(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストッカ内の走行スペースを走行し、物品を搬送する搬送装置と、
前記走行スペースを挟んで水平方向に平行に延在する一対のレールと、
前記一対のレールに沿って移動可能な複数の足場部材と、
前記ストッカ内とストッカ外とを区画する扉に対して前記ストッカ外側に設けられ、前記複数の足場部材を収容する収容部と、を備え、
前記一対のレールは、前記ストッカ内から前記扉の直下に設けられる開口部を通り前記収容部まで延びて配置され、
前記複数の足場部材の少なくとも１つに、上端が前記開口部の上端より高い柵部が起立して備えられ、
前記柵部を備える前記足場部材は、前記開口部を介して前記ストッカ内と前記ストッカ外とを跨いで配置され、かつ前記柵部が前記ストッカ内側に配置される、ストッカ。
【請求項２】
前記柵部は、前記一対のレールに先頭で流し込まれる前記足場部材に設けられる、請求項１に記載のストッカ。
【請求項３】
前記柵部は、前記足場部材から上方に延びる複数の支柱と、前記複数の支柱間に配置される複数の水平部とを備え、
最上部の前記水平部は、前記足場部材に乗った作業者の腰の位置より高く設定される、請求項１または請求項２に記載のストッカ。
【請求項４】
前記複数の足場部材のうち前記柵部を備える前記足場部材以外の前記足場部材は、前記搬送装置の走行時に、前記収容部に積み重ねられた状態で収容される、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のストッカ。
【請求項５】
前記搬送装置は、前記走行スペースを走行する走行部と、前記走行部から上下方向に設けられかつ平面視において外周の一部が弧状のマストと、前記マストに沿って昇降する移載部と、を備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のストッカ。
【請求項６】
前記複数の足場部材のうち前記マストに近接する前記足場部材は、前記マストの一部が入り込む切り欠き部が設けられる、請求項５に記載のストッカ。
【請求項７】
ストッカ内の走行スペースを走行し、物品を搬送する搬送装置を備えるストッカにおいて作業用足場を形成する方法であって、
前記ストッカは、前記走行スペースを挟んで水平方向に平行に延在する一対のレールと、前記一対のレールに沿って移動可能な複数の足場部材と、前記ストッカ内とストッカ外とを区画する扉に対して前記ストッカ外側に設けられ、前記複数の足場部材を収容する収容部と、を備え、前記一対のレールは、前記ストッカ内から前記扉の直下に設けられる開口部を通り前記収容部まで延びて配置され、前記複数の足場部材の少なくとも１つに、上端が前記開口部の上端より高い柵部が起立して備えられ、
前記搬送装置の走行時に、前記複数の足場部材のうち前記柵部を備える前記足場部材以外の前記足場部材を前記収容部に収容し、前記柵部を備える前記足場部材を、前記開口部を介して前記ストッカ内と前記ストッカ外とを跨いで配置し、かつ前記柵部を前記ストッカ内側に配置することと、
前記搬送装置の停止時に、前記柵部を備える前記足場部材の次に、前記収容部から順次前記ストッカ内の前記一対のレールに前記開口部を通って前記足場部材を流し込むことと、を含む、作業用足場の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストッカ、及び作業用足場の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場などでは、半導体ウエハまたはレチクルなどを収容したＦＯＵＰ、レチクルポッドなどの容器（物品）を保管するため、ストッカが設置されている。このストッカは、内部において物品を載置する棚部と、ストッカ内部を走行して物品の移載を行う搬送装置とを備えている。棚部は、搬送装置の走行スペースに沿って、上下方向に多段に配置されている。このようなストッカにおいて、物品の収納時のトラブルあるいはメンテナンス時には作業者が上方の棚部にアクセスできるように、搬送装置の走行スペースに複数の足場部材を配置して作業用足場を形成することが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０１９０３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のストッカは、ストッカ内外を区画する扉の外側に設けられた収容部から、走行スペースを挟んで水平方向に平行に延在する一対のレールに沿って複数の足場部材を順次流し込むことにより作業用足場を形成している。この作業用足場の形成は、作業者が収容部から足場部材をレールに流し込むことで行っているが、先頭の足場部材をレールに流し込む作業が面倒であり、さらに高所での作業となるので、作業者の負担が大きいといった課題がある。また、作業用足場が形成されていない状態で、作業者がストッカ内外を区画する扉を開けた際、ストッカ内への進入が規制されていないので、扉の開閉に注意が必要であり、作業者に負担を掛けることになる。【０００５】
本発明は、以上のような事情に鑑み、作業用足場の形成を容易に行うことができ、作業者の負担を軽減することが可能なストッカ、及び作業用足場の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るストッカは、ストッカ内の走行スペースを走行し、物品を搬送する搬送装置と、走行スペースを挟んで水平方向に平行に延在する一対のレールと、一対のレールに沿って移動可能な複数の足場部材と、ストッカ内とストッカ外とを区画する扉に対してストッカ外側に設けられ、複数の足場部材を収容する収容部と、を備え、一対のレールは、ストッカ内から扉の直下に設けられる開口部を通り収容部まで延びて配置され、複数の足場部材の少なくとも１つに、上端が開口部の上端より高い柵部が起立して備えられ、柵部を備える足場部材は、開口部を介してストッカ内とストッカ外とを跨いで配置され、かつ柵部がストッカ内側に配置される。【０００７】
また、柵部は、一対のレールに先頭で流し込まれる足場部材に設けられてもよい。また、柵部は、足場部材から上方に延びる複数の支柱と、複数の支柱間に配置される複数の水平部とを備え、最上部の水平部は、足場部材に乗った作業者の腰の位置より高く設定されてもよい。また、複数の足場部材のうち柵部を備える足場部材以外の足場部材は、搬送装置の走行時に、収容部に積み重ねられた状態で収容されてもよい。【０００８】
また、搬送装置は、走行スペースを走行する走行部と、走行部から上下方向に設けられかつ平面視において外周一部が弧状のマストと、マストに沿って昇降する移載部と、を備えてもよい。また、複数の足場部材のうちマストに近接する足場部材は、マストの一部が入り込む切り欠き部が設けられてもよい。【０００９】
本発明に係る作業用足場の形成方法は、ストッカ内の走行スペースを走行し、物品を搬送する搬送装置を備えるストッカにおいて作業用足場を形成する方法であって、ストッカは、走行スペースを挟んで水平方向に平行に延在する一対のレールと、一対のレールに沿って移動可能な複数の足場部材と、ストッカ内とストッカ外とを区画する扉に対してストッカ外側に設けられ、複数の足場部材を収容する収容部と、を備え、一対のレールは、ストッカ内から扉の直下に設けられる開口部を通り収容部まで延びて配置され、複数の足場部材の少なくとも１つに、上端が開口部の上端より高い柵部が起立して備えられ、搬送装置の走行時に、複数の足場部材のうち柵部を備える足場部材以外の足場部材を収容部に収容し、柵部を備える足場部材を、開口部を介してストッカ内とストッカ外とを跨いで配置し、かつ柵部をストッカ内側に配置することと、搬送装置の停止時に、柵部を備える足場部材の次に、収容部から順次ストッカ内の一対のレールに開口部を通って足場部材を流し込むことと、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のストッカ、及び作業用足場の形成方法によれば、柵部を備える足場部材が、開口部を介してストッカ内とストッカ外とを跨いで配置され、かつ柵部がストッカ内側に配置されるので、作業者は、この柵部を備える足場部材に次いで、他の足場部材を収容部から順次レールに流し込むことにより、容易かつ簡単に作業用足場を形成することができ、作業者の負担を軽減することができる。また、作業用足場が形成されていない状態で作業者がストッカの扉を開いた場合に、扉に対してストッカ内側の近傍に柵部が起立しているので、扉から作業者がストッカ内に進入するのを規制することができる。【００１１】
また、柵部が、一対のレールに先頭で流し込まれる足場部材に設けられる場合、柵部を先頭に備える作業用足場を容易に形成することができ、さらに足場部材を使用しないときに、扉の内側の近くに柵部を配置することができる。また、柵部が、足場部材から上方に延びる複数の支柱と、複数の支柱間に配置される複数の水平部とを備え、最上部の水平部は、足場部材に乗った作業者の腰の位置より高く設定される場合、複数の支柱及び複数の水平部によって柵部の剛性を向上させることができ、さらに最上部の水平部が作業者の腰の位置より高いので、作業者に対して有効な柵部として機能させることができる。また、複数の足場部材のうち柵部が設けられた足場部材以外の足場部材が、搬送装置の走行時に、収容部に積み重ねられた状態で収容される場合、収容部によって複数の足場部材を効率よく保管することができる。【００１２】
また、搬送装置が、走行スペースを走行する走行部と、走行部から上下方向に設けられかつ平面視において外周の一部が弧状のマストと、マストに沿って昇降する移載部と、を備える場合、搬送装置によって物品を効率よく移載することができる。また、複数の足場部材のうちマストに近接する足場部材が、マストの一部が入り込む切り欠き部が設けられる場合、切り欠き部にマストの一部を入り込ませることにより、外周の一部が弧状のマストに対して足場部材を近接して配置することができ、マストと足場部材との隙間が小さくなるので、この隙間からの落下物を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係るストッカの一例を示す平面図である。
【図２】図１に示すストッカの正面図である。
【図３】収容部及び扉を示す斜視図である
【図４】扉を開けた状態で、ストッカの外側からストッカの内側を見た図である。
【図５】（Ａ）は、足場部材を示す側面図である。（Ｂ）から（Ｄ）は連結部材の動作を示す図である。
【図６】実施形態に係る作業用足場の形成方法を示すフローチャートである。
【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は、作業用足場の形成方法の説明図である。
【図８】図７に続いて、（Ａ）及び（Ｂ）は、作業用足場の形成方法の説明図である。
【図９】図８に続いて、作業用足場の形成方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送装置１の走行方向をＸ方向と表記し、水平方向のうちＸ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。
【００１５】
［実施形態］
図１及び図２は、実施形態に係るストッカの一例を概念的に示す図である。図１は＋Ｚ側から見た上面図である。図２は−Ｙ側から見た正面図である。
【００１６】
本実施形態のストッカＳは、例えば、半導体工場などに設けられ、半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどの加工用部材を収容したレチクルポッドなどの物品Ｆを保管する。本実施形態の搬送装置１は、スタッカクレーンである。ストッカＳは、外部に対して隔離可能な内部空間を有する。ストッカＳは、ストッカＳの外部と内部空間とで物品Ｆが受け渡される入出庫ポート（図示せず）を備えている。ストッカＳは、搬送装置１、保管棚２、扉３、一対のレール４、足場部材５、及び収容部６を備える。
【００１７】
保管棚２は、ストッカＳの内部に配置され、物品Ｆを収容する。保管棚２は、複数設けられる。各保管棚２は、搬送装置１の移動方向（Ｘ方向）に対する交差方向（Ｙ方向）の両側（＋Ｙ側及び−Ｙ側）に配置されている。各保管棚２は、複数の棚板及び縦板を備え、複数の物品Ｆを収容可能である。
【００１８】
搬送装置１は、ストッカＳ内の走行スペースＳＰを走行し物品Ｆを搬送する。走行スペースＳＰは、＋Ｙ側及び−Ｙ側の保管棚２の間に設けられている。搬送装置１は、走行部８（図２参照）、マスト９、及び移載部１０を備える。
【００１９】
図２の走行部８は、軌道１１（図示せず）に沿って走行する。軌道１１は、ストッカＳ内の上部（図示せず）及び下部に設けられている。上部及び下部の軌道１１は、それぞれ、＋Ｙ側及び−Ｙ側の保管棚２の間に設けられる。上部及び下部の軌道１１は、それぞれ、Ｘ方向と平行な方向に配置される。上部及び下部の軌道１１の−Ｘ側には、走行部８の走行を規制するストッパ１２が設けられる。ストッパ１２は、走行部８の走行範囲を規制する。走行部８は、例えば電動モータなどの走行駆動部、減速機、駆動輪、エンコーダなどを有する。駆動輪は、軌道１１に接するように配置され、減速機を介して電動モータ（走行駆動部）の出力軸に接続される。電動モータの出力軸の回転が減速機を介して駆動輪に伝えられ、駆動輪の回転により走行部８が走行する。走行駆動部（電動モータ）は、回転型のモータでもよいし、リニアモータでもよい。
【００２０】
上部のおよび下部の走行部８の間には上下方向（鉛直方向）に延びるマスト９が設けられている。マスト９は、上部の走行部８および下部の走行部８と一体となって移動する（図２参照）。マスト９は、図１に示すように、上方から見て（平面視において）、円形の一部の形状であり、外周の一部が弧状である。マスト９は、上方から見て、略半円形状の一部が切り欠かれた形状の切り欠き部９ａを備え、Ｃ字状の形状である。マスト９は、回転支持部（図示せず）を介して、走行部８に対して鉛直方向と平行な所定の回転軸を中心に回転可能に支持され、電動モータなどの回転駆動部（図示せず）の駆動により回転する（図１参照）。マスト９は、回転する際、マスト９の円弧状の外周９ｂの軌道が、上方から見て略円状の軌道となる。マスト９は、物品Ｆを移載する際、物品Ｆが移載先の方向に向くように回転する。マスト９は、＋Ｙ側の保管棚２に物品Ｆを搬送する場合、図１の実線に示すように、物品Ｆが＋Ｙ側に向くように回転する。また、マスト９は、−Ｙ側の保管棚２に物品Ｆを搬送する場合、図１の１点鎖線に示すように、物品Ｆが−Ｙ側に向くように回転する。
【００２１】
移載部１０は、物品Ｆを所定の位置に移載する。移載部１０は、昇降台１４、及び移載装置１５を備える。昇降台１４は、マスト９の切り欠き部９ａに配置される（図１参照）。昇降台１４をマスト９の切り欠き部９ａに配置する場合、装置のサイズをコンパクトにすることができる。昇降台１４は、マスト９に沿って昇降する（図２参照）。昇降台１４は、マスト９に設けられる鉛直方向に延びるガイド１６に案内される。昇降台１４は、ワイヤなどの吊り下げ部材によって、上方から吊り下げられている。搬送装置１は、吊り下げ部材を駆動する昇降駆動部（図示せず）を備えている。この昇降駆動部は、吊り下げ部材の繰り出しあるいは巻取を行う。昇降台１４は、昇降駆動部が吊り下げ部材を巻き取ると、マスト９に案内されて上昇する。また、昇降台１４は、昇降駆動部が吊り下げ部材を繰り出すと、マスト９に案内されて下降する。
【００２２】
移載装置１５は、物品Ｆを移載する。移載装置１５は、昇降台１４に設けられている。移載装置１５は、昇降台１４の昇降とともに昇降する（図２参照）。移載装置１５は、アーム部１８と、保持部１９と、回転駆動部２０を備える（図１参照）。アーム部１８は、伸縮アームである。アーム部１８は、２つのアームが関節を介して接続された構造である。アーム部１８は、２つのアームが関節で折り曲がることで、水平方向に伸縮可能である。アーム部１８は、その基端側が回転駆動部２０に接続されている。アーム部１８の先端側には、物品Ｆを位置決めして保持する保持部１９が回転可能に接続されている。移載装置１５は、図１の実線に示すように、移載先へ物品Ｆを渡す際に、移載先に対してアーム部１８が伸長して、保持部１９上の物品Ｆを移載先の上方に配置する。そして、昇降台１４が下降することによって、保持部１９から移載先へ物品Ｆを渡す。また、移載装置１５が保管棚２などの移載元から物品Ｆを受け取る際に、保持部１９は、移載元に配置された物品Ｆに対してアーム部１８が伸びて、物品Ｆの底面の下に配置される。そして、移載装置１５は、昇降台１４が上昇することによって、保持部１９が物品Ｆをすくい上げる。そして、移載装置１５は、図１の点線に示すように、保持部１９上に物品Ｆが保持された状態でアーム部１８が縮み、物品Ｆを昇降台１４の上で保持する。
【００２３】
上記のように、搬送装置１は、走行スペースＳＰを走行する走行部８と、走行部８から上下方向に設けられかつ平面視において外周の一部が弧状のマスト９と、マスト９に沿って昇降する移載部１０と、を備えるので、物品Ｆを効率よく移載することができる。
【００２４】
ところで、ストッカＳは、作業者Ｕによるメンテナンス作業が行われることがある。作業者Ｕは、メンテナンス作業を行う際、ストッカＳ内とストッカＳの外を区画する扉３からストッカＳ内にアクセスする。作業者Ｕによるメンテナンス作業は、ストッカＳ内の高所で行われることがある。ストッカＳ内の高所でのメンテナンス作業は、高所作業用の足場を設置して行われる。
【００２５】
本実施形態のストッカＳは、図２に示すように、所定の高さごとに、ストッカＳの最上部の近傍まで、扉３、作業用足場ＳＣを設置する足場設置機構２２、及び床面２４を備える。足場設置機構２２は、一対のレール４、足場部材５（パレット）、及び収容部６を備える。各高さに設けられる床面２４には、はしご（図示せず）が設けられており、作業者Ｕは、はしごを使って、各高さの床面２４に移動することができる。このように、本実施形態のストッカＳは、所定の高さごとに足場を設置することができるので、高所の各場所におけるメンテナンス作業を容易に実施できる。
【００２６】
一対のレール４は、図２に示すように、足場部材５を支持しガイドする。一対のレール４は、図１に示すように、走行スペースＳＰを挟んで水平方向（Ｘ方向）に平行に延在する。一対のレール４は、後に説明する収容部６の内部からストッカＳの＋Ｘ側の端部まで伸びている。この構成により、収容部６内からストッカＳの＋Ｘ側の端部との間において、足場部材５の移動及び設置ができる。
【００２７】
図３は、収容部及び扉の部分を示す斜視図である。一対のレール４は、図３に示すように、ストッカＳ内から扉３の直下を通り収容部６まで延びて配置される。扉３の直下には、開口部２６が設けられている。開口部２６は、一対のレール４及び足場部材５を、ストッカＳの外部と内部とを通すために用いられる。開口部２６のＹ方向の幅及びＺ方向の高さは、足場部材５が開口部２６を通過可能な間隔に設定される。扉３の直下に一対のレール４及び足場部材５が通過可能な開口部２６が設けられる場合、扉３を閉めた状態で足場部材５をストッカＳ内に設置することができる。この場合、足場部材５をストッカＳ内に設置する作業中に、扉３から作業者ＵがストッカＳ内に進入するのを規制することができる。なお、開口部２６には、開口部２６を開閉可能なカバー（図示せず）が設けられている。開口部２６は、足場部材５を設置しないときにはカバーで閉じられる。また、開口部２６は、足場部材５を設置するときには、カバーが開けられて開口される。
【００２８】
図４は、扉を開けた状態で、ストッカの外側からストッカの内部を見た図である。一対のレール４は、ストッカＳ内において、保管棚２の内部における一部分に配置される。一対のレール４は、＋Ｙ側及び−Ｙ側の保管棚２の内部に配置される。また、足場部材５も、そのＹ側の両端が、＋Ｙ側及び−Ｙ側の保管棚２の内部に配置される。このように、一対のレール４及び足場部材５の少なくとも一部が＋Ｙ側及び−Ｙ側の保管棚２の内部に配置される場合、＋Ｙ側の保管棚２と−Ｙ側の保管棚２との間を、足場部材５で隙間なく覆うことができる。この場合、この隙間からの落下物を確実に防止することができる。
【００２９】
また、一対のレール４は、それぞれ、足場部材５の上下方向の移動、及び水平方向（Ｙ方向）の移動を規制する。この場合、足場部材５を確実に支持及びガイドすることができる。一対のレール４は、それぞれ、レール４の長手方向（−Ｘ方向）と直交する面（ＹＺ平面）の断面がＣ字状である。一対のレール４は、Ｃ字状の断面に足場部材５の車輪５ｂが嵌まり込むことにより、足場部材５の上下方向の移動、及び水平方向（Ｙ方向）の移動を規制する。
【００３０】
図２の説明に戻り、足場部材５を説明する。足場部材５は、複数設けられる。各足場部材５は、矩形板状であり、複数の足場部材５を配列することで、一体的な作業用足場ＳＣが形成される。各足場部材５は、複数の車輪５ｂを備え（図５参照）、一対のレール４に沿って走行（移動）可能である。複数の車輪５ｂは、図１に示すように、足場部材５の＋Ｙ側及び−Ｙ側の側部（側面）に４つ設けられている。
【００３１】
図２に示すように、複数の足場部材５のうち少なくとも１つは、柵部２８を備える。柵部２８は作業者Ｕの移動を規制する。以下の説明において、柵部２８を備える足場部材５を柵付足場部材５Ａと称す。柵付足場部材５Ａは、搬送装置１による物品Ｆの搬送時を含む搬送装置１の走行時に、扉３に対してストッカＳ内側でありかつ走行スペースＳＰ（Ｘ方向）に対して扉３側の位置に配置される（図１参照）。柵付足場部材５Ａは、開口部２６（図３参照）を介してストッカＳ内とストッカＳ外とを跨いで配置され、かつ柵部２８がストッカＳ内側に配置される（図２に実線で示す柵付足場部材５Ａ参照）。この構成により、柵付足場部材５Ａは、搬送装置１の走行範囲からはずれたデッドスペースＤＳに配置される。柵付足場部材５Ａを上記の位置に配置する場合、図４に示すように、扉３を開けたときに、扉３の近傍に柵部２８が起立している状態となる。このように、柵付足場部材５Ａが扉３に対してストッカＳ内側でありかつ走行スペースＳＰに対して扉３側の位置に配置される場合、あるいは柵付足場部材５Ａが、開口部２６を介してストッカＳ内とストッカＳ外とを跨いで配置され、かつ柵部２８がストッカＳ内側に配置される場合、作業用足場ＳＣが形成されていない状態で作業者ＵがストッカＳの扉３を開いたときに、扉３に対してストッカＳ内側に柵部２８が起立しているので、扉３から作業者ＵがストッカＳ内に進入するのを規制することができる。また、柵付足場部材５Ａは、開口部２６を介してストッカＳ内とストッカＳ外とを跨いで配置され、かつ柵部２８がストッカＳ内側に配置され、さらにデッドスペースＤＳに配置されるので、搬送装置１の走行を妨げずに柵付足場部材５Ａを配置することができる。また、柵付足場部材５Ａは、図２に点線で示すように、作業用足場ＳＣを形成する際に、一対のレール４に先頭で流し込まれる。作業用足場ＳＣの形成については、後に動作の部分において説明する。
【００３２】
柵部２８について説明する。図４に示すように、柵部２８は足場部材５に起立して設けられる。柵部２８は、上端が開口部２６（図３参照）の上端よりも高く形成される。柵部２８は、複数の支柱２８ａ、及び複数の水平部２８ｂを備える。各支柱２８ａは、足場部材５から上方に延びており、それぞれ、Ｙ方向と平行な方向に並んで配置される。各水平部２８ｂは、Ｙ方向と平行な方向に延びている。各水平部２８ｂは、複数の支柱２８ａ間に配置され、複数の支柱２８ａを連結する。複数の水平部２８ｂのうち最上部の水平部２８ｂは、足場部材５に乗った作業者Ｕの腰の位置より高く設定される（図２参照）。柵部２８が、足場部材５から上方に延びる複数の支柱２８ａと、複数の支柱２８ａ間に配置される複数の水平部２８ｂとを備え、最上部の水平部２８ｂは、足場部材５に乗った作業者Ｕの腰の位置より高く設定される場合、複数の支柱２８ａ及び複数の水平部２８ｂによって柵部２８の剛性を向上させることができ、さらに最上部の水平部２８ｂが作業者Ｕの腰の位置より高いので、作業者Ｕに対して有効な柵部２８として機能させることができる。なお、柵部２８は、JIS、OSHA（Occupational Safety and Health Administration）のなどの規格を満たすように構成されている。また、本実施形態では、柵付足場部材５Ａは、柵部２８を安定して支持するため、前方（＋Ｘ側）の車輪５ｂが足場部材５よりも前方に突出して設けられ、車輪５ｂと車輪５ｂとの間の間隔（ホイールベース）が、足場部材５よりも長めに設定される（図１参照）。
【００３３】
また、柵付足場部材５Ａは、図１に示すように、切り欠き部２９を備える。切り欠き部２９は、搬送装置１側（＋Ｘ側）に設けられる。切り欠き部２９は、マスト９の形状に対応した形状である。切り欠き部２９には、マスト９の一部が入り込む。切り欠き部２９は、図１に示すように、搬送装置１が最も扉３に近接する位置（−Ｘ側の位置）に移動して回転動作を行う場合においても、マスト９の可動領域が切り欠き部２９に配置され、マスト９に干渉しないように構成されている。上記のように、複数の足場部材５のうちマスト９に近接する足場部材５に切り欠き部２９が設けられる場合、切り欠き部２９にマスト９の一部を入り込ませることにより、外周の一部が弧状のマスト９に対して足場部材５を近接して配置することができる。この構成により、マスト９と足場部材５との隙間が小さくなるので、この隙間からの落下物を減少させることができる。
【００３４】
足場部材５の連結について説明する。図５（Ａ）は、足場部材５を示す−Ｙ方向から見た側面図である。図５（Ｂ）及び（Ｃ）は、連結部材の動作を示す図である。図５（Ｄ）は、複数の足場部材が連結した状態を示す図である。各足場部材５は、それぞれ、足場部材５と足場部材５とを連結する連結部材３０を備える。連結部材３０は、足場部材５の走行方向側（＋Ｘ側）に突出する一対の突出フック３１、及び一対の係合ピン３２を備える。一対の突出フック３１は、足場部材５の−Ｙ側及び＋Ｙ側の側面に設けられる。各突出フック３１の下方には、下方から上方に向けて延びる切り欠き部３１ａが形成される。各突出フック３１は、先端から切り欠き部３１ａの開口端までは傾斜しており、この傾斜が傾斜部３１ｂとなっている。一対の係合ピン３２は、足場部材５の走行方向と反対側（−Ｘ側）の部分の−Ｙ側及び＋Ｙ側の側面に設けられる。
【００３５】
足場部材５の連結動作について説明する。２台の足場部材５を連結する場合、図５（Ｂ）に示すように、前方（＋Ｘ側）に配置される足場部材５に対して、後方から他の足場部材５を押し当てることにより、後方の足場部材５の突出フック３１が前方の足場部材５の係合ピン３２に当接し、さらに、傾斜部３１ｂ介して突出フック３１が係合ピン３２に乗り上げていき、そして、図５（Ｃ）に示すように、係合ピン３２が切り欠き部３１ａに係合する。この構成により、２台の足場部材５が連結される。そして、上記の連結動作を繰り返すことにより、図５（Ｄ）に示すように、複数の足場部材５が連結される。
【００３６】
図２の説明に戻り、収容部６は、複数の足場部材５を収容する。収容部６は、扉３に対してストッカＳ外側の近傍に設けられる。複数の足場部材５のうち柵付足場部材５Ａ以外の足場部材５は、搬送装置１の走行時に、収容部６に積み重ねられた状態で収容される。この場合、複数の足場部材５を効率よく保管することができる。一対のレール４は、収容部６の内部まで延びて配置され、収容部６と接続されている。収容部６に収容された複数の足場部材５は、使用の際に、収容部６からレール４に直接流し込むことができる。また、作業用足場ＳＣの形成に用いられた複数の足場部材５は、収容の際に、一対のレール４から直接収容部６に収容することができる。このように、一対のレール４が収容部６と接続されるので、容易かつ簡単に作業用足場ＳＣを形成することができ、また、容易に複数の足場部材５を収容することができるので、作業者Ｕの負担を軽減することができる。
【００３７】
次に、ストッカＳの動作に基づいて、実施形態に係る作業用足場の形成方法について説明する。図６は、作業用足場の形成方法の一例を示すフローチャートである。図７から図９は、ストッカＳの動作を示す図である。作業用足場の形成方法は、ストッカＳにおいて作業用足場を形成する方法である。
【００３８】
ストッカＳでは、図６のステップＳ１において、搬送装置１の走行時に、複数の足場部材５のうち柵付足場部材５Ａ以外の足場部材５を収容部６に収容し、柵付足場部材５Ａを、開口部２６（図３参照）を介してストッカＳ内とストッカＳ外とを跨いで配置し、かつ柵部２８をストッカＳ内側に配置する。複数の足場部材５のうち柵付足場部材５Ａ以外の足場部材５は、例えば、図２に示すように収容部６に積み重ねられた状態で収容される。この構成により、複数の足場部材５を効率よく保管することができる。図７（Ａ）に示すように、柵付足場部材５Ａは、一対のレール４における、扉３に対してストッカＳ内側でありかつ走行スペースＳＰに対して扉３側の位置に配置される。この構成により、柵付足場部材５Ａは、作業用足場ＳＣにおいて先頭の足場部材５となる。また、柵付足場部材５Ａを上記の位置に配置する場合、作業用足場ＳＣが形成されていない状態で作業者ＵがストッカＳの扉３を開いた場合に、扉３に対してストッカＳ内側に柵部２８が起立しているので、扉３から作業者ＵがストッカＳ内に進入するのを規制することができる。また、柵付足場部材５Ａは、搬送装置１の走行時に、上記の位置に配置されるので、搬送装置１の走行時に、扉３から作業者ＵがストッカＳ内に進入するのを確実に規制することができる。
【００３９】
ストッカＳでは、作業者Ｕによるメンテナンスなどの作業が必要となることがある。この際、作業が必要な場所に作業用足場ＳＣを形成する。作業用足場ＳＣの形成は、搬送装置１の停止時に行われる。作業用足場ＳＣの形成に先立ち、図６のステップＳ２において、搬送装置１を退避させ、停止させる。例えば、図７（Ｂ）に示すように、搬送装置１を、ストッカＳの＋Ｘ側の端部に移動（退避）させ、停止させる。なお、搬送装置１は＋Ｘ側の端部に移動させなくてもよい。例えば、搬送装置１を移動させる位置は、メンテナンスの場所に応じて設定されてもよい。
【００４０】
続いて、図６のステップＳ３において、搬送装置１の停止時に、柵付足場部材５Ａの次に、収容部６から順次ストッカＳ内の一対のレール４に開口部２６を通って足場部材５を流し込む。例えば、図８（Ａ）に示すように、収容部６から１つの足場部材５をレール４に流し込み、図５（Ａ）から（Ｃ）に示すように前方（＋Ｘ側）の柵付足場部材５Ａに押し当てることで、図５（Ｄ）に示すように前方の柵付足場部材５Ａと連結させる。前方の柵付足場部材５Ａとの連結が完了した後、順次、一対のレール４に足場部材５を流し込み、上記した前方の足場部材５との連結を繰り返す。この構成により、図８（Ｂ）に示すように、作業用足場ＳＣが形成される。また、上記のように、作業用足場ＳＣは、搬送装置１の停止時に形成されるので、作業用足場ＳＣを形成する際における、足場部材５と搬送装置１との接触を抑制することができる。
【００４１】
上記のように形成された作業用足場ＳＣは、図９に示すように、柵付足場部材５Ａの切り欠き部２９にマスト９の一部を入り込ませることにより、外周の一部が弧状のマスト９に対して足場部材５を近接して配置することができる。この構成により、マスト９と足場部材５との隙間が小さくなるので、この隙間からの落下物を減少させることができる。また、本実施形態では、柵部２８は、一対のレール４に先頭で流し込まれる柵付足場部材５Ａに設けられるので、柵部２８を先頭に備える作業用足場ＳＣを容易に形成することができ、さらに作業用足場ＳＣを形成しないときに、扉３に対してストッカＳ内側の近傍に柵部２８を配置することができる。また、本実施形態では、柵付足場部材５Ａが扉３に対してストッカＳ内側に配置されるので、柵付足場部材５Ａが扉３の直下の開口部２６を通過するときに生じる干渉を回避することができる。
【００４２】
以上のように、本発明のストッカＳ、及び作業用足場の形成方法によれば、柵部２８を備える足場部材５（柵付足場部材５Ａ）が、開口部２６を介してストッカＳ内とストッカＳ外とを跨いで配置され、かつ柵部２８がストッカＳ内側に配置されるので、作業者Ｕは、この柵部２８を備える足場部材５に次いで、他の足場部材５を収容部６から順次レール４に流し込むことにより容易かつ簡単に作業用足場ＳＣを形成することができ、作業者Ｕの負担を軽減することができる。また、作業用足場ＳＣが形成されていない状態で作業者ＵがストッカＳの扉３を開いた場合に、扉３に対してストッカＳ内側に柵部２８が起立しているので、扉３から作業者ＵがストッカＳ内に進入するのを規制することができる。
【００４３】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、搬送装置１がスタッカクレーンであるとして説明したが、搬送装置１はスタッカクレーンでなくてもよく、任意の搬送装置を用いることができる。また、上記した実施形態では、物品ＦがＦＯＵＰであるとして説明したが、物品ＦはＦＯＵＰ以外でもよい。なお、ストッカＳは、半導体分野以外の設備にも適用可能である。
【００４４】
なお、上記した実施形態では、搬送装置１のマスト９が、平面視において外周の一部が弧状である例を説明したが、マスト９の形状は任意である。例えば、マスト９の形状は、上方から見て、略矩形状（正方形を含む）でもよいし、不定形でもよい。
【００４５】
なお、上記した実施形態では、柵部２８を備える足場部材５（柵付足場部材５Ａ）が、扉３の内側でありかつ走行スペースＳＰ（Ｘ方向）に対して扉３側の最も近い位置に配置される例を説明したが、柵部２８を備える足場部材５の位置は、この位置に限定されない。例えば、搬送装置１の走行時に、ストッカＳ内側において、柵部２８を備える足場部材５と扉３との間に複数の足場部材５が設けられてもよい。
【００４６】
なお、上記した実施形態では、柵部２８を備える足場部材５（柵付足場部材５Ａ）が、複数の足場部材５のうち、搬送装置１に対して最も近接する位置に配置される例を示したが、柵部２８を備える足場部材５の位置は、この位置に限定されない。例えば、搬送装置１の走行時に、ストッカＳ内側において、柵部２８を備える足場部材５と搬送装置１との間に複数の足場部材５が設けられてもよい。
【００４７】
なお、上記した実施形態では、柵部２８を備える足場部材５（柵付足場部材５Ａ）が、切り欠き部２９を備える例を説明したが、切り欠き部２９を備える足場部材５は、柵付足場部材５Ａでなくてもよい。例えば、切り欠き部２９を備える足場部材５は、複数の足場部材５のうちマスト９に近接する足場部材５であって、柵部２８を備えない足場部材５でもよい。また、足場部材５は、切り欠き部２９を備えなくてもよい。例えば、搬送装置１あるいはマスト９の形状が上方から見て、矩形状の場合、切り欠き部２９を備えなくてもよい。
【００４８】
なお、上記した実施形態では、柵部２８を備える足場部材５（柵付足場部材５Ａ）が、一対のレール４に先頭で流し込まれる例を説明したが、柵部２８を備える足場部材５は、一対のレール４に、先頭以外の任意の位置で流し込まれてもよい。例えば、柵部２８を備える足場部材５は、先頭から２番目から５番目のいずれかの位置で流し込まれてもよい。  また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−０３２０４８、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・搬送装置
２・・・保管棚
３・・・扉
４・・・レール
５・・・足場部材
５Ａ・・・柵付足場部材（柵部を備える足場部材）
６・・・収容部
８・・・走行部
９・・・マスト
９ａ・・・切り欠き部
２８・・・柵部
２８ａ・・・支柱
２８ｂ・・・水平部
Ｆ・・・物品
Ｓ・・・ストッカ
ＳＰ・・・走行スペース
Ｕ・・・作業者
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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