(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、
駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、
前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、を備え、
前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、
前記回転部材は同一外径の周面を有し、
前記回転部材の周面のうち前記離型層が形成される部位以外には当該離型層よりも摩擦抵抗の大きい被覆層が形成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項２】
ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、
駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、
前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、
前記回転部材の周面端部にて周方向に沿って着脱可能に固着される帯状の保護部材と、
を備え、
前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、
前記保護部材は、前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部との間に隙間を介在させ、かつ、前記回転部材の軸方向外側に位置する前記離型層の外側縁部を覆うように配置されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項３】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項４】
ウェブ状成膜対象物を回転保持体表面に接触保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の表面を成膜して成膜体とする成膜体製造方法であって、
前記回転保持体は、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、
前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、を備え、
前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、
前記回転保持体の周囲には当該回転保持体の周囲を固定的に覆うマスクカバーが設けられ、
前記マスクカバーには成膜装置による成膜処理範囲を規制する成膜用開口が形成されていることを特徴とする成膜体製造方法。
【請求項５】
成膜前のウェブ状成膜対象物を収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、
前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を前記収容室又は前記成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構と、
前記成膜室内に一若しくは複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の表面を成膜する成膜装置と、
を備え、
前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体を有し、前記回転保持体として請求項１乃至３のいずれかに記載の回転保持体を用いたことを特徴とする成膜体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体に係り、特に、スパッタリング等の成膜中に発生する熱負荷によるウェブ状成膜対象物のシワの発生を低減させる上で有効な回転保持体及びこれを用いてウェブ状成膜対象物に成膜して成膜体を製造する成膜体製造方法並びにその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、耐熱性樹脂フィルム上に金属膜を被覆して得られる多種類のフレキシブル配線基板が用いられ、このフレキシブル配線基板には、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムが用いられている。そして、金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、配線パターンの繊細化、高密度化に伴い、金属膜付耐熱性樹脂フィルム自体が平面であることが重要である。
【０００３】
この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法として、従来、金属箔を接着剤により耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングしかつ乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、および、耐熱性樹脂フィルムに真空成膜法若しくは真空成膜法と湿式めっき法により金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）等が知られている。また、メタライジング法の真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。
【０００４】
そして、メタライジング法として、特許文献１では、ポリイミド絶縁層上にクロム層をスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上へ導体層を形成する方法が開示され、特許文献２では、ポリイミドフィルム上に、銅ニッケル合金をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜の順に積層して形成されたフレキシブル回路基板用材料が開示されている。尚、ポリイミドフィルム（基板）の様な耐熱性樹脂フィルムに真空成膜を行うにはスパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。
【０００５】
ところで、上述した真空成膜法において、一般に、スパッタリング法は密着力に優れる反面、真空蒸着法より耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が大きいといわれている。そして、成膜の際に、耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷が作用するとフィルムシワが発生してしまう。このシワを防ぐために、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置であるスパッタリングウェブコータでは、キャンロールによりスパッタリング中の耐熱性樹脂フィルムを裏面から冷却する構造になっている。例えば、特許文献３には、スパッタリングウェブコータの一例である巻取式真空スパッタリング装置が開示され、この巻取式真空スパッタリング装置は、水冷キャンロールを備え、サブロールにより水冷キャンロールへの密着を制御している。
【０００６】
しかし、成膜速度を向上させるためにスパッタ装置のカソードに大電力を印加すると、水冷キャンロールだけでは金属膜付耐熱性樹脂フィルムの冷却が不十分となり、フィルムシワが発生する。このシワを低減させるためにキャンロールの表面構造を工夫した技術として、例えば、特許文献４には、キャンロールの外周面のうち少なくとも片端側において長尺基板の端部付近が接触する箇所に、キャンロールの端部側に向かってキャンロールの外径が徐々に細くなるような傾斜部を設け、該傾斜部の斜面にはフッ素樹脂膜を塗布すると共に、該傾斜部のうち処理手段に対向していない箇所に設けたホイールにより長尺基板の端部を傾斜部に押し付け、長尺基板をその幅方向に広げる長尺基板のシワ伸ばし方法が開示されている。しかし、キャンロールに傾斜部を形成するのは、加工が困難であり、ホイールをフィルムに押し付けるのは、制御が複雑になるという懸念を有していた。
【０００７】
ところで、水冷キャンロールは均一な温度分布を得るために成膜対象物であるフィルム幅より広く設計されている。このため、水冷キャンロールのフィルムが覆っていない部分には、スパッタ膜を形成する成膜粒子が付着してしまう。もし、水冷キャンロールにスパッタ膜が付着してしまうと、水冷キャンロールの表面状態が変化してしまい好ましくない。
そこで、水冷キャンロール表面にスパッタ膜の成膜粒子が付着しないように、成膜用ターゲットとフィルムとの間には成膜用開口が開設されたマスクカバーを設け、水冷キャンロールのフィルムが覆っていない部分へのスパッタ膜の成膜粒子の付着を防止している。
しかしながら、たとえマスクカバーを設けたとしても、スパッタ膜の成膜粒子は散乱するため、仮に、マスクカバーの成膜用開口をキャンロールのフィルム幅よりも狭い範囲に形成したとしても、スパッタ膜の成膜粒子がフィルム幅周辺に付着してしまう事態を完全に解消するのは難しい。
【０００８】
そこで、スパッタリングウェブコータにおける金属膜のスパッタリング成膜中に、耐熱性樹脂フィルムのシワ伸ばしを簡易な構成で実現し、かつ、水冷キャンロールにスパッタ膜の成膜粒子が仮に付着しても清掃し易い金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報（問題点を解決するための手段）
【特許文献２】特開平６−９７６１６号公報（課題を解決するための手段，図１）
【特許文献３】特開昭６２−２４７０７３号公報（実施例，第１図）
【特許文献４】特開２０１２―１３２０８０号公報（発明を実施するための形態，図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする技術的課題は、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する幅方向へのシワの発生を抑制しつつ、回転保持体の周面のうちウェブ状成膜対象物の通過領域周辺における成膜粒子による汚れを簡単に除去することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、上記課題を解決するため、本発明者が鋭意研究を続けた結果、ウェブ状成膜対象物、例えばポリイミドフィルム等の長尺耐熱性樹脂フィルムが接触する回転保持体としてのキャンロールについて、長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向端部に対応した箇所に所望の離型層を設けることで、長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向端部の滑りが良くなりシワの発生を低減し、さらに、離型層上のスパッタ膜の成膜粒子が容易に除去できることを見出すに至った。本発明はこのような技術的着想により完成されている。
【００１２】
すなわち、本発明の第１の技術的特徴は、ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、を備え、前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、前記回転部材は同一外径の周面を有し、前記回転部材の周面のうち前記離型層が形成される部位以外には当該離型層よりも摩擦抵抗の大きい被覆層が形成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
【００１３】
本発明の第２の技術的特徴は、ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、前記回転部材の周面端部にて周方向に沿って着脱可能に固着される帯状の保護部材と、を備え、前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、前記保護部材は、前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部との間に隙間を介在させ、かつ、前記回転部材の軸方向外側に位置する前記離型層の外側縁部を覆うように配置されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第３の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
【００１４】
本発明の第４の技術的特徴は、ウェブ状成膜対象物を回転保持体表面に接触保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の表面を成膜して成膜体とする成膜体製造方法であって、前記回転保持体は、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、前記回転部材の周面のうち前記ウェブ状成膜対象物の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで前記保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて前記回転部材の周方向に沿って帯状に形成される離型層と、を備え、前記離型層は、当該離型層に隣接する前記回転部材の周面に対して段差なく面一に連なって設けられ、前記回転部材の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有し、前記回転保持体の周囲には当該回転保持体の周囲を固定的に覆うマスクカバーが設けられ、前記マスクカバーには成膜装置による成膜処理範囲を規制する成膜用開口が形成されていることを特徴とする成膜体製造方法である。
本発明の第５の技術的特徴は、成膜前のウェブ状成膜対象物を収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を前記収容室又は前記成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構と、前記成膜室内に一若しくは複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の表面を成膜する成膜装置と、を備え、前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体を有し、前記回転保持体として第１乃至第３の技術的特徴のいずれかを備えた回転保持体を用いたことを特徴とする成膜体製造装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の第１の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する幅方向へのシワの発生を抑制しつつ、回転保持体の周面のうちウェブ状成膜対象物の通過領域周辺における成膜粒子による汚れを簡単に除去することができることに加え、回転保持体の外径寸法を等しく保ち、ウェブ状成膜対象物に幅方向において均等な張力分布を与え、ウェブ状成膜対象物の幅方向端部と回転保持体の離型層との接触状態を確保することができる。更に、回転部材の周面の一部に溝加工を施すことなく、回転保持体に離型層を簡単に形成することができる。
本発明の第２の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する幅方向へのシワの発生を抑制しつつ、回転保持体の周面のうちウェブ状成膜対象物の通過領域周辺における成膜粒子による汚れを保護部材で事前に抑制し、かつ、成膜粒子による汚れを除去する作業範囲を低減することができる。
本発明の第３の技術的特徴によれば、更に、回転保持体の外径寸法を等しく保ち、ウェブ状成膜対象物に幅方向において均等な張力分布を与え、ウェブ状成膜対象物の幅方向端部と回転保持体の離型層との接触状態を確保することができる。
本発明の第４の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物の表面を成膜して成膜体を製造する上で、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する幅方向へのシワの発生を抑制しつつ、回転保持体の周面のうちウェブ状成膜対象物の通過領域周辺における成膜粒子による汚れを簡単に除去することに加え、回転保持体の外径寸法を等しく保ち、ウェブ状成膜対象物に幅方向において均等な張力分布を与え、ウェブ状成膜対象物の幅方向端部と回転保持体の離型層との接触状態を確保することができる。更に、ウェブ状成膜対象物の周辺への成膜粒子の飛翔範囲を有効に規制することができ、回転保持体に付着した成膜粒子による汚れを有効に除去することができる。
本発明の第５の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する幅方向へのシワの発生を抑制しつつ、回転保持体の周面のうちウェブ状成膜対象物の通過領域周辺における成膜粒子による汚れを簡単に除去することが可能な回転保持体を含む成膜体製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は本発明に係るウェブ状成膜対象物の回転保持体を用いた成膜体製造装置の実施の形態の概要を示す説明図、（ｂ）は回転保持体の一例を示す説明図、（ｃ）は（ｂ）中Ｃ−Ｃ線断面説明図である。
【図２】実施の形態１に係る成膜体製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図３】実施の形態１で用いられるキャンロールの周辺部構造を示す説明図である。
【図４】（ａ）は実施の形態１で用いられるキャンロールの周面構造を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図、（ｃ）はキャンロールの周面構造の変形の形態を示す（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図である。
【図５】（ａ）は実施の形態１で用いられるキャンロールとマスクカバーの成膜用開口との関係を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図である。
【図６】（ａ）は実施の形態２で用いられるキャンロールの周面構造を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図である。
【図７】（ａ）は実施の形態２で用いられるキャンロールとマスクカバーの成膜用開口との関係を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図である。
【図８】比較の形態１，２で用いられるキャンロールとマスクカバーの成膜用開口との関係を示す説明図、（ｂ）は比較の形態１（キャンロール上の長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向端部と保護フィルムとの間に隙間がある態様）の（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図、（ｃ）は比較の形態２（キャンロール上の長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向端部が保護フィルム上に乗り上げた態様）の（ａ）中Ｂ−Ｂ線断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
◎実施の形態の概要
図１（ａ）はウェブ状成膜対象物に成膜して成膜体を製造する成膜体製造装置の実施の形態の概要を示す。
同図において、成膜体製造装置は、成膜前のウェブ状成膜対象物５を収容する収容室、収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体（図示せず）と、収容室内のウェブ状成膜対象物５を成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体５’を収容室又は成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構６と、成膜室内に一若しくは複数設置され、移動機構６にて移動させられるウェブ状成膜対象物５の表面を成膜する成膜装置４と、を備え、移動機構６は、成膜室に設置され、ウェブ状成膜対象物５を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体１を有している。
尚、図１（ａ）中、符号７は移動機構６の一構成要素で、ウェブ状成膜対象物５を掛け渡し搬送する搬送部材である。
【００１８】
ここで、装置筐体は収容室と成膜室とを含むものであればよく、収容室はウェブ状成膜対象物５のみならず、ウェブ状成膜対象物５及び成膜体５’を別個に収容するものでもよいし、共用して収容するものでもよい。
また、移動機構６は、収容室と成膜室との間で、ウェブ状成膜対象物５を移動し、成膜後の成膜体５’を収容室又は成膜室の予め決められた箇所に移動させるものであれば適宜選定して差し支えないが、収容室と成膜室とは室内環境が通常異なるので、両者の室内環境を維持するように留意する必要がある。
更に、成膜装置４としては、マグネトロンスパッタ装置、イオンビームスパッタ装置などウェブ状成膜対象物５を成膜するものを広く含む。
【００１９】
本実施の形態において、回転保持体１は、図１（ａ）（ｂ）に示すように、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材２と、回転部材２の周面のうちウェブ状成膜対象物５の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて回転部材２の周方向に沿って帯状に形成される離型層３と、を備え、離型層３は、当該離型層３に隣接する回転部材２の周面に対して段差なく設けられ、回転部材２の周面の摩擦抵抗よりも小さい摩擦抵抗を有するものである。
【００２０】
このような技術的手段において、ウェブ状成膜対象物５は主として長尺耐熱性樹脂フィルムを対象とするが、これに限られるものではなく、ウェブ状で成膜対象となるものを広く含む。
また、回転部材２は円形断面を有する態様で、駆動回転すると共に、成膜装置４による成膜処理時に冷却する上で予め決められた温度に調整されるものであればよい。
更に、離型層３は以下の要件を備えていることを必要とする。
（１）回転部材２の周面のうちウェブ状成膜対象物５の保持領域端部に沿って設けられること、
（２）保持領域端部を含んで保持領域の内外に及ぶ幅寸法にて回転部材２の周方向に沿って帯状に形成されること、
（３）離型層３に隣接する回転部材２の周面に対して段差なく設けられること、
（４）回転部材２の周面の摩擦抵抗より小さい摩擦抵抗を有していること、である。
ここで、（２）の要件は離型層３が保持領域内又は保持領域外のいずれかに帯状に形成されていると、ウェブ状成膜対象物５が幅方向に熱膨脹するときに、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部が離型層３以外の回転部材２の周面に接触する懸念があることを回避するものである。
（３）の要件は、離型層３と回転部材２の周面との間に段差があると、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部が段差に引っ掛かり、シワが発生する懸念があることを回避するものである。つまり、本例では、段差がなければ、離型層３が回転部材２の周面と面一でなくてもよく、回転部材２の周面に対して傾斜面を有していてもよいし、湾曲面を有していてもよい。
（４）の要件はウェブ状成膜対象物５の端部が離型層３上で滑り易くするためのものである。
【００２１】
離型層３の作用は以下のようである。
図１（ａ）乃至（ｃ）に示すように、成膜装置４による成膜処理によりウェブ状成膜対象物５に薄膜Ｓが成膜するときに、ウェブ状成膜対象物５が熱負荷によって幅方向に熱膨脹したとしても、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部は回転保持体１の摩擦抵抗の小さい離型層３に接触しているため、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部は離型層３に沿って滑り易いことから、ウェブ状成膜対象物５でのシワの発生は抑えられる。
また、成膜装置４による成膜処理において、成膜粒子Ｓａの一部がウェブ状成膜対象物５の周辺に飛翔して付着したとしても、これらの成膜粒子Ｓａの多くは回転保持体１の離型層３に付着することから、成膜装置４による成膜処理が終了した後に、回転保持体１の離型層３部分を清掃することで付着した成膜粒子Ｓａは簡単に取り除かれる。
【００２２】
次に、本実施の形態に係る回転保持体の代表的態様又は好ましい態様について説明する。
離型層３の好ましい態様としては、回転保持体１の外径寸法を等しく保ち、ウェブ状成膜対象物５に幅方向において均等な張力を与えるという観点から、離型層３に隣接する回転部材２の周面と面一に形成されている態様が挙げられる。
また、離型層３の形成手法としては、回転部材２は、図１（ｃ）に示すように、その周面のうち離型層３に対応した箇所に環状の凹溝２ａを有し、離型層３は、回転部材２の凹溝２ａ内に充填して形成されているものが挙げられる。つまり、本例は、回転部材２の周面に形成された凹溝２ａに離型層３を充填形成した態様である。
また、離型層３の別の形成手法としては、回転部材２は図１（ｃ）に示すものと異なり、同一外径の周面を有し、回転部材２の周面のうち離型層３が形成される部位以外には当該離型層３よりも摩擦抵抗の大きい被覆層（図示せず）が形成されているものが挙げられる。本例は、回転部材２の周面に帯状の離型層３を形成すると共に、離型層３以外の部位に被覆層（図示せず）を形成することで、回転部材２の周面に離型層３を段差なく設ける態様である。
本例では、回転部材２の周面に離型層３のための凹溝２ａを形成しなくてもよい。また、被覆層として摩擦抵抗の大きいものを選定すれば、ウェブ状成膜対象物５の保持力を高める上で有効である。この場合、被覆層は熱伝導性の良好な材料で形成するのがよい。
また、離型層３の代表的態様としてはフッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂又はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）にて形成されている態様が挙げられる。ここで、フッ素樹脂には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ／テフロン（登録商標））、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＦＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）等が挙げられる。
【００２３】
また、回転保持体１の別の構成例としては、図１（ｂ）に示すように、回転部材２の周面端部にて周方向に沿って着脱可能に固着される帯状の保護部材８を備え、保護部材８は、ウェブ状成膜対象物５の保持領域端部との間に隙間を介在させ、かつ、回転部材２の軸方向外側に位置する離型層３の外側縁部を覆うように配置されている態様が挙げられる。
本例は、回転保持体１に形成された離型層３の外側縁部を保護部材８で覆う態様である。
ここで、保護部材８としては、成膜粒子Ｓａが付着する可能性があるため、耐熱性を有する樹脂フィルム等を用いるようにすればよい。この保護部材８は回転部材２の周面端部に周方向に沿って固着される帯状部材であればよいが、交換性を考慮すれば着脱可能であることを要し、保護部材８の表面が汚れたら、回転部材２から取り外して廃棄し、新しい保護部材８を固着するようにすればよい。
また、保護部材８とウェブ状成膜対象物５の保持領域端部との間には隙間が確保されている。この隙間部分に成膜粒子Ｓａが飛翔しても、回転保持体１の離型層３に付着するため、離型層３を清掃することによって付着した成膜粒子Ｓａは簡単に除去される。また、保護部材８で覆われた箇所には成膜粒子Ｓａが付着しないので、回転保持体１に対する清掃範囲を狭めることが可能である。隙間としては３〜５ｍｍ程度が好ましい。仮に、隙間がないと、ウェブ状成膜対象物５が熱膨脹すると、保護部材８に引っ掛かる虞れがある。
【００２４】
また、成膜体５’を製造するに際し、前述した回転保持体１（回転部材２＋離型層３）を使用することで、成膜装置４による成膜処理に伴う熱負荷を受けたとしても、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部が離型層３に沿って滑ることから、ウェブ状成膜対象物５のシワの発生を抑制することが可能であり、また、ウェブ状成膜対象物５の幅方向端部周辺に成膜粒子Ｓａが飛翔しても、当該成膜粒子Ｓａは離型層３上に付着することになるため、成膜粒子Ｓａによる汚れを簡単に除去することが可能である。
このような成膜体製造方法の代表的態様としては、回転保持体１の周囲には当該回転保持体１の周囲を固定的に覆うマスクカバー９が設けられ、マスクカバー９には成膜装置４による成膜処理範囲を規制する成膜用開口９ａが形成されている態様が挙げられる。
本例では、マスクカバー９は、その成膜用開口９ａの大きさによって成膜装置４による成膜処理範囲を規制する。このため、成膜用開口９ａを適宜選定することにより、成膜粒子Ｓａの飛翔範囲は規制されることになり、回転保持体１上のウェブ状成膜対象物５の周辺に成膜粒子Ｓａが飛翔するにしても、離型層３の形成範囲に収めることが可能である。
【００２５】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいて本発明をより詳細に説明する。
先ず、本実施の形態に係る成膜体製造装置における製造対象は、広く成膜対象物の表面を成膜して成膜体とするものに適用することができるものであるが、その代表的態様として、以下の実施の形態では、金属膜付耐熱性樹脂フィルムを例に挙げて説明する。
◎実施の形態１
−金属膜付耐熱性樹脂フィルム−
金属膜付耐熱性樹脂フィルムとしては、耐熱性樹脂フィルムの表面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜が積層された構造体が例示される。このような構造を有する金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、サブトラクティブ法によりフレキシブル配線基板に加工される。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。
上記Ｎｉ系合金等から成る膜はシード層と呼ばれ、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択される。そして、シード層には、Ｎｉ−Ｃｒ合金やインコネルやコンズタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができる。また、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの金属膜（Ｃｕ膜）を更に厚くしたい場合、湿式めっき法を用いて金属膜を形成することがある。そして、電気めっき処理のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合がある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
また、上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムに用いる耐熱性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが挙げられ、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。
尚、上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムとして、長尺耐熱性樹脂フィルムへＮｉ−Ｃｒ合金やＣｕ等の金属膜を積層した構造体を例示したが、上記金属膜のほか、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜にも適用できることは勿論である。
【００２６】
図２は実施の形態１に係る成膜体製造装置の全体構成を示す。
−成膜体製造装置の全体構成−
本実施の形態では、成膜体製造装置は、ウェブ状の長尺耐熱性樹脂フィルムの表面を金属膜で成膜して成膜体とする製造装置を示し、この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置には、長尺耐熱性樹脂フィルム面に効率よく金属膜が成膜されるスパッタリングウェブコータが一般的に用いられている。
すなわち、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置（スパッタリングウェブコータ）１０は、装置筐体としての真空チャンバ１１を有し、この真空チャンバ１１内の上部には成膜前の長尺耐熱性樹脂フィルム１３が収容される収容室１１ａを、下部に成膜室１１ｂを確保するように仕切り板１２によって区画されている。
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は、仕切り板１２に設けられた開口１２ａを通じて収容室１１ａから成膜室１１ｂに搬入されている。尚、仕切り板１２の開口１２ａの気密性を高めるため、２本のロールが近接して配置されたスリットロールを開口１２ａに付設してもよい。また、収容室１１ａと成膜室１１ｂとは、別系統のドライポンプ、メカニカルブースターポンプとターボ分子ポンプを用いて、独立排気している。
【００２７】
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は、収容室１１ａ内に設けられた巻出しロール１４から巻き出されて成膜室１１ｂ内の巻取りロール２２に巻き取られるようになっており、これら巻出しロール１４と巻取りロール２２間の搬送路上に、モータ駆動されかつ温調された冷媒が内部に循環するキャンロール１９が配置されている。
更に、上記巻出しロール１４と巻取りロール２２間の搬送路上には、長尺耐熱性樹脂フィルム１３を案内するガイドロール１５，１６，１７，２１が設けられており、かつ、キャンロール１９の両側近傍には、キャンロール１９の周速度との調整によってキャンロール１９外周面に長尺耐熱性樹脂フィルム１３を密着させるモータ駆動のフィードロール１８，２０が配置されている。
そして、巻出しロール１４と巻取りロール２２はパウダークラッチ等により長尺耐熱性樹脂フィルム１３の張力バランスを保っており、キャンロール１９の回転とこれに連動して回転するモータ駆動のフィードロール１８，２０により、巻出しロール１４から長尺耐熱性樹脂フィルム１３が巻き出されて巻取りロール２２に巻き取られるようになっている。
【００２８】
更に、キャンロール１９の近傍には、図２及び図３に示すように、キャンロール１９の外周面に対向して複数（本例では４つ）の成膜装置としてマグネトロンスパッタ装置３１〜３４が設置されている。
そして、本例では、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４による成膜処理を行う前に長尺耐熱性樹脂フィルム１３と金属膜との密着性を高めるための表面処理ユニット２５が収容室１１ａ内に設けられている。尚、表面処理ユニット２５における真空中での表面処理方法として、プラズマ処理、イオンビーム処理、ＵＶ光処理等がある。
また、マグネトロンスパッタ装置３１〜３４による成膜処理には、板状ターゲットを使用することが好ましいが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）が発生することがある。このため、ノジュール（異物の成長）の発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形のロータリーターゲットを使用してもよい。
【００２９】
更に、キャンロール１９と各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４との間には、図３及び図５に示すように、キャンロール１９の周囲を覆うように金属又は樹脂製のマスクカバー４０が設置されており、マスクカバー４０のうち各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４のカソードに対応した箇所には成膜用開口４１（具体的には４１ａ〜４１ｄ）が開設されている。この成膜用開口４１は各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４から長尺耐熱性樹脂フィルム１３に向かうターゲットからの成膜粒子がＳａ通過する成膜範囲を規制するもので、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向に交差する幅方向寸法ｗｆよりも狭い幅方向寸法ｗｍを有している。尚、成膜用開口４１のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向に沿う長さ寸法ｈは成膜速度に応じた成膜量を考慮して適宜選定される。
【００３０】
−キャンロールの構成−
本実施の形態において、キャンロール１９は、図３及び図４（ａ）（ｂ）に示すように、モータによって駆動され且つ温調された冷媒（例えば水）が内部を循環する金属製の回転ロール５１と、この回転ロール５１の周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで保持領域の内外に及ぶ幅寸法ｍにて回転ロール５１の周方向に沿って帯状に形成される離型層５２と、を備えている。
ここで、離型層５２の幅寸法ｍの選定方法としては、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部から長尺耐熱性樹脂フィルム１３の内側に向かって離型層５２との接触長が１５乃至３０ｍｍ程度になるように選定するのが望ましい。このとき、接触長が、１５ｍｍ未満では、シワの低減効果が少なく、３０ｍｍを超えると、接している範囲のキャンロール１９の冷却効果が低下し、シワが発生し易くなる虞れがある。
【００３１】
＜離型層の形成手法１＞
本例における離型層５２の形成手法としては、図４（ｂ）に示すように、回転ロール５１のうち離型層５２を形成する２箇所には矩形断面状の凹溝５３が回転ロール５１の周方向に沿って帯状に形成されており、この凹溝５３内にフッ素樹脂加工が施されて離型層５２が形成されている。
ここで、凹溝５３は例えば切削加工にて形成され、また、離型層５２は、凹溝５３とフッ素樹脂との密着性を高めるために凹溝５３をサンドブラスト処理により粗面にした後、脱脂処理を施し、しかる後に、凹溝５３内にフッ素樹脂を充填塗布するようにしたものである。尚、フッ素樹脂を充填塗布する手法としては、例えばフッ素樹脂の焼き付けライニング加工等が用いられる。
そして、本例では、離型層５２は回転ロール５１の凹溝５３を除く周面との境界Ｐに段差なく面一に連なっており、キャンロール１９の周面外径は離型層５２と離型層５２以外とで同一になっている。
また、キャンロール１９の離型層５２以外の周面の摩擦抵抗係数をＲＳ１、離型層５２の表面の摩擦抵抗係数をＲＳ２とすると、少なくともＲＳ１に比べてＲＳ２が小さい関係を満たすことが必要であるが、離型層５２による摩擦抵抗を少なくするという観点からすれば、ＲＳ２がＲＳ１に比べて十分に小さいことが好ましく、ＲＳ１の１／５以下、より好ましくはＲＳ１の１／１０以下であるのがよい。
【００３２】
＜離型層の形成手法２＞
離型層５２の形成手法としては、図４（ｃ）に示すように、周面が同一外径の回転ロール５１を用い、この回転ロール５１の周面の所定箇所に例えばフッ素樹脂製の離型層５２を塗布形成すると共に、離型層５２が形成される部位以外の周面には離型層５２よりも摩擦抵抗の大きい被覆層５４を塗布形成するようにする手法が挙げられる。本例においても、離型層５２は被覆層５４と段差なく面一に連なっており、被覆層５４は離型層５２の摩擦抵抗係数ＲＳ１に比べて摩擦抵抗係数ＲＳ２の大きいものを選定すればよい。この場合、必要な物性の材料を選定し、必要に応じて粗面加工などを施すようにすればよい。
また、被覆層５４の材料の選定に当たっては、キャンロール１９の水冷効果を損なわないように、熱伝導率の高い材料を選定するのが好ましい。
【００３３】
−フィードロール−
本実施の形態では、キャンロール１９に対して長尺耐熱性樹脂フィルム１３を密着させるために、キャンロール１９の前後にモータ駆動されるフィードロール１８，２０を配置する構成が採用されている。つまり、キャンロール１９に隣接し搬送路の上流側に配置される上流側モータ駆動フィードロール１８と、キャンロール１９に隣接し搬送路の下流側に配置される下流側モータ駆動フィードロール２０とを備えた態様である。
ここで、上流側モータ駆動フィードロール１８、キャンロール１９及び下流側モータ駆動フィードロール２０の周速度は、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されており、上記周速度が搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されることで、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は上述したように搬送方向に伸ばされ、キャンロール１９表面に接触（密着）させることが可能となる。
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３に張力を付与するためにガイドロール１７，２１をエキスパンドロールとし、フィードロール１８，２０とエキスパンドロールとの両者を組み合わせることで、キャンロール１９の表面に長尺耐熱性樹脂フィルム１３を接触（密着）させるようにしてもよい。このように、フィードロール１８，２０とエキスパンドロールとの両者を組み合わせて長尺耐熱性樹脂フィルム１３を長さ方向に伸ばす方法は、エキスパンドロールを用いない上述のフィードロール１８，２０とキャンロール１９とによる制御方式よりも正確な調整が可能となる。
ここで、各ロール表面はハードクロム湿式めっき膜に形成されていてもよく、あるいは、ＣＶＤ法（化学気相成膜法）、ＡＬＤ法（原子層堆積法）、イオンプレーティング法、スパッタリング法等により形成された硬質で耐摩耗性の高いＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜表面若しくは金属窒化膜表面に形成されていてもよい。
【００３４】
−キャンロールによる長尺耐熱性樹脂フィルムの搬送挙動−
本実施の形態では、図２及び図３に示すように、長尺耐熱性樹脂フィルム１３はキャンロール１９に掛け渡され、キャンロール１９及び前後のフィードロール１８，２０にて駆動搬送される。
そして、長尺耐熱性樹脂フィルム１３がキャンロール１９に至ると、図５（ａ）（ｂ）に示すように、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４によるスパッタ処理がなされ、スパッタ処理による成膜粒子（本例ではスパッタ粒子）がマスクカバー４０の成膜用開口４１（４１ａ〜４１ｄ）を介してキャンロール１９上の長尺耐熱性樹脂フィルム１３上に飛翔し、金属膜Ｓとして成膜される。
このとき、スパッタ処理による成膜中には長尺耐熱性樹脂フィルム１３には熱負荷が作用すると共に、キャンロール１９内で循環する温調された冷媒によってキャンロール１９が冷却され、これに伴って、長尺耐熱性樹脂フィルム１３も冷却される。
この状態において、仮に、スパッタ処理による成膜中の熱負荷が多くなると、キャンロール１９による冷却作用では不十分になり、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が幅方向に熱膨張する場合がある。しかしながら、キャンロール１９上では、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部は離型層５２に接触して配置されているため、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が熱膨張しても、その幅方向端部は離型層５２において滑り移動することから、長尺耐熱性樹脂フィルム１３に幅方向にてシワが発生する懸念はない。
【００３５】
また、スパッタ処理による成膜粒子Ｓａはマスクカバー４０の成膜用開口４１にて飛翔範囲が規制されているが、成膜粒子Ｓａには回り込みと呼ばれる現象があり、マスクカバー４０の成膜用開口４１の周辺にもわずかに成膜粒子Ｓａが到達する。この堆積量は極わずかであるが、通過する長尺耐熱性樹脂フィルム１３に対してキャンロール１９は常時スパッタ処理による回り込んだ成膜粒子Ｓａにさらされるため、キャンロール１９周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部周辺には成膜粒子Ｓａが堆積してしまう。
このとき、キャンロール１９周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部の周辺は離型層５２として形成されているため、回り込んだ成膜粒子Ｓａは離型層５２上に堆積している。このため、一連の成膜処理が終了した後において、離型層５２上に堆積した成膜粒子Ｓａについては、コンパウンド等による研磨による除去作業を行わなくとも、クリーンペーパー等で強く擦ることで、容易に除去することが可能となる。
【００３６】
◎実施の形態２
本実施の形態に係る成膜体製造装置の基本的構成は、実施の形態１と略同様であるが、実施の形態１とは異なるキャンロール１９を備えている。尚、実施の形態１と同様な構成要素については実施の形態１と同様な符号を付してここではその詳細な説明を省略する。
本実施の形態では、キャンロール１９は、図６（ａ）（ｂ）に示すように、実施の形態１と略同様に、モータによって駆動され且つ温調された冷媒（例えば水）が内部を循環する金属製の回転ロール５１と、この回転ロール５１の周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の保持領域端部に沿って設けられ、当該端部を含んで保持領域の内外に及ぶ幅寸法ｍにて回転ロール５１の周方向に沿って帯状に形成される離型層５２と、を備えているが、実施の形態１と異なり、回転ロール５１の周面端部には周方向に沿って着脱可能に固着される帯状の保護フィルム５５を備えている。
本例では、保護フィルム５５としては耐熱性樹脂フィルム、例えば、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが用いられる。これらは例えば図示外の粘着テープにて回転ロール５１の周面端部に貼り付けられる。
そして、保護フィルム５５は、回転ロール５１の軸方向外側に位置する離型層５２の外側縁部を覆うように配置されている。つまり、保護フィルム５５の内側縁部が離型層５２の外側縁部にオーバーラップした状態で覆うように設置されている。
そして更に、保護フィルム５５は、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部との間に隙間ｄを介在させて配置されている。
ここで、隙間ｄとしては３乃至５ｍｍ程度が好ましい。例えば隙間ｄが３ｍｍ未満では、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が走行ラインに対して蛇行した場合、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が保護フィルム５５に乗り上げてしまい、シワが発生する懸念がある。また、隙間ｄが５ｍｍを超える場合では、保護フィルム５５が離型層５２を覆う領域が少なく、離型層５２上に堆積する成膜粒子Ｓａのエリアの低減効果が失われる懸念がある。
【００３７】
本実施の形態によれば、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４によるスパッタ処理が行われ、スパッタ処理による成膜中の熱負荷が多くなると、キャンロール１９による冷却作用では不十分になり、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が幅方向に熱膨張する場合がある。しかしながら、キャンロール１９上では、図７（ａ）（ｂ）に示すように、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部は、保護フィルム５５とは隙間ｄを介して配置され、かつ、離型層５２に接触して配置されているため、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が熱膨張しても、保護フィルム５５と干渉することはなく、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部は離型層５２において滑り移動することから、長尺耐熱性樹脂フィルム１３に幅方向にてシワが発生する懸念はない。
また、スパッタ処理による成膜中には成膜粒子Ｓａの回り込み現象により、キャンロール１９周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部周辺には成膜粒子Ｓａが堆積してしまう。
本例では、キャンロール１９周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部の周辺は離型層５２及び保護フィルム５５として形成されているため、回り込んだ成膜粒子Ｓａは離型層５２及び保護フィルム５５上に堆積している。このため、一連の成膜処理が終了した後において、保護フィルム５５上に堆積した成膜粒子Ｓａについては、定期的に保護フィルム５５を交換することで成膜粒子Ｓａによる汚れを除去することができ、また、離型層５２上に堆積した成膜粒子Ｓａについては、クリーンペーパー等で強く擦ることで、容易に除去することが可能となる。このとき、離型層５２の一部は保護フィルム５５で覆われているため、離型層５２についての成膜粒子Ｓａの付着エリアは実施の形態１に比べて少なくなり、その分、離型層５２上の成膜粒子Ｓａの除去作業は低減される。
【００３８】
◎比較の形態１
図８（ａ）（ｂ）は比較の形態１に係るキャンロール及びその周辺構造を示す。
同図において、キャンロール１９はモータによって駆動され且つ温調された冷媒（例えば水）が内部を循環する金属製の回転ロール５６と、この回転ロール５６の周面のうち軸方向両側部を覆うように着脱可能に貼り付けられる耐熱性樹脂フィルムからなる保護フィルム５７と、を備えている。
このとき、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４によるスパッタ処理が行われ、スパッタ処理による成膜中の熱負荷が多くなると、キャンロール１９による冷却作用では不十分になり、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が幅方向に熱膨張する場合がある。このとき、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部が回転ロール５６の周面との摩擦抵抗によって引っ掛かってしまうと、シワが発生する原因になってしまう。
また、スパッタ処理による成膜中に、成膜粒子Ｓａの回り込み現象により、キャンロール１９周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部周辺には成膜粒子Ｓａが堆積してしまう。このとき、キャンロール１９の周面のうち長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部周辺には保護フィルム５７が設けられているが、長尺耐熱性フィルム１３の走行時の蛇行や幅方向の熱膨張による干渉を防止する意味で、長尺耐熱性樹脂フィルム１３と保護フィルム５６との間に隙間５８を確保することが必要になる。
【００３９】
この状態において、回り込んだ成膜粒子Ｓａは回転ロール５６の周面及び保護フィルム５７上に堆積することになる。回転ロール５６の周面に成膜粒子Ｓａが堆積してしまうと、表面状態が変化したり、剥がれた堆積物が粉塵の原因になることがあるため、定期的に、キャンロール１９に堆積した成膜粒子Ｓａをコンパウンド等で研磨して除去する作業が必要となる。但し、キャンロール１９表面はハードクロムメッキ等が施されているため、除去作業により表面に微細な傷がついてしまう懸念もある。
また、キャンロール１９の周面の軸方向両側部には保護フィルム５７が設けられているため、保護フィルム５７上に堆積した成膜粒子Ｓａについては、保護フィルム５７を定期的に交換することで成膜粒子Ｓａを除去することが可能である。
更に、本例では、保護フィルム５７を設けることで、キャンロール１９の周面に対して広範囲に成膜粒子Ｓａが堆積する事態は回避されることになるが、前述したように、長尺耐熱性樹脂フィルム１３と保護フィルム５７との間には隙間５８が必要不可欠であり、この隙間５８を通じて回転ロール５６の周面に成膜粒子Ｓａが堆積する現象は避けられないので、回転ロール５６に対して成膜粒子Ｓａを除去するためには前述した面倒な除去作業を行わなければならない。
【００４０】
◎比較の形態２
図８（ａ）（ｃ）は比較の形態２に係るキャンロール及びその周辺構造を示す。
同図において、キャンロール１９の基本的構成は、比較の形態１と略同様に、回転ロール５６及び保護フィルム５７を備えたものであるが、比較の形態１と異なり、回転ロール２６の周面への成膜粒子Ｓａの堆積を完全に防止するために、保護フィルム５７の幅寸法を広げ、保護フィルム５７のうち回転ロール５６の軸方向中央側に位置する縁部を耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向両端部の下に入り込むようにしたものである。
しかしながら、本例では、長尺耐熱性樹脂フィルム１３がスパッタ処理による成膜中に熱負荷を受けて、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が熱膨張により幅方向に伸びようしたときに、保護フィルム５７が妨げになるため、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が伸びることができずに、図８（ｂ）のＭで示す位置において、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の幅方向端部が盛り上がるシワが発生する虞れがある。
【００４１】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
＜実施例１＞
図２に示す実施の形態１に係る金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置（スパッタリングウェブコータ）を用い、長尺耐熱性樹脂フィルム１３には、幅５００ｍｍ、長さ５００ｍ、厚さ３８μｍの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス（登録商標）」を使用した。
また、図４に示すキャンロール１９は、直径９００ｍｍ、幅８００ｍｍのステンレス鋼製の回転ロール５１を有している。回転ロール５１の表面は、ハードクロムメッキ処理を施してある。そして、回転ロール５１の周面のうち、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３のフィルム幅方向端部が接する直下の円周に幅２０ｍｍ×深さ１ｍｍの溝を切削し、その溝をサンドブラスト処理により粗面にした後、フッ素樹脂の焼き付けライニング加工を行って離型層５２とした。フッ素樹脂による離型層５２加工後の高さは、キャンロール１９と等しくした。
【００４２】
キャンロール１９とマグネトロンスパッタ装置３１〜３４との間に設置されたマスクカバー４０の成膜用開口４１は幅４８０ｍｍ×高さ２００ｍｍである。
収容室１１ａの表面処理ユニット２５には、酸素ガスが３０ｓｃｃｍ導入されるイオンビーム照射を採用し、ＤＣイオンビーム電圧３ｋＶを印加した。
また、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３に成膜される金属膜はシード層であるＮｉ−Ｃｒ膜の上にＣｕ膜を成膜するものとし、かつ、マグネトロンスパッタターゲット１７にはＮｉ−Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタターゲット１８、１９、２０にはＣｕターゲットを用い、更に、アルゴンガスを３００ｓｃｃｍ導入し、マグネトロンスパッタ装置３１〜３４の各カソードへの印加電力は２０ｋＷの電力制御で成膜を行った。
【００４３】
また、巻出しロール１４と巻取りロール２２の張力は８０Ｎとした。更に、上流側モータ駆動フィードロール１８の周速度はキャンロール１９の周速度の９９％とし、かつ、下流側モータ駆動フィードロール２０の周速度はキャンロール１９の周速度の１０１％とした。この設定により、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３は徐々に引っ張られることになり、キャンロール１３表面に強く密着する。ここで、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３がキャンロール１３表面に強く密着しないと熱伝導による冷却効果は期待できない。また、キャンロール１９は水冷により２０℃に制御されている。
【００４４】
そして、収容室１１ａの巻出しロール１４に耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３をセットし、かつ、表面処理ユニット２５、キャンロール１９を経由して耐熱性ポリイミドフィルム１３の先端部を巻取りロール２２に取り付けた。
また、真空チャンバ１１における成膜室１１ｂと収容室１１ａとを複数台のドライポンプにより５Ｐａまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて３×１０-3Ｐａまで排気した。
また、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送速度を３ｍ／分にした後、表面処理ユニット２５のイオンビームに酸素ガスを導入して電圧を印加し、かつ、マグネトロンスパッタ装置３１〜３４の各カソードにアルゴンガスを導入して電力を印加し、Ｎｉ−Ｃｒ膜のシード層とその上に成膜するＣｕ膜の成膜を開始した。
【００４５】
更に、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の長さ２９０ｍ分が通過して時点で、イオンビーム、各プラズマ反応室のプラズマとマグネトロンスパッタ装置３１〜３４の各カソードへの電力を停止し、それぞれのガス導入も停止した。
最後に、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送を停止し、かつ、各ポンプを停止してから成膜室１１ｂと収容室１１ａをベント（大気開放）し、巻出しロール１４の耐熱性ポリイミドフィルム１３の終端部を外し、全ての耐熱性ポリイミドフィルム１３を巻取りロール２２に巻き取ってから取り外した。
【００４６】
そして、成膜中におけるキャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３を観察したところ、耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部にシワが発生することはなかった。このようにシワの発生が防止された理由はキャンロール１９の作用によるものと推測される。つまり、本実施例で用いられるキャンロール１９には耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部が接する直下の円周に施したフッ素樹脂からなる離型層５２が形成されているために、仮に、耐熱性ポリイミドフィルム１３が熱負荷を受けて熱膨張したとしても、耐熱性ポリイミドフィルム１３がキャンロール１９表面上を搬送されている内にフィルム幅方向に滑り移動して広がったためであると考えられる。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していないことを再確認した。また、キャンロール１９の周面のうちフィルム幅方向端部が接する直下の円周に施したフッ素樹脂からなる離型層５２に堆積した成膜粒子Ｓａはクリーンペーパーで強く擦るだけで容易に除去することができた。
【００４７】
＜実施例２＞
本実施例は、実施の形態２に係るキャンロール１９を用い、キャンロール１９以外は実施例１と同様にして、金属膜付耐熱樹脂フィルムを製造した。
実施例１では、キャンロール１９の周面の軸方向端部に耐熱性樹脂フィルムからなる保護フィルム５６を用いていないが、実施例２では、キャンロール１９の軸方向端部に保護フィルム５６を耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部から３ｍｍ離して１周巻いている。
本実施例によれば、成膜中におけるキャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３を観察したところ、耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部にシワが発生することはなかった。このようにシワの発生が防止された理由はキャンロール１９の作用によるものと推測される。つまり、本実施例で用いられるキャンロール１９には耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部が接する直下の円周に施したフッ素樹脂からなる離型層５２が形成され、しかも、耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部と保護フィルム５５との間には隙間ｄが介在しているため、仮に、耐熱性ポリイミドフィルム１３が熱負荷を受けて熱膨張したとしても、耐熱性ポリイミドフィルム２７がキャンロール２８表面上を搬送されている内にフィルム幅方向に滑り移動して広がったためであると考えられる。
【００４８】
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していないことを再確認した。また、キャンロール１９の周面のうちフィルム幅方向端部が接する直下の円周に施したフッ素樹脂からなる離型層５２に堆積した成膜粒子Ｓａは、実施例１より堆積している幅が狭いために、実施例１よりも少ない作業時間にて、クリーンペーパーで強く擦るだけで容易に除去することができた。
【００４９】
＜比較例１＞
本比較例は、比較の形態１に係るキャンロール１９（図８（ａ）（ｂ）参照）を用い、キャンロール１９以外は実施例１と同様にして、金属膜付耐熱樹脂フィルムを製造した。
本比較例では、キャンロール１９は、直径９００ｍｍ、幅８００ｍｍのステンレス鋼製の回転ロール５６を有し、この回転ロール５６の表面は、ハードクロムメッキ処理を施してある。そして、回転ロール５６の周面のうち軸方向端部には保持フィルム５７を耐熱性ポリイミドフィルム１３（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の幅方向端部から３ｍｍ離して１周巻いている。
【００５０】
本比較例において、成膜中におけるキャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３を観察したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していた。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していることを再確認した。新品のキャンロール１９であれば、表面に施されたハードクロムメッキ表面は滑らかであるため、スパッタ処理による成膜時に熱負荷を受けても、耐熱性樹脂フィルム１３が幅方向に伸びることができるかも知れない。しかし、実際にはスパッタ処理に伴う成膜粒子の回り込みにより、キャンロール１９の周面のうち耐熱性ポリイミドフィルムの幅方向端部から周辺に食み出した成膜粒子が堆積して汚れてしまう。
このように、キャンロール１９の周面に直接付着した堆積物を除去するためには、クリーンペーパーで強く擦るだけでは取り除くことが困難であるため、アルミナやシリコンカーバイトの砥粒を用いて研磨するという除去作業が行われる。
このような除去作業を行うと、キャンロール１９のハードクロムメッキ表面に微細な傷が無数についてしまっているため、耐熱性ポリイミドフィルム１３が幅方向に伸びることを妨げたものと推定される。
【００５１】
＜比較例２＞
本比較例は、比較の形態２に係るキャンロール１９（図８（ａ）（ｃ）参照）を用い、キャンロール１９以外は実施例１と同様にして、金属膜付耐熱樹脂フィルムを製造した。
比較例１では、キャンロール１９の周面の軸方向端部に耐熱性樹脂フィルムからなる保護フィルム５７を用い、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の幅方向端部から保護フィルム５７を３ｍｍ離して１周巻いているのに対し、比較例２では、比較例１と同様に、キャンロール１９の周面の軸方向端部に耐熱性樹脂フィルムからなる保護フィルム５７を用いているが、保護フィルム５７の幅寸法を広げ、耐熱性ポリイミドフィルム１３の幅方向端部と保護フィルム５７とを３ｍｍオーバーラップするように耐熱性ポリイミドフィルム１３の外側縁部の下に保護フィルム５７を入り込ませ、キャンロール１９の周面にスパッタ処理による成膜粒子の堆積を完全に防止したものである。
【００５２】
本比較例によれば、成膜中におけるキャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３を観察したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していた。
本例では、耐熱性ポリイミドィルム１３が保護フィルム５７の上に重なっていたため、仮に、スパッタ処理による成膜時に熱負荷を受けて耐熱性ポリイミドフィルム１３が幅方向に熱膨張しても、耐熱性ポリイミドフィルム１３が幅方向に伸びることを妨げられ、これに起因してシワが発生したものと推測される。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、フィルム幅方向端部にシワが発生していることを再確認した。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明に係る成膜体製造装置によれば、例えば耐熱性樹脂フィルム面へ金属膜をスパッタ装置にて成膜する際、耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷が作用したとしてもフィルムシワの発生が抑制されるため、製造された金属膜付耐熱性樹脂フィルムを、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に適用できる産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００５４】
１  回転保持体
２  回転部材
３  離型層
４  成膜装置
５  ウェブ状成膜対象物
５’  成膜体
６  移動機構
７  搬送部材
１０  金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置
１１  真空チャンバ
１１ａ  収容室
１１ｂ  成膜室
１２  仕切り板
１２ａ  開口
１３  長尺耐熱性樹脂フィルム（耐熱性ポリイミドフィルム）
１４  巻出しロール
１５  ガイドロール
１６  ガイドロール
１７  ガイドロール
１８    上流側モータ駆動フィードロール
１９  キャンロール
２０  下流側モータ駆動フィードロール
２１  ガイドロール
２２  巻取りロール
２５  表面処理ユニット
３１  マグネトロンスパッタ装置
３２  マグネトロンスパッタ装置
３３  マグネトロンスパッタ装置
３４  マグネトロンスパッタ装置
４０  マスクカバー
４１  成膜用開口
４１  回転ロール
４２  表面性調整部材
５１  回転ロール
５２  離型層
５３  凹溝
５４  被覆層
５５  保護フィルム
５６  回転ロール
５７  保護フィルム
５８  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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