(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を搬送する搬送部と、可動ブロックと、前記可動ブロックの可動領域の両端に加減圧部を有し、
前記可動ブロックは、
前記搬送部の下流端に連通する受入位置で前記搬送物の１個を収容可能な収容部と、
前記収容部に収容した前記搬送物を該収容部の底面に位置決めする位置決め機構とを備え、
前記加減圧部の一方から前記可動領域内の空気を吸引し、前記加減圧部の他方から前記可動領域内に送気することによって生じる気圧差によって、前記搬送物の受入方向と交差する方向に往復運動可能であって、
前記往復運動の一方の端において前記収容部が前記受入位置にあり、該往復運動の他方の端において前記収容部が前記搬送物を払出または取出可能な払出または取出位置にある、
物品供給装置。
【請求項２】
前記位置決め機構が、減圧部と連通している固定用通気部であり、前記収容部の底面に開口を有する、
請求項１に記載の物品供給装置。
【請求項３】
前記位置決め機構が、前記加減圧部のうち前記払出または取出位置側にある加減圧部と連通している固定用通気部であり、前記収容部の底面に開口を有する、
請求項１に記載の物品供給装置。
【請求項４】
前記開口が円形である、
請求項２または３に記載の物品供給装置。
【請求項５】
前記固定用通気部は、前記開口近傍において、該開口から内部に進むにしたがって径が小さくなる、
請求項４に記載の物品供給装置。
【請求項６】
前記搬送部が一次元方向に延在する第１搬送路である、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の物品供給装置。
【請求項７】
前記可動ブロックが前記往復運動の他方の端にあり、前記収容部が取出位置にあるときに、前記収容部内の搬送物を取出可能な取出口をさらに有する、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の物品供給装置。
【請求項８】
前記可動ブロックの前記搬送部と反対側に設けられ、一次元方向に延在する第２搬送路をさらに有し、
前記可動ブロックが前記往復運動の他方の端にあり、前記収容部が払出位置にあるときに、前記収容部内の搬送物を前記第２搬送路の上流端に払出可能である、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の物品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小な物品を搬送して供給する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）型半導体パッケージなどの電子部品と実装基板とを電気的に接続するために半田ボールが用いられる。半田ボールの整列には、従来より、半田ボールを１個ずつ収容する穴が多数配列された整列板が用いられている。例えば、整列板上に多数の半田ボールを投下し、ゴム製のスキージを整列板上に擦り付けることによって、半田ボールを穴に入り込ませるとともに余分の半田ボールを除去することで、半田ボールを整列させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２９４５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、整列板を用いた従来の方法では、半田ボールがスキージと穴のエッジに噛み込まれて、欠けや割れが発生することがあった。その場合、半田ボールの体積が減少することによって、電気の導通特性が変わるという問題があった。
【０００５】
この問題に対して、バルクフィーダー等を用いて半田ボールを１個ずつ供給することが考えられる。バルクフィーダーは、例えば、対象となる搬送物をホッパーに投入し、ホッパー下部からトンネル状等の搬送路に導き、１列に整列させて、気流によって搬送・供給する装置である。搬送路末端の取出口に到達した搬送物は、ピックアップノズルに吸着されて順次取り出される。例えば、特許文献１には、カセットにランダムに収納された角形のチップをトンネル内に送り込み、トンネルの先端部側（下流側）を真空吸引することによりチップを搬送するバルクフィーダーが記載されている。
【０００６】
しかしながら、本発明者らの研究によって、従来のバルクフィーダーには供給速度の向上に課題があることが明らかになった。ピックアップノズルによる取り出しの時間間隔（ピッチ）を短くすると、搬送物の取り出しに失敗する確率が高くなったのである。この原因は、搬送自体の速度が遅いことではなく、搬送路の下流端から取り出そうとする搬送物が後続の搬送物と干渉することであった。すなわち、搬送路を整列して搬送されてきた搬送物が、次々と下流端に到達して隙間なく列を成しており、先頭の１個を取り出す際に、次の搬送物が引っ掛って取り出しの邪魔をすることが分かった。
【０００７】
本発明は、上記を考慮してなされたものであり、微小な物品を搬送し、高速で供給可能な物品供給装置を提供することを目的とする。より詳しくは、球・回転楕円体等の下面が凸である形状を有する微小物品を、高速で供給可能な物品供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的のために、本発明の物品供給装置は、搬送路等の下流端で、先頭の搬送物だけを分離して、側方に移動させる。
【０００９】
本発明の物品供給装置は、搬送物を搬送する搬送部と、可動ブロックとを有する。そして、前記可動ブロックは、前記搬送部の下流端に連通する受入位置で前記搬送物の１個を収容可能な収容部と、前記収容部に収容した前記搬送物を該収容部の底面に位置決めする位置決め機構とを備える。そして、前記可動ブロックは、前記搬送物の受入方向と交差する方向に往復運動可能であって、前記往復運動の一方の端において前記収容部が前記受入位置にあり、該往復運動の他方の端において前記収容部が前記搬送物を払出または取出可能な払出または取出位置にある。
【００１０】
好ましくは、前記物品供給装置は、前記可動ブロックの可動領域の両端に加減圧部をさらに有し、前記可動ブロックが前記加減圧部によって生じる気圧差によって往復運動可能である。
【００１１】
好ましくは、前記位置決め機構が、減圧部と連通している固定用通気部であり、前記収容部の底面に開口を有する。さらに好ましくは、前記位置決め機構が、前記加減圧部のうち前記払出または取出位置側にある加減圧部と連通している固定用通気部であり、前記収容部の底面に開口を有する。
【００１２】
さらに好ましくは、前記開口が円形である。さらに好ましくは、前記固定用通気部は、前記開口近傍において、該開口から内部に進むにしたがって径が小さくなる。
【００１３】
前記搬送部は一次元方向に延在する第１搬送路であってもよい。
【００１４】
前記物品供給装置は、前記可動ブロックが前記往復運動の他方の端にあり、前記収容部が取出位置にあるときに、前記収容部内の搬送物を取出可能な取出口をさらに有していてもよい。
【００１５】
あるいは、前記物品供給装置は、前記可動ブロックの前記搬送部と反対側に設けられ、一次元方向に延在する第２搬送路をさらに有し、前記可動ブロックが前記往復運動の他方の端にあり、前記収容部が払出位置にあるときに、前記収容部内の搬送物を前記第２搬送路の上流端に払出可能であってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の物品供給装置によれば、搬送部の下流端に到達した搬送物の列から、可動ブロックにより、先頭の１個だけを高速で分離することができる。このように分離した搬送物は、後続する搬送物の干渉を受けないでピックアップノズルで取り出したり、同期を取って別の搬送路に導入したりすることができる。さらに、搬送物を収容部底面に位置決めすることにより、収容部内における搬送物の位置が定まり、可動ブロックの移動中に、搬送物が可動ブロックと搬送部端等との間に噛み込まれることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態である物品供給装置の使用状態を示す側面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態である物品供給装置の使用状態を示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態である物品供給装置の搬送路に沿った垂直断面図である。
【図４】図３のＡＡ断面を示す図である。
【図５】図３のＢＢ断面を示す図である。
【図６】図５のＣＣ断面を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施形態である物品供給装置の可動ブロックの収容部を示す拡大図である。
【図８】本発明の第１の実施形態である物品供給装置の可動ブロックの動作を説明するための図である。
【図９】本発明の第２の実施形態である物品供給装置の搬送路に沿った水平断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態である物品供給装置の可動ブロック部分の垂直断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態である物品供給装置の搬送路に沿った水平断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態である物品供給装置の平面図（左側）と第２搬送路に沿った水平断面図（右側）である。
【図１３】固定用通気部の開口の断面形状を例示する図である。
【図１４】固定用通気部の開口を収容部側壁面に設けた比較例を示す図である。
【図１５】固定用通気部の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の第１の実施形態である物品供給装置を図１〜図８に基づいて説明する。なお、各図は、説明を容易にするために、縮尺が正確ではなく、部材間の隙間等が誇張して描かれている。
【００１９】
図１および図２において、本実施形態の物品供給装置１０は、ホッパー７０と組み合わされて、搬送物である半田ボール６０を搬送、供給する。半田ボールは、ホッパーに投入され、ホッパー下部から供給装置の搬送部である第１搬送路２０に導かれる。以下本実施形態において、「第１搬送路」を単に「搬送路」という。半田ボールは、一列に整列して、搬送路内を気流によって下流へと搬送される。半田ボールは、搬送路の下流端に設けられた可動ブロック３０によって、搬送路下流端の側方に設けられた取出口５０に移動し、ピックアップノズル８０に吸着されて取り出される。
【００２０】
搬送物である半田ボール６０は、球形状を有する。搬送物の大きさは特に限定されない。しかし、搬送物が大きい場合は、搬送物同士の干渉の影響が相対的に小さくなり、本実施形態の供給装置を利用する意義が小さくなる。このことから、搬送物の大きさは、径が５ｍｍ以下であることが好ましく、２ｍｍ以下であることがより好ましく、１ｍｍ未満であることが特に好ましい。一方、搬送物が小さすぎると装置の加工や製作が難しくなるので、搬送物の大きさは、径が１０μｍ以上であることが好ましい。半田ボールの径は、１００μｍ〜８００μｍのものが多く用いられている。本実施形態の供給装置はこのような大きさの半田ボールの搬送・供給に特に適している。
【００２１】
図３および図４において、本実施形態の搬送部である搬送路２０は、ベース部材２３に形成された溝と、その溝の上面を覆うカバー部材２２によって、トンネル状に形成されている。トンネルの断面形状は円形であってもよいし、図４に示したように矩形であってもよい。トンネルの断面の大きさは半田ボール６０よりわずかに大きい。微小な物品を高速に搬送するためには、このように側面および上下面が規制された閉鎖系の搬送路を構成することが好ましい。
【００２２】
搬送路２０の上流には送気部（図６の２７）が、下流には吸気部２８が設けられている。送気部は搬送路内に空気を送り込む。吸気部は搬送路内から空気を吸引する。本実施形態の吸気部２８は搬送路の下流端２６から搬送路内の空気を吸引する。送気部および吸気部によって搬送路内を上流から下流に向かう気流を発生させることができる。なお、気流を発生させるためには、搬送路上流の送気部および搬送路下流の吸気部のうち、少なくとも一方が設けられていればよく、その場合他方に通気部を設ければよい。また、搬送路が長い場合は、搬送路の途中に吸気部と送気部を適宜追加して設けてもよい。
【００２３】
図５および図６において、搬送路２０の下流端２６には、可動ブロック３０が配置されている。可動ブロックは、水平面内で搬送路と直角に交差する方向（図５の左右方向、図６の上下方向）に移動可能であり、搬送路下流端と搬送路下流端の側方に設けられた取出口５０の間を直線に沿って往復運動可能である。取出口上部のカバー部材２２には開口があり、開口には開閉可能なシャッター５１が設けられている。可動ブロック３０の可動領域３４は、ベース部材２３と底部部材２４によって形成された空洞によって規定される。可動領域３４の両端には、加減圧部３５、３６が設けられている。なお、シャッター５１は必須ではなく、取出口は常時開放としてもよい。
【００２４】
このように、可動ブロック３０の往復運動は水平面内で行われるのが好ましい。可動ブロックがより小さな駆動力で往復運動できるからである。また、可動ブロックの往復運動は搬送路と直角に交差する方向、すなわち搬送物の受入方向と直角に交差する方向で行われるのが好ましい。同じ大きさの搬送物に対して、収容部の長さを短くすることができ、可動ブロックをより小型にできるからである。
【００２５】
可動ブロック３０は上面に、半田ボール１個を収容可能な溝状の収容部３１を有する。収容部３１は両側面および上下面が規制された閉鎖系の収容部であるため、収容部３１に半田ボール６０を収容した状態で可動ブロックを高速に駆動させたとしても、収容部内の半田ボールが収容部外へ飛び出すことなく安定して半田ボールを移動可能である。可動ブロックが往復運動の一方の端（図５の右側、図６の上側）にあるときは、収容部が搬送路２０の延長となって、搬送路下流端２６に到達した半田ボールの１個を受け入れることができる。この状態を、可動ブロックまたは収容部が受入位置にある、という。
【００２６】
可動ブロック３０が往復運動の他方の端（図５の左側、図６の下側）にあるときは、収容部３１に収容された半田ボールが取出口５０に位置し、上部のシャッター５１を開けて、ピックアップノズルにより半田ボールを取り出すことができる。この状態を、可動ブロックまたは収容部が取出位置にある、という。
【００２７】
可動ブロック３０は、上面の収容部３１に対して取出口５０と反対側に、搬送用通気部３２が形成されている。搬送用通気部は、可動ブロックが取出位置にあるときに、搬送路下流端２６と吸気部２８を連通するとともに、搬送路下流端２６に到達した半田ボールを堰き止めることができる形状であればよい。
【００２８】
可動ブロック３０は、半田ボールの位置決め機構として、固定用通気部３３を有し、収容部３１の底面に固定用通気部の円形の開口３８が設けられている。固定用通気部は、取出口側の加減圧部３５と連通している。
【００２９】
固定用通気部３３は、開口３８から下方へ進むにしたがって、すなわち内部に向かって進むにしたがって、径が小さくなっていてもよい。図１３に、固定用通気部の開口近傍における断面形状の例を示す。図１３Ａ〜Ｃにおいて、固定用通気部の内壁面３９はすり鉢状等に形成されており、固定用通気部は開口３８から下方へ向かって径が小さくなっている。このように開口部をすり鉢状等に形成することによって、収容部に受け入れられたボールが開口に誘引され、より短時間で開口に固定される。
【００３０】
固定用通気部の開口３８は、大きすぎると、半田ボールが嵌り込んで、ピックアップ時の抵抗が大きくなる。このことから、開口の径は半田ボールの径の好ましくは０．８倍以下、より好ましくは０．７倍以下である。一方、開口が小さすぎると、半田ボールを固定する力が弱く、可動ブロックの移動の際に、半田ボールが開口から外れることがある。このことから、開口の径は半田ボールの径の好ましくは０．２倍以上であり、より好ましくは０．５倍以上である。開口の入口が図１３Ａ〜Ｃに示すようにすり鉢状等に形成されていて、半田ボールが収容部底面より低い位置で固定通気部の内壁面３９と接する場合には、半田ボールと内壁面３９との接円の径が半田ボールの径の好ましくは０．８倍以下、より好ましくは０．７倍以下であり、好ましくは０．２倍以上、より好ましくは０．５倍以上である。
【００３１】
図７に、可動ブロック３０の収容部３１付近を拡大して示す。図７Ａにおいて、可動ブロックが受入位置にあるとき、収容部３１は搬送路２０と連通して搬送路の延長となり、半田ボールの１個を受け入れ可能である。開口の中心から収容部の搬送路側の端との距離Ａと、半田ボールの標準径ＲＳとの関係は通常Ａ≦ＲＳである。なお、距離Ａが半田ボールの標準径ＲＳと等しいと、これより小さな半田ボールが混入していた場合に、後続の半田ボールの先端が収容部内に進入し、可動ブロックを取出位置に移動させる際に干渉する。したがって、上記距離Ａは、半田ボールの標準径ＲＳより短いことが好ましい。これにより、図７Ｂを参照して、収容部に収容された半田ボール６１の径Ｒが標準径ＲＳより短い場合でも、後続の半田ボール６２の先端が収容部内に入り込むことがなく、可動ブロックの移動を妨げない。具体的には、距離Ａは、好ましくはＲＳ×０．９９以下であり、より好ましくはＲＳ×０．９５以下である。一方、距離Ａが短すぎると、収容した半田ボールが安定しないので、距離Ａは、好ましくはＲＳ×０．６以上であり、より好ましくは０．７以上である。
【００３２】
また、収容部３１と搬送路下流端２６の間には間隙Ｇが設けられている。上記距離Ａと間隙Ｇの和Ａ＋Ｇは、半田ボールの標準径ＲＳより長いことが好ましい。これにより、図７Ｃを参照して、収容部に収容された半田ボール６１の径Ｒが標準径ＲＳより大きい場合でも、可動ブロックを取出位置に移動させる際に、当該半田ボール６１が搬送路下流端に引っ掛ることがない。具体的には、距離Ａと間隙Ｇの和Ａ＋Ｇは、好ましくはＲＳ×１．０１以上であり、より好ましくはＲＳ×１．０５以上である。一方、間隙Ｇが大きすぎると、半田ボールが搬送路から収容部に移動する際に間隙にひっかかることがあるので、間隙Ｇは好ましくはＲＳ×０．３以下であり、より好ましくはＲＳ×０．２以下である。例えば、Ｇ≦ＲＳ×０．３のとき、Ａ＝ＲＳ×０．８であればＡ＋Ｇ≦ＲＳ×１．１となり、Ａ＝ＲＳ×０．９であればＡ＋Ｇ≦ＲＳ×１．２となる。これは実際の寸法でいうと、例えば標準径ＲＳ＝７５０μｍのとき、Ａ≒６７５μｍ、Ｇ＝２２５μｍとなり、Ａ＋Ｇ＝９００μｍとなる。
【００３３】
次に本実施形態の可動ブロックの動作を説明する。
【００３４】
図８Ａにおいて、可動ブロック３０は受入位置にある。半田ボールは、気流によって搬送されて下流端に到達し、先頭の半田ボール６１が可動ブロックの収容部３１に受け入れられる。
【００３５】
次いで、図８Ｂにおいて、取出口側の加減圧部（図５および図６の３５）から可動領域（図５の３４）内の空気を吸引し、搬送路側の加減圧部（図５および図６の３６）から可動領域内に送気することによって、可動ブロック３０が受入位置から取出位置に向けて移動する。このとき、収容部内の半田ボール６１は、固定用通気部３３が加減圧部３５と連通しているので、固定用通気部の開口（図５および図６の３８）に吸い付けられて底面に固定（位置決め）される。
【００３６】
次いで、図８Ｃにおいて、可動ブロック３０は、取出位置に達する。半田ボール６１は固定用通気部の開口に吸いつけられている。取出口５０上部のシャッター（図５の５１）が開いて、半田ボール６１がピックアップノズルによって取り出される。一方、搬送路２０は搬送用通気部３２を介して吸気部２８と連通しているので、搬送路上の半田ボールは下流に向かって移動を続け、後続の半田ボール６２は可動ブロックに堰き止められて列をなす。
【００３７】
次いで、図８Ｂと逆に、搬送路側の加減圧部（図５および図６の３６）から可動領域内の空気を吸引し、取出口側の加減圧部（図５および図６の３５）から可動領域内に送気することによって、可動ブロック３０は取出位置から受入位置へと戻る（図８Ａ）。
【００３８】
上記の動作を繰り返し行い、搬送路の下流端に到達した半田ボールの列から先頭の１個だけを次々に分離（１個切り）して取出口に移動させることで、ピックアップノズルに半田ボールを１個ずつ供給することができる。
【００３９】
本実施形態の効果を以下に説明する。
【００４０】
本実施形態の物品供給装置では、図８に示したように、搬送路下流端で列をなした半田ボールのうち、先頭の１個の半田ボール６１を可動ブロックによって分離して取出口に移動させるため、取り出しに際して後続の半田ボール６２との干渉がない。その結果、取り出しのピッチを短くしても失敗が起こりにくく、単位時間あたりの半田ボールの供給数を多くすることができる。
【００４１】
また、固定用通気部３３の作用により半田ボールが収容部底面に固定されるので、可動ブロックが移動する際にも、半田ボールが可動ブロックと搬送部の端部等との間に噛み込まれることがない。なお、図１４を参照して、搬送物が球状等である場合に、固定用通気部９３の開口９８を収容部側壁面に設けると、搬送物６０の大きさが少しでも変わると開口９８の位置（底面からの高さ）を変更する必要がある。これに対して、本実施形態では、固定用通気部の開口３８を収容部底面に設けることにより、球状等の搬送物の大きさが多少変わっても開口３８の位置を変更する必要がない。
【００４２】
また、収容部３１の幅（図８において上下方向の長さ）は半田ボールの大きさに対して僅かにクリアランスを設けてあるが、固定用通気部によって半田ボールを収容部の底面に位置決めすることで、収容部内の半田ボールの位置変動を低減し、ピックアップの成功率を高める効果がある。このことは、半田ボールのサイズが小さい場合に特に有益である。
【００４３】
さらに、可動ブロックの移動と、固定用通気部への半田ボールの固定の両方が、加減圧部の作動によって実現されるので、両者の同期制御が不要となり、取り出しのピッチが短くなっても一連の動作を安定して行うことができる。本発明者らの実験では、直径７６０μｍの半田ボールを用いて、可動ブロックを２０ｍｓサイクルで安定して往復運動させることができた。
【００４４】
次に、本発明の物品供給装置の第２の実施形態を図９および図１０に基づいて説明する。
【００４５】
図９および図１０において、本実施形態の物品供給装置１１は、第１搬送路２０が複数並列して設けられている点で、第１の実施形態と異なる。可動ブロック３０には、受入位置において、各第１搬送路の下流端２６から搬送物を１個ずつ受入可能なように複数の収容部３１が形成されている。可動ブロックが取出位置にあるときの各収容部の上部に取出口５０が設けられている。
【００４６】
その他の各部の構造・機能は、第１の実施形態について図５および図６で同じ番号を付した部分と同様である。また、可能ブロックによって各搬送路の先頭から搬送物を１個ずつ分離することによる効果や、固定用通気部によって各収容部内で搬送物を固定することによる効果も第１の実施形態と同じである。
【００４７】
次に、本発明の物品供給装置の第３の実施形態を図１１に基づいて説明する。
【００４８】
図１１において、本実施形態の物品供給装置１２は、第２の実施形態と同じく、第１搬送路２０が複数並列して設けられている。そして、本実施形態では、可動ブロック３０の上方に取出口がなく、搬送物が可動ブロックからさらに第２搬送路に払い出される点で、第２の実施形態と異なる。
【００４９】
第２搬送路４０は、可動ブロック３０に対して第１搬送路２０と反対側に、第１搬送路と同数、同じ間隔で、並列して設けられている。また、第２搬送路は、各第２搬送路の上流側への延長が第１搬送路同士の間に位置するように、第１搬送路と幅方向にずれて配置されている。
【００５０】
可動ブロック３０は、受入位置において、第１搬送路の下流端２６から搬送物を収容部３１に受け入れる。次いで、可動ブロックは、往復運動の他端において、第２搬送路の上流端４６に、収容部内の搬送物を払い出す。この状態を、可動ブロックまたは収容部が払出位置にある、という。搬送物は第２搬送路を通って、さらに下流へと搬送される。
【００５１】
その他の各部の構造・機能は、第２の実施形態と同様である。また、可能ブロックによって各搬送路の先頭から１個の搬送物を分離することによる効果や、固定用通気部によって各収容部内で搬送物を固定することによる効果は第１および第２の実施形態と同じである。
【００５２】
本実施形態の物品供給装置１２によれば、並列する第１搬送路を搬送されてきた搬送物は、一旦可動ブロックに収容され、次いで一斉に第２搬送路に導入される。このように、可動ブロックで同期をとって、搬送物を次工程へ供給することができる。
【００５３】
次に、本発明の物品供給装置の第４の実施形態を図１２に基づいて説明する。
【００５４】
図１２において、本実施形態の物品供給装置１３は、第１搬送路の代わりに振動フィーダー９０を搬送部として有する点で、第３の実施形態と異なる。
【００５５】
搬送物は、振動フィーダー９０上に投入され、可動ブロックに向かって搬送される。可動ブロック３０は、受入位置において、振動フィーダーの出口９１から搬送物をそれぞれ１個ずつ収容部３１に受け入れる。
【００５６】
その他の各部の構造・機能は、第２および第３の実施形態と同様である。また、可能ブロックによって振動フィーダーの各出口から１個の搬送物を分離することによる効果や、固定用通気部によって各収容部内で搬送物を固定することによる効果は第１〜第３の実施形態と同じである。
【００５７】
本発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。
【００５８】
例えば、搬送物は半田ボールには限られず、微小ベアリング用の玉や、液晶ディスプレイパネル用のスペーサーなどの他の物品であってもよい。また、搬送物の形状は球状には限られず、回転楕円体等の下面が凸である形状の微小物品に、本発明の物品供給装置を好適に用いることができる。なお、搬送物が球状でないときは、前述の距離Ａおよび間隙Ｇは、搬送物の収容部底面に平行な最大半径Ｒ’に対して好ましい値を定めることができる。
【００５９】
また、例えば、上記第１の実施形態では、気流によって搬送物を搬送したが、搬送路を傾斜させて、重力によって搬送物を搬送してもよい。
【００６０】
また、例えば、上記実施形態では固定用通気部を払出または取出位置側にある加減圧部と連通させたが、固定用通気部は独立した減圧部と連通させてもよい。図１５では、底部部材２４に固定用減圧部３７を設け、収容部３１底面から下方に延びる固定用通気部３３を固定用減圧部に連通させている。
【符号の説明】
【００６１】
１０〜１３  物品供給装置
２０  搬送路（第１搬送路、搬送部）
２２  カバー部材
２３  ベース部材
２４  底部部材
２６  搬送路下流端
２７  送気部
２８  吸気部
３０  可動ブロック
３１  収容部
３２  搬送用通気部
３３  固定用通気部
３４  可動領域
３５  取出口側の加減圧部
３６  搬送路側の加減圧部
３７  固定用減圧部
３８  固定用通気部の開口
３９  固定用通気部の内壁面
４０  第２搬送路
４６  第２搬送路の上流端
４７  送気部
５０  取出口
５１  シャッター
６０、６１、６２  半田ボール（搬送物）
７０  ホッパー
８０  ピックアップノズル
９０  振動フィーダー（搬送部）
９１  振動フィーダーの出口
９３  固定用通気部
９８  固定用通気部の開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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