(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メタルドームを有するメタルドームスイッチを検査する検査装置であって、
前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する第１の検知部と、
前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する第２の検知部と、
前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差が良品判定の規定値以下の場合であっても、前記電気的オンポジションが前記触覚的オンポジションよりも小さい場合には、前記メタルドーム内に金属粉が混入しており前記メタルドームスイッチは不良品であると判定する判定部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記第１の検知部は、前記メタルドームに加えられる荷重と前記メタルドームの変位との関係を示す荷重−変位曲線の極小点を検知することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第２の検知部は、前記メタルドームの端部に電気的に接続された第１の端子と、前記メタルドームの変形により前記メタルドームの頂部に接触する第２の端子との間に電流が流れたことを検知することを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差を算出するずれ量算出部をさらに備え、
前記ずれ量算出部は、前記差を式（１）により算出することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【数１】
0006719972.tif 000006
ここで、ｄ：前記差、Ｖ：前記メタルドームに荷重を加える押し込み部材の押し込み速度、Ｔ１：基準時刻から前記メタルドームの荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：前記基準時刻から前記メタルドームスイッチにオン電流が流れるまでの時間である。
【請求項５】
前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差を算出するずれ量算出部をさらに備え、
前記ずれ量算出部は、前記差を式（２）により算出することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【数２】
0006719972.tif 000007
ここで、ｄ：前記差、Ｔ１：基準時刻から前記メタルドームの荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：前記基準時刻から前記メタルドームスイッチにオン電流が流れるまでの時間である。  
【請求項６】
前記触覚的オンポジション、前記電気的オンポジション、および前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差のうち少なくともいずれか一つを表示する表示部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
メタルドームを有するメタルドームスイッチの検査方法であって、
第１の検知部が、前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する工程と、
第２の検知部が、前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する工程と、
判定部が、前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差が良品判定の規定値以下の場合であっても、前記電気的オンポジションが前記触覚的オンポジションよりも小さい場合には、前記メタルドーム内に金属粉が混入しており前記メタルドームスイッチは不良品であると判定する工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。
【請求項８】
第１のメタルドームと、前記第１のメタルドームの内側に配置された第２のメタルドームとを有し２段スイッチを構成するメタルドームスイッチを検査する検査装置であって、
前記メタルドームスイッチが第１段階で触覚的にオンしたときの前記第１のメタルドームの変位量を示す第１の触覚的オンポジションと、前記メタルドームスイッチが第２段階で触覚的にオンしたときの前記第２のメタルドームの変位量を示す第２の触覚的オンポジションとを検知する第１の検知部と、
前記メタルドームスイッチが第１段階で電気的にオンしたときの前記第１のメタルドームの変位量を示す第１の電気的オンポジションと、前記メタルドームスイッチが第２段階で電気的にオンしたときの前記第２のメタルドームの変位量を示す第２の電気的オンポジションとを検知する第２の検知部と、
前記第１の触覚的オンポジションと前記第１の電気的オンポジションとの差が良品判定の第１規定値以下の場合であっても、前記第１の電気的オンポジションが前記第１の触覚的オンポジションよりも小さい場合には、前記第１のメタルドーム内に金属粉が混入しており前記メタルドームスイッチは不良品であると判定し、前記第２の触覚的オンポジションと前記第２の電気的オンポジションとの差が良品判定の第２規定値以下の場合であっても、前記第２の電気的オンポジションが前記第２の触覚的オンポジションよりも小さい場合には、前記第２のメタルドーム内に金属粉が混入しており前記メタルドームスイッチは不良品であると判定する判定部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関し、より詳しくは、メタルドームスイッチの良否を検査するための検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、携帯電話やデジタルカメラ等、各種の電子機器において、メタルドームを有するメタルドームスイッチ（Ｍｅｔａｌ  Ｄｏｍｅ  Ｓｗｉｔｃｈ：ＭＤＳ）が使用されている。このメタルドームスイッチは、操作者がメタルドームを押下し、変形させることで、メタルドームの頂部とスイッチ端子が接触してオンするように構成されている。例えば特許文献１には、メタルドームを押圧可能な操作部材を有するメタルドームスイッチが記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、メタルドームスイッチの良否判定を明確に行うことを目的とした検査装置が記載されている。具体的には、荷重−変位曲線から検出された特徴点に基づいて良否判定を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１６４７５号公報
【特許文献２】特開平５−２７３０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、メタルドームスイッチの荷重−変位特性について図１１を参照して説明する。図１１は、メタルドームスイッチの荷重−変位曲線を示している。曲線Ｃ１はスイッチオフからスイッチオンになるときの荷重−変位曲線を示し、曲線Ｃ２はスイッチオンからスイッチオフになるときの荷重−変位曲線を示している。極大点Ｆ１においてメタルドームが変形し始め、極小点Ｆ２において操作者はオンしたと知覚する。
【０００６】
メタルドームスイッチでは、操作者が触覚的にオンしたと感じるポジション（メタルドームの変位量）と、スイッチが実際に電気的にオンするポジション（メタルドームの変位量）との間にずれ（以下、「オンポジションずれ」ともいう。）が無いことが理想的である。
【０００７】
しかしながら、メタルドームスイッチの加工精度や組み付け精度により、オンポジションずれが生じることがある。換言すれば、図１１に示す曲線Ｃ１のように、操作者がスイッチオンしたと知覚する極小点Ｆ２と、メタルドームがスイッチ端子に接触する点Ｆ３とが一致しないことがある。
【０００８】
オンポジションずれが大きい場合、操作者がスイッチをオンしたと感じても、実際にはスイッチがオンしていないという不具合が発生する。このことについて、図１２を参照してより詳しく説明する。
【０００９】
図１２（ａ）は触覚的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図を示し、図１２（ｂ）は電気的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図を示している。メタルドームスイッチ１５０は、メタルドーム１５１と、絶縁基板１５２と、端子１５３，１５４とを有する。端子１５３は、環状の端子であり、メタルドーム１５１の端部に電気的に接続されている。端子１５４は、端子１５３に囲まれた領域に配置された島状の端子である。
【００１０】
図１２（ａ）の場合は、触覚的なオン状態になっているものの、メタルドーム１５１と端子１５４が接触していないため、端子１５３と端子１５４は電気的に接続されていない。すなわち、操作者がスイッチをオンしたと感じても、メタルドームスイッチは電気的にオンしていない。一方、図１２（ｂ）の場合は、触覚的なオン状態においてメタルドーム１５１は端子１５４に接触し、端子１５３と端子１５４は電気的に接続される。
【００１１】
特許文献２の検査方法では、荷重−変位曲線の特徴点に基づいてメタルドームスイッチの良否判定を行うものの、オンポジションずれは考慮されていない。このため、オンポジションずれが大きいメタルドームスイッチを良品と判定するおそれがある。
【００１２】
そこで、本発明は、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことが可能な検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る検査装置は、
メタルドームを有するメタルドームスイッチを検査する検査装置であって、
前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する第１の検知部と、
前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する第２の検知部と、
前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う判定部と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係る検査方法は、
メタルドームを有するメタルドームスイッチの検査方法であって、
第１の検知部が、前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する工程と、
第２の検知部が、前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する工程と、
判定部が、前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う工程と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときのメタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知し、メタルドームスイッチが電気的にオンしたときのメタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知し、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチの良否判定を行う。これにより、本発明によれば、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に係る検査装置１の概略的な構成を示す図である。
【図２】第１の検知部１０の概略的な構成を示す図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）ともに、第２の検知部２０の概略的な構成を示す図である。
【図４】（ａ）は１段スイッチとしてのメタルドームスイッチ５０の平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】メタルドームスイッチ５０を検査する方法を説明するためのフローチャートである。
【図６】メタルドームスイッチ５０（良品）の検査結果の一例を示すグラフである。
【図７】メタルドームスイッチ５０（不良品）の検査結果の一例を示すグラフである。
【図８Ａ】２段スイッチとしてのメタルドームスイッチ６０の平面図である。
【図８Ｂ】（ａ）、（ｂ）および（ｃ）のいずれも、図８ＡのＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図９】メタルドームスイッチ６０を検査する方法を説明するためのフローチャートである。
【図１０】メタルドームスイッチ６０（良品）の検査結果の一例を示すグラフである。
【図１１】メタルドームスイッチの荷重−変位曲線を示すグラフである。
【図１２】（ａ）は触覚的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図であり、（ｂ）は電気的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
＜検査装置＞
本発明の実施形態に係る検査装置１は、メタルドームを有するメタルドームスイッチの良否を検査するための装置である。検査装置１について説明する前に、検査対象であるメタルドームスイッチの一例について図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。なお、メタルドームスイッチの構成は、図４（ａ），（ｂ）に示すものに限られない。
【００１９】
メタルドームスイッチ５０は、１段スイッチであり、メタルドーム５１と、絶縁基板５２と、端子５３，５４と、カバーフィルム５５とを有する。絶縁基板５２は、ポリイミドフィルムやＰＥＴフィルム等の可撓性を有する絶縁フィルムでもよいし、ガラスエポキシ基板等の硬質基板でもよい。端子５３，５４は絶縁基板５２上に設けられている。
【００２０】
図４（ａ）に示すように、端子５３は、環状の端子の一部が開いた形状を有する馬蹄型の端子である。端子５４は、馬蹄型の端子５３に囲まれた領域に配置された島状の端子と、この島状の端子から延在し、端子５３の開口部を通る配線とを有している。馬蹄型の端子５３には、メタルドーム５１の端部が電気的に接続されている。メタルドーム５１が荷重を受けて変形することにより、端子５４がメタルドーム５１の頂部に接触する。これにより、端子５３と端子５４が電気的に接続される。
【００２１】
なお、図４（ａ）に示すように、端子５３，５４の一部は、カバーフィルム５５により被覆されている。これは、端子５３と端子５４が、メタルドーム５１により短絡されるのを防ぐためである。
【００２２】
次に、検査装置１について図１〜図３を参照して詳しく説明する。
【００２３】
検査装置１は、図１に示すように、第１の検知部１０と、第２の検知部２０と、パソコン等の情報処理装置３０とを備えている。まず、第１の検知部１０および第２の検知部２０について説明する。
【００２４】
第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ５０が触覚的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す触覚的オンポジションを検知するように構成されている。具体的には、第１の検知部１０は、図２に示すように、荷重計１１およびリニアゲージ１２を有している。荷重計１１は、押し込み棒（押し込み部材）１１ａでメタルドーム５１に荷重を加えるとともに、加えた荷重を計測する。リニアゲージ１２は、荷重に伴う変形により抵抗値が変化する素子を内蔵しており、この抵抗値によりメタルドーム５１の変位を検出する。なお、リニアゲージ１２による変位の検出精度は、例えば０．００１ｍｍである。
【００２５】
上記のように、第１の検知部１０は、荷重計１１によりメタルドーム５１に荷重を加えつつ、加えた荷重と、メタルドーム５１の変位とを検出する。これにより、第１の検知部１０は、メタルドーム５１に加えられる荷重とメタルドーム５１の変位との関係を示す荷重−変位曲線を取得する。
【００２６】
そして、第１の検知部１０は、荷重−変位曲線の極小点を検知し、検出信号を情報処理装置３０に送信する。この検出信号は、基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間Ｔ１を示す信号である。基準時刻は、例えば、検査を開始した時刻、あるいはメタルドーム５１に荷重を加え始めた時刻である。この時間Ｔ１が触覚的オンポジションとなる。なお、時間Ｔ１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値を触覚的オンポジションとしてもよい。
【００２７】
なお、第１の検知部１０および第２の検知部２０は、情報処理装置３０から検査開始信号を受信した際に、各々が有する時計をリセットして基準時刻を合わせてもよい。あるいは、第１の検知部１０および第２の検知部２０が互いに通信を行って基準時刻を合わせてもよい。あるいは、情報処理装置３０が、検査開始信号を送信してから経過した時間を計測しておき、第１の検知部１０、第２の検知部２０から検出信号を受信するまでの時間Ｔ１，Ｔ２を算出してもよい。
【００２８】
第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ５０が電気的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す電気的オンポジションを検知するように構成されている。具体的には、第２の検知部２０は、図３（ａ）に示すように、バッテリーＢと、抵抗Ｒと、この抵抗Ｒに直列接続された直流電流計２１と、を有する。メタルドームスイッチ５０が電気的にオンすると、直流電流計２１に電流が流れる。第２の検知部２０は、直流電流計２１により、メタルドームスイッチ５０の端子５３と端子５４との間に電流が流れたことを検知し、検出信号を情報処理装置３０に送信する。この検出信号は、前述の基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間Ｔ２を示す信号である。この時間Ｔ２が電気的オンポジションとなる。なお、時間Ｔ２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値を電気的オンポジションとしてもよい。
【００２９】
なお、第２の検知部２０は、直流電圧計を用いて構成してもよい。この場合、図３（ｂ）に示すように、第２の検知部２０は、バッテリーＢと、抵抗Ｒと、この抵抗Ｒに並列接続された直流電圧計２２と、を有する。メタルドームスイッチ５０が電気的にオンすると、直流電圧計２２で電圧が計測される。
【００３０】
情報処理装置３０は、図１に示すように、制御部３１と、表示部３２とを有する。情報処理装置３０は、検査開始の指示を受けると（例えば検査開始ボタンが押下されると）、第１の検知部１０および第２の検知部２０に検査開始信号を送信する。この信号を受信すると、第１の検知部１０および第２の検知部２０は検査を開始する。
【００３１】
制御部３１は、オンポジションずれを算出するずれ量算出部３１１と、メタルドームスイッチの良否判定を行う判定部３１２とを有する。なお、制御部３１の各部は、情報処理装置３０内のプロセッサが所定のプログラムを実行することにより実現されてもよい。
【００３２】
ずれ量算出部３１１は、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差ｄを算出する。具体的には、ずれ量算出部３１１は、式（１）により差ｄを算出する。
【数１】
0006719972.tif 000002
【００３３】
ここで、ｄ：触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ１：基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間である。
【００３４】
なお、ずれ量算出部３１１は、押し込み速度Ｖを用いずにオンポジションずれに相当する値を算出してもよい。例えば、ずれ量算出部３１１は、式（２）により差を算出する。
【数２】
0006719972.tif 000003
【００３５】
判定部３１２は、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。具体的には、判定部３１２は、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差が規定値以下の場合にメタルドームスイッチが良品であると判定する。
【００３６】
すなわち、判定部３１２は、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下の場合にメタルドームスイッチ５０が良品であると判定する。一方、当該差が規定値より大きい場合は、メタルドームスイッチ５０が不良品であると判定する。ここで、規定値は、例えば、予め決められた公差である。
【００３７】
なお、判定部３１２は、電気的オンポジションが触覚的オンポジションよりも小さい場合にメタルドームスイッチ５０が不良品であると判定してもよい。この場合、判定部３１２は、式（１）または式（２）により求められた差が負の値になった場合にメタルドームスイッチ５０が不良品であると判定する。これにより、メタルドーム５１内に金属粉等の異物が混入した不良品を判別することができる。
【００３８】
表示部３２は、検査により得られたデータ（オンポジションずれの数値など）や検査結果を表示する。具体的には、表示部３２は、後述の触覚的オンポジション、電気的オンポジション、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差、およびメタルドームスイッチ５０の良否判定の結果のうち少なくともいずれか一つを表示する。
【００３９】
上記のように、本実施形態に係る検査装置１では、第１の検知部１０が触覚的オンポジションを検知し、第２の検知部２０が電気的オンポジションを検知する。そして、判定部が、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。これにより、本実施形態によれば、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。その結果、オンポジションずれの大きいメタルドームスイッチを不良品として正確に検出することができる。
【００４０】
＜メタルドームスイッチ５０の検査方法＞
次に、メタルドームスイッチ５０の検査方法について図５のフローチャートを参照しつつ説明する。
【００４１】
まず、メタルドームスイッチ５０を検査装置１にセットする（ステップＳ１１）。すなわち、検査装置１の検査台（図示せず）上にメタルドームスイッチ５０を固定する。
【００４２】
次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ５０が触覚的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ１２）。触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間Ｔ１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、触覚的オンポジションは、時間Ｔ１であってもよい。
【００４３】
次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ５０が電気的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す電気的オンポジションを検知する（ステップＳ１３）。電気的オンポジションは、基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間Ｔ２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、電気的オンポジションは、時間Ｔ２であってもよい。
【００４４】
なお、ステップＳ１２とステップＳ１３の順序は、前後してもよい。例えば、メタルドーム内に金属粉等の異物が混入したメタルドームスイッチの場合、電気的オンポジションが触覚的オンポジションよりも先に検出される。
【００４５】
次に、判定部３１２が、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う（ステップＳ１４）。このステップＳ１４は、より詳しくは、以下のフローにより実行される。
【００４６】
まず、ずれ量算出部３１１が、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差を算出する（ステップＳ１４１）。この差は、前述の式（１）または式（２）を用いて算出される。
【００４７】
次に、判定部３１２が、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１４２）。その結果、差が規定値よりも大きい場合（Ｓ１４２；Ｎｏ）、メタルドームスイッチ５０は不良品であると判定する（ステップＳ１４５）。一方、差が規定値以下の場合（Ｓ１４２；Ｙｅｓ）、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１４３）。その結果、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さい場合（Ｓ１４３：Ｙｅｓ）、メタルドームスイッチ５０は良品であると判定する（ステップＳ１４４）。一方、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも大きい場合（Ｓ１４３；Ｎｏ）、メタルドーム５１内に金属粉等の異物が混入している可能性があるため、メタルドームスイッチ５０は不良品であると判定する（ステップＳ１４５）。
【００４８】
なお、ステップＳ１４３は省略してもよい。この場合、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下であるならば、直ちにメタルドームスイッチ５０は良品であると判定する。
【００４９】
図６および図７は、情報処理装置３０の表示部３２に表示された検査結果を示している。図６は、メタルドームスイッチ５０が良品である場合の荷重−変位曲線の一例を示している。図６の例では、触覚的オンポジションＴＯＰ（Ｔａｃｔｉｌｅ  Ｏｎ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎ）と電気的オンポジションＥＯＰ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  Ｏｎ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎ）との差は規定値以下である。すなわち、ＴＯＰ＝０．２０８ｍｍ、ＥＯＰ＝０．２０９ｍｍであり、その差（０．００１ｍｍ）は規定値（０．０４ｍｍ）以下である。
【００５０】
これに対し、図７はメタルドームスイッチ５０が不良品である場合の荷重−変位曲線の一例を示している。図７の例では、電気的オンポジションＥＯＰが触覚的オンポジションＴＯＰよりも小さい。
【００５１】
上記の説明では、メタルドームスイッチが１段スイッチの場合について説明したが、本発明は、メタルドームスイッチが２段スイッチの場合にも適用することが可能である。以下、この場合について説明する。
【００５２】
まず、２段スイッチのメタルドームスイッチの一例について図８Ａおよび図８Ｂを参照して説明する。このようなメタルドームスイッチは、デジタルカメラのシャッターボタン等に使用される。なお、２段スイッチのメタルドームスイッチの構成は、図８Ａおよび図８Ｂに示すものに限られない。
【００５３】
端子６４，６５，６６は絶縁基板６３上に設けられている。図８Ａに示すように、端子６４および端子６５は、環状の端子の一部が開いた形状を有する馬蹄型の端子である。端子６４は、メタルドーム６１の端部に電気的に接続されている。端子６５は、端子６４に囲まれており、メタルドーム６２の端部に電気的に接続されている。端子６６は、馬蹄型の端子６５に囲まれた領域に配置された島状の端子と、この島状の端子から延在し、端子６４および端子６５の開口部を通る配線とを有している。
【００５４】
なお、図８Ａに示すように、端子６４，６５，６６の一部は、カバーフィルム６７により被覆されている。これは、端子６４、端子６５および端子６６がメタルドーム６１により短絡されること、並びに、端子６５および端子６６がメタルドーム６２により短絡されることを防ぐためである。
【００５５】
図８Ｂ（ａ）は、オフ状態のメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。図８Ｂ（ｂ）は、第１段階のオン状態におけるメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。図８Ｂ（ｃ）は、第２段階のオン状態におけるメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。
【００５６】
メタルドームスイッチ６０は、メタルドーム６１と、メタルドーム６２と、絶縁基板６３と、端子６４，６５，６６とを有する。絶縁基板６３は、可撓性を有する絶縁フィルムでもよいし、硬質基板でもよい。
【００５７】
メタルドーム６１に荷重を加えていくと、メタルドーム６１が変形することにより、図８Ｂ（ｂ）に示すように、メタルドーム６１はメタルドーム６２の頂部に接触する。これにより、端子６４と端子６５が電気的に接続される。さらにメタルドーム６１に荷重を加えると、図８Ｂ（ｃ）に示すように、メタルドーム６２がメタルドーム６１とともに変形して端子６６に接触する。これにより、端子６４、端子６５および端子６６が互いに電気的に接続される。
【００５８】
次に、メタルドームスイッチ６０を検査する検査装置１について説明する。なお、検査装置１の基本構成はメタルドームスイッチ５０を検査する場合と同じである。すなわち、同じ検査装置１により、メタルドームスイッチ５０およびメタルドームスイッチ６０のいずれのタイプのスイッチも検査することが可能である。
【００５９】
第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ６０が第１段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の触覚的オンポジションを検知する。さらに、第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ６０が第２段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の触覚的オンポジションを検知する。例えば、第１の触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム６１の荷重が最初に極小になるまでの時間であり、第２の触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム６１の荷重が２番目に極小になるまでの時間である。
【００６０】
第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ６０が第１段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の電気的オンポジションを検知する。さらに、第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ６０が第２段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の電気的オンポジションを検知する。例えば、第１の電気的オンポジションは、基準時刻から端子６４および端子６５間に電流が流れるまでの時間であり、第２の電気的オンポジションは、基準時刻から端子６４および端子６６間（または、端子６５および端子６６間）に電流が流れるまでの時間である。
【００６１】
ずれ量算出部３１１は、第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの差ｄ１、および第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの差ｄ２を算出する。例えば、ずれ量算出部３１１は、式（３）および式（４）によりこれらの差を算出する。
【数３】
0006719972.tif 000004
【００６２】
ここで、ｄ１：第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ２１：基準時刻から端子６４および端子６５間に電流が流れるまでの時間、Ｔ１１：基準時刻からメタルドーム６１の荷重が最初に極小になるまでの時間である。
【数４】
0006719972.tif 000005
【００６３】
ここで、ｄ２：第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ２２：基準時刻から端子６４および端子６６間（または、端子６５および端子６６間）に電流が流れるまでの時間、Ｔ１２：基準時刻からメタルドーム６１の荷重が２番目に極小になるまでの時間である。
【００６４】
判定部３１２は、第１および第２の触覚的オンポジションと、第１および第２の電気的オンポジションとに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。具体的には、判定部３１２は、差ｄ１が第１の規定値以下であり且つ差ｄ２が第２の規定値以下である場合にメタルドームスイッチ６０が良品であると判定する。なお、第１の規定値と第２の規定値は異なる値であってもよい。
【００６５】
上記のように、本実施形態に係る検査装置１によれば、２段スイッチのメタルドームスイッチについても、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。その結果、オンポジションずれの大きい２段スイッチタイプのメタルドームスイッチを不良品として正確に判定することができる。
【００６６】
＜メタルドームスイッチ６０の検査方法＞
次に、メタルドームスイッチ６０の検査方法について図９のフローチャートを参照しつつ説明する。
【００６７】
まず、メタルドームスイッチ６０を検査装置１にセットする（ステップＳ２１）。すなわち、検査装置１の検査台（図示せず）上にメタルドームスイッチ６０を固定する。
【００６８】
次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ６０が第１段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ２２）。第１の触覚的オンポジションは、前述の時間Ｔ１１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第１の触覚的オンポジションは、時間Ｔ１１であってもよい。
【００６９】
次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ６０が第１段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の電気的オンポジションを検知する（ステップＳ２３）。第１の電気的オンポジションは、前述の時間Ｔ２１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第１の電気的オンポジションは、時間Ｔ２１であってもよい。
【００７０】
次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ６０が第２段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ２４）。第２の触覚的オンポジションは、前述の時間Ｔ１２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第２の触覚的オンポジションは、時間Ｔ１２であってもよい。
【００７１】
次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ６０が第２段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の電気的オンポジションを検知する（ステップＳ２５）。第２の電気的オンポジションは、前述の時間Ｔ２２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第２の電気的オンポジションは、時間Ｔ２２であってもよい。
【００７２】
なお、ステップＳ２２とステップＳ２３の順序は前後してもよい。同様に、ステップＳ２４とステップＳ２５の順序は前後してもよい。
【００７３】
次に、判定部３１２が、第１および第２の触覚的オンポジションと、第１および第２の電気的オンポジションとに基づいてメタルドームスイッチ６０の良否判定を行う（ステップＳ２６）。このステップＳ２６は、より詳しくは、以下のフローにより実行される。
【００７４】
まず、ずれ量算出部３１１が、第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの第１の差、および、第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの第２の差を算出する（ステップＳ２６１）。この差は、例えば、前述の式（３）および式（４）を用いて算出される。
【００７５】
次に、判定部３１２が、第１の差が第１の規定値以下であり且つ第２の差が第２の規定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２６２）。その結果、第１の差が第１の規定値以下であり且つ第２の差が第２の規定値以下である場合（Ｓ２６２；Ｙｅｓ）、メタルドームスイッチ６０は良品であると判定する（ステップＳ２６３）。一方、第１の差が第１の規定値より大きい、または第２の差が第２の規定値よりも大きい場合（Ｓ２６２；Ｎｏ）、メタルドームスイッチ６０は不良品であると判定する（ステップＳ２６４）。
【００７６】
なお、図５のフローチャート（ステップＳ１４３）で説明したように、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さいか否かを判定し、良否判定を行ってもよい。より詳しくは、第１の触覚的オンポジションが第１の電気的オンポジションよりも大きい場合、または、第２の触覚的オンポジションが第２の電気的オンポジションよりも大きい場合に、メタルドームスイッチ６０は不良品であると判定してもよい。
【００７７】
図１０は、メタルドームスイッチ６０の荷重−変位曲線の一例を示している。この例では、第１の差（＝ＴＯＰ１−ＥＯＰ１）および第２の差（＝ＴＯＰ２−ＥＯＰ２）のいずれも規定値（０．０４ｍｍ）以下であり、メタルドームスイッチ６０は良品と判定された。
【００７８】
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した実施形態に限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容及びその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更及び部分的削除が可能である。
【符号の説明】
【００７９】
１  検査装置
１０  第１の検知部
１１  荷重計
１１ａ  押し込み棒
１２  リニアゲージ
２０  第２の検知部
２１  直流電流計
２２  直流電圧計
３０  情報処理装置
３１  制御部
３１１  ずれ量算出部
３１２  判定部
３２  表示部
５０  メタルドームスイッチ（１段ＳＷ）
５１  メタルドーム
５２  絶縁基板
５３，５４  端子
５５  カバーフィルム
６０  メタルドームスイッチ（２段ＳＷ）
６１，６２  メタルドーム
６３  絶縁基板
６４，６５，６６  端子
６７  カバーフィルム
１５０  メタルドームスイッチ（１段ＳＷ）
１５１  メタルドーム
１５２  絶縁基板
１５３，１５４  端子
Ｂ  バッテリー
Ｃ１，Ｃ２  荷重−変位曲線
Ｆ１  極大点
Ｆ２  極小点
Ｆ３  点
Ｒ  抵抗
ＴＯＰ  触覚的オンポジション
ＥＯＰ  電気的オンポジション
Ｔ１，Ｔ２  時間
【図１】
0006719972.tif 000008
【図２】
0006719972.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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