(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行する走行部と、
前記走行部に支持される本体部と、
前記走行部及び前記本体部の少なくとも一方に配置され、少なくも走行方向の前側に設けられていると共に上から見て前記走行部及び前記本体部よりも外側に位置しており、障害物との接触を検知する接触検知部と、
前記接触検知部により前記障害物との接触が検知された場合に、前記走行部による走行を停止させる制御部と、を備えた走行台車に取り付けられる補助具であって、
前記走行台車によって他の走行台車を押すときに、前記上から見て、前記接触検知部よりも外側に位置し、前記他の走行台車に接触して前記走行台車による押圧力を前記他の走行台車に伝達する接触部を備え、
前記接触部は、前記他の走行台車に接触したときに、前記接触検知部を前記他の走行台車と接触させない、補助具。
【請求項２】
前記補助具は、前記走行部又は前記本体部に着脱可能に設けられている、請求項１に記載の補助具。
【請求項３】
前記接触部は、前記接触検知部よりも内側に位置する第１状態と、前記接触検知部よりも外側に位置する第２状態とに切り替え可能に設けられている、請求項１に記載の補助具。
【請求項４】
軌道に沿って走行する走行部と、
前記走行部に支持される本体部と、
前記走行部及び前記本体部の少なくとも一方に配置され、少なくも走行方向の前側に設けられていると共に上から見て前記走行部及び前記本体部よりも外側に位置しており、障害物との接触を検知する接触検知部と、
前記接触検知部により前記障害物との接触が検知された場合に、前記走行部による走行を停止させる制御部と、
前記接触検知部よりも内側に位置する第１状態と、前記接触検知部よりも外側に位置する第２状態とに切り替え可能に設けられている接触部を有する補助具と、を備える、走行台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、補助具及び走行台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
天井に敷設された軌道を走行する天井搬送車が給電系や駆動系のトラブル等により故障して自走困難な状態の場合には、他の天井搬送車の障害とならないように、天井搬送車を移動させて軌道から天井搬送車を離脱させる必要がある。例えば、特許文献１には、棒状の押し棒本体の上端部に押圧部材が取り付けられた押し棒を用いて天井搬送車を押すことにより、天井搬送車を移動させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許４４６５８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
天井搬送車が走行するクリーンルーム等においては、床に処理装置や棚等が配置されている。そのため、例えば処理装置等の上方において天井搬送車が停止した場合、処理装置等を避けながら天井搬送車を地上から手動で移動させることは困難であり、作業性が良くなかった。そこで、自走可能な他の天井搬送車によって故障した天井搬送車を押すことで移動させることが考えられている。しかしながら、天井搬送車は、物体等との接触を検出するためのテープスイッチ等からなる接触センサを備えており、接触センサにより物体との接触が検出されると走行が停止する。
【０００５】
そこで、接触センサの動作を停止させて、他の天井搬送車により停止した天井搬送車を押すことが考えられる。しかしながら、天井搬送車を押す際に接触センサには荷重が加わり続けることとなり、接触センサが損傷する等して使用できなくなるおそれがある。そのため、従来では、他の天井搬送車により停止した天井搬送車を移動させることは困難であった。また、停止した天井搬送車を押すことを目的として、接触センサを備えない天井搬送車を常時準備しておくことは実用的ではない。
【０００６】
本発明は、軌道上で停止している他の走行台車を効率良く移動させることができる補助具及び走行台車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る補助具は、軌道に沿って走行する走行部と、走行部に支持される本体部と、走行部及び本体部の少なくとも一方に配置され、少なくも走行方向の前側に設けられていると共に上から見て走行部及び本体部よりも外側に位置しており、障害物との接触を検知する接触検知部と、接触検知部により障害物との接触が検知された場合に、走行部による走行を停止させる制御部と、を備えた走行台車に取り付けられる補助具であって、走行台車によって他の走行台車を押すときに、上から見て、接触検知部よりも外側に位置する接触部を備える。
【０００８】
この補助具は、走行台車によって他の走行台車を押すときに、上から見て、接触検知部よりも外側に位置する接触部を備えている。これにより、補助具の接触部が他の走行台車と接触するため、接触検知部は作動しない。したがって、他の走行台車に接触した状態であっても、走行台車を走行させることができる。その結果、自走可能な走行台車によって、停止している他の走行台車を押して移動させることができる。そのため、軌道上で停止している他の走行台車を効率良く移動させることができる。
【０００９】
一実施形態においては、補助具は、走行部又は本体部に着脱可能に設けられていてもよい。これにより、他の走行台車を押す必要がない通常時には、補助具を取り外すことができる。
【００１０】
一実施形態においては、接触部は、接触検知部よりも内側に位置する第１状態と、接触検知部よりも外側に位置する第２状態とに切り替え可能に設けられていてもよい。これにより、走行台車によって他の走行台車を押す場合には接触部を第２状態とすることにより、接触部が他の走行台車と接触するため、接触検知部は作動しない。したがって、他の走行台車に接触した状態であっても、走行台車を走行させることができる。また、この構成では、接触部は、第１状態においては接触検知部よりも内側に位置しているため、通常時においても、補助具を取り付けたままとすることができる。したがって、補助具を走行台車に取り付ける手間が省けるため、作業性の向上を図れる。
【００１１】
本発明に係る走行台車は、軌道に沿って走行する走行部と、走行部に支持される本体部と、走行部及び本体部の少なくとも一方に配置され、少なくも走行方向の前側に設けられていると共に上から見て走行部及び本体部よりも外側に位置しており、障害物との接触を検知する接触検知部と、接触検知部により障害物との接触が検知された場合に、行部による走行を停止させる制御部と、接触検知部よりも内側に位置する第１状態と、接触検知部よりも外側に位置する第２状態とに移動可能に設けられている接触部を有する補助具と、を備える。
【００１２】
この走行台車は、補助具を備える。補助具は、接触検知部よりも内側に位置する第１状態と、接触検知部よりも外側に位置する第２状態とに切り替え可能に設けられている接触部を有する。これにより、走行台車によって他の走行台車を押す場合には接触部を第２状態とすることにより、接触部が他の走行台車と接触するため、接触検知部は作動しない。したがって、他の走行台車に接触した状態であっても、走行台車を走行させることができる。その結果、自走可能な走行台車によって、停止している他の走行台車を押して移動させることができる。そのため、軌道上で停止している他の走行台車を効率良く移動させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、軌道上で停止している他の走行台車を効率良く移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る天井搬送車の側面図である。
【図２】天井搬送車の本体部を上から見た図である。
【図３】天井搬送車の構成を示すブロック図である。
【図４】補助具が取り付けられた本体部を上から見た図である。
【図５】補助具が取り付けられた本体部を前から見た図である。
【図６】図４におけるＶＩ−ＶＩ線に沿った断面構成を示す図である。
【図７】第１実施形態の変形例に係る補助具を示す側面図である。
【図８】第２実施形態に係る天井搬送車の側面図である。
【図９】図８に示す天井搬送車の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】
［第１実施形態］
図１に示される天井搬送車（走行台車）１は、被搬送物Ａを走行レール（軌道）Ｒに沿って搬送する。走行レールＲは、半導体デバイスを製造するためのクリーンルーム等の天井に支柱Ｃを介して設置されたものである。また、被搬送物Ａは、例えば、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））である。被搬送物Ａの上面には、天井搬送車１によって保持されるフランジ部Ｆが設けられている。
【００１７】
図１及び図２に示されるように、天井搬送車１は、走行部３と、本体部５と、昇降機構７と、接触センサ（接触検知部）９と、制御部１１（図３参照）と、を備えている。以下の説明においては、図１に示す走行方向Ｄにおいて、図示右側を「前」、図示左側を「後」とする。
【００１８】
走行部３は、走行レールＲを走行する。走行部３は、走行レールＲの内面に接触する図示しない駆動輪及びガイド輪を有している。駆動輪は、モータ４（図３参照）により駆動される。走行部３は、走行レールＲ内に位置する電磁コイルユニットを有しており、これにより、走行レールＲ内に敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受ける。
【００１９】
本体部５は、走行部３に吊り下げられている（走行部３に支持されている）。本体部５は、被搬送物Ａを保持して収容する。本体部５は、走行部３が取り付けられたベースフレーム５ａと、走行方向Ｄにおけるベースフレーム５ａの前側及び後側のそれぞれに設けられ、下方に延在するフロントフレーム５ｂ及びリアフレーム５ｃと、を有している。被搬送物Ａは、フロントフレーム５ｂとリアフレーム５ｃとの間に収容される。本体部５は、図２に示されるように、上から見て、前側及び後側のそれぞれが略台形状を呈している。すなわち、ベースフレーム５ａの前側及び後側には、端面６ａ及び斜面６ｂ，６ｃが含まれている。このように、天井搬送車１の前後両側を平面視において略台形状を呈するようにしているため、略矩形状を呈している場合と比較して、走行レールＲのカーブ区間を通過する際における側方への突出量を小さくすることができ、旋回半径を小さくすることができる。
【００２０】
また、ベースフレーム５ａには、上方に開口する孔部５ｄが設けられている。孔部５ｄは、ベースフレーム５ａの前部及び後部のそれぞれに設けられている。孔部５ｄは、ベースフレーム５ａの幅方向の略中央部に配置されている。
【００２１】
昇降機構７は、ベースフレーム５ａに取り付けられている。昇降機構７は、昇降部１３及び保持部１５を有している。保持部１５は、フランジ部Ｆを把持することで、被搬送物Ａを保持する。また、昇降部１３は、被搬送物Ａを収容する所定の位置Ｐに対して保持部１５を昇降させる。より具体的には、昇降部１３は、複数本のベルト１７を同期して繰り出すことで、ベルト１７の端部に取り付けられた保持部１５を位置Ｐから下降させる。一方、昇降部１３は、複数本のベルト１７を同期して巻き取ることで、ベルト１７の端部に取り付けられた保持部１５を位置Ｐまで上昇させる。なお、ベースフレーム５ａには、走行方向Ｄに対して直交する横方向に昇降部１３を移動させる横送り部や、水平面内において昇降部１３を回動させるθドライブ等が設けられる場合がある。
【００２２】
接触センサ９は、天井搬送車１の障害物との接触を検知する。障害物には、他の天井搬送車も含まれる。接触センサ９は、天井搬送車１において、障害物と最も先に接触する位置に設けられている。本実施形態では、接触センサ９は、図４〜図６に示されているように、ベースフレーム５ａに設けられている。接触センサ９は、ベースフレーム５ａにおいて、少なくとも走行方向Ｄの前側に配置されている。
【００２３】
接触センサ９は、例えば、テープスイッチである。テープスイッチは、センサがゴム等の樹脂で被覆されてテープ状に形成されている。本実施形態では、接触センサ９は、ベースフレーム５ａの全周に亘って環状に設けられている。接触センサ９は、障害物に接触して押圧されたときにＯＮとなるスイッチである。接触センサ９は、ＯＮとなると、接触信号を制御部１１に出力する。
【００２４】
制御部１１は、天井搬送車１の各部の動作を制御する。制御部１１は、ＣＰＵ（CentralProcessing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、通信機器等を含んで構成されている。制御部１１は、接触センサ９から出力された接触信号を受け取ると、モータ４の作動を停止させる。これにより、走行部３の走行が停止し、天井搬送車１が停止する。
【００２５】
上記構成を有する天井搬送車１が備えられる搬送システムでは、何らかの不具合（駆動系のトラブル等）により、走行レールＲ上において、他の天井搬送車の走行が停止することがある。他の天井搬送車が走行不能となって停止した場合、天井搬送車１によって他の天井搬送車を後側から押すことにより、走行レールＲから他の天井搬送車を離脱させることが求められている。しかしながら、天井搬送車１は、上述のように、障害物（他の天井搬送車）と接触すると、自機の走行が停止する。
【００２６】
そこで、他の天井搬送車を押す場合には、天井搬送車１には、図４〜図６に示されるように、補助具２０が取り付けられる。補助具２０は、天井搬送車１によって他の天井搬送車を押すときに、接触センサ９と他の天井搬送車との接触を防止して、他の天井搬送車との接触を可能とする器具である。すなわち、他の天井搬送車を押すときには、天井搬送車１と他の天井搬送車とは直接接触せず、天井搬送車１による押圧力は、この補助具２０を介して他の天井搬送車に伝達される。
【００２７】
補助具２０は、他の天井搬送車を押す方向に応じて、本体部５の前側又は後側の少なくとも一方に配置される。補助具２０は、取付部２２と、支持部２４と、接触部２６と、を有している。なお、図４〜図６では、フロントフレーム５ｂ側を示しているが、リアフレーム５ｃも同様の構成を有している。補助具２０の天井搬送車１への取り付けは、例えば、作業者が床側から棒状の長尺部材を用いて行うことが可能である。
【００２８】
取付部２２は、本体部５に取り付けられる。取付部２２は、本体部５のベースフレーム５ａに設けられた孔部５ｄに係合する。取付部２２は、孔部５ｄに挿入されることで、孔部５ｄと係合する。
【００２９】
支持部２４は、取付部２２と接触部２６とを連結し、接触部２６を支持する。支持部２４は、例えば、板状の部材である。支持部２４は、取付部２２に固定され、天井搬送車１に取り付けられたときに前後方向に延在する第１部分２４ａと、第１部分２４ａの端部から下方に延在する第２部分２４ｂと、を有している。第２部分２４ｂは、接触部２６に固定されている。具体的には、第２部分２４ｂは、後述する第１接触部２８と第２接触部２９とに挟持されている。
【００３０】
接触部２６は、第１接触部２８と、第２接触部２９と、を有している。第１接触部２８及び第２接触部２９は、例えば、ウレタン等の弾性部材である。接触部２６は、天井搬送車１に補助具２０が取り付けられたとき、すなわち天井搬送車１よって他の走行台車を押すときに、上から見て、接触センサ９よりも外側に位置する。
【００３１】
第１接触部２８は、本体部５の前側又は後側に位置する。第１接触部２８は、本体部５に取り付けられたときに、本体部５の端面６ａ及び斜面６ｂ，６ｃに沿って配置される。すなわち、第１接触部２８において本体部５と接触する面は、略台形形状を呈している。第１接触部２８の外面は、本体部５に取り付けられたときに、上から見て、本体部５を含めて全体として矩形状を呈する形状とされている。具体的には、第１接触部２８は、本体部５の幅方向に沿って延在する端面２８ａと、端面２８ａの両端部から本体部５の前後方向に沿って端面２８ａに直交して延在する側面２８ｂ，２８ｃと、を有している。
【００３２】
第２接触部２９は、第１接触部２８の端面２８ａに配置されている。第２接触部２９は、第１接触部２８の略中央部に配置されている。第２接触部２９は、第１接触部２８の端面２８ａに接合されている。第１接触部２８と第２接触部２９との接合は、例えば、接着剤を用いてもよいし、機械的な手段（連結具等）を用いてもよい。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態に係る補助具２０は、天井搬送車１によって他の天井搬送車を押すときに、上から見て、接触センサ９よりも外側に位置する接触部２６を備えている。これにより、補助具２０の接触部２６が他の天井搬送車と接触するため、接触センサ９は作動しない。したがって、他の天井搬送車に接触した状態であっても、天井搬送車１を走行させることができる。その結果、自走可能な天井搬送車１によって、停止している他の天井搬送車を押して移動させることができる。そのため、軌道上で停止している他の天井搬送車を効率良く移動させることができる。
【００３４】
本実施形態では、補助具２０は、本体部５に着脱可能に設けられている。詳細には、補助具２０は、取付部２２を本体部５の孔部５ｄに挿入することにより取付部２２と孔部５ｄとが係合し、本体部５に取り付けられる。言い換えれば、補助具２０は、孔部５ｄから取付部２２を抜き出すことにより、本体部５から取り外すことができる。これにより、他天井搬送車を押す必要がない通常時に、補助具２０が搬送作業に支障をきたすことを抑制できる。
【００３５】
第１実施形態では、補助具２０を取付部２２によって本体部５に取り付ける形態を一例に説明したが、補助具２０を本体部５に取り付ける形態はこれに限定されない。補助具２０を本体部５に取り付ける手段は、他の手段であってもよい。
【００３６】
第１実施形態では、接触部２６が第１接触部２８と第２接触部２９とを有する形態を一例に説明したが、接触部の構成はこれに限定されない。例えば、接触部は、上記第１接触部２８と第２接触部２９とが一体に成形されていてもよい。また、接触部２６の形状は、適宜設定されればよい。接触部は、天井搬送車１によって他の走行台車を押すときに、上から見て、接触センサ９よりも外側に位置する構成であればよい。
【００３７】
第１実施形態では、補助具２０が本体部５に取り付けられたときに、接触部２６が接触センサ９よりも外側に位置する形態を一例に説明したが、補助具の構成はこれに限定されない。例えば、補助具は、接触センサ９よりも内側に位置する第１状態と、接触センサ９よりも外側に位置する第２状態とに切り替え可能に設けられている接触部を有する形態であってもよい。
【００３８】
例えば、図７に示されるように、補助具２０Ａは、接触部２６Ａを備えている。接触部２６Ａは、本体部５の端面６ａに設けられている。接触部２６Ａは、軸２６Ａａを中心に揺動可能に設けられている。接触部２６Ａは、板状であってもよいし、棒状であってもよい。接触部２６Ａは、接触センサ９よりも内側に位置する第１状態Ｐ１と、接触センサ９よりも外側に位置する第２状態Ｐ２とに揺動可能（切り替え可能）に設けられている。接触部２６Ａは、第２状態では、第１状態Ｐ１に対して略９０°揺動する。接触部２６Ａは、第２状態では、上から見て、その先端が接触センサ９よりも外側に位置する。接触部２６Ａの第１状態Ｐ１と第２状態Ｐ２との切り替えは、例えば、作業者が床側から棒状の長尺部材を用いて行うことが可能である。
【００３９】
これにより、天井搬送車１によって他の走行台車を押す場合には補助具２０Ａを第２状態Ｐ２とすることにより、補助具２０Ａが他の天井搬送車と接触するため、接触センサ９は作動しない。したがって、他の天井搬送車に接触した状態であっても、天井搬送車１を走行させることができる。また、この構成では、接触部２６Ａは、第１状態Ｐ１においては接触センサ９よりも内側に位置しているため、通常時においても、補助具２０Ａを取り付けたままとすることができる。したがって、補助具２０Ａを天井搬送車１に取り付ける手間が省けるため、作業性の向上を図れる。
【００４０】
［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図８に示されるように、第２実施形態に係る天井搬送車１Ａは、走行部３と、本体部５と、昇降機構７と、接触センサ９と、制御部１１と、補助具３０と、を備えている。補助具３０は、天井搬送車１Ａの構成の一部として備えられている。
【００４１】
補助具３０は、フロントフレーム５ｂ及びリアフレーム５ｃのそれぞれに設けられている。以下では、フロントフレーム５ｂに設けられている補助具３０を一例に説明する。なお、リアフレーム５ｃには、補助具３０が必ずしも設置されなくてもよい。
【００４２】
補助具３０は、接触部３２と、駆動部３４（図８参照）と、を備えている。接触部３２は、例えば、板状の部材である。接触部３２は、フロントフレーム５ｂに揺動可能に設けられている。接触部３２は、軸３２ａを中心に揺動する。軸３２ａは、本体部５の幅方向（図２における上下方向）に沿って延在している。
【００４３】
接触部３２は、駆動部３４（図９参照）の作動によって揺動する。駆動部３４は、例えば、モータ、シリンダ等である。駆動部３４は、制御部１１よって作動が制御される。制御部１１による駆動部３４の制御は、例えば、地上側から、無線又は有線接続したリモートコントローラ（図示せず）を操作することによって行われる。なお、駆動部３４の制御は、例えば本体部５に設けられたボタンの操作によって行われてもよい。
【００４４】
接触部３２は、フロントフレーム５ｂに収容される第１状態Ｐ１と、フロントフレーム５ｂから突出する第２状態Ｐ２と、の間の揺動範囲内で揺動する。第１状態Ｐ１では、接触部３２は、例えば、フロントフレーム５ｂと面一となるように、フロントフレーム５ｂに収容される。第１状態Ｐ１では、接触部３２は、接触センサ９よりも内側に位置する。第２状態Ｐ２では、接触部３２は、第１状態Ｐ１に対して略９０°揺動し、フロントフレーム５ｂに略直交する方向に延在する。第２状態Ｐ２では、接触部３２は、その先端が接触センサ９よりも外側に位置する。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態に係る天井搬送車１Ａでは、他の天井搬送車を押して移動させるときには、駆動部３４を作動させて、接触部３２を第２状態Ｐ２にさせる。これにより、天井搬送車１Ａによって他の天井搬送車を押す場合には接触部３２を第２状態Ｐ２とすることにより、接触部３２が他の走行台車と接触するため、接触センサ９は作動しない。したがって、他の天井搬送車に接触した状態であっても、天井搬送車１を走行させることができる。その結果、自走可能な天井搬送車１によって、停止している他の天井搬送車を押して移動させることができる。そのため、軌道上で停止している他の天井搬送車を効率良く移動させることができる。
【００４６】
本実施形態では、接触部３２を揺動させる駆動部３４の制御は、地上側から、リモートコントローラを操作することにより行われる。これにより、接触部３２を使用するに際して、手動で接触部３２を揺動させる必要がないため、天井側に存在する各種障害物の影響を受け難い。そのため、作業の効率化を図ることができる。
【００４７】
第２実施形態では、補助具３０が揺動する形態を一例に説明したが、補助具３０の構成はこれに限定されない。例えば、補助具は、接触センサ９よりも内側に位置する第１状態と、接触センサ９よりも外側に位置する第２状態とに進退する構成であってもよい。また、補助具は、高さ方向に沿って延在する軸を中心に揺動する構成であってもよい。
【００４８】
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、走行台車として天井搬送車１を一例に説明したが、走行台車は他の形態であってもよい。例えば、走行台車は、床に敷設されたレール上を走行する形態であってもよい。
【００４９】
上記実施形態では、接触センサ９としてテープセンサを一例に説明したが、接触センサはこれに限定されない。接触センサは、接触を検知するものであれば如何なる形態であってもよい。
【００５０】
上記実施形態では、接触センサ９が本体部５に設けられる形態を一例に説明したが、接触センサ９は、走行部３に設けられていてもよい。
【００５１】
上記実施形態では、被搬送物Ａを収容して搬送する形態を一例に説明したが、走行台車は、被搬送物Ａを搬送する形態でなくてもよい。また、被搬送物Ａは、ＦＯＵＰに限定されない。
【符号の説明】
【００５２】
１…天井搬送車、３…走行部、５…本体部、９…接触センサ（接触検知部）、１１…制御部、２０，２０Ａ，３０…補助具、２６，３２…接触部、Ｄ…走行方向、Ｒ…走行レール（軌道）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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