(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置のログデータに記録されるログ情報のデータを外部の装置に送信するデータ送信方法であって、
前記製造装置の処理に関するものを識別する識別子であって前記製造装置及び前記外部の装置が共通に使用する第１識別子の情報と前記製造装置の処理に関し前記第１識別子により識別されるものを識別する識別子であって前記製造装置が使用する第２識別子の情報との対応情報を保存する保存工程と、
ログ情報に記録された前記第２識別子の情報に対応した前記第１識別子の情報を前記対応情報に基づいて取得し、前記第１識別子の前記情報を追加した前記ログ情報のデータを送信するデータ送信工程と、
を情報処理装置を用いて実行し、
前記保存工程において、前記第１識別子の前記情報及び前記第２識別子の前記情報に対応したイベント時刻の情報を加えて前記対応情報を保存し、
前記データ送信工程において、前記ログ情報の前記第２識別子の情報が前記対応情報に複数、存在する場合、前記対応情報に基づいて、前記ログ情報のイベント時刻の情報に一番近い前記第２識別子の前記情報に対応するイベント時刻の情報を求め、前記イベント時刻の情報に対応する前記第１識別子の情報を取得する、
ことを特徴とするデータ送信方法。
【請求項２】
前記第１識別子及び前記第２識別子は、前記製造装置で処理をする材料を識別する識別子、又は前記製造装置に対して動作を指令するためのジョブを識別する識別子であることを特徴とする請求項１に記載のデータ送信方法。
【請求項３】
前記第２識別子は、一定の番号を超えた場合は先頭に戻る通し番号である
ことを特徴とする、請求項１又は２に記載のデータ送信方法。
【請求項４】
前記ログ情報は、前記第１識別子の情報を含むログ情報と、前記第１識別子の情報を含まないログ情報とを含む
ことを特徴とする、請求項１乃至請求項３のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法。
【請求項５】
前記データ送信工程において、前記ログ情報を記録する毎に前記ログ情報のデータを送信することを含む
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法。
【請求項６】
前記データ送信工程において、前記ログデータから前記ログ情報を読み込んで前記ログ情報のデータを送信することを含む
ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法。
【請求項７】
前記製造装置は基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法を情報処理装置に実行させるプログラム。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７のうちいずれか１項に記載のデータ送信方法を用いてデータを送信するデータ送信装置。
【請求項１０】
基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、請求項９に記載のデータ送信装置を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のリソグラフィ装置を用いて、パターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、を有する
ことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データ送信方法、プログラム、データ送信装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイス等の物品を製造する製造装置において、製造装置を制御するプログラムが、製造装置を構成する様々な機器の動作や制御に関する履歴等を記録したログ情報を収集して、製造装置の情報処理装置内にログデータとして保存している。
【０００３】
このログデータに記録されるログ情報のデータを送信することで、製造装置を監視、制御するホストコンピュータ等の外部の装置により、生産管理、装置の異常検知、故障予測、フィードバック制御などが可能となる。
【０００４】
特許文献１で提案されている方法では、複数のモジュールのログ情報のデータを外部に送信する方法が公開されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−７９８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、外部の装置において、製造装置に対して動作を指令するためのジョブを識別するための識別子、装置で処理をする材料を識別するための識別子などを用いて、前述の生産管理等を行っている。これらの識別子は、外部の装置と製造装置とが共通に使用する識別子（以下、外部識別子とする）である。よって、前記ログ情報のデータを送信する際には外部識別子を追加して送信する必要がある。
【０００７】
しかし、製造装置の制御ユニットにおいて、動作を指令するためのジョブを識別するための識別子等の識別子を製造装置の内部で使用される識別子（以下、内部識別子とする）のみを用いてログ情報を記録している場合がある。よって、前記ログ情報のデータを送信する場合に、外部識別子の情報を含まないログ情報のデータが送信されることがあり、外部の装置において前述の生産管理等に前記データを用いることができなかった。
【０００８】
そこで、本発明は、外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる、データ送信方法、プログラム、データ送信装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の一側面としてのデータ送信方法は、製造装置のログデータに記録されるログ情報のデータを外部の装置に送信するデータ送信方法であって、前記製造装置の処理に関するものを識別する識別子であって前記製造装置及び前記外部の装置が共通に使用する第１識別子の情報と前記製造装置の処理に関し前記第１識別子により識別されるものを識別する識別子であって前記製造装置が使用する第２識別子の情報との対応情報を保存する保存工程と、ログ情報に記録された前記第２識別子の情報に対応した前記第１識別子の情報を前記対応情報に基づいて取得し、前記第１識別子の前記情報を追加した前記ログ情報のデータを送信するデータ送信工程と、を情報処理装置を用いて実行し、前記保存工程において、前記第１識別子の前記情報及び前記第２識別子の前記情報に対応したイベント時刻の情報を加えて前記対応情報を保存し、前記データ送信工程において、前記ログ情報の前記第２識別子の情報が前記対応情報に複数、存在する場合、前記対応情報に基づいて、前記ログ情報のイベント時刻の情報に一番近い前記第２識別子の前記情報に対応するイベント時刻の情報を求め、前記イベント時刻の情報に対応する前記第１識別子の情報を取得する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる、データ送信方法、プログラム、データ送信装置、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】露光装置及びホストコンピュータの構成を例示する図
【図２】情報処理装置のハードウェア構成を例示するブロック図
【図３】ＣＰＵの構成を例示するブロック図
【図４】実施例１に係るＣＰＵの処理を示すフローチャート
【図５】実施例１に係るログデータ、ログ情報、送信データ等を例示する図
【図６】実施例２に係るＣＰＵの処理を示すフローチャート
【図７】実施例２に係るログデータ、ログ情報、送信データ等を例示する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。以下に、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。以下の実施例では、製造装置として露光装置を用いた例について説明する。各図において、同一の部材については、同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【実施例１】
【００１３】
図１は露光装置及びホストコンピュータの構成を例示する図である。露光装置１０は、図１に示すように光源ユニット１０１、照明系１０２、マスクステージ１０４、投影光学系１０５、ウエハステージ１０６、ウエハチャック１０７、プリアライメントユニット１０９、制御ユニット１１１を含み得る。
【００１４】
光源ユニット１０１を出た光は照明系１０２を介してマスクステージ１０４に保持されたマスク１０３を照明する。光源ユニット１０１の光源としては、例えば高圧水銀ランプやエキシマレーザなどがある。なお、光源がエキシマレーザの場合は、光源ユニット１０１は露光装置１０のチャンバ内部にあるとは限らず、外付けになっている構成もあり得る。マスク１０３上には転写されるべき回路パターンが描かれている。マスク１０３を照明した光は投影光学系１０５を通過してウエハ１０８に達する。ウエハ１０８は、例えば、シリコンウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等である。
【００１５】
マスク１０３上のパターンが、投影光学系１０５を介して、ウエハ１０８上に塗布された感光媒体（例えば、レジスト）に転写される。ウエハ１０８はウエハチャック１０７に真空吸着などの手段により平らに矯正された状態で保持されている。また、ウエハチャック１０７はウエハステージ１０６に保持されている。ウエハステージ１０６は移動可能に構成されている。そして、ウエハステージ１０６を投影光学系１０５の光軸に対して垂直な面に沿って２次元的にステップ移動しながら、ウエハ１０８に複数のショット領域を繰り返し露光する。これはステップアンドリピート方式と呼ばれる露光方式である。なお、マスクステージ１０４とウエハステージ１０６を同期しながらスキャンして露光を行う、ステップアンドスキャン方式と呼ばれる露光方式もあり、本実施例はそのような方式を採用する露光装置にも同様に適用できる。
【００１６】
露光装置１０においては、露光処理前のウエハ１０８はウエハカセット１１０に入れられた状態で露光装置にセットされる。ウエハカセット１１０内には少なくとも１枚、通常は複数枚のウエハ１０８が格納されている。そして、不図示のロボットハンドなどにより、１枚のウエハ１０８がウエハカセット１１０から取り出され、プリアライメントユニット１０９に置かれる。プリアライメントユニット１０９でウエハ１０８の方位合せや位置合せなどが行われた後、ロボットハンドによりウエハ１０８がウエハチャック１０７にセットされ、露光処理される。露光処理を終えたウエハ１０８はロボットハンドによりウエハチャック１０７上から取り除かれウエハカセット１１０に回収されるとともに、プリアライメントユニット１０９に待機していた次のウエハ１０８がウエハチャック１０７にセットされる。このようにして次々とウエハ１０８が露光処理される。なお、露光装置１０が、塗布現像装置（不図示）等の他の装置とインラインで接続して、露光処理前のウエハ１０８が他の装置から搬入され、露光処理後のウエハ１０８が他の装置へ搬出される構成にしても良い。
【００１７】
制御ユニット１１１は、コンピュータなどの情報処理装置であり、露光装置１０の各ユニット、機器等の制御や、各種の演算を行う。また、図１の例では制御ユニット１１１は１つの構成であるが、制御ユニット１１１は１つに限られず、露光装置１０のユニット、機器毎に制御ユニット１１１が複数ある構成としても良い。
【００１８】
ホストコンピュータ１１は、露光装置１０とネットワーク等を介して接続する情報処理装置であり、露光装置１０を監視、制御する。また、ホストコンピュータ１１は、露光装置１０以外の装置とも接続して、同様に他の製造装置等を監視、制御する。例えば、ホストコンピュータ１１は、露光装置１０に対して動作を指令するためのジョブを実行する。このとき、ホストコンピュータ１１は、露光装置１０に対して外部識別子（第１識別子）の情報を追加して前記ジョブの情報を送信する。
【００１９】
ここで、外部識別子とは、ホストコンピュータ１１等の外部の装置と露光装置１０とで共通に使用される識別子である。また、外部識別子の一例として、ジョブを識別するための識別子である「ＪｏｂＩＤ」、露光装置１０で処理をするウエハを識別するための識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」などがある。また、ロットの名称、レシピの名称、ジョブの工程名などのジョブの属性を示す情報を外部識別子としても良い。また、ウエハの所属するウエハカセット、ウエハカセットのスロットなどのウエハの属性を示す情報を外部識別子としても良い。また、マスクの識別子などマスクの属性を示す情報を外部識別子としても良い。つまり、外部識別子は露光装置１０の処理に関するものを識別するための識別子である。
【００２０】
また、外部識別子はホストコンピュータ１１から取得される場合に限られない。例えば、ウエハを識別するための外部識別子であるＷａｆｅｒＩＤは、露光装置１０とインライン接続する塗布現像装置（不図示）等の他の製造装置から取得されても良い。また、マスク１０３を識別するための外部識別子であるＭａｓｋＩＤは、マスク１０３に設けられたバーコード等をマスク搬送ユニット（不図示）で読み込むことにより取得されても良い。
【００２１】
図２は、データ送信方法を実行することができる情報処理装置のハードウェア構成を例示するブロック図である。本方法は、コンピュータの処理部（ＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する。本情報処理装置の機能を実現するソフトウェアやプログラムはネットワーク又は各種記憶媒体を介して１つ又は複数のコンピュータよりなる情報処理装置に供給される。その情報処理装置の処理部が、記録媒体又は記憶媒体に記録又は記憶されたプログラムを読み出すことにより、プログラムが実行される。離れた位置にある複数のコンピュータが有線又は無線通信で互いにデータを送受信することにより、プログラムの各種処理を行っても良い。なお、情報処理装置は、露光装置１０に接続されたサーバーであっても良く、露光装置１０内にあっても良い。また、制御ユニット１１１と同じ情報処理装置としても良い。
【００２２】
図２の例では、ＣＰＵ２０１は、データ送信に関する各種データ処理のための演算を行い、バス２０８に接続された各構成要素を制御する処理装置である。ＲＯＭ２０２は、データ読出し専用のメモリであり、基本制御プログラムが格納されている。ＲＡＭ２０３は、データ読み書き用のメモリであり、後述の送信データ３０５の保存用に用いられる。また、ＣＰＵ２０１の各種演算処理やデータ等の一時保存用に用いられる。記憶装置２０４は、後述の対応情報３０３及び、ログデータ３０４等のデータの保存用に用いられる。また、情報処理装置のオペレーティングシステム（ＯＳ）のシステムプログラム、及びプログラムやデータ処理中の一時保存領域としても用いられる。記憶装置２０４は、ＲＡＭ２０３に比べてデータの入出力は遅いが、大容量のデータを保存することが可能である。記憶装置２０４は、保存するデータを長期間にわたり参照できるように、永続的なデータとして保存できる不揮発性記憶装置であることが望ましい。記憶装置２０４は、主に磁気記憶装置（ＨＤＤ）で構成されるが、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカードといった外部メディアを装填してデータの読み込みや書き込みを行う装置であっても良い。
【００２３】
入力装置２０５は、情報処理装置に文字やデータを入力するための装置であり、各種のキーボードやマウスなどが該当する。表示装置２０６は、情報処理装置の操作に必要な情報や処理結果などを表示するための装置であり、ＣＲＴ又は液晶モニターなどが該当する。
【００２４】
通信装置２０７は、ネットワークに接続してＴＣＰ／ＩＰ等の通信プロトコルによるデータ通信を行い、他の情報処理装置と相互に通信を行う場合に使用される。通信装置２０７は、他の制御ユニットからログ情報を受信して、後述のログ処理部３０１に通知する。また、ホストコンピュータ１１からの指令を受信して、ホストコンピュータ１１からの指令を通信処理部（不図示）に通知する。
【００２５】
図３は、ＣＰＵ２０１の構成を示すブロック図である。ＣＰＵ２０１は、ログ処理部３０１、データ送信部３０２から構成される。
【００２６】
ログ処理部３０１はログ情報が通知されると、ログデータ３０４にログ情報を記録して、ログデータ３０４を記憶装置２０４に保存する。ここで、ログデータ３０４は、露光装置１０を構成する様々な機器の動作や制御に関する履歴等を記録したログ情報を収集したデータである。また、ログデータ３０４は記憶装置２０４にデータベース、ファイルなどの形式で保存される。
【００２７】
ログ処理部３０１は、対応情報３０３に外部識別子の情報と内部識別子（第２識別子）の情報との対応関係を追加して、対応情報３０３を記憶装置２０４に保存する。ここで、内部識別子とは、露光装置１０の内部で使用される識別子である。また、内部識別子の一例として、外部識別子と同様に、ジョブを識別するための識別子である「ｊｏｂＮｏ」、露光装置１０で処理をするウエハを識別するための識別子である「ｗａｆｅｒＮｏ」などがある。その他の例についても、前述の外部識別子の例と同様である。つまり、内部識別子も露光装置１０の処理に関するものを識別するための識別子である。対応情報３０３は記憶装置２０４にデータベース、ファイルなどの形式で保存される。なお、処理速度の向上のために、ログ処理部３０１は対応情報３０３を一時的にＲＡＭ２０３に保存しても良い。また、ログ処理部３０１は、データ送信部３０２にログ情報を通知する。
【００２８】
データ送信部３０２は、送信データ３０５にログ処理部３０１から受信したログ情報を追加する。送信データ３０５はＲＡＭ２０３にデータベース、ファイルなどの形式で保存される。また、データ送信部３０２は、対応情報３０３を参照して外部識別子の情報を取得して、送信データ３０５内に外部識別子の情報を追加する。なお、処理速度の向上のために、データ送信部３０２は一時的にＲＡＭ２０３に保存されている対応情報３０３を参照しても良い。また、データ送信部３０２はＲＡＭ２０３から送信データ３０５を読み込んで、通信装置２０７を介して、外部の情報処理装置に送信データ３０５を送信する。ここで、外部の情報処理装置は１つの情報処理装置であっても良いし、複数の情報処理装置であっても良い。
【００２９】
次に、図４と図５を用いて、本実施例に係るデータ送信方法について説明する。図４は、実施例１に係るＣＰＵ２０１の処理を示したフローチャートである。また、図５は、実施例１に係るログデータ、ログ情報、送信データ等を例示する図である。
【００３０】
ログ処理部３０１は、他の制御ユニットからログ情報を受信する（ステップ４０１）。なお、ステップ４０１において、ＣＰＵ２０１内で動作する他の処理部からログ情報を受信しても良い。他の処理部としては、例えば、ホストコンピュータ１１からの指令を受信して、ホストコンピュータ１１からの指令を処理する通信処理部（不図示）がある。図５（ａ）はログ処理部３０１が受信するログ情報の一例である。このログ情報は、ホストコンピュータ１１から動作を指令するためのジョブが送信されてきた場合に、通信処理部から通知されるログ情報である。このログ情報には、外部識別子である「ＪｏｂＩＤ」として、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ」という情報が含まれている。また、内部識別子である「ｊｏｂＮｏ」として、「１」という情報が含まれている。また、ログ情報の種別を表す「Ｃｒｅａｔｅ  Ｊｏｂ」という情報が含まれている。また、ホストコンピュータ１１からの指令を受信した日時であるイベント時刻として、「２０１６−０１−０１  ００：００：１０」という情報が含まれている。このイベント時刻の情報は、「２０１６−０１−０１」が年月日を表し、「００：００：１０」が時刻を表している。つまり、イベント時刻は、ログ情報の種別が表わす事象が発生した時刻を表している。
【００３１】
ログ処理部３０１は、受信したログ情報をログデータ３０４に記録して、ログデータ３０４を記憶装置２０４に保存する（ステップ４０２）。図５（ｂ）はログ処理部３０１が記録するログ情報の一例である。図５（ａ）のログ情報と同様の内容をログデータ３０４に記録する。
【００３２】
ログ処理部３０１は、受信したログ情報に外部識別子と内部識別子とが含まれているかを判断する（ステップ４０３）。ログ情報に外部識別子と内部識別子とが含まれている場合は、ログ処理部３０１は対応情報３０３に前記外部識別子と前記内部識別子との情報を追加して、対応情報３０３を記憶装置２０４に保存する（ステップ４０４）。外部識別子と内部識別子とを示す、それぞれ「ＪｏｂＩＤ」と「ｊｏｂＮｏ」というキーワードが、予め記憶装置２０４に保存されている。ログ処理部３０１は前記キーワードを参照し、ログ情報に外部識別子と内部識別子が含まれているかを判断する。
【００３３】
図５（ｃ）はログ処理部３０１が保存する対応情報３０３の一例である。この対応情報３０３は、ログ情報に含まれている外部識別子である「ＪｏｂＩＤ」と内部識別子である「ｊｏｂＮｏ」とについて、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ」と「１」とが対応している情報であることを表す。つまり、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ」と「１」とが同じジョブを指す外部識別子の情報と内部識別子の情報とであることを表す。ログ処理部３０１は、これらの情報を対応付けて対応情報３０３に追加し、記憶装置２０４に保存する。
【００３４】
図５（ｄ）はログ処理部３０１が受信するログ情報の他の一例である。このログ情報は、露光装置１０にウエハが搬入された場合に、ウエハの搬送を制御する制御ユニットから通知されるログ情報である。このログ情報には、外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」として、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ＿Ｗ１」という情報が含まれている。また、内部識別子である「ｗａｆｅＮｏ」として、「１」という情報が含まれている。また、ログ情報の種別を表す「ＷａｆｅｒＩＮ」という情報が含まれている。また、ウエハが搬入された時のイベント時刻として、「２０１６−０１−０１  ００：００：２０」という情報が含まれている。このイベント時刻の意味は、図５（ａ）のログ情報に含まれるイベント時刻と同様である。
【００３５】
図５（ｅ）はログ処理部３０１が記録するログ情報の他の一例である。ログ処理部３０１は、図５（ｄ）のログ情報と同様の内容をログデータ３０４に追加する。
【００３６】
図５（ｆ）はログ処理部３０１が保存する対応情報３０３の他の一例である。この対応情報３０３は、ログ情報に含まれている外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」と内部識別子である「ｗａｆｅＮｏ」とについて、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ＿Ｗ１」と「１」とが対応している情報であることを表す。つまり、「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ＿Ｗ１」と「１」とが同じウエハを指す外部識別子の情報と内部識別子の情報とであることを表す。ログ処理部３０１は、これらの情報を対応付けて対応情報３０３に追加し、記憶装置２０４に保存する。
【００３７】
ここで、ログ情報には、外部識別子の情報を含まないログ情報と、外部識別子の情報を含むログ情報とがある。図５（ｇ）はログ処理部３０１が受信するログ情報の他の一例である。図５（ｇ）に示すログ情報は外部識別子の情報を含まない情報であり、図５（ａ）、図５（ｄ）に示すログ情報が外部識別子の情報を含むログ情報である。また、露光装置１０の各ユニット、機器等の制御を行う制御ユニットにおいて、外部の装置と情報を送受信しないため、外部識別子を必要としない制御ユニットがある。また、ＣＰＵ２０１内で動作し、露光装置１０の制御等を行う処理部においても、同様に外部識別子を必要としない処理部がある。よって、このような制御ユニット及び処理部から通知されるログ情報には外部識別子が含まれていない。また、このような制御ユニット又は処理部から通知されるログ情報に外部識別子が含まれるようにするためには、制御ユニット及び処理部プログラムの変更が必要となる。また、このような制御ユニット及び処理部の数が多くなればなるほど、より大規模なプログラム変更が必要となる。
【００３８】
ステップ４０３においてログ情報に外部識別子と内部識別子とを含まないと判断した場合、ログ処理部３０１は対応情報３０３を保存せずに、ステップ４０５に進む。
【００３９】
ログ処理部３０１は受信したログ情報が、外部に送信するデータを含んでいるかを判断する（ステップ４０５）。ここで、ログ情報には、外部に送信するデータを含むログ情報と、外部に送信するデータを含まないログ情報が存在する。この２種類のログ情報を判別するための判別情報を、記憶装置２０４に保存しておき、ログ処理部３０１は前記判別情報を参照して、ログ情報が外部に送信するデータを含んでいるかを判断する。ログ情報が外部に送信するデータを含んでいる場合は、受信したログ情報をデータ送信部３０２に通知する（ステップ４０６）。ログ情報が外部に送信するデータを含んでいるかを示す情報が、予め記憶装置２０４に保存されている。前記情報として、例えば、ログ情報の種別が保存されている。ログ処理部３０１は前記情報を参照し、ログ情報が外部に送信するデータを含んでいるかを判断する。ログ情報が外部に送信するデータを含んでいない場合は、ステップ４０１に戻る。
【００４０】
データ送信部３０２は、ログ処理部３０１からログ情報を受信すると、送信データ３０５にログ情報を追加して、ＲＡＭ２０３に保存する（ステップ４０７）。
【００４１】
ここで、図５（ｈ）は、データ送信部３０２がログ情報を保存した送信データ３０５の一例である。送信データ３０５には、１つのログ情報のみを含むデータと、複数のログ情報を含むデータとがある。図５（ｈ）では、複数のログ情報を含む送信データ３０５を例示している。
【００４２】
データ送信部３０２は、対応情報３０３を参照して、ログ情報に含まれる内部識別子の情報に対応する外部識別子の情報を取得して、取得した外部識別子の情報を送信データ３０５に追加し、ＲＡＭ２０３に保存する（ステップ４０８）。また、図５（ｉ）は、取得した外部識別子の情報の一例である。図５（ｉ）では、外部識別子である「ＪｏｂＩＤ」として「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ」という情報が、外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」として「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ＿Ｗ１」という情報が取得されたことを示す。
【００４３】
ここで、送信するデータに複数のログ情報を含む場合、ステップ４０８においてデータ送信部３０２は、複数のログ情報の内で１つのログ情報に基づいて外部識別子の情報を取得して、送信データ３０５に追加しても良い。そのために、外部識別子を取得するログ情報を、記憶装置２０４に保存しておき、データ送信部３０２は、前記情報を参照して、外部識別子の取得、追加を行うかどうかの判断をする。また、ステップ４０８においてデータ送信部３０２は、送信データ３０５を参照して外部識別子の情報が追加されているかを判断して、追加されている場合には外部識別子の情報の取得、追加を行わないようにしても良い。
【００４４】
ここで、図５（ｊ）は外部識別子の情報を追加した送信データ３０５の一例である。対応情報３０３から取得された外部識別子「ＪｏｂＩＤ」及び「ＷａｆｅｒＩＤ」とそれぞれの情報である「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ」及び「ＴＥＳＴ＿ＬＯＴ＿Ｗ１」を送信データ３０５に追加した例である。なお、図５（ｊ）は送信データ３０５を送信する前に、予め記憶装置２０４に保存されている形式に基づいて、送信データ３０５を編集して送信する例を示している。送信データ３０５を送信する際に送信データ３０５を編集しないで送信しても良い。
【００４５】
データ送信部３０２は、送信するべき全てのログ情報が、送信データ３０５に追加されているかを判断する（ステップ４０９）。送信するデータがどのログ情報を含むかの情報が、記憶装置２０４に予め保存されている。データ送信部３０２は前記情報を参照して、送信するべき全てのログ情報が、送信データ３０５に追加されているかを判断する。
【００４６】
全てのログ情報が追加されている場合、データ送信部３０２は、外部の情報処理装置に送信データ３０５を送信する（ステップ４１０）。全てのログ情報が追加されていない場合、ステップ４０１に戻る。
【００４７】
図４では、１つのデータを送信する処理を説明したが、複数のデータを送信するために、ステップ４０１からステップ４１０を繰り返し実行しても良い。
【００４８】
したがって、本実施例のデータ送信方法によれば、外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる。また、外部識別子の情報を追加したデータを送信することにより、送信したデータを用いて生産管理、装置の異常検知、故障予測、フィードバック制御などが外部の装置において可能となる。また、露光装置を制御するプログラムを変更することなく、外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる。
【実施例２】
【００４９】
以下、本発明の第２実施形態を説明するが、ここで言及しない事項は、実施例１に従いうる。実施例１では、制御ユニット等からログ情報を受信して、データを送信する方法を説明した。実施例２では、ログ処理部３０１が保存したログデータ３０４を読み込んでデータ送信する方法を、図６と図７を用いて説明する。
【００５０】
図６は、実施例２に係るＣＰＵの処理を示すフローチャートである。また、図７は、実施例２に係るログデータ、ログ情報、送信データ等を例示する図である。
【００５１】
ログ処理部３０１は、ログデータ３０４からログ情報を読み込む（ステップ６０１）。読み込むログ情報は、例えば、図５（ｂ）、図５（ｅ）、又は図５（ｈ）に例示したログデータ３０４の情報である。
【００５２】
ログ処理部３０１は、ログデータ３０４から読み込んだログ情報に外部識別子と内部識別子とが含まれているかを判断する（ステップ６０２）。ログ情報に外部識別子と内部識別子とが含まれている場合は、ログ処理部３０１は対応情報３０３に受信したログ情報の外部識別子と前記内部識別子との情報を追加して、対応情報３０３を記憶装置２０４に保存する（ステップ６０３）。
【００５３】
図７（ａ）はログ処理部３０１が保存する対応情報３０３の一例である。ログ処理部３０１は、実施例１で説明した内部識別子、外部識別子の他に、対応情報３０３にイベント時刻を追加して、対応情報３０３を保存する。イベント時刻である「ＥｖｅｎｔＴｉｍｅ」として、例えば、「２０１６−０１−０１  ００：００：１０」という情報を保存する。ここで、内部識別子である「ｊｏｂＮｏ」、「ｗａｆｅＮｏ」は通し番号であり、一定の番号を超えた場合は先頭に戻る番号である。通常、この一定の番号は内部識別子が重複しないように十分に大きな番号に定められるが、露光装置１０を長期間に渡って運用した場合、内部識別子の番号がこの一定の番号に到達して、先頭の番号に戻ることがある。その場合、ログデータ３０４には、異なる外部識別子に対応するログ情報に重複した内部識別子が追加されることがある。よって、対応情報３０３にも、異なる外部識別子に対応する同じ内部識別子が存在することがある。例えば、図７（ａ）は、装置を長期間に渡って運用した場合、ログデータ３０４から読み込んだログ情報から保存した対応情報３０３の一例である。例えば、外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」の「ＬＯＴ＿０００１＿Ｗ１」と「ＬＯＴ＿１０００＿Ｗ１」との情報に対応する、内部識別子である「ｗａｆｅｒＮｏ」の情報がいずれも「１」であり重複している。このように対応情報３０３に重複した内部識別子の情報が存在する場合、ログ処理部３０１が正しい外部識別子が取得できないという問題が発生する。そこで、ログ処理部３０１が正しい外部識別子を取得するために、ログ処理部３０１は外部識別子及び内部識別子と共にイベント時刻を対応情報３０３に追加して、記憶装置２０４に保存する。
【００５４】
ここで、前述の通り内部識別子は十分に大きな番号を超えた場合に先頭に戻る。よって、同じ内部識別子の情報が使用される場合の時間の間隔も十分に大きい。したがって、対応情報３０３に重複した内部識別子が存在する場合、ログ情報のイベント時刻と対応情報３０３のイベント時刻を比較することにより、正しい外部識別子の情報を取得することができる。
【００５５】
図６のステップ６０４〜６０６は、図４のステップ４０５〜４０７と同様であるため、説明を省略する。
【００５６】
データ送信部３０２は、保存した対応情報３０３を参照して、ログ情報に含まれる内部識別子の情報に対応する外部識別子の情報を取得して、外部識別子の情報を送信データ３０５に追加する（ステップ６０７）。この時、対応情報３０３において内部識別子の情報に対応する外部識別子の情報が複数ある場合、ログ情報のイベント時刻に近いイベント時刻に対応する外部識別子の情報を取得する。これにより、正しい外部識別子の情報を取得することができる。
【００５７】
図７（ｂ）はログデータ３０４から読み込んだログ情報の一例である。いずれのログ情報においても内部識別子である「ｗａｆｅＮｏ」の情報は「１」である。また、図７（ａ）の対応情報３０３において、「ｗａｆｅＮｏ」の情報が「１」である内部識別子に対応する外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」の情報は、「ＬＯＴ＿０００１＿Ｗ１」と「ＬＯＴ＿１０００＿Ｗ１」とが存在している。しかし、それぞれの外部識別子の情報に対応するイベント時刻である「ＥｖｅｎｔＴｉｍｅ」は、「２０１６−０１−０１  ００：００：２０」と「２０１６−０２−０１  ００：００：２０」とで異なっている。そこで、重複する内部識別子に対応するイベント時刻の内、ログ情報のイベント時刻に一番近いイベント時刻に対応する外部識別子を取得する。図７（ｂ）において、ログ情報のイベント時刻は、例えば、「２０１６−０２−０１  ００：００：３０」とする。また、重複する内部識別子に対応する、それぞれのイベント時刻は、「２０１６−０１−０１  ００：００：２０」と「２０１６−０２−０１  ００：００：２０」である。ログ情報のイベント時刻と、重複する内部識別子に対応する、それぞれのイベント時刻とを比較して、「２０１６−０２−０１  ００：００：３０」に近い方のイベント時刻である「２０１６−０２−０１  ００：００：２０」が選択される。よって、データ送信部３０２は、選択したイベント時刻に対応する外部識別子である「ＷａｆｅｒＩＤ」の情報として「ＬＯＴ＿１０００＿Ｗ１」を取得することができる。したがって、対応情報３０３において、異なる外部識別子に対応する同一の内部識別子の情報が複数存在する場合、複数の内部識別子の情報のイベント時刻の内でログ情報のイベント時刻に一番近いイベント時刻に対応した外部識別子の情報を取得すれば良い。
【００５８】
図６のステップ６０８〜６０９は、図４のステップ４０９〜４１０と同様であるため、説明を省略する。
【００５９】
ログ処理部３０１は、ログデータ３０４から全てのログ情報を読み込んだかを判断する（ステップ６１０）。全てのログ情報を読み込んだ場合は、データ送信処理を終了する。また、全てのログ情報を読み込んでいない場合は、ステップ６０１に戻る。
【００６０】
また、実施例１に係るデータ送信方法において、実施例２係るデータ送信方法と同様にイベント時刻を追加して対応情報３０３に保存しても良い。実施例１に係るデータ送信を行う場合でも、対応情報３０３に重複した内部識別子が存在する場合にログ処理部３０１が正しい外部識別子を取得することができる。
【００６１】
また、実施例１に係るデータ送信を行った後に、実施例２に係るデータ送信を行う場合には、対応情報３０３を保存せず、実施例１に係るデータ送信を行った時に保存した対応情報３０３を使用しても良い。これにより、実施例２に係るデータ送信の処理時間が短縮できる。
【００６２】
したがって、本実施例のデータ送信方法によれば、外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる。また、外部識別子の情報を追加したデータを送信することにより、送信したデータを用いて生産管理、装置の異常検知、故障予測、フィードバック制御などが外部の装置において可能となる。また、露光装置を制御するプログラムを変更することなく、外部識別子を追加したデータを送信することができる。また、ログデータに異なる外部識別子の情報に対応するログ情報に重複した内部識別子の情報が存在している場合でも、正しい外部識別子の情報を追加したデータを送信することができる。
【００６３】
（物品の製造方法）
物品として、例えば、デバイス（半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等）、カラーフィルター、又はハードディスク等の製造方法について説明する。かかる製造方法は、リソグラフィ装置（例えば、露光装置、インプリント装置、描画装置等）を用いてパターンを基板（ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等）に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を処理する工程を更に含む。該処理ステップは、該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００６４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。製造装置の一例として、基板を露光することでパターン形成を行う露光装置について説明したが、露光装置に限定されるものではない。また、製造装置の一例として、荷電粒子光学系を介して荷電粒子線（電子線やイオンビームなど）で基板に描画を行って、基板にパターン形成を行う描画装置などの装置であっても良い。また、製造装置の一例として、基板の上のインプリント材（樹脂など）を型により成形（成型）して、基板にパターン形成を行うインプリント装置であっても良い。また、感光媒体を基板の表面上に塗布する塗布装置、パターンが転写された基板を現像する現像装置など、デバイス等の物品の製造において、前述のようなリソグラフィ装置が実施する工程以外の工程を実施する製造装置も含み得る。
【００６５】
また、実施例１〜実施例２は、単独で実施するだけでなく、実施例１と実施例２の組合せで実施することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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