(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流れの圧力式流量測定のためのシステムであって、
流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは流れに沿って配置されている、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）と、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）に接続されている１つ以上のプロセッサと、
前記１つ以上のプロセッサに接続され、命令を含むメモリであって、前記命令が前記１つ以上のプロセッサによって実行されると、前記１つ以上のプロセッサが、
（ｉ）前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から、測定した上流圧力値Ｐｕを受け取り、
（ｉｉ）受け取った前記上流圧力値Ｐｕに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の下流圧力値Ｐｄを計算し、
（ｉｉｉ）受け取った前記上流圧力値Ｐｕと計算した前記下流圧力値Ｐｄとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の流量Ｑを計算し、前記下流圧力値Ｐｄを計算させる命令と、前記流量Ｑを計算させる命令は、前記Ｐｕと前記Ｐｄの計算値とに基づいて前記流量Ｑを、前記Ｐｕと前記Ｑの計算値とに基づいて前記下流圧力値Ｐｄを、前記ＱとＰｄの値が誤差しきい値内に収束するまで、繰り返し計算させる命令を含み、
（ｉｖ）計算した前記流量Ｑに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を通る流れを制御する、メモリと、
を備えるシステム。
【請求項２】
前記流量制限器は、フローノズルまたはオリフィスを備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）は、前記流量制限器の上流の前記圧力Ｐｕを測定する圧力センサを備え、かつ、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）は、前記流量制限器の下流の前記圧力Ｐｄを測定する下流圧力センサを有さない、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記下流圧力Ｐｄを計算するための前記命令および前記流量Ｑを計算するための前記命令は、Ｐｄを初期値Ｐｄ０に設定するための命令を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記下流圧力Ｐｄを計算するための前記命令および前記流量Ｑを計算するための前記命令は、
Ｐｄを初期値Ｐｄ０に設定するための命令を含み、
前記ＱとＰｄの値が前記誤差しきい値内に収束するまで前記流量ＱおよびＰｄを繰り返し計算するための前記命令は、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から、更新された上流圧力値Ｐｕを受け取り、
ＰｄとＰｕとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）における流れの状態が臨界であるか非臨界流であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界流であるかに基づいてＱを計算し、
前記Ｑの計算値に基づいてＰｄを更新する、命令を含む、
請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記Ｑの計算値に基づいてＰｄを更新するための命令は、式Ｐｄ＝Ｐｄ０＋ｆ（Ｑ，Ｐｕ，γ，Ｍ）によって前記下流圧力値Ｐｄを計算するための命令を含み、前記式中、Ｐｄ０は、初期下流圧力を表し、γは流れるガスの比熱比を表し、Ｍは前記流れるガスの分子量を表し、ｆ（）はＱ，Ｐｕ，γ，Ｍの関数を表す、
請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
ｆは、Ｑの一次関数、Ｐｕの一次関数、γの一次関数、かつＭの一次関数を表す、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定するための前記命令は、Ｐｄ／Ｐｕが［２／（γ＋１）］＾［γ／（γ−１）］未満の場合、流れの状態は臨界であると判定し、Ｐｄ／Ｐｕが［２／（γ＋１）］＾［γ／（γ−１）］以上の場合、流れの状態は非臨界であると判定するための命令であって、前記式中、γは流れるガスの比熱比を表す命令を含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項９】
Ｑを計算するための前記命令は、前記流れの状態が臨界である場合、臨界流れの式を用いてＱを計算し、前記流れの状態が非臨界である場合、非臨界流れの式を用いてＱを計算するための命令を含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項１０】
Ｑを計算するための前記命令は、前記流れの状態が非臨界であると判定すると、臨界流れの式を用いて臨界流量Ｑｃｆを計算し、非臨界流れの式を用いて非臨界流量Ｑｎｃｆを計算し、かつ、重み係数ｗと、前記臨界流量Ｑｃｆと、前記非臨界流量Ｑｎｃｆとに基づいて、Ｑを計算するための命令であって、Ｑ＝ｗ＊Ｑｃｆ＋（１−ｗ）＊Ｑｎｃｆである命令を含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項１１】
前記重み係数ｗは、ｗ＝ｆｗ（Ｑ，Ｐｕ，Ｐｄ，γ，Ｍ）によって計算され、前記式中、γは流れるガスの比熱比を表し、Ｍは前記流れるガスの分子量を表し、ｆｗ（）はＱ，Ｐｕ，Ｐｄ，γ，Ｍの関数を表す、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
Ｐｄ／ＰｕがＰｒｍｉｎ未満である場合、ｗ＝１であり、Ｐｄ／ＰｕがＰｒｍａｘを超える場合、ｗ＝０であり、Ｐｄ／ＰｕがＰｒｍｉｎを超えかつＰｒｍａｘ未満である場合、ｗ＝１−［（Ｐｄ／Ｐｕ−Ｐｒｍｉｎ）／（Ｐｒｍａｘ−Ｐｒｍｉｎ）］＾Ｎであり、前記式中、ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、０〜１の変数であって、流れるガスの比熱比γと、流量Ｑと、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の前記流量制限オリフィスのノズルオリフィスサイズとに基づいて決定される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
Ｎは、γと、Ｑと、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の前記流量制限オリフィスの前記ノズルオリフィスサイズとに基づいて決定される正の指数関数の係数である、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記メモリはさらなる命令を含み、前記命令が前記１つ以上のプロセッサに実行されると、前記１つ以上のプロセッサは、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取り、
格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った前記初期下流圧力値Ｐｄ０に設定し、
ＱおよびＰｄの値が既定の誤差しきい値内に収束するまで、前記流量ＱおよびＰｄの計算を繰り返し、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から、上流圧力値Ｐｕを受け取り、
ＰｄとＰｕとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを計算し、
前記Ｑの計算値に基づいてＰｄを更新し、
計算した前記流量Ｑおよび格納した前記下流圧力値Ｐｄがそれぞれの既定の誤差しきい値内の値に収束した後に、前記１つ以上のプロセッサが、計算した前記流量Ｑに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を通る流れを制御する、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記初期下流圧力値Ｐｄ０は、ガスが前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を流れ始める前に測定した上流圧力値Ｐｕに相当する、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
命令を含む非一時的な機械読取り可能媒体であって、前記命令が機械に実行されると、前記機械は、
圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から上流圧力値Ｐｕを受け取り、
受け取った前記上流圧力値Ｐｕに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の下流圧力値Ｐｄを計算し、
受け取った前記上流圧力値Ｐｕと計算した前記下流圧力値Ｐｄとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の流量Ｑを計算し、前記下流圧力値Ｐｄを計算させる前記命令と、前記流量Ｑを計算させる前記命令は、前記Ｐｕと前記Ｐｄの計算値とに基づいて前記流量Ｑを、前記Ｐｕと前記Ｑの計算値とに基づいて前記下流圧力値Ｐｄを、前記ＱとＰｄの値が誤差しきい値内に収束するまで繰り返し計算させる命令を含み、
計算した前記流量Ｑに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を通る流れを制御し、
前記ＭＦＣは、流量制御弁と、前記流量制御弁の流路に配置される流量制限オリフィスと、前記流量制限オリフィスの流路上流に配置される上流圧力センサとを備える、
媒体。
【請求項１７】
前記機械読取り可能命令は、
前記機械が、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取り、
格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った前記初期下流圧力値Ｐｄ０に設定し、
前記計算した流量ＱおよびＰｄの値が前記誤差しきい値内に収束するまで、前記流量ＱおよびＰｄの計算を繰り返す前記命令は、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から、上流圧力値Ｐｕを受け取り、
ＰｄとＰｕとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、
前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを計算し、
前記Ｑの計算値に基づいてＰｄを更新する命令を含み、
計算した前記流量Ｑおよび格納した前記下流圧力値Ｐｄが前記誤差しきい値内の値に収束した後に、前記機械が、計算した前記流量Ｑに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を通る流れを制御するための、
命令をさらに含む、請求項１６に記載の非一時的な機械読取り可能媒体。
【請求項１８】
圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を介する圧力式流量制御の方法であって、
圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取る工程と、
格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った前記初期下流圧力値Ｐｄ０に設定する工程と、
ＱおよびＰｄの値が既定の誤差しきい値内に収束するまで、前記流量ＱおよびＰｄの計算を繰り返す工程であって、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から、上流圧力値Ｐｕを受け取る工程と、ＰｄとＰｕとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）における流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する工程と、前記流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを算出し、前記Ｑの計算値に基づいてＰｄを更新する工程と、を含む前記流量ＱおよびＰｄの計算を繰り返す工程と、
計算した前記流量Ｑおよび格納した前記下流圧力値Ｐｄがそれぞれの既定の誤差しきい値内の値に収束した後に、計算した前記流量Ｑに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を通る流れを制御する工程と、
を含み、
前記圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）は、流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは流れに沿って配置されている、
方法。
【請求項１９】
前記流量制限器は、フローノズルまたはオリフィスを備える、請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
(関連出願)
本願は、「非臨界流れ状態での圧力式流量測定の方法および装置」と題し、２０１５年８月３１日出願の米国特許出願第６２／２１２，２１２号に対し優先権を主張し、この出願の内容すべてをここに参照して援用する。
【０００２】
本技術は、一般に、非臨界流れの状態での流量測定に関する。
【背景技術】
【０００３】
質量流量コントローラ（Mass  Flow  Controller：ＭＦＣ）および質量流量検証器（Mass  Flow  Verifier：ＭＦＶ）の技術が、一般に利用可能である。あるスキームによれば、ＭＦＣまたはＭＦＶは、２つの圧力計（センサとも称する）、すなわち、上流圧力計と下流圧力計とを備え、上流圧力計によって測定した上流圧力と下流圧力計によって測定した下流圧力とに基づいて、流量を算出する。このスキームの短所は、２つの圧力計を必要とすることであって、それによって、ＭＦＣまたはＭＦＶを製造するコストが増加する。上述したように、圧力式流量測定に対する新しいアプローチが望まれる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
図１は、第１の例の圧力式ＭＦＣ１００を示す。図示のように、ＭＦＣ１００は、比例制御弁１０５と、温度センサ１１０と、入口圧力１１５と、出口圧力（Ｐ２）１２０と、オリフィス１２５と、制御圧力（Ｐ１）１３０と、この装置の単一の圧力センサとして機能する容量マノメータ１３５と、比例積分微分（Proportional  Integral  Derivative：ＰＩＤ）制御電子機器１４０とを備える。
【０００５】
ＭＦＣ１００は、オリフィス１２５を流れるガスの質量流量を制御することによって動作する。ＭＦＣの設計においてオリフィス１２５を流れるガスと共に、ＭＦＣ１００が供給するガスの質量流量は、ＭＦＣ１００の製造業者またはＭＦＣ１００のユーザによって設定される。
【０００６】
比例制御弁１０５は、オリフィス１２５を流れるガスの量を調節する。比例制御弁１０５は、比例ソレノイドを備えていてもよい。比例ソレノイドに電圧を印加することによって、スプールの移動速度またはスプールの移動距離を変化させ、それによって、流れるガスの量をスプールの位置に応じた量に調節する。または、上述した比例制御弁１０５の代わりに、他の好適な制御弁を使用してもよい。
【０００７】
温度センサ１１０は、ガスの温度を検知する。温度センサ１１０は、例えば、熱電対（および／または他の好適な温度センサ）を備えていてもよい。入口圧力１１５は、オリフィス１２５の入口で圧力センサによって測定される。出口圧力１２０は、オリフィス１２５の出口で圧力センサによって測定される。オリフィス１２５を流れるガスの圧力は、制御圧力１３０が示すように、（例えば、ＭＦＣ１００の電子回路／論理回路、またはＭＦＣ１００と接続しているコンピュータによって）制御される。金属製ダイアフラムを備える容量マノメータ１３５を用い、金属製ダイアフラムとそれに隣接して固定された電極構造体との間の静電容量の変化に基づいて、ガスの圧力を測定する。
【０００８】
図示のように、ＭＦＣ１００は、ＰＩＤ制御電子機器１４０も備える。ＰＩＤ制御電子機器は、制御ループフィードバックメカニズムを実装する。制御ループフィードバックメカニズムは、ある値（例えば、オリフィス１２５を流れるガスの流量Ｑ）を測定し、測定値と所望値の間の誤差を計算し、かつ、１つ以上の被制御変数を操作して誤差を低減しようとする。この制御ループフィードバックメカニズムを用いて、ＰＩＤ制御電子機器１４０は、オリフィス１２５を流れるガスの流量Ｑを制御する。
【０００９】
ＰＩＤ制御電子機器１４０は、例えば、ＭＦＣ１００の（入口圧力１１５が測定される）入口弁および（出口圧力１２０が測定される）出口弁の動作を制御する。ＭＦＣ１００の一実施例では、ＰＩＤ制御電子機器１４０は、「上昇率」（Rate-Of-Rise：ＲＯＲ）流量制御技術を実施して、質量流量制御を行う。ＲＯＲ技術を実施する場合、既知の容積、例えばオリフィス１２５にガスを流れ込ませ、所定の時間間隔中に出口圧力１２０で生じる圧力の上昇を測定することによって、ガスの流量を決定する。
【００１０】
ＭＦＣ１００に関連する１つの課題は非臨界流れを測定すること、つまり、非臨界流れを、上流圧力と下流圧力の両方で測定することが必要である（下記式４を参照）。（図示のように）上流圧力センサのみが存在する状況下では、ＭＦＣによる流量測定は、誤ったもの、または信頼性の低いものとなり得る。
【００１１】
２つの圧力センサ、すなわち、上流センサおよび下流センサを備えることで、非臨界流れ測定に必要とされる下流圧力の測定が可能となる。単一の圧力センサのみでなく、２つの圧力センサを備えることは、費用がかかり、ＭＦＣ１００の製造コストが、約５００ドルまたは約３０％〜４０％増加することになり得る。
【００１２】
図２は、２つの圧力センサを有する、第２の例の圧力式ＭＦＣ２００を示す。例えば、ＭＦＣ２００の構成要素のいくつかは、日本、京都の堀場製作所株式会社製のＣｒｉｔｅｒｉｏｎ  Ｄ５００（登録商標）の構成要素に相当していてもよい。図示のように、ＭＦＣ２００は、ガス入口２０５と、ガス出口２１０と、上流圧力センサ２１５と、下流圧力センサ２２０と、流量制限器２２５と、温度センサ２３０とを備える。
【００１３】
ＭＦＣ２００において、ガスは、ガス入口２０５を介して流入し、ガス出口を介して流出する。上流圧力センサ２１５は、ガスの上流圧力Ｐｕを測定し、下流圧力センサ２２０は、ガスの下流圧力Ｐｄを測定する。温度センサ２３０は、ガスの温度を測定する。流量制限器２２５は、ガスの流量を制限する。流量Ｑは、以下に説明するように、ＰｕとＰｄとに基づいて算出され、ＭＦＣ２００において、流量制限器２２５を用いて制御される。
【００１４】
ＭＦＣ２００の短所は、ＭＦＣ２００が２つの圧力センサ２１５および２２０を備えることである。第２の圧力センサ２２０にかなりのコストがかかり、それによって、仮にＭＦＣ２００が下流圧力センサ２２０を有さず、単一の上流圧力センサ２１５のみを備える場合に比べて、ＭＦＣ２００のコストが３０％〜４０％または＄５００増加することになる。
【００１５】
上述したように、２つの測定圧力ＰｕとＰｄとに基づいて流量Ｑを計算するので、ＭＦＣ２００には、２つの圧力センサ２１５および２２０が必要である。
【００１６】
ＭＦＣ（例えば、ＭＦＣ１００またはＭＦＣ２００）のノズル（例えば、オリフィス１２５またはガス出口２１０）を通る流れは、臨界流れまたは非臨界流れである。臨界流れはチョーク流れとしても知られており、また、非臨界流れは非チョーク流れとしても知られている。臨界流れにおいては、ガスは音速で流れる。臨界流れのもとでは、式１の条件が満たされる。
【数１】
0006781758.tif 000002
【００１７】
式１中、Ｐｄは下流圧力を表し、Ｐｕは上流圧力を表し、γはガスの比熱比を表す。例えば、窒素ガスに対しては、γ＝１．４０である。臨界流れにおいては、流量Ｑは下流圧力Ｐｄから独立している。具体的には、流量ＱまたはＱｃｆは式２を用いて計算される。
【数２】
0006781758.tif 000003
【００１８】
式２中、Ｃ’は吐出係数を表し、Ａはノズル（例えばオリフィス１２５）の開口部面積を表し、Ｐｕは上流圧力を表し、Ｒは一般ガス定数、すなわち、約８．３１４Ｊ／（ｍｏｌ＊Ｋ）であり、Ｔはガス温度を表し、Ｍはガス分子量を表し、γはガスの比熱比を表す。なお、式２では、Ｑを計算するにあたって下流圧力Ｐｄを必要としない。
【００１９】
非臨界流れの状態では、式１の条件が満たされないため、式３の条件が満たされる。
【数３】
0006781758.tif 000004
【００２０】
非臨界流れの状態では、流量ＱまたはＱｎｃｆは、式４によって計算される。
【数４】
0006781758.tif 000005
【００２１】
なお、式４においては、上流圧力Ｐｕと下流圧力Ｐｄの両方を用いて、非臨界流量ＱまたはＱｎｃｆを計算する。式４の結果として、ＭＦＣ２００において下流圧力センサ２２０が用いられることになり、ＭＦＣ２００の製造コストが増加する。
【００２２】
本技術の態様は、非臨界（非チョーク）流れの状態での圧力式流量測定に用いられるシステムに関する。前記システムは、圧力式質量流量コントローラに接続された１つ以上のプロセッサとメモリとを備える。前記メモリは、前記１つ以上のプロセッサによって実行可能な命令を格納する。前記命令は、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から上流圧力値Ｐｕを受け取るためのコードを含む。前記命令は、受け取った上流圧力値Ｐｕに基づいて、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の下流圧力値Ｐｄを算出するためのコードを含む。前記命令は、受け取った上流圧力値Ｐｕと算出した下流圧力値Ｐｄとに基づいて、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の流量Ｑを算出するためのコードを含む。前記命令は、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御するためのコードを含む。
【００２３】
本技術のさらなる態様は、非臨界（非チョーク）流れの状態での圧力式流量測定に用いられるシステムに関する。前記システムは、圧力式質量流量コントローラに接続された１つ以上のプロセッサと、メモリとを備える。前記メモリは、前記１つ以上のプロセッサによって実行可能な命令を格納する。前記命令は、圧力式質量流量コントローラの初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取るためのコードを含む。前記命令は、格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った初期下流圧力値Ｐｄ０に設定するためのコードを含む。前記命令は、臨界または非臨界流れの状態に従って流量Ｑを計算（またはコンピュータにより算出）するためのコードを含む。前記命令は、算出した流量ＱおよびＰｄの値が既定の誤りしきい値内に収束するまで流量計算を繰り返すためのコード、すなわち、圧力式質量流量コントローラから上流圧力値Ｐｕを受け取り、ＰｄとＰｕとに基づいて、圧力式質量流量コントローラにおける流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、その流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを算出し、Ｑの算出値に基づいてＰｄを更新することを繰り返すためのコードを含む。前記命令は、算出した流量Ｑおよび格納した下流圧力値Ｐｄが収束した後に、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御するためのコードを含む。
【００２４】
本技術のさらなる態様は、非一時的な機械読取り可能媒体に関し、該媒体は非臨界（非チョーク）流れ状態での圧力式流量測定のための命令を格納する。前記命令は、圧力式質量流量コントローラから上流圧力値Ｐｕを受け取るためのコードを含む。前記命令は、受け取った上流圧力値Ｐｕに基づいて、圧力式質量流量コントローラの下流圧力値Ｐｄを算出するためのコードを含む。前記命令は、受け取った上流圧力値Ｐｕと算出した下流圧力値Ｐｄとに基づいて、圧力式質量流量コントローラの流量Ｑを算出するためのコードを含む。前記命令は、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御するためのコードを含む。
【００２５】
本技術のさらなる態様は、非一時的な機械読取り可能媒体に関し、該媒体は非臨界（非チョーク）流れ状態での圧力式流量測定のための命令を格納する。前記命令は、圧力式質量流量コントローラの初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取るためのコードを含む。前記命令は、格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った初期下流圧力値Ｐｄ０に設定するためのコードを含む。前記命令は、算出した流量ＱおよびＰｄの値が既定の誤りしきい値内に収束するまで、算出を繰り返すためのコード、すなわち、圧力式質量流量コントローラから上流圧力値Ｐｕを受け取り、ＰｄとＰｕとに基づいて、圧力式質量流量コントローラにおける流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、その流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを算出し、Ｑの算出値に基づいてＰｄを更新することを繰り返すためのコードを含む。前記命令は、算出した流量Ｑおよび格納した下流圧力値Ｐｄが互いに収束した後に、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御することを繰り返すためのコードを含む。
【００２６】
本技術のさらなる態様は、非臨界（非チョーク）流れ状態での圧力式流量測定の方法に関する。前記方法は、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）から上流圧力値Ｐｕを受け取る工程を含む。前記方法は、受け取った上流圧力値Ｐｕに基づいて、圧力式ＭＦＣの下流圧力値Ｐｄを算出する工程を含む。前記方法は、受け取った上流圧力値Ｐｕと算出した下流圧力値Ｐｄとに基づいて、圧力式ＭＦＣの流量Ｑを算出する工程を含む。前記方法は、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式ＭＦＣを通る流れを制御する工程を含む。
【００２７】
本技術のさらなる態様は、非臨界（非チョーク）流れ状態での圧力式流量測定の方法に関する。前記方法は、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）の初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取る工程を含む。前記方法は、格納する下流圧力値Ｐｄを、受け取った初期下流圧力値Ｐｄ０に設定する工程を含む。前記方法は、下流圧力Ｐｄおよび算出した流量Ｑの値が収束するまで、圧力式ＭＦＣから上流圧力値Ｐｕを受け取り、ＰｄとＰｕとに基づいて、圧力式ＭＦＣにおける流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定し、流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいてＱを算出し、Ｑの算出値に基づいてＰｄを更新することを繰り返す工程を含む。前記方法は、ＰｄおよびＱの値が収束した後に、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式ＭＦＣを通る流れを制御する工程を含む。
【００２８】
本技術のさらなる態様は、非臨界（非チョーク）流れの状態での圧力式流量測定に用いられるシステムに関する。前記システムは、圧力式質量流量コントローラに接続された１つ以上のプロセッサと、メモリとを備える。前記メモリは、前記１つ以上のプロセッサによって実行可能な命令を格納する。前記命令は、圧力式質量流量コントローラから上流圧力値Ｐｕを受け取るためのコードを含む。前記命令は、圧力式質量流量コントローラの外部のセンサから下流圧力値Ｐｄを受け取るためのコードを含む。前記命令は、受け取った上流圧力値Ｐｕと受け取った下流圧力値Ｐｄとに基づいて、圧力式質量流量コントローラの流量Ｑを算出するためのコードを含む。前記命令は、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御するためのコードを含む。
【００２９】
本技術の多様な構成を図示および記述する以下の詳細な説明により、本技術の他の構成は当業者に容易に明らかになることがわかる。当然のことながら、本技術を異なる他の構成とすることは可能であり、そのいくつかの詳細を、それらすべてを、他の多様な態様において、本技術の範囲から逸脱することなく改変することは可能である。したがって、図面および詳細説明は、特徴を説明するが限定はしないものとする。
【００３０】
本技術の特徴は、添付した特許請求の範囲に記載される。しかし、説明を目的として、開示する主題のいくつかの態様を以下の図に示す。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、第１の例の圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を示す。
【図２】図２は、２つの圧力センサを有する、第２の例の圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）を示す。
【図３】図３は、本技術の第１の態様を用いた流量計算の誤差の例を示す。
【図４】図４は、本技術の第２の態様を用いた流量計算の誤差の例を示す。
【図５Ａ】図５Ａは、外部の下流圧力センサに接続された質量流量コントローラの例を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、外部の下流圧力センサに接続された複数の質量流量コントローラの例を示す。
【図６】図６は、質量流量コントローラに接続されたコンピュータの例を示す。
【図７】図７は、質量流量コントローラの下流圧力値および流量を算出するためのプロセスの第１の例を示す。［方法ステップが図示および記述されていることを確認すること］
【図８】図８は、質量流量コントローラの下流圧力値および流量を算出するためのプロセスの第２の例を示す。
【図９】図９は、本技術のいくつかの実施例を実行する電子システムの例を概念的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下に記載する詳細な説明は、本技術の多様な構成の説明を意図したものであって、本技術が実行される構成のみを表すことを意図するものではない。添付した図は本明細書に含まれ、詳細な説明の一部を構成するものとする。詳細な説明には、本技術を完全に理解するための具体的な詳細内容が含まれる。しかし、本技術は、本明細書に記載される、その具体的な詳細内容に限定されず、具体的な詳細内容がなくても本技術は実行され得ることは明らかである。いくつかの例では、本技術の概念があいまいになることを避けるため、いくつかの構造および構成要素を概略図の形で示す。
【００３３】
本技術は、圧力式質量流量コントローラ（ＭＦＣ）または圧力式質量流量検証器（ＭＦＶ）における圧力式流量測定に関する。いくつかの実施例によれば、１つ以上のプロセッサおよびメモリ（例えば、好適なチップまたはレジスタ等の記憶装置）は、圧力式ＭＦＣに接続できるか、またはＭＦＣに含まれ得る。前記１つ以上のプロセッサは、ＭＦＣのセンサにより測定した上流圧力値ＰｕをＭＦＣから受け取ることができる。前記１つ以上のプロセッサは、受け取った上流圧力値Ｐｕに基づいて、ＭＦＣの下流圧力値Ｐｄを算出するよう機能する。前記１つ以上のプロセッサは、受け取った上流圧力値Ｐｕと算出した下流圧力値Ｐｄとに基づいて、ＭＦＣの流量Ｑを算出することができる。前記１つ以上のプロセッサは、算出した流量Ｑに基づいて、ＭＦＣを通る流れを制御する。いくつかの実施形態において、前記１つ以上のプロセッサは、コンピュータに接続されるか、またはコンピュータ内に含まれる。
【００３４】
本明細書では、ＭＦＣまたはＭＦＶは、例えばオリフィスを流れる液体およびガスの流量を測定、制御、または検証するために使用される装置である。ＭＦＣまたはＭＦＶは、特定の種類の液体または気体を、特定の流量または温度範囲で制御するように設計かつ較正されている。ＭＦＣおよびＭＦＶという用語は、同義に用いられ得る。
【００３５】
いくつかの実施例によれば、本技術は、上流圧力Ｐｕを得るための単一の上流圧力センサを用いて内部下流圧力Ｐｄを推計する。圧力式ＭＦＣ（例えば、ＭＦＣ１００またはＭＦＣ２００）の弁が完全に閉じているとき、流量Ｑはゼロであり、内部上流圧力Ｐｕが安定する。コンピュータ（例えば、ＭＦＣ内のコンピュータまたはＭＦＣに接続されたコンピュータ）は、上流圧力センサ（例えば上流圧力センサ２１５）から、この状況下での上流圧力Ｐｕの測定値を受け取り、この測定値を初期下流圧力Ｐｄ０として格納する。ＭＦＣの動作中に開弁し、その後、式５を用いて下流圧力Ｐｄを推計する。
【数５】
0006781758.tif 000006
【００３６】
式５中、ｆ（Ｑ，Ｐｕ，γ，Ｍ）は、ノズルを流れる流量Ｑ、上流圧力Ｐｕ、ならびにガスγおよびＭの特性の関数を表す。様々な関数ｆ（．）が、本技術と共に使用される。例えば、ｆ（．）は、全変数の一次関数、全変数の二次関数、全変数の指数関数、全変数の対数関数、または、様々な変数の様々な程度および種類の関数、例えば、無制限な例として、γの指数関数、Ｑの一次関数、Ｐｕの三次関数、Ｍの二次関数である。（下記）式６は、関数ｆ（．）の一例であり、式中、ｆ（．）は、４つの入力変数各々の一次関数である。
【数６】
0006781758.tif 000007
【００３７】
式６中、係数ｋ１、ｋ２、ｋ３、およびｋ４は、定数を表す。式６は、前述した変数が一次重みを有する関数ｆ（．）の一例を示す。しかし、本技術を、式６に示した関数または他の種類の関数ｆ（．）と共に用いてもよい。
【００３８】
式（１）〜（６）を用いて、上流圧力センサ（例えば上流圧力センサ２１５）を有し、下流圧力センサ（例えば下流圧力センサ２２０）を有さない圧力式ＭＦＣ（例えばＭＦＣ２００）の流量Ｑを、以下のプロセスにより計算する。該プロセスを図８と併せて説明する。
（１）Ｐｄ＝Ｐｄ０に設定する。［図８、ステップ８１０］
（２）上流圧力センサから上流圧力Ｐｕを得る。［図８、ステップ８１５］
（３）式（１）または式（３）を用いて、流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する。［図８、ステップ８２０］
（４）流れの状態が臨界である場合は、臨界流れの式、すなわち式２を用いて流量Ｑを計算し、流れの状態が非臨界である場合は、非臨界流れの式、すなわち式４を用いて流量Ｑを計算する。［図８、ステップ８２５］
（５）式（５）を用い、計算した流量Ｑに基づいて、下流圧力Ｐｄを更新する。［図８、ステップ８３０］
（６）ＱとＰｄの両方が収束するまで、ステップ（２）〜（５）を繰り返す。［図８、ステップ８３５］
【００３９】
上述したプロセスにおいては、流量設定値（ＳＰ）がゼロである場合、Ｐｄ０の値を更新する。なお、上述したプロセスは、Ｐｄを測定することなく、よって、下流圧力センサ（例えば下流圧力センサ２２０）を必要とすることなく完了する。
【００４０】
本明細書では、繰り返しにより計算した値は、その連続計算結果の値が先の計算結果のしきい値率内に収まっていれば、収束していると見なされる。しきい値率は、０．０５％、０．１％、０．５％、１％等である。場合によって、様々なしきい値率が、様々な収束に用いられる。例えば、連続計算の結果が、互いに対して０．１％以内に収まっていると、Ｑの値は収束していると見なされ、一方で、連続計算の結果が、互いに０．０５％以内に収まっていると、Ｐｄの値は収束していると見なされる。
【００４１】
図３は、本技術の態様を用いた流量計算の誤差のグラフ３００を示す。図３のグラフ３００では、測定した上流圧力Ｐｕを考慮に入れ、下流圧力Ｐｄを測定しない場合の、圧力式ＭＦＣの流量が示される。曲線３０５は、臨界流計算のみを使用した場合に基づいており、一方、曲線３１０は、式（１）〜（６）と共に、上記の内部下流圧力推計技術を用いた場合に基づいている。図３に示すように、曲線３１０は曲線３０５よりもはるかに速く収束するものの、両曲線とも結局は同じ結果に収束する。
【００４２】
非臨界流れの範囲における流量計算の精度は、さらに改善される。本技術のいくつかの態様によれば、重み関数を流量計算に用いる。式７に重み関数の一例を示す。
【数７】
0006781758.tif 000008
【００４３】
式７中、ｗは重み係数を表し、Ｑｃｆは式２によって定義され、Ｑｎｃｆは式４によって定義される。式８に示すように、重み係数ｗは、流量、上流圧力、下流圧力、ガスの比熱比、およびガス分子量の関数である。
【数８】
0006781758.tif 000009
【００４４】
いくつかの例によれば、重み関数ｆｗ（．）は、式９に定義するように一次重みを表す。
【数９】
0006781758.tif 000010
【００４５】
式９中、ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、［０，１］の範囲内の変数を表す。ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、ガスの比熱比γ、流量Ｑ、およびノズルオリフィスのサイズに依存する。ある特定例によれば、４０ｐｓｉａで窒素ガス２０００ｓｃｃｍの流量を実現するノズルサイズ０．０１２インチに対して、Ｐｒｍｉｎ＝０．５３、Ｐｒｍａｘ＝０．６３である。
【００４６】
いくつかの例によれば、重み関数ｆｗ（．）は、式１０に定義するように三次重みを表す。
【数１０】
0006781758.tif 000011
【００４７】
式１０中、ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、［０，１］の範囲内の変数を表す。ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、ガスの比熱比γ、流量Ｑ、およびノズルオリフィスのサイズに依存する。ある特定例によれば、４０ｐｓｉａで窒素ガス１０，０００ｓｃｃｍの流量を実現するノズルサイズ０．０２８インチに対して、Ｐｒｍｉｎ＝０．４３、Ｐｒｍａｘ＝１である。
【００４８】
いくつかの例によれば、重み関数ｆｗ（．）は、式１１に定義するようにＮ次重みを表す。式９の一次重みおよび式１０の三次重みは、式１１のＮ次重みの例であり、式１１において、一次重みの場合は、Ｎ＝１であり、三次重みの場合は、Ｎ＝３である。他の例において、Ｎは、任意の実用値または好適な値をとる。
【数１１】
0006781758.tif 000012
【００４９】
式１１中、ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、［０，１］の範囲の変数を表す。ＰｒｍｉｎおよびＰｒｍａｘは、ガスの比熱比γ、流量Ｑ、およびノズルオリフィスのサイズに依存する。Ｎは、正の係数であり、固定定数であるか、またはガスの比熱比γ、流量Ｑ、およびノズルオリフィスのサイズに依存する。
【００５０】
図４は、本技術の態様を用いた流量計算の誤差のグラフ４００を示す。図３のグラフ３００では、測定した上流圧力Ｐｕを考慮に入れ、かつ、下流圧力Ｐｄを測定しない場合の、圧力式ＭＦＣの流量が示される。曲線４０５は、式（１）〜（６）に基づいているが、式（７）〜（１１）と併せて記載したような重み付けは実施されていない。曲線４１０は、式（１）〜（６）と共に、式（７）〜（１１）をも実行した結果である。図４に示すように、曲線４１０は曲線４０５よりもはるかに速く収束するものの、両曲線とも結局は同じ結果に収束する。
【００５１】
図５Ａは、外部の下流圧力センサ５０５に接続しているＭＦＣ１００を備えるシステム５００Ａの例を示す。図示のように、ＭＦＣ１００は、比例制御弁１０５と、温度センサ１１０と、入口圧力１１５と、出口圧力１２０と、オリフィス１２５と、制御圧力１３０と、容量マノメータ１３５と、ＰＩＤ制御電子機器１４０とを備える。容量マノメータ１３５として（またはＭＦＣ１００は容量マノメータを有さない）、任意の容量マノメータを本技術と共に用いてもよいが、いくつかの例によれば、容量マノメータ１３５として、マサチューセッツ州アンドーバーのＭＫＳインスツルメンツ・インコーポレーテッド社製Ｂａｒａｔｒｏｎ（登録商標）容量マノメータが用いられる。外部の下流圧力センサ５０５は、オリフィス１３５から流出するガスの出口圧力１２０を測定し、ＭＦＣ１００内に含まれる下流圧力センサを必要とすることなく、ＰＩＤ制御電子機器１４０に、測定した下流圧力Ｐｄを提供する。その後、ＰＩＤ制御電子機器１４０は、（ＭＦＣ１００内のセンサによって）測定された上流圧力Ｐｕと（外部の下流圧力センサ５０５によって）測定された下流圧力Ｐｄとに基づいて、流量Ｑを決定する。図５Ａおよび図５Ｂと共に記述した態様においては、ＰＩＤ制御電子機器１４０は、式（１）〜（４）を用いてＱを決定し、式（５）〜（１１）によって求められるＰｄを推計する技術に頼る必要がない。これは、Ｐｄの測定値は下流圧力センサ５０５によって提供されるからである。
【００５２】
いくつかの例によると、下流圧力センサ５０５は、例えば、ＭＦＣ１００に隣接する、またはＭＦＣ１００の一部である、別の圧力式ＭＦＣの上流圧力センサである。デジタル通信インターフェースは、互いに通信する、隣接した圧力式ＭＦＣに提供される。デジタル通信インターフェースには、ＤＮＥＴ、ＥｔｈｅｒＣａｔ、ＰｒｏｆｉＢｕｓ、または他の任意の好適なバスもしくはネットワークが含まれる。
【００５３】
図５Ａに示すように、下流圧力センサ５０５は、単一のＭＦＣ１００に接続している。しかし、さらに図５Ｂに示すように、下流圧力センサ５０５は、ＭＦＣ１００と類似または同一の構造を有する複数のＭＦＣやＭＦＶ５０１（１）〜（３）に用いられる、または接続されるセンサである。ＭＦＣ５０１（１）〜（３）は、共通のマニホールド５０３によって接続される。例えば、ＭＦＣ５０１（１）〜（３）それぞれの出力５０２（１）〜（３）は、マニホールド５０３に供給される。マニホールド５０３の下流で検知した圧力を示す信号を含むアウトプット５０７を、ＭＦＣ５０１（１）〜（３）それぞれへの入力５０７（１）〜（３）として、１つ以上の接続または通信リンク（例えば、バスまたは他の導電性パス、無線ＲＦまたは光伝送等）を介して提供することができる。図５Ｂに示すような構成による利点は、単一の下流圧力センサによって、複数の上流の装置（例えばＭＦＣ）に、それら装置への別の目的による入力を介して、下流圧力測定信号を送ることができる。その結果、ＭＦＣは、各々が内蔵型の（しかも高価な）第２の圧力センサを備えなくとも、非チョーク状態の流量（流況）を適切に測定することができる。そのような下流圧力センサ５０５は、例えば１つ以上のＭＦＶの使用による複数の上流の装置５０５（１）〜５０５（３）の流量検証に加えて、またはその流量検証の代替で用いられる。いくつかの実施形態においては、図５Ｂに示す複数のＭＦＣ（やＭＦＶ）５０１（１）〜（３）の１つ以上が、必要ではないものの、下流圧力を推計するよう機能する。
【００５４】
図６は、ＭＦＣ６２５に接続しているコンピュータ６００（または処理システム）の例を示す。コンピュータ６００は、１つまたは複数の適切な接続（例えば、１つ以上の通信線、バス、または導電性パスや無線通信リンク）を用いたり、１つ以上の通信インターフェースを実装したりすることによって、ＭＦＣ６２５に接続している。ＭＦＣ６２５は、ＭＦＣ１００、ＭＦＣ２００、またはその他の好適なＭＦＣに相当する。図示のように、コンピュータ６００は、ＭＦＣ６２５の外部にある。しかし、いくつかの実施例においては、コンピュータ６００は、ＭＦＣ６２５の構成要素である。例えば、コンピュータ６００は、図１のＭＦＣ１００のＰＩＤ制御電子機器１４０に相当する。
【００５５】
コンピュータ６００は、ＰＩＤ制御電子機器１４０等、プロセッサとメモリ（またはメモリにリンクされる）とを備える任意の装置である。または、コンピュータ６００は、ＭＦＣ６２５に接続される独立型の装置であり、例えば、ラップトップコンピュータ、デスクトップコンピュータ、携帯電話、タブレット型コンピュータ、または専用制御機器等である。図示のように、コンピュータ６００は、処理ハードウェア６０５とメモリ６１０とを備える。処理ハードウェア６０５は、単一のプロセッサまたは複数のプロセッサを備える。複数のプロセッサが含まれる実施例においては、複数のプロセッサは、中央処理装置やグラフィック処理装置等の処理装置内に配置される。メモリ６１０は、処理ハードウェア６０５にアクセス可能なデータと、処理ハードウェア６０５によって実行される機械読取り可能命令とを格納する。メモリ６１０は、非一時的な機械読取り可能媒体である。メモリ６１０は、キャッシュ単位と、記憶装置と、長期メモリと、短期メモリ等を含む。図示のように、メモリは、ＰｄおよびＱの算出モジュール６１５と、流量制御モジュール６２０とを含む。
【００５６】
ＰｄおよびＱの算出モジュール６１５が処理ハードウェア６０５により実行されると、処理ハードウェア６０５が、ＭＦＣ６２５から入力された上流圧力Ｐｕに基づいて、ＭＦＣ６２５の下流圧力Ｐｄおよび流量Ｑを算出する。ＰｄおよびＱの算出モジュール６１５は、その算出のために、本明細書に記載される任意のプロセス、例えば、式（１）〜（１１）と共に上述したプロセスや図７〜８と共に以下に記載するプロセスを用いる。図７〜８と共に以下に記載するプロセスを実行するための命令は、コンピュータ６００のメモリ６１０に格納される。
【００５７】
流量制御モジュール６２０が処理ハードウェア６０５により実行されると、処理ハードウェア６０５が、ＰｄおよびＱの算出モジュール６１５により算出された流量Ｑに基づいて、ＭＦＣ６２５を通る流れを制御する。例えば、流量制御モジュール６２０は、（図１に示すＭＦＣ１００の）比例制御弁１０５の動作を調節して、流量を制御する。
【００５８】
図７は、ＭＦＣ（例えば、ＭＦＣ１００、２００、または６２５）における下流圧力値Ｐｄおよび流量Ｑを計算（例えば、数学的に算出、または決定）する、第１の例のプロセス７００を示す。以下に記述するように、プロセス７００は、コンピュータ（例えばコンピュータ６００）、または他の好適な処理システムで実施される。しかし、プロセス７００を、ＭＦＣ内において、例えばＰＩＤ制御電子機器１４０で実施してもよい。
【００５９】
プロセス７００は、コンピュータが圧力式ＭＦＣから上流圧力値Ｐｕを受け取るステップ７０５で開始する。上流圧力値Ｐｕは、ＭＦＣで、ＭＦＣ内の圧力センサを用いて測定される。ＭＦＣは、上流圧力センサを有するが、下流圧力センサを有さない。
【００６０】
ステップ７１０では、コンピュータは、受け取った上流圧力値Ｐｕに基づいて、圧力式ＭＦＣの下流圧力値Ｐｄを算出する。コンピュータは、本明細書に記載した式（１）〜（１１）の任意の組み合わせに基づいて、Ｐｄを算出する。場合によっては、下流圧力値Ｐｄを算出するプロセスを繰り返す。
【００６１】
ステップ７１５では、コンピュータは、受け取った上流圧力値Ｐｕと算出した下流圧力値Ｐｄとに基づいて、圧力式ＭＦＣの流量Ｑを算出する。コンピュータは、本明細書に記載する式（１）〜（１１）の任意の組み合わせに基づいて、Ｑを算出する。場合によっては、流量Ｑを算出するプロセスは繰り返される。
【００６２】
ステップ７２０では、コンピュータは、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式ＭＦＣを通る流れを制御する。例えば、コンピュータは、算出した流量と所望の流量とに基づいて、流量を増加または減少させる。ステップ７２０の後、プロセス７００は終了する。
【００６３】
図８は、（例えば、ＭＦＣ１００、２００、または６２５）の下流圧力値Ｐｄおよび流量Ｑを算出する、第２の例のプロセス８００を示す。以下に記述するように、プロセス８００は、コンピュータ（例えばコンピュータ６００）、または他の好適な処理システムで実施される。しかし、プロセス８００を、ＭＦＣ内、例えばＰＩＤ制御電子機器１４０で実施してもよい。
【００６４】
プロセス８００は、コンピュータが圧力式ＭＦＣの初期下流圧力値Ｐｄ０を受け取るステップ８０５で開始する。初期下流圧力値Ｐｄ０は、閉弁し、かつ、圧力がＭＦＣのチャンバ全体にわたって一定であるときにＭＦＣの上流圧力センサで測定した圧力に相当する。ＭＦＣは、上流圧力を測定する上流圧力センサを有するが、下流圧力を測定する下流圧力センサを有さない。
【００６５】
ステップ８１０では、コンピュータは、そのメモリにおいて、格納する下流圧力値Ｐｄを受け取った初期下流圧力値Ｐｄ０に設定する。Ｐｄ０は、開弁し、かつＭＦＣの操作を開始する前のＰｄの初期値を正確に反映している。
【００６６】
ステップ８１５では、コンピュータは、新しく測定した上流圧力値Ｐｕを圧力式ＭＦＣから受け取る。上流圧力は、ＭＦＣの動作中に変化する。上流圧力の最新の測定値が、ＭＦＣからコンピュータに提供される。
【００６７】
ステップ８２０では、コンピュータは、ＰｄとＰｕとに基づいて、圧力式ＭＦＣにおける流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する。例えば、コンピュータは、式（１）または式（３）を用いて、流れの状態が臨界であるか非臨界であるかを判定する。本明細書に記載した式（１）〜（１１）は、コンピュータに格納されている。
【００６８】
ステップ８２５では、コンピュータは、ステップ８２０で判定したように、流れの状態が臨界であるか非臨界であるかに基づいて、流量Ｑを算出する。例えば、流れの状態が臨界である場合、コンピュータは、式（２）を用いてＱを算出する。流れの状態が非臨界である場合、コンピュータは、式（４）を単独で、または重み付けの式（７）〜（１１）と組み合わせて用いて、Ｑを算出する。
【００６９】
ステップ８３０では、コンピュータは、格納した下流圧力値Ｐｄを、流量Ｑの算出値に基づいて更新する。例えば、コンピュータは、格納したＰｄ値を更新するために、式（５）を単独で、または式（６）と組み合わせて用いる。コンピュータは、Ｑの現在値と先に算出したＱの値とを比較し、また、Ｐｄの現在値と先に算出したＰｄの値とを比較して、ＱとＰｄの算出値が収束しているかどうかを判定する。
【００７０】
ステップ８３５では、コンピュータは、ＰｄとＱの算出値が収束しているかどうかを判定する。両方の値が収束している場合、プロセス８００はステップ８４０に進む。少なくとも一方の値が収束していない場合、プロセス８００はステップ８１５に戻り、ＰｄとＱの値が収束するまでステップ８１５〜８３０を繰り返す。
【００７１】
ステップ８４０では、ＰｄとＱの値が収束した後、コンピュータは、算出した流量Ｑに基づいて、圧力式質量流量コントローラを通る流れを制御する。例えば、コンピュータは、算出した流量と所望の流量とに基づいて、流量を増加または減少させる。ステップ８４０の後、プロセス８００は終了する。
【００７２】
図９は、本技術のいくつかの実施例を実行する電子システム９００を概念的に示す。例えば、電子システム９００を配置することによって、コンピュータ６００またはＰＩＤ制御電子機器１４０を実装する。電子システム９００は、コンピュータ（例えば、携帯電話やＰＤＡ）、または他の種類の電子機器である。そのような電子システムは、様々な種類のコンピュータ読取り可能媒体と、他の様々な種類のコンピュータ読取り可能媒体のためのインターフェースとを備える。電子システム９００は、バス９０５と、プロセッサ９１０と、システムメモリ９１５と、読取り専用メモリ９２０と、永久記憶装置９２５と、入力装置インターフェース９３０と、出力装置インターフェース９３５と、ネットワークインターフェース９４０とを備える。
【００７３】
バス９０５は、電子システム９００の多数の内部デバイスを通信可能に接続する、すべてのシステム、周辺装置、およびチップセットのバスを総称して表す。例えば、バス９０５は、プロセッサ９１０を、読取り専用メモリ９２０、システムメモリ９１５、および永久記憶装置９２５と通信可能に接続する。
【００７４】
これらの様々な記憶装置から、プロセッサ９１０は、本技術のプロセスを実行するために、実行すべき命令と処理すべきデータを取得する。プロセッサは、様々な実施例において、単一のプロセッサまたはマルチコアプロセッサを備える。
【００７５】
読取り専用メモリ（ＲＯＭ）９２０は、プロセッサ９１０および電子システムの他のモジュールが必要とする静的データおよび命令を格納する。一方、永久記憶装置９２５は、読取り書込み記憶装置である。この装置は、電子システム９００の電源が切られているときも、命令とデータを格納する不揮発性記憶装置である。本技術のいくつかの実施例においては、永久記憶装置９２５として、大容量記憶装置（例えば、磁気または光ディスク、およびそれに対応するディスクドライブ）が用いられる。
【００７６】
他の実施例においては、永久記憶装置９２５として、着脱可能な記憶装置（例えば、フロッピーディスク、フラッシュドライブ、およびそれに対応するディスクドライブ）が用いられる。永久記憶装置９２５と同様に、システムメモリ９１５は、読取り書込み記憶装置である。しかし、記憶装置９２５とは異なり、システムメモリ９１５は、ランダムアクセスメモリ等の揮発性の読取り書込み記憶装置である。システムメモリ９１５は、プロセッサが実行時に必要とする命令およびデータのいくつかを格納する。いくつかの実施例においては、本技術のプロセスを、システムメモリ９１５、永久記憶装置９２５、または読取り専用メモリ９２０に格納する。例えば、様々な記憶装置は、いくつかの実施例によれば、圧力式流量測定のための命令を含む。これらの様々な記憶装置から、プロセッサ９１０は、いくつかの実施例のプロセスを実行するために、実行すべき命令と処理すべきデータを取得する。
【００７７】
バス９０５はまた、入力装置インターフェース９３０と出力装置インターフェース９３５とに接続している。入力装置インターフェース９３０により、ユーザは、情報通信を行い、電子システムに対するコマンドを選択できる。入力装置インターフェース９３０と共に使用される入力装置として、例えば、英数字キーボードおよび位置指示装置（「カーソル制御装置」とも称される）が挙げられる。出力装置インターフェース９３５により、例えば、電子システム９００が生成した画像を表示できる。出力装置インターフェース９３５と共に使用される出力装置として、例えば、プリンター、および陰極線管（Cathode  Ray  Tube：ＣＲＴ）または液晶ディスプレイ（Liquid  Crystal  Display：ＬＣＤ）等の表示装置が挙げられる。いくつかの実施例では、例えば、入力装置と出力装置とを兼ね備えるタッチスクリーン等の装置が含まれる。
【００７８】
最後に、図９に示すように、バス９０５はまた、ネットワークインターフェース９４０を介して、ネットワーク（図示せず）と電子システム９００とを接続する。この方法では、電子システム９００は、コンピュータのネットワーク（例えば、ローカルエリアネットワーク（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ：ＬＡＮ）、広域ネットワーク（Ｗｉｄｅ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ：ＷＡＮ）またはイントラネット）の一部、または、例えばインターネット等、複数のネットワークからなるネットワークの一部になり得る。電子システム９００の任意またはすべての構成要素を本技術と共に用いることができる。場合によっては、電子システム９００の構成要素のいくつかまたはすべては、ＭＦＣ（例えば、ＭＦＣ１００、２００、もしくは６２５）、またはＭＦＣの一部に接続される。
【００７９】
上述した特徴および応用は、コンピュータ読取り可能記憶媒体（コンピュータ読取り可能媒体とも称される）に記録された一連の命令として特定されるソフトウェアプロセスとして、実施される。１つ以上のプロセッサ（例えば、１つ以上のプロセッサ、プロセッサのコア、または他の処理装置を含む）がこれらの命令を実行すると、その命令によって、プロセッサは命令が示す動作を実行する。コンピュータ読取り可能媒体として、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、フラッシュドライブ、ＲＡＭチップ、ハードドライブ、ＥＰＲＯＭ等が挙げられるが、これらに限定されない。コンピュータ読取り可能媒体には、無線または有線接続により送信される搬送波および電子信号は含まれない。
【００８０】
本明細書において、「ソフトウェア」という用語は、読取り専用メモリ上に存在するファームウェア、または、例えばプロセッサによる処理用メモリに読み込まれることが可能なソリッドステートドライブ等、磁気記憶装置もしくはフラッシュストレージに格納されているアプリケーションの意味を含む。また、いくつかの実施例において、複数のソフトウェア技術は、別個のソフトウェア技術として存在しながら、より大きなプログラムの下位部分として実装され得る。いくつかの実施例において、複数のソフトウェア技術は、個別のプログラムとしても実施され得る。結局、本明細書に記載されるソフトウェア技術を連携して実装する個別のプログラムを任意に組み合わせることは、本技術の範囲内である。いくつかの実施例において、１つ以上の電子システムを動作させるために、ソフトウェアプログラムをインストールすると、そのソフトウェアプログラムは、ソフトウェアプログラムを動作させる１つ以上の特定の機械の実装を定義する。
【００８１】
コンピュータプログラム（プログラム、ソフトウェア、ソフトウェアアプリケーション、スクリプト、またはコードとしても知られる）は、コンパイルまたは翻訳された言語や宣言的または手続き的言語等を含む、任意の形式のプログラミング言語で書き込まれることができ、かつ、独立型プログラムとして、またはコンピュータ処理環境で使用するのに好適な、モジュール、コンポーネント、サブルーチン、オブジェクト、もしくは他の装置として、任意の形式で展開することができる。コンピュータプログラムは、ファイルシステム中のファイルに相当するが、必ずしもそうである必要はない。プログラムは、他のプログラムもしくはデータ（例えば、マーク付け言語ドキュメントに格納されている１つ以上のスクリプト）を保持するファイルの部分、当該プログラム専用の単一のファイル、または複数の協調ファイル（例えば、１つ以上のモジュール、サブプログラム、もしくはコード部分を格納するファイル）に格納される。コンピュータプログラムは、１つのコンピュータ上、または、１つのサイトに位置するか、もしくは複数のサイトにわたって分布し、通信ネットワークにより相互に接続している複数のコンピュータ上で実行されるよう展開される。
【００８２】
上述した、これらの機能を、デジタル電子回路、またはコンピュータソフトウェア、ファームウェア、もしくはハードウェアにおいて実装することができる。１つ以上のコンピュータプログラム製品を用いて、前記技術を実装することができる。プログラム可能なプロセッサおよびコンピュータを、モバイル装置の中に含むか、またはモバイル装置としてパッケージ化することができる。プロセスおよび論理フローを、１つ以上のプログラム可能なプロセッサおよび１つ以上のプログラム可能な論理回路によって実装することができる。一般的または特殊用途のコンピュータ処理装置、および記憶装置を、通信ネットワークを介して相互に接続することができる。
【００８３】
いくつかの実施例には、例えば、機械読取り可能もしくはコンピュータ読取り可能媒体にコンピュータプログラム命令を格納する、マイクロプロセッサ、記憶装置、およびメモリ等の（または、コンピュータ読取り可能記憶媒体、機械読取り可能媒体、もしくは機械読取り可能記憶媒体とも称される）電子部品が含まれる。そのようなコンピュータ読取り可能媒体の例として、ＲＡＭ、ＲＯＭ、読取り専用コンパクトディスク（Read-Only  Compact  Disc：ＣＤ−ＲＯＭ）、追記型コンパクトディスク（Recordable  Compact  Disc：ＣＤ−Ｒ）、書き換え型コンパクトディスク（Rewritable  Compact  Disc：ＣＤ−ＲＷ）、読取り専用デジタル多用途ディスク（Read-Only  Digital  Versatile  Discs）（例えば、ＤＶＤ−ＲＯＭ、二層ＤＶＤ−ＲＯＭ）、様々な追記型／書き換え型ＤＶＤ（例えば、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ等）、フラッシュメモリ（例えば、ＳＤカード、ミニＳＤカード、マイクロＳＤカード等）、磁気またはソリッドステートハードドライブ、読取り専用および追記型Ｂｌｕ−Ｒａｙ（登録商標）ディスク、超高密度光ディスク、その他の光学または磁気媒体、およびフロッピーディスクが挙げられる。コンピュータ読取り可能媒体は、少なくとも１つのプロセッサによって実行可能かつ様々な動作を実施するための一連の命令を含む、コンピュータプログラムを格納することができる。コンピュータプログラムまたはコンピュータコードの例として、例えばコンパイラによって翻訳される機械コード、および、解釈プログラムを用いて、コンピュータ、電子部品、またはマイクロプロセッサにより実行される、より高いレベルのコードを含むファイルが挙げられる。
【００８４】
上記の説明は、主として、ソフトウェアを実行するマイクロプロセッサまたはマルチコアプロセッサについて言及するものであるが、いくつかの実施例は、例えば、特定用途向け集積回路（Application  Specific  Integrated  Circuits：ＡＳＩＣ）またはフィールドプログラマブルゲートアレイ（Field  Programmable  Gate  Array：ＦＰＧＡ）等、１つ以上の集積回路によって実装される。いくつかの実施例においては、そのような集積回路は、その回路上に格納される命令を実行する。
【００８５】
本明細書および本願のいずれの請求項において用いられるように、「コンピュータ」、「サーバ」、「プロセッサ」、および「メモリ」という用語すべては、電子装置または他の技術装置を指す。これらの用語には、人、または人のグループは含まれない。本明細書のために、表示（displayまたはdisplaying）という用語は、電子装置上に表示することを意味する。本明細書および本願のいずれの請求項において用いられるように、「コンピュータ読取り可能媒体（類）」（computer  readable  mediumおよびcomputer  readable  media）という用語は、コンピュータが読取り可能な形式で情報を格納する、有形の物理オブジェクトにもっぱら制限される。これらの用語には、無線信号、有線でダウンロードされる信号、および他の一時性信号のいずれも含まれない。
【００８６】
ユーザとの対話のために、本明細書に記載した主題の実施例を、ユーザへの情報を表示するための表示装置、例えば陰極線管（ＣＲＴ）または液晶表示（ＬＣＤ）モニターと、ユーザによるコンピュータへの入力を可能にするキーボードおよびポインティングデバイス、例えばマウスまたはトラックボールと、を有するコンピュータ上に実装することができる。ユーザとの対話のために、他の種類の装置を用いてもよく、例えば、ユーザに提供されるフィードバックは、視覚フィードバック、聴覚フィードバック、または触覚フィードバック等、任意の形式の感覚フィードバックであり、また、ユーザからの入力は、音響入力、音声入力、あるいは触覚入力を含む任意の形式で受け取ることができる。さらに、ユーザが使用する装置にドキュメントを送信するとともにユーザが使用する装置からドキュメントを受け取ることによって、コンピュータはユーザと対話できる。例えば、ユーザのクライアント装置上のウェブブラウザから受け取った要求に応じて、そのウェブブラウザにウェブページを送信することによって、コンピュータはユーザと対話できる。
【００８７】
本明細書に記載された内容をコンピューティングシステムにおいて実装することができる。前記コンピューティングシステムには、例えばデータサーバとしてのバックエンドコンポーネントか、アプリケーションサーバ等のミドルウェアコンポーネントか、本明細書に記載した主題の実施例とユーザとの対話を可能にするグラフィカルユーザインターフェースまたはウェブブラウザを有するクライアントコンピュータ等のフロントエンドコンポーネントか、１つ以上のそれらバックエンド、ミドルウェア、もしくはフロントエンドコンポーネントの任意の組み合わせのいずれかが含まれる。そのシステムのコンポーネントは、任意の形式または媒体のデジタルデータ通信、例えば通信ネットワークによって、相互に接続される。通信ネットワークの例として、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、広域ネットワーク（ＷＡＮ）、インターネットワーク（例えばインターネット）、およびピアツーピアネットワーク（例えばアドホックピアツーピアネットワーク）が挙げられる。
【００８８】
コンピューティングシステムは、クライアントとサーバとを含むことができる。クライアントとサーバは、一般に、互いに離れており、通常、通信ネットワークを介して対話する。クライアントとサーバの関係は、それぞれのコンピュータ上で作動し、かつ互いに対してクライアントとサーバの関係を有するコンピュータプログラムによって生じる。開示した主題のいくつかの態様において、サーバは（例えば、クライアントデバイスと対話するユーザにデータを表示し、そのユーザからユーザ入力を受け取る目的で）クライアント装置にデータ（例えばＨＴＭＬページ）を送信する。クライアント装置で作成したデータ（例えば、ユーザとの対話の結果）は、サーバにおいてクライアント装置から受け取ることができる。
【００８９】
開示したプロセスにおけるステップの特定の順序または階層のいずれも、手法を例示したものであることが理解されよう。設計上の好みに基づき、プロセスにおけるステップの特定の順序または階層を再配置してもよく、または、図示したすべてのステップを実行してもよいことが理解されよう。ステップのいくつかを同時に実行してもよい。例えば、ある状況では、マルチタスク処理や並列処理は有利となる。さらに、上記に例示した様々なシステム部品は、分離していることが必要であるように理解されるべきではなく、記載したプログラム部品およびシステムは、一般に、単一のソフトウェア製品に統合されるか、または複数のソフトウェア製品にパッケージ化されるものとして理解されるべきである。
【００９０】
上述した、構成要素、ステップ、特徴、目的、利益、および利点は、単なる例示である。それらのいずれも、または、それらに関する説明も、いかなる方法においても保護の範囲を限定するようには意図されていない。数多くの他の実施形態も考えられる。それらの実施形態には、より少ない、追加の、および／または異なった、構成要素、ステップ、特徴、目的、利益、および／または利点を有する実施形態が含まれる。また、それらの実施形態には、構成要素やステップが様々に配置されたり、順序づけられたりする実施形態も含まれる。
【００９１】
これらの態様への様々な改変は容易に明らかとなり、本明細書に定義された一般的な原理を、他の態様に適用してもよい。よって、本請求項は、本明細書に示した態様に制限されるのではなく、請求項の文言と十分に整合する範囲内にあることが意図されており、単数の要素への言及は、別段既定がないかぎり、「１つ、および１つのみ」を意味するとは意図されておらず、むしろ「１つ以上」を意味する。別段既定がないかぎり、「いくつか」という用語は、１つ以上を表す。男性形代名詞（例えば、彼の）には、女性形および中性形代名詞（例えば、彼女の、その）が含まれ、その逆の場合も同様である。表題および副題があれば、それらは利便性のためのみに用いられているのであって、本技術を限定するものではない。
【００９２】
例えば、「態様」という語句は、その態様が本技術に不可欠であることを示唆するものではなく、また、その態様は本技術のすべての構成に適用されることを示唆するものでもない。態様に関連する開示は、すべての構成、または１つ以上の構成に適用されてもよい。例えば、態様という語句は、１つ以上の態様を表し、その逆の場合も同様である。例えば「構成」という語句は、そのような構成が本技術にとって不可欠である、また、そのような構成が本技術のすべての構成に当てはまることを示唆するものでもない。構成に関連する開示は、すべての構成、または１つ以上の構成に当てはまる。例えば、構成という語句は、１つ以上の構成を表し、その逆の場合も同様である。
【００９３】
本開示で引用された論文、特許、特許出願、および他の出版物はすべて、参照により本明細書に組み込まれる。
【００９４】
「〜のための手段」という語句が請求項において使用される場合、その語句に対応する記載された構造および材料、ならびにそれらの均等物を包含することが意図されており、そのように解釈されるべきである。同様に、「〜のためのステップ」という語句が請求項において使用される場合、その語句に対応する記載された行為、ならびにそれらの均等物を包含することが意図されており、そのように解釈されるべきである。請求項において、これらの語句が欠如していることで、その請求項が、対応する構造、材料、もしくは行為のいずれか、またはそれらの均等物に限定されてしまうことは意図されておらず、そのように解釈されるべきでないことを意味する。
【００９５】
保護の範囲は、以下に記載される特許請求の範囲によってのみ限定される。その範囲は、本明細書、および続く出願経過に照らして解釈されたとき、特定の意味が定められている場合以外は、特許請求の範囲において使用される文言の通常の意味と一致しているのと同じくらい広く、かつ構造的な均等物および機能的な均等物をすべて包含することが意図されており、そのように解釈されるべきである。
【００９６】
ある実体または行為を他と区別するためだけに、「第１の」および「第２の」等、関係を表す用語を使用しているが、これらの間になんらかの実際の関係または順序を必ずしも必要または示唆するものではない。「備える／含む」（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ、ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）という用語、およびその他の変化形が、本明細書または請求項中の構成要素のリストに関連して用いられる場合、そのリストは他の構成要素を排除するものではなく、他の構成要素を含んでもよいことを示唆するよう意図されている。同様に、「ａ」または「ａｎ」が前に付される構成要素にはそれ以上の制限はなく、同一種類の付加的な構成要素の存在を排除するものではない。
【００９７】
米国特許法１０１条、１０２条、または１０３条の要件を満たさない主題を包含することを意図する請求項はなく、請求項がそのような主題を包含すると解釈されるべきではない。意図せずに包含されるそのような主題については、請求を放棄する。本段落で述べた点を除き、請求項に列挙されているかどうかにかかわらず、記述または図示した内容は、構成要素、ステップ、特徴、目的、利益、利点、または均等物のいずれも、公に対し献呈されることを意図せず、またそのように献呈されると解釈されるべきではない。
【００９８】
読み手が本技術の開示の性質を直ちに確認することに役立つように、要約書を提供する。要約書は、それが請求項の範囲または意味の限定に用いられることはないという理解のもと提出されている。さらに、前述の詳細な説明中の多様な特徴を、多様な実施形態においてひとまとめにし、開示内容の無駄がないようにしている。この開示方法は、請求した実施形態が各請求項に明記されているよりも多くの特徴を要件とする必要があると解釈されるべきではない。以下の請求項が反映するように、むしろ、独創的な主題は、開示された単一の実施形態のすべての特徴よりも少なく存在する。このように、各請求項がそれぞれ別個に請求される主題に基づくものとして、以下の請求項を詳細な説明に援用する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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