(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板（１）上に配置された導電層（１１）と、
前記導電層（１１）の前記絶縁基板（１）と反対側の面に、互いに隙間を隔てて接合された第１の半導体素子および第２の半導体素子と、
前記第１の半導体素子の前記導電層（１１）と反対側の面および前記第２の半導体素子の前記導電層（１１）と反対側の面に、前記隙間にまたがって接合された電極部材（２１）と、
前記導電層（１１）、前記第１の半導体素子、前記第２の半導体素子、前記電極部材（２１）を封止する樹脂（２）と、
を備え、
前記導電層（１１）の前記絶縁基板（１）と反対側の前記隙間に対応する面には、前記隙間に沿って延在する溝を備えた凹状パターン（４）が形成されており、
前記凹状パターン（４）の前記溝の両端部分のそれぞれにおいて、端に向かって前記溝の幅が広くなる、
半導体装置。
【請求項２】
絶縁基板（１）上に配置された導電層（１１）と、
前記導電層（１１）の前記絶縁基板（１）と反対側の面に、互いに隙間を隔てて接合された第１の半導体素子および第２の半導体素子と、
前記第１の半導体素子の前記導電層（１１）と反対側の面および前記第２の半導体素子の前記導電層（１１）と反対側の面に、前記隙間にまたがって接合された電極部材（２１）と、
前記導電層（１１）、前記第１の半導体素子、前記第２の半導体素子、前記電極部材（２１）を封止する樹脂（２）と、
を備え、
前記導電層（１１）の前記絶縁基板（１）と反対側の前記隙間に対応する面には、前記隙間に沿って延在する溝を備えた凹状パターン（４）が形成されており、
前記凹状パターン（４）の前記溝の両端部分のそれぞれから中間部分に向けて、前記溝の深さが小さくなるか、又は大きくなる、
半導体装置。
【請求項３】
前記凹状パターン（４，５）は、前記導電層（１１）の一辺から前記導電層（１１）の他辺まで形成されている、
請求項１又は請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記電極部材（２１）の前記導電層（１１）側の面には、平面視で前記隙間に沿って溝（２１１）が形成されている、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記電極部材（２１）の前記溝（２１１Ａ）は、奥側の幅よりも表面側の幅が大きい、
請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第１の半導体素子は、上面および下面のそれぞれに主電極を備えたスイッチング素子Ｓ１であり、
前記第２の半導体素子は、上面および下面のそれぞれに主電極を備えた還流ダイオードＤ１である、
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項７】
入力される電力を変換して出力する主変換回路（２０１）と、
前記主変換回路を駆動する駆動信号を、前記主変換回路に出力する駆動回路（２０２）と、
前記駆動回路を制御する制御信号を、前記駆動回路に出力する制御回路（２０３）と、
を備え、
前記主変換回路（２０１）は、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の半導体装置を少なくとも１つ備える、
電力変換装置（２００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置および電力変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気自動車、電車等のモータを制御するインバータ、エネルギー回生用のコンバータなどには、スイッチング素子などの複数の半導体素子を搭載した半導体装置が用いられている。このような半導体装置の内部は樹脂で封止されるのが一般的である。【０００３】
半導体装置において、導電層上に複数の半導体素子を隣接して配置し、隣接する半導体素子の上面に共通して電極を接合する構成が用いられる（例えば特許文献１を参照）。【０００４】
このような構成において、半導体装置の内部を樹脂で封止する際に、隣接する半導体素子の隙間部分が狭いため、隙間部分において樹脂の流動性が悪くなる。樹脂の流動性が悪いと、隙間部分において樹脂内部に空気が閉じ込められて気泡として残ってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−０１８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、従来の半導体装置は樹脂内部に気泡が残留することにより、半導体装置の信頼性の低下および絶縁性の低下を引き起こすという問題があった。【０００７】
例えば、樹脂を注入する工程において、減圧雰囲気とすることにより樹脂の流動性を高めることが可能である。また、樹脂を加熱することにより流動性を高めることが可能である。しかしながら、半導体装置の製造において設備コストが増大し、製造工程も複雑になる問題がある。【０００８】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、簡易な構成で構成部材を封止する樹脂の内部に気泡が発生することを抑制した半導体装置および電力変換装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る半導体装置は、絶縁基板上に配置された導電層と、導電層の絶縁基板と反対側の面に、互いに隙間を隔てて接合された第１の半導体素子および第２の半導体素子と、第１の半導体素子の導電層と反対側の面および第２の半導体素子の導電層と反対側の面に、隙間にまたがって接合された電極部材と、導電層、第１の半導体素子、第２の半導体素子、電極部材を封止する樹脂と、を備え、導電層の絶縁基板と反対側の隙間に対応する面には、隙間に沿って延在する溝を備えた凹状パターンが形成されており、凹状パターンの溝の両端部分のそれぞれにおいて、端に向かって溝の幅が広くなっている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る半導体装置によれば、導電層の上面に、第１のスイッチング素子と第２のスイッチング素子との隙間に沿って凹状パターンが形成されることにより、導電層、第１、第２のスイッチング素子および電極部材で囲まれたトンネル状の空間が広くなる。よって、半導体装置の内部に樹脂を注入する際、トンネル状の空間において樹脂の流路が広くなるため、第１のスイッチング素子と第２のスイッチング素子との隙間において樹脂の内部に気泡が残留することを抑制できる。従って、樹脂の内部において気泡の残留が抑制されるため、半導体装置の信頼性および絶縁性の低下を抑制することが可能である。さらに、本発明に係る半導体装置によれば、半導体装置自体の簡易な構成によって樹脂の内部に気泡が残留することを抑制可能である。従って、半導体装置の製造工程において、樹脂の流動性を高めるための処理が不要となるため、製造コストの増大を抑制することが可能である。【００１１】
この発明の目的、特徴、局面、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによってより明白となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１に係る半導体装置の平面図である。
【図２】実施の形態１に係る半導体装置の一部を拡大した平面図である。
【図３】実施の形態１に係る半導体装置の断面図である。
【図４】比較例に係る半導体装置の断面図である。
【図５】実施の形態１に係る半導体装置の一部を拡大した平面図である。
【図６】実施の形態１の第１の変形例に係る半導体装置の断面図である。
【図７】実施の形態１の第２の変形例に係る半導体装置の平面図である。
【図８】実施の形態１の第３の変形例に係る半導体装置の断面図である。
【図９】実施の形態１の第４の変形例に係る半導体装置の断面図である。
【図１０】実施の形態２に係る半導体装置の平面図である。
【図１１】実施の形態２に係る半導体装置の断面図である。
【図１２】実施の形態３に係る半導体装置の断面図である。
【図１３】実施の形態３の変形例に係る半導体装置の断面図である。
【図１４】実施の形態４に係る電力変換システムの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜実施の形態１＞
図１は、本実施の形態１における半導体装置の平面図である。本実施の形態１における半導体装置は、例えばモータの駆動に使用される三相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）一体型の半導体モジュール（即ち、６個のスイッチング素子を搭載した半導体装置）である。
【００１４】
図１に示すように、半導体装置は、絶縁基板１と、絶縁基板１上に互いに分離して配置された複数の導電層１１から１４と、６個のスイッチング素子Ｓ１からＳ６と、６個の還流ダイオードＤ１からＤ６と、複数の電極部材２１，２４〜２６を備える。導電層１１から１４、スイッチング素子Ｓ１からＳ６、還流ダイオードＤ１からＤ６は樹脂２により封止されている。なお、図１において、図の見易さのために導電層１１から１４の周囲は樹脂２の記載を省略している。
【００１５】
導電層１１から１４のそれぞれは、例えばアルミニウム又はアルミニウムを含む合金である。スイッチング素子Ｓ１からＳ６のそれぞれの上面および下面には主電極が設けられている。また、スイッチング素子Ｓ１からＳ６のそれぞれの上面の一部には制御電極が設けられている。なお、スイッチング素子Ｓ１からＳ６のそれぞれが電流センス機能、温度センス機能などを備える場合、各スイッチング素子の上面には、主電極と制御電極の他に、例えば電流センス用の電極、温度センス用の電極などが設けられていてもよい。スイッチング素子Ｓ１からＳ６のそれぞれは、例えばＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、ＭＯＳＦＥＴ（ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ−ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｆｉｅｌｄ−ｅｆｆｅｃｔ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などである。スイッチング素子Ｓ１からＳ６のそれぞれは、例えばＳｉＣ、ＧａＮ等のワイドバンドギャップ半導体で形成されている。
【００１６】
還流ダイオードＤ１からＤ６のそれぞれの上面および下面には主電極が設けられている。還流ダイオードＤ１からＤ６のそれぞれは、例えば、ＳＢＤ（Ｓｃｈｏｔｔｋｙ  Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）、ＰＮ接合ダイオードなどである。還流ダイオードＤ１からＤ６のそれぞれは、例えばＳｉＣ、ＧａＮ等のワイドバンドギャップ半導体で形成されている。
【００１７】
半導体装置において、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の回路構成は互いに類似しているため、Ｕ相の回路構成について以下で説明する。
【００１８】
スイッチング素子Ｓ１とスイッチング素子Ｓ４とが直列接続されてＵ相の上下アームを構成する。スイッチング素子Ｓ１には還流ダイオードＤ１が逆並列に接続されている。スイッチング素子Ｓ４には還流ダイオードＤ４が逆並列に接続されている。なお、本実施の形態１において、スイッチング素子Ｓ１を第１の半導体素子Ｓ１とも記載する。また、還流ダイオードＤ１を第２の半導体素子Ｄ１とも記載する。
【００１９】
導電層１１の上面（即ち、絶縁基板１と反対側の面）には、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１とが互いに隙間を隔てて接合されている。電極部材２１は、スイッチング素子Ｓ１の上面電極および還流ダイオードＤ１の上面電極に、隙間にまたがって接合されている。ここで、スイッチング素子Ｓ１の上面電極とは、スイッチング素子Ｓ１の導電層１１と反対側の面に設けられた主電極である。同様に、還流ダイオードＤ１の上面電極とは、還流ダイオードＤ１の導電層１１と反対側の面に設けられた主電極である。
【００２０】
また、導電層１４の上面（即ち、絶縁基板１と反対側の面）には、スイッチング素子Ｓ４と還流ダイオードＤ４とが互いに隙間を隔てて接合されている。電極部材２４は、スイッチング素子Ｓ４の上面電極および還流ダイオードＤ４の上面電極に、隙間にまたがって接合されている。ここで、スイッチング素子Ｓ４の上面電極とは、スイッチング素子Ｓ４の導電層１１と反対側の面に設けられた主電極である。同様に、還流ダイオードＤ４の上面電極とは、還流ダイオードＤ４の導電層１１と反対側の面に設けられた主電極である。
【００２１】
また、電極部材２１は電極端子Ｎとも接合されている。導電層１４は電極端子Ｐとも接合されている。電極部材２４は導電層１１およびＵ相の電極端子Ｕとも接合されている。
【００２２】
Ｖ相の回路は、スイッチング素子Ｓ２，Ｓ４、還流ダイオードＤ２，Ｄ４、導電層１２，１４、電極部材２１，２５およびＶ相の電極端子Ｖを備え、Ｕ相と同様に構成されている。
【００２３】
Ｗ相の回路は、スイッチング素子Ｓ３，Ｓ６、還流ダイオードＤ３，Ｄ６、導電層１３，１４、電極部材２１，２６およびＷ相の電極端子Ｗを備え、Ｕ相と同様に構成されている。
【００２４】
図２は、図１における領域Ｒ１を拡大した半導体装置の平面図である。図２に示すように、導電層１１の上面（即ち、導電層１１の絶縁基板１と反対側の面）には、凹状パターン４が形成されている。凹状パターン４は、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って形成されている。凹状パターン４は、導電層１１の一辺から導電層１１の他辺まで形成されている。
【００２５】
図３は、図２中の線分Ａ−Ａに沿った半導体装置の断面図である。図３に示すように、絶縁基板１上に導電層１１が配置されている。導電層１１の上面にスイッチング素子Ｓ４と還流ダイオードＤ４とが互いに隙間を隔てて、はんだ３１，３２によりそれぞれ接合されている。電極部材２１は、スイッチング素子Ｓ１の上面電極および還流ダイオードＤ１の上面電極に、はんだ３３，３４のそれぞれにより接合されている。電極部材２１は、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間にまたがって接合されている。
【００２６】
図３に示すように、導電層１１の上面に形成された凹状パターン４は、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って延在する溝である。
【００２７】
図４は、比較例としての半導体装置の断面図である。比較例において導電層１１の上面に凹状パターン４が設けられていない。一般的に、樹脂２は硬化前であっても粘度が高く流動性が悪い。図４に示す比較例においては、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の部分において樹脂２の流路が狭いため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡６が残留し易い。
【００２８】
一方、図３に示す本実施の形態１における半導体装置においては、導電層１１の上面に、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って凹状パターン４として溝が形成される。これにより、導電層１１、スイッチング素子Ｓ１、還流ダイオードＤ１および電極部材２１で囲まれたトンネル状の空間が広くなる。従って、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の空間において樹脂２の流路が広くなるため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制できる。
【００２９】
また、図３に示すように、トンネル状の空間において、スイッチング素子Ｓ１の上面の一部と電極部材２１との間に隙間７が生じる場合がある。本実施の形態１では、凹状パターン４として溝が形成されることにより、トンネル状の空間において樹脂２の流路が広くなるため、スイッチング素子Ｓ１の上面の一部と電極部材２１との間の隙間７においても、樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制できる。
【００３０】
なお、本実施の形態１では、図１に示すように半導体装置は三相一体型の半導体モジュールであるとして説明を行ったが、これは一例であり、本実施の形態１の半導体装置の構成は図１に限定されない。本実施の形態１の半導体装置は、少なくとも、図２および図３で示した構成を含めばよい。
【００３１】
また、図２および図３に示したように、導電層１１の上面に、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って凹状パターン４が形成されるとしたが、凹状パターン４が形成される位置はこれに限定されない。導電層１２の上面に、スイッチング素子Ｓ２と還流ダイオードＤ２との隙間に沿って凹状パターン４を形成してもよい。また、導電層１３の上面に、スイッチング素子Ｓ３と還流ダイオードＤ３との隙間に沿って凹状パターン４を形成してもよい。
【００３２】
図５は、図１における領域Ｒ２を拡大した半導体装置の平面図である。図５に示すように、導電層１４の上面に、スイッチング素子Ｓ４と還流ダイオードＤ４との隙間に沿って凹状パターン４を形成してもよい。同様に、導電層１４の上面に、スイッチング素子Ｓ５と還流ダイオードＤ５との隙間に沿って凹状パターン４を形成してもよい。同様に、導電層１４の上面に、スイッチング素子Ｓ６と還流ダイオードＤ６との隙間に沿って凹状パターン４を形成してもよい。また、図５に示すように、導電層１４上において複数の凹状パターン４を繋げて、一続きの凹状パターン４としてもよい。
【００３３】
また、本実施の形態１では第１の半導体素子がスイッチング素子であり、第２の半導体素子が還流ダイオードであるとしたが、第１、第２の半導体素子はこれに限定されない。例えば、第１、第２の半導体素子の両方ともスイッチング素子であってもよい。
【００３４】
＜効果＞
本実施の形態１における半導体装置は、絶縁基板１上に配置された導電層１１と、導電層１１の前記絶縁基板１と反対側の面に、互いに隙間を隔てて接合された第１の半導体素子（即ちスイッチング素子Ｓ１）および第２の半導体素子（即ち還流ダイオードＤ１）と、第１の半導体素子の導電層１１と反対側の面および第２の半導体素子の導電層１１と反対側の面に、隙間にまたがって接合された電極部材２１と、導電層１１、第１の半導体素子、第２の半導体素子、電極部材２１を封止する樹脂２と、を備え、導電層１１の絶縁基板１と反対側の隙間に対応する面には、隙間に沿って凹状パターン４が形成されている。
【００３５】
導電層１１の上面に、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って凹状パターン４が形成されることにより、導電層１１、スイッチング素子Ｓ１、還流ダイオードＤ１および電極部材２１で囲まれたトンネル状の空間が広くなる。よって、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の空間において樹脂２の流路が広くなるため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制できる。従って、樹脂２の内部において気泡の残留が抑制されるため、半導体装置の信頼性および絶縁性の低下を抑制することが可能である。
【００３６】
さらに、本実施の形態１における半導体装置によれば、半導体装置自体の簡易な構成によって樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制可能であるため、半導体装置の製造工程において、樹脂２の流動性を高めるために、半導体装置を減圧雰囲気下におく、樹脂２を加熱するなどの工程が不要となる。従って、製造コストの増大を抑制することが可能である。
【００３７】
また、本実施の形態１における半導体装置において、凹状パターン４は、隙間に沿って延在する溝を備える。従って、凹状パターンを溝とすることにより、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の空間において樹脂２の流路を広くすることが可能である。
【００３８】
また、本実施の形態１における半導体装置において、凹状パターン４は、導電層１１の一辺から導電層１１の他辺まで形成されている。従って、導電層１１の一辺から導電層１１の他辺まで凹状パターン４を形成することにより、導電層１１、スイッチング素子Ｓ１、還流ダイオードＤ１および電極部材２１で囲まれたトンネル状の空間を貫通して凹状パターン４が配置されるため、トンネル状の空間全体において樹脂２の流路を広くすることが可能である。
【００３９】
また、本実施の形態１における半導体装置において、第１の半導体素子は、上面および下面のそれぞれに主電極を備えたスイッチング素子Ｓ１であり、第２の半導体素子は、上面および下面のそれぞれに主電極を備えた還流ダイオードＤ１である。従って、第１、第２の半導体素子により、逆並列に接続されたスイッチング素子と還流ダイオードを備えるスイッチング回路を構成することが可能である。
【００４０】
＜実施の形態１の第１の変形例＞
図６は、実施の形態１の第１の変形例における半導体装置の断面図である。図６の断面は、図２中の線分Ａ−Ａに沿った半導体装置の断面に対応している。
【００４１】
本変形例において、凹状パターン４Ａは、実施の形態１における凹状パターン４と同様、溝の形状である。本変形例においてはさらに、凹状パターン４Ａの溝は、導電層１１の表面側の幅よりも奥側の幅が大きくなっている。
【００４２】
本変形例においては、凹状パターン４Ａの溝の導電層１１の表面側の幅よりも奥側の幅が大きい。従って、樹脂２と凹状パターン４Ａとの密着性が向上するため、樹脂２が導電層１１から剥離することが抑制される。よって、半導体装置の信頼性をより向上させることが可能である。
【００４３】
＜実施の形態１の第２の変形例＞
図７は、実施の形態１の第２の変形例における半導体装置の平図である。図７は、図１における領域Ｒ１を拡大した半導体装置の平面図に対応している。
【００４４】
本変形例において、凹状パターン４Ｂは、実施の形態１における凹状パターン４と同様、溝の形状である。本変形例においてはさらに、凹状パターン４Ｂの溝の両端部分４１のそれぞれにおいて、端に向かって溝の幅が広くなっている。
【００４５】
従って、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、両端部分４１において樹脂２の流路が広くなるため、樹脂２の流動性が高くなり、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することをより抑制できる。
【００４６】
＜実施の形態１の第３の変形例＞
図８は、実施の形態１の第３の変形例における半導体装置の断面図である。図８の断面は、図２中の線分Ｂ−Ｂに沿った半導体装置の断面に対応している。
【００４７】
本変形例において、凹状パターン４Ｃは、実施の形態１における凹状パターン４と同様、溝の形状である。本変形例においてはさらに、凹状パターン４Ｃの溝の深さが、溝の両端部分のそれぞれから中間部分に向けて大きくなる。
【００４８】
凹状パターン４Ｃの溝の両端部分のそれぞれから中間部分に向けて、溝の深さが大きくなることにより、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、凹状パターン４Ｃにおいて樹脂２の流動性が向上する。従って、スイッチング素子Ｓ１とダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することをより抑制できる。
【００４９】
＜実施の形態１の第４の変形例＞
図９は、実施の形態１の第４の変形例における半導体装置の断面図である。図９の断面は、図２中の線分Ｂ−Ｂに沿った半導体装置の断面に対応している。
【００５０】
本変形例において、凹状パターン４Ｄは、実施の形態１における凹状パターン４と同様、溝の形状である。本変形例においてはさらに、凹状パターン４Ｄの溝の深さが、溝の両端部分のそれぞれから中間部分に向けて小さくなる。
【００５１】
凹状パターン４Ｄの溝の両端部分のそれぞれから中間部分に向けて、溝の深さが小さくなることにより、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、凹状パターン４Ｄにおいて樹脂２の流動性が向上する。従って、スイッチング素子Ｓ１とダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することをより抑制できる。
【００５２】
＜実施の形態２＞
図１０は、本実施の形態２における半導体装置の平面図である。図１０は、図１における領域Ｒ１を拡大した半導体装置の平面図に対応している。また、図１１は、図１０中の線分Ｃ−Ｃに沿った半導体装置の断面図である。
【００５３】
実施の形態１の半導体装置において凹状パターン４は溝であるとした。一方、本実施の形態２の半導体装置において凹状パターン５は複数の凹部５１を備える。本実施の形態２の半導体装置において凹状パターン５以外の構成は実施の形態１と同じため、説明を省略する。
【００５４】
図１０に示すように、導電層１１の上面（即ち、導電層１１の絶縁基板１と反対側の面）には、凹状パターン５が形成されている。凹状パターン５は、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って形成されている。凹状パターン５は、導電層１１の一辺から導電層１１の他辺まで形成されている。
【００５５】
図１０および図１１に示すように、凹状パターン５は複数の凹部５１を備える。複数の凹部５１のそれぞれは、例えば丸穴形状である。また、図１１に示すように、複数の凹部５１のそれぞれにおいて、開口側の幅よりも奥側の幅が大きくなっている。また、図１１に示すように、複数の凹部５１のそれぞれは、導電層１１を貫通して絶縁基板１に達していてもよい。
【００５６】
＜効果＞
本実施の形態２における半導体装置において、凹状パターン５は、複数の凹部５１を備える。従って、凹状パターンが複数の凹部５１を備えることにより、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の空間において樹脂２の流路を広くすることが可能である。よって、トンネル状の空間において樹脂２の流路が広くなるため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制できる。従って、樹脂２の内部において気泡の残留が抑制されることにより、半導体装置の信頼性および絶縁性の低下を抑制することが可能である。
【００５７】
さらに、本実施の形態２における半導体装置によれば、半導体装置自体の簡易な構成によって樹脂２の内部に気泡が残留することを抑制可能であるため、半導体装置の製造工程において、樹脂２の流動性を高めるために、半導体装置を減圧雰囲気下におく、樹脂２を加熱するなどの工程が不要となる。従って、製造コストの増大も抑制することが可能である。
【００５８】
また、本実施の形態２における半導体装置において、凹状パターン５の複数の凹部５１のそれぞれにおいて、開口側の幅よりも奥側の幅が大きい。従って、樹脂２と凹状パターン５との密着性が向上するため、樹脂２が導電層１１から剥離することが抑制される。よって、半導体装置の信頼性をより向上させることが可能である。
【００５９】
また、本実施の形態２における半導体装置において、凹状パターン５の複数の凹部５１のそれぞれは、導電層１１を貫通して絶縁基板１に達していてもよい。凹部５１のそれぞれを、導電層１１を貫通して絶縁基板１に達する深さとすることにより、絶縁基板１、導電層１１および樹脂２が相互に密着するため、樹脂２の剥離がさらに抑制される。よって、半導体装置の信頼性をさらに向上させることが可能である。
【００６０】
＜実施の形態３＞
図１２は、本実施の形態３における半導体装置の断面図である。図１２の断面は、図２中の線分Ａ−Ａに沿った半導体装置の断面に対応している。
【００６１】
本実施の形態３において、実施の形態１と同様に、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って、導電層１１の上面に凹状パターン４が形成されている。本実施の形態３においてはさらに、電極部材２１の導電層１１側の面には、平面視でスイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って溝２１１が形成されている。
【００６２】
本実施の形態３における半導体装置においては、導電層１１の上面に溝（凹状パターン４）が形成されることに加えて、電極部材２１に溝２１１が形成される。これにより、導電層１１、スイッチング素子Ｓ１、還流ダイオードＤ１および電極部材２１で囲まれたトンネル状の部分がより広くなる。従って、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の部分において樹脂２の流路がより広くなるため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することをより抑制できる。
【００６３】
なお、本実施の形態３において、溝２１１が形成される位置は図１１に示した位置に限定されない。電極部材２１の導電層１２側の面に、平面視でスイッチング素子Ｓ２と還流ダイオードＤ２との隙間に沿って溝２１１を形成してもよい。また、電極部材２１の導電層１３側の面に、平面視でスイッチング素子Ｓ３と還流ダイオードＤ３との隙間に沿って溝２１１を形成してもよい。
【００６４】
また、電極部材２４の導電層１４側の面に、平面視でスイッチング素子Ｓ４と還流ダイオードＤ４との隙間に沿って溝２１１を形成してもよい。また、電極部材２５の導電層１４側の面に、平面視でスイッチング素子Ｓ５と還流ダイオードＤ５との隙間に沿って溝２１１を形成してもよい。また、電極部材２６の導電層１４側の面に、平面視でスイッチング素子Ｓ６と還流ダイオードＤ６との隙間に沿って溝２１１を形成してもよい。
【００６５】
なお、本実施の形態３において、実施の形態１で示した凹状パターン４の代わりに、実施の形態２で示した凹状パターン５を配置してもよい。
【００６６】
＜実施の形態３の変形例＞
図１３は、実施の形態３の変形例における半導体装置の断面図である。本変形例において、溝２１１Ａは、実施の形態３における溝２１１と同様に、電極部材２１の導電層１１側の面に平面視でスイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間に沿って形成される。図１３に示すように、溝２１１Ａは奥側の幅よりも表面側の幅が大きくなっている。
【００６７】
これにより、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、溝２１１Ａに樹脂が入り易くなる。従って、半導体装置の内部に樹脂２を注入する際、トンネル状の部分において樹脂２の流路がさらに広くなるため、スイッチング素子Ｓ１と還流ダイオードＤ１との隙間において樹脂２の内部に気泡が残留することをさらに抑制できる。
【００６８】
＜実施の形態４＞
本実施の形態は、上述した実施の形態１から３のいずれかにおける半導体装置を電力変換装置に適用したものである。本発明は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態４として、三相インバータの電力変換装置について説明する。
【００６９】
図１４は、本実施の形態４における電力変換システムの構成を示す図である。図１４に示す電力変換装置２００は、電源１００および負荷３００と接続される。電源１００は直流電源であり、電力変換装置２００に直流電力を供給する。電源１００は種々のもので構成することが可能であり、例えば、直流系統、太陽電池、蓄電池などで構成することができる。また、電源１００は、交流系統に接続された整流回路、ＡＣ／ＤＣコンバータなどで構成されてもよい。また、電源１００を、直流系統から出力される直流電力を所定の電力に変換するＤＣ／ＤＣコンバータによって構成してもよい。
【００７０】
電力変換装置２００は、電源１００と負荷３００との間に接続された三相のインバータである。電力変換装置２００は、電源１００から供給された直流電力を交流電力に変換し、負荷３００に交流電力を供給する。図１３に示すように、電力変換装置２００は、主変換回路２０１と駆動回路２０２と制御回路２０３を備える。主変換回路２０１は、直流電力を交流電力に変換して出力する。駆動回路２０２は、主変換回路２０１の各スイッチング素子を駆動する駆動信号を出力する。制御回路２０３は、駆動回路２０２を制御する制御信号を駆動回路２０２に出力する。
【００７１】
負荷３００は、電力変換装置２００から供給された交流電力によって駆動される三相の電動機である。なお、負荷３００は特定の用途に限られるものではなく、各種電気機器に搭載された電動機である。負荷３００は例えば、ハイブリッド自動車、電気自動車、鉄道車両、エレベーター、空調機器向けの電動機である。
【００７２】
以下、電力変換装置２００の詳細を説明する。主変換回路２０１は、スイッチング素子と還流ダイオードを備えている。スイッチング素子がスイッチングすることによって、電源１００から供給される直流電力が交流電力に変換され、負荷３００に供給される。主変換回路２０１の具体的な回路構成は種々のものがあるが、本実施の形態４における主変換回路２０１は２レベルの三相フルブリッジ回路である。主変換回路２０１は、６つのスイッチング素子（即ち、図１に示すスイッチング素子Ｓ１からＳ６）と、それぞれのスイッチング素子Ｓ１からＳ６に逆並列接続された６つの還流ダイオード（即ち、図１に示す還流ダイオードＤ１からＤ６）を備える。
【００７３】
６つのスイッチング素子は、２つのスイッチング素子ごとに３つの組（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）に分けられる。各組において、２つのスイッチング素子は直列接続されて上下のアームを構成する。そして、各組の出力端子、即ち、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相のそれぞれの出力端子は負荷３００に接続される。
【００７４】
駆動回路２０２は、主変換回路２０１の各スイッチング素子を駆動する駆動信号を生成し、主変換回路２０１の各スイッチング素子の制御電極に供給する。具体的には、後述する制御回路２０３からの制御信号に従い、スイッチング素子をオン状態にする駆動信号と、スイッチング素子をオフ状態にする駆動信号とを各スイッチング素子の制御電極に供給する。スイッチング素子をオン状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以上の電圧信号（オン信号）であり、スイッチング素子をオフ状態に維持する場合、駆動信号はスイッチング素子の閾値電圧以下の電圧信号（オフ信号）となる。
【００７５】
制御回路２０３は、負荷３００に所望の電圧が供給されるよう主変換回路２０１の各スイッチング素子を制御する。具体的には、負荷３００に供給すべき電力に基づいて主変換回路２０１の各スイッチング素子がオン状態となるべき時間（オン時間）を算出する。例えば、制御回路２０３は、主変換回路２０１が出力すべき電圧に応じて、スイッチング素子のオン時間をＰＷＭ制御によって制御する。そして、各時点においてオン状態となるべきスイッチング素子にはオン信号を、オフ状態となるべきスイッチング素子にはオフ信号が出力されるよう、駆動回路２０２に制御指令（制御信号）を出力する。駆動回路２０２は、この制御信号に従い、各スイッチング素子の制御電極にオン信号又はオフ信号を駆動信号として出力する。
【００７６】
本実施の形態４における電力変換装置２００では、実施の形態１から３のいずれかにおける半導体装置を主変換回路２０１に適用するため、電力変換装置２００の信頼性および絶縁性の低下を抑制することが可能である。また、電力変換装置２００の製造コストの増大も抑制することが可能である。
【００７７】
なお、本実施の形態４では、電力変換装置２００として２レベルの三相インバータを例に説明したが、電力変換装置２００の構成はこれに限られるものではなく、例えば、電力変換装置２００は３レベル又はマルチレベルの電力変換装置であってもよい。また、電力変換装置２００は、単相負荷に電力を供給する単相のインバータであってもよい。また、電力変換装置は、ＤＣ／ＤＣコンバータ、ＡＣ／ＤＣコンバータであってもよい。
【００７８】
また、本実施の形態４の電力変換装置２００と接続される負荷３００は、電動機に限定されるものではなく、例えば、放電加工機、レーザ加工機、誘導加熱調理器、非接触給電システムなどであってもよい。また、電力変換装置２００は、太陽光発電システム、蓄電システムなどのパワーコンディショナーに適用することも可能である。
【００７９】
＜効果＞
本実施の形態４における電力変換装置２００は、入力される電力を変換して出力する主変換回路２０１と、主変換回路２０１を駆動する駆動信号を、主変換回路２０１に出力する駆動回路２０２と、駆動回路２０２を制御する制御信号を、駆動回路２０２に出力する制御回路２０３と、を備え、主変換回路２０１は、実施の形態１から３のいずれかの半導体装置を少なくとも１つ備える。従って、本実施の形態４における電力変換装置２００の信頼性および絶縁性の低下を抑制することが可能である。また、電力変換装置２００の製造コストの増大も抑制することが可能である。
【００８０】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。この発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【符号の説明】
【００８１】
１  絶縁基板、２  樹脂、４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，５  凹状パターン、６  気泡、７  隙間、１１，１２，１３，１４  導電層、２１，２４，２５，２６  電極部材、３１，３２，３３，３４  はんだ、２１１，２１１Ａ  溝、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６  スイッチング素子、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６  還流ダイオード、１００  電源、２００  電力変換装置、２０１  主変換回路、２０２  駆動回路、２０３  制御回路、３００  負荷。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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