(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１軌道を走行し、処理装置のロードポートと物品の受け渡しが可能な天井搬送車と、
前記物品を収納する複数の棚が鉛直方向に配列された収納棚と、
前記第１軌道と平行な第２軌道を走行し、前記ロードポート、及び前記収納棚のそれぞれと前記物品の受け渡しが可能なクレーンと、
前記ロードポートと前記物品の受け渡しを行う位置で走行停止した前記クレーンが前記物品の受け渡しが可能な位置に配置される第１バッファと、を備える搬送システム。
【請求項２】
前記天井搬送車は、前記物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、
前記第１バッファは、前記天井搬送車が前記横出し機構を用いて前記物品の受け渡しが可能な位置に配置される、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１バッファは、前記ロードポートと前記物品の受け渡しを行う位置で走行停止した前記天井搬送車が前記横出し機構を用いて前記物品の受け渡しが可能な位置に配置される、請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記第１バッファに隣接し、前記クレーンが前記物品の受け渡しが可能な第２バッファを備える、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記天井搬送車は、前記物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、
前記第２バッファは、前記天井搬送車が前記横出し機構を用いて前記物品の受け渡しが可能な位置に配置される、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記収納棚は、前記処理装置に隣接して配置され、
前記天井搬送車は、前記収納棚の複数の棚のうち最上段の棚と前記物品の受け渡しが可能である、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記第１軌道は、前記ロードポートの直上に設けられる、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送システムは、例えば、半導体デバイスの製造工場などにおいて、半導体ウエハあるいはレチクルを収容した物品を搬送することに利用される（例えば、下記の特許文献１参照）。この搬送システムは、物品を搬送する天井搬送車、及び物品を収納棚と受け渡すスタッカクレーンを備える。天井搬送車は、例えば、半導体製造装置などの処理装置のロードポートに物品を搬入する。収納棚は、半導体製造装置などの処理装置の近傍に配置されており、ロードポートに既に物品がある場合、天井搬送車は、例えば、収納棚の最上段の棚に物品を搬入する。スタッカクレーンは、例えば、収納棚の最上段の棚に搬入された物品を他の棚に収納し、あるいは収納棚とロードポートとで物品を移載する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１５０８５９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のような搬送システムは、ロードポートとの物品の受け渡しに要する時間が長い場合、処理装置の稼働率の低下を招いてしまう。例えば、処理装置は、搬出待ちの物品でロードポートが埋まっていると新たな物品をロードポートに搬入することができず、稼働率が低下する。また、処理装置は、次の処理に移る際にロードポートに物品が無い場合、ロードポートに物品が運ばれるまで待機することで稼働率が低下する。【０００５】
本発明は、上述の事情に鑑み、処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能な搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送システムは、第１軌道を走行し、処理装置のロードポートと物品の受け渡しが可能な天井搬送車と、物品を収納する複数の棚が鉛直方向に配列された収納棚と、第１軌道と平行な第２軌道を走行し、ロードポート、及び収納棚のそれぞれと物品の受け渡しが可能なクレーンと、ロードポートと物品の受け渡しを行う位置で走行停止したクレーンが物品の受け渡しが可能な位置に配置される第１バッファと、を備える。【０００７】
また、天井搬送車は、物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、第１バッファは、天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置されてもよい。また、第１バッファは、ロードポートと物品の受け渡しを行う位置で走行停止した天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置されてもよい。また、第１バッファに隣接し、クレーンが物品の受け渡しが可能な第２バッファを備えてもよい。また、天井搬送車は、物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、第２バッファは、天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置されてもよい。また、収納棚は、処理装置に隣接して配置され、天井搬送車は、収納棚の複数の棚のうち最上段の棚と物品の受け渡しが可能であってもよい。また、第１軌道は、ロードポートの直上に設けられてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明において、第１バッファは、ロードポートと物品の受け渡しを行う位置で走行停止したクレーンが物品を受け渡し可能な位置に配置される。したがって、クレーンは、走行停止した状態で、第１バッファとロードポートとで物品を移載することができる。よって、搬送システムは、処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。【０００９】
また、天井搬送車は、物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、第１バッファは、天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置される場合、天井搬送車が第１バッファとロードポートとで物品を移載することができ、例えばクレーンが使用中であっても、天井搬送車によって処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。また、第１バッファは、ロードポートと物品の受け渡しを行う位置で走行停止した天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置される場合、天井搬送車が走行停止した状態で、第１バッファとロードポートとで物品を移載することができるので、処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。また、第１バッファに隣接し、クレーンが物品の受け渡しが可能な第２バッファを備える場合、処理装置と受け渡される物品を保管可能な数を増すことができる。また、第２バッファが第１バッファと隣接しているので、クレーンは、ロードポートと第２バッファとで物品を迅速に移載することができ、処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。また、天井搬送車は、物品を水平方向に移動させる横出し機構を備え、第２バッファは、天井搬送車が横出し機構を用いて物品の受け渡しが可能な位置に配置される場合、天井搬送車が第２バッファとロードポートとで物品を移載することができ、例えばクレーンが使用中であっても、天井搬送車によって処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。また、収納棚は、処理装置に隣接して配置され、天井搬送車は、収納棚の複数の棚のうち最上段の棚と物品の受け渡しが可能である場合、処理装置と受け渡される物品を保管可能な数を増すことができる。また、第１軌道は、ロードポートの直上に設けられる場合、天井搬送車は、ロードポートの直上から物品を昇降させることで物品を受け渡すことができるので、処理装置との間で物品を迅速に受け渡し可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る搬送システムを示す図である。
【図２】物品および天井搬送車を示す図である。
【図３】天井搬送車の横出し機構の説明図である。
【図４】収納棚を示す斜視図である。
【図５】第１バッファおよび第２バッファを示す図である。
【図６】移載部の動作および第１バッファが配置される範囲を示す図である。
【図７】第２実施形態に係る搬送システムを示す図である。
【図８】第３実施形態に係る搬送システムを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。また、Ｘ、Ｙ、Ｚの各方向において、適宜、矢印の側を＋側（例、＋Ｘ側）と称し、その反対側を−側（例、−Ｙ側）と称する。
【００１２】
［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る搬送システムを示す図である。図１（Ａ）は、＋Ｚ側から見た上面図であり、図１（Ｂ）は−Ｙ側から見た側面図である。搬送システム１Ａは、例えば、半導体デバイスの製造工場に設置され、処理装置２と物品を保管するストッカ（図示せず）との間、あるいは処理装置２と他の処理装置との間などで物品３（後に図２にも示す）を搬送する。処理装置２は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、あるいはエッチング装置などである。処理装置２は、例えばインターベイなどに複数配列される。
【００１３】
物品３は、例えば、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどの加工用部材を収容したレチクルポッドなどの容器などである。処理装置２は、物品３が配置されるロードポート４を備える。ロードポート４（＋Ｙ側の処理装置２を参照）に配置可能な物品３の数は例えば２つであり、その１つ（実線で示す）は、処理装置２に搬入される物品３であり、もう一つ（点線で示す）は、処理装置２から搬出される物品３である。なお、ロードポート４に配置可能な物品３の数は、１つでもよいし、３つ以上でもよい。
【００１４】
搬送システム１Ａは、第１軌道１１と、天井搬送車１２と、収納棚１３と、第２軌道１４と、クレーン１５と、第１バッファ１６と、第２バッファ１７とを備える。第１軌道１１は、クリーンルームなどの設備の天井１８（図１（Ｂ）参照）などに設けられる。第１軌道１１は、例えば複数の処理装置２が並ぶ方向に沿って設けられ、Ｙ方向に延びている。天井搬送車１２は、第１軌道１１を走行し、処理装置２のロードポート４と物品３の受け渡しが可能である。
【００１５】
本実施形態において、第１軌道１１は、ロードポート４の直上に設けられる。すなわち、第１軌道１１は、ロードポート４の直上を通るように敷設されている。天井搬送車１２は、物品３をロードポート４に渡す際に、物品３を保持してロードポート４の直上で走行停止し、ロードポート４へ物品３を降下させる。また、天井搬送車１２は、ロードポート４から物品３を受け取る際に、ロードポート４の直上で走行停止し、ロードポート４から物品３を上昇させる。
【００１６】
図２は、物品および天井搬送車を示す図である。物品３は、搬送対象の半導体ウエハなどを収容する本体部２１と、本体部２１の上方（＋Ｚ側）に設けられ、搬送システム１Ａによる物品３の保持に用いられる接続部（ここでは、フランジ部２２とする）とを有する。天井搬送車１２は、物品３のフランジ部２２を把持することによって、物品３を保持する。フランジ部２２は、本体部２１から上方（＋Ｚ側）に延びた柱状部２４と、柱状部２４の先端側に設けられた板状部２５とを有する。板状部２５は、例えば、矩形板状であるが、円板状でもよい。板状部２５は、柱状部２４よりも外側に張り出している。
【００１７】
天井搬送車１２は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、あるいはＯＨＶ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）などと呼ばれる。天井搬送車１２は、走行駆動部２６と、昇降駆動部２７と、横出し機構２８と、制御部２９とを備える。昇降駆動部２７は、物品３を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降させる。走行駆動部２６は、昇降駆動部２７を保持し、第１軌道１１に沿って水平方向に移動可能である。横出し機構２８は、昇降駆動部２７を第１軌道１１に対する側方（Ｘ方向）に移動可能である。制御部２９は、天井搬送車１２の各部を制御する。
【００１８】
天井搬送車１２は、走行駆動部２６の駆動力によって第１軌道１１に沿って走行する。天井搬送車１２は、物品３の側方に配置されるカバー３０を備える。カバー３０は、天井搬送車１２において物品３が保持される位置に対して、天井搬送車１２の走行方向（図２では−Ｙ側、＋Ｙ側）に設けられる。カバー３０の間は、天井搬送車１２の走行中に物品３が保持（収容）される収容スペースＳＰである。走行駆動部２６は、電動モータ、減速機、駆動輪、エンコーダなどを有する。駆動輪は、第１軌道１１に接するように配置され、減速機を介して電動モータの出力軸に接続される。電動モータの出力軸の回転が減速機を介して駆動輪に伝えられ、駆動輪の回転により天井搬送車１２が走行する。エンコーダは、電動モータの出力軸の回転数などを検出し、その検出結果を制御部２９に出力する。制御部２９は、エンコーダの検出結果に基づいて電動モータの回転を制御し、天井搬送車１２の速度あるいは停止位置の制御を行う。なお、天井搬送車１２の停止位置の設定は、第１軌道１１に沿って予め設置された指標板等を識別することによって行ってもよい。
【００１９】
昇降駆動部２７は、横出し機構２８を介して走行駆動部２６に支持される。昇降駆動部２７は、物品３を保持する保持部２３と、保持部２３を鉛直方向に移動させる駆動部３１と、を備える。保持部２３は、物品３のフランジ部２２を把持することにより、物品３を吊り下げて保持する。保持部２３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部３２を有するチャックであり、爪部３２をフランジ部２２の板状部２５の下に差し込むことで、物品３を保持する。保持部２３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材３３（図３参照）と接続されている。駆動部３１は、例えばホイストであり、吊り下げ部材３３を繰り出すことにより保持部２３を降下させ、吊り下げ部材３３を巻き取ることにより保持部２３を上昇させる。制御部２９は、昇降駆動部２７を制御して、所定の速度で保持部２３を降下あるいは上昇させる。また、制御部２９は、昇降駆動部２７を制御して、保持部２３を目標の高さに保持させる。
【００２０】
横出し機構２８は、走行駆動部２６の下方において、カバー３０の間に配置されている。横出し機構２８は、支持軸３４を介して、走行駆動部２６と接続されている。支持軸３４は、走行駆動部２６から下方に延びており、走行駆動部２６は、支持軸３４の下部に取り付けられている。横出し機構２８は、固定部３５および可動部（上板３６、下板３７）を備える。固定部３５は、支持軸３４に支持されており、走行駆動部２６に対して固定されている。上板３６は、固定部３５の下方に配置されており、図２では固定部３５と重ねられている。上板３６は、Ｘ方向に平行なガイドに沿って、固定部３５に対してＸ方向に移動可能である（図３参照）。上板３６は、駆動部から供給される駆動力によって移動する。下板３７は、上板３６の下方に配置されており、図２では上板３６と重ねられている。下板３７は、Ｘ方向に平行なガイドに沿って、上板３６に対してＸ方向に移動可能である（図３参照）。下板３７は、駆動部から供給される駆動力によって移動する。
【００２１】
横出し機構２８は、例えば、上板３６の駆動部と下板３７の駆動部とが個別に設けられ、上板３６と下板３７とが独立してＸ方向に移動可能である。例えば、横出し機構２８は、上板３６と下板３７の一方のみをＸ方向に移動することもできるし、上板３６および下板３７の双方をＸ方向に移動することもでき、可動部のストローク（Ｘ方向の移動量）が可変である。
【００２２】
なお、横出し機構２８は、上板３６と下板３７とで駆動部が共通でもよく、リンク機構などによって並行してＸ方向に移動可能でもよい。また、上述した横出し機構２８の構成は、一例であり、適宜変更可能である。例えば、可動部は、上板３６のみでもよいし、Ｘ方向に可動な部材を３つ以上備えてもよい。また、天井搬送車１２は、横出し機構２８を備えなくてもよい。また、天井搬送車１２は、昇降駆動部２７をＺ方向に平行な軸周りに回転させる回動部（図示せず）を備えてもよい。この回動部は、昇降駆動部２７を回転させることで、保持部２３に保持された物品３の向きを調整する。
【００２３】
天井搬送車１２が横出し機構２８によって物品３を渡す場合、図３に示すように、横出し機構２８の駆動部は、上板３６を固定部３５に対して＋Ｘ側に移動させ、下板３７を上板３６に対して＋Ｘ側に移動させることで、下板３７に支持された昇降駆動部２７を目的位置に移動させる。昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を下方に繰り出すことによって保持部２３を降下させ、物品３を目的位置に載置する。
【００２４】
また、天井搬送車１２が横出し機構２８によって物品３を受け取る場合、横出し機構２８が昇降駆動部２７を＋Ｘ側に移動させた状態で、昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を下方に繰り出すことによって保持部２３を降下させ、保持部２３によって物品３のフランジ部２２を把持する。また、昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を巻き取ることで物品３を所定の高さまで上昇させる。横出し機構２８の駆動部は、物品３が所定の高さまで上昇した状態で、上板３６を固定部３５に対して−Ｘ側に移動させ、下板３７を上板３６に対して−Ｘ側に移動させる。これにより、横出し機構２８は、下板３７に支持された昇降駆動部２７を目的位置に移動させ、昇降駆動部２７の保持部２３に保持された物品３を、カバー３０の間の収容スペースＳＰに収容する。
【００２５】
次に、図１および図４を参照して収納棚１３を説明する。図４は、収納棚を示す斜視図である。図１に示すように、収納棚１３は、ロードポート４との間に隙間をもって、又はロードポート４と接触して、ロードポート４に隣接して配置されている。収納棚１３は、ロードポート４に対して−Ｙ側と＋Ｙ側との少なくとも一方に設けられ、例えばロードポート４の間に配置される。図４では、ロードポート４に隣接して２つの収納棚１３が設けられているが、収納棚１３の数は、１つでもよいし、３つ以上でもよい。また、収納棚１３は、複数のロードポート４の少なくとも１つに併設されていればよく、収納棚１３が併設されていないロードポート４があってもよい。
【００２６】
収納棚１３は、複数の棚（４１、４２）を備える（図４参照）。棚４１、４２は、鉛直方向（Ｚ方向）に配列されている。棚４１は、収納棚１３のうち最上段の棚であり、棚４２は、棚４１よりも下方（−Ｚ側）の棚である。最上段の棚４１は、収納棚１３の天板部であり、上方に開放されている。最上段の棚４１は第１軌道１１の直下に設けられており、天井搬送車１２は、処理装置２のロードポート４と同様に、最上段の棚４１と物品３の受け渡しが可能である。最上段の棚４１は、天井搬送車１２が搬送する物品３を一時的に保管するバッファ（例、ＵＴＢ；アンダートラックバッファ）として利用可能である。収納棚１３が備える棚の数は、２以上の任意の数である。例えば、図４において、収納棚１３が備える棚の数は、最上段の棚４１が１つと、棚４２が４つとで合計５つであるが、最上段の棚４１が１つと棚４２が１つとの合計２つでもよいし、棚４２の数が２以上でもよい。
【００２７】
なお、収納棚１３は、その天板部を棚４１として利用しなくてもよく、この場合、棚４２の数は２以上に設定される。また、搬送システム１Ａは、収納棚１３の上方にＵＴＢ（アンダートラックバッファ）を備えてもよい。図４において、棚４１、４２は、それぞれ、Ｙ方向に３つの物品３を並べて載置可能であるが、１つの棚に載置可能な物品３の数は、１つでもよいし、２以上の任意の数でもよい。
【００２８】
次に、図１を参照して、第２軌道１４およびクレーン１５について説明する。第２軌道１４は、その少なくとも一部が第１軌道１１とほぼ平行に設けられる。例えば、第２軌道１４は、ロードポート４および収納棚１３に沿って敷設された部分が第１軌道１１とほぼ平行であり、その他の部分が第１軌道１１と平行でなくてもよい。例えば、第２軌道１４は、トラック状（長円状）の周回軌道でもよく、その直線部が第１軌道１１とほぼ平行でもよい。第２軌道１４は、図１（Ｂ）において床面４３に敷設されているが、天井１８に敷設されてもよい。
【００２９】
クレーン１５は、第２軌道１４を走行し、ロードポート４、及び収納棚１３のそれぞれと物品３の受け渡しが可能である。クレーン１５は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の各方向に物品３を搬送可能である。図１（Ｂ）に示すように、クレーン１５は、走行台車４５と、支持柱４６と、昇降部４７と、移載部４８と、制御部４９とを備える。
【００３０】
走行台車４５は、例えば複数の車輪（図示せず）を有し、第２軌道１４に沿って水平方向（Ｙ方向）に移動する。支持柱４６は、マストなどであり、走行台車４５の上面から鉛直方向（Ｚ方向）に延びている。支持柱４６は、走行台車４５に固定されており、走行台車４５に支持される。支持柱４６は、天井１８に設けられたガイド５０にも支持されており、走行台車４５とともにＹ方向に移動する。昇降部４７は、支持柱４６に支持され、支持柱４６に沿ってＺ方向にスライド可能である。移載部４８（図１（Ａ）参照）は、例えば、多関節のアーム部５１と、アーム部５１の先端側に設けられた保持部５２とを備える。
【００３１】
移載部４８は、アーム部５１を関節で折り曲けることで、保持部５２を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動可能である。移載部４８は、物品３のフランジ部２２（図２参照）を保持部５２によって保持する。保持部５２は、例えばＵ字状であり、移載部４８は、フランジ部２２の板状部２５の下に保持部５２を差し込むことで、物品３を保持する。また、移載部４８は、保持部５２によって物品３を保持した状態で昇降部４７が昇降することで、物品３を昇降させる。また、移載部４８は、保持部２３によって物品３を保持した状態で、アーム部５１を関節で折り曲げることで、物品３を保持部５２の可動範囲内でＸ方向に移動させる。なお、上述の移載部４８は一例であり、その他の構成でもよい。また、クレーン１５は、保持部５２が物品３を保持した状態で、走行台車４５がＹ方向に走行することで、物品３をＹ方向に移動させる。なお、移載部４８は、物品３の底面を支持して物品３を搬送する構成が採用されてもよいし、物品３を側面で把持して搬送する構成が採用されてもよい。
【００３２】
クレーン１５は、ロードポート４から物品３を受け取り、この物品３を収納棚１３の棚４１あるいは棚４２に渡すことができる。また、クレーン１５は、収納棚１３の棚４１あるいは棚４２から物品３を受け取り、この物品３をロードポート４へ渡すことができる。また、クレーン１５は、収納棚１３の１つの棚（例、最上段の棚４１）から他の棚（例、下方の棚４２）へ物品３を移載することもできる。制御部４９は、クレーン１５の各部を制御する。制御部４９は、走行台車４５を制御して、走行台車を走行あるいは走行停止させる。また、制御部４９は、昇降部４７および移載部４８を制御して、保持部５２を目標位置に移動させることで、保持部５２によって物品３を保持させること、保持部５２に保持された物品３を所定の位置に載置させること等を行う。
【００３３】
次に、図１、図５を参照して、第１バッファ１６および第２バッファ１７について説明する。図５は、第１バッファ１６および第２バッファ１７を示す概念図である。第１バッファ１６は、例えばＳＴＢ（サイドトラックバッファ）であり、図１（Ａ）に示すように、第１軌道１１の側方（＋Ｘ側）に設けられる。第１バッファ１６は、例えばロードポート４へ搬入待ちの物品３、あるいは天井搬送車１２による搬送開始待ちの物品３を一時的に保管することに利用される。第１バッファ１６は、天井搬送車１２が横出し機構２８（図３参照）を用いて物品３の受け渡しが可能な位置に配置される。
【００３４】
図５に示すように、第１バッファ１６は、支持部５５、及び載置部５６を備える。支持部５５は、例えば、天井１８に固定され、天井１８から下方に延びている。支持部５５は、例えば側板状であるが、柱状などの他の形状でもよい。載置部５６は、支持部５５の下端側に固定され、物品３は、載置部５６の上面に載置される。載置部５６は、天井搬送車１２が収容スペースＳＰ内に物品３を保持する位置よりも下方に配置される（図１（Ｂ）参照）。第２バッファ１７は、第１バッファ１６と同様の構成であり、第１バッファ１６に隣接して設けられる。第２バッファ１７は、クレーン１５が物品３の受け渡しが可能な位置に配置される。また、第２バッファ１７は、天井搬送車１２が横出し機構２８を用いて物品３の受け渡しが可能な位置に配置される。なお、搬送システム１Ａは、第２バッファ１７を備えなくてもよい。
【００３５】
天井搬送車１２は、横出し機構２８（図３参照）によって物品３を第１バッファ１６に渡す場合、横出し機構２８によって昇降駆動部２７を＋Ｘ側に移動させ、昇降駆動部２７を第１バッファ１６の直上に配置する。この状態で、昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を下方に繰り出すことで物品３を降下させ、物品３を載置部５６に載置する。また、天井搬送車１２は、横出し機構２８（図３参照）によって第１バッファ１６から物品３を受け取る場合、横出し機構２８によって昇降駆動部２７を＋Ｘ側に移動させ、昇降駆動部２７を第１バッファ１６の直上に配置する。この状態で、昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を下方に繰り出すことによって保持部２３を降下させ、保持部２３によって物品３のフランジ部２２を把持する。また、昇降駆動部２７は、吊り下げ部材３３を巻き取ることで物品３を所定の高さまで上昇させる。横出し機構２８は、物品３が所定の高さまで上昇した状態で昇降駆動部２７を−Ｘ側に移動させ、物品３をカバー３０の間の収容スペースＳＰに収容する。
【００３６】
また、天井搬送車１２は、走行停止した状態で、ロードポート４と第１バッファ１６とで物品３を移載することもできる。天井搬送車１２は、制御部２９に制御され、ロードポート４の直上で走行停止した後、横出し機構２８を用いて、第１バッファ１６に載置されている物品３を収容スペースＳＰに収容する。そして、天井搬送車１２は、制御部２９に制御されて、収容スペースＳＰから物品３を真下に吊り下げることで、この物品３をロードポート４に載置する。天井搬送車１２は、同様にして、ロードポート４から収容スペースＳＰへ物品３を吊り上げた後、この物品３を横出し機構２８を用いて第１バッファ１６に載置することもできる。
【００３７】
また、第１バッファ１６は、ロードポート４と物品３の受け渡しを行う位置で走行停止したクレーン１５が物品３の受け渡しが可能な位置に配置されている。図５の符号Ｐ１は、クレーン１５がロードポート４と物品３の受け渡しを行う際のクレーン１５の走行停止位置である。第１バッファ１６は、位置Ｐ１で走行停止したクレーン１５が物品３の受け渡しが可能な位置に配置される。すなわち、クレーン１５は、位置Ｐ１で走行停止した状態で、ロードポート４から物品３を受け取ること、ロードポート４に物品３を渡すこと、第１バッファ１６から物品３を受け取ること、及び第１バッファ１６に物品３を渡すことのいずれを行うこともできる。
【００３８】
クレーン１５は、例えば、ロードポート４に物品３が載置された状態で、天井搬送車１２がロードポート４へ物品３を搬入するスペースを空けるために、位置Ｐ１で走行停止した状態でロードポート４から第１バッファ１６へ物品３を移載する。この際に、制御部４９は、走行台車４５を制御して、走行台車４５を位置Ｐ１で走行停止させる。また、制御部４９は、走行台車４５が位置Ｐ１で走行停止した状態で、昇降部４７および移載部４８を制御して、ロードポート４に載置された物品３の位置に保持部５２を移動させ、物品３を保持部５２に保持させる。また、制御部４９は、昇降部４７および移載部４８を制御して、物品３を持ち上げながら水平方向に移動させ、物品３を昇降部４７の上方にて保持する。また、制御部４９は、昇降部４７によって物品３を第１バッファ１６の高さまで上昇させた後、昇降部４７および移載部４８を制御して、物品３を第１バッファ１６の載置部５６に載置させる。
【００３９】
また、クレーン１５は、例えば、ロードポート４に物品３が載置されていない状態で、処理装置２が処理する物品３を供給するために、第１バッファ１６からロードポート４に物品３を移載する。制御部４９は、例えば、ロードポート４から第１バッファ１６へ物品３を移載する際と逆の手順でクレーン１５の各部を動作させることで、第１バッファ１６からロードポート４に物品３を移載させる。このように、クレーン１５は、走行台車４５を走行させなくても、ロードポート４から第１バッファ１６に物品３を移載することができる。そのため、搬送システム１Ａは、物品３を移載する上で走行台車４５を移動させるのに必要される時間を省くことができ、物品３を迅速に受け渡すことができる。
【００４０】
図６は、移載部４８の動作および第１バッファ１６の位置を示す図である。移載部４８において、アーム部５１は、リンク機構などによって折り曲がることで、保持部５２を第２軌道１４に垂直な方向（Ｘ方向）に移動させ、保持部５２をロードポート４に対して進退させることができる。以下、移載部４８が容器３を移載する際に、移載元の位置と移載先の位置とを結ぶ方向を、移載方向と称する。図６において、移載方向は、第２軌道１４とほぼ垂直な方向（Ｘ方向）である。
【００４１】
図６（Ａ）は、アーム部５１が伸長して保持部５２がロードポート４上に進出した状態であり、保持部５２は、ロードポート４上の容器３のフランジ部２２を保持している。また、図６（Ｂ）は、アーム部５１が収縮して保持部５２がロードポート４から退避した状態であり、保持部５２は、第１バッファ１６上の容器３のフランジ部２２を保持している。図６（Ｂ）において、符号ＡＲ１は、第２軌道１４に平行な方向（Ｙ方向）におけるロードポート４上の容器３の範囲である。また、符号ＡＲ２は、第２軌道１４に平行な方向（Ｙ方向）において、第１バッファ１６に容器３を載置可能な範囲である。第１バッファ１６の位置は、範囲ＡＲ１が範囲ＡＲ２に収まるように設定される。また、第１バッファ１６は、第２軌道１４に垂直な方向（Ｘ方向）において、移載部４８が容器３を移載可能な範囲ＡＲ３内に配置される。
【００４２】
なお、ロードポート４において容器３の載置位置が複数ある場合、第１バッファ１６は、複数の載置位置の少なくとも１つに対応して設けられていればよい。例えば、図１のように、載置位置が２カ所である場合、第１バッファ１６は、２カ所の載置位置のそれぞれから容器３を移載できるように、２つ以上の容器３を載置可能でもよい。また、第１のバッファ１６は、一方の載置位置から容器３を移載可能な位置と、他方の載置位置から容器３を移載可能な位置とに、それぞれ設けられてもよい。また、第１のバッファ１６は、一方の載置位置から容器３を移載可能な位置に設けられ、他方の載置位置から容器３を移載可能な位置に設けられなくてもよい。    
【００４３】
［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図７は、本実施形態に係る搬送システムを示す図である。搬送システム１Ｂは、処理装置２のロードポート４と第１軌道１１との位置関係、第１バッファ１６と第１軌道１１との位置関係が第１実施形態と異なる。第１軌道１１は、ロードポート４の直上からＸ方向にずれた位置に敷設されている。第１軌道１１は、ロードポート４に対して、第２軌道１４と同じ側に配置されている。第１軌道１１は、第１バッファ１６の直上を通るように敷設されている。第１バッファ１６、第２バッファ１７は、例えばＵＴＢ（アンダートラックバッファ）である。第１バッファ１６は、第１軌道１１における天井搬送車１２の走行を妨げないように、設けられる。第１バッファ１６は、図７（Ｂ）に示すように、天井搬送車１２に対してＸ方向の外側の部分で天井１８に取り付けられているが、床面４３に支持されるフレームなどに設けられてもよい。
【００４４】
天井搬送車１２は、第１バッファ１６と物品３の受け渡しを行う際に、第１バッファ１６の直上で走行停止し、収容スペースＳＰに対して物品３を真下に昇降させる。本実施形態において、天井搬送車１２の横出し機構２８は、昇降駆動部２７（図３参照）を−Ｘ側に移動可能である。天井搬送車１２は、ロードポート４と物品３の受け渡しを行う際に、第１バッファ１６の直上で走行停止し、横出し機構２８によって昇降駆動部２７をロードポート４の直上に移動させ、物品３を昇降させる。天井搬送車１２は、第１バッファ１６の直上で走行停止した状態で、第１バッファ１６と物品３の受け渡しと、ロードポート４との物品の受け渡しとを行うことも可能である。これにより、天井搬送車１２は、走行停止した状態で、ロードポート４と第１バッファ１６とで物品３を移載することもできる。なお、搬送システム１Ｂは、天井搬送車１２が横出し機構２８を用いて物品３の受け渡しが可能なＳＴＢを備えてもよい。
【００４５】
［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図８は、本実施形態に係る搬送システムを示す図である。搬送システム１Ｃは、処理装置２のロードポート４と第１軌道１１との位置関係、第１バッファ１６とクレーン１５との位置関係が第１実施形態、第２実施形態と異なる。第１軌道１１は、ロードポート４の直上からＸ方向にずれた位置に敷設されている。第１軌道１１は、ロードポート４に対して、第２軌道１４と反対側に配置されている。第１軌道１１は、処理装置２の上方に、第１軌道１１上の天井搬送車１２が横出し機構２８によってロードポート４と物品３の受け渡しが可能なように、敷設されている。第１バッファ１６は、例えばＵＴＢ（アンダートラックバッファ）であり、第１軌道１１の直下に配置されている。このような、搬送システム１Ｃは、処理装置２の上方のスペースを利用するので、Ｘ方向において省スペースにすることができる。なお、搬送システム１Ｃは、天井搬送車１２が横出し機構２８を用いて物品３の受け渡しが可能なＳＴＢを備えてもよい。
【００４６】
なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１６−１２６１８０、及び本明細書中で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００４７】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・搬送システム
２・・・処理装置
３・・・物品
４・・・ロードポート
１１・・・第１軌道
１２・・・天井搬送車
１３・・・収納棚
１４・・・第２軌道
１５・・・クレーン
１６・・・第１バッファ
１７・・・第２バッファ
【図１】
0006690709.tif 000002
【図２】
0006690709.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0006690709.tif 000007
【図７】
0006690709.tif 000008
【図８】
0006690709.tif 000009