ａ（図２（ｂ）参照）と、回転盤２１ａを回転させる駆動源（例えばモータ）２１ｂと、駆動源２１ｂを駆動するドライバ回路２１ｃ等を備え、Ｚ軸方向に延びる軸線Ｏを中心としてステージ装置１４を回転させる。回転駆動部２１には、ステージ装置１４の回転位置（回転角）を検出するためのロータリエンコーダ２１ｄが設けられており、ロータリエンコーダ２１ｄの検出値は制御装置１８に出力される。
【００２６】
第１駆動部２２は、ステージ装置１４をＸ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２２ａやドライバ回路２２ｂ、ステージ装置１４をＸ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第１駆動部２２には、Ｘ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２２ｃが設けられており、リニアエンコーダ２２ｃの検出値は制御装置１８に出力される。
【００２７】
第２駆動部２３は、ステージ装置１４をＹ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２３ａやドライバ回路２３ｂ、ステージ装置１４をＹ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第２駆動部２３には、Ｙ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２３ｃが設けられており、リニアエンコーダ２３ｃの検出値は制御装置１８に出力される。
【００２８】
第３駆動部２４は、ステージ装置１４をＺ軸方向に移動させるものであり、駆動源（例えばモータ）２４ａやドライバ回路２４ｂ、ステージ装置１４をＺ軸方向に案内する不図示のガイド部等を備えている。第３駆動部２４には、Ｚ軸方向におけるステージ装置１４の位置を検出するためのリニアエンコーダ２４ｃが設けられており、リニアエンコーダ２４ｃの検出値は制御装置１８に出力される。
【００２９】
制御装置１８は、放射線画像撮影装置１０の動作を統括的に制御するものである。制御装置１８には、Ｘ線照射器１５、Ｘ線検出器１６及び駆動機構１７を制御して測定物１１及び基準物１２のＸ線画像を取得する撮影制御部３１と、撮影制御部３１により取得されたＸ線画像にエッジ処理や再構成等の信号処理を施して測定物１１及び基準物１２の３次元画像や断層面画像を生成する画像処理部３２と、画像処理部３２により生成された３次元画像から測定物１１及び基準物１２の寸法を計測する寸法計測部３３と、寸法計測部３３により計測された基準物１２の寸法に基づいて測定物１１の３次元画像を補正する画像補正部３４と、が設けられている。制御装置１８は、ＲＯＭ３５及びＲＡＭ３６を搭載しており、ＲＯＭ３５には撮影処理プログラム、画像処理プログラム及び補正処理プログラム等が記憶され、ＲＡＭ３６は画像処理や補正処理の際の作業メモリとして使用される。
【００３０】
制御装置１８には、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像や３次元画像等が表示される表示部３７と、オペレータが入力操作するための入力部３８とが接続されている。
【００３１】
放射線画像撮影装置１０では、Ｘ線照射器１５とＸ線検出器１６とがＸ軸方向に対向配置され、それらの間に測定物１１及び基準物１２が位置するようにステージ装置１４が配置されている。そして、第２駆動部２３及び第３駆動部２４によりステージ装置１４のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置調整がなされることで、測定物１１及び基準物１２が撮影可能空間４０（図２参照）内に配置される。その状態で、回転駆動部２１によりステージ装置１４が回転駆動され、測定物１１及び基準物１２のＸ線画像が撮影される。
【００３２】
ここで、撮影可能空間４０とは軸線Ｏを中心軸とする円柱状の空間であり、回転撮影により得られる各回転位置のＸ線画像から３次元画像を生成することが可能な範囲である。撮影可能空間４０の大きさ（直径及び高さ）は、ステージ装置１４をＸ軸方向に移動させてＸ線照射器１５と測定物１１との距離を変更することで調整することができる。
【００３３】
＜ステージ装置１４の構成について＞
次に、図２を参照しながらステージ装置１４の構成について説明する。図２（ａ）はステージ装置１４の平面図、図２（ｂ）はステージ装置１４の正面図、図２（ｃ）はＡ部の拡大図である。
【００３４】
ステージ装置１４は、大別して、ステージ本体５１と、支持機構５２と、スペーサ５３と、を備えている。
【００３５】
図２（ｂ）に示すように、ステージ本体５１には、ステージ装置１４を回転駆動部２１の回転盤２１ａに取り付けるための取付板６１が設けられている。取付板６１は、複数の取付ねじ６２によって回転盤２１ａにねじ止めされ、これにより、ステージ本体５１が回転盤２１ａに固定される。
【００３６】
取付板６１の上面には円柱状の支柱６３が設けられており、支柱６３の上面には支柱６３よりも大径に形成された円盤状の拡径部６４が設けられている。拡径部６４の上面には拡径部６４よりも小径に形成された円柱状の小径部６５が設けられている。これら取付板６１、支柱６３、拡径部６４及び小径部６５は、金属によって一体形成されており、それぞれの中心軸線が軸線Ｏと一致するように配置されている。
【００３７】
拡径部６４の上面には環状に形成された金属製の回転リング部６７が配置されている。回転リング部６７の外周面には支持機構５２が連結されている。なお、支持機構５２の詳細は後述する。
【００３８】
回転リング部６７の中央部には、回転リング部６７を厚さ方向に貫通する貫通孔６８が設けられている。貫通孔６８の径は小径部６５の径よりも僅かに大きく設定されており、貫通孔６８には小径部６５が挿通されている。
【００３９】
小径部６５の上面には、スペーサ５３が設置される台座部７１が配置されている。台座部７１は、小径部６５よりも大径に形成された金属製の円盤状部材であり、その中心軸が軸線Ｏと一致するように配置されている。台座部７１には、台座部７１を厚さ方向に貫通する位置決め孔７２が設けられている。位置決め孔７２は、小径部６５の上面に設けられた位置決め凹部６６と連通しており、位置決め孔７２及び位置決め凹部６６には、その上部が台座部７１の上面よりも上方に突出するようにして位置決めピン７３が挿入されている。さらに、台座部７１の上面には、中心軸から径方向に離間した位置に位置決め凹部７４が設けられている。
【００４０】
台座部７１は、複数の取付ねじ７５によって小径部６５の上面にねじ止めされているが、回転リング部６７とはねじ止め等の連結がなされていない。このため、回転リング部６７は、台座部７１と拡径部６４とにより挟まれた状態で、小径部６５の周面に沿って回転可能となっている。つまり、回転リング部６７は、台座部７１に対して軸線Ｏ回りに回転可能となっている。
【００４１】
台座部７１の下面には略半球状の溝部７６が複数設けられている。これら複数の溝部７６は、図２（ａ）に示すように、軸線Ｏを中心とする円の全周に亘って等間隔に配列されている。溝部７６と相対するように、回転リング部６７にはノッチ機構６９が配置されている。ノッチ機構６９は、ノッチ機構６９の上端部に配置された球体６９ａと、球体６９ａを上方に付勢するばね等の弾性体６９ｂとを備えており、球体６９ａの上端部が回転リング部６７の上面よりも上方に突出するようにして配置されている。ノッチ機構６９の球体６９ａが台座部７１の下面に設けられた複数の溝部７６のうちの１つと係合することで、台座部７１に対する回転リング部６７の回転位置が保持される。
【００４２】
このような構成により、回転駆動部２１により回転駆動力が付与されて台座部７１が回転する場合には、台座部７１に付随して回転リング部６７が回転するようになっている。その一方で、ノッチ機構６９の保持力を超える外力が回転リング部６７に付与された場合には、回転リング部６７のみが独立して回転するようになっている。
【００４３】
なお、回転リング部６７を台座部７１と一体的に回転可能としつつ、回転リング部６７のみを独立に回転可能とするものであれば、その構成は任意である。例えば、台座部７１の回転方向が一方向に定まっている場合は、台座部７１に対する回転リング部６７の回転を一方向のみに許容するラチェット機構を用いてもよい。上記ノッチ機構やラチェット機構は、回転リング部６７の上面と台座部７１の下面との間に限らず、回転リング部６７の下面と拡径部６４の上面との間や、小径部６５の周面と貫通孔６８を区画する壁面との間に設けられてもよい。
【００４４】
スペーサ５３は、測定物１１が設置されるものであり、測定物１１の高さ位置を調整するために設けられている。測定物１１を設置する場合には、スペーサ５３の上面に測定物１１が両面テープ等によって固定される。なお、スペーサ５３への測定物１１の固定は、滑り止めシート等の滑り止め構造や、エア吸引等による吸着構造によって行ってもよい。
【００４５】
スペーサ５３の下面には、台座部７１に対してスペーサ５３を位置決めするための位置決め凹部８２及び位置決め突起８３が設けられている。位置決め凹部８２には位置決めピン７３の上部が挿入され、位置決め突起８３は台座部７１の位置決め凹部７４に挿入される。スペーサ５３は、台座部７１に対してねじ止め等されておらず、着脱自在となっている。なお、スペーサ５３は台座部７１に対してねじ止めされてもよい。
【００４６】
＜支持機構５２の構成について＞
次に、支持機構５２の構成について図２及び図３を参照しながら説明する。
【００４７】
支持機構５２は、撮影可能空間４０内に基準物１２を配置可能に支持する支持部として機能するものである。支持機構５２は、図２に示すように、回転リング部６７の外周面に連結された支持ベース９１と、支持ベース９１によって支持された回動クランプ９２と、回動クランプ９２によって支持され、その先端部に基準物１２が設置された支持アーム９３と、を備えている。
【００４８】
支持ベース９１は、回動クランプ９２を回動可能に支持する第２支持体として機能とする金属製の部材であり、空間部９４を挟んで対向する一対の壁部９５ａ，９５ｂを備えている。これら壁部９５ａ，９５ｂは平板状をなしており、各壁部の回転リング部６７側の端部が連結部９５ｃを介して連結されている。
【００４９】
連結部９５ｃは、複数の取付ねじ７０によって回転リング部６７の外周面にねじ止めされており、これにより、支持機構５２が回転リング部６７に固定されている。このため、回転リング部６７が回転した場合には、回転リング部６７と一体的に支持機構５２が回転する。
【００５０】
壁部９５ａ，９５ｂのそれぞれには、各壁部をそれらの対向方向に貫通する円柱状の貫通孔９６が設けられている。一方、回動クランプ９２の両側面には、壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に沿って外側に延びる円柱状の軸部材９７が設けられている。これら軸部材９７が壁部９５ａ，９５ｂの貫通孔９６に挿通されるようにして、壁部９５ａと壁部９５ｂとの間の空間部９４に回動クランプ９２が収容されている。貫通孔９６と軸部材９７との径は略一致しており、回動クランプ９２の幅寸法は空間部９４のそれよりも僅かに小さくなっている。かかる構成により、回動クランプ９２が支持ベース９１の支持を受けながら空間部９４において軸部材９７の軸線回りに回動可能となっている。
【００５１】
回動クランプ９２の高さ位置は、図２（ｂ）に示すように、回転リング部６７の真横ではなく、回転リング部６７の斜め上方に設定されている。これは、支持アーム９３及びその回動軸（軸部材９７）の位置を高くして、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することを抑制し、支持アーム９３の回動範囲を大きく確保するためのものである。
【００５２】
回動クランプ９２は支持アーム９３を長さ方向に進退可能に支持する第１支持体として機能する金属製の部材である。回動クランプ９２には、回動クランプ９２を回動クランプ９２の前後方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に直交する方向）に貫通する円柱状の貫通孔９８が設けられている。貫通孔９８には丸棒状（円柱状）の支持アーム９３が挿通されており、回動クランプ９２が回動することで支持アーム９３が回動するようになっている。貫通孔９８の径は支持アーム９３の径よりも大きく形成されており、支持アーム９３が貫通孔９８内を支持アーム９３の長さ方向に移動可能になっている。
【００５３】
なお、貫通孔９８は、軸部材９７よりも上方に配置されている。これにより、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することを抑制し、支持アーム９３の回動範囲の拡大に寄与している。
【００５４】
貫通孔９８の上方には、貫通孔９８の長さ方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向に直交する方向）に沿って延びるスリット状の隙間９９が形成されている。隙間９９は、貫通孔９８と連通し、貫通孔９８の全長に亘って形成されている。これにより、貫通孔９８の上方において回動クランプ９２の上部が、壁部９５ａ側の第１部分９２ａと壁部９５ｂ側の第２部分９２ｂとに二分されている。隙間９９は貫通孔９８の径を変更可能とするための変更部として機能するものであり、回動クランプ９２に対して隙間９９の幅寸法を縮小させる方向（壁部９５ａ，９５ｂの対向方向）の外力を付与することで、貫通孔９８の径を縮小可能となっている。
【００５５】
貫通孔９８の側方において、支持ベース９１の壁部９５ａには、壁部９５ａを貫通するようにねじ孔１００が設けられている。ねじ孔１００には、壁部９５ａの外側からクランプねじ１０１が螺合されている。クランプねじ１０１の締め込み方向の先端部と壁部９５ｂの内壁面との間には回動クランプ９２が位置しており、クランプねじ１０１を締め込み方向に回転させた場合、クランプねじ１０１の締め込み方向の先端部が回動クランプ９２に当接する。
【００５６】
そして、クランプねじ１０１を締め込むことで、回動クランプ９２の第１部分９２ａが第２部分９２ｂに向けて押圧され、隙間９９の幅寸法を狭めるように回動クランプ９２が変形する。その結果、貫通孔９８の径が縮小され、貫通孔９８の周面（貫通孔９８を区画する内壁面）によって支持アーム９３がクランプ（挟持）される。これにより、支持アーム９３の進退位置が保持されるようになっている。
【００５７】
これと同時に、クランプねじ１０１を締め込んだ場合には、クランプねじ１０１によって回動クランプ９２の全体が壁部９５ｂに向けて押圧され、クランプねじ１０１と壁部９５ｂとによって回動クランプ９２がクランプ（挟持）される。これにより、回動クランプ９２の回動角が保持されるようになっている。
【００５８】
支持アーム９３の進退位置を保持する場合のクランプ方向と、回動クランプ９２の回動角を保持する場合のクランプ方向とを一致させているため、１個のクランプねじ１０１によって支持アーム９３の進退位置と回動クランプ９２の回動角とを保持することが可能となっており、一度の締め付け操作で両者を保持し得るようになっている。これにより、部品点数の削減と作業性の向上とが図られている。
【００５９】
ここで、ねじ孔１００の位置（クランプねじ１０１の位置）は、その中心が回動クランプ９２の軸部材９７の中心（回動クランプ９２の回動中心）よりも上方となるように設定されている。換言すれば、ねじ孔１００は軸部材９７よりも隙間９９側に位置するように設定されている。これにより、クランプねじ１０１を締め込んだ場合に、回動クランプ９２を容易に変形させることができ、支持アーム９３の進退位置を好適に保持することが可能となる。
【００６０】
なお、クランプねじ１０１の頭部につまみやレバー等を付設することで、工具を用いることなく、人手で締め込み作業が可能となるようにしてもよい。
【００６１】
因みに、本実施形態において、回動クランプ９２は、基準物１２と支持アーム９３の回動軸との距離を変更可能とする変更手段としても機能し、回動クランプ９２及び支持ベース９１は、支持アーム９３を回動可能とする回動手段としても機能する。
【００６２】
支持アーム９３は基準物１２を支持するための長尺状の部材であり、その先端部には基準物１２が設置されている。前述の通り、支持機構５２は回転リング部６７と一体的に回転するように構成されているため、回転駆動部２１によりステージ装置１４が回転駆動された場合、支持アーム９３は測定物１１の周囲を公転することとなる。このため、ステージ装置１４の回転角度によっては、支持アーム９３が測定物１１とＸ線照射器１５との間に入り込み、測定物１１に対してＸ線照射器１５側から重なることがある。この場合、Ｘ線画像において測定物１１の前方に支持アーム９３が重なって映り込むこととなり、Ｘ線画像の解析処理等に悪影響を及ぼすおそれがある。
【００６３】
この点に鑑み、本実施形態では、支持アーム９３は測定物１１及び基準物１２よりもＸ線吸収率が低くなるように形成されている。これにより、Ｘ線が支持アーム９３を透過しやすくなり、Ｘ線画像への支持アーム９３の映り込みが抑制される。支持アーム９３の材質は、測定物１１及び基準物１２の材質等を考慮して定める必要があるが、例えば基準物１２がサファイア製で、測定物１１がアルミ製である場合には、カーボンやアクリル樹脂等を用いることができる。
【００６４】
回動クランプ９２においても支持アーム９３と同様、測定物１１の周囲を公転するが、回動クランプ９２は、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入しないように、その高さ位置が制限されている。具体的には、回動クランプ９２の高さは、図３（ａ）に示すように、回動クランプ９２（支持アーム９３）がどの回動角にあっても、回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面、換言すれば、撮影可能空間４０の下端位置）よりも下方となるように設定されている。
【００６５】
このため、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入することはなく、Ｘ線画像への映り込みが回避されている。このことは、支持ベース９１においても同様であり、その上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように設定されている。これにより、回動クランプ９２及び支持ベース９１がＸ線画像の解析処理等に悪影響を及ぼすことが防止され、回動クランプ９２及び支持ベース９１の材料選択の自由度を向上させることが可能となる。
【００６６】
なお、回動クランプ９２の上端位置は、支持アーム９３が起立状態となるときの回動角において最も位置が高くなる。このため、起立状態における回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように回動クランプ９２の高さ位置を設定すれば、回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入することを確実に回避することができる。但し、支持アーム９３が起立状態である場合は基準物１２が撮影可能空間４０内に入らないことが多いと想定される。このため、基準物１２を撮影可能空間４０内に配置可能な回動クランプ９２の回動範囲が定まる場合には、少なくともその範囲内において、回動クランプ９２の上端位置がスペーサ５３の上面よりも下方となるように、回動クランプ９２の高さ位置を設定すればよい。
【００６７】
支持アーム９３の先端部には、支持アーム９３の長さ方向に対して斜めに交差する傾斜面１０２が形成されている。傾斜面１０２には、図２（ｃ）に示すように、曲面状の凹部１０２ａが形成されている。凹部１０２ａの曲率は基準物１２の曲率と一致するように形成されており、基準物１２の一部が凹部１０２ａに嵌められた状態にて基準物１２が接着剤等により接着されている。
【００６８】
後述するように、本実施形態では、基準物１２のＸ線画像から基準物１２の直径寸法を計測するが、この場合、Ｘ線画像において少なくとも基準物１２の上半分の領域１２ａが撮影されていることが求められる。このような条件の下、支持アーム９３（回動クランプ９２）を回動させて基準物１２の位置調整を行うが、図２（ｂ）に示すように、支持アーム９３は、基準物１２の位置を決めた時点において、水平状態や起立状態ではなく、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）に対して傾斜する状態に回動していることが想定される。
【００６９】
この場合において、図３（ｂ）に示すように、例えば傾斜面１０２を設けることなく、支持アーム９３の長さ方向（軸線方向）と平行な平面上に基準物１２を設置すると、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）に対する基準物１２の傾きが大きくなり、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影することが困難となる。
【００７０】
この点、本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、支持アーム９３をある程度傾斜させた時点で傾斜面１０２がスペーサ５３の上面と平行になり、基準物１２を水平姿勢とすることができる。よって、位置決め時点における基準物１２の傾きの程度を少なく抑えることができ、上記不都合を解消することが可能になる。傾斜面１０２の傾斜角度は、支持アーム９３を起立状態からスペーサ５３の上面に向けて回動させた場合の回動範囲における中間位置にて、傾斜面１０２とスペーサ５３の上面とが平行となるように設定することが好ましい。
【００７１】
基準物１２は凹部１０２ａに嵌められた状態で傾斜面１０２に設置されるが、凹部１０２ａの深さｄは、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影可能とすべく、基準物１２の半径未満に設定される。但し、半径未満であっても、凹部１０２ａの深さｄを必要以上に大きくすると、基準物１２の上半分の領域１２ａを撮影可能な支持アーム９３の回動範囲が狭くなるし、接着剤等がＸ線画像に大きく映り込むことにも繋がる。この点を踏まえると、凹部１０２ａの深さｄは、基準物１２を支持可能な範囲内で浅く形成することが好ましい。具体的には、基準物１２の直径の１／４以下とすることが好ましく、１／１０以下とすることがより好ましい。
【００７２】
＜Ｘ線画像の撮影方法について＞
次に、図４を参照しながらＸ線画像の撮影方法について説明する。
【００７３】
ステップＳ１では、オペレータが基準物１２の位置調整を行う。本ステップは、スペーサ５３に測定物１１を設置した状態で行ってもよいし、未設置の状態で行ってもよい。
【００７４】
基準物１２の位置調整は、第１の方法及び第２の方法の少なくとも一方を用いて行うことができる。以下、これらの方法について分説する。
【００７５】
＜基準物１２の位置を調整する第１の方法について＞
図３（ａ）を参照しながら基準物１２の位置を調整する第１の方法について説明する。
【００７６】
第１の方法は、支持アーム９３の進退操作及び回動クランプ９２の回動操作によって基準物１２の位置を調整するものである。
【００７７】
第１の方法にあたっては、まず、クランプねじ１０１を緩め、支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角が保持されている状態を解除する。これにより、支持アーム９３が回動クランプ９２に対して長さ方向に進退可能となるとともに、回動クランプ９２が支持ベース９１に対して回動可能となる。そして、支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角を変更して基準物１２の位置を変更し、基準物１２の位置合わせを行う。
【００７８】
このように、支持アーム９３の進退操作及び回動クランプ９２の回動操作を組み合わせることで、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）の上方において、縦方向（設置面に対して直交する第１方向）と横方向（第１方向に直交する第２方向）とに基準物１２の位置を変更することができ、基準物１２の高さ位置及び横方向位置を自由に変更することが可能である。
【００７９】
基準物１２の位置を合わせた後は、クランプねじ１０１を締め込んで支持アーム９３の進退位置及び回動クランプ９２の回動角を保持し、基準物１２の位置を固定する。
【００８０】
なお、支持アーム９３をスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面）に対して直交する面内において回動可能に構成しているが、必ずしも支持アーム９３の回動方向を上記設置面と直交させる必要はなく、設置面に対して交差するものであれば足りる。支持アーム９３を進退させる構成に代えて、支持アーム９３を伸縮させる構成としてもよく、支持アーム９３上を基準物１２が移動する構成としてもよい。
【００８１】
＜基準物１２の位置を調整する第２の方法について＞
図５を参照しながら基準物１２の位置を調整する第２の方法について説明する。
【００８２】
第２の方法は、回転リング部６７の回転操作によって基準物１２の位置を調整するものである。
【００８３】
図５に示すように、例えば測定物１１の隅部に基準物１２を配置可能な大きさの凹部１０３が存在していた場合に、スペーサ５３上に設置された測定物１１を周方向に回して基準物１２との位置合わせを行いたいことがある。しかしながら、両面テープ等により測定物１１が固定されていると、測定物１１をスペーサ５３から取り外す必要が生じ、測定物１１の損傷を招いたり、再度の固定作業を強いられたりする。
【００８４】
このような場合に、回転リング部６７に対して矢印Ａ方向の回転力を付与し、回転リング部６７をスペーサ５３（台座部７１）に対して回転させる。これにより、測定物１１の取り外しを要することなく、基準物１２の位置を測定物１１の周方向に変更させることができる。回転リング部６７の回転位置は、溝部７６及びノッチ機構６９（図２参照）によって保持される。なお、基準物１２及び支持アーム９３が測定物１１と接触しないように、予め支持アーム９３をスペーサ５３から離間する方向に回動させておくことが好ましい。
【００８５】
図４に戻り、ステップＳ２では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を非回転とした状態で、Ｘ線照射を行う。具体的には、測定物１１及び基準物１２をＸ線の照射範囲内に位置させた状態で、Ｘ線照射器１５からＸ線を照射する。
【００８６】
ステップＳ３では、Ｘ線照射により得られたＸ線画像を表示部３７に表示する。そして、ステップＳ４では、オペレータが表示部３７に表示されたＸ線画像を見ながら、撮影範囲（撮影可能空間４０）の大きさを調整するとともに、撮影範囲内における測定物１１及び基準物１２の位置を調整する。これらの作業は入力部３８を介して第１〜第３駆動部２２〜２４を操作することにより行う。なお、ステップＳ３，Ｓ４の処理はＸ線を照射し続けた状態で行う。
【００８７】
ステップＳ５では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を非回転とした状態で、Ｘ線検出器１６の感度を調整するためのキャリブレーション処理を行う。本処理では、測定物１１、基準物１２及びステージ装置１４がＸ線の照射範囲外に位置するように、ステージ装置１４を移動させる。その状態で、Ｘ線照射器１５からＸ線を照射し、空気中を通過したＸ線をＸ線検出器１６により検出して撮影する。また、Ｘ線照射器１５からのＸ線の照射を停止し、Ｘ線がＸ線検出器１６に到達しない状況下で撮影を行う。これら全透過及び非透過状態での撮影結果を基にＸ線検出器１６の感度調整を行う。
【００８８】
ステップＳ６では、測定物１１を設置し且つステージ装置１４を回転させた状態で、撮影処理を行う。具体的には、ステップＳ４で撮影範囲を調整したときの位置にステージ装置１４を移動させ、その状態で、ステージ装置１４を３６０°回転させながら、ロータリエンコーダの検出値に基づいてステージ装置１４の回転位置を検出し、所定の回転位置（例えば０．５°）ごとに測定物１１及び基準物１２のＸ線画像を撮影していく。
【００８９】
続くステップＳ７では、各回転位置のＸ線画像に対して画像処理部３２によりエッジ処理や再構成等の画像処理を施し、測定物１１及び基準物１２の３次元画像を生成する。なお、再構成の方法としては、逆投影法、フィルタ補正逆投影法及び逐次近似法等を用いることができる。さらに、本ステップでは、生成した測定物１１及び基準物１２の３次元画像を表示部３７に表示する。
【００９０】
その後、ステップＳ８では、基準物１２の３次元画像から基準物１２の寸法を計測する。本実施形態では、基準物１２の寸法として平均直径を計測する。続くステップＳ９では、計測した基準物１２の平均直径を表示部３７の表示画面に表示する。この際、基準物１２の実寸も併せて表示する。
【００９１】
ここで、Ｘ線照射器１５においては、ターゲットに衝突した電子の一部がＸ線となるが、他の一部は熱に変換される。このため、Ｘ線を長期間に亘って照射し続けていると、ターゲットの温度が上昇し、ターゲットが熱変形する場合がある。ターゲットが熱変形すると、Ｘ線の照射方向が変化してＸ線が揺らぎ、Ｘ線検出器１６に投影される測定物１１のＸ線画像の位置や大きさが変化するという問題が生じる。
【００９２】
本実施形態では、測定物１１及び基準物１２を同時に撮影するため、上記Ｘ線の揺らぎの影響は基準物１２のＸ線画像にも反映される。このため、撮影途中でＸ線の揺らぎが生じた場合には、その影響が基準物１２の計測寸法値に現れ、基準物１２の実寸とは異なる計測値が得られるようになる。Ｘ線の揺らぎの影響は、球体の表面に歪みが生じるなど基準物１２の３次元画像にも反映される。したがって、基準物１２の計測寸法値と実寸値とを見比べたり、基準物１２の３次元画像の表面形状等を参照することで、撮影途中で撮影条件が変化したことを把握することができる。
【００９３】
オペレータが基準物１２の計測寸法値と実寸値とを見比べたり、基準物１２の３次元画像の表面形状等を参照した結果、入力部３８を介して補正処理を行うように入力した場合には（ステップＳ１０のＹＥＳ）、画像補正部３４により基準物１２の計測寸法値と実寸との差分に基づいて測定物１１の３次元画像を補正する（ステップＳ１１）。一方、補正処理を行わないと判断した場合には（ステップＳ１０のＮＯ）、測定物１１に対して補正処理を行うことなく、撮影処理を終了する。
【００９４】
なお、測定物１１の寸法を計測する場合には、補正後の測定物１１の３次元画像や断層面画像（未補正の場合は補正無しの３次元画像や断層面画像）を表示部３７の表示画面に表示した状態で、オペレータが表示画面上の二点を指定し、当該二点間の距離を寸法計測部３３により求めるようにして行う。
【００９５】
以上、詳述した本実施形態の構成によれば、以下の優れた効果が得られる。
【００９６】
・基準物１２を撮影可能空間４０内に配置可能に支持する支持機構５２を備えた。これにより、各回転位置のＸ線画像を撮影するにあたって基準物１２と測定物１１とを同時に撮影することができる。
【００９７】
・測定物１１と基準物１２とが一体的に回転するように構成し、回転駆動部２１による回転にかかわらず測定物１１と基準物１２との相対位置を固定化するようにした。これにより、測定物１１と基準物１２との位置関係を撮影期間において終始維持することができ、測定物１１を避けて基準物１２の位置を決めれば、回転が行われても測定物１１と基準物１２とが接触しない。
【００９８】
そして、測定物１１が回転しても基準物１２と接触しないことから、基準物１２の位置を決めるにあたり、基準物１２を測定物１１に近づけて配置することができる。この場合、基準物１２を測定物１１とともに撮影する構成としても、撮影可能空間４０の拡大が不要であったり、拡大量を少なく抑えたりすることができるため、分解能の低下を抑制することが可能になる。
【００９９】
・測定物１１に対する基準物１２の位置を調整する調整部（支持ベース９１及び回動クランプ９２）を備え、調整部により調整された基準物１２の位置で測定物１１と基準物１２との相対位置を固定可能とした。
【０１００】
例えばスペーサ５３や台座部７１の直下に基準物１２を配置した場合やスペーサ５３等内に基準物１２を埋設した場合、スペーサ５３等の上面に基準物１２を設置した場合には、測定物１１の設置面から比較的に遠く離れた領域（例えば測定物１１の上部）を部分撮影しようとしても、基準物１２が撮影領域に届かないという不都合が生じ得る。加えて、スペーサ５３等の上面に基準物１２を設置した場合には、測定物１１を設置するための領域が基準物１２により狭められ、設置可能な測定物１１の大きさが制限されるという問題も起こり得る。
【０１０１】
この点、調整部を備えた上記構成では、測定物１１の設置面（スペーサ５３の上面）の上方において、基準物１２の高さ位置を変更することで、設置面から比較的に遠く離れた領域でも基準物１２を届かせることができ、部分撮影の要望に対して柔軟に対応することが可能になる。しかも、測定物１１の周面に凹み等があるなど、測定物１１における高さ方向の途中位置に基準物１２を配置可能な空間が存在する場合にも、その空間の位置に合わせて基準物１２の高さ位置を調整することができ、利便性が大幅に向上する。
【０１０２】
上記構成では、基準物１２の横方向位置を変更することで、設置可能な測定物１１の大きさが基準物１２によって制限されるという問題も解消することができる。すなわち、測定物１１の設置に先立ち、設置面の上方空間から側方に退避させるように基準物１２を移動させることで、設置面の上方から測定物１１を設置する場合に、測定物１１の設置領域が基準物１２によって狭められることを抑制することができる。
【０１０３】
基準物１２を測定物１１に近づけるように移動させることで、小サイズの測定物１１の場合でも基準物１２を測定物１１に接近させた状態で配置することが可能になる。その上で、撮影可能空間４０を測定物１１に適した大きさに縮小調整すれば、Ｘ線画像内に占める測定物１１の割合を大きくすることができ、分解能を向上させることが可能になる。
【０１０４】
・支持アーム９３の進退位置を保持可能なクランプ部（貫通孔９８を区画する内壁面）を回動クランプ９２に備えるとともに、回動クランプ９２の回動角を保持可能な一対の押え部（クランプねじ１０１、壁部９５ｂ）を支持ベース９１に備え、一対の押え部の間に、クランプ部のクランプ方向を一対の押え部のクランプ方向と一致させるようにして回動クランプ９２を配置した。これにより、１個の締め具（クランプねじ１０１）によって支持アーム９３の進退位置と回動クランプ９２の回動角とを保持できるとともに、それらの保持（又は保持状態の解除）を一度の締め付け操作（又は緩める操作）で済ませることができる。よって、部品点数の削減と作業性の向上とを図ることが可能になる。
【０１０５】
なお、必ずしも支持ベース９１のクランプ方向と回動クランプ９２のクランプ方向とを一致させる必要はなく、支持ベース９１における一対の押え部による締め付け力が回動クランプ９２のクランプ方向に作用するものであれば、その構成は任意である。
【０１０６】
・支持アーム９３の先端部に傾斜面１０２を設け、傾斜面１０２に基準物１２を設置した。これにより、支持アーム９３を傾斜させた場合に基準物１２を水平姿勢とすることができ、基準物１２の傾きの程度を少なく抑えることが可能になる。
【０１０７】
なお、支持アーム９３の傾斜面１０２は逆傾斜としてもよい。この場合、測定物１１の斜め上方から支持アーム９３を吊下げ支持し、支持アーム９３が垂下する状態から上方へ向かうように支持アーム９３を回動させる構成とすることができる。
【０１０８】
・支持アーム９３の放射線吸収率を基準物１２及び測定物１１の放射線吸収率よりも低くした。これにより、Ｘ線画像への支持アーム９３の映り込みが抑制され、撮影結果に悪影響を及ぼすことが抑制される。
【０１０９】
本発明は上記実施形態に限らず、例えば次のように実施されてもよい。
【０１１０】
（１）上記実施形態では、ステージ装置１４を回転させたが、ステージ装置１４を回転しない構成とした上で、Ｘ線照射器１５及びＸ線検出器１６を回転させてもよいし、ステージ装置１４を回転させると同時に、その逆方向にＸ線照射器１５及びＸ線検出器１６を回転させてもよい。測定物１１とＸ線とを相対的に回転させることができれば、その構成は任意である。
【０１１１】
（２）上記実施形態では、基準物１２を球状に形成したが、例えば円柱状や円錐状、角柱状等の球状以外の形状であってもよい。
【０１１２】
（３）上記実施形態では、支持アーム９３を円柱状に形成したが、例えば角柱状等の他の形状であってもよい。この場合、回動クランプ９２の貫通孔９８は支持アーム９３の形状と整合する形状とすればよい。
【０１１３】
（４）上記実施形態では、基準物１２の位置を縦方向及び横方向の双方に調整可能としたが、縦方向又は横方向のいずれかのみに調整可能としてもよい。
【０１１４】
（５）上記実施形態では、支持アーム９３が進退及び回動する構成としたが、これに代えて、基準物１２を縦方向へ直線状に移動させる機構と、基準物１２を横方向へ直線状に移動させる機構とを設けてもよい。
【０１１５】
（６）上記実施形態では、回転リング部６７を設けるが、これに代えて又は加えて、基準物１２を測定物１１に対して前後方向へ直線状に移動させる機構（例えばスライド機構）を設けてもよい。
【０１１６】
（７）上記実施形態では、放射線としてＸ線を用いるが、測定物１１に対して透過性を有する放射線であれば、γ線やマイクロ波等の他の放射線を用いることもできる。
【０１１７】
（８）上記実施形態では、測定物１１を３６０°回転させるが、測定物１１の回転量は３６０°未満であってもよいし、３６０°を超えるものであってもよい。
【０１１８】
（９）上記実施形態では、支持アーム９３の全体を測定物１１及び基準物１２よりもＸ線吸収率が低くなるように形成したが、少なくとも撮影可能空間４０内に含まれる部分においてＸ線吸収率が低くなるように形成すればよい。
【０１１９】
（１０）上記実施形態では、測定物１１をスペーサ５３上に設置するが、スペーサ５３を省略して台座部７１の上面に測定物１１を直接設置してもよい。測定物１１の固定は、スペーサ５３の場合と同様、両面テープによる貼付構造や滑り止め構造、吸着構造等を用いることができる。この場合において、支持ベース９１及び回動クランプ９２は、それらの上端位置が台座部７１の上面よりも下方となるように高さ位置を設定することが好ましい。
【０１２０】
（１１）上記実施形態では、支持ベース９１及び回動クランプ９２の上端位置をスペーサ５３の上面（測定物１１の設置面）よりも下方に位置させるが、スペーサ５３の上面よりも上方に位置させてもよい。これにより、支持アーム９３がスペーサ５３や台座部７１と干渉することをより好適に回避することができ、撮影可能空間４０内における基準物１２の位置調整範囲を拡大することができる。但し、支持ベース９１及び回動クランプ９２が撮影可能空間４０内に進入する可能性があるため、それらのＸ線吸収率が測定物１１及び基準物１２のＸ線吸収率よりも低くなるように、材料選択や構造設計等を行うことが好ましい。
【０１２１】
（１２）上記実施形態では、支持アーム９３を一直線状に形成したが、支持アーム９３の一部をスペーサ５３側に折り曲げ形成したり、支持アーム９３の全体をスペーサ５３側と反対側に凸となる円弧状に形成したりしてもよい。これにより、基準物１２を測定物１１の下部に近づけやすくなる。
【０１２２】
（１３）上記実施形態では、基準物１２の位置調整を手作業で行うが、駆動源を設けて機械的に移動させる構成としてもよい。その際、上方から測定物１１を撮影するカメラを設け、カメラの撮影画像を見ながらオペレータが回動クランプ９２及び支持アーム９３を操作し、基準物１２を移動させてもよい。カメラの撮影画像を画像解析して適切な空間を検出し、当該検出した空間に自動的に基準物１２を移動させてもよい。
【０１２３】
（１４）上記実施形態では、基準物１２の３次元画像から基準物１２の直径を計測するが、２次元Ｘ線画像から基準物１２の直径を計測してもよい。例えば、最終ショットを含む回転撮影の終盤に撮影された２次元Ｘ線画像を用いることができる。予めＸ線の照射開始からＸ線の揺らぎが生じるまでの期間をＸ線の強度ごとにサンプリングしておき、実際の回転撮影において当該期間の経過後に撮影された２次元Ｘ線画像を用いて基準物１２の直径を計測してもよい。
【符号の説明】
【０１２４】
１０…放射線画像撮影装置、１１…測定物、１２…基準物、１４…ステージ装置、１５…Ｘ線照射器、１６…Ｘ線検出器、２１…回転駆動部、５２…支持機構、６７…回転リング部、６９…ノッチ機構、７６…溝部、９１…支持ベース、９２…回動クランプ、９３…支持アーム、９５ｂ…壁部、９６…貫通孔、１０１…クランプねじ、１０２…傾斜面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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