(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有し、前記本体部に対し複数の吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、
前記昇降部は、
前記把持部が設けられるベース部と、
防振部を介して前記ベース部を鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する支持部を有し、少なくとも一つの前記吊持部材が取り付けられる、複数の緩衝機構と、を備え、
前記複数の緩衝機構はリンク機構によって連結されており、
前記リンク機構は、互いに連結されている前記複数の緩衝機構における前記支持部と前記ベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作する、天井搬送車。
【請求項２】
前記リンク機構は、前記本体部が走行する方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に配列された二つの前記緩衝機構同士を連結する、請求項１記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記リンク機構は、前記本体部が走行する方向に配列された二つの前記緩衝機構同士を連結する、請求項１又は２記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記リンク機構は、前記本体部が走行する方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に配列された二つの前記緩衝機構同士を連結すると共に、前記本体部が走行する方向に配列された二つの前記緩衝機構同士を連結する、請求項１〜３の何れか一項記載の天井搬送車。
【請求項５】
前記昇降部は、前記本体部に対して四本の前記吊持部材によって吊り下げられており、
前記複数の緩衝機構のうち一つの緩衝機構は、前記支持部に揺動可能に設けられる揺動部を更に有し、
前記四本の吊持部材のうち二本の吊持部材は、前記揺動部に取り付けられている、請求項１〜４の何れか一項記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有し、前記本体部に対し複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより昇降する昇降部と、を備えた天井搬送車が知られている。例えば、特許文献１には、昇降部と把持部との間に鉛直方向に弾性変形自在な緩衝体が配置された天井搬送車が開示されている。この構成の天井搬送車によれば、走行体が走行するとき又は昇降部が昇降するときの振動が物品に伝わることを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９４２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の緩衝材が配置された天井搬送車は、走行体が走行するとき又は昇降部が昇降するときの振動が物品に伝わることを低減できるものの、例えば、走行中の加速度又はカーブ走行中の遠心力により、昇降部にロール運動が生じやすい。このようにして発生するロール運動は、昇降部を傾けるので物品に揺れを生じさせ、例えば、物品を天井搬送車のカバーに接触させたり、物品の移載精度を悪化させたりする等の不具合をもたらす。【０００５】
そこで、本発明の一側面の目的は、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制することができる天井搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有し、本体部に対し複数の吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、昇降部は、把持部が設けられるベース部と、防振部を介してベース部を鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する支持部を有し、少なくとも一つの吊持部材が取り付けられる、複数の緩衝機構と、を備え、複数の緩衝機構はリンク機構によって連結されており、リンク機構は、互いに連結されている複数の緩衝機構における支持部とベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作する。【０００７】
この構成の天井搬送車では、ベース部は、防振部を介して各支持部に対して鉛直方向に移動可能に設けられているので、本体部が走行するとき又は昇降部が昇降するときの振動が物品に伝わることを抑制できる。また、この構成の天井搬送車では、リンク機構が、互いに連結されているそれぞれの緩衝機構における支持部とベース部との間の各距離同士を互いに近づけように動作するので、ベース部にロール運動が生じることを抑制できる。このため、ベース部における傾きを小さくすることができ、物品の揺れを抑制できる。これらの結果、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制することができる。【０００８】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、リンク機構は、本体部が走行する方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に配列された二つの緩衝機構同士を連結してもよい。【０００９】
この構成の天井搬送車によれば、例えば、カーブ走行時又は物品を横方向へ移載する時に発生する幅方向（本体部が走行する方向及び鉛直方向の両方に直交する方向）へのロール運動を抑制できる。【００１０】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、リンク機構は、本体部が走行する方向に配列された二つの緩衝機構同士を連結してもよい。【００１１】
この構成の天井搬送車によれば、例えば、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向（本体部が走行する方向）へのロール運動を抑制できる。【００１２】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、リンク機構は、本体部が走行する方向及び鉛直方向の両方に直交する方向に配列された二つの緩衝機構同士を連結すると共に、本体部が走行する方向に配列された二つの緩衝機構同士を連結してもよい。【００１３】
この構成の天井搬送車によれば、例えば、カーブ走行時又は物品を横方向へ移載する時に発生する幅方向へのロール運動を抑制できると共に、例えば、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向（本体部が走行する方向）へのロール運動を抑制できる。更に、物品の重心位置の変化及び公差の少なくとも一方により生じる、物品を把持した状態又は物品を把持しない状態におけるベース部の傾きを吸収して、水平状態を維持することができる。【００１４】
本発明の一側面に係る天井搬送車では、昇降部は、本体部に対して四本の吊持部材によって吊り下げられており、複数の緩衝機構のうち一つの緩衝機構は、支持部に揺動可能に設けられる揺動部を更に有し、四本の吊持部材のうち二本の吊持部材は、揺動部に取り付けられていてもよい。【００１５】
この構成の天井搬送車によれば、昇降部は、四本の吊持部材によって吊り下げられているが、揺動部に取り付けられていない二本の吊持部材と昇降部との二箇所の連結部分、及び、上記昇降部において揺動可能に連結された一箇所の揺動部分の実質的に三箇所で吊り下げられたような状態となっている。これにより、三本の吊持部材によって吊り下げられている場合と同様の効果が得られ、昇降部をより安定した状態で吊り下げることができる。更に、一本の吊持部材が何らかの原因で切断されてしまった場合も、吊持状態を維持することができ、実際に三本の吊持部材で吊り下げられる場合に比べ安全性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一側面によれば、物品に伝わる振動を低減しつつ、昇降部（把持部）の傾きを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。
【図２】図２は、図１の天井搬送車を前方向から見た側面図である。
【図３】図３は、第一緩衝機構を左方向から見た正面図である。
【図４】図４は、第二緩衝機構を右方向から見た背面図である。
【図５】図５は、リンク機構の斜視図である。
【図６】図６は、ベース部の背面に配置されたリンク機構の斜視図である。
【図７】図７は、ベース部の背面に配置されたリンク機構の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】
図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図であり、図２は、図１の天井搬送車を前方向から見た側面図である。図１及び図２では、リンク機構７０の図示は省略している。図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品としてのＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）（物品）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ又はレチクル等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。
【００２０】
以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向とする。図１における上下方向を天井搬送車１の上下（鉛直）方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の左右方向又は幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。
【００２１】
図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部（本体部）５と、回転駆動部（本体部）６と、昇降駆動部（本体部）７と、昇降装置（昇降部）１０と、保持装置（把持部）１１と、第一緩衝機構５０（図５参照）と、第二緩衝機構４０（図５参照）と、リンク機構７０（図５参照）と、を有している。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を覆うように前後方向に一対のカバー８，８が設けられている。一対のカバー８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。落下防止機構８Ａは、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の落下を防止する。また、揺れ抑制機構８Ｂは、走行時における保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１の前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。
【００２２】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動する。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が設けられている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（左右方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト（吊持部材）９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。
【００２３】
図１及び図２に示されるように、本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。昇降装置１０は、四本のベルト９が取り付けられる複数の緩衝機構としての第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０と、保持装置１１が設けられるベース部１０Ａと、ベース部１０Ａを覆うカバー部１０Ｂと、を有している。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。
【００２４】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に設けられている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。
【００２５】
図３は、第一緩衝機構の概略構成を示した正面図であり、図４は、第二緩衝機構の概略構成を示した正面図である。なお、図３は、説明の便宜のため後述する第一本体部材５４の一部（第二支持部材５４Ｂ）及び第一緩衝機構５０に連結されるリンク機構７０の図示を省略している。また、図４も、説明の便宜のため後述する第四本体部材４６の一部（第四支持部材４６Ｂ）及び第二緩衝機構４０に連結されるリンク機構７０の図示を省略している。図３及び図４に示されるように、第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０は、ベルト９と昇降装置１０（図１参照）とを連結する機構であり、走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときの振動がＦＯＵＰ９０に伝わることを抑制する機構である。
【００２６】
図２に示されるように、第一緩衝機構５０は、左右方向において昇降装置１０の右側に設けられている。また、第一緩衝機構５０は、図３に示されるように前後方向において二箇所に配置されている。第一緩衝機構５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材（支持部）５４と、第二本体部材５６と、第一軸部５７，５７と、第一バネ部材（防振部）５８，５８と、を有している。
【００２７】
接続部材５１は、ベルト９に取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、第一ピン部材５２を介して接続部材５１に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、上端が開口する略Ｕ字状の部材であり、その底部は、水平方向に平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３の両端にボルト５５によって連結されている。第一本体部材５４は、第一支持部材５４Ａ（図５及び図６参照）と、第二支持部材５４Ｂ（図５及び図６参照）とを有している。第一支持部材５４Ａは、第一バネ部材５８，５８を下方から支持する。第二支持部材５４Ｂは、第一支持部材５４Ａに直交する部材である。
【００２８】
第二本体部材５６は、前後方向における揺動部材５３及び第一本体部材５４の略中心部同士を連結する部材である。一対の第一軸部５７，５７は、第一本体部材５４から上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第二本体部材５６を挟むように配置されている。一対の第一バネ部材５８，５８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第一軸部５７，５７にそれぞれ挿通されている。一対の第一バネ部材５８，５８の上端には、ベース部１０Ａが接触された状態で配置されている。第一バネ部材５８は、ベース部１０ＡをＦＯＵＰ９０の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。防振部としての第一バネ部材５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。
【００２９】
図２に示されるように、第二緩衝機構４０は、左右方向において昇降装置１０の左側に設けられている。第二緩衝機構４０は、図４に示されるように、前後方向において中央部近傍に配置されている。第二緩衝機構４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材（揺動部）４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材（支持部）４６と、第二軸部４７，４７と、第二バネ部材（防振部）４８，４８と、を有している。
【００３０】
接続部材４１，４１は、ベルト９，９が取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対の第三ピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、第四ピン部材４４を介して連結されている。第四本体部材４６は、第三本体部材４５の下端に連結されており、水平方向に延びる板材である。第四本体部材４６は、第三支持部材４６Ａ（図５及び図６参照）と、第四支持部材４６Ｂ（図５及び図６参照）とを有している。第三支持部材４６Ａは、第二バネ部材４８，４８を下方から支持する。第四支持部材４６Ｂは、第三支持部材４６Ａに直交する部材である。
【００３１】
一対の第二軸部４７，４７は、第四本体部材４６から上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第三本体部材４５を挟むように配置されている。一対の第二バネ部材４８，４８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第二軸部４７，４７にそれぞれ挿通されている。一対の第二軸部４７，４７の上端には、ベース部１０Ａが接触された状態で配置されている。第二バネ部材４８は、ベース部１０ＡをＦＯＵＰ９０の把持方向（鉛直方向下方）とは反対側の上方へ押圧する。防振部としての第二バネ部材４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。
【００３２】
図５〜図７に示されるように、リンク機構７０は、前後方向（走行方向）及び上下方向（鉛直方向）の両方に直交する左右方向（幅方向）に配列された二つの第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０を連結すると共に、前後方向に配列された二つの第一緩衝機構５０，５０同士を連結する。リンク機構７０は、第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース部１０Ａとの間の距離と、第二緩衝機構４０における第四本体部材４６とベース部１０Ａとの間の距離と、を互いに近づけるように動作する。また、リンク機構７０は、左側に配置される第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース部１０Ａとの間の距離と、右側に配置される第一緩衝機構５０における第一本体部材５４とベース部１０Ａとの間の距離とを互いに近づけるように動作する。以下、リンク機構７０の詳細について説明する。
【００３３】
リンク機構７０は、第一シャフト７１と、第二シャフト７２と、第三シャフト７３と、第四シャフト７４と、第一ブッシュ８１と、第一ブロック８２と、第二ブロック８３と、第二ブッシュ８４と、第三ブッシュ８５と、固定部８６と、連結部８８と、を有している。
【００３４】
第一シャフト７１は、第二緩衝機構４０における第四支持部材４６Ｂに固着された第一ブッシュ８１に支持されており、前後方向に延在している。第一シャフト７１は、第一ブッシュ８１の挿通孔８１Ａに挿通され、第一ブッシュ８１に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第一ブッシュ８１の材料は、第一シャフト７１が所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。前後方向に配列される二つの第一シャフト７１は、前後方向に略一直線上に配置されている。また、それぞれの第一シャフト７１は、前後方向において一対の第二バネ部材４８，４８がそれぞれ挿通される第二軸部４７，４７（図４参照）と一直線上になるように配置されている。
【００３５】
第三シャフト７３は、第一緩衝機構５０における第二支持部材５４Ｂに固着された第二ブッシュ８４に支持されており、前後方向に延在している。第三シャフト７３は、第二ブッシュ８４の挿通孔８４Ａに挿通され、第二ブッシュ８４に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第四シャフト７４は、第一緩衝機構５０における第二支持部材５４Ｂに固着された第三ブッシュ８５に支持されており、前後方向に延在している。第四シャフト７４は、第三ブッシュ８５の挿通孔８５Ａに挿通され、第三ブッシュ８５に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第二ブッシュ８４及び第三ブッシュ８５の材料も、第一ブッシュ８１と同様に、第三シャフト７３及び第四シャフト７４が所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。
【００３６】
第三シャフト７３と第四シャフト７４とは、第二緩衝機構４０を挟んで互いに平行となるように配置されている。更に詳細には、一対の第一バネ部材５８，５８がそれぞれ挿通される第一軸部５７，５７を通過する前後方向の線を仮想線としたとき、第三シャフト７３及び第四シャフト７４は、当該仮想線を軸として線対称に配置されている。前後方向に配列される二つの第三シャフト７３，７３は、前後方向に一直線上に配置されており、後段にて詳述する連結部８８を介して連結されている。また、前後方向に配列される二つの第四シャフト７４，７４は、前後方向に一直線上に配置されている。
【００３７】
第二シャフト７２は、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８２及び第二ブロック８３に支持されており、左右方向に延在している。第二シャフト７２は、第一ブロック８２の挿通孔８２Ａ及び第二ブロック８３の挿通孔８３Ａに挿通され、第一ブロック８２及び第二ブロック８３に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。
【００３８】
左右方向における第二シャフト７２の一端は、第一シャフト７１に連結されている。具体的には、第一シャフト７１の端部が第二シャフト７２に形成された挿通孔７２Ａに挿通されている。左右方向における第二シャフト７２の他端は、第三シャフト７３に連結されている。具体的には、第三シャフト７３の端部が第二シャフト７２に形成された挿通孔７２Ｂに挿通されている。また、第二シャフト７２は、左右方向における第一ブロック８２と第二ブロック８３との間において、第四シャフト７４に連結されている。第二シャフト７２は、ベース部１０Ａの底面に固着された固定部８６を介して第四シャフト７４に連結されている。固定部８６は、第四シャフト７４と第二シャフト７２との取付公差を吸収する。
【００３９】
天井搬送車１を右方向から見たときに、前側に配置される第一緩衝機構５０に連結される第三シャフト７３と、後側に配置される第一緩衝機構５０に連結される第三シャフト７３とは、連結部８８を介して連結されている。連結部８８は、前後方向に配列された二つの第二ブッシュ８４，８４の略中心となる位置に配置されている。連結部８８は、前側に配置される第三シャフト７３の外径よりも大きな内径を有する内挿部８８Ａを有する。第三シャフト７３は、例えば、内挿部８８Ａ内における一箇所で樹脂等の支持部材を介して固定されている。これにより、第三シャフト７３は、内挿部８８Ａの内部を上下左右方向に移動可能に設けられる。
【００４０】
次に、図５〜図７を用いて、左右方向に配列された第二緩衝機構４０と第一緩衝機構５０とを連結するリンク機構７０の動作の一例を説明する。例えば、走行時の遠心力により、左側の第二緩衝機構４０の第二バネ部材４８，４８に力が作用したとする。第二緩衝機構４０の第二バネ部材４８，４８に力が作用すると第二バネ部材４８，４８は縮められ、第四本体部材４６は上方（矢印Ｄ１）に移動する。すなわち、第四本体部材４６とベース部１０Ａとの距離が縮まる。第四本体部材４６が上方に移動すると、第四本体部材４６に第一ブッシュ８１を介して固定された第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ２）に移動する。
【００４１】
第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が上方に移動すると、第二シャフト７２は、時計回り（矢印Ｄ３）に回転する。第二シャフト７２が時計回りに回転すると、これに連結された第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ４）に移動する。また、第二シャフト７２が時計回りに回転すると、これに連結された第四シャフト７４の第二シャフト７２に連結される側とは反対側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ４）に移動する。これにより、第二ブッシュ８４を介して第三シャフト７３に固定されると共に第三ブッシュ８５を介して第四シャフト７４に固定された第一本体部材５４は上方（矢印Ｄ５）に押し上げられる。第一本体部材５４が上方に押し上げられると、一対の第一バネ部材５８，５８が縮められる。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。
【００４２】
一方、第二バネ部材４８，４８が伸び、第四本体部材４６は下方（矢印Ｄ１とは反対方向）に移動すると、第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ２とは反対方向）に移動する。第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が下方に移動すると、第二シャフト７２は、反時計回り（矢印Ｄ３とは反対方向）に回転する。第二シャフト７２が反時計回りに回転すると、第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ４とは反対方向）に移動し、第四シャフト７４の第二シャフト７２に連結される側とは反対側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ４とは反対方向）に移動する。これにより、第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ５とは反対方向）に押し下げられ、一対の第一バネ部材５８，５８が伸ばされる。
【００４３】
このように、左右方向に配列される第二緩衝機構４０と第一緩衝機構５０とを連結するリンク機構７０は、第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０の一方のバネ部材が縮んだり伸びたりすれば、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８２及び第二ブロック８３を支点に第二シャフト７２が追従して回転運動し、第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０の他方のバネ部材を縮めたり、伸ばしたりする。すなわち、リンク機構７０は、互いに連結されている第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに、互いに連結されている第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づけるように動作する。
【００４４】
リンク機構７０は、互いに連結される第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに応力（捻り応力）が発生する第二シャフト７２を有している。第二シャフト７２に発生した応力に対する反力は、互いに連結されている第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づける力として作用する。
【００４５】
次に、前後方向に配列された第一緩衝機構５０同士を連結するリンク機構７０の動作の一例を説明する。例えば、走行時の加速又は減速により、後側の第一緩衝機構５０の第一バネ部材５８，５８に力が作用したとする。第一緩衝機構５０の第一バネ部材５８，５８に力が作用すると第一バネ部材５８，５８は縮められ、第一本体部材５４は上方（矢印Ｄ６）に移動する。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。第一本体部材５４が上方（矢印Ｄ５）に移動すると、第二ブッシュ８４を介して第一本体部材５４に固定された第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ６）に移動する。
【００４６】
連結部８８が上方（矢印Ｄ６）に移動すると、連結部８８に連結される他方の第三シャフト７３（図５において左方に配置された第三シャフト７３）も、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として連結部８８側の端部が上方（矢印Ｄ６）に移動する。これにより、第二ブッシュ８４を介して第三シャフト７３に固定された前側の第一緩衝機構５０の第一本体部材５４が上方（矢印Ｄ７）に押し上げられる。第一本体部材５４が上方に押し上げられると、一対の第一バネ部材５８，５８が縮められる。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。
【００４７】
一方、前側の第一緩衝機構５０の第一バネ部材５８，５８が縮み、第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ５とは反対方向）に移動すると、第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ６とは反対方向）に移動する。連結部８８が下方に移動すると、連結部８８に連結される他方の第三シャフト７３も、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として連結部８８側の端部が下方（矢印Ｄ６とは反対方向）に移動する。これにより、前側の第一緩衝機構５０の第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ７とは反対方向）に押し下げられる。第一本体部材５４が下方に押し下げられると、一対の第一バネ部材５８，５８が伸ばされる。
【００４８】
このように、前後方向に配列される第一緩衝機構５０同士を連結するリンク機構７０は、一方の第一緩衝機構５０の一方の第一バネ部材５８，５８が縮んだり伸びたりすれば、連結部８８を支点に一方の第三シャフト７３の動きに他方の第三シャフト７３の動きが追従して、他方の第一緩衝機構５０の第一バネ部材５８，５８を縮めたり伸ばしたりする。すなわち、リンク機構７０は、互いに連結されている第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと各第一本体部材５４，５４との間の距離同士を互いに近づけるように動作する。
【００４９】
リンク機構７０は、互いに連結される第一緩衝機構５０同士におけるベース部１０Ａと第一本体部材５４との各距離の間に差が生じたときに応力が発生する第三シャフト７３を有している。第三シャフト７３に発生した応力に対する反力は、互いに連結されている第一緩衝機構５０同士におけるベース部１０Ａと第一本体部材５４との各距離を互いに近づける力として作用する。
【００５０】
上記実施形態の天井搬送車１の作用効果について説明する。上記実施形態の天井搬送車１では、ベース部１０Ａは、第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８を介して第一本体部材５４及び第四本体部材４６に対して上下方向に移動可能に設けられているので、走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときの振動が物品に伝わることを抑制できる。また、上記実施形態の天井搬送車１では、リンク機構７０が、互いに連結されている第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに、互いに連結されている第二緩衝機構４０及び第一緩衝機構５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づけるので、ベース部１０Ａにロール運動が生じることを抑制できる。このため、ベース部１０Ａにおける傾きを小さくすることができ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制できる。これらの結果、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減しつつ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制することができる。
【００５１】
リンク機構７０は、走行駆動部３が走行する前後方向及び上下方向の両方に直交する左右方向（幅方向）に配列された二つの第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０同士を連結するので、カーブ走行時又はＦＯＵＰ９０を横方向へ移載する時に発生する幅方向へのロール運動を抑制できる。また、リンク機構７０は、走行駆動部３が走行する方向に配列された二つの第一緩衝機構５０同士を連結するので、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向へのロール運動を抑制できる。
【００５２】
上記実施形態の天井搬送車１では、昇降装置１０は、四本のベルト９によって吊り下げられているが、第一緩衝機構５０に取り付けられている二本のベルト９と昇降装置１０との二箇所の接続部分、及び、第二緩衝機構４０において揺動可能に連結された一箇所の第四ピン部材４４の実質的に３箇所で吊り下げられたような状態となっている。これにより、三本のベルト９によって吊り下げられている場合と同様の効果が得られ、昇降装置１０をより安定した状態で吊り下げることができる。更に、一本のベルト９が何らかの原因で切断されてしまった場合も、吊持状態を維持することができ、実際に三本のベルト９で吊り下げられる場合に比べ安全性を高めることができる。
【００５３】
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００５４】
上記実施形態では、左右方向に配列される第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０がリンク機構７０により連結されると共に、前後方向に配列される第一緩衝機構５０同士がリンク機構７０によって連結されている例を挙げて説明した。本発明の一側面はこれに限定されない。例えば、左右方向に配列される第一緩衝機構５０及び第二緩衝機構４０のみがリンク機構７０により連結される構成の天井搬送車であってもよい。この場合であっても、カーブ走行時又はＦＯＵＰを横方向へ移載する時に発生する幅方向へのロール運動を抑制できる。また、前後方向に配列される第一緩衝機構５０同士のみがリンク機構７０により連結される構成の天井搬送車であってもよい。この場合であっても、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向へのロール運動を抑制できる。
【００５５】
上記実施形態又は変形例では、第一緩衝機構５０が第三シャフト７３及び第四シャフト７４の二本のシャフトにより固定されている例を挙げて説明したが、例えば、第三シャフト７３のみが固定される構成であってもよい。なお、本実施形態のように、第一本体部材５４に固定されるリンク機構７０の一部であるシャフトが第一バネ部材５８，５８の配列方向に一致しない場合（上述の仮想線上にない場合）には、第三シャフト７３及び第四シャフト７４の二本のシャフトにより固定される構成の方が水平方向のバランスを維持し易くなる。これにより、ＦＯＵＰ９０の揺れを効果的に抑制することができる。
【００５６】
上記実施形態又は変形例では、ベルト９による吊り下げ部の位置のほぼ真下に防振部としての第一バネ部材５８及び第二バネ部材４８を配置する例を挙げて説明したが、本発明の一側面はこれに限定されない。ベルト９による吊り下げ部の位置と防振部の位置とは互いにずらして配置されるような構成としてもよい。
【００５７】
上記実施形態又は変形例の第一バネ部材５８又は第二バネ部材４８に代えて、又は加えて、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体を配置してもよい。この場合であっても、第一バネ部材５８又は第二バネ部材４８を配置する場合と同様に振動及び衝撃を吸収することができる。
【００５８】
上記実施形態又は変形例では、昇降装置１０は、四本のベルト９によって吊り下げられている例を挙げて説明したが、三本のベルト９によって吊り下げられる構成であってもよい。この場合、ベルト９は、接続部材５１，５１（図３参照）及び第四ピン部材４４（図４参照）の三箇所に取り付けられる。
【００５９】
上記実施形態又は変形例では、第一バネ部材５８を軸部材としての第一軸部５７に挿通させることにより、又は、第二バネ部材４８を軸部材としての第二軸部４７に挿通させることにより、支持部としての第一本体部材５４又は第四本体部材４６に対してベース部１０Ａが上下方向に移動可能に配置された例を挙げて説明したが、本発明の一側面はこれに限定されない。例えば、上下方向に移動可能にさせる構成としてリニア・モーション・ガイドを採用してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１…天井搬送車、２…走行レール、３…走行駆動部、５…水平駆動部、６…回転駆動部、７…昇降駆動部、９…ベルト、１０…昇降装置、１０Ａ…ベース部、１１…保持装置、４０…第二緩衝機構（緩衝機構）、４３…揺動部材、４６…第四本体部材（支持部）、４６Ａ…第三支持部材、４６Ｂ…第四支持部材、４８…第二バネ部材（防振部）、５０…第一緩衝機構（緩衝機構）、５４…第一本体部材（支持部）、５４Ａ…第一支持部材、５４Ｂ…第二支持部材、５８…第一バネ部材（防振部）、７０…リンク機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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