(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力により部品を採取、配置する吸着ノズルを装着し部品を実装する実装処理を行う実装ヘッドユニットであって、
実装処理に用いられる駆動力を供給する駆動部と、
前記駆動部に対向する開口部を有し、供給された正圧流体をリークさせて減圧し、前記リークさせた正圧流体により該駆動部を冷却する減圧部と、
前記減圧部が配設され前記減圧部により減圧された正圧流体を前記吸着ノズルに供給する正圧経路と、
を備えた実装ヘッドユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の実装ヘッドユニットであって、
複数の前記吸着ノズルを装着し回転駆動される円筒部材であるロータリー部、を備え、
前記正圧経路は、その末端が各々の前記吸着ノズルに接続されており、
前記減圧部は、各々の前記吸着ノズルに接続された前記正圧経路に各々設けられており、前記開口部が前記吸着ノズルの配置位置に対応して前記ロータリー部の外周面に各々配設されている、実装ヘッドユニット。
【請求項３】
前記ロータリー部は、上下動させる前記吸着ノズルの配置位置に対応した前記減圧部へ前記正圧流体を供給し、
前記駆動部は、前記上下動させる前記吸着ノズルに対向する位置に配設されている、請求項２に記載の実装ヘッドユニット。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の実装ヘッドユニットであって、
部品を供給する供給部、を備え、
前記駆動部は、実装処理で前記吸着ノズルを上下動させる第１上下動モータと、実装ヘッドユニット内で前記供給部から部品を採取する吸着ノズルを上下動させる第２上下動モータと、前記吸着ノズルへ供給する圧力を切り替える切替モータと、を含み、
前記減圧部は、前記第１上下動モータ、前記第２上下動モータ及び前記切替モータのうち少なくとも１つに対向する前記開口部を有する、実装ヘッドユニット。
【請求項５】
前記減圧部は、供給圧から一次減圧をする第１減圧部と一次減圧後の正圧流体を二次減圧する第２減圧部とを含み、前記第２減圧部の前記開口部が前記ロータリー部の外周面に配設されている、請求項２〜４のいずれか１項に記載の実装ヘッドユニット。
【請求項６】
前記駆動部は、少なくとも第１駆動モータと第２駆動モータとを含み、
前記減圧部は、供給圧から一次減圧をする第１減圧部と一次減圧後の正圧流体を二次減圧する第２減圧部とを含み、前記第１減圧部により前記第１駆動モータを冷却し、前記第２減圧部により前記第２駆動モータを冷却する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の実装ヘッドユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の実装ヘッドユニットを備えた、実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装ヘッドユニット及び実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品を基板に実装処理する実装装置としては、吸着ノズルへ負圧を供給する真空発生装置の排気空気を、吸着ノズルを駆動する駆動部へ向けて吐出させ、駆動部を冷却するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この実装装置では、格別な冷却駆動手段を必要とせず、全体の小型化を図ることができるとしている。また、実装装置としては、エジェクタ（空気圧機器）への給気が第１及び第２のモータ（アクチュエータ）を空冷するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この実装装置では、電子部品を高精度で搭載でき、低コストでコンパクトな実装装置を提供することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２０６６９１号公報
【特許文献２】特開２００３−１７４２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この特許文献１に記載された実装装置では、負圧を生じる真空発生装置の排気を用いるものであるが、例えば、装置内の真空度が高い状態で維持された場合などには、排気量が少なくなり駆動部の冷却を十分行うことができない場合があった。また、特許文献２に記載された実装装置では、エジェクタを使用するときに駆動部を冷却することができるが、エジェクタを使用しない場合には駆動部の冷却を十分に行うことができない場合があった。【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、簡素な構成を用いてより安定して駆動部を冷却することができる実装ヘッドユニット及び実装装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。【０００７】
本発明の実装ヘッドユニットは、
圧力により部品を採取、配置する吸着ノズルを装着し部品を実装する実装処理を行う実装ヘッドユニットであって、
実装処理に用いられる駆動力を供給する駆動部と、
前記駆動部に対向する開口部を有し、供給された正圧流体をリークさせて減圧し、前記リークさせた正圧流体により該駆動部を冷却する減圧部と、
前記減圧部が配設され前記減圧部により減圧された正圧流体を前記吸着ノズルに供給する正圧経路と、
を備えたものである。【０００８】
このユニットでは、吸着ノズルに供給する正圧流体を減圧する際に、リークさせた正圧流体を開口部から駆動部に向かって放出させることによって駆動部の冷却を行う。このユニットでは、廃棄されるリーク流体を有効利用し、新たな送風装置などを設けることなく、簡素な構成で駆動部の冷却を行うことができる。また、吸着ノズルへ供給する正圧流体は、実装処理中に比較的安定して吸着ノズルへ供給され、処理内容などにより供給量が変動しにくいため、このユニットでは、より安定した駆動部の冷却を行うことができる。ここで、「正圧流体」は、常圧以上の圧力のガスであるものとしてもよく、加圧空気などが挙げられる。【０００９】
本発明の実装ヘッドユニットは、複数の前記吸着ノズルを装着し回転駆動される円筒部材であるロータリー部、を備え、前記正圧経路は、その末端が各々の前記吸着ノズルに接続されており、前記減圧部は、各々の前記吸着ノズルに接続された前記正圧経路に各々設けられており、前記開口部が前記吸着ノズルの配置位置に対応して前記ロータリー部の外周面に各々配設されているものとしてもよい。このユニットでは、ロータリー部の外周面に対向して配置された駆動部の冷却を行うことができる。【００１０】
ロータリー部を備えた実装ヘッドユニットにおいて、前記ロータリー部は、上下動させる前記吸着ノズルの配置位置に対応した前記減圧部へ前記正圧流体を供給し、前記駆動部は、前記上下動させる前記吸着ノズルに対向する位置に配設されているものとしてもよい。上下動させる吸着ノズルの近傍には、その吸着ノズルを駆動する駆動部が配置されるため、このユニットでは、吸着動作で用いられることにより発熱する駆動部を効率よく冷却することができる。このユニットにおいて、上下動させる前記吸着ノズルの配置位置に対応した前記減圧部へ前記正圧流体を供給する連通制御部材を有するものとしてもよい。【００１１】
ロータリー部を備えた実装ヘッドユニットは、部品を供給する供給部、を備え、前記駆動部は、実装処理で前記吸着ノズルを上下動させる第１上下動モータと、実装ヘッドユニット内で前記供給部から部品を採取する吸着ノズルを上下動させる第２上下動モータと、前記吸着ノズルへ供給する圧力を切り替える切替モータと、を含み、前記減圧部は、前記第１上下動モータ、前記第２上下動モータ及び前記切替モータのうち少なくとも１つに対向する前記開口部を有するものとしてもよい。ユニット内に供給部を備える実装ヘッドユニットでは、外部の供給部へ部品を取りに行くなどの長距離の移動がほとんどないことから、移動による空冷効果が得られにくい。したがって、このユニットでは、吸着ノズルへ供給する正圧流体のうち、リークした流体を利用することによって安定した駆動部の冷却を行うことができる。また、このユニットでは、上下動モータや切替モータなどを冷却することができる。【００１２】
ロータリー部を備えた実装ヘッドユニットにおいて、前記減圧部は、供給圧から一次減圧をする第１減圧部と一次減圧後の正圧流体を二次減圧する第２減圧部とを含み、前記第２減圧部の前記開口部が前記ロータリー部の外周面に配設されているものとしてもよい。このユニットでは、一次減圧でリークした流体と、二次減圧でリークした流体とを利用することによって、十分安定した駆動部の冷却を行うことができる。【００１３】
本発明の実装ヘッドユニットにおいて、前記駆動部は、少なくとも第１駆動モータと第２駆動モータとを含み、前記減圧部は、供給圧から一次減圧をする第１減圧部と一次減圧後の正圧流体を二次減圧する第２減圧部とを含み、前記第１減圧部により前記第１駆動モータを冷却し、前記第２減圧部により前記第２駆動モータを冷却するものとしてもよい。このユニットでは、一次減圧でリークした流体と、二次減圧でリークした流体とを利用することによって、十分安定した駆動部の冷却を行うことができる。ここで、前記駆動部は、例えば、前記吸着ノズルを上下動させる上下動モータ、前記吸着ノズルへの正圧及び負圧の供給を切り替える切替モータ、前記吸着ノズルを回転させるノズル回転モータ、複数の吸着ノズルを装着した円筒部材であるロータリー部を回転させるロータリー部回転モータのうちいずれか１以上を含み、前記減圧部は、上記モータのうちいずれか１以上を空冷するものとしてもよい。【００１４】
本発明の実装装置は、上述したいずれかに記載の実装ヘッドユニットを備えている。この実装装置では、簡素な構成を用いてより安定して駆動部を冷却することができる。また、この実装装置では上述したいずれかを採用した態様に応じた効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実装システム１０の一例を表す概略説明図。
【図２】実装ヘッドユニット２０の概略を表す説明図。
【図３】実装ヘッドユニット２０の正圧経路３１及び負圧経路４１の説明図。
【図４】ロータリー部２２及び第１切替モータ５３の説明図。
【図５】一次減圧部３３及び第２上下動モータ５２の説明図。
【図６】減圧部３０と駆動部５０との配置位置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は、実装システム１０の一例を表す概略説明図である。図２は、実装ヘッドユニット２０の概略を表す説明図である。図３は、実装ヘッドユニット２０の正圧経路３１及び負圧経路４１の説明図である。図４は、ロータリー部２２及び第１切替モータ５３の説明図である。図５は、一次減圧部３３及び第２上下動モータ５２の説明図である。図６は、減圧部３０と駆動部５０との配置位置の説明図である。図６は、ロータリー部２２を上方から見た概念図である。実装システム１０は、部品を基板Ｓに実装する実装処理を実行するシステムである。この実装システム１０は、実装装置１１と、管理コンピュータ７０とを備えている。図１では、説明の便宜のため実装装置１１を１台のみ示している。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は図１に示した通りとする。
【００１７】
実装装置１１は、図１〜６に示すように、基板搬送ユニット１２と、部品供給ユニット１４と、正圧供給部１５と、負圧供給部１６と、制御ユニット１７と、実装ヘッドユニット２０とを備えている。基板搬送ユニット１２は、基板Ｓの搬入、搬送、実装位置での固定、搬出を行うユニットである。基板搬送ユニット１２は、図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に架け渡された１対のコンベアベルトを有している。基板Ｓはこのコンベアベルトにより搬送される。
【００１８】
部品供給ユニット１４は、複数のリールを備え、実装装置１１の前側に着脱可能に取り付けられている。各リールには、テープが巻き付けられ、テープの表面には、複数の部品がテープの長手方向に沿って保持されている。このテープは、リールから後方に向かって巻きほどかれ、部品が露出した状態で、吸着ノズル２４で採取される採取位置に送り出される。
【００１９】
正圧供給部１５は、実装装置１１の各ユニットへ加圧した空気（例えば５００ｋＰａなど）を供給するものであり、例えば加圧ポンプなどにより構成されている。この正圧供給部１５は、例えば、実装ヘッドユニット２０の吸着ノズル２４へ正圧経路３１を介して加圧した空気を供給する。負圧供給部１６は、実装装置１１の各ユニットへ負圧（例えば５０Ｐａなど）を供給するものであり、例えば減圧ポンプなどにより構成されている。この負圧供給部１６は、例えば、実装ヘッドユニット２０の吸着ノズル２４へ負圧経路４１を介して負圧を供給する。なお、正圧供給部１５や負圧供給部１６は、例えばアクチュエータ（エアシリンダなど）の駆動など、実装ヘッドユニット２０以外のユニットへも正圧や負圧を供給する。このため、実装装置１１において、正圧供給部１５では高い圧力の正圧空気を供給し、実装ヘッドユニット２０では減圧部３０により減圧した正圧空気を利用する。
【００２０】
制御ユニット１７は、実装装置１１全体の制御を司るものであり、図１に示すように、ＣＰＵ１８を中心とするマイクロプロセッサとして構成されている。この制御ユニット１７は、基板搬送ユニット１２、部品供給ユニット１４、正圧供給部１５、負圧供給部１６及び実装ヘッドユニット２０へ制御信号を出力し、部品供給ユニット１４や実装ヘッドユニット２０からの信号を入力する。
【００２１】
実装ヘッドユニット２０は、圧力により部品を採取、配置する吸着ノズル２４を装着し、部品供給ユニット１４から部品を採取し、基板搬送ユニット１２に固定された基板Ｓへ配置する実装処理を行うものである。実装ヘッドユニット２０は、ヘッド移動ユニットの駆動により、ＸＹ方向に移動される。実装ヘッドユニット２０は、ユニット内部に部品を供給するヘッド内供給部２５を有するバルクヘッド２１を備えている。このバルクヘッド２１は、回転可能な状態でヘッドに保持されるロータリー型の実装ヘッドとして構成されている。このバルクヘッド２１は、ロータリー部２２と、ヘッド内供給部２５と、減圧部３０と、正圧経路３１と、負圧経路４１と、駆動部５０とを備えている。なお、バルクヘッドの構成やその駆動方式などの詳細は、国際公開第２０１４／１３６２３１号パンフレットに詳しいため、ここではその詳細な説明は省略する。
【００２２】
ロータリー部２２は、複数の吸着ノズル２４を装着し回転駆動される円筒部材である。このロータリー部２２は、軸回転可能にバルクヘッド２１に支持され、複数のノズルホルダ２３（例えば１２個）をその外周側に配設している。ノズルホルダ２３は、その下端に吸着ノズル２４を装着、取外し可能な長尺円筒状の部材であり、ロータリー部２２に上下動可能且つ回転可能に支持されている。吸着ノズル２４は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。ここでは、吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌの１２個がロータリー部２２に装着されている（図６参照）。なお、ここでは、吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌを吸着ノズル２４と総称する。この実装ヘッドユニット２０では、図６の吸着ノズル２４Ａの位置が、部品供給ユニット１４からの部品採取、及び基板Ｓへの部品の実装を行う実装昇降位置であり、吸着ノズル２４Ｅの位置が、ヘッド内供給部２５からの部品の採取を行う部品受取位置である。
【００２３】
ロータリー部２２には、図３に示すように、吸着ノズル２４の圧力を、負圧、大気圧及び正圧のいずれかに切り替える切替弁４２Ａ〜４２Ｌが吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌに対応して配設されている。この切替弁４２Ａ〜４２Ｌの上部には、係合部５５，５６（図２〜４参照）に係合される鍔状の被係合部４３Ａ〜４３Ｌが配設されている。また、図４に示すように、ロータリー部２２の外周面には、正圧空気を外部へ放出するにがし孔３８Ａ〜３８Ｌが吸着ノズル２４に対応した位置に設けられている。なお、切替弁４２Ａ〜４２Ｌ、被係合部４３Ａ〜４３Ｌ及びにがし孔３８Ａ〜３８Ｌについても、それぞれ切替弁４２、被係合部４３及びにがし孔３８と総称する。にがし孔３８は、吸着ノズル２４の真空破壊用に供給される正圧を減圧する際に生じた一部の正圧空気を外部へ放出する孔である。にがし孔３８は、駆動部５０（第１切替モータ５３や第２切替モータ５４）に対向して設けられる開口部である。駆動部５０は、にがし孔３８から放出される正圧空気により冷却される。
【００２４】
ヘッド内供給部２５は、図２に示すように、バルクフィーダ２６と、供給モータ２７と、部品供給口２８とを備える。ヘッド内供給部２５は、部品を等間隔に配置したテープが巻き付けられたリールを内包している。バルクフィーダ２６は、供給モータ２７の駆動により、テープを部品供給口２８へ送り出す。実装ヘッドユニット２０では、図６の吸着ノズル２４Ｅの位置（部品受取位置）の下方に部品供給口２８が配設されている。このため、実装ヘッドユニット２０では、ＸＹ方向に移動することなく、吸着ノズル２４がヘッド内供給部２５から部品を採取することができる。
【００２５】
実装ヘッドユニット２０は、吸着ノズル２４の駆動に用いる正圧経路３１及び負圧経路４１を備えている。負圧経路４１は、図３に示すように、負圧供給部１６から供給される負圧を、ロータリー部２２に配設された切替弁４２へ付与する配管である。正圧経路３１は、減圧部３０が配設されており、正圧供給部１５から供給されたのち減圧部３０により減圧された正圧空気を吸着ノズル２４へ供給する配管である。正圧経路３１には、ソレノイドバルブ３２とソレノイドバルブ３６とが配設されている。ソレノイドバルブ３２は、正圧供給部１５から切替弁４２へ直接、供給圧の正圧空気を供給する経路に配設され、正圧空気の供給及び供給停止を行う弁である。ソレノイドバルブ３２は、例えば、吸着ノズル２４のクリーニングを行う際に開放される。ソレノイドバルブ３６は、減圧部３０（一次減圧部３３）を介することにより、供給圧（例えば５００ｋＰａなど）から一次減圧した正圧空気（例えば２００ｋＰａなど）を切替弁４２へ供給する経路に配設されている。ソレノイドバルブ３６は、一次減圧された正圧空気の供給及び供給停止を行う弁である。このソレノイドバルブ３６は、実装装置１１の実装処理中は常に開放されて正圧空気を切替弁４２側へ供給する。
【００２６】
減圧部３０は、供給された正圧空気をリークさせて減圧するものであり、供給圧から一次減圧をする第１減圧部３３と、一次減圧後の正圧空気を二次減圧する第２減圧部３７とを含む。この減圧部３０は、駆動部５０に対向する開口部を有し、リークさせた正圧空気により駆動部５０を冷却する。第１減圧部３３は、供給された正圧空気を減圧する減圧弁３４と、正圧空気をリークする開口部である排気口３５とにより構成されている。第１減圧部３３は、正圧供給部１５の稼働中において、リークする正圧空気を常に排気口３５から放出する。第１減圧部３３は、図５に示すように、バルクヘッド２１の本体側に配設されているが、排気口３５が第２上下動モータ５２に対向して開口している。第２減圧部３７は、ロータリー部２２に配設されたにがし孔３８により構成される。正圧経路３１は、図３に示すように、その末端経路が切替弁４２Ａ〜４２Ｌを介して各々の吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌに接続されている。第２減圧部３７のにがし孔３８は、図６に示すように、各々の吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌに接続された正圧経路３１の末端経路の先端に各々設けられている。にがし孔３８は、吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｌの配置位置に対応した位置に等間隔でロータリー部２２の外周面に各々配設されている。吸着ノズル２４は、部品を離す際には、負圧を打ち消し、且つ部品が飛ばない程度の微弱な正圧を要する。このため、にがし孔３８は、切替弁４２へ適切な圧の正圧空気が供給されるようその開口面積が調整されている。ロータリー部２２は、その軸中心に正圧経路３１が形成されており、正圧経路３１の末端経路がこの軸中心から放射状に形成されている。ロータリー部２２の軸中心には、連通制御部材３９が配設されている。この連通制御部材３９は、上下動させる吸着ノズル２４Ａの配置位置に対応した切替弁４２へのみ正圧空気を供給する部材である。この連通制御部材３９は、切欠きのある円柱形状を有し、軸回転不能に下方から固定されている。連通制御部材３９は、切欠きのない部分では外周面が正圧経路３１の内周面に当接し、その先に形成された末端経路を塞ぐ一方、切欠きのある部分では末端経路と連通し、これに正圧空気を流通させる。ここでは、この連通制御部材３９は、吸着ノズル２４Ａ〜２４Ｄへ正圧空気を供給する。なお、図６では、正圧経路３１の末端経路を示したが、この下方に図示しない負圧経路４１の末端経路が形成されている。
【００２７】
駆動部５０は、実装処理に用いられる駆動力を供給する各種モータを含む。この駆動部５０には、第１上下動モータ５１、第２上下動モータ５２、第１切替モータ５３、第２切替モータ５４、ノズル回転モータ５７及びロータリー部回転モータ５８などが含まれる。第１上下動モータ５１は、ノズルホルダ２３の上端部に係合し、実装昇降位置で吸着ノズル２４Ａを上下動させるモータである。第２上下動モータ５２は、ノズルホルダ２３の上端部に係合し、実装ヘッドユニット２０内でヘッド内供給部２５から部品を採取する吸着ノズル２４Ｅを部品受取位置で上下動させるモータである。第１切替モータ５３は、実装昇降位置で係合部５５が被係合部４３Ａに係合し、被係合部４３Ａを上下動させるモータである。切替弁４２Ａは、第１切替モータ５３の駆動により負圧と正圧とを切り替える。この第１切替モータ５３は、にがし孔３８Ａに対向する位置に配設されている（図４，６参照）。第２切替モータ５４は、部品受取位置で係合部５６が被係合部４３Ｅに係合し、被係合部４３Ｅを上下動させるモータである。切替弁４２Ｅは、第２切替モータ５４の駆動により正圧（又は大気圧）から負圧へ切り替える。この第２切替モータ５４は、にがし孔３８Ｄに対向する位置に配設されている（図６参照）。ノズル回転モータ５７は、ギアを介してノズルホルダ２３を軸回転させることにより吸着ノズル２４を軸回転させるモータである。ロータリー部回転モータ５８は、ギアを介してロータリー部２２を軸回転させるモータである。第１上下動モータ５１や第２上下動モータ５２、ノズル回転モータ５７、ロータリー部回転モータ５８などは、ロータリー部２２の上方に配設されている。
【００２８】
次に、こうして構成された本実施形態の実装装置１１の動作、特に減圧部３０による駆動部５０の冷却について説明する。実装装置１１の実装処理が開始されると、制御ユニット１７のＣＰＵ１８は、正圧供給部１５及び負圧供給部１６を駆動すると共に、ソレノイドバルブ３６を開放する。すると、正圧経路３１に供給された正圧空気は、第１減圧部３３で減圧された一部が排気口３５を介して第２上下動モータ５２に向かって放出される。また、正圧経路３１に供給された正圧空気は、第２減圧部３７で減圧された一部がにがし孔３８を介して第１切替モータ５３や第２切替モータ５４へ放出される。近年は、実装処理の高速化が進み、駆動部５０の駆動頻度が高くなっており、駆動部５０の放熱が問題となっている。特に、実装ヘッドユニット２０にヘッド内供給部２５を備えるバルクヘッド２１では、部品供給ユニット１４まで移動しなくても部品を採取できるため、実装ヘッドユニット２０の移動に伴う空冷効果を得られにくい。この実装ヘッドユニット２０では、吸着ノズル２４で要する真空破壊用の、常時利用される正圧空気のうち調圧で排出させるものを有効利用し、第２上下動モータ５２や第２切替モータ５４、第１切替モータ５３を空冷するのである。
【００２９】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の駆動部５０が駆動部に相当し、減圧部３０が減圧部に相当し、排気口３５及びにがし孔３８が開口部に相当し、正圧経路３１が正圧経路に相当し、正圧空気が正圧流体に相当する。
【００３０】
以上説明した本実施形態の実装ヘッドユニット２０は、吸着ノズル２４に供給する正圧空気を減圧する際に、リークさせた正圧空気を排気口３５やにがし孔３８（開口部）から駆動部５０（第２上下動モータ５２、第１切替モータ５３、第２切替モータ５４）に向かって放出させることによって駆動部５０の冷却を行う。このユニットでは、廃棄される正圧空気を有効利用し、新たな送風装置などを設けることなく、簡素な構成で駆動部５０の冷却を行うことができる。また、吸着ノズル２４へ供給する正圧空気は、実装処理中に比較的安定して吸着ノズル２４へ供給され、処理内容などにより供給量が変動しにくいため、このユニットでは、より安定した駆動部５０の冷却を行うことができる。また、実装ヘッドユニット２０は、正圧経路３１の末端が各々の吸着ノズル２４に接続されており、減圧部３０は、各々の吸着ノズル２４に接続された正圧経路３１に各々設けられており、にがし孔３８が吸着ノズル２４の配置位置に対応してロータリー部２２の外周面に各々配設されている。このユニットでは、ロータリー部２２の外周面に対向して配置された駆動部５０の冷却を行うことができる。
【００３１】
また、ロータリー部２２は、上下動させる吸着ノズル２４の配置位置に対応したにがし孔３８へ正圧空気を供給し、駆動部５０は、上下動させる吸着ノズル２４に対向する位置に配設されている。上下動させる吸着ノズル２４の近傍には、その吸着ノズル２４を駆動する駆動部５０が配置される。このため、このユニットでは、吸着動作で用いられることにより発熱する駆動部５０を効率よく冷却することができる。更に、実装ヘッドユニット２０は、ヘッド内供給部２５を備え、ヘッド内供給部２５の駆動時に用いられる第２上下動モータ５２や第２切替モータ５４などに減圧時の正圧空気を放出させるため、実装ヘッドユニット２０が移動せずに駆動され、実装ヘッドユニット２０の移動による空冷効果を得られにくい駆動部５０を効率よく冷却することができる。
【００３２】
また、実装ヘッドユニット２０では、第１減圧部３３でリークした正圧空気と、第２減圧部３７でリークした正圧空気を用いて複数の駆動部５０に対して効率よく、十分安定した冷却を行うことができる。また、実装ヘッドユニット２０では、第２減圧部３７のにがし孔３８がロータリー部２２の外周面に配設されているため、吸着動作で利用されロータリー部２２の近傍に配設された第１切替モータ５３や第２切替モータ５４を効率よく冷却することができる。更に、一次減圧でリークした流体と、二次減圧でリークした流体とを利用することによって、十分安定した駆動部の冷却を行うことができる。
【００３３】
更に、実装ヘッドユニット２０では、ロータリー部２２において、正圧経路３１の末端に、にがし孔３８を設けるため、比較的短い経路で第１切替モータ５３や第２切替モータ５４へ正圧空気を放出することができる。また、実装ヘッドユニット２０では、駆動部５０の配置位置をそれぞれ工夫しており、例えば、減圧弁３４の近傍に第２上下動モータ５２を配置するため、比較的短い経路で第２上下動モータ５２へ正圧空気を放出することができる。
【００３４】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３５】
例えば、上述した実施形態では、第１減圧部３３が第２上下動モータ５２を冷却し、第２減圧部３７が第１切替モータ５３や第２切替モータ５４を冷却するものとしたが特にこれに限定されず、第１減圧部３３や第２減圧部３７が、駆動部５０に含まれるいずれか１以上のモータを冷却するものとすればよい。また、第１減圧部３３と第２減圧部３７の２つにより駆動部５０を冷却するものとしたが、いずれか一方の冷却を省略してもよいし、第３減圧部など、他の減圧部で放出される正圧空気を用いて駆動部５０を冷却するものとしてもよい。
【００３６】
上述した実施形態では、吸着ノズル２４を駆動する駆動部５０を減圧部３０により空冷するものとして説明したが、実装処理に利用される駆動部を空冷するものとすれば、特にこれに限定されず、例えば、減圧部３０によりヘッド内供給部２５の供給モータ２７を空冷するものとしてもよい。この実装ヘッドユニットにおいても、簡素な構成を用いてより安定して実装処理に利用される駆動部を冷却することができる。
【００３７】
上述した実施形態では、ヘッド内供給部２５を備えた実装ヘッドユニット２０として説明したが。ヘッド内供給部２５を備えないものとしてもよい。ヘッド内供給部２５を備えない実装ヘッドユニットにおいても、実装処理の高速化により放熱対策が必要であるため、本発明を利用する意義が高い。
【００３８】
上述した実施形態では、実装ヘッドユニット２０は、ロータリー部２２を備えるものとしたが、特にこれに限定されず、ロータリー式ではないものとしてもよい。ロータリー式ではない実装ヘッドユニットにおいても、吸着ノズル２４を上下動する上下動モータなどの駆動部を備えるため、減圧部３０から放出される正圧空気を利用して、簡素な構成を用いてより安定して駆動部を冷却することができる。
【００３９】
上述した実施形態では、実装ヘッドユニット２０は、１２個の吸着ノズル２４を装着するものとしたが、１以上の吸着ノズル２４を装着するものとすれば、特にこれに限定されない。
【００４０】
上述した実施形態では、実装ヘッドユニット２０を備えた実装装置１１として説明したが、特にこれに限定されず、実装ヘッドユニット２０としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、電子部品の実装分野に利用可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  実装システム、１１  実装装置、１２  基板搬送ユニット、１４  部品供給ユニット、１５  正圧供給部  １６  負圧供給部、１７  制御ユニット、１８  ＣＰＵ、２０  実装ヘッドユニット、２１  バルクヘッド、  ２２  ロータリー部、２３  ノズルホルダ、２４，２４Ａ〜２４Ｌ  吸着ノズル、２５  ヘッド内供給部、２６  バルクフィーダ、２７  供給モータ、２８  部品供給口、３０  減圧部、３１  正圧経路、３２  ソレノイドバルブ、３３  第１減圧部、３４  減圧弁、３５  排気口（開口部）、３６  ソレノイドバルブ、３７  第２減圧部、３８，３８Ａ〜３８Ｌ  にがし孔（開口部）、３９  連通制御部材、４１  負圧経路、４２，４２Ａ〜４２Ｌ  切替弁、４３  ４３Ａ〜４３Ｌ  被係合部、５０  駆動部、５１  第１上下動モータ、５２  第２上下動モータ、５３  第１切替モータ、５４  第２切替モータ、５５  係合部、５６  係合部、５７  ノズル回転モータ、５８  ロータリー部回転モータ、７０  管理コンピュータ、Ｓ  基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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