(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業室の壁面に開口した作業用開口部に設けられたグローブポートから、当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取付けられた作業用グローブに対して、当該作業用グローブ本体及び装着部分からの漏れを検査するグローブ用の気密性検査装置であって、
グローブポート閉鎖部材と、作業用グローブ内加圧設定手段及び圧力検知手段とを有しており、
前記グローブポート閉鎖部材は、前記グローブポートを前記作業室の外部から覆う蓋部分と、当該蓋部分と一体化され前記グローブポートの内周部に挿入される筒部分とから構成されており、
前記筒部分は、大きさ又は形状の異なるグローブポートに対応した少なくとも２つの筒体が同軸上に積重されており、
各筒体の外周には、それぞれが対応するグローブポートの内周部に沿って当接可能な環状の膨張シールと、当該グローブポートを検知する挿入センサとが組み込まれており、
前記膨張シールは、中空部を有する環状のシールであって、前記筒体をこれに対応するグローブポートに挿入する際には、前記膨張シールが収縮した状態で使用し、
前記筒体とグローブポートとを気密的に当接させて検査する際には、前記少なくとも２つの筒体のうち、１つの筒体の外周がこれに対応する前記グローブポートの内周部に挿入されて、当該筒体に組み込まれた前記挿入センサが当該グローブポートを検知することに
より、制御装置による制御のもとに空気供給手段から前記中空部に空気を流入して前記膨張シールの径を膨張して、当該筒体、当該グローブポート、及び、前記作業用グローブの内面で囲まれた閉鎖空間を形成し、
一方、他の挿入センサは、これらに対応するグローブポートを検知することがないので、制御装置による制御のもとに空気供給手段から前記中空部に空気が流入することなく前記膨張シールの径が膨張することがなく、
前記閉鎖空間内を前記作業用グローブ内加圧設定手段により所定の圧力状態まで加圧し、この加圧状態の変化を前記圧力検知手段により検知することにより、前記作業用グローブ本体及び装着部分からの漏れを検査することを特徴とする気密性検査装置。
【請求項２】
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該小口径の筒体が膨張シールの作用により前記閉鎖空間を形成するときには、
前記小口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記大口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがグローブポートを検知することがないので、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張することがなく、前記閉鎖空間の外側に位置することを特徴とする請求項１に記載の気密性検査装置。
【請求項３】
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該大口径の筒体が膨張シールの作用により前記閉鎖空間を形成するときには、
前記大口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記小口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがグローブポートを検知することがないので、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張することがなく、前記閉鎖空間の内側に位置することを特徴とする請求項１に記載の気密性検査装置。
【請求項４】
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該大口径の筒体が膨張シールの作用により前記閉鎖空間を形成し、前記小口径の筒体が前記閉鎖空間の内側に位置するときには、
当該小口径の筒体が具備する膨張シールが当接することのできる内径を有する環状部材を当該小口径の筒体の外周に装着し、
前記大口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記小口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサが前記小口径の筒体を検知することにより、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張し、前記小口径の筒体と前記環状部材とが気密的に当接することを特徴とする請求項１に記載の気密性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アイソレーター装置やグローブボックスなどの壁面から内部に向けて設置された作業用グローブの気密性を検査する気密性検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
清浄な雰囲気で行われる作業、例えば、医薬品の製造段階の作業、或いは、半導体や電子部品の製造段階の作業においては、外部環境から汚染物質が入り込まないように内部を無菌・無塵状態に保った清浄な作業環境で作業が行われる。このような作業環境としては、一般にはクリーンルームが使用される。このクリーンルーム内では、無塵衣を身に付けた作業者が作業を行う。しかし、無菌性保証水準、無塵性保証水準を高めるためには、クリーンルーム内に更に高度なクリーン領域を構成して作業が行われる。
【０００３】
高度なクリーン領域を構成する１つの方法として、アイソレーター装置又はグローブボックス（以下、統一して「アイソレーター装置」という。）が利用される。このアイソレーター装置は、外部環境から密閉されたチャンバーを使用し、作業者がこのチャンバーの外部から作業用グローブなどを介して作業を行う。このようなアイソレーター装置は、特に無菌アイソレーター装置と呼ばれている。
【０００４】
また、高度なクリーン領域を構成する他の方法として、ＲＡＢＳ（アクセス制限バリアシステム）が利用される。このＲＡＢＳは、クリーンルーム内の一部に下方部が解放された壁面で囲まれた領域を設け、その内部に上方から下方に流れる一方向流の清浄空気の層流（ラミナーフロー）を流すと共に、作業者の厳格なアクセス制限を行うようにしたものである。このＲＡＢＳにおいては、作業者は壁面に設けられた作業用グローブなどを介して作業を行う。
【０００５】
一般に医薬品などを製造するアイソレーター装置やＲＡＢＳの内部は、ＧＭＰ（Ｇｏｏｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒａｃｔｉｃｅ）に即した高度な除染バリデーションを完了し、グレードＡ（厚生労働省・無菌医薬品製造指針）を保証している。この場合、アイソレーター装置やＲＡＢＳの外部は、グレードＢ或いはグレードＣ、Ｄなどの状態に維持されている。このように、高度な無菌性保証水準を要求されるアイソレーター装置やＲＡＢＳの内部だけでなく、その外部環境の無菌環境を維持することも重要である。
【０００６】
一方、人体に影響を及ぼす物質を取り扱う作業、例えば、医薬品の製造段階の作業、医学や生物学の分野において毒性の強い微生物を取り扱う作業、或いは、放射性物質を取り扱う作業などにおいては、人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等の汚染から作業者を保護し、また、これらの人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等が作業環境から外部環境に漏洩することを防止する必要がある。かかる作業においても、外部環境から密閉されたチャンバーの外部からグローブやハーフスーツを介して作業をすることのできるアイソレーター装置が利用される。このようなアイソレーター装置は、特に封じ込めアイソレーター装置と呼ばれている。
【０００７】
アイソレーター装置は、作業者が作業を行う外部環境とは気密的に遮蔽されており、また、外部の空気をフィルタで清浄化してチャンバー内に供給すると共にチャンバー内の空気をフィルタで清浄化して外部に排気する。従って、このようなアイソレーター装置は、基本的には無菌アイソレーター装置としても封じ込めアイソレーター装置としても使用できる。
【０００８】
また、アイソレーター装置を使用する場合には、目的に応じてチャンバー内の空気圧を調整することにより更に安全性を向上することができる。すなわち、無菌アイソレーター装置として使用するときには、チャンバー内を外部の空気圧より高圧（以下、陽圧という）として、仮にチャンバーからの漏洩が生じた場合にも空気はチャンバー側から外部へ流れるため、外部から浮遊菌等がチャンバー内に侵入しないようにしている。
【０００９】
一方、封じ込めアイソレーター装置として使用するときには、チャンバー内を外部の空気圧より低圧（以下、陰圧という）として使用することにより、仮にチャンバーからの漏洩が生じた場合にも空気は外部からチャンバー内へ流れるため、チャンバー内の化学物質等が外部環境を汚染することがないようにしている。
【００１０】
ここで、無菌アイソレーター装置やＲＡＢＳの内部と外部との境界において、内部の高度な無菌環境を維持するために、特に重要と考えられるのが作業用グローブ自体或いはその装着部分の気密性である。作業者が頻繁に使用する作業用グローブなどにおいて、その本体に穴（ピンホール）や裂け目が発生し、或いは、これらの装着部分の気密性が破綻することにより、内部の高度な無菌環境を維持できなくなる。
【００１１】
一方、封じ込めアイソレーター装置と外部との境界においても、人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等の汚染から作業者を保護するために、特に重要と考えられるのが作業用グローブ自体或いはその装着部分の気密性である。作業用グローブの本体に穴（ピンホール）や裂け目が発生し、或いは、これらの装着部分の気密性が破綻することにより、人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等が外部環境に漏洩し作業者が汚染される。
【００１２】
そこで、作業用グローブ自体或いはその装着部分の気密性を管理するために、各種の気密性検査装置が提案され実際に使用されている。例えば、下記特許文献１においては、陰圧チャンバーを備えた陰圧式グローブ気密性検査装置が提案されている。この装置は、アイソレーター装置に作業用グローブを装着する接続部材（以下「グローブポート」という）を陰圧チャンバーのチャンバー基部で覆い、作業用グローブと陰圧チャンバーとの間に陰圧空間を形成して作業用グローブ及び装着部分の気密性を検査する。
【００１３】
また、下記非特許文献１においては、装置本体と有線で繋がれた気密性蓋材とを備えたグローブ・インテグリティー・テスターが紹介されている。この装置は、気密性蓋材でグローブポートを覆い、作業用グローブの内部を陽圧状態に加圧して気密性を検査する。更に、下記非特許文献２においては、無線機能を有する気密性蓋材を備えた無線型グローブリーク試験装置が紹介されている。この装置は、無線機能を有する気密性蓋材でグローブポートを覆い、作業用グローブを陽圧状態に加圧して作業用グローブ及び装着部分の気密性を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００２−２８０２７７号公報
【非特許文献】
【００１５】
【非特許文献１】Ｇｌｏｖｅ Ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ Ｔｅｓｔｅｒｓ（ＳＫＡＮ ＡＧ)、      ２０１６年１月１３日検索、インターネットＵＲＬ：      http://www.pharmaceuticalonline.com/doc/glove-integrity-testers-0001
【非特許文献２】無線型グローブリーク試験装置（株式会社エアレックス）、      ２０１６年１月１３日検索、インターネットＵＲＬ：      http://www.airexx.co.jp/en/contents/aboutus/news.htm
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
アイソレーター装置等においては、腕を挿入する挿入部の内径により区別された、円形８インチのグローブポート、円形１０インチのグローブポート、及び、楕円形１０インチのグローブポートなどが広く使用されている。また、一般に円形８インチのグローブポートを具備した装置と円形１０インチのグローブポートを具備した装置とを利用する使用者が多い。又は、円形８インチのグローブポートを具備した装置と楕円形１０インチのグローブポートを具備した装置とを利用する使用者も多い。
【００１７】
ところで、上記特許文献１の装置においては、陰圧チャンバーのチャンバー基部をグローブポートの大きさと形状に合わせて使い分ける必要がある。従って、アイソレーター装置等のグローブポートの大きさ又は形状が変われば、別の陰圧チャンバーに交換しなければならない。同様に、上記非特許文献１及び非特許文献２においても、グローブポートの大きさ又は形状が変われば、別の気密性蓋材に交換するか、グローブポートの大きさと形状に合わせたアタッチメントを取り付ける必要がある。
【００１８】
このように、使用するグローブポートの大きさや形状に合わせて複数の気密性検査装置を準備しておくことは、費用的にも負担が大きく、管理的にも煩雑であり問題であった。また、１台の気密性検査装置を使用する場合であっても、グローブポートの大きさや形状に合わせた気密性蓋材に交換したり、アタッチメントを取付けたりすると、交換不良・取付け不良などにより気密性検査装置本体の気密性が損なわれることがある。そうすると、測定結果にバラツキが生じ評価の信用性が損なわれるという問題があった。
【００１９】
そこで、本発明は、上記の諸問題に対処して、１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応可能で、気密性検査のたびに気密性蓋材を交換したり、アタッチメントを取付けたりすることなく、安定した検査結果を得ることのできる気密性検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題の解決にあたり、本発明者らは、鋭意研究の結果、少なくとも２種類のグローブポートに対応するシール部分を一体化した気密性蓋材を用いることにより、本発明の目的を達成できることを見出して本発明の完成に至った。
【００２１】
即ち、本発明に係る気密性検査装置は、請求項１の記載によれば、
作業室（１２）の壁面に開口した作業用開口部（１５）に設けられたグローブポート（３０）から、当該作業室の内部に向けて気密性を保持して取付けられた作業用グローブ（２０）に対して、当該作業用グローブ本体及び装着部分（２３）からの漏れを検査するグローブ用の気密性検査装置であって、
グローブポート閉鎖部材（１００）と、作業用グローブ内加圧設定手段及び圧力検知手段とを有しており、
前記グローブポート閉鎖部材は、前記グローブポートを前記作業室の外部から覆う蓋部分（１００ａ）と、当該蓋部分と一体化され前記グローブポートの内周部に挿入される筒部分（１００ｂ）とから構成されており、
前記筒部分は、大きさ又は形状の異なるグローブポートに対応した少なくとも２つの筒体（５０、６０）が同軸上に積重されており、
各筒体の外周には、それぞれが対応するグローブポートの内周部に沿って当接可能な環状の膨張シール（５２、６２）と、当該グローブポートを検知する挿入センサ（５３、６３）とが組み込まれており、
前記膨張シールは、中空部を有する環状のシールであって、前記筒体をこれに対応するグローブポートに挿入する際には、前記膨張シールが収縮した状態で使用し、
前記筒体とグローブポートとを気密的に当接させて検査する際には、前記少なくとも２つの筒体のうち、１つの筒体の外周がこれに対応する前記グローブポートの内周部に挿入されて、当該筒体に組み込まれた前記挿入センサが当該グローブポートを検知することに
より、制御装置による制御のもとに空気供給手段（７０）から前記中空部に空気を流入して前記膨張シールの径を膨張して、当該筒体、当該グローブポート、及び、前記作業用グローブの内面で囲まれた閉鎖空間を形成し、
一方、他の挿入センサは、これらに対応するグローブポートを検知することがないので、制御装置による制御のもとに空気供給手段から前記中空部に空気が流入することなく前記膨張シールの径が膨張することがなく、
前記閉鎖空間内を前記作業用グローブ内加圧設定手段により所定の圧力状態まで加圧し、この加圧状態の変化を前記圧力検知手段により検知することにより、前記作業用グローブ本体及び装着部分からの漏れを検査することを特徴とする。
【００２３】
また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載の気密性検査装置であって、
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該小口径の筒体（６０）が膨張シール（６２）の作用により前記閉鎖空間を形成するときには、
前記小口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記大口径の筒体（５０）は、これに組み込まれた挿入センサがグローブポートを検知することがないので、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張することがなく、前記閉鎖空間の外側に位置することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１に記載の気密性検査装置であって、
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該大口径の筒体（５０）が膨張シール（５２）の作用により前記閉鎖空間を形成するときには、
前記大口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記小口径の筒体（６０）は、これに組み込まれた挿入センサがグローブポートを検知することがないので、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張することがなく、前記閉鎖空間の内側に位置することを特徴とする。
【００２５】
また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項１に記載の気密性検査装置であって、
前記筒部分が大口径と小口径の２つの筒体からなり、当該大口径の筒体が膨張シールの作用により前記閉鎖空間を形成し、前記小口径の筒体が前記閉鎖空間の内側に位置するときには、
当該小口径の筒体が具備する膨張シールが当接することのできる内径を有する環状部材（６７）を当該小口径の筒体の外周に装着し、
前記大口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサがこれに対応するグローブポートを検知することにより、当該大口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径を膨張して前記閉鎖空間を形成し、
前記小口径の筒体は、これに組み込まれた挿入センサが前記小口径の筒体を検知することにより、当該小口径の筒体に組み込まれた前記膨張シールの径が膨張し、前記小口径の筒体と前記環状部材とが気密的に当接することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
上記構成によれば、本発明に係る気密性検査装置は、グローブポート閉鎖部材と、作業用グローブ内加圧設定手段及び圧力検知手段とを有している。このグローブポート閉鎖部材は、一体化された蓋部分と筒部分とから構成されている。蓋部分は、作業室の外部からグローブポートを覆う部分である。また、筒部分は、グローブポートの内周部に挿入される部分である。この筒部分は、少なくとも２つの筒体が同軸上に積重されており、それぞれが大きさ又は形状の異なるグローブポートに対応する。更に、各筒体の外周には、それぞれ膨張シールが組み込まれている。この膨張シールは、各筒体が対応するグローブポートの内周部に当接することができる。
【００２８】
この構成によれば、１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応することができる。また、気密性検査のたびに気密性蓋材を交換したり、アタッチメントを取付けたりすることがない。
【００２９】
また、上記構成によれば、膨張シールは、中空部を有する環状のシールである。この膨張シールが収縮した状態においては、グローブポート閉鎖部材の筒体をこれに対応するグローブポートに挿入することができる。一方、膨張シールは、空気供給手段からの空気が中空部に流入してその径が膨張する。この状態においては、筒体とグローブポートとが気密的に当接する。このことにより、筒体、グローブポート及び作業用グローブの内面とで囲まれた閉鎖空間を形成する。この閉鎖空間は、気密性検査の対象となる。この構成によれば、気密性蓋材を交換したりアタッチメントを取付けたりすることなく１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応することができる。
【００３０】
また、上記構成によれば、グローブポート閉鎖部材の少なくとも２つの筒体のうち、小口径の筒体が膨張シールの作用により閉鎖空間を形成するときには、それよりも大口径の筒体は閉鎖空間の外側に位置する。一方、大口径の筒体が膨張シールの作用により閉鎖空間を形成するときには、それよりも小口径の筒体は閉鎖空間の内側に位置する。この構成によれば、気密性蓋材を交換したりアタッチメントを取付けたりすることなく１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応することができる。
【００３１】
また、上記構成によれば、大口径の筒体が閉鎖空間を形成し、小口径の筒体が閉鎖空間の内側に位置するときには、小口径の筒体の外周に環状部材を装着する。この状態で、空気供給手段から中空部に空気が流入して膨張シールの径が膨張すると、筒体と環状部材とが気密的に当接する。このことにより、閉鎖空間を形成することなくその内側に位置する小口径の筒体の気密性が確保され、気密性検査の対象が確保される。
【００３２】
また、上記構成によれば、グローブポート閉鎖部材の各筒体は、それぞれの外周にセンサを具備している。このセンサは、グローブポート又は環状部材の内周部に各筒体の外周が挿入されたことを検知する。この検知により、空気供給手段から膨張シールの中空部に空気が流入して膨張シールの径が膨張する。
【００３３】
よって、上記各構成によれば、１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応可能で、気密性検査のたびに気密性蓋材を交換したり、アタッチメントを取付けたりすることなく、安定した検査結果を得ることのできる気密性検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】作業用グローブを配備したアイソレーター装置の正面の概要図である。
【図２】図１に示すアイソレーター装置の左側面の断面概要図である。
【図３】図２のＸの部分の拡大断面図であって、ガラス窓に取り付けられたグローブポートに作業用グローブが装着された状態を示す断面概要図である。
【図４】本実施形態に係る気密性検査装置を示す正面図、平面図及び側面図である。
【図５】実施例１においてグローブポートに大口径の筒体が挿入され、小口径の筒体に環状部材が装着された状態を示す断面図である。
【図６】図５の大口径の筒体と小口径の筒体の膨張シールが膨張した状態を示す断面図である。
【図７】実施例１においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図８】実施例１においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図９】実施例１においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１０】実施例２においてグローブポートに小口径の筒体が挿入された状態を示す断面図である。
【図１１】図１０の小口径の筒体の膨張シールが膨張した状態を示す断面図である。
【図１２】実施例２においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１３】実施例２においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１４】実施例２においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１５】実施例３においてグローブポートに大口径の筒体が挿入され、小口径の筒体には環状部材が装着されていない状態を示す断面図である。
【図１６】図１５の大口径の筒体の膨張シールが膨張した状態を示す断面図である。
【図１７】実施例３においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１８】実施例３においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。
【図１９】実施例３においてグローブポート閉鎖部材がグローブポートから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明を詳細に説明する。図１は、作業用グローブを配備したアイソレーター装置の正面の概要図である。図２は、当該アイソレーター装置の左側面の断面概要図である。図１及び図２において、アイソレーター装置１０は、床面上に載置される架台１１と、この架台１１の上に乗載される作業室（チャンバー）１２と、このチャンバー１２の右側面の壁部に接合された機械室１３（図１参照）とにより構成されている。
【００３６】
チャンバー１２は、外部環境とは気密的に遮蔽されたステンレススチール製の筐体からなり、吸気用及び排気用のフィルタユニット（図示せず）、並びに、チャンバー１２の内部の空気をフィルタユニットで濾過したのち外部に排気するためのブロワー（図示せず）を備えている。
【００３７】
チャンバー１２の正面の壁部には、内部を視認できる透明なガラス窓１４が設けられている（図１参照）。このガラス窓１４は、外部とチャンバー１２の内部とを連通させる２つの円形の作業用開口部１５を有する。これらの作業用開口部１５には、それぞれ作業用グローブを気密的に装着するための取付け枠（グローブポート）３０と、このグローブポート３０に装着された合成樹脂製の作業用グローブ２０（図２参照）が取り付けられている。図２においては、便宜的に作業用グローブ２０を水平且つ拡張した状態で示している。
【００３８】
図３は、図２のＸの部分の拡大断面図であって、アイソレーター装置１０のガラス窓１４の作業用開口部１５に取り付けられたグローブポート３０に作業用グローブ２０が装着された状態を示す断面概要図である。グローブポート３０は、作業用開口部１５に挿入してガラス窓１４に固定され、グローブポート３０の内周側は、作業者が腕を挿入する挿入部３１を形成する。一方、グローブポート３０のチャンバー１２の内部側（図示左側）の外周側には、グローブポート３０に装着する作業用グローブ２０の基端部（上腕部）２１を２本のオーリング３２で固定するための環状溝３３が設けられている（図３参照）。
【００３９】
以下、本発明に係る気密性検査装置を実施形態により説明する。なお、本発明は、下記の実施形態にのみ限定されるものではない。
【００４０】
本実施形態に係る気密性検査装置は、無線式の気密性検査装置であってパーソナルコンピュータ（ＰＣ）との無線通信により、グローブポートへの装着後の気密性確保の実行、気密性検査の実行、評価、及び、データの蓄積などをＰＣに設定したプログラムに従って実行する。  
【００４１】
図４は、本実施形態に係る気密性検査装置を示している。図４において、Ａは、気密性検査装置を筒部分の側から見た正面図である。Ｂは平面図であり、Ｃは右側面図である。図４において、気密性検査装置は、グローブポート閉鎖部材１００、作業用グローブ内加圧設定装置と圧力検知装置（グローブポート閉鎖部材１００の本体内部に内蔵）、及び、これらを制御する制御装置と通信装置（グローブポート閉鎖部材１００本体内部と外部ＰＣに内蔵）を有している。
【００４２】
グローブポート閉鎖部材１００は、蓋部分１００ａと筒部分１００ｂとから構成されている。蓋部分１００ａは、筒体と半球を組み合わせた形状をした金属、樹脂又は強化樹脂製の蓋体４０からなり、その内部には作業用グローブ内加圧設定装置及び圧力検知装置の本体が収納されている（後述する）。筒部分１００ｂは、金属、樹脂又は強化樹脂製の２つの筒体５０及び６０からなり、これらの筒体５０、６０は同軸上に２段に積み重なっている。また、これらの筒体５０、６０は、蓋体４０の筒体とも同軸上に積み重なって一体化している。
【００４３】
本実施形態においては、筒体５０は円形１０インチのグローブポートの内周部に挿入し膨張シール（後述する）の作用で気密的に装着できる外周径を有している。一方、筒体６０は円形８インチのグローブポートの内周部に挿入し膨張シール（後述する）の作用で気密的に装着できる外周径を有している。なお、これらの筒体５０、６０の内部には空間があり互いに連通している（後述する）。
【００４４】
図４Ｂ、図４Ｃにおいて、筒体５０の外周には、外周に沿って溝５１が形成され、この溝５１の内部には環状の膨張シール５２が挿嵌されている。同様に、筒体６０の外周には、外周に沿って溝６１が形成され、この溝６１の内部には環状の膨張シール６２が挿嵌されている。
【００４５】
これらの膨張シール５２、６２は、ゴム又は樹脂などの弾性体からなる環状のシール部材（パッキン）であって、その断面は管状で内部に中空部を有している。また、これらの膨張シール５２、６２は、圧縮空気発生装置（蓋体４０の内部に内蔵）と圧縮空気供給配管（後述する）によって連通しており、中空部に空気が供給されると管状の径方向に膨張する。これらの膨張シール５２、６２が膨張して各筒体５０、６０の外径より大きくなると、各筒体５０、６０が挿入されているグローブポートの内周部と気密的に当接して閉鎖空間を形成する。
【００４６】
図４Ｂにおいて、筒体５０の外周の膨張シール５２の横（蓋体４０の側）には、筒体５０が円形１０インチのグローブポートの内周に挿入されたことを検知する挿入センサ５３が埋め込まれている。一方、筒体６０の外周の膨張シール６２の横（筒体５０の側）には、筒体６０が円形８インチのグローブポートの内周に挿入されたことを検知する挿入センサ６３が埋め込まれている。
【００４７】
なお、これらの挿入センサ５３、６３としては、接触式、非接触式などどのような機構のものを使用してもよいが、非接触式の光電センサなどを使用することが好ましい。また、本実施形態においては、光電センサとしてファイバ型センサを使用した。
【００４８】
作業用グローブ内加圧設定装置は、圧縮空気発生装置（膨張シールと併用）と圧縮空気供給配管と圧縮空気供給弁とを有している。この作業用グローブ内加圧設定装置は、圧力検知装置の圧力センサによる検知と制御装置による制御のもとに検査領域内の圧力を所定の検査圧力に設定する。圧縮空気発生装置は、グローブポート閉鎖部材１００の蓋部分１００ａの蓋体４０の内部に収納されている。圧縮空気供給配管と圧縮空気供給弁は、グローブポート閉鎖部材１００の筒部分１００ｂの内部に収納されている。また、圧縮空気供給弁６５の吹出し口は、筒体６０の先端面６４（作業用グローブの側）に開口している（図４Ａ参照）。
【００４９】
圧力検知装置は、圧力センサを有しており、作業用グローブ内加圧設定及び気密性検査に使用される。この圧力センサ６６は、筒体６０の先端面６４（作業用グローブの側）に配設されている（図４Ａ参照）。
【００５０】
このような構成において、以下の実施例により本実施形態に係る気密性検査装置の作動について説明する。
【実施例１】
【００５１】
本実施例１は、アイソレーター装置の円形１０インチのグローブポートに上記構成の気密性検査装置を用いるものである。従って、円形１０インチのグローブポート３０ａには、グローブポート閉鎖部材１００の大口径の筒体５０を挿入する。なお、本実施例１においては、小口径の筒体６０に環状部材（その作用は後述する）を装着する。
【００５２】
図５は、グローブポート３０ａ（円形１０インチ）に大口径の筒体５０が挿入され、小口径の筒体６０に環状部材６７（後述する）が装着された状態を示す断面図である。一方、図６は、大口径の筒体５０と小口径の筒体６０の膨張シール５２、６２が膨張した状態を示す断面図である。
【００５３】
図５において、グローブポート閉鎖部材１００の大口径の筒体５０の外周部は、グローブポート３０ａの内周部３４ａに挿入されている。この状態においては、筒体５０の外周部とグローブポート３０ａの内周部３４ａとは、気密的に当接していない。また、小口径の筒体６０の外周部には、円形８インチの環状部材６７が装着されている。この状態においては、筒体６０の外周部と環状部材６７の内周部とは、気密的に当接していない。なお、図５は、グローブポート閉鎖部材１００の筒部分１００ｂ（筒体５０及び６０）の断面を表しており、これらの筒体５０、６０の内部には空間があり一体化している。
【００５４】
筒体５０の外周には、外周に沿って溝５１が形成され、この溝５１の内部には環状の膨張シール５２が挿嵌されている。この膨張シール５２は、圧縮空気供給配管５２ａを介して圧縮空気発生装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と連通している。また、筒体６０の外周には、外周に沿って溝６１が形成され、この溝６１の内部には環状の膨張シール６２が挿嵌されている。この膨張シール６２は、圧縮空気供給配管６２ａを介して圧縮空気発生装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と連通している。  
【００５５】
筒体５０の外周の膨張シール５２の横（蓋体４０の側）には、筒体５０が円形１０インチのグローブポート３０ａの内周に挿入されたことを検知する挿入センサ（ファイバ型センサ）５３が埋め込まれている。この挿入センサ５３は、配線５３ａを介して制御装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と接続している。図５においては、挿入センサ５３は、グローブポート３０ａの内周部３４ａを検知している。
【００５６】
また、筒体６０の外周の膨張シール６２の横（蓋体４０の側）には、筒体６０に円形８インチの環状部材６７が装着されたことを検知する挿入センサ（ファイバ型センサ）６３が埋め込まれている。この挿入センサ６３は、配線６３ａを介して制御装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と接続している。図５においては、挿入センサ６３は、環状部材６７の内周部を検知している。なお、本実施例１においては、挿入センサ６３に気密シール６８が施されている（その作用については後述する）。
【００５７】
図５において、筒体６０の先端面６４（作業用グローブ２０の側）には、圧縮空気供給弁６５の吹出し口が開口しており、この圧縮空気供給弁６５は、圧縮空気供給配管６５ａを介して圧縮空気発生装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と連通している。また、筒体６０の先端面６４（作業用グローブ２０の側）の圧縮空気供給弁６５の下側には、圧力センサ６６が配設されており、この圧力センサ６６は、配線６６ａを介して制御装置（図示せず、蓋体４０の内部に内蔵）と接続している。
【００５８】
次に、図６において、大口径の筒体５０と小口径の筒体６０の膨張シール５２、６２が膨張する状態を説明する。図６においては、大口径の筒体５０の外周部に挿嵌されている膨張シール５２が膨張して、筒体５０の外周部とグローブポート３０ａの内周部３４ａとが気密的に当接している。また、小口径の筒体６０の外周部に挿嵌されている膨張シール６２が膨張して、筒体６０の外周部と環状部材６７の内周部とが気密的に当接している。なお、図６においては、膨張した膨張シール５２、６２を明瞭に示すために便宜上その断面を黒塗りとしている。
【００５９】
このことにより、筒体５０、６０、グローブポート３０ａ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ａが形成されている。本実施例１においては、この閉鎖空間２２ａを気密性検査の検査領域とする。このことにより、作業用グローブ本体２０及び装着部分２３ａ（作業用グローブ２０の基端部２１を２本のオーリング３２で固定した部分）の気密性を検査することができる。
【００６０】
《閉鎖空間の形成》
ここで、圧縮空気供給配管５２ａ、６２ａを介して圧縮空気発生装置（蓋体４０の内部に内蔵）から膨張シール５２及び６２に流れる圧縮空気の流れを説明する。図７は、本実施例１において、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。
【００６１】
図７において、圧縮空気発生装置７０は、フィルタ（Ｆ）７１及び空気圧縮機（Ｐ）７２を備えている。空気圧縮機７２は、圧縮空気供給配管７２ａ、７２ｂを介して電磁弁７３と連通している。電磁弁７３は、圧縮空気供給配管６２ａを介して膨張シール（ＩＦ８）６２と連通している。また、圧縮空気供給配管６２ａから分岐した配管が電磁弁７４と連通している。電磁弁７４は、圧縮空気供給配管５２ａを介して膨張シール（ＩＦ１０）５２と連通している。また、圧縮空気供給配管６２ａには、膨張シールの内部圧を検知する圧力センサ（Ｓ）７５が配設されている。
【００６２】
更に、圧縮空気供給配管７２ａ、７２ｂから分岐した配管が、電磁弁７６及び電磁弁７７と連通している。電磁弁７６は、圧縮空気供給配管６５ａ及び圧縮空気供給弁６５を介して気密性検査領域である閉鎖空間（Ｇ）２２ａと連通している。この閉鎖空間２２ａには、気密性検査のための圧力センサ（Ｓ）６６が配設されている。また、電磁弁７７からは、各配管の圧縮空気が経路外に排出される。
【００６３】
このように構成した配管経路において、まず、図５に示すように、グローブポート３０ａ（円形１０インチ）に大口径の筒体５０が挿入されると、挿入センサ５３がグローブポート３０ａを検知する。また、図５においては、小口径の筒体６０に環状部材６７が装着されており、挿入センサ６３が環状部材６７を検知する。これらの検知信号は、配線５３ａ、６３ａを介して制御装置に送信される。
【００６４】
図７において、制御装置（図示せず）は、送られた信号に対応して電磁弁７３、７４を開放すると共に、圧縮空気発生装置７０の空気圧縮機７２を作動させる。このとき、電磁弁７６、７７は閉鎖されている。このことにより、圧縮空気発生装置７０で発生した圧縮空気は、膨張シール５２及び６２を膨張させる。このとき、圧力センサ７５は、膨張シール５２及び６２の内部圧力を検知し、その信号を制御装置に送信する。
【００６５】
図８は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。図８において、制御装置（図示せず）は、膨張シール５２及び６２の内部圧力が設定値になったことを確認すると、電磁弁７３を閉鎖して圧縮空気発生装置７０を停止する。このことにより、筒体５０、６０、グローブポート３０ａ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ａが形成される（図６参照）。
【００６６】
図６において、閉鎖空間２２ａの内部にある挿入センサ６３、圧力センサ６６及び圧縮空気供給弁６５は、それぞれ気密シールが施されており、閉鎖空間２２ａの圧力が漏れることはない。また、膨張シール６２と圧縮空気供給配管６２ａとの接続部分は、膨張シール６２の膨張により圧力が漏れることはない。一方、本実施例１においては、挿入センサ５３には気密シールが施されていないが、挿入センサ５３は閉鎖空間２２ａの外部にあり問題とはならない。
【００６７】
《気密性検査》
本実施例１においては、この閉鎖空間２２ａを気密性検査の検査領域とする。本発明においては、従来の気密性検査装置と同様の構成及び作動で気密性検査を実行する。なお、本実施例１においては、作業用グローブ内加圧設定装置の圧縮空気発生装置は、図８における圧縮空気発生装置７０を併用する。まず、制御装置は、設定されたプログラムに従って電磁弁７６を開放すると共に、圧縮空気発生装置７０の空気圧縮機７２を作動させる。このとき、電磁弁７３、７７は閉鎖されている。発生した圧縮空気は、圧縮空気供給配管６５ａ及び圧縮空気供給弁６５を介して閉鎖空間２２ａの内部に供給される。このとき、圧力センサ６６で閉鎖空間２２ａの内部圧力を検知して制御装置による制御のもとに所定の検査圧力に設定する。
【００６８】
制御装置は、閉鎖空間２２ａの内部圧力が設定値（例えば、３ｋＰａ）になったことを確認すると、電磁弁７６を閉鎖して圧縮空気発生装置７０を停止する。その後、所定の時間、閉鎖空間２２ａの内部圧力の変化を圧力検知装置の圧力センサ６６で検知し、その信号を制御装置に送信する。このようにして、制御装置に設定されたプログラムに従って気密性検査を実行する。このとき、所定時間内の圧力低下が設定値よりも大きい場合には、作業用グローブ自体或いはその装着部分の気密性が破綻していることが分かる。
【００６９】
《閉鎖空間の解除》
図９は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。図９において、気密性検査が終了すると、制御装置（図示せず）は、設定されたプログラムに従って電磁弁７３、７７を開放する。このとき、電磁弁７４は解放されており、電磁弁７６は閉鎖されている。このことにより、膨張シール５２及び６２を膨張させていた圧縮空気は、電磁弁７３、７４、７７を介して経路外に排出される。よって、膨張シール５２及び６２が収縮して、閉鎖空間２２ａが解除される。
【実施例２】
【００７０】
本実施例２は、アイソレーター装置の円形８インチのグローブポートに上記実施例１と同じ構成の気密性検査装置を用いるものである。従って、円形８インチのグローブポート３０ｂには、グローブポート閉鎖部材１００の小口径の筒体６０を挿入する。
【００７１】
図１０は、グローブポート３０ｂ（円形８インチ）に小口径の筒体６０が挿入された状態を示す断面図である。一方、図１１は、小口径の筒体６０の膨張シール６２が膨張した状態を示す断面図である。
【００７２】
図１０において、グローブポート閉鎖部材１００の小口径の筒体６０の外周部は、グローブポート３０ｂの内周部３４ｂに挿入されている。この状態においては、筒体６０の外周部とグローブポート３０ｂの内周部３４ｂとは、気密的に当接していない。一方、大口径の筒体５０は、グローブポート３０ｂに挿入されずチャンバー１２の外部側（作業用グローブ２０と反対側）にある。なお、図１０は、グローブポート閉鎖部材１００の筒部分１００ｂ（筒体５０及び６０）の断面を表している。これらの筒体５０、６０の内部の構成は、上記実施例１と同様でありここでは説明を省略する。
【００７３】
次に、図１１において、小口径の筒体６０の膨張シール６２が膨張する状態を説明する。図１１においては、小口径の筒体６０の外周部に挿嵌されている膨張シール６２が膨張して、筒体６０の外周部とグローブポート３０ｂの内周部３４ｂとが気密的に当接している。一方、大口径の筒体５０の外周部に挿嵌されている膨張シール５２は膨張していない。なお、図１１においては、膨張した膨張シール６２を明瞭に示すために便宜上その断面を黒塗りとしている。
【００７４】
このことにより、筒体６０、グローブポート３０ｂ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ｂが形成されている。本実施例２においては、この閉鎖空間２２ｂを気密性検査の検査領域とする。このことにより、作業用グローブ本体２０及び装着部分２３ｂ（作業用グローブ２０の基端部２１を２本のオーリング３２で固定した部分）の気密性を検査することができる。
【００７５】
《閉鎖空間の形成》
ここで、圧縮空気供給配管６２ａを介して圧縮空気発生装置（蓋体４０の内部に内蔵）から膨張シール６２に流れる圧縮空気の流れを説明する。図１２は、本実施例２において、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ｂに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。なお、本実施例２における配管経路の構成は、上記実施例１と同様でありここでは説明を省略する。
【００７６】
このように構成した配管経路において、まず、図１０に示すように、グローブポート３０ｂ（円形８インチ）に小口径の筒体６０が挿入されると、挿入センサ６３がグローブポート３０ｂを検知する。一方、図１０においては、大口径の筒体５０は、グローブポート３０ｂに挿入されておらず、挿入センサ５３は挿入を検知していない。挿入センサ６３の検知信号は、配線６３ａを介して制御装置に送信される。
【００７７】
図１２において、制御装置（図示せず）は、送られた信号に対応して電磁弁７３を開放すると共に、圧縮空気発生装置７０の空気圧縮機７２を作動させる。このとき、電磁弁７４、７６、７７は閉鎖されている。このことにより、圧縮空気発生装置７０で発生した圧縮空気は、膨張シール６２を膨張させる。このとき、圧力センサ７５は、膨張シール６２の内部圧力を検知し、その信号を制御装置に送信する。
【００７８】
図１３は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ｂに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。図１３において、制御装置（図示せず）は、膨張シール６２の内部圧力が設定値になったことを確認すると、電磁弁７３を閉鎖して圧縮空気発生装置７０を停止する。このことにより、筒体６０、グローブポート３０ｂ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ｂが形成される（図１１参照）。
【００７９】
図１１において、閉鎖空間２２ｂの内部にある圧力センサ６６及び圧縮空気供給弁６５は、それぞれ気密シールが施されており、閉鎖空間２２ｂの圧力が漏れることはない。一方、本実施例２においては、挿入センサ５３及び膨張シール５２と圧縮空気供給配管５２ａとの接続部分には気密シールが施されていない。しかし、これらは、いずれも閉鎖空間２２ｂの外部にあり問題とはならない。
【００８０】
《気密性検査》
本実施例２においては、この閉鎖空間２２ｂを気密性検査の検査領域とする。なお、本実施例２における気密性検査は、上記実施例１と同様でありここでは説明を省略する。
【００８１】
《閉鎖空間の解除》
図１４は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ｂから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。図１４において、気密性検査が終了すると、制御装置（図示せず）は、設定されたプログラムに従って電磁弁７３、７７を開放する。このとき、電磁弁７４、７６は閉鎖されている。このことにより、膨張シール６２を膨張させていた圧縮空気は、電磁弁７３、７７を介して経路外に排出される。よって、膨張シール６２が収縮して、閉鎖空間２２ｂが解除される。
【実施例３】
【００８２】
本実施例３は、アイソレーター装置の円形１０インチのグローブポートに上記構成の気密性検査装置を用いるものである。従って、円形１０インチのグローブポート３０ａには、グローブポート閉鎖部材１００の大口径の筒体５０を挿入する。なお、本実施例３においては、上記実施例１と異なり小口径の筒体６０に環状部材を装着していない。
【００８３】
図１５は、グローブポート３０ａ（円形１０インチ）に大口径の筒体５０が挿入され、小口径の筒体６０には環状部材が装着されていない状態を示す断面図である。一方、図１６は、大口径の筒体５０の膨張シール５２が膨張した状態を示す断面図である。
【００８４】
図１５において、グローブポート閉鎖部材１００の大口径の筒体５０の外周部は、グローブポート３０ａの内周部３４ａに挿入されている。この状態においては、筒体５０の外周部とグローブポート３０ａの内周部３４ａとは、気密的に当接していない。また、小口径の筒体６０の外周部には、環状部材は装着されていない。なお、図１５は、グローブポート閉鎖部材１００の筒部分１００ｂ（筒体５０及び６０）の断面を表している。これらの筒体５０、６０の内部の構成は、上記実施例１と同様でありここでは説明を省略する。
【００８５】
次に、図１６において、大口径の筒体５０の膨張シール５２が膨張する状態を説明する。図１６においては、大口径の筒体５０の外周部に挿嵌されている膨張シール５２が膨張して、筒体５０の外周部とグローブポート３０ａの内周部３４ａとが気密的に当接している。一方、小口径の筒体６０の外周部に挿嵌されている膨張シール６２は膨張していない。なお、図１６においては、膨張した膨張シール５２を明瞭に示すために便宜上その断面を黒塗りとしている。
【００８６】
このことにより、筒体５０、６０、グローブポート３０ａ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ａが形成されている。本実施例３においては、この閉鎖空間２２ａを気密性検査の検査領域とする。このことにより、作業用グローブ本体２０及び装着部分２３ａ（作業用グローブ２０の基端部２１を２本のオーリング３２で固定した部分）の気密性を検査することができる。
【００８７】
《閉鎖空間の形成》
ここで、圧縮空気供給配管５２ａを介して圧縮空気発生装置（蓋体４０の内部に内蔵）から膨張シール５２に流れる圧縮空気の流れを説明する。図１７は、本実施例３において、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａに気密的に装着されるまでの状態を示す圧縮空気の配管図である。
【００８８】
図１７において、上記実施例１と異なり電磁弁７８が加えられている。圧縮空気発生装置７０は、フィルタ（Ｆ）７１及び空気圧縮機（Ｐ）７２を備えている。空気圧縮機７２は、圧縮空気供給配管７２ａ、７２ｂを介して電磁弁７３と連通している。電磁弁７３は、圧縮空気供給配管７３ａを介して電磁弁７４及び電磁弁７８と連通している。電磁弁７４は、圧縮空気供給配管５２ａを介して膨張シール（ＩＦ１０）５２と連通している。一方、電磁弁７８は、圧縮空気供給配管６２ａを介して膨張シール（ＩＦ８）６２と連通している。また、圧縮空気供給配管７３ａには、膨張シールの内部圧を検知する圧力センサ（Ｓ）７５が配設されている。
【００８９】
更に、圧縮空気供給配管７２ａ、７２ｂから分岐した配管が、電磁弁７６及び電磁弁７７と連通している。電磁弁７６は、圧縮空気供給配管６５ａ及び圧縮空気供給弁６５を介して気密性検査領域である閉鎖空間（Ｇ）２２ａと連通している。この閉鎖空間２２ａには、気密性検査のための圧力センサ６６が配設されている。また、電磁弁７７からは、各配管の圧縮空気が経路外に排出される。
【００９０】
このように構成した配管経路において、まず、図１５に示すように、グローブポート３０ａ（円形１０インチ）に大口径の筒体５０が挿入されると、挿入センサ５３がグローブポート３０ａを検知する。また、図１５においては、小口径の筒体６０に環状部材が装着されておらず、挿入センサ６３は挿入を検知していない。挿入センサ５３の検知信号は、配線５３ａを介して制御装置に送信される。
【００９１】
図１７において、制御装置（図示せず）は、送られた信号に対応して電磁弁７３、７４を開放すると共に、圧縮空気発生装置７０の空気圧縮機７２を作動させる。このとき、電磁弁７６、７７、７８は閉鎖されている。このことにより、圧縮空気発生装置７０で発生した圧縮空気は、膨張シール５２を膨張させる。このとき、圧力センサ７５は、膨張シール５２の内部圧力を検知し、その信号を制御装置に送信する。
【００９２】
図１８は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａに気密的に装着された状態を示す圧縮空気の配管図である。図１８において、制御装置（図示せず）は、膨張シール５２の内部圧力が設定値になったことを確認すると、電磁弁７３を閉鎖して圧縮空気発生装置７０を停止する。このことにより、筒体５０、６０、グローブポート３０ａ、及び、作業用グローブ２０の内面で囲まれた閉鎖空間２２ａが形成される（図１６参照）。
【００９３】
図１６において、閉鎖空間２２ａの内部にある挿入センサ６３、圧力センサ６６及び圧縮空気供給弁６５は、それぞれ気密シールが施されており、閉鎖空間２２ａ内の圧力が漏れることはない。また、本実施例３においては、膨張シール６２と圧縮空気供給配管６２ａとの接続部分にも気密シール６９が施されており、膨張シール６２が膨張していなくても圧力が漏れることはない。
【００９４】
《気密性検査》
本実施例３においては、この閉鎖空間２２ａを気密性検査の検査領域とする。なお、本実施例３における気密性検査は、上記実施例１と同様でありここでは説明を省略する。
【００９５】
《閉鎖空間の解除》
図１９は、グローブポート閉鎖部材１００がグローブポート３０ａから気密的に解除される状態を示す圧縮空気の配管図である。図１９において、気密性検査が終了すると、制御装置（図示せず）は、設定されたプログラムに従って電磁弁７３、７７を開放する。このとき、電磁弁７４は解放されており、電磁弁７６、７８は閉鎖されている。このことにより、膨張シール５２を膨張させていた圧縮空気は、電磁弁７３、７４、７７を介して経路外に排出される。よって、膨張シール５２が収縮して、閉鎖空間２２ａが解除される。
【００９６】
以上のことから、上記各実施例においては、円形１０インチ及び円形８インチの２種類のグローブポートに対して、同一構成の気密性検査装置を用いて気密性検査を実施することができた。よって、本発明においては、１台の気密性検査装置で大きさや形状の異なるグローブポートに対応可能で、気密性検査のたびに気密性蓋材を交換したり、アタッチメントを取付けたりすることなく、安定した検査結果を得ることのできる気密性検査装置を提供することができる。
【００９７】
なお、本発明の実施にあたり、上記各実施例に限らず、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）上記各実施例においては、無線式の気密性検査装置であってパーソナルコンピュータ（ＰＣ）との無線通信により、グローブポートへの装着後の気密性確保の実行、気密性検査の実行、評価、及び、データの蓄積などをＰＣに設定したプログラムに従って実行するものであるが、これに限定するものではなく、装置本体と１台又は複数のグローブポート閉鎖部材とを有線で連結した構成のものであってもよい。
（２）上記各実施例においては、グローブポート閉鎖部材が２種類のグローブポートに対応する２段型のものであるが、これに限定するものではなく、３段型或いはそれ以上であってもよい。
（３）上記各実施例においては、グローブポート閉鎖部材が円形８インチと円形１０インチとの組み合わせに対応するものであるが、これに限定するものではなく、円形８インチと楕円形１０インチとの組み合わせなど、どのような組み合わせであってもよい。
（４）上記各実施例においては、気密性検査装置をアイソレーター装置のグローブポートに使用するものであるが、これに限定するものではなく、ＲＡＢＳ（アクセス制限バリアシステム）の壁面のグローブポートに使用するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００９８】
１０…アイソレーター装置、１１…架台、１２…チャンバー、
１３…機械室、１４…ガラス窓、１５…作業用開口部、
２０…作業用グローブ、２１…基端部（上腕部）、
２２ａ、２２ｂ…閉鎖空間、２３ａ、２３ｂ…装着部分、
３０、３０ａ、３０ｂ…グローブポート、３１…開口部、３２…オーリング、
３３…環状溝、３４ａ、３４ｂ…グローブポートの内周部、
４０…蓋体、５０、６０…筒体、５１、６１…溝、
５２、６２…膨張シール、５３、６３…挿入センサ、
６４…先端面、６５…圧縮空気供給弁、６６、７５…圧力センサ、６７…環状部材、
５２ａ、６２ａ、６５ａ、７３ａ、７６ａ、７６ｂ…圧縮空気供給配管、
５３ａ、６３ａ、６６ａ、７５ａ…配線、７０…圧縮空気発生装置、
７１…フィルタ、７２…空気圧縮機、７３、７４、７６、７８…電磁弁、
１００…グローブポート閉鎖部材、１００ａ…蓋部分、１００ｂ…筒部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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