(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
前記ハウジングに内嵌固定される外側ナットと、
前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットに対して相対回転不能、且つ軸方向移動自在に配置されたねじ軸と、
前記ねじ軸及び前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットと前記ねじ軸との間に配置された中間ナットと、
前記中間ナットを回転駆動する駆動装置と、
前記中間ナットに対して相対的に軸方向移動可能に係合して、前記駆動装置の回転力を前記中間ナットに伝達する回転伝達部と、
を備え、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか一方には、一対のボールねじ溝間に複数のボールが転動自在に配設されたボールねじ機構が設けられ、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか他方には、互いに回転摺動する滑りねじ溝を有する滑りねじ機構が設けられ、
前記駆動装置は、軸方向において前記外側ナットと重なり、且つ前記外側ナットの径方向外方に配設されることを特徴とする直線駆動装置。
【請求項２】
前記ボールねじ機構のリードは、前記滑りねじ機構のリードよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の直線駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線駆動装置に関し、より詳細には、微小位置決めや大きな推力の発生、又は、高速位置決めが可能な直線駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータを利用して回転運動を直線運動に変換する直線駆動装置としては、ねじ機構を用いるものが多数提案されている。ねじ機構には、滑りねじと転がりねじがあり、滑りねじとしては、一般的な三角ねじや直線駆動に広く用いられている台形ねじがある。また、転がりねじとしては、ボールねじが広く用いられている。これらのねじ式の直線駆動装置において、モータとねじ機構とを減速機構を介さずに連結すると、1リード/1回転の直線駆動が可能となる。この直線駆動装置で大きな推力を発生させようとすると、トルク容量の大きなモータを用いるか、モータとねじ機構との間に、歯車やプーリーなどを用いた減速機構を設ける、或いはねじ機構のリードを小さくする必要がある。
【０００３】
ここで、回転運動と直線運動の変換効率に優れるボールねじを用いる場合、リードを小さくするためには、転がりねじの構造上の制約からボールの大きさはリードよりも小さくする必要である。このため、ボール径が小さくなって負荷容量不足となる問題がある。また、高速動作を行わせようとした場合、リードを大きくする必要があるが、軸径を変えずにリードを大きくすると、ねじ溝の軸方向に対する傾き角度が大きくなり過ぎ、円滑な動作が得られなくなる虞がある。
【０００４】
これらの問題を解決するため、仕様の異なる２つのボールねじ機構を同軸上に配置した直線駆動装置が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。特許文献１の直線駆動装置は、２つのボールねじ機構を同軸、且つ直列に配置して差動ボールねじ機構を構成している。この直線駆動装置によれば、２つのボールねじ部のねじ溝の方向を互いに同方向にすると、２つのボールねじ部のリード差が見かけ上のリード（１回転当たりに進む距離）となるため、ボール径に対する制約が無くなり、ボール径が大きく、負荷容量の高いボールねじを使用することができる。その結果、ボールねじを用いて大きな推力の発生、或いは微小位置決めが可能な直線駆動装置が得られる。また、２つのねじ部のねじ溝の方向を互いに逆方向にすると、２つのボールねじ部のリード和が見かけ上のリードとなり、高速作動が可能となる。
【０００５】
特許文献２の直線駆動装置は、仕様の異なる２つのボールねじ機構を同軸上、且つ径方向に二重に配置して差動ボールねじ機構を構成している。この直線駆動装置によれば、軸方向寸法を低減しながら、微小位置決めや大きな推力の発生、又は、高速位置決めが実現可能な直線駆動装置が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２１０１９号公報
【特許文献２】特開２００４−３０１１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の直線駆動装置によると、ねじ部が同軸、且つ直列に配置されるので、軸方向寸法が大きくなり、自動車などのように取り付けスペースが限られた用途に用いることは困難である。また、特許文献２の直線駆動装置によると、ボールねじは回転運動と直線運動の変換効率に優れる一方で、ボールが転がり接触するねじ溝の仕上げ加工やボールの循環構造にかかる費用が嵩むという問題があり、改善の余地があった。
【０００８】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、差動ねじ機構を用いることで、軸方向寸法を低減しながら、微小位置決めや大きな推力の発生、又は、高速位置決めのどちらかを実現可能な、低コストの直線駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  ハウジングと、
前記ハウジングに内嵌固定される外側ナットと、
前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットに対して相対回転不能、且つ軸方向移動自在に配置されたねじ軸と、
前記ねじ軸及び前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットと前記ねじ軸との間に配置された中間ナットと、
前記中間ナットを回転駆動する駆動装置と、
前記中間ナットに対して相対的に軸方向移動可能に係合して、前記駆動装置の回転力を前記中間ナットに伝達する回転伝達部と、
を備え、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか一方には、一対のボールねじ溝間に複数のボールが転動自在に配設されたボールねじ機構が設けられ、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか他方には、互いに回転摺動する滑りねじ溝を有する滑りねじ機構が設けられることを特徴とする直線駆動装置。
（２）  前記ボールねじ機構のリードは、前記滑りねじ機構のリードよりも大きいことを特徴とする（１）に記載の直線駆動装置。
（３）  前記駆動装置は、軸方向において前記外側ナットと重なり、且つ前記外側ナットの径方向外方に配設されることを特徴とする（１）又は（２）に記載の直線駆動装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の直線駆動装置によれば、ハウジングに内嵌固定される外側ナットと、外側ナットに対して相対回転不能、且つ軸方向移動自在に配置されたねじ軸と、外側ナットとねじ軸との間に配置された中間ナットと、中間ナットを回転駆動する駆動装置と、中間ナットに対して相対的に軸方向移動可能に係合して中間ナットを回転駆動する回転伝達部と、を備える。ねじ軸の外周面と中間ナットの内周面との間と、中間ナットの外周面と外側ナットの内周面との間とのいずれか一方にはボールねじ機構が設けられ、他方には滑りねじ機構が設けられるので、ボールねじ機構及び滑りねじ機構のねじ溝の方向を互いに同方向、又は逆方向にすることで、微小位置決めや大きな推力の発生、又は、高速位置決めのどちらかを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る第１実施形態の直線駆動装置の断面図である。
【図２】本発明に係る第２実施形態の直線駆動装置の断面図である。
【図３】本発明に係る第３実施形態の直線駆動装置の断面図である。
【図４】本発明に係る第４実施形態の直線駆動装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る直線駆動装置の各実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
まず、図１を参照して、本発明に係る直線駆動装置の第１実施形態について説明する。
本実施形態の直線駆動装置１０Ａは、ハウジング１１と、ねじ軸２０と、中間ナット３０と、外側ナット５０と、差動ねじ機構６０を構成するボールねじ機構６１及び滑りねじ機構６２と、駆動装置としてのモータ７０と、回転伝達部８０とを備え、モータ７０の回転運動を直線運動に変換してねじ軸２０に出力する。
ねじ軸２０、中間ナット３０、外側ナット５０、及びハウジング１１は、この順で径方向外方に向かって同軸上に配置されている。
【００１４】
ねじ軸２０は、外周面に螺旋状のボールねじ溝２１を有し、不図示の支持機構により、ハウジング１１に対して軸方向移動自在、且つ相対回転不能に支持されている。
【００１５】
中間ナット３０は、ねじ軸２０と同軸に設けられ、内周面には、螺旋状のボールねじ溝３１が形成されている。ねじ軸２０のボールねじ溝２１と中間ナット３０のボールねじ溝３１により形成される転動路３２には、複数のボール３３が転動自在に配設されている。
【００１６】
また、中間ナット３０の内周面の一部に形成された嵌合溝３４には、循環溝３５を有する駒部材３６が配置されている。ねじ軸２０のボールねじ溝２１、駒部材３６の循環溝３５、及び中間ナット３０のボールねじ溝３１は、循環路を形成し、複数のボール３３を循環転動させる。なお、循環路の形成は、駒部材３６による駒式に限定されず、循環パイプ式、エンドキャップ式、中間ナット３０への直接鍛造式、などであってもよい。
【００１７】
これにより、ねじ軸２０のボールねじ溝２１、中間ナット３０のボールねじ溝３１、及び複数のボール３３は、ボールねじ機構６１を構成しており、ねじ軸２０と中間ナット３０とが、ボールねじ機構６１を介して軸方向に相対移動可能に連結されている。
【００１８】
また、中間ナット３０の外周面には、台形ねじなどの滑りねじ溝３８が形成されている。
【００１９】
外側ナット５０は、ハウジング１１に内嵌固定されて中間ナット３０の径方向外方に配設されている。外側ナット５０の内周面には、中間ナット３０の滑りねじ溝３８に螺合する台形ねじなどの滑りねじ溝５１が形成されている。
これにより、中間ナット３０の滑りねじ溝３８と外側ナット５０の滑りねじ溝５１は、滑りねじ機構６２を構成しており、中間ナット３０と外側ナット５０とは、滑りねじ機構６２を介して軸方向に相対移動可能に連結されている。
【００２０】
モータ７０及び回転伝達部８０は、差動ねじ機構６０の軸方向側方で、ハウジング１１とねじ軸２０との間に配設されている。モータ７０は、ハウジング１１に固定されたステータ７１と、転がり軸受７３を介してハウジング１１に回転自在に配設されたロータ７２と、を備える。ロータ７２は、回転伝達部８０を介して中間ナット３０に連結されている。具体的には、ロータ７２に固定される嵌合部材７５に形成された雌スプライン７４が、中間ナット３０の軸部４０に形成された雄スプライン３９にスプライン嵌合して、回転伝達部８０を構成する。
これにより、中間ナット３０は、モータ７０により回転駆動されると共に、モータ７０に対して軸方向移動自在となる。なお、ハウジング１１には、中間ナット３０の軸部４０の側方に、軸部４０と当接してねじ軸２０のストッパとして機能する壁部１２が設けられている。
【００２１】
中間ナット３０の内周面に形成されたボールねじ溝３１と、外周面に形成された滑りねじ溝３８の巻き方向は、互いに同じ方向であっても、逆方向であってよく、直線駆動装置１０Ａの用途（高負荷容量化又は微小位置決め、高速位置決め）によって選択される。微小位置決めのために、巻き方向が互いに同じ方向が選択される場合、両者のリードを互いに異ならせる。また、高速位置決めのために、巻き方向が互いに逆方向が選択される場合、両者のリードは同じであってもよく、異ならせてもよい。
【００２２】
本実施形態の作用を説明する。本発明の一実施形態である直線駆動装置１０Ａは、図１に示すように、モータ７０の作動によりロータ７２が回転すると、ロータ７２の回転は、互いにスプライン嵌合する回転伝達部８０としての軸部４０の雄スプライン３９及び嵌合部材７５の雌スプライン７４を介して中間ナット３０に伝達されて中間ナット３０が回転する。
【００２３】
外側ナット５０の滑りねじ溝５１に滑りねじ溝３８が螺合する中間ナット３０は、外側ナット５０がハウジング１１に固定されているため、中間ナット３０の回転に伴って滑りねじ機構６２（滑りねじ溝３８，５１）のリード分だけ軸方向に直線移動する。即ち、中間ナット３０は、回転および直線移動の組み合わせ運動である螺進を行う。このとき、中間ナット３０は、モータ７０に対して軸方向に相対移動するが、回転伝達部８０によってこの相対移動が許容される。
【００２４】
この中間ナット３０の回転は、ボールねじ機構６１を介して連結され、ハウジング１１に対して軸方向移動自在、且つ相対回転不能に支持されるねじ軸２０を、ボールねじ機構６１のリード分だけ軸方向に相対的に直線移動させる。
【００２５】
これにより、ねじ軸２０は、滑りねじ機構６２のリードによる移動量と、ボールねじ機構６１のリードによる移動量と、の差または和の距離だけハウジング１１に対して直線移動する。ねじ軸２０の移動量が、両リードの差になるか和になるかは、ボールねじ機構６１及び滑りねじ機構６２のねじ溝３１，３８の巻き方向によって決まる。
【００２６】
具体的には、中間ナット３０の内周面に形成されたボールねじ溝３１と、外周面に形成された滑りねじ溝３８の巻き方向が同じである場合、ねじ軸２０の中間ナット３０に対する相対移動の方向は、滑りねじ機構６２による中間ナット３０の移動方向とは逆方向になる。従って、ねじ軸２０は、中間ナット３０が１回転したとき、ボールねじ溝３１と滑りねじ溝３８（ボールねじ機構６１と滑りねじ機構６２）のリード差分だけ直線移動することになる。
【００２７】
このように、ボールねじ溝３１（ボールねじ機構６１）のリードを大きくしてもねじ軸２０の移動量を小さくできるので、ボールねじ機構６１のボール３３の直径を大きくすることができ、直線駆動装置１０Ａの負荷容量を大きくすることができる。また、このようにねじ軸２０の移動量は、ボールねじ溝３１と滑りねじ溝３８のリード差分となるので、減速機構として機能し、別途減速機構を設けることなく駆動トルクの小さい小型のモータ７０で、大きな推力を発生することができる。また、モータ７０の1回転当たり、ねじ軸２０が進む距離を小さくでき、微小位置決めが可能となる。
【００２８】
また、上記とは逆に、中間ナット３０の内周面に形成されたボールねじ溝３１と、外周面に形成された滑りねじ溝３８の巻き方向が逆方向である場合、ねじ軸２０は、中間ナット３０が１回転したとき、ボールねじ溝３１と滑りねじ溝３８（ボールねじ機構６１と滑りねじ機構６２）のリード和分だけ直線移動することになる。これにより、両ねじ溝３１，３８の傾きを極度に大きくすることなく、大きなリードが得られ、高速移動が可能になる。
【００２９】
このように、本実施形態の直線駆動装置１０Ａは、ボールねじ機構６１と滑りねじ機構６２とを径方向に二重に設けることで、軸方向寸法を抑制しながら、減速機構を設けなくとも小型のモータ７０で大きな推力を発生させるか、又は微小位置決めを行うことができる。また、増速機構を設けることなく、高速での位置決めを行うことが可能となる。
【００３０】
また、ボールねじ機構６１と、比較的安価な滑りねじ機構６２と、を併用しているため、高価なボールねじ機構６１を２個用いる構成と比べてコストを抑制することができる。
さらに、ボールねじ機構６１のリードは、滑りねじ機構６２のリードよりも大きいので、大きなリードが要求される部分にボールねじ機構６１を適用し、小さなリードが要求される部分に滑りねじ機構６２を適用し、摩擦抵抗を小さくしつつ、小型化を図ることができる。
特に、ボールねじ機構６１と滑りねじ機構６２のリード差分によって微小位置決めを行う場合には、必然的に、リードの大きさを異ならせるので、大きなリードが要求される部分にボールねじ機構６１を適用し、小さなリードが要求される部分に滑りねじ機構６２を適用することが好ましい。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態の直線駆動装置１０Ａによれば、ハウジング１１に内嵌固定される外側ナット５０と、外側ナット５０に対して相対回転不能、且つ軸方向移動自在に配置されたねじ軸２０と、外側ナット５０とねじ軸２０との間に配置された中間ナット３０と、中間ナット３０を回転駆動するモータ７０と、中間ナット３０に対して相対的に軸方向移動可能に係合してモータ７０の回転力を中間ナット３０に伝達する回転伝達部８０と、を備える。ねじ軸２０の外周面と中間ナット３０の内周面との間には、ボールねじ機構６１が設けられ、中間ナット３０の外周面と外側ナット５０の内周面との間には、滑りねじ機構６２が設けられるので、ボールねじ機構６１のボールねじ溝３１、及び滑りねじ機構６２の滑りねじ溝３８の方向を互いに同方向、又は逆方向にすることで、直線駆動装置１０Ａにより、微小位置決めや大きな推力の発生、又は、高速位置決めのどちらかを行うことができる。
【００３２】
また、ボールねじ機構６１のボールねじ溝３１と、滑りねじ機構６２の滑りねじ溝３８とは、巻き方向が互いに同方向であり、且つ互いに異なるリードを有するので、直線駆動装置１０Ａで微小位置決めや大きな推力の発生を行うことができる。
【００３３】
また、ボールねじ機構６１のボールねじ溝３１と、滑りねじ機構６２の滑りねじ溝３８とは、巻き方向が互いに逆方向に形成されるので、直線駆動装置１０Ａを高速位置決めすることができる。
【００３４】
（第２実施形態）
次に、図２を参照して、本発明に係る直線駆動装置の第２実施形態について説明する。なお、本実施形態の直線駆動装置１０Ｂは、モータ７０の配置が異なる以外、第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同じであるので、同一又は同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
【００３５】
本実施形態のモータ７０は、ハウジング１１に対して軸方向移動自在なスライダ１３上に配設されている。モータ７０の回転軸７６は、中間ナット３０のストッパとして機能する壁部１２ａに設けられた連結孔１４を貫通して、中間ナット３０に結合されている。
【００３６】
そして、中間ナット３０がモータ７０により回転駆動されると、中間ナット３０は、第１実施形態と同様に、回転しながら、滑りねじ機構６２（滑りねじ溝３８，５１）のリード分だけ軸方向に直線移動する螺進を行う。このときモータ７０は、スライダ１３の作用により中間ナット３０と共に直線移動する。
【００３７】
この中間ナット３０の回転は、ボールねじ機構６１を介して連結され、ハウジング１１に対して軸方向移動自在、且つ相対回転不能に支持されるねじ軸２０を、ボールねじ機構６１のリード分だけ軸方向に相対的に直線移動させる。
その他の構成及び作用効果については、上記第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同様である。
【００３８】
（第３実施形態）
次に、図３を参照して、本発明に係る直線駆動装置の第３実施形態について説明する。なお、本実施形態の直線駆動装置１０Ｃは、ねじ機構６１，６２の配置が第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと逆であり、滑りねじ機構６２が内径側に配置され、ボールねじ機構６１が外径側に配置されている。それ以外の構成は、第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同じであるので、第１実施形態と同一又は同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
【００３９】
図３に示すように、本実施形態の直線駆動装置１０Ｃのねじ軸２０の外周面には、例えば、台形ねじなどの滑りねじ溝２２が形成されている。また、中間ナット３０の内周面には、滑りねじ溝４１が形成されて、ねじ軸２０の滑りねじ溝２２と螺合する。即ち、ねじ軸２０の滑りねじ溝２２と中間ナット３０の滑りねじ溝４１は、滑りねじ機構６２を構成しており、ねじ軸２０と中間ナット３０とは、滑りねじ機構６２を介して軸方向に相対移動可能に連結されている。
【００４０】
中間ナット３０の外周面には、螺旋状のボールねじ溝４２が形成されている。また、外側ナット５０の内周面には、螺旋状のボールねじ溝５２が形成されている。ボールねじ溝４２とボールねじ溝５２により形成される転動路３２には、複数のボール３３が転動自在に配設されている。
【００４１】
外側ナット５０には、複数のボール３３を循環するための循環溝５３を有する循環パイプ５４が配置されている。中間ナット３０のボールねじ溝４２、外側ナット５０のボールねじ溝５２、及び循環パイプ５４の循環溝５３は、循環路を形成し、複数のボール３３を循環転動させる。即ち、中間ナット３０のボールねじ溝４２、外側ナット５０のボールねじ溝５２、及び複数のボール３３は、ボールねじ機構６１を構成しており、中間ナット３０と外側ナット５０とは、ボールねじ機構６１を介して軸方向に相対移動可能に連結されている。
【００４２】
本実施形態の作用を説明する。図３に示すように、モータ７０の作動により回転伝達部８０を介して中間ナット３０が回転すると、中間ナット３０は、ボールねじ機構６１（ボールねじ溝４２、５２）のリード分だけ軸方向に相対的に直線移動する。
【００４３】
また、この中間ナット３０の回転は、滑りねじ機構６２を介して連結されているねじ軸２０を、滑りねじ機構６２のリード分だけ軸方向に相対的に直線移動させる。
【００４４】
これにより、ねじ軸２０は、ボールねじ機構６１のリードによる移動量と、滑りねじ機構６２のリードによる移動量と、の差または和の距離だけハウジング１１に対して直線移動する。ねじ軸２０の移動量が、両リードの差になるか和になるかは、第１実施形態と同様、ボールねじ機構６１及び滑りねじ機構６２のねじ溝４１，４２の巻き方向によって決まる。
【００４５】
このように、本実施形態の直線駆動装置１０Ｃは、滑りねじ機構６２とボールねじ機構６１とを径方向に二重に設けることで、軸方向寸法を抑制しながら、減速機構を設けなくとも小型のモータ７０で大きな推力を発生させるか、又は微小位置決めを行うことができる。或いは、増速機構を設けることなく、高速での位置決を行うことが可能となる。
【００４６】
また、ボールねじ機構６１と、比較的安価な滑りねじ機構６２と、を併用しているため、高価なボールねじ機構６１を２個用いる構成と比べてコストを抑制することができる。また、ボールねじ機構６１が、径方向外方に配置されているため、ボール３３などの転動体の循環構造（図に示す実施形態では循環パイプ５４）を、非可動部である外側ナット５０やハウジング１１に設けることができるため、振動やコスト、サイズの観点から有利である。
その他の構成及び作用効果については、第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同様である。
【００４７】
（第４実施形態）
次に、図４を参照して、本発明に係る直線駆動装置の第４実施形態について説明する。
なお、本実施形態の直線駆動装置１０Ｄは、モータ７０及び回転伝達部８０の設置位置が、ボールねじ機構６１及び滑りねじ機構６２と軸方向で重なり、且つ径方向外方に配置されている以外、第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同じであるので、同一又は同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
【００４８】
図４に示すように、本実施形態の直線駆動装置１０Ｄは、略円筒状の連結部材４５を備え、その軸方向一端部から内径側に延びるフランジ部４６が中間ナット３０の一端（図４の左端）に固定されている。即ち、連結部材４５は、中間ナット３０と滑りねじ機構６２によって連結された外側ナット５０の径方向外方に配置される。連結部材４５の外周面には、雄スプライン３９が形成されて、ロータ７２に固定された嵌合部材７５の雌スプライン７４とスプライン嵌合する。
【００４９】
また、ハウジング１１は、連結部材４５の軸方向一端部とは逆方向の軸方向一端部にフランジ部１５を有し、連結部材４５より大径の略円筒状に形成される。したがって、ハウジング１１は、その内部空間に連結部材４５を収容し、そのフランジ部１５が外側ナット５０の軸方向他端部（図４の右端）に固定されている。即ち、ハウジング１１は、連結部材４５より径方向外方に配置されて、ハウジング１１の内周面と連結部材４５の外周面との間に、モータ室となる空間４７を形成する。
【００５０】
ハウジング１１の内周面には、ステータ７１が固定されている。また、ロータ７２は、連結部材４５の雄スプライン３９とスプライン嵌合する雌スプライン７４が形成された嵌合部材７５と固定され、転がり軸受７３を介して回転自在に配設されている。これにより、モータ７０は、ボールねじ機構６１及び滑りねじ機構６２と軸方向で重なり、且つ径方向外方となるハウジング１１の内周面と連結部材４５の外周面との間の空間４７に収容される。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態の直線駆動装置１０Ｄによれば、モータ７０は、軸方向において外側ナット５０と重なり、且つ外側ナット５０の径方向外方に配設されるので、第１実施形態〜第３実施形態の直線駆動装置１０Ａ〜１０Ｃと比較して、直線駆動装置１０Ｄの軸方向寸法をさらに低減することができる。
その他の構成及び作用効果については、第１実施形態の直線駆動装置１０Ａと同様である。
【００５２】
尚、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
例えば、滑りねじ機構は、台形ねじに限定されず、三角ねじ、角ねじ、のこ歯ねじ、丸ねじ、テーパねじなどであってもよい。また、ボールねじ機構は、ボールねじに限定されず、ローラねじとしてもよい。更に、ボールねじ機構の転動体の循環構造は、駒式としたが、エンドデフレクタ式、チューブ式、エンドギャップ式のいずれの方式も採用可能である。また、差動ねじ機構以外の、例えば駆動装置や回転伝達部などの構成は、本実施形態に限定されるものではない。
【００５３】
以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１）  ハウジングと、
前記ハウジングに内嵌固定される外側ナットと、
前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットに対して相対回転不能、且つ軸方向移動自在に配置されたねじ軸と、
前記ねじ軸及び前記外側ナットと同心状に位置し、前記外側ナットと前記ねじ軸との間に配置された中間ナットと、
前記中間ナットを回転駆動する駆動装置と、
前記中間ナットに対して相対的に軸方向移動可能に係合して、前記駆動装置の回転力を前記中間ナットに伝達する回転伝達部と、
を備え、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか一方には、一対のボールねじ溝間に複数のボールが転動自在に配設されたボールねじ機構が設けられ、
前記ねじ軸の外周面と前記中間ナットの内周面との間と、前記中間ナットの外周面と前記外側ナットの内周面との間とのいずれか他方には、互いに回転摺動する滑りねじ溝を有する滑りねじ機構が設けられることを特徴とする直線駆動装置。
（２）  前記ボールねじ機構のリードは、前記滑りねじ機構のリードよりも大きいことを特徴とする（１）に記載の直線駆動装置。
（３）  前記ボールねじ機構のボールねじ溝と、前記滑りねじ機構の滑りねじ溝とは、巻き方向が互いに同方向であり、且つ互いに異なるリードを有することを特徴とする（１）に記載の直線駆動装置。
（４）  前記ボールねじ機構のボールねじ溝と、前記滑りねじ機構の滑りねじ溝とは、巻き方向が互いに逆方向に形成されることを特徴とする（１）に記載の直線駆動装置。
（５）  前記駆動装置は、軸方向において前記外側ナットと重なり、且つ前記外側ナットの径方向外方に配設されることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の直線駆動装置。
【符号の説明】
【００５４】
１０Ａ〜１０Ｄ         直線駆動装置
１１     ハウジング
２０     ねじ軸
２１，３１，４２，５２        ボールねじ溝
２２，３８，４１，５１        滑りねじ溝
３０     中間ナット
３３     ボール
３９     雄スプライン（回転伝達部）
５０     外側ナット
６０     差動ねじ機構
６１     ボールねじ機構
６２     滑りねじ機構
７０     モータ（駆動装置）
７４     雌スプライン（回転伝達部）
８０     回転伝達部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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